(57)【要約】【課題】  主磁極層のネックハイト位置を容易に調整及び視認可能な垂直記録磁気ヘッド及びその製造方法を得る。【解決手段】  記録媒体対向面にトラック幅寸法で形成された主磁極層を有する垂直記録磁気ヘッドにおいて、主磁極層の近傍の記録媒体対向面に露出し、互いの露出面積比によって、主磁極層のネックハイト位置を指標する一対のネックハイトマーカーを備える。この一対のネックハイトマーカーは、記録媒体対向面と平行な面での断面積がネックハイト方向正逆のいずれに向かっても一方は増大し他方は減少するとよい。より好ましくは、記録媒体対向面と平行な特定の断面位置での同断面積が同一となっているとよい。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録媒体対向面にトラック幅寸法で形成された主磁極層を有する垂直記録磁気ヘッドにおいて、
前記主磁極層の近傍の記録媒体対向面に露出し、互いの露出面積比によって、前記主磁極層のネックハイト位置を指標する一対のネックハイトマーカーを備えたことを特徴とする垂直記録磁気ヘッド。
【請求項２】
請求項１記載の垂直記録磁気ヘッドにおいて、前記一対のネックハイトマーカーは、前記記録媒体対向面と平行な面での断面積がネックハイト方向正逆のいずれに向かっても一方は増大し他方は減少する垂直記録磁気ヘッド。
【請求項３】
請求項１又は２記載の垂直記録磁気ヘッドにおいて、前記一対のネックハイトマーカーは、前記記録媒体対向面と平行な特定の断面位置での断面積が同一となる垂直記録磁気ヘッド。
【請求項４】
請求項３記載の垂直記録磁気ヘッドにおいて、前記一対のネックハイトマーカーは、前記記録媒体対向面における露出面積が略同一になるとき前記主磁極層のネックハイト位置が適正位置であることを示し、いずれか一方が他方より小さいとき前記主磁極層のネックハイト位置が適正位置よりも浅いことを示し、また、いずれか一方が他方よりも大きいとき前記主磁極層のネックハイト寸法が適正位置よりも深いことを示す垂直記録磁気ヘッド。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか一項に記載の垂直記録磁気ヘッドにおいて、前記一対のネックハイトマーカーは、平面形状が三角形又は台形をなし、互いにネックハイト方向に逆向きで配置されている垂直記録磁気ヘッド。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか一項に記載の垂直記録磁気ヘッドにおいて、前記一対のネックハイトマーカーは、前記主磁極層と同じ積層高さ位置に形成されている垂直記録磁気ヘッド。
【請求項７】
請求項６記載の垂直記録磁気ヘッドにおいて、前記一対のネックハイトマーカーは、前記主磁極層を挟んでトラック幅方向の両側に形成されている垂直記録磁気ヘッド。
【請求項８】
請求項１ないし６のいずれか一項に記載の垂直記録磁気ヘッドにおいて、前記一対のネックハイトマーカーは、前記主磁極層のトラック幅方向の両側のいずれか一方に形成されている垂直記録磁気ヘッド。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれか一項に記載の垂直記録磁気ヘッドにおいて、前記一対のネックハイトマーカーは、前記主磁極層と同一の磁性材料あるいは非磁性材料により形成されている垂直記録磁気ヘッド。
【請求項１０】
記録媒体対向面にトラック幅寸法で形成された主磁極層を有する垂直記録磁気ヘッドにおいて、
前記主磁極層を形成する際に同時に、前記記録媒体対向面と平行な面での断面積がネックハイト方向正逆のいずれに向かっても一方は増大し他方は減少する一対のネックハイトマーカーを形成しておき、
この一対のネックハイトマーカーの前記記録媒体対向面における露出面積比に基づいて、前記主磁極層のネックハイト位置を調整することを特徴とする垂直記録磁気ヘッドの製造方法。
【請求項１１】
記録媒体対向面にトラック幅寸法で形成された主磁極層を有する垂直記録磁気ヘッドにおいて、
前記主磁極層を形成する際に同時に、前記記録媒体対向面と平行な面での断面積がネックハイト方向正逆のいずれに向かっても一方は増大し他方は減少する一対のネックハイトマーカーを形成しておき、
この一対のネックハイトマーカーの前記記録媒体対向面における露出面積比に基づいて、前記主磁極層のネックハイト位置が適正範囲内にあるか否かを判別することを特徴とする垂直記録磁気ヘッドの製造方法。
【請求項１２】
請求項１１記載の垂直記録磁気ヘッドの製造方法において、前記一対のハイトマーカーは、前記記録媒体対向面と平行な特定の断面位置での断面積を一致させて形成し、この一対のハイトマーカーの前記記録媒体対向面における露出面積が互いに略一致するときに前記主磁極層のネックハイト位置を適正と判別する垂直記録磁気ヘッドの製造方法。
【請求項１３】
読取素子を有する読取部の上方に、記録媒体対向面にトラック幅寸法で形成された主磁極層を有する垂直記録磁気ヘッドにおいて、
前記主磁極層を形成する際に同時に、前記記録媒体対向面と平行な面での断面積がネックハイト方向正逆のいずれに向かっても一方は増大し他方は減少する一対のネックハイトマーカーを形成しておき、
前記記録媒体対向面を研磨加工して前記読取素子のハイト方向の寸法を規定した後に、該記録媒体対向面に露出している前記一対のネックハイトマーカーの露出面積比に基づいて、前記主磁極層のネックハイト位置が適正範囲内にあるか否かを判別することを特徴とする垂直記録磁気ヘッドの製造方法。
【請求項１４】
請求項１３記載の垂直記録磁気ヘッドの製造方法において、前記一対のハイトマーカーは、前記記録媒体対向面と平行な特定の断面位置での断面積を一致させて形成し、この一対のハイトマーカーの前記記録媒体対向面における露出面積が互いに略一致するときに前記主磁極層のネックハイト位置を適正とする垂直記録磁気ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、記録媒体に垂直磁界を与えて記録動作する垂直記録磁気ヘッド及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ヘッド装置には、記録媒体平面に平行な磁界を与えて記録動作する長手記録（面内記録）型と、記録媒体平面に垂直な磁界を与えて記録動作する垂直記録型とがあり、今後の更なる高記録密度化には垂直記録型が有力視されている。
【０００３】
垂直記録磁気ヘッドは、周知のように、記録媒体との対向面に、補助磁極層と主磁極層（単磁極）とを非磁性絶縁層を間に挟んで積層した構造を有している。補助磁極層と主磁極層はハイト方向の奥部において磁気的に接続されており、非磁性絶縁層内には、補助磁極層と主磁極層の接続部を中心として形成したコイル層が存在する。このコイル層を通電することにより補助磁極層と単磁極との間に記録磁界が誘導されると、両磁極層の記録媒体対向面の側端部間に生じた漏れ磁界が記録媒体のハード膜を垂直に通過し、ソフト膜を通って戻る。この漏れ磁界は、面積の小さい単磁極端面に集中するため、主磁極との対向部分で磁気記録がなされる。
【０００４】
このような垂直記録磁気ヘッドでは、主磁極層のネックハイト位置（ハイト方向寸法）が記録特性を決定する重要な要素の一つとなっており、主磁極層のネックハイト位置が低くなり過ぎると、漏れ磁界が増大してトラック幅寸法が大きくなってしまう。逆に、主磁極層のネックハイト位置が高くなりすぎると、漏れ磁界が記録媒体まで届きにくくなり、記録効率が低下してしまう。このため、主磁極層のネックハイト位置が最適となるように制御する必要がある。
【０００５】
また磁気ヘッド装置には、記録媒体の情報を読み出す読取素子の上に垂直記録磁気ヘッドを形成した複合型の垂直記録磁気ヘッド装置がある。このような複合型タイプでは、従来、読取素子のハイト寸法を基準にして、主磁極層のネックハイト寸法を定めている。すなわち、素子面積に応じて変化する読取素子の抵抗値を検出しながら記録媒体対向面となる一端面を研磨し、読取素子の抵抗値が規定値に達したときに研磨を終了することで、読取素子のハイト寸法を規定し、このときの記録媒体対向面の位置に応じて主磁極層のネックハイト位置が定まる。
【０００６】
【特許文献１】特開昭６０−１７７４１６号公報
【特許文献２】特開平１−１６９７１３号公報
【特許文献３】特開平２−４９２１２号公報
【特許文献４】特開平４−７８０１３号公報
【特許文献５】特開２０００−１９５０２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、読取素子の抵抗値が規定値に達したときに記録媒体対向面の研磨を終了させると、各垂直記録磁気ヘッド装置において、読取素子のハイト寸法は一定になるが、主磁極層のネックハイト位置は一定にならずにばらつく虞がある。上述したように主磁極層のネックハイト位置が規定範囲を満たさないと、所望の記録特性を得られない。また、記録媒体対向面に露出する主磁極層は極めて小さく、そのネックハイト位置を視認することが難しかった。
【０００８】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、主磁極層のネックハイト位置を容易に調整及び視認可能な垂直記録磁気ヘッド及びその製造方法を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、一対のネックハイトマーカーを記録媒体対向面に露出させ、この一対のネックハイトマーカーの記録媒体対向面における露出面積比をネックハイト位置に応じて異ならせることにより、主磁極のネックハイト位置を容易に視認（識別）できることを見出して完成されたものである。
【００１０】
すなわち、本発明は、記録媒体対向面にトラック幅寸法で形成された主磁極層を有する垂直記録磁気ヘッドにおいて、主磁極層の近傍の記録媒体対向面に露出し、互いの露出面積比によって、主磁極層のネックハイト位置を指標する一対のネックハイトマーカーを備えたことを特徴としている。
【００１１】
一対のネックハイトマーカーは、記録媒体対向面と平行な面での断面積がネックハイト方向正逆のいずれに向かっても一方は増大し他方は減少するように形成されていることが好ましい。特に、記録媒体対向面と平行な特定の断面位置での断面積が同一になっていることが好ましい。この場合に、一対のネックハイトマーカーは、記録媒体対向面における露出面積が略同一になるとき主磁極層のネックハイト寸法が適正値であることを示し、いずれか一方が他方より小さいとき主磁極層のネックハイト寸法が適正値よりも小さいことを示し、また、いずれか一方が他方よりも大きいとき主磁極層のネックハイト寸法が適正値よりも大きいことを示すことができる。
【００１２】
より具体的には、一対のネックハイトマーカーは、平面形状が三角形又は台形をなし、互いにネックハイト方向に逆向きで配置されていることが実際的である。
【００１３】
一対のネックハイトマーカーは、主磁極層と同じ積層高さ位置に形成されていることが好ましい。この態様によれば、一対のネックハイトマーカーと主磁極層とを同時に形成すること、すなわち、同一の形成条件下で一対のネックハイトマーカーと主磁極層を形成することができるので、より高精度のネックハイトマーカーを得られる。この一対のネックハイトマーカーは、主磁極層と同じ積層高さ位置であって、且つ、主磁極層を挟んでトラック幅方向の両側に形成することができる。あるいは、主磁極層のトラック幅方向の両側のいずれか一方に形成してもよい。
【００１４】
一対のネックハイトマーカーは、主磁極層と同一の磁性材料あるいは非磁性材料により形成することができる。
【００１５】
また本発明は、製造方法の態様によれば、記録媒体対向面にトラック幅寸法で形成された主磁極層を有する垂直記録磁気ヘッドにおいて、主磁極層を形成する際に同時に、記録媒体対向面と平行な面での断面積がネックハイト方向正逆のいずれに向かっても一方は増大し他方は減少する一対のネックハイトマーカーを形成しておき、この一対のネックハイトマーカーの記録媒体対向面における露出面積比に基づいて、主磁極層のネックハイト位置を調整することを特徴としている。
【００１６】
別の態様によれば、記録媒体対向面にトラック幅寸法で形成された主磁極層を有する垂直記録磁気ヘッドにおいて、主磁極層を形成する際に同時に、記録媒体対向面と平行な面での断面積がネックハイト方向正逆のいずれに向かっても一方は増大し他方は減少する一対のネックハイトマーカーを形成しておき、この一対のネックハイトマーカーの記録媒体対向面における露出面積比に基づいて、主磁極層のネックハイト位置が適正範囲内にあるか否かを判別することを特徴としている。この態様において、一対のハイトマーカーは、記録媒体対向面と平行な特定の断面位置での断面積を一致させて形成し、この一対のハイトマーカーの記録媒体対向面における露出面積が互いに略一致するときに主磁極層のネックハイト位置を適正と判別することが好ましい。
【００１７】
さらに別の態様によれば、読取素子を有する読取部の上方に、記録媒体対向面にトラック幅寸法で形成された主磁極層を有する垂直記録磁気ヘッドが形成された垂直記録磁気ヘッドにおいて、主磁極層を形成する際に同時に、記録媒体対向面と平行な面での断面積がネックハイト方向正逆のいずれに向かっても一方は増大し他方は減少する一対のネックハイトマーカーを形成しておき、記録媒体対向面を研磨加工して読取素子のハイト方向の寸法を規定した後に、該記録媒体対向面に露出している一対のネックハイトマーカーの露出面積比に基づいて、主磁極層のネックハイト位置が適正であるか否かを判別することを特徴としている。この態様においても、一対のネックハイトマーカーは、記録媒体対向面と平行な特定の断面位置での断面積を一致させて形成し、この一対のハイトマーカーの前記記録媒体対向面における露出面積が互いに略一致するときに主磁極層のネックハイト位置を適正とすることが好ましい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、主磁極のネックハイト位置を容易に調整及び視認可能な垂直記録磁気ヘッド及びその製造方法を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
図１は、本発明を適用した垂直記録磁気ヘッド装置の積層構造を、トラック幅方向から見て示す部分断面図であり、図２は、図１の垂直記録磁気ヘッド装置を記録媒体対向面側から見て示す部分断面図である。図においてＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向は、トラック幅方向、記録媒体Ｍからの漏れ磁界方向及び記録媒体Ｍの移動方向でそれぞれ定義される。記録媒体Ｍは、残留磁化の高いハード膜Ｍａを媒体表面側に有し、このハード膜Ｍａよりも内側に、磁気透過率の高いソフト膜Ｍｂを有している。垂直記録磁気ヘッド装置Ｈは、読取素子１０４を有する読取部ＨRの上に垂直記録磁気ヘッドＨ1を有する、いわゆる複合型の垂直記録磁気ヘッド装置である。
【００２０】
スライダ１０１は、Ａｌ2Ｏ3・ＴｉＣなどの非磁性材料で形成されており、その対向面１０１ａが記録媒体Ｍに対向している。このスライダ１０１は、記録媒体Ｍが回転すると、記録媒体Ｍの表面に生じた空気流によって該表面から浮上し、又は記録媒体Ｍに摺動する。図１において、スライダ１０１に対する記録媒体Ｍの移動方向はＡ方向である。スライダ１０１のトレーリング側端面１０１ｂには、Ａｌ2Ｏ3又はＳｉＯ2などの無機材料による非磁性絶縁層１０２が形成されて、この非磁性絶縁層１０２の上に読取部ＨRが形成されている。読取部ＨRは、下部シールド層１０３と、上部シールド層１０６と、これら下部シールド層１０３と上部シールド層１０６の間の無機絶縁層（ギャップ絶縁層）１０５内に位置する読取素子１０４とを有している。読取素子１０４は、ＡＭＲ、ＧＭＲ、ＴＭＲなどの磁気抵抗効果素子である。
【００２１】
上部シールド層１０６の上には、コイル絶縁下地層１０７を介して、導電性材料で形成された複数本の第１コイル層１０８が形成されている。第１コイル層１０８は、例えばＡｕ、Ａｇ、Ｐｔ、Ｃｕ、Ｃｒ、Ａｌ、Ｔｉ、ＮｉＰ、Ｍｏ、Ｐｄ、Ｒｈから選ばれる１種、又は２種以上の非磁性金属材料からなる。あるいは、これら非磁性金属材料が積層された積層構造であってもよい。第１コイル層１０８の周囲は、Ａｌ2Ｏ3などの無機絶縁材料で形成されたコイル絶縁層１０９が形成されている。
【００２２】
コイル絶縁層１０９の上面１０９ａは平坦化されており、この上面１０９ａの上に、第１磁性部１６０（図３）が形成されている。第１磁性部１６０は、記録媒体Ｍとの対向面（記録媒体対向面）Ｈ1aにトラック幅寸法Ｔｗで露出し、且つ、該対向面Ｈ1aからハイト方向に所定長さＮｈで延びる主磁極層１１０と、この主磁極層１１０の基端部１１０ｂで該主磁極層１１０と一体となってハイト方向奥側に延び、主磁極層１１０のトラック幅寸法Ｔｗよりも広いトラック幅寸法Ｔ１を有するヨーク部１２１とにより構成されている。主磁極層１１０は、強磁性材料で例えばメッキ形成されたものであり、Ｎｉ−Ｆｅ、Ｃｏ−Ｆｅ、Ｎｉ−Ｆｅ−Ｃｏなどの飽和磁束密度の高い材料からなる。具体的に、主磁極層１１０のトラック幅寸法Ｔｗは０．１μｍ〜１．０μｍ、ハイト寸法（ネックハイト寸法）Ｎｈは０．１μｍ〜１．０μｍの範囲内で形成される。また、ヨーク部１２１は、トラック幅方向の幅寸法Ｔ１が最も広い部分で１μｍ〜１００μｍ程度であり、ハイト方向への長さ寸法Ｌ３は１μｍ〜１００μｍ程度である。この第１磁性部１６０は、読み取り部側に位置する磁性部であり、別体に形成された主磁極層１１０とヨーク部１２１により構成されていてもよい。
【００２３】
主磁極層１１０の周囲には、図２に示すように、絶縁性材料層１１１が設けられている。この絶縁性材料層１１１の上面１１１ａと主磁極層１１０の上面１１０ｃとは同一面を構成している。絶縁性材料層１１１は、例えばアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）、ＳｉＯ2、Ａｌ−Ｓｉ−Ｏ、Ｔｉ、Ｗ、Ｃｒのいずれか１種又は２種以上で形成することができる。主磁極層１１０及びヨーク部１２１の上と絶縁性材料層１１１の上には、アルミナ又はＳｉＯ2などの無機材料によって、ギャップ層１１２が設けられている。ギャップ層１１２上には、コイル絶縁下地層１１３を介して第２コイル層１１４が形成されている。第２コイル層１１４は、第１コイル層１０８と同様に、導電性材料によって複数本形成されている。第２コイル層１１４は、例えばＡｕ、Ａｇ、Ｐｔ、Ｃｕ、Ｃｒ、Ａｌ、Ｔｉ、ＮｉＰ、Ｍｏ、Ｐｄ、Ｒｈから選ばれる１種又は２種以上の非磁性金属材料からなる。あるいは、これら非磁性金属材料が積層された積層構造であってもよい。第１コイル層１０８と第２コイル層１１４は、図３に示すように、それぞれのトラック幅方向における端部１０８ａ、１１４ａ同士と、端部１０８ｂ、１１４ｂ同士が電気的に接続されている。この第１コイル層１０８と第２コイル層１１４により、主磁極層１１０及びヨーク部１２１を軸にして巻回形成されたトロイダイルコイル層１２０が形成されている。第１コイル層１０８のハイト方向の幅寸法Ｗ20と第２コイル層１１４のハイト方向の幅寸法Ｗ21とは、同一寸法である。
【００２４】
第２コイル層１１４の周囲は、Ａｌ2Ｏ3などの無機絶縁材料で形成されたコイル絶縁層１１５が形成され、このコイル絶縁層１１５の上からギャップ層１１２上にかけて、パーマロイなどの強磁性材料によって、リターンパス層１１６（第２磁性部１６１）が形成されている。リターンパス層１１６は、記録媒体Ｍとの対向面Ｈ1aに露出する前端面１１６ａと、記録媒体Ｍとの対向面Ｈ1aよりもハイト方向奥側で主磁極層１１０と接続する接続部１１６ｂとを有している。この接続部１１６ｂを介して、主磁極層１１０からリターンパス層１１６を通る磁路が形成される。図２に示すように、主磁極層１１０の前端面１１０ａの厚みＨｔは、リターンパス層１１６の前端面１１６の厚みＨｒよりも小さくなっている。また、主磁極層１１０の前端面１１０ａのトラック幅方向の寸法Ｔｗは、リターンパス層１１６の前端面１１６ａの動方向での幅寸法Ｗｒよりも十分に短くなっている。よって、記録媒体Ｍとの対向面Ｈ1aでは、主磁極層１１０の前端面１１０ａの面積がリターンパス層１１６の前端面１１６ａの面積よりも十分に小さく、主磁極層１１０の前端面１１０ａに洩れ記録磁界の磁束φが集中する。
【００２５】
ギャップ層１１２上であって、記録媒体Ｍとの対向面Ｈ1aから所定距離離れた位置には、無機又は有機材料からなるＧｄ決め層１１７が形成されている。記録媒体Ｍとの対向面Ｈ1aからＧｄ決め層１１７の前端縁までの距離により、垂直記録磁気ヘッドＨ1のギャップデプス長が規定される。また、リターンパス層１１６の接続部１１６ｂのハイト方向奥側には、第２コイル層１１４から延出されたリード層１１８が、コイル絶縁下地層１１３を介して形成されている。リターンパス層１１６及びリード層１１８は、無機非磁性絶縁材料などからなる保護層１１９により覆われている。
【００２６】
垂直記録磁気ヘッドＨ1では、リード層１１８を介して第１コイル層１０８及び第２コイル層１１４に記録電流が与えられると、第１コイル層１０８及び第２コイル層１１４を流れる電流の電流磁界によって主磁極層１１０及びリターンパス層１１６に記録磁界が誘導され、記録媒体Ｍとの対向面Ｈ1aにおいて、主磁極層１１０の前端面１１０ａから記録磁界の磁束φ１が飛び出し、この磁束φ１が記録媒体Ｍのハード膜Ｍａを貫通してソフト膜Ｍｂを通過し、これにより記録媒体Ｍに記録信号が書き込まれた後、リターンパス層１１６の前端面１１６ａへ磁束φ１が戻る。リターンパス層１１６に戻った磁束φ１は、該リターンパス層１１６の接続部１１６ｂから主磁極層１１０に流れ、再度主磁極層１１０の前端面１１０ａから飛び出していく。これにより、繰り返し記録動作が行なわれる。
【００２７】
以上の構成を有する垂直記録磁気ヘッド装置には、図２に示すように、記録媒体Ｍとの対向面Ｈ1aで主磁極層１１０（前端面１１０ａ）の近傍に露出し、互いの露出面積比によって、主磁極層１１０のネックハイト位置（ネックハイト寸法）Ｎｈを指標する一対のネックハイトマーカー１３０（１３０Ｒ、１３０Ｌ）が備えられている。この一対のネックハイトマーカー１３０Ｒ、１３０Ｌは、コイル絶縁層１０９の上面１０９ａの上に、例えばメッキ法を用いて、主磁極層１１０と同一工程及び同一の強磁性材料で形成される。図４は、形成直後（記録媒体Ｍとの対向面Ｈ1aの研磨工程前の状態）の一対のネックハイトマーカー１３０Ｒ、１３０Ｌを示す平面図である。
【００２８】
図４に示すように、一対のネックハイトマーカー１３０Ｒ、１３０Ｌは、主磁極層１１０を挟んだ両側で互いの向きがハイト方向（研磨方向）で正逆になるように配置されている。この一対のネックハイトマーカー１３０Ｒ、１３０Ｌは、記録媒体Ｍとの対向面Ｈ1aと平行な面での断面積がハイト方向正逆のいずれに向かっても一方が増大し他方が減少していて、該対向面Ｈ1aと平行な特定の断面位置での同断面積が略同一になっている。各ネックハイトマーカー１３０Ｒ、１３０Ｌの平面形状が正三角形であるから、上記断面積が略同一になる特定の断面位置Ａは、ネックハイトマーカー１３０Ｒ、１３０Ｌのハイト方向の中間位置である。
【００２９】
本実施形態の一対のネックハイトマーカー１３０Ｒ、１３０Ｌは、この断面位置Ａにおいて、主磁極層１１０のネックハイト位置Ｎｈの適正位置を示す。また一対のネックハイトマーカー１３０Ｒ、１３０Ｌは、記録媒体Ｍとの対向面Ｈ1aと平行な面での断面積が図示左側のネックハイトマーカー１３０Ｌで図示右側のネックハイトマーカー１３０Ｒよりも小さいときに、主磁極層１１０のネックハイト位置Ｎｈが浅い（ネックハイト寸法が適正値よりも大きい）ことを示し、記録媒体Ｍとの対向面Ｈ1aと平行な面での断面積が図示左側のネックハイトマーカー１３０Ｌで図示右側のネックハイトマーカー１３０Ｒよりも大きいときに、主磁極層１１０のネックハイト位置Ｎｈが深い（ネックハイト寸法が適正値よりも小さい）ことを示す。
【００３０】
以上の本垂直記録磁気ヘッド装置は、ウエハ基板上に設けた複数のヘッド形成領域に、上記読取部ＨRと垂直記録磁気ヘッドＨ1からなるヘッド構造を同時に複数形成してから、各ヘッド形成領域毎にウエハ基板を切断して個々のヘッド基板に分割し、個々に分割されたヘッド基板の記録媒体対向面となる一端面に研磨加工を施して読取部ＨRの読取素子１０４のハイト寸法を規定することにより、形成される。上記研磨加工は、読取素子１０４のリード抵抗値を検出しながら行ない、該リード抵抗値が規定値に達した時点で終了する。この研磨工程により、記録媒体Ｍとの対向面Ｈ1aが形成され、読取素子１４０のハイト寸法と共に、主磁極層１１０のネックハイト位置Ｎｈが規定される。形成された対向面Ｈ1aには、主磁極層１１０を挟む両側位置に、一対のネックハイトマーカー１３０Ｒ、１３０Ｌが露出する。このとき、図５（ａ）に示すように一対のネックハイトマーカー１３０Ｒ、１３０Ｌの露出面積が略同一（露出面積比＝１：１）であれば、主磁極層１１０のネックハイト位置Ｎｈが適正であることがわかる。逆に、一対のネックハイトマーカー１３０Ｒ、１３０Ｌの露出面積がいずれか一方が大きく他方が小さければ、主磁極層１１０のネックハイト位置Ｎｈが適正でない（浅い又は深い）ことがわかる。この場合には、所望の記録特性を得られない虞があるので、当該垂直記録磁気ヘッドを不良品として選別することができる。
【００３１】
このように一対のネックハイトマーカー１３０Ｒ、１３０Ｌの記録媒体Ｍとの対向面Ｈ1aでの露出面積比を主磁極層１１０のネックハイト位置Ｎｈの指標（判断基準）とすれば、ネックハイト位置Ｎｈを相対的に判断することができ、該一対のネックハイトマーカー１３０Ｒ、１３０Ｌの寸法ばらつきにかかわらず、主磁極層１１０のネックハイト位置Ｎｈをより正確且つ容易に視認することができる。なお、例えばネックハイトマーカーの寸法や露出面積（又はその差分）等に基づいて絶対的に主磁極層のネックハイト位置を指標する構成では、ネックハイトマーカーの寸法がばらつくと、該ばらつきにより主磁極層のネックハイト位置を誤指標してしまう虞がある。
【００３２】
以上の本実施形態では、読取素子１０４を備えた複合型の垂直記録磁気ヘッド装置について説明したが、本発明は、垂直記録磁気ヘッドＨ1のみを有する垂直記録磁気ヘッド装置にも適用可能である。単独の垂直記録磁気ヘッド装置に適用する場合には、記録媒体Ｍとの対向面Ｈ1aに露出した一対のネックハイトマーカー１３０Ｒ、１３０Ｌの露出面積比によって主磁極層１１０のネックハイト位置Ｎｈを指標するだけでなく、記録媒体Ｍとの対向面Ｈ1aを研磨する際に、同露出面積比に基づいて主磁極層１１０のネックハイト位置Ｎｈを調整することができる。
【００３３】
本実施形態では、一対のネックハイトマーカー１３０Ｒ、１３０Ｌを主磁極層１１０のトラック幅方向の両側に配置しているが、一対のネックハイトマーカー１３０Ｒ、１３０Ｌの左右を誤判断しないように、主磁極層１１０のトラック幅方向の両側のいずれか一方に形成してもよい。
【００３４】
また一対のネックハイトマーカー１３０Ｒ、１３０Ｌは、主磁極層１１０と同じ積層高さ位置でなく主磁極層１１０の上層又は下層に設けてもよく、また、主磁極層１１０とは別の磁性材料又は非磁性材料により形成してもよいが、本実施形態のように主磁極層１１０と同一工程及び同一材料（同一条件下）で形成すれば、層間のマッチングのずれや形成条件の違いの影響を受けずに済み、精度良く主磁極層１１０のネックハイト位置Ｎｈを指標することができる。
【００３５】
さらに、一対のネックハイトマーカー１３０Ｒ、１３０Ｌの平面形状は、記録媒体Ｍと対向面Ｈ1aと平行な面での断面積がハイト方向正逆のいずれに向かっても一方が増大し他方が減少する形状であればよく、例えば台形状であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明を適用した垂直記録磁気ヘッド装置の積層構造を、トラック幅方向から見て示す部分断面図である。
【図２】図１の主磁極層を記録媒体との対向面側からみて示す部分断面図である。
【図３】主磁極層のネックハイト位置を説明する平面図である。
【図４】主磁極層の近傍に備えられる一対のネックハイトマーカーを示す平面図である。
【図５】記録媒体対向面に露出した一対のネックハイトマーカーを示す断面図であり、ネックハイト位置が（ａ）適正である場合、（ｂ）浅い場合、（ｃ）深い場合をそれぞれ示している。
【符号の説明】
【００３７】
１０４    読取素子
１０９    コイル絶縁層
１１０    主磁極層
１１０ａ  前端面
１１６    リターンパス層
１１６ａ  前端面
１１６ｂ  接続部
１２１    ヨーク部
１３０    ネックハイトマーカー
１６０    第１磁性部
１６１    第２磁性部
Ｈ      垂直記録磁気ヘッド装置
Ｈ1     垂直記録磁気ヘッド
Ｈ1a    対向面（記録媒体対向面）
ＨR     読取部
Ｍ      記録媒体
Ｎｈ    ネックハイト位置
【図１】
2005293805.tif 000003
【図２】
2005293805.tif 000004
【図３】
2005293805.tif 000005
【図４】
2005293805.tif 000006
【図５】
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