(57)【要約】【課題】  磁気転写用マスター担体や前記磁気記録媒体に付着した異物をより確実に除去することができるクリーニング方法及び磁気転写装置を提供する。【解決手段】  磁気転写装置１００は、磁気転写用マスター担体１及び磁気記録媒体２のうち少なくとも一方の表面１ａ（２ａ）にエアを吹き付けるエア吹付部と前記エアが吹き付けられた箇所近傍におけるエアを吸引するエア吸引部とが設けられたクリーニング手段１０を備えている。【選択図】  図１
2005063579.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気記録媒体に転写すべき情報に応じた転写パターンが表面に設けられた磁気転写用マスター担体を前記磁気記録媒体に密着させて磁気転写を行う磁気転写装置であって、
前記磁気転写用マスター担体及び前記磁気記録媒体のうち少なくとも一方の表面にエアを吹き付けるエア吹付部と前記エアが吹き付けられた箇所近傍におけるエアを吸引するエア吸引部とを有するクリーニング手段を備えたことを特徴とする磁気転写装置。
【請求項２】
前記クリーニング手段が、それぞれ同軸状に配置された内方筒部と外方筒部とを有し、前記内方筒部の内径側から前記エアが吹き付けられ、前記内方筒部と前記外方筒部との間から前記エアの吸引が行われることを特徴とする請求項１に記載の磁気転写装置。
【請求項３】
前記内方筒部の前記表面側端部と前記外方筒部の前記表面側端部とが同一平面状に位置するように構成されていることを特徴とする請求項２に記載の磁気転写装置。
【請求項４】
エアに吸引された異物の粒子をカウント可能な計測手段を備えていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１つに記載の磁気転写装置。
【請求項５】
磁気記録媒体に転写すべき情報に応じた転写パターンが設けられた磁気転写用マスター担体及び前記磁気記録媒体に付着した異物の粒子を除去するクリーニング方法であって、  
前記磁気転写用マスター担体と前記磁気記録媒体とを密着させる前に、前記磁気転写用マスター担体及び前記磁気記録媒体のうち少なくとも一方の表面にエアを吹き付け、且つ、該エアが吹き付けられた箇所近傍のエアを吸引し、吸引したエアに含まれる異物の粒子をカウントし、カウントした異物の粒子の数が所定値以下になるまでエアの吹き付け及び吸引を繰り返すことを特徴とするクリーニング方法。
【請求項６】
前記磁気転写用マスター担体及び前記磁気記録媒体のうちクリーニングの対象となる方をその周方向に回転させた状態で、該回転の方向と直交する方向に沿ってエアの吹き付け及びエアの吸引を進行することを特徴とする請求項５に記載のクリーニング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気記録媒体に情報を転写するための転写パターンを有する磁性層を備えた磁気転写用マスター担体並びに磁気記録媒体のクリーニング方法及び磁気転写装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）やフレキシブルディスク（ＦＤ）等の磁気記録媒体の高記録密度化に伴い、これら磁気記録媒体の生産時に、アドレス信号やサーボ信号などの情報（以下、転写情報という。）を短時間に書き込むことができる磁気転写技術の研究が進められている。
【０００３】
この磁気転写とは、磁性体の微細凹凸パターンにより転写情報を担持したマスター担体の表面と、転写を受ける磁気記録部を有する磁気記録媒体（スレーブ媒体）とを密着させた状態で、転写用磁界を印加してマスター担体に転写情報に対応する磁化パターンを磁気記録媒体に転写記録するものである（例えば、特許文献１）。
【０００４】
このとき、マスター担体の表面に塵埃などの異物の粒子（パーティクル）が付着していると、該表面を磁気記録媒体の磁気記録部と密着させた際に、この異物の粒子によって両者の密着面間に僅かなスペースが生じ、マスター担体の表面に形成されている微細凹凸パターンが適正に磁気記録部に接触しなくなることにより、磁気記録媒体に転写情報を転写させることができなくなってしまう。また、マスター担体と磁気記録媒体とを密着させた際に、異物の粒子が磁気記録媒体の磁気記録部に傷を付けたり、磁気記録部表面における異物の粒子との接触箇所を凹状に窪ませてしまうことがあった。
【０００５】
そこで、従来、下記の特許文献２に示すように、磁気記録媒体の表面にエアを吹き付けることによって異物の粒子を除去する磁気転写装置が提案されている。
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−３４２９２１号公報
【特許文献２】特開２００２−３５８６３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、特許文献２に記載の磁気転写装置では、エアを吹き付けられた異物の粒子が吹き飛ばされて磁気記録媒体表面近傍の雰囲気中に浮遊するが、これら異物の粒子の一部が該表面上に再度付着し、そのまま残留してしまうことが回避できなかった。このため、マスター担体と磁気記録媒体とを密着させて磁気転写する際に、これら残留した異物の粒子に起因して転写品質が劣化する問題があった。
【０００８】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、その目的は、磁気転写用マスター担体や磁気記録媒体に付着した異物の粒子をより確実に除去することができるクリーニング方法及び磁気転写装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の上記目的は、下記の構成によって達成される。
（１）  磁気記録媒体に転写すべき情報に応じた転写パターンが表面に設けられた磁気転写用マスター担体を前記磁気記録媒体に密着させて磁気転写を行う磁気転写装置であって、前記磁気転写用マスター担体及び前記磁気記録媒体のうち少なくとも一方の表面にエアを吹き付けるエア吹付部と前記エアが吹き付けられた箇所近傍におけるエアの吸引を行うエア吸引部とが設けられたクリーニング手段を備えたことを特徴とする磁気転写装置。
【００１０】
この磁気転写装置では、磁気転写用マスター担体及び前記磁気記録媒体のうち少なくとも一方の表面において、エア吹付部によってエアを吹き付けた状態で、同時にエア吸引部によってエアを吸引することができるクリーニング手段を備えている。このクリーニング手段によって、磁気転写用マスター担体及び前記磁気記録媒体の表面に付着していた異物の粒子を、エアを吹き付けることによって表面から吹き飛ばして該表面近傍に浮遊した状態とし、直ちにエア吸引部によって吸引することができる。このため、表面にエアを吹き付けるのみのクリーニング手段を備えた従来の磁気転写装置における、一旦表面から吹き飛ばされた異物の粒子が再度表面に付着するといった問題を解決することができる。
したがって、磁気転写装置は、磁気転写用マスター担体及び前記磁気記録媒体の表面に付着した異物の粒子を確実に除去することで、マスター担体と磁気記録媒体とが両者の間にスペースを生じさせることなく密着させることができ、転写品質が良好な磁気記録媒体を得ることができる。
【００１１】
（２）前記クリーニング手段が、それぞれ同軸状に配置された内方筒部と外方筒部とを有し、前記内方筒部の内径側から前記エアが吹き付けられ、前記内方筒部と前記外方筒部との間から前記エアの吸引が行われることを特徴とする請求項１に記載の磁気転写装置。
【００１２】
この磁気転写装置は、内方筒部から吹き付けられたエアが表面に衝突して放射状に拡散するが、内方筒部の外方側に同軸状に設けられている外方筒部と内方筒部との間からエアの吸引が行われるため、この拡散したエアがこの間へ向かって誘導されるようになる。このため、吹き付けられたエアによって異物の粒子が吸引されることなく表面における他の箇所に再度付着してしまることを防止することができる。
【００１３】
（３）前記内方筒部の前記表面側端部と前記外方筒部の前記表面側端部とが同一平面状に位置するように構成されていることを特徴とする請求項２に記載の磁気転写装置。
この磁気転写装置は、外方筒部と内方筒部のそれぞれの表面側端部が同一平面上に設けられていれるため、吹き付けられるエアと吸引されるエアとが互いに干渉することを最小限に抑えることができ、より効率良く異物の粒子の除去を行うことができる。
【００１４】
（４）エアに吸引された異物の粒子をカウント可能な計測手段を備えていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１つに記載の磁気転写装置。
この磁気転写装置は、計測手段によって表面における異物の粒子がどのくらい除去されたかといったクリーニング状況を異物の粒子のカウント数として確認することができる。使用者は、このカウント数に基づいてクリーニングを繰り返すことの可否や磁気転写工程に移ることの可否を判断することができる。
【００１５】
（５）磁気記録媒体に転写すべき情報に応じた転写パターンが設けられた磁気転写用マスター担体及び前記磁気記録媒体に付着した異物の粒子を除去するクリーニング方法であって、前記磁気転写用マスター担体と前記磁気記録媒体とを密着させる前に、前記磁気転写用マスター担体及び前記磁気記録媒体のうち少なくとも一方の表面にエアを吹き付け、且つ、該エアが吹き付けられた箇所近傍のエアを吸引し、吸引したエアに含まれる異物の粒子をカウントし、カウントした異物の粒子の数が所定値以下になるまでエアの吹き付け及び吸引を繰り返すことを特徴とするクリーニング方法。
【００１６】
このクリーニング方法は、磁気転写用マスター担体及び前記磁気記録媒体の表面において、エアを吹き付けるとともにエアを吸引することで、磁気転写用マスター担体及び磁気記録媒体の表面に付着していた異物の粒子を吹き飛ばし、該表面近傍に浮遊した状態とするとともに直ちにエアを吸引することで表面から異物の粒子を除去することができる。このため、一旦表面から吹き飛ばされた異物の粒子が再度表面に付着することを防止することができるため、表面にエアを吹き付けるのみで異物の粒子の除去する構成の従来のクリーニング方法に比べ、より一層確実に異物の粒子を除去することができる。
また、吸引したエアに含まれる異物の粒子の数が所定値以下になるまでクリーニングを繰り返すため、磁気転写の際に磁気転写用マスター担体と磁気記録媒体とを密着させた際に適正に密着できるように所定値を設定することで、クリーニングによって確実に異物の粒子を除去することができる。
【００１７】
（６）前記磁気転写用マスター担体及び前記磁気記録媒体のうちクリーニングの対象となる方をその周方向に回転させた状態で、該回転の方向と直交する方向に沿ってエアの吹き付け及びエアの吸引を進行することを特徴とする請求項５に記載のクリーニング方法。
このクリーニング方法は、磁気転写用マスター担体とクリーニング手段との駆動範囲を最小限に抑えるとともに、表面全域において効率良くクリーニングを実行することができる。
【発明の効果】
【００１８】
以上説明したように、本発明によれば、磁気転写用マスター担体や磁気記録媒体に付着した異物の粒子をより確実に除去することができるクリーニング方法及び磁気転写装置を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳しく説明する。
図１は、本発明に係る磁気転写装置におけるクリーニング手段を示す説明図である。図２は、図１中の矢印Ｘで示す部位の拡大断面図である。図１に示すようにクリーニング手段１０は、ノズル部１１を備えている。ノズル部１１にはノズル体１２が設けられ、ノズル体１２からクリーニングの対象となる磁気記録用マスター担体（以下、マスター担体）１の表面１ａにジェットエア（エア）Ａ１を吹き付けるとともに、該ジェットエアＡ１を吹き付けられた箇所近傍におけるエアＡ２を吸引することが可能に構成されている。
【００２０】
本実施形態において、クリーニングの対象がマスター担体の場合を説明したが、磁気記録媒体をクリーニングの対象としてもよい。
【００２１】
ここで、マスター担体１は、磁性材料からなる円盤状の基板と、この基板の表面に形成された磁性層とを備えている。磁性層の表面には転写情報に応じた微細な凸部が形成されている。なお、磁性層が基板の表面全体に設けられていてもよく、これに限られず、少なくとも転写領域の微細な凸部に設けられていてもよい。
【００２２】
微細な凸部は、該凸部が形成されていない箇所における基板表面からの高さｈが５ｎｍ〜１μｍで形成されていることが好ましく、また、高さｈが５０ｎｍ〜３００ｎｍで形成されていることがより好ましい。
【００２３】
磁性材料からなる基板の飽和磁化Ｍｓと磁性層の飽和磁化Ｍｍとが、１．０＜Ｍｍ／Ｍｓ＜１００、好ましくは２．０≦Ｍｍ／Ｍｓ＜３．９の関係となるように、基板と磁性層の材料を選択して構成される。なお、基板の飽和磁化Ｍｓは、５．６５Ｔ（４５００Gauss）以上の材料が用いられており、具体的には、基板はＮｉ、Ｎｉ合金等の材料から構成することができ、磁性層はＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｇｄ，Ｄｙ，Ｓｍ，Ｎｄのうち少なくとも１元素含む面心立方構造を有するＦｅＣｏ，ＦｅＣｏＮｉ，ＦｅＮｉなどの合金材料から構成することができる。また、全体として、強磁性を示すものであれば他の磁性元素もしくは非磁性元素を含有する材料であってもよい。なお、磁性層としては、軟磁性、半硬質磁性、硬質磁性のいずれであってもよいが、軟磁性もしくは半硬質磁性等の保持力の小さい磁性層を用いることにより、より良好に磁気転写を行うことができる。
【００２４】
また、基板上に形成される磁性層は、体心立方構造（ｂｃｃ）、面心立方構造（ｆｃｃ）あるいはアモルファス構造を有することが好ましい。このうちｂｃｃ構造又はｆｃｃ構造を有する場合には、磁性層が複数の微粒子が無秩序に配置されてなる粒子構造を有し、個々の粒子の膜面から観測したサイズが１００ｎｍ以下であることが望ましい。
【００２５】
磁性層の形成は、磁性材料を真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の真空成膜手段、メッキ法などを用いて行う。磁性層の厚みは、２５ｎｍ〜５００ｎｍの範囲が好ましく、さらに好ましくは５０ｎｍ〜３００ｎｍである。
【００２６】
磁性層の表面に２ｎｍ〜３０ｎｍのダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）もしくはスパッタカーボン等の保護膜を設けることが好ましく、さらに潤滑剤層を設けてもよい。また、磁性層と上記保護膜の間に、Ｓｉ等の密着強化層を設けてもよい。潤滑剤を設けることにより、磁気記録媒体との接触過程で生じるずれを補正する際の、摩擦による傷の発生などに対する耐久性の劣化が改善される。
【００２７】
基板の作成の工程の一例を説明する。
先ず、Ｓｉ基板に密着用液を塗布（下塗り）し、レジスト液を塗布し、ベーキングを行う。次に、このＳｉ基板にパターン描画露光（ＥＢＲ）してベーキングを行い、その後、現像処理を施してベーキングを行う。次にＮｉ導電膜をスパッタリング法により形成し、Ｎｉ電鋳を行い、レジスト付きＳｉ基板から剥離し、表面に残留するレジストを除去することで原盤（原盤（１）とする。）を得る。
原盤（１）の複版（ここでは、原盤（２）とする。）を作成するには、さらに、原盤（１）に酸化処理を施し、Ｎｉ電鋳・剥離を行うことで得る。さらに、原盤（２）から原盤（３）を同様に作成し、上記原盤（１）と同様のマスター原盤を得る。次に、各原盤のパターン表面に上述のごとく保護膜を形成し、必要に応じて裏面側を研磨し、この研磨工程で発生した研磨粉を除去し、その後裏面側にも保護膜を形成し、所望のサイズに打ち抜いた後、打ち抜きバリを除去し、マスター基板を得る。そして、このマスター基板に上述した磁性層を形成する。
【００２８】
本実施形態において、図１に示すように、基板はドーナッツ状（中央に開口が設けられた円盤形状）に加工されたマスター基板とした。加工方法としては上刃と下刃とを噛み合わせる打ち抜き法や、フォトエッチング方法，レーザカッティング，ウオータカッティング，旋盤加工等でもよい。
【００２９】
本実施形態において、クリーニング手段１０は、マスター担体１（及び磁気記録媒体）の中央の開口に着脱自在な保持部材１７を備えていてもよい。この保持部材１７にマスター担体１を図１中矢印Ｒ方向に回転可能に保持させて、保持部材１７が、クリーニング時において、マスター担体１を矢印Ｒ方向に所定の回転速度で回転させる構成としてもよい。
【００３０】
図２に示すように、ノズル体１２は、内方筒部１３と、該内方筒部１３と同軸状に配され、且つ、該内方筒部１３の外径及び内径よりも大きい外径及び内径を有するように形成された外方筒部１４とを備えている。内方筒部１３は、その内方の部位を通して図示しないポンプ機構によって所定の流量のジェットエアをノズル体１２における下方の開口端部１２ａからマスター担体１に吹き付ける、エア吹付部として機能する。内方筒部１３の外周面と外方筒部１４の内周面とにより区画される隙間は、図示しない別のポンプ機構を駆動することで開口端部１２ａより外方筒部１４の外部雰囲気中におけるエアを所定の流量で吸引するエア吸引部として機能する。
【００３１】
エア吹付部とエア吸引部は、同軸状の筒体に限定されず、それぞれ別部材として異なる位置に設けてもよい。しかし、クリーニング手段１０が本実施形態のように同軸状に配された内方筒体１３と外方筒体１４とすれば、内方筒部１３から吹き付けられたエアが表面１ａに衝突して放射状に拡散するが、内方筒部１３の外方側に同軸状に設けられている外方筒部１４と内方筒部１３との隙間からエアの吸引が行われるため、この拡散したエアがこの隙間へ向かって誘導されるようになる。このため、吹き付けられたエアによって異物の粒子Ｐが吸引されることなく表面における他の箇所に再度付着してしまることを防止することができる。
【００３２】
ノズル部１１は、クリーニング時において、所定の走査速度でマスター担体１の図中矢印ｄで示す径方向（つまり、マスター担体１の回転方向に対して直交する方向）おいて内側から外側に移動する。このとき、ノズル部１１は、径方向において外側から内側に移動するようにしてもよい。しかし、クリーニング時においてマスター担体１（又は磁気記録媒体）には矢印Ｒ方向に回転することで異物の粒子に遠心力がかかることから、ノズル部１１を径方向において内側から外側に移動するようにすることで効率良く異物の粒子を除去することができる。
つまり、本発明に係るクリーニング方法において、磁気転写用マスター担体１（及び／又は磁気記録媒体）をその周方向に回転させた状態で、該回転の方向と直交する方向に沿ってエアの吹き付け及びエアの吸引を進行する。こうすることで、磁気転写用マスター担体とクリーニング手段との駆動範囲を最小限に抑えるとともに、表面全域においてクリーニングを実行することができる。
【００３３】
本発明に係るクリーニング手段は下記のように設定することが好ましい。
エア吹付部と被クリーニング面との距離      ０．０２ｍｍ〜１．２ｍｍ
エア吸引部と被クリーニング面との距離      ０．０２ｍｍ〜１．２ｍｍ
マスター担体及び磁気記録媒体の回転速度    ５０〜２０００回転／秒
ノズル部の半径方向への走査速度            ０．１ｍｍ／秒〜２０ｍｍ／秒
内方筒部の内径                            φ０．１ｍｍ〜φ０．５ｍｍ
外方筒部の内径                            φ０．５ｍｍ〜φ１０ｍｍ
エア吹付部から吹き出されるエアの流量      １Ｌ／ｍｉｎ〜１０Ｌ／ｍｉｎ
エア吸引部から吸引されるエアの流量        １Ｌ／ｍｉｎ〜１０Ｌ／ｍｉｎ
【００３４】
図１及び図２を参照してクリーニング手段１０の動作を説明する。
最初に、クリーニングの対象となるマスター担体１を保持部材１７で保持させ、矢印Ｒ方向に回転させる。マスター担体１を回転させた状態で、該マスター担体１の表面１ａ上に所定の距離をあけて配されたノズル部１１におけるノズル体１２のエア吹付部からジェットエアを表面１ａに吹き付け、一方、ノズル体１２のエア吸引部からエアを吸引する。また、ノズル体１２を径方向ｄ内側から外側へ向かって所定の速度で走査する。エア吹付部から吹き付けられたジェットエアがマスター担体１の表面１ａと衝突し、該表面１ａに付着していた異物の粒子（パーティクル）Ｐを表面１ａから吹き飛ばす。吹き飛ばされた異物の粒子Ｐは、瞬間的に表面１ａから離れ、表面１ａの上方を浮遊する状態となる。このとき、エア吸引部からエアが吸引されているため、これら異物の粒子Ｐがノズル体１２の開口端部１２ａへ誘導され、外方筒部１４と内方筒部１３との間から吸引される。なお、上記した動作の説明においては、マスター担体をクリーニングする場合について説明したが、同様の動作によって磁気記録媒体をクリーニングすることができる。
本実施形態において、クリーニングの対象となる異物の粒子は、その径が０．１μｍ以上のものである。しかし、実際の磁気転写でマスター担体と磁気記録媒体との密着時には粒子径が０．００１μｍ程度の異物の粒子でも問題となる可能性もあることを考慮して、クリーニングの対象となる異物の粒子としては、その径が０．１μｍ以下のものとすることもできる。
【００３５】
本実施形態において、内方筒部１３のエア吹付部から吹き付けられたエアによりマスター担体１の表面１ａにおける異物の粒子Ｐが、表面１ａにおける内方筒部１３の鉛直方向の下方位置からマスター担体１の略径方向外側へ吹き飛ばされると、エア吸引部（内方筒部１３の外周面と外方筒部１４の内周面とで区画される空間）に対する鉛直方向の下方位置に侵入し、このエア吸引部によって吸引される。このように、エア吹付部である内方筒部１３の外方にエア吸引部を区画する外方筒部１４が配される構成とすることで、異物の粒子がエア吸引部に吸引されずに表面１ａにおける他の箇所へ再び付着してしまうことを防止し、効率良く異物の粒子を除去することでマスター担体１及び磁気記録媒体のクリーニングをすることができる。
【００３６】
こうして、本発明のクリーニング手段１０は、磁気転写用マスター担体及び前記磁気記録媒体の表面に付着していた異物の粒子Ｐを、エアを吹き付けることによって表面から吹き飛ばして該表面近傍に浮遊した状態とし、直ちにエア吸引部によって吸引することができる。このため、表面にエアを吹き付けるのみで異物の粒子を除去する構成を有するリーニング装置を備えた磁気転写装置における、一旦表面から吹き飛ばされた異物の粒子が再度表面に付着するといった問題を解決することができる。
【００３７】
本実施形態において、内方筒部１３の下方端部と外方筒部１４の下方端部とが略同一平面上に位置するように構成されているが、内方筒部１３の下方端部が外方筒部１４の下方端部より下方へ突出している構成としてもよい。また、外方筒部１４の下方端部が内方筒部１３の下方端部より下方へ突出している構成としてもよい。しかし、内方筒部１３の下方端部と外方筒部１４の下方端部とが同一平面状に位置するように構成すると、吹き出されるエアと吸引されるエアとが互いに衝突して干渉し合うことを最小限に抑えることができ、最も効率良く異物の粒子を除去することができるため、好ましい。
【００３８】
次に、本発明に係る磁気転写装置のクリーニングにおける動作を説明する。なお、以下の説明において、すでに説明した部材などと同等な構成・作用を有する部材等については、図中に同一符号又は相当符号を付すことにより、説明を簡略化或いは省略する。
図３は、磁気転写装置においてクリーニング時の状態を示す説明図である。図４は、磁気転写装置において磁気転写時の状態を示す説明図である。図３及び図４に示すように、磁気転写装置１００は、磁気記録媒体２に転写すべき情報に応じた転写パターンが表面に設けられたマスター担体１を磁気記録媒体２に密着させて磁気転写を行う磁気転写装置であって、マスター担体１及び磁気記録媒体２の表面１ａ，２ａにエアを吹き付けるエア吹付部とエアが吹き付けられた箇所近傍におけるエアを吸引するエア吸引部とが設けられたクリーニング手段１０を備えたことを特徴とする。磁気転写装置１００において、クリーニング手段１０の構成は、上記で既に説明したものと同様である。
【００３９】
具体的には、磁気転写装置１００は、マスター担体１を保持可能な円盤状のホルダ２１Ａと、磁気記録媒体２を保持可能な円盤状のホルダ２１Ｂとを備えている。ホルダ２１Ａにはマスター担体１が真空チャックによって保持され、ホルダ２１Ｂには磁気記録媒体２が真空チャックによって保持されている。このとき、マスター担体１は転写情報が書き込まれた面を磁気記録媒体側へ向けた状態で保持され、磁気記録媒体２は、被転写面をマスター担体１側に向けた状態で保持されている。
【００４０】
ホルダ２１Ａには、図３中矢印Ｄ１方向へ可動に構成された駆動部材２２Ａが取り付けられ、ホルダ２１Ｂには、図３中矢印Ｄ２方向へ可動に構成された駆動部材２２Ｂが取り付けられている。駆動部材２２Ａ及び２２Ｂを矢印Ｄ１及びＤ２方向へ動かすことで、図４に示すように、ホルダ２１Ａ及びホルダ２１Ｂとを近づけることでマスター担体１と磁気記録媒体２とを密着させた状態とすることができる。この密着させた状態において磁界を印加して磁気転写が行われる。
また、駆動部材２２Ａ，２２Ｂは、クリーニング時においては、それぞれ矢印ｒ１，ｒ２の方向に回動する構成を有している。
【００４１】
磁気転写装置１００におけるクリーニング手段１０は、ノズル部１１を有している。このノズル部１１の構造は図２を参照して上記で説明した構成と同じである。また、クリーニング手段１０は、ノズル部１１のエア吹付部にエアを供給するエア供給手段１５と、エア吸引部から吸引したエアに含まれる異物の粒子の数を計測可能な計測手段として機能するパーティクルカウンタ１６とを備えている。
【００４２】
エア供給手段１５は、所定の圧力，流量でエアをエア吹付部に供給するだけでなく、供給するエアの圧力，流量を適宜調整することが可能な構成である。
【００４３】
パーティクルカウンタ１６は、その内部に、パーティクル測定部の後に塵埃をトラップするフィルタを備えており、エア吸引部から吸引したエアをこのフィルタ内を通過させ、フィルタに残留した異物の粒子によって異物の粒子の数を計測（カウント）する構造を有している。
【００４４】
図３に示すように、マスター担体１及び磁気記録媒体２のクリーニングには、クリーニング手段１０のノズル部１１をホルダ２１Ａ及び２１Ｂの間に移動し、クリーニングの対象となる面（ここでは、マスター担体１の表面１ａ）に向ける。そして、駆動部材２２Ａを矢印ｒ１方向に駆動してホルダ２１Ａに保持されたマスター担体１を同じ方向に回転させつつ、エア吹付部からジェットエアを吹き付けるとともに、エア吸引部によってエアの吸引を行いながら、ノズル部１１を走査する。
次に、磁気記録媒体２をクリーニングする場合には、ノズル部１１を下方へ回動して図３中破線で示すようにノズル体１２の向きを下方へエアの吹き付け及び吸引ができるように変えた後、同様に、駆動部材２２Ｂを矢印ｒ２方向に駆動してホルダ２１Ｂに保持された磁気記録媒体２を同じ方向に回転させつつ、エア吹付部からジェットエアを吹き付けるとともに、エア吸引部によってエアの吸引を行いながら、ノズル部１１を走査する。
なお、マスター担体１と磁気記録媒体２の両方をクリーニングすることが望ましいが、必要に応じていずれか一方のみにクリーニングしてもよい。
【００４５】
また、磁気転写装置１０は、磁気転写を行うときなどのクリーニング時以外には、クリーニング手段１０は、矢印Ｄ３方向に移動させて、ホルダ２１Ａ，２１Ｂ同士の間から退かせることができる構成である。
【００４６】
次に、本発明に係る磁気転写装置におけるクリーニング及び磁気転写の工程を図３，図４及び図５を参照して説明する。図５は、クリーニング及び磁気転写の工程を示すフローチャートである。
最初に、転写情報が書き込まれたマスター担体１と、該転写情報を転写される磁気記録媒体２とをホルダ２１Ａ，２１Ｂにセットする（Ｓ１０１）。そして、マスター担体１と磁気記録媒体２とのうちクリーニングの対象となる方の表面（この説明においてはマスター担体１の表面１ａの場合とする。）についてエア吸引部よりエアの吸引を行い、パーティクルカウンタ１６によってこの吸引されたエアに含まれていた異物の粒子の個数をカウントする（Ｓ１０２）。このとき、同時にエア吹付部からジェットエアを吹き付け通常のクリーニングを行うとともに、異物の粒子の個数をカウントしてもよい。
【００４７】
パーティクルカウンタ１６によって異物の粒子の個数をカウントした後、この個数が予め決められた所定の値（例えば、０個）以下であるか判別する（Ｓ１０３）。
このとき、異物の粒子の個数が所定の値より多い場合には、クリーニングを行う（Ｓ１０４）。一方で、異物の粒子の個数が所定の値より少ない場合には、マスター担体１の表面１ａから異物の粒子が十分除去されていると判断し、磁気記録媒体２と密着させて磁界を印加し、磁気転写を行う（Ｓ１０５）。
【００４８】
本発明に係る磁気転写装置は、クリーニング手段を用いることで磁気転写用マスター担体及び磁気記録媒体の表面に付着した異物の粒子を確実に除去することで、マスター担体と磁気記録媒体とが両者の間にスペースを生じさせることなく密着させることができ、転写品質が良好な磁気記録媒体を得ることができる。
【００４９】
なお、上記クリーニング手段は、清浄なエア（空気）を使用することができるため、クリーニング工程において設備や人体に対する影響がなく、安全に使用できることから、多くの箇所に複数設置することが可能である。
【００５０】
なお、本発明は、前述した実施形態に限定されるものではなく、適宜な変形、改良などが可能である。
例えば、エア吹付部及びその近傍に、静電気対策として、例えば、除電装置が設けられていてもよい。こうすれば、エアの吹き付けによってマスター担体や磁気記録媒体に静電気が生じても、除電装置によって静電気を除去することで塵埃が付着し易くなることを防止することができる。
例えば、吹き付けられるエアは、エアフィルタを通過せしめることでその径が０．０１μｍ以下のものとすることが好ましい。
例えば、磁気転写装置の塵埃環境は、一般的には０．１μｍ以上のパーティクルが１０個／ｆｔ３以下であることが好ましい。また、磁気転写装置内の上部全面に亘ってフィルタを設置することで全層流型のクリーン環境とすることが好ましい。
例えば、マスター担体１と磁気記録媒体２とを一旦密着させた状態とし、そのときの密着性を監視して異物の粒子をクリーニングにより除去することの要否を判断した上で、上記磁気転写装置１００又はクリーニング手段１０によってクリーニングを行ってもよい。しかし、密着時に塵などの異物の粒子が押しつぶされて取り難くなるため、密着させる前の状態でクリーニングを行うことが好ましい。なお、密着させて取り難くなった異物の粒子は、純水超音波洗浄，低温ＣＯ２洗浄及び研磨処理などのクリーニング処理が必要になる。
【００５１】
マスター担体及び磁気記録媒体２のその他のクリーニング方法として、不織布（例えば、BBA NONWOVENS社製  9246番等）や織布（例えば、カネボウ株式会社製  ザビーナ  ミニマックス等）で表面をワイプすることも可能である。特に、織布でのワイピングを併用することが有効であり、本発明におけるジェットエア吹き付けるクリーニング工程の前に、このワイピングを行うことでより確実に異物の粒子を取り除くことが可能になる。
【００５２】
また、磁気記録媒体２のクリーニングについては、マスター担体と同様のクリーニングを行うことができるが、さらに、ヘッドバーニッシュやテープバーニッシュなど他の方式のクリーニングも行ってもよい。
【００５３】
本発明のクリーニング方法は、既に述べたクリーニング手段を用いることで好適に実施することができる。つまり、本発明に係るクリーニング方法は、磁気記録媒体に転写すべき情報に応じた転写パターンが設けられた磁気転写用マスター担体及び磁気記録媒体に付着した異物を除去するクリーニング方法であって、磁気転写用マスター担体及び磁気記録媒体のうち少なくとも一方の表面にエアを吹き付け、且つ、該エアが吹き付けられた箇所近傍のエアを吸引し、吸引したエアに含まれる異物の粒子をカウントし、カウントした異物の粒子の数が所定値以下になるまでエアの吹き付け及び吸引を繰り返すことを特徴とするものである。
【００５４】
上記クリーニング方法では、吸引したエアに含まれる異物の粒子の数が所定値以下になるまでクリーニングを繰り返すため、磁気転写の際に磁気転写用マスター担体と磁気記録媒体とを密着させた際に適正に密着できるように所定値を設定することで、クリーニングによって確実に異物の粒子を除去することができる。
【００５５】
（実施例）
次に、本発明に係る磁気転写装置を使用し、下記のような条件でクリーニングを行い、磁気転写後に試料である磁気ディスクにおけるドロップアウト（ＤＯ）及びドロップイン（ＤＩ）を測定する試験を行った。ＤＯ／ＤＩの測定には、日立電子エンジニアリング株式会社製のＲＱ７０００グライドサーティファイアを使用し、一定の条件（ヘッド，ＡＭＰ，周波数）で行った。また、吸引したエアの一部をパーティクルカウンタ（リオン株式会社製  ＫＣ−２２Ａ）で計測し、全吸引流量中の塵埃を算出計測した。ここで、ＲＱ７０００を用い、予め所定の繰り返し周期で信号を磁気ヘッドで記録し、平均再生信号の５０％以下の信号ビットをＤＯとし、直流消去後に残る２０％以上の信号をＤＩとし、これらＤＯ及びＤＩを初期値とした。その後、交流磁場で交流消去し、磁気転写を行う工程に使用した。磁気転写用マスター担体には上記繰り返し周期信号に相当する凹凸パターン（テストパターン）を使用して転写を行ない、ＲＱ７０００の磁気ヘッドで再生し、転写後のＤＯ測定及びヘッドで直流消去後のＤＩ測定を行い、その増加分を割り出した。
エア吹付部と被クリーニング面との距離      ０．５ｍｍ
エア吸引部と被クリーニング面との距離      ０．５ｍｍ
マスター担体及び磁気記録媒体の回転速度    １２００回転／秒
ノズル部の半径方向への走査速度            ０．１ｍｍ／秒
内方筒部の内径                            φ０．３ｍｍ
外方筒部の内径                            φ５ｍｍ
エア吹付部から吹き出されるエアの流量      ５Ｌ／ｍｉｎ
エア吸引部から吸引されるエアの流量        ３Ｌ／ｍｉｎ
【００５６】
実施例としては、ハードディスクドライブ用の磁気ディスク１０００枚を試料として準備し、それぞれの磁気ディスクについてＤＯ／ＤＩの値とその発生位置を記録する。そして、上記条件で磁気転写装置によりクリーニングを行ない、塵埃（異物の粒子）の個数が０にまるまでクリーニングを繰り返した後に転写を実施した。
比較例１としては、同じＨＤＤ用の磁気ディスクを同じ枚数だけ準備し、これら磁気ディスクについてクリーニングを行わずに磁気転写のみを実施した。比較例２としては、同じＨＤＤ用の磁気ディスクを同じ枚数だけ準備し、これら磁気ディスクについて、１回だけクリーニングを行い、その後、磁気転写を実施した。本試験の結果を表１に示す。
【００５７】
【表１】
2005063579.tif 000003
【００５８】
表１に示すように、実施例では、磁気転写後のＤＯ／ＤＩの値を測定したが、ＤＯ／ＤＩの値の増加が見られなかったのに対し、比較例１では後に磁気転写を行った磁気ディスクほどＤＯ／ＤＩの値が増加することがわかった。具体的には、１枚目の磁気転写後の磁気ディスクについてＤＯが発生し、５０枚目の磁気ディスクではＤＯ／ＤＩの値が１００個／面以上となった。
また、比較例２では、ＤＯ／ＤＩの値の増加量は比較例１ほど多くないものの、１０００枚磁気転写させた状態で１０００個／面程度となった。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明に係る磁気転写装置におけるクリーニング手段を示す説明図である。
【図２】図１の矢印Ｘにおける拡大断面図である。
【図３】本発明に係る磁気転写装置におけるクリーニング時の状態を示す説明図である。
【図４】本発明に係る磁気転写装置における磁気転写時の状態を示す説明図である。
【図５】本発明に係る磁気転写装置を用いた場合のクリーニングと磁気転写の工程を説明するフ  ローチャートである。
【符号の説明】
【００６０】
１      磁気転写用マスター担体
２      磁気記録媒体（スレーブ媒体）
１０      クリーニング手段
１１      ノズル部
１２      ノズル体
１００    磁気転写装置
Ｐ      異物の粒子（パーティクル）
【図１】
2005063579.tif 000004
【図２】
2005063579.tif 000005
【図３】
2005063579.tif 000006
【図４】
2005063579.tif 000007
【図５】
2005063579.tif 000008