(57)【要約】  【課題】  垂直磁気記録媒体に対して容易にかつ良好な磁気転写を行う。  【解決手段】  所定の面積の端面６ａを有する第一コア６からなる主磁極11と、第一コア６の端面６ａと比較して相対的に大きい面積の端面７ａを有する第二コア７および第二コア７に巻かれたコイル８からなる補助磁極12とからなる磁界発生手段５を用い、主磁極11と補助磁極12との間に、所望の転写パターンを表面に担持してなるパターンドマスター担体３と垂直磁気記録層22を有する磁気記録媒体２とを、マスター担体３の表面と磁気記録媒体２の垂直磁気記録層22側の面とを密着させた重畳体を、マスター担体３が主磁極11側となるように挿入し、コイル８に電流を流し、該コイル８に電流が流れることによって主磁極11近傍に生じる垂直磁界Ｈdu1により転写パターンを垂直磁気記録層22に垂直磁化パターンとして転写する。【選択図】          図２
2005190510.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
転写パターンを有するパターンドマスター担体と垂直磁気記録層を有する磁気記録媒体との重畳体を、対向する端面の面積が互いに異なる異極対向磁極間で発生する磁場中に、前記パターンドマスター担体が前記端面の面積の小さい磁極に近い側となるような配置で曝して、前記転写パターンを前記磁気記録媒体に転写することを特徴とする磁気転写方法。
【請求項２】
前記転写パターンがサーボトラック信号であり、前記磁気記録媒体がディスク形状であり、かつ前記端面の面積の小さい磁極の前記ディスクの円周方向の長さが前記転写パターンの最大ビット長より大きいことを特徴とする請求項１記載の磁気転写方法。
【請求項３】
転写パターンを有するパターンドマスター担体と垂直磁気記録層を有する磁気記録媒体との重畳体に転写用磁界を印加して、前記マスター担体の転写パターンを垂直磁気記録層に転写する磁気転写装置であって、
対向する端面の面積が相対的に小さい、軟磁性体よりなる第一コアからなる主磁極と、
対向する端面の面積が相対的に大きな第二コアおよび該第二のコアに巻かれた磁界発生用の電流が流されるコイルからなる補助磁極とからなる一対の磁極よりなる磁界発生手段を備えていることを特徴とする磁気転写装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、転写パターンを有するパターンドマスター担体から磁性層を有する磁気記録媒体に対して転写パターンに応じた磁化パターンを磁気的に転写する磁気転写方法および装置に関し、特に、磁性層として垂直磁気記録層を有する磁気記録媒体への磁気転写方法および装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
磁気記録媒体においては一般に、情報量の増加に伴い、多くの情報を記録する大容量で、安価で、かつ、好ましくは短時間で必要な箇所が読み出せる、いわゆる高速アクセスが可能な媒体が望まれている。それらの一例としてハードディスク装置やフレキシブルディスク装置に用いられる高密度磁気記録媒体（磁気ディスク媒体）が知られ、その大容量化を実現するためには、狭いトラック幅を正確に磁気ヘッドが走査し、高いＳ／Ｎ比で信号を再生する、いわゆるトラッキングサーボ技術が大きな役割を担っている。このトラッキングサーボを行うために、ディスク中に、ある間隔でトラッキング用のサーボ信号、アドレス情報信号、再生クロック信号等が、いわゆるプリフォーマットとして記録されている。
【０００３】
このプリフォーマットを正確にかつ効率よく行う方法として、上記のようなサーボ信号等の情報を転写パターンとして有するマスター担体を準備し、このマスター担体の転写パターンを磁気記録媒体へ磁気的に転写する磁気転写方法が特許文献１および２等に開示されている。
【０００４】
より詳細には、磁気ディスク媒体等の磁気記録媒体（スレーブ媒体）に転写すべき情報に対応するパターンを凸部として有するマスター担体の該凸部とスレーブ媒体の磁性層とが接触するように密着させた重畳体に転写用磁界を印加することにより、マスター担体の凸部により構成されたパターン（例えばサーボ信号）をスレーブ媒体に磁化パターンとして転写するもので、マスター担体とスレーブ媒体との相対的な位置を変化させることなく静的に記録を行うことができ、正確なプリフォーマット記録が可能であり、しかも記録に要する時間も極めて短時間であるという利点を有している。
【０００５】
ところで、磁気記録媒体としては、その磁性層の面内方向に磁化容易軸を有する面内磁気記録媒体、および、磁性層に垂直な方向に磁化容易軸を有する垂直磁気記録媒体が考えられるが、従来、一般に面内磁気記録媒体が用いられており、上述の許文献１および２等においても面内磁気記録媒体を対象とする磁気転写を主眼として記載されている。一方、垂直磁気記録媒体を用いれば、面内磁気記録媒体と比較してさらなる大容量化が期待される。
【０００６】
垂直磁気記録媒体への磁気転写は面内磁気記録媒体への磁気転写とは異なる磁界印加手段および条件が必要と考えられる。そしてこの垂直磁気記録媒体へ磁気転写を行うための装置および方法についても特許文献３〜５等において提案されている。
【特許文献１】特開平１０−４０５４４号公報
【特許文献２】特開平１０−２６９５６６号公報
【特許文献３】特開２００２−８３４２１号公報
【特許文献４】特開２００２−３４２９２３号公報
【特許文献５】特開２００３−４５０２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献３〜５には、垂直磁気記録媒体へ磁気転写を行うための、垂直磁界印加装置および方法等について記載されているが、さらに、垂直磁気記録媒体への転写をより信号品位良く、より簡便に行うための磁気転写方法および装置の開発が望まれている。
【０００８】
本発明は上記事情に鑑み、垂直磁気記録媒体に対して容易にかつ良好な磁気転写を行うための磁気転写方法および装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の磁気転写方法は、転写パターンを有するパターンドマスター担体と垂直磁気記録層を有する磁気記録媒体との重畳体を、対向する端面の面積が互いに異なる異極対向磁極間で発生する磁場中に、前記パターンドマスター担体が前記端面の面積の小さい磁極に近い側となるような配置で曝して、前記転写パターンを前記磁気記録媒体に転写することを特徴とする。
【００１０】
前記転写パターンがサーボトラック信号であり、前記磁気記録媒体がディスク形状である場合、前記端面の面積の小さい磁極の前記ディスクの円周方向の長さが前記転写パターンの最大ビット長より大きいことが望ましい。
【００１１】
転写パターンがサーボトラック信号の場合、当該転写パターンは多数のビットから構成されており、当該ビットはそのトラック方向の長さが種々のものを含んでいる。最大ビット長とは、このようなトラック方向の長さが種々のものを含むビットの中でトラック方向の長さが最も長いビットの長さを意味する。
【００１２】
本発明の磁気転写装置は、転写パターンを有するパターンドマスター担体と垂直磁気記録層を有する磁気記録媒体との重畳体に転写用磁界を印加して、前記マスター担体の転写パターンを垂直磁気記録層に転写する磁気転写装置であって、
対向する端面の面積が相対的に小さい、軟磁性体よりなる第一コアからなる主磁極と、
対向する端面の面積が相対的に大きな第二コアおよび該第二のコアに巻かれた磁界発生用の電流が流されるコイルからなる補助磁極とからなる一対の磁極よりなる磁界発生手段を備えていることを特徴とするものである。
【００１３】
ここで、第一のコアの端面と第二のコアの端面は互いに対向するものであり、相対的に小さい、大きいは互いの端面に対しての意である。なお、第一のコアの端面の面積に対し、第二のコアの端面の面積の比は２以上あれば良く、さらに好ましくは10以上である。
【００１４】
また、「パターンドマスター担体」は、基本的に転写すべき情報を凹凸パターンとして備えた担体、または同一平面上に軟磁性材料で構成されたパターン（情報）を有する担体であり、（１）凹凸パターンを表面に有する軟磁性体基板のみからなるもの、（２）凹凸パターンを表面に有する基板と該基板上の少なくとも凸部上面に積層された軟磁性層とからなるもの、（３）凹凸パターンを表面に有する非磁性基板と該基板の凹部に埋め込まれた軟磁性層とからなるもの、（４）平板基板上に表面に凹凸パターンを有する軟磁性層が形成されてなるもの等が挙げられる。すなわち、磁気転写用パターンドマスター担体としては、被転写媒体である磁気記録媒体の磁性層と接触する部分において軟磁性層による信号パターンを有するものであれば、表面が凹凸パターン形状とされているものであってもよいし、凹部が軟磁性層で埋め込まれて表面が平坦とされたものであってもよい。ここで、パターンドマスター担体の軟磁性層は、その保磁力Ｈｃが40ｋＡ／ｍ以下のものを意味する。なお、本発明のパターンドマスター担体は、軟磁性層上にさらに保護層、潤滑剤層等が積層されていてもよい。
【００１５】
ここで垂直磁気記録層を有する磁気記録媒体とは、垂直磁気記録層と軟磁性層からなる裏打ち層との２層型のものであってもよいし、垂直磁気記録層のみの単層型のものであってもよい。また、磁気記録層は支持体の片面のみにあってもよいし両面にあってもよい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の磁気転写方法は、転写パターンを有するパターンドマスター担体と垂直磁気記録層を有する磁気記録媒体との重畳体を、対向する端面の面積が互いに異なる異極対向磁極間で発生する磁場中に、パターンドマスター担体が端面の面積の小さい磁極に近い側となるような配置で曝して、転写パターンを磁気記録媒体に転写するので、異極対向磁極間の端面の面積の小さい磁極側に磁束が集中することにより生じる強い垂直磁界を転写磁界として効率的に利用することができ、パターンドマスター担体の転写パターンを磁気記録媒体の垂直磁気記録層に垂直磁化パターンとして良好に転写することができる。
【００１７】
転写パターンがサーボトラック信号であり、磁気記録媒体がディスク形状である場合、端面の面積の小さい磁極のディスクの円周方向の長さが転写パターンの最大ビット長より大きければ、転写パターンへの磁束集中をより良好なものとして転写品質をより向上させることができる。
【００１８】
本発明の磁気転写装置は、対向する端面の面積が相対的に小さい、軟磁性体からなる第一コアからなる主磁極と、対向する端面の面積が相対的に大きな第二コアおよび該第二のコアに巻かれた磁界発生用の電流が流されるコイルからなる補助磁極とからなる一対の磁極よりなる磁界発生手段を備えているので、主磁極近傍に強い垂直磁界を発生させることができ、パターンドマスター担体の転写パターンを磁気記録媒体の垂直磁気記録層に垂直磁化パターンとして良好に転写することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態を詳細に説明する。図１は本発明の第一の実施形態にかかる磁気転写方法および磁気転写装置の磁界発生手段の要部斜視図であり、図２は図１のII−II線断面の一部拡大図である。
【００２０】
図１に示す磁界発生手段５は、所望の転写パターンを表面に担持してなるパターンドマスター担体を用いて、ディスク状磁気記録媒体に設けられている垂直磁気記録層に転写パターンを磁化パターンとして転写する磁気転写装置に備えられるものであり、所定の面積の端面６ａを有する第一コア６からなる主磁極11と、第一コア６の端面６ａと比較して相対的に大きい面積の端面７ａを有する第二コア７および該第二コア７に巻かれたコイル８からなる補助磁極12とからなる。第一コア６および第二コア７は、少なくともディスク状磁気記録媒体２の最小半径トラックから最大半径トラックに亘る幅を有し、それぞれの端面６ａと７ａが対向するように配置されている。なお、磁気転写装置は、主磁極11と補助磁極12との間に配置される、互いに密着された円盤状の磁気記録媒体２と円盤状のパターンドマスター担体３との重畳体を矢印Ａ方向に回転させる図示しない回転手段を備えている。また、２つの磁極11および12の間に磁気記録媒体２とパターンドマスター担体３との重畳体を挿入する際およびそこから排出する際の操作性を向上させるため、両磁極11および12を十分に離間させる図示しない離間手段を場合により備えていてもよい。
【００２１】
なお、磁気記録媒体２とマスター担体３は、磁気記録面および情報担持面が密着された状態で、主磁極11と補助磁極12との間に、マスター担体３が主磁極11側となるように挿入される。
【００２２】
本実施形態のパターンドマスター担体３は、円盤状に形成されており、その表面にスレーブ媒体である磁気記録媒体に転写すべき情報に応じた凹凸パターンを転写パターンとして有するものである。このマスター担体３は、表面に凹凸パターンを有する基板31と、該基板31上に形成された軟磁性層32とを備えてなる。マスター担体３の転写パターンを担持する情報担持面を、磁気記録媒体２の磁気記録層と密着させて磁界を印加することにより、マスター担体が担持する転写パターンに応じた磁化パターンを磁気記録層に転写するものである。
【００２３】
また、本実施形態のスレーブ媒体である磁気記録媒体２は、両面に磁気記録層が形成されたハードディスク、フレキシブルディスク等の円盤状磁気記録媒体であり、特に、磁気記録層の磁化容易方向が記録面に対して垂直な方向に形成されている垂直磁気記録媒体である。この磁気記録媒体２は、円盤状の支持体21の両面にそれぞれ垂直磁気記録層22、23が裏打ち層24、25を介して形成された両面記録可能な垂直磁気記録媒体である。このように垂直磁気記録媒体は支持体と各垂直磁気記録層との間に軟磁性材料よりなる裏打ち層を有していることが好ましい。
【００２４】
図１に示す磁界発生手段５においては、コイル８に電流を流すことによって、補助磁極12と主磁極11との間に垂直磁界が生じ、特に主磁極11の第一コア６近傍において大きな磁束密度（磁場）となる（図２中ハッチングの部分参照）。図２に模式的に示すように、第一コア６近傍に磁束10が集中し、この磁束10がマスター担体３の凹凸パターン上の磁性層32を通過する。磁束10は、磁気記録媒体２の垂直磁気記録層22に面する凹凸パターンのうち第一コア６の直下にある凸部32ａ上の磁性層32に集中するため、この凸部32ａに面する垂直磁気記録層22の部分に転写磁界が印加されることとなる。なお、磁界発生手段５に対して、マスター担体３と磁気記録媒体２との重畳体を矢印Ａ方向に１回転以上させることにより、磁気記録媒体２全面に転写磁界を印加することができる。なお、第一コア６の端面６ａのトラック方向幅Ｌ0（図２参照）は、マスター担体３の凹凸パターンの最大ビット長Ｌmaxよりも長い。第一コア６の幅Ｌ0が凹凸パターンの最大ビット長Ｌmaxよりも短い場合、磁極が凹凸パターンの凹部の直上となった際に、凸部に集中すべき磁束が凸部を通過せず直接凹部に進入する磁界パターンとなる虞があり、そのために磁気記録媒体の磁気記録層の磁化反転すべきでない領域が一部磁化反転されてしまう虞がある。本実施形態においては、第一コア６の端面６ａのトラック方向幅Ｌ0が最大ビット長Ｌmaxよりも長いので、磁気転写の品位を良好なものとすることができる。
【００２５】
なお、第一コア６および第二コア７の端面６ａおよび７ａは、必ずしも磁気記録媒体２の最小半径トラックから最大半径トラックに亘る幅を有するものである必要はないが、この幅より短い場合には、主磁極および補助磁極を半径方向にスキャンするための手段を要する。
【００２６】
第一コア６および第二コア７は軟磁性材料からなるものであればよく、具体的材料としては、Ｃｏ、Ｃｏ合金（ＣｏＮｉ、ＣｏＮｉＺｒ、ＣｏＮｂＴａＺｒ等）、Ｆｅ、Ｆｅ合金（ＦｅＣｏ、ＦｅＣｏＮｉ、ＦｅＮｉＭｏ、ＦｅＡｌＳｉ、ＦｅＡｌ、ＦｅＴａＮ）、Ｎｉ、Ｎｉ合金（ＮｉＦｅ）などが挙げられる。
【００２７】
次に、図１に示した磁界発生手段５を用いた磁気転写方法を説明する。図３は、本実施形態の磁気転写方法の基本工程図を示すものであり、これを参照して説明する。なお、図３は磁気記録媒体の片面半分のみ示してある。
【００２８】
まず、図示しない初期直流磁化手段において磁気記録媒体２の磁性層22の初期直流磁化を行う。すなわち、図３（ａ）に示すように、磁性層22に対して垂直な方向の初期直流磁界Ｈinを印加して磁性層を初期直流磁化させる。
【００２９】
その後、磁気記録媒体２の磁性層22側の面にマスター担体３の情報担持面を密着させた状態で、主磁極11側にマスター担体３がくるように十分離間させた主磁極11と補助磁極12の間に挿入する。なお、磁気記録媒体２とマスター担体３は、その半径方向と磁極６および７の端面の延びる方向とを一致させるようにして両磁極間に挿入されるものである。
【００３０】
その後、主磁極11および補助磁極12をマスター担体３および磁気記録媒体２に近接させ、コイル８に電流を流し、図３（ｂ）に示すように、マスター担体３の凹凸パターンと密着された磁気記録層22に、初期磁化方向と逆向きの転写用磁界Ｈdu1を印加することにより、磁気記録層22のマスター担体３の凸部に面する部分の磁化が反転される。既述のとおり、磁気記録媒体２とマスター担体３転写パターンの凸部とが密着した箇所において、磁界Ｈdu1はマスター担体３の凸部に吸いこまれてこの部分に対応する磁気記録層22の部分の磁化が反転し、マスター担体３の凹部に対応する磁気記録層22の部分の磁化は反転しない。その結果、図３(ｂ)に示すように、磁気記録媒体２の磁気記録層22にはマスター担体３の凹凸パターンに応じた情報（例えばサーボ信号）が磁化パターンとして転写される。なお、この際、図２に示したように、マスター担体３と密着しない磁気記録層23にも垂直磁界がかかる場合があるが、磁気記録層23側の磁束密度は低いため磁気記録層23の磁化は反転しない。
【００３１】
転写磁界Ｈdu1を印加した状態で、磁界発生手段５に対して、磁気記録媒体２とマスター担体３との重畳体を図示しない回転手段により矢印Ａ方向に一回転させることにより磁気記録媒体２の全面に亘る磁気転写を行う。なお、磁気記録媒体２およびマスター担体３を固定し、磁界発生手段５を回転させるようにしてもよい。
【００３２】
一旦、コイル８の電流を止め、主磁極11と補助磁極12を十分離間させて、マスター担体３と磁気記録媒体２の重畳体を取り出し、マスター担体３と磁気記録媒体２との密着を解除する。磁気記録媒体の反対側の磁性層についても、上記と同様の工程を施せばよい。
【００３３】
本実施形態の磁気転写装置によれば、垂直磁気記録媒体へ容易に磁気転写を行うことができ、かつ良好な磁気転写を達成することができる。垂直磁気記録媒体への良好な磁気転写を可能としたことにより、従来の高密度な面内磁気記録媒体よりもさらに大容量の記録媒体を容易に得ることができる。
【００３４】
なお、初期直流磁界および転写用磁界は、磁気記録媒体の磁気記録層の保磁力、マスター担体およびスレーブ媒体の比透磁率等を勘案して定められた値を採用する必要がある。ただし、転写用磁界の強さとしては、スレーブ媒体の保磁力Ｈcsの０．５倍以上、２倍以下の値が望ましい。
【００３５】
なお、上記第一の実施形態においては、両面に垂直磁気記録層を有する磁気記録媒体の各面への磁気転写を逐次行うものとしたが、磁気記録媒体の両面をそれぞれ同時にマスター担体と密着させて同時に磁気転写を行ってもよい。
【００３６】
図４は、第二の実施形態の磁気転写装置に備えられている、両面同時磁気転写を行う場合の磁界発生手段の斜視図を示すものである。図１と同様の要素には同一符号を付し詳細な説明を省略する。
【００３７】
本実施形態においては、図１に示したものと同様の第一の磁界発生手段５に加え、さらに第二の磁界発生手段５’を備えている。第一の磁界発生手段５は専ら上側のマスター担体３の転写パターンを磁気記録媒体２の該マスター担体３に面する側の垂直磁気記録層に転写するための転写磁界を印加するために用いられ、第二の磁界発生手段５’は、専ら下側のマスター担体４の転写パターンを磁気記録媒体２の該マスター担体４に面する側の垂直磁気記録層に転写するために用いられる。
【００３８】
第二の磁界発生手段５’は、下側マスター担体４の裏面に対向する側に配置される所定の面積の端面16ａを有する第一コア16からなる主磁極11’と、該第一コア16の端面16ａと比較して相対的に大きい面積の端面17ａを有する第二コア17および該第二コア17に巻かれた、磁界発生用の電流が流されるコイル18からなる補助磁極12’とからなる。第一コア16の端面16ａおよび第二コア17の端面17ａの面積、比率等は第一の磁界発生手段５の第一コア６および第二コア７の関係と同様である。
【００３９】
第一の磁界発生手段５は、コイル８に電流が流されてＨdu1の転写磁界を磁気記録媒体２の上側マスター担体３に面する磁気記録層に印加し、第二の磁界発生手段５’は、コイル18に電流が流されてＨdu2の転写磁界を磁気記録媒体２の下側マスター担体４に面する磁気記録層に印加する。
【００４０】
第一の実施形態の場合と同様にコイル８に電流を流した状態で、密着されたマスター担体３、４および磁気記録媒体２の重畳体を矢印Ａ方向に１回転以上させれば、磁気記録媒体２全面への磁気転写を行うことができる。
【００４１】
上述の各実施形態のパターンドマスター担体３および磁気記録媒体２についてより具体的に説明する。パターンドマスター担体３は、既述のとおり、表面に凹凸パターンを有する基板31と、該基板31上に形成された磁性層32とを備えてなるものである。基板31は非磁性でもよいが、強磁性を有するものが好ましく、中でもＮｉ、もしくはＮｉを主成分とする合金からなるものが特に好ましい。表面に凹凸パターンを有する基板31の作製は、スタンパー法、フォトリソグラフィー法等を用いて行うことができる。基板の凸部高さ（凹凸パターンの深さ）は、例えば20〜800ｎｍであり、凹凸パターンの凸部の半径方向の長さは50ｎｍ〜５μｍ、円周方向の長さは50ｎｍ〜5μｍである。
【００４２】
磁性層32の磁性材料としては、飽和磁化（Ｍｓ）の高いものが好ましく、Ｃｏ、Ｃｏ合金（ＣｏＮｉ、ＣｏＮｉＺｒ、ＣｏＮｂＴａＺｒ等）、Ｆｅ、Ｆｅ合金（ＦｅＣｏ、ＦｅＣｏＮｉ、ＦｅＮｉＭｏ、ＦｅＡｌＳｉ、ＦｅＡｌ、ＦｅＴａＮ）、Ｎｉ、Ｎｉ合金（ＮｉＦｅ）が挙げられる。磁性層32としては、主として軟磁性もしくは半硬質磁性等の保磁力の小さい磁性層が用いられている。なお、磁性層の厚み（凸部上面の磁性層の厚み）は、50〜500ｎｍである。
【００４３】
また、磁性層32の上に耐久性向上のために３〜50ｎｍの厚みのダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）等の保護膜が設けられていてもよいし、さらに潤滑剤層が設けられていてもよい。また、磁性層と保護膜の間に、Ｓｉ等の密着強化層が設けられていてもよい。
【００４４】
一方、磁気記録媒体２は、既述のとおり、ハードディスク、高密度フレキシブルディスクなどの円盤状磁気記録媒体であり、その磁気記録層22、23としては、塗布型磁気記録層あるいは金属薄膜型磁気記録層が形成されている。なお、磁気記録層22、23は、トラック面に対して垂直な方向に磁化容易軸を有する磁気異方性を備えている垂直磁気記録層である。なお、金属薄膜型磁気記録層の磁性材料としては、Ｃｏ、Ｃｏ合金（ＣｏＰｔＣｒ、ＣｏＣｒ、ＣｏＰｔＣｒＴａ、ＣｏＰｔＣｒＮｂＴａ、ＣｏＣｒＢ、ＣｏＮｉ等）、Ｆｅ、Ｆｅ合金（ＦｅＣｏ、ＦｅＰｔ、ＦｅＣｏＮｉ）を用いることができる。なお、磁性材料の下（支持体側）に必要な磁気異方性をつけるために非磁性の下地層を設けることが好ましい。この非磁性の下地層は、結晶構造と格子定数を磁気記録層に合わせることが必要であり、そのような材料としては、Ｔｉ、Ｃｒ、ＣｒＴｉ、ＣｏＣｒ、ＣｒＴａ、ＣｒＭｏ、ＮｉＡｌ、Ｒｕ、Ｐｄ等が挙げられる。また、磁性層の垂直磁化状態を安定化させ、また、記録再生時の感度を向上させるために非磁性下地層の下にさらに軟磁性層からなる裏打ち層を設けることが好ましい。
【００４５】
なお、磁気記録層厚は４ｎｍ以上500ｎｍ以下であることが好ましく、さらに好ましくは10ｎｍ以上50ｎｍ以下である。また、非磁性層厚は、５ｎｍ以上150ｎｍ以下が好ましく、さらに好ましくは20ｎｍ以上80ｎｍ以下である。また、裏打ち層厚は50ｎｍ以上2000ｎｍ以下が好ましく、さらに好ましくは100ｎｍ以上500ｎｍ以下である。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】第一の実施形態にかかる磁気転写装置に備えられている磁界発生手段の斜視図
【図２】図１のII−II線断面の一部拡大図
【図３】磁気転写方法の基本工程を示す図
【図４】第二の実施形態にかかる磁気転写装置に備えられている磁界発生手段の斜視図
【符号の説明】
【００４７】
２    垂直磁気記録媒体
３、４    パターンドマスター担体
５、５’    磁界発生手段
６、16    第一コア
７、17    第二コア
８、18    コイル
11、11’    主磁極
12、12’    補助磁極
21    記録媒体支持体
22、23    垂直磁気記録層
31    マスター担体基板
32    磁性層
【図１】
2005190510.tif 000003
【図２】
2005190510.tif 000004
【図３】
2005190510.tif 000005
【図４】
2005190510.tif 000006