(57)【要約】【課題】  搬送物を載置支持可能な載置部を備えた移送手段にて搬送部の搬送方向と交差する横方向から掬い作業や卸し作業を行うことができる搬送装置を提供する。【解決手段】  移送用搬送部５ｂを、送風式支持手段３にて支持される搬送物２の下面に推進力付与手段４を接触させる搬送状態、及び、送風式支持手段３にて支持される搬送物２に対して推進力付与手段４を下方側に離間させる移送状態に切り換え可能に構成し、搬送物２を載置支持可能で且つ前記搬送方向と交差する横方向並びに上下方向に移動操作自在な載置部３８を、移送用搬送部５ｂの移送状態において、送風式支持手段３にて支持される搬送物２の下方側空間に対して搬送方向と交差する横方向に挿抜自在に且つ搬送物２の下方側空間に挿入したときに送風式支持手段３の支持を許容するように形成した状態で備えた移送手段３７を設ける。【選択図】        図１０
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送物の下面に向けて清浄空気を供給して水平姿勢又は略水平姿勢で搬送物を非接触状態で支持する送風式支持手段及びその送風式支持手段にて支持された搬送物の下面に接触して搬送物に搬送方向の推進力を付与する推進力付与手段を備える搬送部が設けられた搬送装置であって、
前記搬送部として、搬送物を搬送方向に沿って搬送可能な主搬送部、及び、この主搬送部と前記搬送方向に並んで位置して前記主搬送部との間で搬送物を搬送可能な移送用搬送部が設けられ、
前記移送用搬送部が、それに備えさせた推進力付与手段と送風式支持手段との相対昇降により、前記送風式支持手段にて支持される搬送物の下面に前記推進力付与手段を接触させる搬送状態、及び、前記送風式支持手段にて支持される搬送物に対して前記推進力付与手段を下方側に離間させる移送状態に切り換え可能に構成され、
搬送物を載置支持可能で且つ前記搬送方向と交差する横方向並びに上下方向に移動操作自在な載置部を、前記移送用搬送部の前記移送状態において、前記送風式支持手段にて支持される搬送物の下方側空間に対して前記搬送方向と交差する横方向に挿抜自在に且つ搬送物の下方側空間に挿入したときに前記送風式支持手段の支持を許容するように形成した状態で備えた移送手段が設けられている搬送装置。
【請求項２】
前記移送用搬送部が、
前記推進力付与手段を、前記主搬送部に備えさせる推進力付与手段と同じ又は略同じ高さに固定状態で設け、且つ、
前記送風式支持手段を、前記搬送状態においては前記主搬送部に備えさせる前記送風式支持手段と同じ又は略同じ高さで搬送物を支持する下方位置となりかつ前記移送状態においては前記主搬送部に備えさせる前記送風式支持手段より高い高さで搬送物を支持する上方位置とになるように、昇降操作自在に設けるように構成されている請求項１記載の搬送装置。
【請求項３】
前記移送用搬送部が、
前記送風式支持手段を、前記主搬送部に備えさせる送風式支持手段と同じ又は略同じ高さで搬送物を支持する高さに固定状態で設け、且つ、
前記推進力付与手段を、前記搬送状態においては前記主搬送部に備えさせる推進力付与手段と同じ又は略同じ高さに位置する上方位置となりかつ前記移送状態においては前記主搬送部に備えさせる推進力付与手段よりも下方に位置する下方位置となるように、昇降操作自在に設けるように構成されている請求項１記載の搬送装置。
【請求項４】
前記移送用搬送部に、前記移送状態において前記送風式支持手段にて支持される搬送物に横側方から接当することにより、搬送物の姿勢を修正する姿勢修正手段を設けてある請求項１〜３のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項５】
前記載置部が、前記搬送方向と交差する横方向に延びるフォーク状に形成され、
前記送風式支持手段が、前記搬送方向と交差する横方向に沿って形成されて、前記載置部が入り込み可能な凹部を備える状態に形成されている請求項１〜４のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項６】
前記送風式支持手段が、塵埃を除去する除塵フィルタと、その除塵フィルタを通して搬送物の下面に向けて清浄空気を供給する送風手段とを一体的に組み付けた送風ユニットを、前記搬送方向に並べて構成されている請求項１〜５のいずれか１項に記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送物の下面に向けて清浄空気を供給して水平姿勢又は略水平姿勢で搬送物を非接触状態で支持する送風式支持手段及びその送風式支持手段にて支持された搬送物の下面に接触して搬送物に搬送方向の推進力を付与する推進力付与手段を備える搬送部が設けられた搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
かかる搬送装置は、送風式支持手段にて搬送物を非接触状態に支持し、推進力付与手段にて搬送方向での推進力を接触状態で搬送物に付与するように構成されているものであり、例えば、搬送物として液晶用のガラス基板を搬送する場合では、ガラス基板における製品化される部分を送風式支持手段にて非接触状態に支持し、ガラス基板における製品化する際にカットされる部分を前記推進力付与手段にて推進力を接触状態で付与するというように、搬送物における接触支持が好ましくない部分を支持しながら接触状態で推進力を付与して搬送物を確実に搬送するのに適しているものがあった（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−３２１８２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記従来の搬送装置では、推進力付与手段にて搬送方向での推進力を接触状態で搬送物に付与するように構成されているため、搬送物を載置支持可能な載置部を備えた移送装置にて搬送部上の搬送物を掬う掬い作業や搬送物を搬送部上に卸す卸し作業を搬送方向と交差する横方向から行おうとしても、推進力付与手段が載置部の横方向への移動を妨げるものとなって送風式支持手段にて支持される搬送物の下方空間に載置部を挿し込むことができないので、搬送方向と交差する横方向から掬い作業や卸し作業を行なうことができず不便なものであった。
【０００５】
本発明は、上記実情に鑑みて為されたものであって、その目的は、搬送物を載置支持可能な載置部を備えた移送手段にて搬送部の搬送方向と交差する横方向から掬い作業や卸し作業を行うことができる搬送装置を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本願発明の搬送装置は、搬送物の下面に向けて清浄空気を供給して水平姿勢又は略水平姿勢で搬送物を非接触状態で支持する送風式支持手段及びその送風式支持手段にて支持された搬送物の下面に接触して搬送物に搬送方向の推進力を付与する推進力付与手段を備える搬送部が設けられた搬送装置であって、
第１特徴構成は、前記搬送部として、搬送物を搬送方向に沿って搬送可能な主搬送部、及び、この主搬送部と前記搬送方向に並んで位置して前記主搬送部との間で搬送物を搬送可能な移送用搬送部が設けられ、前記移送用搬送部が、それに備えさせた推進力付与手段と送風式支持手段との相対昇降により、前記送風式支持手段にて支持される搬送物の下面に前記推進力付与手段を接触させる搬送状態、及び、前記送風式支持手段にて支持される搬送物に対して前記推進力付与手段を下方側に離間させる移送状態に切り換え可能に構成され、搬送物を載置支持可能で且つ前記搬送方向と交差する横方向並びに上下方向に移動操作自在な載置部を、前記移送用搬送部の前記移送状態において、前記送風式支持手段にて支持される搬送物の下方側空間に対して前記搬送方向と交差する横方向に挿抜自在に且つ搬送物の下方側空間に挿入したときに前記送風式支持手段の支持を許容するように形成した状態で備えた移送手段が設けられている点を特徴とする。
【０００７】
すなわち、移送用搬送部を搬送状態に切り換えることにより、搬送物はその下面に接触した推進力付与手段にて推進力が付与されて搬送方向に沿って搬送することができ、移送用搬送部を移送状態に切り換えることにより、送風式支持手段に支持される搬送物に対して推進力付与手段が下方側に離間し送風式支持手段にて支持される搬送物を移送手段にて掬う掬い作業や送風式支持手段に支持されるように移送手段にて搬送物を卸す卸し作業を行うことができる。尚、移送手段における載置部を搬送物の下方側空間に挿入したときも送風式支持手段の支持を許容されるため、載置部の搬送物の下方空間への挿抜する際にも搬送物は送風式支持手段にて支持されており載置部の搬送物の下方空間への挿抜を搬送物と接触することなく円滑に行うことができる。
【０００８】
つまり、移送用搬送部を移送状態に切り換えると、送風式支持手段に支持される搬送物に対して推進力付与手段が下方側に離間することにより搬送物の下方側空間に対して移送手段における載置部を搬送方向と交差する横方向に挿抜自在となるので、掬い作業を行なう場合では、載置部を横方向から搬送物の下方空間に挿入させた後、その載置部を上昇させることにより、送風式支持手段に支持されている搬送物を掬うことができ、また、卸し作業を行なう場合では、載置支持した搬送物を送風式支持手段にて支持されるように載置部を下降させた後、その載置部を搬送物の下方空間から脱出させることにより、搬送物を送風式支持手段に支持されるように搬送物を卸すことができる。
よって、移送用搬送部を移送状態に切り換えた状態では、推進力付与手段に載置部の移動が妨げられることなく送風式支持手段にて支持される搬送物の下方空間に載置部を挿し込んで、搬送物を載置支持可能な載置部を備えた移送装置にて搬送部上の搬送物を掬う掬い作業や搬送物を搬送部上に卸す卸し作業を搬送方向と交差する横方向から行うことができる。
従って、搬送物を載置支持可能な載置部を備えた移送手段にて搬送方向と交差する横方向から掬い作業や卸し作業を行うことができる搬送装置を提供することができるに至った。
【０００９】
第２特徴構成は、上記第１特徴構成に加えて、前記移送用搬送部が、前記推進力付与手段を、前記主搬送部に備えさせる推進力付与手段と同じ又は略同じ高さに固定状態で設け、且つ、前記送風式支持手段を、前記搬送状態においては前記主搬送部に備えさせる前記送風式支持手段と同じ又は略同じ高さで搬送物を支持する下方位置となりかつ前記移送状態においては前記主搬送部に備えさせる前記送風式支持手段より高い高さで搬送物を支持する上方位置とになるように、昇降操作自在に設けるように構成されている点を特徴とする。
【００１０】
すなわち、搬送用搬送部に備えさせる送風式支持手段を主搬送部に備えさせる送風式支持手段と同じ又は略同じ高さで搬送物を支持する下方位置に下降操作とすることにより搬送状態に切り換えられ、搬送用搬送部における送風式支持手段を主搬送部に備えさせる送風式支持手段より高い高さで搬送物を支持する上方位置に上昇操作することにより移送状態に切り換えられる。
つまり、送風式支持手段の昇降操作により、推進力付与手段を昇降操作することなく搬送状態と移送状態とに切り換えることができるので、主搬送部に備えさせた推進力付与手段に対する移送用搬送部に備えさせた推進力付与手段の高さが搬送状態と移送状態とで変化しないので、前記夫々に備えさせた推進力付与手段を一連の伝動構造に構成し易く推進力付与手段の伝動構造の複雑化を抑制することができる。
【００１１】
第３特徴構成は、上記第１特徴構成に加えて、前記移送用搬送部が、前記送風式支持手段を、前記主搬送部に備えさせる送風式支持手段と同じ又は略同じ高さで搬送物を支持する高さに固定状態で設け、且つ、前記推進力付与手段を、前記搬送状態においては前記主搬送部に備えさせる推進力付与手段と同じ又は略同じ高さに位置する上方位置となりかつ前記移送状態においては前記主搬送部に備えさせる推進力付与手段よりも下方に位置する下方位置となるように、昇降操作自在に設けるように構成されている点を特徴とする。
【００１２】
すなわち、移送用搬送部に備えさせる推進力付与手段を主搬送部に備えさせる推進力付与手段と同じ又は略同じ高さに位置する上方位置に上昇操作することにより搬送状態に切り換えられ、移送用搬送部における推進力付与手段を主搬送部に備えさせる推進力付与手段よりも下方に位置する下方位置に下降操作することにより移送状態に切り換えられる。
つまり、推進力付与手段の昇降操作により、送風式支持手段を昇降操作させることなく搬送状態と移送状態とに切り換えることができるので、搬送物の支持高さが搬送状態と移送状態とで変化することによる搬送物の姿勢の崩れを抑制することができる。
【００１３】
第４特徴構成は、上記第１〜３のいずれか１つの特徴構成に加えて、前記移送用搬送部に、前記移送状態において前記送風式支持手段にて支持される搬送物に横側方から接当することにより、搬送物の姿勢を修正する姿勢修正手段を設けてある点を特徴とする。
【００１４】
すなわち、移送用搬送部を搬送状態から移送状態に切り換えた際に搬送物の姿勢が崩れたとしても、姿勢修正手段が送風式支持手段に支持される搬送物の横側方から接当することにより搬送物の姿勢を修正することができ、所定の姿勢の搬送物を移送手段にて掬うことができる。また、移送手段にて送風式支持手段に支持されるように卸した際に搬送物の姿勢が崩れていたとしても、上記したように搬送物の姿勢を修正することができ、所定の姿勢で搬送方向に搬送することができる。
【００１５】
第５特徴構成は、上記第１〜４のいずれか１つの特徴構成に加えて、前記載置部が、前記搬送方向と交差する横方向に延びるフォーク状に形成され、前記送風式支持手段が、前記搬送方向と交差する横方向に沿って形成されて、前記載置部が入り込み可能な凹部を備える状態に形成されている点を特徴とする。
【００１６】
すなわち、載置部をフォーク状に形成することにより、この搬送部を搬送物の下方側空間に挿入しても送風式支持手段の支持を許容するように構成されており、また、載置部を搬送物の下方側空間に対して挿抜を行うのに、送風式支持手段に備えた凹部に載置部の一部或いは全部が入り込む状態で行うことにより搬送物の送風式支持手段に対する浮上量が小さくても挿抜することができるので、掬い作業や卸し作業を行う際に搬送物の浮上量を調節する必要がなく、これらの作業を円滑に行うことができる。
【００１７】
第６特徴構成は、上記第１〜５のいずれか１つの特徴構成に加えて、前記送風式支持手段が、塵埃を除去する除塵フィルタと、その除塵フィルタを通して搬送物の下面に向けて清浄空気を供給する送風手段とを一体的に組み付けた送風ユニットを、前記搬送方向に並べて構成されている点を特徴とする。
【００１８】
すなわち、送風手段と除塵フィルタとを一体的に組み付けた送風ユニットを搬送方向に並べて備えるだけで、搬送される搬送物の下面に向けて清浄空気を供給して搬送物を非接触状態で支持する送風式支持手段を設置することができるので、送風式支持手段の設置が簡単なものとなり、もって、製作の容易化を図ることができる搬送装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
〔第１実施の形態〕
以下、本発明に係る搬送装置を搬送物として液晶用の矩形状のガラス基板を搬送するように構成した場合について図面に基づいて説明する。
【００２０】
図１に示すように、搬送装置Ｈには、ガラス基板２を搬送方向に沿って搬送可能な主搬送部５ａ、及び、この主搬送部５ａと搬送方向に並んで位置して主搬送部５ａとの間でガラス基板２を搬送可能な移送用搬送部５ｂが搬送部として設けられている。また、搬送装置Ｈには、移送用搬送部５ｂにおいて送風式支持手段３にて支持されるガラス基板２を掬う掬い作業や移送用搬送部５ｂの送風式支持手段３に支持されるようにガラス基板２を卸す卸し作業を行う前記移送手段３７が設けられている。
【００２１】
図２、図８に示すように、各搬送部は、非接触状態で支持する送風式支持手段３と接触状態で支持する推進力付与手段４とでガラス基板２を支持し、その支持されたガラス基板２に搬送方向の推進力を前記推進力付与手段４にて付与してガラス基板２を搬送方向に搬送するように構成され、これら送風式支持手段３や推進力付与手段４が収納ケース７に収納されている。
そして、図１１に示すように、搬送装置Ｈには、ガラス基板２の存否を検出する光電センサにて構成された搬送物用センサＴ１や載置部の存否を検出する近接センサにて構成された載置部用センサＴ２の検出結果、並びに、移送用搬送部５に掬い指令と卸し指令とを人為的に指令する指令手段Ｘの指令に基づいて、送風式支持手段３を昇降操作する支持手段用モータ１６、推進力付与手段４及び姿勢修正手段６の作動を制御する制御手段Ｅが備えられている。
そして、主搬送部５ａは、主搬送ユニットを１つ或いは複数を搬送方向に沿って備えて構成され、移送用搬送部５ｂは、１つの移送用搬送ユニットにて構成されている。つまり、搬送装置Ｈは、主搬送ユニットと移送用搬送ユニットとを組み合わせて構成されている。
【００２２】
移送用搬送部５ｂについて説明する。
図２に示すように、移送用搬送部５ｂには、移送用搬送部５ｂに備えさせた送風式支持手段３と、ガラス基板２に搬送方向の推進力を付与する移送用搬送部５ｂに備えさせた前記推進力付与手段４と、ガラス基板２に横側方から接当することにより、ガラス基板２の姿勢を修正する姿勢修正手段６と、前記搬送物用センサＴ１と、前記載置部用センサＴ２と、これら送風式支持手段３、推進力付与手段４、姿勢修正手段６、搬送物用センサＴ１並びに載置部用センサＴ２を収納する移送用搬送部５ｂに備えられたケース体７とを備えて構成されている。
【００２３】
図３、図４に示すように、移送用搬送部５ｂに備えられた前記ケース体７は、送風式支持手段３を載置支持する平面視が略矩形状のユニット用枠体９と、ユニット用枠体９の横幅方向の両側に搬送方向に沿って固定状態に支持された収納フレーム８とを備えて構成されている。
前記収納フレーム８のそれぞれは、搬送方向視で角筒状に構成されており、ユニット用枠体９と連結する内壁８ａ側とは反対側に開閉可能な収納カバー８ｃを備えて構成され、収納フレーム８の下壁８ｂには、収納フレーム内の空気を外部に排出する外部排出口２１を備えている。そして、外部排出口２１を閉塞するように、送風機能と除塵機能とを有するサブ送風ユニット２３が備えられており、このサブ送風ユニット２３にて収納フレーム８内の空気が清浄されて外部に排出されるように構成されている。また、前記ユニット用枠体９は、フレーム部材を組み付けた支持枠部分９ａと、その支持枠部分９ａより下方に位置して、外部空気を導入する空気導入口１１を備えた略矩形で板状の板状枠部分９ｂとで構成されている。
【００２４】
移送用搬送部５ｂに備えられた前記送風式支持手段３について説明すると、図３〜５に示すように、前記送風式支持手段３は、ガラス基板２の下面２ａに向けて清浄空気を供給する複数のファンフィルタユニット（送風ユニットの一例）１４と、このファンフィルタユニット１４に載置支持されてガラス基板２の下面２ａに供給される清浄空気の整風を行う整風板１５とを備えて構成されており、特に図５に示すように、前記ユニット用枠体９に昇降操作自在に支持されている。ファンフィルタユニット１４は、塵埃を除去する除塵フィルタ１２と、その除塵フィルタ１２を通してガラス基板２の下面２ａに向けて清浄空気を供給する送風ファン１３（送風手段の一例）とを一体的に組み付けて構成されている。尚、前記複数のファンフィルタユニット１４は、連結フレームにて互いに連結されており、また、整風板１５には、パンチングにより形成された通気孔１５ａと、前記搬送方向と交差する横方向に沿う上向きの凹部１５ｂが形成されている。
【００２５】
そして、図５に示すように、ファンフィルタユニット１４の下面には、このファンフィルタユニット１４を昇降操作するための電動式の支持手段用モータ１６が設けられており、この支持手段用モータ１６の出力ギヤ１６ａと、ユニット用枠体９における支持枠部分９ａの側面に形成されたギヤ溝９ｃとが噛み合わされている。従って、支持手段用モータ１６を正逆方向に駆動回転させることによって、移送用搬送部５ｂに備えられた送風式支持手段３が昇降操作されることとなる。
【００２６】
次に、搬送用搬送部５ｂに備えられた推進力付与手段４について説明する。図２、図３に示すように、前記推進力付与手段４は、ガラス基板２における横幅方向の両端部を接触支持する一対の推進力付与部４ａを備えて両側駆動式に構成され、推進力付与部４ａは前記一対の収納フレーム８に振り分けて備えられている。
推進力付与部４ａのそれぞれは、図５〜７に示すように、電動モータ２５と、この電動モータ２５の出力ギヤと噛み合う平歯車２８を備えた伝動軸２７と、伝動軸２７に備えられた出力ギヤ２９と噛み合う入力ギヤ３０を備えた多数の出力軸２６とを備えて構成されている。そして、伝動モータ２５及び伝動軸２７は収納フレーム８内に配備されており、前記出力軸２６は、収納フレーム８から突出する状態で前記内壁８ａに回転自在に支持されている。出力軸２６の収納フレーム８から突出する部分にはガラス基板２の下面２ａを接触支持して推進力を付与する前記駆動ローラ２４が備えられており、この駆動ローラ２４には、図４、図８に示すように、ガラス基板２の横幅方向の両端部の側面に接当して、ガラス基板２の横幅方向への移動を受け止める大径部２４ａが備えられている。
【００２７】
次に、前記姿勢修正手段６について説明する。図２、図４に示すように、姿勢修正手段６は、４つの接当機構３２にて構成されている。そして、４つの接当機構３２のそれぞれは、収納フレーム８の上壁８ｄに固定支持されており、ガラス基板２の前後方向の一方の側面と左右方向の一方の側面とにそれぞれ接当可能な一対の押し部材３３と、一対の押し部材３３を連結支持する本体部３４と、本体部３４を前記内外方向に移動操作する駆動部３５とで構成されている。
よって、駆動機構３５により本体部３４を前記内外方向に移動させて、計８つの押し部材３３にてガラス基板２を横側方から挟み込むように接当させることにより、ガラス基板２の姿勢を修正するように構成されている。
【００２８】
次に、主搬送部５ａについて説明するが、移送用搬送部５ｂと同様に構成されるものについては、移送用搬送部５ｂと同じ符号を付け、説明は省略する。
図８に示すように、主搬送部５ａは、主搬送部５ａに備えられた送風式支持手段３と、ガラス基板２に搬送方向の推進力を付与する主搬送部５ａに備えられた推進力付与手段４と、これら送風式支持手段３並びに推進力付与手段４を収納する主搬送部５ａに備えられたケース体７とを備えて構成されている。
そして、主搬送部５ａには、移送用搬送部５ｂに備えられていた姿勢修正手段６が備えられておらず、主搬送部５ａに備えられた送風式支持手段３は、ユニット用枠体９の支持枠部分に固定支持されている。また、主搬送部５ａにおける整風板１５には、通気孔１５ａのみが形成されており、凹部１５ｂは形成されていない。また、収納ケース７は、一対の収納フレーム８の上端部にわたって搬送カバー２０を備えて構成されている。
【００２９】
次に、移送用搬送部５ｂの搬送状態と移送状態との切り換えについて説明する。
図９に示すように、主搬送部５ａと移送用搬送部５ｂとが同じ又は略同じ高さに設けられている。そして、移送用搬送部５ｂに備えられた前記推進力付与手段４は、図９（イ）に示すように主搬送部５ａに備えさせる推進力付与手段４と同じ又は略同じ高さに固定状態で設けられており、移送用搬送部５ｂに備えさせた送風式支持手段３は、図９（イ）に示すような前記主搬送部５ａに備えさせる送風式支持手段３と同じ又は略同じ高さでガラス基板２を支持する下方位置や、図９（ロ）に示すような前記主搬送部５ａに備えさせる送風式支持手段３より高い高さでガラス基板２を支持する上方位置とに昇降操作自在に設けるように構成されている。
【００３０】
つまり、移送用搬送部５ｂに備えさせた送風式支持手段３を下方位置に下降させると、移送用搬送部５ｂは、送風式支持手段３にて支持されるガラス基板２の下面２ａに推進力付与手段４を接触させる搬送状態に切り換えられ、移送用搬送部５ｂに備えさせた送風式支持手段３を上方位置に上昇させると、送風式支持手段３にて支持されるガラス基板２に対して推進力付与手段４を下方側に離間させる移送状態に切り換えられるものであり、移送用搬送装置５ｂは、それに備えさせた送風式支持手段３の昇降操作により搬送状態と移送状態とに切り換え可能に構成されている。
【００３１】
図１に示すように、搬送装置Ｈには、移送用搬送部５ｂにおいて送風式支持手段３にて支持されるガラス基板２を掬う掬い作業や移送用搬送部５ｂの送風式支持手段３に支持されるようにガラス基板２を卸す卸し作業を行う移送手段３７が設けられている。尚、整風板１５の凹部１５ｂは移送手段３７に備えられた載置部３８が入り込み可能に構成されている。
そして、移送手段３７に備えられた載置部３８は、ガラス基板２を載置支持可能で且つ前記搬送方向と交差する横方向並びに上下方向の他、縦軸芯周りの回転操作や搬送方向等に適宜移動操作自在に構成され、また、前記移送用搬送部５ｂの移送状態において、図１、図１０に示すように、送風式支持手段３にて支持されるガラス基板２の下方側空間に対して搬送方向と交差する横方向に挿抜自在に且つガラス基板２の下方側空間に挿入したときに送風式支持手段２の支持を許容するようにフォーク状に形成されている。フォーク状に形成された載置部３８は、ガラス基板２の下方側空間に挿抜する際に搬送方向と交差する横方向に延びる状態となり、掬い作業や卸し作業を移載用搬送部５ｂの横方から行うように構成されている。
【００３２】
次に、ガラス基板２を搬送上手側の主搬送部５ａから移送用搬送部５ｂを介して搬送下手側の主搬送部５ａに搬送する主搬送、並びに、前記掬い作業及び卸し作業について説明する。
主搬送について説明すると、図９（イ）、図１０（イ）に示すように、移送用搬送部５ｂに備えられた送風式支持手段３を搬送状態に切り換えた状態で、主搬送部５ａに備えられた推進力付与手段４と移送用搬送部５ｂに備えられた推進力付与手段４とを作動させてガラス基板２に主搬送方向の推進力を付与することにより主搬送が行われる。
【００３３】
掬い作業について説明すると、まず、上記主搬送が行われている状態において、前記指令手段Ｘにて掬い指令を指令すると、ガラス基板２が移送用搬送部５ｂの所定の位置まで搬送されたことが前記搬送物用センサＴ１にて検出されることにより推進力付与手段４の作動が停止された後、移送用搬送部５ｂに備えられた送風式支持手段３にてガラス基板２を支持した状態で、図９（ロ）、図１０（ロ）に示すように、その送風式支持手段３が上方位置に上昇されて移送用搬送部５ｂが移送状態に切り換えられる。
姿勢修正手段６における８つの押し部材３３は、その下端が移送状態への切り換えによりガラス基板２の下面より下方に位置しており、その移送状態において送風式支持手段３にて支持されるガラス基板２に横側方から押し部材３３を接当させるべく本体部３４を内方側に移動させるように姿勢変更手段６が作動されてガラス基板２の姿勢が修正される。
【００３４】
そして、載置部３８の一部或いは全部が整風板１５の凹部１５ｂに入り込むように載置部３８をガラス基板２の下方側空間に搬送方向と交差する横方向から挿入すると、その載置部３８の挿入が前記載置部用センサＴ２にて検出されて、この検出結果に基づいて本体部３４を外方側に移動させるように姿勢変更手段６が作動されて押し部材３３のガラス基板２への接当が解除される。
その後、図９（ハ）、図１０（ハ）に示すように、ガラス基板２の下方側空間に挿入した載置部３８を上昇させることにより送風式支持手段３にて支持されていたガラス基板２を載置部３８にて載置支持する状態となり、このように載置部３８にて掬い取ったガラス基板２は、載置部３８を移動操作してガラス基板収納用の棚等に移送する。
そして、送風式支持手段３にて支持されるガラス基板２を載置部３８にて掬い取ることにより前記搬送物用センサＴ１が非検出状態となると、図９（イ）、図１０（イ）に示すように、移送用搬送部５ｂに備えられた送風式支持手段３を下方位置に下降させて移送用搬送部５ｂを移送状態に切り換えた後、推進力付与手段４が作動して主搬送が再開される。
【００３５】
次に、卸し作業について説明すると、まず、上記主搬送が行われている状態において、前記指令手段Ｘにて卸し指令を指令すると、主搬送部５ａに備えられた推進力付与手段４、移送用搬送部５ｂに備えられた推進力付与手段４の順番で推進力付与手段４の作動を停止させて移送用搬送部５ｂ上にガラス基板２がない状態で推進力付与手段４の作動を停止させた後、移送用搬送部５ｂに備えられた送風式支持手段３が上方位置に上昇されて移送用搬送部５ｂが移送状態に切り換えられる。
この状態で、図９（ハ）、図１０（ハ）に示すようにガラス基板２を載置支持した載置部３８を、図９（ロ）、図１０（ロ）に示すように載置部３８の一部或いは全部が整風板１５の凹部１５ｂに入り込むように下降させると、載置部３８に載置支持されていたガラス基板２は送風式支持手段３にて支持される状態となる。そして、載置部３８の凹部１５ｂへの入り込みが前記載置部用センサＴ２にて検出されると、送風式支持手段３にて支持されるガラス基板２に横側方から押し部材３３を接当させるべく本体部３４を内方側に移動させるように姿勢変更手段６が作動されてガラス基板２の姿勢が修正される。
【００３６】
その後、載置部３８をガラス基板２の下方側空間から搬送方向と交差する横方向に脱出させることにより前記載置部用センサＴ２が非検出状態となると、図９（イ）、図１０（イ）に示すように、本体部３４を外方側に移動させるように姿勢変更手段６が作動されて押し部材３３のガラス基板２への接当が解除され、移送用搬送部５ｂに備えられた送風式支持手段３を下方位置に下降させて移送用搬送部５ｂが移送状態に切り換えられた後、推進力付与手段４が作動して主搬送が再開される。
【００３７】
〔第２実施の形態〕
この第２実施の形態は、上記第１実施の形態において移送用搬送部５ｂに備えさせた推進力付与手段４と送風式支持手段３との相対昇降の別実施の形態を示すものであり、以下、その点を中心に図面に基づいて説明を加える。尚、第１実施の形態と同様に構成されるものについては、第１実施の形態と同じ符号を付け、説明は省略する。
【００３８】
図１２に示すように、一対の収納フレーム８の一方が、ユニット用枠体９に昇降操作自在に支持されている。つまり、一方の収納フレーム８の下部には、この収納フレーム８を昇降操作するための電動式のフレーム用モータ３１が設けられており、このフレーム用モータ３１の出力ギヤ３１ａと、ユニット用枠体９における支持枠部分９ａの側面に形成されたギヤ溝９ｃとが噛み合わされている。従って、フレーム用モータ３１を正逆方向に駆動回転させることによって一方の収納フレーム８が昇降し、その一方の収納ブレーム８に備えられている推進力付与部４ａが昇降操作されることとなる。
また、図１４に示すように、移送用搬送部５ｂにおける送風式支持手段３は、ユニット用枠体９に固着支持されている。
【００３９】
姿勢修正手段６については、図１２に示すように昇降操作される一方の収納フレーム８に載置支持される接当機構３２は第１実施の形態の接当機構３２と同様に構成されているが、図１３に示すように昇降操作されない他方の収納フレーム８に載置支持される接当機構３２は、駆動部３５が、本体部３４を前記内外方向に移動操作するとともに昇降操作するように構成されている。
【００４０】
次に、移送用搬送部５ｂの搬送状態と移送状態との切り換えについて説明する。
図１５に示すように、主搬送部５ａと移送用搬送部５ｂとが同じ又は略同じ高さに設けられている。そして、移送用搬送部５ｂに備えられた前記送風式支持手段３は、図１５（イ）に示すように主搬送部５ａに備えさせる送風式支持手段３と同じ又は略同じ高さに固定状態で設けられており、移送用搬送部５ｂに備えさせた推進力付与手段４は、図１１（イ）に示すような前記主搬送部５ａに備えさせる推進力付与手段４と同じ又は略同じ高さに位置する上方位置や、図１１（ロ）に示すような前記主搬送部５ａに備えさせる推進力付与手段４より下方に位置する下方位置となるように、昇降操作自在に設けるように構成されている。
【００４１】
つまり、移送用搬送部５ｂに備えさせた推進力付与手段４を上方位置に上昇させると、移送用搬送部５ｂは、送風式支持手段３にて支持されるガラス基板２の下面２ａに推進力付与手段４を接触させる搬送状態に切り換えられ、移送用搬送部５ｂに備えさせた推進力付与手段４を下方位置に下降させると、送風式支持手段３にて支持されるガラス基板２に対して推進力付与手段４を下方側に離間させる移送状態に切り換えられるものであり、移送用搬送装置５ｂは、それに備えさせた推進力付与手段４の昇降操作により搬送状態と移送状態とに切り換え可能に構成されている。
【００４２】
次に、前記掬い作業及び卸し作業について説明する。
まず、掬い作業について説明すると、図１５（イ）、図１６（イ）に示すような、主搬送が行われている状態において、前記指令手段Ｘにて掬い指令を指令すると、ガラス基板２が移送用搬送部５ｂの所定の位置まで搬送されたことが前記搬送物用センサＴ１にて検出されることにより推進力付与手段４の作動が停止された後、移送用搬送部５ｂに備えられた送風式支持手段３にてガラス基板２を支持した状態で、図１５（ロ）、図１６（ロ）に示すように、移送用搬送部５ｂに備えられた一方の推進力付与部４ａが下方位置に下降されて移送用搬送部５ｂが移送状態に切り換えられる。
姿勢修正手段６における８つの押し部材３３のうちの移送手段３７が存在する側の４つの押し部材３３は、その下端が移送状態への切り換えによりガラス基板２の下面より下方に位置し、残る移送手段３７が存在する側の外方側の４つの押し部材３３は、その下端が駆動部３５にて下降操作されてガラス基板２の下面より下方に位置して、その移送状態において送風式支持手段３にて支持されるガラス基板２に横側方から押し部材３３を接当させるべく本体部３４を内方側に移動させるように姿勢変更手段６が作動されてガラス基板２の姿勢が修正される。
【００４３】
そして、載置部３８の一部或いは全部が整風板１５の凹部１５ｂに入り込むように載置部３８をガラス基板２の下方側空間に搬送方向と交差する横方向から挿入すると、その載置部３８の挿入が前記載置部用センサＴ２にて検出されて、この検出結果に基づいて本体部３４を外方側に移動させるように姿勢変更手段６が作動されて押し部材３３のガラス基板２への接当が解除される。
その後、ガラス基板２の下方側空間に挿入した載置部３８を図１５（ハ）、図１６（ハ）に示すように上昇させることにより送風式支持手段３にて支持されていたガラス基板２を載置部３８にて載置支持する状態となり、このように載置部３８にて掬い取ったガラス基板２は、載置部３８を移動操作してガラス基板収納用の棚等に移送する。
そして、送風式支持手段３にて支持されるガラス基板２を載置部３８にて掬い取ることにより前記搬送物用センサＴ１が非検出状態となると、図１５（イ）、図１６（イ）に示すように、移送用搬送部５ｂに備えられた一方の推進力付与部４ａを上方位置に上昇させて移送用搬送部５ｂを移送状態に切り換えた後、推進力付与手段４が作動して主搬送が再開される。
【００４４】
次に、卸し作業について説明すると、まず、上記主搬送が行われている状態において、前記指令手段Ｘにて卸し指令を指令すると、主搬送部５ａに備えられた推進力付与手段４、移送用搬送部５ｂに備えられた推進力付与手段４の順番で推進力付与手段４の作動を停止させて移送用搬送部５ｂ上にガラス基板２がない状態で推進力付与手段４の作動を停止させた後、移送用搬送部５ｂに備えられた一方の推進力付与部４ａが下方位置に下降されて移送用搬送部５ｂが移送状態に切り換えられる。
この状態で、図１５（ハ）、図１６（ハ）に示すようにガラス基板２を載置支持した載置部３８を、図１５（ロ）、図１６（ロ）に示すように載置部３８の一部或いは全部が整風板１５の凹部１５ｂに入り込むように下降させると、載置部３８に載置支持されていたガラス基板２は送風式支持手段３にて支持される状態となる。そして、載置部３８の凹部１５ｂへの入り込みが前記載置部用センサＴ２にて検出されると、送風式支持手段３にて支持されるガラス基板２に横側方から押し部材３３を接当させるべく本体部３４を内方側に移動させるように姿勢変更手段６が作動されてガラス基板２の姿勢が修正される。
【００４５】
その後、載置部３８をガラス基板２の下方側空間から搬送方向と交差する横方向に脱出させることにより前記載置部用センサＴ２が非検出状態となると、図９（イ）、図１０（イ）に示すように、本体部３４を外方側に移動させるように姿勢変更手段６が作動されて押し部材３３のガラス基板２への接当が解除され、移送用搬送部５ｂに備えられた一方の推進力付与部４ａを上方位置に上昇させて移送用搬送部５ｂが移送状態に切り換えられた後、推進力付与手段４が作動して主搬送が再開される。
【００４６】
〔別実施の形態〕
（１）  上記各実施の形態では、送風式支持手段３に載置部３８が入り込み可能な凹部を備えるのに、送風式支持手段３における整風板１５に凹部を形成したが、整風板１５に搬送方向と交差する横方向に沿って形成した上下に貫通する孔を形成して凹部１５ｂを形成したり、分割した複数の整風板１５を搬送方向に間隔を隔てた状態に送風式支持手段３に載置支持させて整風板１５同士の間に凹部１５ｂを形成するように構成してもよい。
尚、送風式支持手段３に載置部３８が入り込み可能な凹部を備えるのではなく、送風式支持手段に搬送方向と交差する横方向に沿って形成した上下に貫通する孔を形成して、載置部３８が入り込み可能な空間を形成するように構成してもよい。
【００４７】
（２）  上記各実施の形態では、卸し作業と掬い作業の両方を行うように構成したが、卸し作業と掬い作業とのどちらか一方のみの作業を行なうように構成してもよい。つまり、例えば、移送用搬送部５ｂの搬送下手側に主搬送部５ａを備えずに卸し作業のみを行なうように構成したり、移送用搬送部５ｂの搬送上手側に主搬送部５ａを備えずに掬い作業のみを行なうように構成してもよい。
【００４８】
（３）  上記第２実施の形態では、一対の収納フレーム８のうちの一方の収納フレーム８を昇降自在に構成したが、両方を昇降自在に構成して、移送用搬送部の搬送方向と交差する横方向の両側から掬い作業や卸し作業を行うように構成してもよい。
【００４９】
（４）  上記各実施の形態では、指令手段を人為操作するように構成したが、搬送されるガラス基板２が卸し作業を行うものか否かの判別情報に基づいて自動的に卸し指令を指令する等、自動操作されるように構成してもよい。
【００５０】
（５）  上記各実施の形態では、推進付与部４ａを、複数の駆動ローラ２４を備えて構成したが、複数の駆動ローラ２４に替えてタイミングベルト等の無端帯状体を備えて構成してもよい。
【００５１】
（６）  上記各実施の形態では、除塵フィルタ１２と送風ファン１３とを一体的に組付けたファンフィルタユニット１４を例示したが、必ずしも除塵フィルタ１２と送風ファン１３とを一体的に取り付ける必要はなく、送風ファン１３にて送風される空気を除塵フィルタ１２に案内する案内路などを設けて、除塵フィルタ１２と送風ファン１３とを別体にて構成して実施することも可能である。
【００５２】
（７）  上記実施の形態では、搬送物として、液晶用のガラス基板２としたが、半導体のウェハ等でもよく、搬送物の形状や大きさは実施形態に限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】第１実施の形態における搬送装置の平面図
【図２】第１実施の形態における移送用搬送部の斜視図
【図３】第１実施の形態における移送用搬送部の正面図
【図４】第１実施の形態における移送用搬送部の一部拡大正面図
【図５】第１実施の形態における移送用搬送部の側面図
【図６】第１実施の形態における推進力付与手段の側面図
【図７】第１実施の形態における推進力付与手段の正面図
【図８】第１実施の形態における主搬送部の斜視図
【図９】第１実施の形態における移送用搬送部の側面作用図
【図１０】第１実施の形態における移送用搬送部の正面作用図
【図１１】第１実施の形態における搬送装置の制御ブロック図
【図１２】第２実施の形態における移送用搬送部の一部拡大正面図
【図１３】第２実施の形態における移送用搬送部の一部拡大正面図
【図１４】第２実施の形態における移送用搬送部の側面図
【図１５】第２実施の形態における移送用搬送部の側面作用図
【図１６】第２実施の形態における移送用搬送部の正面作用図
【符号の説明】
【００５４】
２    ガラス基板（搬送物）
２ａ  下面
３    送風式支持手段
４    推進力付与手段
５ａ  主搬送部
５ｂ  移送用搬送部
６    姿勢修正手段
１２    除塵フィルタ
１３    送風ファン（送風手段）
１４    ファンフィルタユニット（送風ユニット）
１５ｂ  凹部
３７    移送手段
３８    載置部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
2005178918.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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