(57)【要約】【課題】テープをローラで送る方法で、テープを弛ませることなくテープの横ズレを修正することを可能とする。【解決手段】テープ搬送方法は、第１ローラと第２ローラと第３ローラとクランパからなり、第１〜第３ローラでテープを送り、第２ローラとクランパをクランプした状態で第１ローラと第３ローラを解放する工程に続き、第１ローラと第３ローラを閉にして第２ローラを解放して横ズレを修正し、その後、横ズレの修正操作で減少したテープの張力をローラの回転により回復させる方法である。樹脂封止方法は、張力をかけながらテープの横ズレを修正する方法でテープを送り、樹脂塗布装置で樹脂を塗布し、樹脂硬化装置で樹脂を硬化させる方法である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１ローラと、第２ローラと、第３ローラによって、テープを上記第１ローラから上記第３ローラへ間欠的に送るテープ搬送方法において、
上記第１ローラと上記第２ローラと上記第３ローラとを順回転させて、上記テープを所定距離送る第１ステップと、
上記第３ローラの下流に設けられたクランパを閉にする第２ステップと、
上記テープの横ズレを修正するために、上記第１ローラと第３ローラを所定時間開いた後に閉じる第３ステップと、
上記クランパを開く第４ステップと、
上記第３ステップで減少した上記テープの張力を回復させるために、上記第１ローラを逆回転させる第５ステップとからなることを特徴とするテープ搬送方法。
【請求項２】
第１ローラと、第２ローラと、第３ローラによって、テープを上記第１ローラから上記第３ローラへ間欠的に送るテープ搬送方法において、
上記第１ローラと上記第２ローラと上記第３ローラとを順回転させて、上記テープを所定距離送る第１ステップと、
上記テープの横ズレを修正するために、上記第１ローラと第３ローラを所定時間開いた後に閉じる第２ステップと、
この第２ステップで減少した上記テープの張力を回復させるために、上記第１ローラを逆回転させ且つ第３ローラを順回転させる第３ステップとからなることを特徴とするテープ搬送方法。
【請求項３】
前記所定時間は、０．０５〜０．４秒であることを特徴する請求項１又は２記載のテープ搬送方法。
【請求項４】
半導体素子が実装されたテープを第１ローラと、第２ローラと、第３ローラによって送る操作と、上記テープに樹脂を塗布する操作と、塗布された樹脂を硬化する操作とからなる樹脂封止方法において、
上記第１ローラと上記第２ローラの間に配設されたディスペンサーで上記テープに樹脂を塗布するステップと、
上記第２ローラと上記第３ローラの間には配設された樹脂硬化炉の炉内で発生するガスを上記テープの入口付近に設けた排気口から排気しながら、塗布した上記樹脂を硬化するステップと、
上記テープの横ズレを上記テープに張力をかけた状態で修正するステップからなることを特徴とする樹脂封止方法。
【請求項５】
前記ディスペンサーが２〜６台であることを特徴とする請求項４記載の樹脂封止方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テープに張力をかけた状態でテープの横ズレを修正してテープを送るテープ搬送方法及びこのテープ搬送方法を用いた樹脂封止方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ローラを用いたテープ送り装置で、テープの横ズレを修正する機構は、特開平５−２４１２４７号公報や特開平１１−１６３０４１号公報に開示されている。
【０００３】
特開平１１−１６３０４１号公報は、複数配設されたローラ間のテープをたるませた状態でローラを瞬間的に開閉させてテープの横ズレを修正するものである。しかし、横ズレを修正するためにテープをたるませると、樹脂封止装置の場合、塗布された樹脂が流れ出す問題が生じる。そして、樹脂加熱の初期段階では、塗布された樹脂が加熱され粘性が低下するので、テープのたるみによる樹脂の流れ出しは更に大きくなる。加えて、テープのたるみによりゲル状態の樹脂に応力が作用すると、樹脂にひび割れが生じたり、半導体素子やテープとの剥離が生じたりする問題が発生する。
【０００４】
他方、テープをたるませないで横ズレを修正する装置が特開平５−２４１２４７号公報に開示されている。この装置は、搬送ユニットと、フィルムの横ズレ検出器と、搬送ユニット駆動機構と、フィルム保持台とからなり、フィルムの横ズレを検出し、フィルムをフィルム保持台で保持したまま、搬送ユニットを基準位置に戻す装置である。このようなことから、この装置は、樹脂塗布装置には使用できるが、テープの横ズレが発生し易い樹脂硬化装置には、この装置を設置する空間がなく、樹脂硬化装置を構成要素とする樹脂封止装置には使用できないという問題がある。
【０００５】
また、テープに実装された半導体素子に樹脂を塗布して半導体素子を樹脂封止する場合、テープを順送りから逆送りに切替える時に、テープが緩み、テープが外れ易い。従来の技術では、このような問題を解決する技術は見当たらない。
【０００６】
また、従来の樹脂封止方法では、生産性を高めるために複数台のディスペンサーを設けることが慣用されている。しかし塗布された樹脂から発生するガスによる樹脂硬化装置炉内の汚れは、ディスペンサーの台数に比例して多くなり且つ蓄積して、長時間稼動すると、移動中のテープに異常な外力を惹起する原因となる。従って、テープをローラで送る場合、テープがスプロケット歯で案内されないので、テープは、搬送中に横ズレして外れる易くなる。
【特許文献１】特開平５−２４１２４７号公報
【特許文献２】特開平１１−１６３０４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明が解決しようとする課題は、ローラでテープを送るテープ搬送方法において、テープを弛ませない状態でテープの横ズレを修正しながらテープを送る方法を提供することにある。
他の課題は、樹脂塗布装置と、樹脂硬化装置と、ローラ送り型のテープ搬送装置からなる樹脂封止装置用の樹脂封止方法であって、複数台数のディスペンサーが配設された樹脂封止装置を工業的に実用できる樹脂封止方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のテープ搬送方法は、第１ローラと、第２ローラと、第３ローラによってテープを第１ローラから第３ローラの方向へ間欠的に送るテープ搬送方法であって、第１ローラと第２ローラと第３ローラとを順回転させてテープを所定距離送る第１ステップと、第３ローラの下流に設けられたクランパを閉にする第２ステップと、テープの横ズレを修正するために、第１ローラと第３ローラを所定時間開いた後に閉じる第３ステップと、クランパを開にする第４ステップと、第２ステップで減少したテープの張力を回復させるために第１ローラを逆回転させる第５ステップとからなることを特徴とする。
【０００９】
また、本発明のテープ搬送装置は、第１ローラと、第２ローラと、第３ローラによって、テープを第１ローラから第３ローラの方向へ間欠的に送るテープ搬送方法であって、第１ローラと第２ローラと第３ローラとを順回転させてテープを所定距離送る第１ステップと、テープの横ズレを修正するために第１ローラと第３ローラを所定時間開いた後に閉じる第２ステップと、第２ステップで減少したテープの張力を回復させるために、上記第１ローラを逆回転させ且つ第３ローラを順回転させる第３ステップとからなることを特徴とする。
【００１０】
更に、本発明のテープ搬送方法は、第１ローラ又は第３ローラが開いている時間が０．０５〜０．４秒であることを特徴する。
【００１１】
加えて、本発明の樹脂封止方法は、半導体素子が実装されたテープを第１ローラと、第２ローラと、第３ローラによって送る工程と、テープに樹脂を塗布する工程と、塗布された樹脂を硬化する工程とからなる樹脂封止方法であって、第１ローラと第２ローラの間に配設された複数のディスペンサーで樹脂を塗布するステップと、第２ローラと第３ローラの間には配設された樹脂硬化炉の炉内で発生するガスをテープ入口口付近に設けた排気口から排気しながら塗布した樹脂を硬化するステップと、テープの横ズレをテープに張力をかけた状態で修正するステップとからなることを特徴とする。
【００１２】
更に、本発明の樹脂封止方法は、ディスペンサーの台数が２〜６台であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明は、上記に説明したような手段によって構成されているので、以下に記述するような効果を奏する。
本発明のテープ搬送方法は、テープの外れと樹脂の流れ出しを防止しながら、テープの横ズレを修正できる利点がある。
【００１４】
また、本発明のテープ搬送方法は、第２ローラと第３ローラの間にテープに張力を付与する張力付与機構と更に第３ローラの下流にクランパを設けることにより、横ズレを修正するステップでテープの張力が緩むことを抑止できる利点がある。
【００１５】
更に、本発明の樹脂封止方法は、炉内で発生するガスをテープ入口付近に設けた排気口から排気しながら樹脂を硬化するステップと、テープの横ズレをテープに張力をかけた状態で修正するステップとを採用することにより、パーフォレーション孔が穿孔されていない薄いテープ上に複数のディスペンサーから樹脂を塗布でき且つ樹脂の流れ出しやテープの外れが生じない方法であり、樹脂封止の生産性を２倍以上に高めることができる利点がある。
【００１６】
本発明の樹脂封止方法は、粘性が低い樹脂を塗布するアンダーフィルに特に有効である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明になるテープ搬送方法と樹脂封止方法を実施する樹脂封止装置についてまず説明する。図１は、樹脂封止装置の正面図であって、樹脂封止装置は、テープローダ５と、樹脂塗布装置６と、樹脂硬化装置７と、テープアンローダ８と、テープ搬送装置からなる。テープローダ５から送り出されたテープ１２は、樹脂塗布装置６で樹脂が塗布され、樹脂硬化装置７で塗布された樹脂がキュアされた後、テープアンローダ８に送られ巻き取られる。テープ搬送装置は、バックテンションローラ（以下、ＢＴローラという）１と、ピッチ送りローラ２（以下、Ｐ送りローラという）と、張力付与装置２１と、送出しローラ３（以下、ＵＬローラという）と、クランパ４からなる。
【００１８】
テープローダ５には、半導体素子が実装されたテープ１２をスペーサ１１とともに巻き込んでいる供給リール９と、スペーサ１１を巻き取るスペーサリール１０等が配設されている。供給リール９とスペーサリール１０は、テープ１２に応力が実質的に掛からないように制御されながら、モータで回転駆動される。
【００１９】
樹脂塗布装置６には、ディスペンサー１４と、ＢＴローラ１と、Ｐ送りローラ２が配設されている。ディスペンサー１４は、テープ送り方向に直列に４台設けられている。ディスペンサー１４は、それぞれにＸＹＺ軸方向の駆動装置が配設され、テープ１２の直上までニードル１４ａを降下してＸＹ方向に移動しながら、樹脂をニードル１４ａから突出して塗布する。樹脂を塗布する時、テープ１２は、テープ押え治具で押えられている。ＢＴローラ１は、トルクキーパを介しての駆動とモータ直結駆動とに切替えができるようになっている。Ｐ送りローラ２は、モータで直接駆動され、実装された半導体素子配列ピッチの整数倍の長さでテープ１２を間欠的に送る。
【００２０】
樹脂硬化装置７は、１段目の炉と２段目の炉を区切る第１間仕切部材１７と、２段目の炉と３段目の炉を区切る第２間仕切部材１８によって区切られた３段炉である。樹脂を加熱するヒータ（図示略）は、赤外線面ヒータである。その設置場所は、テープ１２が通過する付近であり、具体的には、炉の床面と、第１間仕切部材１７の下面と上面と、第２間仕切部材１８の下面と上面と、炉の天井面と、炉の側面である。
【００２１】
テープ１２は、樹脂硬化装置７の側面に設けられたテープ入口４５から樹脂硬化装置７に導き入れられる。Ｐ送りローラ２で送り込まれたテープ１２は、１段目の炉を通って第１反転ローラ１９で搬送方向が反転され逆向きとなり２段目の炉に入る。その後２段目の炉を通過して、第２反転ローラ２０で搬送方向が反転され順向きとなり、３段目の炉に入る。３段目の炉を通過して、テープ出口４６を通ってＵＬローラ３へ送られる。なお、上記の記述は、テープ１２の順方向への送りについての記述であり、テープ１２の送りが逆方向の場合は、テープ入口４５とテープ出口４６の機能が交代する。
【００２２】
塗布された樹脂は、１段目の炉を通って第１反転ローラ１９に至るまでに、第１反転ローラ１９でテープ１２が曲げられてもひび割れや、テープ１２や半導体素子との剥離が生じない程度に重合（硬化）していなければならない。このため、１段目の炉は、炉の床面と第１間仕切部材１７の下面にヒータを設けて、テープ１２の裏表で温度差ができないようにしている。塗布された樹脂の初期昇温速度が速すぎると樹脂のフクレが生じ好ましくないが、できるだけ早い昇温速度が可能になるように、加熱初期段階は、塗布された樹脂を上下の両面から加熱するようになっている。
又、樹脂硬化装置の加熱時間は、生産性を考慮して３０分前後に設定されており、テープに塗布された樹脂は完全には硬化していない状態で樹脂硬化装置から送りだされる。樹脂の完全硬化には樹脂の種類によるが数時間を必要とするので、テープ１２は、巻取りリール１３に巻き取られた後樹脂を完全に硬化するために、別の加熱炉に挿入されて一括で加熱処理される。加熱速度を問題にしない２段目の炉と３段目の炉は、片面加熱である。
【００２３】
テープに塗布される樹脂には溶媒が含まれるので、加熱の初期に溶媒が蒸発し、排気しないと炉内に充満し、炉内を汚染する。溶媒が蒸発する時、樹脂を微量であるが含み蒸発する。これらのガスは、分解して炉内に付着したり、温度の低い個所に凝縮したりするので、炉内に長時間滞留させることは好ましくない。一方、アンダーフィルを行う樹脂は、溶媒を多くして粘性をより低くしている。
【００２４】
樹脂硬化装置７のテープ入口４５付近には、炉内ガスを排気する炉内排気口１５が設けられている。炉内排気口１５は、塗布された樹脂から蒸発したガスを排出するためのものである。１６は、炉外排気口で、樹脂硬化装置７の上面付近に設けられ、炉内排気口１５から排出されたガスを炉の外へ排出する。炉内排気口１５と炉外排気口１６は、パイプで結ばれ、そのパイプの中間に排気用ブロアーが設けられている。
【００２５】
張力付与装置２１は、第２反転ローラ２０をバネ２２で引っ張り、テープ１２に張力を付与するものである。テープ１２は、テープ案内治具４０（図５参照）により案内され、外れないように工夫されている。しかし、反転ローラ（１９，２０）に設けられたテープ案内は、上板４１がなくテープ案内治具４０と比較して機能が不完全であり、テープ１２に張力が掛かっていないと、反転ローラ（１９，２０）から外れ易くなる。
【００２６】
また、第２反転ローラ２０は、張力付与装置２１に設けられた長孔によって移動範囲が制限されるようになっているが、左右にリミットスイッチ（図示略）を設け、リミットスイッチを移動させるだけで移動範囲を設定できるようになっている。一方、第１反転ローラ１９には、張力付与装置２１は、設けられていない。そして、第２反転ローラと同様にテープ１２の張力がなくなると、外れ易くなる。
【００２７】
テープアンローダ８には、ＵＬローラ３と、クランパ４と、巻取りリール１３と、スペーサリール１０等が配設されている。樹脂硬化装置７で処理されたテープ１２は、ＵＬローラ３、クランパ４を通って、スペーサリール１０から供給されるスペーサテープ１１と一緒に巻取りリール１３に巻き取られる。
【００２８】
図２は、ローラ駆動機構４７を含めたＵＬローラ３の断面図である。ローラ駆動機構４７は、モータ２３とトルクキーパ２４とクラッチ２５とベルト２６からなり、トルクキーパ２４を介する第１駆動機構とモータ直結の第２駆動機構とをクラッチ２５で切替えることができるようになっている。トルクキーパ２４は、モータ２３に直接接続しておりモータ２３が回転している時はいつでも回転している。一方、モータのトルクは、ベルト２６を介してクラッチ２５に常時伝達されている。
【００２９】
しかし、クラッチ２５は、ＯＮの時トルクを伝達し、ＯＦＦの時トルクを伝達しないように設定されている。クラッチ２５がＯＮの時、モータからのトルクは、ベルト２６とクラッチ２５とベルト２７と回転軸２９を順次介してＵＬローラ３に伝達される。トルクキーパ２４の保持トルクより大きいトルクでＵＬローラ３を駆動する場合は、第２駆動機構を働かせるようになっている。
【００３０】
一方、クラッチ２５がＯＦＦの時、モータ２３からのトルクは、トルクキーパ２４を介して回転軸２９へ伝達され、ＵＬローラ３に作用するトルクがトルクキーパ２４の保持トルクより大きくなると、トルクキーパ２４が空転をするようになっている。なお、ベルト押え２８は、ベルト（２６，２７）に張力を付与し、ベルトが滑らないようにしている。
【００３１】
ＵＬローラ３は、上ローラ３０と下ローラ３１からなる１組のローラで、テープ１２の両端部に１組づつ配設されている。ＵＬローラ３には、回転軸２９に設けられた歯車３４を介して、モータ２３からのトルクが伝達される。樹脂１２ｂで樹脂封止された半導体素子１２ａを実装したテープ１２は、上ローラ３０と下ローラ３１に挟まれて送られる。下ローラ３１のトルクは、歯車（３２と３４）を介して上ローラに伝達され、同じ回転速度で回転する。ＵＬローラ３は、テープ１２を送る時、空圧シリンダ３３により上ローラ３０と下ローラ３１が押圧されている。一方、テープ１２の横ズレを修正する時、空圧シリンダ３３により上ローラ３０が上げられて上ローラ３０と下ローラ３１は短時間であるが離間するようになっている。テープ１２の巾は、３５ｍｍ、４８ｍｍと７０ｍｍが標準で、それぞれに対応したローラの位置を破線で示してある。テープ１２の厚みは、２５μで、適する厚さは、１０μ〜５０μの薄いテープである。
【００３２】
ＢＴローラ１の駆動機構は、ＵＬローラ３のローラ駆動機構４７と同じようになっている。一方、Ｐ送りローラ２の駆動機構は、トルクキーパ２４とクラッチ２５を用いずに、モータ直結になっている。
【００３３】
図３は、ＢＴローラ１、Ｐ送りローラ２およびＵＬローラ３に使用したローラの断面図である。上ローラ３０の外周には樹脂からなる断面三角形の外周部材３５ａが設けられ、下ローラ３１の外周には樹脂からなる断面四角形の外周部材３５bが設けられ、更に、テープ１２が横ズレしないように、円板状のガイド部材３６が設けられている。
【００３４】
図４は、テープ１２を押えヘッド３８でガイド部材３７に押え付けるクランパ４を模式的に示すものである。図４（ａ）は、クランパ４の近傍を含めた図であり、図４（ｂ）は、図４（ａ）のＡＡ断面図であり、クランパ４のクランプ状態を示す図である。クランパ４は、空圧シリンダ４４からなり、シリンダ軸に取付けられた押えヘッド３８でテープ１２をガイド部材３７の間に挟み固定する機構である。押えヘッド３８は、テープ１２の両端部を押えることができるように配設されており、そしてテープ１２を押えたり、開放したりするために上下に移動することを矢印で示している。ガイド部材３７は、円弧状をしており、その断面は、Ｌ字型で、テープＵＬローラ３から送られてきたテープ１２を巾方向に関して案内するものである。
【００３５】
テープ１２を送る時、クランパ４は、ＯＦＦとなっており、テープ１２は、自由に送られる。テープ１２の横ズレを修正するためにＵＬローラ３を瞬間的ではあるが開放すると、テープ１２は、張力付与装置２０により引き戻される。この現象を防止するために、クランパ４をＯＮにしてテープ１２をクランプし、テープ１２が引き戻されないようにしている。
【００３６】
テープ１２には回路配線が延在し、半導体素子１２ａが実装されている。半導体素子１２ａは、バンプ面が下向きである。半導体素子１２ａの周囲は、エポキシ系の樹脂３９が塗布されている。更に、テープ１２と半導体素子１２ａの間には樹脂がアンダーフィルされている。塗布されている樹脂は、半導体封止用のエポキシ樹脂である。適する樹脂の特性は、粘性が、２〜１４０Ｐａ・ｓで、揮発成分（溶媒）が、１〜３０％である。粘性の高い樹脂は、ダム用であり、２〜４０Ｐａ・ｓと粘性の低い樹脂は、アンダーフィル用である。又、溶媒の割合が１０〜４０％と高い樹脂は、アンダーフィル用である。
【００３７】
図５は、テープ案内治具４０の断面を示す。テープ案内治具４０は、上板４１と下板４２の組み合わせであり、下板４２には、テープ１２の端部を逃がす溝が設けられている長尺状の案内である。このテープ案内治具４０は、テープ１２が直線的に移動する部分で、クランパやローラ等の邪魔にならない個所に設けられている。
【実施例１】
【００３８】
張力付与装置２０を用いる場合のテープ搬送方法を実施例１として以下に説明する。図６、図７と図８は、テープ１２を順方向に送る時のタイミング図で、図６は、テープの送り操作、図７は、テープ１２の横ズレの修正操作、図８は、横ズレの修正操作によって張力が減少したテープ１２の張力を回復させる操作を示すものである。
【００３９】
図６は、テープを順方向に送るステップを示している。図６は、縦軸に ＢＴローラ、クラッチ（Ａ），クランパ（Ａ）、ディスペンサー、Ｐ送りローラ、ＵＬローラと、クラッチ（Ｂ）、クランパ（Ｂ）（以下、クランパ４という）の機構要素が記載されている。その中でクランパ（Ａ）と樹脂塗布は、樹脂をテープ１２に塗布する樹脂封止方法に使用されるものである。横軸は、時刻をＡ〜Ｈと任意の時間間隔で付してある。
【００４０】
テープ１２を順方向に送る場合、先ず、ＢＴローラ１をトルクキーパを介する駆動に、そしてＵＬローラ３をモータ直結駆動にするために、クラッチ（Ａ）は、ＯＦＦでフリーにし、そしてクラッチ（Ｂ）は、ＯＮでロックにする状態にする。なお、この時、クランパ４は、ＯＦＦになっておりテープ１２は、クランパ４を自由に通過できるようになっている。次に、ＵＬローラ３が順回転を始める。遅延時間τ１遅れてＰ送りローラ２が順回転を始める。引き続き、ＵＬローラ３の回転から遅れることτ２後にＢＴローラ１が順回転を始める。このようにして、テープ１２は、張力を保持しながら順方向に送られ始める。
【００４１】
テープ１２は、樹脂が間欠的に塗布されたて、半導体素子が実装されたピッチの整数倍づつ間欠的に送られる。例えば、ディスペンサー１４が４台で樹脂を塗布している場合のテープ送り距離は、そのピッチの４倍となる。又、テープの送り距離は、Ｐ送りローラ２を１００とし、ＢＴローラ１を９８で、ＵＬローラ３を１０３に設定してある。これらのローラの回転は、上流のローラ（ＢＴローラ１、Ｐ送りローラ２、ＵＬローラ３の順）から停止するようになっており、ローラの停止に伴い、テープ１２の張力が緩むことが無いように設定されている。ＢＴローラ１が停止すると、Ｐ送りローラ２が回転中で遅延時間τ３に至らなくてもＰ送りローラ２が停止し、更に遅延時間τ４に至らなくともＵＬローラ３が順次停止するようになっている。このようにして、テープ１２は、１回分送られる。次に、テープ横ズレ修正ステップに入る。
【００４２】
図７は、テープ１２の横ズレを修正するステップを示している。横ズレの修正は、２つの工程からなり、第１工程は、Ｐ送りローラ２を閉じたままで、ＢＴローラ１とＵＬローラ３の上ローラ３０を時間ｈ１とｈ２上げてテープ１２の横ズレを修正する。第２工程は、ＢＴローラ１とＵＬローラ３を閉じたままで、Ｐ送りローラ２を時間ｈ３上げてローラを開放してテープの横ズレを修正する。
【００４３】
先ず、第１工程は、クラッチ（Ａ）とクランパ４をＯＮにしてロックする。なお、時刻Ｉで示したクラッチ（Ａ）のロック操作は、時刻Ｍで行っても良い。ＢＴローラ１の保持トルクが小さく設定されていると、横ズレの修正後にローラがテープ１２の張力により回転するので、これを防止するためにロックされている。次に、ＢＴローラ１とＵＬローラ３を上げてローラを開放した後、ローラを下げて閉じる。ＢＴローラ１とＵＬローラ３を開放することにより、テープ１２は、Ｐ送りローラ２付近を除いてテープ案内治具４０に従うように横ズレが修正される。P送りローラ２とクランパ４の間のテープ１２は、ＵＬローラ３を開放しても、P送りローラ２とクランパ４によりテープ１２が移動しないように固定されているので、殆んど弛むことはない。しかし、 ＢＴローラ１とP送りローラ２の間のテープ１２は、ＢＴローラ１を開放するとテープ１２の一端がフリーであるため、テープの張力が減少する。
【００４４】
ローラの開放時間（ｈ１、ｈ２）は、０．２秒である。ローラを開放するとテープ１２の張力が減少するので、横ズレが修正された後にローラを開放し続けることは、好ましくない。横ズレの修正に必要とする時間は、０．０５〜０．４秒が好ましく、それぞれ異なるのでｈ１とｈ２で示したが、特段に問題がなければ、同一でも良い。
【００４５】
続いて、ＵＬローラ３の下流に設けられているクランパ（Ｂ）４のクランプを解除する。この解除操作は、時刻Ｐ以後でも良い。次に、横ズレの修正の第２工程に入る。Ｐ送りローラ２を上げてローラを開放する。テープ１２は、ＢＴローラ１とＵＬローラ３で固定されているので、テープ１２の張力は、更に緩むことはない。開放している時間は、０．２秒である。図７では時間h３で示してあり、０．０５〜０．４秒が好ましい。このようにして、Ｐ送りローラ２の周辺の横ズレを修正する。その後、ローラを下ろし、ローラを閉じる。  次は、横ズレの修正操作で減少したテープの張力を元に回復させる工程に入る。
【００４６】
図８は、横ズレの修正操作で減少した張力を回復する操作と樹脂塗布操作を示している。上述したように、Ｐ送りローラ２とＵＬローラ３の間の張力は殆んど減少していないので、ＢＴローラとＰ送りローラの間の緩みを回復させる。先ずＢＴローラの逆回転によりＰ送りローラが逆転しないように、クラッチ（Ａ）をフリーにしてＢＴローラ１の駆動をトルクキーパに切替えて、ＢＴローラ１の保持トルクを小さくする。そして、テープを２mm逆送りするようＢＴローラを回転させた後に停止させる。テープ１２の張力の減少が少ない場合、トルクキーパ２４が空回転し、テープ１２を２mm未満しか送らない場合も生じる。テープ搬送の実施例１は以上のようなものである。樹脂を塗布しない場合は、時刻Tから時刻Ａに戻り、テープ送りを繰り返す。この工程は、テープ送りの調整時に使用される。又、樹脂塗布に代わって、フリップチップボンディングやインナーリードボンディングでもよい。これらの場合、テープ１２は、半導体素子が実装されていないテープを送ることとなる。
【００４７】
時刻Ｕ〜Ｗが、樹脂塗布工程である。樹脂をテープ１２に塗布する場合、テープ１２を平滑に保持するために、樹脂を塗布する領域の周辺をクランパ（Ａ）でロックし、その後、樹脂を塗布する。樹脂の塗布が終了するとクランパ（Ａ）は、解除され、テープ１２を送ることができる状態となる。時刻Ｗから時刻Ａに戻り、次のテープ送りが始まる。樹脂を塗布する時、樹脂を塗布し始める位置をカメラで画像認識し、ディスペンサー１４の先端に配設されているニードル１４ａを所定位置まで移動する。
【００４８】
しかし、テープ送り誤差が蓄積されて、ディスペンサ−１４が所定位置に移動できない場合は、クランパ（Ａ）をフリーにしてテープ１２を所定距離移動させる。本発明のテープ搬送方法と樹脂封止方法の実施例１は、以上のようなものである。
【００４９】
次に、上記実施例１で、テープを逆方向に送る操作を図９、図１０と図１１に示す。逆送りは、装置の調整時や、操作のやり直し時に用いられるもので、樹脂の塗布工程は図示していない。
【００５０】
図９は、逆送りの工程である。先ず、タイミングＡで、クラッチ（Ａ）をＯＮにしロックして、ＢＴローラ１をモータ直結駆動にする。ＵＬローラ３は、クラッチ（Ｂ）をＯＦＦにしフリーにして、トルクキーパを介した駆動になる。次に、ＢＴローラ１を逆回転させる。テープ１２の張力が緩まないように、Ｐ送りローラ２、ＵＬローラ３の順に逆回転を始める。停止する順番は、テープ１２の張力が緩まないように、ＵＬローラ３、Ｐ送りローラ２、ＢＴローラ１の順にする。送る距離や遅延時間（τ５、τ６、τ７とτ８）は、順送りに準じて設定してある。
【００５１】
図１０は、逆送りで、横ズレを修正する工程を示している。時刻Ｉでクラッチ（Ｂ）とクランパ４をロックする。この時クラッチ（Ｂ）は、引き続きロックである。次に、ＢＴローラ１とＵＬローラ３の上ローラ３０を上げて、ローラを開放する、テープ１２の張力により、テープの横ズレは、Ｐ送りローラ２の近辺を除いて修正される。修正後、ＢＴローラ１とＵＬローラ３の上ローラ３０を下げてローラを閉じる。次に、クランパ４をＯＦＦにしてロックを解除する。次に、Ｐ送りローラ２の上ローラ３０を上げて、ローラを開放し、Ｐ送りローラ２付近の横ズレを修正する。
【００５２】
図１１は、逆送りで、横ズレの修正操作で減少したテープの張力を回復する工程である。順送りの場合と同様に、ＢＴローラ１とＰ送りローラ２間のテープの張力を回復させるために、クラッチ（Ａ）をフリーにして２mm分だけ逆回転させて張力を元に回復させる。逆回転が停止した時刻Ｔで、横ズレ防止を修正した１回分の逆送りが終了し、更に逆送りする場合、時刻Ａに戻る。
【実施例２】
【００５３】
図１に示した樹脂封止装置で張力付与装置２１とクランパ（Ｂ）が配設されていない場合のテープ搬送方法と樹脂封止方法を実施例２として以下に説明する。
【００５４】
先ず。テープ１２を順方向へ送るテープ搬送方法について説明する。
実施例１と異なる所は、P送りローラ２とＵＬローラ３との間に張力付与装置が作用しないこととクランパ（Ｂ）がないことにより、ＵＬローラ３を上げて開放した時、P送りローラとＵＬローラとの間のテープ１２が緩むことである。この緩んだテープ１２を元に戻す操作が追加される。即ち、テープ送りは、図６に示す通りで、そして、横ズレの修正は、図７に示す通りである。しかし、テープの緩みを元に戻す操作は、図１２に示すように、ＢＴローラ１とＵＬローラ３の双方で行う。即ち、クラッチ（Ａ）とクラッチ（Ｂ）をフリーにしてトルクキーパ２４を介した駆動にＢＴローラ１とＵＬローラ３を切替えた後、ＢＴローラ１とＵＬローラ３を２mmに相当する角度だけ順回転させてテープの緩みを元に戻し、停止させる。テープ搬送方法の実施例２は、以上の通りである。その後、樹脂塗布の工程に入る。樹脂塗布に備えてクランパ（Ａ）をロックし、そして、テープ送りに備えてクラッチ（Ｂ）をロックして、樹脂を塗布する。樹脂塗布が終了後にクランパ（Ａ）を解除する。樹脂封止方法の実施例２は、以上の通りである。なお、時刻Ｕでのクラッチ（B）のロックは、このタイミングでしなくても良く、時刻Ａまでにロックすれば良い。
【００５５】
次に、実施例２でテープ１２を逆方向へ送るテープ搬送方法について図１３を用いて説明する。
実施例１と異なるところは、ＵＬローラ３を用いてテープ1の緩みを元へ回復させる操作が追加されることである。即ち、クラッチ（Ｂ）をフリーにしてＵＬローラをトルクキーパを介した駆動に切替えた後、ＵＬローラ３を２mmに相当する角度だけ順回転させてテープの緩みを元に戻し、停止させる操作が、図１１に加わる。
【００５６】
樹脂封止方法の実施例２は、実施例２のテープ搬送方法に図１２の時刻Ｕ〜Wに示す樹脂塗布操作を加えたものである。
【００５７】
以上、本発明の実施例を説明したが、本発明は、この記述のみに限定されない。
本発明において、Ｐ送りローラ２はモータ直結駆動を説明したが、この駆動方式ではテープ搬送中に故障が発生してテープ１２が破損することも予測されるので、コストがかかるが、トルクキーパ等を用いて回転トルクに制限を設けても良い。また、テープ１２が弛まないようにBTローラ１とＰ送りローラ２とＵＬローラ３の送りを制御することにより、テープ１２が外れる確率を大幅に減少させることができるが、更に、張力付与装置２を設けることにより、テープ１２を巻き戻す場合などでも樹脂硬化装置内でテープ１２が弛むことがなくなり、テープ１２が反転ローラ（１９，２０）から一層外れないようになる。
【００５８】
本発明において、テープ１２の横ズレを修正する場合、クランパ４をＯＮにして、押えヘッド３８を降下させ、テープ１２を固定する。クランパ４は、空圧シリンダと同様な機能を持つ電磁アクチュエータで置き換えても良い。又、ローラを上げている時間を０．２秒と例示したが、０．０５〜０．４秒が良い。短すぎると横ズレの修正が不十分となり、長すぎるとテープが緩むが大きくなり過ぎる。テープの張力が小さい場合とテープの長さが長い場合、ローラを解放している時間が長くなる。
【００５９】
本発明において、テープ案内治具４０は、上板４１が下板４２とネジで固定されているが、ヒンジで連結し、上板４１が不要な時は、容易に移動できるようにしても良い。又、テープ出口４６では、テープ案内治具４０を樹脂硬化装置７の外へ少々突出するようにし、テープ１２に傷つかないたり、送りに支障をきたさないようにしている。又、ガイド部材３８の断面形状は、押えヘッド３８が作動する範囲を除き、図５に示す上部材４１付きの形状でも良い。
【００６０】
更に、ローラ３０の外周（３５ａ、３５ｂ）は、テープ１２が外れないように搬送する構造に設計されているが、テープ１２が、その性状により、外側へ横ズレする場合と、直進する場合と、内側へ横ズレする場合とがある。磨耗により外周形状が変化することと、テープ１２の性状により内側に横ズレし易いテープがある。テープ１２が内側へ横ズレするとガイド円板３６、ガイド部材３７、テープ案内治具４０等が有効に働かない。そこで、ローラの外周形状をテープ１２が外側に横ズレする形状に設計すると、テープ案内治具４０の機能を有効に生かせるので好ましい。
【００６１】
本発明において、ディスペンサー１４の台数は、１台の場合や２台の場合もあるし、配置が並列の場合もある。半導体素子と実装基板の小型に対応して樹脂の塗布量と面積が減少しているので、ディスペンサー１４のヘッド数を多くできるようになってきている。ディスペンサー１４の適正台数は、１〜８台で、より好ましくは４〜６台である。８台を超えると生産性の向上が低下する。
【００６２】
本発明において、テープの両面加熱は、加熱の初期段階に必要で、温度が所定値に達した後は、特別な場合を除いて必要としないので、１段目の炉の後半を片面加熱にする場合もある。また、樹脂が完全に硬化するまで長時間硬化させると、樹脂硬化装置の生産性が著しく低下するので、樹脂硬化装置で樹脂を硬化した後、改めて他の樹脂硬化装置を用いて硬化処理を行う。このようなことから、３段目を設けないで２段目にテープ出口を設けて、２段目の硬化で炉外に搬出しても良い。
【００６３】
本発明において、炉内排気口１５は、形状が円以外に正方形や長方形やスリットでも良く、更に設置位置は、炉の床面でも、炉の側面でも良い。炉内排気口１５と同様な排気口を３段目の炉に同様に設けても良い。他方、塗布された樹脂からの発生するガスは、入口より少し中に入った付近で多く発生し、１段目の炉の中央付近では殆んど発生しなくなるので、炉内排気口１５は、１段目の炉の中央とテープ入口４５の中間に設ければ、ガスの炉内滞留時間を少なくすることができる。このようなことから、本発明において、排気口１５をテープ入口４５付近に設けることは、単にテープ入口４５付近に限定するのではなく、樹脂から生じるガスを効率よく炉外に排出させる位置であれば良い。
【００６４】
更に、炉外排気口１６には、弁を設け排出ガス量を調節できるようにしておくと良い。又。炉内を清浄に保つためと酸化防止のために炉内雰囲気として窒素ガスを流すようにしてある。その流量は、炉内体積の２０〜１００倍／時で、部屋の空気や塵が炉内に入らないようにしている。樹脂から発生するガスは、炉内雰囲気である窒素ガスと共にブロアーで強制的に排気される。炉内の圧力は、１気圧を超えることが好ましい。
【００６５】
本発明において、テープの逆送りでは樹脂を塗布しない実施例で説明したが、順送りと同様に塗布することができるので、必要な場合、逆送りでも樹脂の塗布を行っても良い。
【００６６】
本発明において、時刻Ｉのクラッチ（Ｂ）のロックは、時刻ＬとＭの間でも良く、更に時刻Ｉのクランパ４の解除は、時刻Ｐでも良い。又、クランパ４は、Ｐ送りローラやＵＬローラ３に類似したローラでも良い。
【００６７】
本発明において、横ズレの修正するため設けられた空圧シリンダ３３の代わりに電磁クラッチを用いても良い。テープ１２をＰ送りローラ１とクランパ４で固定した状態で、電磁クラッチによりＵＬローラ３の上ローラ３０を下ローラ３１と離間させることにより、テープ１２の横ズレを修正する。この時、ＵＬローラ３は回転させたままでも良い。又、電磁クラッチによりＵＬローラ３の上ローラ３０と下ローラ３１の押圧荷重を低くしてローラを滑らせながら回転させて、横ズレを修正しても良い。この方法により、テープの弛みのすくない横ズレの修正ができる。
【００６８】
本発明のテープ搬送方法と樹脂封止方法において、特段の限定がない場合は、その順番は、記載された順序やステップに付された番号や時刻に限定されない。
【００６９】
本発明において、ＢＴローラ１を開放するとテープ１２が緩むが、これを防止するために、ＢＴローラ１の上流にクランパを設けること、また、このクランパの代わりに、クランパ（Ａ）を用いても良い。
【００７０】
本発明において、半導体素子を実装したテープとは、ＣＯＦやＴＡＢテープを例としているが、半導体素子は、電気部品や機械部品や他部品等いずれでも良い。更に、テープ搬送装置の用途は、樹脂封止装置に限定されることなく、スプロケット歯車を用いないで、テープをリール・ツー・リールで送る装置即ちフリップチップボンダー、ハンドラー等に各種分野に広がっている。
【産業上の利用可能性】
【００７１】
本発明のテープ搬送装置は、樹脂封止装置以外に、ＴＡＢボンディング装置、フリップチップボンディング装置、リフロー装置などに応用できる。
【００７２】
また、本発明の樹脂封止装置は、半導体素子を実装するテープの処理以外に、印刷回路、電子部品等の樹脂封止に応用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】樹脂封止装置の正面図である。
【図２】テープ送り機構の断面図である。
【図３】ローラの断面図である。
【図４】クランパでテープをクランプする状態を示す図で、図４（ａ）は、クランパの周辺を含めた図で、図４（ｂ）は、図４（ａ）のＡＡ断面図である。
【図５】テープ案内治具とテープの関係を示す図である。
【図６】張力付与装置を用いてテープを順方向へ送るテープ搬送方法で、テープ送りのタイミング図である。
【図７】張力付与装置を用いてテープを順方向へ送るテープ搬送方法で、横ズレ修正のタイミング図である。
【図８】張力付与装置を用いてテープを順方向へ送るテープ搬送方法で、横ズレの修正操作により減少した張力を回復させる操作と樹脂塗布操作のタイミング図である。
【図９】張力付与装置を用いてテープを逆方向へ送るテープ搬送方法で、テープ送りのタイミング図である。
【図１０】張力付与装置を用いてテープを逆方向へ送るテープ搬送方法で、横ズレ修正のタイミング図である。
【図１１】張力付与装置を用いてテープを逆方向へ送るテープ搬送方法で、横ズレの修正操作により減少した張力を回復させる操作と樹脂塗布操作のタイミング図である。
【図１２】張力付与装置を用いないでテープを順方向へ送るテープ搬送方法で、横ズレの修正操作により弛んだ張力を回復させる操作と樹脂塗布操作のタイミング図である。
【図１３】張力付与装置を用いないでテープを逆方向へ送るテープ搬送方法で、横ズレの修正操作により弛んだ張力を回復させる操作のタイミング図である。
【符号の説明】
【００７４】
１・・・ＢＴローラ、２・・・Ｐ送りローラ、３・・・アンローダーローラ、４・・・クランパ、５・・・テープ送り装置、６・・・樹脂塗布装置、７・・・樹脂硬化装置、８・・・テープ巻取装置、９・・・テープ供給リール、１０・・・スペーサリール、１１・・・スペーサ、１２・・・テープ、１２ａ・・・半導体素子、１２ｂ・・・テープ弛み、１３・・・巻取りリール、１４・・ディスペンサー、１４ａ・・・ニードル、１５・・・炉内排気口、１６・・・炉外排気口、１７・・・第１間仕切部材、１８・・・第２間仕切部材、１９・・・第１反転ローラ、２０・・・第２反転ローラ、２１・・・張力付与装置、２２・・・バネ、２３・・・モータ、２４・・・トルクキーパ、２５・・・クラッチ、２６，２７・・・ベルト、２８・・・ベルト押え、２９・・・回転軸、３０・・・上ローラ、３１・・・下ローラ、３２・・・歯車、３３・・・空圧シリンダ、３３ａ，３３ｂ・・・取付板、３４・・・歯車、３５ａ、３５ｂ・・・外周部材、３６・・・ガイド円板、３７・・・ガイド部材、３８・・・押えヘッド、３９・・・樹脂、４０・・・テープ案内治具、４１・・・上板、４２・・・下板、４３・・・逃げ部、４４・・・空圧シリンダ、４５・・・テープ入口、４６・・・テープ出口、４７・・・ローラ駆動機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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