(57)【要約】【課題】  被着体が表面に凹凸を有していても、その表面形状に追従して、優れた密着性で被着体を貼付できる通気性熱剥離性両面粘着シートを提供する。【解決手段】  通気性熱剥離型粘着シートは、基材の少なくとも一方の面に熱膨張性微小球を含有する熱膨張性粘着層が形成された熱剥離型粘着シートであって、基材が多孔性を有する基材であり、且つ熱膨張性粘着層が、熱膨張性微小球を含有する粘着剤を繊維状に設けることにより形成された多孔性を有する熱膨張性粘着層であることを特徴とする。ＪＩＳ  Ｐ  ８１１７に準じて測定された通気度が、１〜２００秒／１００ｍｌであることが好ましい。【選択図】      なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材の少なくとも一方の面に熱膨張性微小球を含有する熱膨張性粘着層が形成された熱剥離型粘着シートであって、基材が多孔性を有する基材であり、且つ熱膨張性粘着層が、熱膨張性微小球を含有する粘着剤を繊維状に設けることにより形成された多孔性を有する熱膨張性粘着層であることを特徴とする通気性熱剥離型粘着シート。
【請求項２】
ＪＩＳ  Ｐ  ８１１７に準じて測定された通気度が、１〜２００秒／１００ｍｌである請求項１記載の通気性熱剥離型粘着シート。
【請求項３】
熱剥離型粘着シートを用いて被着体を加工する方法であって、請求項１又は２記載の通気性熱剥離型粘着シートにおける多孔性を有する熱膨張性粘着層上に、被着体を貼り合わせ、通気性熱剥離型粘着シート側からの吸引吸着により、多孔性を有する熱膨張性粘着層上に被着体を強固に固定した後、加工処理を施すことにより被着体を加工することを特徴とする被着体の加工方法。
【請求項４】
被着体が、電子系部品類である請求項３記載の被着体の加工方法。
【請求項５】
請求項１又は２記載の通気性熱剥離型粘着シートを用いて製造されたことを特徴とする電子部品。
【請求項６】
請求項３又は４記載の被着体の加工方法を利用して製造されたことを特徴とする電子部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、通気性を有する熱剥離性両面粘着シート、および該通気性熱剥離性両面粘着シートを用いた被着体の加工方法並びに電子部品に関し、さらに詳細には、被着体がその表面に凹凸形状を有していても、優れた追従性及び密着性で貼付して、被着体の加工の際の固定用として好適な粘着力を発揮することができ、また、粘着目的達成後には加熱により粘着力を低減して被着体を容易に剥離することができる通気性熱剥離性両面粘着シート、および該通気性熱剥離性両面粘着シートを用いた被着体の加工方法並びに電子部品に関する。
【背景技術】
【０００２】
基材の少なくとも片面に熱膨張性粘着層を設けた熱剥離型粘着シートは広く知られている（例えば、特許文献１〜特許文献５参照）。熱剥離型粘着シートは、加熱前の接着性と加熱後の剥離性を両立させたものであり、粘着目的を達成した後は、加熱によって熱膨張性粘着層中の熱膨張性微小球を発泡ないし膨張させることにより、熱膨張性粘着層の表面が凹凸状に変化し、そのため、被着体（物品）との粘着面積（接触面積）の減少により接着力を低下させることができ、これにより、被着体を容易に剥離させる（分離させる）ことが可能となっている。このような熱剥離型粘着シートは、電子部品やその材料を加工する際の固定（仮固定）や、搬送等の物流時の固定（仮固定）など、多種多様な用途で用いられている。
【０００３】
【特許文献１】特公昭５０−１３８７８号公報
【特許文献２】特公昭５１−２４５３４号公報
【特許文献３】特開昭５６−６１４６８号公報
【特許文献４】特開昭５６−６１４６９号公報
【特許文献５】特開昭６０−２５２６８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、被着体（物品）の表面（熱剥離型粘着シートに貼り合わせる面）に凹凸がある場合、熱剥離型粘着シート（又は熱膨張性粘着層）が、被着体の表面の凹凸形状に追従することができず、そのため、粘着面積（接触面積）が少なくなり、充分な粘着力を発揮することができず、その結果、例えば、被着体を熱剥離型粘着シートに貼付して加工する際に、ずれが生じたり、また、被着体の貼り合わせ時に気泡が入り込み、被着体の加工側の表面に凹凸ができる（水平でなくなる）ことにより不具合が発生するという問題があった。
【０００５】
従って、本発明の目的は、被着体がその表面に凹凸形状を有していても、該被着体の表面形状に追従して、優れた密着性で被着体を貼付することができる通気性熱剥離性両面粘着シート、および該通気性熱剥離性両面粘着シートを用いた被着体の加工方法並びに電子部品を提供することにある。
本発明の他の目的は、被着体を貼付する際の気泡の混入を防止して、優れた密着性で被着体を貼付することができる通気性熱剥離性両面粘着シート、および該通気性熱剥離性両面粘着シートを用いた被着体の加工方法並びに電子部品を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者らは、前記目的を達成するため鋭意検討した結果、基材として特定の構造を有する基材を用いるとともに、熱膨張性粘着層としても特定の構造を有する熱膨張性粘着層を用いると、被着体の表面が凹凸形状を有していても、該凹凸形状に良好に追従させることができ、また、被着体を貼付する際には、被着体と熱膨張性粘着層との間への気泡の混入を効果的に防止させることができ、その結果、優れた密着性で被着体を貼付することができることを見出した。本発明はこれらの知見に基づいて完成されたものである。
【０００７】
すなわち、本発明は、基材の少なくとも一方の面に熱膨張性微小球を含有する熱膨張性粘着層が形成された熱剥離型粘着シートであって、基材が多孔性を有する基材であり、且つ熱膨張性粘着層が、熱膨張性微小球を含有する粘着剤を繊維状に設けることにより形成された多孔性を有する熱膨張性粘着層であることを特徴とする通気性熱剥離型粘着シートを提供する。該通気性熱剥離型粘着シートとしては、ＪＩＳ  Ｐ  ８１１７に準じて測定された通気度が、１〜２００秒／１００ｍｌであることが好ましい。
【０００８】
本発明は、また、熱剥離型粘着シートを用いて被着体を加工する方法であって、前記通気性熱剥離型粘着シートにおける多孔性を有する熱膨張性粘着層上に、被着体を貼り合わせ、通気性熱剥離型粘着シート側からの吸引吸着により、多孔性を有する熱膨張性粘着層上に被着体を強固に固定した後、加工処理を施すことにより被着体を加工することを特徴とする被着体の加工方法を提供する。前記被着体としては、電子系部品類を好適に用いることができる。
【０００９】
本発明は、さらにまた、前記通気性熱剥離型粘着シートを用いて製造されたことを特徴とする電子部品や、前記被着体の加工方法を利用して製造されたことを特徴とする電子部品を提供する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の通気性熱剥離型粘着シートによれば、被着体がその表面に凹凸形状を有していても、該被着体の表面形状に追従して、優れた密着性で被着体を貼付することができる。また、被着体を貼付する際の気泡の混入を防止して、優れた密着性で被着体を貼付することができる。そのため、通気性熱剥離型粘着シートは、被着体を加工する際に用いられる熱剥離型粘着シートとして好適に用いることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下に、本発明の実施の形態を、必要に応じて図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、同一の部材や部分などには同一の符号を付している場合がある。
［通気性熱剥離型粘着シート］
本発明の通気性熱剥離型粘着シートは、図１や図２で示されるように、多孔性を有する基材（多孔性基材）と、該多孔性基材の少なくとも一方の面に、熱膨張性微小球を含有する粘着剤を繊維状に塗布することにより形成された多孔性を有する熱膨張性粘着層（多孔性熱膨張性粘着層）とを有している。図１、図２は、それぞれ、本発明の通気性熱剥離型粘着シートの例を部分的に示す概略断面図である。図１〜２において、１，１１は通気性熱剥離型粘着シート、２は多孔性基材、３は多孔性熱膨張性粘着層、４はセパレータ（剥離ライナー）、５は多孔性を有する粘着層（多孔性粘着層）である。なお、多孔性熱膨張性粘着層３は、多孔性基材２上に、熱膨張性微小球を含有する粘着剤を繊維状に設ける（例えば、塗布する）ことにより形成されている。また、多孔性粘着層５は、粘着剤を繊維状に設ける（例えば、塗布する）ことにより形成されている。
【００１２】
図１に示される通気性熱剥離型粘着シート１は、多孔性基材２と、該多孔性基材２の一方の面（片面）に形成されている多孔性熱膨張性粘着層３とを有しており、且つ、前記多孔性熱膨張性粘着層３はセパレータ４により保護された形態を有している。一方、図２に示される通気性熱剥離型粘着シート１は、多孔性基材２と、該多孔性基材２の一方の面に形成されている多孔性熱膨張性粘着層３と、前記多孔性基材２の他方の面に形成されている多孔性粘着層５とを有しており、且つ、前記多孔性熱膨張性粘着層３、および前記多孔性粘着層５は、それぞれ、セパレータ（４，４）により保護された形態を有している。
【００１３】
このように、本発明の通気性熱剥離型粘着シートは、基材が多孔性基材であり、熱膨張性粘着層が多孔性熱膨張性粘着層であるので、多孔性熱膨張性粘着層上に被着体を貼り合わせた後、通気性熱剥離型粘着シート側（特に、多孔性基材側）から気体の吸引吸着（エアー吸引吸着）を行うことにより、多孔性熱膨張性粘着層上に被着体を強固に貼着して固定することができる。そのため、被着体の表面（貼着面）が凹凸形状を有していても、エアー吸引吸着により、多孔性熱膨張性粘着層又はその表面を、被着体の表面の凹凸形状に効果的に追従させることができ、また、多孔性熱膨張性粘着層と被着体との界面に気泡が混入しても、該気泡を抜く（気泡を取り除く又は脱気する）ことができる。従って、本発明の通気性熱剥離型粘着シートを用いると、被着体を優れた密着性で貼付させることができ、そのため、例えば、被着体の加工の際の固定用として好適な粘着力を発揮することができる。具体的には、通気性熱剥離型粘着シートを、例えば、内部電極を塗布したセラミックシート積層物（積層セラミックシート）のダイシングにおいて使用する場合、積層セラミックシートに通気性熱剥離型粘着シートを貼り合せた後又は貼り合わせながら、通気性熱剥離型粘着シート側（特に、多孔性基材側）からエアー吸引吸着により積層セラミックシートを貼着させることにより、積層セラミックシートの表面の凹凸形状に通気性熱剥離型粘着シートが追従し、優れた密着性で積層セラミックシートに通気性熱剥離型粘着シートを貼り合せることができ、そのため、密着性が高い状態でダイシングすることができる。従って、積層セラミックシートと通気性熱剥離型粘着シートとの密着性が高いため、ダイシング時の積層セラミックシートのずれやチップ飛びが起こりにくく、ダイシング完了後には、加熱により通気性熱剥離型粘着シートからチップを剥離させることができ、精度良好なチップを得ることができる。
【００１４】
［多孔性基材］
多孔性基材としては、多孔性を有する基材であれば特に制限されず、例えば、繊維状基材、多孔質プラスチック基材などが挙げられる。具体的には、前記繊維状基材には、例えば、紙製の基材（例えば、和紙など）や、織り布状の基材（例えば、各種繊維による織り布など）、不織布状の基材（例えば、各種繊維による不織布など）、フェルト状の基材（例えば、各種繊維によるフェルトなど）等が含まれる。また、多孔質プラスチック基材としては、例えば、各種プラスチック材による多孔質フィルム又はシート（スポンジ状のプラスチック基材など）等が挙げられる。このような多孔質プラスチック基材におけるプラスチック材としては、特に制限されず、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等のポリエステル；ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）；ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、エチレン−プロピレン共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）等のα−オレフィンをモノマー成分とする等のオレフィン系樹脂；ポリアリレート；ポリウレタン；ポリカーボネート；ポリアミド（ナイロン）、全芳香族ポリアミド（アラミド）等のアミド系樹脂；ポリイミド（ＰＩ）；ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）；ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）；ポリ４フッ化エチレンなどが挙げられる。これらのプラスチック材は単独で又は２種以上組み合わせて使用することができる。
【００１５】
多孔性基材における孔としては、通気性を有する孔、すなわち、貫通孔または連続気泡状の孔であることが重要である。このように、多孔性基材は、通気性を有しており、その通気度としては、特に制限されないが、例えば、１〜２００秒／１００ｍｌ（秒／１００ｃｃ）、好ましくは３〜１５０秒／１００ｍｌ、さらに好ましくは５〜１２０秒／１００ｍｌであることが望ましい。多孔性基材の通気度が、１秒／１００ｍｌ未満の場合には、通気性がよすぎて、被着体と貼り合わせた後、通気性熱剥離型粘着シートまたは多孔性基材側からエアー吸引により被着体を吸着させる際に、被着体の表面の凹凸形状に通気性熱剥離型粘着シートが追従できるものの、多孔性熱膨張性粘着層を構成する粘着剤が、多孔性基材に移行しやすく、多孔性基材表面が粘着性を帯びてしまい、巻き戻し性や貼り付け作業性が低下しやすくなる。一方、多孔質基材の通気度が２００秒／１００ｍｌを超える場合は、エアー吸引により被着体を吸着させても、被着体の表面の凹凸形状に通気性熱剥離型粘着シートが追従しにくくなる。
【００１６】
なお、多孔性基材の通気度はＪＩＳ  Ｐ  ８１１７に準じて測定することができる。
【００１７】
多孔性基材の厚さは、強度や柔軟性、使用目的などに応じて適宜に選択でき、例えば、一般的には１０００μｍ以下（例えば、１〜１０００μｍ）、好ましくは１〜５００μｍ、さらに好ましくは３〜３００μｍ、特に５〜２５０μｍ程度であるが、これらに限定されない。なお、多孔性基材は単層の形態を有していてもよく、積層された形態を有していてもよい。
【００１８】
多孔性基材の表面は、多孔性熱膨張性粘着層等との密着性を高めるため、慣用の表面処理、例えば、コロナ処理、クロム酸処理、オゾン暴露、火炎暴露、高圧電撃暴露、イオン化放射線処理等の化学的又は物理的方法による酸化処理等が施されていてもよい。
【００１９】
［多孔性熱膨張性粘着層］
多孔性熱膨張性粘着層は、熱膨張性微小球を含有する粘着剤を繊維状に設ける（例えば、塗布する）ことにより形成されている。このような繊維状に設けて形成された多孔性熱膨張性粘着層としては、例えば、織り布状または不織布状に設けて形成された（例えば、塗布されて形成された）多孔性熱膨張性粘着層などが挙げられる。
【００２０】
多孔性熱膨張性粘着層は、少なくとも、粘着性を付与するための粘着剤と、熱膨張性を付与するための熱膨張性微小球（マイクロカプセル）とを含んでいる。そのため、例えば、通気性熱剥離型粘着シートを、多孔性熱膨張性粘着層を利用して、被着体（例えば、半導体ウエハなど）に貼着した場合、任意なときに多孔性熱膨張性粘着層を加熱して、熱膨張性微小球を発泡及び／又は膨張処理させることにより、多孔性熱膨張性粘着層が膨張し、この膨張により、多孔性熱膨張性粘着層と、被着体との接触面積（接着面積）が減少し、多孔性熱膨張性粘着層による接着力が減少して、通気性熱剥離型粘着シートを容易に、貼着している被着体から剥離させることができる。なお、マイクロカプセル化していない発泡剤では、良好な剥離性を安定して発現させることができない。
【００２１】
多孔性熱膨張性粘着層において用いられている熱膨張性微小球としては、特に制限されず、公知の熱膨張性微小球（種々の無機系熱膨張性微小球や、有機系熱膨張性微小球など）から適宜選択することができる。熱膨張性微小球としては、混合操作が容易である観点などより、マイクロカプセル化されている発泡剤を好適に用いることができる。このような熱膨張性微小球としては、例えば、イソブタン、プロパン、ペンタンなどの加熱により容易にガス化して膨張する物質を、弾性を有する殻内に内包させた微小球などが挙げられる。前記殻は、熱溶融性物質や熱膨張により破壊する物質で形成される場合が多い。前記殻を形成する物質として、例えば、塩化ビニリデン−アクリロニトリル共重合体、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラール、ポリメチルメタクリレート、ポリアクリロニトリル、ポリ塩化ビニリデン、ポリスルホンなどが挙げられる。熱膨張性微小球は、慣用の方法、例えば、コアセルベーション法や、界面重合法などにより製造できる。なお、熱膨張性微小球には、例えば、商品名「マツモトマイクロスフェア」［松本油脂製薬（株）製］などの市販品もある。
【００２２】
なお、熱膨張性微小球とともに、必要に応じて、熱膨張助剤を用いることができる。
【００２３】
加熱処理により、多孔性熱膨張性粘着層の接着力を効率よく且つ安定して低下させるため、体積膨張率が５倍以上、なかでも７倍以上、特に１０倍以上となるまで破裂しない適度な強度を有する熱膨張性微小球が好ましい。
【００２４】
熱膨張性微小球の配合量は、多孔性熱膨張性粘着層の膨張倍率や接着力の低下性などに応じて適宜設定しうるが、一般には、多孔性熱膨張性粘着層を形成する粘着剤のベースポリマー１００重量部に対して、例えば１〜１００重量部、好ましくは５〜４０重量部程度である。
【００２５】
なお、熱膨張性微小球の粒径（平均粒子径）としては、多孔性熱膨張性粘着層の厚みなどに応じて適宜選択することができる。熱膨張性微小球の平均粒子径としては、例えば、１００μｍ以下（好ましくは８０μｍ以下、さらに好ましくは１〜５０μｍ、特に１〜３０μｍ）の範囲から選択することができる。なお、熱膨張性微小球の粒径の調整は、熱膨張性微小球の生成過程で行われていてもよく、生成後、分級などの手段により行われてもよい。
【００２６】
また、多孔性熱膨張性粘着層において用いられている粘着剤としては、加熱時に熱膨張性微小球の発泡及び／又は膨張を可及的に拘束しないようなものが好ましい。該粘着剤としては、例えば、ゴム系粘着剤、アクリル系粘着剤、ビニルアルキルエーテル系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ポリアミド系粘着剤、ウレタン系粘着剤、フッ素系粘着剤、スチレン−ジエンブロック共重合体系粘着剤、これらの粘着剤に融点が約２００℃以下の熱溶融性樹脂を配合したクリ−プ特性改良型粘着剤などの公知の粘着剤を１種又は２種以上組み合わせて用いることができる（例えば、特開昭５６−６１４６８号公報、特開昭６１−１７４８５７号公報、特開昭６３−１７９８１号公報、特開昭５６−１３０４０号公報等参照）。また、粘着剤としては、放射線硬化型粘着剤（又はエネルギー線硬化型粘着剤）や、熱溶融性を有するものなどを用いることもできる。これらの粘着剤は単独で又は２種以上組み合わせて使用することができる。
【００２７】
粘着剤としては、ゴム系粘着剤、アクリル系粘着剤を好適に用いることができ、特にアクリル系粘着剤が好適である。ゴム系粘着剤としては、天然ゴムや各種の合成ゴム（例えば、ポリイソプレンゴム、スチレン・ブタジエンゴム、スチレン・イソプレン・スチレンブロック共重合体ゴム、スチレン・ブタジエン・スチレンブロック共重合体ゴム、再生ゴム、ブチルゴム、ポリイソブチレンなど）をベースポリマーとしたゴム系粘着剤が挙げられる。
【００２８】
また、アクリル系粘着剤としては、（メタ）アクリル酸アルキルエステルの１種又は２種以上を単量体成分として用いたアクリル系重合体（単独重合体又は共重合体）をベースポリマーとするアクリル系粘着剤が挙げられる。前記アクリル系粘着剤における（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸イソプロピル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸イソブチル、（メタ）アクリル酸ｓ−ブチル、（メタ）アクリル酸ｔ−ブチル、（メタ）アクリル酸ペンチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸ヘプチル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸イソオクチル、（メタ）アクリル酸ノニル、（メタ）アクリル酸イソノニル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸イソデシル、（メタ）アクリル酸ウンデシル、（メタ）アクリル酸ドデシル、（メタ）アクリル酸トリデシル、（メタ）アクリル酸テトラデシル、（メタ）アクリル酸ペンタデシル、（メタ）アクリル酸ヘキサデシル、（メタ）アクリル酸ヘプタデシル、（メタ）アクリル酸オクタデシル、（メタ）アクリル酸ノナデシル、（メタ）アクリル酸エイコシルなどの（メタ）アクリル酸Ｃ1-20アルキルエステル［好ましくは（メタ）アクリル酸Ｃ4-18アルキル（直鎖状又は分岐鎖状のアルキル）エステル］などが挙げられる。
【００２９】
なお、前記アクリル系重合体は、凝集力、耐熱性、架橋性などの改質を目的として、必要に応じて、前記（メタ）アクリル酸アルキルエステルと共重合可能な他の単量体成分に対応する単位を含んでいてもよい。このような単量体成分として、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、カルボキシエチルアクリレート、カルボキシペンチルアクリレート、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸などのカルボキシル基含有モノマー；無水マレイン酸、無水イコタン酸などの酸無水物基含有モノマー；（メタ）アクリル酸ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシオクチル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシデシル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシラウリル、（４−ヒドロキシメチルシクロヘキシル）メチルメタクリレートなどのヒドロキシル基含有モノマー；スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、２−（メタ）アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸、（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸などのスルホン酸基含有モノマー；２−ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェートなどのリン酸基含有モノマー；（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ブチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロール（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロールプロパン（メタ）アクリルアミドなどの（Ｎ−置換）アミド系モノマー；（メタ）アクリル酸アミノエチル、（メタ）アクリル酸Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチル、（メタ）アクリル酸ｔ−ブチルアミノエチルなどの（メタ）アクリル酸アミノアルキル系モノマー；（メタ）アクリル酸メトキシエチル、（メタ）アクリル酸エトキシエチルなどの（メタ）アクリル酸アルコキシアルキル系モノマー；Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−イソプロピルマレイミド、Ｎ−ラウリルマレイミド、Ｎ−フェニルマレイミドなどのマレイミド系モノマー；Ｎ−メチルイタコンイミド、Ｎ−エチルイタコンイミド、Ｎ−ブチルイタコンイミド、Ｎ−オクチルイタコンイミド、Ｎ−２−エチルヘキシルイタコンイミド、Ｎ−シクロヘキシルイタコンイミド、Ｎ−ラウリルイタコンイミドなどのイタコンイミド系モノマー；Ｎ−（メタ）アクリロイルオキシメチレンスクシンイミド、Ｎ−（メタ）アクルロイル−６−オキシヘキサメチレンスクシンイミド、Ｎ−（メタ）アクリロイル−８−オキシオクタメチレンスクシンイミドなどのスクシンイミド系モノマー；酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、Ｎ−ビニルピロリドン、メチルビニルピロリドン、ビニルピリジン、ビニルピペリドン、ビニルピリミジン、ビニルピペラジン、ビニルピラジン、ビニルピロール、ビニルイミダゾール、ビニルオキサゾール、ビニルモルホリン、Ｎ−ビニルカルボン酸アミド類、スチレン、α−メチルスチレン、Ｎ−ビニルカプロラクタムなどのビニル系モノマー；アクリロニトリル、メタクリロニトリルなどのシアノアクリレートモノマー；（メタ）アクリル酸グリシジルなどのエポキシ基含有アクリル系モノマー；（メタ）アクリル酸ポリエチレ���グリコール、（メタ）アクリル酸ポリプロピレングリコール、（メタ）アクリル酸メトキシエチレングリコール、（メタ）アクリル酸メトキシポリプロピレングリコールなどのグリコール系アクリルエステルモノマー；（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフリル、フッ素（メタ）アクリレート、シリコーン（メタ）アクリレートなどの複素環、ハロゲン原子、ケイ素原子などを有するアクリル酸エステル系モノマー；ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、エポキシアクリレート、ポリエステルアクリレート、ウレタンアクリレート、ジビニルベンゼン、ブチルジ（メタ）アクリレート、ヘキシルジ（メタ）アクリレートなどの多官能モノマー；イソプレン、ブタジエン、イソブチレンなどのオレフィン系モノマー；ビニルエーテルなどのビニルエーテル系モノマー等が挙げられる。これらの単量体成分は１種又は２種以上使用できる。
【００３０】
なお、粘着剤は、粘着性成分（ベースポリマー）等のポリマー成分などのほかに、粘着剤の種類等に応じて、架橋剤（例えば、ポリイソシアネート、アルキルエーテル化メラミン化合物など）、粘着付与剤（例えば、ロジン誘導体樹脂、ポリテルペン樹脂、石油樹脂、油溶性フェノール樹脂などからなる常温で固体、半固体あるいは液状のもの）、可塑剤、充填剤、老化防止剤などの適宜な添加剤を含んでいてもよい。
【００３１】
多孔性熱膨張性粘着層は、例えば、粘着剤と、熱膨張性微小球と、必要に応じて溶媒やその他の添加剤などとを混合した粘着剤組成物（粘着性物質）を、メルトブロー方式やカーテンスプレー方式等の適宜な積層方法を利用して、繊維化して、多孔性基材上に塗布し、接着させた後、冷却させることにより、多孔性熱膨張性粘着層を形成することができる。なお、多孔性熱膨張性粘着層は単層、複層の何れであってもよい。
【００３２】
多孔性熱膨張性粘着層の厚さは、接着力の低減性などにより適宜に選択することができ、例えば、３００μｍ以下（例えば、１〜３００μｍ、好ましくは２０〜１００μｍ）程度である。厚さが過大であると、加熱処理後の剥離時に、多孔性熱膨張性粘着層に凝集破壊が生じやすくなる。一方、多孔性熱膨張性粘着層の厚さが過小であると、加熱処理による多孔性熱膨張性粘着層の変形度が小さく、接着力が円滑に低下しにくくなったり、添加する熱膨張性微小球の粒径を過度に小さくする必要が生じるため好ましくない。
【００３３】
なお、多孔性熱膨張性粘着層における孔としては、通気性を有する孔、すなわち、貫通孔または連続気泡状の孔であることが重要である。このように、多孔性熱膨張性粘着層は、通気性を有しており、その通気度としては、特に制限されず、通気性熱剥離型粘着シートが下記に示されている通気度を有するように形成されていればよい。
【００３４】
［セパレータ］
本発明では、多孔性熱膨張性粘着層や多孔性粘着層などの粘着層の保護材としてセパレータ（剥離ライナー）を用いることができる。セパレータは必ずしも設けられていなくてもよい。セパレータは、熱剥離型粘着シートを被着体に貼着する際に剥がされる。このようなセパレータとしては、慣用の剥離紙などを使用できる。具体的には、セパレータとしては、例えば、シリコーン系、長鎖アルキル系、フッ素系、硫化モリブデン等の剥離剤により表面処理されたプラスチックフィルムや紙等の剥離層を有する基材；ポリテトラフルオロエチレン、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリフッ化ビニル、ポリフッ化ビニリデン、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体、クロロフルオロエチレン・フッ化ビニリデン共重合体等のフッ素系ポリマーからなる低接着性基材；オレフィン系樹脂（例えば、ポリエチレン、ポリプロピレンなど）等の無極性ポリマーからなる低接着性基材などを用いることができる。なお、セパレータは、多孔性熱膨張性粘着層を支持するための基材として用いることも可能である。
【００３５】
なお、セパレータは公知乃至慣用の方法により形成することができる。また、セパレータの厚さ等も特に制限されない。
【００３６】
［多孔性粘着層］
図２では、多孔性基材における多孔性熱膨張性粘着層側に対して反対側の面に多孔性粘着層が形成されている。このように、通気性熱剥離型粘着シートにおいて、多孔性基材の一方の面（片面）にのみ多孔性熱膨張性粘着層が形成されている場合、前記多孔性基材の他方の面に他の粘着層（特に、多孔性粘着層）が形成されていてもよい。このような多孔性粘着層としては、多孔性の熱膨張性粘着層であってもよく、多孔性且つ非熱膨張性の粘着層であってもよい。なお、この多孔性粘着層が設けられていると、該多孔性粘着層を利用して、支持台座などの支持体に貼付して、多孔性熱膨張性粘着層に貼付している被着体を支持させることができる。
【００３７】
多孔性粘着層を形成するための粘着剤としては、特に制限されず、上記多孔性熱膨張性粘着層において用いられる粘着剤として例示された粘着剤（例えば、ゴム系粘着剤、アクリル系粘着剤、ビニルアルキルエーテル系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ポリアミド系粘着剤、ウレタン系粘着剤、フッ素系粘着剤、スチレン−ジエンブロック共重合体系粘着剤、クリ−プ特性改良型粘着剤、放射線硬化型粘着剤など）等の公知乃至慣用の粘着剤の他、熱溶融性を有するものなどを用いることができる。これらの粘着剤は単独で又は２種以上組み合わせて使用することができる。多孔性粘着層を形成するための粘着剤には、例えば、可塑剤、充填剤、界面活性剤、老化防止剤、粘着性付与剤などの公知乃至慣用の添加剤が配合されていてもよい。
【００３８】
多孔性粘着層の厚さとしては、例えば、３００μｍ以下（例えば、１〜３００μｍ、好ましくは２０〜１００μｍ）であってもよい。なお、多孔性粘着層としては、前記多孔性熱膨張性粘着層と同様の形成方法（例えば、メルトブロー方式やカーテンスプレー方式等の適宜な積層方法を利用した形成方法）により形成することができる。具体的には、例えば、粘着剤と、必要に応じて溶媒やその他の添加剤などとを混合した粘着剤組成物（粘着性物質）を、メルトブロー方式やカーテンスプレー方式等の適宜な積層方法を利用して、繊維化して、多孔性基材上に塗布し、接着させた後、冷却させることにより、多孔性粘着層を形成することができる。なお、多孔性粘着層は単層、複層の何れであってもよい。
【００３９】
［他の層；多孔性ゴム状有機弾性層］
通気性熱剥離型粘着シートは、多孔性基材と多孔性熱膨張性粘着層の間に多孔性ゴム状有機弾性層を有していてもよい。多孔性ゴム状有機弾性層を設けることにより、通気性熱剥離型粘着シートを被着体に貼着する際に、通気性熱剥離型粘着シートの表面（多孔性熱膨張性粘着層の表面）を被着体の表面形状に良好に追従させて、粘着面積（接触面積）を大きくすることができ、また、通気性熱剥離型粘着シートを被着体から加熱剥離する際に、多孔性熱膨張性粘着層の加熱膨張を高度に（精度よく）コントロールして、多孔性熱膨張性粘着層を厚さ方向に優先的に且つ均一に膨張させることができる。なお、多孔性ゴム状有機弾性層は、必要に応じて設けられる層であり、必ずしも設けられていなくてもよい。
【００４０】
このような多孔性ゴム状有機弾性層は、多孔性熱膨張性粘着層の多孔性基材側の面に、多孔性熱膨張性粘着層に重畳させた形態で設けることが好ましい。なお、多孔性基材と多孔性熱膨張性粘着層との間の中間層以外の層としても設けることができる。多孔性ゴム状有機弾性層は、多孔性基材の片面又は両面に介在させることができる。
【００４１】
多孔性ゴム状有機弾性層は、例えば、ＡＳＴＭ  Ｄ−２２４０に基づくＤ型シュアーＤ型硬度が、５０以下、特に４０以下の天然ゴム、合成ゴム又はゴム弾性を有する合成樹脂により形成することが好ましい。前記合成ゴム又はゴム弾性を有する合成樹脂としては、例えば、ニトリル系、ジエン系、アクリル系などの合成ゴム；ポリオレフィン系、ポリエステル系などの熱可塑性エラストマー；エチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリウレタン、ポリブタジエン、軟質ポリ塩化ビニルなどのゴム弾性を有する合成樹脂などが挙げられる。なお、ポリ塩化ビニルなどのように本質的には硬質系ポリマーであっても、可塑剤や柔軟剤等の配合剤との組み合わせによりゴム弾性が発現しうる。このような組成物も、前記多孔性ゴム状有機弾性層の構成材料として使用できる。また、熱膨張性粘着層を構成する粘着剤等の粘着性物質なども多孔性ゴム状有機弾性層の構成材料として用いることができる。
【００４２】
多孔性ゴム状有機弾性層としては、前記多孔性熱膨張性粘着層と同様の形成方法（例えば、メルトブロー方式やカーテンスプレー方式等の適宜な積層方法を利用した形成方法）により形成することができる。具体的には、例えば、前記天然ゴム、合成ゴム又はゴム弾性を有する合成樹脂などのゴム状有機弾性層形成材を含むコーティング液を、メルトブロー方式やカーテンスプレー方式等の適宜な積層方法を利用して、繊維化して、多孔性基材上に塗布し、接着させた後、冷却させることにより、多孔性ゴム状有機弾性層を形成することができる。
【００４３】
多孔性ゴム状有機弾性層の厚さは、一般的には５００μｍ以下（例えば、１〜５００μｍ）、好ましくは３〜３００μｍ、さらに好ましくは５〜１５０μｍ程度である。多孔性ゴム状有機弾性層は単層であってもよく、２以上の層で構成してもよい。
【００４４】
なお、多孔性ゴム状有機弾性層は、天然ゴムや合成ゴム又はゴム弾性を有する合成樹脂を主成分とする粘着性物質で形成されていてもよく、また、かかる成分を主体とする発泡フィルム等で形成されていてもよい。発泡は、慣用の方法、例えば、機械的な攪拌による方法、反応生成ガスを利用する方法、発泡剤を使用する方法、可溶性物質を除去する方法、スプレーによる方法、シンタクチックフォームを形成する方法、焼結法などにより行うことができる。
【００４５】
本発明の通気性熱剥離型粘着シートは、両面が接着面となっている両面接着シートの形態を有していてもよいが、片面のみが接着面となっている接着シートの形態を有していることが好ましい。従って、通気性熱剥離型粘着シートは、多孔性基材の片面に、多孔性熱膨張性粘着層が形成されている形態の通気性熱剥離型粘着シートであることが好適である。
【００４６】
また、通気性熱剥離型粘着シートは、ロール状に巻回された形態で形成されていてもよく、シートが積層された形態で形成されていてもよい。例えば、ロール状に巻回された形態を有している場合、多孔性熱膨張性粘着層を、セパレータにより保護した状態でロール状に巻回して、すなわち、多孔性基材と、前記多孔性基材の一方の面に形成された多孔性熱膨張性粘着層と、該多孔性熱膨張性粘着層上に形成されたセパレータとで構成された状態でロール状に巻回して、ロール状に巻回された状態又は形態の通気性熱剥離型粘着シートとして作製することができる。
【００４７】
なお、ロール状に巻回された状態又は形態の通気性熱剥離型粘着シートとしては、多孔性基材と、前記多孔性基材の一方の面に形成された多孔性熱膨張性粘着層と、前記多孔性基材の他方の面に形成された剥離処理層（背面処理層）とで構成されていてもよい。
【００４８】
通気性熱剥離型粘着シートはシート状、テープ状などの形態を有することができる。
【００４９】
通気性熱剥離型粘着シート（特に、多孔性基材と多孔性熱膨張性粘着層とにより構成されている通気性熱剥離型粘着シート）としては、ＪＩＳ  Ｐ  ８１１７に準じて測定された通気度が、１〜２００秒／１００ｍｌ（好ましくは３〜１５０秒／１００ｍｌ、さらに好ましくは５〜１２０秒／１００ｍｌ）であることが望ましい。
【００５０】
本発明の通気性熱剥離型粘着シートは、前記構成を有しているので、被着体がその表面に凹凸形状を有していても、優れた追従性及び密着性で貼付して、被着体の加工の際の固定用として好適な粘着力を発揮することができ、また、粘着目的達成後に、接着状態を解きたいときには、加熱により粘着力を低減して被着体を容易に剥離乃至分離することができる。このように、本発明の通気性熱剥離型粘着シートは、被着体を加工する際に用いられる熱剥離型粘着シートとして好適に用いることができる。なお、通気性熱剥離型粘着シートは、被着体を搬送する際の保護材としても用いることができる。
【００５１】
［被着体の加工方法］
本発明の被着体（被加工品）の加工方法では、前記通気性熱剥離型粘着シートにおける多孔性熱膨張性粘着層上に、被着体を貼り合わせた後にまたは貼り合わせながら、通気性熱剥離型粘着シート側（特に、多孔性を有する基材側）からの吸引吸着［気体の吸引吸着（エアー吸引吸着）など］により、多孔性を有する熱膨張性粘着層上に被着体を強固に貼着させて固定した後、加工処理を施すことにより被着体を加工している。そして、加工処理を施した後（特に、粘着目的達成後、又は接着状態を解きたいとき）には、加熱により粘着力を低減して、加工処理が施された被着体を剥離乃至分離して、加工処理が施された被着体（加工品）を単離している。
【００５２】
多孔性熱膨張性粘着層上に被着体を貼り合わせた後に又は貼り合わせながら行う吸引吸着方法としては、エアー吸引吸着による方法が好適に用いられる。このようなエアー吸引吸着方法としては、特に制限されず、公知乃至慣用のエアー吸引吸着方法を利用することができ、例えば、気体を吸引することができる手段を、被着体（被加工品）を貼付させる工程（貼付工程）と、被着体（被加工品）を加工する工程（加工工程）とを含む生産ライン上の、貼付工程中に、または貼付工程と加工工程との間に設ける方法などが挙げられる。なお、気体を吸引吸着する際には、吸引機を利用することができる。
【００５３】
また、被着体の加工処理する方法としては任意に選択することができ、例えば、研磨処理加工、ダイシング加工、パターン形成加工、組み立て加工などの加工が挙げられる。
【００５４】
さらにまた、加工処理が施された被着体（加工品）を剥離乃至分離する際の加熱処理方法としては、例えば、ホットプレート、熱風乾燥機、近赤外線ランプ、エアードライヤーなどの適宜な加熱手段を利用して行うことができる。加熱温度は、多孔性熱膨張性粘着層中の熱膨張性微小球の熱膨張開始温度（発泡開始温度）以上であればよいが、加熱処理の条件は、被着体の表面状態や熱膨張性微小球の種類等による接着面積の減少性、多孔性基材や被着体の耐熱性、加熱方法（熱容量、加熱手段等）などにより適宜設定できる。一般的な加熱処理条件としては、温度１００〜２５０℃で、５〜９０秒間（ホットプレートなど）または３０秒〜１５分間（熱風乾燥機など）である。なお、加熱処理は使用目的に応じて適宜な段階で行うことができる。また、加熱源としては、赤外線ランプや加熱水を用いることができる場合もある。
【００５５】
また、加工処理が施された被着体（加工品）を加熱処理により剥離乃至分離する方法としては、加熱プレス方式による方法が挙げられる。この加熱プレス方式では、加熱プレス板や、加熱プレスロールを有する加熱プレス装置を用いることができる。具体的には、加熱プレス板や加熱プレスロールで挟み込んで加熱を行い、被着体を剥離乃至分離させることができる。加熱プレス板を用いる場合、加熱プレス装置における両側の加熱プレス板を同時に加熱してもよく、片側の加熱プレス板のみを加熱してもよい。また、加熱プレスロールを用いる場合、両側の加熱プレスロールを同時に加熱してもよく、片側の加熱プレスロールのみを加熱してもよい。
【００５６】
［被着体］
前記通気性熱剥離型粘着シートにより接着保持する物品（被着体；被加工品）は、任意に選択することができる。具体的には、被着体としては、半導体ウエハ（シリコンウエハなど）や半導体チップなどの電子系部品類；セラミックコンデンサや発振子などの電気系物品類；液晶セルなどの表示デバイス類の他、サーマルヘッド、太陽電池、プリント基板（積層セラミックシートなど）などの種々の物品が挙げられる。被着体は単独であってもよく、又は２種以上組み合わせられていてもよい。
【００５７】
［加工された被着体］
本発明では、通気性熱剥離型粘着シートに被着体（被加工品）を貼着させた後、加工処理を施すことにより各種加工品（加工された被着体）を得ることができる。例えば、被着体（被加工品）として、半導体ウエハなどの電子系部品類を用いた場合、加工品として電子部品や回路基板などを得ることができる。すなわち、本発明の電子部品や、回路基板は、前記熱剥離型粘着シートを用いて製造されており、また、前記被着体の加工方法を利用して製造されている。
【実施例】
【００５８】
以下に、実施例に基づいて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例により何ら限定されるものではない。
【００５９】
（実施例１）
アクリル系共重合体（エチルアクリレート：７０重量部、２−エチルヘキシルアクリレート：３０重量部、メチルメタクリレート：５重量部、および２−ヒドロキシエチルアクリレート：４重量部をモノマー成分とするアクリル系共重合体；重量平均分子量：４５万）１００重量部に対して、イソシアネート系架橋剤（商品名「コロネートＬ」日本ポリウレタン工業社製）：１．５重量部、および熱膨張性微小球として、商品名「マツモトマイクロスフェアＦ−５０１Ｄ」（松本油脂製薬株式会社製；平均粒子径：１３μｍ）：２５重量部を配合して、混合物（熱膨張性粘着剤）を得た。
【００６０】
直径５０μｍの吐出孔を有するノズルを介し、且つ該ノズルを左右に１０ｍｍ振動させながら押出すことができる塗布装置を用いて、前記熱膨張性粘着剤を、基材として多孔性基材である不織布（厚さ４０μｍ、通気度４秒／１００ｍｌ）の片面に、外径が約３０μｍの繊維状の感圧粘着体からなる見掛けの厚さが約３５μｍの不織布状の展開層（プレス前の熱膨張性粘着層）を形成し、乾燥させた後、この展開層を５ｋｇ／ｃｍ2の圧力でプレスして、見掛けの厚さが３０μｍの不織布状の多孔構造の熱膨張性粘着層を形成することにより、多孔性基材である不織布上に、不織布状の多孔構造の熱膨張性粘着層が積層された構成を有している熱剥離型粘着シートを得た。
【００６１】
（実施例２）
アクリル系共重合体１００重量部に対して、イソシアネート系架橋剤および熱膨張性微小球とともに、粘着付与剤として、テルペンフェノール系粘着付与剤（商品名「ＹＳポリスターＳ１４５」ヤスハラケミカル社製）を１５重量部配合した以外は、実施例１と同様にして、熱膨張性粘着剤を調製した。また、この熱膨張性粘着剤を用いたこと以外は、実施例１と同様にして、熱剥離型粘着シートを作製した。すなわち、該熱剥離型粘着シートは、多孔性基材である不織布上に、不織布状の多孔構造の熱膨張性粘着層が積層された構成を有している。
【００６２】
（実施例３）
基材として、多孔性基材である不織布（厚さ７μｍ、通気度９０秒／１００ｍｌ）を用いるとともに、不織布状の多孔構造の熱膨張性粘着層の見掛けの厚さが６０μｍとなるように、塗布により不織布状の展開層を形成して、この展開層をプレスしたこと以外は、実施例１と同様にして、熱剥離型粘着シートを作製した。すなわち、該熱剥離型粘着シートは、多孔性基材である不織布上に、不織布状の多孔構造の熱膨張性粘着層が積層された構成を有している。
【００６３】
（比較例１）
基材として、多孔質でないポリエステル製フィルム（厚さ：３８μｍ）を用いたこと以外は、実施例１と同様にして、熱剥離型粘着シートを作製した。すなわち、該熱剥離型粘着シートは、多孔性基材でないポリエステル製フィルム上に、不織布状の多孔構造の熱膨張性粘着層が積層された構成を有している。
【００６４】
（比較例２）
基材として、多孔質でないポリエステル製フィルム（厚さ：３８μｍ）を用いるとともに、乾燥後の粘着剤層の厚さが３０μｍとなるように、熱膨張性粘着剤をアプリケータを用いて塗布したこと以外は、実施例１と同様にして、熱剥離型粘着シートを作製した。すなわち、該熱剥離型粘着シートは、多孔性基材でないポリエステル製フィルム上に、多孔構造を有していない熱膨張性粘着層が積層された構成を有している。
【００６５】
（評価）
実施例１〜３および比較例１〜２で得られた熱剥離型粘着シートについて、以下の通気度測定方法、チップ飛び評価方法により、通気度と、チップ飛びの有無とを評価した。評価結果は表１に示した。
【００６６】
（通気度測定方法）
ＪＩＳ  Ｐ  ８１１７に準じて、熱剥離型粘着シートの通気度を測定した。
【００６７】
（チップ飛び評価方法）
熱剥離型粘着シートを、内部電極を塗布したプレス後のセラミックシート積層物（約５００層、厚さ：約４〜５μｍ、表面の凹凸：約１００μｍ；積層セラミックシート）に貼り合せ、熱剥離型粘着シートの基材側からエアー吸引により吸着させながら、ダイシング（チップサイズ：３２１６）を行い、下記の評価基準により、評価した。
評価基準、
○：チップ飛びが全くない
×：チップ飛びある
【００６８】
【表１】
2005023286.tif 000002
【００６９】
表１より明らかなように、実施例に係る熱剥離型粘着シートは、良好な通気性を有しており、また、貼付された被着体（積層セラミックシート）に加工をＯＫなっても、チップ飛びが生じていない。これは、実施例に係る熱剥離型粘着シートは、多孔性基材と、該多孔性基材上に、繊維状に熱膨張性微小球を含む粘着剤層を塗布することにより形成された多孔性熱膨張性粘着層とを有しているので、優れた通気性を有しており、この通気性を利用して、吸引吸着により、多孔性熱膨張性粘着層上に貼り合わされた被着体を強固に固定することができるためである。従って、本発明に相当する実施例の通気性熱剥離型粘着シートを、物品（被着体）と貼り合せた後、通気性熱剥離型粘着シート側からエアー吸引吸着を行うことにより、物品の凹凸に通気性熱剥離型粘着シートを追従させたり、物品との間の気泡を抜くことで、より密着性を向上させることができる。しかも、この通気性熱剥離型粘着シートを用いて、表面に凹凸のあるセラミックシート積層物のダイシングを行った場合であっても、チップ飛びが起こらず、精度良好なチップを得ることができることが確認された。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】本発明の通気性熱剥離型粘着シートの例を部分的に示す概略断面図である。
【図２】本発明の通気性熱剥離型粘着シートの例を部分的に示す概略断面図である。
【符号の説明】
【００７１】
１，11  通気性熱剥離型粘着シート
２      多孔性基材
３      多孔性熱膨張性粘着層
４      セパレータ
５      多孔性粘着層
【図１】
2005023286.tif 000003
【図２】
2005023286.tif 000004