(57)【要約】【課題】検査に要する時間を短縮し、ガラス基板に物理的な接触を最小化して欠陥の発生を抑制し、且つ、ガラス基板の振動を防止して正確な検査が行われるようにすること【解決手段】ガラス基板検査用のクランプ装置であって、検査ゾーンに設置される固定フレームと、第１、第２上部クランプ、および、第１、第２下部クランプとからなり、第２下部クランプは、固定フレームの下側に沿って左右に移動自在に設置される下部クランプ手段と、固定フレームの両側にそれぞれ設置され、ガラス基板の両端部をクランプすると共に、ガラス基板が左右に伸ばされるようにガラス基板を両側に引っ張る複数の側部クランプからなる側部クランプ手段とを含む。【選択図】    図１
2005172783.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板を検査するために検査ゾーンにクランプする装置であって、
前記検査ゾーンに設置される固定フレームと、
前記固定フレームの上側にそれぞれ設置され、前記ガラス基板の上端部をクランプする第１及び第２上部クランプからなり、前記第１上部クランプは前記固定フレームの上側に固定され、前記第２上部クランプは、前記固定フレームの上側に沿って左右に移動自在に設置される上部クランプ手段と、
前記固定フレームの下側にそれぞれ設置され、前記ガラス基板の下端部をクランプすると共に、前記ガラス基板が上下に伸ばされるように前記ガラス基板を下方に引っ張る第１及び第２下部クランプからなり、前記第１下部クランプは、前記固定フレームの下側に固定され、前記第２下部クランプは、前記固定フレームの下側に沿って左右に移動自在に設置される下部クランプ手段と、
前記固定フレームの両側にそれぞれ設置され、前記ガラス基板の両端部をクランプすると共に前記ガラス基板が左右に伸ばされるように前記ガラス基板を両側に引っ張る複数の側部クランプからなる側部クランプ手段とを含むガラス基板検査用のクランプ装置。
【請求項２】
前記上部クランプ手段の第１上部クランプは、
前記固定フレームの上側に第１空圧シリンダが設置され、前記第１空圧シリンダは、端に回転自在に結合される一対のグリッパを、空圧によって、前記ガラス基板の上端部を掴んだり放したりするために、互いに閉じたり開いたりすることを特徴とする請求項１に記載のガラス基板検査用のクランプ装置。
【請求項３】
前記上部クランプ手段の第２上部クランプは、
前記固定フレームの上側に設置されるガイドレールに沿って摺動するように、第２空圧シリンダが設置され、前記第２空圧シリンダは端に回転自在に結合される一対のグリッパを、空圧によって、前記ガラス基板の上端部を掴んだり放したりするために、互いに閉じたり開いたりすることを特徴とする請求項１に記載のガラス基板検査用のクランプ装置。
【請求項４】
前記上部クランプ手段の第２上部クランプは、
前記ガラス基板が左右に伸ばされることによって移動していた前記第２空圧シリンダが元の位置に復帰するように、前記固定フレームの上側と前記第２空圧シリンダに弾性部材が設置されることを特徴とする請求項３に記載のガラス基板検査用のクランプ装置。
【請求項５】
前記下部クランプ手段の第１下部クランプは、
前記固定フレームの下側に空圧によって上下に往復移動する移動部材を有する第３空圧シリンダが設置され、前記第３空圧シリンダの移動部材の端に第４空圧シリンダが設置され、前記第４空圧シリンダは、端に回転自在に結合される一対のグリッパを、空圧によって、前記ガラス基板の下端部を掴んだり放したりするために、互いに閉じたり開いたりすることを特徴とする請求項１に記載のガラス基板検査用のクランプ装置。
【請求項６】
前記下部クランプ手段の第２下部クランプは、
前記固定フレームの下側に設置されるガイドレールに沿って摺動するように、第５空圧シリンダが設置され、前記第５空圧シリンダは、空圧によって上下に往復移動する移動部材を有し、前記第５空圧シリンダの移動部材の端に第６空圧シリンダが設置され、前記第６空圧シリンダは、端に回転自在に結合される一対のグリッパを、空圧によって、前記ガラス基板の下端部を掴んだり放したりするために、互いに閉じたり開いたりすることを特徴とする請求項１に記載のガラス基板検査用のクランプ装置。
【請求項７】
前記下部クランプ手段の第２下部クランプは、
前記ガラス基板が左右に伸ばされることによって移動していた前記第５空圧シリンダが元の位置に復帰するように、前記固定フレームの下側と前記第５空圧シリンダに弾性部材が設置されることを特徴とする請求項６に記載のガラス基板検査用のクランプ装置。
【請求項８】
前記側部クランプ手段の側部クランプは、
前記固定フレームの一方の側に空圧によって左右に往復移動する移動部材を有する第７空圧シリンダが設置され、前記第７空圧シリンダの移動部材の端に第８空圧シリンダが設置され、前記第８空圧シリンダは、端に回転自在に結合される一対のグリッパを、空圧によって、ガラス基板の側端部を掴んだり放したりするために、互いに閉じたり開いたりすることを特徴とする請求項１に記載のガラス基板検査用のクランプ装置。
【請求項９】
前記下部クランプ手段の第１または第２下部クランプ、または前記側部クランプ手段に側部クランプは、
ガラス基板をクランプするとき、ガラス基板がクランプされる位置に整列できるように、ガラス基板の端部を支持するアライナが備えられることを特徴とする請求項５ないし請求項８のいずれか１項に記載のガラス基板検査用のクランプ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板検査用のクランプ装置に関し、更に詳しくは、成形工程においてガラス基板を検査するとき、ガラス基板を検査ゾーンにローディング／アンローディングする作業を容易にするだけでなく、検査に要する時間を短縮し、ガラス基板に物理的な接触を最小化して欠陥の発生を抑制し、且つ、ガラス基板の振動を防止して正確な検査が行われるようにするガラス基板検査用のクランプ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、ＴＦＴ−ＬＣＤ（薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ）、ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）、ＥＬ（Electro luminescence）などの平板ディスプレイの製造分野で用いられるガラス基板は、成形工程においてガラス溶解炉で溶解されたガラス液を溶解成形機に供給して製造され、カッティング機（cutting apparatus）によって一次規格に合わせて切断され、コンベアシステムによって加工ラインに運搬される。
【０００３】
成形工程におけるガラス基板の検査は、後工程への不良品投入を事前に遮断することによって、コストを低減し、歩留りを向上させる効果がある。
成形工程において、コンベアシステムによって移送されるガラス基板を検査するためには、ガラス基板をコンベアシステムから取り外して検査位置に設置する必要がある。このとき、次のような点等を十分考慮する必要がある。
【０００４】
第一に、ガラス基板を検査位置にローディング又はアンローディングする作業が容易であると共に、検査にかかる時間を短縮する必要があり、且つ、検査の際にガラス基板に物理的な接触を防止してガラス基板の欠陥の発生を最大限抑制する必要がある。
第二に、検査の際、ガラス基板の振動を最小化して正確な検査が行われるようにする必要がある。
【０００５】
そこで、上記のような点等を考慮して、成形工程においてガラス基板の検査が可能であるようにガラス基板をクランプする装置を開発する必要があり、これによって、成形工程においてガラス基板の検査が容易に、迅速且つ正確に行われるようにする必要がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、成形工程においてガラス基板を検査するとき、ガラス基板を検査ゾーンにローディング／アンローディングする作業を容易にするだけでなく、検査に要する時間を短縮し、ガラス基板に物理的な接触を最小化して欠陥の発生を抑制し、且つ、ガラス基板の振動を防止して正確な検査が行われるようにするガラス基板検査用のクランプ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明は、ガラス基板を検査するために検査ゾーンにクランプする装置であって、検査ゾーンに設置される固定フレームと、固定フレームの上側にそれぞれ設置され、ガラス基板の上端部をクランプする第１及び第２上部クランプからなり、第１上部クランプは固定フレームの上側に固定され、第２上部クランプは、固定フレームの上側に沿って左右に移動自在に設置される上部クランプ手段と、固定フレームの下側にそれぞれ設置され、ガラス基板の下端部をクランプすると共に、ガラス基板が上下に伸ばされるようにガラス基板を下方に引っ張る第１及び第２下部クランプからなり、第１下部クランプは、固定フレームの下側に固定され、第２下部クランプは、固定フレームの下側に沿って左右に移動自在に設置される下部クランプ手段と、固定フレームの両側にそれぞれ設置され、ガラス基板の両端部をクランプすると共にガラス基板が左右に伸ばされるようにガラス基板を両側に引っ張る複数の側部クランプからなる側部クランプ手段とを含むことを特徴とする装置が提供される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によるガラス基板検査用のクランプ装置は、成形工程においてガラス基板を検査するとき、ガラス基板を検査ゾーンにローディング／アンローディングする作業を容易にするだけでなく、検査に要する時間を短縮し、ガラス基板に物理的な接触を最小化して欠陥の発生を抑制し、且つ、ガラス基板の振動を防止して正確な検査が行われるようにする効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、図面を参照しつつ本発明の好適な実施の形態を説明する。
図１は本発明によるガラス基板検査用のクランプ装置の正面図である。
図示のように、本発明によるガラス基板検査用のクランプ装置１００は、成形工程においてガラス基板１を検査のるために検査ゾーンにクランプする装置１００で、固定フレーム１４０と、固定フレーム１４０の上側にそれぞれ設置され、ガラス基板１の上端部をクランプする上部クランプ手段１１０と、固定フレーム１４０の下側にそれぞれ設置され、ガラス基板１の下端部をクランプすると共に、ガラス基板１が上下に伸ばされるようにガラス基板１を下方に引っ張る下部クランプ手段１２０と、固定フレーム１４０の両側にそれぞれ設置され、ガラス基板１の両端部をクランプすると共に、ガラス基板１が左右に伸ばされるようにガラス基板１を両側に引っ張る側部クランプ手段１３０とを含む。
【００１０】
固定フレーム１４０は、成形工程においてガラス基板１を検査するための位置に設置され、上側と下側にそれぞれ位置する上部及び下部フレーム１４１、１４２が一対の側部フレーム１４３によって連結する。
上部クランプ手段１１０は、固定フレーム１４０の上側、すなわち、上部フレーム１４１にそれぞれ設置され、ガラス基板１の上端部をクランプする第１及び第２上部クランプ１１１、１１２からなり、第１上部クランプ１１１は、固定フレーム１４０の上部フレーム１４１に固定され、第２上部クランプ１１２は、固定フレーム１４０の上部フレーム１４１に沿って左右に移動自在に設置される。
【００１１】
図２及び図３に示す第１上部クランプ１１１は、固定フレーム１４０の上側フレーム１４１にブラケット１４１ａによって第１空圧シリンダ１１１ａが設置され、第１空圧シリンダ１１１ａの端、すなわち、下端に回転自在に結合される一対のグリッパ１１１ｃを、空圧によって、ガラス基板１の上端部を掴んだり放したりするために、互いに閉じたり開いたりする。
【００１２】
第１空圧シリンダ１１１ａは、一対のポート１１１ｂを介して空圧が選択的に供給され、一対のグリッパ１１１ｃを回転させて互いに閉じたり開いたりすることにより、グリッパ１１１ｃが閉じられるとき、その端がガラス基板１の上端部を把持せしめる。
図４及び図５に示す第２上部クランプ１１２は、固定フレーム１４０の上側、すなわち、上部フレーム１４１に設置されるガイドレール１１２ａに沿って摺動するように、第２空圧シリンダ１１２ｂが設置され、第２空圧シリンダ１１２ｂは、端に回転自在に結合される一対のグリッパ１１２ｄを、空圧によって、ガラス基板１の上端部を掴んだり放したりするために、互いに閉じたり開いたりする。
【００１３】
第２空圧シリンダ１１２ｂは、上部フレーム１４１に下部フレーム１４２の長手方向に並設されるガイドレール１１２ａに摺動自在に設置され、一対のポート１１２ｃに選択的に供給される空圧によって、グリッパ１１２ｄを回転させて互いに閉じたり開いたりすることにより、グリッパ１１２ｄが閉じられるとき、その端がガラス基板１の上端部を把持せしめる。
【００１４】
第２上部クランプ１１２は、第２空圧シリンダ１１２ｂがガイドレール１１２ａに摺動自在に設置されることにより、側部クランプ手段１３０によってガラス基板１が左右に伸ばされる場合、ガラス基板１が伸ばされる方向に移動することによってガラス基板１が全領域にわたって伸ばされるようにする。
【００１５】
第２上部クランプ１１２は、ガラス基板１が左右に伸ばされることによって移動していた第２空圧シリンダ１１２ｂが、ガラス基板１を除去した後は、元の位置に復帰するように、固定フレーム１４０の上側、すなわち、上部フレーム１４１と第２空圧シリンダ１１２ｂにコイルばねのような弾性部材１１２ｅが設置される。
【００１６】
下部クランプ手段１２０は、固定フレーム１４０の下側、すなわち、下部フレーム１４２にそれぞれ設置され、ガラス基板１の下端部をクランプすると共に、ガラス基板１が上下に伸ばされるようにガラス基板１を下方に引っ張る第１及び第２下部クランプ１２１、１２２からなり、第１下部クランプ１２１は、下部フレーム１４２に固定され、第２下部クランプ１２２は、下部フレーム１４２に沿って左右に移動自在に設置される。
【００１７】
図６及び図７に示す第１下部クランプ１２１は固定フレーム１４０の下側、すなわち、下部フレーム１４２に空圧によって上下に往復移動する移動部材１２１ｂを有する第３空圧シリンダ１２１ａが設置され、第３空圧シリンダ１２１ａの移動部材１２１ｂの端に第４空圧シリンダ１２１ｄが設置され、第４空圧シリンダ１２１ｄは、端に回転自在に結合される一対のグリッパ１２１ｆを、空圧によって、ガラス基板１の下端部を掴んだり放したりするために、互いに閉じたり開いたりする。
【００１８】
第３空圧シリンダ１２１ａは、一対のポート１２１ｃを介して空圧が選択的に供給され、移動部材１２１ｂを往復移動せしめることにより、第４空圧シリンダ１２１ｄを上下に往復移動させる。
第４空圧シリンダ１２１ｄは、一対のポート１２１ｅを介して空圧が選択的に供給され、一対のグリッパ１２１ｆを回転させて互いに閉じたり開いたりすることにより、グリッパ１２１ｆが閉じられるとき、その端がガラス基板１の下端部を把持せしめる。
【００１９】
図８及び図９に示す第２下部クランプ１２２は、固定フレーム１４０の下側、すなわち、下部フレーム１４２に設置されるガイドレール１２２ａに沿って摺動するように、第５空圧シリンダ１２２ｂが設置され、第５空圧シリンダ１２２ｂは、空圧によって上下に往復移動する移動部材１２２ｃを有し、第５空圧シリンダ１２２ｂの移動部材１２２ｃの端に第６空圧シリンダ１２２ｅが設置され、第６空圧シリンダ１２２ｅは、端に回転自在に結合される一対のグリッパ１２２ｇを、空圧によって、ガラス基板１の下端部を掴んだり放したりするために、互いに閉じたり開いたりする。
【００２０】
第５空圧シリンダ１２２ｂは、下部フレーム１４２に下部フレーム１４２の長手方向に並設されるガイドレール１２２ａに摺動自在に設置され、一対のポート（図示せず）を介して空圧が選択的に供給され、移動部材１２２ｃを往復移動することにより、移動部材１２２ｃに結合された第６空圧シリンダ１２２ｅを上下に往復移動させる。
【００２１】
第６空圧シリンダ１２２ｅは、一対のポート１２２ｆを介して空圧が選択的に供給され、一対のグリッパ１２２ｇを回転させて互いに閉じたり開いたりすることにより、グリッパ１２２ｇが閉じられるとき、その端がガラス基板１の下端部を把持せしめる。
第２下部クランプ１２２は、第５空圧シリンダ１２２ｂがガイドレール１２２ａに摺動自在に設置されることによって、側部クランプ手段１３０によってガラス基板１が左右に伸ばされる場合、ガラス基板１が伸ばされる方向に移動することにより、ガラス基板１が全領域にわたって伸ばされるようにする。
【００２２】
第２下部クランプ１２２は、ガラス基板１が左右に伸ばされることによって移動していた第５空圧シリンダ１２２ｂが、ガラス基板１を除去した後は、元の位置に復帰するように、固定フレーム１４０の下側、すなわち、下部フレーム１４２と第５空圧シリンダ１２２ｂにコイルばねのような弾性部材１２２ｈが設置される。
【００２３】
側部クランプ手段１３０は、固定フレーム１４０の両側、すなわち、側部フレーム１４３ごとにそれぞれ設置され、ガラス基板１の両端部をクランプすると共に、ガラス基板１が左右に伸ばされるように、ガラス基板１を両側に引っ張る複数の側部クランプ１３１からなる。
【００２４】
図１０及び図１１に示す側部クランプ１３１は、固定フレーム１４０の一方の側、すなわち、側部フレーム１４３に空圧によって左右に往復移動する移動部材１３１ｂを有する第７空圧シリンダ１３１ａが設置され、第７空圧シリンダ１３１ａの移動部材１３１ｂの端に第８空圧シリンダ１３１ｄが設置され、第８空圧シリンダ１３１ｄは、端に回転自在に結合される一対のグリッパ１３１ｆを、空圧によって、ガラス基板１の側端部を掴んだり放したりするために、互いに閉じたり開いたりする。
【００２５】
第７空圧シリンダ１３１ａは、一対のポート１３１ｃを介して空圧が選択的に供給され、移動部材１３１ｂを往復移動することにより、移動部材１３１ｂに結合された第８空圧シリンダ１３１ｄを左右に往復移動させる。
第８空圧シリンダ１３１ｄは、一対のポート１３１ｅを介して空圧が選択的に供給され、一対のグリッパ１３１ｆを回転させて互いに閉じたり開いたりすることにより、グリッパ１３１ｆが閉じられるとき、その端がガラス基板１の下端部を把持せしめる。
【００２６】
下部クランプ手段１２０の第１及び第２下部クランプ１２１、１２２と側部クランプ手段１３０の側部クランプ１３１は、ガラス基板１をクランプするとき、ガラス基板１がクランプされる位置に整列できるように、ガラス基板１の端部を支持するアライナ１２１ｇ、１２２ｉ、１３１ｇが備えられる。
【００２７】
各々のアライナ１２１ｇ、１２２ｉ、１３１ｇは、第３空圧シリンダ１２１ａ、第５空圧シリンダ１２２ｂ及び第７空圧シリンダ１３１ａのそれぞれの端に結合されるブラケット１２１ｈ、１２２ｊ、１３１ｈごとに、両側に１枚ずつ設置される。
図１２ないし図１６は、本発明によるガラス基板検査用のクランプ装置を用いて成形工程でガラス基板１を検査するための装置を示す図である。図示のように、本発明によるガラス基板検査用のクランプ装置に用いるガラス基板の検査装置は、ガラス基板の検査のためにク、ランプ装置１００によって固定されたガラス基板１をスキャンするビジョンアセンブリ２００と、ビジョンアセンブリ２００をガラス基板１の一方の側から他方の側に移動させるビジョンアセンブリ移動手段３００と、ビジョンアセンブリ２００によってスキャンしたイメージからガラス基板１の欠陥をデータ化して処理する欠陥データ処理部４００と、欠陥データ処理部４００から処理されたデータを表示するディスプレイ部５００とを含む。
【００２８】
図１５に示すように、ビジョンアセンブリ２００は、ガラス基板検査用のクランプ装置１００によって固定されたガラス基板１の一方の側に位置し、照明２１０で光を照射して複数のカメラ２２０でガラス基板１をスキャンする。
ビジョンアセンブリ２００は、一方の側が開放されているビジョンフレーム２３０の内側の両方にカメラ固定部材２４０と照明固定部材２５０がそれぞれ垂設され、カメラ固定部材２４０に複数のカメラ２２０が開放されている一方の側を介してガラス基板１をスキャンするように固定され、照明固定部材２５０に照明２１０が複数のカメラ２２０のスキャン領域に光を照射するように設置される。
【００２９】
ビジョンアセンブリ移動手段３００は、ビジョンアセンブリ２００のカメラ２２０がガラス基板１の全領域をスキャンするように、ビジョンアセンブリ２００をガラス基板１の一方の側から他方の側に移動させる。
ビジョンアセンブリ移動手段３００は、ビジョンアセンブリ移動手段３００のフレーム３１５の下部に第１リードスクリュー３１０が回転自在に設置され、第１リードスクリュー３１０にカート３２０が螺合されて設置され、カート３２０の上側にビジョンアセンブリ２００が結合され、第１リードスクリュー３１０に第１移送モータ（図示せず）が連結され、フレーム３１５の上部に第１リードスクリュー３１０と平行をなすように第２リードスクリュー３４０が回転自在に設置され、第２リードスクリュー３４０に螺合されるボールナット３５０がビジョンアセンブリ２００のビジョンフレーム２３０に固定され、第２リードスクリュー３４０を回転させる第２移動モータ３６０が第２リードスクリュー３４０に機械的に連結される。
【００３０】
第２リードスクリュー３４０は、カート３２０の上側に設置される支持フレーム３３０に両端が支持されることにより、回転自在に設置される。
欠陥データ処理部４００は、ビジョンアセンブリ２００のカメラ２２０から転送されるイメージからガラス基板１の欠陥の個数、大きさ、位置などをデータ化して処理する。
【００３１】
ディスプレイ部５００は、欠陥データ処理部４００から処理されたガラス基板１の欠陥の個数、大きさ、位置などのデータを外部に表示する。
かかる構造のガラス基板検査用のクランプ装置１００の作用は、次のおうに行われる。
成形工程において成形された上端が移送グリッパ（図示せず）に固定され、移送レール（図示せず）に沿って移送されたガラス基板１を停止させた後、移送グリッパ（図示せず）からガラス基板１を取り外して固定フレーム１４０の内側に位置させた後、上部クランプ手段１１０の第１及び第２上部クランプ１１１、１１２でガラス基板１の上端部をクランプする。
【００３２】
すなわち、第１及び第２上部クランプ１１１、１１２の第１及び第２空圧シリンダ１１１ａ、１１２ｂを動作させて、グリッパ１１１ｃ、１１２ｄによってガラス基板１の上端部をクランプせしめる。
一方、ガラス基板１を固定フレーム１４０の内側に位置させるとき、ガラス基板１を下部クランプ手段１２０及び側部クランプ手段１３０のアライナ１２１ｇ、１２２ｈ、１３１ｇに位置させることにより、容易にクランプ位置に整列できるようにすることができる。
【００３３】
上部クランプ手段１１０によってガラス基板１の上端部がクランプされると、下部クランプ手段１２０でガラス基板１の下端部をクランプする。
すなわち、下部クランプ手段１２０の第４及び第６空圧シリンダ１２１ｄ、１２２ｅを動作させて、下部クランプ手段１２０のグリッパ１２１ｆ、１２２ｇでガラス基板１の下端部をクランプする。
【００３４】
ガラス基板１の上端と下端がそれぞれ上部及び下部クランプ手段１１０、１２０によってクランプされると、下部クランプ手段１２０の第３及び第５空圧シリンダ１２１ａ、１２２ｂを動作させて、ガラス基板１を下方に一定の力で引張って上下に伸ばされるようにする。
【００３５】
ガラス基板１が上下に伸ばされると、側部クランプ手段１３０の第８空圧シリンダ１３１ｄが動作して、グリッパ１３１ｆでガラス基板１の側端部をそれぞれクランプし、第７空圧シリンダ１３１ａを動作させて、ガラス基板１を両側に引張ってガラス基板１が左右に伸ばされるようにする。
【００３６】
側部クランプ手段１３０の第７空圧シリンダ１３１ａによってガラス基板１が左右に伸ばされるとき、上部及び下部クランプ手段１１０、１２０の第１上部クランプ１１１と第１下部クランプ１２１によって、ガラス基板１は一定の位置に固定された状態で、第２上部クランプ１１２と第１下部クランプ１２２のそれぞれがガイドレール１１２ａ、１２２ａに沿って移動することによって、ガラス基板１が全領域にわたって左右に伸ばされるようにする。よって、ガラス基板１が撓まないようにすると共に、振動を最小化して、ビジョンアセンブリ２００でスキャンするとき、鮮明なイメージを取得せしめる。
【００３７】
ガラス基板１が上部及び下部クランプ１１０、１２０と側部クランプ１３０によってクランプされて伸ばされると、ビジョンアセンブリ移動手段３００によってビジョンアセンブリ２００をガラス基板１の一方の側から他方の側に移動させて、ビジョンアセンブリ２００の照明２１０と複数のカメラ２２０でガラス基板１の全領域をスキャンした後、欠陥データ処理部４００によってスキャンして取得したイメージからガラス基板１の欠陥の個数、大きさ、位置などのデータとして処理してディスプレイ部５００によって表示する。
【００３８】
上述のように本発明の好適な実施例によれば、成形工程においてガラス基板を検査するとき、ガラス基板を検査ゾーンにローディング／アンローディングする作業を容易にするだけでなく、検査に要する時間を短縮し、ガラス基板に物理的な接触を最小化して欠陥の発生を抑制し、且つ、ガラス基板の振動を防止して正確な検査が行われるようにする。
【００３９】
上記において、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明の請求範囲を逸脱することなく、当業者は種々の改変をなし得るであろう。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明によるガラス基板検査用のクランプ装置の正面図。
【図２】本発明によるガラス基板検査用のクランプ装置の第１上部クランプを示す正面図。
【図３】本発明によるガラス基板検査用のクランプ装置の第１上部クランプを示す側面図。
【図４】本発明によるガラス基板検査用のクランプ装置の第２上部クランプを示す正面図。
【図５】本発明によるガラス基板検査用のクランプ装置の第２上部クランプを示す底面図。
【図６】本発明によるガラス基板検査用のクランプ装置の第１下部クランプを示す正面図。
【図７】本発明によるガラス基板検査用のクランプ装置の第１下部クランプを示す側面図。
【図８】本発明によるガラス基板検査用のクランプ装置の第２下部クランプを示す正面図。
【図９】本発明によるガラス基板検査用のクランプ装置の第２下部クランプを示す平面図。
【図１０】本発明によるガラス基板検査用のクランプ装置の側部クランプに示す正面図。
【図１１】本発明によるガラス基板検査用のクランプ装置の側部クランプに示す側面図。
【図１２】本発明によるガラス基板検査用のクランプ装置を用いるガラス基板の検査装置の正面図。
【図１３】本発明によるガラス基板検査用のクランプ装置を用いるガラス基板の検査装置の側面図。
【図１４】本発明によるガラス基板検査用のクランプ装置を用いるガラス基板の検査装置の平面図。
【図１５】本発明によるガラス基板検査用のクランプ装置を用いるガラス基板の検査装置におけるビジョンアセンブリを示す斜視図。
【図１６】本発明によるガラス基板検査用のクランプ装置を用いるガラス基板の検査装置の構成図。
【符号の説明】
【００４１】
１１０        上部クランプ手段．１１１  第１上部クランプ．１１１ａ  第１空圧シリンダ．１１１ｃ  グリッパ．１１２  第２上部クランプ．１１２ａ  ガイドレール．１１２ｂ  第２空圧シリンダ．１１２ｄ  グリッパ．１１２ｅ  弾性部材．１２０  下部クランプ手段．１２１          第１下部クランプ．１２１ａ  第３空圧シリンダ．１２１ｂ  移動部材．１２１ｄ  第４空圧シリンダ．１２１ｆ  グリッパ．１２２  第２下部クランプ．１２２ａ  ガイドレール．１２２ｂ  第５空圧シリンダ．１２２ｃ  移動部材．１２２ｅ  第６空圧シリンダ．１２２ｇ  グリッパ．１３０  側部クランプ手段．１３１  側部クランプ．１３１ａ  第７空圧シリンダ．１３１ｂ          移動部材．１３１ｄ  第８空圧シリンダ．１３１ｆ  グリッパ．１４０  固定フレーム．１４１  上部フレーム．１４２  下部フレーム．１４３  側部フレーム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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