(57)【要約】【課題】  モータ駆動によって直動ステージを往復移動させるように構成された露光処理装置において、数μｍ／ｓの高精度かつ超低速（微動）から、１ｍｍ／ｓ以上の高速（粗動）までの幅広い直動ステージの移動速度を簡単な構成で実現する。【解決手段】  真空チャンバ２０内に設定された水平直線状の軌道上を往復移動可能に案内された直動ステージ２２と、この直動ステージ２２に搭載された回転ステージ２１とを備え、直動ステージ２２は、定位置で軸転する駆動軸３２１をディファレンシャル機構３５０を介して正逆に回転駆動することによって上記軌道上を往復移動させられるように構成された露光処理装置１０であって、上記ディファレンシャル機構３５０の入力部には駆動モータ３１０が接続され、上記ディファレンシャル機構３５０の一方の出力軸３５４ａには上記駆動軸３２１が接続され、かつ、上記ディファレンシャル機構３５０の他方の出力軸３５５ａには可変負荷トルク付与手段５０が接続されている。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空チャンバ内に設定された水平直線状の軌道上を往復移動可能に案内された直動ステージと、この直動ステージに搭載された回転ステージとを備え、直動ステージは、定位置で軸転する駆動軸をディファレンシャル機構を介して正逆に回転駆動することによって上記軌道上を往復移動させられるように構成され、
上記ディファレンシャル機構の入力部には駆動モータが接続され、
上記ディファレンシャル機構の一方の出力軸には上記駆動軸が接続され、かつ、
上記ディファレンシャル機構の他方の出力軸には可変負荷トルク付与手段が接続されていることを特徴とする、露光処理装置。
【請求項２】
上記可変負荷トルク付与手段は、上記ディファレンシャル機構の他方の出力軸に接続されて回転する良導体からなる回転円盤と、この回転円盤を厚み方向に横切る磁力線を発生させる電磁石とを備えて構成されている、請求項１に記載の露光処理装置。
【請求項３】
上記可変負荷トルク付与手段は、上記ディファレンシャル機構の他方の出力軸に接続された、出力トルク可変モータである、請求項１に記載の露光処理装置。
【請求項４】
上記駆動モータは、上記ディファレンシャル機構の他方の出力軸を貫通させる中空状のモータである、請求項１ないし３のいずれかに記載の露光処理装置。
【請求項５】
定位置で軸転する駆動軸をディファレンシャル機構を介して正逆に回転駆動することによって駆動対象の駆動を行なう駆動装置であって、
上記ディファレンシャル機構の入力部には駆動モータが接続され、
上記ディファレンシャル機構の一方の出力軸には上記駆動軸が接続され、かつ、
上記ディファレンシャル機構の他方の出力軸には可変負荷トルク付与手段が接続されていることを特徴とする、駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、電子ビームなどの露光ビームを回転する原盤材料表面に照射しつつ、光ディスク、光磁気ディスク、磁気ディスクなどのディスク状情報記録媒体の原盤を作成するための露光処理装置に関し、とくに、露光処理するべき原盤をその半径方向に移動させるための駆動装置に特徴づけられたものである。
【背景技術】
【０００２】
ディスク状記録媒体の記録層には、たとえば、ランドとグルーブに区分けされた記録トラックが形成されたり、また、記録トラックが周方向に区分けされた各セクタの一部にはこのセクタに割り当てられたアドレスを示すピットあるいはウォブルなどからなる情報記録部が形成されたりする。このようなランドとグルーブ、あるいは、アドレス情報記録部は、記録層に形成された凹凸の形態を有するものであり、したがって、ディスクに形成するべき凹凸と対応する凹凸をもつ原盤ないしはこれに基づいて形成されたプレス原盤をディスク基板にプレスする等することによって容易に形成することができる。
【０００３】
ディスク状情報記録媒体の原盤に対する描画は、ガラス原盤上に塗布された露光レジストにレーザビームや電子ビームなどの露光ビームを照射しつつ行なう。このような処理を行なうための露光処理装置は、たとえば特許文献１等に開示されているが、以下に、本願発明が前提とする従来のこの種の露光処理装置の一例を、図８および図９を参照して説明する。
【特許文献１】特開２００２−８３７５８号公報
【０００４】
図８に模式的に示すように、この露光処理装置１０は、真空チャンバ２０内に、原盤がセットされる回転ステージ２１が設けられており、この回転ステージ２１は、図８のＸ方向に往復駆動される、いわゆる直動ステージ２２上に設置されている。回転ステージ２１は、直動ステージ２２に搭載したスピンドルモータ２３によって回転させられる。直動ステージ２２をＸ方向に往復駆動させるための駆動装置３００は、この直動ステージ２２をベースに対して図８のＸ方向の直線軌道に沿って往復移動可能に案内支持するとともに、この直動ステージ２２に真空チャンバ２０の外部に設置した駆動モータ３１０によって軸転させられる送りねじ３２０を螺合させることによって構成されている。駆動モータ３１０を正逆に回転させることにより、直動ステージ２２はＸ方向に往復駆動させられる。直動ステージ２２のＸ方向についての位置は、レーザ測長系２４によって、正確に測定される。
【０００５】
真空チャンバ２０の上部には、回転ステージ２１にセットされる原盤の露光面に露光ビームとしての電子ビームを照射するための電子光学系４０が配置されている。この電子光学系４０は、電子ビームを発生させる電子銃４１、電子ビームを拡大／縮小するレンズ系４２、電子ビームのオン／オフを行なうブランカ４３、原盤上での電子ビームの位置を変化させる偏向器４４等を備えて構成されている。なお、図８において、符号２５は、原盤の表面高さ位置を計測するための光学的高さ測定器である。
【０００６】
スピンドルモータ２３を回転させて回転ステージ２１上の原盤を回転させつつ、この原盤を直動ステージ２２の駆動によって半径方向に移動させながら、ブランカ４３によって電子ビームをオン／オフさせたり、偏向器４４によって偏向させたりすることにより、原盤の露光面上に、らせん状のトラックに沿って並ぶ情報ピット列またはウォブル等のアドレス情報記録部を描画露光することができる。この間、直動ステージ２２は、レーザ測長信号に基づくフィードバック制御により、数μm/s以下の超低速で駆動される。
【０００７】
ところで、直動ステージ２２上に搭載されるスピンドルモータ２３は、高い精度を保持する等のためにエアベアリングによって支持されたモータを使用せざるをえず、磁気シールや真空シールを厳重に施すために１００kg近い重量を有する。したがって、この種の露光処理装置１０にあっては、このような重量のあるスピンドルモータ２３を搭載する直動ステージ２２をモータ駆動による送りねじ機構によって精度よく駆動する必要がある。上記送りねじ３２０のリードは、１〜５mm程度であるので、上記のような描画露光処理中の送りねじ３２０の回転数は、きわめて低速とする必要がある。その一方、駆動モータ３１０は、1回転中にトルク変動があるために、高精度な制御のためには、数十回転/s以上の回転数で運転する必要がある。したがって、駆動モータ３１０と送りねじ３２０との間には、たとえば、減速比が1/1000を超えるような減速機構を介装する必要があり、これを実現するためには、市販の減速機を数段重ねる必要があるなど、構造が複雑となる。また、このような減速機構のバックラッシが直動ステージ２２の高精度駆動に悪影響を及ぼすといった問題がある。
【０００８】
また、この種の露光処理装置１０においては、上記したように直動ステージ２２を超低速で駆動させつつ行なう描画露光処理の他、回転ステージ２１上の原盤を描画露光開始位置まで移動させたり、原盤着脱位置まで移動させたりという、位置精度がそれほど要求されない高速粗動が必要な場合もある。しかしながら、モータの最高回転数には限界があるため、上記の1/1000を超える減速比で駆動モータ３１０と送りねじ３２０とを接続したままでは、駆動モータ３１０を最高回転数で回転させたとしても、直動ステージ２２が所望の移動距離を移動するのに長時間を要してしまう。
【０００９】
そのため、従来、図９に示すように、送りねじ３２０を回転駆動するために、高減速比と低減速比との２種類の駆動系３Ａ，３Ｂを配置し、これらをクラッチで切り換えるという手法が採用されるのが通常であった。すなわち、低速駆動用モータ３１ａには高減速比の減速機３３ａが付設され、その出力軸と送りねじ３２０との間に第１のクラッチ３４ａを設ける一方、高速駆動用モータ３１ｂには低減速比の減速機３３ｂが付設され、その出力軸と伝達軸との間に第２のクラッチ３４ｂを設け、伝達軸と送りねじ３２０との間は、歯車伝達機構３５によって連携されている。送りねじ３２０を低速回転させる場合には、第１クラッチ３４ａを接続し、第２クラッチ３４ｂを遮断して、低速駆動用モータ３１ａを駆動する。送りねじ３２０を高速回転させる場合には、第１クラッチ３４ａを遮断し、第２クラッチ３４ｂを接続して、高速駆動用モータ３１ｂを駆動する。
【００１０】
しかしながら、図９に示されるような機構は、減速機３３ａ，３４ａおよびクラッチ３４ａ，３４ｂがそれぞれ２つ必要であるなど、装置の複雑化、あるいはコスト上昇が避けられない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
したがって、本願発明は、モータ駆動によって直動ステージを往復移動させるように構成された露光処理装置において、数μｍ／ｓの高精度かつ超低速（微動）から、１ｍｍ／ｓ以上の高速（粗動）までの幅広い直動ステージの移動速度を簡単な構成で実現することをその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の課題を解決するため本願発明では、次の技術的手段を採用した。
【００１３】
すなわち、本願発明の第１の側面によって提供される露光処理装置は、真空チャンバ内に設定された水平直線状の軌道上を往復移動可能に案内された直動ステージと、この直動ステージに搭載された回転ステージとを備え、直動ステージは、定位置で軸転する駆動軸をディファレンシャル機構を介して正逆に回転駆動することによって上記軌道上を往復移動させられるように構成され、
上記ディファレンシャル機構の入力部には駆動モータが接続され、
上記ディファレンシャル機構の一方の出力軸には上記駆動軸が接続され、かつ、
上記ディファレンシャル機構の他方の出力軸には可変負荷トルク付与手段が接続されていることを特徴としている。
【００１４】
駆動モータによって回転させられるディファレンシャルケースの回転数は、ディファレンシャル機構の一方の出力軸の回転数と他方の出力軸の回転数の平均となる。他方の出力軸の回転数を上記可変負荷トルク付与手段によって制御することにより、上記一方の出力軸の回転数を、ディファレンシャルケースの回転数に対し、減速状態から増速状態まで、広い範囲において適宜選択することができる。このことは、簡単な機構により、送りねじの回転数を超低速から高速まで適宜選択することができることを意味し、その結果、直動ステージの移動状態を、露光処理時での高精度、超低速から、原盤を露光開始位置まで移動させる等の粗動、高速まで、適宜選択することができることになる。
【００１５】
好ましい実施の形態において、上記可変負荷トルク付与手段は、上記ディファレンシャル機構の他方の出力軸に接続されて回転する良導体からなる回転円盤と、この回転円盤を厚み方向に横切る磁力線を発生させる電磁石とを備えて構成されている。
【００１６】
他の好ましい実施の形態において、上記可変負荷トルク付与手段は、上記ディファレンシャル機構の他方の出力軸に接続された、出力トルク可変モータが採用される。
【００１７】
他の好ましい実施の形態においては、上記駆動モータは、上記ディファレンシャル機構の他方の出力軸を貫通させる中空状のモータが採用される。
【００１８】
好ましい実施の形態においては、上記駆動モータと上記ディファレンシャル機構の入力部との間には、減速機構が介装される。
【００１９】
好ましい実施の形態においてはまた、上記出力可変モータと上記ディファレンシャル機構の他方の出力軸との間には、減速機構が介装される。
【００２０】
上記可変負荷トルク付与手段が介在することにより、上記駆動モータが所定の負荷トルクを付与しても、上記直動ステージの所定の移動速度が得られなかった場合、フィードバック制御により駆動モータの発生トルクが増加して機構を破壊してしまうといった問題を未然に回避することができる。上記可変負荷トルク付与手段により付与する負荷トルクを解除するようにすることができる。
【００２１】
本願発明の第２の側面によって提供される駆動装置は、定位置で軸転する駆動軸をディファレンシャル機構を介して正逆に回転駆動することによって駆動対象の駆動を行なう駆動装置であって、
上記ディファレンシャル機構の入力部には駆動モータが接続され、
上記ディファレンシャル機構の一方の出力軸には上記駆動軸が接続され、かつ、
上記ディファレンシャル機構の他方の出力軸には可変負荷トルク付与手段が接続されていることを特徴としている。
【００２２】
本願発明のその他の特徴および利点は、図面を参照し以下に行なう詳細な説明から、より明らかとなろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本願発明の好ましい実施の形態につき、図１ないし図７を参照して具体的に説明する。なお、これらの図において、図８および図９に示した従来例と同一または同等の部材または部分には、同一の参照符号を付してある。
【００２４】
図１は、本願発明の露光処理装置１０ないし駆動装置３００の原理図を示している。同図において、真空チャンバ２０およびその内部に設置される構成物が、平面的に示されている。すなわち、真空チャンバ２０内には、直動ステージ２２がＸ方向の水平直線軌道上を往復移動可能に案内されている。この直動ステージ２２上には、回転ステージ２１が設置され、この回転ステージ２１は、直動ステージ２２に搭載されたスピンドルモータによって回転させられる。直動ステージ２２は、これに螺合させられた送りねじ３２０を正逆に回転駆動することによって、Ｘ方向に往復移動させられる。真空チャンバ２０に付設されるその余の構成は、すでに図８を参照して説明したのと同様であるので、ここでの説明は省略する。
【００２５】
送りねじ３２０と一体的な駆動軸３２１は、真空チャンバ２０の側壁を貫通して外部に導出され、ディファレンシャル機構３５０の一方の出力軸３５４ａに接続される。このディファレンシャル機構３５０の他方の出力軸３５５ａには、この他方の出力軸３５５ａに正逆方向に所望のトルクを与え、あるいは所望の制動力で制動する可変負荷トルク付与手段５０が接続される。そして、このディファレンシャル機構３５０の入力部には、電磁モータからなる駆動モータ３１０の出力軸が接続される。周知のように、ディファレンシャル機構においては、入力部の回転数Ｎｍ、一方の出力軸の回転数Ｎｄ、および他方の出力軸の回転数Ｎｃの関係は、常に、Ｎｍ＝（Ｎｃ＋Ｎｄ）／２、となる。
【００２６】
図２は、図１に示す原理に基づく露光処理装置１０の第１の実施形態を模式的に示している。周知のように、ディファレンシャル機構３５０は、リンクギヤ３５２を外周に有するディファレンシャルケース３５０がギヤボックス３５０ａに対して一定の回転軸線を中心として回転可能に支持されているとともに、このディファレンシャルケース３５１の内部には、ベベルギヤ状のディファレンシャルピニオン３５３が、ディファレンシャルケース３５１の回転軸線と直交する軸を中心として回転可能に支持されており、かつ、このディファレンシャルピニオン３５３には、ディファレンシャルケース３５１に対してその回転軸線と同軸状の回転軸をもって回転可能なベベルギヤ状の左右のサイドギヤ３５４，３５５が共通に噛み合わせられて構成されている。一方のサイドギヤ３５４の軸が、このディファレンシャル機構３５０の一方の出力軸３５４ａに該当し、他方のサイドギヤ３５５の軸が、このディファレンシャル機構３５０の他方の出力軸３５５ａに該当する。ディファレンシャルケース３５１と一体的なリングギヤ３５２がこのディファレンシャル機構３５０の入力部に該当するが、この実施形態においては、減速機３３０を介した駆動モータ３１０の出力軸が、その先端のベベルギヤを上記リングギヤ３５２に噛み合わせることにより、上記駆動モータ３１０がディファレンシャル機構３５０の入力部に接続されている。そうして、このディファレンシャル機構３５０の上記一方の出力軸３５４ａには、上記の送りねじ３２０と一体な駆動軸３２１が接続されているとともに、上記他方の出力軸３５５ａには、上記可変負荷トルク付与手段５０が接続されている。
【００２７】
この実施形態において、上記可変負荷トルク付与手段５０は、ディファレンシャル機構３５０の上記他方の出力軸３５５ａまたはこれと一体的な軸にアルミニウム等の良導体からなる回転円盤５１を取り付けるとともに、この回転円盤５１を厚み方向に横切る磁力線を発生させる電磁石５２を設けることによって構成している。より具体的には、この電磁石５２は、図３に良く表れているように、鉄心５３をその両端部が上記回転円盤５１を挟んで位置するように配置するとともに、この鉄心５３の中間部にコイル５４を巻回して構成している。このコイル５４に流すべき電流の大きさは、制御部６０によって適宜変更できるようにする。コイル５４に電流を流して回転円盤５１を横切る磁力線を発生させると、回転円盤５１の回転時、この回転円盤５１にうず電流が発生して制動力が作用する。このような制動力は、コイル５４に流れる電流の大きさに応じて可変となる。
【００２８】
ディファレンシャルギヤ機構３５０においては、リングギヤ３５２ないしディファレンシャルケース３５１の回転数は、両出力軸３５４ａ，３５５ａの回転数を平均したものとなる。直動ステージ２２は、これに搭載されるスピンドルモータが前述したように大きな重量を有するものであること等から、送りねじ３２０の回転には、一定の負荷が作用する。したがって、送りねじ３２０の回転に作用する負荷に対し、回転円盤５１に作用する負荷が小さければ、送りねじ３２０の回転数はリングギヤ３５２に与えられる回転数に対し、増速される。一方、送りねじ３２０の回転に作用する負荷に対し、回転円盤５１に作用する負荷が大きければ、送りねじ３２０の回転数はリングギヤ３５２に与えられる回転数に対し、減速される。減速においては、回転円盤５１に作用する負荷を著しく小さくして、この回転円盤５１の回転数がリングギヤ３５２の回転数よりやや小さい程度の回転数とすることにより、送りねじ３２０の回転数を超低速とすることも可能である。したがって、この実施形態の露光処理装置１０によれば、超低速回転から高速回転までの広い範囲の送りねじ３２０の回転数を実現することができ、その結果、高精度かつ超低速（微動）から、高速（粗動）までの幅広い直動ステージ２２の移動速度を簡単な構成で実現することができる。
【００２９】
図４は、本願発明に係る露光処理装置１０の第２の実施形態を模式的に示している。この第２の実施形態は、図２に示した第１の実施形態に対し、可変負荷トルク付与手段５０として、ＤＣモータなどの電磁モータ５５を採用している点が異なり、その余の点は共通している。もちろん、電磁モータ５５に供給するべき電流の大きさは、図示しない制御部によって適宜変更することができるようにする。この構成においては、電磁モータ５５の回転数を、リングギヤ３５２に与えられる回転数よりも大きく、２倍の回転数までの範囲で適宜選択することにより、送りねじ３２０の回転数は減速されるし、リングギヤ３５２に与えられる回転数よりも小さい範囲で適宜選択することにより、送りねじ３２０の回転数は増速される。したがって、この実施形態の露光処理装置１０によっても、第１の実施形態について上述したのと同様の利点を享受することができる。
【００３０】
本願発明が対象としている直動ステージ２２では、ステージ２２が移動端にきたり、障害物に当たったりして移動不能になる場合がある。従来のおいてはこのような場合、それでもなおステージ２２を移動させようとするフィードバック制御が掛かり、駆動モータの出力トルクを増加させるため、モータとステージとの間に存在する送りねじ機構や軸受を破損させてしまう場合があった。本願発明においては、このように駆動モータの出力トルクが異常に増加しても、可変負荷トルク付与手段側は一定トルクしか発生していないため、駆動モータの出力は可変付加トルク付与手段側に逃がされ、従来のような直動ステージ等の破損を回避することができる。
【００３１】
図５は、本願発明に係る露光処理装置１０の第３の実施形態を模式的に示している。この第３の実施形態は、図２に示した第１の実施形態に対し、ディファレンシャルケース３５１を回転駆動させてディファレンシャル機構３５０に駆動力を入力するべき駆動モータとして、ディファレンシャル機構３５０の他方の出力軸３５５ａを貫通通挿する中空状のモータ３１５を採用し、このモータ３１５とディファレンシャルケース３５１との間に減速機３３０を介装している点が異なり、その余の点は共通している。このような構成によれば、ディファレンシャルケース３５１へのベベルギヤ機構による動力伝達が不要となるとともに、駆動モータ３１５の出力軸の方向がディファレンシャル機構３５０の出力軸３５５ａと同軸状となるので、不要な振動や遊びを減らすことができる。なお、この構成によっても、図２に示した第１の実施形態と同様の利点を享受できることは、容易に理解できよう。
【００３２】
図６は、本願発明に係る露光処理装置１０の第４の実施形態を模式的に示している。この第４の実施形態は、図４に示した第２の実施形態と近似しているが、可変負荷トルク付与手段５０としての電磁モータ５５とディファレンシャル機構３５０の他方の出力軸３５５ａとの間に減速機３３１を介装した点が異なる。この実施形態においても、第２の実施形態について述べたのと同様の利点を享受することができるが、電磁モータ５５によっても送りねじ３２０を回転させるためのトルクを得ることができるようになるので、各々のモータ３１０，５５にかかる負担を軽減することができる。また、この電磁モータ５５により、一方の出力軸３５４ａの回転方向と逆方向に他方の出力軸３５５ａを回転させることもでき、そうすると、送りねじ３２０の回転数を、ディファレンシャルケース３５１の回転数の２倍以上に増速することも可能となる。
【００３３】
図７は、本願発明に係る露光処理装置１０の第５の実施形態を模式的に示している。この第５の実施形態は、図６に示した第４の実施形態に対し、駆動モータとして、ディファレンシャルケース３５１を減速機３３０を介して直接的に駆動する中空状のモータ３１５とした点が異なり、その余の点は共通する。このように構成することにより、図６に示した第４の実施形態に対し、図３を参照して説明した中空状のモータ３１５を用いた場合の利点を享受することができる。
【００３４】
なお、上記の各実施形態において、各モータに減速機構を付設するかどうかは、選択的な事項であり、本願発明の本質を構成するものではない。
【００３５】
もちろん、この発明の範囲は上述した各実施形態に限定されるものではなく、各請求項に記載した事項の範囲内でのあらゆる変更は、すべて本願発明の範囲に含まれる。たとえば、可変負荷トルク付与手段としては、上記のように、回転円盤と電磁石とを組み合わせた構成のものや、電磁モータのほか、摩擦ブレーキ機構を採用することも可能である。
【００３６】
以下に、各請求項に記載した事項を含め、本明細書によって支持される本願発明の範囲を付記しておく。
（付記１）  真空チャンバ内に設定された水平直線状の軌道上を往復移動可能に案内された直動ステージと、この直動ステージに搭載された回転ステージとを備え、直動ステージは、定位置で軸転する駆動軸をディファレンシャル機構を介して正逆に回転駆動することによって上記軌道上を往復移動させられるように構成され、
上記ディファレンシャル機構の入力部には駆動モータが接続され、
上記ディファレンシャル機構の一方の出力軸には上記駆動軸が接続され、かつ、
上記ディファレンシャル機構の他方の出力軸には可変負荷トルク付与手段が接続されていることを特徴とする、露光処理装置。
（付記２）  上記可変負荷トルク付与手段は、上記ディファレンシャル機構の他方の出力軸に接続されて回転する良導体からなる回転円盤と、この回転円盤を厚み方向に横切る磁力線を発生させる電磁石とを備えて構成されている、付記１に記載の露光処理装置。
（付記３）  上記可変負荷トルク付与手段は、上記ディファレンシャル機構の他方の出力軸に接続された、出力トルク可変モータである、付記１に記載の露光処理装置。
（付記４）  上記駆動モータは、上記ディファレンシャル機構の他方の出力軸を貫通させる中空状のモータである、付記１ないし３のいずれかに記載の露光処理装置。
（付記５）  上記駆動モータと上記ディファレンシャル機構の入力部との間には、減速機構が介装されている、付記１ないし４のいずれかに記載の露光処理装置。
（付記６）  上記出力可変モータと上記ディファレンシャル機構の他方の出力軸との間には、減速機構が介装されている、付記３に記載の露光処理装置。
（付記７）  付記２または３に記載の露光処理装置において、上記可変負荷トルク付与手段により所定の負荷トルクを付与しても、上記直動ステージの所定の移動速度が得られなかった場合、上記負荷トルク付与手段により付与する負荷トルクを解除するようにしたことを特徴とする、露光処理装置。
（付記８）  定位置で軸転する駆動軸をディファレンシャル機構を介して正逆に回転駆動することによって駆動対象の駆動を行なう駆動装置であって、
上記ディファレンシャル機構の入力部には駆動モータが接続され、
上記ディファレンシャル機構の一方の出力軸には上記駆動軸が接続され、かつ、
上記ディファレンシャル機構の他方の出力軸には可変負荷トルク付与手段が接続されていることを特徴とする、駆動装置。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本願発明に係る露光処理装置の原理図である。
【図２】第１の実施形態に係る露光処理装置の模式図である。
【図３】可変負荷トルク付与手段の一例の説明図である。
【図４】第２の実施形態に係る露光処理装置の模式図である。
【図５】第３の実施形態に係る露光処理装置の模式図である。
【図６】第４の実施形態に係る露光処理装置の模式図である。
【図７】第５の実施形態に係る露光処理装置の模式図である。
【図８】従来の露光処理装置の模式図である。
【図９】従来の露光処理装置の模式図である。
【符号の説明】
【００３８】
１０      露光処理装置
２０      真空チャンバ
２１      回転ステージ
２２      直動ステージ
２３      スピンドルモータ
２４      レーザ測長系
２５      レーザ計測器
４０      電子光学系
４１      電子銃
４２      レンズ系
４３      ブランカ
４４      偏向器
５０      可変負荷トルク付与手段
５１      回転円盤
５２      電磁石
５５      電磁モータ
６０      制御部
３００    駆動装置
３１０    駆動モータ
３２１    駆動軸
３３０    減速機
３３１    減速機
３５０    ディファレンシャル機構
３５１    ディファレンシャルケース
３５２    リングギヤ
３５３    ディファレンシャルピニオン
３５４    サイドギヤ
３５４ａ  出力軸
３５５    サイドギヤ
３５５ａ  出力軸
【図１】
2005077626.tif 000003
【図２】
2005077626.tif 000004
【図３】
2005077626.tif 000005
【図４】
2005077626.tif 000006
【図５】
2005077626.tif 000007
【図６】
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【図７】
2005077626.tif 000009
【図８】
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【図９】
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