(57)【要約】【課題】  搬送負荷状況をユーザーに提示することが可能な搬送状況提示システム等を提供すること。【解決手段】  異なる場所に設けられた複数の一時貯留装置において発生する複数種のイベントを検出するイベント検出装置からイベント情報を受信するとともに、ＰＣへ向け搬送負荷表示情報を送信する通信部１１０と、ロットの状況を示すロット状況データ１４２と、一時貯留装置の状況を示す貯留状況データ１４４を記憶する記憶部１４０と、イベント情報に基づき、ロット状況データ１４２と貯留状況データ１４４を更新する更新部１３０と、ロット状況データ１４２と、貯留状況データ１４４に基づき、ロットの搬送状況をユーザーに提示するための搬送負荷表示情報を生成する情報生成部１２０とを含んでサーバー１００を構成する。【選択図】      図３
2005206328.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
異なる場所に設けられた複数の一時貯留装置間で搬送されるロットの搬送状況を提示する搬送状況提示システムにおいて、
前記一時貯留装置において発生するロットの搬送に関する複数種のイベントを検出するイベント検出手段と、
各ロットの搬送状況を示すロット状況データを記憶する記憶手段と、
前記イベント検出手段によって検出されたイベントに基づき、前記ロット状況データを更新する更新手段と、
前記ロット状況データに基づき、ロットの搬送負荷状況を示す画像をユーザーに提示する状況提示手段と、
を含み、
前記ロット状況データは、ロットごとのイベントの遷移を示すデータを含み、
前記状況提示手段は、当該イベントの遷移を示すデータに基づき、ロットが、搬送中、搬送待ちのいずれの状態にあるかを判定し、前記搬送負荷状況を示す画像として、所定時点における対象ロットの状態を示す画像を表示することを特徴とする搬送状況提示システム。
【請求項２】
請求項１において、
前記複数種のイベントは、所定の一時貯留装置から異なる一時貯留装置へ向けロットが送られたことを示す貯留装置間搬送中イベント、異なる一時貯留装置から所定の一時貯留装置にロットが到着したことを示すロット到着イベント、前記一時貯留装置からロットの処理装置へ向けロットが送られたことを示す処理装置搬送イベント、前記処理装置から前記一時貯留装置にロットが到着したことを示す処理完了イベントを含み、
前記記憶手段は、前記複数の一時貯留装置におけるロットの貯留状況を示す貯留状況データを記憶し、
前記更新手段は、前記イベント検出手段によって検出されたイベントに基づき、前記貯留状況データを更新し、
前記状況提示手段は、前記イベントの遷移を示すデータと、前記貯留状況データとに基づき、ロットが、搬送先の一時貯留装置が空くことを待っている状態を示す受付中、前記搬送中、前記搬送待ちのいずれの状態にあるかを判定し、前記搬送負荷状況を示す画像を表示することを特徴とする搬送状況提示システム。
【請求項３】
請求項１、２のいずれかにおいて、
前記記憶手段は、各ロットに対して実行される処理工程を示す工程データを記憶し、
前記状況提示手段は、前記工程データに基づき、前記搬送負荷状況を予測して提示することを特徴とする搬送状況提示システム。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかにおいて、
前記状況提示手段は、全体のロット数と、搬送中の状態にあるロット数との比率に基づき、搬送負荷指数を演算し、
前記状況提示手段は、前記搬送負荷状況を示す画像として、前記搬送負荷指数を示す画像を表示することを特徴とする搬送状況提示システム。
【請求項５】
異なる場所に設けられた複数の一時貯留装置間で搬送されるロットの搬送状況を提示するためのプログラムであり、かつ、コンピュータにより読み取り可能なプログラムであって、
コンピュータを、
前記一時貯留装置において発生するロットの搬送に関する複数種のイベントを検出するイベント検出手段と、
各ロットの搬送状況を示すロット状況データを記憶する記憶手段と、
前記イベント検出手段によって検出されたイベントに基づき、前記ロット状況データを更新する更新手段と、
前記ロット状況データに基づき、ロットの搬送負荷状況を示す画像をユーザーに提示する状況提示手段として機能させ、
前記ロット状況データは、ロットごとのイベントの遷移を示すデータを含み、
前記状況提示手段は、当該イベントの遷移を示すデータに基づき、ロットが、搬送中、搬送待ちのいずれの状態にあるかを判定し、前記搬送負荷状況を示す画像として、所定時点における対象ロットの状態を示す画像を表示することを特徴とするプログラム。
【請求項６】
コンピュータにより読み取り可能なプログラムを記憶した情報記憶媒体であって、
請求項５に記載のプログラムを記憶したことを特徴とする情報記憶媒体。
【請求項７】
異なる場所に設けられ、ロットが搬送されて貯留される複数の一時貯留装置において、ロットの搬送に関する複数種のイベントを検出し、
検出したイベントに基づき、ロットごとのイベントの遷移を示すデータを含むロット状況データを更新し、
当該イベントの遷移を示すデータに基づき、ロットが、搬送中、搬送待ちのいずれの状態にあるかを判定し、搬送負荷状況を示す画像として、所定時点における対象ロットの状態を示す画像を表示することを特徴とする搬送状況提示方法。
【請求項８】
請求項７において、
前記複数種のイベントは、所定の一時貯留装置から異なる一時貯留装置へ向けロットが送られたことを示す貯留装置間搬送中イベント、異なる一時貯留装置から所定の一時貯留装置にロットが到着したことを示すロット到着イベント、前記一時貯留装置からロットの処理装置へ向けロットが送られたことを示す処理装置搬送イベント、前記処理装置から前記一時貯留装置にロットが到着したことを示す処理完了イベントを含み、
検出したイベントに基づき、前記複数の一時貯留装置におけるロットの貯留状況を示す貯留状況データを更新し、
前記イベントの遷移を示すデータと、前記貯留状況データとに基づき、ロットが、搬送先の一時貯留装置が空くことを待っている状態を示す受付中、前記搬送中、前記搬送待ちのいずれの状態にあるかを判定し、前記搬送負荷状況を示す画像を表示することを特徴とする搬送状況提示方法。
【請求項９】
請求項７、８のいずれかにおいて、
各ロットに対して実行される処理工程を示す工程データに基づき、前記搬送負荷状況を予測して提示することを特徴とする搬送状況提示方法。
【請求項１０】
請求項７〜９のいずれかにおいて、
全体のロット数と、搬送中の状態にあるロット数との比率に基づき、搬送負荷指数を演算し、
前記搬送負荷状況を示す画像として、前記搬送負荷指数を示す画像を表示することを特徴とする搬送状況提示方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送状況提示システムおよび方法、プログラム並びに情報記憶媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
物流を効率化するため、物品の自動格納を行う自動倉庫や、物品の自動倉庫間の搬送を行う自動搬送台車等の荷役設備機器を備えた物流設備の搬送状況や負荷状況等をリアルタイムにモニタリングする必要がある。
【０００３】
リアルタイムにモニタリングするためには、各機器からネットワークを介して稼働状況等のデータを取得して解析する必要がある。
【０００４】
例えば、特許文献１では、複数の物流システムを、ネットワークを介してネットワークサーバに接続し、各物流システムでの在庫や入出庫、物流の進捗状況、エラーの発生状況等を管理することが記載されている。
【特許文献１】特開２００１−２９７１４０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このように、従来のシステムは、搬送状況や稼働状況をモニタリングしているだけであったため、搬送の負荷状況を把握することはできなかった。
【０００６】
また、従来のシステムでは、一時点での搬送状況を提示するだけであった。このため、例えば、自動倉庫にロットが滞留している場合、ユーザーは、どのような理由でロットが滞留しているか把握することができず、対処をとりづらかった。
【０００７】
さらに、従来のシステムでは、搬送負荷を予測することはできなかった。このため、製造対象が変わることによって製造ラインの変更があった場合に、どこにどの程度の搬送負荷がかかるか予測することは困難であった。
【０００８】
本発明は、上記の課題に鑑みなされたものであり、その目的は、搬送負荷状況をユーザーに提示することが可能な搬送状況提示システムおよび方法、プログラム並びに情報記憶媒体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するため、本発明に係る搬送状況提示システムは、異なる場所に設けられた複数の一時貯留装置間で搬送されるロットの搬送状況を提示する搬送状況提示システムにおいて、
前記一時貯留装置において発生するロットの搬送に関する複数種のイベントを検出するイベント検出手段と、
各ロットの搬送状況を示すロット状況データを記憶する記憶手段と、
前記イベント検出手段によって検出されたイベントに基づき、前記ロット状況データを更新する更新手段と、
前記ロット状況データに基づき、ロットの搬送負荷状況を示す画像をユーザーに提示する状況提示手段と、
を含み、
前記ロット状況データは、ロットごとのイベントの遷移を示すデータを含み、
前記状況提示手段は、当該イベントの遷移を示すデータに基づき、ロットが、搬送中、搬送待ちのいずれの状態にあるかを判定し、前記搬送負荷状況を示す画像として、所定時点における対象ロットの状態を示す画像を表示することを特徴とする。
【００１０】
また、本発明に係るプログラムは、異なる場所に設けられた複数の一時貯留装置間で搬送されるロットの搬送状況を提示するためのプログラムであり、かつ、コンピュータにより読み取り可能なプログラムであって、
コンピュータを、
前記一時貯留装置において発生するロットの搬送に関する複数種のイベントを検出するイベント検出手段と、
各ロットの搬送状況を示すロット状況データを記憶する記憶手段と、
前記イベント検出手段によって検出されたイベントに基づき、前記ロット状況データを更新する更新手段と、
前記ロット状況データに基づき、ロットの搬送負荷状況を示す画像をユーザーに提示する状況提示手段として機能させ、
前記ロット状況データは、ロットごとのイベントの遷移を示すデータを含み、
前記状況提示手段は、当該イベントの遷移を示すデータに基づき、ロットが、搬送中、搬送待ちのいずれの状態にあるかを判定し、前記搬送負荷状況を示す画像として、所定時点における対象ロットの状態を示す画像を表示することを特徴とする。
【００１１】
また、本発明に係る情報記憶媒体は、コンピュータにより読み取り可能なプログラムを記憶した情報記憶媒体であって、
上記プログラムを記憶したことを特徴とする。
【００１２】
また、本発明に係る搬送状況提示方法は、異なる場所に設けられ、ロットが搬送されて貯留される複数の一時貯留装置において、ロットの搬送に関する複数種のイベントを検出し、
検出したイベントに基づき、ロットごとのイベントの遷移を示すデータを含むロット状況データを更新し、
当該イベントの遷移を示すデータに基づき、ロットが、搬送中、搬送待ちのいずれの状態にあるかを判定し、搬送負荷状況を示す画像として、所定時点における対象ロットの状態を示す画像を表示することを特徴とする。
【００１３】
本発明によれば、搬送状況提示システム等は、一時貯留装置におけるイベントを検出し、当該イベントの遷移を示すデータに基づいてロットの搬送状態を判定することができる。これにより、搬送状況提示システム等は、実際の搬送の負荷状況をユーザーに提示することができる。
【００１４】
また、前記搬送状況提示システム、前記プログラムおよび前記情報記憶媒体において、前記複数種のイベントは、所定の一時貯留装置から異なる一時貯留装置へ向けロットが送られたことを示す貯留装置間搬送中イベント、異なる一時貯留装置から所定の一時貯留装置にロットが到着したことを示すロット到着イベント、前記一時貯留装置からロットの処理装置へ向けロットが送られたことを示す処理装置搬送イベント、前記処理装置から前記一時貯留装置にロットが到着したことを示す処理完了イベントを含み、
前記記憶手段は、前記複数の一時貯留装置におけるロットの貯留状況を示す貯留状況データを記憶し、
前記更新手段は、前記イベント検出手段によって検出されたイベントに基づき、前記貯留状況データを更新し、
前記状況提示手段は、前記イベントの遷移を示すデータと、前記貯留状況データとに基づき、ロットが、搬送先の一時貯留装置が空くことを待っている状態を示す受付中、前記搬送中、前記搬送待ちのいずれの状態にあるかを判定し、前記搬送負荷状況を示す画像を表示してもよい。
【００１５】
また、前記搬送状況提示方法では、前記複数種のイベントは、所定の一時貯留装置から異なる一時貯留装置へ向けロットが送られたことを示す貯留装置間搬送中イベント、異なる一時貯留装置から所定の一時貯留装置にロットが到着したことを示すロット到着イベント、前記一時貯留装置からロットの処理装置へ向けロットが送られたことを示す処理装置搬送イベント、前記処理装置から前記一時貯留装置にロットが到着したことを示す処理完了イベントを含み、
検出したイベントに基づき、前記複数の一時貯留装置におけるロットの貯留状況を示す貯留状況データを更新し、
前記イベントの遷移を示すデータと、前記貯留状況データとに基づき、ロットが、搬送先の一時貯留装置が空くことを待っている状態を示す受付中、前記搬送中、前記搬送待ちのいずれの状態にあるかを判定し、前記搬送負荷状況を示す画像を表示してもよい。
【００１６】
これによれば、搬送状況提示システム等は、貯留状況データに基づいて搬送負荷状況を示す画像を表示することにより、搬送負荷状況をより詳細にユーザーに提示することができる。より具体的には、搬送状況提示システム等は、例えば、一時貯留装置にロットが滞留している場合、搬送先の一時貯留装置が空くことを待っているために滞留しているのか、単なる搬送待ちで待っているのかユーザーに提示することができる。これにより、ユーザーは、搬送負荷状況に応じてより適切に対処することができる。
【００１７】
また、前記搬送状況提示システム、前記プログラムおよび前記情報記憶媒体において、前記記憶手段は、各ロットに対して実行される処理工程を示す工程データを記憶し、
前記状況提示手段は、前記工程データに基づき、前記搬送負荷状況を予測して提示してもよい。
【００１８】
また、前記搬送状況提示方法では、各ロットに対して実行される処理工程を示す工程データに基づき、前記搬送負荷状況を予測して提示してもよい。
【００１９】
これによれば、搬送状況提示システム等は、搬送待ち等のロットの状態と当該ロットの処理工程を把握することができるため、例えば、処理工程が変更された場合であっても、搬送の負荷状況を予測してユーザーに提示することができる。
【００２０】
また、前記搬送状況提示システム、前記プログラムおよび前記情報記憶媒体において、前記状況提示手段は、全体のロット数と、搬送中の状態にあるロット数との比率に基づき、搬送負荷指数を演算し、
前記状況提示手段は、前記搬送負荷状況を示す画像として、前記搬送負荷指数を示す画像を表示してもよい。
【００２１】
また、前記搬送状況提示方法では、全体のロット数と、搬送中の状態にあるロット数との比率に基づき、搬送負荷指数を演算し、
前記搬送負荷状況を示す画像として、前記搬送負荷指数を示す画像を表示してもよい。
【００２２】
これによれば、搬送状況提示システム等は、搬送負荷指数を示す画像を表示することができるため、例えば、時間帯ごとの搬送負荷指数の変化を表示したり、搬送負荷指数が所定値を超えた場合に警告表示したりすることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明を、半導体製造工場におけるロットの搬送状況を提示する搬送状況提示システムに適用した場合を例に採り、図面を参照しつつ説明する。なお、以下に示す実施形態は、特許請求の範囲に記載された発明の内容を何ら限定するものではない。また、以下の実施形態に示す構成の全てが、特許請求の範囲に記載された発明の解決手段として必須であるとは限らない。
【００２４】
（システム全体の説明）
図１は、本実施形態の一例に係るシステム全体の概略図である。
【００２５】
本システムは、ロットを一時的に貯留する一時貯留装置５００と、一時貯留装置５００からロットを受け取ってロットに対して所定の処理を行う処理装置６００と、一時貯留装置５００において発生するロットの搬送に関する４種類のイベントＥ１〜Ｅ４を検出する検出装置４００とを含んで構成されている。
【００２６】
なお、ここで、ロットとは、処理単位の１種であり、例えば、半導体製造工場の場合、同種のウエハーをまとめたものがロットとして取り扱われる。また、イベントＥ１は、異なる一時貯留装置から一時貯留装置５００にロットが到着したことを示すロット到着イベントである。また、イベントＥ２は、一時貯留装置６００からロットの処理装置６００へ向けロットが送られたことを示す処理装置搬送イベントである。また、イベントＥ３は、処理装置６００から一時貯留装置５００にロットが到着したことを示す処理完了イベントである。また、イベントＥ４は、一時貯留装置５００から異なる一時貯留装置へ向けロットが送られたことを示す貯留装置間搬送中イベントである。
【００２７】
また、本システムは、検出装置４００によって検出されたイベントに関する情報を、ネットワーク３００を介して受信して搬送負荷表示情報を生成するサーバー１００と、サーバー１００から搬送負荷表示情報を受信して搬送状況を表示するＰＣ２００とを含んで構成されている。
【００２８】
なお、実際には、検出装置４００、一時貯留装置５００および処理装置６００は、複数存在している。そして、自動搬送台車が一時貯留装置５００間のロットの搬送を行い、搬送用クレーンが一時貯留装置５００と処理装置６００間のロットの搬送を行うものと想定する。このような場合、検出装置４００は、例えば、自動搬送台車や搬送用クレーンの動作を検出することにより、上述したイベントＥ１〜Ｅ４を検出することができる。また、本実施例では、サーバー１００、ＰＣ２００および検出装置４００が搬送状況提示システムとして機能する。
【００２９】
次に、ＰＣ２００が表示する搬送負荷状況を示す画像について説明する。
【００３０】
図２は、本実施形態の一例に係る搬送負荷状況を示す画像の図である。
【００３１】
図２に示す画像では、工場全体における搬送中、搬送待ち、受付中の各状態で区分されたロット数が３０分ごとに時系列で表示されている。なお、ここで、受付中は、ロットが、搬送先の一時貯留装置が空くことを待っている状態を示す。また、この画像では、搬送負荷指数の変化が３０分ごとに時系列で表示されている。なお、図２の時系列の単位は３０分ごとの表示であるが、この単位はサーバーの設定により任意な時間単位を設定できる。
【００３２】
このように、本実施例における搬送状況提示システムによれば、実際の搬送状況や搬送負荷をユーザーに提示することができる。
【００３３】
次に、このような機能を実現するためのサーバー１００の機能ブロックについて説明する。
【００３４】
図３は、本実施形態の一例に係るサーバー１００の機能ブロック図である。
【００３５】
サーバー１００は、検出装置４００やＰＣ２００と情報を送受信する通信部１１０と、搬送負荷表示情報等を生成する情報生成部１２０と、種々のデータを記憶する記憶部１４０と、記憶部１４０内のデータを更新する更新部１３０とを含んで構成されている。
【００３６】
また、記憶部１４０は、ロットの搬送状況等を示すロット状況データ１４２と、一時貯留装置５００におけるロットの貯留状況を示す貯留状況データ１４４と、ロットの処理工程順序を示す工程データ１４６と、検出装置４００によって検出されたイベントを示すイベントデータ１４８を記憶する。
【００３７】
また、更新部１３０は、イベントデータ１４８に基づき、ロット状況データ１４２と、貯留状況データ１４４を更新する。
【００３８】
また、情報生成部１２０は、ロット状況データ１４２と、貯留状況データ１４４に基づき、ロットの搬送状況を、画像（画像と音声でもよい。）を用いてユーザーに提示する状況提示手段の一部として機能する。なお、ＰＣ２００のディスプレイも状況提示手段の一部として機能する。
【００３９】
次に、ロット状況データ１４２、貯留状況データ１４４、工程データ１４６およびイベントデータ１４８のデータ構造について説明する。
【００４０】
図４は、本実施形態の一例に係るロット状況データ１４２のデータ構造を示す模式図である。
【００４１】
ロット状況データ１４２は、検出装置４００によって検出されたロットごとのイベントが逐次記憶されるデータである。
【００４２】
ロット状況データ１４２の項目としては、例えば、ロットを識別するための「ロットＩＤ」、ロットの処理対象となる工程種別を示す「工程種別」、ロットの搬送状況を示す「状況」、ロットの現在位置を示す「現在位置」、発生した最新のイベントを示す「最新イベント」、最新イベントの直前に発生したイベントを示す「前イベント」、最新イベントの発生日時を示す「イベント発生日時」等が該当する。なお、「状況」としては、例えば、「搬送中」、「搬送待ち」、「受付中」等が該当する。
【００４３】
例えば、図４に示す例では、「ロットＩＤ」が「Ｌ００１」のロットは、「工程種別」が「Ｒ００１」、「状況」が「搬送中」、「現在位置」が一時貯留装置５００の１つである「ＳＴ１」、「最新イベント」が「Ｅ４」、「前イベント」が「Ｅ３」、「イベント発生日時」が２００３年１０月１０日１０時１０分１０秒となっていることが示されている。
【００４４】
このように、ロット状況データ１４２は、ロットごとのイベントの遷移を示すデータ（「最新イベント」および「前イベント」）を含む。また、ロット状況データ１４２の「状況」は、イベントの遷移に応じて決定される。
【００４５】
ロット状況データ１４２を用いることにより、サーバー１００は、各ロットの搬送状況等を把握することができる。
【００４６】
次に、貯留状況データ１４４のデータ構造について説明する。
【００４７】
図５は、本実施形態の一例に係る貯留状況データ１４４のデータ構造を示す模式図である。
【００４８】
貯留状況データ１４４は、複数の一時貯留装置５００におけるロットの貯留状況を示すデータである。
【００４９】
貯留状況データ１４４の項目としては、例えば、一時貯留装置５００を識別するための「貯留装置ＩＤ」、一時貯留装置５００に貯留されているロット数を示す「貯留ロット数」、一時貯留装置５００に貯留可能なロット数の最大値を示す「貯留可能ロット数」、一時貯留装置５００の貯留ロット数の警告値を示す「仮想貯留可能ロット数」、一時貯留装置５００と連携する処理装置６００で行われる処理を示す「処理」等が該当する。
【００５０】
例えば、図５に示す例では、「貯留装置ＩＤ」が「ＳＴ１」の一時貯留装置５００は、「貯留ロット数」が「５」で、「貯留可能ロット数」が「９」で、「仮想貯留可能ロット数」が「７」で、「処理」が「洗浄」となっていることが示されている。
【００５１】
貯留状況データ１４４を用いることにより、サーバー１００は、一時貯留装置５００におけるロットの貯留状況等を把握することができる。
【００５２】
次に、工程データ１４６のデータ構造について説明する。
【００５３】
図６は、本実施形態の一例に係る工程データ１４６のデータ構造を示す模式図である。
【００５４】
工程データ１４６は、各ロットに対して実行される処理工程を示すデータである。
【００５５】
工程データ１４６の項目としては、例えば、ロットの処理工程種別を示す「工程種別」、処理工程の実行順序を示す「工程順序」等が該当する。
【００５６】
例えば、図６に示す例では、「工程種別」が「Ｒ００１」の場合、ロットに対して、洗浄と、フォトプロセスが行われることが示されている。
【００５７】
工程データ１４６を用いることにより、サーバー１００は、各ロットの処理順序を把握することができ、搬送負荷を予測することが可能となる。
【００５８】
次に、イベントデータ１４８のデータ構造について説明する。
【００５９】
図７は、本実施形態の一例に係るイベントデータ１４８のデータ構造を示す模式図である。
【００６０】
イベントデータ１４８は、検出装置４００によって検出されたイベントに関する情報が逐次記憶されるデータである。
【００６１】
イベントデータ１４８の項目としては、例えば、「イベント発生日時」、「ロットＩＤ」、「現在位置」、「最新イベント」等が該当する。
【００６２】
例えば、図７に示す例では、２００３年１０月１０日１０時１０分１０秒に「Ｌ００１」のロットが、「ＳＴ１」において、「Ｅ４」のイベントが発生したことが示されている。
【００６３】
イベントデータ１４８を用いることにより、サーバー１００は、検出装置４００によって検出されたすべてのイベントを把握することができる。
【００６４】
次に、検出装置４００の機能ブロックについて説明する。
【００６５】
図８は、本実施形態の一例に係る検出装置４００の機能ブロック図である。
【００６６】
検出装置４００は、一時貯留装置５００において発生するイベントＥ１〜Ｅ４を検出するイベント検出部４２０と、検出したイベントの内容と時刻を示すイベント情報をサーバー１００へ向け送信する通信部４１０と、タイマー部４３０を含んで構成されている。
【００６７】
（ハードウェアの説明）
また、上述したサーバー１００および検出装置４００の各部としてコンピュータに実装するためのハードウェアとしては、例えば、以下のものを適用できる。
【００６８】
例えば、通信部１１０、４１０としてはＬＡＮボード等、情報生成部１２０、更新部１３０およびイベント検出部４２０としてはＣＰＵ等、記憶部１４０としてはＨＤＤ等、タイマー部４３０としてはシステムタイマー等を用いてコンピュータに実装できる。
【００６９】
また、これらの各部を、回路を用いてハードウェア的にコンピュータに実装してもよいし、プログラムを用いてソフトウェア的にコンピュータに実装してもよい。
【００７０】
さらに、情報生成部１２０等としてコンピュータを機能させるためのプログラムを記憶した情報記憶媒体１９０からプログラムを読み取って情報生成部１２０等の機能をコンピュータに実装してもよい。
【００７１】
このような情報記憶媒体１９０としては、例えば、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＨＤＤ等を適用でき、そのプログラムの読み取り方式は接触方式であっても、非接触方式であってもよい。
【００７２】
また、情報記憶媒体１９０に代えて、上述した各機能を実現するためのプログラム等を、伝送路を介してホスト装置等からダウンロードすることによって上述した各機能をコンピュータに実装することも可能である。
【００７３】
（処理の流れの説明）
次に、これらの各部を用いた搬送負荷表示の処理手順について説明する。
【００７４】
図９は、本実施形態の一例に係る搬送負荷表示の処理手順を示すフローチャートである。
【００７５】
検出装置４００のイベント検出部４２０は、ロットの自動搬送台車の動作や、ロットの搬送用クレーンの動作等に基づいてイベントＥ１〜Ｅ４を検出する。そして、イベント検出部４２０は、ロットの識別情報と、発生したイベントを示すイベント種別情報と、イベント検出対象の一時貯留装置５００の識別情報と、タイマー部４３０によって示される日時情報を含むイベント情報を生成する。通信部４１０は、当該イベント情報をサーバー１００へ向け送信する。
【００７６】
通信部１１０は、当該イベント情報を受信し、更新部１３０は、当該イベント情報に基づき、イベントデータ１４８を更新する（ステップＳ１）。より具体的には、更新部１３０は、イベント情報に含まれるロットの識別情報に基づき「ロットＩＤ」を入力し、イベント情報に含まれるイベント種別情報に基づき「最新イベント」を入力し、イベント情報に含まれる一時貯留装置５００の識別情報に基づき「現在位置」を入力し、イベント情報に含まれる日時情報に基づき「イベント発生日時」を入力する。このようにしてイベントデータ１４８には検出装置４００によって検出されたイベントに関する情報が逐次入力される。
【００７７】
そして、更新部１３０は、所定のタイミング（例えば、一定時間ごと、所定時刻、イベントデータ１４８の更新時等）で、イベントデータ１４８に基づき、ロット状況データ１４２と、貯留状況データ１４４を更新する（ステップＳ２）。
【００７８】
より具体的には、更新部１３０は、対象となるロットに対して新たなイベントが発生した場合、ロット状況データ１４２の当該ロットの「最新イベント」を「前イベント」にコピーし、イベントデータ１４８の「現在位置」をロット状況データ１４２の「現在位置」にコピーし、イベントデータ１４８の「最新イベント」をロット状況データ１４２の「最新イベント」にコピーし、イベントデータ１４８の「イベント発生日時」をロット状況データ１４２の「イベント発生日時」にコピーする。
【００７９】
さらに、更新部１３０は、ロット状況データ１４２の「前イベント」と「最新イベント」に基づいて搬送状況を判定してイベントデータ１４８の「状況」を更新する。例えば、「前イベント」が「Ｅ３」で「最新イベント」が「Ｅ４」の場合、「状況」は「搬送中」であり、「前イベント」が「Ｅ１」で「最新イベント」が「Ｅ２」の場合、「状況」は「搬送待ち」であり、「前イベント」が「Ｅ２」で「最新イベント」が「Ｅ３」の場合、「状況」は「受付中」である。
【００８０】
また、更新部１３０は、イベントデータ１４８に基づき、対象となるロットに対してイベントＥ１が発生したと判定した場合、すなわち、新たなロットが一時貯留装置５００に入庫した場合、貯留状況データ１４４の「貯留ロット数」を１増加させる。また、更新部１３０は、イベントデータ１４８に基づき、対象となるロットに対してイベントＥ４が発生したと判定した場合、すなわち、ロットが一時貯留装置５００から出庫した場合、貯留状況データ１４４の「貯留ロット数」を１減少させる。
【００８１】
このように、貯留状況データ１４４が最新の状態に保たれるため、貯留状況データ１４４の「貯留ロット数」が「仮想貯留可能ロット数」となった場合には、情報生成部１２０が一時貯留装置５００への入庫を制限するための制御情報を生成し、通信部１１０が当該制御情報を搬送台車等に送信することにより、一時貯留装置５００へのロットの入庫を制限することができる。ただし、「仮想貯留可能ロット数」と「貯留可能ロット数」の間に設けた差により、「貯留ロット数」が「仮想貯留可能ロット数」となった場合でも、特急ロットについては一時貯留装置５００へのロットの入庫制限の対象外としている。
【００８２】
次に、ユーザーが搬送負荷表示を行う場合について説明する。
【００８３】
ＰＣ２００は、ユーザーによる操作に応じて搬送負荷表示要求情報を生成し、当該搬送負荷表示要求情報をサーバー１００へ向け送信する。
【００８４】
また、情報生成部１２０は、通信部１１０によって搬送負荷表示要求情報が受信されたかどうかを判定する（ステップＳ３）。
【００８５】
そして、搬送負荷表示要求があった場合、情報生成部１２０は、ロット状況データ１４２に基づいて搬送負荷表示情報を生成し、通信部１１０は、当該搬送負荷表示情報をＰＣ２００へ向け送信する。ＰＣ２００は、当該搬送負荷表示情報に基づき、図２に示すような搬送負荷状況を示す画像を表示する（ステップＳ４）。
【００８６】
より具体的には、情報生成部１２０は、ロット状況データ１４２の「状況」と「イベント発生日時」を参照し、所定の日時における状況ごとのロット数を演算する。そして、情報生成部１２０は、全体のロット数と「搬送中」のロット数とに基づき搬送負荷指数を演算する。なお、搬送負荷指数としては、例えば、全体のロット数／「搬送中」のロット数等を採用してもよい。
【００８７】
情報生成部１２０は、このような演算を行うことにより、図２に示すような搬送負荷状況を示す画像を表示するための搬送負荷表示情報を生成することができる。
【００８８】
サーバー１００、ＰＣ２００および検出装置４００は、ロットの搬送が終了するまで（ステップＳ５）、ステップＳ１〜Ｓ４の処理を繰り返し実行する。
【００８９】
以上のように、本実施形態によれば、サーバー１００は、一時貯留装置５００におけるロットの搬送に関する複数種のイベントを検出し、当該イベントの遷移を示すロット状況データ１４２に基づいてロットの搬送状態を判定することができる。これにより、サーバー１００は、実際の搬送の負荷状況をユーザーに提示することができる。
【００９０】
例えば、従来のシステムは、一時点のイベントだけに基づいて搬送状況を把握しているため、図１に示すイベントＥ４を、イベントＥ１からイベントＥ４に遷移したものなのか、イベントＥ３からイベントＥ４に遷移したものなのか判定することができない。
【００９１】
これに対し、本実施形態のサーバー１００は、イベントの遷移に基づいて搬送状況を把握しているため、搬送状況をより詳細に把握することができ、より適切に搬送の負荷状況をユーザーに提示することができる。
【００９２】
また、本実施形態によれば、サーバー１００は、貯留状況データ１４４に基づいて搬送負荷状況を示す画像を表示することにより、搬送負荷状況をより詳細にユーザーに提示することができる。より具体的には、サーバー１００は、一時貯留装置５００にロットが滞留している場合、搬送先の一時貯留装置５００が空くことを待っているために滞留しているのか、単なる搬送待ちで待っているのかユーザーに提示することができる。これにより、ユーザーは、搬送負荷状況に応じてより適切に対処することができる。
【００９３】
また、本実施形態によれば、サーバー１００は、工程データ１４６を用いることにより、搬送待ち等のロットの状態と当該ロットの処理工程を把握することができるため、例えば、処理工程が変更された場合であっても、搬送の負荷状況を予測してユーザーに提示することができる。
【００９４】
さらに、本実施形態によれば、図２に示すような搬送負荷指数を示す画像を表示することができるため、例えば、時間帯ごとの搬送負荷指数の変化を表示したり、搬送負荷指数が所定値を超えた場合に警告表示したりすることが可能となる。
【００９５】
（変形例）
以上、本発明を適用した好適な実施の形態について説明してきたが、本発明の適用は上述した実施例に限定されない。
【００９６】
例えば、情報生成部１２０は、搬送負荷状況を、工場全体ではなく、処理区画単位、装置単位等で表示するための搬送負荷表示情報を生成してもよい。また、情報生成部１２０は、搬送負荷だけでなく、自動搬送台車等の稼働率、搬送時間、搬送回数、搬送ロットの内訳（量産、試作等）、一時貯留装置５００の在庫状況等を表示するための画像情報を生成してもよい。
【００９７】
さらに、情報生成部１２０は、搬送負荷を示す搬送負荷指数が所定値を超えた場合、警告したり、装置を強制的に停止したりするための制御情報を生成してもよい。
【００９８】
また、本発明の適用は、半導体製造工場に限定されず、搬送を行う種々のシステムに適用可能である。また、上述した自動搬送台車や搬送用クレーン以外にもベルトコンベヤー等の搬送手段を用いる場合にも本発明は有効である。
【００９９】
また、上述したサーバー１００、ＰＣ２００、検出装置４００の機能を１台の装置に実装してもよいし、より多くの装置に分散して実装してもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１００】
【図１】本実施形態の一例に係るシステム全体の概略図である。
【図２】本実施形態の一例に係る搬送負荷状況を示す画像の図である。
【図３】本実施形態の一例に係るサーバーの機能ブロック図である。
【図４】本実施形態の一例に係るロット状況データのデータ構造を示す模式図である。
【図５】本実施形態の一例に係る貯留状況データのデータ構造を示す模式図である。
【図６】本実施形態の一例に係る工程データのデータ構造を示す模式図である。
【図７】本実施形態の一例に係るイベントデータのデータ構造を示す模式図である。
【図８】本実施形態の一例に係る検出装置の機能ブロック図である。
【図９】本実施形態の一例に係る搬送負荷表示の処理手順を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【０１０１】
１００  サーバー（搬送状況提示システム）、１１０、４１０  通信部、１２０  情報生成部（状況提示手段）、１３０  更新部、１４０  記憶部、１４２  ロット状況データ、１４４  貯留状況データ、１４６  工程データ、１４８  イベントデータ、１９０  情報記憶媒体、２００  ＰＣ（搬送状況提示システム、状況提示手段）、３００  ネットワーク、４００  検出装置（搬送状況提示システム）、４２０  イベント検出部、４３０  タイマー部、５００  一時貯留装置、６００  処理装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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