(57)【要約】【課題】    長期間の保存に対する信頼性を高めることができるとともに、製造コストを低減することができ、かつ、所望のように、データを記録し、記録されたデータを再生することができる光記録媒体を提供することを目的とする。【解決手段】    基板１１と、基板１１上に形成された記録層１２を備え、記録層１２が、酸化パラジウムを主成分として含むとともに、１９原子％ないし６１原子％の酸素を含有することを特徴とする光記録媒体。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、前記基板上に形成された記録層を備え、前記記録層が、酸化パラジウムを主成分として含むとともに、１９原子％ないし６１原子％の酸素を含有することを特徴とする光記録媒体。
【請求項２】
前記記録層に隣接して、少なくとも一つの誘電体層が形成されたことを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体。
【請求項３】
前記記録層が、前記基板上に、少なくとも中間層を介して、複数積層され、レーザビームの光入射面から最も遠い記録層以外の記録層のうちの少なくとも一つの記録層が、酸化パラジウムを主成分として含むとともに、３７原子％ないし６１原子％の酸素を含有することを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体。
【請求項４】
前記レーザビームの光入射面から最も遠い記録層以外の記録層のうちの少なくとも一つの記録層に隣接して、少なくとも一つの誘電体層が形成されたことを特徴とする請求項３に記載の光記録媒体。
【請求項５】
前記レーザビームの光入射面から最も遠い記録層が、Ｃｕを主成分として含む第一の記録膜と、Ｓｉを主成分として含む第二の記録膜とを備えていることを特徴とする請求項４に記載の光記録媒体。
【請求項６】
前記記録層が、３８０ｎｍないし４５０ｎｍの波長を有するレーザビームを用いて、データが記録され、記録されたデータが再生されるように構成されていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の光記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、追記型の光記録媒体に関し、さらに詳細には、長期間の保存に対する信頼性を高めることができるとともに、製造コストを低減することができ、かつ、所望のように、データを記録し、記録されたデータを再生することができる光記録媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、デジタルデータを記録するための記録媒体として、ＣＤやＤＶＤに代表される光記録媒体が広く利用され、近年においては、より大容量で、かつ、高いデータ転送レートを有する次世代型の光記録媒体の開発が盛んに行われている。
【０００３】
これらの光記録媒体は、ＣＤ−ＲＯＭやＤＶＤ−ＲＯＭのように、データの追記や書き換えができないタイプのＲＯＭ型の光記録媒体と、ＣＤ−ＲやＤＶＤ−Ｒのように、データの追記はできるが、データの書き換えができないタイプの追記型の光記録媒体と、ＣＤ−ＲＷやＤＶＤ−ＲＷのように、データの書き換えが可能なタイプの書き換え型の光記録媒体とに大別することができる。
【０００４】
広く知られているように、ＲＯＭ型の光記録媒体においては、製造段階において、基板に形成されるピットにより、データが記録されることが一般的であり、書き換え型の光記録媒体においては、たとえば、記録層の材料として、相変化材料が用いられ、その相状態の変化に基づく光学特性の変化を利用して、データが記録されることが一般的である。
【０００５】
また、追記型の光記録媒体においては、記録層の材料として、シアニン系色素、フタロシアニン系色素、アゾ色素等の有機材料が用いられ、その化学的変化、物理的変化、あるいは、それらの両方に基づく光学特性の変化を利用して、データが記録されることが一般的である。
【０００６】
しかしながら、有機色素は、日光等の照射によって劣化することがあり、記録層の材料として有機色素を用いた場合には、長期間の保存に対する信頼性を高めることは容易ではない。したがって、長期間の保存に対する信頼性を高めるためには、追記型の光記録媒体の記録層に、有機色素以外の材料を用いることが求められる。かかる要請に応えるべく、有機色素以外の材料によって、記録層を構成した例として、特許文献１に記載されているものが知られている。
【０００７】
特許文献１に記載されている追記型の光記録媒体においては、二つの無機材料膜を積層して、一つの記録層を構成し、レーザビームを照射することによって、二層の無機材料膜に主成分として含まれる元素を混合して、この混合過程で、共融結晶化を生じさせるようにしている。このように、二つの積層された無機材料膜の材料を混合し、共融結晶化させた場合には、共融結晶化した領域と、それ以外の領域で光学特性が異なることから、これを利用してデータの記録を行うことができる。
【０００８】
また、その一方で、近年、記録容量のさらなる増大を図るため、二層以上の記録層が、中間層を介して、積層された構造を有する追記型の光記録媒体が提案されている。
【０００９】
こうした光記録媒体においては、レーザビームが、いずれかの記録層にフォーカスされて、記録パワーＰｗに設定されたレーザビームが、記録層に照射されることにより、記録層の所定の部分に記録マークが形成されて、データが記録される。
【００１０】
一方、記録層に記録されたデータが再生されるときには、レーザビームが、データが記録された記録層にフォーカスされて、再生パワーＰｒに設定されたレーザビームが、記録層に照射され、記録層からのレーザビームの光量が検出されることによって、データが再生される。
【特許文献１】特開昭６２−２０４４４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
特許文献１に記載された追記型の光記録媒体においては、長期間の保存に対する信頼性を高めることは可能になるが、二つの無機材料膜を積層し、これら二つの無機材料膜の混合を利用して、データを記録するように構成しているため、一つの記録層を構成するのに、二つの記録膜が必要となり、光記録媒体の製造コストが高くなるという問題があった。
【００１２】
また、特許文献１に記載された追記型の光記録媒体においては、二つの無機材料膜の混合、共融結晶化により形成された記録マークと、それ以外の領域との光学特性の差が、さほど大きくないため、良好な信号特性を有する再生信号が得られるように、データを記録することが困難であるという問題もあった。
【００１３】
こうした問題は、中間層を介して、二層以上の記録層が積層される追記型の光記録媒体においても、同様に生じ、とくに、二層以上の記録層が積層される追記型の光記録媒体においては、記録層の数に応じて、光記録媒体全体の製造コストが増大するため、簡易な構造で、かつ、良好な信号特性を有する再生信号を得ることができる記録層の開発が望まれていた。
【００１４】
また、二層以上の記録層が積層される追記型の光記録媒体においては、光入射面から遠い側の記録層に、データを記録し、記録されたデータを再生するときに、光入射面から近い側の記録層を介して、光入射面から遠い側の記録層に、レーザビームが照射されることになるため、光入射面から近い側の記録層には、レーザビームに対する透過率が高く、かつ、記録マークを形成する前後で、レーザビームに対する透過率が大きく変化しないといった特性も要求されることになる。
【００１５】
このように、記録層が単一であるか、複数であるかを問わず、長期間の保存に対する信頼性を高めることができるとともに、製造コストを低減することができ、かつ、所望のように、データを記録し、記録されたデータを再生することができる光記録媒体の開発が強く望まれていた。
【００１６】
したがって、本発明は、長期間の保存に対する信頼性を高めることができるとともに、製造コストを低減することができ、かつ、所望のように、データを記録し、記録されたデータを再生することができる光記録媒体を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明のかかる目的は、基板と、前記基板上に形成された記録層を備え、前記記録層が、酸化パラジウムを主成分として含むとともに、１９原子％ないし６１原子％の酸素を含有することを特徴とする光記録媒体によって達成される。
【００１８】
本発明者の研究によれば、記録層が、酸化パラジウムを主成分として含むとともに、１９原子％ないし６１原子％の酸素を含有するように、形成された場合には、記録層にデータを記録するときの記録感度を向上させることができるのが見出されており、したがって、本発明によれば、記録層に、所望のように、データを記録することが可能となる。
【００１９】
また、本発明者の研究によれば、記録層が、かかる組成を有するように、形成された場合には、記録層に記録されたデータを再生したときに、良好な信号特性を有する再生信号を得られることが見出されており、したがって、本発明によれば、記録層に記録されたデータを、所望のように、再生することも可能となる。
【００２０】
さらに、本発明者の研究によれば、記録層が、かかる組成を有するように、形成された場合には、記録層に記録されたデータが劣化するのを防止できるのが見出されており、したがって、本発明によれば、光記録媒体の長期間の保存に対する信頼性を向上させることも可能となる。
【００２１】
このように、酸化パラジウムを主成分として含むとともに、１９原子％ないし６１原子％の酸素を含有するように形成された記録層は、長期間の保存に対する信頼性が高く、所望のように、データを記録することができ、記録されたデータを再生することができるといった要件を、単一の記録膜によって、満たすことができるため、光記録媒体の製造コストを削減することも可能になる。
【００２２】
本発明の好ましい実施態様においては、前記記録層に隣接して、少なくとも一つの誘電体層が形成されている。本発明の好ましい実施態様によれば、再生信号に含まれるノイズを低減することができ、良好な信号特性を有する再生信号を得ることが可能となる。
【００２３】
本発明のさらに好ましい実施態様においては、前記基板と前記記録層との間に、反射層が形成されている。本発明のさらに好ましい実施態様によれば、再生信号に含まれるノイズを、より一層、低減することができ、さらに良好な信号特性を有する再生信号を得ることが可能となる。
【００２４】
本発明の好ましい実施態様においては、前記記録層が、前記基板上に、少なくとも中間層を介して、複数積層され、レーザビームの光入射面から最も遠い記録層以外の記録層のうちの少なくとも一つの記録層が、酸化パラジウムを主成分として含むとともに、３７原子％ないし６１原子％の酸素を含有するように、形成されている。
【００２５】
基板上に、少なくとも中間層を介して、複数の記録層が積層された場合には、光入射面から遠い側の記録層に、データを記録し、記録されたデータを再生するときに、光入射面から近い側の記録層を介して、レーザビームが照射されることになるため、光入射面から近い側の記録層は、レーザビームに対する透過率が高く、かつ、記録マークを形成する前後で、レーザビームに対する透過率が大きく変化しないことが必要になる。
【００２６】
本発明者の研究によれば、酸化パラジウムを主成分として含むとともに、３７原子％ないし６１原子％の酸素を含有するように、記録層が形成された場合には、レーザビームに対する記録層の透過率を向上させることができるとともに、データを記録する前後でのレーザビームに対する記録層の透過率の変化を小さくすることができるのが見出されている。
【００２７】
したがって、本発明によれば、レーザビームが、光入射面から近い側の記録層を透過する際に、レーザビームのパワーが低下するのを最小限に抑制することができるとともに、光入射面から近い側の記録層にデータが記録される前後で、光入射面から遠い側の記録層に照射されるレーザビームの光量が変化するのを最小限に抑制することができるから、光入射面から遠い側の記録層に、所望のように、データを記録し、記録されたデータを再生することが可能となる。
【００２８】
また、本発明者の研究によれば、記録層が、かかる組成を有するように形成された場合には、記録層の記録感度を向上させることができるとともに、記録層に記録されたデータを再生して得られる再生信号の信号特性を向上させることができるのが見出されており、したがって、本発明によれば、光入射面から遠い側の記録層だけでなく、光入射面から近い側の記録層にも、所望のように、データを記録し、記録されたデータを再生することが可能となる。
【００２９】
本発明において、記録層は、４９原子％ないし６１原子％の酸素を含有するように形成されるのが好ましい。
【００３０】
本発明のさらに好ましい実施態様においては、前記レーザビームの光入射面から最も遠い記録層以外の記録層のうちの少なくとも一つの記録層に隣接して、少なくとも一つの誘電体層が形成されている。
【００３１】
本発明のさらに好ましい実施態様においては、前記レーザビームの光入射面から最も遠い記録層が、Ｃｕを主成分として含む第一の記録膜と、Ｓｉを主成分として含む第二の記録膜とを備えている。
【００３２】
本発明のさらに好ましい実施態様においては、前記レーザビームの光入射面から最も遠い記録層と、前記基板との間に、反射層が形成されている。
【００３３】
本発明のさらに好ましい実施態様においては、前記記録層が、３８０ｎｍないし４５０ｎｍの波長を有するレーザビームを用いて、データが記録され、記録されたデータが再生されるように構成されている。
【００３４】
本発明にかかる記録層は、３８０ｎｍないし４５０ｎｍの波長を有するレーザビームに対して良好な光学特性を示すため、３８０ｎｍないし４５０ｎｍの波長を有するレーザビームを用いて、データが記録され、記録されたデータが再生されるのが、好ましい。
【発明の効果】
【００３５】
本発明によれば、長期間の保存に対する信頼性を高めることができるとともに、製造コストを削減することができ、かつ、所望のように、データを記録し、記録されたデータを再生することができる光記録媒体を提供することを目的とするものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
以下、添付図面に基づいて、本発明の好ましい実施態様につき、詳細に説明を加える。
【００３７】
図１は、本発明の好ましい実施態様にかかる光記録媒体１０の略拡大断面図である。
【００３８】
本実施態様にかかる光記録媒体１０は、約１２０ｍｍの外径と、１．２ｍｍの厚さを有する円板状に形成されており、図１に示されるように、支持基板１１と、記録層１２と、光透過層１３とを備えている。
【００３９】
支持基板１１は、光記録媒体１０に求められる機械的強度を確保するための支持体として、機能する。
【００４０】
支持基板１１を形成するための材料は、光記録媒体１０の支持体として機能することができれば、とくに限定されるものではない。支持基板１１は、たとえば、ガラス、セラミックス、樹脂などによって、形成することができる。これらのうち、成形の容易性の観点から、樹脂が好ましく使用される。このような樹脂としては、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、シリコーン樹脂、フッ素系樹脂、ＡＢＳ樹脂、ウレタン樹脂などが挙げられる。これらの中でも、加工性、表面粗度などの点から、ポリカーボネート樹脂がとくに好ましく、本実施態様においては、支持基板１１は、ポリカーボネート樹脂によって形成されている。本実施態様においては、レーザビームＬは、支持基板１１とは反対側に位置する光入射面１３ａを介して、照射されるから、支持基板１１が、光透過性を有していることは必要でない。
【００４１】
本実施態様においては、支持基板１１は、約１．１ｍｍの厚さを有している。
【００４２】
図２に示されるように、支持基板１１の表面には、交互に、グルーブ１１ａおよびランド１１ｂが形成されている。支持基板１１の表面に形成されたグルーブ１１ａおよび／またはランド１１ｂは、記録層１２に、データを記録する場合およびデータを再生する場合において、レーザビームＬのガイドトラックとして、機能する。
【００４３】
グルーブ１１ａの深さは、とくに限定されるものではないが、１０ｎｍないし４０ｎｍに設定することが好ましく、グルーブ１１ａのピッチは、とくに限定されるものではないが、０．２μｍないし０．４μｍに設定することが好ましい。
【００４４】
図２に示されるように、支持基板１１の表面上には、記録層１２が形成されている。
【００４５】
記録層１２は、データが記録される層であり、単一の記録膜によって構成されている。
【００４６】
本実施態様において、記録層１２は、酸化パラジウムを主成分として含むととともに、酸素の含有量が１９原子％ないし６１原子％となるように、形成されている。本明細書において、ある元素を主成分として含むとは、当該元素の含有量が５０原子％ないし１００原子％であることを意味する。
【００４７】
本発明者の研究によれば、記録層１２が、酸化パラジウムを主成分として含むととともに、酸素の含有量が１９原子％ないし６１原子％となるように形成された場合には、記録層１２に記録されたデータが劣化するのを防止できるのが見出されており、したがって、本実施態様によれば、光記録媒体１０の長期間の保存に対する信頼性を向上させることが可能となる。
【００４８】
記録層１２は、５ｎｍないし４０ｎｍの厚さを有していることが好ましく、８ｎｍないし３０ｎｍの厚さを有していることが、より好ましい。記録層１２の厚さが５ｎｍ未満のときは、十分な反射率を得られないおそれがあり、一方、記録層１２の厚さが４０ｎｍを越えるときには、成膜時間が長くなり、生産性が悪化するおそれがあるため、好ましくない。
【００４９】
記録層１２は、たとえば、真空蒸着法、スパッタリング法などの気相成長法によって、形成することができる。
【００５０】
図２に示されるように、記録層１２の表面上には、光透過層１３が形成されている。
【００５１】
光透過層１３は、レーザビームを透過させる層であり、その一方の表面によって、光入射面１３ａが構成されている。
【００５２】
光透過層１３は、１０μｍないし３００μｍの厚さを有するように形成されることが好ましく、５０μｍないし１５０μｍの厚さを有するように形成されることが、より好ましい。
【００５３】
光透過層１３を形成するための材料は、とくに限定されるものではないが、アクリル系やエポキシ系などの紫外線硬化性樹脂を用いることが好ましい。
【００５４】
光透過層１３は、スピンコーティング法や、光透過性樹脂によって形成されたシートを、接着剤を用いて、接着することによって、形成することができる。
【００５５】
光透過層１３は、データを記録し、再生する場合に、レーザビームＬが通過するため、十分に高い光透過性を有している必要がある。
【００５６】
以上のような構成を有する光記録媒体１０には、次のようにして、データが記録される。
【００５７】
光記録媒体１０にデータを記録するにあたっては、光透過層１３の光入射面１３ａを介して、３８０ｎｍないし４５０ｎｍの波長λを有するレーザビームＬが照射され、記録層１２に、レーザビームＬがフォーカスされる。
【００５８】
こうして、記録層１２に、レーザビームＬが照射されると、記録層１２に主成分として含まれる酸化パラジウムが分解して、記録層１２が変形する。本実施態様においては、酸化パラジウムの分解による光学特性の変化と、記録層１２の変形による光学特性の変化とを利用して、データが記録される。
【００５９】
本実施態様においては、記録層１２が、酸化パラジウムを主成分として含むとともに、１９原子％ないし６１原子％の酸素を含有するように、形成されており、本発明者の研究によれば、かかる組成を有するように、記録層１２が形成された場合には、記録層１２にデータを記録するときの記録感度を向上させることができるのが見出されている。
【００６０】
かかる組成を有するように、記録層１２が形成された場合に、記録層１２の記録感度を向上させることができる理由は、必ずしも明らかでないが、記録層１２に、酸化パラジウムが主成分として含まれるとともに、１９原子％ないし６１原子％の酸素が含有されることにより、記録層１２の熱伝導率が低下し、この結果、記録層１２を効率的に加熱することができるようになったためではないかと推測される。
【００６１】
したがって、本実施態様によれば、記録層１２に、所望のように、データを記録することが可能となる。
【００６２】
以上のようにして、記録層１２に記録されたデータは、次のようにして、再生される。
【００６３】
光記録媒体１０に記録されたデータを再生するにあたっては、光透過層１３の光入射面１３ａを介して、３８０ｎｍないし４５０ｎｍの波長λを有するレーザビームＬが照射され、記録層１２に、レーザビームＬがフォーカスされる。
【００６４】
こうして、記録層１２に、レーザビームＬが照射されると、レーザビームＬが反射され、反射されたレーザビームＬの光量が検出されることによって、記録層１２に記録されたデータが再生される。
【００６５】
本発明者の研究によれば、記録層１２が、酸化パラジウムを主成分として含むとともに、１９原子％ないし６１原子％の酸素を含有するように、形成された場合には、記録層１２に記録されたデータを再生したときに、良好な信号特性を有する再生信号を得られることが見出されており、したがって、本実施態様によれば、記録層１２に記録されたデータを、所望のように、再生することが可能となる。
【００６６】
以上のように、酸化パラジウムを主成分として含むとともに、１９原子％ないし６１原子％の酸素を含有するように形成された記録層１２は、長期間の保存に対する信頼性が高く、所望のように、データを記録することができ、記録されたデータを再生することができるといった要件を、単一の記録膜によって、満たすことができるため、光記録媒体１０の製造コストを削減することも可能になる。
【００６７】
図２は、本発明の別の好ましい実施態様にかかる光記録媒体の略拡大断面図である。
【００６８】
図２に示されるように、本実施態様にかかる光記録媒体１００は、支持基板１１と、支持基板１１の表面上に形成された反射層２１と、反射層２１の表面上に形成された第二の誘電体層２２と、第二の誘電体層２２の表面上に形成された記録層１２と、記録層１２の表面上に形成された第一の誘電体層２４と、第一の誘電体層２４の表面上に形成された光透過層１３を備え、支持基板１１と記録層１２の間に、反射層２１および第二の誘電体層２２が形成されるとともに、光透過層１３と記録層１２の間に、第一の誘電体層２４が形成された点を除き、図１に示される光記録媒体１０と同様の構成を有している。
【００６９】
反射層２１は、光入射面１３ａから入射されるレーザビームＬを反射し、再び、光入射面１３ａから出射させる役割を果たすとともに、レーザビームＬの照射によって、記録層１２に生じた熱を効果的に放熱させる役割を果たす。
【００７０】
反射層２１を形成するための材料は、とくに限定されるものではなく、Ｍｇ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｇｅ、Ａｇ、Ｐｔ、Ａｕなどによって、形成することができる。これらのうちでは、Ａｌ、Ａｕ、Ａｇまたはこれらの合金が、高い反射率と高い熱伝導率を有しているため、反射層２１を形成するために、好ましく使用される。
【００７１】
反射層２１は、２０ｎｍないし２００ｎｍの厚さを有するように、形成されることが好ましい。反射層２１の厚さが２０ｎｍ未満であると、反射層２１の反射率を十分に高くすることが困難になるとともに、記録層１２に生成された熱を放熱することが困難になり、その一方で、反射層２１の厚さが２００ｎｍを越えていると、反射層２１の成膜に長い時間を要するため、生産性が低下し、また、内部応力などによって、クラックが発生するおそれがある。
【００７２】
第一の誘電体層２４および第二の誘電体層２２は、支持基板１１の熱変形を防止するするとともに、記録層１２を物理的、化学的に保護する役割を果たす。
【００７３】
第一の誘電体層２４および第二の誘電体層２２を形成するための材料は、レーザビームＬの波長領域において、透明な誘電体材料であれば、とくに限定されるものではなく、たとえば、酸化物、窒化物、硫化物、フッ化物、あるいは、これらの組み合わせを主成分とする誘電体材料によって、第一の誘電体層２４および第二の誘電体層２２を形成することができる。第一の誘電体層２４および第二の誘電体層２２は、好ましくは、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｚｎ、Ａｌ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｃｏ、Ｚｒ、Ｐｂ、Ａｇ、Ｓｎ、Ｃａ、Ｃｅ、Ｖ、Ｃｕ、Ｆｅ、Ｍｇよりなる群から選ばれる少なくとも一種の金属を含む酸化物、窒化物、硫化物、フッ化物、あるいは、これらの複合物によって形成される。第一の誘電体層２４および第二の誘電体層２２を形成するための誘電体材料としては、ＺｎＳとＳｉＯ２の混合物がとくに好ましく、また、ＺｎＳとＳｉＯ２のモル比としては、５０：５０ないし８５：１５であることが好ましく、略８０：２０であることが、さらに好ましい。
【００７４】
第一の誘電体層２４および第二の誘電体層２２は、たとえば、真空蒸着法、スパッタリング法などの気相成長法によって、形成することができる。
【００７５】
このように、本実施態様においては、支持基板１１と記録層１２の間に、反射層２１および第二の誘電体層２２が形成されるとともに、光透過層１３と記録層１２の間に、第一の誘電体層２４が形成されており、本発明者の研究によれば、反射層２１を設けるとともに、第一の誘電体層２４および第二の誘電体層２２で記録層１２を挟むように、光記録媒体１０を構成した場合には、記録層１２に記録されたデータを再生したときの再生信号に含まれるノイズを低減できることが見出されている。
【００７６】
反射層２１、第一の誘電体層２４および第二の誘電体層２２を形成することによって、記録層１２に記録されたデータを再生したときの再生信号に含まれるノイズを低減できる理由は、必ずしも明らかではないが、記録層１２にデータを記録するときに、記録層１２が必要以上に変形するのを防止することができ、これと同時に、支持基板１１や光透過層１３が変形するのも防止できたためではないかと推測される。
【００７７】
したがって、本実施態様によれば、より一層、良好な信号特性を有する再生信号を得ることが可能となる。
【００７８】
図３は、本発明の別の好ましい実施態様にかかる光記録媒体の略拡大断面図である。
【００７９】
図３に示されるように、本実施態様にかかる光記録媒体２００は、支持基板１１と、支持基板１１の表面上に形成された第一の記録層２０と、第一の記録層２０の表面上に形成された中間層４０と、中間層４０の表面上に形成された第二の記録層３０と、第二の記録層３０の表面上に形成された光透過層１３を備え、第一の記録層２０の上方に、中間層４０を介して、第二の記録層３０が形成され、二層の記録層が形成されている点で、図１に示される光記録媒体１０と相違している。
【００８０】
図３に示されるように、第一の記録層２０は、支持基板１１の表面上に形成された反射層２１と、反射層２１の表面上に形成された第二の誘電体層２２と、第二の誘電体層２２の表面上に形成された第一の記録膜２３ａと、第一の記録膜２３ａの表面上に形成された第二の記録膜２３ｂと、第二の記録膜２３ｂの表面上に形成された第一の誘電体層２４とを備えている。
【００８１】
図３に示された反射層２１、第一の誘電体層２４および第二の誘電体層２２は、図２に示された反射層２１、第一の誘電体層２４および第二の誘電体層２２と同様の構成を有している。
【００８２】
第一の記録膜２３ａおよび第二の記録膜２３ｂは、データが記録される記録膜であるが、それぞれ、単独では、データを記録することはできず、二つの記録膜が近傍に形成されることによって、一つの記録層としての役割を果たす。
【００８３】
本実施態様において、第一の記録膜２３ａは、Ｃｕを主成分として含み、第二の記録膜２３ｂは、Ｓｉを主成分として含んでいる。Ｃｕを主成分として含む第一の記録膜２３ａには、Ａｌ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｍｇ、Ａｕからなる群より選ばれる少なくとも一種の元素が添加されていることが好ましい。これらの元素を、第一の記録膜２３ａに添加した場合には、再生信号のノイズレベルを低下させることが可能になるとともに、長期間の保存に対する信頼性を向上させることが可能になる。
【００８４】
第一の記録膜２３ａおよび第二の記録膜２３ｂは、その総厚が、２ｎｍないし４０ｎｍとなるように形成されることが好ましい。第一の記録膜２３ａおよび第二の記録膜２３ｂの総厚が、２ｎｍ未満の場合には、レーザビームＬを照射する前後の反射率の変化が少なくなり、高いＣ／Ｎ比の再生信号を得ることができなくなり、一方、第一の記録膜２３ａおよび第二の記録膜２３ｂの総厚が、４０ｎｍを越えると、記録感度が悪化してしまう。
【００８５】
第一の記録膜２３ａおよび第二の記録膜２３ｂのそれぞれの厚さは、とくに限定されるものではないが、第二の記録膜２３ｂの厚さと、第一の記録膜２３ａの厚さとの比、すなわち、第二の記録膜２３ｂの厚さ／第一の記録膜２３ａの厚さが、０．２ないし５．０であることが好ましい。
【００８６】
第一の記録膜２３ａおよび第二の記録膜２３ｂは、たとえば、真空蒸着法、スパッタリング法などの気相成長法によって、形成することができる。
【００８７】
図３に示されるように、第一の記録層２０の表面上には、中間層４０が形成されている。
【００８８】
中間層４０は、第一の記録層２０と第二の記録層３０を物理的および光学的に十分な距離をもって離間させる機能を有している。
【００８９】
図３に示されるように、中間層４０の表面には、交互に、グルーブ４０ａおよびランド４０ｂが形成されている。中間層４０の表面に形成されたグルーブ４０ａおよび／またはランド４０ｂは、第二の記録層３０にデータを記録する場合および第二の記録層３０からデータを再生する場合において、レーザビームＬのガイドトラックとして、機能する。
【００９０】
中間層４０は、５μｍないし５０μｍの厚さを有するように形成されることが好ましく、さらに好ましくは、１０μｍないし４０μｍの厚さを有するように、形成される。
【００９１】
中間層４０は、レーザビームＬが通過するため、高い透過率を有していることが必要である。中間層４０を形成するための材料は、レーザビームに対する光透過性を有していれば、とくに限定されるものではないが、紫外線硬化性アクリル樹脂を用いることが好ましい。
【００９２】
図３に示されるように、中間層４０の表面上には、第二の記録層３０が形成されている。
【００９３】
第二の記録層３０は、データを記録する記録層であり、単一の記録層によって構成されている。
【００９４】
本実施態様において、第二の記録層３０は、酸化パラジウムを主成分として含むととともに、酸素の含有量が３７原子％ないし６１原子％となるように、形成されており、好ましくは、酸素の含有量が４９原子％ないし６１原子％となるように、形成されている。
【００９５】
第二の記録層３０は、５ｎｍないし４０ｎｍの厚さを有していることが好ましく、８ｎｍないし３０ｎｍの厚さを有していることが、より好ましい。
【００９６】
第二の記録層３０は、たとえば、真空蒸着法、スパッタリング法などの気相成長法によって、形成することができる。
【００９７】
以上のような構成を有する光記録媒体２００には、次のようにして、データが記録され、記録されたデータが再生される。
【００９８】
本実施態様において、光記録媒体２００にデータを記録し、記録されたデータを再生するにあたっては、光透過層１３の光入射面１３ａを介して、３８０ｎｍないし４５０ｎｍの波長λを有するレーザビームＬが照射され、第一の記録層２０および第二の記録層３０のいずれかに、レーザビームＬがフォーカスされる。
【００９９】
第一の記録層２０に、データを記録する場合には、記録パワーＰｗに設定されたレーザビームＬが、第一の記録層２０にフォーカスされて、光透過層１３を介して、第一の記録層２０に照射される。
【０１００】
記録パワーＰｗに設定されたレーザビームＬが、第一の記録層２０に照射されると、第一の記録層２０が加熱され、第一の記録膜２３ａに主成分として含まれる元素と、第二の記録膜２３ｂに主成分として含まれる元素とが混合され、混合領域が形成される。この混合領域は、それ以外の領域と、レーザビームＬに対する反射率が大きく異なるため、記録マークとして、利用することができる。
【０１０１】
一方、第一の記録層２０に記録されたデータを再生する場合には、再生パワーＰｒに設定されたレーザビームＬが、第一の記録層２０にフォーカスされる。こうして、第一の記録層２０に、レーザビームＬが照射されると、レーザビームＬが反射され、反射されたレーザビームＬの光量が検出されて、第一の記録層２０に記録されたデータが再生される。
【０１０２】
このように、第一の記録層２０にデータが記録され、記録されたデータが再生される場合には、レーザビームＬが、第二の記録層３０を介して、第一の記録層２０に照射されることになり、したがって、第二の記録層３０は、レーザビームＬに対する透過率が高いことが必要である。また、第二の記録層３０にデータが記録される前後で、レーザビームＬに対する第二の記録層３０の透過率が大きく変化すると、第一の記録層２０にデータを記録するときの第一の記録層２０の記録感度や、第一の記録層２０に記録されたデータを再生するときの再生信号の信号特性に大きく影響を及ぼすため、第二の記録層３０は、データが記録される前後で、レーザビームＬに対する透過率が大きく変化しないことも必要である。
【０１０３】
本実施態様においては、第二の記録層３０が、酸化パラジウムを主成分として含むとともに、３７原子％ないし６１原子％の酸素を含有するように、形成されており、本発明者の研究によれば、第二の記録層３０が、かかる組成を有するように形成された場合には、レーザビームＬに対する第二の記録層３０の透過率を向上させることができるとともに、データを記録する前後でのレーザビームＬに対する第二の記録層３０の透過率の変化を小さくすることができるのが見出されている。
【０１０４】
したがって、本実施態様によれば、レーザビームＬが、第二の記録層３０を透過する際に、レーザビームＬのパワーが低下するのを最小限に抑制することができるとともに、第二の記録層３０にデータが記録される前後で、第一の記録層２０に照射されるレーザビームＬの光量が変化するのを最小限に抑制することができるから、第一の記録層２０に、所望のように、データを記録し、記録されたデータを再生することが可能となる。
【０１０５】
また、第二の記録層３０に、データを記録する場合には、記録パワーＰｗに設定されたレーザビームＬが、第二の記録層３０にフォーカスされ、光透過層１３を介して、第二の記録層３０に照射される。こうして、第二の記録層３０に、レーザビームＬが照射されると、図１および図２に示される記録層１２と同様に、第二の記録層３０に主成分として含まれる酸化パラジウムが分解して、第二の記録層３０が変形し、データが記録される。
【０１０６】
一方、第二の記録層３０に、記録されたデータを再生する場合には、再生パワーＰｒに設定されたレーザビームＬが、第二の記録層３０にフォーカスされる。こうして、第二の記録層３０に、レーザビームＬが照射されると、レーザビームＬが反射され、反射されたレーザビームＬの光量が検出されて、第二の記録層３０に記録されたデータが再生される。
【０１０７】
本発明者の研究によれば、第二の記録層３０が、酸化パラジウムを主成分として含むとともに、３７原子％ないし６１原子％の酸素を含有するように形成された場合には、第二の記録層３０の記録感度を向上させることができるとともに、第二の記録層３０に記録されたデータを再生して得られる再生信号の信号特性を、さらに向上させることができるのが見出されている。したがって、本実施態様によれば、第一の記録層２０だけでなく、第二の記録層３０にも、所望のように、データを記録し、記録されたデータを再生することが可能となる。
【０１０８】
以下、本発明の効果をより明瞭なものとするため、実施例を掲げる。
【実施例】
【０１０９】
実施例１
まず、射出成型法により、厚さが１．１ｍｍ、直径が１２０ｍｍで、表面に、グルーブおよびランドが、０．３２μｍのグルーブピッチで形成されたポリカーボネート基板を作製した。
【０１１０】
次いで、ポリカーボネート基板をスパッタリング装置にセットし、ＡｒとＯ２との流量が５０ｓｃｃｍと２ｓｃｃｍの混合ガス雰囲気中で、Ｐｄターゲットを用いて、スパッタリングすることにより、酸化パラジウムを主成分として含み、２０ｎｍの厚さを有する記録層を形成した。
【０１１１】
最後に、記録層の表面上に、紫外線硬化性アクリル樹脂をスピンコート法により、塗布して、塗膜を形成し、これに、紫外線を照射して、１００μｍの光透過層を形成した。
【０１１２】
こうして、サンプル＃１を作製した。
【０１１３】
記録層を形成するに際し、混合ガスにおけるＡｒとＯ２との流量を、５０ｓｃｃｍと５ｓｃｃｍに変更した点を除き、サンプル＃１と同様にして、サンプル＃２を作製した。
【０１１４】
記録層を形成するに際し、混合ガスにおけるＡｒとＯ２との流量を、５０ｓｃｃｍと７ｓｃｃｍに変更した点を除き、サンプル＃１と同様にして、サンプル＃３を作製した。
【０１１５】
記録層を形成するに際し、混合ガスにおけるＡｒとＯ２との流量を、５０ｓｃｃｍと２０ｓｃｃｍに変更した点を除き、サンプル＃１と同様にして、サンプル＃４を作製した。
【０１１６】
記録層を形成するに際し、混合ガスにおけるＡｒとＯ２との流量を、１０ｓｃｃｍと９０ｓｃｃｍに変更した点を除き、サンプル＃１と同様にして、サンプル＃５を作製した。
【０１１７】
記録層を形成するに際し、混合ガスにおけるＡｒとＯ２との流量を、５０ｓｃｃｍと０ｓｃｃｍに変更した点を除き、サンプル＃１と同様にして、比較サンプル＃１を作製した。
【０１１８】
次いで、０．５ｍｍの厚さを有するシリコン基板の表面上に、サンプル＃１の記録層を形成したときと同じ成膜条件で、２００ｎｍの厚さを有する記録層を形成し、サンプル＃１−１を作製した。
【０１１９】
さらに、サンプル＃２ないし比較サンプル＃１の記録層を形成したときと同じ成膜条件で、シリコン基板の表面に、２００ｎｍの厚さを有する記録層を、それぞれ、形成して、サンプル＃２−１ないし比較サンプル＃１−１を作製した。
【０１２０】
次いで、、理学電気工業株式会社製の蛍光Ｘ線装置「ＲＩＸ２０００」（商品名）を用いて、Ｒｈ管の管電圧＝５０ｋＶ、管電流＝５０ｍＡにてＸ線を発生させ、薄膜ＦＰ法によって、サンプル＃１−１ないし比較サンプル＃１−１の記録層に含まれるパラジウムおよび酸素の含有量を測定した。このとき、一次Ｘ線フィルターは、Ａｌを使用し、パラジウムの特性Ｘ線は、Ｐｄ−Ｌα線、酸素の特性Ｘ線は、Ｏ−Ｋα線を用いた。パラジウムの装置感度校正係数は、厚さが３１７ｎｍのパラジウムの薄膜を用いて測定し、酸素の装置感度係数は、Ａｇ２Ｏの粉末を７００ｋｇ／ｃｍ２の圧力で、厚さが３ｍｍのペレット状に形成したサンプルを用いて測定した。
【０１２１】
測定結果は、表１に示されている。
【０１２２】
【表１】
2005178085.tif 000003
【０１２３】
次いで、サンプル＃１ないし比較サンプル＃１を、パルステック工業株式会社製の光記録媒体評価装置「ＤＤＵ１０００」（商品名）に、順次、セットし、以下の条件で、サンプル＃１ないし比較サンプル＃１の記録層に、データを記録した。データを記録するにあたっては、レーザビームの波長を４０５ｎｍ、対物レンズの開口数ＮＡを０．８５として、レーザビームの記録パワーＰｗを４ｍＷとした。
【０１２４】
さらに、レーザビームの記録パワーＰｗを、４ｍＷないし１２ｍＷの範囲で、４ｍＷから少しずつ、上げていき、順次、記録層に、８Ｔの長さの記録マークを形成して、データを記録した。
【０１２５】
変調方式：（１，７）ＲＬＬ
記録線速度：５．３ｍ／秒
チャンネルビット長：０．１２μｍ
チャンネルクロック：６６ＭＨｚ
記録方式：オングルーブ記録
【０１２６】
次いで、上述の光記録媒体評価装置を用いて、サンプル＃１ないし比較サンプル＃１の記録層に、再生パワーＰｒに設定されたレーザビームを、順次、照射し、記録層に記録されたデータを再生して、８Ｔの長さを有する記録マークを再生したときの再生信号の変調度およびＣ／Ｎ比を、測定した。再生信号のＣ／Ｎ比の測定は、アドバンテスト株式会社製のスペクトラムアナライザー「スペクトラムアナライザーＸＫ１８０」（商品名）を用いて、測定した。また、再生信号の変調度は、（Ｌａ−Ｌｂ）／Ｌａによって算出した。Ｌａは、記録マークが形成されていない領域に、レーザビームを照射して得られる再生信号のレベルであり、Ｌｂは、記録マークが形成されている領域に、レーザビームを照射して得られる再生信号のレベルである。
【０１２７】
データを再生するにあたっては、レーザビームの波長を４０５ｎｍ、対物レンズの開口数ＮＡを０．８５として、レーザビームの再生パワーＰｒを、０．３ｍＷとした。
【０１２８】
測定結果は、表２に示されている。表２には、記録パワーＰｗを４ｍＷないし１２ｍＷの範囲で変化させて記録したデータを再生したときに、最大の変調度を得られたときの記録パワーＰｗ、その記録パワーＰｗで記録したデータを再生したときの再生信号の変調度およびＣ／Ｎ比が示されている。
【０１２９】
【表２】
2005178085.tif 000004
【０１３０】
表２に示されるように、サンプル＃１ないし＃５においては、記録層に記録したデータを再生したときの再生信号の変調度が、いずれも、４５％以上となり、比較サンプル＃１に比べて、十分に高い変調度を有する再生信号を得られることが判明した。
【０１３１】
また、サンプル＃１ないし＃５においては、比較サンプル＃１に比べて、最大の変調度を得られたときの記録パワーＰｗが低く、きわめて高い記録感度を有することが認められた。
【０１３２】
さらに、サンプル＃１ないし＃５においては、記録層に記録したデータを再生したときの再生信号のＣ／Ｎ比が、いずれも、４０ｄＢ以上となり、比較サンプル＃１に比べて、高いＣ／Ｎ比を有する再生信号を得られることが判明した。
【０１３３】
実施例２
データが記録されたサンプル＃１ないし比較サンプル＃１を、温度８０℃、相対湿度８５％の環境下において、５０時間にわたり、保持して、保存試験を実行した。
【０１３４】
次いで、上述の光記録媒体評価装置を用いて、保存試験後のサンプル＃１ないし比較サンプル＃１に記録されたデータを再生し、再生信号のＣ／Ｎ比を測定した。再生信号のＣ／Ｎ比を測定するに際しては、記録層に記録されたデータのうち、実施例１で、最大の変調度を得られたデータを対象にして、測定した。
【０１３５】
測定結果は、表３に示されている。表３では、実施例１で測定したサンプル＃１ないし比較サンプル＃１の再生信号のＣ／Ｎ比が、「保存試験前」に示されており、保存試験を実行した後のサンプル＃１ないし比較サンプル＃１の再生信号のＣ／Ｎ比が、「保存試験後」に示されている。
【０１３６】
【表３】
2005178085.tif 000005
【０１３７】
表３に示されるように、サンプル＃１ないし＃５においては、いずれも、記録層に記録されたデータを再生したときの再生信号のＣ／Ｎ比が、保存試験の前後で、ほとんど変化せず、長期間の保存に対する高い信頼性を有することが認められた。
【０１３８】
実施例３
記録層を形成するに際し、混合ガスにおけるＡｒとＯ２との流量を、５０ｓｃｃｍと２５ｓｃｃｍに変更した点を除き、サンプル＃１と同様にして、サンプル＃６を作製した。
【０１３９】
次いで、０．５ｍｍの厚さを有するシリコン基板の表面上に、サンプル＃６の記録層を形成したときと同じ成膜条件で、２００ｎｍの厚さを有する記録層を形成し、サンプル＃６−１を作製した。
【０１４０】
さらに、上述の蛍光Ｘ線装置を用いて、実施例１と同様にして、サンプル＃６−１の記録層に含まれるパラジウムおよび酸素の含有量を、それぞれ、測定した。記録層中のパラジウムおよび酸素の含有量は、それぞれ、４７原子％、５３原子％であった。
【０１４１】
ＺｎＳとＳｉＯ２のモル比が８０：２０の混合物ターゲットを用いたスパッタリング法により、８０ｎｍの厚さを有する第二の誘電体層を、ポリカーボネート基板と記録層との間に形成した点、第二の誘電体層と同様にして、８５ｎｍの厚さを有する第一の誘電体層を、記録層と光透過層との間に形成した点を除き、サンプル＃１と同様にして、サンプル＃７を作製した。
【０１４２】
ポリカーボネート基板と第二の誘電体層との間に、Ａｇ、ＰｄおよびＣｕの合金を主成分として含み、１００ｎｍを厚さを有する反射層を形成した点、第二の誘電体層の厚さを１５ｎｍとした点、第一の誘電体層の厚さを２０ｎｍとした点を除き、サンプル＃７と同様にして、サンプル＃８を作製した。
【０１４３】
次いで、実施例１で用いた光記録媒体評価装置と同じ光記録媒体評価装置を用いて、サンプル＃６ないし＃８の記録層に、順次、レーザビームを照射し、８Ｔの長さの記録マークを形成して、データを記録した。データを記録するにあたっては、レーザビームの記録パワーＰｗを、サンプル＃６ないし＃８の記録層にデータを記録するにあたって、それぞれ、４ｍＷ、５ｍＷ、５ｍＷに設定した。
【０１４４】
さらに、同じ光記録媒体評価装置を用いて、サンプル＃６ないし＃８の記録層に記録したデータを再生して、８Ｔの長さを有する記録マークを再生したときの再生信号に含まれるノイズおよび再生信号のＣ／Ｎ比を、測定した。データを再生するにあたっては、レーザビームの再生パワーＰｒを、０．３ｍＷとした。
【０１４５】
測定結果は、表４に示されている。
【０１４６】
【表４】
2005178085.tif 000006
【０１４７】
表４に示されるように、サンプル＃７においては、記録層に記録されたデータを再生したときの再生信号に含まれるノイズおよび再生信号のＣ／Ｎ比が、サンプル＃６に比べて、再生信号に含まれるノイズが低くなり、また、再生信号のＣ／Ｎ比も高くなることが認められた。
【０１４８】
また、サンプル＃８においては、記録層に記録されたデータを再生したときの再生信号に含まれるノイズおよび再生信号のＣ／Ｎ比が、サンプル＃７に比べて、再生信号に含まれるノイズが低くなるとともに、再生信号のＣ／Ｎ比が高くなるのが認められ、再生信号に含まれるノイズを、より一層、低くすることができ、さらに高いＣ／Ｎ比を有する再生信号を得られることが判明した。
【０１４９】
実施例４
実施例１で用いた光記録媒体評価装置と同じ光記録媒体評価装置を用いて、サンプル＃１ないし＃５ならびに比較サンプル＃１に、表２に示される記録パワーＰｗに設定されたレーザビームを照射し、サンプル＃１ないし＃５ならびに比較サンプル＃１の記録層に、８Ｔの長さの記録マークを形成して、データを記録した。
【０１５０】
次いで、ｓｔｅａｇ  ＥＴＡ−ＯＰＴＩＫ株式会社製の光学式膜厚測定装置「ＥＴＡ−ＲＴ」（商品名）を用いて、サンプル＃１ないし＃５ならびに比較サンプル＃１の記録層に、レーザビームを照射し、記録マークが形成された領域の透過率と、記録マークが形成されていない領域の透過率とを、それぞれ、測定した。さらに、サンプル＃１ないし＃５ならびに比較サンプル＃１につき、透過率の変化率ΔＴを、ΔＴ＝（Ｔａ−Ｔｂ）／Ｔａによって、算出した。ここに、Ｔａ、Ｔｂは、それぞれ、記録マークが形成されていない領域の透過率、記録マークが形成された領域の透過率を示している。
【０１５１】
測定結果は、表５に示されている。
【０１５２】
【表５】
2005178085.tif 000007
【０１５３】
表５に示されるように、サンプル＃３ないし＃５においては、記録マークを形成する前の記録層の透過率が、いずれも、４０％以上で、十分に高い透過率を有し、とくに、サンプル＃４および＃５においては、記録マークを形成する前のレーザービームに対する記録層の透過率が、いずれも、４５％以上となり、より一層、高い透過率を有することが認められた。
【０１５４】
また、サンプル＃３ないし＃５においては、レーザビームに対する透過率の変化率が、いずれも、±１０％以内に収まり、記録マークを形成する前後で、記録層の透過率が、さほど変化せず、とくに、サンプル＃４および＃５においては、レーザビームに対する透過率の変化率が、いずれも、±５％以内の範囲に収まり、記録マークを形成する前後で、記録層の透過率が、ほとんど変化しないことが認められた。
【０１５５】
実施例５
まず、サンプル＃１と同様にして、ポリカーボネート基板を作製した。
【０１５６】
次いで、ポリカーボネート基板をスパッタリング装置にセットし、グルーブおよびランドが形成された表面上に、Ａｇ、ＰｄおよびＣｕの合金を主成分として含み、１００ｎｍを厚さを有する反射層、ＺｎＳとＳｉＯ２の混合物を主成分として含み、３４ｎｍの厚さを有する第二の誘電体層、Ｃｕを主成分とし、２３原子％のＡｌと１３原子％のＡｕが添加された５ｎｍの厚さを有する第一の記録膜、Ｓｉを主成分として含み、５ｎｍの厚さを有する第二の記録膜および、ＺｎＳとＳｉＯ２の混合物を主成分として含み、２２ｎｍの厚さを有する第一の誘電体層を、順次、スパッタリング法により形成し、第一の記録層を形成した。第一の誘電体層および第二の誘電体層を形成するに際しては、ＺｎＳとＳｉＯ２のモル比率が８０：２０である混合物ターゲットを使用した。
【０１５７】
次いで、第一の記録層が形成されたポリカーボネート基板をスピンコート装置にセットし、ポリカーボネート基板を回転させながら、第一の記録層上に紫外線硬化性アクリル樹脂を、塗布して、塗膜を形成し、塗膜の表面に、グルーブおよびランドが形成されたスタンパを載置し、スタンパを介して、塗膜に、紫外線を照射して、紫外線硬化性アクリル樹脂を硬化させ、スタンパを剥離して、その表面に、グルーブピッチが０．３２μｍとなるように、グルーブとランドが形成された厚さ２５μｍの中間層を形成した。
【０１５８】
さらに、中間層が形成されたポリカーボネート基板をスパッタリング装置にセットし、ＡｒとＯ２との流量が１０ｓｃｃｍと９０ｓｃｃｍの混合ガス雰囲気中で、Ｐｄターゲットを用いて、スパッタリングすることにより、酸化パラジウムを主成分として含み、２０ｎｍの厚さを有する第二の記録層を形成した。
【０１５９】
最後に、第二の記録層の表面上に、紫外線硬化性アクリル樹脂をスピンコート法により、塗布して、塗膜を形成し、これに、紫外線を照射して、７５μｍの光透過層を形成した。
【０１６０】
こうして、サンプル＃９を作製した。
【０１６１】
第二の記録層を形成するに際し、混合ガスにおけるＡｒとＯ２との流量を、５０ｓｃｃｍと２０ｓｃｃｍに変更とした点、および第二の記録層の厚さを１５ｎｍにした点を除き、サンプル＃９と同様にして、サンプル＃１０を作製した。
【０１６２】
第二の記録層を形成するに際し、混合ガスにおけるＡｒとＯ２との流量を、５０ｓｃｃｍと５ｓｃｃｍに変更とした点、および第二の記録層の厚さを１０ｎｍにした点を除き、サンプル＃９と同様にして、サンプル＃１１を作製した。
【０１６３】
次いで、０．５ｍｍの厚さを有するシリコン基板の表面上に、それぞれ、サンプル＃９ないし＃１１の第二の記録層を形成したときと同じ成膜条件で、２００ｎｍの厚さを有する記録層を形成し、順次、サンプル＃９−１ないし＃１１−１を作製した。
【０１６４】
さらに、上述の蛍光Ｘ線装置を用いて、実施例１と同様にして、サンプル＃９−１ないし＃１１−１の記録層に含まれるパラジウムおよび酸素の含有量を、それぞれ、測定した。
【０１６５】
測定結果は、表６に示されている。
【０１６６】
【表６】
2005178085.tif 000008
【０１６７】
次いで、上述の光記録媒体評価装置を用いて、サンプル＃９ないし＃１１につき、第一の記録層に、記録パワーＰｗに設定されたレーザビームを照射して、第一の記録層に、８Ｔの長さを有する記録マークを形成して、データを記録した。データを記録するにあたっては、レーザビームの記録パワーＰｗを４ｍＷとした。
【０１６８】
さらに、レーザビームの記録パワーＰｗを、４ｍＷないし１２ｍＷの範囲で、４ｍＷから少しずつ、上げていき、順次、サンプル＃９ないし＃１１の第一の記録層にデータを記録した。
【０１６９】
次いで、同じ光記録媒体評価装置を用いて、サンプル＃９ないし＃１１の第一の記録層に、再生パワーＰｒに設定されたレーザビームを、照射し、第一の記録層に記録されたデータを再生して、８Ｔの長さを有する記録マークを再生したときの再生信号の変調度を測定した。データを再生するにあたっては、レーザビームの再生パワーＰｒを、０．７ｍＷとした。
【０１７０】
測定結果は、表７に示されている。表７の「記録パワーＰｗ」には、記録パワーＰｗを４ｍＷないし１２ｍＷの範囲で変化させて記録したデータを再生したときに、６０％以上の変調度を得られたときの記録パワーＰｗのうちの最も低い記録パワーＰｗが示されている。
【０１７１】
【表７】
2005178085.tif 000009
【０１７２】
次いで、サンプル＃９ないし＃１１を、同じ光記録媒体評価装置に、順次、セットし、記録パワーＰｗに設定されたレーザビームを、第二の記録層に、照射して、８Ｔの長さを有する記録マークを形成して、データを記録した。サンプル＃９ないし＃１１の第二の記録層に、データを記録するにあたっては、レーザビームの記録パワーＰｗを、それぞれ、６ｍＷ、６ｍＷ、８ｍＷに設定した。
【０１７３】
さらに、同じ光記録媒体評価装置を用いて、サンプル＃９ないし＃１１につき、第二の記録層のデータが記録された領域を介して、第一の記録層に、記録パワーＰｗに設定されたレーザビームを照射して、第一の記録層に、８Ｔの長さを有する記録マークを形成して、データを記録した。データを記録するにあたっては、レーザビームの記録パワーＰｗを、４ｍＷないし１２ｍＷの範囲で、少しずつ、上げていった。
【０１７４】
さらに、同じ光記録媒体評価装置を用いて、サンプル＃９ないし＃１１につき、第二の記録層のデータが記録された領域を介して、第一の記録層に、再生パワーＰｒに設定されたレーザビームを、照射し、第一の記録層に記録されたデータを再生して、８Ｔの長さを有する記録マークを再生したときの再生信号の変調度を測定した。サンプル＃９ないし＃１１の第一の記録層に記録されたデータを再生するにあたっては、レーザビームの再生パワーＰｒを、０．７ｍＷとした。
【０１７５】
測定結果は、表８に示されている。表８の「記録パワーＰｗ」には、記録パワーＰｗを４ｍＷないし１２ｍＷの範囲で変化させて記録したデータを再生したときに、６０％以上の変調度を得られたときの記録パワーＰｗのうちの最も低い記録パワーＰｗが示されている。
【０１７６】
【表８】
2005178085.tif 000010
【０１７７】
表７および表８に示されるように、サンプル＃９および＃１０においては、６０％以上の変調度を得られたときの記録パワーＰｗが、第二の記録層にデータを記録する前後で、ほとんど変化せず、第二の記録層にデータを記録した後でも、第二の記録層にデータを記録する前と同等の条件で、第一の記録層にデータを記録することができるのが認められた。
【０１７８】
本発明は、以上の実施態様および実施例に限定されることなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内で種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。
【０１７９】
たとえば、図３に示された実施態様においては、光記録媒体２００は、支持基板１１と、光透過層１３と、支持基板１１および光透過層１３の間に形成された第一の記録層２０、第二の記録層３０を備えているが、本発明は、二層の記録層を有する光記録媒体に限定されるものではなく、広く、二層以上の記録層を有する光記録媒体に適用することができる。
【０１８０】
また、図３に示された実施態様においては、第二の記録層３０が、単一の記録層から構成されているが、これに限られるものではなく、第一の記録層２０と同様に、誘電体層や反射層などを含んで構成されてもよい。
【０１８１】
また、図３に示された実施態様においては、第一の記録層２０が、Ｃｕを主成分として含む第一の記録膜２３ａと、Ｓｉを主成分として含む第二の記録膜２３ｂとを備えているが、Ｃｕを主成分として含む第一の記録膜２３ａと、Ｓｉを主成分として含む第二の記録膜２３ｂとを有するように、第一の記録層２０を形成することは必ずしも必要でなく、第一の記録層２０を、酸化パラジウムを主成分として含むように形成することも可能である。
【０１８２】
また、図３に示された実施態様においては、第一の記録層２０が、Ｃｕを主成分として含む第一の記録膜２３ａと、Ｓｉを主成分として含む第二の記録膜２３ｂとを備え、追記型の記録層によって構成されているが、これに限られるものではなく、第一の記録層２０は、再生専用の記録層や書き換え型の記録層によって、構成されても構わない。たとえば、第一の記録層２０が再生専用の記録層として構成される場合には、支持基板１１、あるいは、中間層４０が、光入射面から最も遠い記録層として機能し、支持基板１１、あるいは、中間層４０の表面上に、スタンパの凹凸によって形成されたピットによって、データが記録される。
【０１８３】
さらに、図１ないし図３に示される実施態様においては、光記録媒体１０、１００、２００は、光透過層１３を備えているが、光透過層１３に代えて、または、光透過層１３の表面上に、ハードコート組成物を主成分として含むハードコート層を設けてもよいし、さらに、潤滑性や防汚性の機能を付与するために、ハードコート層に潤滑剤を含ませてもよいし、ハードコート層の表面上に、潤滑剤を主成分として含む潤滑層を、別途、設けるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１８４】
【図１】図１は、本発明の好ましい実施態様にかかる光記録媒体の略拡大断面図である。
【図２】図２は、本発明の別の好ましい実施態様にかかる光記録媒体の略拡大断面図である。
【図３】図３は、本発明の別の好ましい実施態様にかかる光記録媒体の略拡大断面図である。
【符号の説明】
【０１８５】
１０  光記録媒体
１１  支持基板
１１ａ  グルーブ
１１ｂ  ランド
１２  記録層
１３  光透過層
２０  第一の記録層
２１  反射層
２２  第二の誘電体層
２３ａ  第一の記録膜
２３ｂ  第二の記録膜
２４  第一の誘電体層
３０  第二の記録層
４０  中間層
４０ａ  グルーブ
４０ｂ  ランド
１００  光記録媒体
２００  光記録媒体
【図１】
2005178085.tif 000011
【図２】
2005178085.tif 000012
【図３】
2005178085.tif 000013