(57)【要約】【課題】シート材の除去領域を削減するとともにシート材を自由な形状に形成することで、膜厚が均一で欠陥のない薄膜層を経済的に効率よく形成する。【解決手段】連続したベースフィルム１０２上に形成されたフィルム状あるいはシート状の誘電体１０３に所定幅の除去領域１０３ａを形成し、切り込み幅より小さい幅で接着テープの一部を誘電体１０３に押し付けて除去領域１０３ａを除去し、連続したベースフィルム１０２を走行させながら除去領域１０３ａが除去された誘電体１０３を前面ガラス基板３に貼り付ける。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一のガラス基板上に第一の電極を形成し、前記第一のガラス基板上と前記第一の電極上とに第一の誘電体層を形成し、前記第一の誘電体層上に保護層を形成して第一の基板を製造する工程と、第二のガラス基板上に第二の電極を形成し、前記第二のガラス基板上と前記第二の電極上とに第二の誘電体層を形成し、前記第二の誘電体層上に複数の隔壁を形成し、前記隔壁の間に蛍光体層を形成して第二の基板を製造する工程と、前記第一の基板と前記第二の基板とを重ね合わせて接合し、前記接合した基板内部を排気して放電ガスを封入する組立工程とを有するプラズマディスプレイパネルの製造方法において、
連続したベースフィルム上に形成されたフィルム状あるいはシート状の誘電体に所定幅の切込み部を形成し、前記切り込み幅より小さい幅で接着テープの一部を前記誘電体に押し付けて前記切り込み部を除去し、前記連続したベースフィルムを走行させながら前記切り込み部が除去された誘電体を前記第一のガラス基板または前記第二のガラス基板に貼り付け、前記第一の誘電体層または前記第二の誘電体層を形成することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２】
誘電体は、ベースフィルムの走行方向に平行な方向と垂直な方向との２つの方向を除去することを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３】
誘電体は、ベースフィルムの走行方向と平行な方向を複数除去することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４】
電極が形成された第一のガラス基板または第二のガラス基板は、１枚の基板に所定サイズの画面が複数形成されていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマディスプレイパネルの製造方法および製造装置に関し、特に前面板や背面板の誘電体あるいは背面板の隔壁などを、シート貼付によって高精度に形成する方法と装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
高品位テレビジョン画像を大画面で表示するためのディスプレイ装置として、プラズマディスプレイパネルへの期待が高まっている。
【０００３】
プラズマディスプレイパネルは図７に示すように、基本的には前面板１と背面板２とを封着して構成される。前面板１は、前面ガラス基板３と、その一方の主面上に形成されたストライプ状の透明電極４およびバス電極５よりなる電極６と遮光膜層７とが形成されている。さらに、電極６と遮光膜層７を覆ってコンデンサとしての働きをする誘電体層８を設け、この誘電体層８上に形成されたＭｇＯ膜からなる保護層９を形成している。
【０００４】
誘電体層８は、無機成分である鉛ホウ珪酸系の低融点ガラスなどの粉体と、バインダー成分としてのエチルセルロース樹脂と溶剤とを混練して所定粘度としたペーストを、印刷法、またはダイコート塗布法などによって塗布し、乾燥させてから焼成することによって形成されている。しかしながら、前面ガラス基板３の厚みに影響されずに、誘電体層８を均一に形成する方法として、前面ガラス基板３上に電極６および遮光膜層７を別々に印刷・乾燥・焼成した後、シート状誘電体を圧着し、その後、シート状誘電体を焼成して誘電体層８を形成する方法が提案されている（例えば特許文献１、特許文献２、非特許文献１）。
【特許文献１】特開２０００−９５５４５号公報
【特許文献２】特開２００２−１０４７１９号公報
【非特許文献１】株式会社電子ジャーナル刊、「２００１  ＦＰＤテクノロジー大全」、２０００年１０月２５日、Ｐ５９６
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このような、プラズマディスプレイパネルにおいては、例えば誘電体の耐電圧特性を向上させて高品質、高信頼性を確保するとともに、製造としての高歩留まり、高スループットの量産性が要求されている。特に近年、プラズマディスプレイパネルの製造方法として１枚の大版ガラス基板上に複数枚の所定サイズのプラズマディスプレイパネルの構造物を形成し、その後、ガラス基板を分割して所定画面サイズの１枚のガラス基板に製造する、いわゆる多面取りの製造方法が量産性に優れた製造方法として注目されている。
【０００６】
このような観点から、シート状誘電体を大版ガラス基板に貼付し、その後、所定サイズのガラス基板に分割する多面取りの製造方法は量産性と高品質、高信頼性を満たしうる製造方法である。しかしながら、複数枚の所定画面サイズのプラズマディスプレイパネルを１枚の大版ガラス基板に形成する際には、特にそれらのガラス基板を分割する際の境界領域においてその構造物を精度よく形成する必要がある。
【０００７】
前述のように、シート状誘電体をガラス基板に貼付する際に、あらかじめ所定領域を除去するのは、所定画面サイズのガラス基板において、前面板と背面板の封着領域精度を高め、封着による形状精度あるいはその領域における端子取り出しの信頼性を高めるためである。一方、このようにシート状誘電体を除去することは製造工程におけるロスであるから、生産効率を上げるにはできるだけ除去領域を少なくすることが求められる。特に、多面取りの製造方法による場合は、大版ガラス基板からできるだけ多くの所定画面サイズのガラス基板を得ることが重要となるため、除去領域を分割と封着のために最低限必要な最小サイズとすることが望まれる。
【０００８】
しかしながら、従来のような、シート状誘電体の所定領域を除去するために、回転カッターによりシート状誘電体に幅の広い切断線を入れその領域を幅の広い接着テープにより剥離除去する方法では、このような多面取りなどの幅の小さい場合には精度よく対応できないという課題や生産性を上げることができないなどの課題を有していた。
【０００９】
本発明はこれらの課題に鑑みてなされたものであり、プラズマディスプレイパネルの前面板や背面板の誘電体層を形成する場合や、隔壁を形成するための隔壁誘電体層の形成、さらには誘電体に限らずシート状の導電体などを形成してパターンニング処理をして電極などを形成する場合にも適用可能な、高品質、高信頼性なプラズマディスプレイパネルを高い量産性で実現できるプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述したような課題を解決するために、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、第一のガラス基板上に第一の電極を形成し、第一のガラス基板上と第一の電極上とに第一の誘電体層を形成し、第一の誘電体層上に保護層を形成して第一の基板を製造する工程と、第二のガラス基板上に第二の電極を形成し、第二のガラス基板上と第二の電極上とに第二の誘電体層を形成し、第二の誘電体層上に複数の隔壁を形成し、隔壁の間に蛍光体層を形成して第二の基板を製造する工程と、第一の基板と第二の基板とを重ね合わせて接合し、接合した基板内部を排気して放電ガスを封入する組立工程とを有するプラズマディスプレイパネルの製造方法において、連続したベースフィルム上に形成されたフィルム状あるいはシート状の誘電体に所定幅の切込み部を形成し、切り込み幅より小さい幅で接着テープの一部を誘電体に押し付けて切り込み部を除去し、連続したベースフィルムを走行させながら切り込み部が除去された誘電体を第一のガラス基板または第二のガラス基板に貼り付け、第一の誘電体層または第二の誘電体層を形成している。
【００１１】
このような製造方法によれば、幅の広い接着テープを用いても、それより幅の小さい切り込み部が形成された誘電体を剥離除去することができ、高い量産性で高品質、高信頼性のプラズマディスプレイパネルを製造することが可能となる。
【００１２】
さらに、誘電体は、ベースフィルムの走行方向に平行な方向と垂直な方向との２つの方向を除去することが望ましい。この方法によれば、さらに、シート材を矩形形状のガラス基板に対応させて自由な形状に加工できる。
【００１３】
さらに、誘電体は、ベースフィルムの走行方向と平行な方向を複数除去することが望ましい。この方法によれば、シート材を複数領域に分割形成できるので、さらに、多面取りに容易に対応できる。
【００１４】
さらに、電極が形成された第一のガラス基板または第二のガラス基板は、１枚の基板に所定サイズの画面が複数形成されていることが望ましい。この製造方法によれば、さらに、大版のガラス基板から複数枚の画面サイズ基板を得る量産性に優れた製造方法を提供することが可能となる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法によれば、シート材を用いて前面板や背面板の誘電体層などを形成する場合に、シート材から誘電体を除去する領域を小さい幅で実現することができるため、材料の使用効率を高めることが可能となり、多面取りなどの製造方法に最適である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００１７】
（第１の実施の形態）
本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法によって製造されるプラズマディスプレイパネルは、図７に示すプラズマディスプレイパネルであり、特に第一の基板となる前面板１の第一の誘電体層である誘電体層８、あるいは第二の基板となる背面板２の第二のガラス基板上に形成される第二の誘電体層である下地誘電体層７１、さらには隔壁７２を形成するための誘電体膜の製造に用いられる。本発明の実施の形態では前面板１の誘電体層８を、シート材であるシート状誘電体を用いて形成する例として説明する。
【００１８】
図６はプラズマディスプレイパネルの前面板の斜視図である。図６に示すように、前面板１は厚さ約３ｍｍの第一のガラス基板である透明な前面ガラス基板３の一方の主面上に電極６が形成され、それらの電極６を覆って数十μｍの厚みで誘電体層８が形成され、さらに誘電体層８上に数百ｎｍの保護層９が形成されている。ここで、誘電体層８は前面ガラス基板３に対し、前面ガラス基板３の端部から所定幅の誘電体層非形成領域６０、６１を設けて形成されている。これらの誘電体層非形成領域６０、６１は前面板１と背面板２とを封着するための封着フリット形成領域あるいは前面板１に形成された電極６や背面板２の電極の端子取り出し領域となる。これらの領域の形状精度を確保することは、封着後の前面板１と背面板２との間隔を適正に保持し、なおかつ電極取り出しの絶縁性を確保するなどの面からも重要である。
【００１９】
図１は本発明の第１の実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの製造方法に用いられる製造装置の主要構成要素を示す正面図であり、電極が形成されたガラス基板上にシート状誘電体を貼り付ける装置構成を示している。また図２は図１をＦ方向から見た側面図である。
【００２０】
図１において積層フィルムシート１０１は、長尺のＰＥＴなどからなるベースフィルム１０２上に、ＰｂＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２系のガラス材料を主材料とする誘電体材料からなるシート状誘電体１０３が塗布され、さらにシート状誘電体１０３上に異物混入防止のためのカバーフィルム１０４を貼り付けた３層構造となっている。この積層フィルムシート１０１は巻き出しロール１０５に巻回されて製造装置本体に装着され、矢印Ｇ方向に巻き出される。
【００２１】
巻き出しロール１０５から巻き出された積層フィルムシート１０１は、まず、カバーフィルム１０４がカバーフィルムロール１０６に巻き付けられて剥離され、シート状誘電体１０３が塗布されたベースフィルム１０２がガイドローラ１０７を経由して走行される。
【００２２】
シート状誘電体１０３を所定形状に形成するために、ベースフィルム１０２上に形成されたシート状誘電体１０３の所定領域を除去する除去工程に入る。これは前述のように図６に示す誘電体層非形成領域６０、６１を形成するためのものである。まず、所定間隔に設定された２枚の回転カッター１１３によって、ベースフィルム１０２の走行方向と直交する方向に、所定幅でシート状誘電体１０３に切断線が入れられる。次ぎに、切断線が入れられた切込み部となる除去領域に対応する誘電体１０３ａは、接着テープを用いた剥離装置２０１を用いて剥離除去される。
【００２３】
このように除去領域に対応する誘電体１０３ａを除去して誘電体除去領域１１４が形成された、シート状誘電体１０３を有するベースフィルム１０２は、上圧着ローラ１１５と下圧着ローラ１１６により構成される貼付工程に流入する。
【００２４】
一方、所定サイズに加工され、その一方の主面上に走査電極や維持電極よりなる電極が形成された前面ガラス基板（以下ガラス基板と呼ぶ）３が、図１の矢印Ｈ方向から１枚ごと搬送ローラ１１７によって搬送される。ガラス基板３は電極が形成された面を上面としている。
【００２５】
矢印Ｈ方向から流入してきたガラス基板３の上面とシート状誘電体１０３は、上圧着ローラ１１５と下圧着ローラ１１６とによって所定圧力で圧着して貼り付けられる。上圧着ローラ１１５と下圧着ローラ１１６とは、所定温度に加熱されてガラス基板３へのシート状誘電体１０３の貼り付けを促進している。シート状誘電体１０３の貼り付けが終了したガラス基板３は、走行方向の後端部において、ベースフィルム１０２がカッター１１８によって切断されてガラス基板３の１枚ごとに分離される。その後、ベースフィルム１０２がシート状誘電体１３の面から剥離され、次工程である焼成工程に導入されてガラス基板３上に所定厚みの誘電体層が形成される。
【００２６】
このような、接着テープを用いた方法でシート状誘電体に除去領域の幅を狭くして除去領域を少なくする場合、使用する接着テープの幅を小さくすると接着テープの強度が低下する。そのため、剥離時のテンションに耐えられずに切断してしまうという課題が発生し、シート状誘電体の除去領域を少なくするのには限界があり、従来は５０ｍｍ程度の除去領域の幅が必要であった。また、接着テープの幅が小さい場合、接着テープの巻き長さを長くすると接着テープのロールが変形する、いわゆる竹の子現象が発生する。そのため、あまり巻き長さを長くできないため、接着テープを頻繁に交換する必要が生じ、そのため量産性が低下する要因となっていた。
【００２７】
ここで、本発明の主要工程である剥離工程について詳しく説明する。剥離装置２０１は図２に示すように、接着テープ２０２を供給する接着テープ巻き出しロール２０３、接着テープを回収する接着テープ巻き取りロール２０４、接着テープ２０２をシート状誘電体１０３の除去領域へ押し付けるための押し付けローラ２０５、接着テープ２０２をガイドするガイドローラ２０６、押し付けローラ２０５とガイドローラ２０６を保持する剥離ユニット２０７から構成されている。
【００２８】
押し付けローラ２０５を下方（矢印Ｊ方向）へ押し付けて、接着テープ２０２の粘着面を、除去領域に対応するシート状誘電体１０３へ押し付けて加圧し、接着テープ２０２に接着させる。加圧した状態で剥離ユニット２０７を矢印Ｋ方向へ移動させると除去領域に対応する誘電体１０３ａが順次接着テープ２０２に接着されて除去される。その結果、帯状の誘電体除去領域１１４が形成される。
【００２９】
図３は、剥離工程をさらに分かりやすく示すために図１のＩ部を拡大して示した断面図である。ベースフィルム１０２上のシート状誘電体１０３は、前工程において回転カッター１１３により切り込み１１９が形成され、除去領域に対応する誘電体１０３ａが幅Ｘで形成されている。一方、幅Ｘよりも広い幅Ｙを有している接着テープ２０２が、幅Ｘより小さい押し付け幅Ｗを有する押し付け部材である押し付けローラ２０５によって除去領域に対応する誘電体１０３ａに押し付けられる。このことにより除去領域に対応する誘電体１０３ａは接着テープ２０２に接着され、前述の図２のように剥離ユニット２０７を矢印Ｋ方向へ移動させると除去領域に対応する誘電体１０３ａが除去される。
【００３０】
接着テープ２０２にはテンションを掛け、押し付け部以外の接着テープ２０２の両辺が図３に示すように上方へ引っ張られるようにすることによって、シート状誘電体１０３に接触することはない。特に押し付けローラ２０５の両端にテーパー部２０５ａを設けると接着テープ２０２の両辺はテーパー部２０５ａに案内されて走行されるため、接着テープ２０２を押し付けローラ２０５中心に効果的に安定して走行させることができる。テーパー部２０５ａには適宜Ｒ曲面を形成することでより接着テープ２０２を安定保持することも可能となる。
【００３１】
なお、本実施の形態では、接着テープをシート材であるシート状誘電体に押し付ける押し付け部材として押し付けローラを用いているが、例えば、切り込みの長手方向にわたって直線状の角型棒状部材などを押し付けて、その後、剥離させる構成でもよい。また、このような押し付け部材の押し付け幅を切り込み幅より小さい構成としているが、誘電体の材料組成などによって剥離形状精度が保たれるのであれば、両者の幅は略同一であってもよい。
【００３２】
このような製造方法により、幅の小さな所定領域の誘電体を除去するのに、それより幅の広い接着テープを用いることができる。そのため、従来のように接着テープの強度が不足して接着テープが破断するという課題や、接着テープの巻き長さを長くできないために接着テープを頻繁に取り換える必要があるという課題がない。従って、従来よりも誘電体の除去領域の幅を、例えば数ｍｍ程度と小さくすることができ、材料や加工時間のロスを低減して生産効率が高く量産性に優れた製造方法を実現することができる。
【００３３】
（第２の実施の形態）
図４は本発明による第２の実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの製造方法に用いられる製造装置の主要構成要素を示す正面図であり、図５は図４をＬ方向から見た側面図である。図４の基本の構成は第１の実施の形態で述べたのと同様の装置構成であり、同一構成要素には図１と同一の符号を付している。
【００３４】
第２の実施の形態が第１の実施の形態と異なる点は、第２の実施の形態に示した製造工程に加えて、搬送方向と平行な方向にシート状誘電体を除去する工程を有していることである。以下この点について説明する。
【００３５】
まず、所定間隔に設定された２枚の回転カッター４１３によって、ベースフィルム１０２の走行と平行する方向に、シート状誘電体１０３に切断線が入れられる。
【００３６】
剥離装置４０１は、接着テープ４０２を供給する接着テープ巻き出しロール４０４、接着テープ４０２を回収する接着テープ巻き取りロール４０３、さらには回転カッター４１３によって切り込みを入れられたシート状誘電体１０３の除去領域へ接着テープ４０２を押し付けるための押し付けローラ４０５からなっている。
【００３７】
押し付けローラ４０５を下方（矢印Ｍ方向）へ押し付けて接着テープ４０２の粘着面を、除去領域に対応するシート状誘電体１０３へ押し付けて加圧し、接着テープ４０２に接着させる。加圧した状態でベースフィルム１０２の走行と同期させて接着テープ４０２を走行させると、除去領域に対応する誘電体が順次接着テープ２０２に接着されて除去される。第２の実施の形態では、回転カッター４１３、剥離装置４０１をそれぞれ２台並べて設置することにより、２列の誘電体除去領域４１４を除去している。この結果、シート状誘電体１０３は幅方向に３分割され、３面のシート状誘電体が形成される。すなわちこの製造方法によりガラス基板３に所定サイズの画面が３面の誘電体を同時に形成することができる。もちろんこの製造方法によれば３面に限らず、一般的な多面取りの製造方法に対応することができる。
【００３８】
第２の実施の形態においても、剥離装置４０１を構成する押し付けローラ４０５の構成は第１の実施の形態と同様であるため、除去される領域となる誘電体除去領域４１４の幅が小さくなる場合でも精度よく剥離できる。特に、このような多面取りとする場合には、ガラス基板を複数枚に分割する領域も含めてわずか１０ｍｍ以内の幅とする必要がある。しかしながら、本発明のように押し付け幅よりも幅の広い接着テープを用いて剥離することで、量産性に優れた多面取りにおいても高精度、高歩留まりの製造方法を実現することができる。
【００３９】
また、上述の実施の形態では図７に示すプラズマディスプレイパネルの前面板１の誘電体層８を形成する場合について述べたが、例えば背面板２のデータ電極７０上に下地誘電体層７１を形成する場合や、隔壁７２を形成するための隔壁誘電体層の形成などに適用可能である。さらには、誘電体に限らずシート状の導電体などを形成してパターンニング処理をして電極などを形成する場合にも適用可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法によれば、シート材を用いて前面板や背面板の誘電体層などを形成する場合に、高い量産性で高品質、高信頼性のプラズマディスプレイパネルを製造することが可能であり、特に、大版のガラス基板から複数枚の画面サイズ基板を得る量産性に優れた多面取りの製造方法に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の第１の実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの製造装置の主要構成要素を示す正面図
【図２】同製造装置の側面図
【図３】図１におけるＩ部の拡大断面図
【図４】本発明の第２の実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの製造装置の主要構成要素を示す正面図
【図５】同製造装置の側面図
【図６】プラズマディスプレイパネルの前面板の斜視図
【図７】プラズマディスプレイパネルの分解斜視図
【符号の説明】
【００４２】
１    前面板
２    背面板
３    前面ガラス基板
４    透明電極
５    バス電極
６    電極
７    遮光膜層
８    誘電体層
９    保護層
６０，６１    誘電体層非形成領域
７０    データ電極
７１    下地誘電体層
７２    隔壁
１０１    積層フィルムシート
１０２    ベースフィルム
１０３    シート状誘電体
１０３ａ    除去領域に対応する誘電体
１０４    カバーフィルム
１０５    巻き出しロール
１０６    カバーフィルムロール
１０７，２０６    ガイドローラ
１１３，４１３    回転カッター
１１４，４１４    誘電体除去領域
１１５    上圧着ローラ
１１６    下圧着ローラ
１１７    搬送ローラ
１１８    カッター
１１９    切り込み
２０１，４０１    剥離装置
２０２，４０２    接着テープ
２０３，４０３    接着テープ巻き出しロール
２０４，４０４    接着テープ巻き取りロール
２０５，４０５    押し付けローラ
２０５ａ    テーパー部
２０６    ガイドローラ
２０７    剥離ユニット
【図１】
2005174849.tif 000003
【図２】
2005174849.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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