(57)【要約】【課題】  半導体装置の試作研究ラインのロット進捗制御及び工程フロー作成時に、工程フローの処理装置の妥当性をチェックし、装置の汚染や製品不良等の被害を未然に防ぐ。【解決手段】  ロットの工程フロー等を管理するマスター管理装置１２０と、ロットや装置の履歴を管理する履歴管理装置１３０と、進捗を制御する進捗管理装置１５０とを有する進捗管理システム１００において、マスター管理装置１２０のマスター記憶部１４２に、工程や装置等のレベルごとに禁止順番を禁止マスターとして定義して、さらに、工程や装置等に順番チェック用の属性（チェックフラグ）を持たせ、チェック部１４３が、禁止マスターに定義してある各レベルでのチェックを行い、禁止マスターに定義してある順番と一致する場合は、誤りのある処理である旨を表示画面１４５に表示して使用者へ通知する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理物の処理計画を記憶する処理計画記憶部と、
被処理物の処理において、ある処理地と他の処理地との連続処理を禁止する禁止情報を記憶するマスター記憶部と、
上記マスター記憶部に記憶された禁止情報に基づいて、上記処理計画部が記憶した処理計画のなかに、禁止された連続処理が含まれるかをチェックし、チェック結果を出力するチェック部とを備えたことを特徴とする制御装置。
【請求項２】
上記処理計画記憶部は、被処理物が搬送される処理エリアのフローを記憶し、
上記マスター記憶部は、ある処理エリアと他の処理エリアとの連続処理を禁止する禁止情報を記憶し、
上記チェック部は、上記マスター記憶部に記憶された禁止情報に基づいて、上記処理計画部が記憶した処理エリアのフローのなかに、禁止された連続処理が含まれるかをチェックし、チェック結果を表示することを特徴とする請求項１記載の制御装置。
【請求項３】
上記処理計画記憶部は、被処理物を処理する装置群のフローを記憶し、
上記マスター記憶部は、ある装置群と他の装置群との連続処理を禁止する禁止情報を記憶し、
上記チェック部は、上記マスター記憶部に記憶された禁止情報に基づいて、上記処理計画部が記憶した処理装置のフローのなかに、禁止された連続処理が含まれるかをチェックし、チェック結果を表示することを特徴とする請求項１記載の制御装置。
【請求項４】
上記処理計画記憶部は、被処理物を処理する処理装置のフローを記憶し、
上記マスター記憶部は、ある処理装置と他の処理装置との連続処理を禁止する禁止情報を記憶し、
上記チェック部は、上記マスター記憶部に記憶された禁止情報に基づいて、上記処理計画部が記憶した処理装置のフローのなかに、禁止された連続処理が含まれるかをチェックし、チェック結果を表示することを特徴とする請求項１記載の制御装置。
【請求項５】
上記マスター記憶部は、被処理物に対して加工処理をしない非加工処理を記憶し、
上記チェック部は、上記処理計画部が記憶した処理計画のなかに上記マスター記憶部に記憶された非加工処理がある場合には、その非加工処理を無視し、非加工処理を除いた処理計画のなかに、禁止された連続処理が含まれるかをチェックすることを特徴とする請求項１記載の制御装置。
【請求項６】
被処理物に対し、所定の処理工程をそれぞれ実行する複数の処理装置と、
被処理物に対してそれぞれ予定されている複数の処理工程に対し、上記複数の処理装置による処理計画を記憶するとともに、ある処理装置と他の処理装置との連続処理を禁止する禁止情報を記憶し、この禁止情報に基づいて、処理計画のなかに、禁止された連続処理が含まれるかをチェックし、チェック結果を出力するマスター管理装置と
を備えたことを特徴とする処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、半導体生産ラインにおける進捗管理システム（ＭＥＳ：Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ  Ｅｘｅｃｕｔｉｏｎ  Ｓｙｓｔｅｍ）の工程フロー作成時のフローチェック方法に関するもので、装置の汚染や製品の不良を未然に防ぐことが可能となる発明に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
市販の一般的な進捗管理システムでは、工程フロー作成時のチェックは行っておらず、実際にロットが流動し始めてからフローの誤りが見つかり、最悪、装置汚染や製品不良が発生していた。これは、フローチェックのルールが多種であり、ＭＥＳベンダーで事前に提供することができないためである。
【０００３】
また、従来の進捗管理システムとして、以下のようなものがある。
特開２００１−１６６８１４には、「工程手順チェックシステム」として、製造工程手順の並び順の正誤をチェックするものが開示されている。例えば、工程手順チェックシステムで生じる間違った判定等を少なくし、かつ、各工程における製造条件をもチェックするシステムが開示されている。この特開２００１−１６６８１４は、予め準備された大工程名と小工程名とを基本とするデータを用いて推論し、製造前に製造工程手順の並びの正誤をチェックする工程手順チェックシステムにおいて、前記基本とするデータに、前記各工程における製造条件に関する知識を付加し、各工程の製造条件を予め準備された前記知識と比較・推論することにより、製造前に前記工程名の不具合な並び順を判定するものである。
【０００４】
また、特開２００１−９３７９３には、「プロセスフローチェック装置」として、プロセスフロー中に存在してはいけない単一工程パターンの並び、及び、存在しなければならない単一工程パターンの並びからなる工程パターンを作成する工程パターン作成部と、前記プロセスフローに対して、合致する工程パターンの有無をチェックする工程パターンチェック部と、前記工程パターンチェック部のチェック結果によりチェック仕掛データを制御するチェック仕掛データ制御部とを含むことを特徴とするシステムが開示されている。
【０００５】
また、特開２００１−４２９３３には、推論部が、正常情報作成部から推論対象工程手順データ群と、製造工程情報入力部からの推論デフォルト状態データと、知識ベース格納部に保持された小工程名による色塗り知識及び大工程名による色塗り知識並びに小工程名と大工程名との組み合わせによる色塗り知識とに基づき、各工程を色を含む表現手段で表現し、その表現と前記知識ベース格納部に保持された状態判定用知識に基づき、前記工程手順に不具合があるか否かを自動的に推論するシステムが開示されている。
【０００６】
上記３つの従来技術は、全て大工程名／小工程名での順番のチェック及びロット投入前の工程フロー作成時のチェックに関するものである。なお、特開２００１−９３７９３、特開２００１−４２９３３は、人工知能（ＡＩ）を使った推論を行っている。
【特許文献１】特開２００１−１６６８１４号公報
【特許文献２】特開２００１−９３７９３号公報
【特許文献３】特開２００１−４２９３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ラインで一番やってはいけない工程フロー上の過ちは大／小工程名の順番の過ちではなく、その工程で使われる装置の順番の間違いである。装置の順番とは、例えば、レジスト付きのウエーハを拡散炉に入れて処理してしまったり、ＡＬ（アルミニウム）のついているウエーハにイオンを注入したり等である。この誤った処理により、ウエーハ（ロット）は廃棄となる。そして、処理してしまった装置は、洗浄等のメンテナンスが必要となる。幸いにして処理後、すぐに発見されればよいが、何日も気づかなかった場合には、その間にその装置で処理した他のロットにも影響を与えてしまう。
すなわち、使用してはならい装置で処理することにより、装置内部が汚染され、装置洗浄や波及ロットの対処に膨大な時間と経費が発生してしまう。また、上述したトラブルを未然に防ぐためには、フロー作成者や変更者の人手によるチェックを十分に行う必要があり、そのチェックには多大な工数が発生している。また、チェックで誤りを発生できずに大事に至る場合がある。
【０００８】
この発明は、この装置の順番の間違いによる膨大なロスを未然に防ぐことを目的とし、工程フロー作成時及び変更時等のフローに関する情報を変更したときに、装置間、工程間等の前後関係をチェックし誤りを未然に防ぐことができるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明の制御装置は、被処理物の処理計画を記憶する処理計画記憶部と、
被処理物の処理において、ある処理地と他の処理地との連続処理を禁止する禁止情報を記憶するマスター記憶部と、
上記マスター記憶部に記憶された禁止情報に基づいて、上記処理計画部が記憶した処理計画のなかに、禁止された連続処理が含まれるかをチェックし、チェック結果を出力するチェック部とを備えたことを特徴とする。
【００１０】
上記処理計画記憶部は、被処理物が搬送される処理エリアのフローを記憶し、
上記マスター記憶部は、ある処理エリアと他の処理エリアとの連続処理を禁止する禁止情報を記憶し、
上記チェック部は、上記マスター記憶部に記憶された禁止情報に基づいて、上記処理計画部が記憶した処理エリアのフローのなかに、禁止された連続処理が含まれるかをチェックし、チェック結果を表示することを特徴とする。
【００１１】
上記処理計画記憶部は、被処理物を処理する装置群のフローを記憶し、
上記マスター記憶部は、ある装置群と他の装置群との連続処理を禁止する禁止情報を記憶し、
上記チェック部は、上記マスター記憶部に記憶された禁止情報に基づいて、上記処理計画部が記憶した処理装置のフローのなかに、禁止された連続処理が含まれるかをチェックし、チェック結果を表示することを特徴とする。
【００１２】
上記処理計画記憶部は、被処理物を処理する処理装置のフローを記憶し、
上記マスター記憶部は、ある処理装置と他の処理装置との連続処理を禁止する禁止情報を記憶し、
上記チェック部は、上記マスター記憶部に記憶された禁止情報に基づいて、上記処理計画部が記憶した処理装置のフローのなかに、禁止された連続処理が含まれるかをチェックし、チェック結果を表示することを特徴とする。
【００１３】
上記マスター記憶部は、被処理物に対して加工処理をしない非加工処理を記憶し、
上記チェック部は、上記処理計画部が記憶した処理計画のなかに上記マスター記憶部に記憶された非加工処理がある場合には、その非加工処理を無視し、非加工処理を除いた処理計画のなかに、禁止された連続処理が含まれるかをチェックすることを特徴とする。
【００１４】
この発明の処理システムは、被処理物に対し、所定の処理工程をそれぞれ実行する複数の処理装置と、
被処理物に対してそれぞれ予定されている複数の処理工程に対し、上記複数の処理装置による処理計画を記憶するとともに、ある処理装置と他の処理装置との連続処理を禁止する禁止情報を記憶し、この禁止情報に基づいて、処理計画のなかに、禁止された連続処理が含まれるかをチェックし、チェック結果を出力するマスター管理装置と
を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明により、工程フローの誤りをロット投入前に確認することが可能となり、装置汚染やロット不良を未然に防ぐことが可能となる。また、仕掛ロットのフローを途中で変更（工程追加や削除）する場合にも、同様のチェックを行うことも可能となる。
【００１６】
研究施設では、一旦、インプットしたロットの条件やフローを変更することは研究が目的であるが故に頻繁に行われる。この発明によれば、たとえ、インプットしたロットの条件やフローを変更することが頻繁に行われる場合でも、工程フローの誤りをロット投入前に確認することが可能となり、装置汚染やロット不良を未然に防ぐことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
実施の形態１．
図１は、実施の形態１における生産ラインシステムの構成を示す図である。
図１において、生産ラインシステム２００（処理システムの一例である）は、複数の処理装置１１，１２，１３，１４，１５、搬送系５０、進捗管理システム１００を備えている。進捗管理システム１００は、マスター管理装置１２０（制御装置の一例）、履歴管理装置１３０、進捗管理装置１５０を有している。マスター管理装置１２０は、処理計画記憶部１４１、マスター記憶部１４２、チェック部１４３を有している。複数の処理装置１１，１２，１３，１４，１５と搬送系５０と進捗管理システム１００との間は、ＬＡＮ（ローカルエリアネットワーク）６を介して接続されている。処理装置１１，１２は、エリア９１の設置されている。処理装置１３，１４は、エリア９２の設置されている。処理装置１５は、エリア９３の設置されている。処理装置には、加工を伴う装置の他に、加工を伴わない測定や検査をする装置も含む。なお、以下、処理装置のことを単に、装置ともいう。
【００１８】
本実施の形態は、例えば、ロットの工程フロー等を管理するマスター管理装置１２０と、ロットや装置の履歴を管理する履歴管理装置１３０と、進捗を制御する進捗管理装置１５０とを有する進捗管理システム１００において、マスター管理装置１２０のマスター記憶部１４２に、工程や装置等のレベルごとに禁止順番を禁止マスターとして定義して、さらに、工程や装置等に順番チェック用の属性（後述するチェックフラグ）を持たせ、チェック部１４３が、禁止マスターに定義してある各レベルでのチェックを行い、禁止マスターに定義してある順番と一致する場合は、誤りのある処理である旨を表示画面１４５に表示して使用者へ通知するものである。
【００１９】
図２は、実施の形態１における進捗管理システムの構成を示す図である。
図２に示すように、進捗管理システム１００内部においても、マスター管理装置１２０、履歴管理装置１３０、進捗管理装置１５０は、ＬＡＮ６を介して接続されている。ＬＡＮ６は、各エリアに設置された複数の処理装置１１，１２，１３，１４，１５や測定装置や検査装置や端末装置も接続する。
【００２０】
また、マスター管理装置１２０、履歴管理装置１３０、進捗管理装置１５０は、コンピュータであり、図示していないが、プログラムを実行するＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）を備えている。ＣＰＵは、バスを介してＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）（記憶装置の一例である）、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）（記憶装置の一例である）、通信ボード、ＣＲＴ表示装置、Ｋ／Ｂ、マウス、ＦＤＤ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｄｉｓｋ  Ｄｒｉｖｅ）、磁気ディスク装置（記憶装置の一例である）、ＣＤＤ、プリンタ装置、スキャナ装置等と接続されている。通信ボードは、ＬＡＮ６に接続されている。ここで、通信ボードは、ＬＡＮ６に限らず、さらに、インターネット、或いはＩＳＤＮ等のＷＡＮ（ワイドエリアネットワーク）に接続されていても構わない。磁気ディスク装置には、オペレーティングシステム（ＯＳ）、ウィンドウシステム、プログラム群、ファイル群（データベース）が記憶されている。プログラム群は、ＣＰＵ、ＯＳ、ウィンドウシステムにより実行される。
【００２１】
上記処理計画記憶部１４１、マスター記憶部１４２、チェック部１４３は、一部或いはすべてコンピュータで動作可能なプログラムにより構成しても構わない。或いは、ＲＯＭに記憶されたファームウェアで実現されていても構わない。或いは、ソフトウェア或いは、ハードウェア或いは、ソフトウェアとハードウェアとファームウェアとの組み合わせで実施されても構わない。
【００２２】
プログラムにより構成する場合、上記プログラム群には、実施の形態の説明において「〜部」として説明したものにより実行されるプログラムが記憶される。これらのプログラムは、例えば、Ｃ言語により作成することができる。或いは、ＨＴＭＬやＳＧＭＬやＸＭＬを用いても構わない。或いは、ＪＡＶＡ（登録商標）を用いて画面表示を行っても構わない。
【００２３】
また、上記プログラムは、また、磁気ディスク装置、ＦＤ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｄｉｓｋ）、光ディスク、ＣＤ（コンパクトディスク）、ＭＤ（ミニディスク）、ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  Ｄｉｓｋ）等のその他の記録媒体による記録装置を用いて記憶されても構わない。
【００２４】
複数の処理装置１１，１２，１３，１４，１５は、複数のロット（ロットは被処理物の一例である）に対し、所定の処理を行なう。
【００２５】
搬送系５０は、上記複数の処理装置のいずれかに複数のロットの各ロットを搬送する。搬送系５０は、ロボットやメカニカルアームやベルトコンベアなどの自動機械搬送装置で実現されるものである。
【００２６】
図３は、実施の形態１におけるロットの具体例を示す図である。ロットとは、処理の単位をいう。ここでは、ウエーハキャリアに格納された２５枚程度の複数シリコンウエーハを１ロットを呼ぶことにする。しかし、ロット（ＬＯＴ）とは、意味のある塊（製品の集合又は部品の集合など）であれば良く、材料納入日が同一の複数製品を１ロットとしたり、１製品を１ロットとしたり、ロットの単位は、まちまちでもかまわない。
【００２７】
進捗管理システム１００は、上記複数の処理装置１１，１２，１３，１４，１５等のいずれかで順に処理されるロットの処理がつつがなく実行できるように上記複数の処理装置１１，１２，１３，１４，１５と搬送系５０とを制御する。
【００２８】
マスター管理装置１２０は、制御装置の一例である。マスター管理装置１２０は、ロットの工程フロー等を作成管理する。例えば、マスター管理装置１２０は、入力工程として、オペレータの指示によりロットの工程フローを自動作成する。あるいは、マスター管理装置１２０は、オペレータの指示によりロットの工程フローを変更する。
【００２９】
進捗管理装置１５０は、複数の処理工程で上記ロットが処理される処理ラインにおけるロットの処理を制御する。処理を制御することで、進捗管理装置１５０は、ロットの進捗を制御する。
【００３０】
履歴管理装置１３０は、ロットや装置の工程実行の履歴を管理する。
マスター管理装置１２０の処理計画記憶部１４１は、作成あるいは変更された工程フローを記憶する。
【００３１】
図４は、マスター管理装置１２０が、記憶装置にデータベースの一部として記憶する処理計画記憶部１４１の工程フローテーブル８１を示す図である。処理計画記憶部１４１の工程フローテーブル８１は、ファイル形式やテーブル形式で記憶装置に記憶されている。
【００３２】
処理計画記憶部１４１の工程フローテーブル８１の縦列は、大工程名、小工程名、エリア名、装置群名、装置名１、装置名２を記載している。
ここで、大工程とは、ひとつ以上の小工程から構成される工程をいう。小工程とは、ひとつのエリアで処理される工程をいう。ひとつのエリアには、少なくともひとつの装置群が設置される。装置群とは、ひとつ以上の装置の集合をいう。装置は、ロットに対して加工、検査、又は、測定などの所定の処理をする機械器具をいう。ここで、エリア、装置群、又は、処理装置は、処理地ということにする。処理地とは、ロットが処理される処理場所又は処理位置をいうが、具体的には、エリア、装置群、又は、処理装置のことである。
【００３３】
処理計画記憶部１４１の工程フローテーブル８１の横行は、ロットが処理される順番を示す。例えば、大工程ＤＫ０１は、小工程ＳＫ０１とＳＫＭＥＳ１からなり、小工程ＳＫ０１は、エリアＡＬＩＴＨＯにある装置群ＧＬＩＴＨＯにより処理されることを示している。また、装置群ＧＬＩＴＨＯは、装置ＥＬＩＴＨＯ１、ＥＬＩＴＨＯ２からなることを示している。
この工程フローテーブル８１は、オペレータの指示により随時変更されるものである。
【００３４】
図５は、処理地の概念的斜視図であり、エリア９１からエリア９６に装置が配置されている状態を示している。ここで、エリアとは、所定の空間を有する物理的な場所をいう。図５に示すように、壁で区切られていてもよいし、建物で区切られていてもよいし、あるいは、区切りのないロケーションであってもよい。
【００３５】
例えば、図４に示した処理計画記憶部１４１の工程フローテーブル８１の大工程ＤＫ０１とＤＫ０２は、ロット１を図５の矢印Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆ，Ｇに示すような順で処理地を移動させることで実現されることになる。
すなわち、ロット１は、大工程ＤＫ０１の小工程ＳＫ０１の実施のために、エリアＡＬＩＴＨＯにある装置ＥＬＩＴＨＯ１、ＥＬＩＴＨＯ２で処理されて、次のエリアに搬送される（矢印ＡからＢ）。
次に、ロット１は、小工程ＳＫＭＥＳ１の実施のために、エリアＡＭＥＡＳにある装置群ＧＭＥＡＳの装置ＥＭＥＡＳ１、ＥＭＥＡＳ２で処理されて、次のエリアに搬送される（矢印ＢからＣ）。ここで大工程ＤＫ０１が終了し、大工程ＤＫ０２が開始する。
ロット１は、大工程ＤＫ０２の小工程ＳＫ０３の実施のために、エリアＡＤＩＦＦにある装置群ＧＤＩＦＦの装置ＥＤＩＦＦで処理されて、次のエリアに搬送される（矢印ＣからＤ）。
このようにして、ロット１は、エリアをまたぎ搬送され、かつ、各種装置での処理が進行する。すなわち、ロット１は、処理地（エリア、装置群、装置）を転々として搬送され処理される。
【００３６】
図６から図１０は、マスター管理装置１２０が、マスター記憶部１４２に記憶する各種のマスターテーブルを示す図である。
図６は、装置マスターテーブル７１を示す図である。装置マスターテーブル７１は、生産ラインシステム２００の全処理装置を登録するマスターテーブルである。
図７は、装置群マスターテーブル７２を示す図である。装置群マスターテーブル７２は、生産ラインシステム２００の全装置群を登録するマスターテーブルである。各装置群に属する装置も登録する。
図８は、エリアマスターテーブル７３を示す図である。エリアマスターテーブル７３は、生産ラインシステム２００の全エリアを登録するマスターテーブルである。各エリアに属する装置群も登録する。
図９は、大工程マスターテーブル７４を示す図である。大工程マスターテーブル７４は、全ての大工程を登録するマスターテーブルである。
図１０は、小工程マスターテーブル７５を示す図である。小工程マスターテーブル７５は、全ての小工程を登録するマスターテーブルである。
図６から図１０の各種のマスターテーブルは各種マスター定義一覧の例を示すものである。
また、図６から図１０の各種のマスターテーブルの各項目毎にチェックフラグを設定する。チェックフラグは「加工装置あるいは加工工程」の属性を示すものであり、チェックフラグが“０”の場合は、加工処理がないことを示す。
図６から図１０の各種のマスターテーブルの各項目が加工装置あるいは加工工程の場合には、チェックフラグに、“０”以外のフラグ（“１”、“２”、“３”等）を設定する。また、各種のマスターテーブルの各項目の項目名が違っていても同一加工処理をする場合（同一属性の場合）には同一属性であることを識別のために、チェックフラグを同一の値にする。
各種のマスターテーブルの各項目が、「測定装置あるいは測定工程」や「検査装置あるいは検査工程」などであって「加工装置あるいは加工工程」でない場合は、チェックフラグに、識別のために“０”を設定する。例えば、装置マスターテーブル７１の装置ＳＫＭＥＡＳ１とＳＫＭＥＡＳ２とは測定装置であり、図６に示すようにチェックフラグを“０”とする。
【００３７】
図１１は、マスター管理装置１２０が、マスター記憶部１４２に記憶する各種の禁止マスターテーブルを示す図である。図１１は、連続処理が禁止された各種禁止マスター定義の例を示す。
図１１の（ａ）は、大工程禁止マスターテーブル７６を示す。
図１１の（ｂ）は、小工程禁止マスターテーブル７７を示す。
図１１の（ｃ）は、エリア禁止マスターテーブル７８を示す。
図１１の（ｄ）は、装置群禁止マスターテーブル７９を示す。
図１１の（ｅ）は、装置禁止マスターテーブル８０を示す。
例えば、大工程禁止マスターテーブル７６は、大工程ＤＫ０１の後に大工程ＤＫ０２（ＤＫ０１→ＤＫ０２）を実施してはいけないことを示す。また、大工程禁止マスターテーブル７６は、大工程ＤＫ０４、大工程ＤＫ０３、大工程ＤＫ０１（ＤＫ０４→ＤＫ０３→ＤＫ０１）の順に実施してはいけないことを示す。
【００３８】
このように、この実施の形態では、大工程、小工程、エリア、装置群、装置の５つのレベルで個別管理することになる。５つのレベルで個別管理する理由は、５つの管理レベルの各管理レベルは、進捗管理のレベルであり、ラインの運用に依存し、大工程レベルの管理、小工程レベルの管理、エリアレベルの管理、装置群レベルの管理、装置レベルの管理等々、そのレベルによってチェックのレベル（チェック内容）も変化するからである。
そこで、図１１の各種禁止マスターは、各レベル（大工程、小工程、エリア、装置群、装置等）での連続して処理することを禁止するマスターを個別に設けるのである。図１１の各種禁止マスターは、工場運用によりユーザで任意に定義できるものである。
【００３９】
図１１の例では、装置名や工程名で定義してあるが、図１２のようにチェックフラグで定義する方法もあり、図１１と比較してチェックフラグ（加工装置あるいは加工工程の属性）で定義する方が簡便である。
次に、チェック部１４３は、制御工程として、処理計画記憶部１４１に記憶された工程フローテーブル８１とマスター記憶部１４２に記憶された各種の禁止マスターテーブル７６〜８０とを比較し工程フローテーブル８１に禁止された処理がないか否かをチェックする。
【００４０】
上記チェック部１４３は、図１３に示すように、チェック結果を表示装置１４４の表示画面１４５に表示する。チェック部１４３は、工程フローテーブル８１に禁止された処理がある場合、図１３の太枠に示すように、禁止された処理を識別表示する。図１３の太枠に示すように、大工程禁止マスターテーブル７６により、ＤＫ０１→ＤＫ０２の組み合わせに誤りがあることを示す。
【００４１】
また、マスター記憶部１４２に記憶された各種のマスターテーブル７１〜７５のチェックフラグが“０”の処理の場合は、加工処理がないことを示しているので、チェック部１４３は、処理計画記憶部１４１に記憶された工程フローテーブル８１のチェック対象から外す。すなわち、チェック部１４３は、工程フローテーブル８１のチェックフラグが“０”の処理は無視して、マスター記憶部１４２に記憶された各種の禁止マスターテーブル７６〜８０にある禁止された順番を工程フローテーブル８１から検索する。
【００４２】
例えば、工程フローテーブル８１の小工程には、ＳＫ０４→ＳＫＭＥＡＳ１→ＳＫ０５の組み合わせがあるが、ＳＫＭＥＡＳ１は測定工程であるため図１０に示すようにチェックフラグが“０”であり、ＳＫＭＥＡＳ１はチェック対象から外れ、ＳＫ０４→ＳＫ０５の組み合わせがチェック対象となる。小工程禁止マスターテーブル７７では、ＳＫ０４→ＳＫ０５の組み合わせが禁止されている。この結果、チェック部１４３は、ＳＫ０４→ＳＫＭＥＡＳ１→ＳＫ０５の組み合わせは誤りであることを表示画面１４５に示す。図１３は、その他、エリア／装置群／装置レベルでのチェック結果を示す。
【００４３】
チェック部１４３が表示装置１４４の表示画面１４５に表示したチェック結果を基に作成者や変更者はマスター管理装置１２０により禁止されたフローがなくなるまでフローの見直しを行う。
【００４４】
このチェック部１４３のチェックは、処理計画記憶部１４１に記憶された工程フローテーブル８１が作成又は変更されるたびに、かつ、リアルタイムに行われるものである。したがって、現在、工場に仕掛かっているロットの仕掛の条件変更時、又は、フローや装置の変更時にもこの機能を適用し、エラーを指示者に通知（画面表示）することができる。
【００４５】
また、管理者が、任意の時期に、あるいは、定期的に、チェック部１４３のチェックを実行して、工場に仕掛かっているロットの処理工程に誤りがないか否かをチェックすることができる。
【００４６】
このようにして、大工程レベル、小工程レベル、エリアレベル、装置群レベル、装置レベルの５つのレベルすべての順番チェックができる。また、装置レベルのチェックをすることにより、工程名レベルでは分からなかったエリアレベル、装置群レベル、装置レベルの誤りがわかり、より正確な工程フローをチェックすることができる。
【００４７】
なお、チェック部１４３が行う「表示する」とは、表示画面に表示する場合に限らず、紙面に印刷する場合でもよい。また、直接表示する場合に限らず、他の表示装置に送信して表示させる場合でもよい。
【００４８】
以上のように、この実施の形態の進捗制御システムは、以下の点が特徴である。
工程フロー作成及び工程フロー変更時に装置の順番をチェックし、作成者へ誤りを通知すると供に装置の汚染や製品不良を未然に防ぐ事を特徴とする。
【００４９】
工程フロー作成及び工程フロー変更時に装置群の順番をチェックし、作成者へ誤りを通知すると供に装置の汚染や製品不良を未然に防ぐ事を特徴とする。
【００５０】
工程フロー作成及び工程フロー変更時に工程エリアの順番をチェックし、作成者へ誤りを通知すると供に装置の汚染や製品不良を未然に防ぐ事を特徴とする。
【００５１】
工程フロー作成及び工程フロー変更時に大工程の順番をチェックし、作成者へ誤りを通知すると供に装置の汚染や製品不良を未然に防ぐ事を特徴とする。
【００５２】
工程フロー作成及び工程フロー変更時に小工程の順番をチェックし、作成者へ誤りを通知するとともに、装置の汚染や製品不良を未然に防ぐことを特徴とする。
【００５３】
上記チェックにおいて、検査工程や検査装置等の加工しない工程や装置の場合には、その工程や装置を無視し、その直前の加工装置と比較することを特徴とする。
【００５４】
特に、この実施の形態の進捗制御システムは、以下の点が特徴である。
（１）装置レベルでの順番のチェックを行う。
（２）検査装置や測定装置などのウエーハに対して影響のない工程や装置を識別し、禁止順番比較時にウエーハに対して影響のない工程や装置を無視する。
（３）現在、工場に仕掛かっているロットの仕掛の条件変更時、又は、フローや装置の変更時にもこの機能を適用し、エラーを指示者に通知（画面表示）する。
【００５５】
この実施の形態によれば、半導体装置の試作研究ラインのロット進捗制御及び工程フロー作成時に、工程フローの妥当性をチェックし、装置の汚染や製品不良等の被害を未然に防ぐ事ができる。
【００５６】
実施の形態２．
この実施の形態２では実施の形態１と異なる点について説明する。
図１４は、実施の形態２における生産ラインシステム２００を示す図である。図１４に示す生産ラインシステム２００が図１と異なる点は、履歴管理装置１３０が処理実績記憶部１３１を備えている点と、進捗管理装置１５０が装置制御部１５１を備えている点である。
【００５７】
進捗管理装置１５０が装置制御部１５１は、ＬＡＮ６により、処理装置の処理状況を常時取得し、各工程の処理実績をリアルタイムに収集して、履歴管理装置１３０に伝える。
【００５８】
履歴管理装置１３０は、ロットや装置の工程実行の履歴を管理する。履歴管理装置１３０は、装置制御部１５１がリアルタイムに収集した各工程の処理実績を、処理実績記憶部１３２にデータベースの一部として記憶する。処理実績記憶部１３２の処理実績は、ファイル形式やテーブル形式で記憶装置に記憶される。
【００５９】
チェック部１４３は、処理計画記憶部１４１に記憶された工程フローテーブル８１と処理実績記憶部１３２に記憶された処理実績を比較し、処理計画と処理実績が異ならないかをチェックする、もし、処理計画と処理実績が異なる場合には、処理計画記憶部１４１に記憶された工程フローテーブル８１の処理計画がそのとおり実行されていないことになるので、処理実績記憶部１３２に記憶された処理実績を現時点までの実際の処理であるとみなして、過去の処理に禁止された処理がないかをチェックする。また、さらに、処理実績記憶部１３２に記憶された処理実績を現時点までの実際の処理であるとして、工程フローテーブル８１の今後の処理計画との間に、禁止された処理がないかをチェックする。
【００６０】
チェック部１４３は、誤りが発見された場合に、装置制御部１５１に報告する。装置制御部１５１は、ＬＡＮ６により、処理装置の対して警告信号を発する。あるいは、処理装置の停止信号を発する。
こうして、現場で急な変更があっても、禁止された処理の早期発見ができる。また、禁止された処理の発生を防ぐことができる。
【００６１】
なお、この実施の形態２を、実施の形態１とあわせて実施してもかまわない。
【００６２】
実施の形態３．
この実施の形態３では実施の形態２と異なる点について説明する。
図１５は、実施の形態３における生産ラインシステム２００を示す図である。図１５に示す生産ラインシステム２００が図１４と異なる点は、進捗管理装置１５０が搬送系制御部１５２を備えている点である。
【００６３】
進捗管理装置１５０が搬送系制御部１５２は、ＬＡＮ６により、搬送系５０の搬送状況を常時取得し、搬送実績をリアルタイムに収集して、履歴管理装置１３０に伝える。
【００６４】
履歴管理装置１３０は、搬送の履歴を管理する。履歴管理装置１３０は、搬送系制御部１５２がリアルタイムに収集した搬送実績を、処理実績記憶部１３２にデータベースの一部として記憶する。処理実績記憶部１３２の搬送実績は、ファイル形式やテーブル形式で記憶装置に記憶される。
【００６５】
チェック部１４３は、処理計画記憶部１４１に記憶された工程フローテーブル８１と処理実績記憶部１３２に記憶された搬送実績を比較し、ロットの搬送が処理計画と異ならないかをチェックする。もし、処理計画と搬送実績が異なる場合には、処理計画記憶部１４１に記憶された工程フローテーブル８１の処理計画がそのとおり実行されていないことになるので、処理実績記憶部１３２に記憶された搬送実績から現時点までにされた処理実績を推定し、推定した過去の処理に禁止された処理がないかをチェックする。また、さらに、処理実績記憶部１３２に記憶された搬送実績から推定した処理実績を現時点までの実際の処理であるとして、工程フローテーブル８１の今後の処理計画との間に、禁止された処理がないかをチェックする。
【００６６】
チェック部１４３は、誤りが発見された場合に、搬送系制御部１５２の報告する。搬送系制御部１５２は、ＬＡＮ６により、搬送系５０の対して警告信号を発する。あるいは、搬送系５０の停止信号を発する。
こうして、現場で急な変更があっても、禁止された処理の早期発見ができる。また、禁止された処理の発生を防ぐことができる。また、搬送中に禁止された処理の早期発見ができ、禁止された処理の開始を未然に防ぐことができる。
【００６７】
なお、この実施の形態３と、実施の形態１，２とをあわせて実施してもかまわない。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】実施の形態１における生産ラインシステムの構成を示す図である。
【図２】実施の形態１における進捗管理システムの構成を示す図である。
【図３】実施の形態１におけるロットを示す図である。
【図４】実施の形態１におけるマスター管理装置１２０の処理処理計画記憶部１４１の工程フローテーブル８１を示す図である。
【図５】実施の形態１におけるエリア９１〜エリア９６に装置が配置されている状態を示す図である。
【図６】実施の形態１におけるマスター管理装置１２０の装置マスターテーブル７１を示す図である。
【図７】実施の形態１におけるマスター管理装置１２０の装置群マスターテーブル７２を示す図である。
【図８】実施の形態１におけるマスター管理装置１２０のエリアマスターテーブル７３を示す図である。
【図９】実施の形態１におけるマスター管理装置１２０の大工程マスターテーブル７４を示す図である。
【図１０】実施の形態１におけるマスター管理装置１２０の小工程マスターテーブル７５を示す図である。
【図１１】実施の形態１におけるマスター管理装置１２０の禁止マスターテーブル７６〜８０を示す図である。
【図１２】実施の形態１におけるマスター管理装置１２０の禁止マスターテーブル７６〜８０の他の例を示す図である。
【図１３】実施の形態１におけるチェック部１４３のチェック結果の表示画面を示す図である。
【図１４】実施の形態２における生産ラインシステムの構成を示す図である。
【図１５】実施の形態３における生産ラインシステムの構成を示す図である。
【符号の説明】
【００６９】
６  ＬＡＮ、１１，１２，１３，１４，１５  処理装置、５０  搬送系、１００  進捗管理システム、１２０  マスター管理装置、１２２  処理計画記憶部、１３０  履歴管理装置、１３１  処理実績記憶部、１４０  進捗管理装置、１４１  処理計画記憶部、１４２  マスター記憶部、１４３  チェック部、１４４  表示装置、１４５  表示画面、１５１  装置制御部、１５２  搬送系制御部、２００  生産ラインシステム。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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