(57)【要約】【課題】レーザパターニング前のガラス基板に、ＰＥＴフィルムを自動的に貼り付ける。【解決手段】フィルムロール１２、ガラス基板１０にフィルム１４を密着させるフィルム押さえローラ３２、及び、前記フィルムロールから繰り出されたフィルムの先端を基板と反対側から保持する上側吸着プレート３４を含むキャリア４０と、該キャリアをフィルムの長手方向に移動させる手段（４２、４４、４６）と、該キャリアを昇降させる手段（４８）と、基板の前端近傍に配設された、フィルムの先端を基板側から保持する下側吸着プレート２４Ａと、基板の周囲に配設された、フィルムの周囲を吸着固定するためのフィルム吸着エリア２４Ａ〜２４Ｆとを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロール状に巻かれたフィルムを繰り出しながら基板に貼り付けるための基板へのフィルム貼付装置であって、
フィルムロール、基板にフィルムを密着させるフィルム押さえローラ、及び、前記フィルムロールから繰り出されたフィルムの先端を基板と反対側から保持する第１のフィルム保持手段を含むキャリアと、
該キャリアをフィルムの長手方向に移動させる手段と、
該キャリアを昇降させる手段と、
基板の前端近傍に配設された、フィルムの先端を基板側から保持する第２のフィルム保持手段と、
基板の周囲に配設された、フィルムの周囲を吸着固定するためのフィルム吸着手段と、
を備えたことを特徴とする基板へのフィルム貼付装置。
【請求項２】
前記フィルム吸着手段の一部が、前記第２のフィルム保持手段を兼ねるようにされていることを特徴とする請求項１に記載の基板へのフィルム貼付装置。
【請求項３】
前記キャリアに、フィルムロールから繰り出されたフィルムのしわを除去する手段が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の基板へのフィルム貼付装置。
【請求項４】
前記キャリアに、基板に密着された後のフィルム後端をカットする手段が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の基板へのフィルム貼付装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板へのフィルム貼付装置に係り、特に、プリント配線基板のレーザによるパターン加工に際して、レーザ加工前にガラス基板にＰＥＴフィルムを貼り付ける際に用いるのに好適な、ロール状に巻かれたフィルムを繰り出しながら基板に貼り付けるためのフィルム貼付装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
コンピュータ等の電子機器で使用されるプリント配線基板は、銅等の所定パターンの配線がガラス等の絶縁性基板の片面又は両面に形成されたものである。
【０００３】
この種のプリント配線基板では、従来、エッチングにより配線パターンを形成していたが、最近、レーザビームでパターンを描画する、いわゆるレーザパターニングも実用化されつつある。
【０００４】
いずれにしても、このようなプリント配線基板の製造工程においては、エッチング又はレーザによる加工前に基板に透光性樹脂（例えばＰＥＴ）フィルムを貼る必要があるが、基板のサイズが大きく、人手による貼付けが困難であるため、自動的に貼り付ける装置が必要である。
【０００５】
なお、樹脂被膜金属ラミネート材の製造に際して、温間ラミネートロールを用いて、ライン中を連続的に搬送されている帯状金属基板の両面に熱可塑性の樹脂被膜を直接貼り付ける方法が特許文献１や特許文献２に記載されているが、いずれも、単体の半導体基板にフィルムを貼る際に用いるのに適していなかった。
【０００６】
【特許文献１】特開平１０−１３８３１５号公報
【特許文献２】特開平１０−１３８３１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、前記従来の問題点を解決するべくなされたもので、単体の基板にフィルムを貼り付けるのに適したフィルム貼付装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、ロール状に巻かれたフィルムを繰り出しながら基板に貼り付けるための基板へのフィルム貼付装置であって、フィルムロール、基板にフィルムを密着させるフィルム押さえローラ、及び、前記フィルムロールから繰り出されたフィルムの先端を基板と反対側から保持する第１のフィルム保持手段を含むキャリアと、該キャリアをフィルムの長手方向に移動させる手段と、該キャリアを昇降させる手段と、基板の前端近傍に配設された、フィルムの先端を基板側から保持する第２のフィルム保持手段と、基板の周囲に配設された、フィルムの周囲を吸着固定するためのフィルム吸着手段とを備えることにより、前記課題を解決したものである。
【０００９】
又、前記フィルム吸着手段の一部が、前記第２のフィルム保持手段を兼ねるようにして、構成を簡略化したものである。
【００１０】
又、前記キャリアに、フィルムロールから繰り出されたフィルムのしわを除去する手段を設けて、フィルムにしわを生じないようにしたものである。
【００１１】
又、前記キャリアに、基板に密着された後のフィルム後端をカットする手段を設けて、貼り付け後のフィルムのカットが自動的に行なわれるようにしたものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、例えばレーザ加工前の基板に、ロール状に巻かれたフィルムを繰り出しながら自動的に貼り付けることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下図面を参照して、レーザ加工前のガラス基板にＰＥＴフィルムを自動的に貼り付ける装置に適用した、本発明の実施形態を詳細に説明する。
【００１４】
本実施形態は、図１（正面図）、図２（側面図）及び図３（平面図）に示す如く構成される。
【００１５】
図において、１２は、例えば幅１２０〜２０５０ｍｍ、厚さ３０〜１００μｍのＰＥＴフィルム（以下、単にフィルムと称する）１４が巻かれたフィルムロールで、図４に示す如く、フィルム１４の周りがガラス基板１０から約２０〜７０ｍｍ程度はみ出した状態で、ガラス基板１０に貼り付けられる。
【００１６】
２０は、例えば吸引ブロワを備えた吸着テーブルで、図５に示す如く、例えば三重矩形状の基板吸着エリア２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃ及び隅部吸着エリア２２Ｄにより、内側の基板吸着エリア２２Ａから外側の基板吸着エリア２２Ｃ及び隅部吸着エリア２２Ｄに向かって順次吸着することによって、その上に配置されるガラス基板１０を吸着、固定する。
【００１７】
２４Ａ〜２４Ｆは、前記基板吸着エリア２２Ｂの外側に設けられた、例えば吸引ブロワを備えたフィルム吸着エリアであり、例えば図の右側のエリア２４Ａから左側のエリア２４Ｆに向かって順次吸着することによって、フィルム１４のしわを伸ばしながらフィルムの全周を吸着する。
【００１８】
３０は、フィルムロール１２から繰り出されたフィルム１４の繰り出し高さを一定に保持しつつ、図６に示すようなフィルム１４のしわを取るための、例えばゴム製の均しガイドローラ、３２は、ガラス基板１０にフィルム１４を密着させてエア抜きさせるための、例えば、ばね（図示省略）の調整により押付力を調整可能とされた、例えばゴム製のフィルム押さえローラ、３４は、フィルムロール１２から繰り出されたフィルム１４の先端の全幅を基板と反対の上側から、例えば吸引ブロワにより吸着する第１のフィルム保持手段である上側吸着プレート、３６は、ガラス基板１０に貼り付けられた後のフィルム１４の後端を切断するための、図７に拡大して示すカッタ逃がし溝３７が吸着テーブル２０に形成されたフィルムカッタ、３８は、該フィルムカッタ３６をフィルム幅方向に駆動するためのカッタ駆動部である。
【００１９】
前記フィルムロール１２、均しガイドローラ３０、フィルム押さえローラ３２、フィルムカッタ３６及びカッタ駆動部３８は、キャリア４０に搭載されている。該キャリア４０は、キャリア搬送用モータ４２の回転によりタイミングベルト４４を介して直進（ＬＭ）ガイド４６上を図１の左右方向に移動可能とされると共に、エアシリンダ４８により図１の上下方向に昇降可能とされている。
【００２０】
５０はＸＹステージ、５２はベースプレートである。
【００２１】
本実施形態においては、図５の右端のフィルム吸着エリア２４Ａが、フィルム先端を基板と同じ下側から保持するための第２のフィルム保持手段である下側吸着プレートを兼ねるようにしているので、構成が簡略である。なお、フィルム吸着エリア２４Ａとは独立した下側吸着プレートを設けることもできる。保持方法も、吸引ブロワによる吸着に限定されない。
【００２２】
以下、図８を参照して、貼付装置の作用を説明する。
【００２３】
まず、ステップ１００で、図示しないロボットアーム等により、矢印Ａに示す如く、図１の左側から吸着テーブル２０上にガラス基板１０を装着する。
【００２４】
次いでステップ１１０で、初期段取りとして、フィルム１４を人手によりフィルムロール１２から繰り出し、キャリア４０上の上側吸着プレート３４に吸着させ、矢印Ｂに示す如く、反操作側（図１の左側）に移動する。
【００２５】
キャリア４０が反操作側へ到達後、ステップ１２０で、矢印Ｃに示す如く、キャリア４０を下降させ、フィルム１４の先端を上側吸着プレート３４から下側吸着プレート２４Ａに受け渡す。
【００２６】
下側吸着プレート２４Ａにフィルム１４の先端を吸着させた後、ステップ１３０で、矢印Ｄに示す如く、キャリア４０を操作側（図１の右側）に移動させながら、図７に示した如く、フィルム押さえローラ３２でフィルム１４をガラス基板１０に押し付けて、エアを抜きながら貼り付ける。
【００２７】
全面貼付後、ステップ１４０で、フィルム１４の周囲を吸着テーブル２０のフィルム吸着エリア２４Ａ〜２４Ｆで吸着固定する。
【００２８】
次いでステップ１５０で、再び上側吸着プレート３４でフィルム１４の後端を吸着保持させ、ステップ１６０でフィルムカッタ３６を下降させ、カッタ駆動部３８によりフィルム幅方向に移動して、フィルム１４の後端を切断する。
【００２９】
切断後、ステップ１７０で、フィルムカッタ３６を、矢印Ｅに示す如く、キャリア４０と共に再び上昇させる。
【００３０】
このようにして、ガラス基板１０の表面にフィルム１４が貼られる。
【００３１】
実際の加工に際しては、図９に示す如く、領域Ａで矢印Ｄ方向にフィルムが貼られ、領域Ｂでレーザパターニングが行なわれた後、領域Ｃで、フィルム貼付方向と異なる矢印Ｆ方向にフィルムが剥がされ、領域Ａに再び新しい基板が装着されて、図８のステップ１１０乃至１７０が繰り返される。
【００３２】
なお、前記実施形態においては、均しガイドローラ３０により、図６に示したような、ロールから繰り出したフィルムのしわを除去するようにしていたが、図１０に示すような除電器３１を設けることもできる。なお、両方を併用したり、又は、他の方法でフィルムのしわを除くことも可能である。図において、３３は、フィルム押さえローラ３２の押付力調整ばねである。
【００３３】
又、前記実施形態においては、キャリア４０がタイミングベルト４４を用いて直進ガイド４６上を移動すると共に、エアシリンダ４８を用いて昇降するようにされていたが、キャリア４０を移動させたり昇降させるための構成は、これに限定されない。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
本発明は、特にレーザ加工前の処理として、ガラス基板にＰＥＴフィルムを貼り付ける際に用いるのに好適である。なお、本発明の適用対象はこれに限定されず、一般の単体基板にフィルム一般を貼り付ける際に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の実施形態の正面図
【図２】同じく側面図
【図３】同じく平面図
【図４】同じくフィルムが貼り付けられたガラス基板を示す平面図
【図５】同じく吸着テーブルを示す平面図
【図６】同じくフィルムに生じるしわを示す平面図
【図７】同じく要部拡大正面図
【図８】本実施形態における貼付手順を示す流れ図
【図９】同じくレーザパターニングの全体工程を示す平面図
【図１０】同じくキャリアに配設されたしわ取りのための機構の変形例を示す正面図
【符号の説明】
【００３６】
１０…ガラス基板
１２…フィルムロール
１４…ＰＥＴフィルム
２０…吸着テーブル
２２Ａ〜２２Ｃ…基板吸着エリア
２２Ｄ…隅部吸着エリア
２４Ａ〜２４Ｆ…フィルム吸着エリア
２４Ａ…下側吸着プレート
３０…均しガイドローラ
３１…除電器
３２…フィルム押さえローラ
３３…押付力調整ばね
３４…上側吸着プレート
３６…フィルムカッタ
３７…カッタ逃がし溝
３８…カッタ駆動部
４０…キャリア
４２…キャリア搬送用モータ
４４…タイミングベルト
４６…直進（ＬＭ）ガイド
４８…エアシリンダ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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