(57)【要約】【課題】パターン形成であるサブトラエッチング法では各々の信号線幅の仕上がりにおいてエッチング液の流動に差が生じ、結果として製品内対象部とテストクーポン部とで同等にできない課題があった。また、仕上がりを同等にするため製品内対象部と同じように測定用信号線の側近部にパターンを付与することは電磁界が乱れ適正な測定ができないこととされていた。【解決手段】測定用信号線１の両側に非接地のダミーパターン５を平行に形成することによって、製品対象部とテストクーポン部を同等の仕上がりにできない不都合を解消することができるとともに、ＴＤＲ測定への影響を少なくでき、測定の信頼性を高めることができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
プリント配線板の特性試験を行う際に用いられるテストクーポンにおいて、測定用信号線の両側に平行に配置された非接地であるダミーパターンを形成することを特徴とする特性インピーダンス測定用テストクーポン。
【請求項２】
ダミーパターンは、測定用信号線と同じ線幅からなる非接地の浮遊パターンであり、測定用信号線と同じ長さを持つことを特徴とする請求項１に記載の特性インピーダンス測定用テストクーポン。
【請求項３】
ダミーパターンは、測定用信号線幅の２倍以上の距離を測定用信号線から設けた平行な位置に配置されることを特徴とする請求項１に記載の特性インピーダンス測定用テストクーポン。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特にプリント配線板の特性インピーダンスを測定するためのテストクーポンに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のテストクーポンは、図４に示されるような構成を有していた。
【０００３】
図４は従来のテストクーポンの図である。
【０００４】
図において、測定用信号線１には、一方に信号を入出力する測定用ランド２が設けてあり、その近傍には測定の際同時に接触することが可能な接地用ランド３が設けてある。
【０００５】
接地用ランド３内には導通ビア４が設けてあり、信号線１とは異なる層に設けた接地銅箔部と接続されている。
【０００６】
測定用ランド２は、内層に信号線１を有する場合、接地用ランドと同様にランド内に導通ビアを設け、内層に設置した測定用信号線１に接続されている。
【０００７】
なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１、特許文献２、特許文献３、特許文献４、特許文献５が知られている。
【特許文献１】特開平１１−５４９４３号公報
【特許文献２】特開２０００−１３８４３５号公報
【特許文献３】特開２００１−１０２７５５号公報
【特許文献４】特開２００１−２５１０６１号公報
【特許文献５】特開２００２−３５９４５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記従来の構成では、以下のような問題があった。測定用信号線は直線形状で且つ、単線配線が基本であり周辺には不要な銅箔は設定しないシンプルな形状であるのに較べて、製品部はバスラインの形容である複数配線が基本であり周辺にも接地などの銅箔が設定され複雑な形状を有している。このため、パターン形成であるサブトラエッチング法では各々の信号線幅の仕上がりにおいてエッチング液の流動に差が生じ、結果として製品内対象部とテストクーポン部とで同等にできない課題があった。また、仕上がりを同等にするため製品内対象部と同じように測定用信号線の側近部にパターンを付与することは電磁界が乱れ適正な測定ができないこととされていた。
【０００９】
本発明は上記従来の課題を解決するもので、製品内対象部と同等の信号線幅仕上がりとなる特性インピーダンス測定用テストクーポンを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有する。
【００１１】
本発明の請求項１に記載の発明は、特に、測定用信号線に平行な非接地のダミーパターンを設けた構成を有しており、これにより、製品対象部と同等の仕上がりを得ることができ、測定用信号線の仕上がりを製品対象部とテストクーポン部とで同等にできない不都合を解消することができるという作用効果が得られる。
【００１２】
本発明の請求項２に記載の発明は、特に、ダミーパターンが、測定用信号線幅と同じ線幅・長さを持つ非接地の浮遊パターンからなる構成を有しており、これにより、製品対象部と同等の仕上がりを得られるという作用効果が得られる。
【００１３】
本発明の請求項３に記載の発明は、特に、ダミーパターンを測定用信号線から信号線幅の２倍以上の距離に平行に配置する構成を有しており、これにより、ＴＤＲ測定（Time Domein Refrectmeter）への影響を少なくできるという作用効果が得られる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明のテストクーポンは、測定用信号線と同じ線幅・長さである非接地のダミーパターンを測定用信号線から測定用信号線幅の２倍以上の距離に設けたので、製品対象部と同等の仕上がりを得ることができ、製品対象部とテストクーポン部を同等の仕上がりにできない不都合を解消することができるとともに、ＴＤＲ測定への影響を少なくでき、測定の信頼性を高めることができるという効果を奏するものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
（実施の形態１)
以下、実施の形態１を用いて、本発明の特に請求項１〜２に記載の発明について説明する。図１は本発明の実施の形態１におけるテストクーポンの斜視図である。
【００１６】
図１において、１は測定用信号線であり、この測定用信号線１の両側には、非接地のダミーパターン５が測定用信号線と同じ線幅・長さで長手方向に平行に設けられている。
【００１７】
測定用信号線１は、プリント配線板の表層又は、内層に形成されている。
【００１８】
この測定用信号線１のある層に対向する上面の層か下面の層、若しくは両側の層には電源回路又は接地回路が配置されている。
【００１９】
測定用信号線１は単線配線であるシングルエンドが望ましく、測定用信号線の長さは、安定した測定が可能な５０ｍｍ以上であることが好ましい。
【００２０】
測定用信号線１の一端にはＴＤＲ測定器に接続されるプローブと接触するランド２を有しており、その近くに他の層である電源層又は接地層と導通ビア４を用いて電気的に接続されたランド３を有している。
【００２１】
図６はマイクロストリップラインであるところの表層に設けた場合のテストクーポンの一例であり、Ｌ１パターンには測定用パターンと測定用ランドを配している。又、Ｌ２パターンには下面の層である電源回路又は接地回路を配している。
【００２２】
図７はストリップラインであるところの内層に設けた場合のテストクーポンの一例であり、Ｌ１パターンには、測定用ランドと電源回路又は接地回路を配している。Ｌ２パターンには測定用信号線を配しており、Ｌ３パターンには電源回路又は接地回路を配している。
【００２３】
図２はテストクーポンと製品領域を示した一例であり、今回のテストクーポンに設けた非接地のダミーパターン５は製品領域との残銅率を局部的に等しくするものであり、パターン形成時にエッチング液の液流れを近似にすることができる。
【００２４】
これにより製品部と近似の形態を設けることで、パターン形成時に測定用信号線１の幅を製品部と同等に仕上げることができ、精度の高いインピーダンス測定を可能にできる。
【００２５】
（実施の形態２）
以下、実施の形態２を用いて、本発明の特に請求項３に記載の発明について説明する。
【００２６】
図１において、測定用信号線１の両側には、非接地のダミーパターン５があり、測定用信号線１と非接地のダミーパターン５との間には、測定用信号線１の線幅の２倍以上の間隔６が設けられている。
【００２７】
測定用信号線１は、プリント配線板の表層又は、内層に形成されている。
【００２８】
この測定用信号線１のある層に対向する上面の層か下面の層、若しくは両側の層には電源回路又は接地回路が配置されている。
【００２９】
測定用信号線１は単線配線であるシングルエンドが望ましく、測定用信号線の長さは、安定した測定が可能な５０ｍｍ以上であることが好ましい。
【００３０】
測定用信号線１の一端にはＴＤＲ測定器に接続されるプローブと接触するランド２を有しており、その近くに他の層である電源層又は接地層と電気的に接続されたランド３を有している。
【００３１】
非接地のダミーパターン５の配置を測定用信号線１の線幅の２倍以上とする間隔６は、ＴＤＲ測定での電磁界の影響を低く抑えることができる（図３）。
【００３２】
この図３は、ＣＡＤを用いた電磁界シミュレーションであり、ＴＤＲ測定器から入力された信号パルスにより発生する電磁界が、接地パターン４との間で特に密に発生する状態を示しており、非接地パターンで且つ、線幅の２倍以上の距離があると極めて低い影響しか受けないことを示している。
【００３３】
これにより近傍の導体での影響を低く抑えることでＴＤＲ測定法での測定用信号線１のインピーダンス測定精度を高めることができる。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
本発明にかかるテストクーポンは、製品対象部とテストクーポン部を同等の仕上がりにできない不都合を解消することができるとともに、ＴＤＲ測定への影響を少なくでき、測定の信頼性を高めることができるという効果を有し、特性インピーダンスを測定する必要のあるプリント配線板に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の実施の形態におけるＴＤＲ測定クーポンの斜視図
【図２】本発明の実施の形態事例を示す図
【図３】ダミーパターンと測定用信号線の間隔の電磁界シミュレーションを示す図
【図４】従来のＴＤＲ測定クーポンの斜視図
【図５】従来クーポンと本発明クーポンのＴＤＲ測定分布比較を示す図
【図６】マイクロストリップラインでの測定クーポン例を示す図
【図７】ストリップラインでの測定クーポン例を示す図
【符号の説明】
【００３６】
１  測定用信号線
２  測定用ランド
３  接地用ランド
４  導通ビア
５  ダミーパターン
６  ダミーパターンと測定用信号線の間隔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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