(57)【要約】【課題】  大きな被加熱処理面に対しても高い均一性で加熱処理を施すことができると共に、優れたメンテナンス性が得られる加熱ユニットを提供すること。【解決手段】  加熱ユニットは、発光管部の両端の各々に連続し、当該発光管部に垂直な方向に伸びる封止管部を有し、その両端の各々に給電端子が設けられている略コ字状の白熱ランプと、当該白熱ランプの封止管部が挿入される貫通孔が形成された反射構造体と、当該反射構造体における白熱ランプの発光管部が配置される一面側の反対面側に配置され、白熱ランプに給電端子を介して給電をするための給電板とを備えており、反射構造体の貫通孔に封止管部が挿入されている状態の白熱ランプを給電端子を介して給電板に固定するためのランプ固定用部材が、当該貫通孔を臨むよう位置されていることを特徴とする。【選択図】  図１
2005197113.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光管部の両端の各々に連続し、当該発光管部に垂直な方向に伸びる封止管部を有し、その両端の各々に給電端子が設けられている略コ字状の白熱ランプと、当該白熱ランプの封止管部が挿入される貫通孔が形成された反射構造体と、当該反射構造体における白熱ランプの発光管部が配置される一面側の反対面側に配置され、白熱ランプに給電端子を介して給電をするための給電板とを備えており、
反射構造体の貫通孔に封止管部が挿入されている状態の白熱ランプを給電端子を介して給電板に固定するためのランプ固定用部材が、当該貫通孔を臨むよう位置されていることを特徴とする加熱ユニット。
【請求項２】
反射構造体における貫通孔が長孔状であり、貫通孔に封止管部が挿入された状態の白熱ランプが、反射構造体の一面に沿ってスライド可能な構造を有するものであることを特徴とする請求項１に記載の加熱ユニット。
【請求項３】
白熱ランプの両端に設けられた給電端子の各々が切欠溝を有すると共に、ランプ固定用部材が給電端子の切欠溝に対応する突起を有しており、当該白熱ランプを給電端子における切欠溝の伸びる方向にスライドさせ、切欠溝にランプ固定用部材の突起を係合させることにより、給電端子とランプ固定用部材とを接触させる構造を有するものであることを特徴とする請求項２に記載の加熱ユニット。
【請求項４】
ランプ固定用部材が給電端子を挟み込む機能を有するものであることを特徴とする請求項２または請求項３に記載の加熱ユニット。
【請求項５】
ランプ固定用部材がネジよりなり、反射構造体の貫通孔に挿入され、当該貫通孔を介してネジの頭部に到達するドライバーによってネジを回すことのできる構造を有するものであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の加熱ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶基板やプラズマディスプレイなどのガラス基板および、半導体ウエハの加熱処理に好適に利用される、加熱源として白熱ランプを用いた加熱ユニットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウエハを加熱処理するための加熱装置を構成する加熱ユニットとしては、白熱ランプを加熱源とするものが用いられており、このような加熱ユニットには、等間隔で平行に配列された状態の複数の直管型の白熱ランプが備えられている（例えば、特許文献１参照。）。
近年、このような構成の加熱ユニットは、液晶基板やプラズマディスプレイなどのガラス基板の加熱処理にも用いられている。
【０００３】
しかしながら、直管型の白熱ランプが配列されてなる構成の加熱ユニットにおいては、被加熱処理物であるガラス基板が大型化して被加熱処理面が大きくなってきていることに対応するために、加熱源として、例えば全長２ｍと長尺な白熱ランプが用いられているが、このような長尺な白熱ランプは、それ自体に撓みが生じるため、当該白熱ランプの中央部分のみが被加熱処理物に接近し、これに起因して被加熱処理面の温度分布にばらつきが生じてしまい、被加熱処理物に対して所望の加熱処理を施すことができない、という問題がある。また、白熱ランプが長尺化することにより、当該白熱ランプに係るハンドリング性およびメンテナンス性が著しく低下する、という問題もある。
【０００４】
而して、加熱ユニットの加熱源として、発光管部の両端の各々に連続し、当該発光管部に垂直な方向に伸びる封止管部を有する略コ字状の白熱ランプ（以下、「コ字状白熱ランプ」ともいう。）が複数配列されてなる構成のものが提案されている（例えば、特許文献２参照。）。
このような加熱ユニットを備えてなる加熱装置の或る種のものとしては、図１４に示すように、上方（図１４において上方）に開口を有する箱状体よりなるチャンバー８１と、当該チャンバー８１の開口を塞ぐよう、着脱自在に設けられた板状体よりなるチャンバー天板８２と、チャンバー８１およびチャンバー天板８２によって形成される加熱処理空間Ｓ内に配置された、被加熱処理物Ｎを支持するための支持台８４とを備えており、加熱ユニット８５が加熱処理空間Ｓ内におけるチャンバー天板８２の下方（図１４において下方）に加熱ユニット固定用ネジ８５Ａによって固定された状態で設けられているものが用いられている。
図１４において、８３は、チャンバー天板８２に固定されており、加熱ユニット固定用ネジ８５Ａに対応するネジ孔を有するスペーサーである。
【０００５】
加熱ユニット８５は、コ字状白熱ランプ８６の封止管部８６Ｂの各々が挿入される複数（図１４においては６個が図示されている）の貫通孔８７Ａが形成された反射構造体８７と、当該反射構造体８７におけるコ字状白熱ランプ８６の発光管部８６Ａが配置される一面（図１４において下面）８７Ｂ側の反対面（図１４において上面）８７Ｃ側に設けられる、コ字状白熱ランプ８６を保持するためのランプホルダー８９と、反射構造体８７の反対面８７Ｃ側に配置される、コ字状白熱ランプ８６に給電線８８Ａを介して給電をするための給電板８８とを有する構成のものである。
このような加熱ユニット８５においては、コ字状白熱ランプ８６の各々に対する給電機構を発光管部８６Ａの延長線上に設ける必要がないことから、設計の自由度が大きくなるため、直管型の白熱ランプを備えてなる加熱ユニットのように当該白熱ランプを反射構造体の表面に沿って平行に配列する形態に限定されず、複数のコ字状白熱ランプ８６を種々の状態に配列することができる。
【０００６】
このような加熱ユニットによれば、被加熱処理物が被加熱処理面の大きなものであっても、複数の白熱ランプの各々を大きな撓みが生じる程に長尺化することなく、その配列状態によって被加熱処理面の大きさに対応することができることから、被加熱処理面を均一な温度分布によって加熱し、被加熱処理物に対して所望の加熱処理を施すことができる。  この図の例において、加熱ユニット８５を構成する複数のコ字状白熱ランプ８６は、発光管部８６Ａが反射構造体８７の一面８７Ｂに沿うように等間隔で平行に配列された状態のコ字状白熱ランプ８６よりなる白熱ランプ群の複数（図１４においては３個）が、各白熱ランプ群を構成するコ字状白熱ランプ８６の配列方向に垂直な方向において等間隔で平行に配列するよう配置されている。
【０００７】
しかしながら、このような構成の加熱ユニット８５において、コ字状白熱ランプ８６を交換する場合には、先ず、加熱ユニット８５が固定されている状態のチャンバー天板８２をチャンバー８１から取り外し、次いで、加熱ユニット８５を、チャンバー天板１２から取り外し、その後、コ字状白熱ランプ８６自体の交換作業を行う必要があることから、作業が大掛かりなものとなる、という問題がある。
また、加熱ユニットに、例えば反射構造体を冷却するための冷却用冷水配管などの部材が設けられている場合には、コ字状白熱ランプの交換作業が特に大掛かりなものとなる。
【０００８】
【特許文献１】特開昭６１−６７１１５号公報
【特許文献２】特開昭６３−２６９５１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その目的は、大きな被加熱処理面に対しても高い均一性で加熱処理を施すことができると共に、優れたメンテナンス性が得られる加熱ユニットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の加熱ユニットは、発光管部の両端の各々に連続し、当該発光管部に垂直な方向に伸びる封止管部を有し、その両端の各々に給電端子が設けられている略コ字状の白熱ランプと、当該白熱ランプの封止管部が挿入される貫通孔が形成された反射構造体と、当該反射構造体における白熱ランプの発光管部が配置される一面側の反対面側に配置され、白熱ランプに給電端子を介して給電をするための給電板とを備えており、
反射構造体の貫通孔に封止管部が挿入されている状態の白熱ランプを給電端子を介して給電板に固定するためのランプ固定用部材が、当該貫通孔を臨むよう位置されていることを特徴とする。
【００１１】
本発明の加熱ユニットは、反射構造体における貫通孔が長孔状であり、貫通孔に封止管部が挿入された状態の白熱ランプが、反射構造体の一面に沿ってスライド可能な構造を有するものであることが好ましい。
【００１２】
本発明の加熱ユニットは、白熱ランプの両端に設けられた給電端子の各々が切欠溝を有すると共に、ランプ固定用部材が給電端子の切欠溝に対応する突起を有しており、当該白熱ランプを給電端子における切欠溝の伸びる方向にスライドさせ、切欠溝にランプ固定用部材の突起を係合させることにより、給電端子とランプ固定用部材とを接触させる構造を有するものであることが好ましい。
【００１３】
本発明の加熱ユニットにおいては、ランプ固定用部材が給電端子を挟み込む機能を有するものであることが好ましい。
【００１４】
本発明の加熱ユニットは、ランプ固定用部材がネジよりなり、反射構造体の貫通孔に挿入され、当該貫通孔を介してネジの頭部に到達するドライバーによってネジを回すことのできる構造を有するものであることが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の加熱ユニットによれば、加熱源として、略コ字状の白熱ランプを用い、当該白熱ランプを固定するためのランプ固定用部材が反射構造体に形成されている貫通孔を臨むよう位置されているため、加熱ユニット自体を当該加熱ユニットが取り付けられている部材から取り外すことなく、反射構造体の貫通孔を介して白熱ランプを着脱することができることから、極めて容易に白熱ランプの交換作業を行うことができ、また、被加熱処理物が大きな被加熱処理面を有するものであっても、設計の自由度が大きいため、白熱ランプの配列状態によって被加熱処理面の大きさに対応し、被加熱処理面を均一な温度分布によって加熱することができる。
従って、本発明の加熱ユニットによれば、大きな被加熱処理面に対しても高い均一性で加熱処理を施すことができると共に、優れたメンテナンス性を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明の加熱ユニットの構成の一例を、当該加熱ユニットが加熱装置に設けられた状態によって示す説明図であり、図２は、図１の加熱ユニットの要部を拡大して示す説明用断面図であり、図３は、図１の加熱ユニットを図２における矢印方向から見た状態を示す説明図であり、図４は、図１の加熱ユニットに備えられている白熱ランプの構成を給電端子と共に示す説明用斜視図である。
この加熱装置１０は、被加熱処理物であるガラス基板Ｍを加熱処理するためのものであって、上方（図１において上方）に開口を有し、また側面（図１における左面および右面）に窓部１１Ａが形成された箱状体よりなるチャンバー１１と、当該チャンバー１１の開口を塞ぐよう、着脱自在に設けられた板状体よりなるチャンバー天板１２と、チャンバー１１およびチャンバー天板１２によって形成される加熱処理空間Ｓ内に配置された、ガラス基板Ｍを支持するための支持台１４とを備えており、加熱処理空間Ｓ内におけるチャンバー天板１２の下方（図１において下方）には、加熱ユニット固定用ネジ２９によってチャンバー天板１２に固定された状態の加熱ユニット２０が設けられている。
この例において、ガラス基板Ｍは、縦２．２ｍ、横１．９ｍの大きさの被加熱処理面を有するものであり、また、加熱ユニット２０は、チャンバー天板１２との離間距離が６０ｍｍとなる位置に設けられている。
【００１７】
加熱ユニット２０には、加熱源として、直管状の発光管部３１と、当該発光管部３１の両端の各々に連続し、この発光管部３１に垂直な方向に伸びる封止管部３２とを有する略コ字状の白熱ランプ（以下、「コ字状白熱ランプ」ともいう。）３０が備えられている。  この加熱ユニット２０は、複数（図１においては３個が図示されている）のコ字状白熱ランプ３０と、これらのコ字状白熱ランプ３０の両端に設けられた、各封止管部３２から突出する外部リード棒（図示せず）と電気的に接続されているＬ字状の給電端子２５と、コ字状白熱ランプ３０の各々の封止管部３２が挿入される複数の長孔状の貫通孔（以下、「貫通長孔」ともいう。）２２が形成された反射構造体２１と、当該反射構造体２１におけるコ字状白熱ランプ３０の発光管部３１が配置される一面２１Ａ側（図１において下面側）の反対面２１Ｂ側（図１において上面側）に配置される、コ字状白熱ランプ３０に給電端子２５を介して給電をするための給電板２４と、給電端子２５を介してコ字状白熱ランプ３０を給電板２４に固定するためのランプ固定用部材であるランプ固定用ネジ２７とを有する構成のものである。
【００１８】
この例において、複数のコ字状白熱ランプ３０は、反射構造体２１の一面２１Ａに沿うように等間隔で平行に配列された複数（具体的には２７個）のコ字状白熱ランプ３０よりなる白熱ランプ群の複数（具体的には３個）が、各白熱ランプ群を構成するコ字状白熱ランプ３０の配列方向に垂直な方向において等間隔で平行に配列するよう配置されている。  また、２３はチャンバー天板１２に固定され、加熱ユニット固定用ネジ２９に対応するネジ孔を有するスペーサーであり、２４Ａは反射構造体２１に固定された、給電板２４を支持するための絶縁性支柱であり、２４Ｂは給電板２４に電流を供給するための電流導入用配線であり、２８は反射構造体２１を冷却するための冷却用冷水配管である。
【００１９】
加熱ユニット２０において、コ字状白熱ランプ３０の各々は、各封止管部３２が反射構造体２１における対応する貫通長孔２２に挿入された状態において、給電端子２５の先端部２５Ａの中央部分に形成されている貫通孔２５Ｃに挿入された状態のランプ固定用ネジ２７が、給電板２４に形成されているネジ孔に螺合され、これにより、給電端子２５が給電板２４に接触することにより、給電端子２５を介して給電板２４と電気的に接続された状態で保持されている。
そして、コ字状白熱ランプ３０を固定している状態のランプ固定用ネジ２７の各々は、その頭部２７Ａが、当該コ字状白熱ランプ３０の封止管部３２が挿入されている貫通長孔２２の各々を臨むよう位置されている。
この例においては、貫通長孔２２は、長軸がコ字状白熱ランプ３０の発光管部３１に垂直な方向に伸び、短軸が封止管部３２の外径に適合した大きさを有するものであって、当該貫通長孔２２の一端２２Ａ側部分にはコ字状白熱ランプ３０の封止管部３２が挿入され、また、他端２２Ｂ側部分の直上にはランプ固定用ネジ２７の頭部２７Ａが位置されている。
【００２０】
加熱ユニット２０を構成するコ字状白熱ランプ３０は、発光管部３１を構成する直管状の水平部３４Ａと、当該水平部３４Ａの両端の各々に連続し、この水平部３４Ａに垂直な方向に伸びる封止管部３２を構成する垂直部３４Ｂを有する略コ字状の石英ガラスよりなるバルブ３４を備えており、当該バルブ３４における水平部３４Ａ内に、当該水平部３４Ａに沿って伸び、垂直部３４Ｂ内を伸びる内部リード棒３７および外部リード棒を介して給電端子２５と電気的に接続されているフィラメント３６が配置されてなるものである。このコ字状白熱ランプ３０を構成するバルブ３４の封止された両端の各々には、給電端子２５を基端部分２５Ｂにおいて支持するセラミックベース２６が装着されている。
このコ字状白熱ランプ３０は、封止管部３２の各々が発光管部３１に垂直な平面に関して対称な構造を有しており、給電端子２５の基端部２５Ｂは、封止管部３２に平行な方向に伸び、これに連続する先端部２５Ａは、封止管部３２に垂直な方向であって発光管部３１に垂直な方向に伸びている。
【００２１】
反射構造体２１は、例えば厚み１２ｍのアルミニウム製のブロックよりなるものである。
この反射構造体２１は、その一面２１Ａが鏡面処理が施されてなるものであってもよいが、この例において示すように、一面２１Ａに、例えば厚み１ｍｍの光輝性を有するアルミニウム製のタイル状体よりなる反射プレート１６が取り付けられいていることが好ましい。
ここに、反射プレート１６は、図２に示すように、反射構造体２１に形成されている貫通長孔２２におけるコ字状白熱ランプ３０の封止管部３２が挿入されていない部分を覆うよう設けられることが好ましい。これにより、コ字状白熱ランプ３０から反射構造体２１に向かう方向に放射された光がガラス基板Ｍに向かう方向に高い割合で反射されることとなり、コ字状白熱ランプ３０からの放射光をガラス基板Ｍの加熱処理に高い効率で利用することができる。
【００２２】
加熱ユニット２０を構成するコ字状白熱ランプ３０の仕様の一例としては、発光管部３１の全長が５２５ｍｍ、封止管部３２の全長が９５ｍｍであって、バルブ３４の管径が１０ｍｍであり、定格電圧が１６５Ｖ、定格消費電力が１８４０Ｗである。
このような形状のコ字状白熱ランプ３０を用いる場合には、反射構造体２１における貫通長孔２２は、例えば、長軸の長さが２０ｍｍとされ、短軸の長さが１２ｍｍとされる。  また、給電端子２５としては、ニッケルよりなるものであって、その厚さが０．２ｍｍのものを用いることができ、給電板２４としては、例えば銅よりなる基材にニッケルメッキが施されてなるものであって、その厚さが５ｍｍのものを用いることができる。
【００２３】
このような構成の加熱ユニット２０において、コ字状白熱ランプ３０の交換作業に係る取り外し工程は、先ず、加熱ユニット２０が固定されている状態のチャンバー天板１２をチャンバー１１から取り外した後、このチャンバー天板１２に固定されている加熱ユニット２０に対して、反射構造体２１の一面２１Ａ側から当該反射構造体２１の貫通長孔２２を介してドライバーを、反射構造体２１の反対面２１Ｂ側（以下、「加熱ユニット空間」ともいう。）に挿入し、コ字状白熱ランプ３０を固定しているランプ固定用ネジ２７の頭部２７Ａに到達させ、このドライバーによってランプ固定用ネジ２７を緩めて当該コ字状白熱ランプ３０を給電板２４から取り外し、このコ字状白熱ランプ３０の封止管部３１を貫通長孔２２を介して加熱ユニット空間から取り出す手順によって行われる。
また、コ字状白熱ランプ３０の交換作業に係る取り付け工程は、取り外し作業の手順と逆の手順により、新しいコ字状白熱ランプを給電端子２５を介して給電板２４に取り付け、この新しいコ字状白熱ランプ３０が取り付けられた加熱ユニットが固定されている状態のチャンバー天板１２をチャンバー１１に取り付けることによって行われる。
【００２４】
このような構成の加熱ユニット２０によれば、加熱源として、複数のコ字状白熱ランプが用いられ、各コ字状白熱ランプ３０を固定するためのランプ固定用ネジ２７の頭部２７Ａが、反射構造体２１に形成されている、当該白熱ランプの封止管部３２Ｂが挿入されている貫通長孔２２を臨むよう位置されるため、加熱ユニット２０自体をチャンバー天板１２から取り外すことなく、反射構造体２１の貫通長孔２２を介してドライバーを挿入し、このドライバーによってコ字状白熱ランプ３０を固定しているランプ固定用ネジ２７を緩めたり、または締めたりすることができると共に、給電端子２５が設けられているコ字状白熱ランプ３０の封止管部３２を、当該貫通長孔２２を介して加熱ユニット空間内に出し入れすることができる。従って、反射構造体２１の貫通長孔２２を介してコ字状白熱ランプ３０を着脱することができることから、コ字状白熱ランプ３０の交換作業を容易に行うことができる。
【００２５】
また、加熱ユニット２０を備えてなる加熱装置１０によれば、複数のコ字状白熱ランプ３０のすべてを一斉に点灯状態とすることにより、これらのコ字状白熱ランプ３０によってガラス基板Ｍの被加熱処理面に対して放射光が照射され、当該ガラス基板Ｍの加熱処理が行われるが、加熱ユニット２０の設計の自由度が大きく、複数のコ字状白熱ランプ３０が、このガラス基板Ｍの大きな被加熱処理面に対応した状態に配列されているため、当該被加熱処理面を均一な温度分布によって加熱することができる。
【００２６】
以上のことから、本発明の加熱ユニット２０によれば、大きな被加熱処理面に対しても高い均一性で加熱処理を施すことができると共に、優れたメンテナンス性を得ることができる。
【００２７】
また、加熱ユニット２０においては、反射構造体２１の一面２１Ａに設けられている反射プレート１６によって当該反射構造体２１の貫通長孔２２におけるコ字状白熱ランプ３０の封止管部３２が挿入されていない部分が覆われているため、コ字状白熱ランプ３０から反射構造体２１に向かう方向に放射された光が高い割合でガラス基板Ｍに向かう方向に反射され、コ字状白熱ランプ３０からの放射光をガラス基板Ｍに対する加熱処理に高い効率で利用することができることから、優れた加熱処理性能が得られる。
【００２８】
以上、本発明の実施の形態について具体的に説明したが、本発明は上記の例に限定されるものではなく、種々の変更を加えることができる。
【００２９】
例えば、加熱ユニットは、図５〜図８に示すように、給電端子として、その先端部分が屈曲した略Ｌ字状の形状を有し、先端部４１Ａに切欠溝４２が形成されている給電端子４１を備え、ランプ固定部材として、屈曲部４４Ｃを介して連続すると共に対向し、挿入される給電端子４１の先端部４１Ａに適合した形状の給電端子挿入用空間を区画する上板４４Ａおよび下板４４Ｂにより構成される保持部を有する保持部材４４を備えており、この保持部材４４が、給電性能を有するネジ（以下、「給電ネジ」ともいう。）４３によって給電板２４に固定され、給電端子挿入用空間に突起が形成されている構成を有するものであってもよい。この加熱ユニットは、給電端子４１、ランプ固定部材に係る構成以外は、図１の加熱ユニットと同様の構成を有するものである。
この図の例においては、１個のコ字状白熱ランプ３０に係る給電端子４１の各々には、互いに平行に伸びる切欠溝４２が形成され、また、反射構造体４６には、保持部材４４における給電端子挿入方向（図８における左右方向）に伸びる長孔状の貫通孔（以下、「貫通長孔」ともいう。）４７が形成されており、この貫通長孔４７の他端４７Ａ側部分の直上に給電ネジ４３の頭部４３Ａが配置されている。また、保持部材４４を構成する上板４４Ａ、屈曲部４４Ｃおよび下板４４Ｂは、厚さ０．３ｍｍのステンレス製の板状体により一体的に形成されるものである。
【００３０】
この加熱ユニットにおいては、コ字状白熱ランプ３０の封止管部３２の各々を、反射構造体４６の対応する貫通長孔４７の一端４７Ｂ側部分に挿入し、この状態のコ字状白熱ランプ３０を当該貫通長孔４７の他端４７Ａに向かう長さ方向（図６における矢印方向）にスライドさせることによって保持部材４４における給電端子挿入空間内に給電端子４１の先端部４１Ａを挿入し、給電端子４１の切欠溝４２の谷部４２Ａに給電ネジ４３のネジ本体４３Ｂを係合させる手順により、コ字状白熱ランプ３０は、所定の位置において、給電ネジ４３および給電端子４１を介して電気的に接続された状態で取り付けられる。一方、コ字状白熱ランプ３０は、この手順とは逆の手順によって取り外される。
従って、この加熱ユニットにおいては、トライバーなどの工具を用いることなく、コ字状白熱ランプ３０の交換作業を極めて容易に行うことができる。
【００３１】
また、加熱ユニットは、ランプ固定用部材として、給電板に適宜の方法によって固定された、給電端子を挟み込む作用を有する挟持部材を備え、両端に給電端子が設けられているコ字状白熱ランプの封止管部の各々を長孔状の貫通孔の一端側部分に挿入し、この状態のコ字状白熱ランプを、当該貫通孔の他端に向かう方向に反射構造体の一面に沿ってスライドさせることによって給電端子を挟持部材に挟持させる手順により、コ字状白熱ランプが、所定の位置において、挟持部材および給電端子を介して電気的に接続された状態で取り付けられ、そして固定される構成のものであってもよい。
このような加熱ユニットにおいては、トライバーなどの工具を用いることなく、コ字状白熱ランプの交換作業を極めて容易に行うことができる。
具体的には、例えば下記（１）〜（３）の構成を有するものが挙げられる。
【００３２】
（１）図９および図１０に示すように、給電端子として、図１に係る加熱ユニット２０を構成する給電端子２５と同様の構成を有する給電端子５１を備え、挟持部材として、屈曲部５４Ｃを介して連続すると共に対向し、挟持すべき給電端子５１の先端部５１Ａに適合した形状の給電端子挿通路を形成する上板５４Ａおよび下板５４Ｂにより構成される挟持部を有し、当該給電端子挿通路上に、上板５４Ａの中央部分から下板５４Ｂに向かう方向（図１０において下方向）に突出する、給電端子５１の貫通孔５２に適合した形状を有する突起５５が形成されている挟持部材５４が備えられている構成。
【００３３】
このような構成を有する加熱ユニットにおいては、コ字状白熱ランプをスライドさせることによって挟持部材５４における給電端子挿通路に給電端子５１の先端部５１Ａが挿入され、これにより、給電端子５１の貫通孔５２が挟持部材５４の突起５５に係合し、給電端子５１の先端部５１Ａが挟持部材５４に挟持された状態が形成される。
【００３４】
（２）図１１および図１２に示すように、給電端子として、先端部６１Ａに貫通孔が形成されていないこと以外は図１に係る加熱ユニット２０を構成する給電端子２５と同様の構成を有する給電端子６１を備え、挟持部材として、屈曲部６４Ｃを介して連続すると共に対向し、挟持すべき給電端子６１の先端部６１Ａに適合した形状の給電端子挿通路を形成する上板６４Ａおよび下板６４Ｂにより構成される挟持部を有する挟持部材６４が備えられている構成。
【００３５】
このような構成を有する加熱ユニットにおいては、コ字状白熱ランプをスライドさせることによって挟持部材６４における給電端子挿通路に給電端子６１の先端部６１Ａが挿入され、これにより、給電端子６１の先端部６１Ａが挟持部材６４に挟持された状態が形成される。
【００３６】
（３）図１３に示すように、給電端子として、先端部７１Ａに貫通孔が形成されていないこと以外は図１に係る加熱ユニットを構成する給電端子２５と同様の構成を有する給電端子７１を備え、挟持部材として、挟持すべき給電端子７１の先端部７１Ａに適合した大きさの平板状部分７４Ａと、この平板状部分７４Ａの両側面の各々に連続し、屈曲して伸びる屈曲部分７４Ｂにより構成される挟持部を有する挟持部材７４が備えられている構成。
【００３７】
このような構成を有する加熱ユニットにおいては、コ字状白熱ランプをスライドさせることにより、給電端子７１の先端部７１Ａが挟持部材７４に挟持された状態が形成される。  
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の加熱ユニットの構成の一例を、当該加熱ユニットが加熱装置に設けられた状態によって示す説明図である。
【図２】図１の加熱ユニットの要部を拡大して示す説明用断面図である。
【図３】図１の加熱ユニットを図２における矢印方向から見た状態を示す説明図である。
【図４】図１の加熱ユニットに備えられている白熱ランプの構成を給電端子と共に示す説明用斜視図である。
【図５】本発明の加熱ユニットの構成の他の例を示す説明用拡大図である。
【図６】図５の加熱ユニットを図５における矢印方向から見た状態における白熱ランプの両端に設けられている給電端子、反射構造体に形成されている貫通孔および給電ネジの位置関係を示す説明図である。
【図７】図５の加熱ユニットに備えられている白熱ランプに設けられている給電端子の構成を示す説明用斜視図である。
【図８】図５の加熱ユニットを構成する給電端子と挟持部材との関係を示す説明図である。
【図９】本発明の加熱ユニットを構成する白熱ランプに設けられる給電端子の構成の他の例を示す説明用斜視図である。
【図１０】図９の給電端子と、この給電端子に対応する保持部材との関係を示す説明図である。
【図１１】本発明の加熱ユニットを構成する白熱ランプに設けられる給電端子の構成の更に他の例を示す説明用斜視図である。
【図１２】図１１の給電端子と、この給電端子に対応する挟持部材との関係を示す説明図である。
【図１３】本発明の加熱ユニットを構成する白熱ランプに設けられる給電端子の構成のまた更に他の例を示す説明用斜視図である。
【図１４】従来の加熱ユニットの構成の一例を、当該加熱ユニットが加熱装置に設けられた状態によって示す説明図である。
【符号の説明】
【００３９】
１０      加熱装置
１１      チャンバー
１１Ａ      窓部
１２      チャンバー天板
１４      支持台
１６    反射プレート
２０      加熱ユニット
２１      反射構造体
２１Ａ      一面
２１Ｂ      反対面
２２      貫通孔
２２Ａ      一端
２２Ｂ      他端
２３      スペーサー
２４      給電板
２４Ａ      絶縁性支柱
２４Ｂ      電流導入用配線
２５      給電端子
２５Ａ      先端部
２５Ｂ      基端部
２５Ｃ      貫通孔
２６      セラミックベース
２７      ランプ固定用ネジ
２７Ａ    頭部
２８      冷却用冷水配管
２９      加熱ユニット固定用ネジ
３０      白熱ランプ
３１      発光管部
３２      封止管部
３４      バルブ
３４Ａ    水平部
３４Ｂ    垂直部
３６      フィラメント
３７      内部リード棒
４１      給電端子
４１Ａ      先端部
４２      切欠溝  
４２Ａ    谷部
４３      ネジ
４３Ａ    頭部
４３Ｂ    ネジ本体
４４      保持部材
４４Ａ      上板
４４Ｂ      下板
４４Ｃ      屈曲部
４６      反射構造体
４７      貫通孔
４７Ａ      他端
４７Ｂ      一端
５１      給電端子
５１Ａ      先端部
５２      貫通孔
５４      挟持部材
５４Ａ      上板
５４Ｂ      下板
５４Ｃ      屈曲部
５５      突起
６１      給電端子
６１Ａ      先端部
６４      挟持部材
６４Ａ      上板
６４Ｂ      下板
６４Ｃ      屈曲部
７１      給電端子
７１Ａ      先端部
７４      挟持部材
７４Ａ      平板状部分
７４Ｂ      屈曲部分
８１      チャンバー
８２      チャンバー天板
８３      スペーサー
８４      支持台
８５      加熱ユニット
８５Ａ      加熱ユニット固定用ネジ
８６      白熱ランプ
８６Ａ      発光管部
８６Ｂ      封止管部
８７      反射構造体
８７Ａ      貫通孔
８７Ｂ      一面
８７Ｃ      反対面
８８        給電板
８８Ａ      給電線
８９      ランプホルダー
【図１】
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【図２】
2005197113.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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