(57)【要約】【課題】  ガラス状板を個々に格納し、またガラス状板が撓むのを抑えることができると共にガラス状板間のスロットピッチを小さくすること。【解決手段】  パレットカセット１０は、ガラス状板を格納するためのものであって、液晶基板Ｇを載置する底板１１と、底板１１の両側辺部に設けられた側辺枠１２、１３と、底板１１において、側辺枠１２、１３と異なる後方の側辺部に設けられた連結枠１５とが組み付けられることで、枠組体１０′が形成される。パレットカセット１０の底板１１には、前方に向けて開口された切欠１７が平行に三個設けられる。パレットカセット１０は、両側辺枠１２、１３に横滑り防止ピン１６が上方に突設される。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス状板を個々に格納するパレットカセットであって、
前記ガラス状板を載置する底板と、該底板の両側辺部に設けられ、かつ外部側方に延在する持ち上げ用取手部を有する側辺枠と、前記底板の、前記側辺枠を除く後方の側辺部に設けられた連結枠とにより、前方が開放された枠組体が形成され、
前記底板に前記連結枠と対向する前方の側辺部に向けて開口された切欠が複数設けられていることを特徴とするパレットカセット。
【請求項２】
請求項１記載のパレットカセットにおいて、
前記枠組体を互いに上下方向に積み重ねるとき、前記枠組体における前方側の底部と当接して支持する撓み防止板が設けられることを特徴とするパレットカセット。
【請求項３】
請求項１又は２記載のパレットカセットにおいて、
前記側辺枠の上部に上方に突出する横滑り防止ピンが突設される一方、前記側辺枠の底部に、前記横滑り防止ピンを嵌合する溝が形成されていることを特徴とするパレットカセット。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか記載のパレットカセットが、上下方向に積み重ねられたとき、所望のパレットカセットに対してガラス状板を出し入れするガラス状板の搬入出装置であって、パレット搬入出機構と、搬入出機構とを備えており、
前記パレット搬入出機構は、前記パレットカセットの前記持ち上げ用取手部を持ち上げて前記パレットカセットを昇降させる持ち上げ爪を有し、該持ち上げ爪により、互いに積み重ねられた各々のパレットカセットの中から、所望パレットカセットの上下方向に前記搬入出機構の動作に必要な空間を確保し、
前記搬入出機構は、前記ガラス状板を載置可能で、前記パレットカセットの前記切欠に挿入するピック部を有し、前記パレット昇降機構により前記所望のパレットカセットの上下方向に前記空間が確保された時点で、前記所望のパレットカセットに対して前記ガラス状板を出し入れすることを特徴とするガラス状板の搬入出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ガラス状板のパレットカセット及びガラス状板の搬入出装置に係り、特に、ガラス状板を格納するパレットカセットと、そのパレットカセットに対してガラス状板を搬入出する搬入出装置とに関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラス状板としての液晶基板を格納する場合、カセットが用いられている。従来のカセットを図１０に示す。同図（ａ）に示すカセット１は、その内部の両側に基板支持梁２が上下方向に所定間隔をもって複数配設されている。これら基板支持梁２は、図１０（ｂ）に示すように、水平方向にも間欠的に複数設けられている。従って、従来のカセット１は、内部に多数の基板支持梁２が配設された箱形構造とされており、対応する基板支持梁２間に液晶基板Ｇを載せることで、複数の液晶基板Ｇを上下多段に格納できるように構成されている（特許文献１、２参照）。
【０００３】
そして、液晶基板Ｇを格納するカセット１に対しては、ロボットなどからなる搬入出装置３によって基板の搬入出が行われている。即ち、図１１に示すように、搬入出装置３の第１アーム３ａ及び第２アーム３ｂを介してピック部３ｃが設けられ、ピック部３ｃは第１、第２アーム３ａ、３ｂによって進退可能に支持されており、液晶基板Ｇをカセット１内に入れたり、出したりするようになっている。
搬入出装置３によってカセットを搬送する装置として、例えば特許文献３に記載された技術が提案されている。
【特許文献１】特開２００１−３３８９７３号公報
【特許文献２】特開２００２−３０２１１４号公報
【特許文献３】特開平１０−３１５１６４号公報（第２−３頁、図１−図３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、従来のカセット１は、図１０に示されるように、液晶基板Ｇの両側を基板支持梁２で支える単純な構造であるので、基板支持梁２だけで支えた場合、液晶基板Ｇが自重で下方に撓んでしまうという不具合があった。特に、今日では、液晶基板Ｇが大型化しており、そのサイズが大きくなるにつれて撓み量の程度も大きくなり、そのため、液晶基板Ｇ間の間隔を確保するために、カセット１のスロットピッチを広く設定することが余儀なくされている。
しかしながら、液晶基板Ｇが大きくなるとその撓み量が大きくなることから、カセット１を大型する必要が生じるばかりでなく、図１１に示される搬入出装置３のピック部３ｃのサイズも、カセット１の大型化に伴い大型化する必要もあるが、そのようにすると、ピック部３ｃ自体も自重で撓んでしまい、ガラス状板Ｇを取り出すとき、その取り出そうとしている液晶基板Ｇに隣接する液晶基板Ｇと干渉してしまうことから、カセット１内のスロットピッチを更に大きくしなければならず、カセット１をかなり大型化しなければならなかった。
従って、液晶基板Ｇが大型化すると、カセット１及び搬入出装置３を大型化しなければならない問題があるばかりでなく、それ以外のもの、例えば、カセット１を工場内に設置するストッカー棚の敷地面積及び容積も大きくなってしまうというスペース上の問題も生じる。
【０００５】
一方、カセット１のスロットピッチを狭くするため、図１２に示すように、ワイヤカセット４が提案されている。図１２に示すワイヤカセット４は、ワイヤ５が内部の両側に跨り、水平方向に張り付けられると共に、それらのワイヤ５が上下段にもそれぞれ設けられ、これによって、ワイヤ５によって支持された液晶基板Ｇが撓むことがないようにしている。  しかしながら、ワイヤカセット４では、ワイヤ５が横方向に張り付けられているので、搬送ロボット３のピック部３ｃによって液晶基板Ｇを出し入れしようとすると、ピック部３ｃがワイヤ５に引き掛かってしまうことから、搬送ロボットで搬入出させることができない問題がある。
【０００６】
この発明は、このような事情を考慮してなされたもので、液晶基板等のガラス状板を個々に格納し、また格納しても、ガラス状板が撓むのを抑えることができると共に、ガラス状板間のスロットピッチを小さくすることができる新規なパレットカセットを提供することを目的とし、また、上記パレットカセット内のガラス状板間のスロットピッチが小さいにも拘わらず、所望のガラス状板を所望の位置に出し入れすることができるガラス状板の搬入出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、この発明は以下の手段を提案している。
請求項１に係る発明は、ガラス状板を個々に格納するパレットカセットであって、前記ガラス状板を載置する底板と、該底板の両側辺部に設けられ、かつ外部側方に延在する持ち上げ用取手部を有する側辺枠と、前記底板の、前記側辺枠を除く後方の側辺部に設けられた連結枠とによって前方が開放された枠組体が形成され、前記底板に前記連結枠と対向する前方の側辺部に向けて開口された切欠が複数設けられていることを特徴とする。
これにより、ガラス状板が格納されたパレットカセットが上下方向に積み重ねられたとき、ガラス状板が撓むのを抑えることができ、また、底板がガラス基板を支持するため、パレットカセットに格納されたガラス状板間のスロットピッチを小さくすることができる。
請求項２に係る発明は、請求項１記載のパレットカセットにおいて、前記枠組体を互いに上下方向に積み重ねるとき、前記枠組体における前方側の底部と当接して支持する撓み防止板が設けられることを特徴とする。
これにより、パレットカセットが積み重ねられたとき、撓み防止板が底板を支持するため、パレットカセットが撓むのを防止することができる。
請求項３に係る発明は、請求項１又は２記載のパレットカセットにおいて、前記側辺枠の上部に上方に突出する横滑り防止ピンが突設される一方、前記側辺枠の底部に、前記横滑り防止ピンを嵌合する溝が形成されていることを特徴とする。
これにより、パレットカセットを積み重ねたとき、パレットカセット同士が横にずれることなく上下方向に綺麗に整列させることができ、パレットカセットの積み重ねを安定して行えると共に、その積み重ね状態を安定して維持させることができる。
請求項４に係る発明は、請求項１〜３のいずれか記載のパレットカセットが、上下方向に積み重ねられたとき、所望のパレットカセットに対してガラス状板を出し入れするガラス状板の搬入出装置であって、パレット搬入出機構と、搬入出機構とを備えており、前記パレット搬入出機構は、前記パレットカセットの前記持ち上げ用取手部を持ち上げて前記パレットカセットを昇降させる持ち上げ爪を有し、該持ち上げ爪により、互いに積み重ねられた各々のパレットカセットの中から、所望パレットカセットの上下方向に前記搬入出機構の動作に必要な空間を確保して、前記搬入出機構は、前記ガラス状板を載置可能で、前記パレットカセットの前記切欠に挿入するピック部を有し、前記パレット昇降機構により前記所望のパレットカセットの上下方向に前記空間が確保された時点で、前記所望のパレットカセットに対して前記ガラス状板を出し入れすることを特徴とする。
これにより、スロットピッチの小さい状態でガラス状板を格納することができるにも拘わらず、ガラス状板の搬入出に際しては、パレット昇降機構によって所望のパレットカセットの上下方向に搬入出機構の動作に必要な空間を確保できるので、ガラス状板の出し入れを良好に行うことができる。
【発明の効果】
【０００８】
請求項１に係る発明によれば、ガラス状板が格納されたパレットカセットが上下方向に積み重ねたとき、ガラス状板が撓むのを抑えることができるばかりでなく、個々のパレットカセットが撓むのを抑えることができ、しかもパレットカセットに格納されたガラス状板間のスロットピッチを小さくすることができる結果、省スペース化を確実に図ることができ、それだけパレットカセットの敷地面積及び容積が大きくなるのを回避することができる効果が得られる。
【０００９】
請求項２に係る発明によれば、パレットカセットが撓むのを防止することができ、パレットカセットの省スペース化を確実に図ることができる。
【００１０】
請求項３に係る発明によれば、パレットカセット同士が横にずれることなく上下方向に綺麗に整列できることにより、パレットカセットの積み重ねを安定して行えると共に、その積み重ね状態を安定して維持できる効果が得られる。
【００１１】
請求項４に係る発明によれば、スロットピッチの小さい状態でガラス状板を格納することができるにも拘わらず、ガラス状板の搬入出に際しては、パレット昇降機構によって搬入出機構の動作に必要な空間を確保できるので、ガラス状板の出し入れを良好に行うことができ、大型の液晶基板等に適した搬入出装置を提供することができる効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、図面を参照し、この発明の実施の形態について説明する。図１から図３はこの発明の一実施の形態に係るパレットカセットを示す図であって、図１はパレットカセットを積層した状態を示す全体斜視図、図２はパレットカセットを示す説明図、図３は積み重ねられたパレットカセットから目的とするガラス状板（液晶基板）を取り出すときの説明用斜視図である。
図１に示すこの実施形態のパレットカセット１０は、それぞれが高さ方向に積み重ねられている。このパレットカセット１０は、ガラス状板としての液晶基板Ｇを一枚ずつ個々に格納するためのものであって、図２（ａ）に示すように、液晶基板Ｇを載置する底板１１と、その底板１１の両側辺部にそれぞれ設けられた両側辺枠１２、１３と、底板１１において、両側辺枠１２、１３と異なる後方の側辺部に設けられた連結枠１５とが組み付けられることで、枠組体１０′が形成されている。
【００１３】
底板１１は、図２（ｃ）に示すように、液晶基板Ｇを載置し得る大きさをなすと共に適宜の厚さからなる板体であって、四角に形成されている。両側辺枠１２、１３は、図２（ａ）及び（ｃ）において、底板１１の左右の相対向する側辺部にそれぞれ配設されてあって、底板１１より上方に起立して形成され、その外部側方に延在する持ち上げ用取手部１４が設けられている。連結枠１５は、図２（ａ）及び（ｃ）に示すように、底板１１の後方の側辺部に両側辺枠１２、１３と同じ高さをなして配設され、底板１１及び両側辺枠１２、１３と一体的に取り付けられている。
【００１４】
また、パレットカセット１０の底板１１には、前方に向けて開口された切欠１７が平行に三個設けられ、全体として櫛形形状に形成されている。この切欠１７は、後述する搬入出装置２０によって利用されるものである。
従って、パレットカセット１０は、上記枠組体１０′の前方が開放されており、その開放側から液晶基板Ｇを出し入れできるようになっている。
【００１５】
更に、パレットカセット１０は、両側辺枠１２、１３に横滑り防止ピン１６が上方に突設されている。この滑り防止ピン１６は、図２（ａ）〜（ｃ）に示すように、両側辺枠１２上において、その長さ方向に沿い所定の間隔を隔てて複数立設されている。
そして、パレットカセット１０が図１に示すように積み重ねられたとき、いずれかの下段のパレットカセット１０の滑り防止ピン１６が、その上に隣接する上段のパレットカセット１０の両側辺枠１２、１３に設けられた溝（図示せず）に嵌合することにより、積み重ねられたパレットカセット１０同士が横にずれることがないよう、互いに整列した状態で積み重ねられるようになっている。そのため、両側辺枠１２、１３の底面には、滑り防止ピン１６に対応するよう、前記溝が設けられている。
【００１６】
また、底板１１に切欠１７が設けられていると、その分だけ枠組体１０′の剛性が低下するが、それを解消するため、撓み防止板１８が設けられている。撓み防止板１８は、図２（ｂ）に示すように、底板１１及び両側辺枠１２、１３の前方側の底部に沿うと共に、持ち上げ用取手部１４にも沿うように折り曲げられた形状をなしている。
そして、パレットカセット１０が図１に示すように積み重ねられるとき、図３に示すように、それぞれの枠組体１０′の開放側の底部に対して、つまり、底板１１及び両側辺枠１２、１３前部に対して、下方から撓み防止板１８が当接されることで、パレットカセット１０Ｂ、１０Ｃが撓むのを防ぐようになっている。
なお、図３においては、パレットカセット１０Ａが、パレットカセット１０Ｃから持ち上げられたとき、パレットカセット１０Ａから撓み防止板１８が離れた状態に作図されているが、その詳細は後述する。また、図１においては、作図上の都合上、撓み防止板１８が図示省略されている。
【００１７】
このようなパレットカセット１０は、液晶基板Ｇを格納した状態で、図４に示すように、パレットカセットステーションのベース２１上にて上下に積み重ねられ、そこで、図４〜図６にて示すガラス状板の搬入出装置２０により、所望のパレットカセット１０から液晶基板Ｇが出し入れられるようになっている。図４はパレットカセットをパレットカセットステーションに積み重ねた状態を示す説明図、図５はパレットカセットに対して液晶基板を搬出するための搬入出機構を示す説明図、図６は同じく搬入出機構のピック部がパレットカセットから基板を取り出した状態を示す説明図である。
【００１８】
上記搬入出装置２０は、図４に示すように、パレットカセットステーションにおいてベース２１に設けられたパレット台２２に、パレットカセット１０が複数積み重ねられた状態にあるとき、それらのパレットカセット１０の中から、図３に示すように、所望のパレットカセット１０Ａを、これに隣接する上下段のパレットカセット１０Ｂ、１０Ｃと所定間隔を隔てさせ、その上下段のパレットカセット１０Ｂ、１０Ｃと隔てた所望のパレットカセット１０Ａに対して液晶基板Ｇを出し入れするようになっている。
【００１９】
そして、搬入出装置２０は、大別すると、図４に示されるパレット昇降機構３０と、図５に示される搬入出機構４０とを備えて構成されている。
パレット昇降機構３０は、図４に示すように、パレット台２２に重ねられたパレットカセット１０の両側にそれぞれ配設されており、パレットカセット１０の持ち上げ用取手部１４と当接してこれを持ち上げる持ち上げ爪３１と、この持ち上げ爪３１を昇降させる駆動手段としての昇降駆動部３３及び伸縮駆動部３４とを有している。
【００２０】
持ち上げ爪３１は、上下方向に相対向して同様に構成された二組からなっており、それぞれが上下方向で相対向する基部板３２の先端側に水平方向に沿い適宜の間隔を隔てて複数設けられている。以下は、説明の便宜上、下方の持ち上げ爪３１を「第１持ち上げ爪３１Ａ」と呼び、上方の持ち上げ爪３１を「第２持ち上げ爪３１Ｂ」と呼ぶ。
昇降駆動部３３は、ベース２１上に起立して設けられ、第１持ち上げ爪３１Ａと第２持ち上げ爪３１Ｂとをそれぞれ独立的に昇降させる。伸縮駆動部３４は、第１持ち上げ爪３１Ａ及び第２持ち上げ爪３１Ｂを水平方向に進退させる。
【００２１】
一方、搬入出機構４０は、図５及び図６に示すように、第１アーム４１と、第１アーム４１の先端に枢着された第２アーム４２と、第２アーム４２の先端に支持部４３を介して取り付けられたピック部４４と、第１アーム４１及び第２アーム４２を駆動してピック部４４を移動させる駆動手段（図示せず）とを有している。
ピック部４４は、パレットカセット１０の底板１１の切欠１７に挿入されることで、パレットカセット１０から液晶基板Ｇを取り出したり、パレットカセット１０に液晶基板Ｇを入れたりすることができるようになっている。そのため、ピック部４４は、底板１１の切欠１７に挿入し得る幅及び長さを有して、液晶基板Ｇを載置し得る板状に形成されている。
【００２２】
この実施形態のパレットカセット１０は、上記のように構成されているので、次にその作用について説明する。
まず、パレットカセット１０には予め、液晶基板Ｇが格納され、この液晶基板Ｇが格納されたパレットカセット１０は、図４に示すように、上下に積み重ねられているものとする。
この場合、パレットカセット１０の各々には、前方である開放側の底部に撓み防止板１８が下方から当接されている。また、パレットカセット１０が積み重ねられた場合、パレットカセット１０の各々には、両側辺枠１２、１３上に横滑り防止ピン１６が設けられ、この滑り防止ピン１６がこの上に重なっているパレットカセット１０の両側辺枠１２、１３に設けられた溝に嵌合することとなる。
【００２３】
このように、液晶基板Ｇが格納されたパレットカセット１０が上下方向に積み重ねられると、液晶基板Ｇが底板１１に載置され、しかもその底板１１と両側辺枠１２、１３と連結枠１５とによって枠組体１０′が形成されていることから、液晶基板Ｇが撓むのを抑えることができるばかりでなく、個々のパレットカセット１０が撓むのを抑えることができる。
しかも、基板支持梁２を用いた従来技術のカセット１に比較すると、パレットカセット１０自体の高さが小さく、パレットカセット１０を重ね合わせたときの全体の高さを小さくすることができるので、各々の液晶基板Ｇ間の高さ方向の間隔、つまり、パレットカセット１０に格納された液晶基板Ｇ間のスロットピッチを小さくすることができる。
【００２４】
また、パレットカセット１０を積み重ねた際には、枠組体１０′における前方側の底部が撓み防止板１８によって支持されるので（図２及び図３参照）、パレットカセット１０が撓むのを防止することができ、パレットカセット１０に対する信頼性を高めることができる。
更に、積み重ねたとき、パレットカセット１０の両側辺枠１２、１３の上部に突出する横滑り防止ピン１６が、上段のパレットカセット１０の両側辺枠１２、１３の溝に嵌合しているので、パレットカセット１０を積み重ねたとき、パレットカセット１０同士が横にずれることなく上下方向に綺麗に整列させることができ、パレットカセット１０の積み重ねを安定して行えると共に、その積み重ね状態を安定して維持させることができる。
【００２５】
次に、パレットカセットステーション内の搬入出装置２０の動作について、図７〜図９を用いて、以下に具体的に説明する。
上記搬入出装置２０は、図示しない制御装置から指令されると、以下のようにして動作することにより、液晶基板Ｇが取り出されることとなる。
つまり、搬入出装置２０において、取り出すべき液晶基板Ｇが指定されると、図７（ａ）に示すように、パレット昇降機構３０の第１持ち上げ爪３１Ａ及び第２持ち上げ爪３１Ｂが昇降駆動部３３の駆動により同期して矢印Ａのように降下し、次いで、同図（ｂ）に示す矢印Ｂのように、第１、第２持ち上げ爪３１Ａ、３１Ｂが伸縮駆動部３４によって前進することにより、図８（ａ）に示すように、第１持ち上げ爪３１Ａと第２持ち上げ爪３１Ｂとがそれぞれ対応するパレットカセット１０の持ち上げ用取手部１４の下部に当接する。
この場合、第１持ち上げ爪３１Ａが、目的とする液晶基板Ｇを格納しているパレットカセット１０Ａの持ち上げ用取手部１４と当接し、第２持ち上げ爪３１Ｂが、その上に重ねられているパレットカセット１０Ｂの持ち上げ用取手部１４と当接する。
【００２６】
このようにして当接すると、次いで、図８（ａ）に示す矢印Ｃのように、第１持ち上げ爪３１Ａと第２持ち上げ爪３１Ｂとが昇降駆動部３３によって駆動されることにより、同図（ｂ）に示す矢印Ｄのように、両持ち上げ爪３１Ａ、３１Ｂが同期的にそれぞれのパレットカセット１０Ａ、１０Ｂを持ち上げる。これにより、パレットカセット１０Ａと、それより下方の隣接するパレットカセット１０Ｃとが所定距離離間された状態となる。
【００２７】
この場合、第２持ち上げ爪３１Ｂがパレットカセット１０Ｂを持ち上げるとき、図３に示すように、これに付随する撓み防止板１８にも当接してこれをパレットカセット１０Ｂと一体的に持ち上げられるが、第１持ち上げ爪３１Ａにおいては、目的とするパレットカセット１０Ａから撓み防止板１８が外れるように位置決めされることから、パレットカセット１０Ａを持ち上げると、これから撓み防止板１８が外れた状態となる。
パレットカセット１０Ａから外れた撓み防止板１８は、図３に示すように、下段のパレットカセット１０Ｃ上にそのまま残っている。
【００２８】
その後、第１、第２持ち上げ爪３１Ａ、３１Ｂのうち、図９に示す矢印Ｅのように、第２持ち上げ爪３１Ｂだけが更に昇降駆動部３３によって若干上昇することで、パレットカセット１０Ａと、これに隣接する上段のパレットカセット１０Ｂとが所定距離離間される。
これにより、目的とするパレットカセット１０Ａと、それに隣接する上下段のパレットカセット１０Ｂ及び１０Ｃとは、図３に示すように、所定距離離間された状態となる。
【００２９】
このようにして、目的の液晶基板Ｇを格納しているパレットカセット１０Ａと、これに隣接する上下段のパレットカセット１０Ｂ、１０Ｃとが上下方向に所定距離を隔てた状態とされると、その後、搬入出機構４０が駆動される。
つまり、搬入出機構４０は、図５に示す矢印Ｘに示すように、第１アーム４１及び第２アーム４２の駆動によってピック部４４が水平方向に前進し、パレットカセット１０Ａの底板１１の切欠１７内に挿入され、次いで、該ピック部２４がパレットカセット１０Ａ内で若干上昇することで、液晶基板Ｇを持ち上げ、次いで、その持ち上げた状態で図６に示す矢印Ｙのようにそのまま直線的に後退することで、目的の液晶基板Ｇをパレットカセット１０から取り出すこととなる。
なお、液晶基板Ｇが取り出されたパレットカセット１０Ａは、その後、第１持ち上げ爪３１Ａの動作によって降下されることで撓み防止板１８と再び当接され、次いで、その上のパレットカセット１０Ｂが第２持ち上げ爪３１Ｂの降下によって積み重ねられることとなる。
【００３０】
従って、この搬入出装置２０によれば、パレットカセット１０が積み重ねた状態にあるとき、パレット昇降機構３０が、目的とする液晶基板Ｇが格納されているパレットカセット１０Ａと、これに隣接する上下段のパレットカセット１０Ｂ、１０Ｃとを所定距離隔てることで、搬入出機構４０の動作に必要な空間を確保し、その後、搬入出機構４０がピック部４４によってパレットカセット１０Ａから目的の液晶基板Ｇを取り出すことができるので、所望の液晶基板Ｇを確実に取り出すことができる。このようなことは、搬入出装置２０が上記と逆形態で動作すると、空の状態で積み重ねられたパレットカセット１０に液晶基板を入れることもできる。
【００３１】
その結果、ワイヤカセット４のような従来技術に比較すると、搬入出装置２０のピック部４４が撓み防止板１８に引き掛かるというおそれがなく、液晶基板Ｇの搬出と搬入とを良好に行えるので、パレットカセット１０内の液晶基板Ｇ間のスロットピッチが小さいにも拘わらず、所望の液晶基板Ｇを所望の位置に出し入れすることができ、液晶基板Ｇの出し入れを良好に行える。
【００３２】
なお、搬入出装置２０においては、上述した実施形態では、目的とする液晶基板Ｇが、積み重ねられた高さ方向の途中の段のパレットカセット１０Ａから取り出される例を示したが、この搬入出装置２０の動作は、パレットカセット１０Ａの位置によって若干異なるようにも構成されている。
例えば、パレットカセット１０Ａが、最も下段に位置する場合には上述と同様に動作することで対処できるが、最も上段に位置する場合には、第２持ち上げ板３１Ｂのみの動作により、若しくはそれと同期して駆動される第１持ち上げ板３１Ａの動作により、それに隣接する下段のパレットカセット１０Ｃから所定距離離間されるだけで、液晶基板の搬出、搬入を行うことができる。従って、本発明においては、上記実施形態に限定されるものではなく、要は、目的のパレットカセット１０Ａに対して、搬入出機構４０が搬入出を行えるのに必要な空間を確保できればよい。
また、パレットカセット１０に対し、搬入出装置を用いることで、液晶基板を出し入れできるようにした例を示したが、この搬入出装置と同機能を有するコンベア等の搬送機器によっても液晶基板Ｇを格納することできる。
そして、ガラス状板としての液晶基板Ｇを格納する例を示したが、液晶基板Ｇに限らず、他のガラス状板を格納する場合にも適用し、同様の効果を得ることができるのは勿論である。
【００３３】
さらに、本実施形態においては、搬入出機構４０がパレットカセット１０から目的のガラス状板としての液晶基板Ｇを搬入出することとしているが、パレットカセット１０に液晶基板Ｇを収納した状態で、パレットカセット１０を搬入出することとしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】この発明の一実施の形態に係るパレットカセットを積層した状態を示す全体斜視図である。
【図２】パレットカセットを示す説明図である。
【図３】積み重ねられたパレットカセットから、目的とするガラス状板としての液晶基板を取り出すときの説明用斜視図である。
【図４】パレットカセットをパレットカセットステーションに積み重ねた状態を示す説明図である。
【図５】パレットカセットに対して液晶基板を搬出するための搬入出機構を示す図であって、搬入出機構のピック部がパレットカセットに挿入された状態を示す説明図である。
【図６】同じく搬入出機構のピック部がパレットカセットから基板を取り出した状態を示す説明図である。
【図７】パレットカセットステーションにおけるパレット昇降機構の動作を示す図であって、（ａ）は持ち上げ爪が所望のパレットカセットへ下降する説明図、（ｂ）は持ち上げ爪が所望のパレットカセットへ位置決めされて前進する説明図である。
【図８】同じくパレットカセットステーションにおけるパレット昇降機構の動作を示す図であって、（ａ）は持ち上げ爪が所望のパレットカセットに当接した状態を示す説明図、（ｂ）は持ち上げ爪が所望のパレットカセットとそれより上のパレットカセットとを持ち上げた状態を示す説明図である。
【図９】パレット昇降機構の持ち上げ爪が所望のパレットカセットに対して液晶基板をアクセス可能とした状態を示す説明図である。
【図１０】従来のカセットを示す図であって、（ａ）はガラス状板を格納した状態を示す正面図、（ｂ）は（ａ）の平面図である。
【図１１】従来のカセットに対してガラス状板を搬入出する搬入出機構を示す説明図である。
【図１２】従来のワイヤカセットを示す図であって、（ａ）はガラス状板を格納した状態を示す正面図、（ｂ）は（ａ）の平面図である。
【符号の説明】
【００３５】
１０    パレットカセット
１１    底板
１２、１３    側辺枠
１４    持ち上げ用取手部
１５    連結枠
１６    横滑り防止ピン
１７    切欠
１８    撓み防止板
２０    搬入出装置
３０    パレット昇降機構
３１、３１Ａ、３１Ｂ    持ち上げ爪
４０    搬入出機構
４４    ピック部
Ｇ    ガラス状板（液晶基板）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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