(57)【要約】【課題】流量検出チップを小型にすることができ、安価に製造することのできる流量測定装置、およびその製造方法を提供する。【解決手段】一部が被測定流体に露出されて、その流量を検出する流量検出チップ１１と、流量検出チップ１１を収容するケース１２とを有し、ケース１２が、流量検出チップ１１を搭載する底板部１２ａと、底板部１２ａの上方において流量検出チップ１１を部分的に覆う上板部１２ｕとを有し、底板部１２ａと上板部１２ｕの間に、シール材３が充填されてなる流量測定装置１００とする。【選択図】        図１
2005172526.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一部が被測定流体に露出されて、その流量を検出する流量検出チップと、前記流量検出チップを収容するケースとを有し、
前記ケースが、
前記流量検出チップを搭載する底板部と、当該底板部の上方において前記流量検出チップを部分的に覆う上板部とを有し、
前記底板部と上板部の間に、シール材が充填されてなることを特徴とする流量測定装置。
【請求項２】
前記ケースが、
前記底板部と上板部の間に位置する側壁部であって、上板部の外周に沿ってコの字形状を有する側壁部を有し、
前記底板部、上板部および側壁部で囲まれた領域に前記シール材が充填され、
前記流量検出チップの一部が、前記シール材から突き出されて、前記被測定流体に露出されることを特徴とする請求項２に記載の流量測定装置。
【請求項３】
前記底板部と側壁部が、一体的に形成されてなることを特徴とする請求項２に記載の流量測定装置。
【請求項４】
前記流量検出チップの端部において、前記被測定流体に露出されて、その流量を検出する流量検出素子部が形成され、
前記流量検出チップにおける前記流量検出素子部を除いた領域が、前記シール材により覆われてなることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の流量測定装置。
【請求項５】
前記流量検出チップがシリコン半導体基板からなり、
前記流量検出素子部が、前記シリコン半導体基板に形成された薄膜部と、
当該薄膜部上に形成されたヒータ部とを有することを特徴とする請求項４に記載の流量測定装置。
【請求項６】
前記流量検出チップにおける前記流量検出素子部と反対側に位置する端部において、外部と入出力接続するためのパッド部が形成され、
当該パッド部にボンディングワイヤが接続され、
当該パッド部とボンディングワイヤとが、前記シール材により覆われてなることを特徴とする請求項４または５に記載の流量測定装置。
【請求項７】
前記底板部に、回路素子が形成された回路チップが搭載され、
前記回路チップに、外部と入出力接続するためのパッド部が形成され、
当該パッド部にボンディングワイヤが接続され、
当該回路チップとボンディングワイヤとが、前記シール材により覆われてなることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の流量測定装置。
【請求項８】
前記底板部に、配線基板が搭載され、
前記配線基板に、外部と入出力接続するためのパッド部が形成され、
当該パッド部にボンディングワイヤが接続され、
当該配線基板とボンディングワイヤとが、前記シール材により覆われてなることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一項に記載の流量測定装置。
【請求項９】
前記底板部と上板部の間に、外部と入出力接続するためのリードピンが挿入され、
当該リードピンにボンディングワイヤが接続され、
当該リードピンとボンディングワイヤとが、前記底板部と上板部の間で、前記シール材により覆われてなることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか一項に記載の流量測定装置。
【請求項１０】
前記シール材が、ゲルであることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか一項に記載の流量測定装置。
【請求項１１】
前記被測定流体が、空気であることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の流量測定装置。
【請求項１２】
一部が被測定流体に露出されて、その流量を検出する流量検出チップと、前記流量検出チップを収容するケースと、前記流量検出チップを部分的に覆うシール材とを有する流量測定装置の製造方法であって、
前記ケースが、
前記流量検出チップを搭載する底板部と、当該底板部の上方において前記流量検出チップを部分的に覆う上板部と、前記底板部と上板部の間に位置する側壁部であって、上板部の外周に沿ってコの字形状を有する側壁部とを有し、
前記側壁部におけるコの字形状の開口部から前記シール材を注入し、
前記底板部、上板部および側壁部で囲まれた領域に前記シール材を充填することを特徴とする流量測定装置の製造方法。
【請求項１３】
前記底板部と側壁部が一体形成されてなり、
前記底板部の所定位置に前記流量検出チップを搭載し、前記上板部を所定位置に配置して流量検出チップを部分的に覆った後、前記シール材を注入することを特徴とする請求項１２に記載の流量測定装置の製造方法。
【請求項１４】
前記シール材が、ゲルであることを特徴とする請求項１２または１３に記載の流量測定装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被測定流体の流量を測定する流量測定装置、およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
被測定流体の流量を測定する流量測定装置が、例えば、特開２０００-２５７２号公報（特許文献１）に開示されている。
【０００３】
図４（ａ）は、特許文献１に開示されている従来の一般的な流量測定装置９０を模式的に示した断面図である。また、図４（ｂ）は、流量測定装置９０の取付け状態を示した図である。尚、図４（ａ）と図４（ｂ）とでは、流量測定装置９０が、左右反転した状態で示されている。
【０００４】
図４（ａ），（ｂ）に示す流量測定装置９０はエアフローメータで、図４（ｂ）に示す管路８０を流れる空気、すなわち、図４（ａ）における一点差線Ａ−Ａの右側領域で、紙面に垂直な方向に流れる空気の流量を測定する。
【０００５】
図４（ａ）に示すように、流量測定装置９０は、一部が被測定流体である空気に露出されて、その流量を検出する流量検出チップ９１と、流量検出チップ９１を収容するケース９２とを有している。流量検出チップ９１はシリコン半導体基板からなり、裏面側からエッチングされて薄く形成された薄膜部（メンブレン）９１ｍと、薄膜部１ｍ上に形成されたヒータ部１ｈとを有している。流量検出チップ９１はケース９２の底板部９２ａに搭載されているが、同じ底板部９２ａには、流量検出チップ９１の入出力を制御する回路素子が形成された、回路チップ４が搭載されている。流量検出チップ９１と回路チップ４は、互いにボンディングワイヤ５で電気的に接続されている。ボンディングワイヤ５の短絡防止と回路チップ４の回路素子を周りの雰囲気から保護するために、ボンディングワイヤ５と回路チップ４は、シール材３によって覆われている。
【０００６】
図４（ａ）に示す流量測定装置９０では、流量検出チップ９１のヒータ部１ｈ上を空気が流れると、ヒータ部１ｈの放熱量が変化する。これを、ヒータ部１ｈの抵抗値の変化として検出し、回路チップ４で計算処理して、空気の流量を測定する。
【特許文献１】特開２０００-２５７２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記のように、図４（ａ）に示す流量測定装置９０では、流量検出チップ９１における薄膜部１ｍやヒータ部１ｈは、測定のために空気中に露出される必要がある。一方、回路チップ４、ボンディングワイヤ５および流量検出チップ９１におけるボンディングワイヤ５の接続部は、シール材３によって覆われていなければならない。シール材３が流量検出チップ９１のヒータ部１ｈに付着すると、ヒータ部の放熱が鈍くなり、流量の検出感度が低下する。このため、流量測定装置９０では、流量検出チップ９１上で、薄膜部１ｍおよびヒータ部１ｈとボンディングワイヤ５の接続部を仕切るストッパ部９２ｔが設けられている。これにより、シール材３が注入時に薄膜部１ｍやヒータ部１ｈへ流れ出すのを防止している。
【０００８】
図４（ａ）に示す流量測定装置９０において、ストッパ部９２ｔは、空気の流れにおける乱流の発生を防止するため、ヒータ部１ｈから３ｍｍ以上離す必要とする。ここで、流量検出チップ９１におけるストッパ部９２ｔの下に位置する部分は、ストッパ部９２ｔを配置するためだけに必要なスペースであり、ストッパ部９２ｔの幅だけ流量検出チップ９１のサイズが大きくなっている。従って、一枚のシリコンウェハから製造される流量検出チップ９１の数も少なくなり、それによって製造コストが増大する。
【０００９】
そこで本発明は、流量検出チップを小型にすることができ、安価に製造することのできる流量測定装置、およびその製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１に記載の発明は、一部が被測定流体に露出されて、その流量を検出する流量検出チップと、前記流量検出チップを収容するケースとを有し、前記ケースが、前記流量検出チップを搭載する底板部と、当該底板部の上方において前記流量検出チップを部分的に覆う上板部とを有し、前記底板部と上板部の間に、シール材が充填されてなることを特徴としている。
【００１１】
電子装置のシール材として、ゲルや熱可塑性樹脂等が用いられている。例えば、フッ素ゲル等のゲルは、注入時には液体状で流動性があるが、乾燥後には流動性はなくなる。従って、ゲルからなるシール材を充填して乾燥してしまえば、従来の流量測定装置に設けられているシール材の流れ出しを防止するためのストッパ部は、不必要なものとなる。
【００１２】
上記の流量測定装置では、流量検出チップを搭載する底板部とその上方において流量検出チップを部分的に覆う上板部の間に、シール材が充填されている。この構造によって、流量検出チップの必要部分だけを被測定流体に露出し、従来の流量測定装置に設けられていたシール材のストッパ部を省くことができる。これによって、流量検出チップにおいてストッパ部の配置スペースとして確保されていた部分も省略できるため、流量検出チップのサイズを小型にすることができる。従って、一枚のシリコンウェハから製造される流量検出チップの数も増大するため、安価な流量測定装置とすることができる。
【００１３】
請求項２に記載のように、上記の流量測定装置においては、前記ケースが、前記底板部と上板部の間に位置する側壁部であって、上板部の外周に沿ってコの字形状を有する側壁部を有し、前記底板部、上板部および側壁部で囲まれた領域に前記シール材が充填され、前記流量検出チップの一部が、前記シール材から突き出されて、前記被測定流体に露出されることが好ましい。
【００１４】
ケースを上記構造にすることで、シール材を、底板部、上板部および側壁部で囲まれた領域に安定的に注入することができ、充填後も安定的に保持することができる。
【００１５】
請求項３に記載のように、前記底板部と側壁部は、一体的に形成されてなることが好ましい。これにより、上記シール材に対する効果が得られると共に、ケースを安価に製造することができる。
【００１６】
請求項４に記載のように、上記の流量測定装置においては、前記流量検出チップの端部において、前記被測定流体に露出されて、その流量を検出する流量検出素子部が形成され、前記流量検出チップにおける前記流量検出素子部を除いた領域が、前記シール材により覆われてなることが好ましい。
【００１７】
これによれば、流量検出チップの端部に形成された流量検出に必要な流量検出素子部のみが被測定流体に露出されて、その他の領域がシール材により覆われる。これによって、流量検出チップにおける流量検出素子部を除いた領域が周りの雰囲気から保護され、短絡等が防止される。
【００１８】
請求項５に記載のように、上記の流量測定装置においては、前記流量検出チップがシリコン半導体基板からなり、前記流量検出素子部が、前記シリコン半導体基板に形成された薄膜部と、当該薄膜部上に形成されたヒータ部とを有することが好ましい。
【００１９】
シリコン半導体基板を用いて裏面側からエッチングすることで、簡単に薄膜部を形成することができ、薄膜部上に形成されたヒータ部は、高感度の流量検出素子として機能させることができる。従って、小型・高感度な流量検出チップを有し、安価に製造できる流量測定装置とすることができる。
【００２０】
請求項６に記載のように、前記流量検出チップにおける前記流量検出素子部と反対側に位置する端部において、外部と入出力接続するためのパッド部が形成され、当該パッド部にボンディングワイヤが接続される場合には、パッド部とボンディングワイヤとが、前記シール材により覆われてなることが好ましい。これにより、流量検出チップのパッド部とボンディングワイヤにおける短絡を防止することができる。
【００２１】
請求項７に記載のように、上記の流量測定装置において、前記底板部に、回路素子が形成された回路チップが搭載され、前記回路チップに、外部と入出力接続するためのパッド部が形成され、当該パッド部にボンディングワイヤが接続される場合には、回路チップとボンディングワイヤとが、前記シール材により覆われてなることが好ましい。これにより、回路チップが周りの雰囲気から保護されると共に、回路チップのパッド部とボンディングワイヤにおける短絡を防止することができる。
【００２２】
請求項８に記載のように、上記の流量測定装置において、前記底板部に、配線基板が搭載され、前記配線基板に、外部と入出力接続するためのパッド部が形成され、当該パッド部にボンディングワイヤが接続される場合には、配線基板とボンディングワイヤとが、前記シール材により覆われてなることが好ましい。これにより、配線基板が周りの雰囲気から保護されると共に、配線基板のパッド部とボンディングワイヤにおける短絡を防止することができる。
【００２３】
請求項９に記載のように、上記の流量測定装置において、前記底板部と上板部の間に、外部と入出力接続するためのリードピンが挿入され、当該リードピンにボンディングワイヤが接続される場合には、リードピンとボンディングワイヤとが、前記底板部と上板部の間で、前記シール材により覆われてなることが好ましい。これにより、リードピンとボンディングワイヤにおける短絡を防止することができる。
【００２４】
請求項１０に記載のように、前記シール材は、ゲルであることが好ましい。ゲルからなるシール材は、良好なシール性能を有すると共に、注入時には液体状で流動性があり、乾燥後には流動性がなくなる。従って、上記したように従来の流量測定装置に設けられているストッパ部を省くことができ、小型で安価な耐環境性能に優れる流量測定装置とすることができる。
【００２５】
請求項１１に記載のように、上記の流量測定装置は、前記被測定流体が空気であるエアフローセンサに好適である。
【００２６】
エアフローセンサでは被測定流体である空気に水蒸気等が混入するが、上記構造を用いてシール材によりシールすることで、水蒸気等による短絡等を防止でき、小型で安価な耐環境性能に優れる流量測定装置とすることができる。
【００２７】
請求項１２〜１４に記載の発明は、上記流量測定装置の製造方法に関する発明である。
【００２８】
請求項１２に記載の発明は、一部が被測定流体に露出されて、その流量を検出する流量検出チップと、前記流量検出チップを収容するケースと、前記流量検出チップを部分的に覆うシール材とを有する流量測定装置の製造方法であって、前記ケースが、前記流量検出チップを搭載する底板部と、当該底板部の上方において前記流量検出チップを部分的に覆う上板部と、前記底板部と上板部の間に位置する側壁部であって、上板部の外周に沿ってコの字形状を有する側壁部とを有し、前記側壁部におけるコの字形状の開口部から前記シール材を注入し、前記底板部、上板部および側壁部で囲まれた領域に前記シール材を充填することを特徴している。
【００２９】
これによれば、底板部、上板部および側壁部で囲まれたが形成されているため、側壁部におけるコの字形状の開口部を上方に向けて保持し、ここからシール材を安定的に注入することができる。このようにして、上記流量測定装置の製造を容易に行うことができ、製造コストを低減することができる。
【００３０】
請求項１３に記載のように、上記流量測定装置の製造方法においては、前記底板部と側壁部が一体形成されてなり、前記底板部の所定位置に前記流量検出チップを搭載し、前記上板部を所定位置に配置して流量検出チップを部分的に覆った後、前記シール材を注入することが好ましい。
【００３１】
これにより、流量検出チップの底板部の所定位置への配置と、上板部の流量検出チップに対する所定位置への配置を、容易に行うことができる。このようにして、上記流量測定装置の製造を容易に行うことができ、製造コストを低減することができる。
【００３２】
請求項１４に記載のように、前記シール材は、ゲルであることが好ましい。ゲルからなるシール材は、注入時には液体状で流動性があって取り扱いが容易であり、乾燥後には流動性がなくなる。従って、上記流量測定装置の製造を容易に行うことができ、製造コストを低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下、本発明の実施の形態を、図に基づいて説明する。
【００３４】
図１（ａ），（ｂ）は、本発明の流量測定装置の一例であるエアフローメータの図で、図１（ａ）は流量測定装置１００の上面図と側面図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）の一点差線Ｂ−Ｂにおける模式的な断面図である。尚、図１（ａ），（ｂ）の流量測定装置１００において、図４（ａ）に示す従来の流量測定装置９０と同様の部分については、同じ符号を付けた。また、流量測定装置１００の管路への取付け状態は、図４（ｂ）と同様である。
【００３５】
図１（ａ），（ｂ）の流量測定装置１００は、一部が被測定流体である空気に露出されて、その流量を検出する流量検出チップ１１と、流量検出チップ１１を収容するケース１２とを有している。流量検出チップ１１は、ケース１２における底板部１２ａ上の所定位置に、接着剤で貼り付けられている。
【００３６】
ケース１２は、流量検出チップ１１を搭載する底板部１２ａと、図１（ｂ）に示すように、底板部１２ａの上方において流量検出チップ１１を部分的に覆う上板部１２ｕとを有している。また、ケース１２の底板部１２ａと上板部１２ｕの間には、上板部１２ｕの外周に沿ってコの字形状を有する、側壁部１２ｓが設けられている。底板部１２ａと側壁部１２ｓは一体的に形成されており、これらは安価に製造される。上板部１２ｕは、流量検出チップ１１等を搭載した後、側壁部１２ｓの上面上に接着剤で貼り付けられる。ケース１２を上記構造にすることで、後述するように、図１（ｂ）に示すシール材３を、底板部１２ａ、上板部１２ｕおよび側壁部１２ｓで囲まれた領域に安定的に注入することができ、充填後も安定的に保持することができる。尚、図１（ａ）においては、内部を見やすくするために、上板部１２ｕの図示を省略している。また、流量測定装置１００では、図４（ａ）の従来の流量測定装置９０に設けられていたストッパ部９２ｓは、設けられていない。このため、流量測定装置１００を、小型の流量測定装置とすることができる。
【００３７】
流量検出チップ１１は、シリコン半導体基板からなる。図１（ａ）において、二点差線で囲った流量検出チップ１１の右側端部は、被測定流体である空気に露出されてその流量を検出する流量検出素子部となっている。また、流量検出素子部と反対側の左側端部には、外部と入出力接続するためのパッド部１１ｐが形成されている。流量検出素子部は、薄く形成された薄膜部（メンブレン）１ｍと、薄膜部１ｍ上に形成されたヒータ部１ｈとを有している。シリコン半導体基板は、裏面側からエッチングすることで、簡単に薄膜部１ｍを形成することができ、後述するように、薄膜部１ｍ上に形成されたヒータ部１ｈは、高感度の流量検出素子として機能させることができる。従って、流量測定装置１００は、小型・高感度な流量検出チップ１１を有し、安価に製造できる流量測定装置とすることができる。
【００３８】
図１（ａ），（ｂ）に示す流量測定装置１００においても、図４（ａ），（ｂ）に示す流量測定装置９０と同様に、図４（ｂ）の管路８０を流れる空気、すなわち、図１（ｂ）において紙面に垂直な方向に流れる空気の流量を、流量検出素子部で測定する。
【００３９】
図２は、流量検出チップ１１の構成をより詳細に示す模式的な上面図である。
【００４０】
図２の流量検出チップ１１において、薄膜部１ｍは、流量検出チップ１１の他の部位と比べて膜厚が薄く形成されているので、熱容量が低く抑えられ、他の部位との熱的な絶縁が確保されている。薄膜部１ｍ上には、一対のヒータ部１ｈが形成されている。また、空気の流れ方向の上流側と下流側において、一対のヒータ部１ｈを挟むように、温度を検出する一対の感温部１ｋが形成されている。
【００４１】
図１（ａ），（ｂ）に示す流量測定装置１００では、流量検出チップ１１のヒータ部１ｈ上を空気が流れると、ヒータ部１ｈの放熱量が変化する。これをヒータ部１ｈの抵抗値の変化として検出し、回路チップ４で計算処理して、空気の流量を測定する。
【００４２】
図２を用いてより詳細に説明すると、ヒータ部１ｈは、電流の供給によって発熱する発熱体としての機能に加えて、ヒータ部１ｈの抵抗温度係数の変化に基づいて、自身の温度をも感知する。そして、上流側と下流側の各ヒータ部１ｈで生じる熱のうち、流通する空気によって奪われる熱に基づき、空気の流量を感知する。また、上流側と下流側の各ヒータ部１ｈで生じる熱のうち、空気によって奪われる熱量の差に基づき、空気の流れ方向を感知する。さらに、上流側のヒータ部１ｈと上流側感温部１ｋの温度差、および下流側のヒータ部１ｈと下流側感温部１ｋの温度差に基づき、各ヒータ部１ｈに供給される電流量が制御される。
【００４３】
図１（ａ），（ｂ）に示すように、流量検出チップ１１はケース１２の底板部１２ａに搭載されているが、同じ底板部１２ａには、流量検出チップ１１の入出力を制御する回路素子が形成された、回路チップ４が搭載されている。回路チップ４も、流量検出チップ１１と同様に、ケース１２の底板部１２ａ上に接着剤で貼り付けられている。回路チップ４にも、外部と入出力接続するためのパッド部４ｐが形成されており、流量検出チップ１１のパッド部１１ｐと回路チップ４のパッド部４ｐは、互いにボンディングワイヤ５ａで電気的に接続されている。また、底板部１２ａと上板部１２ｕの間には、外部と入出力接続するためのリードピン６が挿入されており、回路チップ４のパッド部４ｐとリードピン６は、互いにボンディングワイヤ５ｂで電気的に接続されている。
【００４４】
図１（ｂ）に示すように、流量測定装置１００においては、ケース１２の底板部１２ａと上板部１２ｕの間にシール材３が充填されている。シール材３にはゲルや熱可塑性樹脂等を用いることができるが、後述するように、特に、ゲルであることが好ましい。尚、図１（ａ）においては、内部を見やすくするためにシール材３の図示を省略している。
【００４５】
シール材３は、図１（ａ），（ｂ）に示す底板部１２ａ、上板部１２ｕおよび側壁部１２ｓで囲まれた領域に充填される。従って、底板部１２ａと上板部１２ｕの間に挿入されたリードピン６、回路チップ４、ボンディングワイヤ５ａ，５ｂおよび流量検出チップ１１における二点差線で囲った流量検出素子部を除いた領域は、全て、シール材３により覆われる。一方、流量検出チップ１１の一部である二点差線で囲った流量検出素子部は、シール材３から突き出されて、被測定流体である空気に露出される。このように、流量測定装置１００においては、流量検出チップ１１の必要部分だけを被測定流体である空気に露出し、その他の流量検出チップ１１や回路チップ４に搭載される回路素子とボンディングワイヤ５ａ，５ｂは、底板部１２ａと上板部１２ｕの間に充填されたシール材３により覆われる。従って、これらシール材３によって覆われた回路素子やボンディングワイヤ５ａ，５ｂ等は、周りの雰囲気から保護され、また、短絡等が防止される。
【００４６】
図１（ａ），（ｂ）の流量測定装置１００では、シール材３としてフッ素ゲルが用いられている。フッ素ゲルは、良好なシール性能を有すると共に、注入時には液体状で流動性があり、乾燥後には流動性がなくなる。この性質と以下の製造方法を用いて、図１（ａ），（ｂ）に示す流量測定装置１００では、図４（ａ）に示す従来の流量測定装置９０に設けられていたストッパ部９２ｓを省くことができる。これによって、図４（ａ）の流量検出チップ９１でストッパ部９２ｓの配置スペースとして確保されていた部分も省略できるため、図１（ａ），（ｂ）の流量測定装置１００では、流量検出チップ１１のサイズを小型にすることができる。従って、一枚のシリコンウェハから製造される流量検出チップ１１の数も増大する。このようにして、図１（ａ），（ｂ）の流量測定装置１００は、小型で安価な耐環境性能に優れる流量測定装置とすることができる。尚、図１（ｂ）において、シール材３の右側端面からヒータ部１ｈまでの距離は３ｍｍ以上が確保されており、シール材３の右側端面が被測定流体である空気の流れに影響を及ぼすことはない。
【００４７】
次に、図１（ａ），（ｂ）に示す流量測定装置１００の製造方法を説明する。
【００４８】
図３（ａ）〜（ｃ）は、流量測定装置１００の製造方法の概略を示す、工程別断面図である。
【００４９】
最初に、図３（ａ）に示すように、ケース１２の底板部１２ａに流量検出チップ１１と回路チップ４を貼り付けて、流量検出チップ１１と回路チップ４を底板部１２ａに搭載する。流量検出チップ１１と回路チップ４の底板部１２ａにおける所定位置への配置は、上板部１２ｕの取付け前に行うため、容易に行うことができる。次に、ボンディングワイヤ５ａで、両者を電気的に接続する。
【００５０】
次に、図３（ｂ）に示すように、流量検出チップ１１を部分的に覆うように上板部１２ｕを側壁部１２ｓ上の所定位置に配置して、上板部１２ｕを側壁部１２ｓに貼り付ける。
【００５１】
次に、図３（ｃ）に示すように、コの字形状をした側壁部１２ｓの開口部１２ｋが上方に向くように流量測定装置１００を保持し、ノズル３０を用いて、フッ素ゲルであるシール材３を開口部１２ｋから注入する。底板部１２ａ、上板部１２ｕおよび側壁部１２ｓで囲まれた領域は、上方に開口部１２ｋを有するポケット状の構造をなし、開口部１２ｋからシール材３を安定的に注入することができる。シール材３は、底板部１２ａ、上板部１２ｕおよび側壁部１２ｓで囲まれた領域が完全に充填されるように、開口部１２ｋの上限まで注入する。ゲルからなるシール材３は、注入時には液体状で流動性があって取り扱いが容易であり、乾燥後には流動性がなくなる。従って、シール材３を完全に硬化させた後には、流量測定装置１００を任意方向に向けて保持しても、シール材３が流量検出素子部の方へ流れ出すことはない。
【００５２】
以上で、図１（ａ），（ｂ）に示す流量測定装置１００が完成する。
【００５３】
上記の製造方法においては、図４（ａ）の従来の流量測定装置９０におけるストッパ部９２ｓを用いずに、流量測定装置１００を容易に製造することができ、これによって製造コストを低減することができる。
【００５４】
（他の実施形態）
図１（ａ），（ｂ）に示す流量測定装置１００では、底板部１２ａと一体的に形成された、側壁部１２ｓを有するケース１２が用いられていた。これに限らず、側壁部１２ｓは、底板部１２ａと別体として形成されていてもよい。また、シール材３を注入して固化した後で、側壁部１２ｓを取り外してもよい。
【００５５】
図１（ａ），（ｂ）に示す流量測定装置１００では、薄膜部１ｍとヒータ部１ｈを有する流量検出チップ１１が用いられていた。流量検出チップは、これに限らず、被測定流体に露出される任意の流量検出素子部が形成されたものであってよい。
【００５６】
図１（ａ），（ｂ）に示す流量測定装置１００では、流量検出チップ１１と回路チップ４が、ケース１２の底板部１２ａに搭載されていた。これに限らず、流量検出チップ１１と共に配線基板が底板部１２ａに搭載され、流量検出チップ１１のパッド部１１ｐと配線基板のパッド部が、ボンディングワイヤにより接続されていてもよい。また、流量検出チップ１１が配線基板上に搭載され、配線基板と流量検出チップ１１の全体が、底板部１２ａに搭載されていてもよい。
【００５７】
図１（ａ），（ｂ）に示す流量測定装置１００では、シール材３として、フッ素ゲルが用いられていた。シール材３は、これに限らず、シール性能および注入後に固化するものであれば、任意のゲルであってよい。また、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、接着剤等であってもよい。
【００５８】
図１（ａ），（ｂ）に示す流量測定装置１００は、被測定流体が空気であるエアフローセンサであった。エアフローセンサにおいては、被測定流体である空気に水蒸気等が混入する。図１（ａ），（ｂ）に示す流量測定装置１００では、上記構造を用いてシール材３によりシールすることで、水蒸気等による短絡等を防止でき、小型で安価な耐環境性能に優れる流量測定装置とすることができる。このように、図１（ａ），（ｂ）の流量測定装置１００はエアフローセンサに好適であるが、これに限らず、被測定流体が空気以外の他の流量測定装置であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の流量測定装置の一例を示す図で、（ａ）は流量測定装置の上面図と側面図であり、（ｂ）は（ａ）の一点差線Ｂ−Ｂにおける模式的な断面図である。
【図２】流量検出チップの構成をより詳細に示す模式的な上面図である。
【図３】流量測定装置の製造方法の概略を示す、工程別断面図である。
【図４】（ａ）は、従来の流量測定装置を模式的に示した断面図であり、（ｂ）は、流量測定装置の取付け状態を示した図である。
【符号の説明】
【００６０】
１００，９０  流量測定装置
１１，９１  流量検出チップ
１ｍ  薄膜部（メンブレン）
１ｈ  ヒータ部
１ｋ  感温部
１２，９２  ケース
１２ａ，９２ａ  底板部
１２ｕ  上板部
１２ｓ  側壁部
３  シール材
３０  ノズル
４  回路チップ
１１ｐ，４ｐ  パッド部
５，５ａ，５ｂ  ボンディングワイヤ
６  リードピン
８０  管路
【図１】
2005172526.tif 000003
【図２】
2005172526.tif 000004
【図３】
2005172526.tif 000005
【図４】
2005172526.tif 000006