(57)【要約】【課題】光取り出し窓を介して紫外線を照射するエキシマランプ照射装置においては、ランプハウスの照射窓の開口寸法が大きくなるにつれ、照射窓を構成するガラス板の撓みが大きくなり、照射窓の端部と中央部とではガラス板の撓み量がことなるため、ガラス板表面と搬送用ローラ上の被処理物との距離のバラツキが大きくなり、被処理物の均一な処理ができないと言う問題があった。【解決手段】エキシマランプから放射されるエキシマ光を、搬送用口ーラ上の被処理物に照射するエキシマランプ照射装置において、前記エキシマ光を、ガラス窓を介することなく、前記被処理物に直接照射する場合には、前記エキシマランプの最大撓み寸法をＡ、前記搬送用口ーラの最大撓み寸法をＢとしたとき、｜Ａ−Ｂ｜≦０．５（ｍｍ）を満足するように、前記エキシマランプと前記搬送用ローラの寸法を設定する。【選択図】      図１
2005190922.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
エキシマランプから放射されるエキシマ光を、搬送用口ーラ上の被処理物に照射するエキシマランプ照射装置において、前記エキシマ光を、ガラス窓を介することなく、前記被処理物に直接照射するとともに、前記エキシマランプの最大撓み寸法をＡ、前記搬送用口ーラの最大撓み寸法をＢとしたとき、｜Ａ−Ｂ｜≦０．５（ｍｍ）を満足するように、前記エキシマランプと前記搬送用ローラの寸法を設定したことを特徴とするエキシマランプ照射装置。
【請求項２】
エキシマランプから放射されるエキシマ光を、搬送用口ーラ上の被処理物に照射するエキシマランプ照射装置において、前記エキシマ光を、ガラス窓を介することなく、前記被処理物に直接照射するとともに、前記搬送用口ーラに前記エキシマランプと前記被処理物との間隔を調整するための間隔調整機構を持たせたことを特徴とするエキシマランプ照射装置。
【請求項３】
ガラス窓を設けたランプハウス内にエキシマランプを配置したエキシマランプ照射装置において、前記エキシマ光を、前記ガラス窓を介して、搬送用口ーラ上の被処理物に照射するとともに、前記ガラス窓の撓み寸法をＣ、前記搬送用口ーラの最大撓み寸法をＢとしたとき、｜Ｃ−Ｂ｜≦０．５（ｍｍ）を満足するように前記ガラス窓と前記搬送用ローラの寸法とを設定したことを特徴とするエキシマランプ照射装置。
【請求項４】
ガラス窓を設けたランプハウス内にエキシマランプを配置したエキシマランプ照射装置において、前記エキシマ光を、前記ガラス窓を介して、搬送用口ーラ上の被処理物に照射するとともに、前記搬送用口ーラに前記ガラス窓と前記被処理物との間隔を調整するための間隔調整機構を持たせたことを特徴とするエキシマランプ照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エキシマランプから放射される紫外線を、被処理物に照射することによりドライ洗浄や改質等を行うエキシマランプ照射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
本発明に関連した技術としては、図７に示すように、外形が概略円筒状のランプを、光取り出し窓を設けたランプハウス内に窒素ガスを充満させて収納させるものがある（特許文献１）。以下、図７により、従来のエキシマランプ照射装置について説明する。
【０００３】
図７において、４１ａ、４１ｂおよび４１ｃはエキシマランプで、波長１７２ｎｍに最大値を有する紫外線を放射する。上記エキシマランプ４１ａ、４１ｂおよび４１ｃはランプハウス２１の内部に収納されている。そして、ランプハウス２１は、下方に向けて開口する窓部を有し、この窓部には、石英ガラス製のガラス板２０が嵌め込まれている。また、ランプハウス２１の側壁には、窒素ガスポート２４、２５が設けられ、ランプハウス２１の内部に外部から窒素ガスを供給するようになっている。
【０００４】
上記構成のエキシマランプ照射装置は、例えばＬＣＤガラス基板のドライ洗浄を行う場合、このＬＣＤガラス基板の上方に配置される。そして、エキシマランプ４１ａ、４１ｂおよび４１ｃが点灯されると、ここからガラス板２０を介してＬＣＤガラス基板の表面に紫外線が照射されることになる。このエキシマランプ４１ａ、４１ｂおよび４１ｃから照射される短波長の紫外線は、酸素に吸収され易いため、大気中の酸素を活性化させて大量のオゾンを発生する。
【０００５】
従って、大気中でこの紫外線が照射されると、発生したオゾンがＬＣＤガラス基板上の有機物等と反応することによりドライ洗浄が行われる。ただし、ランプハウス２１の内部にも酸素があると、エキシマランプ４１ａ、４１ｂおよび４１ｃから放射された紫外線がガラス板２０に達する前にこの酸素に吸収されるので、上記のように窒素ガスポート２４、２５から窒素ガスを供給してランプハウス２１内に充満させておくことにより、紫外線の照射強度が低下するのを防止している。
【０００６】
また、ガラス板２０とＬＣＤガラス基板との間隔が狭すぎる場合には、この間に介在する大気中の酸素の量も少なくなるので、発生するオゾンの量が少ないためにドライ洗浄の効果が低下し、逆にガラス板２０とＬＣＤガラス基板との間隔が広すぎる場合には、ＬＣＤガラス基板に到達するまでにほとんどの紫外線が大気中の酸素に吸収されるので、このＬＣＤガラス基板の表面上で発生するオゾンの量が少なくなり、この場合にもドライ洗浄の効果が低下する。
【０００７】
ここで、ＬＣＤガラス基板のドライ洗浄を行うには、低圧水銀灯を用いる方法もある。ただし、低圧水銀灯は、１８５ｎｍと２５４ｎｍの２種類の比較的長波長の紫外線を照射するので、ＬＣＤガラス基板との間隔が広くなっても処理能力の低下が比較的少ない。
【０００８】
そこで、エキシマランプ４１ａ、４１ｂおよび４１ｃとこの低圧水銀灯とを比較した場合、ガラス板２０とＬＣＤガラス基板との間隔距離が５ｍｍになると、ドライ洗浄の能力、すなわち同じ洗浄度合いに達するまでに要する処理時聞がほぼ等しくなり、これ以上間隔が広がると低圧水銀灯の方が処理能力は高くなるので、短波長の紫外線を照射するエキシマランプ４１ａ、４１ｂおよび４１ｃを用いる意味がなくなる。このため、エキシマランプ４１ａ、４１ｂおよび４１ｃを用いる無声放電灯照射装置では、ガラス板２０とＬＣＤガラス基板との間の間隔距離は、最適なドライ洗浄効果が得られるように、３ｍｍ程度にして使用している。
【０００９】
ところが、ランプハウス２１の内部を常に窒秦ガスで満たしておくためには、この窒素ガスが大気圧よりも高い圧力となるように窒素ガスポート２４、２５から供給を行う必要がある。しかしながら、このようにランプハウス２１の圧力が高くなると、ガラス板２０が窒素ガスに押されて下方に撓むので、撓んだ中央部だけがＬＣＤガラス基板に接近して間隔が狭くなる。
【００１０】
このため、従来のエキシマランプ照射装置では、ガラス板２０の中央部と周縁部とで、撓みにより間隔距離に差ができるために、ドライ洗浄効果にムラが生じるようになるという問題が発生していた。しかも、ガラス板２０の撓みが大きくなると、ＬＣＤガラス基板との間隔が狭くなりすぎて、搬送の際に機械的に接触しガラス板２０やＬＣＤガラス基板を傷つけるおそれが生じるという問題もある。
【００１１】
窒素ガスの圧力に耐え得るようにガラス板２０を厚くして、このような撓みが発生しないようにすることもできるが、この場合には、高価な石英ガラスの使用量が多くなり装置のコストが上昇するだけでなく、装置重量も重くなるという問題が発生する。
【００１２】
なお、ランプハウス２１の内部で紫外線が酸素に吸収されるのを防止するためには、上記のように不活性ガスで満たす他に、ランプハウス２１内を真空にしてもよい筈である。しかしながら、ランプハウス２１内を真空にすると、大気圧との間に大きな負の圧力差が生じるので、ガラス板２０が逆に上方に大きく撓むことになり、中央部の間隔が広くなりすぎて処理能力に大きな差が生じる。
【００１３】
そこで、上述したようなガラス板２０の撓みが原因で、間隔距離に差ができるために、ドライ洗浄効果にムラが生じるようになるという問題を解決する方法が特開２００１−２４３９２３号公報（特許文献２）に記載されている。特許文献２に開示された方法は、図８に示すように、ガラス板２０の下側に桟１４を取り付けて、前記ガラス板２０を機械的に支えることで、撓みを軽減しようとするものである。しかしながら、この方法はガラス板２０の下側に取り付ける桟１４が影を作ることや、桟１４の厚み分はガラス板２０と被処理物との間隔距離にプラスされることになり、その分紫外線の吸収が増加するなどにより、処理効率が低下するという問題があった。
【００１４】
【特許文献１】日本国登録特許第２８５４２５５号公報
【特許文献２】特開２００１−２４３９２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
前述したようにランプハウスの照射窓の開口寸法が大きくなるにつれ、前記照射窓であるガラス板の撓みが大きくなり、前記照射窓の端部と中央部とではガラス板の撓み量がことなるため、前記ガラス板表面と搬送用ローラ上の被処理物との距離のバラツキが大きくなり、被処理物の均一で効率的な処理ができないと言う問題があった。さらに、ガラス板２０の撓みが大きくなると、ガラス窓とＬＣＤガラス基板との間隔が狭くなりすぎて、搬送の際に機械的に接触し、ガラス板２０やＬＣＤガラス基板を傷つけるおそれが生じるという問題もあった。
【００１６】
本発明は上記の課題に対処するためになされたもので、被処理物の均一で効率的な処理が可能で、しかもガラス窓や被処理物を傷つけるおそれがないエキシマランプ照射装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
請求項１に記載のエキシマランプ照射装置は、エキシマランプから放射されるエキシマ光を、搬送用口ーラ上の被処理物に照射するエキシマランプ照射装置において、前記エキシマ光を、ガラス窓を介することなく、前記被処理物に直接照射するとともに、エキシマランプの最大撓み寸法をＡ、搬送用口ーラの最大撓み寸法をＢとしたとき、｜Ａ−Ｂ｜≦０．５（ｍｍ）を満足するように、前記エキシマランプと前記搬送用ローラの寸法を設定したことを特徴とする。
【００１８】
請求項２に記載のエキシマランプ照射装置は、エキシマランプから放射されるエキシマ光を、搬送用口ーラ上の被処理物に照射するエキシマランプ照射装置において、前記エキシマ光を、ガラス窓を介することなく、前記被処理物に直接照射するとともに、前記搬送用口ーラに前記エキシマランプと前記被処理物との間隔を調整するための間隔調整機構を持たせたことを特徴とする。
【００１９】
請求項３に記載のエキシマランプ照射装置は、ガラス窓を設けたランプハウス内にエキシマランプを配置したエキシマランプ照射装置において、前記エキシマ光を、前記ガラス窓を介して、搬送用口ーラ上の被処理物に照射するとともに、前記ガラス窓の撓み寸法をＣ、前記搬送用口ーラの最大撓み寸法をＢとしたとき、｜Ｃ−Ｂ｜≦０．５（ｍｍ）を満足するように前記ガラス窓と前記搬送用ローラの寸法とを設定したことを特徴とする。
【００２０】
請求項４に記載のエキシマランプ照射装置は、ガラス窓を設けたランプハウス内にエキシマランプを配置したエキシマランプ照射装置において、前記エキシマ光を、前記ガラス窓を介して、搬送用口ーラ上の被処理物に照射するとともに、前記搬送用口ーラに前記ガラス窓と前記被処理物との間隔を調整するための間隔調整機構を持たせたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
請求項１の発明においては、エキシマランプから放射されるエキシマ光を、搬送用口ーラ上の被処理物に照射するエキシマランプ照射装置において、前記エキシマ光を、ガラス窓を介することなく、前記被処理物に直接照射するとともに、エキシマランプの最大撓み寸法をＡ、搬送用口ーラの最大撓み寸法をＢとしたとき、｜Ａ−Ｂ｜≦０．５（ｍｍ）を満足するように、前記エキシマランプと前記搬送用ローラの寸法を設定したことを特徴とするので、エキシマランプと被処理物との距離のバラツキが小さくなり、被処理物を均一に処理することができる。そして、このようにエキシマランプと被処理物との間隔距離に差がなくなるということは、エキシマランプが必要以上に被処理物に接近することもないので、搬送の際等に接触によりエキシマランプや被処理物が破損するような恐れもなくなる。さらに、ガラス窓を有しないので、装置が小形にでき、コストも安価にできる。
【００２２】
請求項２の発明においては、エキシマランプから放射されるエキシマ光を、被処理物に照射するエキシマランプ照射装置において、前記エキシマ光を、ガラス窓を介することなく、前記被処理物に直接照射するとともに、前記搬送用口ーラに前記エキシマランプと前記被処理物との間隔を調整するための間隔調整機構を持たせたことを特徴とするので、エキシマランプと被処理物との間隔距離のバラツキが小さくなり、被処理物を均一に処理することができる。そして、このようにエキシマランプと被処理物との間隔距離に差がなくなるということは、エキシマランプが必要以上に被処理物に接近することもないので、搬送の際等に接触によりエキシマランプや被処理物が破損するような恐れもなくなる。さらに、ガラス窓を有しないので、装置が小形にでき、コストも安価にできる。
【００２３】
請求項３の発明においては、ガラス窓を設けたランプハウス内にエキシマランプを配置したエキシマランプ照射装置において、前記エキシマ光を、前記ガラス窓を介して、搬送用口ーラ上の被処理物に照射するとともに、前記ガラス窓の撓み寸法をＣ、前記搬送用口ーラの最大撓み寸法をＢとしたとき、｜Ｃ−Ｂ｜≦０．５（ｍｍ）を満足するように前記ガラス窓と前記搬送用ローラの寸法とを設定したことを特徴とするので、ガラス窓と被処理物との距離のバラツキが小さくなり、被処理物を均一に処理することができる。そして、このようにガラス窓と被処理物との間隔距離に差がなくなるということは、ガラス窓が必要以上に被処理物に接近することもないので、搬送の際等に接触によりガラス窓や被処理物が破損するような恐れもなくなる。
【００２４】
請求項４の発明においては、ガラス窓を設けたランプハウス内にエキシマランプを配置したエキシマランプ照射装置において、前記エキシマ光を、前記ガラス窓を介して、搬送用口ーラ上の被処理物に照射するとともに、前記搬送用口ーラに前記ガラス窓と前記被処理物との間隔を調整するための間隔調整機構を持たせたことを特徴とするので、ガラス窓と被処理物との間隔距離のバラツキが小さくなり、被処理物を均一に処理することができる。そして、このようにガラス窓と被処理物との間隔距離に差がなくなるということは、ガラス窓が必要以上に被処理物に接近することもないので、搬送の際等に接触によりガラス窓や被処理物が破損するような恐れもなくなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。図1は本発明の第1の実施形態を示す図である。図1において、１は放電管軸と直交する断面が非円形状であるエキシマランプ、２は搬送用ローラ、３は被処理物である。ここで、放電管軸と直交する断面が非円形状であるエキシマランプとは、例えば断面が四角形状のような、紫外線を放射する面がほぼ平坦な面を有するランプのことである。このような形状のエキシマランプは照射窓を設けたランプハウスを使用することなく、エキシマランプと被照射物との間隔を近接してほぼ一定に保つことが容易である。
【００２６】
しかしながら、エキシマランプの長さが１０００ｍｍを超えるような長尺ものになると、その両端を支えた状態では自重による撓みで、エキシマランプと被処理物との距離にバラツキを生じ、被処理物に対する処理効果が不均一になるという問題を発生する。さらに、エキシマランプの撓みが大きくなると、エキシマランプとＬＣＤガラス基板との間隔が狭くなりすぎて、搬送の際に機械的に接触し、エキシマランプやＬＣＤガラス基板を傷つけるおそれが生じるという問題もあった。そこで、エキシマランプを構成する材料の厚みを厚くして、エキシマランプの撓みを小さくしようとすると、エキシマ光の透過率が悪くなってエキシマランプの紫外線放射効率が低下する。また、エキシマランプの断面形状と寸法を最適化して撓み寸法をある程度小さくする方法も考えられるが、紫外線放射効率の低下とか加工費が高くつく等のため、この方法も充分ではない。
【００２７】
図1において、Ｂはエキシマランプ１の軸方向中央部における最大撓み寸法を表している。同じように、被照射物を搬送するローラ２においても撓みを持たせる。この両者の撓み寸法に差があると、ランプ軸方向の中央部と両端部とで、ランプと被処理物との間隔に差が生じ、被処理物の処理結果にムラが生じることになる。
【００２８】
ここで、１７２ｎｍの波長の紫外線を大気中に照射すると、このような短波長の紫外線は酸素に吸収され易いために、０．５ｍｍ離れた位置では、その強度が約８５%に減少する。１ｍｍ離れた位置と、１．５ｍｍ離れた位置と、２ｍｍ離れた位置での紫外線の強度は、それぞれ約７０%、約６０%、約５０%に滅少する。また、１７２ｎｍの波長の紫外線を被処理物３に照射した場合のドライ洗浄等に要する処理時間は、この紫外線強度が８５%に低下してもほとんど影響ないが、７０%に低下すると処理時間が３０%ほど長くなることが実験により確かめられた。
【００２９】
さらに、エキシマランプ１が撓んでも、中央部と両端部とで処理能力に差が生じないようにするには、紫外線強度の最大値を１００％とした場合、いずれの場所においても８５%以上であればよく、このためには、エキシマランプ軸とローラ軸との設定距離のバラツキをも考慮して、エキシマランプ１の中央部での最大撓み寸法Ｂと搬送用ローラの中央部での最大撓み寸法Ａとの差が０．５ｍｍ以内であればよいことがわかった。
【００３０】
また、エキシマランプと搬送用ローラとの撓み寸法の差が大きくなると、エキシマランプと被処理物との間隔が部分的に狭くなりすぎて、搬送の際に機械的に接触しエキシマランプや被処理物を傷つけるおそれが生じるという問題もある。
【００３１】
本発明者等は材料と形状が異なるエキシマランプと搬送用ローラとの寸法を、それぞれ適当な値に設定することにより、両者の撓み寸法を同等にすることができることを見出した。以下、エキシマランプと搬送用ローラの撓み寸法が同等になるように、前記エキシマランプと前記搬送用ローラとの寸法を設定する方法を説明する。なお、図４は本発明に係る放電管軸と直交する断面が非円形状であるエキシマランプを示す断面図である。図４において、６は誘電体材料からなる容囲器、５および５’は金属薄膜からなる電極である。
【００３２】
図１において、エキシマランプ１の両端を支点７で支えた場合のランプ軸方向における中央部の最大撓み寸法Ｂ（ｍｍ）は、エキシマランプ断面形状が図４に示すような四角形である場合には次式で計算できる。
【００３３】
[数１]  Ｂ＝（５ｗｌ４）／（３２Ｅ（ｂ２ｈ２３−ｂ１ｈ１３））
ここで、ｌは支点間距離（ｍｍ）、ｗはランプ単位長あたり重量（ｇ／ｍｍ）、ｂ１、ｂ２、ｈ１およびｈ２は図４に示すエキシマランプの断面寸法で単位はｍｍ、πは円周率、Ｅはエキシマランプ材質のＹｏｕｎｇ率（ｇ／ｍｍ２）とする。
【００３４】
ただし、エキシマランプの断面形状は必ずしも四角形である必要はない。断面形状が四角形でないときには、最大撓み寸法を計算で求めることが困難になるので、その場合には最大撓み寸法は実測して求めればよい。
【００３５】
他方、図１において、搬送用ローラの場合もエキシマランプと同様に、その両端部を支点７で支えた時の軸方向における中央部の最大撓み寸法Ａ（ｍｍ）は、ローラの断面形状が円形の場合には次式で計算できる。
【００３６】
[数２]  Ａ＝（５ｗｌ４）／（６πＥｄ４）
ここで、ｌは支点間距離（ｍｍ）、ｗはローラ単位長あたり重量（ｇ／ｍｍ）、ｄはローラ径（ｍｍ）、πは円周率、Ｅはローラ材質のＹｏｕｎｇ率（ｇ／ｍｍ２）とする。
【００３７】
そこで、まずエキシマランプ１の中央部の最大撓み寸法Ｂを前述した方法で、計算または実測により求める。次に搬送用ローラの中央部の最大撓み寸法がエキシマランプ１のそれと同じになるようにするためのローラ径ｄの値を、上記の式より計算により求める。このようにして寸法の決まったエキシマランプ１と搬送用ローラ２とを組み合わせて、エキシマランプ照射装置を構成すると、エキシマランプと被処理物との間隔距離に大きな差がなくなり、被処理物の処理結果にムラが生じるようなことはなくなる。しかも、このように被処理物との間隔距離に差がなくなるということは、エキシマランプが必要以上に被処理物に接近することもないので、搬送の際等に接触によりエキシマランプや被処理物が破損するような恐れもなくなる。
【００３８】
図２は本発明の第２の実施形態を示す図である。図２において、１はエキシマランプ、２は搬送用ローラ、３は被処理物、４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄおよび４ｅはエキシマランプ１と被処理物３との間隔を調整するための突起部品からなる間隔調整機構である。エキシマランプ１は両端部で支えられるが、図１に示したのと同様に撓みを生じる。搬送用ローラ２は特にランプの撓みを考慮しては作られていない。そこでエキシマランプの撓みに応じて、エキシマランプと被処理物との間隔を調整するための突起部品からなる間隔調整機構４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄおよび４ｅの寸法を調整して、間隔のバラツキを少なくする。例えば、搬送用ローラは撓みの生じ難い材料および寸法とし、中央部の間隔調整機構４ｃの突起寸法は小さく、外側に向かって４ｄ、４Ｅまたは４ｂ、４ａと突起寸法を大きくしていく。こうすれば、エキシマランプと被処理物との間隔のバラツキが少なく抑えられ、被処理物に対する処理効果にバラツキを生じない。
【００３９】
図３は本発明の第３の実施形態を示す図である。図３において、１はエキシマランプ、２は搬送用ローラ、３は被処理物である。搬送用ローラ２はエキシマランプ１と被処理物３との間隔を一定にするために、前記エキシマランプ１の撓みに応じて、前記搬送用ローラ２の中央部が細く、外側に向かうにしたがって太くなるように形成されている。このような構成にすると、エキシマランプと被処理物との間隔のバラツキが少なくなり、被処理物に対する処理効果にバラツキを生じない。
【００４０】
図５は本発明の第４の実施形態を示す要部断面図である。図５において、２０はエキシマランプ照射装置を構成する窓ガラスである。窓ガラス２０の下には被処理物（図示せず）を搬送するための搬送用ローラ２が配置されている。図５には説明のために従来の搬送用ローラ２’が図示してある。エキシマランプ（図示せず）から放射された紫外線は窓ガラス２０を介して搬送用ローラ２上に置かれた被処理物（図示せず）に照射される。このとき、従来の搬送用ローラ２’を使用した装置では、窓ガラス２０と搬送用ローラ２上の被処理物との距離が中央部では小さく、端部では大きくなるので、被処理物の処理効果にバラツキを生じる。これに対して、本発明による装置では、窓ガラス２０の最大撓み量に搬送用ローラ２の最大撓み量を合わせてあるので、窓ガラス２０と搬送用ローラ２上の被処理物との距離が中央部と端部とでほぼ一定となり、被処理物の処理効果にバラツキを生じない。
【００４１】
図６は本発明の第５の実施形態を示す要部断面図である。図６において、２０はエキシマランプ照射装置を構成する窓ガラスである。窓ガラス２０の下には被処理物３を搬送するための搬送用ローラ２が配置されている。図６における搬送用ローラ２は撓みが充分小さくなるように太い金属棒を使うか、あるいは中空のパイプを使う。図６に示すように搬送用ローラ２を中空のパイプにすると重量が小さくなるので、自重による撓み量は小さくできる。そして、搬送用ローラには窓ガラス２０と被処理物３との距離を調整するための間隔調整機構４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄおよび４ｅが取り付けてある。エキシマランプ（図示せず）から放射された紫外線は窓ガラス２０を介して搬送用ローラ２上に置かれた被処理物３に照射される。このとき、窓ガラス２０と搬送用ローラ２上の被処理物との距離はほぼ一定となる。このように、本発明による装置では、窓ガラス２０の最大撓み量に応じて搬送用ローラ２に間隔調整機構４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄおよび４ｅが取り付けてあるので、窓ガラス２０と搬送用ローラ２上の被処理物との距離が中央部と端部とでほぼ一定となり、被処理物の処理効果にバラツキを生じない。
【実施例】
【００４２】
図１において、エキシマランプ１は材質が石英からなり、その断面形状は図４に示すように四角形で、その寸法はｌ、ｂ１、ｂ２、ｈ１およびｈ２はそれぞれ１３５０、３１、３５、８および１２ｍｍである。そして、ランプを支える支点間距離は１３００ｍｍとする。これらの数値と石英の密度２．２ｇ／ｃｍ３および石英のＹｏｕｎｇ率７１．４×１０５ｇ／ｍｍ２を用いて、〔数１〕からエキシマランプ１の中央部の最大撓み寸法Ｂを求めると、０．５３ｍｍとなる。
【００４３】
次に、材質をＳＵＳ３０４として、搬送用ローラの寸法を設計する。ＳＵＳ３０４の密度８．０３ｇ／ｃｍ３、Ｙｏｕｎｇ率２０１×１０５ｇ／ｍｍ２および支点間距離ｌはエキシマランプのそれより長く１５００ｍｍとして、それぞれの値を用いて〔数２〕より最大撓み寸法Ｂが０．５３±０．５ｍｍになるときのローラ径ｄを求めると２０．２ｍｍ〜１１８．７ｍｍとなった。すなわち、最大撓み寸法Ｂが１．０３ｍｍになるときのローラ径ｄは２０．２ｍｍ、最大撓み寸法Ｂが０．０３ｍｍになるときのローラ径ｄは１１８．７ｍｍとなる。しかしながら、ローラ径ｄが１１８．７ｍｍは大きすぎて現実的ではない。実用的には、ローラ径は２０．２ｍｍ以上で適当な寸法のものを選択すればよい。
【００４４】
そこで、エキシマランプ寸法は断面が図４と同じとし、長さは支点間距離が１３００ｍｍ、搬送用ローラとして材質はＳＵＳ３０４を用い、支点間距離が１５００ｍｍ、搬送用ローラ径を２２、２０．２、１８、１６ｍｍ、ランプ支点位置におけるエキシマランプ下面と搬送用ローラ上面との距離を３．５ｍｍに構成した照射装置を製作し、厚さ約１ｍｍのＬＣＤガラス基板のドライ洗浄試験を実施したところ、表１の結果が得られた。表１において撓み寸法の差はエキシマランプの最大撓み寸法をＡ、搬送用口ーラの最大撓み寸法をＢとしたときの｜Ａ−Ｂ｜で表している。
【００４５】
表１から分かるようにエキシマランプと搬送用ローラの撓みの差が約０．５ｍｍより小さいと、ランプ中央部付近と両端部付近とで処理効果にバラツキは見られず、結果として紫外線処理における不良率は０．５％以下となり、良好な結果が得られた。これに対して、搬送用ローラ径を２０．２ｍｍより小とすると、例えば１８ｍｍではエキシマランプ中央部付近と両端部付近とで処理効果にバラツキが見られ、結果として紫外線処理における不良率は２％よりも大きくなり、良結果が得られなかった。
【００４６】
図９は表１のデータにおける撓み寸法の差と不良率との関係をグラフに表したものである。このグラフから明らかなように、被処理物の均一で効率的な処理が可能な構成は撓み寸法の差を０．５ｍｍ以下にすればよいことが分かる。しかも、こうすることによりガラス窓や被処理物を傷つけるおそれがない、エキシマランプ照射装置を提供することができる。
【００４７】
搬送用ローラ径を２０．２ｍｍより小としたものでは撓み寸法が大きいため、ランプ端部と中央部とでは距離に約０．７ｍｍ以上の差が生じる。これが処理効果にバラツキを生じ、紫外線処理における不良率が高くなる原因である。
【００４８】
【表１】
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【００４９】
さらに、ローラの材質はＳＵＳ３０４のほかに、アルミ、鉄なども用いられるが、それぞれ材質に応じた物理定数を用いれば、同様に計算できる。
【００５０】
さらに、光取り出し窓を設けたランプハウス内にエキシマランプを配置したエキシマランプ照射装置において、光取り出し窓の撓み寸法をＣ、搬送用口ーラの最大撓み寸法をＢとしたとき、｜Ｃ−Ｂ｜≦０．５（ｍｍ）を満足するように前記光取り出し窓と前記搬送用ローラの寸法とを設定すれば、前述の場合と同様の効果が得られる。
【００５１】
なお、以上の説明では、説明を簡単にするために被処理物を搬送用ローラの上に直接乗せた場合を想定した説明になっているが、もちろん、搬送用ローラの上にフレキシブルなベルトを介して被処理物を乗せることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す断面図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態を示す断面図である。
【図３】本発明の第３の実施の形態を示す断面図である。
【図４】本発明に係るエキシマランプの長手方向軸に直角な面における断面図である。
【図５】本発明の第４の実施の形態を示すエキシマランプ照射装置の要部断面図である。
【図６】本発明の第５の実施の形態を示すエキシマランプ照射装置の要部断面図である。
【図７】従来のエキシマランプ照射装置を示す断面図である。
【図８】従来の他のエキシマランプ照射装置を示す外観図である。
【図９】撓み寸法の差と不良率の関係を表すグラフである。
【符号の説明】
【００５３】
１    ランプ
２    搬送用ローラ
２’  搬送用ローラ
３    被処理物
４    間隔調整機構
５    電極
５‘  電極
【図１】
2005190922.tif 000004
【図２】
2005190922.tif 000005
【図３】
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【図４】
2005190922.tif 000007
【図５】
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【図６】
2005190922.tif 000009
【図７】
2005190922.tif 000010
【図８】
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【図９】
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