(57)【要約】【課題】ＤＶＤ−Ｒなどの追記型の記録媒体では、そのディスクの種類や記録範囲、著作権保護対策用情報等の情報がディスク最内周部の定められた場所に予め記録されているが、これらのメディア情報は、ディスク製造工程の最終段階で、1枚毎、記録装置を用いて、光照射等により記録層を変性させることで記録している為、工程の管理、記録装置の設置等、多大なコストが必要となっている。【解決手段】メディア情報を記録層にドライブで記録するのではなく、ディスクの基板製造段階において、予め基板のグルーブにエンボスピットの形で記録する。【選択図】図１２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ランドとグルーブを備えた光ディスクの製造方法であって、管理情報を予めピットにて形成したスタンパを用いて射出成型した基板上に、スピンコートにより色素記録層を形成し、該色素記録層上に反射層を形成し、該反射層上にＵＶ樹脂層を形成することを特徴とする光ディスクの製造方法。
【請求項２】
前記管理情報として、ライトストラテジーを含むことを特徴とする請求項１に記載の光ディスクの製造方法。
【請求項３】
前記管理情報として、著作権保護に関する情報を含むことを特徴とする請求項１または２に記載の光ディスクの製造方法。
【請求項４】
前記ピットが前記グルーブ内に設けられ、前記ピットが前記グルーブより深いことを特徴とする請求項１〜３に記載の光ディスクの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光情報記録媒体及びその製造方法、並びに光情報記録媒体の基板製造に用いるスタンパ及びその製造方法に関し、例えばＤＶＤ−Ｒのように記録層に色素層を有する記録媒体で、特に、メーカ名や著作権保護対策用情報等のメディア情報がプリピットの形で書きこまれた光情報記録媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＣＤ（コンパクトディスク）に比べて数倍の記録容量を有するＤＶＤ（デジタル多用途ディス）が、映画等の画像や音声等の情報を記録した情報記録媒体として、広く使用されている。また、このＤＶＤに対して、ユーザ側で情報の記録を１回に限り行うことができるＤＶＤ−Ｒ（追記型のデジタル多用途ディスク）や、情報の書換えを可能とするＤＶＤ−ＲＷ（書換え可能型のデジタル多用途ディスク）が既に製品化され、今後の大容量の情報記録媒体として、広く一般化されている。
【０００３】
通常、ＤＶＤ−Ｒなどの追記型の記録媒体では、そのディスクの種類や記録範囲、著作権保護対策用情報等の情報（以下、メディア情報という）がディスク最内周部の定められた場所に予め記録されている。これらのメディア情報は、ディスク製造工程の最終段階で、1枚毎、記録装置を用いて、光照射等により記録層を変性させることで記録している。その為工程の管理、記録装置の設置等、多大なコストが必要となっている。
【０００４】
一方、パーシャルＲＯＭなど形成されるＲＯＭデータをディスクの基板製造段階において、予め基板のグルーブにエンボスピット（以下、イングルーブピットという）の形で記録する方法が開示されている（例えば、特許文献１参照）。この方法を用いて作製した光情報記録媒体の一部を、図１に示す。図１（ａ）は、光情報記録媒体の部分拡大平面図であり、イングルーブピットが形成された領域（以下、イングルーブピット領域という）を、概略的に表わしている。また、図１（ｂ）及び（ｃ）は、それぞれ、図１（ａ）のＡ−Ａ線断面及びＢ−Ｂ線断面を示した図である。この光情報記録媒体では、図１（ｂ）に示すように、ランド及びグルーブが形成された基板１０１のランド表面１０１ａを基準としたときのイングルーブピット１０７の底面（最下面）１０７ａまでの深さｄｐ”が、同じくランド表面１０１ａを基準としてグルーブ１０５の底面（最下面）１０５ａまでの深さｄｇ”より深く形成されている。これにより、この基板１０１のパターン形成面上に記録層１０２及び反射層１０３を形成した場合、イングルーブピット１０７が形成されている部分と、イングルーブピット１０７が形成されていないグルーブの部分とでは、形成される各層の表面高さに違いが生じる。したがって、このイングルーブピット部分とグルーブ部分との深さの違いを利用することにより、メディア情報等のデータをグルーブに記録することができる。
【０００５】
ＤＶＤ−Ｒ及びＤＶＤ−ＲＷの基板では、グルーブ間に形成されるランド上にピット（以下、ランドプリピットという）が設けられており、ディスクのアドレス情報等の記録を行っている（例えば、特許文献２及び３参照）。またグルーブ高さとランドプリピットの高さの制限を行っている（例えば、特許文献４参照）。また、ピットを有する基板を製造するための原盤露光工程において、一つのピットに対応するパターンを露光している間に露光強度を切り替える方法が知られている（例えば、特許文献５参照）。
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−６７７３３号公報（第５―６頁、第１−３図）
【特許文献２】特開平０９−３２６１３８号公報（第１−８頁、第３図、第１５図）
【特許文献３】特開２００１−１１８２８８号公報（第１−８頁、第１図）
【特許文献４】特開２００１−３１９３７９（第１−５頁、第１図）
【特許文献５】特開昭６３−１５３７４３号公報（第２７８頁、第２８０−２８２頁、第３図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
イングルーブピットを有する光情報記録媒体では、図１に示すように、イングルーブピットが、トラック方向（即ち、グルーブ方向）の端部に比べトラック方向の中間部付近（以下、中間部と略す）の幅（ディスクの半径方向長さ）が広く形成されている。これは、イングルーブピットに対応するパターンを原盤に形成するための露光を行った際に、照射するレーザー光の積算露光量がパターンの中間部で大きくなることにより生じるものと考えられる。これにより、イングルーブピットの中間部の幅がグルーブの幅よりも広がり、隣接するランドの側壁を侵食する。即ち、イングルーブピットに隣接するランドの幅は狭くなる。特に、イングルーブピットに隣接するランド上にランドプリピットが形成されている場合、イングルーブピットとランドプリピットのレーザー光の影響でイングルーブピットとランドプリピットとの間の積算露光量が増加しランド面の幅及び高さを十分確保することができなかった。この結果、図２（ｂ）に示すように、ランドプリピットの検出信号のジッターが大きくなり、アパーチャ−レシオ（ＡＲ）が所定の要求値を満たさず、エラーレートが増大する問題が生じていた。そのため、イングルーブピットを有したグルーブの再生エラーレートと、イングルーブピットを有しないグルーブの再生エラーレートの両立を図ることができない問題が生じた。
【０００８】
本発明者が知る限りにおいては、グルーブよりもさらに深く形成されるイングルーブピットの形状を制御するために、原盤露光においてイングルーブピット形成パターンの露光強度を制御し、またイングルーブピットに隣接したランドプリピットの露光強度を制御した例はない。
【０００９】
また、このようなイングルーブピットを有する光情報記録媒体を用いて、実際に情報の記録再生を行った場合、イングルーブピット領域と、ユーザ側の記録領域であるグルーブのみが形成された領域（以下、グルーブ領域という）との境界部をトラッキングした際に、しばしばトラッキングが外れるエラーが確認されている。この境界部では、イングルーブピットとグルーブとの形状の差が大きく、この境界部を跨ぐようにトラッキングした際に、得られるラジアルプッシュプル信号の中心がずれる。これにより、ラジアルプッシュプル信号のバランスは大きく崩れ、ラジアルプッシュプル信号の振幅レベルが低下し、トラッキング外れのエラーが生じる。特に、ＤＶＤ−ＲやＤＶＤ−ＲＷでは、ラジアルプッシュプル信号を用いてトラッキングを行っており、上記のトラッキングエラーの防止は、不可欠な課題となる。
【００１０】
そこで、本発明の目的は、イングルーブピットが形成された基板を有する光情報記録媒体において、ピットから確実に信号を検出して再生エラーレートを低減することができる光情報記録媒体及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の第１の態様によれば、複数のランド及びグルーブが形成された円形基板と、該円形基板上に記録層と反射層とを有する光情報記録媒体において、上記グルーブの底部に、第１ピットと、トラック方向の長さが第１ピットよりも長い第２ピットが形成されており、第１ピットにおける基板半径方向の最大幅をＷ１で表わし、第２ピットにおける基板半径方向の最大幅をＷ２で表わしたとき、１＜Ｗ２／Ｗ１＜１．２であることを特徴とする光情報記録媒体が提供される。
【００１２】
本発明の光情報記録媒体の基板には、複数のランド及びグルーブが形成されており、一部のグルーブの底部にピット（イングルーブピット）が形成されている。このイングルーブピットは、グルーブ方向の長さに関係なく基板半径方向の幅の広がりが抑えられており、イングルーブピットに隣接するランド形状も側壁が大きく削られることなく、一定のランド及びグルーブ形状が維持されている。
【００１３】
ここで、第１ピットと第２ピットは、変調されるデータによって決まる長さの単位に基づいて決まる任意の長さであり、例えばＤＶＤ規格で採用されているＥＦＭ変調では３Ｔ〜１４Ｔの範囲の長さを持つピットである。
【００１４】
イングルーブピットを有しないグルーブにおける隣接するランドプリピットは、グルーブとランドプリピット間の積算露光量が少ない為、十分ランド面（以下ランドプリピットの側壁とする）を形成することができた。しかしイングルーブピットを有しないグルーブの記録・再生における再生エラー数が増大する結果となった。本発明者らがグルーブとランドプリピットの形成条件の実験を行った結果、グルーブ底面からのランド高さｄｇとランドプリピットに隣接する側壁の高さｄｌｇが図３（ａ）に示すように、０.３≦ｄｌｇ／ｄｇ≦０.７の条件でないと、再生エラー数が増大することがわかった。この形状を作成するには、ランド部にグルーブを露光するレーザー光と、ランドプリピットを露光するレーザー光の積算露光量をある程度生じさせる必要がある。
【００１５】
特に、イングルーブピットに隣接したランド上にピット（ランドプリピット）が形成されている基板を用いて作製した光情報記録媒体においても、ランドプリピットの記録信号を確実に検出することができる観点より、本発明者らがイングルーブピットとランドプリピットの形成条件の実験を行った結果、図３（ｂ）からわかるようにグルーブ底面からのランドプリピット側壁の高さをｄｌｐとし、グルーブ底面からのランド高さはランド面からの深さと同じである為ｄｇとし、０.４≦ｄｌｐ／ｄｇ＜１とすることが好ましい。
【００１６】
本発明では、上記記録層が、色素材料で形成されていることが望ましい。また、上記色素材料がアゾ系色素材料であることが望ましい。
【００１７】
本発明では、上記円形基板上にさらに第１及び第２ピットが形成されていないグルーブが形成されており、グルーブ間にランドプリピットが形成されており、グルーブ底面からのランド高さはランド面からの深さと同じである為ｄｇとし、グルーブ底面を基準としたランドプリピットに隣接する側壁の高さｄｌｇとしたとき、０.３≦ｄｌｇ／ｄｇ≦０.７であることが望ましい。
【００１８】
本発明の第２の態様によれば、第１の態様における光情報記録媒体の製造方法であって、原盤上に形成された感光性材料を第１の露光強度と、第１の露光強度よりも低い第２の露光強度に変更しながら露光することにより、該感光性材料に少なくとも第２ピットに対応するパターンを露光し、第２の露光強度よりも低い第３の露光強度で上記感光性材料を露光することにより、上記感光性材料を上記グルーブに対応するパターンを露光することと；
また第１ピット、第２ピット、上記グルーブに隣接するランドに第４露光強度で上記感光性材料の露光する第１ランドプリピットと、第４露光強度よりも高い第５露光強度で上記感光材料を露光する第２ランドプリピットとを、上記ランドに対応したパターンに露光すること、
上記露光後に、原盤を現像して第１ピット、第２ピット、第１ランドプリピット、第２ランドプリピット及び上記グルーブに対応するパターンを形成することと；
上記パターンが形成された原盤を用いて基板を成形することと；
該基板上に記録層及び反射層を形成することを含む光情報記録媒体の製造方法が提供される。
本発明の方法を用いることにより、本発明の光情報記録媒体を製造することができる。
【００１９】
本光情報記録媒体の製造方法では、上記感光材料を第１の露光強度で露光することにより、上記感光材料に第１ピットに対応するパターンを露光することを含むことが好ましい。また、上記感光材料に第２ピットに対応するパターンを露光する際の露光強度を、始めに第１の露光強度とし、次いで第２の露光強度とし、さらに第１の露光強度に変更することが好ましい。さらに、第１ピット及び第２ピットに対応するパターンを露光する前後で、露光強度を０にすることを含むことが望ましい。上記現像において、ＲＩＥによるエッチングを行うことを含むことが望ましい。
【００２０】
本発明の第３の態様によれば、複数のランド及びグルーブが形成された基板と、該基板上に記録層と反射層とを有する光情報記録媒体において、上記グルーブが、第１グルーブと；第１グルーブより幅の広い第２グルーブと；ピットが形成されている第３グルーブと；第３グルーブのピットより幅の狭いピットが形成されている第４グルーブと；を含み、第１〜第４グルーブが、第１グルーブ、第２グルーブ、第４グルーブ、第３グルーブの順に配置されていることを特徴とする光情報記録媒体が提供される。
【００２１】
本発明の光情報記録媒体の基板には、複数のランド及びグルーブが形成されており、一部のグルーブにイングルーブピットが形成されている。また、イングルーブピット領域とグルーブ領域との間に、境界ピット領域が設けられ、さらに境界ピット領域とグルーブ領域との間には通常のグルーブよりも幅の広いグルーブ（境界グルーブ）が設けられている。この基板を用いた光情報記録媒体では、境界グルーブ領域を設けることによって、グルーブ領域から境界ピット領域にかけて、互いに隣り合うグルーブ幅の変化が緩やかとなるので、第１の態様による光情報記録媒体に比べてラジアルプッシュプル信号の乱れをさらに抑制することができる。また、グルーブ領域と境界ピット領域の間に境界グルーブ領域が設けられているので、境界グルーブ領域が存在しない場合に比べて、境界ピット領域におけるイングルーブピットの寸法を大きくすることができる。これによって、境界ピット領域のイングルーブピットから変調度が高い再生信号を得ることが可能となる。
【００２２】
本発明では、第１グルーブの半値幅をＷｇで表わし、第１グルーブより幅広の第２グルーブの半値幅をＷｇｂで表わし、イングルーブピットを含む第３グルーブの半値幅をＷｐで表わし、幅狭のイングルーブピットを含む第４グルーブの半値幅をＷｐｂで表わしたときに、Ｗｇ≦Ｗｇｂ≦Ｗｐｂ≦Ｗｐとなり得る。また、半値幅Ｗｐと半値幅Ｗｐｂとの比Ｗｐ／Ｗｐｂが、１．０５≦Ｗｐ／Ｗｐｂ≦１．１５であることが望ましい。前述の通り、Ｗｐ／Ｗｐｂ＜１．０５であると、第１グルーブにおけるラジアルプッシュプル信号にオフセットや乱れが生じ易くなり、１．１５＜Ｗｐ／Ｗｐｂであると第３グルーブに形成されたイングルーブピットからの信号変調度が低くなるために望ましくない。ラジアルプッシュプル信号のオフセットや乱れを十分に抑制するために、半値幅Ｗｇｂと半値幅Ｗｇとの比Ｗｇｂ／Ｗｇが、１．０３≦Ｗｇｂ／Ｗｇ≦１．１５であることが望ましい。
【００２３】
本発明では、上記記録層が、色素材料で形成されていることが望ましい。また、上記色素材料がアゾ系色素材料であることが望ましい。さらに、上記記録層が、テルルを含んでもよい。
【００２４】
本発明では、第１グルーブにおける、記録層と反射層との境界面からの記録層最大窪み深さをＴｇで表わし、第２グルーブにおける、記録層と反射層との境界面からの記録層最大窪み深さをＴｇｂで表わし、第３グルーブにおける、記録層と反射層との境界面からの記録層最大窪み深さをＴｐで表わし、第４グルーブにおける、記録層と反射層との境界面からの記録層最大窪み深さをＴｐｂで表わしたときに、Ｔｇ≦Ｔｇｂ≦Ｔｐｂ≦Ｔｐであることが望ましい。また、上記グルーブの同一グルーブ内に形成されているピットが、第１ピットと、グルーブ方向の長さが第１ピットよりも長い第２ピットで構成されており、第１ピットにおける基板半径方向の最大幅をＷ１で表わし、第２ピットにおける基板半径方向の最大幅をＷ２で表わしたとき、１＜Ｗ２／Ｗ１＜１．２であることが望ましい。
【００２５】
本発明の第４の態様によれば、第３の態様の光情報記録媒体の製造方法であって、原盤上に形成された感光性材料を４種の異なる露光強度で照射することにより、該感光性材料を第１グルーブ、第２グルーブ、第３グルーブのピット及び第４グルーブのピットに対応するパターンを露光することと；上記露光後に、原盤を現像して第１グルーブ、第２グルーブ、ピット付き第３グルーブ及びピット付き第４グルーブに対応するパターンを形成することと；上記パターンが形成された原盤を用いて、基板を成形することと；該基板上に記録層及び反射層を形成することを含む光情報記録媒体の製造方法が提供される。
【００２６】
本発明の製造方法を用いることにより、本発明の第３の態様の光情報記録媒体を製造することができる。
【００２７】
本発明では、上記ピットに対応するパターンを露光する際の露光強度を、始めに第１の露光強度とし、次いで第１の露光強度よりも低い第２露光強度とし、さらに第１の露光強度に変更することが望ましい。これにより、ピット長が長いイングルーブピットを形成する場合においても、基板半径方向の幅の広がりを抑制することができる。また、第２の露光強度が第１の露光強度の７０％であることが望ましい。光情報記録媒体を再生するときのクロック周期をＴと表わしたときに、第１の露光強度で露光する期間をそれぞれ１Ｔ〜１．５Ｔに設定することが望ましい。さらに、上記原盤の露光の際に、上記４種の露光強度に加えて露光強度を０にすることを含むことが望ましい。上記現像において、ＲＩＥによるエッチングを行うことを含むことが望ましい。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によれば、記録層に色素記録材料を用いたイングルーブピットを有する光情報記録媒体において、イングルーブピット形状のピット長さに起因する形状を抑制し、ランドプリピットの信号を確実に検出できることにより、エラーレートが低減でき、かつイングルーブピット領域とグルーブ領域との間に境界領域を設けることにより、記録再生信号の特性を向上させ、トラッキングエラーを抑制することができるため、著作権保護情報などのメディア情報を安定して検出でき、媒体１枚毎にメディア情報を記録しなくてすむ為コストを低減できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明に従う実施例について説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【実施例１】
【００３０】
［基板作製の為の原盤及びスタンパの作製方法］
本発明における光情報記録媒体の基板１は、図４に示すように、基板１の内周側から順に、グルーブ領域７１、イングルーブピット領域７３及びグルーブ領域７５に区画されている。この基板１を作製するための原盤及びスタンパの作製方法について、図４〜１０を用いて説明する。図５（ａ）に示すように、直径２００ｍｍ、厚さ６ｍｍのガラス原盤５０を用意した。次いで、図５（ｂ）に示すように、ガラス原盤５０の一方の表面５０ａ上に、フォトレジスト５２を、スピンコート法を用いて厚さ２００ｎｍで均一に塗布した。次いで、フォトレジスト５２が形成されたガラス原盤５０を、不図示のカッティング装置に装着した。カッティング装置（原盤露光装置）は、主に、波長３５１ｎｍのレーザー光を発振するＫｒガスレーザ光源、音響光変調素子からなる光変調器、集光レンズ及びガラス原盤を回転させるための駆動装置等で構成されている。図５（ｃ）に示すように、上記カッティング装置のレーザー光源から出射されたレーザー光ＬＳは、光変調器及び集光レンズを介して、ガラス原盤５０上のフォトレジスト５２に照射される。このとき、ガラス原盤５０を、ガラス原盤５０の中心軸ＡＸの回りに所定の回転数で回転させた。また、ガラス原盤５０上のレーザー光ＬＳの照射位置が、ガラス原盤５０の半径方向に沿ってガラス原盤５０の内側から外側に向かって移動するように、レーザー光ＬＳを移動させた（矢印ＡＲ２）。
【００３１】
上記のように、レーザー光ＬＳを移動させながら、ガラス原盤５０に照射するレーザー光ＬＳの露光強度を、上記光変調器を用いて変化させる。ガラス原盤５０の中心軸ＡＸから半径１９ｍｍ〜２４ｍｍの領域は、図４に示す基板１のグルーブ領域７１に相当する（以下、第１グルーブ形成領域という）。また、半径２４ｍｍ〜２４．１ｍｍの領域は、基板１のイングルーブピット領域７３に相当する（以下、イングルーブピット形成領域という）。さらに、半径２４．１ｍｍ〜５８．９ｍｍの領域は、ユーザデータ領域であり、基板１のグルーブ領域７５に相当する（以下、第２グルーブ形成領域という）。本実施例では、第１及び第２グルーブ形成領域における露光強度は、低レベル（以下、グルーブレベルという）に設定した。また、イングルーブピット形成領域では、図６に示すように、レーザー光の露光強度を低レベル、中レベル及び高レベルの３段階に変化させた。イングルーブピット形成領域のイングルーブピットに対応する部分（以下、イングルーブピット形成部分という）を形成するときの露光強度は高レベル（以下、第１ピットレベルという）及び中レベル（以下、第２ピットレベルという）の２段階のレベルに設定し、それ以外のグルーブ部分の露光強度は、グルーブレベルに設定した。本実施例において、第１ピットレベルの信号出力を１００％とした場合、第２ピットレベルは７０％、グルーブレベルの信号出力は５０％となるように設定した。また、図４の半径１９ｍｍ〜５８．９ｍｍの全域において、グルーブ間のランドにランドプリピットが形成されており、半径２４ｍｍ〜２４．１ｍｍのイングルーブピット領域に形成されるランドプリピットに対応する部分は（以下、第１ランドプリプット形成部分という）とし、図６に示すように、レーザー光の強度レベルを低レベル（以下第１LPPレベルとする）とし、半径１９ｍｍ〜２４ｍｍ、半径２４．１ｍｍ〜５８．９ｍｍの上記第１および第２グルーブ形成領域のランドプリピットに対応する部分（以下、第２ランドプリピット形成部分という）を第２ランドプリピットレベル（以下第２LPPレベルとする）とし、レーザー光の強度レベルを高レベルの２段階のレベルを設定した。第２LPPレベルの信号出力を１００％とした場合、第１LPPレベルの信号出力を９０％とした。
【００３２】
図６に示すように、イングルーブピット形成部分の露光では、開始から１Ｔ〜１．５Ｔ（Ｔ：クロック周期）の間は第１ピットレベル（高レベル）で露光し、次いで、露光強度を第２ピットレベル（中レベル）に低下して露光した。さらに、イングルーブピット形成部分の終了までの１Ｔ〜１．５Ｔの間は、再び第１ピットレベルに露光強度を戻して露光した。これにより、イングルーブ形成部分の原盤半径方向の幅は、イングルーブピット形成部分の中間部付近で広がることはない。これは、第２ピットレベルで露光した間の積算露光量が低減し、その間の原盤半径方向への露光範囲の広がりが抑制されたためと考えられる。なお、基板のイングルーブピット領域におけるイングルーブピットは、トラック（グルーブ）の方向に３Ｔ〜１１Ｔ又は１４Ｔのいずれかのチャネルビット長で、所望のパターンに形成される。最短チャネルビット長である３Ｔで形成されたイングルーブピット形成部分では積算露光量の影響による幅の広がりが殆どないので上記のような２段階の露光強度切り替えは行わず、第１ピットレベルに固定して露光した。本実施例では、上述の露光強度の切り替えを行うことにより、最短チャネルビット長よりも長いチャネルビット長を有するイングルーブピット形成部分の幅を、最短チャネルビット長を有するイングルーブピット形成部分の幅と同等の大きさにすることができた。なお、クロック周期Ｔは、用いる再生装置に応じて適宜調整可能である。
【００３３】
さらに、本実施例では、図６に示したように、露光強度を第１ピットレベルからグルーブレベルに、または、グルーブレベルから第１ピットレベルに切り替える毎に、一時的にレーザー光の露光強度を０レベルにする期間を設けた。０レベルの期間は形成するピットのチャネルビット長に応じて変更した。最短チャネルビット長３Ｔのイングルーブピット形成部分の露光時には、０レベルの期間を０．２Ｔとした。これにより、原盤のイングルーブピット形成部分の加工精度が向上する。
【００３４】
次に、フォトレジストが感光されたガラス原盤をカッティング装置から取出し、現像処理を行った。これにより、図７（ａ）及び（ｂ）に示すような、イングルーブピット形成領域のグルーブ形成部４０、イングルーブピット形成部４４及び第１ランドプリピット形成部４２が、ガラス原盤５０上に形成された。グルーブ形成部４０及び第１ランドプリピット形成部４２は、断面がＶ字状の溝形状となるように形成される。このとき、グルーブ形成部４０の溝幅ｄｒｇに比べて第１ランドプリピット形成部４２の溝幅ｄｒｌ1は狭い。また、イングルーブピット形成部４４では、現像処理によってガラス原盤５０上のフォトレジスト５２は除去され、図７（ｂ）に示すように、ガラス原盤５０の表面５０ａが露出部４４ａとして現れる。
【００３５】
次に、図８（ａ）に示すように、ガラス原盤５０上に形成されているフォトレジスト５２の表面を、不図示のＲＩＥ（リアクティブイオンエッチング）装置を用いて、Ｃ２Ｆ６のガス雰囲気中でエッチングした。これにより、イングルーブピット形成部４４は、それぞれガラス原盤５０の表面５０ａから９０ｎｍの深さまでエッチングされる。このときガラスとフォトレジストのエッチング量は約２：１である。次いで、図８（ｂ）に示すように、グルーブ形成部４０及びランドピット形成部４２におけるガラス原盤５０の表面５０ａを露出させるために、不図示のＯ２によるレジストアッシング装置を用いて、フォトレジスト５２を所定厚さだけ削った。これにより、グルーブ形成部４０及びランドプリピット形成部４２のガラス原盤表面５０ａを露出させた。さらに、図８（ｃ）に示すように、ガラス原盤５０のフォトレジスト５２形成面に対して、再度Ｃ２Ｆ６のガス雰囲気中でＲＩＥを行った。これにより、グルーブ形成部４０は、ガラス原盤表面５０ａから１７０ｎｍの深さまでエッチングされた。また、ランドプリピット形成部４２は、底面がグルーブ形成部と同じである為、グルーブ底面を基準とすると、第１ランドプリピットの側壁高さｄｌｐは１７０ｎｍとなった。同時に、イングルーブピット形成部４４は、ガラス原盤表面５０ａから２６０ｎｍの深さまでエッチングされた。次いで、図８（ｄ）に示すように、再度レジストアッシング装置（不図示）を用いて、ガラス原盤５０上のフォトレジスト５２を除去した。これにより、表面に所望のパターンが形成されたガラス原盤５０を得た。
【００３６】
第１および第２グルーブ形成領域も同様に図９（ａ）（ｂ）に示すようなグルーブ形成部４０、第２ランドプリピット形成部４３がガラス原盤５１上に形成された。グルーブ形成部４０及び第２ランドプリピット形成部４３は断面がＶ字状の溝形状となるように形成される。このとき、第２ランドプリピットに隣接するランド部分は、第２ランドプリピットの露光強度とグルーブの露光強度の積算露光強度の影響を受け、多少現像され、ランド面より少し下がった状態に形成される。
【００３７】
次に図１０に示すように、図８と同様の処理が行われ、図１０（ａ）のように不図示のＲＩＥ装置を用い、Ｃ２Ｆ６のガス雰囲気中でエッチングした。このときガラス面は露出していない為、エッチングされない。次いで、図１０（ｂ）のように不図示のＯ２によるレジストアッシング装置を用いて、フォトレジスト５２を所定の厚さだけ削った。これにより、グルーブ形成部４０及びランドプリピット形成部４３のガラス原盤表面５１ａを露出させた。さらに、図１０（ｃ）に示すように、ガラス原盤５１のフォトレジスト５２形成面に対して、再度Ｃ２Ｆ６のガス雰囲気中でＲＩＥを行った。これにより、グルーブ形成部４０は、ガラス原盤表面５０ａから１７０ｎｍの深さまでエッチングされた。また、第２ランドプリピット形成部４３は、側壁のフォトレジストが他の部分より薄くなっているため、Ｃ２Ｆ６の処理の途中からエッチングされ始める。第２ランドプリピットの底面は、グルーブと同じとなる為、グルーブ底面を基準にすると第２ランドプリピットの側壁高さｄｌｇは９０ｎｍの高さに形成される。次いで、図１０（ｄ）に示すように、再度レジストアッシング装置（不図示）を用いて、ガラス原盤５１上のフォトレジスト５２を除去した。これにより、表面に所望のパターンが形成されたガラス原盤５１を得た。
【００３８】
このガラス原盤５０のパターン形成面に、メッキの前処理として無電解メッキを施した。さらに、このメッキ層を導電膜として用いることにより、厚さ０．３ｍｍのＮｉ層を、電鋳法によって形成した。次いで、ガラス原盤５０上に形成したＮｉ層の表面を研磨し、さらに、ガラス原盤から上記Ｎｉ層を剥離することにより、スタンパを得た。なお、上記メッキの前処理における導電膜形成を、スパッタ法や蒸着法を用いて行ってもよい。
［情報記録媒体の作製方法］
【００３９】
上記のスタンパを、既存の射出成形装置に装着し、射出成形により基板１を得た。基板１は、直径１２０ｍｍ、厚さ０．６ｍｍのポリカーボネート製基板であり、図１１に示すように、ガラス原盤に形成された凹凸パターン形状と同じ形状のパターンが基板１の一方の面上に転写されている。前述の通り、基板１には、グルーブ領域７１、イングルーブピット領域７３及びグルーブ領域（ユーザデータ領域）７５が形成されている。また、イングルーブピット領域７３には、図１２（ａ）に示すように、グルーブ８０、ランドプリピット８２及びイングルーブピット８４が形成されている。このうち、最短チャネルビット長３Ｔを有するイングルーブピットの基板半径方向の幅及びそれよりも長いチャネルビット長を有するイングルーブピットの基板半径方向の幅を、デジタルインスツルメンツ社製走査型プローブ顕微鏡を用いて測定した。最短チャネルビット長３Ｔを有するイングルーブピットの最大幅は０．３４μｍであった。また、チャネルビット長１１Ｔを有するイングルーブピットの最大幅は、０．３８μｍであった。さらに、チャネルビット長１４Ｔを有するイングルーブピットの最大幅は、０．４μｍであった。本発明者らによる実験から、最短チャネルビット長３Ｔを有するイングルーブピットの最大幅に対する最短チャネルビット長３Ｔよりも長いチャネルビット長を有するイングルーブピットの最大幅の割合は１１２〜１１８％の範囲内であり、最短チャネルビット長よりも長いイングルーブピットにおいて、基板半径方向の幅の広がりが抑制されていることが分かる。
【００４０】
この基板１のパタ−ン形成面上に、下記化学式（１）で表わされるアゾ系色素１重量％の濃度を有する溶液を、グルーブ間、即ち、ランド部で厚さ３０ｎｍとなるようにスピンコート法を用いて塗布した。このとき、上記溶液の塗布量を１ｇとし、塗布開始から３０秒間は回転数１００ｒｐｍで、その後３０秒間は回転数８００〜１０００ｒｐｍで基板を回転させた。なお、上記色素溶液を塗布する際に、テトラフルオロプロパノールを溶媒として用いることによりアゾ系色素溶媒とし、フィルタで濾過して不純物を取り除いた。次いで、上記色素材料を塗布した基板１を７０℃にて１時間乾燥させ、さらに、室温にて１時間冷却した。こうして、記録層２が基板１上に形成された（図１２（ｂ）参照）。
【００４１】
【化１】
2005174499.tif 000003
【００４２】
さらに、図１２（ｂ）に示すように、記録層２上に、反射層３としてＡｇ合金を厚さ１００ｎｍとなるように、スパッタ法を用いて形成した。次いで、反射層３上に、ＵＶ樹脂材料を、厚さ１０μｍとなるようにスピンコート法により塗布し、さらに、その上に、厚さ０．６ｍｍのポリカーボネート製基板（ダミー基板）を載置した。この状態で、各層が形成された基板にＵＶ照射を施すことにより、各層が形成された基板とダミー基板とを貼り合わせて光情報記録媒体を得た。
【００４３】
こうして得られた光情報記録媒体について、イングルーブピット領域７３のイングルーブピット、グルーブ及びランドプリピットの最大深さを、デジタルインスツルメンツ社製走査型プローブ顕微鏡を用いて測定した。それらの深さは、図１２（ｂ）に示すように、基板のランド８１の表面からの深さとした。グルーブの最大深さｄｇは１７０ｎｍ、イングルーブピットの最大深さｄｐは、２６０ｎｍであった。また、ランドプリピットの最大深さｄｌｐは、グルーブの最大深さｄｇと同じ１７０ｎｍであった。また、イングルーブピット領域７３のイングルーブピット、グルーブ及び第１ランドプリピットの記録層窪み深さを、デジタルインスツルメンツ社製走査型プローブ顕微鏡を用いて測定した。ここで、記録層窪み深さとは、ランド８１上に形成された記録層２の表面２ａを基準としたときの記録層２の最大窪み量をいう。グルーブの記録層窪み深さＴｇは１００ｎｍであり、イングルーブピットの記録層窪み深さＴｐは１７０ｎｍであった。また、ランドプリピットにおける記録層窪み深さＴｌｐは、９０ｎｍであった。
【００４４】
また、グルーブ形成部にグルーブ及びランドプリピットの深さをデジタルインスツルメンツ社製の走査型プローブ顕微鏡を用いて測定した。第２ランドプリピットの側壁の高さに関しては、ランド面が形成されないため、図１３（ｂ）に関しては、グルーブ底面を基準面として、第１ランドプリピットの側壁高さｄｌｇは、９０ｎｍであった。またグルーブ深さ（高さ）ｄｇは１７０ｎｍであった。またグルーブ形成領域のグルーブ及び第２ランドプリピットの記録層の窪み深さを、デジタルインスツルメンツ社製走査型プローブ顕微鏡を用いて測定した。記録層の窪み深さは、上記と同様とし、グルーブの記録層窪みＴｇは上記同様１００ｎｍであり、第２ランドプリピットの記録層窪みＴｌｇは１１０ｎｍであった。
【００４５】
上記実施例で得た光情報記録媒体を、波長６５０ｎｍのレーザ光及び開口数０．６のレンズを有する光ピックアップを用いて、イングルーブピット領域の記録信号の再生を行った。信号の検出及び再生は安定して行うことができ、また、このときの再生信号の信号変調度は６１％、ジッターは７．２％であり、いずれも良好な結果を得ることができた。また、図２（ａ）に示すように、ランドプリピットの記録信号も安定して検出が可能となった。これにより、アパーチャーレシオも要求値を満たし、エラーレートも規格にある５％を十分に満足することができた。
【００４６】
また、記録・再生を行うグルーブ形成領域においても再生エラーが良好となり、全面において規格を満足することができた。
【００４７】
上記実施例の光情報記録媒体では、基板としてポリカーボネートを用いたが、ポリメチルメタクリレートやアモルファスポリオレフィン等を用いてもよい。
【実施例２】
【００４８】
本発明における光情報記録媒体の基板には、図１３に示すように、基板１の内周側から順に、グルーブ領域７１、境界グルーブ領域７６、境界ピット領域７２、イングルーブピット領域７３、境界ピット領域７４、境界グルーブ領域７７及びグルーブ領域７５が形成されている。
【００４９】
本発明の実施例を、図１４及び１５を用いて説明する。この実施例では、光情報記録媒体に用いる基板のグルーブ領域とイングルーブピット領域７３の間に、境界ピット領域及びグルーブ領域におけるグルーブより幅の広いグルーブ（以下、境界グルーブという）を１トラック分形成した以外は、実施例１と同様に構成した。以下に、上記基板の作製に用いた原盤、スタンパ及び光情報記録媒体の作製方法について説明する。
【００５０】
本実施例では、実施例１と同様にして、レーザ光をガラス原盤上で移動させながら、ガラス原盤に照射するレーザ光の露光強度を、上記光変調器を用いて変化させる。本実施例では、図１４に示すように、レーザ光の露光強度を、低い方から順にレベル１、レベル２、レベル３、レベル４の４段階に変化させた。本実施例における各レベルの比は、レベル４を１００％とした場合、レベル３は９０％、レベル２は６０％、レベル１は５５％となるように設定した。図１４に示すように、第１及び第２グルーブ形成領域における露光強度は、レベル１に設定した。また、イングルーブピット形成領域における、イングルーブピット形成部分の露光強度はレベル４に、それ以外のグルーブ部分の露光強度は、レベル１に設定した。境界グルーブ形成領域のグルーブ形成部分の露光強度はレベル２に設定した。境界ピット形成領域におけるイングルーブピット形成部分の露光強度はレベル３に、それ以外のグルーブ部分の露光強度はレベル１に設定した。本実施例の光情報記録媒体では、境界グルーブ、境界ピットを設けることにより、境界グルーブ領域から境界ピット領域にかけてのグルーブ幅の変化は緩やかとなるので、ラジアルプッシュプル信号のオフセットや乱れが生じにくくなる。これにより、境界ピットに形成されたイングルーブピットでも十分な変調度を得ることができる。したがって、境界ピットに形成されるイングルーブピットのパターンはダミー等のランダムパターンに限らず、ユーザ情報の記録信号パターンでもよい。これにより、原盤の境界ピット形成領域におけるイングルーブピット形成部分のパターンも、上記イングルーブピットに対応したパターンが形成される。
【００５１】
次に、フォトレジストが感光されたガラス原盤を、実施例１と同様にして現像処理を行い、残ったフォトレジストのパターンに従って、ガラス原盤をＲＩＥ装置等を用いてエッチングした。これにより、表面に所望の凹凸パターンを形成したガラス原盤を得た。なお、本実施例において、グルーブ形成部及び境界グルーブ形成部は、ガラス原盤表面から１７０ｎｍの深さまで、イングルーブピット形成部及び境界ピット形成部は、ガラス原盤表面から２６０ｎｍの深さまでエッチングした。また、境界グルーブ形成部はグルーブ形成部に比べて広く形成した。
【００５２】
また、本実施例では、実施例１と同様にして、露光中に露光強度を変化させる場合、露光強度を切り替える毎に一時的にレーザ光の露光強度を０レベルにする期間を設けた。さらに、本実施例では、イングルーブピット形成領域において、所定のピット長を有する各イングルーブピット形成部分の露光強度を以下のように制御しながら、原盤露光を行った。図１４に示すように、露光開始から１Ｔ〜１．５Ｔ（Ｔ：クロック周期）の間はレベル４で露光し、次いで、所定の間露光強度をレベル４に対し７０％のレベルに低下させて露光した。さらに、イングルーブピット形成部分の終了までの１Ｔ〜１．５Ｔの間、再びレベル４に露光強度を戻して露光した。これにより、各イングルーブピット形成部分の原盤半径方向の幅は、イングルーブピット形成部分のトラック方向における中間部付近で広がることが阻止される。なお、境界ピット形成領域におけるイングルーブピット形成部分の露光強度についても、同様に露光強度の制御を行ってもよい。
【００５３】
こうして得られた原盤を用いて、実施例１と同様にして射出成形法を用いて基板を作製した。次いで、図１５（ｂ）に示すように、実施例１と同様にして、記録層２、及び反射層３を形成した。得られた基板にダミー基板を光硬化性樹脂を介して貼付けすることにより、光情報記録媒体を得た。
【００５４】
こうして得られた光情報記録媒体について、イングルーブピット領域７３のイングルーブピット部分、境界ピット領域７４の境界ピット部分、境界グルーブ領域７６のグルーブ部分、グルーブ領域７５のグルーブ部分の最大深さを、ディジタルインスツルメンツ社製ＡＦＭを用いて測定した。図１５（ｂ）に示すように、グルーブ部分の最大深さｄｇは、１７０ｎｍであった。境界グルーブ部分の最大深さｄｇｂは、１７０ｎｍであった。境界ピット部分の最大深さｄｐｂは、２６０ｎｍであった。イングルーブピット部分の最大深さｄｐは、２６０ｎｍであった。なお、グルーブ部分の最大深さｄｇ及びイングルーブピット部分の最大深さｄｐは、良好な信号変調度やジッター等の記録再生信号特性を得るために、１．４≦ｄｐ／ｄｇ≦１．７の条件を満たすことが望ましい。
【００５５】
また、ランド８０の表面を基準として、イングルーブピット領域７３のイングルーブピット部分の半値幅Ｗｐ、境界ピット領域７４の境界ピット部分の半値幅Ｗｐｂ、境界グルーブ領域７６のグルーブ部分における半値幅Ｗｇｂ、グルーブ領域７５のグルーブ部分における半値幅Ｗｇを、それぞれディジタルインスツルメンツ社製ＡＦＭを用いて測定した。半値幅Ｗｇは３２０ｎｍ、半値幅Ｗｇｂは３３０ｎｍ、半値幅Ｗｐｂは３６０ｎｍ、半値幅Ｗｐは４００ｎｍであった。これより、Ｗｇ≦Ｗｇｂ≦Ｗｐｂ≦Ｗｐの関係が成り立つことが分かる。また、半値幅Ｗｐと半値幅Ｗｐｂとの比Ｗｐ／Ｗｐｂ＝１．１１であり、１．０５≦Ｗｐ／Ｗｐｂ≦１．１５の条件を満たすことが分かる。さらに、半値幅Ｗｇｂと半値幅Ｗｇとの比Ｗｇｂ／Ｗｇ＝１．０３であり、１．０３≦Ｗｇｂ／Ｗｇ≦１．１５の条件を満たすことが分かる。
【００５６】
また、本実施例で得られた光情報記録媒体においては、図１５（ａ）に示すように、前述のような露光スケジュールで露光した結果、イングルーブピット領域７３のイングルーブピット７３ａのトラック方向中間部付近で基板半径方向の幅の広がりが抑制されている。これにより、イングルーブピットに隣接するランド部分７７においても十分な面積のランド面を確保することができる。よって、この光情報記録媒体から安定したラジアルプッシュプル信号を得ることができる。
【００５７】
さらに、イングルーブピット７３ａの幅の広がり抑制効果を調整するために、イングルーブピット領域７３において、最短チャネルビット長３Ｔを有するイングルーブピットの基板半径方向の幅及びそれよりも長いチャネルビット長を有するイングルーブピットの基板半径方向の幅を、それぞれディジタルインスツルメンツ社製走査型プローブ顕微鏡を用いて測定した。最短チャネルビット長３Ｔを有するイングルーブピットの最大幅は０．３４μｍであった。また、チャネルビット長１１Ｔを有するイングルーブピットの最大幅は、０．３８μｍであった。さらに、チャネルビット長１４Ｔを有するイングルーブピットの最大幅は、０．４μｍであった。本発明者らによる実験から、最短チャネルビット長３Ｔを有するイングルーブピットの最大幅に対する最短チャネルビット長３Ｔよりも長いチャネルビット長を有するイングルーブピットの最大幅の割合は１１２〜１１８％の範囲内であり、最短チャネルビット長よりも長いイングルーブピットにおいて、基板半径方向の幅の広がりが抑制されていることが分かる。
【００５８】
さらに、実施例１と同様にして、得られた光情報記録媒体のイングルーブピット領域７３のイングルーブピット部分、境界ピット領域７４の境界ピット部分、境界グルーブ領域７６及びグルーブ領域７５のグルーブ部分の記録層窪み深さを、ディジタルインスツルメンツ社製ＡＦＭを用いて測定した。図１２（ｂ）に示すように、イングルーブピット領域７３における記録層窪み深さＴｐは、１７０ｎｍであった。境界ピット領域７４における記録層窪み深さＴｐｂは、１３５ｎｍであった。境界グルーブ領域７６の記録層窪み深さＴｇｂは、１１０ｎｍであった。また、グルーブ領域７５の記録層窪み深さＴｇは、１００ｎｍであった。なお、記録層窪み深さＴｐ及び記録層窪み深さＴｇは、実施例１と同様、良好な信号変調度やジッタ−等の記録再生信号特性を得るために、１．６≦Ｔｐ／Ｔｇ≦２．０の条件を満たすことが望ましい。
【００５９】
また、境界ピット領域７４の記録層窪み深さＴｐｂと、イングルーブピット領域７３の記録層窪み深さＴｐと、境界グルーブ領域７６の記録層窪み深さＴｇｂと、グルーブ領域７５の記録層窪み深さＴｇとの関係は、上記各領域のグルーブ半値幅の関係から、Ｔｇ≦Ｔｇｂ≦Ｔｐｂ≦Ｔｐとなる。
【００６０】
上記実施例で得た光情報記録媒体を、波長６５０ｎｍのレーザ光及び開口数０．６のレンズを有する光ピックアップを用いて、イングルーブピット領域の記録信号の再生を行った。信号の検出及び再生は安定して行うことができ、また、このときの再生信号の信号変調度は６１％、ジッターは７．２％であり、いずれも良好な結果を得ることができた。
（比較例１）
【００６１】
次に、上記実施例で作製した光情報記録媒体のラジアルプッシュプル信号出力と、従来のイングルーブピットを有する情報記録媒体のラジアルプッシュプル信号出力との比較結果を示す。図１６（ａ）は、上記実施例で作製した光情報記録媒体の検出結果を示し、上段に、シーク時における光ピックアップの２分割ディテクタからの和信号ｓａの出力を、下段に、差信号（ラジアルプッシュプル信号）ｐｐａの出力を示している。図１６（ｂ）は、従来のイングルーブピットを有する光情報記録媒体の検出結果を示し、上段に、シーク時における和信号ｓｂの出力を、下段に、差信号（ラジアルプッシュプル信号）ｐｐｂの出力を、それぞれ示している。図１６（ａ）、図１６（ｂ）共に、和信号ｓａ、ｓｂの振幅レベルが大きく変化したところ（図１６（ａ）中、符号１６ａ及び図１６（ｂ）中、符号１６ｂでそれぞれ表わされたところ）が、イングルーブピット領域とグルーブ領域との境界部となる。図１６（ａ）の符号１６ａに対応する位置、即ち、上記実施例の光情報記録媒体における、イングルーブピット領域とグルーブ領域との境界部では、下段に示す差信号（ラジアルプッシュプル信号）ｐｐａの乱れは殆ど見られない。一方、図１６（ｂ）の符号１６ｂに対応する位置、即ち、従来のイングルーブピットを有する光情報記録媒体における、イングルーブピット領域とグルーブ領域との境界部では、下段に示す差信号（ラジアルプッシュプル信号）ｐｐｂの乱れが大きいことが確認できた。上述の通りＤＶＤ−Ｒ及びＤＶＤ−ＲＷではこのラジアルプッシュプル信号を利用してトラッキングを行っており、イングルーブピット領域とグルーブ領域との境界部において、ラジアルプッシュプル信号の振幅のバランスが崩れる、即ち、振幅の中心がずれることにより、トラッキングエラーが生じ易くなる。
【００６２】
また、上記実施例で作製した光情報記録媒体では、グルーブ部におけるラジアルプッシュプル信号とイングルーブピット部におけるラジアルプッシュプル信号との間の変動量は、正常な状態におけるラジアルプッシュプル信号の振幅を１００％とした場合、３６％となる。ＤＶＤ−Ｒ規格では特に規定されていないが、ＤＶＤ−ＲＷ規格においては、グルーブ部におけるラジアルプッシュプル信号とプリピット部におけるラジアルプッシュプル信号の変動量は２０％以上と規定されている。したがって、上記実施例の光情報記録媒体は、十分この規格を満たしており、トラッキング外れ（トラッキングエラー）を起すことはない。これに対し、従来のイングルーブピットを有する光情報記録媒体では、上記変動量が１８〜２０％程度となる。したがって、従来のイングルーブピットを有する光情報記録媒体は、ＤＶＤ−ＲＷの規格の下限値又はそれを下回ることになり、トラッキング外れ（トラッキングエラー）が生じやすい。
【００６３】
上記実施例の光情報記録媒体では、基板としてポリカーボネートを用いたが、ポリメチルメタクリレートやアモルファスポリオレフィン等を用いてもよい。また、上記実施例の光情報記録媒体では、基板上に記録層、反射層の順に、各層を形成したが、まず、基板上のパターン形成面に反射層を形成し、次いでその反射層上に記録層を形成することにより、各層を形成しても構わない。このような層構成で光情報記録媒体を作製した場合においても、上記実施例と同様な効果を得ることができる。
【００６４】
また本実施例では、イングルーブピット形成領域とグルーブ領域の間に、境界ピット領域と境界グルーブ領域を設けたが、境界ピットのみもしくは境界グルーブのみの、どちらか一方の構成としても構わない。このような境界条件として媒体を作製した場合においても、上記実施例と同様の効果を得ることができる。
【実施例３】
【００６５】
[ディスクの形態]
実施例１、２を用いた具体的な情報記録媒体の構造を実施例３で説明する。図１７にＤＶＤ−Ｒに配置されているセクター構造を示す。内周からＬｅａｄ−ｉｎ、Ｄａｔａ  ａｒｅａ、Ｌｅａｄ−ｏｕｔの構造となってあり、Ｄａｔａ  ａｒｅａはＰｈｙｓｉｃａｌ  ｓｅｃｔｏｒ  ｎｕｍｂｅｒ：０３００００ｈからスタートする。記録再生領域には、トラックピッチに対して、１．３％〜２．７％程度の距離で約１４０ｋＨｚの周波数で半径方向にウォブルされており、本発明では、０．２％のウォブル量とした。トラックピッチ：０．７４μｍの場合、約０.０１５μｍのウォブル量となる。また、記録再生領域には、ランド領域にアドレス等の情報を持ったランドプリピットＬＰＰが配置されている。
【００６６】
Ｌｅａｄ−ｉｎ  ａｒｅａは、図１８に示すように、記録再生領域の内周から、Ｉｎｉｔｉａｌ  ｚｏｎｅ、Ｂｕｆｆｅｒ  ｚｏｎｅ０、Ｒ−Ｐｈｙｓｉｃａｌ  ｆｏｒｍａｔ  ｉｎｆｏｍａｔｉｏｎ  ｚｏｎｅ、Ｂｕｆｆｅｒ  ｚｏｎｅ１、Ｃｏｎｔｒｏｌ  ｄａｔａ  ｚｏｎｅ、Ｅｘｔｒａ  Ｂｏｒｄｅｒ  Ｚｏｎｅ、からなり、再生専用領域であるＣｏｎｔｒｏｌ  ｄａｔａ  ｚｏｎｅ（イングルーブピット領域）は、ランド部からの深さが記録再生波長λに対し、約λ／２．４ｎ（ｎ：基板の屈折率）のグルーブ（λ＝６５０ｎｍの場合、１７０ｎｍ）と約λ／１．６ｎのピット（λ＝６５０ｎｍの場合、２６０ｎｍ）が設けられ、著作権保護に関する情報、記録ストラテジー情報、ディスクタイプおよびバージョンなどのリードイン情報を持っている。Ｃｏｎｔｒｏｌ  ｄａｔａ  ｚｏｎｅを除く、記録再生領域のグルーブ形状は、約λ／２．４ｎの１７０ｎｍの深さを有している。
【００６７】
本発明の光情報記録媒体において、再生動作を行う場合、Ｃｏｎｔｒｏｌ  ｄａｔａ  ｚｏｎｅへシーク動作が行われるが、実施例２に示すように、Ｃｏｎｔｒｏｌ  ｄａｔａ  ｚｏｎｅ(イングルーブピット領域)に隣接する内外周部の１トラックもしくは数トラックに対してそれぞれ境界ピットおよび境界グルーブなどの境界領域を設けることにより、ラジアルプッシュプル信号の乱れが抑制さえられ、トラッキングの失敗なくＣｏｎｔｒｏｌ  ｄａｔａ  ｚｏｎｅの情報を再生することができる。また実施例１に示すように、Ｃｏｎｔｒｏｌ  ｄａｔａ  ｚｏｎｅでの第１ピットと第１ピットよりも長く形成された第２ピットの幅が１＜Ｗ２／Ｗ１＜１．２の関係にあり、またグルーブ底面からのランドプリピット側壁の高さをｄｌｐとし、グルーブ底面からのランド高さはランド面からの深さと同じである為ｄｇとし、０.４≦ｄｌｐ／ｄｇ＜１の関係にある場合、ＬＰＰの検出が良好となり、再生エラーも良好な状態となる。
【００６８】
上記実施例で得た光情報記録媒体を、波長６５０ｎｍのレーザ光及び開口数０．６のレンズを有する光ピックアップを用いて、Ｃｏｎｔｒｏｌ  ｄａｔａ  ｚｏｎｅ（イングルーブピット領域）の記録信号の再生を行った。信号の検出及び再生は安定して行うことができ、また、このときの再生信号の信号変調度は６１％、ジッターは７．２％であり、いずれも良好な結果を得ることができる。
【００６９】
その為、記録時に必要な記録ストラテジーの検出が確実に行え、各々のドライブにおける条件設定を忠実に行え、エラーの少ない記録を可能とすることができる。
【００７０】
また、本発明の光情報記録媒体での記録動作において、Ｃｏｎｔｒｏｌ  ｄａｔａ  ｚｏｎｅ、Ｅｘｔｒａ  Ｂｏｒｄｅｒ  Ｚｏｎｅ、を経て、Ｄａｔａ  ａｒｅａに進む場合においても、アドレス情報をもったＬＰＰの検出が良好である為、Ｄａｔａ  ａｒｅａのＰｈｙｓｉｃａｌ  ｓｅｃｔｏｒ  ｎｕｍｂｅｒ：０３００００ｈから良好に記録を開始することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】（ａ）は、従来のイングルーブピットを有する光情報記録媒体の一部分を示した概略上面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。
【図２】ランドプリピットの再生信号を示した図であり、（ａ）は、実施例１で作成した情報記録媒体の信号を示した図であり、（ｂ）は、従来のイングルーブピットを有する情報記録媒体の信号を示した図である。
【図３】（ａ）はｄｌｇ/ｄｇ比と再生エラー数の関係を示すグラフであり、（ｂ）はｄｌｐ/ｄｇ比と再生エラー数の関係を示すグラフである。
【図４】実施例１において得られた基板の概略図である。
【図５】実施例１におけるガラス原盤の作製方法を説明した図である。
【図６】実施例１におけるガラス原盤に照射するレーザ光の露光強度の時間変化を示した図である。
【図７】実施例１におけるイングルーブピット形成領域の模式図であり、（ａ）は、フォトレジスト露光・現像直後のガラス原盤の一部分を示した概略上面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＡ’−Ａ’線断面図である。
【図８】実施例１におけるイングルーブピット形成領域のガラス原盤の作製方法を説明した図である。
【図９】実施例１におけるイングルーブピットを形成していない領域の模式図であり、（ａ）は、フォトレジスト露光・現像直後のガラス原盤の一部分を示した概略上面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＡ’−Ａ’線断面図である。
【図１０】実施例１におけるイングルーブピットを形成していない領域のガラス原盤の作製方法を説明した図である。
【図１１】実施例１において得られた基板のパターン形成面の概略斜視図である。
【図１２】（ａ）は、実施例１における基板のイングルーブピット付近の概略上面図を示し、（ｂ）は（ａ）のＣ−Ｃ線断面に加えて基板上に記録層及び反射層を形成した状態の概略断面図である。
【図１３】実施例２において得られた基板の概略図である。
【図１４】実施例２におけるガラス原盤に照射するレーザ光の露光強度の時間変化を示した図である。
【図１５】（ａ）は、実施例２における光情報記録媒体の、境界ピット領域付近の概略上面図を示し、（ｂ）は（ａ）のＤ−Ｄ線断面を示した図である。
【図１６】イングルーブピット領域とグルーブ領域との境界部付近の和信号及び差信号（ラジアルプッシュプル信号）を示した図であり、（ａ）は、実施例１で作成した情報記録媒体の、それらの各信号を示した図であり、（ｂ）は、従来のイングルーブピットを有する情報記録媒体の、それらの各信号を示した図である。
【図１７】実施例３における光情報記録媒体のＰｈｙｓｉｃａｌ  ｓｅｃｔｏｒの配置を示した図である。
【図１８】実施例３におけるＬｅａｄ−ｉｎの構造を示した図である。
【符号の説明】
【００７２】
１    基板
２    記録層
３    反射層
４０    グルーブ形成部
４２    ランドプリピット形成部
４４    イングルーブピット形成部
５０    ガラス原盤
５２    フォトレジスト
７１，７５    グルーブ領域
７３    イングルーブ領域
１０１    基板
１０１ａ    ランド面
１０２    記録層
１０３    反射層
１０５    グルーブ
１０７    イングルーブピット
ＡＸ    中心軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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