(57)【要約】【課題】  抵抗率の高いルテニウム複合酸化物を、厳密な組成管理を必要とすることなく、ＲｕＯ2やＣａ、Ｓｒ、Ｂａの酸化物が残存しない状態で製造可能とする。【解決手段】  ルテニウム複合酸化物を固相反応により製造するルテニウム複合酸化物の製造方法である。化学量論組成よりもＲｕＯ2を過剰にした状態で１４００℃以上で熱処理する。好ましくは、ＲｕＯ2の分解温度である１４１０℃以上で熱処理する。ルテニウム複合酸化物が一般式ＡＲｕＯ3（ただし、式中、ＡサイトはＣａ、Ｓｒ、Ｂａの少なくとも１種である。）で表される複合酸化物、例えばＣａＲｕＯ3、ＢａＲｕＯ3、ＳｒＲｕＯ3である。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
ルテニウム複合酸化物を固相反応により製造するルテニウム複合酸化物の製造方法であって、
化学量論組成よりもＲｕＯ2を過剰にした状態で１４００℃以上で熱処理することを特徴とするルテニウム複合酸化物の製造方法。
【請求項２】
前記熱処理を、１４００℃以上、１７００℃以下で行うことを特徴とする請求項１記載のルテニウム複合酸化物の製造方法。
【請求項３】
前記熱処理を、ＲｕＯ2の分解温度以上で行うことを特徴とする請求項１又は２記載のルテニウム複合酸化物の製造方法。
【請求項４】
前記ルテニウム複合酸化物が一般式ＡＲｕＯ3（ただし、式中、ＡサイトはＣａ、Ｓｒ、Ｂａの少なくとも１種である。）で表される複合酸化物であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載のルテニウム複合酸化物の製造方法。
【請求項５】
ＲｕＯ2の量を２０モル％以下の範囲で前記Ａサイトの原料より過剰とすることを特徴とする請求項４記載のルテニウム複合酸化物の製造方法。
【請求項６】
ルテニウム複合酸化物を固相反応により製造し、得られたルテニウム複合酸化物及びガラス組成物を有機ビヒクルと混合する抵抗体ペーストの製造方法であって、
前記固相反応に際し、化学量論組成よりもＲｕＯ2を過剰にした状態で１４００℃以上で熱処理することを特徴とする抵抗体ペーストの製造方法。
【請求項７】
請求項６記載の方法で抵抗体ペーストを形成し、この抵抗体ペーストを基板上に塗布し、焼成することにより抵抗体を形成することを特徴とする抵抗体の製造方法。
【請求項８】
請求項６記載の方法で抵抗体ペーストを形成し、この抵抗体ペーストを基板上に塗布し、焼成することにより抵抗体を形成することを特徴とする電子部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、抵抗体ペーストに導電性材料として用いられるルテニウム複合酸化物の製造方法に関するものであり、さらには、これを適用した抵抗体ペーストの製造方法、抵抗体の製造方法、及び電子部品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば抵抗体ペーストは、一般に、抵抗値の調節及び結合性を与えるためのガラス組成物と、導電性材料と、有機ビヒクルとを主たる成分として構成されており、これを基板上に印刷した後、焼成することによって、厚さ５〜２０μｍ程度の厚膜抵抗体が形成される。そして、この種の抵抗体ペースト（厚膜抵抗体）においては、通常、導電性材料として酸化ルテニウム（ＲｕＯ2）や鉛ルテニウム酸化物（Ｐｂ2Ｒｕ2Ｏ6）等が用いられ、ガラスとして酸化鉛（ＰｂＯ）系ガラス等が用いられている。
【０００３】
例えば高抵抗（１０ｋΩ／□以上）の抵抗体には、導電性材料として抵抗率の高い鉛ルテニウム酸化物（Ｐｂ2Ｒｕ2Ｏ6）が用いられ、高抵抗の抵抗体を得ることは比較的容易であった。
【０００４】
近年、環境問題が盛んに議論されてきており、鉛等の有害物質の電子部品からの排除が進められている。前記抵抗体ペーストや厚膜抵抗体も例外ではなく、鉛フリーとするための研究が行われている。
【０００５】
環境に配慮した場合、ＰｂＯ系ガラスは勿論のこと、導電性材料としての鉛ルテニウム酸化物（Ｐｂ2Ｒｕ2Ｏ6）の使用も避けなければならない。そこで、鉛ルテニウム酸化物と同程度の抵抗率を持つ導電性材料として、ＣａＲｕＯ3、ＳｒＲｕＯ3、ＢａＲｕＯ3等のルテニウム複合酸化物が使用されるようになってきている。
【０００６】
これらのルテニウム複合酸化物は、通常、ＲｕＯ２とアルカリ土類金属の炭酸塩とを固相反応させることにより製造される（例えば、非特許文献１等を参照）。非特許文献１記載の技術では、各原料を化学量論組成となるように秤量し、例えば８００℃、１２時間程度の仮焼の後、１２００℃で２時間、本焼成することにより、ルテニウム複合酸化物を得ている。
【非特許文献１】Am. Ceram. Soc. Bull. Vol.51 No.3 p231-p242 (1972)
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、非特許文献１記載の方法でルテニウム複合酸化物を製造する場合、化学量論組成とするために、それぞれの原料を厳密に秤量することが必要である。化学量論組成を外れた組成で製造した場合、例えばＲｕＯ2が過剰な組成では、過剰なＲｕＯ2が反応せずに残り、これを用いて抵抗体を作製した場合、高い抵抗率が得られなくなるという問題がある。逆に、ＲｕＯ2が不足した組成では、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａの酸化物が残り、これを用いて抵抗体を作製した場合、経時安定性に劣るという問題がある。しかしながら、原料の厳密な秤量は、作業や工程管理の繁雑化を招き、また、完全に化学量論組成に一致させることは、現実問題として難しい。
【０００８】
そこで本発明は、このような従来の実情に鑑みて提案されたものであり、抵抗率の高いルテニウム複合酸化物を、厳密な組成管理を必要とすることなく、ＲｕＯ2やＣａ、Ｓｒ、Ｂａの酸化物が残存することのない状態で製造することが可能なルテニウム複合酸化物の製造方法を提供することを目的とする。また、本発明は、このルテニウム複合酸化物の製造方法を応用することで、電気特性のばらつきが少なく、経時安定性に優れた抵抗体の作製を可能とする抵抗体ペーストの製造方法、抵抗体の製造方法、及び電子部品の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者らは、前述の目的を達成することを目的に、長期に亘り種々の研究を重ねてきた。その結果、ルテニウム複合酸化物の製造方法を工夫することで、実現可能であるとの結論を得るに至った。
【００１０】
本発明は、このような知見に基づいて完成されたものである。すなわち、本発明に係るルテニウム複合酸化物の製造方法は、ルテニウム複合酸化物を固相反応により製造するルテニウム複合酸化物の製造方法であって、化学量論組成よりもＲｕＯ2を過剰にした状態で１４００℃以上で熱処理することを特徴とする。
【００１１】
また、本発明の抵抗体ペーストの製造方法は、ルテニウム複合酸化物を固相反応により製造し、得られたルテニウム複合酸化物及びガラス組成物を有機ビヒクルと混合する抵抗体ペーストの製造方法であって、前記固相反応に際し、化学量論組成よりもＲｕＯ2を過剰にした状態で１４００℃以上で熱処理することを特徴とする。さらに、本発明の抵抗体の製造方法、電子部品の製造方法は、前記抵抗体ペーストの製造方法によって抵抗体ペーストを形成し、この抵抗体ペーストを基板上に塗布し、焼成することにより抵抗体を形成することを特徴とする。
【００１２】
化学量論組成よりもＲｕＯ2を過剰にし、熱処理により固相反応を行うと、通常の温度条件では、未反応のＲｕＯ2が残存する。ここで、熱処理の温度をＲｕＯ2の分解温度に近い１４００℃以上とすると、過剰なＲｕＯ2は分解され、揮散（昇華）する。したがって、化学量論組成よりもＲｕＯ2を過剰にさえすれば、原料組成を厳密に目標組成に一致させなくても、ＲｕＯ2やＣａ、Ｓｒ、Ｂａの酸化物が残存することがない。
【発明の効果】
【００１３】
本発明のルテニウム複合酸化物の製造方法によれば、抵抗率の高いルテニウム複合酸化物を、厳密な組成管理を必要とすることなく、ＲｕＯ2やＣａ、Ｓｒ、Ｂａの酸化物が残存しない状態で製造することが可能である。
【００１４】
したがって、これを抵抗体ペーストや抵抗体、電子部品の製造方法に適用することで、高抵抗値を有し、電気特性のばらつきが少なく、経時安定性に優れた抵抗体、電子部品を製造することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明に係るルテニウム複合酸化物の製造方法、抵抗体ペースト、抵抗体、及び電子部品の製造方法について説明する。
【００１６】
先ず、本発明のルテニウム複合酸化物の製造方法であるが、基本的には固相反応による製造である。したがって、原料を混合し、熱処理することでルテニウム複合酸化物とする。ルテニウム複合酸化物としては、一般式ＡＲｕＯ3（ただし、式中、ＡサイトはＣａ、Ｓｒ、Ｂａの少なくとも１種である。）で表される複合酸化物、例えばＣａＲｕＯ3、ＳｒＲｕＯ3、ＢａＲｕＯ3等である。
【００１７】
したがって、原料としては、ＲｕＯ2と、前記一般式のＡサイト原料、すなわちアルカリ土類金属の酸化物、炭酸塩等を用いる。このとき、ＲｕＯ2の量を、アルカリ土類金属の酸化物、炭酸塩等よりも化学量論組成に対して過剰にする。ＲｕＯ2の量は、化学量論組成に対して過剰であればよく、したがって、当然のことながら、過剰なＲｕＯ2の量はゼロを越える。ただし、ＲｕＯ2の量は、２０モル％以下の範囲で前記Ａサイトの原料より過剰とすることが好ましい。過剰なＲｕＯ2の量が多すぎると、分解に長時間を要し、未反応のＲｕＯ2が残存するおそれがある。
【００１８】
熱処理の温度は、ＲｕＯ2の分解が始まる１４００℃以上とする必要があり、ＲｕＯ2の分解温度、すなわち昇華温度である１４１０℃とすることが好ましい。熱処理温度が前記温度よりも低いと、未反応のＲｕＯ2が残存するおそれがある。熱処理の上限温度は、アルカリ土類金属酸化物の分解温度未満、さらにはルテニウム複合酸化物の分解温度未満とすることが好ましく、１７００℃以下、通常は１６００℃以下とすることが好ましい。熱処理の温度が高すぎると、アルカリ土類金属酸化物やルテニウム複合酸化物が分解してしまい、収率を低下する原因となる。熱処理時間は、特に限定されないが、通常、１時間〜１０時間程度である。
【００１９】
ＲｕＯ2量を化学量論組成に対して過剰にし、且つ前記熱処理温度条件とすることで、ＲｕＯ2の昇華により未反応のＲｕＯ2が残ることがなく、その結果、化学量論組成のルテニウム複合酸化物を得ることができる。
【００２０】
抵抗体ペーストを製造するには、前述の方法でルテニウム複合酸化物を作製した後、これを導電性材料として、ガラス組成物及び必要に応じて添加物とともに有機ビヒクルと混合すればよい。ここで、導電性材料であるルテニウム複合酸化物は、絶縁体であるガラス中に分散されることで、構造物である厚膜抵抗体に必要な導電性を付与する役割を持ち、１０ｋΩ／□以上の高い抵抗値が実現される。
【００２１】
抵抗体ペースト中の導電性材料の含有量は、ガラス組成物、導電性材料、及び添加物の合計重量を１００重量％とした場合に、９．４重量％〜５３．３重量％とするのが好ましい。導電性材料の含有量が前記範囲を下回る場合、抵抗値が高くなりすぎてしまい、抵抗体ペーストとしての使用に適さなくなるおそれがある。逆に、導電性材料の含有量が前記範囲を越えると、ガラス組成物による導電性材料の結着が不十分になり、信頼性が低下するおそれがある。
【００２２】
ガラス組成物は、その組成は特に限定されないが、本発明では環境保全上、鉛を実質的に含まない鉛フリーのガラス組成物を用いることが好ましい。なお、本発明において、「鉛を実質的に含まない」とは、不純物レベルとは言えない量を越える鉛を含まないことを意味し、不純物レベルの量（例えば、ガラス組成物中の含有量が０．０５重量％以下程度）であれば含有されていてもよい趣旨である。鉛は、不可避不純物として極微量程度に含有されることがある。
【００２３】
ガラス組成物は、抵抗体とされたとき、抵抗体中で導電性材料及び添加物を基板と結着させる役割を持つ。ガラス組成物は、原料として、ガラス形成酸化物成分、修飾酸化物成分等を混合して用いることができる。ガラス形成酸化物成分としては、Ｂ2Ｏ3、ＳｉＯ2及びＰ2Ｏ5等を挙げることができる。修飾酸化物成分としては、具体的には、Ｎａ2Ｏ、Ｌｉ2Ｏ、Ｋ2Ｏ等のアルカリ金属酸化物、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯ等のアルカリ土類酸化物、Ａｌ2Ｏ3、ＴｉＯ2、ＺｎＯ等の中間酸化物等を挙げることができる。また、必要に応じて、前記修飾酸化物成分の他、任意の金属酸化物をガラス原料として添加することもできる。具体的な金属酸化物としては、例えばＺｒＯ2、ＣｕＯ、ＮｉＯ、ＣｏＯ、ＭｎＯ、Ｃｒ2Ｏ3、Ｖ2Ｏ5、ＭｇＯ、ＳｎＯ2、Ｙ2Ｏ3、Ｆｅ2Ｏ3等を挙げることができ、ガラス化し得る範囲内であれば、これらの添加量に特別な制限はない。
【００２４】
ガラス組成物における各成分の含有量にはそれぞれ最適範囲が存在し、例えば修飾酸化物成分の含有量が少なすぎると、導電性材料との反応性が低下し、ＴＣＲ、ＳＴＯＬ特性を劣化させるおそれがある。逆に、修飾酸化物成分の含有量が多すぎる場合、抵抗体を形成した時に、過剰な金属酸化物の析出が起こり、特性、信頼性を劣化させるおそれがある。ガラス形成酸化物成分の含有量が少ない場合、ガラス組成物の軟化点が高くなるため、所定の焼成温度にて抵抗体を形成した場合、抵抗体の焼結が不十分となり、信頼性を著しく低下させるおそれがある。逆に、ガラス形成酸化物成分の含有量が多すぎる場合、ガラス組成物の耐水性が低下するため、抵抗体としたときの信頼性を著しく低下させるおそれがある。
【００２５】
抵抗体ペースト中のガラス組成物の含有量は、導電性材料、ガラス組成物、添加物の合計の重量を１００重量％とした時に、４７．７重量％〜９０．６重量％とするのが好ましい。含有量が少ない場合、導電性材料、添加物の結着が不十分となり、信頼性が著しく低下するおそれがある。逆に、ガラス組成物の含有量が前記範囲を越えると、抵抗値が高くなり過ぎてしまい、抵抗体ペーストとしての使用に適さなくなるおそれがある。
【００２６】
抵抗体ペーストには、前述のガラス組成物、導電性材料の他、特性の調整等を目的として、添加物が含まれていてもよい。抵抗体ペーストにおける添加物の含有量は、ガラス組成物、導電性材料、及び添加物の合計重量を１００重量％とした場合に、０〜２７．２重量％とするのが好ましく、１．０重量％〜２７．２重量％とするのがより好ましい。添加物の含有量が少ない場合、十分な特性の調整が困難となる。逆に、添加物の含有量が多すぎる場合、導電性材料、添加物の結着が不十分となり、信頼性が著しく低下するおそれがある。
【００２７】
添加物としては、任意の金属酸化物を用いることができる。具体的には、ＭｇＯ、ＴｉＯ2、ＳｎＯ2、ＺｎＯ、ＣｏＯ、ＣｕＯ、ＮｉＯ、ＭｎＯ、Ｍｎ3Ｏ4、Ｆｅ2Ｏ3、Ｃｒ2Ｏ3、Ｙ2Ｏ3、Ｖ2Ｏ5等が挙げられる。中でも、ＴＣＲ調整剤として効果の高い酸化物であるＣｕＯ、ＮｉＯ、ＭｇＯが好ましい。それぞれの添加物の含有量が多すぎる場合、ＳＴＯＬ特性が劣化するおそれがある。
【００２８】
有機ビヒクルは、ガラス組成物、導電性材料と添加物とを混練しペースト化させる役割を有し、この種の抵抗体ペーストに用いられるものがいずれも使用可能である。有機ビヒクルは、バインダを有機溶剤中に溶解することによって調製されるものである。バインダとしては、特に限定されず、例えば、エチルセルロース、ポリビニルブチラール等、各種バインダから適宜選択すればよい。有機溶剤も限定されず、テルピネオール、ブチルカルビトール、アセトン、トルエン等、各種有機溶剤から適宜選択すればよい。さらに、抵抗体ペーストの物性を調節するために、分散剤等の各種添加剤を加えてもよい。
【００２９】
前記有機ビヒクルの配合比率であるが、ガラス組成物、導電性材料、及び添加物を合計した合計重量（Ｗ１）と、有機ビヒクルの重量（Ｗ２）の比率（Ｗ２／Ｗ１）が、０．２５〜４（Ｗ２：Ｗ１＝１：０．２５〜１：４）であることが好ましい。より好ましくは、前記比率（Ｗ２／Ｗ１）が０．５〜２である。前記比率を外れると、抵抗体を例えば基板上に形成するのに適した粘度の抵抗体ペーストを得ることができなくなるおそれがある。
【００３０】
前述の導電性材料（ルテニウム複合酸化物）、ガラス組成物、添加物を有機ビヒクルに分散させ、抵抗体ペーストを調製するが、このとき、分散方法は特に限定されず、例えば３本ロール等で混練すればよい。
【００３１】
抵抗体を形成するには、前述の成分を含む抵抗体ペーストを例えば基板上にスクリーン印刷等の手法で印刷（塗布）し、８５０℃程度の温度で焼成すればよい。基板としては、Ａｌ2Ｏ3基板やＢａＴｉＯ3基板の誘電体基板や、低温焼成セラミック基板、ＡｌＮ基板等を用いることができる。基板形態としては、単層基板、複合基板、多層基板のいずれであってもよい。多層基板の場合、抵抗体は、表面に形成してもよいし、内部に形成してもよい。
【００３２】
抵抗体の形成に際しては、通常、基板に電極となる導電パターンを形成するが、この導電パターンは、例えば、ＡｇやＰｔ、Ｐｄ等を含むＡｇ系の良導電材料を含む導電ペーストを印刷することにより形成することができる。また、形成した抵抗体の表面に、ガラス膜等の保護膜を形成してもよい。
【００３３】
本発明の抵抗体を適用可能な電子部品としては特に限定されないが、例えば単層または多層の回路基板、チップ抵抗器等の抵抗器、アイソレータ素子、Ｃ−Ｒ複合素子、モジュール素子の他、積層チップコンデンサ等のコンデンサやインダクタ等が挙げられ、コンデンサやインダクタ等の電極部分にも適用することができる。
【実施例】
【００３４】
以下、本発明を適用した具体的な実施例について、実験結果に基づいて説明する。なお、本発明が以下の実施例に限定されるものでないことは言うまでもない。
【００３５】
実施例１
ＣａＯ：ＲｕＯ2＝４９：５１（モル％）になるようにＣａＣＯ3とＲｕＯ2を秤量し、湿式法にてボールミルで混合し、乾燥した後、混合粉を１４５０℃で５時間反応させ、ＣａＲｕＯ3を得た。得られたＣａＲｕＯ3反応粉を湿式法にてボールミルで粉砕し、ＣａＲｕＯ3微粉末を得た。このＣａＲｕＯ3微粉末をＸ線回折により調べた。
【００３６】
次に、前記ＣａＲｕＯ3微粉末とＣａＯガラス（ＣａＣＯ3３４モル％、Ｂ2Ｏ3３６モル％、ＳｉＯ2２５モル％、ＺｒＯ2５モル％）を、比率が１５：８５（体積％）となるように配合し、有機ビヒクル中に分散して抵抗体ペーストを得た。この抵抗体ペーストを導体が形成されたアルミナ基板上に所定の形状（１ｍｍ×１ｍｍの方形状）に印刷し、８５０℃で焼き付け、抵抗体を形成した。形成された抵抗体について、初期抵抗値と信頼性試験後の抵抗値を測定し、変化率を算出した。なお、信頼性試験の条件は、温度８５℃、相対湿度８５％で１０００時間とした。
【００３７】
実施例２
ＣａＯ：ＲｕＯ2＝４７：５３（モル％）になるようにＣａＣＯ3とＲｕＯ2を秤量した他は実施例１と同様にしてＣａＲｕＯ3微粉末を作製し、Ｘ線回折により調べた。また、このＣａＲｕＯ3微粉末を用いて実施例１と同様に抵抗体を形成し、形成された抵抗体について、初期抵抗値と信頼性試験後の抵抗値を測定し、変化率を算出した。
【００３８】
比較例１
ＣａＯ：ＲｕＯ2＝５０：５０（モル％）になるようにＣａＣＯ3とＲｕＯ2を秤量し、熱処理条件を１３９０℃、５時間とした他は、実施例１と同様にしてＣａＲｕＯ3微粉末を作製し、Ｘ線回折により調べた。また、このＣａＲｕＯ3微粉末を用いて実施例１と同様に抵抗体を形成し、形成された抵抗体について、初期抵抗値と信頼性試験後の抵抗値を測定し、変化率を算出した。
【００３９】
比較例２
ＣａＯ：ＲｕＯ2＝５１：４９（モル％）になるようにＣａＣＯ3とＲｕＯ2を秤量し、熱処理条件を１３９０℃、５時間とした他は、実施例１と同様にしてＣａＲｕＯ3微粉末を作製し、Ｘ線回折により調べた。また、このＣａＲｕＯ3微粉末を用いて実施例１と同様に抵抗体を形成し、形成された抵抗体について、初期抵抗値と信頼性試験後の抵抗値を測定し、変化率を算出した。
【００４０】
前記実施例１，２及び比較例１，２について、Ｘ線回折結果及び抵抗体の抵抗値及び変化率の測定結果を表１に示す。なお、Ｘ線回折結果は、ピークが認められた場合を○、ピークが認められなかった場合を×で示してある。また、抵抗値は、３０個の試料の平均値である。
【００４１】
【表１】
2005206397.tif 000002
【００４２】
この表１から明らかなように、ＲｕＯ2を化学量論組成よりも過剰にし、１４００℃以上で熱処理した実施例１，２では、ＲｕＯ2やＣａＣＯ3が残存することなく、ＣａＲｕＯ3の単一相が得られており、これを用いた抵抗体では、高抵抗値を有し、信頼性試験の前後で抵抗値の変化がほとんど認められなかった。これに対して、原料組成を化学量論組成とし、熱処理温度が低い比較例１では、ＲｕＯ2やＣａＣＯ3が残存し、特にＲｕＯ2の影響で、抵抗値が著しく低くなっている。比較例２のように、ＣａＣＯ3を過剰にすることで、ＲｕＯ2の残存が解消され、抵抗値は高くなっているが、ＣａＣＯ3が残存し、信頼性試験の前後で抵抗値の変化が大きい。
【００４３】
実施例３
ＢａＯ：ＲｕＯ2＝４９：５１（モル％）になるようにＢａＣＯ3とＲｕＯ2を秤量し、熱処理条件を１４５０℃、５時間とした他は、実施例１と同様にしてＢａＲｕＯ3微粉末を作製し、Ｘ線回折により調べた。また、このＢａＲｕＯ3微粉末を用いて実施例１と同様に抵抗体を形成し、形成された抵抗体について、初期抵抗値と信頼性試験後の抵抗値を測定し、変化率を算出した。
【００４４】
実施例４
ＳｒＯ：ＲｕＯ2＝４９：５１（モル％）になるようにＳｒＣＯ3とＲｕＯ2を秤量し、熱処理条件を１４５０℃、５時間とした他は、実施例１と同様にしてＳｒＲｕＯ3微粉末を作製し、Ｘ線回折により調べた。また、このＳｒＲｕＯ3微粉末を用いて実施例１と同様に抵抗体を形成し、形成された抵抗体について、初期抵抗値と信頼性試験後の抵抗値を測定し、変化率を算出した。
【００４５】
前記実施例３，４について、Ｘ線回折結果及び抵抗体の抵抗値及び変化率の測定結果を表２に示す。
【００４６】
【表２】
2005206397.tif 000003
【００４７】
実施例３，４においても、ＲｕＯ2を化学量論組成よりも過剰にし、１４００℃以上で熱処理することで、ＢａＲｕＯ3、あるいはＳｒＲｕＯ3の単一相が得られており、これらルテニウム複合酸化物を用いることで、高抵抗で抵抗値の安定した抵抗体が得られている。