(57)【要約】  【課題】プローブとリード線の接続による接触抵抗とその不確かさを無くし、また検査治具アッセンブリ工数を削減することができ、更に検査治具アッセンブリ時に、治具穴へ通過させることもストップさせることも可能とし、アッセンブリ作業性に優れ、また低コストとなるコンタクトプローブを提供する。  【解決手段】導電性とばね性に優れた金属ばね線５の外周に絶縁被覆６を施して絶縁金属ばね線ｗとし、その先端を研削加工により半球形状に加工して先端研削加工部７とし、次いで、先端研削加工部７にめっき処理によりめっき層ｍを設けて先端めっき加工部７とした後、先端から所定長さの位置へ2箇所の折り曲げ加工を施してストッパー部４を設ける。ストッパー部４から先端めっき加工部７までの絶縁金属ばね線ｗをプローブ部２とし、またストッパー部４以降の絶縁金属ばね線ｗをリード線部３としてリード線付きコンタクトプローブ１とする。  【選択図】図１
2005114393.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ピン形状のプローブを座屈することにより接触圧力を得る方式のコンタクトプローブにおいて、
プローブ部と、該プローブ部を検査装置に接続するリード線部が、ばね性と導電性を有する金属ばね線の外周に絶縁被覆を施した絶縁金属ばね線の一本で形成されており、また前記プローブ部の先端部が半球形状、針状または平坦形状に加工されており、また先端加工部にはめっき処理が施されており、またプローブ部とリード線部の境界には、前記絶縁金属ばね線を2箇所以上折り曲げ加工した構造のストッパー部が設けられていることを特徴とするリード線付きコンタクトプローブ。
【請求項２】
前記金属ばね線が真直であり、また金属ばね線の材質が銅合金またはタングステンであることを特徴とする請求項1記載のリード線付きコンタクトプローブ。
【請求項３】
請求項1または２記載のリード線付きコンタクトプローブの製造方法であって、
金属ばね線の外周に絶縁被覆を施して絶縁金属ばね線とする絶縁被覆加工工程と、前記絶縁金属ばね線を所定の長さに切断する定尺切断加工工程と、定尺切断された絶縁金属ばね線の先端を研削加工により半球形状、針状または平坦形状に加工する先端部研削加工工程と、研削加工した先端部へめっき処理を施す先端部めっき処理工程と、めっき処理先端部から所定の長さ位置に2箇所以上の折り曲げ加工を施してストッパー部とするとともに、プローブ部とリード線部の境界とするストッパー部折り曲げ加工工程と、を有することを特徴とするリード線付きコンタクトプローブの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、主に電子部品および基板などの導通検査に用いる検査用のコンタクトプローブに関するものであり、更に詳しくは、ピン形状のプローブを座屈させる（押し縮める）ことにより接触圧力を得る方式のコンタクトプローブに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のピン形状コンタクトプローブについて図4を用いて説明する。なお図4では従来のピン形状コンタクトプローブを検査治具にアッセンブリした状態と検査時のプローブ座屈状態を示している。
従来のピン形状コンタクトプローブは、検査治具１１０，１１３（プローブガイド用穴明き板）、検査治具１１１（リード線固定用穴明き板）内にアッセンブリされたプローブ１０１とこれを検査装置の電極（図示せず）へ接続するリード線１０３に分かれており、プローブ１０１とリード線１０３間の接続は、検査対象（電子部品などの電極）１１２へプローブが接触した時の接触圧力により座屈したプローブ１０１(b)がリード線１０３の端面へ接触することにより接続される構造となっていた。例えば下記特許文献１にこのような構造のコンタクトプローブが記載されている。
【特許文献１】特開２００３−１３０８８８
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来のピン形状コンタクトプローブはプローブとリード線の接続による接触抵抗とその不確かさにより、検査対象の正確な電気抵抗を測定することが困難であるという問題があり、測定精度上好ましくなかった。更に、プローブとリード線部に分かれていたため、部品点数が多く、コストアップの原因となるという問題があった。
本発明は、上記従来技術が有する各種問題点を解決するためになされたものであり、プローブとリード線の接続による接触抵抗とその不確かさを無くし、また、検査治具アッセンブリ工数を削減することができ、更に、検査治具アッセンブリ時に治具穴へ通過させることも、ストップさせることも可能とし、アッセンブリ作業性に優れ、また低コストとなるリード線付きコンタクトプローブを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
第１の観点として本発明は、ピン形状のプローブを座屈することにより接触圧力を得る方式のコンタクトプローブにおいて、プローブ部と、該プローブ部を検査装置に接続するリード線部が、ばね性と導電性を有する金属ばね線の外周に絶縁被覆を施した絶縁金属ばね線の一本で形成されており、また前記プローブ部の先端部が半球形状、針状または平坦形状に加工されており、また先端加工部にはめっき処理が施されており、またプローブ部とリード線部の境界には、前記絶縁金属ばね線を2箇所以上折り曲げ加工した構造のストッパー部が設けられていることを特徴とするリード線付きコンタクトプローブにある。
上記第１観点のコンタクトプローブでは、ばね性を有するプローブ部とこれを検査装置へ接続するリード線部が絶縁金属ばね線一本で形成されていることにより、プローブとリード線の接続による接触抵抗とその不確かさを無くし、検査時の電気抵抗を安定化させる作用がある。また、プローブとリード線の配線接続が同時にできるため、検査治具アッセンブリ工数を削減することができる。また前記プローブ部の先端部が半球形状等に加工されており、また先端加工部にはめっき処理が施されているので、先端加工部は防錆され、また検査対象（電子部品などの電極）との接触抵抗が低くなり検査が良好に行われる。更に、ストッパー構造に折り曲げ加工形状を採用したことにより、検査治具アッセンブリ時に治具穴へ通過させることも、ストップさせることも可能となり、アッセンブリ作業性を改善する作用がある。また、部品点数が減ることにより、コストを低減する効果がある。
【０００５】
第２の観点として本発明は、前記金属ばね線が真直であり、また金属ばね線の材質が銅合金またはタングステンであることを特徴とするリード線付きコンタクトプローブにある。
上記第２観点のコンタクトプローブでは、第１の観点の作用効果に加え、前記金属ばね線が真直であるのでばね性が良好となる。また金属ばね線の材質が銅合金およびタングステンなので電気抵抗値を低減することができる。
【０００６】
第３の観点として本発明は、上記第１または第２観点記載のリード線付きコンタクトプローブの製造方法であって、金属ばね線の外周に絶縁被覆を施して絶縁金属ばね線とする絶縁被覆加工工程と、前記絶縁金属ばね線を所定の長さに切断する定尺切断加工工程と、定尺切断された絶縁金属ばね線の先端を研削加工により半球形状、針状または平坦形状に加工する先端部研削加工工程と、研削加工した先端部へめっき処理を施す先端部めっき処理工程と、めっき処理先端部から所定の長さ位置に2箇所以上の折り曲げ加工を施してストッパー部とするとともに、プローブ部とリード線部の境界とするストッパー部折り曲げ加工工程と、を有することを特徴とするリード線付きコンタクトプローブの製造方法にある。
上記第３観点のコンタクトプローブの製造方法では、上記第１または第２観点のリード線付きコンタクトプローブを好適に製造することができる。
【発明の効果】
【０００７】
本発明のリード線付きコンタクトプローブによれば、プローブとリード線を絶縁金属ばね線一本で形成することにより、プローブとリード線の接続による接触抵抗とその不確かさを無くすことができ、検査時の電気抵抗を安定化させることができる。また、プローブとリード線の配線接続が同時にできるため、検査治具アッセンブリ工数を削減することができる。また前記プローブ部の先端部が半球形状等に加工されており、また先端加工部にはめっき処理が施されているので、先端加工部は防錆され、また検査対象との接触が良好に行われる。更に、ストッパー構造に折り曲げ加工形状を採用することにより、検査治具アッセンブリ時に治具穴へ通過させることも、ストップさせることも可能となり、検査治具アッセンブリ作業性を改善することができる。従って、本発明は産業上に寄与する効果が極めて大である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明の内容を、図に示す実施の形態により更に詳細に説明する。なお、これにより本発明が限定されるものではない。
図1は、本発明のリード線付きコンタクトプローブの一例を示す略図であり、同図（ａ）は略正面図、また同図（ｂ）は同図（ａ）のｂ部の拡大図である。図2は本発明のコンタクトプローブを検査治具へアッセンブリした状態と検査時のプローブ座屈状態を示す略図である。また図３は、本発明のコンタクトプローブの製造実施態様を示す製造工程図である。
これらの図において、1はリード線付きコンタクトプローブ、1(a)はリード線付きコンタクトプローブを検査治具へアッセンブリした状態、1(b)はリード線付きコンタクトプローブのプローブ部が検査時に座屈した状態、2はプローブ部、3はリード線部、3ｔはリード線部端末、4は折り曲げ加工部（ストッパー部）、5は金属ばね線（真直ベリリウム銅線）、6は絶縁被覆（ポリウレタン皮膜）、7は先端研削加工部と先端めっき加工部、10は検査治具（プローブガイド用穴明き板）、11は検査治具（プローブストップ用穴明き板）、12は検査対象（電子部品などの電極）、ｍはめっき層（ニッケルめっき層）、またｗは絶縁金属ばね線（絶縁真直ベリリウム銅線）である。
【実施例１】
【０００９】
本発明のリード線付きコンタクトプローブの一例について図1を用いて説明する。
本発明のコンタクトプローブ１は、銅合金あるいはタングステン等、導電性とばね性に優れた金属ばね線５の外周に絶縁被覆６を施して絶縁金属ばね線ｗとし、その先端を研削加工により半球形状に加工して先端研削加工部７とし、次いで、先端研削加工部７にめっき処理によりめっき層ｍを設けて先端めっき加工部７とした後、先端から所定長さの位置へ2箇所の折り曲げ加工を施して折り曲げ加工部（ストッパー部）４を設けた構造である。そして、ストッパー部４から先端めっき加工部７までの絶縁金属ばね線ｗをプローブ部２とし、またストッパー部４以降の絶縁金属ばね線ｗをリード線部３としている。
【００１０】
次に本発明のリード線付きコンタクトプローブを検査治具へアッセンブリする方法について図２を用いて説明する。
先ず、リード線付きコンタクトプローブ１を、検査治具の所定長さ間隔、例えば１５ｍｍ間隔に固定した穴明きの2枚板（プローブガイド用穴明き板10、プローブストップ用穴明き板11）の1枚目板10の治具穴へリード線部端末３ｔ側から挿入する。そして、ストッパー部となる折り曲げ加工部４を1枚目板10の穴へ弾性変形させながらリード線部３を引っ張って通過させ、2枚目板11の治具穴へは折り曲げ加工部４を止めるのみとし、検査治具へのアッセンブリを完了する。この状態が1(a)である。続いてリード線部端末３ｔを検査装置端子へはんだ付けなどにより接続し、検査装置への接続を完了する（図示せず）。
また本発明のコンタクトプローブ１のプローブ部２が検査時に検査対象（電子部品などの電極）12に接触する（例えば接触圧５ｇ）と、1(b)に示すように座屈した状態となる。
【実施例２】
【００１１】
本発明のリード線付きコンタクトプローブの製造方法を図3の製造工程図に沿って説明する。
本発明のコンタクトプローブの製造工程は、金属ばね線の外周に絶縁被覆を施して絶縁金属ばね線とする絶縁被覆加工工程と、前記絶縁金属ばね線を所定の長さに切断する定尺切断加工工程と、定尺切断された絶縁金属ばね線の先端を研削加工により半球形状、針状または平坦形状に加工する先端部研削加工工程と、研削加工した先端部へめっき処理を施す先端部めっき処理工程と、めっき処理先端部から所定の長さ位置に2箇所以上の折り曲げ加工を施してストッパー部とするとともに、プローブ部とリード線部の境界とするストッパー部折り曲げ加工工程と、からなる。
【実施例３】
【００１２】
本発明のリード線付きコンタクトプローブの具体的な製造実施態様について図１、図3を用いて説明する。
先ず金属ばね線５として、ばね性と直線性に優れたφ0.10mmの真直ベリリウム銅線を用い、絶縁皮膜焼付装置(図示せず)により0.05mm厚さのポリウレタン皮膜６を連続的に焼付けることにより、絶縁皮膜付き真直ベリリウム銅線（以下、絶縁真直ベリリウム銅線と略記する）ｗを製造した。（絶縁被覆加工工程f１）
次に、切断装置で前記絶縁真直ベリリウム銅線を500mm長さに切断した。（定尺切断加工工程f２）
次に、定尺切断した絶縁真直ベリリウム銅線の先端部を研削加工装置により半球形状に研削加工し先端研削加工部７を設けた。（先端部研削加工工程f３）
次に、半球形状に研削加工した先端研削加工部７へニッケルめっき処理を施してニッケルめっき層ｍを設け、先端めっき加工部７とした。（先端部めっき処理工程f４）
次に、折り曲げ治具にて先端めっき加工部７から所定の長さ部分に、間隔が0.2mmで角度が150°の2箇所の折り曲げ加工部４を有する折り曲げ形状に加工し（ストッパー部折り曲げ加工工程f５）リード線付きコンタクトプローブ１を得た。
上記実施態様では、金属ばね線５に真直ベリリウム銅線を用い、この外周に絶縁被覆６としてポリウレタン皮膜を設けて絶縁真直ベリリウム銅線ｗとし、次いで定尺切断加工を行い、次いで先端形状を半球形状とした後ニッケルめっき処理を行い、次いで間隔が0.2mmで角度が150°の２箇所の折り曲げ加工による折り曲げ加工部４を有しているが、金属ばね線５の材質は他の銅合金、例えばりん青銅、銅銀合金、またはタングステンであってもよい。また金属ばね線５のサイズは、検査対象の電極の間隔等により選定されるが、例えばφ0.05mm〜φ0.10mmである。また絶縁被覆６は、ポリウレタン皮膜がはんだ付け性を有するので好ましいが、ポリエステル、ポリエステルイミド等、各種のエナメル皮膜が用いられる。また先端研削加工部７の形状は針状または平坦形状（台形等も含む）であってもよい。また、先端めっき加工部７のめっき層ｍはニッケル以外のめっき材質、例えばニッケル-リン、ニッケル-ボロン、パラジウム、ロジウム等であってもよい。また、折り曲げ加工部４は２箇所以上、例えば３箇所、４箇所であってもよく、また折り曲げ角度および折り曲げ間隔が如何様であっても、何ら本発明を逸脱するものでないことは勿論である。
【産業上の利用可能性】
【００１３】
コンタクトプローブのプローブ部とリード線部を絶縁金属ばね線の一本で形成することにより、プローブとリード線の接続による接触抵抗とその不確かさを無くすことができる。また、プローブとリード線の配線接続が同時にできるため、検査治具アッセンブリ工数を削減することができる。更に、ストッパー構造に折り曲げ加工形状を採用することにより、検査治具アッセンブリ時に治具穴へ通過させることも、ストップさせることも可能となり、アッセンブリ作業性に優れ、低コストのリード線付きコンタクトプローブを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明のリード線付きコンタクトプローブの一例を示す略図であり、同図（ａ）は略正面図、また同図（ｂ）は同図（ａ）のｂ部の縦断面拡大図である。
【図２】本発明のコンタクトプローブを検査治具へアッセンブリした状態と検査時のプローブ座屈状態を示す略図である。
【図３】本発明のリード線付きコンタクトプローブの製造実施態様を示す製造工程図である。
【図４】従来のピン形状コンタクトプローブを検査治具へアッセンブリした状態と検査時のプローブ座屈状態を示す略図である。
【符号の説明】
【００１５】
1    リード線付きコンタクトプローブ
1(a)  リード線付きコンタクトプローブを検査治具へアッセンブリした状態
1(b)  リード線付きコンタクトプローブのプローブ部が検査時に座屈した状態
2    プローブ部
3    リード線部
3ｔ    リード線部端末
4    折り曲げ加工部（ストッパー部）
5    金属ばね線（真直ベリリウム銅線）
6    絶縁被覆（ポリウレタン皮膜）
7    先端研削加工部と先端めっき加工部
10    検査治具（プローブガイド用穴明き板）
11    検査治具（プローブストップ用穴明き板）
12    検査対象（電子部品などの電極）
101    従来のプローブ（ピン形状）
101(b)    従来のプローブが検査時に座屈した状態
103    従来のリード線
110    従来の検査治具（プローブガイド用穴明き板）
111    従来の検査治具（リード線固定用穴明き板）
112    検査対象（電子部品などの電極）
113    従来の検査治具（プローブガイド用穴明き板）
ｍ  めっき層（ニッケルめっき層）
ｗ  絶縁金属ばね線（絶縁真直ベリリウム銅線）
【図１】
2005114393.tif 000003
【図２】
2005114393.tif 000004
【図３】
2005114393.tif 000005
【図４】
2005114393.tif 000006