(57)【要約】【要  約】【課  題】      試料片の取り扱いや保管を容易にし、使い勝手を向上させること。【解決手段】    内筒貫通孔を有する外筒（Ｈ１）と、前記外筒（Ｈ１）の内筒貫通孔内部に支持され且つ、前記外筒（Ｈ１）の軸方向に沿って進退移動可能に支持された内筒（Ｈ３）と、前記内筒（Ｈ３）を前記外筒（Ｈ１）に対して進退移動させる内筒進退制御部材と、前記内筒（Ｈ３）の内端部に設けられたホルダベース（ＨＢ）と、前記ホルダベース（ＨＢ）に支持された回転支持部材（９３，９７，９８）であって、荷電粒子ビームが照射される試料片（Ｗ）を保持する試料保持部材（Ｔ）を回転可能且つ着脱可能に支持する前記回転支持部材（９３，９７，９８）と、前記回転支持部材（９３，９７，９８）の回転を制御する回転制御部材（Ｙ，Ｍ，９６）とを備えた試料ホルダ。【選択図】  図１３
2005174808.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記の構成要件（Ａ01）〜（Ａ06）を備えたことを特徴とする試料ホルダ、
（Ａ01）内筒貫通孔を有する外筒、
（Ａ02）前記外筒の内筒貫通孔内部に支持され且つ、前記外筒の軸方向に沿って進退移動可能に支持された内筒、
（Ａ03）前記内筒を前記外筒に対して進退移動させる内筒進退制御部材、
（Ａ04）前記内筒の内端部に配置されたホルダベース、
（Ａ05）前記ホルダベースに支持された回転支持部材であって、荷電粒子ビームが照射される試料片を保持する試料保持部材を回転可能且つ着脱可能に支持する前記回転支持部材、
（Ａ06）前記回転支持部材の回転を制御する回転制御部材。
【請求項２】
下記の構成要件（Ａ07）、（Ａ08）を備えたことを特徴とする請求項１記載の試料ホルダ、
（Ａ07）前記試料保持部材と一体的に回転する回転部材と、前記回転部材を回転可能に支持する軸受とを有する前記回転支持部材、
（Ａ08）前記回転部材を回転させるために前記回転部材の外周部に配置されたワイヤと、前記ワイヤを前記回転部材に密着するようにガイドするプーリーと、前記ワイヤの端部に接続されたモータとを有する前記回転制御部材。
【請求項３】
下記の構成要件（Ｂ01）〜（Ｂ04）を備えたことを特徴とする試料ホルダ、
（Ｂ01）前記試料ホルダの内端部に設けられたホルダベース、
（Ｂ02）荷電粒子ビームが照射される試料片を保持する試料保持部と、前記試料保持部に一体的に配置された被装着部とを有する試料保持部材、
（Ｂ03）前記ホルダベースに支持され、前記試料保持部材をワンタッチで着脱可能且つ回転可能に支持する回転支持部材、
（Ｂ04）前記回転支持部材の回転を制御する回転制御部材。
【請求項４】
下記の構成要件（Ｂ05），（Ｂ06）を備えたことを特徴とする請求項３記載の試料ホルダ、
（Ｂ05）前記試料保持部の試料保持面の反対側に突出して形成され、且つ被係止部が形成された被装着部を有する前記試料保持部材、
（Ｂ06）前記被装着部の前記被係止部を係止する係止部材を有する前記回転支持部材。
【請求項５】
下記の構成要件（Ｃ01）〜（Ｃ04）を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置、
（Ｃ01）上下方向に延びるＺ軸に沿った荷電粒子ビームの通路が内部に形成された鏡筒、
（Ｃ02）前記荷電粒子ビームに略垂直な方向から前記鏡筒を貫通するホルダ装着孔を有し、ホルダ装着孔の中心線上にある揺動中心点の周りに揺動可能なホルダ装着部材、
（Ｃ03）前記ホルダ装着孔に気密に貫通して前記ホルダ装着部材に着脱可能に支持される外筒と、
前記外筒によって前記ホルダ装着孔の中心線に沿って進退移動可能に支持された内筒と、
前記内筒を前記外筒に対して進退移動させる内筒進退制御部材と、
前記内筒の内端部に設けられた回転支持部材と、
前記回転支持部材の回転を制御する回転制御部材と、
を有する試料ホルダ、
（Ｃ04）前記荷電粒子ビームが照射される試料片を保持し、前記回転支持部材に回転可能且つ着脱可能に支持された試料保持部材。
【請求項６】
下記の構成要件（Ｃ01），（Ｃ02），（Ｃ03′），（Ｃ04′）を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置、
（Ｃ01）上下方向に延びるＺ軸に沿った荷電粒子ビームの通路が内部に形成された鏡筒、
（Ｃ02）前記荷電粒子ビームに略垂直な方向から前記鏡筒を貫通するホルダ装着孔を有し、ホルダ装着孔の中心線上にある揺動中心点の周りに揺動可能なホルダ装着部材、
（Ｃ03′）前記ホルダ装着孔に気密に貫通して前記ホルダ装着部材に着脱可能に支持される試料ホルダであって、
前記試料ホルダの内端部に設けられた回転支持部材と、
前記回転支持部材の回転を制御する回転制御部材と、
を有する前記試料ホルダ、
（Ｃ04′）前記荷電粒子ビームが照射される試料片を保持し、前記回転支持部材に回転可能且つワンタッチで着脱可能に支持される試料保持部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＳＥＭ（Scanning Electron Microscope、走査型電子顕微鏡）やＴＥＭ（Transmission Electron Microscope、透過型電子顕微鏡）、ＳＴＥＭ（Scanning Transmission Electron Microscope、走査透過型電子顕微鏡）等で観察される試料薄片をＦＩＢ（Focused Ion Beam、集束イオンビーム）により作成する荷電粒子線装置及び前記荷電粒子線装置で使用される試料ホルダに関し、特に、半導体ウエハを切断した試料片からＴＥＭ／ＳＥＭ用の試料薄片を切り出す際に前記試料片を保持する試料ホルダ及び前記試料ホルダが使用される荷電粒子線装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウエハ等の試料の断面や表面をＴＥＭやＳＥＭ等により観察する際に、ＴＥＭやＳＥＭの試料ホルダに装着される試料薄片を作成する技術として、下記の従来技術が公知である。
（Ｊ01）特許文献１（特開２０００−１６２１０２号公報）記載の技術
特許文献１記載の技術では、ウエハやチップから切断した試料片を試料作成装置（１）の試料ホルダ（第１ステージ（７Ａ））に固定し、ＦＩＢ（集束イオンビーム）の走査及び第１ステージ（７Ａ）が装着された試料ステージ微動機構（８）の位置調節により試料薄片を切り出している（特許文献１の図７参照）。そして、切り出された試料薄片は、第２ステージ（７Ｂ）に固定され、ＦＩＢが照射されて厚さが０．１μｍ程度のＴＥＭ観察領域（薄壁状のウォール８１）が作成される。そして、ＴＥＭ観察領域が作成された試料薄片を保持する第２ステージ（７Ｂ）をＴＥＭに装着して試料の観察を行っている。
【０００３】
前記従来技術（Ｊ01）記載のＴＥＭで使用される試料ホルダ（試料ステージ）では、ＴＥＭにより観察する際には、試料ステージ微動機構により試料薄片の観察する位置を移動させている。他に、試料薄片の観察位置を変更するための機構（装置）として、次の従来技術（Ｊ02）、（Ｊ03）が公知である。
【０００４】
（Ｊ02）特許文献２（特開昭５２−６７２５３号公報）記載の技術
特許文献２には、試料薄片を保持する回転台を有する試料ホルダによって、回転台を回転させながら電子顕微鏡等で試料の透過像や電子回折像を観察する技術が記載されている。
（Ｊ03）非特許文献１記載の技術
非特許文献１には、シャフトの回転が、シャフト先端のＯリングと摩擦接触するプーリーに伝達され、プーリーの回転がベルトを介して試料保持部に伝達されることによって、試料保持部を回転させ、試料保持部に固定された試料薄片の観察位置を移動させる技術が記載されている。
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−１６２１０２号公報（「０００４」、「００２４」、「００４０」〜「００５３」、第１図、第２図、第７図、第８図）
【特許文献２】特開昭５２−６７２５３号公報（第３頁右下欄第８行〜第４頁左上欄第９行、第２図）
【非特許文献１】発明協会公開技報公技番号２０００−１５７２号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
近年、コンピュータの発達に伴いトランジスタ等の機能素子の開発設計には０．１μm以下の設計ルールが適用されて開発が行われている。半導体ベースとした機能素子開発分野にも、０．１μm以下の設計ルールに則した微細構造を透過型電子顕微鏡等で調べ、それら素子類の不良解析を含め品質を維持・向上することが主流となりつつある。
進歩の激しい半導体分野では、前記不良解析に高スループット（高い分析速度）のＴＥＭ等が使用されており、試料の搬送・装着等においても前記高スループットに見合った使い勝手が要求されている。
【０００７】
前記従来技術（Ｊ01）では、試料片が固定された第１ステージ（７Ａ）をＦＩＢ試料作成装置の試料ステージ微動機構（８）に装着した状態で、ＦＩＢを照射して試料薄片の切り出しを行っている。即ち、前記試料ステージ微動機構（ゴニオメータ）で調節可能なＸ軸、Ｙ軸方向それぞれ±１ｍｍ程度（全体で２ｍｍ程度）の範囲内でしか試料片の位置を移動させることができず、試料薄片を切り出し可能な範囲もこの範囲に限定される。したがって、前記従来技術（Ｊ01）では、ＦＩＢ試料作成装置の第１ステージ（７Ａ）に固定する試料片のサイズが、最大でも２ｍｍ四方（２ｍｍ角）程度の大きさに限定されている。この結果、試料片のサイズが最大２ｍｍ四方程度と小さすぎるため、例えば、直径３００ｍｍ程度のウエハから２ｍｍ角程度の試料片を作成する場合、試料片の作成作業が難しく、ダイシングソー等の試料切断装置を使用してウエハから試料片を切断しなければならないという問題があった。また、試料片が小さすぎるので、試料片の搬送や固定等の取り扱いが難しく、使い勝手が悪いという問題があった。
【０００８】
前記従来技術（Ｊ02）、（Ｊ03）記載の技術は、ＴＥＭ観察用試料（切り出された試料薄片）を保持する試料ホルダであり、試料薄片が切り出される試料片を保持する試料ホルダとは異なるが、このＴＥＭ用ホルダを試料片用ホルダに適用することが考えられる。この場合、試料片が保持された回転台（または試料保持部）の回転と、ゴニオメータによる２ｍｍ四方程度の調節とを組み合わせると、２ｍｍ四方の正方形の対角線の長さを直径とする円の範囲内、即ち、最大で直径約３ｍｍ（≒２×２1/2）程度の円の範囲内で試料薄片を切り出すことが可能と考えられる。しかし、この場合でも、使用可能な試料片は最大で直径３ｍｍ程度であり、試料片が小さく、使い勝手が悪い。
ダイシングソー等の試料切断装置を使用せず簡易な方法、例えば、ユーザが手でウエハ等の試料を割って作成できる試料片のサイズは、８ｍｍ角（または直径１１ｍｍ≒８×２1/2）程度である。この程度のサイズであれば、取り扱いも容易であり、使い勝手も良い。しかしながら、前述の従来技術（Ｊ01）〜（Ｊ03）では、前記８ｍｍ角または直径１１ｍｍ程度のサイズの試料片の任意の位置から試料薄片を切り出すことは不可能である。
【０００９】
さらに、前記従来技術（Ｊ01）〜（Ｊ03）では、試料片や試料薄片が試料保持部に接着等により固定されている。試料片の異なる複数の位置から試料薄片を切り出して観察したい場合には、一度試料薄片が切り出された試料片を保管する際に、試料片を試料ホルダから取り外して保管するか、試料片が固定された試料ホルダ全体を保管しなければならない。したがって、試料片を取り外して保管する場合、試料片が小さいので慎重に取扱わなければならず、使い勝手が悪い。また、試料ホルダ全体を保管する場合、保管用のスペース等が必要となり、保管が容易ではない。また、試料薄片が切り出された試料ホルダを保管中に別の試料片から試料薄片を切り出す場合には、別の試料片を固定するために別の試料ホルダが必要となり、試料ホルダの取り回しがきかないという問題点もある。
【００１０】
本発明は、前述の問題点に鑑み、下記（Ｏ01），（Ｏ02）の記載内容を技術的課題とする。
（Ｏ01）簡易な方法で作成可能な大きさ（例えば、８ｍｍ四方や直径１１ｍｍ程度）の試料片の任意の位置から試料薄片を切り出すことを可能にすること。
（Ｏ02）試料片の取り扱いや保管を容易にし、使い勝手を向上させること。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
次に、前記課題を解決した本発明を説明するが、本発明の要素には、後述の実施例の要素との対応を容易にするため、実施例の要素の符号をカッコで囲んだものを付記する。また、本発明を後述の実施例の符号と対応させて説明する理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明の範囲を実施例に限定するためではない。
【００１２】
（本発明）
（第１発明）
前記課題を解決するために、第１発明の試料ホルダは、下記の構成要件（Ａ01）〜（Ａ06）を備えたことを特徴とする。
（Ａ01）内筒貫通孔（７３）を有する外筒（Ｈ１）、
（Ａ02）前記外筒（Ｈ１）の内筒貫通孔（７３）内部に支持され且つ、前記外筒（Ｈ１）の軸方向に沿って進退移動可能に支持された内筒（Ｈ３）、
（Ａ03）前記内筒（Ｈ３）を前記外筒（Ｈ１）に対して進退移動させる内筒進退制御部材（７８〜８７）、
（Ａ04）前記内筒（Ｈ３）の内端部に配置されたホルダベース（ＨＢ，ＨＢ′）、
（Ａ05）前記ホルダベース（ＨＢ，ＨＢ′）に支持された回転支持部材（９３，９７，９８；９３，９７′，９８′；９３，９７″，２０２）であって、荷電粒子ビームが照射される試料片（Ｗ）を保持する試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）を回転可能且つ着脱可能に支持する前記回転支持部材（９３，９７，９８；９３，９７′，９８′；９３，９７″，２０２）、
（Ａ06）前記回転支持部材（９３，９７，９８；９３，９７′，９８′；９３，９７″，２０２）の回転を制御する回転制御部材（Ｙ，Ｍ，９６；Ｙ，Ｍ′，９６，２１２，２１７）。
【００１３】
（第１発明の作用）
前記構成要件（Ａ01）〜（Ａ06）を備えた第１発明の試料ホルダ（Ｈ，Ｈ′）では、前記内筒（Ｈ３）は外筒（Ｈ１）の内筒貫通孔（７３）内部に支持され且つ、前記外筒（Ｈ１）の軸方向に沿って進退移動可能に支持されている。前記内筒（Ｈ３）の回転支持部材（９３，９７，９８；９３，９７′，９８′；９３，９７″，２０２）は、荷電粒子ビームが照射される試料片（Ｗ）を表面に保持する試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）を回転可能且つ着脱可能に支持する。前記試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）の回転は、回転制御部材（Ｙ，Ｍ，９６；Ｙ，Ｍ′，９６，２１２，２１７）によって制御される。
【００１４】
したがって、本発明の試料ホルダ（Ｈ，Ｈ′）において、試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）は回転支持部材（９３，９７，９８；９３，９７′，９８′；９３，９７″，２０２）に対して着脱可能に保持されているので、試料片（Ｗ）を試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）に保持したまま着脱することができる。即ち、試料片（Ｗ）自体を取り扱わず、試料片（Ｗ）を保持した試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）を取り扱うことによって試料片（Ｗ）の着脱ができるので、試料片（Ｗ）の着脱作業（取り扱い）が容易になる。
【００１５】
また、本発明の試料ホルダ（Ｈ，Ｈ′）では、前記内筒（Ｈ３）の進退移動及び回転制御部材（Ｙ，Ｍ，９６；Ｙ，Ｍ′，９６，２１２，２１７）による試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）の回転の組み合わせによって、試料片（Ｗ）の位置調節可能な範囲を広くすることができる。したがって、試料片（Ｗ）の任意の位置を荷電粒子ビームの照射位置に移動させることが可能となる。したがって、本発明の試料ホルダ（Ｈ，Ｈ′）を使用した試料作成装置で比較的大きな試料片（Ｗ）表面の任意の位置から試料薄片（Ｗ１）を切り出すことができる。
【００１６】
さらに、試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）を複数用意することによって、試料作成装置で試料薄片切出作業をする前の試料片（Ｗ）や、試料薄片（Ｗ１）が切り出された後の試料片（Ｗ）を試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）に保持された状態で保管することができる。したがって、保管する際に試料片（Ｗ）を試料ホルダ（Ｈ，Ｈ′）から取り外したり、試料片（Ｗ）を保持した試料ホルダ（Ｈ，Ｈ′）全体を保管する必要が無く、試料片（Ｗ）を保持する試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）により保管すれば良い。この結果、試料片（Ｗ）の保管（取り扱い）が容易となると共に、試料ホルダ（Ｈ，Ｈ′）の取り回しが容易にできる。また、別の試料片（Ｗ）から試料薄片（Ｗ１）を切り出す場合には、切り出し作業が終わった試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）を取り外し、別の試料片（Ｗ）が保持された試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）を試料ホルダ（Ｈ，Ｈ′）に装着して切り出し作業を実行できる。さらに、試料薄片（Ｗ１）が切り出された後、保管されていた試料片（Ｗ）の別の位置から別の試料薄片（Ｗ１）を切り出す際にも、試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）を試料ホルダ（Ｈ，Ｈ′）に装着することができる。この結果、使い勝手が良くなる。
【００１７】
また、前記構成要件を備えた第１発明の試料ホルダ（Ｈ，Ｈ′）は、下記の構成要件（Ａ07）、（Ａ08）を備えることもできる。
（Ａ07）前記試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）と一体的に回転する回転部材（９７；９７′；９７″）と、前記回転部材（９７；９７′；９７″）を回転可能に支持する軸受（９３）とを有する前記回転支持部材（９３，９７，９８；９３，９７′，９８′；９３，９７″，２０２）、
（Ａ08）前記回転部材（９７；９７′；９７″）を回転させるために前記回転部材（９７；９７′；９７″）の外周部に配置されたワイヤ（Ｙ）と、前記ワイヤ（Ｙ）を前記回転部材（９７；９７′；９７″）に密着するようにガイドするプーリー（９６）と、前記ワイヤ（Ｙ）の端部に接続されたモータ（Ｍ，Ｍ′）とを有する前記回転制御部材（Ｙ，Ｍ，９６；Ｙ，Ｍ′，９６，２１２，２１７）。
【００１８】
前記構成要件（Ａ07）、（Ａ08）を備えた第１発明の試料ホルダ（Ｈ，Ｈ′）では、前記試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）は回転部材（９７；９７′；９７″）に対して着脱可能に支持され、且つ、回転部材（９７；９７′；９７″）と一体的に回転する。そして、前記回転部材（９７；９７′；９７″）は軸受（９３）によって回転可能に支持されている。また、前記回転部材（９７；９７′；９７″）の外周部には、ワイヤ（Ｙ）が配置されており、前記ワイヤ（Ｙ）の端部に接続されたモータ（Ｍ，Ｍ′）によって回転部材（９７；９７′；９７″）の回転が制御されている。このとき、前記ワイヤ（Ｙ）は、プーリー（９６）によってガイドされて前記回転部材（９７；９７′；９７″）に密着している。
【００１９】
したがって、試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）は、ワイヤ（Ｙ）によって回転制御される回転部材（９７；９７′；９７″）に装着されて、一体的に回転する。即ち、試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）には直接ワイヤ（Ｙ）が巻付かないので、試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）は、回転支持部材（９３，９７，９８；９３，９７′，９８′；９３，９７″，２０２）に対して容易に着脱することができる。
また、ワイヤ（Ｙ）が導電性の部材によって構成した場合、回転部材（９７；９７′；９７″）やプーリー（９６）とワイヤ（Ｙ）との摩擦によりワイヤ（Ｙ）に電荷が蓄積されることが防止され、電荷によって荷電粒子ビームが曲げられる等の悪影響を防止することができる。
【００２０】
（第２発明）
前記課題を解決するために、第２発明の試料ホルダ（Ｈ，Ｈ′）は、下記の構成要件（Ｂ01）〜（Ｂ04）を備えたことを特徴とする。
（Ｂ01）前記試料ホルダ（Ｈ，Ｈ′）の内端部に設けられたホルダベース（ＨＢ，ＨＢ′）、
（Ｂ02）荷電粒子ビームが照射される試料片（Ｗ）を保持する試料保持部（Ｔａ、Ｔａ″）と、前記試料保持部（Ｔａ、Ｔａ″）に一体的に配置された被装着部（Ｔｂ，２０４）とを有する試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）、
（Ｂ03）前記ホルダベース（ＨＢ，ＨＢ′）に支持され、前記被装着部（Ｔｂ，２０４）をワンタッチで着脱可能且つ回転可能に支持する回転支持部材（９３，９７，９８；９３，９７′，９８′；９３，９７″，２０２）、
（Ｂ04）前記回転支持部材（９３，９７，９８；９３，９７′，９８′；９３，９７″，２０２）の回転を制御する回転制御部材（Ｙ，Ｍ，９６；Ｙ，Ｍ′，９６，２１２，２１７）。
【００２１】
（第２発明の作用）
前記構成要件（Ｂ01）〜（Ｂ04）を備えた第２発明の試料ホルダ（Ｈ，Ｈ′）では、回転支持部材（９３，９７，９８；９３，９７′，９８′；９３，９７″，２０２）は、試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）の前記被装着部（Ｔｂ，２０４）をワンタッチで着脱可能且つ回転可能に支持する。そして、前記回転制御部材（Ｙ，Ｍ，９６；Ｙ，Ｍ′，９６，２１２，２１７）によって回転支持部材（９３，９７，９８；９３，９７′，９８′；９３，９７″，２０２）の回転が制御される。
したがって、本発明の試料ホルダ（Ｈ，Ｈ′）は、試料片（Ｗ）が保持された試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）をワンタッチで着脱可能に保持しているので、試料片（Ｗ）の着脱をワンタッチで容易に行うことができる。なお、本明細書及び特許請求の範囲において、ワンタッチとは、一方向にのみ押す動作又は引張る動作を意味する。
【００２２】
また、試料片（Ｗ）を保持する試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）がワンタッチで着脱できるので、試料片（Ｗ）を試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）に保持したまま着脱することができる。したがって、試料片（Ｗ）自体を取り扱わず、試料片（Ｗ）を保持した試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）を取り扱うことによって試料片（Ｗ）の着脱ができるので、試料片（Ｗ）の着脱作業（取り扱い）が容易になる。
さらに、試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）を複数用意することによって、試料作成装置で試料薄片切出作業をする前の試料片（Ｗ）や、試料薄片（Ｗ１）が切り出された後の試料片（Ｗ）を試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）に保持された状態で保管することができる。したがって、保管する際に試料片（Ｗ）を試料ホルダ（Ｈ，Ｈ′）から取り外したり、試料片（Ｗ）を保持した試料ホルダ（Ｈ，Ｈ′）全体を保管する必要が無く、試料片（Ｗ）を保持する試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）により保管すれば良い。この結果、試料片（Ｗ）の保管（取り扱い）が容易となる。
【００２３】
また、別の試料片（Ｗ）から試料薄片（Ｗ１）を切り出す場合には、切り出し作業が終わった試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）を取り外し、別の試料片（Ｗ）が保持された試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）を試料ホルダ（Ｈ，Ｈ′）に装着して切り出し作業を実行できる。したがって、試料ホルダ（Ｈ，Ｈ′）の取り回しが容易にできる。さらに、試料薄片（Ｗ１）が切り出された後、保管されていた試料片（Ｗ）から別の試料薄片（Ｗ１）を切り出す際にも、試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）を試料ホルダ（Ｈ，Ｈ′）に装着すればよい。この結果、使い勝手が良くなる。
【００２４】
また、前記構成要件（Ｂ01）〜（Ｂ04）を備えた試料ホルダ（Ｈ，Ｈ′）において、下記の構成要件（Ｂ05），（Ｂ06）を備えることができる。
（Ｂ05）前記試料保持部（Ｔａ）の試料保持面の反対側に突出して形成され、且つ被係止部（９９，２０４）が形成された被装着部（Ｔｂ）を有する前記試料保持部材（Ｔ）、
（Ｂ06）前記被装着部（Ｔｂ）の前記被係止部（９９，２０４）を係止する係止部材（９８，９８′，２０２）を有する前記回転支持部材（９３，９７，９８；９３，９７′，９８′）。
【００２５】
前記構成要件（Ｂ05），（Ｂ06）を備えた本発明の試料ホルダ（Ｈ，Ｈ′）では、試料保持部材（Ｔ）は、試料保持部材（Ｔ）の被装着部（Ｔｂ）を係止する係止部材（９８，９８′，２０２）によって、回転支持部材（９３，９７，９８；９３，９７′，９８′）にワンタッチで着脱可能に保持されている。したがって、試料片（Ｗ）を保持する試料保持部材（Ｔ）は容易に着脱可能であり、試料片（Ｗ）の搬送、着脱や保管を容易に行うことができる。
【００２６】
（第３発明）
前記技術的課題を解決するために、第３発明の荷電粒子線装置は下記の構成要件（Ｃ01）〜（Ｃ04）を備えたことを特徴とする。
（Ｃ01）上下方向に延びるＺ軸に沿った荷電粒子ビームの通路が内部に形成された鏡筒（１）、
（Ｃ02）前記荷電粒子ビームに略垂直な方向から前記鏡筒（１）を貫通するホルダ装着孔（２６ａ）を有し、ホルダ装着孔（２６ａ）の中心線上にある揺動中心点の周りに揺動可能なホルダ装着部材（ＧＭ）、
（Ｃ03）前記ホルダ装着孔（２６ａ）に気密に貫通して前記ホルダ装着部材（ＧＭ）に着脱可能に支持される外筒（Ｈ１）と、
前記外筒（Ｈ１）によって前記ホルダ装着孔（２６ａ）の中心線に沿って進退移動可能に支持された内筒（Ｈ３）と、
前記内筒（Ｈ３）を前記外筒（Ｈ１）に対して進退移動させる内筒進退制御部材（７８〜８７）と、
前記内筒（Ｈ３）の内端部に設けられた回転支持部材（９３，９７，９８；９３，９７′，９８′；９３，９７″，２０２）と、
前記回転支持部材（９３，９７，９８；９３，９７′，９８′；９３，９７″，２０２）の回転を制御する回転制御部材（Ｙ，Ｍ，９６；Ｙ，Ｍ′，９６，２１２，２１７）と、
を有する試料ホルダ（Ｈ，Ｈ′）、
（Ｃ04）前記荷電粒子ビームが照射される試料片（Ｗ）を保持し、前記回転支持部材（９３，９７，９８；９３，９７′，９８′；９３，９７″，２０２）に回転可能且つ着脱可能に支持される試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）。
【００２７】
（第３発明の作用）
前記構成要件（Ｃ01）〜（Ｃ04）を備えた第３発明の荷電粒子線装置では、試料ホルダ（Ｈ，Ｈ′）の外筒（Ｈ１）は、前記ホルダ装着部材（ＧＭ）の前記ホルダ装着孔（２６ａ）に気密に貫通して前記ホルダ装着部材（ＧＭ）に着脱可能に支持される。そして、内筒（Ｈ３）は、内筒進退制御部材（７８〜８７）によって、前記ホルダ装着孔（２６ａ）の中心線に沿って前記外筒（Ｈ１）に対して進退移動する。回転支持部材（９３，９７，９８；９３，９７′，９８′；９３，９７″，２０２）は、前記内筒（Ｈ３）の内端部に設けられ、荷電粒子ビームが照射される試料片（Ｗ）を表面に保持する試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）を回転可能且つ着脱可能に支持している。回転制御部材（Ｙ，Ｍ，９６；Ｙ，Ｍ′，９６，２１２，２１７）は、前記回転支持部材（９３，９７，９８；９３，９７′，９８′；９３，９７″，２０２）の回転を制御する。
【００２８】
したがって、第３発明の荷電粒子線装置では、試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）は回転支持部材（９３，９７，９８；９３，９７′，９８′；９３，９７″，２０２）に対して着脱可能に保持されているので、試料片（Ｗ）を試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）に保持したまま着脱することができる。即ち、試料片（Ｗ）自体を取り扱わず、試料片（Ｗ）を保持した試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）を取り扱うことによって試料片（Ｗ）の着脱ができるので、試料片（Ｗ）の着脱作業（取り扱い）が容易になる。
【００２９】
また、本発明の試料ホルダ（Ｈ，Ｈ′）では、前記内筒（Ｈ３）の進退移動及び回転制御部材（Ｙ，Ｍ，９６；Ｙ，Ｍ′，９６，２１２，２１７）による試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）の回転の組み合わせによって、試料片（Ｗ）から位置調節可能な範囲を広くすることができる。したがって、試料片（Ｗ）の任意の位置を荷電粒子ビームの照射位置に移動させることが可能となる。したがって、本発明の試料ホルダ（Ｈ，Ｈ′）を使用した試料作成装置で比較的大きな試料片（Ｗ）表面の任意の位置から試料薄片（Ｗ１）を切り出すことができる。
【００３０】
さらに、試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）を複数用意することによって、例えば、荷電粒子線装置としての試料作成装置で試料薄片切出作業をする前の試料片（Ｗ）や、試料薄片（Ｗ１）が切り出された後の試料片（Ｗ）を試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）に保持された状態で保管することができる。したがって、保管する際に試料片（Ｗ）を試料ホルダ（Ｈ，Ｈ′）から取り外したり、試料片（Ｗ）を保持した試料ホルダ（Ｈ，Ｈ′）全体を保管する必要が無く、試料片（Ｗ）を保持する試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）により保管すれば良い。この結果、試料片（Ｗ）の保管（取り扱い）が容易となる。また、別の試料片（Ｗ）から試料薄片（Ｗ１）を切り出す場合には、切り出し作業が終わった試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）を取り外し、別の試料片（Ｗ）が保持された試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）を試料ホルダ（Ｈ，Ｈ′）に装着して切り出し作業を実行できる。したがって、試料ホルダ（Ｈ，Ｈ′）の取り回しが容易にできる。さらに、試料薄片（Ｗ１）が切り出された後、保管されていた試料片（Ｗ）から別の試料薄片（Ｗ１）を切り出す際にも、試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）を試料ホルダ（Ｈ，Ｈ′）に装着すればよい。この結果、使い勝手が良くなる。
【００３１】
（第４発明）
また、前記課題を解決するために、第４発明の荷電粒子線装置は、下記の構成要件（Ｃ01），（Ｃ02），（Ｃ03′），（Ｃ04′）を備えたことを特徴とする。
（Ｃ01）上下方向に延びるＺ軸に沿った荷電粒子ビームの通路が内部に形成された鏡筒（１）、
（Ｃ02）前記荷電粒子ビームに略垂直な方向から前記鏡筒（１）を貫通するホルダ装着孔（２６ａ）を有し、ホルダ装着孔（２６ａ）の中心線上にある揺動中心点の周りに揺動可能なホルダ装着部材（ＧＭ）、
（Ｃ03′）前記ホルダ装着孔（２６ａ）に気密に貫通して前記ホルダ装着部材（ＧＭ）に着脱可能に支持される試料ホルダ（Ｈ，Ｈ′）であって、
前記試料ホルダ（Ｈ，Ｈ′）の内端部に設けられた回転支持部材（９３，９７，９８；９３，９７′，９８′；９３，９７″，２０２）と、
前記回転支持部材（９３，９７，９８；９３，９７′，９８′；９３，９７″，２０２）の回転を制御する回転制御部材（Ｙ，Ｍ，９６；Ｙ，Ｍ′，９６，２１２，２１７）と、
を有する前記試料ホルダ（Ｈ，Ｈ′）、
（Ｃ04′）前記荷電粒子ビームが照射される試料片（Ｗ）を保持し、前記回転支持部材（９３，９７，９８；９３，９７′，９８′；９３，９７″，２０２）に回転可能且つワンタッチで着脱可能に支持される試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）。
【００３２】
（第４発明の作用）
前記構成要件（Ｃ01），（Ｃ02），（Ｃ03′），（Ｃ04′）を備えた第４発明の荷電粒子線装置では、前記試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）は、前記回転支持部材（９３，９７，９８；９３，９７′，９８′；９３，９７″，２０２）に回転可能且つワンタッチで着脱可能に支持される。
したがって、第４発明の荷電粒子線装置では、試料ホルダ（Ｈ，Ｈ′）は、試料片（Ｗ）が保持された試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）をワンタッチで着脱可能に保持しているので、試料ホルダ（Ｈ，Ｈ′）に対する試料片（Ｗ）の着脱をワンタッチで容易に行うことができる。
【００３３】
また、第４発明の荷電粒子線装置では、試料片（Ｗ）を保持する試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）がワンタッチで着脱できるので、試料片（Ｗ）を試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）に保持したまま着脱することができる。即ち、試料片（Ｗ）自体を取り扱わず、試料片（Ｗ）を保持した試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）を取り扱うことによって試料片（Ｗ）の着脱ができるので、試料片（Ｗ）の着脱作業（取り扱い）が容易になる。
さらに、試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）を複数用意することによって、試料作成装置で試料薄片切出作業をする前の試料片（Ｗ）や、試料薄片（Ｗ１）が切り出された後の試料片（Ｗ）を試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）に保持された状態で保管することができる。したがって、保管する際に試料片（Ｗ）を試料ホルダ（Ｈ，Ｈ′）から取り外したり、試料片（Ｗ）を保持した試料ホルダ（Ｈ，Ｈ′）全体を保管する必要が無く、試料片（Ｗ）を保持する試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）により保管すれば良い。この結果、試料片（Ｗ）の保管（取り扱い）が容易となる。
【００３４】
また、別の試料片（Ｗ）から試料薄片（Ｗ１）を切り出す場合には、切り出し作業が終わった試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）を取り外し、別の試料片（Ｗ）が保持された試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）を試料ホルダ（Ｈ，Ｈ′）に装着して切り出し作業を実行できる。したがって、試料ホルダ（Ｈ，Ｈ′）の取り回しが容易にできる。さらに、試料薄片（Ｗ１）が切り出された後、保管されていた試料片（Ｗ）から別の試料薄片（Ｗ１）を切り出す際にも、試料保持部材（Ｔ，Ｔ′，Ｔ″）を試料ホルダ（Ｈ，Ｈ′）に装着すればよい。この結果、使い勝手が良くなる。
【発明の効果】
【００３５】
前述の本発明の試料ホルダ及び荷電粒子線装置は、下記の効果（Ｅ01），（Ｅ02）を奏することができる。
（Ｅ01）簡易な方法で作成可能な大きさ（例えば、８ｍｍ四方や直径１１ｍｍ程度）の試料片の任意の位置から試料薄片を切り出すことができる。
（Ｅ02）試料片の取り扱いや保管を容易にし、使い勝手を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
次に図面を参照しながら、本発明の実施の形態（実施例）を説明するが、本発明は以下の実施の形態に限定されるものではない。
なお、以後の説明の理解を容易にするために、図面において、前後方向をＸ軸方向、左右方向をＹ軸方向、上下方向をＺ軸方向とし、矢印Ｘ，−Ｘ，Ｙ，−Ｙ，Ｚ，−Ｚで示す方向または示す側をそれぞれ、前方、後方、右方、左方、上方、下方、または、前側、後側、右側、左側、上側、下側とする。また、図中、「○」の中に「・」が記載されたものは、紙面の裏から表に向かう矢印を意味し、「○」の中に「×」が記載されたものは、紙面の表から裏に向かう矢印を意味するものとする。
【実施例１】
【００３７】
図１は本発明の実施例１の荷電粒子線装置としての透過型電子顕微鏡及びＦＩＢ試料作成装置の説明図である。
図１において、荷電粒子線装置としてのＦＩＢ試料作成装置Ｆは、鏡筒Ｆ１と、作業室Ｆ２とを有している。前記鏡筒Ｆ１内部には、イオンビーム（荷電粒子ビーム）を発生させるイオン源Ｆ３ａと、イオンビームを集束させる集束レンズＦ３ｂ及び対物レンズＦ３ｃとからなる照射光学系Ｆ３が配置されている。図１において、前記作業室Ｆ２には、ゴニオメータＧＭが設けられており、前記ゴニオメータＧＭには、集束イオンビーム（ＦＩＢ）が照射される試料片Ｗを保持する試料片用試料ホルダＨが装着されている。また、前記作業室Ｆ２には、試料片ＷにＦＩＢを照射した時に発生する２次電子等を検出する２次電子検出器Ｆ４と、保護膜としてのデポジション膜を形成する際にデポジションガスを供給するデポジションガス供給装置Ｆ５が配置されている。
【００３８】
図２は本発明の実施例１の透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）の説明図である。
図１、図２において、荷電粒子線装置としての透過型電子顕微鏡ＴＥＭは、上下方向（Ｚ軸方向）に延び且つ内部を真空に保持された鏡筒１を有し、鏡筒１上端に電子銃２が設けられている。前記電子銃２から出射される電子ビーム（荷電粒子ビーム）の中心線に沿ってＺ軸が設けられている。鏡筒１下端部には、観察窓４および、実線で示す観察位置と二点鎖線で示す退避位置との間で移動可能な蛍光板５が設けられている。また、前記蛍光板５の下方には電子顕微鏡画像を撮影するためのフィルム６を撮影位置に配置するための装置が配置されている。
前記電子銃２の下方には電子線集束用の集束レンズ７が配置され、前記蛍光板５の上方には拡大結像用の結像レンズ８が配置されている。そして、前記集束レンズ７と結像レンズ８との間の鏡筒１には、ＦＩＢ試料作成装置ＦのゴニオメータＧＭと同様に構成されたゴニオメータＧＭが配置されており、ＴＥＭのゴニオメータＧＭには、ＴＥＭ観察用の試料薄片Ｗ１を保持する試料薄片用試料ホルダＳＨが着脱される。
【００３９】
図３は前記図２の矢印IIIで示す部分の拡大図である。
図４は本発明の実施例１の試料ホルダの作用説明図である。
図２〜４において、前記集束レンズ７および結像レンズ８の間には、円筒状外周面を有し、且つ外壁の一部を構成する磁性材料製のヨーク１１が設けられている。そして、前記ヨーク１１内側には、略円筒状の非磁性材料製のゴニオステージＧＳが支持されている。
図３に示すように、前記ヨーク１１により、励磁コイル１３、電子通過孔を有する電子レンズ上磁極片１４および電子レンズ下磁極片１５が支持されている。前記ゴニオステージＧＳ内側で電子レンズ上磁極片１４と電子レンズ下磁極片１５との間には試料室Ａが形成されている。
【００４０】
図５は前記図３のＶ−Ｖ線断面図である。
図６は前記図３のＶI−ＶI線断面図である。
図７は前記図３のVII−VII線断面図である。
図３〜図５において、前記ヨーク１１およびゴニオステージＧＳの後側部分（−Ｘ側部分）には、前記ヨーク１１の外側と試料室Ａとを連通したヨーク側ゴニオメータ装着孔（筒状軸受部材装着孔）１１ａおよびステージ側ゴニオメータ装着孔（球面軸受装着孔）ＧＳ１がＸ軸と同軸に設けられている。前記ヨーク１１のゴニオメータ装着孔１１ａに前端の小径部分が挿入された筒状軸受部材１６は、後側フランジ部分がヨーク１１にボルト１７（図７参照）で固定されている。前記ゴニオステージＧＳのゴニオメータ装着孔ＧＳ１には、球面軸受１８が嵌合、固定されており、この球面軸受１８には、前端部に球面座１８ａが設けられている。球面座１８ａの中心（以後「球面中心」という）ＯはＸ軸線上に配置されている。球面軸受１８の球面座１８ａにはＯリング溝１８ｂが設けられており、Ｏリング溝１８ｂには真空シール用Ｏリング２０が嵌め込まれている。
前記筒状軸受部材１６の円筒状内周面の軸は、Ｘ軸に一致し、前記球面中心Ｏを通るように配置されている。
【００４１】
図３〜図７において、前記筒状軸受部材１６の内周面には、一対のベアリング（軸受）２１が装着されており、一対のベアリング２１により中空のゴニオ回転部材２２がＸ軸周りに回転可能に支持されている。ゴニオ回転部材２２の内側にはガイド筒貫通孔２２ａが形成されている。図３において、ゴニオ回転部材２２後部上側には、左右一対の押圧部材用支持部２２ｂ，２２ｂ（図６参照）が後方に延びている。また、前記ゴニオ回転部材２２の外周にはギヤ部２２ｃ（図３〜図５、図７参照）が形成されている。
図３〜図５において、前記球面軸受１８の球面座１８ａには球体部２３が球面中心Ｏ周りに回動可能に支持されており、球体部２３にはホルダ嵌合孔２３ａが形成されている。球体部２３には円筒部２４がその前端部で一体に固定されており、球体部２３および円筒部２４によりガイド筒２５が構成されている。
【００４２】
図８は前記図３の矢印VIIIで示すホルダ支持装置の要部拡大図である。
図９は前記ホルダ支持装置の外筒、内筒、およびホルダを説明する図で、図９Ａは前記外筒の斜視図、図９Ｂは前記内筒の斜視図、 図９Ｃは前記ホルダの斜視図である。
なお、前述のようにＦＩＢ試料作成装置Ｆ及び透過型電子顕微鏡ＴＥＭには、同様のゴニオメータＧＭが配置されているため、ＦＩＢ試料作成装置Ｆのホルダ支持装置には試料片用試料ホルダＨ、試料薄片用試料ホルダＳＨが装着できる。次に、図８、図９を使用してホルダ支持装置の説明をするが、後述する試料片用試料ホルダＨの理解の容易のために、試料薄片用試料ホルダＳＨではなく、試料片用試料ホルダＨが装着された状態を例に挙げて説明する。
【００４３】
図９Ａにおいて、前記円筒部２４の内側には収容筒貫通孔２４ａが形成されており、円筒部２４の筒壁には外側ガイド溝２４ｂが形成されている。前記外側ガイド溝２４ｂは、後端（外端）から前端（内端）に向かって軸方向に形成された外端側軸方向ガイド溝２４ｂ1と、前記外端側軸方向ガイド溝２４ｂ1の内端に連続して筒壁の円周方向に形成された円周方向ガイド溝２４ｂ2と、前記円周方向ガイド溝２４ｂ2に連続して軸方向に形成された内端側軸方向ガイド溝２４ｂ3とを有している。そして、図９Ａに示すように、前記内端側軸方向ガイド溝２４ｂ3の外周側には、溝幅が広く形成されたスライダ収容部２４ｂ4が形成されている。
そして、前記円筒部２４の後部（−Ｘ部）には、左右両側に角柱状の張出部２４ｄ，２４ｄ（図６参照）が形成されている。図３において、前記円筒部２４の収容貫通孔２４ａの前端部にはシールリング装着溝２４ｅが形成されており、前記シールリング装着溝２４ｅにはシールリング（Ｏリング）２４ｆが装着されている。
【００４４】
図３〜図５において、前記円筒部２４の収容筒貫通孔２４ａには、ホルダ収容筒２６が回転可能に挿通されており、ホルダ収容筒２６の内側にはホルダ装着孔２６ａが形成されている。図３〜図５，図９Ｂにおいて、ホルダ収容筒２６の前端部にはベベルギヤＧ′が設けられている。そして、前記ホルダ収容筒２６の後端部には、後端（外端すなわち、−Ｘ端）から前端（内端すなわち、Ｘ端）に向かって軸方向にピンガイド溝２６ｃ（図９Ｂ参照）が形成されている。
【００４５】
図５に示すように、前記円筒部２４の前端部の内端側には、一対のピン２７，２７が対向して設けられており、一対のピン２７の左側（−Ｙ側）のピン２７にはベベルギヤＧが回転可能に支持されている。また、前記一対のピン２７，２７の間にはＵ字型のアーム２９（図３〜図５参照）の両端部が回転可能に支持されており、前記アーム２９の一端部は前記ベベルギヤＧと連結されている。
前記Ｕ字状のアーム２９の中間部には仕切弁２８（図３、図４参照）が支持されている。これにより、ベベルギヤＧが回転するとき、仕切弁２８が球体部２３のホルダ嵌合孔２３ａを開閉する構成となっている。
【００４６】
図９Ｃにおいて、前記ホルダ収容筒２６に収容される試料ホルダＨの外周面の略中央部にはピンＰが突出して設けられており、このピンＰはガイド筒２５の円筒部２４の外側ガイド溝２４ｂ及びホルダ収容筒２６のピンガイド溝２６ｃに係合可能に形成されている。
なお、前記符号２５〜２９，Ｇ，Ｇ′，Ｈ（図３、図４参照）で示された要素から仕切弁開閉機構が構成される。
【００４７】
（Ｘ軸周り位置調節装置Ｄｔ）
図３、図７において、前記筒状軸受部材１６の上端部には、ギヤホルダ３０が設けられている。ギヤホルダ３０にはゴニオ回転部材２２のギヤ２２ｃと噛み合うウォームギヤ３１（図７参照）が回転可能に支持されている。ギヤホルダ３０の左側にはＸ軸周り駆動用モータ３２が設けられており、Ｘ軸周り駆動用モータ３２はウォームギヤ３１のギヤホルダ３０を貫通する軸の左端部に接続されている。したがって、Ｘ軸周り駆動用モータ３２を正回転または逆回転方向に駆動すると、ギヤ２２ｃおよびウォームギヤ３１を介してゴニオ回転部材２２がＸ軸周りに正回転または逆回転するようになっている。
前記符号２２，３０，３１，３２で示された要素からＸ軸周り位置調節装置Ｄｔが構成される。
【００４８】
（Ｚ軸方向位置調節装置Ｄｚ）
図３〜図５において、前記ゴニオ回転部材２２の後端部には、一対の軸３５，３５（図５参照）が対向して設けられており、前記軸３５，３５には揺動部材３６が回転可能に支持されている。図６において、前記揺動部材３６は左右方向（Ｙ軸方向）に延びる水平部分３６ａ、この水平部分３６ａの両端部に設けられた上方突出部分３６ｂ，３６ｂ、および水平部分３６ａの中央部で下方に突出した下方突出部分３６ｃ（図３参照）を有している。
図６、図８において、前記揺動部材３６の上方突出部分３６ｂ，３６ｂの上端部には当接球３７，３７が支持されており、前記当接球３７，３７が前記円筒部２４の張出部２４ｄ，２４ｄ下面にそれぞれ当接している。
【００４９】
図６において、前記ゴニオ回転部材２２の左右一対の押圧部材用支持部２２ｂ，２２ｂには、上下位置調節用押圧部材３８が配置されている。前記上下位置調節用押圧部材３８は、バネ支持筒３８ａ，３８ａと、前記バネ支持筒３８ａ，３８ａに一端が支持された圧縮バネ３８ｂ，３８ｂと、前記圧縮バネ３８ｂ，３８ｂの他端が支持される押圧部材３８ｃ．３８ｃとを有する。前記押圧部材３８ｃは、上下方向にスライド移動可能に支持されており、先端が圧縮バネ３８ｂ，３８ｂによってガイド筒２５の張出部２４ｄ，２４ｄ上面が常時下方に付勢されている。
【００５０】
図３、図６において、前記ゴニオ回転部材２２後部下側（−Ｘ部−Ｚ側）には上下方向調節用モータ４１が支持されている。前記上下方向調節用モータ４１の駆動軸には駆動ギヤ４２が固着されている。前記駆動ギヤ４２には、上下方向調節用ネジ４３の従動ギヤ部４４が噛合っている。前記上下方向調節用ネジ４３は、ゴニオ回転部材２２に形成されたネジ孔に螺合しており（図３参照）、上下方向調節用ネジ４３の後端（−Ｘ端）は、前記揺動部材３６の下方突出部分３６ｃの前側面（Ｘ側面）に当接している。
【００５１】
したがって、前記上下方向調節用モータ４１を正回転または逆回転方向に駆動すると、駆動ギヤ４２および従動ギヤ部４４を介して上下方向調節用ネジ４３が正回転または逆回転し、その回転方向に応じて上下方向調節用ネジ４３が進退移動する。
前記上下方向調節用ネジ４３の進退移動により、揺動部材３６が軸３５回りに揺動し、揺動部材３６に支持された当接球３７，３７がガイド筒２５の張出部２４ｄ，２４ｄを上下方向に移動させる。前記張出部２４ｄ，２４ｄの上下移動により、ガイド筒２５が球面中心Ｏ周りに回動し、ホルダＨの内端部を上下方向（Ｚ軸方向）に位置調節できる。実施例１では、前記上下方向調節用ネジ４３の調節によって、前記ホルダＨの内端部は上下方向に±１ｍｍ程度調節可能に設定されている。
なお、前記符号３５〜３８，４１〜４４で示された要素からＺ軸方向位置調節装置Ｄzが構成される。
【００５２】
（Ｙ軸方向位置調節装置Ｄｙ）
図５において、前記ゴニオ回転部材２２の後部左側（−Ｘ側部分の−Ｙ側）には押圧部材収容部２２ｄが形成されており、押圧部材収容部２２ｄには左右位置調節用押圧部材４５が収容されている。前記左右位置調節用押圧部材４５は、押圧部材収容部２２ｄに左右方向にスライド移動可能に挿入された断面Ｕ字状の押圧部材４５ａと、前記押圧部材４５ａと押圧部材収容部２２ｄとの間に配置され圧縮バネ４５ｂとを有している。したがって、前記圧縮バネ４５ｂにより、押圧部材４５ａの先端部は、ガイド筒２５後部の左側面（−Ｙ側面）を常時右方に付勢している。
【００５３】
図５において、前記ゴニオ回転部材２２の後部右側（−Ｘ側部分の＋Ｙ側）には左右位置調節用モータ４６が支持されている。前記左右位置調節用モータ４６の駆動軸には駆動ギヤ４７が固着されており、前記駆動ギヤ４７には左右位置調節用ネジ４８の従動ギヤ部４９が噛合っている。左右位置調節用ネジ４８は、ゴニオ回転部材２２に形成されたネジ孔に螺合しており（図５参照）、その左端（−Ｙ端）がガイド筒２５後部（−Ｘ部）の左側面（−Ｙ側面）に当接している。
したがって、前記左右位置調節用モータ４６を正回転または逆回転方向に駆動すると、駆動ギヤ４７と従動ギヤ部４９とを介して左右位置調節用ネジ４８が正回転または逆回転し、その回転方向に応じて左右位置調節用ネジ４８が進退移動する。
前記左右位置調節用ネジ４８の進退移動により、左右方向押圧部材４５及び左右位置調節用ネジ４８によって左右両側面が支持ガイド筒２５が前記球面中心Ｏ周りに回動し、ホルダＨ内端部を左右方向（Ｙ軸方向）に位置調節できる。実施例１では、前記ホルダＨ内端部を左右方向（Ｙ軸方向）に±１ｍｍ程度調節可能に設定されている。
なお、前記符号４５〜４９で示された要素からＹ軸方向位置調節装置Ｄyが構成される。
【００５４】
（Ｘ軸方向位置調節装置Ｄｘ）
図１０は前記ホルダ支持装置で使用されるスライダの説明図で、図１０Ａは前記スライダの断面図、図１０Ｂは前記図１０Ａの矢印ＸＢから見た図、図１０Ｃは前記図１０ＡのＸＣ−ＸＣ線断面図である。
図８、図９Ａにおいて、前記円筒部２４のスライダ収容溝２４ｂ4にはスライダ５１がスライド可能に収容されている。
図１０において、前記スライダ５１の下面には、後端から前端側のピン係合部５１ａまで前後方向に延びるピン移動用凹溝（ガイド溝）５１ｂが形成されている。前記スライダ５１上面の後部には、係止用突起部（位置決め係合部）５１ｃが設けられており、この係止用突起部５１ｃの前端側の面には鋼球、ルビー球等の球５２が固着されている。
図８に示すように、前記円筒部２４のスライダ収容溝２４ｂ4にスライダ５１が収容された状態では、係止用突起部５１ｃは、前記ガイド筒２５の外周面から突出している。
【００５５】
図８において、前記スライダ収容溝２４ｂ4にスライダ５１が収容された状態で、前記ガイド筒２５の円筒部２４上部の平坦な部分（図９Ａ参照）には、スライダ保持用プレート５３がネジ止めされ、前記スライダ収容溝２４ｂ4の上方が塞がれる。
図１１は前記スライダを保持するスライダ保持プレートの説明図で、図１１Ａは前記スライダ保持プレートの平面図、図１１Ｂは側面図で前記図１１Ａの矢印ＸIＢから見た図、図１１Ｃは前記図１１Ｂの矢印ＸIＣから見た図である。
図１１において、長方形状の前記スライダ保持用プレート５３は、長辺方向（Ｘ軸方向）に沿って複数の固定用ネジ孔５３ａが形成されているとともに、後端部に前記スライダ５１の係止用突起部５１ｃ（図８参照）の貫通する貫通孔５３ｂが形成されている。前記スライダ保持用プレート５３の貫通孔５３ｂを貫通する係止用突起部５１ｃは、図８に示すように、前後方向（Ｘ軸方向）に所定の範囲内で移動できるようになっている。
【００５６】
図６に示すように、前記ガイド筒２５の張出部２４ｄ，２４ｄにはテコ支持部材５９がネジ６０，６０によって固定支持されている。
図３、図８に示すように、テコ支持部材５９には、前後位置調節用モータ６１が支持されており、前後位置調節用モータ６１の駆動軸には駆動ギヤ６２が固着されている。前記駆動ギヤ６２は、前後位置調節用ネジ６３上端部の従動ギヤ部６４と噛合っている。前記前後位置調節用ネジ６３は、テコ支持部材５９に形成されたネジ孔に螺合しており、下端（図８参照）には当接球６５が固定支持されている。
【００５７】
図８において、前記テコ支持部材５９には軸５９ａが設けられており、軸５９ａにはテコ６６がＹ軸周りに回動可能に支持されている。前記テコ６６はその下部のテコ係止部６６ａと、前部の球当接部６６ｂとを有している。前記球当接部６６ｂには、前記前後位置調節用ネジ６３に固定された当接球６５が当接している。したがって、前後位置調節用モータ６１を正回転または逆回転方向に駆動すると、駆動ギヤ６２および従動ギヤ部６４を介して前後位置調節用ネジ６３が正回転または逆回転し、その回転方向に応じて前後位置調節用ネジ６３が進退移動する。
前記前後位置調節用ネジ６３の進退移動により、当接球６５が当接するテコ６６が軸５９ａを中心に回動し、背圧（外端に作用する大気圧）を受けたホルダＨによって前方に付勢されたスライダ５１の係止用突起部５１ｃの球５２をテコ係止部６６ａで押圧することにより、スライダ５１を前後方向に移動させて、ホルダＨの内端部を前後方向（Ｘ軸方向）に位置調節できる。実施例１では、前記試料ホルダＨの内端部は前後方向（Ｘ軸方向）に±１ｍｍ程度調節できるように設定されている。
【００５８】
なお、前記符号５１〜５３，５９〜６６で示された要素からＸ軸方向位置調節装置Ｄｘが構成される。前記符号２２〜２９，Ｇ，Ｄｔ，Ｄｘ，Ｄｙ，Ｄｚ等で示された要素によりホルダ支持装置Ｈｓが構成される。そして、前記符号１７〜２１で示された部材及び前記ホルダ支持装置Ｈｓによって前記ゴニオメータＧＭ（ホルダ装着部材）が構成される。
なお、前記ＦＩＢ試料作成装置ＦのゴニオメータＧＭは、前記透過型電子顕微鏡ＴＥＭのゴニオメータＧＭと同様に構成されている。
【００５９】
（試料ホルダのゴニオメータＧＭへの着脱）
図３、図４、図９において、前記試料薄片用試料ホルダＳＨ（または試料片用試料ホルダＨ）をゴニオメータＧＭに装着するとき、前記ホルダＨ，ＳＨをホルダ収容筒２６のホルダ装着孔２６ａに挿入し、ピンＰをガイド筒２５の軸方向ガイド溝２４ｂ1とホルダ収容筒２６のピンガイド溝２６ｃに挿入して移動させると、ピンＰは軸方向ガイド溝２４ｂ1の内端（円周方向ガイド溝２４ｂ2との接続部）に当たる（図４参照）。
この状態では、仕切弁２８が閉じられて、試料室Ａは真空に保持されている。この位置で図示しない真空粗引き用スイッチをオンにして試料予備排気室Ｂを真空排気する。真空が十分な状態になってから、前記ホルダＨ，ＳＨを回して、ピンＰをガイド筒２５の円周方向ガイド溝２４ｂ2に沿って移動させると、ガイド筒２５内でホルダ収容筒２６が回転する。この際、ベベルギヤＧ′がベベルギヤＧを回転して、仕切弁２８が球体部２３のホルダ貫通孔２３ａを開放する。
【００６０】
前記球体部２３のホルダ貫通孔２３ａが開放した状態では、背圧（外端に作用する大気圧）を受けたホルダＨ，ＳＨは、ピンＰがガイド筒２５の内端側軸方向ガイド溝２４ｂ3、ホルダ収容筒２６のピンガイド孔２６ｃおよびスライダ５１のピン移動用凹溝５１ｂにガイドされて内方（前方）に移動し、ピンＰがピン係合部５１ａ（図８参照）に係合する。
このとき、ホルダＨ，ＳＨは球体部２３のホルダ貫通孔２３ａに挿通（装着）される。この状態では、ホルダＨ，ＳＨの内端部は真空試料室Ａ内に配置される。
ホルダＨ，ＳＨを前記ホルダ収容筒２６のホルダ装着孔２６ａから外部に引き出す際には、前記挿入時（装着時）と逆の操作を行う。
【００６１】
（試料ホルダ）
（試料片用試料ホルダ）
図１２は本発明の実施例１の試料ホルダの説明図であり、図１２Ａは試料台を取り外した状態の平面図、図１２Ｂは試料台を装着した状態の試料台の部分の要部平面図、図１２Ｃは図１２ＡのＸIIＣ−ＸIIＣ線断面図である。
図８、図９、図１２において、試料片保持用の試料ホルダＨは、円筒状の外筒Ｈ１と、前記外筒Ｈ１の外端部（−Ｘ側端部）に設けられたギアボックスＨ２を有している。前記外筒Ｈ１は、円板状の後端壁７０を有している。前記外筒Ｈ１の外周面の略中央部には、前記ピンＰが突出して設けられており、前記ピンＰの前側（＋Ｘ側）には外周に沿って外側Ｏリング装着溝７１が形成されている。前記外側Ｏリング装着溝７１にはＯリング７２が装着されており、ホルダＨが前記ホルダ収容筒２６内を移動するとき内側の気密が保持される。
【００６２】
図８、図１２Ｃにおいて、円筒状の前記外筒Ｈ１には、内筒貫通孔７３が形成されている。前記内筒貫通孔７３は、内端側の内側小径部７３ａと、前記内側小径部７３ａより内径の大きな外端側の内側大径部７３ｂとを有する。前記内側小径部７３ａには内側Ｏリング装着溝７４が形成され、内側Ｏリング装着溝７４にはＯリング７６が装着されている。前記内筒貫通孔７３の内側大径部７３ｂの後端部には、前記小径部７３ａと同じ内径を有する円筒状の軸受７７が設けられている。
【００６３】
図８、図１２Ｃにおいて、前記外筒Ｈ１の内筒貫通孔７３には、中空円筒状の内筒Ｈ３が配置されている。前記内筒Ｈ３は、内側小径部７３ａ及び軸受７７によって前後方向（Ｘ軸方向）に進退移動可能、且つ回転不能に支持されている。そして、前記内筒Ｈ３は、Ｏリング７６によって内端側（＋Ｘ側）の気密を保持しつつ進退移動できる。前記内筒Ｈ３の後端部（−Ｘ側端部）には、平板状のフランジ７８が固定支持されており、フランジ７８の下端部には内側にネジ溝が形成されたナット７９が一体的に支持されている。
【００６４】
図１２Ｃにおいて、前記外筒Ｈ１の後端壁７０の右部には、上部が開放された箱状のボルト支持部材８１が設けられている。前記ボルト支持部材８１内部には前記ナット７９と螺合して貫通するボルト８２が配置されている。前記ボルト８２の前端部は、前記後端壁７０に設けられたボルト軸受８３及びワッシャ８４によって回転可能に支持されている。そして、前記ボルト８２の後部は、カラー８６を介してボルト支持部材８１に回転可能に支持されている。前記ボルト８２の後端部はギアボックスＨ２の後端壁を貫通して外部に突出しており、ボルト８２の後端には内筒進退移動用グリップ８７が装着されている。
【００６５】
前記内筒進退移動用グリップ８７を回転させると、前記ナット７９と螺合するボルト８２が回転する。このとき、前記ナット７９が設けられた内筒Ｈ３は、外筒Ｈ１に回転不能に支持されているので、ボルト８２の回転時に内筒Ｈ３は回転せず、前後方向に移動（進退移動）する。実施例１では、前記内筒Ｈ３は外筒Ｈ１に対して±５ｍｍ（全体で１０ｍｍ）の範囲進退移動できるよう設定されている（図１２Ｃの二点鎖線参照）。なお、進退移動可能な範囲は任意に設定することが可能である。
前記フランジ７８、ナット７９、ボルト支持部材８１、ボルト８２、ボルト軸受８３、ワッシャ８４、カラー８６及び内筒進退移動用グリップ８７とによって内筒進退制御部材（７８〜８７）が構成されている。
【００６６】
図８、図１２Ｃにおいて、前記内筒Ｈ３のフランジ７８の後側にはモータボックスＭＢが設けられている。前記モータボックスＭＢの内部には、モータボックスＭＢの外壁に対して前後方向（Ｘ軸方向）に移動可能に支持されたモータ支持部材８８が設けられている。前記モータ支持部材８８は、モータＭを固定支持する上側支持部８８ａと、前記モータＭの回転軸Ｍ１の先端をベアリングで回転可能に支持する下側支持部８８ｂと、前記上側支持部８８ａと下側支持部８８ｂとを接続する接続部８８ｃ（図８、図１２参照）とを有している。そして、前記モータボックスＭＢには、前記モータ支持部材８８を後方（−Ｘ方向）に付勢する付勢バネ８９，８９が設けられている。
【００６７】
図１３は実施例１の試料ホルダの先端部分の要部拡大平面図であり、図１３Ａは試料片を保持する試料台を取り外した状態の平面図、図１３ＢはＦＩＢ試料作成装置で切出し作業が行われる比較的大きな試料片を保持する試料台を装着した状態の平面図である。
図１４は実施例１の試料ホルダの先端部分の要部拡大断面図であり、図１４Ａは図１３ＢのＸＩＶＡ−ＸＩＶＡ線断面図、図１４Ｂは比較的大きな試料を保持する試料台を取り外した状態の拡大断面図である。
【００６８】
図１２〜図１４において、前記内筒Ｈ３の内端部（前端部、＋Ｘ側端部）には、ホルダベースＨＢが設けられている。前記ホルダベースＨＢは、前記内筒Ｈ３に接続されるベース接続部９１と、前記ベース接続部９１と一体的に形成されたベース本体９２とを有する。前記ベース接続部９１には前記内筒Ｈ３の内部に連通する連通孔９１ａ（図１４参照）が形成されている。前記ベース本体９２には、左右一対の外壁９２ａ（図１３参照）と、前記外壁９２ａより低い位置に形成された回転支持部材収容ステージ９２ｂを有している。前記回転支持部材収容ステージ９２ｂの略中央部にはステージ貫通孔９２ｃ（図１４参照）が形成されている。前記ステージ貫通孔９２ｃには、ベアリング（軸受）９３が設けられており、ベアリング９３の抜け止めのための抜け止め板９４が回転支持部材収容ステージ９２ｂの表面に固着されている。
そして、前記回転支持部材収容ステージ９２ｂの後部（−Ｘ側部分）には、左右一対のプーリー９６が回転可能に支持されている。
【００６９】
図１５は実施例１の試料ホルダの回転部材の説明図であり、図１５Ａは断面図、図１５Ｂは図１５ＡのＸＶＢ−ＸＶＢ線断面図である。
図１２〜図１５において、前記ベアリング９３には、略円筒状の回転部材９７が固定支持されている。図１５において、前記回転部材９７の上端部には大径のフランジ部９７ａ（図１５参照）が設けられている。前記大径のフランジ部９７ａにはワイヤ巻付溝９７ｂが形成されている。
図１５において、前記回転部材９７には上下方向に貫通する試料台装着孔９７ｃが形成されている。そして、前記回転部材９７の下端部には、バネ支持溝９７ｄが形成されている。図１５Ｂにおいて、前記バネ支持溝９７ｄは断面略３角形状になるよう形成されている。そして、前記バネ支持溝９７ｄには、針金状の部材を３角形状に折り曲げて形成した試料台係止バネ（係止部材）９８が設けられている。前記試料台係止バネ９８は、底辺部分９８ａと開閉部分９８ｂ，９８ｂとを有しており、前記底辺部分９８ａのみが前記バネ支持溝９７ｄに固定されている。試料台係止バネ９８の開閉部分９８ｂ，９８ｂの両先端部は互いに接近、離隔する方向に開閉移動可能となっている。そして、前記試料台係止バネ９８は、通常時は、開閉部分９８ｂ，９８ｂが接近した状態で保持され、係止バネ９８の一部が、前記試料台装着孔９７ｃ内部にはみ出している。
前記ベアリング９３（図１４参照）、回転部材９７及び試料台係止バネ９８によって回転支持部材（９３，９７，９８）が構成されている。
【００７０】
図１２〜図１４において、前記回転部材９７のワイヤ巻付溝９７ｂと前記モータＭの回転軸Ｍ１との間には、ループ状（無端状）の導電性材料製のワイヤＹが、前記内筒Ｈ３の中を貫通して配置されている。前記ワイヤＹの後側（−Ｘ側）は前記モータボックスＭＢ内の回転軸Ｍ１に２重に巻き付いている。なお、前記ワイヤＹは、回転軸Ｍ１に形成された溝（図示せず）に２重に巻き付いており、回転時にワイヤＹと回転軸Ｍ１との接触部が上下方向（Ｚ軸方向）にズレないよう構成されている。
【００７１】
前記ワイヤＹの前側（Ｘ側）は、前記一対のプーリー９６，９６の内側にガイドされて前記ワイヤ巻付溝９７ｂに巻き付いている。したがって、前記ワイヤＹは、前記ワイヤ巻付溝９７ｂに巻き付いているので、上下方向（Ｚ軸方向）に抜けない。ワイヤＹはプーリー９６，９６の内側にガイドされているので、ワイヤＹのワイヤ巻付溝９７ｂへの巻付角が大きくなる。したがって、ワイヤＹとワイヤ巻付溝９７ｂとの密着する面積が広くなっている。さらに、前記モータ支持部材８８に設けられた付勢バネ８９，８９によって、ワイヤＹには一定の張力が作用するので、ワイヤＹは弛まない。
【００７２】
したがって、ワイヤＹには一定の張力が作用し且つ、巻付角が大きくなっているためにワイヤＹが滑り難くなっているので、前記回転部材９７に回転力を確実に伝達できる。また、ワイヤＹは回転軸Ｍ１に２重に巻き付いているので、回転軸Ｍ１の回転力が確実に伝達される。この結果、前記モータＭを正回転又は逆回転させることにより、ワイヤＹを空回りせず、回転部材９７を確実に回転させることができる。
【００７３】
図１４、図１５において、前記試料台装着孔９７ｃには試料台（試料保持部材）Ｔが着脱可能且つ回転不能に支持される。前記試料台Ｔは、試料片Ｗが載置される試料保持面を有する円板状の試料保持部Ｔａと、前記試料保持部Ｔａの試料保持面の反対側に突出して設けられた円柱状の脚部（被装着部）Ｔｂとを有する。前記試料保持部Ｔａは、最大で直径１２ｍｍ程度の比較的大きな試料Ｗを保持できるように構成されている。
前記脚部Ｔｂの下端部には、被係止部９９が形成されている。前記被係止部９９は、脚部Ｔｂの下端から上方に行くに連れて径が太くなるように形成された下側径拡大部９９ａと、前記下側径拡大部９９ａの上部に連続し、上方に行くに連れて径が細くなるように形成された径縮小部９９ｂと、前記径縮小部９９ｂの上部に連続し、上方に行くに連れて径が太くなるように形成された上側径拡大部９９ｃとを有する。
【００７４】
前記試料台Ｔを回転部材９７に装着する場合、上方（＋Ｚ側）から前記試料台Ｔの前記脚部Ｔｂを試料台装着孔９７ｃに挿入する（図１４参照）。試料台Ｔを上方から押し込むと、試料装着孔９７ｃ内にはみ出していた前記試料台係止バネ９８が前記下側径拡大部９９ａと接触し、下側径拡大部９９ａの外径が太くなるのに伴い試料台係止バネ９８の先端部分の間隔が広がる（開く）（図１５Ｂ参照）。さらに試料台Ｔを押し込むと、前記試料台係止バネ９８と脚部Ｔｂとの接触部分が下側径拡大部９９ａから径縮小部９９ｂへ移行し、前記試料台係止バネ９８のバネの力（元の三角形状に戻ろうとする弾性力）により、先端部分の間隔が狭くなる（閉じる）。そして、前記試料保持部Ｔａの下面が、前記回転部材９７の上面に当接して係止されて装着が完了する。したがって、前記試料台Ｔは、一方向に押し続けることによってワンタッチで回転部材９７に装着される。
【００７５】
このとき、試料台係止バネ９８は、被係止部９９の径縮小部９９ｂに接触し且つ、元の三角形状に戻らず、バネの力が作用する状態で保持される。そして、前記径縮小部９９ｂが上方に行くほど径が細く形成されているので、試料台Ｔの脚部Ｔｂは下方（−Ｚ方向）に向かう力を受ける。この結果、試料台Ｔは試料台係止バネ９８によって下方に押し下げる力を受け、回転部材９７にしっかりと装着（固定）される。即ち、前記試料台Ｔは、回転部材９７の回転時に、回転部材９７に対して滑ることなく一体的に回転し、前記モータＭの正回転、逆回転の制御によって、試料台Ｔは±１８０°以上（全体で３６０°以上）の範囲で回転制御される。このとき、前記ワイヤＹは導電性材料で構成されているので、回転部材９７やプーリー９６又はモータ軸Ｍ１との間で摩擦帯電による電荷がワイヤＹに残らない。即ち、ワイヤＹの帯電電荷によって、荷電粒子ビーム（ＦＩＢや電子ビーム等）が曲げられる等の悪影響を防止できる。
【００７６】
また、試料台Ｔを回転支持部材９７から取り外すときは、上方に引張り続けるだけで、試料台係止バネ９８の先端部の間隔が広がるので、ワンタッチで取り外すことができる。
なお、このときの試料台係止バネ９８のバネの力は、構成材料の変更や、形状を三角形以外にすることにより調節可能であり、試料台Ｔの着脱を人の手で行う場合や、装置を利用する場合など状況に応じてバネの力を適切に調節できる。
前記ワイヤＹ、プーリー９６及びモータＭによって回転制御部材（Ｙ，Ｍ、９６）が構成されている。
【００７７】
（試料薄片用試料ホルダ）
図１６は、試料薄片用試料ホルダの説明図であり、図１６Ａは試料薄片用試料ホルダの要部断面説明図であり、図１６Ｂは薄壁加工前の試料薄片を保持する試料薄片保持部材の拡大説明図であり、図１６Ｃは薄壁加工後の試料薄片を保持する試料薄片保持部材の拡大説明図である。
図１６において、試料薄片用試料ホルダＳＨは、円筒状の外筒ＳＨ１を有している。前記外筒ＳＨ１は、前記試料片用試料ホルダＨの外筒Ｈ１と同サイズに構成されており、外側面にはピンＰやＯリング７２が配置されている。
【００７８】
また、前記試料薄片用試料ホルダＳＨは、前記外筒ＳＨ１の内部を貫通する内筒ＳＨ２を有する。前記内筒ＳＨ２の前部には、Ｏリング装着溝１０１が形成されており、Ｏリング装着溝１０１にはＯリング１０２が装着されている。したがって、内筒ＳＨ２内側の気密が保持される。前記内筒ＳＨ２の後端部は、外筒ＳＨ１の外端部に配置された軸受１０３により回転自由に支持されている。そして、内筒ＳＨ２の後端部には、被駆動ギヤ１０４が固着されている。
【００７９】
前記外筒ＳＨ１の外端部には、ハンドル部ＳＨ３が一体的に形成されている。前記ハンドル部ＳＨ３の外壁下部には、駆動軸１０６が軸受により回転自由に支持されており、前記駆動軸１０６には、前記被駆動ギヤ１０４と噛合う駆動ギヤ１０７が固着されている。そして、前記駆動軸１０６の外端部は、前記ハンドル部ＳＨ３の外側壁を貫通して外方に突出しており、駆動軸１０６の外端には内筒回転用グリップ１０８が支持されている。したがって、前記内筒回転用グリップ１０８を回転させることにより、駆動ギヤ１０７、被駆動ギヤ１０４を介して回転が伝達され、内筒ＳＨ２を外筒ＳＨ１に対して回転させることができる。なお、外筒ＳＨ１自体を回転させたい場合には、ハンドル部ＳＨ３を回転すればよい。
【００８０】
前記内筒ＳＨ２の内端部には、チップオンカートリッジ１１１が図示しない着脱機構によって装着されている。前記チップオンカートリッジ１１１の内端部には、試料薄片保持部材１１２が保持部材装着用板バネ１１３により装着されている。図１６Ｂにおいて、試料薄片保持部材１１２は、半円板状メッシュに半円状の切除部１１２ａが形成された形状をしており、試料薄片保持部材１１２の切除部１１２ａ周辺部に試料薄片Ｗ１が接着された状態で保持される。
【００８１】
（実施例１の作用）
前記構成を備えた実施例１の透過型電子顕微鏡ＴＥＭ及びＦＩＢ試料作成装置Ｆでは、ゴニオメータＧＭが同様に構成されているので、ＦＩＢ試料作成装置Ｆに試料片用試料ホルダＨ及び試料薄片用試料ホルダＳＨの両方を装着できる。試料片用試料ホルダＨの試料台Ｔは直径１２ｍｍ（または、１２ｍｍ／２1/2≒８ｍｍ四方）程度の試料を保持できるように構成されているので、図１２Ａ、図１３Ｂに示すように、試料台Ｔに比較的大きな８ｍｍ四方の試料片Ｗを接着固定できる。したがって、直径３００ｍｍ程度のウエハをダイシングソー等の切断装置を使用せずに、ユーザが手で折り割る等の簡易な方法で作成した８ｍｍ角程度の比較的大きな試料片Ｗを試料台Ｔに固定できる。そして、試料片Ｗが固定された試料台Ｔをワンタッチで試料片用試料ホルダＨのホルダベースＨＢに装着する。
【００８２】
図１において、試料片用試料ホルダＨに試料片Ｗが保持された状態で、試料片用試料ホルダＨをＦＩＢ試料作成装置ＦのゴニオメータＧＭに装着する。そして、試料片用試料ホルダＨに保持された比較的大きな試料片ＷにＦＩＢを照射して観察される２次電子像（ＳＩＭ像）に基づいて、試料薄片Ｗ１を切り出す位置を特定した後に、保護膜（デポジション膜）を形成し、ＦＩＢを照射して、楔形の試料薄片Ｗ１を作成する。なお、試料薄片Ｗ１の作成方法は、例えば、特許文献１記載の図７（ａ）〜図７（ｃ）に記載されているので、詳細な説明は省略する。なお、試料薄片Ｗ１の形状は、楔形に限定されず、凸字形、Ｌ字形、台形等従来公知の任意の形状に切り出すことが可能である。
【００８３】
このとき、実施例１の試料片用試料ホルダＨは、前記内筒Ｈ３が外筒Ｈ１に対して±５ｍｍ（全体で１０ｍｍ）の範囲で進退移動可能、且つＸ，Ｙ，Ｚ軸方向位置調節装置Ｄｘ，Ｄｙ，Ｄｚにより前後左右上下方向に±１ｍｍ（全体で２ｍｍ）の範囲で調節可能に構成されている。さらに、試料台Ｔは±１８０°以上（合計３６０°以上）の範囲で回転可能に支持されているので、これら全ての動作を組み合わせることによって、最大で直径１２ｍｍ程度の円の範囲の任意の位置にＦＩＢの照射位置を調節することが可能となる。
したがって、実施例１のＦＩＢ試料作成装置Ｆでは、比較的大きな試料Ｗ（８ｍｍ四方又は直径１２ｍｍ程度の試料）の任意の位置から試料薄片Ｗ１を切り出すことができる。
【００８４】
そして、試料薄片Ｗ１と試料片Ｗとが保持された試料片用試料ホルダＨをＦＩＢ試料作成装置Ｆから離脱させる。ＦＩＢ試料作成装置Ｆの外で、従来公知のマイクロピンセット（例えば、発明協会公開技報公技番号２００３-５０５２６４号参照）等を使用して試料薄片Ｗ１を試料片Ｗから取り外し、試料薄片用試料ホルダＳＨの試料薄片保持部材１１２に接着固定する（図１６Ｂ参照）。そして、試料薄片Ｗ１が固定された試料薄片保持部材１１２をチップオンカートリッジ１１１に装着する。
図１において、試料薄片Ｗ１を保持した状態で、試料薄片用試料ホルダＳＨをＦＩＢ試料作成装置Ｆに装着する。そして、図１６Ｂにおいて、ゴニオメータＧＭや内筒回転用グリップ１０８を操作して試料薄片Ｗ１の位置等を調節して、試料薄片Ｗ１の上方（図１６Ｂの矢印Ｙａの方向）からＦＩＢを照射して、図１６Ｃに示す試料薄壁Ｗ２を形成する。なお、試料薄壁Ｗ２の作成方法は、例えば、特許文献１の図８（ｄ）に記載されているので、詳細な説明は省略する。
【００８５】
試料薄壁Ｗ２を形成する作業が終了すると、試料薄片用試料ホルダＳＨをＦＩＢ試料作成装置Ｆから取り外し、透過型電子顕微鏡ＴＥＭに装着する。そして、図３〜図５に示すように試料薄壁Ｗ２に垂直な方向（図１６Ｃの矢印Ｙｂの方向）から電子ビームを照射して、蛍光板５に投影された透過像を観察できる。
なお、このとき、前記試料薄壁Ｗ２の厚さが厚すぎて電子が透過できず、透過像を観察できない場合、試料薄片用試料ホルダＳＨを取り外し、再びＦＩＢ試料作成装置Ｆに装着して、試料薄壁Ｗ２を薄くする作業を行うことができる。
【００８６】
この結果、実施例１の試料片用試料ホルダＨが装着されるＦＩＢ試料作成装置（荷電粒子線装置）Ｆでは、試料片用試料ホルダＨの内筒Ｈ３の進退移動及び試料台Ｔの回転移動により、比較的大きな試料Ｗの任意の位置にＦＩＢ（荷電粒子ビーム）を照射することができる。従来の試料ホルダを使用した場合には、試料台の回転中心軸から直径２ｍｍ程度の範囲しか切出しをすることができず、直径２ｍｍ程度の試料片を作成するためにダイシングソー等を使用しなければならなかった。しかし、実施例１の試料片用試料ホルダＨでは、従来よりも大きな試料片Ｗを使用できるので、ダイシングソー等の大がかりな切断装置を使用せずに、簡易な方法（手で折り割る等）で試料片Ｗを作成することができる。よって、切断装置を導入するコストを抑えることができると共に、切断装置による切断作業という面倒な作業を省略できるため、使い勝手も向上する。
【００８７】
また、実施例１の試料片用試料ホルダＨでは、試料台Ｔが着脱可能に構成されているので、試料薄片Ｗ１が取り出された後、別の試料片から別の試料薄片を取り出す場合、試料薄片Ｗ１切出し後の試料台Ｔを取り外し、別の試料片が保持された試料台Ｔを装着することにより、速やかに試料薄片の切出し作業を行うことができる。即ち、従来の試料ホルダでは、試料片が接着等により固定されていたので、試料片を試料ホルダから取り外す作業及び別の試料片を接着する作業を行う必要が無く、速やかに別の試料薄片の切出し作業を行うことができる。また、試料台を複数用意することにより、試料片用試料ホルダＨを複数用意する必要が無くなり、試料片用試料ホルダＨの取り回しができる。
【００８８】
さらに、試料薄片Ｗ１が切り出された後の試料片Ｗは、試料台Ｔに接着した状態で保管することができる。したがって、試料薄片Ｗ１が切り出された試料片Ｗの別の位置から試料薄片を切り出す場合には、試料台Ｔを再び試料片用試料ホルダＨに装着して、試料薄片を切り出す作業を行うことができる。この結果、試料片Ｗを試料ホルダから取り外して保管したり、試料ホルダごと保管する従来に比べ、保管が容易となり、再び切り出す作業も容易に行うことができる。
また、実施例１の試料片用試料ホルダＨでは、回転台Ｔがワンタッチで着脱可能であるため、回転台Ｔの装着、離脱作業は容易である。
したがって、実施例１の試料片用試料ホルダＨでは、従来よりも大きな試料片Ｗから試料薄片Ｗ１を切り出すことが可能となると共に、試料片Ｗの取り扱いが容易となり、使い勝手が向上する。
【実施例２】
【００８９】
図１７は実施例２の試料ホルダの回転部材の説明図であり、図１７Ａは側断面図、図１７Ｂは図１７ＡのＸＶＩＩＢ−ＸＶＩＩＢ線断面図である。
この実施例２の説明において、前記実施例１と同一の構成要素には同一の符号を使用してその詳細な説明は省略する。
図１７において、実施例２の試料片用試料ホルダＨは、実施例１の回転部材９７に替えて、回転部材９７′を有している。前記回転部材９７′の上部の大径のフランジ部９７ａは実施例１のそれと同様に構成されている。前記回転部材９７′の下部には、外部から試料台装着孔９７ｃ′に達する側断面楔状の係止バネ装着溝９７ｅが前後一対（Ｘ軸方向一対）形成されている（図１７Ａ参照）。そして、前記係止バネ装着溝９７ｅには、プレート状の板を折り曲げて形成した試料台係止板バネ（係止部材）９８′が設けられている。前記試料台係止板バネ９８′は、係止バネ装着溝９７ｅの形状に対応して形成されており、外部の上端部でネジで回転部材９７′の外周面に固着されている。そして、前記試料台係止板バネ９８′の内端部は試料台装着孔９７ｃ′内に突出して配置されている。
【００９０】
（実施例２の作用）
前記構成を備えた実施例２の試料ホルダＨ′では、試料台Ｔを押し込むと、前後一対の試料台係止板バネ９８′が試料台Ｔの前記下側径拡大部９９ａ（図１４、図１５参照）と接触し、前後一対の試料台係止板バネ９８′は弾性変形をして互いの間隔が広がる。さらに試料台Ｔを押し込むと、板バネ９８′が試料台Ｔの径縮小部９９ｂと接触している状態で、試料台Ｔの試料保持部Ｔａの下面が、回転部材９７′の上面と接触して装着される。このとき、板バネ９８′はバネの力（復元力）によって前記試料台Ｔの径縮小部９９ｂを内側に押圧するが、径縮小部９９ｂは上方に行くにつれて径が細くなっているので、試料台Ｔは下方に押し下げられる方向の力を受ける。即ち、試料台Ｔは回転部材９７′にしっかりと固定される。また、試料台Ｔを取り外すときは引張り続けるだけで取り外すことができる。
【００９１】
したがって、実施例２の試料片用試料ホルダＨでは、試料台係止板バネ９８′によって、試料台Ｔをワンタッチで着脱でき、且つ、しっかりと固定できるので、試料台Ｔに保持された試料を容易に搬送・着脱できる。その他、実施例２の試料片用試料ホルダＨは、実施例１と同様の作用効果を奏する。
【実施例３】
【００９２】
図１８は実施例３の試料ホルダの回転部材及び試料台の側断面図である。
この実施例３の説明において、前記実施例１と同一の構成要素には同一の符号を使用してその詳細な説明は省略する。
図１８において、実施例３の試料片用試料ホルダＨは、ワイヤＹが外周に巻付く回転部材９７″を有する。実施例３の回転部材９７″の大径のフランジ部９７ａは、実施例１の回転部材９７のそれと同様に構成されている。そして、実施例３の回転部材９７″には、実施例１の回転部材９７のバネ支持溝９７ｄが設けられておらず、試料台装着孔９７ｃに替えて、上下方向に貫通しない試料台装着部材収容室９７ｆ（図１７参照）が設けられている。
【００９３】
前記試料台装着部材収容室９７ｆには、収容室９７ｆの側壁に固定された回転軸２０１中心に回転可能に支持された前後一対の試料台装着部材（係止部材）２０２と、前記試料台装着部材２０２の下端部どうしを外方に向かって押圧する付勢バネ２０３とが配置されている。前記試料台装着部材２０２の上端部２０２ａは、回転部材９７″の上面よりも上方に突出して形成されている。そして、前記上端部２０２ａは略楔形に形成されており、外側から内側に向かって降傾斜する上側テーパ面２０２ａ1と、内側から外側に向かって降傾斜する下側テーパ面２０２ａ2とを有する。実施例３の試料装着部材２０２の上端部２０２ａは、前記付勢バネ２０３によって常時内側に向かう力を受けている。
【００９４】
また、実施例３の試料台（試料保持部材）Ｔ″は、実施例１の試料台Ｔと異なり、脚部Ｔｂが設けられていない。そして、前記試料台Ｔ″の試料保持部Ｔａ″の下面側には、前記試料台装着部材２０２の上端部２０２ａの形状に対応して前後一対の被装着溝２０４（被装着部、被係止部、図１８参照）が形成されている。前後一対の被装着溝２０４どうしの間隔は、前記試料台装着部材２０２どうしの間隔と略同じに設定されており、試料台Ｔ″を回転部材９７″に装着するときに前記上側テーパ面２０２ａ1と被装着溝２０４の入り口のテーパ面接触部２０４ａ（図１７参照）とが接触するよう設定されている。そして、前記被装着溝２０４内部には、前記試料台装着部材２０２の下側テーパ面２０２ａ2と同じ傾斜面が形成されたテーパ面２０４ｂが設けられている。
【００９５】
（実施例３の作用）
前記構成を備えた実施例３の試料片用試料ホルダＨでは、試料台Ｔ″を装着するために、上方（＋Ｚ軸方向）から押し込むと、試料装着部材２０２の上側テーパ面２０２ａ1と、被装着溝２０４のテーパ面接触部２０４ａとが接触する。このとき上側テーパ面２０２ａ1は外側から内側に向かって降傾斜して形成されているので、付勢バネ２０３の力に抗して上端部２０２どうしの間隔が広がる。
前記試料台Ｔ″をさらに押し込むと、試料装着部材２０２は被装着溝２０４に嵌合する。そして、前記試料台Ｔ″の下面が回転部材９７″の上面に接触するのとほぼ同時に、試料台装着部材２０２の下側テーパ面２０２ａ2と被装着溝２０４のテーパ面２０４ｂに接触し、試料台Ｔ″の装着がワンタッチで完了する。
【００９６】
このとき、前記付勢バネ２０３によって試料台装着部材２０２の上端部２０２ａには内側に向かう力が作用する。試料台装着部材２０２の上端部２０２ａは、内側から外側に向かって降傾斜して形成された下側テーパ面２０２ａ2とテーパ面２０４ｂとが接触しているので、前記付勢バネ２０３による力は、試料台Ｔ″を下向きに押し下げる方向に作用する。したがって、試料台Ｔ″は、前記試料台装着部材２０２と付勢バネ２０３、被装着溝２０４によって回転部材９７″にしっかりと装着される。
【００９７】
試料台Ｔ″を回転部材９７″から取り外すときは、試料台Ｔ″を上方に引張り続けると、前記試料台装着部材２０２の上端部２０２ａが被装着溝２０４のテーパ面２０４ｂにガイドされて、付勢バネ２０３の力に抗して広がる。したがって、そのまま、上方に引張り続けることによって試料台Ｔ″をワンタッチで取り外すことができる。
【００９８】
したがって、実施例３の試料ホルダＨ″は、試料台装着部材２０２、付勢バネ２０３によって、試料台Ｔをワンタッチで着脱でき、且つ、しっかりと固定できるので、試料台Ｔに保持された試料Ｗ等を容易に搬送・着脱できる。また、実施例１と同様に内筒Ｈ３が進退移動できるので、比較的大きな試料Ｗの任意の位置から試料薄片Ｗ１を切り出すことができる。さらに、実施例３の試料台Ｔ″は脚部Ｔｂが形成されていないので、保管に必要なスペースを減らすことができる。
【実施例４】
【００９９】
図１９は実施例４の試料ホルダの内筒の説明図であり、図１９Ａは試料台を装着していない状態の要部断面説明図、図１９Ｂは試料台を装着した状態の要部断面説明図、図１９Ｃは試料台を装着した状態の要部断面説明図である。
図２０は実施例４の試料ホルダの先端部の拡大説明図であり、図２０Ａは試料台を装着していない状態の説明図、図２０Ｂは試料台を装着した状態の説明図、図２０Ｃは試料台を装着した状態の要部断面図である。
この実施例４の説明において、前記実施例１と同一の構成要素には同一の符号を使用してその詳細な説明は省略する。
【０１００】
図１９，図２０において、実施例４の試料ホルダＨ′は、内筒Ｈ３′及びホルダベースＨＢ′以外は前記実施例１の試料ホルダＨと同様に構成されている。実施例４の内筒Ｈ３′は、前後方向に貫通する調節軸貫通孔２１１を有しており、前記調節軸貫通孔２１１の後部には、キー溝２１１ａが形成されている。前記調節軸貫通孔２１１には、回転部材９７の回転位置を調節するためのスライド軸２１２が前後方向にスライド移動（進退移動）可能に支持されている。前記スライド軸２１２は、前記キー溝２１１ａに係合するキー２１２ａを有しており、このキー２１２ａによってスライド軸２１２は回転せずに進退移動する。そして、前記スライド軸２１２の後端部には、内部にネジ溝を有する螺合孔２１２ｂが形成されている。前記内筒Ｈ３′の後端部には、調節軸貫通孔２１１内部に突出し且つ、前記螺合孔２１２ｂに螺合する回転軸Ｍ１′を有するモータＭ′が設けられている。
【０１０１】
前記スライド軸２１２の内端部は、内筒Ｈ３′を貫通し、内筒Ｈ３′の前端部に設けられたホルダベースＨＢ′まで延びている。前記スライド軸２１２の内端部の左部（−Ｙ側部分）には、左方に突出し先端部が下方（−Ｚ方向）に折り曲げられたワイヤ支持部材２１３が設けられている。前記ワイヤ支持部材２１３の先端部には、プーリー９６及び回転部材９７に巻付くワイヤＹの一端部が固定支持されている。
前記ホルダベースＨＢ′は、実施例１のホルダベースＨＢのベース接続部９１とベース本体９２との間に設けられた調節バネ保持部２１４を有している。前記調節バネ保持部２１４の後端部右部（−Ｚ端部＋Ｙ部分）には、調節バネ支持ピン２１６が設けられており、調節バネ支持ピン２１６には調節バネ２１７の一端部が支持されている。前記調節バネ２１７の他端部には、回転部材９７及びプーリー９６に係合する前記ワイヤＹの他端部が固定支持されている。したがって、前記調節バネ２１７によって、ワイヤＹには、弛まないように常に一定以上の張力が作用している。
前記ワイヤＹ、プーリー９６、モータＭ′、スライド軸２１２及び調節バネ２１７によって回転制御部材（Ｙ，Ｍ′、９６，２１２，２１７）が構成されている。
【０１０２】
（実施例４の作用）
図１９、図２０において、前記構成を備えた実施例４の試料ホルダＨ′では、前記モータＭ′を正回転あるいは逆回転させることにより回転軸Ｍ１′を回転させると、回転不能に支持されているスライド軸２１２は、回転軸Ｍ１′と螺合孔２１２ｂとの間の螺合により進退移動する。前記スライド軸２１２が前側に移動するとき、前記調節バネ２１７によって張力が作用しているので、ワイヤＹが巻付いている回転部材９７のワイヤ巻付溝９７ｂが図１９において時計方向に回転する。逆に、前記スライド軸２１２が後側に移動するとき、前記調節バネ２１７が延びるので、ワイヤＹが巻付く回転部材９７は反時計方向に回転する。したがって、実施例４の試料ホルダＨ′は、モータＭ′の回転制御により、試料台Ｔに保持された試料Ｗを回転させることができる。
【０１０３】
この結果、実施例４の試料ホルダＨ′は、前記スライド軸２１２等によって構成された回転調節部材による回転、及び内筒Ｈ３′の進退移動の組み合わせによって、比較的大きな試料ＷやＴＥＭ用試料等の任意の位置にＦＩＢ（荷電粒子ビーム）を照射することができる。また、試料台Ｔが回転部材９７に対して着脱可能に構成されているので、試料Ｗ等の搬送・着脱・保管を容易に行うことができる。
【産業上の利用可能性】
【０１０４】
以上、本発明の実施例を詳述したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で、種々の変更を行うことが可能である。以下に変更例を例示する。
（Ｈ01）前記各実施例において、試料ホルダＨ，Ｈ′は、ＳＴＥＭやＳＥＭ等の荷電粒子ビーム（電子ビームやイオンビーム等）を使用する荷電粒子線装置に使用可能である。前記荷電粒子線装置で使用した場合、前記内筒の進退移動及び試料台Ｔの回転により、比較的大きな試料Ｗの任意の位置に荷電粒子ビームを照射することができるので、試料Ｗの全面観察をすることができる。
（Ｈ02）前記各実施例において、内筒の進退制御を行う内筒進退移動用グリップ８７に替えて、モータを取り付け、モータの回転駆動によって内筒の進退移動を制御することも可能である。
【０１０５】
（Ｈ03）前記各実施例において、試料台Ｔの回転をモータによって制御する替わりに、手動で操作することも可能である。例えば、実施例４において、スライド軸２１２の後端を試料ホルダの外部まで延ばして、この後端部にグリップを設けることにより、手動で試料台Ｔの回転を制御することができる。
（Ｈ04）前記各実施例において、試料台Ｔの回転をワイヤを使用せずに制御する構成とすることも可能である。例えば、内筒を貫通する軸の先端部にウォームを形成し、ウォームに係合するギアを回転部材９７に設けることにより、試料台Ｔの回転を制御することができる。なお、ウォームギアに限定されず、ハイポイドギア、ヘリカルギア、ベベルギア等を使用した任意の機構を採用することができる。
（Ｈ05）前記各実施例において、回転部材に密着するワイヤＹは、観察作業や試料作成作業等に支障がなければ、非導電性材料で構成することもできる。
【図面の簡単な説明】
【０１０６】
【図１】図１は本発明の実施例１の試料ホルダを備えた透過型電子顕微鏡、マイクロサンプリング装置及びＦＩＢ試料作成装置の斜視説明図である。
【図２】図２は本発明の実施例１の試料ホルダを備えた透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）の説明図である。
【図３】図３は前記図２の矢印IIIで示す部分の拡大図である。
【図４】図４は本発明の実施例１の試料ホルダの作用説明図である。
【図５】図５は前記図３のＶ−Ｖ線断面図である。
【図６】図６は前記図３のＶI−ＶI線断面図である。
【図７】図７は前記図３のVII−VII線断面図である。
【図８】図８は前記図３の矢印VIIIで示すホルダ支持装置の要部拡大図である。
【図９】図９は前記ホルダ支持装置の外筒、内筒、およびホルダを説明する図で、図９Ａは前記外筒の斜視図、図９Ｂは前記内筒の斜視図、 図９Ｃは前記ホルダの斜視図である。
【図１０】図１０は前記ホルダ支持装置で使用されるスライダの説明図で、図１０Ａは前記スライダの断面図、図１０Ｂは前記図１０Ａの矢印ＸＢから見た図、図１０Ｃは前記図１０ＡのＸＣ−ＸＣ線断面図である。
【図１１】図１１は前記スライダを保持するスライダ保持プレートの説明図で、図１１Ａは前記スライダ保持プレートの平面図、図１１Ｂは側面図で前記図１１Ａの矢印ＸIＢから見た図、図１１Ｃは前記図１１Ｂの矢印ＸIＣから見た図である。
【図１２】図１２は本発明の実施例１の試料ホルダの説明図であり、図１２Ａは試料台を取り外した状態の平面図、図１２Ｂは試料台を装着した状態の試料台の部分の要部平面図、図１２Ｃは図１２ＡのＸIIＣ−ＸIIＣ線断面図である。
【図１３】図１３は実施例１の試料ホルダの先端部分の要部拡大平面図であり、図１３ＡはＴＥＭ用の試料を保持する試料台を取り外した状態の平面図、図１３ＢはＦＩＢ試料作成装置で切出し作業が行われる比較的大きな試料を保持する試料台を装着した状態の平面図である。
【図１４】図１４は実施例１の試料ホルダの先端部分の要部拡大断面図であり、図１４Ａは図１３ＢのＸＩＶＡ−ＸＩＶＡ線断面図、図１４Ｂは比較的大きな試料を保持する試料台を取り外した状態の拡大断面図である。
【図１５】図１５は実施例１の試料ホルダの回転部材の説明図であり、図１５Ａは断面図、図１５Ｂは図１５ＡのＸＶＢ−ＸＶＢ線断面図である。
【図１６】図１６は、試料薄片用試料ホルダの説明図であり、図１６Ａは試料薄片用試料ホルダの要部断面説明図であり、図１６Ｂは薄壁加工前の試料薄片を保持する試料薄片保持部材の拡大説明図であり、図１６Ｃは薄壁加工後の試料薄片を保持する試料薄片保持部材の拡大説明図である。
【図１７】図１７は実施例２の試料ホルダの回転部材の説明図であり、図１７Ａは側断面図、図１７Ｂは図１７ＡのＸＶＩＩＢ−ＸＶＩＩＢ線断面図である。
【図１８】図１８は実施例３の試料ホルダの回転部材及び試料台の側断面図である。
【図１９】図１９は実施例４の試料ホルダの内筒の説明図であり、図１９Ａは試料台を装着していない状態の要部断面説明図、図１９Ｂは試料台を装着した状態の要部断面説明図、図１９Ｃは試料台を装着した状態の要部断面説明図である。
【図２０】図２０は実施例４の試料ホルダの先端部の拡大説明図であり、図２０Ａは試料台を装着していない状態の説明図、図２０Ｂは試料台を装着した状態の説明図、図２０Ｃは試料台を装着した状態の要部断面図である。
【符号の説明】
【０１０７】
ＧＭ…ホルダ装着部材、
ＨＢ，ＨＢ′…ホルダベース、
Ｈ１…外筒、
Ｈ３…内筒、
Ｍ，Ｍ′…モータ、
Ｔ，Ｔ″…試料保持部材、
Ｔａ，Ｔａ″…試料保持部、
Ｔｂ，２０４…被装着部、
Ｙ…ワイヤ、
Ｗ，Ｗ１…試料、
１…鏡筒、
２６ａ…ホルダ装着孔、
７３…内筒貫通孔、
９３…ベアリング、
９７；９７′；９７″…回転部材、
９８，９８′，２０２…係止部材、
９９，２０４…被係止部、
Ｙ，Ｍ，９６；Ｙ，Ｍ′，９６，２１２，２１７…回転制御部材、
（７８〜８７）…内筒進退制御部材、
９３，９７，９８；９３，９７′，９８′；９３，９７″，２０２…回転支持部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2005174808.tif 000009
【図８】
2005174808.tif 000010
【図９】
2005174808.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
2005174808.tif 000017
【図１６】
2005174808.tif 000018
【図１７】
2005174808.tif 000019
【図１８】
2005174808.tif 000020
【図１９】
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【図２０】
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