(57)【要約】【課題】  機能液滴吐出ヘッドの各ノズルから吐出された極微少量の機能液滴の吐出量について、信頼性の高い測定結果を得ることができる機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法およびその装置等を提供することを課題とする。【解決手段】  各ノズル６５から吐出された機能液滴の吐出量を測定する機能液滴吐出ヘッド１６の吐出量測定装置５であって、機能液滴吐出ヘッド１６の各ノズル６５に連なる吐出駆動素子６１への駆動波形を制御する制御手段８と、着弾した機能液滴が所定の接触角を為すように表面処理した検査基板１１２上に着弾した機能液滴を撮像する撮像手段１０２と、撮像された機能液滴の二次元画像を用いて、機能液滴の直径を解析する画像解析手段と、所定の接触角および機能液滴の直径に基づいて、機能液滴の体積を算出する算出手段と、を備えたものである。【選択図】  図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
着弾した機能液滴が所定の接触角を為すように表面処理した検査基板上に、機能液滴吐出ヘッドの多数のノズルからそれぞれ機能液滴を吐出し、前記各ノズルから吐出された機能液滴の吐出量を測定する機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法であって、
前記検査基板上に前記各ノズルから機能液滴を吐出し、略半球を為すように着弾させる吐出工程と、
前記検査基板上の機能液滴を撮像する撮像工程と、
撮像した前記機能液滴の二次元画像を用いて、前記機能液滴の直径を解析する画像解析工程と、
前記所定の接触角および前記機能液滴の直径に基づいて、前記機能液滴の体積を算出する算出工程と、
を備えたことを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法。
【請求項２】
前記撮像工程における前記機能液滴の撮像は、前記多数のノズル毎の多数の前記機能液滴について、１または複数の機能液滴単位で行われることを特徴とする請求項１に記載の機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法。
【請求項３】
前記吐出工程における機能液滴の吐出は、前記１または複数の機能液滴単位に対応する１または複数のノズル単位で行われ、
前記吐出工程における吐出と前記撮像工程における撮像とは、
前記各回の吐出から前記各回の撮像に至る時間が同一になるように行われることを特徴とする請求項２に記載の機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法の各工程を備え、ワークに対し、前記機能液滴吐出ヘッドの前記各ノズルから機能液滴を吐出する液滴吐出装置における機能液滴吐出ヘッドの駆動制御方法であって、
算出された前記機能液滴の体積に基づいて、前記ワークに吐出される機能液滴の吐出量が前記多数のノズル間で均一化されるように前記各ノズルに連なる吐出駆動素子への駆動波形を制御する制御工程を、備えたことを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの駆動制御方法。
【請求項５】
前記吐出工程に先立って、前記吐出工程における吐出位置とは異なる位置に前記各ノズルから機能液滴を複数回予備的に吐出する予備吐出工程を、さらに備えたことを特徴とする請求項４に記載の機能液滴吐出ヘッドの駆動制御方法。
【請求項６】
着弾した機能液滴が所定の接触角を為すように表面処理した検査基板上に、機能液滴吐出ヘッドの多数のノズルからそれぞれ機能液滴を吐出して略半球を為すように着弾させ、前記各ノズルから吐出された機能液滴の吐出量を測定する機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置であって、
前記機能液滴吐出ヘッドの前記各ノズルに連なる吐出駆動素子への駆動波形を制御する制御手段と、
前記検査基板上に着弾した機能液滴を撮像する撮像手段と、
撮像された前記機能液滴の二次元画像を用いて、前記機能液滴の直径を解析する画像解析手段と、
前記所定の接触角および前記機能液滴の直径に基づいて、前記機能液滴の体積を算出する算出手段と、
を備えたことを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置。
【請求項７】
前記撮像手段は、前記多数のノズル毎の多数の前記機能液滴を１または複数の機能液滴単位で撮像することを特徴とする請求項６に記載の機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置。
【請求項８】
前記制御手段は、前記機能液滴吐出ヘッドを制御して、前記１または複数の機能液滴単位に対応する１または複数のノズル単位で機能液滴を吐出させ、
前記撮像手段は、前記各回の吐出から前記各回の撮像に至る時間が同一となるように、前記各回の撮像を行うことを特徴とする請求項７に記載の機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置。
【請求項９】
請求項６ないし８のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置を備え、前記機能液滴吐出ヘッドを、ワークに対し互いに直交する主走査方向および副走査方向に相対移動させながら、前記各ノズルから機能液滴を吐出して前記ワーク上に成膜部を形成する液滴吐出装置であって、
前記制御手段は、算出された前記機能液滴の体積に基づいて、前記ワークに吐出される機能液滴の吐出量が前記多数のノズル間で均一化されるように前記機能液滴吐出ヘッドを制御することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１０】
ワークテーブル上に載置した前記ワークを主走査方向に移動させるＸ軸テーブルと、
前記機能液滴吐出ヘッドを副走査方向に移動させるＹ軸テーブルと、
前記機能液滴吐出ヘッドの機能回復を行うメンテナンスユニットと、
前記Ｙ軸テーブルによる前記機能液滴吐出ヘッドの移動軌跡上に、前記メンテナンスユニットを構成する各手段が臨むように、前記メンテナンスユニットの各手段を移動可能に搭載するメンテナンス系移動テーブルと、をさらに備え、
前記検査基板は、前記メンテナンス系移動テーブルに搭載されており、
前記撮像手段は、前記メンテナンス系移動テーブルによる前記検査基板の移動軌跡上に配設されていることを特徴とする請求項９に記載の液滴吐出装置。
【請求項１１】
前記メンテナンスユニットは、前記機能液滴吐出ヘッドから吐出された機能液滴を受けるフラッシングボックスを、有し、
前記制御手段は、前記機能液滴吐出ヘッドを制御して、前記検査基板上に機能液滴を吐出するのに先立って、前記フラッシングボックスに対して前記各ノズルから機能液滴を複数回予備的に吐出させることを特徴とする請求項１０に記載の液滴吐出装置。
【請求項１２】
前記機能液滴吐出ヘッドに対し、ワークテーブル上に載置した前記ワークを主走査方向に移動させるＸ軸テーブルと、
前記機能液滴吐出ヘッドを副走査方向に移動させるＹ軸テーブルと、をさらに備え、
前記ワークテーブルは、前記検査基板を装着可能に構成されていることを特徴とする請求項９に記載の液滴吐出装置。
【請求項１３】
請求項９ないし１２のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１４】
請求項９ないし１２のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１５】
請求項１３に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項１４に記載の電気光学装置を、搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機能液滴吐出ヘッドの各ノズルから吐出された機能液滴の吐出量を測定する機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法およびその装置、機能液滴吐出ヘッドの駆動制御方法、液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の技術として、インクジェットヘッドに代表される機能液滴吐出ヘッドの各ノズルから、所定深さの浅い凹部が形成されたシャーレに機能液滴を吐出し、そのシャーレにカバーガラスで蓋をすることによりその機能液滴を押しつぶすようにして上下方向の寸法をその所定深さに規制し、機能液滴の水平面内における拡がりの面積を画像処理により測定して、その所定深さと面積とに基づいて機能液滴の体積を測定する機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００１−４１７９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような従来の機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法では、機能液滴吐出ヘッドの各ノズルから吐出される機能液滴の液量は極微小量（数ピコリットル程度）であることから、シャーレの凹部およびカバーガラスを精度良く仕上げる必要があるが、シャーレの凹部の底面およびカバーガラスの平面度や両者の平行度を精度良く加工することは難しく、測定結果の信頼性に欠けるおそれがあった。
【０００４】
本発明は、機能液滴吐出ヘッドの各ノズルから吐出された極微少量の機能液滴の吐出量について、信頼性の高い測定結果を得ることができる機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法およびその装置、機能液滴吐出ヘッドの駆動制御方法、液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法は、着弾した機能液滴が所定の接触角を為すように表面処理した検査基板上に、機能液滴吐出ヘッドの多数のノズルからそれぞれ機能液滴を吐出し、各ノズルから吐出された機能液滴の吐出量を測定する機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法であって、検査基板上に各ノズルから機能液滴を吐出し、略半球を為すように着弾させる吐出工程と、検査基板上の機能液滴を撮像する撮像工程と、撮像した機能液滴の二次元画像を用いて、機能液滴の直径を解析する画像解析工程と、所定の接触角および機能液滴の直径に基づいて、機能液滴の体積を算出する算出工程と、を備えたことを特徴とする。
【０００６】
また、本発明の機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置は、着弾した機能液滴が所定の接触角を為すように表面処理した検査基板上に、機能液滴吐出ヘッドの多数のノズルからそれぞれ機能液滴を吐出して略半球を為すように着弾させ、各ノズルから吐出された機能液滴の吐出量を測定する機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置であって、機能液滴吐出ヘッドの各ノズルに連なる吐出駆動素子への駆動波形を制御する制御手段と、検査基板上に着弾した機能液滴を撮像する撮像手段と、撮像された機能液滴の二次元画像を用いて、機能液滴の直径を解析する画像解析手段と、所定の接触角および機能液滴の直径に基づいて、機能液滴の体積を算出する算出手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
これらの構成によれば、機能液滴が着弾する検査基板は、着弾した機能液滴が所定の接触角を為すように表面処理がされており、この検査基板上で略半球を為している機能液滴の直径を画像処理により解析し、その所定の接触角および機能液滴の直径に基づき、球冠の体積として機能液滴の体積を求めることから、機能液滴吐出ヘッドの機能液滴の吐出量を正確に測定することができる。
なお、この検査基板には、例えば、ガラス基板、プラスティック基板や金属基板等に対し紫外線／オゾン洗浄やプラズマ洗浄等の表面処理を施したものを用いることができる。
また、略半球とは、半球すなわち検査基板に対する接触角φが９０°である形状の他、球冠すなわち接触角φが０°＜φ＜９０°および９０°＜φ＜１８０°である形状、並びに半球または球冠に近似する形状を含む概念である。
【０００８】
上記の機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法において、撮像工程における機能液滴の撮像は、多数のノズル毎の多数の機能液滴について、１または複数の機能液滴単位で行われることが好ましい。
【０００９】
また、上記の機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置において、撮像手段は、多数のノズル毎の多数の機能液滴を１または複数の機能液滴単位で撮像することが好ましい。
【００１０】
これらの構成によれば、多数のノズル毎の多数の機能液滴のすべてを撮像すると、各機能液滴の直径を画像処理により解析するのに十分な画像解析度（分解能）を得ることができない場合であっても、その多数の機能液滴を１または複数の機能液滴単位に分割して撮像することで、各機能液滴について十分な画像解析度を得ることができる。
【００１１】
上記の機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法において、吐出工程における機能液滴の吐出は、１または複数の機能液滴単位に対応する１または複数のノズル単位で行われ、吐出工程における吐出と撮像工程における撮像とは、各回の吐出から各回の撮像に至る時間が同一になるように行われることが好ましい。
【００１２】
また、上記の機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置において、制御手段は、機能液滴吐出ヘッドを制御して、１または複数の機能液滴単位に対応する１または複数のノズル単位で機能液滴を吐出させ、撮像手段は、各回の吐出から各回の撮像に至る時間が同一となるように、各回の撮像を行うことが好ましい。
【００１３】
これらの構成によれば、各回の吐出から各回の撮像に至る時間が同一となるように各回の撮像を行うことで、各回の吐出から各回の撮像に至るまでの間に各機能液滴から気化する溶剤の量を均一化することができる。このため、機能液滴からの溶剤の気化による測定精度への影響がなく、各ノズル間の相対的な機能液滴の吐出量を精度よく測定することができる。
【００１４】
本発明の機能液滴吐出ヘッドの駆動制御方法は、上記した機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法の各工程を備え、ワークに対し、機能液滴吐出ヘッドの各ノズルから機能液滴を吐出する液滴吐出装置における機能液滴吐出ヘッドの駆動制御方法であって、算出された機能液滴の体積に基づいて、ワークに吐出される機能液滴の吐出量が多数のノズル間で均一化されるように各ノズルに連なる吐出駆動素子への駆動波形を制御する制御工程を、備えたことを特徴とする。
【００１５】
この構成によれば、信頼性の高い機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法により測定された各ノズルからの吐出量に基づいて機能液滴吐出ヘッドの駆動を制御することで、ワークに吐出される機能液滴の吐出量を、多数のノズル間で正確に均一化させることができる。
【００１６】
この場合、吐出工程に先立って、吐出工程における吐出位置とは異なる位置に各ノズルから機能液滴を複数回予備的に吐出する予備吐出工程を、さらに備えたことが好ましい。
【００１７】
この構成によれば、液滴吐出装置において、ワークに対して機能液滴の吐出を行う前に、機能液滴吐出ヘッドの各ノズルから予備吐出を行うのと同様にして、予備吐出を行った後の機能液滴吐出ヘッドについて各ノズルからの吐出量を測定し、その測定結果に基づいて機能液滴吐出ヘッドの駆動を制御することができる。すなわち、実際にワークに対して吐出される機能液滴と同一条件下で測定試料（撮像対象）となる機能液滴を得ることができる。
なお、予備吐出の方法として、検査基板上に吐出する方法と、予備吐出された機能液滴を受けるためのフラッシングボックスに吐出する方法とが考えられる。
【００１８】
本発明の液滴吐出装置は、上記した機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置を備え、機能液滴吐出ヘッドを、ワークに対し互いに直交する主走査方向および副走査方向に相対移動させながら、各ノズルから機能液滴を吐出してワーク上に成膜部を形成する液滴吐出装置であって、制御手段は、算出された機能液滴の体積に基づいて、ワークに吐出される機能液滴の吐出量が多数のノズル間で均一化されるように機能液滴吐出ヘッドを制御することを特徴とする。
【００１９】
この構成によれば、信頼性の高い機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置を備え、これにより測定された各ノズルからの吐出量に基づいて機能液滴吐出ヘッドの駆動を制御することで、ワークに吐出される機能液滴の吐出量を、多数のノズル間で正確に均一化させることができる。
【００２０】
この場合、ワークテーブル上に載置したワークを主走査方向に移動させるＸ軸テーブルと、機能液滴吐出ヘッドを副走査方向に移動させるＹ軸テーブルと、機能液滴吐出ヘッドの機能回復を行うメンテナンスユニットと、Ｙ軸テーブルによる機能液滴吐出ヘッドの移動軌跡上に、メンテナンスユニットを構成する各手段が臨むように、メンテナンスユニットの各手段を移動可能に搭載するメンテナンス系移動テーブルと、をさらに備え、検査基板は、メンテナンス系移動テーブルに搭載されており、撮像手段は、メンテナンス系移動テーブルによる検査基板の移動軌跡上に配設されていることが好ましい。
【００２１】
この構成によれば、メンテナンス系移動テーブルにより、これに搭載された検査基板を撮像手段に臨ませることができる。このため、メンテナンス系移動テーブルの他に、機能液滴が着弾した検査基板を撮像手段に臨ませるための移動手段を設ける必要がないため、全体の装置構成を簡素化することができる。
【００２２】
この場合、メンテナンスユニットは、機能液滴吐出ヘッドから吐出された機能液滴を受けるフラッシングボックスを、有し、制御手段は、機能液滴吐出ヘッドを制御して、検査基板上に機能液滴を吐出するのに先立って、フラッシングボックスに対して各ノズルから機能液滴を複数回予備的に吐出させることが好ましい。
【００２３】
この構成によれば、ワークに対して機能液滴の吐出を行う前に、機能液滴吐出ヘッドの各ノズルから予備吐出を行うのと同様にして、フラッシングボックスに予備吐出を行った後の機能液滴吐出ヘッドについて各ノズルからの吐出量を測定し、その測定結果に基づいて機能液滴吐出ヘッドの駆動を制御することができる。すなわち、実際にワークに対して吐出される機能液滴と同一条件下で測定試料（撮像対象）となる機能液滴を得ることができる。また、予備吐出をフラッシングボックスに行うことで、検査基板を無駄に汚すことがない。
【００２４】
また、この場合、機能液滴吐出ヘッドに対し、ワークテーブル上に載置したワークを主走査方向に移動させるＸ軸テーブルと、機能液滴吐出ヘッドを副走査方向に移動させるＹ軸テーブルと、をさらに備え、ワークテーブルは、検査基板を装着可能に構成されていることが好ましい。
【００２５】
この構成によれば、ワークテーブルを移動させるＸ軸テーブルの他に、機能液滴吐出ヘッドを検査基板とワークとの相互間で相対的に移動させるための移動手段を設ける必要がないため、全体の装置構成を簡素化することができる。
【００２６】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。
【００２７】
また、本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００２８】
これらの構成によれば、ワークに対し各ノズルから吐出される機能液滴の吐出量を多数のノズル間で正確に均一化することができる液滴吐出装置を用いて製造されるため、信頼性の高い電気光学装置を製造することが可能となる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００２９】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００３０】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【発明の効果】
【００３１】
本発明の機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法およびその装置によれば、機能液滴吐出ヘッドの各ノズルから吐出された極微少量の機能液滴の吐出量について、信頼性の高い測定結果を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、添付の図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図１は、本発明を適用した液滴吐出装置１を模式的に表した平面図である。詳細は後述するが、この液滴吐出装置１は、特殊なインクや発光性の樹脂液等の機能液を機能液滴吐出ヘッド１６に導入して、基板等のワークＷ上に機能液滴による成膜部を形成するものである。
【００３３】
液滴吐出装置１は、機台２と、機台２上の全域に広く載置された描画装置３と、機台２上の端部に主要ユニットが設置されたヘッド機能回復装置４（メンテナンスユニット）と、ヘッド機能回復装置４と隣接するように設置された吐出量測定装置５と、ヘッド機能回復装置４および吐出量測定装置５の検査基板１１２を一括載置して機台２上を移動させるメンテナンス系移動テーブル６と、を有し、ヘッド機能回復装置４により機能液滴吐出ヘッド１６の機能回復処理（メンテナンス）を定期的に行うと共に、吐出量測定装置５により機能液滴吐出ヘッド１６の吐出量を測定し、その測定結果をフィードバックして機能液滴吐出ヘッド１６の吐出量を調整した上で、描画装置３によりワークＷ上に機能液滴による描画を行うようにしている。さらに、図１では図示を省略したが、この液滴吐出装置１には、各機能液滴吐出ヘッド１６に機能液を供給する給液タンク等を備える機能液供給機構７（図３参照）や、上記の描画装置３や吐出量測定装置５等の構成装置を統括制御する制御装置８（図９参照）等が組み込まれている。
【００３４】
描画装置３は、Ｘ軸テーブル１２およびＸ軸テーブル１２に直交するＹ軸テーブル１３から成るＸ・Ｙ軸移動機構１１と、Ｙ軸テーブル１３に移動自在に取り付けたメインキャリッジ１４と、メインキャリッジ１４に垂設したヘッドユニット１５とを備えている。そして、ヘッドユニット１５には、サブキャリッジ（図示省略）を介して、機能液滴吐出ヘッド１６が搭載されている。この場合、基板であるワークＷは、Ｘ軸テーブル１２の端部に臨む一対のワーク認識カメラ（図示省略）により、Ｘ軸テーブル１２に位置決めされた状態で搭載されている。また、機能液滴吐出ヘッド１６は、ワークＷに対して機能液滴の十分な塗布密度を確保するために副走査方向（Ｙ軸方向）に対して所定角度傾けて配設されている。なお、図示ヘッドユニット１５には、１個の機能液滴吐出ヘッド１６が搭載されているが、これが複数であってもよい。
【００３５】
Ｘ軸テーブル１２は、Ｘ軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のＸ軸スライダ２１を有し、これにワークＷを吸着搭載する吸着テーブル２３およびワークθ軸テーブル２４等から成るワークテーブル２２を移動自在に搭載して、構成されている。同様に、Ｙ軸テーブル１３は、Ｙ軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のＹ軸スライダ（図示省略）を有し、これにヘッドθ軸テーブル３１を介して上記のメインキャリッジ１４を移動自在に搭載して、構成されている。
【００３６】
この場合、Ｘ軸テーブル１２は、機台２上に直接支持される一方、Ｙ軸テーブル１３は、機台２上に立設した左右の支柱３２，３２に支持されている。Ｘ軸テーブル１２とメンテナンス系移動テーブル６とは、Ｘ軸方向に相互に平行に配設されており、Ｙ軸テーブル１３は、Ｘ軸テーブル１２とメンテナンス系移動テーブル６とを跨ぐように延在している。
【００３７】
そして、Ｙ軸テーブル１３は、これに搭載したヘッドユニット１５を、Ｘ軸テーブル１２の直上部に位置する描画エリア４１と、メンテナンス系移動テーブル６の直上部に位置する機能回復測定エリア４２との相互間で、適宜移動させる。すなわち、Ｙ軸テーブル１３は、Ｘ軸テーブル１２に導入したワークＷに描画を行う場合には、ヘッドユニット１５を描画エリア４１に臨ませ、また機能液滴吐出ヘッド１６の機能回復や吐出量の測定を行う場合には、ヘッドユニット１５を機能回復測定エリア４２に臨ませる。
【００３８】
一方、Ｘ軸テーブル１２の一方の端部は、ワークＷをＸ軸テーブル１２にセット（載せ代え）するための移動エリアとなっており、この移動エリアには、上記一対のワーク認識カメラが配設されている。そして、この一対のワーク認識カメラにより、吸着テーブル２３上に供給されたワークＷの２箇所の基準マークが同時に認識され、この認識結果に基づいて、ワークＷのアライメントがなされる。
【００３９】
図２に示すように、機能液滴吐出ヘッド１６は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針５２，５２を有する機能液導入部５１と、機能液導入部５１に連なる２連のヘッド基板５３と、機能液導入部５１の下方（同図（ａ）では上方）に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体５４と、を備えている。各接続針５２は、配管アダプタ（図示省略）を介して機能液を貯留する機能液供給機構７（の給液タンク）に接続されており、機能液導入部５１は、各接続針５２から機能液の供給を受けるようになっている。また、ヘッド本体５４は、ピエゾ素子等で構成される２連のポンプ部６１（吐出駆動素子）と、２本のノズル列６４，６４を相互に平行に形成したノズル面６３を有するノズルプレート６２と、を有している。各ノズル列６４は、多数（１８０個）のノズル６５が等ピッチで並べられて構成されている。
【００４０】
ヘッド基板５３には、２連のコネクタ６６，６６が設けられており、各コネクタ６６はフレキシブルフラットケーブ（図示省略）を介して上記の制御装置８のヘッドドライバ２１１（図９参照）に接続されている。そして、このヘッドドライバ２１１から出力された駆動波形が各コネクタ６６を介して各ポンプ部６１に印加されることで、各ノズル６５から機能液が吐出される。このようにして、制御装置８により機能液滴吐出ヘッド１６の駆動が制御されている。
【００４１】
ここで、図１を参照して、描画装置３によるワークＷへの吐出動作、すなわち描画動作について簡単に説明する。まず、機能液滴を吐出する前の準備として、吸着テーブル２３にセットされたワークＷの位置補正が、Ｘ軸テーブル１２によるＸ軸方向の位置補正およびワークθ軸テーブル２４によるθ軸方向の位置補正によりなされると共に、メインキャリッジ１４にセットされたヘッドユニット１５の位置補正が、Ｙ軸テーブル１３によるＹ軸方向の位置補正およびヘッドθ軸テーブル３１によるθ軸方向の位置補正によりなされる。
【００４２】
次に、ワークＷをＸ軸テーブル１２により主走査方向（Ｘ軸方向）に往復動させると共に、これに同期して機能液滴吐出ヘッド１６を選択的に駆動させて、ワークＷに対する機能液の吐出が行われる。そして、ワークＷを復動させた後、ヘッドユニット１５をＹ軸テーブル１３により副走査方向（Ｙ軸方向）に移動させ、再度ワークＷの主走査方向への往復移動と機能液滴吐出ヘッド１６の駆動が行われる。そして、これを複数回繰り返すことで、ワークＷの端から端まで描画が行われる。
なお、本実施形態の液滴吐出装置１では、Ｘ軸方向へのワークＷの移動を主走査とし、Ｙ軸方向へのヘッドユニット１５の移動を副走査として、描画動作が行われるが、ヘッドユニット１５を主走査方向に移動させる構成であってもよい。また、ワークＷを固定とし、ヘッドユニット１５をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させる構成であってもよい。
【００４３】
図１および図３に示すように、ヘッド機能回復装置４は、上記のワークテーブル２２に配設したフラッシングユニット７１と、上記のメンテナンス系移動テーブル６上に互いに隣接して載置した吸引ユニット７２およびワイピングユニット７３と、を備えている。
【００４４】
フラッシングユニット７１は、上記の描画装置３が描画動作を行う場合、前回の描画動作からかなりの時間が経っていると、ノズル６５内の機能液が乾燥により増粘してしまい、ノズル詰まりや小径の機能液滴が吐出される等の吐出不良が生ずるおそれがあるため、ワークＷに吐出する直前に、機能液滴のフラッシング（捨て吐出）を行うためのものである。フラッシングユニット７１は、その内部に液体吸収材が敷設された一対のフラッシングボックス７６，７６を有しており、この一対のフラッシングボックス７６，７６は、上記のワークテーブル２２の吸着テーブル２３をＸ軸方向に挟むように配設されている。すなわち、一対のフラッシングボックス７６，７６は、Ｘ軸テーブル１２によりワークテーブル２２（ワークＷ）と共に移動するようになっている。
【００４５】
上述したワークＷへの描画動作において、ワークＷがセットされたワークテーブル２２と共にフラッシングユニット７１が往動していくと、最初に同図示の上側のフラッシングボックス７６がヘッドユニット１５の直下を通過する。このとき、機能液滴吐出ヘッド１６が多数発の機能液滴のフラッシングを行い、機能液滴吐出ヘッド１６は、そのまま通常の液滴吐出動作に移行する。同様に、フラッシングユニット７１が復動していくと、最初に図示下側のフラッシングボックス７６がヘッドユニット１５の直下を通過する。このとき、機能液滴吐出ヘッド１６がフラッシングを行い、機能液滴吐出ヘッド１６は、そのまま通常の液滴吐出動作に移行する。このようにして、主走査のための往復動中に適宜フラッシングを行うことで、ノズル６５のノズル詰まり等を防止することができる。
【００４６】
吸引ユニット７２は、機能液滴吐出ヘッド１６のノズル面６３を封止して保管を行うと共に、機能液滴吐出ヘッド１６から機能液を強制的に吸引したり、機能液滴吐出ヘッド１６のノズル６５からの機能液滴のフラッシングを受けたりするものである。すなわち、吸引ユニット７２には、機能液滴吐出ヘッド１６に対応して位置し、底部位に液体吸収材が敷設されたキャップ７７が、昇降自在に設けられており、描画装置３の非稼動時には、キャップ７７を上昇させノズル面６３を封止して、機能液滴吐出ヘッド１６を保管する。また、機能液滴吐出ヘッド１６に機能液の充填を行う場合や、機能液滴吐出ヘッド内で増粘した機能液を除去する場合に、キャップ７７を機能液滴吐出ヘッド１６のノズル面６３に密着させて、ポンプ吸引を行う。さらに、ワークＷの交換時のように、ワークＷに対する機能液の吐出が一時的に休止されるときには、キャップ７７をフラッシングボックスとして、機能液滴吐出ヘッド１６から僅かに離間させておいてフラッシングを行う。これにより、ノズル詰まりが防止されあるいはノズル詰まりの生じた機能液滴吐出ヘッド１６の機能回復が図られる。
なお、このように、フラッシングには、ワークＷに機能液を吐出させる直前にフラッシングボックス７６に対して行う吐出前フラッシングと、機能液の吐出を休止するときにキャップ７７に対して定期的に行われる定期フラッシングとがある。
【００４７】
ワイピングユニット７３は、シート供給ユニット７８と拭き取りユニット７９とを備えており、ワイピングシート８０が繰出しかつ巻取り自在に設けられている。これらシート供給ユニット７８と拭き取りユニット７９とは、メンテナンス系移動テーブル６上に、拭き取りユニット７９を上記の吸引ユニット７２側に位置させた状態でＸ軸方向に並べて配置されており、機能回復測定エリア４２に存するヘッドユニット１５に向けてメンテナンス系移動テーブル６の動きにより拭き取りユニット７９がシート供給ユニット７８と一体に払拭方向たるＸ軸方向の一方（図１では上方、図３では右方）に移動し、ヘッドユニット１５の機能液滴吐出ヘッド１６のノズル面６３を払拭する。なお、ワイピングユニット７３のワイピング動作は、主として上記の吸引ユニット７２の吸引動作により汚れたノズル面６３を払拭するためのものであり、機能液滴吐出ヘッド１６は、吸引ユニット７２に臨んだ後、ワイピングユニット７３に臨むことになる。
【００４８】
メンテナンス系移動テーブル６は、ヘッド機能回復装置４の各種ユニットが上記の機能回復測定エリア４２、すなわちＹ軸テーブル１３による機能液滴吐出ヘッド１６の移動軌跡（移動軸）上に臨むように、ヘッド機能回復装置４を移動可能に搭載している。このメンテナンス系移動テーブル６は、機台２本体の長手方向（Ｘ軸方向）に延在しており、ヘッド機能回復装置４の各種ユニットを分散して載置する共通ベース９１と、共通ベース９１をスライド自在に支持する一対のガイドレール９２，９２と、一対のガイドレール９２，９２間に配設されたボールねじ（図示省略）と、ボールねじを正逆回転させるＸ軸モータ９３とを備えている。Ｘ軸モータ９３は、図示しないが、カップリングを介してボールねじの端に接続され、共通ベース９１は、雌ねじこまを介してボールねじに螺合している。これにより、Ｘ軸モータが正逆回転すると、ボールねじを介して共通ベース９１がＸ軸方向に進退する。このようにして、共通ベース９１上に分散して載置されたヘッド機能回復装置４の各種ユニットを機能回復測定エリア４２に移動させることができる。
【００４９】
機能液滴吐出ヘッド１６の機能回復を行う場合には、メンテナンス系移動テーブル６により吸引ユニット７２を機能回復測定エリア４２に移動させると共に、上述したようにＹ軸テーブル１３によりヘッドユニット１５を機能回復測定エリア４２に移動させ、機能液滴吐出ヘッド１６の定期フラッシングあるいはポンプ吸引を行う。また、ポンプ吸引を行った場合には、続いてメンテナンス系移動テーブル６によりワイピングユニット７３を機能回復測定エリア４２に移動させ、機能液滴吐出ヘッド１６のワイピングを行う。
【００５０】
一方、液滴吐出装置１は、吐出量測定装置５により、その検査基板１１２に対し機能液滴吐出ヘッド１６の各ノズル６５から吐出された機能液滴を撮像し、主として描画動作開始前に、各ノズル６５から吐出された機能液滴の体積（吐出量）を測定する。そして、その測定結果に基づいて、描画動作におけるワークＷへの各ノズル６５からの機能液滴の吐出量を制御（補正）する。
なお、この吐出量測定装置５は、後述するカラーフィルタ５００のような電気光学装置の材料である機能液を機能液滴吐出ヘッド１６から吐出したときの機能液滴の体積を測定するものであるが、例えば、ＤＮＡ等のプローブを含むプローブ液、水等、他の液体を機能液滴吐出ヘッド１６から吐出したときの液滴の体積を測定することも可能である。
【００５１】
図３に示すように、吐出量測定装置５は、機能液滴吐出ヘッド１６の各ノズル６５から吐出された機能液滴を下方で受ける着弾ステージ１０１と、着弾ステージ１０１の検査基板１１２上に着弾した機能液滴を撮像する撮像カメラ１０２と、撮像する機能液滴を同軸落射照明するための光源１０３と、を備えている。また、図９に示すように、吐出量測定装置５は、撮像カメラ１０２による撮像結果（二次元画像）を用いて、機能液滴の直径を解析する画像解析手段および機能液滴の体積を算出する算出手段を備え、上記の制御装置８を画像解析手段および算出手段として機能させている。さらに、吐出量測定装置５は、モニター１０４を備えており、撮像カメラ１０２により撮像された二次元画像を視認できるようになっている。
【００５２】
着弾ステージ１０１は、メンテナンス系移動テーブル６の共通ベース９１上に、吸引ユニット７２に対しワイピングユニット７３とは反対側に隣接して配設されており、共通ベース９１上に固定された基板スタンド１１１と、基板スタンド１１１に支持され、各ノズル６５から吐出された機能液滴が着弾する検査基板１１２とを有している。この着弾ステージ１０１は、Ｙ軸テーブル１３により機能回復測定エリア４２に移動した機能液滴吐出ヘッド１６に対し、メンテナンス系移動テーブル６により機能回復測定エリア４２に移動して、各ノズル６５から吐出された機能液滴を検査基板１１２上に受けるようになっている。なお、基板スタンド１１１は、検査基板１１２の高さや平行度を微調整可能に構成されていることが好ましい。
【００５３】
検査基板１１２は、ガラス基板に対し紫外線／オゾン洗浄（親水化）を施したものであり、着弾した機能液滴が所定の接触角φにより略半球を為すようになっている（図８参照）。この接触角φは、画像処理式の接触角計等を用いて予め求めておく。
なお、本実施形態では、機能液滴が着弾する検査基板１１２を、メンテナンス系移動テーブル６に基板スタンド１１１を設けてこれに搭載したが、上記のワークテーブル２２に搭載するようにしてもよい。この場合、上記のＸ軸テーブル１２により、ワークテーブル２２に搭載された検査基板１１２を描画エリア４１に移動させ、描画エリア４１に存する機能液滴吐出ヘッド１６の各ノズル６５からワークテーブル２２上の検査基板１１２に機能液滴を吐出する。これによれば、Ｘ軸テーブル１２の他に、機能液滴吐出ヘッド１６を検査基板１１２とワークＷとの相互間で相対的に移動させるための移動手段を設ける必要がないため、全体の装置構成を簡素化することができる。
【００５４】
撮像カメラ１０２は、ＣＣＤカメラで構成されており、Ｘ軸方向に移動する検査基板１１２の移動軌跡上に位置して、機台２上のカメラスタンド１２１支持されたカメラ移動テーブル１２２（後述する）に吊設するように設けられている。そして、メンテナンス系移動テーブル６による検査基板１１２の移動を利用して、検査基板１１２に臨み、これに着弾した機能液滴を上方から撮像するようになっている。これによれば、メンテナンス系移動テーブル６の他に、機能液滴が着弾した検査基板１１２を撮像カメラ１０２に臨ませるための移動手段を設ける必要がないため、全体の装置構成を簡素化することができる。
【００５５】
また、撮像カメラ１０２は、得られた二次元画像を用いて制御装置８（画像解析手段）が各機能液滴の直径を解析するのに十分な画像解析度が得られるよう、ノズル列を構成する多数（１８０個）のノズル毎の多数（１８０個）の機能液滴を、複数（例えば、３個）の機能液滴単位に分割して撮像している。すなわち、撮像カメラ１０２は、多数（１８０個）のノズル６５のうち複数（３個）のノズル６５からの機能液滴を同時に視野内に補足可能に構成されている。このため、カメラスタンド１２１は、撮像カメラ１０２をＹ軸方向（ノズル列方向）に移動させるカメラ移動テーブル１２２を有しており、このカメラ移動テーブル１２２により、多数の機能液滴が複数の機能液滴単位で順に撮像されるように、検査基板１１２に対して撮像カメラ１０２が移動する。
なお、上述したように、検査基板１１２がワークテーブル２２に搭載されている場合には、撮像カメラ１０２は、Ｘ軸テーブル１２によるワークテーブル２２の移動軌跡上に設けるようにする。
【００５６】
光源１０３は、十分な光量の連続光を得られるよう、ハロゲンランプで構成されている。光源は、カメラスタンド１２１近くに位置して機台２上に配設されており、光ファイバ１３１により上記の撮像カメラ１０２のファイバアタッチメント１２３に接続されている。光源１０３から光ファイバ１３１を介して撮像カメラ１０２に送られた光は、撮像した画像を結ぶＣＣＤ撮像素子（図示省略）と対物レンズ１２４との間に設けられたハーフミラー（図示省略）で反射された後、対物レンズ１２４で平行光束にされて検査基板１１２の表面を垂直に同軸落射照明する。このため、検査基板１１２上の機能液滴を均一に照明することができ、機能液滴を高精度に画像認識することができる。
【００５７】
吐出量測定装置５は、各ノズル６５から検査基板１１２に機能液滴と吐出する吐出動作を行い、所定の接触角φを為している検査基板１１２上の機能液滴を撮像する撮像動作を行い、さらに、撮像された二次元画像を用いて機能液滴の直径ｒを画像解析して、所定の接触角φおよび解析された直径ｒに基づき、球冠の体積としてその機能液滴の体積を算出し、機能液滴の吐出量を測定するものである。したがって、他の機能液滴の吐出量測定方法の一つである重量測定方法では、用いる重量測定装置の最小秤量限度（１μｇ程度）から、各ノズル６５より数万発以上吐出して、その数万個以上の機能液滴の平均値としてしか機能液滴の吐出量を測定できないところ、この吐出量測定装置５によれば、各ノズル６５から吐出された個々の機能液滴について吐出量を求めることができる。このため、例えば、描画装置３による描画動作において、各ノズル６５から実際にワークＷに吐出される機能液滴について、すなわち、フラッシングユニット７１に多数発フラッシングを行った後、ワークＷに吐出される機能液滴について吐出量を制御すべく、吐出量測定動作において、各ノズルから多数発の機能液滴を予備的に吐出させた後、検査基板上に機能液滴を着弾させ、その多数発の予備吐出後の機能液滴について吐出量を測定することができる。
【００５８】
この場合、検査基板１１２上に機能液滴を吐出するのに先立って行われる複数回の予備吐出は、着弾ステージ１０１に隣接する吸引ユニット７２のキャップ７７に対して行われる。これによれば、撮像対象となる機能液滴のみが検査基板１１２に吐出されるため、検査基板１１２を無駄に汚すことがない。もっとも、予備的に吐出される機能液滴を、撮像対象となる機能液滴とは異なる位置に吐出するのであれば、検査基板１１２に予備吐出するようにしてもよい。また、上述したように、検査基板１１２をワークテーブル２２に搭載する場合には、フラッシングボックス７６に予備吐出するようにしてもよい。
【００５９】
ここで、図４ないし図６を参照して、液滴吐出装置１における一連の吐出動作および撮像動作について詳細に説明する。この撮像動作は、上述したように複数（３個）の機能液滴単位で行われるため、吐出動作についても、複数（３個）のノズル単位で行われる。まず、吐出動作において、Ｙ軸テーブル１３により、ヘッドユニット１５を機能回復測定エリア４２に臨ませる。相前後してメンテナンス系移動テーブル６により、吸引ユニット７２を機能回復測定エリア４２に移動させ、機能液滴吐出ヘッド１６をキャップ上に臨ませる（図４参照）。このとき、ヘッドθ軸テーブル３１により、ノズル列６４の列方向がＹ軸方向と平行になるように調整する。
【００６０】
続いて、機能液滴吐出ヘッド１６の各ノズル６５からキャップ７７に対し機能液滴の予備吐出を行う。すなわち、２本のノズル列６４のうち一方のノズル列６４について、連続する３個のノズル６５ａないし６５ｃから、それぞれ多数発の機能液滴をキャップ７７に対し予備的に吐出する。次に、メンテナンス系移動テーブル６により、検査基板１１２を機能回復測定エリア４２に移動させ、機能液滴吐出ヘッド１６を検査基板１１２上に臨ませる（図５参照）。そして、検査基板１１２に対し、上記の３個のノズル６５ａないし６５ｃから、それぞれ機能液滴１５０Ａないし１５０Ｃを吐出する。
【００６１】
次に、メンテナンス系移動テーブル６により、撮像対象となる３個の機能液滴１５０Ａないし１５０Ｃが着弾した検査基板１１２（着弾ステージ１０１）を撮像カメラ１０２の下方に移動させる。相前後して、カメラ移動テーブル１２２により、撮像カメラ１０２を３個の機能液滴１５０Ａないし１５０Ｃの下方に移動させる（図６参照）。そして、検査基板１１２上で所定の接触角φにより略半球を為している３個の機能液滴１５０Ａないし１５０Ｃを撮像カメラ１０２により撮像する（図８参照）。
【００６２】
３個の機能液滴１５０Ａないし１５０Ｃの撮像が完了すると、メンテナンス系移動テーブル６により、再び吸引ユニット７２を機能回復測定エリア４２に移動させる。そして、３つのノズル６５ａないし６５ｃの次の連続する３つのノズル６５から、吸引ユニット７２のキャップ７７に予備的に多数発の機能液滴をそれぞれ吐出する。続いて、メンテナンス系移動テーブル６により、検査基板１１２を機能回復測定エリア４２に移動させ、上記の３つのノズル６５からそれぞれ機能液滴１５０を吐出する。次に、検査基板１１２を撮像カメラ１０２の下方に移動させ、相前後して、カメラ移動テーブル１２２により、撮像カメラ１０２を検査基板１１２上の３個の機能液滴１５０の下方に移動させる。そして、３個の機能液滴１５０を撮像カメラ１０２により撮像する。
【００６３】
以下、これを繰り返して、一方のノズル列６４の全ノズル６５について吐出動作および撮像動作が完了する。そして、もう一方のノズル列６４についても、同様にして吐出動作および撮像動作が行われる。ここで、２本のノズル列６４の全ノズル６５（３６０個）について、３個のノズル単位・機能液滴単位で吐出動作・撮像動作をそれぞれ１２０回行うこととなるが、各回における検査基板１１２への機能液滴の吐出から各回における撮像カメラ１０２による撮像に至る時間が同一になるように各回の撮像動作を行う。これによれば、各回の吐出から各回の撮像に至るまでの間に各機能液滴から気化する溶剤の体積を同一にすることができるため、機能液滴からの溶剤の気化による影響を受けることなく、各ノズル６５間の相対的な機能液滴の吐出量を精度よく測定することができる。もっとも、各回の吐出から各回の撮像に至るまでの時間は短時間（数秒程度）であることから、機能液滴から気化する溶剤は微少量であるため、機能液滴の体積を、実際に各ノズル６５から吐出された機能液滴の体積とほぼ等しい値で得ることができる。
【００６４】
なお、実施形態の吐出量測定装置５では、検査基板１１２上の機能液滴を撮像カメラ１０２により上方から撮像するが、側方や検査基板１１２を通して下方から撮像するようにしてもよく、この場合には、各ノズル６５から吐出された機能液滴が検査基板１１２に着弾した直後に、検査基板１１２を移動させることなく、撮像カメラ１０２により撮像することができることから、機能液滴が検査基板１１２に着弾してから撮像されるまでの間に機能液の溶剤が気化することなく、機能液滴の絶対的な吐出量を正確に測定することができる。
また、本実施形態では、多数発の予備吐出後の機能液滴のみを撮像対象としたが、同一のノズル６５から吐出された複数発の各機能液滴をそれぞれ撮像するようにしてもよく、この場合には、メンテナンス系移動テーブル６により、各機能液滴を検査基板１１２上の相異なる位置に着弾させるようにする。これによれば、同一のノズル６５から複数発に亘って吐出される機能液滴の変化を観察することができる。
【００６５】
図７は、このようにして撮像カメラ１０２により得られ、モニター１０４に表示された検査基板１１２上の機能液滴１５０の二次元画像を模式的に示したものである。上述したように、撮像カメラ１０２は、複数（３個）のノズル６５から吐出された機能液滴１５０（同図では、１５０Ａないし１５０Ｃ）を同時に視野内に収めることができる。得られた二次元画像による画像データは、上記の制御装置８に送られ、その画像データに基づいて、制御装置８の画像解析手段により、機能液滴１５０の直径ｒが解析される。
【００６６】
そして、制御装置８の算出手段により、検査基板１１２に着弾した機能液滴１５０が為す所定の接触角φおよび画像解析された機能液滴１５０の直径ｒに基づいて、機能液滴１５０の体積が算出される。具体的には、検査基板１１２上の機能液滴１５０は、所定の接触角φが０°＜φ≦９０°である場合には、図８（ａ）に示すように略半球を為しており、機能液滴１５０の体積Ｖは、
Ｖ＝πｒ３{（１／３）ｃｏｓ３φ−ｃｏｓφ＋（２／３）}／８ｓｉｎ３φ
で与えられ、また、所定の接触角φが９０°≦φ＜１８０°である場合には、図８（ｂ）示すように略半球を為しており、機能液滴１５０の体積Ｖは、
Ｖ＝πｒ３{（１／３）ｃｏｓ３φ−ｃｏｓφ＋（２／３）}
で与えられる。これによれば、着弾した機能液滴１５０が所定の接触角φを為すように表面処理された検査基板１１２上で、略半球を為している機能液滴１５０の直径ｒを画像処理により解析し、その所定の接触角φおよび算出された直径ｒに基づいて、球冠の体積として機能液滴１５０の体積Ｖを求めることから、複雑な機構や精巧に製作された測定器具等を用いることなく、機能液滴吐出ヘッド１６の機能液滴１５０の吐出量を正確に測定することができる。
【００６７】
なお、本実施形態では、撮像カメラ１０２により撮像して得られた二次元画像を、機能液滴の体積を算出するために用いたが、機能液滴吐出ヘッド１６やヘッド機能回復装置４が正常に機能しているか否かを判定するために用いてもよい。すなわち、得られた二次元画像において、小径の機能液滴やドット抜けが観察された場合には、吸引ユニット７２による吸引が適切に行われていないこと等が考えられ、また、機能液滴の飛行曲がりが観察された場合には、ワイピングユニット７３によるワイピングが不良であったり、ノズル６５周縁のノズル面にキズがついていること等が考えられる。したがって、それらの現象の度合いや頻度に応じて、機能液滴吐出ヘッド１６またはヘッド機能回復装置４のいずれに原因があるのか判定させることが可能である。この調整は、自動制御で行ってもよく、操作パネル２０２（後述する）により制御装置８に入力する等して手動で行ってもよい。
【００６８】
以上のようにして、各ノズル６５から吐出された機能液滴の体積が算出されると、制御装置８は、算出された体積に基づいて、描画装置３がワークＷに吐出する機能液滴の吐出量が、２本のノズル列６４を構成する多数（３６０個）のノズル６５間で均一化されるように制御する。この制御は、上述したように、制御装置８のヘッドドライバ２１１から各ノズル６５に連なるポンプ部６１への駆動波形を制御することで行われる。すなわち、算出された体積が、予め設定された基準体積の許容値よりも小さい場合にはヘッドドライバ２１１から対応するノズル６５に連なるポンプ部６１への駆動波形の電圧を上げ、逆に、算出された体積が、予め設定された基準体積の許容値よりも大きい場合には、ヘッドドライバ２１１から対応するノズル６５に連なるポンプ部６１への駆動波形の電圧を下げるようにする。
【００６９】
そして、このようにして機能液滴吐出ヘッド１６の駆動を制御した上で、上述したように描画動作が行われる。これによれば、信頼性の高い上記の吐出量測定装置５により測定された各ノズル６５からの吐出量に基づいて、機能液滴吐出ヘッド１６の駆動を制御することで、ワークＷに吐出される機能液滴の吐出量を、多数のノズル６５間で正確に均一化させることができる。さらに、各ノズルから多数発の機能液滴を予備的に吐出させた後、検査基板上に機能液滴を着弾させ、その機能液滴について吐出量を測定するため、実際にワークＷに対して吐出される機能液滴と同一条件下で測定試料（撮像対象）となる機能液滴を得ることができる。
なお、予め設定された基準体積に対して駆動波形を制御することに代えて、多数のノズル６５毎の多数の機能液滴において算出された各機能液滴の体積の平均値に対して駆動波形を制御するようにしてもよい。また、ワークＷに吐出される機能液滴の吐出量が各ノズル列６４毎に均一化されるようにしてもよく、この場合には、機能液滴の吐出量が各ノズル列６４を構成する多数（１８０個）のノズル６５間で均一化されるようにする。
【００７０】
ここで、制御装置８により構成される液滴吐出装置１の制御系について説明する。図９に示すように、液滴吐出装置１の制御系は、基本的に、各種データをその操作により入力する操作パネル２０２を有する入力部２０１と、撮像カメラ１０２による撮像画面を画面表示するモニター１０４を有する表示部２０３と、機能液滴吐出ヘッド１６やモニター１０４等を駆動する各種ドライバを有する駆動部２０４と、これら各部を含め液滴吐出装置１を統括制御する制御部２０５と、を備えている。
【００７１】
駆動部２０４は、機能液滴吐出ヘッド１６を吐出駆動制御するヘッドドライバ２１１と、モニター１０４を駆動制御するモニタードライバ２１２と、Ｘ・Ｙ軸移動機構１１の各モータを駆動制御するＸ・Ｙ軸移動用ドライバ２１３と、メンテナンス系移動テーブル６を駆動制御するメンテナンス用移動ドライバ２１４と、ヘッド機能回復装置４の吸引ユニット７２およびワイピングユニット７３を駆動制御するメンテナンス用ドライバ２１５と、吐出量測定装置５の光源１０３を駆動制御する光源用ドライバ２１６と、撮像カメラ１０２の撮像駆動を制御する撮像用ドライバ２１７と、カメラ移動テーブル１２２を駆動制御するカメラ用移動ドライバ２１８と、を備えている。
【００７２】
制御部２０５は、ＣＰＵ２２１と、ＲＯＭ２２２と、ＲＡＭ２２３と、Ｐ−ＣＯＮ２２４とを備え、これらは互いにバス２２５を介して接続されている。ＲＯＭ２２２は、ＣＰＵ２２１で処理する制御プログラムや制御データを記憶する制御プログラム領域や、検査作業や描画作業を行うための制御データ等を記憶する制御データ領域を有している。ＲＡＭ２２３は、各種レジスタ群を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。
【００７３】
Ｐ−ＣＯＮ２２４には、駆動部２０４の各種ドライバや入力部２０１の他、上記の機能液供給機構７等が接続されている。Ｐ−ＣＯＮ２２４には、ＣＰＵ２２１の機能を補うと共に周辺回路とのインターフェース信号を取り扱うための論理回路が、ゲートアレイやカスタムＬＳＩなどにより構成されて組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ２２４には、入力部２０１からの各種指令や画像データなどをそのままあるいは加工してバスに取り込むと共に、ＣＰＵ２２１と連動して、ＣＰＵ２２１等からバス２２５に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部２０４に出力する。
【００７４】
そして、ＣＰＵ２２１は、上記の構成により、ＲＯＭ２２２内の制御プログラムにしたがって、Ｐ−ＣＯＮ２２４を介して各種検出信号、各種指令、各種データ等を入力し、ＲＡＭ２２３内の各種データ等を処理した後、Ｐ−ＣＯＮ２２４を介して駆動部２０４に各種の制御信号を出力することにより、液滴吐出装置１全体を制御している。
【００７５】
例えば、ＣＰＵ２２１は、ワークＷに対し描画作業を行う場合には、機能液滴吐出ヘッド１６の吐出駆動をそれぞれ制御すると共に、Ｘ・Ｙ軸移動機構１１によりワークＷおよびヘッドユニット１５の走査範囲の移動動作等を制御する。また、機能液滴吐出ヘッド１６の機能回復や撮像動作を行う場合には、ヘッド機能回復装置４の機能回復測定エリア４２にてＸ・Ｙ軸移動機構１１により機能液滴吐出ヘッド１６の移動動作を制御すると共に、機能液滴吐出ヘッド１６の吐出駆動、メンテナンス系移動テーブル６の移動動作、撮像カメラ１０２の撮像等を制御する。
【００７６】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。
【００７７】
まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１０は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１１は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１１）では、図１１（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００７８】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１１（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１１（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド１６により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００７９】
以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置精度が向上する。
【００８０】
次に、着色層形成工程（Ｓ１３）では、図１１（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１６によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド１６を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００８１】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１４）に移り、図１１（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【００８２】
図１２は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１１に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００８３】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００８４】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１２において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【００８５】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００８６】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【００８７】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１６で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１６で行うことも可能である。
【００８８】
図１３は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【００８９】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【００９０】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００９１】
図１４は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【００９２】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【００９３】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【００９４】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【００９５】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【００９６】
次に、図１５は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【００９７】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【００９８】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【００９９】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【０１００】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【０１０１】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【０１０２】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【０１０３】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ２、ＴｉＯ２等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【０１０４】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【０１０５】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【０１０６】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【０１０７】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【０１０８】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１６〜図２４を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１６に示すように、バンク部形成工程（Ｓ２１）、表面処理工程（Ｓ２２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）、発光層形成工程（Ｓ２４）、および対向電極形成工程（Ｓ２５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【０１０９】
まず、バンク部形成工程（Ｓ２１）では、図１７に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１８に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【０１１０】
表面処理工程（Ｓ２２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド１６を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【０１１１】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のワークテーブル２２に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）および発光層形成工程（Ｓ２４）が行われる。
【０１１２】
図１９に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）では、機能液滴吐出ヘッド１６から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図２０に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【０１１３】
次に発光層形成工程（Ｓ２４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【０１１４】
そして次に、図２１に示すように、各色のうちのいずれか（図２１の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【０１１５】
その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２２に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【０１１６】
同様に、機能液滴吐出ヘッド１６を用い、図２３に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１１７】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ２５）に移行する。
【０１１８】
対向電極形成工程（Ｓ２５）では、図２４に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ２、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１１９】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【０１２０】
次に、図２５は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１２１】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１２２】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１２３】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１２４】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のワークテーブル２２に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１６により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１２５】
補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１２６】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド１６から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１２７】
次に、図２６は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１２８】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１２９】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１３０】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１３１】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１３２】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２７（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２７（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１３３】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１３４】
【図１】実施形態に係る液滴吐出装置を模式的に表した平面図である。
【図２】実施形態に係る機能液滴吐出ヘッドの斜視図である。
【図３】実施形態に係る機能回復装置および吐出量測定装置の正面図である。
【図４】実施形態に係る吐出量測定装置による吐出動作および撮像動作を模式的に表した平面図である。
【図５】図４に続く吐出動作および撮像動作を模式的に表した平面図である。
【図６】図５に続く吐出動作および撮像動作を模式的に表した平面図である。
【図７】実施形態に係る撮像カメラにより撮像され、モニターに表示された検査基板上の機能液滴の二次元画像を模式的に示した図である。
【図８】（ａ）は検査基板に着弾した機能液滴が９０°以下の接触角により略半球を為している状態を模式的に示した図、（ｂ）は検査基板に着弾した機能液滴が９０°以上の接触角により略半球を為している状態を模式的に示した図である。
【図９】実施形態に係る液滴吐出装置の制御構成を示すブロック図である。
【図１０】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図１１】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図１２】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１３】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１４】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１５】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図１６】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図１７】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１８】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１９】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２０】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２１】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２２】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２３】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２４】陰極の形成を説明する工程図である。
【図２５】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図２６】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図２７】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【０１３５】
１…液滴吐出装置  ４…ヘッド機能回復装置  ５…吐出量測定装置  ６…メンテナンス系移動テーブル  ８…制御装置  １２…Ｘ軸テーブル  １３…Ｙ軸テーブル  １６…機能液滴吐出ヘッド  ２２…ワークテーブル  ６５…ノズル  ７６…フラッシングボックス  ７７…キャップ  １０２…撮像カメラ  １１２…検査基板  １５０…機能液滴  ５００…カラーフィルタ  ５０８…着色層  Ｗ…ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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