(57)【要約】【課題】組み立てが容易で簡単な構造であり、製造コストを削減することが可能である２次元に光を走査する光走査装置とこれを組み込んだ表示装置を提供する。【解決手段】光源からの光を導波する光導波部の光射出端部１３が、コア１２とこの外周に形成されたクラッド１１から構成される弾性を有する梁構造となっており、光射出の向きが可変となっていて外部から印加される力によって梁構造の光射出端部１３の向きが制御され、力を制御して光射出端部１３から第１の方向Ｄ1 と第２の方向Ｄ2 に２次元に走査しながら光を射出して、スクリーン１９上に投影する構成とする。あるいは、光射出端部１３から第１の方向Ｄ1 に走査しながら光を射出し、第２の方向Ｄ2 に走査するミラー１８と組み合わせて２次元に光走査してスクリーン１９上に投影する構成とする。【選択図】図３
2005070235.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源と、
クラッドと前記クラッド内に埋め込まれ前記クラッドより高屈折率であるコアとを有し、前記光源からの光を導波し、光射出端部から第１の方向に走査しながら前記光を射出する光導波部と、
前記光導波部からの光の入射方向に対して直交する軸を回転軸として回転し、前記光導波部からの光を前記第１の方向と直交する第２の方向に走査しながら反射するミラーと、
前記第１の方向と前記第２の方向の２次元に走査された前記ミラーからの光が投影され、画像を表示するスクリーンと
を有し、
前記光導波部は、光射出端部が前記コアと前記コアの外周に形成された前記クラッドから構成される弾性を有する梁構造となっており、光射出の向きが可変となっていて外部から印加される力によって梁構造の光射出端部の向きが制御され、前記力を制御することで、前記光射出端部から前記第１の方向に走査しながら前記光を射出する
表示装置。
【請求項２】
前記光導波部の梁構造の光射出端部の外周部に第１電極が形成されており、前記第１電極と対向する位置に前記第１電極から離間して第２電極が形成されており、前記第１電極および前記第２電極の間の静電力によって前記梁構造の光射出端部の向きが制御される
請求項１に記載の表示装置。
【請求項３】
前記光導波部の梁構造の光射出端部にマイクロレンズが形成されている
請求項１に記載の表示装置。
【請求項４】
前記光源が複数の発光部から構成されており、
前記光導波部が前記複数の発光部からの光を混合して導波する構成である
請求項１に記載の表示装置。
【請求項５】
前記光源が赤色、緑色および青色の光をそれぞれ発光する発光部から構成されており、
前記光導波部が前記赤色、緑色および青色の光を混合して導波する構成である
請求項１に記載の表示装置。
【請求項６】
前記光導波部は、基板上に前記クラッドが形成され、前記コアが前記クラッド内に埋め込まれてなる平面型光導波路である
請求項１に記載の表示装置。
【請求項７】
光源と、
クラッドと前記クラッド内に埋め込まれ前記クラッドより高屈折率であるコアとを有し、前記光源からの光を導波し、光射出端部から第１の方向および前記第１の方向と直交する第２の方向に２次元に走査しながら前記光を射出する光導波部と、
前記第１の方向と前記第２の方向の２次元に走査された前記光導波部からの光が投影され、画像を表示するスクリーンと
を有し、
前記光導波部は、光射出端部が前記コアと前記コアの外周に形成された前記クラッドから構成される弾性を有する梁構造となっており、光射出の向きが可変となっていて外部から印加される力によって梁構造の光射出端部の向きが制御され、前記力を制御することで、前記光射出端部から前記第１の方向および前記第２の方向に走査しながら前記光を射出する
表示装置。
【請求項８】
前記光導波部の梁構造の光射出端部の外周部に第１電極が形成されており、前記第１電極と対向する位置に前記第１電極から離間して第２電極が形成されており、前記第１電極および前記第２電極の間の静電力によって前記梁構造の光射出端部の向きが制御される
請求項７に記載の表示装置。
【請求項９】
前記光導波部の梁構造の光射出端部にマイクロレンズが形成されている
請求項７に記載の表示装置。
【請求項１０】
前記光源が複数の発光部から構成されており、
前記光導波部が前記複数の発光部からの光を混合して導波する構成である
請求項７に記載の表示装置。
【請求項１１】
前記光源が赤色、緑色および青色の光をそれぞれ発光する発光部から構成されており、
前記光導波部が前記赤色、緑色および青色の光を混合して導波する構成である
請求項７に記載の表示装置。
【請求項１２】
前記光導波部は、基板上に前記クラッドが形成され、前記コアが前記クラッド内に埋め込まれてなる平面型光導波路である
請求項７に記載の表示装置。
【請求項１３】
光源と、
クラッドと前記クラッド内に埋め込まれ前記クラッドより高屈折率であるコアとを有し、前記光源からの光を導波し、光射出端部から第１の方向および前記第１の方向と直交する第２の方向に２次元に走査しながら前記光を射出する光導波部と
を有し、
前記光導波部は、光射出端部が前記コアと前記コアの外周に形成された前記クラッドから構成される弾性を有する梁構造となっており、光射出の向きが可変となっていて外部から印加される力によって梁構造の光射出端部の向きが制御され、前記力を制御することで、前記光射出端部から前記第１の方向および前記第２の方向に走査しながら前記光を射出する
光走査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は表示装置および光走査装置に関し、特に光導波路を用いて光を導波する構成を有する表示装置および光走査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のスキャン型の表示装置として、現在までに様々な構成のものが製品化されている。例えば特許文献１には、２次元に光を走査することが可能な光走査装置（光スキャナ）を組み込み、光走査ビームを眼球の瞳に投射して網膜上に画像を結像する構成の表示装置が開示されている。
上記の表示装置では、２次元に光を走査することが可能な光走査装置の構成として、１軸の可動ミラーを２つ組み合わせた構造と、２軸の可動ミラーを用いた構造が採用されている。
【０００３】
１軸の可動ミラーを組み合わせた構造の光走査装置では、光源、第１可動ミラーおよび第２可動ミラーの３つの部品の相対位置を精密に実装する必要がある。従って、組み立て工程に手間がかかり、製造コストが高くなってしまうという問題がある。
【０００４】
一方、２軸の可動ミラーを用いる構造の光走査装置では、光源と可動ミラー間の相対位置の調整だけになるので組み立て工程の手間は１軸の可動ミラーを組み合わせた構造の光走査装置より軽減される。しかし、２軸の可動ミラーの構造は非常に複雑となってしまうので、製造コストが高くなってしまい、小型化や量産には不向きである。
【０００５】
一方特許文献２には、レーザビームスキャナなどの用途として、１次元に光を走査することが可能な光走査装置が開示されている。
【特許文献１】特開平１１−１６０６５０号公報
【特許文献２】特開２０００−１９９８７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
解決しようとする問題点は、表示装置に組み込むための２次元に光を走査する光走査装置として、組み立てに手間がかかったり、構造が複雑となってしまうなど、製造コストを削減することが困難であるという点である。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の表示装置は、光源と、クラッドと前記クラッド内に埋め込まれ前記クラッドより高屈折率であるコアとを有し、前記光源からの光を導波し、光射出端部から第１の方向に走査しながら前記光を射出する光導波部と、前記光導波部からの光の入射方向に対して直交する軸を回転軸として回転し、前記光導波部からの光を前記第１の方向と直交する第２の方向に走査しながら反射するミラーと、前記第１の方向と前記第２の方向の２次元に走査された前記ミラーからの光が投影され、画像を表示するスクリーンとを有し、前記光導波部は、光射出端部が前記コアと前記コアの外周に形成された前記クラッドから構成される弾性を有する梁構造となっており、光射出の向きが可変となっていて外部から印加される力によって梁構造の光射出端部の向きが制御され、前記力を制御することで、前記光射出端部から前記第１の方向に走査しながら前記光を射出する。
【０００８】
上記の本発明の表示装置は、光源からの光を導波する光導波部の光射出端部が、コアとコアの外周に形成されたクラッドから構成される弾性を有する梁構造となっており、光射出の向きが可変となっていて外部から印加される力によって梁構造の光射出端部の向きが制御され、力を制御して光射出端部から第１の方向に走査しながら光を射出することで、光走査装置として機能する。
さらに第２の方向に走査しながら反射するミラーと組み合わせることで２次元の光走査が可能となり、２次元画像をスクリーンに表示することができる。
【０００９】
また、本発明の表示装置は、光源と、クラッドと前記クラッド内に埋め込まれ前記クラッドより高屈折率であるコアとを有し、前記光源からの光を導波し、光射出端部から第１の方向および前記第１の方向と直交する第２の方向に２次元に走査しながら前記光を射出する光導波部と、前記第１の方向と前記第２の方向の２次元に走査された前記光導波部からの光が投影され、画像を表示するスクリーンとを有し、前記光導波部は、光射出端部が前記コアと前記コアの外周に形成された前記クラッドから構成される弾性を有する梁構造となっており、光射出の向きが可変となっていて外部から印加される力によって梁構造の光射出端部の向きが制御され、前記力を制御することで、前記光射出端部から前記第１の方向および前記第２の方向に走査しながら前記光を射出する。
【００１０】
上記の本発明の表示装置は、光源からの光を導波する光導波部の光射出端部が、コアとコアの外周に形成されたクラッドから構成される弾性を有する梁構造となっており、光射出の向きが可変となっていて外部から印加される力によって梁構造の光射出端部の向きが制御され、力を制御して光射出端部から第１の方向と第２の方向に２次元に走査しながら光を射出することで、光走査装置として機能する。この光を投射することで２次元画像をスクリーンに表示することができる。
【００１１】
また、本発明の光走査装置は、光源と、クラッドと前記クラッド内に埋め込まれ前記クラッドより高屈折率であるコアとを有し、前記光源からの光を導波し、光射出端部から第１の方向および前記第１の方向と直交する第２の方向に２次元に走査しながら前記光を射出する光導波部とを有し、前記光導波部は、光射出端部が前記コアと前記コアの外周に形成された前記クラッドから構成される弾性を有する梁構造となっており、光射出の向きが可変となっていて外部から印加される力によって梁構造の光射出端部の向きが制御され、前記力を制御することで、前記光射出端部から前記第１の方向および前記第２の方向に走査しながら前記光を射出する。
【００１２】
上記の本発明の光走査装置は、光源からの光を導波する光導波部の光射出端部が、コアとコアの外周に形成されたクラッドから構成される弾性を有する梁構造となっており、光射出の向きが可変となっていて外部から印加される力によって梁構造の光射出端部の向きが制御され、力を制御して光射出端部から第１の方向と第２の方向に２次元に走査しながら光を射出することで、光走査装置として機能する。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の表示装置は、２次元に光を走査する光走査装置を組み込んだ表示装置として、組み立てが容易で簡単な構造であり、製造コストを削減することが可能である。
【００１４】
また、本発明の光走査装置は、２次元に光を走査する光走査装置として、組み立てが容易で簡単な構造であり、製造コストを削減することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下に、本発明の表示装置および光走査装置の実施の形態について、図面を参照して説明する。
【００１６】
第１実施形態
図１は本実施形態に係る表示装置に組み込まれる光導波部の斜視図であり、図２（ａ）は図１中のＸ−Ｘ’における断面図、図２（ｂ）は図１中のＹ−Ｙ’における断面図である。
例えばシリコンなどからなる基板１０上に、第１屈折率の光透過性有機材料などからなるクラッド１１が形成されており、その内部に第１屈折率より高い第２屈折率の光透過性有機材料などからなるコア（１２R ，１２G ，１２B ，１２）が埋め込まれて、平面型光導波路が構成されている。
コア（１２R ，１２G ，１２B ，１２）の幅および高さは、例えば１０〜５０μｍ程度であり、クラッド１１の厚みは、例えば３０〜１５０μｍ程度であるが、これに限定されるものではない。
コアとしては、例えば、光入射側において赤色光用のコア１２R 、緑色光用のコア１２G および青色光用のコア１２B が略平行に並んで延伸するように設けられており、両サイドの赤色光用のコア１２R と青色光用のコア１２B が延伸方向を屈曲して合流点１２ａにおいて中央の緑色光用のコア１２G と合流し、１本のコア１２として光射出側に延伸する構成となっている。
光導波部の光入射側に配置されたＬＥＤ（発光ダイオード）などからなる赤色光源ＬＳR 、緑色光源ＬＳG および青色光源ＬＳB からの赤色光ＬR 、緑色光ＬG および青色光ＬB は、それぞれ赤色光用のコア１２R 、緑色光用のコア１２G および青色光用のコア１２B へと入射され、赤色光用のコア１２R 、緑色光用のコア１２G および青色光用のコア１２B へと導波され、合流点１２ａにおいて合波してさらにコア１２へと導波され、光射出側から合波した光ＬM が射出される。
【００１７】
上記の光導波部において、光射出端部１３がコア１２とコア１２の外周に形成されたクラッド１１から構成される弾性を有する梁構造となっており、光射出の向きが可変となっている。外部から印加される力によって梁構造の光射出端部１３の向きが制御され、外部からの力を制御することで、光射出端部１３から第１の方向Ｄ1 に走査しながら光を射出する。
例えば、光導波部の梁構造の光射出端部１３の外周部（外周表面の内の両側部）に第１電極（１４ａ，１５ａ）が形成されており、第１電極（１４ａ，１５ａ）と対向する位置に第１電極（１４ａ，１５ａ）から離間して第２電極（１４ｂ，１５ｂ）が形成されている構成とする。このように、第１の方向Ｄ1 に離間する２組の電極（第１電極（１４ａ，１５ａ）および第２電極（１４ｂ，１５ｂ））を設けて、これらの対向する電極間に印加する電圧Ｖを変化させることで、対向する電極間の静電力、すなわち、梁構造の光射出端部１３に対する第１の方向Ｄ1 への引力あるいは斥力を変化させることができ、これによって梁構造の光射出端部１３の向きを制御することが可能となっている。
【００１８】
図３は、本実施形態に係る表示装置の構成を示す模式図である。ここでは、光導波部については梁構造の光射出端部１３のみを示し、詳細を省略している。
光導波部の梁構造の光射出端部１３から第１の方向Ｄ1 に走査しながら射出された光ＬM は、ミラー１８に入射する。
ミラー１８は、光導波部からの光ＬM の入射方向に対して直交する軸を回転軸ＡＸとして回転方向ＲＴに回転することで、光導波部からの光ＬM を第１の方向Ｄ1 と直交する第２の方向Ｄ2 に走査しながら反射する。
ミラー１８で反射した光ＬM は、第１の方向Ｄ1 と第２の方向Ｄ2 の２次元に走査されながら、スクリーン１９に投影され、画像を表示する。
【００１９】
上記の本実施形態の表示装置において、光源からの光を導波する光導波部の光射出端部１３が弾性を有する梁構造となっており、静電力などの力によって梁構造の光射出端部の向きが制御され、力を制御して光射出端部から第１の方向に走査しながら光を射出することで、光走査装置として機能する。
さらに第２の方向に走査しながら反射するミラーと組み合わせることで２次元の光走査が可能となり、２次元画像をスクリーンに表示することができる。
スクリーン上に十分に光走査するためには、スクリーンと光導波部との距離にも依存するが、例えば、光導波部の梁構造の光射出端部１３が梁構造の根本部分を支点として１０°程度の角度を走査できればよい。
【００２０】
上記の本実施形態の表示装置は、光走査装置として機能する部分を組み立てる際に、光導波部とミラー間の相対位置の調整だけになるので組み立て工程の手間が軽減され、組み立てが容易であり、製造コストを削減することが可能である。
【００２１】
本実施形態の表示装置において、図１および図２（ａ）に示すように、光導波部の梁構造の光射出端部１３の先端に、光射出端部１３から射出される光ＬM を平行光にするコリメートレンズとして機能するマイクロレンズ１７が設けられた構成とすることが好ましい。
これにより、光導波部とコリメートレンズとのアライメントが不要となり、さらに工程数を削減できる。
【００２２】
次に、上記の本実施形態の表示装置における光導波部の梁構造の光射出端部を形成する方法について、図４および図５を参照して説明する。
まず、図４（ａ）に示すように、基板１０上に、犠牲層ＳＬを形成する。犠牲層ＳＬは、クラッドに対して選択的にウェットエッチング可能な材料で形成する。例えば、酸化シリコンなどを用いる。犠牲層ＳＬの膜厚は、梁構造の光射出端部１３と基板１０との間の距離に合わせた膜厚に設計する。
【００２３】
次に、図４（ｂ）に示すように、例えばスピン塗布などにより、クラッドとなる有機材料を成膜し、下層クラッド１１ａを形成する。
次に、コアとなる材料をスピン塗布などにより成膜し、例えばコアとなる部分のみに紫外線を照射して硬化させる方法、あるいはパターンエッチング加工により、コア１２を幅および高さが例えば１０〜５０μｍ程度となるように形成する。
【００２４】
次に、図４（ｃ）に示すように、例えばスピン塗布などにより、コア１２を被覆して下層クラッド１１ａと同じ有機材料を成膜し、上層クラッド１１ｂを形成する。下層クラッド１１ａと上層クラッド１１ｂは一体化してクラッド１１となる。一体化したクラッド１１の厚みが例えば３０〜１５０μｍ程度となるように、下層クラッド１１ａと上層クラッド１１ｂの厚みをそれぞれ調整して形成する。
【００２５】
次に、図５（ａ）に示すように、光導波部の光射出端部を切り出すように、クラッド１１に溝ＧＲを形成する。例えば、フォトリソグラフィー工程により不図示のレジスト膜を成膜し、犠牲層ＳＬで停止するドライエッチングにより行う。
【００２６】
次に、図５（ｂ）に示すように、例えばクラッド１１に対して選択的に犠牲層ＳＬを除去可能なウェットエッチングにより、犠牲層ＳＬを除去する。
これにより、光導波部の光射出端部を梁構造に加工することができる。
【００２７】
次に、図５（ｃ）に示すように、第１電極（１４ａ，１５ａ）および第２電極（１４ｂ，１５ｂ）を形成して、本実施形態の表示装置における光導波部の梁構造の光射出端部を形成することができる。
【００２８】
第２実施形態
本実施形態に係る表示装置に組み込まれる光導波部は、第１実施形態と同様であり、図６は、光導波部の梁構造の光射出端部１３に垂直な面での断面図である。
即ち、光導波部において、光射出端部１３がコア１２とコア１２の外周に形成されたクラッド１１から構成される弾性を有する梁構造となっており、光射出の向きが可変となっている。
ここで、外部から印加される力によって梁構造の光射出端部１３の向きが制御され、外部からの力を制御することで、光射出端部１３から第１の方向Ｄ1 および第１の方向Ｄ1
と直交する第２の方向Ｄ2 に２次元に走査しながら光を射出する。
【００２９】
例えば、第１実施形態と同様に、光導波部の梁構造の光射出端部１３の外周部（外周表面の内の両側部）に第１電極（１４ａ，１５ａ）が形成されており、第１電極（１４ａ，１５ａ）と対向する位置に第１電極（１４ａ，１５ａ）から離間して第２電極（１４ｂ，１５ｂ）が形成されている構成とし、これらの対向する電極間に印加する電圧Ｖを変化させることで、梁構造の光射出端部１３に対する第１の方向Ｄ1 への引力あるいは斥力を変化させ、梁構造の光射出端部１３の向きを制御する。
【００３０】
さらに、本実施形態においては、光導波部の梁構造の光射出端部１３の外周部である下面に、上記と同様に第１電極１６ａが形成されており、第１電極１６ａと対向する位置に第１電極１６ａから離間して、例えば基板１０の表面に第２電極１６ｂが形成されている構成とする。
この場合にも、上記と同様に、対向する第１電極１６ａと第２電極１６ｂ間に印加する電圧Ｖを変化させることで、梁構造の光射出端部１３に対する第２の方向Ｄ2 への引力あるいは斥力を変化させ、梁構造の光射出端部１３の向きを制御する。
【００３１】
従って、上記のように、第１電極（１４ａ，１５ａ）と第２電極（１４ｂ，１５ｂ）間の電圧を制御することで光射出端部１３からの光を第１の方向Ｄ1 へ走査でき、第１電極１６ａと第２電極１６ｂ間の電圧を制御することで光射出端部１３からの光を第２の方向Ｄ2 へ走査でき、これにより２次元に光走査することが可能となっている。
【００３２】
図７は、本実施形態に係る表示装置の構成を示す模式図である。ここでは、光導波部については梁構造の光射出端部１３のみを示し、詳細を省略している。
光導波部の梁構造の光射出端部１３から第１の方向Ｄ1 および第２の方向Ｄ2 に２次元に走査しながら射出された光ＬM が、そのままスクリーン１９に投影され、画像を表示する。
【００３３】
上記の本実施形態の表示装置において、光源からの光を導波する光導波部の光射出端部１３が弾性を有する梁構造となっており、静電力などの力によって梁構造の光射出端部の向きが制御され、力を制御して光射出端部から第１の方向および第２の方向に走査しながら光を射出することで、光走査装置として機能する。
このように２次元に走査された光をスクリーン上に投影ことで、２次元画像を表示することができる。
本実施形態の表示装置において、光導波部の梁構造の光射出端部１３の先端に、光射出端部１３から射出される光ＬM を平行光にするコリメートレンズとして機能するマイクロレンズ１７が設けられた構成とすることが好ましい。これにより、光導波部とコリメートレンズとのアライメントが不要となり、さらに工程数を削減できる。
スクリーン上に十分に光走査するためには、スクリーンと光導波部との距離にも依存するが、例えば、光導波部の梁構造の光射出端部１３が梁構造の根本部分を支点として１０°程度の角度を走査できればよい。
【００３４】
上記の本実施形態の光走査装置は、光走査装置として機能する部分が光導波部において実現されているので別途組み立てる必要がなく、これを組み込んだ表示装置としても組み立てが容易であり、製造コストを削減することが可能である。
【００３５】
次に、上記の本実施形態の表示装置における光導波部の梁構造の光射出端部を形成する方法について、図８および図９を参照して説明する。
まず、図８（ａ）に示すように、基板１０上に、第２の方向に光走査するために用いる第２電極１６ｂを形成する。
次に、基板１０上に、第２電極１６ｂを被覆して、犠牲層ＳＬを形成する。
【００３６】
次に、図８（ｂ）に示すように、例えばスピン塗布などにより、クラッドとなる有機材料を成膜し、カバー用クラッド１１ｃを形成する。
さらに、その上層に第２の方向に光走査するために用いる第１電極１６ａを、第２電極１６ｂに対向する位置に形成する。
【００３７】
次に、図８（ｃ）に示すように、再びクラッドとなる有機材料を成膜し、下層クラッド１１ａを形成する。
次に、コアとなる材料をスピン塗布などにより成膜し、例えばコアとなる部分のみに紫外線を照射して硬化させる方法、あるいはパターンエッチング加工により、コア１２を形成する。
【００３８】
次に、図９（ａ）に示すように、例えばスピン塗布などにより、コア１２を被覆して下層クラッド１１ａと同じ有機材料を成膜し、上層クラッド１１ｂを形成する。
カバー用クラッド１１ｃ、下層クラッド１１ａと上層クラッド１１ｂは一体化してクラッド１１となる。
次に、光導波部の光射出端部を切り出すように、クラッド１１に溝ＧＲを形成する。例えば、フォトリソグラフィー工程により不図示のレジスト膜を成膜し、犠牲層ＳＬで停止するドライエッチングにより行う。
【００３９】
次に、図９（ｂ）に示すように、例えばクラッド１１および第２電極１６ｂに対して選択的に犠牲層ＳＬを除去可能なウェットエッチングにより、犠牲層ＳＬを除去する。
これにより、光導波部の光射出端部を梁構造に加工することができる。
【００４０】
上記のエッチングにおいて、梁構造の光射出端部の下面に形成される第１電極１６ａが露出していると、光射出端部の下面と第１電極１６ａとの間の密着力がそれほど強くないために、第１電極１６ａが剥離してしまう可能性がある。そこで、本実施形態の製造方法においては、第１電極１６ａのさらに下面にカバー用クラッド層１１ｃを設けて、第１電極１６ａが露出しないようにしている。第１電極１６ａと第２電極１６ｂ間には、静電力を働かせるので、誘電体であるカバー用クラッド層１１ｃがその間に形成されていても機能的に支障はない。第１電極１６ａが梁構造の光射出端部に十分密着して形成できれば、カバー用クラッド層１１ｃは不要となる。
また、第１電極１６ａと第２電極１６ｂ間の距離は静電力を制御する上で重要であるが、これは上記のように予め形成する犠牲層ＳＬの膜厚により決定される。従って、必要な静電力などに応じて、犠牲層ＳＬの膜厚が決定される。
【００４１】
次に、図９（ｃ）に示すように、第１電極（１４ａ，１５ａ）および第２電極（１４ｂ，１５ｂ）を形成して、本実施形態の表示装置における光導波部の梁構造の光射出端部を形成することができる。
【００４２】
第３実施形態
図１０は本実施形態に係る表示装置に組み込まれる光導波部の斜視図である。
実質的に第１実施形態に係る表示装置に組み込まれる光導波部と同様であるが、基板１０上に、第１屈折率の光透過性有機材料などからなるクラッド１１が形成されており、その内部に第１屈折率より高い第２屈折率の光透過性有機材料などからなる１本のコア１２が埋め込まれているのみである。
即ち、光源として、例えば白色ＬＥＤなどの１つの光源ＬＳを用いており、この１つの光源からの光Ｌに対応した光導波部となっている。
上記以外については、第１実施形態と同様の構成とすることができる。
本実施形態の１つの光源を用いた光導波部とこれを組み込んだ表示装置は、第１実施形態および第２実施形態に示す構成の光導波部および表示装置に適用可能である。
【００４３】
上記の本実施形態の表示装置において、光源からの光を導波する光導波部の光射出端部１３が弾性を有する梁構造となっており、静電力などの力によって梁構造の光射出端部の向きが制御され、力を制御して光射出端部から第１の方向に、あるいは第１の方向および第２の方向に、走査しながら光を射出することで、光走査装置として機能する。
【００４４】
上記の本実施形態の表示装置は、光走査装置として機能する部分を組み立てる際に、組み立て工程の手間が軽減されて、容易に組み立て可能であり、製造コストを削減することが可能である。
【００４５】
本発明は上記の説明に限定されない。
例えば、上記の実施形態において光導波部は有機材料により構成しているが、石英系材料を用いることも可能である。
また、光源としては、ＬＥＤの他、レーザダイオードなどのその他光源も使用可能である。さらに、用いる光源として、上述のように赤、緑、青などの３色の光源の他、１つの光源、２つの光源、あるいは赤、緑、青以外の色の光源などを用いることができる。さらに、同じ色の複数の光源からの光を混合して用いるようにすることも可能である。
さらに、梁構造の光射出端部の向きを制御する力として静電力を用いているが、電磁力などの力を用いて制御するようにしてもよい。
その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の変更が可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明の表示装置によれば、２次元に光を走査する光走査装置を組み込んだ表示装置として、組み立てが容易で簡単な構造であり、製造コストを削減することが可能である。
また、本発明の光走査装置によれば、２次元に光を走査する光走査装置として、組み立てが容易で簡単な構造であり、製造コストを削減することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】図１は第１実施形態に係る表示装置に組み込まれる光導波部の斜視図である。
【図２】図２（ａ）は図１中のＸ−Ｘ’における断面図、図２（ｂ）は図１中のＹ−Ｙ’における断面図である。
【図３】図３は、第１実施形態に係る表示装置の構成を示す模式図である。
【図４】図４（ａ）〜図４（ｃ）は、第１実施形態の表示装置における光導波部の梁構造の光射出端部を形成する方法を示す断面図である。
【図５】図５（ａ）〜図５（ｃ）は、第１実施形態の表示装置における光導波部の梁構造の光射出端部を形成する方法を示す断面図である。
【図６】図６は第２実施形態に係る光導波部の梁構造の光射出端部に垂直な面での断面図である。
【図７】図７は第２実施形態に係る表示装置の構成を示す模式図である。
【図８】図８（ａ）〜図８（ｃ）は、第２実施形態の表示装置における光導波部の梁構造の光射出端部を形成する方法を示す断面図である。
【図９】図９（ａ）〜図９（ｃ）は、第２実施形態の表示装置における光導波部の梁構造の光射出端部を形成する方法を示す断面図である。
【図１０】図１０は第３実施形態に係る表示装置に組み込まれる光導波部の斜視図である。
【符号の説明】
【００４８】
１０…基板、１１…クラッド、１１ａ…下層クラッド、１１ｂ…上層クラッド、１１ｃ…カバー用クラッド、１２R ，１２G ，１２B ，１２…コア、１２ａ…合流点、１３…梁構造の光射出端部、１４ａ，１５ａ，１６ａ…第２電極、１４ｂ，１５ｂ，１６ｂ…第２電極、１７…マイクロレンズ、１８…ミラー、１９…スクリーン、ＬＳR …赤色光源、ＬＳG …緑色光源、ＬＳB …青色光源、ＬＳ…光源、ＬR …赤色光、ＬG …緑色光、ＬB …青色光、ＬM …合波した光、Ｌ…光、ＳＬ…犠牲層、ＧＲ…溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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