(57)【要約】【課題】一方の面に磁性層が形成された磁気テープにおける他方の面に欠陥部が存在するか否かを検査し得る磁気テープ検査装置を提供する。【解決手段】表面１０ａに磁性層が形成されて記録データを記録可能に構成された磁気テープ１０をその長手方向に沿って移動させる移動機構と、磁気テープ１０における裏面１０ｂを光学的に検査する光学式検査装置とを備え、光学式検査装置は、磁気テープ１０における裏面１０ｂに検査光Ｌａを照射する検査光照射部６ａと、検査光照射部６ａによって照射されて裏面１０ｂで反射された反射光Ｌｂを受光して光検出信号を出力するＣＣＤカメラ６ｂと、出力された光検出信号に基づいて裏面１０ｂを検査する第１検査部とを備えている。【選択図】        図２
2005063500.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の面に磁性層が形成されて記録データを記録可能に構成された磁気テープをその長手方向に沿って移動させる移動機構と、前記磁気テープにおける他方の面を光学的に検査する光学式検査装置とを備え、
前記光学式検査装置は、前記磁気テープにおける前記他方の面に検査用の光を照射する光照射部と、当該光照射部によって照射されて前記他方の面で反射された散乱光を受光して光検出信号を出力する受光部と、当該出力された光検出信号に基づいて前記他方の面を検査する第１検査部とを備えている磁気テープ検査装置。
【請求項２】
前記磁気テープにおける前記一方の面を磁気的に検査する磁気式検査装置を備え、
前記磁気式検査装置は、前記一方の面に検査用データを書き込むデータ書き込み部と、当該書き込まれた前記検査用データを読み取って読み取り信号を出力するデータ読み取り部と、当該出力された読み取り信号に基づいて前記一方の面を検査する第２検査部とを備えている請求項１記載の磁気テープ検査装置。
【請求項３】
前記磁気テープの振動を吸収する一対の振動吸収部を備え、前記磁気式検査装置は、前記一対の振動吸収部の間に配置され、前記光学式検査装置は、前記一対の振動吸収部の間であって前記磁気式検査装置よりも前記磁気テープの移動方向における下流側に配置されている請求項２記載の磁気テープ検査装置。
【請求項４】
前記光学式検査装置および前記磁気式検査装置の検査結果に基づいて前記磁気テープの良否を判別する判別処理を実行する判別部を備え、当該判別部は、前記判別処理に際して前記磁気テープを前記長手方向に沿って複数の検査領域に仮想的に分割すると共に前記光学式検査装置および前記磁気式検査装置のいずれかの検査結果が所定の基準に満たない当該検査領域を不良と判別する請求項２または３記載の磁気テープ検査装置。
【請求項５】
前記判別部の判別結果を記憶する記憶部を備え、前記判別部は、前記各検査領域毎の判別結果をその磁気テープに関連付けて前記記憶部に記憶させる請求項４記載の磁気テープ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気テープの良否を検査可能に構成された磁気テープ検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
この種の磁気テープ検査装置として、長尺状磁気記録媒体（磁気テープ）２の表面（磁性層の形成面）を検査可能に構成された表面検査装置１が特開平９−１２７０１１号公報に開示されている。この表面検査装置１は、同公報の図１に示すように、検査対象の長尺状磁気記録媒体２を送り出す巻出手段３と、検査が完了した長尺状磁気記録媒体２を巻き取る巻取手段４との間に、長尺状磁気記録媒体２の表面を磁気的に検査する磁気的欠陥検出手段６と、長尺状磁気記録媒体２の表面を光学的に検査する光学的欠陥検出手段７とが配設されて構成されている。また、磁気的欠陥検出手段６は、長尺状磁気記録媒体２の磁性層に検査用の信号を書き込む書込用磁気ヘッド６１と、書込用磁気ヘッド６１によって書き込まれた信号を読み取る読取用磁気ヘッド６２とを備えている。さらに、光学的欠陥検出手段７は、長尺状磁気記録媒体２の磁性層に検査用の光を照射する発光手段７１と、発光手段７１によって照射されて長尺状磁気記録媒体２によって反射された反射光を受光する受光手段７２とを備えている。
【０００３】
この表面検査装置１によって長尺状磁気記録媒体２を検査する際には、まず、検査対象の長尺状磁気記録媒体２を巻取手段４に巻き取らせるようにして巻出手段３から移動（走行）させる。次に、磁気的欠陥検出手段６の書込用磁気ヘッド６１が長尺状磁気記録媒体２の各トラックに検査用の信号を磁気的に書き込むと共に、読取用磁気ヘッド６２が書込用磁気ヘッド６１によって書き込まれた磁気的な信号を各トラックから読み取る。この際に、読取用磁気ヘッド６２によって磁気的な信号が電気的な信号に変換されて、この電気的な信号が基準値を超えているか否かに基づいて各トラック毎に欠陥部（記録データの正常書き込み、または再生が困難な部位）の有無が検査される。また、磁気的欠陥検出手段６によっていずれかのトラックに欠陥部が検出された際には、長尺状磁気記録媒体２に対する検査開始点から欠陥部が検出された部位までの距離が表示される。
【０００４】
また、この表面検査装置１では、磁気的欠陥検出手段６による磁気的な検査と並行して、光学的欠陥検出手段７によって欠陥部の有無が検査される。具体的には、光学的欠陥検出手段７の発光手段７１が長尺状磁気記録媒体２の表面（磁性層）に検査用の光を照射すると共に、受光手段７２が発光手段７１によって照射されて長尺状磁気記録媒体２の表面で反射された光を受光する。この際に、長尺状磁気記録媒体２の表面で反射された光が受光手段７２によって電気的な信号に変換された後に画像処理手段によって画像処理される。また、画像処理手段によって処理された信号に基づいて判定回路による比較処理が実行されることにより、微細な欠陥部（磁性層の塗工むらや、塗工抜け）の有無が検査される。また、光学的欠陥検出手段７によって欠陥部が検出された際には、検査開始点から欠陥部が検出された部位までの距離が表示される。このように、長尺状磁気記録媒体２の長手方向全域に亘って両欠陥検出手段６，７によって欠陥部の有無が検査されることにより、長尺状磁気記録媒体２の良否が判別（検査）される。
【０００５】
【特許文献１】
特開平９−１２７０１１号公報（第３−５頁、図１）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来の表面検査装置１には、以下の問題点がある。すなわち、従来の表面検査装置１では、磁気的欠陥検出手段６によって長尺状磁気記録媒体２の表面（磁性層）を磁気的に検査すると共に、光学的欠陥検出手段７によって長尺状磁気記録媒体２の表面（磁性層）に微細な欠陥部が存在するか否かを検査している。この場合、近年の磁気記録媒体には、磁性層（データ記録用トラック）に対する記録データの正確な書き込み、および磁性層からの記録データの正確かつ迅速な読み取りを可能とするために、磁気テープの裏面に位置決め用のマークを予め記録（形成）しておくタイプの磁気記録媒体が存在する。例えば、図８に示す磁気テープ１０は、記録データの記録再生時に記録再生装置が磁気テープ１０の長手方向における位置を特定するための（位置決めするための）マークＭ（微細な穴）が支持体としてのベースフィルムの裏面１０ｂ（バックコート層）に所定のピッチで数多く形成されている。
【０００７】
一方、磁気テープ１０の裏面１０ｂには、図８に示すように、バックコート層の形成時に生じたコーティング材料の塗布むら、ベースフィルムまたはバックコート層の傷付き、および異物の付着などの微細な欠陥部Ｘｂが発生することがある。この場合、裏面１０ｂに多数くの欠陥部Ｘｂ，Ｘｂ・・が存在する状態では、記録データの記録再生時に欠陥部Ｘｂ，Ｘｂ・・が位置決め用のマークＭ，Ｍ・・であると誤って認識されるおそれがある。この際には、この誤った認識に起因して、磁気テープ１０の長手方向の位置が誤認識される結果、記録データの正常な書き込みおよび正常な再生が困難となる。したがって、磁気テープ１０の裏面１０ｂに欠陥部Ｘｂ，Ｘｂ・・が存在するか否かを検査する必要がある。しかし、従来の表面検査装置１には、長尺状磁気記録媒体２の表面を検査する磁気的欠陥検出手段６および光学的欠陥検出手段７しか存在しないため、長尺状磁気記録媒体２の裏面（磁気テープ１０における裏面１０ｂ）を検査することができないという問題点がある。
【０００８】
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、一方の面に磁性層が形成された磁気テープにおける他方の面に欠陥部が存在するか否かを検査し得る磁気テープ検査装置を提供することを主目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく本発明に係る磁気テープ検査装置は、一方の面に磁性層が形成されて記録データを記録可能に構成された磁気テープをその長手方向に沿って移動させる移動機構と、前記磁気テープにおける他方の面を光学的に検査する光学式検査装置とを備え、前記光学式検査装置は、前記磁気テープにおける前記他方の面に検査用の光を照射する光照射部と、当該光照射部によって照射されて前記他方の面で反射された散乱光を受光して光検出信号を出力する受光部と、当該出力された光検出信号に基づいて前記他方の面を検査する第１検査部とを備えている。
【００１０】
この場合、前記磁気テープにおける前記一方の面に検査用データを書き込むデータ書き込み部と、当該書き込まれた前記検査用データを読み取って読み取り信号を出力するデータ読み取り部と、当該出力された読み取り信号に基づいて前記一方の面を検査する第２検査部とを有して前記一方の面を磁気的に検査する磁気式検査装置を備えるのが好ましい。
【００１１】
また、前記磁気テープの振動を吸収する一対の振動吸収部を備え、当該一対の振動吸収部の間に前記磁気式検査装置を配置し、前記一対の振動吸収部の間であって前記磁気式検査装置よりも前記磁気テープの移動方向における下流側に前記光学式検査装置を配置するのが好ましい。
【００１２】
さらに、前記光学式検査装置および前記磁気式検査装置の検査結果に基づいて前記磁気テープの良否を判別する判別処理を実行する判別部を備え、当該判別部による前記判別処理に際して前記磁気テープを前記長手方向に沿って複数の検査領域に仮想的に分割すると共に前記光学式検査装置および前記磁気式検査装置のいずれかの検査結果が所定の基準に満たない当該検査領域を不良と判別するのが好ましい。
【００１３】
また、前記判別部の判別結果を記憶する記憶部を備え、前記判別部が前記各検査領域毎の判別結果をその磁気テープに関連付けて前記記憶部に記憶させるのが好ましい。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明に係る磁気テープ検査装置の実施の形態について説明する。
【００１５】
最初に、テープ検査装置１の構成について、図面を参照して説明する。
【００１６】
磁気テープ検査装置（以下、「検査装置」ともいう）１は、図１に示すように、移動機構２、支持機構３、エア供給部４、表面検査部５、裏面検査部６、計測部７、制御部８および記憶部９を備えて磁気テープ１０の良否を検査可能に構成されている。この場合、磁気テープ１０は、支持体としてのベースフィルムと、ベースフィルムの表面に形成された磁性層（以下、磁性層の形成面を「表面１０ａ」ともいう）と、ベースフィルムの裏面に形成されたバックコート層（以下、バックコート層の形成面を「裏面１０ｂ」ともいう）とを備え、一例として、その厚みが１０μｍ程度で長さが６０００ｍ程度に形成されている。また、図８に示すように、磁気テープ１０の裏面１０ｂ（バックコート層）には、検査装置１による検査が完了した後に、図示しない加工機によって、数多くのマークＭが所定のピッチで形成される。また、この磁気テープ１０は、検査装置１による検査が完了し、加工機によるマークＭの形成が完了した後には、記録再生装置による各種の記録データの記録再生が可能にテープリールに巻回されてカセットケースに収容される。
【００１７】
移動機構２は、図１に示すように、検査対象の磁気テープ１０が巻回された送り側リール２ａと、検査装置１による検査が完了した磁気テープ１０を巻回する巻取り側リール２ｂと、両リール２ａ，２ｂを回転させることによって磁気テープ１０をその長手方向（同図に示す矢印の向き）に移動させるモータ（図示せず）とを備えて構成されている。この場合、移動機構２は、制御部８の制御下で、一例として毎秒５ｍの速度で磁気テープ１０を高速移動させる。支持機構３は、図２に示すように、テンション機構１１，１１、エアガイド１３ａ〜１３ｅ（以下、区別しないときには「エアガイド１３」ともいう）およびテープ支持具１４を備えて磁気テープ１０に所定の張力を付与しつつ支持する。テンション機構１１は、ローラ１２ａ，１２ａ，１２ｂを備えて、磁気テープ１０に張力を付与することによって検査時における弛みの発生を回避する。具体的には、ローラ１２ａ，１２ａ間に張架された磁気テープ１０をローラ１２ｂによって同図の下方に引き下げることによって磁気テープ１０に張力を付与する。エアガイド（以下、「ガイド」ともいう）１３は、その表面に多数のエア吐出し細孔が形成されて構成され、エア供給部４から供給されるエア（圧縮空気）を吐出して磁気テープ１０との間に空気の層を形成することにより、テープ支持具１４と相俟って磁気テープ１０を非接触の状態で支持する。また、ガイド１３は、本発明における振動吸収部を構成し、テンション機構１１によって磁気テープ１０に張力が付与されることで磁気テープ１０が空気の層を介してガイド１３に押し付けられ、これにより、磁気テープ１０に生じた振動を吸収して下流側への伝搬を回避する。この場合、ガイド１３ａ，１３ｅが本発明における「一対の振動吸収部」を構成する。
【００１８】
テープ支持具（以下、「支持具」ともいう）１４は、ベース部１４ａと、ベース部１４ａに立設された壁部１４ｂ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｃとを備えて、全体としてセラミックによって一体形成されている。壁部１４ｂ，１４ｂは、一例として、その厚みが１．５ｍｍの壁状に形成されて、２．５ｍｍ程度だけ離間して互いに対向するようにして配置されている。また、壁部１４ｂは、その先端面（同図では下端面）が平坦に形成されると共にその先端面と側面との角部が面取りされて、磁気テープ１０の幅方向に沿った線状の領域（壁部１４ｂの厚み（１．５ｍｍ）と同幅で線状の平面視長方形の領域）に当接可能に構成されている。一方、壁部１４ｃ，１４ｃは、一例として、その厚みが１．５ｍｍの壁状に形成されている。この場合、各壁部１４ｃは、壁部１４ｂに対して、一例として、１．６ｍｍ程度だけ離間するように、その各壁面が壁部１４ｂ，１４ｂの各壁面と対向するようにして配置されている。また、壁部１４ｃは、壁部１４ｂと同様にして、その先端面が平坦に形成されると共に、先端面と側面との角部が面取りされて、磁気テープ１０の幅方向に沿った線状の領域（壁部１４ｃの厚み（１．５ｍｍ）と同幅で線状の平面視長方形の領域）に当接可能に構成されている。さらに、壁部１４ｃは、壁部１４ｂと比較して、一例として０．２ｍｍだけ低背に形成されている。
【００１９】
表面検査部５は、本発明における磁気式検査装置に相当し、記録ヘッド５Ｗ、再生ヘッド５Ｒ１，５Ｒ２および消去ヘッド５Ｅを備えて、磁気テープ１０の表面１０ａ（磁性層）について検査可能に配置されている。記録ヘッド５Ｗは、本発明におけるデータ書き込み部に相当し、制御部８の制御下で磁気テープ１０の表面１０ａ（磁性層）に検査用データを磁気的に書き込む。この場合、図３に示すように、記録ヘッド５Ｗは、磁気テープ１０の幅方向全域を含んで規定された領域Ａａ１に磁気的信号（検査用データ）を書き込み可能に構成されている。再生ヘッド５Ｒ１，５Ｒ２（以下、区別しないときには「再生ヘッド５Ｒ」ともいう）は、本発明におけるデータ読み取り部に相当し、記録ヘッド５Ｗによって書き込まれた磁気的信号を制御部８の制御下で磁気テープ１０から読み取って再生信号（本発明における読み取り信号）を出力する。
【００２０】
この場合、再生ヘッド５Ｒは、磁気テープ１０の表面１０ａに規定された複数のデータ記録用トラック（以下、「トラック」ともいう）毎に磁気的信号を別個独立して読み取り可能に構成されている。具体的には、検査対象の磁気テープ１０は、その表面１０ａに例えば４８本のトラックが規定されている。一方、再生ヘッド５Ｒ１は、４８本のトラックのうちの奇数本目のトラックについての磁気的信号を読み取るために、領域Ａａ１１，Ａａ１３・・Ａａ１（Ｎ−１）（この場合、Ｎ＝４８）から磁気的信号を読み取り可能に構成されている。再生ヘッド５Ｒ２は、４８本のトラックのうちの偶数本目のトラックについての磁気的信号を読み取るために、領域Ａａ１２，Ａａ１４・・Ａａ１Ｎから磁気的信号を読み取り可能に構成されている。消去ヘッド５Ｅは、記録ヘッド５Ｗによって表面１０ａに書き込まれた検査用データを磁気的に消去する。
【００２１】
裏面検査部６は、本発明における光学式検査装置に相当し、磁気テープ１０の裏面１０ｂに例えば直径１０μｍよりも大きい欠陥部Ｘｂ（傷、剥離部および付着物）が存在するか否かを光学的に検査する。この裏面検査部６は、図２に示すように、検査光照射部６ａおよびＣＣＤカメラ６ｂを備えて構成されている。検査光照射部６ａは、本発明における光照射部に相当し、ハロゲンランプ、高輝度ＬＥＤ、ナトリウムランプおよびレーザダイオード等で構成されると共に、制御部８の制御下で支持具１４の壁部１４ｂ，１４ｂ間に張架された磁気テープ１０の裏面１０ｂに検査光Ｌａを照射する。この場合、本発明の実施の形態では、高輝度で、しかも調光が容易なハロゲンランプによって検査光照射部６ａが構成されて、磁気テープ１０の裏面１０ｂに規定された線状の領域Ａｂ１（図４参照）に検査光Ｌａを照射する。
【００２２】
ＣＣＤカメラ６ｂは、本発明における受光部に相当し、磁気テープ１０の裏面１０ｂに規定された線状の領域Ａｂ２（図４参照）を撮像することにより、検査光照射部６ａによって照射されて磁気テープ１０の裏面１０ｂで反射された反射光Ｌｂ（散乱光）を受光して例えば輝度信号（本発明における光検出信号）を出力する。具体的には、ＣＣＤカメラ６ｂは、検査光照射部６ａによって検査光Ｌａが照射された領域Ａｂ１の近傍である領域Ａｂ２を撮像する。この際に、磁気テープ１０に欠陥部Ｘｂが存在するときには、検査光照射部６ａによって照射された検査光Ｌａが欠陥部Ｘｂによって乱反射されて、その反射光Ｌｂ（散乱光）がＣＣＤカメラ６ｂに入光する。この場合、この裏面検査部６では、検査光照射部６ａによって照射されて磁気テープ１０の裏面１０ｂで反射された正反射光がＣＣＤカメラ６ｂに入光しないように、検査光照射部６ａによる検査光Ｌａの照射位置（領域Ａｂ１）およびその照射角度と、ＣＣＤカメラ６ｂによる撮像位置（領域Ａｂ２）およびＣＣＤカメラ６ｂの裏面１０ｂに対する設置角度とが規定されている。したがって、磁気テープ１０の裏面１０ｂに欠陥部Ｘｂが存在しないときには、検査光照射部６ａから照射した検査光Ｌａの大半がＣＣＤカメラ６ｂに入光しないため、ＣＣＤカメラ６ｂによって出力される輝度信号が所定の輝度レベル以下となる。逆に、磁気テープ１０の裏面１０ｂに欠陥部Ｘｂが存在するときには、検査光照射部６ａから照射した検査光Ｌａの一部が乱反射してその一部がＣＣＤカメラ６ｂに入光するため、ＣＣＤカメラ６ｂによって出力される輝度信号が所定の輝度レベルを超えることとなる。
【００２３】
この場合、この種の磁気テープ検査装置では、検査対象の磁気テープ１０がテンション機構１１などを通過する際に振動が発生し、この振動がその移動方向に沿って伝搬し易いという傾向がある。一方、表面検査部５では、磁気テープ１０を記録ヘッド５Ｗおよび再生ヘッド５Ｒに接触させた状態で検査する構成のため、磁気テープ１０が僅かに振動していたとしても比較的高精度で欠陥部Ｘａの有無を検査することができる。これに対して、裏面検査部６は、磁気テープ１０の裏面１０ｂに検査光Ｌａを照射して、その反射光Ｌｂの有無に基づいて欠陥部Ｘｂの有無を検査する構成のため、検査対象の磁気テープ１０が大きく振動している状態では、正確な検査が困難となる。したがって、この検査装置１では、裏面検査部６をガイド１３ａ，１３ｅの間であって表面検査部５よりも移動方向の下流側に配置することにより、裏面検査部６による裏面１０ｂの検査時における磁気テープ１０の振動を軽減して欠陥部Ｘｂの有無を高精度で検査可能としている。具体的には、移動方向上流側のテンション機構１１において発生した振動は、磁気テープ１０の移動方向である表面検査部５の側に向けて伝搬する。この際に、磁気テープ１０を伝搬する振動は、磁気テープ１０がガイド１３ａ、記録ヘッド５Ｗ、ガイド１３ｂ、再生ヘッド５Ｒ１、ガイド１３ｃ、再生ヘッド５Ｒ２、ガイド１３ｄに順に接触する毎に徐々に減衰される。したがって、磁気テープ１０が支持具１４に接触する部位（裏面検査部６による裏面１０ｂの検査が行われる部位）においては、磁気テープ１０が殆ど振動しないため、裏面１０ｂを高精度で検査することが可能となっている。
【００２４】
計測部７は、移動機構２によって移動させられた磁気テープ１０の移動距離（すなわち、表面検査部５および裏面検査部６による検査が完了して巻取り側リール２ｂに巻回された磁気テープ１０の長さ）を計測する。制御部８は、移動機構２を制御して磁気テープ１０を高速移動させると共に、表面検査部５を制御して磁気テープ１０の表面１０ａに対する磁気的信号の書き込みおよび読み出しを実行させ、裏面検査部６を制御して裏面１０ｂに対する検査光Ｌａの照射および反射光Ｌｂの受光を実行させる。また、制御部８は、本発明における第１検査部、第２検査部および判別部を構成し、表面検査部５の再生ヘッド５Ｒによって出力された再生信号、および裏面検査部６のＣＣＤカメラ６ｂによって出力された輝度信号に基づいて磁気テープ１０に欠陥部Ｘａ，Ｘｂ（図６参照）が存在するか否かを検査する。
【００２５】
この場合、図５に示すように、この検査装置１では、磁気テープ１０をその長手方向に沿って、その長さＬ１が１０ｍ程度の複数のブロックＢ，Ｂ・・（本発明における検査領域）に仮想的に分割して、制御部８が、各ブロックＢ，Ｂ・・を良否判別の単位として磁気テープ１０を検査する。さらに、制御部８は、各ブロックＢ，Ｂ・・毎の良否判別の結果（判別結果）をその磁気テープ１０に関連付けて記憶部９に記憶させると共に、図示しない表示部に表示させる。また、検査装置１は、実際には、送り側リール２ａに巻回されている磁気テープ１０をテンション機構１１に案内する各種のローラー等、検査が完了した磁気テープ１０をテンション機構１１から巻取り側リール２ｂに案内する各種のローラー等、および磁気テープ１０をクリーニングするクリーナーなどを備えているが、本発明についての理解を容易とするために、これらについての説明および図示を省略する。
【００２６】
次に、検査装置１による磁気テープ１０の検査方法について、図面を参照して説明する。
【００２７】
まず、検査対象の磁気テープ１０が巻回された送り側リール２ａと、検査が完了した磁気テープ１０を巻回する巻取り側リール２ｂとを移動機構２に取り付ける。次に、送り側リール２ａから磁気テープ１０の先端部を引き出して、図２に示すように、テンション機構１１、表面検査部５、裏面検査部６およびテンション機構１１をこの順で通過するように磁気テープ１０をセットした後に、巻取り側リール２ｂに先端部を固定する。この際に、磁気テープ１０の表面１０ａには、記録ヘッド５Ｗ、再生ヘッド５Ｒ１，５Ｒ２、支持具１４および消去ヘッド５Ｅが接触し、裏面１０ｂには、ガイド１３ａ〜１３ｅが接触する。次いで、制御部８がエア供給部４を制御して各ガイド１３からエアを吐出させる。この際に、吐出されたエアによって各ガイド１３と磁気テープ１０との間に空気の層が形成され、これにより、磁気テープ１０が各ガイド１３に対して非接触の状態で支持される。
【００２８】
次に、制御部８は、移動機構２を制御して送り側リール２ａおよび巻取り側リール２ｂを回転させることにより、送り側リール２ａに巻回されている磁気テープ１０を巻取り側リール２ｂに巻回させる。この際に、テンション機構１１，１１によって磁気テープ１０に所定の張力が付与されているため、磁気テープ１０は、空気の層を介してその裏面１０ｂが各ガイド１３に押し付けられると共に、その表面１０ａが記録ヘッド５Ｗ、再生ヘッド５Ｒ１，５Ｒ２、消去ヘッド５Ｅおよび支持具１４に押し付けられた状態で送り側リール２ａから巻取り側リール２ｂに向けて移動させられる。この場合、この検査装置１では、磁気テープ１０が空気の層を介して各ガイド１３に押し付けられる構成のため、ガイド１３によって磁気テープ１０が傷付けられる事態が回避されている。また、磁気テープ１０がガイド１３によって非接触状態で支持されているため、ガイド１３の近傍における磁気テープ１０の摺動抵抗（移動抵抗）が極く小さくなっている。さらに、支持具１４における各壁部１４ｂ，１４ｃの先端面が平坦に形成されると共に、その先端面と側面との角部が面取りされているため、支持具１４によって磁気テープ１０が傷付けられる事態が回避されている。また、支持具１４の各壁部１４ｂ，１４ｃの厚みが１．５ｍｍ程度と薄厚のため、支持具１４によって支持されている部位において磁気テープ１０との間での摺動抵抗も極く小さくなっている。
【００２９】
次に、制御部８は、表面検査部５および裏面検査部６に対して磁気テープ１０の表面１０ａおよび裏面１０ｂの検査を開始させる（検査処理の開始）。この際に、図３に示すように、表面検査部５は、まず、記録ヘッド５Ｗが磁気テープ１０における表面１０ａの領域Ａａ１（すべてのデータ記録用トラック）に検査用データを磁気的に書き込む。また、記録ヘッド５Ｗによって検査用データの書き込まれた部位が磁気テープ１０の移動に伴って再生ヘッド５Ｒ１の位置まで移動させられた際には、再生ヘッド５Ｒ１が表面１０ａの領域Ａａ１１，Ａａ１３・・Ａａ１（Ｎ−１）（すなわち、奇数番目のデータ記録用トラック）から検査用データ（磁気的信号）を読み取ると共に、磁気的信号を電気的信号に変換して制御部８に出力する。さらに、記録ヘッド５Ｗによって検査用データが書き込まれた部位が再生ヘッド５Ｒ２まで移動させられた際には、再生ヘッド５Ｒ１が表面１０ａの領域Ａａ１２，Ａａ１４・・Ａａ１Ｎ（すなわち、偶数番目のデータ記録用トラック）から検査用データ（磁気的信号）を読み取ると共に、磁気的信号を電気的信号に変換して制御部８に出力する。また、計測部７は、磁気テープ１０の移動距離（すなわち、表面検査部５および裏面検査部６による検査が実行されている位置）を特定可能な計測データを制御部８に逐次出力する。
【００３０】
一方、制御部８は、再生ヘッド５Ｒ１，５Ｒ２によって出力された再生信号を解析することによって表面１０ａ（磁性層）に欠陥部Ｘａが存在するか否かを判別する。具体的には、表面１０ａに例えば図６に示すような線状の欠陥部Ｘａが存在するときには、その欠陥部Ｘａの位置に対応するデータ記録用トラックについての再生信号が所定の基準値を下回る。したがって、制御部８は、再生ヘッド５Ｒの再生信号のうちのいずれかのデータ記録用トラックについての再生信号が基準値を下回ったときに、そのデータ記録用トラックに欠陥部Ｘａが存在すると判別する。また、制御部８は、欠陥部Ｘａが存在した数を各データ記録用トラック毎にカウントして、１つのブロックＢを計数単位として記憶部９に欠陥部Ｘａの存在数を記憶させる。この結果、記憶部９には、いずれのブロックＢで、いずれのデータ記録用トラックに、幾つの欠陥部Ｘａが存在したかを特定可能な情報が記憶される。この後、記録ヘッド５Ｗによって検査用データが書き込まれた部位が裏面検査部６を通過して（裏面検査部６によって裏面１０ｂが検査されて）消去ヘッド５Ｅまで移動させられた際には、消去ヘッド５Ｅが、表面１０ａの領域Ａａ２（すなわち、記録ヘッド５Ｗによって書き込まれた検査用データのすべて）を消去する。このように、記録ヘッド５Ｗによる検査用データの書き込み、再生ヘッド５Ｒによる検査用データの読み取り、再生ヘッド５Ｒの再生信号に基づいての欠陥部Ｘａの有無の判別、欠陥部Ｘａの存在数の記憶、および消去ヘッド５Ｅによる検査用データの消去を磁気テープ１０の長手方向全域について実行することにより、表面１０ａの磁気的検査が完了する。
【００３１】
また、制御部８は、表面検査部５に対する表面１０ａの磁気的検査と並行して、裏面検査部６に対して裏面１０ｂの光学的検査を実行させる。この際に、裏面検査部６は、まず、検査光照射部６ａが図４に示す領域Ａｂ１に対する検査光Ｌａの照射を開始すると共に、ＣＣＤカメラ６ｂが領域Ａｂ２の撮像を開始する。この際に、磁気テープ１０の裏面１０ｂに異物の付着や傷などの欠陥部Ｘｂが存在するときには、検査光照射部６ａによって領域Ａｂ１に照射された検査光Ｌａが欠陥部Ｘｂによって反射されて、この反射光Ｌｂ（散乱光）がＣＣＤカメラ６ｂに入光する。この結果、ＣＣＤカメラ６ｂによって出力される輝度信号が所定の輝度レベルを上回る。したがって、この際に、制御部８は、磁気テープ１０の裏面１０ｂに欠陥部Ｘｂが存在すると判別する。この場合、ＣＣＤカメラ６ｂが磁気テープ１０の幅方向のいずれの部位で反射光Ｌｂが入光したかを特定可能な輝度信号を出力するため、制御部８は、計測部７による計測データと、ＣＣＤカメラ６ｂによる輝度信号とに基づいて、磁気テープ１０のどの位置において検査光Ｌａがどの程度反射されたかを特定する。また、制御部８は、特定した結果（欠陥部Ｘｂが存在する位置）を特定可能なデータを記憶部９に記憶させる。また、磁気テープ１０の裏面１０ｂに欠陥部Ｘｂが存在しないときには、検査光照射部６ａから照射された検査光Ｌａが磁気テープ１０によって殆ど乱反射されずに、ＣＣＤカメラ６ｂによって出力される輝度信号が所定の基準値以下となる。したがって、制御部８は、磁気テープ１０に欠陥部Ｘｂが存在しないと判別する。このように、検査光Ｌａの照射、反射光Ｌｂの受光位置の特定（欠陥部Ｘｂの位置の特定）、および欠陥部Ｘｂの存在位置の記憶部９への記憶を磁気テープ１０の長手方向全域について実行することにより、裏面１０ｂの光学的検査が完了する。
【００３２】
次に、制御部８は、記憶部９に記憶されている表面１０ａについての検査結果と、裏面１０ｂについての検査結果とに基づいて、各ブロックＢ，Ｂ・・の良否を判別する。具体的には、制御部８は、例えば図６に示すブロックＢａのように、基準値を超える数の欠陥部Ｘａが表面１０ａに存在すると共に、基準値を超える数の欠陥部Ｘｂが裏面１０ｂに存在するときには、そのブロックＢａを不良と判別する。また、同図に示すブロックＢｂのように、基準値を超える数の欠陥部Ｘａが表面１０ａに存在する際には、その裏面１０ｂに欠陥部Ｘｂが存在しない（または、欠陥部Ｘｂの数が基準値を下回っている）ときであっても、そのブロックＢｂを不良と判別する。同様にして、同図に示すブロックＢｃのように、基準値を超える数の欠陥部Ｘｂが裏面１０ｂに存在するときには、その表面１０ａに欠陥部Ｘａが存在しない（または、欠陥部Ｘａの数が基準値を下回っている）ときであっても、そのブロックＢｃを不良と判別する。一方、同図に示すブロックＢｄのように、基準値を超える数の欠陥部Ｘａが表面１０ａに存在せず、しかも、基準値を超える数の欠陥部Ｘｂが裏面１０ｂに存在しないときには、そのブロックＢｄを良好と判別する。また、制御部８は、各ブロックＢ，Ｂ・・毎の良否の判別結果を各ブロックＢに関連付けて記憶部９に記憶させると共に、その判別結果を表示部（図示せず）に表示させる。なお、同図および図７では、不良のブロックＢを「×」で示し、良好なブロックＢを「○」で示している。
【００３３】
次いで、制御部８は、記憶部９に記憶させた判別結果に基づいて、テープカセット用の磁気テープとして使用可能な長さＬ２の間に不良のブロックＢが存在するか否かを判別する。具体的には、図７に示すように、長さＬ２（一例として、５００ｍ）の間に存在する５０個のブロックＢ，Ｂ・・のすべてが良好のときには、制御部８は、その長さＬ２の部位が良品であると判別して判別結果を磁気テープ１０に関連付けて記憶部９に記憶させる。また、制御部８は、例えば、長さＬ２の間に存在する５０個のブロックＢ，Ｂ・・のうちの少なくとも１つが不良のときには、その長さＬ２の部位が不良（記録媒体として使用不可能）と判別して、その判別結果を磁気テープ１０に関連付けて記憶部９に記憶させる。この判別処理を磁気テープ１０の長手方向全域に亘って実行することにより、その磁気テープ１０についての検査が完了する。
【００３４】
このように、この検査装置１によれば、移動機構２によって磁気テープ１０をその長手方向に沿って移動させつつ、制御部８が裏面検査部６のＣＣＤカメラ６ｂによって出力された輝度信号に基づいて（ＣＣＤカメラ６ｂによる散乱光の受光状態に基づいて）磁気テープ１０の裏面１０ｂを検査することにより、磁性層が存在しない裏面１０ｂについても、極く小さな欠陥部Ｘｂの存在の有無を確実かつ容易に検査することができる。したがって、例えば、位置合わせ用のマークＭが形成されるタイプの磁気テープ１０であっても、その製造時に検査装置１によって裏面１０ｂを検査することにより、記録再生装置による記録データの記録再生時において、記録再生装置によって欠陥部Ｘｂ，Ｘｂ・・がマークＭ，Ｍ・・であると誤って認識される事態を回避することができる。
【００３５】
また、この検査装置１によれば、制御部８が表面検査部５の再生ヘッド５Ｒによって出力された再生信号に基づいて磁気テープ１０の表面１０ａを検査することにより、裏面１０ｂの検査のみならず、表面１０ａ（磁性層）の良否を並行して検査することができるため、表面１０ａを検査する検査装置と裏面１０ｂを検査する検査装置との２つを使用して２回に亘って磁気テープ１０を検査するのと比較して、磁気テープ１０の両面１０ａ，１０ｂを一回で検査することができる結果、短時間で検査することができる。
【００３６】
さらに、この検査装置１によれば、ガイド１３ａ，１３ｅの間であって表面検査部５よりも磁気テープ１０の移動方向における下流側に裏面検査部６を配置したことにより、テンション機構１１などで発生した振動が軽減される位置において裏面１０ｂを光学的に検査することができる。このため、欠陥部Ｘｂの存在の有無を一層確実に検査することができる。
【００３７】
また、この検査装置１によれば、磁気テープ１０を長手方向に沿って複数のブロックＢ，Ｂ・・に仮想的に分割すると共に表面検査部５および裏面検査部６のいずれかの検査結果が所定の基準に満たないブロックＢを不良領域と判別することにより、例えば、磁気テープ１０の長手方向全域を１つの検査領域として欠陥部Ｘａ，Ｘｂの有無を検査する構成と比較して、検査完了後に磁気テープ１０の長手方向におけるいずれの部位が不良で、いずれの部位が良好かを容易に特定することができる。したがって、例えば検査が完了した磁気テープ１０を裁断する際に、不良箇所を破棄して、良好な部位のみを使用して確実に良品のテープカートリッジを製造することができる。
【００３８】
さらに、この検査装置１によれば、各ブロックＢ，Ｂ・・毎の判別結果をその磁気テープ１０に関連付けて記憶部９に記憶させることにより、検査が完了した磁気テープ１０を裁断してテープカートリッジを製造する際に（テープリールに巻回する際に）、どの部位が不良で、どの部位が良好（記録媒体として使用可能な状態）であるかを迅速かつ容易に特定することができるため、テープカートリッジ（磁気記録媒体）の製造コストを十分に低減することができる。
【００３９】
なお、本発明は、上記した本発明の実施の形態に限定されない。例えば、本発明の実施の形態では、磁気テープ１０の表面１０ａを表面検査部５によって磁気的に検査する構成について説明したが、本発明はこれに限定されず、表面検査部５に代えて裏面検査部６と同様の光学式検査装置を配設して、表面１０ａを光学的に検査可能に構成することができる。また、検査装置１の構成に加えて裏面検査部６と同様の光学式検査装置を表面１０ａ側に配設して、表面１０ａを表面検査部５によって磁気的に検査すると共に光学式検査装置によって光学的に検査可能に構成することもできる。
【００４０】
【発明の効果】
以上のように、本発明に係る磁気テープ検査装置によれば、移動機構によって磁気テープをその長手方向に沿って移動させつつ受光部によって出力された光検出信号に基づいて第１検査部が磁気テープにおける他方の面を検査することにより、磁性層が存在しない他方の面についても、極く小さな欠陥部の存在の有無を確実かつ容易に検査することができる。したがって、例えば、位置合わせ用のマークが形成されるタイプの磁気テープであっても、その製造時に磁気テープ検査装置によって他方の面を検査することにより、記録再生装置による記録データの記録再生時において、記録再生装置によって欠陥部が位置合わせ用のマークであると誤って認識される事態を回避することができる。
【００４１】
また、本発明に係る磁気テープ検査装置によれば、磁気式検査装置によってデータ読み取り部によって出力された読み取り信号に基づいて第２検査部が磁気テープにおける一方の面を検査することにより、他方の面の検査のみならず、一方の面（磁性層）の良否を並行して検査することができるため、一方の面を検査する検査装置と他方の面を検査する検査装置との２つを使用して２回に亘って磁気テープを検査するのと比較して、磁気テープの両面を一回で検査することができる結果、短時間で検査することができる。
【００４２】
さらに、本発明に係る磁気テープ検査装置によれば、一対の振動吸収部の間であって磁気式検査装置よりも磁気テープの移動方向における下流側に光学式検査装置を配置したことにより、テンション機構などで発生した振動が軽減される位置において他方の面を光学的に検査することができる。このため、欠陥部の存在の有無を一層確実に検査することができる。
【００４３】
また、本発明に係る磁気テープ検査装置によれば、磁気テープを長手方向に沿って複数の検査領域に仮想的に分割すると共に光学式検査装置および磁気式検査装置のいずれかの検査結果が所定の基準に満たない検査領域を不良領域と判別することにより、例えば、磁気テープの長手方向全域を１つの検査領域として欠陥部の有無を検査する構成と比較して、検査完了後に磁気テープの長手方向におけるいずれの部位が不良で、いずれの部位が良好かを容易に特定することができる。したがって、例えば検査が完了した磁気テープを裁断する際に、不良箇所を破棄して、良好な部位のみを使用して確実に良品のテープカートリッジ（磁気記録媒体）を製造することができる。
【００４４】
さらに、本発明に係る磁気テープ検査装置によれば、各検査領域毎の判別結果をその磁気テープに関連付けて記憶部に記憶させることにより、検査が完了した磁気テープを裁断してテープカートリッジを製造する際に、どの部位が不良で、どの部位が良好（記録媒体として使用可能な状態）であるかを迅速かつ容易に特定することができるため、テープカートリッジ（磁気記録媒体）の製造コストを十分に低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る検査装置１の構成を示すブロック図である。
【図２】検査装置１におけるテンション機構１１，１１、ガイド１３ａ〜１３ｅ、表面検査部５および裏面検査部６と磁気テープ１０との位置関係を示す側面図である。
【図３】検査装置１における表面検査部５の記録ヘッド５Ｗ、再生ヘッド５Ｒ１，５Ｒ２および消去ヘッド５Ｅの位置関係を示す平面図である。
【図４】検査装置１における支持機構３の支持具１４と、裏面検査部６による検査光Ｌａの照射位置（領域Ａｂ１）および撮像位置（領域Ａｂ２）との関係を示す平面図である。
【図５】検査装置１の検査対象である磁気テープ１０を複数のブロックＢ，Ｂ・・に仮想的に分割した状態の概念図である。
【図６】表面１０ａの欠陥部Ｘａの有無、および裏面１０ｂの欠陥部Ｘｂの有無と、磁気テープ１０の各ブロックＢ，Ｂ・・の良否との関係を示す概念図である。
【図７】磁気テープ１０の各ブロックＢ，Ｂ・・の良否を示す概念図である。
【図８】磁気テープ１０の裏面１０ｂを示す平面図である。
【符号の説明】
１  磁気テープ検査装置
２  移動機構
３  支持機構
５  表面検査部
５Ｒ１，５Ｒ２  再生ヘッド
５Ｗ  記録ヘッド
６  裏面検査部
６ａ  検査光照射部
６ｂ  ＣＣＤカメラ
７  計測部
８  制御部
９  記憶部
１０  磁気テープ
１０ａ  表面
１０ｂ  裏面
１３ａ〜１３ｅ  エアガイド
１４  テープ支持具
Ｂ，Ｂａ，Ｂｂ・・  ブロック
Ｌａ  検査光
Ｌｂ  反射光
Ｘａ，Ｘｂ  欠陥部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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