(57)【要約】【課題】エッチング加工を目的とする積層シートに係関連するラミネート製造及び、其の加工方法等であり超音波振動を間接的に組み込んだホルダーを設け、洗浄加工及び乾燥、エッチング加工方法であり、また使用する自動装置。【解決手段】ガラス基板に係わる加工工程において、ガラス基板へのエッチング処理する為の、積層シートのラミネート化する合法的手段を用い、ローラー圧着をかけ、これら重ね合ったシートにエッチング処理となる加工された金型を利用し、これをハーフカット打ち抜きしたものをガラス基板に貼り得るガラス基板用積層シートが得られるものである。また、これらを使用する為の特徴を持つエッチング処理であり、この加工方法としての超音波振動による作動を、間接的別途用意したホルダーに組み、これに作動させたエッチングに関連する洗浄及び、乾燥方法と其のエッチング加工を設けた自動装置である。この自動装置には、それぞの装置及び電磁弁、電磁バルブ、各種の使用する測定器、搬送装置界面活性剤に使用する自動液薬混合装置などを無線によるランシステムを使った制御である。【選択図】図−３１
2005246943.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
エッチング加工処理された金型において、打ち抜いたトリミング抜き及び、ブランキングした合成樹脂シートである（０１）−積層シート素材（ＰＶ／ＰＶＣ／ＰＥＴ／ユポ等シート）、（０２）−微粘着付ＰＥＴ等・シート、（０３）−ＰＥＴセパレート等・シートを圧着ローラー加工を加えた、（１７）−積層シート・ラミネート素材に、（２３）−ガラス基板並びに（３０）−保護シートまたは、マスキングシート等を（２３）−ガラス基板の上面または、両面に（３３）−圧着ローラーＢ加圧から成り立つ［図−１４］に示す（３５）−ガラス基板積層シート。
【請求項２】
請求項１から成る（３５）−ガラス基板積層シートを搬送する際に、支持金具である（４３）−超音波振動子及びホルダー、及び（４４）−ガラス基板保持治具に超音波振動（周波数−１２０ＫＨｚ内制御）を組み込みこれを設け、別に加熱処理した温水となるシャワー形態として、水流噴射式シャワー洗浄及び流し方法並びに、温風乾燥方法。
【請求項３】
（３５）−ガラス基板積層シート面に、化学表面処理方法を用いた、フッ化水素酸溶液を主剤とする液薬を浸蝕加工するエッチング加工処理のなか、溶解物となった物質の再付着防止並びに、エッチング加工面の仕上がり状態である、面粗さが均一になる超音波振動を設けた請求項１並びに、請求項２からなるエッチング加工処理方法。
【請求項４】
（３５）−ガラス基板積層シートに、洗浄工程、乾燥工程、エッチング加工処理等の工程サイクルプログラム作動を設けた、請求項２、及び請求項３とする自動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】本発明は、ＩＴ情報電子部品機器の生活機能を備えた、各種の有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）用ガラス基板等ＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）用ガラス基板、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）用ガラス基板ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）用ガラス基板等に係わる、ガラス基板用積層保護シート製造方法並びに、ガラス基板の従来からなる加工方法に加えた、ワークホルダーそれぞれに附加した、超音波振動付洗浄加工方法及び、フッ化水素酸溶液を使用した、超音波振動付エッチング加工方法、超音波振動付温風乾燥加工方法でありまた、液剤が毒物として取り扱うのは非常に危険とするものでこれらの付帯を盛り込みんだ自動装置。
【背景技術】
【０００２】次に記載した制するものがある。
【特許文献１】特願平１１−１９３８５８．「出願日」１９９９．７．８  「発明の名称」  表面微細凹凸組織の低温形成法および当該組織を有する基体。
【特許文献２】特許第３１８４９８８号．「出願日」１９９１．１２．１０  「発明の名称」  結晶面異方性ドライエッチング方法。
【特許文献３】特許第３０８０８６０号．「出願日」１９９５．５．３０日  「発明の名称」  ドライエッチング方法。
【特許文献４】特願２０００−１５５６９６．「出願日」２０００．５．２６  「発明の名称」  エッチングファクターを向上させたスプレー式ウェットエッチング法。
【特許文献５】特許第３２４７４２４号  「発明の名称」三−五族化合物半導体のガスエッチング方法。
【特許文献６】特許第３１８４９８８号  「発明の名称」方性ドライエッチング方法
【特許文献７】特願２０００−１５５６９６．「出願日」２０００．５．２６  「発明の名称」エッチングファクターを向上させたスプレー式ウェットエッチング法。
【特許文献８】特願平１１−２７２５６５．「出願日」１９９９．９．２７  「発明の名称」石英ガラスエッチング加工用マスクおよび石英ガラスエッチング加工方法。
【特許文献９】特願平９−３３７８６８．「出願日」１９９７１１月２０．  「発明の名称」半導体ウエハのエッチング加工方法及びその装置。
【特許文献１０】特願平７−２２８９５０．「出願日」１９９５．９．６  「発明の名称」単結晶半導体の異方性エッチング加工方法。
【特許文献１１】特願平７−１０９１１４．「出願日」１９９５．４．１１  「発明の名称」エッチング加工方法およびエッチング加工装置。
【特許文献１２】特願平５−３４１３１２．「出願日」１９９３．１２．９  「発明の名称」シリコン単結晶基板のエッチング加工方法。
以上まであったが、特許を受けようとする発明に関連する従来の技術として、本発明である請求項１．２．３．４．に該当する内容には、類似するものが無かった。
技術としてはそれぞれの洗浄工程、エッチング工程、乾燥工程、それに加えた超音波振動子では、エッチング溶液槽また、ウエハーおよびガラス基板等による箱ものにあるいは、収納するパッケージケース自体に、超音波振動発信機より超音波振動子に、周波数により大きさを適度に設定いるのがほとんどであった。
エッチング溶液も沢山あって、其の濃度・界面活性剤からなる混合液、この配合液の割合等が示されているものの、○から○パーセントの比率配合と記載されているが、これでは疑問です。
従来は、本件に係わる業界としては、一般の中小企業が取り扱えない業種であった、それは設備投資に莫大な費用がかかり過ぎて、大企業には太刀打ち出来ないのが現状である。
そこで本件は特に、エッチング加工処理を行うのは、フッ化水素酸溶液等を主剤とする液薬は法定毒物指定の為、取り扱うのに非常に危険なエッチング溶液である。
これを行政指導の届け出のもとに、技術的支援を世に提供し、一般の中小企業が誰でも使えるよう試み、本件請求項４までとなる発明をしたものである。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】１、本発明はガラス基板の表面加工方法には、物理的な方法と化学的な方法の二つあり物理的な方法には、ショットブラストによる吹き付ける加工、化学的な方法に溶液浸けによるフッ化水素酸溶液等を主剤とする、エッチング液による加工であり、本件は其の両者であるが、しかしながら最近では、以下に示すような品質改善が要求される。
２、素のガラス基板に対する表面キズを無くす、事前加工である機械研磨の平坦性不足、割れや、表面傷の発生、研磨模様の残留、研磨能力の限界等、避けられない事もある。
３、積層シートの素材ＰＶ／ＰＶＣ／ＰＥＴ／ユポ等シート、微粘着付ＰＥＴ等・シート、ＰＥＴセパレート等・シートによる品質其の物である傷・打痕・剥れ・捲れ・破損・切り傷等の不具合。
４、ガラス用基板にフッ化水素酸を主剤とする、エッチング液を貯溜するエッチング溶液槽の底部に窒素ガス気泡発生装置を設け、この窒素ガス気泡発生装置から発生した気泡によって、前記エッチング溶液に平均を保つ新鮮なブレンド混合液の不備だった。
５、エッチング溶液槽の底部、窒素ガス上昇気泡により、加工液をブレンド混合させることによりガラス基板表面の均一な加工を実現しようとしているが、上昇した気泡と加工液とが液表面に達した後に、下降する流れが上昇流の均一性を阻害するので、表面が均一に加工されないということもある。
６、ガラス基板の加工方法である従来では、超純水製造装置から生じる液を、シャワー形態より洗い流し、下方へ落ち循環使用していたが、まだ異物等の残留物が洗われず残っていた。
７、フッ化水素酸及び、界面活性剤に使用する液剤は、法定毒物指定の為、取り扱うのに非常に危険なために、手に触れないような作業また加工方法が無いか希望していた。
【課題を解決するための手段】
【０００４】１、積層（ラミネート化）されたシートに、トリミング及び、打ち抜きに用いるエッチング処理された金型である［図−０２］に示すよう、トリミング抜き及び、打ち抜きする積層化された容量を示す［図−３］は切り刃の段差を形成する事より外周抜き、中ほどの穴抜き、窓抜きのリピートとした図形の抜き積層としたものを厚み方向に対し、途中まで切り刃を設けた抜き等を示す断面図である。
合成樹脂シートの積層の成り立ちは、（１）−本素材−（ＰＶ／ＰＶＣ／ＰＥＴ／ユポ等シート）、（２）−ＰＥＴ素材等・シート、（３）−ＰＥＴセパレート等・シート、（３３）−保護シート（マスキングシート）を設け、ガラス基板上面または、両面にゴム質のローラー圧着を行い、積層シートを組み立てた（３５）−ガラス基板用積層シート［図−１４］である。
但し、これらの工程中一部のエリアーを剥がすことが、懸命となる［図−０５］、［図−１０］、［図−１２］である。
２、前項目（１）より成り立つ（３５）−ガラス基板積層シートに対し、異物、油脂、電化性による不純物性を取り除くことからなる、離脱・散らす・再付着防止（スパッタ防止）のために、［図−２７］、［図−２８］、［図−２９］に記載する、超音波振動子を加え設ける（４３）−超音波振動子及びホルダー、（４４）−ガラス基板保持治具［図−１５］と［図−１６］に使用する姿図を示すもので、これらを（７６ａ）−自動搬送装置ｓｅｔ用い、絶えず搬送しながら超音波振動を作動させた温水洗浄方法並びに、超音波振動温風乾燥方法とする加工である。
従来この点では、収納ケースに入ったまま、其の何枚かを一度に加工していることと、また積み重ねたりもしたこと収納しす過ぎて、溶液が加工するワーク全体に行き届かなく、斑になったり加工表面に斑点模様が生じたり、後で不具合を生じていたこともある、またエッチング溶液槽の中に超音波振動する機能もあったが、これは収納ケースをエッチング加工するものであれば良いのですが本発明は、積層加工した（３５）−ガラス基板積層シートに設けたる（２８）−空窓［図−１６］に示すよう、一部のエリアーである（０１）−積層シート素材−（ＰＶ／ＰＶＣ／ＰＥＴ／ユポ等シート）、（０２）−微粘着付ＰＥＴ等・シート、（０３）−ＰＥＴセパレート等・シートを剥がし残ったエリアーが本件である（２８）−空窓、部分のみにエッチング加工をする場所である。
本発明では、積層（ラミネート化）されたシートの、粘着力の活用となる積層保護シート、と云える物でもある、これらをワーク一枚ごとに順次搬送されて来る物に対し、（４３）−超音波振動子及びホルダーにこれを組み込み、（４４）−ガラス基板保持治具は、搬送用の自動ホールディングの為にこれを用いる超音波振動機能を設けた方法とするもので、この効果として何より、スパッタ防止対策の一環として、これらの（３５）−ガラス基板積層シートに対し、超音波振動を加え設けたエッチング加工方法である。
３、第２の再付着防止対策として、前項目（２）より成る（３５）ガラス基板積層シートに対し、化学表面処理方法であるフッ化水素酸溶液等を用いる、エッチング処理の際に、溶解物となった物質、フッ化物等の反応生成物がガラス基板表面の再付着防止の為、また陰イオン系界面活性剤とアミン系両性界面活性剤は、フッ化物等の反応生成物が、ガラス基板のエッチングに、再付着するのを防止するための添加物の注入方法となる界面活性剤である。
これを使用し、表面に再付着するのを防止するための添加するものであるが、併用とする化学加工液を化学加工液の溶液槽から順次連続して取り除き（沈殿物を含む）フィルターを通し、これを強制的に攪拌しながら窒素ガスを混入させ、新しい新鮮濃度の高い、化学加工液を連続して供給する事が出来るものでありまた、化学加工液がガラス基板の加工面に対して、実質的に平行に近い液流を生じさせながら、加工液の下方の底部から窒素ガス等の微細気泡を、連続発生させる方法化学加工を併用させる事により、この化学加工装置を設ける事が面粗さが更に均一になり、加工時間の短縮にもつながり、更に平坦性をも向上させることが出来る。
４、［図−２０］に示すはガラス基盤用エッチング溶液槽装置の全体を示す一般断面図を示し、エッチング加工する（７４）−エッチング溶液槽に、（７２）−エッチング溶液を自動に流し挿入させ、（６２）−界面化活性剤−Ａ／Ｂを自動計測を使用した混合液にも、自動注入させるものである。
別に（５９）−窒素ガスを用いる、［図−１９］に記載するよう（５８）−気泡発生装置により、（６０）−気泡パイプラインを通り、［図−２０］に示すよう（７４）−エッチング溶液槽の中にある、（７２）−エッチング溶液の加工液下方の底部から窒素ガス等の微細気泡生じさせ、これを繰り返し与え（６２）−界面化活性剤−Ａ／Ｂに融混合を強制的に、（５５）−攪拌装置を設けてある両サイドから、（５９）−窒素ガスを混入しながら攪拌させることまた、（３５）−ガラス基板積層シートに対し、溶液の液流を頂くよう其の面に合せたエッチング効果となるものである。
この場合仕様条件として何時も新しい化学加工液の提供と其の液流を生じさせる事また、窒素ガスによる微細気泡などを含んだものが、新鮮な濃度の良いものを連続して供給する事が出来る。
５、ウエット方式であるガラス基板のエッチング化学加工方法は、化学加工液中にガラス基板を浸漬しこのガラス基板の表面を構成するトリミング・ブランク形状の一部、あるいは全部・両側の一部若しくは全部の板厚に対し、段差深さを設ける加工であり、化学加工液としては、フッ化水素酸を主剤にした、塩酸、硫酸、リン酸、硝酸から選択する無機酸を含有することで、陰イオン系界面活性剤を含有するものである。
６、エッチング加工及び、洗浄工程、乾燥工程を併せ持つ自動装置には、［図−２１］、［図−２２］、［図−２３］に示すよう本体フレームの骨格を示し、このなかにそれぞれの持つ、各種の装置及び各計器類・測定器・各種の電磁弁・各種のガスようボンベの外付けに配置されているまた、本図［図−２３］の示す別途の装置として、エッチング加工したものをある程度、（９９）−ストックして置く為の（９７）−基板用パッケージケースを１Ｆ・２Ｆ・３Ｆへ収納する機能を設けたものである。
【発明の効果】
【０００５】１、エッチング加工する為［図−０１］に示す、それぞれ異なるシートより合わせ持つ積層（ラミネート）シート化を設けたる効果として、従来より（３５）−ガラス基板積層シートの製作工程後にシヨットブラスト加工をしていたがこれは必要が無くなり、本件の効果としてエッチング加工した、表面の粗さをコントロール制御が出来るもので、各装置に作動する機能が付加している機器等に、コントロール制御が出来る機能であり、これらの入力操作には内外部よりからの、マニアルデーター入力より可能としたものを備えているまた、［図−２３］に示すよう図中の（９８）−加工エリアー内において、（７２）−エッチング溶液等から生じる、薬液に係わる浸蝕する害に対し、出来るだけ避ける為に（１００）−無線コントルール中継器機並びに、（７６ａ）−自動搬送装置ｓｅｔ等、各種の（８０）−昇降リフト−１／２他などによる電気的制御のなかを（７８）−中央無線制御センサーより作動させる事からなる電波障害対策を設けている。
従って、裏を反すとエッチング加工は毒物扱いの為に、誰でもが使用出来る［図−２３］に示すように安全な箱物の中で加工する自動装置。
２、（２８）−空窓を設ける為［図−０２］と［図−０３］に示すよう、（１８）−エッチングハーフカット打ち抜き用金型を用いする事からなる、エッチングする形状に係わるトリミングの自由図形及び、打ち抜きする自由な図形選択が出来る。
３、エッチング加工する為の（２８）−空窓を設ける様子を［図−０９］に示すよう、（２４）−圧着ローラーＡ加圧作業をした後に、［図−１０］に示すよう、一部のエリアーを剥がす事からなり得る（２８）−空窓。
４、（３５）−ガラス基板積層シートを搬送中また、傷、打痕、破損等による保護対策より、［図−１３］に示す（２３）−ガラス基板上面に設ける（３０）−保護シート並びに、（３５）−ガラス基板積層シート。
５、細かな微細部まで洗浄が出来る、また再付着防止の効果、加工時間短縮につながる、超音波振動を満足した、（４３）−超音波振動子及びホルダー及び、（４４）−ガラス基板保持治具を設けた事［図−２７］、［図−２８］、［図−２９］の構造を示し、これを温水洗浄機能として使用した［図−１５］、［図−１６］、並びに、温風乾燥機能とした［図−１７］、［図−１８］である。
６、（３５）−ガラス基板積層シートの搬送において、異なる商品よりホールディングが不可の場合が有りそれは、ワークに与える傷・破損・打痕跡・シートへの切れ等が生じるために設けられた、（４３）−超音波振動子及びホルダーと、（４４）−ガラス基板保持治具を用意し、間接的にワークをホールドする物を用意するために、超音波振動機構を［図−２７］、［図−２８］、［図−２９］の構造を示しエッチング加工より、（３５）−ガラス基板積層シートの搬送させるためこれらを設けたものである。
結果として、細かな微細部までエッチング加工が出来る、また再付着防止になる、加工時間短縮よりなる効果が生まれたもので、超音波振動の周波数も、コントロール制御より活用が出来た。
７、界面活性剤より（６２）−界面化活性剤−Ａ／Ｂを示す（［図−２７］に記載）には、二通りの異なる溶液混合自動容器を設けてある為、それぞれの薬剤混合（各種重量の調合監視制度機能付）比率が外部入力制御可能であり、界面活性剤による混合された液剤を、（７４）−エッチング溶液槽に、同時注入が可能である。
また、ウエット方式である為エッチング加工溶液に、注いだエッチング加工効果を視ながら諸条件の変更作業が出来る事から、試液混合のテスト、量産加工が出来る（６２）−界面化活性剤−Ａ／Ｂである。
８、７４−エッチング溶液槽の中で行う、各種の使用するエッチング薬液に攪拌させる方法として、（５９）−窒素ガスを頂きこれを、（５８）−気泡発生装置からなる（５５）−攪拌装置の別途の活用方法が、これによって生まれたものである。
９、ガラス基板の品質を変更した加工を行うのには、液剤である（７２）−エッチング溶液の混合を変更する事が出来る装置であるため、化学加工液としては、フッ化水素酸を主剤にした、塩酸、硫酸、リン酸、硝酸から選択する無機酸を含有することで、陰イオン系界面活性剤を含有するものも可能。
１０、ガラス基板の量産機能が高くなり、同時に複数枚とするリピート性による順次加工処理される事が次のステップにつながる事である、従来より加工している工程では、要る枚数分だけを取り出していた作業であった。
本件は、決して手で取り出したりする行為には、危険で無理な作業であると、これを認識するものであって、また基板と基板の隙間を少し取り、収納するＢＯＸを用いこれを液槽に浸漬させ、数十分間経過後に、これを取り出し別途の部屋に移動させた上で、洗浄加工を行っていたのが実情であった。
本発明は、洗浄工程及びエッチング工程並びに、乾燥工程において通産した時間では、一分程で、工程が終了するもので、エッチング工程では浸漬させる時間を一枚通しで３０分を基に算出すると、本発明は一枚当り／４５〜５０ｓｅｃｏｎｄに値するもので量産計画が、立てられる効果です。
【発明を実施するための最良の形態】、
【実施例】
【０００６】１、本件の発明する内容には、従来より一部から成り立つものも在ったが、それらは何れもコスト高で時間がかかり実施するには程遠いこともあった、大企業ならではの得意な分野であったが本件では、これらを解消したく発明に至ったものである、其の内容と特徴等を次より記載するものである。
２、第１は、本発明はガラス基板の表面加工方法には、物理的な方法と化学的な方法の二つあり物理的な方法には、ショットブラストによる吹き付ける加工、化学的な方法に溶液浸けのフッ化水素酸溶液等を主剤とする、エッチング液による加工である、前者であるショットブラストからの吹き付ける加工等をこの先を検討しなくては成らない課題である。
何故なら、ショットブラストによる吹き付ける加工は、粉末の粉を吹きかける事から生じてくるものが有るそれは加工中、保護シートの捲れが生じてくるものがあり、従来より吹き付けの斑が存在しているまた、加工表面をミクロン単位の加工仕上がりとして将来に渡り、考慮する性質がある。
３、従来では、エッチング液による加工方法として加工する場所また、保護シートのある場所は以前から有ったが、本件はショットブラストによる加工も踏まえた、内容にも対応していることから記載するもので、ガラス基板上面または、両面にローラー圧着を行い、積層シートを組み立てた（３５）−ガラス基板積層シートである［図−１４］を特長するものであり、其のままでエッチング液による加工処理方法として使用ができる姿勢でありまた、ショットブラストによる加工も対応が出来るものである。
４、本発明では、積層（ラミネート化）されたシートの、粘着力の活用となる積層保護シート、と云えるものでもある、これらをワーク一枚ごとに順次搬送されて来る物に対し（４３）−超音波振動子及びホルダーにこれを組み込み、（４４）−ガラス基板保持治具は、搬送用の自動ホールディングの為にこれを用いる超音波振動機能を設けた方法とするもので、この効果として何より、スパッタ防止対策の一環として、これらの（３５）−ガラス基板積層シートに対し、間接的に超音波振動を加え設けたエッチング加工方法である。
また、（３５）ガラス基板積層シートに対し化学表面処理方法であるフッ化水素酸溶液等を用いるエッチング処理の際に、溶解物となった物質、フッ化物等の化学加工液の溶液槽から順次連続して取り除き（沈殿物を含む）フィルターを通し、これを強制的に攪拌しながら窒素ガスを混入させ、新しい新鮮濃度の高い、化学加工液を連続して供給する事が出来るものでありまた、化学加工液がガラス基板の加工面に対して、実質的に平行に近い液流を生じさせながら、加工液の下方の底部から窒素ガス等の微細気泡を、連続発生させる方法化学加工を併用させる事により、この化学加工の装置を設ける事が、面粗さが更に均一になり、加工時間の短縮にもつながり、更に平坦性をも向上させることが出来る。
５、本発明である、［図−２０］に示すはガラス基盤用エッチング溶液槽の装置全体を示す一般断面図を示しエッチング加工する（７４）−エッチング溶液槽に、（７２）−エッチング溶液を自動に流し挿入させ、（６２）−界面化活性剤−Ａ／Ｂの２容器からなる、自動計測を使用した混合液に自動注入させるものであり、別途に（５９）−窒素ガスを用いる、［図−１９］に記載するよう（５８）−気泡発生装置により、（６０）−気泡パイプラインを通り、［図−２０］に示すよう（７４）−エッチング溶液槽の中にある、（７２）−エッチング溶液の加工液下方の底部から窒素ガス等の微細気泡生じさせ、これを繰り返し与え（６２）−界面化活性剤−Ａ／Ｂに融混合を強制的に、（５５）−攪拌装置を設けてある両サイドから、（５９）−窒素ガスを混入しながら攪拌させることまた、（３５）−ガラス基板積層シートに対し、溶液の液流を頂くよう其の面に合せたエッチング効果となるものである。
この場合仕様条件として何時も新しい化学加工液の提供と其の液流を生じさせる事また、窒素ガスによる微細気泡等を含んだものが、新鮮な濃度の良いものを連続して供給する事が出来る要因である。
６、エッチング加工及び、洗浄工程、乾燥工程を併せ持つ自動装置には、［図−２１］、［図−２２］、［図−２３］に示すよう本体フレームの骨格を示し、このなかにそれぞれの持つ、各種の装置及び各計器類・測定器・各種の電磁弁・各種のガスようボンベの外付けに配置されているまた、本図［図−２３］の示す別途の装置として、エッチング加工したものをある程度の（９９）−ストックして置く為の（９７）−基板用パッケージケースを１Ｆ・２Ｆ・３Ｆへ収納する機能を設け、電気制御の作動には、本件、［図−２１］と［図−２７］に示すよう、電気制御による作動及び動作と其のナンバーを順次付加し、（９６）−中央コントロールＢＯＸより操作する事より始動するもので、次より記載する。
Ｎｏ−０１−始動−（スタート）
Ｎｏ−０２−移動工程−（第１室−ワーク移動）
Ｎｏ−０３−洗浄工程−（１０２−第２室ＮＯ−１温水シャワー洗浄）
Ｎｏ−０４−洗浄工程−（１０３−第２室ＮＯ−２温水シャワー流し）
Ｎｏ−０５−乾燥工程−（１０４−第２室ＮＯ−１温風シャワー）
Ｎｏ−０６−乾燥工程−（１０５−第２室ＮＯ−２温風シャワー）
Ｎｏ−０７−移動工程−（ワーク移動）
Ｎｏ−０８−エッチング加工工程−（第４室−浸漬下降作動）
Ｎｏ−０９−エッチング加工工程−（第５室−浸漬上昇作動）
Ｎｏ−１０−移動工程−（ワーク移動）
Ｎｏ−１１−洗浄工程−（１０６−第６室ＮＯ−１温水シャワー洗浄）
Ｎｏ−１２−洗浄工程−（１０７−第６室ＮＯ−２温水シャワー流し）
Ｎｏ−１３−乾燥工程−（１０８−第６室ＮＯ−１温風シャワー）
Ｎｏ−１４−乾燥工程−（１０９−第６室ＮＯ−２温風シャワー）
Ｎｏ−１５−移動工程−（第６室−ワーク移動）
Ｎｏ−１６−移動工程−（８０−昇降リフト−１／２）
Ｎｏ−１７−移動工程−（９９−ストック）
以上が動作基凖となるものであり、このナンバーから広がる電磁弁・バルブ開閉等の作動、計器・測定機器・各装置等からの送受信信号を（９６）−中央コントロールＢＯＸから（１００）−無線コントルール中継器機を通し、作動及び動作をさせるプログラム制御である。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図−０１】積層シート・ラミネート製造を示すシステム図である。
【図−０２】エッチング・ハーフカット打ち抜き用金型の全体を示す斜視図である。
【図−０３】エッチング・ハーフカット打ち抜き用金型の刃先段差を拡大した断面図である。
【図−０４】エッチング・ハーフカット打ち抜き用金型を抜いた刃先段差を拡大した断面図である。
【図−０５】抜いた積層シート物の一部のみを剥がした様子を示す断面図である・
【図−０６】ガラス用基板・プレートを貼る様子を示す拡大した断面図である。
【図−０７】圧着ローラー（Ａ加圧）を掛けている姿を示す断面図である。
【図−０８】圧着ローラを掛け、シートの沈み詳細を示す拡大した断面図である。
【図−０９】圧着ローラー状況を全体に示す斜視図である。
【図−１０】積層シートの一部を剥がしている状況を示す断面図である。
【図−１１】積層シートの一部を剥がし残した状況を示す断面図である。
【図−１２】積層シートの一部である外形輪郭部を剥がし残した状況を示す断面図である。
【図−１３】積層シートと保護シートの圧着ローラーを示す断面図である。
【図−１４】ガラス基板積層シートの完了した状況を示す斜視図である。
【図−１５】洗浄工程より温水シャワー洗浄液噴射状況を示す正面図である。
【図−１６】洗浄工程より温水シャワー洗浄を示す左側面図である。
【図−１７】乾燥工程より温風シャワーを掛けている状況を示す正面図である。
【図−１８】乾燥工程より温風シャワー状況を示す左側面図である。
【図−１９】ガラス基板用エッチング溶液槽及び装置の上面を示す平面図である。
【図−２０】ガラス基板用エッチング溶液槽及び装置正面の全体を示す断面図である。
【図−２１】自動装置全体及び配置等を示す平面図である。
【図−２２】自動装置全体及び配置等を示す正面図である。
【図−２３】自動装置全体及び配置等を示す右側面図である。
【図−２４】自動装置の搬送用に使用する基板用パッケージケースを示す正面図である。
【図−２５】自動装置の搬送用に使用する基板用パッケージケースを示す右側面図である。
【図−２６】自動装置の搬送用に使用する基板用パッケージケースを示す平面図である。
【図−２７】超音波振動子及びホルダーにガラス基板を組み合わせを示す平面図である。
【図−２８】超音波振動子及びホルダーにガラス基板を組み合わせを示す右側面図である。
【図−２９】超音波振動子及びホルダーにガラス基板を組み合わせを示す正面図である。
【図−３０】自動装置全体及び配置等を示す平面図である。
【図−３１】自動装置全体及び配置等を示す正面図である。
【符号の説明】
【０００９】０１−積層シート素材−（ＰＶ／ＰＶＣ／ＰＥＴ／ユポ等シート）
０２−微粘着付ＰＥＴ等・シート
０３−ＰＥＴセパレート等・シート
０４−Ａ−ＰＥＴシート巻取り駆動用ローラー
０５−Ｂ−ＰＥＴシート巻取り駆動用ローラー
０６−Ａ−セパレート・ローラー
０７−セパレート・ローラー
０８−微粘着剤付
０９−粘着剤付
１０−Ａ−送りローラー
１１−Ｂ−送りローラー
１２−押えローラーａ
１３−押えローラーｂ
１４−Ａ−圧着駆動用ローラー
１５−Ｂ−圧着駆動用ローラー
１６−積層シート・長さカット
１７−積層シート・ラミネート素材
１８−エッチングハーフカット打ち抜き用金型
１９−位置決め用切り刃穴
２０−トリミング＆ブランク抜き切り刃
２１−刃付け段差
２２−（０３）一部のみ剥がし
２３−ガラス基板
２４−圧着ローラーＡ加圧
２５−斜線部−（０３）の一部空間
２６−スプリング
２７−クッション付位置決めピン
２８−空窓
２９−廃棄
３０−保護シート
３１−微粘着剤
３２−従事ローラー
３３−圧着ローラーＢ加圧
３４−カット
３５−ガラス基板積層シート
３６−ガス圧力計
３７−エアーライン
３８−エアー供給
３９−バルブ開閉器
４０−温水シャワー洗浄液
４１−液量・圧力計
４２−液流ライン
４３−超音波振動子及びホルダー
４４−ガラス基板保持治具
４５−ノズルホルダー
４６−ノズル・広角調整付
４７−温風ライン
４８−温風圧力計
４９−バルブ開閉器
５０−エアーノズルホルダー
５１−エアーノズル・広角調整付
５２−吸水ポンプ
５３−非常時ランプ
５４−熱ヒーター
５５−攪拌装置
５６−フィルター
５７−気泡出口
５８−気泡発生装置
５９−窒素ガス
６０−気泡パイプライン
６１−イオン樹脂交換装置
６２−界面化活性剤−Ａ／Ｂ
６３−イオンガス圧力計
６４−窒素圧力計
６５−窒素ガスボンベ
６６−窒素ガス気泡
６７−ドレンａ−中和
６８−ドレンｂ−中和
６９−フロアー
７０−中和槽
７１−沈殿槽
７２−エッチング溶液
７３−耐熱板
７４−エッチング溶液槽
７５−自動消火器センサー
７６ａ−自動搬送装置ｓｅｔ
７６ｂ−ｓｅｔ
７６ｃ−ｓｅｔ
７６ｄ−ｓｅｔ
７６ｅ−ｓｅｔ
７６ｆ−ｓｅｔ
７７−脱臭装置
７８−中央無線制御センサー
７９−作業台
８０−昇降リフト１／２
８１−温風乾燥
８２−昇降リフト−３−
８３−ＬＰガス
８４−給排水ポンプ１／２／３／４
８５−昇降リフト−３−
８６−ローラー移動
８７−ａフレーム分割
８８−ｂフレーム分割
８９−ｃフレーム分割
９０−ｄフレーム分割
９１−ｅフレーム分割
９２−昇降リフト−４
９３−超音波振動発信装置
９４−温水器
９５−Ｒ／コンプレッサー
９６−中央コントロールＢＯＸ
９７−基板用パッケージケース
９８−加工エリアー
９９−ストック
１００−無線コントルール中継器機
１０１−超純水製造装置
１０２−第２室ＮＯ−１温水シャワー洗浄
１０３−第２室ＮＯ−２温水シャワー流し
１０４−第２室ＮＯ−１温風シャワー
１０５−第２室ＮＯ−２温風シャワー
１０６−第６室ＮＯ−１温水シャワー洗浄
１０７−第６室ＮＯ−２温水シャワー流し
１０８−第６室ＮＯ−１温風シャワー
１０９−第６室ＮＯ−２温風シャワー
１１０−オゾン装置
【図−０１】
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【図−０２】
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【図−０３】
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【図−０４】
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【図−０５】
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【図−０６】
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【図−０７】
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【図−０８】
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【図−０９】
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【図−１０】
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【図−１１】
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【図−１２】
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【図−１３】
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【図−１４】
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【図−１５】
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【図−１６】
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【図−１７】
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【図−１８】
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【図−１９】
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【図−２０】
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【図−２１】
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【図−２２】
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【図−２３】
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【図−２４】
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【図−２５】
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【図−２６】
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【図−２７】
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【図−２８】
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【図−２９】
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【図−３０】
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【図−３１】
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