(57)【要約】【課題】ガラス基板に自由な形状の誘電体を高速で形成することを可能にし、高品質で高効率のプラズマディスプレイパネルの製造方法とその製造装置を提供する。【解決手段】電極が形成された基板３上に、連続したフィルム状あるいはシート状の誘電体１０３を走行させながら貼り付ける製造方法であり、少なくともベースフィルム１０２上に形成されたフィルム状あるいはシート状の誘電体１０３の所定領域を、レーザー光源１０９より発生した炭酸ガスレーザー光１１０を用いて除去し所定形状に加工する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一のガラス基板上に第一の電極を形成し、前記第一のガラス基板上と前記第一の電極上とに第一の誘電体層を形成し、前記第一の誘電体層上に保護層を形成して第一の基板を製造する工程と、第二のガラス基板上に第二の電極を形成し、前記第二のガラス基板上と前記第二の電極上とに第二の誘電体層を形成し、前記第二の誘電体層上に複数の隔壁を形成し、前記隔壁の間に蛍光体層を形成して第二の基板を製造する工程と、前記第一の基板と前記第二の基板とを重ね合わせて接合し、前記接合した基板内部を排気して放電ガスを封入する組立工程とを有するプラズマディスプレイパネルの製造方法において、
連続したベースフィルム上に形成されたフィルム状あるいはシート状の誘電体にレーザー光を照射して所定形状に加工し、前記連続したベースフィルムを走行させながら加工された前記誘電体を前記第一のガラス基板または前記第二のガラス基板に貼り付けることにより前記第一の誘電体層または前記第二の誘電体層を形成することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２】
レーザー光をベースフィルムの走行方向と垂直な方向に走査して誘電体を所定形状に加工することを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３】
電極が形成された基板上に誘電体層を形成するプラズマディスプレイパネルの製造装置において、
フィルム状あるいはシート状の誘電体が形成された連続したベースフィルムを巻き出す巻き出しローラと、レーザー光を出射するレーザー光源と、前記レーザー光を照射して前記誘電体を所定形状に加工するレーザー光照射部と、電極が形成された前記基板を搬送する搬送部と、加工された前記誘電体を前記基板に貼り付ける圧着ローラと、前記誘電体を前記基板に貼り付けた前記ベースフィルムを切断する切断部とを備えたことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造装置。
【請求項４】
レーザー光照射部が、少なくとも光偏向器とｆθレンズとを含むことを特徴とする請求項３に記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置。
【請求項５】
レーザー光照射部が、少なくともレーザー光を略平行光にするコリメートレンズと、前記平行光を所定の形状にするマスクとを含むことを特徴とする請求項３に記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置。
【請求項６】
マスクと連続したベースフィルム上に形成された誘電体との間に結像レンズを備えたことを特徴とする請求項５に記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマディスプレイパネルの製造方法および製造装置に関し、特に前面板や背面板の誘電体あるいは背面板の隔壁などを、シート貼付によって高精度に形成する方法と装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
高品位テレビジョン画像を大画面で表示するためのディスプレイ装置として、プラズマディスプレイパネルへの期待が高まっている。
【０００３】
プラズマディスプレイパネルは図７に示すように、基本的には前面板１と背面板２とを封着して構成される。前面板１は、前面ガラス基板３と、その一方の主面上に形成されたストライプ状の透明電極４およびバス電極５よりなる電極６と遮光膜層７とが形成されている。さらに、電極６と遮光膜層７を覆ってコンデンサとしての働きをする誘電体層８を設け、この誘電体層８上に形成されたＭｇＯ膜からなる保護層９を形成している。
【０００４】
誘電体層８は、無機成分である鉛ホウ珪酸系の低融点ガラスなどの粉体と、バインダー成分としてのエチルセルロース樹脂、溶剤とを混練して所定粘度としたペーストを、印刷法、またはダイコートなどによって塗布し、乾燥させてから焼成することによって形成されている。しかしながら、前面ガラス基板３の厚みに影響されずに、誘電体層８を均一に形成する方法として、前面ガラス基板３上に電極６および遮光膜層７を別々に印刷・乾燥・焼成した後、シート状誘電体を圧着し、その後、シート状誘電体を焼成して誘電体層８を形成する方法が提案されている（例えば特許文献１、非特許文献１）。
【０００５】
高品位テレビジョン用プラズマディスプレイパネルにおいては、高輝度、高効率を得るために放電ガスの分圧を調整することや、誘電体層の厚さを薄くして放電電圧を下げて透過率を上げることなどが検討されている。
【０００６】
誘電体層の厚さを薄くすると、誘電体層の形成工程において誘電体層中にクラックやピンホール、気泡などの欠陥が発生し、これによりプラズマディスプレイパネルの耐電圧特性が低下する。そのため、電極に放電電圧を印加したときに絶縁破壊が発生し、画面不灯などの品質不良の原因となる。したがって、膜厚が均一で欠陥のない誘電体層を効率よく形成することが、高品位プラズマディスプレイパネルの製造に対応する上で極めて重要である。
【０００７】
これらの欠陥のない誘電体層を形成する方法として、シート状誘電体を圧着し、その後、シート状誘電体を焼成する方法が検討されている。このようなシート状誘電体をガラス基板上に圧着する方法としては図８に示すように、長尺のベースフィルム上に形成されたシート状誘電体を巻き出しローラから巻き出しながら連続走行させ、ガラス基板上に圧着し、その後ベースフィルムを剥離する方法が提案されている（例えば特許文献２）。
【０００８】
図８において積層フィルムシート８０１は長尺のベースフィルム８０２上に誘電体材料からなるシート状誘電体８０３が塗布され、さらにシート状誘電体８０３上にカバーフィルム８０４を貼り付けた３層構造となっている。この積層フィルムシート８０１が巻き取られた巻き出しローラ８０５は装置に装着され、矢印Ａ方向に巻き出される。カバーフィルム８０４はカバーフィルムロール８０６に巻き付けられて剥離され、シート状誘電体８０３が塗布されたベースフィルム８０２はガイドローラ８０７を経由後、矢印Ｂ方向から搬送されるガラス基板８０８とともに、上圧着ローラ８０９と下圧着ローラ８１０により加熱加圧され、シート状誘電体８０３はガラス基板８０８の表面に圧着される。ベースフィルム８０２は分離カッター８１１によって切断された後、剥離され、シート状誘電体８０３が圧着されたガラス基板８０８が完成する。
【０００９】
この工程においては、ガラス基板８０８に所定形状のシート状誘電体８０３を形成するために、ベースフィルム８０２上のシート状誘電体８０３の除去領域８１２を除去する除去工程が必要である。図８においては、所定間隔に設定された２枚の回転カッター８１３によって、シート状誘電体８０３に切断線を入れ、その領域を粘着テープ８１４により剥離除去する工程が示されている。
【特許文献１】特開２０００−９５５４５号公報
【特許文献２】特開２００２−１０４７１９号公報
【非特許文献１】株式会社電子ジャーナル刊、「２００１  ＦＰＤテクノロジー大全」、２０００年１０月２５日、Ｐ５９６
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、シート状誘電体の所定領域を除去するために、回転カッターによりシート状誘電体に切断線を入れ、その領域を接着テープにより除去する方法では、回転カッターをベースフィルム走行方向と直角方向に走行させる工程や、接着テープによりシート状誘電体を除去する工程において、ベースフィルム走行を数十秒程度停止する必要があった。このためガラス基板にシート状誘電体を圧着する工程は間欠駆動としなければならなかったので、生産効率が低かった。
【００１１】
さらに前述の工程では、シート状誘電体を削除できる領域がベースフィルム走行方向と直角方向の帯状領域に限られているため、多面取りと言われる複数の基板を同時に作成するのに必要な、ベースフィルム走行方向と平行方向の帯状領域の削除などに対応することが困難であった。
【００１２】
本発明はこれらの課題に鑑みてなされたものであり、ガラス基板に自由な形状の誘電体を高速で形成することを可能にし、高品質で高効率のプラズマディスプレイパネルの製造方法とその製造装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上述したような課題を解決するために、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、第一のガラス基板上に第一の電極を形成し、第一のガラス基板上と第一の電極上とに第一の誘電体層を形成し、第一の誘電体層上に保護層を形成して第一の基板を製造する工程と、第二のガラス基板上に第二の電極を形成し、第二のガラス基板上と第二の電極上とに第二の誘電体層を形成し、第二の誘電体層上に複数の隔壁を形成し、隔壁の間に蛍光体層を形成して第二の基板を製造する工程と、第一の基板と第二の基板とを重ね合わせて接合し、接合した基板内部を排気して放電ガスを封入する組立工程とを有するプラズマディスプレイパネルの製造方法において、連続したベースフィルム上に形成されたフィルム状あるいはシート状の誘電体にレーザー光を照射して所定形状に加工し、連続したベースフィルムを走行させながら加工された誘電体を第一のガラス基板または第二のガラス基板に貼り付けることにより第一の誘電体層または第二の誘電体層を形成している。
【００１４】
このような製造方法によれば、誘電体を自由な形状で除去加工できるので多面取りに必要な複数の誘電体の領域を形成できるばかりでなく、レーザー光による高速な誘電体の加工ができるので装置の連続運転が可能となり生産効率を著しく向上することができる。
【００１５】
さらに、レーザー光をベースフィルムの走行方向と垂直な方向に走査して誘電体を所定形状に加工することが望ましい。この方法によれば、ベースフィルムを走行させながら走行方向と垂直な方向の加工ができ、生産効率が向上する。
【００１６】
また、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造装置は、電極が形成された基板上に誘電体層を形成するプラズマディスプレイパネルの製造装置において、フィルム状あるいはシート状の誘電体が形成された連続したベースフィルムを巻き出す巻き出しローラと、レーザー光を出射するレーザー光源と、レーザー光を照射して誘電体を所定形状に加工するレーザー光照射部と、電極が形成された基板を搬送する搬送部と、加工された誘電体を基板に貼り付ける圧着ローラと、誘電体を基板に貼り付けたベースフィルムを切断する切断部とを備えている。
【００１７】
このような製造装置によれば、誘電体を自由な形状で除去加工できるので多面取りに必要な複数の誘電体の領域を形成できるばかりでなく、レーザー光による高速な誘電体の加工ができるので装置の連続運転が可能となり生産効率を著しく向上することができる。
【００１８】
さらに、レーザー光照射部は、少なくとも光偏向器とｆθレンズとを含んでいることが望ましい。この製造装置によれば、誘電体の所定領域を任意のパターンで容易に除去できる。
【００１９】
さらに、レーザー光照射部は、少なくともレーザー光を略平行光にするコリメートレンズと、平行光を所定の形状にするマスクとを含んでいることが望ましい。この製造装置によれば、誘電体の所定領域を一括して除去できるので生産効率が高い。
【００２０】
さらに、マスクと連続したベースフィルム上に形成された誘電体との間に結像レンズを備えていることが望ましい。このような製造装置によれば、小型の光学系を用いて誘電体の所定領域を一括して除去できる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法およびその製造装置によれば、ベースフィルム上に形成されたフィルムあるいはシート状の誘電体をレーザー光により所定形状に加工するため、誘電体を自由な形状で加工することが可能であり、多面取りに必要な複数の誘電体を容易に形成すことが可能である。また、レーザー光による加工であるため、高速に誘電体を加工することが可能であり、ベースフィルムを走行させて誘電体を加工しながらガラス基板に誘電体を貼り付けることが可能となり、生産効率を著しく向上させることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００２３】
（第１の実施の形態）
本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法および製造装置によって製造されるプラズマディスプレイパネルは、図７に示すプラズマディスプレイパネルであり、特に第一の基板となる前面板１の第一の誘電体層である誘電体層８、あるいは第二の基板となる背面板２の第二のガラス基板上に形成される第二の誘電体層である下地誘電体層７１、さらには隔壁７２を形成するための誘電体膜の製造に用いられる。本発明の実施の形態では前面板１の誘電体層８を形成する例として説明する。
【００２４】
図４は前面板１の斜視図である。図４に示すように、前面板１は第一のガラス基板である厚さ約３ｍｍの透明な前面ガラス基板３の一方の主面上に電極６が形成され、それらの電極６を覆って数十μｍの厚みで誘電体層８が形成され、さらに誘電体層８上に数百ｎｍの保護層９が形成されている。ここで、誘電体層８は前面ガラス基板３に対し、前面ガラス基板３の端部から所定幅の非形成領域６０、６１を設けて形成されている。これらの誘電体層非形成領域６０、６１は背面板２と封着するための封着フリット形成領域あるいは電極６や背面板２の電極の端子取り出し領域となる。これらの領域の形状精度を確保することは、封着後の前面板１と背面板２との間隔を適正に保持し、なおかつ電極取り出しの絶縁性を確保するなどの面からも重要である。
【００２５】
図１は本発明の第１の実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの製造装置の主要構成要素を示す正面図である。
【００２６】
図１において積層フィルムシート１０１は長尺のＰＥＴからなるベースフィルム１０２上にＰｂＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２系のガラス材料を主材料とする誘電体材料からなるフィルム状あるいはシート状の誘電体１０３が塗布され、さらにこの誘電体１０３上にカバーフィルム１０４を貼り付けた３層構造となっている。この積層フィルムシート１０１が巻き取られた巻き出しローラ１０５が製造装置本体に装着され、矢印Ａ方向に巻き出される。誘電体がフィルム状かシート状かはその厚みによってその呼称が異なるのみであり、数ミクロン程度の膜厚の場合にはフィルム状と呼び、数十ミクロンを超える場合にはシート状と呼んでいるが、本実施の形態ではシート状の誘電体を例として説明する。
【００２７】
まず、カバーフィルム１０４はカバーフィルムロール１０６に巻き付けられて剥離され、シート状誘電体１０３が塗布されたベースフィルム１０２はガイドローラ１０７を経由して走行される。
【００２８】
つぎに、シート状誘電体１０３を所定形状に形成するためにベースフィルム１０２上に形成されたシート状誘電体１０３の所定領域を除去する除去工程に入る。これは前述のように図４に示す誘電体層非形成領域６０、６１を形成するためのものである。
【００２９】
レーザー光源となる炭酸ガスレーザー装置１０９から発生された炭酸ガスレーザー光１１０は、レーザー光照射部を構成する光偏向器１１１によりベースフィルム１０２の走行方向と直角方向に走査され、さらにｆθレンズ１１２を経てシート状誘電体１０３の除去領域１１３に照射される。炭酸ガスレーザー光１１０が照射されたシート状誘電体１０３の除去領域１１３は蒸発して除去される。
【００３０】
このように、除去領域１１３が除去されたシート状誘電体１０３を有するベースフィルム１０２は、上圧着ローラ１１４と下圧着ローラ１１５により構成される貼付工程に流入する。
【００３１】
一方、所定画面サイズ用に加工され、その一方の主面上に走査電極や維持電極よりなる電極が形成された前面ガラス基板（以下ガラス基板と呼ぶ）３が、図１の矢印Ｂ方向から１枚ごと搬送部となる搬送ローラ１１６によって搬送される。ガラス基板３は電極が形成された面を上面としている。
【００３２】
矢印Ｂ方向から流入してきたガラス基板３の上面とシート状誘電体１０３は、下圧着ローラ１１５と上圧着ローラ１１４によって所定圧力で圧着して貼り付けられる。下圧着ローラ１１５と上圧着ローラ１１４とは、所定温度に加熱されてガラス基板３へのシート状誘電体１０３の貼り付けを促進している。シート状誘電体１０３の貼り付けが終了したガラス基板３は、走行方向の後端部において、ベースフィルム１０２が切断部となるカッター１１７によって切断されてガラス基板３の１枚ごとに分離される。その後、ベースフィルム１０２がシート状誘電体１０３の面から剥離され、次工程である焼成工程に導入されてガラス基板３上に所定厚みの誘電体層８を形成する。
【００３３】
図２は、本発明の第１の実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの製造装置の詳細を示す斜視図である。図２を用いてシート状誘電体を所定形状に加工する工程にについて詳しく説明する。炭酸ガスレーザー装置１０９から発生された炭酸ガスレーザー光１１０は、光偏向器１１１によってベースフィルム１０２の走行方向と直角方向に走査される。光偏向器１１１にはガルバノミラーが最適である。光偏向器１１１によって走査されたレーザー光は、ｆθレンズ１１２を経てシート状誘電体１０３が除去される除去領域１１３に照射され、炭酸ガスレーザー光１１０が照射されたシート状誘電体１０３の除去領域１１３は蒸発して除去される。ｆθレンズ１１２はシート状誘電体１０３上のビームスポットの移動速度を一定に保ち、また焦点を常にシート状誘電体１０３上に結ばせる役割を果たす。レーザービームをベースフィルム１０２の走行方向と直角方向に走査させることと同期させてレーザー発信のＯＮ、ＯＦＦを制御することで、シート状誘電体１０３を任意のパターンで形成することができる。すなわち、本発明の実施の形態における製造方法および製造装置によれば図２に示すような格子状の除去領域を容易に形成することができ多面取りにも対応することができる。
【００３４】
さらにレーザー光によるシート状誘電体１０３の除去速度は、ベースフィルム１０２の走行速度に比べて格段に速いので、シート状誘電体１０３を除去する工程は従来のようにベースフィルム１０２の走行を止める必要がなく、連続走行が可能である。このため生産効率が格段に向上する。なお光偏向器１１１がＸ軸Ｙ軸の２軸を走査できる構成にしておけば、ベースフィルム１０２の走行速度を考慮したレーザー光の走査ができ、より正確に所定領域を除去できる。
【００３５】
本実施の形態では、レーザー光源として炭酸ガスレーザー光を用いると、高出力が容易に得られるので高速度でシート状誘電体１０３を除去することができる。
【００３６】
図３はシート状誘電体１０３を除去する状態を示す断面図である。炭酸ガスレーザー装置１０９の出力、レーザー光の走査速度などを適切に設定することでシート状誘電体１０３の除去領域１１３のみを蒸発除去することも可能であるが、さらにベースフィルム１０２の表面１０２ａをわずかに除去することで、シート状誘電体１０３が除去されずに残ることがなくなり高精度に誘電体を所定形状に形成することができる。
【００３７】
（第２の実施の形態）
図５は本発明の第２の実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの製造装置の詳細を示す斜視図である。図５において、ＫｒＦレーザー、ＡｒＦレーザーなどのエキシマレーザー装置１２０から発生されたエキシマレーザー光１２１は、一対のコリメートレンズ１２２により、光束を広げられた平行光線となってシート状誘電体１０３方向へ照射される。一方、シート状誘電体１０３の直前にはテンプレートマスク１２３が設置されている。エキシマレーザー光１２１の光束はテンプレートマスク１２３の大きさよりも十分に大きく広げられている。テンプレートマスク１２３には所定形状のパターン孔１２３ａが形成されていて、エキシマレーザー光１２１はこのパターン孔１２３ａを通過して直下のシート状誘電体１０３に照射され、パターン孔１２３ａと同一領域のシート状誘電体１０３の所定領域が一括で除去される。この際レーザービームの強度分布をより均一にするための透過率分布を有するフィルターを光路中に設置すればより効果的である。またこの場合も図３に示すようにシート状誘電体１０３の除去領域１１３を除去するとともにベースフィルム１０２の表面１０２ａをわずかに除去することでシート状誘電体１０３が除去されずに残ることを防ぐことができる。
【００３８】
テンプレートマスク１２３を変えることにより様々なパターンに対応することができる。図５では３面取りのパターンの例を示している。
【００３９】
ベースフィルム１０２は連続走行で供給され、エキシマレーザー光１２１は、ベースフィルム１０２が走行中に、シート状誘電体１０３の除去領域のピッチに合わせてパルス照射される。すなわちベースフィルム１０２は連続走行が可能となり従来に比べて生産効率が格段に向上する。本実施の形態では、レーザー光にエキシマレーザー光を用いたが、エキシマレーザー光は誘電体に対しては化学作用を伴って加工が行われるのでより高精度な除去領域を形成することができる。
【００４０】
（第３の実施の形態）
図６は本発明の第３の実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの製造装置の詳細を示す斜視図である。図６においてＫｒＦレーザー、ＡｒＦレーザーなどのエキシマレーザー装置１２０から発生されたエキシマレーザー光１２１は、一対のコリメートレンズ１３２により、光束を広げられた平行光線となってテンプレートマスク１３３へ照射される。テンプレートマスク１３３には所定形状のパターン孔１３３ａが形成されている。パターン孔１３３ａを通過したエキシマレーザー光１２１は結像レンズ１３４によってシート状誘電体１０３に結像投影される。この結果、パターン孔１３３ａと相似形状に、シート状誘電体１０３の領域が一括で除去される。テンプレートマスク１３３を変えることにより様々なパターンに対応することができる。図６では３面取りのパターンの例を示している。
【００４１】
ベースフィルム１０２は連続走行で供給され、エキシマレーザー光１２１は、ベースフィルム１０２の走行速度に同期して、シート状誘電体１０３の除去領域のピッチに合わせてパルス照射される。すなわちベースフィルム１０２は連続走行が可能となり従来に比べて生産効率が格段に向上する。本実施の形態では、光学系を小型に構成できるという効果もある。さらに本実施の形態では集光レンズではなく結像レンズを用いてレーザー光をシート状誘電体に結像投影させているので、エネルギー分布が集光レンズに比べてより平均化されているという効果もある。
【００４２】
上述の実施の形態では図７に示すプラズマディスプレイパネルの前面板１の誘電体層８を形成する場合について述べたが、例えば背面板２のデータ電極７０上に下地誘電体層７１を形成する場合や、隔壁７２を形成するための隔壁誘電体層の形成などに適用可能である。さらには、誘電体に限らずシート状の導電体などを形成してパターンニング処理をして電極などを形成する場合にも適用可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
本発明によるプラズマディスプレイパネルの製造方法およびその製造装置によれば、ベースフィルム上に形成されたフィルムあるいはシート状の誘電体をレーザー光により自由な形状で、さらに高速で加工することが可能であり、多面取りの製造方法として最適な生産効率の高い大版基板対応の製造方法および製造装置に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の第１の実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの製造装置の主要構成要素を示す正面図
【図２】同製造装置の詳細を示す斜視図
【図３】シート状誘電体を除去する状態を示す断面図
【図４】プラズマディスプレイパネルの前面板の斜視図
【図５】本発明の第２の実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの製造装置の詳細を示す斜視図
【図６】本発明の第３の実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの製造装置の詳細を示す斜視図
【図７】プラズマディスプレイパネルの分解斜視図
【図８】従来のプラズマディスプレイパネルの製造装置の主要構成要素を示す正面図
【符号の説明】
【００４５】
１    前面板
２    背面板
３    前面ガラス基板
４    透明電極
５    バス電極
６    電極
７    遮光膜層
８    誘電体層
９    保護層
６０，６１    誘電体層非形成領域
７０    データ電極
７１    下地誘電体層
７２    隔壁
１０１    積層フィルムシート
１０２    ベースフィルム
１０２ａ    表面
１０３    誘電体（シート状誘電体）
１０４    カバーフィルム
１０５    巻き出しローラ
１０６    カバーフィルムロール
１０７    ガイドローラ
１０９    炭酸ガスレーザー装置
１１０    炭酸ガスレーザー光
１１１    光偏向器
１１２    ｆθレンズ
１１３    （誘電体）除去領域
１１４    上圧着ローラ
１１５    下圧着ローラ
１１６    搬送ローラ
１１７    カッター
１２０    エキシマレーザー装置
１２１    エキシマレーザー光
１２２，１３２    コリメートレンズ
１２３，１３３    テンプレートマスク
１２３ａ，１３３ａ    パターン孔
１３４    結像レンズ
【図１】
2005174848.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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