(57)【要約】【課題】板状部材に圧縮空気を噴射して非接触状態で保管する構成に比較して省エネが可能となり、バッファとして機能する保管装置を設置するにあたって広い設置スペースを新たに確保する必要のない板状部材搬送システムを提供する。【解決手段】板状部材搬送システム11は、搬送経路12が複数の音波浮揚装置13を直列に配置して構成され、搬送経路12の途中に板状部材保管装置14が設けられている。板状部材保管装置14は、板状部材を浮揚状態で保持及び搬送可能な複数の音波浮揚装置13が上下方向に積層配置され、複数の音波浮揚装置13が上下方向に移動可能に設けられている。そして、各音波浮揚装置13が搬送経路12の一部を構成する位置に配置可能に設けられている。搬送経路12を構成する音波浮揚装置13と、板状部材保管装置14の音波浮揚装置13とは基本的に同じ構成である。【選択図】      図１
2005119808.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状部材を浮揚状態で保持及び搬送可能な複数の音波浮揚装置が上下方向に積層配置され、前記複数の音波浮揚装置が上下方向に移動可能に設けられている板状部材保管装置を、各音波浮揚装置が搬送経路の一部を構成する位置に配置可能に設けられている板状部材搬送システム。
【請求項２】
板状部材の搬送経路の途中に、板状部材を浮揚状態で保持及び搬送経路へ移載可能な音波浮揚装置を備えた板状部材保管装置が設けられている板状部材搬送システム。
【請求項３】
前記板状部材保管装置は前記搬送経路に対して側方に配置されている請求項２に記載の板状部材搬送システム。
【請求項４】
前記板状部材保管装置が搬送経路の搬送方向に隣接して複数設けられ、各板状部材保管装置間で板状部材の移載が可能に構成されている請求項１に記載の板状部材搬送システム。
【請求項５】
前記複数の板状部材保管装置全体で、少なくとも１つの音波浮揚装置が空の状態で使用される請求項４に記載の板状部材搬送システム。
【請求項６】
前記複数の板状部材保管装置は、各板状部材保管装置の少なくとも１つの音波浮揚装置が空の状態で使用される請求項４に記載の板状部材搬送システム。
【請求項７】
前記音波浮揚装置は隣接した音波浮揚装置間で板状部材を移載する際、移載先の音波浮揚装置の位置が相対的に下降される請求項１〜請求項６のいずれか一項に記載の板状部材搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状部材搬送システムに係り、詳しくは液晶表示装置やＰＤＰ（プラズマディスプレイ）等に使用されるガラス基板や半導体ウエハー等の板状部材を浮揚状態で搬送する板状部材搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラスパネル（ガラス基板）や半導体ウエハー等の薄くて傷つき易い板状部材に汚れや傷が付くのを避けるため、浮揚状態で保管したり搬送したりすることが考えられている（例えば、特許文献１参照。）。特許文献１には、図９に示すように、前面が開口された箱状の本体６１内に、内部が空洞で平面状の通気性セラミックス材６２が設けられた浮上部材６３を複数平行に配置した列が複数段設けられた装置が提案されている。各浮上部材６３にはコンプレッサー６４から圧縮空気が送られ、通気性セラミックス材６２から上方へ噴射される。噴射された空気によりガラス板６５が非接触状態（浮揚状態）で保持される。本体６１の底部下面にはキャスター６６が設けられ、本体６１が移動可能になっている。従って、ガラス板６５を浮揚状態に保持して搬送することができる。
【０００３】
また、電子部品実装用のプリント基板をスクリーン印刷の前又は後に、一時的に段積み状に収納してストックするプリント基板用ストッカーを、バッファ装置として使用することが開示されている（例えば、特許文献２参照。）。特許文献２に記載されたプリント基板用ストッカーは、プリント基板支持・搬送手段がストッカー本体に、上下に所定の間隔ずつあけて複数設けられている。ストッカー本体は昇降駆動手段により昇降可能となっている。そして、プリント基板用ストッカーの前後に装置が配置され、各プリント基板支持・搬送手段によりプリント基板の搬入・搬出が行われて、装置への受け渡し、装置からの受け取りが行われる。
【特許文献１】特開２０００−１６８９５５号公報（明細書の段落［００１５］，［００１８］，［００２１］、図１，２）
【特許文献２】特開２００３−９５４０９号公報（明細書の段落［００１４］〜［００２１］、図１，２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、特許文献１の装置では、圧縮空気の噴射によりガラス板を浮揚状態に保持するため、クリーンルームで使用する場合は、コンプレッサーから清浄な圧縮空気を大量に供給する必要があり、保守、点検が面倒であるとともにエネルギー消費が多いという問題がある。
【０００５】
特許文献２にはプリント基板用ストッカーをバッファとして用いることが提案されているが、浮揚状態で保管することを示唆するものはない。また、特許文献２のプリント基板用ストッカーは、元々比較的近くに配置される２台の装置間のプリント基板の搬送・搬入位置に配置して用いられるものである。
【０００６】
半導体装置や液晶ディスプレイはクリーンルーム内で、複数の工程を経て製造され、複数の工程間で中間製品を搬送する必要がある。そして、各工程における作業性の違いにより、中間製品を一時保管する保管装置が必要になる。保管装置を各工程間の搬送経路を考慮することなく設けた場合は、保管装置の設置スペースの他に、保管装置までの搬送経路を別に設ける必要があり広い設置スペースが必要になる。その結果、広いクリーンルームが必要となり、クリーンルーム内を清浄に保つためのエネルギー消費が多くなるという問題がある。
【０００７】
本発明は前記の問題に鑑みてなされたものであって、その目的は板状部材に圧縮空気を噴射して非接触状態で保管する構成に比較して省エネが可能となり、バッファとして機能する保管装置を設置するにあたって広い設置スペースを新たに確保する必要のない板状部材搬送システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記の目的を達成するため、請求項１に記載の発明は、板状部材を浮揚状態で保持及び搬送可能な複数の音波浮揚装置が上下方向に積層配置され、前記複数の音波浮揚装置が上下方向に移動可能に設けられている板状部材保管装置を、各音波浮揚装置が搬送経路の一部を構成する位置に配置可能に設けられている。
【０００９】
この発明では、板状部材保管装置は音波浮揚装置で構成されているため、振動板からの音波の放射圧によって板状部材が浮揚状態で保管される。板状部材保管装置を構成する音波浮揚装置は、複数が上下方向に積層され、上下方向に移動されることで搬送経路の一部を構成する位置に配置される。そして、搬送経路の一部を構成する位置に配置された音波浮揚装置は搬送装置として機能することができ、バッファとして機能する板状部材保管装置を設置するにあたって広い設置スペースを新たに確保する必要がない。振動板からの音波の放射圧によって板状部材を浮揚状態に保持する構成は、板状部材に圧縮空気を噴射して非接触状態（浮揚状態）に保持する構成に比較してエネルギー消費が少なくなる。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、板状部材の搬送経路の途中に、板状部材を浮揚状態で保持及び搬送経路へ移載可能な音波浮揚装置を備えた板状部材保管装置が設けられている。従って、この発明では、バッファとして機能する板状部材保管装置を設置するにあたって、板状部材保管装置専用の搬送経路を設ける必要がなく、その分、保管装置を設置するにあたって広い設置スペースを新たに確保する必要がない。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の発明において、前記板状部材保管装置は前記搬送経路に対して側方に配置されている。この発明では、板状部材保管装置は搬送経路に対して側方に配置されているため、搬送経路上に配置される場合に比較して保管装置の設置に必要スペースを広く必要とする。しかし、板状部材保管装置専用の搬送経路を設ける必要がないため、保管装置を設置するにあたって広い設置スペースを新たに確保する必要がない。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記板状部材保管装置が搬送経路の搬送方向に隣接して複数設けられ、各板状部材保管装置間で板状部材の移載が可能に構成されている。この発明では、板状部材の保管枚数を多くできるとともに、バッファ機能を有する板状部材保管装置間で板状部材の移載が可能なため、板状部材保管装置への板状部材の搬入及び一時保管されている板状部材を搬送経路で搬出する際の効率が良くなる。
【００１３】
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の発明において、前記複数の板状部材保管装置全体で、少なくとも１つの音波浮揚装置が空の状態で使用される。この発明では、次に搬出すべき板状部材が搬送経路の搬出位置から遠い箇所に保管された状態の場合でも、当該板状部材を搬出時までに、搬出し易い位置まで移動させることができる。
【００１４】
請求項６に記載の発明は、請求項４に記載の発明において、前記複数の板状部材保管装置は、各板状部材保管装置の少なくとも１つの音波浮揚装置が空の状態で使用される。この発明では、複数の板状部材保管装置に保管されている任意の板状部材を搬出する場合、当該板状部材を浮揚状態で保持する音波浮揚装置を搬送経路と対応する位置に配置し、該音波浮揚装置が属さない他の板状部材保管装置では、空の状態の音波浮揚装置を搬送経路と対応する位置に配置する。従って、複数の板状部材保管装置が搬送経路の搬送方向に隣接して配置されていても、常に搬送経路を確保することができ、搬送される板状部材が複数種混在する場合でも、所望の板状部材を保管中の他の板状部材と干渉せずに円滑に搬出することができる。
【００１５】
請求項７に記載の発明は、請求項１〜請求項６のいずれか一項に記載の発明において、前記音波浮揚装置は隣接した音波浮揚装置間で板状部材を移載する際、移載先の音波浮揚装置の位置が相対的に下降される。従って、この発明では、隣接した音波浮揚装置間の振動板の高さ調整を精度良く行わなくても、浮揚状態で板状部材の移載が円滑に行われる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、板状部材に圧縮空気を噴射して非接触状態で保管する構成に比較して省エネが可能となり、バッファとして機能する保管装置を設置するにあたって広い設置スペースを新たに確保する必要のなくなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
（第１の実施形態）
以下、本発明を具体化した第１の実施形態を図１〜図４に従って説明する。図１（ａ）は板状部材搬送システムの搬送経路と板状部材保管装置との関係を示す模式平面図、（ｂ）は同じく模式側面図、図２（ａ）は音波浮揚装置の模式斜視図、（ｂ）は音波浮揚ユニットの模式側面図である。図３は音波浮揚装置の昇降装置の主要部を示す模式断面図、図４（ａ），（ｂ）は板状部材の移載作用を説明する模式側面図である。
【００１８】
図１（ａ）に示すように、板状部材搬送システム１１は、搬送経路１２が複数の音波浮揚装置１３を直列に配置して構成され、搬送経路１２の途中に板状部材保管装置１４が設けられている。板状部材保管装置１４は、板状部材１５（図２（ａ）に図示）を浮揚状態で保持及び搬送可能な複数の音波浮揚装置１３が上下方向に積層配置され、複数の音波浮揚装置１３が上下方向に移動可能に設けられている。そして、各音波浮揚装置１３が搬送経路１２の一部を構成する位置に配置可能に設けられている。搬送経路１２を構成する音波浮揚装置１３と、板状部材保管装置１４の音波浮揚装置１３とは基本的に同じ構成である。
【００１９】
この実施形態では、音波浮揚装置１３は４段に積層配置され、各段の音波浮揚装置１３が同時に昇降可能に構成されている。そして、図１（ｂ）に示すように、４段の音波浮揚装置１３が最上昇位置に配置された状態で、最下段の音波浮揚装置１３が搬送経路１２の一部を構成する位置に配置されるように構成されている。また、４段の音波浮揚装置１３が最下降位置に配置された状態で、最上段の音波浮揚装置１３が搬送経路１２の一部を構成する位置に配置されるように構成されている。
【００２０】
図２（ａ）に示すように、音波浮揚装置１３は、ローラコンベア装置１６と、音波浮揚ユニット１７とから構成されている。搬送経路１２を構成する音波浮揚装置１３は、支柱１８に支持されるとともに、ベースプレート１９ａ及び一対の側壁１９ｂからなるフレーム１９を備えている。両側壁１９ｂ間には複数本の回転軸２０が所定間隔をおいて互いに平行に支持されている。回転軸２０の両端、側壁１９ｂの内側には、音波浮揚ユニット１７の作用により浮揚状態で中央の撓みが抑制された状態の板状部材１５の両端部と係合して、板状部材１５を移動させるローラ２１が一体回転可能に固定されている。ローラ２１は段差部２１ａを有し、段差部２１ａで板状部材１５の端部と当接して板状部材１５の幅方向への移動を規制するようになっている。
【００２１】
回転軸２０の一端にはプーリ２２が一体回転可能に固定されている。各回転軸２０は、各プーリ２２と、モータ２３により駆動される駆動プーリ２４との間に巻き掛けられたベルト２５を介してモータ２３により一定方向（図１の反時計回り方向）に回転される。回転軸２０、ローラ２１、プーリ２２、駆動プーリ２４、ベルト２５及びモータ２３によりローラコンベア装置１６が構成されている。従って、ローラコンベア装置１６は、板状部材１５をその搬送方向の左右両端部で支持して搬送する搬送手段を構成する。
【００２２】
音波浮揚ユニット１７はベースプレート１９ａ上に２つ設けられ、各音波浮揚ユニット１７を構成する長尺の振動板２６は、回転軸２０の上方において回転軸２０と直交する方向に延びるように配設されている。振動板２６は板状部材１５の幅より狭い幅の矩形平板状に形成され、板状部材１５を２つの音波浮揚ユニット１７で浮揚保持可能になっている。
【００２３】
振動板２６は第１端部側が振動子２７により励振されるホーン２８に固定され、第２端部側が振動子２７が連結されない固定の支持部材としてのホーン２９に固定されている。励振手段を構成するホーン２８は、その先端においてねじ３０により振動板２６に締結されている。ホーン２８は偏平なほぼ直方体状に形成され、振動板２６に対してその長手方向端部近傍において長手方向と直交する状態で取付けられている。ホーン２９は扁平なほぼ直方体状に形成されるとともに、その下面に円柱状のコーン２９ａが一体に固定されている。そして、コーン２９ａはベースプレート１９ａに固定されている。
【００２４】
ホーン２８は振動板２６が締結される面の反対側の面において振動子２７に固定されている。ホーン２８の先端面は振動子２７の軸方向と直交する平面に形成され、ホーン２８及び振動子２７の中心軸が鉛直方向に延びる状態で配置されている。
【００２５】
図２（ａ），（ｂ）に示すように、振動子２７には所謂ランジュバン形振動子が使用され、一対のリング状のピエゾ素子３１ａ，３１ｂを備えている。両ピエゾ素子３１ａ，３１ｂ間にリング状の電極板３２が配置され、ピエゾ素子３１ａ，３１ｂの電極板３２と当接する側と反対側の面に当接する金属ブロック３３ａ，３３ｂを、図示しないボルトによって締め付け固定することにより振動子２７が構成されている。ボルトは金属ブロック３３ａに形成された図示しないねじ穴に、金属ブロック３３ｂ側から螺合されている。両金属ブロック３３ａ，３３ｂはボルトを介して互いに導通された状態となっている。金属ブロック３３ａの上端にはフランジ３４（図２（ｂ）に図示）が形成され、金属ブロック３３ａはベースプレート１９ａに形成された孔（図示せず）に嵌合された状態で図示しないボルトによりベースプレート１９ａに固定されている。
【００２６】
振動子２７は発振器３５に接続されている。電極板３２は配線３６ａを介して発振器３５と接続され、発振器３５の接地端子が配線３６ｂを介して金属ブロック３３ｂに接続されている。ホーン２８、振動子２７及び発振器３５により振動板２６を励振させる励振手段が構成されている。振動板２６、ホーン２８、振動子２７、発振器３５及びホーン２９により音波浮揚ユニット１７が構成されている。
【００２７】
板状部材保管装置１４は、図２（ａ），（ｂ）に示す音波浮揚装置１３が４段に積層され、各音波浮揚装置１３が一体に昇降されるように構成されている。音波浮揚装置１３はねじ軸を利用した昇降機構により上下方向に移動可能に構成されている。この実施形態は、図３に示すように、支柱１８に代えて、１本のねじ軸３７が各音波浮揚装置１３のフレーム１９を貫通する状態で回転可能に設けられ、各フレーム１９にはねじ軸３７と螺合するナット体３８が固定されている。また、各フレーム１９を貫通する支柱３９が複数設けられるとともに、支柱３９に摺動可能に支承されたガイドブロック４０が各フレーム１９に固定されている。そして、ねじ軸３７は図示しないモータにより、正逆両方向に回転駆動されるように構成されており、ねじ軸３７の正転駆動時にフレーム１９が上昇移動され、ねじ軸３７の逆転駆動時にフレーム１９が下降移動されるようになっている。
【００２８】
図１（ｂ）に示すように、板状部材保管装置１４は、一部が床面Ｆより低くなるように形成された凹所Ｆａ（穴）内に配置され、搬送経路１２を構成する音波浮揚装置１３の位置を高くせずに、板状部材保管装置１４の音波浮揚装置１３と同じ高さに配置されている。なお、図１（ａ），（ｂ）では、音波浮揚装置１３はローラ２１及び振動板２６の配置のみを模式的に図示している。また、図３では、音波浮揚装置１３はローラ２１の配置を模式的に図示している。
【００２９】
次に前記のように構成された板状部材搬送システム１１の作用を説明する。板状部材搬送システム１１は音波浮揚装置１３により板状部材１５として、例えば、１５００×１８００ｍｍ以上の基板サイズのガラス板を搬送する。板状部材搬送システム１１の運転時には、モータ２３が駆動され、駆動プーリ２４、ベルト２５、プーリ２２を介して回転軸２０が一定方向に回転されて、ローラ２１も一定方向に回転される。また、振動子２７が所定の共振周波数（例えば、２０ｋＨｚ前後）で励振されてホーン２８が縦振動し、ホーン２８を介して振動板２６が励振されて撓み振動を行い、定在波が発生する。振動板２６から放射される音波の放射圧によって、板状部材１５は振動板２６の表面から浮揚する。浮揚距離は例えば１ｍｍ以下である。また、板状部材１５の両端部はローラ２１に接触した状態に保持される。そして、ローラ２１の回転により板状部材１５に推力が付与され、板状部材１５は側壁１９ｂに沿って搬送される。
【００３０】
振動板２６による浮揚保持を行わずに板状部材１５の左右両端をローラ２１で支持しただけで搬送すると、板状部材１５が幅広で撓み易いため、安定した搬送を行うことが難しい。しかし、この実施形態では、板状部材１５は振動板２６から発生する定在波により浮揚保持された状態で、ローラ２１により推力が付与されて移動するため、板状部材１５は搬送経路１２に沿って安定した状態で搬送される。
【００３１】
なお、板状部材１５として、例えば、薄いガラス板の搬送に適用した場合、板状部材１５の端部はローラ２１と常に当接した状態となるため、汚れや傷が付く可能性があるが、ガラス板の端部は最終的には製品とならない不用部となるので支障はない。
【００３２】
板状部材保管装置１４で板状部材１５を保管していない状態では、板状部材保管装置１４を構成する４段の音波浮揚装置１３のうちの１つの音波浮揚装置１３（例えば、最上段の音波浮揚装置１３）が搬送経路１２の音波浮揚装置１３と同一高さとなるように配置されている。この状態では、板状部材保管装置１４は搬送経路としての機能を奏する。
【００３３】
板状部材保管装置１４に板状部材１５を保管する場合、搬送経路１２上を搬送されてきた板状部材１５の、板状部材保管装置１４の音波浮揚装置１３上への移載が完了した時点でモータ２３が停止される。しかし、発振器３５による振動子２７の励振は継続され、板状部材１５が板状部材保管装置１４の音波浮揚装置１３上に浮揚状態で保持される。その状態でねじ軸３７が正転駆動され、各音波浮揚装置１３が水平状態を保持したまま上昇移動される。次の段の音波浮揚装置１３が搬送経路１２の音波浮揚装置１３と同じ高さになるまでねじ軸３７が正転駆動される。そして、次の段の音波浮揚装置１３が駆動され、搬送経路１２で搬送されて来た次の板状部材１５が当該音波浮揚装置１３上に浮揚状態で保持される。以下、全段の音波浮揚装置１３に板状部材１５が浮揚状態で保持されると、板状部材保管装置１４の収容能力が一杯になる。
【００３４】
板状部材保管装置１４に保管されている板状部材１５を搬出する場合は、搬出すべき板状部材１５を浮揚状態で保持する音波浮揚装置１３が搬送経路１２と同じ高さになるまで、ねじ軸３７が逆転駆動されて音波浮揚装置１３が下降移動される。そして、モータ２３が駆動されて板状部材保管装置１４から板状部材１５が板状部材保管装置１４より下流側の搬送経路１２上に搬出される。
【００３５】
板状部材保管装置１４を構成する各音波浮揚装置１３は、ねじ軸３７とナット体３８とを使用した昇降機構で昇降されて、搬送経路１２を構成する音波浮揚装置１３と同じ高さになるように位置調整が行われる。このように、音波浮揚装置１３の昇降動作の機会が多い場合、板状部材保管装置１４の音波浮揚装置１３を精度良く搬送経路１２の音波浮揚装置１３と同じに位置調整するのは難しい。しかし、隣接した音波浮揚装置１３間で板状部材１５を移載する際、図４（ａ），（ｂ）に示すように、移載先の音波浮揚装置１３の位置が相対的に下降された状態となるようにねじ軸３７の回転量を調整することにより、位置調整の精度を低くしても、浮揚状態での板状部材１５の移載が円滑に行われる。即ち、板状部材１５が搬入される際は、図４（ａ）に示すように、Ａで示す板状部材保管装置１４の音波浮揚装置１３を搬送経路１２の音波浮揚装置１３より低くする。また、板状部材１５が搬出される際は、図４（ｂ）に示すように、Ａで示す板状部材保管装置１４の音波浮揚装置１３を搬送経路１２の音波浮揚装置１３より高くする。なお、図４（ａ），（ｂ）では、搬送経路１２の音波浮揚装置１３をローラ２１のみで示している。
【００３６】
この実施形態では以下の効果を有する。
（１）  板状部材搬送システム１１は、板状部材１５を浮揚状態で保持及び搬送可能な複数の音波浮揚装置１３が上下方向に積層配置され、前記複数の音波浮揚装置１３が上下方向に移動可能に設けられている板状部材保管装置１４を、各音波浮揚装置１３が搬送経路１２の一部を構成する位置に配置可能に設けられている。従って、板状部材保管装置１４は音波浮揚装置１３で構成されているため、振動板２６からの音波の放射圧によって板状部材１５が浮揚状態で保管され、板状部材に圧縮空気を噴射して非接触状態（浮揚状態）に保持する構成に比較してエネルギー消費が少なくなる。また、板状部材保管装置１４を構成する音波浮揚装置１３は、上下方向に移動されることで搬送経路１２の一部を構成する位置に配置されるため、バッファとして機能する板状部材保管装置１４を設置するにあたって広い設置スペースを新たに確保する必要がない。
【００３７】
（２）  音波浮揚装置１３は隣接した音波浮揚装置１３間で板状部材１５を移載する際、移載先の音波浮揚装置１３の位置が相対的に下降される。従って、隣接した音波浮揚装置１３間の振動板２６の高さ調整を精度良く行わなくても、浮揚状態で板状部材１５の移載が円滑に行われる。
【００３８】
（３）  板状部材保管装置１４の一部が床面Ｆより低くなるように形成された凹所Ｆａ（穴）内に配置されているため、板状部材保管装置１４全体が床上に配置される構成に比較して、床面Ｆからの突出量を少なくできる。
【００３９】
（４）  振動板２６は定在波を発生するように励振される。従って、振動板２６に進行波を発生させる必要がないため、特別な構成を必要とせず簡単な構成で板状部材１５を音圧により浮揚させることができる。
【００４０】
（５）  音波浮揚装置１３は、板状部材１５をその搬送方向の左右両端部で支持して搬送するローラコンベア装置１６と、ローラ２１で支持された板状部材１５に浮揚力を付与してその撓みを抑制する音波浮揚ユニット１７とを備えている。そして、音波浮揚ユニット１７として振動板２６の第１端部側を振動子２７で振動されるホーン２８に、第２端部側を振動子２７に連結されないホーン２９に固定した構成となっている。従って、音波浮揚ユニット１７の構成が簡単となり、音波浮揚装置１３も構成が簡単になる。
【００４１】
（６）  振動板２６は水平に配設され、ローラ２１は板状部材１５を進行方向に向かって左右両端で支承する。従って、板状部材１５は左右両端が常にローラ２１と接触した状態となるため、板状部材１５が幅広の場合でも、より安定した状態で搬送することができる。
【００４２】
（７）  振動板２６は複数平行に設けられ、それらの振動板２６が共同で板状部材１５を浮揚保持するため、幅の広い（例えば、幅が１ｍ以上）板状部材１５でも、安定した浮揚状態で搬送することができる。
【００４３】
（第２の実施形態）
次に第２の実施形態を図５に従って説明する。この実施形態では、板状部材保管装置１４が搬送経路１２の搬送方向に隣接して複数設けられている点と、各板状部材保管装置１４間で板状部材１５の移載が可能に構成されている点が前記第１の実施形態と異なっている。前記第１の実施形態と同一部分は同一符号を付して詳しい説明を省略する。
【００４４】
この実施形態では３台の板状部材保管装置１４が隣接して設けられている。各板状部材保管装置１４を構成する音波浮揚装置１３はそれぞれ上下の間隔が同じ間隔で積層配置され、隣接する板状部材保管装置１４間で板状部材１５の移載が可能になっている。複数の板状部材保管装置１４全体で、少なくとも１つの音波浮揚装置１３が空の状態で使用される。即ち、板状部材保管装置１４全体で１箇所の音波浮揚装置１３が空の状態が、満杯の状態となる。各音波浮揚装置１３には板状部材１５の有無及び種類を検出する図示しないセンサがそれぞれ設けられ、各センサの検出信号が板状部材保管装置１４の音波浮揚装置１３の昇降及び駆動を制御する制御装置（図示せず）に入力され、制御装置はその検出信号に基づいて板状部材保管装置１４に対する板状部材１５の搬入及び搬出を制御する。
【００４５】
板状部材１５の搬入時には、前記第１の実施形態と同様に、空の音波浮揚装置１３に順次、板状部材１５を搬入して、音波浮揚装置１３により板状部材１５を浮揚状態で保持（保管）する。保管されている板状部材１５を搬出する際、搬出する板状部材１５に指定がなければ、制御装置は下流側の搬送経路１２に近い音波浮揚装置１３から板状部材１５を搬出するように、ねじ軸３７を駆動させるとともに、モータ２３を駆動させる。一方、搬出する板状部材１５に指定が有る場合は、その板状部材１５が下流側の搬送経路１２に近い音波浮揚装置１３で浮揚保持される状態となるように、板状部材保管装置１４間で順次移載を行う。そして、保管中の他の板状部材１５を板状部材保管装置１４から搬出することなく、指定された板状部材１５が搬出される。
【００４６】
例えば、図４（ｂ）に示すように、Ｂ及びＣで示す板状部材保管装置１４には板状部材１５が４段全ての音波浮揚装置１３に保管され、Ａで示す板状部材保管装置１４には３段の音波浮揚装置１３に板状部材１５が保管されている状態からＡで示す板状部材保管装置１４からの板状部材１５の搬出を説明する。先ず、Ｂの板状部材保管装置１４の音波浮揚装置１３に浮揚保持されている板状部材１５をＡの板状部材保管装置１４の空の音波浮揚装置１３に移載する。次にＢの板状部材保管装置１４の空になった音波浮揚装置１３に、Ａの板状部材保管装置１４の搬出すべき板状部材１５を移載する。次にＡの板状部材保管装置１４の空になった音波浮揚装置１３に、Ｂの板状部材保管装置１４の搬出すべき板状部材１５以外の１つの板状部材１５を移載する。次にＢの板状部材保管装置１４の空になった音波浮揚装置１３に、Ｃの板状部材保管装置１４の板状部材１５を移載する。次にＣの板状部材保管装置１４の空になった音波浮揚装置１３に、Ｂの板状部材保管装置１４の搬出すべき板状部材１５を移載する。次にＣの板状部材保管装置１４移載された搬出すべき板状部材１５を浮揚保持する音波浮揚装置１３を搬送経路１２と対応する位置に配置し、搬出すべき板状部材１５を搬出する。
【００４７】
この実施形態では、前記第１の実施形態の（１）〜（７）と同じ効果を有する他に、次の効果を有する。
（８）  板状部材保管装置１４が搬送経路１２の搬送方向に隣接して複数設けられ、各板状部材保管装置１４間で板状部材１５の移載が可能に構成されている。従って、板状部材１５の保管枚数を多くできるとともに、バッファ機能を有する板状部材保管装置１４間で板状部材１５の移載が可能なため、板状部材保管装置１４への板状部材１５の搬入及び一時保管されている板状部材１５を搬送経路１２で搬出する際の効率が良くなる。
【００４８】
（９）  複数の板状部材保管装置１４全体で、少なくとも１つの音波浮揚装置１３が空の状態で使用される。従って、次に搬出すべき板状部材１５が搬送経路１２の搬出位置から遠い箇所に保管された状態の場合でも、当該板状部材１５を搬出時までに、搬出し易い位置まで移動させることができる。
【００４９】
実施の形態は前記に限定されるものではなく、例えば次のように構成してもよい。
○  第２の実施形態のように板状部材保管装置１４が搬送経路１２の搬送方向に隣接して複数設けられ、各板状部材保管装置１４間で板状部材１５の移載が可能に構成された場合、各板状部材保管装置１４の少なくとも１つの音波浮揚装置１３が空の状態で使用する。この場合、複数の板状部材保管装置１４に保管されている任意の板状部材１５を搬出する場合、当該板状部材１５を浮揚状態で保持する音波浮揚装置１３を搬送経路１２と対応する位置に配置し、該音波浮揚装置１３が属さない他の板状部材保管装置１４では、空の状態の音波浮揚装置１３を搬送経路１２と対応する位置に配置する。従って、複数の板状部材保管装置１４が搬送経路１２の搬送方向に隣接して配置されていても、常に搬送経路１２を確保することができ、搬送される板状部材１５が複数種混在する場合でも、所望の板状部材１５を保管中の他の板状部材１５と干渉せずに円滑に搬出することができる。
【００５０】
○  第２の実施形態のように板状部材保管装置１４が搬送経路１２の搬送方向に隣接して複数設けらた構成において、板状部材保管装置１４に一時保管される板状部材１５が同種類で、搬出順序が限定されない場合は、全ての音波浮揚装置１３に板状部材１５を保管する状態で使用してもよい。
【００５１】
○  板状部材保管装置は、音波浮揚装置１３が複数上下方向に積層配置され、複数の音波浮揚装置１３が上下方向に移動可能に設けられて、各音波浮揚装置１３が搬送経路１２の一部を構成する位置に配置可能な構成に限らない。例えば図６に示すように、搬送経路１２の途中に、板状部材保管装置１４を搬送経路１２に対して側方に配置した構成としてもよい。この場合、板状部材保管装置１４を構成する音波浮揚装置１３は板状部材１５の移載方向が搬送経路１２における板状部材１５の搬送方向と交差する方向（好ましくは直交する方向）に設けられる。即ち、振動板２６が搬送経路１２における板状部材１５の搬送方向と交差する方向（好ましくは直交する方向）に設けられる。また、搬送経路１２の板状部材保管装置１４と対応する箇所に配設される音波浮揚装置１３は、支柱１８に支持されたフレーム１９に代えて、水平面内で９０°回動可能に駆動されるフレーム４１上に設けられる。そして、フレーム４１は、常にはフレーム４１上に設けられた音波浮揚装置１３が板状部材１５を搬送経路１２の搬送方向へ搬送可能な状態に配置される。また、板状部材保管装置１４との間で板状部材１５の移載を行う際には、フレーム４１上に設けられた音波浮揚装置１３が板状部材１５を搬送経路１２の搬送方向と直交する方向に搬送可能な状態に配置される。フレーム４１は回動される際、隣接する音波浮揚装置１３のフレーム１９と干渉しない形状（この実施形態では一部の隅が切り欠かれた形状）に形成されている。フレーム４１は、図６の状態から時計方向に９０°回動することで、板状部材保管装置１４の音波浮揚装置１３との間で板状部材１５の移載が可能な状態に配置される。
【００５２】
この実施形態においても、バッファとして機能する板状部材保管装置１４を設置するにあたって、板状部材保管装置１４専用の搬送経路を設ける必要がなく、その分、保管装置を設置するにあたって広い設置スペースを新たに確保する必要がない。また、搬送される板状部材１５として異なる種類のものが混在し、板状部材保管装置１４に保管された板状部材１５の搬出順序が特定される場合でも、搬送経路１２は常に確保されるため、簡単に対応できる。
【００５３】
○  複数の音波浮揚装置１３が上下方向に移動可能に設けられている構成とし、全ての音波浮揚装置１３が同時に上下方向に移動可能な構成に限らず、各音波浮揚装置１３がそれぞれ独立して上下方向に移動可能な構成としてもよい。例えば、各音波浮揚装置１３のフレーム１９にねじ軸３７に螺合するナット体３８を回転可能、かつ軸方向への移動不能にフレーム１９を貫通する状態で支持する。そして、ねじ軸３７は回転不能とし、各フレーム１９にナット体３８を回転するモータを設ける。この場合、移動させたい音波浮揚装置１３に対応するナット体３８を回転駆動させることにより、そのフレーム１９がナット体３８の回転方向により、上動又は下動される。複数のねじ軸３７を同時に駆動すれば、複数の音波浮揚装置１３が同時に移動される。
【００５４】
また、各音波浮揚装置１３に対応してそれぞれ独立して駆動されるねじ軸３７を設け、各音波浮揚装置１３のフレーム１９にねじ軸３７に螺合するナット体３８を設けてもよい。この場合、各音波浮揚装置１３に対応するねじ軸３７を駆動することにより、対応する音波浮揚装置１３のみがねじ軸３７の回転方向により、上動又は下動される。複数のねじ軸３７を同時に駆動すれば、複数の音波浮揚装置１３が同時に移動される。
【００５５】
○  板状部材保管装置１４を搬送経路１２に対して側方に配置する構成においては、板状部材保管装置１４は必ずしも、音波浮揚装置１３が複数上下方向に積層配置され、複数の音波浮揚装置１３が上下方向に移動可能に設けられる構成に限らず、１つの音波浮揚装置１３を設けてもよい。
【００５６】
○  板状部材保管装置１４を搬送経路１２に対して側方に配置する構成において、複数の板状部材保管装置１４を搬送経路１２に沿って配置してもよい。
○  搬送経路１２が平行に複数設けられた板状部材搬送システム１１の場合、搬送経路１２の間に板状部材保管装置１４を配置するのが好ましい。
【００５７】
○  音波浮揚装置１３間で板状部材１５を移載する際、即ち、板状部材１５が隣接する音波浮揚装置１３を乗り継ぐ際に板状部材１５と振動板２６との接触を防止する方法は、移載先（乗り継ぎ先）の音波浮揚装置１３の位置を水平を保った状態で相対的に下降させる方法に限らない。例えば、図７に示すように、移載先の音波浮揚装置１３を移載方向前側（先端側）に向かって下降傾斜させてもよい。移載先の音波浮揚装置１３を、振動板（図示せず）の基端より移載元の音波浮揚装置１３寄りを中心に回動させて先端側に向かって下降傾斜させれば、振動板の基端側が水平状態の時より下がり、板状部材１５と振動板との接触が防止される。また、移載先の音波浮揚装置１３を、振動板の基端より先端寄りを中心に回動させて先端側に向かって上昇傾斜させれば、振動板の基端側が水平状態の時より下がり、板状部材１５と振動板との接触が防止される。なお、図７では板状部材１５は図において右側から左側へと移載される。
【００５８】
○  ローラ２１に段差部２１ａを設けず、板状部材１５をローラ２１の外周面で支持する構成としてもよい。
○  板状部材１５を支持する全てのローラ２１を回転軸２０に一体回転可能に固定する構成に代えて、板状部材１５の搬入側の端部に位置するローラ２１と、搬出側の端部に位置するローラ２１とをモータで直接駆動可能とし、他のローラ２１は側壁１９ｂに固定された支軸に回転可能に支持してもよい。
【００５９】
○  板状部材１５をその搬送方向の左右両端部で支持して搬送する搬送手段として、ローラコンベア装置１６に代えて、板状部材１５を支持するために搬送方向に沿って配置されたベルトを設けてもよい。ベルトは駆動プーリと被動プーリとの間に巻き掛けられ、モータにより駆動される。この場合多数のローラを設ける構成に比較して構造が簡単になる。
【００６０】
○  音波浮揚装置１３を構成する音波浮揚ユニット１７は、振動板２６が定在波を発生するように振動される構成に代えて、振動板２６が板状部材１５をその移動方向へ付勢する進行波を発生するように励振される状態と、定在波を発生するように励振される状態とに切り換えられるように構成してもよい。例えば、図８に示すように、振動板２６の第２端部にも振動子２７に固定されるホーン２９を設ける。ホーン２９を振動させる振動子２７は、抵抗Ｒ及びコイルＬが並列接続されたエネルギー変換手段としての負荷回路４２に接続されるとともに、振動子２７と負荷回路４２とを接続する配線の途中にスイッチ４３が設けられる。この構成では、振動板２６の振動は負荷回路４２が接続された振動子２７に伝達され、振動子２７を構成するピエゾ素子３１ａ，３１ｂにより機械エネルギーである振動のエネルギーが電気エネルギーに変換される。スイッチ４３がオン状態の時に音波浮揚ユニット１７を駆動すると、前記電気エネルギーが負荷回路４２の抵抗Ｒでジュール熱に変換されて放散される。そのため、振動板２６に生じる振動の波が一方向へ進む進行波となる。また、スイッチ４３がオフ状態の時に音波浮揚ユニット１７を駆動すると、振動板２６に定在波が発生する。この音波浮揚ユニット１７を使用すると、搬送手段（例えば、ローラコンベア装置１６）を省略することができる。
【００６１】
○  振動板２６が進行波を発生する状態と、定在波を発生する状態とに切り換えられる構成とし、搬送手段と進行波との両者の作用で板状部材１５を搬送する構成としてもよい。この場合、振動板２６から発生する進行波が板状部材１５を移動させる推力の一部を負担するため、搬送手段の駆動力が小さくてすみ、駆動手段の小型化が容易となる。
【００６２】
○  音波浮揚装置１３として、板状部材１５をその搬送方向の左右両端部で支持して搬送する搬送手段を設けずに、前記のように音波浮揚ユニット１７を、振動板２６が進行波を発生する状態と、定在波を発生する状態とに切り換えられる構成とし、進行波の作用だけで板状部材１５を搬送する構成としてもよい。
【００６３】
○  振動板２６の両端に設けられた振動子をそれぞれ発振器と負荷回路とに選択的に切り換え接続可能、かついずれにも接続されない状態で保持可能に構成する。この場合、発振器に接続された状態と、負荷回路に接続された状態との切換を行うことにより、板状部材１５の搬送方向を選択することができる。また、一方の振動子を発振器に接続し、他方の振動子を発振器及び負荷回路のいずれにも接続されない状態に保持すると、振動板２６から定在波が発生する。従って、板状部材保管装置１４を構成する音波浮揚装置１３として使用すれば、板状部材１５を振動板２６の長手方向のいずれの方向にも搬送手段を設けずに、浮揚状態で移動させることができる。
【００６４】
○  板状部材保管装置１４の音波浮揚装置１３の搬送距離は板状部材１５の長さ又は幅とほぼ同じに限らず、板状部材１５の長さ又は幅より長い（例えば２倍以上）長さの振動板２６を備えてもよい。
【００６５】
○  音波浮揚装置１３は音波浮揚ユニット１７を２個有する構成に限らない。搬送すべき板状部材１５の幅が狭い場合は１個でもよい。また、音波浮揚ユニット１７を３個以上装備してもよい。
【００６６】
○  板状部材１５を浮揚状態で搬送する音波浮揚装置１３として、振動板２６に定在波を発生させ、振動板２６に浮揚保持された板状部材１５に対してエアを噴射するノズルを振動板２６に沿って所定間隔で配置して板状部材１５を搬送するようにしてもよい。
【００６７】
○  浮揚保持する板状部材１５は、ガラス板に限らず、半導体ウエハーや樹脂基板等の他の板状部材であってもよい。また、板状部材１５の形状は四角形に限らず、三角形や他の多角形あるいは円形等任意の形状であってもよい。
【００６８】
○  ホーン２８，２９の幅は振動板２６の幅と同じでなくてもよく、振動板２６の幅より広くても、狭くてもよいが、振動板２６の幅以上が好ましい。また、ホーン２８，２９の形状は扁平な直方体状に限らず、円柱状やほぼ円錐台状等先端側が細くなった形状としてもよい。
【００６９】
○  振動板２６のホーン２８，２９への固定はねじ３０による締結に限らず、接着剤を使用したり、ロウ付けや溶接で固着してもよい。
○  振動子２７はランジュバン形振動子に限らず他の振動子を使用してもよい。
【００７０】
以下の技術的思想（発明）は前記実施の形態から把握できる。
（１）  請求項１〜請求項７のいずれか一項に記載の発明において、前記音波浮揚装置は、板状部材をその搬送方向の左右両端部で支持して搬送する搬送手段と、前記搬送手段で支持された板状部材に浮揚力を付与してその撓みを抑制する音波浮揚ユニットとを備えている。
【００７１】
（２）  請求項１〜請求項７及び技術的思想（１）のいずれか一項に記載の発明において、前記音波浮揚装置は、長尺の振動板を励振させて音波を発生するように構成されている。
【００７２】
（３）  前記技術的思想（２）に記載の発明において、前記長尺の振動板は、進行波を発生するように励振される状態と、定在波を発生するように励振される状態とに切り換えられるように構成されている。
【００７３】
（４）  前記技術的思想（２）又は技術的思想（３）に記載の発明において、前記振動板は複数平行に設けられている。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】（ａ）は第１の実施形態の板状部材搬送システムの模式平面図、（ｂ）は同じく模式側面図。
【図２】（ａ）は音波浮揚装置の模式斜視図、（ｂ）は音波浮揚ユニットの模式側面図。
【図３】音波浮揚装置の昇降装置の主要部を示す模式断面図。
【図４】（ａ），（ｂ）は板状部材の移載作用を説明する模式側面図。
【図５】（ａ）は第２の実施形態の板状部材搬送システムの模式平面図、（ｂ）は同じく模式側面図。
【図６】別の実施形態の板状部材搬送システムの模式平面図。
【図７】別の実施形態の板状部材の移載作用を説明する模式側面図。
【図８】別の実施形態の音波浮揚ユニットの模式側面図。
【図９】従来技術の板状部材収納装置の斜視図。
【符号の説明】
【００７５】
１１…板状部材搬送システム、１２…搬送経路、１３…音波浮揚装置、１４…板状部材保管装置、１５…板状部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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