(57)【要約】【課題】  プラズマディスプレイパネル等のディスプレイ用中空平面パネルの給排気装置として、ガラス基板に対する穴明け加工を不要とし、製造工程の簡易化と歩留り低下の防止を図り、従来に比して設計の自由度を格段に拡大し、排気効率を向上させて製造能率を大幅に高め得るものを提供する。【解決手段】  対向するガラス基板１，２間に相互周縁部のフリットシール３Ａによって中空部４が設けられたディスプレイ用中空平面パネル１０において、両ガラス基板１，２間の周縁の一部にフリットシール３Ａのない通気間隙５を設け、通気間隙５を有するパネル側縁部の外側に、内部が通気間隙５に連通するガラス製の給排気用アダプタ６Ａを取付け、給排気用アダプタ６Ａを介して中空部４に対する給排気を行うようにしている。【選択図】                図１
2005293995.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向するガラス基板間に相互周縁部のフリットシールによって中空部が設けられたディスプレイ用中空平面パネルにおいて、両ガラス基板間の周縁の一部にフリットシールのない通気間隙を設け、この通気間隙を有するパネル側縁部の外側に内部が当該通気間隙に連通するガラス製の給排気用アダプタを取付け、この給排気用アダプタを介して中空部に対する給排気を行うようにしたことを特徴とするディスプレイ用中空平面パネルの給排気装置。
【請求項２】
前記給排気用アダプタが、アダプタ本体と、このアダプタ本体から突出する給排気管部とで構成される請求項１記載のディスプレイ用中空平面パネルの給排気装置。
【請求項３】
前記給排気用アダプタが、一方のガラス基板の張出部と他方のガラス基板の側端部との間で構成される段部に跨嵌した状態で固着されてなる請求項１又は２に記載のディスプレイ用中空平面パネルの給排気装置。
【請求項４】
前記給排気用アダプタが、両ガラス基板の重なり部分を外側から抱持した状態で固着されてなる請求項１〜３に記載のディスプレイ用中空平面パネルの給排気装置。
【請求項５】
中空平面パネルが、両ガラス基板の内面に互いに直交する方向の平行電極線を設けたプラズマディスプレイ用パネルである請求項１〜４のいずれかに記載のディスプレイ用中空平面パネルの給排気装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマディスプレイパネルやプラズマ・アドレス液晶ディスプレイのバックライト部パネル等のディスプレイ用中空平面パネルの製造時に、対向するガラス基板間の中空部に対する給排気を行うための給排気装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、プラズマディスプレイパネルは、一対のガラス基板が内面に設けた多数本の平行電極線を互いに直交するように対向配置され、両ガラス基板間の中空部にネオンやキセノン等のプラズマ発生ガスが減圧状態（一般的に１／３気圧程度）で封入されており、両側電極の交差部での放電によってプラズマを発生させて所要パターンの発光表示を行うものである。しかして、近年においてはプラズマディスプレイの大型化が進み、プラズマＴＶ等として対角線寸法６０インチや８０インチといった大画面プラズマディスプレイを用いたものが登場している。
【０００３】
従来、このようなプラズマディスプレイパネルの製作においては、図１０（Ａ）（Ｂ）に示すように、両ガラス基板３１，３２の内面に導電性ペーストのスクリーン印刷による塗布や真空成膜法にて形成した導電金属膜のフォトリソ法によるパターンエッチング等によって平行電極線３３ａ…，３３ｂ…を形成すると共に、その一方のガラス基板３１のコーナー部等に通気孔３５を形成し、両ガラス基板３１，３２を周縁部間にガラスフリットを含むフリットシール用ペースト材３６を塗着して重ね合わせ、更にガラス基板３１の通気孔３５の外側にガラス製の給排気管３７を同様のペースト材３６を介して図示仮想線の如く立設し、この状態で全体を加熱焼成しつつ給排気管３７からの真空吸引を行うことにより、ペースト材を溶剤蒸発・溶融ガラス化すると同時に、両ガラス基板３１，３２間の中空部３０内の空気を排出する。そして、この排気が完了して全体が冷却した後、該給排気管３７を通してプラズマ発生ガスを中空部３０内に導入した上で、該給排気管３７の根元側をガスバーナー等で炙って図示実線の如く溶断封着することにより、中空部３０にプラズマ発生ガスを封入している。
【０００４】
なお、両ガラス基板３１，３２は、平行電極線３３ａ…，３３ｂ…のリード接続を取るために、互いに一側縁が相手側から１５ｍｍ程度突出した形になっている。また、図９（Ａ）（Ｂ）では省略しているが、両ガラス基板３１，３２の内面にガラスフリットを含むペースト材を塗着し、前記焼成によって平行電極線３３ａ…，３３ｂ…を覆うガラス層を形成したり、両ガラス基板３１，３２の一方の内面の各電極線間にガラスフリットを含む隔壁形成用ペースト材を盛り付け、前記焼成によってガラス隔壁を設ける場合もある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来のプラズマディスプレイパネルにあっては、厚い（通常、厚さ３〜５ｍｍ程度）ガラス基板３１に通気孔３５を形成するための孔明け加工に多大な手間を要する上、この孔明け加工後に付着した研磨材やガラス扮を洗浄によって除去するが、この洗浄除去を完全に行うことが困難であるため、残留した研磨材やガラス扮に起因した表示特性不良によって歩留りが低下するという問題があった。また、通気孔３５は当然に中空部３０に臨む位置に設けるから、この通気孔３５の形成領域が非表示スペースとなることや、給排気管３７をガラス基板３１面に対して垂直に立設固定することから、設計上の制約が大きいという難点もあった。更に、該通気孔３５の孔径に限界があることに加え、中空部３０を形成する両ガラス基板３１，３２の対向間隔は一般に数百μｍ程度であって、且つ中空部３０の非常に狭い間隙から通気孔３５への排気経路が直角になるため、排気抵抗が大きく所定の真空度まで排気するのに時間を要し、特に対角線寸法６０インチや８０インチといった大画面プラズマディスプレイ用パネルの場合には排気時間が長くなって製造能率の低下に繋がるという問題もあった。
【０００６】
本発明は、上述の情況に鑑み、前記のプラズマディスプレイパネル等のディスプレイ用中空平面パネルの給排気装置として、ガラス基板に対する穴明け加工を不要とし、もって、製造工程の簡易化と歩留り低下の防止を図ると共に、従来に比して設計の自由度を格段に拡大し、更に排気効率を向上させて製造能率を大幅に高め得るものを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明の請求項１に係るディスプレイ用中空平面パネルの給排気装置は、対向するガラス基板間に相互周縁部のフリットシールによって中空部が設けられたディスプレイ用中空平面パネルにおいて、両ガラス基板間の周縁の一部に前記フリットシールのない通気間隙を設け、この通気間隙を有するパネル側縁部の外側に、内部が当該通気間隙に連通するガラス製の給排気用アダプタを取付け、この給排気用アダプタを介して前記中空部に対する給排気を行うようにしたことを特徴としている。
【０００８】
請求項２の発明は、上記請求項１のディスプレイ用中空平面パネルの給排気装置として、前記給排気用アダプタが、アダプタ本体と、このアダプタ本体から突出する給排気管とで構成されるものとしている。
【０００９】
請求項３の発明は、上記請求項１又は２のディスプレイ用中空平面パネルの給排気装置として、前記給排気用アダプタが、一方のガラス基板の端縁部と他方のガラス基板の張出部との間で構成される段部に跨嵌した状態で固着されてなるものとしている。
【００１０】
請求項４の発明は、上記請求項１〜３のいずれかのディスプレイ用中空平面パネルの給排気装置として、前記給排気用アダプタが、両ガラス基板の重なり部分を外側から抱持した状態で固着されてなるものとしている。
【００１１】
請求項５の発明は、上記請求項１〜４のいずれかのディスプレイ用中空平面パネルの給排気装置として、中空平面パネルが、両ガラス基板の内面に互いに直交する方向の平行電極線を設けたプラズマディスプレイ用パネルであるものとしている。
【発明の効果】
【００１２】
請求項１の発明に係るディスプレイ用中空平面パネルの給排気装置によれば、両ガラス基板間の周縁の一部に前記フリットシールのない通気間隙を設け、この通気間隙を有するパネル側縁部の外側に設けた給排気用アダプタを介して前記中空部に対する給排気を行うようにしているから、従来のような一方の基板に対する穴明け加工が不要となり、それだけ製造工程が簡略化されると共に、穴明け加工に伴う研摩材やガラス扮の付着による歩留り低下を回避でき、しかも給排気管の取付けによって有効表示領域が制限されず、且つ排気方向を種々設定できるため、従来に比して設計の自由度を格段に拡大でき、更に給排気用アダプタの通気断面積を大きくして、且つ通気間隙の幅を広く設定でき、しかも中空部から該アダプタ内部への排気方向が直線的になるため、排気時の排気抵抗が小さくなり、それだけ排気能率が向上して排気時間を短縮でき、大型のパネルにおいても短時間で排気が完了するために製造能率を大幅に高め得る。また、給排気用アダプタは、ガラス製の小物であるから、様々な形態のものを低コストで容易に製作できる。
【００１３】
請求項２の発明によれば、前記の給排気用アダプタがアダプタ本体と給排気管部とで構成されるから、その各々の構造が簡素になると共に、各々を安価に量産できるという利点がある。
【００１４】
請求項３の発明によれば、前記の給排気用アダプタが両ガラス基板の端縁間で構成される段部に跨嵌する構造としているから、当該アダプタの取付けを容易に行えるという利点がある。
【００１５】
請求項４の発明によれば、前記の給排気用アダプタを両ガラス基板の重なり部分を外側から抱持する構造としているから、該アダプタの取付けによる嵩張りをより少なく設定できるという利点がある。
【００１６】
請求項５の発明によれば、特にプラズマディスプレイ用パネルを対象として、その製造の能率及び歩留りを大幅に高め、且つ設計の自由度を大きくできるという利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明に係るディスプレイ用中空平面パネルの給排気装置をプラズマディスプレイ用パネルに適用した実施形態について、図面を参照して具体的に説明する。図１及び図２は第一実施形態、図３は第二実施形態、図４は第三実施形態、図５は第四実施形態、図６は第五実施形態、図７は第六実施形態、図８は第七実施形態、図９は第八実施形態をそれぞれ示す。
【００１８】
第一実施形態の給排気装置は、図１（Ａ）（Ｂ）及び図２（Ａ）（Ｂ）に示すように、互いに一側縁が相手側から１５ｍｍ程度張出するようにして対向配置した一対のガラス基板１，２間に、相互周縁部のフリットシール３Ａによって中空部４が設けられた中空平面パネル１０において、図示上側のガラス基板１の端縁部１ｂと下側のガラス基板２の張出部２ａとの間で構成される段部１０ａに沿う位置に、フリットシール３Ａの途切れによって中空部４の内外を透通する通気間隙５を形成すると共に、この通気間隙５の形成位置にフリットシール３Ｂを介してガラス製の給排気用アダプタ６Ａを取付けたものである。なお、両ガラス基板１，２の張出部１ａ，２ａの表面には、中空部４内より連続する平行電極線１１…，２１…があり、アダプタ６Ａはガラス基板２に対して張出部２ａの平行電極線２１…の形成領域上に配置している。
【００１９】
この給排気用アダプタ６Ａは、下方が開放した段付き箱形のアダプタ本体６１と、下端がラッパ状に開いた給排気管６２とで構成されている。そして、アダプタ本体６１は、段付き部６１ａをガラス基板１の縁角に密接した形で段部１０ａに跨嵌し、その内部空間６０が通気間隙５に連通している。また、給排気管６２は、アダプタ本体６１の上壁に設けた円形開口６１ｂに臨んで、当該アダプタ本体６１上にフリットシール３Ｃを介して立設されている。
【００２０】
フリットシール３Ａ〜３Ｃは、両ガラス基板１，２及びアダプタ６Ａのガラス素材よりも低融点のガラスフリットをビヒクルに混合したペースト材を塗着したものであり、ペースト形態で接着作用を発揮し、焼成によって溶剤蒸発・溶融ガラス化する。
【００２１】
第二実施形態の給排気装置は、図３（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、前記第一実施形態と同様の中空平面パネル１０における段部１０ａに沿う位置に、フリットシール３Ａの途切れによって中空部４の内外を透通する通気間隙５を形成すると共に、この通気間隙５の形成位置にガラス製の給排気用アダプタ６Ｂを取付けたものである。
【００２２】
この給排気用アダプタ６Ｂは、下方が開放した段付き箱形のアダプタ本体６３と、このアダプタ本体６３から前方へ突出する給排気管６４とで構成されている。そして、アダプタ本体６３は、段付き部６３ａをガラス基板１の縁角に密接した形で段部１０ａに跨嵌し、その内部空間６０が通気間隙５に連通している。また、給排気管６４は、アダプタ本体６３の前壁の上部寄り位置に設けた円孔６３ｂに後端を挿嵌して、該アダプタ本体６３の内部空間６０に連通している。なお、図示を省略しているが、アダプタ本体６３の両ガラス基板１，２に対する接当部、ならびに該アダプタ本体６３に対する給排気管６４の挿嵌部には、フリットシールのペースト材が塗着されている。
【００２３】
第三実施形態の給排気装置は、図４（Ａ）（Ｂ）に示すように、前記第一及び第二実施形態と同様の中空平面パネル１０における段部１０ａに沿う位置に、フリットシール３Ａの途切れによって中空部４の内外を透通する通気間隙５を形成すると共に、該通気間隙５の形成位置にガラス製の給排気用アダプタ６Ｃを取付けたものである。
【００２４】
この給排気用アダプタ６Ｃは、上部が円筒状の給排気管６５ａを構成し、下部が下方に開放した段付き四角錐部６５ｂをなす一体のガラス成形物６５からなり、下部四角錐部６５ｂの段付き部６５ｃをガラス基板１の縁角に密接した形で段部１０ａに跨嵌し、その内部空間６０が通気間隙５に連通すると共に、給排気管６５ａが垂直に配置している。しかして、図示を省略しているが、この給排気用アダプタ６Ｃにおいても、下部６５ｂの両ガラス基板１，２に対する接当部にフリットシールのペースト材が塗着されている。
【００２５】
上記第一〜第三実施形態の給排気装置を利用したプラズマディスプレイ用パネルの製作では、既述のように給排気用アダプタ６Ａ〜６Ｃを中空平面パネル１０の段部１０ａに取り付けた状態で、その全体を加熱炉内に配置すると共に、アダプタ６Ａ〜６Ｃの給排気管６１，６３，６５ａの先端部を給排気管路に接続し、フリットシールのガラスフリットの融点以上で且つ両ガラス基板１，２及びアダプタ６Ａ〜６Ｃのガラス素材の融点未満の温度で加熱焼成しつつ給排気管６１，６３，６５ａからの真空吸引を行う。これにより、フリットシールのペースト材が溶剤蒸発・溶融ガラス化してガラス層を形成すると同時に、両ガラス基板１，２間の中空部４内の空気が外部へ排出される。そして、この排気が完了して全体が冷却した後、給排気管６１，６３，６５ａを通してネオンやキセノンの如きプラズマ発生ガスを中空部４内に導入した上で、これら給排気管６１，６３，６５ａの根元側をガスバーナー等で炙って溶断封着することにより、中空部４にプラズマ発生ガスを封入する。
【００２６】
このような給排気装置を利用したプラズマディスプレイ用パネルの製作においては、ガラス基板１，２の一方に従来のような穴明け加工を行う必要がなく、この穴明け加工後の厳密な洗浄も不要となるから、製造工程が大幅に簡略化されると共に、穴明け加工に伴う研摩材やガラス扮の付着に起因した性能不良が発生せず、もって歩留りが従来に比較して格段に向上する。しかも、給排気用アダプタ６Ａ〜６Ｃは、重ね合わせた両ガラス基板１，２の側縁間で構成される段部１０ａに取り付けられることに加え、その段部１０ａを構成する一方のガラス基板２の張出部２ａにおける平行電極線２１…の形成領域上に接合していても支障がないから、中空部４における有効表示領域を縮小させない。また、通気間隙５の幅はアダプタ６Ａ〜６Ｃの内部空間６０に臨む範囲で広く設定でき、しかも中空部４から該アダプタ６Ａ〜６Ｃの内部空間６０への排気方向が直線的になるため、排気時の排気抵抗が小さくなり、それだけ排気能率が向上して排気時間を短縮でき、大型のパネルにおいても短時間で排気が完了するために製造能率を大幅に高め得る。
【００２７】
第四実施形態の給排気装置は、図５（Ａ）（Ｂ）に示すように、対向配置した一対のガラス基板１，２間に相互周縁部のフリットシール３Ａによって中空部４が設けられた中空平面パネル１０のコーナー部において、図示上側のガラス基板１の角部が切除され、その切断端部１ｃと下側のガラス基板２の二等辺三角形のコーナー部２ｃとの間で構成される段部１０ｂに沿う位置に、フリットシール３Ａの途切れによって中空部４の内外を透通する通気間隙５を形成すると共に、この通気間隙５の形成位置にガラス製の給排気用アダプタ６Ｄをフリットシール３Ｂを介して取付けたものである。なお、１１，２１は両ガラス基板１，２の内面に設けた平行電極線を示す。
【００２８】
この給排気用アダプタ６Ｄは、下方が開放した段付き箱形のアダプタ本体６６と、下端がラッパ状に開いた給排気管６７とで構成されている。そして、アダプタ本体６６は、段付き部６６ａをガラス基板１の縁角に密接した形で段部１０ｂに跨嵌し、その内部空間６０が通気間隙５に連通している。また、給排気管６７は、アダプタ本体６６の上壁に設けた円形開口６６ｂに臨んで、当該アダプタ本体６６上にフリットシール３Ｃを介して立設されている。
【００２９】
第五実施形態の給排気装置は、図６（Ａ）（Ｂ）に示すように、前記第四実施形態と同様の中空平面パネル１０のコーナー部における段部１０ｂに沿う位置に、フリットシール３Ａの途切れによって中空部４の内外を透通する通気間隙５を形成すると共に、この通気間隙５の形成位置にフリットシール３Ｂを介してガラス製の給排気用アダプタ６Ｅを取付けたものである。
【００３０】
この給排気用アダプタ６Ｅは、下方が開放した段付き箱形のアダプタ本体６８と、該アダプタ本体６３から前方へ突出する給排気管６９とで構成されている。そして、アダプタ本体６８は、段付き部６８ａをガラス基板１の縁角に密接した形で段部１０ｂに跨嵌し、その内部空間６０が通気間隙５に連通している。また、給排気管６９は、アダプタ本体６８の側壁に設けた円孔６８ｂに後端を挿嵌して、該アダプタ本体６８の内部空間６０に連通している。なお、該アダプタ本体６８に対する給排気管６９の挿嵌部は、フリットシール３Ｃのペースト材が塗着されている。
【００３１】
第六実施形態の給排気装置は、図７（Ａ）（Ｂ）に示すように、前記第五及び第六実施形態と同様の中空平面パネル１０のコーナー部における段部１０ｂに沿う位置に、フリットシール３Ａの途切れによって中空部４の内外を透通する通気間隙５を形成すると共に、該通気間隙５の形成位置にフリットシール３Ｂを介してガラス製の給排気用アダプタ６Ｆが取付けたものである。
【００３２】
この給排気用アダプタ６Ｆは、上部が円筒状の給排気管７０ａを構成し、下部が下方に開放した段付き四角錐部７０ｂをなす一体のガラス成形物７０からなり、四角錐部７０ｂの段付き部７０ｃをガラス基板１の縁角に密接した形で段部１０ｂに跨嵌し、その内部空間６０が通気間隙５に連通すると共に、給排気管７０ａが垂直に配置している。
【００３３】
上記第四〜第六実施形態の給排気装置を利用したプラズマディスプレイ用パネルの製作では、給排気用アダプタ６Ｄ〜６Ｆを中空平面パネル１０の段部１０ｂに取り付けた状態で、その全体を加熱炉内に配置すると共に、アダプタ６Ｄ〜６Ｆの給排気管６６，６８，７０ａの先端部を給排気管路に接続し、既述の第一〜第三実施形態と同様に加熱焼成しつつ給排気管６６，６８，７０ａからの真空吸引を行うことにより、フリットシール３Ａ／３Ｃのペースト材の溶剤蒸発・溶融ガラス化によるガラス層の形成と同時に、両ガラス基板１，２間の中空部４内の排気を行い、この排気が完了して全体が冷却した後、給排気管６６，６８，７０ａを通してプラズマ発生ガスを中空部４内に導入した上で、これら給排気管６６，６８，７０ａの根元側をガスバーナー等で炙って溶断封着することにより、中空部４にプラズマ発生ガスを封入する。
【００３４】
このような第四〜第六実施形態の給排気装置を利用したプラズマディスプレイ用パネルの製作においても、ガラス基板１，２の一方に対する穴明け加工と穴明け加工後の厳密な洗浄が不要である。しかして、一方のガラス基板１のコーナー部を切除するが、この切除は穴明け加工に比べて極めて容易であるから、従来に比較して製造工程が大幅に簡略化されると共に、穴明け加工に伴う研摩材やガラス扮の付着に起因した歩留り低下も生じない。しかも、給排気用アダプタ６Ｄ〜６Ｆは中空平面パネル１０のコーナー部に取り付けられるから、中空部４における有効表示領域を縮小させず、且つ以降のディスプレイ組立操作で邪魔になりにくい。また、前記第一〜第三実施形態と同様に、通気間隙５の幅を広く設定できることと、中空部４から該アダプタ６Ｄ〜６Ｆの内部空間６０への排気方向が直線的になることから、排気抵抗が小さくなって排気時間を短縮できる。
【００３５】
第七実施形態の給排気装置は、図８（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、対向配置した一対のガラス基板１，２間に相互周縁部のフリットシール３Ａによって中空部４が設けられた中空平面パネル１０のコーナー部に、フリットシール３Ａの途切れによって中空部４の内外を透通する通気間隙５を形成すると共に、このコーナー部にガラス製の給排気用アダプタ６Ｇを取付けたものである。
【００３６】
この給排気用アダプタ６Ｇは、平面視略二等辺三角形の斜辺側及び上方に開放した本体枠部７１と、この本体枠部７１に上から被さる平面視略二等辺三角形の蓋枠部７２と、本体枠部７１の側壁に設けた上方へ開くＵ字状切欠部７１ａに後端を挿嵌する給排気管７３との３部材からなり、本体枠部７１と蓋枠部７２とで中空平面パネル１０のコーナー部を上下から抱持した状態で、給排気管７３が側方へ突出するように配置している。しかして、図示を省略しているが、本体枠部７１及び蓋枠部７２の両ガラス基板１，２に対する当接部分、本体枠部７１と蓋枠部７２の嵌合部、本体枠部７１に対する給排気管７３の挿嵌部には、それぞれフリットシールのペースト材が塗着されている。
【００３７】
この第七実施形態の給排気装置では、前記第四〜第六実施形態と同様の作用効果に加え、両ガラス基板１，２の一方のコーナー部を切除する必要がないことから、プラズマディスプレイ用パネルの製造工程が更に簡略化されると共に、アダプタ取付けによる嵩張りをより少なく設定できるという利点がある。
【００３８】
本発明に係る給排気装置に用いる給排気用アダプタは、例えば前記第三及び第六実施形態で用いた給排気用アダプタ６Ｃ，６Ｆにおける四角錐部６５ｂ，７０ｂが円筒形に変わった形態を始めとして、前記第一〜第七実施形態で例示した以外にも様々な形態のものを採用できるが、これらはガラス製の小物であるから、低コストで容易に製作できると共に、既存の様々な用途に使用されている管状や箱状のガラス部品をそのまま又は段付き等に加工して利用することもできる。また、本発明に係る給排気装置によれば、前記の第一〜第七実施形態で例示したように、採用する給排気用アダプタの構造によって排気方向を種々設定できるため、従来に比して設計の自由度を格段に拡大でき、更に給排気用アダプタの給排気管部分の径を大きくして排気能率を更に高めることも可能である。しかして、第一、第二、第四、第五、第七実施形態における給排気用アダプタ６Ａ，６Ｂ，６Ｄ，６Ｅ，６Ｇのように、アダプタ本体と給排気管部とを別部材で構成すれば、その各々の構造が簡素になると共に、各々を安価に量産できるという利点がある。
【００３９】
なお、中空平面パネルの中空部に対する給排気を加熱機構付きの真空チャンバーを利用して行う方式があり、この方式を採用する場合にも本発明の給排気装置は極めて有効である。すなわち、この真空チャンバー方式では、一対のガラス基板間に相互周縁部のフリットシールによって中空部を設けた中空平面パネルの全体を真空チャンバー内に配置し、このチャンバー内を加熱下で真空引きすることにより、予め該パネルに設けた通気部を介して中空部内の空気を排出すると共に、フリットシールを溶融ガラス化し、次いでチャンバー内をプラズマ発生用ガス雰囲気にして該中空部内に当該ガスを充満させたのち、通気部を封止することになる。
【００４０】
しかるに、上記通気部として一方のガラス基板に孔を設ける場合、既述のように穴明け加工に手間を要する上、残留した研磨材やガラス扮に起因した表示特性不良を生じることになる。これに対し、本発明の給排気装置を利用すれば、ガラス基板に孔を設ける必要はなく、例えば前記第一〜第七実施形態の構成では、中空平面パネル１０に給排気用アダプタ６Ａ〜６Ｇを取り付けた状態で真空チャンバー内に装填し、上記のようにして中空部４内にガスを充満させたのち、給排気管６２，６４，６５ａ，６７，６９，７０ａ，７３を溶断封着するか、その先端開口部をフリットシールを介して栓等で封止すればよい。
【００４１】
ただし、前記第一〜第七実施形態のような給排気用アダプタの給排気管は給排気管路への接続用として必要なものであるから、真空チャンバー方式に適用する場合の給排気用アダプタとしては、例えば図９で示す第八実施形態の給排気装置の給排気用アダプタ６Ｈのように給排気管を設けていない構成でよい。この第八実施形態の給排気装置における給排気用アダプタ６Ｈは、前記第一実施形態の給排気装置に用いた給排気用アダプタ６Ａのアダプタ本体６１と同じ形態であり、該アダプタ本体６１と同様に、中空平面パネル１０の中空部４を構成するフリットシール３Ａの途切れによる通気間隙５の形成位置に臨んで、両ガラス基板１，２間の段部１０ａにフリットシール３Ｂを介して跨嵌した状態で取付けられている。
【００４２】
この給排気用アダプタ６Ｈを取り付けた中空平面パネル１０は、真空チャンバー方式ではフリットシール３Ａ，３Ｂのペースト材に含まれる溶剤成分が悪影響を及ぼすため、前処理として空気中で仮焼成を行って溶剤の揮散除去と共にペースト材を固化（非溶融）させた上で、真空チャンバー内に装填して既述の処理を施す。この処理では、まず加熱下の真空引きにより、中空部４内の空気が通気間隙５及び給排気用アダプタ６Ｈ内を経て当該アダプタ６Ｈの上壁の円形開口７４から排出されると共に、フリットシール３Ａ，３Ｂの溶融ガラス化によって各接合部が固着し、次に真空チャンバー内をプラズマ発生用ガス雰囲気にした際に当該ガスが逆の経路で中空部４内に充満するから、この状態で図示のようにアダプタ６Ｈの上にガラス製の蓋板７６をフリットシール３Ｄを介して被着し、次いでこの被着部の局部加熱して該フリットシール３Ｄを溶融ガラス化することにより、円形開口７４を封止する。
【００４３】
本発明に給排気装置は、例示したプラズマディスプレイ用パネルに限らず、プラズマ・アドレス液晶ディスプレイのバックライト部パネル等の他の種々のディスプレイ用中空平面パネルの製造時に、対向するガラス基板間の中空部に対する給排気を行う必要がある場合に好適に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明に係るディスプレイ用中空平面パネルの給排気装置の第一実施形態を示し、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）は縦断側面図である。
【図２】同第一実施形態において、（Ａ）は通気間隙の構成を示す下側ガラス基板の平面図、（Ｂ）は給排気装置の平面図である。
【図３】同第二実施形態の給排気装置を示し、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図、（Ｃ）は（Ａ）のイーイ線の断面矢視図である。
【図４】同第三実施形態の給排気装置を示し、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）は縦断側面図である。
【図５】同第四実施形態の給排気装置を示し、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は（Ａ）のローロ線の断面矢視図である。
【図６】同第五実施形態の給排気装置を示し、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は（Ａ）のハーハ線の断面矢視図である。
【図７】同第六実施形態の給排気装置を示し、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は（Ａ）のニーニ線の断面矢視図である。
【図８】同第七実施形態の給排気装置を示し、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図、（Ｃ）は（Ａ）のホーホ線の断面矢視図である。
【図９】同第八実施形態の給排気装置を示す縦断側面図である。
【図１０】従来におけるディスプレイ用中空平面パネルの給排気部を示し、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）は（Ａ）のヘーヘ線の断面矢視図である。
【符号の説明】
【００４５】
１                ガラス基板
１ａ              張出部
２                ガラス基板
２ａ，２ｃ        張出部
３Ａ              フリットシール
４                中空部
５                通気間隙
６Ａ〜６Ｈ        給排気用アダプタ
６０              内部空間
６１，６３        アダプタ本体
６２，６４        給排気管
６５ａ，７０ａ    給排気管
６５ｂ，７０ｂ    四角錐部（アダプタ本体）
６６，６８        アダプタ本体
６７，６９        給排気管
７１              本体枠部（アダプタ本体）
７２              蓋枠部（アダプタ本体）
７３              給排気管
１０              中空平面パネル
１０ａ，１０ｂ    段部
１１，２１        平行電極線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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