(57)【要約】【課題】  電流フィードバック分解能を高くすることができ、その結果、速度ループのフィードバックゲインを大きくすることができ、位置決め性能、定速度駆動の制御性能を改善できるリニアドライブシステムを提供する。【解決手段】  結線された２つ以上の電機子コイルグループ３２Ａ、３２Ｂで１つの電機子を構成するリニアモータのリニアドライブシステムにおいて、複数のコイルグループ３２Ａ、３２Ｂをそれぞれの駆動用サーボドライバ１２Ａ、１２Ｂで駆動するようにし、その際、電機子コイルグループ３２Ａ、３２Ｂに任意の電気角位相差を持たせた場合には、各駆動用サーボドライバ１２Ａ、１２Ｂの位相制御部に各コイルグループの相対的な幾何学的電気位相差をメモリパラメータとして持たせておくようにする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
結線された２つ以上の電機子コイルグループで１つの電機子を構成するリニアモータのリニアドライブシステムにおいて、
前記複数のコイルグループをそれぞれの駆動用サーボドライバで駆動することを特徴とするリニアドライブシステム。
【請求項２】
前記コイルグループに任意の電気角位相差を持たせた場合、前記各コイルグループの駆動用サーボドライバの位相制御部に、前記各コイルグループの相対的な幾何学的電気位相差をメモリパラメータとして持たせたことを特徴とする請求項１記載のリニアドライブシステム。
【請求項３】
前記電機子構造を、その左右面にコアギャップ面を有する吸引力相殺形リニア電機子とし、左右の２つの電機子コイルグループとし、これらをそれぞれ２台のサーボドライバで、かつ前記位相制御部の電気位相角を同一にして駆動することを特徴とする請求項１記載のリニアドライブシステム。
【請求項４】
前記電機子構造を、進行方向に前後２つの電機子コイルグループとし、これら電機子コイルグループは、機械的に磁極ピッチτｐ／２×ｎ（ただしｎ＝奇数の整数）の位相を持たせた電機子構造とし、
これらをそれぞれ２台の駆動用サーボドライバで、かつ前記位相制御部の電気位相角を、相対的に電気角９０°もしくは２７０°の位相を持たせた値を入力したもので駆動することを特徴とする請求項１記載のリニアドライブシステム。
【請求項５】
前記電機子構造を、進行方向に前後３つの電機子コイルグループとし、これら電機子コイルグループは、機械的に磁極ピッチ２・τｐ／３×ｎ（ただしｎ＝奇数の整数）の位相を持たせた電機子構造とし、
これらをそれぞれ２台のサーボドライバで、かつ前記位相制御部の電気位相角を、相対的に電気角１２０°および２４０°の位相を持たせた値を入力したもので駆動することを特徴とする請求項１記載のリニアドライブシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リニアドライブシステムに関し、特にリニア電機子内に結線された複数のコイルをサーボドライバで駆動するリニアドライブシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のリニアドライブシステムは、１台のリニアモータに対して、１つのサーボドライバで駆動している。また、特にコイル数が９個に対して対向する界磁磁極数が８個（極）のような場合は、コイルグループが１つしかないものもある。
図７および図８は、複数の電機子コイルグループを有するリニアモータの１例として、公知のムービングマグネット形リニアモータ（例えば、特許文献１参照）を示す図で、図７は平面図、（ｂ）は側断面図である。
【特許文献１】特開２００１−３５２７４４号
【特許文献２】特開２０００−３３３４３２号
【特許文献３】特開２００２−１３６０９６号
【０００３】
図７および図８において、ムービングマグネット形リニアモータは、大きく可動子部と固定子部とリニアガイド部と位置検出部とから成る。可動子部の可動テーブル２０（図８）の両側にリニアガイドブロック２２、２２を取り付けている。リニアガイドブロック２２、２２は、固定子部３０の固定ベース３１の上にこれと対向配置されたリニアガイドレール３３、３３の上に載置されている。
可動テーブル２０の裏側には、電機子コイルとコアとから成る電機子２１が取り付けられている。電機子２１とエアギャップを介してこれと対向するようにマグネットトラック３２が固定ベース３１の上に取り付けられている。
また、可動テーブル２０の側面（図８で右）下方にリニアスケールヘッド部５３が取り付けられ、このリニアスケールヘッド部５３と対向してスケール部５１がスケールホルダ５２に取り付けられている。そして、スケールホルダ５２は固定ベース３１の側面（図８で右）に取り付けられている。リニアスケールヘッド部５３および電機子２１には、駆動ドライバ１２Ａ（図７）からケーブルペア４０を介してそれぞれリニアスケールリード４１およびモータリード４２により給電される。
【０００４】
図９は従来のリニアドライブシステムを示す概念斜視図である。
図において、１０はリニアモータ、特に吸引力相殺形リニアモータ、１１はコントローラ（指令器）、１２はサーボドライバ、３２は電機子で、２つの電機子コイルグループ３２Ａと３２Ｂとから成る。３６はモータ動力線（給電線）、５３はリニアスケール、５４は信号線である。
このリニアドライブシステムにおいて、サーボドライバ１２はもちろん１個しかなく、これ１個で単一の電機子３２を駆動している。リニアモータの必要出力がそれほど大きくない場合には、サーボドライバ容量も大きくないので、これで格別、問題はなかった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、リニアモータの必要出力が大きくなった場合、サーボドライバ容量も大きくなり、電流分解能がサーボドライバの電流容量のパーセンテージで決定されるので、大容量のシステムの場合、この電流分解能が悪化し、サーボドライバの制御性を抑制することとなった。特に、一定速送りの駆動アプリケーションの場合、その領域では、無負荷状態であるため、電流値が小さくなり、電流分解能の悪いシステムでは、速度リプル低減制御性能を高めることができない等の問題があった。また、大容量パワー素子の場合、熱的性能の制約から、ＰＷＭ制御におけるキャリア周波数を高く設定することが出来ないなどの問題もあった。
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、リニアモータの必要出力が大きくなっても、電流分解能を向上させ、キャリア周波数を高く設定することができるリニアドライブシステムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため、請求項１記載のリニアドライブシステムの発明は、結線された２つ以上の電機子コイルグループで１つの電機子を構成するリニアモータのリニアドライブシステムにおいて、前記複数のコイルグループをそれぞれの駆動用サーボドライバで駆動することを特徴とする。
請求項２記載の発明は、請求項１記載のリニアドライブシステムにおいて、前記コイルグループに任意の電気角位相差を持たせた場合、前記各コイルグループの駆動用サーボドライバの位相制御部に、前記各コイルグループの相対的な幾何学的電気位相差をメモリパラメータとして持たせたことを特徴とする。
請求項３記載の発明は、請求項１記載のリニアドライブシステムにおいて、前記電機子構造を、その左右面にコアギャップ面を有する吸引力相殺形リニア電機子とし、左右の２つの電機子コイルグループとし、これらをそれぞれ２台のサーボドライバで、かつ前記位相制御部の電気位相角を同一にして駆動することを特徴とする。
請求項４記載の発明は、請求項１記載のリニアドライブシステムにおいて、前記電機子構造を、進行方向に前後２つの電機子コイルグループとし、これら電機子コイルグループが、機械的に磁極ピッチτｐ／２×ｎ（ただしｎ＝奇数の整数）の位相を持たせた電機子構造とし、これらをそれぞれ２台の駆動用サーボドライバで、かつ前記位相制御部の電気位相角を、相対的に電気角９０°もしくは２７０°の位相を持たせた値を入力したもので駆動することを特徴とする。
請求項５記載の発明は、請求項１記載のリニアドライブシステムにおいて、前記電機子構造を、進行方向に前後３つの電機子コイルグループとし、これら電機子コイルグループが、機械的に磁極ピッチ２・τｐ／３×ｎ（ただしｎ＝奇数の整数）の位相を持たせた電機子構造とし、これらをそれぞれ２台のサーボドライバで、かつ前記位相制御部の電気位相角を、相対的に電気角１２０°および２４０°の位相を持たせた値を入力したもので駆動することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
請求項１に記載の発明によると、リニアモータ電機子に複数のサーボドライバで駆動することで、一つのドライバ電流容量を１／ｎにすることができ、電流分解能を１台で駆動する場合に比べてｎ倍にすることができる。
また、請求項２に記載の発明によると、電機子内のコイルグループ数が、複数の場合、コギングリプル、推力リプルを相殺させるために、それぞれのコイルグループに相対的な位相差を持たせ配置することがある。この場合、それぞれのコイルグループを駆動するサーボドライバの位相制御部に、この位相角データをパラメータとして組み込むことで、任意の位相ズラシを行うことで、コギングリプル、推力リプルを理想的に相殺することができる。
請求項３に記載の発明によると、推力発生部が、左右２面ある吸引力相殺形のアプリケーションに適用でき、左右のコイルグループを２台のサーボドライバで駆動した場合に請求項１と同じような効果が得られる。
請求項４に記載の発明によると、２つのコイルグループを進行方向前後に分け、９０°もしくは２７０°の電気的位相で幾何学的に配置、これらを駆動する２台のサーボドライバにも、相対的に電気角９０°もしくは２７０°の位相を持たせた値を入力したもので駆動することで、請求項１の効果とともに、リニアモータの端効果であるコギングリプル、推力リプルを相殺低減させることができる。
請求項５に記載の発明によると、３つのコイルグループを進行方向前後に分け、１２０°もしくは２４０°の電気的位相で幾何学的に配置、これらを駆動する２台のサーボドライバにも、相対的に電気角１２０°もしくは２４０°の位相を持たせた値を入力したもので駆動することで、請求項１の効果とともに、リニアモータの端効果であるコギングリプル、推力リプルを相殺低減させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明の各実施の形態について図を参照して説明する。
＜第１の実施の形態＞
図１は、本発明の第１の実施の形態に係るリニアドライブシステムを示す概念斜視図である。
図において、１０はリニアモータ、特に吸引力相殺形リニアモータ、１１はコントローラ（指令器）、１２はサーボドライバで、これを本発明により２個用意し、一方は電機子グループ３２Ａ用のサーボドライバ１２Ａとし、他方は電機子グループ３２Ｂ用のサーボドライバ１２Ｂとして使用する。３２は電機子で、２つの電機子グループ３２Ａと３２Ｂとから成る。３６はモータ動力線（給電線）で、一方の電機子グループ３２Ａ用のモータ動力線３６Ａと他方の電機子グループ３２Ｂ用のモータ動力線３６Ｂとから成る。５３はリニアスケール、５５はリニアスケール信号分配器で、リニアスケール５３からのリニアスケール信号をリニアスケール信号線５４Ａでサーボドライバ１２Ａに、リニアスケール信号線５４Ｂでサーボドライバ１２Ｂにそれぞれ送っている。
このように図１の電機子は吸引力相殺構造となっているため、左右に軸対象の電機子３２Ａ、電機子３２Ｂがあり、これらの２つの電機子３２Ａおよび電機子３２Ｂをサーボドライバ１２Ａおよびサーボドライバ１２Ｂによりそれぞれ駆動するシステムとして構築している。この場合、リニアスケール５３からのリニアスケール信号は、信号分配器５５を介してサーボドライバ１２Ａとサーボドライバ１２Ｂに同一信号が入るようなシステムになっていて、上位からの同一指令コマンドを２つのサーボドライバ１２Ａ、１２Ｂに指令すれば、リニアモータの電機子３２Ａ、３２Ｂは、あたかも１台のサーボドライバで駆動しているように動作することとなる。
このように、本発明が従来のリニアドライブシステムと異なる部分は、電流フィードバック分解能が高い小容量サーボドライバ２台で駆動する点でシステム上の大きな相違点がある。
【０００９】
図２は、電機子内部の左右の軸対象にある電機子巻線の結線状態を示す１例である。図に示すように、その電機子内部の巻線の結線は、左右（平面図の図２では上下）の軸対称にある電機子巻線３４Ａ，３４Ｂを、それぞれ中性点結線することで、独立した多相平衡電機子巻線を構成するようにしている。したがって、それぞれの電機巻線３４Ａに各相巻線リードＵ，Ｖ，Ｗとアース線Ｇがあり、これらは、２つのサーボドライバ１２Ａ，１２Ｂ（図１）に接続されている。
そこで２つのサーボドライバ１２Ａ，１２Ｂでそれぞれ左右の２つの電機子コイルグループを位相制御部の電気位相角を同一にして駆動することで、それぞれ小容量のサーボドライバ１２Ａ，１２Ｂで１台の電機子３２を駆動することができるので、電流フィードバック分解能を高くすることができ、その結果、速度ループのフィードバックゲインを大きくすることができるので、位置決め性能、定速度駆動のようなリニアモータの基本、かつ重要な制御性能を従来に比較して大きく改善することができる。
【００１０】
＜第２の実施の形態＞
第１の実施の形態に係るリニアドライブシステムは２つの電機子コイルグループが進行方向の左右に配置されており、互いに機械的に同位相の場合であったが、これに対して第２の実施の形態に係るリニアドライブシステムは２つの電機子コイルグループが進行方向に前後して配置されシステムである。
図３は、本発明の第２の実施の形態に係るリニアドライブシステムを示す概念斜視図である。
図において、１０’は、左右同じ構造の電機子グループ３２１Ａ，３２１Ｂを吸引力相殺関係に配置したリニアモータで、ここでは左右の電機子グループ３２１Ａ，３２１Ｂを進行方向に前後に２つの電機子コイルグループ（１）、（２）に分けているのが特徴である。１１はコントローラ（指令器）、１２はサーボドライバで、これを本発明により２個用意し、一方は第１電機子グループ（１）用のサーボドライバ１２Ａとし、他方は第２の電機子グループ（２）用のサーボドライバ１２Ｂとして使用する。３６はモータ動力線（給電線）で、一方の電機子グループ３２Ａ用のモータ動力線３６Ａと他方の電機子グループ３２Ｂ用のモータ動力線３６Ｂとから成る。５３はリニアスケール、５５はリニアスケール信号分配器で、リニアスケール５３からのリニアスケール信号をリニアスケール信号線５４Ａでサーボドライバ１２Ａに、リニアスケール信号線５４Ｂでサーボドライバ１２Ｂにそれぞれ送っている。
このように、図３の電機子は吸引力相殺構造でかつ進行方向に前後に２つの電機子コイルグループ（１）、（２）に分け、これらの２つの電機子コイルグループ（１）、（２）をサーボドライバ１２Ａおよびサーボドライバ１２Ｂによりそれぞれ駆動するシステムとして構築している。この場合、リニアスケール５３からのリニアスケール信号は、信号分配器５５を介してサーボドライバ１２Ａとサーボドライバ１２Ｂに同一信号が入るようなシステムになっていて、上位からの同一指令コマンドを２つのサーボドライバ１２Ａ、１２Ｂに指令すれば、リニアモータの電機子３２Ａ、３２Ｂは、あたかも１台のサーボドライバで駆動しているように動作することとなる。
このように、本発明が従来のリニアドライブシステムと異なる部分は、電流フィードバック分解能が高い小容量サーボドライバ２台で駆動する点でシステム上の大きな相違点がある。
【００１１】
図４は進行方向に前後に２つの電機子コイルグループに分けている電機子を説明する図で、（ａ）は縦断面図、（ｂ）は２電機子のコギング推力波形を示した図である。縦断面図（ａ）において、３２１は可動子、３２１Ａは第１の電機子コイルグループ、３２１Ｂは第２の電機子コイルグループ、３２１Ｄは電機子コイル、３２１Ｅはティース、３２１Ｆは間隔片、３４１は固定子、３４１Ａは界磁磁石である。Ｐｍは界磁磁石３４１Ａの進行方向幅に相当するピッチである。Ｐｔはティース３２１Ｅの中心と隣接ティース３２１Ｅの中心との間隔に相当するピッチである。
第１および第２の電機子コイルグループ３２１Ａ、３２１Ｂともに、９Ｐｔであり、８Ｐｍである。第１の電機子コイルグループ３２１Ａと第２の電機子コイルグループ３２１Ｂとの接続部には１／２Ｐｍピッチの間隔片３２１Ｆを介在させている。このように、進行方向に前後して配置される２つの電機子コイルグループ３２１Ａ，３２１Ｂは、機械的に「磁極ピッチτｐ／２×ｎ」（ただしｎ＝奇数の整数）の位相を持たせた電機子構造となっているので、これらをそれぞれ上記２台の駆動用サーボドライバで、かつ前記位相制御部の電気位相角を、相対的に電気角９０°もしくは２７０°の位相を持たせた値を入力したもので駆動するようにすれば、電流フィードバック分解能を高くすることができ、その結果、位置決め性能、定速度駆動等を大きく改善することができるともに、リニアモータの端効果であるコギングリプル、推力リプルを相殺低減させることができる。
（ｂ）は第１の電機子コイルグループと第２の電機子コイルグループのコギング推力波形を示している。３２１Ａは第１の電機子コイルグループのコギング推波形、３２１Ｂは第２の電機子コイルグループのコギング推力波形を示し、図から判るように、コギング推力３２１Ａ＋コギング推力３２１Ｂ≒０となるので、このリニアモータ１０’はコギング 推力を０とすることができる。
以上のように、第２実施の形態に係るリニアドライブシステムでは２つのコイルグループに任意の電気角位相差を持たせた場合、各コイルグループの相対的な幾何学的電気位相差をメモリパラメータとして各コイルグループの駆動用サーボドライバの位相制御部に持たせ、このメモリパラメータ用いることで第一の実施形態の持つ効果の他に、さらに、リニアモータの端効果であるコギングリプル、推力リプルを相殺低減させることができるようになる。
【００１２】
＜第３の実施の形態＞
第２の実施の形態に係るリニアドライブシステムは２つの電機子コイルグループが進行方向に前後して配置されシステムであったが、第３実施の形態に係るリニアドライブシステムは、進行方向に前後３つの電機子コイルグループを配置したシステムである。
図５は、本発明の第３の実施の形態に係るリニアドライブシステムを示す概念斜視図である。
図において、１０”は、左右同じ構造の電機子グループ３２２Ａ，３２２Ｂを吸引力相殺関係に配置したリニアモータで、ここでは左右の電機子グループ３２２Ａ，３２２Ｂを進行方向に前後に３つの電機子コイルグループ（１）、（２）、（３）に分けているのが特徴である。
１１はコントローラ（指令器）、１２はサーボドライバで、これを本発明により３個用意し、第１番目は第１電機子グループ（１）用のサーボドライバ１２Ａとし、第２番目は第２の電機子グループ（２）用のサーボドライバ１２Ｂ、第３番目は第３の電機子グループ（３）用のサーボドライバ１２Ｃとして使用する。  ３６はモータ動力線（給電線）で、第１の電機子グループ３２Ａ用のモータ動力線３６Ａと第２の電機子グループ３２Ｂ用のモータ動力線３６Ｂと第３の電機子グループ３２Ｃ用のモータ動力線３６Ｃとから成る。５３はリニアスケール、５５はリニアスケール信号分配器で、リニアスケール５３からのリニアスケール信号をリニアスケール信号線５４Ａでサーボドライバ１２Ａに、リニアスケール信号線５４Ｂでサーボドライバ１２Ｂに、リニアスケール信号線５４Ｃでサーボドライバ１２Ｃにそれぞれ送っている。
このように、図５の電機子は吸引力相殺構造でかつ進行方向に前後に３つの電機子コイルグループ（１）、（２）、（３）に分け、これらの３つの電機子コイルグループ（１）、（２）、（３）をサーボドライバ１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃによりそれぞれ駆動するシステムとして構築している。この場合、リニアスケール５３からのリニアスケール信号は、信号分配器５５を介してサーボドライバ１２Ａとサーボドライバ１２Ｂとサーボドライバ１２Ｃに同一信号が入るようなシステムになっていて、上位からの同一指令コマンドを３つのサーボドライバ１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃに指令すれば、リニアモータの電機子３２Ａ、３２Ｂは、あたかも１台のサーボドライバで駆動しているように動作することとなる。
このように、本発明が従来のリニアドライブシステムと異なる部分は、電流フィードバック分解能が高い小容量サーボドライバ３台で駆動する点でシステム上の大きな相違点がある。
【００１３】
図６は進行方向に前後に２つの電機子コイルグループに分けている電機子を説明する図で、（ａ）は縦断面図、（ｂ）は２電機子のコギング推力波形を示した図である。縦断面図（ａ）において、３２２は可動子、３２２Ａは第１の電機子コイルグループ、３２２Ｂは第２の電機子コイルグループ、３２２Ｃは第３の電機子コイルグループ、３２２Ｄは電機子コイル、３２２Ｅはティース、３２２Ｆは間隔片、３４１は固定子、３４１Ａは界磁磁石である。Ｐｍは界磁磁石３４１Ａの進行方向幅に相当するピッチである。Ｐｔはティース３２２Ｅの中心と隣接ティース３２２Ｅの中心との間隔に相当するピッチである。
第１、第２、第３の電機子コイルグループ３２２Ａ、３２２Ｂ、３２２Ｃともに、９Ｐｔであり、８Ｐｍである。第１の電機子コイルグループ３２２Ａと第２の電機子コイルグループ３２２Ｂとの接続部、および第２の電機子コイルグループ３２２Ｂと第３の電機子コイルグループ３２２Ｃとの接続部には２／３Ｐｍピッチの間隔片３２２Ｆを介在させている。このように、これら電機子コイルグループは、機械的に（磁極ピッチ２・τｐ／３×ｎ、ただしｎ＝１および２）の位相を持たせた電機子構造となっているので、これらをそれぞれ上記２台の駆動用サーボドライバで、かつ前記位相制御部の電気位相角を、相対的に電気角１２０°および２４０°の位相を持たせた値を入力したもので駆動するようにすれば、電流フィードバック分解能を高くすることができ、その結果、位置決め性能、定速度駆動等を大きく改善することができるともに、リニアモータの端効果であるコギングリプル、推力リプルを相殺低減させることができる。
（ｂ）は第１の電機子コイルグループと第２の電機子コイルグループと第３の電機子コイルグループのコギング推力波形を示している。３２２Ａは第１の電機子コイルグループのコギング推力波形、３２２Ｂは第２の電機子コイルグループのコギング推力波形、３２２Ｃは第３の電機子コイルグループのコギング推力波形を示し、図から判るように、コギング推力３２２Ａ＋コギング推力３２２Ｂ＋コギング推力３２２Ｃ≒０となるので、このリニアモータ１０”はコギング 推力を０とすることができる。
【００１４】
また、このようにして位置決め性能、定速度駆動の性能を向上させることによって、すばやく位置決め、滑らかに加工等の仕事をすることができるので、半導体、液晶関連装置の検査装置、超精密加工を行う工作機という用途にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明に係るリニアドライブシステムを示す概念斜視図である。
【図２】電機子内部の左右の軸対象にある電機子巻線の結線例である。
【図３】本発明の第２の実施の形態に係るリニアドライブシステムを示す概念斜視図である。
【図４】進行方向に前後に２つの電機子コイルグループに分けている電機子を説明する図で、（ａ）は縦断面図、（ｂ）は２電機子のコギング推力波形を示した図である。
【図５】本発明の第３の実施の形態に係るリニアドライブシステムを示す概念斜視図である。
【図６】進行方向に前後に２つの電機子コイルグループに分けている電機子を説明する図で、（ａ）は縦断面図、（ｂ）は２電機子のコギング推力波形を示した図である。
【図７】公知のムービングマグネット形リニアモータの平面図である。
【図８】公知のムービングマグネット形リニアモータの側断面図である。
【図９】従来のリニアドライブシステムを示す概念斜視図である。
【符号の説明】
【００１６】
１０、１０’、１０”  リニアモータ
１１  コントローラ（指令器）
１２  サーボドライバ
１２  サーボドライバ
１２Ａ  電機子Ａグループ用サーボドライバ
１２Ｂ  電機子Ｂグループ用サーボドライバ
１２Ｃ  電機子Ｃグループ用サーボドライバ
３２    電機子
３２Ａ、３２１Ａ、３２２Ａ  電機子Ａグループ
３２Ｂ、３２２Ｂ、３２２Ｂ  電機子Ｂグループ
３４  電機子コイル
３６  モータ動力線（給電線）
３６Ａ  電機子Ａグループ用モータ動力線
３６Ｂ  電機子Ｂグループ用モータ動力線
３６Ｃ  電機子Ｃグループ用モータ動力線
５３    リニアスケール
５４    リニアスケール信号線
５４Ａ  電機子Ａグループ用リニアスケール信号線
５４Ｂ  電機子Ｂグループ用リニアスケール信号線
５４Ｃ  電機子Ｃグループ用リニアスケール信号線
５５    リニアスケール信号分配器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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