(57)【要約】【課題】  複数種類の半導体製造装置に装着されるロードポート装置が、１種類で済むようにすることである。【解決手段】  ロードポート装置Ａを構成するキャリアベース９の周縁部に、第１ウエハキャリアＣ1 を位置決めして設置させるための第１位置決め部材Ｐ1(各位置決めピン１５）を取付けると共に、第２ウエハキャリアＣ2 を位置決めして設置させるための第２位置決め部材Ｐ2(各コーナー部位置決め板２３及び各溝形成板２４）を、前記第１位置決め部材Ｐ1 の内方に取付け、一方のウエハキャリアＣ1,Ｃ2 が設置されるときに、他方のウエハキャリアＣ1,Ｃ2 を位置決めするための位置決め部材Ｐ1,Ｐ2 と干渉しないようにする。【選択図】        図１
2005197431.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体製造装置に着脱可能に装着される装置本体と、
前記半導体製造装置によって処理されるウエハを収納するウエハキャリアを設置するためのキャリアテーブルとを備え、
前記装置本体が装着される装着面の構成が同一である半導体製造装置に装着されるロードポート装置であって、
前記キャリアテーブルには、大きさの異なる第１及び第２の各ウエハキャリアを位置決めして重複位置に設置させる第１及び第２の各位置決め部材を備え、
前記第１及び第２の各位置決め部材は、一方のウエハキャリアを位置決めして設置した状態で、他方のウエハキャリアの位置決め部材が干渉しないような配置構造となっていることを特徴とするロードポート装置。
【請求項２】
大きな方の第１ウエハキャリアを位置決めする第１位置決め部材は、第２ウエハキャリアの設置領域よりも外側に設けられた複数の位置決めピンで構成されていると共に、第２位置決め部材は、第１ウエハキャリアを設置した状態で、その底面部と干渉しない高さを有する複数の位置決め板で構成されていることを特徴とする請求項１に記載のロードポート装置。
【請求項３】
前記キャリアテーブルには、ロードポート装置の作動中に第１ウエハキャリアが取り外されることを防止すべく、第１ウエハキャリアをクランプするためのクランプ装置が配設されていて、
前記クランプ装置を構成するクランプ体は、設置状態における第２ウエハキャリアから退避可能にして配設されていることを特徴とする請求項２に記載のロードポート装置。
【請求項４】
前記キャリアテーブルには、ロードポート装置の作動中に第２ウエハキャリアが取り外されることを防止すべく、第２ウエハキャリアを覆うためのカバー部材が、設置状態における第１ウエハキャリアと干渉を避けて取付けられていることを特徴とする請求項２又は３に記載のロードポート装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造装置に着脱可能に装着され、多数枚のウエハが収納されたウエハキャリアを設置するためのロードポート装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置の一例であるウエハプロセス装置は、ウエハに所定の処理を施すための装置であり、ウエハキャリアを設置するためのロードポート装置が装着される（図１参照）。このロードポート装置には、各種の技術が開示されている（例えば、特許文献１参照）。ウエハキャリアに収納されたウエハが、前記ウエハプロセス装置に導入される操作は、次のようにして行われる。ウエハプロセス装置に内装されているロボットのウエハ移載ハンドが、ウエハキャリア内に進入し、１枚のウエハが取出される。このウエハは、前記ウエハ移載ハンドによって、ウエハプロセス装置内に移送され、所定の処理が施される。前記所定の処理が施されたウエハは、前記ウエハ移載ハンドによって、再びウエハキャリアに収納される。
【０００３】
前記ウエハは、同じ大きさ（同一外径）のものが多段となってウエハキャリアに収納される。前記ウエハには、各種の大きさ（外径）のもの（例えば、２００mm、３００mm等）が存している。そして、これらのウエハを収納するためのウエハキャリアは、それらの大きさに対応して専用のものが使用されている。また、ウエハプロセス装置及びロードポート装置も、ウエハの大きさに対応して、専用のものが使用されている。
【０００４】
ここで、各ウエハキャリアの形状とキャリアベースへの設置のための構造は、業界標準として規格化されている。ウエハキャリアについて、本件の図３及び図４を援用して説明する。図３に示されるように、３００mm用のウエハキャリアＣ1 の底面部には、３個の台座部１６が、放射状にして固着されている。このウエハキャリアＣ1 が、３００mm用のロードポート装置Ａのキャリアベース９に設置されるとき、前記キャリアベース９に設けられた３本の位置決めピン１５（第１位置決め部材Ｐ1)が、前記各台座部１６に設けられた各位置決めピン溝部１６ａに入り込む。これにより、前記ウエハキャリアＣ1 は、前記キャリアベース９に位置決めされて設置される。
【０００５】
また、２００mm用のウエハキャリアＣ2 の場合、図４に示されるように、本体部１９の底面部に設けられた一対の底面リブ２０と、同じく背面部に設けられた一対の背面リブ２１との接続部分に形成される各コーナー部２１ａが、キャリアベース９に固着された各コーナー部位置決め板２３（第２位置決め部材Ｐ2)に当接されると共に、前記一対の底面リブ２０どうしの間に突設された位置決めバー２２が、キャリアベース９に固着された各溝形成板２４（第２位置決め部材Ｐ2)どうしの間に形成された溝部２５に入り込む。これにより、前記ウエハキャリアＣ2 は、前記キャリアベース９に位置決めされて設置される。
【０００６】
前記ロードポート装置Ａは、ウエハプロセス装置に対して着脱可能に取付けられている。従来、２００mm用のロードポート装置が故障等したときに、３００mm用のロードポート装置にアダプタを取付けることにより、２００mm用のロードポート装置として使用することが行われている。しかし、いちいちアダプタを取付けなければならず、面倒である。しかも、逆の場合、即ち、３００mm用のロードポート装置が故障等したときに、２００mm用のロードポート装置を装着させることは不可能である。この結果、多種類のロードポート装置を配備しておく必要がある。
【特許文献１】特開２００３−２４９５３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、上記した不具合に鑑み、複数種類の半導体製造装置に装着されるロードポート装置が、１種類で済むようにすることを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するための請求項１の発明は、半導体製造装置に着脱可能に装着される装置本体と、前記半導体製造装置によって処理されるウエハを収納するウエハキャリアを設置するためのキャリアテーブルとを備え、前記装置本体が装着される装着面の構成が同一である半導体製造装置に装着されるロードポート装置であって、前記キャリアテーブルには、大きさの異なる第１及び第２の各ウエハキャリアを位置決めして重複位置に設置させる第１及び第２の各位置決め部材を備え、前記第１及び第２の各位置決め部材は、一方のウエハキャリアを位置決めして設置した状態で、他方のウエハキャリアの位置決め部材が干渉しないような配置構造となっていることを特徴としている。
【０００９】
上記した構成により、本発明に係るロードポート装置のキャリアテーブルには、大きさの異なる第１及び第２の各ウエハキャリアをそのまま設置できる。このとき、一方のウエハキャリアを設置した状態で、他方のウエハキャリアの位置決め部材が干渉することはない。このため、半導体製造装置におけるロードポート装置の装着面の構成が同一であれば、設置されるウエハキャリアの大きさに関係なく、ロードポート装置を兼用でき、ロードポート装置が１種類で済む。また、異なる大きさのウエハキャリアをそのまま設置できるため、従来のようにアダプタ等を取付ける必要はない。この結果、いずれかの半導体製造装置に取付けられたロードポート装置が故障等しても、他の半導体製造装置に取付けられたロードポート装置を取り外して装着することが容易にできる。
【００１０】
請求項２の発明は、請求項１の発明を前提として、大きな方の第１ウエハキャリアを位置決めする第１位置決め部材は、第２ウエハキャリアの設置領域よりも外側に設けられた複数の位置決めピンで構成されていると共に、第２位置決め部材は、第１ウエハキャリアを設置した状態で、その底面部と干渉しない高さを有する複数の位置決め板で構成されていることを特徴としている。このため、キャリアテーブルに、一方のウエハキャリアを位置決めするための各位置決め部材を、設置状態の他方のウエハキャリアと干渉させることなく、容易に取付けることができる。
【００１１】
請求項３の発明は、請求項２の発明を前提として、前記キャリアテーブルには、ロードポート装置の作動中に第１ウエハキャリアが取り外されることを防止すべく、第１ウエハキャリアをクランプするためのクランプ装置が配設されていて、前記クランプ装置を構成するクランプ体は、設置状態における第２ウエハキャリアから退避可能にして配設されていることを特徴としている。この発明では、キャリアテーブルに設置された第１ウエハキャリアは、クランプ装置により、前記キャリアテーブルから分離不能にクランプされる。このため、ロードポート装置の作動中、作業者が誤って第１ウエハキャリアを取り外してしまうという不具合を防止できる。
【００１２】
請求項４の発明は、請求項２又は３の発明を前提として、前記キャリアテーブルには、ロードポート装置の作動中に第２ウエハキャリアが取り外されることを防止すべく、第２ウエハキャリアを覆うためのカバー部材が、設置状態における第１ウエハキャリアと干渉を避けて取付けられていることを特徴としている。この発明では、キャリアテーブルに設置された第２ウエハキャリアは、カバー部材によって覆われる。このため、ロードポート装置の作動中、作業者が誤って第２ウエハキャリアを取り外してしまうという不具合を防止できる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係るロードポート装置は、半導体製造装置に着脱可能に装着される装置本体と、前記半導体製造装置によって処理されるウエハを収納するウエハキャリアを設置するためのキャリアテーブルとを備え、前記装置本体が装着される装着面の構成が同一である半導体製造装置に装着されるロードポート装置であって、前記キャリアテーブルには、大きさの異なる第１及び第２の各ウエハキャリアを位置決めして重複位置に設置させる第１及び第２の各位置決め部材を備え、前記第１及び第２の各位置決め部材は、一方のウエハキャリアを位置決めして設置した状態で、他方のウエハキャリアの位置決め部材が干渉しないような配置構造となっていることを特徴としている。このため、半導体製造装置におけるロードポート装置の装着面の構成が同一であれば、設置されるウエハキャリアの大きさに関係なく、ロードポート装置を兼用でき、ロードポート装置が１種類で済む。また、異なる大きさのウエハキャリアをそのまま設置できるため、従来のようにアダプタ等を取付ける必要はない。この結果、いずれかの半導体製造装置に取付けられたロードポート装置が故障等しても、他の半導体製造装置に取付けられたロードポート装置を取り外して装着することが容易にできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の最良実施例を挙げて、本発明を更に詳細に説明する。図１は本発明に係るロードポート装置Ａの斜視図、図２は同じく側面図、図３はキャリアベース９に、第１ウエハキャリアＣ1 を設置する状態の斜視図、図４は同じく、第２ウエハキャリアＣ2 を設置する状態の斜視図、図５はクランプ装置Ｄの側面図、図６はクランプ装置Ｄとベース移動装置Ｅの平面図、図７はベース移動装置Ｅの側面図である。
【実施例１】
【００１５】
最初に、ロードポート装置Ａの全体構成について説明する。図１及び図２に示されるように、このロードポート装置Ａは、半導体製造装置の一例であるウエハプロセス装置Ｂ1,Ｂ2 の所定位置に設けられた装着面Ｆに装着される装置本体１と、該装置本体１の内側（ウエハプロセス装置Ｂ1,Ｂ2 の側）に配設された蓋体着脱装置（図示せず）と、前記装置本体１に突出してテーブル本体２が取付けられたテーブル装置Ｔとから構成されている。なお、ウエハプロセス装置Ｂ1 は、外径が３００mmのウエハＷ1(図３参照）を処理するための装置であり、ウエハプロセス装置Ｂ2 は、外径が２００mmのウエハＷ2(図４参照）を処理するための装置である。以降、外径が３００mmのウエハＷ1 が収納されるウエハキャリアを、「第１ウエハキャリアＣ1 」と記載し、外径が２００mmのウエハＷ2 が収納されるウエハキャリアを、「第２ウエハキャリアＣ2 」と記載する。当然のことながら、第１ウエハキャリアＣ1 の方が大きい。そして、各ウエハプロセス装置Ｂ1,Ｂ2 におけるロードポート装置Ａの装着面Ｆの構成は同一である。
【００１６】
ロードポート装置Ａを構成する装置本体１は所定厚さの板状であり、その上部には、ウエハＷを移載するためのウエハ移載窓３が開口されている。また、装置本体１の周縁部には、所定間隔をおいて６本のボルト孔４が設けられていると共に、その上端部における幅方向のほぼ中央部には、ピン孔５が設けられている。このロードポート装置Ａは、６本の取付ボルト６と１本の位置決めピン７とにより、装置本体１がウエハプロセス装置Ｂ1,Ｂ2 の装着面Ｆに位置決め状態で装着される。ここで、各ウエハプロセス装置Ｂ1,Ｂ2 におけるロードポート装置Ａの装着面Ｆには、各ボルト孔４及びピン孔５に対応する雌ねじとピン孔（いずれも図示せず）が設けられている。このため、前記ロードポート装置Ａを、いずれのウエハプロセス装置Ｂ1,Ｂ2 にも装着することができる。
【００１７】
前記ウエハ移載窓３の直下には、テーブル装置Ｔが配設されている。図６に示されるように、テーブル装置Ｔを構成するテーブル本体２における幅方向の中央部は、クランプ装置Ｄ、ベース移動装置Ｅ及びキャリアＩＤ装置（図示せず）を配設させるために二段に亘って切除されていて、手前側（作業者の側）の切欠部２ａは、蓋体８によって閉塞されている。このテーブル本体２の上面には、第１及び第２の各ウエハキャリアＣ1,Ｃ2 のうちのいずれかを設置させるためのキャリアベース９が取付けられている。このキャリアベース９は、いずれかのウエハキャリアＣ1,Ｃ2 を設置した状態で、矢印の方向（ウエハＷ1,Ｗ2 の搬入出方向Ｑ）に沿って進退可能である。即ち、図２及び図６に示されるように、テーブル本体２の上面には、幅方向（搬入出方向Ｑと直交する水平方向）に所定の間隔をおいて２本のガイドベース１１が、搬入出方向Ｑに沿って固着されている。また、キャリアベース９の底面部には、各ガイドベース１１に対応して、２本のスライド体１２が固着されている。各スライド体１２は、対応するガイドベース１１の上面部に形成された凹溝部１１ａに嵌まり込んでいる。このため、前記キャリアベース９は、各スライド体１２が各ガイドベース１１にガイドされてスライドされることにより、搬入出方向Ｑに沿ってスライド可能である。
【００１８】
前記キャリアベース９には、いずれかのウエハキャリアＣ1,Ｃ2 が設置される。最初に、第１ウエハキャリアＣ1 について説明する。図３に示されるように、第１ウエハキャリアＣ1 は、外径が３００mmのウエハＷ1 を多段にして収納するためのものであり、その本体部１３は、正面視において方形状を呈する前面部と、前記ウエハＷ1 の曲率に対応する円弧形状を呈する背面部を有している。ここで、「前面」とは、ウエハプロセス装置Ｂ1,Ｂ2 に相対向する側をいう。この前面部は開口されていて、着脱可能な蓋体（図示せず）によって閉塞される。そして、その周縁部には、ウエハプロセス装置Ｂ1,Ｂ2 に近接配置されるフランジ部１４が取付けられている。また、その底面部には、キャリアベース９に突設された第１位置決め部材Ｐ1(本実施例の場合、後述する３本の位置決めピン１５）に対応する３個の台座部１６が固着されている。この第１ウエハキャリアＣ1 が、３００mm用のロードポート装置Ａのキャリアベース９に設置されるとき、前記キャリアベース９の各位置決めピン１５が、前記各台座部１６に設けられた各位置決めピン溝部１６ａに入り込む。これにより、前記第１ウエハキャリアＣ1 は、前記キャリアベース９に位置決めされて設置される。
【００１９】
前記キャリアベース９の手前側（作業者側）の端部で、幅方向のほぼ中央部と、奥側（ウエハプロセス装置Ｂ1,Ｂ2 の側）で幅方向の両端部には、それぞれ位置決めピン１５が突出されている。各位置決めピン１５は、対応する第１ウエハキャリアＣ1 の各台座部１６に設けられた位置決めピン溝部１６ａに入り込む。各位置決めピン１５の上端部は、対応する位置決めピン溝部１６ａへの入り込みを容易にすべく、鋭端形状を呈している。また、第１ウエハキャリアＣ1 の本体部１３の底面部のほぼ中央部には、キャリアベース９に設置された後、その下方から突出するクランプ体１７（後述）によってクランプされるための被クランプ部１８が固着されている。
【００２０】
次に、第２ウエハキャリアＣ2 について説明する。図４に示されるように、第２ウエハキャリアＣ2 は、外径が２００mmのウエハＷ2 を多段にして収納するためのものである。そして、その本体部１９は、平面視において略台形状であり、前面部と背面部が開口されている。このため、第１ウエハキャリアＣ1 と異なり、蓋体は存しない。その底面部には、幅方向に所定間隔をおいて、一対の底面リブ２０が突設されている。また、その背面部には、前記一対の底面リブ２０に接続する一対の背面リブ２１が突設されている。一対の底面リブ２０と一対の背面リブとの接続部分には、それぞれ直角のコーナー部２１ａが形成されている。更に、一対の底面リブ２０どうしの間には、幅方向（左右方向）に沿って位置決めバー２２が突設されている。この位置決めバー２２の横断面形状は、略半円である。
【００２１】
第２ウエハキャリアＣ2 は、第１ウエハキャリアＣ1 と同様に、第２位置決め部材Ｐ2 により、キャリアベース９に位置決めされて設置される。第２位置決め部材Ｐ2 について説明する。キャリアベース９の手前側で、前述した手前側の位置決めピン１５よりも少しウエハプロセス装置Ｂ1,Ｂ2 側に寄った位置には、一対のコーナー部位置決め板２３が、幅方向に所定の間隔（一対の底面リブ２０に対応する間隔）をおいて固着されている。各コーナー部位置決め板２３は、平面視において略Ｌ字状であり、それらの内側部２３ａを相対向させて固着されている。また、奥側の一対の位置決めピン１５どうしの間には、平面視において略方形状の溝形成板２４がそれぞれ相対向して固着されている。各溝形成板２４どうしの間には、第２ウエハキャリアＣ2 の位置決めバー２２を入り込ませるための溝部２５が形成されている。このように、本実施例のロードポート装置Ａのキャリアベース９には、第１ウエハキャリアＣ1 を位置決めして設置するための３本の位置決めピン１５と、第２ウエハキャリアＣ2 を位置決めして設置するための各コーナー部位置決め板２３と、各溝形成板２４とは、それぞれ干渉することなく取付けられている。
【００２２】
前記第２ウエハキャリアＣ2 がキャリアベース９に設置されるとき、該第２ウエハキャリアＣ2 に設けられた一対のコーナー部２１ａが、対応する各コーナー部位置決め板２３の内側部２３ａにほぼ当接する。同時に、第２ウエハキャリアＣ2 の位置決めバー２２が、各溝形成板２４どうしの間に形成された溝部２５に入り込む。これにより、前記第２ウエハキャリアＣ2 は、前後方向及び左右方向に位置決めされた状態でキャリアベース９に設置される。
【００２３】
図５に示されるように、第１ウエハキャリアＣ1 がキャリアベース９に設置されたとき、各台座部１６の底面部は、第２ウエハキャリアＣ2 を位置決めするための第２位置決め部材Ｐ2(各コーナー部位置決め板２３、各溝形成板２４）の上面よりも僅かに上方に配置される。また、第２ウエハキャリアＣ2 を位置決めするための第２位置決め部材Ｐ2 は、第１ウエハキャリアＣ1 を位置決めするための第１位置決め部材Ｐ1(各位置決めピン１５）の取付位置よりも内方に固着されている。このため、キャリアベース９における第２ウエハキャリアＣ2 の設置領域は、前記第１位置決め部材Ｐ1 の内方（即ち、第１位置決め部材Ｐ1 と干渉しない位置）に存している。これにより、キャリアベース９に一方のウエハキャリアＣ1,Ｃ2 を設置したとき、他方の位置決め部材Ｐ1,Ｐ2 と干渉することはない。上記した結果、キャリアベース９における第１及び第２の各ウエハキャリアＣ1,Ｃ2 の設置領域が重複していても、該キャリアベース９に、第１及び第２の各ウエハキャリアＣ1,Ｃ2 のいずれをも設置することができる。
【００２４】
次に、クランプ装置Ｄについて説明する。図５に示されるように、前記キャリアベース９の下方には、クランプ装置Ｄが配設されている。そして、キャリアベース９における各溝形成板２４どうしの間には、クランプ体１７を通すためのクランプ体通し孔９ａが開口されている（図３参照）。このクランプ装置Ｄは、該クランプ装置Ｄを構成するクランプ体１７で、キャリアベース９に設置された第１ウエハキャリアＣ1 の被クランプ部１８をクランプするためのものである。これにより、ロードポート装置Ａの作動中に、作業者が誤って第１ウエハキャリアＣ1 を取り外そうとすることが防止される。なお、第２ウエハキャリアＣ2 の場合、該第２ウエハキャリアＣ2 は後述するキャリアカバー２６で覆われることによって取り外すことが防止されているため、クランプ装置Ｄは作動しない。
【００２５】
図５及び図６に示されるように、クランプ装置Ｄを構成するクランプ体１７は、側面視において略Ｆ字状であり、高さ方向のほぼ中間部に設けられた回動支持部１７ａが、キャリアベース９の底面部に取付けられたブラケット２７に回動可能に支承されている。また、前記クランプ体１７の下端部は、リンク板２８を介して、クランプシリンダ２９のシリンダロッド２９ａに連結されている。このクランプシリンダ２９は、キャリアベース９の底面部に取付けられたシリンダブラケット３１により、水平に支持されている。前記クランプシリンダ２９のシリンダロッド２９ａが前進（突出）した状態で、前記クランプ体１７は、その回動支点１７ｂを中心に時計回りの方向に回動され、その上端部がキャリアベース９の上面から突出し、第１ウエハキャリアＣ1 の底面部に取付けられた被クランプ部１８の突起部１８ａを係止する。これにより、第１ウエハキャリアＣ1 は、キャリアベース９から取り外し不能となる。また、前記クランプシリンダ２９のシリンダロッド２９ａが後退した（引っ込んだ）状態で、前記クランプ体１７は、その回動支点１７ｂを中心に反時計回りの方向に回動され、その上端部がキャリアベース９のクランプ体通し孔９ａの部分に退避される。そして、前記クランプ体１７と被クランプ部１８の突起部１８ａとの係止が解除される。このとき、リンク板２８は、側面視において斜めに配置される。これにより、第１ウエハキャリアＣ1 は、キャリアベース９から取り外し可能となる。
【００２６】
前記キャリアベース９に設置され、クランプ装置Ｄによって固定された第１ウエハキャリアＣ1 は、ベース移動装置Ｅの作用により、ウエハＷ1 の搬入出方向Ｑに沿って進退される。ベース移動装置Ｅについて説明する。図６及び図７に示されるように、テーブル本体２の底面部には、シリンダブラケット３２が取付けられていて、該シリンダブラケット３２に、エアシリンダ（ベース移動シリンダ３３）が水平に取付けられている。このベース移動シリンダ３３のシリンダロッド３３ａには、アダプタ３４を介して手挟み検出用のドグ３５が取付けられていると共に、前記ドグ３５から、シリンダロッド３３ａと軸心同一にして、二段に細くなった段付ロッド３６が延設されている。この段付ロッド３６における第１段付部３６ａは、キャリアベース９の底面部に取付けられた連結ブロック３７の挿通孔３７ａに挿通されている。同じく、第２段付部３６ｂの部分には、コマ体３８が挿通されていると共に、その先端部に座金３９が取付けられている。前記段付ロッド３６における第１及び第２の各段付部３６a,３６b の部分には、２本の圧縮ばね４１が、コマ体３８を介して直列に弾装されている。各圧縮ばね４１の弾性復元力により、連結ブロック３７は常に、段付ロッド３６の基端部３６ｃに押圧されている。前記連結ブロック３７の側面部には、センサブラケット４２が取付けられていて、該センサブラケット４２にリミットスイッチ４３が取付けられている。このリミットスイッチ４３の検出ローラ４３ａはドグ３５に当接していて、常に検出状態を呈している。
【００２７】
前記ベース移動シリンダ３３のシリンダロッド３３ａを後退させると、段付ロッド３６も後退する。すると、各圧縮ばね４１が圧縮され、そのときの弾性復元力により連結ブロック３７が押されて、前記シリンダロッド３３ａと同じ方向に移動する。この結果、キャリアベース９に設置された第１ウエハキャリアＣ1 は搬入出方向Ｑに沿って移動し、第１ウエハキャリアＣ1 はウエハ搬入出位置（ウエハＷ1 の搬入出が行われる位置）に配置される。このとき、リミットスイッチ４３の検出ローラ４３ａは、ドグ３５に当接したままであり、その検出状態を維持したまま移動される。その状態を、図６及び図７において一点鎖線で示す。
【００２８】
前記第１ウエハキャリアＣ1 がウエハ搬入出位置に配置された状態で、ベース移動シリンダ３３のシリンダロッド３３ａを前進させると、段付ロッド３６も前進する。すると、連結ブロック３７は、段付ロッド３６の基端部３６ｃに押されて前進される。この結果、キャリアベース９に設置された第１ウエハキャリアＣ1 は搬入出方向Ｑに沿って移動し、該第１ウエハキャリアＣ1 はキャリア設置位置（第１ウエハキャリアＣ1 の着脱が行われる位置）に配置される。このときにも、リミットスイッチ４３の検出ローラ４３ａは、ドグ３５に当接したままであり、その検出状態を維持したまま移動される。
【００２９】
図８に示されるように、もし、第１ウエハキャリアＣ1 の使用時に、誤って作業者の手が、ロードポート装置Ａの装置本体１と第１ウエハキャリアＣ1 のフランジ部１４との間に挟まれたり、両者の間に異物が存したりすると、シリンダロッド３３ａが後退しても、段付ロッド３６の基端部３６ｃと連結ブロック３７との間に、所定長さＬの隙間が生じる。これにより、第１ウエハキャリアＣ1 が、ウエハ搬入出位置に配置されないおそれがある。しかし、本実施例のベース移動装置Ｅでは、段付ロッド３６の基端部３６ｃと連結ブロック３７との間に隙間が生じると、リミットスイッチ４３の検出ローラ４３ａがドグ３５から離れるように構成されている。この信号が制御装置に送られると、ベース移動シリンダ３３の作動が停止される。この結果、第１ウエハキャリアＣ1 がウエハ搬入出位置に配置されないまま、ウエハＷ1 の搬入出が行われるという不具合を防止できる。上記した作用は、第２ウエハキャリアＣ2 の場合にも同様に行われる。
【００３０】
次に、キャリアカバー２６について説明する。図１及び図２に示されるように、本実施例のロードポート装置Ａには、第２ウエハキャリアＣ2 を覆うためのキャリアカバー２６が取付けられている。このキャリアカバー２６の内幅は、テーブル本体２の外幅よりも少し広く、その高さは、第２ウエハキャリアＣ2 の高さよりも少し高い。そして、その開口面の側から奥側に向かって、緩やかにわん曲されている。このキャリアカバー２６の両側壁部２６ａには、略三角形状の連結板４４の一端部が回動可能にして取付けられている。また、前記連結板４４の他端部は、キャリアカバー２６に取付けられている。これにより、前記キャリアカバー２６は、各連結板４４の回動支点４４ａを中心に回動可能である。使用時におけるキャリアカバー２６の前端部には、略Ｌ字状のブラケット４５が固着されていて、その上端部に、マグネット４６が取付けられている。このマグネット４６は、前記キャリアカバー２６の回動時に、ロードポート装置Ａの装置本体１に取付けられたマグネット吸着板４７に吸着される。これにより、振動等でキャリアカバー２６が外れることが防止される。なお、図１において、４８は、キャリアカバー２６を回動させるための把手である。
【００３１】
前述したように、このキャリアカバー２６は、第２ウエハキャリアＣ2 の全体を覆うためのものである。これにより、ロードポート装置Ａの作動中、作業者が誤って第２ウエハキャリアＣ2 を取り外してしまうという不具合を防止できる。ロードポート装置Ａが作動していないとき、及び、キャリアベース９に第１ウエハキャリアＣ1 が設置されているときには、前記キャリアカバー２６は使用されず、テーブル装置Ｔの下方に配置されているため、各ウエハキャリアＣ1,Ｃ2 の設置作業の支障となることはない。
【００３２】
本実施例のロードポート装置Ａの作用について、第１ウエハキャリアＣ1 を使用する場合を説明する。キャリアベース９に第１ウエハキャリアＣ1 を設置させるとき、ベース移動シリンダ３３のシリンダロッド３３ａは前進されていて、前記キャリアベース９は、装置本体１から離れたキャリア設置位置に配置されている。このため、第１ウエハキャリアＣ1 と装置本体１が干渉することはない。キャリアベース９の各位置決めピン１５が、第１ウエハキャリアＣ1 の本体部１３の底面部に取付けられた各台座部１６の位置決めピン溝部１６ａに入り込む。このとき、第２ウエハキャリアＣ2 を位置決めするための第２位置決め部材Ｐ2(各コーナー部位置決め板２３及び各溝形成板２４）は、各位置決めピン１５が挿入された状態の第１ウエハキャリアＣ1 の底面部よりも下方に配置されているため、両者が干渉することはない。これにより、前記第１ウエハキャリアＣ1 が、キャリアベース９に対して位置決めされて設置される。そして、クランプシリンダ２９が作動され、クランプ体１７が被クランプ部１８の突起部１８ａに係止される。この結果、前記第１ウエハキャリアＣ1 は、キャリアベース９から取り外し不能となり、ロードポート装置Ａの作動中、作業者が誤って取り外すことが防止される。
【００３３】
そして、ベース移動シリンダ３３のシリンダロッド３３ａが後退される。第１ウエハキャリアＣ1 がウエハ搬入出位置に配置され、そのフランジ部１４が、装置本体１のウエハ移載窓３の周囲に近接配置される。この状態で、第１ウエハキャリアＣ1 の蓋体（図示せず）が取り外され、ウエハプロセス装置Ｂ1 に内装されているロボット（図示せず）により、前記第１ウエハキャリアＣ1 に収納されているウエハＷ1 が取り出される。ウエハプロセス装置Ｂ1 により、所定の処理が施されたウエハＷ1 は、前記ロボットにより、再び第１ウエハキャリアＣ1 に収納される。各ウエハＷ1 に対して上記と同一の作用が行われると、蓋体が取付けられ、ベース移動シリンダ３３のシリンダロッド３３ａが前進される。これにより、第１ウエハキャリアＣ1 は、キャリア設置位置に配置される。第１ウエハキャリアＣ1 が交換され、新たな各ウエハＷ1 に対して上記と同一の作用が行われる。
【００３４】
次に、第２ウエハキャリアＣ2 を使用する場合の作用を説明する。この場合、クランプ装置Ｄのクランプ体１７は、キャリアベース９におけるクランプ体通し孔９ａの部分に退避されている。第１ウエハキャリアＣ1 の場合と同様に、ウエハ設置位置に配置されたキャリアベース９に、第２ウエハキャリアＣ2 が設置される。このとき、第２ウエハキャリアＣ2 の各コーナー部２１ａが、対応するコーナー部位置決め板２３の内側部２３ａに当接されると共に、本体部１９の底面部から突出された位置決めバー２２が、溝形成板２４の溝部２５に入り込む。このとき、第２ウエハキャリアＣ2 を位置決めするための第２位置決め部材（各コーナー部位置決め板２３、及び各溝形成板２４）は、第１ウエハキャリアＣ1 を位置決めするための第１位置決め部材Ｐ1(各位置決めピン１５）の内側に固着されているため、第２ウエハキャリアＣ2 と第１位置決め部材Ｐ1 とが干渉することはない。これにより、前記第２ウエハキャリアＣ2 が、キャリアベース９に対して位置決めされて設置される。そして、キャリアカバー２６が上方に回動され、第２ウエハキャリアＣ2 の全体が覆われる。この結果、ロードポート装置Ａの作動中、作業者が誤って取り外すことが防止される。
【００３５】
そして、ベース移動シリンダ３３のシリンダロッド３３ａが後退され、第２ウエハキャリアＣ2 は、ウエハ搬入出位置に配置される。これ以降の作用は、第１ウエハキャリアＣ1 の場合と同様である。
【００３６】
上記したように、本実施例のロードポート装置Ａは、キャリアベース９にいずれのウエハキャリアＣ1,Ｃ2 をも設置することもできる。このため、装着面Ｆが同一である２種類のウエハプロセス装置Ｂ1,Ｂ2 に対するロードポート装置Ａが１種類で済むと共に、ロードポート装置Ａが故障等したときに、他のウエハプロセス装置Ｂ1,Ｂ2 に装着されていたロードポート装置Ａを取り外して使用することもできる。この結果、ウエハＷ1,Ｗ2 の処理を効率化することができる。
【００３７】
本実施例のロードポート装置Ａに取付けられたキャリアカバー２６は、各連結板４４を介してテーブル本体２に取付けられていて、しかも、前記連結板４４の回動支点４４ａを中心に回動させることにより、第２ウエハキャリアＣ2 を覆う形態である。このため、前記第２ウエハキャリアＣ2 を覆う操作が容易であると共に、第１ウエハキャリアＣ1 を使用するときに、いちいち取り付けたり、取り外したりする必要もない。しかし、前記キャリアカバー２６が別体のものであって、ロードポート装置Ａに着脱可能に取付けられる形態であっても構わない。
【００３８】
本明細書では、３００mm用の第１ウエハキャリアＣ1 と２００mm用の第２ウエハキャリアＣ2 のいずれもが設置できるロードポート装置Ａを説明した。しかし、これ以外の大きさ（例えば、外径が１５０mm）のウエハが収納されるウエハキャリアを設置できる構成であっても構わない。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明に係るロードポート装置Ａの斜視図である。
【図２】同じく側面図である。
【図３】キャリアベース９に、第１ウエハキャリアＣ1 を設置する状態の斜視図である。
【図４】同じく、第２ウエハキャリアＣ2 を設置する状態の斜視図である。
【図５】クランプ装置Ｄの側面図である。
【図６】クランプ装置Ｄとベース移動装置Ｅの平面図である。
【図７】ベース移動装置Ｅの側面図である。
【図８】同じく作用説明図である。
【符号の説明】
【００４０】
Ａ：ロードポート装置
Ｂ1,Ｂ2 ：ウエハプロセス装置（半導体製造装置）
Ｃ1,Ｃ2 ：ウエハキャリア
Ｄ：クランプ装置
Ｆ：装着面
Ｐ1,Ｐ2 ：位置決め部材
Ｑ：搬入出方向
Ｗ1,Ｗ2 ：ウエハ
１：装置本体
９：キャリアベース（キャリアテーブル）
１５：位置決めピン（第１位置決め部材）
２３：コーナー部位置決め板（第２位置決め部材）
２４：溝形成板（第２位置決め部材）
２６：キャリアカバー（カバー部材）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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