(57)【要約】【課題】水素ガスが高圧となっても、十分なシール性を得ることができる水素ガス用高圧バルブ及び水素ガス用減圧装置を提供する。【解決手段】電磁開閉弁のパイロット弁１２２をＳＵＳ３１６Ｌにて形成加工し、パイロット弁座１３４を、弾性変形可能なポリイミド樹脂から形成する。主弁体１３０をＳＵＳ３６Ｌにて形成し、主弁座１６２をポリイミド樹脂から形成する。【選択図】  図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
バルブシートと、同バルブシートに対し開閉移動する弁部材を備えた水素ガス用高圧バルブにおいて、
前記弁部材と前記バルブシートの両者のうち、一方はＳＵＳ３１６Ｌにて形成され、他方は互いに当接時に弾性変形可能な合成樹脂又は軟質金属にて形成されていることを特徴とする水素ガス用高圧バルブ。
【請求項２】
バルブシートと、同バルブシートに対し開閉移動する弁部材を備えた水素ガス用高圧バルブにおいて、
前記弁部材と前記バルブシートの両者のいずれかを一方とし、残りを他方としたとき、一方の他方と接触する接触部位は少なくともＳＵＳ３１６Ｌにて形成され、他方の一方と接触する部位は少なくとも弾性変形可能な合成樹脂又は軟質金属にて形成されていることを特徴とする水素ガス用高圧バルブ。
【請求項３】
前記合成樹脂は、ポリイミド樹脂、ＰＥＥＫ樹脂、又はポリフッ化エチレン系樹脂からなることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の水素ガス用高圧バルブ。
【請求項４】
前記ポリイミド樹脂が、ベスペル（登録商標）であることを特徴とする請求項３に記載の水素ガス用高圧バルブ。
【請求項５】
前記バルブシート、及び弁部材の面粗度が１μｍＲａ以下であることを特徴とする請求項１乃至請求項４のうちいずれか１項に記載の水素ガス用高圧バルブ。
【請求項６】
前記弁部材は、弁部材収納部材内を摺動自在に配置されており、
同弁部材の表面には、表面処理により、前記弁部材収納部材との摺動時の摩擦を軽減する低摩擦係数膜が形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項５のうちいずれか１項に記載の水素ガス用高圧バルブ。
【請求項７】
前記表面処理は、ＰＶＤコーティング、焼き付け又はメッキ処理であることを特徴とする請求項６に記載の水素ガス用高圧バルブ。
【請求項８】
前記低摩擦係数膜は、ＤＬＣ膜，ＣｒＮ膜，ＴｉＮ膜，Ａｕ，ＭｏＳ２膜、ＰＴＦＥ膜，ＴＦＥ膜，Ｎｉ−Ｐメッキ膜、又はＮｉ−Ｂメッキ膜であることを特徴とする請求項６又は請求項７に記載の水素ガス用高圧バルブ。
【請求項９】
請求項１乃至請求項８のいずれか１項において、
前記水素ガス用高圧バルブは、前記弁部材として、パイロット弁及び主弁体を備え、前記バルブシートとして、パイロット弁座及び主弁座を備え、
ソレノイドの励消磁に応じて、前記パイロット弁が、パイロット弁座から離間する開弁状態と、パイロット弁座に着座する閉弁状態となり、前記パイロット弁が開弁すると、前記主弁体が前記主弁座に着座した閉弁状態から開弁状態に移行するセミパイロットタイプの電磁開閉弁であることを特徴とする水素ガス用高圧バルブ。
【請求項１０】
請求項９において、
前記電磁開閉弁は、
前記ソレノイドの励消磁に応じて作動するプランジャを備え、
前記プランジャには、前記パイロット弁と前記主弁体が連結され、
前記主弁体は、パイロット孔を有し、前記パイロット弁が着座可能で、かつ、前記パイロット孔と連通するパイロット弁孔を備えた前記パイロット弁座を備えており、
前記パイロット弁と、前記主弁体の少なくともいずれか一方は、前記プランジャに対して前記プランジャの作動方向に遊びをもって支持されていることを特徴とする水素ガス用高圧バルブ。
【請求項１１】
請求項１０において、
前記パイロット弁のパイロット弁座側の端部は、パイロット弁座側に行くほど細くなるようにテーパ面が形成され、
前記パイロット弁座は、前記パイロット弁のテーパ面と当接可能に、前記パイロット弁側に行くほど内径が大きくなる前記パイロット弁孔を備えたことを特徴とする水素ガス用高圧バルブ。
【請求項１２】
請求項１０において、
前記パイロット弁座は、前記パイロット孔の軸心と同軸であるとともに前記パイロット弁側に行くほど外径が小さくなる突部が形成され、前記パイロット弁のパイロット弁座側の端面と当接可能に、同突部の端面に平坦面が形成されていることを特徴とする水素ガス用高圧バルブ。
【請求項１３】
請求項１乃至請求項８のいずれか１項において、
前記水素ガス用高圧バルブは、
バルブボディとダイヤフラム間に減圧室が形成され、同減圧室に通じる弁孔が開口された部分に前記バルブシートが形成され、同バルブシートに対して、前記弁部材が着座可能に配置され、
前記弁部材は前記ダイヤフラムに連結された弁軸と同軸に固定された減圧弁であることを特徴とする水素ガス用高圧バルブ。
【請求項１４】
請求項１３において、
前記弁部材を収納する前記弁部材収納部材と前記弁部材との間に無シール部を形成したことを特徴とする水素ガス用高圧バルブ。
【請求項１５】
請求項９に記載の電磁開閉弁が、高圧水素ガス容器に対し、同電磁開閉弁の一次側のポートが連通するように設けられ、
前記電磁開閉弁の二次側のポートは、請求項１３に記載の減圧弁の一次側のポートに連通されていることを特徴とする水素ガス用減圧装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、水素ガス用高圧バルブ及び水素ガス用減圧装置に関し、特に、燃料電池車用高圧水素ガスタンクに使用するのに好適な水素ガス用高圧バルブ及び水素ガス用減圧装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の燃料電池車用の高圧水素ガス用タンクは、水素ガスが３５ＭＰａの圧力で充填されている。そして、前記高圧水素ガス用タンクに取着される水素ガス用高圧バルブは、例えば、電磁開閉弁や、同電磁開閉弁から吐出された高圧の水素ガスを一定の圧力（例えば、１ＭＰａ）に減圧する減圧弁がある。前記電磁開閉弁は、例えばソレノイドの励消磁に応じて、パイロット弁がパイロット弁座から離間する開弁状態と、パイロット弁座に着座する閉弁状態となり、パイロット弁が開弁すると、主弁体が主弁座との閉弁状態から開弁するようにされたセミパイロットタイプの電磁開閉弁がある。又、減圧弁は、例えば、ボディ及びダイヤフラム間の減圧室に通じる弁孔を中央部に開口させた弁座に対して着座可能に弁体が設けられ、前記弁体がダイヤフラムの中央部に連結された弁軸と同軸に固定された構成を備えている。
【０００３】
ところで、前記電磁開閉弁のパイロット弁とパイロット弁座の材質の選択性及び減圧弁の弁体と弁座の材質の選択性は比較的制限を受けず、従来は３５ＭＰａの高圧とはいえ閉弁時でのシール性を失うことはなかった。なお、本件の従来技術における電磁開閉弁のパイロット弁、パイロット弁座の材質、及び減圧弁の弁体と弁座の材質に関する従来技術に関しては、調査したが、該当するものがなかった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
近年、燃料電池車用の高圧水素ガス用タンクは、水素ガスの充填圧力をさらに高圧とし、例えば７０ＭＰａの圧力で充填することが目指されている。しかし、従来よりもさらに高い高圧水素ガス用タンクに対して、従来構成の電磁弁や減圧弁を実際に使用すると、十分なシール性を得ることができない問題があった。
【０００５】
本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであって、その目的は、水素ガスが高圧となっても、十分なシール性を得ることができる水素ガス用高圧バルブ及び水素ガス用減圧装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、請求項１の発明は、バルブシートと、同バルブシートに対し開閉移動する弁部材を備えた水素ガス用高圧バルブにおいて、前記弁部材と前記バルブシートの両者のうち、一方はＳＵＳ３１６Ｌにて形成され、他方は互いに当接時に弾性変形可能な合成樹脂又は軟質金属にて形成されていることを特徴とする水素ガス用高圧バルブを要旨とするものである。なお、本明細書で、軟質金属とは、ＳＵＳ３１６Ｌよりも柔らかいものをいう。
【０００７】
請求項２の発明は、バルブシートと、同バルブシートに対し開閉移動する弁部材を備えた水素ガス用高圧バルブにおいて、前記弁部材と前記バルブシートの両者のいずれかを一方とし、残りを他方としたとき、一方の他方と接触する接触部位は少なくともＳＵＳ３１６Ｌにて形成され、他方の一方と接触する部位は少なくとも弾性変形可能な合成樹脂又は軟質金属にて形成されていることを特徴とする水素ガス用高圧バルブを要旨とするものである。
【０００８】
請求項３の発明は、請求項１又は請求項２において、前記合成樹脂は、ポリイミド樹脂、ＰＥＥＫ樹脂、又はポリフッ化エチレン系樹脂からなる。
請求項４の発明は、請求項３において、前記ポリイミド樹脂が、ベスペル（登録商標）であることを特徴とする。
【０００９】
請求項５の発明は、請求項１乃至請求項４のうちいずれか１項において、前記バルブシート、及び弁部材の面粗度が１μｍＲａ以下であることを特徴とする。請求項６の発明は、請求項１乃至請求項５のうちいずれか１項において、前記弁部材は、弁部材収納部材内を摺動自在に配置されており、同弁部材の表面には、表面処理により、前記弁部材収納部材との摺動時の摩擦を軽減する低摩擦係数膜が形成されていることを特徴とする。
【００１０】
請求項７の発明は、請求項６において、前記表面処理は、ＰＶＤコーティング、焼き付け又はメッキ処理であることを特徴とする。
請求項８の発明は、請求項６又は請求項７において、前記低摩擦係数膜は、ＤＬＣ膜，ＣｒＮ膜，ＴｉＮ膜，Ａｕ，ＭｏＳ２膜、ＰＴＦＥ膜，ＴＦＥ膜，Ｎｉ−Ｐメッキ膜、又はＮｉ−Ｂメッキ膜であることを特徴とする。
【００１１】
請求項９の発明は、請求項１乃至請求項８のいずれか１項において、前記水素ガス用高圧バルブは、前記弁部材として、パイロット弁及び主弁体を備え、前記バルブシートとして、パイロット弁座及び主弁座を備え、ソレノイドの励消磁に応じて、前記パイロット弁が、パイロット弁座から離間する開弁状態と、パイロット弁座に着座する閉弁状態となり、前記パイロット弁が開弁すると、前記主弁体が前記主弁座に着座した閉弁状態から開弁状態に移行するセミパイロットタイプの電磁開閉弁であることを特徴とする。
【００１２】
請求項１０の発明は、請求項９において、前記電磁開閉弁は、前記ソレノイドの励消磁に応じて作動するプランジャを備え、前記プランジャには、前記パイロット弁と前記主弁体が連結され、前記主弁体は、パイロット孔を有し、前記パイロット弁が着座可能で、かつ、前記パイロット孔と連通するパイロット弁孔を備えた前記パイロット弁座を備えており、前記パイロット弁と、前記主弁体の少なくともいずれか一方は、前記プランジャに対して前記プランジャの作動方向に遊びをもって支持されていることを特徴とする。
【００１３】
請求項１１の発明は、請求項１０において、前記パイロット弁のパイロット弁座側の端部は、パイロット弁座側に行くほど細くなるようにテーパ面が形成され、前記パイロット弁座は、前記パイロット弁のテーパ面と当接可能に、前記パイロット弁側に行くほど内径が大きくなる前記パイロット弁孔を備えたことを特徴とする。
【００１４】
請求項１２の発明は、請求項１０において、前記パイロット弁座は、前記パイロット孔の軸心と同軸であるとともに前記パイロット弁側に行くほど外径が小さくなる突部が形成され、前記パイロット弁のパイロット弁座側の端面と当接可能に、同突部の端面に平坦面が形成されていることを特徴とする。
【００１５】
請求項１３の発明は、請求項１乃至請求項８のいずれか１項において、前記水素ガス用高圧バルブは、バルブボディとダイヤフラム間に減圧室が形成され、同減圧室に通じる弁孔が開口された部分に前記バルブシートが形成され、同バルブシートに対して、前記弁部材が着座可能に配置され、前記弁部材は前記ダイヤフラムに連結された弁軸と同軸に固定された減圧弁であることを特徴とする。
【００１６】
請求項１４の発明は、請求項１３において、前記弁部材を収納する前記弁部材収納部材と前記弁部材との間に無シール部を形成したことを特徴とする。
請求項１５の発明は、請求項９に記載の電磁開閉弁が、高圧水素ガス容器に対し、同電磁開閉弁の一次側のポートが連通するように設けられ、前記電磁開閉弁の二次側のポートは、請求項１３に記載の減圧弁の一次側のポートに連通されていることを特徴とする水素ガス用減圧装置を要旨とするものである。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の水素ガス用高圧バルブを、電磁開閉弁と、減圧弁とにそれぞれ具体化するとともに、両弁を備えた水素ガス用減圧装置を具体化した一実施の形態を図１〜図６に従って説明する。図１は本実施形態における水素ガス用減圧装置（以下、単に減圧装置という）の概略回路図、図２及び図４は電磁開閉弁１００の断面図、図３は減圧弁の要部断面図、図５は同じく電磁開閉弁の主弁体とパイロット弁の断面図、図６は減圧弁の断面図である。
【００１８】
減圧装置１０は、高圧水素ガス容器としての高圧水素タンクＴに設けられている。高圧水素タンクＴ内には高圧（本実施形態では、７０ＭＰａ）の水素ガスが貯溜されている。減圧装置１０は、電磁開閉弁１００、ストップバルブ３００、及び減圧弁４００を備えている。ストップバルブ３００は、高圧水素ガスの使用時は開弁状態とされている。
【００１９】
電磁開閉弁１００は、ソレノイドコイル１１０が励磁されると、開弁され、高圧水素タンクＴから高圧水素ガスをストップバルブ３００を介して減圧弁４００へ送る。減圧弁４００は、高圧水素ガスを１ＭＰａ以下に減圧して吐出するようにされている。
【００２０】
（電磁開閉弁１００）
以下、電磁開閉弁１００の詳細な説明をする。図２及び図４に示すように、電磁開閉弁１００は、高圧水素タンクＴの端壁に設けられている。高圧水素タンクＴの端壁に対して、取付部材１０１が貫通取着されている。取付部材１０１の内端には、軸心方向に沿って、最奥から順に主弁座取付孔１０２、ガイド部材取付孔１０３、プランジャ収納孔１０４、及び電磁部収納孔１０５が同軸となるように形成されている。又、主弁座取付孔１０２、ガイド部材取付孔１０３、プランジャ収納孔１０４、及び電磁部収納孔１０５の内径は、それぞれこの順に大きくされている。
【００２１】
電磁部収納孔１０５内には、コイル収納部材１０６が固定されている。コイル収納部材１０６は、外筒部１０７と、外筒部１０７内を軸方向に延びるコア１０８とから磁性材料により一体に形成されている。外筒部１０７とコア１０８との間に形成された断面円形リング状の収納溝１０９内にはリング状のソレノイドコイル１１０が収納固定されている。ソレノイドコイル１１０は、取付部材１０１の外端に設けられたコネクタ１１１に電気的に接続されている。そして、コントローラ（図示しない）からの制御電流をコネクタ１１１を介して通電することにより、ソレノイドコイル１１０は励磁される。
【００２２】
プランジャ収納孔１０４内には、プランジャ１１２が軸心方向に沿って摺動自在に収納されている。プランジャ１１２の基端部は、電磁部収納孔１０５内において、拡径されている。プランジャ１１２の基端部と、コア１０８の互いに相対する中央部にはそれぞれスプリング収納孔１１３，１１４が凹設されている。コイルスプリング１１５の両端は両スプリング収納孔１１３，１１４内に収納され、プランジャ１１２を閉弁方向（図２，図４において左方向）に付勢する。又、ソレノイドコイル１１０が励磁された際には、プランジャ１１２は、コイルスプリング１１５のバネ力に抗して開弁方向（図２，図４において右方向）に移動する。
【００２３】
図５に示すようにプランジャ１１２の先端面には、一対の突片１２０が互いに離間して突設されている。支持ピン１２１は、前記両突片１２０に対して貫通支持されている。両突片１２０間において、支持ピン１２１には、弁部材としてのパイロット弁１２２が遊挿されている。すなわち、パイロット弁１２２には軸方向とは直交する方向に支持孔１２３が貫通形成され、同支持孔１２３に対して支持孔１２３の内径よりも小径の支持ピン１２１が挿通されている。このことにより、パイロット弁１２２は、プランジャ１１２に対してプランジャ１１２の作動方向（開閉作動方向）に遊びをもって支持されている。
【００２４】
パイロット弁１２２の先端は、円錐台形状に形成され、テーパ面１２４を備えている。本実施形態では、パイロット弁１２２はＳＵＳ３１６Ｌにて形成加工されている。ＳＵＳ３１６Ｌは、Ｃｒ１６〜１８％、Ｎｉ１２〜１５％、Ｍｏ２〜３％、Ｃ０．０３％以下のオーステナイト系ステンレス鋼であり、水素脆化に対して強い性質を備え、耐食性にも優れたステンレス鋼である。又、パイロット弁１２２の形状精度は１μｍ以下、面粗度は１μｍＲａ以下とされている。
【００２５】
支持ピン１２１の突片１２０から突出した両端には、弁部材としての主弁体１３０が支持されている。主弁体１３０の基端部は、有底筒状の円筒部１３１として形成されている。円筒部１３１において、互いに１８０度反対側部には支持ピン１２１の外径よりも大きな内径を有する支持孔１３２が一対形成され、支持ピン１２１の各端がそれぞれ遊挿されている。このことにより、主弁体１３０は、プランジャ１１２に対してプランジャ１１２の作動方向（開閉作動方向）に遊びをもって支持されている。
【００２６】
円筒部１３１の内径は、一対の突片１２０の外側面間の距離よりも大きくされており、円筒部１３１内に水素ガスの流通路となる間隙Ｇ１が形成されている。又、円筒部１３１の外周は軸心方向に延びる切り欠き（図示しない）が形成され、同切り欠きとプランジャ収納孔１０４内周面との間に水素ガスの流通路となる間隙（図示しない）が形成されている。
【００２７】
なお、支持ピン１２１の外径Ｒ１と支持孔１３２の内径Ｒ２の差Δｒ１と、支持ピン１２１の外径Ｒ１と支持孔１２３の内径Ｒ３の差Δｒ２の大小関係は、Δｒ１＞Δｒ２とされている。
【００２８】
この大小関係により、プランジャ１１２が、開弁作動した際には、先に、パイロット弁１２２が支持ピン１２１に当接して作動されるようにされている。
主弁体１３０の中央部及び先端部は基端部よりも小径に形成され、ガイド部材取付孔１０３側に延出されている。円筒部１３１の内底面から主弁体１３０の先端部間はパイロット孔１３３が軸心と同軸上に貫通形成されている。主弁体１３０は、ＳＵＳ３１６Ｌにて形成されている。主弁体１３０の先端は、円錐台形状に形成され、テーパ面１３９を備えている。主弁体１３０の形状精度は１μｍ以下とされ、面粗度は１μｍＲａ以下とされている。
【００２９】
パイロット孔１３３において、円筒部１３１の内底面側には、パイロット孔１３３よりも拡径した段部１３８が形成され、同段部１３８にバルブシートとしてのパイロット弁座１３４が設けられている。パイロット弁座１３４は、本実施形態では、弾性変形可能なポリイミド樹脂から形成されている。なお、ポリイミド樹脂としては、例えば、市販のものとしてベスペル（登録商標：デュポン社）がある。パイロット弁座１３４の形状精度は１μｍ以下とされ、面粗度は１μｍＲａ以下とされている。
【００３０】
パイロット弁座１３４はパイロット孔１３３と同径の孔１３５と、パイロット弁１２２のテーパ面１２４と面接触可能にパイロット弁１２２側行くほど内径が大きくなるテーパ面１３６を備えたパイロット弁孔１３７が形成されている。
【００３１】
ガイド部材取付孔１０３には筒状のガイド部材１４０が螺着されている。ガイド部材１４０の内径は主弁体１３０の外径よりも大きくされており、ガイド部材１４０と主弁体１３０との間には水素ガスの流通路となる間隙Ｇ２が形成されている。又、主弁座取付孔１０２内には、主弁座支持部材１５０が内嵌固定されている。
【００３２】
主弁座支持部材１５０は、軸心と同軸上に貫通孔１５１が形成されている。貫通孔１５１は取付部材１０１の軸心に沿って設けられた流路１６０に連通されている。この流路１６０の下流側端部が電磁開閉弁１００の二次側のポートＰ２に相当する（図２参照）。貫通孔１５１において、主弁座支持部材１５０のガイド部材１４０側端面には、貫通孔１５１よりも拡径した段部１６１が形成され、同段部１６１にバルブシートとしての主弁座１６２が設けられている。本実施形態では、主弁座１６２は弾性変形可能であり、かつ、ＳＵＳ３１６Ｌよりも柔らかな合成樹脂としてポリイミド樹脂から形成されている。ポリイミド樹脂の具体例としてはベスペル（登録商標：デュポン社）等がある。この場合、主弁座１６２の形状精度を１μｍ以下とし、面粗度を１μｍＲａ以下とすることが好ましい。
【００３３】
主弁座１６２は貫通孔１５１と同径の孔１６３と、主弁体１３０のテーパ面１３９と面接触可能に主弁体１３０側行くほど内径が大きくなるテーパ面１６５
を備えた主弁孔１７０が形成されている。
【００３４】
図４に示すように、取付部材１０１のプランジャ収納孔１０４の内周面と取付部材１０１の外周面間には径方向に延びる流路１８０が形成され、プランジャ収納孔１０４と高圧水素タンクＴ内とが連通されている。なお、取付部材１０１の内端外周面及び電磁部収納孔１０５の開口部は、コイル収納部材１０６に対してボルト１９１にて締め付け固定された有蓋筒状のカバー１９０にて覆われている。そして、流路１８０の外端（反プランジャ収納孔１０４側の端部）側の開口部１８０ａに対応してカバー１９０の周面には複数の透孔１９２が形成され、同透孔１９２を覆うようにフィルタ１９３が設けられている。開口部１８０ａは電磁開閉弁１００の一次側のポートＰ１に相当する（図２参照）。
【００３５】
プランジャ１１２において、プランジャ収納孔１０４内に収納される部位の周面には、溝１１２ａが形成されている。溝１１２ａは、プランジャ１１２の閉弁及び開弁作動中に、流路１８０の内端（プランジャ収納孔１０４側の端部）と常時対向するように軸心方向に沿って配置されている。又、プランジャ１１２において、前記溝１１２ａよりも先端部側は、軸心方向に沿って切り欠き（図示しない）が形成され、同切り欠きとプランジャ収納孔１０４内周面との間に水素ガスの流通路となる間隙（図示しない）が形成されている。
【００３６】
この結果、高圧水素タンクＴ内の水素ガスは、フィルタ１９３→透孔１９２→流路１８０→溝１１２ａ→プランジャ１１２とプランジャ収納孔１０４間の間隙→間隙Ｇ１を通過可能である。又、高圧水素タンクＴ内の水素ガスは、プランジャ１１２とプランジャ収納孔１０４間の間隙→円筒部１３１とプランジャ収納孔１０４間の間隙→間隙Ｇ２を通過可能である。
【００３７】
ここで、電磁開閉弁１００の開閉作動について説明する。
ソレノイドコイル１１０が消磁されていると、プランジャ１１２は、コイルスプリング１１５のバネ力により閉弁方向に押圧され、支持ピン１２１を介して主弁体１３０が主弁座１６２に着座した閉弁状態になっているとともに、パイロット弁１２２がパイロット弁座１３４に着座した閉弁状態となっている。この状態でコントローラ（図示しない）からの制御電流がコネクタ１１１を介して通電されると、ソレノイドコイル１１０が励磁される。この結果、プランジャ１１２が開弁方向に移動する。このとき、支持ピン１２１の外径Ｒ１と支持孔１２３の内径Ｒ３の差Δｒ２分だけ支持ピン１２１が移動すると、パイロット弁１２２が支持ピン１２１に当接して作動され、まずパイロット弁１２２がパイロット弁座１３４から離脱して開弁する。
【００３８】
パイロット弁１２２の開弁により、間隙Ｇ１等を介して、水素ガスがパイロット弁孔１３７、パイロット孔１３３を介して主弁孔１７０に流れる。このようにパイロット弁１２２が開弁すると、主弁体１３０の上流側の面と、下流側の面に働く圧力の差圧が小さくなるため、プランジャ１１２の開弁方向の作動により、支持ピン１２１の外径Ｒ１と支持孔１３２の内径Ｒ２の差Δｒ１分だけ移動した際に、主弁体１３０が支持ピン１２１に当接して作動される。すなわち、主弁体１３０が主弁座１６２から離間して開弁する。この結果、間隙Ｇ２等を介して、水素ガスが主弁孔１７０に流れる。
【００３９】
反対に、ソレノイドコイル１１０が消磁されると、プランジャ１１２は、コイルスプリング１１５のバネ力により閉弁方向に押圧され、支持ピン１２１を介してパイロット弁１２２がパイロット弁座１３４に着座した閉弁状態になり、主弁体１３０が主弁座１６２に着座して閉弁状態に復帰する。
【００４０】
（減圧弁４００）
次に、減圧弁４００の詳細な説明をする。
図３及び図６に示すように、取付部材１０１の外端部には、減圧弁４００が設けられている。減圧弁４００の弁ハウジング４０１は、取付部材１０１の先端部と、取付部材１０１の一側面に図示しないボルトにより締結されたカバー４０２とで構成されている。カバー４０２と取付部材１０１との間には金属製のダイヤフラム４０３の周縁部が挟持されている。ダイヤフラム４０３と対応したバルブボディとしての取付部材１０１の一側面にはダイヤフラム４０３との間に減圧室４０４を形成する断面円形の減圧室形成凹部４０５が設けられている。
【００４１】
取付部材１０１の一側面には、減圧室４０４側に一端が開口するとともに有底の取付孔４０６が形成されている。取付孔４０６は、奧部側に形成された雌ねじを有するネジ部４０６ａと、開口部側に形成されたネジ部４０６ａよりも大径の嵌合孔４０６ｂとにて構成されている。取付孔４０６の底部は、ストップバルブ３００から吐出された水素ガスの流通路となる流路４１０に連通されている。
【００４２】
取付孔４０６のネジ部４０６ａには、弁部材収納部材としての弁座保持部材４０７が螺合されている。弁座保持部材４０７は、ＳＵＳ３１６Ｌにて円筒状に形成されている。弁座保持部材４０７と取付孔４０６の奥部との間には、流路４１０に通じる弁室４０８が形成されている。流路４１０と、弁室４０８との接続点が減圧弁４００の一次側のポートＰ３に相当する。又、弁座保持部材４０７の減圧室４０４側の端部には、外向きフランジ４１１が形成され、嵌合孔４０６ｂの周縁部に係止されている。又、弁座保持部材４０７の嵌合孔４０６ｂに対応する周面に形成された溝内には、シール部材４１２が嵌合され、シール部材４１２により弁座保持部材４０７と嵌合孔４０６ｂの内周面間がシールされている。
【００４３】
弁座保持部材４０７の減圧室４０４側端面から、反減圧室側端面間には、順にネジ孔４１３、弁座取付孔４１４、摺動孔４１５及び開口部４１６が形成されている。ネジ孔４１３は、雌ネジが内周面に刻設されており、ネジ孔４１３には筒状の弁軸ガイド部材４１７が螺合されている。
【００４４】
弁軸ガイド部材４１７は、軸方向に延びる断面円形のガイド孔４１８を備え、内底部側には内向き鍔４１９が形成されている。同内向き鍔４１９の内周はガイド孔４１８より小径の連通孔４２０とされている。弁座取付孔４１４は、弁軸ガイド部材４１７側が大径で、摺動孔４１５側が小径となるように段部４１４ａが形成されている。弁座取付孔４１４には、バルブシートとしての弁座４２１が嵌合されて、段部４１４ａに対して係止されている。弁座４２１は、弁軸ガイド部材４１７がネジ孔４１３に螺合されることにより、リング状の介装部材４２２を介して段部４１４ａに押圧係止されている。弁座４２１は、連通孔４２０及び介装部材４２２の中央部の孔と連通する弁孔４２３を備え、弁孔４２３の摺動孔４１５側の開口部は、摺動孔４１５側へ行くほど拡径するテーパ部を備えるシート部４２４が形成されている。弁座４２１は、ＳＵＳ３１６Ｌよりも柔らかな合成樹脂としてポリイミド樹脂から形成されている。ポリイミド樹脂の具体例としてはベスペル（登録商標：デュポン社）等がある。この場合、弁座４２１の形状精度を１μｍ以下とし、面粗度を１μｍＲａ以下とすることが好ましい。
【００４５】
摺動孔４１５内にはシート部４２４に着座可能な弁部材としての弁体４２５が摺動自在に収納されている。弁体４２５の外径は、摺動孔４１５の内径よりも小さくされており、摺動孔４１５の内周面と弁体４２５の外周面間には水素ガスの流路となる間隙が形成されている（図６では、説明の便宜上、間隙は図示されていない）。弁体４２５はＳＵＳ３１６Ｌにて有底筒状に形成されている。弁体４２５の形状精度は１μｍ以下とされ、面粗度は１μｍＲａ以下とされている。又、弁体４２５の表面には、ＰＶＤコーティングにてＴｉＮからなる低摩擦係数膜が形成されている。
【００４６】
そして、本実施形態の特徴的な構成であるが、弁体４２５の外周面と弁座保持部材４０７の摺動孔４１５間は、シール性を備えないように弁体４２５の摺動区間は、シール材を配置しない無シール部Ｍが形成されている。
【００４７】
開口部４１６は摺動孔４１５よりも若干内径が大きくされて、係止段部４２６が形成されている。係止段部４２６と開口部４１６に係止されたＣリング４２７間には、メッシュからなるフィルタ部材４２８が固定されている。そして、フィルタ部材４２８と弁体４２５の筒内の内底面間には、コイルスプリング４３０が配置されて、同コイルスプリング４３０により、弁体４２５がシート部４２４側に付勢されている。弁体４２５の一端側の面は、テーパ状であるシート部４２４に着座可能に対向するようにテーパ状に形成されている。
【００４８】
弁軸ガイド部材４１７のガイド孔４１８には、軸心方向に沿って弁軸４３１が摺動自在に収納されている。弁軸４３１は、弁体４２５の先端に対して弁孔４２３及び連通孔４２０よりも小径の連結軸４３２を介して弁体４２５と一体に連結されている。すなわち、弁体４２５から一体に延出された連結軸４３２が、弁軸４３１に対して螺入されることにより、弁軸４３１と弁体４２５とは一体とされている。
【００４９】
弁軸４３１は断面四角形状に形成されており、断面円形のガイド孔４１８と弁軸４３１との間に水素ガスの流路となる間隙が形成されている。弁軸４３１の基端側は外向きフランジ４３３が形成されている。弁軸ガイド部材４１７の減圧室４０４側端部には同じく外向きフランジ４３４が形成されている。又、フランジ４３３とフランジ４３４とは、弁体４２５が開弁時に互いに当接可能にされている。フランジ４３４のフランジ４３３対向面には、放射状に複数の溝（図示しない）が形成されており、フランジ同士が当接した状態においても水素ガスが、この溝を介して減圧室４０４内に流入可能とされている。
【００５０】
カバー４０２及びダイヤフラム４０３間にはバネ室４４０が形成されている。バネ室４４０内において、一対のバネ支持部材４５０，４５１が配置されている。一方のバネ支持部材４５０は、弁軸４３１から突設されるとともにダイヤフラム４０３の中央部を貫通したネジ部４５２に螺着されている。なお、フランジ４３３とバネ支持部材４５０との間には、シール材４５５が両部材により締め付けされ、シール材４５５により両部材間がシールされている。
【００５１】
バネ支持部材４５０のダイヤフラム４０３側は、外向きフランジ状に張り出し形成されたバネ受け座４５３が形成されている。バネ受け座４５３の中央部は、軸心方向に沿って柱部４５６が突出されている。他の１つのバネ支持部材４５１の中央部は、ダイヤフラム４０３側に延出された柱部４５８が形成されるとともに、基端側は外向きフランジ状に張り出し形成されたバネ受け座４５９が形成されている。そして、両バネ支持部材４５０，４５１間には、二重のコイルスプリング４６０が介装されている。
【００５２】
カバー４０２の外端面には、調節ネジ４７０が進退可能に螺合されており、この調節ネジ４７０の先端がバネ支持部材４５１の端面に設けられた凹所４７１に当接されている。調節ネジ４７０のカバー４０２に対する進退位置を調節することにより、コイルスプリング４６０のバネ荷重を調節可能とされている。なお、コイルスプリング４６０のバネ荷重は、コイルスプリング４３０のバネ荷重よりも大きくされている。調節ネジ４７０には、バネ室４４０を大気に開放するための貫通孔４７２が形成されている。又、減圧室４０４は、取付部材１０１に設けられた通路４７５を介して、図示しない管路を介して外部へ吐出される。
【００５３】
さて、上記のように構成された減圧弁４００は弁室４０８内に高圧の水素ガスが流入していない状態では、減圧室４０４内の圧力も大気圧となっている。このとき、コイルスプリング４６０の付勢力により、ダイヤフラム４０３は、弁軸４３１のフランジ４３３が弁軸ガイド部材４１７のフランジ４３４に当接するまで、減圧室４０４側に移動される。この状態では、弁体４２５はシート部４２４から離間した開弁状態となっている。
【００５４】
この状態で、流路４１０を介して高圧の水素ガスが流入すると、開弁状態の弁体４２５と弁座保持部材４０７との間隙及びシート部４２４との間隙、弁孔４２３、連通孔４２０、ガイド孔４１８の内周面と弁軸４３１との間隙、フランジ４３４，４３３間の間隙を介して減圧室４０４に水素ガスが流入する。そして、減圧室４０４内の圧力が高まると、コイルスプリング４６０の付勢力に抗してダイヤフラム４０３がバネ室４４０側に移動する。この減圧室４０４の圧力上昇及び弁体４２５へのコイルスプリング４３０の付勢力により弁体４２５が、シート部４２４に着座すると、閉弁状態となる。この閉弁状態で、減圧室４０４内の高圧の水素ガスは、通路４７５を介して外部に送出される。この送出により、設定圧力より低い圧力まで減圧室４０４が減圧すると、コイルスプリング４６０により弁体４２５はシート部４２４から離間した開弁状態に復帰する。
【００５５】
さて、上記のように構成された実施形態では、下記の特徴を有する。
（１）  本実施形態の電磁開閉弁１００では、パイロット弁１２２をＳＵＳ３１６Ｌにて形成加工し、パイロット弁座１３４を、弾性変形可能なポリイミド樹脂から形成した。主弁体１３０はＳＵＳ３１６Ｌにて形成し、主弁座１６２をポリイミド樹脂から形成した。
【００５６】
この結果、高圧の７０ＭＰａの水素ガスが存在する中で、パイロット弁１２２がパイロット弁座１３４に当接した場合、ポリイミド樹脂からなるパイロット弁座１３４が弾性変形するため、パイロット弁１２２とパイロット弁座１３４間に隙間ができることはなく、シール性を損なうことがない。又、高圧の７０ＭＰａの水素ガスが存在する中で、主弁体１３０が主弁座１６２に当接した場合も、同様にポリイミド樹脂からなる主弁座１６２が弾性変形するため、シール性を損なうことがない。
【００５７】
又、バルブシートとしてのパイロット弁座１３４及び主弁座１６２と、パイロット弁１２２及び主弁体１３０は、面粗度が１μｍＲａ以下とされているため、閉弁状態になった際、互いに密接が保たれる効果を奏する。さらに、形状精度が１μｍ以下とされて高精度に加工形成されているため、シート性が向上する。
【００５８】
なお、面粗度が１μｍＲａを超えると、７０ＭＰａの高圧では、閉弁状態において、シールができない。
（２）  本実施形態では、減圧弁４００の弁体４２５をＳＵＳ３１６Ｌにて形成し、シート部４２４を備えた弁座４２１をポリイミド樹脂にて形成した。この結果、高圧の７０ＭＰａの水素ガスが存在する中で、弁体４２５がシート部４２４に当接しても、ポリイミド樹脂からなるシート部４２４が弾性変形するため、シール性を損なうことがない。
【００５９】
又、バルブシートとしての弁座４２１と、弁体４２５は、面粗度が１μｍＲａ以下とされているため、閉弁状態になった際、互いに密接が保たれる効果を奏する。さらに、形状精度が１μｍ以下とされて高精度に加工形成されているため、シート性が向上する。なお、面粗度が１μｍＲａを超えると、７０ＭＰａの高圧では、閉弁状態において、シールができない。
【００６０】
（３）  本実施形態の電磁開閉弁１００では、主弁体１３０の一端側において、パイロット弁１２２が接触する部位をパイロット弁座１３４として弾性変形可能な合成樹脂であるポリイミド樹脂から形成した。そして、パイロット弁１２２をＳＵＳ３１６Ｌにて形成した。このようにすると、接触部位だけに必要な材質を適用するだけで、シール性の向上効果を得ることができる。
【００６１】
（４）  本実施形態の減圧弁４００は、弁体４２５の表面に、表面処理としてのＰＶＤコーティング（物理蒸着）により、ＴｉＮからなる低摩擦係数膜を形成した。この結果、弁体４２５が弁座保持部材４０７の摺動孔４１５内を開閉移動する際に、円滑に摺動することができる。
【００６２】
仮に、７０ＭＰａの高圧下で弁体４２５の外周面にＯリングや、摺動シール等のシール材を設けると、摺動孔４１５内周面とシール材（弁体４２５）の摺動抵抗が極めて大きくなり、弁体４２５が動かなくなったり、減圧室４０４が減圧されたとき大きく圧力が下がらないと、弁体４２５が動かなくなる問題がある。この場合、２次圧力（減圧室４０４側の圧力）のヒステリシスが大きく生ずる。それに対して、本実施形態では、このようなことはなく２次圧力のヒステリシスを減少することができる。
【００６３】
この結果、この減圧装置１０を燃料電池を使用する自動車用として適用した場合、長期の使用でも弁体４２５の焼き付き、摩耗を防止することができる。
又、本実施形態の減圧弁４００は、弁体４２５（弁部材）を収納する弁座保持部材４０７（弁部材収納部材）と弁体４２５との間に無シール部Ｍを形成した。この結果、シール材がないため、上記効果を阻害することもなくなる。
【００６４】
（５）  本実施形態では、電磁開閉弁１００は、弁部材としてパイロット弁１２２及び主弁体１３０を備え、バルブシートとして、パイロット弁座１３４及び主弁座１６２を備えるようにした。そして、ソレノイドコイル１１０（ソレノイド）の励消磁に応じて、パイロット弁１２２が、パイロット弁座１３４から離間する開弁状態と、パイロット弁座１３４に着座する閉弁状態となるようにした。さらに、パイロット弁１２２が開弁すると、主弁体１３０が主弁座１６２に着座した閉弁状態から開弁状態に移行するセミパイロットタイプの電磁開閉弁である構成とした。このように電磁開閉弁１００に具体化したものにおいて、上記（１）〜（４）の作用効果を得ることができる。
【００６５】
（６）  本実施形態の電磁開閉弁１００は、プランジャ１１２に対してパイロット弁１２２及び主弁体１３０の両方をプランジャ１１２の開閉作動方向（作動方向）に遊びをもって支持するようにした。
【００６６】
本実施形態では、上記の構成により、主弁体１３０やパイロット弁１２２がフローティング構造となり、主弁体１３０やパイロット弁１２２が主弁座１６２やパイロット弁座１３４に倣うため、容易にシールすることができる。本実施形態では、７０ＭＰａという高圧下でかつ低出力のソレノイドコイル１１０（ソレノイド）でパイロット弁１２２を作動させるためには、非常に小径のパイロット孔１３３、孔１３５をシールする必要がある。このような小さい受圧面積をシールするために、パイロット弁１２２や、主弁体１３０をフローティング構造とすることにより、パイロット弁座１３４や主弁座１６２との密着性を向上させることができる。
【００６７】
（７）  本実施形態の電磁開閉弁１００は、パイロット弁１２２のパイロット弁座１３４側の端部には、パイロット弁座１３４側に行くほど細くなるようにテーパ面１２４を形成した。又、パイロット弁座１３４は、パイロット弁座１３４のテーパ面１２４と当接可能に、パイロット弁１２２側に行くほど内径が大きくなるように形成した。この結果、パイロット弁１２２が閉弁時には、テーパ面１２４が、パイロット弁座１３４において、パイロット弁１２２側に行くほど内径が大きくなる部分に当接され、閉弁状態とすることができる。
【００６８】
（８）  本実施形態の減圧弁４００は、取付部材１０１（バルブボディ）とダイヤフラム４０３間に減圧室４０４を形成し、同減圧室４０４に通じる弁孔４２３が開口された部分に弁座４２１（バルブシート）を形成し、弁座４２１に対して、弁体４２５（弁部材）を着座可能に配置した。そして、弁体４２５はダイヤフラム４０３に連結された弁軸４３１と同軸に固定した。この結果、このように減圧弁４００に具体化したものにおいて、上記（１）〜（４）の作用効果を得ることができる。
【００６９】
（９）  本実施形態では、減圧装置１０は、高圧水素タンクＴ（高圧水素ガス容器）に対し、電磁開閉弁１００の一次側のポートＰ１が連通するように設け、電磁開閉弁１００の二次側のポートＰ２は、減圧弁４００の一次側のポートＰ３に連通した。この結果、減圧装置１０において、上記（１）〜（４）の作用効果を得ることができる。
【００７０】
なお、実施の形態は上記実施の形態に限定されるものではなく、例えば以下のように変更してもよい。
（１）  前記実施形態では、電磁開閉弁１００のパイロット弁１２２をＳＵＳ３１６Ｌとし、パイロット弁座１３４をポリイミド樹脂としたが、反対に、パイロット弁１２２をポリイミド樹脂とし、パイロット弁座１３４をＳＵＳ３１６Ｌとしてもよい。この場合、パイロット弁１２２及びパイロット弁座１３４の形状精度を１μｍ以下とし、面粗度を１μｍＲａ以下とすることが好ましい。
【００７１】
又、電磁開閉弁１００の主弁体１３０の材質を、ポリイミド樹脂とし、主弁座１６２をＳＵＳ３１６Ｌとしてもよい。又、この場合、主弁体１３０及び主弁座１６２の形状精度を１μｍ以下とし、面粗度を１μｍＲａ以下とすることが好ましい。
【００７２】
（２）  前記実施形態では、減圧弁４００の弁体４２５をＳＵＳ３１６Ｌとし、弁座４２１をポリイミド樹脂としたが、反対に、弁体４２５をポリイミド樹脂とし、弁座４２１をＳＵＳ３１６Ｌとしてもよい。この場合、弁体４２５及び弁座４２１の形状精度を１μｍ以下とし、面粗度を１μｍＲａ以下とするのが好ましい。
【００７３】
（３）  弾性変形可能な合成樹脂としてポリイミド樹脂の代わりに、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）樹脂に代えても良い。ＰＥＥＫ樹脂は、結晶性の芳香族ポリエーテルからなり、耐疲労性に関しては、ポリイミド樹脂以上の特性を有する。
【００７４】
又、弾性変形可能な合成樹脂の代わりに、軟質金属としてもよい。軟質金属の代表例としては、真鍮や青銅の銅合金を挙げることができる。真鍮や青銅の銅合金はＳＵＳ３１６Ｌに対しては柔らかく、又、当接された箇所は弾性変形する。
【００７５】
（４）  ＳＵＳ３１６Ｌ及びポリイミド樹脂を使用する場合、弁部材の全体、或いはバルブシートの全体をこれらの材質で形成する必要はなく、例えば、弁部材とバルブシートとが互いに当接する部分にだけ、これらの材質で形成すればよい。
【００７６】
（５）  弾性変形可能な樹脂としてポリイミド樹脂の代わりに、ポリフッ化エチレン系樹脂に代えても良い。ポリフッ化エチレン系樹脂としては、例えば、テフロン（登録商標）を挙げることができる。
【００７７】
（６）  本実施形態の減圧弁４００は、弁体４２５の表面にＴｉＮからなる低摩擦係数膜を施したがこれに限定するものではない。ＰＶＤコーティングの表面処理により、ＣｒＮやＡｕやＭｏＳ２からなる低摩擦係数膜を形成してもよい。又、非晶質硬質炭素膜であるダイヤモンド状炭素薄膜（ＤＬＣ）を低摩擦係数膜として形成してもよい。又、表面処理として、フッ素樹脂コーティングを行うべく焼き付け処理を行い、ポリテトラフルオロエチレンにて低摩擦係数膜を形成したり、テトラフルオロエチレンにて低摩擦係数膜を形成してもよい。
【００７８】
さらに、メッキ処理にて、Ａｕ膜やＮｉ−Ｐメッキ膜やＮｉ−Ｂメッキ膜を形成して、低摩擦係数膜としてもよい。
（７）  前記実施形態では電磁開閉弁１００は、プランジャ１１２に対してパイロット弁１２２及び主弁体１３０の両方をプランジャ１１２の開閉作動方向（作動方向）に遊びをもって支持するようにした。これに代えて、プランジャ１１２に対してパイロット弁１２２又は主弁体１３０のいずれか一方をプランジャ１１２の開閉作動方向（作動方向）に遊びをもって支持するようにしてもよい。
【００７９】
このようにしても、フローティング構造となった弁部材とバルブシートとの密着性を向上することができる。
（８）  前記実施形態では、電磁開閉弁１００は、パイロット弁１２２にはテーパ面１２４を形成し、パイロット弁座１３４は、パイロット弁座１３４のテーパ面１２４と当接可能に、パイロット弁１２２側に行くほど内径が大きくなるように形成した。この構成に代えて、下記で説明する構成に代えてもよい。図７は他の実施形態の電磁開閉弁の断面図、図８は同じく他の実施形態の電磁開閉弁の主弁体とパイロット弁の断面図である。なお、前記実施形態と同一構成については同一符号を付して説明を省略し、異なるところを中心に説明する。
【００８０】
本実施形態では、パイロット弁１２２のテーパ面１２４は省略され、パイロット弁座側の端部は、平坦な端面１２２ａが形成されている。又、パイロット弁１２２は、ポリイミド樹脂（例えばベスペル（登録商標：デュポン社））から形成されている。
【００８１】
又、パイロット弁座１３４は、パイロット弁１２２側に行くほど外径が小さくなる突部１３４ａとしてパイロット孔１３３の軸心と同軸となるように形成されている。そして、その突部１３４ａの端面は、平坦面１３４ｂとされて、パイロット弁１２２の平坦な端面１２２ａに対して当接可能に配置されている。なお、パイロット弁座１３４は、主弁体１３０と一体にＳＵＳ３１６Ｌにて形成されている。他の構成は、図４に示した実施形態と同様である。このように構成しても、図４に示した実施形態の作用効果と同様に奏することができる。
【００８２】
（９）  前記実施形態では、水素ガスの圧力は７０ＭＰａとしたが、本実施形態の構成によれば、０から７０ＭＰａ程度であれば、シール性を損なうことはない。
【００８３】
【発明の効果】
以上詳述したように、従来の３５ＭＰａの水素ガス用高圧バルブの構成では、閉弁状態において達成しえなかったシール性の確保が、請求項１〜請求項１４に記載の発明によれば、従来の３５ＭＰａよりもさらに高圧下においても閉弁状態時の弁部材とバルブシートのシール性を失うことがない効果を奏する。
【００８４】
又、請求項１５に記載の発明によれば、水素ガス用減圧装置として、従来の３５ＭＰａよりもさらに高圧下の閉弁状態時においても弁部材とバルブシートのシール性を失うことがない効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施形態における図１は本実施形態における減圧装置の概略回路図。
【図２】電磁開閉弁の断面図。
【図３】減圧弁の要部断面図。
【図４】電磁開閉弁の断面図。
【図５】同じく電磁開閉弁の主弁体とパイロット弁の断面図。
【図６】減圧弁の断面図。
【図７】他の実施形態の電磁開閉弁の断面図。
【図８】同じく電磁開閉弁の主弁体とパイロット弁の断面図。
【符号の説明】
Ｐ１…電磁開閉弁の一次側のポート
Ｐ２…電磁開閉弁のニ次側のポート
Ｐ３…減圧弁の一次側のポート
Ｍ…無シール部
１００…電磁開閉弁
１１２…プランジャ
１２２…パイロット弁
１２２ａ…平坦な端面
１２４…テーパ面
１３０…主弁体
１３３…パイロット孔
１３４…パイロット弁座
１３４ａ…突部
１３４ｂ…平坦面
１３７…パイロット弁孔
１６２…主弁座
４００…減圧弁
４０３…ダイヤフラム
４０４…減圧室
４２３…弁孔
４３１…弁軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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