(57)【要約】【課題】  板状記録板体の基板上に各種の層を形成するための膜を正確に形成でき、しかも材料の無駄や環境の汚染のないようにした、新規な方法と装置を提供する。【解決手段】  基板１０に振動Ｖを与えながら、基板１０の外面にインクジェットプリンタを用いて膜形成用の液をドット１１の形で膜形成領域Ｓに塗布し、塗布した液を前記振動Ｖにより平滑化して所定の膜厚の液膜１２を形成し、次いで、前記平滑化した液膜１２を硬化させて、記録層、接着層、カバー層等を構成する膜とする。  装置は、基板を支持する複数のトレーが、搬送ラインに沿って移動可能に設けられ、搬送ラインの適所に、トレーに振動を与える手段と、基板１０の外面に膜形成用の液を塗布するためのインクジェットプリンタとを備えた液膜形成ステーションと、液膜形成ステーションで形成された液膜を硬化させる手段を備えた硬化ステーションとが並設される。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状記録媒体の基板（１０）上に、記録層、接着層、カバー層等のための各種の膜を形成する方法において、
基板（１０）に振動を与えながら、基板（１０）の外面にインクジェットプリンタ（４１）を用いて膜形成用の液を膜形成領域に塗布し、塗布した液を前記振動により平滑化して所定の膜厚の液膜（１２）を形成し、
次いで、前記平滑化した液膜（１２）を硬化させて、記録層、接着層、カバー層等を構成する膜とすることを特徴とする板状記録媒体の基板上に膜を形成する方法。
【請求項２】
板状記録媒体の基板（１０）上に、記録層、接着層、カバー層等のための各種の膜を形成する方法において、
基板（１０）に振動を与えながら、基板（１０）の外面にインクジェットプリンタ（４１）を用いて膜形成用の液を膜形成領域に塗布し、塗布した液を前記振動により平滑化して所定の膜厚の液膜（１２）を形成し、
次いで、液膜（１２）を形成した基板（１０）を真空雰囲気に収容して液膜（１２）中の気泡を除き、
しかる後、前記平滑化した液膜（１２）を硬化させて、記録層、接着層、カバー層等を構成する膜とすることを特徴とする板状記録媒体の基板上に膜を形成する方法。
【請求項３】
板状記録媒体の基板（１０）上に、記録層、接着層、カバー層等のための各種の膜を形成する方法において、
基板（１０）の外面に、膜形成領域の縁に沿って、インクジェットプリンタ（８３）を用いて膜形成用の液を塗布し、塗布した液を硬化させて液止め堰（１３）を形成し、
次いで、基板（１０）に振動を与えながら、前記液止め堰（１３）で囲まれた膜形成領域に、インクジェットプリンタ（４１）を用いて膜形成用の液を塗布し、振動により平滑化して所定の膜厚の液膜（１２）を形成し、
更に、膜形成領域に塗布し平滑化した液膜（１２）を硬化させて、記録層、接着層、カバー層等を構成する膜とすることを特徴とする板状記録媒体の基板上に膜を形成する方法。
【請求項４】
前記膜形成領域に形成した液膜（１２）は、真空雰囲気に収容して液膜中の気泡が除かれる請求項３に記載の板状記録媒体の基板上に膜を形成する方法。
【請求項５】
前記膜形成用の液の塗布は、インクジェットプリンタ（４１）の制御を介して噴射される液の量が調整される請求項１〜４のいずれかに記載の板状記録媒体の基板上に膜を形成する方法。
【請求項６】
前記膜形成用の液の塗布は、インクジェットプリンタ（４１）の移動制御を介して、液の塗布範囲が調整される請求項１〜４のいずれかに記載の板状記録媒体の基板上に膜を形成する方法。
【請求項７】
前記液膜（１２）の形成から硬化までの工程を複数回繰り返す請求項１または２に記載の板状記録媒体の基板上に膜を形成する方法。
【請求項８】
前記液止め堰（１３）の形成から液膜の硬化までの工程を複数回繰り返す請求項３または４に記載の板状記録媒体の基板上に膜を形成する方法。
【請求項９】
前記インクジェットプリンタによる液膜の塗布は、複数基のインクジェットプリンタ（４１、８３）を用いて行う請求項１〜８のいずれかに記載の板状記録媒体の基板上に膜を形成する方法。
【請求項１０】
板状記録媒体の基板（１０）上に、記録層、接着層、カバー層等のための各種の膜を形成する装置において、
基板（１０）を支持する複数のトレー（２０）が、搬送ラインに沿って移動可能に設けられていると共に、搬送ラインの適所に、
前記トレー（２０）に振動を与える手段（４２）と、基板（１０）の外面に膜形成用の液を塗布するためのインクジェットプリンタ（４１）とを備えた液膜形成ステーション（４０）と、
液膜形成ステーション（４０）で形成された液膜（１２）を硬化させる手段（６１、６２）を備えた硬化ステーション（６０）とが並設してあることを特徴とする板状記録媒体の基板上に膜を形成する装置。
【請求項１１】
板状記録媒体の基板（１０）上に、記録層、接着層、カバー層等のための各種の膜を形成する装置において、
基板（１０）を支持する複数のトレー（２０）が、搬送ラインに沿って移動可能に設けられていると共に、搬送ラインの適所に、
前記トレー（２０）に振動を与える手段（４２）と、基板（１０）の外面に膜形成用の液を塗布するためのインクジェットプリンタ（４１）とを備えた液膜形成ステーション（４０）と、
液膜ステーション（４０）で形成された液膜（１２）中の気泡を除去する手段（５１、５２）を備えた脱気ステーション（５０）と、
液膜（１２）を硬化させる手段（６１、６２）を備えた硬化ステーション（６０）とが並設してあることを特徴とする板状記録媒体の基板上に膜を形成する装置。
【請求項１２】
板状記録媒体の基板（１０）上に、記録層、接着層、カバー層等のための各種の膜を形成する装置において、
基板（１０）を支持する複数のトレー（２０）が、搬送ラインに沿って移動可能に設けられていると共に、搬送ラインの適所に、
基板（１０）の膜形成領域の縁に沿って膜形成用の液を塗布するためのインクジェットプリンタ（８３）と、塗布した膜形成用の液を硬化させる手段（８４）とを備えた液止め堰形成ステーション（８０）と、
前記トレー（２０）に振動を与える手段（４２）と、前記液止め堰（１３）で囲まれた膜形成領域に膜形成用の液を塗布するためのインクジェットプリンタ（４１）とを備えた液膜形成ステーション（４０）と、
液膜形成ステーション（４０）で形成された液膜（１２）を硬化させる手段（６１、６２）を備えた硬化ステーション（６０）とが並設してあることを特徴とする板状記録媒体の基板上に膜を形成する装置。
【請求項１３】
前記液膜形成ステーション（４０）と硬化ステーション（６０）の間に、更に、液膜形成ステーション（４０）で形成された液膜（１２）中の気泡を除去する手段（５１、５２）を備えた脱気ステーション（５０）が設置されている請求項１２に記載の板状記録媒体の基板上に膜を形成する装置。
【請求項１４】
前記搬送ラインは、リニアコンベアによって直線的に構成されている請求項１０〜１３のいずれかに記載の板状記録媒体の基板上に膜を形成する装置。
【請求項１５】
前記搬送ラインは、回転テーブルによって環状に構成されている請求項１０〜１３のいずれかに記載の板状記録媒体の基板上に膜を形成する装置。
【請求項１６】
前記トレー（２０）に振動を与える手段は、超音波振動子（４２）で構成されている請求項１０〜１３のいずれかに記載の板状記録媒体の基板上に膜を形成する装置。
【請求項１７】
前記トレー（２０）に振動を与える手段は、振動モータで構成されている請求項１０〜１３のいずれかに記載の板状記録媒体の基板上に膜を形成する装置。
【請求項１８】
前記インクジェットプリンタ（４１、８３）は、複数基のインクジェットプリンタが設置されている請求項１０〜１３のいずれかに記載の板状記録媒体の基板上に膜を形成する装置。
【請求項１９】
前記気泡を除去する手段は、真空チャンバ（５１）で構成されている請求項１１または１３に記載の板状記録媒体の基板上に膜を形成する装置。
【請求項２０】
前記液膜を硬化させる手段は、紫外線ランプ（６１）で構成されている請求項１０〜１３のいずれかに記載の板状記録媒体の基板上に膜を形成する装置。
【請求項２１】
前記液膜を硬化させる手段は、赤外線ランプで構成されている請求項１０〜１３のいずれかに記載の板状記録媒体の基板上に膜を形成する装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ＣＤ（コンパクトディスク）、ＤＶＤ（デジタル多用途ディスク）、ブルーレイディスク等の板状記録媒体の基板上に膜を形成する方法と装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＣＤ、ＤＶＤ、ブルーレイディスク等の板状記録媒体は、ポリカーボネイトなどの樹脂基板上に、記録層や、接着層や、カバー層（透明）などの種々の層が形成されている。記録層は、有機色素膜によって形成されている。カバー層は、透明な紫外線硬化樹脂や熱硬化樹脂の膜によって形成されている。接着剤層にも、透明の樹脂製接着剤が使用されて所定の範囲に塗布形成されている。
【０００３】
これらの種々の層は、前記基板を高速で回転（３０００〜１００００ｒｐｍ）させると共に、基板の回転中心付近に膜形成のための液を供給し、この膜形成用の液を遠心力で広げて基板上に所定の膜厚の液膜（液体の膜を意味する）を形成し、次いで、紫外線の照射や加熱によって液膜を硬化させる手法がとられている。このような方法をスピンコート法と呼び、スピンコータと呼ばれる装置が用いられている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前記のスピンコータを用いたスピンコート法による手法は、設備が複雑で大掛かりとなり勝ちである問題があるのみならず、基板上に形成する膜厚の制御が難しい問題があった。前記のように、膜形成用の液を遠心力によって基板の外周方向へ広げるために、膜の厚さが基板の外周に向かって厚くなる傾向が避けられず、厳しい膜厚精度の要求に応じるのが極めて困難であった。
【０００５】
基板を高速で回転して膜形成用の液を広げるので、液は基板の外周縁のみならず外周端面まで流れ、更に基板から外側に振り切られる。このため。液膜の形成後に、基板の外周縁および外周端面の液膜を洗浄により除去する必要が生じている。そして、基板から外側に振り切られた液は、ブロアによって吸引して設備の外などへ放出しているので、環境を汚染し、かつ材料（膜形成用の液の組成物）の無駄も無視できないほどに多大であった。実際の設備では、液膜の形成に必要な量の５〜１０倍の液を基板上に供給して広げているので、８０〜９０％の液が無駄に消費されている。
【０００６】
この発明は、このような状況に鑑みて成されたもので、板状記録板体の基板上に各種の層を形成するための膜を正確に形成でき、しかも材料の無駄や環境の汚染のないようにした、新規な方法と装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明は、膜形成のための液をインクジェットプリンタによって基板上に供給することを基本とするものである。即ち、請求項１の発明は、板状記録媒体の基板上に、記録層、接着層、カバー層等のための各種の膜を形成する方法において、
基板に振動を与えながら、基板の外面にインクジェットプリンタを用いて膜形成用の液を膜形成領域に塗布し、塗布した液を前記振動により平滑化して所定の膜厚の液膜を形成し、
次いで、前記平滑化した液膜を硬化させて、記録層、接着層、カバー層等を構成する膜とすることを特徴とする板状記録媒体の基板上に膜を形成する方法である。
【０００８】
また、請求項２の発明は、板状記録媒体の基板上に、記録層、接着層、カバー層等のための各種の膜を形成する方法において、
基板に振動を与えながら、基板の外面にインクジェットプリンタを用いて膜形成用の液を膜形成領域に塗布し、塗布した液を前記振動により平滑化して所定の膜厚の液膜を形成し、
次いで、液膜を形成した基板を真空雰囲気に収容して液膜中の気泡を除き、
しかる後、前記平滑化した液膜を硬化させて、記録層、接着層、カバー層等を構成する膜とすることを特徴とする板状記録媒体の基板上に膜を形成する方法である。
【０００９】
また、請求項３の発明は、板状記録媒体の基板上に、記録層、接着層、カバー層等のための各種の膜を形成する方法において、
基板の外面に、膜形成領域の縁に沿って、インクジェットプリンタを用いて膜形成用の液を塗布し、塗布した液を硬化させて液止め堰を形成し、
次いで、基板に振動を与えながら、前記液止め堰で囲まれた膜形成領域に、インクジェットプリンタを用いて膜形成用の液を塗布し、振動により平滑化して所定の膜厚の液膜を形成し、
更に、膜形成領域に塗布し平滑化した液膜を硬化させて、記録層、接着層、カバー層等を構成する膜とすることを特徴とする板状記録媒体の基板上に膜を形成する方法である。
前記膜形成領域に形成した液膜は、真空雰囲気に収容して液膜中の気泡を除き、その後に硬化させるようにすることもできる。
【００１０】
そして、このような発明を実施するための装置に係る請求項１０の発明は、板状記録媒体の基板上に、記録層、接着層、カバー層等のための各種の膜を形成する装置において、
基板を支持する複数のトレーが、搬送ラインに沿って移動可能に設けられていると共に、搬送ラインの適所に、
前記トレーに振動を与える手段と、基板の外面に膜形成用の液を塗布するためのインクジェットプリンタとを備えた液膜形成ステーションと、
液膜形成ステーションで形成された液膜を硬化させる手段を備えた硬化ステーションとが並設してあることを特徴とする板状記録媒体の基板上に膜を形成する装置である。
【００１１】
また、請求項１１の発明は、板状記録媒体の基板上に、記録層、接着層、カバー層等のための各種の膜を形成する装置において、
基板を支持する複数のトレーが、搬送ラインに沿って移動可能に設けられていると共に、搬送ラインの適所に、
前記トレーに振動を与える手段と、基板の外面に膜形成用の液を塗布するためのインクジェットプリンタとを備えた液膜形成ステーションと、
液膜ステーションで形成された液膜中の気泡を除去する手段を備えた脱気ステーションと、
液膜を硬化させる手段を備えた硬化ステーションとが並設してあることを特徴とする板状記録媒体の基板上に膜を形成する装置である。
【００１２】
また、請求項１２の発明は、板状記録媒体の基板上に、記録層、接着層、カバー層等のための各種の膜を形成する装置において、
基板を支持する複数のトレーが、搬送ラインに沿って移動可能に設けられていると共に、搬送ラインの適所に、
基板の膜形成領域の縁に沿って膜形成用の液を塗布するためのインクジェットプリンタと、塗布した膜形成用の液を硬化させる手段とを備えた液止め堰形成ステーションと、
前記トレーに振動を与える手段と、前記液止め堰で囲まれた膜形成領域に膜形成用の液を塗布するためのインクジェットプリンタとを備えた液膜形成ステーションと、
液膜形成ステーションで形成された液膜を硬化させる手段を備えた硬化ステーションとが並設してあることを特徴とする板状記録媒体の基板上に膜を形成する装置である。
この装置の場合、前記液膜形成ステーションと硬化ステーションの間に、更に、液膜形成ステーションで形成された液膜中の気泡を除去する手段を備えた脱気ステーションを設置することもできる。
【００１３】
この発明によって基板上に塗布された液が膜を形成するに至る過程を模式的に示すと図１のようになる。図において、１０が板状記録媒体の基板であり、１１がインクジェットプリンタから噴射された液のドットであり、１２が振動によって平滑化された液膜である。（尚、基板１０に対して、ドット１１、液膜１２が相対的なサイズで描かれているものではない）膜形成用の液は、（ａ）のように、インクジェットプリンタを用いてドット１１として基板１０上の膜形成領域Ｓに塗布されるので、インクジェットプリンタの移動制御によって、膜形成領域Ｓを正確に制御でき、必要な領域に液の塗布を行うことができる。
【００１４】
基板１０に液をインクジェットプリンタを用いて塗布する際に、基板１０は矢示Ｖのように振動させるので、前記ドット１１も基板１０と共に振動して、隣接するドット１１と合体する。多数のドット１１が合体することによって、ドット１１の頂部が平滑化されて、（ｂ）のように、基板１０の上に所定の厚さｔの液膜１２を形成することができる。
【００１５】
このように、振動によって平滑化された液膜１２を紫外線や赤外線を照射して硬化させることで、基板１０上に、記録層、接着層またはカバー層等を構成する膜を形成することができる。インクジェットプリンタで噴射する液は、目的とする膜の種類に従って適宜選択する。記録層を形成する場合には有機色素液とされ、接着層を形成する場合には透明接着液とされ、カバー層を形成する場合には透明樹脂液とされる。
【００１６】
振動によって平滑化された液膜１２に気泡が混入している場合もある。このような液膜１２の場合には、液膜１２を基板１０と共に真空チャンバなどの脱気手段に収容して気泡を除き、しかる後に液膜１２を硬化させるのが有効である。
【００１７】
前記ドット１１の高さｈや、裾の面積ｓは、噴射する液の粘度や、噴射する液の量で変化する。したがって、目的とする膜の種類や厚さによって、インクジェットプリンタで噴射する液の量やドット１１の密度を変化させることになる。また、前記厚さｔが目的とする膜に必要な厚さに満たない場合もある。そのような場合には、平滑化された液膜の形成から硬化の過程を複数回繰り返して必要な厚さにすることができる。
【００１８】
前記液膜の形成に先立って、膜形成領域の縁に沿って液止め堰を形成する場合は、図２のように模式的に表すことができる。図の（ａ）および（ｂ）に示すように、はじめに基板１０の膜形成領域Ｓの縁に沿ってインクジェットプリンタから膜形成用の液を噴射して基板１０上に塗布し、紫外線や赤外線を照射して硬化させることで、膜形成領域Ｓの縁に液止め堰１３を形成することができる。
【００１９】
液止め堰１３を形成した後は、前記と同様であり、液止め堰１３で囲まれている膜形成領域Ｓ内に、図の（ｃ）のようにインクジェットプリンタから膜形成用の液を噴射してドット１１の形で基板１０上に塗布すると共に、基板１０を矢示Ｖのように振動させることで、膜形成領域Ｓに表面が平滑化された液膜１２が形成される。はじめに液止め堰１３を形成すると、膜形成用の液の塗布領域を膜形成領域Ｓからはみ出ないように制限できるので、膜形成領域の管理上有効である。
【００２０】
液膜１２を形成した後に、この液膜を硬化させることで、基板１０上に、記録層、接着層、カバー層等の各種の層を構成する膜を形成することができる。
【発明の効果】
【００２１】
このように、この発明では、膜形成用の液をインクジェットプリンタで噴射して基板上に塗布し、振動で平滑化して液膜とした後、必要な場合には気泡を除き、そして液膜を硬化させるので、膜を形成する領域を任意かつ正確にできて、しかも不要な部分には液を塗布しないので洗浄の必要もなくすることができる。また、膜の厚さは基板の全面に亘って正確かつ均一にすることができる。そして、設備の簡素化に寄与するのみならず、材料の無駄や環境の汚染も無くすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、この発明の実施の形態を添付の図を参照して説明する。
【００２３】
図３は、前記基板１０を支持するトレー２０が、図示しないリニアコンベアによって直線的な搬送ラインＬに沿って移動するようにした実施装置の構成を表している。搬送ラインＬには、基板供給ステーション３０、液膜形成ステーション４０、脱気ステーション５０、硬化ステーション６０、基板排出ステーション７０が等間隔で設けられている。トレー２０は、各ステーションにおいて停止しながら、基板排出ステーション７０の方向へ順次移動するように構成されている。
【００２４】
基板供給ステーション３０と基板排出ステーション７０の外側には、真空チャックなどの基板ハンドリング手段を備えた移載装置が設置されている。基板供給ステーション３０では、移載装置によって基板１０が１枚づつトレー２０に順次供給され、基板排出ステーション７０では、移載装置によって基板１０がトレー２０から順次排出できるように構成されている。
【００２５】
液膜形成ステーション４０は、複数基（図は７基の場合を示している）のインクジェットプリンタ４１と、図４に表れている超音波振動子４２が設置されて、トレー２０に支持されている基板１０に対して振動を与えながら、膜形成用の液の塗布ができるようになっている。複数基のインクジェットプリンタ４１は、図３の矢示４３の方向で往復移動ができるようになっており、そして、各インクジェットプリンタ４１のプリンタヘッド４４は矢示４３に直交する矢示４５（図４）の方向で往復移動ができるようにされており、トレー２０に支持された基板１０の上面は、少なくとも１基のインクジェットプリンタ４１のプリンタヘッド４４でカバーできるようになっている。
【００２６】
各インクジェットプリンタ４１の動作を制御するＰＣボード４６は、膜形成用の液の塗布を総合的に管理するパーソナルコンピュータでなる制御装置４７に接続されている。また、各プリンタヘッド４４は、膜形成用の液を貯留している液タンク４８と接続されており、膜形成用の液が過不足なくプリンタヘッド４４に供給できるようになっている。
【００２７】
前記超音波振動子４２は、液膜形成ステーション４０に移動してくるトレー２０に対して結合および離脱が可能に設置されている。トレー２０がステーションに停止すると超音波振動子４２がトレー２０と結合し、そして、トレー２０が搬送ラインＬに沿って移動を開始する時には、超音波振動子４２がトレー２０から離脱して、トレー２０の移動に支障が生じないようにされている。
【００２８】
次に、前記脱気ステーション５０は、図５に示したように、ドーム型の真空チャンバ５１がトレー２０の上部に設置されている。真空チャンバ５１は、排気ポンプなどの真空源５２と接続されて内部空気の排気ができるようになっている。そして、真空チャンバ５１は、矢示５３のように、トレー２０に対して昇降可能とされており、降下すると、下部の開口縁５４がトレー２０の上面に接し、上昇すると、開口縁５４がトレー２０から離れてトレー２０の移動に支障が生じないようになっている。
【００２９】
硬化ステーション６０は、図６に示したように、紫外線ランプ６１と、凹面を備えた反射鏡６２が設置されている。紫外線ランプ６１から放射された紫外線６３がトレー２０上に支持された基板１０に照射できるようになっている。紫外線６３を照射するようにしたこの装置は、前記インクジェットプリンタ４１を介して紫外線硬化性の液を噴射して基板１０上に塗布し、そして硬化させて所定の領域に、所定の厚さで膜を形成できるようにしたものである。
【００３０】
装置の動作を説明すると、液膜形成ステーション４０に基板１０が搬送されてくると、インクジェットプリンタ４１と超音波振動子４２が動作して、図１で説明したように、基板１０の膜形成領域に、膜形成用の液をドット１１の形で塗布すると共に、振動によってドット１１を平滑化して、所定の厚さの液膜１２が形成される。
【００３１】
膜形成領域に液膜１２が形成された基板１０は次に脱気ステーション５０に搬送される。ここでは、真空チャンバ５１が降下して基板１０が真空雰囲気中に保持される。基板１０が真空雰囲気中に保持されると、液膜１２に混入している気泡は真空雰囲気側に移動するので、液膜１２から気泡が除去される。
【００３２】
このようにして気泡が除去された液膜１２が形成されている基板１０は、次に硬化ステーション６０へと搬送される。ここでは、紫外線ランプ６１が点灯されて紫外線６３が液膜１２に照射される。紫外線硬化性の液からなる液膜１２は紫外線６３の照射を受けて硬化し、基板１０上に固定され、記録層、カバー層、接着層などの各種の層を構成する膜が形成される。
【００３３】
図７は、基板１０上に形成する膜の領域を表している。図の（ａ）は記録層を構成する膜１４の領域を表しており、（ｂ）はカバー層や接着層を構成する膜１５の領域を表している。（ａ）の膜１４の場合、基板１０の中心部１０ａと外周縁部１０ｂに膜１４を形成しない領域がある。また、（ｂ）の場合、基板１０の外周縁部１０ｂに膜１５を形成しない領域がある。（ａ）の膜１４の形成領域および（ｂ）の膜１５の形成領域に対する膜形成用の液の塗布は、各インクジェットプリンタ４１のＰＣボード４６が接続された制御装置４７で正確に制御することができる。そして、基板１０の中心部１０ａや外周縁部１０ｂの膜を形成しない領域には膜形成用の液を塗布しないので、従来のような不要部分の洗浄も行わないようにできる。
【００３４】
液膜形成ステーション４０から硬化ステーション６２への１回の通過で、必要な膜厚が確保できない場合には、基板排出ステーション７０で回収した基板１０を、再び基板供給ステーション３０に供給して、同様の膜形成動作を繰り返し、必要な膜厚にすることができる。また、基板供給ステーション３０と基板排出ステーション７０の間に、液膜形成ステーション４０、脱気ステーション５０、硬化ステーション６０のセットを複数セット設置し、複数回の膜形成動作が自動的に行われるようにすることもできる。尚、インクジェットプリンタ４１を介して塗布する膜形成用の液の種類や、膜の厚さなどによっては、液膜１２の中に気泡が混入しない場合もある。したがって、そのような場合には、脱気ステーション５０を動作させないようにしたり、脱気ステーション５０を省いて装置を構成することもできる。
【００３５】
また、塗布する液は、紫外線硬化性の液に限られるものでもない。熱硬化性の液を用いることも可能である。熱硬化性の液が用いられる場合には、前記硬化ステーション６０を構成した紫外線ランプ６１を赤外線ランプに代える。
【００３６】
更に、リニアコンベアによる直線的な搬送ラインＬは、回転テーブルによる環状の搬送ライン（図８参照）とすることもできる。
【００３７】
図８は、この発明の別の実施形態の装置の構成を表している。図２で説明した液止め堰１３を形成できるようにした装置である。
【００３８】
装置は、図示しない回転テーブルによって、トレー２０が環状の搬送ラインＭに沿って移動できるようになっている。環状の搬送ラインＭに対して、基板供給ステーション３０が設けられていると共に、基板供給ステーション３０から時計回りの方向に、等間隔で、液止め堰形成ステーション８０、脱気ステーション５０、硬化ステーション６０、基板排出ステーション７０が順次設けられている。
【００３９】
液止め堰形成ステーション８０は、図９のように、トレー２０を矢示８１のように回転させる駆動シャフト８２がトレー２０と結合および離脱可能に設けてある。また、トレー２０の上側には、２基のインクジェットプリンタ８３と２基の紫外線スポットランプ８４が設けてある。
【００４０】
各インクジェットプリンタ８３と紫外線スポットランプ８４は、制御装置８５によって、矢示８６（図８）の方向で位置設定ができるようにされている。また、各インクジェットプリンタ８３のプリンタヘッド８７は矢示８６と直交する矢示８８（図９）の方向で往復移動するようになっている。
【００４１】
液膜形成ステーション４０、脱気ステーション５０および硬化ステーション６０は、図３で説明した装置と同様に構成されているので、説明は省略する。
【００４２】
この装置の場合、基板供給ステーション３０のトレー２０に供給された基板１０は、先ず、液止め堰形成ステーション８０に搬送される。液止め堰形成ステーション８０に基板１０が搬送されると、駆動シャフト８２がトレー２０と結合し、トレー２０と基板１０を回転させる。この状態で、位置設定された２基のインクジェットプリンタ８３および紫外線スポットランプ８４が動作し、膜形成用の液が、基板１０に向けて噴射、塗布されると共に、紫外線スポットランプ８４から照射された紫外線が紫外線スポット８９（図８参照）となって塗布された液に当たり、これを硬化させる。この結果、図２で説明したように、基板１０の膜形成領域の縁に沿って環状の液止め堰１３が二重に形成される。
【００４３】
このようにして、膜形成領域の縁に沿って液止め堰１３が形成された基板１０は、以後、液膜形成ステーション４０、脱気ステーション５０、硬化ステーション６０へと順次搬送される。各ステーションにおいては、図３で説明した装置の場合と同様で、液止め堰１３で囲まれた領域（膜形成領域）に膜形成用の液がドット１１の形で塗布され、振動によって平滑化された後、気泡が除去され、そして硬化される。
【００４４】
この図８の装置の場合も、液止め堰形成ステーション８０から硬化ステーション６０までの１回の通過で必要な膜厚が得られない場合がある。そのような場合には、トレー２０が環状の搬送ラインＭを複数回循環させて、液止め堰形成ステーション８０から硬化ステーション６０までを複数回通過するようにしたり、大径化した環状の搬送ラインＭに、液止め堰形成ステーション８０から硬化ステーション６０までのセットを複数セット設置して、必要な膜圧が得られるようにすることができる。
【００４５】
更に、前記液止め堰形成ステーション８０において、インクジェットプリンタ８３を介して膜形成用の液を、図１０のように、膜形成領域Ｓの全領域に塗布するようにし、そして、膜形成領域Ｓの縁を逐次、紫外線スポット８９の照射によって硬化させるようにすることもできる。この場合、膜形成領域Ｓに液膜１２も形成されるので、所定の膜厚が得られた時点で、硬化ステーション６０で液膜１２を硬化させて、必要な膜を得ることができる。
【００４６】
最後に、前記液膜形成ステーション４０において、基板１０を振動させるために設置した超音波振動子４２は、振動モータのような他の振動手段に代えることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】この出願の一つの発明の概念を説明する模式図で、（ａ）は基板上に液をドットの形で塗布した状態の図、（ｂ）はドットを平滑化して液膜を形成した状態の図である。
【図２】この出願の別の発明の概念を説明する模式図で、（ａ）は基板上に液止め堰を形成した平面図、（ｂ）は同じく正面図、（ｃ）は膜形成領域に液をドットの形で塗布した状態の図、（ｄ）はドットを平滑化して液膜を形成した状態の図である。
【図３】この出願の発明を実施した装置の構成図である。
【図４】図３の装置の液膜ステーションの構成を説明する図である。
【図５】図３の装置の脱気ステーションの構成を説明する図である。
【図６】図３の装置の硬化ステーションの構成を説明する図である。
【図７】基板の膜形成領域を示した平面図であり、（ａ）は記録層を構成する膜の図であり、（ｂ）はカバー層、接着層を構成する膜の図である。
【図８】この出願の発明を実施した他の装置の構成図である。
【図９】図８の液止め堰形成ステーションの構成を説明する図である。
【図１０】図８の液止め堰形成ステーションで膜形成領域の全面に膜を形成する場合を説明する図である。
【符号の説明】
【００４８】
１０          基板
１０ａ        中心部
１０ｂ        外周縁部
１１          ドット
１２          液膜
１３          液止め堰
１４          膜
１５          膜
２０          トレー
３０          基板供給ステーション
４０          液膜形成ステーション
４１          インクジェットプリンタ
４２          超音波振動子
４４          プリンタヘッド
４６          ＰＣボード
４７          制御装置
４８          液タンク
５０          脱気ステーション
５１          真空チャンバ
５２          真空源
５４          開口縁
６０          硬化ステーション
６１          紫外線ランプ
６２          反射鏡
６３          紫外線
７０          基板排出ステーション
８０          液止め堰形成ステーション
８２          駆動シャフト
８３          インクジェットプリンタ
８４          紫外線スポットランプ
８５          制御装置
８７          プリンタヘッド
８９          紫外線スポット
Ｓ            膜形成領域
Ｖ            振動
Ｌ            直線的な搬送ライン
Ｍ            環状の搬送ライン
ｈ            ドットの高さ
ｓ            ドットの裾の面積
ｔ            液膜の厚さ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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