(57)【要約】【課題】トレンチ底部に発生する結晶欠陥を低減する。  【解決手段】面方位（１００）のシリコン基板１１にシリコン酸化膜１２、シリコン窒化膜１３を順次形成し、パターニングしたシリコン窒化膜１３をマスクとして、トレンチ１４を形成する。トレンチ１４の内部の面方位（１１１）に垂直方向より、アルゴンをイオン注入し、その後、酸化膜形成をおこなう。【選択図】    図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコン基板にドライエッチング法によりトレンチを形成する工程と、前記トレンチの底部にイオン種を注入する工程と、酸化処理を施すことにより前記トレンチ内部にシリコン酸化膜を形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項２】
前記イオン種の注入後トレンチ内部にシリコン酸化膜が形成され、そして除去される工程がおこなわれることを特徴とする請求項１記載の半導体装置の製造方法。
【請求項３】
前記シリコン基板は面方位（１００）であることを特徴とする請求項１及び２記載の半導体装置の製造方法。
【請求項４】
前記イオン種の注入は面方位（１１１）に垂直方向からおこなわれることを特徴とする請求項３記載の半導体装置の製造方法。
【請求項５】
前記イオン種はシリコンに電気的に不活性であることを特徴とする請求項１乃至４の半導体装置の製造方法。
【請求項６】
前記イオン種はＨｅ，Ａｒ，Ｋｒ、Ｘｅ，Ｒｎのいずれかである請求項５記載の半導体装置の製造方法。
【請求項７】
前記イオン注入の元素は酸化を増速させるイオン種である請求項５記載の半導体装置の製造方法。
【請求項８】
前記イオン種はＯ，Ｆ，Ｃのいずれかである請求項７記載の半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は素子分離溝の形成方法に関し、特に、シャロウ・トレンチ・アイソレーション（ＳＴＩ：Shallow Trench Isolation）形成時に発生する結晶欠陥の低減方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置は、半導体基板上に電気的に分離配列され、相互に配線により接続されているトランジスタ、ダイオード、キャパシタ、あるいは抵抗などの構成素子を有している。素子分離技術は、これらの素子間を主に物理的に分離する技術である。
【０００３】
素子分離においては、表面の平坦性、製造工程の簡素化、あるいは、欠陥密度の低減をおこないつつ、素子分離幅をできる限り縮小することが、素子の特性の向上、ひいては半導体装置の高性能化、高信頼性化のために望ましいことである。
【０００４】
素子分離技術は、ＬＯＣＯＳ（Local Oxidation of Silicon）とＳＴＩ（Shallow Trench Isolation）とに大きく分けられる。半導体基板表面を絶縁膜を介して選択酸化するＬＯＣＯＳ法は、バーズビークによる素子形成領域の侵食と、フィールド酸化膜形成時の局所的ストレスの発生による結晶欠陥の発生という問題点を有している。
【０００５】
これに対し、ＳＴＩ法は微細化に有利であり、具体的には、素子分離領域にＲＩＥ（反応性イオンエッチング）等により溝を形成した後、埋め込み材となる酸化膜を例えばＣＶＤ（化学蒸着）法により堆積させ、溝以外の部分に堆積した酸化膜を、ＣＭＰ（化学的機械的研磨法）などを用いて除去・平坦化して、素子分離を行うものである。
【０００６】
ここで、従来技術によるＳＴＩ形成方法について、具体的に図１乃至図３を用いて説明する。シリコン基板１に熱酸化によるシリコン酸化膜２、シリコン窒化膜３を順次形成後（図１）、フォトリソグラフィ技術及びドライエッチング法を用いて、シリコン窒化膜３をマスクとしてシリコン酸化膜２及びシリコン基板１を順次エッチングし、トレンチ４を形成する（図２）。
【０００７】
この後、トレンチ４のエッジ部を丸めるための丸め酸化をおこない、トレンチ４にCVD酸化膜５を埋め込み、ＣＭＰ技術によりCVD酸化膜５を平坦化し、そして、マスク膜であるシリコン窒化膜３とシリコン酸化膜２を熱燐酸、フッ化水素酸でそれぞれ除去し、埋め込んだCVD酸化膜５に熱処理を施してＳＴＩ分離領域６を形成する(図.３)。
【０００８】
【特許文献１】特開平７−２２１１１１
【特許文献２】特開平１０−２１４８４４
【特許文献３】特開平１１−６７６８２
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、従来のＳＴＩ形成方法における熱処理は、埋め込み酸化膜５のデンシファイ（高密度化）が起こることによるディボット発生抑止が目的であるが、通常使用するシリコン基板の面方位は（１００）であるので、トレンチ加工後にトレンチ底部の 、特に面方位（１１１）を発端とした結晶欠陥が発生してしまうことが分かった。
【００１０】
また、この結晶欠陥発生の主要因としては、意図せずなされてしまうイオン注入による結晶損傷起因によるものと、トレンチを埋め込む酸化膜質の稠密度の違いがある状態で酸化工程、活性化工程、アニール工程といった熱処理工程を経ることによる熱的な応力に起因するものが考えられる。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
面方位（１００）を有するシリコン基板にトレンチをドライエッチングにより形成し、トレンチの底部の面方位（１１１）に対して垂直にイオン種を注入し、イオン注入によるシリコンのアモルファス層に犠牲酸化処理を施し、この犠牲シリコン酸化膜を除去する。その後、酸化処理を施し、シリコン酸化膜の形成されたトレンチを形成する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、トレンチのドライエッチング形成時に、特に面方位（１１１）に発生する結晶欠陥を除去することができるため、トレンチ形成後のイオン注入、あるいは、形成後の膜の堆積、熱処理等の応力による結晶欠陥の増大を抑制することができ、リーク電流の少ないＳＴＩ素子分離を形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明の実施の形態について図４乃至図７を用いて説明する。従来技術と同様に、面方位（１００）のシリコン基板１１にシリコン酸化膜１２、シリコン窒化膜１３を順次形成後、フォトリソグラフィ技術およびドライエッチング技術を用いてシリコン窒化膜１３をマスクとしてトレンチ１４を形成する(図４)。
【００１４】
次にトレンチ加工後発生してしまうトレンチ底部の面方位（１１１）に対して垂直方向、つまり<１１１>方向の角度でアルゴンのイオン注入を行い、面方位（１１１）にイオン衝突による損傷を与えシリコン基板にアモルファス層１５を形成する(図５)。この際、イオン注入する角度は面方位（１１１）に対してなるべく垂直に近い角度となるようにイオン注入する事が好ましい。
【００１５】
また、注入するイオン種は酸素、フッ素、炭素といった酸化を増速させるイオン種はもとより、He,Ar,Kr,Xe,Rnといった不活性ガス元素等の電気的に不活性であるイオンであれば構わない。
【００１６】
次にトレンチ１４の内壁に形成されたアモルファス層１５を酸化処理することにより犠牲酸化膜層を形成し、犠牲酸化膜層をHF溶液等のウエットエッチングにより除去した後、トレンチ１４のエッジを丸めるためのウエット酸化による再酸化をおこない、ライナー層（シリコン酸化膜）１６を形成する（図６）。
【００１７】
この時、トレンチ形成時の結晶欠陥１７は、アモルファス層１５の増速酸化処理によりライナー層１６中に取り込まれやすくなる。、また、アモルファス層１５の増速酸化処理をおこなうため、（１００）面と（１１１）面の酸化速度差は少なくなり、酸化速度差による応力は低減され新たな結晶欠陥の発生は少なくなる。
【００１８】
以降の工程は従来技術と同様に、トレンチ１４にCVD酸化膜１８を埋め込んだ後、ＣＭＰ技術によりＣＶＤ酸化膜８を平坦化し、その後、保護膜であるシリコン窒化膜１３とシリコン酸化膜１２を熱燐酸、フッ化水素酸でそれぞれ除去し、埋め込んだシリコン酸化膜１８に熱処理を施してＳＴＩ素子分離領域を形成する（図７）。
【００１９】
以上、本発明の実施の形態によれば、STI従来技術においてトレンチのドライエッチング後に発生してしまう、特に面方位（１１１）に起因する結晶欠陥の低減した、リーク電流の少ないＳＴＩ素子分離領域を形成でき、そして、信頼性の高いデバイスを形成することが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】従来技術におけるＳＴＩ素子分離領域の形成方法を示す工程図である。
【図２】図１に引き続き、従来技術におけるＳＴＩ素子分離領域の形成方法を示す工程図である。
【図３】図２に引き続き、従来技術におけるＳＴＩ素子分離領域の形成方法を示す工程図である。
【図４】本発明におけるＳＴＩ素子分離領域の形成方法を示す工程図である。
【図５】図４に引き続き、本発明におけるＳＴＩ素子分離領域の形成方法を示す工程図である。
【図６】図５に引き続き、本発明におけるＳＴＩ素子分離領域の形成方法を示す工程図である。
【図７】図６に引き続き、本発明におけるＳＴＩ素子分離領域の形成方法を示す工程図である。
【符号の説明】
【００２１】
１、１１  シリコン基板
２、１２  シリコン酸化膜
３、１３  シリコン窒化膜
４、１４  トレンチ
５、１８  ＣＶＤ酸化膜
１５  アモルファス層
１６  ライナー層
１７  結晶欠陥
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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