(57)【要約】【課題】光学情報パターンを有する光学レンズの精度出しが容易にできるレンズ形成用射出成形装置を提供する。【解決手段】接離可能に対向配置されて溶融樹脂が射出充填されるキャビティ７を区画する固定金型５と可動金型６と、固定金型５又は可動金型６のいずれか一方の金型のキャビティ７内に、同心円状に複数設けられた光学情報パターンのパターン形成部８と、固定金型５又は可動金型６のうち、パターン形成部８が設けられた金型と対向する金型のキャビティ７内に、パターン形成部８と対向する位置に設けられ、球面形状を形成するレンズ形成部９と、固定金型５又は可動金型６のいずれか一方の金型に他方の金型側に突出して設けられ、固定金型５と可動金型６とが閉じられる際、他方の金型に設けられた挿入口１１に挿入され、固定金型５及び可動金型６の位置合わせを行う位置合わせ部材１０とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
接離可能に対向配置されて溶融樹脂が射出充填されるキャビティを区画する固定金型と可動金型と、
上記固定金型又は可動金型のいずれか一方の金型の上記キャビティ内に臨まされ、該一方の金型に同心円状に複数設けられ、レンズ表面に光学的に情報の読み出し又は書き込みを行う光学情報パターンを形成するパターン形成部と、
上記固定金型又は可動金型のうち、上記パターン形成部が設けられた金型と対向する金型のキャビティ内に臨まされ、上記複数設けられたパターン形成部と対向する位置に設けられ、光学表面に球面又は非球面形状を形成するレンズ形成部と、
上記固定金型又は可動金型のいずれか一方の金型に他方の金型側に突出して設けられ、上記固定金型と可動金型とが閉じられる際、他方の金型に設けられた挿入口に挿入されることにより、上記固定金型及び可動金型の位置合わせを行う位置合わせ部材とを備えるレンズ形成用射出成形装置。
【請求項２】
上記パターン形成部は、フォトリソグラフィーを用いたエッチング工程によって上記光学情報パターンがパターニングされてなることを特徴とする請求項１記載のレンズ形成用射出成形装置。
【請求項３】
上記パターン形成部は、上記光学情報パターンを複製したスタンパが装着されてなることを特徴とする請求項１又は２記載のレンズ形成用射出成形装置。
【請求項４】
上記スタンパが装着された金型と対向する金型には、上記パターン形成部に対向する位置に、上記レンズ形成部が設けられた補助金型が配設されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載のレンズ形成用射出成形装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学面及び回折格子、ホログラム等の光学的に情報の書き込み、読み出しを行う光学情報パターンが形成された光学レンズの射出成形装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、光学的に各種の情報の読み出し、書き込みを行う回折格子やホログラム等の光学情報パターンが形成された光学レンズがある。この種の光学レンズの製造は、球面又は非球面の形状及び光学情報パターンに応じた形状を金型のキャビティ表面に作成し、圧縮成形、射出成形、射出圧縮成形等による成形法や、合成樹脂の熱溶融によってレンズ形状を形成する方法等によって製造されるものがある。
【０００３】
このような光学情報パターンを有する光学レンズを形成する金型は、例えば機械加工などで光学情報パターンをキャビティや入れ子等へ直接作りつける方法、光学情報パターンをレジストパターンにて形成し電鋳により光学情報パターンを転写したスタンパーを金型内に装着する方法等により作成されている。
【０００４】
そして、このような金型を備えた射出成形装置は、金型が型締めされた状態で、溶融された樹脂材料が射出充填される。そして、樹脂が冷却固化された後、型開きされ、成型品である光学レンズが取り出される。
【０００５】
【特許文献１】特開平５−２３２３０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
光学情報パターンを有する光学レンズを形成する金型のキャビティ内に、機械加工によって光学情報パターンに応じた形状を形成する方法では、現状の加工機の能力においてはキャビティの曲面上に非同心円状にパターンを形成することは困難である。
【０００７】
また、電鋳により光学情報パターンを転写したスタンパーを用いる方法では、スタンパーへの転写を行った後、このスタンパーを個々の金型に貼り付ける際の位置決めや貼り付けの精度、光学面の面精度、さらに金型切り出し加工の精度をサブミクロンメートル以内に抑えることは非常に難しく、また多くの工程が割かれていた。
【０００８】
そこで、本発明は、光学情報パターンを有する光学レンズの精度出しが容易にできるレンズ形成用射出成形装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述した課題を解決するために、本発明に係るレンズ形成用射出成型装置は、接離可能に対向配置されて溶融樹脂が射出充填されるキャビティを区画する固定金型と可動金型と、上記固定金型又は可動金型のいずれか一方の金型の上記キャビティ内に臨まされ、該一方の金型に同心円状に複数設けられ、レンズ表面に光学的に情報の読み出し又は書き込みを行う光学情報パターンを形成するパターン形成部と、上記固定金型又は可動金型のうち、上記パターン形成部が設けられた金型と対向する金型のキャビティ内に臨まされ、上記複数設けられたパターン形成部と対向する位置に設けられ、光学表面に球面又は非球面形状を形成するレンズ形成部と、上記固定金型又は可動金型のいずれか一方の金型に他方の金型側に突出して設けられ、上記固定金型と可動金型とが閉じられる際、他方の金型に設けられた挿入口に挿入されることにより、上記固定金型及び可動金型の位置合わせを行う位置合わせ部材とを備える。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係るレンズ形成用射出成型装置によれば、固定金型及び可動金型が位置合わせ部材にガイドされて型締めされるため、キャビティのパターン形成部とレンズ形成部とが精度よく対向対置される。したがって、このレンズ形成用射出成型装置によって成形された光学レンズは、回折パターンや光学表面の精度を良好に形成され、両光学表面の光軸を略同一とすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明が適用されたレンズ形成用射出成型装置について、図面を参照しながら説明する。図１に示すこの射出成型装置１は、球面又は非球面の光学面を有するとともに、回折格子やホログラム等の光学情報パターン部が形成された光学レンズ２を射出成形する装置である。射出成型装置１により成形される光学レンズ２は、図２に示すように、一方の光学表面にホログラム等の回折パターンからなる光学情報パターン３が形成され、他方の光学表面が球面又は非球面形状のレンズ部４とされたものである。この光学レンズ２は、射出成型装置１によって一回の射出成形で複数形成される。
【００１２】
この光学レンズ２を成形する射出成型装置１は、図１に示すように、固定金型５と可動金型６とを備え、固定金型５及び可動金型６は、型締め状態において、成形される光学レンズ２の形状に対応したキャビティ７を構成する。キャビティ７は、固定金型５側に、光学レンズ２にホログラム等の回折パターンからなる光学情報パターン３を形成するパターン形成部８が形成され、可動金型６側に、光学レンズ２に球面又は非球面形状の光学表面からなるレンズ部４を形成するレンズ形成部９が形成されている。また、固定金型５及び可動金型６は、可動金型６側に設けられた位置決めピン１０が固定金型５に形成された挿入口１１内に挿入されることにより位置決めが図られ、型締めがされることにより、キャビティ７のパターン形成部８とレンズ形成部９とが精度よく対向されて、光学レンズ２の回折パターンや光学表面の精度を良好に形成することができる。
【００１３】
このような射出成型装置１を構成する固定金型５は、図３に示すように、略円盤状に形成され、可動金型６と対向して突き合わせられる突合せ面５ａには、同心円状に複数のパターン形成部８が設けられている。パターン形成部８は、ホログラム等の回折パターン形状が形成され、樹脂材料がキャビティ７内に射出充填されると、光学レンズ２の一方の光学表面に光学情報パターン３を形成する。また、固定金型５は、突合せ面５ａが略円形に形成されると共に、一部を直線上に切り欠かれたオリフラ部１５が形成されている。オリフラ部１５は、略円形に形成された固定金型５の突合せ面５ａの位置を決定する基準とされる。
【００１４】
また固定金型５は、外周部近傍に可動金型６に設けられた位置決めピン１０が挿入される挿入口１１が形成されている。挿入口１１は、固定金型５と可動金型６とが近接されると位置決めピン１０が挿入されることにより、固定金型５と可動金型６の位置決めを図る。これにより、射出成型装置１は、キャビティ７内のパターン形成部８とレンズ形成部９との位置合わせ精度を高めることができ、光学レンズ２を精度よく形成することができる。
【００１５】
この固定金型５は、以下に説明するように、フォトリソグラフィーを用いたエッチングプロセスによりパターン形成部８が作成されるため、固定金型５の厚みは薄いほうが好ましく、このため、厚さが薄くとも射出成形プロセスに耐えうる強度を有する材料としてＧＦ種（微粒子合金）の超硬合金を用いて形成されている。
【００１６】
次いで、パターン形成部８の形成工程について、図４を参照しながら説明する。先ず、光学レンズ２の光学情報パターン３を転写するための回折パターンが描画されたマスク２０を形成するとともに、固定金型５の突合せ面５ａのパターン形成部８の形成箇所に、イリジウム（Ｉｒ）等のパターン形成用の金属材料を電着することにより材料層２１を形成し、マスク２０をこの材料層２１上に貼着する（図４（Ａ））。このとき、マスク２０は、パターン形成部８を作成する固定金型５の突合せ面５ａの所定位置に位置決めされて貼着される。また、パターン形成部８は固定金型５に同心円状に複数形成されるため、マスク２０は形成箇所に応じて複数形成され、各形成箇所に貼着される。
【００１７】
次いで、露光工程によりマスク２０に描かれた描画パターンを材料層２１に転写し（図４（Ｂ））、現像工程（同（Ｃ））、エッチング工程（同（Ｄ））、マスク２０の剥離工程（同（Ｅ））を経て光学情報パターン３に対応したパターンを有するパターン形成部８が作成される。固定金型５は、かかるパターン形成工程が突合せ面５ａに同心円状に複数箇所に施されることにより、パターン形成部８が同心円状に複数箇所作成される。なお、固定金型５は、マスク２０が剥離された後、突合せ面５ａに保護膜が塗布され、固定金型５の円形の中心にスプルーと連続されたランナ形成用の貫通孔２３が形成される。
【００１８】
また、パターン形成部８が作成された固定金型５は、オリフラ部１５を測定して、所定箇所に後述する可動金型６に設けられた位置決めピン１０が挿入される挿入口１１が形成される。
【００１９】
このような固定金型５と突き合わせられることによりキャビティ７を構成する可動金型６は、上記固定金型５と同一形状の略円盤状に形成され、固定金型５と対向する突合せ面６ａには、固定金型５の突合せ面５ａに形成された上記パターン形成部８に対応して、同心円状に複数のレンズ形成部９が形成されている。レンズ形成部９は、球面又は非球面形状に切り出されて、樹脂材料がキャビティ７内に射出充填されると、光学レンズ２の一方の光学表面を球面又は非球面形状に成形する。なお、可動金型６は、上述した固定金型５と同一の合金を用いて形成され、上記固定金型５と同様に突合せ面６ａが略円形に形成されると共に、一部を直線上に切り欠かれたオリフラ部が形成されている。
【００２０】
また、可動金型６は、外周部近傍に固定金型５に形成された挿入口１１に挿入されることにより固定金型５との位置決めを図る位置決めピン１０が設けられている。位置決めピン１０は、可動金型６の突合せ面６ａより、固定金型５の突合せ面６ａ側に突出して形成され、可動金型６が固定金型５に近接される際、固定金型５にの挿入孔１１に挿入されることにより可動金型６の固定金型５への突き合わせをガイドする。したがって、固定金型５と可動金型６とは、位置決めピン１０にガイドされることにより、突き合わせ精度が向上し、キャビティ７内のパターン形成部８とレンズ形成部９との位置合わせ精度を高めることができ、光学レンズ２を精度よく形成することができる。
【００２１】
また、可動金型６は、キャビティ７内に樹脂材料を射出するランナ２５が設けられている。ランナ２５は、可動金型６が固定金型５に当接されることにより、固定金型５に形成された貫通孔２３と連続されるとともに、キャビティ７のゲート２６と連続される。そして、ランナ２５は、固定金型５の貫通孔２３を介して図示しないスプルーと連結され、樹脂材料が供給される。
【００２２】
次いで、射出成型装置１を用いた光学レンズ２の成形方法について説明する。先ず、可動金型６に設けられた位置決めピン１０が固定金型５の挿入口１１に挿入されることにより、位置決めピン１０にガイドされながら可動金型６が固定金型５に近接され、型締めされる。固定金型５と可動金型６とが型締めされることにより、固定金型５の突合せ面５ａに形成されたパターン形成部８と可動金型６の突合せ面６ａに形成されたレンズ形成部９とが対向されたキャビティ７が構成される。また、型締めされることにより、可動金型６に形成されたランナ２５が、ゲート２６を介してキャビティ７と連続されると共に、固定金型５の貫通孔２３と連続され、スプルーと連結される。
【００２３】
型締め後、所定の温度に加熱された固定金型５及び可動金型６は、スプルーより樹脂材料が射出され、ランナ２５及びゲート２６を介してキャビティ７内に樹脂が充填される。その後、固定金型５及び可動金型６が冷却されることにより光学レンズ２が成形される。この光学レンズ２は、一方の光学表面にキャビティ７のパターン形成部８のパターンが転写されて光学情報パターン３が形成され、他方の光学表面にレンズ形成部９の球面又は非球面形状が形成されている。
【００２４】
そして、固定金型５及び可動金型６が離型され、成型品が型抜きされて光学レンズ２が形成される。ここで、射出成型装置１は、固定金型５及び可動金型６に同心円状に複数のパターン形成部８及びレンズ形成部９が形成されていることからキャビティ７が同心円状に複数形成されている。したがって、射出成型装置１は、一回の成形工程においてキャビティの数に応じて複数の光学レンズ２を成形することができる。
【００２５】
このような射出成型装置１により成形された光学レンズ２は、固定金型５及び可動金型６が位置決めピン１０にガイドされて型締めされるため、キャビティ７のパターン形成部８とレンズ形成部９とが精度よく対向されて、光学レンズ２の回折パターンや光学表面の精度を良好に形成され、光学表面の光軸は略同一（１０μｍ以内）とされている。
【００２６】
ところで、一方の光学表面に光学情報パターン３が形成されると共に他方の光学表面にレンズ部４が形成された光学レンズ２においては、光学情報パターン３側の光学表面の光軸とレンズ部４側の光学表面の光軸の両光学表面の光軸のずれが、例えば図５に示すように、２０μｍともなると無視できない誤差となる。このような光学レンズ２の光学表面の光軸ずれは、例えば固定金型５及び可動金型６の冷却時の樹脂収縮や、固定金型５にパターン形成部８を作成する際に、マスク２０を材料層に貼着するための位置合わせ精度や、可動金型６にレンズ形成部９を作成する際の切り出し精度によって発生し得る。
【００２７】
この場合に、固定金型５と可動金型６との位置決めを図る位置決めピン１０が挿入される挿入口１１を再加工する方法では、作業工程が煩雑化するのみならず、時間的、コスト的にも不利になる。
【００２８】
そこで、射出成型装置１では、固定金型５に形成されたパターン形成部８を再度作成することにより、光軸ずれを是正する。すなわち、固定金型５の突合せ面５ａに形成されているパターン形成部８を研磨、エッチング等により整地し、再度上述したフォトリソグラフィーを用いたエッチングプロセスによってパターン形成部８を作成する。このとき、マスク２０に描画されたパターンを材料層２１上に露光する際に、図６に示すように、予め光学情報パターン３の設計位置より光学軸のずれ量（例えば２０μｍ）を見越して設計上の位置Ｄより補正位置Ｃへずらしておく。このずらしの方向及び距離は、先に成形した光学レンズ２を測定して得た、両光学表面の光軸のずれの方向及び量を用いる。
【００２９】
これにより、射出成型装置１は、光学レンズ２の光学表面の光軸ずれを是正することができ、設計に近い光学レンズを成形することができる。
【００３０】
また本発明が適用されたレンズ形成用射出成型装置は、以下のように形成してもよい。なお、以下の説明においては、上記射出成型装置１と同一の部材は同一の符号を付してその詳細を省略する。
【００３１】
この射出成型装置３０は、図７に示すように、固定金型３１と可動金型３２とを備え、固定金型３１及び可動金型３２は、型締め状態において、成形される光学レンズ２の形状に対応して、パターン形成部８及びレンズ形成部９を備えたキャビティ７を構成する。また、固定金型３１及び可動金型３２は、可動金型３１側に設けられた位置決めピン１０が固定金型３１に形成された挿入口１１内に挿入されることにより位置決めが図られ、型締めがされることにより、キャビティ７のパターン形成部８とレンズ形成部９とが精度よく対向されて、光学レンズ２の回折パターンや光学表面の精度を良好に形成することができる。
【００３２】
このような射出成型装置３０を構成する固定金型３１は、略円盤状に形成された金型本体３５を有し、金型本体３５の可動金型３２と対向して突き合わせられる突合せ面３５ａ側には、同心円状に複数のパターン形成部８が設けられた基板状金型３６が配設されている。
【００３３】
図８に示すように、この基板状金型３６は、上述したフォトリソグラフィーを用いたエッチングプロセスにより複数のパターン形成部８が形成される。したがって、基板状金型３６は、厚みが薄いほうが好ましく、厚さが薄くとも射出成形プロセスに耐えうる強度を有する材料としてＧＦ種（微粒子合金）の超硬合金を用いて形成されている。
【００３４】
また、基板状金型３６は、後述する可動金型３２と突き合わせられる突合せ面３６ａが略円形に形成されると共に、一部を直線上に切り欠かれたオリフラ部４０が形成されている。オリフラ部４０は、略円形に形成された基板状金型３６の突合せ面３６ａの位置を決定する基準とされる。
【００３５】
また、固定金型３１は、金型本体３５の外周部近傍に可動金型３２に設けられた位置決めピン１０が挿入される挿入口１１が形成されている。なお、固定金型３１は、円形の中心にスプルーと連続されたランナ形成用の貫通孔２３が形成される。
【００３６】
固定金型３１と突き合わせられることによりキャビティ７を構成する可動金型３２は、上記固定金型３１と同一形状の略円盤状に形成され、固定金型３１に設けられた基板状金型３６と対向する突合せ面３２ａには、基板状金型３６の突合せ面３６ａに形成されたパターン形成部８に対応して同心円状に複数のレンズ形成部９が形成された補助金型４３が配設されている。なお、可動金型３２は、固定金型３１と同一の合金を用いて形成され、上記固定金型３１と同様に突合せ面３２ａが略円形に形成されると共に、一部を直線上に切り欠かれたオリフラ部が形成されている。
【００３７】
また、可動金型３２は、外周部近傍に固定金型３１に形成された挿入口１１に挿入されることにより固定金型３１との位置決めを図る位置決めピン１０が設けられている。固定金型３１と可動金型３２とは、位置決めピン１０にガイドされることにより、突き合わせ精度が向上し、キャビティ７内のパターン形成部８とレンズ形成部９との位置合わせ精度を高めることができ、光学レンズ２を精度よく形成することができる。
【００３８】
また、可動金型３２は、キャビティ７内に樹脂材料を射出するランナ２５が設けられている。ランナ２５は、可動金型３２が固定金型３１に当接されることにより、固定金型３１に形成された貫通孔２３と連続されるとともに、キャビティ７のゲート２６と連続される。そして、ランナ２５は、固定金型３１の貫通孔２３を介して図示しないスプルーと連結され、樹脂材料が供給される。
【００３９】
次いで、射出成型装置３０を用いた光学レンズ２の成形方法について説明する。先ず、可動金型３２に設けられた位置決めピン１０が固定金型３１の挿入口１１に挿入されることにより、位置決めピン１０にガイドされながら可動金型３２が固定金型３１に近接され、型締めされる。固定金型３１と可動金型３２とが型締めされることにより、固定金型３１に配設された基板状金型３６の突合せ面３６ａに形成されたパターン形成部８と可動金型３２の突合せ面３２ａ側に配設された補助金型４３に形成されたレンズ形成部９とが対向されたキャビティ７が構成される。また、型締めされることにより、可動金型３２に形成されたランナ２５が、ゲート２６を介してキャビティ７と連続されると共に、固定金型３１の貫通孔２３と連続され、スプルーと連結される。
【００４０】
型締め後、所定の温度に加熱された固定金型３１及び可動金型３２は、スプルーより樹脂材料が射出され、ランナ２５及びゲート２６を介してキャビティ７内に樹脂が充填される。その後、固定金型３１及び可動金型３２が冷却されることにより光学レンズ２が成形される。この光学レンズ２は、一方の光学表面にキャビティ７のパターン形成部８のパターンが転写されて光学情報パターン３形成され、他方の光学表面にレンズ形成部９の球面又は非球面形状が形成されている。
【００４１】
そして、固定金型３１及び可動金型３２が離型され、成型品が型抜きされて光学レンズ２が形成される。ここで、射出成型装置３０は、基板状金型３６及び可動金型３２に同心円状に複数のパターン形成部８及びレンズ形成部９が形成されていることからキャビティ７が同心円状に複数形成されている。したがって、射出成型装置３０は、一回の成形工程においてキャビティ７の数に応じて複数の光学レンズ２を成形することができる。
【００４２】
このような射出成型装置３０により成形された光学レンズ２は、固定金型３１及び可動金型３２が位置決めピン１０にガイドされて型締めされるため、キャビティ７のパターン形成部８とレンズ形成部９とが精度よく対向されて、光学レンズ２の回折パターンや光学表面の精度を良好に形成され、光学表面の光軸は略同一（１０μｍ以内）とされている。
【００４３】
ここで、この射出成型装置３０においても、光学レンズ２の両光学表面の光軸に、例えば図５に示すように、２０μｍ程度のずれが発生し得る。この場合に、固定金型３１と可動金型３２との位置決めを図る位置決めピン１０が挿入される挿入口１１を再加工する方法では、作業工程が煩雑化するのみならず、時間的、コスト的にも不利になる。
【００４４】
そこで、射出成型装置３０では、基板状金型３６に形成されたパターン形成部８を再度作成することにより、光軸ずれを是正する。すなわち、基板状金型３６の突合せ面３６ａに形成されているパターン形成部８を研磨、エッチング等により整地し、再度上述したフォトリソグラフィーを用いたエッチングプロセスによってパターン形成部８を作成する。このとき、マスク２０に描画されたパターンを材料層２１上に露光する際に、図６に示すように、予め光学情報パターン３の設計位置より光学軸のずれ量（例えば２０μｍ）を見越して設計上の位置Ｄより補正位置Ｃへずらしておく。このずらしの方向及び距離は、先に成形した光学レンズ２を測定して得た、両光学表面の光軸のずれの方向及び量を用いる。
【００４５】
これにより、射出成型装置３０は、光学レンズ２の光学表面の光軸ずれを是正することができ、設計に近い光学レンズを成形することができる。
【００４６】
なお、射出成型装置３０においては、可動金型３２に補助金型４３が配設される配設孔を穿設する際に設計位置からずれた場合にも光学レンズ２の光軸ずれが発生し得る。この場合にも、基板状金型３６のパターン形成部８を上述したフォトリソグラフィーを用いたエッチングプロセスによって再度作成することにより、光学レンズ２の両光学表面の光軸ずれを是正することができる。
【００４７】
また、上記射出成型装置１，３０においては、キャビティ７を４個形成する構成としたが、特にキャビティの数に制限はない。なお、形成するキャビティの数を増やすほどパターン形成部８及びレンズ形成部９の高度の加工精度が求められるが、本発明が適用された射出成型装置によれば、フォトリソグラフィーを用いたエッチングプロセスによってパターン形成部８を再度作成することができ、光軸ずれの是正を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明が適用された射出成形装置を示す断面図である。
【図２】上記射出成型装置により成形された光学レンズを示す側面図である。
【図３】固定金型を示す平面図である。
【図４】パターン形成部の作成工程を説明するための図である。
【図５】成形された光学レンズの光軸ずれを説明するための図である。
【図６】パターン形成部を補正して形成する様子を示す図である。
【図７】本発明が適用された他の射出成型装置を示す断面図である。
【図８】基板状金型を示す平面図である。
【符号の説明】
【００４９】
１，３０  射出成型装置、２  光学レンズ、３  光学情報パターン、４  レンズ部、５  固定金型、６  可動金型、７  キャビティ、８  パターン形成部、９  レンズ形成部、１０  位置決めピン、１１  挿入口、１５  オリフラ部、１８  オリフラ部、２０  マスク、２１  材料層、２３  貫通孔、２５  ランナ、２６  ゲート
【図１】
2005070174.tif 000003
【図２】
2005070174.tif 000004
【図３】
2005070174.tif 000005
【図４】
2005070174.tif 000006
【図５】
2005070174.tif 000007
【図６】
2005070174.tif 000008
【図７】
2005070174.tif 000009
【図８】
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