(57)【要約】【課題】      装置を大型にすることなく、プローブの針先が表示用パネルの電極から外れることを防止することにある。【解決手段】  電気的接続装置は、仮想的な矩形の辺に個々に対応されて対応する辺の長手方向へ伸びる状態に板状の本体ベースに配置される複数のベース部材と、少なくとも一対の隣り合うベース部材の各々に配置されたプローブユニットと、隣り合うベース部材の少なくとも一方又は隣り合うプローブユニットの少なくとも一方がこれに対応する辺の長手方向へ移動することを許し他方向へ移動することを阻止するように、隣り合うベース部材又は隣り合うプローブユニットを連結する連結手段とを含む。【選択図】          図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
仮想的な矩形の辺に個々に対応されて対応する辺の長手方向へ伸びる状態に板状の本体ベースに配置される複数のベース部材と、少なくとも一対の隣り合うベース部材の各々に配置されたプローブユニットと、隣り合うベース部材の少なくとも一方又は隣り合うプローブユニットの少なくとも一方がこれに対応する辺の長手方向へ移動することを許し他方向へ移動することを阻止するように、隣り合うベース部材又は隣り合うプローブユニットを連結する連結手段とを含む、電気的接続装置。
【請求項２】
さらに、隣り合う一方のベース部材を前記対応する辺の長手方向へ移動させる移動機構を含み、
前記連結手段は、前記一方のベース部材が前記移動機構により移動されることを許し、他方向へ移動することを阻止するように、前記隣り合うベース部材を連結する連結器を含む、請求項１に記載の電気的接続装置。
【請求項３】
前記連結器は、
隣り合う一方及び他方のベース部材に配置された連結体であって前記他方のベース部材に取り付けられた連結体と、
前記一方のベース部材と前記連結体とのいずれか一方に取り付けられたガイドレールと、
前記一方のベース部材と前記連結体との他方に取り付けられたガイドであって前記ガイドレールに嵌合されたガイドとを含む、請求項２に記載の電気的接続装置。
【請求項４】
さらに、前記一方のベース部材をこれに対応する辺の長手方向へ移動させる第１の移動機構と、他方のベース部材をこれに対応する辺の長手方向へ移動させる第２の移動機構とを含み、
前記連結手段は、前記一方のベース部材が前記第１の移動機構により移動されることは許するが、他方向へ移動することは阻止し、また前記他方のベース部材が前記第２の移動機構により移動されることは許すが、他方向へ移動することは阻止するように、前記隣り合うベース部材を連結する連結器を含む、請求項１に記載の電気的接続装置。
【請求項５】
前記連結器は、
隣り合う一方及び他方のベース部材に配置された連結体と、
前記一方のベース部材と前記連結体とのいずれか一方に取り付けられた第１のガイドレールと、
前記一方のベース部材と前記連結体との他方に取り付けられた第１のガイドであって前記第１のガイドレールに嵌合された第１のガイドと、
前記他方のベース部材と前記連結体とのいずれか一方に取り付けられた第２のガイドレールと、
前記他方のベース部材と前記連結体との他方に取り付けられた第２のガイドであって前記第２のガイドレールに嵌合された第２のガイドとを含む、請求項４に記載の電気的接続装置。
【請求項６】
前記プローブユニットは、対応するベース部材にこれの長手方向へ伸びる状態に取り付けられたプローブベースと、該プローブベースに配置された少なくとも１つのプローブブロックと、該プローブブロックに配置された複数のプローブとを備える、請求項１に記載の電気的接続装置。
【請求項７】
さらに、前記一方のプローブユニットを前記対応する辺に沿って移動させる移動機構を含み、
前記連結手段は、隣り合うプローブユニットの少なくとも一方が前記対応する辺の長手方向へ移動することを許し他方向へ移動することを阻止するように、隣り合うプローブベースを連結する連結器を含む、請求項６に記載の電気的接続装置。
【請求項８】
前記連結器は、
隣り合う一方及び他方のプローブベースに配置された連結体であって前記他方のベース部材に取り付けられた連結体と、
前記一方のプローブベースと前記連結体とのいずれか一方に取り付けられたガイドレールと、
前記一方のプローブベースと前記連結体との他方に取り付けられたガイドであって前記ガイドレールに嵌合されたガイドとを含む、請求項７に記載の電気的接続装置。
【請求項９】
さらに、前記一方のプローブユニットを前記辺の長手方向へ移動させる第１の移動機構と、前記他方のプローブユニットを前記辺の長手方向へ移動させる第２の移動機構とを含み、
前記連結手段は、前記一方のプローブユニットが前記第１の移動機構による方向へ移動することは許するが、他方向へ移動することは阻止し、また前記他方のプローブユニットが前記第２の移動機構による方向へ移動することは許すが、他方向へ移動することは阻止するように、前記隣り合うベース部材を連結する連結器を含む、請求項８に記載の電気的接続装置。
【請求項１０】
前記連結器は、
隣り合う一方及び他方のプローブユニットに配置された連結体と、
前記一方のプローブユニットと前記連結体とのいずれか一方に取り付けられた第１のガイドレールと、
前記一方のプローブユニットと前記連結体との他方に取り付けられた第１のガイドであって前記第１のガイドレールに嵌合された第１のガイドと、
前記他方のプローブユニットと前記連結体とのいずれか一方に取り付けられた第２のガイドレールと、
前記他方のプローブユニットと前記連結体との他方に取り付けられた第２のガイドであって前記第２のガイドレールに嵌合された第２のガイドとを含む、請求項９に記載の電気的接続装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示用基板の通電試験にテスターと表示用基板とを電気的に接続する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルや、薄膜トランジスタを備えたガラス基板のような表示用パネルは、仮想的な矩形の少なくとも隣り合う２つの辺のそれぞれに複数の電極を配列しており、また、プローブカード、プローブボード、プローブユニット等の電気接続装置を用いて通電試験をされる。
【０００３】
この種の電気接続装置の１つとして、表示用パネルの電極に個々に接触される複数のプローブを並列的に配置した複数のプローブユニットを、矩形の隣り合う辺毎に板状の本体ベース（フレーム）に取り付けたものがある（例えば、特許文献１）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−７４７７８号公報  上記従来技術において、各プローブユニットは、それぞれが複数のプローブを並列的に配置した複数のプローブブロックを長い板状のプローブベースに取り付け、プローブベースをこれが矩形の対応する辺に沿って伸びる状態に本体ベースに取り付けている。隣り合うプローブユニットの少なくとも一方は、プローブの針先と表示用パネルの電極との位置合わせのために移動機構によりプローブベースの長手方向へ移動可能とされている。
【０００５】
各プローブは、プローブブロックに片持ち梁状に取り付けられており、通電試験時に針先を表示用基板の電極に押圧される。各プローブユニットは、表示用パネルの対応する辺に配置された電極数と同数のプローブを備えている。このため、各プローブに作用する押圧力はわずかであっても、各プローブユニットに作用する総押圧力は非常に大きい。
【０００６】
しかし、上記従来技術においては、隣り合うプローブユニットが分離されて個々に板状の本体ベースに取り付けられているから、プローブのみならず、プローブベースがこれに作用する押圧力により湾曲する。そのような湾曲は隣り合うプローブユニットを離間させる力としてプローブベースに作用し、しかも湾曲量はプローブベース毎に異なる。
【０００７】
上記の結果、上記従来技術では、偏荷重が表示用パネルに作用して、表示用パネルがプローブユニットに対し傾き、その結果電極に接触しないプローブが存在し、正確な検査が不能になる。
【０００８】
これは、プローブ及びプローブベースの湾曲、並びにプローブユニットに対する表示用パネルの傾きのために、オーバードライブ時における電極に対する針先の動きの方向が、電極の長手方向だけではなく、幅方向を含む、いわゆる斜めの方向となり、その結果針先が電極から外れるものと考えられる。
【０００９】
上記の課題を解決するために、プローブユニットの剛性を高めようとすると、プローブベースのみならず、その移動機構の剛性をも高めなければならないから、装置が大型化し、高価になる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の目的は、装置を大型にすることなく、プローブの針先が表示用パネルの電極から外れることを防止することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係る電気的接続装置は、仮想的な矩形の辺に個々に対応されて対応する辺の長手方向へ伸びる状態に板状の本体ベースに配置される複数のベース部材と、少なくとも一対の隣り合うベース部材の各々に配置されたプローブユニットと、隣り合うベース部材の少なくとも一方又は隣り合うプローブユニットの少なくとも一方がこれに対応する辺の長手方向へ移動することを許し他方向へ移動することを阻止するように、隣り合うベース部材又は隣り合うプローブユニットを連結する連結手段とを含む。
【発明の効果】
【００１２】
隣り合うベース部材又は隣り合うプローブユニットが湾曲しようとするとき、隣り合うベース部材又は隣り合うプローブユニットには、これを対応する辺と直交する方向へ変位させる力が作用する。このため、隣り合うベース部材又は隣り合うプローブユニットがこれに対応する辺の長手方向へ移動することを許し他方向へ移動することを阻止するように連結されていると、隣り合うベース部材又は隣り合うプローブユニットの湾曲が防止される。それにより、装置を大型にすることなく、プローブの針先が表示用パネルの電極から外れることが防止される。
【００１３】
電気的接続装置は、さらに、隣り合う一方のベース部材を前記対応する辺の長手方向へ移動させる移動機構を含み、前記連結手段は、前記一方のベース部材が前記移動機構により移動されることを許し、他方向へ移動することを阻止するように、前記隣り合うベース部材を連結する連結器を含むことができる。
【００１４】
上記の場合、前記連結器は、隣り合う一方及び他方のベース部材に配置された連結体であって前記他方のベース部材に取り付けられた連結体と、前記一方のベース部材と前記連結体とのいずれか一方に取り付けられたガイドレールと、前記一方のベース部材と前記連結体との他方に取り付けられたガイドであって前記ガイドレールに嵌合されたガイドとを含むことができる。
【００１５】
電気的接続装置は、さらに、前記一方のベース部材をこれに対応する辺の長手方向へ移動させる第１の移動機構と、他方のベース部材をこれに対応する辺の長手方向へ移動させる第２の移動機構とを含み、前記連結手段は、前記一方のベース部材が前記第１の移動機構により移動されることは許するが、他方向へ移動することは阻止し、また前記他方のベース部材が前記第２の移動機構により移動されることは許すが、他方向へ移動することは阻止するように、前記隣り合うベース部材を連結する連結器を含むことができる。
【００１６】
上記の場合、  前記連結器は、隣り合う一方及び他方のベース部材に配置された連結体と、前記一方のベース部材と前記連結体とのいずれか一方に取り付けられた第１のガイドレールと、前記一方のベース部材と前記連結体との他方に取り付けられた第１のガイドであって前記第１のガイドレールに嵌合された第１のガイドと、前記他方のベース部材と前記連結体とのいずれか一方に取り付けられた第２のガイドレールと、前記他方のベース部材と前記連結体との他方に取り付けられた第２のガイドであって前記第２のガイドレールに嵌合された第２のガイドとを含むことができる。
【００１７】
前記プローブユニットは、対応するベース部材にこれの長手方向へ伸びる状態に取り付けられたプローブベースと、該プローブベースに配置された少なくとも１つのプローブブロックと、該プローブブロックに配置された複数のプローブとを備えることができる。
【００１８】
そのようなプローブユニットの場合、電気的接続装置は、さらに、前記一方のプローブユニットを前記対応する辺に沿って移動させる移動機構を含み、前記連結手段は、隣り合うプローブユニットの少なくとも一方が前記対応する辺の長手方向へ移動することを許し他方向へ移動することを阻止するように、隣り合うプローブベースを連結する連結器を含むことができる。
【００１９】
上記の場合、前記連結器は、隣り合う一方及び他方のプローブベースに配置された連結体と、前記一方のプローブベースと前記連結体とのいずれか一方に取り付けられたガイドレールと、前記一方のプローブベースと前記連結体との他方に取り付けられたガイドであって前記ガイドレールに嵌合されたガイドとを含むことができる。
【００２０】
電気的接続装置は、さらに、前記一方のプローブユニットを前記辺の長手方向へ移動させる第１の移動機構と、前記他方のプローブユニットを前記辺の長手方向へ移動させる第２の移動機構とを含み、前記連結手段は、前記一方のプローブユニットが前記第１の移動機構による方向へ移動することは許するが、他方向へ移動することは阻止し、また前記他方のプローブユニットが前記第２の移動機構による方向へ移動することは許すが、他方向へ移動することは阻止するように、前記隣り合うベース部材を連結する連結器を含むことができる。
【００２１】
上記の場合、前記連結器は、隣り合う一方及び他方のプローブユニットに配置された連結体と、前記一方のプローブユニットと前記連結体とのいずれか一方に取り付けられた第１のガイドレールと、前記一方のプローブユニットと前記連結体との他方に取り付けられた第１のガイドであって前記第１のガイドレールに嵌合された第１のガイドと、前記他方のプローブユニットと前記連結体とのいずれか一方に取り付けられた第２のガイドレールと、前記他方のプローブユニットと前記連結体との他方に取り付けられた第２のガイドであって前記第２のガイドレールに嵌合された第２のガイドとを含むことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
図１及び図２を参照するに、電気的接続装置１０は、長方形をした表示用パネル１２の点灯検査装置１４に適用されている。図示の例では、パネル１２は、図５に示すように、矩形の３つの辺のそれぞれに複数の電極１６を備えている。各辺に設けられた電極１６は、その辺の方向（すなわち、辺の長手方向）に間隔をおいており、またその辺と直交する方向へ伸びている。
【００２３】
点灯検査装置１４は、複数の長尺部材と複数の板部材とにより、筐体状に形成されており、点灯検査のための各種の機器を収容している。点灯検査装置１４の前面上部は、上部ほど後方側に後退する傾斜面とされている。この傾斜面を形成している板状の部材は、後に説明する板状の本体ベースとして作用する。
【００２４】
点灯検査装置１４は、パネル１２の受け渡しをする受け渡し部と、表示用パネル１２の検査をする検査部とを含む。点灯検査装置１４の傾斜面には、パネル１２より大きい矩形の開口２０及び２２がそれぞれ受け渡し部及び検査部に対応する箇所に形成されている。
【００２５】
受け渡し部には、パネル１２を斜めに受ける受け渡しステージ２４と、受けたパネル１２のプリアライメントをする２組のプッシャー２６とが配置されている。これに対し、検査部には、パネル１２を斜めに受ける検査ステージ２８と、プローブカードとして作用する電気的接続装置１０とが配置されている。
【００２６】
受け渡しステージ２４は、パネル１２を斜めに受ける複数の長尺部材により形成されている。一方の組のプッシャー２６は、左右方向（図１において、左右方向）に相寄り相離れる方向へ移動される。これに対し、他方の組のプッシャー２６は、斜め上下方向（図１において、上下方向）に相寄り相離れる方向へ移動される。
【００２７】
パネル１２は、プッシャー２６が互いに離間された状態で、それらのプッシャー２６の間に配置され、各組のプッシャー２６が相寄る方向へ移動されることにより、受け渡しステージ２４に対し移動されて、点灯検査装置１４に対するプリアライメントをされる。
【００２８】
未検査のパネル１２は、人手又は着脱ロボットにより受け渡しステージ２４に配置され、受け渡しステージ２４においてプッシャー２６によりプリアライメントをされ、その後図示しない搬送機構により検査ステージ２８に搬送され、検査ステージ２８により背面から照明されると共に電気的接続装置１０により通電されて、点灯検査をされる。
【００２９】
検査済みのパネル１２は、上記搬送機構により検査ステージ２８から受け渡しステージ２４に搬送され、その後人手又は着脱ロボットにより受け渡しステージ２４から外されて、収納用カセットに収納される。
【００３０】
図２から図４を参照するに、検査ステージ２８は、パネル１２をチャックトップ３０のパネル吸着面に斜め上向きに受けるように、パネル吸着面を開口２２に対向させている。
【００３１】
検査ステージ２８は、斜め上向きに受けたパネル１２を、これと平行のＸ及びＹの２方向と、受けたパネル１２に垂直のＺ方向とに移動させる三次元ステージの機能を有していると共に、Ｚ方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転させるθステージの機能をも備えている。
【００３２】
チャックトップ３０は、パネル１２を真空的に吸着する複数の吸着溝をパネル吸着面に有している共に、パネル１２をこれの背面から照明するバックライトユニットを内部に備えている。
【００３３】
図３から図７を参照するに、電気的接続装置１０は、仮想的な矩形の辺に個々に対応された４つのベース部材３２と、３つのベース部材３２に個々に配置された３つのプローブユニット３４と、３つのベース部材３２をこれに対応する辺に沿って（すなわち、辺の長手方向に）個々に移動させる移動機構３６と、隣り合うベース部材３２を連結する４つの連結器３８とを含む。
【００３４】
各ベース部材３２は、これに対応する辺の長手方向に長い板の形状を有しており、また本体ベース１８の裏側に支持されて、一部を開口２２に露出されている。隣り合うベース部材３２は、当接しないように間隔をおいている。
【００３５】
プローブユニット３４は、対向する一対のベース部材３２と、それらのベース部材３２と隣り合う１つのベース部材３２とに配置されている。これに対し、移動機構３６は、対向する他の一対のベース部材３２と、それらのベース部材３２と隣り合う１つのベース部材３２とに設けられている。
【００３６】
移動機構３６に連結されていないベース部材３２は、スペーサ４０と、ボルトのような複数の止め具４１とにより、本体ベース１８に移動不能に取り付けられて支持されている。
【００３７】
残りの各ベース部材３２は、対応する辺と直交する方向に間隔をおいて対応する辺の長手方向へ平行に伸びる一対のガイドレール４２と、各ガイドレール４２の長手方向に間隔をおいた箇所に移動可能に嵌合された複数のガイド４４とにより、本体ベース１８に取り付けられて支持されている。
【００３８】
ガイドレール４２（又は、ガイド４４）は本体ベース１８に取り付けられており、ガイド４４（又は、ガイドレール４２）はベース部材３２に取り付けられている。
【００３９】
各プローブユニット３４は、対応するベース部材３２にこれの長手方向へ伸びる状態に取り付けられた長板状のプローブベース４６と、プローブベース４６に配置された複数のプローブブロック４８と、プローブブロック４８に配置された複数のプローブ５０とを備えている。
【００４０】
プローブベース４６は、ベース部材３２の幅方向における縁部のうち、矩形の中心側（すなわち、先端側）となる縁部の外側に複数のねじ部材５２により堅固に取り付けられている。
【００４１】
各プローブブロック４８は、プローブベース４６の幅方向における先端側の縁部の外側に複数のねじ部材５４により堅固に取り付けられている。各プローブ５０は、先端側を前方に突出させた状態にプローブブロック４８の先端部下面に適宜な手段を用いて取り付けられている。
【００４２】
各移動機構３６は、本体ベース１８に取り付けられたモータ５６によりリードスクリュー５８を回転させて、リードスクリュー５８に螺合されたリードナット６０を左右方向（又は、斜め上下方向）に移動させることにより、ベース部材３２を移動させる。
【００４３】
移動不能のベース部材３２とこれの隣りのベース部材３２とを連結する各連結器３８は、その１つを図６（Ａ），（Ｂ）及び（Ｃ）に示すように、板状の連結体６２を移動不能のベース部材３２にスペーサ６８を介して移動不能に及び片持ち梁状に取り付け、左右方向又は斜め上下方向へ伸びるガイドレール６４を他のベース部材３２（又は、連結体６２）に取り付け、ガイドレール６４に移動可能に嵌合されたガイド６６を連結体６２（又は、他のベース部材３２）に取り付けている。
【００４４】
移動可能の隣り合うベース部材３２を連結する各連結器３８は、その１つを図７（Ａ），（Ｂ）及び（Ｃ）に示すように、連結体６２と、左右方向及び斜め上下方向へ伸びる２つガイドレール６４及び６４をそれぞれ一方及び他方のベース部材３２及び３２（又は、連結体６２）に取り付け、各ガイドレール６４に移動可能に嵌合された２つのガイド６６を連結体６２（又は、一方及び他方のベース部材３２及び３２）に取り付けている。
【００４５】
図示の例では、図３において左方のベース部材３２が移動不能であるから、移動不能のベース部材３２とこれの隣りのベース部材３２とを連結する連結器３８のガイドレール６４は、左右方向へ伸びている。このため、この連結器３８は、移動可能のベース部材３２が左右方向へ移動することは許すが、移動不能のベース部材３２が左右方向へ移動することと、両ベース部材３２が斜め上下方向へ移動することとは阻止する。
【００４６】
移動可能のベース部材３２を連結する各連結器３８のガイドレール６４の一方は左右方向へ伸びており、他方は斜め上下方向へ伸びている。このため、この連結器３８は、各ベース部材３２が移動可能の方向への移動は許すが、他の方向への移動は阻止する。すなわち、各連結器３８は、連結している両ベース部材３２が離間することを阻止している。
【００４７】
ガイドレール４２とガイド４４は、リニアガイドの部材とすることができる。同様に、ガイドレール６４とガイド６６も、リニアガイドの部材とすることができる。
【００４８】
検査時、表示用パネル１２が検査ステージ２８により移動されて位置合わせをされた後、各電極１６がプローブ５０の針先に押圧される。これにより、大きな押圧力が各プローブユニット３４に作用する。
【００４９】
上記の押圧力は、ベース部材３２及びプローブベース４６のプローブ５０側の縁部を検査ステージ２８側と反対側に反らせるように、ベース部材３２及びプローブユニット３４に作用する。これにより、プローブユニット３４が湾曲しようとする。そのような湾曲は、隣り合うベース部材３２、ひいては隣り合うプローブユニット３４を離間させる力としてベース部材３２及びプローブベース４６に作用する。
【００５０】
しかし、上記のように隣り合うベース部材３２、ひいてはプローブユニット３４が離間することを連結器３８により阻止されているから、ベース部材３２の湾曲が阻止される。これにより、装置を大型にすることなく、プローブ５０の針先が表示用パネル１２の電極１６から外れることが防止される。
【００５１】
図８を参照するに、電気的接続装置７０は、電気的接続装置１０で検査可能のパネル１２より小さいパネル１２の検査に用いるべく、重ねられた２つの長板状の補助板７２ａ，７２ｂをプローブユニット３４毎に備えていることを除いて電気的接続装置１０と同様に構成されている。
【００５２】
このため、電気的接続装置７０は、隣り合う補助板７２ａ，７２ａを連結器７６で連結している。プローブユニット３４が配置されていないベース部材３２には、その代わりに補助板７２ａ，７２ｂが配置されている。
【００５３】
各補助板７２ａ，７２ｂは対応する辺の方向へ伸びる状態にねじ部材によりベース部材３２に堅固に取り付けられており、各プローブベース４６は対応する辺の方向へ伸びる状態にねじ部材により補助板７２に堅固に取り付けられている。
【００５４】
連結器７６は、隣り合う補助板７２ａ，７２ａを連結していることを除いて、連結器３８と同様に構成されている。各補助板７２ａ，７２ｂは、ベース部材３２の一部又はプローブベース４６の一部として作用する。
【産業上の利用可能性】
【００５５】
ベース部材３２を本体ベース１８に移動可能に配置する代わりに、プローブベース４６を本体ベース１８又は補助板７２に移動可能に配置してもよいし、補助板７２を本体ベース１８に移動可能に配置してもよい。
【００５６】
本発明は、液晶表示パネルのみならず、それ用のガラス基板、有機ＥＬ等、他の表示用パネルの電気的接続装置にも適用することができる。
【００５７】
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明に係る電気的接続装置を用いた点灯検査装置の一実施例を示す正面図である。
【図２】図１における２−２線に沿って得た断面図である。
【図３】本発明に係る電気的接続装置の一実施例を示す正面図である。
【図４】図３における４−４線に沿って得た断面図である。
【図５】連結器付近の一実施例を示す斜視図である。
【図６】移動不能のベース部材と移動可能のベース部材との連結状態を示す図であって、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は（Ａ）の左側面図、（Ｃ）は（Ａ）の底面図である。
【図７】移動可能の隣り合うベース部材の連結状態を示す図であって、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は（Ａ）の右側面図、（Ｃ）は（Ａ）の底面図である。
【図８】本発明に係る電気的接続装置の他の実施例を示す正面図である。
【符号の説明】
【００５９】
１０，７０  電気的接続装置
１２  表示用パネル
１４  点灯検査装置
３０  チャックトップ
３２  ベース部材
３４  プローブユニット
３６  移動機構
３８，７６  連結器
４０  スペーサ
４２  ガイドレール
４４  ガイド
４６，７２，７４  プローブベース
４８  プローブブロック
５０  プローブ
６２  連結体
６４  ガイドレール
６６  ガイド
６８  スペーサ
【図１】
2005077269.tif 000003
【図２】
2005077269.tif 000004
【図３】
2005077269.tif 000005
【図４】
2005077269.tif 000006
【図５】
2005077269.tif 000007
【図６】
2005077269.tif 000008
【図７】
2005077269.tif 000009
【図８】
2005077269.tif 000010