(57)【要約】【課題】  窓箔押え板との接触部におけるウィンドウを、周辺のオゾンによる腐食から保護する。【解決手段】  電子源１１を内装した真空チャンバ１下部のウィンドウ３と、ウィンドウ３の下面に、周縁部を環状のシール１３を介して重ねられ、ウィンドウ３の開口を閉塞した窓箔６と、窓箔６の周縁部をウィンドウ３とによって挟み込み、ウィンドウ３に取り付けられた枠状の押え板７と、押え板７の内面に形成された吹き出し口９と、押え板７に形成され、押え板７の周縁部から吹き出し口９に連通し、窓箔６を冷却するガスを供給するガス供給路１０と、シール１３の外側におけるウィンドウ３と押え板７との接合部に形成された環状溝１６と、ガス供給路１０と環状溝１６との間に形成され、環状溝１６にガスを分流する分流路１７とを備える。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子源を内装した真空チャンバ下部のウィンドウと、
前記ウィンドウの下面に、周縁部を環状のシールを介して重ねられ、前記ウィンドウの開口を閉塞した窓箔と、
前記窓箔の周縁部を前記ウィンドウとによって挟み込み、前記ウィンドウに取り付けられた枠状の押え板と、
前記押え板の内面に形成された吹き出し口と、
前記押え板に形成され、前記押え板の周縁部から前記吹き出し口に連通し、前記窓箔を冷却するガスを供給するガス供給路と、
前記シールの外側における前記ウィンドウと前記押え板との接合部に形成された環状溝と、
前記ガス供給路と前記環状溝との間に形成され、前記環状溝にガスを分流する分流路と
を備えたことを特徴とする電子線照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子線を取り出す照射窓部分において、ウィンドウをオゾンによる腐食から保護するようにした電子線照射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の電子線照射装置を、照射窓部分を示した図２を参照して説明する。１は電子源が内装された真空チャンバ、２はチャンバ１下部のフランジ、３はフランジ２の下面に装着された銅製の枠状グリッドウィンドウ、４はウィンドウ３の内部に設けられたウィンドウ桟、５はウィンドウ３の下面に設けられた環状の金属シールである。
【０００３】
６はシール５を介してウィンドウ４に重ねられたＴｉ製、Ｔｉ合金製等の薄い矩形状窓箔、７は窓箔６の周縁部に重ねられた矩形枠状のＳＵＳ製押え板であり、押え板７に挿通された複数本のボルト等のねじ（図示せず）がウィンドウ３に螺合し、窓箔６が押え板７によりシール５を介してウィンドウ３に取り付けられ、窓箔６によりウィンドウ３の開口が閉塞され、チャンバ１内が真空シールされ、窓箔６がウィンドウ桟４によりチャンバ１内方への変形が防止されている。
【０００４】
８は押え板７の長手部に沿って設けられた冷却用ガス供給ダクト、９は押え板７の内面上端に形成された複数個の吹き出し口、１０は押え板７に形成され、押え板７の周面から吹き出し口９に連通したガス供給路であり、ダクト８からの冷却ガスが、供給路１０を通って吹き出し口９から窓箔６に向って吹き出され、電子線通過にともなって発熱した窓箔６を冷却する。（例えば特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開平９−１３３８００号公報（第２頁、第３頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の前記電子線照射装置の場合、窓箔６を通過した電子線が、空気中の酸素をオゾンに変え、ウィンドウ３周辺が高濃度のオゾンにさらされ、銅製のウィンドウ３が腐食される。
【０００６】
特に、ウィンドウ３と押え板７との接触部の微細な隙間に入るオゾンにより、ウィンドウ３の押え板との接触面の、周縁からシール５の間が腐食され、押え板７の周縁からシール５の間において、押え板７をウィンドウ３に締着しているボルト等ねじの締着力が弱まり、ウィンドウ３と押え板７とによる窓箔６の挟持力が低下し、真空チャンバ１に真空シーク洩れを生ずるという問題点がある。
また、窓箔６の交換時においても、ねじの締め付け具合が不充分、不都合になる。
【０００７】
本発明は、前記の点に留意し、ウィンドウをオゾンの腐食から保護するようにした電子線照射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記目的を達成するために、本発明の電子線照射装置は、電子源を内装した真空チャンバ下部のウィンドウと、前記ウィンドウの下面に、周縁部を環状のシールを介して重ねられ、前記ウィンドウの開口を閉塞した窓箔と、前記窓箔の周縁部を前記ウィンドウとによって挟み込み、前記ウィンドウに取り付けられた枠状の押え板と、前記押え板の内面に形成された吹き出し口と、前記押え板に形成され、前記押え板の周縁部から前記吹き出し口に連通し、前記窓箔を冷却するガスを供給するガス供給路と、前記シールの外側における前記ウィンドウと前記押え板との接合部に形成された環状溝と、前記ガス供給路と前記環状溝との間に形成され、前記環状溝にガスを分流する分流路とを備えたものである。
【発明の効果】
【０００９】
前記のように構成された本発明の電子線照射装置は、電子源を内装した真空チャンバ下部のウィンドウ下面に、窓箔の周縁部を環状のシールを介して重ね、ウィンドウの開口を閉塞し、窓箔の周縁部をウィンドウと押え板とによって挟み込み、押え板の内面に吹き出し口を形成し、押え板に、押え板の周縁部から吹き出し口に連通し、前記窓箔を冷却するガスを供給するガス供給路を形成し、シールの外側におけるウィンドウと押え板との接合部に環状溝を形成し、ガス供給路と環状溝との間に、環状溝にガスを分流する分流路を形成したため、ガス供給路から分流路を通って環状溝に供給されたガスが環状溝に充満し、充満したガスにより、ウィンドウと押え板との接触部の微細な隙間に入ってくるオゾンが押し出され、前記接触部にオゾンが侵入せず、ウィンドウの前記接触部がオゾンにより腐食せず、ウィンドウをオゾンの腐食から保護することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明を実施するための最良の形態を、図１を参照して説明する。同図において、図２と同一符号は同一もしくは相当するものを示す。
【００１１】
電子源１１を内装した真空チャンバ１の下部に、銅製の枠状グリッドウィンドウ３が装着され、ウィンドウ３の下面に環状のＯリング溝１２が形成され、Ｏリング溝１２にＯリングからなる環状のシール１３が設けられている。
【００１２】
ウィンドウ３の下面に、シール１３を介して矩形状窓箔６の周縁部が重ねられ、窓箔６の周縁部下面に、矩形枠状のＳＵＳ製押え板７が重ねられ、シール１３の外側において、押え板７に挿通された複数本のボルト等のねじ（図示せず）がウィンドウ３に螺合し、窓箔６がシール１３を介してウィンドウ３に取り付けられ、窓箔６によりウィンドウ３の開口が閉塞され、チャンバ１内が真空シールされている。
【００１３】
押え板７の両側の長手部に沿って窒素ガス等不活性ガスのガス供給ダクト８が設けられ、押え板７の内面上端に吹き出し口９が形成されるとともに、押え板７の周縁部から吹き出し口９に連通したガス供給路１０が形成され、ダクト８からのガスが、供給路１０を通って吹き出し口９から窓箔６に向って吹き出され、電子源１１からの電子線通過にともなって発熱する窓箔６が冷却される。
【００１４】
ウィンドウ３の周面には、オゾンによる腐食を防ぐためのパッキン１４が装着され、パッキン１４の周面にＳＵＳ製保護プレート１５が設けられている。
【００１５】
シール１３より外側におけるウィンドウ３の下面に、浅い深さの環状溝１６が形成され、ガス供給路１０から環状溝１６に連通した分流路１７が形成されている。
【００１６】
ガス供給ダクト８からのガス供給路１０に供給されたガスは、吹き出し口９から吹き出して窓箔６を冷却するとともに、分流路１７から環状溝１６に供給され、環状溝１６にガスが均等に行き渡って充満し、充満したガスにより、ウィンドウ３と押え板７との接触部の微細な隙間に入ってくるオゾンが押し出され、接触部の隙間にオゾンが侵入せず、ウィンドウ３がオゾンにより腐食せず、ウィンドウ３がオゾンの腐食から保護される。
【００１７】
環状溝１６は、シール１３より外側における押え板７の上面に形成してもよく、シール１３の外側におけるウィンドウ３と押え板７との接触部に形成されておればよい。
【００１８】
さらに、環状溝１６は、シール１３に近い方がよく、また、押え板７をウィンドウ３に取り付けるねじの内側が望ましい。
【００１９】
また、ガス供給ダクト８からのガスは、不活性ガスに限らず、窓箔６を冷却できるガスであればよく、シール１３も、Ｏリングに限らず、金属シールなどであってもよい。
なお、本発明は、図示の形態に限定されるものでないことは当然である。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明を実施するための最良の形態の断面図である。
【図２】従来例の斜視断面図である。
【符号の説明】
【００２１】
１    真空チャンバ
３    ウィンドウ
６    窓箔
７    押え板
９    吹き出し口
１０  ガス供給路
１１  電子源
１３  シール
１６  環状溝
１７  分流路
【図１】
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【図２】
2005172449.tif 000004