(57)【要約】【課題】２つの微小共振器のビーム電極同士を機械的に接続することなく、バンドパスフィルタと同等のフィルタ機能を発揮するフィルタ装置を実現する。【解決手段】平衡入力用の２つの入力端子１１，１２と平衡出力用の２つの出力端子１３，１４との間で、入力端子１１と出力端子１３との間及び入力端子１２と出力端子１４との間にそれぞれビーム構造を有する微小共振器１５，１６を直列に接続するとともに、入力端子１１と出力端子１４との間及び入力端子１２と出力端子１３との間にそれぞれビーム構造を有する微小共振器１７，１８を直列に接続することにより、複数の微小共振器１５，１６，１７，１８を電気的にラティス型に接続する。【選択図】図４
2005311568.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平衡入力用の２つの入力端子と平衡出力用の２つの出力端子との間に、ビーム構造を有する複数の微小共振器を電気的にラティス型に接続してなる
ことを特徴とするフィルタ装置。
【請求項２】
前記２つの入力端子は、第１の入力端子と第２の入力端子からなり、
前記２つの出力端子は、第１の出力端子と第２の出力端子からなり、
前記複数の微小共振器は、前記第１の入力端子と前記第１の出力端子との間及び前記第２の入力端子と前記第２の出力端子との間に、それぞれ直列に接続された第１の微小共振器と、前記第１の入力端子と前記第２の出力端子との間及び前記第２の入力端子と前記第１の出力端子との間に、それぞれ直列に接続された第２の微小共振器とを含む
ことを特徴とする請求項１記載のフィルタ装置。
【請求項３】
前記第１の微小共振器の共振周波数が前記第２の微小共振器の共振周波数と異なる
ことを特徴とする請求項１記載のフィルタ装置。
【請求項４】
前記第１の微小共振器及び前記第２の微小共振器のうち、共振周波数が相対的に高い一方の微小共振器の寄生容量を他方の微小共振器の寄生容量よりも大としてなる
ことを特徴とする請求項３記載のフィルタ装置。
【請求項５】
前記一方の微小共振器に容量を付加してなる
ことを特徴とする請求項４記載のフィルタ装置。
【請求項６】
前記複数の微小共振器が形成された半導体チップ上に前記複数の微小共振器と一体に容量付加部を形成してなる
ことを特徴とする請求項５記載のフィルタ装置。
【請求項７】
前記複数の微小共振器が形成された半導体チップ上に容量付加部を実装してなる
ことを特徴とする請求項５記載のフィルタ装置。
【請求項８】
平衡入力用の２つの入力端子と平衡出力用の２つの出力端子との間に、ビーム構造を有する複数の微小共振器を電気的にラティス型に接続してなるフィルタ装置を備える
ことを特徴とする送受信機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微小共振器を用いて構成されるフィルタ装置とこれを備える送受信機に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＩＴ(Information Technology)の発展に伴って、ネットワークを利用するデバイスの数が飛躍的に増加している。そうした中で、特に、使い勝手などの面から、無線ネットワーク技術の需要が高まっている。無線通信で用いられるＲＦフロントエンドモジュールには、半導体チップのほかに、ＲＦフィルタ（高周波数フィルタ）やＩＦフィルタ（中間周波数フィルタ）用にＳＡＷ(Surface Acoustic Wave)フィルタや誘電体フィルタなど、比較的サイズの大きい部品が組み込まれており、これらの部品の存在がＲＦフロントエンドモジュールの小型化や低コスト化を阻害する要因になっている。そこで、これらのフィルタ機能を半導体チップの中に取り込むことで、ＲＦフロントエンドモジュールの小型化や低コスト化を実現しようとする試みが行われている。具体的には、微小電気機械システム(MEMS;Micro-Electro-Mechanical system)素子等を共振器として用いる技術が知られている。
【０００３】
微小電気機械システム素子を用いた共振器（以下、微小共振器とも記す）は、半導体チップ上に半導体プロセスを用いて形成されるもので、共振器として機能させるためのビーム構造を有している。微小共振器は、デバイスの占有面積が小さいこと、高いＱ値（エネルギー／損失の比）を実現できること、他の半導体デバイスとのインテグレーションが可能であること、などの特長をもっている。そこで、無線通信デバイスの中でも、周波数フィルタ（ＲＦフィルタ、ＩＦフィルタ）としての利用が提案されている。
【０００４】
微小共振器は、ビーム電極と入出力電極とを微小なギャップを介して対向状態に配置し、ある周波数の信号を入力することにより、ビーム電極と入力電極との間に静電引力と静電反発力を交互に発生させてビーム電極を共振させ、これに伴うビーム電極と出力電極との間の微小なギャップ変化を電気信号として取り出す仕組みになっている。その際、微小共振器の出力電極からは、ビーム電極の共振周波数に対応した周波数帯域の信号が出力される。
【０００５】
このような微小共振器を用いたフィルタ装置（周波数フィルタ）として、下記非特許文献１に記載されたものが知られている。この非特許文献１に記載されたフィルタ装置においては、２つの微小共振器のビーム電極同士を棒状の弾性片で機械的に接続（連結）することにより、ある周波数帯域の信号を選択的に通す、いわゆるバンドパスフィルタとしての機能を実現している。
【０００６】
【非特許文献１】「IEEE Journal of Solid-state Circuits」，(米国)，2000年４月，第35巻，第4号，p.512-526
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上述のように２つの微小共振器のビーム電極同士を機械的に接続する場合はフィルタ構造が複雑になるとともに、製造プロセスに高い加工精度が要求される。そのため、フィルタ装置としての信頼性の低下や高コスト化を招いてしまう。
【０００８】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、２つの微小共振器のビーム電極同士を機械的に接続することなく、バンドパスフィルタと同等のフィルタ機能を発揮するフィルタ装置を実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係るフィルタ装置は、平衡入力用の２つの入力端子と平衡出力用の２つの出力端子との間に、ビーム構造を有する複数の微小共振器を電気的にラティス型に接続した構成となっている。また、本発明に係る送受信機は、上記構成のフィルタ装置を備えたものとなっている。
【００１０】
本発明に係るフィルタ装置とこれを備える送受信機においては、２つの入力端子と２つの出力端子との間に、ビーム構造を有する複数の微小共振器をラティス型に電気的に接続することにより、バンドパスフィルタと同等のフィルタ機能を実現することが可能となる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、２つの入力端子と２つの出力端子との間に、ビーム構造を有する複数の微小共振器をラティス型に電気的に接続することにより、バンドパスフィルタと同等のフィルタ機能を発揮するフィルタ装置を実現することができる。このフィルタ装置においては、微小共振器相互の接続が電気的に行われるため、２つの微小共振器のビーム電極同士を機械的に接続する場合に比較して、フィルタ構造が簡単になるとともに、フィルタ装置の製造が容易になる。したがって、フィルタ装置の小型化、低コスト化並びに信頼性の向上を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の具体的な実施の形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、本発明の実施の形態においては、マイクロマシンの１つであるＭＥＭＳ素子等の微小素子を用いて構成された、ビーム構造を有する共振器を微小共振器と記述する。
【００１３】
図１は本発明に用いられる微小共振器の構成例を示すもので、図中（Ａ）は微小共振器の平面図、（Ｂ）は微小共振器の側断面図である。図１においては、ベースとなる半導体基板１上に絶縁膜２が形成されている。半導体基板１は例えばシリコン基板によって構成されるもので、絶縁膜２は例えば窒化シリコン膜によって構成されるものである。
【００１４】
絶縁膜２上には入力電極３と出力電極４が形成されている。また、入力電極３及び出力電極４の上方には、当該２つの電極３，４に対向する状態でビーム電極５が形成されている。ビーム電極５の両端部は一対の支持部６によって固定状態に支持されている。また、ビーム電極５は、入力電極３及び出力電極４の各電極面との間に微小なギャップを介して、当該入力電極３及び出力電極４を跨ぐ状態に形成されている。また、入力電極３と出力電極４は、ビーム電極５の長さ方向（図１の左右方向）の中心から等距離の位置に配置されている。
【００１５】
図２及び図３は本発明に用いられる微小共振器の製造プロセスの一例を示すフロー図である。まず、微小共振器を製造するにあたっては、図２（Ａ）に示すように、シリコン基板等の半導体基板１上に絶縁膜２を形成する。この絶縁膜２は、例えば窒化シリコン膜を１μｍの厚みで蒸着することにより形成される。次に、図２（Ｂ）に示すように、先ほど形成した絶縁膜２上に、例えば厚さ０．５μｍの多結晶シリコン層からなる下部電極層７を蒸着により形成した後、この下部電極層７をフォトリソグラフィ技術によってパターニングすることにより、図２（Ｃ）に示すように、上記入力電極３、出力電極４及び一対の支持部６を形成する。
【００１６】
次いで、図２（Ｄ）に示すように、半導体基板１の絶縁膜２上に、上記入力電極３、出力電極４及び支持部６を覆う状態で犠牲層８を形成する。この犠牲層８は、例えば二酸化シリコンを０．５μｍの厚さで蒸着することにより形成される。次に、図２（Ｅ）に示すように、犠牲層８の表面（上面）をＣＭＰ(Chemical Mechanical Polishing；化学的機械研磨)法によって平坦化する。
【００１７】
続いて、図３（Ａ）に示すように、一対の支持部６上で犠牲層８に開口部（コンタクトホール）９を形成した後、図３（Ｂ）に示すように、上記開口部９を埋め込む状態で犠牲層８上に、例えば厚さ０．５μｍの多結晶シリコン層からなる上部電極層１０を形成する。次いで、図３（Ｃ）に示すように、上部電極層１０をフォトリソグラフィ技術によってパターニングすることによりビーム電極５を形成する。その後、図３（Ｄ）に示すように、フッ酸等の溶剤を用いて犠牲層８を除去することにより、上記図１に示す微小共振器が得られる。
【００１８】
このような製造プロセスによって得られる微小共振器において、例えば、入力電極３に直流電圧（ＤＣ）を印加しつつ周波数信号（ＲＦ信号、ＩＦ信号等）を入力すると、ビーム電極５と入力電極３との対向部分にクーロン力と総称される静電引力と静電反発力が繰り返し発生する。このうち、静電引力が発生したときはビーム電極５が入力電極３に接近する方向で微小変位し、静電反発力が発生したときはビーム電極５が入力電極３から離間する方向で微小変位する。この繰り返しによりビーム電極５は自身の固有振動数にしたがって共振（振動）し、これに応じてビーム電極５と出力電極４との対向距離も変化する。そのため、出力電極４からは、ビーム電極５の共振周波数に対応した周波数帯域の信号が出力される。
【００１９】
図４は本発明の実施形態に係るフィルタ装置の構成を示す概略図である。図４においては、平衡入力用の２つの入力端子１１，１２と平衡出力用の２つの出力端子１３，１４との間に、複数の微小共振器１５，１６，１７，１８が電気的にラティス型に接続されている。各々の微小共振器１５，１６，１７，１８は、いずれも上記製造プロセスによって得られる微小共振器（図１参照）と同様のビーム構造を有するものである。ただし、インピーダンスを下げるために、互いに並列に接続された複数の微小共振器群を用いて、各々の微小共振器１５，１６，１７，１８を構成することも可能である。入力端子１１，１２には互いに逆位相の周波数信号が入力され、出力端子１３，１４からは互いに逆位相の周波数信号が出力される。
【００２０】
上記複数の微小共振器１５，１６，１７，１８のうち、微小共振器１５は、一方の入力端子１１とこれに対応する一方の出力端子１３との間に直列に接続され、微小共振器１６は、他方の入力端子１２とこれに対応する他方の出力端子１４との間に直列に接続されている。また、微小共振器１７は、上記一方の入力端子１１と上記他方の出力端子１４との間に直列に接続され、微小共振器１８は、上記他方の入力端子１２と上記一方の出力端子１３との間に直列に接続されている。
【００２１】
図５は本発明の実施形態に係るフィルタ装置の構成を示す詳細図である。図５において、微小共振器１５は入力電極１５１と出力電極１５２とビーム電極１５３とを有している。同様に、微小共振器１６は入力電極１６１と出力電極１６２とビーム電極１６３とを有し、微小共振器１７は入力電極１７１と出力電極１７２とビーム電極１７３とを有し、微小共振器１８は入力電極１８１と出力電極１８２とビーム電極１８３とを有している。このうち、入力電極１５１，１６１，１７１，１８１は上記図１に示す微小共振器の入力電極３に対応し、出力電極１５２，１６２，１７２，１８２は上記図１に示す微小共振器の出力電極４に対応する。また、ビーム電極１５３，１６３，１７３，１８３は上記図１に示す微小共振器のビーム電極５に対応する。
【００２２】
微小共振器１５の入力電極１５１は配線ラインＬ１１を介して入力端子１１に電気的に接続され、微小共振器１６の入力電極１６１は配線ラインＬ１２を介して入力端子１２に電気的に接続されている。また、微小共振器１７の入力電極１７１は配線ラインＬ１３，Ｌ１１を介して入力端子１１に電気的に接続され、微小共振器１８の入力電極１８１は配線ラインＬ１４，Ｌ１２を介して入力端子１２に電気的に接続されている。
【００２３】
一方、微小共振器１５の出力電極１５２は配線ラインＬ１５を介して出力端子１３に電気的に接続され、微小共振器１６の出力電極１６２は配線ラインＬ１６を介して出力端子１４に電気的に接続されている。また、微小共振器１７の出力電極１７２は配線ラインＬ１７，Ｌ１６を介して入力端子１４に電気的に接続され、微小共振器１８の出力電極１８２は配線ラインＬ１８，Ｌ１５を介して入力端子１３に電気的に接続されている。また、配線ラインＬ１７，Ｌ１８の交差部では、一方の配線ラインＬ１８の配線層を２層構造として、それらの層間をコンタクトホール部１９で電気的に接続することにより、配線ラインＬ１７，Ｌ１８同士を非導通に交差させている。
【００２４】
また、微小共振器１５，１６の共振周波数はほぼ等しく設定され、微小共振器１７，１８の共振周波数もほぼ等しく設定されている。ただし、微小共振器１５，１６の共振周波数と微小共振器１７，１８の共振周波数は互いに異なる周波数に設定されている。例えば、微小共振器１５，１６の共振周波数を「Ｆ１」とし、微小共振器１７，１８の共振周波数を「Ｆ２」とすると、Ｆ１＞Ｆ２の関係（例えば、Ｆ１＝１００ＭＨｚ、Ｆ２＝９８ＭＨｚ）に設定されている。
【００２５】
ここで、微小共振器の共振周波数はビーム電極の固有振動数に依存し、この固有振動数はビーム電極の長さと質量に依存する。そのため、微小共振器の共振周波数を設定するにあたっては、例えば、微小共振器１５，１６の各ビーム電極１５３，１６３の長さが、微小共振器１７，１８の各ビーム電極１７３，１８３の長さよりも短くなるように、各々のビーム電極１５３，１６３，１７３，１８３のパターン寸法を設計することにより、上記Ｆ１＞Ｆ２の関係で共振周波数を設定することができる。
【００２６】
上記構成からなるフィルタ装置を動作させる場合は、上記２つの入力端子１１，１２又は上記複数の微小共振器１５，１６，１７，１８の各ビーム電極１５３，１６３，１７３，１８３に直流電圧を印加した状態で、２つの入力端子１１，１２に互いに逆位相の周波数信号（ＲＦ信号、ＩＦ信号等）を入力する。そうすると、入力端子１１から入力された周波数信号が微小共振器１５，１７の各入力電極１５１，１７１に与えられるとともに、入力端子１２から入力された周波数信号が微小共振器１６，１８の各入力電極１６１，１８１に与えられる。これにより、各々の微小共振器１５，１６，１７，１８では、それぞれに対応するビーム電極１５３，１６３，１７３，１８３が自身の固有振動数にしたがって共振し、この共振周波数に対応した周波数信号が、それぞれに対応する出力電極１５２，１６２，１７２，１８２から取り出される。このとき、微小共振器１５，１８の各出力電極１５２，１８２から取り出される周波数信号は出力端子１３から出力され、微小共振器１６，１７の各出力電極１６２，１７２から取り出される周波数信号は出力端子１４から出力される。
【００２７】
こうして２つの出力端子１３，１４から出力される周波数信号の周波数帯域は、上記２つの微小共振器１５，１６の共振周波数Ｆ１と、上記２つの微小共振器１７，１８の共振周波数Ｆ２とに対応したものとなる。すなわち、本実施形態に係るフィルタ装置の特性を、縦軸に透過特性を示すＳパラメータ（Ｓ２１）、横軸に周波数をとって表すと図６のようになる。このフィルタ特性においては、上述した共振周波数Ｆ１−Ｆ２の間を信号の透過帯域として、ある周波数帯域の信号だけを選択的に出力端子１３，１４から取り出すことができる。したがって、上記複数の微小共振器１５，１６，１７，１８を電気的にラティス型に接続してフィルタ装置（周波数フィルタ）を構成することにより、このフィルタ装置をバンドパスフィルタとして機能させることができる。また、各々の微小共振器１５，１６，１７，１８をインピーダンス要素として考えることにより、個々の微小共振器１５，１６，１７，１８を電気回路の１つの部品として捉えることができる。そのため、電気回路のシミュレーション技術を用いて回路設計を行うことが可能となる。
【００２８】
また、フィルタ装置を構成する各々の微小共振器１５，１６，１７，１８は、入力電極と出力電極との間（空間）に寄生容量をもつが、上述したラティス型の電気的接続形態で平衡入力とした場合は、各々の微小共振器１５，１６，１７，１８に介在する寄生容量が互いに打ち消されるようになる。そのため、寄生容量の介在による共振ピークの低下を抑え、出力信号のＳＮ比を向上させることができる。また、周波数信号の入力側から見たときの回路構成が対称になるため、フィルタ特性としての対称性も良好なものとなる。また、フィルタ装置が接続されるＩＣ（例えば、ＩＦ用途のＩＣ）の回路の多くは平衡回路となっているため、このＩＣにフィルタ装置を接続する際にバラン（平衡−不平衡変換回路）が不要となる。
【００２９】
また、上述のように電気的にラティス型に接続された複数の微小共振器１５，１６，１７，１８を、例えば図７に示すように１つのフィルタユニットＦｕとし、当該フィルタユニットＦｕを、入力端子１１，１２と出力端子１３，１４との間に直列に２段（又は３段以上）並べて設けることにより、フィルタ特性（透過特性）を向上させることも可能となる。
【００３０】
ところで、上述のように寄生容量を打ち消した場合は、ＳＮ比の向上といったメリットが得られるものの、寄生容量の影響（共振ピークの低下）が小さくなると、それにつれて信号遮断帯域の抑圧度が大きくなる。そのため、例えば信号透過帯域（Ｆ１−Ｆ２帯域）の近傍に妨害波が存在した場合に、この妨害波をフィルタ装置で取り除くことができなくなる。
【００３１】
このような場合は、フィルタ装置を構成する複数の微小共振器１５，１６，１７，１８のうち、共振周波数が相対的に高い微小共振器の寄生容量を、共振周波数が相対的に低い微小共振器の寄生容量よりも大とすることが望ましい。例えば、上述のように微小共振器１５，１６の共振周波数Ｆ１を１００ＭＨｚとし、微小共振器１７，１８の共振周波数を９８ＭＨｚとした場合は、微小共振器１５，１６の寄生容量を微小共振器１７，１８の寄生容量よりも大とする。
【００３２】
具体的には、図８（Ａ）に示すように、共振周波数が相対的に高く設定された２つの微小共振器１５，１６にそれぞれ容量Ｃ１を付加する。また、多段のフィルタユニットを備える場合も、図８（Ｂ）に示すように、各々のフィルタユニットにおいて、２つの微小共振器１５，１６にそれぞれ容量Ｃ１を付加する。この容量Ｃ１は、微小共振器１５を例にとると、例えば図９（Ａ）に示すように、入力電極１５１側に延出する延出部１５２Ａを出力電極１５２に設け、その延出部１５２Ａで入力電極１５１と出力電極１５２の間隔を部分的に狭めることで付加することができる。また、図９（Ｂ）に示すように、微小共振器１５につながるフィルタ装置の配線パターン上に、コンデンサを構成する一対の導体層（メタル層）２０Ａ，２０Ｂを形成し、この一対の導体層２０Ａ，２０Ｂのうち、一方の導体層２０Ａを入力電極１５１に電気的に接続し、他方の導体層２０Ｂを出力電極１５２に電気的に接続することでも、容量Ｃ１を付加することができる。また、図９（Ｃ）に示すように、微小共振器１５につながるフィルタ装置の配線パターン上にチップコンデンサ２１を実装し、このチップコンデンサ２１の各電極端子を入力電極１５１と出力電極１５２にそれぞれ電気的に接続することでも、容量Ｃ１を付加することができる。
【００３３】
このうち、図９（Ａ）に示す構成では延出部１５２Ａが容量付加部となり、図９（Ｂ）に示す構成では一対の導体層２０Ａ，２０Ｂが容量付加部となり、図９（Ｃ）に示す構成ではチップコンデンサ２１が容量付加部となる。また、図９（Ａ），（Ｂ）に示す構成では、複数の微小共振器１５，１６，１７，１８が形成された半導体チップ上に当該複数の微小共振器１５，１６，１７，１８と一体に容量付加部（１５２Ａ、２０Ａ，２０Ｂ）を形成したものとなり、図９（Ｃ）に示す構成では、複数の微小共振器１５，１６，１７，１８が形成された半導体チップ上に容量付加部（２１）を実装したものとなる。特に、複数の微小共振器１５，１６，１７，１８と一体に容量付加部（１５２Ａ、２０Ａ，２０Ｂ）を形成するものでは、フィルタ装置を製造する場合に、微小共振器の製造プロセスのなかで容量付加部を形成することができる。そのため、容量付加部を形成するための工程を別途設ける必要がない。また、図９（Ａ）に示すものでは電極形状の部分的な変更だけで容量付加部（１５２Ａ）を形成することができ、図９（Ｂ）に示すものでは僅かな空きスペースを利用して容量付加部（２０Ａ，２０Ｂ）を形成することができるため、レイアウトの変更を強いられることもない。
【００３４】
このように２つの微小共振器１５，１６にそれぞれ容量Ｃ１を付加した場合は、他の２つの微小共振器１７，１８が有する寄生容量とのバランスが崩れるため、容量Ｃ１の大きさによってフィルタの抑圧度が変化する。図１０は付加容量の大きさによるフィルタ特性の変化を示すもので、ここでは付加容量Ｃ１の大きさを「大」「中」「小」「無し」の４段階にわけて、それそれに対応するフィルタ特性を示している。この図１０から分かるように、付加容量Ｃ１が小さくなると、それにつれて抑圧度が大きくなり、付加容量Ｃ１が大きくなると、それにつれて抑圧度が小さくなる。そのため、信号透過帯域（Ｆ１−Ｆ２帯域）の近傍に妨害波が存在した場合でも、適当な大きさの容量Ｃ１を微小共振器１５，１６に付加することで、上記妨害波を取り除くことができる。
【００３５】
ちなみに、容量Ｃ１は共振周波数が相対的に高い微小共振器に付加する必要があることから、例えば微小共振器１５，１６の共振周波数が微小共振器１７，１８の共振周波数よりも低い場合は、微小共振器１７，１８に容量Ｃ１を付加することになる。
【００３６】
また、本発明は、微小共振器を用いたフィルタ装置だけに限らず、このフィルタ装置を用いて構成される携帯電話機、無線ＬＡＮ機器、テレビチューナー、ラジオチューナーなどの、電磁波を利用して通信する送受信機として提供することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明に用いられる微小共振器の構成例を示す図である。
【図２】本発明に用いられる微小共振器の製造プロセスの一例を示すフロー図（その１）である。
【図３】本発明に用いられる微小共振器の製造プロセスの一例を示すフロー図（その２）である。
【図４】本発明の実施形態に係るフィルタ装置の構成を示す概略図である。
【図５】本発明の実施形態に係るフィルタ装置の構成を示す詳細図である。
【図６】本発明の実施形態に係るフィルタ装置の特性を示す図である。
【図７】本発明の実施形態に係るフィルタ装置の他の構成例を示す概略図である。
【図８】本発明の他の実施形態に係るフィルタ装置の構成例を示す概略図である。
【図９】容量付加部の具体的な構成例を示す図である。
【図１０】付加容量の大きさによるフィルタ特性の変化を示す図である。
【符号の説明】
【００３８】
１１，１２…入力端子、１３，１４…出力端子、１５，１６，１７，１８…微小共振器、１５１，１６１，１７１，１８１…入力電極、１５２，１６２，１７２，１８２…出力電極、１５３，１６３，１７３，１８３…ビーム電極
【図１】
2005311568.tif 000003
【図２】
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【図３】
2005311568.tif 000005
【図４】
2005311568.tif 000006
【図５】
2005311568.tif 000007
【図６】
2005311568.tif 000008
【図７】
2005311568.tif 000009
【図８】
2005311568.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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