(57)【要約】      （修正有）【課題】  耐衝撃性に優れ、ディスク面及び支持アームへのクリアランスを増大させることができるヘッド支持機構ＨＡＡを備えるディスク装置及びヘッド支持機構の製造方法を提供する。【解決手段】  支持アーム４０と、ヘッド素子を有するヘッドスライダ４４を先端部で支持し荷重支持点４２を支点として記録媒体表面と交差する方向に揺動可能な天秤構造のサスペンションとし、ヘッドスライダ４４を記録媒体表面の方向へ押圧するための荷重発生手段と、サスペンションの重心を荷重支持点４２に一致させるためのウェイト部材４６とを備え、ロードビーム４１の後端部に少なくとも一部が重畳するように形成されたウェイトビーム４８とを備えて、ウェイト部材４６をロードビーム４１の後端部又はウェイトビーム４８に設ける。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
剛性の高い支持アームと、該支持アームとの間で設定されている荷重支持点を支点として記録媒体表面と交差する方向に揺動可能な天秤構造をなしており、少なくとも１つのヘッド素子を有するヘッドスライダを先端部で支持するためのサスペンションと、前記ヘッドスライダを前記記録媒体表面の方向へ前記荷重支持点を介して押圧するための荷重を発生する荷重発生手段と、前記サスペンションの後端部に連結されており、前記ヘッドスライダを含む前記サスペンションの重心を前記荷重支持点に一致させるためのウェイト部材とを備えており、前記サスペンションが、前記ヘッドスライダを支持するための弾性を有するフレクシャと、該フレクシャを支持するロードビームと、該ロードビームの後端部に少なくとも一部が重畳するように形成されたウェイトビームとを備えており、前記ウェイト部材が前記ロードビームの後端部又は前記ウェイトビームに設けられていることを特徴とするヘッド支持機構。
【請求項２】
前記荷重支持点が、前記ウェイトビームに設けられた突起部であることを特徴とする請求項１に記載のヘッド支持機構。
【請求項３】
前記荷重発生手段が、前記ウェイトビームと一体的に形成されており、前記支持アームに連結された板ばねからなることを特徴とする請求項１又は２に記載のヘッド支持機構。
【請求項４】
前記荷重支持点が、前記ロードビームに設けられた突起部であることを特徴とする請求項１に記載のヘッド支持機構。
【請求項５】
前記荷重発生手段が、前記ロードビームと一体的に形成されており、前記支持アームに連結された板ばねからなることを特徴とする請求項１、２又は４に記載のヘッド支持機構。
【請求項６】
前記ウェイトビームが、前記ロードビームの前記支持アーム側の面上に設けられていることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載のヘッド支持機構。
【請求項７】
前記ウェイト部材が、前記ウェイトビームの前記支持アームとは反対側の面上に設けられていることを特徴とする請求項６に記載のヘッド支持機構。
【請求項８】
前記ウェイト部材が、前記ロードビームの前記支持アームとは反対側の面上に設けられていることを特徴とする請求項６に記載のヘッド支持機構。
【請求項９】
前記ウェイトビームが、前記ロードビームの前記支持アームとは反対側の面上に設けられていることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載のヘッド支持機構。
【請求項１０】
前記ウェイト部材が、前記ウェイトビームの前記支持アーム側の面上に設けられていることを特徴とする請求項９に記載のヘッド支持機構。
【請求項１１】
前記ウェイトビーム及び前記ロードビームが、それぞれ単一の板部材によって構成されており、互いに溶接によって固着されていることを特徴とする請求項１から１０のいずれか１項に記載のヘッド支持機構。
【請求項１２】
前記ウェイト部材が、板部材によって構成されており前記ウェイトビーム又は前記ロードビームに溶接によって固着されていることを特徴とする請求項１１に記載のヘッド支持機構。
【請求項１３】
前記ウェイト部材が、モールドされた樹脂によって構成されていることを特徴とする請求項１１に記載のヘッド支持機構。
【請求項１４】
前記ウェイトビーム及び前記ロードビームが、樹脂層と金属層とのラミネート板部材によって構成されていることを特徴とする請求項１から１０のいずれか１項に記載のヘッド支持機構。
【請求項１５】
前記ウェイト部材が前記ラミネート板部材によって構成されていることを特徴とする請求項１４に記載のヘッド支持機構。
【請求項１６】
前記支持アーム及び前記サスペンションを前記記録媒体表面と平行な方向に回動可能に支承する水平回動軸受手段をさらに備えたことを特徴とする請求項１から１５のいずれか１項に記載のヘッド支持機構。
【請求項１７】
前記支持アームが、前記水平回動軸受手段に固着されていることを特徴とする請求項１６に記載のヘッド支持機構。
【請求項１８】
前記水平回動軸受手段に固着されており、前記支持アーム及び前記サスペンションを前記記録媒体表面と平行な方向に回動させるためのアクチュエータ手段をさらに備えたことを特徴とする請求項１６又は１７に記載のヘッド支持機構。
【請求項１９】
請求項１から１８のいずれか１項に記載のヘッド支持機構と、該ヘッド支持機構の前記サスペンション上に装着された少なくとも１つのヘッド素子を有するヘッドスライダとを備えたことを特徴とするヘッドアームアセンブリ。
【請求項２０】
少なくとも１つの記録媒体と、少なくとも１つの請求項１９に記載のヘッドアームアセンブリとを備えたことを特徴とするディスク装置。
【請求項２１】
複数の記録媒体と、前記水平回動軸受手段が共通の複数の前記ヘッドアームアセンブリと、該共通の水平回動軸受手段に固着されており、前記複数のヘッドアームアセンブリを前記記録媒体表面と平行な方向に回動させるための単一のアクチュエータ手段とを備えたことを特徴とする請求項２０に記載のディスク装置。
【請求項２２】
剛性の高い支持アームと、該支持アームとの間で設定されている荷重支持点を支点として記録媒体表面と交差する方向に揺動可能な天秤構造をなしており、少なくとも１つのヘッド素子を有するヘッドスライダを先端部で支持するためのサスペンションと、前記ヘッドスライダを前記記録媒体表面の方向へ前記荷重支持点を介して押圧するための荷重を発生する荷重発生手段とを備えたヘッド支持機構の製造方法であって、
前記サスペンションの重心を荷重支持点に一致させるためのウェイト部材をウェイトビームに固着しておき、
前記荷重発生手段が形成されたロードビームの後端部に、前記ウェイト部材が固着されたウェイトビームをその少なくとも一部が重畳するように固着し、
該ウェイトビームが固着されたロードビームの前記荷重発生手段を前記支持アームに固着することを特徴とするヘッド支持機構の製造方法。
【請求項２３】
前記ロードビームに、前記荷重支持点として１対の突起部を形成することを特徴とする請求項２２に記載の製造方法。
【請求項２４】
前記ロードビームに、前記荷重発生手段としての板ばねを一体的に形成することを特徴とする請求項２２又は２３に記載の製造方法。
【請求項２５】
前記ウェイトビームを、前記ロードビームの前記支持アーム側の面上に設けることを特徴とする請求項２２から２４のいずれか１項に記載の製造方法。
【請求項２６】
前記ウェイト部材を、前記ウェイトビームの前記支持アームとは反対側の面上に設けておくことを特徴とする請求項２５に記載の製造方法。
【請求項２７】
前記ウェイトビームを、前記ロードビームの前記支持アームとは反対側の面上に設けることを特徴とする請求項２２から２４のいずれか１項に記載の製造方法。
【請求項２８】
前記ウェイト部材を、前記ウェイトビームの前記支持アーム側の面上に設けることを特徴とする請求項２７に記載の製造方法。
【請求項２９】
前記ウェイトビーム及び前記ロードビームを、それぞれ単一の板部材によって形成し、溶接によって互いに固着することを特徴とする請求項２２から２８のいずれか１項に記載の製造方法。
【請求項３０】
前記ウェイト部材を板部材によって形成し、該ウェイト部材を前記ウェイトビームに溶接によって固着することを特徴とする請求項２９に記載の製造方法。
【請求項３１】
前記ウェイト部材をモールドされた樹脂によって形成することを特徴とする請求項２９に記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、サスペンションと支持アームとを組み合わせてなるヘッド支持機構、このヘッド支持機構に薄膜磁気ヘッドや光ヘッドなどの記録及び／又は再生ヘッド素子を支持するための浮上型のヘッドスライダを装着してなるヘッドアームアセンブリ（ＨＡＡ）、このＨＡＡを備えたディスクドライブ装置及びヘッド支持機構の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスクドライブ装置では、ＨＡＡの先端部に取り付けられた磁気ヘッドスライダを、回転する磁気ディスクの表面から浮上させ、その状態で、この磁気ヘッドスライダに搭載された薄膜磁気ヘッド素子により磁気ディスクへの記録及び／又は磁気ディスクからの再生が行われる。
【０００３】
ＨＡＡは、磁気ヘッドスライダと、この磁気ヘッドスライダを支持する弾性を有するフレクシャ、このフレクシャを先端部で支持する弾性を有するロードビーム及びこのロードビームの後端部を支持するベースプレートからなるサスペンションと、このサスペンションを支持する剛性の高い支持アームとを主に備えており、磁気ヘッドスライダの磁気ディスク面方向への荷重はサスペンションのロードビームの途中に設けられた板ばね部で発生している。
【０００４】
このような従来のＨＡＡは、その後端部でサスペンションを支持する片持ち梁構造を有している。片持ち梁構造は、磁気ヘッドスライダへの荷重が安定すること及び省スペースを図ることができる点で優れているが、耐衝撃性が低いという大きな問題点を有している。即ち、片持ち梁構造では、その自由端である先端部に磁気ヘッドスライダが搭載されるため、衝撃力が印加された際に、その梁構造の系全体の質量による回転モーメントに磁気ヘッドスライダの回転モーメントが付加されることから、磁気ディスク面からの跳ね上がりや磁気ディスク面への叩き付けであるスラップモードが発生してしまう。特に、磁気ヘッドスライダを支持する梁構造であるロードビームに低剛性のばね材（フレクシャよりもやや厚いステンレス鋼板）を用いているため、この傾向は顕著となっている。
【０００５】
ハイエンド型又はデスクトップ型と呼ばれるコンピュータに搭載される３．５インチ系の磁気ディスクドライブでは過大な衝撃力が印加されることはほとんどないが、ノートパソコンに搭載される２．５インチ系の磁気ディスクドライブでは過大な衝撃力が印加される可能性が高く、従って、このように耐衝撃性が低いことは大きな問題となる。
【０００６】
ＨＡＡの耐衝撃性を向上させるために、剛性の高いアームの一端に磁気ヘッドスライダを設けると共に他端に水平回動用のボイスコイルモータ（ＶＣＭ）を設け、このアームを軸受部を中心にして磁気ディスクの半径方向に回動可能に構成し、かつ軸受部を中心にして磁気ディスク面と垂直方向に回動可能な天秤構造となるように構成し、さらに、軸受部に設けた板ばねをピボットで付勢することによって磁気ヘッドスライダに荷重を与えるようにしたヘッド支持装置が提案されている（例えば特許文献１）。
【０００７】
このような天秤構造のＨＡＡによれば、小径の磁気ディスク装置でかつ１枚ディスクの場合にはＶＣＭと磁気ヘッドスライダとの距離が短いため、軸受部よりＶＣＭ側のアームと軸受部より磁気ヘッドスライダ側のアームとの重量を釣り合わせることが可能である。しかしながら、１．８インチ系や２．５インチ系のごとくこれより径の大きい磁気ディスクドライブでは、アーム長が大きくなるために、固有振動数の１次曲げモード周波数（以下、１次曲げ周波数と称する）を高めることが難しく、耐衝撃性を充分に確保することが困難である。さらに、ＶＣＭによって天秤構造の釣り合いをとる構造であるため、複数のＨＡＡを重畳した磁気ディスク装置を構成することができなかった。
【０００８】
上述した不都合を解消するために、支持アームの先端部において天秤構造を採用することが、本願発明者等によって提案されている。
【０００９】
図１は本願発明者等によって提案されているこのＨＡＡの概略的な構成を説明するための側面図であり、図２は図１に示すＨＡＡの先端部天秤構造の動作を模式的に表す図である。
【００１０】
図１において、１０は支持アーム、１１は支持アーム１０の先端部に当接する突起、即ち荷重支持点１２を支点とした先端部天秤構造のロードビーム、１３はロードビーム１１と支持アーム１０とを連結しており、突起１２を介してロードビーム１１を付勢する支持ばね、１４はフレクシャ１５を介してロードビーム１１の先端部に支持されている磁気ヘッドスライダ、１６はロードビーム１１の後端部に固着されたウェイト部材、１７は磁気ヘッドスライダ１４を押圧する荷重ディンプルをそれぞれ示している。このＨＡＡでは、図２に示すように、ｍ１を荷重支持点１２より後端側の質量中心、ｍ２を荷重支持点１２より先端側（磁気ヘッドスライダ１４側）の質量中心、ｌ１を荷重支持点１２から質量中心ｍ１までの距離、ｌ２を荷重支持点１２から質量中心ｍ２までの距離とした場合に、荷重支持点１２前後の回転モーメントを等しくしている（ｍ１×ｌ１＝ｍ２×ｌ２）。換言すれば、ウェイト部材１６を取り付けることにより、このＨＡＡの固定部１８を除く重心を荷重支持点１２に一致させている。
【００１１】
このような構成のＨＡＡによれば、支持アーム１０の先端部に天秤構造のロードビーム１１が設けられているため、支持アームが長くなっても耐衝撃性がさほど低下しない。また、ＶＣＭのコイル部によって天秤構造の釣り合いをとる構造ではないので、複数のＨＡＡを重畳した磁気ディスク装置を構成することができる。
【００１２】
【特許文献１】特開２００２−２３７１６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかしながら、図１に示したごとき支持アーム１０の先端部に天秤構造を設けたＨＡＡには、ウェイト部材１６と磁気ディスクとのクリアランス及びロードビーム１１と支持アーム１０とのクリアランスの点で大きな制約がある。
【００１４】
即ち、このような先端部天秤構造では天秤の効果を大きく得るために、ロードビーム１１は使用状態においてディスク面と平行となることが望ましい。従って、支持アーム１０の厚みを除いた装置取り付け高さ（Ｚハイト）は、（荷重支持点を構成する突起（ピボットディンプル）１２の高さ）＋（ロードビーム１１の板厚）＋（荷重ディンプル１７の高さ）＋（フレクシャ１５の板厚）＋（磁気ヘッドスライダ１４の厚み）で規定される。ディンプルをロードビームに設けた場合、最大突起高さは板厚により、ある範囲内に規定されるため、ロードビーム１１の後端部にウェイト部材１６を取り付けた場合、このウェイト部材１６と磁気ディスクとのクリアランスを確保すると、ウェイト部材１６と支持アーム１０とのクリアランスが取れないというトレードオフの関係が発生し、これが設計の自由度を奪ってしまうという大きな問題があった。
【００１５】
また、ウェイト部材１６の変位を抑えるためにこのウェイト部材１６を厚くすれば、クリアランスが奪われ、逆に、クリアランスを確保するためにウェイト部材１６を薄くすれば、モーメントバランスを取るためにその全長が長くなり、衝撃印加時の垂直方向の変位が増大してしまう。
【００１６】
従って本発明の目的は、耐衝撃性に優れており、天秤構造後端部のディスク面及び支持アームへのクリアランスを増大させることができるヘッド支持機構、ＨＡＡ、このＨＡＡを備えたディスク装置及びヘッド支持機構の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明によれば、剛性の高い支持アームと、支持アームとの間で設定されている荷重支持点を支点として記録媒体表面と交差する方向に揺動可能な天秤構造をなしており、少なくとも１つのヘッド素子を有するヘッドスライダを先端部で支持するためのサスペンションと、ヘッドスライダを記録媒体表面の方向へ荷重支持点を介して押圧するための荷重を発生する荷重発生手段と、サスペンションの後端部に連結されており、ヘッドスライダを含むサスペンションの重心を荷重支持点に一致させるためのウェイト部材とを備えており、サスペンションが、ヘッドスライダを支持するための弾性を有するフレクシャと、フレクシャを支持するロードビームと、ロードビームの後端部に少なくとも一部が重畳するように形成されたウェイトビームとを備えており、ウェイト部材がロードビームの後端部又はウェイトビームに設けられているヘッド支持機構が提供される。さらに、このヘッド支持機構と、ヘッド支持機構のサスペンション上に装着された少なくとも１つのヘッド素子を有するヘッドスライダとを備えたＨＡＡも提供される。さらにまた、少なくとも１つの記録媒体と、少なくとも１つの上述のＨＡＡとを備えたディスク装置が提供される。
【００１８】
ウェイトビームがロードビームの後端部に少なくとも一部が重畳するように形成されており、ウェイト部材がロードビームの後端部又はウェイトビームに設けられている。従来は、ロードビームとウェイト部材との２つの部材で構成していたのに対し、ロードビームとウェイトビームとウェイト部材との３つの部材で構成しており、ロードビームの後端部に少なくとも一部が重畳するようにウェイトビームを形成されている。このため、ウェイト部材をウェイトビームに設けた場合には、ウェイト部材及びディスク表面間のクリアランスと、ロードビーム又はウェイトビーム及び支持アーム間のクリアランスとの両方を満足させることが可能となる。また、ウェイト部材をロードビームの後端部に設けた場合には、ウェイト部材及びディスク表面間のクリアランスを確保し、かつ従来のバランス構造と同様のロードビーム及び支持アーム間のクリアランスを得ることが可能となる。
【００１９】
なお、本明細書において、「先端部」及び「先端」とは動作時に自由端となる側、即ちヘッドスライダが装着される側の部分及びその端を指しており、「後端部」及び「後端」とはこれとは反対側の部分及びその端を指している。
【００２０】
荷重支持点が、ウェイトビームに設けられた突起部であることが好ましい。
【００２１】
荷重発生手段が、ウェイトビームと一体的に形成されており、支持アームに連結された板ばねからなることも好ましい。
【００２２】
荷重支持点が、ロードビームに設けられた突起部であることが好ましい。
【００２３】
荷重発生手段が、ロードビームと一体的に形成されており、支持アームに連結された板ばねからなることも好ましい。
【００２４】
ウェイトビームが、ロードビームの支持アーム側の面上に設けられていることが好ましい。この場合、ウェイト部材が、ウェイトビームの支持アームとは反対側の面上に設けられているか、又はロードビームの支持アームとは反対側の面上に設けられていることがより好ましい。
【００２５】
ウェイトビームが、ロードビームの支持アームとは反対側の面上に設けられていることも好ましい。この場合、ウェイト部材が、ウェイトビームの支持アーム側の面上に設けられていることがより好ましい。
【００２６】
ウェイトビーム及びロードビームが、それぞれ単一の板部材によって構成されており、互いに溶接によって固着されていることが好ましい。この場合、ウェイト部材が、板部材によって構成されておりウェイトビーム又はロードビームに溶接によって固着されているか、又はモールドされた樹脂によって構成されていることが好ましい。
【００２７】
ウェイトビーム及びロードビームが、樹脂層と金属層とのラミネート板部材によって構成されていることも好ましい。この場合、ウェイト部材がこのラミネート板部材によって構成されていることがより好ましい。
【００２８】
支持アーム及びサスペンションを記録媒体表面と平行な方向に回動可能に支承する水平回動軸受手段をさらに備えたことも好ましい。この場合、支持アームが、水平回動軸受手段に固着されていることがより好ましい。
【００２９】
水平回動軸受手段に固着されており、支持アーム及びサスペンションを記録媒体表面と平行な方向に回動させるためのアクチュエータ手段をさらに備えたことも好ましい。
【００３０】
ディスク装置が、複数の記録媒体と、水平回動軸受手段が共通の複数のヘッドアームアセンブリと、共通の水平回動軸受手段に固着されており、複数のヘッドアームアセンブリを記録媒体表面と平行な方向に回動させるための単一のアクチュエータ手段とを備えたことも好ましい。
【００３１】
本発明によれば、さらに、剛性の高い支持アームと、支持アームとの間で設定されている荷重支持点を支点として記録媒体表面と交差する方向に揺動可能な天秤構造をなしており、少なくとも１つのヘッド素子を有するヘッドスライダを先端部で支持するためのサスペンションと、ヘッドスライダを記録媒体表面の方向へ荷重支持点を介して押圧するための荷重を発生する荷重発生手段とを備えたヘッド支持機構の製造方法であって、サスペンションの重心を荷重支持点に一致させるためのウェイト部材をウェイトビームに形成しておき、荷重発生手段が形成されたロードビームの後端部に、ウェイト部材が形成されたウェイトビームをその少なくとも一部が重畳するように固着し、ウェイトビームが固着されたロードビームの荷重発生手段を前記支持アームに固着するヘッド支持機構の製造方法が提供される。
【００３２】
ロードビームとウェイトビームとウェイト部材との３つの部材構成となりウェイト部材を形成したウェイトビームをロードビームの後端部に少なくとも一部が重畳するように固着しているため、ウェイト部材及びディスク表面間のクリアランスと、ロードビーム又はウェイトビーム及び支持アーム間のクリアランスとの両方を満足させることが可能となる。
【００３３】
しかも、ウェイト部材をウェイトビームに形成しておき、その後、荷重発生手段が形成されたロードビームの後端部にそのウェイトビームを固着しているので、ウェイト部材の形成工程中でロードビームが取り扱われることはない。このため、ウェイト部材を形成する際に、板ばねなどによる荷重発生手段や荷重ディンプルなどが形成されているロードビームの品質が劣化するような不都合は生じない。逆に、ウェイト部材の形成工程においては、ロードビームの取り扱いを考慮する必要がないことから、工程を簡略化でき、製造コストの低減化を図ることができる。
【００３４】
ロードビームに、荷重支持点として１対の突起部を形成することが好ましい。
【００３５】
ロードビームに、荷重発生手段としての板ばねを一体的に形成することも好ましい。
【００３６】
ウェイトビームを、ロードビームの支持アーム側の面上に設けることが好ましい。この場合、ウェイト部材を、ウェイトビームの支持アームとは反対側の面上に設けておくことがより好ましい。
【００３７】
ウェイトビームを、ロードビームの支持アームとは反対側の面上に設けることも好ましい。この場合、ウェイト部材を、ウェイトビームの支持アーム側の面上に設けることがより好ましい。
【００３８】
ウェイトビーム及びロードビームを、それぞれ単一の板部材によって形成し、溶接によって互いに固着することが好ましい。この場合、ウェイト部材を板部材によって形成し、ウェイト部材をウェイトビームに溶接によって固着するか、又はモールドされた樹脂によって形成することがより好ましい。
【発明の効果】
【００３９】
本発明によれば、ウェイト部材及びディスク表面間のクリアランスと、ロードビーム又はウェイトビーム及び支持アーム間のクリアランスとの両方を満足させることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４０】
図３は本発明の一実施形態における磁気ディスクドライブ装置の要部の構成を概略的に示す平面図であり、図４は図３の磁気ディスクドライブ装置に装着されるＨＡＡを示す側面図であり、図５は従来のＨＡＡと本実施形態のＨＡＡとを比較して示す側面図である。
【００４１】
図３において、３０は軸３１の回りを回転する約１インチ径の１枚の磁気ディスク、３２は磁気ディスク３０の表面に対向する磁気ヘッドスライダを支持アーム３３及びロードビーム３４を介して先端部に装着し、後端部にＶＣＭコイル部３５を装着したＨＡＡ、３６はＨＡＡ３２の支持アーム３３を磁気ディスク３０の表面と平行に（水平方向に）回動させるためのベアリングハウジングを示している。
【００４２】
ＶＣＭは、コイル部３５と図示しないヨーク部とから構成されており、ベアリングハウジング３６の軸方向にスタックされた単数又は複数のＨＡＡ３２をこの軸を中心にして磁気ディスク３０の表面と平行に回動させ、これによってその先端部に取り付けられた磁気ヘッドスライダのシーク動作が行われる。
【００４３】
図４に示すように、本実施形態におけるＨＡＡ３２は、剛性の非常に高い支持アーム４０（３３）と、ロードビーム４１（３４）、このロードビーム４１の支持アーム４０側の面上の後端部にその先端部が重畳して固着されているウェイトビーム４８、フレクシャ４５及び図示されていない配線部材から主として構成されるサスペンションと、このサスペンションの先端部に装着された磁気ヘッドスライダ４４と、荷重を発生するための板ばね４３と、ウェイトビーム４８の支持アームとは反対側の面上の後端部に固着されており、回転モーメントの釣り合いを取るためのウェイト部材４６とを備えている。
【００４４】
サスペンション、磁気ヘッドスライダ４４及びウェイト部材４６は、１対の突起からなる荷重支持点４２を支点として磁気ディスク表面と略垂直方向に揺動する先端部天秤構造となっている。なお、サスペンションは、板ばね４３によって支持アーム４０に連結されており、この板ばね４３及び突起４２を除いては支持アーム４０にも他の部材にも連結されていない、いわゆる浮動状態となっている。
【００４５】
支持アーム４０は非常に剛性の高い部材、例えば１５０〜２５０μｍ程度と厚いステンレス鋼板で構成されている。
【００４６】
ロードビーム４１は、本実施形態では、フレクシャ４５より剛性の高い例えば厚さ約３０〜５０μｍのステンレス鋼板（例えばＳＵＳ３０４ＴＡ）等の単一の金属板で構成されている。このロードビーム４１の先端部には、フレクシャ４５を介して磁気ヘッドスライダ４３に荷重を印加するための荷重ディンプル（突起）４７が形成されている。
【００４７】
フレクシャ４５は、本実施形態では、弾性を有する１枚の例えば厚さ約２０〜３０μｍのステンレス鋼板（例えばＳＵＳ３０４ＴＡ）等の金属板で形成されている。フレクシャ４５の先端部には軟らかい舌部が形成されており、この舌部で磁気ヘッドスライダ４４を柔軟に支えて浮上姿勢を安定させている。本実施形態では、このフレクシャ４５は、ロードビーム４１上に例えばレーザビーム溶接により固着されている。
【００４８】
フレクシャ４５上には、図示されていないが、配線部材として、薄膜磁気ヘッド素子用のトレース導体及び接続パッド等が形成されている。このトレース導体及び接続パッド等は、フレクシャ４５の表面に直接積層しても良いし、樹脂層上にトレース導体を積層して形成したフレキシブルプリント回路(ＦＰＣ)をフレクシャ４５の表面に接着しても良い。
【００４９】
磁気ヘッドスライダ４４には、本実施形態では書込みヘッド素子及び磁気抵抗効果（ＭＲ）読出しヘッド素子による１つの薄膜磁気ヘッド素子が形成されている。
【００５０】
ウェイトビーム４８は、本実施形態では、例えば厚さ約３０〜５０μｍのステンレス鋼板（例えばＳＵＳ３０４ＴＡ）等の単一の金属板で構成されている。このウェイトビーム４８は、その前端部がロードビーム４１の後端部であって支持アーム４０側の面に重畳して例えばレーザビーム溶接により固着されている。さらに、本実施形態においては、このウェイトビーム４８には、板ばね４３と１対の突起からなる荷重支持点４２とが一体的に形成されている。より具体的には、板ばね４３は、ウェイトビーム４８と同じ板部材を切り抜いて、又は、ウェイトビーム４８に別部材を溶接することによって形成されている。この板ばね４３はウェイトビーム４８の後端部において曲げられ、その前方へ向かって自由端が伸長している。板ばね４３のこの自由端を支持アーム４０の裏側にレーザビーム溶接などで固着することによって、ウェイトビーム４８及びロードビーム４１は支持アーム４０に連結されている。１対の突起からなる荷重支持点４２は、ウェイトビーム４８と同じ板部材にプレスによるディンプル加工で形成されている。
【００５１】
ウェイト部材４６は、磁気ヘッドスライダ４４を含むサスペンションの重心が荷重支持点に一致するようにその位置、形状及び重量が決定されており、本実施形態では、ウェイトビーム４８の後端部であって支持アーム４０とは反対側の面に、例えば厚さ約１５０μｍのステンレス鋼板（例えばＳＵＳ３０４ＴＡ）等の単一の金属板が例えばレーザビーム溶接により固着されている。
【００５２】
図５（Ａ）に示すように、従来の先端部天秤構造のＨＡＡでは、サスペンションが単一のロードビーム１１とフレクシャ１５とから主として構成されており、このロードビーム１１にウェイト部材１６が直接取り付けられていたため、このウェイト部材１６がその板厚の分だけロードビームより突出していた。このため磁気ディスク１９の表面とのクリアランスＢが奪われてしまう。ウェイト部材の板厚を薄くすればこの部分のクリアランスは得られるが、モーメントバランスを取るためにそのウェイト部材の全長を長くする必要があり、これは衝撃を受けた際のウェイト部材の変位を大きくするのでやはり磁気ディスク１９とのクリアランスＢを奪うことになる。一方、支持アーム１０とのクリアランスＡは、荷重支持点を構成する突起（ピボットディンプル）１２の高さによって決まるが、この突起１２は、ロードビーム１１をプレスすることによるディンプル加工によって形成されるので、ロードビームの板厚によって形成できる最大突起高さが限られるために高くすることが難しかった。
【００５３】
一方、図５（Ｂ）に示すように、本実施形態のＨＡＡでは、ロードビーム４１とは別部材のウェイトビーム４８をこのロードビーム４１の後端部の支持アーム４０側の面上に少なくとも一部が重畳するように固着している。そして、このウェイトビーム４８に板ばね４３と１対の突起からなる荷重支持点４２とが設けられている。しかも、ウェイト部材４６をウェイトビーム４８の後端部であって支持ビーム４０とは反対側の面に固着している。ウェイトビーム４８に荷重支持点４２を構成する突起が形成されているため、Ｚ−ハイトはウェイトビーム４８の分だけ増大するが、ウェイトビーム４８の板厚はそのままに保った状態で（従ってプレスによるディンプル加工で充分な高さの突起４２を形成することが可能な状態で）ロードビーム４１のみの板厚を厚くしてその剛性を高めることが可能となる。ウェイトビーム４８がロードビーム４１の支持アーム４０側の面に固着され、ウェイト部材４６をウェイトビーム４８の支持ビーム４０とは反対側の面に固着されているので、ウェイト部材４６はロードビーム４１の板厚を差し引いた厚みのみロードビーム４１の表面から突出することとなり、ウェイト部材４６及び磁気ディスク４９の表面間のクリアランスＢが確保される。支持アーム４０側のクリアランスＡも、突起４２の高さに対応する分だけ確保される。その結果、設計の自由度と高い剛性とを得ることができる。
【００５４】
なお、本実施形態によれば、荷重支持点を支点として、それより先端側のサスペンション及び磁気ヘッドスライダ４４と後端側のサスペンション及びウェイト部材４６とが釣り合う形の先端部天秤構造となっているため、各ＨＡＡ毎にＶＣＭで釣り合いを取る必要がない。従って、複数のＨＡＡを重畳して１つのＶＣＭでこれらを駆動する構成を簡単に提供することができる。
【００５５】
図６は本発明の他の実施形態におけるＨＡＡを示す側面図である。
【００５６】
同図に示すように、本実施形態におけるＨＡＡは、剛性の非常に高い支持アーム６０と、ロードビーム６１、このロードビーム６１の支持アーム６０側の面上の後端部にその全長に渡って重畳して固着されているウェイトビーム６８、フレクシャ６５及び図示されていない配線部材から主として構成されるサスペンションと、このサスペンションの先端部に装着された磁気ヘッドスライダ６４と、荷重を発生するための板ばね６３と、ロードビーム６１の支持アームとは反対側の面上の後端部に固着されており、回転モーメントの釣り合いを取るためのウェイト部材６６とを備えている。
【００５７】
サスペンション、磁気ヘッドスライダ６４及びウェイト部材６６は、１対の突起からなる荷重支持点６２を支点として磁気ディスク表面と略垂直方向に揺動する先端部天秤構造となっている。なお、サスペンションは、板ばね６３によって支持アーム６０に連結されており、この板ばね６３及び突起６２を除いては支持アーム６０にも他の部材にも連結されていない、いわゆる浮動状態となっている。
【００５８】
支持アーム６０は非常に剛性の高い部材、例えば１５０〜２５０μｍ程度と厚いステンレス鋼板で構成されている。
【００５９】
ロードビーム６１は、本実施形態では、フレクシャ６５より剛性の高い例えば厚さ約３０〜５０μｍのステンレス鋼板（例えばＳＵＳ３０４ＴＡ）等の単一の金属板で構成されている。このロードビーム６１の先端部には、フレクシャ６５を介して磁気ヘッドスライダ６３に荷重を印加するための荷重ディンプル（突起）６７が形成されている。
【００６０】
フレクシャ６５は、本実施形態では、弾性を有する１枚の例えば厚さ約２０〜３０μｍのステンレス鋼板（例えばＳＵＳ３０４ＴＡ）等の金属板で形成されている。フレクシャ６５の先端部には軟らかい舌部が形成されており、この舌部で磁気ヘッドスライダ６４を柔軟に支えて浮上姿勢を安定させている。本実施形態では、このフレクシャ６５は、ロードビーム６１上に例えばレーザビーム溶接により固着されている。
【００６１】
フレクシャ６５上には、図示されていないが、配線部材として、薄膜磁気ヘッド素子用のトレース導体及び接続パッド等が形成されている。このトレース導体及び接続パッド等は、フレクシャ６５の表面に直接積層しても良いし、樹脂層上にトレース導体を積層して形成したＦＰＣをフレクシャ６５の表面に接着しても良い。
【００６２】
磁気ヘッドスライダ６４には、本実施形態では書込みヘッド素子及びＭＲ読出しヘッド素子による１つの薄膜磁気ヘッド素子が形成されている。
【００６３】
ウェイトビーム６８は、本実施形態では、例えば厚さ約３０〜５０μｍのステンレス鋼板（例えばＳＵＳ３０４ＴＡ）等の単一の金属板で構成されている。このウェイトビーム６８は、その全長に渡ってロードビーム６１の後端部であって支持アーム６０側の面に重畳して例えばレーザビーム溶接により固着されている。さらに、本実施形態においては、このウェイトビーム６８には、板ばね６３と１対の突起からなる荷重支持点６２とが一体的に形成されている。より具体的には、板ばね６３は、ウェイトビーム６８と同じ板部材を切り抜いて、又は、ウェイトビーム６８に別部材を溶接することによって形成されている。この板ばね６３はウェイトビーム６８の後端部において曲げられ、その前方へ向かって自由端が伸長している。板ばね６３のこの自由端を支持アーム６０の裏側にレーザビーム溶接などで固着することによって、ウェイトビーム６８及びロードビーム６１は支持アーム６０に連結されている。１対の突起からなる荷重支持点６２は、ウェイトビーム６８と同じ板部材にプレスによるディンプル加工で形成されている。
【００６４】
ウェイト部材６６は、磁気ヘッドスライダ６４を含むサスペンションの重心が荷重支持点に一致するようにその位置、形状及び重量が決定されており、本実施形態では、ロードビーム６１の後端部であって支持アーム６０とは反対側の面に、例えば厚さ約１００μｍのステンレス鋼板（例えばＳＵＳ３０４ＴＡ）等の単一の金属板が例えばレーザビーム溶接により固着されている。
【００６５】
このように、本実施形態のＨＡＡでは、ロードビーム６１とは別部材のウェイトビーム６８をこのロードビーム６１の後端部の支持アーム６０側の面上に重畳するように固着している。そして、このウェイトビーム６８に板ばね６３と１対の突起からなる荷重支持点６２とが設けられている。しかも、ウェイト部材６６をロードビーム６１の後端部であって支持ビーム６０とは反対側の面に固着している。ウェイトビーム６８に荷重支持点６２を構成する突起が形成されているため、Ｚ−ハイトはウェイトビーム６８の分だけ増大するが、ウェイトビーム６８の板厚はそのままに保った状態で（従ってプレスによるディンプル加工で充分な高さの突起６２を形成することが可能な状態で）ロードビーム６１のみの板厚を厚くしてその剛性を高めることが可能となる。ウェイトビーム６８がロードビーム６１の支持アーム６０側の面に固着され、ウェイト部材６６をロードビーム６１の支持ビーム６０とは反対側の面に固着されているので、ウェイト部材６６はその全ての厚みがロードビーム６１の表面から突出することとなるが、ロードビーム６１もウェイト部材６６の後端まで伸長されているため、その分の重量が追加されるのでウェイト部材６６の板厚を薄くすることができる。従って、ウェイト部材６６及び磁気ディスクの表面間のクリアランスＢが確保される。支持アーム６０側のクリアランスＡも、突起６２の高さに対応する分だけ確保される。その結果、設計の自由度と高い剛性とを得ることができる。また、ロードビーム６１がウェイト部材６６の後端まで伸長されているのでこの後端部分の剛性が高くなり、その変位を小さくすることができる。
【００６６】
本実施形態におけるＨＡＡ以外の構成は、図３の実施形態の場合と同様である。
【００６７】
なお、本実施形態によれば、荷重支持点を支点として、それより先端側のサスペンション及び磁気ヘッドスライダ６４と後端側のサスペンション及びウェイト部材６６とが釣り合う形の先端部天秤構造となっているため、各ＨＡＡ毎にＶＣＭで釣り合いを取る必要がない。従って、複数のＨＡＡを重畳して１つのＶＣＭでこれらを駆動する構成を簡単に提供することができる。
【００６８】
本実施形態においては、ロードビーム６１、ウェイトビーム６８及びウェイト部材６６がそれぞれ別部材の板部材で構成されており、これらを互いに固着しているが、本実施形態と同様な構造のロードビーム、ウェイトビーム及びウェイト部材を樹脂層と複数の金属層とのラミネート板部材を加工処理して形成しても良い。この場合も、ロードビームは剛性と重量との兼ね合いで、ウェイトビーム及びウェイト部材とは異なる最適な厚みとすることができる。
【００６９】
図７は本発明のさらに他の実施形態におけるＨＡＡを示す側面図である。
【００７０】
同図に示すように、本実施形態におけるＨＡＡは、剛性の非常に高い支持アーム７０と、ロードビーム７１、このロードビーム７１の支持アーム７０側の面上の後端部にその先端部が重畳して固着されているウェイトビーム７８、フレクシャ７５及び図示されていない配線部材から主として構成されるサスペンションと、このサスペンションの先端部に装着された磁気ヘッドスライダ７４と、荷重を発生するための板ばね７３と、ウェイトビーム７８の支持アームとは反対側の面上の後端部に固着されており、回転モーメントの釣り合いを取るためのウェイト部材７６とを備えている。
【００７１】
サスペンション、磁気ヘッドスライダ７４及びウェイト部材７６は、１対の突起からなる荷重支持点７２を支点として磁気ディスク表面と略垂直方向に揺動する先端部天秤構造となっている。なお、サスペンションは、板ばね７３によって支持アーム７０に連結されており、この板ばね７３及び突起７２を除いては支持アーム７０にも他の部材にも連結されていない、いわゆる浮動状態となっている。
【００７２】
支持アーム７０は非常に剛性の高い部材、例えば１５０〜２５０μｍ程度と厚いステンレス鋼板で構成されている。
【００７３】
ロードビーム７１は、本実施形態では、フレクシャ７５より剛性の高い例えば厚さ約３０〜５０μｍのステンレス鋼板（例えばＳＵＳ３０４ＴＡ）等の単一の金属板で構成されている。このロードビーム７１の先端部には、フレクシャ７５を介して磁気ヘッドスライダ７３に荷重を印加するための荷重ディンプル（突起）７７が形成されている。このロードビーム７１には、さらに、その後端部に板ばね７３が一体的に形成されている。より具体的には、板ばね７３は、ロードビーム７１と同じ板部材を切り抜いて、又は、ロードビーム７１に別部材を溶接することによって形成されている。この板ばね７３はロードビーム７１の後端部において曲げられ、その前方へ向かって自由端が伸長している。板ばね７３のこの自由端を支持アーム７０の裏側にレーザビーム溶接などで固着することによって、ロードビーム７１及びウェイトビーム７８は支持アーム７０に連結されている。
【００７４】
フレクシャ７５は、本実施形態では、弾性を有する１枚の例えば厚さ約２０〜３０μｍのステンレス鋼板（例えばＳＵＳ３０４ＴＡ）等の金属板で形成されている。フレクシャ７５の先端部には軟らかい舌部が形成されており、この舌部で磁気ヘッドスライダ７４を柔軟に支えて浮上姿勢を安定させている。本実施形態では、このフレクシャ７５は、ロードビーム７１上に例えばレーザビーム溶接により固着されている。
【００７５】
フレクシャ７５上には、図示されていないが、配線部材として、薄膜磁気ヘッド素子用のトレース導体及び接続パッド等が形成されている。このトレース導体及び接続パッド等は、フレクシャ７５の表面に直接積層しても良いし、樹脂層上にトレース導体を積層して形成したＦＰＣをフレクシャ７５の表面に接着しても良い。
【００７６】
磁気ヘッドスライダ７４には、本実施形態では書込みヘッド素子及びＭＲ読出しヘッド素子による１つの薄膜磁気ヘッド素子が形成されている。
【００７７】
ウェイトビーム７８は、本実施形態では、例えば厚さ約３０〜５０μｍのステンレス鋼板（例えばＳＵＳ３０４ＴＡ）等の単一の金属板で構成されている。このウェイトビーム７８は、その前端部がロードビーム７１の後端部であって支持アーム７０側の面に重畳して例えばレーザビーム溶接により固着されている。さらに、本実施形態においては、このウェイトビーム７８には、１対の突起からなる荷重支持点７２が一体的に形成されている。より具体的には、１対の突起からなる荷重支持点７２は、ウェイトビーム７８と同じ板部材にプレスによるディンプル加工で形成されている。
【００７８】
ウェイト部材７６は、磁気ヘッドスライダ７４を含むサスペンションの重心が荷重支持点に一致するようにその位置、形状及び重量が決定されており、本実施形態では、ウェイトビーム７８の後端部であって支持アーム７０とは反対側の面に、例えば厚さ約１５０μｍのステンレス鋼板（例えばＳＵＳ３０４ＴＡ）等の単一の金属板が例えばレーザビーム溶接により固着されている。
【００７９】
このように、本実施形態のＨＡＡでは、ロードビーム７１とは別部材のウェイトビーム７８をこのロードビーム７１の後端部の支持アーム７０側の面上に少なくとも一部が重畳するように固着している。そして、このウェイトビーム７８に１対の突起からなる荷重支持点７２が設けられており、ロードビーム７１には板ばね７３が設けられている。また、ウェイト部材７６をウェイトビーム７８の後端部であって支持ビーム７０とは反対側の面に固着している。荷重支持点７２を構成する突起がウェイトビーム７８に形成されており、板ばね７３がロードビーム７１に形成されているため、板ばね７３に対する荷重支持点７２の高さをウェイトビーム７８の分だけ高くすることができ、従って、荷重支持点７２の押し込み力を高めることができる。なお、本実施形態の構造によれば、Ｚ−ハイトはウェイトビーム７８の分だけ増大するが、ウェイトビーム７８の板厚をそのままに保った状態で（従ってプレスによるディンプル加工で充分な高さの突起７２を形成することが可能な状態で）ロードビーム７１のみの板厚を厚くしてその剛性を高めることも可能となる。ウェイトビーム７８がロードビーム７１の支持アーム７０側の面に固着され、ウェイト部材７６をウェイトビーム７８の支持ビーム７０とは反対側の面に固着されているので、ウェイト部材７６はロードビーム７１の板厚を差し引いた厚みのみロードビーム７１の表面から突出することとなり、ウェイト部材７６及び磁気ディスクの表面間のクリアランスＢが確保される。支持アーム７０側のクリアランスＡも、突起７２の高さに対応する分だけ確保される。その結果、設計の自由度と高い剛性とを得ることができる。
【００８０】
本実施形態におけるＨＡＡ以外の構成は、図３の実施形態の場合と同様である。
【００８１】
また、本実施形態によれば、荷重支持点を支点として、それより先端側のサスペンション及び磁気ヘッドスライダ７４と後端側のサスペンション及びウェイト部材７６とが釣り合う形の先端部天秤構造となっているため、各ＨＡＡ毎にＶＣＭで釣り合いを取る必要がない。従って、複数のＨＡＡを重畳して１つのＶＣＭでこれらを駆動する構成を簡単に提供することができる。
【００８２】
図８は本発明のまたさらに他の実施形態におけるＨＡＡを示す側面図である。
【００８３】
同図に示すように、本実施形態におけるＨＡＡは、剛性の非常に高い支持アーム８０と、ロードビーム８１、このロードビーム８１の支持アーム８０とは反対側の面上の後端部にその先端部が重畳して固着されているウェイトビーム８８、フレクシャ８５及び図示されていない配線部材から主として構成されるサスペンションと、このサスペンションの先端部に装着された磁気ヘッドスライダ８４と、荷重を発生するための板ばね８３と、ウェイトビーム８８の支持アーム側の面上の後端部に固着されており、回転モーメントの釣り合いを取るためのウェイト部材８６とを備えている。
【００８４】
サスペンション、磁気ヘッドスライダ８４及びウェイト部材８６は、１対の突起からなる荷重支持点８２を支点として磁気ディスク表面と略垂直方向に揺動する先端部天秤構造となっている。なお、サスペンションは、板ばね８３によって支持アーム８０に連結されており、この板ばね８３及び突起８２を除いては支持アーム８０にも他の部材にも連結されていない、いわゆる浮動状態となっている。
【００８５】
支持アーム８０は非常に剛性の高い部材、例えば１５０〜２５０μｍ程度と厚いステンレス鋼板で構成されている。
【００８６】
ロードビーム８１は、本実施形態では、フレクシャ８５より剛性の高い例えば厚さ約３０〜５０μｍのステンレス鋼板（例えばＳＵＳ３０４ＴＡ）等の単一の金属板で構成されている。このロードビーム８１の先端部には、フレクシャ８５を介して磁気ヘッドスライダ８３に荷重を印加するための荷重ディンプル（突起）８７が形成されている。さらに、本実施形態においては、このロードビーム８１に、板ばね８３と１対の突起からなる荷重支持点８２とが一体的に形成されている。より具体的には、板ばね８３は、ロードビーム８１と同じ板部材を切り抜いて、又は、ロードビーム８１に別部材を溶接することによって形成されている。この板ばね８３はロードビーム８１の後端部において曲げられ、その前方へ向かって自由端が伸長している。板ばね８３のこの自由端を支持アーム８０の裏側にレーザビーム溶接などで固着することによって、ロードビーム８１及びウェイトビーム８８は支持アーム８０に連結されている。１対の突起からなる荷重支持点８２は、ロードビーム８１と同じ板部材にプレスによるディンプル加工で形成されている。
【００８７】
フレクシャ８５は、本実施形態では、弾性を有する１枚の例えば厚さ約２０〜３０μｍのステンレス鋼板（例えばＳＵＳ３０４ＴＡ）等の金属板で形成されている。フレクシャ８５の先端部には軟らかい舌部が形成されており、この舌部で磁気ヘッドスライダ８４を柔軟に支えて浮上姿勢を安定させている。本実施形態では、このフレクシャ８５は、ロードビーム８１上に例えばレーザビーム溶接により固着されている。
【００８８】
フレクシャ８５上には、図示されていないが、配線部材として、薄膜磁気ヘッド素子用のトレース導体及び接続パッド等が形成されている。このトレース導体及び接続パッド等は、フレクシャ８５の表面に直接積層しても良いし、樹脂層上にトレース導体を積層して形成したＦＰＣをフレクシャ８５の表面に接着しても良い。
【００８９】
磁気ヘッドスライダ８４には、本実施形態では書込みヘッド素子及びＭＲ読出しヘッド素子による１つの薄膜磁気ヘッド素子が形成されている。
【００９０】
ウェイトビーム８８は、本実施形態では、例えば厚さ約３０〜５０μｍのステンレス鋼板（例えばＳＵＳ３０４ＴＡ）等の単一の金属板で構成されている。このウェイトビーム８８は、その前端部がロードビーム８１の後端部であって支持アーム８０とは反対側の面に重畳して例えばレーザビーム溶接により固着されている。
【００９１】
ウェイト部材８６は、磁気ヘッドスライダ８４を含むサスペンションの重心が荷重支持点に一致するようにその位置、形状及び重量が決定されており、本実施形態では、ウェイトビーム８８の後端部であって支持アーム８０側の面に、例えば厚さ約１００μｍのステンレス鋼板（例えばＳＵＳ３０４ＴＡ）等の単一の金属板が例えばレーザビーム溶接により固着されている。
【００９２】
このように、本実施形態のＨＡＡでは、ロードビーム８１とは別部材のウェイトビーム８８をこのロードビーム８１の後端部の支持アーム８０とは反対側の面上に少なくとも一部が重畳するように固着している。ウェイト部材８６はこのウェイトビーム８８の後端部であって支持ビーム８０側の面に固着されている。一方、板ばね８３と１対の突起からなる荷重支持点８２とはロードビーム８１に設けられている。ウェイトビーム８８は、ロードビーム８１の板ばね８３及び荷重支持点８２の周辺を補強する及びウェイト部材８６をロードビーム８１に連結する役割であるため、板厚をさほど厚くする必要はない。このため、ウェイトビーム８８がロードビーム８１の支持アーム８０とは反対側の面に固着されていても、ロードビーム８１の表面からの突出量は小さく、ウェイトビーム８８及び磁気ディスクの表面間のクリアランスＢが確保される。一方、支持アーム８０側のクリアランスＡも、ウェイト部材８６がロードビーム８１の板厚を差し引いた厚みのみロードビーム８１の表面からの突出することとなるので、ロードビームに直接的にウェイト部材を固着する場合に比して有利となる。その結果、ある程度の設計の自由度を得ることができる。
【００９３】
本実施形態におけるＨＡＡ以外の構成は、図３の実施形態の場合と同様である。
【００９４】
なお、本実施形態によれば、荷重支持点を支点として、それより先端側のサスペンション及び磁気ヘッドスライダ８４と後端側のサスペンション及びウェイト部材８６とが釣り合う形の先端部天秤構造となっているため、各ＨＡＡ毎にＶＣＭで釣り合いを取る必要がない。従って、複数のＨＡＡを重畳して１つのＶＣＭでこれらを駆動する構成を簡単に提供することができる。
【００９５】
図９は本発明のさらに他の実施形態におけるＨＡＡを示す側面図であり、図１０は図９の実施形態におけるＨＡＡの一部を示す分解斜視図であり、図１１は図９の実施形態におけるＨＡＡの一部を、図１０とは異なる方向から見た分解斜視図である。
【００９６】
これらの図に示すように、本実施形態におけるＨＡＡは、剛性の非常に高い支持アーム９０と、ロードビーム９１、このロードビーム９１の支持アーム９０とは反対側の面上の後端部にその先端部が重畳して固着されているウェイトビーム９８、フレクシャ９５及び図示されていない配線部材から主として構成されるサスペンションと、このサスペンションの先端部に装着された磁気ヘッドスライダ９４と、荷重を発生するための板ばね９３と、ウェイトビーム９８の後端部に設けられており、回転モーメントの釣り合いを取るためのウェイト部材９６とを備えている。
【００９７】
サスペンション、磁気ヘッドスライダ９４及びウェイト部材９６は、１対の突起からなる荷重支持点９２を支点として磁気ディスク表面と略垂直方向に揺動する先端部天秤構造となっている。なお、サスペンションは、板ばね９３によって支持アーム９０に連結されており、この板ばね９３及び突起９２を除いては支持アーム９０にも他の部材にも連結されていない、いわゆる浮動状態となっている。
【００９８】
支持アーム９０は非常に剛性の高い部材、例えば１５０〜２５０μｍ程度と厚いステンレス鋼板で構成されている。
【００９９】
ロードビーム９１は、本実施形態では、フレクシャ９５より剛性の高い例えば厚さ約３０〜５０μｍのステンレス鋼板（例えばＳＵＳ３０４ＴＡ）等の単一の金属板で構成されている。このロードビーム９１の先端部には、フレクシャ９５を介して磁気ヘッドスライダ９３に荷重を印加するための荷重ディンプル（突起）９７が形成されている。さらに、本実施形態においては、このロードビーム９１に、板ばね９３と１対の突起からなる荷重支持点９２とが一体的に形成されている。より具体的には、板ばね９３は、ロードビーム９１と同じ板部材を切り抜いて、又は、ロードビーム９１に別部材を溶接することによって形成されている。この板ばね９３はロードビーム９１の後端部において曲げられ、その前方へ向かって自由端が伸長している。板ばね９３のこの自由端を支持アーム９０の裏側にレーザビーム溶接などで固着することによって、ロードビーム９１及びウェイトビーム９８は支持アーム９０に連結されている。１対の突起からなる荷重支持点９２は、ロードビーム９１と同じ板部材にプレスによるディンプル加工で形成されている。
【０１００】
フレクシャ９５は、本実施形態では、弾性を有する１枚の例えば厚さ約２０〜３０μｍのステンレス鋼板（例えばＳＵＳ３０４ＴＡ）等の金属板で形成されている。フレクシャ９５の先端部には軟らかい舌部が形成されており、この舌部で磁気ヘッドスライダ９４を柔軟に支えて浮上姿勢を安定させている。本実施形態では、このフレクシャ９５は、ロードビーム９１上に例えばレーザビーム溶接により固着されている。
【０１０１】
フレクシャ９５上には、図示されていないが、配線部材として、薄膜磁気ヘッド素子用のトレース導体及び接続パッド等が形成されている。このトレース導体及び接続パッド等は、フレクシャ９５の表面に直接積層しても良いし、樹脂層上にトレース導体を積層して形成したＦＰＣをフレクシャ９５の表面に接着しても良い。
【０１０２】
磁気ヘッドスライダ９４には、本実施形態では書込みヘッド素子及びＭＲ読出しヘッド素子による１つの薄膜磁気ヘッド素子が形成されている。
【０１０３】
ウェイトビーム９８は、本実施形態では、例えば厚さ約３０〜５０μｍのステンレス鋼板（例えばＳＵＳ３０４ＴＡ）等の単一の金属板で構成されている。このウェイトビーム９８は、その前端部がロードビーム９１の後端部であって支持アーム９０とは反対側の面に重畳して例えばレーザビーム溶接により固着されている。
【０１０４】
ウェイト部材９６は、磁気ヘッドスライダ９４を含むサスペンションの重心が荷重支持点に一致するようにその位置、形状及び重量が決定されており、本実施形態では、ウェイトビーム９８の後端部に樹脂をモールドすることによって一体的に形成されている。
【０１０５】
このように、本実施形態のＨＡＡでは、ロードビーム９１とは別部材のウェイトビーム９８をこのロードビーム９１の後端部の支持アーム９０とは反対側の面上に少なくとも一部が重畳するように固着している。ウェイト部材９６はウェイトビーム９８の後端部に形成された樹脂モールドで構成されている。板ばね９３と１対の突起からなる荷重支持点９２とはロードビーム９１に設けられている。ウェイトビーム９８も樹脂モールドであるウェイト部材９６の後端近傍まで伸長されているため、その分の重量が追加されるのでウェイト部材９６の板厚を薄くすることができる。従って、ウェイト部材９６及び磁気ディスクの表面間のクリアランスＢが確保される。一方、支持アーム９０側のクリアランスＡも、ウェイト部材９６がロードビーム９１の板厚を差し引いた厚みのみロードビーム９１の表面からの突出することとなるので、充分に確保される。その結果、ある程度の設計の自由度を得ることができる。
【０１０６】
本実施形態において特に有利なのは、荷重発生手段である板ばね９３が形成されたロードビーム９１とウェイト部材９６が形成されるウェイトビーム９８とが互いに独立した別部材であるため、それぞれを別個に形成した後、互いに固着すれば良い点である。即ち、この種の先端部天秤構造を有するＨＡＡの場合、最も問題となるのがウェイト部材の変動であるが、樹脂モールドでウェイト部材を構成すれば、曲げ剛性及びバランス取りの両立ができるため非常に好都合となる。しかしながら、従来技術のように、ロードビームの後端部に直接的に樹脂をモールドする構成によると、サスペンションの製造における制約から、板ばねや荷重支持点があらかじめ形成されたロードビームについてモールド加工を行う必要があり、これは、モールドの金型について、その平面度や押え方など厳しい基準を満たす必要が生じ、これは大幅なコストアップとなる。また、多くの場合、モールド加工は、サスペンションの取り扱いについて経験の少ないモールド加工業者が行うこととなるので、この段階でロードビームの品質劣化が発生するおそれも多分にある。これに対して、本実施形態のごとく、ロードビーム９１とウェイトビーム９８とを別部材とすれば、樹脂モールドによるウェイト部材９６をウェイトビーム９８に形成しておき、その後、荷重発生手段９３が形成されたロードビーム９１の後端部にそのウェイトビーム９８を固着するように構成できるので、樹脂モールド工程中でロードビーム９１が取り扱われることはない。このため、ウェイト部材９６を形成する際に、板ばねなどによる荷重発生手段９３や荷重支持点９２などが形成されているロードビーム９１の品質が劣化するような不都合は生じない。逆に、ウェイト部材９６の形成工程においては、ロードビーム９１の取り扱いを考慮する必要がないことから、工程を簡略化でき、製造コストの低減化を図ることができる。
【０１０７】
なお、上述したサスペンションの製造における制約とは、製品品質の向上及びタクトタイムの短縮化のために、サスペンションは、通常、複数の連で製造され、板ばねや荷重支持点の突起などを個々に切り離した状態では形成しないことを指している。
【０１０８】
本実施形態におけるＨＡＡ以外の構成は、図３の実施形態の場合と同様である。
【０１０９】
なお、本実施形態によれば、荷重支持点を支点として、それより先端側のサスペンション及び磁気ヘッドスライダ９４と後端側のサスペンション及びウェイト部材９６とが釣り合う形の先端部天秤構造となっているため、各ＨＡＡ毎にＶＣＭで釣り合いを取る必要がない。従って、複数のＨＡＡを重畳して１つのＶＣＭでこれらを駆動する構成を簡単に提供することができる。
【０１１０】
なお、図４及び図６に示したような、ウェイトビームに板ばねや荷重支持点を設けた先端部天秤構造を有するＨＡＡにおいて、剛性を高めるためにロードビームを樹脂モールドする場合及びラミネート材によるロードビームをエッチングする場合にも、ウェイトビームとロードビームとを別部材として加工を行い、その後に互いに固着すれば、ウェイトビームの品質が劣化せず、しかも、ロードビームのモールドやエッチング工程を簡略化でき、製造コストの低減化を図ることができる。
【０１１１】
上述した実施形態では、磁気ディスク装置内に１つの磁気ディスクと単数又は複数のＨＡＡとが設けられているが、複数の磁気ディスクと複数のＨＡＡとを設けるように構成しても良い。この場合、複数のＨＡＡは共通のベアリングハウジングに取り付けられ、１つのＶＣＭで水平方向に回動駆動されるであろう。
【０１１２】
以上、薄膜磁気ヘッド素子を備えたＨＡＡ及び磁気ディスク装置を用いて本発明を説明したが、本発明は、このようなＨＡＡ及び磁気ディスク装置にのみ限定されるものではなく、薄膜磁気ヘッド素子以外の例えば光ヘッド素子等のヘッド素子を備えたＨＡＡ及びディスク装置にも適用可能であることは明らかである。
【０１１３】
以上述べた実施形態は全て本発明を例示的に示すものであって限定的に示すものではなく、本発明は他の種々の変形態様及び変更態様で実施することができる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均等範囲によってのみ規定されるものである。
【図面の簡単な説明】
【０１１４】
【図１】本願発明者等によって提案されているＨＡＡの概略的な構成を説明するための側面図である。
【図２】図１に示すＨＡＡの先端部天秤構造の動作を模式的に表す図である。
【図３】本発明の一実施形態における磁気ディスクドライブ装置の要部の構成を概略的に示す平面図である。
【図４】図３の磁気ディスクドライブ装置に装着されるＨＡＡを示す側面図である。
【図５】従来のＨＡＡと図４のＨＡＡとを比較して示す側面図である。
【図６】本発明の他の実施形態におけるＨＡＡを示す側面図である。
【図７】本発明のさらに他の実施形態におけるＨＡＡを示す側面図である。
【図８】本発明のまたさらに他の実施形態におけるＨＡＡを示す側面図である。
【図９】本発明のさらに他の実施形態におけるＨＡＡを示す側面図である。
【図１０】図９の実施形態におけるＨＡＡの一部を示す分解斜視図である。
【図１１】図９の実施形態におけるＨＡＡの一部を、図１０とは異なる方向から見た分解斜視図である。
【符号の説明】
【０１１５】
１０、３３、４０、６０、７０、８０、９０  支持アーム
１１、３４、４１、６１、７１、８１、９１  ロードビーム
１２、４２、６２、７２、８２、９２  荷重支持点
１３、４３、６３、７３、８３、９３  板ばね
１４、４４、６４、７４、８４、９４  磁気ヘッドスライダ
１５、４５、６５、７５、８５、９５  フレクシャ
１６、４６、６６、７６、８６、９６  ウェイト部材
１７、４７、６７、７７、８７、９７  荷重ディンプル
１８  固定点
１９、４９  磁気ディスク
４８、６８、７８、８８、９８  ウェイトビーム
３１  軸
３２  ＨＡＡ
３５  ＶＣＭコイル部
３６  ベアリングハウジング
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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