(57)【要約】【課題】  受け手側で適宜必要とする情報を選択して表示するセル配置図を出力すると共に、セル配置図の作成時間を短縮し、転記ミスのないセル配置図を作成する。【解決手段】  セルの位置情報とセル配置図におけるセルの配置ルールとを記憶する記憶部１３と、出力図面の出力条件を入力する入力部１１と、位置情報と配置ルールとを元に、判読条件を満たすような記号列をセルに対応させて所定の位置に表記したセル配置図を生成し、生成されたセル配置図から出力条件に合致する出力図面を作成する配置図作成処理部１４と、作成された出力図面を出力する出力部１２と、を備える。【選択図】  図１
2005316872.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
セルの位置情報とセル配置図におけるセルの配置ルールとを記憶する記憶部と、
出力図面の出力条件を入力する入力部と、
前記記憶部から読み出した前記位置情報と前記配置ルールとを元に、判読条件を満たすような記号列を前記セルに対応させて所定の位置に表記したセル配置図を生成し、生成された前記セル配置図から前記出力条件に合致する出力図面を作成する配置図作成処理部と、
作成された前記出力図面を出力する出力部と、
を備えることを特徴とするセル配置図作成装置。
【請求項２】
前記入力部は、ファイル入力装置を含み、前記位置情報は、前記ファイル入力装置から読み込まれて前記記憶部に記憶されることを特徴とする請求項１記載のセル配置図作成装置。
【請求項３】
前記判読条件は、隣接する前記記号列同士の間隔、前記記号列の表記サイズ、および前記記号列の表記領域の少なくともいずれかに基づいて定められることを特徴とする請求項１記載のセル配置図作成装置。
【請求項４】
前記出力条件は、前記セル配置図におけるセルの配置位置に応じて定まる選択条件であることを特徴とする請求項１記載のセル配置図作成装置。
【請求項５】
セル配置図作成装置によりセル配置図を作成する方法であって、
セル配置図の作成指示を受け取るステップと、
記憶されているセルの位置情報とセル配置図におけるセルの配置ルールとを読み出すステップと、
出力図面の出力条件を入力するステップと、
読み出した前記位置情報と前記配置ルールとを元に、判読条件を満たすような記号列を前記セルに対応させて所定の位置に表記したセル配置図を生成するステップと、
生成された前記セル配置図から前記出力条件に合致する出力図面を作成するステップと、
作成された前記出力図面を出力するステップと、
を含むことを特徴とするセル配置図作成方法。
【請求項６】
前記作成指示を受け取るステップの後に、前記位置情報を入力部から読み込んで記憶するステップをさらに含むことを特徴とする請求項５記載のセル配置図作成方法。
【請求項７】
前記判読条件は、隣接する前記記号列同士の間隔、前記記号列の表記サイズ、および前記記号列の表記領域の少なくともいずれかに基づいて定められることを特徴とする請求項５記載のセル配置図作成方法。
【請求項８】
前記所定の位置への表記とは、前記出力図面のＸ軸沿いに並ぶセルに対しては前記記号列を縦書きとし、前記出力図面のＹ軸沿いに並ぶセルに対しては前記記号列を横書きとし、スクライブ線上に配置される記号列が前記チップの内側に表記されることを特徴とする請求項５記載のセル配置図作成方法。
【請求項９】
前記出力条件は、前記セル配置図におけるセルの配置位置に応じて定まる選択条件であることを特徴とする請求項５記載のセル配置図作成方法。
【請求項１０】
前記セル配置図を生成するステップにおいて、記号列の表示サイズの縮小、隣接する記号列間の間隔の縮小、および記号列の表記位置の回転の少なくともいずれかに基づいて、前記記号列の配置位置の修正を行うステップをさらに含むことを特徴とする請求項５記載のセル配置図作成方法。
【請求項１１】
セル配置図作成装置を構成するコンピュータに、
セル配置図の作成指示を受け取る処理と、
記憶されているセルの位置情報とセル配置図におけるセルの配置ルールとを読み出す処理と、
出力図面の出力条件を入力する処理と、
読み出した前記位置情報と前記配置ルールとを元に、判読条件を満たすような記号列を前記セルに対応させて所定の位置に表記したセル配置図を生成する処理と、
生成された前記セル配置図から前記出力条件に合致する出力図面を作成する処理と、
作成された前記出力図面を出力する処理と、
を実行させるプログラム。
【請求項１２】
前記作成指示を受け取る処理の後に、前記位置情報を入力部から読み込んで記憶する処理をさらに実行させる請求項１１記載のプログラム。
【請求項１３】
前記判読条件は、隣接する前記記号列同士の間隔、前記記号列の表記サイズ、および前記記号列の表記領域の少なくともいずれかに基づいて定められることを特徴とする請求項１１記載のプログラム。
【請求項１４】
前記所定の位置への表記とは、前記出力図面のＸ軸沿いに並ぶセルに対しては前記記号列を縦書きとし、前記出力図面のＹ軸沿いに並ぶセルに対しては前記記号列を横書きとし、スクライブ線上に配置される前記記号列が前記チップの内側に表記されることを特徴とする請求項１１記載のプログラム。
【請求項１５】
前記出力条件は、前記セル配置図におけるセルの配置位置に応じて定まる選択条件であることを特徴とする請求項１１記載のプログラム。
【請求項１６】
前記セル配置図を生成する処理において、記号列の表示サイズの縮小、隣接する記号列間の間隔の縮小、および記号列の表記位置の回転の少なくともいずれかに基づいて、前記記号列の配置位置の修正を行う処理をさらに実行させる請求項１１記載のプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、セル配置図作成装置及び方法並びにプログラムに係る。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路の製造過程では、数チップ分の回路パターンをリソグラフィ技術によりウェハ上に形成している。回路パターンとして、製品として機能する回路以外に、製造過程で必要とされるパターンの位置合わせ、回路の一部の特性チェック、パターンの寸法チェックなどを行うためのセルがスクライブ線上またはチップの内部に配置されるのが通例である。なお、スクライブ線とは、ウェハからチップを切り離す時のチップ間の間隔となるものである。
【０００３】
このようなセルの種別には、具体的に、ウェハとレチクルとのＸ方向、Ｙ方向、回転などの位置合わせ（アラインメント）のためのセル、ウェハとレチクルの位置合わせの結果を後工程でチェックするためのセル、パターンの出来具合を後工程でチェックするためのセル、トランジスタ、各種抵抗、コンタクト列、容量等をチェックする特性チェックのためのセル等が挙げられる。例えば、レチクルにおける位置合わせの例が特許文献１に記載されている。
【０００４】
これらのセルの配置情報の一部は、セル配置を表す図面として検査者等に提供され、検査者は、この図面（セル配置図）を用いて種々の作業を行う。したがって、この図面は、図面を受け取る側にとって読み取りやすい形式で出力されることが望ましく、実際のチップ上のセル配置情報を元に、適切な位置、サイズ、回転度等を施した文字等の記号列で図面上に表現されるように作成される。
【０００５】
作成されるセル配置図の例を図１１に示す。図１１に示す配置図では、６（＝２×３）個のチップ（面付け数６）のそれぞれの内側およびスクライブ線上に受け手側に理解できる文字等の記号列によってセルを表記してある。
【０００６】
【特許文献１】特開平６−３２４４７５号公報  （図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
図１１に示すようなセル配置図は、セルの配置情報を元に人手によって作成されている。人手による作成によれば、受け手側にとって見やすいものが作成されるが、受け手側で適宜必要とする情報のみを選択して表示した図面を得ることはできない。また、セル配置図の作成には時間がかかってしまい、さらに、転記ミスが生じたりする問題があった。したがって、自動的にセル配置図を作成する技術が望まれるが、表記される数百個のセル名とセルタイプを省略することなく、互いに重ならないように、規定の用紙サイズに判読可能な文字サイズで全てを表記するようなセル配置図の自動作成技術は、従来において開示されていなかった。
【０００８】
本発明の目的は、受け手側で適宜必要とする情報を選択して表示するセル配置図を出力すると共に、セル配置図の作成時間を短縮（ターンアラウンドタイムの短縮）し、転記ミスのないセル配置図を作成する装置及び方法並びにプログラムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記目的を達成する本発明の一つのアスペクトに係るセル配置図作成装置は、セルの位置情報とセル配置図におけるセルの配置ルールとを記憶する記憶部と、出力図面の出力条件を入力する入力部とを備える。また、記憶部から読み出した位置情報と配置ルールとを元に、判読条件を満たすような記号列をセルに対応させて所定の位置に表記したセル配置図を生成し、生成されたセル配置図から出力条件に合致する出力図面を作成する配置図作成処理部を備える。さらに、作成された出力図面を出力する出力部を備える。
【００１０】
本発明の他のアスペクトに係るセル配置図作成方法は、セル配置図作成装置によりセル配置図を作成する方法である。この方法は、セル配置図の作成指示を受け取るステップと、記憶されているセルの位置情報とセル配置図におけるセルの配置ルールとを読み出すステップと、出力図面の出力条件を入力するステップと、を含む。また、読み出した位置情報と配置ルールとを元に、判読条件を満たすような記号列をセルに対応させて所定の位置に表記したセル配置図を生成するステップを含む。さらに、生成されたセル配置図から出力条件に合致する出力図面を作成するステップと、作成された出力図面を出力するステップと、を含む。
【００１１】
作成指示を受け取るステップの後に、セルの位置情報を入力部から読み込んで記憶するステップをさらに含んでもよい。
【００１２】
また、判読条件は、隣接する記号列同士の間隔、記号列の表記サイズ、および記号列の表記領域の少なくともいずれかに基づいて定められてもよい。
【００１３】
さらに、所定の位置への表記とは、Ｘ軸沿いに並ぶセルに対しては記号列を縦書きとし、Ｙ軸沿いに並ぶセルに対しては記号列を横書きとし、チップの各辺に配置される記号列がチップの内側に表記されることであってもよい。
【００１４】
また、出力条件は、セル配置図におけるセルの配置位置に応じて定まる選択条件であってもよい。
【００１５】
さらに、セル配置図を生成するステップにおいて、記号列の表示サイズの縮小、隣接する記号列間の間隔の縮小、および記号列の表記位置の回転の少なくともいずれかに基づいて、記号列の配置位置の修正を行うステップをさらに含んでもよい。
【００１６】
本発明のさらに他のアスペクトに係るプログラムは、セル配置図作成装置を構成するコンピュータに、セル配置図の作成指示を受け取る処理と、記憶されているセルの位置情報とセル配置図におけるセルの配置ルールとを読み出す処理と、出力図面の出力条件を入力する処理と、を実行させる。また、読み出した位置情報と配置ルールとを元に、判読条件を満たすような記号列をセルに対応させて所定の位置に表記したセル配置図を生成する処理を実行させる。さらに、生成されたセル配置図から出力条件に合致する出力図面を作成する処理と、作成された出力図面を出力する処理と、を実行させる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、ユーザによって指示されたファイルタイプ、オプション等に従った出力図面をセル配置図から選択して出力する。したがって、受け手側で適宜必要とする情報のみを選択して表示した図面を得ることができる。
【００１８】
また、セルの位置情報とセルの配置ルールと判読条件とに基づいて自動的にセル配置図を作成するので、セル配置図の作成時間が短縮され、転記ミスのないセル配置図が作成される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
本発明の実施形態に係るセル配置図作成装置について説明する。図１は、本発明の実施形態に係るセル配置図作成装置の構成を表すブロック図である。図１において、セル配置図作成装置１０は、入力部１１、出力部１２、記憶部１３、配置図作成処理部１４を備える。
【００２０】
入力部１１は、出力図面の出力条件をユーザによって入力する装置であって、例えば、キーボード、マウス、ファイル入力装置等の入力装置から構成される。出力条件は、キーボード、マウス等を用いてセル配置図作成装置に与えてもよく、また、出力条件を記述したファイル等を読み込むようにしてもよい。さらに、記憶部１３に記憶されるセルの位置情報を入力部１１から入力ファイルとして読み込むようにしてもよい。またさらに、入力部１１から入力される情報は、不図示のネットワークを介してセル配置図作成装置に入力するように構成してもよい。
【００２１】
出力部１２は、配置図作成処理部１４によって作成される出力図面を出力する装置であって、プリンタあるいはファイル出力装置等からなる。また、不図示のネットワークを介して出力図面を他所の端末等に送信する通信手段であってもよい。
【００２２】
記憶部１３は、半導体メモリ、磁気ディスク装置等によって構成され、セルの位置情報と、セル配置図におけるセルの配置ルールとを記憶する。なお、セルの位置情報は、予め記憶部１３に記憶しておいてもよく、また、セル配置図の作成時に入力部１１から入力ファイルとして読み込み一時的に記憶部１３に記憶するようにしてもよい。
【００２３】
配置図作成処理部１４は、記憶部１３に記憶されている、セルの位置情報とセルの配置ルールとを読み出して、出力図面の判読条件を満たすような記号列をセルに対応させて所定の位置に表記したセル配置図を生成する。また、生成されたセル配置図を元に、入力部１１で入力された出力条件に合致する出力図面を作成する。なお、配置図作成処理部１４は、コンピュータのプログラムによって実現されてもよい。この場合、配置ルールは、プログラム内に記述されてもよく、また、別途配置ルールを記述したルールファイルを入力部１１等から読み込むようにしてもよい。
【００２４】
以上のように構成されるセル配置図作成装置１０は、入力部１１から出力図面の出力条件を与えると、配置図作成処理部１４がセルの位置情報とセルの配置ルールと判読条件とから自動的にセル配置図を作成し、出力部１２から出力条件に合致する出力図面を出力する。
【実施例】
【００２５】
セル配置図作成装置についてさらに詳しく説明する。図２は、本発明の実施例に係るセル配置図作成装置の動作を表すフローチャート図である。
【００２６】
ステップＳ１０において、セル配置図作成装置１０に対してセル配置図を作成する指示を与える。これは、入力部１１から処理対象となる情報ファイルの名称等を入力すること等によってなされる。また、必要に応じてセルの位置情報が記述された入力ファイルを入力部１１から読み込む。なお、入力ファイルのフォーマット等が規定のものに違反している場合には、その旨のメッセージを出力し、強制終了する。
【００２７】
ステップＳ１１において、配置図作成処理部１４は、セルの位置情報が記述された処理対象の情報ファイルを記憶部１３から読み出す。
【００２８】
ステップＳ１２において、配置図作成処理部１４は、読み出した情報ファイルから製品名、面付け数、セル名、セルの種別、セルの座標等の基本情報を抽出する。なお、面付け数とは、一枚のレチクルに形成されるチップ数であって、セル配置図におけるチップの数でもある。また、セルの種別（セルタイプ）には、チップの内側に配置されるか外側に配置されるかの別、位置合わせ用、寸法チェック用、特性チェック用等がある。
【００２９】
ステップＳ１３において、ユーザは、出力するファイルタイプ（例えば、ポストスクリプトファイル、ＰＤＦファイル等）、オプション（例えば、Ｘ軸沿いのみ出力、Ｙ軸沿いのみ出力、チップ内外別に出力する等の指定）を入力部１１から入力する。
【００３０】
ステップＳ１４において、配置図作成処理部１４は、記憶部１３に記憶されているセルの配置ルール情報を読み出す。配置ルールとしては、例えば、あるセルは、対面に隣接するチップに特定のセルが無ければならない等が定めてある。
【００３１】
ステップＳ１５において、配置ルールに従いセルをセルタイプ別に分類する。なお、配置ルールに違反していた場合には、その旨のメッセージを出力し、強制終了する。
【００３２】
ステップＳ１６において、隣接するチップとのスクライブ線上にあるセルは、同一座標となっているので双方のチップで均一の数になるように振り分けを行う。
【００３３】
ステップＳ１７において、セルがスクライブ線上に配置されているか、チップの内部に配置されているかを、スクライブ線からのセル配置位置の乖離率によって判別する。
【００３４】
ステップＳ１８において、分類されたセルの情報を一時記憶する。
【００３５】
ステップＳ１９において、分類されたセルに対応させて文字を主とする記号列を配置図上に表記してセル配置図を作成する。この時、セルに対応する記号列の相対位置を崩さず、記号列が互いに重ならないように表示座標をずらす。また、Ｘ軸沿いに並ぶセルに対しては記号列を縦書きとし、Ｙ軸沿いに並ぶセルに対しては記号列を横書きとし、チップの各辺における記号列がチップの内側に表記されるように表記位置をずらして配置する。さらに、出力図面サイズから表記される記号列の表示サイズを逆算する。
【００３６】
ステップＳ２０において、作成されたセル配置図が判読条件を満たすか否かを判断する。例えば、隣接する記号列同士が重ならないか、記号列の表記サイズが所定のサイズ以上か、記号列の表記領域が出力図面サイズをはみ出さないか、などを判断する。セル配置図が判読条件を満たさない場合には、ステップＳ２１に進み、満たす場合には、ステップＳ２２に進む。
【００３７】
ステップＳ２１において、記号列の配置位置の修正を行う。修正は、記号列の表示サイズの縮小、隣接する記号列間の間隔の縮小、記号列の表記位置の回転（例えば１８０度）などを実行することでなされ、修正後、ステップＳ２０に戻る。
【００３８】
ステップＳ２２において、ステップＳ１３で入力部１１から入力されたファイルタイプ、オプション等に従った出力図面をセル配置図から選択して作成し、一連の処理が終了する。
【００３９】
セル配置図作成装置１０は、以上のように動作し、セルの位置情報と、セルの配置ルールと、判読条件とを与えることでセル配置図が自動で作成される。したがって、セル配置図の作成時間が短縮され、転記ミスのない出力図面が出力される。
【００４０】
次に、セル配置図作成装置１０によって具体的に出力されるセル配置図の例を図３〜図１０に示す。図３は、ステップＳ１８における段階で、分類されたセルの配置位置に従って判読条件を考慮せずに記号列を配置図上に表記した図である。図３のＡ部では、右辺における記号列がレチクルの外側に表記されてしまい、Ｂ部では下辺における記号列がレチクルの外側に表記されてしまっている。また、例えばＣ部およびＤ部では、記号列が互いに重なって表記されている。
【００４１】
これに対し、判読条件を満たすような記号列を配置図上に表記した図の例を図４に示す。図４は、スクライブ線上のセルのみをＸ軸沿いとＹ軸沿いとに表記するように出力した図である。図４では、隣接する記号列同士が重ならず、記号列の表記サイズが所定のサイズ以上となり、記号列の表記領域が出力図面サイズをはみ出さないようになって表記される。図４内には、表記されている記号列の一例（図４のＥ部「ＭＯＣＡ  ＬＩＮＥ−６０＠」）を拡大して示す。「＠」は、セルの相対的な位置を表し、このセルは、ウェハとレチクルとの位置合わせのためのセルを表すものである。
【００４２】
また、図５は、図４の記号列の内のレチクル外部Ｙ軸に沿ったセルを表記するように出力した図である。さらに、図６は、図４の記号列の内のレチクル外部Ｘ軸に沿ったセルを表記するように出力した図である。
【００４３】
一方、図７は、トランジスタのチェックのためのセルのみをレチクル外部のＸ軸沿いとＹ軸沿いとに表記するように出力した図である。図７内には、Ｆ部に表記される記号列「＠ＣＨＫ  ＜−−ＬｉｎｅＣａｐ（ＣＥＬＬ９５６３）」を拡大した例を示す。「＠」は、セルの相対的な位置を表し、このセルは、トランジスタの特性をチェックするためのセルを表すものである。
【００４４】
また、図８は、図７の記号列の内のレチクル外部のＹ軸沿いのセルを表記するように出力した図である。さらに、図９は、図７の記号列の内のレチクル外部のＸ軸沿いのセルを表記するように出力した図である。
【００４５】
図１０は、チップ内部に配置したセルのみを表記するように出力した図である。図１０内には、Ｇ部に表記される記号列「＠ＬＳＩＺＥ２  （ｂｏｔｔｏｍ）＿（ＣＥＬＬ９８２２）」を拡大した例を示す。「＠」は、セルの相対的な位置を表し、このセルは、パターンの寸法チェックのためのセルを表す。
【００４６】
以上、図４〜図１０に示すようにユーザによって指示されたファイルタイプ、オプション等に従った出力図面をセル配置図から適宜選択して出力することができる。したがって、受け手側で必要とする情報のみを選択して表示した図面を得ることができる。また、図４〜図１０の上部には、セル位置情報ファイルから取得した基本情報（製品名、面付け数等）、ユーザが指定した出力条件、さらに一つの配置図をＸ軸方向とＹ軸方向の２種類出力した時にどのファイルに当たるか等の情報が明記されている。
【００４７】
また、図４〜図１０に示すような図面は、通常一般に使用されるパーソナルコンピュータで数秒以下で処理され出力される。したがって、セル配置図の作成時間が短縮され、転記ミスのないセル配置図が作成される。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の実施形態に係るセル配置図作成装置の構成を表すブロック図である。
【図２】本発明の実施例に係るセル配置図作成装置の動作を示すフローチャート図である。
【図３】判読条件を与えずに作成した出力図面の例を示すセル配置図である。
【図４】スクライブ線上のセルのみをＸ軸沿いとＹ軸沿いとに表記するように出力したセル配置図である。
【図５】スクライブ線上のセルからＹ軸沿いのセルのみを選んで表記するように出力したセル配置図である。
【図６】スクライブ線上のセルからＸ軸沿いのセルのみを選んで表記するように出力したセル配置図である。
【図７】トランジスタのチェックのためのセルのみをＸ軸沿いとＹ軸沿いとに表記するように出力したセル配置図である。
【図８】トランジスタのチェックのためのセルからＹ軸沿いのセルのみを選んで表記するように出力したセル配置図である。
【図９】トランジスタのチェックのためのセルからＸ軸沿いのセルのみを選んで表記するように出力したセル配置図である。
【図１０】チップ内部に配置したセルのみを表記するように出力したセル配置図である。
【図１１】従来の人手によって作成した出力図面の例を示すセル配置図である。
【符号の説明】
【００４９】
１０  セル配置図作成装置
１１  入力部
１２  出力部
１３  記憶部
１４  配置図作成処理部
【図１】
2005316872.tif 000003
【図２】
2005316872.tif 000004
【図３】
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【図４】
2005316872.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2005316872.tif 000010
【図９】
2005316872.tif 000011
【図１０】
2005316872.tif 000012
【図１１】
2005316872.tif 000013