(57)【要約】 【課題】  電力出力部から負荷に向かって出力する進行波電力または負荷電力が出力設定値になるようにフィードバック制御する高周波電源装置では、たとえ検出部等に異常があっても、その異常を検知できないという課題があった。【解決手段】  電力検出部３０で検出した進行波電力から反射波電力を減算して負荷電力を求める第1の負荷電力演算部４０と、電力出力部と高周波電源装置の出力端との間の伝送線路上の電流を検出する出力電流検出部５１と、電力出力部と高周波電源装置の出力端との間の伝送線路上の電圧を検出する出力電圧検出部５２と、出力電流検出部および出力電圧検出部の出力に基づいて負荷電力を求める第２の負荷電力演算部５３と、第1の負荷電力演算部４０で求めた負荷電力および第2の負荷電力演算部５３で求めた負荷電力に基づいて高周波電源装置が異常であるか否かを判別する異常判定部とを備えた。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電力出力部から負荷に向かって出力する進行波電力または負荷電力が出力設定値になるように制御する高周波電源装置において、
負荷に向かって出力する進行波電力及び負荷から反射される反射波電力を検出する電力検出部と、
前記電力検出部の出力に基づいて進行波電力から反射波電力を減算した負荷電力を求める第1の負荷電力演算部と、
前記電力出力部と高周波電源装置の出力端との間の伝送線路上の電流または同等個所の電流を検出する出力電流検出部と、
前記電力出力部と高周波電源装置の出力端との間の伝送線路上の電圧または同等個所の電圧を検出する出力電圧検出部と、
前記出力電流検出部および前記出力電圧検出部の出力に基づいて、前記電力出力部と高周波電源装置の出力端との間の伝送線路上の負荷電力または同等個所の負荷電力を求める第２の負荷電力演算部と、
前記第1の負荷電力演算部で求めた負荷電力および前記第2の負荷電力演算部で求めた負荷電力に基づいて、高周波電源装置が異常であるか否かを判別し、異常であると判別した場合に異常検出信号を出力する異常判定部とを備えたことを特徴とする高周波電源装置。
【請求項２】
前記出力電圧検出部が、コンデンサ、抵抗及びインダクタの内、少なくとも２種類の素子を組み合わせて構成されていることを特徴とする請求項１に記載の高周波電源装置。
【請求項３】
前記出力電圧検出部が、トランスによって構成されていることを特徴とする請求項１に記載の高周波電源装置。
【請求項４】
前記出力電流検出部が、カレントトランスを備えていることを特徴とする請求項１に記載の高周波電源装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばプラズマエッチングを行うプラズマ処理装置等に電力を供給する高周波電源装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図３は、従来技術の高周波電源装置１ｐ及びその周辺装置の一例を示すブロック図である。
高周波電源装置１ｐは、伝送線路２及び整合装置３及び伝送線路４を介して、負荷となるプラズマ処理装置５に、高周波電力を供給するための電源装置である。なお、一般にこの種の高周波電源装置では、数百ｋＨｚ以上の周波数の高周波電力を出力している。
【０００３】
整合装置３は、整合装置３の入力端３１から伝送線路２を経由し高周波電源装置１ｐ側を見た電源側インピーダンスＺｏ（通常は５０Ωにしていることが多い）と、整合装置３の入力端３１から負荷側を見た負荷側インピーダンスＺＬ（整合装置３及び伝送線路４及びプラズマ処理装置５のインピーダンス）とを整合させるための装置である。
この整合装置３は、例えば、内部に可変コンデンサ、可変インダクタ等の可変インピーダンス素子を備えていて、内部のインピーダンスを変化させることによって負荷側インピーダンスＺＬを変化させる。
【０００４】
プラズマ処理装置５は、加工部を備え、その加工部の内部に搬入したウエハ、液晶基板等の被加工物を加工（エッチング、ＣＶＤ等）するための装置である。このプラズマ処理装置５は、被加工物を加工するために、加工部にプラズマ放電用ガスを導入し、そのプラズマ放電用ガスに高周波電源装置１ｐから供給された高周波電力（電圧）を印加することによって、上記のプラズマ放電用ガスを放電（以下、プラズマ放電という）させて非プラズマ状態からプラズマ状態にしている。そして、プラズマ状態になったガスを利用して被加工物を加工している。
【０００５】
伝送線路２及び伝送線路４は、電力を伝送するための線路であり、例えば、同軸ケーブル、導波管、銅板、同軸管等が用いられる。
【０００６】
ここで、図３に示した整合装置３の入力端３１から伝送線路２を経由し高周波電源装置１ｐ側を見た電源側インピーダンスＺｏと負荷側インピーダンスＺＬとが整合（以下、インピーダンス整合という）しているときは、高周波電源装置１ｐから出力された高周波電力が効率よくプラズマ処理装置５に供給される。
【０００７】
しかし、プラズマ処理装置５の内部インピーダンスがプラズマ放電の状態によって変動するために、整合装置の入力端３１から見た負荷側インピーダンスＺＬは、整合時に比べて、高インピーダンス又は低インピーダンスに変動する。
そうなると、電源側インピーダンスＺｏと負荷側インピーダンスＺＬとが整合しない状態になるので、高周波電源装置１ｐから出力されてプラズマ処理装置５に向かう高周波電力（以下、進行波電力という）の一部又は全部が反射して整合装置３から高周波電源装置１ｐに向かう反射波電力ＰＲが発生する。
【０００８】
通常は、整合装置３によってインピーダンス整合をさせるために、整合状態に戻るが、非整合状態から整合状態になるまでの間は、反射波電力が発生することになる。また、整合装置３の調整が最適でない場合等は、非整合状態が続くこともある。このように、何らかの理由で発生した反射波電力ＰＲは、高周波電源装置１ｐ内に戻る。
【０００９】
なお、伝送線路２の特性インピーダンスを高周波電源装置の出力インピーダンスＺｏ’と等しくなるようにしている。
このような状態でインピーダンス整合すると、整合装置３の入力端３１から負荷側を見た負荷側インピーダンスＺＬと高周波電源装置の出力端１０１から負荷側を見た負荷側インピーダンスＺＬ’とが一致する。また、電源側インピーダンスＺｏと高周波電源装置の出力インピーダンスＺｏ’とが一致する。
よって、伝送線路２の特性インピーダンスを高周波電源装置の出力インピーダンスＺｏ’と等しくした状態でインピーダンス整合すると、高周波電源装置の出力インピーダンスＺｏ’と高周波電源装置の出力端１０１から負荷側を見た負荷側インピーダンスＺＬ’もインピーダンス整合していることになる。
【００１０】
図４は、従来技術の高周波電源装置１ｐの構成及びその周辺装置の一例を示すブロック図である。
【００１１】
出力設定部１０は、後述する電力出力部２０から出力する進行波電力ＰＦの出力設定値を定める出力設定信号Ｖｓｅｔを出力する。
例えば、出力設定信号Ｖｓｅｔが１０［Ｖ］の場合に、後述する電力出力部２０から出力する進行波電力の出力設定値が１０００［Ｗ］になるように回路定数等を設定すると、出力設定値を１０００［Ｗ］に定めるためには、出力設定信号Ｖｓｅｔの大きさを１０［Ｖ］にして出力すればよい。また、出力設定値と出力設定信号の大きさとの対応関係が比例関係である場合に、出力設定値を５００［Ｗ］に定めるためには、出力設定信号Ｖｓｅｔの大きさを５［Ｖ］にして出力すればよい。
なお、出力設定信号Ｖｓｅｔは、高周波電源装置の外部にある他の装置から入力してもよい。
【００１２】
電力検出部３０は、後述する電力出力部２０から出力される進行波電力ＰＦ及び高周波電源装置１ｐの外部から戻ってくる反射波電力ＰＲを検出し、進行波電力値に対応した信号Ｖｐｆを出力する。この電力検出部３０には、例えば、方向性結合器等が用いられる。
また、例えば、電力出力部２０から出力される進行波電力値が１０００［Ｗ］である場合に、進行波電力検出信号Ｖｐｆとして１０［Ｖ］を出力するように設定すると、進行波電力値である１０００［Ｗ］に対応した進行波電力検出信号Ｖｐｆは１０［Ｖ］の電圧信号となる。また、進行波電力値と進行波電力検出信号Ｖｐｆとの対応関係が比例関係である場合は、進行波電力値である５００［Ｗ］に対応した進行波電力検出信号Ｖｐｆは５［Ｖ］の電圧信号となる。
【００１３】
なお、後述する電力出力部２０から出力される進行波電力ＰＦ及び高周波電源装置１ｐの外部から戻ってくる反射波電力ＰＲは、電力検出部３０の内部をそのままの大きさで通過するか又は殆ど減衰することなく通過する。
【００１４】
電力出力部２０は、図示しない電力増幅回路や発振回路等によって構成されている。そして、電力検出部３０から出力される進行波電力検出信号Ｖｐｆと出力設定部１０から出力される出力設定信号Ｖｓｅｔとを入力し、進行波電力検出信号Ｖｐｆの大きさが出力設定信号Ｖｓｅｔの大きさと等しくなるようにフィードバック制御をして進行波電力を出力するように構成されている。
なお、電力出力部２０から出力された進行波電力は、高周波電源装置の出力端としての高周波電力出力コネクタ１０１に接続された伝送線路２を介して、高周波電源装置の外部に出力される。
【特許文献１】特開平９−１４５７５２号公報
【特許文献２】特開平１０−２２７５９号公報
【特許文献３】特開平１０−２２７６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
プラズマ処理装置５で被加工物（ウエハ、液晶基板等）を加工する際には、その目的に応じて各種の加工プロセスがあり、目的に応じた加工プロセスを実行することによって、被加工物が加工される。
例えば、エッチングを行う場合には、そのエッチングに応じたガス種類、ガス圧力、供給する進行波電力の電力値、進行波電力の供給時間などを適切に設定した加工プロセスを実行する必要がある。
【００１６】
ところで、プラズマ処理装置５での被加工物の加工が終了すれば、被加工物が正常に加工されているか否かを検査する工程がある。例えば、エッチングを行った場合には、エッチングによって削られたアルミニウムや銅の深さが適正値になっているか否かなどを検査する工程がある。
このような検査工程で、正常でなく不良と判定された場合は、何らかの原因があると言える。例えば、一例として、次のような原因が考えられる。
（イ）プラズマ処理装置５の加工部が、長時間の使用によって汚れたことによって、発生したプラズマの状態が正常時と異なっていた。
（ロ）何らかの原因で、ガス種類やガス圧力が適正でなかった。
（ハ）整合装置が正常に動作しなかったので、電力の供給効率が悪くなり、適正な電力がプラズマ処理装置５に供給されなかった。
（ニ）高周波電源装置の異常によって、適正な電力がプラズマ処理装置５に供給されなかった。
（ホ）高周波電源装置から出力される進行波電力の電力値が、何らかの原因で、出力設定値と異なっていた。
【００１７】
このように、プラズマ処理装置５だけでなく、高周波電源装置や整合装置などの装置が原因となることもあるので、不良と判定された場合の原因が何かということを特定するのは非常に難しいのが実情である。
【００１８】
ここで、高周波電源装置に関して言えば、進行波電力または負荷電力の電力値が出力設定値とおりに出力されていれば、正常であるとされている。
しかし、前述したように高周波電源装置は、フィードバック制御によって出力である進行波電力の電力値を制御しているので、検出部等に異常があって、フィードバックされる検出信号が正常値でない場合でも、高周波電源装置から見ると、正常な状態であると認識する。そのために、このような状態であっても、異常であることを示すアラーム出力はしない。
例えば、出力設定値が１０００［Ｗ］の場合に、実際の出力値が１０００［Ｗ］であるにも関わらず、検出値が１２００［Ｗ］であったとすると、１２００−１０００＝２００［Ｗ］だけ出力設定値よりも余分に出力していると認識して、その分だけ出力値を小さくしようと制御する。その結果、高周波電源装置から出力される進行波電力は、出力設定値である１０００［Ｗ］よりも小さくなってしまう。
このような状態になると、プラズマ処理装置５には、正常な状態に比べて少ない電力量しか供給されないので、被加工物に正常な加工ができなくなってしまう。
エッチングを行う場合を考えると、供給される電力量が少なくなると、エッチングによって削られるアルミニウムや銅の深さが適正値以下になるので、不良品になってしまう。
このように、従来技術の高周波電源装置１ｐでは、たとえ電力検出部３０等に異常があっても、その異常を検知できないという課題があった。
【００１９】
そこで、本発明は、高周波電源装置から出力される進行波電力または負荷電力の電力値が出力設定値に対して正常であるか否かを検知できるようにすることで、高周波電源装置に原因があるか否かを検知できる高周波電源装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本願発明によって提供される高周波電源装置は、例えば図１に示すように、
電力出力部から負荷に向かって出力する進行波電力または負荷電力が出力設定値になるように制御する高周波電源装置において、
負荷に向かって出力する進行波電力及び負荷から反射される反射波電力を検出する電力検出部と、
前記電力検出部の出力に基づいて進行波電力から反射波電力を減算した負荷電力を求める第1の負荷電力演算部と、
前記電力出力部と高周波電源装置の出力端との間の伝送線路上の電流または同等個所の電流を検出する出力電流検出部と、
前記電力出力部と高周波電源装置の出力端との間の伝送線路上の電圧または同等個所の電圧を検出する出力電圧検出部と、
前記出力電流検出部および前記出力電圧検出部の出力に基づいて、前記電力出力部と高周波電源装置の出力端との間の伝送線路上の負荷電力または同等個所の負荷電力を求める第２の負荷電力演算部と、
前記第1の負荷電力演算部で求めた負荷電力および前記第2の負荷電力演算部で求めた負荷電力に基づいて、高周波電源装置が異常であるか否かを判別し、異常であると判別した場合に異常検出信号を出力する異常判定部とを備えたことを特徴としている。
【００２１】
他の好ましい実施形態によれば、前記出力電圧検出部が、コンデンサ、抵抗及びインダクタの内、少なくとも２種類の素子を組み合わせて構成されている。
【００２２】
他の好ましい実施形態によれば、前記出力電圧検出部が、トランスによって構成されている。
【００２３】
他の好ましい実施形態によれば、前記出力電流検出部が、カレントトランスを備えている。
【発明の効果】
【００２４】
本発明のようにすると、第１の負荷電力演算部の出力と第２の負荷電力演算部の出力とを比較することができるので、電力検出部等のフィードバック制御に関係する何らかの個所に異常が発生して、フィードバック制御が正常にできない場合に、異常判定部から異常を示す異常検出信号を出力することができる。
そのために、異常判定部から異常検出信号が出力されないときは、高周波電源装置が正常な状態であることを示している。
そのために、異常検出信号が出力されたときに被加工物に不良が発生した場合には、高周波電源装置に原因があると言える可能性が高まる。また、異常検出信号が出力されていないにも関わらず、被加工物に不良が発生した場合には、高周波電源装置以外の装置に原因があると言える可能性が高まる。よって、原因を特定することが従来よりも容易になる。
【００２５】
さらに、出力電流検出部をカレントトランスとおよび抵抗で構成し、出力電圧検出部を２つのコンデンサを用いた構成にするか、コンデンサや抵抗やインダクタを組み合わせた構成にすると、高価な方向性結合器等を用いることなく、しかも、簡易な構成で負荷電力の検出回路を構成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明の詳細を図面を参照して説明する。
【００２７】
図１は、本発明の実施形態に係る高周波電源装置１の構成及びその周辺装置の一例を示すブロック図である。なお、図１で、図４と同様の部分については説明を省略する。
【００２８】
第１の負荷電力演算部４０は、電力検出部３０から出力される進行波電力検出信号Ｖｐｆおよび反射波電力検出信号Ｖｐｒを入力として、進行波電力から反射波電力を減算した負荷電力を求め、負荷電力ＰＬを示す第1負荷電力信号Ｖｐｄ１を出力する。
【００２９】
出力電流検出部５１は、電力検出部３０と高周波電源装置の出力端１０１との間に設けられたカレントトランスＣＴと、カレントトランスＣＴの２次側コイルの両端間に設けられた抵抗Ｒ１によって構成されている。
そのために、電力検出部３０と高周波電源装置の出力端１０１との間の伝送線路上の電流値に対応した電圧が、抵抗Ｒ１の一端（アース側）と他端（アースと反対側）との間に生じる。そして、抵抗Ｒ１の他端での電圧を検出し、検出した電圧を高周波出力電流信号Ｖｉとして出力する。
【００３０】
なお、図１に示した例では、電力検出部３０と高周波電源装置の出力端１０１との間にカレントトランスＣＴを設けていた。しかし、カレントトランスＣＴの位置は、電力出力部２０と高周波電源装置の出力端との間であればよい。
さらに、伝送線路２上の電流も、実質的に、電力検出部３０と高周波電源装置の出力端１０１との間の伝送線路上の電流と同等であるので、カレントトランスＣＴを、高周波電源装置の出力端１０１と整合装置の入力端３１との間に設けてもよい。
【００３１】
出力電圧検出部５２は、電力検出部３０と高周波電源装置の出力端１０１との間の伝送線路とアース（ＧＮＤ）との間に設けられていて、コンデンサＣ１及びコンデンサＣ２によって構成されている。そして、コンデンサＣ１とコンデンサＣ２との接続点から、電力検出部３０と高周波電源装置の出力端１０１との間の伝送線路上の電圧をコンデンサによって分圧した高周波出力電圧信号Ｖｖを出力する。
なお、コンデンサＣ１とコンデンサＣ２とによって分圧比が定まるので、電力検出部３０と高周波電源装置の出力端１０１との間の伝送線路上の電圧値と高周波出力電圧信号Ｖｖとは、対応関係を有している。
【００３２】
なお、図１に示した例では、電力検出部３０と高周波電源装置の出力端１０１との間の伝送線路上の電圧を出力電圧検出部５２の入力としていた。しかし、出力電圧検出部５２の入力は、電力出力部２０と高周波電源装置の出力端との間の伝送線路上の電圧であればよい。
さらに、伝送線路２上の電圧も、実質的に、電力検出部３０と高周波電源装置の出力端１０１との間の伝送線路上の電圧と同等であるので、伝送線路２上の電圧を出力電圧検出部５２の入力としてもよい。
【００３３】
また、図１に示した例では、出力電圧検出部５２を２つのコンデンサを用いた構成にしているが、この構成に限定されるものではなく、図２のように、抵抗やインダクタやトランス（変圧器）を用いた構成にしてもよい。
図２は、出力電圧検出部５２の他の構成の一例を示す回路例である。同図（ａ）は、抵抗Ｒ２，Ｒ３を用いた回路例である。同図（ｂ）は、インダクタＬ１，Ｌ２を用いた回路例である。同図（ｃ）は、トランスＴＲを用いた回路例である。
【００３４】
第２の負荷電力演算部５３は、乗算部５３１と積分部５３２とによって構成されていて、出力電流検出部５１および出力電圧検出部５２の出力に基づいて、電力出力部２０と高周波電源装置の出力端１０１との間の伝送線路上の負荷電力または同等個所の負荷電力を求め、第２の負荷電力を示す第２負荷電力信号Ｖｐｄ２を出力する。
【００３５】
乗算部５３１は、出力電流検出部５１の出力である高周波出力電流信号Ｖｉおよび出力電圧検出部５２の出力である高周波出力電圧信号Ｖｖを入力として、高周波出力電流信号Ｖｉと高周波出力電圧信号Ｖｖとを乗算した乗算信号Ｖｍを出力する。
【００３６】
積分部５３２は、乗算部５３１の出力である乗算信号Ｖｍを入力として、乗算信号Ｖｍを高周波出力の周期時間に基づいて積分することによって第２の負荷電力を演算し、第２の負荷電力を示す第２負荷電力信号Ｖｐｄ２を出力する。
【００３７】
なお、上記の第２負荷電力信号Ｖｐｄ２は、式（１）の関係で求められる電力に相当する。
Ｖｐｄ２＝｜Ｖｉ｜＊｜Ｖｖ｜＊ｃｏｓθ  ・・・・・  （１）
【００３８】
式（１）において、「｜Ｖｉ｜」は、高周波出力電流信号Ｖｉの大きさであり、高周波出力電流の大きさを示す。また、「｜Ｖｖ｜」は、高周波出力電圧信号Ｖｖの大きさであり、高周波出力電圧の大きさを示す。また、「ｃｏｓθ」は、高周波出力電流信号Ｖｉと高周波出力電圧信号Ｖｖとの位相差の余弦を示す。また、「＊」は乗算記号である。
【００３９】
出力電流検出部５１および出力電圧検出部５２は、図１に示すように出力電流検出部５１をカレントトランスＣＴとおよび抵抗Ｒ１で構成し、出力電圧検出部５２を２つのコンデンサを用いた構成にするか、図２に示したような構成にすると、簡易な構成で負荷電力の検出回路を構成することができる。
【００４０】
なお、この図１で示した例の場合、出力電流検出部５１、出力電圧検出部５２および第２の負荷電力演算部５３によって構成される部分が、第２電力検出部５０として機能する。
【００４１】
異常判定部６０は、第１の負荷電力演算部４０の出力である第１負荷電力信号Ｖｐｄ１および第２の負荷電力演算部５３の出力である第２負荷電力信号Ｖｐｄ２を入力として、第1の負荷電力演算部で求めた負荷電力および第2の負荷電力演算部で求めた負荷電力に基づいて、高周波電源装置が異常であるか否かを判別し、異常であると判別した場合に異常検出信号Ｖａｂを出力する。
この例の場合、たとえば、異常検出信号ＶａｂとしてＨｉｇｈレベルの信号を出力する。この異常検出信号Ｖａｂは、出力端子１０２を介して高周波電源装置の外部に出力することができる。
【００４２】
具体的には、予め定められた許容値をＶｔｏとして、下記の式（２）〜（４）のいずれかの式において、左辺の結果が右辺の許容値Ｖｔｏ以上になった場合に、異常であると判別する。もちろん、他の演算式の関係に基づいて異常であるか否かを判別してもよい。
｜Ｖｐｄ２−Ｖｐｄ１｜／｜Ｖｐｄ１｜≧Ｖｔｏ    ・・・・（２）
｜Ｖｐｄ２−Ｖｐｄ１｜／｜Ｖｐｄ２｜≧Ｖｔｏ    ・・・・（３）
｜Ｖｐｄ２−Ｖｐｄ１｜≧Ｖｔｏ                  ・・・・（４）
【００４３】
図１のように構成することで、インピーダンス整合しているか否かに関わらず、第１の負荷電力演算部４０の出力である第１負荷電力信号Ｖｐｄ１と第２の負荷電力演算部５３の出力である第２負荷電力信号Ｖｐｄ２とを比較することができるので、電力検出部３０等のフィードバック制御に関係する何らかの個所に異常が発生して、フィードバック制御が正常にできない場合に、異常判定部６０から異常を示す異常検出信号Ｖａｂ（たとえばＨｉｇｈレベルの信号）を出力することができる。
【００４４】
そのために、異常検出信号Ｖａｂが出力されたときに被加工物に不良が発生した場合には、高周波電源装置１に原因があると言える可能性が高まる。また、異常検出信号Ｖａｂが出力されていないにも関わらず、被加工物に不良が発生した場合には、高周波電源装置１以外の装置に原因があると言える可能性が高まる。よって、原因を特定することが従来よりも容易になる。
【００４５】
なお、これまで説明した例では、異常判定部６０で異常と判定されたときに異常検出信号ＶａｂとしてＨｉｇｈレベルの信号を出力する例を示したが、逆の論理になるように回路を構成してもよい。
【００４６】
また、異常検出信号Ｖａｂを用いて、進行波電力の出力を停止するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】図１は、本発明の第１の実施形態に係る高周波電源装置１の構成及びその周辺装置の一例を示すブロック図である。
【図２】図２は、出力電圧検出部５２の他の構成の一例を示す回路例である。
【図３】図３は、従来技術の高周波電源装置１ｐ及びその周辺装置の一例を示すブロック図である。
【図４】図４は、従来技術の高周波電源装置１ｐの構成及びその周辺装置の一例を示すブロック図である。
【符号の説明】
【００４８】
１        本発明の高周波電源装置
１ｐ      従来技術の高周波電源装置
２        伝送線路
３        整合装置
４        伝送線路
５        プラズマ処理装置（負荷）
１０      出力設定部
２０      電力出力部
３０      電力検出部
４０      第１の負荷電力演算部
５１      出力電流検出部
５２      出力電圧検出部
５３      第２の負荷電力演算部
５３１  乗算回路
５３２  積分部
６０      異常判定部
１０１    高周波電力出力コネクタ（高周波電源装置の出力端）
１０２    出力端子
ＣＴ      カレントトランス
Ｃ１      コンデンサ
Ｃ２      コンデンサ
Ｌ１      インダクタ
Ｌ２      インダクタ
Ｒ１      抵抗
Ｒ２      抵抗
Ｒ３      抵抗
ＴＲ      トランス
【図１】
2005077248.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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