(57)【要約】【課題】  インバータ電子レンジの初期動作の際電磁波を発生するマグネトロンに過度な電圧が印加されるのを防止しかつインバータ部の耐久性及び動作の信頼性を向上させる。【解決手段】  商用交流電源ＡＣを整流及び平滑して直流電圧を生成する整流部１０と、整流部１０から印加される電圧をスイッチングしてマグネトロン駆動用交流電圧を発生させるインバータ部２０と、インバータ部２０のスイッチングにより発生された交流電圧を高出力の直流電圧に変換して電磁波発生用マグネトロンＭに伝達するマグネトロン駆動部３０と、初期動作の際マグネトロンＭに過度な電圧が印加されるのを防止するためにインバータ部２０のスイッチング周波数を可変するインバータ制御部４０とを含み、インバータ部２０のスイッチング周波数を、初期動作時には上げ、一定時間が経過して正常駆動するときには下げるよう構成する。【選択図】      図３
2005174916.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電磁波を生成するマグネトロンと、
商用交流電源が整流及び平滑された直流電圧をスイッチングしてマグネトロン駆動用交流電圧を生成し、生成した交流電圧を前記マグネトロンに印加するインバータ部と、
前記マグネトロンに過度な電圧が印加されるのを防止するために前記インバータ部のスイッチング周波数を可変するインバータ制御部と、
を含むことを特徴とするインバータ電子レンジ。
【請求項２】
前記インバータ制御部は、
基準周波数を発生させる周波数発生部と、
前記マグネトロンに高出力電圧が印加されるように前記基準周波数を可変し、特に前記インバータ電子レンジの初期動作の際、前記インバータ部のスイッチング周波数を増加させる周波数制御部と、
を含むことを特徴とする請求項１に記載のインバータ電子レンジ。
【請求項３】
前記インバータ制御部は、
前記商用交流電源の電流を検出する外部電流検出部と、
前記マグネトロンに流れている電流を検出するマグネトロン電流検出部と、
をさらに含むことを特徴とする請求項２に記載のインバータ電子レンジ。
【請求項４】
前記周波数制御部は、前記外部電流検出部が検出した電流の大きさにしたがって前記インバータ部のスイッチング周波数を可変する周波数可変部を含むことを特徴とする請求項３に記載のインバータ電子レンジ。
【請求項５】
前記周波数制御部は、
前記周波数可変部からの出力に応じて前記インバータ部にスイッチング制御信号を出力し、前記インバータ部のスイッチング周波数を制御して前記マグネトロンを駆動させるインバータ駆動部と、
前記マグネトロン電流検出部から検出された電流の大きさが、設定電流よりも大きい場合には前記周波数発生部から出力された周波数を増加させ、前記設定電流に等しいか又は該設定電流よりも小さい場合には該周波数を減少させる出力制御部と、
をさらに含むことを特徴とする請求項４に記載のインバータ電子レンジ。
【請求項６】
前記周波数可変部は、
印加される電圧または流れる電流に応じて異なる周波数の信号を発生させる周波数ＩＣと、
初期駆動の際前記周波数ＩＣが高い周波数の信号を生成するようにし、一定の時間が経過すると低い周波数の信号を生成するようにするソフト駆動回路部と、
を含むことを特徴とする請求項５に記載のインバータ電子レンジ。
【請求項７】
前記周波数可変部は、前記外部電流検出部から検出された電流の大きさが設定電流よりも大きいとき、前記周波数ＩＣから発生する周波数を増加させ、該設定電流に等しいか又は該設定電流よりも小さいとき周波数を減少させるフィードバック回路部をさらに含むことを特徴とする請求項６に記載のインバータ電子レンジ。
【請求項８】
前記フィードバック回路部は、非反転端子が前記周波数発生部と連結され、反転端子には前記周波数ＩＣと連結されたキャパシタに印加される電圧が入力される増幅器を含むことを特徴とする請求項７に記載のインバータ電子レンジ。
【請求項９】
前記ソフト駆動回路部は、
反転端子に前記周波数ＩＣに連結されたキャパシタに印加される電圧が入力され、非反転端子には基準電圧が印加される増幅器と、
カソードが前記増幅器の出力端子と連結されるダイオードと、
を含むことを特徴とする請求項７に記載のインバータ電子レンジ。
【請求項１０】
前記周波数可変部は、初期駆動の際高い周波数の信号を生成し、一定の時間が経過すると低い周波数の信号を生成するソフト駆動ＩＣを含むことを特徴とする請求項５に記載のインバータ電子レンジ。
【請求項１１】
前記周波数可変部は、前記外部電流検出部から検出された電流の大きさが設定電流よりも大きいとき、前記ソフト駆動ＩＣから発生する周波数を増加させ、該設定電流に等しいか又は該設定電流よりも小さいとき、前記周波数を減少させるフィードバック回路部をさらに含むことを特徴とする請求項１０に記載のインバータ電子レンジ。
【請求項１２】
前記ソフト駆動ＩＣとしてＬ６５７４を使用することを特徴とする請求項１０に記載のインバータ電子レンジ。
【請求項１３】
商用交流電源をインバータ部を介してマグネトロンに供給するインバータ電子レンジの制御方法において、
直流電圧に整流及び平滑される前記商用交流電源の電流の大きさにしたがって前記インバータ部のスイッチング周波数を可変させる第１段階と、
初期動作の際集積回路のキャパシタに印加される電圧の大きさにしたがって低いスイッチング周波数を発生させる第２段階と、
前記スイッチング周波数に応じて前記インバータ部が動作されてマグネトロンの駆動のための高出力交流電圧を生成する第３段階と、
を含むことを特徴とするインバータ電子レンジの制御方法。
【請求項１４】
前記第１段階は、
前記交流電源の電流を検出し、この検出された電流と設定電流の大きさとを比較する第１過程と、
前記第１過程の比較結果、前記検出電流が、前記設定電流よりも大きいとき、前記スイッチング周波数を増加させ、前記設定電流に等しいか又は該設定電流よりも小さいとき、前記スイッチング周波数を減少させる第２過程と、
を含むことを特徴とする請求項１３に記載のインバータ電子レンジの制御方法。
【請求項１５】
前記第２段階は、
前記キャパシタに印加される電圧を検出する第１過程と、
前記第１過程で検出された電圧と基準電圧とを比較し、前記検出電圧が、該基準電圧よりも大きいとき、低いスイッチング周波数を生成し、前記基準電圧に等しいか又は該基準電流よりも小さいとき、高いスイッチング周波数を生成する第２過程と、
を含むことを特徴とする請求項１３に記載のインバータ電子レンジの制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インバータ電子レンジ及びその制御方法に関し、特に、インバータ電子レンジの初期動作の際マグネトロンに過度な電圧が印加されるのを防止するべく、インバータ部のスイッチング周波数を可変するインバータ制御部を含めて構成されることを特徴とするインバータ電子レンジ及びその制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１は、一般のインバータ電子レンジの構成を示す図であり、図２は、従来技術に係るインバータ電子レンジの構成を示すブロック図である。
【０００３】
一般の電子レンジは、食べ物をキャビティ１内に置き、キャビティ１内の食べ物に電磁波を照射することによってその食べ物を加熱する装置である。
【０００４】
このとき電磁波は、マグネトロンＭから発生するが、マグネトロンＭを動作させるために、一般の家庭に供給される５０Ｈｚまたは６０Ｈｚの商用交流電源３の電圧がインバータ部２で約３５００Ｖ以上の高出力直流電圧に変換されてマグネトロンＭに供給される。
【０００５】
商用交流電源３の出力は、ブリッジダイオードで構成される直流電圧部４を介して整流及び変換されてスイッチング部５に入力される。スイッチング部５は、複数個のスイッチを備え、これらのスイッチをオン/オフすることによって変換された直流電圧を高出力の交流電圧に変換して出力し、このスイッチング部５から出力された交流電圧は、マグネトロン駆動部６に印加されてマグネトロンＭの駆動に好適な高出力の直流電圧に変換された後、マグネトロンＭに出力される。
【０００６】
このとき、スイッチング部５のスイッチング動作を制御するためのインバータ制御部７がさらに含まれ、周波数発生部８から発生される基準周波数が出力制御部(図示せず)によりマグネトロンＭの出力に応じて可変され、この可変された周波数に応じてインバータ駆動部９を通じてスイッチング部５に制御信号が印加されてスイッチング部５のスイッチング周波数を制御する。
【０００７】
しかし、以上のように構成されるインバータ電子レンジは、初期動作の際マグネトロンに負荷がかけられなかった状態で周波数発生部から生成された周波数がインバータ駆動部に印加されると、マグネトロンに過度な出力電圧が印加されるため、インバータ回路の耐久性が低下してしまうという問題点があった。
【０００８】
この問題点を防止するべく初期動作の際インバータ部のスイッチング周波数を高くすると、マグネトロンに印加される駆動電圧が過度に低くなり、マグネトロンが誤動作してしまう問題がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、上記の従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、インバータ電子レンジの初期動作の際電磁波を発生するマグネトロンに過度な電圧が印加されるのを防止し、マグネトロンのインバータ部の耐久性及び動作の信頼性を向上させるインバータ電子レンジ及びその制御方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の目的を達成する本発明によるインバータ電子レンジは、電磁波を生成するマグネトロンと、商用交流電源が整流及び平滑された直流電圧をスイッチングしてマグネトロン駆動用交流電圧を生成し、生成した交流電圧を前記マグネトロンに印加するインバータ部と、前記マグネトロンに過度な電圧が印加されるのを防止するために前記インバータ部のスイッチング周波数を可変するインバータ制御部とを含むことを特徴とする。
【００１１】
インバータ部のスイッチング周波数を、初期動作の際には上げ、一定時間が経過して正常駆動するときには下げるよう構成する。
【００１２】
前記インバータ制御部は、初期駆動の際周波数ＩＣが高い周波数の信号を生成するようにし、一定の時間が経過すると低い周波数の信号を生成するようにするソフト駆動回路部を含む。
【００１３】
また、前記インバータ制御部は、商用交流電源の電流を検出し、この検出された電流の大きさが設定電流よりも大きいとき、前記周波数ＩＣから発生する周波数を増加させ、該設定電流に等しいか又は該設定電流よりも小さいとき周波数を減少させるフィードバック回路部をさらに含む。
【００１４】
上記の目的を達成する本発明によるインバータ電子レンジの制御方法は、商用交流電源をインバータ部を介してマグネトロンに供給するインバータ電子レンジの制御方法において、整流及び平滑される商用交流電源の電流の大きさにしたがってインバータ部のスイッチング周波数を可変させる第１段階と、初期動作の際集積回路のキャパシタに印加される電圧の大きさにしたがって低いスイッチング周波数を発生させる第２段階と、前記スイッチング周波数に応じて前記インバータ部が動作されてマグネトロンの駆動のための高出力交流電圧を生成する第３段階と、を含むことを特徴とする。
【００１５】
前記第２段階は、前記キャパシタに印加される電圧を検出する第１過程とし前記第１過程で検出された電圧と基準電圧とを比較し、前記検出電圧が該基準電圧よりも大きいとき、低いスイッチング周波数を生成し、前記基準電圧に等しいか又は該基準電圧よりも小さいとき、高いスイッチング周波数を生成する第２過程と、を含む。
【発明の効果】
【００１６】
上記の本発明に係るインバータ電子レンジ及びその制御方法は、初期駆動時にはインバータ部のスイッチング周波数を高くし、一定時間が経過して正常駆動するときにはスイッチング周波数を下げるように構成するため、インバータ回路の耐久性及び信頼性が向上するという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、添付図面を参照しつつ本発明に係るインバータ電子レンジの実施例を説明する。
【００１８】
図３は、本発明に係るインバータ電子レンジの構成を示す図である。図３に示すように、本発明に係るインバータ電子レンジは、商用の交流電源ＡＣと、交流電源ＡＣを整流及び平滑して１２０Ｈｚの脈流直流電圧を生成する整流部１０と、整流部１０で生成した直流電圧を、スイッチング動作を通じてマグネトロン駆動用交流電圧を発生させるインバータ部２０と、インバータ部２０で発生させた交流電圧を高出力の直流電圧に変換してマグネトロンＭに伝達するマグネトロン駆動部３０とを含めて構成される。
【００１９】
さらに、インバータ電子レンジは、マグネトロンＭに過度な電圧が印加されるのを防止するために、インバータ部２０のスイッチング周波数を可変させるインバータ制御部４０を含めて構成される。
【００２０】
交流電源ＡＣは、一般の商用交流電源(韓国では２２０Ｖ−６０Ｈｚを使用するが、国別で異なる)が供給され、整流部１０は、ブリッジダイオード及び平滑回路を経て交流電源ＡＣの交流電圧を直流電圧に変換する。
【００２１】
インバータ制御部４０は、基準周波数を発生させる周波数発生部４１と、マグネトロンＭに高出力電圧が印加されるように基準周波数を可変させ、特に、インバータ電子レンジの初期動作の際、インバータ部２０のスイッチング周波数を増加させる周波数制御部５０と、を含めて構成される。
【００２２】
また、インバータ制御部４０は、商用の交流電源ＡＣの電流を検出する外部電流検出部４２と、マグネトロンＭに流れている電流を検出するマグネトロン電流検出部４３と、をさらに含めて構成され、マグネトロンＭに一定の大きさの高出力電圧が印加されるようにする。
【００２３】
周波数制御部５０は、マグネトロン電流検出部４３から検出された電流の大きさが設定電流よりも大きい場合には、周波数発生部４１から出力された周波数を増加させ、設定電流よりも小さい場合にはその周波数を減少させる出力制御部５１と、外部電流検出部４２が検出した電流の大きさにしたがってインバータ部２０のスイッチング周波数を可変する周波数可変部５３と、を含めて構成される。
【００２４】
また、周波数制御部５０は、周波数可変部５３からの出力に応じてインバータ部２０にスイッチング制御信号を出力し、インバータ部２０のスイッチング周波数を制御して駆動させるインバータ駆動部５２をさらに含めて構成される。
【００２５】
このとき、周波数可変部５３は、印加される電圧または流れる電流によって異なる周波数の信号を発生させる周波数ＩＣ(図示せず)と、初期駆動の際前記周波数ＩＣが高い周波数の信号を生成し、一定の時間が経過すると共振周波数近傍の低い周波数信号が生成されるようにするソフト駆動回路部５５と、外部電流検出部４２から検出された電流の大きさにしたがって前記周波数ＩＣから発生する周波数を増加または減少させるフィードバック回路部５６とを含めて構成される。
【００２６】
フィードバック回路部５６は、外部電流検出部４２と連結され、外部電流検出部４２による検出電流の大きさが、設定電流よりも大きい場合には前記周波数ＩＣから発生する周波数を増加させ、設定電流よりも小さい場合には周波数を減少させる。
【００２７】
次に、上記のように構成される周波数可変部を図４ないし図７を参照しつつさらに詳細に説明する。
【００２８】
図４は、本発明の第１実施例に係る周波数可変部を示す図であり、図５は、図４に示す周波数可変部における信号波形を示すグラフである。本実施例に係る周波数可変部５３は、フィードバック回路部５６と、ソフト駆動回路部５５と、周波数ＩＣ(ＩＣ)を含めて構成される。フィードバック回路部５６は、非反転端子が周波数発生部４１と連結され、反転端子には前記周波数ＩＣに連結されたキャパシタ(ＣＴ)に印加される電圧が入力される第１増幅器ＯＰ１と、ベースが第１増幅器ＯＰ１の出力端と連結され、エミッタが前記周波数ＩＣと連結されるトランジスタＱ１と、を含めて構成される。
【００２９】
また、ソフト駆動回路部５５は、反転端子に、前記周波数ＩＣに連結されたキャパシタ(ＣＴ)に印加される電圧が入力され、非反転端子には基準電圧が印加される第２増幅器ＯＰ２と、カソードが第２増幅器ＯＰ２の出力端子と連結されるダイオードＤ１と、を含めて構成される。
【００３０】
したがって、周波数可変部５３において、インバータ電子レンジの初期動作時刻(ｔ０)には、フィードバック回路部５６の第１増幅器ＯＰ１の反転端子に印加されるキャパシタ電圧(Ｂ)がフィードバック回路部５６のＯＰ１の非反転端子に印加される周波数発生部のＰＷＭ信号電圧より小さく、ソフト駆動回路部５５の第２増幅器ＯＰ２の反転端子に印加されるキャパシタ電圧（Ｂ）がソフト駆動回路部５５のＯＰ２の非反転端子に印加される基準電圧(Ａ)よりも小さい。
【００３１】
したがって、第１増幅器ＯＰ１および第２増幅器ＯＰ２の各出力端子は低いレベルの電圧(Ｃ)を出力し、ダイオードＤ１は導通するようになる。このようにダイオードＤ１が導通することによって抵抗Ｒ１，Ｒ２にも電流が流れ、この電流により前記周波数ＩＣのキャパシタの充放電が加速化し、前記周波数ＩＣから高い周波数の信号(Ｓ)が出力されるようになる。
【００３２】
また、上記の回路が動作することによって前記周波数ＩＣのキャパシタに流れる電流は増加するようになるが、このキャパシタへの印加電圧と前記基準電圧の大きさが同一になる時刻(ｔ１)を基点にその時刻ｔ１以降は第１増幅器ＯＰ１と第２増幅器ＯＰ２の各反転端子に印加される電圧(Ｂ)が非反転端子に印加される電圧(Ａ)よりも高くなる。
【００３３】
したがって、第１増幅器ＯＰ１と第２増幅器ＯＰ２の各出力端には高いレベルの電圧(Ｃ)が出力されることからダイオードＤ１は導通されず、抵抗Ｒ１，Ｒ２に電流が流れないことから前記周波数ＩＣのキャパシタの充放電は初期動作の時よりも遅くなるため、前記周波数ＩＣから共振周波数附近の低い周波数の信号(Ｓ)が出力されるようになる。
【００３４】
図６は、本発明の第２実施例に係る周波数可変部を示す図であり、図７は、図６に示す周波数可変部における信号波形を示すグラフである。
【００３５】
周波数可変部５３は、第１実施例におけるソフト駆動回路部の機能を果たすと共に周波数信号を発生するＩＣ(Ｌ６５７４)と、フィードバック回路部５６'とを含めて構成される。
【００３６】
ここで、フィードバック回路部５６'は、第１実施例のフィードバック回路部５６と略同一の構成及び動作を有するので、その詳細な説明は省略する。
【００３７】
前記ＩＣは、第１実施例の周波数ＩＣとソフト駆動回路部の機能を兼ねる 集積回路であって、フィードバック回路部５６’と連結されてインバータ電子レンジの初期駆動時には高い周波数の信号を生成し、その組み込まれたキャパシタの値によって一定時間が経過すると低い周波数の信号を生成する。
【００３８】
本発明では、上記のような機能を果たすＩＣとして本発明ではＬ６５７４を使用するが、このＬ６５７４は、蛍光ランプのためのハーフブリッジのＭＯＳＦＥＴゲートを制御するために汎用される集積回路である。このＬ６５７４のデータシートを参照すれば、下記のようである。
【００３９】
〔数１〕
Tpre=Kpre×Cpre                   Tsh=Kfs×Cpre≒0.1×Tpre
Kpre=1.5s/μF                     Kfs=0.15s/μF≒0.1×Kpre
Fmin=1.41/(Rign×Cf)
Fmax={1.41×(Rpre+Rign)}/(Rpre×Rign×Cf)
【００４０】
すなわち、前記ＩＣは、自体内蔵されている抵抗及びキャパシタの相互作用を通じて生成される周波数を可変させることができ、このときに、フィードバック回路部５６’の増幅器に印加されるキャパシタ電圧の値が、周波数発生部４１の設定電流値に比べて大きくなると、トランジスタＱ１は導通するようになり、よって、トランジスタＱ１を通る電流により前記ＩＣのキャパシタの充放電が加速化し、これにより、高い周波数信号が出力される。
【００４１】
したがって、上記の式を利用してＬ６５７４の設計値を変更することで、インバータ電子レンジの初期駆動時にマグネトロンに印加される過電圧を防止する最適の周波数を生成することができる。
【００４２】
以上のように構成された本発明の動作について以下に説明する。
【００４３】
図９は、本発明に係るインバータ電子レンジの制御の流れを示すフローチャートである。
【００４４】
まず、商用交流電圧がインバータ電子レンジに入力されると、入力された交流電源は直流電源に整流及び平滑されてインバータ部に印加される(ステップＳ１)。
【００４５】
前記交流電圧の電流を検出し、その検出電流と設定電流の大きさとを判別し(ステップＳ２)、この判別結果、検出電流が設定電流よりも大きいとき、周波数ＩＣから生成されるスイッチング信号の周波数を増加させ(ステップＳ３)、検出電流が設定電流に等しいか又は設定電流よりも小さいとき、そのスイッチング周波数を減少させる(ステップＳ４)。
【００４６】
次いで、周波数ＩＣに連結されたキャパシタに印加される電圧と基準電圧とを比較し(ステップＳ５)、その比較結果、キャパシタの電圧が基準電圧よりも大きいとき、低いスイッチング周波数信号を生成し(ステップＳ６)、キャパシタの電圧が基準電圧に等しいか又は基準電圧よりも小さいとき、高いスイッチング周波数信号を生成する(ステップＳ７)。
【００４７】
このとき、キャパシタの電圧が基準電圧よりも大きい場合に生成される周波数は、前記周波数ＩＣと連結された抵抗及びキャパシタの共振周波数と略等しいのでインバータ電子レンジの電力効率が向上する。
【００４８】
また、図９のフローチャートには示していないが、マグネトロンに流れている電流を検出し、この検出電流が設定電流よりも大きいとき、周波数発生部から出力されたスイッチング信号の周波数を増加させ、設定電流よりも小さいときそのスイッチング信号の周波数を減少させる。
【００４９】
したがって、このような過程により生成された周波数に応じてインバータ部のスイッチングが動作し(ステップＳ８)、このスイッチング動作によってマグネトロンの駆動のための高出力交流電圧が生成され、この生成された高出力交流電圧はマグネトロン駆動部を通じて直流電圧に変換された後マグネトロンに印加される。
【００５０】
図８Ａ及び図８Ｂはそれぞれ、従来技術及び本発明に係るインバータ電子レンジの出力電圧波形を示すグラフである。
【００５１】
従来技術に係るインバータ電子レンジでは、図８Ａに示すように、初期動作の際約１１ＫＶの出力電圧が発生するが、この値は、マグネトロン駆動部の２次側ダイオードのマージンを外れる値であるため、回路の耐久性及び信頼性が低下してしまう。これに対し、本発明に係るインバータ電子レンジでは、図８Ｂに示すように、出力電圧が約８ＫＶであるため、回路の耐久性及び信頼性を著しく向上させることができる。
【００５２】
以上の如く、本発明に係るインバータ電子レンジ及びその制御方法は、初期駆動時にはインバータ部のスイッチング周波数を高くし、一定時間が経過して正常駆動するときにはスイッチング周波数を下げるように構成されるため、インバータ回路の耐久性及び信頼性が向上するという効果がある。
【００５３】
また、本発明の周波数可変部の第１実施例によってソフト駆動回路を構成すると、マグネトロン駆動部の２次側ダイオードの高い耐圧特性が要求されないため、生産コストが低減するという効果がある。
【００５４】
また、本発明の周波数可変部の第２実施例によってソフト駆動ＩＣを使用すると、ソフト駆動回路を構成する増幅器及び多数の素子を使用することなく、特定のＩＣ素子を使って上記の機能が達成できるため、製品の小型化及び低価格化が可能となるという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】一般のインバータ電子レンジの構成を示す図である。
【図２】従来技術に係るインバータ電子レンジの構成を示すブロック図である。
【図３】本発明に係るインバータ電子レンジの構成を示す図である。
【図４】本発明に係る周波数可変部の第１実施例を示す図である。
【図５】図４の周波数可変部における信号の波形を示すグラフである。
【図６】本発明に係る周波数可変部の第２実施例を示す図である。
【図７】図６の周波数可変部における信号の波形を示すグラフである。
【図８Ａ】従来技術のインバータ電子レンジの出力電圧波形を比較して示すグラフである。
【図８Ｂ】本発明に係るインバータ電子レンジの出力電圧波形を比較して示すグラフである。
【図９】本発明に係るインバータ電子レンジの制御の流れを示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００５６】
４０    インバータ制御部
４１    周波数発生部
４２    外部電流検出部
４３    マグネトロン電流検出部
５０    周波数制御部
５１    出力制御部
５２    駆動部
５３    周波数可変部
５５、５５’    ソフト駆動回路部
５６、５６’    フィードバック回路部
ＩＣ    周波数ＩＣ
【図１】
2005174916.tif 000003
【図２】
2005174916.tif 000004
【図３】
2005174916.tif 000005
【図４】
2005174916.tif 000006
【図５】
2005174916.tif 000007
【図６】
2005174916.tif 000008
【図７】
2005174916.tif 000009
【図８Ａ】
2005174916.tif 000010
【図８Ｂ】
2005174916.tif 000011
【図９】
2005174916.tif 000012