(57)【要約】【目的】流体中からパーティクルや金属イオンなどを除去するフィルターユニットにおいては、濾過作業中に流体中に溶解していた気体が溶出して濾過面積を減少させフィルターの寿命を短くする原因となっていたが、本発明は濾過面積の減少を阻止し、フィルターの寿命を伸ばすことを目的とする。【構成】ドーム状をなし、空間１１に通じるドレーン・エア抜き口１を有する底板２によって下端が閉塞され、下部側壁には一対の液出入口３、４が形成されていると共に、内部中央には前記底板２から立設され、前記一方の液出入口３に連通した筒状隔壁部５が形成されたフィルターケース６と、逆さに伏したカップ状をなし、下縁が前記筒状隔壁部５の上縁に密着したフィルター濾過部７とからなるフィルターユニットにおいて、下端がドレーン・エア抜き口１に連通したパイプ１２を底板２からフィルター濾過部７内の空間１１に向って立設させた。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
空間１１に通じるドレーン・エア抜き口１を有する底板２によって下端が閉塞され、下部側壁には一対の液出入口３、４が形成されていると共に、内部中央には前記底板２から立設され、前記一方の液出入口３に連通した筒状隔壁部５が形成されたフィルターケース６と、逆さに伏したカップ状をなし、下縁が前記筒状隔壁部５の上縁に密着したフィルター濾過部７とからなるフィルターユニットにおいて、下端がドレーン・エア抜き口１に連通したパイプ１２を底板２からフィルター濾過部７内の空間１１に向って立設させたことを特徴とするフィルターユニット。
【請求項２】
パイプ１２の上端開口部１３がフィルター濾過部７の上端面近傍に位置していることを特徴とする請求項１記載のフィルターユニット。
【請求項３】
フィルター濾過部７が筒状隔壁部５に着脱自在に取付けられていることを特徴とする請求項１又は２記載のフィルターユニット。
【請求項４】
パイプ１２がフィルター濾過部７と一体になった請求項１、２又は３に記載のフィルターユニット。
【請求項５】
パイプ１２が底板２と一体になった請求項１、２又は３に記載のフィルターユニット。
【請求項６】
パイプ１２が独自に取り付け取りはずし可能になっている請求項１、２又は３に記載のフィルターユニット。
【請求項７】
ドレーン・エア抜き口１とは別に空間１１に通じるドレーン・エア抜き口１４を底板２に設けた請求項１〜６に記載のフィルターユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明はフィルターユニット、詳しくはパーティクルや金属イオンなどを流体中から
除去するフィルターユニットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
洗浄液等の流体からパーティクルや金属イオンなどの異物を除去するフィルターユニッ
トは、各種産業分野において広く使用されている。図１は従来から用いられているフィル
ターユニットの一例の断面図であり、このフィルターユニットは、ドーム状をなし、空間１１に通じるドレーン・エア抜き口１を有する底板２によって下端が閉塞され、下部側壁には一対の液出入口３、４が形成されていると共に、内部中央には前記底板２から立設され、前記一方の液出入口３に連通した筒状隔壁部５が形成されたフィルターケース６と、逆さに伏したカップ状をなし、下端が前記筒状隔壁部５の上縁に密着したフィルター濾過部７とから構成されており、フィルターケース６の頂部にはドレーン・エア抜き口８が、液出入口４寄りの底板２にはドレーン・エア抜き口９がそれぞれ形成されていた。
【０００３】
この従来のフィルターユニットにおいては、処理対象である流体を液出入口４又は３のどちらか一方からフィルターユニット内に送り込んで濾過作業を行い、他方の液出入口３又は４から外部に排出するのであるが、液出入口４から液体を送り込む場合が一般的であり、その場合には、送り込まれた流体はフィルター濾過部７の外側から内側へ透過し、フィルター濾過部７内の空間１１を通って液出入口３から外部へ排出される。
【特許文献１】見当たらず。
【非特許文献１】見当たらず。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この従来のフィルターユニットにおいては、流体中に溶解している気体が、フィルター濾過部７の空間１１内において溶出した場合、これによってフィルター濾過部７の濾過面積が徐々に減少し、フィルター濾過部７の寿命が短くなるという問題があった。本発明は流体を濾過するフィルターユニットの上記欠点を除去することを目的とするものであり、フィルターユニット内において流体から溶出した気体を速かに外部に排出し、フィルター濾過部７の濾過面積の減少を抑制し、フィルター濾過部７の寿命を延ばすことが出来る新しいフィルターユニットを提供せんとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
ドーム状をなし、ドレーン・エア抜き口１を有する底板２によって下端が閉塞され、下部側壁には一対の液出入口３、４が形成されていると共に、内部中央には前記底板２から立設され、前記一方の液出入口３に連通した筒状隔壁部５が形成されたフィルターケース６と、逆さに伏したカップ状をなし、下縁が前記筒状隔壁部５の上縁に密着したフィルター濾過部７とからなるフィルターユニットにおいて、下端がドレーン・エア抜き口１に連通したパイプ１２を底板２からフィルター濾過部７内の空間１１に向って立設させることにより、上記課題を解決した。
【発明の効果】
【０００６】
この発明に係るフィルターユニットにおいては、フィルター濾過部７の空間１１内に、下端がドレーン・エア抜き口１に連通したパイプ１２が立設されているので、空間１１内において流体から溶出した気体は流体の圧力によりこのパイプ１２を通りドレーン・エア抜き口１から速やかに外部へ排出される。従って、流体から溶出した気体による濾過面積の減少は阻止され、フィルター濾過部７の寿命を延ばすことが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
フィルター濾過部７の空間１１に向って、底板２からドレーン・エア抜き口１に連通したパイプ１２を立設した点に最も大きな特徴があり、これによってフィルター濾過部７内において流体から溶出した気体はパイプ１２を通り、ドレーン・エア抜き口１から速やかに外部へ排出されることになる。
【実施例１】
【０００８】
図２はこの発明に係るフィルターユニットの実施例１の断面図である。図中６はフィルターケースであり、ドーム状をなし、その下端はドレーン・エア抜き口１を有する底板２によって閉塞されており、下部側壁には一対の液出入口３、４が形成されていると共に、底板２の中央には一方の液出入口３に連通した筒状隔壁部５が立設されている。又、このフィルターケース６の頂部にはドレーン・エア抜き口８が、液出入口４寄りの底板２にはドレーン・エア抜き口９がそれぞれ形成されている。一方、図中７はフィルター濾過部であり、逆さに伏したカップ状をなしており、その下端が前記フィルターケース６の筒状隔壁部５の上縁に、ねじ込み・その他適宜手段によって着脱自在に固定されている。そして、前記フィルター濾過部７とフィルターケース６との間には空間１０が、フィルター濾過部７内には空間１１がそれぞれ形成されている。一方、底板２のドレーン・エア抜き口１の直上からは、フィルター濾過部７方向へ向ってパイプ１２が立設されており、このパイプ１２の先端開口部１３はフィルター濾過部７の内側端面近傍に位置している。なお、この実施例においては、パイプ１２は底板２とは別体であり、独自に取付け取りはずしが出来る様になっているが、底板２と一体にしても良い。又、このパイプ１２をフィルター濾過部７と一体のものにしても良い。
【０００９】
この実施例１は上記の通りの構成を有するものであり、処理対象である流体の濾過作業実施の際は、液出入口３又は４のどちらか一方から流体を装置内に送り込み、フィルター濾過部７によってパーティクルや金属イオンなどを除去し、もう一方の液出入口３又は４から外部に排出するのであるが、液出入口４から流体を送り込み、液出入口３から外部に排出する場合には、液出入口４から送り込まれた流体は、フィルター濾過部７の壁面を外側から内側に透過し、フィルター濾過部７内の空間１１を通って、液出入口３から外部へ排出される。
【００１０】
この際、フィルター濾過部７内の空間１１において、流体中から溶解していた気体が溶出するが、溶出した気体は濾過作業の継続に伴い空間１１の上部に徐々に滞溜蓄積される。そして、この様にして空間１１内に滞溜蓄積された気体は、空間１１内の流体の圧力により、パイプ１２の先端開口部１３からパイプ１２に流入し、このパイプ１２の下端が連通しているドレーン・エア抜き口１から外部へ排出される。
【００１１】
従って、フィルター濾過部７の空間１１内の気体は速やかに外部へ排出され、流体から溶出する気体による濾過面積の減少は阻止される。なお、フィルター濾過部７とフィルターケース６との間に形成されている空間１０内において溶出した気体はドレーン・エアー抜き口８から外部に排出される。なお、上記の場合とは逆に、液出入口３から流体を送り込み、液出入口４から外部に排出する場合にも、前述の場合と同様に、空間１１内において溶出した気体はパイプ１２を通り、ドレーン・エアー抜き口１から外部に排出され、空間１０内において溶出した気体はドレーン・エア抜き口８から同様に外部に排出され、流体から溶出した気体による濾過面積の減少は阻止されることになる。
【実施例２】
【００１２】
図３はこの発明に係るフィルターユニットの実施例２の断面図であり、この実施例２においては筒状隔壁部５近傍の液出入口３の下面にもドレーン・エア抜き口１４が形成されており、このドレーン・エア抜き口１４を用いてフィルター濾過部７の空間１１からの排水やエア抜きを行うことが出来る様になっている。
【産業上の利用可能性】
【００１３】
半導体基板やガラス基板等各種基板の洗浄工程などにおいて高い利用価値を有する。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】従来のフィルターユニットの一実施例の断面図。
【図２】この発明に係るフィルターユニットの実施例１の断面図。
【図３】この発明に係るフィルターユニットの実施例２の断面図。
【符号の説明】
【００１５】
１    ドレーン・エア抜き口
２    底板
３    液出入口
４    液出入口
５    筒状隔壁部
６    フィルターケース
７    フィルター濾過部
８    ドレーン・エア抜き口
９    ドレーン・エア抜き口
１０    空間
１１    空間
１２    パイプ
１３    先端開口部  
１４    ドレーン・エア抜き口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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