(57)【要約】【課題】  高精度の検査を短時間で行うことができる電子回路および検査装置および電子回路の検査方法を提供すること。【解決手段】  ショート検査装置１には，あらかじめ複数のテストパターンが用意されている。このテストパターンは，各入力端子に対して２値が所定の本数ずつ交互に割り当てられたものである。このテストパターンに従って電圧発生部１１にて被検査ワーク５の各入力端子に対して電圧を印加する。被検査ワーク５は，そのワーク内部で発生するタイマイベントにより各入力端子の状態を確認し，その確認結果により検査プログラムを実行する。すなわち，被検査ワーク５のタイミングにより検査プログラムを実行する。ショート検査装置１では，被検査ワーク５からの出力データを受信し，その出力データを基に制御部１０にて良否判定を行う。【選択図】            図１
2005077174.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の端子を有する電子回路において，
所定の時間間隔ごとに前記端子それぞれの電圧値を確認する電圧確認手段と，
前記電圧確認手段の確認結果に従って各端子の状態を示す検査データを作成し，作成された検査データを出力するデータ出力手段とを備えることを特徴とする電子回路。
【請求項２】
複数の端子を有する電子回路の検査を行う検査装置において，
複数のテストパターンに従って順次被検査電子回路の各端子に対して電圧を印加する電圧印加手段と，
前記電圧印加手段の電圧印加に応じてテストパターンごとに被検査電子回路から出力される検査データを受信するデータ受信手段と，
各テストパターンに対応する判定用データを備え，前記データ受信手段が受信した検査データとその検査データに対応するテストパターンの判定用データとを比較することで被検査電子回路の良否判定を行うデータ判定手段とを備えることを特徴とする電子回路の検査装置。
【請求項３】
複数の端子を有する電子回路の検査を行う検査装置において，
複数のテストパターンを順次被検査電子回路に出力するテストパターン出力手段と，
前記テストパターン出力手段から出力されたテストパターンに応じて被検査電子回路の各端子から出力された電圧を所定の時間間隔ごとに測定する電圧測定手段と，
各テストパターンに対応する判定用データを備え，前記電圧測定手段の測定値とその測定値に対応するテストパターンの判定用データとを比較することで被検査電子回路の良否判定を行う電圧判定手段とを備えることを特徴とする電子回路の検査装置。
【請求項４】
請求項３に記載する電子回路の検査装置において，
複数のテストパターンに従って順次被検査電子回路の各端子に対して電圧を印加する電圧印加手段と，
前記電圧印加手段の電圧印加に応じてテストパターンごとに被検査電子回路から出力される検査データを受信するデータ受信手段と，
各テストパターンに対応する判定用データを備え，前記データ受信手段が受信した検査データとその検査データに対応するテストパターンの判定用データとを比較することで被検査電子回路の良否判定を行うデータ判定手段とを備えることを特徴とする電子回路の検査装置。
【請求項５】
請求項２から請求項４のいずれか１つに記載する検査装置において，
テストパターンには，被検査電子回路の端子ごとに２値のうちいずれか一方が割り当てられているとともにその２値が所定数ごとに交互に割り当てられていることを特徴とする検査装置。
【請求項６】
複数の端子を有する電子回路の検査方法において，
検査装置にて，複数のテストパターンに従って順次被検査電子回路の各端子に電圧を印加し，
被検査電子回路にて，所定の時間間隔ごとに各端子の電圧値を確認し，その確認結果に従って各端子の状態を示す検査データを作成するとともにその検査データを検査装置に出力し，
検査装置にて，被検査電子回路から出力される検査データを受信し，その検査データとその検査データに対応するテストパターンの判定用データと比較することで被検査電子回路の良否判定を行うことを特徴とする電子回路の検査方法。
【請求項７】
複数の端子を有する電子回路の検査方法において，
検査装置にて，複数のテストパターンを順次被検査電子回路に出力し，
被検査電子回路にて，テストパターンに従って順次各端子から電圧を出力し，
検査装置にて，所定の時間間隔ごとに被検査電子回路の各端子の電圧値を測定し，その測定値とその測定値に対応するテストパターンの判定用データとを比較することで被検査電子回路の良否判定を行うことを特徴とする電子回路の検査方法。
【請求項８】
請求項６または請求項７に記載する電子回路の検査方法において，
テストパターンには，被検査電子回路の端子ごとに２値のうちいずれか一方が割り当てられているとともにその２値が所定数ごとに交互に割り当てられていることを特徴とする電子回路の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は，電子回路およびその電子回路の検査を行うための検査装置および電子回路の検査方法に関する。さらに詳細には，高精度の検査を短時間で行うことができる電子回路および検査装置および電子回路の検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から，電子回路の検査では，複数の端子にプローブピンを接触させ，電気的導通や電気的特性を検査することでショート不良を検出することが行われている（例えば，特許文献１）。また，電子回路の機能試験では，あらかじめ幾つかのテストパターンを用意し，そのテストパターンに従って順次被検査電子回路を動作させ，その動作結果を検査することでショート不良等を検出している（例えば，特許文献２）。
【特許文献１】特開平５−１９０６３７号公報
【特許文献２】特開平９−９０００２号公報
【０００３】
例えば，１００本の入力端子Ｉ１〜Ｉ１００を備えた電子回路のショート検査は，図８に示すような手順で行われる。なお，本明細書では，各入力端子に印加される電圧が，高電圧のときを「ＯＮ」とし，低電圧のときを「ＯＦＦ」とする。まず，１ステップ目の検査では入力端子Ｉ１のみをＯＮとし，それによって得られる出力信号の良否を判定する。次に２ステップ目の検査では，入力端子Ｉ２のみをＯＮとし，それによって得られる出力信号の良否を判定する。以降，１本の入力端子のみをＯＮとする動作を順次行い，それによって得られる出力信号についての良否判定を繰り返す。すなわち，入力端子Ｉ１００をＯＮするまで各入力端子を１本ずつＯＮすることで，全入力端子のショート判定を行うのである。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら，前記した手順のショート検査には，次のような問題があった。前記したように１００本の入力端子を備えた電子回路のショート検査では，少なくとも１００ステップの検査が繰り返し行われる。すなわち，少なくとも端子数分のステップを踏む必要がある。近年，電子回路の端子数は増大する傾向にあり，その数は数千本にまで及んでいるものもある。従って，検査時間も端子数に比例して長くなってしまう。
【０００５】
また，ショート検査では，任意の２端子について，（ＯＮ，ＯＮ），（ＯＮ，ＯＦＦ），（ＯＦＦ，ＯＮ），（ＯＦＦ，ＯＦＦ）の４状態の検査を行うことが望ましい。しかしながら，図８に示したパターンでは，（ＯＮ，ＯＦＦ），（ＯＦＦ，ＯＮ），（ＯＦＦ，ＯＦＦ）の３状態は検査しているが，（ＯＮ，ＯＮ）の状態については検査できていない。具体的に，入力端子１と入力端子２との間のショート検査では，１ステップ目の検査で（ＯＮ，ＯＦＦ），２ステップ目の検査で（ＯＦＦ，ＯＮ），３ステップ目の検査以降で（ＯＦＦ，ＯＦＦ）の各状態を検査している。しかしながら，（ＯＮ，ＯＮ）の状態については検査していない。そのため，（ＯＮ，ＯＮ）の状態については，実験等によって別途検証する作業が必要になる。よって，検査および検証作業に膨大な時間を要する。
【０００６】
また，従来の電子回路で（ＯＮ，ＯＮ）の状態の検査を行う場合には，次のような問題があった。従来の被検査電子回路の検査プログラム（検査ロジック）は，入力端子への印加電圧がＯＦＦからＯＮになるタイミングをトリガとして動作を開始している。すなわち，被検査電子回路は，検査装置のタイミングにより動作している。ここで，（ＯＮ，ＯＮ）のパターンを検査するためには，対象となる両入力端子が共にＯＮであることを被検査電子回路が認識しなければならない。しかしながら，被検査電子回路では，入力端子ごとに電圧印加の認識タイミングに多少のばらつきがある。そのため，検査装置にて同時にＯＮさせたとしても，被検査電子回路のそれぞれの入力端子が必ずしも同時にそのことを認識するとは限らない。そのため，被検査電子回路の検査プログラムがいずれか一方のみのＯＮをトリガとして動作してしまうことがある。すなわち，（ＯＦＦ，ＯＦＦ）の状態から（ＯＮ，ＯＮ）の状態にする場合に，（ＯＮ，ＯＦＦ）もしくは（ＯＦＦ，ＯＮ）のときの動作をしてしまうことがある。従って，（ＯＮ，ＯＮ）の状態を正確に検査することが困難なのである。
【０００７】
本発明は，前記した従来の検査装置が有する問題点を少なくとも１つ解決するためになされたものである。すなわちその課題とするところは，高精度の検査を短時間で行うことができる電子回路および検査装置および電子回路の検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この課題の解決を目的としてなされた電子回路は，複数の端子を有する電子回路であって，所定の時間間隔ごとに端子それぞれの電圧値を確認する電圧確認手段と，電圧確認手段の確認結果に従って各端子の状態を示す検査データを作成し，作成された検査データを出力するデータ出力手段とを備えるものである。
【０００９】
本発明の電子回路では，電圧確認手段にて所定の時間間隔ごとに端子の状態を確認している。そして，確認結果を基に検査データを作成している。すなわち，電子回路自らのタイミングで端子の状態を確認するとともにその確認結果に従って検査データを作成している。これにより，電圧印加の認識タイミングに多少のばらつきがあっても，電圧確認タイミングには所望の電圧状態を認識することができる。従って，検査装置により２以上の端子が同時にＯＮされるテストパターンであっても，その状態を正確に認識することができる。
【００１０】
また，本発明の検査装置は，複数の端子を有する電子回路の検査を行う検査装置であって，複数のテストパターンに従って順次被検査電子回路の各端子に対して電圧を印加する電圧印加手段と，電圧印加手段の電圧印加に応じてテストパターンごとに被検査電子回路から出力される検査データを受信するデータ受信手段と，各テストパターンに対応する判定用データを備え，データ受信手段が受信した検査データとその検査データに対応するテストパターンの判定用データとを比較することで被検査電子回路の良否判定を行うデータ判定手段とを備えるものである。
【００１１】
本発明の検査装置では，あらかじめ複数のテストパターンを用意しておく。そして，電圧印加手段にて，それらのテストパターンに従って順次被検査電子回路の入力端子に対して電圧を印加している。そして，その電圧印加に応じて被検査電子回路から出力される検査データを受信し，その検査データを基に良否判定を行っている。これにより，被検査電子回路の入力端子に電圧を印加することで，入力端子の検査を行うことができている。
【００１２】
また，本発明の別の検査装置は，複数の端子を有する電子回路の検査を行う検査装置であって，複数のテストパターンを順次被検査電子回路に出力するテストパターン出力手段と，テストパターン出力手段から出力されたテストパターンに応じて被検査電子回路の各端子から出力された電圧を所定の時間間隔ごとに測定する電圧測定手段と，各テストパターンに対応する判定用データを備え，電圧測定手段の測定値とその測定値に対応するテストパターンの判定用データとを比較することで被検査電子回路の良否判定を行う電圧判定手段とを備えるものである。
【００１３】
本発明の検査装置では，あらかじめ複数のテストパターンを用意しておく。そして，テストパターン出力手段にて，それらのテストパターンを順次被検査電子回路に出力している。そして，電圧測定手段にて，テストパターンに応じて被検査電子回路の各端子から出力された電圧を所定の時間間隔ごとに測定している。そして，その測定値を基に良否判定を行っている。これにより，被検査電子回路の出力端子から出力される電圧を測定することで，出力端子の検査を行うことができている。
【００１４】
また，上記の検査装置は，複数のテストパターンに従って順次被検査電子回路の各端子に対して電圧を印加する電圧印加手段と，電圧印加手段の電圧印加に応じてテストパターンごとに被検査電子回路から出力される検査データを受信するデータ受信手段と，各テストパターンに対応する判定用データを備え，データ受信手段が受信した検査データとその検査データに対応するテストパターンの判定用データとを比較することで被検査電子回路の良否判定を行うデータ判定手段とを備えることとするとよりよい。これにより，この検査装置では，電圧を印加する場合（入力端子系）の検査と電圧を測定する場合（出力端子系）と２系統の検査を行うことができる。
【００１５】
また，本発明のテストパターンには，被検査電子回路の端子ごとに２値のうちいずれか一方が割り当てられているとともにその２値が所定数ごとに交互に割り当てられていることとするとよりよい。このテストパターンでの検査の総ステップ数Ｓは，被検査電子回路の端子数Ｎ≦２P の条件を満たすＰの最小の自然数Ｐ＿ＭＩＮを２倍した数２Ｐ＿ＭＩＮである。この総ステップ数Ｓ，すなわち２Ｐ＿ＭＩＮは，被検査電子回路の端子数Ｎよりも少ない。よって，本発明の検査装置による検査ステップ数は，従来のものと比較して少ない。また，本発明のテストパターンでは，任意の２端子に対して（ＯＮ，ＯＮ），（ＯＮ，ＯＦＦ），（ＯＦＦ，ＯＮ），（ＯＦＦ，ＯＦＦ）の４状態の検査をすべて行うことができる。従って，従来のように別途の検証を行う必要がない。よって，検査に必要な時間が短い。
【００１６】
また，本発明の電子回路の検査方法は，複数の端子を有する電子回路の検査方法であって，検査装置にて，複数のテストパターンに従って順次被検査電子回路の各端子に電圧を印加し，被検査電子回路にて，所定の時間間隔ごとに各端子の電圧値を確認し，その確認結果に従って各端子の状態を示す検査データを作成するとともにその検査データを検査装置に出力し，検査装置にて，被検査電子回路から出力される検査データを受信し，その検査データとその検査データに対応するテストパターンの判定用データと比較することで被検査電子回路の良否判定を行うこととしている。
【００１７】
また，本発明の別の電子回路の検査方法は，複数の端子を有する電子回路の検査方法であって，検査装置にて，複数のテストパターンを順次被検査電子回路に出力し，被検査電子回路にて，テストパターンに従って順次各端子から電圧を出力し，検査装置にて，所定の時間間隔ごとに被検査電子回路の各端子の電圧値を測定し，その測定値とその測定値に対応するテストパターンの判定用データとを比較することで被検査電子回路の良否判定を行うこととしている。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の電子回路によれば，電子回路のタイミングで検査を行うことで，検査装置にて同時にＯＮさせるテストパターンであっても正確に検査を行うことができる。また，本発明の検査装置もしくは検査方法によれば，任意の２端子に対してすべての状態を検査することができる。また，その検査に必要な検査ステップ数も少ない。従って，高精度の検査を短時間で行うことができる電子回路および検査装置および電子回路の検査方法が提供されている。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下，本発明を具体化した実施の形態について，添付図面を参照しつつ詳細に説明する。なお，本実施の形態は，車載されるプリント基板およびそのプリント基板のショート検査装置に本発明を適用したものである。
【００２０】
［第１の形態］
第１の形態に係るショート検査装置１は，図１に示すように制御部１０と，電圧印加部１１と，信号受信部１２と，信号送信部２１と，電圧測定部２２とを備えている。本形態では，このうち主として制御部１０と，電圧印加部１１と，信号受信部１２とを使用する。制御部１０は，テストパターンの作成や，被検査ワークの良否判定を行うものである。電圧印加部１１は，被検査ワークの各入力端子に対して所定の電圧を印加するものである。信号受信部１２は，被検査ワークから出力されたデータを受信するものである。また，本形態の被検査ワーク５は，８本の入力端子Ｉ１〜Ｉ８と，１本の出力端子Ｏｓと，演算部５１と，記憶部５２とを備えている。さらに被検査ワーク５の記憶部５２には，ショート検査に必要な検査プログラムが記録されている。また，記憶部５２には，本来の使用目的のプログラムと検査プログラムとがともに記憶されている。なお，本来の使用目的のプログラムと検査プログラムとを別々の記憶部に記憶してもよい。
【００２１】
次に，本形態の検査手順について説明する。なお，検査開始前にあらかじめ複数のテストパターンを作成しておく。テストパターンは，入力端子Ｉ１〜Ｉ８のＯＮ，ＯＦＦについての組合せが設定されたものである。詳細には，各端子に対応してＯＮもしくはＯＦＦのいずれか一方の値が割り当てられたものであり，その２値が検査のステップごとに所定の本数ずつ交互に割り当てられたものである。これらのテストパターンは，入力端子Ｉ１〜Ｉ８の任意の２端子について（ＯＮ，ＯＮ），（ＯＮ，ＯＦＦ），（ＯＦＦ，ＯＮ），（ＯＦＦ，ＯＦＦ）の４状態すべてを網羅したものである。具体的なテストパターンおよびそのテストパターンの作成手順については後述する。
【００２２】
本形態の検査では，まず，ショート検査装置１の電圧印加部１１にて，複数のテストパターンに従った電圧を所定の時間間隔ｔ１ごと（本形態ではｔ１＝２００ｍｓ。図２参照）に順次発生させる。すなわち，検査実行時には定期的に被検査ワーク５への印加電圧が切り換えられる。この時間間隔ｔ１は，後述する被検査ワーク５におけるタイマイベントの発生間隔ｔ２と比較して同一もしくはそれよりも長い間隔（ｔ１≧ｔ２）である。
【００２３】
一方，被検査ワーク５は，演算部５１にて所定の時間間隔ｔ２ごとに発生するタイマイベントにより検査プログラムの実行を開始する。すなわち，タイマイベントをトリガとして検査プログラムの実行する。具体的には，所定の時間間隔ｔ２ごと（本形態ではｔ２＝２００ｍｓ。図２参照）に入力端子Ｉ１〜Ｉ８の各電圧値（ＯＮ／ＯＦＦ状態）を測定する。そして，前回の状態と異なる場合には検査プログラムを動作させる。これにより，２つ以上の入力端子をＯＮにする場合に，電圧印加の認識タイミングに多少のばらつきがあっても，ショート検査装置１の電圧印加タイミングと被検査ワーク５のイベント発生タイミングとの間にタイムラグがあるため，被検査ワーク５の電圧測定時には所望の状態を認識できる。
【００２４】
なお，本形態の検査プログラムは，入力電圧Ｖｘ（ｘ＝１〜８）に対して次の条件（１）および（２）に従った検査データＤｘ（“Ｄ１Ｄ２Ｄ３・・・Ｄ８”）を作成する。
Ｖｘが低電圧（Ｖｘ＜閾値）のときは，Ｄｘ＝“０”  （１）
Ｖｘが高電圧（Ｖｘ≧閾値）のときは，Ｄｘ＝“１”  （２）
本形態の被検査ワーク５の入力端子は８本であるため，少なくとも８ビットのバイナリデータが作成される。例えば，入力端子Ｉ１〜Ｉ４がＯＮ（高電圧），入力端子Ｉ５〜Ｉ８がＯＦＦ（低電圧）の場合，被検査ワーク５が良品であれば検査データ“１１１１００００”が出力される。一方，ショート不良が発生していればそれ以外の検査データが出力される。この検査プログラムにて作成された検査データは，出力端子Ｏｓを介してショート検査装置１に出力される。
【００２５】
そして，ショート検査装置１は，信号受信部１２にて被検査ワーク５からの検査データを受信する。次に，制御部１０にて受信した検査データを基にショート判定を行う。具体的には，良品の電子回路が出力するであろう検査データをテストパターンごとにあらかじめ評価データとして記憶しておき，被検査電子回路５の検査データとその検査データに対応するテストパターンの評価データとが一致するか否かを判断する。そして，検査データが評価データと一致しない場合には不良と判定し，一致する場合には良品と判定する。この良否判定を行うことで本検査は終了する。
【００２６】
次に，本形態のテストパターンを被検査ワーク５に適用した具体例について，図３を基に説明する。まず，入力端子Ｉ１，Ｉ３，Ｉ５，Ｉ７をＯＮと，入力端子Ｉ２，Ｉ４，Ｉ６，Ｉ８をＯＦＦとするテストパターンに従って電圧を印加する（１ステップ目）。被検査ワーク５では，入力端子Ｉ１〜Ｉ８のＯＮ／ＯＦＦ状態を検知し，前記した検査プログラムに従ってその結果を出力する。次に，入力端子Ｉ１，Ｉ２，Ｉ５，Ｉ６をＯＮと，入力端子Ｉ３，Ｉ４，Ｉ７，Ｉ８をＯＦＦとするテストパターンに従って電圧を印加する（２ステップ目）。被検査ワーク５では，入力端子Ｉ１〜Ｉ８のＯＮ／ＯＦＦ状態を検知し，その結果を出力する。次に，入力端子Ｉ１〜Ｉ４をＯＮと，入力端子Ｉ５〜Ｉ８をＯＦＦとするテストパターンに従って電圧を印加する（３ステップ目）。被検査ワーク５では，入力端子Ｉ１〜Ｉ８のＯＮ／ＯＦＦ状態を検知し，その結果を出力する。
【００２７】
次に，入力端子Ｉ１，Ｉ３，Ｉ５，Ｉ７をＯＦＦと，入力端子Ｉ２，Ｉ４，Ｉ６，Ｉ８をＯＮとするテストパターンに従って電圧を印加する（４ステップ目）。被検査ワーク５では，入力端子Ｉ１〜Ｉ８のＯＮ／ＯＦＦ状態を検知し，その結果を出力する。次に，入力端子Ｉ１，Ｉ２，Ｉ５，Ｉ６をＯＦＦと，入力端子Ｉ３，Ｉ４，Ｉ７，Ｉ８をＯＮとするテストパターンに従って電圧を印加する（５ステップ目）。被検査ワーク５では，入力端子Ｉ１〜Ｉ８のＯＮ／ＯＦＦ状態を検知し，その結果を出力する。次に，入力端子Ｉ１〜Ｉ４をＯＦＦと，入力端子Ｉ５〜Ｉ８をＯＮとするテストパターンに従って電圧を印加する（６ステップ目）。被検査ワーク５では，入力端子Ｉ１〜Ｉ８のＯＮ／ＯＦＦ状態を検知し，その結果を出力する。
【００２８】
本形態のテストパターンでは，任意の２端子について，（ＯＮ，ＯＮ），（ＯＮ，ＯＦＦ），（ＯＦＦ，ＯＮ），（ＯＦＦ，ＯＦＦ）の４状態の検査がすべて行われる。具体的に，入力端子１と入力端子２との間のショート検査では，１ステップ目で（ＯＮ，ＯＦＦ），２ステップ目で（ＯＮ，ＯＮ），４ステップ目で（ＯＦＦ，ＯＮ），５ステップ目で（ＯＦＦ，ＯＦＦ）の各状態を検査している。また，全体で６ステップの検査が行われる。これは，端子数（８本）よりも少ないステップ数であり，従来の検査と比較して短時間で検査が行われる。
【００２９】
なお，本形態のテストパターンによって行われる検査の総ステップ数Ｓは，次のように求められる。まず，入力端子数Ｎ≦２P の条件を満たすＰのうち，最小の自然数Ｐ＿ＭＩＮを求める。そして，その自然数を２倍した数２Ｐ＿ＭＩＮが総ステップ数Ｓとなる。これを入力端子数Ｎが８本である本形態の被検査ワーク５にあてはめると，最小の自然数Ｐ＿ＭＩＮが３であることから，総ステップ数Ｓが６となる。また，入力端子数Ｎが１００本である被検査ワークにあてはめると，最小の自然数Ｐ＿ＭＩＮが７であることから，総ステップ数Ｓが１４となる。また，入力端子数Ｎが１０００本である被検査ワークにあてはめると，最小の自然数Ｐ＿ＭＩＮが１０であることから，総ステップ数Ｓが２０となる。すなわち，本形態のテストパターンによる検査では，少なくとも入力端子数と同じステップ数の検査を行っていた従来の検査と比較して，入力端子数が多いほど検査時間の短縮を図ることができることがわかる。
【００３０】
次に，テストパターンの作成手順について，図４および図５のフローチャートを基に説明する。本形態のテストパターンは，制御部１０にて被検査ワーク５への電圧印加開始前に以下の作成手順にて自動的に作成される。なお，テストパターンは，必ずしも制御部１０で作成しなければならないものではなく，外部で作成されたものであってもよい。まず，入力端子数Ｎを設定するとともに，Ｎ≦２P の条件を満たすＰのうち，最小の自然数Ｐ＿ＭＩＮを求める（Ｓ１）。次に，入力端子番号ｎおよびステップ番号ｓを初期化（Ｓ２）し，ｆｌａｇをＯＮにする（Ｓ３）。次に，１ステップ目のテストパターン（図３参照）を作成する（Ｓ４）。具体的には，１端子ごとにＯＮとＯＦＦとを反転させたパターンを作成する（Ｓ４１〜Ｓ４７）。次に，ステップ番号ｓを２と（Ｓ５）し，２ステップ目のテストパターンを作成する（Ｓ３，Ｓ４）。具体的には，２端子ごとにＯＮとＯＦＦとを反転させたテストパターンを作成する（Ｓ４１〜Ｓ４７）。次に，ステップ番号ｓを３と（Ｓ５）し，３ステップ目のテストパターンを作成する（Ｓ３，Ｓ４）。具体的には，４端子ごとにＯＮとＯＦＦとを反転させたテストパターンを作成する（Ｓ４１〜Ｓ４７）。３ステップ目のテストパターンまで作成するとＳ６の処理の条件を満たすため，次にｆｌａｇをＯＦＦに変更（Ｓ７）し，再度テストパターンを作成する（Ｓ８）。Ｓ８の処理内容はＳ４の処理内容と同様である。これにより，１〜３ステップ目のテストパターンの反転パターンが作成される。この反転パターンが４〜６ステップ目のテストパターンである。ステップ番号ｓが２Ｐ＿ＭＩＮより大きくなった場合（Ｓ１０：ＹＥＳ）には，テストパターン作成処理を終了する。これにより，本形態のテストパターン（図３参照）が作成される。
【００３１】
以上詳細に説明したように本形態のショート検査装置１では，あらかじめ複数のテストパターンを用意することとしている。これらのテストパターンは，各入力端子に対してＯＮもしくはＯＦＦが所定の本数ずつ交互に割り当てられたものであり，（ＯＮ，ＯＮ），（ＯＮ，ＯＦＦ），（ＯＦＦ，ＯＮ），（ＯＦＦ，ＯＦＦ）の４状態の検査をすべて行うことができるものである。従って，従来のように別途の検証を行う必要がなく，高精度の検査を短時間に行うことができている。また，これらのテストパターンによるショート検査の検査ステップ数は，従来のショート検査の検査ステップ数と比較して少ない。すなわち，検査時間の短縮を図ることができている。
【００３２】
また，被検査ワーク５は，その内部で発生するタイマイベントにより各入力端子の状態を確認し，その確認結果により検査プログラムを実行することとしている。すなわち，被検査ワーク５のタイミングにより検査プログラムを実行することとしている。これにより，電圧印加の認識タイミングに多少のばらつきがあっても，被検査ワーク５の電圧確認時には所望の電圧状態を認識することができている。従って，２つ以上の入力端子をＯＮするテストパターンであっても誤認識なく検査を実施することが可能である。
【００３３】
また，被検査ワーク５では検査プログラムを実行することで得られたデータをショート検査装置１に出力し，ショート検査装置１ではそのデータを受信することとしている。そして，ショート検査装置１の制御部１０では，そのデータを基に良否判定を行うこととしている。これにより，高精度のショート検査を短時間で行うことができる電子回路および検査装置および電子回路の検査方法が実現されている。
【００３４】
［第２の形態］
第２の形態では，被検査ワークの各端子から出力される電圧を測定することでショート検査を行う検査方法について説明する。具体的には，被検査ワークの入力端子に複数のテストパターンを順次出力し，そのテストパターンに従って被検査ワークの出力端子から出力される電圧を順次測定する。すなわち，被検査ワーク側から電圧が出力される点で，第１の形態（ショート検査装置側で電圧印加）と相違する。
【００３５】
第２の形態についても，第１の形態と同様にショート検査装置１を使用する。本形態では，図６に示すように主として制御部１０と，信号送信部２１と，電圧測定部２２とを使用する。信号送信部２１は，被検査ワーク６にテストパターンを出力するものである。電圧測定部２２は，被検査ワーク６の各出力端子の電圧を測定するものである。また，本形態の被検査ワーク６は，８本の出力端子Ｏ１〜Ｏ８と，１本の入力端子Ｉｓと，演算部６１と，記憶部６２とを備えている。さらに被検査ワーク６の記憶部６２には，第１の形態と異なる検査プログラムが記録されている。
【００３６】
次に，本形態の検査手順について説明する。なお，検査開始前にあらかじめ複数のテストパターンを作成しておく。テストパターンは，被検査ワーク６にて出力端子Ｏ１〜Ｏ８に出力させる電圧（ＯＮ／ＯＦＦ状態）についての組合せが設定されたものである。具体的には，出力端子Ｏ１〜Ｏ８に対応したバイナリデータＤｘ（ｘ＝１〜８）であって，ＯＮであれば“１”，ＯＦＦであれば“０”が設定されている。テストパターンは，図４のフローチャートに示した手順により作成されたものである。すなわち，各端子に対応して“１”もしくは“０”のいずれか一方の値が割り当てられたものであり，その２値が検査のステップごとに所定数ずつ交互に割り当てられたものである。そのため，これらのテストパターンは，出力端子Ｏ１〜Ｏ８の任意の２端子について（ＯＮ，ＯＮ），（ＯＮ，ＯＦＦ），（ＯＦＦ，ＯＮ），（ＯＦＦ，ＯＦＦ）の４状態すべてを網羅している。
【００３７】
本形態の検査では，まず，ショート検査装置１の信号送信部２１にて，所定の時間間隔ｔ４でテストパターンを被検査ワーク６に対して順次送信する。この時間間隔ｔ４は，電圧測定部２２にて被検査ワーク６の電圧を測定する時間間隔ｔ５と比較してほぼ同等である。
【００３８】
一方，被検査ワーク６は，入力端子Ｉｓにてテストパターンを受信したことをトリガとして検査プログラムの実行を開始する。なお，第１の形態と同様にタイマイベントをトリガとしてもよい。本形態の検査プログラムにより，テストパターンに設定されているデータＤｘ（“Ｄ１Ｄ２Ｄ３・・・Ｄ８”）を基に，次の条件（３）および（４）に従った電圧が出力端子Ｏ１〜Ｏ８から出力される。
Ｄｘが“０”のときは低電圧    （３）
Ｄｘが“１”のときは高電圧    （４）
なお，低電圧と高電圧との差は十分に大きいものとする。そして，本形態では，高電圧のときがＯＮで，低電圧のときがＯＦＦである。例えば，データが“１１１１００００”であった場合，出力端子Ｏ１〜Ｏ４がＯＮ（高電圧），出力端子Ｏ５〜Ｏ８がＯＦＦ（低電圧）となる。また，電圧の範囲は，出力端子ごとに設定されている。例えば，出力端子Ｏ１の高電圧の範囲が１０．０〜１２．５Ｖの範囲であり，出力端子Ｏ２の高電圧の範囲が２．５〜７．０Ｖであるとしてもよい。このような場合，出力端子Ｏ１に対応するデータＤ１が“１”のとき，出力端子Ｏ１の電圧は良品であれば１０．０〜１２．５Ｖの範囲内となる。一方，ショート不良であればその範囲外の値となる。
【００３９】
そして，ショート検査装置１では，電圧測定部２２にて被検査ワーク６の出力端子Ｏ１〜Ｏ８の電圧を所定の時間間隔ｔ５ごとに測定する。そして，その測定値を基に制御部１０にてショート判定を行う。具体的には，良品の電子回路が出力するであろう電圧値の組合せをテストパターンごとにあらかじめ評価データとして記憶しておき，測定値とその測定値に対応するテストパターンの評価データとが一致するか否かを判断する。そして，あらかじめ出力端子ごとに記憶した電圧の許容範囲内であれば良品と判定し，許容範囲外であれば不良と判定する。この電圧の判定を行うことで本検査は終了する。
【００４０】
次に，本形態のテストパターンを被検査ワーク６に適用した具体例について，図７を基に説明する。まず，出力端子Ｏ１，Ｏ３，Ｏ５，Ｏ７をＯＮと，出力端子Ｏ２，Ｏ４，Ｏ６，Ｏ８をＯＦＦとするテストパターンを被検査ワーク５に出力する（１ステップ目）。被検査ワーク６は，受信したテストパターンに従って出力端子Ｏ１〜Ｏ８から電圧を出力する。ショート検査装置１では，各出力端子の電圧を測定し，その測定結果を基にショート判定を行う。次に，出力端子Ｏ１，Ｏ２，Ｏ５，Ｏ６をＯＮと，出力端子Ｏ３，Ｏ４，Ｏ７，Ｏ８をＯＦＦとするテストパターンを被検査ワーク６に出力する（２ステップ目）。被検査ワーク６は，受信したテストパターンに従って出力端子Ｏ１〜Ｏ８から電圧を出力する。ショート検査装置１では，各出力端子の電圧を測定し，その測定結果を基にショート判定を行う。次に，出力端子Ｏ１〜Ｏ４をＯＮと，出力端子Ｏ５〜Ｏ８をＯＦＦとするテストパターンを被検査ワーク６に出力する（３ステップ目）。被検査ワーク６は，受信したテストパターンに従って出力端子Ｏ１〜Ｏ８から電圧を出力する。ショート検査装置１では，各出力端子の電圧を測定し，その測定結果を基にショート判定を行う。
【００４１】
次に，出力端子，Ｏ１，Ｏ３，Ｏ５，Ｏ７をＯＦＦと，出力端子Ｏ２，Ｏ４，Ｏ６，Ｏ８をＯＮとするテストパターンを被検査ワーク６に出力する（４ステップ目）。被検査ワーク６は，受信したテストパターンに従って出力端子Ｏ１〜Ｏ８から電圧を出力する。ショート検査装置１では，各出力端子の電圧を測定し，その測定結果を基にショート判定を行う。次に，出力端子Ｏ１，Ｏ２，Ｏ５，Ｏ６をＯＦＦと，出力端子Ｏ３，Ｏ４，Ｏ７，Ｏ８をＯＮとするテストパターンを被検査ワーク６に出力する（５ステップ目）。被検査ワーク６は，受信したテストパターンに従って出力端子Ｏ１〜Ｏ８から電圧を出力する。ショート検査装置１では，各出力端子の電圧を測定し，その測定結果を基にショート判定を行う。次に，出力端子Ｏ１〜Ｏ４をＯＦＦと，出力端子Ｏ５〜Ｏ８をＯＮとするテストパターンを被検査ワーク６に出力する（６ステップ目）。被検査ワーク６は，受信したテストパターンに従って出力端子Ｏ１〜Ｏ８から電圧を出力する。ショート検査装置１では，各出力端子の電圧を測定し，その測定結果を基にショート判定を行う。
【００４２】
このように各出力端子の電圧を測定および判定する検査でも，任意の２端子について，（ＯＮ，ＯＮ），（ＯＮ，ＯＦＦ），（ＯＦＦ，ＯＮ），（ＯＦＦ，ＯＦＦ）の４状態の検査がすべて行われる。また，全体で６回の検査を繰り返している。これは，端子数（８本）よりも少ないステップ数であり，従来の検査と比較して短時間で検査が行われる。
【００４３】
以上詳細に説明したように本形態のショート検査装置１でも，あらかじめ複数のテストパターンを用意することとしている。そのテストパターンは，各出力端子に対して２値が所定の本数ずつ交互に割り当てられたものであり，（ＯＮ，ＯＮ），（ＯＮ，ＯＦＦ），（ＯＦＦ，ＯＮ），（ＯＦＦ，ＯＦＦ）の４状態の検査をすべて行うことができるものである。従って，従来のように別途の検証を行う必要がなく，高精度の検査を短時間に行うことができている。また，これらのテストパターンによるショート検査の検査ステップ数は，従来のショート検査の検査ステップ数と比較して少ない。すなわち，検査時間の短縮を図ることができている。
【００４４】
また，被検査ワーク６は，受信したテストパターンに従って検査プログラムを実行することとしている。そして，そのテストパターンに従って各出力端子から電圧を出力することとしている。さらに，ショート検査装置１では，電圧測定部２２にて所定の時間間隔ｔ５で被検査ワーク６の各出力端子の電圧を測定することとしている。これにより，被検査ワーク６で電圧出力のタイミングに多少のばらつきがあっても，所望のテストパターンによる検査結果を正しく認識することができている。そして，ショート検査装置１の制御部１０では，その測定結果を基に良否判定を行うこととしている。これにより，ショート検査装置１は，入力系電子回路（第１の形態の被検査ワーク５）の他，出力系電子回路（第２の形態の被検査ワーク６）であっても短時間でかつ高精度の検査を実施することができている。
【００４５】
なお，本実施の形態は単なる例示にすぎず，本発明を何ら限定するものではない。したがって本発明は当然に，その要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良，変形が可能である。例えば，本形態ではプリント基板に本発明を適用しているが，これに限るものではない。すなわち，半導体装置等にも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】第１の形態のショート検査装置に係るシステム構成を示すブロック図である。
【図２】電圧の印加と検査プログラムの実行とのタイミングを示す図である。
【図３】第１の形態のショート検査における入力パターンの例を示す図である。
【図４】テストパターンを作成する手順を示すフローチャート（その１）である。
【図５】テストパターンを作成する手順を示すフローチャート（その２）である。
【図６】第２の形態のショート検査装置に係るシステム構成を示すブロック図である。
【図７】第２の形態のショート検査における入力パターン例を示す図である。
【図８】従来のショート検査に係る入力パターンの例を示す図である。
【符号の説明】
【００４７】
１      ショート検査装置
１０    制御部
１１    電圧印加部
１２    信号受信部
２１    信号送信部
２２    電圧測定部
５      被検査ワーク
５１    演算部
５２    記憶部
Ｏｓ    出力端子
Ｉ１〜Ｉ８    入力端子
６      被検査ワーク
Ｉｓ    入力端子
Ｏ１〜Ｏ８    出力端子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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