(57)【要約】    【課題】  整列配置されたチップ部品を測定機へ移動させるときに生じるチップ部品の傾きを防止することができるチップ部品用ホルダ及びチップ部品保持方法を提供する。    【解決手段】  ＧＦＦチップ３０を保持するチップ部品用ホルダ１において、ＧＦＦ凹部１１のチップホルダ掛り１５にゲル２０を塗布した後にチップ３０をホルダ本体１０の凹部１１に収容し、チップホルダ掛り１５にＧＦＦチップ３０を貼り付けるようにした。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
チップ部品を保持するチップ部品用ホルダにおいて、
前記チップ部品を収容する凹部を有するホルダ本体と、
前記凹部内に収容された前記チップ部品の姿勢を保たせる姿勢保持手段と
を備えていることを特徴とするチップ部品用ホルダ。
【請求項２】
前記凹部の底面に貫通孔が設けられていることを特徴とする請求項１記載のチップ部品用ホルダ。
【請求項３】
前記姿勢保持手段は前記凹部の底面に塗布されるゲルであることを特徴とする請求項１又は２記載のチップ部品用ホルダ。
【請求項４】
前記姿勢保持手段は前記凹部の底面と前記チップ部品とにそれぞれ帯電させた異なる極性の静電気であることを特徴とする請求項１又は２記載のチップ部品用ホルダ。
【請求項５】
チップ部品を保持するチップ部品用ホルダにおいて、
前記チップ部品を載せる載置面を有するホルダ本体と、
前記チップ部品の載置面に設けられ、前記チップ部品の載置位置で前記チップ部品の隣接する２辺と当接可能な位置決め用凸部と
を備えていることを特徴とするチップ部品用ホルダ。
【請求項６】
前記チップ部品が配置される、前記位置決め用凸部の近傍のチップ部品配置エリアに貫通孔が設けられていることを特徴とする請求項５記載のチップ部品用ホルダ。
【請求項７】
チップ部品用ホルダに配置されたチップ部品に上方から空気を吹き付けながら前記チップ部品用ホルダを移動させることを特徴とするチップ部品保持方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明はチップ部品用ホルダ及びチップ部品保持方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＧＦＦ（Ｇａｉｎ  Ｆｌａｔｔｅｒｉｎｇ  Ｆｉｌｔｅｒ）チップの光透過特性等の光学特性を測定するとき、チップ部品用ホルダが用いられる。
【０００３】
図５は従来のチップ部品用ホルダの平面図である。
【０００４】
チップ部品用ホルダ５０１はＧＦＦチップ５３０を整列配置するためのホルダ本体５１０とＧＦＦチップ５３０を保持するためのチップホルダ掛り５１５（図７参照）とを備えている。ホルダ本体５１０は厚さ１ｍｍ程度の矩形状の板であり、ステンレス鋼で形成されている。チップ部品用ホルダ５０１にはＧＦＦチップ５３０を収容する長方形の凹部５１１（図７参照）が縦・横に規則的に形成されている（図５では縦及び横にそれぞれ４個及び６個）。ＧＦＦチップ５３０は立方体状のガラス基板である。
【０００５】
図６は図５のＡ部をホルダ本体の上方から見た拡大図である。
【０００６】
ホルダ本体５１０の下面にはチップホルダ掛り５１５が設けられている。チップホルダ掛り５１５にＧＦＦチップ５３０が載置される。
【０００７】
図７は図５のＡ部の断面を拡大して示した概念図である。
【０００８】
チップホルダ掛り５１５の中央には光をＧＦＦチップ５３０に導くための測定用貫通孔５１２が形成されている。
【０００９】
このチップ部品用ホルダ５０１では手でＧＦＦチップ５３０を凹部５１１に移送して、１つずつ収容する。ＧＦＦチップ５３０の凹部５１１への収容が完了した後、チップ部品用ホルダ５０１を測定機のステージに運び、チップ部品用ホルダ５０１の下方からＧＦＦチップ５３０の底面に対して直交するように光を入射させてＧＦＦチップ５３０の光透過特性を測定する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかし、チップ部品用ホルダ５０１の測定機への移動は、作業者がチップ部品用ホルダ５０１を手で持って行われ、しかもＧＦＦチップ５３０は軽量（８ｇ程度）であるため、移動中に手振れ等によってチップ部品用ホルダ５０１の凹部５１１内でＧＦＦチップ５３０が揺動し、傾いたまま測定機へ運ばれてしまうことがある。
【００１１】
傾いた状態でＧＦＦチップ５３０の光透過特性を測定した場合、ＧＦＦチップ５３０の底面に直交するように光を入射させることができず、精度よくＧＦＦチップ５３０の光透過特性を測定することができない。
【００１２】
この発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、その課題は整列配置されたチップ部品を測定機へ移動させるときに生じるチップ部品の傾きを防止することができるチップ部品用ホルダ及びチップ部品保持方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決するため請求項１記載の発明は、チップ部品を保持するチップ部品用ホルダにおいて、前記チップ部品を収容する凹部を有するホルダ本体と、前記凹部内に収容された前記チップ部品の姿勢を保たせる姿勢保持手段とを備えていることを特徴とする。
【００１４】
請求項２に記載の発明は、請求項１記載のチップ部品用ホルダにおいて、前記凹部の底面に貫通孔が設けられていることを特徴とする。
【００１５】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２記載のチップ部品用ホルダにおいて、前記姿勢保持手段は前記凹部の底面に塗布されるゲルであることを特徴とする。
【００１６】
請求項４に記載の発明は、請求項１又は２記載のチップ部品用ホルダにおいて、前記姿勢保持手段は前記凹部の底面と前記チップ部品とにそれぞれ帯電させた異なる極性の静電気であることを特徴とする。
【００１７】
請求項５に記載の発明は、チップ部品を保持するチップ部品用ホルダにおいて、前記チップ部品を載せる載置面を有するホルダ本体と、前記チップ部品の載置面に設けられ、前記チップ部品の載置位置で前記チップ部品の隣接する２辺と当接可能な位置決め用凸部と
を備えていることを特徴とする。
【００１８】
請求項６に記載の発明は、請求項５記載のチップ部品用ホルダにおいて、前記チップ部品が配置される、前記位置決め用凸部の近傍のチップ部品配置エリアに貫通孔が設けられていることを特徴とする。
【００１９】
請求項７に記載の発明は、チップ部品用ホルダに配置されたチップ部品に上方から空気を吹き付けながら前記チップ部品用ホルダを移動させることを特徴とするチップ部品保持方法。
【発明の効果】
【００２０】
この発明のチップ部品用ホルダ及びチップ部品保持方法によれば、整列配置されたチップ部品を測定機へ移動させるときに生じるチップ部品の傾きを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００２２】
図１はこの発明の第１実施形態に係るチップ部品用ホルダの一部の断面を示す概念図である。
【００２３】
チップ部品用ホルダ１はホルダ本体１０とチップホルダ掛り１５とゲル（姿勢保持手段）２０とを備えている。
【００２４】
ホルダ本体１０の構成は従来例（図５参照）と同様である。
【００２５】
ホルダ本体１０に形成された凹部１１の平面形状は正方形である。凹部１１の１辺の長さは１．７ｍｍ程度である。
【００２６】
また、凹部１１に収容されたＧＦＦチップ（チップ部品）３０は立方体状のガラス基板に設けられた多層膜である。ＧＦＦチップ３０の１辺の長さは１．５ｍｍ程度である。なお、ＧＦＦチップ３０の底面３０ａに光を導くための測定用貫通孔（貫通孔）１２がチップホルダ掛り１５に形成されている。
【００２７】
ゲル２０としては例えば信越シリコンのＲＴＶゴムが用いられる。
【００２８】
まず、ゲル２０を凹部１１の中のチップホルダ掛り１５に塗布する。
【００２９】
次に、ゲル２０を塗ったチップホルダ掛り１５にＧＦＦチップ３０を載置する。その結果、ＧＦＦチップ３０がチップホルダ掛り１５に貼り付けられる。
【００３０】
上記の方法によって凹部１１へのＧＦＦチップ３０の収容が完了した後、チップ部品用ホルダ１を図示しない測定機のステージまで手で運び、ＧＦＦチップ３０の光透過特性を測定する。
【００３１】
この第１実施形態によれば、ＧＦＦチップ３０はゲル２０によってチップホルダ掛り１５に保持され、手振れ等によって凹部１１内で揺動しないので、チップ部品用ホルダ１の移動中にＧＦＦチップ３０が傾かない。
【００３２】
したがって、測定工程で、ＧＦＦチップ３０にチップ部品用ホルダ１の下方からＧＦＦチップ３０の底面３０ａに対して直交するように光を入射させることができ、ＧＦＦチップ３０の光透過特性を正確に測定することができる。
【００３３】
図２はこの発明の第２実施形態に係るチップ部品用ホルダの一部の断面を示す概念図である。
【００３４】
この第２実施形態は姿勢保持手段としてチップホルダ掛り１１５とＧＦＦチップ１３０とにそれぞれ異なる極性の静電気を帯電させた点で第１実施形態と相違する。
【００３５】
チップホルダ掛り１１５はアクリル樹脂で形成されている。
【００３６】
まず、チップホルダ掛り１１５を綿布等とこすり合わせ、摩擦によってチップホルダ掛り１１５をマイナスに帯電させる。
【００３７】
次に、ＧＦＦチップ１３０を綿布等とこすり合わせ、摩擦によってＧＦＦチップ１３０をプラスに帯電させる。
【００３８】
その後、ＧＦＦチップ１３０を凹部１１１内に収容する。このとき、プラスに帯電させたＧＦＦチップ１３０とマイナスに帯電させたチップホルダ掛り１１５との間に引力が働き、ＧＦＦチップ１３０とチップホルダ掛り１１５とが密着する。
【００３９】
上記の方法によってすべての凹部１１１にＧＦＦチップ１３０を収容した後、チップ部品用ホルダ１０１を図示しない測定機のステージまで手で運び、ＧＦＦチップ１３０の光透過特性を測定する。
【００４０】
この第２実施形態によれば、第１実施形態と同様の効果を奏する。
【００４１】
図３はこの発明の第３実施形態に係るチップ部品用ホルダを説明するための概念図である。
【００４２】
この実施形態は姿勢保持手段として凹部（図示せず）内に収容されたＧＦＦチップ３０に上方から空気を吹き付けるダウンフロー発生ブース（空気吹付装置）５０を採用した点で第１実施形態と相違する。
【００４３】
ダウンフロー発生ブース５０の天井５０ａには空気を矢印ａの方向へ吹き出すエアシャワー（図示せず）が設けられている。
【００４４】
このダウンフロー発生ブース５０内には、チップ部品用ホルダ２０１の凹部（図示せず）にＧＦＦチップ２３０を収容する作業スペースと、これに隣接してＧＦＦチップ２３０の光透過特性を測定する測定機６０とが設けられている。
【００４５】
測定機６０は、光源６１と、光源６１から出射された光をチップホルダ本体２１０に載置したＧＦＦチップ２３０に導く光ファイバ６２と、光ファイバ６２の出射側端面に設けられたコリメータレンズ６３と、ＧＦＦチップ２３０を透過した光を受光するコリメータレンズ６４と、コリメータレンズ６４を通過した光をスペクトルアナライザ６５に導く受光側光ファイバ６６とで構成されている。
【００４６】
光源６１から出射された光は光ファイバ６２に導かれ、その出射側端面から出射され、コリメータレンズ６３によって平行光とされてＧＦＦチップ２３０に入射する。ＧＦＦチップ２３０を透過した光はコリメータレンズ６４により受光され、受光側光ファイバ６６を通してスペクトルアナライザ６５に導かれる。
【００４７】
したがって、チップ部品用ホルダ２０１の凹部にＧＦＦチップ２３０を収容する作業中及びチップ部品用ホルダ２０１を測定機６０へ運ぶ途中、ＧＦＦチップ２３０には常に空気が吹付けられ、ＧＦＦチップ２３０は一定の姿勢に保たれる。
【００４８】
この第３実施形態によれば、ゲルや静電気を利用することなく第１実施形態と同様の効果を奏する。
【００４９】
なお、ダウンフロー発生ブース５０内での作業にゲルや静電気を利用すれば、より確実にＧＦＦチップ２３０の傾きを防ぐことができる。
【００５０】
図４はこの発明の第４実施形態に係るチップ部品用ホルダの平面図である。
【００５１】
この実施形態のチップ部品用ホルダ３０１は凹部１１に代えて位置決め用凸部３１１を用いてＧＦＦチップ３３０を整列配置するようにした点で第１実施形態と相違する。
【００５２】
チップ部品用ホルダ３０１はホルダ本体３１０と位置決め用凸部３１１とを備えている
ホルダ本体３１０は石英で形成された矩形状の板である。ホルダ本体３１０は位置決め用凸部３１１の近傍にＧＦＦチップ３３０を配置するエリア（載置面）３１０Ａを有する。
【００５３】
位置決め用凸部３１１はホルダ本体３１０にフォトリソグラフィやＩＣＰエッチング等の異方性エッチングによって形成されている。
【００５４】
位置決め用凸部３１１の平面形状はＬ字形であり、位置決め用凸部３１１の辺３１１ａ及び辺３１１ｂでＧＦＦチップ３３０の隣接する辺３３０ａ及び辺３３０ｂをそれぞれ支持する。位置決め用凸部３１１の高さは３０μｍ程度である。
【００５５】
ホルダ本体３１０には、ＧＦＦチップ３３０が配置されるエリア３１０Ａに、光をホルダ本体３１０の下方からＧＦＦチップ３３０に導くための円形の測定用貫通孔（貫通孔）３１２が設けられている。この測定用貫通孔３１２はフォトリソグラフィやＩＣＰエッチング等の異方性エッチングによって形成される。
【００５６】
次に、このチップ部品用ホルダ３０１の使用方法を説明する。
【００５７】
まず、ＧＦＦチップ３３０をホルダ本体３１０のＧＦＦチップ載置エリア３１０Ａに配置する。
【００５８】
次に、位置決め用凸部３１１の屈曲部３１１ｃが最も低くなるようにホルダ本体３１０を傾ける。その結果、ＧＦＦチップ３３０がエリア３１０Ａを滑って位置決め用凸部３１１の辺３１１ａ，３１１ｂに当接する。このとき、ＧＦＦチップ３３０が片当り（位置決め用凸部３１１の一方の辺３１１ａ又は辺３１１ｂだけにＧＦＦチップ３３０が当接）しないように、ホルダ本体３１０を揺動させるのが好ましい。
【００５９】
このようにして、ＧＦＦチップ３３０は所定の計測位置に位置決めされるとともに、傾くことなくホルダ本体３１０に載置される。
【００６０】
ＧＦＦチップ３３０の位置決めが完了した後、チップ部品用ホルダ３０１を図示しない測定機のステージに手で運び、ＧＦＦチップ３３０にチップ部品用ホルダ３０１の下方から測定用貫通孔３１２を通じてＧＦＦチップ３３０の底面に対して直交するように光を入射させてＧＦＦチップ３３０の光透過特性を測定する。
【００６１】
この第４実施形態によれば、第１実施形態と同様の効果を奏する。
【００６２】
なお、位置決めが完了したＧＦＦチップ３３０をゲルでホルダ本体３１０に貼り付けるようにすれば、手振れによる傾きをより効果的に防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】図１はこの発明の第１実施形態に係るチップ部品用ホルダの一部の断面を示す概念図である。
【図２】図２はこの発明の第２実施形態に係るチップ部品用ホルダの一部の断面を示す概念図である。
【図３】図３はこの発明の第３実施形態に係るチップ部品用ホルダを説明するための概念図である。
【図４】図４はこの発明の第４実施形態に係るチップ部品用ホルダの平面図である。
【図５】図５は従来のチップ部品用ホルダの平面図である。
【図６】図６は図５のＡ部をホルダ本体の下方から見た拡大図である。
【図７】図７は図５のＡ部の断面を拡大して示した概念図である。
【符号の説明】
【００６４】
１，１０１，２０１，３０１    チップ部品用ホルダ
１０，１１０，２１０，３１０  ホルダ本体
１１，１１１  凹部
１２，１１２，３１２  測定用貫通孔（貫通孔）
２０  ゲル（姿勢保持手段）
３０，１３０，２３０，３３０  ＧＦＦチップ（チップ部品）
５０  ダウンフロー発生ブース（空気吹付装置）
３１１  位置決め用凸部
３１０Ａ  エリア
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2005174623.tif 000007
【図６】
2005174623.tif 000008
【図７】
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