(57)【要約】【課題】層流界面のゆらぎに関わり無く、多層流を形成する流体を安定して分離することが可能な流体の分離装置および方法を提供すること。さらに、多層流を形成する流体中の物質を安定して分離することが可能な物質の分離方法を提供すること。【解決手段】複数種の流体を、互いに接した層流状態で同方向に流すための主流路を有し、前記複数種の流体の各々がそれぞれ流れ込むように配置された流体分岐流路の複数と、前記主流路にて前記複数種の流体により形成される界面を含む分流が流れ込むように配置された界面分岐流路とが、前記主流路の下流側端部に連接して設けられていることを特徴とする流体の分離装置とする。また、この流体の分離装置を使用して行う流体の分離方法及び物質の分離方法とする。【選択図】図１
2005077139.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数種の流体を、互いに接した層流状態で同方向に流すための主流路を有し、
前記複数種の流体の各々がそれぞれ流れ込むように配置された流体分岐流路の複数と、
前記主流路にて前記複数種の流体により形成される界面を含む分流が流れ込むように配置された界面分岐流路と
が、前記主流路の下流側端部に連接して設けられていることを特徴とする流体の分離装置。
【請求項２】
前記界面分岐流路の幅が、前記複数種の流体が前記主流路を流れる際の界面の揺らぎ幅より大きい請求項１記載の流体の分離装置。
【請求項３】
さらに、前記複数種の流体の各々をそれぞれ導入する試料導入流路の複数が前記主流路の上流側端部に連接して設けられている請求項１または２記載の流体の分離装置。
【請求項４】
互いに接した層流状態で同方向に流れる複数種の流体を分離する方法であって、
請求項１〜３のいずれかに記載の流体の分離装置を用いて、
前記複数種の流体を前記主流路に流す工程と、
前記流体分岐流路から得られる前記複数種の流体の各々、並びに、前記界面分岐流路から得られる前記流体の２種以上の混合物に分離する工程と
を有することを特徴とする流体の分離方法。
【請求項５】
少なくとも１種の物質を含む流体Ａから該物質の少なくとも１種を分離する方法であって、
請求項３記載の流体の分離装置を用いて、
少なくとも１つの前記試料導入流路から前記流体Ａを導入する工程と、
他の前記試料導入流路から前記流体Ａとは異なる流体Ｂを導入する工程と、
前記流体Ａ及び前記流体Ｂを、互いに接した層流状態で同方向に前記主流路を流すことで、前記流体Ａに含まれる物質の少なくとも１種を前記流体Ａから前記流体Ｂに移動させる工程と、
前記流体分岐流路から得られる前記流体Ａ及び前記流体Ｂの各々、並びに、前記界面分岐流路から得られる前記流体Ａと前記流体Ｂとの混合物に分離する工程と
を有することを特徴とする物質の分離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体の分離装置および方法に関し、特にチップ上で化学分析や化学合成を行う小型化分析システム（μＴＡＳ：Ｍｉｃｒｏ  Ｔｏｔａｌ  Ａｎａｌｙｓｉｓ  Ｓｙｓｔｅｍ）において、複数の流体を精度良く分離するための流体の分離装置および方法に関する。また、流体中に含まれる物質を精度良く分離する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、立体微細加工技術の発展に伴い、ガラスやシリコン等の基板上に、微小な流路とポンプ、バルブ等の流体素子およびセンサを集積化し、その基板上で化学分析を行うシステムが注目されている。これらのシステムは、小型化分析システム、μ−ＴＡＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｔｏｔａｌ  Ａｎａｌｙｓｉｓ  Ｓｙｓｔｅｍ）あるいはＬａｂ  ｏｎ  ａ  Ｃｈｉｐと呼ばれている。このような化学分析システムにより、無効体積の減少や試料の分量の大幅な低減が可能となる。また、分析時間の短縮やシステム全体の低消費電力化が可能となる。さらに、小型化によりシステムの低価格を期待することができる。μ−ＴＡＳは、システムの小型化、低価格化および分析時間の大幅な短縮が可能なことから、在宅医療やベッドサイドモニタ等の医療分野、ＤＮＡ解析やプロテオーム解析等のバイオ分野での応用が期待されている。
【０００３】
これまでに、微小流路中の流体が層流になるという性質を利用したデバイスやシステムが、多数報告されている。μＴＡＳで用いられる微小流路中を流れる流体に関しては、多くの場合、流体の特性を表すレイノルズ数というパラメータが２００以下と小さくなる。低レイノルズ数の流体では、慣性力よりも粘性力が支配的となり層流となる。層流では、流線は流れの方向に規則正しく一定の線をなしている。そのような流れの場合、例えばＹ字型もしくはＴ字型の微小流路に、異なる種類の液体を導入した場合、界面を有する二層流を形成可能であることが知られている。
【０００４】
Manabu Tokeshi et al, Anal. Chem. 2002, 74, 1565-1571.（非特許文献１）では、混合・反応、抽出、分離等の操作を一枚のチップ上に集積化したシステムが開示されている。上記システムでは、ガラス基板上に幅５０−１４０μｍの流路を形成し、溶液中の微量コバルトの分析を可能としている。上記したシステムでは、低レイノルズ数の流体が層流になるという特徴を利用し、微小流路の合流や分岐により一連の化学的操作を実現している。
【０００５】
また特開２００１−２８１２３３号公報（特許文献１）では、チップ上の両端に分岐チャネルを有するマイクロチャネル（微小流路）を形成した水性分配用マイクロチップが開示されている。上記マイクロチップにおいては、流路中に形成される二層流を利用して水性分配法を実施している。これにより、生体分子等の微小物を分配する際の処理時間の短縮が可能となっている。
【０００６】
上述の従来技術においては、例えば、図５に示したように、液体Ａ［５０１］と液体Ｂ［５０２］の界面５０３にて、物質Ｃ（５０５：図５において△で示した。）と物質Ｄ（５０６：図５において☆で示した。）を分離する。図５において、例えば、物質Ｃは、液体Ａに対する溶解度が高く、液体Ｂに対する溶解度が低く、一方、物質Ｄは、液体Ａに対する溶解度が低く、液体Ｂに対する溶解度が高いとすると、主流路５０４中において、物質Ｃは液体Ａに留まり、物質Ｄは二層流の界面５０３を介して、液体Ｂ側に移動する。液体Ａと液体Ｂの二層流が主流路を流れる間に上記移動が進展し、主流路の下流部では物質Ｃと物質Ｄの分配は完了し平衡状態に達する。その後、主流路を分岐部５０７で分岐流路５０８及び５０９に分岐することにより、液体Ａと物質Ｃは分岐流路５０８側に、液体Ｂと物質Ｄは分岐流路５０９側に分離される。
【特許文献１】特開２００１−２８１２３３号公報
【非特許文献１】Manabu Tokeshi et al, Anal. Chem. 2002, 74, 1565-1571.
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
２液の界面は様々要因から移動する場合があり、そのような場合、図６に示したような状態になって、上述の方法では安定した分離ができない場合がある。すなわち、図６のように２液の界面５０３が分岐流路５０９側（図６において下側）に移動した場合を仮定すると、分岐流路５０９には、液体Ｂ［５０２］と物質Ｄ［５０６］のみでなく、液体Ａ［５０１］と物質Ｃ［５０５］も混入してしまう。逆に、界面５０３が、分岐流路５０８側に移動した場合には、分岐流路５０８に液体Ｂと物質Ｄが混入してしまう。界面が移動する要因としては、例えば送液ポンプによる脈流の影響、シリンジポンプの圧力ゆらぎ、混入気泡の影響、チップを作製する際のプロセス誤差による流路幅の設計値からのずれ、温度変化による液体の粘性の変化等が挙げられる。
【０００８】
また、例えば、液体Ａおよび液体Ｂとして水層と有機層を用いて分離を行う場合に、物質として細胞やオルガネラ等の断片が含まれる場合には、それらは水層と有機層の界面５０３付近にトラップされる可能性が高い。このような場合に界面のゆらぎが生じると、それらの物質は、分岐流路５０８もしくは分岐流路５０９のいずれか、あるいは両方に不純物として混入してしまう。このことにより、安定した分離が期待できない場合があった。
【０００９】
よって本発明は、層流界面のゆらぎに関わり無く、多層流を形成する流体を安定して分離することが可能な流体の分離装置および方法を提供するものである。さらに本発明は、多層流を形成する流体中の物質を安定して分離することが可能な物質の分離方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、
複数種の流体を、互いに接した層流状態で同方向に流すための主流路を有し、
前記複数種の流体の各々がそれぞれ流れ込むように配置された流体分岐流路の複数と、
前記主流路にて前記複数種の流体により形成される界面を含む分流が流れ込むように配置された界面分岐流路と
が、前記主流路の下流側端部に連接して設けられていることを特徴とする流体の分離装置である。このような流体の分離装置とすることで、多層流を形成する流体を安定して分離することが可能となる。
【００１１】
また、本発明は、
互いに接した層流状態で同方向に流れる複数種の流体を分離する方法であって、
上記の流体の分離装置を用いて、
前記複数種の流体を前記主流路に流す工程と、
前記流体分岐流路から得られる前記複数種の流体の各々、並びに、前記界面分岐流路から得られる前記流体の２種以上の混合物に分離する工程と
を有することを特徴とする流体の分離方法である。このような流体の分離方法とすることで、多層流を形成する流体を安定して分離することが可能となる。
【００１２】
また、本発明は、
少なくとも１種の物質を含む流体Ａから該物質の少なくとも１種を分離する方法であって、
試料導入流路の複数が主流路の上流側端部に連接して設けられている上記の流体の分離装置を用いて、
少なくとも１つの前記試料導入流路から前記流体Ａを導入する工程と、
他の前記試料導入流路から前記流体Ａとは異なる流体Ｂを導入する工程と、
前記流体Ａ及び前記流体Ｂを、互いに接した層流状態で同方向に前記主流路を流すことで、前記流体Ａに含まれる物質の少なくとも１種を前記流体Ａから前記流体Ｂに移動させる工程と、
前記流体分岐流路から得られる前記流体Ａ及び前記流体Ｂの各々、並びに、前記界面分岐流路から得られる前記流体Ａと前記流体Ｂとの混合物に分離する工程と
を有することを特徴とする物質の分離方法である。このような物質の分離方法とすることで、多層流を形成する流体中の物質を安定して分離することが可能となる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、層流界面のゆらぎに関わり無く、多層流を形成する流体を安定して分離することが可能になる。さらに、多層流を形成する流体中の物質を安定して分離することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【００１５】
本発明の流体の分離装置は、
複数種の流体を、互いに接した層流状態で同方向に流すための主流路を有し、
複数種の流体の各々がそれぞれ流れ込むように配置された流体分岐流路の複数と、
主流路にて複数種の流体により形成される界面を含む分流が流れ込むように配置された界面分岐流路と
が、主流路の下流側端部に連接して設けられているものである。さらに、複数種の流体の各々をそれぞれ導入する試料導入流路の複数が主流路の上流側端部に連接して設けられていることが好ましい実施の態様である。このような構成の流体の分離装置とすることで、層流界面のゆらぎに関わり無く、多層流を形成する流体を安定して分離することが可能になる。
【００１６】
図１は、本発明の流体の分離装置の実施形態の一例を示す模式図である。図１に示す流体の分離装置は、基板１０１及び天板１０２よりなる。基板１０１には、第一の試料導入流路１０３、第二の試料導入流路１０４、主流路１０５、第一の流体分岐流路１０６、第二の流体分岐流路１０７および界面分岐流路１０８が形成されている。天板１０２には、第一の試料導入流路１０３、第二の試料導入流路１０４、第一の流体分岐流路１０６、第二の流体分岐流路１０７および界面分岐流路１０８の端部に対応する位置に貫通孔が形成されており、それぞれ第一の試料導入ポート１０９、第二の試料導入ポート１１０、第一の試料回収ポート１１１、第二の試料回収ポート１１２および界面回収ポート１１３をなしている。
【００１７】
基板および天板の材料としては、分析する溶液に対して耐性がある材料であれば特に制限はない。例えば、ガラス、シリコン、ＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン）、ＰＭＭＡ（ポリメチルメタクリレート）、ＰＣ（ポリカーボネート）等が、基板、天板の材料として挙げられる。
【００１８】
図２は、図１の流体の分離装置を用いて、流体および物質の分離方法を実施する場合の一例を示した概念図である。以下、この図２を用いて本発明の流体および物質の分離方法を説明する。なお、２つの流体を分離すると共に、それらの流体に対する物質の溶解度の違いを用いて、流体に含まれる物質の分離を実施する場合を説明する。これ以外にも、例えば物質のサイズ、表面電荷、拡散係数、親疎水性の違いを用いて、物質を分離することが可能である。
【００１９】
分離する物質としては、例えば細胞、蛋白質、ＤＮＡ、オルガネラ等の生体物質、無機物質および有機物質の分子、イオン等が挙げられる。
【００２０】
まず、第一の試料導入ポートから流体Ａ［２０１］を導入する。流体Ａ［２０１］には、△印で示される物質Ｃ［２０３］および、☆印で示される物質Ｄ［２０４］が溶解している。第二の試料導入ポートからは、流体Ｂ［２０２］を導入する。このとき、物質Ｃの流体Ａに対する溶解度は流体Ｂと比較して高く、物質Ｄの流体Ａに対する溶解度は流体Ｂと比較して低くなるように（好ましくは不溶）、流体Ａと流体Ｂを選択しておく。流体Ａと流体Ｂは、それぞれ第一の試料導入流路２０５と第二の試料導入流路２０６を流れ、主流路２０７に流入し合流する。このとき、主流路２０７においては、レイノルズ数を低くすることで流体Ａと流体Ｂの混合は起こらず、界面２０８を介して二層流が形成される。
【００２１】
主流路２０７において、以下のように物質Ｃと物質Ｄが分離される。物質Ｄは、溶液Ｂに対する溶解度が高いので、界面２０８を介して流体Ｂに移動する。一方、物質Ｃは流体Ｂに対する溶解度が低い（もしくは不溶）ので、流体Ａ中に留まる。主流路２０７の長さを、上記の物質Ｄの移動に対して、十分に長くすることにより、物質Ｃと物質Ｄを精度良く分離することが可能である。
【００２２】
流体Ａ及び流体Ｂは主流路２０７の下流側端部に達すると、３本の分岐流路に分岐される。このとき、第一の流体分岐流路２０９、第二の流体分岐流路２１０、および界面分岐流路２１１には、それぞれ流体Ａ、流体Ｂ、流体Ａ及び流体Ｂの二層流（流体Ａ及び流体Ｂが形成する界面を含む）が流入する。このとき図２に示したように、界面２０８にゆらぎが発生した場合でも、第一の流体分岐流路２０９には物質Ｃを含む流体Ａのみが、第二の流体分岐流路２１０には物質Ｄを含む流体Ｂのみが常に流れ込むため、両者を分離できる。なお、界面分岐流路２１１には、物質Ｃ及び物質Ｄを含む流体Ａ及び流体Ｂが流れ込む。
【００２３】
これにより、外的要因で二層流の界面がゆらいだ場合に分離特性が不安定になりやすい従来技術と比較して、本発明の流体の分離方法および分離装置では安定した分離性能を得ることが可能となる。
【００２４】
本発明の流体の分離装置では、流体Ａと流体Ｂの二層流の界面２０８が、外部的要因により移動した場合でも、界面２０８が界面分岐流路２１１に流入するように、界面分岐流路の幅を設計することが好ましい。すなわち、界面分岐流路の幅を、複数種の流体が主流路を流れる際の界面の揺らぎ幅より大きく設計することが好ましい。
【００２５】
また、主流路２０７の長さは、以下のように設計されることが好ましい。すなわち、始めに流体Ａ中に存在した物質Ｄが流体Ｂに移動して平衡状態に達するために十分な長さとする。また、用いる流体の粘性や流速を考慮して、レイノルズ数が小さくなり、層流を形成するように主流路の幅を設計することが肝要である。一般的には、レイノルズ数を２３００より小さくすることにより流れを層流とすることができるので好ましい。安定性の観点から１より小さいことが好ましい。
【００２６】
以上のような本発明の流体の分離装置における各流路は、使用する流体の物性等を考慮して適宜設計すればよいが、例えば、試料導入流路が幅１０〜１０００μｍ、長さ２〜３０ｍｍ、深さ１０〜３００μｍに、主流路が幅１０〜１０００μｍ、長さ１０〜３００ｍｍ、深さ１０〜３００μｍに、流体分岐流路が幅１０〜１０００μｍ、長さ２〜３０ｍｍ、深さ１０〜３００μｍに、界面分岐流路が幅１０〜５００μｍ、長さ２〜３０ｍｍ、深さ１０〜３００μｍ程度に設計されるのが好ましい。また、各ポートは直径は０．５〜５ｍｍ程度の円形であることが好ましい。
【００２７】
また、図１および図２においては主流路の形状として直線形状の場合を例にとり説明したが、安定な層流が形成される形状であれば主流路の形状に特に制限がない。直線形状以外の形状としては、例えば曲線形状、蛇行形状が挙げられる。主流路の形状を、曲線形状、蛇行形状とすることにより、物質の分離をより促進することが可能である。
【００２８】
図１および図２では、２種類の流体を用いて、それらの流体を分離すると共に、流体に含まれる２種類の物質から１種類を分離する場合を説明した。本発明は、この形態に限定されるものではない。例えば、３種類以上の物質が、流体Ａ中に存在し、そのうちの１種類もしくは２種類以上の物質を流体Ｂ側に分離することも可能である。また、流体の種類も２種類に限定されるものではない。例えば、３種類以上の流体を用いて、それらの流体を分離すると共に、流体に含まれる物質を分離することも可能である。その場合、異種の流体が接する各界面ごとに、界面のゆらぎを吸収するための界面分岐流路（１０８及び２１１に相当する界面分岐流路）を設けることにより安定した分離が可能であり、好ましい。図３には、３種類の流体を分離するための流体の分離装置の実施形態の例を示した。図３の流体の分離装置においては、試料導入流路（３０１〜３０３）が３本あり、流体分岐流路（３０４、３０６、３０８）が３本、および界面分岐流路（３０５、３０７）が２本ある。界面分岐流路３０５及び３０７には、２種類の流体およびその流体が形成する界面が流れ込む。分岐する流路の本数が多いことを除けば、分離の形態は図２に示したものと同一である。
【００２９】
さらに、流体Ｂにも少なくとも１種の物質が含まれており、上記と同時に、流体Ｂに含まれる物質の少なくとも１種を流体Ｂから流体Ａに移動させることも可能である。
【００３０】
また、図２における界面分岐流路２１１を、その下流においてさらに分岐した構成としても良い。この場合、分離した試料の収率を向上させることが可能となる。
【実施例】
【００３１】
以下、実施例を用いて本発明をより詳細に説明する。なお、実施例中における、寸法、形状、材質、作製プロセス条件は一例であり、本発明の要件を満たす範囲内であれば、設計事項として任意に変更することが可能である。
【００３２】
［実施例１］
本実施例では、図１に示す構成の流体の分離装置を作製した。
【００３３】
図４に本実施例の流体の分離装置の作製工程を説明する模式図を示す。図４では、図１におけるＢ−Ｂ’断面図に相当する断面を示してある。
【００３４】
まず、シリコン基板４０１上にフォトリソグラフィ法を用いて、フォトレジスト４０２により図１に示した流路形状のパターンを形成した［図４（ａ）］。
【００３５】
次に、フォトレジスト４０２をエッチングマスクとしてシリコン基板４０１を、ＳＦ6ガスとＣ4Ｆ8ガスのプラズマによりドライエッチングし、２つの試料導入流路（不図示）、主流路４０３、２つの流体分岐流路（不図示）および界面分岐流路４０４を形成した［図４（ｂ）］。
【００３６】
次に、Ｏ2プラズマ処理によりフォトレジストを除去した後、液温１１０℃の硫酸および過酸化水素水の混合溶液により基板４０１の表面を洗浄した［図４（ｃ）］。
【００３７】
次に、サンドブラスト加工により、２つの試料導入ポート（不図示）、２つの試料回収ポート（不図示）、および界面回収ポート４０５となる貫通孔を形成したガラス基板４０６と、シリコン基板４０１を陽極接合法により接合した［図４（ｄ）］。
【００３８】
以上の作製工程により図１に示した流体の分離装置が完成した。
【００３９】
各部の寸法を以下に説明する。第一の試料導入流路１０３、第二の試料導入流路１０４の幅は５０μｍである。主流路１０５の幅は１００μｍである。第一の流体分岐流路１０６および第二の流体分岐流路１０７の幅は５０μｍである。界面分岐流路１０８の幅は２０μｍである。上記の各流路の深さは、全て５０μｍである。各流路の長さは、各試料導入流路、各流体分岐流路及び界面分岐流路が５ｍｍ、主流路が５０ｍｍとした。また、各試料導入ポート（１０９、１１０）、各試料回収ポート（１１１、１１２）および界面回収ポート（１１３）は円形であり、その直径は１ｍｍである。
【００４０】
次に、この流体の分離装置を用いて、以下の手順で馬尿酸と安息香酸の分離を実施した。
【００４１】
まず、第一の試料導入ポート１０９および第二の試料導入ポート１１０を、シリコーンチューブを介してシリンジポンプに接続した。シリンジポンプを用いて、第一の試料導入流路１０３に馬尿酸と安息香酸の混合水溶液（水層）を流した。それと同時に第二の試料導入流路１０４に石油エーテル（石油エーテル層）を流した。混合水溶液と石油エーテルは、主流路１０５で合流したが混合せず、界面を有する二層流を形成した。このとき形成された二層流の平均流速が、約０．５ｍｍ／ｓｅｃとなるようにシリンジポンプのシリンジの移動速度を調節した。この時の両層のレイノルズ数を算出すると、水層が約０．０２、石油エーテル層が約０．０７であった。
【００４２】
ここで、安息香酸は石油エーテルへの溶解性が高いので、界面で石油エーテルに接触した安息香酸の分子は、石油エーテル側に移動する。一方、馬尿酸は石油エーテルに溶けないので水層に残る。
【００４３】
その後、主流路１０５中を流れる二層流は３つに分岐される。第一の流体分岐流路１０６には水層のみが、第二の流体分岐流路１０７には石油エーテル層のみが、そして界面分岐流路１０８には両層が形成する界面を含む両層の混合物が分岐される。上で述べたように、このとき水層には馬尿酸が、石油エーテル層には安息香酸が溶けている。主流路の長さは、水層中の安息香酸のほぼ全てが石油エーテル層に溶解し移動するのに十分な長さであった。
【００４４】
次に、第一の試料回収ポート１１１及び第二の試料回収ポート１１２に接続したシリコーンチューブを介して、第一の流体分岐流路１０６に分岐された水層及び第二の流体分岐流路１０７に分岐された石油エーテル層を回収した。これにより、初めに混合水溶液中に混合していた馬尿酸と安息香酸を分離することができた。なお、必要に応じて水層を酢酸エチルで抽出することにより馬尿酸をえることが可能である。
【００４５】
本実施例の流体の分離装置ならびに分離方法では、第一の流体分岐流路１０６と第二の流体分岐流路１０７の中間部に界面分岐流路１０８を設け、水層及び石油エーテル層並びに両層が形成する界面をそれぞれ分岐した。これにより、シリンジポンプの圧力ゆらぎ等の要因により、層流界面にゆらぎや不安定が発生した場合にも、層流界面は常に界面分岐流路１０８に分岐される。したがって、層流界面にゆらぎが発生しても、常に、第一の流体分岐流路１０６には水層のみが、第二の流体分岐流路１０７には石油エーテル層のみがそれぞれ分岐される。したがって、従来の流体の分離方法では安定した流体および物質の分離ができなかった場合にも安定した分離が可能になった。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の流体の分離装置の実施形態の一例を示す模式図である。
【図２】本発明の流体および物質の分離方法の実施形態の一例を示す概念図である。
【図３】３種類の流体を分離するための、本発明の流体の分離装置の実施形態の一例を示す模式図である。
【図４】本発明の一実施例における流体の分離装置の作製工程を示す模式図である。
【図５】従来法における物質の分離方法を示す概念図である。
【図６】従来法における物質の分離方法の問題点を示す概念図である。
【符号の説明】
【００４７】
１０１  基板
１０２  天板
１０３、１０４  試料導入流路
１０５  主流路
１０６、１０７  流体分岐流路
１０８  界面分岐流路
１０９、１１０  試料導入ポート
１１１、１１２  試料回収ポート
１１３  界面回収ポート
２０１  流体Ａ
２０２  流体Ｂ
２０３  物質Ｃ
２０４  物質Ｄ
２０５、２０６  試料導入流路
２０７  主流路
２０８  界面
２０９、２１０  流体分岐流路
２１１  界面分岐流路
３０１、３０２、３０３  試料導入流路
３０４、３０６、３０８  流体分岐流路
３０５、３０７  界面分岐流路
４０１  シリコン基板
４０２  フォトレジスト
４０３  主流路
４０４  界面分岐流路
４０５  界面回収ポート
４０６  ガラス天板
５０１  液体Ａ
５０２  液体Ｂ
５０３  界面
５０４  主流路
５０５  物質Ｃ
５０６  物質Ｄ
５０７  分岐部
５０８、５０９  分岐流路
【図１】
2005077139.tif 000003
【図２】
2005077139.tif 000004
【図３】
2005077139.tif 000005
【図４】
2005077139.tif 000006
【図５】
2005077139.tif 000007
【図６】
2005077139.tif 000008