(57)【要約】【課題】  電気光学装置の光学特性の測定を精度良く行う。【解決手段】  一対の基板間に電気光学物質層が挟持されてなる投射型表示用の電気光学装置の光学特性を検査する検査装置であって、電気光学装置に光を照射する光源手段と、光取り込み領域を規定する開口部に電気光学装置からの出射光が入射される取り込み絞りと、該取り込み絞りを介して取り込まれた光を投射する投射レンズを含む投射光学系と、投射された光を検出することにより、光学特性を測定する測定部とを備える。【選択図】  図４
2005114520.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の基板間に電気光学物質層が挟持されてなる投射型表示用の電気光学装置の光学特性を検査する検査装置であって、
前記電気光学装置に光を照射する光源手段と、
光取り込み領域を規定する開口部を有し、前記光源手段により照射される光に起因して前記電気光学装置から出射される光を、前記開口部を介して取り込む取り込み絞りと、
該取り込み絞りにより取り込まれた光を投射する投射レンズを含む投射光学系と、
前記投射された光を検出することにより、前記光学特性を測定する測定部と
を備えることを特徴とする電気光学装置の検査装置。
【請求項２】
前記投射レンズは、前記取り込み絞りにより取り込まれた光の光路上で、前記取り込み絞りに対して他の光学部材を介することなく隣接していることを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項３】
前記光源手段は、光源と、該光源から出射された光を前記電気光学装置に集光する集光手段と
を含むことを特徴とする請求項１又は２に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項４】
前記取り込み絞りは取り外し可能に構成されていること
を特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項５】
前記取り込み絞りは、相異なる開口径を有する複数の絞りであってそれらのうち一つが選択されて前記電気光学装置に対して配置可能に構成されていること
を特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項６】
前記取り込み絞りは、前記電気光学装置から出射される光の光路に垂直な面内で移動可能に設けられていること
を特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項７】
一対の基板間に電気光学物質層が挟持されてなる投射型表示用の電気光学装置の光学特性を検査する検査方法であって、
前記電気光学装置に照射され且つ前記電気光学物質層を介して出射される光を、光取り込み領域を規定する開口部を有する取り込み絞りにより取り込み、該取り込み絞りにより取り込まれた光を投射レンズによって投射する工程と、
前記投射された光を検出することにより、前記光学特性を測定する工程と
を含むことを特徴とする電気光学装置の検査方法。
【請求項８】
前記光学特性を測定する工程は、前記取り込み絞りを取り付けた状態及び前記取り込み絞りを取り外した状態で前記光学特性の測定を行うこと
を特徴とする請求項７に記載の電気光学装置の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶プロジェクタ等の投射型表示装置にライトバルブとして用いられる液晶パネル等の電気光学装置の検査装置の技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の検査装置によれば、光源から出射される光を電気光学装置に照射し、電気光学装置からの出射光を例えば照度計を用いて検出することにより、電気光学装置の光学特性の測定が行われる（例えば、特許文献１参照）。実際の投射型表示装置は、電気光学装置における表示画像をスクリーン上に拡大投射させる投射光学系を備えている。前記検査装置にも、投射光学系と同様の光学系が電気光学装置に対して光の出射側に設けられている。そして、電気光学装置からの出射光は、この出射側光学系を介して照度計に入射される。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−３６５１６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前記光学特性の測定により得られる測定値は、電気光学装置が組み込まれる投射型表示装置における測定値と相関がとれていることが望ましい。しかしながら、前記出射側光学系では、電気光学装置からの出射光の制御が実際の投射光学系と同様に行われないため、実際の投射型表示装置と相関のとれた測定を行うことができなくなる。即ち、前記光学特性の測定精度が低下するという問題点がある。
【０００５】
他方で、このような光学特性を高精度で測定或いは検査するには、実際のプロジェクタ等に組み込んで測定や検査を行えばよいようにも考えられる。しかしながら、この場合には、例えば光源における経年変化や劣化、光量のばらつき等の各種要因により、統一的な基準下で測定結果や検査結果を出すことは非常に困難であるという技術的問題点が生じる。
【０００６】
本発明は、上記問題点に鑑み成されたものであり、液晶パネル等の電気光学装置の検査において光学特性の測定を精度良く行うことが可能な電気光学装置の検査装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の電気光学装置の検査装置は上記課題を解決するために、一対の基板間に電気光学物質層が挟持されてなる投射型表示用の電気光学装置の光学特性を検査する検査装置であって、前記電気光学装置に光を照射する光源手段と、光取り込み領域光取り込み領域を規定する開口部を有し、前記光源手段により照射される光に起因して前記電気光学装置から出射される光を、前記開口部を介して取り込む取り込み絞りと、該取り込み絞りにより取り込まれた光を投射する投射レンズを含む投射光学系と、前記投射された光を検出することにより、前記光学特性を測定する測定部とを備える。
【０００８】
本発明の電気光学装置の検査装置では、その動作時には、電気光学装置に照射された光は、例えば、電気光学物質層を介して透過光として、該電気光学物質層から出射される。尚、電気光学物質層から出射される光は透過光に限定されず、例えば反射型の電気光学装置を用いるとすれば、電気光学物質層を介して反射光として出射される。このように電気光学装置から出射された光は、光取り込み領域を規定する開口部を有する取り込み絞りにより取り込まれる。
【０００９】
ここに、「光取り込み領域」とは、光路上で取り込み絞りの次段に設けられる投射光学系の投射レンズにおける光の入射領域を意味する。即ち、電気光学装置から出射される光の光路に垂直な断面上で、取り込み絞りによって投射レンズに取り込まれる光の領域を意味する。実際の投射型表示装置では、スクリーン上における画像の表示位置を調整するため、投射レンズの断面形状を変化させて入射される電気光学装置からの透過光を制限することにより、投射レンズの出射光を調整することがある。
【００１０】
取り込み絞りは、例えば開口径が可変な、例えばカメラの絞りの如き可変絞りや、一種又は複数種類の開口径の絞りを交換して用いて構成される。取り込み絞りを用いることにより、光取り込み領域を、上述したような実際の投射型表示装置における投射レンズの断面形状に対応する構成とすることが可能となる。即ち、本発明の検査装置では好ましくは、取り込み絞りの開口部における開口径及び開口の形状は、上述したような実際の投射型表示装置における投射レンズの断面形状に鑑み構成される。よって、本発明の検査装置によれば、実際の投射型表示装置と同様に、電気光学装置からの出射光を制限することが可能となる。
【００１１】
また特に、取り込み絞りによって、例えば、一対の基板間における組みずれに起因して斜めの光成分を相対的に多く含む電気光学装置からの出射光の光束断面上で、該出射光のうち周辺寄りの光部分を遮断できる。他方で実機の場合には、このような組ずれに起因した斜めの光成分は、実際のプロジェクタ等の投射光学系により概ね制限されるので、例えば投影画面上など、実機におけるコントラスト比に対して影響は殆どない。従って、上述のように取り込み絞りを投射レンズの前段に挿入することで、実際に投影した状態と同じような状態を構築すれば、実機におけるコントラスト比の測定を高精度で行える結果となる。
【００１２】
このように、取り込み絞りの開口部を介して投射レンズに取り込まれた光は、測定部に対して、実際の投射型表示装置と同様に、投射レンズによって投射される。この際、電気光学装置では所定の検査パターンの表示として例えば全黒表示又は全白表示が行われる。そして、電気光学装置からの透過光は表示光として出射され、投射光学系によって測定部に投射される。尚、投射光学系には、投射レンズに対して、該投射レンズからの出射光を制限する絞りが設けられるのが好ましい。このようにすれば、より実際の投射型表示装置に近い状態で、測定部に光を入射させることが可能となる。
【００１３】
測定部は、例えばフォトダイオード、ＣＣＤ（Charged Coupled Device）等を有する照度計を含み、検出した光の照度を測定する。測定部は、測定した照度に基づいて、電気光学装置の光学特性として透過率又はコントラストを算出する。或いは、測定部は、電気光学装置の光学特性を配光分布として表すようにしてもよい。該配光分布は、照度やコントラスト、又は透過率の分布として表される。
【００１４】
以上の結果、本発明の検査装置によれば、同一の電気光学装置の光学特性について、実際の投射型表示装置における測定と相関のとれた測定を行うことができる。その結果、電気光学装置の光学特性について精度の高い測定を行うことが可能となる。更に、実際のプロジェクタ等に電気光学装置を組み込んで測定や検査を行う場合と比べて、統一的な基準下で測定結果や検査結果を出すことが可能となる。
【００１５】
本発明の電気光学装置の検査装置の一の態様では、前記投射レンズは、前記取り込み絞りにより取り込まれた光の光路上で、前記取り込み絞りに対して他の光学部材を介することなく隣接している。
【００１６】
この態様によれば、光路上で、取り込み絞り及び投射レンズは、他の光学部品を介することなく、例えば空気等の媒質を介して又は接触するように配置されている。このため、上述の如く、投射レンズに取り込まれる光を、取り込み絞りの開口部によって高精度で取り込むことが可能となり、よって、電気光学装置の光学特性について精度の高い測定を行うことが可能となる。
【００１７】
本発明の電気光学装置の検査装置の他の態様では、前記光源手段は、光源と、該光源から出射された光を前記電気光学装置に集光する集光手段とを含む。
【００１８】
この態様によれば、集光手段を用いることにより、光源から出射する光を効率良く電気光学装置に照射させることが可能となる。尚、集光手段に絞りを設けて、該絞りによって集光手段からの出射光が制限されるのが好ましい。このようにすれば、実際の投射型表示装置と同様に電気光学装置に対して光を入射させることが可能となる。
【００１９】
本発明の電気光学装置の検査装置の他の態様では、前記取り込み絞りは取り外し可能に構成されている。
【００２０】
この態様によれば、取り込み絞りを取り外したり取り付けたりして電気光学装置の光学特性を測定することにより、組みずれを検出することが可能となる。ここに、電気光学装置の製造において、一対の基板が位置ずれして貼り合わされると、組みずれが生じることになる。組みずれの度合いが大きい程、電気光学装置からの出射光には、該電気光学装置の光出射面に対して鉛直方向と異なる方向に向かう光が相対的に多く含まれることになる。
【００２１】
また、実際の投射型表示装置では、投射レンズの断面形状は、電気光学装置からの出射光のうち該電気光学装置の光出射面に対して鉛直方向に向かう光が多く入射されるように構成される。
【００２２】
よって、取り込み絞りを取り外した状態で、組みずれの度合いが許容範囲外の電気光学装置の光学特性を測定すると、得られる測定値と実際の投射型表示装置における測定値との相関性は低くなる。
【００２３】
取り込み絞りを取り付けると、組みずれの度合いが許容範囲外の電気光学装置についても、実際の投射型表示装置と同様に、当該電気光学装置からの出射光を制限することが可能となる。即ち、投射光学系における投射レンズには、電気光学装置からの出射光のうち該電気光学装置の光出射面に対して鉛直方向に向かう光が多く取り込まれる。よって、取り込み絞りを取り付けた状態で、電気光学装置における組みずれの度合いが許容範囲内であっても許容範囲外であっても、該電気光学装置の光学特性を測定すると、得られる測定値と実際の投射型表示装置における測定値との相関性は高くなる。
【００２４】
よって、測定部によって測定される光学特性について、取り込み絞りを取り付けた状態での測定値と、取り込み絞りを取り外した状態での測定値との相関をとることによって、電気光学装置における組みずれが許容範囲内か否かについて調べることが可能となる。
【００２５】
また、電気光学装置の光学特性として、配光分布に基づいて視角特性を得ることも可能である。そして、取り込み絞りを取り付けた場合と、取り込み絞りを取り外した場合とで、該視角特性を比較することによって、電気光学装置における組みずれが許容範囲内か否かについて調べることが可能となる。
【００２６】
本発明の電気光学装置の検査装置の他の態様では、前記取り込み絞りは、相異なる開口径を有する複数の絞りであってそれらのうち一つが選択されて前記電気光学装置に対して配置可能に構成されている。
【００２７】
この態様によれば、複数種類の電気光学装置を交換して光学特性について検査する場合も、該電気光学装置の種類に応じて取り込み絞りとして複数の絞りを交換して用いることが可能となる。例えば、パネルサイズや、電気光学装置における画像表示領域の外形に応じて、複数の絞りを交換して開口径又は開口の形状を変えることにより、電気光学装置の光学特性についてより精度の高い測定を行うことができる。
【００２８】
本発明の電気光学装置の検査装置の他の態様では、前記取り込み絞りは、前記電気光学装置から出射される光の光路に垂直な面内で移動可能に設けられている。
【００２９】
この態様によれば、電気光学装置の光学特性についてより精度の高い測定を行うことができる。実際の投射型表示装置では、スクリーン上における画像の表示位置を調整するため、投射レンズの配置位置を、該投射レンズを電気光学装置に対して移動させて変更させることがある。このように配置された投射レンズの構成に対応させて、取り込み絞りを電気光学装置に対して移動させて、その配置位置を変更するようにすれば、電気光学装置から投射光学系に至る光の光路を調整することができ、実際の投射型表示装置と同様に、測定部に光を投射することが可能となる。
【００３０】
本発明の電気光学装置の検査方法は上記課題を解決するために、一対の基板間に電気光学物質層が挟持されてなる投射型表示用の電気光学装置の光学特性を検査する検査方法であって、前記電気光学装置に照射され且つ前記電気光学物質層を介して出射される光を、光取り込み領域を規定する開口部を有する取り込み絞りにより取り込み、該取り込み絞りにより取り込まれた光を投射レンズによって投射する工程と、前記投射された光を検出することにより、前記光学特性を測定する工程とを含む。
【００３１】
本発明の電気光学装置の検査方法では、前述した本発明の検査装置と同様に、電気光学装置の光学特性について精度の高い測定を行うことが可能となる。
【００３２】
本発明の電気光学装置の検査装置の一態様では、前記光学特性を測定する工程は、前記取り込み絞りを取り付けた状態及び前記取り込み絞りを取り外した状態で前記光学特性の測定を行う。
【００３３】
この態様によれば、取り込み絞りを取り外したり取り付けたりして電気光学装置の光学特性を測定することにより、組みずれを検出することが可能となる。また、電気光学装置の光学特性として、配光分布に基づいて視角特性が得られる。そして、取り込み絞りを取り付けた場合と、取り込み絞りを取り外した場合とで、該視角特性を比較することによって、電気光学装置における組みずれが許容範囲内か否かについて調べることが可能となる。
【００３４】
本発明のこのような作用及び他の利得は次に説明する実施の形態から明らかにされる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
以下では、本発明の実施の形態を図を参照しつつ説明する。本実施形態では、投射型の電気光学装置として投射型液晶装置の検査を行うものとする。
【００３６】
＜１：第１実施形態＞
先ず、本発明の検査装置に係る第１実施形態について、図１から図５を参照して説明する。
【００３７】
＜１−１：電気光学装置の構成＞
まず、本実施形態に係る電気光学装置の構成について、図１及び図２を参照して説明する。ここに、図１は、ＴＦＴアレイ基板をその上に形成された各構成要素と共に対向基板の側から見た電気光学パネルの平面図であり、図２は、図１のＨ−Ｈ’断面図である。
【００３８】
ここでは、電気光学装置の一例である駆動回路内蔵型のＴＦＴアクティブマトリクス駆動方式の液晶装置を例にとる。この液晶装置は、液晶プロジェクタ等の投射型表示装置においてライトバルブとして用いられる。
【００３９】
図１及び図２において、本実施形態に係る電気光学装置では、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０とが対向配置されている。ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間に液晶層５０が封入されており、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０とは、画像表示領域１０ａの周囲に位置するシール領域に設けられたシール材５２により相互に接着されている。
【００４０】
シール材５２は、両基板を貼り合わせるための、例えば紫外線硬化樹脂、熱硬化樹脂等からなり、製造プロセスにおいてＴＦＴアレイ基板１０上に塗布された後、紫外線照射、加熱等により硬化させられたものである。また、シール材５２中には、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間隔（基板間ギャップ）を所定値とするためのグラスファイバ或いはガラスビーズ等のギャップ材が散布されている。即ち、本実施形態の電気光学装置は、プロジェクタのライトバルブ用として小型で拡大表示を行うのに適している。
【００４１】
シール材５２が配置されたシール領域の内側に並行して、画像表示領域１０ａの額縁領域を規定する遮光性の額縁遮光膜５３が、対向基板２０側に設けられている。但し、このような額縁遮光膜５３の一部又は全部は、ＴＦＴアレイ基板１０側に内蔵遮光膜として設けられてもよい。
【００４２】
画像表示領域１０ａの周辺に広がる領域のうち、シール材５２が配置されたシール領域の外側に位置する領域には、データ線駆動回路１０１及び外部回路接続端子１０２がＴＦＴアレイ基板１０の一辺に沿って設けられている。また、走査線駆動回路１０４は、この一辺に隣接する２辺に沿い、且つ、前記額縁遮光膜５３に覆われるようにして設けられている。更に、このように画像表示領域１０ａの両側に設けられた二つの走査線駆動回路１０４間をつなぐため、ＴＦＴアレイ基板１０の残る一辺に沿い、且つ、前記額縁遮光膜５３に覆われるようにして複数の配線１０５が設けられている。尚、外部回路接続端子１０２と別に後述する検査用駆動信号が印加される検査用の端子（図示省略）が設けられてもよい。
【００４３】
また、対向基板２０の４つのコーナー部には、両基板間の上下導通端子として機能する上下導通材１０６が配置されている。他方、ＴＦＴアレイ基板１０にはこれらのコーナー部に対向する領域において上下導通端子が設けられている。これらにより、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間で電気的な導通をとることができる。
【００４４】
図２において、ＴＦＴアレイ基板１０上には、画素スイッチング用のＴＦＴや走査線、データ線等の配線が形成された後の画素電極９ａ上に、配向膜が形成されている。他方、対向基板２０上には、対向電極２１の他、格子状又はストライプ状の遮光膜２３、更には最上層部分に配向膜が形成されている。また、液晶層５０は、例えば一種又は数種類のネマティック液晶を混合した液晶からなり、これら一対の配向膜間で、所定の配向状態をとる。更に、ＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０の各々の対向面の背面側には配向方向に応じた偏光板（図示省略）が設けられる。
【００４５】
なお、図１及び図２に示したＴＦＴアレイ基板１０上には、これらのデータ線駆動回路１０１、走査線駆動回路１０４等に加えて、画像信号線上の画像信号をサンプリングしてデータ線に供給するサンプリング回路、複数のデータ線に所定電圧レベルのプリチャージ信号を画像信号に先行して各々供給するプリチャージ回路、製造途中や出荷時の当該電気光学装置の品質、欠陥等を検査するための検査回路等を形成してもよい。
【００４６】
＜１−２：画素部における構成＞
以下では、本実施形態における電気光学装置の画素部における構成について、図３を参照して説明する。ここに図３は、電気光学装置の画像表示領域１０ａを構成するマトリクス状に形成された複数の画素における各種素子、配線等の等価回路である。
【００４７】
図３において、本実施形態における電気光学装置の画像表示領域１０ａを構成するマトリクス状に形成された複数の画素には、それぞれ、画素電極９ａと当該画素電極９ａをスイッチング制御するためのＴＦＴ３０とが形成されており、画像信号が供給されるデータ線６ａが当該ＴＦＴ３０のソースに電気的に接続されている。データ線６ａに書き込む画像信号Ｓ１、Ｓ２、…、Ｓｎは、この順に線順次に供給しても構わないし、相隣接する複数のデータ線６ａ同士に対して、グループ毎に供給するようにしてもよい。
【００４８】
また、ＴＦＴ３０のゲートにゲート電極３ａが電気的に接続されており、所定のタイミングで、走査線１１ａ及びゲート電極３ａにパルス的に走査信号Ｇ１、Ｇ２、…、Ｇｍを、この順に線順次で印加するように構成されている。画素電極９ａは、ＴＦＴ３０のドレインに電気的に接続されており、スイッチング素子であるＴＦＴ３０を一定期間だけそのスイッチを閉じることにより、データ線６ａから供給される画像信号Ｓ１、Ｓ２、…、Ｓｎを所定のタイミングで書き込む。
【００４９】
画素電極９ａを介して電気光学物質の一例としての液晶に書き込まれた所定レベルの画像信号Ｓ１、Ｓ２、…、Ｓｎは、対向基板に形成された対向電極との間で一定期間保持される。液晶は、印加される電圧レベルにより分子集合の配向や秩序が変化することにより、光を変調し、階調表示を可能とする。ノーマリーホワイトモードであれば、各画素の単位で印加された電圧に応じて入射光に対する透過率が減少し、ノーマリーブラックモードであれば、各画素の単位で印加された電圧に応じて入射光に対する透過率が増加され、全体として電気光学装置からは画像信号に応じたコントラストをもつ光が出射する。
【００５０】
ここで保持された画像信号がリークするのを防ぐために、画素電極９ａと対向電極との間に形成される液晶容量と並列に蓄積容量７０を付加する。この蓄積容量７０は、走査線１１ａに並んで設けられ、固定電位側容量電極を含むとともに定電位に固定された容量電極３００を含んでいる。
【００５１】
図１において、走査線駆動回路１０４は、上述の如く走査信号Ｇ１、Ｇ２、…、Ｇｍを所定タイミングで走査線３ａに供給し（図３参照）、データ線駆動回路１０１は、上述の如く画像信号Ｓ１、Ｓ２、…、Ｓｎを所定タイミングでデータ線６ａに供給する（図３参照）。
【００５２】
＜１−３：検査装置の構成＞
図４を参照して、以上のように構成された電気光学装置における光学特性を検査するための検査装置の構成について説明する。図４には、検査装置の構成を、その光路に沿った横断面上で概略的に示してある。
【００５３】
図４において、検査装置４００は、主要部として、光源４２及び入射側光学系４３、投射レンズ４０６を含む投射光学系４７、取り込み絞り４６、並びに測定部４８を備えている。入射側光学系４３は本発明に係る「集光手段」に相当し、光源４２及び入射側光学系４３によって本発明に係る「光源手段」が構成される。図４には、検査装置４００において、各光学系が共通の光軸４０を有する構成について示してあるが、入射側光学系４３の光軸に対して投射光学系４７の光軸を相対的にずらして配置するようにしてもよい。
【００５４】
図４において、光源４２はファイバ式として構成されており、入射側光学系４３に均一でムラのない光を照射することが可能となる。尚、光源４２を、レーザ装置や蛍光管を用いて構成してもよい。
【００５５】
入射側光学系４３には、光の入射側から順に第１のレンズ４０２ａ、第２のレンズ４０２ｂ、及び第３のレンズ４０２ｃが共通の光軸４０に沿って設けられている。第１のレンズ４０２ａと第２のレンズ４０２ｂとの間には第１の絞り４０４ａが設けられている。また、第２のレンズ４０２ｂと第３のレンズ４０２ｃとの間には第２の絞り４０４ｂが設けられている。第１の絞り４０４ａによって、第１のレンズ４０２ａからの出射光を制限して、第２のレンズ４０２ｂに入射される光を調整する。また、第２の絞り４０４ｂによって、第２のレンズ４０２ｂからの出射光を制限して、第３のレンズ４０２ｃに入射される光を調整する。
【００５６】
入射側光学系４３と投射光学系４７との間には、ステージ４０１が設けられており、このステージ４０１上に電気光学装置４４が保持される。電気光学装置４４は、対向基板２０側からステージ４０１を介して光が入射されＴＦＴアレイ基板１０側から透過光が出射されるように設けられているものとする。即ち、対向基板２０の液晶層５０に面する側と反対側の面がステージ４０１に保持されると共に、ＴＦＴアレイ基板１０の液晶層５０に面する側と反対側の面が電気光学装置４４の光出射面となる。図４において、電気光学装置４４は、光出射面に対して光軸４０が鉛直となるように、水平にステージ４０１上に保持される。また、図４には、偏光板４５ａ及び４５ｂが電気光学装置４４に対して、検査装置４００の光路に配置される構成を示してある。
【００５７】
図４において、入射側光学系４３における第３のレンズ４０２ｃからの出射光は、偏光板４５ａ及びステージ４０１を介して電気光学装置４４に入射される。上述したように、第２の絞り４０４ｂによって、第３のレンズ４０２ｃに入射される光を調整することにより、電気光学装置４４に入射される光を調整することができる。
【００５８】
さらに、ステージ４０１は、図４中矢印Ａで示すように、検査装置４００において水平方向にスライド可能に構成されている。また、ステージ４０１には、基準照度測定用開口部４０３が設けられている。ステージ４０１をスライドさせることによって、偏光板４５ａ及び４５ｂ並びに電気光学装置４４の換わりに基準照度測定用開口部４０３を光路に配置させることも可能である。
【００５９】
取り込み絞り４６は、偏光板４５ｂを介して電気光学装置４４から出射される光が入射されるように設けられている。また、投射光学系４７は、投射レンズ４０６及び第３の絞り４０４ｃを備えている。投射レンズ４０６には、取り込み絞り４６を介して電気光学装置４４からの出射光が入射される。
【００６０】
測定部４８は、投射レンズ４０６からの出射光が第３の絞り４０４ｃを介して入射する照度計４１０、及び該照度計４１０に接続された検査端末４１２を備えている。第３の絞り４０４ｃによって、投射レンズ４０６から出射した光を制限して、照度計４１０に入射される光を調整する。検査端末４１２は、パーソナルコンピュータ、ワークステーション等により構成される。
【００６１】
尚、検査装置４００には、電気光学装置４４に対して検査用駆動信号を供給するための検査用駆動手段（図示省略）が設けられるのが好ましい。検査用駆動手段は例えば、検査用駆動信号を、電気光学装置の外部回路接続用端子又は検査用の端子に印加するためのプローブや、フレキシブルコネクタを介して印加するための接続部を有する。
【００６２】
＜１−４：電気光学装置の検査＞
次に、図４の他、図５を参照して、検査装置４００によって行われる電気光学装置４４の光学特性の検査について説明する。図５（ａ）には、電気光学装置４４の光学特性として透過率の測定結果について示してあり、及び図５（ｂ）には、電気光学装置４４の光学特性としてコントラストの測定結果について示してある。
【００６３】
検査時、検査用駆動手段から検査用駆動信号が出力される。電気光学装置４４では、供給された検査用駆動信号に基づいて、走査線駆動回路１０４及びデータ線駆動回路１０１より出力される走査信号Ｇ１、Ｇ２、・・・、Ｇｍ及び画像信号Ｓ１、Ｓ２、・・・、Ｓｎが各画素部に供給されることによって、画像表示領域１０ａに所定の検査パターンが表示される。本実施形態では、画像表示領域１０ａにおいて、所定の検査パターンの表示は好ましくは全白表示又は全黒表示として行われる。尚、ノーマリーホワイトモードの電気光学装置であれば、検査用駆動信号が印加されていない状態で、全白表示の検査を行なうことも可能であり、ノーマリーブラックモードの電気光学装置であれば、検査用駆動信号が印加されていない状態で、全黒表示の検査を行なうことも可能である。
【００６４】
ここに、実際の投射型表示装置では、スクリーン上における画像の表示位置を調整するため、投射レンズの断面形状を変化させて入射される電気光学装置からの出射光を制限することにより、投射レンズの出射光を調整することがある。
【００６５】
投射レンズ４０６における光取り込み領域は、前述したような実際の投射型表示装置における投射レンズの断面形状に対応する構成となるように、取り込み絞り４６の開口径及び開口の形状によって規定される。よって、取り込み絞り４６によって、実際の投射型表示装置と同様に、電気光学装置４４からの出射光を制限することが可能となる。
【００６６】
更に、図４に示す検査装置４００の構成によれば、入射側光学系４３に設けられた第１の絞り４０４ａ及び第２の絞り４０４ｂによって、上述したような光の調整を行うことにより、実際の投射型表示装置と同様に、電気光学装置４４に光を照射することが可能となる。更に、投射光学系４７に設けられた第３の絞り４０４ｃによって、投射レンズ４０６からの出射光を制限することにより、実際の投射型表示装置と同様に照度計４１０に光を入射させることが可能となる。
【００６７】
測定部４１０において、照度計４１０は入射された光の照度を測定する。そして、検査端末４１２は、測定された照度に基づいて、電気光学装置４４の光学特性として透過率又はコントラストを算出する。
【００６８】
ここで、透過率の測定は、次のように行われる。検査装置４００において、ステージ４０１をスライドさせて基準照度測定用開口部４０３を光路に配置させる。この状態で、投射レンズ４０６には取り込み絞り４６を介して、基準照度測定用開口部４０３を通過した第３のレンズ４０２ｃの出射光が入射される。よって、照度計４１０では、偏光板４５ａ及び４５ｂ並びに電気光学装置４４を光路に配置していない状態において、投射レンズ４０６から出射される光の照度が測定される。このように測定された照度が基準照度とされる。
【００６９】
他方、照度計４１０では、偏光板４５ａ及び４５ｂ並びに電気光学装置４４を光路に配置した状態において、投射レンズ４０６から出射される光の照度が測定される。
【００７０】
検査端末４１２は、透過率として、基準照度と、偏光板４５ａ及び４５ｂ並びに電気光学装置４４を光路に配置した状態で測定された照度との比を算出する。図５（ａ）には、このように算出された透過率について、実際の投射型表示装置において同一の電気光学装置４４を用いて同様に測定された透過率との相関を表すグラフを示してある。尚、図５（ａ）には、横軸に実際の投射型表示装置における透過率の測定値をとり、「実機プロジェクタの測定値」として示してあり、縦軸に検査装置４００における透過率の測定値をとり、「検査装置の測定値」として示してある。
【００７１】
図５（ａ）において、実際の投射型表示装置における透過率の測定値と、これら測定値の各々と対応する検査装置４００における透過率の測定値は、互いに比例関係を示すと共に、その相関値はほぼ０．９８となる。
【００７２】
次に、コントラストの測定について説明する。検査装置４００において、電気光学装置４４は所定の検査パターンの表示として全白表示及び全黒表示を行う。そして、照度計４１０では、全白表示及び全黒表示の夫々において、投射レンズ４０６から出射される光の照度が測定される。検査端末４１２は、コントラストとして、全白表示において測定された照度と全黒表示において測定された照度との比を算出する。
【００７３】
図５（ｂ）には、このように算出されたコントラストについて、実際の投射型表示装置において同一の電気光学装置４４を用いて同様に測定されたコントラストとの相関を表すグラフを示してある。尚、図５（ｂ）には、横軸に実際の投射型表示装置におけるコントラストの測定値をとり、「実機プロジェクタの測定値」として示してあり、縦軸に検査装置４００におけるコントラストの測定値をとり、「検査装置の測定値」として示してある。
【００７４】
図５（ｂ）において、実際の投射型表示装置におけるコントラストの測定値と、これら測定値の各々と対応する検査装置４００におけるコントラストの測定値は、互いに比例関係を示すと共に、その相関値はほぼ０．９６となる。
【００７５】
以上説明したように、検査装置４００によれば、同一の電気光学装置の光学特性について、実際の投射型表示装置における測定と相関のとれた測定を行うことができる。その結果、電気光学装置の光学特性について精度の高い測定を行うことが可能となる。
【００７６】
＜２：第２実施形態＞
次に、本発明の検査装置に係る第２実施形態について説明する。第２実施形態における検査装置は第１実施形態と比較して取り込み絞りの構成が異なる。よって、以下において、検査装置の構成を図４を参照して説明すると共に、取り込み絞りの構成を図６を参照して説明する。また、検査装置の動作について図７及び図８を参照して説明する。尚、第１実施形態との共通個所には同一符号を付して示し、以下において重複する説明は省略する。
【００７７】
まず、第２実施形態における、図４に示す検査装置４００の取り込み絞り４６の構成について図６を参照して説明する。図６は、取り込み絞り４６の構成例を概略的に示す斜視図である。
【００７８】
第２実施形態では、検査装置４００において、取り込み絞り４６は、例えば次のように取り外し可能に構成されている。図６において、取り込み絞り４６は、保持板部材６０２に保持された状態で、検査装置４００における光路に設置される。保持板部材６０２には、取り込み絞り４６の外形と対応する形状を有する開口部６０２ａが設けられている。保持板部材６０２は、取り込み絞り４６を開口部６０２ａにはめ込むことによって取り付けたり、開口部６０２ａから取り込み絞り６０４を取り外し可能に構成されている。
【００７９】
次に、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示す測定結果が得られた電気光学装置について、取り込み絞り４６を取り外した状態で、第１実施形態と同様にして、透過率及びコントラストの測定を行って得られた測定結果について、図７（ａ）及び図７（ｂ）を参照して説明する。取り込み絞り４６を取り外した状態で、図７（ａ）は検査装置４００において測定された透過率の値について図５（ａ）と同様のグラフを示す図であって、図７（ｂ）は、検査装置４００において測定されたコントラストの値について図５（ｂ）と同様のグラフを示す図である。
【００８０】
図７（ａ）において、実際の投射型表示装置における透過率の測定値と、これら測定値の各々と対応する検査装置４００における透過率の測定値は、図５（ａ）と同様に比例関係を示すものの、その相関値は約０．９８から約０．８９に低下する。
【００８１】
また、図７（ｂ）において、実際の投射型表示装置におけるコントラストの測定値と、これら測定値の各々と対応する検査装置４００におけるコントラストの測定値は、図５（ｂ）と同様に比例関係を示すものの、その相関値は約０．９６から約０．４５に低下する。
【００８２】
このように、取り込み絞り４６を取り外した状態で、検査装置４００におけるコントラスト及び透過率の測定値と、実際の投射型表示装置におけるコントラスト及び透過率の測定値との相関値が低下するのは、以下のような理由による。
【００８３】
電気光学装置における組みずれの度合いが大きくなるに従って、電気光学装置からの出射光には、該電気光学装置の光出射面に対して鉛直方向と異なる方向に向かう光が多く含まれることになる。
【００８４】
また、実際の投射型表示装置では、投射レンズの断面形状は、電気光学装置からの出射光のうち該電気光学装置の光出射面に対して鉛直方向に向かう光が多く入射されるように構成される。
【００８５】
よって、取り込み絞り４６を取り外した状態でコントラスト又は透過率を測定すると、電気光学装置における組みずれの度合いが大きい程、得られる測定値と実際の投射型表示装置における測定値との相関性は低くなる。
【００８６】
他方、取り込み絞り４６を取り付けると、組みずれの度合いが許容範囲外の電気光学装置についても、実際の投射型表示装置と同様に、当該電気光学装置からの出射光を制限することが可能となる。即ち、投射光学系４７における投射レンズ４０６には、電気光学装置４４からの出射光のうち該電気光学装置４４の光出射面に対して鉛直方向に向かう光が多く入射される。よって、取り込み絞り４６を取り付けた状態で、組みずれの度合いが許容範囲外の電気光学装置のコントラスト又は透過率を測定すると、得られる測定値と実際の投射型表示装置における測定値との相関性は高くなる。
【００８７】
よって、検査装置４００における、取り込み絞り４６を取り付けた状態での測定値と、取り込み絞り４６を取り外した状態での測定値との相関をとることによって、電気光学装置における組みずれが許容範囲内か否かについて調べることが可能となる。例えば、図５（ａ）に示したグラフにおける相関係数と図７（ａ）に示したグラフにおける相関係数との差が、又は図５（ｂ）に示したグラフにおける相関係数と図７（ｂ）に示したグラフにおける相関係数との差が、相対的に小さければ、このとき検査対象とされている電気光学装置における組みずれの度合は相対的に小さいと判定できる。逆に、この差が、相対的に大きければ、このとき検査対象とされている電気光学装置における組みずれの度合は相対的に大きいと判定できる。このため、例えば、許容範囲となる組ずれの度合に対応する相関係数の差についての閾値を予め設定しておけば、検査結果として得られる該相関係数の差がこの閾値を超えたか否かによって、組ずれの度合が許容範囲に入っているか否かを簡単に判別できることになる。
【００８８】
尚、検査装置４００において、検査端末４１２は、電気光学装置の光学特性を、測定された照度や算出したコントラストの分布によって表される配光分布として示すようにしてもよい。更に、検査端末４１２において、配光分布に基づいて視角特性を示す出力データが生成されるのが望ましい。
【００８９】
図８は、視角を規定する仰角θ及び方位角φについて説明するための模式図である。図８において、電気光学装置４４の光出射面を測定面とし、該測定面上の一点を測定点８００とすれば、方位角φは、測定面上に０°位置が規定されており、該０°位置から右回りに、左側（Ｌ）９０°位置、１８０°位置、及び右側（Ｒ）９０°位置が規定される。仰角θは、測定面上の観測点が測定点８００の真上に位置する場合、即ち測定面の法線上に位置する場合を、θ＝０°として、観測点を測定点８００を中心とする同心円上に傾けた場合に、観測点と測定点８００とを結ぶ線が、測定面の法線に対してなす角度を表す。
【００９０】
視角特性は、例えば仰角θに対してコントラストの値をプロットすることによって表される。よって、視角特性におけるコントラストの最大値に対応する仰角θが、取り込み絞り４６を取り付けた場合と、取り込み絞り４６を取り外した場合とで、相違するか否かを調べることによって、電気光学装置における組みずれが許容範囲内か否かについて調べることが可能となる。
【００９１】
＜３：変形例＞
以上説明した、第１及び第２実施形態の変形例について説明する。図４に示す検査装置４００において、取り込み絞り４６は、相異なる開口径を有する複数の絞りであってそれらのうち一つが選択されて電気光学装置４４に対して配置可能に構成されてもよい。
【００９２】
取り込み絞り４６は、例えば図６を参照して説明したような構成とする。そして、保持板部材６０２の開口部６０２ａに対して、相異なる開口径を有する複数の絞りを交換して取り付けるようにする。このようにすれば、検査装置４００において、複数種類の電気光学装置を交換して光学特性について検査する場合も、該電気光学装置の種類に応じて取り込み絞り４６として複数の絞りを交換して用いることが可能となる。その結果、電気光学装置の光学特性についてより精度の高い測定を行うことができる。
【００９３】
また、検査装置４００における光路に、取り込み絞り４６が、電気光学装置４４に対して、その基板面に沿った方向に移動可能に設けられるのが好ましい。
【００９４】
ここに、実際の投射型表示装置では、スクリーン上における画像の表示位置を調整するため、投射レンズの配置位置を、該投射レンズを電気光学装置に対して移動させて変更させることがある。このように配置された投射レンズの構成に対応させて、取り込み絞り４６を電気光学装置４４に対して移動させて、その配置位置を変更するようにすれば、電気光学装置４４から投射光学系４７に至る光の光路を調整することができ、実際の投射型表示装置と同様に、照度計４１０に光を投射することが可能となる。
【００９５】
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨、あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う電気光学装置の検査装置及び検査方法もまた、本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【図面の簡単な説明】
【００９６】
【図１】電気光学パネルの全体構成を示す平面図である。
【図２】図１のＨ−Ｈ’断面図である。
【図３】電気光学パネルの画像表示領域を構成するマトリクス状に形成された複数の画素部における各種素子、配線等の等価回路である。
【図４】検査装置の構成を概略的に示す図である。
【図５】図５（ａ）は、透過率の測定結果について示す図であり、図５（ｂ）は、コントラストの測定結果について示す図である。
【図６】図６は、取り込み絞りの構成例を概略的に示す斜視図である。
【図７】図７（ａ）は、透過率の測定結果について示す図であり、図７（ｂ）は、コントラストの測定結果について示す図である。
【図８】視角を規定する仰角及び方位角について説明するための模式図である。
【符号の説明】
【００９７】
４２…光源
４３…入射側光学系
４４…電気光学装置
４６…取り込み絞り
４７…投射光学系
４８…測定部
４００…検査装置
４０６…投射レンズ
【図１】
2005114520.tif 000003
【図２】
2005114520.tif 000004
【図３】
2005114520.tif 000005
【図４】
2005114520.tif 000006
【図５】
2005114520.tif 000007
【図６】
2005114520.tif 000008
【図７】
2005114520.tif 000009
【図８】
2005114520.tif 000010