(57)【要約】【課題】  複雑な形状をした様々な被成膜部材の非成膜部分には、被成膜部材の保持による損傷や成膜材料の回り込みを発生させず、被成膜面全面にのみ成膜を施すことを可能にする。【解決手段】  薄膜形成槽内において、成膜部分に成膜される被成膜部材１２と、該被成膜部材１２より硬度の低い材料からなり、被成膜部材１２の成膜部分に隣接する非成膜部分を全周にわたって覆うとともに被成膜部材１２の成膜部分を露出可能なダミー部材２１と、被成膜部材１２及びダミー部材２１を薄膜形成槽内に保持する保持部材２２とを備える。【選択図】  図４
2005314765.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄膜形成槽内において、
成膜部分に成膜される被成膜部材と、
該被成膜部材より硬度の低い材料からなり、前記被成膜部材の成膜部分に隣接する非成膜部分を全周にわたって覆うとともに前記被成膜部材の成膜部分を露出可能なダミー部材と、
前記被成膜部材及び前記ダミー部材を前記薄膜形成槽内に保持する保持部材とを備えることを特徴とする被成膜部材保持ユニット。
【請求項２】
前記ダミー部材と前記保持部材との間に、弾性を有する弾性部材を備えることを特徴とする請求項１記載の被成膜部材保持ユニット。
【請求項３】
前記保持部材が、前記被成膜部材と前記ダミー部材とを保持した状態において、
前記ダミー部材の形状が、前記被成膜部材の非成膜部分と略同形状であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の被成膜部材保持ユニット。
【請求項４】
前記保持部材が、前記被成膜部材と前記ダミー部材とを保持した状態において、
前記被成膜部材の成膜面と前記ダミー部材及び前記保持部材の前記成膜面側の端面とが面一に配されていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の被成膜部材保持ユニット。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか１項の被成膜部材保持ユニットを有することを特徴とする薄膜形成装置。
【請求項６】
被成膜部材に成膜する成膜方法であって、
前記被成膜部材より硬度の低い材料からなるダミー部材によって前記被成膜部材の非成膜部分を覆う工程と、
前記被成膜部材と前記ダミー部材とを保持部材に保持させる工程と、
前記被成膜部材上に成膜する工程とを有することを特徴とする成膜方法。
【請求項７】
請求項６に記載の成膜方法を用いて成膜されることを特徴とする光学素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被成膜部材保持ユニット，これを備えた薄膜形成装置，成膜方法及びこの成膜方法を用いて成膜された光学素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、薄膜形成装置における被成膜部材の保持部材として様々な形状の部材が提案されている。一般的には、図１５に示すような、落とし込み方式のレンズ保持部材６０が広く用いられている。このレンズ保持部材６０は、レンズ６１が嵌合可能な第１の開口孔６２と、この第１の開口孔６２より若干開口径の小さい第２の開口孔６３とからなっている。これにより、レンズの周縁部が第１の開口孔６２に嵌め合わされ、第１の開口孔６２の底面６２ａに引っ掛かった状態で保持される。
また、図１９に示すような、レンズの側面を保持する挟み込み方式のレンズ保持部材７１も提案されている。このレンズ保持部材７１は、例えば、図１８に示すような片平片凸のレンズ７０を保持するには、支持部材７２の両端側から対向して突出した板バネ７３によりレンズ７０を挟み込んで保持する。これにより、レンズ７０の凸面全面に成膜が可能となる。
【０００３】
さらに、ボールレンズ８０の保持部材８１も提案されている（例えば、特許文献１参照。）。この特許文献１に記載のボールレンズ保持部材８１は、図２２に示すようにシート部材８２に穿設した装着孔に嵌め込み、上から他のシート部材８３によりボールレンズ８０の脱落を防止することで、保持しにくいボールレンズ８０を保持している。
【特許文献１】特公平７−１１９８４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述した落とし込み方式は、レンズ保持部材６０の形状が簡素ですみ、レンズ６１の脱着が容易である等の利点がある。しかしながら、レンズ保持部材６０の第２の開口孔６３がレンズ６１の外径より若干小さい内径であるため、図１７に示すように、中央と周辺部６４には成膜されるが、レンズ６１の外周縁には成膜されない非成膜部分６５が発生してしまう。
【０００５】
また、上述した挟み込み方式のレンズ保持部材を用いて成膜するとレンズ７０上に、図２０に示すような被成膜面７４が形成される。このように、凸面全面が被成膜部分７４となり落とし込み方式のような非成膜部分６５は発生しない。しかしながら、成膜後のレンズ７０の側面は、図２１に示すように、板バネ７３が当たらない部分において成膜材料の回り込みが発生し、レンズ側面にも被成膜部分７５が形成される。これにより、レンズ７０が側面での全反射等を利用する光学素子である場合は、側面への成膜材料の回り込みが光学特性を劣化させる要因になる。
さらに、上述したボールレンズの保持方法では、被成膜部材の形状が球形状と限定されており、円錐台の底面全面に成膜を施す場合など、複雑な形状を有する被成膜部材の保持は困難である。
【０００６】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、複雑な形状をした様々な被成膜部材の非成膜部分には、被成膜部材の保持による損傷や成膜材料の回り込みを発生させず、被成膜面全面にのみ成膜を施すことを可能にする被成膜部材保持ユニット、薄膜形成装置及び光学素子を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明は、以下の手段を提供する。
本発明の被成膜部材保持ユニットは、薄膜形成槽内において、成膜部分に成膜される被成膜部材と、該被成膜部材より硬度の低い材料からなり、前記被成膜部材の成膜部分に隣接する非成膜部分を全周にわたって覆うとともに前記被成膜部材の成膜部分を露出可能なダミー部材と、前記被成膜部材及び前記ダミー部材を前記薄膜形成槽内に保持する保持部材とを備えることを特徴とする。
【０００８】
この発明では、まず、被成膜部材の非成膜部分にダミー部材を配置し、保持部材に被成膜部材とダミー部材とを保持する。そして、薄膜形成装置内に配設し成膜を行う。すなわち、ダミー部材により、被成膜部材の非成膜部分を覆っているため、被成膜部材の成膜部分にのみ全面に成膜することができる。また、ダミー部材が被成膜部材より硬度の低い材料からなるため、被成膜部材を保持したときに生じる損傷を防ぐことができる。
【０００９】
本発明の被成膜部材保持ユニットは、前記ダミー部材と前記保持部材との間に、弾性を有する弾性部材を備えることを特徴とする。
この発明では、保持部材に弾性部材を介して被成膜部材及びダミー部材を保持させているため、被成膜部材とダミー部材との密着性が向上し、さらに、被成膜部材の非成膜部分への成膜材料の回り込みを防止することができる。
【００１０】
また、本発明の被成膜部材保持ユニットは、前記保持部材が、前記被成膜部材と前記ダミー部材とを保持した状態において、前記ダミー部材の形状が、前記被成膜部材の非成膜部分と略同形状であることを特徴とする。
この発明では、前記ダミー部材の形状が、被成膜部材の非成膜部分と略同形状であるため、ダミー部材と成膜部分との密着性がさらに良くなり、より確実に被成膜部材の非成膜部分への成膜材料の回り込みを防止することができる。
【００１１】
また、本発明の被成膜部材保持ユニットは、前記保持部材が、前記被成膜部材と前記ダミー部材とを保持した状態において、前記被成膜部材の成膜面と前記ダミー部材及び前記保持部材の前記成膜面側の端面とが面一に配されていることを特徴とする。
【００１２】
この発明では、被成膜部材の成膜面とダミー部材及び保持部材の成膜面側とが面一に配されているため、被成膜部材の被成膜面全面にわたり均一な成膜を確実に形成することができる。
【００１３】
本発明の薄膜形成装置は、上記のいずれか１項の被成膜部材保持ユニットを有することを特徴とする。
この発明では、被成膜部材保持ユニットを用いて被成膜部材に成膜するため、被成膜部材に合わせてダミー部材を変更することにより、薄膜形成装置の仕様を大幅に変更することなく、複雑な形状を有する被成膜部材の被成膜面全面にのみ均一な成膜を行うことが可能になる。
【００１４】
本発明の成膜方法は、被成膜部材に成膜する成膜方法であって、前記被成膜部材より硬度の低い材料からなるダミー部材によって前記被成膜部材の非成膜部分を覆う工程と、前記被成膜部材と前記ダミー部材とを保持部材に保持させる工程と、前記被成膜部材上に成膜する工程とを有することを特徴とする。
【００１５】
この発明では、保持部材により被成膜部材とダミー部材を保持した後、成膜を行うので、成膜材料の回り込み等を確実に防止しながら被成膜部材に成膜することが可能になる。
【００１６】
本発明の光学素子は、上記に記載の成膜方法を用いて成膜されることを特徴とする。
この光学素子によれば、上述した成膜方法を用いて薄膜が形成されるので、被成膜面全域にわたって高い光学特性を得ることができ、高性能な光学素子を提供することができる。また、光学素子の被成膜面全域が光学的な有効面となるため、光学素子のコンパクト化が実現できる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明に係る薄膜形成装置及び被成膜部材保持ユニットによれば、弾性部材を介して、保持部材に被成膜部材及び該被成膜部材より硬度の低い材料からなるダミー部材を保持することにより、薄膜形成槽内にて被成膜部材の被成膜面全面に均一に反射防止膜を成膜することができる。このように、被成膜全面に反射防止膜が成膜された被成膜部材は、被成膜部材の外周縁まで光学的に有効部分となるので、コンパクトな光学素子及び光学ユニットを実現できる。
【００１８】
また、被成膜部材の側面のみを被成膜部材より硬度の低い材料の保持部材で密着して保持しているため、被成膜部材の側面とダミー部材とは密着性が良い。したがって、被成膜部材を保持したときに生じる損傷や成膜材料の回り込みが発生しない。さらに、成膜中の加熱により生じる被成膜部材とダミー部材及び保持部材の熱膨張差を弾性部材で吸収することで、成膜中の被成膜部材の落下や破損を防止することが可能となる。
【００１９】
また、被成膜部材の形状が変更された場合は、ダミー部材の形状を変更するだけで容易に対応することが可能である。また、一度に複数のレンズやプリズム等の被成膜部材を保持できるため、作業時間や作業工数の短縮が可能になり、量産時のコスト削減を図るという効果も奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
次に、本発明の第１実施形態について、図１から図８を参照して説明する。
本実施形態に係る薄膜形成装置１０は、図１及び図２に示すように、薄膜形成槽１１内に配設され光学薄膜が成膜されるレンズ（被成膜部材）１２を有する保持ユニット（被成膜部材保持ユニット）２０上に薄膜を成膜する装置であって、保持ユニット２０に対向して薄膜形成槽１１の底部側でかつ中心軸線から偏った位置に配設された蒸着源１３と、薄膜形成槽１１の上方側で保持ユニット２０を保持して蒸着源１３上を通過可能な球面ドーム１４と、蒸着源１３の直上に配され蒸着源１３と球面ドーム１４との間を遮蔽可能なシャッター１５と、薄膜形成槽１１の上部側の壁面と球面ドーム１４との間に配されたヒーター１６とを備えている。
【００２１】
球面ドーム１４は、薄膜形成槽１１の上部の中心部から内部に貫通された回転軸１４ａに接続されており、この回転軸１４ａを中心に回転可能になっている。また、この回転ドーム１０には、薄膜が形成されるレンズ１２を保持する保持ユニット（被成膜部材保持ユニット）２０を取り付けるための複数の孔１４ｂを有している。
蒸着源１３には、近接して電子銃１７が配されており、電子銃１７から放出された電子ビームが蒸着源１３の成膜材料を加熱して蒸発させるようになっている。
シャッター１５は、シャッター回転軸１５ａに支持されており、シャッター１５が蒸着源１３の直上と、そこから外れた位置との間を移動するようになっている。
ヒーター１６は、成膜中のレンズ１２を加熱するものであり、成膜された薄膜の屈折率を上げたり、薄膜とレンズ（被成膜部材）１２との密着性を上げるためのものである。
【００２２】
レンズ１２としては、例えば、図２に示すように、円錐台形状のガラス材質Ｓ−ＢＳＬ７（上面１２ａ：φ１０ｍｍ、底面１２ｂ：φ２０ｍｍ、高さ４０ｍｍ、（株式会社オハラ製））を使用し、このレンズ１２のモース硬度は４．５〜６．５となっている。
保持ユニット２０は、図３に示すように、上述したレンズ１２と、レンズ１２より硬度の低いアルミニウム製のダミー部材（アルミニウムモース硬度2〜２．９）２１と、同じくアルミニウム製の枠体（保持部材）２２と、弾性部材としての板バネ２３とを備えている。
【００２３】
ダミー部材２１は、図４に示すような、蒸着源１３側から見て、レンズ１２及び枠体２２との間に隙間なくレンズ１２の外周面を包むようにレンズ１２及び枠体２２に密接した形状を有し、かつ、レンズ１２の底面１２ｂとダミー部材２１の一端面２１ａとが面一となるような形状を有している。このダミー部材２１により、レンズ１２の被成膜部分（成膜部分）である底面１２ｂを露出可能となっている。
枠体２２は、球面ドーム１４の孔１４ｂに取り付け可能なフランジ部２２ａを有した円盤形状となっている。また、この枠体２２は、レンズ１２の底面１２ｂと枠体２２の一端面２２ｂとが面一となるような形状を有している。すなわち、レンズ１２の底面１２ｂとダミー部材２１の一端面２１ａと枠体２２の一端面２２ｂとが面一に配されている。
【００２４】
また、枠体２２は、図３に示すように、溝（図示例では３列）２４が形成されており、それぞれの溝２４に１つの板バネ２３を介して４つのレンズ１２と５つのダミー部材２１とを保持可能となっている。この溝２４は、レンズ１２とダミー部材２１とを保持すると、ダミー部材２１の側壁面２１ｂと枠体２２との間に孔２４ａが形成される。この孔２４ａには板バネ２３が配されており、板バネ２３によりダミー部材２１の側壁面２１ｂと溝２４の側壁面２４ｂとを引き離す方向へ付勢している。すなわち、レンズ１２とダミー部材２１との密着性を良好にしている。
【００２５】
次に、以上の構成からなる本実施形態の薄膜形成装置１０を用いてレンズ１２の底面１２ｂに薄膜を形成する薄膜形成方法について説明する。
まず、ダミー部材２１によりレンズ１２を包み込み、枠体２２の溝２４に配設する。そして、レンズ１２及びダミー部材２１を板バネ２３を介して枠体２２に保持し、このレンズ１２が保持された枠体２２を薄膜形成層１１内の球面ドーム１４に設けられた孔１４ｂに設置する。このとき、レンズ１２の底面１２ｂを薄膜形成層１１の蒸着源１３側に向けて配置する。さらに、球面ドーム１４の回転軸１４ａを中心に回転させ、ヒーター１６を駆動させてレンズ１２を約３００度まで加熱する。次いで、電子銃１７から蒸着源１３に向けて電子ビームが放出されて、蒸着源１３の成膜材料が加熱され蒸発する。ここで、シャッター１５を作動させることにより、シャッター１５は回転軸１５ａを中心に回転して蒸着源１３の上部から外れ、蒸発した成膜材料が薄膜形成槽１１の内部を直進し、球面ドーム１４の孔１４ｂに設置された枠体２２に保持されたレンズ１２の底面１２ｂに到達する。このようにして、図５に示すように、レンズ１２の底面１２ｂ全面にわたり均一な被成膜部分２５を形成することができる。
【００２６】
ここで、本第１実施形態の比較として、図６に示すように、円錐台形状のレンズ３０（底面３０ａの半径Ｒ＝１０ｍｍ、ガラス材質Ｓ−ＢＳＬ７（株式会社オハラ製））に落とし込み方式の枠体３１を用いて反射防止膜を成膜する。枠体３１には、レンズ３０が嵌合可能な第１の開口孔３２と、この第１の開口孔３２より若干開口径の小さい第２の開口孔３３とが設けられている。これにより、レンズ３０は底面３０ａの周縁部が枠体３１の第１の開口孔３２の底辺３２ａに保持されている。
【００２７】
この落とし込み方式の枠体３１を用いて反射防止膜が成膜されたレンズ３０の底面３０ａの中央部には、図７に示すように、反射防止膜の被成膜部分３４が形成されるが、レンズ３０の底面３０ａの周縁部にはリング状の非成膜部分３５が形成される。リング状の非成膜部分３５の幅をｘｍｍ、被成膜部分３４の反射率を０．１％、非成膜部分３５の反射率を４％とする。このとき、非成膜部分３５の幅ｘが０ｍｍ（全面被成膜部分）から１０ｍｍ（全面非成膜部分）へ増加するにつれて、レンズ３０の底面３０ａ全面における反射率がどれくらい上昇するかを、ｘ＝１０ｍｍ（全面非成膜部分）の場合を１００％として図８のグラフに示す。ｘ＝０ｍｍつまり、非成膜部分３５が全くない場合の反射率は、ｘ＝１ｍｍである場合の１２％、ｘ＝１０ｍｍつまり、全面が非成膜部分である場合の２．５％にまで反射率が減少する。透過率で考えると、ｘ＝０ｍｍの場合は、ｘ＝１ｍｍの場合の約８倍、ｘ＝１０ｍｍの場合の約４０倍も透過率が改善する。したがって、本第１実施形態により作製されたレンズ１２は底面１２ｂ全面に反射防止膜が成膜されるため、レンズ１２全面にわたって優れた光学特性を有することになる。
【００２８】
本実施形態に係る薄膜形成装置１０及び保持ユニット２０によれば、板バネ２３を介して、レンズ１２及びダミー部材２１を保持することにより、薄膜形成槽１１内にレンズ１２の底面１２ｂ全面に均一に反射防止膜を成膜することができる。このように、底面１２ｂ全面に反射防止膜が成膜されたレンズ１２は、レンズ１２の底面１２ｂの外周縁までレンズの有効径となるので、コンパクトな光学素子及び光学ユニットを実現できる。
【００２９】
また、レンズ１２の側面のみをレンズ１２より硬度の低いアルミニウム製のダミー部材２１で密着して保持しているため、レンズ１２の側面とダミー部材２１とは密着性が良い。したがって、レンズ１２を保持したときに生じる損傷や成膜材料の回り込みが発生しない。さらに、成膜中の加熱により生じるレンズ１２とダミー部材２１及び枠体２２の熱膨張差を板バネ２３で吸収することで、成膜中のレンズ１２の落下や破損を防止することが可能となる。
【００３０】
さらに、レンズ１２の底面１２ｂとダミー部材２１及び枠体２２の一端面２２ｂとが面一に配されているため、レンズ１２の底面１２ｂ全面にわたり均一な被成膜部分３４を形成することができる。また、レンズ１２の形状が変更された場合は、ダミー部材２１の形状を変更するだけで容易に対応することが可能である。また、一度に複数のレンズ１２を保持できるため、作業時間や作業工数の短縮が可能になり、量産時のコスト削減を図ることもできる。
【００３１】
次に、本発明に係る第２実施形態について、図９から図１４を参照して説明する。なお、以下に説明する各実施形態において、上述した第１実施形態に係る薄膜形成装置１０と構成を共通とする箇所には同一符号を付けて、説明を省略することにする。
本実施形態に係る薄膜形成装置に備えられる保持ユニット（被成膜部材保持ユニット）４０において、第１実施形態と異なる点は、第１実形態では、レンズ１２として円錐台形状であるのに対し、四角錐形状のプリズム４１である点と、板バネ２３に代えてコイルバネ４２を備える点とである。
【００３２】
プリズム４１としては、底面１０ｍｍ×１０ｍｍ、高さ１５ｍｍ、ガラス材質Ｓ−ＴＩＨ５３（株式会社オハラ製）であり、モース硬度は４．５〜６．５であるものを使用する。
保持ユニット４０は、図１０に示すように、上述したプリズム４１と、プリズム４１より硬度の低いアルミニウム製のダミー部材（アルミニウムモース硬度２〜２．９）４３と、同じくアルミニウム製の枠体（保持部材）４４と、弾性部材としてのコイルバネ４２とを備えている。
【００３３】
ダミー部材４３は、図１１に示すような、蒸着源１３側から見て、プリズム４１及び枠体４４との間に隙間なくプリズム４１の外周面を包むようにプリズム４１及び枠体４４に密接した形状を有し、かつ、プリズム４１の底面４１ａとダミー部材４３の一端面４３ａとが面一となるような形状を有している。
枠体４４は、第１実施形態と同様にフランジ４４ａを有する形状であり、プリズム４１の底面４１ａと枠体４４の一端面４４ｂとが面一となるような形状を有している。すなわち、プリズム４１の底面４１ａとダミー部材４３の一端面４３ａと枠体４４の一端面４４ｂとが面一に配されている。
【００３４】
また、枠体４４には、図１０に示すように、溝（図示例では２列）４５が形成されており、それぞれの溝４５に１つのコイルバネ４２を介して３つのプリズム４１と４つのダミー部材４３とを保持している。この溝４５は、プリズム４１とダミー部材４３とを保持すると、第１実施形態と同様に孔４５ａが形成される。この孔４５ａにはコイルバネ４２が配されており、コイルバネ４２によりダミー部材４３の側壁面４３ｂと枠体４４の側壁面４５ｂとを引き離す方向へ付勢している。すなわち、プリズム４１とダミー部材４３との密着性を良好にしている。
【００３５】
次に、以上の構成からなる本実施形態の薄膜形成装置を用いてプリズム４１の底面４１ａに薄膜を形成する薄膜形成方法について説明する。
まず、ダミー部材４３によりプリズム４１を包み込み、これらを枠体４４の溝４５に配設する。そして、コイルバネ４２を介して枠体４４に保持し、このプリズム４１が保持された枠体４４を薄膜形成層１１内の球面ドーム１４に設けられた孔１４ｂに設置する。そして、第１実施形態と同様にして、シャッター１５を作動させ、成膜材料が球面ドーム１４の孔１４ｂに設置された枠体４４に保持されたプリズム４１の底面４１ａに到達する。これにより、プリズム４１の底面４１ａには、図１２に示すように、全面にわたり被成膜部分４６を形成することができる。
【００３６】
ここで、本第２実施形態の比較として、図１３に示すように、四角錐形状のプリズム５０（底面１０ｍｍ×１０ｍｍ、高さ１５ｍｍ、ガラス材質Ｓ−ＢＳＬ７（株式会社オハラ製））に落とし込み方式の枠体５１を用いて反射防止膜を成膜する場合の保持ユニットを用いる。枠体５１には、プリズム５０が嵌合可能な第１の開口孔５２と、この第１の開口孔５２より若干開口径の小さい第２の開口孔５３とが設けられている。これにより、プリズム５０は底面５０ａの周縁部が枠体５１の第１の開口孔５２の底辺５２ａに保持されている。
【００３７】
この落とし込み方式の枠体５１を用いて反射防止膜が成膜されたプリズム５０の底面５０ａの中央部には、図１４に示すように、反射防止膜の被成膜部分５４が形成されるが、プリズム５０の底面５０ａの角部には非成膜部分５５が形成される。その結果、本第２実施形態により作製されたプリズム４１は底面４１ａ全面に反射防止膜が成膜されるため、プリズム４１全面にわたって優れた光学特性を有することになる。
【００３８】
本実施形態に係る薄膜形成装置及び保持ユニット４０によれば、コイルバネ４２を介して、プリズム４１及びダミー部材４３を保持することにより、薄膜形成槽１１内にプリズム４１の底面４１ａ全面に均一に反射防止膜を成膜することができる。このように、底面４１ａ全面に反射防止膜が成膜されたプリズム４１は、プリズム４１の底面４１ａの一面全面がプリズムの有効面となるので、コンパクトな光学素子及び光学ユニットを実現できる。
【００３９】
また、プリズム４１の側面のみをプリズム４１より硬度の低いアルミニウム製のダミー部材４３で密着して保持しているため、プリズム４１の側面とダミー部材４３とは密着性が良い。したがって、プリズム４１を保持したときに生じる損傷や成膜材料の回り込みが発生しない。さらに、成膜中の加熱により、生じるプリズム４１とダミー部材４３及び枠体４４の熱膨張差をコイルバネ４２で吸収することにより成膜中のプリズム４１の落下や破損を防止することが可能となる。
【００４０】
さらに、プリズム４１の底面４１ａとダミー部材４３及び枠体４４の一端面４４ｂとが面一に配されているため、プリズム４１の底面４１ａ全面にわたり均一な被成膜部分４６を形成することができる。また、プリズム４１の形状が変更された場合は、ダミー部材４３の形状を変更するだけで容易に対応することが可能である。また、一度に複数のプリズム４１を保持できるため、作業時間や作業工数の短縮が可能になり、量産時のコスト削減を図ることもできる。
【００４１】
なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、薄膜形成装置１０、保持ユニット２０，４０及びレンズ１２，プリズム４１の構成や形状及び材質は発明の一例であり、これに限るものではない。これは、薄膜形成装置の構成や薄膜形成方法は図１に示した真空蒸着装置に限ったものではなく、イオンプレーティング法、イオンアシスト法、スパッタリング法等も含まれている。また、被成膜部材の材質や形状はこれに限ったものではなく、その材質はガラス、樹脂及びこれらの混合物を含み、その形状は両凸，両凹，メニスカス，円錐，三角錐，五角形以上の多角錐，円柱，三角柱，四角柱，五角形以上の多角柱，７面以上の多面体等であっても良い。また、ダミー部材２１，４３の材質はアルミニウムに限ったものではなく、被成膜部材より硬度の低いガラス，アクリル，ポリカーボネート、ＰＥＴ、シリコン樹脂、ウレタン樹脂、フッ素樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂等の樹脂、アルミニウム、銅、真鍮等の金属または合金、及びこれらの混合物であっても良い。さらに、板バネ２３及びコイルバネ４２を設けずにダミー部材を弾性材質からなる部材にすることにより、同様の効果が得られる。また、被成膜部材の枠体（保持部材）２２，４４はその材質や外形をアルミニウム製の円盤状に限ったものではなく、その材質は上記のガラス、樹脂、金属及びこれらの混合物を含み、その外形は三角板、四角板、五角板以上の多角板を含む。さらに、成膜を行った反射防止膜は一例であり、薄膜の種類はこれに限ったものではなくフィルターやミラー等も含んでいる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の第１実施形態における被成膜部材保持ユニット及び薄膜形成装置を示す断面図である。
【図２】図１の被成膜部材保持ユニットに保持される被成膜部材を示す斜視図である。
【図３】本発明の第１実施形態における被成膜部材保持ユニットを示す平面図である。
【図４】図３のＸ−Ｘ線矢視における第１実施形態の被成膜部材保持ユニットを示す断面図である。
【図５】本発明の第１実施形態における被成膜部材保持ユニットを用いて成膜された被成膜部材の被成膜面を示す平面図である。
【図６】本発明の第１実施形態の比較例である従来の被成膜部材保持ユニットを示す断面図である。
【図７】本発明の第１実施形態の比較例である従来の被成膜部材保持ユニットを用いて成膜された被成膜部材の被成膜面を示す平面図である。
【図８】図７における被成膜部材の被成膜面全面における反射率と非成膜部分の距離との関係を示すグラフである。
【図９】本発明の第２実施形態における被成膜部材保持ユニットに保持される被成膜部材を示す斜視図である。
【図１０】本発明の第２実施形態における被成膜部材保持ユニットを示す平面図である。
【図１１】図１０のＹ−Ｙ線矢視における第１実施形態の被成膜部材保持ユニットを示す断面図である。
【図１２】本発明の第２実施形態における被成膜部材保持ユニットを用いて成膜された被成膜部材の被成膜面を示す平面図である。
【図１３】本発明の第２実施形態の比較例である従来の被成膜部材保持ユニットを示す断面図である。
【図１４】本発明の第２実施形態の比較例である従来の被成膜部材保持ユニットを用いて成膜された被成膜部材の被成膜面を示す平面図である。
【図１５】従来例の落とし込み方式を用いた被成膜部材保持ユニットを示す要部断面図である。
【図１６】従来例の落とし込み方式を用いた被成膜部材保持ユニットを示す平面図である。
【図１７】従来例の落とし込み方式を用いた被成膜部材保持ユニットにより成膜されたレンズの被成膜面を示す平面図である。
【図１８】従来例の挟み込み方式を用いた被成膜部材保持ユニットに保持されるレンズを示す側面図である。
【図１９】従来例の挟み込み方式を用いた被成膜部材保持ユニットを示す平面図である。
【図２０】従来例の挟み込み方式を用いた被成膜部材保持ユニットにより成膜されたレンズの被成膜面を示す平面図である。
【図２１】従来例の挟み込み方式を用いた被成膜部材保持ユニットにより成膜されたレンズの被成膜面を示す側面図である。
【図２２】従来例のボールレンズを保持するボールレンズ保持部材を示す要部断面図である。
【符号の説明】
【００４３】
１０  薄膜形成装置
１２  レンズ（被成膜部材）
２１，４３  ダミー部材
２０，４０  保持ユニット（被成膜部材保持ユニット）
２３  板バネ（弾性部材）
４１  プリズム（被成膜部材）
４２  コイルバネ（弾性部材）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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