(57)【要約】【課題】短時間で基板を給排することができる露光装置における基板の給排方法を提供する。【解決手段】ＸＹステージ２を最終の露光位置からアンローディング位置Ｕへ移動させると、ここに待機していた排出用搬送ロボットのアーム４がＸＹステージ２の溝部６に差し込まれ、このアーム４を上昇させることにより基板３が持ち上げられてＸＹステージ２から排出される。ＸＹステージ２はローディング位置Ｌへ移動し、未露光の基板を保持する供給用搬送ロボットのアームが下降してＸＹステージ２の溝部６に上方から挿入され、未露光の基板がＸＹステージ２上に供給される。【選択図】図１
2005292645.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ローディング位置のＸＹステージ上に基板を供給し、ＸＹステージを基板と共に最初の露光位置へ移動させて露光し、最終の露光位置まで順次ＸＹステージを移動させて逐次露光し、ＸＹステージをアンローディング位置へ移動させてＸＹステージ上から基板を排出する露光装置において、
ＸＹステージ上に搬送ロボットのアームが収容される溝部を形成し、
基板を載せた搬送ロボットのアームを上方からローディング位置のＸＹステージの溝部に下降させて基板をＸＹステージ上に供給し、
アンローディング位置に搬送ロボットのアームを待機させた状態で基板を載せたＸＹステージを搬送ロボットのアームの延長方向からアンローディング位置へ移動させることによりＸＹステージの溝部に搬送ロボットのアームを差し込み、
搬送ロボットのアームを上昇させることによりＸＹステージから基板を排出する
ことを特徴とする露光装置における基板の給排方法。
【請求項２】
最終の露光位置から直線的にアンローディング位置へ移動させることによりＸＹステージの溝部に搬送ロボットのアームが差し込まれる請求項１に記載の方法。
【請求項３】
ローディング位置から直線的に最初の露光位置へ移動させることによりＸＹステージの溝部から搬送ロボットのアームが引き抜かれる請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】
ローディング位置とアンローディング位置とが互いに並んで配置され、
アンローディング位置で搬送ロボットのアームを上昇させてＸＹステージから基板を排出した後、ＸＹステージをアンローディング位置へ移動させると同時に、排出した基板を保持する搬送ロボットのアームをアンローディング位置とは反対方向へ移動させる請求項１〜３のいずれか一項に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、露光装置における基板の給排方法に係り、特に大型基板を露光装置に供給し且つ露光装置から排出する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
薄型、軽量で低消費電力等の特徴を有する液晶表示装置は、フラットパネルディスプレイとして広く使用されているが、ＴＶやコンピュータのディスプレイへの適用に伴って、近年は画面の大型化が要求されている。
従来、このような液晶表示装置に用いられる液晶基板やカラーフィルタ等の基板にマスクのパターンを転写する際には、一回の露光で基板の全面上にパターンを焼き付ける一括露光が一般的であったが、基板の大型化に伴い、例えば特許文献１に開示されているように、基板の露光領域を複数に分割し、基板をＸＹステージ上に載置してマスクとの相対位置を変えながら逐次露光を行う分割逐次露光方式が多く採用されている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−１２５２８４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この分割逐次露光方式により大型基板へのパターン転写が容易となったが、ＸＹステージ上への基板の給排を行う必要があり、従来は、ローディング位置にＸＹステージを移動させ、ＸＹステージ上に配設された昇降自在の複数のリフトピンを持ち上げた状態で、搬送ロボットのアーム上に保持された基板をリフトピンの上に載置し、アームを退避させた後にリフトピンを下降させることにより基板をＸＹステージ上に供給していた。また、基板の排出時にも、アンローディング位置にＸＹステージを移動させ、リフトピンを基板と共に持ち上げ、この状態で搬送ロボットのアームを基板の下に伸ばした後、アームを上昇させてＸＹステージから基板を排出していた。
【０００５】
このようにリフトピンによる基板の昇降動作を必要としたため、ＸＹステージ上への基板の給排動作に時間を要するという問題点があった。
この発明は、このような従来の問題点を解消するためになされたもので、短時間で基板を給排することができる露光装置における基板の給排方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明に係る露光装置における基板の給排方法は、ローディング位置のＸＹステージ上に基板を供給し、ＸＹステージを基板と共に最初の露光位置へ移動させて露光し、最終の露光位置まで順次ＸＹステージを移動させて逐次露光し、ＸＹステージをアンローディング位置へ移動させてＸＹステージ上から基板を排出する露光装置において、ＸＹステージ上に搬送ロボットのアームが収容される溝部を形成し、基板を載せた搬送ロボットのアームを上方からローディング位置のＸＹステージの溝部に下降させて基板をＸＹステージ上に供給し、アンローディング位置に搬送ロボットのアームを待機させた状態で基板を載せたＸＹステージを搬送ロボットのアームの延長方向からアンローディング位置へ移動させることによりＸＹステージの溝部に搬送ロボットのアームを差し込み、搬送ロボットのアームを上昇させることによりＸＹステージから基板を排出する方法である。
【０００７】
好ましくは、最終の露光位置から直線的にアンローディング位置へ移動させることによりＸＹステージの溝部に搬送ロボットのアームが差し込まれる。
また、ローディング位置から直線的に最初の露光位置へ移動させることによりＸＹステージの溝部から搬送ロボットのアームが引き抜かれることが好ましい。
さらに、ローディング位置とアンローディング位置とを互いに並んで配置し、アンローディング位置で搬送ロボットのアームを上昇させてＸＹステージから基板を排出した後、ＸＹステージをアンローディング位置へ移動させると同時に、排出した基板を保持する搬送ロボットのアームをアンローディング位置とは反対方向へ移動させることが好ましい。
【発明の効果】
【０００８】
この発明によれば、基板を載せた搬送ロボットのアームを上方からＸＹステージの溝部に下降させることにより基板をＸＹステージ上に供給し、基板を載せたＸＹステージをアンローディング位置へ移動させることにより、ここに待機していた搬送ロボットのアームをＸＹステージの溝部に差し込み、その後アームを上昇させることでＸＹステージから基板を排出するので、従来のようなリフトピンによる基板の昇降動作が不要となり、短時間で基板を給排することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、この発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
図１にこの発明の実施の形態で用いられる露光装置の定盤を示す。定盤１の表面上にＸ方向及びＹ方向に移動自在にＸＹステージ２が配置されている。定盤１上には、ＸＹステージ２に基板３が供給されるローディング位置ＬとＸＹステージ２から基板３が排出されるアンローディング位置Ｕとが互いに並んで画定されており、アンローディング位置Ｕに排出用搬送ロボットのアーム４が待機している。図１では示されていないが、ローディング位置Ｌの近傍には供給用搬送ロボットのアームが配置されている。また、定盤１の上方には、基板３にパターンを転写するためのマスク５が固定されている。
【００１０】
なお、基板３の露光領域は複数に分割され、基板３をＸＹステージ２上に載置して最初の露光位置から最後の露光位置まで順次ＸＹステージ２を移動させて逐次露光が行われるが、ローディング位置Ｌ及びアンローディング位置Ｕから＋Ｙ軸方向に所定距離だけ離れた位置にそれぞれ最初の露光位置及び最後の露光位置が設定されている。
【００１１】
ＸＹステージ２の表面上には、搬送ロボットのアーム４に対応した互いに平行な複数の溝部６が形成されている。これらの溝部６は、図２に示されるように、ＸＹステージ２上に基板３を載置した状態で搬送ロボットの対応するアーム４が自由に差し込まれて収容されるような大きさを有している。
【００１２】
次に、この実施の形態に係る基板の給排方法について説明する。まず、基板３を載置したＸＹステージ２を最初の露光位置から最終の露光位置まで順次移動させて逐次露光を行う。また、図１に示されるように、排出用搬送ロボットのアーム４をアンローディング位置Ｕに待機させておく。基板３の露光処理を完了した後、ＸＹステージ２を最終の露光位置から−Ｙ軸方向へ移動させる。このとき、アンローディング位置Ｕから＋Ｙ軸方向に所定距離だけ離れた位置に最後の露光位置が設定されているため、ＸＹステージ２を−Ｙ軸方向へ移動させると、アンローディング位置Ｕに待機していた排出用搬送ロボットのアーム４がＸＹステージ２の溝部６に次第に差し込まれる。
【００１３】
図３に示されるように、ＸＹステージ２がアンローディング位置Ｕまで移動すると、排出用搬送ロボットのアーム４を上昇させることにより、アーム４がＸＹステージ２の溝部６から上方へ離れ、アーム４によって基板３が持ち上げられる。このようにして露光済みの基板３がＸＹステージ２から排出されると、図４に示されるように、排出用搬送ロボットのアーム４が基板３と共に−Ｘ軸方向、すなわちローディング位置Ｌとは反対方向に移動して基板３が次工程へ搬送される。この排出用搬送ロボットのアーム４の移動と同時にＸＹステージ２が＋Ｘ軸方向、すなわちローディング位置Ｌへ向けて移動すると共に供給用搬送ロボットのアーム７により未露光の基板３がローディング位置Ｌの上方へ搬送される。
【００１４】
そして、図５に示されるように、ＸＹステージ２がローディング位置Ｌに到達し、供給用搬送ロボットのアーム７に保持された未露光の基板３がローディング位置Ｌの直上に到達すると、供給用搬送ロボットのアーム７が未露光の基板３と共に下降される。このとき、アーム７がそれぞれ対応するＸＹステージ２の溝部６に上方から挿入され、未露光の基板３がＸＹステージ２上に載置される。
【００１５】
このようにしてＸＹステージ２へ未露光の基板３が供給されると、ＸＹステージ２が最初の露光位置に到達するまで＋Ｙ軸方向へ移動し、最初の露光位置において基板３への露光が開始される。また、ＸＹステージ２が＋Ｙ軸方向へ移動することで、自動的に供給用搬送ロボットのアーム７がＸＹステージ２の溝部６から引き抜かれ、供給用搬送ロボットのアーム７は次の未露光の基板を受け取るために移動することができる。
【００１６】
以上のように、ＸＹステージ２の溝部６に排出用搬送ロボットのアーム４あるいは供給用搬送ロボットのアーム７が収容される構成としたので、従来使用されていたリフトピンによる基板の昇降動作が不要となり、迅速に基板を給排することが可能となる。
また、ローディング位置Ｌ及びアンローディング位置Ｕから＋Ｙ軸方向に所定距離だけ離れた位置にそれぞれ最初の露光位置及び最後の露光位置が設定されているので、ＸＹステージ２を１軸移動によってローディング位置Ｌから最初の露光位置まで、並びに最後の露光位置からアンローディング位置Ｕまで基板３を搬送することができ、極めて短い時間で露光処理を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】この発明の実施の形態に係る基板の給排方法を段階的に示す図である。
【図２】実施の形態で用いられたＸＹステージと搬送ロボットのアームを示す部分斜視図である。
【図３】実施の形態に係る基板の給排方法を段階的に示す図である。
【図４】実施の形態に係る基板の給排方法を段階的に示す図である。
【図５】実施の形態に係る基板の給排方法を段階的に示す図である。
【符号の説明】
【００１８】
１  定盤、２  ＸＹステージ、３  基板、４  排出用搬送ロボットのアーム、５  マスク、６  溝部、７  供給用搬送ロボットのアーム。
【図１】
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【図２】
2005292645.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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