(57)【要約】【課題】アーム部材の位置が正しいか否かを簡単にチェックし、ロボットの組み立て工程に要する工数を低減することを目的とする。【解決手段】  第１のアーム部材１１の収縮位置において、各穴４５，６５，７５に挿入可能で互いに平行なピンＰＮ１ａ，３ａ，４ａが１つの直線上に配置された収縮チェック用治具３ａを用い、収縮チェック用治具３ａの３つのピンが３つの穴に挿入され、しかも、第１のアーム部材１１の伸長位置において、同様なピンＰＮ１ｂ，３ｂ，４ｂが配置された伸長チェック用治具３ｂを用い、伸長チェック用治具３ｂの３つのピンが３つの穴に挿入されたときに、アーム１１〜１３が正規の関係にあると判定する。【選択図】      図１０
2005246576.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のアーム部材の先端部と第２のアーム部材の後端部とが第２の支軸において相対回転可能に連結され、第２のアーム部材の先端部と第３のアーム部材の後端部とが第３の支軸において相対回転可能に連結され、前記第１のアーム部材の後端部を第１の支軸を中心として回転駆動することによって前記第３のアーム部材が直進往復移動するように構成されたロボットにおけるアームのチェック方法であって、
前記第１の支軸の中心位置、前記第３の支軸の中心位置、前記第３のアーム部材における前記第３の支軸を通る中心線上の位置である第３位置に、それぞれ目印を設けておき、  前記第１のアーム部材の収縮位置において、前記第１の支軸の中心位置、前記第３の支軸の中心位置、および前記第３位置が１つの直線上にあり、且つ前記第１の支軸の中心位置と前記第３位置との距離が所定の収縮時距離となっており、しかも、
前記第１のアーム部材の伸長位置において、前記第１の支軸の中心位置、前記第３の支軸の中心位置、および前記第３位置が１つの直線上にあり、且つ前記第１の支軸の中心位置と前記第３の支軸の中心位置との距離が所定の伸長時距離となっているときに、前記アームが正規の関係にあると判定する、
ことを特徴とするロボットにおけるアームのチェック方法。
【請求項２】
第１のアーム部材の先端部と第２のアーム部材の後端部とが第２の支軸において相対回転可能に連結され、第２のアーム部材の先端部と第３のアーム部材の後端部とが第３の支軸において相対回転可能に連結され、前記第１のアーム部材の後端部を第１の支軸を中心として回転駆動することによって前記第３のアーム部材が直進往復移動するように構成されたロボットにおけるアームのチェック方法であって、
前記第１の支軸の中心位置、前記第３の支軸の中心位置、前記第３のアーム部材における前記第３の支軸を通る中心線上の位置である第３位置に、それぞれ穴を設けておき、
前記第１のアーム部材の収縮位置において、前記各穴に挿入可能で互いに平行なピンが１つの直線上に配置され且つ前記第１の支軸の中心位置の穴に挿入されるべきピンと前記第３位置の穴に挿入されるべきピンとの距離が所定の収縮時距離である収縮チェック用治具を用い、前記収縮チェック用治具の３つのピンが前記３つの穴に挿入され、しかも、
前記第１のアーム部材の伸長位置において、前記各穴に挿入可能で互いに平行なピンが１つの直線上に配置され且つ前記前記第１の支軸の中心位置の穴に挿入されるべきピンと前記第３の支軸の中心位置の穴に挿入されるべきピンとの距離が所定の伸長時距離である伸長チェック用治具を用い、前記伸長チェック用治具の３つのピンが前記３つの穴に挿入されたときに、前記アームが正規の関係にあると判定する、
ことを特徴とするロボットにおけるアームのチェック方法。
【請求項３】
第１のアーム部材の先端部と第２のアーム部材の後端部とが第２の支軸において相対回転可能に連結され、第２のアーム部材の先端部と第３のアーム部材の後端部とが第３の支軸において相対回転可能に連結され、前記第１のアーム部材の後端部を第１の支軸を中心として回転駆動することによって前記第３のアーム部材が直進往復移動するように構成されたロボットにおけるアームのチェック装置であって、
前記第１のアーム部材の収縮位置において、前記第１の支軸の中心位置の穴、前記第３の支軸の中心位置の穴、前記第３のアーム部材における前記第３の支軸を通る中心線上の位置である第３位置の穴にそれぞれ挿入可能で互いに平行な３つのピンが１つの直線上に配置され且つ前記第１の支軸の中心位置の穴に挿入されるべきピンと前記第３位置の穴に挿入されるべきピンとの距離が所定の収縮時距離である収縮チェック用治具と、
前記第１のアーム部材の伸長位置において、前記各穴に挿入可能で互いに平行なピンが１つの直線上に配置され且つ前記第１の支軸の中心位置の穴に挿入されるべきピンと前記第３の支軸の中心位置の穴に挿入されるべきピンとの距離が所定の伸長時距離である伸長チェック用治具と、
からなることを特徴とするロボットにおけるアームのチェック装置。
【請求項４】
前記収縮チェック用治具と前記伸長チェック用治具とが、共通の基部材に対してピンが設けられることによって一体的に構成されてなる、
請求項３記載のロボットにおけるアームのチェック装置。
【請求項５】
前記収縮チェック用治具の３つのピンと前記伸長チェック用治具の３つのピンとが、前記基部材に対して互いに反対方向に突出するように設けられ、
前記第３の支軸の中心位置の穴に挿入されるべきピンおよび前記第３位置の穴に挿入されるべきピンは、前記収縮チェック用治具のピンと前記伸長チェック用治具のピンとで互いに同じ位置に設けられている、
請求項４記載のロボットにおけるアームのチェック装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のアーム部材が回転可能に連結されてなるいわゆるスカラーロボットにおけるアームのチェック方法および装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体ウエハなどの種々の物品を搬送するために、複数のアーム部材が回転可能に連結されて構成されるいわゆるスカラーロボット（水平多関節ロボット）がしばしば用いられる（特許文献１〜２）。
【０００３】
一般に、スカラーロボットは、第１のアーム部材の先端部と第２のアーム部材の後端部とが第２の支軸において相対回転可能に連結され、第２のアーム部材の先端部と第３のアーム部材の後端部とが第３の支軸において相対回転可能に連結され、第１のアーム部材の後端部を第１の支軸を中心として回転駆動することによって第３のアーム部材が直進移動するように構成される。３つのアーム部材で構成される場合には、第３のアーム部材は、ハンド部、フォーク部、爪、またはチャックなどと呼称されることもある。４つ以上のアーム部材を有する場合には、それが第３のアーム部材に対して回転可能に取り付けられる。
【０００４】
第１のアーム部材を直線移動させるために、各アーム部材の連結部分の軸には歯付きのプーリ（ギヤ）が設けられ、それらのプーリ間にタイミングベルトが張られ、アーム部材の相対回転角度を規制している。
【０００５】
さて、このようなスカラーロボットの組み立て工程の最終段階において、タイミングベルトの歯のかみ合わせ位置が正しく張られているかどうかをチェックする必要がある。また、各アーム部材の互いの連結位置または取り付け位置が正しいかどうかをチェックし、微調整を行う必要がある。もし、それらが正しくなかった場合には、アーム部材が所定の動作を行わず、特に第３のアーム部材が直線移動しないことがある。
【０００６】
従来においては、第３のアーム部材が直線移動していることをチェックするために、その移動方向に沿って配置された基準板を基台に対して固定的に設けておき、アーム部材の収縮位置および伸長位置において、それぞれのアーム部材が基準板から同じ距離にあるか否かをメジャーなどで測定していた。
【特許文献１】特開２０００−４０７２８
【特許文献２】特開平８−２７４１４０
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、上に述べた従来のチェック方法では、基準板からアーム部材の各位置までの距離を測定する作業が大変であった。また、チェックの結果、正しくないと判別された場合に、タイミングベルトの歯のかみ合わせ位置を変えて張り直したり、連結部分のボルトを緩めて位置調整をした後締めなおしたりするが、その度毎に測定作業を繰り返さなくてはならず、ロボットの組み立て工程に多くの工数を要していた。
【０００８】
本発明は、上述の問題に鑑みてなされたもので、アーム部材の位置が正しいか否かを簡単にチェックし、ロボットの組み立て工程に要する工数を低減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係るチェック方法は、第１の支軸の中心位置、前記第３の支軸の中心位置、前記第３のアーム部材における前記第３の支軸を通る中心線上の位置である第３位置に、それぞれ目印を設けておき、前記第１のアーム部材の収縮位置において、前記第１の支軸の中心位置、前記第３の支軸の中心位置、および前記第３位置が１つの直線上にあり、且つ前記第１の支軸の中心位置と前記第３位置との距離が所定の収縮時距離となっており、しかも、前記第１のアーム部材の伸長位置において、前記第１の支軸の中心位置、前記第３の支軸の中心位置、および前記第３位置が１つの直線上にあり、且つ前記第１の支軸の中心位置と前記第３の支軸の中心位置との距離が所定の伸長時距離となっているときに、前記アームが正規の関係にあると判定する。
【００１０】
好ましくは、目印として、ピンを挿入可能な穴を設けておく。所定の位置にそれぞれ３つのピンが設けられた収縮チェック用治具と伸長チェック用治具とを用い、それぞれのピンが穴に挿入されたときにアームが正規の関係にあると判定する。
【００１１】
本発明に係るチェック装置は、前記第１のアーム部材の収縮位置において、前記第１の支軸の中心位置の穴、前記第３の支軸の中心位置の穴、前記第３のアーム部材における前記第３の支軸を通る中心線上の位置である第３位置の穴にそれぞれ挿入可能で互いに平行な３つのピンが１つの直線上に配置され且つ前記第１の支軸の中心位置の穴に挿入されるべきピンと前記第３位置の穴に挿入されるべきピンとの距離が所定の収縮時距離である収縮チェック用治具と、前記第１のアーム部材の伸長位置において、前記各穴に挿入可能で互いに平行なピンが１つの直線上に配置され且つ前記第１の支軸の中心位置の穴に挿入されるべきピンと前記第３の支軸の中心位置の穴に挿入されるべきピンとの距離が所定の伸長時距離である伸長チェック用治具とからなる。
【００１２】
好ましくは、前記収縮チェック用治具と前記伸長チェック用治具とが、共通の基部材に対してピンが設けられることによって一体的に構成される。
【００１３】
また、前記収縮チェック用治具の３つのピンと前記伸長チェック用治具の３つのピンとが、前記基部材に対して互いに反対方向に突出するように設けられ、前記第３の支軸の中心位置の穴に挿入されるべきピンおよび前記第３位置の穴に挿入されるべきピンは、前記収縮チェック用治具のピンと前記伸長チェック用治具のピンとで互いに同じ位置に設けられる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によると、アーム部材の位置が正しいか否かを簡単にチェックすることができ、ロボットの組み立て工程に要する工数を低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
図１はロボット１の概略の構成を示す断面正面図、図２はロボット１の平面図、図３はロボット１の第１のアーム部材の内部構造を示す平面図、図４はロボット１の第２のアーム部材の内部構造を示す平面図、図５はロボット１の第３のアーム部材を示す平面図である。なお、図１は第１〜３の全てのアーム部材が伸長しきった状態を示し、図２はアーム部材が伸長しきる前の状態を示す。
【００１６】
これらの図において、ロボット１は、基台１０、第１のアーム部材１１、第２のアーム部材１２、第３のアーム部材１３、およびフォーク１４などからなる。第１のアーム部材１１は、その後端部が、第１の支軸ＪＫ１を中心として回転可能なように、基台１０に設けられている。第１のアーム部材１１の先端部と第２のアーム部材１２の後端部とは、第２の支軸ＪＫ２において相対回転可能に連結され、第２のアーム部材１２の先端部と第３のアーム部材１３の後端部とは第３の支軸ＪＫ３において相対回転可能に連結されている。第１のアーム部材１１の後端部を第１の支軸ＪＫ１を中心として回転駆動することによって、第３のアーム部材１３が直進往復移動し、収縮位置ＰＳ１または伸長位置ＰＳ２などに移動することが可能となっている。以下、さらに詳しく説明する。
【００１７】
基台１０は、鋼材などからなり、床面上に設置され、必要に応じて床面に対して固定される。基台１０には、モータＭ１が、その出力軸ＳＪが第１の支軸ＪＫ１と一致するように取り付けられている。
【００１８】
特に図１および図３によく示されるように、第１のアーム部材１１は、ケーシング３１、ベース部材３２、減速機３３、プーリ３４、取付けブロック３５、原点センサ３６、シャフト３７、プーリ３８、ベアリング３９、ベルト４０、ドグ４１、テンショナー４２，４３、およびカバー４４などからなる。
【００１９】
ケーシング３１およびベース部材３２は、鋼材からなり、ボルトなどによって互いに固定されて一体化されている。減速機３３は、入力された回転駆動力に対して所定の減速比で減速された回転駆動力を出力する公知のものである。減速機３３は、その本体が基台１０に取り付けられ、下方からモータＭ１の出力軸ＳＪが挿入されて回転駆動される。減速機３３の二次側は、第１の支軸ＪＫ１と一致する軸上において、ベース部材３２に取り付けられている。したがって、モータＭ１が回転すると、減速された二次側の回転駆動力によって、ベース部材３２が第１の支軸ＪＫ１を中心にして水平面内で回転する。
【００２０】
ベース部材３２およびカバー４４には、第１の支軸ＪＫ１と同じ軸上に、穴４５が設けられている。穴４５は、後述する治具を挿入して位置調整を行うためのものである。
【００２１】
プーリ３４は、外周面に歯が設けられたものであり、取付けブロック３５を介して基台１０に固定されている。プーリ３４の内周面の一箇所に、第１のアーム部材１１の回転角度についての原点位置を検出するための原点センサ３６が取り付けられている。このように、プーリ３４および原点センサ３６は基台１０に対して固定されており、第１のアーム部材１１が回転してもプーリ３４および原点センサ３６は回転しない。
【００２２】
ベース部材３２には、ドグ４１が取り付けられており、ドグ４１はベース部材３２の回転とともに回転する。したがって、第１のアーム部材１１が回転してその回転角度が原点位置（図８に示す位置）になれば、ドグ４１が原点センサ３６によって検出される。このときに原点センサ３６から出力される信号が原点信号である。原点信号によって表示灯が点灯するようにしてもよい。
【００２３】
他方、シャフト３７は円柱状であり、第２の支軸ＪＫ２と一致する軸上において、ボルトなどによってケーシング３１に固定されている。プーリ３８は、外周面に歯が設けられたものであり、シャフト３７に対してベアリング３９を介して回転可能なように取り付けられている。プーリ３８の歯数は、プーリ３４の歯数よりも少ない。２つのプーリ３４，３８の間には、ベルト４０が掛けわたされている。プーリ３８の上面には、第２のアーム部材１２のケーシング５１が固定されている。
【００２４】
また、ケーシング３１には、ベルト４０にテンションをかけるためのテンショナー４２，４３が、調整可能に取り付けられている。すなわち、図３によく示されるように、テンショナー４２，４３は、ローラ４２１，４３１を有し、長穴４２４，４２５、４３４，４３５を貫通するボルト４２２，４２３、４３２，４３３によって、ケーシング３１に対して位置調整可能に取り付けられている。ボルト４２２，４２３、４３２，４３３を緩めた状態で、これら２つのテンショナー４２，４３の互いの間の距離を調整することによってベルト４０のテンションが調整される。また、２つのテンショナー４２，４３のケーシング３１に対する相対位置を調整することによって、プーリ３８のプーリ３４に対する相対回転角度位置の微調整が行われる。
【００２５】
したがって、第１のアーム部材１１が第１の支軸ＪＫ１を中心として回転すると、プーリ３８は、第１のアーム部材１１の姿勢つまり第１の支軸ＪＫ１の１点と第２の支軸ＪＫ２の１点とを結ぶ中心線に対して、第１のアーム部材１１の回転方向とは反対方向に回転する。その相対回転角度は、プーリ３４とプーリ３８との歯数に逆比例するので、結果として増速されることになる。
【００２６】
これによって、第１のアーム部材１１が第１の支軸ＪＫ１を中心に回転すると、第２のアーム部材１２は、第２の支軸ＪＫ２を中心として、第１のアーム部材１１に対して、プーリ３４とプーリ３８との歯数比に逆比例した回転角度だけ逆方向に回転する。
【００２７】
次に、特に図１および図４によく示されるように、第２のアーム部材１２は、ケーシング５１、プーリ５４、シャフト５７、プーリ５８、ベアリング５９、ベルト６０、テンショナー６２，６３、およびカバー６４などからなる。
【００２８】
プーリ５４は、外周面に歯が設けられたものであり、シャフト３７に固定されている。なお、シャフト３７およびプーリ５４は、第１のアーム部材１１のケーシング３１に対して固定されており、第１のアーム部材１１が回転しても、プーリ５４は第１のアーム部材１１に対して相対回転しない。
【００２９】
シャフト５７は円柱状であり、第３の支軸ＪＫ３と一致する軸上において、ボルトなどによってケーシング５１に固定されている。シャフト５７には、第３の支軸ＪＫ３と同じ軸上に、穴６５が設けられている。
【００３０】
プーリ５８は、外周面に歯が設けられたものであり、シャフト５７に対してベアリング５９を介して回転可能なように取り付けられている。プーリ５８の歯数は、プーリ５４の歯数よりも多い。２つのプーリ５４，５８の間には、ベルト６０が掛けわたされている。プーリ５８の上面には、第３のアーム部材１３であるフォークホルダ７１が固定されている。
【００３１】
また、ケーシング５１には、ベルト６０にテンションをかけるためのテンショナー６２，６３が、調整可能に取り付けられている。テンショナー６２，６３の構造および機能は、第１のアーム部材１１に設けられているテンショナー４２，４３と同じである。
【００３２】
したがって、第２のアーム部材１２が第２の支軸ＪＫ２を中心として相対回転すると、プーリ５８は、第２のアーム部材１２の姿勢つまり第２の支軸ＪＫ２の１点と第３の支軸ＪＫ３の１点とを結ぶ中心線に対して、第２のアーム部材１２の回転方向とは反対方向に回転する。その相対回転角度は、プーリ５４とプーリ５８との歯数比に逆比例するので、結果として減速されることになる。
【００３３】
これによって、第２のアーム部材１２が第２の支軸ＪＫ２を中心に回転すると、第３のアーム部材１３は、第３の支軸ＪＫ３を中心として、第２のアーム部材１２に対して、プーリ５４とプーリ５８との歯数に逆比例した回転角度だけ逆方向に回転する。
【００３４】
次に、特に図１および図５によく示されるように、第３のアーム部材１３は、プレート状のフォークホルダ７１からなる。フォークホルダ７１は、上に述べたように、第２のアーム部材１２のプーリ５８の上面に固定されている。フォークホルダ７１には、穴６５と同じ軸上、つまり第３の支軸ＪＫ３と同じ軸上に、穴６５ａが設けられている。また、フォークホルダ７１の中心線上であって穴６５ａから所定の距離Ｌ１の位置である第３位置ＪＫ４に、穴７５が設けられている。穴７５は長穴である。これらの穴６５，６５ａ，７５は、上に述べた穴４５とともに、後述する治具のピンＰＮを挿入して位置調整を行うためのものである。
【００３５】
また、フォークホルダ７１には、フォーク１４を取り付けるための４つのネジ穴７６が設けられている。フォーク１４は、その上に搬送物体を載せるためのものである。フォーク１４は、第１のアーム部材１１、第２のアーム部材１２、および第３のアーム部材１３の位置調整が終わったあとに、ボルトとネジ穴７６によって第３のアーム部材１３に取り付けられる。
【００３６】
本実施形態においては、第１のアーム部材１１の軸心間距離つまり第１の支軸ＪＫ１と第２の支軸ＪＫ２との距離と、第２のアーム部材１２の軸心間距離つまり第２の支軸ＪＫ１と第３の支軸ＪＫ３との距離とが同一であり、プーリ５８とプーリ５４との歯数比と、プーリ３４とプーリ３８との歯数比とが同一になっているので、第１の支軸ＪＫ１、第２の支軸ＪＫ２、第３の支軸ＪＫ３の３つの点を頂点とする３角形は常に２等辺３角形となる。しかも、モータＭ１の回転によって、第１のアーム部材１１および第２のアーム部材１２は回転して姿勢を変えるが、第３のアーム部材１３つまりフォーク１４は姿勢を変えることなく、図２の矢印Ｙ１方向に直線的に往復移動（平行移動）する。
【００３７】
さて、次に、アームのチェック方法について説明する。
【００３８】
図６は本発明の実施形態に係るチェック用治具３の正面図、図７はチェック用治具３の平面図、図８はロボット１の収縮時にチェック用治具３を適用した状態を示す正面図、図９はロボット１の収縮時の平面図、図１０はロボット１の伸長時にチェック用治具３を適用した状態を示す正面図、図１１はロボット１の伸長時の平面図である。
【００３９】
図１０、図１１、および上に説明した図１に示すように、第１および第２のアーム部材１１〜１２が伸長しきった状態では、第１の支軸ＪＫ１、第３の支軸ＪＫ３、および第３位置ＪＫ４は、一直線上にあり、第１の支軸ＪＫ１と第３の支軸ＪＫ３との間の距離はＬ３である。距離Ｌ１およびＬ３は設計上決定されるものであるから、それらが一直線上にあって且つ距離Ｌ１，Ｌ３が設計値と一致するか否かをチェックすることにより、ロボット１のアームが伸長時において正しく調整されているか否かが判定できる。
【００４０】
また、図８、図９に示すように、第１のアーム部材１１が原点位置にあり、したがって第１および第２のアーム部材１１〜１２が収縮した状態では、第１の支軸ＪＫ１、第３の支軸ＪＫ３、および第３位置ＪＫ４は、一直線上にあり、第１の支軸ＪＫ１と第３の支軸ＪＫ３との間の距離はＬ２である。距離Ｌ１およびＬ２は設計上決定されるものであるから、それらが一直線上にあって且つ距離Ｌ１，Ｌ２（または距離Ｌ４）が設計値と一致するか否かをチェックすることにより、ロボット１のアームが収縮時において正しく調整されているか否かが判定できる。
【００４１】
したがって、このような伸長時と収縮時との２つの状態において、上に述べた点をチェックすることによって、ロボット１のアームが正しく調整されているか否かが判定できる。因みに、例えば、第１のアーム部材１１および第２のアーム部材１２のベルト４０，６０をプーリに掛けるときに、歯の位置が正しくなかった場合には、それらが一直線状とならない。テンショナー４２，４３，５２，５３によるベルト４０，６０の微調整が正しくない場合にも、それらが一直線状とならないことがある。
【００４２】
図６および図７に示すように、チェック用治具３は、基部材８１、および４つのピン部材８２〜８５からなっている。
【００４３】
基部材８１は、鋼材などからる断面が矩形の棒状のものである。基部材８１の長さ方向に沿った４箇所に、同じ方向に貫通する穴８１ａ〜ｄが設けられ、それらの穴８１ａ〜ｄに、４つのピン部材８２〜８５かそれぞれ挿入され、ネジ８６ａ〜ｄによって固定されている。
【００４４】
ピン部材８２〜８５の直径は、上に述べた穴４５，６５，７５に挿入し離脱可能な程度であり、これら４つのピン部材８２〜８５は互いに平行である。これらのピン部材８２〜８５のうち、図６の下方に向かって突出する部分を、ピンＰＮ１ａ，ＰＮ３ａ，ＰＮ４ａとし、図６の上方に向かって突出する部分を、ピンＰＮ１ｂ，ＰＮ３ｂ，ＰＮ４ｂとする。
【００４５】
そして、図６に示すように、チェック用治具３は、ピンＰＮ４ａとピンＰＮ３ａとの距離がＬ１、ピンＰＮ４ａとピンＰＮ１ａとの距離がＬ２となるように、また、ピンＰＮ４ｂとピンＰＮ３ｂとの距離がＬ１、ピンＰＮ３ｂとピンＰＮ１ｂとの距離がＬ３となるように、製作されている。したがって、ピンＰＮ１ａとピンＰＮ３ａとの距離は、Ｌ４（＝Ｌ２−Ｌ１）である。
【００４６】
チェック用治具３のうち、図６に示す下半分は収縮チェック用治具３ａを構成し、上半分は伸長チェック用治具３ｂを構成する。つまり、本実施形態においては、収縮チェック用治具３ａと伸長チェック用治具３ｂとが一体的に構成されている。
【００４７】
そこで、ロボット１を組み立てた段階で、例えば手動で動かせて、図８および図９に示すような収縮時の状態とする。組み立ての際に、ベルト４０，６０がプーリに正しく掛けられているかどうか、目視により点検しておく。また、テンショナー４２，４３，５２，５３の位置を仮調整して仮固定としておく。
【００４８】
この状態で、原点センサ３６から原点信号が出力されるように調整する。つまり、これによって、第１の支軸ＪＫ１、第２の支軸ＪＫ２、第３の支軸ＪＫ３の３つの点を頂点とする３角形の原点における回転角度位置を決定する。
【００４９】
チェック用治具３のうち収縮チェック用治具３ａの各ピンＰＮ１ａ，ＰＮ３ａ，ＰＮ４ａを、それぞれ、穴４５，７５，６５に挿入する。挿入できない場合は、ベルト４０，６０がプーリに正しく掛かっているか否かを確認し、正しくなさそうであれば掛け変えてみる。そして、テンショナー４２，４３，５２，５３の位置を整する。また、各部のボルトやネジを緩めてみる。
【００５０】
収縮チェック用治具３ａの各ピンＰＮ１ａ，ＰＮ３ａ，ＰＮ４ａを穴４５，７５，６５に挿入できれば、それによって、第１の支軸ＪＫ１、第３の支軸ＪＫ３、および第３位置ＪＫ４が１つの直線上にあり、第１の支軸ＪＫ１と第３位置ＪＫ４とが設計された所定の距離（収縮時距離）Ｌ４であることが確認されたことになる。
【００５１】
次に、チェック用治具３をロボット１を取り外し、ロボット１を手動で動かせて、図１０および図１１に示すような伸長時の状態とする。この状態で、チェック用治具３のうち伸長チェック用治具３ｂの各ピンＰＮ１ｂ，ＰＮ３ｂ，ＰＮ４ｂを、それぞれ、穴４５，６５，７５に挿入する。挿入できない場合は、収縮時の状態と同様の調整を行う。
【００５２】
伸長チェック用治具３ｂの各ピンＰＮ１ｂ，ＰＮ３ｂ，ＰＮ４ｂを穴４５，６５，７５に挿入できれば、それによって、第１の支軸ＪＫ１、第３の支軸ＪＫ３、および第３位置ＪＫ４が１つの直線上にあり、第１の支軸ＪＫ１と第３の支軸ＪＫ３とが設計された所定の距離（伸長時距離）Ｌ３であることが確認されたことになる。
【００５３】
場合によっては、上に述べた収縮時の調整と伸長時の調整とを繰り返し、いずれの状態でもチェック用治具３が円滑に穴に挿入できるようになれば調整を終了し、その状態でボルトを本締めする。
【００５４】
なお、穴７５が長穴となっているのは、ロボット１の各部の長手方向の公差などを吸収してピンＰＮ３ａ，ＰＮ４ｂの挿入を容易にするためである。
【００５５】
上に述べた実施形態によると、チェック用治具３を用いることによって、ロボット１の各アーム部材１１〜１３の位置が正しいか否かを簡単にチェックし、ロボットの組み立て工程に要する工数を低減することができる。
【００５６】
また、チェック用治具３は、収縮チェック用治具３ａと伸長チェック用治具３ｂとが一体になっているので、１つのチェック用治具３のみで簡単にチェックを行うことができる。チェック用治具３の保管に当たってスペースをとらない。ピンＰＮ３ａとＰＮ３ｂ、ピンＰＮ４ａとＰＮ４ｂがそれぞれ共通のピン部材８４，８５からなっているので、チェック用治具３の製作が容易であり、チェック用治具３の精度も出しやすい。伸長用と収縮用とで、ピン部材８４，８５を共通とし、ピン部材８２とピン部材８３とが逆方向に突出するようにしたので、チェック用治具３の全体のサイズが小さくなり、保管および取り扱いが容易である。
【００５７】
上に述べた実施形態において、穴４５，６５，７５の形状および寸法は種々のものを採用することができる。例えば、円柱状の穴、円錐状の穴、角穴、その他の穴である。穴４５，６５，７５の形状および寸法に応じて、チェック用治具３の各ピン部材の形状および寸法を決定すればよい。穴４５，６５，７５に代えて、何らかの目印を付けておき、その目印にチェック用治具を当てるか、または計測機器でそれらの位置および距離を測定してもよい。
【００５８】
上に述べた実施形態において、チェック用治具３を用いた調整の際にロボット１を手動で動かせたが、モータＭ１を利用して動かせてもよい。その他、ロボット１またはチェック用治具３の全体または各部の構造、形状、寸法、個数、材質などは、本発明の趣旨に沿って適宜変更することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５９】
複数のアーム部材が回転可能に連結されてなるいわゆるスカラーロボットにおけるアームの位置調整を容易に行うことができる。したがって、スカラーロボットの製造、調整、メンテナンスなどのために利用される。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】ロボットの概略の構成を示す断面正面図である。
【図２】ロボットの平面図である。
【図３】ロボットの第１のアーム部材の内部構造を示す平面図である。
【図４】ロボットの第２のアーム部材の内部構造を示す平面図である。
【図５】ロボットの第３のアーム部材を示す平面図である。
【図６】本発明の実施形態に係るチェック用治具の正面図である。
【図７】チェック用治具の平面図である。
【図８】ロボットの収縮時にチェック用治具を適用した状態を示す正面図である。
【図９】ロボットの収縮時の平面図である。
【図１０】ロボットの伸長時にチェック用治具を適用した状態を示す正面図である。
【図１１】ロボットの伸長時の平面図である。
【符号の説明】
【００６１】
１  ロボット
３  チェック用治具（チェック装置）
３ａ  収縮チェック用治具
３ｂ  伸長チェック用治具
１０  基台
１１  第１のアーム部材（アーム）
１２  第２のアーム部材（アーム）
１３  第３のアーム部材（アーム）
４５，６５，７５  穴（目印）
８１  基部材
８２〜８５  ピン部材
ＰＮ１ａ，ＰＮ３ａ，ＰＮ４ａ  ピン
ＰＮ１ｂ，ＰＮ３ｂ，ＰＮ４ｂ  ピン
Ｌ２  距離（収縮時距離）
Ｌ３  距離（伸長時距離）
ＪＫ１  第１の支軸
ＪＫ２  第２の支軸
ＪＫ３  第３の支軸
ＪＫ４  第３位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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