(57)【要約】  【課題】従来の案内装置には、超音波モータを用いた回転、直線駆動の際に生じる粉塵を、粉塵除去手段により取り除き、良好な駆動を維持しようとしていたが、粉塵除去手段の設置によって粉塵の発生が抑制されるわけではなく、除去した粉塵が再付着する等して、依然として粉塵の発生により良好な駆動が阻害されるという問題があった。  【解決手段】真空雰囲気下に、摩擦部材を有する超音波モータと前記摩擦部材の摩擦駆動により可動する可動体とを配置してなる案内装置において、少なくとも前記摩擦部材と可動体の摩擦部材当接部を覆うようにカバー部材を設け、該カバー部材の内部へ希ガス、窒素、酸素あるいはそれらの混合のガスを供給するガス供給手段と、供給されたガスを排出するガス排出手段を設けた案内装置とする。【選択図】図１
2005192287.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空雰囲気下に、摩擦部材を有する超音波モータと前記摩擦部材の摩擦駆動により可動する可動体とを配置してなる案内装置において、
少なくとも前記摩擦部材と可動体の摩擦部材当接部を覆うようにカバー部材を設け、該カバー部材の内部へ希ガス、窒素、酸素あるいはそれらの混合のガスを供給するガス供給手段と、供給されたガスを排出するガス排出手段を設けたことを特徴とする案内装置。
【請求項２】
前記ガス排出手段は、前記カバー部材の可動体と対向する面に設けられた溝部とカバー部材の壁を通して前記溝部に連通する貫通孔からなることを特徴とする請求項１に記載の案内装置。
【請求項３】
前記カバー部材の内側に粉塵除去手段を設置したことを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の案内装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超音波モータの摩擦駆動により直線運動や回転運動を行う可動体を駆動させる案内装置に関するものであり、特に摩擦駆動により発生する粉塵やダストを低減し、さらに、その粉塵やダストが可動体へ付着することを防止することが可能で、精密加工機械、精密測定装置、半導体製造装置に用いられる案内装置として好適なものである。
【背景技術】
【０００２】
超音波モータは、最小振幅がナノメートルオーダーと小さく、高分解能の位置決めが可能であり、しかも同サイズの他の電磁モータと比較して駆動力が大きいといった特徴を有するため、これまでカメラのレンズズーム機構や腕時計のバイブレーションアラームなど回転運動系への実用化が行われており、最近では直線運動系への適用もなされている。
【０００３】
図５に超音波モータを可動体の駆動源とする従来の案内装置の一例を示す。この案内装置１０は、図に示すようにベース盤１１上にクロスローラーガイドの如く一対のガイド部材１２を備え、これらのガイド部材１２によって可動体としてのステージ１３を直線的（図上、左右）に案内するようになっている。
【０００４】
また、ステージ１３の一方の側面には、ガイド部材１２に対して平行に駆動力伝達部材１４が、ステージ１３の他方の側面には、前記駆動力伝達部材１４と平行にリニアスケール１５がそれぞれ設置されており、このリニアスケール１５と対向する位置には測定ヘッド１６を設けて位置検出手段１７を構成するとともに、前記駆動力伝達部材１４と対向する位置には一つの超音波モータ２０を設置し、該超音波モータ２０の摩擦部材２５を前記駆動力伝達部材１４の当接面に対して垂直に当接させてある。
【０００５】
なお、図中、２６は超音波モータ２０を収容する筐体、１８は位置検出手段１７より得られた位置情報を基にステージ１３の駆動条件を制御する制御部、１９は制御部１８から出力された指令信号を基に超音波モータ２０を駆動させるための駆動電圧を出力するドライバーである。
【０００６】
次に超音波モータ２０について詳説する。図６に図５の案内装置に用いる超音波モータを筺体２６内に収容した状態の断面図を示す。超音波モータ２０は、圧電セラミック板２３の一方の主面に４分割された電極膜２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄを有し、対角に位置する電極膜２２ａと電極膜２２ｄを結線するとともに、対角に位置する電極膜２２ｂと電極膜２２ｃを結線し、かつ他方の主面には、ほぼ全面にアースとなる共通電極膜（不図示）を形成した振動体２４と、この振動体２４の一方端面に設けたセラミックスやガラスからなる摩擦部材２５とからなり、電極膜２２ｂ又は電極膜２２ｄに交流電圧を印加することにより、圧電セラミック板２３に縦振動と横振動を発生させ、これらの振動の合力によって摩擦部材２５を楕円運動させるようになっていた。
【０００７】
また、振動体２４は、筺体２６内においてその両側面をスプリング２７により保持されており、スプリング２８の押圧力によって振動体２４をステージ１３の駆動力伝達部材１４に押し付けて予圧を与えるようになっていた。
【０００８】
その為、この超音波モータ２０を駆動させると、その摩擦部材２５の楕円振動によってステージ１３をガイド部材１２に沿って駆動させることができ、ステージ１３の移動に伴う位置検出手段１７からの位置情報と、予め設定してあるステージ１３の基準位置情報との偏差を基に制御部１８にてＰＩＤ演算した出力値を指令信号としてドライバー１９に出力し、このドライバー１９からの駆動電圧により超音波モータ２０を駆動させるフィードバック制御を行うことにより、ステージ１３を移動、位置決めするようになっていた。
【０００９】
ところが、超音波モータ２０の摩擦部材２５やステージ１３の駆動力伝達部材１４は互いに摩耗し、この摩擦摩耗により発生した粉塵が、駆動力伝達部材１４の当接面に付着し、また周囲の雰囲気からのダストが駆動力伝達部材１４の当接面に再付着するため、これらの粉塵やダストが超音波モータ２０の摩擦部材２５とステージ１３の駆動力伝達部材１４との当接部の間に噛み込むと当接状態が変化することから、ステージ１３の駆動特性を不安定にさせるとともに、超音波モータ２０の摩擦部材２５やステージ１３の駆動力伝達部材１４の摩耗が促進され、短期間の使用で超音波モータ２０や駆動力伝達部材１４を交換しなければならないといった問題があった。
【００１０】
このような粉塵の問題に対し、粉塵を除去するために様々な手段が提案されている。
【００１１】
例えば、超音波モータ２０の摩擦部材２５と、駆動力伝達部材１４の当接面に存在する塵芥（粉塵）を除去する、ブラシ、ローラ、クリーニング布、剥離爪等の塵芥除去手段を有した例が開示されていた（特許文献１参照）。
【００１２】
また、上述の粉塵を除去する方法だけでなく、除去した粉塵を回収する方法についても様々な手段が提案されている。
【００１３】
例えば、超音波モータ２０の摩擦部材２５と駆動力伝達部材１４の当接面を密封するケースを備えるとともに、このケースの内部に、超音波モータの駆動により発生する粉塵を溜めるための粉塵溜まり部を備えた技術が開示されていた（特許文献２参照）。
【００１４】
また、上述のような密閉ケース内部の空気を吸引して、内部で発生した微細な粉塵を外部に吸引し除去する例が開示されていた（特許文献３参照）。
【００１５】
さらに、圧縮気体の噴射孔と、該噴射孔の周囲に配置された排気溝とを有する粉塵除去手段を設けて、これにより超音波モータの摩擦部材２５と駆動力伝達部材１４の当接面に付着する粉塵を除去し、排気溝より回収するようにした例が開示されていた（特許文献４参照）。
【特許文献１】特開平１１−１８４４６号公報
【特許文献２】特開平９−１４０１６７号公報
【特許文献３】特開２００１−３４１０９１号公報
【特許文献４】特開２００３−２５１５４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
しかしながら、前述のような超音波モータの駆動に際し発生する粉塵を除去するために、様々に工夫をした機構を設置したとしても、粉塵の発生が抑制されるわけではなく、やはり摩擦部材２５と駆動力伝達部材１４の当接面には粉塵の付着の問題が発生していた。この問題の理由は以下のように考える。
【００１７】
即ち、真空雰囲気下においては、真空下で使用される各種部品、装置に用いられる素材には有機ガス分子の発生（以下アウトガス）の少ない素材を用いることは勿論、洗浄を行い真空雰囲気中にアウトガスが発生したとしても製品等に付着しないように細心の注意が必要である。しかしながら、アウトガスの少ない材料で且つ洗浄されたものであっても、素材に含まれる蒸気圧の低い成分が微量に揮発し、また、洗浄後に付着した微量成分から僅かなアウトガスの発生がある。また、装置のメンテナンス等のために、真空槽内を大気開放した際に大気が入り込み、真空容器内壁に汚れや有機物が付着する場合があり、真空引きする際に様々な付着成分がアウトガスとなる。そして真空ポンプ等の回収手段で回収しきれなかった残留したアウトガスのガス分子は、真空槽内を漂っている。
【００１８】
特に真空雰囲気下では、窒素や酸素等が存在する大気雰囲気と違い、他のガス成分等が存在しないために、アウトガスが発生し易く、しかも自由に移動可能な状態となる。また、摩擦部材２５と可動体の駆動力伝達部材１４の摩擦駆動により発生する粉塵の個々の大きさはサブミクロン〜ナノメートルオーダーであり、これら粉塵の表面には大きな表面自由エネルギーを有している。
【００１９】
従って、真空雰囲気下で使用される超音波モータを駆動源とした案内装置においても、摩擦熱の発生する摩擦部材２５の当接面や、摩擦部材２５と可動体の駆動力伝達部材１４の摩擦駆動により発生する粉塵の表面に上記アウトガスの吸着・析出が起こるため、この影響により大気雰囲気下で使用した場合と比較して粉塵の発生量が１０倍もの量に達し、このような大量の粉塵の発生により、超音波モータの摩擦部材２５の当接面や、ステージ１３の駆動力伝達部材１４の表面に粉塵が再付着する機会が多くなり、その結果、案内装置１０の良好な駆動を阻害する要因となっていた。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明では前記課題に鑑み、真空雰囲気下に、摩擦部材を有する超音波モータと前記摩擦部材の摩擦駆動により可動する可動体とを配置してなる案内装置において、
少なくとも前記摩擦部材と可動体の摩擦部材当接部を覆うようにカバー部材を設け、該カバー部材の内部へ希ガス、窒素、酸素あるいはそれらの混合のガスを供給するガス供給手段と、供給されたガスを排出するガス排出手段を設けたことを特徴とする。
【００２１】
また、前記ガス排出手段は、前記カバー部材の可動体と対向する面に設けられた溝部とカバー部材の壁を通して前記溝部に連通する貫通孔からなることを特徴とする。
【００２２】
さらに、前記カバー部材の内側に粉塵除去手段を設置したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２３】
本発明の構成によれば、摩擦部材と可動体の摩擦部材当接部を覆うカバー部材の内部へ希ガス、窒素、酸素あるいはそれらの混合のガスを供給するガス供給手段と、供給されたガスを排出するガス排出手段を設け、カバー部材内部の雰囲気が真空雰囲気から注入したガス雰囲気とすることにより、摩擦部材と可動体の摩擦部材当接部周辺には有機ガスが付着した粉塵が発生するのを抑制ことができるばかりか、注入するガスにより可動体と摩擦部材の摩擦駆動により発生する摩擦熱を置換したガスに放熱し、冷却することが可能となる。
【００２４】
また、本発明のガス排出手段が、カバー部材の可動体と対向する面に設けられた溝部とカバー部材の壁を通して前記溝部に連通する貫通孔からなることにより、カバー部材が形成された摩擦部材と可動体の摩擦部材当接部との近傍で注入するガスを循環させることができるので、本発明の案内装置周辺の真空度を低下させることがない。
【００２５】
さらに、カバー部材の内側に粉塵除去手段を設置し、その可動体と摩擦部材の当接面に付着した粉塵を除去することにより、摩擦部材の摩耗をより低減させることが可能となるために、案内装置をより安定して長期間駆動させることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明を実施するための最良の形態について説明する。なお、従来例と同一部分については同一符号で示す。
【００２７】
図１に本発明の案内装置の一例の概略構造図を示す。また、図２には図１の案内装置１０のうち、本発明のカバー部材１の断面拡大図を示す。
【００２８】
この案内装置１０は、ベース盤１１上にクロスローラーガイドの如き一対のガイド部材１２を備え、これらガイド部材１２によって可動体としてのステージ１３を直線的に往復運動可能に案内するようになっている。
【００２９】
また、ステージ１３はその一方の側面にガイド部材１２に対して平行に取り付けた駆動力伝達部材１４を、ステージ１３の他方の側面には、前記駆動力伝達部材１４と平行にリニアスケール１５をそれぞれ有しており、そのリニアスケール１５と対向する位置には測定ヘッド１６を設けて位置検出手段１７を構成するとともに、前記駆動力伝達部材１４と対向する位置には一つの超音波モータ２０を配置し、該超音波モータ２０の摩擦部材２５を前記駆動力伝達部材１４の当接面に対して垂直に当接させてある。
【００３０】
なお、図中、１８は位置検出手段１７より得られた位置情報を基にステージ１３の駆動条件を制御する制御部、１９は前記制御部１８から出力された信号を基に超音波モータを駆動させるための指令信号を出力するドライバーであり、１は本発明の案内装置１０の駆動に伴い発生する粉塵を低減するためのカバー部材である。
【００３１】
また、図２に示すように、本発明の案内装置１０にはカバー部材１の外に、カバー部材１のガス供給領域５をガス雰囲気に保持するためのガスを注入するガス注入管２、またガスを吸入・排気させるためのガス排気口３、ガス排気道４が設置されている。
【００３２】
ここで、カバー部材１の内側のガス供給領域５をガス雰囲気に保持するのは、有機ガス分子であるアウトガスが発生しやすい真空雰囲気をガス雰囲気へ置換することにより、アウトガスの移動自由度を制限するためであり、これにより、高エネルギー場である摩擦部材２５や駆動力伝達部材１４の表面、あるいはこれらの摩擦駆動により発生する粉塵の表面に、アウトガス成分が付着しにくくなるからである。
【００３３】
また、カバー部材１の材質としては、金属、セラミックス、樹脂等、様々な材質のものを利用可能であり、或いはこれらを組み合わせても良く、より気密性の高い材質のものを用いることが好適である。
【００３４】
カバー部材１に設けられたガス注入管２は、案内装置１０が使用される場合、系外に設置されたガス供給タンク（不図示）に接続されてガス供給領域５にガスを注入する。
【００３５】
また、カバー部材１に設けるガス排気口３は、図３に示すようにカバー部材１の可動体１４と対向する端部７の全周にわたって機械加工により形成された溝部８の一部に設けられており、このガス排気口３からガス排気道４（貫通孔）がカバー部材１の壁を連通して貫通している。ガス排気道４に排気手段（不図示）を接続することにより、可動体１４と数μｍの間隔で設置された端部７の隙間を通って溝部８全体で排気させることが可能であり、この溝部８の存在によりガス供給領域５からカバー部材１の外へ漏れようとするガスを排気することができる。
【００３６】
なお、図２は図３の溝部８と貫通孔９をより良好なガス排気が実施できるように、２重に設置し、その断面図を表したものであり、このようにカバー部材１の側壁にガス供給領域５を２重に囲むようにしてガス排気口３（溝部８）と排気道４を設け、内側のガス排気口３、排気道を１０−２Ｐａ程の真空度となるように、またその外側のガス排気口３、ガス排気道４を１０−３Ｐａ程の真空度となるように、別々の排気ポンプでガス排気を実施することができるので好ましい。このようにしてカバー部材１の内側から外側に向かって真空度に傾斜を持たせるようにしてガス排気を実施することにより、カバー部材１の外側の真空雰囲気における真空度の低下を招くことなく、ガス供給領域５内のガス排気を行うことが可能となる。
【００３７】
ここで、カバー部材１のガス供給領域５に供給するガスとしては、元素周期律表の１８族元素であるヘリウム（Ｈｅ）、ネオン（Ｎｅ）、アルゴン（Ａｒ）、クリプトン（Ｋｒ）、キセノン（Ｘｅ）、ラドン（Ｒｎ）等の希ガス並びに窒素（Ｎ）、酸素ガス（O）を用いるのが良く、あるいはこれらの混合ガスを用いることも可能である。
【００３８】
また、本発明の案内装置１０では図４に一例を示すように、駆動力伝達部材１４に刃先を接触させるようにしたブレード等からなる粉塵除去手段６を前記カバー部材１のガス供給領域５内に設け、粉塵の発生を低減するとともに、駆動力伝達部材１４に付着した粉塵を除去することも可能である。
【００３９】
なお、粉塵除去手段６としては、ブレードの他にブラシやローラ、クリーニング布等、様々な形態の粉塵除去手段６を設置することが可能である。
【００４０】
次に本発明の案内装置１０の駆動状態について図１を用いて説明する。
【００４１】
まず、ドライバー１９より指令信号を出力して超音波モータ２０の摩擦部材２５を楕円運動させると、駆動力伝達部材１４との摩擦駆動によってステージ１３をガイド部材１２に沿って移動させることができ、ステージ１３の移動に伴う位置検出手段１７からの位置情報と、予め設定してあるステージ１３の基準位置情報との偏差を基に制御部１８にてＰＩＤ演算した出力値を指令信号としてドライバー１９に出力し、このドライバー１９からの駆動電圧により超音波モータ２０を駆動させるフィードバック制御を行うことにより、ステージ１３を所定の条件で移動させる。
【００４２】
このとき、駆動力伝達部材１４の当接面は、超音波モータ２０との摩擦駆動により活性化され、さらに摩擦熱や静電気も発生することから、駆動力伝達部材１４と摩擦部材２５が摩耗して発生した粉塵だけでなく、周辺雰囲気に浮遊していた成分が駆動力伝達部材１４の当接面に付着する。特に真空雰囲気においては、前述したようにより多くの粉塵の付着が起こる。
【００４３】
しかしながら、本発明の案内装置１０によれば、摩擦部材２５と駆動力伝達部材１４の当接面を覆うようにカバー部材１が設置されており、カバー部材１の内側のガス供給領域５に、カバー部材１に設けたガス注入管２からガス供給領域５内の雰囲気を調整するガスが供給されており、ガス供給領域５内では、雰囲気中に漂っていたアウトガスの移動自由度が著しく制限さるために、摩擦部材２５や駆動力伝達部材１４の表面あるいはこれらの摩擦駆動により発生する粉塵の表面への付着が起こりにくく、これにより、案内装置１０の駆動に伴い発生する粉塵を低減させることが可能となる。
【００４４】
その為、駆動力伝達部材１４の当接面と超音波モータ２０の摩擦部材２５との隙間に粉塵が噛み込むのを大幅に低減することができ、常に安定した接触状態を得ることが可能である。従って、超音波モータ２０の駆動によってステージ１３を安定して駆動させることができ、可動中における精度が１μm以下、位置決め精度が０．１μm以下といった高精度が要求されるような場合でも精度良く移動、位置決めすることができる。
【００４５】
ところで、このような効果を奏するためには、図２に示すようにカバー部材１のガス排気口３が設置されたカバー部材１の端部７と、駆動力伝達部材１４の隙間を調整し、カバー部材１のガス供給領域５内を、注入されるガス雰囲気に保ちつつ、ガス排気口３、ガス排気道４を図の矢印の方向に通してガス排気を行い、ガス供給領域５内のガス循環を良好に実施することが重要となる。そのためには、前記カバー部材１の端部７と駆動力伝達部材１４の隙間を０．５〜１０μｍの範囲とするのがより好適である。０．５μｍより小さくすると、ガス排気が困難となるばかりか、場合によっては、この隙間に粉塵が詰まり、案内装置１０の良好な駆動を妨げることとなる。また１０μｍより大きくすると排気口３から排気しきれなかったガスがカバー部材外に漏洩し、これが真空雰囲気中であれば、真空度が著しく低下するからである。
【００４６】
なお、前記のように良好なガス循環を維持することにより、摩擦部材２５と駆動力伝達部材１４の摩擦により発生する熱をガス雰囲気中へ逃がし、超音波モータ２０を冷却するという効果も得られる。この超音波モータ２０の冷却は、熱伝達のない真空雰囲気中で本発明の案内装置１０を駆動させる場合には特に有効である。
【００４７】
以上、本実施形態では、可動体が直線運動する案内装置１０を例にとって説明したが、可動体が回転運動する案内装置１０にも適用できることは言う迄もなく、さらに、可動体を駆動させる超音波モータについても、多重モード型のものに限らず、単一振動モードの定在波型や進行波、複数振動モードのモード変換型、複合振動型の超音波モータであっても構わない。
【００４８】
そして、前述のような本発明の案内装置１０は、半導体、液晶製造装置用として、その製造工程へ導入された場合、長期間にわたって高精度な駆動を維持することが可能であり、半導体、液晶製造装置用の案内装置としては最適といえる。
【００４９】
また、本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば、種々改良や変更したものにも適用できることはいう迄もない。
【実施例】
【００５０】
以下、本発明の実施例を示す。
【００５１】
図１に示すような本発明の案内装置１０と、従来の案内装置を真空チャンバー内で、真空雰囲気中で駆動させ、粉塵の発生量を比較する試験を行った。
【００５２】
以下、実験に使用した案内装置の仕様について説明する。
【００５３】
本発明の案内装置１０を構成するガイド部材１２には、ストロークが１００ｍｍのクロスローラーガイドを用い、前記ガイド部材１２によって、５ｋｇの重さを有するステージ１３を移動させるようにした。また、ステージ１３の一方の側面にはアルミナセラミック製の駆動力伝達部材１４を配置し、超音波モータ２０との当接面の表面粗さを算術平均粗さ（Ｒａ）で０．０５μmとした。
【００５４】
一方、ステージ１３の駆動源である超音波モータ２０は、振動体２４を、長さ３０ｍｍ、幅７．５ｍｍ、厚み３ｍｍの直方体をしたチタン酸ジルコン酸鉛系の圧電セラミック体２２により形成し、振動体２４の端面に、長さ４．２ｍｍ、直径３ｍｍの円柱状をしたアルミナセラミック製の摩擦部材２５を接合したものを用いた。なお、摩擦部材２５の駆動力伝達部材１４との当接面は、曲率半径が７ｍｍの球面とした。
【００５５】
また、本発明の案内装置１０に設置するカバー部材１としては、駆動力伝達部材１４とカバー部材端部７の隙間をより高精度に保持するためアルミナ製若しくは金属アルミ製のものを用い、さらに金属アルミ製のガス注入管２を接続し、カバー部材端部７の全周に、溝部からなるガス排気口３を２重に加工し、それぞれの溝部にカバー部材１の壁を通して貫通する貫通孔からなるガス排気道４を機械加工により施したものを、超音波モータ２０全体を覆うようにして設置する。そして、カバー部材１のガス排気口３を設置したカバー部材端部７の表面と、駆動力伝達部材との間隔を１μｍとして、ガス供給領域５にアルゴンガスを注入することにより、該カバー部材１内を雰囲気調整し、カバー外の真空雰囲気をより安定させつつガス排気が実施できるようにしてある。
【００５６】
そして、ガス注入管２と真空チャンバー外に設けたアルゴンガス供給タンクを接続し、またガス排気道４とこれも真空チャンバー外に設けた排気ポンプを接続した。
【００５７】
実験にあたっては、制御部１８に予め設定しておくステージ１３の移動プロファイルとして、移動距離１００ｍｍ、加減速度０．０３Ｇ、最高速度１００ｍｍ／ｓｅｃに設定した台形制御とし、超音波モータ２０を４０ｋＨｚの駆動周波数で駆動させるようにした。
【００５８】
そして、この条件にてステージ１３を５０時間駆動させ、走行試験後に超音波モータ２０の摩擦部材２５とステージ１３の駆動力伝達部材１４に付着する粉塵の量を測定した。なお、粉塵の付着量については、１ｍｍ２当たりに粒径１μｍ以上の粉塵が付着する量をパーティクルカウンターで測定した。
【００５９】
結果を表１に示す。
【表１】
2005192287.tif 000003
【００６０】
表１から、カバー部材１を設置していない従来の案内装置においては、駆動力伝達部材１４への粉塵付着量が多いだけでなく、３０時間駆動させると粉塵の付着量が多くなりすぎ、ステージの駆動が停止してしまった。
【００６１】
これに対し、本発明の案内装置１０では５０時間の駆動においても駆動力伝達部材１４への粉塵付着が非常に少なく、ステージ１３の良好な駆動を維持することが可能であり、カバー部材を設置することで、駆動力伝達部材１４への粉塵の付着を低減できることが確認される結果となった。
【００６２】
さらに、前記本発明の案内装置１０のカバー部材の内側に、図３に示すようなブレード６の形態の粉塵除去手段を設置し、前述と同様の条件にて案内装置１０の駆動を実施し、粉塵の発生量を測定したところ、５０時間の駆動で粉塵の発生が０個／ｍｍ２であった。これにより、カバー部材１とともに、該カバー部材１の内側に粉塵除去手段を設置することで、更に粉塵の発生を抑制することができることが確認された。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の案内装置の一例を示す概略構造図である。
【図２】図１の本発明の案内装置に設置されたカバー部材を示す拡大図である。
【図３】本発明のカバー部材の一例を示す概略図である。
【図４】本発明の案内装置のカバー部材内部に粉塵除去手段を設置した場合の一例を示す概略構造図である。
【図５】従来の案内装置の一例を示す平面模式図である。
【図６】従来および本発明の案内装置に用いられる超音波モータの一例を示す模式図である。
【符号の説明】
【００６４】
１：カバー部材
２：ガス注入管
３：ガス排気口
４：ガス排気道（貫通孔）
５：ガス供給領域
６：粉塵除去ブレード
７：カバー部材端部
８：溝部
９：貫通孔
１０：案内装置
１１：ベース盤
１２：ガイド部材
１３：ステージ
１４：駆動力伝達部材
１５：リニアスケール
１６：測定ヘッド
１７：位置検出手段
１８：制御部
１９：ドライバー
２０：超音波モータ
２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ：電極膜
２３：圧電セラミック板
２４：振動体
２５：摩擦部材
２６：筺体
２７、２８：スプリング
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2005192287.tif 000007
【図５】
2005192287.tif 000008
【図６】
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