(57)【要約】【課題】  液晶等の液状物質を滴下ノズルから吐出するに際し、液状物質の吐出条件の変更にかかわらず、ノズル先端への液状物質の付着を確実に防止し、安定した滴下量を得ること。【解決手段】  先端部が液状物質吐出用の内管２３Ａと圧縮気体吹出用の外管２３Ｂからなる二重管構造をなし、内管２３Ａから液状物質を吐出した際に、外管２３Ｂから圧縮気体を吹出し可能にする滴下ノズル２３を用いる液状物質の滴下方法において、内管２３Ａからの液状物質吐出条件に応じて、外管２３Ｂから吹出す圧縮気体の吹出動作時間及び／又は圧力を変化させるもの。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
先端部が液状物質吐出用の内管と圧縮気体吹出用の外管からなる二重管構造をなし、内管から液状物質を吐出した際に、外管から圧縮気体を吹出し可能にする滴下ノズルを用いる液状物質の滴下方法において、
内管からの液状物質吐出条件に応じて、外管から吹出す圧縮気体の吹出動作時間及び／又は圧力を変化させることを特徴とする液状物質の滴下方法。
【請求項２】
前記圧縮気体の吹出動作時間及び／又は圧力を、液状物質の吐出量に応じて制御する請求項１に記載の液状物質の滴下方法。
【請求項３】
前記圧縮気体の吹出動作時間及び／又は圧力を、液状物質の吐出流速に応じて制御する請求項１に記載の液状物質の滴下方法。
【請求項４】
前記圧縮気体の吹出動作時間及び／又は圧力を、液状物質の粘度に応じて制御する請求項１に記載の液状物質の滴下方法。
【請求項５】
前記圧縮気体の吹出開始タイミングを液状物質の吐出後にする請求項１に記載の液状物質の滴下方法。
【請求項６】
前記圧縮気体の吹出開始タイミングを液状物質の吐出前にする請求項１に記載の液状物質の滴下方法。
【請求項７】
先端部が液状物質吐出用の内管と圧縮気体吹出用の外管からなる二重管構造をなし、内管から液状物質を吐出した際に、外管から圧縮気体を吹出し可能にする滴下ノズルを用いる液状物質の滴下装置において、
内管からの液状物質吐出条件に応じて、外管から吹出す圧縮気体の吹出動作時間及び／又は圧力を変化させる制御手段を有してなることを特徴とする液状物質の滴下装置。
【請求項８】
前記制御手段が、前記圧縮気体の吹出動作時間及び／又は圧力を、液状物質の吐出量に応じて制御可能にする請求項７に記載の液状物質の滴下装置。
【請求項９】
前記制御手段が、前記圧縮気体の吹出動作時間及び／又は圧力を、液状物質の吐出流速に応じて制御可能にする請求項７に記載の液状物質の滴下装置。
【請求項１０】
前記制御手段が、前記圧縮気体の吹出動作時間及び／又は圧力を、液状物質の粘度に応じて制御可能にする請求項７に記載の液状物質の滴下装置。
【請求項１１】
前記制御手段が、前記圧縮気体の吹出開始タイミングを液状物質の吐出後にする請求項７に記載の液状物質の滴下装置。
【請求項１２】
前記制御手段が、前記圧縮気体の吹出開始タイミングを液状物質の吐出前にする請求項７に記載の液状物質の滴下装置。
【請求項１３】
前記外管は、先端部の形状が、先端に向かうにつれて前記内管先端に向かって傾斜した先細り形状に形成される請求項７に記載の液状物質の滴下装置。
【請求項１４】
液状物質吐出用のノズルから液状物質を吐出した際に、前記ノズルの先端に向けて圧縮気体を吹出す液状物質の滴下装置において、
前記ノズルからの液状物質吐出条件に応じて、前記圧縮気体の吹出動作時間及び／又は圧力を変化させる制御手段を有してなることを特徴とする液状物質の滴下装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶等の液状物質の滴下方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶の滴下方法として、先端部が液晶吐出用の内管と圧縮気体吹出用の外管からなる二重管構造をなし、内管から液晶を吐出した際に、外管から圧縮気体を吹出可能にする滴下ノズルを用いるものがある。液晶を吐出した内管の先端を圧縮気体でブローすることにより、液晶がノズル先端に付着するのを防止し、液晶の付着による滴下量のばらつきを防止しようとするものである。
【特許文献１】特開2001-272640
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
特許文献１の液晶の滴下方法は、液晶の吐出中に、単に外管から圧縮気体を吹出すものであるため、液晶の吐出条件の変更により、液晶の吐出量、吐出流速が変わったり、液晶の品種（粘度）が変わると、液晶がノズル先端から除去されずに残ることがある。
【０００４】
本発明の課題は、液晶等の液状物質を滴下ノズルから吐出するに際し、液状物質の吐出条件の変更や液晶の粘度の変更にかかわらず、ノズル先端への液状物質の付着を確実に防止し、安定した滴下量を得ることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１の発明は、先端部が液状物質吐出用の内管と圧縮気体吹出用の外管からなる二重管構造をなし、内管から液状物質を吐出した際に、外管から圧縮気体を吹出し可能にする滴下ノズルを用いる液状物質の滴下方法において、内管からの液状物質吐出条件に応じて、外管から吹出す圧縮気体の吹出動作時間及び／又は圧力を変化させるようにしたものである。
【０００６】
請求項２の発明は、請求項１の発明において更に、前記圧縮気体の吹出動作時間及び／又は圧力を、液状物質の吐出量に応じて制御するようにしたものである。
【０００７】
請求項３の発明は、請求項１の発明において更に、前記圧縮気体の吹出動作時間及び／又は圧力を、液状物質の吐出流速に応じて制御するようにしたものである。
【０００８】
請求項４の発明は、請求項１の発明において更に、前記圧縮気体の吹出動作時間及び／又は圧力を、液状物質の粘度に応じて制御するようにしたものである。
【０００９】
請求項５の発明は、請求項１の発明において更に、前記圧縮気体の吹出開始タイミングを液状物質の吐出後にするようにしたものである。
【００１０】
請求項６の発明は、請求項１の発明において更に、前記圧縮気体の吹出開始タイミングを液状物質の吐出前にするようにしたものである。
【００１１】
請求項７の発明は、先端部が液状物質吐出用の内管と圧縮気体吹出用の外管からなる二重管構造をなし、内管から液状物質を吐出した際に、外管から圧縮気体を吹出し可能にする滴下ノズルを用いる液状物質の滴下装置において、内管からの液状物質吐出条件に応じて、外管から吹出す圧縮気体の吹出動作時間及び／又は圧力を変化させる制御手段を有してなるようにしたものである。
【００１２】
請求項８の発明は、請求項７の発明において更に、前記制御手段が、前記圧縮気体の吹出動作時間及び／又は圧力を、液状物質の吐出量に応じて制御可能にしたものである。
【００１３】
請求項９の発明は、請求項７の発明において更に、前記制御手段が、前記圧縮気体の吹出動作時間及び／又は圧力を、液状物質の吐出流速に応じて制御可能にしたものである。
【００１４】
請求項１０の発明は、請求項７の発明において更に、前記制御手段が、前記圧縮気体の吹出動作時間及び／又は圧力を、液状物質の粘度に応じて制御可能にしたものである。
【００１５】
請求項１１の発明は、請求項７の発明において更に、前記制御手段が、前記圧縮気体の吹出開始タイミングを液状物質の吐出後にするようにしたものである。
【００１６】
請求項１２の発明は、請求項７の発明において更に、前記制御手段が、前記圧縮気体の吹出開始タイミングを液状物質の吐出前にするようにしたものである。
【００１７】
請求項１３の発明は、請求項７の発明において更に、前記外管は、先端部の形状が、先端に向かうにつれて前記内管先端に向かって傾斜した先細り形状に形成されるようにしたものである。
【００１８】
請求項１４の発明は、液状物質吐出用のノズルから液状物質を吐出した際に、前記ノズルの先端に向けて圧縮気体を吹出す液状物質の滴下装置において、前記ノズルからの液状物質吐出条件に応じて、前記圧縮気体の吹出動作時間及び／又は圧力を変化させる制御手段を有してなるようにしたものである。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、液晶等の液状物質を滴下ノズルから吐出するに際し、液状物質の吐出条件の変更や液晶の粘度の変更にかかわらず、ノズル先端への液状物質の付着を確実に防止し、安定した滴下量を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
図１は液晶滴下装置を示す斜視図、図２は滴下ヘッドの制御系統図、図３は図２の要部拡大図、図４はコントローラの制御例（液晶吐出動作と圧縮気体吹出動作のタイミング）を示す線図、図５はコントローラの制御例（液晶吐出動作と圧縮気体吹出動作のタイミング）を示す線図、図６はコントローラの制御例（液晶吐出動作と圧縮気体吹出動作のタイミング）を示す線図、図７はコントローラの制御例（液晶吐出動作と圧縮気体吹出動作のタイミング）を示す線図である。
【実施例】
【００２１】
液晶滴下装置１０は、液晶基板１に所望のパターンで液晶Ｌを滴下するものであり、図１に示す如く、架台１１上に設けられたＸＹθステージ１２の上にテーブル１３を設け、架台１１の上にテーブル１３をまたぐように設けられた門形のフレーム１４にＺステージ１５を介して、滴下ヘッド２０を保持する。
【００２２】
ＸＹθステージ１２は不図示の駆動モータにより駆動し、テーブル１３を架台１１に対しＸ方向（左右方向）とＹ方向（前後方向）に移動させるとともに、θ方向（水平面内での回転方向）に回転移動させる。
【００２３】
滴下ヘッド２０は、図２に示す如く、液晶Ｌを収容するシリンジ２１と、シリンジ２１内でピストン２１Ａを移動させる精密送りアクチュエータ２２と、滴下ノズル２３を有する。滴下ノズル２３は、先端部が内管２３Ａと外管２３Ｂからなる二重管構造をなし、内管２３Ａはシリンジ２１に連通して液晶Ｌを吐出可能にし、外管２３Ｂは開閉弁２４を介して圧縮気体源に連通し、Ｎ２ガス等の不活性ガスを吐出可能にする。
【００２４】
滴下ヘッド２０は、制御手段としてのコントローラ３０によって制御される。コントローラ３０は、アクチュエータ２２と開閉弁２４を制御し、内管２３Ａから基板１上に液晶Ｌを設定された吐出条件（液晶Ｌの吐出量、吐出流速、品種（粘度等）等）で吐出した際に、外管２３Ｂから圧縮気体を吹出し、内管２３Ａの先端を圧縮気体でブローする。即ち、コントローラ３０は、キーボードやタッチパネル等の入力器３１と、入力器３１から入力された吐出条件等を記憶する記憶部３２とに接続されており、入力器３１から入力されて記憶部３２に記憶された吐出条件に基づいて液晶Ｌの吐出及び圧縮気体の吹出しを制御する。これにより、図３に示す如く、液晶Ｌが滴下ノズル２３の先端に付着するのを防止し、滴下ノズル２３の先端への液晶Ｌの付着による滴下量のばらつきを防止する。
【００２５】
従って、液晶滴下装置１０による基板１への液晶滴下方法は以下の如くになされる。
【００２６】
(1)基板１をテーブル１３に載置し、不図示の保持手段によりテーブル１３上に保持する。
【００２７】
(2)Ｚステージ１５を移動させ、滴下ノズル２３の先端を基板１に対して所定の高さ（液晶Ｌの吐出高さ）に位置付ける。
【００２８】
(3)ＸＹθステージ１２により基板１を移動させながら、滴下ノズル２３から液晶Ｌを吐出し、基板１上に所定のパターンで液晶Ｌを滴下する。
【００２９】
しかるに、液晶滴下装置１０は、液晶Ｌの吐出条件や液晶の品種（粘度）の変更に係らず、滴下ノズル２３の先端への液晶Ｌの付着を確実に防止し、基板１の上に安定した液晶Ｌの滴下量を得るため、以下の構成を具備する。
【００３０】
コントローラ３０は、滴下ノズル２３の内管２３Ａからの液晶Ｌの吐出条件や吐出する液晶Ｌの品種（粘度）に応じて、下記(A)〜(E)の如くに、外管２３Ｂから吹出す圧縮気体の吹出動作時間（吹出開始タイミングと吹出終了タイミングを含む）及び／又は圧縮気体の圧力（吹出圧力）を制御する。
【００３１】
(A)圧縮気体の吹出動作時間及び／又は圧力を、液晶Ｌの吐出量に応じて制御する。例えば、図４の如くである。
【００３２】
図４（Ａ）は、液晶Ｌの吐出量（容積又は質量）が少ない場合であり、滴下ノズル２３の先端への液晶Ｌの付着量が少なくなる傾向が予想されるから、圧縮気体の吹出動作時間を短くすることにより、液晶Ｌの付着を防止する。
【００３３】
図４（Ｂ）は、液晶Ｌの吐出量が多い場合であり、滴下ノズル２３の先端への液晶Ｌの付着量が多くなる傾向が予想されるから、圧縮気体の吹出動作時間を長くすることにより、液晶Ｌの付着を防止する。
【００３４】
即ち、図４は、同一の滴下ノズル２３を用いて、液晶Ｌの吐出時間をｔ１と、ｔ１よりも長いｔ２とに切り替えることで液晶Ｌの吐出量を増減させる例であり、圧縮気体を液晶Ｌの吐出開始タイミングから吐出終了タイミングにわたって吹出し動作する。
【００３５】
これにより、液晶Ｌが滴下ノズル２３から吐出されている期間中、外管２３Ｂから吹出された圧縮気体が継続的に滴下ノズル２３の先端に吹き付けられる。このため、液晶Ｌの吐出時間が短い図４（Ａ）の場合であっても、図４（Ａ）に比べて液晶Ｌの吐出時間が長く滴下ノズル２３の先端に液晶Ｌが付着する機会が多い図４（Ｂ）の場合であっても、吐出された液晶Ｌが滴下ノズル２３の先喘に付着することを防止することができる。
【００３６】
（B）圧縮気体の吹出動作時間及び／又は圧力を、液晶Ｌの吐出流速に応じて制御する。
【００３７】
液晶Ｌの吐出流速が速いときには、液晶Ｌが基板１からはね返って周辺に飛散するおそれがあるから、吐出流速を一定以下に抑えることが好ましい。しかしながら、液晶Ｌの吐出流速が遅くなると、滴下ノズル２３の先端への液晶Ｌの付着量が多くなる傾向が予想されるから、圧縮気体の吹出動作時間を長く、及び／又は圧縮気体の圧力を高くすることにより、液晶Ｌの付着を防止する。
【００３８】
この場合、液晶Ｌの吐出終了タイミング後における圧縮気体の吹出動作を継続する時間長を、液晶Ｌの吐出流速が遅くなるほど長くすることが好ましい。例えば、液晶Ｌの吐出流速がｖ１のとき、圧縮気体の吹出動作を液晶Ｌの吐出動作と同じタイミンクで行ない、液晶Ｌの吐出速度がｖ１よりも遅いｖ２のとき、圧縮気体の吹出動作を液晶Ｌの吐出動作と同じタイミングで開始し液晶Ｌの吐出終了タイミング後も所定時間継続した後終了させるようにする。
【００３９】
また、圧縮気体の圧力は、液晶Ｌの吐出流速が遅くなるほど増加させることが好ましい。
【００４０】
(C)圧縮気体の吹出動作時間及び／又は圧力を、液晶Ｌの品種（粘度）に応じて制御する。例えば、図５の如くである。
【００４１】
図５（Ａ）は、液晶Ｌの粘度が低い場合であり、滴下ノズル２３の先端への液晶Ｌの付着量が少なくなる傾向が予想されるから、圧縮気体の吹出動作時間を液晶Ｌの吐出開始タイミングから吐出終了タイミング後時間ｔ３を経過するまでとする。
【００４２】
図５（Ｂ）は、液晶Ｌの粘度が高い場合であり、滴下ノズル２３の先端への液晶Ｌの付着量が多くなる傾向が予想されるから、圧縮気体の吹出動作時間を液晶Ｌの吐出開始タイミングから吐出終了タイミングを図５（Ａ）による時間ｔ３よりも長い時間ｔ４を経過するまでとする。
【００４３】
このように、液晶Ｌの粘度が高い場合には、液晶Ｌの粘度が低い場合に比べて、液晶Ｌの吐出終了タイミング後における圧縮気体の吹出動作時間の継続時間を増加させるので、粘度が高く滴下ノズル２３の先端に付着しやすい傾向の液晶Ｌであっても滴下ノズル２３の先端に付着することが防止できる。
【００４４】
(D)圧縮気体の吹出開始タイミングを液晶Ｌの吐出後（吐出終了タイミング後）にする。例えば、図６の如くである。
【００４５】
図６（Ａ）は、所定圧力の圧縮気体を、液晶Ｌの吐出動作と同じタイミングで吹出動作することで、滴下ノズル２３の先端への液晶Ｌの付着が防止できた場合の制御例を示す。この図６（Ａ）を基準として図６（Ｂ）、図６（Ｃ）について説明する。
【００４６】
図６（Ｂ）は、滴下ノズル２３の先端への液晶Ｌの付着量が図６（Ａ）の場合よりやや少なくなる傾向が予想される吐出条件の場合であり、液晶Ｌの吐出後に圧縮気体を吹出開始し、一定時間だけ吐出動作することにより、液晶Ｌの付着を防止する。
【００４７】
図６（Ｃ）は、滴下ノズル２３の先端への液晶Ｌの付着量が図６（Ｂ）の場合より更に少なくなる傾向が予想される吐出条件の場合であり、液晶Ｌの数回の吐出後に１回だけ圧縮気体を吹出開始し、一定時間だけ吹出動作することにより、液晶Ｌの付着を防止する。
【００４８】
（E）圧縮気体の吹出開始タイミングを液晶Ｌの吐出前（吐出開始タイミング前）にする。例えば、図７の如くである。
【００４９】
図７（Ａ）は、図６（Ａ）と同様に、所定圧力の圧縮気体を、液晶Ｌの吐出動作と同じタイミンダで吹出動作することで、滴下ノズル２３の先端への液晶Ｌの付着が防止できた場合の制御例を示す。この図７（Ａ）を基準として図７（Ｂ）、図７（Ｃ）について説明する。
【００５０】
図７（Ｂ）は、滴下ノズル２３の先端への液晶Ｌの付着量が図７（Ａ）の場合よりやや多くなる傾向が予想される場合であり、液晶Ｌの吐出中と、吐出後の一定時間だけ吹出動作することにより、液晶Ｌの付着を防止する。
【００５１】
図７（Ｃ）は滴下ノズル２３の先端への液晶Ｌの付着量が図７（Ｂ）の場合より更に多くなる傾向が予想される場合であり、液晶Ｌの吐出前に圧縮気体を吹出開始し、吐出前の一定時間と、吐出中と、吐出後の一定時間だけ吐出動作することにより、液晶Ｌの付着を防止する。
【００５２】
従って、本実施例によれば、液晶Ｌを滴下ノズル２３から吐出するに際し、液晶Ｌの吐出条件に応じて、圧縮気体の吹出動作時間及び／又は圧力を制御することにより、液晶Ｌの吐出条件の変更にかかわらず、ノズル先端への液晶Ｌの付着を確実に防止し、安定した滴下量を得ることができる。このため、液晶基板１に必要量の液晶Ｌを正確に滴下することができるので、最終製品としての液晶ディスプレイパネルの品質を向上させることが可能となる。
【００５３】
また、液晶Ｌの吐出条件に応じて圧縮気体の吹出動作時間を変化させているので、液晶Ｌの吐出条件に適した量で圧縮気体を供給することができ、Ｎ２ガス等の不活性ガスからなる圧縮気体を過剰に消費することが防止できる。
【００５４】
また、図３に示すように、滴下ノズル２３における外管２３Ｂの先端部の形状を、先端に向かうにつれて内管２３Ａ先端に向かって傾斜した先細り形状に形成した。これにより、外管２３Ｂから吹出される圧縮気体は、外管２３Ｂ先端部の傾斜した内周面により、その吹出し方向が内管２３Ａの先端に向かう斜め方向に変換される。そのため、内管２３Ａの先端には、外周側から中心に向かう気体の流れが形成され、この気体の流れによって内管２３Ａ先端の液晶Ｌが内管２３Ａから引き離されることとなり、内管２３Ａの先端への液晶Ｌの付着をより良好に防止することが可能となる。
【００５５】
また、滴下ノズル２３における内管２３Ａの先端部の形状を、先端に向かう先細り形状に形成した。これにより、内管２３Ａの先端縁部の厚みが内管２３Ａの他の部分の厚みに比べて薄くなり、内管２３Ａ先端縁部の液晶Ｌの付着面積が小さくなるので、その分、内管２３Ａ先端縁部に液晶Ｌが付着しにくくなる。しかも、内管２３Ａから液晶Ｌが吐出される際、内管２３Ａの外周には外管２３Ｂから吹出された圧縮気体の流れがあるので、内管２３Ａ先端から吐出された液晶Ｌが内管２３Ａの外周に回り込むことが防止される。従って、液晶Ｌが内管２３Ａの先端に付着することを良好に防止することが可能となる。
【００５６】
尚、上記の実施例における(A)〜（E）例において、液晶Ｌの吐出条件や液晶Ｌの粘度に適した圧縮気体の吹出動作時間及び／又は圧力は、記憶部３２に液晶Ｌの吐出条件を設定する毎、或いは液晶Ｌの粘度が変わる毎にオペレータが入力器３１を用いて記憶部３２に設定するようにしても良く、又は液晶Ｌの吐出条件毎や液晶Ｌの粘度毎に圧縮気体の最適な吹出動作時間及び／又は圧力を実験などにより予め求め、これを圧縮気体の吹出条件として記憶部３２に記憶させておき、記憶された吹出条件の中から今回の液晶Ｌの吐出条件に適した条件を、コントローラ３０により自動的に選択、或いはオペレータが選択するようにしても良い。
【００５７】
また、(A)及び(C)〜(E)例では、圧縮気体の吹出動作時間を変化させる例で説明したが、吹出動作時間に加えて圧縮気体の圧力を変化させるようにしても良い。
【００５８】
また、圧縮気体としてＮ２ガス等の不活性ガスを用いた例で説明したが、これに限られるものではなく、例えば、空気を用いても良い。
【００５９】
また、滴下ノズルを内管と外管とから構成し、内管から液晶を吐出し、外管から圧縮気体を吐出する例で説明したが、液晶を吐出するノズルの先端部に向けて圧縮気体を吹き付け可能な構成であれば良い。例えば、液晶を吐出するノズルの周囲に、このノズルに向けて圧縮気体を吹出すノズルを複数配置するようにしても良い。
【００６０】
また、圧縮気体の吹出動作時間及び／又は圧力を、内管からの液晶の吐出流速に応じて制御する例で説明したが、これに限らず、液晶の吐出流量に応じて制御するようにしても良い。即ち、内管からの液晶の単位時間あたりの吐出流量は、内管の断面積が一定であれば、吐出流速に比例して増減するので、吐出流速に代えて吐出流量に応じて圧縮気体の吹出動作時間及び／又は圧力を変化させても、吐出流速に応じて圧縮気体の吹出動作時間及び／又は圧力を変化させた場合と同様に、内管先端への液晶の付着を防止することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】図１は液晶滴下装置を示す斜視図である。
【図２】図２は滴下ヘッドの制御系統図である。
【図３】図３は図２の要部拡大図である。
【図４】図４はコントローラの制御例（液晶吐出動作と圧縮気体吹出動作のタイミング）を示す線図である。
【図５】図５はコントローラの制御例（液晶吐出動作と圧縮気体吹出動作のタイミング）を示す線図である。
【図６】図６はコントローラの制御例（液晶吐出動作と圧縮気体吹出動作のタイミング）を示す線図である。
【図７】図７はコントローラの制御例（液晶吐出動作と圧縮気体吹出動作のタイミング）を示す線図である。
【符号の説明】
【００６２】
１  基板
２０  液晶滴下装置
２１  ディスペンサ
２２  アクチュエータ
２３  滴下ノズル
２３Ａ  内管
２３Ｂ  外管
２４  開閉弁
３０  コントローラ（制御手段）
【図１】
2005292478.tif 000003
【図２】
2005292478.tif 000004
【図３】
2005292478.tif 000005
【図４】
2005292478.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
2005292478.tif 000009
【手続補正書】
【提出日】平成16年4月22日(2004.4.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2005292478.tif 000010
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2005292478.tif 000011
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2005292478.tif 000012
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2005292478.tif 000013
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５】
2005292478.tif 000014
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６】
2005292478.tif 000015
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図７】
2005292478.tif 000016