(57)【要約】【課題】     本発明の目的は、水晶素板薄板の振動部とその周囲を囲う水晶素板厚板の補強部とが一体に成ったATカットの基本波厚み滑り振動をする水晶振動子を提供することである。【解決手段】     上記の目的を達成するために、本発明は水晶素板薄板の振動部とその周囲を囲う水晶素板厚板の補強部とが一体に成ったATカットの基本波厚み滑り振動をする水晶振動子において、水晶素板厚板の補強部の支持部側の短辺中央に、先の水晶素板厚板を水晶振動子の主面に貫通する孔、または窪みや溝を有することを特徴とし、また水晶素板厚板を先の水晶振動子の主面に貫通する孔、または溝や窪みに注入される接着剤が非導電性接着剤であることを特徴として目的を達成する。【選択図】  図１
2005192130.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水晶素板薄板の振動部とその周囲を囲う水晶素板厚板の補強部とが一体に成ったATカットの基本波厚み滑り振動をする水晶振動子において、
水晶素板厚板の補強部の支持部側の短辺中央に、該水晶素板厚板を該水晶振動子の主面に貫通する孔、または溝や窪みを有することを特徴とする水晶振動子。
【請求項２】
水晶素板厚板を該水晶振動子の主面に貫通する孔、または溝や窪みに注入される接着剤が非導電性接着剤であることを特徴とする請求項１に記載の水晶振動子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は水晶デバイスに属し、主として通信分野の伝送系装置に使用される水晶発振器に用いられるATカットの基本波厚み滑り振動をする水晶振動子に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の水晶素板薄板の振動部とその周囲を囲う水晶素板厚板の補強部とが一体と成った形状をしたATカットの基本波厚み滑り振動をする水晶振動子においては、不要なスプリアス振動の発生の回避の為に電極面の大きさに対して振動面の大きさを出来得る限り大きくとる形状とすることが一般的であった。
【０００３】
一方、最近の傾向では通信分野の伝送系装置等を中核として、その搭載部品についての非常に急激な市場からの小型化や低背化、更に加えて軽量化や低価格化の要求がある。
【０００４】
【特許文献１】特許３２２１６０９号公報
【０００５】
なお、出願人は前記した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を、本件出願時までに発見するに至らなかった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、前述の振動子の振動部の厚みは、例えば主振動周波数１５０MHｚの場合ではその振動部分の厚みが１０μｍ程度といったような非常に薄い薄板であり、その為に振動子の振動部の周囲部分の僅かな機械的な歪みの影響も受けやすい。その歪は例えばアニールやエージングなどの熱履歴を与えると歪が変化し、その結果、周波数変化にばらつきが生じて偏差不良が発生し製品の歩留まりの劣化を招く結果となる。
【０００７】
こういったことを鑑みて、この様な形状の水晶振動子はエッチング加工によって形成され、上述したように水晶素板薄板の振動部とその周囲を囲う水晶素板厚板の補強部とから成る形状をしている水晶振動子が、一枚のウェハー上に多数個パターンニングされていることが一般的である。
【０００８】
一枚のウェハー上に多数個パターンニングされた各々の水晶振動子は、スクライバーなどにより、それぞれの振動子に個割りされて水晶振動子の容器に収容される。水晶振動子の水晶振動子容器への収容は、従来は水晶振動子の内部基板上に載置された支持台の上に図６のように導電性接着剤を用いて水晶振動子を片持ちの状態で支持したり、図５のように非導電性接着剤を用いて水晶振動子の一点支持と併せてワイヤーボンディングをする方法がとられる。
【０００９】
図５のように非導電性接着剤を用いて水晶振動子の支持部側の短辺の一点支持と、併せて水晶振動子の電極をワイヤーボンディングをする実装方法では、水晶振動子の片側の短辺において非導電性接着剤を用いて先の支持台と点接触で接着するのが望ましいが、水晶振動子の自重の影響で非導電性接着剤は点状ではなく周辺部に拡散し、図５のように水晶振動子の短辺方向全体に広がって、その結果、支持部から水晶振動子に加わる外力にばらつきが生じて、水晶振動子に機械的な歪みのばらつきの発生の影響を与えて、水晶振動子のエージング等の特性の信頼性に問題を生じるといったおそれがあった。
【００１０】
本発明は、以上のような技術的背景のもとでなされたものであり、従がってその目的は、水晶素板薄板の振動部とその周囲を囲う水晶素板厚板の補強部とが一体に成ったATカットの基本波厚み滑り振動をする水晶振動子を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の目的を達成するために、本発明は、水晶素板薄板の振動部とその周囲を囲う水晶素板厚板の補強部とが一体に成ったATカットの基本波厚み滑り振動をする水晶振動子において、水晶素板厚板の補強部の支持部側の短辺中央に、該水晶素板厚板を該水晶振動子の主面方向に貫通する孔を有することを特徴とする。
【００１２】
また、水晶素板厚板を先の水晶振動子の主面に貫通する孔、または溝や窪みに注入される接着剤が非導電性接着剤であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の水晶振動子によれば、非導電性接着剤が孔の側壁で遮られて、孔の支持台に接する下部の側壁の内縁部の内側だけで接着するために、非導電性接着剤が拡散せず、その結果、水晶振動子に加わる外力が生じず、水晶振動子に機械的な歪みの影響のばらつきによる周波数変化量のばらつきを制御出来るようになり、水晶振動子のエージング等の特性の信頼性を著しく向上することが出来る。
【００１４】
また、本発明の水晶振動子によれば、水晶振動子の支持台への固定に使用する非導電性接着剤の位置や量を制限できるために、水晶振動子の製造のコストを下げることが出来る。
【００１５】
また、本発明の水晶振動子によれば、水晶振動子のエージング等の特性不良により検査を落ちる製品を減少させることが出来るために、水晶振動子の製造歩留まりを著しく高めることが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に図面を参照しながら本発明の実施の一形態について説明する。
なお、各図においての同一の符号は同じ対象を示すものとする。
【実施例１】
【００１７】
図１は本発明の水晶振動子３を上面からみた概略の模式図である。非導電性接着剤９が注入される支持部４側の短辺５中央にあけられた、水晶素板厚板２を水晶振動子３の主面６方向に貫通する孔７の断面形状は長円形である。
図１に示されるような孔７を有した水晶振動子３を、本図１には図示されていないが、支持台８上に載置する際に、孔７に非導電性接着剤９を注入する。非導電性接着剤９は孔７の側壁に遮られて、孔７の内部だけに制限されて支持台８と水晶振動子３のあいだに広く拡散してしまうことが無い。
【実施例２】
【００１８】
図２は本発明の水晶振動子３を上面からみた概略の模式図である。水晶素板厚板２を水晶振動子３の主面６方向に貫通する孔７の断面形状はコの字形である。この場合においても非導電性接着剤９はコの字形の孔７の側壁に遮られて広がることが無く、コの字形の孔７の内部だけに制限されて広く拡散することが無い。
【実施例３】
【００１９】
図３は本発明の水晶振動子３を水晶素板厚板の補強部２の支持部４短辺５側からみた概略の上面斜視図である。表裏電極の出力はワイヤーボンディング１１されて外部回路に繋がっている。非導電性接着剤９が注入される支持部４側の短辺５中央にあけられた、水晶素板厚板２を水晶振動子３の主面６に貫通する孔７の断面形状は円形である。このように、孔７の形状は、真円、長円、楕円、正方形、長方形、そのほか多角形や、図２のようなコの字形の溝であっても構わず、これらの場合も本発明の技術的範囲に含まれることは言うまでも無い。
【実施例４】
【００２０】
図４は本発明の水晶振動子３を水晶素板厚板の補強部２の支持部４短辺５側からみた概略の上面斜視図である。表裏電極の出力はワイヤーボンディング１１されて外部回路に繋がっている。非導電性接着剤９が注入される短辺５中央の支持台８側にあけられた、水晶素板厚板２を水晶振動子３の主面６に向かってつくられた窪みの断面形状はコの字形である。このように、厚板の補強部２を水晶振動子３の主面６に貫通した孔７とせずに、水晶振動子３をその厚み方向にハーフエッチングした窪みであっても、窪みの側壁で非導電性接着剤９が遮られ広く拡散しないために、貫通した孔７の場合と同じ効果が得られるものである。
【００２１】
図５は従来の水晶振動子３を上面からみた概略の模式図である。水晶振動子３の自重の影響で非導電性接着剤９は点状ではなく周辺部に拡散し、本図５のように水晶振動子の短辺５方向全体に広がっていた。
【００２２】
図６は従来の水晶振動子３を支持部４短辺５側からみた概略の上面斜視図である。本図のようにワイヤーボンディング１１を用いず、導電性接着剤１０を用いて表裏電極の出力を外部回路につなげることも出来るが、この場合においても支持部４から水晶振動子３に加わる外力のばらつきが生じて、その結果、水晶振動子３に機械的な歪みのばらつきの影響を与えて水晶振動子３のエージング等の特性の信頼性に問題を生じるというおそれがあった。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の水晶振動子を上面からみた概略の模式図である。
【図２】本発明の別の実施例である水晶振動子を上面からみた概略の模式図である。
【図３】本発明の水晶振動子を水晶素板厚板の補強部の支持部短辺側からみた概略の上面斜視図である。振動面の表裏電極の出力はワイヤーボンディングを用いて、外部回路と繋がっている。
【図４】本発明の水晶振動子を、水晶素板厚板の補強部の支持部短辺側からみた概略の上面斜視図である。振動面の表裏電極の出力はワイヤーボンディングを用いて、外部回路と繋がっている。
【図５】従来の水晶振動子を上面からみた概略の模式図である。
【図６】従来の水晶振動子を支持部短辺側からみた概略の上面斜視図である。
【符号の説明】
【００２４】
１  薄板の振動部
２  厚板の補強部
３  水晶振動子
４  支持部
５  短辺
６  主面
７  孔
８  支持台
９  非導電性接着剤
１０  導電性接着剤
１１  ワイヤーボンディング
【図１】
2005192130.tif 000003
【図２】
2005192130.tif 000004
【図３】
2005192130.tif 000005
【図４】
2005192130.tif 000006
【図５】
2005192130.tif 000007
【図６】
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