(57)【要約】【課題】  マスターの交換時などにおける位置調整作業等のために磁気転写作業の停止時間を短くして稼働効率を高める。【解決手段】  接離移動する片側ホルダー11と他側ホルダー12を備え、転写を受けるスレーブ媒体２の両面に情報に対応した転写パターンを有するマスター３，４を密着させる転写ホルダー10と、スレーブ媒体２とマスター３，４との重畳体に転写用磁界を印加する磁界印加装置８とを備え、転写ホルダー10の片側ホルダー11と他側ホルダー12とを一体として取り扱う。外段取りで片側ホルダー11と他側ホルダー12とに保持するマスター３，４の位置合わせを行うのが好ましい。【選択図】      図１
2005190524.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
接離移動する片側ホルダーと他側ホルダーとを有し、該片側ホルダーと他側ホルダーとの間で、転写を受けるスレーブ媒体と転写パターンを有するマスターとを密着させる転写ホルダーと、該スレーブ媒体とマスターとの重畳体に転写用磁界を印加する磁界印加装置とを備えた磁気転写装置において、
前記転写ホルダーの片側ホルダーと他側ホルダーとを一体として取り扱うことを特徴とする磁気転写装置。
【請求項２】
前記転写ホルダーは、前記片側ホルダーと他側ホルダーとを一体として装置本体より脱着可能な構造であり、外段取りで前記片側ホルダーと他側ホルダーとに保持するマスターの位置合わせを行うことを特徴とする請求項１に記載の磁気転写装置。
【請求項３】
一方のマスターを保持した前記片側ホルダーを支持する支持部材と、他方のマスターを保持した前記他側ホルダーを保持する支持部材と、両支持部材を接離移動可能に保持する基台とが一体に組み立てられ、装置本体より脱着可能であることを特徴とする請求項１または２に記載の磁気転写装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、情報が担持されたマスターを用いてスレーブ媒体へ磁化パターンを磁気転写する磁気転写装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
本発明の対象とする磁気転写は、少なくとも表層に磁性層を有するサーボ信号等の転写パターンが凹凸形状あるいは埋め込み構造で形成されたマスター（パターンドマスター）を、磁性層を有するスレーブ媒体と密着させた状態で、転写用磁界を印加してマスターに担持した情報に対応する磁化パターンをスレーブ媒体に転写記録するものである。
【０００３】
また、スレーブ媒体がハードディスクまたは高密度フレキシブルディスクのような円盤状媒体の場合には、このスレーブ媒体の両面に円盤状のマスターを密着させた状態で、その片側または両側に電磁石装置、永久磁石装置による磁界印加装置を配設して転写用磁界を印加する。
【０００４】
例えば、スレーブ媒体の両面にマスターを配置して両面同時転写を行う場合に、両側のマスターを転写ホルダーの接離移動する片側ホルダーと他側ホルダーにおける圧接部材に吸着・保持させて磁気転写する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。また、マスターを交換する際には、このマスターを位置決め保持した各ホルダーとともに交換することが提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２００２−１６３８２３号公報
【特許文献２】特開２００３−０９９９２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記のような磁気転写を行う際の重要な課題の一つに、マスターとスレーブ媒体との位置決めを精度良く行うことがある。特に、ハードディスク、高密度フレキシブルディスク等のスレーブ媒体では、磁気転写後にドライブ装置に取り付けられたときの回転中心と転写記録された磁化パターンの中心とが精度良く一致していなければならない。
【０００６】
さらに、スレーブ媒体の両面にマスターを配置して両面同時転写を行う場合には、両側のマスターの高い位置決め精度が要求され、この調整を前述のような先行技術では磁気転写装置において行っていたため、その調整・確認作業の間は磁気転写が行えず、装置の稼働効率の低下を招く問題があった。
【０００７】
つまり、従来の転写ホルダーでは、両側の片側ホルダーと他側ホルダーとが分離した構造のため、この片側ホルダーと他側ホルダーをそれぞれ保持する保持部材を転写装置本体に設置し、その装着後に両マスターの位置合わせを実施する必要があり、実際の磁気転写工程を停止するために稼働率の低下を招いていた。
【０００８】
例えば、スレーブ媒体の両面に信号を転写する場合、両面それぞれに転写される信号は、数十ミクロンオーダーの高い同芯度が要求される場合が多い。これを実現させるためには、磁気転写時にスレーブ媒体の両側に位置する２枚のマスターにおける転写パターンの中心を正確に一致させる必要がある。その位置決めでは、位置決めピンを用いるような方式では十分な精度を得ることは難しいために、位置検出器を用いてホルダーに保持されたマスターにおける転写パターンの位置ずれ量を検出し、それに基づいてマスターをホルダー上で微小移動させる装置が提案されているが、精度維持が煩雑で多くの時間を要する問題がある。
【０００９】
本発明はこのような点に鑑みなされたもので、マスターの交換時などにおける位置調整作業等のためによる磁気転写作業の停止時間を短くして稼働効率を高めるようにした磁気転写装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の磁気転写装置は、接離移動する片側ホルダーと他側ホルダーとを有し、該片側ホルダーと他側ホルダーとの間で、転写を受けるスレーブ媒体と転写パターンを有するマスターとを密着させる転写ホルダーと、該スレーブ媒体とマスターとの重畳体に転写用磁界を印加する磁界印加装置とを備えた磁気転写装置において、前記転写ホルダーの片側ホルダーと他側ホルダーとを一体として取り扱うことを特徴とするものである。
【００１１】
その際、前記転写ホルダーは、前記片側ホルダーと他側ホルダーとを一体として装置本体より脱着可能な構造であり、外段取りで前記片側ホルダーと他側ホルダーとに保持するマスターの位置合わせを行うことが好適である。
【００１２】
また、一方のマスターを保持した前記片側ホルダーを支持する支持部材と、他方のマスターを保持した前記他側ホルダーを保持する支持部材と、両支持部材を接離移動可能に保持する基台とが一体に組み立てられ、装置本体より脱着可能であることが好適である。
【発明の効果】
【００１３】
上記のような本発明によれば、片側ホルダーと他側ホルダーとの間で、転写を受けるスレーブ媒体の両面に片側ホルダーおよび他側ホルダーに保持され転写情報に対応した転写パターンを有するマスターを密着させる転写ホルダーを備え、この転写ホルダーの片側ホルダーと他側ホルダーとを一体として取り扱うようにしたために、装置本体への脱着が精度を確保した状態で容易に行えるため、片側ホルダーおよび他側ホルダーに保持した両マスター上の各転写パターンの相対位置の設定、修正、確認等の作業が終了した転写ホルダーを設置することで、マスターの交換作業等が簡易に効率よく行え、停止時間の短縮によって磁気転写装置の稼働効率の向上が図れるものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面に示す実施の形態に基づいて本発明を詳細に説明する。図１は一実施形態にかかる磁気転写装置の概略機構を示す斜視図、図２は転写ホルダーの開状態を示す概略正面図である。
【００１５】
図１に示す磁気転写装置１は、相対的に接離移動する縦型の片側ホルダー１１と他側ホルダー１２を有し、この片側ホルダー１１と他側ホルダー１２との間に、図２のようにスレーブ媒体２、マスター３，４を配置して中心位置を合わせた状態でスレーブ媒体２の両面にマスター３，４を重畳密着させる転写ホルダー１０を備える。
【００１６】
また、磁気転写装置１は、転写ホルダー１０を開閉作動する開閉駆動装置７と、転写ホルダー１０におけるスレーブ媒体２とマスター３，４との重畳体に対し転写用磁界を印加する磁界印加装置８とを備え、さらに、図示してないが、転写ホルダー１０内のエアを排出して内部を減圧状態とする減圧手段、両側ホルダー１１，１２を回転駆動する回転駆動装置などを備える。
【００１７】
そして、前記転写ホルダー１０は、片側ホルダー１１と他側ホルダー１２とを一体として取り扱うように設置されている。つまり、片側ホルダー１１および他側ホルダー１２は円盤状で、マスター３，４の外径より大きい円形状の内面１１ａ，１２ａを備え、この内面１１ａ，１２ａにそれぞれマスター３，４を両ホルダー１１，１２の中心に対してマスター３，４の中心（転写パターンの中心位置）を所定の位置決め精度でエアー吸引などによって保持する。この両側ホルダー１１，１２の背面中心にはそれぞれ支持軸１１ｂ，１２ｂを備え、この支持軸１１ｂ，１２ｂが両側の受け部材１３，１４に回転可能に支承されている。
【００１８】
両側の受け部材１３，１４は、それぞれ支持部材１５，１６の上端に固着され、さらに、両側の支持部材１５，１６が下部の基台１７に取り付けられて、片側ホルダー１１と他側ホルダー１２とが転写ホルダー１０として一体に取り扱われる。
【００１９】
片側ホルダー１１を保持する一方の支持部材１５は、基台１７に対して移動不能に取り付けられているが、他側ホルダー１２を保持する他方の支持部材１６は、基台１７に対して軸方向と平行に往復移動可能に、すなわち他側ホルダー１２が片側ホルダー１１に対して接離移動可能に取り付けられている。この他方の支持部材１６は操作軸１８の回転駆動に伴って基台１７に沿って移動するように連係され、操作軸１８の端部は継手構造に設けられ、開閉駆動装置７の駆動軸７１と脱着可能に接続される。駆動軸７１は駆動モータ７０によって駆動され、他側ホルダー１２を開閉作動する際に正逆回転の駆動制御が行われる。
【００２０】
上記他側ホルダー１２の開閉作動は、連続的な磁気転写における転写前のスレーブ媒体２のセットおよび転写後のスレーブ媒体２の排出時に行われるもので、その制御は装置側によって自動的に行われ、外段取りでのマスター３，４の調整・セット時には手動または自動で開閉作動が行われる。
【００２１】
そして、前記転写ホルダー１０は、両側ホルダー１１，１２を含む組立体が基台１７と共に磁気転写装置１に対して脱着され、装置外の外段取りでマスター３，４の交換、クリーニング等のメンテナンス作業および補修作業等が行われる。
【００２２】
転写用磁界を印加する磁界印加装置８は、面内記録の場合には、例えば、スレーブ媒体２の半径方向に延びるギャップ８１を有するコア８２（コイルが巻き付けられる）で構成されたリング型ヘッド電磁石が両側に配設されてなり、左右で同じ方向にトラック方向と平行に発生させた転写用磁界を印加する。転写ホルダー１０の両側ホルダー１１，１２を不図示の回転駆動装置により回転させて、スレーブ媒体２とマスター３，４の重畳体の全面に転写用磁界を印加する。磁界印加装置８を回転移動させるように設けてもよい。磁界印加装置８は、片側にのみ配設するようにしてもよく、永久磁石装置を両側または片側に配設してもよい。
【００２３】
また、垂直記録の場合の磁界印加装置８は、極性の異なる電磁石または永久磁石を転写ホルダー１０の両側に配置し、垂直方向に転写用磁界を発生させて印加する。部分的に磁界を印加するものでは、転写ホルダー１０を移動させるか磁界を移動させて全面の磁気転写を行う。
【００２４】
なお、転写ホルダー１０は片側ホルダー１１と他側ホルダー１２との間に密閉空間を形成して、その空間内にスレーブ媒体２およびマスター３，４を保持し、減圧状態で密着させることで密着力を得るとともに、密着性を高めるようになっている。
【００２５】
スレーブ媒体２は円盤状でディスク状非磁性支持体の少なくとも片面に磁性層を有するハードディスク、高密度フレキシブルディスクなどの磁気ディスク媒体が使用される。また、マスター３，４は円盤状ディスクに形成され、基板上の片面に形成された微細凹凸パターンに軟磁性体が被覆されてなる転写パターン（不図示）を有する。
【００２６】
転写ホルダー１０の片側ホルダー１１および他側ホルダー１２の少なくとも一方の内面には、シート状の弾性材を取り付け、均等加圧により密着性を高めるようにしてもよく、この弾性材にマスター３，４を保持する。
【００２７】
上記片側ホルダー１１および他側ホルダー１２のマスター３，４の位置決め調整は、例えば次のように行う。まず、各ホルダー１１，１２に保持したマスター３，４の中心のずれ量を検出する。このずれ量の検出は、各マスター３，４（転写パターン）の中心位置を求め、各ホルダー１１，１２の中心位置に対する距離および基準位相に対する角度を求める。その検出は、画像処理センサーなどの検出器（不図示）を用い、マスター３，４上の転写パターンまたは基準マークを複数点測定し、その情報より中心位置を算出することで行える。次に、検出した上記ずれ量より、両側のマスター３，４の移動調整の方向と量を演算し、それに基づいてマスター３，４を微小移動調整する。調整後、再度両側のマスター３，４の中心位置のずれ量を検出し、所定範囲内となるまでこれを繰り返し、両マスター３，４の中心間のずれ量が許容範囲内にあることを確認して位相調整処理を完了する。
【００２８】
これらのずれ検出・回転調整は、磁気転写装置１より転写ホルダー１０を外して外段取りで最適化を行い。両側ホルダー１１，１２の関係を一体的に扱うことによって保持し、装置本体にそのままセットする。
【００２９】
なお、前記マスター３，４の中心位置のずれ量の測定手段としては、画像センサやレーザー変位計などの検出器を用いて直接マスター３，４の位置を測定してもよいし、磁気転写されたスレーブ媒体２に転写記録された磁化パターンの位置を測定してもよい。
【００３０】
磁気転写を行う際には、スレーブ媒体２における磁性層の磁化を、予め面内記録なら面内トラック方向に、また垂直記録なら垂直方向に初期直流磁化しておく。このスレーブ媒体２をマスター３，４と密着させ、初期直流磁化方向と略逆向きのトラック方向または垂直方向に転写用磁界を印加して磁気転写を行う。
【００３１】
上記磁気転写装置１では、同じマスター３，４により複数のスレーブ媒体２に対する磁気転写を連続して行うものであり、まず片側ホルダー１１および他側ホルダー１２に外段取りでマスター３，４を位置を合わせて保持させた転写ホルダー１０を転写装置本体にセットし、その操作軸１８を磁気転写装置１の開閉駆動装置７の駆動軸７１と接続しておく。そして、片側ホルダー１１と他側ホルダー１２とを離間した開状態で、予め面内方向または垂直方向の一方に初期磁化したスレーブ媒体２を中心位置を合わせてセットした後、開閉駆動装置７の駆動モータ７０を駆動して駆動軸７１および操作軸１８の回転によって他方の支持部材１６を平行移動させ他側ホルダー１２を片側ホルダー１１に接近移動させる。
【００３２】
そして、両側ホルダー１１，１２の接近により内部空間を密閉し、スレーブ媒体２とマスター３，４とが押圧状態となる前に、減圧手段により密閉空間のエア排出を行って減圧し、内部を所定の真空度とした後に、さらに他側ホルダー１２を接近作動させ、スレーブ媒体２とマスター３，４とを所定の密着圧力で重畳密着させる。
【００３３】
その後、両側ホルダー１１，１２の両側に磁界印加装置８のコア８２を接近させ、両側ホルダー１１，１２を一体に回転させつつ磁界印加装置８によって初期磁化とほぼ反対方向に転写用磁界を印加し、マスター３，４の転写パターンに応じた磁化パターンをスレーブ媒体２の磁性層に転写記録する。
【００３４】
磁気転写後のスレーブ媒体２の検査等によって、転写不良等の異常が判別されたとき、または定期的にマスター３，４のクリーニング、交換等のメンテナンスを行う際には、基台１７より上部の図２に示す組立体として片側ホルダー１１および他側ホルダー１２を一体に扱って転写ホルダー１０を磁気転写装置１より取り外し、そのメンテナンス処理を行う。予備の転写ホルダー１０を磁気転写装置１にセットして磁気転写を継続する。
【００３５】
本実施形態によれば、片側ホルダー１１と他側ホルダー２とを一体とした転写ホルダー１０を磁気転写装置１に対して脱着できるようにしたことにより、マスター３，４の交換作業時には転写ホルダー１０を磁気転写装置１より取り外して、外段取りでマスター３，４の脱着、位置調整、クリーニング等を行え、その間は別の転写ホルダー１０を磁気転写装置にセットしておくことで、磁気転写処理の稼働率の向上が図れる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の一実施形態にかかる磁気転写装置の概略機構を示す斜視図
【図２】磁気転写装置より取り外した転写ホルダーの開状態を示す概略正面図
【符号の説明】
【００３７】
１    磁気転写装置
２    スレーブ媒体
３，４    マスター
７    開閉駆動装置
８    磁界印加装置
10    転写ホルダー
11    片側ホルダー
12    他側ホルダー
11a,12a   内面
11b,12b   支持軸
15，16    支持部材
17    基台
【図１】
2005190524.tif 000003
【図２】
2005190524.tif 000004