(57)【要約】【課題】半導体装置の試作研究ラインのロット進捗制御において、各々の装置に対する仕掛かり予定ロット（未来に対する処理対象予定ロット）を表示し、処理開始までに時間制限の有るロットや理論手番で流す必要の有る短ＴＡＴ（ＴＵＲＮ  ＡＲＯＵＮＤ  ＴＩＭＥ）ロットの進捗を円滑に制御する。【解決手段】ロットＡ〜Ｅの処理状況を記憶管理する処理状況記憶部１４２と、装置名を入力する装置指定部１４１と、上記処理状況記憶部１４２により記憶管理されたロットＡ〜Ｅの処理状況と上記装置指定部１４１により入力された装置名とに基づいて、その装置を停止することができる時間や工程数を余裕度として表示画面１４５に表示する余裕度表示部１４３とを備えた。【選択図】        図１
2005208891.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の被処理物に対して予定されている複数の処理工程に対する複数の処理装置による処理状況を記憶する処理状況記憶部と、
複数の処理装置の中から注目する処理装置を注目装置として指定する装置指定部と、
上記処理状況記憶部に記憶された処理状況に基づいて、上記装置指定部により指定された注目装置に対して被処理物が到着するまでの余裕度を求めて、その余裕度を表示する余裕度表示部と
を備えたことを特徴とする制御装置。
【請求項２】
上記装置指定部は、さらに、余裕度のしきい値を指定し、
上記余裕度表示部は、被処理物が注目装置に到着するまでの余裕度が、上記装置指定部により指定されたしきい値以下である被処理物を複数の被処理物のなかから選択して、選択した被処理物とその被処理物が注目装置に到着するまでの余裕度とを表示することを特徴とする請求項１記載の制御装置。
【請求項３】
上記装置指定部は、さらに、処理工程数を指定し、
上記余裕度表示部は、被処理物が注目装置に到着するまでの処理工程数が、上記装置指定部により指定された処理工程数以下である被処理物を複数の被処理物のなかから選択して、選択した被処理物とその被処理物が注目装置に到着するまでの処理工程数とを表示画面に表示することを特徴とする請求項１記載の制御装置。
【請求項４】
上記装置指定部は、さらに、時間を指定し、
上記余裕度表示部は、被処理物が注目装置に到着するまでの時間が、上記装置指定部により指定された時間以下である被処理物を複数の被処理物のなかから選択して、選択した被処理物とその被処理物が注目装置に到着するまでの時間とを表示画面に表示することを特徴とする請求項１記載の制御装置。
【請求項５】
被処理物に対し、それぞれ所定の処理工程を実行する複数の処理装置と、
複数の被処理物に対して予定されている複数の処理工程に対する上記複数の処理装置による処理計画を記憶するマスター管理装置と、
複数の被処理物の複数の処理工程に対する複数の処理装置による処理実績を記憶する履歴管理装置と、
上記マスター管理装置に記憶された処理計画と履歴管理装置に記憶された処理実績とに基づいて、被処理物の複数の処理装置による処理状況を更新して処理状況を記憶するとともに、注目する処理装置に対して被処理物が到着するまでの余裕度を求めて、その余裕度を表示する進捗管理装置と
を備えたことを特徴とする処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、制御装置或いは処理システムに関する。特に、本発明は半導体生産ラインにおける進捗管理システム（ＭＥＳ：Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ  Ｅｘｅｃｕｔｉｏｎ  Ｓｙｓｔｅｍ）の進捗制御機能に関するもので、処理装置を停止させメンテナンスをしてよいかを判断することができるようにするものである。
【背景技術】
【０００２】
一般的にハイテクノロジープロセス開発を行う研究試作ラインでは、研究ロットのプロセス開発に加えて、装置の開発も重要視される。市販の進捗管理システムを導入し、ライン運営を行う場合には、ロットの優先度、納期荒利、処理条件等を用いた処理順番決定方法において、進捗制御を行っている。しかしながら、工程フローの頻繁な変更、装置改善実験等の実施により、自社半導体ビジネスに大きな影響を与える短手番研究ロットの進捗に悪影響を与えている。それは、曖昧な工程フローや頻発する装置停止の影響に他ならない。
【０００３】
進捗管理システムに関する従来の技術としては、以下のようなものがある。
特開平１１−３２０３４３には、「生産計画全体の立案を行う技術」として、装置の基本データと各装置での加工に要する時間に関する装置能力データと装置間の搬送所要時間データと装置群内での割付ルール等のデータから生産装置と生産時刻を決定する詳細立案手順や遷移算出手順を用いて、工程毎に予め指定された手順を適用し、工場全体の生産計画を作成する生産計画立案方法が開示されている。
【０００４】
また、特開平１０−１３５０９６には、「装置別に処理工程の順序を決定する技術」として、生産管理システムから与えられる各種の情報に基づいてスケジューラーシミュレータによりスケジューリング・シミュレーション実行するスケジューリング方法が開示されている。また、装置別工程処理順決定・処理ロット数決定を行うことが開示されている。この特開平１０−１３５０９６は、処理工程毎の仕掛量のばらつきを低減し、製造工場全体の仕掛バランスを安定にすることのできる半導体製造におけるスケジューリング方法を提供するものである。
【０００５】
上述２件の従来の技術ともに、半導体製造工場におけるロットの流し方（すなわち、仕掛の平準化、短ＴＡＴ（ＴＵＲＮ  ＡＲＯＵＮＤ  ＴＩＭＥ）化等）を決定するためのスケジューリング（計画決定）の手法に関する技術である。
【特許文献１】特開平１１−３２０３４３号公報
【特許文献２】特開平１０−１３５０９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来技術において、対象装置へ来る重要ロットの進捗は、人の判断や口頭やメールによる連絡で行われており、多大な工数を要していた。
例えば、装置改善を実施する場合に、装置停止が可能かどうかの判断は、ライン仕掛ロットの工程名や優先度を考慮し、スケジューリングする必要がある。来ないと判断したロットが装置改造中に到着し、進捗が停止してしまう場合がよくある。
前述した従来技術は、ロットのスケジューリングやディスパッチについて提案するものであるが、本発明は、ロットのスケジューリングやディスパッチなどの生産管理に関するものではない。なぜなら、研究ラインでは、ロットの流動の変化（条件出し、確認等）や設備の状態変化（故障、修理、改善、データ取り）が頻繁に発生するため、スケジューラーを用いた工場運用は不可能だからである。
本発明は、このような研究ラインで研究員やオペレータにとってどのような機能がＭＥＳに対して必要かということを主眼にしたものであり、特に、装置担当研究員にとって装置を停止し、改善、条件出し、メンテナンスを行ってよいのか等を判断することができる装置およびシステムを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明は、例えば、装置担当研究員にとって装置を停止し、改善、条件出し、メンテナンスを行ってよいのか等を調べる技術が現状のＭＥＳにはないことを鑑みて考えられたものであり、進捗管理システムにおいて、例えば、装置名と工程数や時間を指定することにより対象ロットを表示するという画面表示機能を提供するものである。
【０００８】
この発明に係る制御装置は、複数の被処理物に対してそれぞれ予定されている複数の処理工程に対し、複数の処理装置による処理状況を更新して、処理状況を記憶する処理状況記憶部と、
複数の処理装置の中から注目する処理装置を注目装置として指定する装置指定部と、
上記処理状況記憶部に記憶された被処理物の複数の処理装置による処理状況に基づいて、上記装置指定部により指定された注目装置において処理される被処理物が、その注目装置に到着するまでの余裕度を求めて、その余裕度を表示する余裕度表示部と
を備えたことを特徴とする。
【０００９】
上記装置指定部は、さらに、余裕度のしきい値を指定し、
上記余裕度表示部は、被処理物が注目装置に到着するまでの余裕度が、上記装置指定部により指定されたしきい値以下である被処理物を複数の被処理物のなかから選択して、選択した被処理物とその被処理物が注目装置に到着するまでの余裕度とを表示することを特徴とする。
【００１０】
上記装置指定部は、さらに、処理工程数を指定し、
上記余裕度表示部は、被処理物が注目装置に到着するまでの処理工程数が、上記装置指定部により指定された処理工程数以下である被処理物を複数の被処理物のなかから選択して、選択した被処理物とその被処理物が注目装置に到着するまでの処理工程数とを表示画面に表示することを特徴とする。
【００１１】
上記装置指定部は、さらに、時間を指定し、
上記余裕度表示部は、被処理物が注目装置に到着するまでの時間が、上記装置指定部により指定された時間以下である被処理物を複数の被処理物のなかから選択して、選択した被処理物とその被処理物が注目装置に到着するまでの時間とを表示画面に表示することを特徴とする。
【００１２】
また、この発明に係る処理システムは、被処理物に対し、所定の処理工程を実行する複数の処理装置と、
複数の被処理物に対してそれぞれ予定されている複数の処理工程に対し、上記複数の処理装置による処理計画を記憶するマスター管理装置と、
複数の被処理物の複数の処理工程に対し、複数の処理装置による処理実績を記憶する履歴管理装置と、
上記マスター管理装置に記憶された処理計画と履歴管理装置に記憶された処理実績とに基づいて、被処理物の複数の処理装置による処理状況を更新して処理状況を記憶するとともに、指定された注目処理装置において処理される被処理物が、その注目処理装置に到着するまでの余裕度を求めて、その余裕度を表示する進捗管理装置と
を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明により、指定された注目処理装置において処理される被処理物が、その注目処理装置に到着するまでの余裕度がわかるので、自動化されていない試作／研究ラインで短ＴＡＴ（ＴＵＲＮ  ＡＲＯＵＮＤ  ＴＩＭＥ）ロットの進捗に影響を与えることなく、装置条件出し、メンテナンス、改造、事前段取り等を行うことが可能となる。また、指定する余裕度の閾値（工程数又は時間）を大きくすることにより、対象ロットが全仕掛ロットになり、条件変更指示を出された場合等に全仕掛ロットの条件が正確に変更されているかどうかの確認を容易に行うことができる。
すなわち、本発明により、特急ロットのＴＡＴ（ＴＵＲＮ  ＡＲＯＵＮＤ  ＴＩＭＥ）確保及び時間制限のあるロットの円滑な処理が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
実施の形態１．
ロット進捗をフォローするためには、ライン仕掛ロットを人手により管理する必要があり、その進捗指示には多大な工数が発生しているが、本実施の形態１では、例えば、ロットの工程フロー等を管理するマスター管理機能、ロットや装置の履歴を管理する履歴管理機能及び進捗を制御する進捗管理機能等を有する進捗管理システムにおいて、対象装置及び工程数（あるいは、時間）を指定することにより全仕掛ロットの内、指定内に装置に到着するロットの一覧を端末に表示することにより、ライン仕掛ロットと装置の関係を正確に把握することができ、装置改造、メンテナンス等をロットの進捗に悪影響を与えずに行うことが可能となるシステムを説明する。
【００１５】
図１は、実施の形態１における生産ラインシステムの構成を示す図である。
【００１６】
図１において、生産ラインシステム２００（処理システムの一例である）は、複数の処理装置１１，１２，１３，１４，１５、搬送系５０、進捗管理システム１００を備えている。進捗管理システム１００は、マスター管理装置１２０、履歴管理装置１３０、進捗管理装置１４０を有している。進捗管理装置１４０（制御装置の一例）は、装置指定部１４１、処理状況記憶部１４２、余裕度表示部１４３を有している。複数の処理装置１１，１２，１３，１４，１５と搬送系５０と進捗管理システム１００との間は、ＬＡＮ（ローカルエリアネットワーク）６を介して接続されている。
【００１７】
図２は、実施の形態１における進捗管理システムの構成を示す図である。
【００１８】
図２に示すように、進捗管理システム１００内部においても、マスター管理装置１２０、履歴管理装置１３０、進捗管理装置１４０は、ＬＡＮ６を介して接続されている。
【００１９】
また、マスター管理装置１２０、履歴管理装置１３０、進捗管理装置１４０は、コンピュータであり、図示していないが、プログラムを実行するＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）を備えている。ＣＰＵは、バスを介してＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）（記憶装置の一例である）、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）（記憶装置の一例である）、通信ボード、ＣＲＴ表示装置、Ｋ／Ｂ、マウス、ＦＤＤ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｄｉｓｋ  Ｄｒｉｖｅ）、磁気ディスク装置（記憶装置の一例である）、ＣＤＤ、プリンタ装置、スキャナ装置等と接続されている。通信ボードは、ＬＡＮ６に接続されている。ここで、通信ボードは、ＬＡＮ６に限らず、さらに、インターネット、或いはＩＳＤＮ等のＷＡＮ（ワイドエリアネットワーク）に接続されていても構わない。磁気ディスク装置には、オペレーティングシステム（ＯＳ）、ウィンドウシステム、プログラム群、ファイル群（データベース）が記憶されている。プログラム群は、ＣＰＵ、ＯＳ、ウィンドウシステムにより実行される。
【００２０】
上記装置指定部１４１、処理状況記憶部１４２、余裕度表示部１４３は、一部或いはすべてコンピュータで動作可能なプログラムにより構成しても構わない。或いは、ＲＯＭに記憶されたファームウェアで実現されていても構わない。或いは、ソフトウェア或いは、ハードウェア或いは、ソフトウェアとハードウェアとファームウェアとの組み合わせで実施されても構わない。
【００２１】
プログラムにより構成する場合、上記プログラム群には、実施の形態の説明において「〜部」として説明したものにより実行されるプログラムが記憶される。これらのプログラムは、例えば、Ｃ言語により作成することができる。或いは、ＨＴＭＬやＳＧＭＬやＸＭＬを用いても構わない。或いは、ＪＡＶＡ（登録商標）を用いて画面表示を行っても構わない。
【００２２】
また、上記プログラムは、また、磁気ディスク装置、ＦＤ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｄｉｓｋ）、光ディスク、ＣＤ（コンパクトディスク）、ＭＤ（ミニディスク）、ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  Ｄｉｓｋ）等のその他の記録媒体による記録装置を用いて記憶されても構わない。
【００２３】
複数の処理装置１１，１２，１３，１４，１５は、複数のロット（ここでは、ロットＡからロットＥ（ロットＡからロットＥはそれぞれ被処理物の一例である））に対し、所定の処理を行なう。図１では、例えば、「装置１」が、ロットＡの処理を、「装置２」が、ロットＣとＥの処理を、「装置３」が、ロットＢとＤの処理を行っている。
【００２４】
搬送系５０は、上記複数の処理装置のいずれかに複数のロットの各ロットを搬送する。搬送系５０は、ロボットやメカニカルアームやベルトコンベアなどの自動機械搬送装置で実現されるものである。
【００２５】
図３は、実施の形態１におけるロットＡの具体例を示す図である。ロットとは、処理の単位をいう。ここでは、ウエーハキャリアに格納された２５枚程度の複数シリコンウエーハを１ロットを呼ぶことにする。しかし、ロット（ＬＯＴ）とは、意味のある塊（製品の集合又は部品の集合など）であれば良く、材料納入日が同一の複数製品を１ロットとしたり、１製品を１ロットとしたり、ロットの単位は、まちまちでもかまわない。
【００２６】
進捗管理システム１００は、上記複数の処理装置１１，１２，１３，１４，１５のいずれかで処理されるロットＡからＥの処理がつつがなく実行できるように上記複数の処理装置１１，１２，１３，１４，１５と搬送系５０とを制御する。
マスター管理装置１２０は、ロットの工程フロー等を作成管理する。例えば、マスター管理装置１２０は、ロットの工程フローを自動作成する。
【００２７】
図４は、マスター管理装置１２０が、記憶装置にデータベースの一部として記憶する処理計画記憶部１２２の処理計画を示す図である。処理計画記憶部１２２の処理計画は、ファイル形式やテーブル形式で記憶装置に記憶されている。処理計画記憶部１２２の処理計画の縦列は、ロットＡからＥを示す。処理計画記憶部１２２の処理計画の横行は、ロットが処理される工程を示す。各ロットは、指定された工程順に処理されるものとし、各工程は、工程名、装置名、レシピ名、処理時間等のデータを有する。また、ロットの優先度は、ロットの付帯情報としてロットが持つ。
この例のように、実験／研究ロットは、工程名、装置名、レシピ名等、複雑な定義となっており、工程名から装置名、レシピ名から装置名を導き出すのは容易ではない。ここで、レシピとは材料や処理法を記したのもであり、レシピ名とは、レシピにつけた名前をいう。
【００２８】
履歴管理装置１３０は、ロットや装置の工程実行の履歴を管理する。
図５は、履歴管理装置１３０が、記憶装置にデータベースの一部として記憶する処理実績記憶部１３２の処理時実績を示す図である。処理実績記憶部１３２の処理時実績は、ファイル形式やテーブル形式で記憶装置に記憶されている。処理実績記憶部１３２の処理時実績の縦列は、ロットＡからＥを示す。処理実績記憶部１３２の処理実績の横行は、ロットが既に処理された工程を示す。ただし、各縦列の最後の工程は、現在処理中であることを示す。
進捗管理装置１４０は、制御装置の一例である。進捗管理装置１４０は、複数の処理工程で上記ロットＡ〜Ｅが処理される処理ラインにおけるロットＡ〜Ｅの処理を制御する。具体的には、ＬＡＮ６により、各装置の処理の開始、停止、終了を指示する。また、ロットの搬送を指示する。このように、処理を制御することで、進捗管理装置１４０は、ロットＡ〜Ｅの進捗を制御する。
【００２９】
図６は、進捗管理装置１４０が、処理状況記憶部１４２に記憶する仕掛ロット一覧を示す図である。ロットＡ〜Ｅが、現在処理されている（仕掛かっている）工程、装置などが記録されている。仕掛予定ロット一覧には、現仕掛工程の状態、ロット優先度、予定レシピも表示され、段取り作業も円滑に行うことができる。
【００３０】
図７は、進捗管理装置１４０が、処理状況記憶部１４２に記憶する処理状況の一覧を示す図である。処理状況の一覧は、ファイル形式やテーブル形式で記憶装置に記憶されている。処理状況の一覧の縦列は、ロットＡからＥを示す。処理状況の一覧の横行は、ロットの処理工程を示す。太線で囲われた工程は、現在処理中であることを示す。
【００３１】
進捗管理装置１４０の処理状況記憶部１４２は、マスター管理装置１２０の記憶装置が記憶する処理計画記憶部１２２の処理計画と履歴管理装置１３０が記憶装置にデータベースの一部として記憶する処理実績記憶部１３２の処理実績をアクセスして、仕掛ロット一覧と処理状況の一覧とを更新する。すなわち、処理状況記憶部１４２は、管理工程として、マスター管理装置１２０或いは履歴管理装置１３０から各ロットＡ〜Ｅの計画変更や処理状況を入力し、入力された最新の計画や最新の処理状況を管理する。進捗管理装置１４０の進捗制御に基づいて仕掛ロット一覧と処理状況の一覧とを更新する。
また、上記処理状況記憶部１４２は、上記ロットＡ〜Ｅの処理状況として、上記ロットＡ〜Ｅが、それぞれ上記複数の処理工程のいずれの処理工程がいずれの処理装置で処理されているかを示す位置情報を記憶管理する。
【００３２】
装置指定部１４１は、入力工程として、「装置名」（注目装置の例）と「前工程数」（余裕度のしきい値の例）とを入力する。図８に示すように、装置指定部１４１は、表示装置１４４に表示画面１４５に指定領域１４６を表示する。オペレータは、自分が注目する装置名を入力する。また、オプションとして、「前工程数」を入力する。
図８では、「装置名」として「装置３」入力され、「前工程数」として「５」が入力されている。この意味は、装置３に仕掛かる予定のロットで５工程以内にあるロットの一覧を検索することを示している。「前工程数」が指定されない場合は、装置３に仕掛かる予定のロットが全て検索される。
【００３３】
次に、余裕度表示部１４３は、制御工程として、上記処理状況記憶部１４２により管理されたロットＡ〜Ｅの処理状況と上記装置指定部１４１により入力された「装置名」と「前工程数」とに基づいて、処理状況の一覧を検索する。すなわち、上記余裕度表示部１４３は、上記処理状況記憶部１４２により管理された処理状況と上記装置指定部１４１により入力された「装置名」と「前工程数」と基づいて、図８の表示領域１４７に示すように、装置名と前工程数を指定した場合の仕掛予定ロット一覧を表示する。図８の表示領域１４７は「装置名」が「装置３」で「前工程数」が「５」の場合、すなわち、装置３に仕掛かる予定のロットで５工程以内にあるロットの一覧を表形式で示している。表示領域１４７の最右部の「前工程数」は、ロットがその装置まであと何工程あるかを示している。例えば、表示領域１４７の１行目から、「ロットＡは、２工程目に装置３で処理されることが予定されている」ことが分かる。この検索は、余裕度表示部１４３が、処理状況記憶部１４２をサーチすることにより行われる。たとえば、余裕度表示部１４３は、処理状況記憶部１４２のロットＡの工程を工程順に調べ、ロットＡの現在の仕掛り工程を探し、その後の工程で「装置３」を使用する工程を検索する。その結果、ロットＡの現在の仕掛り工程は「工程１」であり、その後の工程で「装置３」を使用する工程は、「工程３」と「工程５」であることが分かる。「工程３」と「工程５」は「工程１」から、５工程以内なので表示領域１４７に表示されることになる。
こうして、全ロットを検索して表示領域１４７に表示する。表示領域１４７に示すように、ライン全仕掛ロットの中で、装置３を５工程以内に使用する予定のロットは全部で３ロット４工程あることが分かる。この情報を元に、その装置を停止できる余裕（余裕度）があるか否かが分かり、装置改造、条件出し、メンテナンス等を行ってよいか否かの判断を行うことが可能となる。
なお、表示領域１４７に前工程数が“０”の場合を表示することにより、現在、その装置に仕掛かっているロットの一覧も表示することができる。
【００３４】
なお、「表示する」とは、表示画面に表示する場合に限らず、紙面に印刷する場合でもよい。また、直接表示する場合に限らず、他の表示装置に送信して表示させる場合でもよい。
【００３５】
実施の形態２．
この実施の形態２では実施の形態１と異なる点について説明する。
【００３６】
図９は、指定領域１４６に、「装置名」（注目装置の例）と「時間」（余裕度のしきい値の例）を指定することにより、表示領域１４７に、指定装置に対し指定時間以内に到着する予定のロットの一覧を表示する例を示している。
ここでは、一例として、現在仕掛かっている工程の処理は全て５０％進んでいるものと仮定し、処理時間を算出する。オペレータが、指定領域１４６に、「装置５」と「１５０分」とを指定すると、その結果、図９の表示領域１４７に、「装置５」に「１５０分」以内に到着する予定のロットは２ロット３工程であることが表示される。到着までに要する時間は、現在仕掛かっている工程の設定処理時間から処理経過時間を差し引いた値と途中工程に設定してある工程処理時間の総和で求める。図９の表示領域１４７では、余裕度表示部１４３は、現在仕掛かっている工程の処理は全て５０％進んでいるものと仮定して計算している。「時間」が指定されない場合は、装置５に仕掛かる予定のロットが全て検索される。
【００３７】
例えば、余裕度表示部１４３が、処理状況記憶部１４２をサーチしてロットＢを検索すると、「装置５」が工程３に有り、現在仕掛かっている工程２の設定処理時間から処理経過時間を差し引いた値（６０分）と途中工程に設定してある工程の処理時間（０分）の総和（６０分）が１５０分以内なので、表示領域１４７に表示される。
また、余裕度表示部１４３が、さらに、ロットＢを検索すると、「装置５」が工程５に有り、現在仕掛かっている工程２の設定処理時間から処理経過時間を差し引いた値（６０分）と途中工程に設定してある工程３と４と処理時間（３０分＋６０分）の総和（１５０分）が１５０分以内なので、表示領域１４７に表示される。
【００３８】
また、余裕度表示部１４３が、ロットＤを検索すると、「装置５」が工程５に有り、現在仕掛かっている工程２から３工程目に「装置５」を使用する予定があるが、現在、仕掛かっている工程２の設定処理時間から処理経過時間を差し引いた値（６０分）と途中工程に設定してある工程３と４の処理時間（６０分＋６０分）の総和（１８０分）が１５０分を超えるために、表示領域１４７のリストには表示されない仕組みとなっている。
【００３９】
表示領域１４７のリストは、装置条件出し、調査等を行う場合に、あと何時間程度なら装置を止めることが許されるか、等の判断材料に用いることができる。すなわち、この情報を元に、その装置を停止できる余裕時間（余裕度）があるか否かが分かり、装置改造、条件出し、メンテナンス等を行ってよいか否かの判断を行うことが可能となる。
【００４０】
実施の形態３．
この実施の形態３では実施の形態１と２とを組み合わせた場合について説明する。
図１０は、指定領域１４６に、「装置名」と「前工程数」と「時間」を指定することにより、表示領域１４７に、指定装置に対し指定工程数以内でかつ指定時間以内に到着する予定のロットの一覧を表示する例を示している。
ここでも、現在仕掛かっている工程の処理は全て５０％進んでいるものと仮定し、処理時間を算出する。その結果、図１０の表示領域１４７に、「装置５」に「５工程」以内で、かつ、「１３０分」以内に到着する予定のロットは２ロット２工程であることが表示される。「前工程数」と「時間」とが指定されない場合は、装置３に仕掛かる予定のロットが全て検索される。
【００４１】
実施の形態４．
この実施の形態４では実施の形態１と異なる点について説明する。
図１１は、実施の形態４における生産ラインシステム２００を示す図である。図１１に示す生産ラインシステム２００が図１と異なる点は、履歴管理装置１３０が開始時刻記憶部１３１と終了時刻記憶部１３３とを備えている点である。
開始時刻記憶部１３１は、工程の開始時刻を記憶する。余裕度表示部１４３は、この開始時刻を用いて、以下の式から、現在仕掛かっている工程の処理経過時間がわかり、現在仕掛かっている工程の残り処理時間がわかる。
処理経過時間＝現在時刻−開始時刻
残り処理時間＝設定処理時間−処理経過時間
【００４２】
余裕度表示部１４３は、この残り処理時間を用いることにより、正確な余裕時間を計算することができる。
終了時刻記憶部１３３は、工程の終了時刻を記憶する。余裕度表示部１４３は、この終了時刻を用いて、以下の式から、余裕時間を更新することができる。
【００４３】
実績処理時間＝終了時刻−開始時刻
変更処理時間＝設定処理時間−実績処理時間
【００４４】
余裕度表示部１４３は、この変更処理時間が、正の値であれば、処理が予定より早く終了したことを示しているので、図９の表示領域１４７の最左欄の「時間」から変更処理時間を減算して表示する。
逆に、余裕度表示部１４３は、この変更処理時間が、負の値であれば、処理が予定より遅れて終了したことを示しているので、図９の表示領域１４７の最左欄の「時間」に変更処理時間を加算して表示する。
【００４５】
実施の形態５．
この実施の形態５では実施の形態１と異なる点について説明する。
図１２は、実施の形態５における生産ラインシステム２００を示す図である。図１２に示す生産ラインシステム２００が図１と異なる点は、処理装置１５が電源オフになったとき処理装置１５から信号が出ることである。あるいは、処理装置１５が故障したとき処理装置１５から信号が出ることである。この信号には、「装置名」が含まれているものとする。装置指定部１４１は、「装置名」が含まれている信号を入力し、この「装置名」を指定されたものみなす。その後は、実施の形態１と同じ動作を自動的に開始する。
余裕度表示部１４３は、オペレータに警告を発してもよい。
以上のように、本実施の形態によれば、処理装置に不具合が生じた場合に、自動的に余裕度が分かり、効果的な対処を取ることが可能となる。
【００４６】
以上のように、上記実施の形態１から５では、各装置に対する指定工程数内に仕掛かる予定のロットの工程数や到着予定時間を装置毎に表示し、作業者へ通知することを特徴とする進捗制御システムを説明した。
また、各装置に対する指定時間内に仕掛かる予定のロットの工程数や到着予定時間を装置毎に表示し、作業者へ通知することを特徴とする進捗制御システムを説明した。
また、指定時間もしくは工程数内にロットの到着予定がある場合は、装置メンテナンス等の実行を抑制したり、他の一般ロット（時間制限や特急指示のないロット）の処理開始等を抑制することを特徴とする進捗制御システムを説明した。
【００４７】
上記実施の形態１から５によれば、半導体装置の試作研究ラインのロット進捗制御において、各々の装置に対する仕掛かり予定ロット（未来に対する処理対象予定ロット）を表示し、処理開始までに時間制限の有るロットや理論手番で流す必要の有る短ＴＡＴロットの進捗を円滑に制御する事が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】実施の形態１における生産ラインシステムの構成を示す図である。
【図２】実施の形態１における進捗管理システムの構成を示す図である。
【図３】実施の形態１におけるロットを示す図である。
【図４】実施の形態１におけるマスター管理装置１２０の処理計画記憶部１２２の処理計画を示す図である。
【図５】実施の形態１における履歴管理装置１３０の処理実績記憶部１３２の処理実績を示す図である。
【図６】実施の形態１における進捗管理装置１４０の処理状況記憶部１４２の仕掛ロットの一覧を示す図である。
【図７】実施の形態１における進捗管理装置１４０の処理状況記憶部１４２の処理状況の一覧を示す図である。
【図８】実施の形態１における表示装置１４４の表示画面１４５を示す図である。
【図９】実施の形態２における表示装置１４４の表示画面１４５を示す図である。
【図１０】実施の形態３における表示装置１４４の表示画面１４５を示す図である。
【図１１】実施の形態４における生産ラインシステムの構成を示す図である。
【図１２】実施の形態５における生産ラインシステムの構成を示す図である。
【符号の説明】
【００４９】
６  ＬＡＮ、１１，１２，１３，１４，１５  処理装置、５０  搬送系、１００  進捗管理システム、１２０  マスター管理装置、１２２  処理計画記憶部、１３０  履歴管理装置、１３１  開始時刻記憶部、１３２  処理実績記憶部、１３３  終了時刻記憶部、１４０  進捗管理装置、１４１  装置指定部、１４２  処理状況記憶部、１４３  余裕度表示部、１４４  表示装置、１４５  表示画面、１４６  指定領域、１４７  表示領域、２００  生産ラインシステム。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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