(57)【要約】【課題】  クリーンルームを走行するデシケータ等に適したキャスターを提供する。【解決手段】  デシケータ１の車体３等に取り付けられるキャスター１０において、車体３側に結合されるアーム１２と、アーム１２に回動可能に連結されるフォーク１３と、フォーク１３の回動に伴って伸縮作動する油圧ダンパ２０と、フォーク１３に回転可能に連結される車輪３０のホイール３１と、車輪３０のホイール３１に装着されるタイヤ３２と備え、このアーム１２とフォーク１３と車輪３０のホイール３１をそれぞれ導電材によって形成し、かつタイヤ３２を導電性を有する弾性材によって形成し、車体３の静電気を路面側に逃がす構成とした。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
車体側に結合されるアームと、このアームに回動可能に連結されるフォークと、このフォークの回動に伴って伸縮作動するダンパと、フォークに回転可能に連結されるホイールと、このホイールに装着されるタイヤとを備えるキャスターにおいて、
前記アームと前記フォークと前記ホイールをそれぞれ導電材によって形成し、かつ前記タイヤを導電性を有する弾性材によって形成し、車体側の静電気をアームとフォークとホイールとタイヤを介して路面側に逃がす構成としたことを特徴とするキャスター。
【請求項２】
前記タイヤをポリエステル系熱可塑性ポリウレタンエラストマーを主体として導電性を有する添加剤を配合したことを特徴とする請求項１に記載のキャスター。
【請求項３】
前記ホイールを炭素繊維を配合したナイロン樹脂によって形成したことを特徴とする請求項１または２に記載のキャスター。
【請求項４】
前記アームと前記フォークをそれぞれステンレス材によって形成したことを特徴とする請求項１から３のいずれか一つに記載のキャスター。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばクリーンルームを走行するデシケータ等に用いられるキャスターの改良に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば半導体等を製造するクリーンルームでシリコンウエハー等の部品を運搬するデシケータ（台車）は、クリーンルームのフロアーに敷かれたグレーチング上を走行する場合、キャスターがグレーチングの路面から受ける衝撃を車体に伝えるため、デシケータ内に収められた物が振動し、デシケータ内に静電気や摩耗粉が発生し、この摩耗粉がシリコンウエハー等に付着し、半導体の不良品が発生する原因になった。
【０００３】
そこで本出願人により特許文献１、特許文献２として、キャスターのフォークが回動するのに伴って伸縮作動するダンパを備えるとともに、車輪のホイールに装着されるタイヤを備えるものが提案されている。
【０００４】
デシケータにこのダンパ付きキャスターを取り付けることにより、ダンパとタイヤが果たす緩衝機能によって路面から受ける衝撃が吸収され、デシケータ内に収められた物が振動することが抑えられ、デシケータ内に静電気や摩耗粉が発生することを防止できる。
【特許文献１】特願平１１−３０３０５号
【特許文献２】特願２０００−１８３３５６号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このようなダンパ付きキャスターにあっては、タイヤが導電性を持たない弾性材によって形成されている場合、静電気がタイヤに帯電するため、車輪が回転するのに伴ってグレーチング等に付着した塵埃を舞い上げ、この塵埃がシリコンウエハーに付着して半導体の不良品が発生する原因になった。
【０００６】
本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであり、クリーンルームを走行するデシケータ等に適したキャスターを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１の発明は、車体側に結合されるアームと、このアームに回動可能に連結されるフォークと、このフォークの回動に伴って伸縮作動するダンパと、フォークに回転可能に連結されるホイールと、このホイールに装着されるタイヤとを備えるキャスターに適用する。
【０００８】
そして、アームとフォークとホイールをそれぞれ導電材によって形成し、かつタイヤを導電性を有する弾性材によって形成し、車体側の静電気をアームとフォークとホイールとタイヤを介して路面側に逃がす構成としたことを特徴とするものとした。
【０００９】
第２の発明は、第１の発明において、タイヤをポリエステル系熱可塑性ポリウレタンエラストマーを主体として導電性を有する添加剤を配合したことを特徴とするものとした。
【００１０】
第３の発明は、第１または第２の発明において、ホイールを炭素繊維を配合したナイロン樹脂によって形成したことを特徴とするものとした。
【００１１】
第４の発明は、第１から第３のいずれか一つの発明において、アームとフォークをそれぞれステンレス材によって形成したことを特徴とするものとした。
【発明の効果】
【００１２】
第１の発明によると、例えばデシケータがクリーンルームのグレーチング上を走行して部品を運搬するような場合、キャスターは路面から受ける衝撃に対してタイヤが弾性変形するとともに、ダンパが伸縮作動することによって、車体側に伝わる衝撃を吸収し、振動を減衰する。これにより、デシケータに収められた物が擦れ合うことが抑えられ、静電気の発生や摩耗粉の発生を抑制できる。
【００１３】
デシケータ内に静電気が発生しても導電材からなるキャスターを介して路面に放電され、帯電することが抑えられる。
【００１４】
車輪のタイヤに導電性を持たせる構成により、車輪が回転するのに伴ってグレーチングに付着した塵埃をクリーンルーム内に舞い上げることを防止できる。
【００１５】
第２の発明によると、タイヤはポリエステル系熱可塑性ポリウレタンエラストマーを主体とすることにより弾性を持ち、添加剤によって導電性を持たせられる。これにより、タイヤは路面から受ける衝撃を吸収するとともに、静電気を路面に放電することができる。
【００１６】
第３の発明によると、ナイロン樹脂製ホイールは炭素繊維によって導電性を持たせられる。
【００１７】
第４の発明によると、キャスターを構成する各部材をステンレス材によって形成することにより、アルミや鉄材のように腐食してシリコンの性質を変化させるガスを発生することが抑えられ、半導体の不良品発生率を低下させられる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
【００１９】
図２において、１は例えば半導体等を製造するクリーンルームでシリコンウエハー等の部品を運搬するデシケータ（台車）である。例えば直径８〜１２インチ程度のシリコンウエハーが２０〜３０枚で一つの小函に収納され、この小函が数セット重なってデシケータ１内に収められる。
【００２０】
図２において、２は例えばクリーンルームのフロアーに敷かれた金属製のグレーチングである。デシケータ１は金属フレームからなる車体３を備え、この車体３の下部に複数のキャスター１０が取り付けられる。各キャスター１０が路面となるグレーチング２上を走行する。
【００２１】
キャスター１０は、グレーチング２から車体３に伝わる衝撃を吸収する緩衝機構と、静電気をグレーチング２に逃がす放電機能とを備える。
【００２２】
図１に示すように、キャスター１０はデシケータ１の車体３に締結されるブラケット１５と、このブラケット１５に対して左右方向に回動するアーム１２と、このアーム１２に対して上下方向に回動するフォーク１３と、このフォーク１３の先端部に回転可能に支持される車輪３０とを備える。
【００２３】
アーム１２はその上部を貫通するボルト状のブラケット１５にベアリング１７を介して回動可能に支持される。アーム１２は垂直軸まわりに回動して車輪３０が進行方向を向くようになっている。
【００２４】
アーム１２はコの字形断面を持ち、その内側にピン１８が取り付けられる。フォーク１３はコの字形断面を持ち、基端部がアーム１２に対してこのピン１８を介して回動可能に支持される。
【００２５】
キャスター１０の緩衝機構として、アーム１２とフォーク１３の間には油圧ダンパ２０が介装されるとともに、車輪４のホイール３１に弾性材からなるタイヤ３２を装着する。
【００２６】
油圧ダンパ２０は、アーム１２にピン２５を介して連結されるシリンダチューブ２１と、フォーク１３にピン２６を介して連結されシリンダチューブ２１に摺動可能に嵌合するピストンロッド２２とを備え、油圧ダンパ２０はフォーク１３の回動に伴って伸縮するようになっている。油圧ダンパ２０は例えばシリコンオイル等の作動油が充填され、車体３に加わる荷重を支持する懸架スプリングの機能と、フォーク１３の振動を減衰するダンパ機能を果たす。
【００２７】
フォーク１３の先端部にはピン６が取り付けられる。車輪３０はこのピン６にベアリングを介して回転可能に支持されるホイール３１を有し、このホイール３１の外周にタイヤ３２が嵌められる。
【００２８】
キャスター１０に放電機能を持たせるため、キャスター１０の構成部材を導電材によって形成する。
【００２９】
具体的には、キャスター１０を構成するブラケット１５、アーム１２、フォーク１３、油圧ダンパ２０のシリンダチューブ２１とピストンロッド２２、各ピン１６，１８，２５，２６、ベアリング１７等を例えばニッケルを９．３％、クロームを１９％程度配合したステンレス材によって形成する。
【００３０】
そして、車輪３０のホイール３１をポリプロダクタムアミドを８５％、炭素繊維を１５％程度配合したナイロン樹脂によって形成し、この炭素繊維によって導電性を持たせる構成とする。
【００３１】
車輪３０のタイヤ３２をポリエステル系熱可塑性ポリウレタンエラストマーを主体として液状添加剤を配合し、このポリエステル系熱可塑性ポリウレタンエラストマーによって弾性を持たせ、この液状添加剤によって導電性を持たせる構成とする。
【００３２】
以上のように構成されて、次に作用について説明する。
【００３３】
デシケータ１がクリーンルームのグレーチング２上を走行してシリコンウエハー等の部品を運搬する場合、キャスター１０は路面から受ける衝撃に対してタイヤ３２が弾性変形するとともに、油圧ダンパ２０が伸縮作動することによって、車体３に伝わる衝撃を吸収し、車体３の振動を減衰する。
【００３４】
これにより、デシケータ１内に収められた小函どうしが擦れ合うことが抑えられ、静電気の発生や摩耗粉の発生を抑制し、摩耗粉がシリコンウエハーに付着することを防止できる。
【００３５】
仮にデシケータ１内に静電気が発生しても導電材からなるキャスター１０を介してグレーチング２に放電され、帯電することが抑えられる。
【００３６】
車輪３０のタイヤ３２に導電性を持たせる構成により、車輪３０が回転するのに伴ってグレーチング２に付着した塵埃（パーティクル）を舞い上げることを抑えられ、この塵埃がシリコンウエハーに付着することを防止し、半導体の不良品発生率を低下させられる。
【００３７】
また、キャスター１０を構成する各部材をステンレス材によって形成することにより、アルミや鉄材のように腐食してシリコンの性質を変化させるガスを発生することが抑えられ、半導体の不良品発生率を低下させられる。
【００３８】
なお、キャスター１０は前記クリーンルーム等にて使用されるデシケータに限らず、例えば医療施設等で荷物を運搬する台車等に用いても良い。
【００３９】
本発明は上記の実施の形態に限定されずに、その技術的な思想の範囲内において種々の変更がなしうることは明白である。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
本発明のキャスターは、例えば等に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の実施の形態を示すキャスターの側面図。
【図２】同じくデシケータの正面図。
【符号の説明】
【００４２】
１  デシケータ
２  グレーチング
３  車体
１０  キャスター
１２  アーム
１５  ブラケット
２０  油圧ダンパ
３０  車輪
３１  ホイール
３２  タイヤ
【図１】
2005119401.tif 000003
【図２】
2005119401.tif 000004