(57)【要約】【課題】並径玉軸受や小径玉軸受等のベアリングに関し、要求される回転精度や音響特性を満足させながら、潤滑性能（耐摩耗性および耐焼き付き性）を向上させる。【解決手段】内輪２の軌道溝２ａおよび外輪３の軌道溝３ａに、珪素（Ｓｉ）を含む組成の表面層を形成する。この表面層の珪素含有率〔Ｓｉ１  〕は軌道溝２ａ，３ａを形成する材料の珪素含有率〔Ｓｉ０  〕よりも高い。【選択図】      図３
2005023964.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向配置される軌道溝を備えた第１部材および第２部材と、両部材の軌道溝間に転動自在に配設された複数個の転動体と、を少なくとも備え、転動体が転動することにより第１部材および第２部材の一方が他方に対して相対移動するベアリングにおいて、
第１部材の軌道溝、第２部材の軌道溝、および転動体の転動面のうちの少なくとも一つは、金属（Ｍ）を含む組成の表面層を有し、この表面層の前記金属の含有率〔Ｍ１  〕は当該軌道溝または転動面を形成する材料の前記金属の含有率〔Ｍ０  〕よりも高いことを特徴とするベアリング。
【請求項２】
前記表面層の厚さは１００ｎｍ以下であり、この表面層の前記金属の含有率〔Ｍ１  〕は膜厚方向で変化し、その極大値〔Ｍ１  〕ＭＡＸ  の、前記軌道溝または転動面を形成する材料の前記金属の含有率〔Ｍ０  〕に対する比は２以上である請求項１記載のベアリング。
【請求項３】
互いに対向配置される軌道溝を備えた第１部材および第２部材と、両部材の軌道溝間に転動自在に配設された複数個の転動体と、を少なくとも備え、転動体が転動することにより第１部材および第２部材の一方が他方に対して相対移動するベアリングにおいて、
第１部材の軌道溝、第２部材の軌道溝、および転動体の転動面のうちの少なくとも一つは、珪素（Ｓｉ）を含む組成の表面層を有し、この表面層の珪素含有率〔Ｓｉ１  〕は当該軌道溝または転動面を形成する材料の珪素含有率〔Ｓｉ０  〕よりも高いことを特徴とするベアリング。
【請求項４】
前記表面層の厚さは１００ｎｍ以下であり、この表面層の珪素含有率〔Ｓｉ１  〕は膜厚方向で変化し、その極大値〔Ｓｉ１  〕ＭＡＸ  の、前記軌道溝または転動面を形成する材料の珪素含有率〔Ｓｉ０  〕に対する比は２以上である請求項３記載のベアリング。
【請求項５】
互いに対向配置される軌道溝を備えた第１部材および第２部材と、両部材の軌道溝間に転動自在に配設された複数個の転動体と、を少なくとも備え、転動体が転動することにより第１部材および第２部材の一方が他方に対して相対移動するベアリングにおいて、
第１部材の軌道溝、第２部材の軌道溝、および転動体の転動面のうちの少なくとも一つは、クロム（Ｃｒ）を含む組成の表面層を有し、この表面層のクロム含有率〔Ｃｒ１  〕は当該軌道溝または転動面を形成する材料のクロム含有率〔Ｃｒ０  〕よりも高いことを特徴とするベアリング。
【請求項６】
前記表面層の厚さは１００ｎｍ以下であり、この表面層のクロム含有率〔Ｃｒ１  〕は膜厚方向で変化し、その極大値〔Ｃｒ１  〕ＭＡＸ  の、前記軌道溝または転動面を形成する材料のクロム含有率〔Ｃｒ０  〕に対する比は５以上である請求項５記載のベアリング。
【請求項７】
互いに対向配置される軌道溝を備えた第１部材および第２部材と、両部材の軌道溝間に転動自在に配設された複数個の転動体と、を少なくとも備え、転動体が転動することにより第１部材および第２部材の一方が他方に対して相対移動するベアリングを構成する、前記第１部材、第２部材、または転動体を製造するベアリング構成部品の製造方法において、
第１部材の軌道溝、第２部材の軌道溝、または転動体の転動面からなる処理面に、金属（Ｍ）の酸化物からなる微粒子を含有する液体を付着させて、この液体と前記処理面との間に化学反応を生じさせる工程を有し、この工程により、前記金属（Ｍ）を含む組成の酸化膜を、当該軌道溝または転動面に形成することを特徴とするベアリング構成部品の製造方法。
【請求項８】
互いに対向配置される軌道溝を備えた第１部材および第２部材と、両部材の軌道溝間に転動自在に配設された複数個の転動体と、を少なくとも備え、転動体が転動することにより第１部材および第２部材の一方が他方に対して相対移動するベアリングを構成する、前記第１部材、第２部材、または転動体を製造するベアリング構成部品の製造方法において、
第１部材の軌道溝、第２部材の軌道溝、または転動体の転動面からなる処理面に、有機珪素化合物または二酸化珪素からなる微粒子を含有する液体を付着させて、この液体と前記処理面との間に化学反応を生じさせる工程を有し、この工程により、珪素（Ｓｉ）を含む組成の酸化膜を、当該軌道溝または転動面に形成することを特徴とするベアリング構成部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、転動体とこれを転動させる軌道溝が形成された二つの部材とを備えたベアリング（例えば、転がり軸受、リニアガイド装置やボールねじ装置等の直動案内装置）に関する。
【０００２】
【従来の技術】
転がり軸受や直動案内装置（以下「転がり軸受等」と称する。）は、互いに対向配置される軌道溝を備えた第１部材および第２部材（内輪および外輪、レールおよびスライダ、ねじ軸およびナット）と、両部材の軌道溝間に転動自在に配設された複数個の転動体と、を少なくとも備え、転動体が転動することにより第１部材および第２部材の一方が他方に対して相対移動するように構成されている。このような転がり軸受等において、転動体と両部材の軌道溝との転がり接触面には、高い面圧がかかるとともに高速滑りが発生するため、潤滑剤で潤滑することにより、転がり接触面に摩耗や焼き付きが生じることを防止している。
【０００３】
そして、従来より、転がり軸受等の耐摩耗性および耐焼き付き性をさらに向上させるための提案がなされている。
例えば下記の特許文献１には、転がり軸受等の転動体の転動面あるいは第１および第２部材の軌道溝に、０．０５〜０．５μｍの厚さで潤滑性の化学反応膜層を設けることが開示されている。ここでは、金属製の転動体あるいは第１および第２部材を処理液に浸漬して所定温度で所定時間保持することにより、処理液に含まれている化合物（例えば、有機リン化合物や有機モリブデン化合物）と転動体あるいは第１および第２部材をなす金属とを反応させて、転動体の転動面あるいは第１および第２部材の軌道溝に化学反応膜層を形成している。
【０００４】
下記の特許文献２には、転がり軸受の金属製摩擦面に、前記金属とリン酸エステルとの化学反応によるリン酸金属塩被膜を形成する方法が開示されている。この文献には、前記被膜は分子膜の厚さと同程度の厚さで形成されると記載されている。また、この文献の技術は、ミニアチュア軸受（軸受外径が９ｍｍ以下の転がり軸受）や小径軸受（軸受内径が１０ｍｍ未満の転がり軸受）等を対象としている。ミニアチュア軸受や小径軸受は、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）、ビデオテープレコーダ（ＶＴＲ）、ディジタルオーディオテープ（ＤＡＴ）、レーザービームプリンタ（ＬＢＰ）等のように、高精度且つ低騒音を要求される回転支持に使用されている。
【０００５】
【特許文献１】
特開平２−２５６９２０号公報（特許第２９６９７００号）
【特許文献２】
特開平１１−０３７１６５号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記特許文献１に開示された技術を、ミニアチュア軸受や小径軸受等のように、表面粗さを０．０１μｍ以下とする用途に適用すると、要求される回転精度や音響特性を満足させることが困難になる。これは、表面粗さが０．０１μｍ以下に調整された後の軌道溝等に、この表面粗さよりも大きな寸法（厚さ０．０５〜０．５μｍ）の化学反応膜層を形成することによって、軌道溝等の表面粗さが大きくなるためである。
【０００７】
また、上記特許文献２に開示された技術は、前述のように、ミニアチュア軸受や小径軸受等を対象としたものであるが、分子膜の厚さ（数ｎｍ）程度のリン酸金属塩被膜で十分な潤滑性能の改善効果を得ることは困難である。
本発明は、このような従来技術の課題に着目してなされたものであり、並径（内径が１０ｍｍ以上）の転がり軸受だけでなく、ミニアチュア軸受や小径軸受等の小型の転がり軸受であっても、十分な潤滑性能（耐摩耗性および耐焼き付き性）の向上効果が得られ、しかも要求される回転精度や音響特性を満足させることができる技術を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、互いに対向配置される軌道溝を備えた第１部材および第２部材と、両部材の軌道溝間に転動自在に配設された複数個の転動体と、を少なくとも備え、転動体が転動することにより第１部材および第２部材の一方が他方に対して相対移動するベアリングにおいて、第１部材の軌道溝、第２部材の軌道溝、および転動体の転動面のうちの少なくとも一つは、金属（Ｍ）を含む組成の表面層を有し、この表面層の前記金属の含有率〔Ｍ１  〕は当該軌道溝または転動面を形成する材料の前記金属の含有率〔Ｍ０  〕よりも高いことを特徴とするベアリングを提供する。
【０００９】
図１および２は、本発明のベアリングを構成する第１部材または第２部材の軌道溝あるいは転動体の転動面を説明するための断面図である。これらの図に示すように、前記表面層は、▲１▼軌道溝または転動面に形成された表面酸化膜全体からなる場合（図１の構造）と、▲２▼前記表面酸化膜の表層部からなる場合（図２の構造）がある。
【００１０】
▲１▼の場合には、図１に示すように、前記軌道溝あるいは転動面の表面に酸化膜１００が形成され、この酸化膜１００の金属（Ｍ）の含有率〔Ｍ１  〕は、酸化膜１００の直下の部分１０１をなす材料（当該軌道溝または転動面を形成する材料）の金属（Ｍ）の含有率〔Ｍ０  〕よりも高い。
▲２▼の場合には、図２に示すように、前記軌道溝あるいは転動面の表面酸化膜２００が表層部２００ａと内層部２００ｂに分けられ、表層部（表面層）２００ａの金属（Ｍ）の含有率〔Ｍ１  〕は内層部２００ｂの金属（Ｍ）の含有率〔Ｍ０  〕よりも高い。表面酸化膜２００の直下の部分２０１の金属（Ｍ）の含有率〔Ｍ０  〕は、表面酸化膜２００の内層部２００ｂの金属（Ｍ）の含有率〔Ｍ０  〕とほぼ同じである。
【００１１】
本発明のベアリングにおいては、第１部材、第２部材、および転動体のうちの少なくとも一つが、当該軌道溝または転動面に前記表面層（高金属層）を有することにより、このような高金属層を有さない場合よりも高い潤滑性能が得られる。
本発明のベアリングにおいて、前記表面層の厚さは１００ｎｍ以下であり、この表面層の前記金属の含有率〔Ｍ１  〕は膜厚方向で変化し、その極大値〔Ｍ１  〕ＭＡＸ  の、前記軌道溝または転動面を形成する材料の前記金属の含有率〔Ｍ０  〕に対する比は２以上であることが好ましい。
前記金属（Ｍ）としては、Ｍｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｙ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｖ、Ｎｂ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｍｎ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ａｌ、Ｓｎ、Ｐｂ、Ｓｂ、Ｂｉ等が挙げられる。
【００１２】
本発明はまた、互いに対向配置される軌道溝を備えた第１部材および第２部材と、両部材の軌道溝間に転動自在に配設された複数個の転動体と、を少なくとも備え、転動体が転動することにより第１部材および第２部材の一方が他方に対して相対移動するベアリングを構成する、前記第１部材、第２部材、または転動体を製造するベアリング構成部品の製造方法において、第１部材の軌道溝、第２部材の軌道溝、または転動体の転動面からなる処理面に、金属（Ｍ）の酸化物からなる微粒子を含有する液体を含浸または付着させて、この液体と前記処理面との間に化学反応を生じさせる工程を有し、この工程により、前記金属（Ｍ）を含む組成の酸化膜を、当該軌道溝または転動面に形成することを特徴とするベアリング構成部品の製造方法を提供する。
【００１３】
この方法によれば、本発明のベアリングを構成する前記第１部材、第２部材、または転動体を容易に製造することができる。
この方法における「第１部材の軌道溝、第２部材の軌道溝、または転動体の転動面からなる処理面に、金属（Ｍ）の酸化物からなる微粒子を含有する液体を含浸または付着させて、この液体と前記処理面との間に化学反応を生じさせる工程」としては、以下の（Ａ）および（Ｂ）の方法が挙げられる。
【００１４】
（Ａ）浸漬法により第１部材、第２部材、または転動体に対して前記液体を含浸させるか、吹き付け法により前記液体を第１部材、第２部材、または転動体に付着させた後に、加熱を行う。この加熱により、前記液体と前記処理面とを化学反応させるとともに、前記液体の溶媒を乾燥させる。
【００１５】
（Ｂ）第１部材、第２部材、および転動体をベアリングに組み立て、このベアリングを、金属（Ｍ）の酸化物からなる微粒子を含有する潤滑剤（グリースまたは潤滑油）を入れた状態で作動させる。その際に、第１部材の軌道溝、第２部材の軌道溝、および転動体の転動面に作動滑りやスピン滑りが生じ、この滑りによって発生する摩擦熱により、第１部材の軌道溝、第２部材の軌道溝、および転動体の転動面と潤滑剤中の前記微粒子とが化学反応する。
【００１６】
本発明の方法で使用する微粒子としては、一次粒径が１００ｎｍ以下であり、二次凝集の少ない、分散性のよい超微粒子を使用することが好ましい。これにより、金属を含む組成の酸化膜として、均質なものを形成することができる。
金属の酸化物からなる微粒子の製造方法としては、物理的方法と化学的方法が挙げられる。物理的方法としてはガス中蒸発法が挙げられる。ガス中蒸発法で金属Ｍの酸化物からなる微粒子を作製する場合には、例えば、不活性ガス中に酸素ガスを少量導入した雰囲気中に、金属Ｍからなる１対の電極を置き、両電極間でアーク放電させる。例えばＡｌ２  Ｏ３  微粒子を形成するためには、アルミニウム（Ａｌ）板を電極として使用する。
【００１７】
化学的方法としては沈殿法や加水分解法が挙げられる。加水分解法で金属の酸化物からなる微粒子を作製する場合には、例えば、金属アルコキシドや金属の無機塩を加水分解する。その際に使用する無機塩としては、ミョウバン塩、硫酸塩、塩化物等が挙げられる。加水分解法により、ＳｉＯ２  、ＴｉＯ２  、ＺｎＯ２  等の超微粒子が水や有機溶剤に分散された状態で得ることができる。
【００１８】
本発明のベアリングを構成する前記第１部材、第２部材、または転動体の製造方法としては、上記本発明の方法以外にＰＶＤ法やＣＶＤ法が挙げられる。ＰＶＤ法やＣＶＤ法によれば、金属（Ｍ）を含む組成の表面層として、金属酸化物だけでなく、金属窒化物または金属炭化物からなる層を形成することができる。
上記目的を達成するために、本発明はまた、互いに対向配置される軌道溝を備えた第１部材および第２部材と、両部材の軌道溝間に転動自在に配設された複数個の転動体と、を少なくとも備え、転動体が転動することにより第１部材および第２部材の一方が他方に対して相対移動するベアリングにおいて、第１部材の軌道溝、第２部材の軌道溝、および転動体の転動面のうちの少なくとも一つは、珪素（Ｓｉ）を含む組成の表面層を有し、この表面層の珪素含有率〔Ｓｉ１  〕は当該軌道溝または転動面を形成する材料の珪素含有率〔Ｓｉ０  〕よりも高いことを特徴とするベアリングを提供する。
【００１９】
この表面層も、前記と同様に、▲１▼軌道溝または転動面に形成された表面酸化膜全体からなる場合（図１の構造）と、▲２▼前記表面酸化膜の表層部からなる場合（図２の構造）がある。
このベアリングにおいては、第１部材、第２部材、および転動体のうちの少なくとも一つが、当該軌道溝または転動面に前記表面層（高珪素層）を有することにより、このような高珪素層を有さない場合よりも高い潤滑性能が得られる。
このベアリングにおいて、前記表面層の厚さは１００ｎｍ以下であり、この表面層の珪素含有率〔Ｓｉ１  〕は膜厚方向で変化し、その極大値〔Ｓｉ１  〕ＭＡＸ  の、前記軌道溝または転動面を形成する材料の珪素含有率〔Ｓｉ０  〕に対する比は２以上であることが好ましい。
【００２０】
本発明はまた、上記ベアリングを構成する前記第１部材、第２部材、または転動体を容易に製造することができる方法として、互いに対向配置される軌道溝を備えた第１部材および第２部材と、両部材の軌道溝間に転動自在に配設された複数個の転動体と、を少なくとも備え、転動体が転動することにより第１部材および第２部材の一方が他方に対して相対移動するベアリングを構成する、前記第１部材、第２部材、または転動体を製造するベアリング構成部品の製造方法において、第１部材の軌道溝、第２部材の軌道溝、または転動体の転動面からなる処理面に、有機珪素化合物または二酸化珪素からなる微粒子を含有する液体を浸漬または付着させて、この液体と前記処理面との間に化学反応を生じさせる工程を有し、この工程により、珪素（Ｓｉ）を含む組成の酸化膜を、当該軌道溝または転動面に形成することを特徴とするベアリング構成部品の製造方法を提供する。
【００２１】
この方法における「第１部材の軌道溝、第２部材の軌道溝、または転動体の転動面からなる処理面に、有機珪素化合物または二酸化珪素からなる微粒子を含有する液体を付着させて、この液体と前記処理面との間に化学反応を生じさせる工程」としては、下記の（Ｃ）および（Ｄ）の方法が採用できる。
【００２２】
（Ｃ）浸漬法により第１部材、第２部材、または転動体に対して前記液体を含浸させるか、吹き付け法により前記液体を第１部材、第２部材、または転動体に付着させた後に、加熱を行う。この加熱により、前記液体と前記処理面とを化学反応させるとともに、前記液体の溶媒を乾燥させる。
【００２３】
（Ｄ）第１部材、第２部材、および転動体をベアリングに組み立て、このベアリングを、有機珪素化合物または二酸化珪素からなる微粒子を含有する潤滑剤（グリースまたは潤滑油）を入れた状態で作動させる。その際に、第１部材の軌道溝、第２部材の軌道溝、および転動体の転動面に作動滑りやスピン滑りが生じ、この滑りによって発生する摩擦熱により、第１部材の軌道溝、第２部材の軌道溝、および転動体の転動面と潤滑剤中の有機珪素化合物または前記微粒子とが化学反応する。
【００２４】
本発明の方法で使用する二酸化珪素微粒子としては、フュームドシリカやコロイダルシリカ（水分散性および有機溶媒分散性）等が挙げられる。
本発明の方法で使用する二酸化珪素微粒子としては、一次粒径が１００ｎｍ以下であり、二次凝集の少ない、分散性のよい超微粒子を使用することが好ましい。これにより、珪素（Ｓｉ）を含む組成の酸化膜として、均質なものを形成す
本発明の方法で使用する有機珪素化合物としては、アルコキシシラン、クロロシラン、シラザン、シランカップリング剤として使用されている化合物等が挙げられる。
【００２５】
上記目的を達成するために、本発明はまた、互いに対向配置される軌道溝を備えた第１部材および第２部材と、両部材の軌道溝間に転動自在に配設された複数個の転動体と、を少なくとも備え、転動体が転動することにより第１部材および第２部材の一方が他方に対して相対移動するベアリングにおいて、第１部材の軌道溝、第２部材の軌道溝、および転動体の転動面のうちの少なくとも一つは、クロム（Ｃｒ）を含む組成の表面層を有し、この表面層のクロム含有率〔Ｃｒ１  〕は当該軌道溝または転動面を形成する材料のクロム含有率〔Ｃｒ０  〕よりも高いことを特徴とするベアリングを提供する。
【００２６】
この表面層も、前記と同様に、▲１▼軌道溝または転動面に形成された表面酸化膜全体からなる場合（図１の構造）と、▲２▼前記表面酸化膜の表層部からなる場合（図２の構造）がある。
このベアリングにおいては、第１部材、第２部材、および転動体のうちの少なくとも一つが、当該軌道溝または転動面に前記表面層（高クロム層）を有することにより、このような高クロム層を有さない場合よりも高い潤滑性能が得られる。
【００２７】
前記高クロム層の厚さは１００ｎｍ以下であり、この高クロム層のクロム含有率〔Ｃｒ１  〕は膜厚方向で変化し、その極大値〔Ｃｒ１  〕ＭＡＸ  の、前記軌道溝または転動面を形成する材料のクロム含有率〔Ｃｒ０  〕に対する比は５以上であることが好ましい。
前記高クロム層の形成方法としては、例えば、表面酸化膜にクロムを熱拡散法により導入する方法が挙げられる。使用するクロムの形態としては、溶融塩、粉末、スラリーがあり、粉末を使用する方法には流動層法と粉末パック法がある。これらのうち、厚さが均一にできるとともに表面が平滑にできることから、流動層法を採用することが好ましい。
【００２８】
流動層法とは、流動層式炉内に、クロム原料（純クロムあるいはフェロクロム）に耐火物粉末（アルミナ等）と反応活性化粉末（ハロゲン化物等）を混合した混合粉末を配置するとともに、この炉内に処理する部材を入れて、流動化ガス（不活性ガスや非酸化性ガス）を導入しながら処理する方法である。なお、反応活性化剤は流動層の外から固体状または気体状で随時添加してもよい。また、処理温度は８００〜１２００℃が好ましい。処理温度および処理時間が長いほど高クロム層は厚く形成される。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について説明する。
［第１実施形態］
図３は、本発明に係るベアリングの一実施形態に相当する転がり軸受を示す断面図である。
この転がり軸受１は、ＪＩＳ呼び番号６９５（内径５ｍｍ，外径１３ｍｍ，幅４ｍｍ）の単列深みぞ玉軸受であり、内輪（第１部材または第２部材）２、外輪（第２部材または第１部材）３、玉（転動体）４と、ポリアミド樹脂製の冠形保持器５と、図示しない非接触ゴムシール（Ｖ形）とから構成されている。内輪２の外周面には軌道溝２ａが、外輪の内周面には軌道溝３ａがそれぞれ形成されている。これらの軌道溝２ａ，３ａが対向配置され、その間に７個の玉４が転動自在に配設されている。玉４の直径は２ｍｍである。
【００３０】
内輪２および外輪３については、高炭素クロム軸受鋼（ＳＵＪ２）からなる素材を切削加工により所定形状とした後に、高クロム層形成のための熱処理を行った。その後（熱処理後に空冷した後）、最終仕上げ工程として、内輪２および外輪３の軌道溝２ａ，３ａに対して通常の加工油を用いた超仕上げ加工を行った。玉４については、ＳＵＪ２製のものを用意した。
【００３１】
また、内輪２と外輪３と前記非接触ゴムシールとにより囲まれる空間には、グリースが充填されている。このグリースは、エステル油系の基油とリチウム１２−ヒドロキシステアレート（増ちょう剤）とからなるもので、そのちょう度は「ＪＩＳ    Ｋ２２２０」のＮｏ．  ３に相当する。グリースの添加量は、前記空間に対する占有容積率が１５％となる量とした。
【００３２】
上述の高クロム層形成のための熱処理は、流動層式炉を用いた熱拡散法により行った。すなわち、混合率が質量比で「アルミナ：フェロクロム：塩化アンモニウム＝７０：２９：１」である混合粉末が配置された流動層式炉内に、切削工程後の内輪および外輪を設置し、層の下部からアルゴンガスを導入しながら、８００℃で１分間乃至２０分間保持した。これにより、内輪および外輪の表面酸化膜にクロムが拡散状態で導入されて、高クロム層が形成される。得られる高クロム層の厚さおよびクロム含有率は前記保持時間に応じて変化する。
【００３３】
この熱処理と上記超仕上げ加工を行った後に、内輪２および外輪３の軌道溝２ａ，３ａについて、Ｘ線光電子分光分析機（ＥＳＣＡ）を用いて深さ方向の元素分析を行った。
また、前記保持時間が異なる各サンプルについて、高クロム層の厚さ、軌道溝をなす材料のクロム含有率〔Ｃｒ０  〕に対する高クロム層のクロム含有率の極大値〔Ｃｒ１  〕ＭＡＸ  、および極大値〔Ｃｒ１  〕ＭＡＸ  となる膜厚方向の位置（表面からの深さ）、表面酸化膜全体の厚さを調べた。その結果を下記の表１に示す。
【００３４】
【表１】
2005023964.tif 000003
【００３５】
このようにして作製された内輪２、外輪３、玉４を用い、酸化膜が同じ構成である内輪および外輪を組み合わせて、上記構成の転がり軸受１を組み立てた。
Ｎｏ．  １−１〜Ｎｏ．  １−９の転がり軸受（各１００個）について、以下の方法で音響特性を調べる試験を行った。すなわち、アンデロメータを用い、潤滑剤を封入した直後と５０００時間回転後に、音響特性を示す量（アンデロン値）を測定した。測定条件は以下の通りである。
＜試験条件＞
回転速度：４，８００ｍｉｎ−１（内輪回転）
アキシャル荷重：２０Ｎ
雰囲気温度：７０℃
【００３６】
得られた結果より、各サンプルについて、潤滑剤を封入した直後のアンデロン値（初期音響）に対する、５０００時間回転後のアンデロン値の上昇値を算出し、この上昇値が１．０を超えたサンプルを不合格とした。そして、同じ構成のサンプル１００個における不合格サンプルの割合を不合格率（％）として算出した。次に、Ｎｏ．  １−１〜Ｎｏ．  １−９の不合格率をＮｏ．  １−１の不合格率で除算して、Ｎｏ．  １−１の不合格率を「１」としたＮｏ．  １−１〜Ｎｏ．  １−９の不合格率の相対値を算出した。
【００３７】
これらの結果を、高クロム層の厚さとの関係で図４のグラフに示す。
このグラフから分かるように、厚さが１００ｎｍ以下の高クロム層を形成することで、５０００時間回転後の不合格率が、高クロム層を形成しない場合の１／４以下にすることができる。すなわち、本発明の構成とすることで潤滑特性が向上し、良好な音響特性が長時間保持できたことが分かる。
【００３８】
［第２実施形態］
図３に示す転がり軸受として、ＪＩＳ呼び番号６３０６（内径３０ｍｍ，外径７２ｍｍ，幅１９ｍｍ）の単列深溝玉軸受を用意した。この軸受は、内輪（第１部材または第２部材）２、外輪（第２部材または第１部材）３、玉（転動体）４と、ポリアミド樹脂製の冠形保持器５と、図示しない非接触ゴムシール（Ｖ形）とから構成されている。内輪２の外周面には軌道溝２ａが、外輪の内周面には軌道溝３ａがそれぞれ形成されている。これらの軌道溝２ａ，３ａが対向配置され、その間に７個の玉４が転動自在に配設されている。玉４の直径は１７．７ｍｍ（０．５インチ）である。
【００３９】
内輪２、外輪３、玉４については、高炭素クロム軸受鋼（ＳＵＪ２）からなる素材を切削加工により所定形状とした後に、通常の熱処理等を行った。次に、これらの内輪２、外輪３、玉４と、保持器５を用いて軸受を組み立て、この軸受をシリカ微粒子（一次粒径１２ｎｍ）を含有するグリースを封入した状態で１０時間作動させた。グリースの基油は合成炭化水素油（４０℃での動粘度：４６ｍｍ２  ／ｓ）であり、増ちょう剤はジウレア化合物である。
【００４０】
これにより、内輪２、外輪３、および玉４の表面に高珪素層（珪素含有率〔Ｓｉ１  〕が内輪２、外輪３、および玉４を形成する材料の珪素含有率〔Ｓｉ０  〕よりも高い表面層）を形成した（Ｎｏ．  ２−１〜２−７）。
内輪２および外輪３の軌道溝２ａ，３ａについて、Ｘ線光電子分光分析機（ＥＳＣＡ）を用いて深さ方向の元素分析を行った。その結果の一例を図５にグラフで示す。このグラフは、鉄、酸素、炭素、珪素についての元素存在比と、軌道溝の表面からの深さとの関係を示す。このグラフから分かるように、この例では、表面酸化膜の表層部に厚さ２２ｎｍ程度の高珪素層が形成され、表面酸化膜の内層部に下地材と同じ珪素含有率の酸化膜が形成されていた。
【００４１】
なお、Ｎｏ．  ２−１〜２−７では、グリース中のシリカ微粒子添加率を表２に示すように変化させた。それぞれ５個のサンプルを形成し、内輪２および外輪３の軌道溝２ａ，３ａについて、Ｘ線光電子分光分析機（ＥＳＣＡ）を用いて深さ方向の元素分析を行った。各５個のサンプルについて、高珪素層の厚さと、内輪２および外輪３を形成する材料の珪素含有率〔Ｓｉ０  〕に対する、高珪素層の珪素含有率の極大値〔Ｓｉ１  〕ＭＡＸ  とを算出した。そして、各サンプル毎に５個の平均値を算出した。その値を下記の表２に示す。
【００４２】
Ｎｏ．  ２−８〜２−１１については、先ず、高炭素クロム軸受鋼（ＳＵＪ２）からなる素材を切削加工により所定形状とした後に、通常の熱処理等を行うことで内輪２、外輪３、玉４を形成した。
次に、シリカ微粒子（一次粒径１２ｎｍ）をメタノールに分散させた分散液を用い、この分散液へ、内輪２、外輪３、玉４を浸漬した後に加熱炉での乾燥を行うことを複数回繰り返した。浸漬条件は、温度２０℃で浸漬時間５分間とし、乾燥条件は、温度１２０℃で乾燥時間５０時間とした。これにより、内輪２、外輪３、および玉４の表面に高珪素層を形成した（Ｎｏ．  ２−８〜２−１１）。Ｎｏ．  ２−８〜２−１１の各サンプルで浸漬時間を変化させることにより、厚さおよび比「〔Ｓｉ１  〕ＭＡＸ  ／〔Ｓｉ０  〕」の異なる高珪素層を形成した。
【００４３】
次に、これらの内輪２、外輪３、玉４を、トルエンおよびアセトンで５分間ずつ超音波洗浄した。次に、洗浄後の内輪２、外輪３、玉４と、保持器５を用いて軸受を組み立て、グリースを封入した。使用したグリースの基油は合成炭化水素油（４０℃での動粘度：４６ｍｍ２  ／ｓ）であり、増ちょう剤はジウレア化合物である。
【００４４】
このようにして得られたＮｏ．  ２−１〜２−１１の各軸受を用いて、焼き付き寿命試験を行った。また、高珪素層を形成しない内輪２、外輪３、玉４を用いて組み立てた以外は同じ構成の軸受を用意し（Ｎｏ．  ２−１２）、この軸受についても焼き付き寿命試験を行った。また、Ｎｏ．  ２−１〜２−１２の各軸受用に形成した玉４を用いて摩耗試験を行った。各試験は以下の方法で行った。
【００４５】
＜焼き付き寿命試験＞
「ＡＳＴＭ  Ｄ  １７４１」に準拠した軸受寿命試験機を用い、回転速度：４０００ｍｉｎ−１（内輪回転）、アキシアル荷重：４９０Ｎ、ラジアル荷重：６８６Ｎ、雰囲気温度：９０℃の条件で回転させ、モータが過負荷となって停止するか、軸受温度が１００℃を超えた時点までの回転時間を焼き付き寿命とした。
なお、Ｎｏ．  ２−１〜２−７については、高珪素層を形成した際に使用した「シリカ微粒子を含有するグリース」をそのまま用いて回転させた。
試験結果は、Ｎｏ．  ２−１２の焼き付き寿命を「１」とした相対値により評価した。これらの結果も下記の表２に併せて示す。
【００４６】
＜摩耗試験＞
「ＡＳＴＭ  Ｄ  ２５９６」に準拠した試験機を用い、グリース潤滑下で、最大ヘルツ圧：１．５ＧＰａ、滑り速度：０．８ｍ／ｓ、試験時間：５分間の条件で滑り摩擦試験を行った。試験後に玉の摩耗痕の直径を測定した。この試験は各サンプル毎に５個の玉について行い、平均値（平均摩耗痕径）を算出した。そして、Ｎｏ．  ２−１２の平均摩耗痕径を「１」とした相対値を算出した。これらの結果も下記の表２に併せて示す。
【００４７】
【表２】
2005023964.tif 000004
【００４８】
この結果から分かるように、「〔Ｓｉ１  〕ＭＡＸ  ／〔Ｓｉ０  〕」が２以上であって、厚さが１００ｎｍ以下の高珪素層を形成することで、高珪素層を形成しない場合よりも、耐摩耗性および耐焼き付き性を良好にすることができる。すなわち、本発明の構成とすることで潤滑特性が向上することが分かる。
さらに、Ｎｏ．  ２−２１〜２−２５の各サンプルを以下のようにして作製した。先ず、高炭素クロム軸受鋼（ＳＵＪ２）からなる素材を切削加工により所定形状とした後に、通常の熱処理等を行うことで内輪２、外輪３、玉４を形成した。
【００４９】
次に、テトラエトキシシランを合成炭化水素油（４０℃での動粘度：１８ｍｍ２  ／ｓ）に５質量％となるように添加して均質に攪拌した液体を用意し、この液体中に、液温を１２０℃に保持した状態で、内輪２、外輪３、玉４を浸漬し、各サンプルで浸漬時間を変化させた。これにより、内輪２、外輪３、および玉４の表面に、各サンプルで厚さおよび比「〔Ｓｉ１  〕ＭＡＸ  ／〔Ｓｉ０  〕」の異なる高珪素層を形成した。その結果を下記の表３に示す。
【００５０】
【表３】
2005023964.tif 000005
【００５１】
このようにして作製された内輪２、外輪３、玉４を用い、酸化膜が同じ構成である内輪および外輪を組み合わせて、上記構成の転がり軸受１を組み立てた。
そして、Ｎｏ．  ２−２１〜２−２５の転がり軸受（各１００個）と高珪素層を形成しないＮｏ．  ２−１２について、以下の方法で音響特性を調べる試験を行った。すなわち、アンデロメータを用い、潤滑剤を封入した直後と５０００時間回転後に、音響特性を示す量（アンデロン値）を測定した。測定条件は以下の通りである。
【００５２】
＜試験条件＞
回転速度：４，８００ｍｉｎ−１（内輪回転）
アキシャル荷重：２０Ｎ
雰囲気温度：７０℃
得られた結果より、各サンプルについて、潤滑剤を封入した直後のアンデロン値（初期音響）に対する、５０００時間回転後のアンデロン値の上昇値を算出し、この上昇値が１．０を超えたサンプルを不合格とした。そして、同じ構成のサンプル１００個における不合格サンプルの割合を不合格率（％）として算出した。次に、Ｎｏ．  ２−１２，Ｎｏ．  ２−２１〜２−２５の不合格率をＮｏ．  ２−１２の不合格率で除算して、Ｎｏ．  ２−１２の不合格率を「１」とした各サンプルの不合格率の相対値を算出した。
【００５３】
これらの結果を、高珪素層の厚さとの関係で図６のグラフに示す。
このグラフから分かるように、厚さが１００ｎｍ以下の高珪素層を形成することで、５０００時間回転後の不合格率が、高珪素層を形成しない場合の１／４以下にすることができる。すなわち、本発明の構成とすることで潤滑特性が向上し、良好な音響特性が長時間保持できたことが分かる。
【００５４】
［第３実施形態］
図３に示す転がり軸受として、ＪＩＳ呼び番号６３０６（内径３０ｍｍ，外径７２ｍｍ，幅１９ｍｍ）の単列深溝玉軸受を用意した。この軸受は、内輪（第１部材または第２部材）２、外輪（第２部材または第１部材）３、玉（転動体）４と、ポリアミド樹脂製の冠形保持器５と、図示しない非接触ゴムシール（Ｖ形）とから構成されている。内輪２の外周面には軌道溝２ａが、外輪の内周面には軌道溝３ａがそれぞれ形成されている。これらの軌道溝２ａ，３ａが対向配置され、その間に７個の玉４が転動自在に配設されている。玉４の直径は１７．７ｍｍ（０．５インチ）である。
【００５５】
内輪２、外輪３、玉４については、高炭素クロム軸受鋼（ＳＵＪ２）からなる素材を切削加工により所定形状とした後に、通常の熱処理等を行った。次に、これらの内輪２、外輪３、玉４と、保持器５を用いて軸受を組み立て、この軸受を酸化チタン（ＴｉＯ２  ）微粒子（一次粒径１０ｎｍ）を含有するグリースを封入した状態で１０時間作動させた。グリースの基油は合成炭化水素油（４０℃での動粘度：４６ｍｍ２  ／ｓ）であり、増ちょう剤はジウレア化合物である。
【００５６】
これにより、内輪２、外輪３、および玉４の表面に高チタン層（チタン含有率〔Ｔｉ１  〕が内輪２、外輪３、および玉４を形成する材料のチタン含有率〔Ｔｉ０  〕よりも高い表面層）を形成した。
Ｎｏ．  ３−１〜３−５の５種類のサンプルを各５個用意し、グリース中の酸化チタン微粒子添加率を表４に示すように変化させた。各サンプルの内輪２および外輪３の軌道溝２ａ，３ａについて、Ｘ線光電子分光分析機（ＥＳＣＡ）を用いて深さ方向の元素分析を行った。各５個のサンプルについて、高チタン層の厚さと、内輪２および外輪３を形成する材料のチタン含有率〔Ｔｉ０  〕に対する、高チタン層のチタン含有率の極大値〔Ｔｉ１  〕ＭＡＸ  とを算出した。そして、各サンプル毎に５個の平均値を算出した。その値を下記の表４に示す。
【００５７】
このようにして得られたＮｏ．  ３−１〜３−５の各軸受を用いて、焼き付き寿命試験を行った。また、高チタン層を形成しない内輪２、外輪３、玉４を用いて組み立てた以外は同じ構成の軸受を用意し（Ｎｏ．  ３−６）、この軸受についても焼き付き寿命試験を行った。この試験は以下の方法で行った。
【００５８】
＜焼き付き寿命試験＞
「ＡＳＴＭ  Ｄ  １７４１」に準拠した軸受寿命試験機を用い、回転速度：１０００ｍｉｎ−１（内輪回転）、アキシアル荷重：４９０Ｎ、ラジアル荷重：６８６Ｎ、雰囲気温度：９０℃の条件で回転させ、モータが過負荷となって停止するか、軸受温度が１００℃を超えた時点までの回転時間を焼き付き寿命とした。この試験の際には、高チタン層を形成した際に使用した「酸化チタン微粒子を含有するグリース」をそのまま用いて回転させた。
試験結果は、Ｎｏ．  ３−６の焼き付き寿命を「１」とした相対値により評価した。これらの結果も下記の表４に併せて示す。
【００５９】
【表４】
2005023964.tif 000006
【００６０】
この結果から分かるように、「〔Ｔｉ１  〕ＭＡＸ  ／〔Ｔｉ０  〕」が２以上であって、厚さが１００ｎｍ以下の高チタン層を形成することで、高チタン層を形成しない場合よりも、耐焼き付き性を良好にすることができる。すなわち、本発明の構成とすることで潤滑特性が向上することが分かる。
【００６１】
［第４実施形態］
図３に示す転がり軸受として、ＪＩＳ呼び番号６３０６（内径３０ｍｍ，外径７２ｍｍ，幅１９ｍｍ）の単列深溝玉軸受を用意した。この軸受は、内輪（第１部材または第２部材）２、外輪（第２部材または第１部材）３、玉（転動体）４と、ポリアミド樹脂製の冠形保持器５と、図示しない非接触ゴムシール（Ｖ形）とから構成されている。内輪２の外周面には軌道溝２ａが、外輪の内周面には軌道溝３ａがそれぞれ形成されている。これらの軌道溝２ａ，３ａが対向配置され、その間に７個の玉４が転動自在に配設されている。玉４の直径は１７．７ｍｍ（０．５インチ）である。
【００６２】
内輪２、外輪３、玉４については、高炭素クロム軸受鋼（ＳＵＪ２）からなる素材を切削加工により所定形状とした後に、通常の熱処理等を行った。次に、これらの内輪２、外輪３、玉４と、保持器５を用いて軸受を組み立て、この軸受を酸化亜鉛（ＺｎＯ２  ）微粒子（一次粒径３０ｎｍ）を含有するグリースを封入した状態で１０時間作動させた。グリースの基油は合成炭化水素油（４０℃での動粘度：４６ｍｍ２  ／ｓ）であり、増ちょう剤はジウレア化合物である。
【００６３】
これにより、内輪２、外輪３、および玉４の表面に高亜鉛層（亜鉛含有率〔Ｚｎ１  〕が内輪２、外輪３、および玉４を形成する材料の亜鉛含有率〔Ｚｎ０  〕よりも高い表面層）を形成した。
Ｎｏ．  ４−１〜４−５の５種類のサンプルを各５個用意し、グリース中の酸化亜鉛微粒子添加率を表５に示すように変化させた。各サンプルの内輪２および外輪３の軌道溝２ａ，３ａについて、Ｘ線光電子分光分析機（ＥＳＣＡ）を用いて深さ方向の元素分析を行った。各５個のサンプルについて、高亜鉛層の厚さと、内輪２および外輪３を形成する材料の亜鉛含有率〔Ｚｎ０  〕に対する、高亜鉛層の亜鉛含有率の極大値〔Ｚｎ１  〕ＭＡＸ  とを算出した。そして、各サンプル毎に５個の平均値を算出した。その値を下記の表５に示す。
【００６４】
このようにして得られたＮｏ．  ４−１〜４−５の各軸受を用いて、焼き付き寿命試験を行った。また、高亜鉛層を形成しない内輪２、外輪３、玉４を用いて組み立てた以外は同じ構成の軸受を用意し（Ｎｏ．  ４−６）、この軸受についても焼き付き寿命試験を行った。この試験は以下の方法で行った。
【００６５】
＜焼き付き寿命試験＞
「ＡＳＴＭ  Ｄ  １７４１」に準拠した軸受寿命試験機を用い、回転速度：１０００ｍｉｎ−１（内輪回転）、アキシアル荷重：４９０Ｎ、ラジアル荷重：６８６Ｎ、雰囲気温度：９０℃の条件で回転させ、モータが過負荷となって停止するか、軸受温度が１００℃を超えた時点までの回転時間を焼き付き寿命とした。この試験の際には、高亜鉛層を形成した際に使用した「酸化亜鉛微粒子を含有するグリース」をそのまま用いて回転させた。
試験結果は、Ｎｏ．  ４−６の焼き付き寿命を「１」とした相対値により評価した。これらの結果も下記の表５に併せて示す。
【００６６】
【表５】
2005023964.tif 000007
【００６７】
この結果から分かるように、「〔Ｚｎ１  〕ＭＡＸ  ／〔Ｚｎ０  〕」が２以上であって、厚さが１００ｎｍ以下の高亜鉛層を形成することで、高亜鉛層を形成しない場合よりも、耐焼き付き性を良好にすることができる。すなわち、本発明の構成とすることで潤滑特性が向上することが分かる。
【００６８】
［第５実施形態］
図３に示す転がり軸受として、ＪＩＳ呼び番号６３０６（内径３０ｍｍ，外径７２ｍｍ，幅１９ｍｍ）の単列深溝玉軸受を用意した。この軸受は、内輪（第１部材または第２部材）２、外輪（第２部材または第１部材）３、玉（転動体）４と、ポリアミド樹脂製の冠形保持器５と、図示しない非接触ゴムシール（Ｖ形）とから構成されている。内輪２の外周面には軌道溝２ａが、外輪の内周面には軌道溝３ａがそれぞれ形成されている。これらの軌道溝２ａ，３ａが対向配置され、その間に７個の玉４が転動自在に配設されている。玉４の直径は１７．７ｍｍ（０．５インチ）である。
【００６９】
先ず、高炭素クロム軸受鋼（ＳＵＪ２）からなる素材を切削加工により所定形状とした後に、通常の熱処理等を行うことで内輪２、外輪３、玉４を形成した。次に、酸化アルミニウム（Ａｌ２  Ｏ３  ）微粒子（一次粒径５０ｎｍ）をメタノールに分散させた分散液を用い、この分散液へ、内輪２、外輪３、玉４を浸漬した後に加熱炉での乾燥を行うことを複数回繰り返した。浸漬条件は、温度２０℃で浸漬時間５分間とし、乾燥条件は、温度１２０℃で乾燥時間５０時間とした。これにより、内輪２、外輪３、および玉４の表面に高アルミニウム層（アルミニウム含有率〔Ａｌ１  〕が内輪２、外輪３、および玉４を形成する材料のアルミニウム含有率〔Ａｌ０  〕よりも高い表面層）を形成した。
【００７０】
次に、これらの内輪２、外輪３、玉４を、トルエンおよびアセトンで５分間ずつ超音波洗浄した。次に、洗浄後の内輪２、外輪３、玉４と、保持器５を用いて軸受を組み立て、グリースを封入した。使用したグリースの基油は合成炭化水素ル油（４０℃での動粘度：４６ｍｍ２  ／ｓ）であり、増ちょう剤はジウレア化合物である。
このようにして得られたＮｏ．  ５−１〜５−４の各軸受を用いて、焼き付き寿命試験を行った。また、高亜鉛層を形成しない内輪２、外輪３、玉４を用いて組み立てた以外は同じ構成の軸受を用意し（Ｎｏ．  ５−５）、この軸受についても焼き付き寿命試験を行った。この試験は以下の方法で行った。
【００７１】
＜焼き付き寿命試験＞
「ＡＳＴＭ  Ｄ  １７４１」に準拠した軸受寿命試験機を用い、回転速度：１０００ｍｉｎ−１（内輪回転）、アキシアル荷重：４９０Ｎ、ラジアル荷重：６８６Ｎ、雰囲気温度：９０℃の条件で回転させ、モータが過負荷となって停止するか、軸受温度が１００℃を超えた時点までの回転時間を焼き付き寿命とした。この試験の際には、高アルミニウム層を形成した際に使用した「酸化亜鉛微粒子を含有するグリース」をそのまま用いて回転させた。
試験結果は、Ｎｏ．  ５−５の焼き付き寿命を「１」とした相対値により評価した。これらの結果も下記の表６に併せて示す。
【００７２】
【表６】
2005023964.tif 000008
【００７３】
この結果から分かるように、「〔Ａｌ１  〕ＭＡＸ  ／〔Ａｌ０  〕」が２以上であって、厚さが１００ｎｍ以下の高アルミニウム層を形成することで、高アルミニウム層を形成しない場合よりも、耐焼き付き性を良好にすることができる。すなわち、本発明の構成とすることで潤滑特性が向上することが分かる。
従って、これら各実施形態で得られた転がり軸受は、並径玉軸受だけではなく、低騒音を求められる内径１０ｍｍ以下の小径玉軸受、ミニアチュア玉軸受としても好適に使用できる。
【００７４】
なお、これらの実施形態においては、内輪２、外輪３、転動体４の材料としてＳＵＪ２を用いているが、ＳＵＪ２以外の高炭素クロム軸受鋼、浸炭鋼、中炭素合金鋼、機械構造用鋼等を用いても良いし、窒化ケイ素や炭化ケイ素などの非酸化物系セラミックスを用いてもよい。
また、これらの実施形態では単列深みぞ玉軸受について記載しているが、本発明は、これ以外の転がり軸受、およびリニアガイド装置やボールねじ装置等にも適用可能である。
【００７５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のベアリングによれば、第１および／または第２部材の軌道溝、あるいは転動体の転動面に、高珪素層（表面酸化膜の直下の部分より珪素含有率が高い表面層）や高チタン層（表面酸化膜の直下の部分よりチタン含有率が高い表面層）や等を形成することにより、並径玉軸受だけでなく、ミニアチュア軸受や小径軸受等の小型の転がり軸受であっても、効果的に潤滑性能（耐摩耗性および耐焼き付き性）が向上でき、しかも要求される回転精度や音響特性を満足させることができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のベアリングを構成する第１部材または第２部材の軌道溝あるいは転動体の転動面を説明するための断面図である。
【図２】本発明のベアリングを構成する第１部材または第２部材の軌道溝あるいは転動体の転動面を説明するための断面図である。
【図３】本発明に係るベアリングの一実施形態に相当する転がり軸受を示す断面図である。
【図４】実施形態の試験結果を示す図であって、高クロム層の厚さと、転がり軸受の不合格率の相対値との関係を示すグラフである。
【図５】実施形態の試験結果を示す図であって、軌道面の深さ方向での元素存在比の変化を示すグラフである。
【図６】実施形態の試験結果を示す図であって、高珪素層の厚さと、転がり軸受の不合格率の相対値との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
１        転がり軸受（ベアリング）
２        内輪
２ａ    軌道溝
３        外輪
３ａ    軌道溝
４        転動体
５    冠形保持器
１００  酸化膜
１０１  酸化膜の直下の部分
２００  表面酸化膜
２００ａ  表面酸化膜の表層部
２００ｂ  表面酸化膜の内層部
２０１  表面酸化膜の直下の部分
【図１】
2005023964.tif 000009
【図２】
2005023964.tif 000010
【図３】
2005023964.tif 000011
【図４】
2005023964.tif 000012
【図５】
2005023964.tif 000013
【図６】
2005023964.tif 000014