(57)【要約】【課題】  各画素の塗布領域端部での濡れ不良を抑制して、歩留まりと表示品質の向上を図った電気光学装置の製造方法、電気光学装置、液滴吐出装置、及び電子機器を提供すること。【解決手段】  電気光学装置の製造方法は、各画素の塗布領域１０に薄膜材料液をインクジェット法で充填して機能層を形成する工程を含む。これに用いるインクジェットヘッドは、薄膜材料液の液滴を吐出させる複数のノズルが配列されたノズル列を備える。ヘッドを各塗布領域１０に対して相対移動させて行う薄膜材料液の充填時に、各塗布領域１０に最初に到達する１列目のノズル列のノズルから吐出する液滴１７を各塗布領域１０の両端に着弾させる（図３（ａ））。その後、２つの液滴１７間を埋めるように、２列目及び３列目のノズル列のノズルから液滴１８及び１９を吐出させる（図３（ｂ），（ｃ））。両端に着弾した液滴１７が、隣の液滴に引き寄せられるのが抑制される。【選択図】      図３
2005293915.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定間隔で並ぶ複数の画素の各塗布領域に薄膜材料液をインクジェット法で充填して電気光学素子としての機能層を形成する工程を含む電気光学装置の製造方法において、
前記薄膜材料液の液滴を吐出させる複数のノズルが直線上に所定ピッチで配列されたヘッドを用い、
前記ヘッドを前記各塗布領域に対して相対移動させて行う前記薄膜材料液の充填時に、前記ノズルから吐出する前記液滴を前記各塗布領域の両端に最初に着弾させ、
その後、前記各塗布領域において、前記両端に着弾した２つの前記液滴の間を埋めるように、前記ノズルから前記液滴を吐出させることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の電気光学装置の製造方法において、
前記ヘッドは、前記複数のノズルが直線上に所定ピッチでそれぞれ配列されかつ前記複数のノズルの配列方向が互いに平行な複数のノズル列を備え、
前記薄膜材料液の充填時に、前記複数のノズル列のうち、前記各塗布領域に最初に到達する１列目のノズル列の前記複数のノズルから吐出する前記液滴を前記各塗布領域の両端に最初に着弾させ、
その後、前記複数のノズル列のうち、２列目以降のノズル列の前記複数のノズルから吐出する前記液滴で前記各塗布領域における前記２つの液滴の間を埋めることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項３】
請求項２に記載の電気光学装置の製造方法において、
前記ヘッドを前記複数の塗布領域に対して相対移動させるヘッドの走査方向に垂直な方向における各ノズル列の見かけのノズルピッチをＡ、
前記走査方向に垂直な方向における前記塗布領域の寸法をＢ、
前記走査方向に垂直な方向における前記塗布領域のピッチをＣ、
前記液滴が前記塗布領域に着弾した直後の液滴直径をＤ、
一つの前記塗布領域当たりに使用する前記ノズル列の総数をＮ（Ｎ＞１）とし、
ｍはＢ／Ａの切り捨て整数値（ｍ＞０）、およびｎは整数値（ｎ＞１）とすると、
（Ａ／Ｎ）＜Ｄ＜Ａ、
ｍ×Ａ＜Ｂ＜ｍ×Ａ＋Ｄ、および
Ｃ＝ｎ×Ａ
の関係を満たすことを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項４】
請求項３に記載の電気光学装置の製造方法において、
前記複数のノズル列のうち、前記薄膜材料液の充填時に前記塗布領域に最初に到達する１列目のノズル列で吐出に使用するノズル数をＥとし、ｐを整数値（ｐ＝１，２，３、・・・）とすると、
Ｅ＝ｐ×ｎ
の関係をさらに満たすことを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項５】
請求項２〜４のいずれか１つに記載の電気光学装置の製造方法において、
前記ヘッドとして、前記複数のノズル列を１組のノズル列群とする複数のノズル列群を前記ノズルの配列方向に配置したヘッドを用いる場合、前記複数のノズル列群における前記複数のノズル列の各々によって、前記複数の画素全体を分割した複数の画素領域の各々に対する前記薄膜材料液の充填を行うように、前記複数のノズル列群を配置することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一つに記載の電気光学装置の製造方法で作製されたことを特徴とする電気光学装置。
【請求項７】
所定間隔で並ぶ複数の画素の各塗布領域に薄膜材料液をインクジェット法で充填して電気光学素子としての機能層を形成する液滴吐出装置において、
前記薄膜材料液の液滴を吐出させる複数のノズルが直線上に所定ピッチでそれぞれ配列されかつ前記複数のノズルの配列方向が互いに平行な複数のノズル列を有するヘッドを備え、
前記複数のノズル列は、前記薄膜材料液の充填時に、前記複数のノズル列のうち、前記塗布領域に最初に到達する１列目のノズル列の前記複数のノズルから吐出する前記液滴を前記塗布領域の両端に着弾させ、その後、前記複数のノズル列のうち、２列目以降のノズル列の前記複数のノズルから吐出する前記液滴で前記２つの液滴の間を埋めるように、前記配列方向にずれていることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項８】
請求項６に記載の電気光学装置を備えることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機ＥＬ表示装置等の電気光学装置の製造方法、電気光学装置、液滴吐出装置、及び電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
電気光学装置の製造方法として、有機ＥＬ表示装置の有機ＥＬ素子を構成する発光層や正孔輸送層、或いは、カラーフィルターのＲ，Ｇ，Ｂ各色のフィルタエレメントなどの機能層を、隔壁で囲まれた塗布領域に、薄膜材料液をインクジェット法などにより塗布し、乾燥して形成する技術が知られている（例えば、特許文献１）。
【０００３】
また、このようなインクジェット法を実行する液滴吐出装置として、１つのインクジェットヘッドに、複数のインクジェットノズルの孔（以下、単に「ノズル」という）を直線上に所定間隔で配置したノズル列を有するものがある。また、ノズル列の方向がインクジェットヘッドの走査方向に対して斜めになるように同ヘッドの向きを設定したものがある（例えば、特許文献２参照）。このようにすると、ノズル間のピッチを狭めることなく、各液滴間の吐出位置を狭くすることができる。
【特許文献１】特許３３２８２９７号公報
【特許文献２】特開２００３−１５９７８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上記特許文献２に記載の従来技術では、ノズル列の方向、つまり複数のノズルの配列方向がインクジェットヘッドの走査方向に対して斜めになるように同ヘッドの向きを設定している。そのため、複数の液滴を１つの塗布領域に同時に着弾させることができない。そこで、インクジェットヘッドから吐出される液滴を、図１３に示すように、１つの塗布領域１００に、液滴１００ａ，１００ｂ，１００ｃ，１００ｄ，および１００ｅの順番で着弾させることになる。すると、後に着弾した液滴が先に着弾した隣の液滴に引き寄せられるという現象が起こる。ここでは、液滴１００ｂが液滴１００ａに引き寄せられ、液滴１００ｃが液滴１００ｂに引き寄せられ、そして、液滴１００ｅが液滴１００ｄに引き寄せられる。その結果、機能層の膜厚および膜形状に偏りが生じたり、各画素の塗布領域端部に濡れ不良個所１００ｆができてしまい、歩留まりの低下と表示品質の低下を招いてしまうという問題があった。
【０００５】
また、電気光学装置の上記機能層をインクジェット法で製造する際に、薄膜材料液の液滴を吐出するインクジェットヘッドのノズル列の大きさが、表示部全体の大きさ以上で、ノズル間隔が表示部の画素ピッチに対して十分に密であれば理想的である。しかし、一般的には、インクジェットヘッドの１ノズル列の方が表示部全体の大きさより小さくて、ノズル間隔が疎である等の理由から、ノズル列を複数組み合せて使用することが考えられる。ノズル列を複数組み合せずに、単ノズル列で、マルチスキャンすることも原理上可能であるが、タクトタイムが長く、量産には適さない。ここで、「マルチスキャン」とは、１つの塗布領域に複数の液滴を着弾させるのに、複数回の走査を行うことをいう。
【０００６】
上述したように、ノズル列を複数組み合せて（複数のノズル列で）機能層をインクジェット法で製造する場合、各々のノズル列が特定の塗布領域（画素）に到達する時間的ずれが生じる。そのため、上記特許文献２に記載の従来技術の場合と同様に、各画素の塗布領域端部に濡れ不良個所ができてしまい、歩留まりの低下と表示品質の低下を招いてしてしまう。
【０００７】
本発明は、このような従来の問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、各画素の塗布領域端部での濡れ不良を抑制して、歩留まりと表示品質の向上を図った電気光学装置の製造方法、電気光学装置、液滴吐出装置、及び電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明における電気光学装置は、所定間隔で並ぶ複数の画素の各塗布領域に薄膜材料液をインクジェット法で充填して電気光学素子としての機能層を形成する工程を含む電気光学装置の製造方法において、前記薄膜材料液の液滴を吐出させる複数のノズルが直線上に所定ピッチで配列されたヘッドを用い、前記ヘッドを前記各塗布領域に対して相対移動させて行う前記薄膜材料液の充填時に、前記ノズルから吐出する前記液滴を前記各塗布領域の両端に最初に着弾させ、その後、前記各塗布領域において、前記両端に着弾した２つの前記液滴の間を埋めるように、前記ノズルから前記液滴を吐出させることを要旨とする。
【０００９】
これによれば、薄膜材料液の充填時に、複数のノズルから吐出する薄膜材料液の液滴を複数の画素の各塗布領域の両端に最初に着弾させ、その後、各塗布領域において、両端に着弾した２つの液滴の間を埋めるように、ノズルから液滴を吐出させるようにしている。このため、複数の画素の各塗布領域において、両端に最初に着弾した２つの液滴が、隣の液滴に引き寄せられるのが抑制され、複数の画素の各塗布領域端部での濡れ不良が抑制される。したがって、各画素の塗布領域端部での濡れ不良を抑制することができ、歩留まりの向上と表示品質の向上ととを図ることができる。
【００１０】
なお、ここにいう「機能層」は、有機ＥＬ素子を構成する発光層や正孔輸送層等の有機ＥＬ層（薄膜層）や、カラーフィルターのＲ，Ｇ，Ｂ各色のフィルタエレメントのカラーフィルタ層（薄膜層）を含む意味で用いる。また、「薄膜材料液」は、前記有機ＥＬ層を構成する薄膜形成用液体や、前記カラーフィルタ層を構成する薄膜形成用液体を含む意味で用いる。
【００１１】
この電気光学装置の製造方法において、前記ヘッドは、前記複数のノズルが直線上に所定ピッチでそれぞれ配列されかつ前記複数のノズルの配列方向が互いに平行な複数のノズル列を備え、前記薄膜材料液の充填時に、前記複数のノズル列のうち、前記各塗布領域に最初に到達する１列目のノズル列の前記複数のノズルから吐出する前記液滴を前記各塗布領域の両端に最初に着弾させ、その後、前記複数のノズル列のうち、２列目以降のノズル列の前記複数のノズルから吐出する前記液滴で前記各塗布領域における前記２つの液滴の間を埋めることを要旨とする。
【００１２】
これによれば、薄膜材料液の充填時に、各塗布領域に対して、ヘッドを１回走査することで必要な液滴の塗布を完了させることができる。これにより、全ての画素の各塗布領域に薄膜形成材料を充填する工程を短時間で行うことができ、量産性が向上する。
【００１３】
この電気光学装置の製造方法において、前記ヘッドを前記複数の塗布領域に対して相対移動させるヘッドの走査方向に垂直な方向における各ノズル列の見かけのノズルピッチをＡ、前記走査方向に垂直な方向における前記塗布領域の寸法をＢ、前記走査方向に垂直な方向における前記塗布領域のピッチをＣ、前記液滴が前記塗布領域に着弾した直後の液滴直径をＤ、一つの前記塗布領域当たりに使用する前記ノズル列の総数（ノズル列数）をＮ（Ｎ＞１）とし、ｍはＢ／Ａの切り捨て整数値（ｍ＞０）、およびｎは整数値（ｎ＞１）とすると、（Ａ／Ｎ）＜Ｄ＜Ａ、ｍ×Ａ＜Ｂ＜ｍ×Ａ＋Ｄ、およびＣ＝ｎ×Ａの関係を満たすことを要旨とする。
【００１４】
これによれば、上記の関係を満たすように、前記見かけのノズルピッチＡ、各塗布領域
の寸法Ｂ、塗布領域のピッチＣ、および、前記液滴直径Ｄの関係を設定することにより、各塗布領域端部での濡れ不良を抑制することができる。したがって、各画素の塗布領域端部での濡れ不良を抑制することができ、歩留まりの向上と表示品質の向上を図ることができる。
【００１５】
なお、ここで、ヘッドの走査方向に垂直な方向における各ノズル列のノズルピッチを「見かけのノズルピッチＡ」としているのは、複数のノズルの配列方向が前記走査方向に垂直な場合と、その配列方向が走査方向に対して斜めの場合の両方を含むためである。
【００１６】
この電気光学装置の製造方法において、記複数のノズル列のうち、前記薄膜材料液の充填時に前記塗布領域に最初に到達する１列目のノズル列で吐出に使用するノズル数をＥとし、ｐを整数値（ｐ＝１，２，３、・・・）とすると、Ｅ＝ｐ×ｎの関係をさらに満たすことを要旨とする。
【００１７】
これによれば、１列目のノズル列に含まれる使用可能な複数のノズルのうち、端のノズルを使わない場合や間引きして液滴を吐出させる場合等を想定すると、１列目のノズル列で吐出に使用するノズル数ＥがＥ＝ｐ×ｎを満たすことで、この条件を満たすＥ個のノズルからの液滴を各塗布領域の両端に着弾させることができる。
【００１８】
この電気光学装置の製造方法において、前記ヘッドとして、前記複数のノズル列を１組のノズル列群とする複数のノズル列群を前記ノズルの配列方向に配置したヘッドを用いる場合、前記複数のノズル列群における前記複数のノズル列の各々によって、前記複数の画素全体を分割した複数の画素領域の各々に対する前記薄膜材料液の充填を行うように、前記複数のノズル列群を配置することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【００１９】
これによれば、複数の画素を含む表示部全体の前記配列方向における大きさが、複数のノズル各々の配列方向における大きさよりも大きい場合、複数のノズル列を１組とするノズル列群を増やすことで、表示部全体において各塗布領域端部での濡れ不良を抑制することができる。これにより、表示部が大型化或いは高精細化される場合でも、歩留まりの向上と表示品質の向上を図ることができる。
【００２０】
本発明における電気光学装置は、上記電気光学装置の製造方法で作製されたことを要旨とする。
これによれば、表示品質の高い有機ＥＬ表示装置を低コストで実現することができる。
【００２１】
本発明における液滴吐出装置は、所定間隔で並ぶ複数の画素の各塗布領域に薄膜材料液をインクジェット法で充填して電気光学素子としての機能層を形成する液滴吐出装置において、前記薄膜材料液の液滴を吐出させる複数のノズルが直線上に所定ピッチでそれぞれ配列されかつ前記複数のノズルの配列方向が互いに平行な複数のノズル列を有するヘッドを備え、前記複数のノズル列は、前記薄膜材料液の充填時に、前記複数のノズル列のうち、前記塗布領域に最初に到達する１列目のノズル列の前記複数のノズルから吐出する前記液滴を前記塗布領域の両端に着弾させ、その後、前記複数のノズル列のうち、２列目以降のノズル列の前記複数のノズルから吐出する前記液滴で前記２つの液滴の間を埋めるように、前記配列方向にずれていることを要旨とする。
【００２２】
これによれば、複数の画素の各塗布領域端部での濡れ不良を抑制した電気光学装置の製造が可能になるとともに、表示品質の高い電気光学装置を低コストで製造することができる。また、複数の塗布領域に薄膜形成材料を充填する工程を短時間で行うことができ、量産性が向上する。
【００２３】
本発明における電子機器は、上記電気光学装置を備えることを要旨とする。
これによれば、複数の画素の各塗布領域端部での濡れ不良を抑制することができ、有機ＥＬ表示装置の歩留まりの向上と表示品質の向上を図ることができるので、高品質な表示を低コストで実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明を具体化した各実施形態を図面に基づいて説明する。
[第１実施形態]
（第１実施形態に係る電気光学装置の製造方法）
本発明の第１実施形態に係る電気光学装置の製造方法を、図１〜図５に基づいて説明する。
【００２５】
電気光学装置の製造方法は、図１に示すように、所定間隔で並ぶ複数の画素の各塗布領域に薄膜材料液をインクジェット法で充填して電気光学素子としての機能層を形成する工程を含んでいる。なお、ここにいう「電気光学装置」は、有機ＥＬ表示装置や液晶表示装置等を含む意味で用いる。また、「電気光学素子」は、有機ＥＬ表示装置の複数の画素にそれぞれ設ける有機ＥＬ素子や、液晶表示装置に用いるカラーフィルタのＲ，Ｇ，Ｂ各色のフィルタエレメント等を含む意味で用いる。
【００２６】
図１では、説明を簡単にするために、有機ＥＬ表示装置等の電気光学装置における複数の画素２０のうちの、３×３個の画素のみを示している。複数の画素２０の各塗布領域１０はそれぞれ、図１および図２に示すように、基板１１上に形成された隔壁（バンク）１２で囲まれている。なお、図１では、各塗布領域１０を囲む隔壁１２の図示を省略してある。
【００２７】
本実施形態に係る電気光学装置の製造方法は、有機ＥＬ素子等の上述した薄膜形成用液体である薄膜材料液の液滴を吐出させる複数のノズルが直線上に所定ピッチで配列されたインクジェットヘッド（以下、単に「ＩＪヘッド」という。）１３を用いて行う。
【００２８】
ＩＪヘッド１３は、図１に示すように、説明を簡単にするために、６つのノズル１４ａ，１５ａおよび１６ａがそれぞれ直線上に所定ピッチで配列されかつ各ノズルの配列方向（Ｘ軸方向）が互いに平行な３つのノズル列１４，１５および１６を備えている。
【００２９】
この電気光学装置の製造方法では、ＩＪヘッド１３を図１および図２の矢印で示すＹ軸方向へ複数の塗布領域１０に対して相対移動させて行う薄膜材料液の充填を行う。ここでは、例えば、ＩＪヘッド１３を図１および図２のＹ軸方向における右方（走査方向）へ移動させて薄膜材料液の充填を行う。
【００３０】
この電気光学装置の製造方法の特徴は、次の点にある。
ＩＪヘッド１３を図１および図２のＹ軸方向の右方へ移動させて行う薄膜材料液の充填時に、３つのノズル列１４〜１６のうち、各塗布領域１０に最初に到達する１列目のノズル列１４の６つのノズル１４ａから吐出する液滴１７を各塗布領域１０の両端に最初に着弾させる（図３（ａ）参照）。
【００３１】
その後、３つのノズル列１４〜１６のうち、２列目以降のノズル列１５および１６の６つのノズル１５ａおよび１６ａからそれぞれ吐出する液滴１８および１９で２つの液滴１７の間を埋める。
【００３２】
つまり、６つのノズル１４ａから吐出する液滴１７を各塗布領域１０の両端に着弾させる。その後、３つのノズル列１４〜１６のうち、１列目のノズル列１４の次に各塗布領域
１０に到達する２列目のノズル列１５の６つのノズル１５ａからそれぞれ吐出する液滴１８を、各塗布領域１０の両端の一方に着弾した液滴１７と繋がるように、各塗布領域１０に着弾させる（図３（ｂ）参照）。
【００３３】
そして、３つのノズル列１４〜１６のうち、２列目のノズル列１５の次に各塗布領域１０に到達する３列目のノズル列１６の６つのノズル１６ａからそれぞれ吐出する液滴１９を、各塗布領域１０の両端の他方に着弾した液滴１７と繋がるように、各塗布領域１０に着弾させる（図３（ｃ）参照）。
（インクジェットヘッドの構成）
次に、本実施形態に係る電気光学装置の製造方法で用いるＩＪヘッド（インクジェットヘッド）１３を、図４および図５に基づいて説明する。
【００３４】
インクジェットヘッド１３は、例えば図４に示すように、上記３つのノズル列１４〜１６を有するヘッド部４０と、これを支持するヘッド支持部材４１とを備える。
ヘッド部４０は、例えば、ノズル列１４を有する第１ヘッドと、ノズル列１５を有する第２ヘッドと、ノズル列１６を有する第３ヘッドとを一体化して構成されている。これら３つのヘッドは、例えば図５（ａ）および図５（ｂ）に示すような同じ内部構造を有するので、ここでは第１ヘッドの構成のみを同図に基づいて説明する。
【００３５】
ヘッド部４０の第１ヘッドは、図５（ａ）および図５（ｂ）に示すように、ノズル列１４の６つのノズル１４ａが形成されたノズルプレート４２と、これに対向する振動板４３と、これらを結合する仕切部材４４とを有する。ノズルプレート４２と振動板４３との間には、仕切部材４４によって、６つのノズル１４ａの各々に対応する６つ組成物室４５と１つの液溜まり室４６とが形成されている。６つの組成物室４５と液溜まり室４６とは、通路４７を介してそれぞれ連通している。
【００３６】
振動板４３の適所には組成物供給孔４８が形成され、この組成物供給孔４８に組成物供給装置５０が接続される。組成物供給装置５０は、正孔輸送層形成材料や発光層形成材料を含む薄膜材料液などの組成物を、チューブ（図示省略）を介して組成物供給孔４８に供給する。供給された薄膜材料液は液溜まり室４６に充満し、さらに通路４７を通って６つの組成物室４５にそれぞれ充満する。
【００３７】
ノズルプレート４２には、６つの組成物室４５の各々に充満した薄膜材料液をジェット状に噴射するための６つのノズル１４ａが設けられている。また、振動板４３の表面側には、加圧体６０が取り付けられている。この加圧体６０は、圧電素子６１と一対の電極６２，６３とを有する。圧電素子６１は、電極６２，６３を介して通電されると、矢印で示す外方へ突出するように変形する。これにより、各組成物室４５の容積が増大するので、薄膜材料液が液溜まり室４６から通路４７を通って６つの組成物室４５の各々に流入する。
【００３８】
次に、圧電素子６１への通電を解除すると、圧電素子６１と振動板４３は元の形状に戻る。これにより、６つの組成物室４５の各々も元の容積に戻るため、その内部にある薄膜材料液の圧力が上昇し、６つのノズル１４ａから薄膜材料液の液滴４９がそれぞれ吐出する。
【００３９】
以上のように構成された第１実施形態によれば、以下の作用効果を奏する。
○薄膜材料液の充填時に、複数の塗布領域１０の各々において、３つのノズル列１４〜１６のうち、各塗布領域１０に最初に到達する１列目のノズル列１４の６つのノズル１４ａから吐出する液滴１７を各塗布領域１０の両端に着弾させる（図３（ａ）参照）。その後、各塗布領域１０の両端に着弾した２つの液滴１７の間を埋めるように、ノズル１５ａ
および１６ａから液滴１８および１９を吐出させるようにしている（図３（ｂ），（ｃ）参照）。このため、各塗布領域１０の両端に最初に着弾した２つの液滴１７が、隣の液滴に引き寄せられるのが抑制され、複数の画素２０の各塗布領域端部での濡れ不良が抑制される。したがって、複数の画素の各塗布領域端部での濡れ不良を抑制することができ、歩留まりの向上と表示品質の向上を図ることができる。
【００４０】
○６つのノズル１４ａ，１５ａおよび１６ａがそれぞれ直線上に所定ピッチで配列されかつ各ノズルの配列方向が互いに平行な３つのノズル列１４，１５および１６を備えたＩＪヘッド１３を用いる。各塗布領域１０に最初に到達する１列目のノズル列１４の６つのノズル１４ａから吐出する液滴１７を各塗布領域１０の両端に着弾させる（図３（ａ）参照）。次に、２列目のノズル列１５の６つのノズル１５ａからそれぞれ吐出する液滴１８を、各塗布領域１０の両端の一方に着弾した液滴１７と繋がるように、各塗布領域１０に着弾させる（図３（ｂ）参照）。そして、３列目のノズル列１６の６つのノズル１６ａからそれぞれ吐出する液滴１９を、各塗布領域１０の両端の他方に着弾した液滴１７と繋がるように、各塗布領域１０に着弾させる（図３（ｃ）参照）。
【００４１】
これにより、薄膜材料液の充填時に、各塗布領域１０に対して、ＩＪヘッド１３を図１のＹ軸方向の右方へ１回走査することで、必要な液滴の塗布を完了させることができる。これにより、複数の塗布領域１０の各々に薄膜形成材料を充填する工程を短時間で行うことができ、量産性が向上する。
【００４２】
○上記電気光学装置の製造方法に、液滴吐出装置としての上記構成のＩＪヘッド（インクジェットヘッド）１３を用いることにより、複数の画素２０の各塗布領域端部での濡れ不良を抑制した電気光学装置の製造が可能になるとともに、表示品質の高い電気光学装置を低コストで製造することができる。また、複数の塗布領域１０に薄膜形成材料を充填する工程を短時間で行うことができ、量産性が向上する。
（第２実施形態に係る電気光学装置の製造方法）
本発明の第２実施形態に係る電気光学装置の製造方法を、図６および図７に基づいて説明する。
【００４３】
この電気光学装置の製造方法は、上述した第１実施形態の製造方法において、ＩＪヘッド１３の複数のノズル列のノズルピッチ、各塗布領域１０の寸法（画素寸法）、および、各ノズルから吐出される薄膜材料液の液滴径等の関係を一定の関係にして、複数の画素２０の各塗布領域端部での濡れ不良を抑制するようにしたものである。
【００４４】
具体的には、図６に示すように、ＩＪヘッド１３を複数の塗布領域１０に対して相対移動させる同ＩＪヘッド１３の走査方向に垂直な方向における各ノズル列１４〜１６の見かけのノズルピッチをＡとする。前記走査方向に垂直な方向における各塗布領域１０の寸法（画素寸法）をＢとする。前記走査方向に垂直な方向における複数の塗布領域１０のピッチ（画素ピッチ）をＣとする。前記液滴が塗布領域１０に着弾した直後の液滴直径をＤとする。３つのノズル列１４〜１６のうち、薄膜材料液の充填時に塗布領域１０に最初に到達する１列目のノズル列１４で吐出に使用するノズル数（例えばノズル１４ａの数）をＥとする。そして、一つの塗布領域１０当たりに使用するノズル列の総数をＮ（Ｎ＞１）とする。
【００４５】
このような前提に対して、
（１）（Ａ／Ｎ）＜Ｄ＜Ａ、
（２）ｍ×Ａ＜Ｂ＜ｍ×Ａ＋Ｄ、
（３）Ｃ＝ｎ×Ａ、および
（４）Ｅ＝ｐ×ｎ
の関係（一定の関係）を満たすようにする。
【００４６】
ここで、上記（２）の条件において、ｍはＢ／Ａの切り捨て整数値（ｍ＞０）、上記（３）の条件においてｎは整数値（ｎ＞１）、そして、上記（４）の条件においてｐは整数値（ｐ＝１，２，３、・・・）である。
【００４７】
上記（１）の条件は、上述した第１実施形態の製造方法により、各塗布領域１０の両端に液滴を最初に着弾させ（塗布領域の両端を最初に描画し）、その後、２つの液滴の間を液滴で埋める（塗布領域の中を描画する）場合に，各塗布領域１０内で液滴が互いに重なる（繋がる）ようにするための要請事項である。
【００４８】
上記（１）の条件において、ノズル列の総数Ｎを、例えば、上記ＩＪヘッド１３のようにＮ＝３とすると、（１）の条件は（Ａ／３）＜Ｄ＜Ａとなる。この条件を満たすことで、上記液滴直径Ｄは、図７（ａ）に示すように、１つの塗布領域１０内に３つのノズル列１４〜１６から４つの液滴を着弾させる際に、互いに重なる（互いに繋がる）ような大きさに設定される。
【００４９】
上記（２）の条件は、Ｂ／Ａの切り捨て整数値であるｍを例えば「１」にしたとき、各塗布領域１０の寸法（画素寸法）Ｂは、図７（ｂ）に示す最小値から図７（ｃ）に示す最大値までの範囲内の値をとり得ることを意味する。
【００５０】
上記（３）の条件におけるｎは、最初に着弾させる液滴が各塗布領域１０の両端からずれない（両端の描画がずれない）ようにするための要請事項である。
上記（３）の条件を満たすことで、画素ピッチＣが見かけのノズルピッチＡの整数倍となり、両端の描画がずれない。例えばｎ＝２とすると、図7（ｄ）に示すように、各ノズ
ル列、例えばノズル列１４の複数のノズルのうちの、１番目と２番目のノズル１４ａ１，１４ａ２の各中心が複数の塗布領域のうちの１行目の塗布領域１０１の両端と一致することを意味する。また、ノズル列１４の複数のノズルのうちの、３番目と４番目のノズル１４ａ３，１４ａ４の各中心が２行目の塗布領域１０２の両端と一致する。以下、同様に、５番目と６番目のノズルの各中心が３行目の塗布領域の両端と一致する。
【００５１】
上記（４）の条件は、１列目のノズル列１４に含まれる複数のノズルのうち、端のノズルを使わない場合や間引きして液滴を吐出させる場合等を想定すると、そのノズル列１４の使用可能なノズルのうち、各塗布領域１０の両端と一致するノズル（ノズル数Ｅ）を使い、その両端の片側だけ描画されることが無いようにするための要請事項である。なお、ここにいう「１列目のノズル列で吐出に使用するノズル数」とは、１列目のノズル列（例えばノズル列１４）に含まれる使用可能な複数のノズルのうち、実際に吐出に使用するノズルの数を意味する。
【００５２】
以上のように構成された第２実施形態によれば、以下の作用効果を奏する。
○上記第１実施形態の製造方法において、上記（１）〜（４）の条件を満たすように、ＩＪヘッド１３の複数のノズル列のノズルピッチ、各塗布領域１０の寸法、および、各ノズルから吐出される薄膜材料液の液滴径等の関係を設定することにより、複数の画素２０の各塗布領域端部での濡れ不良を抑制することができる。したがって、複数の画素の各塗布領域端部での濡れ不良を抑制することができ、歩留まりの向上と表示品質の向上を図ることができる。
【００５３】
○１列目のノズル列に含まれる使用可能な複数のノズルのうち、端のノズルを使わない場合や間引きして液滴を吐出させる場合等を想定すると、１列目のノズル列１４で吐出に使用するノズル数ＥがＥ＝ｐ×ｎを満たすことで、この条件を満たす１列目のノズル列１
４におけるＥ個のノズルからの液滴を各塗布領域１０の両端に着弾させることができる。（第３実施形態に係る電気光学装置の製造方法）
第３実施形態に係る電気光学装置の製造方法は、図８に示すように、上述した第１実施形態の製造方法において、ヘッドとして、複数のノズル列を１組のノズル列群とする複数のノズル列群をノズルの配列方向に配置したヘッドを用いる場合の一例である。この場合、複数のノズル列群における複数のノズル列の各々によって、複数の画素全体を分割した複数の画素領域の各々に対する薄膜材料液の充填を行うように、複数のノズル列群を配置する。
【００５４】
具体的には、本実施形態に係る電気光学装置の製造方法では、上記ＩＪヘッド１３に代えて、３つのノズル列１４〜１６を１組のノズル列群とする２つのノズル列群を備えたＩＪヘッド１３Ａを用いる。また、複数の塗布領域１０全てをノズル列群と同数の塗布領域群、例えば２つの塗布領域分に分割し、これら２つの塗布領域群の各塗布領域１０を、２つのノズル列群のうちの対応するノズル列群の各ノズルから吐出する前記液滴で充填する。
【００５５】
以上のように構成された第３実施形態によれば、上記第1実施形態の奏する作用効果に
加えて、以下の作用効果を奏する。
○複数の画素を含む表示部全体の前記配列方向における大きさが、複数のノズル各々の配列方向における大きさよりも大きい場合、複数のノズル列を１組とするノズル列群を増やすことで、表示部全体において各塗布領域端部での濡れ不良を抑制することができる。これにより、表示部が大型化或いは高精細化される場合でも、歩留まりの向上と表示品質の向上を図ることができる。
（有機ＥＬ表示装置）
次に、上記第１実施形態或いは上記第２実施形態に係る電気光学装置の製造方法により製造される電気光学装置として有機ＥＬ表示装置を、図９〜図１１に基づいて説明する。
【００５６】
図９は有機ＥＬ表示装置の概略的な電気的構成と表示部（表示領域）としてのアクティブマトリクス部の電気的等価回路の一部を示している。また、図１０は、有機ＥＬ表示装置の一部を断面で示している。
【００５７】
図９に示す有機ＥＬ表示装置１は、アクティブマトリクス部２、信号線駆動回路３、および走査線駆動回路４等を備えている。アクティブマトリクス部２は、透明基板５上に形成されている。この透明基板５は、例えばガラス基板である。この有機ＥＬ表示装置１は、信号線駆動回路３および走査線駆動回路４を透明基板５上に形成した周辺駆動回路内蔵型の表示装置、或いは信号線駆動回路３および走査線駆動回路４を独立した電子部品によって構成した表示装置のいずれであっても良い。
【００５８】
アクティブマトリクス部２は、図９に示すように、行方向に延びるｎ本の走査線（配線層）Ｙ１〜Ｙｎ（ｎは整数）と列方向に延びるｍ本の信号線（配線層）Ｘ１〜Ｘｍ（ｍは整数）との交差部に対応する位置にｎ行ｍ列に配列された複数の画素２０を有している。
【００５９】
このアクティブマトリクス部２の各画素２０は、例えば、Ｒ，Ｇ，Ｂの順に配置された赤用画素，緑用画素および青用画素の３つの画素でそれぞれ構成されている。赤用画素，緑用画素および青用画素には、赤用画素回路，緑用画素回路および青用画素回路がそれぞれ設けられている。
【００６０】
したがって、本例のアクティブマトリクス部２では、走査線Ｙ１〜Ｙｎの各々にｍ×３個の画素回路がＲ，Ｇ，Ｂの順に接続されている。なお、図９では、説明を簡単にするために、走査線Ｙ１〜Ｙｎの各々に接続されたｍ個の画素回路と、ｍ本の信号線Ｘ１〜Ｘｍ
のみを示してある。
【００６１】
有機ＥＬ表示装置１は、走査線駆動回路４が走査線Ｙ１〜Ｙｎを線順次走査により一つずつ順に選択すると、選択された１本の走査線に接続されたｍ×３個の各画素回路には、信号線駆動回路３によってｍ×３本の信号線Ｘ１〜Ｘ（ｍ×３）をそれぞれ介してデータ信号ＩＤが一斉に供給されるようになっている。各画素２０の赤用画素回路，緑用画素回路および青用画素回路には、赤用データ信号ＩＤＲ，緑用データ信号ＩＤＧおよび青用データ信号ＩＤＢがそれぞれ供給される。各データ信号ＩＤＲ，ＩＤＧおよびＩＤＢは、例えば諧調表示のための８ビットデータである赤用，緑用および青用の各表示データを信号線駆動回路３内でＤ−Ａ変換した電流信号である。
【００６２】
各画素２０の赤用画素回路，緑用画素回路および青用画素回路は、有機半導体材料で構成された発光層から赤色，緑色および青色の光をそれぞれ放射する電気光学素子としての有機ＥＬ素子２１を有している。
【００６３】
各画素２０の赤用画素回路，緑用画素回路および青用画素回路は、図９に示すように、上述した有機ＥＬ素子２１と、駆動用トランジスタＱｄと、スイッチングトランジスタＱｓと、保持キャパシタＣｓとをそれぞれ備えている。駆動用トランジスタＱｄおよびスイッチングトランジスタＱｓは、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）でそれぞれ構成されている。
【００６４】
図９に示すように、各画素２０のスイッチングトランジスタＱｓのゲート（ゲート電極）は、走査線Ｙ１〜Ｙｎのうちの対応する１つの走査線に接続されている。スイッチングトランジスタＱｓのドレイン（ドレイン領域）は、信号線Ｘ１〜Ｘｍのうちの対応する１つの信号線に接続され、そのソース（ソース領域）は駆動用トランジスタＱｄのゲートに接続されている。
【００６５】
図９および図１０に示すように、各画素２０の駆動用トランジスタＱｄのドレイン（ドレイン領域）２２は、第１層間絶縁膜２３のスルーホールを貫通する中継電極２４を介して有機ＥＬ素子２１の陽極である画素電極２５に接続されている。この画素電極２５は、酸化インジウム錫（Indium Tin Oxide：「ＩＴＯ」）膜で構成される透明電極である。各駆動用トランジスタＱｄのソース（ソース領域）２６は、第１層間絶縁膜２３のスルーホールを貫通する共通給電線ｃｏｍにそれぞれ接続されている。そして、各駆動用トランジスタＱｄのゲート・ソース間には保持キャパシタＣｓがそれぞれ接続されている。図１０において、符号２７が駆動用トランジスタＱｄのゲート（ゲート電極）である。なお、図１０では、スイッチングトランジスタＱｓおよび保持キャパシタＣｓの図示を省略してある。
【００６６】
各画素２０の有機ＥＬ素子２１は、図１０に示すように、発光層３１と、発光層３１と画素電極２５との間に形成された正孔輸送層３２と、陽極としての画素電極２５と、陰極３３とで構成されている。
【００６７】
なお、図１０おいて、符号３５は第２層間絶縁膜であり、符号３６は各画素２０の画素電極２５を囲むように形成された親液性のある第１隔壁（バンク）である。符号３７は各画素２０の画素電極２５を囲むように第１隔壁３６上に形成された撥液性のある第２隔壁（バンク）である。
【００６８】
このような構成を有する有機ＥＬ表示装置１を上記第１或いは第２実施形態に係る電気光学装置の製造方法により製造する際には、図３（ａ）〜（ｃ）で説明した場合と同様に、ＩＪヘッド１３の１列目のノズル列１４のノズル１４ａから吐出する液滴１７を、各画素２０の塗布領域１０の両端に最初に着弾させる（図１１参照）。その後、２列目以降の
ノズル列１５および１６の各ノズル１５ａおよび１６ａからそれぞれ吐出する液滴１８および１９で２つの液滴１７の間を埋める。
【００６９】
以上のように製造される有機ＥＬ表示装置１によれば、以下の作用効果を奏する。
○各画素２０の両端に最初に着弾した２つの液滴１７が、隣の液滴に引き寄せられるのが抑制され、各画素２０の塗布領域端部での濡れ不良が抑制される。したがって、表示品質の高い有機ＥＬ表示装置１を低コストで実現することができる。
【００７０】
［電子機器］
次に、上述したように製造される有機ＥＬ表示装置１を用いた電子機器について説明する。有機ＥＬ表示装置１は、図１２に示すようなモバイル型のパーソナルコンピュータに適用できる。図３に示すパーソナルコンピュータ７０は、キーボード７１を備えた本体部７２と、有機ＥＬ表示装置１を用いた表示ユニット７３とを備えている。
【００７１】
パーソナルコンピュータ７０によれば、各画素端部での濡れ不良を抑制することができ、有機ＥＬ表示装置１の歩留まりの向上と表示品質の向上を図ることができるので、高品質な表示を実現することができる。
【００７２】
[変形例]
なお、この発明は以下のように変更して具体化することもできる。
・上記第１実施形態では、説明を簡単にするために、有機ＥＬ表示装置等の電気光学装置における複数の画素２０のうちの、３×３個の画素のみを示しているが、本発明は、ｎ行ｍ列のマトリクス状に配置された複数の画素２０を備える電気光学装置に広く適用可能である。
【００７３】
・上記第１実施形態では、説明を簡単にするために、ＩＪヘッド１３が、６つのノズル１４ａ，１５ａおよび１６ａがそれぞれ直線上に所定ピッチで配列された３つのノズル列１４，１５および１６を備えている構成を一例として説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、ＩＪヘッド１３が、「６」以上の多数のノズルがそれぞれ配列された「３」以上の複数のノズル列を備えた構成についても本発明は適用可能である。
【００７４】
・上記第１実施形態では、各ノズル列１４〜１６の複数のノズルの配列方向が走査方向（Ｙ軸方向）に垂直な場合について一例として説明したが、本発明は、複数のノズルの配列方向が前記走査方向に対して斜めの場合にも適用可能である。
【００７５】
・図１０に示す有機ＥＬ表示装置１では、有機ＥＬ素子２１が、発光層３１と正孔輸送層３２の２つの薄膜層を含む構成としているが、本発明はこのような構成に限定されない。正孔輸送層３２と画素電極２５の間に正孔注入層を設けた構成、発光層３１の上に電子輸送層を設けた構成、発光層３１の上に電子輸送層と電子注入層を設けた構成の有機ＥＬ表示装置にも、本発明は適用可能である。
【００７６】
・図９に示す各画素２０の画素回路は一例として示したもので、本発明はこのような画素回路を有する有機ＥＬ表示装置に限定されない。
・図９〜図１１を用いて説明した上記有機ＥＬ表示装置１は、図１２に示すようなパーソナルコンピュータに限らず、携帯電話、デジタルカメラ等の各種の電子機器に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】第１実施形態に係る電気光学装置の製造方法の説明図。
【図２】図１を側方から見た説明図。
【図３】（ａ）〜（ｃ）は塗布領域内に液滴を着弾させる順番を示す説明図。
【図４】インクジェットヘッドの一例を示す斜視図。
【図５】（ａ）は図４のインクジェットヘッドの内部構成を示す斜視図、（ｂ）は同ヘッドの一部を示す断面図。
【図６】第２実施形態に係る電気光学装置の製造方法の説明図。
【図７】（ａ）〜（ｄ）は同実施形態で塗布領域内に液滴を着弾させる順番等を示す説明図。
【図８】第３実施形態に係る電気光学装置の製造方法の説明図。
【図９】有機ＥＬ表示装置の概略的な電気的構成を示す回路図。
【図１０】同有機ＥＬ表示装置の一部を示す断面図。
【図１１】同有機ＥＬ表示装置の製造工程の一部を示す説明図。
【図１２】電子機器の一例を示す斜視図。
【図１３】従来技術の説明図。
【符号の説明】
【００７８】
Ａ…ノズルピッチ、Ｂ…画素寸法、Ｄ…液滴直径、Ｅ…吐出に使用するノズル数、Ｎ…ノズル列の総数、１…電気光学装置としての有機ＥＬ表示装置、１０，１０１，１０２…塗布領域、１３，１３Ａ…液滴吐出装置としてのインクジェットヘッド（ＩＪヘッド）、１４，１５，１６…ノズル列、１４ａ，１５ａ，１６ａ，１４ａ１，１４ａ２，１４ａ３，１４ａ４…ノズル、１７，１８，１９…液滴、２０…画素。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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