(57)【要約】【課題】  プラズマディスプレイパネル基板の電極において、電極パッドと導線との接合部における断裂を防止するための、電極構造を提供する。【解決手段】  本発明は、間隔を設けて形成された複数の電極パッドと、隣接する電極パッドを相互に接続する導線とを備え、複数の電極パッドと導線とが交差して接続された、プラズマディスプレイパネル基板の電極構造において、電極パッドは、交差点位置に対応する電極パットの交差部が、導線の線幅よりも広く、電極パッドにおける広幅部よりも狭い線幅を備えることを特徴とするプラズマディスプレイパネル基板の電極構造とした。【選択図】      図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
間隔を設けて形成された複数の電極パッドと、隣接する電極パッドを相互に接続する導線とを備え、複数の電極パッドと導線とが交差して接続された、プラズマディスプレイパネル基板の電極構造において、
電極パッドは、交差点に対応する電極パッドの交差部が、導線の線幅よりも広く、電極パッドの広幅部よりも狭い線幅を備えることを特徴とするプラズマディスプレイパネル基板の電極構造。
【請求項２】
交差部は、徐々に線幅が広くなるように形成された部分を有する請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル基板の電極構造。
【請求項３】
広幅部は、電極パッドにおける最大の線幅を含む請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル基板の電極構造。
【請求項４】
交差部は、交差点位置から線幅が増大するともにその線幅を形成する辺が曲線状になっている曲線輪郭部を有する請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル基板の電極構造。
【請求項５】
交差部は、交差点位置から線幅が増大するともにその線幅を形成する辺が直線になっている流線輪郭部を有するものである請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル基板の電極構造。
【請求項６】
交差部は、交差点位置から徐々に線幅が広く形成される部分を有するものである請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル基板の電極構造。
【請求項７】
交差部は、交差点位置から線幅が増大するともにその線幅を形成する辺が直線になっている第一流線輪郭部を有するとともに、第一流線輪郭部から線幅が増大するともにその線幅を形成する辺が直線になっている第二流線輪郭部を有するものである請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル基板の電極構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマディスプレイパネルに適する電極構造に関し、特に基板の電極構造およびその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、プラズマディスプレイ基板の電極構造は、フォトリソグラフィ工程における各工程により形成される。電極の形成方法について説明する。まず、基板の上に感光性の樹脂を塗布しフォトレジスト層を形成後、フォトマスクにパターンを形成する。次にフォトマスクに形成されたパターンをウェハーに露光し、露光されたフォトレジストを現像すると、フォトレジスト層上にはパターンが形成される。
【０００３】
さらに、パターン化したフォトレジスト層をマスクとし電極材料をエッチングする工程、レジスト剥離工程を経て、基板上にパターン化した電極が形成される。続いて、パターン化した電極を焼成する。まず、低温（３５０℃前後）で樹脂成分である有機化合物を除去し、その後に高温（５００〜６００℃）でガラス粉末を溶融・固化させて、電極材料を形成する。
【０００４】
図１は、一般に用いられるプラズマディスプレイパネル基板の電極を示している。各電極１００には、複数の電極パッド１０２を有する。隣接する電極パッド１０２は、交差点位置１１０において、導線１０４と接合されている。図２から図５には、図１の電極１００の各実施形態を示している。
【０００５】
図４は、矩形の電極パッドが等間隔に形成され、この電極パッドと導線とが接合されている電極を示している。電極パッドは、導線と比べて幅広に形成される。また電極パッドは、対応する画素電極１０６に覆われるように接合されている。
【０００６】
しかしながら、上記構造を有する、従来のプラズマディスプレイパネル基板の電極構造において、パターン形成する際、現像工程と焼成工程において電極パッド１０２と導線１０４の交差点位置１１０において電極パッド１００が断裂するという問題点が生じた。これは、電極１００の縦軸方向に沿って流れる現像液が、サイドカット部分１０７に侵入し、電極の強度が弱くなるために、電極パッド１０２と導線１０４との交差点位置１１０で電極が断裂してしまうからである。また、焼成工程においては、高温焼成後の降温工程において、電極パッド１０２の収縮と幅の狭い導線１０４との収縮量の差がかなり大きいため、電極パッドと導線との交差点位置で電極が断裂してしまうからである。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本願発明は、以上のような事情を背景になされたものであり、プラズマディスプレイパネル基板の電極において、現像工程および焼成工程での、電極パッドと導線との接合部における断裂を防止するための、電極構造を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明者が鋭意研究した結果、本発明は、間隔を設けて形成された複数の電極パッドと、隣接する電極パッドを相互に接続する導線とを備え、複数の電極パッドと導線とが交差して接続された、プラズマディスプレイパネル基板の電極構造において、電極パッドは、交差点位置に対応する交差部が、導線の線幅よりも広く、広幅部よりも狭い線幅を備えることを特徴とするプラズマディスプレイパネル基板の電極構造とした。
【０００９】
本発明の電極構造であれば、現像工程において、電極パッドと導線との交差点においても、現像液がスムーズに流れるようになり、電極パッドのサイドカット部分における、現像液の侵入を防止できる。これにより、交差点位置における電極パッドの断裂を防止することができる。ここで、本発明における電極パッドの交差部とは、導線と接合する電極パッド周縁付近における一定領域をいう。つまり、本発明における電極パッドは、従来技術における矩形の電極パッドにおける４つの角部分に面取りを行ったごとき形状を呈したものである。
【００１０】
そして、本発明のプラズマディスプレイパネル基板の電極構造における交差部は、徐々に線幅が広くなるように形成された部分を有することが好ましい。徐々に線幅が広くなるようにした部分があれば、現像液の流れがよりスムーズになり、サイドカット部分における現像液の侵入防止に更なる効果がある。
【００１１】
また、本願発明のプラズマディスプレイパネル基板の電極構造における広幅部は、電極パッドにおける最大の線幅を含むことが好ましい。ここで広幅部とは、交差部を除くパッド中央付近における所定の領域をいう。このような広幅部の形状であれば、電極パッド全体における現像液の流れを、スムーズにすることができる。
【００１２】
加えて、交差部は、交差点位置から線幅が増大するように形成することが好ましい。その形状は、ともにその線幅を形成する辺が曲線状になっている曲線輪郭部を有するものでもよく、直線になっている流線輪郭部を有するものでもよい。
【００１３】
さらに、交差部は、交差点位置から徐々に線幅が広く形成することが好ましい。このような構造であれば、電極パッドにおける交差点位置において、現像液の流れが滞留することなく、スムーズにすることができるようになることから、サイドカット部分に現像液が侵入することを防ぐことができる。さらに、交差点位置から徐々に線幅を広く形成すれば、焼成時において、電極パッドと導線との収縮量の差を小さくすることが可能である。これらにより、電極パッドの断裂を防止することができるようになる。
【００１４】
また、交差部は、交差点位置から線幅が増大するともにその線幅を形成する辺が直線になっている第一流線輪郭部を有するとともに、第一流線輪郭部から線幅が増大するともにその線幅を形成する辺が直線になっている第二流線輪郭部を有するものとすることとすることもできる。
【発明の効果】
【００１５】
本願発明のプラズマディスプレイパネル基板の電極構造であれば、現像工程において、現像液が、電極のサイドカット部分に侵入することを防止することができる。さらに焼成工程において、交差点位置における電極パッドと導線との収縮量の差を小さくすることが可能である。これにより、従来の電極構造において現像工程または焼成工程において生じていた電極の断裂を防止することが可能となった。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明についての目的、特徴、長所が一層明確に理解されるよう、以下に実施形態を開示するとともに、図面を参照しながら、詳細に説明する。
【実施例】
【００１７】
図６から図１２は、本発明におけるプラズマディスプレイパネル基板の電極構造１００の一例を示している。各電極１００は、狭い線幅の導線１０４を含み、各交差点位置１１０で、広い線幅を有する電極パッド１０２と交差する。また、広幅部１１４は、徐々に増加する線幅を有する。これにより電極１００内の断裂１０８の発生を避けることができる。
【００１８】
各電極パッド１０２の交差点位置１１０は、対応する導線１０４を有し、電極パッド１０２の線幅は、導線１０４の線幅より大きく、広幅部１１４の線幅より狭い。交差点位置１１０における電極パッド１０２の線幅は、広幅部１１４の線幅より狭い。上述の特徴を有する電極パッド１０２は、電極１００内の断裂１０８の発生を避けることができる。本発明のプラズマディスプレイパネル基板の電極では、広幅部１１４は、交差点位置１１０と広幅部１１４の最大線幅１１２の間に位置される。
【００１９】
また、広幅部１１４は、徐々に増加する線幅を有する。これにより電極１００内の断裂１０８の発生を避けることができるようになる。
【００２０】
図６及び図９は、交差点位置に対応する電極パッド１０２の線幅が、導線１０４の線幅より広い電極構造の一例を示している。電極パッド１０２交差点位置１１０において、導線１０４の線幅より広い線幅を有する。この特徴を有する電極パッド１０２は、現像工程および焼成工程において電極１００内の断裂１０８の発生を避けることができるようになった。
【００２１】
加えて、図６から図１２に示すプラズマディスプレイパネル基板の電極構造において、電極パッド１０２は、最大の線幅１１２を含む広幅部１１４を有する。図６及び図７に示す電極構造において、広幅部１１４の最大線幅１１２は、電極パッド１０２の尖った輪郭に位置し、図８、図９および図１０に示す電極構造では、電極パッド１０２の直線の輪郭に位置し、さらに図１１および図１２に示す電極構造では、電極パッド１０２の曲線の輪郭に位置する。輪郭は、周辺端部とその形状、または外観の特徴に関係する。
【００２２】
図７から図１２に示されたプラズマディスプレイパネル基板の電極構造において、交差点位置１１０と広幅部１１４の最大線幅１１２の間に位置する広幅部１１４は、その線幅が徐々に増大するように形成される。図７、図８および図１０に示した広幅部１１４はその線幅を形成する辺が直線であり、図１１と図１２に示した広幅部１１４は、その線幅を形成する辺が曲線である。
【００２３】
更に、図１０に示されたプラズマディスプレイパネル基板の電極構造において、交差点位置１１０と電極パッド１０２の広幅は、第一流線輪郭部を有する。広幅部１１４は、第一斜辺輪郭部から線幅が増大するように、その線幅を形成する第二流線輪郭部を有する。この特徴を有する電極パッド１０２は、現像工程および焼成工程において電極１００内の断裂１０８の発生を避けることができるようになった。
【００２４】
以上、本発明の好適な実施例を例示したが、これは本発明を限定するものではなく、本発明の精神及び範囲を逸脱しない限りにおいては、当業者であれば行い得る少々の変更や修飾を付加することは可能である。従って、本発明が保護を請求する範囲は、特許請求の範囲を基準とする。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】プラズマディスプレイパネル基板の従来のパターン化した電極の上面図を示している。
【図２】図１に示された電極に相似しており、六角形の画素電極の上面図を示している。
【図３】図１に示された電極に相似しており、長方形の画素電極の上面図を示している。
【図４】図１に示された電極に相似しており、六角形の画素電極が対応するバスラインに接合している上面図を示している。
【図５】電極パターン内の断裂を示している。
【図６】本発明の好ましい実施方法のパターン化した電極の上面図を示している。
【図７】本発明の好ましい実施方法のパターン化した電極の上面図を示している。
【図８】本発明の好ましい実施方法のパターン化した電極の上面図を示している。
【図９】本発明の好ましい実施方法のパターン化した電極の上面図を示している。
【図１０】本発明の好ましい実施方法のパターン化した電極の上面図を示している。
【図１１】本発明の好ましい実施方法のパターン化した電極の上面図を示している。
【図１２】本発明の好ましい実施方法のパターン化した電極の上面図を示している。
【符号の説明】
【００２６】
１００  電極
１０２  電極パッド
１０４  導線
１１０  交差点位置
１１２  最大の線幅を含む幅広部
１１４  幅広部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図１１】
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【図１２】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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