(57)【要約】【課題】  動圧軸受の動圧発生用溝の電解加工方法において、電解加工工具の構造を工夫することで、電解加工の加工精度の向上を図る。【解決手段】  動圧軸受のスリーブ５の内周面に溝加工を行うための電解加工装置３０において、溝加工を行うための電極工具５１と、スリーブ５及び電極工具５１を支持するための電極ホルダ５２とを備えている。電極工具５１は、電極ホルダ５２に支持される支持部５３と、スリーブ５の内周面と接触することなくスリーブ５に挿入される円柱状の電極部５４と、支持部５３及び電極部５４の内部に形成された流路５５とを有している。電極部５４は、溝加工を行うための第１及び第２電解加工部５６ａ、５６ｂと、第１及び第２電解加工部５６ａ、５６ｂの軸方向間に配置され、流路５５に供給された電解液３３をスリーブ５の内周面に供給するための供給部５７とを有している。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状の軸受部材の内周面に軸方向に離間した２カ所の動圧軸受用動圧溝を有する動圧軸受において、電極工具を備えた電解加工工具を用いて前記２カ所の動圧溝の加工を行うための電解加工方法であって、
軸方向に離間した２カ所の電解加工部が外周面に形成された前記電極工具を前記軸受部材に挿入する第１工程と、
前記電極工具の内部に形成された流路を介して、前記２カ所の電解加工部の間に設けられた供給部より前記内周面に電解液を供給する第２工程と、
前記供給部より供給された前記電解液を前記２カ所の電解加工部に対して別々に流動させるとともに、前記電解液を別経路にて排出する第３工程と、
電解加工電源により前記軸受部材と前記電極工具との間に電圧をかけて前記電解液を介して通電させ、前記電解加工部に対応した前記動圧溝を前記内周面に加工する第４工程と、
を備えた動圧軸受用動圧溝の電解加工方法。
【請求項２】
前記電解加工工具は、前記電極工具を支持する電極ホルダをさらに備え、
前記第１工程は、前記電極ホルダを前記軸受部材に当接させ、前記軸受部材に対する前記電極工具の挿入位置が安定するよう組み付ける工程をさらに含む、
請求項１に記載の電解加工方法。
【請求項３】
電解液により筒状の動圧軸受の軸受部材の内周面に溝加工を行うための電解加工装置の電解加工工具であって、
前記溝加工を行うための電極工具と、
前記軸受部材及び電極工具を支持するための電極ホルダとを備え、
前記電極工具は、前記電極ホルダに支持される支持部と、前記内周面と接触することなく前記軸受部材内に挿入される円柱形状の電極部と、前記支持部及び電極部の内部に形成された流路とを有し、
前記電極部は、前記溝加工を行うための第１及び第２電解加工部と、前記第１及び第２電解加工部の軸方向間に配置され、前記流路に供給された前記電解液を前記内周面に供給するための供給部とを有する、
電解加工工具。
【請求項４】
前記供給部は、前記第１電解加工部に前記電解液を供給するための第１供給部と、前記第２電解加工部に前記電解液を供給するための第２供給部とを有し、
第１供給部は、第２供給部に対して軸方向電極ホルダ側に配置されている、
請求項３に記載の電解加工工具。
【請求項５】
前記第１及び第２供給部は、それぞれ、前記電極部の円周方向に複数配置された供給孔を有する、
請求項４に記載の電解加工工具。
【請求項６】
前記電極部は、前記第１及び第２供給部の間の外周面に凸部を有する、
請求項４または５のいずれかに記載の電解加工工具。
【請求項７】
前記凸部は、対向する前記内周面との間に絶縁部を有する、
請求項６に記載の電解加工工具。
【請求項８】
前記電極ホルダは、前記軸受部材と係合するための、前記軸受部材側に突出した筒状の係合部を有する、
請求項１から７のいずれかに記載の電解加工工具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、動圧軸受の筒状の軸受部材の内周面に動圧溝の加工を行う電解加工方法及び電解加工工具に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ハードディスクなどに用いられる小型の駆動装置には、高速化及び低振動化を目的として動圧軸受が採用されている。動圧軸受は、軸と軸受部材との間に軸受流体を充填し、軸が回転する際に発生する動圧により軸を軸受部材と非接触状態で支持するものである。軸を非接触状態で支持しているため、従来のボールベアリングなどと比べて低振動、低騒音となり、回転精度が向上し回転の高速化が可能となる。軸受部材の内周面には、複数の動圧発生用溝が形成されており、軸が回転すると動圧発生用溝の部分で軸受流体に動圧が発生する。軸受部材の動圧発生用溝の加工方法としては、電解加工法が知られている（例えば、特許文献１を参照。）。
電解加工は、被加工物の加工部位に電極工具を対向させ、電解液を介在させた状態で電解溶出を集中させることにより行うものである。被加工物は、加工用電源の正極側に接続されており、負極側には電極工具が接続されている。この場合、被加工物としてはステンレス鋼（ＳＵＳ３０４）等が用いられる。電解液は、循環ポンプなどの供給手段により被加工物と電極工具との間に供給される。被加工物と電極工具との間に電解液を流動させた状態で、両者間に電圧をかけ通電が行われることにより、被加工物が電気化学的に溶出していき、電極工具の形状を反転した形状が被加工物に形成される。
【０００３】
動圧軸受の動圧発生用溝加工の場合は、特許文献１のように、筒状の軸受部材に円筒状の電極工具を挿入し、軸受部材の内周面と電極工具との間に電解液を流す。電極工具には、動圧発生用溝のパターンに対応した突起からなる電解加工部が形成されており、軸受部材と電極工具との間に電解液を流動させた状態で、両者間に電圧をかけ通電させることで、電極工具の電解加工部に対向する部分のみ軸受部材の内周面が電解溶出し動圧発生用溝が加工される。
【特許文献１】特開平１０−８６０２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
動圧軸受において十分なラジアル荷重を発生するためには、ラジアル軸受部は軸方向に離れた２カ所に設けられる。その場合は、動圧発生用溝部が筒状の軸受部材の内周面の軸方向に２カ所設けられる。このような軸受部材を電解加工する際には、軸方向２カ所に電解加工部が形成された電極工具が用いられる。そして、電解液を軸受部材の軸方向の一方から他方へ流した状態で、電解加工を行うこととなる。しかし、電解加工後の電解液には、電解加工時に発生した電解生成物が含まれる場合がある。よって、上流側の溝部の電解加工時に発生した電解生成物が、電解液に含まれた状態で下流側へ流れ、下流側の溝部の加工精度に悪影響を及ぼすことがある。具体的には、浸食状態（オーバーバーン）が発生しやすくなり、溝幅や溝深さのバラつきが大きくなる。溝部の加工精度の低下は動圧軸受の性能に大きく影響するため、加工精度は動圧軸受の性能を確保する上で非常に重要である。
本発明の目的は、動圧軸受の動圧発生用溝の電解加工方法において、電解加工工具の構造を工夫することで、電解加工の加工精度の向上を図ることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１に記載の電解加工方法は、筒状の軸受部材の内周面に軸方向に離間した２カ所の動圧軸受用動圧溝を有する動圧軸受において、電極工具を備えた電解加工工具を用いて２カ所の動圧溝の加工を行うための電解加工方法である。軸方向に離間した２カ所の電解加工部が外周面に形成された電極工具を軸受部材に挿入する第１工程と、電極工具の内部に形成された流路を介して、２カ所の電解加工部の間に設けられた供給部より内周面に電解液を供給する第２工程と、供給部より供給された電解液を２カ所の電解加工部に対して別々に流動させるとともに、電解液を別経路にて排出する第３工程と、電解加工電源により軸受部材と電極工具との間に電圧をかけて電解液を介して通電させ、電解加工部に対応した動圧溝を内周面に加工する第４工程とを備えている。
この電解加工方法では、電極工具に形成された流路及び供給部により、２カ所の電極部に対して別々に電解液を供給し別経路で排出するため、一方の電解加工部で発生した電解生成物が他方の電解加工部に影響を及ぼしにくい。
【０００６】
請求項２に記載の電解加工方法は、請求項１において、電解加工工具が電極工具を支持する電極ホルダをさらに備えており、第１工程が電極ホルダを軸受部材に当接させ、軸受部材に対する電極工具の挿入位置が安定するよう組み付ける工程をさらに含んでいる。
この電解加工方法では、電極ホルダが軸受部材に当接した状態で電極工具を支持しているため、軸受部材に対する電極工具の挿入位置が安定し、軸受部材と電解加工部との短絡を防止でき、電解加工部の寿命が延びる。
請求項３に記載の電解加工工具は、電解液により動圧軸受の筒状の軸受部材の内周面に溝加工を行うための電解加工装置に使用するものである。溝加工を行うための電極工具と、軸受部材及び電極工具を支持するための電極ホルダとを備えている。電極工具は、電極ホルダに支持される支持部と、内周面と接触することなく軸受部材に挿入される円柱形状の電極部と、支持部及び電極部の内部に形成された流路とを有している。電極部は、溝加工を行うための第１及び第２電解加工部と、第１及び第２電解加工部の軸方向間に配置され、流路に供給された電解液を内周面に供給するための供給部とを有している。
この工具の場合は、電極工具が、流路及び供給部を有しており、供給部が第１及び第２電解加工部の間に配置されているため、軸受部材の内周面の軸方向途中から電解液を供給することができる。よって、第１及び第２電解加工部にそれぞれ離れる方向に電解液を流すことが可能となり、一方の電解加工部で発生した電解生成物が他方の電解加工部に影響を及ぼしにくい。
【０００７】
請求項４に記載の電極加工工具は、請求項３において、供給部が、第１電解加工部に電解液を供給するための第１供給部と、第２電解加工部に電解液を供給するための第２供給部とを有している。また、第１供給部は、第２供給部に対して軸方向電極ホルダ側に配置されている。
この工具では、供給部が第１及び第２供給部を有しているため、第１及び第２電解加工部それぞれに対して別々に電解液を供給することができる。
請求項５に記載の電解加工工具は、請求項４において、第１及び第２供給部が、それぞれ、電極部の円周方向に複数配置された孔を有している。
この工具では、第１及び第２供給部が円周方向に複数配置された孔を有しているため、軸受部材の内周面に対して、円周方向に均一に電解液を供給することができる。
請求項６に記載の電解加工工具は、請求項４または５のいずれかにおいて、電極部は、第１及び第２供給部の間の外周面に凸部を有している。
この工具では、電極部が第１及び第２供給部の間に配置された凸部を有しているため、第１及び第２供給部の間の電解液の流れを抑制でき、一方の電解加工部で発生した電解生成物が他方の電解加工部に影響を及しにくい。
【０００８】
請求項７に記載の電解加工工具は、請求項６において、凸部が対向する軸受部材の内周面との間に絶縁部を有している。
この工具では、凸部が絶縁部を有しているため、第１及び第２電解加工部が軸受部材に接触して短絡するのを防止でき、第１及び第２電解加工部の寿命が延びる。
請求項８に記載の電解加工工具は、請求項１から７のいずれかにおいて、電極ホルダが軸受部材と係合するための、軸受部材側に突出した筒状の係合部を有している。
この工具では、電極ホルダが係合部を有しているため、軸受部材に対する電極ホルダ及び電極工具の位置が安定する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る電解加工方法及び電解加工工具では、動圧軸受の動圧発生用溝の加工精度が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。
（１）動圧軸受の構造
本発明に係る電解加工装置について説明する前に、被加工物であるスリーブが用いられた動圧軸受の構造について説明する。図１に、動圧軸受の構造図の一例を示す。Ｏ−Ｏは、回転体１の回転中心である。動圧軸受７は、回転体１を静止部材２に対して回転自在に支持するためのものである。具体的には、ロータハブ３及びシャフト４をスリーブ５に対して潤滑油６を介して回転自在に支持している。動圧軸受７は、第１及び第２ラジアル動圧軸受部２０、２１と、第１及び第２スラスト動圧軸受部２２、２３とを有している。さらに、各軸受部内の潤滑油６は、シャフト４の外周面とスリーブ５の内周面１１との間に隙間の軸線方向上側部分に形成された表面張力シール部１０によってシールされている。また、各軸受部２０〜２３を構成する隙間は完全に潤滑油６が満たされており（空気によって遮断された部分を有しておらず）、表面張力シール部１０のみにて界面を形成し外気に通じるいわゆるフルフィル構造となっている。
スリーブ５の内周面１１には、潤滑油６中に動圧を発生するためのヘリングボーン状の動圧発生用溝２０ａ、２１ａが軸線方向に並んで形成されている。動圧発生用溝２０ａ、２１ａは回転方向に並んだ複数の溝であり、各溝は回転方向に対して相反する方向に傾斜する一対のスパイラル溝を連結してなる略「く」の字状の溝である。このように、スリーブ５の内周面１１と、シャフト４のシャフト本体１２の外周面１３と、その間の潤滑油６とによって、第１及び第２ラジアル動圧軸受部２０、２１が軸線方向に並んで構成されている。この両ラジアル動圧軸受部２０、２１では、流体動圧は動圧発生用溝２０ａ、２１ａの連結部において極大となり、必要な荷重支持圧を実現する。よって、これらの動圧発生用溝の加工精度の低下は、動圧軸受の性能の低下を招くため、その性能を確保する上で非常に重要である。
【００１１】
（２）電解加工装置の構造
図２に、本発明に係る電解加工工具を採用した電解加工装置の構造図の一例を示す。電解加工装置３０は、主に、加工槽３１と、電解加工工具５０と、電解液槽３２と、循環ポンプ３４と、加工用電源３５とから構成される。加工槽３１は、後述する電解加工工具５０と被加工物である前述のスリーブ５とを収容する箱型の容器である。スリーブ５は、加工槽３１の内部にある突起３１ａにより支持されており、その上部には、電解加工工具５０が支持されている。加工槽３１の下部には、スリーブ５を通過した電解液３３を排出するための排出室３１ｂが設けられている。排出室３１ｂは、配管３６ｄにより、電解液槽３２に接続されている。電解液槽３２は、電解加工用の電解液３３を貯留するためのもので、配管３６ａにより循環ポンプ３４と接続されている。循環ポンプ３４は、電解加工工具５０とスリーブ５との隙間に電解液３３を連続的に流すためのもので、後述する電極工具５１と配管３６ｂにより接続されている。加工用電源３５は、電極工具５１とスリーブ５との間に電圧をかけ電解液３３を介して通電させるためのもので、スリーブ５には正極側電極３５ａが、電極工具５１には負極側電極３５ｂが、それぞれ接続されている。この電解加工装置３０により、電極工具５１とスリーブ５との間に電解液３３を流動させつつ通電することで、スリーブ５の電解加工が行われる。
【００１２】
（３）電解加工工具の構造
図３に、本発明に係る電解加工工具の構造図を示す。電解加工工具５０は、電極工具５１と、電極ホルダ５２とから構成される。電極工具５１は、スリーブ５の内周面１１に電解加工による溝加工を行うためのもので、支持部５３と、電極部５４とから構成される。支持部５３は、電極ホルダ５２に支持される円柱状の部分である。電極部５４は、支持部５３の一端から軸方向に形成される円柱状の部分で、内周面１１と一定の隙間を保った状態で接触することなくスリーブ５に挿入される。支持部５３及び電極部５４の内部には、電解液３３を供給するための流路５５が電極工具５１の軸心に沿って支持部５３の端部から電極部５４の軸方向中程まで形成されている。流路５５の支持部５３側の端部には、循環ポンプ３４からの配管３６ｂが接続されている。
電極部５４は、溝加工を行うために軸方向に２つ配置された第１電解加工部５６ａと、第２電解加工部５６ｂとを有している。第１電解加工部５６ａは、電極ホルダ５２側に配置されている。第１及び第２電解加工部５６ａ、５６ｂの外周部には、それぞれ、スリーブ５の内周面１１に加工する動圧発生用溝２０ａ、２１ａに対応したパターンが突起状に形成されている。なお、第１及び第２電解加工部５６ａ，５６ｂとスリーブ５の内周面との間には、半径方向の隙間が確保されている。また、電極部５４は、第１及び第２電解加工部５６ａ、５６ｂの間に、電解液３３をスリーブ５の内周面１１に供給するための供給部５７を有している。供給部５７は、第１供給部５７ａと、第２供給部５７ｂとから構成される。第１供給部５７ａは、第１電解加工部５６ａに電解液３３を供給するためのもので、軸方向第１電解加工部５６ａ側に配置されている。第２供給部５７ｂは、第２電解加工部５６ｂに電解液３３を供給するためのもので、軸方向第２電解加工部５６ｂ側に配置されている。第１及び第２供給部５７ａ、５７ｂは、それぞれ、電極部５４の円周方向に複数配置された円形の孔５７ｃ、５７ｄを有している。各孔５７ｃ、５７ｄは、それぞれ流路５５と連通しており、流路５５に供給された電解液３３は、孔５７ｃ、５７ｄを通過してスリーブ５の内周面１１に対して円周方向に均一に供給される。電極部５４は、第１及び第２供給部５７ａ、５７ｂの間に凸部５８を有している。凸部５８は、径方向に均一に突出した段付き部である。凸部５８は、第１及び第２電解加工部５６ａ，５６ｂよりさらにスリーブ５の内周面１１に近接しているが、凸部５８の外周面と内周面１１の間には隙間が確保されている。また、凸部５８の外周面及び軸方向端面は、スリーブ５との短絡を防止するための絶縁部５８ａを有している絶縁部５８ａは、例えば絶縁体による表面コーティング等が考えられる。
【００１３】
電極ホルダ５２は、電極工具５１をスリーブ５に対して非接触状態で支持するためのもので、電極工具５１の支持部５３周辺に配置されている。電極ホルダ５２は、樹脂などの非導電性材料により形成されており、係合部５２ａと、排出室５２ｃと、排出口５２ｂとを有している。係合部５２ａは、電極ホルダ５２からスリーブ５側に突出した筒状の部分であり、電極工具５１の位置をスリーブ５に対して安定させるために、スリーブ５の端部に設けられた筒状部５ａに嵌合している。よって、スリーブ５に対して電極ホルダ５２及び電極工具５１の位置が安定する。係合部５２ａの内径は、支持部５３の外径よりも大きく、内周面５２ｄと支持部５３の外周面５３ａとの間には全周にわたり隙間５２ｅが保たれている。
係合部５２ａの内周面５２ｄは、電極ホルダ５２内部へ通じており、排出室５２ｃと連通している。排出室５２ｃは、支持部５３回りに配置された空洞であり、排出口５２ｂと連通している。排出口５２ｂは、第１供給部５７ａから供給された電解液３３を電極ホルダ５２外部へ排出するためのもので、電極ホルダ５２の側方に配置されている。よって、隙間５２ｅ、排出室５２ｃ、及び排出口５２ｂはそれぞれ連通している。排出口５２ｂは、例えばホースニップルなどが取り付けられており、ホース３６ｃにより電解液槽３２に接続されている。
【００１４】
（４）電解液の流れ
前述の電解加工工具５０を用いた場合の電解液の流れについて説明する。電解液槽３２に貯留された電解液３３は、循環ポンプ３４により電極工具５１の流路５５に供給される。電解液３３が流路５５の電極部５４側末端まで流れると、第１及び第２供給部５７ａ、５７ｂの孔５７ｃ、５７ｄから電極部５４の外部へ排出され、スリーブ５の内周面１１に電解液３３が供給される。
第１及び第２供給部５７ａ、５７ｂの孔５７ｃ、５７ｄは、円周方向に複数配置されているため、円周方向に均一に電解液３３を供給することができる。第１及び第２供給部５７ａ、５７ｂの間には、凸部５８が設けられているため、各供給部５７ａ、５７ｂの間の電解液３３の流れが抑制される。よって、第１供給部５７ａから供給された電解液３３は、第２供給部５７ｂ側へ流れにくく、第１電解加工部５６ａ側へ流れる。また、第２供給部５７ｂから供給された電解液３３は、第１供給部５７ａ側へ流れにくく、第２電解加工部５６ｂ側へ流れる。
第１供給部５７ａから供給された電解液３３は、第１電解加工部５６ａを通過し、隙間５２ｅを経て排出室５２ｃへ流れ込む。排出室５２ｃに流れ込んだ電解液３３は、排出口５２ｂ、ホース３６ｃを通過し、電解液槽３２へ戻る。また、第２供給部５７ｂから供給された電解液３３は、第２電解加工部５６ｂを通過し、排出室３１ｂへ流れ込む。排出室３１ｂは、配管３６ｄが電解液槽３２に接続されているため、排出室３１ｂへ流れ込んだ電解液３３は電解液槽３２へ戻る。
したがって、電解液３３の流動経路としては、第１供給部５７ａから供給され、第１電解加工部５６ａを通過して電解液槽３２へ戻る経路と、第２供給部５７ｂから供給され、第２電解加工部５６ｂを通過して電解液槽３２へ戻る経路とが存在することとなる。また、電解液槽３２に戻った電解液３３は、循環ポンプ３４により再び電極工具５１へ送られるため、第１及び第２電解加工部５６ａ、５６ｂに対して、電解液３３を連続的に流動させることが可能となる。
【００１５】
（５）電解加工
電解液３３を流動させた状態での、電解加工工程について説明する。第１及び第２電解加工部５６ａ、５６ｂに対して、電解液３３を連続的に流動させた状態で、スリーブ５及び電極工具５１の間に電圧をかけ通電させると、第１及び第２電解加工部５６ａ、５６ｂに対向した部分の内周面１１が電解溶出し、溝部が形成される。
このとき、第１及び第２電解加工部５６ａ、５６ｂには、それぞれ別々に電解液３３が流動しているため、一方の電解加工部での電解加工の際に電解生成物が発生したとしても、他の電解加工部へ電解液３３と共に流れていくことがない。よって、第１及び第２電解加工部５６ａ、５６ｂが他方で発生した電解生成物の影響を受けないため、電解加工の加工精度を向上させることができる。
【００１６】
（６）作用効果
本発明の作用効果を以下にまとめる。
スリーブ５の動圧発生用溝２０ａ、２１ａの電解加工は、通常、スリーブ５の軸方向の一方から他方へ電解液３３を流した状態で行われる。しかし、この電解加工工具５０を用いた電解加工方法の場合は、電極工具５１が流路５５及び供給部５７を有しており、供給部５７が第１及び第２電解加工部５６ａ、５６ｂの間に配置されているため、スリーブ５の内周面１１の軸方向中程から電解液３３を供給することができる。また、第１及び第２供給部５７ａ、５７ｂにより、第１及び第２電解加工部５６ａ、５６ｂそれぞれに対して別々に電解液３３を供給することができる。さらに、孔５７ｃ、５７ｄにより、スリーブ５の内周面１１に対して円周方向に均一に電解液３３を供給することができる。
よって、第１及び第２電解加工部５６ａ、５６ｂそれぞれに対して別々に電解液を流すことが可能となり、一方の電解加工部で発生した電解生成物が他方の電解加工部に影響を及ぼしにくく、電解加工の加工精度を向上させることができる。
さらに、凸部５８により、第１及び第２供給部５７ａ，５７ｂ間の電解液３３の流れを抑制でき、一方の電解加工部で発生した電解生成物が他方の電解加工部に影響を及しにくい。また、凸部５８により、第１及び第２電解加工部５６ａ，５６ｂがスリーブ５に接触することが防止されている。このように短絡が防止されているため、第１及び第２電解加工部５６ａ，５６ｂの寿命が延びる。さらに、電極ホルダ５２が係合部５２ａを有しているため、スリーブ５に対する電極ホルダ５２及び電極工具５１の位置が安定する。
【００１７】
（７）その他の実施形態
本発明は係る上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形又は修正が可能である。
本発明のその他の実施形態を以下に示す。
１）電解加工装置
本発明に係る電解加工工具５０を使用していれば、電解加工装置３０の構成は、前述の実施形態に限定されない。
２）動圧軸受
前述の実施形態では、動圧発生用溝の形状はヘリングボーン状のもので記載したが、動圧発生用の溝であればこの形状に限定されない。また、動圧軸受はフルフィル構造のものを記載したが、これに限定されない。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】動圧軸受の構造図の一例。
【図２】本発明に係る電解加工工具を採用した電解加工装置の構造図の一例。
【図３】本発明に係る電解加工工具の構造図。
【符号の説明】
【００１９】
５      スリーブ
７      動圧軸受
１１    内周面
３０    電解加工装置
５０    電解加工工具
５１    電極工具
５２    電極ホルダ
５２ｂ  排出口
５２ｃ  排出室
５３    支持部
５４    電極部
５５    流路
５６ａ  第１電解加工部
５６ｂ  第２電解加工部
５７    供給部
５７ａ  第１供給部
５７ｂ  第２供給部
５８    凸部
５８ａ  絶縁部
【図１】
2005246493.tif 000003
【図２】
2005246493.tif 000004
【図３】
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