(57)【要約】【課題】  測定レンジが広い場合でも高精度な距離測定を可能にすること。【解決手段】  筐体１０１の前面に固定された円板状の保持板１０２には、投光レンズ１０３及び投光レンズ１０３を中心とする同一の円周上に複数の受光レンズ１０４〜１０７が固定されている。各受光レンズ１０４〜１０７は光学軸が異なる角度になるように配設されていると共に、各受光レンズ１０４〜１０７に対応してＰＳＤが設けられている。投光レンズ１０３から出力された測定用光は被測定物で反射し、受光レンズ１０４〜１０７を介して対応するＰＳＤで検出される。出力レベルが最も大きいＰＳＤの検出信号を用いて被測定物までの距離を算出する。【選択図】  図１
2005172462.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定用光を出力する光源と、受光レンズと、被測定物で反射した前記光源からの測定用光を前記受光レンズを介して検出し対応する検出信号を出力する光検出手段と、前記光検出手段からの検出信号に基づいて所定位置から前記被測定物までの距離を算出する算出手段とを有する光学式測定装置において、
複数の受光レンズを有すると共に前記各受光レンズは光学軸が異なる角度で配設されて成り、
前記算出手段は、所定条件を満たす光検出手段から出力される検出信号に基づいて、所定位置から前記被測定物までの距離を算出することを特徴とする光学式測定装置。
【請求項２】
前記光検出手段は、検出した測定用光に対応する検出信号を出力する複数の光検出素子によって構成されると共に、前記各光検出素子は前記各受光レンズに対応するように配設されて成り、
前記各光検出素子は前記各対応して配設された受光レンズを介して受光した測定用光を検出すると共に、前記算出手段は前記複数の光検出素子のうちの所定条件を満たす光検出素子から出力される検出信号に基づいて所定位置から前記被測定物までの距離を算出することを特徴とする請求項１記載の光学式測定装置。
【請求項３】
前記算出手段は、前記複数の光検出素子のうち、出力される検出信号のレベルが最も大きい光検出素子を選択する選択手段と、前記選択した光検出素子からの検出信号に基づいて前記所定位置から前記被測定物までの距離を算出する距離算出手段とを備えて成ることを特徴とする請求項２記載の光学式測定装置。
【請求項４】
複数の光検出素子の中のいずれかの光検出素子を選択操作するための操作手段を有し、
前記算出手段は、前記操作手段で選択された光検出素子からの検出信号に基づいて、前記所定位置から前記被測定物までの距離を算出することを特徴とする請求項２記載の光学式測定装置。
【請求項５】
前記測定用光を被測定物側へ出力する投光レンズを有し、前記複数の受光レンズは、それらの中心が前記投光レンズを中心とする同一円周上に配設されて成ることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一に記載の光学式測定装置。
【請求項６】
前記投光レンズを中心位置として回転する回転部材を有し、前記各受光レンズは前記回転部材に一体的に配設されて成ることを特徴とする請求項５記載の光学式測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定用光を出力する光源及び受光レンズを有し、被測定物で反射した前記光源からの測定用光を前記受光レンズを介して検出し、前記検出した信号に基づいて前記被測定物までの距離を得るようにした光学式測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、測定用光を出力する光源と、受光レンズと、被測定物で反射した前記光源からの測定用光を前記受光レンズを介して検出し、検出した測定用光に対応する検出信号を出力する光検出手段と、前記光検出手段から出力される検出信号に基づいて所定位置から前記被測定物までの距離を算出する算出手段とを有し、前記光検出手段からの検出信号に基づいて、前記被測定物までの距離を得るようにした光学式測定装置が開発されている。
【０００３】
図６は、非特許文献１に記載された光学式測定装置の測定原理を示す原理図であり、三角測距方式の測定原理を示している。
図６において、６０１は距離を測定するための測定用光を出力する発光素子（例えば赤外発光ダイオード）、６０２は投光レンズ、６０３は受光レンズ、６０４は光検出素子であるＰＳＤ（Position Sensitive Detector）、６０５は投光レンズ６０２の光学軸（レンズの中心を通りレンズ面に直角な軸）、６０６は受光レンズ６０３の光学軸、ｍは被測定物である。
【０００４】
発光素子６０１から出力された測定用光は、投光レンズ６０２によって所定の指向性が付与され、被測定物ｍに照射される。被測定物ｍに到達した測定用光は、被測定物ｍによって乱反射され、該反射光の一部が受光レンズ６０３によってＰＳＤ６０４上にスポット（点）として集光される。
これにより、被測定物ｍで反射された測定用光はＰＳＤ６０４によって検出される。このとき、ＰＳＤ６０４上の受光スポットは、受光レンズ６０３と被測定物ｍとの距離に応じて、その位置が変化する。したがって、ＰＳＤ６０４上の受光スポット位置を電気的に検出することにより、予め定めた所定位置から被測定物ｍまでの距離を測定することが可能になる。
【０００５】
これを図６を用いて説明すると、投光レンズ６０２と受光レンズ６０３の中心間距離（基線長）をＡ、受光レンズ６０３の焦点距離をｆとし、投光レンズ６０２から出力される測定用光の広がりやレンズ６０２、６０３の厚み・収差は無視し、受光レンズ６０３から距離ｆの位置にＰＳＤ６０４の受光面があるものとする。この場合、所定位置である投光レンズ６０２から被測定物ｍまでの距離ｄは、中心間距離Ａ、焦点距離ｆ及び受光スポットの位置Ｘを用いて、幾何学的に次式で求められる。
ｄ＝Ａ・ｆ／Ｘ
中心間距離Ａ及び受光レンズ６０３の焦点距離ｆは既知の値であるため、ＰＳＤ６０４における受光スポットの位置Ｘを検出することにより、所定位置から被測定物ｍまでの距離や、被測定物ｍの移動量等を測定することができる。
【０００６】
ところで、被測定物ｍで反射した測定用光が受光レンズ６０３を介してＰＳＤ６０４上に受光スポットを適正に形成させるためには、被測定物ｍで反射した測定用光が受光レンズ６０３に対して直角に近い角度で入射することが好ましい。このために、受光レンズ６０３の光学軸６０６が投光レンズ６０２の光学軸６０５に対して所定角度（例えば数度）傾斜するように、受光レンズ６０３はその中心位置を中心として所定角度（例えば数度）回転した状態で配設される。即ち、図６に示す構成では、光学軸６０６は反時計回りに所定角度回転した状態に配設される。
【０００７】
前記角度は、測定する距離に応じて適正な角度が異なっており、例えば、測定距離が長い場合には前記角度は小さく、測定距離が短い場合には前記角度は大きくなる。
測定距離の範囲（測定レンジ）が狭い場合には、受光レンズを所定角度回転させた状態に固定しておいても、ある程度の精度で測定することは可能である。しかしながら、測定レンジが広い場合や、一つの測定レンジは狭いが該狭いレンジを複数切り換えて測定することによって結果として測定レンジが広くなる場合等には、受光レンズを一つの所定角度に固定した状態では、測定する距離によっては、正確な距離測定が困難になるという問題がある。
【特許文献１】情報調査会より出版された「センサ技術」（１９９２年１０月号（Vol.12.No.11））
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、測定レンジが広い場合でも高精度な距離測定を可能にすることを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明によれば、測定用光を出力する光源と、受光レンズと、被測定物で反射した前記光源からの測定用光を前記受光レンズを介して検出し対応する検出信号を出力する光検出手段と、前記光検出手段からの検出信号に基づいて所定位置から前記被測定物までの距離を算出する算出手段とを有する光学式測定装置において、複数の受光レンズを有すると共に前記各受光レンズは光学軸が異なる角度で配設されて成り、前記算出手段は、所定条件を満たす光検出手段から出力される検出信号に基づいて、所定位置から前記被測定物までの距離を算出することを特徴とする光学式測定装置が提供される。算出手段は、所定条件を満たす光検出手段から出力される検出信号に基づいて、所定位置から被測定物までの距離を算出する。
【００１０】
ここで、前記光検出手段は、検出した測定用光に対応する検出信号を出力する複数の光検出素子によって構成されると共に、前記各光検出素子は前記各受光レンズに対応するように配設されて成り、前記各光検出素子は前記各対応して配設された受光レンズを介して受光した測定用光を検出すると共に、前記算出手段は前記複数の光検出素子のうちの所定条件を満たす光検出素子から出力される検出信号に基づいて所定位置から前記被測定物までの距離を算出するように構成してもよい。
また、前記算出手段は、前記複数の光検出素子のうち、出力される検出信号のレベルが最も大きい光検出素子を選択する選択手段と、前記選択した光検出素子からの検出信号に基づいて前記所定位置から前記被測定物までの距離を算出する距離算出手段とを備えて成るように構成してもよい。
【００１１】
また、複数の光検出素子の中のいずれかの光検出素子を選択操作するための操作手段を有し、前記算出手段は、前記操作手段で選択された光検出素子からの検出信号に基づいて、前記所定位置から前記被測定物までの距離を算出するように構成してもよい。
また、前記測定用光を被測定物側へ出力する投光レンズを有し、前記複数の受光レンズは、それらの中心が前記投光レンズを中心とする同一円周上に配設されて成るように構成してもよい。
また、前記投光レンズを中心位置として回転する回転部材を有し、前記各受光レンズは前記回転部材に一体的に配設されて成るように構成してもよい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の光学式測定装置によれば、測定レンジが広い場合でも高精度な距離測定が可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態に係る光学式測定装置について説明する。尚、本発明の実施の形態に係る光学式測定装置は、測定用光を出力する光源と、受光レンズと、被測定物で反射した前記光源からの測定用光を前記受光レンズを介して検出し検出した測定用光に対応する検出信号を出力する光検出手段と、前記光検出手段から出力される検出信号に基づいて所定位置から前記被測定物までの距離を算出する算出手段とを有し、前記光検出手段からの検出信号に基づいて、前記被測定物までの距離を得るようにした光学式測定装置である。また、各図において、同一部分には同一符号を付している。
【００１４】
図１は本発明の第１の実施の形態に係る三角測距方式の光学式測定装置の外観斜視図、図２は図１の光学式測定装置の部分側断面図、図３は図１の光学式測定装置の回路ブロック図である。
図１〜図３において、光学式測定装置は、筐体１０１、筐体１０１の前面に固定された円板状の保持板１０２、筐体１０１の上面に固定された表示手段としての液晶表示装置１０８、保持板１０２に固定された投光レンズ１０３及び複数（本実施の形態では４個）の受光レンズ１０４〜１０７を備えている。
【００１５】
投光レンズ１０３及び複数の受光レンズ１０４〜１０７は、保持板１０２の前面側に固定されている。各受光レンズ１０４〜１０７は、各受光レンズ１０４〜１０７の中心が、投光レンズ１０３を中心とする同一の円周上に位置するように配設されている。保持板１０２における投光レンズ１０３の背面側には、保持板１０２に設けられた孔２０４を介して、投光レンズ１０３に対向する位置に光源としてのレーザ装置２０１が固定して配設されている。レーザ装置２０１の代わりに発光ダイオード（ＬＥＤ）等の他の光源を使用してもよい。
【００１６】
保持板１０２における各受光レンズ１０４〜１０７の背面側には、保持板１０２における各受光レンズ１０４〜１０７に対応する位置に設けられた複数の孔（図２には孔２０５、２０６のみを示している。）を介して、各受光レンズ１０４〜１０７（図２には受光レンズ１０５、１０７のみを示している。）に対向する位置に、光検出素子であるＰＳＤ（Position Sensitive Detector）２０２、２０３、３０１、３０２（図２にはＰＳＤ２０２、２０３のみを示している。）が複数固定して配設されている。ＰＳＤ２０２、２０３、３０１、３０２は、被測定物で反射した光源からの測定用光を受光レンズを介して検出し、検出した測定用光に対応する検出信号を出力する光検出手段を構成している。
【００１７】
各受光レンズ１０４〜１０７は、各々光学軸（レンズの中心を通りレンズ面に直角な軸：図２には受光レンズ１０５の光学軸２０８及び受光レンズ１０７の光学軸２０９のみを示している。）が異なる角度になるように配設されている。即ち、各受光レンズ１０４〜１０７は、その光学軸が投光レンズ１０３の光学軸２０７に対して各異なる角度になるように、投光レンズ１０３側に各々異なる所定角度傾斜した状態で配設されている。
例えば、受光レンズ１０４は０度（その光学軸が光学軸２０７と平行）、受光レンズ１０５は１０度、受光レンズ１０６は２０度、受光レンズ１０７は３０度だけ、各光学軸が投光レンズ１０３の光学軸２０７に対して傾斜するように、各受光レンズ１０４〜１０７はそれらの中心位置を中心として投光レンズ１０３側に回転した状態で配設されている。
【００１８】
レーザ装置２０１、ＰＳＤ２０２、２０３、３０１、３０２は算出手段としての制御回路３０３に接続されている。また、制御回路３０３には液晶表示装置１０８が接続されている。尚、制御回路３０３によって構成される算出手段は、複数のＰＳＤ２０２、２０３、３０１、３０２のうちの検出信号が最も大きいＰＳＤを選択する選択手段と、該選択したＰＳＤから出力される検出信号に基づいて、所定位置から被測定物までの距離を算出する距離算出手段とを備えるように構成される。
【００１９】
以上のように構成された光学式測定装置の動作を以下説明する。
先ず、制御回路３０３はレーザ装置２０１を制御することにより、被測定物（図示せず）を測定するための光である測定用光をレーザ装置２０１から出力する。レーザ装置２０１から出力された測定用光は、投光レンズ１０３によって指向性を付与された後に、被測定物に向けて出力される。
【００２０】
レーザ装置２０１から出力された測定用光は被測定物で乱反射し、該乱反射した一部の測定用光が各受光レンズ１０４〜１０７で集光されて、各受光レンズ１０４〜１０７に対応して配設されたＰＳＤ２０２、２０３、３０１、３０２上に受光スポットが形成される。各ＰＳＤ２０２、２０３、３０１、３０２からは、各受光レンズ１０４〜１０７を介して受光した光信号（受光スポット）に応じた電気信号が検出信号として出力される。各ＰＳＤ２０２、２０３、３０１、３０２から出力される検出信号は、受光量に応じたレベルの情報及び各ＰＳＤ２０２、２０３、３０１、３０２における受光スポット位置を表す情報を含む信号である。
【００２１】
各受光レンズ１０４〜１０７は、相互に異なる角度に傾斜した状態で配設されているため、各受光レンズ１０４〜１０７から被測定物までの距離に応じて、受光レンズ１０４〜１０７を介して受光する被測定用光の光量は相違しており、該受光量が多い受光レンズが測定にもっとも適した受光レンズになる。
制御回路３０３は、各ＰＳＤ２０２、２０３、３０１、３０２から出力される検出信号を比較して、受光量が最も多いＰＳＤ、即ち、出力した検出信号のレベルが最も大きいＰＳＤに対応する受光レンズを最適な受光レンズと判断して選択し又、該選択した受光レンズに対応するＰＳＤを最適なＰＳＤとして選択し、該選択したＰＳＤから出力される検出信号に基づいて、例えば前記非特許文献１に記載されたようにして、所定位置（例えば、投光レンズ１０３の中心位置）から被測定物までの距離を算出する。
【００２２】
ここで、制御回路３０３は算出手段を構成し、該算出手段は、複数のＰＳＤ２０２、２０３、３０１、３０２のうち、出力される検出信号のレベルが最も大きいＰＳＤを選択する選択手段と、該選択したＰＳＤからの検出信号に基づいて所定位置から被測定物までの距離を算出する距離算出手段とにより構成されることになる。
このようにして測定した距離は、液晶表示装置１０８に表示される。以上のようにして、最適な受光レンズを使用して、正確な距離を測定することが可能になる。また、ＰＳＤを選択するための条件として、最もレベルの大きな検出信号を出力するＰＳＤを、距離測定用のＰＳＤとして使用するようにしているため、耐ノイズ性優れた距離測定が可能になる。尚、制御回路３０３は、液晶表示装置１０８に、距離算出に際して使用した受光レンズあるいはＰＳＤを表示するようにしてもよい。
【００２３】
図４は本発明の第２の実施の形態に係る三角測距方式の光学式測定装置の回路ブロック図であり、図１〜図３と同一部分には同一符号を付している。
前記第１の実施の形態では最適な受光レンズ１０４〜１０７に対応するＰＳＤ２０２、２０３、３０１、３０２の選択は、制御回路３０３がＰＳＤ２０２、２０３、３０１、３０２から出力される検出信号に基づいて行うようにしたが、本第２の実施の形態では、制御回路４０２が操作スイッチ４０１の操作を検出して、操作スイッチ４０１の操作に応じたＰＳＤを最適なものとして選択するように構成している。即ち、算出手段としての制御回路４０２には、光学式測定装置の筐体に取り付けられた操作手段としての操作スイッチ４０１が接続された構成となっている。
【００２４】
以上のように構成された光学式測定装置においては、制御回路４０２はレーザ装置２０１を制御することにより、被測定物（図示せず）を測定するための光である測定用光をレーザ装置２０１から出力する。レーザ装置２０１から出力された測定用光は、投光レンズ１０３によって集光された後に、被測定物に向けて出力される。
測定用光は被測定物で乱反射し、該乱反射した一部の測定用光が各受光レンズ１０４〜１０７で集光されて、各受光レンズ１０４〜１０７に対応して配設されたＰＳＤ２０２、２０３、３０１、３０２上に受光スポットが形成される。
【００２５】
各ＰＳＤ２０２、２０３、３０１、３０２からは、各受光レンズ１０４〜１０７を介して受光した光信号（受光スポット）に応じた電気信号が検出信号として出力される。各ＰＳＤ２０２、２０３、３０１、３０２から出力される検出信号は、受光量に応じたレベルの情報及び各ＰＳＤ２０２、２０３、３０１、３０２における受光スポット位置を表す情報を含む信号である。
【００２６】
使用者は、測定レンジに応じた受光レンズ（実質的には該受光レンズに対応して配設されたＰＳＤ）を選択するために操作スイッチ４０１を操作する。例えば、使用者は、操作スイッチを押圧する回数の相違によって受光レンズ（実質的には該受光レンズに対応して配設されたＰＳＤ）を選択操作する。
制御回路４０２は、操作スイッチの操作によって選択された受光レンズに対応するＰＳＤを選択し、該ＰＳＤから出力される検出信号に基づいて、所定位置（例えば、投光レンズ１０３の中心位置）から被測定物までの距離を算出する。
【００２７】
ここで、制御回路４０２は算出手段を構成し、該算出手段は、操作手段によって選択されたＰＳＤを選択する選択手段と、該選択したＰＳＤの出力信号に基づいて所定位置から被測定物までの距離を算出する距離算出手段とにより構成されることになる。
このようにして測定した距離は、液晶表示装置１０８に表示される。以上のようにして、最適な受光レンズを使用して、正確な距離を測定することが可能になる。また、ＰＳＤを選択するための条件として、操作スイッチ４０１の操作によって選択したＰＳＤを、距離測定用のＰＳＤとして使用するようにしているため、測定環境等の条件に応じて最適なＰＳＤを選択することが可能になり、より高精度な距離測定が可能になる。尚、この場合にも、制御回路４０２は、液晶表示装置１０８に、距離算出に際して使用した受光レンズあるいはＰＳＤを表示するようにしてもよい。
【００２８】
図５は、本発明の第３の実施の形態に係る三角測距方式の光学式測定装置の部分側断面図であり、前記第１の実施の形態の図２に対応する図で、図１〜図４と同一部分には同一符号を付している。尚、筐体等の他の構成は前記第１の実施の形態又は第２の実施の形態と同一であるため、それらについての説明は省略する。
前記第１、第２の実施の形態では、レンズ１０３、１０４〜１０７やＰＳＤ２０２、２０３、３０１、３０２等を固定した円板状の保持板１０２は筐体に固定するように構成したが、本第３の実施の形態では、投光レンズ１０３と同軸となるように支軸５０１を保持板１０２に対して一体的に形成し、保持板１０２が支軸５０１を軸として筐体１０１に対して回転可能なように構成している。具体的には、筐体１０１に孔（図示せず）を形成し、該孔に支軸５０１を挿入した状態で支軸５０１が筐体１０１に対して回転可能な状態に保持し、これにより、保持板１０２が支軸５０１を軸として筐体１０１に対して回転可能になるように構成している。
【００２９】
被測定物が円筒状の形状を有する場合、投光レンズと受光レンズは、被測定物の長さ方向に整列した状態で測定した方が、被測定用光の反射損失が少なくなり、検出精度が向上する。
したがって、このような場合に、使用者は、支軸５０１を軸として（即ち、投光レンズ１０３を中心として）保持板１０２を必要な角度回転させることにより、複数の受光レンズ１０４〜１０７（及びＰＳＤ）を筐体に対して必要な角度回転させて使用する。これにより、被測定物が円筒状の形状を有する場合でも、投光レンズ１０３と受光レンズを被測定物の長さ方向に整列した状態に位置させた状態で距離測定を行うことが可能になる。よって、前記第１、第２の実施の形態が有する効果のみならず、被測定用光の反射損失を低減して、より高精度な測定が可能になるという効果を奏することができる。
【００３０】
以上述べたように、本実施の形態に係る光学式測定装置は、測定用光を出力する光源と、受光レンズと、被測定物で反射した前記測定用光を前記受光レンズを介して検出し対応する検出信号を出力するＰＳＤと、前記ＰＳＤからの検出信号に基づいて所定位置から前記被測定物までの距離を算出する算出手段とを有する光学式測定装置において、複数の受光レンズ１０４〜１０７を有し、各受光レンズ１０４〜１０７は、各々光学軸が異なる角度になるように配設されて成り、算出手段３０３、４０２は、所定条件を満たすＰＳＤで検出した測定用光に基づいて所定位置から前記被測定物までの距離を算出することを特徴としている。前記所定条件とは、最も大きなレベルの検出信号を出力することを条件としてもよく又、操作手段によって選択されたことを条件としてもよい。
したがって、一の広範囲の測定レンジを有する光学式測定装置のみならず、複数のレンジを切り換えて測定することにより広範囲な測定レンジを実現する光学式測定装置等に利用できる。
【００３１】
尚、前記各実施の形態では、光検出手段として一次元の光検出素子であるＰＳＤ２０２、２０３、３０１、３０２を使用したが、２次元の光検出素子等の他の光検出手段が使用できる。
また、前記各実施の形態では、各受光レンズ１０４〜１０７及び各受光レンズ１０４〜１０７に対応するＰＳＤ２０２、２０３、３０１、３０２を、投光レンズ１０３を中心とする同一円周上に配設するように構成したが、一直線上に配設するなど、種々の配置にすることができる。
【００３２】
また、光源２０１から出力される測定用光を絞る必要がない場合には投光レンズ１０３は不要である。
また、選択したＰＳＤには駆動電力を供給する一方、選択しなかったＰＳＤへの駆動電力の供給を遮断するように構成して、省電力化を図ることも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
一の広範囲の測定レンジを有する光学式測定装置のみならず、複数のレンジを切り換えて測定することにより広範囲な測定レンジを実現する光学式測定装置等に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る光学式測定装置の外観斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係る光学式測定装置の部分断面図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態に係る光学式測定装置の回路ブロック図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態に係る光学式測定装置の回路ブロック図である。
【図５】本発明の第３の実施の形態に係る光学式測定装置の部分断面図である。
【図６】従来の光学式測定装置の測定原理図である。
【符号の説明】
【００３５】
１０１・・・筐体
１０２・・・保持板
１０３・・・投光レンズ
１０４〜１０７・・・受光レンズ
１０８・・・表示手段としての液晶表示装置
２０１・・・光源としてのレーザ装置
２０２、２０３、３０１、３０２・・・光検出手段としてのＰＳＤ
２０４〜２０６・・・孔
２０７〜２０９・・・光学軸
３０３、４０２・・・算出手段としての制御回路
４０１・・・操作手段としての操作スイッチ
５０１・・・支軸
【図１】
2005172462.tif 000003
【図２】
2005172462.tif 000004
【図３】
2005172462.tif 000005
【図４】
2005172462.tif 000006
【図５】
2005172462.tif 000007
【図６】
2005172462.tif 000008