(57)【要約】【課題】  所定高さを有する立体形状のスパイラル接触子を容易且つ適切に形成でき、さらにスパイラル接触子の内部に残留する応力を容易且つ適切に除去できる接続装置の製造方法、および接続装置の製造装置を提供する。【解決手段】  基台１１に設けられた複数の接触子２０に加熱した流体６００を衝突させ、前記流体６００が前記接触子２０を押圧する圧力で変形させて成型する。前記接触子２０は前記流体６００によって押圧されるものであるため、接触子に対して均一に押圧力が与えられるため、適切な形状に立体成型することが可能である。また、前記流体は加熱されているため、前記接触子が成型されたときの塑性変形によって前記接触子に応力が与えられた場合、この残留応力を前記流体の熱で除去できる。【選択図】  図１１
2005190905.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台と、前記基台に設けられた複数の接触子とを有し、電子部品の複数の外部接続部が、前記接触子にそれぞれ接触する接続装置の製造方法において、
（ａ）流体を加熱する工程と、
（ｂ）前記接触子に、加熱された前記流体を衝突させて押圧し、前記接触子を前記押圧力で変形させて成型する工程と、
を有することを特徴とする接続装置の製造方法。
【請求項２】
前記（ａ）工程で、前記流体を１５０℃から３００℃に加熱する請求項１記載の接続装置の製造方法。
【請求項３】
前記（ｂ）工程で、前記流体の流れ方向と直交する方向における流体中央領域に前記接触子を位置させ、前記接触子を成型する請求項１または２のいずれかに記載の接続装置の製造方法。
【請求項４】
請求項１ないし３の製造方法を用いて前記接触子を成型するための接続装置の製造装置において、
前記接触子が内部に装着されるホルダーと、
前記ホルダー内部に連通する内径部を有し、前記内径部に流体が流される流体通路と、
前記ホルダー内部に流入するように、前記流体を加圧する加圧手段または減圧する減圧手段と、
前記流体を加熱する加熱手段と、
前記接触子に対して与えられる前記流体の圧力を増減調節する調圧手段と、
を有し、前記接触子が前記ホルダー内部に装着された状態で、前記ホルダーの外部から内部を通過し更に外部へ前記流体が流され、このとき前記接触子が前記流体により押圧されることを特徴とする接続装置の製造装置。
【請求項５】
前記加熱手段によって、前記流体を１５０℃〜３００℃の温度に加熱する請求項４記載の接続装置の製造方法。
【請求項６】
前記流体の流れ方向と直交する方向における流体中央領域に前記接触子が位置する状態で装着される請求項４または５記載の接続装置の製造装置。
【請求項７】
前記ホルダー内には、前記流体の流れ方向に対して下流側に位置する下流側支持部材と上流側に位置する上流側支持部材とが設けられ、前記接触子が前記下流側支持部材および上流側支持部材との間に挟持されて装着される請求項４ないし６のいずれかに記載の接続装置の製造装置。
【請求項８】
前記上流側支持部材に、前記接触子と対向する位置に穴部が形成されている請求項４ないし７のいずれかに記載の接続装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばＩＣ（集積回路）等が装着されるＩＣソケットである接続装置の製造方法に係わり、特に、前記接続装置内に搭載されるスパイラル接触子を所定高さを有する立体形状に容易且つ適切に成形できるとともに、スパイラル接触子の内部に残留する応力を容易且つ適切に除去できる接続装置の製造方法、および接続装置の製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
以下に示す特許文献１に記載されている半導体検査装置は、半導体を外部の回路基板などに電気的に仮接続させるものである。半導体の背面側には格子状またはマトリックス状に配置された多数の球状接触子が設けられており、これに対向する絶縁基板上には多数の凹部が設けられ、この凹部内にスパイラル接触子が対向配置されている。
【０００３】
前記半導体の背面側を前記絶縁基板に向けて押圧すると、前記球状接触子の外表面に前記スパイラル接触子が螺旋状に巻き付くように接触するため、個々の球状接触子と個々のスパイラル接触子との間の電気的接続が確実に行われるようになっている。
【特許文献１】特開２００２−１７５８５９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところでこの特許文献１におけるスパイラル状接触子は、平面的な形態であり、立体フォーミングは施されていない。
【０００５】
しかし、前記スパイラル状接触子をある程度、立体フォーミングしておいた方が、前記球状接触子との電気的接続を良好且つ確実なものにできて好ましい。
【０００６】
例えば前記立体フォーミングは以下の方法によって実現することが可能である。
図１４はスパイラル接触子８５０の平面図であり、図１５ないし図１７は従来における立体フォーミング方法を説明するための各工程を示す工程図である。
【０００７】
図１５に示すように、前記スパイラル接触子８５０は、まず平面的に形成され、前記スパイラル接触子８５０の基部８５０ｂが、接着剤８５１を介して基台８５２に接合される。なお前記基台８５２には前記スパイラル接触子８５０と対向する位置に穴部８５２ａが設けられている。
【０００８】
図１５に示すように、前記スパイラル接触子８５０の下方から前記穴部８５２ａ内に治具である突出調整部材８７０を通し、前記突出調整部材８７０を前記スパイラル接触子８５０の各ターン毎の接触子片８５０ａに当接させて上方に押し上げ、図１６に示すように、各接触子片８５０ａを上方に突き出す。そして前記突出調整部材８７０を取り除き、図１７に示す状態とする。
【０００９】
しかしながら、図１５ないし図１７に示す立体フォーミング工程を有するスパイラル接触子８５０の製造方法や治具である前記突出調整部材８７０には、以下のような問題点が発生した。
【００１０】
まず、図１５ないし図１７に示す製造方法では、前記スパイラル接触子８５０は、通常、接続装置に一個ではなく複数個設けられている。図１５ないし図１７に示す立体フォーミング方法では、個別に前記スパイラル接触子８５０を立体成形していくため、各スパイラル接触子８５０の高さ寸法（突き出し寸法）にばらつきが生じやすくなっていた。特に、前記突出調整部材８７０を前記接触子片８５０ａに当接させて上方に押し上げる際、前記突出調整部材８７０が前記接触子片８５０ａに当接する位置が各スパイラル接触子８５０毎で微妙にズレてしまい、立体フォーミング後のスパイラル接触子８５０の形状や高さ寸法を精度良く一定に形成することは非常に困難である。
【００１１】
また、前記接触子片８５０ａを前記突出調整部材８７０で上方に押し上げた際に、前記接触子片８５０ａには塑性変形によって応力が与えられるため、前記突出調整部材８７０を除去した後の立体フォーミングされた前記スパイラル接触子８５０には内部応力が残留してしまう。
【００１２】
また、前記突出調整部材８７０は前記接触片子８５０ａに当接させて押し上げるため、前記突出調整部材８７０には強い外力が加わる。したがって、前記突出調整部材８７０は消耗し易く寿命が短い。
【００１３】
しかも、前記突出調整部材８７０は、１個の前記突出調整部材８７０で１個の前記スパイラル接触子８５０しか形成できないため製造効率が低く、製造コストが高くなる。
【００１４】
本発明は上記従来の課題を解決するものであり、所定高さを有する立体形状のスパイラル接触子を容易且つ適切に形成でき、さらにスパイラル接触子の内部に残留する応力を容易且つ適切に除去できる接続装置の製造方法、および接続装置の製造装置に関する。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は、基台と、前記基台に設けられた複数の接触子とを有し、電子部品の複数の外部接続部が、前記接触子にそれぞれ接触する接続装置の製造方法において、
（ａ）流体を加熱する工程と、
（ｂ）前記接触子に、加熱された前記流体を衝突させて押圧し、前記接触子を前記押圧力で変形させて成型する工程と、
を有することを特徴とするものである。
【００１６】
本発明では、前記スパイラル接触子に加熱された前記流体が衝突し、この加熱流体の押圧力によって前記スパイラル接触子が変形して成型される。
【００１７】
前記接触子は前記流体によって押圧されるものであるため、接触子に対して均一に押圧力が与えられることとなる。したがって、前記接触子が曲がった状態に成型されるおそれが無く、適切な形状に成型することが可能である。また、複数の前記接触子を同時に前記流体で変形させることができるため、複数の接触子を全て均一な形状や高さ寸法によって成型することが可能となる。
【００１８】
また、前記流体は加熱されているため、前記接触子が立体成型されたときの塑性変形によって前記接触子に応力が与えられた場合、残留応力を前記流体の熱で除去できる。したがって、本願発明の方法によれば、成型と応力除去のための熱処理を同時に行うことができるため、製造工程を少なくし、立体成型された接触子を容易に製造することが可能となる。
【００１９】
また、前記流体は前記加熱手段によって加熱されるため、特に前記流体が油などの液体である場合には前記流体の粘度を低くすることができるため、前記流体が流れ易くなり、前記接触子を迅速に成型することができるという効果もある。
【００２０】
この場合、前記（ａ）工程で、前記流体を１５０℃から３００℃に加熱することが好ましい。
【００２１】
この温度範囲内に前記流体が加熱されると、塑性変形によって前記接触子に生じた残留応力を効果的に除去できる。
【００２２】
また、前記（ｂ）工程で、前記流体の流れ方向と直交する方向における流体中央領域に前記接触子を位置させ、前記接触子を成型することが好ましい。
【００２３】
このように構成すると、前記流体の圧力がほぼ一定となる領域に前記接触子を位置させることとなるため、前記接触子を均一な形状や高さ寸法で成型し易くなる。
【００２４】
また本発明は、前記した接続装置の各製造方法を用いて前記接触子を成型するための接続装置の製造装置において、
前記接触子が内部に装着されるホルダーと、
前記ホルダー内部に連通する内径部を有し、前記内径部に流体が流される流体通路と、
前記ホルダー内部に流入するように前記流体を加圧する加圧手段と、
前記流体を加熱する加熱手段と、
前記接触子に対して与えられる前記流体の圧力を増減調節する調圧手段と、
を有し、前記接触子が前記ホルダー内部に装着された状態で、前記ホルダーの外部から内部を通過し更に外部へ前記流体が流され、このとき前記接触子が前記流体により押圧されることを特徴とするものである。
【００２５】
本発明の接続装置の製造装置は、前記した接続装置の各製造方法を実施することができるものであり、したがって、残留応力が除去された均一な形状や高さ寸法で成型された接触子を、少ない製造工程で容易に製造することが可能となる。本願発明の前記製造装置では、前記流体が流れる際の圧力が前記調圧手段によって調整される。したがって、前記接触子に押圧力が掛かり過ぎて変形量が大きくなり過ぎたり、または押圧力が小さすぎて所望の変形量が得られなかったりすることが無く、前記接触子を適切な形状に歩留まり良く成型することが可能となる。
【００２６】
また、前記接触子に直接衝突するのは前記流体であるため、例えば図１６に示す従来の立体成型法の突出調整部材のように直接に強い外力が加わる部材がないため、前記製造装置の寿命を長くすることが可能となる。
【００２７】
この場合、前記加熱手段によって、前記流体を１５０℃〜３００℃の温度に加熱するものとして構成することができる。
【００２８】
また、前記流体の流れ方向と直交する方向における流体中央領域に前記接触子が位置する状態で装着されるものとして構成することが好ましい。
【００２９】
前記流体通路の内径部を流れる前記流体の圧力分布について、一般的に前記内径部の内側面付近では圧力が小さく、前記流体の流れ方向と直交する方向での中央部に向かうにしたがって圧力は大きくなる。そして中央部付近には前記流体の圧力はほぼ一定となる領域（以下「流体中央領域」という）が存在する。前記装置では、前記流体通路の前記内径部に流れる前記流体の圧力がほぼ一定となる前記流体中央領域に前記接触子が位置するように構成されているため、前記接触子を均一な形状や高さ寸法によって立体成型し易い。
【００３０】
また、前記ホルダー内には、前記流体の流れ方向に対して下流側に位置する下流側支持部材と上流側に位置する上流側支持部材とが設けられ、前記接触子が前記下流側支持部材および上流側支持部材との間に挟持されて装着されるものとして構成することができる。
【００３１】
このように構成すると、前記流体による押圧力によって前記接触子を接合している部材が破損することを防止できる。
【００３２】
この場合、前記上流側支持部材に、前記接触子と対向する位置に穴部が形成されているものとして構成することができる。
【００３３】
このように構成すると、前記流体の圧力損失を低減することができるため、前記スパイラル接触子を効率よく成型でき、製造効率の向上を図ることができる。
【発明の効果】
【００３４】
本発明では、前記スパイラル接触子に加熱された前記流体が衝突し、この加熱流体の圧力によって前記スパイラル接触子が押圧される。そして、この押圧力によって前記接触子が変形し、立体成型される。
【００３５】
前記接触子は前記流体によって押圧されるものであるため、接触子に対して均一に押圧力が与えられることとなる。したがって、前記接触子が曲がった状態に成型されるおそれが無く、適切な形状に成型することが可能である。また、複数の前記接触子を同時に前記流体で変形させることができるため、複数の接触子を全て均一な形状や高さ寸法によって成型することが可能となる。
【００３６】
また、前記流体は加熱されているため、前記接触子が立体成型されたときの塑性変形によって前記接触子に応力が与えられた場合、残留応力を前記流体の熱で除去できる。したがって、本願発明の方法によれば、成型と応力除去のための熱処理を同時に行うことができるため、製造工程を少なくし、成型された接触子を容易に製造することが可能となる。
【００３７】
また、前記流体は前記加熱手段によって加熱されるため、特に前記流体が油などの液体である場合には前記流体の粘度を低くすることができるため、前記流体が流れ易くなり、前記接触子を迅速に立体成型することができるという効果もある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３８】
図１は電子部品の動作を確認するための試験に用いられる検査装置を示す斜視図、図２は図１の２−２線における断面図を示し、電子部品が装着された状態の断面図である。
【００３９】
図１に示すように、検査装置１０は基台１１と、この基台１１の一方の縁部に設けられたひんじ部１３を介して回動自在に支持された蓋体１２とで構成されている。前記基台１１および蓋体１２は絶縁性の樹脂材料などで形成されており、前記基台１１の中心部には図示Ｚ２方向に凹となる装填領域１１Ａが形成されている。そして、前記装填領域１１Ａ内に半導体などの電子部品１が装着できるようになっている。また基台１１の他方の縁部には、被ロック部１４が形成されている。
【００４０】
図２に示すように、この検査装置１０は、電子部品１の下面に多数の球状接触子（外部接続部）１ａがマトリックス状（格子状または碁盤の目状）に配置されたものを検査対象とするものである。
【００４１】
図２に示すように、前記装填領域１１Ａには所定の径寸法からなり、装填領域１１Ａの表面から基台１１の裏面に貫通する複数の凹部（スルーホール）１１ａが、前記電子部品１の球状接触子１ａに対応して設けられている。
【００４２】
前記凹部１１ａの上面（装填領域１１Ａの表面）には、接触子が渦巻き状に形成された複数のスパイラル接触子２０が設けられている。
【００４３】
図３は前記スパイラル接触子２０の斜視図である。図３に示すように、前記スパイラル接触子２０は基台１１に、図示Ｘ方向及びＹ方向に所定間隔を空けて複数形成されている。
【００４４】
前記各スパイラル接触子２０は、図３のように、前記凹部１１ａの上方の開口端の縁部に固定された基部２１を有し、スパイラル接触子２０の巻き始端２２が前記基部２１側に設けられている。そして、この巻き始端２２から渦巻き状に延びる巻き終端２３が前記凹部１１ａの中心に位置するようになっている。
【００４５】
前記凹部１１ａの内壁面には図示しない導通部が形成されており、導通部の上端と前記スパイラル接触子２０の前記基部２１とが導電性接着材などで接続されている。また凹部１１ａの下方の開口端は前記導通部に接続された接続端子１８で塞がれている。
【００４６】
図２に示すように、前記基台１１の下方には複数の配線パターンやその他の回路部品を有するプリント基板２９が設けられており、前記基台１１はこのプリント基板２９上に固定されている。前記プリント基板２９の表面には前記基台１１の底面に設けられた接続端子１８に対向する対向電極２８が設けられており、前記各接続端子１８が各対向電極２８にそれぞれ接触することにより、電子部品１とプリント基板２９とが検査装置１０を介して電気的に接続される。
【００４７】
一方、検査装置１０の蓋体１２の内面の中央の位置には、電子部品１を図示下方に押し付ける凸形状の押圧部１２ａが前記装填領域１１Ａに対向して設けられている。また前記ひんじ部１３と逆側となる位置にはロック部１５が形成されている。
【００４８】
前記蓋体１２の内面と押圧部１２ａとの間には前記押圧部１２ａを蓋体１２の内面から遠ざかる方向に付勢するコイルスプリングなどからなる付勢部材が設けられている（図示せず）。従って、電子部品１を前記凹部１１ａ内に装着して蓋体１２を閉じてロックすると、電子部品１を装填領域１１Ａの表面に接近する方向（Ｚ２方向）に弾性的に押し付けることが可能となっている。
【００４９】
前記基台１１の装填領域１１Ａの大きさは、前記電子部品１の外形とほぼ同じ大きさであり、電子部品１を前記装填領域１１Ａに装着して蓋体１２をロックすると、電子部品１側の各球状接触子１ａと検査装置１０側の各スパイラル接触子２０とが正確に対応して位置決めできるようになっている。
【００５０】
蓋体１２のロック部１５が基台１１の被ロック部１４にロックされると、電子部品１が前記押圧部１２ａによって図示下方に押し付けられるため、前記各球状接触子１ａが各スパイラル接触子２０を凹部１１ａの内部方向（図示下方）に押し下げる。同時に、スパイラル接触子２０の外形は、前記巻き終端２３から巻き始端２２方向（渦巻きの中心から外方向）に押し広げられるように変形し、前記球状接触子１ａの外表面を抱き込むように巻き付き、各球状接触子１ａと各スパイラル接触子２０とが接続される。
【００５１】
図３に示すように、各スパイラル接触子２０は、その巻き終端２３付近が最も高く突き出すように山型形状に立体成形されたものである。
【００５２】
本発明におけるスパイラル接触子２０は、次のような方法および製造装置によって製造される。図４ないし図１１は本発明におけるスパイラル接触子２０の製造方法を示す一工程図、若しくはスパイラル接触子２０の製造装置を示す図である。
【００５３】
図４に示す符号３０は、基板であり、前記基板３０は絶縁基板でも導電基板でもどちらでもよい。
【００５４】
図４に示す工程では、前記基板３０上にレジスト層３１を例えばスピンコートなどで塗布し、露光現像により、図６に示すスパイラル接触子２０の形状のパターン３１ａを形成する。
【００５５】
次に前記パターン３１ａ内にスパイラル接触子２０を構成する各接触子片２０ａ及び基部２１をメッキ形成する。
【００５６】
ここで前記接触子片２０ａ及び基部２１を単層でメッキ形成しても、材質の異なる複数の層を積層してメッキ形成してもどちらでもよい。例えば前記接触子片２０ａ及び基部２１を、ＣｕとＮｉ、あるいはＮｉとＡｕなどを積層メッキ形成する。
【００５７】
なお図４工程で、基板３０に絶縁基板を用いた場合には、前記レジスト層３１を塗布する前に前記基板３０上にメッキ下地層をスパッタ法などで形成しておく必要があるが、前記基板３０に導電基板を用いた場合には、前記メッキ下地層の形成は必要ない。
【００５８】
次に図５に示す工程では、まず前記レジスト層３１を薬品により除去する。次に、各スパイラル接触子２０の基部２１間を接合部材３２によって繋ぐ。前記接合部材３２には、表裏を貫通し、前記スパイラル接触子２０よりも一回り大きい穴部３２ａが設けられており、この穴部３２ａとスパイラル接触子２０とを位置合わせし、前記スパイラル接触子２０の基部２１上に前記接合部材３２を貼り付けて、コイルシート１１０を形成する。前記接合部材３２は例えばポリイミド等で形成される。そして前記基板３０を除去する。
【００５９】
図５の時点において、各スパイラル接触子２０を真上から見ると図６に示す形状になっている。図４、図５に示す工程で形成された前記スパイラル接触子２０は平面的に形成され、前記スパイラル接触子２０を構成する各接触子片２０ａは全てほぼ同じ高さとなっている。
【００６０】
図７は前記コイルシート１１０の全体を示す平面図である。図７に示すように、前記穴部３２ａは前記接合部材３２の内側にマトリックス状（格子状または碁盤の目状）に複数配置されており、複数の前記穴部３２ａ全体で前記接合部材３２の平面形状と相似する四角形を形成している。複数の前記穴部３２ａの内側に前記スパイラル接触子２０が接合されている。
【００６１】
前記スパイラル接触子２０は、図８および図９に示す装置２００によって立体成型される。
【００６２】
まず、図８および図９に示す前記装置２００について説明する。図８は前記装置２００の部分分解斜視図、図９は図８の９−９線での切断断面図である。
【００６３】
図８および図９に示すように、前記装置２００は、中空状の管２１０ａを有する下流側ホルダー２１０と、同じく中空状の管２２０ａを有する上流側ホルダー２２０とを有している。これら下流側ホルダー２１０と上流側ホルダー２２０とでホルダー７００が構成されている。
【００６４】
前記下流側ホルダー２１０には内面２１０ｂおよび外面２１０ｃとを貫通する穴部２１０ｄが形成されている。前記管２１０ａの内径部２１０ａ１は前記穴部２１０ｄと連通するように形成されており、前記内径部２１０ａ１と前記穴部２１０ｄとで、流体が通過可能な流体通路３０１が形成されている。
【００６５】
同様に、前記上流側ホルダー２２０には内面２２０ｂと外面２２０ｃとを貫通する穴部２２０ｄが形成されている。前記管２２０ａの内径部２２０ａ１は前記穴部２２０ｄと連通するように形成されており、前記内径部２２０ａ１と前記穴部２２０ｄとで、流体が通過可能な流体通路３０２が形成されている。
【００６６】
図８および図９に示す形態では、前記管２１０ａおよび２２０ａは断面形状が円形の管であるが、円形以外の形状、例えば断面形状が四角形の管として構成しても良い。
【００６７】
前記装置２００は、前記下流側ホルダー２１０と前記上流側ホルダー２２０との間に、下流側支持部材２３０と上流側支持部材２４０とを有している。前記下流側支持部材２３０は前記下流側ホルダー２１０側に位置し、前記上流側支持部材２４０は前記上流側ホルダー２２０側に位置している。
【００６８】
前記下流側支持部材２３０の中央領域には、表裏を貫通し、マトリックス状（格子状または碁盤の目状）に配置された複数の穴部２３０ａが形成されており、複数の前記穴部２３０ａ全体で前記下流側支持部材２３０の平面形状と相似する四角形を形成している。
【００６９】
同様に、前記上流側支持部材２４０の中央領域には、表裏を貫通し、マトリックス状（格子状または碁盤の目状）に配置された複数の穴部２４０ａが形成されており、複数の前記穴部２４０ａ全体で前記上流側支持部材２４０の平面形状と相似する四角形を形成している。
【００７０】
前記下流側ホルダー２１０の前記内面２１０ｂの内側には、前記下流側ホルダー２１０の平面形状と相似形状の四角形で形成されたシールリング４００が設けられている。一方、前記上流側ホルダー２２０の前記内面２２０ｂには、前記下流側ホルダー２１０の内面２１０ｂに設けられた前記シールリング４００と対向する位置に、前記シールリング４００が嵌合される溝４１０が形成されている。
【００７１】
前記シールリング４００は図８に示すような四角形の輪状のほかに、例えば円形の輪状で形成されても良い。このシールリング４００は後記するように前記流体通路３０１から前記流体通路３０２に流体を流したときに、この流体が前記装置２００から漏れることを防止するものであり、例えば各種ゴム材料などの公知の材料を使用できる。
【００７２】
前記下流側ホルダー２１０の前記内面２３１０ｂには、前記上流側ホルダー２２０側に向かって延びる２本のガイド４５０が設けられている。
【００７３】
前記下流側支持部材２３０、前記上流側支持部材２４０には、それぞれ前記ガイド４５０と対向する位置に、前記ガイド４５０が挿通可能な挿通孔２３０ｅ、２４０ｅが形成されている。また、前記上流側ホルダー２２０の前記内面２２０ｂには、前記ガイド４５０と対向する位置に、前記ガイド４５０が挿入可能な凹部２２０ｅが形成されている。
【００７４】
なお、前記ガイド４５０は数量が限定されるものではなく、例えば前記下流側ホルダー２１０の４隅に設けられて合計４つ設けられていても良い。この場合、前記挿通孔２３０ｅ、２４０ｅ、および凹部２２０ｅも、前記ガイド４５０と対向する位置に、前記ガイド４５０と同じ数量形成される。
【００７５】
図８および図９に示すように、前記装置２００は、前記下流側支持部材２３０と前記上流側支持部材２４０との間に、前記コイルシート１１０が装着されて使用される。
【００７６】
次に、前記装置２００を使用して前記スパイラル接触子２０を立体成型する方法を説明する。
【００７７】
まず、図８および図９に示すように、前記下流側ホルダー２１０の前記内面２１０ｂの上に、前記下流側支持部材２３０を設置する。このとき、前記下流側ホルダー２１０に形成された前記ガイド４５０を、前記下流側支持部材２３０に形成された前記挿通孔２３０ｅに挿通するようにする。またこのとき、前記下流側支持部材２３０に形成された前記穴部２３０ａは、前記下流側ホルダー２１０に形成された前記穴部２１０ｄと対向するように構成されている。この際、前記下流側支持部材２３０に形成された前記穴部２３０ａは、前記下流側ホルダー２１０に形成された前記穴部２１０ｄの内側に位置するように構成することが好ましい。また、前記下流側支持部材２３０は、前記下流側ホルダー２１０に設けられた前記シールリング４００の内側に位置するように設置される。
【００７８】
次に、前記下流側支持部材２３０の内面２３０ｂの上に、前記コイルシート１１０を設置する。このとき、前記下流側支持部材２３０に形成された前記穴部２３０ａと前記コイルシート１１０に形成された前記穴部３２ａとが、互いに対向する位置になるように構成されている。したがって、前記穴部３２ａから前記穴部２３０ａを前記流体６００が通過し易く、前記流体６００の圧力損失を低減することができる。そのため、前記穴部３２ａの内側に形成された前記スパイラル接触子２０を効率よく成型でき、製造効率の向上を図ることができる。このとき、前記下流側ホルダー２１０に形成された前記ガイド４５０を、前記コイルシート１１０に形成された挿通孔１１０ｅに挿通するようにする。
【００７９】
次に、前記コイルシート１１０の前記上流側ホルダー２２０側の面１１０ｂの上に、前記上流側支持部材２４０を設置する。このとき、前記コイルシート１１０に形成された前記穴部３２ａと前記上流側支持部材２４０に形成された前記穴部２４０ａとが対向する位置になるように構成されている。この際、前記下流側ホルダー２１０に形成された前記ガイド４５０を、前記上流側支持部材２４０に形成された挿通孔２４０ｅに挿通するようにする。
【００８０】
次に、前記上流側支持部材２４０の上に、前記上流側ホルダー２２０を設置する。このとき、前記下流側ホルダー２１０に形成された前記ガイド４５０を、前記上流側ホルダー２２０に形成された前記挿通孔２３０ｅに挿入するようにする。また、前記上流側支持部材２４０に形成された前記穴部２４０ａは、前記上流側ホルダー２２０に形成された前記穴部２２０ｄと対向するように構成されている。この際、前記上流側支持部材２４０に形成された前記穴部２４０ａは、前記上流側ホルダー２２０に形成された前記穴部２２０ｄの内側に位置するように構成することが好ましい。また、前記上流側支持部材２４０は、前記上流側ホルダー２２０に形成された前記溝４１０の内側に位置するように設置される。前記下流側ホルダー２１０に形成された前記シールリング４００は前記上流側ホルダー２２０に形成された前記溝４１０に嵌合する。
【００８１】
このように前記コイルシート１１０を設置した後、図９に示すように前記下流側ホルダー２１０と前記上流側ホルダー２２０とを、クランプなどの固定手段５００によって締め付け固定する。これにより、前記コイルシート１１０が前記装置２００に確実に装着される。
【００８２】
図９に示すように、前記下流側ホルダー２１０に形成された前記管２１０ａには、電熱線などからなる加熱手段５１０が設けられている。この加熱手段５１０は、前記管２１０ａの前記内径部２１０ａ１に対して熱を与えるものである。この加熱手段５１０は電熱線の他、前記内径部２１０ａ１に対して熱を与えることが可能であれば、他の公知の手段で構成することもできる。
【００８３】
前記コイルシート１１０が設置された前記装置２００には、前記管２１０ａから前記下流側ホルダー２１０に形成された前記穴部２１０ｄ、前記下流側支持部材２３０に形成された前記穴部２３０ａ、前記コイルシート１１０に形成された前記穴部３２ａ、前記上流側支持部材２４０に形成された前記穴部２４０ａ、前記上流側ホルダー２２０に形成された前記穴部２２０ｄ、および前記管２２０ａを通過するように、図９に示す矢印方向に流体６００が流される。前記流体６００は、例えばポンプなどの公知の図示しない加圧手段によって前記管２１０ａ側から加圧され、前記装置２００内を前記管２１０ａから前記管２２０ａに向かって流される。または前記管２２０ａ側から図示しない減圧手段によって減圧されて、前記装置２００内を前記管２１０ａから前記管２２０ａに向かって流されるようにしても良い。図９に示すように、前記装置２００には、前記管２１０ａに調圧手段５２０が設けられている。前記装置２００に流入する流体６００は、前記調圧手段５２０によって圧力が調整された上で前記装置２００に流入する。
【００８４】
前記流体６００は、油類や水などの液体やエアーなどの気体が使用できる。
前記管２１０ａの前記内径部２１０ａ１内から前記管２２０ａの前記内径部２２０ａ１内に向かって（図９に示す矢印方向へ向かって）流された前記流体６００は、前記加熱手段５１０によって加熱される。このとき、前記流体６００は１５０℃〜３００℃の温度に加熱されることが好ましい。この温度範囲内に前記流体が加熱されると、後記するように前記スパイラル接触子２０が立体成型されたときに、塑性変形によって前記スパイラル接触子２０に生じた応力を除去できる。
【００８５】
前記流体６００は、前記管２１０ａの前記内径部２１０ａ１から前記下流側ホルダー２１０に形成された前記穴部２１０ｄおよび前記下流側支持部材２３０に形成された前記穴部２３０ａを通過して、前記コイルシート１１０に形成された前記穴部３２ａに到達する。そして、さらに前記穴部３２ａを通過して前記上流側支持部材２４０に形成された前記穴部２４０ａに流れる。
【００８６】
前記コイルシート１１０の前記接合部材３２は膜厚が１０〜５０μｍと非常に薄いため、前記流体６００の圧力が直接加わると破けるなどの破損が生じるおそれがあるが、前記装置２００では前記コイルシート１１０を構成する前記接合部材３２が前記下流側支持部材２３０と上流側支持部材２４０に挟まれているため、前記流体６００による圧力によって前記接合部材３２が破損することを防止できる。
【００８７】
このとき図１０に示すように、前記コイルシート１１０に形成された前記スパイラル接触子２０に前記流体６００が衝突し、前記流体６００の圧力によって前記スパイラル接触子２０が前記上流側支持部材２４０の方向に押圧される。図１１に示すように、この押圧力によって前記各接触子片２０ａが変形し、前記スパイラル接触子２０は、その巻き始端２２から巻き終端２３に向うほど徐々に高さ位置が高くなるように突き上げられ、図１１に示すように所定の高さ寸法Ｈ３を有する山型形状に立体成型される。
【００８８】
前記スパイラル接触子２０の各接触子片２０ａは、その巻き始端２２から巻き終端２３に向うほど徐々に高さ位置が高くなるように突き上げられやすく、所定の山型形状に前記スパイラル接触子２０を立体成形しやすい。
【００８９】
前記スパイラル接触子２０には前記流体６００によって、各接触子片２０ａに対して均一に圧力が与えられることとなる。したがって、前記スパイラル接触子２０を構成する接触子片２０ａに不均一に圧力が加わることがなく、部分的に大きい圧力が加わったり、加わる圧力が部分的に小さくなるといったことが起こり難い。そのため、前記スパイラル接触子２０が曲がった状態に立体成型されるおそれが無く、適切な形状に立体成型することが可能である。また、複数の前記スパイラル接触子２０を同時に前記流体６００で変形させるため、複数のスパイラル接触子２０を全て均一な形状や高さ寸法によって立体成型することが可能となる。
【００９０】
前記管２１０ａの内径部２１０ａ１を流れる前記流体６００の圧力分布について、一般的に前記内径部２１０ａ１の内側面付近では圧力が小さく、前記流体６００の流れ方向（図９の矢印方向）と直交する方向における中央部に向かうにしたがって圧力は大きくなる。そして中央部付近には前記流体６００の圧力はほぼ一定となる領域（以下「流体中央領域」という）が存在する。前記装置２００では、前記管２１０ａの前記内径部２１０ａ１に流れる前記流体６００の圧力がほぼ一定となる前記流体中央領域に前記コイルシートに形成された前記穴部３２ａが位置するように構成することが好ましい。このように構成すると、コイルシート１１０に形成された複数の前記スパイラル接触子２０に対してほぼ同じ圧力を与えて立体成型することが可能となるため、均一な形状や高さ寸法によって立体成型し易い。
【００９１】
前記流体６００が流れる際の圧力、すなわち前記スパイラル接触子２０を押圧する圧力は前記調圧手段５２０によって調整できる。したがって、前記スパイラル接触子２０に圧力が掛かり過ぎて変形量が大きくなり過ぎたり、または圧力が小さすぎて所望の成型量が得られなかったりすることが無く、前記スパイラル接触子２０を適切な形状に歩留まり良く立体成型することが可能となる。
【００９２】
また、前記スパイラル接触子２０を押圧する前記流体６００は前記加熱手段５１０によって加熱されている。したがって、前記スパイラル接触子２０が立体成型された際、前記スパイラル接触子２０には塑性変形によって生じた応力は、前記流体６００の熱が前記スパイラル接触子２０に与えられることによって除去される。したがって、前記装置２００によって前記スパイラル接触子２０を立体成型すれば、立体成型と応力除去のための熱処理を同時に行うことができる。したがって、前記スパイラル接触子２０に生じた応力を除去するために別工程によって熱処理を行う必要がなく、製造工程を少なくし、立体成型されたスパイラル接触子２０を容易に製造することが可能となる。
【００９３】
また、前記流体６００は前記加熱手段によって加熱されるため、特に前記流体６００が油などの液体である場合には、前記流体６００の粘度が低くなる結果、前記流体６００が前記装置２００内を流れ易くなり、前記スパイラル接触子２０を迅速に立体成型することができるという効果もある。
【００９４】
また、前記スパイラル接触子２０に直接衝突するのは前記流体６００であるため、例えば図１６に示す従来の立体成型法の突出調整部材７０のように直接に強い外力が加わる部材がないため、装置２００の寿命を図１５に示す前記突出調整部材７０に比較して長くすることが可能となる。
【００９５】
このように立体成型された前記スパイラル接触子２０を、図１２に示す工程で、異方性導電接着剤３３を介して基台１１に接合する。なお前記基台１１には前記スパイラル接触子２０と対向する位置に凹部１１ａが設けられ、前記スパイラル接触子２０と前記凹部１１ａとの位置を合わせて、前記接合部材３２を前記基台１１に接合する。
【００９６】
なお、前記下流側支持部材２３０の前記穴部２３０ａは、前記接合部材３２に形成された前記穴部３２ａに対応するように複数設けられる構成に限定されるものでなく、図１３に示すように、前記下流側支持部材２３０に、前記接合部材３２に形成された複数の前記穴部３２ａが形成されている領域３２ｂと同じ大きさを有する１つの大きな穴３３０ａが、前記領域３２ｂに対向する位置に形成された構造として構成しても良い。このように構成すると、前記下流側支持部材２３０に複数の穴部を形成する必要がなく、下流側支持部材２３０を容易に形成することができる。また、前記下流側支持部材２３０に穴部２３０ａが複数形成された構造であると、前記流体６００が流れる際、前記流体６００が複数の前記穴部２３０ａによって圧力の損失を大きく受けてしまうが、前記下流側支持部材２３０に、前記領域３２ｂと同じ大きさを有する１つの大きな穴３３０ａが形成された構造とすることにより、前記流体６００の圧力損失を低減することができるため、製造効率を向上することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００９７】
【図１】電子部品の動作を確認するための試験に用いられる検査装置を示す斜視図、
【図２】図１の２−２線における断面図を示し、電子部品が装着された状態の断面図、
【図３】本発明におけるスパイラル接触子の形状を示す拡大斜視図、
【図４】本発明におけるスパイラル接触子の製造方法を示す一工程図、
【図５】図４の次に行われる一工程図、
【図６】スパイラル接触子の平面図、
【図７】コイルシートの平面図、
【図８】本発明の接続装置の製造装置を示す部分分解斜視図、
【図９】図８に示す製造装置にコイルシートを装着した状態の９−９線での切断断面図、
【図１０】図５の次に行われる一工程図、
【図１１】図１０の次に行われる一工程図、
【図１２】図１１の次に行われる一工程図、
【図１３】本発明の接続装置の製造装置の他の形態を示す部分分解斜視図、
【図１４】従来におけるスパイラル接触子の平面図、
【図１５】従来におけるスパイラル接触子の立体成形の方法を説明するための一工程図、
【図１６】図１５の次に行われる一工程図、
【図１７】図１６の次に行われる一工程図、
【符号の説明】
【００９８】
１  電子部品
１ａ  球状接触子（外部接続部）
１０  検査装置
１１  基台
２０  スパイラル接触子
２０ａ  接触子片
２１  基部
２２  巻き始端
２３  巻き終端
３０  基板
３１  レジスト層
３１ａ  パターン
３２  接合部材
３２ｂ  領域
１１０  コイルシート
２００  装置
２１０  下流側ホルダー
２１０ａ  管
２１０ａ１  内径部
２１０ｄ  穴部
２２０  上流側ホルダー
２２０ａ  管
２２０ａ１  内径部
２２０ｄ  穴部
２３０  下流側支持部材
２３０ａ  穴部
２４０  上流側支持部材
２４０ａ  穴部
３０１，３０２  流体通路
３２０ａ  穴
５１０  加熱手段
５２０  調圧手段
６００  流体
７００  ホルダー
【図１】
2005190905.tif 000003
【図２】
2005190905.tif 000004
【図３】
2005190905.tif 000005
【図４】
2005190905.tif 000006
【図５】
2005190905.tif 000007
【図６】
2005190905.tif 000008
【図７】
2005190905.tif 000009
【図８】
2005190905.tif 000010
【図９】
2005190905.tif 000011
【図１０】
2005190905.tif 000012
【図１１】
2005190905.tif 000013
【図１２】
2005190905.tif 000014
【図１３】
2005190905.tif 000015
【図１４】
2005190905.tif 000016
【図１５】
2005190905.tif 000017
【図１６】
2005190905.tif 000018
【図１７】
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