(57)【要約】【課題】粘性液体の塗布断面積を光学式変位計で測定する際に、盛り上がり部分の斜面付近で変位データが正確に得られない場合でも、比較的正確な塗布断面積を測定できるようにする。【解決手段】対物レンズ１５で集束した光を測定対象物１６に投射し、その反射光を対物レンズ１５及びピンホール１７ａを通して受光する。対物レンズ１５を光軸方向に振動させると共にその位置を検出し、受光量が最大となるときの対物レンズ１５の位置情報から測定対象物１６の表面の変位を測定する。対物レンズ１５の光軸と測定対象物１６とを相対的に所定量ずつ移動させながら取得した測定対象物１６の表面の変位データを記憶する変位データ記憶部４１と、変位データによって規定される盛り上がり部分の最大値に対応する高さと幅を算出する高さ・幅算出部４２と、高さと幅から盛り上がり部分の断面積を算出する断面積算出部４３とを備えている。【選択図】図５
2005114708.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対物レンズで集束した光を測定対象物に投射し、前記測定対象物からの反射光を前記対物レンズ及びピンホールを通して受光し、前記対物レンズを光軸方向に振動させることによりその位置を検出し、受光量が最大となるときの前記対物レンズの位置情報から前記測定対象物の表面の変位を測定する光学式変位計であって、
前記対物レンズの光軸と前記測定対象物とを相対的に所定量ずつ移動させながら取得した測定対象物の表面の変位データを記憶する変位データ記憶部と、
前記変位データによって規定される盛り上がり部分の最大値に対応する高さと幅を算出する高さ・幅算出部と、
前記高さ・幅算出部で求められた盛り上がり部分の高さと幅から前記盛り上がり部分の断面積を算出する断面積算出部と、
前記変位データによって規定される盛り上がり部分を含む測定対象物の表面の断面輪郭及び前記断面積算出部によって算出された断面積を表示する表示部と
を備えていることを特徴とする光学式変位計。
【請求項２】
対物レンズで集束した光を測定対象物に投射し、前記測定対象物からの反射光を前記対物レンズ及びピンホールを通して受光し、前記対物レンズを光軸方向に振動させることによりその位置を検出し、受光量が最大となるときの前記対物レンズの位置情報から前記測定対象物の表面の変位を測定する光学式変位計であって、
前記対物レンズの光軸と前記測定対象物とを相対的に所定量ずつ移動させながら取得した測定対象物の表面の変位データを記憶する変位データ記憶部と、同じく受光量データを記憶する受光量データ記憶部と、
前記変位データによって規定される盛り上がり部分の最大値に対応する高さを算出すると共に、前記盛り上がり部分における前記受光量データから前記盛り上がり部分の幅を算出する高さ・幅算出部と、
前記高さ・幅算出部で求められた盛り上がり部分の高さと幅から盛り上がり部分の断面積を算出する断面積算出部と、
前記変位データによって規定される盛り上がり部分を含む測定対象物の表面の断面輪郭及び前記断面積算出部によって算出された断面積を表示する表示部と
を備えていることを特徴とする光学式変位計。
【請求項３】
前記断面積算出部は、前記高さ・幅算出部で求められた盛り上がり部分の高さと幅と所定の係数とを乗じて得られた積に所定のオフセットを加えて得られた値を前記断面積として算出し、前記断面積算出部に対して前記係数及び前記オフセットを設定する係数・オフセット設定部を更に備えていることを特徴とする
請求項１又は２記載の光学式変位計。
【請求項４】
前記係数・オフセット設定部は、前記高さ・幅算出部で求められた盛り上がり部分の高さ及び幅と、別の手段で測定され入力された前記盛り上がり部分の断面積の真値とのセット２組から前記係数及び前記オフセットを算出し設定することを特徴とする
請求項３記載の光学式変位計。
【請求項５】
対物レンズで集束した光を測定対象物に投射し、前記測定対象物からの反射光を前記対物レンズ及びピンホールを通して受光し、前記対物レンズを光軸方向に振動させることによりその位置を検出し、受光量が最大となるときの前記対物レンズの位置情報から前記測定対象物の表面の変位を測定する光学式変位計を用いて、基板上に線状に塗布された粘性液体の塗布断面積を測定する方法であって、
（ａ）前記粘性液体の塗布方向に直角な方向に前記対物レンズの光軸を相対的に移動させながら前記粘性液体が塗布された盛り上がり部分の表面の変位データを取得して記憶するステップと、
（ｂ）前記変位データによって規定される盛り上がり部分の最大値に対応する高さと幅を算出するステップと、
（ｃ）前記盛り上がり部分の高さと幅から前記盛り上がり部分の断面積を算出するステップと
を実行することを特徴とする粘性液体の塗布断面積の測定方法。
【請求項６】
対物レンズで集束した光を測定対象物に投射し、前記測定対象物からの反射光を前記対物レンズ及びピンホールを通して受光し、前記対物レンズを光軸方向に振動させることによりその位置を検出し、受光量が最大となるときの前記対物レンズの位置情報から前記測定対象物の表面の変位を測定する光学式変位計を用いて、基板上に線状に塗布された粘性液体の塗布断面積を測定する方法であって、
（ａ）前記粘性液体の塗布方向に直角な方向に前記対物レンズの光軸を相対的に移動させながら前記粘性液体が塗布された盛り上がり部分の表面の変位データ及び受光量データを取得して記憶するステップと、
（ｂ）前記変位データによって規定される盛り上がり部分の最大値に対応する高さを算出すると共に、前記盛り上がり部分における前記受光量データから前記盛り上がり部分の幅を算出するステップと、
（ｃ）前記盛り上がり部分の最大値に対応する高さと幅から前記盛り上がり部分の断面積を算出するステップと
を実行することを特徴とする粘性液体の塗布断面積の測定方法。
【請求項７】
前記ステップ（ｃ）において、前記盛り上がり部分の高さと幅と所定の係数とを乗じて得られた積に所定のオフセットを加えて得られた値を前記断面積として算出することを特徴とする
請求項５又は６記載の粘性液体の塗布断面積の測定方法。
【請求項８】
前記ステップ（ｂ）において求められた盛り上がり部分の高さ及び幅と、別の手段で測定され入力された前記盛り上がり部分の断面積の真値とのセット２組から前記係数及び前記オフセットを算出し設定するステップを前記ステップ（ｃ）の前に実行することを特徴とする
請求項７記載の粘性液体の塗布断面積の測定方法。
【請求項９】
前記ステップ（ａ）において、前記粘性液体の塗布方向に対して前記対物レンズの光軸を相対的に移動させる方向を直角方向ではなく斜めの方向とすることを特徴とする
請求項５記載の粘性液体の塗布断面積の測定方法。
【請求項１０】
前記ステップ（ａ）において、前記粘性液体の塗布方向に対して前記対物レンズの光軸を相対的に移動させる方向を直角方向ではなく斜めの方向とすることを特徴とする
請求項６記載の粘性液体の塗布断面積の測定方法。
【請求項１１】
前記光学式変位計は前記対物レンズで集束した光スポットを光軸に略垂直な直線方向に走査する光軸走査機構を有するものを使用し、互いに異なる方向に延びる複数の直線状に塗布された粘性液体の塗布断面積を前記複数の直線を代表する複数箇所で測定するに際して、前記対物レンズを含む前記光学式変位計のヘッド部と前記測定対象物とを相対回転させることなく前記複数箇所で前記光軸走査機構を用いて各直線に対して斜めの方向に前記対物レンズの光軸を相対的に移動させて前記ステップ（ａ）から（ｃ）を複数回繰り返すことを特徴とする
請求項９又は１０記載の粘性液体の塗布断面積の測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定対象物に光を投射し、その反射光を受光して測定対象物の表面の変位を測定する光学式変位計と、それを用いてシール剤等の粘性液体の塗布量を測定する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
光学式変位計として、特許文献１に記載されているような合焦点検出型非接触変位計が実用化されている。この光学式変位計は、レーザ光を用いて測定対象物の表面の高さの変化（変位）をミクロンオーダで測定することができる。以下に、その構成を簡単に説明する。
【０００３】
図１は、従来の光学式変位計の構成を示すブロック図である。レーザパワー制御回路１１で駆動されるレーザダイオード１２から出射したレーザ光は、ビームスプリッタ１３、コリメータレンズ１４、及び対物レンズ１５を順次通過し、測定対象物１６に投射される。測定対象物１６からの反射光は、対物レンズ１５及びコリメータレンズ１４を通ってビームスプリッタ１３で反射し、光絞り部１７のピンホール１７ａを通ってフォトダイオード１８に入射する。フォトダイオード１８が光電変換して得られた受光量に対応する電気信号は、増幅器１９で増幅された後に演算部２０へ入力される。
【０００４】
対物レンズ１５は、Ｕ字状の音叉２１に取り付けられ、音叉２１が振動すると対物レンズ１５が光軸方向に振動するようになっている。音叉２１は、音叉振幅制御回路２５によって励磁されるソレノイド２４によって一定の周波数及び振幅（例えば８００Ｈｚ，±０．３ｍｍ）で振動させられる。音叉２１の先端部側方には音叉振幅検出器２２が配置され、その検出信号（正弦波信号）が増幅器２３を通って演算部２０にフィードバックされている。
【０００５】
音叉振幅制御回路２５によってソレノイド２４が励磁され、音叉２１の振動によって対物レンズ１５が光軸方向に振動すると、レーザダイオード１２からビームスプリッタ１３、コリメータレンズ１４、及び対物レンズ１５を通って測定対象物１６に投射されるレーザ光の集束点（すなわち対物レンズ１５の焦点）が光軸方向に振動する。その結果、測定対象物１６の表面で反射し、対物レンズ１５及びコリメータレンズ１４を通り、ビームスプリッタ１３で反射し、光絞り部１７のピンホール１７ａを通ってフォトダイオード１８に入射するレーザ光の光量が変化する。
【０００６】
つまり、測定対象物１６に投射されるレーザ光の集束点が測定対象物１６の表面にあるとき（合焦点状態）に、その反射光のうち光絞り部１７に到達した光のほとんどがピンホール１７ａを通過し、フォトダイオード１８に入射するレーザ光の受光量が最も多くなる。これに対して、レーザ光の集束点が測定対象物１６の表面からずれると、光絞り部１７に到達した反射光の一部のみがピンホール１７ａを通過し残りはカットされる。その結果、フォトダイオード１８の受光量が急激に減少する。
【０００７】
したがって、演算部２０において、フォトダイオード１８の受光量が最大になるときの音叉振幅検出器２２からの正弦波信号から、対物レンズ１５の位置信号を得、この位置信号を距離変換部２６で距離に変換することにより、測定対象物１６の表面の変位を得ることができる。なお、演算部２０の具体的な回路構成とその動作については特許文献１に詳しく開示されている。
【０００８】
上記のような光学式変位計を用いた測定の一例として、ガラス基板等に塗布されたシール剤のような粘性液体の塗布断面積の測定を挙げることができる。例えば液晶表示器の製造工程において、スペーサを介して所定の間隔で平行に対向する２枚のガラス基板の周囲をシール剤で封止する必要がある。一方のガラス板の周辺部に沿ってシール剤を塗布した後に、他方のガラス板を重ねて押さえることにより、２枚のガラス基板がスペーサの大きさで決まる間隔を隔てて周辺部で固定され、封止される。
【０００９】
この際、シール剤の塗布量が少なすぎると封止（密封）が不完全になるおそれがあり、多すぎると余分なシール剤が２枚のガラス基板の周辺部からはみ出すことがある。そこで、シール剤の塗布量、すなわち塗布断面積を厳密に管理する必要があり、その管理のために塗布断面積の測定が行われる。このような粘性液体の塗布断面積の測定方法の従来例として特許文献２に開示された方法がある。この測定方法では、撮像手段で得られた画像の処理によって塗布断面の輪郭（高さの分布）を求め、積分処理によって断面積を求めている。
【００１０】
特許文献１に記載されているような光学式変位計を用いて粘性液体の塗布断面積の測定を行う場合は、光学式変位計から得られる変位（表面高さ）の分布を求めることにより、同様にしてシール剤の塗布断面積を求めることができる。つまり、図２に示すようにガラス基板３０の上にシール剤３１が直線状に塗布されているとすれば、シール剤３１の塗布方向Ｄ１に略垂直な方向（幅方向）Ｄ２に光軸を移動させながら変位（表面高さ）の分布を求めればよい。光軸をＤ２方向に移動させる手段は図１に示されていないが、例えば公知のＸ−Ｙテーブルを用いて、測定対象物１６（ガラス基板３０及びシール剤３１）を光軸に対して移動させればよい。あるいは、測定対象物１６の載置台は固定して、対物レンズ１５を水平方向に移動させる機構を設けてもよい。対物レンズ１５を水平方向に移動させることにより、直線状に塗布されたシール剤３１を横切る方向（幅方向）に光軸を高速移動させることができる。
【００１１】
このようにして求めた高さ分布のグラフの一例を図３に示す。図３において、黒色の太線のグラフ３３が高さ分布を示しており、これに重ねて示された灰色のグラフ３４は受光量の分布（参考）である。このような高さ分布のグラフ３３を得ることができれば、その盛り上がり部分の面積、すなわち塗布断面積を積分演算によって求めることは容易である。例えば、盛り上がり部分の幅Ｗ（図示の例では３６０μｍ程度）をサンプリングごとに分割し（単位幅ΔＷ）、各サンプリング点における変位（高さ）データとΔＷとの積を加算すれば塗布断面積が得られる。
【特許文献１】特許第３３００８０３号
【特許文献２】特開２００３−２８６１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、実際には図３に示したような比較的きれいな高さ分布のグラフ３３が得られるとは限らない。すなわち、図４に示すように、高さ分布のグラフ３５の盛り上がり部分の斜面、すなわち立ち上がり３５ａ及び立下り３５ｂの部分で測定値の変動が大きくなり（不正確になり）、グラフが乱れる現象が起こりやすいことが分かった。この現象は、液体（シール剤）の粘土が高く、盛り上がり部分の斜面の傾きが大きいほど顕著に発生する。これは、受光量の分布を示すグラフ３６から分かるように、盛り上がり部分の斜面で反射してフォトダイオード１８に至る光が少なくなり、この部分３６ａ及び３６ｂでの受光量が不十分になることが一因であると考えられる。
【００１３】
このように、高さ分布のグラフ３５の盛り上がり部分の斜面での変位データの変動が激しい場合は、上記のような積分（各サンプリング点における変位データとΔＷとの積の加算）演算によって塗布断面積を求めた場合の誤差が非常に大きくなり、実用上問題が生ずる。
【００１４】
本発明は、上記のような課題に鑑み、シール剤のような粘性液体の塗布断面積を光学式変位計で測定する際に、盛り上がり部分の斜面付近で変位データが正確に得られない場合でも、比較的正確な塗布断面積を測定できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明による光学式変位計の第１の構成は、対物レンズで集束した光を測定対象物に投射し、前記測定対象物からの反射光を前記対物レンズ及びピンホールを通して受光し、前記対物レンズを光軸方向に振動させることによりその位置を検出し、受光量が最大となるときの前記対物レンズの位置情報から前記測定対象物の表面の変位を測定する光学式変位計において、前記対物レンズの光軸と前記測定対象物とを相対的に所定量ずつ移動させながら取得した測定対象物の表面の変位データを記憶する変位データ記憶部と、前記変位データによって規定される盛り上がり部分の最大値に対応する高さと幅を算出する高さ・幅算出部と、前記高さ・幅算出部で求められた盛り上がり部分の高さと幅から前記盛り上がり部分の断面積を算出する断面積算出部と、前記変位データによって規定される盛り上がり部分を含む測定対象物の表面の断面輪郭及び前記断面積算出部によって算出された断面積を表示する表示部とを備えていることを特徴とする。
【００１６】
本発明による光学式変位計の第２の構成は、第１の構成と同様の光学式変位計において、前記対物レンズの光軸と前記測定対象物とを相対的に所定量ずつ移動させながら取得した測定対象物の表面の変位データを記憶する変位データ記憶部と、同じく受光量データを記憶する受光量データ記憶部と、前記変位データによって規定される盛り上がり部分の最大値に対応する高さを算出すると共に、前記盛り上がり部分における前記受光量データから前記盛り上がり部分の幅を算出する高さ・幅算出部と、前記高さ・幅算出部で求められた盛り上がり部分の高さと幅から盛り上がり部分の断面積を算出する断面積算出部と、前記変位データによって規定される盛り上がり部分を含む測定対象物の表面の断面輪郭及び前記断面積算出部によって算出された断面積を表示する表示部とを備えていることを特徴とする光学式変位計。
【００１７】
本発明による光学式変位計の第３の構成は、第１又は第２の構成において、前記断面積算出部は、前記高さ・幅算出部で求められた盛り上がり部分の高さと幅と所定の係数とを乗じて得られた積に所定のオフセットを加えて得られた値を前記断面積として算出し、前記断面積算出部に対して前記係数及び前記オフセットを設定する係数・オフセット設定部を更に備えていることを特徴とする。
【００１８】
本発明による光学式変位計の第４の構成は、第３の構成において、前記係数・オフセット設定部は、前記高さ・幅算出部で求められた盛り上がり部分の高さ及び幅と、別の手段で測定され入力された前記盛り上がり部分の断面積の真値とのセット２組から前記係数及び前記オフセットを算出し設定することを特徴とする。
【００１９】
また、本発明による粘性液体の塗布断面積の測定方法の第１の構成は、対物レンズで集束した光を測定対象物に投射し、前記測定対象物からの反射光を前記対物レンズ及びピンホールを通して受光し、前記対物レンズを光軸方向に振動させることによりその位置を検出し、受光量が最大となるときの前記対物レンズの位置情報から前記測定対象物の表面の変位を測定する光学式変位計を用いて、基板上に線状に塗布された粘性液体の塗布断面積を測定する方法であって、（ａ）前記粘性液体の塗布方向に直角な方向に前記対物レンズの光軸を相対的に移動させながら前記粘性液体が塗布された盛り上がり部分の表面の変位データを取得して記憶するステップと、（ｂ）前記変位データによって規定される盛り上がり部分の最大値に対応する高さと幅を算出するステップと、（ｃ）前記盛り上がり部分の高さと幅から前記盛り上がり部分の断面積を算出するステップとを実行することを特徴とする。
【００２０】
本発明による粘性液体の塗布断面積の測定方法の第２の構成は、第１の構成と同様の方法において、（ａ）前記粘性液体の塗布方向に直角な方向に前記対物レンズの光軸を相対的に移動させながら前記粘性液体が塗布された盛り上がり部分の表面の変位データ及び受光量データを取得して記憶するステップと、（ｂ）前記変位データによって規定される盛り上がり部分の最大値に対応する高さを算出すると共に、前記盛り上がり部分における前記受光量データから前記盛り上がり部分の幅を算出するステップと、（ｃ）前記盛り上がり部分の最大値に対応する高さと幅から前記盛り上がり部分の断面積を算出するステップとを実行することを特徴とする。
【００２１】
本発明による粘性液体の塗布断面積の測定方法の第３の構成は、第１又は第２の構成の前記ステップ（ｃ）において、前記盛り上がり部分の高さと幅と所定の係数とを乗じて得られた積に所定のオフセットを加えて得られた値を前記断面積として算出することを特徴とする。
【００２２】
本発明による粘性液体の塗布断面積の測定方法の第４の構成は、第３の構成の前記ステップ（ｂ）において求められた盛り上がり部分の高さ及び幅と、別の手段で測定され入力された前記盛り上がり部分の断面積の真値とのセット２組から前記係数及び前記オフセットを算出し設定するステップを前記ステップ（ｃ）の前に実行することを特徴とする。
【００２３】
本発明による粘性液体の塗布断面積の測定方法の第５及び第６の構成は、上記第１及び第２のそれぞれの構成のステップ（ａ）において、粘性液体の塗布方向に対して対物レンズの光軸を相対的に移動させる方向を直角方向ではなく斜めの方向とすることを特徴とする。
【００２４】
本発明による粘性液体の塗布断面積の測定方法の第７の構成は、上記第５及又は第６の構成において、前記光学式変位計は前記対物レンズで集束した光スポットを光軸に略垂直な直線方向に走査する光軸走査機構を有するものを使用し、互いに異なる方向に延びる複数の直線状に塗布された粘性液体の塗布断面積を、前記複数の直線を代表する複数箇所で測定するに際して、前記対物レンズを含む前記光学式変位計のヘッド部と前記測定対象物とを相対回転させることなく前記複数箇所で前記光軸走査機構を用いて各直線に対して斜めの方向に前記対物レンズの光軸を相対的に移動させて前記ステップ（ａ）から（ｃ）を複数回繰り返すことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２５】
本発明の光学式変位計及びそれを用いた粘性液体の塗布断面積の測定方法の第１の構成によれば、シール剤のような粘性液体の塗布断面積を光学式変位計で測定する際に、盛り上がり部分の斜面付近で変位データが正確に得られない場合でも、比較的高い測定精度が得られる盛り上がり部分の高さと幅とに基づいて塗布断面積をほぼ正確に求めることができる。すなわち、シール剤のような粘性液体を基板に直線状に塗布した場合、その盛り上がり部分の断面は一般に、中央部が高い放物線のような形状になる。そこで、斜面の部分の不正確な変位（高さ）データを使用しないで、中央部（ピーク）の変位（高さ）データと盛り上がり部分の幅とから塗布断面積を求めるようにすれば、ほぼ正確な塗布断面積を安定的に得ることができる。
【００２６】
また、本発明の光学式変位計及びそれを用いた粘性液体の塗布断面積の測定方法の第２の構成によれば、第１の構成では変位データから盛り上がり部分の幅を正確に求めることが困難な場合であっても、受光量データから幅をほぼ正確に求めることができる。基板表面が露出している部分と粘性液体が塗布された部分との境界で受光量が急激に変化するので、受光量データから両側の境界を検出し、両者間の幅を求めることは容易である。その結果、盛り上がり部分の高さと幅とに基づいて塗布断面積をほぼ正確に求めることができる。
【００２７】
また、本発明の光学式変位計及びそれを用いた粘性液体の塗布断面積の測定方法の第３の構成によれば、高さと幅と所定の係数とを乗じて得られた積に所定のオフセットを加えて得られた値を断面積として算出するので、塗布断面積を高速で求めることができる。盛り上がり部分の高さと幅とに基づいて塗布断面積を求める別の方法として、例えば頂点と両側の境界点を通る放物線（二次曲線）を求め、その放物線と基板表面に対応する直線とで囲まれた部分の面積を従来技術の説明で述べた方法によって求めることも可能である。しかしながら、この場合は、単位幅ΔＷごとに分割された長方形の面積（ΔＷ×高さ）を求め、加算する演算（積分演算）が必要であり、処理時間が長くなる。処理能力の低いマイクロプロセッサでは、そのような処理の負担が無視できなくなると共に処理に時間が掛かる。これに対して本発明の第３の構成では、高さと幅と所定の係数とを乗じて得られた積に所定のオフセットを加えるといった簡単な処理で塗布断面積を求めることができるので、処理時間が短く早く処理が完了する。
【００２８】
更に、本発明の光学式変位計及びそれを用いた粘性液体の塗布断面積の測定方法の第４の構成によれば、別の手段で測定した盛り上がり部分の断面積の真値と、それぞれに対応して求められた盛り上がり部分の高さ及び幅の計２組のデータから係数及びオフセットを算出し設定することができる。別の手段として、例えば、粘性液体が液晶パネルのシール剤の場合は、２枚のガラス基板の間に塗布されたシール剤がスペーサによって規定された厚みまで押し潰されたときに、そのシール剤の幅と２枚のガラス基板の間隔との積として断面積を容易に求めることができる。あるいは、２枚のガラス基板を重ね合わせる前に、一方のガラス基板の上に塗布されたシール剤の盛り上がり部分の断面積を別の測定器を用いて測定してもよい。
【００２９】
また、本発明の粘性液体の塗布断面積の測定方法の第５及び第６の構成によれば、例えば粘性液体が長方形の枠に沿って塗布され、隣り合う２辺をそれぞれ代表する２箇所で塗布断面積を測定する作業を効率的に行うことができる。つまり、互いに直角方向に延びる２辺を一直線で斜めに（例えば共に４５度で）横切る方向に光軸を相対移動させればよいので、隣り合う２辺をそれぞれ直角に横切る方向に光軸を相対移動させる場合比べて、効率的な測定が可能となり、測定全体に要する時間を短縮することができる。
【００３０】
この場合、斜め（角度θ）に横切った場合の幅にｃｏｓθを掛ければ直角に横切った場合の幅に換算できることは明らかである。但し、前述のように幅と高さに所定の係数を掛けて最終的に求める塗布断面積を得る場合は、その係数に上記ｃｏｓθを含めることができる。したがって、斜めに横切る場合も直角に横切る場合と同じ演算手順で塗布断面積を求めることができる。
【００３１】
また、本発明の粘性液体の塗布断面積の測定方法の第７の構成では、対物レンズで集束した光スポットを光軸に略垂直な直線方向に走査する光軸走査機構を有する光学式変位計を用いて、互いに異なる方向に延びる複数の直線状に塗布された粘性液体の塗布断面積を、複数の直線を代表する複数箇所で測定する場合に、上記の第５又は第６の構成のように各直線に対して斜めの方向に対物レンズの光軸を相対的に移動させて上記のような塗布断面積を求める処理を複数箇所で繰り返す。この場合、光学式変位計のヘッド部と測定対象物とを相対回転させる動作を伴わないので、回転機構が不要になる。また、塗布断面積を求めるべき複数箇所に複数のヘッド部をセットする必要もなく、１台のヘッド部で効率的な測定が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、図面を参照しながら本発明の実施例について説明する。
【実施例１】
【００３３】
図５は、本発明の実施例１に係る光学式変位計の構成を示すブロック図である。この光学式変位計は、変位測定部１０、変位データ記憶部４１、高さ・幅算出部４２、断面積算出部４３、表示部４４、及び係数・オフセット設定部４５を備えている。
【００３４】
変位測定部１０は、図１を参照して説明した従来の光学式変位計と同じ構成であり、変位測定部１０の各構成要素の参照番号は図１と同じ番号を付している。従来例の説明で述べた各構成要素の詳細な動作についての重複説明をできるだけ避けながら、動作の概略について以下に説明する。
【００３５】
レーザパワー制御回路１１で駆動されるレーザダイオード１２から出射したレーザ光がビームスプリッタ１３及びコリメータレンズ１４を通過した後、対物レンズ１５で集束されて測定対象物１６に投射される。測定対象物１６からの反射光は対物レンズ１５及びコリメータレンズ１４を通ってビームスプリッタ１３で反射し（光路を曲げられ）、光絞り部１７のピンホール１７ａを通ってフォトダイオード１８で受光される。フォトダイオード１８の受光量に対応する電気信号は増幅器１９で増幅された後に演算部２０へ入力される。
【００３６】
対物レンズ１５は、音叉振幅制御回路２５によって励磁されるソレノイド２４によって一定の周波数及び振幅（例えば８００Ｈｚ，±０．３ｍｍ）で光軸方向に振動させられる。その振動位置は、音叉振幅検出器２２によって検出される。つまり、音叉振幅検出器２２から出力される正弦波信号が増幅器２３を通って演算部２０に入力されている。演算部２０は、フォトダイオード１８の受光量が最大になるときの音叉振幅検出器２２からの正弦波信号から、対物レンズ１５の位置情報を得る。そして、この位置情報が距離変換部２６で距離に変換されることにより、測定対象物１６の表面の変位が得られる。
【００３７】
より具体的には、演算部２０内に設定される振幅の基準点と音叉振幅検出器２２から出力される正弦波信号により、演算部２０によって、この正弦波と振幅基準点とが交差するゼロクロス点を見つける。これによって正弦波の位相を検出し、フォトダイオード１８の受光量が最大となる、つまり焦点が合っている時の音叉振幅検出器２２からの正弦波信号から、上記ゼロクロス点からの変位を測定している。
【００３８】
図２に示したように、ガラス基板３０の上に直線状に塗布されたシール剤（粘性液体）３１の塗布断面積を測定する際の動作について、図６のフローチャートに沿って説明する。図６は、実施例１の光学式変位計を用いて粘性液体の塗布断面積を測定する処理の概略を示すフローチャートである。
【００３９】
ステップ＃１１において、対物レンズ１５の光軸と測定対象物１６とを相対的に所定量ずつ移動させながら（スキャンしながら）測定対象物１６の表面の変位データを取得する。つまり、図２において、シール剤３１の塗布方向Ｄ１に略垂直な方向（幅方向）Ｄ２に光軸を移動させながら変位データＹ［ｉ］を取得する。所得された変位データＹ［ｉ］は、変位データ記憶部４１に記憶される。この際、幅方向位置Ｘ［ｉ］も取得され記憶される。対物レンズ１５の光軸と測定対象物１６とを相対的に所定量ずつ移動させる手段として、測定対象物１６が載置されるテーブルを所定ピッチで移動させてもよいし、逆に光学式変位計のヘッド部を所定ピッチで移動させてもよい。
【００４０】
次のステップ＃１２において、幅方向位置Ｘ［ｉ］及び変位データＹ［ｉ］からシール剤による盛り上がり部分の最大値に対応する高さＨと盛り上がり部分の幅Ｗとを算出する処理を高さ・幅算出部４２が実行する。この算出処理の詳細については後述する。
【００４１】
次のステップ＃１３において、高さＨ及び幅Ｗから断面積（シール剤３１の塗布断面積）を算出する処理を断面積算出部４３が実行する。断面積算出の第１の方法としては、図７に示すように、高さＨ及び幅Ｗで規定される放物線４８を求め、この放物線４８と基板表面に対応する直線４９とで囲まれた部分の面積Ｓを求める。すなわち、単位幅ΔＷごとに分割された各長方形４８ａの面積（ΔＷ×高さ）を求め、それらを加算する演算（積分演算）によって断面積Ｓを求める。
【００４２】
第２の方法としては、高さＨと幅Ｗとの積に所定の係数Ｋを乗じ、さらにオフセット（ゼロを含む）Ｃを加えることによって断面積Ｓを求める。すなわち、Ｓ＝Ｈ×Ｗ×Ｋ＋Ｃなる演算によって断面積Ｓを求める。仮にオフセットＣ＝０とした場合、係数Ｋ＝１は断面形状が長方形であることを意味し、係数Ｋ＝０．５は断面形状が長方形であることを意味する。したがって、実際の塗布断面形状の場合は、０．５＜Ｋ＜１となる。
【００４３】
この係数Ｋ及びオフセットＣは、係数・オフセット設定部４５によって設定される。係数・オフセット設定部４５は、２組の高さＨ、幅Ｗ、及び断面積Ｓの真値から係数Ｋ及びオフセットＣを求める。すなわち、２組の式Ｓ１＝Ｈ１×Ｗ１×Ｋ＋Ｃ、及び、Ｓ２＝Ｈ２×Ｗ２×Ｋ＋ＣからＫ＝（Ｓ１−Ｓ２）／（Ｈ１×Ｗ１−Ｈ２×Ｗ２）が求まり、更に、Ｃ＝Ｓ１−Ｈ１×Ｗ１×Ｋが求まる。
【００４４】
この際、断面積Ｓの真値については別の手段で測定して係数・オフセット設定部４５に入力する必要がある。液晶パネルのシール剤の場合は、２枚のガラス基板の間に塗布されたシール剤がスペーサによって規定された厚みまで押し潰されたときに、そのシール剤の幅と２枚のガラス基板の間隔との積として断面積を簡易的に求めることができるので、これを断面積の真値として入力すればよい。但し、この方法に限らず、別の測定器を用いて測定した断面積の真値を入力してもよい。あるいは、係数Ｋ及びオフセットＣの値を直接入力して設定するようにしてもよい。
【００４５】
上記のように、本実施例の光学式変位計では、断面積算出の方法として２通りの方法が用意されており、ユーザが第１又は第２の方法のいずれかを選択することができるようになっている。いずれか１つの方法のみを使用するように断面積算出部４３を構成してもよい。
【００４６】
図６のフローチャートに戻り、最後のステップ＃１４において、表示部４４による表示又は外部出力が実行される。図８に表示部４４による表示例を模式的に示す。上記のようにして求められた盛り上がり部分の断面積（シール剤の塗布断面積）が画面左上の表示枠５１に表示され、測定の対象となった断面の変位データ（高さ）のグラフが画面中央部の表示枠５２に表示されている。この表示枠５２には、受光量（光量）のグラフも表示されている。なお、この図では高さ及び光量のグラフを簡素化して描いているが、実際には前述の図３又は図４に示したようなグラフになる。外部出力は、断面積と高さ及び光量のグラフの表示内容をアナログ信号として出力することができる。あるいは、シリアルインターフェイス等を介して接続されたパーソナルコンピュータにディジタル信号として出力することができる。
【００４７】
次に、高さ・幅算出部４２が実行する高さ及び幅を求める処理について図９から図１１を参照しながら説明を加える。図９及び図１０は、実施例１の光学式変位計において断面積の算出に使用される高さ及び幅を求める処理のフローチャートである。また、図１１は、変位データから盛り上がり部分の幅を求める処理の原理を示す図である。
【００４８】
図９のフローチャートにおけるステップ＃１０１からステップ＃１０９までは高さＨを求める処理である。ステップ＃１０１での変数ｉ及びＹｍａｘの初期化処理に続いて、ステップ＃１０２で幅方向のスキャン開始点における変位データＹ［０］を取得し、基板高さとして記憶する。なお、１点のみの変位データを基板高さとするのではなく、盛り上がり部分以外の複数点における変位データＹ［ｉ］（ｉ＝０，１，２，…）の平均値を求めて基板高さとしてもよい。
【００４９】
ステップ＃１０３で変数ｉをインクリメントし、ステップ＃１０４で幅方向にΔＸだけ移動した後、ステップ＃１０５で変位データＹ［ｉ］を取得する。次のステップ＃１０６で変位データＹ［ｉ］と変数Ｙｍａｘとを比較し、Ｙ［ｉ］がＹｍａｘより大きい場合は、続くステップ＃１０７でＹ［ｉ］をＹｍａｘに代入する。Ｙ［ｉ］がＹｍａｘ以下である場合は、そのままステップ＃１０８へ移行する。
【００５０】
ステップ＃１０８ではｉがあらかじめ定めた最大値Ｎより小さいか（スキャン終了点に達していないか）否かをチェックし、小さければステップ＃１０３に戻る。ｉがＮに達するまで（スキャン終了点に達するまで）ステップ＃１０３からステップ＃１０８の処理が繰り返され、Ｎに達した時点では変数ＹｍａｘにはＹ［ｉ］の最大値が記憶されていることになる。次のステップ＃１０９で最大値Ｙｍａｘから基板高さＹ［０］を減ずることにより、高さＨを得る。
【００５１】
図１０のフローチャートにおけるステップ＃１１１からステップ＃１２３までは幅Ｗを求める処理である。このうち、ステップ＃１１１からステップ＃１１６までは盛り上がり部分の左端を検出する処理である。ステップ＃１１１で変数ｉを最小値０に初期化すると共に、盛り上がり部分の左端を判定するためのしきい値Ｙｔｈを設定する。すなわち、盛り上がり部分より左側の基板高さＹ［０］にしきい値の差分ΔＹｔｈを加えた値をしきい値Ｙｔｈとする。次のステップ＃１１２で変数ｉをインクリメントし、ステップ＃１１３で幅方向にΔＸだけ移動した後、ステップ＃１１４で変位データＹ［ｉ］を取得する。
【００５２】
次のステップ＃１１５でＹ［ｉ］としきい値Ｙｔｈとを比較し、Ｙ［ｉ］がＹｔｈ以下であればステップ＃１１２に戻る。Ｙ［ｉ］がＹｔｈより大きくなるまでステップ＃１１２からステップ＃１１５の処理が繰り返され、Ｙ［ｉ］がＹｔｈより大きくなった時点で、そのときの幅方向位置Ｘ［ｉ］が左端位置Ｘｌｅｆｔに代入される（ステップ＃１１６）。
【００５３】
ステップ＃１１７からステップ＃１２２までは、盛り上がり部分の右端を検出する処理である。ステップ＃１１７で変数ｉを最大値Ｎに初期化すると共に、盛り上がり部分の右端を判定するためのしきい値Ｙｔｈを設定する。すなわち、盛り上がり部分より右側の基板高さＹ［Ｎ］にしきい値の差分ΔＹｔｈを加えた値をしきい値Ｙｔｈとする。次のステップ＃１１８で変数ｉをデクリメントし、ステップ＃１１９で幅方向に−ΔＸだけ移動した後、ステップ＃１２０で変位データＹ［ｉ］を取得する。
【００５４】
次のステップ＃１２１でＹ［ｉ］としきい値Ｙｔｈとを比較し、Ｙ［ｉ］がＹｔｈ以下であればステップ＃１１８に戻る。Ｙ［ｉ］がＹｔｈより大きくなるまでステップ＃１１８からステップ＃１２１の処理が繰り返され、Ｙ［ｉ］がＹｔｈより大きくなった時点で、そのときの幅方向位置Ｘ［ｉ］が右端位置Ｘｒｉｇｈｔに代入される（ステップ＃１２２）。
【００５５】
最後のステップ＃１２３において、上記のようにして求めた右端位置Ｘｒｉｇｈｔと左端位置Ｘｌｅｆｔとの差を求め、これを幅Ｗとする。
【実施例２】
【００５６】
以上に説明した実施例１の光学式変位計では、変位データから盛り上がり部分の高さ及び幅を算出し、断面積を算出している。しかし、変位データによっては、盛り上がり部分の左端及び右端を前述のようなしきい値との比較によって検出することが難しい場合がある。そこで、実施例２の光学式変位計では、受光量データを用いて盛り上がり部分の幅を算出する。基板表面が露出している部分とシール剤が塗布された部分との境界で受光量が急激に変化するので、変位データよりも光量データを用いたほうが盛り上がり部分の左端及び右端の検出が容易な場合が多い。
【００５７】
図５に示した光学式変位計の構成は、本実施例でもほぼ同じである。但し、変位データ記憶部４１は、変位データ（及び幅方向位置データ）だけでなく、光量データも記憶する。つまり、光量データ記憶部を兼ねている。また、高さ・幅算出部４２は、シール剤による盛り上がり部分の幅Ｗを光量データに基づいて算出する。
【００５８】
図１２は、実施例２の光学式変位計を用いて粘性液体の塗布断面積を測定する処理の概略を示すフローチャートである。図６に示した実施例１の光学式変位計の場合との相違点のみを説明すると、ステップ＃２１では、幅方向位置データＸ［ｉ］及び変位データＹ［ｉ］に加えて受光量データＬ［ｉ］も取得され、記憶される。次のステップ＃２２で変位データＹ［ｉ］からシール剤による盛り上がり部分の最大値に対応する高さＨが算出され、続くステップ＃２３で幅方向位置Ｘ［ｉ］及び受光量データＬ［ｉ］からシール剤による盛り上がり部分の幅Ｗが算出される。ステップ＃２４及びステップ＃２５の処理は、図６におけるステップ＃１３及びステップ＃１４とそれぞれ同じである。
【００５９】
次に、高さ・幅算出部４２が実行する受光量データから盛り上がり部分の幅を求める処理について図１３及び図１４を参照しながら説明を加える。図１３は、実施例２の光学式変位計において盛り上がり部分の幅を求める処理のフローチャートである。また、図１４は、受光量データから盛り上がり部分の幅を求める処理の原理を示す図である。なお、図１３のフローチャートは実施例１における図１０のフローチャートに相当するものである。盛り上がり部分の高さを求める処理については実施例１の図９を用いて説明した処理と同じである。
【００６０】
図１３のフローチャートにおいて、ステップ＃２１１からステップ＃２１６までは盛り上がり部分の左端を検出する処理である。ステップ＃２１１での変数ｉを最小値０に初期化すると共に、盛り上がり部分の左端を判定するためのしきい値Ｌｔｈを設定する。すなわち、盛り上がり部分より左側の基板面における受光量Ｌ［０］からしきい値の差分ΔＬｔｈを減じた値を受光量のしきい値Ｌｔｈとする。次のステップ＃２１２で変数ｉをインクリメントし、ステップ＃２１３で幅方向にΔＸだけ移動した後、ステップ＃２１４で受光量データＬ［ｉ］を取得する。
【００６１】
次のステップ＃２１５でＬ［ｉ］としきい値Ｌｔｈとを比較し、Ｌ［ｉ］がＬｔｈ以上であればステップ＃２１２に戻る。Ｌ［ｉ］がＬｔｈより小さくなるまでステップ＃２１２からステップ＃２１５の処理が繰り返され、Ｌ［ｉ］がＬｔｈより小さくなった時点で、そのときの幅方向位置Ｘ［ｉ］が左端位置Ｘｌｅｆｔに代入される（ステップ＃２１６）。
【００６２】
ステップ＃２１７からステップ＃２２２までは、盛り上がり部分の右端を検出する処理である。ステップ＃２１７で変数ｉを最大値Ｎに初期化すると共に、盛り上がり部分の右端を判定するためのしきい値Ｌｔｈを設定する。すなわち、盛り上がり部分より右側の基板面における受光量Ｌ［Ｎ］からしきい値の差分ΔＬｔｈを減じた値をしきい値Ｌｔｈとする。次のステップ＃２１８で変数ｉをデクリメントし、ステップ＃２１９で幅方向に−ΔＸだけ移動した後、ステップ＃２２０で受光量データＬ［ｉ］を取得する。
【００６３】
次のステップ＃２２１でＬ［ｉ］としきい値Ｌｔｈとを比較し、Ｌ［ｉ］がＬｔｈ以上であればステップ＃２１８に戻る。Ｌ［ｉ］がＬｔｈより小さくなるまでステップ＃２１８からステップ＃２２１の処理が繰り返され、Ｌ［ｉ］がＬｔｈより小さくなった時点で、そのときの幅方向位置Ｘ［ｉ］が右端位置Ｘｒｉｇｈｔに代入される（ステップ＃２２２）。
【００６４】
最後のステップ＃２２３において、上記のようにして求めた右端位置Ｘｒｉｇｈｔと左端位置Ｘｌｅｆｔとの差を求め、これを幅Ｗとする。
【実施例３】
【００６５】
図１５は、本発明の実施例３に係る光学式変位計の構成を示すブロック図である。但し、図５に示した実施例１の光学式変位計の構成のうちの変位測定部１０のみを示しており、既に説明した粘性液体の断面を高さ及び幅から算出する構成ブロックについては同様であるので図示を省略している。
【００６６】
本実施例の光学式変位計は、対物レンズ１５で集束した光スポットを光軸に略垂直な直線方向に走査する光軸走査機構２８を有する。対物レンズ１５で集束した光スポットを測定対象の表面で移動させる手段、つまり、対物レンズ１５の光軸と測定対象物１６とを相対的に移動させる手段は、前述のように測定対象物１６が載置されるテーブルを移動させる手段でもよいし、逆に光学式変位計のヘッド部を移動させる手段でもよい。本実施例の光学式変位計が有する光軸走査機構２８は、光学式変位計のヘッド部全体を移動させるのではなく、対物レンズ１５とその周辺部のみを光軸に略垂直な直線方向に振動させることによって光スポットを光軸に略垂直な直線方向に走査する。
【００６７】
図１５において、破線で囲まれたブロックは対物レンズ１５、音叉２１、ソレノイド２４及び振幅検出器２２を含む対物レンズユニット２７を構成している。この対物レンズユニット２７は、対物レンズ１５の光軸に平行な支軸２７Ｘを中心に狭い角度内で揺動自在に構成されている。所定の周期で対物レンズユニット２７を揺動させる手段として、対物レンズユニット２７側にマグネットが設けられ、固定枠側に電磁コイルが設けられている。図１５では、電磁コイルとその駆動制御回路を含む光軸走査機構２８が示されている。また、対物レンズユニット２７の揺動位置、すなわち光軸の走査位置を検出する走査位置検出器２９が設けられ、その出力信号が光軸走査機構２８へフィードバックされている。光軸走査機構２８は、演算部２０から与えられる走査位置制御信号と走査位置検出器２９からフィードバックされる走査位置信号とに基づいて、対物レンズユニット２７の揺動、すなわち光軸の走査を制御する。
【００６８】
図１６は、本実施例の光学式変位計を用いた第１の測定方法を示す図である。この例は、液晶表示器の製造工程において、液晶表示器を構成するガラス基板６１の四辺に沿って粘性液体であるシール剤６２を塗布し、その塗布断面積を測定する様子を示している。光学式変位計のヘッド部６３の先端からシール剤６２に向けて照射されたレーザ光が上記の光軸走査機構２８によって走査された様子を光軸軌跡面６４で示している。この測定方法では、シール剤６２が塗布された略矩形の隣り合う２辺６５及び６６について塗布断面積を測定している。この場合、光学式変位計のヘッド部６３を２台用いて、それぞれの辺における適当な箇所にそれぞれのヘッド部６３をセットしている。
【００６９】
各ヘッド部６３から照射されたレーザ光の走査方向（光軸軌跡面６４）は辺（塗布方向）に直角な方向である。したがって、辺６５におけるレーザ光の走査方向（光軸軌跡面６４）と辺６６におけるレーザ光の走査方向（光軸軌跡面６４）は９０度異なっている。光学式変位計のヘッド部６３を２台セットせずに、１台のヘッド部６３で上記２箇所の塗布断面積を測定しようとすれば、例えば辺６５における測定を終えて次に辺６６における測定を開始する際に、ヘッド部６３を９０度回転させる必要がある。あるいは、ガラス基板６１が載置されたテーブルを９０度回転させる必要がある。いずれにしても、回転機構が用意されていない場合は１台のヘッド部６３で上記２箇所の塗布断面積を測定することができない。
【００７０】
図１７は、本実施例の光学式変位計を用いた第２の測定方法を示す図である。この測定方法は上記第１の測定方法と異なり、光学式変位計のヘッド部６３を１台だけ用いて、しかもヘッド部６３又はガラス基板６１が載置されたテーブルを回転させずに、塗布方向の異なる２辺における塗布断面積を測定する。図１７に示すように、隣り合う２辺６５及び６６に対してレーザ光の走査方向（光軸軌跡面６４）が斜め（例えば共に４５度）となるように、光学式変位計のヘッド部６３とガラス基板６１との関係をセットしている。つまり、断面積を測定するシール剤６２の塗布方向（辺）に対して直角に光軸を移動させるのではなく、斜めに（例えば４５度の方向に）光軸を移動させる。
【００７１】
この場合、塗布断面の高さについては光軸を直角に移動させる第１の測定方法と同等の測定結果が得られるはずであるが、幅については斜めに横切るために第１の測定方法の測定結果より長くなる。レーザ光の走査方向が塗布方向（辺）に対して角度θを成す場合は、得られた幅にｃｏｓθを掛ければ、第１の測定方法の測定結果（真の幅）に換算できることになる。例えば４５度である場合は、２の平方根（約１．４１４）で割る計算を行えばよい。しかし実際には、前述のように測定結果である高さ及び幅に係数Ｋを掛けて（必要な場合は更にオフセットＣを加えて）断面積を求める演算を行うので、この係数に上記のｃｏｓθを含ませることにより演算回数を減らすことができる。
【００７２】
この測定方法によれば、例えば辺６５における測定を終えて次に辺６６における測定を開始する際に、ヘッド部６３（又はガラス基板６１が載置されたテーブル）を破線の矢印で示すように平行移動させるだけでよく、両者を相対的に回転させる必要はない。なお、互いに直角な方向に延びる２辺６５及び６６において共にレーザ光の走査方向が辺に対して４５度となるようにする必要は必ずしも無い。例えば一方の辺に対して３０度、他方の辺に対して６０度となるようにしてもよい。なお、レーザ光の走査方向が塗布方向（辺）に対して４５度以外の角度θとなる場合は、前述のようにｃｏｓθ又はそれを含む係数Ｋを位置情報（ヘッド部６３と測定対象物（ガラス基板６１）との相対位置を表す情報）から求めることが必要となる。例えば、あらかじめ記憶したテーブルを参照することによって位置情報からｃｏｓθ又はそれを含む係数Ｋを求めるようにすればよい。ハードウェア構成として、そのようなテーブルを構成するデータを入力し記憶する手段、ヘッド部６３と測定対象物（ガラス基板６１）との相対位置を変化させる駆動手段、現在の相対位置である位置情報を検出する手段、及び、その位置情報に対応するｃｏｓθ又はそれを含む係数Ｋをテーブル参照によって求める手段を備えておけばよい。また、シール剤６２の塗布方向（辺）に対して斜めに光軸を移動させる測定方法の前提条件として、少なくとも塗布方向を斜めに横切る範囲内で、塗布断面の幅が大きく変動していないこと（幅の変動が無視できること）が必要である。
【００７３】
以上、本発明の実施例を適宜変形例に言及しながら説明したが、本発明はこれらの実施例及び変形例を更に改変した形態で実施してもよい。また、上記実施例では音叉の振動によって対物レンズを光軸方向に振動させているが、圧電素子のような他の公知手段を用いて対物レンズを光軸方向に振動させてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】従来の光学式変位計の構成を示すブロック図である。
【図２】光学式変位計による測定の一例を示す図である。
【図３】図２の測定結果の例を示すグラフである。
【図４】図２の測定結果の別の例を示すグラフである。
【図５】本発明の実施例１に係る光学式変位計の構成を示すブロック図である。
【図６】実施例１の光学式変位計を用いて粘性液体の塗布断面積を測定する処理の概略を示すフローチャートである。
【図７】断面積算出の第１の方法を示す図である。
【図８】表示部による表示例を模式的に示す図である。
【図９】実施例１の光学式変位計において断面積の算出に使用される高さ及び幅を求める処理の前半のフローチャートである。
【図１０】実施例１の光学式変位計において断面積の算出に使用される高さ及び幅を求める処理の後半のフローチャートである。
【図１１】変位データから盛り上がり部分の幅を求める処理の原理を示す図である。
【図１２】実施例２の光学式変位計を用いて粘性液体の塗布断面積を測定する処理の概略を示すフローチャートである。
【図１３】実施例２の光学式変位計において盛り上がり部分の幅を求める処理のフローチャートである。
【図１４】受光量データから盛り上がり部分の幅を求める処理の原理を示す図である。
【図１５】本発明の実施例３に係る光学式変位計の構成を示すブロック図である。
【図１６】実施例３の光学式変位計を用いた第１の測定方法を示す図である。
【図１７】実施例３の光学式変位計を用いた第２の測定方法を示す図である。
【符号の説明】
【００７５】
１５  対物レンズ
１６  測定対象物
１７ａ  ピンホール
４１  変位データ記憶部（兼受光量データ記憶部）
４２  高さ・幅算出部
４３  断面積算出部
４４  表示部
４５  係数・オフセット設定部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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