(57)【要約】【課題】  世界最高水準の高分解能で２次元試料を読み込むことができ、かつ、歪みが少なく高いＳ／Ｎ比を実現することができる２次元試料読み取り装置を提供する。【解決手段】  ２次元試料読み取り装置１は、光源２０と、２次元試料１０を載置するための試料台３０と、試料台３０を移動させることが可能な移動機構３２と、光学系４０と、Ｍ行Ｎ列に配置された複数の光電変換素子を含むＣＣＤアレイ５０と、複数の光電変換素子からの出力を光電変換素子を単位として所定の回数だけ積算することにより、その複数の光電変換素子にそれぞれ対応する複数の積算値を生成する積算部６０と、Ｍ行Ｎ列に配置された複数のメモリ素子を含む第１のメモリアレイ７０と、複数のメモリブロックを含む第２のメモリアレイ８０と、制御部９０とを備えている。【選択図】  図２
2005165572.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を出射する光源と、
２次元試料を載置するための試料台と、
該試料台を移動させることが可能な移動機構と、
光学系と、
Ｍ行Ｎ列に配置された複数の光電変換素子を含むＣＣＤアレイと、
該複数の光電変換素子からの出力を光電変換素子を単位として所定の回数だけ積算することにより、該複数の光電変換素子にそれぞれ対応する複数の積算値を生成する積算部と、
Ｍ行Ｎ列に配置された複数のメモリ素子を含む第１のメモリアレイであって、該複数のメモリ素子のそれぞれは該複数の積算値のうち対応する１つを格納するように構成されている第１のメモリアレイと、
複数のメモリブロックを含む第２のメモリアレイであって、該複数のメモリブロックのそれぞれは該第１のメモリアレイからの出力を格納するように構成されている第２のメモリアレイと、
該移動機構と該ＣＣＤアレイと該積算部と該第１のメモリアレイと該第２のメモリアレイとを制御する制御部と
を備え、
該光学系と該ＣＣＤアレイとは、該２次元試料のうちＭ×Ｎ個の画素からなる画素ブロックを透過した光が該光学系を介して該ＣＣＤアレイの該複数の光電変換素子のそれぞれに収束するように構成されており、
該制御部は、該２次元試料のうち１つの画素ブロックに該光源からの光が照射されるように該移動機構を制御し、該第１のメモリアレイからの出力が該第２のメモリアレイに含まれる該複数のメモリブロックのうち該光源からの光が照射されている該画素ブロックに対応する１つのメモリブロックに格納されるように該第１のメモリアレイと該第２のメモリアレイとを制御する、２次元試料読み取り装置。
【請求項２】
前記移動機構は、空気による浮上力を利用してＸ軸方向およびＹ軸方向にスライド可能に構成された空気浮上ステージであり、
前記試料台は、該空気浮上ステージの上に固定されている、請求項１に記載の２次元試料読み取り装置。
【請求項３】
前記制御部は、ダイナミックレンジが可変となるように前記２次元試料に照射される光の量を制御する、請求項１に記載の２次元試料読み取り装置。
【請求項４】
前記光学系と前記移動機構とを固定するフレームは、御影石で作成されている、請求項１に記載の２次元試料読み取り装置。
【請求項５】
前記フレームは、除震台に載置されている、請求項４に記載の２次元試料読み取り装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、２次元試料を読み取り、その読み取った２次元試料に対応するデジタルデータを生成する２次元試料読み取り装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電子顕微鏡写真を記録したフィルムを読み取る装置として、いくつかの会社からデンシトメーターが販売されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、従来のデンシトメーターでは、分解能が十分ではなく、必要なレンジでのＳ／Ｎ比も十分ではないため、そのようなデンシトメーターで読み取られた画像は、肉眼による直視と比較すると見劣りがするという問題点があった。
【０００４】
本発明の目的の１つは、世界最高水準の高分解能で２次元試料を読み込むことができ、かつ、歪みが少なく高いＳ／Ｎ比を実現することができる２次元試料読み取り装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の２次元試料読み取り装置は、光を出射する光源と、２次元試料を載置するための試料台と、該試料台を移動させることが可能な移動機構と、光学系と、Ｍ行Ｎ列に配置された複数の光電変換素子を含むＣＣＤアレイと、該複数の光電変換素子からの出力を光電変換素子を単位として所定の回数だけ積算することにより、該複数の光電変換素子にそれぞれ対応する複数の積算値を生成する積算部と、Ｍ行Ｎ列に配置された複数のメモリ素子を含む第１のメモリアレイであって、該複数のメモリ素子のそれぞれは該複数の積算値のうち対応する１つを格納するように構成されている第１のメモリアレイと、複数のメモリブロックを含む第２のメモリアレイであって、該複数のメモリブロックのそれぞれは該第１のメモリアレイからの出力を格納するように構成されている第２のメモリアレイと、該移動機構と該ＣＣＤアレイと該積算部と該第１のメモリアレイと該第２のメモリアレイとを制御する制御部とを備え、該光学系と該ＣＣＤアレイとは、該２次元試料のうちＭ×Ｎ個の画素からなる画素ブロックを透過した光が該光学系を介して該ＣＣＤアレイの該複数の光電変換素子のそれぞれに収束するように構成されており、該制御部は、該２次元試料のうち１つの画素ブロックに該光源からの光が照射されるように該移動機構を制御し、該第１のメモリアレイからの出力が該第２のメモリアレイに含まれる該複数のメモリブロックのうち該光源からの光が照射されている該画素ブロックに対応する１つのメモリブロックに格納されるように該第１のメモリアレイと該第２のメモリアレイとを制御し、これにより上記目的が達成される。
【０００６】
前記移動機構は、空気による浮上力を利用してＸ軸方向およびＹ軸方向にスライド可能に構成された空気浮上ステージであり、前記試料台は、該空気浮上ステージの上に固定されていてもよい。
【０００７】
前記制御部は、ダイナミックレンジが可変となるように前記２次元試料に照射される光の量を制御してもよい。
【０００８】
前記光学系と前記移動機構とを固定するフレームは、御影石で作成されていてもよい。
【０００９】
前記フレームは、除震台に載置されていてもよい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、世界最高水準の高分解能で２次元試料を読み込むことができ、かつ、歪みが少なく高いＳ／Ｎ比を実現することができる２次元試料読み取り装置を提供することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。
１．２次元試料の読み取りの原理
はじめに、２次元試料の読み取りの原理を説明する。この原理に従って２次元試料を読み取ることにより、世界最高水準の高分解能（例えば、１．８平方ミクロンの画素単位に２次元試料を読み取ること）を達成することができる。
【００１２】
ここで、「２次元試料」とは、２次元的な広がりを持つ任意の試料をいう。例えば、電子顕微鏡写真や医療用Ｘ線画像を記録したフィルムは、２次元試料の典型例である。しかし、２次元試料はこのようなフィルムに限定されない。例えば、光が透過するように加工された細胞や組織の切片も２次元試料に含まれる。
【００１３】
図１Ａは、２次元試料１０（例えば、電子顕微鏡写真を記録したフィルム）の上面図である。この２次元試料は、読み取りの対象とする領域として９ｃｍ×９ｃｍの領域を含んでいるものとする。この９ｃｍ×９ｃｍの領域は、１．８ｍｍ×１．８ｍｍの領域に区分される。この例では、１回の読み取りで読み取ることのできる領域のサイズは、１．８ｍｍ×１．８ｍｍであると仮定する。従って、９ｃｍ×９ｃｍの領域をすべて読み取るためには、１回の読み取りで読み取ることのできる領域の位置を順次変更しながら、１．８ｍｍ×１．８ｍｍの領域の読み取りを２５００回（＝５０回×５０回）繰り返す必要がある。このような１回の読み取りで読み取ることのできる領域の位置の変更は、例えば、２次元試料１０を載置した試料台を移動させることによって達成される。
【００１４】
図１Ｂは、図１Ａに示される１．８ｍｍ×１．８ｍｍの領域の１つを拡大して示したものである。１．８ｍｍ×１．８ｍｍの領域は、さらに、１．８ミクロン×１．８ミクロンの領域に区分される。この例では、この１．８ミクロン×１．８ミクロンの領域が読み取りの最小単位であると仮定する。従って、１．８ｍｍ×１．８ｍｍの領域を１回で読み取るためには、１．８ｍｍ×１．８ｍｍの領域を１０００×１０００個の領域に分解して認識する能力（分解能）が必要とされる。このような分解能は、例えば、１．８ｍｍ×１．８ｍｍの領域を透過した光が光学系を介して１０００×１０００のマトリックス状に配置された１００００００個の光電変換素子のそれぞれに収束するように、光学系と１００００００個の光電変換素子を含むＣＣＤアレイとを設計することによって達成される。
【００１５】
なお、本明細書では、１回の読み取りで読み取ることのできる領域を「画素ブロック」という。読み取りの最小単位である領域を「画素」という。上述した例では、画素ブロックは、１００００００（＝１０００×１０００）個の画素からなることになる。
【００１６】
なお、ここで説明した領域のサイズなどの数値は単なる一例であって、本発明をこれらの数値に限定して解釈するべきではないことはいうまでもない。
２．２次元試料読み取り装置の構成
図２は、本発明の実施の形態の２次元試料読み取り装置１の構成の一例を示す。２次元試料読み取り装置１は、２次元試料１０を読み取り、その読み取った２次元試料１０に対応するデジタルデータを生成する。
【００１７】
２次元試料読み取り装置１は、光源２０と、２次元試料を搭載するための試料台３０と、試料台３０を移動させることが可能な移動機構３２と、光学系４０と、Ｍ行Ｎ列に配置された複数の光電変換素子を含むＣＣＤアレイ５０とを含む。
【００１８】
光源２０は、光を出射する。光源２０から出射された光は、ケーブル２２（例えば、光ファイバ）を通って試料台３０に導かれる。試料台３０は、その上に２次元試料１０を載置するために使用される。ケーブル２２は、光源２０からの光が試料台３０に載置されている２次元試料１０の一部（画素ブロック）に照射されるように構成されている。
【００１９】
光学系４０は、例えば、対物レンズ（図示せず）と結像レンズ（図示せず）とから構成されている。歪みが少なく高い分解能を実現するためには、光学顕微鏡に用いられている光学系を光学系４０として採用することが好ましい。光学顕微鏡のように、倍率の異なるいくつかの対物レンズが光学系４０の対物レンズとして利用可能になっていてもよい。
【００２０】
光学系４０とＣＣＤアレイ５０とは、２次元試料１０のうち画素ブロックを透過した光が光学系４０を介してＣＣＤアレイ５０の複数の光電変換素子のそれぞれに収束するように構成されている。これにより、２次元試料１０の１つの画素ブロックをＭ×Ｎ個の画素の分解能で読み取ることが可能になる。このような読み取りには、ＣＣＤアレイ５０の光電変換素子の配置ピッチが等方的であり、かつ、光電変換素子の受光面の形状が等方的であることが好ましい。
【００２１】
ここで、Ｍ、Ｎは２以上の任意の整数であるが、Ｍ、Ｎの値が大きくなるほど高い分解能を実現することができる。例えば、Ｍ＝Ｎ＝１０００の場合には、１０００×１０００のマトリックス状に配置された光電変換素子を含むＣＣＤアレイを用いることにより、２次元試料１０の１つの画素ブロックを１０００×１０００個の画素の分解能で読み取ることが可能になる。このようなＣＣＤアレイを有する装置としては、例えば、市販のＰｕｌｎｉｘ社製のＴＭ−１０１０Ｎを採用することができる。
【００２２】
図３は、ＣＣＤアレイ５０の構成の一例を示す。この例では、ＣＣＤアレイ５０は、１０００×１０００のマトリックス状に配置された光電変換素子５２を含む。各光電変換素子５２は、スイッチ５４を介してＡ／Ｄ変換器５６に接続されている。各スイッチ５４のオンオフは、スイッチ制御回路５８によって制御されている。スイッチ制御回路５８によってオンにされたスイッチ５４に接続されている光電変換素子５２からアナログ値が出力され、そのアナログ値はＡ／Ｄ変換器５６によってデジタル値に変換される。そのデジタル値は、ＣＣＤアレイ５０の外部に出力される。
【００２３】
なお、図３に示される例では、１つの光電変換素子５２を単位としてデジタル値を出力する例を説明したが、デジタル値を出力する単位はこれに限定されない。例えば、同一の行に配置された複数の光電変換素子５２を単位としてデジタル値を出力してもよいし、同一の列に配置された複数の光電変換素子５２を単位としてデジタル値を出力してもよい。
【００２４】
図２を参照して、２次元試料読み取り装置１は、ＣＣＤアレイ５０に接続された積算部６０と、積算部６０に接続された第１のメモリアレイ７０と、第１のメモリアレイ７０に接続された第２のメモリアレイ８０とをさらに備えている。
【００２５】
積算部６０は、ＣＣＤアレイ５０に含まれる複数の光電変換素子からの出力を光電変換素子を単位として所定の回数（例えば、３２回）だけ積算することにより、その複数の光電変換素子にそれぞれ対応する複数の積算値を生成する。そのような積算は、例えば、積算部６０が光電変換素子からの出力を受け取り、積算部６０が第１のメモリアレイ７０に含まれる複数のメモリ素子のうちその光電変換素子に対応するメモリ素子から読み出された値を受け取り、積算部６０が光電変換素子からの出力とメモリ素子から読み出された値とを加算し、積算部６０がその加算値を元のメモリ素子に書き込むことによって達成される。このような積算を行うことにより、信号成分に対するノイズ成分の影響を低減することができる。その結果、Ｓ／Ｎ比を改善することが可能になる。
【００２６】
図４は、第１のメモリアレイ７０の構成の一例を示す。
【００２７】
第１のメモリアレイ７０は、Ｍ行Ｎ列に配置された複数のメモリ素子７２を含む。例えば、Ｍ＝Ｎ＝１０００である。その複数のメモリ素子７２のそれぞれは、積算部６０によって生成される複数の積算値のうち対応する１つを格納するように構成されている。例えば、第１のメモリアレイ７０においてｉ行ｊ列に配置されたメモリ素子７２は、ＣＣＤアレイ５０においてｉ行ｊ列に配置された光電変換素子５２からの出力を積算することによって得られる積算値を格納する。ここで、ｉは１以上Ｍ以下の任意の整数であり、ｊは１以上Ｎ以下の任意の整数である。
【００２８】
なお、第１のメモリアレイ７０は、複数のメモリ素子７２のそれぞれにアクセスするための要素（例えば、行デコーダ、列デコーダなど）をさらに含み得るが、これらの要素は図４では省略されている。
【００２９】
図５は、第２のメモリアレイ８０の構成の一例を示す。
【００３０】
第２のメモリアレイ８０は、複数のメモリブロック８２を含む。その複数のメモリブロック８２のそれぞれは、第１のメモリアレイ７０からの出力を格納するように構成されている。すなわち、複数のメモリブロック８２のそれぞれは、Ｍ行Ｎ列に配置された複数のメモリ素子８４を含む。例えば、Ｍ＝Ｎ＝１０００である。
【００３１】
なお、第２のメモリアレイ８０は、複数のメモリブロック８２のそれぞれに含まれる複数のメモリ素子８４のそれぞれにアクセスするための要素（例えば、行デコーダ、列デコーダなど）をさらに含み得るが、これらの要素は図５では省略されている。
【００３２】
また、第１のメモリアレイ７０からの出力の単位は、１つのメモリ素子７２の単位であってもよいし、同一の行に配置されている複数のメモリ素子７２の単位であってもよいし、同一の列に配置されている複数のメモリ素子７２の単位であってもよい。
【００３３】
図２に示される例では、ＣＣＤアレイ５０と積算部６０と第１のメモリアレイ７０とは、光学系４０と同一の筐体４２内に収納されている。あるいは、積算部６０と第１のメモリアレイ７０とは、筐体４２の外部にある別の装置（図示せず）内に収納されていてもよい。これに対し、第２のメモリアレイ８０と制御部９０とは、筐体４２の外部にあるコンピュータ９２内に収納されていることが好ましい。第２のメモリアレイ８０は第１のメモリアレイ７０に比べて膨大なメモリ容量を必要とするため、ハードディスクで実装されることが好ましいからである。また、制御部９０の機能は、コンピュータ９２内のＣＰＵ（図示せず）によって実行されるプログラムで実装されることが好ましいからである。コンピュータ９２は、任意のタイプのコンピュータであり得る。
【００３４】
２次元試料読み取り装置１は、移動機構３２とＣＣＤアレイ５０と積算部６０と第１のメモリアレイ７０と第２のメモリアレイ８０とを制御する制御部９０をさらに備えている。
【００３５】
制御部９０は、２次元試料１０のうち１つの画素ブロックに光源２０からの光が照射されるように移動機構３２を制御する。このような移動機構３２の制御には、試料台３０の位置を変更するにあたって高い位置精度と高い位置再現精度とが要求される。例えば、その位置精度および位置再現精度は、画素の分解能の１０分の１以下の性能であることが好ましい。移動機構３２として空気による浮上力を利用してＸ軸方向およびＹ軸方向にスライド可能に構成された空気浮上ステージを採用することにより、上述した性能を実現することができる。このような空気浮上ステージとしては、例えば、市販の京都セラミック社製のファインステージＷＴ−２０タイプを採用することができる。このタイプの空気浮上ステージは、Ｘ軸方向に延びるＸ軸ガイドレールと、空気による浮上力を利用してそのＸ軸ガイドレールに沿ってスライド可能に構成されたＸ軸ステージと、そのＸ軸ステージに設置されＹ軸方向に延びるＹ軸ガイドレールと、空気による浮上力を利用してそのＹ軸ガイドレールに沿ってスライド可能に構成されたＹ軸ステージとを含む。さらに、空気浮上ステージにレーザー干渉測長器で校正した０．０１μｍ精度の光学位置読み取りスケールをＸ軸方向、Ｙ軸方向に沿ってそれぞれ取り付け、位置精度の監視（フィードバック）を行うとともに位置ずれの記録を残し、残留誤差の画像処理による校正を可能にした。実際に、このような光学位置読み取りスケールを取り付けた空気浮上ステージを用いて位置精度および位置再現精度を測定したところ、高速なステージ移動にもかかわらず、±０．１ミクロン以下という高い位置精度と１０ｃｍの移動に対して±０．１ミクロン以下という高い位置再現精度とを実現することができることが分かった。空気浮上ステージの位置制御に用いられるフィードバック機構をさらに改良することにより、さらに高い位置精度とさらに高い位置再現精度とを実現することが可能になる。
【００３６】
なお、移動機構３２として空気浮上ステージを採用した場合には、試料台３０は空気浮上ステージの上に固定されることになる。
【００３７】
制御部９０は、第１のメモリアレイ７０からの出力が第２のメモリアレイ８０に含まれる複数のメモリブロックのうち光源２０からの光が照射されている画素ブロックに対応する１つのメモリブロックに格納されるように第１のメモリアレイ７０と第２のメモリアレイ８０とを制御する。このような制御により、２次元試料１０のうち光源２０からの光が照射されている画素ブロックの位置が変更されたことに応答して、第１のメモリアレイ７０からの出力を格納するメモリブロックを光源２０からの光が照射される画素ブロックに対応するメモリブロックに切り換えることが可能になる。
【００３８】
第２のメモリアレイ８０からの出力は、例えば、表示装置１００に表示される。あるいは、第２のメモリアレイ８０からの出力を高精度プリンタ（図示せず）に出力するようにしてもよい。これにより、２次元試料１０に対応するデジタルデータを人間が目で見て確認することが可能になる。このようなデジタルデータは、肉眼による直視と比較しても決して見劣りがしないことを確認した。
【００３９】
なお、制御部９０は、ダイナミックレンジが可変となるように２次元試料１０に照射される光の量を制御するようにしてもよい。例えば、第２のメモリアレイ８０に格納された画像の一部の濃度に応じて、制御部９０が電源２０に供給される電源電圧を制御することにより、光源２０から出射される光の量を制御するようにしてもよい。その結果、２次元試料１０に照射される光の量が制御されることとなる。あるいは、光源２０の出力にニュートラルフィルター（図示せず）を接続し、第２のメモリアレイ８０に格納された画像の一部の濃度に応じて、制御部９０がニュートラルフィルターを制御することにより、２次元試料１０に照射される光の量を制御するようにしてもよい。画像の一部の濃度と制御されるべき光の量との関係は、例えば、ルックアップテーブルの形式で予め決められている。そのようなルックアップテーブルは、例えば、コンピュータ９２内のハードディスク（図示せず）内に格納され得る。
【００４０】
光源２０は震動源であることから、光源２０以外の構成要素を除震台３４に載置し、光源２０を除震台３４に載置しないことが好ましい。また、試料台３０や移動機構３２のような可変部分は震動源となったり、重心バランスを変える原因となることから、光学系４０と移動機構３２とを固定するフレーム３６は、御影石などの除震効果の高い材料で作成されることが好ましい。例えば、フレーム３６は、御影石からの一体彫りによって作成され得る。図２に示されるように、除震効果の高い御影石から作成されたフレーム３６を除震台３４の上に載置することにより、除震効果をさらに向上させることが可能になる。
【００４１】
このように、２次元試料読み取り装置１によれば、世界最高水準の高分解能で２次元試料を読み込むことができ、歪みが少なく高いＳ／Ｎ比を実現することができる。また、試料台３０を移動させる移動機構３２として空気浮上ステージを採用することにより、高い位置精度と高い位置再現精度とを実現することができる。
３．２次元試料読み取り装置の適用分野
本発明の２次元試料読み取り装置は、さまざまな分野に適用することができる。特に、本発明の２次元試料読み取り装置は、低コントラストの画像を読み取ることに適している。従って、本発明の２次元試料読み取り装置は、電子顕微鏡写真（特に、クライオ電子顕微鏡による写真）を記録したフィルムを読み取るデンシトメーターや、医療用Ｘ線画像を記録したフィルムを読み取る装置として好適に使用され得る。
【００４２】
さらに、カラー化の技術を適用すれば、フィルムに記録された白黒画像のみならず、カラー画像をも読み取ることが可能になる。カラー化の技術としては、従来知られている任意の技術が適用可能である。例えば、プリズムを用いて光をＲ、Ｇ、Ｂの３つの色成分に分解し、色成分Ｒ、Ｇ、Ｂをそれぞれ別個のＣＣＤアレイに収束させることにより、カラー画像を読み取ることが可能になる。あるいは、色成分Ｒ、Ｇ、Ｂをそれぞれ透過させるフィルタを用いて、色成分Ｒ、Ｇ、Ｂを、順次、１つのＣＣＤアレイに収束させるようにしてもよい。カラー画像が読み取り可能な２次元読み取り装置は、美術品などを記録したフィルムを読み取るカラーフィルムスキャナーとして好適に使用され得る。
【００４３】
さらに、本発明の２次元試料読み取り装置は、フィルム以外の２次元試料（例えば、光が透過するように加工された細胞や組織の切片）を読み取る装置としても好適に使用され得る。
【００４４】
以上のように、本発明の好ましい実施形態を用いて本発明を例示してきたが、本発明は、この実施形態に限定して解釈されるべきものではない。本発明は、特許請求の範囲によってのみその範囲が解釈されるべきであることが理解される。当業者は、本発明の具体的な好ましい実施形態の記載から、本発明の記載および技術常識に基づいて等価な範囲を実施することができることが理解される。本明細書において引用した特許、特許出願および文献は、その内容自体が具体的に本明細書に記載されているのと同様にその内容が本明細書に対する参考として援用されるべきであることが理解される。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
本発明は、２次元試料を読み取り、その読み取った２次元試料に対応するデジタルデータを生成する２次元試料読み取り装置等として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１Ａ】２次元試料の上面図
【図１Ｂ】図１Ａに示される１．８ｍｍ×１．８ｍｍの領域の１つを拡大して示した図
【図２】本発明の実施の形態の２次元試料読み取り装置１の構成の一例を示す図
【図３】ＣＣＤアレイ５０の構成の一例を示す図
【図４】第１のメモリアレイ７０の構成の一例を示す図
【図５】第２のメモリアレイ８０の構成の一例を示す図
【符号の説明】
【００４７】
１    ２次元試料読み取り装置
１０  ２次元試料
２０  光源
３０  試料台
３２  移動機構
３４  除震台
３６  フレーム
４０  光学系
５０  ＣＣＤアレイ
６０  積算部
７０  第１のメモリアレイ
８０  第２のメモリアレイ
９０  制御部
【図１Ａ】
2005165572.tif 000003
【図１Ｂ】
2005165572.tif 000004
【図２】
2005165572.tif 000005
【図３】
2005165572.tif 000006
【図４】
2005165572.tif 000007
【図５】
2005165572.tif 000008