(57)【要約】【課題】  単量体の合成を簡易に行うことができるとともに、液漏れを回避できる、深紫外域で透明な接着剤を提供する。【解決手段】  下記一般式で表わされる物質からなり、深紫外線が透過する深紫外線透過接着剤。                        Ｈｐ                        ｜（ＣＨ＝ＣＨ−Ｏ−）ｎ−Ｒｍ−Ｆｑ    Ｒ＝  炭素、又は酸素原子を有する炭素    ｎ＝  整数    ｍ＝  整数    ｐ＝  整数（０を含む）    ｑ＝  整数【選択図】  図１
2005314553.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記一般式で表わされる物質からなり、深紫外線が透過する深紫外線透過接着剤。
Ｈｐ
｜
（ＣＨ＝ＣＨ−Ｏ−）ｎ−Ｒｍ−Ｆｑ
Ｒ＝  炭素、又は酸素原子を有する炭素
ｎ＝  整数
ｍ＝  整数
ｐ＝  整数（０を含む）
ｑ＝  整数
【請求項２】
透明なポリマー素材である、請求項１に記載の深紫外線透過接着剤。
【請求項３】
ジメチルシリコンオリゴマー（油）またはフッ素系オリゴマー（油）に可視光反応型触媒を入れて合成することによって作られている、請求項１又は２に記載の深紫外線透過接着剤。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、２００ｎｍ近傍、とくに１８０ｎｍから２２０ｎｍの深紫外域で用いることができる接着剤に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、紫外域、特に深紫外域で用いられる半導体検査装置その他の精密機械検査装置等では、レンズ部材の貼り合わせに通常の接着剤が使えないことから、フッ素系オイル等の充填材が用いられている（特許文献１、２参照）。
【０００３】
また、特許文献３、４には、ＣＸ２＝ＣＹ２〔ここで、Ｘが−Ｆまたは−ＣＦ３でありそしてＹはＨである〕と０から２５モル％の１種以上の単量体ＣＲａＲｂ＝ＣＲｃＲｄ{ここで、Ｒａ、ＲｂおよびＲｃ、は、各々独立して、ＨまたはＦから選択され、そしてＲｄは、−Ｆ、−ＣＦ３、−ＯＲｆ〔ここで、ＲｆはＣｎＦ２ｎ＋１ｌ（ここで、ｎ＝１から３）である〕、−ＯＨ（Ｒｃ＝Ｈの時）およびＣｌ（Ｒａ、ＲｂおよびＲｃ＝Ｆの時）から成る群から選ばれる}から作られていてこの場合には前記ＣＲaＲb＝ＣＲcＲdがほぼランダム（ｒａｎｄｏｍ）な様式で共重合体の中に入り込んでいるか或はそれと４０から６０モル％の１種以上の単量体ＣＲaＲb＝ＣＲcＲdから作られていてこの場合には前記ＣＲaＲb＝ＣＲcＲdがほぼ交互（ａｌｔｅｒｎａｔｉｎｇ）様式で共重合体の中に入り込んでいる非晶質ビニル共重合体が開示されている。
【特許文献１】特開２００３−１３７６１４号公報
【特許文献２】特開２００３−１８５８０８号公報
【特許文献３】特表２００３−５１４９５５号公報（ＷＯ０１／３７０４３Ａ１）
【特許文献４】特表２００３−５１４９５６号公報（ＷＯ０１／３７０４４Ａ１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１、２に開示されたフッ素系オイルでは、液漏れを生じる可能性がある。その場合、作業性が著しく低くなってしまう。
【０００５】
また、特許文献３、４に開示された接着剤（すなわち、１８７−２６０ｎｍの波長のところに示す吸収光度／ミクロン（Ａ／ミクロメートル）が、≦１である紫外透過性材料（ｕｌｔｒａｖｉｉｏｌｅｔ  ｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔ）を提供する接着剤）では、Ｃｙｔｏｐ（登録商標）およびＴｅｆｌｏｎ（登録商標）の単量体の合成が困難である。それとともに、これらの単量体の合成も困難である。そのため、結果的に高価になってしまう。
【０００６】
そこで、本発明は、単量体の合成を簡易に行うことができるとともに、液漏れを回避できる、深紫外域で使用可能な接着剤を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の解決手段を例示すると、下記一般式で表わされる物質からなり、深紫外線が透過する深紫外線透過接着剤である。
【０００８】
Ｈｐ
｜
（ＣＨ＝ＣＨ−Ｏ−）ｎ−Ｒｍ−Ｆｑ
Ｒ＝  炭素、又は酸素原子を有する炭素
ｎ＝  整数
ｍ＝  整数
ｐ＝  整数（０を含む）
ｑ＝  整数
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明に係る深紫外域で用いることができる接着剤は、下記化学式で表わされる。
【００１０】
すなわち、
Ｈｐ
｜
（ＣＨ＝ＣＨ−Ｏ−）ｎ−Ｒｍ−Ｆｑ
ここで、
Ｒ＝  炭素、又は酸素原子を有する炭素
ｎ＝  整数
ｍ＝  整数
ｐ＝  整数（０を含む）
ｑ＝  整数
である。
【００１１】
接着剤の液体を固体化させるため、触媒（硬化剤）を用いるのが好ましい。
【００１２】
この触媒は、深ＵＶ波長域で光を吸収するものとする。
【００１３】
また、本発明の接着剤の好ましい具体例を下記に示す。なお、本発明は、ここに記載した化合物だけに限定されるものではない。
【００１４】
ＣＨ２＝ＣＨ−ＣＨ２−Ｏ−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ＝ＣＨ２
ＣＨ２＝ＣＨ−ＣＨ２−Ｏ−ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ＝ＣＨ２
ＣＨ２＝ＣＨ−ＣＨ２−Ｏ−ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ＝ＣＨ２
ＣＨ２＝ＣＨ−ＣＨ２−Ｏ−（ＣＦ２）６−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ＝ＣＨ２
ＣＨ２＝ＣＨ−ＣＨ２−Ｏ−（ＣＦ２）８−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ＝ＣＨ２
ＣＨ２＝ＣＨ−ＣＨ２−Ｏ−（ＣＦ２）１０−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ＝ＣＨ２
ＣＨ２＝ＣＨ−ＣＨ２−Ｏ−（ＣＦ２）１２−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ＝ＣＨ２
…
帰納的に下記の一般式に表わされる。すなわち、
ＣＨ２＝ＣＨ−ＣＨ２−Ｏ−（ＣＦ２）２ｎ−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ＝ＣＨ２  （ｎは自然数）
ＣＨ２＝ＣＨ−ＣＨ２−ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ＝ＣＨ２
ＣＨ２＝ＣＨ−ＣＨ２−（−ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２−）２−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ＝ＣＨ２
ＣＨ２＝ＣＨ−ＣＨ２−（−ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２−）３−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ＝ＣＨ２
ＣＨ２＝ＣＨ−ＣＨ２−（−ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２−）４−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ＝ＣＨ２
ＣＨ２＝ＣＨ−ＣＨ２−（−ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２−）６−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ＝ＣＨ２
…  
帰納的に下記の一般式に表わされる。すなわち、
ＣＨ２＝ＣＨ−ＣＨ２−（−ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２−）ｎ−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ＝ＣＨ２
ＣＨ２＝ＣＨ−ＣＨ２−ＯＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ＝ＣＨ２
…
帰納的に下記の一般式に表わされる。すなわち、
ＣＨ２＝ＣＨ−ＣＨ２−（−ＯＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２−）ｎ−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ＝ＣＨ２
ＣＨ２＝ＣＨ−ＣＨ２−ＯＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ＝ＣＨ２
…
ＣＨ２＝ＣＨ−ＣＨ２−（−ＯＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２−）ｎ−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ＝ＣＨ２
また、下記の一般式で表わされる化学物質を含む接着剤であってもよい。すなわち、
ＣＨ２＝ＣＨ−ＣＨ２−Ｏ−ＣＨ２−ＣＦ２−（−ＯＣ２Ｆ４−）ｐ−Ｏ−（−ＣＦ２−）ｑ−ＯＣＦ２−ＣＨ２−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ＝ＣＨ２
Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ＝ＣＨ２
｜
ＣＨ２＝ＣＨ−ＣＨ２−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ−ＣＨ２Ｏ−ＣＨ２−ＣＦ２−
（−ＯＣ２Ｆ４−）ｐ−（−ＯＣＦ２−）ｑ−ＯＣＦ２−ＣＨ２−Ｏ−ＣＨ２
−ＣＨ−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ＝ＣＨ２
｜
ＣＨ２−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ＝ＣＨ２
Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ＝ＣＨ２
｜
ＣＨ２＝ＣＨ−ＣＨ２−Ｏ−ＣＨ２−Ｃ−ＣＨ２−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ＝ＣＨ２
｜
Ｆ
【実施例】
【００１５】
以下、４種類の接着剤について、光学特性、特に反射率の特性データを示す。
【００１６】
サンプル１
Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ＝ＣＨ２
｜
ＣＨ２＝ＣＨ−ＣＨ２−Ｏ−ＣＨ２−Ｃ−ＣＨ２−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ＝ＣＨ２
｜
Ｆ
図１は、サンプル１の接着剤を石英ガラス基板に塗布して硬化させた光学部材と、石英ガラス基板のみの光学部材に、それぞれ紫外線を照射し、透過率の変化を示すものである。
【００１７】
図１に示された光学特性、特に反射率の特性データからも明らかなように、サンプル１の接着剤を使用した場合、２００ｎｍ近傍、とくに１８０〜２２０ｎｍの深紫外線に対して、４０％以上（特に好ましくは６０％以上）の透過率を示す。約２１０ｎｍ以上の深紫外線に対しては、サンプル１の接着剤を石英ガラス基板に使用した光学部材と、石英ガラス基板のみの光学部材との間で、透過率に実質的な差が認められない。
【００１８】
変形例１
ＣＨ２＝ＣＨＣＨ２０ＣＦ２（ＣＦ２）６ＣＦ２０ＣＨ２ＣＨ＝ＣＨ２
変形例２
ＣＨ２＝ＣＨＣＨ２０（ＣＦ２）６０ＣＨ２ＣＨ＝ＣＨ２
変形例３
ＣＨ２＝ＣＨＣＨ２０ＣＦ２（ＣＦ２）４ＣＦ２０ＣＨ２ＣＨ＝ＣＨ２
図２、３、４は、それぞれ変形例１、２、３の各々の接着剤を塗布した光学部材に各図２、３、４に示す時間紫外線を照射し、透過率を測定したものである。
【００１９】
図２、３、４をみると、２００ｎｍ近傍以上の深紫外線に対して、所望の透過率を示し、しかも、深紫外線の照射時間が長くなれば長くなるほど、透過率が安定することがわかる。
【００２０】
本発明による接着剤は、好ましくは、透明なポリマー素材である。そのような透明なポリマー素材は、ジメチルシリコンオリゴマー（油）またはフッ素系オリゴマー（油）に可視光反応型触媒を入れて合成すれば、容易に作ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】紫外線照射による透過率の変化を示すグラフ。
【図２】変形例１についての透過率と波長との関係を示すグラフ。
【図３】変形例２についての透過率と波長との関係を示すグラフ。
【図４】変形例３についての透過率と波長との関係を示すグラフ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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