(57)【要約】【課題】  簡単な構成でヘッドと液滴受容部材との間に発生する気流を整流可能な液滴吐出装置を提供する。【解決手段】  ガラス基板２０に液滴を吐出するヘッド１０と、基板２０を保持するチャック３１とが対向して配置され、ヘッド１０と基板２０とを相対移動させながらヘッド１０から基板２０に向けて液滴を吐出する液滴吐出装置において、チャック３１が、その上面と基板２０上面とが同一平面内に位置するように、基板２０を保持するようにした。また、ヘッド１０およびチャック３１に、相対移動方向と交差する方向に突出する第一板状部材１および第二板状部材２を設けた。【選択図】    図４
2005114506.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴受容部材に向けて液滴を吐出するヘッドと、前記液滴受容部材を保持するための保持手段とが対向して配置され、前記ヘッドと前記保持手段によって保持された前記液滴受容部材とを相対移動させながら前記ヘッドから前記液滴受容部材に向けて液滴を吐出する液滴吐出装置において、
前記保持手段が、該保持手段の前記ヘッドとの対向面と、前記液滴受容部材の前記ヘッドとの対向面とが同一平面内に位置するように、前記液滴受容部材を保持する液滴吐出装置。
【請求項２】
液滴受容部材に向けて液滴を吐出するヘッドと、前記液滴受容部材を保持するための保持手段とが対向して配置され、前記ヘッドと前記保持手段によって保持された前記液滴受容部材とを相対移動させながら前記ヘッドから前記液滴受容部材に向けて液滴を吐出する液滴吐出装置において、
前記ヘッドと前記保持手段の双方または一方が、相対移動方向と交差する方向に突出する板状部材を備えている液滴吐出装置。
【請求項３】
前記ヘッドと前記保持手段の双方または一方が、相対移動方向と交差する方向に突出する板状部材を備えている請求項１記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記保持手段が、前記液滴受容部材を収容可能なるように凹陥した保持部を有し、その保持部の深さが前記液滴受容部材の厚みと同一である請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
撮像手段を有し、前記板状部材が、該板状部材の肉厚方向一方側に配置された前記撮像手段が、肉厚方向他方側に存在する物点を撮影可能な透過性材料からなることを特徴とする請求項２ないし請求項４のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を吐出して液滴受容部材に付着させる液滴吐出装置に関する。特に、液滴が吐出されるノズルの配列密度が比較的小さいヘッドを使用するとともに、ヘッドと液滴受容部材とを相対移動させて、液滴受容部材上に比較的高密度で液滴を配列させる液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液滴受容部材に向けて液滴を吐出し、該液滴を液滴受容部材上の所定位置に付着させる液滴吐出装置の1つとして、液滴受容部材としての用紙にカラー画像を印刷する所謂インクジェット方式のカラープリンタが良く知られている。しかしながら、微小な液滴を液滴受容部材上の所定位置に着弾させることができるという利点を有する液滴吐出装置は、上記プリンタだけでなく、カラーフィルタ製造装置やDNAチップ製造装置にも適用されている。図７にDNAチップ製造装置に適用される液滴吐出装置の一例を示す。
【０００３】
図７に示す液滴吐出装置では、定盤４０の上面中央に、Y軸ステージ３４が配置されている。また、Y軸ステージ３４の短手方向両外側には、ガイドレール３５a、３５bが該Y軸ステージ３４の長手方向に沿って該Y軸ステージ３４と平行に配置されている。
【０００４】
Y軸ステージ３４は、Ｙ軸方向（副走査方向）に往復移動可能な不図示の第１可動部を備えており、この第１可動部にＸ軸ステージ３３が高精度で固定されている。すなわち、Ｙ軸ステージ３４は、Ｘ軸ステージ３３を副走査方向に往復移動させることが可能であるとともに、該Ｘ軸ステージ３３を高精度で位置決め可能でもある。なお、Ｘ軸ステージ３３の下面には、上記ガイドレール３５a、３５bにその上方から被さり、該レール３５a、３５bに沿って摺動可能な略コ字形のガイド部材が設けられている。これにより、第１可動部によって副走査方向に移動させられるＸ軸ステージ３３は、ガイドレール３５a、３５bによって確実にガイドされる。
【０００５】
Ｘ軸ステージ３３は、Ｘ軸方向（主走査方向）に往復移動可能な不図示の第２可動部を備えており、この第２可動部には、Ｚ軸回りに回動可能なＺ軸ステージ３２が固定されている。また、Ｚ軸ステージ３２の上面にはチャック３１が固定されている。さらに、チャック３１は不図示のポンプにチューブを介してつながれており、ポンプが空気を吸引すると、チャック３１の上に搭載された液滴受容部材としてのガラス基板２０が該チャック３１に吸着保持される。
【０００６】
以上の構成によって、ガラス基板２０を主走査方向および副走査方向に高精度で位置決め可能であり、かつ、Ｚ軸回りの角度補正も可能である。また、Ｘ軸ステージ３３の第２可動部にはヘッドアライメントカメラ１０１が取り付けられている。よって、ヘッドアライメントカメラ１０１の撮像位置は、第２可動部自体が主走査方向に移動すると、これに伴って同方向に移動し、第２可動部を含むＸ軸ステージ３３が副走査方向に移動すると、これに伴って同方向に移動する。一方、Ｚ軸ステージ３２がＺ軸回りに回動しても、これに伴って移動することはない。
【０００７】
さらに、定盤４０上には、支柱４２a、４２bが主走査方向に対向して固定されている。各々の支柱４２a、４２bの上端には、相手方の支柱に向けて延在するブロック状のブリッジ４１a、４１bが固定され、両ブリッジ４１a、４１bの端面同士は、ヘッドステージ３０を挟んで対向している。このヘッドステージ３０は、Z軸回りに回動可能な不図示の第３可動部を備えており、この第３可動部にヘッド１０が固定されている。さらに、ブリッジ４１aと４１bとは、補強用のステー１０３によって互いに連結されており、このステー１０３には基板アライメントカメラ１０２が取り付けられている。以上の構成によって、ヘッド１０のＺ軸回りの角度補正が可能である。
【０００８】
DNAチップ製造装置のように、高い描画精度が必要とされる場合、装置の組み立て誤差やヘッドおよびガラス基板の固定位置および傾きの誤差等による描画精度の低下を防ぐことを目的として、描画開始前に液滴吐出装置のアライメントが行なわれる。図７に示す液滴吐出装置のアライメント手順について、図８を参照しながら説明する。図８は、図７に示すヘッド１０、ガラス基板２０、ヘッドアライメントカメラ１０１、および基板アライメントカメラ１０２の相対関係を模式的に示す拡大図である。
【０００９】
ここで、ヘッド１０の底面（フェイス面）にはヘッドアライメントマーク１１a、１１bが設けられている。また、ガラス基板２０の上面には基板アライメントマーク２１a、２１bが設けられている。
【００１０】
アライメントを行なう際は、まず、ヘッドアライメントカメラ１０１をヘッドアライメントマーク１１aの下に移動させ、ヘッドアライメントマーク１１aの位置を読み込む。同様に、ヘッドアライメントマーク１１bの下にヘッドアライメントカメラ１０１を移動させ、ヘッドアライメントマーク１１bの位置を読み込む。次に、ヘッドアライメントマーク１１a、１１bの位置からヘッド１０の傾きを算出し、その角度だけヘッド１０を回動させて傾きを補正する。補正後にヘッドアライメントマーク１１a、１１bの位置を再度読み込み、補正後のヘッド１０の傾きおよび位置を記憶しておく。その後、基板アライメントカメラ１０２の下に基板アライメントマーク２１aを移動させ、基板アライメントマーク２１aの位置を読み込む。同様に、基板アライメントマーク２１ｂを基板アライメントカメラ１０２の下に移動させて、基板アライメントマーク２１bの位置を読み込む。次に、基板アライメントマーク２１a、２１bの位置からガラス基板２０の傾きを算出し、その角度だけガラス基板２０を回動させて傾きを補正する。補正後に基板アライメントマーク２１a、２１bの位置を再度読み込み、ガラス基板２０の傾きおよび位置を記憶しておく。最後に、補正後のヘッド１０およびガラス基板２０の位置から、両者の相対的位置関係を把握し、描画開始位置を決定する。
【００１１】
以上のように、従来のDNAチップ製造装置では、高精度な位置決めが可能なステージを有する液滴吐出装置を備えると共に、描画開始前にアライメントを実行することによって、DNAチップの描画精度向上を図っている。
【００１２】
しかしながら、ステージを駆動させてヘッド１０とガラス基板２０とを相対移動させると、ヘッド１０とガラス基板２０との間に気流が発生する。図７に示すＸ軸ステージ３４によってガラス基板２０を主走査方向に移動させときに発生する上記気流を図９に模式的に示す。図９を参照すると、上記気流には、主走査方向に対して平行な成分に加えて、ヘッド１０とガラス基板２０との間に、副走査方向外側から内側に向けて斜めに流入する成分が含まれていることがわかる。この結果、斜めに流入する気流成分の影響によって、ヘッド１０に設けられている複数のノズルのうち、副走査方向両外側に位置するノズルから吐出された液滴の着弾位置が同方向内側にずれるという問題がある。しかも、DNAチップ製造装置では、生産性向上のため多数のDNAチップをできるだけ1回の描画で製造し、ステージもできるだけ高速で移動させる必要がある。ステージの高速化に伴って、ヘッド１０とガラス基板２０との間に発生する上記気流が描画精度に及ぼす影響はさらに大きくなる。副走査方向内側にずれる液滴の着弾位置を補正するために、ステージの位置を制御する方法もあるが、液滴が吐出されたノズルの位置によって該液滴が気流から受ける影響が異なるため、スキャン回数を増やす必要があり、描画のスループットが低下してしまう。ヘッド１０とガラス基板２０との間に発生する気流成分が主走査方向に平行な成分のみであれば、液滴の吐出タイミングを制御するだけで、描画のスループットを低下させることなく、描画精度向上を図ることができるが、ヘッド１０とガラス基板２０との間に発生する気流に速度分布があると、液滴の吐出タイミングの制御が複雑になってしまうという問題もある。
【００１３】
ここで、プリンタに適用される液滴吐出装置においても、ヘッドと、液滴受容部材としての記録紙等との間に発生する空気の流れによって、液滴の着弾位置がずれやすいという問題があり、様々な解決手段が提案されている。
【００１４】
例えば、特許文献１には、ヘッドが主走査方向に往復運動をすることで記録を行なう記録装置において、ヘッドの主走査方向（移動方向）の前後に整流板を設けることが開示されている。特許文献１記載の先行技術によれば、高速印刷を行なうためにヘッドを高速で移動させた場合に、ヘッドに当たった空気が整流板に沿って左右に逃げやすくなる。この結果、ヘッドのノズル面と記録紙との間に空気が流れ込み難くなり、ノズル面と記録紙との間の空気流速度がノズル列中央部ほど早く、両端部ほど遅い速度分布になることが防止される。
【００１５】
また、特許文献２には、ヘッドの周辺に、ノズルが構成されている面よりもインクが吐出される空間側に突出する囲いを設けることが開示されている。特許文献２記載の先行技術によれば、インクが吐出される空間が該空間外から遮断されるので、気流の乱れによる吐出乱れが抑制され、安定吐出が達成される。
【特許文献１】特開２０００−１０８３３０号公報
【特許文献２】特開２００１−２７７４９０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
しかしながら、液滴受容部材を水平面内で移動させながら描画を行なうDNAチップ製造装置では、周囲の空気が相対移動する液滴受容部材に随伴しながらヘッドと液滴受容部材との間に流入する。従って、ヘッドに整流板を設けることを特徴とする特許文献１記載の先行技術を適応しても、ヘッドと液滴受容部材との間に流入する空気を十分に制御することはできない。また、副走査方向の様々な液滴受容部材をスキャンする必要があるため、スキャンされる全ての位置に特許文献１に開示されている整流板を設けることは事実上不可能である。さらに、DNAチップ製造装置では、様々な種類の液滴を吐出する必要があるため、ノズルが設けられたヘッドのフェイス面の面積は、通常のプリンタヘッドの数十倍となる。よって、ヘッドと液滴受容部材との間に発生する気流の速度は、ヘッドの中央部と両端部とで大きく異なる。しかも、ノズルの配列密度が比較的小さいヘッドを用いて、比較的高密度な描画を行なうため、ヘッドと液滴受容部材との間の気流の影響は通常のプリンタと比べて顕著に表れやすい。
【００１７】
また、特許文献２に開示されている先行技術を、通常のプリンタに適応した場合、図１０に示すような形態になる。図１０に示すように、通常のプリンタではノズル１２の配置間隔が狭いため、ヘッド１０のフェイス面の周辺に囲い５１a、５１bを設けることによって、その近傍に存在しているノズル１２から吐出された液滴が受ける気流の影響を低減させることができる。しかし、特許文献２記載の先行技術をDNAチップ製造装置に適応した場合、図１１に示すような形態になる。図１１に示すように、DNAチップ製造装置では、ノズル１２の配置間隔がプリンタ用のヘッドに比べて広いため、ヘッド１０のフェイス面の周辺に囲い５１a、５１bを設けたとしても、気流の影響を低減させることができるのは、囲い５１aの近傍（図中Ａ部）のみとなってしまう。しかも、図１１に示すような位置関係にヘッド１０およびチャック３１が存在し、主走査方向（矢印Ｓ方向）にチャック３１が移動しているとすると、囲い５１bの近傍（図中Ｂ部）で乱流が発生してしまう。
【００１８】
以上説明したように、特許文献１および２に記載されている先行技術を、DNAチップ製造装置に適用される液滴吐出装置に組み合わせたとしても、その効果は低く、上記課題を十分に解決することはできない。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであって、簡単な構成でヘッドと液滴受容部材との間に発生する気流を整流させ、液滴の着弾ずれを低減させることを目的とする。
【００２０】
上記目的を達成する本発明の液滴吐出装置は、液滴受容部材に向けて液滴を吐出するヘッドと、液滴受容部材を保持するための保持手段とが対向して配置され、ヘッドと保持手段によって保持された液滴受容部材とを相対移動させながらヘッドから液滴受容部材に向けて液滴を吐出する液滴吐出装置において、保持手段が、該保持手段のヘッドとの対向面と、液滴受容部材のヘッドとの対向面とが同一平面内に位置するように、液滴受容部材を保持することを特徴とする。かかる構成によれば、保持手段によって液滴受容部材が保持されたときに、保持手段および液滴受容部材のヘッドとの対向面が連続する平坦な一面を形成するため、ヘッドと保持手段および液滴受容部材との間に流入した空気が乱されることなく、スムーズに排出される。この結果、ヘッドと保持手段および液滴受容部材との間で発生した気流の影響を受けることなく、液滴の液滴受容部材に対する着弾位置を高精度で制御可能となる。このような作用を奏する保持手段の一例としては、液滴受容部材を収容可能なるように凹陥し、その深さが液滴受容部材の厚みと同一である保持部を備えた保持手段が考えられる。かかる構成の保持手段によれば、上記保持部の内側に液滴受容部材を収容することによって、保持手段および液滴受容部材のヘッドとの対向面を連続する平坦な一面とすることが可能であり、液滴受容部材の位置決めも容易かつ高精度になる。
【００２１】
また、本発明の液滴吐出装置が備えるヘッドおよび保持手段の双方または一方には、これらの相対移動方向と交差する方向に突出する板状部材を設けることもできる。かかる板状部材を備えた本発明の液滴吐出装置では、相対移動方向と交差する方向からヘッドと液滴受容部材との間の描画領域に斜めに流入する気流の発生が抑制され、液滴の液滴受容部材に対する着弾位置をより高精度で制御可能となる。さらに、ヘッドおよび保持手段の双方に上記板状部材を設けた場合には、描画領域の端部を描画する場合にも、上記斜めに流入する気流の発生がより効果的に抑制される。
【００２２】
さらに、本発明の液滴吐出装置では、上記板状部材を透過性材料によって形成することができる。従って、板状部材を挟んで一方側にアライメントマークが配置され、他方側に上記アライメントマークを撮影するための撮像手段が配置されるような場合でも、板状部材が撮像手段によるアライメントマークの撮影を妨げることがない。
【発明の効果】
【００２３】
本発明の液滴吐出装置によれば、簡単な構成によってヘッドと液滴受容部材との間に発生する気流が整流され、ヘッドから液滴受容部材に向けて吐出される液滴の着弾位置を容易かつ高精度で制御可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
（実施形態１）
以下、本発明の液滴吐出装置の実施形態の一例を図面に基づいて説明する。図１は、ＤＮＡチップ製造装置に適用される本発明の液滴吐出装置の一例を示す模式的斜視図である。なお、図７に示す液滴吐出装置と共通の構成については、図１中に同一符号を付してその説明を省略する。また、本実施形態では、Ｘ軸ステージ３３によるチャック３１の移動方向（図１中のＸ軸方向）を主走査方向、Ｙ軸ステージ３４によるチャック３１の移動方向（図１中のＹ軸方向）を副走査方向とする。また、液滴受容部材はガラス基板２０とする。
【００２５】
図１に示す液滴吐出装置では、ヘッド１０の副走査方向両外側に、主走査方向に細長で、かつ、Ｘ−Ｙ平面に対して平行な第一板状部材１がそれぞれ対称に設けられている。各々の第一板状部材１は、主走査方向における長さがヘッドステージ３０の同方向における全長よりも長く形成されており、各々の第一板状部材１の長手方向両端は、ヘッドステージ３０を挟んで対向するブリッジ４１a、４１bまで達している。
【００２６】
また、各々の第一板状部材１の底面（チャック３１にガラス基板２０がセットされた際に、該ガラス基板２０と対向する面）は、ヘッド１０の底面であるフェイス面と同じ高さとされている。すなわち、２つの第一板状部材１の底面とヘッド１０のフェイス面とによって、連続する平坦な一面が形成されている。
【００２７】
さらに、各々の第一板状部材１は、基板アライメントカメラ１０２によるガラス基板２０の撮影を妨げることがないように、透明なプラスチック材料によって形成されている。
【００２８】
図１に示す液滴吐出装置では、保持手段としてのチャック３１の上面に、ガラス基板２０を収容可能なるように凹陥した不図示の保持部が形成されている。この保持部は、ガラス基板２０とほぼ同一の寸法及び形状を有し、さらにガラス基板２０の厚みとほぼ同一の深さを有する。従って、ガラス基板２０は保持部の内側にほぼ隙間なく収容されて位置決めされるとともに、収容されたガラス基板２０のヘッド１０との対向面（上面）と、チャック３１のヘッド１０との対向面（上面）とは面一となり、同一平面内に存在することとなる。
【００２９】
次に、図１に示す液滴吐出装置において、描画時にヘッド１０とガラス基板２０との間に発生する気流の様子を図２および図３に示す。図２は、上記気流の様子を模式的に示す断面図であり、図３は、同平面図である。
【００３０】
まず、図２を参照しながら、Ｘ−Ｚ平面内の気流の様子について説明する。チャック３１が主走査方向である図中の矢印Ｓ方向に移動している場合、チャック３１およびガラス基板２０の上面に随伴する空気がヘッド１０と、チャック３１およびガラス基板２０との間に流入し、図中に矢印で示すような気流が発生する。この時、ガラス基板２０およびチャック３１の上面は、連続する平坦な一面を形成しており、ヘッド１０のフェイス面にも突起物等がないため、ヘッド１０と、チャック３１およびガラス基板２０との間に流入した空気は、乱れることなく反対側へ抜ける。
【００３１】
次に、図３を参照しながら、Ｘ−Ｙ平面内の気流の様子について説明する。既述のように、従来の液滴吐出装置では、チャック３１が主走査方向である図中の矢印Ｓ方向に移動しているときにヘッド１０とガラス基板２０との間で発生する気流の方向は、副走査方向中央部おいては矢印Ｓ方向と一致しているが、副走査方向両端部では若干内側を向いている。この結果、ヘッド１０の副走査方向両端側にあるノズルから吐出された液滴の着弾位置は、副走査方向内側にずれてしまう（図７参照）。
【００３２】
一方、図３を参照すると、ここでも、ヘッド１０および第一板状部材１と、チャック３１に保持されているガラス基板２０との間に発生する気流は、副走査方向中央部では主走査方向である矢印Ｓ方向と一致しているが、同方向両端部では若干内向きとなっている。また、気流の流速は副走査方向中央部ほど早い。しかし、気流の向きが若干内向きとなるのは、対向する第一板状部材１とガラス基板２０とによって挟まれた領域のみであり、描画に影響するヘッド１０とガラス基板２０とによって挟まれた領域では、主走査方向である矢印Ｓ方向と一致した一定流速の気流のみが発生している。つまり、第一板状部材１をヘッド１０の副走査方向両外側に設けることで、ヘッド１０とガラス基板２０との間に発生する気流を整流することができ、ヘッド１０のノズルからガラス基板２０に向けて吐出される液滴の副走査方向における着弾ずれが防止される。
【００３３】
上記構成によれば、ヘッド１０とガラス基板２０との間には、主走査方向に対して一定流速の気流のみが流れるので、図示しない制御部によって液滴の吐出のタイミングを制御するだけで、液滴をガラス基板２０上の所定位置に着弾させることができる。
【００３４】
（実施形態２）
以下、本発明の液滴吐出装置の実施形態の他例を図４に基づいて説明する。図４に示す液滴吐出装置は、実施形態１に示した液滴吐出装置とほぼ同一の構成を有する。異なるのは、チャック３１に第二板状部材２が設けられていることである。具体的には、本例におけるチャック３１の副走査方向両外側には、主走査方向に細長で、かつ、Ｘ−Ｙ平面に対して平行な第二板状部材２がそれぞれ対称に設けられている。各々の第二板状部材２は、主走査方向における長さがチャック３１の同方向における全長と同一に形成されており、各々の第二板状部材２の長手方向両端位置は、チャック３１の同方向における端部と一致している。
【００３５】
また、各々の第二板状部材２の上面（ヘッド１０との対向面）は、チャック３１の上面と同じ高さとされ、両者は同一平面内に存在している。従って、チャック３１の保持部にガラス基板２０が収容されると、２つの第二板状部材２、チャック３１、およびガラス基板２０の各上面が面一となって、連続する平坦な一面が形成される。この結果、実施形態１に示した液滴吐出装置に比べて、ヘッド１０とガラス基板２０との間に発生する気流に対する整流効果がより一層高いものとなる。具体的には、実施形態１の液滴吐出装置も、従来の液滴吐出装置に比べれば、ヘッド１０とガラス基板２０との間に発生する気流を十分に整流する効果が認められる。しかし、図５に示すように、ガラス基板２０の副走査方向端部を描画する場合、描画領域のうち副走査方向中央付近の領域では主走査方向である矢印Ｓ方向と一致した気流が発生する一方で、同方向端部付近の領域では、チャック３１側から空気が流入してしまい、主走査方向に対して若干内向きの気流が発生する。
【００３６】
これに対して、第二板状部材２を備えた本例の液滴吐出装置によれば、図６に示すように、第二板状部材２によってチャック３１側からの空気の流入が抑制される結果、描画領域全域において主走査方向である矢印Ｓ方向と一致した一定流速の気流のみが発生するようになる。つまり、第二板状部材２が設けられていることによって、ガラス基板２０の副走査方向端部を描画する際も、ヘッド１０とガラス基板２０との間に発生する気流を整流することができ、ヘッド１０とガラス基板２０との相対的位置関係に関わらず、常に液滴の副走査方向における着弾ずれを効果的に防止することができる。なお、第一板状部材１と第二板状部材２とに挟まれた領域では、上記と同様の内向きの気流が発生するが、この領域は描画領域ではなく、描画精度には影響を与えない。
【００３７】
以上より、ガラス基板２０の副走査方向端部を描画する際も、ヘッドからの液滴の吐出のタイミングを制御するだけで、液滴をガラス基板２０上の所定位置に着弾させることができる。
【００３８】
なお、各々の第二板状部材２は、ヘッドアライメントカメラ１０１によるヘッド１０の撮影を妨げることがないように、透明なプラスチック材料によって形成されている。
【００３９】
（実施形態３）
図１および図４には、主走査方向における長さがヘッドステージ３０の同方向における全長と等しい第一板状部材１を図示したが、第一板状部材１の主走査方向における長さは、ヘッドステージ３０の同方向における全長以上でも、以下でもよい。もっとも、ヘッド１０から吐出される液滴の着弾ずれを効果的に防止するという観点からは、ヘッド１０が備えるノズル列の主走査方向における長さ以上の長さを有することが望ましい。
【００４０】
実施形態１および２におけるガラス基板２０は、液滴を受容可能であり、かつ、製造されたDNAチップの検査も可能でありさえすればよく、例えば、プラスチック、フィルム、セラミック等ならなる基板に代えることもでき、そのような場合も上記と同様の作用効果が得られる。また、実施形態１および２では、液滴受容部材がガラス基板である場合を例にとって本発明の液滴吐出装置を説明したが、本発明の液滴吐出装置は、ガラス基板以外の液滴受容部材にも適用可能である。例えば、本発明の液滴吐出装置は、普通紙や光沢紙等の記録紙を液滴受容部材とするプリンタにも適用可能である。
【００４１】
実施形態１および２では、第一板状部材１および第二板状部材２がプラスチック製である場合を説明したが、その他の透過性材料（例えば、ガラス、フィルム、セラミック等）によって第一板状部材および第二板状部材を形成することもできる。また、第一板状部材や第二板状部材が、撮像手段による撮影を妨げることのない位置に配置される場合には、第一板状部材や第二板状部材を透過性材料によって形成する必要はない。また、アライメントが不要である場合にも、第一板状部材や第二板状部材を透過性材料によって形成する必要はない。
【００４２】
実施形態１および２では、液滴受容部材を移動させながら描画を行う場合を説明したが、ヘッドを移動させながら描画を行なってもよく、両者を移動させながら描画を行なってもよい。いずれにしても、ヘッドと液滴受容部材とが相対移動すれば両者の間に気流が発生するが、本発明によればその気流が効果的に整流される。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の液滴吐出装置の一例を示す模式的斜視図である。
【図２】図１に示す液滴吐出装置のヘッドとガラス基板との間に発生する気流のＸ−Ｚ平面内における様子を示す模式的説明図である。
【図３】図１に示す液滴吐出装置のヘッドとガラス基板との間に発生する気流のＸ−Ｙ平面内における様子を示す模式的説明図である。
【図４】本発明の液滴吐出装置の他例を示す模式的斜視図である。
【図５】図１に示す液滴吐出装置がガラス基板の副走査方向端部を描画している場合に、ヘッドとガラス基板との間に発生する気流のＸ−Ｙ平面内における様子を示す模式的説明図である。
【図６】図４に示す液滴吐出装置がガラス基板の副走査方向端部を描画している場合に、ヘッドとガラス基板との間に発生する気流のＸ−Ｙ平面内における様子を示す模式的説明図である。
【図７】従来の液滴吐出装置の一例を示す模式的斜視図である。
【図８】液滴吐出装置のアライメント手順を説明するための模式的斜視図である。
【図９】従来の液滴吐出装置のヘッドとガラス基板との間に発生する気流のＸ−Ｙ平面内における様子を示す模式的説明図である。
【図１０】特許文献２記載の先行技術をプリンタ用のヘッドに適用した例を示す模式的断面図である。
【図１１】特許文献２記載の先行技術をDNAチップ製造装置に適用される液滴吐出装置のヘッドに適用した例を示す模式的断面図である。
【符号の説明】
【００４４】
１  第一板状部材
２  第二板状部材
１０  ヘッド
１１a、１１b  ヘッドアライメントマーク
１２  ノズル
２０  ガラス基板
３０  ヘッドステージ
３１  チャック
３２  Ｚ軸ステージ
３３  Ｘ軸ステージ
３４  Ｙ軸ステージ
３５a、３５b  ガイドレール
４０  定盤
４１a、４１b  ブリッジ
４２a、４２a  支柱
１０１  ヘッドアライメントカメラ
１０２  基板アライメントカメラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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