(57)【要約】【課題】単結晶インゴットの工程管理を自動化して高精度に行い、単結晶インゴットの受け入れ、ストッカーへの保管、ストッカーからの取り出し等の作業を人手に依らず簡便にかつ円滑に行うことのできる単結晶インゴットの管理方法及び管理システムを提供する。【解決手段】製造した単結晶インゴットの工程管理を行う管理方法において、前記単結晶インゴットに無線ＩＣタグを付けた後、該無線ＩＣタグへの単結晶インゴットのデータの書き込み、及び該無線ＩＣタグからのデータの読み出しを行うことによって、前記単結晶インゴットの工程管理を行うことを特徴とする単結晶インゴットの管理方法、及び単結晶インゴットの管理システム。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
製造した単結晶インゴットの工程管理を行う管理方法において、前記単結晶インゴットに無線ＩＣタグを付けた後、該無線ＩＣタグへの単結晶インゴットのデータの書き込み、及び該無線ＩＣタグからのデータの読み出しを行うことによって、前記単結晶インゴットの工程管理を行うことを特徴とする単結晶インゴットの管理方法。
【請求項２】
前記無線ＩＣタグに、単結晶インゴットの製造条件の情報をデータとして書き込むことを特徴とする請求項１に記載の単結晶インゴットの管理方法。
【請求項３】
前記単結晶インゴットの加工を行う際に、前記無線ＩＣタグからデータを読み出して単結晶インゴットを識別することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の単結晶インゴットの管理方法。
【請求項４】
前記製造した単結晶インゴットをストッカーに保管する場合に、前記無線ＩＣタグからデータを読み出して単結晶インゴットを識別し、該ストッカーに保管する単結晶インゴットを管理することを特徴とする請求項１ないし請求項３の何れか一項に記載の単結晶インゴットの管理方法。
【請求項５】
前記ストッカーに保管されている単結晶インゴットを取り出す際に、前記無線ＩＣタグからデータを読み出して単結晶インゴットを識別することを特徴とする請求項４に記載の単結晶インゴットの管理方法。
【請求項６】
前記無線ＩＣタグを、前記単結晶インゴットの表面に直接接着することを特徴とする請求項１ないし請求項５の何れか一項に記載の単結晶インゴットの管理方法。
【請求項７】
製造した単結晶インゴットの工程管理を行う管理システムであって、少なくとも、前記単結晶インゴットに付ける無線ＩＣタグと、該無線ＩＣタグにデータを書き込むための無線ＩＣタグ書き込み手段と、前記無線ＩＣタグからデータを読み出すための無線ＩＣタグ読み出し手段と、前記無線ＩＣタグへ書き込まれるデータ及び前記無線ＩＣタグから読み出されるデータを記録して前記単結晶インゴットのデータを管理するホストコンピュータとを具備することを特徴とする単結晶インゴットの管理システム。
【請求項８】
前記ホストコンピュータが少なくとも２台以上設置される場合、該ホストコンピュータ同士がＬＡＮ回線で接続されていることを特徴とする請求項７に記載の単結晶インゴットの管理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエーハのような精密基板等への加工が施される単結晶インゴットの工程管理を行う管理方法、及び管理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体ウエーハは、インゴット製造工程においてチョクラルスキー法（Ｃｚｏｃｈｒａｌｓｋｉ法）やフローティングゾーン法（Ｆｌｏａｔｉｎｇ−Ｚｏｎｅ法）等により単結晶インゴットを育成した後、単結晶インゴットから薄板（ウエーハ）を切り出すスライス工程、ウエーハの外周の欠けを防止するための面取り工程、ウエーハの厚さのバラツキをなくすためのラッピング工程、加工歪みや汚染物を除去するためのエッチング工程、ウエーハの面取り部および主表面を鏡面化する研磨工程等の加工工程を有するウエーハ製造工程を行うことによって製造される。
【０００３】
上記のような半導体ウエーハの製造において、単結晶インゴットから切出されて得られたウエーハは、スタッカーやキャリア等のウエーハ収納容器に収容されて搬送され各種処理がバッチ毎に行われている。このとき、ウエーハを収容する収納容器にはバーコードやプラスチックタグ等が付けられており、それらにウエーハの切出された単結晶インゴットの情報やウエーハに施された各加工処理の履歴などといった情報を表示し、ウエーハ製造工程の工程管理や納期管理が行われている。
【０００４】
近年、上記のようなウエーハ加工工程において、ウエーハの収納容器へのデータの変更を行ったり、またデータ量の増加を図るために、ウエーハの収納容器に送受信機能と書き換え可能なメモリを備えるＩＣモジュールを取り付け、このＩＣモジュールと無線による双方向データ通信を行って、多量のデータの中から必要な時に必要なデータを取り出すことができる半導体製造システムにおけるＩＤ認識装置が開示されている（特許文献１参照）。
【０００５】
また、特許文献２では、収納容器に収容する収納品（例えば、半導体ウエーハ）を汚染することなく、成形が容易で量産に適し、初期情報の書き換えが可能な収納容器として、半導体用ウエーハを収納する内箱、これを収容する上蓋と外箱とからなり、非接触データキャリアがこれらの部材の一部または全部に一体成形により設けられている電気・電子部品収納容器が開示されている。
【０００６】
一方、インゴット製造工程で製造した単結晶インゴットを上記のようなウエーハ製造工程に出荷する際には、図３に示すように、単結晶インゴット２１の上面にその製造履歴やスペック等の情報と連動したバーコード２２を添付してから、その単結晶インゴット２１を発泡スチロールの輸送箱２３に梱包して出荷が行われている。そして、その後ウエーハ製造工程側で、その単結晶インゴットに添付されているバーコードをホストコンピュータ等に連動したバーコードリーダーで光学的に読み取ることによって搬入された単結晶インゴットを識別し、単結晶インゴットの受け入れや自動ストッカーへの保管等の工程管理を行っている。このような単結晶インゴットの工程管理では、インゴットの重量が非常に重く、また単結晶インゴットの大口径化が進んでいることから、作業者への負担が大きくなってきているため、工程管理を自動化することが望まれている。
【０００７】
しかしながら、通常、インゴット製造工程で単結晶インゴットの出荷を行う際には、発泡スチロールの輸送箱に梱包される単結晶インゴットの直径や長さ等が不揃いになることが多い。そのため、その後ウエーハ製造工程で単結晶インゴットを受け入れる際に、インゴットに添付されているバーコードの位置をコンピュータ等で自動的に特定することができないため、バーコードの読み取りを行うためには、作業者がバーコードの位置を確認してバーコードリーダーを手動で適切に合わせる必要があり、単結晶インゴットの受け入れを自動化することは困難であった。
【０００８】
さらに、単結晶インゴットを出荷する際には、発泡スチロールの輸送箱１箱あたりに１本ないし数本の単結晶インゴットが梱包され、梱包された各インゴットのそれぞれにバーコードが添付されている。そのため、ウエーハ製造工程での単結晶インゴットの受け入れ作業ではバーコードの読み取りを一つ一つ手作業で行わざるを得なく、大変手間がかかる上にコストアップの要因の一つとなっていた。
【０００９】
また、例えば、インゴット製造工程から出荷された単結晶インゴットをウエーハ製造工程で受け入れた後に自動ストッカーで保管する場合、単結晶インゴットはウエーハ製造工程の受け入れ時にバーコードで管理されているため、自動ストッカーに保管する際に単結晶インゴットの固有情報を自動ストッカーのパレットに移し替えざるを得ない。そのため、その後自動ストッカーから単結晶インゴットを取り出すときに、インゴットの固有情報を確認するためにインゴットに添付されているバーコードを再度手動で読み取らなければならず、人手が必要とされ、作業者に非常に大きな負担がかかるという問題があった。
【００１０】
【特許文献１】特開平５−２７５２９６号公報
【特許文献２】実開平７−１７７９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
そこで、本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、単結晶インゴットの工程管理を自動化して高精度に行い、単結晶インゴットの受け入れ、ストッカーへの保管、ストッカーからの取り出し等の作業を人手に依らず簡便にかつ円滑に行うことのできる単結晶インゴットの管理方法及び管理システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために、本発明によれば、製造した単結晶インゴットの工程管理を行う管理方法において、前記単結晶インゴットに無線ＩＣタグを付けた後、該無線ＩＣタグへの単結晶インゴットのデータの書き込み、及び該無線ＩＣタグからのデータの読み出しを行うことによって、前記単結晶インゴットの工程管理を行うことを特徴とする単結晶インゴットの管理方法が提供される（請求項１）。
【００１３】
このように、インゴット製造工程で製造された単結晶インゴットに無線ＩＣタグを取り付けておき、その後この無線ＩＣタグへの単結晶インゴットのデータの書き込み、及び無線ＩＣタグからのデータの読み出しを行うことによって、単結晶インゴットの製造後の工程管理を自動化して高精度に行うことができる。それによって、例えばインゴット製造工程で単結晶インゴットを出荷した後、インゴットを加工してウエーハの製造が行われるウエーハ製造工程において、インゴットの受け入れ、ストッカーへの保管、ストッカーからの取り出し等の作業を人手を介さずに簡便にかつ円滑に行うことが可能となる。尚、本発明において、単結晶インゴットに取り付ける無線ＩＣタグとは、離れたところから無線を利用してデータの読み書きが可能な応答機のことであり、例えば、無線信号の送受信を行うアンテナ部、データを記録するＩＣ等を有する回路部等から構成されているものである。また、ここで単結晶インゴットのデータとは、単結晶インゴットの製造履歴や、結晶方位、抵抗率、酸素濃度、導伝型、結晶欠陥等の品質情報のことを意味する。
【００１４】
このとき、前記無線ＩＣタグに、単結晶インゴットの製造条件の情報をデータとして書き込むことが好ましく（請求項２）、また、前記単結晶インゴットの加工を行う際に、前記無線ＩＣタグからデータを読み出して単結晶インゴットを識別することが好ましい（請求項３）。
【００１５】
このように、インゴット製造工程で単結晶インゴットを製造した後に単結晶インゴットに無線ＩＣタグを付けて単結晶インゴットの製造条件の情報をデータとして書き込んでおけば、その後、単結晶インゴットの加工が行われるウエーハ製造工程で、無線ＩＣタグからデータを読み出して単結晶インゴットの識別を自動で行うことができるようになり、インゴットの受け入れ作業を人手を介さずに簡便にかつ円滑に行うことができる。
【００１６】
また、前記製造した単結晶インゴットをストッカーに保管する場合に、前記無線ＩＣタグからデータを読み出して単結晶インゴットを識別し、該ストッカーに保管する単結晶インゴットを管理することができ（請求項４）、さらにこの場合、前記ストッカーに保管されている単結晶インゴットを取り出す際に、前記無線ＩＣタグからデータを読み出して単結晶インゴットを識別することができる（請求項５）。
【００１７】
このように、単結晶インゴットをウエーハ製造工程で受け入れた後にストッカーに保管する場合、無線ＩＣタグから単結晶インゴットのデータを読み出すことにより、単結晶インゴットを自動で識別することができるので、例えばこの単結晶インゴットの固有のデータとストッカーに保管する保管庫の情報とをコンピュータ等に記録して連動させることにより、ストッカーに保管する単結晶インゴットを自動で管理することができる。さらに、このようにコンピュータ等で保管状態が管理されている単結晶インゴットをストッカーから取り出すときには、所定の単結晶インゴットを正確に取り出すことができるし、またその際に、単結晶インゴットに取り付けられている無線ＩＣタグからデータを読み出すことにより、その単結晶インゴットを識別してインゴットが所定のものであることを自動で確認することができる。
【００１８】
さらに、本発明では、前記無線ＩＣタグを、前記単結晶インゴットの表面に直接接着することが好ましい（請求項６）。
このように無線ＩＣタグを単結晶インゴットの表面に直接接着することにより、無線ＩＣタグの単結晶インゴットへの取り付けを容易に行うことができるし、また無線ＩＣタグから単結晶インゴットのデータを読み出す際に、無線ＩＣタグの位置を検出し易く、データの読み出しを簡便にまた高精度に行うことができる。
【００１９】
また、本発明によれば、製造した単結晶インゴットの工程管理を行う管理システムであって、少なくとも、前記単結晶インゴットに付ける無線ＩＣタグと、該無線ＩＣタグにデータを書き込むための無線ＩＣタグ書き込み手段と、前記無線ＩＣタグからデータを読み出すための無線ＩＣタグ読み出し手段と、前記無線ＩＣタグへ書き込まれるデータ及び前記無線ＩＣタグから読み出されるデータを記録して前記単結晶インゴットのデータを管理するホストコンピュータとを具備することを特徴とする単結晶インゴットの管理システムを提供することができる（請求項７）。
【００２０】
このような構成を有する単結晶インゴットの管理システムであれば、単結晶インゴットの出荷、受け入れ、保管等の工程内容をホストコンピュータに自動で入力することができ、単結晶インゴットの工程管理を自動化して高精度に行うことができる。それによって、インゴット製造工程から出荷された単結晶インゴットの受け入れ、ストッカーへの保管、ストッカーからの取り出し等の作業を人手を介さずに自動で行うことが可能となるし、また納期管理等も正確に行うことができるようになる。
【００２１】
このとき、前記ホストコンピュータが少なくとも２台以上設置される場合、該ホストコンピュータ同士がＬＡＮ回線で接続されていることが好ましい（請求項８）。
例えば、インゴット製造工程を管理するホストコンピュータとウエーハ製造工程を管理するホストコンピュータとが離れて設置されている場合でも、上記のようにホストコンピュータ同士がＬＡＮ回線で接続されていれば、各コンピュータに保存されている情報のやり取りを容易に行うことができる。それにより、ウエーハ製造工程で単結晶インゴットを受け入れる際に、無線ＩＣタグから読み出されたデータとインゴット製造工程で管理されている情報とをリンクさせて、単結晶インゴットの識別をより正確に行うことができる。
【発明の効果】
【００２２】
以上のように、本発明によれば、単結晶インゴットの工程管理を自動化して高精度に行うことができる。それにより、インゴット製造工程から出荷された単結晶インゴットの受け入れ、ストッカーへの保管、ストッカーからの取り出し等の作業を人手を介さずに簡便にかつ円滑に行うことができ、作業者への負担を大幅に軽減し、工程管理の省力化やコストダウンを図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明について実施の形態を説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
本発明者等は、インゴット製造工程で製造された単結晶インゴットの工程管理を行う際に、従来のように単結晶インゴットにバーコードを添付する代わりに無線ＩＣタグを取り付けておき、この無線ＩＣタグへの単結晶インゴットのデータの書き込み及び無線ＩＣタグからのデータの読み出しを行うことによって、例えばウエーハ製造工程で単結晶インゴットの受け入れ等を行う際に人手を介さずに単結晶インゴットを簡便に識別できることを見出して、本発明を完成させた。
【００２４】
先ず、本発明に係る単結晶インゴットの管理システムについて図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の単結晶インゴットの管理システムの一例を概略的に説明する概略説明図である。
本発明の単結晶インゴットの管理システムは、例えば図１に示したように、単結晶インゴット１がインゴット製造ライン３で製造されてから加工ライン４で加工が施されるまでの単結晶インゴットの工程管理を行う管理システムであって、製造された単結晶インゴット１に取り付ける無線ＩＣタグ２と、この無線ＩＣタグにデータを書き込むための第１及び第２の無線ＩＣタグ書き込み手段５、６と、無線ＩＣタグからデータを読み出すための第１ないし第３の無線ＩＣタグ読み出し手段７、８、９と、無線ＩＣタグへ書き込まれるデータ及び無線ＩＣタグから読み出されるデータを記録して単結晶インゴットのデータを管理する第１及び第２のホストコンピュータ１０、１１とを具備するものである。
【００２５】
上記の単結晶インゴット１に取り付ける無線ＩＣタグ２は、離れた位置に設置されている無線ＩＣタグ書き込み手段及び読み出し手段から無線を利用してデータの読み書きが可能なものであれば良く、その形状や大きさ等は特に限定されない。また、例えば図２に示すように、無線ＩＣタグ２は、単結晶インゴット１の表面（例えば、単結晶インゴット１の端面）にアニオン重合型の一液速硬化形接着剤もしくはエポキシ系接着剤等の接着剤を用いて直接接着することが好ましく、それにより、製造された単結晶インゴットに無線ＩＣタグの取り付けを容易に行うことができるし、また、無線ＩＣタグから単結晶インゴットのデータを読み出す際に、無線ＩＣタグの位置を検出し易く、データの読み出しを簡便にまた高精度に行うことが可能となる。
【００２６】
この無線ＩＣタグ２にデータの書き込みを行う無線ＩＣタグ書き込み手段５、６としては、無線ＩＣタグに無線で信号を送ることによって、所定の情報を無線ＩＣタグに非接触で書き込むことができる無線タグライター等を用いることができる。そして、このような無線ＩＣタグ書き込み手段が、例えば図１に示すように、インゴット製造工程を管理する第１のホストコンピュータ１０と接続されていることにより、第１のホストコンピュータから単結晶インゴットの製造条件等のデータをダウンロードして、無線ＩＣタグに容易に書き込んだり、また出荷情報等を書き加えたりすることができる。
【００２７】
また、無線ＩＣタグ読み出し手段７、８、９としては、無線ＩＣタグ２に無線で信号を送り、無線ＩＣタグから送り返されてきた信号を受信することによって、無線ＩＣタグに書き込まれたデータを非接触で読み込むことができる無線タグリーダーを用いることができる。また、例えば図１に示すように、第１の無線ＩＣタグ読み出し手段７で読み出された単結晶インゴットのデータは、インゴット製造工程を管理する第１のホストコンピュータ１０に送られることにより、インゴットの出荷状況等を管理することができるようになっている。一方、第２の無線ＩＣタグ読み出し手段８及び第３の無線ＩＣタグ読み出し手段９で読み出された単結晶インゴットのデータは、ウエーハ製造工程を管理する第２のホストコンピュータ１１に送られることにより、その無線ＩＣタグが取り付けられている単結晶インゴットの識別を容易に行うことができるようになっている。
【００２８】
さらに、インゴット製造工程に設置されている第１のホストコンピュータ１０は、インゴット製造ライン３で行われるインゴットの育成や、インゴットの切断及び側面研削等のような工程を制御する各端末と接続されており、製造された単結晶インゴットの本数や製造履歴等が管理されている。また、この第１のホストコンピュータ１０は、第１及び第２の無線ＩＣタグ書き込み手段５、６で行ったデータの書き込みの履歴や第１の無線ＩＣタグ読み出し手段７で読み取られたデータを記録することができる。
【００２９】
また、この第１のホストコンピュータ１０とウエーハ製造工程に設置されている第２のホストコンピュータ１１とはＬＡＮ回線１２で接続されており、それぞれのホストコンピュータに保存されているデータを共有し、情報のやり取りを容易に行うことができるようになっている。
【００３０】
そして、第２のホストコンピュータ１１では、第２及び第３の無線ＩＣタグ読み出し手段８、９で読み取られたデータを記録し、上記第１のホストコンピュータ１０で管理されているデータと照合することによって、無線ＩＣタグが取り付けられている単結晶インゴットを正確に識別して管理することができる。また、この第２のホストコンピュータ１１は、加工ライン４で加工工程の制御を行うそれぞれの端末と接続されており、第２のホストコンピュータ１１で管理されている種々のデータをこれらの各端末に提供できるようになっている。
【００３１】
尚、図１では、インゴット製造工程及びウエーハ製造工程のそれぞれにホストコンピュータが設置される場合を例に挙げて示しているが、例えばインゴット製造工程とウエーハ製造工程とが隣接している場合等では、インゴット製造工程及びウエーハ製造工程でホストコンピュータを１台だけ設置し、その１台のホストコンピュータで単結晶インゴットの製造履歴、無線ＩＣタグ書き込み手段で行ったデータの書き込みの履歴、無線ＩＣタグ読み出し手段で読み取られたデータ等の管理を行うこともできる。
【００３２】
次に、本発明の単結晶インゴットの管理方法について詳細に説明する。
本発明の単結晶インゴットの管理方法は、単結晶インゴットに無線ＩＣタグを付けた後、その無線ＩＣタグへの単結晶インゴットのデータの書き込み、及び無線ＩＣタグからのデータの読み出しを行うことによって、単結晶インゴットの工程管理を行うことに特徴を有するものである。
【００３３】
以下、図１を参照しながら具体的に説明すると、先ず、インゴット製造工程の製造ライン３で製造された単結晶インゴット１は、図２に示したようにインゴット表面に無線ＩＣタグ２が各インゴットに少なくとも１つ取り付けられる。そして、この単結晶インゴット１に取り付けた無線ＩＣタグ２に、第１の無線ＩＣタグ書き込み手段５を用いて例えば単結晶インゴットの製造番号や、第１のホストコンピュータ１０で管理されているインゴットの製造条件等の情報を書き込む。
【００３４】
次に、無線ＩＣタグ２にデータが書き込まれた単結晶インゴット１は、コンベヤー１３で梱包工程１４に搬送される。この梱包工程１４では、インゴットの形状や大きさ等に応じて発泡スチロールの輸送箱１５に１箱当たり１本ないし数本のインゴットを梱包して、インゴットの出荷が行われる。
【００３５】
梱包工程１４で輸送箱１５に梱包された単結晶インゴットは、インゴット製造工程から出荷する際に第１の無線ＩＣタグ読み出し手段７で無線ＩＣタグから単結晶インゴットのデータを読み取り、そのインゴットのデータを第１のホストコンピュータ１０に送る。そして、第１のホストホストコンピュータ１０では、この無線ＩＣタグから読み取られたデータから単結晶インゴットを識別すると同時に、ホストコンピュータ１０で管理されている単結晶インゴットのデータに出荷済のコードを書き込む。また、それと同時に、第１のホストホストコンピュータ１０から第２の無線ＩＣタグ書き込み手段６に指令を送り、無線ＩＣタグ書き込み手段６によって単結晶インゴットに取り付けられている無線ＩＣタグに出荷履歴を示すデータが書き加えられる。
【００３６】
そして、インゴット製造工程から出荷された単結晶インゴットは、その後、輸送箱１５に梱包されたままウエーハ製造工程に搬送されて、ウエーハ製造工程側で単結晶インゴットの受け入れが行われる。
【００３７】
このとき、輸送箱１５に梱包されている単結晶インゴットは、コンベヤー１３で順に搬送する際に第２の無線ＩＣタグ読み出し手段８によって無線ＩＣタグから単結晶インゴットのデータが読み出され、そこで得られた単結晶インゴットのデータはウエーハ製造工程を管理する第２のホストコンピュータ１１に送られる。
【００３８】
このように第２の無線ＩＣタグ読み出し手段８からデータが送られてきた第２のホストコンピュータ１１では、この単結晶インゴットのデータを記録するとともに、ＬＡＮ回線で接続されている第１のホストコンピュータ１０にアクセスして単結晶インゴットの識別を行う。そして、そこで識別された単結晶インゴットの製造履歴とウエーハ製造工程への受け入れの履歴が単結晶インゴットの情報として第２のホストコンピュータ１１に保存され、データベース化される。このように第２のホストコンピュータ１１でデータベース化された単結晶インゴットの情報は、加工ライン４を制御する各端末や、その後ウエーハに施される各種処理の制御を行う別のホストコンピュータ等に提供することができる。
【００３９】
続いて、上記のようにウエーハ製造工程側で受け入れされた単結晶インゴットは、インゴットストッカー１６に搬送されて保管される。このとき、第２のホストコンピュータ１１では、インゴットが保管されるストッカー１６の保管庫１７の情報を記録し、上記インゴットの情報と連動させることによって、ストッカー１６に保管するインゴットを保管庫のパレット毎に正確に管理することができる。
【００４０】
その後、単結晶インゴットの加工を行うためにストッカー１６に保管されている単結晶インゴットを取り出すときには、第２のホストコンピュータ１１にて単結晶インゴットの保管が正確に管理されているので、所定の単結晶インゴットを保管庫１７から安定して取り出して、コンベヤー１３で加工ライン４へ搬送することができる。その際、第３の無線ＩＣタグ読み出し手段９によって無線ＩＣタグから単結晶インゴットのデータを読み出し、第２のホストコンピュータ１１でインゴットの識別を行うことによって、ストッカー１６から取り出された単結晶インゴットが所定のものであることを容易に確認することができる。
【００４１】
以上のように、本発明の単結晶インゴットの管理方法によれば、単結晶インゴットに無線ＩＣタグを取り付けることによって、単結晶インゴットの出荷、受け入れ、保管等の工程内容をホストコンピュータに自動で入力することができ、製造された単結晶インゴットの工程管理を自動化して高精度に行うことができる。それによって、インゴット製造工程から単結晶インゴットを出荷する際の出荷作業や、ウエーハ製造工程でのインゴットの受け入れ、ストッカーへの保管、ストッカーからの取り出し等の作業を人手を介さずに簡便にかつ円滑に行うことが可能となり、単結晶インゴットを製造してからウエーハへの加工を行うまでの作業者に対する負担を大幅に軽減し、工程管理の省力化やコストダウンを図ることができる。
【００４２】
また、上記のように単結晶インゴットの工程管理を人手を介さずに行うことによって、工程管理上の人為的なミスが大幅に減少するため、例えば納期管理等を非常に正確に行うことが可能となる。
【００４３】
さらに、本発明では、単結晶インゴットの受け入れ時に記録された単結晶インゴットの製造条件やスペック等のデータをデータベース化して正確に管理でき、また、それらの単結晶インゴットのデータをウエーハ製造工程に設置されている各端末や、その後の処理を管理する別のホストコンピュータ等に安定して提供することができるので、単結晶ウエーハ製造における全体の管理を円滑、低コスト化、自動化等するのに資する。
【００４４】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は単なる例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【００４５】
例えば、上記では、インゴット製造工程で製造した単結晶インゴットを輸送箱に梱包して出荷する場合を例に挙げて説明を行っているが、本発明はこれに限定されず、例えばインゴット製造工程とウエーハ製造工程が隣接しており、単結晶インゴットを直接ウエーハ製造工程で受け入れてストッカーに保管する場合等にも同様に適用できるものである。さらに、本発明の単結晶インゴットの管理システムに設置される無線ＩＣタグ書き込み手段及び無線ＩＣタグ読み出し手段の設置位置や設置数についても特に限定されず、必要に応じて適宜変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の単結晶インゴットの管理システムの一例を示す構成概略図である。
【図２】単結晶インゴットに取り付ける無線ＩＣタグを模式的に示す模式図である。
【図３】従来の単結晶インゴットの出荷の状態を模式的に示す模式図である。
【符号の説明】
【００４７】
１…単結晶インゴット、  ２…無線ＩＣタグ、
３…インゴット製造ライン、  ４…加工ライン、
５…第１の無線ＩＣタグ書き込み手段、  ６…第２の無線ＩＣタグ書き込み手段、
７…第１の無線ＩＣタグ読み出し手段、  ８…第２の無線ＩＣタグ読み出し手段、
９…第３の無線ＩＣタグ読み出し手段、
１０…第１のホストコンピュータ、  １１…第２のホストコンピュータ、
１２…ＬＡＮ回線、  １３…コンベヤー、  １４…梱包工程、
１５…輸送箱、  １６…インゴットストッカー、  １７…保管庫、
２１…単結晶インゴット、  ２２…バーコード、  ２３…輸送箱。
【図１】
2005197387.tif 000003
【図２】
2005197387.tif 000004
【図３】
2005197387.tif 000005