(57)【要約】【課題】  集積度の高いウェーハであっても貼付板に対し全面に亘って均一に貼り付けることができ、しかも貼り付けるサイクルタイムの短縮化を図ること。【解決手段】  回動体１１が支持支点１２を中心として回動できるようユニット化されている。このユニット化された回動体１１の先端部には、押圧板２０と貼付部３０と保持部４０とがそれぞれ備えられており、回動体１１が待機位置にあるときに保持部４０がウェーハＷを保持すると、回動体１１がその支持支点１２を中心として貼付体１３に向かって回動し、保持部４０がウェーハＷの保持を解除することでウェーハＷを貼付板上に載置した後、押圧板２０と貼付部３０とでウェーハＷを貼付板に押し付けながら貼り付ける。【選択図】  図１
2005197269.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハを保持した状態で、貼付板上に搬送して該貼付板に押圧しつつ貼り付けるウェーハの貼付装置において、
進退可能に支持された押圧板と、該押圧板の前面に取り付けられ、前記押圧板と協働して前記ウェーハを押圧して前記貼付板に貼り付ける貼付部と、前記ウェーハを保持したり解除したりする保持部とを備え、該保持部が前記貼付部の前面側に進退可能に設けられていることを特徴とするウェーハの貼付装置。
【請求項２】
請求項１記載のウェーハの貼付装置において、
前記貼付部は、内部に供給される流体によって膨出可能な弾性材で構成されると共に、前記弾性材内の圧力を一定に制御する制御装置を備えていることを特徴とするウェーハの貼付装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のウェーハの貼付装置において、
前記保持部は、押圧板の中心を軸心として回転する回転体と、該回転体の軸と直交する方向に移動可能に支持されたアーム部材を移動方向に案内するガイド部とからなる移動機構を備えていることを特徴とするウェーハの貼付装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか記載のウェーハの貼付装置において、
前記押圧板と貼付部と保持部とが一ユニットとして構成され、該ユニットの支持点を支点として該ユニットを回動させる駆動源と、回動速度を制御する電空レギュレータとを備えてなることを特徴とするウェーハの貼付装置。
【請求項５】
ウェーハを貼付板に貼り付けたとき、該ウェーハに対して研磨板を相対移動させることにより、前記ウェーハをポリッシング加工する研磨工程を備えたウェーハ製造方法であって、
前記研磨工程に際し、請求項１から４のいずれかに記載のウェーハの貼付装置を用いて前記ウェーハを前記貼付板に貼り付けることを特徴とするウェーハの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ウェーハの製造方法及びウェーハの貼付装置に係り、特に、高い集積度の半導体からなるウェーハの製造過程において、そのウェーハの表面を平滑にポリッシング加工するために該半導体ウェーハを貼付板に貼り付ける技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハの製造装置においては、その製造過程において、半導体ウェーハ（以下、単にウェーハと略称す）を平滑にポリッシング加工する必要がある。
この場合、ポリッシング加工に際しては、ウェーハを貼付板に貼り付ける必要があることから、貼付装置が用いられている。
【０００３】
従来の貼付装置（以下、第１の従来例という）にあっては、予め、ポリッシング面と反対側の面に接着剤層が設けられたウェーハを搬送チャックにより把持して貼付板の上まで搬送し、次いで、そのウェーハを載置ガイド機構が貼付板に載置させた後、ウェーハ押圧機構が、ウェーハを貼付板に押圧することで、ウェーハを貼付板に対し全面的に貼り付けるようになっている。このようにしてウェーハが貼付板に貼り付けられた後、製造装置がウェーハの上面をポリッシング加工する研磨工程を行うようになっている。
【０００４】
従って、第１の従来例は、ウェーハを把持して搬送するための搬送チャック機構と、ウェーハを貼付板に載置するための載置ガイド機構と、ウェーハを貼付板に押圧する押圧機構とがそれぞれ独立した駆動装置によって構成されていると共に、それぞれ貼付板の周辺に設置された構成となっている。
【０００５】
他の貼付装置（以下、第２の従来例という）としては、エアスタンプの押圧面に弾性体を備えたものを用いることが提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
この第２の従来例では、ウェーハを保持して搬送するチャックと、貼付板に対向して昇降可能に設けられた保持枠と、保持枠と別体に構成されてウェーハの周縁を取り囲むウェーハガイドとを備えている。
【０００６】
そして、チャックがウェーハを保持したまま貼付板の上の一定の高さまで搬送すると、それを検出することで、チャックの保持を解除してウェーハを開放することで、ウェーハをウェーハガイドに落し、次いでウェーハガイドの動作によってウェーハを貼付板に載置させると共に、チャックが次のウェーハを受け取るために貼付部の外方に復帰することで貼付板上のウェーハの上方が開放されると、その開放部にスタンプが降下してスタンプがウェーハを貼付板に押圧し、これによってウェーハを貼付板に貼り付けることができるように構成されている。
【特許文献１】特開２００２−６４０７２号公報（第３−４頁、図１−図６）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、上記に示す第１の従来例は、押圧機構がウェーハを貼付板に貼り付けるとき、ウェーハの中央部分だけを押圧するので、貼付板に対してウェーハの全面を均一に貼り付けることができない問題があった。ウェーハ全面を均一に貼り付けることができないと、特に今日のように、集積度の高いウェーハを全面に亘って均一にポリッシング加工することができず、いわゆるナノテクノロジーによって形成されたウェーハのポリッシング加工が困難となってしまう。
また、第１の従来例は、ウェーハを把持して搬送するための搬送チャック機構と、ウェーハを貼付板に載置するための載置ガイド機構と、ウェーハを貼付板に押圧する押圧機構とがそれぞれ独立して構成されており、しかもそれぞれの機構が貼付板の周囲に設置されているので、それぞれの動作距離が大きくなって動作時間がかかってしまい、そのため、ウェーハを把持してから貼付板に貼り付けるまでの時間に多くを要する結果、サイクルタイムを短縮することが難しかった。
【０００８】
また、第２の従来例においては、スタンプがウェーハを全面に亘って貼付板に押圧するので、貼付板に対してウェーハを均一に貼り付けることが可能となるものの、第１の従来例と同様、チャックとウェーハを貼付板に載置するウェーハガイドとウェーハを貼付板に押圧するスタンプとを備えているので、第１の従来例と同様、サイクルタイムを短縮させることができない問題があった。
【０００９】
この発明は、このような事情を考慮してなされたもので、その目的は、ウェーハの研磨加工に際して、集積度の高いウェーハであっても貼付板に対し全面に亘って均一に貼り付けることができ、しかも貼り付けるサイクルタイムの短縮化を図ることができる半導体ウェーハの製造方法及び貼付装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、この発明は以下の手段を提案している。
請求項１に係る発明は、ウェーハを保持した状態で、貼付板上に搬送して該貼付板に押圧しつつ貼り付けるウェーハの貼付装置において、進退可能に支持された押圧板と、該押圧板の前面に取り付けられ、前記押圧板と協働して前記ウェーハを押圧して前記貼付板に貼り付ける貼付部と、前記ウェーハを保持したり解除したりする保持部とを備え、該保持部が前記貼付部の前面側に進退可能に設けられていることを特徴とする。
【００１１】
この発明に係るウェーハの貼付装置によれば、ウェーハ貼付装置に設けられた保持部は、ウェーハを保持して貼付板上にウェーハを搬送し、貼付板上においてウェーハの保持を解除する。ウェーハの保持が解除されると、ウェーハ貼付装置に設けられた押圧部は、ウェーハの上面を押圧することにより、ウェーハを貼付板上に貼付する。
【００１２】
請求項２に係る発明は、請求項１記載のウェーハの貼付装置において、前記貼付部は、内部に供給される流体によって膨出可能な弾性材で構成されると共に、前記弾性材内の圧力を一定に制御する制御装置を備えていることを特徴とする。
【００１３】
この発明に係るウェーハの貼付装置によれば、制御装置は、弾性材が膨出してウェーハの上面を押圧する際に、弾性材内の内圧を一定に制御するため、ウェーハの上面全面は、弾性材から均一な荷重を受けることになる。
【００１４】
請求項３に係る発明は、請求項１又は２に記載のウェーハの貼付装置において、前記保持部は、押圧板の中心を軸心として回転する回転体と、該回転体の軸と直交する方向に移動可能に支持されたアーム部材を移動方向に案内するガイド部とからなる移動機構を備えていることを特徴とする。
【００１５】
この発明に係るウェーハの貼付装置によれば、保持部がウェーハの保持を解除すると、回転体が回転することにより、アーム部材がガイド部の案内に沿って、回転体の外周側に退避して、ウェーハの上面が開放されることになる。
【００１６】
請求項４に係る発明は請求項１〜３のいずれか記載のウェーハの貼付装置において、前記押圧板と貼付部と保持部とが一ユニットとして構成され、該ユニットを支持支点として回動させる駆動源と、回動速度を制御する電空レギュレータとを備えてなることを特徴とする。
【００１７】
この発明に係るウェーハの貼付装置によれば、駆動部が保持部と貼付部と押圧部とを一体的に貼付板上に移動させるため、保持部によるウェーハの搬送と、貼付板と押圧板によるウェーハの貼付とが略同時になされる。さらに電空レギュレータは、駆動部の回動速度を制御して、ユニットの移動時間を短縮する。
【００１８】
請求項５に係る発明は、ウェーハを貼付板に貼り付けたとき、該ウェーハに対して研磨板を相対移動させることにより、前記ウェーハをポリッシング加工する研磨工程を備えたウェーハ製造方法であって、前記研磨工程に際し、請求項１から４のいずれかに記載のウェーハの貼付装置を用いて前記ウェーハを前記貼付板に貼り付けることを特徴とする。
【００１９】
この発明に係るウェーハの製造方法によれば、貼付板上にウェーハが良好に貼付されることにより、ウェーハの研磨加工において、微細な凹凸が形成されることがなく、良好な研磨がなされることになる。
【発明の効果】
【００２０】
請求項１に係る発明によれば、押圧板と貼付部と保持部とを備え、保持部が、貼付部の前面側に進退可能に設けられるように構成したので、ウェーハの保持と載置とを行うことができる一方、押圧板と貼付部とにより、ウェーハの全面を貼付板に均一に貼り付けることができる結果、集積度の高いウェーハであっても良好な貼り付けを的確に行える効果が得られる。
【００２１】
請求項２に係る発明によれば、貼付部に供給される流体圧が制御部によって一定に制御されることから、貼付板に対するウェーハの押圧を全面に亘って確実に均一にすることができるので、貼り付けに対する信頼性を高めることができる効果が得られる。
【００２２】
請求項３に係る発明によれば、回転体とアーム部材とガイド部とからなる移動機構によって保持部４０を貼付部３０の前面側に前進させたり後退させたりできるので、ウェーハの保持と貼付板に対する載置動作を速やかに連続的に行うことができ、これによってサイクルタイムの短縮化をいっそう図ることができる効果が得られる。
【００２３】
請求項４に係る発明によれば、押圧板と貼付部と保持部とが一つのユニットとして設けられ、これら各部が全て作業位置に一括的に移動するように構成されている。このため、保持部が貼付板から退避し、その後、貼付部が貼付板上に進出するまでの時間が不要となる。さらに、貼付部が貼付板上にウェーハを載置する直前まで高速で回動移動されるため、さらにサイクルタイムを短くすることができる。
【００２４】
請求項５に係る発明によれば、保持部がウェーハの保持と載置とを行うことができる一方、押圧板と貼付部とにより、ウェーハの全面を貼付板に均一に貼り付けることができる結果、高い集積度のウェーハであっても、ウェーハの全面を貼付板に対し確実に均一に貼り付けることができ、良好な貼り付けを行える効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、図面を参照し、この発明の実施の形態について説明する。図１〜図８はこの発明の一実施の形態に係るウェーハの貼付装置を示す図である。
図１に示すウェーハの貼付装置１０は、ウェーハＷを貼付板１３に押し付けて貼り付けるものであって、回動体１１が支持支点１２を中心として回動できるようユニット化されて構成されている。回動体１１は、上からみると、図２に示す形状をなしており、支持支点１２を有する基部側が細長く、かつその先端部が二股に分かれてあって、全体としてアーム状に形成されている。
【００２６】
このユニット化された回動体１１の先端部には、図１及び図３に示すように、押圧板２０と貼付部３０と保持部４０とがそれぞれ備えられており、回動体１１が図１に示す鎖線のような待機位置にあるときに保持部４０がウェーハＷを保持すると、回動体１１がその支持支点１２を中心として貼付体１３に向かって実線位置まで回動し、その位置で保持部４０がウェーハＷの保持を解除すると、ウェーハＷは、ウェーハガイドユニット５０により貼付板１３上に案内され、ウェーハＷが貼付板上に載置された後、押圧板２０と貼付部３０とがウェーハＷを貼付板に押し付けながら貼り付けるようになっている。
【００２７】
ウェーハＷとしては、例えば、高い集積度で製造された半導体ウェーハが用いられる。このような半導体ウェーハは、詳細に図示していないが、その製造過程において、円板状のテーブル上に複数設けられたセラミックス製の貼付板１３に貼り付けられた後、図示しない研磨板と相対移動してポリッシング加工が施されることで、その上面が平滑に仕上げられるようになっている。なお、ウェーハＷは、貼付に際し、保持部４０によって保持される面と反対側の面に、予め、接着剤が塗布されている。貼付板１３は、ウェーハＷの貼付時、加熱されることで、ウェーハの接着力を高めるようになっている。
【００２８】
押圧板２０は、図１、図３及び図４に示すように、貼付板１３に貼り付けられるウェーハＷと略同程度の径、若しくはそれより若干大きな径の円板体をなすものであって、回動体１１の先端部に設置されたシリンダ２１のロッド２２の先端に装着されており、ロッド２２が前進することで前方に移動するようになっている。
【００２９】
貼付部３０は、図７に示すように膨らむことができる袋状をなしており、図１及び図３に示すように、その周縁が押圧板２０の前面の外周に気密状態で取り付けられ、内部にエアが供給されると、ゴム風船のように膨出する弾性材で構成されている。
また、貼付部３０は、これにエアを供給する制御部１５を備えている。制御部１５は、詳細に図示していないが、押圧板２０がウェーハを押圧するとき、貼付部３０に対してエアを一定圧で供給する。
【００３０】
一方、保持部４０は、図１及び図３に示すように、その先端部にノズル４１が装着されており、ノズル４１から真空吸引することでウェーハＷを保持する一方、吸引を停止することでウェーハＷの保持を解除するようになっている。そのため、保持部４０は、真空吸引できるように配管４２を介して真空源（図示せず）と接続されており、また周方向において等間隔で四個設けられている。
【００３１】
この保持部４０は、ウェーハＷの保持を解除したとき、そのウェーハＷを貼付板１３に載置できるようにするため、貼付部３０の前面側に移動機構によって径方向に進退可能に設けられている。
上記移動機構は、図４に示すように、回転体４４と、該回転体４４の径方向に移動可能に支持されたアーム部材４５と、該アーム部材４５の移動をガイドするガイド部４６とを備えている。
【００３２】
即ち、回転体４４は、シリンダ２１を挿通しており、図５に示す駆動源としてのシリンダ４８によって駆動されることで、その中心軸回りに回転する。そのため、シリンダ４８のロッド４８ａの先端が回転体４４の外周部にピン等（図５では図示せず）で連結され、ロッド４８ａが進退することで回転体４４がその中心軸線回りに回転する。
また、図５に示されように、回転体１１の下方においては、側方からウェーハを保持するウェーハガイドユニット５０が、２箇所に設けられている。
このウェーハガイドユニット５０は、支点５３を中心に略１００°程度回動するアーム５４と、アーム５４の先端部に設けられた保持枠５１と、この保持枠５１の内面側に装着されたウェーハ装着ガイド５２とから構成されている。
【００３３】
アーム部材４５は、図４に示すように、ガイド部４６上に摺動可能に設けられており、その一端部が回転体４４の外周部にリンク４９を介して連結されると共に、他端部が図３に示すように保持部４０の配管４２を支持している。リンク４９は、その一端が回転体４４の外周部にピン等で連結される共に、他端がアーム部材４５の一端部にピン等で連結されている。
【００３４】
そして、回転体４４が一方向に回転したとき、それに応じてリンク４９が動作してアーム部材４５がガイド部４６上を摺動することで、アーム部材４５を回転体４４の求心方向に移動させ、また回転体４４が逆方向に回転したとき、それに応じてリンク４９がアーム部材４５を回転体４４の外方に移動させるようになっている。従って、回転体４４の回転に伴ってアーム部材４５がその径方向に移動することで、保持部４０のノズル４１を貼付部の前面側に移動させたり、その位置から側方に移動して退避させるようになっている。そのため、ガイド部４６は、図４に示すように、回転体４４の外周側に径方向に沿って設けられている。
【００３５】
一方、回動体１１は、ウェーハＷの貼り付け時、例えば図１に示す鎖線の状態で待機しており、その状態で保持部４０がウェーハＷを保持すると、ウェーハＷを貼り付けるために後述する電空レギュレータ１６によって、支持支点１２を中心に回動されることで、ウェーハＷを貼付板１３側に搬送するようになっている。
【００３６】
電空レギュレータ１６は、図６に示すように、エア源８０にエアフィルタ８１、リリーフ弁８２、圧力スイッチ８３を介して接続された管路８４上に設置されている。この管路８４上の方向切換弁８５が位置ａや位置ｂに切り替えられると、摺動部８６に対するエアの給排が行われて摺動部８６が駆動され、これによって、回動体１１が貼付位置と待機位置との間で回動される。
【００３７】
その際、電空レギュレータ１６は、回動体１１が待機位置にあるとき、摺動部８６の駆動によって回動体１１が回動されるが、そのときの回動速度を大きくさせることで最初は高速で移動させ、回動体１１が貼付板１３側に近づくにつれて回動速度を徐々に下げるようよう、摺動部に対するエアの供給量を調整することで回動体１１の回動動作を制御するように構成されている。図６中の符号８７はリリーフ弁、８８は圧力計、８９は排気部である。なお、図２において、符号１９は、押圧板２０の移動を案内するガイドであり、本例では周方向に略等間隔で三個設けられている。
【００３８】
この実施形態の貼付装置１０は、上記のように構成されているので、次にその動作に関連して本発明のウェーハの製造方法について説明する。
このウェーハＷの製造方法では、ウェーハＷを貼付板１３に貼り付けた後、ウェーハ研磨装置において、ウェーハＷに対して図示しない研磨板を貼付板１３に対して相対移動させることにより、ウェーハＷをポリッシング加工する研磨工程を行うこととなる。
【００３９】
上記研磨工程に際し、ウェーハＷを貼付板に貼り付ける必要があるため、予め、回動体１１が図１に示す鎖線の状態に待機しているとき、図示しない供給手段によってウェーハＷが保持部４０に供給されると、その保持部４０が真空吸引することでウェーハＷを保持すると、その状態のままで回動体１１が支持支点１２を中心として貼付板１３に向かって回動し、貼付板１３に対して予め設定された位置まで近づいたところで、回動体１１が停止する。
また、図５に示される、回動体１１が、貼付板１３の予め設定された位置に近づくと、ガイドユニット５０も、貼付板１３上の予め設定された位置にまで、回動し停止する。
回動体１１が所定位置にて停止したとき、保持部４０がウェーハＷに対する真空吸引を止めて保持を解除すると、ウェーハＷは、ウェーハガイドユニット５０により貼付板１３上に案内され、貼付板１３の設定位置に載置される。
ウェーハＷが貼付板１３上に配置される際には、ウェーハガイドユニット５０のウェーハ装着ガイド５２が、ウェーハＷを側方から支持するので、ウェーハＷが貼付板上１３上に配置される際に、ウェーハＷが横方向に外れることがなく、良好に貼付板１３上に配置される。
ウェーハＷが、貼付板１３上に配置されると、図４において、回転体４４が回転して、アーム部材４５がガイド部４６により案内されつつ、外方に変位する。
アーム部４５が、外方に変位することにより、保持部４０及びノズル４１が外方に変位する。このように、保持部４０とノズル４１とが外方に変位することにより、図３の２点鎖線に示されるように、ウェーハＷの上面が開放されることになる。
【００４０】
一方、図７に示されるように、ウェーハＷの上面が開放されると、貼付部３０にエアが一定圧で供給されることで図７に示すように徐々に膨らむので、当初は、膨らんだ貼付部３０の中央部がウェーハＷの中央部と接触してこの部分を押圧し始める。
貼付部３０の中央部がウェーハＷの中央部を押圧し始めると、ウェーハガイドユニット５０は、ウェーハＷ上から退避するため、ウェーハ装着ガイド５２と、貼付部３０とが干渉せず、貼付部３０は、ウェーハガイドユニット５０に干渉されることなく、ウェーハＷの上面を押圧する。
【００４１】
このとき、シリンダ２１の駆動によって押圧板２０が下降すると共に、貼付部３０に対するエアの供給も続行されていることから、ウェーハＷに対する貼付部３０の接触が、中央部から次第に径方向に拡がり、最終的に図８に示すようにウェーハＷの外周まで達するので、貼付部３０がウェーハＷの全面と接触することができる。しかも、貼付部３０に供給されるエアが一定圧となっていることから、貼付部３０はウェーハＷに対して、中央部から外周縁部に向けて一定面圧を与えることができる。
【００４２】
また、貼付装置１０には、保持部４０と貼付部３０とが設けられているため、保持部４０がウェーハＷを解放すると略同時に貼付部３０が、ウェーハＷを押圧することができる。
このため、保持部４０がウェーハＷを貼付板１３に落とした後、ウェーハＷ上から退避する保持部４０の退避時間と、その後に貼付部３０がウェーハＷ上に進出す貼付部３０の進出時間との時間を省略することができ、サイクルタイムの短縮を図ることができる。
さらに、保持部４０がウェーハＷを吸着した後に、貼付板１３の貼付位置に移動するまでの間は、回動体１１を高速で回動するため、さらに、サイクルタイムを短縮することができる。
【００４３】
このように、本発明の貼付方法においては、保持部４０がウェーハＷを保持したまま貼付板１３の上まで移動したとき、その保持を解除して、図５に示されるウェーハ装着ガイド５２がウェーハＷを保持することにより、ウェーハＷは、貼付板１３に横ずれすることなく良好に載置される。そして、その後、ウェーハ装着ガイド５２がウェーハＷから退避するとともに、図７に示される貼付部３０が押圧板２０との協働により、ウェーハＷの上面全面に亘り、一定圧で接触するので、ウェーハＷを貼付板１３に対し全面に亘って均一に押圧することができる。
図８に示されるように、貼付部３０と、押圧板２０とがウェーハＷの上面全面に亘り、均一に押圧することにより、ウェーハＷと貼付板１３とを接着させる接着剤が、ウェーハＷと貼付板１３との間で均一に広がることになる。接着剤が、貼付板１３とウェーハＷとの間で、偏りがなく、均一に広がると、ウェーハＷが貼付板１３に、平坦に載置されることになる。このため、その後の研磨工程において、ウェーハＷの上面を研磨する際に、ウェーハＷに凹凸部が形成されることなく、良好に研磨が施されることになる。
【００４４】
また、貼り付けに際し、回動体１１が貼付板１３に向かって回動されることでウェーハＷが搬送されるが、その搬送時には、電空レギュレータ１６が回動体１１の回動速度を制御しているので、つまり最初は回動体１１を高速で回動させる速度制御を行い、ウェーハＷが貼付板１３に近づくにつれて徐々に速度を下げる速度制御を行うので、ウェーハＷの搬送を速やかに行うことができ、これにより、ウェーハＷの貼付に要するサイクルタイムを短縮化させることができる。
しかも、貼付板に近づくにつれて回動体１１の移動速度が徐々に下がると、貼付板１３に対してウェーハＷを正確に位置決めすることができるばかりでなく、ウェーハＷが貼付板１３に衝突するのを防ぐこともでき、ウェーハＷが損傷するというおそれもない。
【００４５】
従って、この実施形態の貼付装置１０によれば、保持部４０が、貼付部３０の前面側に進退可能に設けられて構成したので、ウェーハＷの保持と載置とを行うことができる一方、押圧板２０と貼付部３０とにより、ウェーハＷの全面を貼付板１３に均一に貼り付けることができる結果、上記貼付方法を良好に行うことができ、集積度の高いウェーハであっても、良好な貼付を的確に実施することができる。
【００４６】
また、貼付部３０は、内部に供給されるエアによって膨出可能な弾性材で構成されていて、供給されるエア圧が制御部１５によって一定に制御されることから、貼付板１３に対するウェーハＷの押圧を全面に亘って確実に均一にすることができるので、貼り付けに対する信頼性を高めることができる。
【００４７】
そして、この搬送装置１０は、その主構成要素をなす押圧板２０と貼付部３０と保持部４０とが一つのユニットとして回動体１１に設けられ、回動体１１の動作によって各部２０、３０、４０が全て作業位置に一括的に移動するように構成されているので、各部が所定の作業を行う上で可及的に最短距離に配置することができる。そのため、従来例のように貼付板の周囲に配設されることで動作距離が大きくなったりすることがなくなり、貼り付けに要するサイクルタイムを確実に短縮化させることができると共に、貼付装置１０自体のコンパクト化を図ることもできる。
【００４８】
更に、保持部４０は、回転体４４とアーム部材４５とガイド部４６とからなる移動機構を備え、この移動機構によって保持部４０を貼付部３０の前面側に前進させたり後退させたりできるので、ウェーハＷの保持と貼付板１３に対する載置動作を速やかに連続的に行うことができる。これによってサイクルタイムの短縮化をいっそう図ることができる。
【００４９】
しかも、回動体１１がその回動速度を制御する電空レギュレータ１６を備え、電空レギュレータ１６によって回動体１１が貼付板１３に向かって回動したときの速度を速める一方、貼付板１３に近づくにつれてその速度を徐々に遅くさせるので、押圧板２０、貼付部３０、保持部４０の三者を貼付板１３側へ高速でかつ正確に移動させることができると共に、保持部４０によって保持されたウェーハＷが貼付板１３に衝突するのを回避することができる。これにより、サイクルタイムを大幅に短縮できると共に、ウェーハＷが破損するのを確実に防止することができる。
【００５０】
なお、上記実施の形態において、回動体１１が図１に鎖線に示す待機状態にあるときにウェーハＷを受け取って保持するようにした例を示したが、これ以外の角度での待機時にウェーハを受け取ることができる。また、押圧板２０及び貼付部３０並びに回動体１１は、供給されるエアによって全て動作するようになっており、それだけ設備の簡素化を図ることができるが、例えば油圧等のような他の流体を利用してもよい。そして、貼付装置の押圧板、貼付部、保持部の具体的構成は図示例に限定されるものではない。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
この発明は、ウェーハの製造方法及びウェーハの貼付装置の分野において、集積度の高いウェーハであっても良好な貼り付けを的確に行えることができ、サイクルタイムの短縮化を図ることができるウェーハの製造方法及びウェーハの貼付装置を提供するため、産業上の利用可能性が認められる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】この発明の一実施の形態に係るウェーハの貼付装置を示す要部断面の説明図である。
【図２】図１のウェーハの貼付装置を上から見た概略平面図である。
【図３】図１の縦断面に相当する説明図である。
【図４】保持部を移動させる移動機構を示す説明用平面図である。
【図５】図４の背面側から見た、回転体とその駆動源との関係を示す説明図である。
【図６】回動体の速度制御部を示す回路図である。
【図７】貼付部が膨らみ始めた状態を示す説明図である。
【図８】貼付部と押圧板とでウェーハを貼付板に貼り付けた状態を示す説明図である。
【符号の説明】
【００５３】
１０    貼付装置
１１    回動体
１２    支持支点
１３    貼付板
１５    制御部
１６    電空レギュレータ
２０    押圧板
３０    貼付部
４０    保持部
４４    回転板
４５    アーム部材体
４６    ガイド部
Ｗ    ウェーハ
【図１】
2005197269.tif 000003
【図２】
2005197269.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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