(57)【要約】【課題】  気泡の巻き込みがない安定した水柱が得られる超音波式測定装置を提供する。【解決手段】  被測定物の表面と超音波センサ１の超音波送受信部ｌａとの間に水柱を形成し、該水柱中に超音波を伝播させて被測定物の寸法測定や内部欠陥の探傷を非接触で行う超音波式測定装置において、被測定物の表面に向けて開口する開口部１０を有するハウジング２と、ハウジング２の内部に配置されて超音波送受信部ｌａを開口部１０に向けた超音波センサ１と、噴射口４がハウジング２の外周を取り囲むように又は周方向に所定の間隔を空けて配置されて被測定物の超音波送受信部ｌａに対向した表面に向けて斜めに水を噴射するノズル３と、開口部１０からハウジング２の内部に水を誘導するためにハウジング２の内部を減圧する減圧装置１８と、を備え、噴射口４から噴射されて被測定物の表面に衝突した水をハウジング２の開口側に誘導して前記水柱を形成する。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定物の表面と超音波センサの超音波送受信部との間に水柱を形成し、該水柱中に超音波を伝播させて前記被測定物の寸法測定や内部欠陥の探傷を非接触で行う超音波式測定装置において、
前記被測定物の表面に向けて開口する開口部を有するハウジングと、前記ハウジングの内部に配置されて前記超音波送受信部を前記開口部に向けた前記超音波センサと、噴射口が前記ハウジングの外周を取り囲むように又は周方向に所定の間隔を空けて配置されて前記被測定物の前記超音波送受信部に対向した表面に向けて斜めに水を噴射するノズルと、前記開口部から前記ハウジングの内部に水を誘導するために前記ハウジングの内部を減圧する減圧装置と、を備え、
前記噴射口から噴射されて前記被測定物の表面に衝突した水を前記ハウジングの開口側に誘導して前記水柱を形成することを特徴とする超音波式測定装置。
【請求項２】
前記ノズル内の流路に整流板を備えていることを特徴とする請求項１に記載の超音波式測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被測定物の寸法測定や内部欠陥を探傷する装置等に使用する超音波式測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、超音波式測定装置としては、例えば特許文献１や特許文献２に開示された構造のものが知られている。
この種の超音波パルス・エコー方式による超音波式測定装置は、超音波センサ（以下、センサという）を超音波センサ用ノズル（以下、ノズルという）の内部に取り付けている。
これらノズルは、いずれもセンサと同軸で略円筒状をなしてセンサを取り囲むハウジングを設けている。そして、ハウジングの周壁に給水口を設けるとともに、センサから発振される超音波を送受信する側（以下、超音波送受信部側とよぶ）に水の噴射口を形成している。なお、給水口から供給される水は、ノズル内の所定の流路をセンサの超音波送受信部側に向かって流れ、噴射口から噴射されるようになっている。
【０００３】
そして、ノズルから噴射される水によって超音波の媒体となる水柱を被測定物の表面とセンサの超音波送受信部との間に形成し、センサから被測定物に対して発振される超音波を水柱中に伝播させて被測定物と超音波送受信部との間で入・反射させている。
被測定物に入射された超音波の一部は、例えば被測定物の表面（あるいは裏面）からエコーＥ１として反射する一方、被測定物の内部に入った超音波が裏面（あるいは内部欠陥）でエコーＥ２として反射し、反射したこれらエコーＥ１とＥ２との時間間隔によって被測定物の寸法測定や内部欠陥の探傷を行うことができる。
【特許文献１】特開平７−２５６３１５号公報
【特許文献２】特公昭５５−２８０１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述の超音波パルス・エコー方式によって被測定物の寸法測定や内部欠陥の探傷を行う場合、測定精度を向上させる上では、ノズルの噴射口から被測定物に対して噴射される水によって形成される水柱内に気泡が巻き込まれて混入するのを確実に防止する必要がある。
しかしながら、例えば特許文献１ないし特許文献２に記載の技術では、ノズル内部の動圧が大きくなると、静圧が負圧となる場合がある。
【０００５】
ここで、式１にベルヌーイの式を示す。
Ｐ＋ρＶ２／２＋（ρｇｈ）＝一定      〔式１〕
ただし、Ｐは圧力、ρは流体の比重量、Ｖは流速、ｇは重力加速度、ｈは基準面からの高さ、である。
すなわち、式１から分かるように、流速Ｖが速くなるほど、流れの圧力であるρＶ２／２（動圧）が大きくなるから、圧力Ｐ（静圧）が低下することになる。そのため、高圧水の噴射速度は速いから圧力Ｐ（静圧）が負圧となる場合が生じる。このとき、水柱まわりの雰囲気は、大気であるから外部から水柱内に空気が侵入し易くなり、水柱内に気泡が巻き込まれて混入してしまう可能性が高くなる。
【０００６】
また、水柱を連続的に形成するために高圧水を用いているが、例えばポンプを動力として用いる場合、脈動が発生することがある。このとき、水柱に切れ目（空気層の混入）が生じると誤検出の要因となるおそれがある。
このように、従来のノズルの構造では、水柱への気泡の混入を確実に排除することが困難であるという問題があった。
本発明は、上記のような問題点に着目してなされたもので、気泡の巻き込みがない安定した水柱が得られる超音波式測定装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、請求項１に係る発明は、被測定物の表面と超音波センサの超音波送受信部との間に水柱を形成し、該水柱中に超音波を伝播させて前記被測定物の寸法測定や内部欠陥の探傷を非接触で行う超音波式測定装置において、前記被測定物の表面に向けて開口する開口部を有するハウジングと、前記ハウジングの内部に配置されて前記超音波送受信部を前記開口部に向けた前記超音波センサと、噴射口が前記ハウジングの外周を取り囲むように又は周方向に所定の間隔を空けて配置されて前記被測定物の前記超音波送受信部に対向した表面に向けて斜めに水を噴射するノズルと、前記開口部から前記ハウジングの内部に水を誘導するために前記ハウジングの内部を減圧する減圧装置と、を備え、前記噴射口から噴射されて前記被測定物の表面に衝突した水を前記ハウジングの開口側に誘導して前記水柱を形成することを特徴としている。
【０００８】
請求項１に係る発明によれば、ハウジングの開口部外周をノズルの噴射口によって取り囲んでいる。そのため、噴射口から噴射された水によって開口部を取り囲むウォータージャケット（水膜）を形成することができる。
そして、噴射口から噴射されて被測定物の表面に衝突した水は、衝突によって運動エネルギーが奪われるため、その動圧が低下し、静圧が相対的に高くなる。そのため、開口部の直下にこの「静圧が高く動圧が低い水」（以下、「低圧水」と呼ぶ）を満たすとともに、ウォータージャケット（水膜）によって、この低圧水を取り囲むことができるようになっている。特に本発明では、超音波送受信部に対向した表面に向けて水を斜めに噴射している。そのため、開口部の直下を取り囲むウォータージャケット（水膜）が好適に形成されるとともに、開口部の直下側に低圧水が流れ易くなっている。
【０００９】
さらに、減圧装置によって減圧されたハウジングの内部に、この低圧水を開口部から誘導して引き込むようになっているため、ハウジング内を低圧水で満たすことができる。そのため、被測定物の表面と超音波センサの超音波送受信部との間に低圧水による水柱を形成することができる。
このようにして形成された水柱は、流速Ｖが小さい（動圧が低い）ため、圧力Ｐ（静圧）が相対的に大きくなり、水柱の周囲から直接、水柱の内部に空気が侵入することがほとんどない。
【００１０】
そのため、気泡の巻き込みがない安定した水柱が得られる超音波式測定装置を提供することができる。また、例えばポンプに脈動が発生した場合であっても、その影響は噴射された水によって形成されるウォータージャケット（水膜）に切れ目が生じる程度であり、水柱自体に実質的影響が及び難い。したがって、このような場合でも、安定した水柱を形成できるため検出精度を向上させることができる。
【００１１】
また、本発明のうち請求項２に係る発明は、請求項１に記載の超音波式測定装置であって、前記ノズル内の流路に整流板を備えていることを特徴としている。
請求項２に係る発明によれば、ノズル内の流路に整流板を備えているため、噴射口から噴射された水によって形成されるウォータージャケット（水膜）中の渦流や乱流を抑制可能である。そのため、ウォータージャケット（水膜）の内部への気泡の混入を好適に防止できる。したがって、安定したウォータージャケット（水膜）に囲まれた水柱を形成できるため、より気泡の巻き込みがない安定した水柱を得ることができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、気泡の巻き込みがない安定した水柱が得られる超音波式測定装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の一実施形態について図面を参照して説明する。
図１は、本発明に係る超音波式測定装置の一実施形態を説明する概略構成図である。
同図に示すように、この超音波式測定装置は、被測定物１００の表面に向けて開口する開口部１０を有するハウジング２と、ハウジング２の内部に配置されて超音波送受信部である前端面１ａを開口部１０に向けたセンサ１と、ハウジング２内部を減圧する減圧装置である排気ポンプ１８と、開口部１０の全周を取り囲む噴射口４を有するノズル３と、を備えている。
【００１４】
ハウジング２は、ハウジング上部金具１２とハウジング下部金具１３とを相互に組み合わせて構成されている。
詳しくは、ハウジング上部金具１２は、センサ１の配線を装通するために上端面の略中央に設けられたセンサコネクタ取付部１２ｃを有する上面部１２ａと、この上面部１２ａ外周に連続する上部円筒部１２ｂと、から形成されている。上部円筒部１２ｂ下側の内周面には下部金具１３と螺嵌する雌ネジ１２ｄを設けている。また、この上部円筒部１２ｂの周壁には排気口１４が設けられており、この排気口１４に排気口用コネクタ１５が連結されている。排気口用コネクタ１５は、配管１６に接続され、さらに、配管１６は調圧バルブ１７と、排気ポンプ１８とにそれぞれ並列に接続している。
【００１５】
ハウジング下部金具１３は、ハウジング上部金具１２の雌ネジ１２ｄに螺嵌する雄ネジ１３ｄを上部外周に形成して下方に延びた下部円筒部１３ａと、この下部円筒部１３ａに連続して、下部円筒部１３ａ下端から下方に向かって縮径して略円錐筒状にしてなるハウジング下部１３ｂと、このハウジング下部１３ｂ下端の中心部に開口する開口部１０とが一体に形成されている。このようにして、上面部１２ａ、上部円筒部１２ｂ、下部円筒部１３ａ、および略円錐筒状のハウジング下部１３ｂとによってハウジング２が構成されている。
【００１６】
ハウジング下部金具１３の下部円筒部１３ａ内部の下側には、円環状のセンサ支持板２０が配設されている。このセンサ支持板２０には、横断面円形で上下方向に貫通して開口する貫通孔２０ａが、センサ１の軸方向に並行して複数箇所に所定の間隔（ピッチ）をもって形成されている。センサ支持板２０の外形は、下部円筒部１３ａ内形に整合して形成され、また、センサ支持板２０の中心部には、センサ１と同軸で、その外形と整合して相互に嵌め込み可能なセンサ取付け孔２０ｂが形成されている。そのため、センサ１は、センサ支持板２０を下部金具１３上部の開口から挿入してハウジング２軸方向の所定位置に固定し、センサ１の前端面１ａ側をセンサ支持板２０を介して下部円筒部１３ａ内部に固定することができる。なお、センサ１と開口部１０との軸は同軸であり、センサ１の前端面１ａと対向した位置に開口部１０が位置している。
【００１７】
そして、センサ１の基端側は、上部金具１２のセンサコネクタ取付部１２ｃに防水パッキンおよび取付金具（図示せず）を介して組み付け可能になっている。また、センサ１の配線コネクタ１ｂは、ハウジング２上面の軸心部から外部に露出した状態で配置される。そして、配線コネクタ１ｂは、配線８を介して制御機器９に接続されている。
ハウジング２の外周には、開口部１０を所定の間隔をもって取り囲む略円錐筒状の隔壁部３ｂからなるノズル３が取り付けられている。
【００１８】
詳しくは、ノズル３は、その略円錐筒状の縮径側を開口部１０全周を取り囲み前端面１ａに対向した被測定物１００の表面に向けて斜めに水を噴射する噴射口４として形成している。そして、ノズル３の隔壁部３ｂの略円錐筒状の拡径側周壁に給水口２４が設けられており、この給水口２４に給水用コネクタ２５が連結されている。給水用コネクタ２５は、配管２６に接続され、さらに、配管２６は調圧バルブ２７によって中継されて給水ポンプ２８に接続している。
【００１９】
また、ノズル３は、ノズル３内の流路に円環状の整流板２２を備えている。この整流板２２には、被測定物１００のセンサ１の前端面ｌａに対向した表面に向けて（同図に示す矢印Ａ方向）水を噴射するように、横断面が円形でノズル３の噴射方向に沿って貫通する整流孔２２ａが複数箇所に所定の間隔（ピッチ）をもって形成されている。なお、整流板２２の内・外形は、ハウジング下部金具１３のハウジング下部１３ｂの外形、およびノズル３の隔壁部３ｂの略円錐筒状の縮径側の内形にそれぞれ整合して組み付け可能に形成されている。そして、整流板２２の上面により囲まれたノズル３内の空間部分によって均圧室２３が構成されている。
【００２０】
次に、上述の超音波式測定装置の作用・効果について図１および図２を適宜参照して説明する。
この超音波式測定装置は、給水ポンプ２８から配管２６を通り調圧バルブ２７によって適切な圧力に減圧された高圧水（水）が、ノズル３に設けられた給水口２４から供給されると、均圧室２３内を下方に向かって流入する（図１参照）。
【００２１】
そして、図２（ａ）に示すように、給水口２４から供給された高圧水が均圧室２３内に充填されつつ、高圧水は下部の整流板２２に導かれ、噴射口４から噴射される。ノズル３の噴射口４は、ハウジング２の開口部１０外周を取り囲んでいる。そのため、噴射された水によって開口部１０を取り囲むウォータージャケット（水膜）１５０を形成することができる。特に、この超音波式測定装置では、超音波送受信部である前端面１ａに対向した被測定物１００の表面に向けて斜めに水を噴射しているため、開口部１０の直下を取り囲むウォータージャケット（水膜）１５０が好適に形成される。なお、高圧水は、この噴射量に見合った必要十分な量が給水口２４から供給される。そのため、均圧室２３内には常時、高圧水が充填された状態となっている。
【００２２】
そして、図２（ｂ）に示すように、噴射口４から噴射されて被測定物１００の表面に衝突した水は、衝突によって運動エネルギーが奪われるため、その動圧が低下し、静圧が相対的に高くなる。そのため、開口部１０の直下にこの「静圧が高く動圧の低い水」（以下、低圧水２００という）を満たすとともに、ウォータージャケット（水膜）１５０によって、この低圧水２００を取り囲むことができる。
【００２３】
さらに、図２（ｃ）に示すように、減圧装置である排気ポンプ１８によってハウジング２内が減圧されるため、ハウジング２の内部に、この低圧水２００を開口部１０から誘導して引き込むことができる。
そして、図２（ｄ）に示すように、ハウジング２内をこの低圧水２００で満たすことができる。そのため、被測定物１００の表面とセンサ１の超音波送受信部である前端面１ａとの間に低圧水２００による水柱を形成することができる。なお、排気ポンプ１８と並列に接続されている調圧バルブ１７によって、ハウジング２内の減圧状態を適切に管理可能である。そのため、被測定物１００の表面とセンサ１の前端面１ａとの間に低圧水２００が満たされた状態とし、その状態を維持するように低圧水２００の水面レベルの調整を容易に行うことができる。
【００２４】
以上説明したように、本発明に係る超音波式測定装置では、センサ１から被測定物１００に対して発振される超音波を、低圧水２００からなる水柱中に伝播させて被測定物１００とセンサ１の前端面１ａとの間で入・反射させることができる。そして、上述した従来の超音波式測定装置と同様に、被測定物１００に入射された超音波を、例えば被測定物１００の表面からエコーＥ１として反射する一方、被測定物１００の内部に入った超音波が内部欠陥によってエコーＥ２として反射し、これらエコーＥ１とＥ２との時間間隔によって被測定物１００の内部欠陥の探傷を非接触で行うことができる。
【００２５】
このとき、測定精度を向上させる上では、被測定物１００の表面とセンサ１の超音波送受信部である前端面１ａとの間に形成される水柱内に気泡が混入するのを確実に防止する必要があるが、この超音波式測定装置によれば、低圧水２００によって形成された水柱は、流速Ｖが小さい（動圧が低い）ため、圧力Ｐ（静圧）が相対的に大きくなり、水柱の周囲から直接、水柱の内部に空気が侵入することがほとんどない。そのため、気泡の巻き込みがない安定した水柱が得られる超音波式測定装置を提供することができる。
【００２６】
また、例えば給水ポンプ２８に脈動が発生した場合であっても、その影響は噴射された水によって形成されるウォータージャケット（水膜）１５０に切れ目が生じる程度であり、低圧水２００からなる水柱自体に実質的影響が及び難い。したがって、このような場合でも、安定した水柱を形成できるため検出精度を向上させることができる。
また、この超音波式測定装置では、ノズル３内の流路に整流板２２を備えているため、噴射口４から噴射された水によって形成されるウォータージャケット（水膜）１５０中の渦流や乱流を抑制可能である。そのため、ウォータージャケット（水膜）１５０の内部への気泡の混入が防止される。したがって、安定したウォータージャケット（水膜）１５０に囲まれた低圧水２００からなる水柱を形成できるため、より気泡の巻き込みがない安定した水柱を得ることができる。
【００２７】
また、この超音波式測定装置は、ウォータージャケット（水膜）１５０に囲まれた低圧水２００からなる水柱を形成できるため、被測定物１００を移動させつつ測定を行うことによって被測定物１００表面の位置が変位したり、ハウジング２と被測定物１００との対向距離が変動したりするような場合であっても、被測定物１００の表面とノズル３との干渉を防止することができる。そのため、例えばオンラインで連続的に鋼板を移動させながら鋼板内部の欠陥を精度良く測定することができる。
【００２８】
なお、本発明に係る超音波式測定装置は上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態においては、センサ１全体をハウジング２の内部に配置しているが、これに限定されるものではなく、被測定物１００とセンサ１の前端面１ａとの間に低圧水２００からなる水柱を形成し、この水柱中に超音波を伝播させる構成であれば本発明を適用可能である。例えば前端面１ａ部分のみをハウジング２内に配設する構成を例示できる。
【００２９】
また、上記実施形態においては、ノズル３の噴射口４を円環状にして、開口部１０の全周を取り囲むウォータージャケット（水膜）１５０を形成した場合について説明したが、これに限定されるものではない。
例えば、噴射口４の位置は、ウォータージャケット（水膜）１５０を形成できる範囲内の距離であれば開口部１０から多少離れて、例えばハウジング２の上方に、噴射口４を設けることも可能である。
【００３０】
また、上記実施形態においては、噴射口４を円環状にして開口部１０の全周を取り囲んでいるが、噴射口４自体は必ずしも全周を取り囲まなくてもよく、ウォータージャケット（水膜）１５０が実質的に開口部１０の全周を取り囲むように形成されればよい。例えば上記実施形態において、ノズル３とハウジング２とを相互に連結する部分の構成を、ノズル３の噴射口４側とハウジング２の開口部１０側近傍とを繋ぐ梁（非噴射口部となる）とするような構成を例示できる。
【００３１】
また、例えば開口部１０の周方向に所定の間隔で開口部１０を取り囲み被測定物１００のセンサ１の前端面１ａに対向した表面に向けて水を噴射する噴射口４としてもよい。このとき、所定の間隔は等間隔とするのが望ましい。例えば開口部１０の周方向に４５°の間隔で８箇所の噴射口４を形成する構成を例示できる。
また、上記実施形態においては、ノズル３をハウジング２に直接固定して構成した場合について説明したが、これに限定されるものではなく、ノズル３をハウジング２以外の支持体に固定してもよい。しかし、装置をコンパクトに構成する上では、上記実施形態の構成とすることが好ましい。
【００３２】
また、上記実施形態においては、ノズル３の外形形状を略円錐筒形状としているが、これに限定されるものではなく、例えば横断面形状を矩形や楕円とした筒状体としてもよく、本発明の作用効果を奏する範囲であれば、任意の形状とすることができる。
また、上記実施形態においては、整流板２２は、整流孔２２ａを複数の円形孔から形成しているが、これに限定されるものではなく、渦流や乱流を抑制可能な形状であれば、その他の形状であっても好適に採用することができる。例えば横断面が六角形からなる複数の整流孔をハニカム状に整列して形成した整流板としてもよい。
また、上記実施形態においては、整流板２２を使用しているが、必ずしも必要ではなく、整流板を使用しなくてもよい。しかし、渦流や乱流を抑制しうる安定したノズルを構成する上では、整流板を使用することが望ましい。
【実施例】
【００３３】
次に、本発明に係る超音波式測定装置を適用した一実施例について説明する。
本実施例において、上記実施形態での主要な寸法は、ハウジング２（上下円筒部１２ｂ、１３ａ）の内径をφ１８０ｍｍ、ハウジング２の開口部１０の直径をφ７４ｍｍ、そして、ハウジング２の開口部１０から被測定物１００の表面までの長さＬｂを１５ｍｍ、としている。また、センサ１の前端面１ａから被測定物１００までの所定の長さＬは２３ｍｍを基準寸法としている。なお、この長さＬは２３ｍｍから３９ｍｍの範囲で設定することができる。
【００３４】
なおまた、整流板２２の整流孔２２ａの直径はφ６．０ｍｍであり、隣り合う整流孔２２ａ同士の所定の間隔（ピッチ）を１．２８Ｄｗ（ただしＤｗは整流孔２２ａの直径）としている。そして、整流板２２の流路長さＢ（図１参照）は大きい程、好ましいが、本実施例においては５ｍｍとしている。
本実施例では、被測定物１００としての鋼板をオンラインで連続的に移動させながら鋼板内部の欠陥を測定した。図１に鋼板の移動方向を矢印Ｄにて示す。なお、ウォータージャケット（水膜）１５０を形成するにあたり、ウォータージャケット（水膜）１５０内部の静圧が負圧にならないように、上述した式１に基づいて噴射口４の口径の総面積に対して流速Ｖを調節した。
【００３５】
鋼板内部の欠陥を測定した結果を図３に示す。なお、同図は、検出可能な内部欠陥の大きさに対し、その内部欠陥の大きさを検出可能な鋼板送り速度の関係を示すグラフであり、従来の超音波式測定装置による結果をＳに、本発明に係る超音波式測定装置を採用している本実施例による結果をＴに、それぞれ示している。
同図から判るように、同じ程度の内部欠陥の大きさを検出する場合、本発明では、鋼板の送り速度を大きくすることができる。本発明の方式では、一様ではないものの、従来方式に対して、測定領域が約２０％拡大していることが確認できる。このことから、本実施例では、鋼板（被測定物）の送り速度を一定にした場合に、検出可能な内部欠陥の大きさを拡大することが可能となっていることが判る。すなわち、検出精度を向上させることができることが判る。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の一実施形態に係る超音波式測定装置を説明する縦断面図である。
【図２】本発明に係る超音波式測定装置によって水柱が形成される過程を説明する説明図である。
【図３】本発明の一実施例に係る超音波式測定装置の効果を説明するグラフである。
【符号の説明】
【００３７】
１    センサ
１ａ    （センサの）前端面（超音波送受信部）
２    ハウジング
３    ノズル
４    噴射口
８    配線
９    制御機器
１０    開口部
１２    ハウジング上部金具
１２ａ    上面部
１２ｂ    上部円筒部
１２ｃ    センサコネクタ取付部
１２ｄ    雌ネジ
１３    ハウジング下部金具
１３ａ    下部円筒部
１３ｂ    ハウジング下部
１３ｄ    雄ネジ
１４    排気口
１５    排気用コネクタ
１６    配管
１７    調圧バルブ
１８    排気ポンプ（減圧装置）
２０    センサ支持板
２２    整流板
２０ａ    整流孔
２３    均圧室
２４    給水口
２５    給水用コネクタ
２６    配管
２７    調圧バルブ
２８    給水ポンプ
１００    被測定物
１５０    ウォータージャケット（水膜）
２００    低圧水
Ａ    噴射方向
Ｂ    流路長さ
Ｄ    （被測定物の）送り方向
Ｌ    所定の長さ
Ｓ    従来の超音波式測定装置による結果
Ｔ    本発明に係る超音波式測定装置による結果
【図１】
2005077196.tif 000003
【図２】
2005077196.tif 000004
【図３】
2005077196.tif 000005