(57)【要約】【課題】  ミラー面部を傾動させるためのミラー傾動板と、ミラー傾動板を取り付けるためのベース台とを一体形成できる光偏向子を提供する。【解決手段】  固定設置するための底面１１ａ１を有する固定部１１ａと、固定部１１ａから高さ方向に対して所定の幅Ｂを持って互いに対向しながら弾性変位可能に薄板状に延出させた一対の板バネ部１１ｂ２，１１ｂ３と、一対の板バネ部１１ｂ２，１１ｂ３の各端に連接し入射光を偏向して出射させるミラー面部１１ｂ４と、ミラー面部１１ｂ４を傾動していない第１の位置から所定の角度傾動させた第２の位置に規制するミラー面部係止手段１１ｂ５，１１ｂ６とでミラー傾動体１１を一体形成し、且つ、一対の板バネ部１１ｂ２，１１ｂ３のうちで少なくとも一方の板バネ部１１ｂ２の側面にアクチュエーター１２を設けている。【選択図】      図１
2005070346.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定設置するための底面を有する固定部と、前記固定部から高さ方向に対して所定の幅を持って互いに対向しながら弾性変位可能に薄板状に延出させた一対の板バネ部と、前記一対の板バネ部の各端に連接し入射光を偏向して出射させるミラー面部と、前記ミラー面部を傾動していない第１の位置から所定の傾動角度まで傾動させた第２の位置に規制するミラー面部係止手段とを一体形成したミラー傾動体と、
前記ミラー傾動体に形成した一対の前記板バネ部のうちで少なくとも一方の前記板バネ部の側面に設けられ、且つ、電圧を印加した時に一方の前記板バネ部と一体に変位して前記ミラー面部を一対の前記板バネ部の厚み方向に傾動させるアクチュエーターとを備えたことを特徴とする光偏向子。
【請求項２】
前記ミラー傾動体の前記ミラー面部を前記固定部の底面に対して所定の角度傾斜させて形成した請求項１記載の光偏向子と、
前記光偏向子中の前記ミラー傾動体に形成した前記固定部の底面を取り付けたベース台と、
波長が異なるレーザー光を前記ミラー傾動体の前記ミラー面部に向けて出射し、且つ、前記ベース台に対して各レーザー光の光軸高さを略一致させて前記各レーザー光の光軸が前記第１の位置に至っている前記ミラー面部上で略交わるように前記ベース台上に設置した少なくとも２種類以上の半導体レーザーと、
前記ミラー傾動体の前記ミラー面部の上方に設けられ、各半導体レーザーから選択的に出射させた各レーザー光を前記ミラー面部で反射させた後に光記録媒体に照射する対物レンズとを少なくとも備えてなり、
前記各半導体レーザーから出射させた前記各レーザー光を前記ミラー面部で反射させた後の光軸が前記対物レンズの光軸と略一致するように、前記ミラー面部を前記第１の位置と前記第２の位置との間で前記アクチュエーターを介して揺動させることを特徴とする光偏向子を適用した光ピックアップ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザー光などを偏向する光偏向子と、この光偏向子を適用して波長が異なる２種類以上のレーザー光を対物レンズ側に偏向できる光ピックアップとに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
最近の半導体プロセス技術と、最近のマイクロマシン技術とを利用して、シリコン基板を用いてマイクロミラーによる光偏向子が各種の機器に適用されている。この種の光偏向子は、レーザー光などを所望の方向に偏向できるため、レーザービームプリンタやバーコードリーダとか、複数のレーザー光源を選択的に切り換えて少なくとも２種類以上の光記録媒体（例えば光ディスク）を記録又は再生するための光ピックアップなどへの応用が検討されている。
【０００３】
上記した光偏向子は、レーザー光などを所望の方向に偏向する際に、例えばＸ軸方向（又はＹ軸方向）のみ傾動させる１軸方向傾動型と、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に傾動させる２軸方向傾動型とに大別できるが、本発明に係る光偏向子及びこの光偏向子を用いた光ピックアップ装置は１軸方向傾動型を適用しているために、以下、１軸方向傾動型について説明する。
【０００４】
ここで、１軸方向傾動型の光偏向子の従来例として、本出願人は先にレーザービームなどの光を高速且つ広偏向角度で偏向できる光偏向子を提案している（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００１−４９５２号公報（第３−４頁、第１図）。
【０００５】
図１３は従来の光偏向子を説明するために示した斜視図である。                      図１３に示した従来の光偏向子１００は、上記した特許文献１（特開２００１−４９５２号公報）に開示されているものであり、ここでは特許文献１を参照して簡略に説明する。
【０００６】
図１３に示した如く、従来の光偏向子１００では、ベース台１０１から上方に突出した支持部１０１ａ上に固定される板状の固定板部１０２ａと、固定板部１０２ａの一端及び他端から互いに対向してＸ軸方向に延出され且つ曲げ変位可能な一対の板バネ部１０２ｂ，１０２ｃと、一対の板バネ部１０２ｂ，１０２ｃの各先端側からこの一対の板バネ部１０２ｂ，１０２ｃ間に向かってそれぞれＹ軸方向に延出され且つ捩じれ変位可能な一対の捩じりバネ部１０２ｄ，１０２ｅと、一対の捩じりバネ部１０２ｄ，１０２ｅ間に懸架され且つ表面を鏡面に仕上げたミラー面部１０２ｆとを一体形成したミラー振動板１０２と、ベース台１０１の平坦面１０１ｂ上に取り付けられてミラー振動板１０２のミラー面部１０２を高速且つ広偏向角度で振動させる一対の固定電極１０３，１０４と、ミラー振動板１０２と一対の固定電極１０３，１０４との間に接続された電池１０５及びスイッチ１０６とを備えている。
【０００７】
そして、ミラー振動板１０２に電圧を周期的に印加すると、ミラー振動板１０２の一対の板バネ部１０２ｂ，１０２ｃの先端側が固定板部１０２ａを支点にして上下に弾性的に曲げ変位して振動する。この時、一対の板バネ部１０２ｂ，１０２ｃに生じたトルクが一対の捩じりバネ部１０２ｄ，１０２ｅに伝わり、慣性モーメントによって一対の捩じりバネ部１０２ｄ，１０２ｅにねじり振動が付与されるので、一対の捩じりバネ部１０２ｄ，１０２ｅを中心にミラー面部１０２ｆが図示左右に振動する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、従来の光偏向子１００は、簡単な構造でレーザービームなどの光を高速且つ広偏向角度で偏向できるものの、ベース台１０１とミラー振動板１０２とをそれぞれ別体で形成しているために、光偏向子１００が高価になってしまう。
【０００９】
また、ミラー振動板１０２はマイクロマシン技術によりシリコン基板を用いてこのシリコン基板上に所定形状のパターンを形成してエッチングすることにより一体形成されていると記載されているものの、実際にはシリコン基板に代えて品質及び加工性が良いＳＯＩ（シリコン  オン  インシュレータ）基板を用いているので、ミラー振動板１０２自体も高価なものとなっている。
【００１０】
更に、上記した光偏向子１００を、複数のレーザー光を選択的に切り換えて少なくとも２種類以上の光記録媒体（例えば光ディスク）を記録又は再生するための光ピックアップなどに適用した場合に、複数のレーザー光を不図示の対物レンズ側に反射させるためにミラー振動板１０２のミラー面部１０２ｆを光ピックアップのベース台に対して４５°傾ける必要があり、これに対応して光偏向子１００のベース台１０１を加工しなければならないので、光ピックアップが高価なものとなってしまう。
【００１１】
そこで、ミラー面部を傾動させるためのミラー傾動板と、ミラー傾動板を取り付けるためのベース台とを一体形成できる光偏向子及びこの光偏向子を適用した光ピックアップが望まれている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、第１の発明は、固定設置するための底面を有する固定部と、前記固定部から高さ方向に対して所定の幅を持って互いに対向しながら弾性変位可能に薄板状に延出させた一対の板バネ部と、前記一対の板バネ部の各端に連接し入射光を偏向して出射させるミラー面部と、前記ミラー面部を傾動していない第１の位置から所定の傾動角度まで傾動させた第２の位置に規制するミラー面部係止手段とを一体形成したミラー傾動体と、
前記ミラー傾動体に形成した一対の前記板バネ部のうちで少なくとも一方の前記板バネ部の側面に設けられ、且つ、電圧を印加した時に一方の前記板バネ部と一体に変位して前記ミラー面部を一対の前記板バネ部の厚み方向に傾動させるアクチュエーターとを備えたことを特徴とする光偏向子である。
【００１３】
また、第２の発明は、前記ミラー傾動体の前記ミラー面部を前記固定部の底面に対して所定の角度傾斜させて形成した請求項１記載の光偏向子と、
前記光偏向子中の前記ミラー傾動体に形成した前記固定部の底面を取り付けたベース台と、
波長が異なるレーザー光を前記ミラー傾動体の前記ミラー面部に向けて出射し、且つ、前記ベース台に対して各レーザー光の光軸高さを略一致させて前記各レーザー光の光軸が前記第１の位置に至っている前記ミラー面部上で略交わるように前記ベース台上に設置した少なくとも２種類以上の半導体レーザーと、
前記ミラー傾動体の前記ミラー面部の上方に設けられ、各半導体レーザーから選択的に出射させた各レーザー光を前記ミラー面部で反射させた後に光記録媒体に照射する対物レンズとを少なくとも備えてなり、
前記各半導体レーザーから出射させた前記各レーザー光を前記ミラー面部で反射させた後の光軸が前記対物レンズの光軸と略一致するように、前記ミラー面部を前記第１の位置と前記第２の位置との間で前記アクチュエーターを介して揺動させることを特徴とする光偏向子を適用した光ピックアップである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係る光偏向子によると、固定設置するための底面を有する固定部と、固定部から高さ方向に対して所定の幅を持って互いに対向しながら弾性変位可能に薄板状に延出させた一対の板バネ部と、一対の板バネ部の各端に連接し入射光を偏向して出射させるミラー面部と、ミラー面部を傾動していない第１の位置から所定の傾動角度まで傾動させた第２の位置に規制するミラー面部係止手段とでミラー傾動体を一体形成し、且つ、一対の板バネ部のうちで少なくとも一方の板バネ部の側面にアクチュエーターを設けているので、ミラー面部を第１の位置と第２の位置との間でアクチュエーターを介して揺動させる時に、最小の部品点数で光偏向子を構成でき、且つ、光偏向子の構造が簡単となり安価に提供できる。
【００１５】
また、本発明に係る光偏向子を適用した光ピックアップによると、少なくとも２種類以上の半導体レーザーから出射させた各レーザー光を所定の角度傾斜したミラー面部で反射させた後の光軸が対物レンズの光軸と略一致するように、ミラー面部を第１の位置と第２の位置との間でアクチュエーターを介して揺動させているので、高価な光学部品を用いることなく、２種類以上の半導体レーザーに対して光偏向子を共用できるので、光ピックアップを安価に提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に本発明に係る光偏向子及びこの光偏向子を適用した光ピックアップの一実施例を図１乃至図１２を参照して詳細に説明する。
【００１７】
本発明では、光偏向子を最小の部品点数で構成する共に、この光偏向子を適用して少なくとも２種類以上のレーザー光を偏向するためのピックアップを構成する。
【実施例１】
【００１８】
図１は本発明に係る実施例１の光偏向子を説明するための斜視図、
図２は本発明に係る実施例１の光偏向子の動作を説明するための上面図であり、（ａ）はミラー面部が初期位置に至っている状態を示し、（ｂ）はミラー面部が所定の傾動角度位置に至っている状態を示した図である。
【００１９】
図１に示した如く、本発明に係る実施例１の光偏向子１０Ａは、直方体形状のシリコン・バルク材を用いて一体的に形成したミラー傾動体１１と、ミラー傾動体１１のミラー面部１１ｂ４を傾動していない第１の位置（以下、初期位置と記す）と所定の傾動角度まで傾動させた第２の位置（以下、所定の傾動角度位置と記す）との間で揺動させるためにミラー傾動体１１の右側面に設けたアクチュエーター１２とで構成されている。
【００２０】
まず、上記したミラー傾動体１１は、図示しない基台に固定設置するための底面１１ａ１を有する固定部１１ａが直方体形状に形成され、且つ、固定部１１ａの底面１１ａ１から少し浮かせて延出部１１ｂが高さ方向に対して所定の幅Ｂを持って固定部１１ａの前方に向かって片持ち状態で長尺に延出されている。
【００２１】
更に、ミラー傾動体１１の延出部１１ｂの内部にＮ字状孔１１ｂ１を下方に向かって貫通させることで、固定部１１ａの左右から高さ方向に対して所定の幅Ｂを持って互いに対向しながら弾性変位可能に一対の板バネ部１１ｂ２，１１ｂ３が薄板状に形成されている。
【００２２】
また、一対の板バネ部１１ｂ２，１１ｂ３の各端にミラー面部１１ｂ４が連接されており、このミラー面部１１ｂ４は入射光を偏向して出射させるためのものであり、且つ、固定部１１ａの底面１１ａ１に対して所定の角度α＝４５°傾斜していると共に、ミラー面部１１ｂ４は弾性変形しないように肉厚に形成されている。
【００２３】
また、一対の板バネ部１１ｂ２，１１ｂ３間でＮ字状孔１１ｂ１を介して固定部１１ａに連接した係止部１１ｂ５と、一対の板バネ部１１ｂ２，１１ｂ３間でＮ字状孔１１ｂ１を介してミラー面部１１ｂ４の裏面に連接した被係止部１１ｂ６とがそれぞれ逆向き三角形状に形成されており、これらの係止部１１ｂ５及び被係止部１１ｂ６は、ミラー面部１１ｂ４を傾動していない初期位置から所定の傾動角度まで傾動させた所定の傾動角度位置に規制するミラー面部係止手段となっている。
【００２４】
従って、ミラー傾動体１１の右側面にアクチュエーター１２を設けた場合に、後述するように、ミラー傾動体１１の固定部１１ａから片持ち状態で延出させた延出部１１ｂの前方先端に４５°傾斜したミラー面部１１ｂ４が一対の板バネ部１１ｂ２，１１ｂ３の厚み方向の左方（矢印ａ方向）に傾動可能になっている。
【００２５】
この際、ミラー傾動体１１の作製は、シリコンのバルク材を直方体形状に形成し、結晶異方性ウェットエッチング法により、シリコンの１００面をエッチング開始面とし、ＫＯＨ（水酸化カリウム水溶液）、又は、ＴＭＡＨ（テトラメチルアンモニウムオキシド水溶液）をエッチング液として、６０°Ｃ程度の加熱エッチャント中に浸すと、シリコンの１００面に対して、略５５°の傾斜を持つ１１１面が鏡面で出現して四角錘のエッチング溝が形成される。この後、シリコンの１１１面をミラー面部１１ｂ４として使用するために１１１面に対して５５°−１０°で切り出すと、固定部１１ａの底面１１ａ１に対して角度α＝４５°傾斜したミラー面部１１ｂ４が得られる。更にこの後、上記したＮ字状孔１１ｂ１を貫通して穿設することで、ミラー傾動体１１を得ている。
【００２６】
尚、実施例１では、ミラー面部１１ｂ４を角度α＝４５°で傾斜させているが、これに限ることなく、ミラー面部１１ｂ４の角度αは適宜な値でも良く、角度α＝９０°ならばミラー面部１１ｂ４は固定部１１ａの底面１１ａ１に対して垂直となる。
【００２７】
次に、上記したアクチュエーター１２は導電性金属薄膜ヒーターを用いており、このアクチュエーター（以下、導電性金属薄膜ヒータと記す）１２は一対の板バネ部１１ｂ２，１１ｂ３のうちで図示右側の板バネ部１１ｂ２の側面と固定部１１ａの上面とにマグネトロンスパッタ法を用いてＷ（タングステン）薄膜を３μｍから１０μｍ程度の厚さで成膜し、この後、例えばリフトオフ法等でパターニング処理を施して形成されている。尚、導電性金属薄膜ヒーター１２の引き出し線は、ワイヤーボンディングを簡単にするために、固定部１１ａの上面に形成しているので、スプレーレジスト法による露光パターン形成法でも良い。そして、固定部１１ａの上面に成膜した導電性金属薄膜ヒーター１２をスイッチ１３を介して電源１４に接続している。
【００２８】
尚、実施例１では、導電性金属薄膜ヒーター１２を一対の板バネ部１１ｂ２，１１ｂ３のうちで図示右側の板バネ部１１ｂ２の側面に取り付けているが、これに限ることなく、一対の板バネ部１１ｂ２，１１ｂ３の各側面に取り付けても良い。
【００２９】
ここで、上記構成による実施例１の光偏向子１０Ａの動作を図２（ａ），（ｂ）を用いて説明する。尚、図２（ｂ）はミラー傾動体１１の変形を誇張して図示している。
【００３０】
図２（ａ）に示した如く、本発明に係る実施例１の光偏向子１０Ａ中のミラー傾動体１１が傾動していない初期位置に至っている時には、スイッチ１３がＯＦＦ状態になっているので、電源１４からの電圧がミラー傾動体１１に形成した一対の板バネ部１１ｂ２，１１ｂ３のうちで図示右側の板バネ部１１ｂ２の側面に設けた導電性金属薄膜ヒーター１２に加わらないために、一対の板バネ部１１ｂ２，１１ｂ３は何等変形せず、これによりミラー面部１１ｂ４は初期位置の状態を維持している。
【００３１】
また、図２（ｂ）に示した如く、本発明に係る実施例１の光偏向子１０Ａを傾動させる場合には、スイッチ１３をＯＮ状態にすると、電源１４からの電圧が図示右側の板バネ部１１ｂ２の側面に設けた導電性金属薄膜ヒーター１２に加わるために、導電性金属薄膜ヒーター１２の電気的抵抗によってジュール熱が発生するので、一対の板バネ部１１ｂ２，１１ｂ３のうちで図示右側の板バネ部１１ｂ２が伸び、これに伴って反対側の板バネ部１１ｂ３は板バネ部１１ｂ２側に向かって弓形に湾曲するために、ミラー面部１１ｂ４は一対の板バネ部１１ｂ２，１１ｂ３の厚み方向の左方（矢印ａ方向）に傾動し、初期位置から最大で所定の傾動角度βまで傾動する。
【００３２】
この時、導電性金属薄膜ヒーター１２に印加する電圧を可変することで、ミラー面部１１ｂ４の傾動角度は電圧に略比例すると共に、ミラー面部１１ｂ４の裏面に連接した被係止部１１ｂ６が固定部１１ａに連接した係止部１１ｂ５に当接するまでミラー面部１１ｂ４が矢印ａ方向に向かって傾動し、被係止部１１ｂ６が係止部１１ｂ５に当接した後にミラー面部１１ｂ４の傾動が規制されて、ミラー面部１１ｂ４が所定の傾動角度位置に至る。
【００３３】
尚、導電性金属薄膜ヒーター１２を一対の板バネ部１１ｂ２，１１ｂ３のうちで図示左側の板バネ部１１ｂ３の側面に設けた場合には、図２（ｂ）の矢印ａ方向とは逆方向にミラー面部１１ｂ４が傾動する。
【００３４】
次に、本発明に係る実施例１の光偏向子を一部変形させた変形例について、図３及び図４を用いて説明する。
【００３５】
図３は本発明に係る実施例１の光偏向子を一部変形させた変形例の光偏向子を説明するための斜視図、
図４は本発明に係る実施例１の光偏向子を一部変形させた変形例の光偏向子の動作を説明するための上面図であり、（ａ）はミラー面部が初期位置に至っている状態を示し、（ｂ）はミラー面部が所定の傾動角度位置に至っている状態を示した図である。
【００３６】
図３に示した本発明に係る実施例１の光偏向子１０Ａを一部変形させた変形例の光偏向子１０Ｂでは、ミラー傾動体１１が直方体形状のシリコン・バルク材を用いて実施例１と全く同じ形状に形成されているので、同じ符番を付して図示する。
【００３７】
ここで、実施例１に対して異なる点は、ミラー傾動体１１のミラー面部１１ｂ４を初期位置から所定の傾動角度位置まで揺動させるために導電性金属薄膜ヒーター１２（図１）に代えて、アクチュエーターとして例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛セラミックス圧電体）を短冊状に成形した２枚の圧電体１５，１６を分極方向を逆にして積層したものをミラー傾動体１１に形成した一対の板バネ部１１ｂ２，１１ｂ３のうちで図示右側の板バネ部１１ｂ２の側面に取り付けている。
【００３８】
この際、２枚の圧電体１５，１６のうちで板バネ部１１ｂ２の側面に取り付けた圧電体１５を面内縮み変形させ、且つ、圧電体１５の外側に貼り付けた圧電体１６を面内伸び変形させることで、２枚の圧電体１５，１６は同じ電界で変位を倍にしたバイモルフ構造のアクチュエーターとなる。そして、２枚の圧電体１５，１６をスイッチ１７を介して電源１８に接続している。
【００３９】
尚、一対の板バネ部１１ｂ２，１１ｂ３のうちで図示左側の板バネ部１１ｂ３の側面に、図示右側の板バネ部１１ｂ２に対して極性を逆にしたモノモルフ、又は、バイモルフの圧電アクチュエーターを追加して取り付けることによって、傾動力を倍にしても良い。
【００４０】
次に、上記構成による変形例の光偏向子１０Ｂの動作を図４（ａ），（ｂ）を用いて説明する。尚、図４（ｂ）はミラー傾動体１１の変形を誇張して図示している。
【００４１】
図４（ａ）に示した如く、変形例の光偏向子１０Ｂ中のミラー傾動体１１が傾動していない初期位置に至っている時には、スイッチ１７がＯＦＦ状態になっているので、電源１８からの電圧がミラー傾動体１１に形成した一対の板バネ部１１ｂ２，１１ｂ３のうちで図示右側の板バネ部１１ｂ２の側面に取り付けた２枚の圧電体１５，１６に加わらないために、一対の板バネ部１１ｂ２，１１ｂ３は何等変形せず、これによりミラー面部１１ｂ４は初期位置の状態を維持している。
【００４２】
また、図４（ｂ）に示した如く、変形例の光偏向子１０Ｂを傾動させる場合には、スイッチ１７をＯＮ状態にすると、電源１８からの電圧が板バネ部１１ｂ２の側面に取り付けた２枚の圧電体１５，１６に加わり、内側の圧電体１５が面内縮み変形し、且つ、外側の圧電体１６が面内伸び変形するので、一対の板バネ部１１ｂ２，１１ｂ３のうちで図示右側の板バネ部１１ｂ２が伸び、これに伴って反対側の板バネ部１１ｂ３は板バネ部１１ｂ２側に向かって弓形に湾曲するために、ミラー面部１１ｂ４は一対の板バネ部１１ｂ２，１１ｂ３の厚み方向の左方（矢印ａ方向）に傾動し、初期位置から最大で所定の傾動角度βまで傾動する。
【００４３】
この時、２枚の圧電体１５，１６に印加する電圧を可変することで、ミラー面部１１ｂ４の傾動角度は電圧に略比例すると共に、ミラー面部１１ｂ４の裏面に連接した被係止部１１ｂ６が固定部１１ａに連接した係止部１１ｂ５に当接するまでミラー面部１１ｂ４が矢印ａ方向に向かって傾動し、被係止部１１ｂ６が係止部１１ｂ５に当接した後にミラー面部１１ｂ４の傾動が規制されて、ミラー面部１１ｂ４が所定の傾動角度位置に至る。
【００４４】
以上詳述した実施例１の光偏向子１０Ａ及び実施例１を一部変形させた変形例の光偏向子１０Ｂによると、固定設置するための底面１１ａ１を有する固定部１１ａと、固定部から高さ方向に対して所定の幅Ｂを持って互いに対向しながら弾性変位可能に薄板状に延出させた一対の板バネ部１１ｂ２，１１ｂ３と、一対の板バネ部１１ｂ２，１１ｂ３の各端に連接させたミラー面部１１ｂ４と、ミラー面部１１ｂ４を傾動していない初期位置から所定の傾動角度まで傾動させた所定の傾動角度位置に規制するミラー面部係止手段１１ｂ５，１１ｂ６とでミラー傾動体１１を一体形成し、且つ、一対の板バネ部１１ｂ２，１１ｂ３のうちで少なくとも一方の板バネ部１１ｂ２の側面にアクチュエーター１２を設けているので、ミラー面部１１ｂ４を初期位置と所定の傾動角度位置との間でアクチュエーター１２を介して揺動させる時に、最小の部品点数で光偏向子１０Ａ，１０Ｂを構成でき、且つ、光偏向子１０Ａ，１０Ｂの構造が簡単となり安価に提供できると共に、ミラー面部１１ｂ４を初期位置に対して所定の傾動角度位置に傾動できるので、レーザー光を初期位置と所定の傾動角度位置でそれぞれ偏向させることができる。
【実施例２】
【００４５】
図５は本発明に係る実施例２の光偏向子を説明するための斜視図、
図６は本発明に係る実施例２の光偏向子の動作を説明するための上面図であり、（ａ）はミラー面部が初期位置に至っている状態を示し、（ｂ）はミラー面部が所定の傾動角度位置に至っている状態を示した図である。
【００４６】
図５に示した如く、本発明に係る実施例２の光偏向子２０は、直方体形状のシリコン・バルク材を用いて一体的に形成したミラー傾動体２１と、ミラー傾動体２１のミラー面部２１ｂ５を傾動していない第１の位置（以下、初期位置と記す）と所定の傾動角度まで傾動させた第２の位置（以下、所定の傾動角度位置と記す）との間で揺動させるためにミラー傾動体２１の左右側面に設けたアクチュエーター２２，２３とで構成されている。
【００４７】
まず、上記したミラー傾動体２１は、図示しない基台に固定設置するための底面２１ａ１を有する固定部２１ａが直方体形状に形成され、且つ、固定部２１ａの底面２１ａ１から少し浮かせて延出部２１ｂが高さ方向に対して所定の幅Ｂを持って固定部２１ａの前方に向かって片持ち状態で長尺に延出されている。
【００４８】
更に、ミラー傾動体２１の延出部２１ｂは、左右側面の内側近傍に一対の縦孔２１ｂ１，２１ｂ２を左右対称に下方に向かって貫通させることで、固定部２１ａの左右から高さ方向に対して所定の幅Ｂを持って互いに対向しながら弾性変位可能に一対の板バネ部２１ｂ３，２１ｂ４が薄板状に形成されている。
【００４９】
また、一対の板バネ部２１ｂ３，２１ｂ４の各端にミラー面部２１ｂ５が連接されており、このミラー面部２１ｂ５は入射光を偏向して出射させるためのものであり、且つ、固定部２１ａの底面２１ａ１に対して所定の角度α＝４５°傾斜していると共に、ミラー面部２１ｂ５は弾性変形しないように肉厚に形成されている。
【００５０】
また、一対の板バネ部２１ｂ３，２１ｂ４間の内側に台形状係止孔２１ｂ６を下方に向かって貫通させることで、台形状係止孔２１ｂ６内にミラー面部２１ｂ５の裏面に連接した台形状被係止部２１ｂ７が形成されており、これらの台形状係止孔２１ｂ６及び台形状被係止部２１ｂ７は、ミラー面部２１ｂ５を傾動していない初期位置から所定の傾動角度まで傾動させた所定の傾動角度位置に規制するミラー面部係止手段となっている。
【００５１】
従って、ミラー傾動体２１の左右側面にアクチュエーター２２，２３を設けた場合に、後述するように、ミラー傾動体２１の固定部２１ａから片持ち状態で延出させた延出部２１ｂの前方先端に４５°傾斜したミラー面部２１ｂ５が一対の板バネ部２１ｂ３，２１ｂ４の厚み方向の左右方向（矢印ａｂ方向）に傾動可能になっている。
【００５２】
尚、ミラー傾動体２１は、実施例１と略同様に作製すれば良い。更に、実施例２でも、ミラー傾動体２１のミラー面部２１ｂ５を角度α＝４５°で傾斜させているが、これに限ることなく、ミラー面部２１ｂ５の角度αは適宜な値でも良く、角度α＝９０°ならばミラー面部２１ｂ５は固定部２１ａの底面２１ａ１に対して垂直となる。
【００５３】
次に、上記したアクチュエーター２２，２３は導電性金属薄膜ヒーターを用いており、これらのアクチュエーター（以下、導電性金属薄膜ヒータと記す）２２，２３は一対の板バネ部２１ｂ３，２１ｂ４の各側面と固定部１１ａの上面とにマグネトロンスパッタ法を用いてＷ（タングステン）薄膜を３μｍから１０μｍ程度の厚さで成膜している。尚、導電性金属薄膜ヒーター２２，２３に代えて、先に説明したような圧電体を用いても良い。
【００５４】
そして、固定部２１ａの上面に成膜した導電性金属薄膜ヒーター２２，２３をスイッチ２４，２５を介して電源２６に接続している。
【００５５】
ここで、上記構成による実施例２の光偏向子２０の動作を図６（ａ），（ｂ）を用いて説明する。尚、図６（ｂ）はミラー傾動体２１の変形を誇張して図示している。
【００５６】
図６（ａ）に示した如く、本発明に係る実施例２の光偏向子２０中のミラー傾動体２１が傾動していない初期位置に至っている時には、スイッチ２４，２５がＯＦＦ状態になっているので、電源２６からの電圧がミラー傾動体２１に形成した一対の板バネ部２１ｂ３，２１ｂ４の各側面に設けた導電性金属薄膜ヒーター２２，２３に加わらないために、一対の板バネ部２１ｂ３，２１ｂ４は何等変形せず、これによりミラー面部２１ｂ５は初期位置の状態を維持している。
【００５７】
また、図６（ｂ）に示した如く、本発明に係る実施例２の光偏向子２０を傾動させる場合には、例えば図示左側のスイッチ２５をＯＦＦ状態にしたまま図示右側のスイッチ２４をＯＮ状態にすると、電源２６からの電圧が図示右側の板バネ部２１ｂ３の側面に設けた導電性金属薄膜ヒーター２２に加わるために、導電性金属薄膜ヒーター２２の電気的抵抗によってジュール熱が発生するので、一対の板バネ部２１ｂ３，２１ｂ４のうちで図示右側の板バネ部２１ｂ３が伸び、これに伴って反対側の板バネ部２１ｂ４は板バネ部２１ｂ３側に向かって弓形に湾曲するために、ミラー面部２１ｂ５は台形状被係止部２１ｂ７の中心付近を支点して一対の板バネ部２１ｂ３，２１ｂ４の厚み方向の左方（矢印ａ方向）に傾動し、初期位置から左方に最大で所定の傾動角度β’まで傾動する。
【００５８】
この時、導電性金属薄膜ヒーター２２に印加する電圧を可変することで、ミラー面部２１ｂ５の傾動角度は電圧に略比例すると共に、ミラー面部２１ｂ５の裏面に連接した台形状被係止部２１ｂ７が台形状係止孔２１ｂ６に当接するまでミラー面部２１ｂ５が矢印ａ方向に向かって傾動し、台形状被係止部２１ｂ７が台形状係止孔２１ｂ６に当接した後にミラー面部２１ｂ５の傾動が規制されて、ミラー面部２１ｂ５が所定の傾動角度位置に至る。
【００５９】
尚、図示右側のスイッチ２４をＯＦＦ状態にしたまま図示左側のスイッチ２５をＯＮ状態にして、図示左側の板バネ部２１ｂ４の側面に設けた導電性金属薄膜ヒーター２５に電圧を印加すれば、図６（ｂ）の矢印ａ方向とは逆方向にミラー面部２１ｂ５が傾動する。
【００６０】
以上詳述した実施例２の光偏向子２０によれば、ミラー傾動体２１を一体形成しているので、光偏向子２０の構造が簡単となり安価に提供できる。
【実施例３】
【００６１】
図７は本発明に係る実施例３の光偏向子を説明するための斜視図、
図８は本発明に係る実施例３の光偏向子の動作を説明するための上面図であり、（ａ）はミラー面部が初期位置に至っている状態を示し、（ｂ）はミラー面部が所定の傾動角度位置に至っている状態を示した図である。
【００６２】
図７に示した如く、本発明に係る実施例３の光偏向子３０は、直方体形状のシリコン・バルク材を用いて一体的に形成したミラー傾動体３１と、ミラー傾動体３１のミラー面部３１ｂ１０を傾動していない第１の位置（以下、初期位置と記す）から所定の傾動角度まで傾動させた第２の位置（以下、所定の傾動角度位置と記す）との間で揺動させるためにミラー傾動体３１の左右側面に設けたアクチュエーター３２，３３とで構成されている。
【００６３】
まず、上記したミラー傾動体３１は、図示しない基台に固定設置するための底面３１ａ１を有する固定部３１ａが直方体形状に形成され、且つ、固定部３１ａの底面３１ａ１から少し浮かせて延出部３１ｂが高さ方向に対して所定の幅Ｂを持って固定部３１ａの前方に向かって片持ち状態で長尺に延出されている。
【００６４】
更に、ミラー傾動体３１の延出部３１ｂは、左右側面の内側近傍に一対のＬ字状孔３１ｂ１，３１ｂ２を左右対称で且つ長尺な孔側を左右側に位置させる一方、短尺な孔側を前方側に位置させて下方に向かって貫通させることで、固定部３１ａの左右から高さ方向に対して所定の幅Ｂを持って互いに対向しながら弾性変位可能に一対のＬ字状板バネ部３１ｂ３，３１ｂ４が薄板状に形成されている。
【００６５】
また、一対のＬ字状板バネ部３１ｂ３，３１ｂ４のうちで短尺な各側面間の中央に中央孔３１ｂ５が下方に向かって貫通され、且つ、この中央孔３１ｂ５を挟んで一対のＬ字状板バネ部３１ｂ３，３１ｂ４のうちで短尺な各側面の外側に一対のくびれ部３１ｂ６，３１ｂ７を介して一対のステイ部３１ｂ８，３１ｂ９がハ字状に形成されている。そして、一対のステイ部３１ｂ８，３１ｂ９の各端にミラー面部３１ｂ１０が連接されており、このミラー面部３１ｂ１０は入射光を偏向して出射させるためのものであり、且つ、固定部３１ａの底面３１ａ１に対して所定の角度α＝４５°傾斜していると共に、ミラー面部３１ｂ１０は延出部３１ｂと同じ幅で弾性変形しないように肉厚に形成されている。更に、ハ字状に形成された一対のステイ部３１ｂ８，３１ｂ９は、ミラー面部３１ｂ１０内の点“ＭＯ”で交差するようになっている。
【００６６】
また、一対のＬ字状板バネ部３１ｂ３，３１ｂ４間の内側中央に逆台形状係止孔３１ｂ１１を下方に向かって貫通させることで、逆台形状係止孔３１ｂ１１内にミラー面部３１ｂ１０の裏面中央に連接した板状被係止部３１ｂ１２が形成され、且つ、板状被係止部３１ｂ１２はハ字状に形成された一対のステイ部３１ｂ８，３１ｂ９間に挟まれてミラー面部３１ｂ１０の裏面中央に連接しており、これらの逆台形状係止孔３１ｂ１１及び板状被係止部３１ｂ１２は、ミラー面部３１ｂ１０を傾動していない初期位置から所定の傾動角度まで傾動させた所定の傾動角度位置に規制するミラー面部係止手段となっている。
【００６７】
尚、ミラー傾動体３１は、実施例１，実施例２と略同様に作製すれば良い。更に、実施例３でも、ミラー傾動体３１のミラー面部３１ｂ１０を角度α＝４５°で傾斜させているが、これに限ることなく、ミラー面部３１ｂ１０の角度αは適宜な値でも良く、角度α＝９０°ならばミラー面部３１ｂ１０は固定部３１ａの底面３１ａ１に対して垂直となる。  この実施例３では、ミラー傾動体３１に形成した一対のＬ字状板バネ部３１ｂ３，３１ｂ４のうちで短尺な各側面の外側に一対のくびれ部３１ｂ６，３１ｂ７及び一対のステイ部３１ｂ８，３１ｂ９がハ字状に形成され、且つ、一対のステイ部３１ｂ８，３１ｂ９の各端にミラー面部３１ｂ１０が連接されているので、ハ字状に形成した一対のステイ部３１ｂ８，３１ｂ９が交差するミラー面部３１ｂ１０内の点“ＭＯ”が一対のくびれ部３１ｂ６，３１ｂ７及び一対のステイ部３１ｂ８，３１ｂ９の折れ曲がりに連動してミラー面部３１ｂ１０上でのレーザー光照射点を初期位置と略同じ位置になるように反時計方向又は時計方向に僅かに回転させる時の回転支点になっていると共に、４５°傾斜したミラー面部３１ｂ１０が一対のＬ字状板バネ部３１ｂ３，３１ｂ４の厚み方向の左右方向（矢印ａｂ方向）に傾動可能になっている。
【００６８】
次に、上記したアクチュエーター３２，３３は導電性金属薄膜ヒーターを用いており、これらのアクチュエーター（以下、導電性金属薄膜ヒータと記す）３２，３３は一対のＬ字状板バネ部３１ｂ３，３１ｂ４のうちで長尺な各側面と固定部１１ａの上面とにマグネトロンスパッタ法を用いてＷ（タングステン）薄膜を３μｍから１０μｍ程度の厚さで成膜している。尚、導電性金属薄膜ヒーター３２，３３に代えて、先に説明したような圧電体を用いても良い。
【００６９】
そして、固定部３１ａの上面に成膜した導電性金属薄膜ヒーター３２，３３をスイッチ３４，３５を介して電源３６に接続している。
【００７０】
ここで、上記構成による実施例３の光偏向子３０の動作を図８（ａ），（ｂ）を用いて説明する。尚、図８（ｂ）はミラー傾動体３１の変形を誇張して図示している。
【００７１】
図８（ａ）に示した如く、本発明に係る実施例３の光偏向子３０中のミラー傾動体３１が傾動していない初期位置に至っている時には、スイッチ３４，３５がＯＦＦ状態になっているので、電源３６からの電圧がミラー傾動体３１に形成した一対のＬ字状板バネ部３１ｂ３，３１ｂ４のうちで長尺な各側面に設けた導電性金属薄膜ヒーター３２，３３に加わらないために、一対のＬ字状板バネ部３１ｂ３，３１ｂ４は何等変形せず、これにより一対のＬ字状板バネ部３１ｂ３，３１ｂ４のうちで短尺な各側面の外側にハ字状に形成した一対のくびれ部３１ｂ６，３１ｂ７及び一対のステイ部３１ｂ８，３１ｂ９を介して連接させたミラー面部３１ｂ１０は初期位置の状態を維持している。
【００７２】
また、図８（ｂ）に示した如く、本発明に係る実施例３の光偏向子３０を傾動させる場合には、例えば図示左側のスイッチ３５をＯＦＦ状態にしたまま図示右側のスイッチ３４をＯＮ状態にすると、電源３６からの電圧が図示右側のＬ字状板バネ部３１ｂ３の長尺な側面に設けた導電性金属薄膜ヒーター３２に加わるために、導電性金属薄膜ヒーター３２の電気的抵抗によってジュール熱が発生するので、一対のＬ字状板バネ部３１ｂ３，３１ｂ４のうちで図示右側のＬ字状板バネ部３１ｂ３の長尺な側面が伸び、これに伴って反対側のＬ字状板バネ部３１ｂ４の長尺な側面はＬ字状板バネ部３１ｂ３側に向かって弓形に湾曲すると共に、一対のＬ字状板バネ部３１ｂ３，３１ｂ４の短尺な各側面も図示のように右下がりに変形する。この変形と同時に、一対のＬ字状板バネ部３１ｂ３，３１ｂ４のうちで短尺な各側面の外側に形成した一対のくびれ部３１ｂ６，３１ｂ７及び一対のステイ部３１ｂ８，３１ｂ９が“く”の字を左右反転したように折れ曲がるので、ミラー面部３１ｂ１０は矢印ａ方向に傾動しつつ、且つ、ミラー面部３１ｂ１０内の点“ＭＯ”を中心にして反時計方向（矢印ｃ方向）に僅かに回転する。
【００７３】
この時、導電性金属薄膜ヒーター３２に印加する電圧を可変することで、ミラー面部３１ｂ１０の傾動角度は電圧に略比例すると共に、ミラー面部３１ｂ１０の裏面中央に連接した板状被係止部３１ｂ１２が逆台形状係止孔３１ｂ１１に当接するまでミラー面部３１ｂ１０が矢印ａ方向に向かって傾動し且つ矢印ｂ方向に回転し、板状被係止部３１ｂ１２が逆台形状係止孔３１ｂ１２に当接した後にミラー面部３１ｂ１０の傾動及び回転が規制されて、ミラー面部３１ｂ１０が所定の傾動角度位置に至る。
【００７４】
尚、図示右側のスイッチ３４をＯＦＦ状態にしたまま図示左側のスイッチ３５をＯＮ状態にして、図示左側のＬ字状板バネ部３１ｂ４の長尺な側面に設けた導電性金属薄膜ヒーター３５に電圧を印加すれば、図８（ｂ）の矢印ａ方向とは逆方向にミラー面部３１ｂ１０が傾動する。
【００７５】
以上詳述した実施例３の光偏向子３０によれば、ミラー傾動体３１を一体形成しているので、光偏向子３０の構造が簡単となり安価に提供できると共に、一対のくびれ部３１ｂ６，３１ｂ７及び一対のステイ部３１ｂ８，３１ｂ９の折れ曲がりによりミラー面部３１ｂ１０内の点“ＭＯ”を中心にしてミラー面部３１ｂ１０上でのレーザー光照射点を僅かに補正できるので、所定の傾動角度位置でレーザー光の偏向方向がより正確に得られる。
【実施例４】
【００７６】
本発明に係る光偏向子を適用した光ピックアップを説明する前に、この光ピックアップ内に備えた少なくとも２種類以上の半導体レーザーと光記録媒体とについて説明する。
【００７７】
近年、音声信号，映像信号，データ信号などの各種の情報信号を高密度に記録及又は再生できる光記録媒体は、ドライブ装置内に移動自在に設けた光ピックアップにより信号面上の所望の記録トラックを高速にアクセスできることから多用されている。尚、光記録媒体は、円盤状の光ディスクとか、カード状の光カードなどがあるものの、以下では光ディスクの場合について説明する。
【００７８】
上記した光ピックアップは、半導体レーザーから出射したレーザー光を対物レンズにより絞り込んでレーザービームを得て、このレーザービームを光ディスクの信号面上の記録トラックにスポッ状に照射し、且つ、信号面の反射膜で反射された戻り光を光センサにより検出して情報信号を再生するものである。
【００７９】
尚、情報信号を光ディスクの信号面上に記録する場合にはレーザーパワーの強い記録用のレーザービームを信号面上に照射して、信号面上に成膜した記録層に情報信号を記録する一方、記録済みの情報信号を再生する場合にはレーザーパワーの弱い再生用のレーザービームを信号面上に照射して情報信号を読み取っている。
【００８０】
ここで、光ディスクとしては、例えばＣＤ（Ｃｏｍｐａｃｔ  Ｄｉｓｃ）やＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  Ｄｉｓｃ）などは既に市販されているが、最近になって光ディスクに対してより一層高密度化を図るために、ＣＤ，ＤＶＤよりも情報信号を超高密度に記録又は再生できる超高密度光ディスク（Ｂｌｕ−ｒａｙ  Ｄｉｓｃ）の開発が盛んに行われている。
【００８１】
具体的には、周知のＣＤでは波長が７８０ｎｍ前後のレーザー光を対物レンズで絞り込んでディスク基板に照射して、ディスク基板のレーザービーム入射面から略１．２ｍｍ隔てた信号面上に情報信号を記録又は再生している。
【００８２】
また、周知のＤＶＤでは波長が６５０ｎｍ前後のレーザー光を対物レンズで絞り込んでディスク基板に照射して、ディスク基板のレーザービーム入射面から略０．６ｍｍ隔てた信号面上に情報信号を記録又は再生している。
【００８３】
更に、開発途中の超高密度光ディスク（Ｂｌｕ−ｒａｙ  Ｄｉｓｃ）では波長が４００ｎｍ前後のレーザー光を対物レンズで絞り込んでディスク基板に照射して、ディスク基板のレーザービーム入射面から略０．０５〜０．１５ｍｍ隔てた信号面上に情報信号を記録又は再生している。
【００８４】
この際、ドライブ装置内の光ピックアップを安価に製造するために、ＣＤとＤＶＤとを兼用できる光ピックアップとか、ＤＶＤとＢｌｕｅ−Ｒａｙ  Ｄｉｓｃとを兼用できる光ピックアップとか、ＣＤとＤＶＤとＢｌｕｅ−Ｒａｙ  Ｄｉｓｃとを兼用できる光ピックアップなどが開発されている。
【００８５】
そこで、それぞれ波長が異なるレーザー光を選択的に出射する少なくとも２種類以上の半導体レーザーを光ピックアップ内に備え、少なくとも２種類の半導体レーザーからの各レーザー光を光偏向子のミラー傾動体に形成したミラー面部で対物レンズ側に偏向できるように構成した光デバイスを本出願人は特願２００２−２４３８４８号（平成１４年８月２３日出願）にて提案した。
【００８６】
本発明では、上記した光デバイスの技術的思想を踏まえて、実施例４では先に説明した実施例１の光偏向子１０Ａ（又は１０Ｂ）を適用して、より具体的な構成による光ピックアップについて図９，図１０を用いて説明する。
【００８７】
図９は本発明に係る実施例１の光偏向子を適用した光ピックアップを説明するための外観形状を示した斜視図、
図１０は図９に示した２種類の半導体レーザーとミラー面部とを拡大して示した動作図であり、（ａ）はミラー面部が初期位置に至っている状態を示し、（ｂ）はミラー面部が所定の傾動角度位置に至っている状態を示した図である。
【００８８】
まず、図９に示した如く、本発明に係る実施例１の光偏向子１０Ａを適用した光ピックアップ４０では、半導体基板を用いて形成したベース台４１上に所定の高さのレーザー載置台４２が取り付けられ、且つ、レーザー載置台４２上に波長が異なる２種類のレーザー光を選択的に出射する第１，第２半導体レーザー４３，４４が光軸高さを略一致させた状態で接近して設置されており、第１，第２半導体レーザー４３，４４間は約５００μｍ程度離れている。
【００８９】
また、第１，第２半導体レーザー４３，４４と対向して実施例１の光偏向子１０Ａがベース台４１上に取り付けられている。
【００９０】
尚、実施例１の光偏向子１０Ａに代えて、実施例１の光偏向子１０Ａを一部変形させた変形例の光偏向子１０Ｂ（図３，図４）を用いても良いが、以下では実施例１の光偏向子１０Ａを適用した場合について説明する。
【００９１】
この際、光偏向子１０Ａは、ミラー傾動体１１の固定部１１ａの底面１１ａ１をベース台４１上に取り付け、且つ、固定部１１ａから延出部１１ｂを片持ち状態で延出させており、この延出部１１ｂの先端にベース台４１に対して４５°傾斜したミラー面部１１ｂ４が図示左方向に傾動可能になっている。
【００９２】
また、ミラー傾動体１１のミラー面部１１ｂ４の真上にはホログラム素子４５が設置されている。このホログラム素子４５は、下面４５ａにホログラム４５ａ１が形成され、且つ、上面４５ｂにもホログラム４５ｂ１が形成されている。
【００９３】
また、ホログラム素子４５の上方には、第１，第２半導体レーザー４３，４４からの各レーザー光を光ディスクＤの信号面に照射するための対物レンズ４６が設けられている。
【００９４】
また、第１，第２半導体レーザー４３，４４からの各レーザー光を対物レンズ４６で光ディスクＤの信号面に照射した後に、この信号面で反射された戻り光は、対物レンズ４６を通過した後に、ホログラム素子４５のホログラム４５ｂ１で回折されて、ベース台４１上に一体的に形成した複数の光検出器４１ａ〜４１ｄで検出できるようになっている。
【００９５】
更に、光偏向子１０Ａが初期状態に至っている時に、第１，第２半導体レーザー４３，４４から各レーザー光をミラー傾動体１１に形成したミラー面部１１ｂ４に向けて選択的に出射する時に、各レーザー光の光軸がベース台４１に対して略同じ高さ位置で４５°傾斜したミラー面部１１ｂ４上で略交わるように配置すると共に、第１半導体レーザー４３から出射させたレーザー光を４５°傾斜したミラー面部１１ｂ４で反射させた後の光軸が対物レンズ４６の光軸に予め略一致するように第１半導体レーザー４３をミラー面部１１ｂ４の真正面に対向配置している。
【００９６】
一方、光偏向子１０Ａ中のミラー傾動体１１が傾動していない初期位置に至っている時に、第１半導体レーザー４３に対して斜めに設置した第２半導体レーザー４４から出射されるレーザー光を４５°傾斜したミラー面部１１ｂ４で反射させた後の光軸は、対物レンズ４６の光軸と一致せずにズレている。
【００９７】
上記した第１，第２半導体レーザー４３，４４は、いずれか一方がＤＶＤ用で他方がＣＤ用である組み合わせの場合と、いずれか一方がＢｌｕｅ−Ｒａｙ  Ｄｉｓｃ用で他方がＤＶＤ用である組み合わせの場合とがある。この際、上記した各組み合わせ時に、後述する動作から光偏向子１０Ａを初期位置のままで動作させる第１半導体レーザー４３は使用頻度が多い光ディスクＤに対応させるか、あるいは、球面収差などの光学特性を重視する光ディスクＤに対応させれば良いものである。
【００９８】
尚、第１，第２半導体レーザー４３，４４を駆動させる電源と、光偏向子１０Ａを駆動させる電源とを共用させ、それぞれに適した各電圧を印加するようになっているが、共用電源の図示を省略する。
【００９９】
ここで、上記した光ピックアップ４０の動作について、図２（ａ），（ｂ）及び図９並びに図１０（ａ），（ｂ）を併用して説明するが、光偏向子１０Ａのミラー傾動体１１の傾動動作は実施例１の光偏向子１０Ａで述べているので詳述を省略する。尚、図１０（ｂ）はミラー傾動体１１の変形を誇張して図示している。
【０１００】
まず、図１０（ａ）に示した如く、上記した光ピックアップ４０が初期状態の時には、光偏向子１０Ａ中のミラー傾動体１１が傾動していない初期位置に至っており、ミラー傾動体１１のミラー面部１１ｂ４は初期位置で停止し、第１半導体レーザー４３がミラー面部１１ｂ４と真正面で対向している。
【０１０１】
ここで、ドライブ装置内に第１半導体レーザー４３と対応した光ディスクＤが装着された場合には、光偏向子１０Ａ中のミラー傾動体１１が初期位置に至っている状態で第１半導体レーザー４３を駆動させれば良く、この時には前述したように第１半導体レーザー４３から出射させたレーザー光を４５°傾斜したミラー面部１１ｂ４で反射させた後の光軸が対物レンズ４６の光軸に予め略一致しているので、ホログラム素子４５を通過した後に対物レンズ４６により光ディスクＤに照射される。
【０１０２】
一方、図１０（ｂ）に示した如く、ドライブ装置内に第２半導体レーザー４４と対応した光ディスクＤが装着された場合には、一対の板バネ部１１ｂ２，１１ｂ３のうちで図示右側の板バネ部１１ｂ２の側面に設けた導電性金属薄膜ヒーター１２に電圧を印加して、ミラー面部１１ｂ４を一対の板バネ部１１ｂ２，１１ｂ３の厚み方向の左方（矢印ａ方向）に所定の傾動角度βだけ傾動させると、ミラー面部１１ｂ４の裏面に連接した被係止部１１ｂ６が固定部１１ａに連接した係止部１１ｂ５に当接するので、ミラー面部１１ｂ４が所定の傾動角度位置に至る。この所定の傾動角度位置で、第２半導体レーザー４４から出射させたレーザー光を４５°傾斜したミラー面部１１ｂ４で反射させた後の光軸が対物レンズ４６の光軸に略一致するので、ホログラム素子４５を通過した後に対物レンズ４６により光ディスクＤに照射される。
【０１０３】
この際、ミラー傾動体１１のミラー面部１１ｂ４の傾動時に、第２半導体レーザー４４からのレーザー光がミラー面部１１ｂ４に当たるレーザー光照射点は、初期位置に対してごく僅かにズレる場合があるものの、このズレ量は許容範囲内である。
【実施例５】
【０１０４】
図１１は本発明に係る実施例２の光偏向子を適用した光ピックアップを説明するための外観形状を示した斜視図、
図１２は図１１に示した３種類の半導体レーザーとミラー面部とを拡大して示した動作図であり、（ａ）はミラー面部が初期位置に至っている状態を示し、（ｂ）はミラー面部が所定の傾動角度位置に至っている状態を示した図である。
【０１０５】
まず、図１１に示した如く、本発明に係る実施例２の光偏向子２０を適用した光ピックアップ５０では、半導体基板を用いて形成したベース台５１上に所定の高さのレーザー載置台５２が取り付けられ、且つ、レーザー載置台５２上に波長が異なる３種類のレーザー光を選択的に出射する第１〜第３半導体レーザー５３〜５５が光軸高さを略一致させた状態で接近して設置されており、各半導体レーザー間はそれぞれ約５００μｍ程度離れている。
【０１０６】
また、第１〜第３半導体レーザー５３〜５５と対向して実施例２の光偏向子２０がベース台５１上に取り付けられている。
【０１０７】
尚、実施例２の光偏向子２０に代えて、実施例３の光偏向子３０（図７，図８）を用いても良いが、以下では実施例２の光偏向子２０を適用した場合について説明する。
【０１０８】
この際、光偏向子２０は、ミラー傾動体２１の固定部２１ａの底面２１ａ１をベース台５１上に取り付け、且つ、固定部２１ａから延出部２１ｂを片持ち状態で延出させており、この延出部２１ｂの先端にベース台５１に対して４５°傾斜したミラー面部２１ｂ５が左右に傾動可能になっている。
【０１０９】
また、ミラー傾動体２１のミラー面部２１ｂ５の真上にはホログラム素子５６が設置されている。このホログラム素子５６は、下面５６ａにホログラム５６ａ１が形成され、且つ、上面５６ｂにもホログラム５６ｂ１が形成されている。
【０１１０】
また、ホログラム素子５６の上方には、第１〜第３半導体レーザー５３〜５５からの各レーザー光を光ディスクＤの信号面に照射するための対物レンズ５７が設けられている。
【０１１１】
また、第１〜第３半導体レーザー５３〜５５からの各レーザー光を対物レンズ５７で光ディスクＤの信号面に照射した後に、この信号面で反射された戻り光は、対物レンズ５７を通過した後に、ホログラム素子５６のホログラム５６ｂ１で回折されて、ベース台５１上に一体的に形成した複数の光検出器５１ａ〜５１ｄで検出できるようになっている。
【０１１２】
更に、光偏向子２０が初期状態に至っている時に、第１〜第３半導体レーザー５３〜５５から各レーザー光をミラー傾動体２１に形成したミラー面部２１ｂ５に向けて選択的に出射する時に、各レーザー光の光軸がベース台５１に対して略同じ高さ位置で４５°傾斜したミラー面部２１ｂ５上で略交わるように配置すると共に、中央の第２半導体レーザー５４から出射させたレーザー光を４５°傾斜したミラー面部２１ｂ５で反射させた後の光軸が対物レンズ５７の光軸に予め略一致するように中央の第２半導体レーザー５４をミラー面部２１ｂ５の真正面に対向配置している。
【０１１３】
一方、光偏向子２０中のミラー傾動体２１が傾動していない初期位置に至っている時に、中央の第２半導体レーザー５４を中心にしてハ字状に設置した第１，第３半導体レーザー５３，５５から出射される各レーザー光を４５°傾斜したミラー面部２１ｂ５で反射させた後の各光軸は、対物レンズ５７の光軸と一致せずにズレている。
【０１１４】
上記した第１〜第３半導体レーザー５３〜５５は、右から左に向かってＣＤ用，Ｂｌｕｅ−Ｒａｙ  Ｄｉｓｃ用，ＤＶＤ用として対応しているが、この配列順は適宜決定されるものである。この際、後述する動作から光偏向子２０を初期位置のままで動作させる中央の第２半導体レーザー５４は使用頻度が多い光ディスクＤに対応させるか、あるいは、球面収差などの光学特性を重視する光ディスクＤに対応させれば良いものである。
【０１１５】
尚、第１〜第３半導体レーザー５３〜５５を駆動させる電源と、光偏向子２０を駆動させる電源とを共用させ、それぞれに適した各電圧を印加するようになっているが、共用電源の図示を省略する。
【０１１６】
ここで、上記した光ピックアップ５０の動作について、図６（ａ），（ｂ）及び図１１並びに図１２（ａ），（ｂ）を併用して説明するが、光偏向子２０のミラー傾動体２１の傾動動作は実施例２の光偏向子２０で述べているので詳述を省略する。尚、図１２（ｂ）はミラー傾動体２１の変形を誇張して図示している。
【０１１７】
まず、図１２（ａ）に示した如く、上記した光ピックアップ５０が初期状態の時には、光偏向子２０中のミラー傾動体２１が傾動していない初期位置に至っており、ミラー傾動体２１のミラー面部２１ｂ５は初期位置で停止し、中央の第２半導体レーザー５４がミラー面部２１ｂ５と真正面で対向している。
【０１１８】
ここで、ドライブ装置内に第２半導体レーザー５４と対応した光ディスクＤが装着された場合には、光偏向子２０中のミラー傾動体２１が初期位置に至っている状態で第２半導体レーザー５４を駆動させれば良く、この時には前述したように中央の第２半導体レーザー５４から出射させたレーザー光を４５°傾斜したミラー面部２１ｂ５で反射させた後の光軸が対物レンズ５７の光軸に予め略一致しているので、ホログラム素子５６を通過した後に対物レンズ５７により光ディスクＤに照射される。
【０１１９】
一方、図１２（ｂ）に示した如く、ドライブ装置内に第３半導体レーザー５５と対応した光ディスクＤが装着された場合には、一対の板バネ部２１ｂ３，２１ｂ４のうちで図示右側の板バネ部２１ｂ３の側面に設けた導電性金属薄膜ヒーター２２に電圧を印加して、ミラー面部２１ｂ５を一対の板バネ部２１ｂ３，２１ｂ４の厚み方向の左方（矢印ａ方向）に所定の傾動角度β’だけ傾動させると、ミラー面部２１ｂ５の裏面中央に連接した台形状被係止部２１ｂ７が延出部２１ｂ内に穿接した台形状係止孔２１ｂ６に当接するので、ミラー面部２１ｂ５が所定の傾動角度位置に至る。
【０１２０】
そして、所定の傾動角度位置で、第３半導体レーザー５５から出射させたレーザー光を４５°傾斜したミラー面部２１ｂ５で反射させた後の光軸が対物レンズ５７の光軸に略一致するので、ホログラム素子５６を通過した後に対物レンズ５７により光ディスクＤに照射される。
【０１２１】
尚、ドライブ装置内に第１半導体レーザー５３と対応した光ディスクＤが装着された場合には、一対の板バネ部２１ｂ３，２１ｂ４のうちで図示左側の板バネ部２１ｂ４の側面に設けた導電性金属薄膜ヒーター２３に電圧を印加して、ミラー傾動体２１のミラー面部２１ｂを図１２（ｂ）に示した矢印ａ方向と逆方向に傾動させれば良い。
【０１２２】
更に、実施例５で、実施例２の光偏向子２０に代えて、実施例３の光偏向子３０（図７，図８）を適用した場合、ミラー傾動体３１のミラー面部３１ｂ１０の傾動時に、第１又は第３半導体レーザー５３又は５５からのレーザー光がミラー面部３１ｂ１０に当たるレーザー光照射点は、初期位置に対してごく僅かにズレる場合があるものの、このズレ量は許容範囲内であると共に、ミラー面部３１ｂ１０の裏面中心点“ＭＯ”を支点にしてミラー面部３１ｂ１０が僅かに回転できるので、レーザー光照射点のズレ量を極力小さく押さえることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１２３】
【図１】本発明に係る実施例１の光偏向子を説明するための斜視図である。
【図２】本発明に係る実施例１の光偏向子の動作を説明するための上面図である。
【図３】本発明に係る実施例１の光偏向子を一部変形させた変形例の光偏向子を説明するための斜視図である。
【図４】本発明に係る実施例１の光偏向子を一部変形させた変形例の光偏向子の動作を説明するための上面図である。
【図５】本発明に係る実施例２の光偏向子を説明するための斜視図である。
【図６】本発明に係る実施例２の光偏向子の動作を説明するための上面図である。
【図７】本発明に係る実施例３の光偏向子を説明するための斜視図である。
【図８】本発明に係る実施例３の光偏向子の動作を説明するための上面図である。
【図９】本発明に係る実施例１の光偏向子を適用した光ピックアップを説明するための外観形状を示した斜視図である。
【図１０】図９に示した２種類の半導体レーザーとミラー面部とを拡大して示した動作図である。
【図１１】本発明に係る実施例２の光偏向子を適用した光ピックアップを説明するための外観形状を示した斜視図である。
【図１２】図１１に示した３種類の半導体レーザーとミラー面部とを拡大して示した動作図である。
【図１３】は従来の光偏向子を説明するために示した斜視図である。
【符号の説明】
【０１２４】
１０Ａ…実施例１の光偏向子、
１０Ｂ…実施例１を一部変形させた変形例の光偏向子、
１１…ミラー傾動体、
１１ａ…固定部、１１ａ１…底面、
１１ｂ…延出部、１１ｂ１…Ｎ字状孔、１１ｂ２，１１ｂ３…一対の板バネ部、
１１ｂ４…ミラー面部、１１ｂ５，１１ｂ６…ミラー面部係止手段、
１２…アクチュエーター（導電性金属薄膜ヒーター）、１５，１６…圧電体、
２０…実施例２の光偏向子、
２１…ミラー傾動体、
２１ａ…固定部、２１ａ１…底面、
２１ｂ…延出部、２１ｂ１，２１ｂ２…一対の縦孔、
２１ｂ３，２１ｂ４…一対の板バネ部、
２１ｂ５…ミラー面部、２１ｂ６，２１ｂ７…ミラー面部係止手段、
２２，２３…アクチュエーター（導電性金属薄膜ヒーター）、
３０…実施例３の光偏向子、
３１…ミラー傾動体、
３１ａ…固定部、３１ａ１…底面、
３１ｂ…延出部、３１ｂ１，３１ｂ２…一対のＬ字状孔、
３１ｂ３，３１ｂ４…一対のＬ字状板バネ部、３１ｂ５…中央孔、
３１ｂ６，３１ｂ７…くびれ部、３１ｂ８，３１ｂ９…一対のステイ部、
３１ｂ１０…ミラー面部、３１ｂ１１，３１ｂ１２…ミラー面部係止手段、
３２，３３…アクチュエーター（導電性金属薄膜ヒーター）、
４０…実施例１の光偏向子を適用した光ピックアップ、
４１…ベース台、
４２…レーザー載置台、
４３，４４…第１，第２半導体レーザー、
４５…ホログラム素子、４６…対物レンズ、
５０…実施例２の光偏向子を適用した光ピックアップ、
５１…ベース台、
５２…レーザー載置台、
５３〜５５…第１〜第３半導体レーザー、
５６…ホログラム素子、５７…対物レンズ、
Ｄ…光ディスク。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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