(57)【要約】【課題】  搬送物の搬送時間を短縮し、搬送車の待ち時間を短縮することによって、製品のサイクルタイムを短縮することができる搬送技術を提供する。【解決手段】  フローショップ方式のレイアウトを採用する搬送システムにおいて、複数の製造装置をプロセスの流れに沿って配設したフローショップエリア１と、このフローショップエリア１内において、複数の製造装置間で搬送物を搬送する搬送車２とを有し、搬送車２は、搬送物２１の搬送方向に対して駆動車輪２２が後輪側に設定され、減速器２３が前輪側に設定され、搬送物２１の搬送方向に対して搬送経路２４の上流部に待機させるようにしたものである。さらに、搬送車が複数からなる場合に、複数の搬送車をひとつの軌道上を走行させたり、あるいは搬送車が複数の搬送物を搬送可能である場合に、第１の搬送物を搬送したまま第２の搬送物を搬送するようにしたものである。【選択図】  図１ 
2005197434.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の製造装置をプロセスの流れに沿って配設したフローショップエリアと、
前記フローショップエリア内において、前記複数の製造装置間で搬送物を搬送する搬送車とを有し、
前記搬送車は、前記搬送物の搬送方向に対して駆動車輪が後輪側に設定され、減速器が前輪側に設定されていることを特徴とする搬送システム。
【請求項２】
複数の製造装置をプロセスの流れに沿って配設したフローショップエリアと、
前記フローショップエリア内において、前記複数の製造装置間で搬送物を搬送する搬送車とを有し、
前記搬送車は、前記搬送物の搬送方向に対して上流部に待機させることを特徴とする搬送システム。
【請求項３】
複数の製造装置をプロセスの流れに沿って配設したフローショップエリアと、
前記フローショップエリア内において、前記複数の製造装置間で搬送物を搬送する複数の搬送車とを有し、
前記複数の搬送車は、ひとつの軌道上を走行し、前記搬送物の搬送方向に対して上流部に待機させることを特徴とする搬送システム。
【請求項４】
複数の製造装置をプロセスの流れに沿って配設したフローショップエリアと、
前記フローショップエリア内において、前記複数の製造装置間で搬送物を搬送する搬送車とを有し、
前記搬送車は、複数の搬送物を搬送可能であり、第１の搬送物の搬送中に前記第１の搬送物を搬送したまま第２の搬送物を搬送することを特徴とする搬送システム。
【請求項５】
複数の製造装置をプロセスの流れに沿って配設したフローショップエリアと、
前記フローショップエリア内において、前記複数の製造装置間で搬送物を搬送する搬送車とを有し、
前記フローショップエリアは、工程に必要な最小単位の製造装置群からなるセルエリアに分離され、
前記セルエリア内に、現在の製造装置から次工程の製造装置に前記搬送物が搬送できない場合、前記現在の製造装置と前記次工程の製造装置との近傍に前記搬送物を一時保管する保管棚が設けられていることを特徴とする搬送システム。
【請求項６】
請求項５記載の搬送システムにおいて、
前記保管棚は、前記製造装置の上部に設けられていることを特徴とする搬送システム。
【請求項７】
請求項５記載の搬送システムにおいて、
前記保管棚は、前記製造装置間に設けられていることを特徴とする搬送システム。
【請求項８】
請求項５記載の搬送システムにおいて、
前記保管棚は、前記製造装置の反対側に設けられていることを特徴とする搬送システム。
【請求項９】
複数の製造装置をプロセスの流れに沿って配設したフローショップエリアと、
前記フローショップエリア内において、前記複数の製造装置間で搬送物を搬送する搬送車とを有し、
前記フローショップエリアは、工程に必要な最小単位の製造装置群からなる複数のセルエリアに分離され、
前記複数のセルエリア間に、前記搬送物を搬送する搬送経路が設けられていることを特徴とする搬送システム。
【請求項１０】
請求項９記載の搬送システムにおいて、
前記搬送経路は、ステーションまたはストッカを介して搬送する経路であることを特徴とする搬送システム。
【請求項１１】
請求項９記載の搬送システムにおいて、
前記搬送経路は、第１のセルエリアの製造装置から第２のセルエリアの製造装置に搬送する経路であることを特徴とする搬送システム。
【請求項１２】
請求項９記載の搬送システムにおいて、
前記搬送経路は、前記セルエリア内において前記搬送物を搬送する経路と共用されることを特徴とする搬送システム。
【請求項１３】
請求項１２記載の搬送システムにおいて、
前記搬送経路は、前記セルエリア内において前記搬送物の搬送が停止している時のバックアップとして使用されることを特徴とする搬送システム。
【請求項１４】
請求項１２記載の搬送システムにおいて、
前記搬送経路は、前記セルエリア内における前記搬送物の搬送能力を補完する目的で使用されることを特徴とする搬送システム。
【請求項１５】
請求項１乃至１４のいずれか１項に記載の搬送システムを用いた半導体製造システムであって、
前記フローショップエリアと前記搬送車とを有する前記搬送システムと、
前記フローショップエリアにプロセスの流れに沿って配設され、前記搬送車により搬送および受け渡しを行う前記搬送物の半導体ウェハに対して処理または検査を行う複数の製造装置とを有することを特徴とする半導体製造システム。
【請求項１６】
請求項１５記載の半導体製造システムにおいて、
複数の製造装置をプロセスの機能に基づいて配設したジョブショップエリアを有し、
前記ジョブショップエリアと前記フローショップエリアとが組み合わされて配設されていることを特徴とする半導体製造システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送技術に関し、特に複数の製造装置をプロセスの流れに沿って配設したフローショップ方式のレイアウトを採用した搬送システム、およびそれを用いた半導体製造システムに適用して有効な技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
本発明者が検討したところによれば、従来の搬送システムに関しては、以下のような技術が考えられる。
【０００３】
たとえば、フローショップ方式のレイアウトを採用した搬送システムでは、フローショップエリアに複数の製造装置がプロセスの流れに沿って配設され、これらの製造装置に対して並行して走行する搬送車が設けられている。他方で、複数の製造装置をプロセスの機能に基づいて配設したジョブショップ方式のレイアウトも採用され、半導体製造システムでは、これらのジョブショップ方式とフローショップ方式を組み合わせたレイアウトを採用した工場の構築が行われている。
【０００４】
なお、このような搬送システムに関しては、たとえば特許文献１〜３に記載される技術などが挙げられる。特許文献１には、ジョブショップ方式とフローショップ方式のレイアウトの折衷型についての技術が開示されている。特許文献２には、ジョブショップエリアとフローショップエリアのレイアウト方法や搬送通路の接続方法に関する技術が開示されている。特許文献３には、フローショップ方式とともに、このフローショップエリア内にジョブショップエリアをレイアウトする技術が開示されている。
【特許文献１】特開平３−２６４２４５号公報
【特許文献２】特開平１１−１４５０２２号公報
【特許文献３】特開２００２−２６１０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、前記のような搬送システムの技術について、本発明者が検討した結果、以下のようなことが明らかとなった。
【０００６】
たとえば、前述したようなフローショップ方式のレイアウトを採用した搬送システムでは、一つのフローに沿った処理をこなすだけであれば、連続して配設される製造装置を順次通過していけばよい。ところが、現実の半導体製造ラインでは、複数の似たようなフローを同一のフローショップエリアで処理する必要がある。この場合、フローショップエリア内であっても、必ずしも同一方向に製造装置を通過していくわけではなく、逆方向に戻ることもある。このように、従来の半導体製造ラインでは、複数の似たフローをこなす必要性のあるフローショップ方式や、複数の異なる品種を生産するラインにおけるフローショップ方式が想定されていたため、これまでの技術では一方向に流れることを前提とした効率の良い搬送方法は考えられていなかった。
【０００７】
さらに、フローショップエリア内の製造装置にトラブルが発生した場合、この代替装置として他のフローショップエリアの製造装置を一時的に利用することが必要となる。その際に、フローショップエリア間の搬送時間を短縮するための搬送経路が提供されていると、サイクルタイム短縮のために効果がある。前記特許文献１〜３では、フローショップエリアとジョブショップエリアとの間の搬送路の接続については記述されているが、フローショップエリア間の搬送時間を短縮するための技術にはならない。
【０００８】
また、フローショップエリア間の搬送手段として、これまでの技術ではベイ間搬送経路を使用することができるが、フローショップエリア間でのトラブルが発生したような特別な状況下での搬送に工場全体を網羅する搬送手段を利用すると、必ずしも最短ルートで搬送されるわけではないし、また逆にベイ間搬送の負荷が一時的に増大して工場全体の搬送効率（搬送能力や搬送時間）の低下を招いてしまうことが予想される。搬送時間を少しでも短くし、製品のサイクルタイムを短縮しようとする工場において、トラブル時のバックアップや装置能力の一時補完的な目的でフローショップエリア間を効率良く搬送する技術がこれまではなかった。
【０００９】
そこで、本発明の目的は、フローショップ方式のレイアウトを採用した搬送システムにおいて、効率の良い搬送を実現するために、搬送物の搬送時間を短縮し、搬送車の待ち時間を短縮することによって、製品のサイクルタイムを短縮することができる搬送技術を提供することにある。
【００１０】
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
【００１２】
本発明は、複数の製造装置をプロセスの流れに沿って配設したフローショップエリアと、このフローショップエリア内において、複数の製造装置間で搬送物を搬送する搬送車とを有する搬送システムに適用され、以下のような特徴を有するものである。
【００１３】
（１１）搬送車は、搬送物の搬送方向に対して駆動車輪が後輪側に設定され、減速器が前輪側に設定されている。
【００１４】
（１２）搬送車は、搬送物の搬送方向に対して上流部に待機させる。
【００１５】
（１３）搬送車は複数からなり、複数の搬送車は、ひとつの軌道上を走行し、搬送物の搬送方向に対して上流部に待機させる。
【００１６】
（１４）搬送車は、複数の搬送物を搬送可能であり、第１の搬送物の搬送中に第１の搬送物を搬送したまま第２の搬送物を搬送する。
【００１７】
また、本発明は、複数の製造装置をプロセスの流れに沿って配設したフローショップエリアと、このフローショップエリア内において、複数の製造装置間で搬送物を搬送する搬送車とを有し、フローショップエリアは、工程に必要な最小単位の製造装置群からなるセルエリアに分離され、セルエリア内に、現在の製造装置から次工程の製造装置に搬送物が搬送できない場合、現在の製造装置と次工程の製造装置との近傍に搬送物を一時保管する保管棚が設けられている搬送システムに適用され、以下のような特徴を有するものである。
【００１８】
（２１）保管棚は、製造装置の上部に設けられている。
【００１９】
（２２）保管棚は、製造装置間に設けられている。
【００２０】
（２３）保管棚は、製造装置の反対側に設けられている。
【００２１】
さらに、本発明は、複数の製造装置をプロセスの流れに沿って配設したフローショップエリアと、このフローショップエリア内において、複数の製造装置間で搬送物を搬送する搬送車とを有し、フローショップエリアは、工程に必要な最小単位の製造装置群からなる複数のセルエリアに分離され、複数のセルエリア間に、搬送物を搬送する搬送経路が設けられている搬送システムに適用され、以下のような特徴を有するものである。
【００２２】
（３１）搬送経路は、ステーションまたはストッカを介して搬送する経路である。
【００２３】
（３２）搬送経路は、第１のセルエリアの製造装置から第２のセルエリアの製造装置に搬送する経路である。
【００２４】
（３３）搬送経路は、セルエリア内において搬送物を搬送する経路と共用される。
【００２５】
（３４）搬送経路は、セルエリア内において搬送物の搬送が停止している時のバックアップとして使用される。
【００２６】
（３５）搬送経路は、セルエリア内における搬送物の搬送能力を補完する目的で使用される。
【００２７】
また、本発明は、前述した搬送システムを用いた半導体製造システムに適用され、フローショップエリアと搬送車とを有する搬送システムと、フローショップエリアにプロセスの流れに沿って配設され、搬送車により搬送および受け渡しを行う搬送物の半導体ウェハに対して処理または検査を行う複数の製造装置とを有するものである。さらに、複数の製造装置をプロセスの機能に基づいて配設したジョブショップエリアを有し、ジョブショップエリアとフローショップエリアとが組み合わされて配設されているものである。
【発明の効果】
【００２８】
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下のとおりである。
【００２９】
（１）搬送物の搬送時間を短縮することができる。
【００３０】
（２）搬送車の待ち時間を短縮することができる。
【００３１】
（３）前記（１），（２）により、製品のサイクルタイムを短縮することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一機能を有する部材には原則として同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。
【００３３】
（実施の形態１）
図１により、本発明の実施の形態１の搬送システムの構成の一例を説明する。図１は搬送システムの一例を示す構成図である。
【００３４】
本実施の形態の搬送システムは、フローショップ方式のレイアウトを採用するセルエリアの中で、プロセスフローに沿った方向への搬送時間が最短になるように工夫した構成である。
【００３５】
本実施の形態の搬送システムは、図１に示すように、複数の製造装置をプロセスの流れに沿って配設したフローショップエリア１と、このフローショップエリア１内において、複数の製造装置間で搬送物を搬送する搬送車２とを有する構成となっている。
【００３６】
フローショップエリア１は、工程に必要な最小単位の製造装置群からなる複数のセルエリア１１に分離され、各セルエリア１１には、上流部から下流部への方向にプロセスの流れに沿って複数の製造装置１２が配設されている。
【００３７】
搬送車２は、搬送物２１の搬送方向に対して駆動車輪２２が後輪側に設定され、減速器２３が前輪側に設定されている。さらに、この搬送車２は、搬送物２１の搬送方向に対して搬送経路２４の上流部に待機させるようにしたものである。
【００３８】
このような搬送システムは、これに限定されるものではないが、たとえば一例として、半導体製造ラインの半導体製造システムに用いられる。
【００３９】
この半導体製造システムには、前述したフローショップエリア１と搬送車２とを有する搬送システムと、フローショップエリア１にプロセスの流れに沿って配設され、搬送車２により搬送および受け渡しを行う搬送物２１の半導体ウェハに対して処理または検査を行う複数の製造装置１２などを有して構成される。
【００４０】
このような半導体製造ラインでは、特に限定されるものではないが、各製造装置１２がセルと呼ばれる、工程に必要な最小単位の製造装置群に分けられ、セル単位でクリーンルーム内のフローショップエリア１の各セルエリア１１に配設される。そのため、半導体ウェハの搬送システムにおいても、これに応じて、セルエリア内搬送、セルエリア間搬送、あるいはこれらを横断する搬送に分けることができる。
【００４１】
これらの搬送においては、たとえば、有軌道上を自動走行するＲＧＶ（Ｒａｉｌ  Ｇｕｉｄｅｄ  Ｖｅｈｉｃｌｅ）と呼ばれる搬送車、無軌道上を自動走行するＡＧＶ（Ａｕｔｏｍａｔｉｃ  Ｇｕｉｄｅｄ  Ｖｅｈｉｃｌｅ）と呼ばれる搬送車、あるいは天井搬送方式のＯＨＴ（Ｏｖｅｒ−ｈｅａｄ  Ｈｏｉｓｔ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）と呼ばれる搬送車、あるいはＯＨＳ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ  Ｓｈｕｔｔｌｅ）と呼ばれる搬送車などが用いられる。主に、セルエリア内搬送には、ＲＧＶやＡＧＶなどの搬送車が用いられ、セルエリア間搬送、あるいはこれらを横断する搬送にはＯＨＴやＯＨＳなどの搬送車が用いられる。
【００４２】
各製造装置１２（１２ａ〜１２ｎ）には、半導体ウェハに対して各処理を行う、熱処理装置、イオン注入装置、エッチング装置、成膜装置、洗浄装置、フォトレジスト塗布装置、露光装置などの各種処理装置や、各処理後の検査を行う、膜厚検査装置などの各種検査装置などがある。さらに、これらの処理装置、検査装置のセル単位のまとまりに対して、装置間を効率良く搬送し、また次の装置に対する処理待ちなどを考慮して、半導体ウェハを保管するステーションまたはストッカ（以下ステーションと総称する）１３ａ，１３ｂなども上流部と下流部に配設されている。
【００４３】
たとえば、前述した図１は、セルエリア１１内において、半導体ウェハにトランジスタを形成した後の配線形成工程に適用した場合を想定したものであり、このセルエリア１１内に配設された配線形成工程の製造装置１２を構成する、各処理装置による処理の開始／終了、各検査装置による検査の開始／終了や、搬送車２による搬送の開始／終了などの動作は、これらの各製造装置１２と搬送車２に電気的に接続された図示しない制御システムにより制御される。
【００４４】
なお、半導体製造システムには、一般的に、フローショップエリア１の他に、複数の製造装置をプロセスの機能（トランジスタ形成工程など）に基づいて配設したジョブショップエリアなども設けられ、これらのジョブショップエリアとフローショップエリアなどが組み合わされて工場スペースに配設されている。
【００４５】
次に、本実施の形態の搬送システム（半導体製造システム）において、セルエリア内搬送動作の一例を説明する。ここでは、セルエリア内搬送を例に説明するが、セルエリア間、セルエリア内とセルエリア間を横断する搬送、さらにジョブショップエリアとフローショップエリアを組み合わせたエリアの搬送においても、搬送エリアが異なるだけで、搬送動作は同様である。
【００４６】
たとえば、搬送車２は、搬送指示を受けると、搬送経路２４の上流部のステーション１３ａから、このステーション１３ａに保管されている搬送物２１の半導体ウェハ（ロット単位、あるいは複数ロット）の格納されているカセット（以下ウェハカセットと呼ぶ）を受け取り、半導体ウェハに対して所定の処理を行う第１処理装置（１２ａ）まで走行し、この第１処理装置（１２ａ）の第１ポートにウェハカセットを渡す。このウェハカセットを渡し終えた搬送車２は、上流部に戻って待機する。そして、第１処理装置（１２ａ）では、半導体ウェハに対して所定の処理を行う。
【００４７】
さらに、搬送車２は、第１処理装置（１２ａ）の処理終了後、次の搬送指示を受けると、第１処理装置（１２ａ）まで走行し、第１処理装置（１２ａ）の第１ポートから、ウェハカセットを受け取り、半導体ウェハに対して所定の処理を行う第２処理装置（１２ｂ）まで走行し、この第２処理装置（１２ｂ）の第１ポートにウェハカセットを渡す。このウェハカセットを渡し終えた搬送車２は、再び上流部に戻って待機する。そして、第２処理装置（１２ｂ）では、半導体ウェハに対して所定の処理を行う。
【００４８】
以降同様に、第３処理装置（１２ｃ）、第４処理装置（１２ｄ）、・・・、の各種処理装置においても、処理装置から次の処理装置へ、あるいは後述する検査装置を介して、順に半導体ウェハに対する所定の処理を行い、最終的に処理が終了したウェハカセットは、処理終了済みのウェハカセットを保管する搬送経路２４の下流部のステーション１３ｂに渡される。
【００４９】
また、所定の処理が終了した半導体ウェハ、あるいは最終的な処理が終了した半導体ウェハに対する各種検査装置（１２ｇ）においても、前述した各種処理装置への搬送と同様にして、搬送車２と各種検査装置（１２ｇ）との間でウェハカセットの受け渡しが行われ、各種検査が実行される。
【００５０】
また、上記フローショップの例においてプロセスフローが類似していて上記フローショップを適用できる他のプロセスにおいて、一部の処理装置（１２）の処理が不要な場合においても当該処理装置（１２）をスキップするだけで同じフローショップを共用でき、その場合の搬送動作も上記と同様である。
【００５１】
従って、本実施の形態の搬送システム、およびこの搬送システムを用いた半導体製造システムによれば、搬送車２は、搬送物２１の搬送方向に対して駆動車輪２２が後輪側に設定され、減速器２３が前輪側に設定されているので、搬送方向への走行において安定した走行性能（加速、走行、減速）を得ることができる。さらに、この搬送車２は、搬送物２１の搬送方向に対して搬送経路２４の上流部に待機させるようにしたので、搬送車２の待ち時間を短縮させることができる。この結果、半導体製品のサイクルタイムの短縮につながる。
【００５２】
（実施の形態２）
図２により、本発明の実施の形態２の搬送システムの構成の一例を説明する。図２は搬送システムの一例を示す構成図である。
【００５３】
本実施の形態の搬送システムは、前記実施の形態１と同様の目的で、フローショップ方式のレイアウトを採用するセルエリアの中で、プロセスフローに沿った方向への搬送時間が最短になるように工夫した構成であり、図２に示すように、フローショップエリア（セルエリア１１）と搬送車２とを有する構成において、搬送車２は複数（図では２台）からなり、これらの搬送車２（２ａ，２ｂ）は、ひとつの軌道上を走行し、搬送物２１（２１ａ，２１ｂ）の搬送方向に対して搬送経路２４の上流部に待機させるようにしたものである。
【００５４】
よって、本実施の形態の搬送システムにおける搬送動作は、たとえば、搬送指示があるまで、ひとつの軌道からなる搬送経路２４の上流部で２台の搬送車２ａ，２ｂが待機し、搬送指示があると前方の搬送車２ａが対応する処理装置または検査装置の製造装置１２ｂまで走行して搬送物２１ａの受け渡しを行い、搬送完了後に上流部に戻って待機する。もし、前方の搬送車２ａの搬送中に出された次の搬送指示に対しては、後方の搬送車２ｂが対応する製造装置１２ｃまで走行して搬送物２１ｂの受け渡しを行う。
【００５５】
従って、本実施の形態によれば、搬送車２は複数からなり、これらの搬送車２ａ，２ｂは、ひとつの軌道上を走行し、搬送物２１ａ，２１ｂの搬送方向に対して搬送経路２４の上流部に待機させるようにしたので、搬送車２ａ，２ｂ同士の走行妨害を起こさずに搬送時間を短縮し、搬送車２ａ，２ｂの待ち時間を短縮することができるので、半導体製品のサイクルタイムの短縮につながる。
【００５６】
（実施の形態３）
図３により、本発明の実施の形態３の搬送システムの構成の一例を説明する。図３は搬送システムの一例を示す構成図である。
【００５７】
本実施の形態の搬送システムは、前記実施の形態１と同様の目的で、フローショップ方式のレイアウトを採用するセルエリアの中で、プロセスフローに沿った方向への搬送時間が最短になるように工夫した構成であり、図３に示すように、フローショップエリア（セルエリア１１）と搬送車２とを有する構成において、搬送車２ｃは、複数（図では２ウェハカセット）の搬送物２１（２１ａ，２１ｂ）を搬送可能であり、第１の搬送物２１ａの搬送中に第１の搬送物２１ａを搬送したまま第２の搬送物２１ｂを搬送するようにしたものである。
【００５８】
よって、本実施の形態の搬送システムにおける搬送動作は、たとえば、搬送指示があるまで、搬送経路２４の上流部で２ウェハカセットを搬送可能な搬送車２ｃが待機し、搬送指示があると搬送車２ｃが対応する処理装置または検査装置の製造装置１２ｂまで走行して１つ目の搬送物２１ａの受け渡しを行い、搬送完了後に上流部に戻って待機する。もし、１つ目の搬送物２１ａの搬送中に出された次の搬送指示に対しては、搬送車２ｃが対応する製造装置１２ｃまで走行して２つ目の搬送物２１ｂの受け渡しを行う。
【００５９】
従って、本実施の形態によれば、搬送車２ｃは、複数の搬送物２１ａ，２１ｂを搬送可能であり、第１の搬送物２１ａの搬送中に第１の搬送物２１ａを搬送したまま第２の搬送物２１ｂを搬送するようにしたので、搬送車２ｃによる搬送効率を上げることができるので、半導体製品のサイクルタイムの短縮につながる。
【００６０】
（実施の形態４）
図４により、本発明の実施の形態４の搬送システムの構成の一例を説明する。図４は搬送システムの一例を示す構成図である。
【００６１】
本実施の形態の搬送システムは、セルエリア内に、現在の製造装置から次工程の製造装置に搬送物が搬送できない場合、現在の製造装置と次工程の製造装置との近傍に搬送物を一時保管する保管棚を設けるように工夫した構成である。
【００６２】
本実施の形態の搬送システムは、図４に示すように、フローショップエリア１と搬送車２とを有し、フローショップエリア１はセルエリア１１に分離された構成において、セルエリア１１内に、ステーション１３とは別の保管棚１４を、処理装置または検査装置の製造装置１２の上部に設けるようにしたものである。
【００６３】
よって、本実施の形態の搬送システムにおける搬送動作は、たとえば、搬送車２が、次工程の製造装置１２ｂのポートが全て埋まっているなど、なんらかの理由ですぐには次工程の製造装置１２ｂへの搬送ができない場合、製造装置１２の上部に設けられた保管棚１４に搬送物２１を一時的に保管し、上流部まで戻らずに、搬送物２１を一時的に保管した保管棚１４の近傍で一時的に待機し、次工程の製造装置１２ｂが空き次第、保管棚１４から搬送物２１を取り出して次工程の製造装置１２ｂへの搬送を行う。
【００６４】
従って、本実施の形態によれば、保管棚１４を製造装置１２の上部に設けるようにしたので、次工程の製造装置１２への搬送ができない場合、保管棚１４に搬送物２１を一時的に保管することで、搬送物２１の搬送時間を短縮し、また搬送車２の待ち時間を短縮することができるので、半導体製品のサイクルタイムの短縮につながる。
【００６５】
（実施の形態５）
図５により、本発明の実施の形態５の搬送システムの構成の一例を説明する。図５は搬送システムの一例を示す構成図である。
【００６６】
本実施の形態の搬送システムは、前記実施の形態４と同様の目的で、セルエリア内に、搬送物を一時保管する保管棚を設けるように工夫した構成であり、図５に示すように、保管棚１４ａを製造装置１２間に設けるようにしたものである。
【００６７】
よって、本実施の形態の搬送システムにおける搬送動作は、前記実施の形態４と同様であり、従って、本実施の形態によれば、前記実施の形態４と同様の効果を得ることができる。
【００６８】
（実施の形態６）
図６により、本発明の実施の形態６の搬送システムの構成の一例を説明する。図６は搬送システムの一例を示す構成図である。
【００６９】
本実施の形態の搬送システムは、前記実施の形態４と同様の目的で、セルエリア内に、搬送物を一時保管する保管棚を設けるように工夫した構成であり、図６に示すように、保管棚１４ｂを製造装置１２の反対側に設けるようにしたものである。
【００７０】
よって、本実施の形態の搬送システムにおける搬送動作は、前記実施の形態４と同様であり、従って、本実施の形態によれば、前記実施の形態４と同様の効果を得ることができる。
【００７１】
（実施の形態７）
図７により、本発明の実施の形態７の搬送システムの構成の一例を説明する。図７は搬送システムの一例を示す構成図である。
【００７２】
本実施の形態の搬送システムは、フローショップ方式のレイアウトを採用するセルエリアの隣または近傍にさらに同種のフローショップ方式のレイアウトを採用するセルエリアが配設されている場合において、セルエリア間の搬送物の受け渡しがスムーズにできるように工夫した構成である。
【００７３】
本実施の形態の搬送システムは、図７に示すように、フローショップエリア１と搬送車２とを有し、フローショップエリア１はセルエリア１１（（Ａ）１１ａ，（Ｂ）１１ｂ，（Ｃ）１１ｃ）に分離された構成において、複数のセルエリア１１間に、ステーション１３を介して搬送物２１を搬送する搬送経路１５を設けるようにしたものである。
【００７４】
すなわち、プロセスの流れに沿ってセルエリアから他のセルエリアに移動する搬送、セルエリアから他のジョブショップエリアへ移動する搬送、あるいはその逆の他のジョブショップエリアからセルエリアに移動する搬送に使用する搬送システムに加えて、ステーション１３を共用する専用の搬送経路１５を有するものである。
【００７５】
この専用の搬送経路１５には、たとえばＯＨＴやＯＨＳなどの搬送車１６が用いられ、セルエリア１１ａ〜１１ｃの上流部および下流部に配設された各ステーション１３ａ，１３ｂを周回するように設けられている。なお、各ステーション１３ａ，１３ｂは、セルエリア間専用の搬送経路１５の他に、前述した他の搬送と共用されるために、内側がセルエリア間専用として用いられ、外側が他の搬送用として用いられる。
【００７６】
よって、本実施の形態の搬送システムにおける搬送動作は、たとえば、セルエリア（Ａ）１１ａ内の所定の処理を行う処理装置または検査を行う検査装置の第５製造装置１２ｅがダウンした際に、このダウンした第５製造装置１２ｅと同じ処理または検査を行う、セルエリア（Ｂ）１１ｂ内の第５製造装置１２ｅでバックアップする場合を考えると、以下のようになる。
【００７７】
まず、セルエリア（Ａ）１１ａ内において、セルエリア内の搬送車２は、ダウンした第５製造装置１２ｅの前の工程を行う第４製造装置１２ｄによる処理または検査が終了したら、この第４製造装置１２ｄから搬送物２１を受け取り、搬送経路２４の下流部のステーション１３ｂに保管する。そして、セルエリア間専用の搬送車１６は、セルエリア（Ａ）１１ａ内の上流部のステーション１３ａから搬送物２１を受け取り、セルエリア間専用の搬送経路１５を通じて、セルエリア（Ｂ）１１ｂ内の上流部のステーション１３ａまで搬送物２１を搬送して保管する。
【００７８】
さらに、セルエリア（Ｂ）１１ｂ内において、セルエリア内の搬送車２は、搬送経路２４の下流部のステーション１３ｂから搬送物２１を受け取り、ダウンした第５製造装置１２ｅと同じ処理または検査を行う第５製造装置１２ｅまで搬送物２１を搬送する。そして、セルエリア内の搬送車２は、第５製造装置１２ｅによる処理または検査が終了したら、この第５製造装置１２ｅから搬送物２１を受け取り、下流部のステーション１３ｂに保管する。
【００７９】
続いて、セルエリア間専用の搬送車１６は、セルエリア（Ｂ）１１ｂ内の下流部のステーション１３ｂから搬送物２１を受け取り、セルエリア間専用の搬送経路１５を通じて、セルエリア（Ａ）１１ａ内の上流部のステーション１３ａまで搬送物２１を搬送して保管する。以降は、再び、セルエリア（Ａ）１１ａ内において、セルエリア内の搬送車２は、ダウンした第５製造装置１２ｅの後の工程を行う第６製造装置１２ｆから順に所定の処理または検査を実行させるために搬送物２１を搬送する。
【００８０】
従って、本実施の形態によれば、複数のセルエリア１１間に、ステーション１３を介して搬送物２１を搬送する搬送経路１５を設けるようにしたので、あるセルエリア１１内の製造装置１２がダウンし、他のセルエリア１１内の同じ処理または検査を行う製造装置１２でバックアップする場合などに、セルエリア１１間の搬送物２１の受け渡しをスムーズに行うことができる。この結果、搬送物２１の搬送時間や搬送距離を短縮することができるので、半導体製品のサイクルタイムの短縮につながる。
【００８１】
（実施の形態８）
図８により、本発明の実施の形態８の搬送システムの構成の一例を説明する。図８は搬送システムの一例を示す構成図である。
【００８２】
本実施の形態の搬送システムは、前記実施の形態７と同様の目的で、フローショップ方式のレイアウトを採用するセルエリアの隣または近傍にさらに同種のフローショップ方式のレイアウトを採用するセルエリアが配設されている場合において、セルエリア間の搬送物の受け渡しがスムーズにできるように工夫した構成であり、図８に示すように、フローショップエリア１と搬送車２とを有し、フローショップエリア１はセルエリア１１（（Ａ）１１ａ，（Ｂ）１１ｂ，（Ｃ）１１ｃ）に分離された構成において、複数のセルエリア１１間に、第１のセルエリアの製造装置から第２のセルエリアの製造装置に搬送物２１を搬送する搬送経路１５ａを設けるようにしたものである。
【００８３】
よって、本実施の形態の搬送システムにおける搬送動作は、前記実施の形態７と同様に、セルエリア（Ａ）１１ａ内のダウンした処理装置または検査装置の第５製造装置１２ｅを、セルエリア（Ｂ）１１ｂ内の第５製造装置１２ｅでバックアップする場合を考えると、セルエリア間専用の搬送車１６ａは、セルエリア（Ａ）１１ａ内の、ダウンした第５製造装置１２ｅの前の工程を行う第４製造装置１２ｄによる処理または検査が終了したら、この第４製造装置１２ｄから搬送物２１を受け取り、セルエリア間専用の搬送経路１５ａを通じて直接、セルエリア（Ｂ）１１ｂ内の、ダウンした第５製造装置１２ｅと同じ処理または検査を行う第５製造装置１２ｅまで搬送物２１を搬送する。
【００８４】
従って、本実施の形態によれば、複数のセルエリア１１間に、直接、異なるセルエリア１１の製造装置１２間で搬送物２１を搬送する搬送経路１５ａを設けるようにしたので、前記実施の形態７と同様の効果を得ることができる。
【００８５】
また、本実施の形態において、複数のセルエリア１１間に設けた搬送経路１５ａは、セルエリア１１間の他に、セルエリア１１内において搬送物２１を搬送する経路としても用いることが可能である。たとえば、ＯＨＴやＯＨＳなどの搬送車が、セルエリア間とセルエリア内で共用して用いられる。この場合には、前述のように、製造装置のバックアップ用として使用したり、さらには、セルエリア内においてメンテナンスやトラブルなどにより搬送物の搬送が停止している時のバックアップとして使用したり、セルエリア内における搬送物の搬送能力を補完する目的で使用することができる。
【００８６】
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【００８７】
たとえば、前記実施の形態１〜８の技術は、それぞれ個別に適用する他に、さらに効率の良い搬送を実現するために、任意に組み合わせて適用することも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００８８】
本発明の搬送技術は、複数の製造装置をプロセスの流れに沿って配設したフローショップ方式のレイアウトを採用した搬送システム、さらには、複数の製造装置をプロセスの機能に基づいて配設したジョブショップ方式とフローショップ方式などが組み合わせたレイアウトを採用した搬送システムなどにも適用することができる。特に、これらの搬送システムを用いた半導体製造システムに良好に適用可能であり、さらに製造業一般の製造システムなどにも応用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８９】
【図１】本発明の実施の形態１の搬送システムの一例を示す構成図である。
【図２】本発明の実施の形態２の搬送システムの一例を示す構成図である。
【図３】本発明の実施の形態３の搬送システムの一例を示す構成図である。
【図４】本発明の実施の形態４の搬送システムの一例を示す構成図である。
【図５】本発明の実施の形態５の搬送システムの一例を示す構成図である。
【図６】本発明の実施の形態６の搬送システムの一例を示す構成図である。
【図７】本発明の実施の形態７の搬送システムの一例を示す構成図である。
【図８】本発明の実施の形態８の搬送システムの一例を示す構成図である。
【符号の説明】
【００９０】
１  フローショップエリア
１１，１１ａ〜１１ｃ  セルエリア
１２，１２ａ〜１２ｎ  製造装置
１３，１３ａ，１３ｂ  ステーション
１４，１４ａ，１４ｂ  保管棚
１５，１５ａ  搬送経路
１６，１６ａ  搬送車
２，２ａ〜２ｃ  搬送車
２１，２１ａ，２１ｂ  搬送物
２２  駆動車輪
２３  減速器
２４  搬送経路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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