(57)【要約】【課題】  サーバコンピュータにおけるデータベースから検索したデータに基づく多数のグラフを、端末装置において、短時間で表示できるグラフ表示システム及びグラフ作成方法を提供すること。【解決手段】  データベースサーバ１１、データ検索サーバ１２と、端末装置１３とが接続されているグラフ表示システムである。データベースサーバ１１にはデータベース１１ａが格納されている。データ検索部１２ａはデータベース１１ａからデータを読み出す。読み出したデータにもとづき、グラフデータ作成部１２ｂにおいてグラフファイルを作成し、グラフファイル記憶部１２ｃに記憶する。これにより、端末装置１３においてグラフ作成の負荷がなくなる。従って、端末装置１３は、短時間でグラフファイルを読み出し、展開し、グラフとして表示することができる。【選択図】  図１
2005070446.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
種々のデータを格納するデータベースを備える第１のサーバコンピュータと、
前記第１のサーバコンピュータと接続され、前記第１のサーバコンピュータの前記データベースからデータ検索して読み出す手段と、その読み出した前記データからそのデータがプロットされるスクリーン座標データを含むグラフファイルを作成する手段と、前記グラフファイルを記憶する手段とを備える第２のサーバコンピュータと、
前記第２のサーバコンピュータと接続され、前記第２のサーバコンピュータから前記グラフファイルを読み出す手段と、その読み出した前記グラフファイルを展開し、１つ又は複数のグラフを表示する手段とを備えた端末装置と
を具備することを特徴とするグラフ表示システム。
【請求項２】
前記スクリーン座標データは、更に、前記データから前記グラフの特徴が抽出されたデータを含むことを特徴とする請求項１に記載のグラフ表示システム。
【請求項３】
前記グラフの特徴が抽出されたデータが、関数として表現されていることを特徴とする請求項２に記載のグラフ表示システム。
【請求項４】
前記第２のサーバコンピュータの前記読み出し手段は、品質管理工程のデータを検索データとして読み出すことを特徴とする請求項１に記載のグラフ表示システム。
【請求項５】
前記端末装置の前記表示手段は、選択された品質管理工程のデータに基づく前記グラフファイルを読み出し、前記グラフファイルを表示することを特徴とする請求項４に記載のグラフ表示システム。
【請求項６】
前記端末装置は、前記端末装置の画面に表示された複数のグラフの一部のグラフを拡大表示する手段を有することを特徴とする請求項１に記載のグラフ表示システム。
【請求項７】
第１のサーバコンピュータと、この第１のサーバコンピュータに接続される第２のサーバコンピュータと、この第２のサーバコンピュータに接続される端末装置を有するグラフ表示システムのグラフ作成方法であって、
第２のサーバコンピュータは、前記第１のサーバコンピュータのデータベースからデータを読み出し、
その読み出した前記データからプロットされるスクリーン座標データを含むグラフファイルを作成して記憶し、
前記端末装置は、前記第２のサーバコンピュータから前記グラフファイルを読み出し、その読み出した前記グラフファイルを展開して１つ又は複数のグラフを表示することを特徴とするグラフ作成方法。
【請求項８】
前記スクリーン座標データは、更に、前記データから前記グラフの特徴が抽出されたデータを含むことを特徴とする請求項７に記載のグラフ作成方法。
【請求項９】
前記グラフの特徴が抽出されたデータを関数として表現することを特徴とする請求項８に記載のグラフ作成方法。
【請求項１０】
前記第２のサーバコンピュータは、前記第１のサーバコンピュータのデータベースから品質管理工程のデータを読み出すことを特徴とする請求項７に記載のグラフ作成方法。
【請求項１１】
前記端末装置は、選択された品質管理工程のデータに基づく前記グラフファイルを読み出し、前記グラフファイルを表示することを特徴とする請求項１０に記載のグラフ作成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は複数のグラフを高速に表示するために用いられるグラフ表示システム及びグラフ作成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置、特にＬＳＩの製造においては数百にのぼる多数の工程があり、また、多数の製造装置が用いられる。このため、製造工程、製造装置及び製造条件等を管理するうえで、コンピュータ統合生産システム（ＣＩＭ）が用いられている。そして、製造ライン或いは開発ラインでＬＳＩの各種工程を実行するために、多くのクライアントによってＣＩＭがアクセスされている。従って、ＬＳＩ用のＣＩＭでは、サーバコンピュータによるデータ管理と共に、クライアント側の複数の端末装置（例えば、パーソナルコンピューターＰＣ）を使用する分散型システムが導入されている。この端末装置を用い、クライアントはサーバコンピュータからのデータをアクセスし、そのデータを処理し、グラフ等を作成し、それを画面に表示して、処理内容を吟味することが行われる（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
分散型ＣＩＭシステムを用いることにより、多くのクライアントが容易に製造に関するデータにアクセスし、効率良く製造工程を管理し、製品の生産或いは開発が加速されている。
【０００４】
しかし、ＬＳＩが微細化されると共に、製造工程も複雑化するため、製造工程において製造条件の精密な制御等が要求される。このため、取り扱うデータも非常に多くなり、製造工程の状況を把握するグラフ等も多くなる。このため、クライアント側の端末装置においてデータ処理に時間がかかり、製造工程の進捗が遅れる原因の一つとなっている。
【０００５】
従来の端末装置のグラフ表示システムでは、クライアントの端末装置において、必要な全てのデータをもとにして、グラフ図形データを作成し、それをグラフに展開して画面に表示している。そのため、必要なグラフの数が多くなると、それらのグラフを作成する時間が非常に長くなる。
【０００６】
また、端末装置の画面にグラフを出力する場合、多数のグラフを同一画面に表示すると、メモリの使用量が非常に多くなり、端末装置のディスク領域に頻繁にアクセスするページフォルトが発生し、端末装置の処理速度が極端に遅くなる問題が発生する。
【特許文献１】特開平１０−１８８００９公報（Ｐ５、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、その目的は、サーバコンピュータに格納したデータベースの中から検索によって得たデータを、多数のグラフとして作成し、短時間でこれらの多数のグラフを表示できるグラフ表示システム及びグラフ作成方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するため、本発明の第１の態様は、グラフ表示システムとして、種々のデータを格納するデータベースを備える第１のサーバコンピュータと、前記第１のサーバコンピュータと接続され、前記第１のサーバコンピュータの前記データベースからデータ検索して読み出す手段と、その読み出した前記データからそのデータがプロットされるスクリーン座標データを含むグラフファイルを作成する手段と、前記グラフファイルを記憶する手段とを備える第２のサーバコンピュータと、前記第２のサーバコンピュータと接続され、前記第２のサーバコンピュータから前記グラフファイルを読み出す手段と、その読み出した前記グラフファイルを展開し、１つ又は複数のグラフを表示する手段とを備えた端末装置とを具備することを特徴とする。
【０００９】
また、本発明の第２の態様は、第１のサーバコンピュータと、この第１のサーバコンピュータに接続される第２のサーバコンピュータと、この第２のサーバコンピュータに接続される端末装置を有するグラフ表示システムのグラフ作成方法であって、第２のサーバコンピュータは、前記第１のサーバコンピュータのデータベースからデータを読み出し、その読み出した前記データからプロットされるスクリーン座標データを含むグラフファイルを作成して記憶し、前記端末装置は、前記第２のサーバコンピュータから前記グラフファイルを読み出し、その読み出した前記グラフファイルを展開して１つ又は複数のグラフを表示することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
以上、詳述したように、本発明によれば、第２のサーバコンピュータにおいてグラフファイルを作成することにより、端末装置において多数のグラフを短時間に表示できるグラフ表示システムを提供できる。
【００１１】
また、第２のサーバコンピュータにおいて、適切にデータを選択することにより、適正なグラフを短時間で作成するグラフ作成方法が得られる。これにより、端末装置において多数のグラフを短時間に表示可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施例を、図面を参照して説明する。
【実施例１】
【００１３】
実施例１においては、本発明のグラフ表示システムを半導体製造工程の品質データのグラフ表示に適用した例について説明する。図１は本発明によるグラフ表示システムの実施例１を示すブロック図である。
【００１４】
第１のサーバコンピュータであるデータベースサーバ１１のデータベース部１１ａに、例えば、半導体工場における製造工程の現場から品質データが送信され、格納されている。
【００１５】
第２のサーバコンピュータであるデータ検索サーバ１２は、データ検索部１２ａ、グラフデータ作成部１２ｂ、及びグラフファイル記憶部１２ｃから構成されている。データ検索部１２ａは定期的に、例えば半日に１回、データベース１１のデータベース部１１ａに格納されているデータを検索する。
【００１６】
データ検索部１２ａはデータベース部１１ａの検索から得られたデータをグラフデータ作成部１２ｂに送信する。また、データ検索部１２ａは検索したデータ検索リストを作成して内部に記憶する。
【００１７】
グラフデータ作成部１２ｂでは、データ検索部１２ａから送られてきたデータをもとにして、座標データ等を含めてグラフ作成が可能な新たなデータを生成し、それをグラフファイルとして、グラフファイル記憶部１２ｃに書き込む。
【００１８】
クライアント側の端末装置１３はデータ受信部１３ａ、データ読込及び展開部１３ｂ、グラフ図形作成及び表示部１３ｃから構成されている。
【００１９】
データ受信部１３ａは、データ検索サーバ１２のグラフファイル記憶部１２ｃからグラフファイルを読み出し、また、データ検索部１２ａからデータ検索リストを読み出して、データ読込及び展開部１３ｂに送出する。読み出したグラフファイル及びデータ検索リストはデータ読込及び展開部１３ｂにおいて、グラフ表示が可能になるようなデータとして展開される。
【００２０】
最終的に、この展開されたデータはグラフ作成及び表示部１３ｃによって、端末装置１３の表示画面に合せて、データ変換が行われ、表示される。なお、端末装置１３を複数台設置し、それぞれ独立に操作することも可能である。
【００２１】
端末装置１３における表示画面及び表示されるグラフの一例を図２に示す。図２において、表示画面２０は複数のグラフエリア２１で構成される。各グラフエリア２１は、グラフの幅及び高さが決められ、その位置はグラフ配置座標２２によって定められる。
【００２２】
それぞれのグラフエリア２１内は、上マージン、下マージン、左マージン及び右マージンを決めることにより、グラフ表示エリア２３が定義されている。また、グラフ表示座標２４に従って、測定データ、測定内容等がプロットされ、グラフ２５が描かれる。これらのグラフ２５が表示画面２０の中に縦にｎ個、横にｍ個、表示される。
【００２３】
データ検索サーバ１２におけるデータ検索部１２ａによるデータ検索の一連のフロー図を図３に示す。
【００２４】
先ず、シーケンスのスタート（ステップＳ１）により、データ検索部１２ａは、外部のクライアントから指示された処理内容を読み込み、それを解読する（ステップＳ２）。次に、クライアントからの処理内容に記載されているユーザーＩＤ、パスワード、データベースＩＤ等を識別して、データベース部１１ａに接続する（ステップＳ３）。データ検索部１２ａは、更に処理内容に定義された所定の工程のデータテーブル、例えば、リソグラフィ品質管理工程のデータテーブルをデータベース部１１ａから検索する（ステップＳ４）。
【００２５】
続いて、検索されたデータテーブルからフィールドを定義するデータを検索し（ステップＳ５）、そのフィールドを定義するデータに基づいて、リソグラフィ品質管理工程の詳細データ、例えば、寸法測定データ、合せ測定、膜厚測定等のデータをデータテーブルから検索する（ステップＳ６）。
【００２６】
また、検索したデータはデータ検索リストとして品種、工程ＱＣテーブル名、工程ＱＣテーブル毎のコメント、検索開始日時、検索終了日時等が入力されて、データ検索部１２ａの内部に記憶される（ステップＳ７）。
【００２７】
次に、データ検索部１２ａは、検索したデータをグラフデータ作成部１２ｂへ転送する（ステップＳ８）。
【００２８】
更に、クライアントによって指定された処理内容がすべて終了するまで、ステップＳ５からステップＳ８までが繰り返し実行される。この繰り返しによる処理が終了した後、更に、処理内容に定義された所定の工程のデータテーブルがあれば、ステップＳ４に戻り、データテーブルの検索を実行する。
【００２９】
指定された処理内容の工程がすべて終了した後、データ検索サーバ１２のデータ検索部１２ａとデータベースサーバ１１のデータベース部１１ａとの接続は切り離される（ステップＳ９）。以上によって、データ検索のシーケンスを終了する（Ｓ１０）。
【００３０】
例えば、品質管理工程のデータテーブルの一例として、リソグラフィ工程におけるデータテーブルを図４（ａ）に示す。
【００３１】
データテーブルは品種、ロット番号、工程、及びそれらのデータに関連する処理日時、処理装置等のインデックスデータと、ｓｕｎｐｏ００１０、ｓｕｎｐｏ００２０等の計測データから構成されている。データテーブルに記載される工程は、工程ＱＣとして定義され、その内容が決められている。例えば、ｓｕｎｐｏ００１０は寸法１のデータであり、ｓｕｎｐｏ００２０は寸法２のデータである（図４（ｂ））。
【００３２】
また、データ検索部１２ａに記憶されるデータ検索リストの一例を図４（ｃ）に示す。品種、テーブル名、コメント等に分類され、記録が残されており、後に示す端末装置１３からの検索が容易にできるようになっている。
【００３３】
次に、グラフデータ作成部１２ｂにおけるグラフファイル作成の処理フロー図を図５に示す。先ず、シーケンスのスタート（ステップＳ１１）により、グラフデータ作成部１２ｂは、データ検索部１２ａに格納されている、外部のクライアントから指示された処理内容を定義したデータを読み込み、その処理内容を解読する（ステップＳ１２）。次に、処理内容に記載されているユーザーＩＤ、パスワード、データベースＩＤ等を識別して、データ検索部１２ａから所定のデータを読み出す（ステップＳ１３）。
【００３４】
続いて、処理内容に定められているグラフエリア２１の数に基づいて、配置構成及びグラフ配置座標２２等を表示画面２０に割り付ける（ステップＳ１４）。次に、データ検索部１２ａのデータに基づいて、グラフエリア２１内のグラフ表示エリア２３の位置、大きさ、グラフエリア２１内の各マージン等を決定する（ステップＳ１５）。
【００３５】
更に、座標の原点を定め、縦軸、横軸等の数値を決定し、原点をベースにしてグラフデータのグラフ表示座標２４を与える（ステップＳ１６）。これによって、グラフ表示エリア２３ごとにそれぞれのグラフ２５を展開する（ステップＳ１７）。
【００３６】
また、各グラフ表示エリア２３における該当の品種、工程のレコードの各処理日時、品種、ロット番号等のインデックスデータの表示も同じように表示可能にする（ステップＳ１８）。すべてのグラフデータについて処理を終了した後、グラフファイル記憶部１２ｃに転送する（ステップＳ１９）。
【００３７】
指定された処理内容がすべて終了するまでステップＳ１５からステップＳ１９までを繰り返し実行し、指定された処理内容がすべて実行された段階でシーケンスは終了する（ステップＳ２０）。
【００３８】
なお、表示画面２０は必ずしも１画面とは限らず、グラフ２５の数が多い場合は複数にしても良いことは勿論である。
【００３９】
次に、端末装置１３におけるグラフファイルの読み込みからグラフの表示までの処理フロー図を図６に示す。
【００４０】
先ず、シーケンスのスタート（ステップＳ２１）により、端末装置１３はデータ検索サーバ１２のデータ検索部１２ａからデータ検索リストを読み出し（ステップＳ２２）、端末装置１３の画面に表示する（ステップＳ２３）。データ検索リストの内容から特定の工程の品質管理データテーブルを選択すると（ステップＳ２４）、該当する品種、工程等における品質管理工程のデータテーブルのグラフファイルを、データ検索サーバ１２のグラフファイル記憶部１２ｃから読み込む（ステップＳ２５）。
【００４１】
端末装置１３に読み込んだ縦横方向のグラフ数、グラフの幅、グラフの高さ、上下左右マージン、グラフ配置座標２２で示したグラフ配置、グラフ２５に表示するタイトル、グラフ２５の元データに対応するグラフ表示エリア２３内のスクリーン座標等を使用してグラフ一覧を作成する（ステップＳ２６）。
【００４２】
表示画面２０に図形を描画するために、グラフ配置座標２２を表示画面内スクリーン座標に変換し（ステップＳ２７）、端末装置１３の画面にグラフ一覧を表示する（ステップＳ２８）。以上によって、シーケンスを終了する（ステップＳ９）。
【００４３】
また、端末装置１３は、グラフ一覧として画面に表示された複数のグラフの中から、特定のグラフをクリック、またはダブルクリックすることにより、そのグラフの拡大されたグラフを表示する機能も持つ。図７（ａ）に拡大されたグラフの一例を示す。図７（ｂ）はグラフ一覧の画面表示である。この機能によって、任意のグラフの内容をより詳細に読み取ることができる。
【００４４】
本実施例によれば、第２のサーバコンピュータであるデータ検索サーバ１２においてグラフファイルを作成することにより、端末装置１３において多数のグラフを短時間に表示できるグラフ作成方法が得られる。
【実施例２】
【００４５】
本発明によるグラフ作成方法の実施例２におけるグラフ説明図を図８に示す。グラフを正確に表現するためには、原則として測定によって得られたデータをすべてプロットする。一方、測定点が多いほどグラフ作成に時間がかかる。従って、適正なグラフを短時間に作成するために、以下に述べる方法を一例として用いる。
【００４６】
図８は、温度のトレンドデータを表すグラフの説明図である。このトレンドデータは例えば熱処理炉における温度制御の精度をチェックするために行われている。また、以下で述べる処理は、外部のクライアントによってデータ検索サーバ１２に処理内容として指示されている。
【００４７】
すべてのデータから平均値８１とその標準偏差値（３σ）８２ａ、８２ｂを計算する。次にこれより外れているデータを異常値８３として処理対象から削除する。
【００４８】
続いて、異常値８３を除いたデータについて標準偏差値（σ）８４ａ、８４ｂを計算する。一方、データ数をもとにプロット数及びプロット間隔を決定する。次に、プロット間隔ごとのデータを抽出する。更に、標準偏差値（σ）８４ａ、８４ｂから外れているデータを抽出し、必要であれば付加データ８５としてプロットに加える。
【００４９】
本実施例によれば、適切にデータを選択することによって、適正なグラフを短時間で作成するグラフ作成方法が得られる。これにより、端末装置において多数のグラフを短時間に表示可能になる。
【００５０】
（変形例）
図９にグラフ作成方法の実施例２の変形例を示す。本変形例においては、異常値の削除方法の一例として、基準値を設定する方法について述べる。
【００５１】
また、以下で述べる処理は、外部のクライアントによってデータ検索サーバ１２に処理内容として指示されている。
【００５２】
図９は、図８と同様の温度のトレンドデータを表すグラフの説明図である。先ず、予め基準値８２ｃ、８２ｄを設定する。次に、すべてのデータから平均値８１を計算し、次に、これより基準値８２ｃ、８２ｄを超えて外れているデータを異常値８３として処理対象から削除する。
【００５３】
続いて、異常値８１を除いたデータについて今度は標準偏差値（σ）８４ａ、８４ｂを計算する。一方、データ数をもとにプロット数及びプロット間隔を決定する。次に、プロット間隔ごとのデータを抽出する。更に、標準偏差値（σ）８４ａ、８４ｂから外れているデータを抽出し、必要であれば付加データ８５としてプロットに加える。
【００５４】
本変形例によれば、適切にデータを選択することによって、適正なグラフを短時間で作成するグラフ作成方法が得られる。
【実施例３】
【００５５】
本発明によるグラフ作成方法の実施例３は、適正なグラフを短時間に作成するグラフ作成方法に関する。
【００５６】
また、以下で述べる処理は、外部のクライアントによってデータ検索サーバ１２に処理内容として指示されている。
【００５７】
図１０は時間と共に変化するトレンドデータを表すグラフの説明図である。本実施の形態では、測定データの近似曲線を関数として表現する方法を示す。
【００５８】
先ず、すべてのデータから関数Ｆ（ｘ）１０１とその標準偏差値（３σ）１０２ａ、１０２ｂを計算する。次に、これより外れているデータを異常値１０３として処理対象から削除する。
【００５９】
続いて、異常値１０３を除いたデータについて今度は標準偏差値（σ）１０４ａ、１０４ｂを計算する。一方、データ数をもとにプロット数及びプロット間隔を決定する。次に、プロット間隔ごとのデータを抽出する。更に、標準偏差値（σ）１０４ａ、１０４ｂから外れているデータを抽出し、必要であれば付加データ１０５としてプロットを加える。
【００６０】
本実施の形態によれば、データからグラフを近似する関数を導き出すことにより、適正なグラフを短時間で作成するグラフ作成方法が得られる。また、関数を用いてトレンドの予測を行うことも可能になる。
【００６１】
（変形例）
図１１にグラフ作成方法の実施３の変形例を示す。本変形例においては、異常値の削除方法の一例として、基準値を設定する方法について述べる。
【００６２】
また、以下で述べる処理は、外部のクライアントによってデータ検索サーバ１２に処理内容として指示されている。
【００６３】
先ず、すべてのデータから関数Ｆ（ｘ）１０１を求め、それにもとづき、基準値１０２ｃ、１０２ｄを設定する。次に、これより外れているデータを異常値１０３として処理対象から削除する。
【００６４】
続いて、異常値１０３を除いたデータについて今度は標準偏差値（σ）１０４ａ、１０４ｂを計算する。一方、データ数をもとにプロット数及びプロット間隔を決定する。次に、プロット間隔ごとのデータを抽出する。更に、標準偏差値（σ）１０４ａ、１０４ｂから外れているデータを抽出し、必要であれば付加データ１０５としてプロットを加える。
【００６５】
本変形例によれば、データからグラフを近似する関数を導き出すことにより、適正なグラフを短時間で作成するグラフ作成方法が得られる。これにより、端末装置において多数のグラフを短時間に表示できる。また、関数を用いてトレンドの予測を行うことも可能になる。
【００６６】
なお、本発明は上述した実施例に何ら限定されるものではなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明によるグラフ表示システムの第１の実施の形態を示すブロック図。
【図２】本発明によるグラフ表示システムの第１の実施の形態における画面表示の構成例を示す概念図。
【図３】本発明によるグラフ表示システムの第１の実施の形態におけるデータ検索部の動作シーケンスを示すフロー図。
【図４】本発明によるグラフ表示システムの第１の実施の形態におけるデ−タの例を示す一覧表。
【図５】本発明によるグラフ表示システムの第１の実施の形態におけるグラフデータ作成部の動作シーケンスを示すフロー図。
【図６】本発明によるグラフ表示システムの第１の実施の形態における端末装置の動作シーケンスを示すフロー図。
【図７】本発明によるグラフ表示システムの第１の実施の形態における画面表示の例を示す図。
【図８】本発明によるグラフ表示方法の第２の実施の形態におけるグラフ説明図。
【図９】本発明によるグラフ表示方法の第２の実施の形態における変形例を示すグラフ説明図。
【図１０】本発明によるグラフ表示方法の第３の実施の形態におけるグラフ説明図。
【図１１】本発明によるグラフ表示方法の第３の実施の形態における変形例を示すグラフ説明図。
【符号の説明】
【００６８】
１１  データベースサーバ
１１ａ  データベース部
１２  データ検索サーバ
１２ａ  データ検索部
１２ｂ  グラフ作成部
１２ｃ  グラフファイル記憶部
１３  端末装置
１３ａ  データ受信部
１３ｂ  データ読込及び展開部
１３ｃ  グラフ図形作成及び表示部
２０  表示画面
２１  グラフエリア
２２  グラフ配置座標
２３  グラフ表示エリア
２４  グラフ表示座標
２５  グラフ
８１、１０１  平均値
８２ａ、８２ｂ、１０２ａ、１０２ｂ  標準偏差値（３σ）
８３、１０３  異常値
８４ａ、８４ｂ、１０４ａ、１０４ｂ  標準偏差値（σ）
８５、１０５  付加データ
８２ｃ、８２ｄ、１０２ｃ、１０２ｄ  基準値
【図１】
2005070446.tif 000003
【図２】
2005070446.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2005070446.tif 000009
【図８】
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【図９】
2005070446.tif 000011
【図１０】
2005070446.tif 000012
【図１１】
2005070446.tif 000013