(57)【要約】【課題】トレンチの形成方法を制御良くおこなう。【解決手段】シリコン基板１１上に、パッド酸化膜１２、シリコン窒化膜１３の積層膜が堆積され、さらに積層膜上にポリシリコン膜１４が形成されており、レシストマスク１５にてポリシリコン膜１４、シリコン窒化膜１３、パッド酸化膜１２が順次エッチングされる。そして、ポリシリコン膜１４をマスクとしてシリコン基板１１をエッチングしてトレンチ１６を形成する。【選択図】    図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコン基板上に絶縁膜及び該絶縁膜上にシリコン系の膜を形成する工程と、レジストをマスクとして前記シリコン系の膜及び前記絶縁膜をエッチングする工程と、前記レジストを除去した後前記シリコン系の膜をマスクとしてシリコン基板をエッチングしトレンチを形成する工程を含むことを特徴とする半導体装置装置の製造方法。
【請求項２】
前記シリコン系の膜は、多結晶シリコンあるいはアモルファスシリコンの何れかであることを特徴とする請求項１記載の半導体装置装置の製造方法。
【請求項３】
前記トレンチの深さは前記シリコン系の膜厚に等しいことを特徴とする請求項１、２記載の半導体装置装置の製造方法。
【請求項４】
前記絶縁膜はシリコン酸化膜及びシリコン窒化膜の多層膜であることを特徴とする請求項１乃至３記載の半導体装置装置の製造方法。
【請求項５】
前記多層膜は下層膜がシリコン酸化膜であり、上層膜がシリコン窒化膜である２層膜であることを特徴とする請求項４記載の半導体装置装置の製造方法。
【請求項６】
前記トレンチのエッチング終点は前記絶縁膜表面の露出を検出することによりおこなわれることを特徴とする請求項１乃至５記載の半導体装置装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体装置の製造方法に関し、特に、半導体基板に形成される素子分離領域であるトレンチの形成方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＬＳＩデバイスにおいては、高集積化が進んでおり、そのためには更なる微細化技術が必要となっている。近年のＬＳＩデバイス製造技術において、素子分離技術としては、従来のＬＯＣＯＳ分離構造に代わり、素子分離領域を微細に、しかも、精度良く形成できるシャロウ・トレンチ・アイソレーション（ＳＴＩ）構造が採用されるようになってきている。
【０００３】
まず、従来のＳＴＩ構造の形成方法について、図１及び図２を用いて簡単に説明する。シリコン基板１上に、熱酸化法によりパッド酸化膜２を形成し、さらに、シリコン窒化膜３をＣＶＤ法により堆積させる。次に、レジストパターン４を形成し（図１）、これをマスクとして、シリコン窒化膜３、パッド酸化膜２及びシリコン基板１を順次エッチングし、レジスト４を除去すれば素子分離溝であるトレンチ５が形成される（図２）。
【０００４】
そして、図示はしないが、通常の方法により、シリコン窒化膜３及びパッド酸化膜２を順次除去し、全面にトレンチ５が完全に埋め込まれるようにCVD法によりシリコン酸化膜を形成し、ＣＭＰ法により平坦化してトレンチ５のみにシリコン酸化膜を埋め込めば、ＳＴＩ構造が形成される。
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−３４５３７５
【特許文献２】特開２００１−２６７４１０
【特許文献３】特開平９−２７４８３
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ＳＴＩ構造は、素子分離領域であるため、素子間を完全分離するために、トレンチの深さを制御することが重要である。従来のトレンチ形成方法では、目標とするトレンチの深さを確保するために、特にエッチングレートを制御しエッチング特性を均一化させることに重点が置かれていた。
【０００７】
しかし、従来の形成方法においては、レジストマスクにより、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜及びシリコン基板を一括エッチングするために、各被エッチング膜種の差及びエッチング装置の機差によるエッチングレートへの変動を考慮しなければならず、目標とするトレンチ深さを確保するためには、被エッチング膜が変る毎にエッチング装置状態を確認しなければならなかった。
【０００８】
また、レジストをマスクとしてエッチングするために、レジストから発生するカーボンを含有するエッチング反応生成物が形成され、この反応生成物がシリコン基板に堆積するために、シリコン基板のエッチングが阻害するといった問題もあった。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記問題を解決するために、本発明は、レジストマスクによりシリコン基板をエッチングせずに、ポリシリコンマスクを用いてシリコン基板をエッチングして、トレンチを形成するようにしたものである。
【００１０】
つまり、シリコン基板上にシリコン系でない絶縁膜、例えばシリコン酸化膜と上層がシリコン窒化膜の積層膜を形成し、積層膜上にポリシリコン膜を形成後、レジストによりポリシリコン膜をパターニングし、レジストを除去してポリシリコン膜をマスクとしてシリコン基板をエッチングするものである。そして、エッチングの終点をシリコン窒化膜が露出したことにより検出することが可能となる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明においては、レジストマスクを用いることなくシリコン基板をエッチングしているので、カーボン含有の反応生成物がシリコン基板に堆積することもなく、シリコン基板のエッチングレートを均一に維持することができる。また、ポリシリコン膜とシリコン基板のエッチングレートは、ほほ等しく制御できるので、トレンチの深さをポリシリコン膜厚と一致させることにより、トレンチの深さの制御が正確となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
図３乃至図６は本発明の実施の形態における半導体装置の製造方法を示す図であり、トレンチ深さが２５０ｎｍである場合を例にとって説明する。
【００１３】
まず、シリコン基板１１に熱酸化法によりパッド酸化膜１２を１５ｎｍ、ＣＶＤ法によりシリコン窒化膜１３を１５０ｎｍを形成し、続いて、ポリシリコン膜１４を２５０ｎｍ堆積する。次に、ポリシリコン膜１４上にフォトリソグラフィ技術によりレジストパターン１５を形成する(図３)。
【００１４】
そして、レジストパターン１５をマスクとして、ポリシリコン膜１４をエッチングする。例えば、ICP型ドライエッチング装置を用いて、圧力１．３Pa、RF出力４００W、ガスはCl2/HBr/O2であり、流量は５０／１５０／１０ｓｃｃｍの条件でおこなう。
【００１５】
さらに、レジストパターン１５をマスクとして、パッド酸化膜１２及びシリコン窒化膜１３のエッチングがおこなわれる（図４）。エッチング条件は、例えば、ICP型ドライエッチング装置により、圧力８．０Pa、RF出力４００W、ガスCHF3/Ar/O2、流量１５／７５／３ｓｃｃｍである。
【００１６】
そして、レジスト１５を灰化（アッシング）除去した後、ポリシリコン膜１４をマスクにシリコン基板１１のエッチングがおこなわれ、トレンチ１６が形成できる（図５）。エッチング条件は、ICP型ドライエッチング装置により、圧力１．３Pa、RF出力４００W、ガスCl2/HBr/O2、流量は５０／１５０／１０ｓｃｃｍである。
【００１７】
このエッチングは、シリコン基板１１とほぼ同じエッチングレートでポリシリコン膜１４がエッチングされる条件となっているので、ポリシリコン膜１４が完全に除去された時を終点検出すれば、ポリシリコン膜１４の膜厚と同じ深さのトレンチ１６を形成することができる。
【００１８】
本実施の形態において、ポリシリコンの下層の積層膜を２層膜として説明したが、シリコン酸化膜／シリコン窒化膜／シリコン酸化膜等の２層以上の多層膜でも良し、また、マスク膜はシリコン系であればアモルファスシリコン膜であっても構わない。これらの膜の種類等の設定は、他のプロセス条件、特にエッチング条件に合わせて決定することができる。
【００１９】
以上説明したように、本発明によれば、シリコン基板に反応生成物が堆積することもなくトレンチエッチング可能であり、また、マスク膜とシリコン基板のエッチングレートを等しくエッチングするため、正確な深さのトレンチを形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】従来技術におけるトレンチの形成方法の工程断面図である。
【図２】図１に引き続く従来技術におけるトレンチの形成方法の工程断面図である。
【図３】本発明の実施の形態におけるトレンチの形成方法の工程断面図である。
【図４】図３に引き続く本発明の実施の形態におけるトレンチの形成方法の工程断面図である。
【図５】図４に引き続く本発明の実施の形態におけるトレンチの形成方法の工程断面図である。
【符号の説明】
【００２１】
１、１１  シリコン基板
２、１２  パッド酸化膜
３、１３  シリコン窒化膜
４、」５  レジストパターン
５、１６  トレンチ
１４  ポリシリコン膜  
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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