(57)【要約】      （修正有）【課題】複数の蒸発源を用いて多源同時蒸着を行う際にも安定性良く各蒸発源の蒸発速度をより正確に測定することを簡易な構成でコスト安に実現でき、この蒸発速度の制御を良好に行うことができる極めて実用性に秀れた膜厚モニタ並びに蒸着装置を提供する。【解決手段】モニタ本体３のセンサ部で検知した検出量から蒸発源１からの材料の蒸発速度を算出して測定する膜厚モニタであって、モニタ本体３を、複数の蒸発源１と夫々対向状態に設け、これら複数のモニタ本体３のセンサ部で検知した検出量から夫々、各蒸発源１からの材料の蒸発速度を算出して測定し得るように構成し、これら複数の蒸発源１の内、対向する所定の一の蒸発源１から蒸発する材料の前記センサ部への入射は許容し、他の蒸発源１から蒸発する材料のこのセンサ部への入射は阻止する入射規制部４を前記複数のモニタ本体３の夫々に備えたものである。【選択図】図１
2005206896.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空槽内に設けた蒸発源からこの蒸発源に充填した材料を加熱して蒸発させ、基板に付着させることでこの基板上に薄膜を成膜する蒸着装置の前記真空槽内に設けられるモニタ本体に、蒸発源から蒸発した材料を検知し得るセンサ部を設け、このセンサ部で検知した検出量から蒸発源からの材料の蒸発速度を算出して測定する膜厚モニタであって、モニタ本体を、複数の蒸発源と夫々対向状態に設け、これら複数のモニタ本体のセンサ部で検知した検出量から夫々、各蒸発源からの材料の蒸発速度を算出して測定し得るように構成し、これら複数の蒸発源の内、対向する所定の一の蒸発源から蒸発する材料の前記センサ部への入射は許容し、他の蒸発源から蒸発する材料のこのセンサ部への入射は阻止する入射規制部を前記複数のモニタ本体の夫々に備えたことを特徴とする膜厚モニタ。
【請求項２】
前記複数並設状態に設けた前記蒸発源から蒸発する材料が基板上に付着する際に通過するこの蒸発源と基板との間の空間部より外方位置に各蒸発源の蒸着速度を測定するモニタ本体を設け、このモニタ本体が対向する所定の一の蒸発源から蒸発する材料のみが前記センサ部に入射するように前記入射規制部を設定したことを特徴とする請求項１記載の膜厚モニタ。
【請求項３】
前記センサ部が設けられるモニタ本体の材料入射側に筒状体を設け、この筒状体は、前記所定の一の蒸発源から蒸発する材料はこの筒状体内を通過させてセンサ部に入射させ、他の蒸発源から蒸発する材料はこの筒状体の外面若しくは内面に付着させてセンサ部への入射を阻止するようにその長さ，径及び向きを設定し、この筒状体を前記入射規制部としたことを特徴とする請求項１，２のいずれか１項に記載の膜厚モニタ。
【請求項４】
前記所定の一の蒸発源から蒸発してセンサ部に入射する材料の一部が筒状体の内面若しくは外面に付着するように前記入射規制部の長さ，径及び向きを設定したことを特徴とする請求項３記載の膜厚モニタ。
【請求項５】
前記入射規制部に付着した前記蒸発源から蒸発した材料が再蒸発しない温度にこの入射規制部の温度を設定する温度調整機構を備えたことを特徴とする請求項３，４のいずれか１項に記載の膜厚モニタ。
【請求項６】
前記センサ部として水晶振動子を採用したことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の蒸着装置における膜厚モニタ。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の膜厚モニタを、真空槽内に少なくとも蒸発源と同数設けたことを特徴とする蒸着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、膜厚モニタ並びに蒸着装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
蒸着装置は、真空槽内に設けた蒸発源に充填した材料を加熱して蒸発させ、基板に付着させることでこの基板上に薄膜を成膜するものであり、通常、前記基板の近傍に設けられる膜厚モニタによって、付着した材料を検知する水晶振動子からなるセンサ部で検知した検出値からこの蒸発源からの材料の蒸発速度（蒸着レート）が測定される（そしてこの蒸発速度から膜厚が算出され、表示部にこの蒸発速度と膜厚とが表示される。）。
【０００３】
ところで、一の蒸発源から基板に蒸着を行う場合には、この膜厚モニタを用いて正確な蒸発速度を測定することができるため、蒸発源からの材料の蒸発速度制御も容易であるが、複数の蒸発源から同時に蒸着を行う（即ち、多源同時蒸着を行う）場合、個々の蒸発源から蒸発する材料（分子）が真空槽内に混在するため、一の膜厚モニタの前記センサ部に複数の蒸発源からの材料が入射してしまい、正確に個々の蒸発源から蒸発した材料の蒸発速度を測定することができず、他の蒸発源による干渉を補正しながら測定する必要があり厄介である。
【０００４】
そこで、従来、多源同時蒸着を行う場合には、蒸発源間に仕切り板を設け、他の蒸発源から蒸発した材料の干渉を阻止したり、蒸発源同志の間隔を広くすると共に、膜厚モニタ間の間隔を広くしたりして、別々の蒸発源から蒸発した材料の干渉を少なくすることで、個々の蒸発源から蒸発する材料の蒸発速度をより正確に測定し、制御できるようにしている。
【０００５】
ところが、上述のように仕切り板を設けた場合、この仕切り板により蒸発源から蒸発する材料の基板への到達が阻害され、基板上に成膜される薄膜の膜厚分布の均一性に悪影響を与えるおそれがある。一方、蒸発源同志の間隔を広げる場合、蒸着装置が大掛かりとなり、コスト高となるのは避けられない。
【０００６】
更に、水晶振動子に蒸発した（高温の）材料が多量に付着すると、急激な温度上昇が起こるため、温度変化に伴う周波数ドリフトが生じやすく、測定されるデータが不安定となり、安定性良く前記蒸発速度制御を行えない。
【０００７】
また、従来は、水晶振動子の長寿命化を図るために、多点切り替え式水晶モニターやチョッパーを用いた方式を採用しているが、これらは構造が複雑でコスト高となる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、上述の問題点を解決したもので、所定の一の蒸発源から蒸発する材料のみを所定の一のモニタ本体のセンサ部に入射させることで、複数の蒸発源を用いて多源同時蒸着を行う際にも安定性良く各蒸発源の蒸発速度をより正確に測定することを簡易な構成でコスト安に実現でき、この蒸発速度の制御を良好に行うことができる極めて実用性に秀れた膜厚モニタ並びに蒸着装置を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
添付図面を参照して本発明の要旨を説明する。
【００１０】
真空槽５内に設けた蒸発源１からこの蒸発源１に充填した材料を加熱して蒸発させ、基板２に付着させることでこの基板２上に薄膜を成膜する蒸着装置の前記真空槽５内に設けられるモニタ本体３に、蒸発源１から蒸発した材料を検知し得るセンサ部12を設け、このセンサ部12で検知した検出量から蒸発源１からの材料の蒸発速度を算出して測定する膜厚モニタであって、モニタ本体３を、複数の蒸発源１と夫々対向状態に設け、これら複数のモニタ本体３のセンサ部12で検知した検出量から夫々、各蒸発源１からの材料の蒸発速度を算出して測定し得るように構成し、これら複数の蒸発源１の内、対向する所定の一の蒸発源１から蒸発する材料の前記センサ部12への入射は許容し、他の蒸発源１から蒸発する材料のこのセンサ部12への入射は阻止する入射規制部４を前記複数のモニタ本体３の夫々に備えたことを特徴とする膜厚モニタに係るものである。
【００１１】
また、前記複数並設状態に設けた前記蒸発源１から蒸発する材料が基板２上に付着する際に通過するこの蒸発源１と基板２との間の空間部より外方位置に各蒸発源１の蒸着速度を測定するモニタ本体３を設け、このモニタ本体３が対向する所定の一の蒸発源１から蒸発する材料のみが前記センサ部12に入射するように前記入射規制部４を設定したことを特徴とする請求項１記載の膜厚モニタに係るものである。
【００１２】
また、前記センサ部12が設けられるモニタ本体３の材料入射側に筒状体を設け、この筒状体は、前記所定の一の蒸発源１から蒸発する材料はこの筒状体内を通過させてセンサ部12に入射させ、他の蒸発源１から蒸発する材料はこの筒状体の外面若しくは内面に付着させてセンサ部12への入射を阻止するようにその長さ，径及び向きを設定し、この筒状体を前記入射規制部４としたことを特徴とする請求項１，２のいずれか１項に記載の膜厚モニタに係るものである。
【００１３】
また、前記所定の一の蒸発源１から蒸発してセンサ部12に入射する材料の一部が筒状体の内面若しくは外面に付着するように前記入射規制部４の長さ，径及び向きを設定したことを特徴とする請求項３記載の膜厚モニタに係るものである。
【００１４】
また、前記入射規制部４に付着した前記蒸発源１から蒸発した材料が再蒸発しない温度にこの入射規制部４の温度を設定する温度調整機構を備えたことを特徴とする請求項３，４のいずれか１項に記載の膜厚モニタに係るものである。
【００１５】
また、前記センサ部12として水晶振動子を採用したことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の蒸着装置における膜厚モニタに係るものである。
【００１６】
また、請求項１〜６のいずれか１項に記載の膜厚モニタを、真空槽５内に少なくとも蒸発源１と同数設けたことを特徴とする蒸着装置に係るものである。
【発明の効果】
【００１７】
本発明は上述のように構成したから、複数の蒸発源を用いて多源同時蒸着を行う際にも安定性良く各蒸発源の蒸発速度をより正確に測定することを簡易な構成でコスト安に実現でき、この蒸発速度の制御を良好に行うことができる極めて実用性に秀れた膜厚モニタ並びに蒸着装置となる。
【００１８】
また、請求項２記載の発明においては、蒸発源から蒸発する材料を阻害することなく一層良好な成膜が可能となる一層実用性に秀れたものとなる。
【００１９】
また、請求項３記載の発明においては、極めて簡易な構成でコスト安に上記作用効果を実現できる一層実用性に秀れたものとなる。
【００２０】
また、請求項４記載の発明においては、例えば請求項６の如くセンサ部として水晶振動子から成るものを採用した場合に、より安定性良く蒸発速度を制御し得ると共に、この水晶振動子の長寿命化を図ることができるより一層実用性に秀れたものとなる。
【００２１】
また、請求項５記載の発明においては、入射規制部４に付着した材料の再蒸発を阻止してより安定性良く蒸発速度を制御し得るより一層実用性に秀れたものとなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
好適と考える本発明の実施の形態（発明をどのように実施するのが最良か）を、図面に基づいてその作用効果を示して簡単に説明する。
【００２３】
真空槽５に設けた基板２上に、複数の蒸発源１から蒸発させた材料を付着させて成膜を行う際、所定の一の蒸発源１と対応する所定の一のモニタ本体３のセンサ部12には、この所定の一の蒸発源１から蒸発する材料のみが入射し、他の蒸発源１から蒸発する材料はこの所定の一のモニタ本体３のセンサ部12に入射しない。
【００２４】
即ち、モニタ本体３の入射規制部４が、所定の一の蒸発源１から蒸発する材料の前記センサ部12への入射は許容し、他の蒸発源１から蒸発する材料の前記センサ部12への入射を阻止することで、各モニタ本体３のセンサ部12は、夫々対向する所定の一の蒸発源１から蒸発する材料のみを検出できることになる。
【００２５】
従って、真空槽５内に複数の蒸発源１から蒸発した材料（分子）が混在していても、所定の一の蒸発源１以外の他の蒸発源１から蒸発する材料の影響を受けずに、各蒸発源１からの材料の蒸発速度を各モニタ本体３により夫々別々に測定することができる。
【００２６】
即ち、複数の蒸発源１を用いて蒸着を行う場合でも、従来のように他の蒸発源１の干渉を補正しながら制御する必要なく、一の蒸発源１で蒸着を行う場合と同様に、単にモニタ本体３で測定される蒸着速度から簡単に蒸発速度制御を行うことができることになる。
【００２７】
従って、前記入射規制部４により所定の一の蒸発源１以外の他の蒸発源１から蒸発する材料のセンサ部12への入射を確実に阻止することができるから、各モニタ本体３のセンサ部12は所定の一の蒸発源１から蒸発した材料のみを検出し、正確な蒸発速度を測定できることになり、多源同時蒸着における問題を簡易な構成で容易且つコスト安に解決することが可能となる。
【００２８】
よって、多源同時蒸着を行う場合も、簡易な構成で一の蒸発源１で蒸着を行う場合と同様、正確に蒸発速度を測定することができ、各蒸発源１から蒸発する二種以上の材料を基板２上で混合せしめて成膜する場合、容易に所望の組成比で成膜することが可能となる。
【００２９】
また、例えば、前記複数並設状態に設けた前記蒸発源１から蒸発する材料が基板２上に付着する際に通過するこの蒸発源１と基板２との間の空間部より外方位置に各蒸発源１の蒸着速度を測定するモニタ本体３を設け、この各モニタ本体３が対向する所定の一の蒸発源１から蒸発する材料のみが前記センサ部12に入射するように前記入射規制部４を設定した場合には、蒸発源１から蒸発する材料の基板２への到達を阻害することなく、各蒸発源１からの蒸発速度を確実に測定することができ、一層良好に成膜を行えることになる。
【００３０】
また、例えば、前記モニタ本体３の材料入射側に筒状体を設け、この筒状体は、前記所定の一の蒸発源１から蒸発する材料はこの筒状体内を通過させてセンサ部12に入射させ、他の蒸発源１から蒸発する材料はこの筒状体の外面若しくは内面に付着させてセンサ部12への入射を阻止するようにその長さ，径及び向きを設定し、この筒状体を前記入射規制部４とした場合には、対向する所定の一の蒸発源１以外の他の蒸発源１から蒸発する材料のセンサ部12への入射を簡易な構成でコスト安に阻止できることになる。
【００３１】
また、例えば、前記所定の一の蒸発源１から蒸発する材料の一部が筒状体の内面若しくは外面に付着するように前記入射規制部４の長さ，径及び向きを設定した場合には、このセンサ部12に入射する蒸発源１から蒸発した材料を必要最低限に設定することができ、センサ部12に付着する高温の材料を減少させることができ、このセンサ部12の冷却を良好に行うことができる。従って、この蒸発源１から蒸発する材料によるセンサ部12の温度上昇を抑制でき、例えば、このセンサ部12として用いられる水晶振動子の周波数ドリフトの発生頻度を低下させてより安定性良く蒸発速度を測定できるのは勿論、水晶振動子に付着する材料を減少させることで、この水晶振動子の長寿命化も図れることになる。
【００３２】
従って、本発明は、簡易な構成で複数の蒸発源を用いて多源同時蒸着を行う際にも安定性良く各蒸発源の正確な蒸発速度を測定することができ、その制御も良好に行うことができる極めて実用性に秀れた膜厚モニタ並びに蒸着装置となる。
【実施例】
【００３３】
本発明の具体的な実施例について図面に基づいて説明する。
【００３４】
本実施例は、真空槽５内に設けた蒸発源１からこの蒸発源１に充填した材料を加熱して蒸発させ、基板２に付着させることでこの基板２上に薄膜を成膜する蒸着装置の前記真空槽５内に設けられるモニタ本体３に、蒸発源１から蒸発した材料を検知し得るセンサ部12を設け、このセンサ部12で検知した検出量から蒸発源１からの材料の蒸発速度を算出して測定する膜厚モニタであって、モニタ本体３を、複数の蒸発源１と夫々対向状態に設け、これら複数のモニタ本体３のセンサ部12で検知した検出量から夫々、各蒸発源１からの材料の蒸発速度を算出して測定し得るように構成し、これら複数の蒸発源１の内、対向する所定の一の蒸発源１から蒸発する材料の前記センサ部12への入射は許容し、他の蒸発源１から蒸発する材料のこのセンサ部12への入射は阻止する入射規制部４を前記複数のモニタ本体３の夫々に備えたものである。
【００３５】
蒸着装置は、真空槽５内に、基板ホルダ６に取り付けた基板２と、この基板２と対向状態に複数並設状態に設けた蒸発源１（坩堝）とを設け、この複数の蒸発源１から同時にこの蒸発源１に充填した材料を蒸発させて、前記基板２上に二種以上の材料から成る薄膜を成膜するものである。尚、この複数の蒸発源１から同時に異種でなく同種の材料を蒸発させても良い。
【００３６】
本実施例は、この蒸着装置を用いて成膜を行う際、前記複数の蒸発源１から蒸発する材料を夫々別々に検知して、この検出量から各蒸発源１からの材料の蒸発速度を夫々測定するものである。即ち、既存の水晶振動子式膜厚レートモニタに前記入射規制部４を設けたものである。従って、付着した材料による固有振動数の変化から蒸発速度（と膜厚）を算出し、モニタリングする基本構成は既存のものと同様である。
【００３７】
センサ部12を有するモニタ本体３は、前記複数並設状態に設けた前記蒸発源１から蒸発する材料が基板２上に付着する際に通過するこの蒸発源１と基板２との間の空間部より外方位置に設けている。
【００３８】
具体的には、基板２を、真空槽５の上部に設けた基板ホルダ６に取り付け、蒸発源１を、この真空槽５の下部にこの基板２と対向状態に複数並設状態に配設し、モニタ本体３を、この蒸発源１及び基板２との間の空間部と真空槽５の内周壁との間に設けている。
【００３９】
更に具体的には、このモニタ本体３は、前記空間部と真空槽５の内周壁との間に立設される固定部11ａを有するモニタ保持体11に設けている。本実施例のモニタ保持体11は、モニタ本体３が取り付けられる固定部11ａと、この固定部11ａを支承する真空槽５の下部（例えば蒸発源１と真空槽５の底部との間）に固定される支承部11ｂとを有するものである。従って、モニタ本体３は、（例えば板状や棒状の）モニタ保持体11の、蒸発源１と基板２との間の高さの固定部11ａに、このモニタ本体３の略中央部に設けた固定用孔10に挿通される固定ピン（図示省略）を用いて固定している。
【００４０】
尚、モニタ本体３を真空槽５の内周壁に直接設けた構成とする等、他の構成を採用したり、固定ピンによる固定方法以外の固定方法を採用しても良いのは勿論である。
【００４１】
モニタ本体３のセンサ部12は、対向する所定の一の蒸発源１を向くように設定し、このセンサ部12の前方には、前記入射規制部４としての筒体を設けている。具体的には、本実施例においては、モニタ本体３の先端部に前記センサ部12を設け、このモニタ本体３をセンサ部12及び入射規制部４が蒸発源１の開口部を向く向きで固定部11ａに設けている。
【００４２】
従って、蒸発源１から蒸発する材料の基板２への到達を阻害することがなく、基板２上に成膜された薄膜の膜厚分布の均一性は良好となる。
【００４３】
また、モニタ本体３のセンサ部12としての水晶振動子はモニタ本体３の先端部にその一面が露出状態で設けられ、この一面が露出するモニタ本体３の材料入射側に前記入射規制部４としての直線状の筒体を突設している。この筒体は、その長さ，径及び向きを、前記対向する所定の一の蒸発源１から蒸発する材料はこの筒体内を通過させて前記センサ部12に入射させ、他の蒸発源１から蒸発する材料はこの筒体の外面若しくは内面に付着させてこのセンサ部12への入射を阻止するように設定している。
【００４４】
本実施例においては、入射規制部４を夫々同一形状（径及び長さを同一）に設定し、モニタ本体３の取り付け高さ及び取り付け向きを、蒸発源１の位置により夫々異ならせている。
【００４５】
即ち、内側の蒸発源１ａに対して設けるモニタ本体３ａは、外側の蒸発源１ｂに対して設けるモニタ本体３ｂより低い位置に設け、その蒸発源１ａに対する傾斜角度が前記モニタ本体３ｂより大きくなるように取り付けることで、前記外側の蒸発源１ｂから蒸発する材料の死角となりやすく、しかも、この材料が筒体の内面内側に付着しやすくなり、一方、外側の蒸発源１ｂに対して設けるモニタ本体３ｂは、前記モニタ本体３ａより高い位置にあると共にその傾斜角度が小さくなるように取り付けることで、内側の蒸発源１ａから蒸発する材料が届きにくく、しかも、この材料が筒体の内面外側に付着しやすくなるようにしている。
【００４６】
従って、前記内側の蒸発源１ａから蒸発する材料はその殆どが前記モニタ本体３ａのセンサ部12のみに入射して前記モニタ本体３ｂのセンサ部12には入射せず、前記外側の蒸発源１ｂから蒸発する材料はその殆どが前記モニタ本体３ｂのセンサ部12のみに入射して前記モニタ本体３ａのセンサ部12には入射しない。
【００４７】
尚、入射規制部４の向きだけでなく、入射規制部４の形状（径及び長さ）を夫々異ならせて、前記対向する所定の一の蒸発源１から蒸発する材料はこの筒体内を通過させて前記センサ部12に入射させ、他の蒸発源１から蒸発する材料はこの筒体の外面若しくは内面に付着せてこのセンサ部12への入射を阻止するように設定しても良い。
【００４８】
従って、このモニタ本体３のセンサ部12に、対向する所定の一の蒸発源１から蒸発する材料以外は入射しない構成を極めて簡易に且つコスト安に実現できる。
【００４９】
また、前記入射規制部４は、前記対向状態の所定の一の蒸発源１から蒸発し、センサ部12に入射する材料の一部が筒体の内面若しくは外面に付着するようにその長さ，径及び向きを設定している。
【００５０】
従って、前記所定の一の蒸発源１から蒸発する材料の一部も、この入射規制部４によりセンサ部12への入射が規制され、このセンサ部12に入射する材料の量を必要最低レベルにまで減らすことができ、この蒸発源１から蒸発した材料によるセンサ部12の加熱を抑制し、センサ部12として採用した水晶振動子の温度変化に伴う周波数ドリフトの発生頻度を低下させることができ、安定性良く蒸発速度を制御できるのは勿論、蒸発源１から蒸発する材料の一部をこの筒体の内面若しくは外面に付着させてセンサ部12に付着する材料の量を減らすことで、この水晶振動子の長寿命化をも図ることができる。
【００５１】
しかも、上述のように水晶振動子の周波数ドリフトの発生頻度を低下させると共に長寿命とすることを極めて簡易な構成で実現できるから、他の複雑な構成が一切不要で水晶振動子以外の電気ノイズ等の不安定要素を極力抑えることができ、従来に比しより一層の長寿命化を図ることができる。
【００５２】
入射規制部４である筒体はその基端部を、この筒体の径と略同径でセンサ部12への入射を許容する入射許容孔（図示省略）を有する取り付け板９にこの入射許容孔と連通するように接合され、この取り付け板９を止めネジ８でモニタ本体３に固定することで、このモニタ本体３に設けている。尚、図中符号７は電源ケーブルである。
【００５３】
また、モニタ本体３は、前記入射規制部４に付着した前記蒸発源１から蒸発した材料が再蒸発しない温度にこの入射規制部４を設定する温度調整機構（図示省略）を備えている。
【００５４】
従って、この筒体の内面及び外面に付着した材料が再蒸発することがなく、この入射規制部４によりセンサ部12への入射が阻害された材料が再蒸発することによる材料の異常検出を防止でき、一層安定性良く蒸発速度を制御することが可能となる。
【００５５】
また、本実施例においては、前記入射規制部４として直線状の筒体を採用しているが、直線状でなくても、例えば曲線状等、どのような形状に設定しても良い。
【００５６】
また、本実施例においては、モニタ本体３の先端部にセンサ部12を設けた構成としているが、例えば、モニタ本体３の中央部にセンサ部12を設けた構成等、他の構成としても結果的にこのセンサ部12が蒸発源１の開口部を向く方向に設定するのであれば、どのような構成としても良い。
【００５７】
本実施例は上述のように構成したから、真空槽５に設けた基板２上に、複数の蒸発源１から蒸発させた材料を付着させて成膜を行う際、所定の一の蒸発源１と対応する所定の一のモニタ本体３のセンサ部12には、この所定の一の蒸発源１から蒸発する材料のみが入射し、他の蒸発源１から蒸発する材料はこの所定の一のモニタ本体３のセンサ部12に入射しない。
【００５８】
即ち、モニタ本体３の入射規制部４が、所定の一の蒸発源１から蒸発する材料の前記センサ部12への入射は許容し、他の蒸発源１から蒸発する材料の前記センサ部12への入射を阻止することで、各モニタ本体３のセンサ部12は、夫々対向する所定の一の蒸発源１から蒸発する材料のみを検出できることになる。
【００５９】
従って、真空槽５内に複数の蒸発源１から蒸発した材料（分子）が混在していても、所定の一の蒸発源１以外の他の蒸発源１から蒸発する材料の影響を受けずに、各蒸発源１からの材料の蒸発速度を各モニタ本体３により夫々別々に測定することができる。
【００６０】
即ち、複数の蒸発源１を用いて蒸着を行う場合でも、従来のように他の蒸発源１の干渉を補正しながら制御する必要なく、一の蒸発源１で蒸着を行う場合と同様に、単にモニタ本体３で測定される蒸着速度から簡単に蒸発速度制御を行うことができることになる。
【００６１】
従って、前記入射規制部４により所定の一の蒸発源１以外の他の蒸発源１から蒸発する材料のセンサ部12への入射を確実に阻止することができるから、各モニタ本体３のセンサ部12は所定の一の蒸発源１から蒸発した材料のみを検出し、正確な蒸発速度を測定できることになり、多源同時蒸着における問題を簡易な構成で容易且つコスト安に解決することが可能となる。
【００６２】
よって、多源同時蒸着を行う場合も、簡易な構成で一の蒸発源１で蒸着を行う場合と同様、正確に蒸発速度を測定することができ、各蒸発源１から蒸発する二種以上の材料を基板２上で混合せしめて成膜する場合、容易に所望の組成比で成膜することが可能となる。
【００６３】
また、前記複数並設状態に設けた前記蒸発源１から蒸発する材料が基板２上に付着する際に通過するこの蒸発源１と基板２との間の空間部より外方位置に各蒸発源１の蒸着速度を測定するモニタ本体３を設け、この各モニタ本体３が対向する所定の一の蒸発源１から蒸発する材料のみが前記センサ部12に入射するように前記入射規制部４を設定したから、蒸発源１から蒸発する材料の基板２への到達を阻害することなく、各蒸発源１からの蒸発速度を確実に測定することができ、一層良好に成膜を行えることになる。
【００６４】
また、前記モニタ本体３の材料入射側に筒体を設け、この筒体は、前記所定の一の蒸発源１から蒸発する材料はこの筒体内を通過させてセンサ部12に入射させ、他の蒸発源１から蒸発する材料はこの筒体の外面若しくは内面に付着させてセンサ部12への入射を阻止するようにその長さ，径及び向きを設定し、この筒状体を前記入射規制部４としたから、対向する所定の一の蒸発源１以外の他の蒸発源１から蒸発する材料のセンサ部12への入射を簡易な構成でコスト安に阻止できることになる。
【００６５】
また、前記所定の一の蒸発源１から蒸発する材料の一部が筒状体の内面若しくは外面に付着するように前記入射規制部４の長さ，径及び向きを設定したから、このセンサ部12に入射する蒸発源１から蒸発した材料を必要最低限に設定することができ、センサ部12に付着する高温の材料を減少させることができ、このセンサ部12の冷却を良好に行うことができる。従って、この蒸発源１から蒸発する材料によるセンサ部12の温度上昇を抑制でき、例えば、このセンサ部12として用いられる水晶振動子の周波数ドリフトの発生頻度を低下させてより安定性良く蒸発速度を測定できるのは勿論、水晶振動子に付着する材料を減少させることで、この水晶振動子の長寿命化を図れることになる。
【００６６】
従って、本発明は、簡易な構成で複数の蒸発源を用いて多源同時蒸着を行う際にも安定性良く各蒸発源の正確な蒸発速度を測定することができ、その制御も良好に行うことができる極めて実用性に秀れた膜厚モニタ並びに蒸着装置となる。
【００６７】
尚、本発明は、本実施例に限られるものではなく、各構成要件の具体的構成は適宜設計し得るものである。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本実施例の使用状態図である。
【図２】本実施例の概略説明平面図である。
【符号の説明】
【００６９】
１  蒸発源
２  基板
３  モニタ本体
４  入射規制部
５  真空槽
12  センサ部
【図１】
2005206896.tif 000003
【図２】
2005206896.tif 000004
【手続補正書】
【提出日】平成17年1月11日(2005.1.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、膜厚モニタ並びに蒸着装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
蒸着装置は、真空槽内に設けた蒸発源に充填した材料を加熱して蒸発させ、基板に付着させることでこの基板上に薄膜を成膜するものであり、通常、前記基板の近傍に設けられる膜厚モニタによって、付着した材料を検知する水晶振動子からなるセンサ部で検知した検出値からこの蒸発源からの材料の蒸発速度（蒸着レート）が測定される（そしてこの蒸発速度から膜厚が算出され、表示部にこの蒸発速度と膜厚とが表示される。）。
【０００３】
ところで、一の蒸発源から基板に蒸着を行う場合には、この膜厚モニタを用いて正確な蒸発速度を測定することができるため、蒸発源からの材料の蒸発速度制御も容易であるが、複数の蒸発源から同時に蒸着を行う（即ち、多源同時蒸着を行う）場合、個々の蒸発源から蒸発する材料（分子）が真空槽内に混在するため、一の膜厚モニタの前記センサ部に複数の蒸発源からの材料が入射してしまい、正確に個々の蒸発源から蒸発した材料の蒸発速度を測定することができず、他の蒸発源による干渉を補正しながら測定する必要があり厄介である。
【０００４】
そこで、従来、多源同時蒸着を行う場合には、蒸発源間に仕切り板を設け、他の蒸発源から蒸発した材料の干渉を阻止したり、蒸発源同志の間隔を広くすると共に、膜厚モニタ間の間隔を広くしたりして、別々の蒸発源から蒸発した材料の干渉を少なくすることで、個々の蒸発源から蒸発する材料の蒸発速度をより正確に測定し、制御できるようにしている。
【０００５】
ところが、上述のように仕切り板を設けた場合、この仕切り板により蒸発源から蒸発する材料の基板への到達が阻害され、基板上に成膜される薄膜の膜厚分布の均一性に悪影響を与えるおそれがある。一方、蒸発源同志の間隔を広げる場合、蒸着装置が大掛かりとなり、コスト高となるのは避けられない。
【０００６】
更に、水晶振動子に蒸発した（高温の）材料が多量に付着すると、急激な温度上昇が起こるため、温度変化に伴う周波数ドリフトが生じやすく、測定されるデータが不安定となり、安定性良く前記蒸発速度制御を行えない。
【０００７】
また、従来は、水晶振動子の長寿命化を図るために、多点切り替え式水晶モニターやチョッパーを用いた方式を採用しているが、これらは構造が複雑でコスト高となる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、上述の問題点を解決したもので、所定の一の蒸発源から蒸発する材料のみを所定の一のモニタ本体のセンサ部に入射させることで、複数の蒸発源を用いて多源同時蒸着を行う際にも安定性良く各蒸発源の蒸発速度をより正確に測定することを簡易な構成でコスト安に実現でき、この蒸発速度の制御を良好に行うことができる極めて実用性に秀れた膜厚モニタ並びに蒸着装置を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
添付図面を参照して本発明の要旨を説明する。
【００１０】
真空槽５内に設けた蒸発源１からこの蒸発源１に充填した材料を加熱して蒸発させ、基板２に付着させることでこの基板２上に薄膜を成膜する蒸着装置の前記真空槽５内に設けられるモニタ本体３に、蒸発源１から蒸発した材料を検知し得るセンサ部12を設け、このセンサ部12で検知した検出量から蒸発源１からの材料の蒸発速度を算出して測定する膜厚モニタであって、モニタ本体３を、複数の蒸発源１と夫々対向状態に設け、これら複数のモニタ本体３のセンサ部12で検知した検出量から夫々、各蒸発源１からの材料の蒸発速度を算出して測定し得るように構成し、これら複数の蒸発源１の内、対向する所定の一の蒸発源１から蒸発する材料の前記センサ部12への入射は許容し、他の蒸発源１から蒸発する材料のこのセンサ部12への入射は阻止する入射規制部４を前記複数のモニタ本体３の夫々に備えたことを特徴とする膜厚モニタに係るものである。
【００１１】
また、前記複数並設状態に設けた前記蒸発源１から蒸発する材料が基板２上に付着する際に通過するこの蒸発源１と基板２との間の空間部より外方位置に各蒸発源１の蒸着速度を測定するモニタ本体３を設け、このモニタ本体３が対向する所定の一の蒸発源１から蒸発する材料のみが前記センサ部12に入射するように前記入射規制部４を設定したことを特徴とする請求項１記載の膜厚モニタに係るものである。
【００１２】
また、前記センサ部12が設けられるモニタ本体３の材料入射側に筒状体を設け、この筒状体は、前記所定の一の蒸発源１から蒸発する材料はこの筒状体内を通過させてセンサ部12に入射させ、他の蒸発源１から蒸発する材料はこの筒状体の外面若しくは内面に付着させてセンサ部12への入射を阻止するようにその長さ，径及び向きを設定し、この筒状体を前記入射規制部４としたことを特徴とする請求項１，２のいずれか１項に記載の膜厚モニタに係るものである。
【００１３】
また、前記所定の一の蒸発源１から蒸発してセンサ部12に入射する材料の一部が筒状体の内面若しくは外面に付着するように前記入射規制部４の長さ，径及び向きを設定したことを特徴とする請求項３記載の膜厚モニタに係るものである。
【００１４】
また、前記入射規制部４に付着した前記蒸発源１から蒸発した材料が再蒸発しない温度にこの入射規制部４の温度を設定する温度調整機構を備えたことを特徴とする請求項３，４のいずれか１項に記載の膜厚モニタに係るものである。
【００１５】
また、前記センサ部12として水晶振動子を採用したことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の蒸着装置における膜厚モニタに係るものである。
【００１６】
また、請求項１〜６のいずれか１項に記載の膜厚モニタを、真空槽５内に少なくとも蒸発源１と同数設けたことを特徴とする蒸着装置に係るものである。
【発明の効果】
【００１７】
本発明は上述のように構成したから、複数の蒸発源を用いて多源同時蒸着を行う際にも安定性良く各蒸発源の蒸発速度をより正確に測定することを簡易な構成でコスト安に実現でき、この蒸発速度の制御を良好に行うことができる極めて実用性に秀れた膜厚モニタ並びに蒸着装置となる。
【００１８】
また、請求項２記載の発明においては、蒸発源から蒸発する材料を阻害することなく一層良好な成膜が可能となる一層実用性に秀れたものとなる。
【００１９】
また、請求項３記載の発明においては、極めて簡易な構成でコスト安に上記作用効果を実現できる一層実用性に秀れたものとなる。
【００２０】
また、請求項４記載の発明においては、例えば請求項６の如くセンサ部として水晶振動子から成るものを採用した場合に、より安定性良く蒸発速度を制御し得ると共に、この水晶振動子の長寿命化を図ることができるより一層実用性に秀れたものとなる。
【００２１】
また、請求項５記載の発明においては、入射規制部４に付着した材料の再蒸発を阻止してより安定性良く蒸発速度を制御し得るより一層実用性に秀れたものとなる。
【００２２】
また、請求項６記載の発明においては、本発明を一層容易に実現できるより一層実用性に秀れたものとなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
好適と考える本発明の実施の形態（発明をどのように実施するのが最良か）を、図面に基づいてその作用効果を示して簡単に説明する。
【００２４】
真空槽５に設けた基板２上に、複数の蒸発源１から蒸発させた材料を付着させて成膜を行う際、所定の一の蒸発源１と対応する所定の一のモニタ本体３のセンサ部12には、この所定の一の蒸発源１から蒸発する材料のみが入射し、他の蒸発源１から蒸発する材料はこの所定の一のモニタ本体３のセンサ部12に入射しない。
【００２５】
即ち、モニタ本体３の入射規制部４が、所定の一の蒸発源１から蒸発する材料の前記センサ部12への入射は許容し、他の蒸発源１から蒸発する材料の前記センサ部12への入射を阻止することで、各モニタ本体３のセンサ部12は、夫々対向する所定の一の蒸発源１から蒸発する材料のみを検出できることになる。
【００２６】
従って、真空槽５内に複数の蒸発源１から蒸発した材料（分子）が混在していても、所定の一の蒸発源１以外の他の蒸発源１から蒸発する材料の影響を受けずに、各蒸発源１からの材料の蒸発速度を各モニタ本体３により夫々別々に測定することができる。
【００２７】
即ち、複数の蒸発源１を用いて蒸着を行う場合でも、従来のように他の蒸発源１の干渉を補正しながら制御する必要なく、一の蒸発源１で蒸着を行う場合と同様に、単にモニタ本体３で測定される蒸着速度から簡単に蒸発速度制御を行うことができることになる。
【００２８】
従って、前記入射規制部４により所定の一の蒸発源１以外の他の蒸発源１から蒸発する材料のセンサ部12への入射を確実に阻止することができるから、各モニタ本体３のセンサ部12は所定の一の蒸発源１から蒸発した材料のみを検出し、正確な蒸発速度を測定できることになり、多源同時蒸着における問題を簡易な構成で容易且つコスト安に解決することが可能となる。
【００２９】
よって、多源同時蒸着を行う場合も、簡易な構成で一の蒸発源１で蒸着を行う場合と同様、正確に蒸発速度を測定することができ、各蒸発源１から蒸発する二種以上の材料を基板２上で混合せしめて成膜する場合、容易に所望の組成比で成膜することが可能となる。
【００３０】
また、例えば、前記複数並設状態に設けた前記蒸発源１から蒸発する材料が基板２上に付着する際に通過するこの蒸発源１と基板２との間の空間部より外方位置に各蒸発源１の蒸着速度を測定するモニタ本体３を設け、この各モニタ本体３が対向する所定の一の蒸発源１から蒸発する材料のみが前記センサ部12に入射するように前記入射規制部４を設定した場合には、蒸発源１から蒸発する材料の基板２への到達を阻害することなく、各蒸発源１からの蒸発速度を確実に測定することができ、一層良好に成膜を行えることになる。
【００３１】
また、例えば、前記モニタ本体３の材料入射側に筒状体を設け、この筒状体は、前記所定の一の蒸発源１から蒸発する材料はこの筒状体内を通過させてセンサ部12に入射させ、他の蒸発源１から蒸発する材料はこの筒状体の外面若しくは内面に付着させてセンサ部12への入射を阻止するようにその長さ，径及び向きを設定し、この筒状体を前記入射規制部４とした場合には、対向する所定の一の蒸発源１以外の他の蒸発源１から蒸発する材料のセンサ部12への入射を簡易な構成でコスト安に阻止できることになる。
【００３２】
また、例えば、前記所定の一の蒸発源１から蒸発する材料の一部が筒状体の内面若しくは外面に付着するように前記入射規制部４の長さ，径及び向きを設定した場合には、このセンサ部12に入射する蒸発源１から蒸発した材料を必要最低限に設定することができ、センサ部12に付着する高温の材料を減少させることができ、このセンサ部12の冷却を良好に行うことができる。従って、この蒸発源１から蒸発する材料によるセンサ部12の温度上昇を抑制でき、例えば、このセンサ部12として用いられる水晶振動子の周波数ドリフトの発生頻度を低下させてより安定性良く蒸発速度を測定できるのは勿論、水晶振動子に付着する材料を減少させることで、この水晶振動子の長寿命化も図れることになる。
【００３３】
従って、本発明は、簡易な構成で複数の蒸発源を用いて多源同時蒸着を行う際にも安定性良く各蒸発源の正確な蒸発速度を測定することができ、その制御も良好に行うことができる極めて実用性に秀れた膜厚モニタ並びに蒸着装置となる。
【実施例】
【００３４】
本発明の具体的な実施例について図面に基づいて説明する。
【００３５】
本実施例は、真空槽５内に設けた蒸発源１からこの蒸発源１に充填した材料を加熱して蒸発させ、基板２に付着させることでこの基板２上に薄膜を成膜する蒸着装置の前記真空槽５内に設けられるモニタ本体３に、蒸発源１から蒸発した材料を検知し得るセンサ部12を設け、このセンサ部12で検知した検出量から蒸発源１からの材料の蒸発速度を算出して測定する膜厚モニタであって、モニタ本体３を、複数の蒸発源１と夫々対向状態に設け、これら複数のモニタ本体３のセンサ部12で検知した検出量から夫々、各蒸発源１からの材料の蒸発速度を算出して測定し得るように構成し、これら複数の蒸発源１の内、対向する所定の一の蒸発源１から蒸発する材料の前記センサ部12への入射は許容し、他の蒸発源１から蒸発する材料のこのセンサ部12への入射は阻止する入射規制部４を前記複数のモニタ本体３の夫々に備えたものである。
【００３６】
蒸着装置は、真空槽５内に、基板ホルダ６に取り付けた基板２と、この基板２と対向状態に複数並設状態に設けた蒸発源１（坩堝）とを設け、この複数の蒸発源１から同時にこの蒸発源１に充填した材料を蒸発させて、前記基板２上に二種以上の材料から成る薄膜を成膜するものである。尚、この複数の蒸発源１から同時に異種でなく同種の材料を蒸発させても良い。
【００３７】
本実施例は、この蒸着装置を用いて成膜を行う際、前記複数の蒸発源１から蒸発する材料を夫々別々に検知して、この検出量から各蒸発源１からの材料の蒸発速度を夫々測定するものである。即ち、既存の水晶振動子式膜厚レートモニタに前記入射規制部４を設けたものである。従って、付着した材料による固有振動数の変化から蒸発速度（と膜厚）を算出し、モニタリングする基本構成は既存のものと同様である。
【００３８】
センサ部12を有するモニタ本体３は、前記複数並設状態に設けた前記蒸発源１から蒸発する材料が基板２上に付着する際に通過するこの蒸発源１と基板２との間の空間部より外方位置に設けている。
【００３９】
具体的には、基板２を、真空槽５の上部に設けた基板ホルダ６に取り付け、蒸発源１を、この真空槽５の下部にこの基板２と対向状態に複数並設状態に配設し、モニタ本体３を、この蒸発源１及び基板２との間の空間部と真空槽５の内周壁との間に設けている。
【００４０】
更に具体的には、このモニタ本体３は、前記空間部と真空槽５の内周壁との間に立設される固定部11ａを有するモニタ保持体11に設けている。本実施例のモニタ保持体11は、モニタ本体３が取り付けられる固定部11ａと、この固定部11ａを支承する真空槽５の下部（例えば蒸発源１と真空槽５の底部との間）に固定される支承部11ｂとを有するものである。従って、モニタ本体３は、（例えば板状や棒状の）モニタ保持体11の、蒸発源１と基板２との間の高さの固定部11ａに、このモニタ本体３の略中央部に設けた固定用孔10に挿通される固定ピン（図示省略）を用いて固定している。
【００４１】
尚、モニタ本体３を真空槽５の内周壁に直接設けた構成とする等、他の構成を採用したり、固定ピンによる固定方法以外の固定方法を採用しても良いのは勿論である。
【００４２】
モニタ本体３のセンサ部12は、対向する所定の一の蒸発源１を向くように設定し、このセンサ部12の前方には、前記入射規制部４としての筒体を設けている。具体的には、本実施例においては、モニタ本体３の先端部に前記センサ部12を設け、このモニタ本体３をセンサ部12及び入射規制部４が蒸発源１の開口部を向く向きで固定部11ａに設けている。
【００４３】
従って、蒸発源１から蒸発する材料の基板２への到達を阻害することがなく、基板２上に成膜された薄膜の膜厚分布の均一性は良好となる。
【００４４】
また、モニタ本体３のセンサ部12としての水晶振動子はモニタ本体３の先端部にその一面が露出状態で設けられ、この一面が露出するモニタ本体３の材料入射側に前記入射規制部４としての直線状の筒体を突設している。この筒体は、その長さ，径及び向きを、前記対向する所定の一の蒸発源１から蒸発する材料はこの筒体内を通過させて前記センサ部12に入射させ、他の蒸発源１から蒸発する材料はこの筒体の外面若しくは内面に付着させてこのセンサ部12への入射を阻止するように設定している。
【００４５】
本実施例においては、入射規制部４を夫々同一形状（径及び長さを同一）に設定し、モニタ本体３の取り付け高さ及び取り付け向きを、蒸発源１の位置により夫々異ならせている。
【００４６】
即ち、内側の蒸発源１ａに対して設けるモニタ本体３ａは、外側の蒸発源１ｂに対して設けるモニタ本体３ｂより低い位置に設け、その蒸発源１ａに対する傾斜角度が前記モニタ本体３ｂより大きくなるように取り付けることで、前記外側の蒸発源１ｂから蒸発する材料の死角となりやすく、しかも、この材料が筒体の内面内側に付着しやすくなり、一方、外側の蒸発源１ｂに対して設けるモニタ本体３ｂは、前記モニタ本体３ａより高い位置にあると共にその傾斜角度が小さくなるように取り付けることで、内側の蒸発源１ａから蒸発する材料が届きにくく、しかも、この材料が筒体の内面外側に付着しやすくなるようにしている。
【００４７】
従って、前記内側の蒸発源１ａから蒸発する材料はその殆どが前記モニタ本体３ａのセンサ部12のみに入射して前記モニタ本体３ｂのセンサ部12には入射せず、前記外側の蒸発源１ｂから蒸発する材料はその殆どが前記モニタ本体３ｂのセンサ部12のみに入射して前記モニタ本体３ａのセンサ部12には入射しない。
【００４８】
尚、入射規制部４の向きだけでなく、入射規制部４の形状（径及び長さ）を夫々異ならせて、前記対向する所定の一の蒸発源１から蒸発する材料はこの筒体内を通過させて前記センサ部12に入射させ、他の蒸発源１から蒸発する材料はこの筒体の外面若しくは内面に付着せてこのセンサ部12への入射を阻止するように設定しても良い。
【００４９】
従って、このモニタ本体３のセンサ部12に、対向する所定の一の蒸発源１から蒸発する材料以外は入射しない構成を極めて簡易に且つコスト安に実現できる。
【００５０】
また、前記入射規制部４は、前記対向状態の所定の一の蒸発源１から蒸発し、センサ部12に入射する材料の一部が筒体の内面若しくは外面に付着するようにその長さ，径及び向きを設定している。
【００５１】
従って、前記所定の一の蒸発源１から蒸発する材料の一部も、この入射規制部４によりセンサ部12への入射が規制され、このセンサ部12に入射する材料の量を必要最低レベルにまで減らすことができ、この蒸発源１から蒸発した材料によるセンサ部12の加熱を抑制し、センサ部12として採用した水晶振動子の温度変化に伴う周波数ドリフトの発生頻度を低下させることができ、安定性良く蒸発速度を制御できるのは勿論、蒸発源１から蒸発する材料の一部をこの筒体の内面若しくは外面に付着させてセンサ部12に付着する材料の量を減らすことで、この水晶振動子の長寿命化をも図ることができる。
【００５２】
しかも、上述のように水晶振動子の周波数ドリフトの発生頻度を低下させると共に長寿命とすることを極めて簡易な構成で実現できるから、他の複雑な構成が一切不要で水晶振動子以外の電気ノイズ等の不安定要素を極力抑えることができ、従来に比しより一層の長寿命化を図ることができる。
【００５３】
入射規制部４である筒体はその基端部を、この筒体の径と略同径でセンサ部12への入射を許容する入射許容孔（図示省略）を有する取り付け板９にこの入射許容孔と連通するように接合され、この取り付け板９を止めネジ８でモニタ本体３に固定することで、このモニタ本体３に設けている。尚、図中符号７は電源ケーブルである。
【００５４】
また、モニタ本体３は、前記入射規制部４に付着した前記蒸発源１から蒸発した材料が再蒸発しない温度にこの入射規制部４を設定する温度調整機構（図示省略）を備えている。
【００５５】
従って、この筒体の内面及び外面に付着した材料が再蒸発することがなく、この入射規制部４によりセンサ部12への入射が阻害された材料が再蒸発することによる材料の異常検出を防止でき、一層安定性良く蒸発速度を制御することが可能となる。
【００５６】
また、本実施例においては、前記入射規制部４として直線状の筒体を採用しているが、直線状でなくても、例えば曲線状等、どのような形状に設定しても良い。
【００５７】
また、本実施例においては、モニタ本体３の先端部にセンサ部12を設けた構成としているが、例えば、モニタ本体３の中央部にセンサ部12を設けた構成等、他の構成としても結果的にこのセンサ部12が蒸発源１の開口部を向く方向に設定するのであれば、どのような構成としても良い。
【００５８】
本実施例は上述のように構成したから、真空槽５に設けた基板２上に、複数の蒸発源１から蒸発させた材料を付着させて成膜を行う際、所定の一の蒸発源１と対応する所定の一のモニタ本体３のセンサ部12には、この所定の一の蒸発源１から蒸発する材料のみが入射し、他の蒸発源１から蒸発する材料はこの所定の一のモニタ本体３のセンサ部12に入射しない。
【００５９】
即ち、モニタ本体３の入射規制部４が、所定の一の蒸発源１から蒸発する材料の前記センサ部12への入射は許容し、他の蒸発源１から蒸発する材料の前記センサ部12への入射を阻止することで、各モニタ本体３のセンサ部12は、夫々対向する所定の一の蒸発源１から蒸発する材料のみを検出できることになる。
【００６０】
従って、真空槽５内に複数の蒸発源１から蒸発した材料（分子）が混在していても、所定の一の蒸発源１以外の他の蒸発源１から蒸発する材料の影響を受けずに、各蒸発源１からの材料の蒸発速度を各モニタ本体３により夫々別々に測定することができる。
【００６１】
即ち、複数の蒸発源１を用いて蒸着を行う場合でも、従来のように他の蒸発源１の干渉を補正しながら制御する必要なく、一の蒸発源１で蒸着を行う場合と同様に、単にモニタ本体３で測定される蒸着速度から簡単に蒸発速度制御を行うことができることになる。
【００６２】
従って、前記入射規制部４により所定の一の蒸発源１以外の他の蒸発源１から蒸発する材料のセンサ部12への入射を確実に阻止することができるから、各モニタ本体３のセンサ部12は所定の一の蒸発源１から蒸発した材料のみを検出し、正確な蒸発速度を測定できることになり、多源同時蒸着における問題を簡易な構成で容易且つコスト安に解決することが可能となる。
【００６３】
よって、多源同時蒸着を行う場合も、簡易な構成で一の蒸発源１で蒸着を行う場合と同様、正確に蒸発速度を測定することができ、各蒸発源１から蒸発する二種以上の材料を基板２上で混合せしめて成膜する場合、容易に所望の組成比で成膜することが可能となる。
【００６４】
また、前記複数並設状態に設けた前記蒸発源１から蒸発する材料が基板２上に付着する際に通過するこの蒸発源１と基板２との間の空間部より外方位置に各蒸発源１の蒸着速度を測定するモニタ本体３を設け、この各モニタ本体３が対向する所定の一の蒸発源１から蒸発する材料のみが前記センサ部12に入射するように前記入射規制部４を設定したから、蒸発源１から蒸発する材料の基板２への到達を阻害することなく、各蒸発源１からの蒸発速度を確実に測定することができ、一層良好に成膜を行えることになる。
【００６５】
また、前記モニタ本体３の材料入射側に筒体を設け、この筒体は、前記所定の一の蒸発源１から蒸発する材料はこの筒体内を通過させてセンサ部12に入射させ、他の蒸発源１から蒸発する材料はこの筒体の外面若しくは内面に付着させてセンサ部12への入射を阻止するようにその長さ，径及び向きを設定し、この筒状体を前記入射規制部４としたから、対向する所定の一の蒸発源１以外の他の蒸発源１から蒸発する材料のセンサ部12への入射を簡易な構成でコスト安に阻止できることになる。
【００６６】
また、前記所定の一の蒸発源１から蒸発する材料の一部が筒状体の内面若しくは外面に付着するように前記入射規制部４の長さ，径及び向きを設定したから、このセンサ部12に入射する蒸発源１から蒸発した材料を必要最低限に設定することができ、センサ部12に付着する高温の材料を減少させることができ、このセンサ部12の冷却を良好に行うことができる。従って、この蒸発源１から蒸発する材料によるセンサ部12の温度上昇を抑制でき、例えば、このセンサ部12として用いられる水晶振動子の周波数ドリフトの発生頻度を低下させてより安定性良く蒸発速度を測定できるのは勿論、水晶振動子に付着する材料を減少させることで、この水晶振動子の長寿命化を図れることになる。
【００６７】
従って、本発明は、簡易な構成で複数の蒸発源を用いて多源同時蒸着を行う際にも安定性良く各蒸発源の正確な蒸発速度を測定することができ、その制御も良好に行うことができる極めて実用性に秀れた膜厚モニタ並びに蒸着装置となる。
【００６８】
尚、本発明は、本実施例に限られるものではなく、各構成要件の具体的構成は適宜設計し得るものである。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本実施例の使用状態図である。
【図２】本実施例の概略説明平面図である。
【符号の説明】
【００７０】
１  蒸発源
２  基板
３  モニタ本体
４  入射規制部
５  真空槽
12  センサ部