(57)【要約】【課題】     本発明の目的は、圧電素板を導電性接着剤により片持ちの状態で支持して気密封止する小型の圧電振動子の製造方法を提供することである。【解決手段】     上記の目的を達成するために本発明は、圧電素板を圧電振動子容器内部の絶縁基板上の導電性パッド上に接続電極を介在して導電性接着剤により片持ちの状態で支持し気密封止する構成の圧電振動子の製造方法において、導電性接着剤で保持される側の圧電素板端に対向する圧電素板開放端と先の絶縁基板のあいだに少なくとも昇華性の物質からなる部材か、または加熱により収縮する物質からなる部材のいずれか一方を載置することを特徴とし、また昇華性の物質からなる部材、または加熱により収縮する物質からなる部材よりも導電性接着剤の方が早く硬化することを特徴として目的を達成するものである。【選択図】  図１
2005110009.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素板を圧電振動子容器の内部の絶縁基板上の導電性パッド上に接続電極を介在して導電性接着剤により片持ちの状態で支持し気密封止する構成の圧電振動子の製造方法において、
該導電性接着剤で保持される側の圧電素板端に対向する圧電素板開放端と該絶縁基板の間に少なくとも昇華性の物質からなる部材か、または加熱により収縮する物質からなる部材のいずれか一方を載置することを特徴とする圧電振動子の製造方法。
【請求項２】
昇華性の物質からなる部材、または加熱により収縮する物質からなる部材よりも導電性接着剤の方が早く硬化することを特徴とする請求項１に記載の圧電振動子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は圧電素板を導電性接着剤により片持ちの状態で支持して気密封止する小型の圧電振動子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、圧電振動子は圧電素板を圧電振動子内部において片持ち支持の状態で、支持構造を構成して気密封止したものが一般的となってきている。これは、圧電素板を圧電振動子の絶縁基板上に形成される導電性パッドの上に両持ち支持の状態で支持すると、圧電素板の両端が固定されて、その周波数特性などの特性に悪影響を与える虞があるからである。
【０００３】
一方、最近の傾向では通信分野の伝送系装置等を中核として、その搭載部品について非常に急激な市場からの小型化や低背化、更に加えて軽量化や低価格化の要求があるのが現状であるが、そのために先の圧電素板を圧電振動子の容器内部で片持ち支持の状態で支持構造を構成して気密封止した圧電振動子を製造するのが一般となってきている。
【０００４】
【特許文献１】特開平10-98349
【０００５】
なお、出願人は前記した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を、本件出願時までに発見するに至らなかった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、前述のように圧電振動子の外形が小型化し、それにつれてその内容積が小さくなるにつれて、導電性接着剤で保持される側の圧電素板端に対向する圧電素板の開放端と圧電振動子の蓋を含めた内壁との間隔もより小さくなり、その結果、圧電振動子を搭載する基板に変形が生じると、圧電素板が搭載される圧電振動子の容器も変形するために、圧電振動子の内部に搭載された前述の圧電素板の開放端が圧電振動子の内壁、特に圧電素板の下方の基板や、圧電素板の上方に搭載される蓋の内面に接触してしまう可能性があるといった問題があった。
【０００７】
ここで、導電性接着剤で保持される側の圧電素板端に対向する圧電素板の開放端が圧電振動子の内壁と接触すると、圧電素板にその接触の応力が発生してその結果、周波数ずれを起こす原因となる。
【０００８】
前述の周波数ずれを起こす圧電振動子は当然製品とは成り得ず、その結果、製品の生産歩留まりを落とし、またその圧電振動子の信頼性をも落としめることとなる可能性がある為、従来から製造段階で圧電振動子の内部の圧電素板の開放端と、圧電振動子の内壁とのギャップを確実に取るために様々な工夫が成されて来たが、未だ確実な方法が見出されてはいないのが実情である。
【０００９】
本発明は、以上のような技術的背景のもとでなされたものであり、従がってその目的は、圧電素板を圧電振動子容器内部の絶縁基板上の導電性パッド上に接続電極を介在して導電性接着剤により片持ちの状態で支持し気密封止する構成の圧電振動子の製造方法において、前記の導電性接着剤で保持される側の圧電素板端に対向する圧電素板開放端と先の絶縁基板のあいだに少なくとも昇華性の物質からなる部材か、または加熱により収縮する物質からなる部材のいずれか一方を載置することを特徴とする圧電振動子の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の目的を達成するために、本発明は、該導電性接着剤で保持される側の圧電素板端に対向する圧電素板開放端と絶縁基板のあいだに少なくとも昇華性の物質からなる部材か、または加熱により収縮する物質からなる部材のいずれか一方を載置することを特徴とする。
【００１１】
また、昇華性の物質からなる部材、または加熱により収縮する物質からなる部材よりも導電性接着剤の方が早く硬化することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の圧電振動子の製造方法によれば、圧電振動子の製造歩留まりを高めることが出来る。
【００１３】
また、本発明の圧電振動子の製造方法によれば、圧電素板の圧電振動子の蓋を含めた内壁への接触の可能性を無くして、製造した圧電振動子の内部の圧電素板と内壁とのギャップを確実に保つという信頼性をより高めることが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下に図面を参照しながら本発明の実施の一形態について説明する。
なお、各図においての同一の符号は同じ対象を示すものとする。
【実施例１】
【００１５】
図１は本発明の昇華性の物質から成る部材９を圧電素板１の下に置き、その後加熱して昇華性の物質の部材９の高さのギャップを圧電素板１と絶縁基板３のあいだに確保する様子を示す概略の側面図である。セラミックなどから成る絶縁基板３の上に設けたい圧電素板１と絶縁基板３のギャップの高さをもった昇華性の物質から成る部材９を載置したのち、一般にブランクと呼ばれる圧電素板１を導電性パッド４上に載置して導電性接着剤６を先の導電性パッド４と圧電素板１に掛かるように塗布する。この導電性接着剤６は加熱することにより硬化がさらにすすむため、加熱するまで、もしくは長時間の放置により昇華性物質がなくなるまで、圧電素板１と絶縁基板３間に昇華性の物質から成る部材９の高さのギャップが保たれる。導電性接着剤６には硬化に伴って収縮する性質もあるため圧電素板１の開放端８を吊り上げるような働きも持ち、圧電素板１と絶縁基板３間のギャップは昇華性の物質から成る部材９の高さに完全に依存することはない。ブランクと呼ばれる圧電素板１を導電性パッド４上に載置して導電性接着剤６を先の導電性パッド４と圧電素板１に掛かるように塗布した後に圧電振動子７全体を加熱すると、昇華性の物質から成る部材９は昇華して無くなり、導電性接着剤６が硬化して圧電素板１と絶縁基板３間に昇華性の物質から成る部材９の高さのギャップが保たれる。なお、昇華性の物質から成る部材の材料にはナフタリンや樟脳などが挙げられる。
【実施例２】
【００１６】
図２は本発明の加熱により収縮する物質から成る部材１０を圧電素板１の下に置き、その後加熱して前記物質の部材１０の高さのギャップを圧電素板１と絶縁基板３のあいだに確保する様子を示す概略の側面図である。セラミックなどから成る絶縁基板３の上に設けたい圧電素板１と絶縁基板３間のギャップの高さをもった熱を加えることにより収縮する物質から成る部材１０を載置したのち、一般にブランクと呼ばれる圧電素板１を導電性パッド４上に載置して導電性接着剤６を先の導電性パッド４と圧電素板１に掛かるように塗布する。この導電性接着剤６は加熱することにより硬化をさらにすすめるため、加熱するまで圧電素板１と絶縁基板３間に、熱を加えることにより収縮する物質から成る部材１０の高さのギャップが保たれる。導電性接着剤６には硬化に伴って収縮する性質もあるため圧電素板１の開放端８を吊り上げるような働きも持ち、圧電素板１と絶縁基板３間のギャップは熱を加えることにより収縮する物質１０から成る部材の高さに完全に依存することはない。ブランクと呼ばれる圧電素板１を導電性パッド４上に載置して導電性接着剤６を先の導電性パッド４と圧電素板１に掛かるように塗布した後に圧電振動子７全体を加熱すると、熱を加えることにより収縮する物質から成る部材１０は収縮してその高さを小さくし、同時に導電性接着剤６は圧電素板１の開放端８を吊り上げるよう硬化して、その結果圧電素板１と絶縁基板３間には熱を加えることにより収縮する物質から成る部材１０の高さのギャップが保たれる。
【００１７】
なお、前述の昇華性の物質からなる部材が昇華しきる、または加熱により収縮する物質からなる部材が収縮しきるよりも導電性接着剤の方が早く硬化することは言うまでもない。
【００１８】
図３は従来のあるひとつの形状の圧電振動子７を斜めからみた概略の斜視図である。最近はここに示されるように圧電振動子７の外形寸法が非常に小さいものと成ってきている。そのため、圧電素板１と絶縁基板３間、及び圧電素板１と蓋１１間のギャップを確保する必要がある。
【００１９】
図４は従来の圧電振動子７の内部に載置された圧電素板１の開放端８がその上方の蓋１１に接触する場合の様子を示した概略の側面図である。導電性接着剤６にはその硬化に伴って収縮するといった性質もあるため圧電素板１の開放端８を吊り上げるような働きも持ち、圧電素板１と絶縁基板３間のギャップは昇華性の物質から成る部材９、もしくは加熱により収縮する物質から成る部材１０の高さに完全に依存することはないが、本発明の圧電素板１と絶縁基板３間に昇華性の物質から成る部材９、もしくは加熱により収縮する物質から成る部材１０を載置しない従来の圧電振動子７の製造方法の場合においては、圧電素板１の開放端８が水平に保たれず導電性接着剤６がその収縮に伴って圧電素板１の開放端８を吊り上げ、その結果圧電振動子７の内部に載置された圧電素板１の開放端８がその上方の蓋１１に接触する虞があった。
【００２０】
図５は従来の圧電振動子７の内部に載置された圧電素板１の開放端８がその下方の絶縁基板３に接触する場合の様子を示した概略の側面図である。従来の圧電振動子７の製造方法の場合においては、導電性接着剤６がその収縮に伴って圧電素板１の開放端８を吊り上げる働きが弱く、圧電素板１の開放端が水平に保たれず、その結果圧電振動子の内部に載置された圧電素板の開放端８がその下方の絶縁基板３に接触する虞があった。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の昇華性の物質から成る部材を圧電素板の下に置き、その後加熱して昇華性の物質から成る部材の高さのギャップを圧電素板と絶縁基板のあいだに確保する様子を示す概略の側面図である。
【図２】本発明の加熱により収縮する物質から成る部材を圧電素板の下に置き、加熱して前記の物質の部材の高さのギャップを圧電素板と絶縁基板のあいだに確保する様子を示す概略の側面図である。
【図３】従来のあるひとつの形状の圧電振動子を斜めからみた概略の斜視図である。最近はこの外形寸法が小さいものと成ってきている。
【図４】従来の圧電振動子の内部に載置された圧電素板の開放端がその上方の蓋に接触する場合の様子を示した概略の側面図である。
【図５】従来の圧電振動子の内部に載置された圧電素板の開放端がその下方の絶縁基板に接触する場合の様子を示した概略の側面図である。
【符号の説明】
【００２２】
１  圧電素板
２  圧電振動子容器
３  絶縁基板
４  導電性パッド
５  接続電極
６  導電性接着剤
７  圧電振動子
８  圧電素板開放端
９  昇華性の物質から成る部材
１０  加熱により収縮する物質から成る部材
１１  蓋
【図１】
2005110009.tif 000003
【図２】
2005110009.tif 000004
【図３】
2005110009.tif 000005
【図４】
2005110009.tif 000006
【図５】
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