(57)【要約】      （修正有）【課題】金型の耐久性を各金型毎に均一化するとともに、耐久性のレベルを大幅に向上させる液体噴射ヘッド製造用金型の製造方法とその素材ブロックを提供する。【解決手段】圧力発生室となる溝状窪部が成形される金属製の圧力発生室形成板に塑性加工を行なう製造用金型５１の製造方法であり、製造用金型５１の金属素材は平坦な端面６５を備えた略直方体形状の素材ブロック５６であり、上記素材ブロックは窒化高速度鋼粉末を熱間等圧加圧焼結により製造され、その縦，横，高さの各寸法は上記製造用金型５１を縦横方向にならべて素材ブロック５６から切出すことのできる寸法であり、製造用金型５１の各加工成形部５３，５３ｂと上記端面６５との距離が略均一になるよう素材ブロック５６から複数の製造用金型５１を切出す。したがって、素材ブロック５６が小型化され、調質時の冷却速度を均一にし、金属組織を安定させる。【選択図】図１０
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力発生室となる溝状窪部が列設された金属製の圧力発生室形成板と、上記圧力発生室形成板に接合され上記圧力発生室を封止する封止板と、上記圧力発生室内の液体を加圧する圧力発生素子と、上記圧力発生室に連通したノズル開口が設けられ上記圧力発生室形成板に接合されたノズルプレートを含んで構成された液体噴射ヘッドの製造用金型の製造方法であって、上記製造用金型の金属素材は平坦な端面を備えた略直方体形状の素材ブロックであり、上記素材ブロックの縦，横，高さの各寸法は上記製造用金型を縦横方向にならべて素材ブロックから切出すことのできる寸法であり、当該製造用金型の各加工成形部と上記端面との距離が略均一になるよう素材ブロックから複数の製造用金型を切出すことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造用金型の製造方法。
【請求項２】
上記各加工成形部が上記端面の近傍に沿った状態で素材ブロックから複数の製造用金型を切出す請求項１記載の液体噴射ヘッドの製造用金型の製造方法。
【請求項３】
上記素材ブロック中に上記各加工成形部がならんで位置する加工成形部材料は、上記端面に略沿って存在しているとともに、素材ブロックをあらかじめ調質することにより上記加工成形部の機能に適した金属組織とされている請求項２記載の液体噴射ヘッドの製造用金型の製造方法。
【請求項４】
上記製造用金型における各加工成形部の縦横方向のならびが１列である請求項１〜３のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造用金型の製造方法。
【請求項５】
上記製造用金型の上記縦方向線と上記横方向線によって形成される外表面が、素材ブロックの外表面である請求項１〜４のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造用金型の製造方法。
【請求項６】
上記素材ブロックは、金属粉末を熱間等圧加圧焼結したものである請求項１〜５のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造用金型の製造方法。
【請求項７】
上記金属粉末は、窒化された特殊鋼である請求項６記載の液体噴射ヘッドの製造用金型の製造方法。
【請求項８】
上記金属粉末は、窒化高速度工具鋼である請求項７記載の液体噴射ヘッドの製造用金型の製造方法。
【請求項９】
上記素材ブロック中における少なくとも加工成形部材料の主たる金属組織はマルテンサイトであり、残留オーステナイト量は、容積比で２％以下である請求項３〜８のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造用金型の製造方法。
【請求項１０】
圧力発生室となる溝状窪部が列設された金属製の圧力発生室形成板と、上記圧力発生室形成板に接合され上記圧力発生室を封止する封止板と、上記圧力発生室内の液体を加圧する圧力発生素子と、上記圧力発生室に連通したノズル開口が設けられ上記圧力発生室形成板に接合されたノズルプレートを含んで構成された液体噴射ヘッドの製造用金型製造用の素材ブロックであって、上記素材ブロックは、平坦な端面を備えた略直方体の形状であり、その縦，横，高さの各寸法は上記製造用金型を縦横方向にならべて切出すことのできる寸法であり、製造用金型の各加工成形部がならんで位置する加工成形部材料が、上記端面に略沿って存在していることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造用金型の素材ブロック。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液体噴射ヘッドの製造用金型の製造方法およびその素材ブロックに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
加圧された液体をノズル開口から液滴として吐出させる液体噴射ヘッドは、種々な液体を対象にしたものが知られているが、そのなかでも代表的なものとして、インクジェット式記録ヘッドをあげることができる。そこで、従来の技術を上記インクジェット式記録ヘッドを例にとって説明する。
【０００３】
インクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッドと称する。）は、インク貯留室から圧力発生室を経てノズル開口に至る一連の流路を、ノズル開口に対応させて複数備えている。そして、小型化の要請から各圧力発生室は、記録密度に対応した細かいピッチで形成する必要がある。このため、隣り合う圧力発生室同士を区画する隔壁部の肉厚は極めて薄くなっている。また、圧力発生室とインク貯留室とを連通するインク供給口は、圧力発生室内のインク圧力をインク滴の吐出に効率よく使用するため、その流路幅が圧力発生室よりもさらに絞られている。このような微細形状の圧力発生室及びインク供給口を寸法精度良く作製する観点から、従来の記録ヘッドでは、ニッケル基板が好適に用いられている。すなわち、ニッケル基板に金型を用いて塑性加工を施して圧力発生室等が成形されている。
【０００４】
【特許文献１】
特開２０００−２６３７９９号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記した従来の記録ヘッドの圧力発生室等の製造に使用される金型は、厚さの大きな金型素材から、金型を１つずつならんだ状態で順次切出し、この切出しのならびが複数のならび列となって、多数の金型が切出されるようになっている。すなわち、列状に順を追って金型が切出されて行くことにより、金型素材に切出し跡の空間が列をなして形成されるのであり、このようないわゆる「切出し列」が金型素材に複数形成されて、多数の金型が製造される。
【０００６】
このような複数列の形式で金型が切出される場合には、金型素材の大きさが縦，横（高さは素材の厚さ方向）方向に大きくなるので、金型素材の全域にわたって金型に適した例えばマルテンサイトの金属組織を形成することが困難となる。これは、金型素材が大きくなることにより、調質工程において素材各部の冷却速度が均一にならないために、１つの金型素材にマルテンサイトが正常に形成されている部分と、マルテンサイト組織に過剰な量の残留オーステナイト組織が共存している部分ができてしまう。このような金属組織の分布にムラが発生するので、上記複数の「切出し列」によって、高い耐久性の高硬度の金型とそうではない金型とが混在した状態で切出されることになる。したがって、金型の品質が均一に確保できないこととなる。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、金型の耐久的品質を各金型毎に均一化するとともに、耐久性のレベルを大幅に向上させることをその主たる目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の液体噴射ヘッドの製造用金型の製造方法は、圧力発生室となる溝状窪部が列設された金属製の圧力発生室形成板と、上記圧力発生室形成板に接合され上記圧力発生室を封止する封止板と、上記圧力発生室内の液体を加圧する圧力発生素子と、上記圧力発生室に連通したノズル開口が設けられ上記圧力発生室形成板に接合されたノズルプレートを含んで構成された液体噴射ヘッドの製造用金型の製造方法であって、上記製造用金型の金属素材は平坦な端面を備えた略直方体形状の素材ブロックであり、上記素材ブロックの縦，横，高さの各寸法は上記製造用金型を縦横方向にならべて素材ブロックから切出すことのできる寸法であり、当該製造用金型の各加工成形部と上記端面との距離が略均一になるよう素材ブロックから複数の製造用金型を切出すことを要旨とする。
【０００９】
すなわち、本発明の液体噴射ヘッドの製造用金型の製造方法は、上記製造用金型の金属素材は平坦な端面を備えた略直方体形状の素材ブロックであり、上記素材ブロックの縦，横，高さの各寸法は上記製造用金型を縦横方向にならべて素材ブロックから切出すことのできる寸法であり、当該製造用金型の各加工成形部と上記端面との距離が略均一になるよう素材ブロックから複数の製造用金型を切出すものである。
【００１０】
したがって、上記素材ブロックにおいて各加工成形部の冷却速度を可及的に均一化した調質を施すことが可能となり、金属組織のムラを実質的に問題のないレベルにすることができ、金型耐久性等の向上に最も適した金属組織を各加工成形部に均一に分布させることができる。したがって、素材ブロックから切出された金型は、各加工成形部に課される塑性加工時の物理的負荷に対して十分な耐久性を確保できるものとなる。
【００１１】
本発明の液体噴射ヘッドの製造用金型の製造方法において、上記各加工成形部が上記端面の近傍に沿った状態で素材ブロックから複数の製造用金型を切出す場合には、上記端面の近くで速い冷却速度で調質された素材部分が、マルテンサイト組織のように、より硬質な素材状態になり、このような箇所が各加工成形部に充当されることとなる。したがって、塑性加工時の物理的負荷が最も高い箇所を最も強靭に形成することができる。
【００１２】
本発明の液体噴射ヘッドの製造用金型の製造方法において、上記素材ブロック中に上記各加工成形部がならんで位置する加工成形部材料が、上記端面に略沿って存在しているとともに、素材ブロックをあらかじめ調質することにより上記加工成形部の機能に適した金属組織とされている場合には、上記端面に沿って存在している加工成形部材料が調質によって強化されているので、加工成形部材料が均一で高い強度の材料領域となる。このような性質の材料領域によって構成された加工成形部の金属組織が、塑性加工時に最も強靭な特性を発揮し製造用金型の耐久性を著しく向上させることが実現できる。
【００１３】
本発明の液体噴射ヘッドの製造用金型の製造方法において、上記製造用金型における各加工成形部の縦横方向のならびが１列である場合には、全域にわたって略均一な金属組織とされた素材ブロックから１列に製造用金型を切出すので、製造用金型の金属組織状態もムラの少ない良好なものとなり、加工成形部を最良の組織状態で形成できる。
【００１４】
本発明の液体噴射ヘッドの製造用金型の製造方法において、上記製造用金型の上記縦方向線と上記横方向線によって形成される外表面が、素材ブロックの外表面である場合には、製造用金型を切出すのと同時に製造用金型の上記外表面が素材ブロックの外表面と共通の状態でえられることから、製造用金型の外形仕上げ加工を省略することができ、また、上記外形仕上げ加工を行なう場合であっても、僅かな仕上げ代で済み、素材のムダや加工工数の低減にとって有効である。また、素材ブロックの高さ方向には１つの金型しか切出さないことから、切出された金型間の組織ムラが少なく、均一な機械的特性がえられる。
【００１５】
本発明の液体噴射ヘッドの製造用金型の製造方法において、上記素材ブロックが、金属粉末を熱間等圧加圧焼結したものである場合には、金属粉末を全域にわたって等圧で加圧するのと同時に加熱焼結を行なうものであるから、上記素材ブロックは均一な高密度状態で固化され、強靭な上記製造用金型の製造にとって効果的である。また、このようにしてえられた素材ブロックは組織が緻密で均一であるため加工成形部の強度の均一性が確保でき、液体噴射ヘッドの圧力発生室のような極めて微細な塑性加工において有利である。
【００１６】
本発明の液体噴射ヘッドの製造用金型の製造方法において、上記金属粉末が、窒化された特殊鋼である場合には、窒化された特殊鋼の金属粉末で素材ブロック全体が構成されているので、素材ブロックおよび製造用金型の状態において窒素濃度の勾配が実質的に存在せず、均一な機械的特性を発揮する。したがって、液体噴射ヘッドの圧力発生室のような極めて微細な塑性加工において加工成形部の強度の均一性が確保でき、有利である。
【００１７】
本発明の液体噴射ヘッドの製造用金型の製造方法において、上記金属粉末が、窒化高速度工具鋼である場合には、焼付きが生じにくく耐チッピング性にすぐれた窒化高速度工具鋼の強度や耐磨耗性等の利点がさらに付加されるので、製造用金型の耐久性等はさらに向上し、早期の内に加工成形部に磨耗やクラック等が発生して、液体噴射ヘッドの加工形状の精度を低下させたり、金型の早期交換をするようなことが回避できる。
【００１８】
本発明の液体噴射ヘッドの製造用金型の製造方法において、上記素材ブロック中における少なくとも加工成形部材料の主たる金属組織はマルテンサイトであり、残留オーステナイト量は、容積比で２％以下である場合には、調質時の冷却速度を略全域にわたって均一化できる素材ブロックによって、上記加工成形部材料の金属組織を主としてマルテンサイト組織とすることができ、それと同時に残留オーステナイト量を容積比で２％以下とすることができる。したがって、製造用金型の使用耐久性を著しく向上させることができる。
【００１９】
上記目的を達成するため、本発明の液体噴射ヘッドの製造用金型製造用の素材ブロックは、圧力発生室となる溝状窪部が列設された金属製の圧力発生室形成板と、上記圧力発生室形成板に接合され上記圧力発生室を封止する封止板と、上記圧力発生室内の液体を加圧する圧力発生素子と、上記圧力発生室に連通したノズル開口が設けられ上記圧力発生室形成板に接合されたノズルプレートを含んで構成された液体噴射ヘッドの製造用金型製造用の素材ブロックであって、上記素材ブロックは、平坦な端面を備えた略直方体の形状であり、その縦，横，高さの各寸法は上記製造用金型を縦横方向にならべて切出すことのできる寸法であり、製造用金型の各加工成形部がならんで位置する加工成形部材料が、上記端面に略沿って存在していることを要旨とする。
【００２０】
すなわち、上記素材ブロックは、平坦な端面を備えた略直方体の形状であり、その縦，横，高さの各寸法は上記製造用金型を縦横方向にならべて切出すことのできる寸法であり、製造用金型の各加工成形部がならんで位置する加工成形部材料が、上記端面に略沿って存在している。
【００２１】
したがって、上記素材ブロックにおいて各加工成形部の冷却速度を可及的に均一化した調質を施すことが可能となり、金属組織のムラを実質的に問題のないレベルにすることができ、金型耐久性等の向上に最も適した金属組織を各加工成形部に均一に分布させることができる。したがって、素材ブロックから切出された金型は、各加工成形部に課される塑性加工時の物理的負荷に対して十分な耐久性を確保できるものとなる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００２３】
本発明において製造の対象となっている液体噴射ヘッドは、上述のように種々な液体を対象にして機能させることができ、図示の実施の形態においてはその代表的な事例として、この液体噴射ヘッドをインクジェット式記録ヘッドに適用した例を示している。
【００２４】
図１〜図３は、本発明によって製造された液体噴射ヘッド製造用金型によって製造される液体噴射ヘッドの構造を示している。
【００２５】
図１に示すように、記録ヘッド１は、ケース２と、このケース２内に収納される振動子ユニット３と、ケース２の先端面に接合される流路ユニット４と、先端面とは反対側のケース２の取付面上に配置される接続基板５と、ケース２の取付面側に取り付けられる供給針ユニット６等から概略構成されている。
【００２６】
上記の振動子ユニット３は、圧電振動子群７と、この圧電振動子群７が接合される固定板８と、圧電振動子群７に駆動信号を供給するためのフレキシブルケーブル９とから概略構成される。
【００２７】
圧電振動子群７は、列状に形成された複数の圧電振動子１０…を備える。各圧電振動子１０…は、圧力発生素子の一種であり、電気機械変換素子の一種でもある。
【００２８】
各圧電振動子１０…は、固定端部を固定板８上に接合することにより、自由端部を固定板８の先端面よりも外側に突出させている。すなわち、各圧電振動子１０…は、いわゆる片持ち梁の状態で固定板８上に支持されている。そして、各圧電振動子１０…の自由端部は、圧電体と内部電極とを交互に積層して構成されており、対向する電極間に電位差を与えることで素子の長手方向に伸縮する。
【００２９】
フレキシブルケーブル９は、固定板８とは反対側となる固定端部の側面で圧電振動子１０と電気的に接続されている。そして、このフレキシブルケーブル９の表面には、圧電振動子１０の駆動等を制御するための制御用ＩＣ１１が実装されている。また、各圧電振動子１０…を支持する固定板８は、圧電振動子１０からの反力を受け止め得る剛性を備えた板状部材であり、ステンレス板等の金属板が好適に用いられる。
【００３０】
上記のケース２は、例えば、エポキシ系樹脂等の熱硬化性樹脂で成形されたブロック状部材である。ここで、ケース２を熱硬化性樹脂で成形しているのは、この熱硬化性樹脂は、一般的な樹脂よりも高い機械的強度を有しており、線膨張係数が一般的な樹脂よりも小さく、周囲の温度変化による変形が小さいからである。そして、このケース２の内部には、振動子ユニット３を収納可能な収納空部１２と、インクの流路の一部を構成するインク供給路１３とが形成されている。
【００３１】
収納空部１２は、振動子ユニット３を収納可能な大きさの空部である。この収納空部１２の先端側部分はケース内壁が側方に向けて部分的に突出しており、この突出部分の上面が固定板当接面として機能する。そして、振動子ユニット３は、各圧電振動子１０の先端が開口から臨む状態で収納空部１２内に収納される。この収納状態において、固定板８の先端面は固定板当接面に当接した状態で接着されている。
【００３２】
インク供給路１３は、ケース２の高さ方向に貫通するように形成され、先端が後述のインク貯留室１４に連通している。また、インク供給路１３における取付面側の端部は、取付面から突設した接続口１６内に形成されている。
【００３３】
上記の接続基板５は、記録ヘッド１に供給する制御装置（図示せず）からの各種信号用の電気配線が形成されると共に、信号ケーブルを接続可能なコネクタが取り付けられた配線基板である。そして、この接続基板５は、ケース２における取付面上に配置され、フレキシブルケーブル９の電気配線が半田付け等によって接続される。
【００３４】
上記の供給針ユニット６は、インクカートリッジ（図示せず）が接続される部分であり、針ホルダ１８と、インク供給針１９と、フィルタ２０とから概略構成される。
【００３５】
インク供給針１９は、インクカートリッジ内に挿入される部分であり、インクカートリッジ内に貯留されたインクを導入する。このインク供給針１９の先端部は円錐状に尖っており、インクカートリッジ内に挿入し易くなっている。また、この先端部には、インク供給針１９の内外を連通するインク導入孔が複数穿設されている。
【００３６】
針ホルダ１８は、インク供給針１９を取り付けるための部材であり、その表面にはインク供給針１９の根本部分を止着するための台座２１を形成している。この台座２１は、インク供給針１９の底面形状に合わせた円形状に作製されている。また、台座底面の略中心には、針ホルダ１８の板厚方向を貫通するインク排出口２２を形成している。また、この針ホルダ１８には、フランジ部を側方に延出している。
【００３７】
フィルタ２０は、埃や成形時のバリ等のインク内の異物の通過を阻止する部材であり、例えば、目の細かな金属網によって構成される。このフィルタ２０は、台座２１内に形成されたフィルタ保持溝に接着されている。
【００３８】
そして、この供給針ユニット６は、図１に示すように、ケース２の取付面上に配設される。この配設状態において、供給針ユニット６のインク排出口２２とケース２の接続口１６とは、パッキン２３を介して液密状態で連通する。
【００３９】
次に、上記の流路ユニット４について説明する。この流路ユニット４は、圧力発生室形成板３０の一方の面にノズルプレート３１を、圧力発生室形成板３０の他方の面に封止板の１つである弾性板３２を接合した構成である。
【００４０】
圧力発生室形成板３０は、図２および図３に示すように、長手方向に多数平行に列設された溝状窪部３３と、上記各溝状窪部３３に設けられた連通口３４と、インク貯留室１４を形成するための室用空間３５とを形成した金属製の板状部材である。上記室用空間３５は、溝状窪部３３の列設方向に略沿って圧力発生室形成板３０の板厚方向に貫通した状態で設けられ、図２に示すように、溝状窪部３３の列設方向に延びた細長い形状とされている。本実施形態では、この圧力発生室形成板３０を、厚さ０．３５ｍｍのニッケル製の基板を金型で塑性加工をして作製している。
【００４１】
なお、圧力発生室形成板３０に関し、線膨張係数の要件、防錆性の要件、および展性の要件等を満たすならば、ニッケル以外の金属で構成してもよい。
【００４２】
溝状窪部３３は、圧力発生室２９となる溝状の窪部であり、図３に拡大して示すように、直線状の溝によって構成されている。この例では、幅約０．１ｍｍ，長さ約１．５ｍｍ，深さ約０．１ｍｍの溝を溝幅方向に１８０個列設している。この溝状窪部３３の底面は、深さ方向（すなわち、奥側）に進むに連れて縮幅されてＶ字状に窪んでいる。底面をＶ字状に窪ませたのは、隣り合う圧力発生室２９，２９同士を区画する隔壁部２８の剛性を高めるためである。すなわち、底面をＶ字状に窪ませることにより、隔壁部２８の根本部分（底面側の部分）の肉厚が厚くなって隔壁部２８の剛性が高まる。そして、隔壁部２８の剛性が高くなると、隣の圧力発生室２９からの圧力変動の影響を受け難くなる。すなわち、隣の圧力発生室２９からのインク圧力の変動が伝わり難くなる。また、底面をＶ字状に窪ませることにより、溝状窪部３３を塑性加工によって寸法精度よく形成することもできる。そして、このＶ字の角度は、加工条件によって規定されるが、例えば９０度前後である。さらに、隔壁部２８における先端部分の肉厚が極く薄いことから、各圧力発生室２９…を密に形成しても必要な容積を確保することができる。
【００４３】
また、この例における溝状窪部３３に関し、その長手方向両端部は、奥側に進むに連れて内側に下り傾斜している。すなわち、溝状窪部３３の長手方向両端部は、面取形状に形成されている。このように構成したのも、溝状窪部３３を塑性加工によって寸法精度よく形成するためである。
【００４４】
さらに、両端部の溝状窪部３３，３３に隣接させてこの溝状窪部３３よりも幅広なダミー窪部３６を１つずつ形成している。このダミー窪部３６は、インク滴の吐出に関与しないダミー圧力発生室となる溝状の窪部である。本実施形態のダミー窪部３６は、幅約０．２ｍｍ，長さ約１．５ｍｍ，深さ約０．１ｍｍの溝によって構成されている。そして、このダミー窪部３６の底面は、Ｗ字状に窪んでいる。これも、隔壁部２８の剛性を高めるため、および、ダミー窪部３６を塑性加工によって寸法精度よく形成するためである。
【００４５】
そして、各溝状窪部３３…および一対のダミー窪部３６，３６によって溝状窪部の列３３ａが構成される。本実施形態では、この列３３ａを横並びに２列形成している。すなわち、溝状窪部の列３３ａと室用空間３５が組をなして、２組配置されている。
【００４６】
連通口３４は、溝状窪部３３の一端から板厚方向に貫通する貫通孔として形成している。この連通口３４は、溝状窪部３３毎に形成されており、１つの窪部列に１８０個形成されている。本実施形態の連通口３４は、開口形状が矩形状であり、圧力発生室形成板３０における溝状窪部３３側から板厚方向の途中まで形成した第１連通口３７と、溝状窪部３３とは反対側の表面から板厚方向の途中まで形成した第２連通口３８とから構成されている。
【００４７】
そして、第１連通口３７と第２連通口３８とは断面積が異なっており、第２連通口３８の内寸法が第１連通口３７の内寸法よりも僅かに小さく設定されている。これは、連通口３４をプレス加工によって作製していることに起因する。すなわち、この圧力発生室形成板３０は、厚さ０．３５ｍｍのニッケル板を加工することで作製しているため、連通口３４の長さは、溝状窪部３３の深さを差し引いても０．２５ｍｍ以上となる。そして、連通口３４の幅は、溝状窪部３３の溝幅よりも狭くする必要があるので、０．１ｍｍ未満に設定される。このため、連通口３４を１回の加工で打ち抜こうとすると、アスペクト比の関係で雄型（ポンチ）が座屈するなどしてしまう。そこで、この例では、加工を２回に分け、１回目の加工では第１連通口３７を板厚方向の途中まで形成し、２回目の加工で第２連通口３８を形成している。なお、この連通口３４の加工手順については、後で説明する。
【００４８】
また、ダミー窪部３６にはダミー連通口３９が形成されている。このダミー連通口３９は、上記の連通口３４と同様に、第１ダミー連通口４０と第２ダミー連通口４１とから構成されており、第２ダミー連通口４１の内寸法が第１ダミー連通口４０の内寸法よりも小さく設定されている。
【００４９】
なお、上記の連通口３４およびダミー連通口３９に関し、開口形状が矩形状の貫通孔によって構成されたものを例示したが、この形状に限定されるものではない。例えば、円形に開口した貫通孔によって構成してもよい。
【００５０】
次に、上記の弾性板３２について説明する。この弾性板３２は、封止板の一種であり、例えば、支持板４２上に弾性体膜４３を積層した二重構造の複合材（本発明の金属材の一種）によって作製される。本実施形態では、支持板４２としてステンレス板を用い、弾性体膜４３としてＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）を用いている。
【００５１】
図１に示すように、ダイヤフラム部４４は、圧力発生室２９の一部を区画する部分である。すなわち、ダイヤフラム部４４は溝状窪部３３の開口面を封止し、この溝状窪部３３と共に圧力発生室２９を区画形成する。このダイヤフラム部４４は、溝状窪部３３に対応した細長い形状であり、溝状窪部３３を封止する封止領域に対し、各溝状窪部３３…毎に形成されている。具体的には、ダイヤフラム部４４の幅は溝状窪部３３の溝幅と略等しく設定され、ダイヤフラム部４４の長さは溝状窪部３３の長さよりも多少短く設定されている。長さに関し、本実施形態では、溝状窪部３３の長さの約２／３に設定されている。そして、形成位置に関し、図１に示すように、ダイヤフラム部４４の一端を、溝状窪部３３の一端（連通口３４側の端部）に揃えている。
【００５２】
このダイヤフラム部４４は、溝状窪部３３に対応する部分の支持板４２をエッチング等によって環状に除去して弾性体膜４３のみとすることで作製され、この環内には島部４７を形成している。この島部４７は、圧電振動子１０の先端面が接合される部分である。
【００５３】
インク供給口４５は、圧力発生室２９とインク貯留室１４とを連通するための孔であり、弾性板３２の板厚方向を貫通している。このインク供給口４５も、ダイヤフラム部４４と同様に、溝状窪部３３に対応する位置に各溝状窪部３３…毎に形成されている。このインク供給口４５は、図１に示すように、連通口３４とは反対側の溝状窪部３３の他端に対応する位置に穿設されている。また、このインク供給口４５の直径は、溝状窪部３３の溝幅よりも十分に小さく設定されている。本実施形態では、２３ミクロンの微細な貫通孔によって構成している。
【００５４】
なお、弾性板３２を構成する支持板４２及び弾性体膜４３は、この例に限定されるものではない。例えば、弾性体膜４３としてポリイミドを用いてもよい。
【００５５】
次に、上記のノズルプレート３１について説明する。ノズルプレート３１は、ノズル開口４８を列設した金属製の板状部材である。本実施形態ではステンレス板を用い、ドット形成密度に対応したピッチで複数のノズル開口４８…を開設している。本実施形態では、合計１８０個のノズル開口４８…を列設してノズル列を構成し、このノズル列を２列横並びに形成している。そして、このノズルプレート３１を圧力発生室形成板３０の他方の表面、すなわち、弾性板３２とは反対側の表面に接合すると、対応する連通口３４に各ノズル開口４８…が臨む。
【００５６】
そして、上記の弾性板３２を、圧力発生室形成板３０の一方の表面、すなわち、溝状窪部３３の形成面に接合すると、ダイヤフラム部４４が溝状窪部３３の開口面を封止して圧力発生室２９が区画形成される。同様に、ダミー窪部３６の開口面も封止されてダミー圧力発生室が区画形成される。また、上記のノズルプレート３１を圧力発生室形成板３０の他方の表面に接合するとノズル開口４８が対応する連通口３４に臨む。この状態で島部４７に接合した圧電振動子１０を伸縮すると、島部４７周辺の弾性体膜４３が変形し、島部４７が溝状窪部３３側に押されたり、溝状窪部３３側から離隔する方向に引かれたりする。この弾性体膜４３の変形により、圧力発生室２９が膨張したり収縮したりして圧力発生室２９内のインクに圧力変動が付与される。
【００５７】
上記構成の記録ヘッド１は、インク供給針１９からインク貯留室１４までの共通インク流路と、インク貯留室１４から圧力発生室２９を通って各ノズル開口４８…に至る個別インク流路とを有する。そして、インクカートリッジに貯留されたインクは、インク供給針１９から導入されて共通インク流路を通ってインク貯留室１４に貯留される。このインク貯留室１４に貯留されたインクは、個別インク流路を通じてノズル開口４８から吐出される。
【００５８】
例えば、圧電振動子１０を収縮させると、ダイヤフラム部４４が振動子ユニット３側に引っ張られて圧力発生室２９が拡張する。この拡張により圧力発生室２９内が負圧化されるので、インク貯留室１４内のインクがインク供給口４５を通って各圧力発生室２９に流入する。その後、圧電振動子１０を伸張させると、ダイヤフラム部４４が圧力発生室形成板３０側に押されて圧力発生室２９が収縮する。この収縮により、圧力発生室２９内のインク圧力が上昇し、対応するノズル開口４８からインク滴が吐出される。
【００５９】
そして、この記録ヘッド１では、圧力発生室２９（溝状窪部３３）の底面がＶ字状に窪んでいる。このため、隣り合う圧力発生室２９，２９同士を区画する隔壁部２８は、その根本部分の肉厚が先端部分の肉厚よりも厚く形成される。これにより、隔壁部２８の剛性を従来よりも高めることができる。従って、インク滴の吐出時において、圧力発生室２９内にインク圧力の変動が生じたとしても、その圧力変動を隣の圧力発生室２９に伝わり難くすることができる。その結果、所謂隣接クロストークを防止でき、インク滴の吐出を安定化できる。
【００６０】
次に、上記記録ヘッド１の製造方法について説明する。なお、この製造方法では、製造用金型が主として上記圧力発生室形成板３０の塑性加工に使用されるので、上記製造用金型による圧力発生室形成板３０の製造工程を中心に説明する。なお、この圧力発生室形成板３０は、順送り型による鍛造加工によって作製される。また、圧力発生室形成板３０の素材として使用する帯板は、上記したようにニッケル製である。
【００６１】
圧力発生室形成板３０の製造工程は、溝状窪部３３を形成する溝状窪部形成工程と、連通口３４を形成する連通口形成工程等からなり、順送り型の塑性加工プレス装置によって行なわれる。
【００６２】
溝状窪部３３の形成工程では、図４および図５に示す雄型５１と雌型５２とを用いる。この雄型５１は、溝状窪部３３を形成するための金型である。この雄型には、溝状窪部３３を形成するための突条部５３を、溝状窪部３３と同じ数だけ列設してある。突条部５３の先端部分５３ａは先細りした山形とされており、例えば図５に示すように、幅方向の中心から４５度程度の角度で面取りされている。すなわち、突条部５３の先端に形成した山形の斜面により楔状の先端部分５３ａが形成されている。これにより、長手方向から見てＶ字状に尖っている。
【００６３】
また、雌型５２には、その上面に筋状突起５４が複数形成されている。この筋状突起５４は、隣り合う圧力発生室２９，２９同士を区画する隔壁部２８の形成に不可欠なものであり、上記突条部５３と対向した箇所に位置する。
【００６４】
そして、溝状窪部３３の形成工程では、まず、図４に示すように、雌型５２の上面に素材であるとともに圧力発生室形成板３０である帯板５５を載置し、帯板５５の上方に雄型５１を配置する。次に、図５に示すように、雄型５１を下降させて突条部５３の先端部を帯板５５内に押し込む。このとき、突条部５３の先端部分５３ａをＶ字状に尖らせているので、突条部５３を座屈させることなく先端部分５３ａを帯板５５内に確実に押し込むことができる。
【００６５】
突条部５３の押し込みにより、帯板５５の一部分が流動し、溝状窪部３３が形成される。ここで、突条部５３の先端部分５３ａがＶ字状に尖っているので、微細な形状の溝状窪部３３であっても、高い寸法精度で作製することができる。すなわち、先端部分５３ａで押された部分が円滑に流れるので、形成される溝状窪部３３は突条部５３の形状に倣った形状に形成される。このときに、先端部分５３ａで押し分けられるようにして流動した素材５５は、突条部５３のあいだに設けられた空隙部５３ｂ内に流入し隔壁部２８が成形される。
【００６６】
また、突条部５３で押圧されたことにより、帯板５５の一部は隣り合う突条部５３，５３の空間内すなわち空隙部５３ｂ内に隆起する。ここで、突条部５３と筋状突起５４は上記のように対向した位置関係とされているので、突条部５３と筋状突起５４との間の素材５５が最も多く加圧され、それによりこの加圧された部分の素材５５の塑性流動が空隙部５３ｂに向って積極的に行なわれ、突条部５３間の空間（空隙部５３ｂ）に対して効率よく素材の塑性流動がなされて、隔壁部２８を高く形成できる。
【００６７】
つぎに、本発明にかかる液体噴射ヘッドの製造用金型の製造方法を、図６〜図１２にしたがって説明する。なお、インク噴射ヘッドの製造用金型としては種々な形状のものが採用されているが、ここでは図４および図５に示された溝状窪部３３を成形するための雄型５１であり、この雄型５１を事例にして以下のとおり説明する。
【００６８】
素材ブロック５６は、図６に示すように、略直方体の形状とされ、縦方向の寸法は３０ｍｍ，横方向の寸法は１００ｍｍ，高さ方向の寸法は３０ｍｍである。上記縦，横，高さの各方向は、図９に示すように、切出された２連の製造用金型５７の縦，横，高さの各方向と対応している。上記素材ブロック５６は、金属粉末を熱間等圧加圧焼結（ＨＩＰ焼結）することによってえられたインゴットを所定寸法に切断することにより形成されている。なお、図７では、インゴットから切出された大きな親素材ブロック５８からさらに３本の素材ブロック５６に分断した状態を示している。
【００６９】
図９に示した形状の上記２連の製造用金型５７は、後述の切出し工程によって切出された後、分割線６０に沿って切断して図４に示した雄型５１が２つセットになってえられるようになっている。なお、以下、雄型５１を「製造用金型５１」と表現する。
【００７０】
上記２連の製造用金型５７の切出し工程は、素材ブロック５６の上面５６ａと下面５６ｂに対して、２連の製造用金型５７の上面５７ａと５７ｂをそれぞれ対応させて、図８に示すように、放電加工によって行なわれる。同図の６１は、同図の紙面に垂直な方向に貫通している放電加工のワイヤー線を挿入する挿入穴であり、ワイヤー線を移動させて２連の製造用金型５７の外形線に沿って素材ブロック５６が切断される。上記外形線に沿って素材ブロック５６が切断されることにより、各製造用金型５１の二股部６２および分割スリット６３が形成される。そして、上記切出し工程後に、上面５７ａ，下面５７ｂ側にある余剰の素材が研削等で除去される。上記各二股部６２の先端面６４に、図４および図５に示した突条部５３や空隙部５３ｂ等を別の工程で成形して加工成形部５３，５３ｂが構成されている。なお、上記製造用金型５１の各先端面６４は、１仮想平面上に存在している。また、突条部５３と空隙部５３ｂは、加工成形機能を果たすので、加工成形部には同様の符合５３，５３ｂが付してある。
【００７１】
上記素材ブロック５６は平坦な端面６５を備えており、上記加工成形部５３，５３ｂが形成される製造用金型５１の先端面６４と上記端面６５との距離が、図８に示すように、略均一になっている。上記加工成形部５３，５３ｂが形成される先端面６４がならんで位置する加工成形部材料６６が、図８の紙面に垂直な方向でしかも上記端面６５に沿って配置されている。上記加工成形部材料６６すなわち加工成形部５３，５３ｂは、上記端面６５の近傍に沿った状態で配置されている。
【００７２】
上記加工成形部５３，５３ｂにより、図４に示した多数の溝状窪部３３が列設した溝状窪部の列３３ａを２列平行に成形する。したがって、加工成形部５３，５３ｂが成形される先端面６４は細長い形状とされ、図９および図１０に示すように、各先端面６４はその長手方向が素材ブロック５６の高さ方向に一致させてある。各先端面６４は上記のような向きで略一仮想平面上に位置させてあり、この一仮想平面が上記加工成形部材料６６の素材領域に存在している。そして、上記のように、この加工成形部材料６６の素材領域が素材ブロック５６の端面６５の近傍に配置されている。
【００７３】
各２連の製造用金型５７は、図８および図１０に示すように、複数個のものが１列にならんだ状態で１つの素材ブロック５６から１列だけ切出されるようになっている。
【００７４】
素材ブロック５６の高さ方向の寸法を最小限にして、図１１に示すように、素材ブロック５６の外表面である上面５６ａと下面５６ｂによって、２連の製造用金型５７の上面５７ａと下面５７ｂを形成することができる。上記上面５７ａと下面５７ｂは、製造用金型５１の縦方向線と横方向線（素材ブロック５６の縦方向，横方向と同じである）によって形成される製造用金型５１の外表面である。
【００７５】
上記素材ブロック５６の金属材料の成形およびそれに対する焼入れ・焼戻し等の調質について、以下のとおり説明する。
【００７６】
素材ブロック５６は、金属粉末を熱間等圧加圧焼結（ＨＩＰ焼結）の手法で固化したもので、金属粉末としては特殊鋼である高速度工具鋼を窒化したものを使用した。上記金属粉末は、株式会社神戸製鋼所製のＫＨＡ３０Ｎ窒化粉末ハイス鋼であり、その化学成分（重量％）は、Ｃ：０．９７％，Ｃｒ：４．０４％，Ｍｏ：６．２１％，Ｗ：６．３５％，Ｖ：３．５８％，Ｃｏ：５．１２％，Ｎ：０．６２％，残部Ｆｅである。上記窒化粉末ハイス鋼を全域にわたって等圧で加圧するのと同時に加熱焼結してインゴットをつくり、それを切断して縦３０ｍｍ，横１００ｍｍ，高さ３０ｍｍの細長い素材ブロック５６をえた。
【００７７】
上記素材ブロック５６の焼入れは真空焼入れによって行なわれ、素材ブロック５６を真空中で１１８０℃で３分間保持後空冷し、それに引続いて液体窒素に浸漬してサブゼロ処理（深冷処理）を１回行なって残留オーステナイトの減少を図った。その後、５４０℃で１．５時間保持して冷却する焼戻しサイクルを３回行なった。このようにしてえられた素材ブロック５６から図８に示すように、５個の製造用金型５１を放電加工により切出し、さらに、放電加工によって加工成形部５３，５３ｂを成形した。なお、量産性が要求されない場合には、上記真空焼入れに代えてソルトバス焼入れ（油冷）を行なってもよい。
【００７８】
比較例１として、上記実施例に対して素材ブロックの寸法だけを、縦方向の寸法は１５０ｍｍ，横方向の寸法は１５０ｍｍ，高さ方向の寸法は３０ｍｍに変更して、製造用金型５１を５列にわたって切出し、加工成形部５３，５３ｂを成形した。また、比較例２として、上記実施例に対して素材ブロックの寸法だけを、縦方向の寸法は１００ｍｍ，横方向の寸法は１００ｍｍ，高さ方向の寸法は３０ｍｍに変更して、製造用金型５１を３列にわたって切出し、加工成形部５３，５３ｂを成形した。
【００７９】
本発明の上記実施例においては、製造用金型５１で素材５５（圧力発生室形成板３０）に対して加圧成形を行ない、１７４７回の加圧成形で正常な形状と精度を有する上記溝状窪部３３や隔壁部２８等の成形を行なうことができた。それに対し比較例１では９６６回，比較例２では９５９回であり、上記実施例は加圧回数が約１．８倍に改善されている。
【００８０】
図１３に示すように、上記実施例から採取したテストピースＮｏ１，２，３の各５箇所の硬さは、ＨＲＣ６４．５〜６５．３の範囲内に分布し、製造用金型５１の硬度として良好な値である。また、図１４に示すように、残留オーステナイト量（γ−Ｆｅ）は、Ｖｏｌ％で高いものでも１．７％であり、マルテンサイト量（α−Ｆｅ）が主たる組織を形成していることが認められる。また、炭化物Ｍ６ＣとＭＣは、微細な球状の炭化物形状を呈しており、硬度向上に有効なものとなっている。
【００８１】
なお、図１２に示されている焼入れおよび焼戻し温度（℃）と硬さ（ＨＲＣ）の関係図では、高い焼戻し硬度がえられる焼戻し温度５２０〜５４０℃の場合、焼入れ温度１１９０℃以上において最も高い硬度がえられているが、このような硬度レベルでは抗折力が低下する傾向があるので、上記実施例では焼入れ温度として１１８０℃を採用し、抗折力の低下を回避している。
【００８２】
上記実施例において、図１２に示すように、焼入れ温度は１１３０〜１１８０℃の範囲内に設定し、焼戻し温度を５２０〜５８０℃の範囲内に設定しても、上記加圧成形回数（１７４７回）に近い数値がえられる。
【００８３】
上記実施例のように調質においてサブゼロ処理を行なうことにより、残留オーステナイトのマルテンサイトへの変態が促進されるので、時効にともなう残留オーステナイトのマルテンサイト化がほとんど発生することなく、それに伴う素材の膨張が防止でき、溝状窪部３３のような精密塑性加工にとって加工寸法の経時変化がほとんどない最良の製造用金型がえられる。
【００８４】
上記実施の形態により、次のような効果がえられる。
【００８５】
上記素材ブロック５６において各加工成形部５３，５３ｂの冷却速度を可及的に均一化した調質を施すことが可能となり、金属組織のムラを実質的に問題のないレベルにすることができ、金型耐久性等の向上に最も適した金属組織を各加工成形部５３，５３ｂに均一に分布させることができる。したがって、素材ブロック５６から切出された製造用金型５１は、各加工成形部５３，５３ｂに課される塑性加工時の物理的負荷に対して十分な耐久性を確保できるものとなる。
【００８６】
上記各加工成形部５３，５３ｂが上記端面６５の近傍に沿った状態で素材ブロック５６から複数の製造用金型５１を切出すものであることから、上記端面６５の近くで速い冷却速度で調質された素材部分が、マルテンサイト組織のように、より硬質な素材状態になり、このような箇所が各加工成形部５３，５３ｂに充当されることとなる。したがって、塑性加工時の物理的負荷が最も高い箇所を最も強靭に形成することができる。
【００８７】
上記素材ブロック５６中に上記各加工成形部５３，５３ｂがならんで位置する加工成形部材料６６が、上記端面６５に略沿って存在しているとともに、素材ブロック５６をあらかじめ調質することにより上記加工成形部５３，５３ｂの機能に適した金属組織とされる。このため、上記端面６５に沿って存在している加工成形部材料６６が調質によって強化されているので、加工成形部材料６６が均一で高い強度の材料領域となる。このような性質の材料領域によって構成された加工成形部５３，５３ｂの金属組織が、塑性加工時に最も強靭な特性を発揮し製造用金型５１の耐久性を著しく向上させることが実現できる。
【００８８】
上記製造用金型５１における各加工成形部５３，５３ｂの縦横方向のならびが１列であることから、全域にわたって略均一な金属組織とされた素材ブロック５６から１列に製造用金型５１を切出すので、製造用金型５１の金属組織状態がムラの少ない良好なものとなり、加工成形部５３，５３ｂを最良の組織状態で形成できる。
【００８９】
上記製造用金型５１の上記縦方向線と上記横方向線によって形成される上面５７ａと下面５７ｂを、素材ブロック５６の上面５６ａと下面５６ｂで形成することにより、製造用金型５１を切出すのと同時に製造用金型５１の上面５７ａと下面５７ｂが素材ブロック５６の上面５６ａと下面５６ｂと共通の状態でえられることから、製造用金型５１の外形仕上げ加工を省略することができ、また、上記外形仕上げ加工を行なう場合であっても、僅かな仕上げ代で済み、素材のムダや加工工数の低減にとって有効である。また、素材ブロックの高さ方向には１つの金型しか切出せないことから、切出された金型間の組織ムラが少なく、均一な機械的特性がえられる。
【００９０】
上記素材ブロックが、金属粉末を熱間等圧加圧焼結で形成されているので、金属粉末を全域にわたって等圧で加圧するのと同時に加熱焼結を行なうものであるから、上記素材ブロック５６は均一な高密度状態で固化され、強靭な上記製造用金型５１の製造にとって効果的である。また、このようにしてえられた素材ブロック５６は組織が緻密で均一であるため加工成形部５３，５３ｂの強度の均一性が確保でき、インク噴射ヘッドの圧力発生室２９のような極めて微細な塑性加工において有利である。
【００９１】
上記金属粉末は、窒化された特殊鋼であることから、窒化された特殊鋼の金属粉末で素材ブロック５６全体が構成され、素材ブロック５６および製造用金型５１の状態において窒素濃度の勾配が実質的に存在せず均一な機械的特性を発揮する。したがって、インク噴射ヘッドの圧力発生室２９のような極めて微細な塑性加工において加工成形部５３，５３ｂの強度の均一性が確保でき、有利である。
【００９２】
上記金属粉末は、窒化高速度工具鋼であることから、焼付きが生じにくく耐チッピング性にすぐれた窒化高速度工具鋼の強度や耐磨耗性等の利点がさらに付加され、製造用金型５１の耐久性等はさらに向上し、早期の内に加工成形部５３，５３ｂに磨耗やクラック等が発生して、インク噴射ヘッドの加工形状の精度を低下させたり、金型の早期交換をするようなことが回避できる。
【００９３】
上記素材ブロック５６中における少なくとも加工成形部材料６６の主たる金属組織はマルテンサイトであり、残留オーステナイト量は、容積比で２％以下とされている。このため、焼入れ時の冷却速度を略全域にわたって均一化できる素材ブロック５６によって、上記加工成形部材料６６の金属組織を主としてマルテンサイト組織とすることができ、それと同時に残留オーステナイト量を容積比で２％以下とすることができる。したがって、製造用金型５１の使用耐久性を著しく向上させることができる。
【００９４】
上記素材ブロック５６において各加工成形部５３，５３ｂの冷却速度を可及的に均一化した調質を施すことが可能となり、金属組織のムラを実質的に問題のないレベルにすることができ、金型耐久性等の向上に最も適した金属組織を各加工成形部５３，５３ｂに均一に分布させることができる。したがって、素材ブロック５６から切出された製造用金型５１は、各加工成形部５３，５３ｂに課される塑性加工時の物理的負荷に対して十分な耐久性を確保できるものとなる。
【００９５】
上記各実施の形態は、インクジェット式記録装置を対象にしたものであるが、本発明による金型を用いた製造の対象となる液体噴射ヘッドは、インクジェット式記録装置用のインクだけを対象にするのではなく、グルー，マニキュア，導電性液体（液体金属）等を噴射することができる。さらに、上記実施の形態では、液体の一つであるインクを用いたインクジェット式記録ヘッドについて説明したが、プリンタ等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド，液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド，有機ＥＬディスプレー，ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド，バイオチップ製造に用いられる生体有機噴射ヘッド等の液体を吐出する液体噴射ヘッド全般に適用することも可能である。
【００９６】
【発明の効果】
以上のように、本発明の液体噴射ヘッドの製造用金型の製造方法およびその素材ブロックによれば、上記素材ブロックにおいて各加工成形部の冷却速度を可及的に均一化した調質を施すことが可能となり、金属組織のムラを実質的に問題のないレベルにすることができ、金型耐久性等の向上に最も適した金属組織を各加工成形部に均一に分布させることができる。したがって、素材ブロックから切出された金型は、各加工成形部に課される塑性加工時の物理的負荷に対して十分な耐久性を確保できるものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】インクジェット式記録ヘッドの断面図である。
【図２】圧力発生室形成板の平面図である。
【図３】圧力発生室形成板の説明図であり、（ａ）は図２におけるＸ部分の拡大図、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ断面図、（ｃ）は（ａ）におけるＢ−Ｂ断面図である。
【図４】金型と素材との関係を示す斜視図である。
【図５】圧力発生室形成板が加圧成形されている状態を示す断面図である。
【図６】素材ブロックの斜視図である。
【図７】親素材ブロックの斜視図である。
【図８】２連の製造用金型を切出す状態を示す平面図である。
【図９】切出された２連の製造用金型を示す斜視図である。
【図１０】素材ブロックから製造用金型を１列どりをする場合の斜視図である。
【図１１】素材ブロックと製造用金型との位置関係を示す断面図である。
【図１２】焼戻し温度と硬さとの関係を示す線図である。
【図１３】硬さの測定結果を示す表である。
【図１４】残留オーステナイト量の測定結果を示す表である。
【符号の説明】
１      インクジェット式記録ヘッド
２      ケース
３      振動子ユニット
４      流路ユニット
５      接続基板
６      供給針ユニット
７      圧電振動子群
８      固定板
９      フレキシブルケーブル
１０      圧電振動子
１１      制御用ＩＣ
１２      収納空部
１３      インク供給路
１４      インク貯留室
１６      接続口
１８      針ホルダ
１９      インク供給針
２０      フィルタ
２１      台座
２２      インク排出口
２３      パッキン
２８      隔壁部
２９      圧力発生室
３０      圧力発生室形成板
３１      ノズルプレート
３２      弾性板，封止板
３３      溝状窪部
３３ａ    溝状窪部の列
３４      連通口
３５      室用空間
３６      ダミー窪部
３７      第１連通口
３８      第２連通口
３９      ダミー連通口
４０      第１ダミー連通口
４１      第２ダミー連通口
４２      支持板
４３      弾性体膜
４４      ダイヤフラム部
４５      インク供給口
４７      島部
４８      ノズル開口
５１      雄型，製造用金型
５２      雌型
５３      突条部
５３ａ    先端部分
５３ｂ    空隙部
５４      筋状突起
５５      帯板，素材，（圧力発生室形成板）
５６      素材ブロック
５６ａ    上面
５６ｂ    下面
５７      ２連の製造用金型
５７ａ    上面
５７ｂ    下面
５８      親素材ブロック
６０      分割線
６１      挿入穴
６２      二股部
６３      分割スリット
６４      先端面
６５      端面
６６      加工成形部材料
【図１】
2005023388.tif 000003
【図２】
2005023388.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2005023388.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
2005023388.tif 000014
【図１３】
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【図１４】
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