(57)【要約】      （修正有）【課題】流体中からパーティクルや金属イオンなどを除去するフィルターユニットにおいて、濾過面積の減少を阻止し、フィルターの寿命を伸ばす。【解決手段】逆さに伏したカップ状をなし、下部が底板１によって閉塞されたフィルター濾過部２と、前記フィルター濾過部２の外周及び上部に空間３が形成される様にこのフィルター濾過部２の外側を覆ったフィルターケース４とからなり、フィルター濾過部２内の空間２３に直接導通した液出入口６及び空間３に直接導通した液出入口７が、フィルターケース４の下部側面にそれぞれ設けられているフィルターユニットにおいて、フィルター濾過部２が取付けられている底板１を貫通して空間２３内にたまったエアーを抜く為のエアー抜きパイプ１４がフィルター濾過部２内の空間２３に挿入されており、該エアー抜きパイプ１４の先端開口部１５がフィルター濾過部２の空間２３内において、その上面１６近傍に位置している。【選択図】図２
2005246250.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
逆さに伏したカップ状をなし、下部が底板１によって閉塞されたフィルター濾過部２と、前記フィルター濾過部２の外周及び上部に空間３が形成される様にこのフィルター濾過部２の外側を覆ったフィルターケース４とからなり、フィルター濾過部２内の空間２３に直接導通した液出入口６及び空間３に直接導通した液出入口７が、フィルターケース４の下部側面にそれぞれ設けられているフィルターユニットにおいて、フィルター濾過部２が取付けられている底板１を貫通して空間２３内にたまったエアーを抜く為のエアー抜きパイプ１４がフィルター濾過部２内の空間２３に挿入されており、該エアー抜きパイプ１４の先端開口部１５がフィルター濾過部２の空間２３内において、その上面１６近傍に位置していることを特徴とするフィルターユニット。
【請求項２】
底板１とフィルターケース４とが一体であることを特徴とする請求項１記載のフィルターユニット。
【請求項３】
エアー抜きパイプ１４にポンプ１８が付設されていることを特徴とする請求項１記載のフィルターユニット。
【請求項４】
エアー抜きパイプ１４にアスピレーター１９が付設されていることを特徴とする請求項１記載のフィルターユニット。
【請求項５】
エアー抜きパイプ１４に手動又は自動にて開閉制御可能なバルブ２１が付設されていることを特徴とする請求項１記載のフィルターユニット。
【請求項６】
アスピレーター１９に接続されたエアー導入パイプ２０及び排出側パイプ２２の片方又は両方に手動又は自動にて開閉制御可能なバルブ２１が付設されていることを特徴とする請求項４記載のフィルターユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明はフィルターユニット、詳しくはパーティクルや金属イオンなどを流体中から
除去するフィルターユニットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
洗浄液等の流体からパーティクルや金属イオンなどの異物を除去するフィルターユニッ
トは、各種産業分野において広く使用されている。図１は従来から用いられているフィル
ターユニットの一例の断面図であり、このフィルターユニットにおいては、逆さに伏されたカップ状をなし、底板１によって下方が閉塞されたフィルター濾過部２は、その外周及び上方に空間３が形成される様にドーム状をしたフィルターケース４によって覆われており、このフィルターケース４の頂部には、エアー抜き孔１２が設けられており、このエアー抜き孔１２にはエアー抜きパイプ５が連接されている。一方、フィルター濾過部２の下部側面には液出入口６が、フィルターケース４の下部側面には液出入口７がそれぞれ設けられており、これら液出入口６、７には液出入パイプ８、９が連通せしめられている。更に、フィルター濾過部２の底板１及びフィルターケース４の下面にはドレーン孔１０がそれぞれ設けられており、このドレーン孔１０にはドレーンパイプ１１が連通せしめられている。
【０００３】
この従来のフィルターユニットにおいては、処理対象である液体を液出入口６又は７のどちらか一方からフィルターユニット内に送り込んで濾過作業を行い、他方の液出入口６又は７から外部に排出するのであるが、フィルター濾過部２に設けられた液出入口６から液体を送り込む場合には、送り込まれた流体はフィルター濾過部２の内側から外側へ透過し、フィルター濾過部２とフィルターケース４との間に形成されている空間３を通って液出入口７から外部へ排出される。
【特許文献１】見当たらず。
【非特許文献１】見当たらず。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この従来のフィルターユニットにおいては、流体中に溶解している気体が、フィルター濾過部２の空間２３内において溶出し、これによってフィルター濾過部２の濾過面積が徐々に減少し、フィルター濾過部２の寿命が短くなるという問題があった。本発明は流体を濾過するフィルターユニットの上記欠点を除去することを目的とするものであり、フィルターユニット内において流体から溶出した気体を速かに外部に排出し、フィルター濾過部２の濾過面積の減少を抑制し、フィルター濾過部２の寿命を延伸ばすことが出来る新しいフィルターユニットを提供せんとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
逆さに伏したカップ状をなし、下部が底板１によって閉塞されたフィルター濾過部２と、前記フィルター濾過部２の外周及び上部に空間３が形成される様にこのフィルター濾過部２の外側を覆ったフィルターケース４とからなり、フィルター濾過部２内の空間２３に直接導通した液出入口６及び空間３に直接導通した液出入口７が、フィルターケース４の下部側面にそれぞれ設けられているフィルターユニットにおいて、フィルター濾過部２が取付けられている底板１を貫通して空間２３内にたまったエアーを抜く為のエアー抜きパイプ１４をフィルター濾過部２内の空間２３に挿入し、該エアー抜きパイプ１４の先端開口部１５をフィルター濾過部２の空間２３内において、その上面１６近傍に位置させることにより上記課題を解決した。
【発明の効果】
【０００６】
この発明に係るフィルターユニットにおいては、フィルター濾過部２の空間内にエアー抜きパイプ１４が挿入されているので、空間２３において流体から溶出した気体は流体圧によりこのエアー抜きパイプ１４によって速やかに外部に排出することが出来、この気体による濾過面積の減少が阻止され、フィルター濾過部２の寿命を伸ばすことが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
フィルター濾過部２の空間２３内にエアー抜きパイプ１４を挿入した点に最も大きな特徴があり、これによってフィルター濾過部２内において液体から溶出した気体は速かに外部へ排出されることになる。
【実施例１】
【０００８】
図２はこの発明に係るフィルターユニットの一実施例の断面図である。図中２は、逆さに伏したカップ状をなしたフィルター濾過部であり、下部が底板１によって閉塞されており、その内部は空間２３となっている。又、４はフィルターケースであり、前記フィルター濾過部２の外周及び上部との間に空間３が形成される様に、フィルター濾過部２の外側を覆っており、フィルター濾過部２と共通の底板１によってその下部が閉塞されている。そして、フィルター濾過部２の下部側面には空間２３に直接導通した液出入口６が、フィルターケース４の下部側面には空間３に直接導通した液出入口７が、それぞれ設けられており、これら液出入口６、７には液出入パイプ８、９が接続されている。なお、底板１とフィルターケース４とは一体であっても良い。
【０００９】
更に、前記フィルターケース４の頂部にはエアー抜き孔１２が形成されており、このエアー抜き孔１２にはエアー抜きパイプ５が連接している。又、フィルターケース４の下部の底板１にはドレーン孔１０が形成されており、このドレーン孔１０にはドレーンパイプ１１が連接されている。なお、上記構成は従来のフィルターユニットと基本的に同一である。
【００１０】
一方、この実施例において、１４はエアー抜きパイプであり、フィルター濾過部２の下方からその底板１を貫通してフィルター濾過部２の空間２３内に挿入されており、その先端開口部１５はフィルター濾過部２の上面１６の内側近傍に位置せしめられている。
【００１１】
この実施例１は上記の通りの構成を有するものであり、処理対象である流体の濾過作業実施の際は、液出入口６又は７のどちらか一方から流体を装置内に送り込み、フィルター濾過部２によってパーティクルや金属イオンなどを除去し、もう一方の液出入口６又は７から外部に排出するのであるが、液出入口６から液体を送り込み、液出入口７から外部に排出する場合には、液出入口６からフィルター濾過部２内の空間２３に送り込まれた流体は、フィルター濾過部２の壁面を透過し、フィルター濾過部２とフィルターケース４との間に形成された空間３に達し、液出入口７から外部へ排出される。
【００１２】
この際、フィルター濾過部２内の空間２３において、流体中からはその中に溶解していた気体が溶出するが、溶出した気体は濾過作業の継続に伴い空間２３の上部に徐々に滞溜蓄積される。そして、この様にして空間２３内に滞溜蓄積された気体は、空間２３内の流体圧により、エアー抜きパイプ１４の先端開口部１５からエアー抜きパイプ１４に流入し、これを通って外部に排出される。
【００１３】
従って、フィルター濾過部２の空間２３内の気体は速やかに外部に排出され、流体から溶出する気体による濾過面積の減少は阻止される。なお、フィルター濾過部２とフィルターケース４との間に形成されている空間３内において溶出した気体はエアー抜き孔１２から外部に排出される。逆に、液出入口７から流体を送り込み、液出入口６から外部に排出する場合にも、前述の場合と同様に、空間３内において溶出した気体はエアー抜き孔１２から、外部に排出され、空間２３内において溶出した気体はエアー抜きパイプ１４の先端開口部１５から同様に外部に排出され、流体から溶出した気体による濾過面積の減少は阻止されることになる。
【実施例２】
【００１４】
図３はこの発明に係るフィルターユニットの実施例２を示すものであり、この実施例においては、エアー抜きパイプ１４にポンプ１８が付設されており、このポンプ１８を駆動することにより、空間２３に滞溜した気体をより速やかに排出できる様になっている。
【実施例３】
【００１５】
図４はこの発明に係るフィルターユニットの実施例３を示すものであり、この実施例においては、エアー抜きパイプ１４にアスピレーター１９が付設されており、このアスピレーター１９によって空間２３に滞溜した気体をより速やかに排出できる様になっている。なお、図中２０はアスピレーター１９のエアー導入パイプ、２２は排出側パイプである。
【実施例４】
【００１６】
図５はこの発明に係るフィルターユニットの実施例４を示すものであり、この実施例においては、エアー抜きパイプ１４に手動又は自動にて開閉制御可能なバルブ２１が付設されており、必要に応じて外部制御により空間２３内に滞溜した気体を排出できる様になっている。なお、このバルブ２１は図６に示す様に、ポンプ１８と直列状に付設しても良く、更には図７に示す様に、アスピレーター１９のエアー導入パイプ２０及びアスピレーター１９の排出側パイプ２２に付設しても良く、この様にすることにより、実施例２及び３においても、空間２３内に滞溜した気体の外部制御による排出が可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００１７】
半導体基板やガラス基板等各種基板の洗浄工程などにおいて高い利用価値を有する。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】従来のフィルターユニットの一実施例の断面図。
【図２】この発明に係るフィルターユニットの実施例１の断面図。
【図３】この発明に係るフィルターユニットの実施例２の断面図。
【図４】この発明に係るフィルターユニットの実施例３の断面図。
【図５】この発明に係るフィルターユニットの実施例４の断面図。
【図６】図３に示すこの発明の実施例２にバルブ２１を付設した状態の断面図。
【図７】図４に示すこの発明の実施例３にバルブ２１を付設した状態の断面図。
【符号の説明】
【００１９】
１    底板
２    フィルター濾過部
３    空間
４    フィルターケース
５    エアー抜きパイプ
６    液出入口
７    液出入口
８    液出入パイプ
９    液出入パイプ
１０    ドレーン孔
１１    ドレーンパイプ
１２    エアー抜き孔
１４    エアー抜きパイプ
１５    先端開口部
１６    上面
１８    ポンプ
１９    アスピレーター
２０    エアー導入パイプ
２１    バルブ
２２    排出側パイプ  
２３    空間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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