(57)【要約】【課題】蒸着用マスクの面内温度分布が不均一な場合であっても、その温度分布の不均一さによる悪影響を極力排除して、高精度なパターニングへの対応を可能とする。【解決手段】  被蒸着基板への蒸着パターンがパターン形成領域４内に通過孔として形成された薄板状のマスク本体と、当該マスク本体におけるパターン形成領域４以外の部分が固着される枠体３とを具備する蒸着用マスクにおいて、前記マスク本体を、帯状に形成された複数のマスクシート６から早世する。そして、前記複数のマスクシート６は、それぞれ並列配置し、かつ、それぞれに前記帯状の長辺に沿った方向の張力が与えられた状態で前記帯状の両短辺近傍部分７を前記枠体３に固着する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被蒸着基板への蒸着パターンがパターン形成領域内に通過孔として形成された薄板状のマスク本体と、当該マスク本体におけるパターン形成領域以外の部分が固着される枠体とを具備する蒸着用マスクにおいて、
前記マスク本体は、帯状に形成された複数のマスクシートからなり、
前記複数のマスクシートは、それぞれが並列配置され、かつ、それぞれに前記帯状の長辺に沿った方向の張力が与えられた状態で前記帯状の両短辺近傍部分が前記枠体に固着されたものである
ことを特徴とする蒸着用マスク。
【請求項２】
前記枠体は、前記複数のマスクシートの隣接部分に沿って配置された桟部を備えたものであり、
前記複数のマスクシートは、前記帯状の両長辺近傍部分が前記枠体または前記桟部に固着されたものである
ことを特徴とする請求項１記載の蒸着用マスク。
【請求項３】
前記複数のマスクシートは、前記帯状の少なくとも一つの長辺の端縁まで前記パターン形成領域が配されている
ことを特徴とする請求項１記載の蒸着用マスク。
【請求項４】
被蒸着基板への蒸着パターンがパターン形成領域内に通過孔として形成された薄板状のマスク本体と、当該マスク本体におけるパターン形成領域以外の部分が固着される枠体とを具備する蒸着用マスクの製造方法において、
前記マスク本体を複数の帯状のマスクシートによって形成し、
各マスクシートを前記枠体上に並列配置するとともに、当該各マスクシートのそれぞれに前記帯状の長辺に沿った方向の張力を与えた状態で前記帯状の両短辺近傍部分を前記枠体に固着する
ことを特徴とする蒸着用マスクの製造方法。
【請求項５】
前記枠体に、前記複数の帯状のマスクシートの隣接部分に沿って配置された桟部を設けておき、
前記各マスクシートのそれぞれについて前記帯状の両長辺近傍部分をも前記枠体または前記桟部に固着する
ことを特徴とする請求項４記載の蒸着用マスクの製造方法。
【請求項６】
前記マスクシートにおける前記帯状の少なくとも一つの長辺の端縁まで前記パターン形成領域を形成する
ことを特徴とする請求項４記載の蒸着用マスクの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被蒸着基板上に所定パターンの成膜を行うために用いられる蒸着用マスクおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、有機電界発光素子（有機エレクトロルミネッセンス素子；以下「有機ＥＬ素子」という）の製造工程では、有機層を形成する有機材料の耐水性が低くウエットプロセスを利用できないことから、真空蒸着によって基板上に有機層（薄膜）を成膜している。また、有機ＥＬ素子の製造工程では、基板上へのパターニング成膜（例えば、Ｒ，Ｇ，Ｂの各色成分に対応したパターンの成膜）を行うために、通常、蒸着パターンに対応した形状の開孔（有機材料の通過孔）を有した蒸着用マスクが用いられる。
【０００３】
従来、蒸着用マスクとしては、蒸着パターンに対応した形状の開孔がパターン形成領域内に形成されたマスク本体と、そのマスク本体のパターン形成領域以外の部分（例えば、マスク本体の外周縁近傍領域）が固着される枠体と、を具備したものが知られている。マスク本体は、銅板、ニッケル板、圧延ステンレス板等といった薄板状部材からなり、そのパターン形成領域内に開孔がエッチングやレーザ加工等によって設けられている。一方、枠体は、被蒸着基板（例えば、ガラス基板）と同等の熱線膨張係数の素材によって十分な厚みを有して高剛性に形成されている。そして、これらマスク本体および枠体からなる蒸着用マスクは、マスク本体に弛みが生じないように、マスク本体に張力を与えた状態で、そのマスク本体が枠体に固着されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
このような蒸着用マスクにより基板上へのパターニング成膜を行う場合には、通常、図７（ｂ）に示すように、有機材料１１を収めた坩堝１２とその坩堝１２を加熱する熱源１３とを蒸着源１０として用いるが、近年では、坩堝１２から蒸発する有機材料が通過する開口１４が列状に複数並ぶ、いわゆる「ライン型蒸着方式」が採用されることが多い。ライン型蒸着方式では、図７（ａ）に示すように、列状に並ぶ複数の開口１４を備えた蒸着源１０に対し、これらの開口１４が並ぶ方向と直交する方向に（図中矢印参照）、蒸着用マスクおよび被蒸着基板２０を移動させることによって、その被蒸着基板上への有機層の成膜を行うようになっている。このようにすれば、大面積への有機層の成膜が容易になるとともに、例えば有機層の成膜が複数層に及ぶ場合であっても少ない材料消費量で効率良く成膜を行うことが可能となるからである（例えば、特許文献２参照）。
【０００５】
【特許文献１】登録実用新案第３０８２８０５号公報
【特許文献２】特開２００３−１５７９７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、ライン型蒸着方式では、列状に開口１４が並ぶ蒸着源１０の上方を、その開口１４が並ぶ方向と直交する方向に向けて蒸着用マスクが通過する。このとき、蒸着源１０は、熱せられて高温となっている。そのため、蒸着用マスクにおいては、蒸着源１０上を通過する際に、その蒸着源から輻射熱を受けて、面内に温度分布の変化が生じる。具体的には、例えば図８に示すように、蒸着源１０の上方を蒸着用マスク２０ａおよび被蒸着基板２０ｂが通過するのに伴って、その蒸着用マスク２０ａの進行方向の先頭部分から温度が上昇し始め、温度上昇範囲が進行方向の下流側に移動していく。そして、蒸着源１０から離れるのに連れて、一旦上昇した温度が周囲への熱輻射により放熱して下降する。
【０００７】
図９は、ライン型蒸着方式において蒸着源を通過した直後の蒸着用マスクの面内温度分布の一具体例を示す説明図である。図例のように、ライン型蒸着方式に対応した蒸着源１０の上方を通過する際における蒸着用マスク２０ａの面内温度分布は、蒸着源１０と蒸着用マスク２０ａとの位置関係から、蒸着用マスク２０ａの進行方向と直交する蒸着源１０の幅方向（図中Ｘ−Ｘ参照）には比較的一定であるが、蒸着用マスク２０ａの進行方向（図中Ｙ−Ｙ参照）については大きな温度差が生じている。このように、蒸着用マスク２０ａを構成する単一のマスク本体のパターン形成領域内に温度差が生じると、温度の高い部分は温度の低い部分よりも材料が大きく膨張するので、同一パターン形成領域内であってもマスク面内の各位置によってはその変形移動状態に相違が現れてしまう。図中における蒸着用マスク２０ａ上の矢印は、マスク面各位置が移動する向きと大きさを示している。
【０００８】
以上のようなマスク面各位置の変形移動状態の相違は、パターン形成領域内における各開孔の位置変化の相違を招くため、これら各開孔によって形成される蒸着パターンの位置精度を良好に保持できないことに繋がってしまう。つまり、マスク本体に張力を与えて枠体に固着することで蒸着用マスク２０ａを構成しても、マスク本体が全体的に均一に温度変化する場合には蒸着パターンの位置精度を保持できるが、ライン型蒸着方式に対応した蒸着源１０の上方を通過するときのように蒸着用マスク２０ａの面内温度分布が不均一な場合（マスク本体のパターン形成領域内に温度差が生じる場合）には、必ずしも蒸着パターンの位置精度を良好に保持できるとは限らない。このようなパターン位置精度に関する問題点は、結果として蒸着用マスク２０ａによる有機層の形成精度低下をも招いてしまい、有機ＥＬ素子の製造工程であれば表示画質向上を妨げることに繋がるおそれがある。
【０００９】
そこで、本発明は、蒸着用マスクの面内温度分布が不均一な場合であっても、その温度分布の不均一さによる悪影響を極力排除することができ、高精度なパターニングに対応することが可能である蒸着用マスクおよびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、上記目的を達成するために案出された蒸着用マスクである。すなわち、被蒸着基板への蒸着パターンがパターン形成領域内に通過孔として形成された薄板状のマスク本体と、当該マスク本体におけるパターン形成領域以外の部分が固着される枠体とを具備する蒸着用マスクにおいて、前記マスク本体は、帯状に形成された複数のマスクシートからなり、前記複数のマスクシートは、それぞれが並列配置され、かつ、それぞれに前記帯状の長辺に沿った方向の張力が与えられた状態で前記帯状の両短辺近傍部分が前記枠体に固着されたものであることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明は、上記目的を達成するために案出された蒸着用マスクの製造方法である。すなわち、被蒸着基板への蒸着パターンがパターン形成領域内に通過孔として形成された薄板状のマスク本体と、当該マスク本体におけるパターン形成領域以外の部分が固着される枠体とを具備する蒸着用マスクの製造方法において、前記マスク本体を複数の帯状のマスクシートによって形成し、各マスクシートを前記枠体上に並列配置するとともに、当該各マスクシートのそれぞれに前記帯状の長辺に沿った方向の張力を与えた状態で前記帯状の両短辺近傍部分を前記枠体に固着することを特徴とする。
【００１２】
上記構成の蒸着用マスクおよび上記手順の蒸着用マスクの製造方法によれば、マスク本体が複数の帯状のマスクシートに分割されているので、例えば蒸着用マスクがライン型蒸着方式に対応する蒸着源の上方を通過する場合であっても、そのライン型の蒸着源の長手方向と各マスクシートの帯状長手方向とを一致させるといったことが可能となり、これにより蒸着用マスクの進行方向における面内温度分布が不均一なときでも各マスクシートの帯状短手方向における温度差を小さくし得るようになる。また、帯状のマスクシートをその帯状の長辺に沿った方向（長手一方向）の張力が与えて枠体に固着するので、マスクシート内の応力とひずみの分布が均一になり易い。
【発明の効果】
【００１３】
本発明では、蒸着用マスクの面内温度分布が不均一な場合であっても、マスク本体が複数の帯状のマスクシートに分割することによって、各マスクシートの帯状短手方向における温度差を小さくして、その温度分布の不均一さによる悪影響を極力排除することができるので、温度分布の変化によるパターン変形を抑制して蒸着パターンの高精度化を容易に実現可能となる。また、帯状のマスクシートに長手一方向の張力を与えて枠体に固着することで、マスクシート内の応力とひずみの分布が均一になり易いことから、マスクシートの枠体への固着を精度良く行えるとともに、温度上昇時の位置変化も低く抑えることが可能となる。さらには、帯状のマスクシートを並列配置することで、大きな面積の蒸着パターンに対応することが非常に容易となり、しかもその場合であっても一つのマスクシートあたりの面積を小さくできるのでパターン形成領域内の通過孔等の加工精度を高く維持することが容易となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面に基づき本発明に係る蒸着用マスクおよびその製造方法について説明する。図１〜４は、本発明に係る蒸着用マスクの概略構成の一例を示す模式図である。
【００１５】
図１に示すように、ここで説明する蒸着用マスク１は、マスク本体２と枠体３とを具備して構成されている。
【００１６】
マスク本体２は、銅板、ニッケル板、圧延ステンレス板等といった薄板状部材からなるもので、その平面上領域がパターン形成領域４とそれ以外の部分とに大別される。そして、パターン形成領域４内には、蒸着パターンに対応した形状の開孔５が、有機材料の通過孔として、エッチングやレーザ加工等によって形成されている。なお、パターン形成領域４は矩形のものに限らず、種々の任意形状としても構わない。また、マスク本体２は、「電鋳（メッキ）製造法」によってパターン形成領域４内に多数の微細な開孔５が設けられたニッケル等の薄い金属膜で形成されたものであってもよい。
【００１７】
一方、枠体３は、マスク本体２の外周端縁に応じた形状に形成されたものであり、そのマスク本体２のパターン形成領域４以外の部分を支持するためのものである。ここで、枠体３は、その線熱膨張係数、熱容量、表面の輻射射出率、周囲支持体と熱伝導によって流入流出する伝熱量等が、被蒸着基板であるガラス基板と蒸着時の温度変化による膨張収縮の寸法変化を同期一致させるために、最適に調節して設定されているものとする。
【００１８】
ところで、ここで説明する蒸着用マスク１では、図２に示すように、マスク本体２が、帯状に形成された複数のマスクシート６からなる。すなわち、マスク本体２は、複数の帯状のマスクシート６に分割されている。ここで、「帯状」とは、長辺と短辺とからなる矩形状のことをいう。マスクシート６への分割数は、マスク本体２の大きさ、マスクシート６の帯状短手方向の大きさ、パターン形成領域４に形成される蒸着パターン等を勘案して、適宜設定することが考えられる。また、マスクシート６の帯状短手方向の大きさ、すなわち帯状における短辺のサイズは、マスクシート６（マスク本体２）の形成材料の熱膨張係数や蒸着源から輻射熱等を勘案して、当該短辺方向の熱膨張量または熱収縮量が所定の許容値以下となるように設定すればよい。なお、各マスクシート６の短辺のサイズは、それぞれを同一にすることが考えられるが、蒸着パターンの形状等の都合によりそれぞれが異なるようにすることも考えられる。
【００１９】
そして、これらのマスクシート６は、それぞれが枠体３上に並列配置されており、これにより一枚のマスク本体２を構成している。さらに詳しくは、各マスクシート６のそれぞれに帯状長辺に沿った方向の張力（図中矢印参照）が与えられた状態で、帯状の両短辺近傍部分７が枠体３に固着されている。このような張力が与えられた状態での固着により、各マスクシート６は、その帯状の長辺方向において、略枠体３に従って膨張収縮することになるので、結果としてガラス基板と膨張収縮の寸法変化を略同期一致して膨張収縮させることができるのである。なお、「短辺近傍部分」とは、マスク本体２のパターン形成領域４以外の部分で、かつ、帯状短辺の端縁からマスクシート６の固着に必要となる面積を確保した領域部分のことをいう。マスクシート６の枠体３への固着は、点溶接やレーザ溶接等の溶接や、耐熱セラミックス系接着剤や耐熱エポキシ樹脂接着剤等といった温度変化に対して安定した性質を有する接着剤を用いた接着によって行うことが考えられるが、ビス止め等といったような締結具（ネジ）を用いて行っても構わない。また、各マスクシート６に与える張力は、蒸着時の輻射熱による熱応力によってマスクシート６に生じる歪み量が、当該張力によってマスクシート６に生じる歪み量により相殺される大きさに設定されているものとする。さらには、その張力によってマスクシート６に生じる応力分布が均一化するように、その張力の大きさが設定されていることが望ましい。
【００２０】
このような構成の蒸着用マスク１は、以下に述べるような手順で製造することが考えられる。先ず、蒸着パターンの形状や蒸着時の条件等を基に、マスクシート６の帯状短辺サイズ（またはマスクシート６への分割数）を設定し、マスク本体２を複数の帯状のマスクシート６によって形成する。そして、例えば、マスク本体２の外周端縁に応じて四辺ロの字型に構成された額状枠体３の、平行に対面する一対の枠部上面に、一つのマスクシート６の両短辺近傍部分７を固着する。このとき、当該マスクシート６は、その帯状長辺に沿った方向の張力が与えられた状態、すなわち帯状長辺方向に引っ張って伸ばした状態としておく。このようにして、マスクシート６の両端付近を枠体３上に固着したら、続いて、そのマスクシート６と並行に並ぶようにして、次のマスクシート６の両短辺近傍部分７を枠体３上に同様に固着する。これを、各マスクシート６が枠体３上で一つのマスク本体２を構成するまで繰り返すことで、上述した構成の蒸着用マスク１を製造することが可能となる。
【００２１】
以上のような手順で製造された蒸着用マスク１、すなわち上述した構成の蒸着用マスク１を用いて、例えばライン型蒸着方式によるガラス基板上へのパターニング成膜を行う場合には、図３に示すように、有機材料が通過する開口１４が列状に複数並ぶライン型蒸着方式対応の蒸着源１０の上方を、その蒸着源１０の長手方向と蒸着用マスク１における各マスクシート６の帯状長手方向とを一致させつつ、その蒸着源１０の長手方向と直交する方向に向けて、蒸着用マスク１および被蒸着基板であるガラス基板（ただし不図示）を移動させる。なお、蒸着用マスク１の移動およびその蒸着用マスク１上へのガラス基板のセット等については、従来と同様にして行えばよいため、ここではその詳細な説明を省略する。
【００２２】
このようにして、ガラス基板上へのパターニング成膜を行えば、図４に示すように、蒸着用マスク１の進行方向における面内温度分布が不均一となっても（図中Ｙ−Ｙ参照）、マスク本体２を複数の帯状のマスクシート６に分割し、蒸着源１０の長手方向と各マスクシート６の帯状長手方向とが一致しているので、各マスクシート６の単体でみれば、その帯状短手方向における温度差が小さくなる。しかも、各マスクシート６は別体であるため、それぞれにおける膨張収縮の度合に相違が生じていても、マスク本体２の全体が一体である場合に比べて、その相違が互いのマスクシート６の間で影響を及ぼし合うことが少ない。したがって、ライン型蒸着方式への対応によってパターン形成領域４内に温度差が生じても、同一マスクシート６上の各位置において変形移動状態に相違が現れてしまうのを極力抑制し得るようになる。なお、図４中におけるマスクシート６上の矢印は、各位置が移動する向きと大きさを示している。
【００２３】
つまり、ライン型蒸着方式による場合、すなわち蒸着用マスク１が蒸着源１０の上方をその長手方向と直交する方向に向けて通過する場合であっても、蒸着源１０の長手方向と各マスクシート６の帯状長手方向とが一致しているため、各マスクシート６の帯状短手方向における温度差を小さくして、温度分布の変化によるパターン変形を抑制することができ、結果としてマスク面内の温度分布の不均一さによる悪影響を極力排除して蒸着パターンの位置精度を良好に保持できるようになる。そのため、例えばライン型蒸着方式により有機ＥＬ素子を構成する有機層を成膜する場合であっても、その有機層の形成精度の低下を招くことがなく、有機ＥＬ素子の表示画質向上の実現が容易となる。
【００２４】
また、各マスクシート６は、その帯状長辺に沿った方向の張力が与えられた状態で枠体３に固着されているので、当該マスクシート６内における応力とひずみの分布が均一になり易い。したがって、各マスクシート６の枠体３への固着を精度良く行えるとともに、温度上昇時におけるマスクシート６上の各位置の変化も低く抑えることが可能となる。
【００２５】
さらに、近年では、有機ＥＬ素子の表示画面の大型化への対応が望まれているが、その場合であっても、帯状のマスクシート６を並列配置することで、大きな面積の蒸着パターンに対応することが非常に容易となり、大型のガラス基板に精度よく有機層を蒸着できるようになる。しかも、マスク本体２を複数のマスクシート６に分割することによって、そのマスクシート６一枚あたりの面積を小さくすることができ、これによりパターン形成領域４内の開孔５の形成精度向上も容易に実現可能となる。
【００２６】
次に、本発明に係る蒸着用マスクおよびその製造方法の他の実施の形態について説明する。図５は、本発明に係る蒸着用マスクの概略構成の他の例を示す模式図である。ただし、ここでは、上述した実施の形態との相違点についてのみ説明する。
【００２７】
図５に示すように、ここで説明する蒸着用マスク１では、枠体３が、複数のマスクシート６の隣接部分に沿って配置された桟部８を備えている。桟部８は、枠体３と同一の形成材料により形成されているものとする。ここで、「隣接部分」とは、並列配置される各マスクシート６の帯状長辺の間の部分のことをいう。
【００２８】
そして、各マスクシート６は、それぞれが枠体３上に並列配置されている。このとき、各マスクシート６は、帯状長辺に沿った方向の張力が与えられた状態で、帯状の両短辺近傍部分７が枠体３に固着されるとともに、帯状の両長辺近傍部分９も枠体３または桟部８のいずれかに固着される。ここで、「長辺近傍部分」とは、マスク本体２のパターン形成領域４以外の部分で、かつ、帯状長辺の端縁からマスクシート６の固着に必要となる面積を確保した領域部分のことをいう。
【００２９】
このような構成の蒸着用マスク１は、上述した実施の形態の場合と同様に、マスクシート６の両短辺近傍部分７を枠体３に固着した後、そのマスクシート６の両長辺近傍部分９を枠体３または桟部８のいずれかに固着し、これを各マスクシート６が枠体３上で一つのマスク本体２を構成するまで繰り返すことで、製造すればよい。
【００３０】
ただし、枠体３上に各マスクシート６を並列配置するにあたっては、帯状長辺が互いに接するように各マスクシート６を配置することも考えられるが、それぞれの間隔を開けて帯状長辺同士が接しないように各マスクシート６を配置することが望ましい。
【００３１】
以上のような構成の蒸着用マスク１においても、マスク本体２が帯状のマスクシート６に分割されているため、マスク面内の温度分布の不均一さによる悪影響を極力排除して、蒸着パターンの位置精度を良好に保持できるようになる。しかも、各マスクシート６の帯状長辺同士が接しないように並列配置すれば、各マスクシート６における膨張収縮の度合に相違がそれぞれの間で影響を及ぼし合うことを、より一層有効に防ぐことができる。したがって、各マスクシート６の間隔を開けて並列配置すれば、蒸着パターンの位置精度向上を図る上でさらに好適なものとなる。このことは、枠体３が桟部８を備えない場合、すなわち上述した実施の形態の場合にも適用可能である。
【００３２】
また、蒸着用マスク１では、枠体３が桟部８を備えており、その桟部８がマスクシート６の帯状長辺近傍部分９を支持するようになっている。つまり、マスク本体２を帯状のマスクシート６に分割しても、桟部８がマスクシート６の強度を補って、そのマスクシート６の変形や振動等を防止するようになる。したがって、この点によっても、パターン形成領域４内の開孔５の形成精度向上が図れるようになり、結果として蒸着パターンの位置精度向上が実現可能となる。
【００３３】
次に、本発明に係る蒸着用マスクおよびその製造方法のさらに他の実施の形態について説明する。図６は、本発明に係る蒸着用マスクの概略構成のさらに他の例を示す模式図である。ただし、ここでも、上述した実施の形態との相違点についてのみ説明する。
【００３４】
図６に示すように、ここで説明する蒸着用マスク１では、マスクシート６の帯状長辺近傍部分が固着等のために確保されておらず、その帯状長辺の端縁６ａまで開孔５が形成されている。すなわち、マスクシート６の帯状長辺の端縁６ａまでパターン形成領域４が配されている。ただし、全てのマスクシート６について帯状長辺端縁６ａまでパターン形成領域４が配されている必要はなく、例えば並列配置の両端に位置するマスクシート６については、その端縁側に帯状長辺近傍部分（固着領域）９が確保されていてもよい。つまり、マスクシート６は、少なくとも一つの長辺の端縁６ａまでパターン形成領域４が配されていればよい。
【００３５】
このような構成の蒸着用マスク１も、上述した実施の形態の場合と同様に製造されることになる。
【００３６】
以上のような構成の蒸着用マスク１においても、マスク本体２が帯状のマスクシート６に分割されているため、マスク面内の温度分布の不均一さによる悪影響を極力排除して、蒸着パターンの位置精度を良好に保持できるようになる。
【００３７】
また、蒸着用マスク１では、マスクシート６の帯状長辺の端縁６ａまでパターン形成領域４が配されているため、そのマスクシート６の枠体３への固着の際、すなわちマスクシート６に帯状長辺に沿った方向の張力が与えた際に、より一層当該マスクシート６内における応力とひずみの分布を均一にすることができる。つまり、マスクシート６の枠体３への固着の際に、マスクシート６を帯状長手方向に均一に伸ばした状態が得られるので、この点によってもパターン形成領域４内の開孔５の形成精度向上が図れるようになり、結果として蒸着パターンの位置精度向上が実現可能となる。
【００３８】
しかも、マスクシート６の帯状長辺の端縁６ａまでパターン形成領域４が配されていることから、対応可能なパターン形成領域４の自由度（汎用性）をも十分に確保し得るようになる。
【００３９】
なお、上述したそれぞれの実施の形態では、本発明の実施の好適な具体例を挙げて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、種々変形することが可能である。すなわち、各実施形態で説明した蒸着用マスクを構成する一連の構成要素の材質、形状等は、必ずしも各実施形態で挙げたものに限られることはなく、各構成要素の機能を同様に確保することが可能な限り、自由に変更可能である。
【００４０】
また、各実施形態では、ライン型蒸着方式に対応する場合を例に挙げたが、他の蒸着方式に対応する場合であっても、本発明を適用して、マスク本体を帯状に形成された複数のマスクシートから構成することは可能である。さらに、各実施形態では、蒸着用マスクの例として、有機ＥＬ素子の製造工程で用いられるものを挙げたが、本発明はこれに限定されるものではなく、他の成膜プロセスにて用いられる蒸着用マスクであっても、全く同様に適用可能であることはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明に係る蒸着用マスクの概略構成の一例を示す模式図（その１）であり、その全体構成を示す図である。
【図２】本発明に係る蒸着用マスクの概略構成の一例を示す模式図（その２）であり、その要部構成を示す図である。
【図３】本発明に係る蒸着用マスクの概略構成の一例を示す模式図（その３）であり、ライン型蒸着方式による使用状態の概要を示す図である。
【図４】本発明に係る蒸着用マスクの概略構成の一例を示す模式図（その４）であり、ライン型蒸着方式に対応した場合のマスク面内温度分布状態を示す図である。
【図５】本発明に係る蒸着用マスクの概略構成の他の例を示す模式図であり、その全体構成を示す図である。
【図６】本発明に係る蒸着用マスクの概略構成のさらに他の例を示す模式図であり、その要部構成を示す図である。
【図７】ライン型蒸着方式に対応した蒸着源の一例を示す説明図であり、（ａ）はその斜視図、（ｂ）はその側断面図である。
【図８】ライン型蒸着方式に対応した場合におけるマスク面内の温度変化の一具体例を示す説明図である。
【図９】ライン型蒸着方式において蒸着源を通過した直後の蒸着用マスクの面内温度分布の一具体例を示す説明図である。
【符号の説明】
【００４２】
１…蒸着用マスク、２…マスク本体、３…枠体、４…パターン形成領域、５…開孔、６…マスクシート、７…短辺近傍部分、８…桟部、９…長辺近傍部分
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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