(57)【要約】  【課題】  積層部材５０からキャリアシート５２を剥がして除去するときに金属バンプ５６がキャリアシート５２に着いて絶縁シート５８から抜けるおそれをなくす。  【解決手段】  積層部材５０を反金属バンプ形成面にて押さえ具７２で押さえ、キャリアシート５２の端を掴み、押さえ具７２で積層部材５０を押さえた状態を維持しつつそのキャリアシート５２に押さえ具の先端より先側を剥がす剥がし力を加えながら押さえ具７２を積層部材５２の上記端からその反対側の端に向けて後退させることによりキャリアシート５２を剥がす。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャリアシートの一方の表面に粘着剤を介して接着された金属箔により金属バンプを選択的に形成し、該キャリアシートの上記一方の表面に、上記金属バンプにより貫通されるように絶縁シートを積層した積層部材から上記キャリアシートを剥がして除去する工程を有する配線膜間接続用部材の製造方法において、
上記積層部材をその金属バンプ形成面と反対側の面にて押さえ具で押さえ、
上記キャリアシートの端を掴み、上記押さえ具で上記積層部材を押さえた状態を維持しつつそのキャリアシートにその押さえ具より先側を剥がす剥がし力を加えながら上記押さえ具を上記キャリアシートの上記端からそれと反対側の端に向かう方向に後退させることにより上記キャリアシートを剥がす
ことを特徴とする配線膜間接続用部材の製造方法。
【請求項２】
前記積層部材として前記キャリアシートが前記金属バンプが形成された金属バンプ形成領域から食み出した余白部分を有するものを用い、
上記キャリアシートに剥がし力を加えるときに上記余白部分を掴む
ことを特徴とする請求項１記載の配線膜間接続用部材の製造方法。
【請求項３】
前記積層部材として、前記キャリアシートの前記余白部分に前記金属箔が存在するものを用い、
その金属箔が存在する部分にて上記キャリアシートを掴んで剥がしを行う
ことを特徴とする請求項２記載の配線膜間接続用部材の製造方法。
【請求項４】
キャリアシートの一方の表面に粘着剤を介して接着された金属箔により金属バンプを選択的に形成し、その上記一方の表面に、上記金属バンプにより貫通されるように絶縁シートを積層した積層部材から上記キャリアシートを剥がして除去する配線膜間接続用部材の製造装置であって、
上記積層部材を、キャリアシートが上向きになる向きで支持する台部と、
上記台部に支持された上記積層部材を上から押さえ、押さえた状態で該積層部材の一端から他端側へ移動可能なるようにされた押さえ具と、
上記積層部材の一端をクランプ部にて掴み、該積層部材のキャリアシートに対して剥がし力を加える剥がし機構と、
を少なくとも有する配線膜間接続用部材の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は配線膜間接続用部材の製造方法及びその実施に用いる多層配線基板の製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
多層配線基板の配線膜間接続を行なう手法の一つとして、金属、例えば銅から成るバンプを使用する手法があり、それについては本願出願人が種々の技術を開発し、例えば特願２００１−３２２９４４（特開２００３−１２９２５９号公報）等の特許出願により各種の提案をしている。その手法の多くは三層の金属板を出発部材として用いている。
それを簡単に説明すると、例えば厚さ１００μｍの銅箔から成るバンプ形成用金属層の一方の主面に、厚さ例えば１μｍのニッケルから成るエッチングストップ層を介して、厚さ例えば１８μｍの銅箔から成る配線膜形成用金属層を積層したものを上述した三層の金属板を出発部材として用いるのである。
【０００３】
そして、この三層金属板のバンプ形成用金属層を選択的エッチングして、配線膜間接続用のバンプを形成し、このエッチングが済んだら、バンプ及び配線膜形成用金属層の形成材料である銅をマスクとして、エッチングストップ層に対するエッチングを行い、そのバンプの形成面に、例えば熱硬化性樹脂から成る絶縁膜を接着し、更に研磨して、該バンプの頂部を露出させ、しかる後、三層金属板のバンプの頂部が突出する側の面に、例えば銅から成る配線膜形成用金属薄板を積層し、該金属箔板及び上記配線膜形成用金属層を同時又は異時に選択的にエッチングすることにより両面に配線膜を形成するということが行われる。
そして、このバンプを層の異なる配線膜間接続手段として用いる技術の応用により３層以上の多層配線基板を提供することもできる。
【０００４】
ところで、上述した技術には、出発部材として用意する三層金属板が高価であるという問題があった。というのは、銅とニッケルと銅からなる三層の金属板は市販されておらず、特別注文によりつくられ、しかも、金属使用量も多く、かなり材料費が嵩むからである。また、各層を寸法通り一様に形成するには無視できないコストがかかり、これも三層金属板が高価格になる一因になっている。
そこで、出発部材として用意する部材の価格を低価格化する試みが為され、その試みた技術について特願２００２−２３３７７８により提案をし、それが特開２００３−３０９３７０号公報により公開された。
【０００５】
図４（Ａ）〜（Ｈ）はその提案技術の典型例の製造方法を工程順に示す断面図である。
（Ａ）先ずバンプ形成用金属層たる銅箔１２に接着剤（図示を省略）を介してキャリヤ層たる第１の樹脂フィルム１３を積層（接着）する［図４（Ａ）］。
銅箔１２の厚さは例えば厚さ１００μｍとされる。なお、第１の樹脂フィルム１３に代え、例えばアルミニウム等から成る金属箔をキャリヤ層として銅箔１２に積層しても良い。
【０００６】
（Ｂ）次に、銅箔１２の二面のうち前記第１の樹脂フィルム１３が積層された面ではない方の面に、バンプ形成のためのエッチングレジストパターン１６を形成する［図４（Ｂ）］。
（Ｃ）次に、このエッチングレジストパターン１６をマスクとして、銅箔１２をエッチングする。これで、第１の樹脂フィルム１３に略コニーデ状のバンプ１４が突設された第１の部材１７が形成される［図４（Ｃ）］。尚、バンプ１４の大きさは任意であるが、例えば高さ１００μｍの場合、頂部の直径１００μｍ、裾の部分の直径１５０μｍ等とされる。
【０００７】
（Ｄ）次に、配線板の絶縁層に相当する絶縁膜たる第２の樹脂フィルム１８を第１の部材１７のバンプ１４が突設されている側から当接する［図４（Ｄ）］。この第２の樹脂フィルム１８の厚さも任意であるが、例えば５０μｍとされる。また、素材としては熱可塑性樹脂、例えば液晶ポリマー、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、フッ素系樹脂、または熱硬化性樹脂のＢステージ状態のエポキシプリプレグ等も好適である。
（Ｅ）次に、バンプ１４の頂部が露出するように、この第２の樹脂フィルム１８に第１の部材１７を積層して第２の部材１９を形成する［図４（Ｅ）］。
【０００８】
尚、第２の樹脂フィルム１８の第１の部材１７への積層は、具体的には例えば図５（Ａ）〜（Ｃ）に示すような手順で行なう。即ち、先ず第２の樹脂フィルム１８を第１の部材１７のバンプ１４が突設されている側から当接する［図５（Ａ）］。次いで、この第２の樹脂フィルム１８を砥石２１でこする［図５（Ｂ）］。これにより、バンプ１４の頂部が第２の樹脂フィルム１８に食い込んで行き、やがてこの第２の樹脂フィルム１８を突き破り、バンプ１４の頂部が第２の樹脂フィルム１８から露出した状態になる［図５（Ｃ）］。なお、砥石２１の代りにローラ等を用いても良い。
【０００９】
（Ｆ）次に、この第２の部材１９から第１の樹脂フィルム１３を剥離する（図４（Ｆ））。これで略コニーデ状のバンプ１４が絶縁膜たる第２の樹脂フィルム１８に埋設配置された配線膜間接続用部材２２が形成される。
尚、図４（Ｆ）に示すような配線膜間接続用部材２２、即ち、略コニーデ状のバンプ１４の裾の部分（基部）が第２の樹脂フィルムから突出する配線膜間接続用部材２２ではなく、図４（（Ｆ‘）に示すような配線膜間接続用部材２２、即ち、バンプ１４の頂部が第２の樹脂フィルム１８から突出する配線膜間接続用部材２２を得るようにすることもできる。
【００１０】
図６（Ａ）〜（Ｃ）はその図４（Ｆ‘）に示すような配線膜間接続用部材２２を得る方法を示す。具体的には、図６（Ａ）に示す状態［図４（Ｃ）に示す状態と同じ］にし、その後、第２の樹脂フィルム１８に弾力性のあるシート、例えばポリエチレン、ポリプロピレン、あるいはゴムのシート７０を配置し、全面をプレスして図６（Ｂ）に示す状態にし、その後、そのシート７０及び第１樹脂フィルム１３を除去して図６（Ｃ）に示す状態にする。すると、図４（Ｆ’）に示す配線膜間接続用部材２２を得ることができる。
【００１１】
次に、図４（Ｆ）に示す工程の次の工程（Ｇ）から説明を続ける。
（Ｇ）２枚の配線膜形成用銅箔２３を配線膜間接続用部材２２の両側から当接する［図４（Ｇ）］。
（Ｈ）次に、これら配線膜形成用銅箔２３及び配線膜間接続用部材２２を、例えば液晶ポリマーの場合３００゜Ｃ以上の高温でプレスする［図１（Ｈ）］。これにより、各配線膜形成用銅箔２３と同じ銅からなるバンプ１４とは、同種金属同士ということで堅固に接合し（Ｃｕ−Ｃｕ接合）、良好な導通状態が実現する。
【特許文献１】特開２００３−１２９２５９号公報（特願２００１−３２２９４４）
【特許文献２】特開２００３−３０９３７０号公報（特願２００２−２３３７７８）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
ところで、図４に示した技術には、樹脂フィルム１３と銅箔１２との接着力を強くすると、図４（Ｆ）で示すところの第２の部材１９から第１の樹脂フィルム１３を剥離する工程で第１の樹脂フィルム１３に一部ないし全部のバンプ１４が図７に示すように、着いたまま剥離が進み、第２の樹脂フィルム１８からそのバンプ１４が抜けるという不良が発生するという問題があり、そのことが歩留まり低下の要因となっていた。
そこで、本願発明者は、当初、樹脂フィルム１３と銅箔１２との接着力を弱めることを試みた。しかし、そのようにすると、バンプ１４の形成時に、或いは形成後第２の樹脂フィルム１８の積層前或いは積層時にバンプ１４が樹脂フィルム１３から剥がれてしまうという不良が発生し、歩留まり低下を阻むことができなかった。
【００１３】
次に、銅箔１２と樹脂フィルム１３を接着する接着剤として、ＵＶ（紫外線）照射により接着力が低下するものを用い、図４（Ｅ）に示すところの第２の樹脂フィルム１８の積層工程と、図４（Ｆ）に示すところの第１の樹脂フィルム１３の第２の部材１９からの剥離工程との間に、その樹脂フィルム１３に紫外線を照射する紫外線照射工程を設け、それによりその接着剤の接着力を低下させるようにするということを試みた。
しかし、それによっても充分に接着力を低下させることはできず、バンプ１４が第２の樹脂フィルム１８から抜けるという不良が発生するという問題を根本的に解決することは難しく、歩留まり低下を避けることはできなかった。更に、この方法は、ＵＶ照射工程が１つ増加するという問題もあり、工数増加及びそれによるコスト贈という新たな問題ももたらした。
【００１４】
本発明はこのような問題を解決すべく為されたもので、キャリアシートの一方の表面に粘着剤を介して接着された金属箔により金属バンプを選択的に形成し、その上記一方の表面に、上記金属バンプにより貫通されるように絶縁シートを積層した積層部材から上記キャリアシートを剥がして除去する工程を有する配線膜間接続用部材の製造方法において、そのキャリアシートを剥がすときに上記金属バンプがキャリアシートに着いて上記絶縁シートから抜けるおそれをなくすことを目的とし、更には、そのように抜けるおそれが生じないように製造するのに適する配線膜間接続用部材の製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
請求項１の配線膜間接続用部材の製造方法は、キャリアシートの一方の表面に粘着剤を介して接着された金属箔により金属バンプを選択的に形成し、その上記一方の表面に、上記金属バンプにより貫通されるように絶縁シートを積層した積層部材から上記キャリアシートを剥がして除去する工程を有する配線膜間接続用部材の製造方法において、上記積層部材をその金属バンプ形成面と反対側の面にて押さえ具で押さえ、上記キャリアシートの端を掴み、上記押さえ具で上記積層部材を押さえた状態を維持しつつそのキャリアシートにその押さえ具の先側が剥がされる方向の剥がし力を加えながら該押さえ具を上記積層部材の上記端からそれと反対側の端に向かう方向に後退させることにより上記キャリアシートを剥がすことを特徴とする。
【００１６】
請求項２の配線膜間接続用部材の製造方法は、請求項１記載の配線膜間接続用部材の製造方法において、前記積層部材としてキャリアシートが金属バンプ形成領域から食み出した余白部分を有するものを用い、上記キャリアシートに剥がし力を加えるときに上記金属バンプ形成領域から上記余白部分を掴むことを特徴とする。
【００１７】
請求項３の配線膜間接続用部材の製造方法は、請求項２記載の配線膜間接続用部材の製造方法において、積層部材として上記金属バンプ形成領域から食み出した余白部分に上記金属箔が存在するものを用い、その金属箔が存在する部分にてキャリアシートを掴んで剥がすことを特徴とする。
【００１８】
請求項４の配線膜間接続用部材の製造装置は、キャリアシートの一方の表面に粘着剤を介して接着された金属箔により金属バンプを選択的に形成し、その上記一方の表面に、上記金属バンプにより貫通されるように絶縁シートを積層した積層部材から上記キャリアシートを剥がして除去する配線膜間接続用部材の製造装置であって、上記絶縁シートを積層した上記積層部材をキャリアシートが上向きになるように支持する台部と、該台部に支持された上記積層部材を上から押さえ、その押さえた状態で該積層部材の一端から他端側へ移動可能なるようにされた押さえ具と、上記積層部材の一端をクランプ部にて掴み、該積層部材のキャリアシートに対して剥がし力を加える剥がし機構と、を少なくとも有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
請求項１の配線膜間接続用部材の製造方法によれば、キャリアシートの端を掴み、押さえ具で該キャリアシートを押さえた状態を維持しつつそのキャリアシートにその押さえ具より先側を剥がす剥がし力を加えながら上記押さえ具を上記キャリアシートの上記端からそれと反対側の端に向かう方向に後退させることにより上記キャリアシートを剥がすので、その剥がすときに上記金属バンプが上記キャリアシートに追随しようとしても上記押さえ具による押さえ力によりその追随を阻むことができる。
従って、キャリアシートを剥がすときに上記金属バンプがキャリアシートに着いて上記絶縁シートから抜けるおそれをなくすことができる。
【００２０】
請求項２の配線膜間接続用部材の製造方法によれば、積層部材としてキャリアシートが金属バンプ形成領域から食み出した余白部分を有するものを用い、該キャリアシートに剥がし力を加えることを上記金属バンプ形成領域から上記余白部分を掴んで行うので、剥がし作業によって金属バンプ形成領域が傷つく等損傷を受けるおそれがない。
【００２１】
請求項３の配線膜間接続用部材の製造方法によれば、積層部材として上記キャリアシートの余白部分に上記金属箔が存在するものを用い、その金属箔が存在する部分にてキャリアシートを掴んで剥がすので、キャリアシートの掴まれる部分の強度を金属箔によって強めることができ、キャリアシートが破れるおそれがない。
また、キャリアシートの掴まれる部分の厚さを金属箔によって厚くすることができ、キャリアシートの端を強固に掴むことができる。従って、必要な剥がし力を充分に加えることが容易であり、確実に剥がし作業を進めることができる。
【００２２】
請求項４の配線膜間接続用部材の製造装置によれば、積層部材をキャリアシートが上になる向きで支持する台部と、該台部に支持された上記積層部材を上から押さえ、押さえた状態で該積層部材の一端から他端側へ移動可能なるようにされた押さえ具と、上記積層部材の一端をクランプ部にて掴み、該積層部材のキャリアシートに対して剥がし力を加える剥がし機構と、を少なくとも有するので、上記台部に支持されたキャリアシートを上記押さえ具により押さえ、その状態で上記剥がし機構のクランプ部にて上記積層部材の一端を掴み、該積層部材のキャリアシートに対して剥がし力を加えることができる。
従って、請求項１の配線膜間接続用部材の製造方法を実施することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
本発明配線膜間接続用部材の製造方法は、基本的には、上記積層部材をその金属バンプ形成面と反対側の面にて押さえ具で押さえ、上記キャリアシートの端を掴み、上記押さえ具で上記積層部材を押さえた状態を維持しつつそのキャリアシートにその押さえ具より先側を剥がす剥がし力を加えながら上記押さえ具を上記積層部材の上記端からそれと反対側の端に向かう方向に後退させるというものであるが、積層部材としてキャリアシートが金属バンプ形成領域から食み出した余白部分を有するものを用いると良い。
というのは、その余白部分を掴んで該キャリアシートに剥がし力を加えることにより剥がすことができるので、剥がし作業によって金属バンプ形成領域が傷つく等損傷を受けるおそれがないからである。
【００２４】
更には、積層部材として上記キャリアシートの余白部分に上記金属箔が存在するものを用いるようにすることが好ましい。
というのは、金属箔を設けることによりその部分を厚くすることができ、更に、それによって強固にすることができるので、キャリアシートの端を強固に掴むことができ易くなり、延いては、必要な剥がし力を充分に加えることが容易であり、確実に剥がし作業を進めることができるからである。
【００２５】
本発明配線膜間接続用部材の製造装置は、基本的には、積層部材をキャリアシートが上向きになるように支持する台部と、該台部に支持された上記積層部材を上から押さえ、押さえた状態で該積層部材の一端から他端側へ移動可能なるようにされた押さえ具と、上記積層部材の一端をクランプ部にて掴み、該積層部材のキャリアシートに対して剥がし力を加える剥がし機構と、を少なくとも有するものであるが、押さえ具の先端部の形状には、その底面と先端面とで為す角度αが図２（Ａ）に示すように鈍角のもの、（Ｂ）に示すように直角のもの、（Ｃ）に示すように鋭角のものがあり得る。そして、どのようなものでも円滑な剥がし作業を行うことができるが、最も好ましいのが図２（Ｃ）に示す鋭角のものであることが確認されている。
【００２６】
また、積層部材のキャリアシートに加える剥がし力の方向は、積層部材の載置面に対する角度βが、図３（Ａ）に示すように鈍角のもの、図３（Ｂ）に示すように直角のもの、図３（Ｃ）に示すように鋭角のものの三種類あり得る。そして、いずれの場合でも円滑に剥がし作業を行える点では差異がないが、装置の設計のし易さという点で、図３（Ｃ）に示すように鋭角のものの方が最適である。
依って、図２（Ｃ）に示す形状の押さえ具を用いて図３（Ｃ）に示すように剥がし力を加えるのが好ましいと言える。
【００２７】
本発明配線膜間接続用部材の製造装置の押さえ具は、剥がし作業の進行に伴って後退できるように一方向に沿って往復可能なようにガイド機構によって案内されるようにすると良い。また、押さえ具を剥がし作業の進行に伴って後退させたり、新たな積層部材に対する剥がしの開始に備えて前進させたりする押さえ具駆動機構を設けるようにしても良いが、押さえ具駆動機構を設けることなく、単に、クランプ部にてキャリアシートを掴んで加える剥がし力により自ずと押さえ具がガイド機構により案内されながら後退するようにしても良い。その場合、押さえ具自身の重量（押さえ具に錘を載せても良い。その場合押さえ具の重量と錘の重量を加えた重量）が押さえ具による押さえ力を規定するものとして重要であり、これが軽すぎて金属バンプが絶縁シートに残るというトラブルを有効に阻止し得ないというようなことが生じる場合がある。
【実施例１】
【００２８】
以下、本発明の詳細を図示実施例に基いて説明する。
図１（Ａ）〜（Ｃ）は本発明の第１の実施例を示すもので、（Ａ）は断面図、（Ｂ）は積層部材の底面図、（Ｃ）は積層部材の断面図である。
図において、５０は積層部材（図４の部材１９に相当する）で、樹脂からなるキャリアシート５２の一方の表面に接着剤５４を介して銅からなる金属バンプ５６及び縁部５８が形成され、更に、該キャリアシート５２の金属バンプ５６等が形成された側の面に層間絶縁膜となる絶縁シート６０を金属バンプ５６により貫通されるように積層してなるものである。
【００２９】
銅からなる上記縁部５８はキャリアシート５２の縁に沿って形成され、平面形状が矩形状に形成されている。そして、上記金属バンプ５６はその矩形状の縁部５８の内側に形成された金属バンプ形成領域６２内に多数配設されており、この金属バンプ形成領域６２の外側が余白部分６４となり、該余白部分６４内に上記銅からなる縁部５８が形成されているのである。
該縁部５８はキャリアシート５２の強度を強くすることにより剥がれ作業時に破れるおそれをなくし、また、厚くすることにより後述する配線膜間接続用部材の製造装置のクランプ部により強固につかめるようにするために形成されたものである。
【００３０】
７０は配線膜間接続用部材の製造装置の台部で、その上面は略水平面を為しており、真空吸引により該上面上の上記積層部材５０を吸着するようになっている。７０ｈは真空吸引孔である。該台部７０の上面上に上記積層部材５０がキャリアシート５２が上側に位置する向きで載置される。７２は該台部７０上の積層部材５０に置かれた押さえ具で、自身の重量によって積層部材５０を押さえる。尚、押さえ具７２の上に錘を載せて重量を増やすようにしても良い。７４は該積層部材５０上の押さえ具７２を、該押さえ具７２の一端が該積層部材５０の一端部上に位置するところから、他端部上に位置するところまで一方向に案内するガイドである。
【００３１】
７６は配線膜間接続用部材の製造装置の剥がし機構７８のクランパで、上記積層部材５０のキャリアシート５２の一端部（銅からなる縁部５８が形成された部分）をクランプする。該クランパ７６はそのクランプをした状態で剥がし機構７８の働きにより所定の張力で積層部材５０を引っ張りながら位置を移動して剥がし力を加え続ける。
剥がし機構７８はクランパ７６をクランプ状態にしたり、解放状態にする制御をし、また、クランパ７６の外部への繰り出し長さを制御し、更に、クランパ７６を引っ張って繰り込むことにより剥がし力をつくり、更に、自身も剥がし動作をしながら上記一方向に移動、即ち後退する。
【００３２】
ところで、その剥がし機構７８による剥がし力は押さえ具７２に対してはそれを後退させる方向に作用するので、その剥がし力により押さえ具７２がガイド７４によって上記一方向［図１（Ａ）における左右方向］案内されながら後退する。
従って、剥がし位置が徐々に上記一方向［図１（Ａ）における左右方向］に沿って一方の側［図１（Ａ）における右方向］に移動し、剥がしが進行する。
【００３３】
そして、押さえ具７２の一端が該積層部材７２の他端部上に位置するところまで後退したときキャリアシート５２の剥がしが完了する。
このような実施例によれば、剥がし作業中に、金属バンプ５６がキャリアシート５２に追随しようとしても上記押さえ具７２による押さえ力によりその追随を阻むことができる。
従って、キャリアシート５２を剥がすときに上記金属バンプ５６がキャリアシート５２に着いて絶縁シート６０から抜けるというおそれをなくすことができる。
【００３４】
そして、キャリアシート５２に金属バンプ形成領域６２から食み出した余白部分６４が設けられ、その余白部分６４には銅からなる縁部５８が設けられ、その縁部５８を掴んでクランプして行うので、剥がし作業によって金属バンプ形成領域が傷つく等損傷を受けるおそれがなく、また、キャリアシートの掴まれる部分の厚さがその縁部５８によって厚くなっているので、クランパ７６により、キャリアシート５２の端を強固に掴むことができ易くなる。従って、必要な剥がし力を充分に加えることが容易であり、確実に剥がし作業を進めることができる。
【００３５】
図２（Ａ）〜（Ｃ）は各々押さえ具７２の別の縦断面形状例を示す断面図であり、図３（Ａ）〜（Ｃ）は各々剥がし力の方向の別の例を示す断面図である。
発明者の実験の結果、前述の通り、押さえ具７２の縦断面形状が図２（Ａ）〜（Ｃ）に示すどのようなタイプのものでも円滑な剥がし作業を行うことができるが、最も好ましいのが図２（Ｃ）に示す角度αが鋭角のものであることが確認されている。
【００３６】
また、積層部材のキャリアシートに加える剥がし力の方向は、積層部材の載置面に対する角度βが、図３（Ａ）〜（Ｃ）に示すように鈍角のもの、図３（Ｂ）に示すように直角のもの、図３（Ｃ）に示すように鋭角のものの三種類あり得る。そして、いずれの場合でも円滑に剥がし作業を行える点では差異がないが、装置の設計のし易さという点で、図３（Ｃ）に示すように鋭角のものの方が最適である。
依って、図２（Ｃ）に示す形状の押さえ具を用いて図３（Ｃ）に示すように剥がし力を加えるのが好ましいと言える。
【産業上の利用可能性】
【００３７】
本発明は、図４（Ａ）〜（Ｈ）に示す配線膜間接続用部材の製造方法の（Ｆ）に示す剥離工程のみならず、特開２００３−３０９３７０号公報に記載されたいずれの剥離工程に利用でき、更には、キャリアシートの一方の表面に粘着剤を介して接着された金属箔により金属バンプを選択的に形成し、その上記一方の表面に、上記金属バンプにより貫通されるように絶縁シートを積層した積層部材から上記キャリアシートを剥がして除去する工程を有する配線膜間接続用部材の製造方法及びその実施に用いる配線膜間接続用部材の製造装置全般に利用可能性を有する。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】（Ａ）〜（Ｃ）は本発明の第１の実施例を説明するためのもので、（Ａ）は剥離動作を説明する断面図、（Ｂ）は積層部材の底面図、（Ｃ）は積層部材の断面図である。
【図２】（Ａ）〜（Ｃ）は本発明配線膜間接続用部材の製造装置の押さえ具の互いに別の縦断面形状例を示す断面図である。
【図３】（Ａ）〜（Ｃ）は各々剥がし力の方向の別の例を示す断面図である。
【図４】（Ａ）〜（Ｈ）は背景技術である配線膜間接続用部材の製造方法を工程順に示す断面図であり、（Ｆ’）は（Ｆ）に示す工程のバリエーションを示す断面図である。
【図５】（Ａ）〜（Ｃ）は図４に示す製造方法における絶縁膜たる第２の樹脂フィルムと第１の部材とを積層する方法の一例を工程順に示す断面図である。
【図６】（Ａ）〜（Ｃ）は図４（Ｆ’）に示す配線膜間接続用部材の製造方法の一例を工程順に示す断面図である。
【図７】本発明が解決しようとする課題を説明するための断面図である。
【符号の説明】
【００３９】
５０・・・積層部材、５２・・・キャリアフィルム、
５４・・・接着剤、５６・・・金属バンプ、５８・・・縁部、
６０・・・絶縁シート、７０・・・台部、７２・・・押さえ具、
７４・・・ガイド、７６・・・クランパ、７８・・・剥がし機構。
【図１】
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【図２】
2005197582.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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