(57)【要約】【課題】  機構及び搬送制御が簡単で、かつ、ラックのピニオンへの乗り移り前のピニオンの歯の位相調整が容易にでき、搬送台車に衝撃がなくスムーズな移動ができる搬送装置を提供する。【解決手段】  符号７はラック６を備えた搬送台車であり、ラック６は複数のピニオン５と噛み合うようになっている。ピニオン５はそれぞれモータ２に連結されたラインシャフト４から直交ギア３を介して駆動軸８と連結されており、駆動軸８にはクラッチ１が介在されている。そして、ピニオン５がクラッチ１の入切によって駆動、非駆動され、その繰り返しによって搬送台車７が移動して行く。また、駆動軸８に固着されたスリット板１３とその近傍に配置された光ファイバセンサ１４によって搬送台車７のラック６が次に乗り移るピニオン５の歯の位相を調整しておくことができる。【選択図】  図２
2005206051.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動方向に向かってラックを備えた搬送台車を、そのラックに噛み合うように複数配置されたピニオンをモータで駆動することによって移動させる搬送装置であって、前記モータに前記ピニオンをラインシャフトを介してそれぞれ連結し、前記ラインシャフトと前記各ピニオンの間にクラッチを介在してなることを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記搬送台車のラックに二つのピニオンが噛み合う間隔にピニオンを複数配置し、ピニオンは前記ラインシャフトから駆動軸でそれぞれ連結され、その駆動軸上にクラッチを介在し、ラインシャフトからの駆動をクラッチの入切によってピニオンに伝達、非伝達し、それを順次繰り返すことによって搬送台車を移動させて行くことを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記搬送台車のラックがそのラックを駆動しているピニオンの次のピニオンに乗り移る際、ラックとそのラックが乗り移るピニオンとの歯が円滑に噛み合うように事前に、ピニオンの歯の山又は谷が鉛直方向に位置するようピニオンの歯の位相を調整しておくことを特徴とする請求項２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記ピニオンの歯の位相調整を、ピニオンの歯数と同数かつ同ピッチのスリットを有するスリット板をピニオンの歯の山又は谷と前記スリットとが同位相になるように前記ピニオンの駆動軸に固着してそのスリット板に透過光を照射し、前記スリットのいずれかが鉛直方向の位置にあるとき、その鉛直方向の位置にあるスリット又はそれとは別のスリットからの透過光を光ファイバセンサで検知することによって行うことを特徴とする請求項３に記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
ラックとピニオンギヤによって搬送台車を移動させる搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、Ｐ−ＣＶＤ装置等で使用される基板の搬送や、液晶パネル製造工程等で使用される搬送装置には、特許文献１等に記載されているものがある。
【０００３】
それは、複数のピニオンが配置され、そのピニオンに噛み合うラックを持った搬送台車が配置されており、前記各ピニオン軸の反ラック側にそれぞれステッピングモータが連結され、そのステッピングモータにはそれぞれモータ駆動装置がつながれ、さらに各モータ駆動装置にはパルス発振器がつながれ、パルス発振器とモータ駆動装置が同期駆動手段となっているものであり、処理行程に応じたパターンのパルスがパルス発振器から発信され、それを受けて各モータ駆動装置は各ステッピングモータを駆動するので、ステッピングモータは同期的に回転しピニオンが回って搬送台車が所定のパターンで移動、停止する。
【０００４】
しかし、上記従来の搬送装置には次のような問題点があった。
（１）ピニオン駆動系統の構成部品点数が多く、多額の製造コストがかかると共に、それらの保守においても多大な労力を必要とする。
（２）電気的制御部分が多いので、制御方法が複雑となり基板搬送装置の割には大掛かりな制御システムが必要となる。
（３）さらに、ラックがピニオンへ乗り移るとき円滑に噛み合うように、乗り移る前にピニオンの歯の位相を調整しておく必要があるが、各ピニオンにはステッピングモータとモータ駆動装置がつながれているので調整が不可能であり、乗り移り時の搬送台車に衝撃が生じることがある
【特許文献１】特開平９−２９１３６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、機構及び搬送制御が簡単で、かつ、ラックのピニオンへの乗り移り前のピニオンの歯の位相調整が容易にでき、搬送台車に衝撃のないスムーズな乗り移りができる搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、移動方向に向かってラックを備えた搬送台車を、そのラックに噛み合うように複数配置されたピニオンをモータで駆動することによって移動させる搬送装置であって、前記モータに前記ピニオンをラインシャフトを介してそれぞれ連結し、前記ラインシャフトと前記各ピニオンの間にクラッチを介在したことを特徴としており、具体的には、前記搬送台車のラックに二つのピニオンが噛み合う間隔にピニオンを複数配置し、ピニオンは前記ラインシャフトから駆動軸でそれぞれ連結され、その駆動軸上にクラッチを介在し、ラインシャフトからの駆動をクラッチの入切によってピニオンに伝達、非伝達し、それを順次繰り返すことによって搬送台車を移動させる。
【０００７】
そして、前記搬送台車のラックがそのラックを駆動しているピニオンの次のピニオンに乗り移る際、ラックとそのラックが乗り移るピニオンとの歯が円滑に噛み合うように、事前にピニオンの歯の山又は谷が鉛直方向に位置するようピニオンの歯の位相を調整しておくようにしている。
【０００８】
また、前記ピニオンの歯の位相調整を、ピニオンの歯数と同数かつ同ピッチのスリットを有するスリット板をピニオンの歯の山又は谷と前記スリットとが同位相になるように前記ピニオンの駆動軸に固着してそのスリット板に透過光を照射し、前記スリットのいずれかが鉛直方向の位置にあるとき、その鉛直方向の位置にあるスリット又はそれとは別のスリットからの透過光を光ファイバセンサで検知することによって行うことができる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、モータの出力軸に連結されたラインシャフトを介してクラッチを介在した駆動軸によって複数のピニオンをクラッチの入切りで駆動、非駆動して搬送台車を移動させる構成であるので、構成部品点数が少なく製造コストが削減でき、保守も容易にできる。また、電気的制御も単純で簡単な制御システムでよい。
【００１０】
さらに、ラックが乗り移るピニオンの歯の位相を事前に調整しておけるので、ラックのピニオンへの乗り移り時それぞれの歯が円滑に噛み合う。その結果、搬送台車は衝撃もなくスムーズに移動できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
図１は本発明の搬送装置の一実施例を示す側面図で、図２は図１におけるＡ−Ａ矢
視図であり、搬送台車７はレール１１上を車輪１０を介して矢印の方向に移動するようになっている。
【００１２】
搬送台車７の底裏部には移動方向に向かってラック６が備わり、そのラック６に噛み合うようにピニオン５が複数配置されるのであるが、このピニオン５は１台の搬送台車７のラック６の前方と後方の２カ所に噛み合う間隔で搬送台車７の所定の移動距離分配置されている。
【００１３】
搬送台車７の横手側にはモータ２が設置され、モータ２の出力軸にはレール１１と並行にラインシャフト４が連結されている。このラインシャフト４から各ピニオン５への駆動は、ラインシャフト４上に設けられた公知の直交ギア３を介してレール１１に交差する方向に駆動軸８によって行われる。
【００１４】
各駆動軸８にはクラッチ１が取り付けられており、その入切によってピニオン５への駆動が伝達、非伝達される。このクラッチ１には、ソレノイドによって入切動作する公知の電磁クラッチを用いることができる。また、クラッチ１とピニオン５の間には、図３に示されるような円盤状でその周囲から放射状にピニオン５の歯数と同数かつ同ピッチでスリット１３ａが切られたスリット板１３が、ピニオン５の歯５ａの山又は谷とスリット１３ａとが同位相になるように各駆動軸８に固着されている。なお、このスリット１３ａを角孔、丸孔又は長孔等に換えることもできる。
【００１５】
クラッチ１とスリット板１３間には、スリット板１３の反クラッチ１側に光源を有し、そこから照射してスリット１３ａからの透過光の入光を検知するようにスイッチ切換えされた光ファイバセンサ１４が配置されており、クラッチ１と電気的につながれている。
【００１６】
また、レール１１近傍にも光源を有する光ファイバセンサ１２が配置されている。この光ファイバセンサ１２は、前記光源が搬送台車７を光ファイバセンサ１２の本体とで挟む位置から透過光を照射してその透過光が搬送台車７の移動によって遮光されることを検知するようにスイッチ切換えされてクラッチ１と電気的につながれている。なお、搬送台車７の前部後部にはそれぞれ光ファイバセンサ１２に対応する位置に透過光を遮光する遮光板（図示なし）が設けられている。
【００１７】
以上のような構成による本発明の搬送装置の作用は次のようである（図２参照）。まず初期動作として、搬送台車７のラック６がクラッチ１ａ、１ｂのゾーンのピニオン５に噛み合った状態で、ラック６が次に乗り移るゾーンのクラッチ１ｃのみが入りの状態でモータ２をＯＮして起動させる。（他のクラッチ１は全て切りの状態）。
【００１８】
すると、駆動軸８が回転すると共にクラッチ１ｃでつながれたピニオン５及びスリット板１３が回転する。このとき、このスリット板１３のスリット１３ａのいずれかが鉛直方向の位置にきた時点で光ファイバセンサ１４がその鉛直方向の位置にきたスリット１３ａ又はそれとは別のスリット１３ａからの透過光の入光を検知することによってクラッチ１ｃが切れるように制御され前記スリット１３ａが鉛直方向の位置でスリット板１３が停止する。
【００１９】
つまり、前述したようにスリット１３ａとピニオン５の歯５ａの山又は谷とは同位相に位置しているのでピニオン５の歯５ａの山又は谷のいずれかが鉛直方向に位置することになる。このことは、ラックとピニオンの特性からピニオンの歯の山又は谷が鉛直方向で待機することにより、ラックのピニオンへの乗り移り時双方の歯の噛み合いが円滑になるので衝撃がなくスムーズな乗り移りができるのである。
【００２０】
なお、前述した光ファイバセンサ１４の配置は、いずれかのスリット１３ａが鉛直方向にあるときに別のスリット１３ａからの透過光の入光を検知できる位置としておく。
【００２１】
この時点でモータ２は回転中であり、クラッチ１は全て切られている。次に、所定の搬送速度となるようにモータ２の回転速度を設定し、搬送台車７のラック６にピニオン５が噛み合っているゾーンのクラッチ１ａ、１ｂを入りにする。すると、このゾーンのピニオンが駆動され搬送台車７が矢印の方向に移動して行く。
【００２２】
次に、搬送台車７がクラッチ１ｃのゾーンまで移動してラック６がピニオン５に乗り移る。このとき、このピニオン５は歯５ａの山又は谷が鉛直方向で待機しているのでラック６とピニオン５の歯が円滑に噛み合って乗り移ることができる。そのため、搬送台車７は衝撃がなくスムーズに移動することができる。
【００２３】
そして、クラッチ１ｃのゾーンにおいて、搬送台車７前部の前記遮光板（図示なし）によって、光ファイバセンサ１２の光源からの透過光が遮光されると、それを光ファイバセンサ１２が検知してクラッチ１ｃが入りとなってピニオン５が駆動されると共に、次にラック６が乗り移るゾーン（クラッチ１ｄ部）のピニオン５の歯５ａの位相を前述のようにスリット板１３を用いて調整するように制御される。
【００２４】
また、搬送台車７がクラッチ１ｃのゾーンに移動するとき、クラッチ１ａ、１ｂのゾーンにおいて搬送台車７後部の前記遮光板（図示なし）によって、光ファイバセンサ１２の光源からの透過光が遮光されると、それを光ファイバセンサ１２が検知してクラッチ１ａ、１ｂが切れるように制御され、そのゾーンのピニオン５が非駆動となる。
【００２５】
モータ２は連続回転されており、クラッチ１ｃのゾーンのピニオン５の駆動により搬送台車７は移動を続け、次にクラッチ１ｄのゾーンでラック６がピニオン５に乗り移る。
このときもピニオン５の歯５ａは前述した位相の調整により既に山又は谷が鉛直方向にあるので、ラック６とピニオン５の歯が円滑に噛み合って乗り移ることができ、搬送台車は衝撃がなくスムーズに移動することができる。
【００２６】
そして、クラッチ１ｄのゾーンにおいて、搬送台車７前部の前記遮光板（図示なし）によって、光ファイバセンサ１２の光源からの透過光が遮光されると、それを光ファイバセンサ１２が検知してクラッチ１ｄが入りとなってピニオン５が駆動されると共に、次にラック６が乗り移るゾーン（以降図示なし）のピニオンの歯の位相を前述のようにスリット板１３を用いて調整するように制御される。
【００２７】
また、搬送台車７がクラッチ１ｄのゾーンに移動するとき、クラッチ１ｃのゾーンにおいて搬送台車７後部の前記遮光板（図示なし）によって、光ファイバセンサ１２の光源からの透過光が遮光されると、それを光ファイバセンサ１２が検知してクラッチ１ｃが切れるように制御され、そのゾーンのピニオン５が非駆動となる。
【００２８】
このように、ワークの処理行程範囲を前述したピニオン５の歯５ａの位相調整及びクラッチ１の入切りの繰り返しによって搬送台車７は移動して行き、処理工程後搬送台車７は所定の停止位置まで移動してモータ２がＯＦＦされる。
【００２９】
なお、図４に示されるように処理工程の各ゾーンで異なる搬送速度での処理が必要な場合には、モータ２を各ゾーン毎に設けて各ゾーンでの搬送速度を制御するようにできる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の搬送装置の一実施例を示す側面図である。
【図２】図１におけるＡ−Ａ矢視図（平面）である。
【図３】図２におけるＢ−Ｂ矢視図である。
【図４】本発明の搬送装置の別の実施例を示す平面図である。
【符号の説明】
【００３１】
１  クラッチ
２  モータ
３  直交ギアボックス
４  ラインシャフト
５  ピニオン
６  ラック
７  搬送台車
８  駆動軸
１２、１４  光ファイバセンサ
１３．  スリット板
【図１】
2005206051.tif 000003
【図２】
2005206051.tif 000004
【図３】
2005206051.tif 000005
【図４】
2005206051.tif 000006