(57)【要約】【課題】低コストで製造され簡単化された拡張可能なモジュール構成を可能にする。【解決手段】ＡＰＳ技術の２次元配置の放射線センサと同期信号用の入力を有する評価電子回路とを備え、放射線センサと評価電子回路とが１つの基板（１５）上に配置されているか又は１つの基板（１５）内に組み込まれている、同期化された放射線検出のための放射線検出器において、評価電子回路は、放射線センサ（１）のアナログ信号をディジタル信号に変換するための複数の自走式電流−周波数変換器（４）を含み、同期信号によって予め与えられた放射線検出の設定時間と自走式電流−周波数変換器（４）の変換事象との時間的ずれに起因するディジタル信号の誤差を修正するための修正ユニット（１２）が設けられている【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＡＰＳ技術の２次元配置の放射線センサ（１）と同期信号用の入力を有する評価電子回路とを備え、放射線センサ（１）と評価電子回路とが１つの基板（１５）上に配置されているか又は１つの基板（１５）内に組み込まれている、同期化された放射線検出のための放射線検出器において、
評価電子回路は、放射線センサ（１）のアナログ信号をディジタル信号に変換するための複数の自走式電流−周波数変換器（４）を含み、同期信号によって予め与えられた放射線検出の設定時間と自走式電流−周波数変換器（４）の変換事象との時間的ずれに起因するディジタル信号の誤差を修正するための修正ユニット（１２）が設けられていることを特徴とする放射線検出器。
【請求項２】
各放射線センサ（１）において別々の電流−周波数変換器（４）が基板（１５）上に配置されているか又は基板（１５）内に組み込まれ、放射線センサ（１）に接続されていることを特徴とする請求項１記載の放射線検出器。
【請求項３】
修正ユニット（１２）は、各電流−周波数変換器（４）のディジタル信号が次式に基づいて計算される再帰的修正アルゴリズムを使用することを特徴とする請求項１又は２記載の放射線検出器。
Ｓi＝（Δｎτ−Ｓi-1Δｔi-1）／（τ−Δｔi）
（但し、τは設定時間、Ｓiは現在のディジタル信号、Ｓi-1は直前に先行するディジタル信号、Δｎは現在の信号と直前に先行する信号との間の電流−周波数変換器（４）の計数内容の差、Δｔi-1は設定時間の始端と直前に先行する変換事象の始端との間の時間差、Δｔiは設定時間の終端と直後に続く変換事象の始端との間の時間差である。）
【請求項４】
放射線センサは光センサ（１）を含むことを特徴とする請求項１乃至３の１つに記載の放射線検出器。
【請求項５】
光センサ（１）上に、入射するＸ線を光線に変換するためのシンチレータ（１４）が配置されていることを特徴とする請求項４記載の放射線検出器。
【請求項６】
シンチレータ（１４）は光センサ（１）の感光面間の部分範囲（３）を覆っていないことを特徴とする請求項５記載の放射線検出器。
【請求項７】
シンチレータ（１４）によって覆われていない部分範囲（３）ではディジタル回路部と評価電子回路の配線とが配置され、シンチレータ（１４）によって覆われている部分範囲（２）では評価電子回路のアナログ回路部が配置されていることを特徴とする請求項６記載の放射線検出器。
【請求項８】
修正ユニット（１２）は基板（１５）上に配置されているか又は基板（１５）内に組み込まれていることを特徴とする請求項１乃至７の１つに記載の放射線検出器。
【請求項９】
放射線センサ（１）は、個数ｍ×ｎ（ｍ＞１０およびｎ＞１０）のピクセルからなるピクセルアレイを形成することを特徴とする請求項１乃至８の１つに記載の放射線検出器。
【請求項１０】
ＡＰＳ技術の２次元配置の放射線センサ（１）を備え、放射線センサ（１）のアナログ信号がディジタル信号に変換される放射線の同期検出方法において、
変換のために電流−周波数変換器（４）が使用されて自走動作をさせられ、同期信号によって予め与えられた放射線検出の設定時間と自走式電流−周波数変換器（４）の変換事象との時間的ずれに起因するディジタル信号の誤差が計算により修正されることを特徴とする放射線の同期検出方法。
【請求項１１】
各放射線センサ（１）には別々の電流−周波数変換器（４）が付設されていることを特徴とする請求項１０記載の方法。
【請求項１２】
誤差が次の再帰的修正アルゴリズムにより修正されることことを特徴とする請求項１０又は１１記載の方法。
Ｓi＝（Δｎτ−Ｓi-1Δｔi-1）／（τ−Δｔi）
（但し、τは設定時間、Ｓiは現在のディジタル信号、Ｓi-1は直前に先行するディジタル信号、Δｎは現在の信号と直前に先行する信号との間の電流−周波数変換器（４）の計数内容の差、Δｔi-1は設定時間の始端と直前に先行する変換事象の始端との間の時間差、Δｔiは設定時間の終端と直後に続く変換事象の始端との間の時間差である。）
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＡＰＳ技術の２次元配置の放射線センサと同期信号用の入力を有する評価電子回路とを備え、放射線センサと評価電子回路とが１つの基板上に配置されているか又は１つの基板内に組み込まれている、同期化された放射線検出のための放射線検出器に関する。
【０００２】
更に、本発明は、ＡＰＳ技術の２次元配置の放射線センサを備え、放射線センサのアナログ信号がディジタル信号に変換される放射線、特にＸ線の同期検出方法に関する。
【背景技術】
【０００３】
冒頭に述べた種類の放射線検出器および方法は多くの技術分野において例えば光線またはＸ線の放射線検出のために使用される。放射線検出器の重要な適用分野は、Ｘ線技術、例えば医療Ｘ線技術分野、材料検査または安全技術に関係する。これらの分野では、以下にＸ線コンピュータ断層撮影（Ｘ線ＣＴ）に基づいて詳細に説明されているように、検出器の測定チャネル数の増大とともに増大する問題が生じる。
【０００４】
Ｘ線ＣＴシステムにおけるＸ線検出器は、近年において、激しい測定チャネル数の増大の影響下にある。数年前には、約７００の測定チャネルを有する１行の放射線検出器、すなわち配線および読取電子回路を備え１行に配置された７００個の検出器要素が使用されていたのに対して、今日では、相応の多数測定チャネルを有する１６行Ｘ線ＣＴシステムが既に臨床使用されている。この展開はこれからも続くであろう。典型的なＸ線検出器は光センサの２次元アレイからなる。光センサは入射するＸ線を光線に変換するためのシンチレータによって覆われ、分離配置されている評価電子回路に接続されている。測定チャネル数の更なる増大によって、光センサと電子回路との間におけるこれまで必要な接続の個数が多くなり、古典的な構成技術はそれの限界にぶつかっている。更に、電子回路の高集積によって測定チャネルあたりに発生するコストは、電子回路の一定の全コストを維持するに必要であろう程度に低減することは容易ではない。
【０００５】
ＡＰＳ技術の２次元配置の光センサを使用するＸ線検出器は公知である（例えば特許文献１および特許文献２参照）。このＡＰＳアレイはＣＭＯＳ技術で製造可能であり、光センサの低コストの高集積を可能にし、評価電子回路も光センサと一緒に基板内に組み込むことができる。
【０００６】
評価電子回路と一緒に基板内に組み込まれているＡＰＳ技術の２次元配置の光センサを備えたＸ線検出器は公知である（特許文献３参照）。この評価電子回路は、一つの構成例において、光センサのアナログ信号をディジタル信号に変換するアナログ−ディジタル変換器も含んでいるので、このＸ線検出器からは直接にディジタル信号が供給される。
【０００７】
Ｘ線ＣＴ装置において必要なＸ線検出器の同期化のために、一般にはＸ線検出器に同期入力が与えられる。同期信号の到来は先行する測定インターバルの終了とこれに続く測定インターバルの開始を示す。２つの相前後する同期信号の間の光センサ信号の平均強度は、次に読取られるディジタル信号のための尺度を表す。特許文献３は、実施形態において、外部同期なしに固定のクロック周波数で光センサを読取る技術を開示している。クロック周波数で予め与えられたそれぞれ２つの相前後する時間窓の値を比較することによって、Ｘ線の到来を識別することができ、これらの時間窓において検出された値の継続処理によって大きさを決定することができる。クロック周波数は、Ｘ線パルスの持続期間が２つの時間窓の持続期間よりも短くなるように選ばれる。
【０００８】
ＡＰＳアレイを有する放射線検出器の実現およびそれにつながる利点にもかかわらず、依然として費用効率よく製造できる、同期化された放射線検出のための放射線検出器、特にＸ線検出器への要望が存在する。検出器において必要な接続の個数の低減も達成しようと努められている。
【０００９】
【特許文献１】米国特許第５９４２７７５号明細書
【特許文献２】米国特許第５８８７０４９号明細書
【特許文献３】国際特許出願公開第９８／５６２１４号パンフレット
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
従って、本発明の課題は、検出器の低コストの製造および検出器において必要な接続の低減を可能にする放射線、特にＸ線の同期検出のための放射線検出器および方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
放射線検出器に関する課題は、本発明によれば、冒頭で述べた放射線検出器において、評価電子回路は、放射線センサのアナログ信号をディジタル信号に変換するための複数の自走式電流−周波数変換器を含み、同期信号によって予め与えられた放射線検出の設定時間と自走式電流−周波数変換器の変換事象との時間的ずれに起因するディジタル信号の誤差を修正するための修正ユニットが設けられていることによって解決される。
【００１２】
放射線検出器に関する実施態様は次のように列記される。
（１）各放射線センサにおいて別々の電流−周波数変換器が基板上に配置されているか又は基板内に組み込まれ、放射線センサに接続されている。
（２）修正ユニットは、各電流−周波数変換器のディジタル信号が次式に基づいて計算される再帰的修正アルゴリズムを使用する。
Ｓi＝（Δｎτ−Ｓi-1Δｔi-1）／（τ−Δｔi）
（但し、τは設定時間、Ｓiは現在のディジタル信号、Ｓi-1は直前に先行するディジタル信号、Δｎは現在の信号と直前に先行する信号との間の電流−周波数変換器の計数内容の差、Δｔi-1は設定時間の始端と直前に先行する変換事象の始端との間の時間差、Δｔiは設定時間の終端と直後に続く変換事象の始端との間の時間差である。）
（３）放射線センサは光センサを含む。光センサ上に、入射するＸ線を光線に変換するためのシンチレータが配置されている。シンチレータは光センサの感光面間の部分範囲を覆っていない。シンチレータによって覆われていない部分範囲ではディジタル回路部と評価電子回路の配線とが配置され、シンチレータによって覆われている部分範囲では評価電子回路のアナログ回路部が配置されている。
（４）修正ユニットは基板上に配置されているか又は基板内に組み込まれている。
（５）放射線センサは、個数ｍ×ｎ（ｍ＞１０およびｎ＞１０）のピクセルからなるピクセルアレイを形成する。
【００１３】
放射線の同期検出方法に関する課題は、本発明によれば、冒頭で述べた放射線の同期検出方法において、変換のために電流−周波数変換器使用されて自走動作をさせられ、同期信号によって予め与えられた放射線検出の設定時間と自走式電流−周波数変換器の変換事象との時間的ずれに起因するディジタル信号の誤差が計算により修正されることによって解決される。
【００１４】
放射線の同期検出方法に関する実施態様は次のように列記される。
（１）各放射線センサには別々の電流−周波数変換器が付設されている。
（２）誤差が次の再帰的修正アルゴリズムにより修正される。
Ｓi＝（Δｎτ−Ｓi-1Δｔi-1）／（τ−Δｔi）
（但し、τは設定時間、Ｓiは現在のディジタル信号、Ｓi-1は直前に先行するディジタル信号、Δｎは現在の信号と直前に先行する信号との間の電流−周波数変換器の計数内容の差、Δｔi-1は設定時間の始端と直前に先行する変換事象の始端との間の時間差、Δｔiは設定時間の終端と直後に続く変換事象の始端との間の時間差である。）
【００１５】
本発明による同期化された放射線検出のための放射線検出器は、ＡＰＳ技術の２次元配置の放射線センサと同期信号用の入力を有する評価電子回路とを備え、放射線センサと評価電子回路とが基板上に配置されているか又は基板内に組み込まれている。評価電子回路は放射線センサのアナログ信号をディジタル信号に変換するための複数のアナログ−ディジタル変換器を含む。本発明による放射線検出器では、これらのアナログ−ディジタル変換器は自走式の、従ってトリガなしの電流−周波数変換器として構成され、これらの電流−周波数変換器は動作中常に光センサから供給された電流を変換する。これらの電流−周波数変換器の自走動作に基づいて、同期信号によって予め与えられた放射線検出の設定時間と自走式電流−周波数変換器の変換事象との時間的ずれが発生し、この時間的ずれがディジタル信号の誤差または不正確さを生じる。これらの誤差を修正するために、本発明による放射線検出器では付加的な修正ユニットが設けられ、この修正ユニットが電流−周波数変換器から個々の変換事象用として供給された時間情報に基づいて誤差を修正する。
【００１６】
個々の各放射線センサにおいて、すなわち各放射線センサの空間的に直ぐ近くにおいて、別々の電流−周波数変換器が基板上に配置されるか又は基板内に組み込まれ、信号変換のために放射線センサに接続されている。ディジタル信号は、１つ又は複数のマルチプレクサを介して少ない伝送線でシリアルに伝送することができる。
【００１７】
本発明による放射線検出器において使用されるような電流−周波数変換器では、変換すべき電流もしくは変換すべき電圧が矩形パルス列に変換される。このために、積分器の出力電圧が比較電圧の高さに到達するまでの間、入力電流が積分される。定められた電荷量が取出されて矩形パルスが発生される。この変換事象後に新たな変換過程が始まる。従って、発生されたパルス列の２つの相前後するパルスの時間間隔が、これらの両パルス間の平均入力電流の尺度である。
【００１８】
従って、本発明による放射線検出器では、複数のアナログ−ディジタル変換器が光センサと一緒に基板上に配置されているか又は基板内に組み込まれているので、光センサとアナログ−ディジタル変換器との間の信号経路は最小限にすることができる。有利な実施態様において、各検出器要素は、アナログ−ディジタル変換器並びに必要な配線を備えた光センサと場合によっては評価電子回路の他の回路部とによって構成される。検出器全体は、従来技術のＡＰＳアレイによって知られているように、ＣＭＯＳ技術で製造することができる。
【００１９】
本発明による放射線検出器の場合の主要な利点は、同期化を適用した従来技術ではシステムの制約から使用されていない自走式電流−周波数変換器の使用によってもたらされる。しかしながら、同期化の問題点は、本発明による放射線検出器の場合、同期信号によって予め与えられた放射線検出の設定時間と自走式電流−周波数変換器の変換事象との時間的ずれに起因する不正確さを計算により修正する修正ユニットの使用によって克服される。このようにして、同期化された放射線検出の精度は、通常のように使用されたトリガ式アナログ−ディジタル変換器の場合と同様に達成される。しかしながら、修正ユニットを備えた自走式電流−周波数変換器は付加的に著しい利点を有する。このような自走式電流−周波数変換器の使用は、放射線検出器の電子回路の製造プロセスに対する精度要求を少なくする。なぜならば、電流−周波数変換器が変換原理に基づいて、一方では僅かな回路部分しか必要とせず、他方では例えば変換器構成要素の高精度の製造を必要としないからである。更に、本発明による放射線検出器の場合、自走式変換器の原理に基づいて充電時間制限すなわち積分時間制限や、不感時間が生じないので、最適な量子利用が達成される。この変換原理の伝達特性曲線は、定量化階段が小さい入力信号に対しては小さく、大きな入力信号に対しては大きいという等間隔でない定量化を与える。この挙動は放射線検出器に対しての要求を多いに満たす。
【００２０】
１つの構成部分において放射線センサ、電子回路および修正ユニットの可能な結合によって、高い費用効率が達成される。なぜならば、各検出器要素に必要な面積が垂直方向の集積化によって、例えば基板としてシリコンウェーハの使用のもとに最適に利用することができるからである。個々の各検出器要素並びに検出器要素の各グループのディジタル出力と、それによって可能な多重化とによって、必要な出力導線の明白な低減が達成されるので、この種の放射線検出器の２次元でのモジュール構成およびそれの拡大縮小も明らかに容易になる。
【００２１】
一構成例では、本発明による放射線検出器は、例えばＸ線ＣＴ装置用のＸ線検出器として構成されている。この場合、放射線センサは光センサであり、光センサ上に、入射するＸ線を光線に変換するためのシンチレータが配置されている。とりわけ、シンチレータは、光センサの感光面のみならず、感光面間の他の部分範囲をも、一方では覆われている部分範囲が存在し、他方では覆われていない部分範囲が存在するように覆うと好ましい。この場合、個々の検出器要素は、シンチレータによって覆われていない部分範囲では主としてディジタル回路部と評価電子回路の配線とが配置され、シンチレータによって覆われている部分範囲では主として評価電子回路のアナログの回路部が配置されているように構成されている。シンチレータによって覆われていない部分範囲は、公知のように、個々の検出器要素間の光絶縁に役立ち、もちろん、例えばコリメータを形成することができる隔壁もこの部分範囲に配置することができる。シンチレータによって覆われている部分範囲ではＸ線に対して感応するアナログ回路部が配置される。なぜならば、シンチレータはＸ線の僅かな部分しか透過させないからである。放射線検出器のこのような構成によって、Ｘ線ＣＴにおけるマルチチャネルシステムに好適であり、材料検査および安全技術のような他のＸ線吸収法の分野におけるマルチチャネルシステムにも好適である放射線検出器が実現される。もちろん、同じことが放射線の同期検出方法にも当てはまる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下において、図面を参照しながら実施例に基づいて本発明による放射線検出器およびこれが動作する方法を改めて説明する。
図１は本発明による放射線検出器の基本セルの例を示し、
図２は本発明による放射線検出器の評価チャネルの概略図であり、
図３は本発明による放射線検出器の電流−周波数変換を例示するタイムチャートであり、
図４は使用された再帰的修正アルゴリズムのブロック表示である。
【００２３】
図１は、本発明による放射線検出器において検出器要素として使用されるようなＡＰＳ（Ａｃｔｉｖｅ  Ｐｉｘｅｌ  Ｓｅｎｓｏｒ；アクティブピクセルセンサ）測定ピクセルの基本セルの例を側面図（図１Ｂ）および平面図（図１Ａ）で示す。放射線検出器は、ｍ×ｎピクセルを有するピクセルマトリックスを含む（図にはピクセルの一部が破線により示されている。）。これらのピクセルは、基板１５としてのＣＭＯＳシリコンウェーハ上に作られ、ｍ，ｎは特に１０以上であると好ましい。実線で示された図１の基本セルは３つの範囲に分けられている。第１の範囲は、入射する光線を電流に変換する光センサ１の感光面を含む。これらの基本セルのマトリックス上に、Ｘ線を可視光に変換するための構造化されたシンチレータ１４が配置されている。適切なシンチレータ材料は当業者にとってもしくはこの明細書の導入部において引用した特許文献から公知である。光センサ１に付設された個々のシンチレータ１４を形成するシンチレータ材料の構造化により、基板１５として使用されているシリコンウェーハは異なるＸ線負担に曝される。その上にあるシンチレータ材料を有する範囲は残りの面に比べて約１／１５の線量しか受けない。ＣＭＯＳ電子回路は回路目的に応じて異なる放射線感度を有するので、シンチレータ１４は、光センサ１の感光面の横の部分範囲２も覆われるように設計されて配置され、もしくはそのように構造化が行なわれている。この部分範囲２には放射線に感応する回路部が配置される。この放射線に感応する回路部は、とりわけ図２に概略的に表示されている評価回路のアナログ回路部（示された分離線の左側）である。シンチレータによって覆われていない残りの部分範囲３においては、透過性の反射層が１次Ｘ線を弱めるだけである。従って、シンチレータによって覆われていない残りの部分範囲３にはディジタル回路部および配線が配置される。この種の基本セルの寸法全体は一般に（１〜１０）×（１〜１０）ｍｍ2であり、個々の範囲の横方向の広がりはそれぞれ３００μｍ以下にある。
【００２４】
図２は評価チャネルにおける部分範囲２，３に配置された評価電子回路を概略的に示す。書き込まれた分離線は、左側の非同期回路部と右側の修正ユニットを含めた同期回路部との区分を意味する。非同期回路部は全部基板上に配置されているか又は基板内に組み込まれている（例えば基板内に集積化されている）。同期回路部は全部にまたは部分的に基板の外側に設けることもできる。光センサ１によって得られた電流信号は電流−周波数変換器４によってパルス列に変換される。パルス列の周波数は電流信号の大きさに対応する。このような電流−周波数変換器の構成は従来技術から知られている。電流−周波数変換器４は、積分器５、コンパレータ６、パルス整形器７、カウンタ８およびタイムスタンプ発生器９を備えた非同期回路部と、定められたトリガ時点で時間マーキングｔおよびカウンタ内容Ｑを引き受けるＱレジスタ１０およびｔレジスタ１１を備えた同期回路部とから構成されている。非同期回路部は電流制御される自走式発振器の本質である。レジスタ１０，１１内に記憶された両計数値は修正ユニット１２の入力量として用いられる。修正ユニット１２は、本来の同期トリガインターバルに関連した、すなわち修正された平均電流の値を結果１３として供給する。
【００２５】
図３は、本発明による放射線検出器を使用した場合における図２に示された評価チャネルに関する時間的な信号状態を示す。一番上の波形（Ｉin）は、光センサ１から得られた入力信号の経過を例示する。その下には等間隔のトリガ信号が示されている。トリガ信号の下では電流−周波数変換器４の積分器出力信号の経過が示されている。一番下の波形は電流−周波数変換器４のパルス整形器７の出力信号である。関心のある測定量は、τで示されたインターバルの期間中に流れる平均電流である。これは例えばＣＴ回転の撮像すべき角度区間における強度に相当する。電流はＩ＝ΔＱ／Δｔにより生じ、ΔＱ＝Δｎ×ｑである。但し、ｑは積分過程当たりもしくはパルス整形器７の１パルス当たりの電荷量であり、Δｎは２つの相前後するトリガ過程（＝読取過程）のカウンタ内容の差に相当する。
【００２６】
光センサ１から供給された電流信号は積分器５によって積分される。積分器５がコンパレータ６によって予め与えられる閾値に達するや否や、パルス整形器７が１つのパルスを発生する。それによって積分器５から定められた電荷量ｑが取出され、サイクルが新たに始まる。従って、パルスの周波数は入力信号の大きさの尺度である。図３の一番上の波形における中央範囲に、例えば一時的に強くなったＸ線強度に起因する入力信号の高まりが認められる。トリガインターバルつまり同期インターバルτの期間内に到来する入力信号の正確な検出は、図３から明らかのように、電流−周波数変換器４の自走動作のためにできない。個々の変換事象、すなわち個々のパルスを形成するための積分インターバルおよびそれにともなう電荷パケットｑがトリガインターバルに対して非同期で現れるので、図示のとおり、トリガインターバルτの位置に対して相対的にずれた測定インターバルＴが生じる。このずれは、Δｔi-1もしくはΔｔiにより示された誤差を生じ、この誤差はディジタル化された信号の不正確さをもたらす。
【００２７】
電流−周波数変換器４によってディジタル化された信号における図３により説明された誤差は、図２に示されている修正ユニット１２によって計算により修正される。この場合に使用された再帰的修正アルゴリズムは
Ｓi＝（Δｎτ−Ｓi-1Δｔi-1）／（τ−Δｔi）
である。但し、τはトリガインターバル（設定時間）、Ｓiは現在の（修正された）ディジタル信号、Ｓi-1は直前に先行する（修正された）ディジタル信号、Δｎは現在の信号と直前に先行する信号との間における電流−周波数変換器の計数内容の差、Δｔi-1は設定時間の始端と直前に先行する変換事象の始端との間の時間差、Δｔiは設定時間の終端と直後に続く変換事象の始端との間の時間差である。
【００２８】
この修正アルゴリズムにより、図４に改めて概略的に示されているように、現在のＳiが入力量Δｎ，τと先行の結果Ｓi-1とから計算される。修正ユニット自体は選択的に基板上に直接に組み込まれていてもよいし、あるいは後続のユニットに組み込まれていてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１Ａ】本発明による放射線検出器の基本セルの例を示す平面図
【図１Ｂ】本発明による放射線検出器の基本セルの例を示す側面図
【図２】本発明による放射線検出器の評価チャネルの概略を示すブロック図
【図３】本発明による放射線検出器の電流−周波数変換動作の例を示すタイムチャート
【図４】使用された再帰的修正アルゴリズムを示すブロック図
【符号の説明】
【００３０】
１        光センサ
２        シンチレータによって覆われている部分範囲
３        シンチレータによって覆われていない部分範囲
４        電流−周波数変換器
５        積分器
６        コンパレータ
７        パルス整形器
８        カウンタ
９        タイムスタンプ発生器
１０        Ｑレジスタ
１１        ｔレジスタ
１２        修正ユニット
１３        結果
１４        シンチレータ
１５        基板
【図１Ａ】
2005172822.tif 000003
【図１Ｂ】
2005172822.tif 000004
【図２】
2005172822.tif 000005
【図３】
2005172822.tif 000006
【図４】
2005172822.tif 000007