(57)【要約】【課題】  外部から振動が加わった際にも、磁界発生体５の揺動または破損を防止するとともに、保持部材４等の寸法精度を抑制し、量産に適した安価な位置検出装置を得る。【解決手段】  第１の磁性体１および第２の磁性体２とを空隙３を隔てて相対向して配置し、この空隙３に保持部材４を配置し、この保持部材４に磁界発生体５を固定し、この磁界発生体５を第１の磁性体または第２の磁性体に近接させて配置し、この磁界発生体と第１の磁性体または第２の磁性体との間の磁力による吸引力を増大する。また、支持部材８の摺動部分９と保持部材４の摺動部分１０との摺動は、磁界発生体５が近接する磁性体側のみとし、保持部材４の高さＨ１等の寸法精度を抑制する。【選択図】        図１
2005077375.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
空隙を設けて相対向して配置され、支持部材で支持された第１の磁性体および第２の磁性体と、前記空隙中であって前記第１の磁性体または第２の磁性体に近接して配置され、これら第１の磁性体および第２の磁性体と磁路を形成する磁界発生体と、前記磁界発生体が保持固定され、前記第１の磁性体および第２の磁性体と相対移動可能にした保持部材と、前記第１の磁性体または第２の磁性体に設けた空隙に挿入され、前記摺動により変化する前記磁路による通過磁束をもとに前記第１の磁性体および第２の磁性体と前記保持部材との相対的な位置関係を表す信号を出力する磁気センサとを備えた位置検出装置。
【請求項２】
位置固定した第１の磁性体および第２の磁性体に対して保持部材を相対移動可能にしたことを特徴とする請求項１記載の位置検出装置。
【請求項３】
位置固定した保持部材に対して第１の磁性体および第２の磁性体を相対移動可能にしたことを特徴とする請求項１記載の位置検出装置。
【請求項４】
支持部材と保持部材とは、磁界発生体が近接した側で、前記の支持部材および保持部材に備えた樹脂同士で摺動させることを特徴とする請求項１記載の位置検出装置。
【請求項５】
保持部材は非磁性材とし、この保持部材に磁界発生体を接着剤で固定したことを特徴とする請求項１記載の位置検出装置。
【請求項６】
保持部材は非磁性体とし、この保持部材に磁界発生体をインサート成形により埋め込んで固定したことを特徴とする請求項１記載の位置検出装置。
【請求項７】
保持部材は非磁性体、且つ、弾性を有し、この保持部材の弾性力により磁界発生体を固定したことを特徴とする請求項１記載の位置検出装置。
【請求項８】
保持部材は非磁性体とし、この保持部材に磁界発生体をはめ込んだ後に該保持部材を変形させて該磁界発生体を固定したことを特徴とする請求項１記載の位置検出装置。
【請求項９】
相対移動する第１の磁性体および第２の磁性体または保持部材を被検出物体側へ付勢する弾性体を備えたことを特徴とする請求項１から請求項３のうちのいずれか１項記載の位置検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は外部振動による位置誤検出や破損等を防止した位置検出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の位置検出装置は、磁界を発生する磁界発生体、この磁界発生体と位置検出したい物体（被検出物体）とを連結し、この磁界発生体と共に位置検出方向に移動可能にした保持部材、この保持部材を挟むように所定の空隙を設けて相対向して配置した第１の磁性体および第２の磁性体、これら第１の磁性体および第２の磁性体を支持する支持部材、第１の磁性体または第２の磁性体の一方に設けられた空隙に挿入され、同挿入した側の磁性体を通過する磁束をもとに保持部材、つまり被検出物体の位置を検出する磁気センサ等を備え、直線運動する被検出物体の検出する位置検出装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記磁界発生体は、第１の磁性体および第２の磁性体それぞれと時計方向および反時計方向の磁路を形成する磁界を発生するように磁化されており、磁界発生体の位置（即ち、被検出物体位置）により上記磁路の位置が移動する。この磁路移動により、磁気センサを通過する磁束の密度と方向が変化し、磁気センサはこの磁束の密度と方向に応じた信号を出力する。この出力信号が位置検出したい物体の位置を表す信号であり、位置に対し直線的な関係を有する信号である。従って、磁気センサの出力信号から物体の移動位置を検出できることとなる。
また、磁界発生体は第１の磁性体と第２の磁性体との間の空隙中央に配置するように保持部材に固定している。
また、磁界発生体が保持固定された保持部材は、この保持部材に設けた摺動部分と、第１の磁性体および第２の磁性体を支持する支持部材に設けた摺動部分とで摺動しながら移動する。この場合、摺動する箇所は第１の磁性体および第２の磁性体の双方の側である。
【０００４】
【特許文献１】特表平７−５００４２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の位置検出装置は以上のように構成されており、特に、磁界発生体は第１の磁性体と第２の磁性体との間の空隙中央に配置しているので、この磁界発生体と第１の磁性体および第２の磁性体それぞれとの間の磁力はほぼ等しいものとなる。これにより、磁界発生体は外力に対して不安定な位置に置かれることになる。従って、例えば外部から振動が加わった際、磁界発生体は容易に揺動してしまい、例えば位置検出方向に振動が加わった場合は、磁界発生体が揺動してしまい、最悪、保持部材が位置被検出物体との連結を保てなくなり、位置を誤検出してしまう。
また、磁界発生体が例えば第１の磁性体または第２の磁性体の方向に揺動した場合、最悪、磁界発生体が第１の磁性体または第２の磁性体に衝突、または、磁界発生体を保持固定する保持部材が第１の磁性体および第２の磁性体を支持する支持部材に衝突する等して磁界発生体が破損してしまう恐れがあった。
【０００６】
この磁界発生体の揺動を防ぐ方策として、外力が加わった場合に対し、磁界発生体に位置検出方向へ予め大きな荷重を付与しておく方法、また、磁界発生体または保持部材が本来の位置検出する方向以外には大きく移動しないように磁界発生体と第１の磁性体および第２の磁性体との間、または保持部材と第１の磁性体および第２の磁性体との間等の隙間を極力小さくする方法等があるが、これら方法の場合、荷重付勢手段を追加したり、部品の寸法精度を高くする必要があるため、生産コストが高くなり、また、生産性が悪くなる等の課題があった。
【０００７】
この発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、外部から振動が加わった際にも、磁界発生体が、位置検出方向と平行な方向および磁界発生体の磁力成分が発生する方向と平行な方向（第１または第２の磁性体方向）へ揺動することを防止し、これにより、高精度の信号を出力して位置誤検出を防止するとともに、他の部材と衝突しないようにして磁界発生体の破損の防止し、さらに部品の寸法精度を抑制し、生産性の良い量産に適した安価な位置検出装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明に係る位置検出装置は、空隙を設けて相対向して配置され、支持部材で支持された第１の磁性体および第２の磁性体と、前記空隙中であって前記第１の磁性体または第２の磁性体に近接して配置され、これら第１の磁性体および第２の磁性体と磁路を形成する磁界発生体と、前記磁界発生体が保持固定され、前記第１の磁性体および第２の磁性体と相対移動可能にした保持部材と、前記第１の磁性体または第２の磁性体に設けた空隙に挿入され、前記摺動により変化する前記磁路による通過磁束をもとに前記第１の磁性体および第２の磁性体と前記保持部材との相対的な位置関係を表す信号を出力する磁気センサとを備えたものである。
【発明の効果】
【０００９】
この発明によれば、空隙を設けて相対向して配置され、支持部材で支持された棒状または板状の第１の磁性体および第２の磁性体と、これら第１の磁性体および第２の磁性体と磁路を形成する磁界発生体が保持固定され、前記第１の磁性体および第２の磁性体と相対移動可能にした保持部材と、前記第１の磁性体または第２の磁性体に設けた空隙に挿入され、前記相対移動により変化する通過磁束をもとに前記第１の磁性体および第２の磁性体と前記保持部材との相対的な位置関係を表す信号を出力する磁気センサとを備えた構成としたので、磁界発生体とこれに近接する第１の磁性体または第２の磁性体との間の磁力による吸引力が増大し、磁界発生体が第１の磁性体または第２の磁性体から容易に離れなくなる一方、支持部材の摺動部分と保持部材の摺動部分との摩擦力が増大することとなり、外部から振動が加わった際にも、磁界発生体が、位置検出方向と平行な方向および磁界発生体の磁力成分が発生する方向と平行な方向へ揺動することが防止される。この結果、磁気センサからは高精度の信号が出力されて位置誤検出を防止でき、また、第１の磁性体または第２の磁性体等との衝突による磁界発生体の破損を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、この発明の実施の一形態を説明する。
実施の形態１．
図１（ａ）はこの発明の実施の形態１による位置検出装置の横断面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ線における縦断面図である。
図１において、位置検出装置は棒状または板状の第１の磁性体１および第２の磁性体２とが所定の空隙３を隔てて相対向して配置され、この空隙３の高さ方向の中央位置に非磁性材の保持部材４を配置し、この保持部材４の片面に、磁界を発生する板状の磁界発生体５を第２の磁性体２に近接した配置になるように固定する。
上記磁界発生体５は第１の磁性体１および第２の磁性体２と時計方向および反時計方向の磁路を形成する磁界を発生するように磁化されている。
【００１１】
第１の磁性体１には空隙６を設け、この空隙６内に磁気センサ７を挿入し、第１の磁性体１を介しこの磁気センサ７を通過する磁束を検出する。
また、図１（ａ）に示すように、第１の磁性体１および第２の磁性体２は非磁性材の支持部材８で支持されており、保持部材４はその横断面が略Ｈ状である。
図１（ａ）に示した支持部材８の摺動部分９と保持部材４の摺動部分１０とが図１（ｂ）の双方向矢印Ｐ−Ｐで示す位置検出方向に摺動し、第１の磁性体１および第２の磁性体２と磁界発生体５を固定した保持部材４との間の相対的な位置関係が直線運動により変化する構造となっている。この場合、第１の磁性体１および第２の磁性体２、または保持部材４の一方を位置固定とし、他方を位置可動にして移動可能とする。いずれを位置固定とし、または位置可動としても両者の相対的な位置関係は同じであり、位置検出装置として成立する。この相対的な位置関係の変化が被検出対象となるものである。
【００１２】
例えば第１の磁性体１および第２の磁性体２は位置固定とし、磁界発生体５が固定された保持部材４を前記摺動により移動可能とし、この保持部材４に位置被検出物体を連結し、被検出物体の位置変化に追従して保持部材４の位置を移動させる。この保持部材４の位置移動により、前記磁気センサ７を通過する磁束の密度および方向が変化し、この変化に応じた電気信号Ｓ１が磁気センサ７から出力される。この出力信号は位置変化に対し直線的な関係を有しており、この出力信号から被検出物体の位置を検出できることとなる。
なお、磁界発生体５を上記のように第２の磁性体２に近接して配置した場合と、磁界発生体５を第１の磁性体１と第２の磁性体２間の空隙３の高さ方向の中央に配置した場合（従来）とにおける磁気センサ７の出力の変化の有無については、磁界発生体５と第１の磁性体１および第２の磁性体２の磁界発生体５の磁界成分が発生する方向の相対位置が変化しないため、磁気センサ７を通過する磁束量は変化せず、従って、磁気センサの出力は変化しない。
【００１３】
第１の磁性体１および第２の磁性体２は共に電磁鋼板を積層したものを使用し、表面の渦電流の発生を防止している。第１の磁性体１と第２の磁性体２間の空隙３の大きさを例えばＧ１＝２．８ｍｍとした場合、空隙３に磁界発生体５（Ｔ１＝１．２ｍｍ（下記））が入ると、図１における磁界発生体５と第１の磁性体１および第２の磁性体２との間隔はそれぞれＧ２＝１．０ｍｍ、Ｇ３＝０．６ｍｍとなり、磁束が通り易くなるように設計している。
また、第１の磁性体１および第２の磁性体２それぞれの厚さＴ２、即ち磁界発生体５の発生磁界方向と平行方向の寸法Ｔ２は磁界発生体５が発生する磁束が第１の磁性体１および第２の磁性体２の内部で飽和しないように設計する。
【００１４】
また、上述の磁界発生体５は、例えばサマリウム・コバルト系の方形磁石を使用し、そのサイズ例として、例えば厚さＴ１、即ち磁界発生体５の発生磁界方向と平行方向の寸法Ｔ１は１．２ｍｍとし、長手方向の長さＬ、即ち位置検出方向（Ｐ−Ｐ）と平行方向の寸法Ｌは、検出距離を１５ｍｍとした場合であれば余裕を持たせて２０．３ｍｍとする。
【００１５】
なお、上記説明で引用した磁界発生体５の厚さＴ１及び長さＬ、第１の磁性体１と第２の磁性体２間の空隙３の大きさＧ１、磁界発生体５と第１の磁性体１および第２の磁性体２との間隔Ｇ２、Ｇ３等の数値については一例であってこれに限定されるものではない。
【００１６】
第１の磁性体１、第２の磁性体２および磁界発生体５の奥行寸法Ｗ１、Ｗ２、即ち磁界発生体５の発生磁界方向と垂直方向、かつ位置検出方向と垂直方向の寸法Ｗ１とＷ２とは異なっていることが望ましいが、磁界発生体５の奥行寸法Ｗ２が第１の磁性体１および第２の磁性体２の奥行寸法Ｗ１より大きくてもよく（Ｗ２＞Ｗ１）、その逆に、第１の磁性体１および第２の磁性体２の奥行寸法Ｗ１が磁界発生体５の奥行寸法Ｗ２より大きくてもよい（Ｗ１＞Ｗ２）。図１（ａ）はＷ２＞Ｗ１としたものである。
【００１７】
また、磁界発生体５は図１（ａ）に示すように保持部材４へ固定する。その固定方法としては、磁界発生体５を接着材で保持部材４に固定、または保持部材４の中に磁界発生体５をインサート成形して埋め込んで固定、または弾性力を有する保持部材４の弾性力で磁界発生体５を固定、または磁界発生体５を保持部材４にはめ込んだ後に磁界発生体５が脱落しないように該保持部材を変形（図１（ａ）のＫ部）させて固定、のいずれでもよい。
【００１８】
磁気センサ７は、内部に温度検知素子が含まれ、温度補償機能をプログラムできるＡＳＩＣ（Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ  Ｓｐｅｃｉｆｉｃ  Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ：特定用途向け半導体）付きホール素子を使用し、ゼロ点や出力勾配をホールＩＣの中で調整してあるので、高温環境でも出力は変動しない。
【００１９】
磁界発生体５の保持部材４への固定は、前述のように第２の磁性体２に近接して配置するように固定する。
このように磁界発生体５を第２の磁性体２に近接して配置するとした点が本発明の特徴であり、この近接配置により、磁界発生体５とこれに近接する第２の磁性体２との間の磁力による吸引力が増大し、磁界発生体５が第２の磁性体２から容易に離れなくなる一方、前述の支持部材８の摺動部分９と保持部材４の摺動部分１０との摺動における摩擦力が増大する。この摩擦力増大により外部振動による磁界発生体５の揺動が防止されることとなる。
【００２０】
また、磁界発生体５の近接配置による吸引力増大により、支持部材８の摺動部分９と保持部材４の摺動部分１０との摺動は図１（ａ）に示すように、磁界発生体５が近接した第２の磁性体２側でのみ摺動させればよく、第１の磁性体１側では摺動は不要である。
このように、支持部材８の摺動部分９と保持部材４の摺動部分１０との摺動が一方の側のみでよく、これにより、図１（ａ）に示す保持部材４の高さＨ１、または保持部材４と支持部材８との隙間Ｈ２の寸法精度は厳密さが要求されることがなくなり、保持部材４や支持部材８等の寸法精度を高くする必要がなく、これら部材の製造が容易となって生産性を改善できる。
【００２１】
また、保持部材４はその摺動部分１０で支持部材８の摺動部分９と摺動する一方、磁界発生体５を保持することから摺動性の高い高強度な材料（樹脂材料等）を使用することが望ましい。この材料として例えば、フッ素含有ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）材を使用することが望ましい。
さらに、支持部材８の摺動部分９についても上記保持部材４と同様の樹脂材料を使用することにより支持部材８の摺動部分９と保持部材４の摺動部分１０との摺動性を高めることが可能となる。
【００２２】
以上説明の図１の構成は、磁界発生体５を第２の磁性体２に近接して配置したものであるが、磁界発生体５を第１の磁性体１に近接して配置する構成としてもよい。
この構成の場合、第１の磁性体１と磁界発生体５との間の吸引力が増大し、前述の第２の磁性体２に近接して配置した構成と同様の効果となる。
従って、支持部材８の摺動部分９と保持部材４の摺動部分１０との摺動は第１の磁性体１側でのみ摺動させるようにする。
また、図１では磁気センサ７を第１の磁性体１の空隙６に設けたが、第２の磁性体２に同様の空隙（図示せず）を設け、ここに磁気センサ７を挿入する構成としてもよい。
【００２３】
次に前記位置検出装置の動作について図２をもとに説明する。
図２（ａ）（ｂ）（ｃ）はこの実施の形態１による位置検出装置の縦断面図であり、図１（ｂ）の第１の磁性体１および第２の磁性体２と保持部材４（磁界発生体５含む）との相対位置関係を変えて描いた図である。
また、磁界発生体５と磁気センサ７との位置関係からは、図２（ａ）は磁界発生体５が磁気センサ７に対し左側位置に寄った場合、図２（ｂ）は磁界発生体５が磁気センサ７に対し中央に位置する場合、図２（ｃ）は磁界発生体５が磁気センサ７に対し右側位置に寄った場合である。
位置を検出する物体（被検出物体）は、相対位置関係が変化する保持部材４側または第１の磁性体１および第２の磁性体２側のいずれに連結してもよいことについては既に説明した通りである。この場合、被検出物体を連結した側が可動（移動）となり、被検出物体を連結しない側は位置固定となる。一般には、保持部材４側に被検出物体を連結し、第１の磁性体１および第２の磁性体２は位置固定とする。
【００２４】
また、前述のように、磁界発生体５は図示のように第１の磁性体１および第２の磁性体２と時計方向および反時計方向の磁路を形成する磁界を発生する。
上記磁路が被検出物体の位置変化に追従して移動し、これにより磁気センサ７を通過する磁束の密度および方向が変化する。図２（ａ）は反時計方向の磁束１１が通過している状態を示し、図２（ｂ）は時計方向と反時計方向の磁路の間であって磁束の通過の無い状態を示し、図２（ｃ）は時計方向の磁束１２が通過している状態を示す。
もっとも、上記図２（ａ）（ｂ）（ｃ）は代表的な状態を示したものであり、実際には被検出物体の位置変化に応じて図２（ａ）と（ｂ）との間の状態および図２（ｂ）と（ｃ）との間の状態が存在することは云うまでもない。このような間の状態について磁束密度が異なっている。
以上より、磁気センサ７からは、この磁気センサ７を通過する磁束の密度および方向をもとに被検出物体の位置移動に応じた信号Ｓ１が出力され、位置検出される。
この出力信号は前述のように位置変化に対し直線的に変化する信号である。
【００２５】
上記説明の位置検出においては、前述のように磁界発生体５を第２の磁性体２に近接して配置していることから磁界発生体５とこれに近接する第２の磁性体２との間の磁力による吸引力が増大し、磁界発生体５が第２の磁性体２から容易に離れなくなる一方、前述（図１（ａ））の支持部材８の摺動部分９と保持部材４の摺動部分１０との摺動における摩擦力が増大し、外部振動による磁界発生体５の揺動が防止されている。
【００２６】
以上の説明のように、位置検出装置は磁界の状態変化から被検出物体の位置を検出する点を原理とする。従って、外部磁界の影響を無視できない場合が考えられる。
このように、外部磁界が大きく、その影響を無視できない場合には相応の措置が必要となる。
図３（ａ）は外部磁界に対処した位置検出装置の横断面図、図３（ｂ）は図３（ａ）のＡ−Ａ線における縦断面図であり、図１と同一のものは同一符号を付してある。
図示のように、位置検出装置全体を磁性体の筐体１３で囲うことにより、外部磁界から内部への磁界回路を遮断し、外部磁界からの影響を防止できる。
【００２７】
次に、位置検出装置の用途について説明する。
前記説明の位置検出装置は、例えば自動車に搭載するＥＧＲ―バルブのバルブ位置検出やエアアクチュエータのアーム位置検出等に使用できる。
図４はこのうちのＥＧＲ―バルブの縦断面図であり、理解を容易にするため、図１と同一のものについては同一符号を付してある。
このＥＧＲ―バルブは排気ガスの一部をエンジンの吸気側へ戻す際に排気ガスの戻し量をバルブ（弁）でコントロールするものである。
【００２８】
図４において、弁ケース本体２１の下部側には吸入口２２が設けられ、この吸入口２２を入ったところに弁２３が設けられている。この弁２３には弁棒２４が連結しており、この弁棒２４が図示矢印のように上下動することにより弁２３が上下動し、上方向で弁２３が開く状態、最も下がった位置で弁座２７に当接し、弁２３が閉じる状態となる。従って、上方向への動きが大きいほど弁２３の開きは大きくなり、吸入口２２から排出口２５へ流れる排気ガス２６の量は増える。排出口２５へ流れた排気ガス２６はエンジン（図示せず）の吸気口へ導かれる。
この弁２３と連結している弁棒２４はダイヤフラム２８と連結し、この弁棒２４の中間位置では軸受部材２９が設けられ、弁棒２４の上下動を摺動支持すると共に、排気ガス２６の漏れを防止している。
上記弁棒２４とダイヤフラム２８との連結点に位置検出装置を構成する保持部材４が当接している。
【００２９】
図４に示す位置検出装置は図１に示したものであって、保持部材４側を位置可動、第１の磁性体１および第２の磁性体２を位置固定とし、保持部材４に固定されている磁界発生体５は第２の磁性体２に近接して配置し、磁気センサ７は第１の磁性体１に設けたものである。
この磁気センサ７からは位置検出の信号Ｓ１が出力される。
図４における位置検出の対象は排気ガス２６の戻り量を決定付ける弁２３の開閉位置であり、弁棒２４の上下動に連動して保持部材４が上下動し、この上下動に応じて磁気センサ７からは弁２３の位置を示す信号Ｓ１が出力される。換言すれば、磁気センサ７の出力信号Ｓ１が排気ガスの戻り量を表すこととなる。
【００３０】
以上説明のＥＧＲ―バルブにおいては、前述のように磁界発生体５を第２の磁性体２に近接して配置していることから磁界発生体５とこれに近接する第２の磁性体２との間の磁力による吸引力が増大し、磁界発生体５が第２の磁性体２から容易に離れなくなる一方、前述の支持部材８の摺動部分９と保持部材４の摺動部分１０との摺動における摩擦力が増大し、外部振動による磁界発生体５の揺動が防止されている。
【００３１】
以上のように、この実施の形態１によれば、支持部材８で支持された第１の磁性体１および第２の磁性体２の間の空隙３に、これら磁性体の一方に近接配置するように磁界発生体５を保持固定した保持部材４を設ける構成としたので、磁界発生体５とこれに近接する第１の磁性体１または第２の磁性体２との間の磁力による吸引力が増大し、磁界発生体５が第１の磁性体１または第２の磁性体２から容易に離れなくなる一方、支持部材８の摺動部分９と保持部材４の摺動部分１０との摺動の際の摩擦力が増大することとなり、外部から振動が加わった際にも、磁界発生体５が、位置検出方向と平行な方向および磁界発生体５の磁力成分が発生する方向と平行な方向へ揺動することが防止され、これにより、磁気センサ７からは高精度の信号が出力されて位置誤検出を防止でき、また、第１の磁性体１または第２の磁性体２等の部材と衝突することがなくなり、磁界発生体５の破損を防止することができる。
【００３２】
また、磁界発生体５の近接配置による吸引力の増大により、支持部材８の摺動部分と保持部材４の摺動部分との摺動は、磁界発生体５が近接する第１の磁性体１または第２の磁性体２の一方の側のみでよく、これにより、保持部材４の高さＨ１（図１）、または保持部材４と支持部材８との隙間Ｈ２の寸法精度は厳密さが要求されることがなくなり、保持部材４や支持部材８等の寸法精度を高くする必要がなくなり、これら部材の製造が容易となり、生産性の良い量産に適した安価な位置検出装置を得ることができる。
【００３３】
また、支持部材８の摺動部分９と保持部材４の摺動部分１０とを樹脂同士の摺動とすることにより、その摺動性を高めることができる。
【００３４】
実施の形態２．
図５（ａ）はこの発明の実施の形態２による位置検出装置の横断面図、図５（ｂ）は図５（ａ）のＡ−Ａ線における縦断面図である。なお、磁界発生体５を第２の磁性体２に近接配置している点は実施の形態１と同様であり、また、図１と同一のものについては同一符号を付して説明は省略する。
実施の形態１で説明したように、被検出物体は第１の磁性体１および第２の磁性体２側または磁界発生体５が固定された保持部材４側のいずれに当接させてもその被検出物体の位置検出は可能である。
これに対しこの実施の形態２の位置検出装置は、被検出物体を保持部材４側に当接させることを前提とし、保持部材４を可動、第１の磁性体１および第２の磁性体２を位置固定の構成としたものである。
【００３５】
上記構成において、図５（ｂ）に示すように、第１の磁性体１および第２の磁性体２を支持する支持部材４１と保持部材４との間に例えばバネ４２等の弾性体を設け、このバネ４２等の弾性体により保持部材４を被検出物体が存在する方向に付勢する。この付勢により、磁界発生体５が固定された保持部材４を常時、被検出物体に押し付けることができるため、敢えて保持部材４を被検出物体に結合することなく、被検出物体の位置検出が可能となる。また、上記弾性体はバネ４２に限らず、このバネ４２と同機能のものであってもよい。
【００３６】
以上のように、この実施の形態２によれば、第１の磁性体１および第２の磁性体２を支持する支持部材４１と保持部材４との間にバネ４２等の弾性体を設け、このバネ４２等の弾性体により保持部材４を被検出物体が存在する方向に付勢する構成としたので、磁界発生体５が固定された保持部材４を常時、被検出物体に押し付けることができるため、敢えて保持部材４を被検出物体に結合することなく、被検出物体の位置検出が可能となる。
【００３７】
実施の形態３．
図６はこの実施の形態３による位置検出装置の縦断面図である。なお、磁界発生体５を第１の磁性体１に近接して配置する構成としてもよい点は実施の形態１と同様であり、図１と同一のものには同一符号を付して重複説明を省略する。
実施の形態１、２では、磁界発生体５を第１の磁性体１または第２の磁性体２に近接配置するように保持部材４に固定し、この保持部材４自体は第１の磁性体１と第２の磁性体２間の空隙３の高さ方向の中央に配置していた。従って、保持部材４と磁界発生体５との位置関係については図１（ｂ）または図５（ｂ）に示すように、磁界発生体５が保持部材４の中央位置から外れた下部側へ寄った位置関係になっていた。
これに対しこの実施の形態３の位置検出装置は、図６に示すように、磁界発生体５をインサート成形により、保持部材５１の厚み方向の中央位置に固定し、その固定された保持部材５１を第２の磁性体２に近接配置したものである。
【００３８】
上記のように構成することによっても、磁界発生体５は第２の磁性体２に近接配置されて磁界発生体５と第２の磁性体２間の吸引力が増大し、実施の形態１と同様の効果が得られることとなる。
【００３９】
以上のように、この実施の形態３によれば、磁界発生体５を保持部材５１の厚み方向の中央位置にインサート固定し、その固定された保持部材５１を第１の磁性体１または第２の磁性体２に近接配置した構成としたので、実施の形態１と同様に磁界発生体５と第１の磁性体１または第２の磁性体２と間の吸引力が増大し、これにより実施の形態１と同様の効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】（ａ）はこの発明の実施の形態１による位置検出装置の横断面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線における縦断面図である。
【図２】（ａ），（ｂ），（ｃ）はこの発明の実施の形態１による位置検出装置の動作を説明するための縦断面図である。
【図３】（ａ）はこの発明の実施の形態１において外部磁界に対処した位置検出装置の横断面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線における縦断面図である。
【図４】この発明の実施の形態１による位置検出装置を適用したＥＧＲ―バルブの縦断面図である。
【図５】（ａ）はこの発明の実施の形態２による位置検出装置の横断面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線における縦断面図である。
【図６】この実施の形態３による位置検出装置の縦断面図である。
【符号の説明】
【００４１】
１  第１の磁性体、２  第２の磁性体、３，６  空隙、４  保持部材、５  磁界発生体、７  磁気センサ、８  支持部材、９，１０  摺動部分、１１，１２  磁束、１３  筐体、２１  弁ケース本体、２２  吸入口、２３  弁、２４  弁棒、２５  排出口、２６  排気ガス、２７  弁座、２８  ダイヤフラム、２９  軸受部材、４１  支持部材、４２  バネ、５１  保持部材。
【図１】
2005077375.tif 000003
【図２】
2005077375.tif 000004
【図３】
2005077375.tif 000005
【図４】
2005077375.tif 000006
【図５】
2005077375.tif 000007
【図６】
2005077375.tif 000008