(57)【要約】【課題】  多成分の吸光式分析計に関し、汎用性が高く、高い測定精度を有するコンパクトな吸光式分析計を提供することを目的とする。【解決手段】  光源部、試料セル部および複数の検出器を構成要素として含む吸光式分析計において、該光源部と１の検出器との中間に集光部材を設け、前記光学部材の内壁面に前記光源部から光の一部を導出する部位、つまり光導出口を有し、該光導出口から導出した光が他の検出器に入射することを特徴とする。ここで、集光部材が、光源部と試料セル部との中間にあることが好適である。また、他の検出器用に用いる光学素子を、光導出口に設けるとともに、集光部材により形成される光路に近接して配することが好適である。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源部、試料セル部および複数の検出器を構成要素として含む吸光式分析計において、前記光源部と１の検出器との中間に集光部材を設け、該集光部材の内壁面に前記光源部から光の一部を導出する部位、つまり光導出口を有し、該光導出口から導出した光が他の検出器に入射することを特徴とする吸光式分析計。
【請求項２】
集光部材が、光源部と試料セル部との中間にあることを特徴とする請求項１に記載の吸光式分析計。
【請求項３】
他の検出器用に用いる光学素子を、光導出口に設けるとともに、集光部材により形成される光路に近接して配することを特徴とする請求項１または２に記載の吸光式分析計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種流体中の特定成分の濃度を測定する吸光式分析計に関するもので、特に試料中に共存する複数成分を測定する、高精度でコンパクトな流体濃度測定装置に有用である。
【背景技術】
【０００２】
近年、各種製造プロセスにおいては、管理対象物質および各種の妨害物質の濃度管理が不可欠となり、多種多様な用途に対応できる精度の良い測定器が求められ、従来から、汎用性が高く、同一構成で多種の成分測定が可能で、多成分同時測定が可能な非分散赤外線分析計（以下、「ＮＤＩＲ」という。）や非分散紫外線分析計（以下「ＮＤＵＶ」という。）などの吸光式分析計が多く用いられている。こうした吸光式分析計は、基本的に試料に非接触であることから各種のプロセスのインラインモニターとしても有用である。
【０００３】
具体的には、多成分で安定な吸光度分析計として、図８（Ａ）および（Ｂ）に例示するように、光源１と検出器３との中間に設けられた光学素子７ａ、さらには７ｂを光路に対して所定の傾斜を有して配し、複数の検出器３ａ、３ｂ、さらには３ｃに対して光を分岐し導入することで、試料セル部２における吸光度の変化を検出することができる方法が実用化されている（例えば特許文献１参照）。
【０００４】
つまり、光源用電源（図示せず）からの電力を注入すると光源部１からの赤外線が試料セル部２を介して検出器３ａ、３ｂ、３ｃに投入される。光源部１と検出器３ａ、３ｂ、３ｃの間には、通常測定対象成分に対応した波長域の赤外線を選択的に透過する光学フィルタ７ａおよび７ｂが設けられ、試料セル部２に導入された試料流体中の測定成分による赤外線吸収の変化のみを検出している。ここで、流体切換部４を用いて試料流体Ｓと基準（比較）流体Ｒを一定周期で切換えて変調させ、試料セル部内での赤外線の吸収量の変化分のみを交流信号として取り出した検出器出力は前置増幅器等（図示せず）で増幅された後、信号処理部（図示せず）に入力され整流等の信号処理の後、濃度演算されて表示部（図示せず）に濃度表示される。
【０００５】
また、上記の流体変調方式に代え、モータによって駆動されるチョッパがその光学系の中間に設けられ、前記赤外線は断続光となって検出器に導入される機械的光断続方式や、チョッパの代わりに、光源用電源と光源の間に光源電圧変調手段を設けて光源に印加される電力をＯＮ−ＯＦＦさせて変調する方式などの光変調方式ＮＤＩＲが知られている。さらに、こうした構成を有する測定方法は、上記のＮＤＩＲだけでなく、ＮＤＵＶについてもほぼ同様に提案・実用化されている（例えば特許文献２参照）。
【特許文献１】特許第２９０３４５７号公報
【特許文献２】特開平８−４３３０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、一般に複数成分が共存する試料においては、各成分の濃度が大幅に異なることが多く、従来技術で述べた吸光式分析計では、以下のような課題が生じることがある。
【０００７】
１つには、一般に光の吸収量（つまり、測定成分の濃度）と検出器出力との間には、式１のようなＬａｍｂｅｒｔ−Ｂｅｅｒ’Ｌａｗと呼ばれる吸光特性に近い関係を示すことから生じる測定誤差が挙げられる。ここで、Ｉ0 、Ｉは各々試料セル部入射光量、透過光量を、ε、ｃ、ｄは、各々吸光係数、対象物質の濃度、セル光路長を表す。
Ｉ0 ／Ｉ  ＝  Ａ×ｌｏｇ（εｃｄ）      ・・・式１
【０００８】
つまり、１つの試料セル部を利用する光学系にあっては、成分によって光の吸収量が大きく異なるため、低濃度の成分を測定する場合においては直線性の良い出力領域を利用することができる一方、高濃度の成分を測定する場合には、出力の直線性が悪くなり、両者における、読み取り誤算の相違や温度特性の相違などが生じることになる。従って、通常異なるセル長を有する複数の光学系を用いることが多く、分析計の大型化を招くこととなる。
【０００９】
また、図８（Ａ）のような構成例において測定成分を増加する場合には図８（Ｂ）のような構成が挙げられるが、光学素子７ｂを追加する必要があり、光学系の大型化や部品の追加による光学的なロスによる検出感度の低下が課題となることがある。
【００１０】
さらに、上記のような光学系において試料流量の低減を目的として、試料セルの開口径を小さくすることがあるが、こうした場合にも同様の課題が生じることがある。具体的には、図９に例示するように、集光部材５、あるいは追加の試料セル部２ｂを挿入した光学系が挙げられるが、部品の追加による光学的なロスによる検出感度の低下が課題となることがある。
【００１１】
そこで、本発明の目的は、上記のような問題点を解決し、複数の測定対象に対し、汎用性が高く、高い測定精度を有する吸光式分析計を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明者らは、上記課題を解決するために、鋭意研究を重ねた結果、以下に示す吸光式分析計により上記目的を達成できることを見出し、本発明を完成するに到った。
【００１３】
本発明は、光源部、試料セル部および複数の検出器を構成要素として含む吸光式分析計において、該光源部と検出器との中間に集光部材を設け、該光学部材の内壁面に前記光源部から光の一部を導出する部位、つまり光導出口を有し、該光導出口から導出した光が他の検出器に入射することを特徴とする。本発明者は、光源部から検出器に至るまでの光路において、光路開口径を変更する場合において、集光部材を設けて光学部材の内壁面から光の一部を取り出すことによって、部材の共用を図るとともに、導出口から取り出すことができる光の入射角を制限することで非常に光量の安定した光を取り出すことができることを見出したもので、複数の測定対象に対し、汎用性が高く、高い測定精度を有する吸光式分析計を提供が可能となる。また、集光部材が光路に光学素子を設けていないことから、後段における光学系の構成を非常にフレキシブルに行うことができる点においても非常に優れている。なお、試料セル部および光学素子は、単数に限定されるものでなく、後述のように２以上で構成される場合をも含まれる。
【００１４】
上記の吸光式分析計において、集光部材が、光源部と試料セル部との中間にあることが好適である。上述の技術的効果は、光導出口から導出される光量の減衰が少ない条件で行うことがより有効であり、多くの角度成分の光が存在し光量が多い光路、つまり、光源部に近く、試料セルなどによる光路を形成する壁面による反射光の減衰を生じない部位に集光部材を設けることが好適であることを案出したものである。
【００１５】
また、他の検出器用に用いる光学素子を、光導出口に設けるとともに、集光部材により形成される光路に近接して配することが好適である。こうした配置によって、光学系の光路の一部に設けた光導出口による光学的なロスを軽減するとともに、光学素子の反射光の波長特性を有効に活かすことができる。
【発明の効果】
【００１６】
以上のように、集光部材を設けて光学部材の内壁面から光の一部を取り出すことによって、非常に光量の安定した光を取り出すことができる。従って、複数の測定対象に対し、汎用性が高く、高い測定精度を有する多成分の吸光式分析計を提供することができる。
【００１７】
特に、集光部材を光源部と試料セル部との中間に配することで、光導出口から導出される光量の減衰が少ない条件で行うことでき、上述の技術的効果をより有効に活かすことができる。
【００１８】
また、光導出口に他の光学素子の設けることによって、光学的なロスを軽減するとともに、光学素子の反射光の波長特性を有効に活かすことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
図１に、本発明にかかる吸光度分析計の基本的な光学系の第１の構成例を示す。図１において、光源用電源（図示せず）からの電力を受けた光源部１、集光部材５、試料セル部２ａ、光学素子７ａおよび検出器３ａからなる光路と、集光部材５の内壁面の一部から光導出路６を介して、試料セル部２ｂ、光学素子７ｂおよび検出器３ｂからなる光路を有した光学系を形成している。ここで、流体は順次試料セル部２ａから２ｂに導入されるが、流体切換部４を用いて試料流体Ｓと基準流体Ｒを一定周期で切換えることによって、各試料セル部２ａ、２ｂ内での赤外線の吸収量の変化分のみを各検出器３ａ、３ｂによって交流信号として取り出すことができる（流体変調）。各検出器出力は、上述のように、前置増幅器等（図示せず）で増幅された後、信号処理部（図示せず）に入力され整流等の信号処理の後、濃度演算されて表示部（図示せず）に濃度表示される。
【００２０】
本発明は、光源部１から検出器３ａ、３ｂに至るまでの光路において光路開口径を変更する場合に、集光部材５の内壁面から光の一部を取り出すことによって、光分岐用の光学素子との共用を図るとともに、導出口から取り出すことができる光の入射角を制限することに特徴がある。つまり、上述の図９のように２つの部材を設けるのではなく、１つの集光部材５によって必要な機能を確保することができる。また、集光部材が光路に光学素子を設けずに光路の分岐を可能とすることから、後段における光学系の構成を非常にフレキシブルに行うことができる。さらに、傾斜角を有する光学素子部を形成するためには、口径の大きな光学素子を必要とするが、本発明によれば、両成分についても小径の光学素子によって構成することができる点で優位といえる。
【００２１】
また、図２（Ａ）に例示するように、光導出路６に入射する光は、角度αの範囲の方向から入射するが、特に試料セル部２ａ方向からの光（逆戻り光）は殆ど入射することがなく、試料セル部２ａ方向からの光量変化を含む影響を受けることがないため、非常に光量の安定した光を取り出すことができる。図２（Ｂ）のような一般に考えられる光路と光導出路６とが直交している場合にあっては、光導出路６に入射する光は、角度βつまり約１８０°の方向から入射し、逆戻り光の光量変化を含む影響を受けることがある。本発明はこうした影響を排除する効果を有しており、検出器３ｂによる測定に対する安定性の寄与が高い。
【００２２】
なお、光導出路は図２（Ａ）のように、６ａ（実線）および６ｂ（破線）を含む複数の光路を構成することも可能である。また、光路とは光源部から各検出器に投入されるすべての光の導路をいう。
【００２３】
ここで、集光部材５は、上記のような機能を有するように、内壁面が光路に対し１８０°未満の角度を有し、異なる開口径を有するものであれば、内壁面が必ずしもストレートであることなどを必要とせず、特別に形状を問うものではないが、図２（Ａ）に例示するように、テーパ状の光路を形成するものが好ましい。材質や加工方法については、特に制限されるものではないが、通常加工の容易性から、金属製あるいは樹脂製などを用いることが多く、内壁表面の研磨加工や表面メッキ処理、あるいは内壁へのスリーブ材の挿入によって、光の反射率を高めている。
【００２４】
また、広い開口部の径ｄ1 、狭い開口部の径ｄ2 、光導出路６の径ｄ3 および光路長Ｌなどは、特に限定されるものではないが、光源部１の光密度および試料セル部２の内径などから設定される。
【００２５】
具体的に図２（Ａ）における実測例を表１に示す。ｄ1 ：φ１６ｍｍ、ｄ2 ：φ７．５ｍｍを有し、ｄ3 ：φ２ｍｍを有する集光部材５における光路長Ｌを変化させた場合の検出器３ｂの出力を例示している（ＣＯ2 ４．９２％に対する出力）。
【００２６】
【表１】
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【００２７】
表１に示すように、検出器３ｂの出力変化は殆どなかった。角度αが所定値以上の場合には、非常に安定な出力が得られると推考できる。
【００２８】
以上において、検出器３ａは、光源部１からの光を直接受光することができることから、最も高感度の検出を必要とする成分の測定に利用することが好ましい。例えば、燃焼排ガス測定装置に用いられるＮＤＩＲにおいては、検出器３ａとして一酸化窒素（ＮＯ）検出器を設け、検出器３ｂとして二酸化炭素（ＣＯ2 ）検出器を設けることで、数１０〜数１００ｐｐｍといった低濃度かつ赤外線吸光度の小さなＮＯを高感度で測定することができるとともに、数％〜１０数％といった高濃度かつ赤外線吸光度の大きなＣＯ2 を高精度に測定することができ、両者を最適な条件で同時に測定することができる。
【００２９】
また、変調方法や、光源部１と検出器３との中間に設けられる試料セル２や光学素子７あるいは集光部材５などの要素の配列など光学系の構成については、図１に限定されることはないことはいうまでもない。
【００３０】
試料セル２ａおよび２ｂとしては、試料導入口および排出口を有するステンレス鋼やアルミニウムなどの金属製あるいは樹脂製の円筒管の両側に光学結晶を固定した構造をとることが多い。
【００３１】
検出器３ａおよび３ｂとしては、ＮＤＩＲでは、コンデンサマイクロフォンやフローセンサを内蔵したニューマティック検出器や、パイロ素子あるいはサーモパイル素子などを用いた固体検出器などが挙げられ、前者は検出感度や選択性に優れ、後者は量産性・小型化・汎用性に優れた検出器であり、用途に応じて使い分けが可能である。ＮＤＵＶでは、光電子倍増管や、フォトセルやフォトダイオードなどの固体検出器などが挙げられ、前者は検出感度や選択性に優れ、後者は量産性・小型化・汎用性に優れた検出器である。
【００３２】
ここで、光学素子７ａおよび７ｂとは、基板に多層膜を形成した光学フィルタや特定の波長域を透過する基材一般をも含む広い概念をいう。前者としては、例えば特定波長域を透過するバンドパスフィルタ（ＢＰＦ）、特定波長よりも長い波長域のみを透過するロングパスフィルタ（ＬＰＦ）や特定波長よりも短い波長域のみを透過するショートパスフィルタ（ＳＰＦ）などが挙げられる。また、後者としては、紫外線〜赤外線透過基材として、約３．５μｍまでを透過する石英（ＳｉＯ2 ）約４μｍまでを透過するサファイア（Ａｌ2 Ｏ3 ）、約６μｍまでを透過するフッ化リチウム（ＬｉＦ）、約８μｍまでを透過するフッ化カルシウム（ＣａＦ2 ）、約１２μｍまでを透過するフッ化バリウム（ＢａＦ2 ）や約１３μｍまでを透過する塩化ナトリウム（ＮａＣｌ）などが挙げられる。ビームスプリッタとしては、上記基材自体の表面反射を利用したものあるいは基材の表面に反射膜を形成したものなどが用いられる。
【００３３】
図３に、本発明の第２の構成例として、複数の集光部材５ａおよび５ｂを有する場合を例示する。上記第１構成例における試料セル部２ａと検出器３ａの間にもう１成分を追加すべく集光部材５ｂを設けた点に特徴がある。つまり、上述のように、集光部材５ａが光路に光学素子を設けずに光路の分岐を可能とすることを利用して、３成分以上の測定において、後段に集光部材５ｂを追加することで、集光部材５ａの大口径側から入射した光の多くを小口径側に設けた検出器３ａに照射させ、当該光の一部を検出器３ｃに照射させることとしたものである。通常、光路に光学素子を設けて波長を限定した方が選択性を上げる目的にかなう場合が多い反面、その透過光あるいは反射光の使用が制限されることから、汎用性を欠く場合があり、こうした場合に光学素子を設けずに光路の分岐を行うことで汎用性を確保する構成として有効である。むろん、本発明における技術的効果である、両検出器に対し小径の光学素子の使用を可能とするとともに、検出器３ｃに対する測定の安定性向上を図ることができる。
【００３４】
例えば、燃焼排ガス測定装置に用いられるＮＤＩＲにおいては、検出器３ａとしてＮＯ検出器を設け、検出器３ｂとしてＣＯ2 検出器を設け、検出器３ｃとして二酸化硫黄（ＳＯ2 ）検出器を設けることで、数１０〜数１００ｐｐｍといった低濃度かつ赤外線吸光度の小さなＮＯを高感度で測定することができるとともに、数％〜１０数％といった高濃度かつ赤外線吸光度の大きなＣＯ2 および数１０〜数１００ｐｐｍといった低濃度かつ赤外線吸光度の大きなＳＯ2 を高精度に測定することができ、これら３成分を最適な条件で分析することができる。
【００３５】
上記の吸光式分析計において集光部材５ａおよび５ｂを２つ設けた例を示したが、集光部材の機能面では、図３に示す集光部材５ａのように、光源部１と試料セル部２ａとの中間にあることがより好適である。光導出路６ａに導出される光は、図３の矢印（破線）に示すように、多くは光導出路６ａと光源部１との間に生じる反射光であり、こうした反射光の光量は、多くの角度成分の光が存在し光量が多い光路、つまり、光源部に近いほど大きく、より有効である。試料セルなど各光学部材を経由することによって、光路を形成する壁面による反射光が減衰を生じることから、こうした光量の減衰が少ない条件で行うことがより好ましいといえる。また、こうした技術的効果は、光導出路６ａの光路径を小さくすることができることから、光導出路６ａを設けることによる光学的なロスをさらに減少させることができ優位となる。
【００３６】
本発明の第３の構成例として、集光部材と光学素子部の組合せを同一光学系に有する場合を、図４に例示する。第２の構成例における集光部材に代え、光学素子部８を用いたもので、集光部材５による、光路に光学素子を設けずに光路の分岐を行うことの優位性を確保するとともに、光学素子部８を上手く組合せることによって、検出感度面および選択性の面で優位となる。つまり、集光部材５を経由しても、光量の減衰は少なく、光学素子部８によって、反射光の全てを利用するとともに、特定の光学素子（特に光学フィルタ）の反射光の波長特性を有効に利用することができる。
【００３７】
例えば、燃焼排ガス測定装置に用いられるＮＤＩＲにおいては、検出器３ａとしてＮＯ検出器を設け、検出器３ｂとしてＣＯ2 検出器を設け、検出器３ｃとして一酸化炭素（ＣＯ）検出器を設けることで、数１０〜数１００ｐｐｍといった低濃度かつ赤外線吸光度の小さなＮＯを高感度で測定することができるとともに、数％〜１０数％といった高濃度かつ赤外線吸光度の大きなＣＯ2 および数１００〜数１０００ｐｐｍといった比較的高濃度かつ赤外線吸光度の小さなＣＯを高精度に測定することができ、これら３成分を最適な条件で分析することができる。つまり、ＮＯとＣＯ2 の測定精度は集光部材５によって確保し、ＣＯの測定精度は光学素子部８つまりＮＯのＢＰＦ特性を利用して確保することができている。
【００３８】
さらに、図５に、本発明の第４の構成例として、１つの集光部材５と２つの光学素子部８ａおよび８ｂの組合せを同一光学系に有する場合を例示する。上記の各構成例を集約した光学系の１つであり、集光部材５による優位性と光学素子部８ａおよび８ｂの優位性を上手く組合せることによって、検出感度面および選択性の面で優位となる。
【００３９】
例えば、燃焼排ガス測定装置に用いられるＮＤＩＲにおいては、検出器３ａとしてＮＯ検出器を設け、検出器３ｂとしてＣＯ2 検出器を設け、検出器３ｃとして一酸化炭素（ＣＯ）検出器を設け、検出器３ｄとしてＳＯ2 検出器を設けることで、数１０〜数１００ｐｐｍといった低濃度かつ赤外線吸光度の小さなＮＯを高感度で測定することができるとともに、数％〜１０数％といった高濃度かつ赤外線吸光度の大きなＣＯ2 、数１００〜数１０００ｐｐｍといった比較的高濃度かつ赤外線吸光度の小さなＣＯ、および数１０〜数１００ｐｐｍといった低濃度かつ赤外線吸光度の大きなＳＯ2 を高精度に測定することができ、これら４成分を最適な条件で分析することができる。つまり、ＮＯとＣＯ2 の測定精度は集光部材５によって確保し、ＣＯおよびＳＯ2 の測定精度は光学素子部８ａおよび８ｂを利用して確保することができている。
【００４０】
また、本発明の第５の構成例として、２つの集光部材５ａおよび５ｂと１つの光学素子部８の組合せを同一光学系に有する場合を、図６に例示する。上記の各構成例を集約した光学系の他の例の１つであり、集光部材５ａおよび５ｂによる優位性と光学素子部８の優位性を上手く組合せることによって、検出感度面および選択性の面で優位となる。特に、図６のように開口径の変更を必要とする試料セル部が複数（２ａおよび２ｃ）あるときに優位である。
【００４１】
例えば、燃焼排ガス測定装置に用いられるＮＤＩＲにおいては、検出器３ａとしてＮＯ検出器を設け、検出器３ｂとしてＣＯ2 検出器を設け、検出器３ｃとして一酸化炭素（ＣＯ）検出器を設け、検出器３ｄとしてＳＯ2 検出器を設けることで、数１０〜数１００ｐｐｍといった低濃度かつ赤外線吸光度の小さなＮＯを高感度で測定することができるとともに、数％〜１０数％といった高濃度かつ赤外線吸光度の大きなＣＯ2 、数１００〜数１０００ｐｐｍといった比較的高濃度かつ赤外線吸光度の小さなＣＯ、および数１０〜数１００ｐｐｍといった低濃度かつ赤外線吸光度の大きなＳＯ2 を高精度に測定することができ、これら４成分を最適な条件で分析することができる。つまり、光学素子部８に光学素子として５μｍのＬＰＦを用いた場合、５μｍ以下の波長域を有する反射光をＣＯ（通常中心波長４．７μｍの光を利用する）およびＣＯ2 （通常中心波長４．３μｍの光を利用する）の測定に利用し、５μｍ以上の波長域を有する透過光をＮＯ（通常中心波長５．３μｍの光を利用する）およびＳＯ2 （通常中心波長７．３μｍの光を利用する）の測定に利用することで、選択性の向上を図ることができるとともに、各成分に見合った試料セル径およびセル長を設定することによって測定精度を確保することができる。
【００４２】
以上の構成例において、光導出路に導出された光の検出に用いる光学素子を、集光部材に設けられた光導出口に配設するとともに、集光部材により形成される光路に近接して配することが好適である。具体的には、図７に示すように集光部材５の内壁面に光学素子７ｂを配置することによって、光学的なロスを軽減するとともに、光学素子の反射光の波長特性を有効に活かすことができる。
【００４３】
つまり、前者については、従来光学的なロスつまり検出器３ａに対して検出感度の減少要因になっていた図７に示す光Ａａのような光が、光路に近接して配置された光学素子７ｂによって反射して検出器３ａに照射され、検出器３ａに対する光量の増大効果が得られる。こうした増大効果は、光導出路６の開口径や集光部材５の光路径など種々の条件によって異なるが、光源部１と近接して集光部材５が設けられた場合には特に影響が大きく、実測値として光路径と同径の導入路が設けられていた場合との比較において数％程度の感度上昇効果を得ることができた。
【００４４】
また、後者については、光導出口に配設された光学素子７ｂとして、例えば、上記のようにＣＯ2 測定用の光学フィルタを用いた場合には、中心波長４．３μｍの光を除く光のみが反射光として試料セル部２ａに導入されることになり、上記の効果と同時に検出器３ａ等の選択性の向上に寄与することとなる。こうした効果は、光導出路６の開口径や集光部材５の光路径など種々の条件によって異なるが、光源部１と近接して集光部材５が設けられた場合には大きな効果を得ることができる。
【００４５】
なお、図７では、集光部材５の光路に光学窓９を設けた構成を例示したが、本図に限らず、本発明において光学系の各部材に必要に応じて光学窓９が設けられる。
【００４６】
以上のような本発明の技術は、各種のＮＤＩＲやＮＤＵＶなどの吸光式分析計に適用可能であり、複数の測定成分を含む試料に対して広い範囲において応用が可能であり、汎用性が高く、高い測定精度を有する吸光式分析計を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明に係る吸光式分析計の第１の構成例を示す説明図
【図２】本発明に係る集光部材の構成例の詳細を例示する説明図
【図３】本発明に係る吸光式分析計の第２の構成例を示す説明図
【図４】本発明に係る吸光式分析計の第３の構成例を示す説明図
【図５】本発明に係る吸光式分析計の第４の構成例を示す説明図
【図６】本発明に係る吸光式分析計の第５の構成例を示す説明図
【図７】本発明に係る集光部材の他の構成例の詳細を例示する説明図
【図８】従来技術に係る吸光式分析計の１の構成例を示す説明図
【図９】従来技術に係る吸光式分析計の他の構成例を示す説明図
【符号の説明】
【００４８】
１    光源
２    試料セル部
３    検出器
４    流体切換部
５    集光部材
６    光導出路
７    光学素子（光学フィルタ）
８    光学素子部
９    光学窓
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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