(57)【要約】【課題】  プラズマ発生用電極と前記給電端子との接着部で発生する熱応力に起因したセラミック基板の破壊を確実に防止でき、長期間安定した品質を維持することができるプラズマ発生用電極埋設部材を提供する。【解決手段】  セラミック基板中にプラズマ発生用電極を埋設してなる電極埋設部材において、前記電極を導電性セラミックスからなる多数の開口を有するメッシュ状板状体にて構成すると共に、その開口面積割合を４〜40％としたプラズマ発生装置用電極埋設部材。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミック基板中にプラズマ発生用電極を埋設してなる電極埋設部材において、前記電極を導電性セラミックスからなる多数の開口を有するメッシュ状板状体にて構成すると共に、その開口面積割合を４〜40 ％としたことを特徴とするプラズマ発生装置用電極埋設部材。
【請求項２】
前記導電性セラミックスは、炭化物セラミックスもしくは窒化物セラミックスであることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ発生装置用電極埋設部材。
【請求項３】
前記プラズマ発生用電極に円筒状の給電端子を接続してなることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ発生用電極埋設部材。
【請求項４】
前記給電端子は、外表面に軸方向に沿う複数の凹凸条を有することを特徴とする請求項３に記載の電極埋設部材。
【請求項５】
前記電極は、少なくとも最上層部の電極を導電性セラミックスにて構成する一方、その下層の電極の少なくとも一層を金属にて構成したことを特徴とする請求項１に記載の電極埋設部材。
【請求項６】
前記プラズマ発生用電極が有する開口は、面積が同じであり、前記開口各々の中心間距離は一定である請求項１に記載の電極埋設部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造の分野において、プラズマ発生雰囲気下でシリコンウエハなどを処理するために用いられるプラズマ発生装置用電極埋設部材に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体製造分野において用いられているエッチング装置や化学的気相成長装置などの半導体製造装置には、ステンレス製ヒータや電極管が配設されている。しかしながら、かかる半導体製造装置は、デポジション用ガスやエッチング用ガス、クリーニング用ガスとして反応性の高いフッ素系、塩素系のハロゲン系腐食ガス発生雰囲気で使用されていることが多く、そのために、ステンレス鋼やインコネル等の装置構成部材が、これらの腐食性ガスと反応して、装置内にパーティクルを発生するという問題があった。こうした問題を解決するために、従来、抵抗発熱体などをセラミック基体中に埋設するようにしている。
【０００３】
こうした半導体製造装置の中で、セラミック基体中にプラズマ発生用電極を埋設してなるプラズマ発生装置は、ハロゲン系腐食性ガスに対しての耐食性に優れると同時に耐プラズマに優れるものが求められている。なお、このプラズマ発生装置は、シリコンウエハ等に所定の処理を加える際に、プラズマ発生用電極とウエハ（被加工材）の上方に別に設置されたもう一方のプラズマ発生用電極との間で高周波電圧を印加してプラズマを発生させることにより成膜したり、エッチング用ガスを供給してシリコンウエハ等に所定の処理を加えるために用いられる。
【０００４】
ところで、前記プラズマの発生装置では、ウエハを載置するセラミック基板内と、そのセラミック基板の上方とに一対のプラズマ発生用電極やヒータ電極、チャック電極等が配設されており、これらの電極間に電圧を印加してプラズマを発生させることにより、必要な処理を行うものである。この場合において、前記セラミック基板としては、ハロゲン系腐食性ガスおよびプラズマに対する耐食性および耐久性に優れた窒化アルミニウムを用いることとしている（特許文献１）。そして、こうしたセラミック基体中に埋設されるプラズマ発生用電極としては、特許文献２、特許文献３および特許文献４では、モリブデン(Mo)あるいはタングステン(Ｗ)からなる金属製の網状電極あるいは面状の金属製バルク体からなる多数の孔があいているパンチングメタル電極（メッシュ状金属電極）が用いられている。
【０００５】
【特許文献１】特開2002-329774号公報
【特許文献２】特許2967024号
【特許文献３】特許3359582号
【特許文献４】特許3022133号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記のように、電極埋設部材のセラミック基板中に金属製網状電極を埋設する場合、埋設する部品が交差する場所で隙間が生じて導通が得られない部分が存在したりすると、安定したプラズマを発生させることが困難で、とくにパンチングメタル電極を使用するものは、電極の成形負担が大きいという問題がある（特許文献２〜４）。一方、特許文献１に記載の技術では、窒化アルミニウム基板中にモリブデンやタングステンの如き金属製ヒータ電極を埋設する場合に、焼成時に電極の周囲が窒化アルミニウム基板中のカーボン成分と反応して炭化物反応層を形成することが指摘されており、そのために金属性電極では焼成時や高温長期間の使用する時に、抵抗値が安定しないという問題を抱えていた。さらに、セラミック基板中にプラズマ発生用電極やヒータ電極を多く埋設すると、焼成や長期高温使用時にセラミックスと金属との熱膨張差による剥離が発生するという問題があった。
【０００７】
本発明の目的は、セラミック基板の焼成時や高温での長時間使用に当たっても、該基板中に埋設した各種電極の体積抵抗率の変化が極めて少ないだけでなく、電極の剥離がなく、そして耐食性や耐久性に優れ、品質を長期間安定した状態に維持できるプラズマ発生装置用電極埋設部材を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
従来技術が抱えている上述した課題を解決するべく鋭意研究した結果、発明者らは、以下に述べる要旨構成の本発明を開発するに到った。
即ち、セラミック基板中にプラズマ発生用電極を埋設してなる電極埋設部材において、前記電極を導電性セラミックスからなる多数の開口を有するメッシュ状板状体にて構成すると共に、その開口面積割合を４〜40％としたことを特徴とするプラズマ発生装置用電極埋設部材である。
【０００９】
本発明において、前記導電性セラミックスは、炭化物セラミックスもしくは窒化物セラミックスであること、前記プラズマ発生用電極に円筒状の給電端子を接続してなること、前記給電端子は、外表面に軸方向に沿う複数の凹凸条を有すること、前記電極は、少なくとも最上層部の電極を導電性セラミックスにて構成する一方、その下層の電極の少なくとも一層を金属にて構成したこと、前記開口は面積が一定で、各々開口の中心間の距離が一定であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係るプラズマ発生装置用電極埋設部材によれば、セラミック基板の焼成時や高温長時間の使用に当たっても、該基板中に埋設した各種電極、とくにプラズマ発生用電極の体積抵抗率の変動が小さくプズマ発生密度を均一にすることができるだけでなく、長時間使用しても剥離がよく、耐食性や耐久性に優れ、部材の品質を長期間安定した状態に維持できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
上述したように、ハロゲン系腐食性ガスおよびプラズマ発生雰囲気下で使用される従来の電極埋設部材、たとえば、Ｃ含有窒化アルミニウムをセラミック基板とする電極埋設部材では、含有Ｃと、セラミック基板埋設電極、例えばプラズマ発生用電極の構成材料であるＭｏやＷとが反応を起こし、高温に曝されると炭化物を生成し、その結果として、部材としての体積抵抗率を上昇させて、プラズマ発生密度が不均一になるという問題点がある。さらに、セラミック基板中にプラズマ発生用電極やヒータ電極を埋設したものでは、焼成時や高温での長期間使用時にセラミックスと金属との熱膨張差による剥離が発生するという問題点もある。
このような問題点の解決方法として本発明では、前者の問題点に対しては、前記プラズマ発生用電極を構成する物質として、導電性セラミックスを採用することにより、上述した体積抵抗率の上昇を抑えることとし、そして、後者の問題点に対しては、プラズマ発生用電極やヒータ電極の面積に対して開口部の割合にして４〜40％のメッシュ状板状体とすることによって、セラミックス基板と電極の剥離を抑えることにした。
【００１２】
前者の問題点に対して上記のように対処する理由は、一般に、導電性セラミックスというのは、カーボン（Ｃ）との反応性が低いという性質があり、焼成時や500℃以上で長時間使用しても、電極成分とセラミック基体に含まれるＣとが反応するようなことはなく、抵抗値の経時変化がほとんど起らないからでる。なかでも、導電性炭化物セラミックスは、予め炭化物となっているために再びＣとは反応せず、抵抗値の経時変化もないため、プラズマ密度を長時間にわたって安定して均一に維持できるという特徴がある。
【００１３】
なお、前記電極として、MoやＷなどの金属を使用した場合、これらは、温度の上昇とともに格子振動が急速に激しくなって、電子の自由運動が妨げられる結果、体積抵抗率の上昇を招き、そのために、電圧が一定の場合、電流流量が低下して、温度の上昇が困難になるという問題が生じる。
この点、導電性セラミックス、特に導電性炭化物セラミックスは、高温になるほど体積抵抗率が低下するため、高温においてさえ大電流の投入が可能で、プラズマを発生させやすくするため、200 ℃以上の温度にて使用するプラズマ発生用電極の場合に有利に用いられる。
【００１４】
次に、後者の問題点に対して上記のように対処する理由は、金属や導電性セラミックスからなるプラズマ発生用電極やヒータ電極を、セラミック基板に埋設するとしても、一般に電極とセラミックスとは密着性が悪いので、両者の接触面積の拡大と穴埋めによる絡み合い作用を付与することが有効だからである。即ち、電極に多数の開口を設け、該開口内に、ホットプレス焼成時に、セラミックグリーンシートのセラミック粒子を充填することにした。このようにすると、電極の上面と裏面に接するセラミック基板が前記開口を介して接触するため、接触面積が拡大すると共に、開口を介して電極と基板とが絡み合うように接合して、高い密着性を達成することができる。しかも、電極とセラミック基板との熱膨張係数の差によって生じる電極周縁部に加わる応力を、多数の前記開口部に分散させることができる。
ただし、このような作用効果は、電極表面積のうちの前記開口部が占める面積の割合が４％未満と小さい場合、開口を設けていないのとほとんど変わらず、密着性を高めることができない。一方、電極表面積に対する開口面積の割合が40％を超えると、密着性はよくなるが、抵抗値が高くなりすぎてしまい、安定したプラズマを発生させることが困難になる。
したがって、本発明において、電極表面積に対する開口面積の割合は、４〜40％に、より好ましくは４〜20％程度に、さらに好ましくは10〜20％程度に設定する。開口面先をこのように限定すると、電極とセラミック基板との高い密着性、および安定したプラズマの発生を確保することができるようになる。また、本発明において、開口の各々の面積は一定であり、各々の中心間距離は一定であることが好ましく、この場合に、プラズマ発生用電極で起こる発熱にバラツキがなくなる。
【００１５】
次に、本発明で採用する前記プラズマ発生用電極について説明する。一般に、ハロゲン系腐食性ガスおよびプラズマ発生雰囲気下で使用される従来の電極埋設部材、たとえば、炭素含有窒化アルミニウムをセラミック基板とする部材では、その含有炭素と、セラミック基板内埋設電極の材料である金属Ｍｏや金属Ｗとが反応して炭化物を生成することが知られている。その結果として、部材としての体積抵抗率が上昇して、プラズマ発生密度が不均一になるという大きな問題があった。
しかも、この導電性セラミックスは、カーボン（Ｃ）との反応性が低いという特性がある。即ち、焼成する時や500 ℃以上（プラズマＣＶＤ膜形成の温度）で長時間使用する時、電極成分とセラミック基板に含まれるＣとが反応するようなことはなく、抵抗値の経時変化がほとんどない。なかでも、炭化物セラミックスは、予め炭化物となっているために、更にＣと反応することはなく、そのために抵抗値の経時変化がないため、プラズマ密度を長時間にわたって安定して均一に維持することができる。そこで、本発明に係る部材において、プラズマ発生用電極としては、金属ではなく導電性セラミックスを用いることとした。その理由は、電極材料として導電性セラミックスを用いると、上記体積抵抗率の上昇を抑えることができるからである。
【００１６】
この点、上述したとおり、プラズマ発生用電極として、ＭｏやＷなどの金属を用いた場合、これらの金属は、温度の上昇とともに格子振動が激しくなって、電子の自由運動が妨げられる結果、体積抵抗率の上昇を招き、そのために、電圧が一定の場合に電流流量が低下し、温度上昇が困難になるという問題がある。これに対して、導電性セラミックス、特に導電性炭化物セラミックスを用いた場合、高温になるほど体積抵抗率が低下するため、高温において大電流を投入することができる。その結果、プラズマを発生させやすくする。
【００１７】
かかる導電性セラミックスからなるプラズマ発生用電極の具体例としては、例えば炭化タングステン（タングステンカーバイト）の粒子を焼成してなる板状断面形状の焼結体などを用いることができる。なお、原料である炭化タングステン粒子の大きさは、任意の二次元断面視、例えばセラミック基板の厚さ方向の断面視で、粒子径が、１μｍ〜10μｍの範囲内のもの（最小短径：１μｍ、最大長径：10μｍ）が望ましい。その理由は、粒子径が１μm未満の大きさでは、反応性が高く酸化しやすいため、使用中にセラミック基体中の酸素と反応して抵抗値が高くなる。一方、粒子径が10μm以上では焼結性が低下し、やはり抵抗値が高く、電極内での電流密度にばらつきを生じて均一なプラズマを発生させることができない。
【００１８】
本発明の好ましい実施形態では、導電性炭化物セラミックス製のプラズマ発生電極を、絶縁性窒化物セラミック基板中に埋設する。それは、絶縁性窒化物セラミック基板は、耐熱性や機械的特性に優れるとともに、ハロゲン系腐食性ガスおよびプラズマに対して強い耐食性および耐久性を示し、かつ熱伝導率が高く、温度追従性に優れているからである。しかも、この絶縁性窒化物セラミックスというのは、埋設電極と熱膨張係数が近く、そのために熱衝撃によるクラックの発生が起らないという特徴がある。また、この絶縁性窒化物セラミックスは、高温での体積抵抗率の方が絶縁性炭化物セラミックスの高温での体積抵抗率より高いために、電気的な短絡を起こすことなく大電流を流すことができ、プラズマを均一に発生させるのに有利である。
【００１９】
かかるプラズマ発生用電極は、多数の開口を穿設してなるメッシュ状板状体を用いることが好ましい。しかも、プラズマ発生用電極に占める前記開口部分の合計面積は、電極全体の４〜40％程度が必要である。この理由は、４％未満だと、電極とセラミック基板との密着性は開口のない電極と変わらず密着性が悪いからである。一方、開口率が40％を超えると、高い密着性は実現できるが、電極の抵抗値が高くなりすぎてしまい、安定したプラズマを発生させることが困難になる。
プラズマ発生電極の開口の面積は一定であり、各々開口の中心間距離は一定である必要がある。この理由は、開口の分布が不均一だと、プラズマ発生用電極で起こる発熱が不均一に起こり、温度分布にバラツキが生じ、ウエハ処理が均一にできなくなる恐れがある。
【００２０】
次に、本発明において用いるセラミック基板について説明する。
そのセラミック基板１１を構成するセラミック材料としては、窒化物セラミックス、炭化物セラミックス、酸化物セラミックスなどの使用が可能である。上記窒化物セラミックスとしては、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化ホウ素、窒化チタンなどが挙げられる。上記炭化物セラミックスとしては、炭化ケイ素（なお、炭化けい素は、純度が高い場合には、絶縁性を示し、一方、純度が低い場合には、カーボンの導電性により導電化を示す。そのため、上記セラミック基体として用いるときは純度の高い炭化けい素を使用する）、炭化ジルコニウム、炭化ホウ素、炭化チタン、炭化タンタル、炭化タングステンなどが挙げられる。また、上記酸化物セラミックスとしては、アルミナ、シリカ、コージェライト、ムライト、ジルコニア、ベリリアなどを用いることができる。これらのセラミック材料は、単独で用いてもよく、また２種以上を混合したものでもよい。
【００２１】
これらのなかでは、窒化物セラミックスや炭化物セラミックスが好ましい。その理由は上記窒化物セラミックスや炭化物セラミックスは、熱膨張係数が金属より小さく、機械的な強度が金属に比べて格段に高いので、セラミック基板の厚さを薄くしても加熱により反ったり歪んだりせず、セラミック基板を薄くて軽いものとすることができるからである。とくに、これらのセラミック基板は熱伝導率が高いので、これを薄くすると、電圧や電流量を変えてヒータの温度を変化させたときに、基板表面温度がヒータ電極の温度変化に迅速に追従しやすく、温度制御が容易になる。とりわけ、窒化物セラミックスがより好ましい。その理由は、窒化物セラミックスは、耐熱性や機械的特性に優れるとともに、熱伝導率も高いからであり、とくに、窒化アルミニウムがよい。それは、窒化アルミニウムは、常温で熱伝導率が180 Ｗ／ｍ・Ｋと高く、セラミック基板の温度追従性が最も優れているからである。
【００２２】
前記セラミック基板は、焼結助剤を含有したものを用いることが好ましい。その焼結助剤としては、アルカリ金属酸化物、アルカリ土類金属酸化物、希土類酸化物などを用いる。これらのなかでは、CaＯ、Ｙ２Ｏ３、Na２Ｏ、Li２Ｏ、Rb２Ｏの使用が望ましい。
【００２３】
なお、前記セラミック基板はまた、カーボンを200 ppm以上、好ましくは200〜1000 ppm程度である。セラミック基体中にＣを200 ppm以上含有させることにより、上記セラミック基板の明度を、ＪＩＳ  Ｚ  ８７２１の規定に基づく値でＮ６以下にすることができる。このような明度のセラミック基板は、輻射熱量、隠蔽性に優れる。しかも、こうしたセラミック基板は、サーモビュアにより、正確な表面温度測定が可能になる。なお、上記セラミック基板に含有されるカーボンの分析法としては、酸素気流中燃焼―赤外線吸収法として、ＪＩＳ  Ｚ  ２６１５（１９９６）に規定されている方法を用いることが好適である。
【００２４】
上記カーボンとしては、非晶質のものおよび結晶質のもののいずれもが使用可能である。非晶質のカーボンは、セラミック基板の高温における体積抵抗率の低下を抑制し、結晶質のカーボンは、セラミック基板の高温における熱伝導率の低下を抑制することができるため、製造するセラミック基板の目的等に応じて、カーボンの種類を適宜選択して使用することが望ましい。
【００２５】
前記セラミック基板１１はまた、気孔率が５％以下のものを用いることが望ましい。その理由は、高温での熱伝導率の低下、反りの発生を抑制することができるからである。なお、この気孔率はアルキメデス法により測定することができる。
【００２６】
セラミック基板１１の形状は、円板形状にすることが望ましく、その大きさは直径で200mm以上、より望ましくは250mm以上の大きさのものに適用する。このような大きさのセラミック基板は、上記プラズマ発生装置を半導体製造の分野で用いる場合に、大口径の半導体ウエハを載置することができるからである。
【００２７】
前記セラミック基板のウエハ処理側の面は、ＪＩＳ  Ｂ  ０６０１の規定に基づく面粗度はRaで0.05〜2.0μm程度の粗さにすることが望ましい。その理由は、面粗度Raが0.05μｍ未満だと、シリコンウエハとセラミック基板との密着性が高くなり、セラミック基板中に焼結助剤として添加されたイットリウムが高温処理中にシリコンウエハと反応してシリコンウエハの汚染を引き起こすからである。一方、ウエハ処理側の面の面粗度Raが2.0μmを超えて粗くなると、加熱処理などではウエハの温度分布にバラツキが生じ、ウエハ表面を均一に処理することができなくなってしまうからである。なお、好ましい面粗度Ｒａは0.1〜1.2μｍである。
【００２８】
セラミック基板１１の厚さは、５mm以上、20 mm以下のものを用いることが望ましい。その理由は、５mm未満だと、セラミック基板自体の強度が低下するため破損しやすくなり、一方、20 mmを超えると、温度追従性が低下することがある。より望ましい下限は12 mmであり、より望ましい上限は16 mmである。その理由は、12 mm未満だと、セラミック基板中を伝搬する熱が充分に拡散しないため加熱面に温度のばらつきが発生することがあり、また、セラミック基板の強度が低下して破損する場合がある。一方、16 mmを超えると、セラミック基板中を熱が伝搬しにくくなり、加熱の効率が低下する傾向がある。
【００２９】
一般に、プラズマ発生装置は、高周波を、高温長時間にわたって印加するが、このときセラミック基板中に埋設されているプラズマ発生用電極の表面に帯電する電子は、表皮効果によって、その全てがこれと接続されている給電端子の表面層の部分のみに流れることになる。即ち、その電子は、13.56ＭＨｚの高周波を印加した時、プラズマ発生用電極および給電端子の表面（深さ方向に約60μmの表層部）のみに集中して流れるためジュール熱を発生し、それ故に、この部分の温度が周辺部よりも高温になり、セラミック基板の内部で大きな温度差を生じる。従って、電極や給電端子の表面積はこれが大きいほど、それぞれの表面を流れる電子密度が小さくなるので、発生ジュール熱は小さくなる。
そこで、本発明では、プラズマ発生用電極や給電端子の表層部、とくにその接続部で発生するジュール熱による熱応力の発生を抑制するために、プラズマ発生用電極に接続する給電端子の表面積を大きくかつ体積を小さくすることにした。
【００３０】
即ち、本発明では、電極底面とその底面と接続する給電端子の表面積とくに、給電端子の表面積を凹凸条のある筒状体とするなどしてできるだけ大きくかつ体積を小さくすることによって、上述した異常発熱ならびに熱応力の発生によるセラミック基板の破壊を効果的に防止することにしたのである。
このような要求を満たす給電端子の形状としては、円筒状、より好ましくは軸方向に直交する断面においてその外周部および／または内周部の形が花弁状や星形等の、いわゆる軸方向に沿って形成された複数の凹凸条を設けたものにすることが好ましい。その理由は、電子は導電体の表層60μｍの範囲内を流れることから、とくに給電端子を凹凸条として、給電端子の表面積つまり電子が流れる面積（領域）を従来の端子（0.24ｍｍ2程度）よりも相対的に大きく（0.37〜0.75ｍｍ2程度）とすることができるからであり、とくにその外表面に凹凸を付加することによって、その表面積をさらに大きくかつ体積の方は円筒状にすることで小さくすることができる。
【００３１】
さらに、本発明では、プラズマ発生用電極や給電端子の表層部、とくにその接続部で発生するジュール熱による熱応力の発生を効果的に抑制するために、基板内に埋設するプラズマ発生用電極を複数枚に分け、これらを離間して配置し、かつこれらを例えばビアの如き形態の導体で接続する。即ち、本発明では、前記電極を複数枚に分割してこれを多層状に配置すると同時に、これらを複数の導体で電気的に接続し、とくに最下層のものだけを給電端子との接続部分とすることによって、発熱部を多くの場所に分散させるようにする。このことによって、セラミック基板の局所に集中した発熱ならびに熱応力の発生によるセラミック基板の破損を防止することができる。
【００３２】
また、本発明においては、下層側に配置される前記電極板については、できれば上層のものよりも抵抗値の低い導電性セラミックスや金属（Ｗ、Ｍｏ等）を使用することが望ましい。その理由は、以下のとおりである。プラズマ発生用電極の特定の極を複数層に分けた場合、実際に電子を発生してプラズマ発生機能を発揮するのは、一番上部の最上層電極のみであり、それ以外の下層の電極は、ただ電子を流すためだけに存在するものだからである。したがって、下層電極には抵抗値の低い導電性セラミックスや金属を使用しても、プラズマ発生用電極の機能を低下させることがない。一方で、その下層電極部での発熱を効果的に抑えることができるからである。
【００３３】
さらに、本発明においては、前記最上層電極については、高周波の表皮作用をより一層効果的なものとするために、表面に突起や突条を設けて凹凸表面とし、それらの表面積を大きなものにすることは有効な方法である。
【００３４】
また、本発明に係る部材において用いられるプラズマ発生用電極としては、少なくとも最上層のものについては、ＭｏやＷなどの金属ではなく、ハロゲン系腐食性ガスおよびプラズマ発生雰囲気中においても基板成分（炭素等）と反応しない導電性セラミックスを用いることが好ましい。その理由は、少なくとも最上層の電極層は電子を発生する部分であり、この部分の電極材料として導電性セラミックスを用いると、炭素との反応を抑制して、上記体積抵抗率の上昇を抑えることができるからである。
【００３５】
例えば、上記電極材料としては、導電性セラミックスを用いるが、その理由は、導電性セラミックスの場合、従来の電極成分である金属Ｗや金属Ｍｏと比べると、焼成する時や500 ℃以上（プラズマＣＶＤ膜形成の温度）で長時間使用した時でも、セラミック基板に含まれるＣと反応するようなことがなく、抵抗値の経時変化がほとんどないからである。なかでも、炭化物セラミックスは、予め炭化物となっているために、更にＣと反応するようなことはなく、そのために抵抗値の経時変化がないため、プラズマ密度を長時間にわたって安定して均一に維持することができるので有利である。
なお、下層の電極板については、上記導電性の炭化物セラミックスでもよいが、金属Ｍｏや金属Ｗでもよい。
【００３６】
かかるプラズマ発生用電極の具体例としては、例えば炭化タングステン（タングステンカーバイト）の粒子を焼成してなる、一枚の厚さが5〜300μｍ程度の板状断面形状の焼結体などを用いることができる。より好ましくは、60〜200μｍが好ましい。なお、原料である炭化タングステン粒子の大きさは、任意の二次元断面視、例えばセラミック基板の厚さ方向の断面視で、粒子径が、１μｍ〜10μｍの範囲内のもの（最小短径：１μｍ、最大長径：10μｍ）が望ましい。その理由は、粒子径が１μm未満の大きさでは、反応性が高く酸化しやすいため、使用中にセラミック基体中の酸素と反応して抵抗値が高くなる。一方、粒子径が10μm以上では焼結性が低下し、やはり抵抗値が高く、電極内での電流密度にばらつきを生じて均一なプラズマを発生させることができない。
【００３７】
本発明の好ましい実施形態では、上述した導電性炭化物セラミックス製のものを最上層のプラズマ発生電極として、絶縁性窒化物セラミック基板中に、0.2〜10ｍｍ程度の間隔をおいて導体を介在させた状態にして水平方向に離間して埋設することが好ましい。なお、ここで用いる絶縁性窒化物セラミック基板は、耐熱性や機械的特性に優れるとともに、ハロゲン系腐食性ガスおよびプラズマに対して強い耐食性および耐久性を示し、かつ熱伝導率が高く、温度追従性に優れてるという特徴がある。しかも、この絶縁性窒化物セラミックスは、埋設する上記導電性炭化物セラミック電極と熱膨張係数が近く、そのために熱衝撃によるクラックの発生が起らないという特徴がある。また、この絶縁性窒化物セラミックスは、高温での体積抵抗率の方が絶縁性炭化物セラミックスの高温での体積抵抗率より高いために、電気的な短絡を起こすことなく大電流を流すことができ、プラズマを均一に発生させるのに有利である。
【００３８】
次に、図１は、本発明に係るプラズマ発生装置用電極埋設部材の一例を示す部分断面図である。この図に示すように、本発明に適合する形態をもつプラズマ発生装置の電極埋設部材１０は、主として、セラミック基板１１と、この基板１１中に埋設されている断面が板状のプラズマ発生用電極１１２とからなるものである。このプラズマ発生用電極１１２のシリコンウエハを載置す側の面とは反対側に当る底面には、給電端子となるスルーホール１１３およびこのスルーホール１１３を基底面１１ｂに露出させるための外部端子２３、２３’が形成されている。そして、この部材には、必要に応じてさらに、前記セラミック基板１１の底面１１ｂに、セラミック製の端子保護筒１７が接合され、一方、前記セラミック基板１１の上面１１ａは、ウエハを支持するための複数の凸起１１ｃが設けられ、さらにセラミック基板１１の内部には、ヒータ電極１２が埋設される。
【００３９】
給電端子となる上記スルーホール１１３は、孔内に導電性ペーストを密に充填したものではなく、孔内壁に導電性ペーストを塗布して円筒状となるようにしたものとする。そして、図７（ａ）〜（ｃ）に示すように、導電性ペーストを塗布して筒状体としたあと、大気圧下、80℃で５時間程度で乾燥させた後、空洞部に窒化アルミニウムのペーストを充填する。このようにして、円筒状（図７（ａ））あるいは水平断面形状が花弁状の筒状体（星形断面の筒状体（図７（ｃ）〜（ｅ）からなる）の給電端子とする。なお、これらのスルーホール１３、１１３にて形成される給電端子を介して、それぞれ外部端子２３、２３’や導線２４が接続される。なお、本発明において言う上記スルーホールとは、プラズマ発生用電極１１２やヒータ電極１２、あるいは静電電極等と、外部端子２３、２３’とを電気的に接続するため用いられる孔内壁部に導体が形成された孔をいう。
【００４０】
給電端子を構成する上記スルーホール１１３、１３を構成する材料としては、例えば、金、銀、白金およびパラジウム等の貴金属、鉛、タングステン、モリブデン、ニッケル等の金属またはこれらの合金、タングステン、モリブデンの炭化物等の導電性セラミックなどが好適に用いられる。
【００４１】
なお、給電端子とする上記スルーホール１１３、１３とプラズマ発生用電極１１２あるいはヒータ電極１２との間には、必要に応じこれらの接続面積を大きくして導通を確実にしかつ接着力を高めるためにパッド部を形成することが望ましい。かかるパッド部を構成する材料としては、導電性を有する材料であればよく、例えば、電極材料やスルーホールと同じ材料等を用いることができる他、金属（Ｗ、Mo）合金やこれらの混合物であってもよい。
【００４２】
上述したプラズマ発生装置用電極埋設部材を半導体製造装置に適用する場合、セラミック基板１１は通常、底板を備えた支持容器内に、シリコンウエハを載置する側の面とは反対側が固定される。しかも、このセラミック基板１１下に取付けた端子保護筒１７の内側は気密に保持され、たとえセラミック基板１１の周囲が反応性ガスやハロゲンガス等の腐食性ガス雰囲気に曝されている場合であっても、該端子保護筒１７の内部に収納された外部端子２３等は、上記腐食性ガスと直接触れるようになことはない。しかも、この端子保護筒１７は、セラミック基板１１をしっかりと支持する働きをも有するので、セラミック基板１１が高温に加熱された場合でも、自重によって反るようなことはない。その結果、半導体ウエハ等の被加熱物（シリコンウエハ）の破損防止にも有利に作用するとともに、被加熱物（シリコンウエハ）を均一に加熱することができるようになる。
【００４３】
前記プラズマ発生用電極１１２は、導電性セラミックスにて構成するが、それは使用時の焼成によって金属が炭化したようなものではなく、既にタングステン炭化物、モリブデン炭化物となったものを用いる。これらの導電性セラミックスは、単独で用いてもよくまた、２種以上を混合したものでもよい。なかでも炭化タングステンがより好適である。
【００４４】
かかるプラズマ発生用電極１１２の層としては、５μｍ〜300μm程度とすることが望ましい。なお、電極層の厚みの測定値は、プラズマ発生用電極が埋設されたセラミック基板１１を、板面に対して垂直な方向に切断し、その時に観察される２つのプラズマ発生用電極とセラミック基板との境界と境界の距離を、場所によってばらつきが生じるのを防ぐため、任意の１０個所を測定し、その平均値を用いた。この厚さが、５μm未満だと、電極層の厚みのバラツキの程度が大きく影響されるため、抵抗値のバラツキが大きく、プラズマ分布が一定にならないため、ウエハ表面に形成される気相成長面の厚みバラツキが大きくなる。一方、300μｍを超えると、高温時に、クラックが発生してしまう。
【００４５】
電極に用いられる導電性セラミックスは、粒子の粒径が、0.1〜10μｍのものが用いられる。この理由は、0.1μｍ未満だと酸化されやすくなるからである。一方、10μｍを超えると、焼結しにくくなり、抵抗値が大きくなる。この粒径の定義は、上述したとおり、任意の二次元断面視で最小短径と最大長径の範囲を定めるものである。
【００４６】
セラミック基板１１中にプラズマ発生用電極１１３の層を埋設した状態で形成するには、導体グリーンシートか導体ペーストを用いることが好ましい。導体グリーンシートを用いる場合、導体グリーンシートをパターンに打ち抜いた後、セラミック基板となる絶縁性グリーンシートの上に積層し、焼成して形成することが望ましい。
【００４７】
上記導体グリーンシートとは、導電性セラミック粒子を含有したものであり、その他に各種の樹脂や溶剤、増粘剤等を含有するものであってもよい。前記樹脂としては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂等が使用でき、上記溶剤としては、イソプロピルアルコールなどが使用でき、また、上記増粘剤としては、セルロースなどが使用できるが、これらの例示のものだけに限られるものではない。
【００４８】
また、プラズマ発生用電極の層を形成する際に、導体ペースト法による場合、絶縁性セラミックグリーンシート上に、スクリーン印刷法によって、導体ペースト層を形成し、その後さらに、印刷していない他のセラミックグリーンシートを積層し、焼成することにより、セラミック基板の内部にプラズマ発生用電極層が埋設された状態とすることが望ましい。
【００４９】
前記導電性セラミックペーストには、導電性セラミック粒子以外に、各種の樹脂や溶剤、増粘剤等を添加してもよい。上記樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂などが用いられ、溶剤としては、例えば、イソプロピルアルコールなどが用いられ、そして、増粘剤としては、セルロースなどが用いられるが、これらのものだけに限られるものではない。
【００５０】
図２（ａ）、（ｂ）は、本発明のプラズマ発生装置用電極埋設部材に埋設されるメッシュ状板状のプラズマ発生用電極の好適例を示す平面図である、図２（ａ）は円板状の基材に同一径の円形の開口１１２ｈを放射状に穿孔してなるプラズマ発生用電極の例、図２（ｂ）、に示すものは円板状基材に格子状に並ぶ方形の開口１１２ｈを規則的に穿孔してなるメッシュ状のパターンをもつプラズマ発生用電極の例である。
【００５１】
なお、図２（a）、（b）に示すプラズマ発生装置用電極１１２は、多数の開口１１２ｈを有する板状体からなる電極層であり、多数の開口１１２ｈを有するため、セラミック粒子がセラミックグリーンシートの積層時に流動し、その開口１１２ｈ内に流入するセラミック粒子どうしが接合し、互いに絡み合うように重なり合うので接合強度が向上する。また、セラミック基板１１とプラズマ発生用電極１１２との熱膨張係数の差によって、これらの接触部付近では応力が発生し、セラミック基板１１が破損する可能性があるが、開口１１２ｈを有するために、応力が分散され、そのため、破壊の危険性を回避できる点で有利である。
【００５２】
図２（a）に示すパターンのプラズマ発生装置用電極は、開口径の大きさと開口数の数とによって異なるが、これらを調整することによって、開口率を４〜40％程度にしたメッシュ状板状体であり、開口率は、４〜40％程度に調整したものである。なお、開口形状は、図示例のような円形、方形の他に、他の多角形でもよく、数や大きさは上述した所定の開口率（４〜40％）の範囲内で調節し、全体に均等な開口分布を付与することが望ましく、場合によっては同一板面の中で、異なる開口形状のものを穿孔したものを用いてもよい。ただし、多角形の場合、角を丸くする必要がある。
【００５３】
なお、本発明において、前記セラミック基板１１中には、上述したプラズマ発生用電極１１２とともに、ヒータ電極１２を埋設状態にて形成してもよく、その形成の方法としては、導体グリーンシートか導体ペーストを用いることが好ましい。例えば、導体グリーンシートを使用する場合は、その導体グリーンシートを打ち抜いてパターン形成し、その後、その打ち抜きパターンをセラミックグリーンシートの間に挟んで積層したのち、焼成することにより、セラミック基板の内部にヒータ電極が埋設された部材を作製することが望ましい。本発明はさらに、図示しない静電電極を設けて静電チャックとして構成したものであってもよい。
【００５４】
図３は、セラミック基板１１中にプラズマ発生装置用電極１１２として、複数個を一組として多層化して埋設した例である。一般に、プラズマ発生用電極に高周波を印加すると、電極の層厚が薄いと高周波が流れにくく、とくに、一層からなる場合、電極と給電端子との接合部に熱が集中して、大きな熱応力が発生する。そのために、セラミック基体に破損を引き起こす可能性があるので、この電極を２層以上に分け多層化とすることによって、このような問題を回避してもよい。
【００５５】
図４は、円状の前記プラズマ発生用電極１１２等を、それぞれが均等なメッシュ状のものであることを前提として複数セグメントに分割した形態を示す断面図である。この場合、各セグメントとも開口率を等しい４〜40％の範囲に調整することが望ましいが、場合によって、各セグメントによって開口率を変化させてもよい。なお、図示例のものは、４分割であるが、３〜20分割程度としても、また多層状としてもよい。
【００５６】
図５は、６層からなるプラズマ発生用電極１１２ａ〜１１２ｆを水平に等間隔に埋設して多層状として、これらの間を、図７に示すような配置で、多数のビア形接続導体１１３ｂにて電気的に接続し、その最下層の電極１１２ｆについては給電端子１１３ａ、好ましくは図示したような筒状のものを接続し、外部端子２３につなげる。そして、セラミック基板１１には、その他に、ヒータ電極１２を埋設した例を示している。なお、図中の拡大図は、最上層ヒータ電極１１２ａの表面に突起を設けて、表面積を拡大し、高周波の表皮効果を上げる工夫をしたプラズマ発生用電極の例である。
【００５７】
前記給電端子（スルーホール１１３、１３）に接続される外部端子２３、２３’は、図１に示すような断面視でＴ字形状のものを用いることが好ましいが、その他、棒状部材、端部にねじ溝が切られた部材であってもよい。なお、上記外部端子にねじが刻接されたものである場合、該スルーホール１１３、１３に上記外部端子２３のねじを螺合させることができるねじ孔を形成することが望ましい。
【００５８】
上記外部端子２３の材料としては、例えば、ニッケル、タングステン等の金属を用いることができる。この外部端子２３の大きさとしては、スルーホール（給電端子）の形状に合わせ、さらには使用するセラミック基板の大きさ等によって適宜に調整すればよく、例えば、外周および内部にねじ山が形成された外部端子を使用する場合、その軸部分の直径の好ましい下限は2.0 mm程度、好ましい上限は8.0 mm程度であり、軸部分の長さの好ましい下限は5.0 mm程度、好ましい上限は12.0 mm程度ものを用いる。
【００５９】
上記セラミック基板１１には、その底面に、図１に示すように、加熱面に向けて穿設された有底孔を設け、この有底孔の孔底をヒータ電極埋設位置よりも加熱面に近い位置に形成し、その有底孔内には熱電対等の測温素子を取付けてもよい。この測温素子によりヒータ電極の温度を測定し、そのデータをもとに電圧、電流量を変えて、温度を制御することができる。
【００６０】
上記測温素子としては、例えば、熱電対、白金測温抵抗体、サーミスタなどが用いられる。上記熱電対としては、例えば、ＪＩＳ  Ｃ  １６０２（１９８０）に挙げられているものが用いられるが、なかでは、Ｋ型熱電対が好ましい。
【００６１】
また、セラミック基板１１の中央から離れた部分には、図１に示すように、リフターピン（図示せず）を挿通するための貫通孔１５を設けることが望ましい。
【００６２】
また、セラミック基板１１のシリコンウエハ載置側の面には、該ウエハを支持するための複数個の突起１１ｃをエンボス加工によって設けることが好ましく、その突起１１ｃ表面はブラスト加工によって粗面化したものがより好ましい。なお、この基板上に形成された突起１１ｃを介して半導体ウエハを該基板の加熱面上に支持することにより、加熱面から10〜300 μｍ離間させた状態に保持して加熱することもできる。
【００６３】
以下、本発明に係るプラズマ発生装置用電極埋設部材を製造する方法の一例を、示す図６に基づき説明する。
【００６４】
（１）グリーンシートおよび給電端子の作製工程
まず、セラミック粉末にバインダ、溶剤等を混合してペーストを調製し、このペーストをドクターブレード法でシート状に成形してセラミックグリーンシート１１０を作製する。そのセラミック粉末としては、窒化アルミニウム等を使用するが、必要に応じて、イットリア等の焼結助剤、Ｎａ、Ｃａを含む化合物等を加えてもよい。上記バインダとしては、アクリル系バインダ、エチルセルロース、ブチルセロソルブおよびポリビニルアルコールからなる群より選択される少なくとも１種であることが望ましい。上記溶媒としては、α−テルピネオールおよび／またはグリコールが望ましい。
【００６５】
グリーンシート１１０の厚さは、好ましくは0.1〜2.0 mm程度とし、所定のグリーンシート１１０については、ヒータ電極およびプラズマ発生用電極と接続するための給電端子形成用のスルーホールや貫通孔あるいは有底孔となる部分（孔）を予め形成するか、グリーシート積層体を作製し焼成した後に形成してもよい。上記スーホールについては、その孔内を導電性ペーストで完全に充填するのではなく、孔壁部分にのみ導電性ペーストを塗布することによって中心部が空洞（筒状）になるようにした後、大気圧、８０℃で５時間乾燥し、最後に空洞部に窒化アルミニウムペーストを充填してペースト充填層１３３とし、これを給電端子１１３とする。つまり、導電部分が筒状の給電端子１１３とすることが好ましい。
【００６６】
（２）グリーンシート上に炭化タングステンペーストを印刷する工程
グリーンシート１１０上に炭化タングステン(ＷＣ)や炭化モリブデン（MoC）のペーストを印刷するか、または炭化タングステン等のグリーンシートをパターンで打ち抜いてプラズマ発生用電極１１２とする導体ペースト層１２２を形成する。また、必要に応じ、炭化タングステン(ＷＣ)グリーンシートを打ち抜いて形成するヒータ電極（炭化ＷＣ発熱体パターン層）１２を、前記グリーンシート１１０で挟み、ヒータ電極１２となるパターン層１２０を、その端部とスルーホールとなる部分に充填した導体ペースト充填層１３０とが重なるように印刷形成する。そして、その上のグリーンシート１１０上に、プラズマ発生用電極１１２とする導体ペースト層１２２を形成し、さらにスルーホールとなる部分に導体ペーストを充填して導体ペースト充填層１３３を形成した後、前記導体ペースト層１２２の端部とスルーホールとなる部分に充填した導体ペースト充填層１３３とが重なるように印刷する。これらの導体ペーストとしては、金属粒子または導電性セラミック粒子が含まれたものを用いることが好ましい。
【００６７】
なお、グリーンシートに用いる炭化タングステン粒子や炭化モリブデン粒子等は、それらの平均粒径が0.1〜10μｍ程度のものを用いることが好ましい。その理由は、粒径が0.1μｍ未満であるか、10μｍを超えると、導体ペーストを印刷しにくいからである。
【００６８】
このような導体ペーストとしては、例えば、導電性セラミック粒子８５〜８７重量部；アクリル系、エチルセルロース、ブチルセロソルブ、ポリビニルアルコールからなる群より選択される少なくとも１種のバインダ1.5〜10重量部；α−テルピネオールおよび／またはグリコールからなる溶媒1.5〜10重量部を混合した組成物（ペースト）等を用いることができる。なお、スルーホールとなる部分に充填した導体ペースト充填層１３０、１３３に使用する導体ペーストと、導体ペースト層１２０、１２２に使用する導体ペーストとは、同じ組成であってもよく、また異なる組成のものを用いてもよい。
【００６９】
（３）グリーンシートの積層工程
導体ペースト層１２２を形成したグリーンシート１１０の上に、炭化タングステン(ＷＣ)ヒータ電極パターン層１２０を形成していないグリーンシート１１０を幾つか積層し、一方その下には、筒状の導体ペースト充填層１３３のみを形成してなるグリーンシート１１０を重ね合わせる。さらに、そのグリーンシート１１０の下には、炭化タングステン(ＷＣ)ヒータ電極パターン層１２０を形成したグリーンシート１１０を重ね合わせ、さらにその下に、筒状の導体ペースト充填層１３０、１３３を形成したグリーンシート１１０を積層し、さらにその下に何の加工もしていないグリーンシート１１０を積層する（図６（ａ））。
【００７０】
このとき、導体ペースト層１２２を形成したグリーンシート１１０の上側に積層するグリーンシート１１０の数を下側に積層するグリーンシート１１０の数よりも少なくして、プラズマ発生用電極の形成位置を上面側に偏芯させる。具体的には、プラズマ発生用電極１２２の上側のグリーンシート１１０の積層数を１０〜２０枚程度とし、その下側のグリーンシート１１０の積層数（ヒータ電極１２０を含む場合、含まない場合の両方）は２０〜５０枚程度とすることが望ましい。
【００７１】
（４）グリーンシート積層体の焼成工程
次に、グリーンシート積層体を加圧、加熱し、グリーンシート１１０および内部の導体ペースト層１２０、１２２等を焼成し、セラミック基板１１、抵抗発熱体であるヒータ電極１２、プラズマ発生用電極１１２およびスルーホール１３、１１３等からなる電極埋設部材を製造する。（図６（ｂ））
上記焼成のための加熱温度の望ましい下限は1000 ℃、望ましい上限は2100 ℃である。加熱は、不活性ガス雰囲気中または真空中で行う。上記不活性ガスとしては、例えば、アルゴン、窒素等を使用することができる。加圧の圧力の望ましい下限は10ＭＰａ、望ましい上限は20ＭＰａである。
【００７２】
なお、半導体ウエハ等の被加熱物を運搬するためのリフターピンを挿入する貫通孔となる部分は、積層したグリーンシート１１０の焼成後に形成することが好ましい。その形成方法は、ドリル加工によって行われることが好ましい。
【００７３】
また、このようにして得られた部材の前記セラミック基板１１の底面１１ｂには、ドリル加工により袋孔１９を形成しておくことが好ましい。
【００７４】
（５）略筒状の端子保護筒の製造工程
窒化アルミニウム粉末等のセラミック粉末を、筒状の成形型に入れて成形し、必要に応じて切断加工を施した後、これを加熱温度1000〜2100 ℃、常圧で焼結することにより、筒状のセラミック体１７を製造する。このとき、製造する筒状のセラミック体は、略円筒状であることが望ましい。上記焼結のための加熱は、不活性ガス雰囲気中または真空中で行う。上記不活性ガスとしては、例えば、アルゴン、窒素等を使用することができる。次いで、セラミック体１７の端面を研磨して平坦化する。
【００７５】
（６）セラミック基板とセラミック体との接合工程
セラミック基板１１の底面中央付近に前記端子保護筒１７の端面を接触させた状態で、セラミック基板１１と端子保護筒１７とを加熱して、これらを接合する。このとき、セラミック体１７の内側に前記給電端子用のスルーホール１１３、１３が収まるようにして接合する（図６（ｃ））。
【００７６】
セラミック基板１１および端子保護筒１７を接合する方法としては、例えば、セラミック基板１１内部の焼結助剤の濃度と端子保護筒１７の内部の焼結助剤の濃度とが異なるように焼結助剤を含有させ、両者を接合位置で接触させた後、加熱することにより接合する。この場合、焼結助剤の濃度の高い部材から濃度の低い部材の方に焼結助剤が移動するとともに、界面を横切るように粒子が成長し、しっかりとした接合面が形成される。
【００７７】
セラミック基板１１と端子保護筒体１７とを接合するその他の方法として、例えば、
（１）  セラミック基板１１および端子保護筒１７の接合面に、これらを構成するセラミック材料の焼結助剤を含有する溶液を塗布して焼成する方法（拡散接合）、
（２）  セラミック基板１１および端子保護筒１７の接合面に、これらを構成するセラミックスと主成分が同じセラミックペーストを塗布したのち焼成する方法、
（３）  金ろう、銀ろう等を用いてろう付けする方法、
（４）  酸化物系ガラス等の接着剤を用いて接合する方法、
等を採用してもよい。
【００７８】
（７）外部端子等の取り付け
前記端子保護筒１７の内側に形成した袋孔１９に、ろう材１９ｃを介してタングステンネジ付きピン１９ａをねじ込み、そしてろう材付きのNi棒１９ｂをタングステンネジ付ピンにねじ込む（図７）、その後、900〜1100 ℃に加熱することが好ましい。
【００７９】
さらに、測温素子としての熱電対２６等をセラミック基板１１の底面に形成した有底孔１４内に挿入し、本発明の電極埋設部材１０の製造を終了する。
【実施例】
【００８０】
実施例１
（１）窒化アルミニウム粉末（トクヤマ社製、平均粒径1.1μｍ）100重量部、酸化イットリウム（Ｙ2Ｏ3：イットリア、平均粒径0.4μｍ）４重量部、アクリルバインダ11.5重量部、分散剤0.5重量部および１−ブタノールとエタノールとからなるアルコール53重量部を混合したペーストを用い、ドクターブレード法により成形を行って、基板として用いる厚さ0.47 mmのグリーンシートを作製した。
（２）次に、このグリーンシートを80 ℃で５時間乾燥させた後、外部端子形成のための、直径3.0 mmの円形のスルーホール１個をパンチングにより成形した。
（３）平均粒径１μｍの炭化タングステン（アライドマテリアル製ＷＣ−１０）粒子10000重量部、アクリル系バインダ（三井化学製ＳＡ−５４５）1509重量部、可塑剤（黒金化成製 ＤＯＡ）175重量部、１−ブタノール560重量部、エタノール432重量部を混合し、ドクターブレード法にて厚さ65μm±５μmの炭化タングステングリーンシートを製造した。この炭化タングステングリーンシートを、空気中25 ℃で48時間乾燥させて、厚さ55μm±5μmのグリーンシートとし、このグリーンシートを打ち抜き加工して、ヒータ電極とすべき炭化タングステンのパターンシートを形成した。
（４）平均粒径３μｍの炭化タングステン粒子100重量部、アクリル系バインダ1.9重量部、α―テルピネオール溶媒3.7重量部、および分散剤0.2重量部を混合してプラズマ発生用電極用導体ペーストを調整し、ドクターブレード法にて厚さ65μm±５μmの炭化タングステングリーンシートを製造した。この炭化タングステングリーンシートを、空気中25 ℃で48時間乾燥させて、厚さ55μm±5μmのグリーンシートとし、直径３ｍｍの円形の穴を開口率が４％になるように打ち抜き加工して、プラズマ発生用電極とすべき炭化タングステンのパターンシートを形成した。
（５）次に、前記スルーホールの孔内壁に、導電性ペーストをスルーホールが導電性ペーストによって完全に充填されず中心部が空洞（筒状）になるように導電性ペーストを塗布し、大気圧、80 ℃で５時間乾燥機で乾燥させて、その後さらに前記空洞部内に窒化アルミニウムペーストを充填し、厚さ0.47 mm、直径3.0 mmの円筒状給電端子とした。
（６）上記（１）〜（５）の処理が終わったグリーンシートと炭化タングステンのパターンシートを積層し、130 ℃、８ MPaの圧力で圧着して積層体を形成した。
（７）次に、得られた積層体を窒素ガス中、600 ℃で5時間脱脂し、1840℃、圧力15 MPaで６時間ホットプレスし、厚さ18 mmのセラミックス板状体を得た。これを330 mmの円盤状に切り出し、内部に厚さ25μm、幅10 mmのヒータ電極ならびに厚さ80μｍ、開口率４％のプラズマ発生用電極を有するとともに、スルーホールを有するセラミックス板状体とした。
（８）そして、得られたセラミックス板状体の表面にドリル加工で測温素子を挿通するための有底孔およびニッケル製の電極棒を固定するための側面にネジの溝が形成される固定用孔を形成した。
（９）上記（１）〜（８）の処理により製造された電極埋設部材（セグメント）のウエハ加工面の粗度をRaが0.8μmになるようにブラスト加工を行った。
（１０）上記（１）〜（９）の処理により製造された電極埋設部材に、窒化アルミニウム粉末（トクヤマ社製、平均粒径0.6μｍ）を乾式ラバープレス法により円筒型に成形して、酸化雰囲気、600 ℃、５時間の条件で脱脂した後、窒素ガス中、1860 ℃、６時間の条件で焼成してなる窒化アルミニウム製の柱状体（外径80 mm、内径70 mm、長さ190 mm）を窒素ガス中、1850 ℃で加熱して接合した。
（１１）前記セグメントにドリル加工を施して、シリコンウエハのリフターピンを挿通させる貫通孔、熱伝対を埋め込むための有底孔（直径：1.7 mm、深さ：10 mm）を形成した。
（１２）ニッケル製の電極棒を固定するための側面にネジの溝が形成される固定用孔に、Au−Niろう材を附着したタングステンピンを固定用孔に固定し、先端にAu−Niろう材を附着させたニッケル棒をねじ込み、窒素雰囲気、1030 ℃で28分の条件でニッケル棒のろう付け、プラズマ発生用電極埋設部材を得た。
【００８１】
実施例２
（１）窒化アルミニウム粉末（トクヤマ社製、平均粒径1.1μｍ）100重量部、酸化イットリウム（Ｙ2Ｏ3:イットリア、平均粒径0.4μｍ）４重量部、アクリルバインダ11.5重量部、分散剤0.5重量部および１−ブタノールとエタノールとからなるアルコール53重量部を混合したペーストを用い、ドクターブレード法により成形を行って、厚さ0.47 mmのグリーンシートを作製した。
（２）次に、このグリーンシートを80 ℃で５時間乾燥させた後、外部端子形成のための、直径3.0 mmの花弁状のスルーホール１０個をパンチングにより形成した。
（３）平均粒径１μｍの炭化タングステン（アライドマテリアル製ＷＣ−１０）粒子10000重量部、アクリル系バインダ（三井化学製ＳＡ−５４５）1509重量部、可塑剤（黒金化成製 ＤＯＡ）175重量部、１−ブタノール560重量部、エタノール432重量部を混合し、ドクターブレード法にて厚さ65μm±５μmの炭化タングステングリーンシートを製造した。これを空気中25 ℃で48時間乾燥させて厚さ55μm±5μmのグリーンシートとし、このグリーンシートを打ち抜き加工して、ヒータ電極用炭化タングステンのパターンシートを形成した。
（４）平均粒径３μｍの炭化タングステン粒子100重量部、アクリル系バインダ1.9重量部、α―テルピネオール溶媒3.7重量部、および分散剤0.2重量部を混合してプラズマ発生用電極用導体ペーストを調整し、ドクターブレード法にて厚さ65μm±５μmの炭化タングステングリーンシートを製造した。この炭化タングステングリーンシートを、空気中25 ℃で48時間乾燥させて、厚さ55μm±5μmのグリーンシートとし、直径３ｍｍの円形の穴を開口率が５％になるように打ち抜き加工して、プラズマ発生用電極とすべき炭化タングステンのパターンシートを形成した。
（５）次に、前記スルーホールの孔内壁に、導電性ペーストをスルーホールが導電性ペーストによって完全に充填されず中心部が空洞（筒状）になるように導電性ペーストを塗布し、大気圧、80 ℃で５時間乾燥機で乾燥させて、その後さらに前記空洞部内に窒化アルミニウムペーストを充填し、厚さ0.47 mm、直径3.0 mmの花弁筒状給電端子とした。
（６）上記（１）〜（５）の処理が終わったグリーンシートと炭化タングステンのパターンシートを、グリーンシート→プラズマ発生用電極炭化タングステンパターンシート→グリーンシート→プラズマ発生用電極炭化タングステンパターンシート→グリーンシート→ヒータ用電極炭化タングステンパターンシート→グリーンシート→プラズマ発生用電極炭化タングステンパターンシート→グリーンシートの順番に積層し、130 ℃、８ MPaの圧力で圧着して積層体を形成した。
（７）次に、得られた積層体を窒素ガス中、600 ℃で5時間脱脂し、1840℃、圧力15 MPaで６時間ホットプレスし、厚さ18 mmのセラミックス板状体を得た。これを330 mmの円盤状に切り出し、内部に厚さ25μm、幅10 mmのヒータ電極ならびに厚さ80μｍ、開口率５％のプラズマ発生用電極を有するとともに、スルーホールを有するセラミックス板状体とした。
（８）そして、得られたセラミックス板状体の表面にドリル加工で測温素子を挿通するための有底孔およびニッケル製の電極棒を固定するための側面にネジの溝が形成される固定用孔を形成した。
（９）上記（１）〜（８）の処理により製造された電極埋設部材（セグメント）のウエハ加工面の粗度をRaが0.8μmになるようにブラスト加工を行った。
（１０）上記（１）〜（９）の処理により製造された電極埋設部材（セグメント）に、窒化アルミニウム粉末（トクヤマ社製、平均粒径0.6μｍ）を乾式ラバープレス法により円筒型に成形して、酸化雰囲気、600 ℃、５時間の条件で脱脂した後、窒素ガス中、1860 ℃、６時間の条件で焼成してなる窒化アルミニウム製の柱状体（外径80 mm、内径70 mm、長さ190 mm）を窒素ガス中、1850 ℃で加熱して接合した。
（１１）上記（１）〜（１０）の処理により製造された前記セグメントにドリル加工を施して、シリコンウエハのリフターピンを挿通させる貫通孔、熱伝対を埋め込むための有底孔（直径：1.7 mm、深さ：10 mm）を形成した。
（１２）ニッケル製の電極棒を固定するための側面にネジの溝が形成される固定用孔に、Au−Niろう材を附着したタングステンピンを固定用孔に固定し、先端にAu−Niろう材を附着させたニッケル棒をねじ込み、窒素雰囲気、1030 ℃で28分の条件でニッケル棒のろう付けし、ヒータつきプラズマ発生用電極埋設部材を得た。
【００８２】
実施例３
（１）窒化アルミニウム粉末（トクヤマ社製、平均粒径1.1μｍ）100重量部、酸化イットリウム（Ｙ2Ｏ3:イットリア、平均粒径0.4μｍ）４重量部、アクリルバインダ11.5重量部、分散剤0.5重量部および１−ブタノールとエタノールとからなるアルコール53重量部を混合したペーストを用い、ドクターブレード法により成形を行って、厚さ0.47 mmのグリーンシートを作製した。
（２）次に、このグリーンシートを80 ℃で５時間乾燥させた後、外部端子形成のための、直径3.0 mmの星型のスルーホール１０個をパンチングにより形成した。
（３）平均粒径１μｍの炭化タングステン（アライドマテリアル製ＷＣ−１０）粒子10000重量部、アクリル系バインダ（三井化学製ＳＡ−５４５）1509重量部、可塑剤（黒金化成製 ＤＯＡ）175重量部、１−ブタノール560重量部、エタノール432重量部を混合し、ドクターブレード法にて厚さ65μm±５μmの炭化タングステングリーンシートを製造した。これを空気中25 ℃で48時間乾燥させて厚さ55μm±5μmのグリーンシートとし、このグリーンシートを打ち抜き加工して、ヒータ電極用炭化タングステンのパターンシートを形成した。
（４）平均粒径３μｍの炭化タングステン粒子100重量部、アクリル系バインダ1.9重量部、α―テルピネオール溶媒3.7重量部、および分散剤0.2重量部を混合してプラズマ発生用電極用導体ペーストを調整し、ドクターブレード法にて厚さ65μm±５μmの炭化タングステングリーンシートを製造した。この炭化タングステングリーンシートを、空気中25 ℃で48時間乾燥させて、厚さ55μm±5μmのグリーンシートとし、直径３ｍｍの円形の穴を開口率が１０％になるように打ち抜き加工して、プラズマ発生用電極とすべき炭化タングステンのパターンシートを形成した。
（５）次に、前記スルーホールの孔内壁に、導電性ペーストをスルーホールが導電性ペーストによって完全に充填されず中心部が空洞（筒状）になるように導電性ペーストを塗布し、大気圧、80 ℃で５時間乾燥機で乾燥させて、その後さらに前記空洞部内に窒化アルミニウムペーストを充填し、厚さ0.47 mm、直径3.0 mmの星型筒状給電端子とした。
（６）上記（１）〜（５）の処理が終わったグリーンシートと炭化タングステンのパターンシートを、グリーンシート→プラズマ発生用電極炭化タングステンパターンシート→グリーンシート→プラズマ発生用電極炭化タングステンパターンシート→グリーンシート→プラズマ発生用電極炭化タングステンパターンシート→グリーンシート→ヒータ用電極炭化タングステンパターンシート→グリーンシート→プラズマ発生用電極炭化タングステンパターンシート→グリーンシート→プラズマ発生用電極炭化タングステンパターンシート→グリーンシートの順番に積層し、130 ℃、８ MPaの圧力で圧着して積層体を形成した。
（７）次に、得られた積層体を窒素ガス中、600 ℃で5時間脱脂し、1840℃、圧力15 MPaで６時間ホットプレスし、厚さ18 mmのセラミックス板状体を得た。これを330 mmの円盤状に切り出し、内部に厚さ25μm、幅10 mmのヒータ電極ならびに厚さ80μｍ、開口率１０％のプラズマ発生用電極を有するとともに、スルーホールを有するセラミックス板状体とした。
（８）そして、得られたセラミックス板状体の表面にドリル加工で測温素子を挿通するための有底孔およびニッケル製の電極棒を固定するための側面にネジの溝が形成される固定用孔を形成した。
（９）上記（１）〜（８）の処理により製造された電極埋設部材（セグメント）のウエハ加工面の粗度をRaが0.8μmになるようにブラスト加工を行った。
（１０）上記（１）〜（９）の処理により製造された電極埋設部材（セグメント）に、窒化アルミニウム粉末（トクヤマ社製、平均粒径0.6μｍ）を乾式ラバープレス法により円筒型に成形して、酸化雰囲気、600 ℃、５時間の条件で脱脂した後、窒素ガス中、1860 ℃、６時間の条件で焼成してなる窒化アルミニウム製の柱状体（外径80 mm、内径70 mm、長さ190 mm）を窒素ガス中、1850 ℃で加熱して接合した。
（１１）上記（１）〜（１０）の処理により製造された前記セグメントにドリル加工を施して、シリコンウエハのリフターピンを挿通させる貫通孔、熱伝対を埋め込むための有底孔（直径：1.7 mm、深さ：10 mm）を形成した。
（１２）ニッケル製の電極棒を固定するための側面にネジの溝が形成される固定用孔に、Au−Niろう材を附着したタングステンピンを固定用孔に固定し、先端にAu−Niろう材を附着させたニッケル棒をねじ込み、窒素雰囲気、1030 ℃で28分の条件でニッケル棒のろう付けし、ヒータつきプラズマ発生用電極埋設部材を得た。
【００８３】
実施例４
（１）窒化アルミニウム粉末（トクヤマ社製、平均粒径1.1μｍ）100重量部、酸化イットリウム（Ｙ2Ｏ3：イットリア、平均粒径0.4μｍ）４重量部、アクリルバインダ11.5重量部、分散剤0.5重量部および１−ブタノールとエタノールとからなるアルコール53重量部を混合したペーストを用い、ドクターブレード法により成形を行って、基板として用いる厚さ0.47 mmのグリーンシートを作製した。
（２）次に、このグリーンシートを80 ℃で５時間乾燥させた後、外部端子形成のための、直径3.0 mmの円形のスルーホール１個をパンチングにより成形した。
（３）平均粒径１μｍの炭化タングステン（アライドマテリアル製ＷＣ−１０）粒子10000重量部、アクリル系バインダ（三井化学製ＳＡ−５４５）1509重量部、可塑剤（黒金化成製 ＤＯＡ）175重量部、１−ブタノール560重量部、エタノール432重量部を混合し、ドクターブレード法にて厚さ65μm±５μmの炭化タングステングリーンシートを製造した。この炭化タングステングリーンシートを、空気中25 ℃で48時間乾燥させて、厚さ55μm±5μmのグリーンシートとし、このグリーンシートを打ち抜き加工して、ヒータ電極とすべき炭化タングステンのパターンシートを形成した。
（４）平均粒径３μｍの炭化タングステン粒子100重量部、アクリル系バインダ1.9重量部、α―テルピネオール溶媒3.7重量部、および分散剤0.2重量部を混合してプラズマ発生用電極用導体ペーストを調整し、ドクターブレード法にて厚さ65μm±５μmの炭化タングステングリーンシートを製造した。この炭化タングステングリーンシートを、空気中25 ℃で48時間乾燥させて、厚さ55μm±5μmのグリーンシートとし、直径３ｍｍの円形の穴を開口率が１５％になるように打ち抜き加工して、プラズマ発生用電極とすべき炭化タングステンのパターンシートを形成した。
（５）次に、前記スルーホールの孔内壁に、導電性ペーストをスルーホールが導電性ペーストによって完全に充填されず中心部が空洞（筒状）になるように導電性ペーストを塗布し、大気圧、80 ℃で５時間乾燥機で乾燥させて、その後さらに前記空洞部内に窒化アルミニウムペーストを充填し、厚さ0.47 mm、直径3.0 mmの円筒状給電端子とした。
（６）上記（１）〜（５）の処理が終わったグリーンシートと炭化タングステンのパターンシートを積層し、130 ℃、８ MPaの圧力で圧着して積層体を形成した。
（７）次に、得られた積層体を窒素ガス中、600 ℃で5時間脱脂し、1840℃、圧力15 MPaで６時間ホットプレスし、厚さ18 mmのセラミックス板状体を得た。これを330 mmの円盤状に切り出し、内部に厚さ25μm、幅10 mmのヒータ電極ならびに厚さ80μｍ、開口率１５％のプラズマ発生用電極を有するとともに、スルーホールを有するセラミックス板状体とした。
（８）そして、得られたセラミックス板状体の表面にドリル加工で測温素子を挿通するための有底孔およびニッケル製の電極棒を固定するための側面にネジの溝が形成される固定用孔を形成した。
（９）上記（１）〜（８）の処理により製造された電極埋設部材（セグメント）のウエハ加工面の粗度をRaが0.8μmになるようにブラスト加工を行った。
（１０）上記（１）〜（９）の処理により製造された電極埋設部材に、窒化アルミニウム粉末（トクヤマ社製、平均粒径0.6μｍ）を乾式ラバープレス法により円筒型に成形して、酸化雰囲気、600 ℃、５時間の条件で脱脂した後、窒素ガス中、1860 ℃、６時間の条件で焼成してなる窒化アルミニウム製の柱状体（外径80 mm、内径70 mm、長さ190 mm）を窒素ガス中、1850 ℃で加熱して接合した。
（１１）前記セグメントにドリル加工を施して、シリコンウエハのリフターピンを挿通させる貫通孔、熱伝対を埋め込むための有底孔（直径：1.7 mm、深さ：10 mm）を形成した。
（１２）ニッケル製の電極棒を固定するための側面にネジの溝が形成される固定用孔に、Au−Niろう材を附着したタングステンピンを固定用孔に固定し、先端にAu−Niろう材を附着させたニッケル棒をねじ込み、窒素雰囲気、1030 ℃で28分の条件でニッケル棒のろう付け、プラズマ発生用電極埋設部材を得た。
【００８４】
実施例５
（１）窒化アルミニウム粉末（トクヤマ社製、平均粒径1.1μｍ）100重量部、酸化イットリウム（Ｙ2Ｏ3:イットリア、平均粒径0.4μｍ）４重量部、アクリルバインダ11.5重量部、分散剤0.5重量部および１−ブタノールとエタノールとからなるアルコール53重量部を混合したペーストを用い、ドクターブレード法により成形を行って、厚さ0.47 mmのグリーンシートを作製した。
（２）次に、このグリーンシートを80 ℃で５時間乾燥させた後、外部端子形成のための、直径3.0 mmの花弁状のスルーホール１０個をパンチングにより形成した。
（３）平均粒径１μｍの炭化タングステン（アライドマテリアル製ＷＣ−１０）粒子10000重量部、アクリル系バインダ（三井化学製ＳＡ−５４５）1509重量部、可塑剤（黒金化成製 ＤＯＡ）175重量部、１−ブタノール560重量部、エタノール432重量部を混合し、ドクターブレード法にて厚さ65μm±５μmの炭化タングステングリーンシートを製造した。これを空気中25 ℃で48時間乾燥させて厚さ55μm±5μmのグリーンシートとし、このグリーンシートを打ち抜き加工して、ヒータ電極用炭化タングステンのパターンシートを形成した。
（４）平均粒径３μｍの炭化タングステン粒子100重量部、アクリル系バインダ1.9重量部、α―テルピネオール溶媒3.7重量部、および分散剤0.2重量部を混合してプラズマ発生用電極用導体ペーストを調整し、ドクターブレード法にて厚さ65μm±５μmの炭化タングステングリーンシートを製造した。この炭化タングステングリーンシートを、空気中25 ℃で48時間乾燥させて、厚さ55μm±5μmのグリーンシートとし、直径３ｍｍの円形の穴を開口率が２０％になるように打ち抜き加工して、プラズマ発生用電極とすべき炭化タングステンのパターンシートを形成した。
（５）次に、前記スルーホールの孔内壁に、導電性ペーストをスルーホールが導電性ペーストによって完全に充填されず中心部が空洞（筒状）になるように導電性ペーストを塗布し、大気圧、80 ℃で５時間乾燥機で乾燥させて、その後さらに前記空洞部内に窒化アルミニウムペーストを充填し、厚さ0.47 mm、直径3.0 mmの花弁筒状給電端子とした。
（６）上記（１）〜（５）の処理が終わったグリーンシートと炭化タングステンのパターンシートを、グリーンシート→プラズマ発生用電極炭化タングステンパターンシート→グリーンシート→プラズマ発生用電極炭化タングステンパターンシート→グリーンシート→ヒータ用電極炭化タングステンパターンシート→グリーンシート→プラズマ発生用電極炭化タングステンパターンシート→グリーンシートの順番に積層し、130 ℃、８ MPaの圧力で圧着して積層体を形成した。
（７）次に、得られた積層体を窒素ガス中、600 ℃で5時間脱脂し、1840℃、圧力15 MPaで６時間ホットプレスし、厚さ18 mmのセラミックス板状体を得た。これを330 mmの円盤状に切り出し、内部に厚さ25μm、幅10 mmのヒータ電極ならびに厚さ80μｍ、開口率２０％のプラズマ発生用電極を有するとともに、スルーホールを有するセラミックス板状体とした。
（８）そして、得られたセラミックス板状体の表面にドリル加工で測温素子を挿通するための有底孔およびニッケル製の電極棒を固定するための側面にネジの溝が形成される固定用孔を形成した。
（９）上記（１）〜（８）の処理により製造された電極埋設部材（セグメント）のウエハ加工面の粗度をRaが0.8μmになるようにブラスト加工を行った。
（１０）上記（１）〜（９）の処理により製造された電極埋設部材（セグメント）に、窒化アルミニウム粉末（トクヤマ社製、平均粒径0.6μｍ）を乾式ラバープレス法により円筒型に成形して、酸化雰囲気、600 ℃、５時間の条件で脱脂した後、窒素ガス中、1860 ℃、６時間の条件で焼成してなる窒化アルミニウム製の柱状体（外径80 mm、内径70 mm、長さ190 mm）を窒素ガス中、1850 ℃で加熱して接合した。
（１１）上記（１）〜（１０）の処理により製造された前記セグメントにドリル加工を施して、シリコンウエハのリフターピンを挿通させる貫通孔、熱伝対を埋め込むための有底孔（直径：1.7 mm、深さ：10 mm）を形成した。
（１２）ニッケル製の電極棒を固定するための側面にネジの溝が形成される固定用孔に、Au−Niろう材を附着したタングステンピンを固定用孔に固定し、先端にAu−Niろう材を附着させたニッケル棒をねじ込み、窒素雰囲気、1030 ℃で28分の条件でニッケル棒のろう付けし、ヒータつきプラズマ発生用電極埋設部材を得た。
【００８５】
実施例６
（１）窒化アルミニウム粉末（トクヤマ社製、平均粒径1.1μｍ）100重量部、酸化イットリウム（Ｙ2Ｏ3:イットリア、平均粒径0.4μｍ）４重量部、アクリルバインダ11.5重量部、分散剤0.5重量部および１−ブタノールとエタノールとからなるアルコール53重量部を混合したペーストを用い、ドクターブレード法により成形を行って、厚さ0.47 mmのグリーンシートを作製した。
（２）次に、このグリーンシートを80 ℃で５時間乾燥させた後、外部端子形成のための、直径3.0 mmの星型のスルーホール１０個をパンチングにより形成した。
（３）平均粒径１μｍの炭化タングステン（アライドマテリアル製ＷＣ−１０）粒子10000重量部、アクリル系バインダ（三井化学製ＳＡ−５４５）1509重量部、可塑剤（黒金化成製 ＤＯＡ）175重量部、１−ブタノール560重量部、エタノール432重量部を混合し、ドクターブレード法にて厚さ65μm±５μmの炭化タングステングリーンシートを製造した。これを空気中25 ℃で48時間乾燥させて厚さ55μm±5μmのグリーンシートとし、このグリーンシートを打ち抜き加工して、ヒータ電極用炭化タングステンのパターンシートを形成した。
（４）平均粒径３μｍの炭化タングステン粒子100重量部、アクリル系バインダ1.9重量部、α―テルピネオール溶媒3.7重量部、および分散剤0.2重量部を混合してプラズマ発生用電極用導体ペーストを調整し、ドクターブレード法にて厚さ65μm±５μmの炭化タングステングリーンシートを製造した。この炭化タングステングリーンシートを、空気中25 ℃で48時間乾燥させて、厚さ55μm±5μmのグリーンシートとし、直径３ｍｍの円形の穴を開口率が４０％になるように打ち抜き加工して、プラズマ発生用電極とすべき炭化タングステンのパターンシートを形成した。
（５）次に、前記スルーホールの孔内壁に、導電性ペーストをスルーホールが導電性ペーストによって完全に充填されず中心部が空洞（筒状）になるように導電性ペーストを塗布し、大気圧、80 ℃で５時間乾燥機で乾燥させて、その後さらに前記空洞部内に窒化アルミニウムペーストを充填し、厚さ0.47 mm、直径3.0 mmの星型筒状給電端子とした。
（６）上記（１）〜（５）の処理が終わったグリーンシートと炭化タングステンのパターンシートを、グリーンシート→プラズマ発生用電極炭化タングステンパターンシート→グリーンシート→プラズマ発生用電極炭化タングステンパターンシート→グリーンシート→プラズマ発生用電極炭化タングステンパターンシート→グリーンシート→ヒータ用電極炭化タングステンパターンシート→グリーンシート→プラズマ発生用電極炭化タングステンパターンシート→グリーンシート→プラズマ発生用電極炭化タングステンパターンシート→グリーンシートの順番に積層し、130 ℃、８ MPaの圧力で圧着して積層体を形成した。
（７）次に、得られた積層体を窒素ガス中、600 ℃で5時間脱脂し、1840℃、圧力15 MPaで６時間ホットプレスし、厚さ18 mmのセラミックス板状体を得た。これを330 mmの円盤状に切り出し、内部に厚さ25μm、幅10 mmのヒータ電極ならびに厚さ80μｍ、開口率４０％のプラズマ発生用電極を有するとともに、スルーホールを有するセラミックス板状体とした。
（８）そして、得られたセラミックス板状体の表面にドリル加工で測温素子を挿通するための有底孔およびニッケル製の電極棒を固定するための側面にネジの溝が形成される固定用孔を形成した。
（９）上記（１）〜（８）の処理により製造された電極埋設部材（セグメント）のウエハ加工面の粗度をRaが0.8μmになるようにブラスト加工を行った。
（１０）上記（１）〜（９）の処理により製造された電極埋設部材（セグメント）に、窒化アルミニウム粉末（トクヤマ社製、平均粒径0.6μｍ）を乾式ラバープレス法により円筒型に成形して、酸化雰囲気、600 ℃、５時間の条件で脱脂した後、窒素ガス中、1860 ℃、６時間の条件で焼成してなる窒化アルミニウム製の柱状体（外径80 mm、内径70 mm、長さ190 mm）を窒素ガス中、1850 ℃で加熱して接合した。
（１１）上記（１）〜（１０）により製造された前記セグメントにドリル加工を施して、シリコンウエハのリフターピンを挿通させる貫通孔、熱伝対を埋め込むための有底孔（直径：1.7 mm、深さ：10 mm）を形成した。
（１２）ニッケル製の電極棒を固定するための側面にネジの溝が形成される固定用孔に、Au−Niろう材を附着したタングステンピンを固定用孔に固定し、先端にAu−Niろう材を附着させたニッケル棒をねじ込み、窒素雰囲気、1030 ℃で28分の条件でニッケル棒のろう付けし、ヒータつきプラズマ発生用電極埋設部材を得た。
【００８６】
比較例１
（１）窒化アルミニウム粉末（トクヤマ社製、平均粒径1.1μｍ）100重量部、酸化イットリウム（Ｙ2Ｏ3：イットリア、平均粒径0.4μｍ）４重量部、アクリルバインダ11.5重量部、分散剤0.5重量部および１−ブタノールとエタノールとからなるアルコール53重量部を混合したペーストを用い、ドクターブレード法により成形を行って、基板として用いる厚さ0.47 mmのグリーンシートを作製した。
（２）次に、このグリーンシートを80 ℃で５時間乾燥させた後、外部端子形成のための、直径3.0 mmの円形のスルーホール１個をパンチングにより成形した。
（３）平均粒径１μｍの炭化タングステン（アライドマテリアル製ＷＣ−１０）粒子10000重量部、アクリル系バインダ（三井化学製ＳＡ−５４５）1509重量部、可塑剤（黒金化成製 ＤＯＡ）175重量部、１−ブタノール560重量部、エタノール432重量部を混合し、ドクターブレード法にて厚さ65μm±５μmの炭化タングステングリーンシートを製造した。この炭化タングステングリーンシートを、空気中25 ℃で48時間乾燥させて、厚さ55μm±5μmのグリーンシートとし、このグリーンシートを打ち抜き加工して、ヒータ電極とすべき炭化タングステンのパターンシートを形成した。
（４）平均粒径３μｍの炭化タングステン粒子100重量部、アクリル系バインダ1.9重量部、α―テルピネオール溶媒3.7重量部、および分散剤0.2重量部を混合してプラズマ発生用電極用導体ペーストを調整し、ドクターブレード法にて厚さ65μm±５μmの炭化タングステングリーンシートを製造した。この炭化タングステングリーンシートを、空気中25 ℃で48時間乾燥させて、厚さ55μm±5μmのグリーンシートとし、開口は行なわず打ち抜き加工して、プラズマ発生用電極とすべき炭化タングステンのパターンシートを形成した。
（５）次に、前記スルーホールの孔内壁に、導電性ペーストをスルーホールが導電性ペーストによって完全に充填されず中心部が空洞（筒状）になるように導電性ペーストを塗布し、大気圧、80 ℃で５時間乾燥機で乾燥させて、その後さらに前記空洞部内に窒化アルミニウムペーストを充填し、厚さ0.47 mm、直径3.0 mmの円筒状給電端子とした。
（６）上記（１）〜（５）の処理が終わったグリーンシートと炭化タングステンのパターンシートを積層し、130 ℃、８ MPaの圧力で圧着して積層体を形成した。
（７）次に、得られた積層体を窒素ガス中、600 ℃で5時間脱脂し、1840℃、圧力15 MPaで６時間ホットプレスし、厚さ18 mmのセラミックス板状体を得た。これを330 mmの円盤状に切り出し、内部に厚さ25μm、幅10 mmのヒータ電極ならびに厚さ80μｍ、開口率０％のプラズマ発生用電極を有するとともに、スルーホールを有するセラミックス板状体とした。
（８）そして、得られたセラミックス板状体の表面にドリル加工で測温素子を挿通するための有底孔およびニッケル製の電極棒を固定するための側面にネジの溝が形成される固定用孔を形成した。
（９）上記（１）〜（８）の処理により製造された電極埋設部材（セグメント）のウエハ加工面の粗度をRaが0.8μmになるようにブラスト加工を行った。
（１０）上記（１）〜（９）の処理により製造された電極埋設部材に、窒化アルミニウム粉末（トクヤマ社製、平均粒径0.6μｍ）を乾式ラバープレス法により円筒型に成形して、酸化雰囲気、600 ℃、５時間の条件で脱脂した後、窒素ガス中、1860 ℃、６時間の条件で焼成してなる窒化アルミニウム製の柱状体（外径80 mm、内径70 mm、長さ190 mm）を窒素ガス中、1850 ℃で加熱して接合した。
（１１）前記セグメントにドリル加工を施して、シリコンウエハのリフターピンを挿通させる貫通孔、熱伝対を埋め込むための有底孔（直径：1.7 mm、深さ：10 mm）を形成した。
（１２）ニッケル製の電極棒を固定するための側面にネジの溝が形成される固定用孔に、Au−Niろう材を附着したタングステンピンを固定用孔に固定し、先端にAu−Niろう材を附着させたニッケル棒をねじ込み、窒素雰囲気、1030 ℃で28分の条件でニッケル棒のろう付け、プラズマ発生用電極埋設部材を得た。
【００８７】
比較例２
（１）窒化アルミニウム粉末（トクヤマ社製、平均粒径1.1μｍ）100重量部、酸化イットリウム（Ｙ2Ｏ3:イットリア、平均粒径0.4μｍ）４重量部、アクリルバインダ11.5重量部、分散剤0.5重量部および１−ブタノールとエタノールとからなるアルコール53重量部を混合したペーストを用い、ドクターブレード法により成形を行って、厚さ0.47 mmのグリーンシートを作製した。
（２）次に、このグリーンシートを80 ℃で５時間乾燥させた後、外部端子形成のための、直径3.0 mmの花弁状のスルーホール１０個をパンチングにより形成した。
（３）平均粒径１μｍの炭化タングステン（アライドマテリアル製ＷＣ−１０）粒子10000重量部、アクリル系バインダ（三井化学製ＳＡ−５４５）1509重量部、可塑剤（黒金化成製 ＤＯＡ）175重量部、１−ブタノール560重量部、エタノール432重量部を混合し、ドクターブレード法にて厚さ65μm±５μmの炭化タングステングリーンシートを製造した。これを空気中25 ℃で48時間乾燥させて厚さ55μm±5μmのグリーンシートとし、このグリーンシートを打ち抜き加工して、ヒータ電極用炭化タングステンのパターンシートを形成した。
（４）平均粒径３μｍの炭化タングステン粒子100重量部、アクリル系バインダ1.9重量部、α―テルピネオール溶媒3.7重量部、および分散剤0.2重量部を混合してプラズマ発生用電極用導体ペーストを調整し、ドクターブレード法にて厚さ65μm±５μmの炭化タングステングリーンシートを製造した。この炭化タングステングリーンシートを、空気中25 ℃で48時間乾燥させて、厚さ55μm±5μmのグリーンシートとし、直径３ｍｍの円形の穴を開口率が０．５％になるように打ち抜き加工して、プラズマ発生用電極とすべき炭化タングステンのパターンシートを形成した。
（５）次に、前記スルーホールの孔内壁に、導電性ペーストをスルーホールが導電性ペーストによって完全に充填されず中心部が空洞（筒状）になるように導電性ペーストを塗布し、大気圧、80 ℃で５時間乾燥機で乾燥させて、その後さらに前記空洞部内に窒化アルミニウムペーストを充填し、厚さ0.47 mm、直径3.0 mmの花弁筒状給電端子とした。
（６）上記（１）〜（５）の処理が終わったグリーンシートと炭化タングステンのパターンシートを、グリーンシート→プラズマ発生用電極炭化タングステンパターンシート→グリーンシート→プラズマ発生用電極炭化タングステンパターンシート→グリーンシート→ヒータ用電極炭化タングステンパターンシート→グリーンシート→プラズマ発生用電極炭化タングステンパターンシート→グリーンシートの順番に積層し、130 ℃、８ MPaの圧力で圧着して積層体を形成した。
（７）次に、得られた積層体を窒素ガス中、600 ℃で5時間脱脂し、1840℃、圧力15 MPaで６時間ホットプレスし、厚さ18 mmのセラミックス板状体を得た。これを330 mmの円盤状に切り出し、内部に厚さ25μm、幅10 mmのヒータ電極ならびに厚さ80μｍ、開口率０．５％のプラズマ発生用電極を有するとともに、スルーホールを有するセラミックス板状体とした。
（８）そして、得られたセラミックス板状体の表面にドリル加工で測温素子を挿通するための有底孔およびニッケル製の電極棒を固定するための側面にネジの溝が形成される固定用孔を形成した。
（９）上記（１）〜（８）の処理により製造された電極埋設部材（セグメント）のウエハ加工面の粗度をRaが0.8μmになるようにブラスト加工を行った。
（１０）上記（１）〜（９）の処理により製造された電極埋設部材（セグメント）に、窒化アルミニウム粉末（トクヤマ社製、平均粒径0.6μｍ）を乾式ラバープレス法により円筒型に成形して、酸化雰囲気、600 ℃、５時間の条件で脱脂した後、窒素ガス中、1860 ℃、６時間の条件で焼成してなる窒化アルミニウム製の柱状体（外径80 mm、内径70 mm、長さ190 mm）を窒素ガス中、1850 ℃で加熱して接合した。
（１１）上記（１）〜（１０）により製造された前記セグメントにドリル加工を施して、シリコンウエハのリフターピンを挿通させる貫通孔、熱伝対を埋め込むための有底孔（直径：1.7 mm、深さ：10 mm）を形成した。
（１２）ニッケル製の電極棒を固定するための側面にネジの溝が形成される固定用孔に、Au−Niろう材を附着したタングステンピンを固定用孔に固定し、先端にAu−Niろう材を附着させたニッケル棒をねじ込み、窒素雰囲気、1030 ℃で28分の条件でニッケル棒のろう付けし、ヒータつきプラズマ発生用電極埋設部材を得た。
【００８８】
比較例３
（１）窒化アルミニウム粉末（トクヤマ社製、平均粒径1.1μｍ）100重量部、酸化イットリウム（Ｙ2Ｏ3:イットリア、平均粒径0.4μｍ）４重量部、アクリルバインダ11.5重量部、分散剤0.5重量部および１−ブタノールとエタノールとからなるアルコール53重量部を混合したペーストを用い、ドクターブレード法により成形を行って、厚さ0.47 mmのグリーンシートを作製した。
（２）次に、このグリーンシートを80 ℃で５時間乾燥させた後、外部端子形成のための、直径3.0 mmの星型のスルーホール１０個をパンチングにより形成した。
（３）平均粒径１μｍの炭化タングステン（アライドマテリアル製ＷＣ−１０）粒子10000重量部、アクリル系バインダ（三井化学製ＳＡ−５４５）1509重量部、可塑剤（黒金化成製 ＤＯＡ）175重量部、１−ブタノール560重量部、エタノール432重量部を混合し、ドクターブレード法にて厚さ65μm±５μmの炭化タングステングリーンシートを製造した。これを空気中25 ℃で48時間乾燥させて厚さ55μm±5μmのグリーンシートとし、このグリーンシートを打ち抜き加工して、ヒータ電極用炭化タングステンのパターンシートを形成した。
（４）平均粒径３μｍの炭化タングステン粒子100重量部、アクリル系バインダ1.9重量部、α―テルピネオール溶媒3.7重量部、および分散剤0.2重量部を混合してプラズマ発生用電極用導体ペーストを調整し、ドクターブレード法にて厚さ65μm±５μmの炭化タングステングリーンシートを製造した。この炭化タングステングリーンシートを、空気中25 ℃で48時間乾燥させて、厚さ55μm±5μmのグリーンシートとし、直径３ｍｍの円形の穴を開口率が４５％になるように打ち抜き加工して、プラズマ発生用電極とすべき炭化タングステンのパターンシートを形成した。
（５）次に、前記スルーホールの孔内壁に、導電性ペーストをスルーホールが導電性ペーストによって完全に充填されず中心部が空洞（筒状）になるように導電性ペーストを塗布し、大気圧、80 ℃で５時間乾燥機で乾燥させて、その後さらに前記空洞部内に窒化アルミニウムペーストを充填し、厚さ0.47 mm、直径3.0 mmの星型筒状給電端子とした。
（６）上記（１）〜（５）の処理が終わったグリーンシートと炭化タングステンのパターンシートを、グリーンシート→プラズマ発生用電極炭化タングステンパターンシート→グリーンシート→プラズマ発生用電極炭化タングステンパターンシート→グリーンシート→プラズマ発生用電極炭化タングステンパターンシート→グリーンシート→ヒータ用電極炭化タングステンパターンシート→グリーンシート→プラズマ発生用電極炭化タングステンパターンシート→グリーンシート→プラズマ発生用電極炭化タングステンパターンシート→グリーンシートの順番に積層し、130 ℃、８ MPaの圧力で圧着して積層体を形成した。
（７）次に、得られた積層体を窒素ガス中、600 ℃で5時間脱脂し、1840℃、圧力15 MPaで６時間ホットプレスし、厚さ18 mmのセラミックス板状体を得た。これを330 mmの円盤状に切り出し、内部に厚さ25μm、幅10 mmのヒータ電極ならびに厚さ80μｍ、開口率４５％のプラズマ発生用電極を有するとともに、スルーホールを有するセラミックス板状体とした。
（８）そして、得られたセラミックス板状体の表面にドリル加工で測温素子を挿通するための有底孔およびニッケル製の電極棒を固定するための側面にネジの溝が形成される固定用孔を形成した。
（９）上記（１）〜（８）の処理により製造された電極埋設部材（セグメント）のウエハ加工面の粗度をRaが0.8μmになるようにブラスト加工を行った。
（１０）上記（１）〜（９）の処理により製造された電極埋設部材（セグメント）に、窒化アルミニウム粉末（トクヤマ社製、平均粒径0.6μｍ）を乾式ラバープレス法により円筒型に成形して、酸化雰囲気、600 ℃、５時間の条件で脱脂した後、窒素ガス中、1860 ℃、６時間の条件で焼成してなる窒化アルミニウム製の柱状体（外径80 mm、内径70 mm、長さ190 mm）を窒素ガス中、1850 ℃で加熱して接合した。
（１１）上記（１）〜（１０）により製造された前記セグメントにドリル加工を施して、シリコンウエハのリフターピンを挿通させる貫通孔、熱伝対を埋め込むための有底孔（直径：1.7 mm、深さ：10 mm）を形成した。
（１２）ニッケル製の電極棒を固定するための側面にネジの溝が形成される固定用孔に、Au−Niろう材を附着したタングステンピンを固定用孔に固定し、先端にAu−Niろう材を附着させたニッケル棒をねじ込み、窒素雰囲気、1030 ℃で28分の条件でニッケル棒のろう付けし、ヒータつきプラズマ発生用電極埋設部材を得た。
【００８９】
比較例４
（１）窒化アルミニウム粉末（トクヤマ社製、平均粒径1.1μｍ）100重量部、酸化イットリウム（Ｙ2Ｏ3：イットリア、平均粒径0.4μｍ）４重量部、アクリルバインダ11.5重量部、分散剤0.5重量部および１−ブタノールとエタノールとからなるアルコール53重量部を混合したペーストを用い、ドクターブレード法により成形を行って、基板として用いる厚さ0.47 mmのグリーンシートを作製した。
（２）次に、このグリーンシートを80 ℃で５時間乾燥させた後、外部端子形成のための、直径3.0 mmの円形のスルーホール１個をパンチングにより成形した。
（３）平均粒径１μｍの炭化タングステン（アライドマテリアル製ＷＣ−１０）粒子10000重量部、アクリル系バインダ（三井化学製ＳＡ−５４５）1509重量部、可塑剤（黒金化成製 ＤＯＡ）175重量部、１−ブタノール560重量部、エタノール432重量部を混合し、ドクターブレード法にて厚さ65μm±５μmの炭化タングステングリーンシートを製造した。この炭化タングステングリーンシートを、空気中25 ℃で48時間乾燥させて、厚さ55μm±5μmのグリーンシートとし、このグリーンシートを打ち抜き加工して、ヒータ電極とすべき炭化タングステンのパターンシートを形成した。
（４）平均粒径３μｍの炭化タングステン粒子100重量部、アクリル系バインダ1.9重量部、α―テルピネオール溶媒3.7重量部、および分散剤0.2重量部を混合してプラズマ発生用電極用導体ペーストを調整し、ドクターブレード法にて厚さ65μm±５μmの炭化タングステングリーンシートを製造した。この炭化タングステングリーンシートを、空気中25 ℃で48時間乾燥させて、厚さ55μm±5μmのグリーンシートとし、直径３ｍｍの円形の穴を開口率が６０％になるように打ち抜き加工して、プラズマ発生用電極とすべき炭化タングステンのパターンシートを形成した。
（５）次に、前記スルーホールの孔内壁に、導電性ペーストをスルーホールが導電性ペーストによって完全に充填されず中心部が空洞（筒状）になるように導電性ペーストを塗布し、大気圧、80 ℃で５時間乾燥機で乾燥させて、その後さらに前記空洞部内に窒化アルミニウムペーストを充填し、厚さ0.47 mm、直径3.0 mmの円筒状給電端子とした。
（６）上記（１）〜（５）の処理が終わったグリーンシートと炭化タングステンのパターンシートを積層し、130 ℃、８ MPaの圧力で圧着して積層体を形成した。
（７）次に、得られた積層体を窒素ガス中、600 ℃で5時間脱脂し、1840℃、圧力15 MPaで６時間ホットプレスし、厚さ18 mmのセラミックス板状体を得た。これを330 mmの円盤状に切り出し、内部に厚さ25μm、幅10 mmのヒータ電極ならびに厚さ80μｍ、開口率６０％のプラズマ発生用電極を有するとともに、スルーホールを有するセラミックス板状体とした。
（８）そして、得られたセラミックス板状体の表面にドリル加工で測温素子を挿通するための有底孔およびニッケル製の電極棒を固定するための側面にネジの溝が形成される固定用孔を形成した。
（９）上記（１）〜（８）の処理により製造された電極埋設部材（セグメント）のウエハ加工面の粗度をRaが0.8μmになるようにブラスト加工を行った。
（１０）上記（１）〜（９）の処理により製造された電極埋設部材に、窒化アルミニウム粉末（トクヤマ社製、平均粒径0.6μｍ）を乾式ラバープレス法により円筒型に成形して、酸化雰囲気、600 ℃、５時間の条件で脱脂した後、窒素ガス中、1860 ℃、６時間の条件で焼成してなる窒化アルミニウム製の柱状体（外径80 mm、内径70 mm、長さ190 mm）を窒素ガス中、1850 ℃で加熱して接合した。
（１１）前記セグメントにドリル加工を施して、シリコンウエハのリフターピンを挿通させる貫通孔、熱伝対を埋め込むための有底孔（直径：1.7 mm、深さ：10 mm）を形成した。
（１２）ニッケル製の電極棒を固定するための側面にネジの溝が形成される固定用孔に、Au−Niろう材を附着したタングステンピンを固定用孔に固定し、先端にAu−Niろう材を附着させたニッケル棒をねじ込み、窒素雰囲気、1030 ℃で28分の条件でニッケル棒のろう付け、プラズマ発生用電極埋設部材を得た。
【００９０】
【表１】
2005197391.tif 000003
【００９１】
実施例および比較例の考察
表１は、電極埋設部材中に埋設するプラズマ発生用電極に設開口率と給電端子の形状やその個数に対するサイクル試験、基板の破棄の有無を調べた結果を示したものである。これらの試験結果によると、プラズマ発生用電極の開口率を４〜40％としたもの方が、体積抵抗率の変化が小さいために破壊がなく、耐久性に優れることを示しており、部材の品質を長期間安定した状態に維持することができることがわかった。
【産業上の利用可能性】
【００９２】
本発明に係る電極埋設部材は、半導体を製造する分野において、半導体ウエハに薄膜を形成するためのCVD装置のような薄膜形成装置や、ドライエッチング装置に対して用いられるものである。
【図面の簡単な説明】
【００９３】
【図１】本発明のプラズマ発生装置用電極埋設部材の部分断面図である。
【図２】プラズマ発生用電極の一例を模式的に示す平面図である。
【図３】プラズマ発生用電極を基板内に多層に埋設した例を示す断面図である。
【図４】プラズマ発生用電極の他の例を模式的に示す平面図である。
【図５】本発明の他の実施形態を示す６層のプラズマ発生用電極とヒータ電極とを埋設してなるセラミックヒータの一例を模式的に示す断面図である。
【図６】（ａ）〜（ｃ）は、本発明のプラズマ発生装置用電極埋設部材の製造方法の一例を示す断面図である。
【図７】外部端子取り付け部の拡大断面図である。
【図８】（ａ）〜（ｅ）は給電端子の形状とプラズマ発生用電極との接合着部の形状を示す断面図である。
【符号の説明】
【００９４】
１０、３０、４０  電極埋設部材
１１、３１、４１  セラミック基板
１１ａ  加熱面
１１ｂ  底面
１１ｃ  エンボス
１２、３２、４２  ヒータ電極
１１２（１１２a〜１１ｆ）  プラズマ発生電極
１３、１１３（１１３a〜１１３b）  スルーホール
１４  有底孔
１５  貫通孔
１７  端子保護筒
１９  袋孔
２３  外部端子
２４  導電線
２６  リード線
１１０  グリーシート
１２０  モータ電極パターン層
１３０  導電ペースト充填層
１８０  側温素子
【図１】
2005197391.tif 000004
【図２】
2005197391.tif 000005
【図３】
2005197391.tif 000006
【図４】
2005197391.tif 000007
【図５】
2005197391.tif 000008
【図６】
2005197391.tif 000009
【図７】
2005197391.tif 000010
【図８】
2005197391.tif 000011