(57)【要約】【課題】広い周波数帯域でノイズを除去することができるノイズフィルタを提供することを目的とする。【解決手段】第１の絶縁体層１１の上面に設けられた第１の導体１２と、この第１の導体１２と対向するように第２の絶縁体層１３の上面に設けられた第１の金属層１４と、前記第１の導体１２に接続され、かつ前記第１の金属層１４と対向するように第３の絶縁体層１５の上面に設けられた第２の金属層１６とを備えたもので、この構成によれば、第１の導体１２と第１の金属層１４との間、第１の金属層１４と第２の金属層１６との間において、静電容量を分布定数的に得ることができるため、広い周波数帯域でノイズを除去することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の絶縁体層の上面に設けられた第１の導体と、この第１の導体と対向するように第２の絶縁体層の上面に設けられた第１の金属層と、前記第１の導体に接続され、かつ前記第１の金属層と対向するように第３の絶縁体層の上面に設けられた第２の金属層と、前記第１の導体と接続された第１、第２の外部電極と、前記第１の金属層と接続された第３の外部電極とを備えたノイズフィルタ。
【請求項２】
第１の導体を渦巻き状とした請求項１記載のノイズフィルタ。
【請求項３】
第１の絶縁体層の上面において、第１の導体に沿うように前記第１の導体の線間に第１の金属層と接続される渦巻き状の第２の導体を形成して、前記第１の導体と第２の導体からなる内部導体部を設けた請求項２記載のノイズフィルタ。
【請求項４】
内部導体部の上部または下部に、第１の導体同士、第２の導体同士がそれぞれ接続されるように他の内部導体部を設けた請求項３記載のノイズフィルタ。
【請求項５】
第１、第２の金属層を第１の導体より下方に設け、かつ前記第１の金属層を前記第２の金属層より上方に配置した請求項１記載のノイズフィルタ。
【請求項６】
第１、第２の金属層を第１の導体より下方に設け、かつ前記第１の金属層を前記第２の金属層より上方に配置した請求項１記載のノイズフィルタ。
【請求項７】
第１の金属層の下方に他の第２の金属層を設け、かつ前記他の第２の金属層の下方にさらに他の第１の導体を設けた請求項６記載のノイズフィルタ。
【請求項８】
第２の絶縁体層の同一面に第１の金属層を複数設けた請求項１記載のノイズフィルタ。
【請求項９】
第３の絶縁体層の同一面に第２の金属層を複数設けた請求項１記載のノイズフィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は小型デジタル機器やＯＡ機器、携帯端末等の電子機器に広く用いられているノイズフィルタに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のこの種のノイズフィルタは、図４に示すように、フェライト等の磁性体や誘電体で構成される第１の絶縁層１に形成されたコイル導体２を複数積層してなるインダクタ導体と、磁性体や誘電体で構成される第２の絶縁層３に形成されたコンデンサ導体４とを独立した状態で積層することにより構成していた。この構成により、従来のノイズフィルタは、第１の絶縁層１とインダクタ導体とからなるインダクタ部と、第２の絶縁層３とコンデンサ導体４とからなるコンデンサ部をそれぞれ備えた構成となっていた。
【０００３】
なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
【特許文献１】実公昭６０−１７８９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記した従来のノイズフィルタは、インダクタ導体とコンデンサ導体４をそれぞれ独立して形成する集中定数型のノイズフィルタの構造をしているため、インダクタ部とコンデンサ部との共振周波数帯域のみのノイズしか除去できず、その結果、広い周波数帯域でノイズを除去することが困難であるという課題を有していた。
【０００５】
本発明は上記従来の課題を解決するもので、広い周波数帯域でノイズを除去することができるノイズフィルタを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有するものである。
【０００７】
本発明の請求項１に記載の発明は、第１の絶縁体層の上面に設けられた第１の導体と、この第１の導体と対向するように第２の絶縁体層の上面に設けられた第１の金属層と、前記第１の導体に接続され、かつ前記第１の金属層と対向するように第３の絶縁体層の上面に設けられた第２の金属層とを備えたもので、この構成によれば、第１の導体と第１の金属層との間、第１の金属層と第２の金属層との間において、静電容量を分布定数的に得ることができるため、広い周波数帯域でノイズを除去することができるという作用効果を有するものである。
【０００８】
本発明の請求項２に記載の発明は、特に、第１の導体を渦巻き状としたもので、この構成によれば、第１の導体のインダクタンスを大きくできるため、高周波数帯域でノイズを除去することができるという作用効果を有するものである。
【０００９】
本発明の請求項３に記載の発明は、特に、第１の絶縁体層の上面において、第１の導体に沿うように前記第１の導体の線間に第１の金属層と接続される渦巻き状の第２の導体を形成して、前記第１の導体と第２の導体からなる内部導体部を設けたもので、この構成によれば、第１の導体と第２の導体との間においても、静電容量を分布定数的に得ることができるため、より広い周波数帯域でノイズを除去することができるという作用効果を有するものである。
【００１０】
本発明の請求項４に記載の発明は、特に、内部導体部の上部または下部に、第１の導体同士、第２の導体同士がそれぞれ接続されるように他の内部導体部を設けたもので、この構成によれば、第１の導体と第２の導体との間の静電容量をより大きく分布定数的に得ることができるため、より広い周波数帯域でノイズを除去することができるという作用効果を有するものである。
【００１１】
本発明の請求項５に記載の発明は、特に、第１、第２の金属層を第１の導体より下方に設け、かつ前記第１の金属層を前記第２の金属層より上方に配置したもので、この構成によれば、第１の導体と第１の金属層との間に第２の金属層が無いため、第１の導体と第１の金属層との距離を短くすることができ、これにより、第１の導体と第１の金属層との間の静電容量をより大きく分布定数的に得ることができるため、より広い周波数帯域でノイズを除去することができるという作用効果を有するものである。
【００１２】
本発明の請求項６に記載の発明は、特に、第１、第２の金属層を第１の導体より下方に設け、かつ前記第２の金属層を前記第１の金属層より上方に配置したもので、この構成によれば、第１の導体と第２の金属層との間に第１の金属層が無いため、第１の導体と第２の金属層との距離を短くすることができ、これにより、第１の導体と第２の金属層との間の接続をより確実に行うことができるという作用効果を有するものである。
【００１３】
本発明の請求項７に記載の発明は、特に、第１の金属層の下方に他の第２の金属層を設け、かつ前記他の第２の金属層の下方にさらに他の第１の導体を設けたもので、この構成によれば、第１の導体を横方向でなく積層方向に２つ設けることができるため、小型化が可能になるという作用効果を有するものである。
【００１４】
本発明の請求項８に記載の発明は、特に、第２の絶縁体層の同一面に第１の金属層を複数設けたもので、この構成によれば、第１の金属層の上下面に位置する絶縁体層同士が接触する面積を大きくできるため、第１の金属層が形成された箇所で剥離するのを防止できるという作用効果を有するものである。
【００１５】
本発明の請求項９に記載の発明は、特に、第３の絶縁体層の同一面に第２の金属層を複数設けたもので、この構成によれば、第２の金属層の上下面に位置する絶縁体層同士が接触する面積を大きくできるため、第２の金属層が形成された箇所で剥離するのを防止できるという作用効果を有するものである。
【発明の効果】
【００１６】
以上のように本発明のノイズフィルタは、第１の絶縁体層の上面に設けられた第１の導体と、この第１の導体と対向するように第２の絶縁体層の上面に設けられた第１の金属層と、前記第１の導体に接続され、かつ前記第１の金属層と対向するように第３の絶縁体層の上面に設けられた第２の金属層とを備えているため、第１の導体と第１の金属層との間、第１の金属層と第２の金属層との間において、静電容量を分布定数的に得ることができ、これにより、広い周波数帯域でノイズを除去することができるという優れた効果を奏するものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
図１は本発明の一実施の形態におけるノイズフィルタを示す分解斜視図、図２は同ノイズフィルタを示す斜視図である。
【００１８】
図１に示すように、本発明の一実施の形態におけるノイズフィルタは、第１の絶縁体層１１の上面に設けられた第１の導体１２と、この第１の導体１２と対向するように第２の絶縁体層１３の上面に設けられた第１の金属層１４と、前記第１の導体１２に接続され、かつ前記第１の金属層１４と対向するように第３の絶縁体層１５の上面に設けられた第２の金属層１６とを備えている。
【００１９】
上記構成において、第１の絶縁体層１１は、ＢａＴｉＯ3やＴｉＯ2などをベースとした誘電材料、またはＦｅ2Ｏ3をベースとしたフェライトなどの磁性材料によりシート状に構成されているもので、これらは２枚設けられ、絶縁性を有している。
【００２０】
前記第１の導体１２は、銀等の導電材料を印刷したり、あるいは転写することにより渦巻き状に形成されているもので、前記２枚の第１の絶縁体層１１の上面にそれぞれ一つずつ設けられている。そして、下方に位置する第１の絶縁体層１１の上面に設けられた第１の導体１２の一端部１２ａと、上方に位置する第１の絶縁体層１１の上面に設けられた第１の導体１２の一端部１２ａは、上方の第１の絶縁体層１１に設けられたバイア電極１７ａを介して接続され、一つのインダクタ部を構成している。また、前記下方の第１の導体１２の他端部と上方の第１の導体１２の他端部は、それぞれ下方の第１の絶縁体層１１と上方の第１の絶縁体層１１から露出して第１の引出電極１２ｂと第２の引出電極１２ｃを構成している。
【００２１】
なお、前記第１の導体１２は必ずしも渦巻き状に限定されるものではないが、渦巻き状にすることによって、第１の導体１２のインダクタンスを高くすることができるため、高周波数帯域でノイズを除去することができる。また、第１の導体１２の形状、長さ等を調整することによって、第１の導体１２のインダクタンスを変化させることができるため、ノイズを除去することができる周波数帯域を幅広い範囲で設定することができるものである。そしてまた、前記第１の絶縁体層１１の枚数および第１の導体１２の数は必ずしも２つに限定されるものではないが、２つあるいは３つ以上設けることによって、インダクタンスを高くすることができるため、幅広い周波数帯域でノイズを除去することができるものである。
【００２２】
また、前記それぞれの第１の絶縁体層１１は、第１の導体１２が設けられている面と同一面において、第２の導体１８を第１の導体１２に沿うように第１の導体１２の線間に形成している。そしてこのように配置された第１、第２の導体１２，１８によって内部導体部１９を構成している。そしてまた、前記下方に位置する第１の絶縁体層１１の上面に設けられた第２の導体１８の一端部は、下方に位置する第１の絶縁体層１１から露出して第３の引出電極１８ａを構成している。
【００２３】
ここで、前記第２の導体１８は、銀等の導電材料を印刷したり、あるいは転写することにより渦巻き状に形成されており、そして下方に位置する第１の絶縁体層１１の上面に設けられた第２の導体１８の他端部１８ｂと、上方に位置する第１の絶縁体層１１の上面に設けられた第２の導体１８の他端部１８ｂは、上方に位置する第１の絶縁体層１１に設けられたバイア電極１７ｂを介して接続され、一つのコンデンサ用導体を形成している。なお、前記第２の導体１８は必ずしも設ける必要はないが、第２の導体１８を設けることによって、第１の導体１２と第２の導体１８とでコンデンサ部を形成し、この間において、静電容量を分布定数的に得ることができるため、より広い周波数帯域でノイズを除去することができるものである。
【００２４】
前記第２の絶縁体層１３は、下方に位置する第１の絶縁体層１１の下方に１枚設けられ、ＢａＴｉＯ3やＴｉＯ2などをベースとした誘電材料、またはＦｅ2Ｏ3をベースとしたフェライトなどの磁性材料によりシート状に構成され、絶縁性を有している。
【００２５】
前記第１の金属層１４は、銀等の導電材料を印刷したり、あるいは転写することにより形成され、下方に位置する第１の絶縁体層１１を介して少なくとも第１の導体１２と対向するように第２の絶縁体層１３の上面に設けられている。また、前記第１の金属層１４は、両側部に凸状部を形成し、この凸状部を第２の絶縁体層１３から露出させて第４の引出電極１４ａを構成している。そしてまた、この第１の金属層１４は、第４の引出電極１４ａ、第３の引出電極１８ａを介してコンデンサ用導体である第２の導体１８と接続されている。
【００２６】
上記したように、第１の金属層１４とインダクタ部を構成する第１の導体１２とを対向するように配置することにより、この間にもコンデンサ部が形成されるため、この第１の金属層１４と第１の導体１２との間において、静電容量を分布定数的に得ることができる。
【００２７】
そしてまた、前記第１の金属層１４は、第２の絶縁体層１３の周辺部を除いたほぼ全面にわたって設けられているもので、この構成によれば、第１の導体１２との対向面積を大きくできるため、静電容量をより大きく分布定数的に得ることができるものである。
【００２８】
なお、前記第１の金属層１４は、第２の絶縁体層１３の同一面において、複数設けてもよく、このようにした場合は、第１の金属層１４の上下面に位置する第１の絶縁体層１１と第２の絶縁体層１３同士が接触する面積を大きくできるため、第１の金属層１４が形成された箇所でノイズフィルタが剥離するのを防止することができる。また、この剥離を防止するために、第１の金属層１４に貫通孔やスリットを形成してもよい。
【００２９】
前記第３の絶縁体層１５は、第２の絶縁体層１３の下方に１枚設けられ、ＢａＴｉＯ3やＴｉＯ2などをベースとした誘電材料、またはＦｅ2Ｏ3をベースとしたフェライトなどの磁性材料によりシート状に構成され、絶縁性を有している。
【００３０】
なお、前記第２の絶縁体層１３および第３の絶縁体層１５は１枚でなく、複数枚設けてもよい。
【００３１】
前記第２の金属層１６は、銀等の導電材料を印刷したり、あるいは転写することにより形成され、第２の絶縁体層１３を介して第１の金属層１４と対向するように第３の絶縁体層１５の上面に２個設けられている。また、この２個の第２の金属層１６は、両端部にそれぞれ凸状部を形成し、この凸状部を第３の絶縁体層１５から露出させて第５の引出金属１６ａを構成している。そしてまた、この第２の金属層１６は、第５の引出電極１６ａ、第１、第２の引出電極１２ａ，１２ｂを介してインダクタ導体である第１の導体１２と接続されている。
【００３２】
上記したように第２の金属層１６と第１の金属層１４とを対向するように配置することにより、この間にもコンデンサ部が形成されるため、この第２の金属層１６と第１の金属層１４との間において、静電容量を分布定数的に得ることができる。
【００３３】
すなわち、インダクタ導体を構成する第１の導体１２および第１の導体１２と接続された第２の金属層１６と、コンデンサ用導体を構成する第２の導体１８および第２の導体１８と接続された第１の金属層１４との間でコンデンサ部が形成されるため、これらの間で静電容量を分布定数的に得ることができるものである。
【００３４】
また、前記第２の金属層１６は、第３の絶縁体層１５の同一面において、複数設けているため、第２の金属層１６の上下面に位置する第２の絶縁体層１３と第３の絶縁体層１５同士が接触する面積を大きくすることができ、これにより、第２の金属層１６が形成された箇所でノイズフィルタが剥離するのを防止することができる。また、この剥離を防止するために、第２の金属層１６に貫通孔やスリットを形成してもよい。
【００３５】
そしてまた、前記第２の金属層１６は、第３の絶縁体層１５の周辺部を除いたほぼ全面にわたって設けてもよく、このようにした場合は、第１の金属層１４との対向面積を大きくできるため、静電容量をより大きく分布定数的に得ることができるものである。
【００３６】
さらに、前記第１の金属層１４は第２の金属層１６より上方に配置しているため、第１の導体１２と第１の金属層１４との間には第２の金属層１６が無く、これにより、第１の導体１２と第１の金属層１４との距離を短くすることができるため、第１の導体１２と第１の金属層１４との間の静電容量をより大きく分布定数的に得ることができるものである。
【００３７】
一方、前記第１の金属層１４は第２の金属層１６より下方に配置してもよく、この場合は、第１の導体１２と第２の金属層１６との間に第１の金属層１４が無いため、第１の導体１２と第２の金属層１６との距離を短くすることができ、これにより、第１の導体１２と第２の金属層１６との接続をより確実に行うことができるものである。
【００３８】
また、前記内部導体部１９の上面および第３の絶縁体層１５の下面には、それぞれ他の絶縁体層２０を所定の枚数備えている。
【００３９】
そして、前記第１の導体１２、第２の導体１８、第１の絶縁体層１１、第２の絶縁体層１３、第３の絶縁体層１５、他の絶縁体層２０、第１の金属層１４、第２の金属層１６を上述した構成で積層することにより、図２に示すようなノイズフィルタ本体２１が得られる。
【００４０】
この図２に示すノイズフィルタ本体２１の両端面には、第１、第２の引出電極１２ｂ，１２ｃと接続された入出力端子となる第１、第２の外部電極２２，２３が設けられ、かつノイズフィルタ本体２１の両側面には、第３の引出電極１８ａ、第４の引出電極１４ａと接続されたグランド端子となる第３の外部電極２４が設けられている。
【００４１】
このとき、第４の引出電極１４ａと第３の引出電極１８ａとを第３の外部電極２４を介して接続することによって、第１の金属層１４と第２の導体１８は電気的に接続される。なお、第１の金属層１４は、第３の外部電極２４ではなく、バイア電極等を介して第２の導体１８と電気的に接続してもよい。
【００４２】
また、前記第５の引出電極１６ａと第１、第２の引出電極１２ｂ，１２ｃとを第１、第２の外部電極２２，２３を介して接続することによって、第２の金属層１６と第１の導体１２は電気的に接続される。なお、第２の金属層１６は、第１、第２の外部電極２２，２３ではなく、バイア電極等を介して第１の導体１２と電気的に接続してもよい。
【００４３】
次に、本発明の一実施の形態におけるノイズフィルタの製造方法について説明する。
【００４４】
図１、図２において、まず、それぞれの原材料である誘電材料や磁性材料の粉体および樹脂からなる混合物により、方形の第１〜第３の絶縁体層１１，１３，１５、他の絶縁体層２０をそれぞれ所定枚数作製する。このとき、第１〜第３の絶縁体層１１，１３，１５、他の絶縁体層２０はすぐには焼成せず、グリーンシートの状態にしておく。また、所定の第１の絶縁体層１１の２ヶ所に、レーザ、パンチングなどで孔あけ加工をし、この孔に銀を充填して、バイア電極１７ａ，１７ｂを設ける。
【００４５】
次に、他の絶縁体層２０の上面に、第３の絶縁体層１５を配置した後、この第３の絶縁体層１５の上面両端部に２個の第２の金属層１６を印刷によって形成する。
【００４６】
次に、第２の金属層１６の上面に、第２の絶縁体層１３を配置する。
【００４７】
次に、第２の絶縁体層１３の上面に、第１の金属層１４を印刷によって形成する。なお、第１の金属層１４、第２の金属層１６は、印刷によって形成するのではなく、その他の転写、蒸着、めっき、金属板を配設する等の方法によって形成してもよい。
【００４８】
次に、第１の金属層１４の上面に、第１の絶縁体層１１を配置する。
【００４９】
次に、第１の絶縁体層１１の上面に、第１の導体１２と第２の導体１８をめっきによって形成する。このとき、第２の導体１８は第１の導体１２に沿うように、第１の導体１２の線間に形成する。
【００５０】
次に、第１、第２の導体１２，１８の上面に、２ヶ所にバイア電極１７ａ，１７ｂが設けられた別の第１の絶縁体層１１を配置する。
【００５１】
このとき、第１の導体１２の渦巻きの中心部１２ａ同士がバイア電極１７ａを介して接続され、かつ第２の導体１８の渦巻きの中心部１８ｂ同士がバイア電極１７ｂを介して接続されるようにする。
【００５２】
次に、この別の第１の絶縁体層１１の上面に、第１の導体１２と第２の導体１８を、めっきによって形成する。このとき、第２の導体１８は第１の導体１２に沿うように、第１の導体１２の線間に形成する。
【００５３】
なお、第１の導体１２、第２の導体１８の形成方法は、別途用意したベース板（図示せず）に所定パターン形状の導体をめっきによって形成し、その後、この導体をグリーンシート状態の第１の絶縁体層１１に転写することにより形成する。また、第１の導体１２、第２の導体１８は、めっきで形成するのではなく、その他の印刷、蒸着等の方法で形成してもよい。
【００５４】
次に、上方の第１、第２の導体１２，１８の上面に、他の絶縁体層２０を形成し、積層物を得る。
【００５５】
また、上記製造工程において、製造上の効率を向上させるために、複数の第１の導体１２、第２の導体１８、第１の絶縁体層１１、第２の絶縁体層１３、第３の絶縁体層１５、他の絶縁体層２０、第１の金属層１４、第２の金属層１６を上述した構成で積層した後、各個片に切断するようにして、同時に複数の積層物を得るようにしてもよい。
【００５６】
次に、この積層物を所定の温度、時間で焼成する。
【００５７】
次に、この積層物の両端面に、第１、第２の引出電極１２ａ，１２ｂと接続されるように第１、第２の外部電極２２，２３を銀を印刷することによって形成し、かつ両側面に第３の引出電極１８ａと接続されるように第３の外部電極２４を銀を印刷することによって形成する。
【００５８】
最後に、第１〜第３の外部電極２２〜２４の表面にめっきによってニッケルめっき層を形成するとともに、さらにこのニッケルめっき層の表面にめっきによってすずやはんだなどの低融点金属めっき層を形成する。
【００５９】
上記した本発明の一実施の形態においては、第１の絶縁体層１１の上面に設けられた第１の導体１２と、この第１の導体１２と対向するように第２の絶縁体層１３の上面に設けられた第１の金属層１４と、前記第１の導体１２に接続され、かつ前記第１の金属層１４と対向するように第３の絶縁体層１５の上面に設けられた第２の金属層１６とを備えているため、第１の導体１２と第１の金属層１４との間、第１の金属層１４と第２の金属層１６との間において、静電容量を分布定数的に得ることができ、これにより、広い周波数帯域でノイズを除去することができるという優れた効果が得られるものである。
【００６０】
また、内部導体部１９において、第１の導体１２に沿うように第１の導体１２の線間に渦巻き状の第２の導体１８を形成しているため、第１の導体１２と第２の導体１８との間の静電容量をより大きく分布定数的に得ることができ、これにより、より広い周波数帯域でノイズを除去することができるものである。
【００６１】
なお、上記本発明の一実施の形態におけるノイズフィルタにおいては、内部導体部１９を２個設けたが、他の個数でもよく、一方、第２の導体１８を設けずに内部導体部１９を形成しなくてもよい。しかし、内部導体部１９の数が多い方が、静電容量をより大きくすることができるので好ましい。
【００６２】
また、下の方から第２の金属層１６、第１の金属層１４、内部導体部１９の順に配置したものについて説明したが、逆に上の方から第２の金属層１６、第１の金属層１４、内部導体部１９の順に配置してもよいものである。
【００６３】
そしてまた、第１の金属層１４、第２の金属層１６、第１の導体１２、第２の導体１８を上下方向に配置して１つのノイズフィルタを構成したものについて説明したが、これらをそれぞれ複数設け、横方向に配置してアレイタイプとしてもよいものである。
【００６４】
特に、アレイタイプとして、図３に示すように、上の方から第１の導体１２、第２の金属層１６、第１の金属層１４、他の第２の金属層１６、他の第１の導体１２の順に設けるようにすれば、第１の導体１２を横方向でなく積層方向に２つ設けることができるため、小型化が可能になるものである。なお、このとき第１の導体１２の代わりに内部導体部１９を設けてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００６５】
本発明に係るノイズフィルタは、広い周波数帯域でノイズを除去することができ、携帯電話、情報機器等のノイズ対策が必要な電子機器等に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】本発明の一実施の形態におけるノイズフィルタの分解斜視図
【図２】同ノイズフィルタの斜視図
【図３】同ノイズフィルタの他の例を示す分解斜視図
【図４】従来のノイズフィルタを示す分解斜視図
【符号の説明】
【００６７】
１１  第１の絶縁体層
１２  第１の導体
１３  第２の絶縁体層
１４  第１の金属層
１５  第３の絶縁体層
１６  第２の金属層
１８  第２の導体
１９  内部導体部
２２  第１の外部電極
２３  第２の外部電極
２４  第３の外部電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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