(57)【要約】  【課題】  欠測を生じさせることなく、測定中に測定機能の診断を可能とする自己診断装置、および、その自己診断装置を搭載した自己診断機能付分析装置とする。  【解決手段】  自己診断装置の発光部から照射する光線の光量が所定変化率（１００％→５０％→０％）で変化する場合に、散乱光受光部・透過光受光部から出力される検出信号も所定変化率で（１００％→５０％→０％）変化するか否かについて判断し、変化率が異なる場合には測定機能に異常があると判断する自己診断装置および自己診断機能付分析装置とした。【選択図】  図４
2005114541.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料に光線を照射する発光部と、
光線を受光する受光部と、
発光部および受光部が接続される中央処理部と、
を備え、分析装置の測定機能を診断する自己診断装置であって、
中央処理部は、
発光部から照射する光線の光量を変化させる制御駆動信号を出力する出力手段と、
受光部で受光した光線の光量に比例する検出信号を入力する入力手段と、
検出信号に基づいて発光部と受光部との光線の授受が正常か異常かについて判断する判断手段と、
として機能することを特徴とする自己診断装置。
【請求項２】
請求項１記載の自己診断装置において、
発光部から照射する光線の光量が所定変化率で変化する制御駆動信号を出力する出力手段とし、
受光部から出力される検出信号も所定変化率で変化するか否かについて判断する判断手段とすることを特徴とする自己診断装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の自己診断装置において、
受光部は、試料を透過した透過光を受光する透過光受光部であることを特徴とする自己診断装置。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載の自己診断装置において、
受光部は、
試料を透過した透過光を受光する透過光受光部と、
試料中の物質により散乱した散乱光を受光する散乱光受光部と、
であることを特徴とする自己診断装置。
【請求項５】
請求項１または請求項２に記載の自己診断装置において、
受光部は、
試料を透過した透過光を受光する透過光受光部と、
試料中の物質により散乱した散乱光を受光する散乱光受光部と、
校正用に光線を受光する補償受光部と、
であることを特徴とする自己診断装置。
【請求項６】
請求項１〜請求項５の何れか一項に記載の自己診断装置を搭載したことを特徴とする自己診断機能付分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、分析装置の測定機能を診断するための自己診断装置、および、この自己診断装置を搭載した自己診断機能付分析装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来技術の水質用の分析装置の測定原理の概略について図を参照しつつ説明する。図９は懸濁物質による透過光・散乱光の挙動の説明図、図１０は散乱光量と透過光量との関係を説明する特性図である。図９で示すように、液体中で浮遊する浮遊粒子である懸濁物質（Suspendid  Solids：ＳＳ）に対して光線を照射すると、液体中の懸濁物質により散乱する散乱光と、懸濁物質を透過した透過光と、を検出することができる。
【０００３】
図１０で示すように、懸濁物質による散乱光の散乱光量Ｓは、懸濁物質の量（ＳＳ濃度）に比例する関数となっており、また、透過光量ＴはＳＳ濃度が大きくなるにつれて（つまり散乱光が多くなるにつれて）反比例して少なくなる関数となっている。
よって、ＳＳ濃度の測定では、透過光量Ｔ・散乱光量Ｓの何れか、または、両方を用いてＳＳ濃度の測定を行う（測定については後述する）。
【０００４】
また、気体中のガス濃度を光により計測する従来技術として、例えば、特許文献１が開示されている。特許文献１に記載された従来技術（発明の名称：ガス濃度計の検査方法およびガス濃度計）は、試料ガスに光線を照射してオゾン濃度を計測するものである。
【０００５】
【特許文献１】特開平８−１２８９５５号公報（段落番号００１８〜００３６）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
さて、このような光により計測する分析装置では、試料中に含まれる汚濁物質（例えば、河川・湖沼・曝気糟からサンプリングした液体試料ならば藻類など）が付着し、光学系が汚染されて測定機能が劣化してくる。そこで、この測定機能の状態について診断している。このような診断は、例えば、試料に代えて濃度が既知の診断用の標準液を注入したり、試料に代えて光学的に等価な特性を持つ材料もしくは補助具を挿入したり、または、試料に代えて空気を注入したりして、その上で光学系の入出力特性を計測して診断を行っている。
【０００７】
しかしながら、診断時に試料に代わる基準物（標準液・光学的等価材料・補助具・空気）を入れるため、分析装置を河川・湖沼・曝気糟等から引き出す等の作業が必要であり、測定を中断しなくてはならず、連続使用時では欠測によりデータ収集できなくなり、さらに引き出し作業・基準物交換作業など手間を要するという問題があった。
また、特許文献１に記載された従来技術においても校正時には試料ガスに代えて基準ガスを使用する必要があり、連続使用時では欠測が生じるという問題があった。
【０００８】
また、欠測させることなく連続して測定を行うためには基準物を用いることなく試料を測定部に注入したままで診断する必要があるが、分析装置で扱う試料の濃度は既知ではなく、また、常に変化しているため、試料に影響されないで測定機能を診断することが従来では困難であった。このような試料に影響されることなく測定中に光学系を含めた測定機能を診断したいという要請があった。
【０００９】
そこで、本発明は上記問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、欠測を生じさせることなく、測定中に、試料を用いて測定機能の診断を可能とする自己診断装置、および、その自己診断装置を搭載して自己診断機能を有する自己診断機能付分析装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
受発光素子を含む光学系を有する分析装置では、発光部が発する光線の光量と、受光部が受光する入射光の光量と、が比例することを利用する。光学系も含めて測定機能が正常であれば、発光部が照射した光線の光量をコントロールすることにより、検出信号がこれに比例して変化する。しかし、受発光部もしくは測定回路に異常があると、比例関係が成立しない。そこで測定中に所定の周期で発光部の光量を変化させ、同時に検出信号の変化を確認することで、測定機能の異常の有無を検知する。
【００１１】
このような本発明の請求項１に係る自己診断装置は、
試料に光線を照射する発光部と、
光線を受光する受光部と、
発光部および受光部が接続される中央処理部と、
を備え、分析装置の測定機能を診断する自己診断装置であって、
中央処理部は、
発光部から照射する光線の光量を変化させる制御駆動信号を出力する出力手段と、
受光部で受光した光線の光量に比例する検出信号を入力する入力手段と、
検出信号に基づいて発光部と受光部との光線の授受が正常か異常かについて判断する判断手段と、
として機能することを特徴とする。
【００１２】
また、本発明の請求項２に係る自己診断装置は、
請求項１記載の自己診断装置において、
発光部から照射する光線の光量が所定変化率で変化する制御駆動信号を出力する出力手段とし、
受光部から出力される検出信号も所定変化率で変化するか否かについて判断する判断手段とすることを特徴とする。
【００１３】
また、本発明の請求項３に係る自己診断装置は、
請求項１または請求項２に記載の自己診断装置において、
受光部は、試料を透過した透過光を受光する透過光受光部であることを特徴とする。
【００１４】
また、本発明の請求項４に係る自己診断装置は、
請求項１または請求項２に記載の自己診断装置において、
受光部は、
試料を透過した透過光を受光する透過光受光部と、
試料中の物質により散乱した散乱光を受光する散乱光受光部と、
であることを特徴とする。
【００１５】
また、本発明の請求項５に係る自己診断装置は、
請求項１または請求項２に記載の自己診断装置において、
受光部は、
試料を透過した透過光を受光する透過光受光部と、
試料中の物質により散乱した散乱光を受光する散乱光受光部と、
校正用に光線を受光する補償受光部と、
であることを特徴とする。
【００１６】
また、本発明の請求項６に係る自己診断機能付分析装置は、
請求項１〜請求項５の何れか一項に記載の自己診断装置を搭載したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
以上のような本発明によれば、欠測を生じさせることなく、測定中に、試料を用いて測定機能の診断を可能とする自己診断装置、および、その自己診断装置を搭載して自己診断機能を有する自己診断機能付分析装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
本発明を実施するための最良の形態について図に基づき説明する。図１は自己診断機能付分析装置の構成図、図２は自己診断機能付分析装置のＡ−Ａ線断面構成図、図３は自己診断機能付分析装置（自己診断装置）の回路系のブロック構成図である。自己診断機能付分析装置１００は、図１，図２で示すように、本体部１、透明測定セル２、筒部３、ピストン４、ピストンワイパ部５、発光部６、散乱光受光部７、透過光受光部８、蓋部９を備えている。また、自己診断機能付分析装置１００は、図３で示すように、中央処理部１０を備え、発光部６、散乱光受光部７、透過光受光部８と通信線により接続されている。
自己診断装置は、自己診断機能付分析装置１００の一部構成を共通して使用するものであり、中央処理部１０、発光部６、散乱光受光部７、透過光受光部８を備える。
【００１９】
続いて自己診断機能付分析装置１００について概略説明する。本形態では、低濃度用の自己診断機能付分析装置１００であるものとして説明する。
ＳＳ濃度が１０００ｐｐｍ以下という低濃度の場合、透過光と散乱光とを用いて分析を行っている。透過光を用いて測定する場合、散乱する光の量が少ないため、発光部からの光線の光量に対して変化量が僅かであり、光線の光量の変動、液体の色の変動、受光部の感度の変動、光学系の変動、などが僅かに起こったとしても、大きな誤差につながる。このため、１０００ｐｐｍ以下のＳＳ濃度の測定では、散乱光量と透過光量との比Ｓ／Ｔを用いる。図１０でも明らかなように散乱光量または透過光量が単独の場合よりも直線性が良く、さらに上記した変動に影響されなくなるという利点がある。
【００２０】
続いてこのような自己診断機能付分析装置１００の各部について説明する。
本体部１は、図２で示すように、中央に貫通孔を有する円筒状に形成され、さらに、３カ所に収容穴１ａが形成されている。収容穴１ａは、それぞれ発光部用窓１ｂ、散乱光受光部用窓１ｃ、透過光受光部用窓１ｄを介して中央の貫通孔と連通している。
【００２１】
透明測定セル２は、ガラス製の円筒であり、本体部１の中央の貫通孔に挿通されている。ガラス製であるため、発光部用窓１ｂ、散乱光受光部用窓１ｃ、透過光受光部用窓１ｄを介して光線が透過する。
筒部３は、金属製で透明測定セル２と略等しい内径・外径を有する円筒であり、透明測定セル２の上側に密封シール（図示せず）を介して接続される。
【００２２】
ピストン４は、円柱状に形成されており、透明測定セル２および筒部３の筒内に挿通されて図示しない昇降装置により上下動するようになされている。
ピストンワイパ部５は、ピストン４の先端近傍に取り付けられている。ピストン４が上下動すると透明測定セル２と接触しつつ上下動し、透明測定セル２の筒内に付着した藻類等の付着物質を掻き取るようにして清掃する。また、空気漏れを防ぐ機能も併せて有している。ピストン４の上昇時には、本体部１の貫通孔の下側から試料が吸引されて、透明測定セル２内の空間に充填される。また、ピストン４の下降時には、図１のピストン４の最下端部（図中で点線で示される）まで下降し、試料が本体部１の貫通孔の下側から吐出される。
【００２３】
発光部６は、例えば、電流信号が流れたときに発光するＬＥＤ（Light Emitting Diode）であり、図１，図２で示すように、発光部用窓１ｂ・透明測定セル２を透過して介して透明測定セル２内の試料に対して光線を照射する。図１で示すように、この発光部６に接続されるリード線６ａは、蓋部９を介して引き出される。
【００２４】
散乱光受光部７は、図２で示すように、発光部６が照射した光線のうち、ＳＳ（懸濁物質・浮遊粒子）に当たって散乱した散乱光を、透明測定セル２・散乱光受光部用窓１ｃを介して受光し、受光量に比例する検出信号を出力する。図示しないが、この散乱光受光部７に接続されるケーブルは、蓋部を介して引き出される。
【００２５】
透過光受光部８は、図１，図２で示すように、発光部６が照射した光線のうち、ＳＳ（懸濁物質・浮遊粒子）間を透過した透過光を、透明測定セル２・透過光受光部用窓１ｄを介して受光し、受光量に比例する検出信号を出力する。この散乱光受光部８に接続されるリード線８ａは、蓋部９を介して引き出される。
【００２６】
蓋部９は、収容穴１ａを外界から封止するために設けられ、例えば、河川・湖沼・曝気糟など水中にあっても水が流入しないようにする。また、水が侵入することなくリード線６ａ，８ａを引き出せるようになされている。
【００２７】
これら、発光部６、散乱光受光部７、透過光受光部８は、図３で示すように、中央処理部１０と接続される。中央処理部１０は、発光部６に対して制御駆動信号を送信する。この制御駆動信号により発光部は発光する光線の光量を調節することができる。
また、中央処理部１０は散乱光受光部７および透過光受光部８から検出信号を受信し、後述する各種の処理を行う。
【００２８】
続いて、分析処理について概略説明する。河川・湖沼・曝気糟などに自己診断機能付分析装置を浸漬した状態とする。そして、中央処理部１０が図示しない駆動装置を作動させる駆動手段として機能するとピストン４が上昇し、サンプリング用の液体である試料が水中から吸引されて透明測定セル２の筒内に流入する。続いて、中央処理部１０が発光部６に対して制御駆動信号を出力する出力手段として機能すると、発光部６は所定光量で光線を発光する。
【００２９】
また、中央処理部１０は散乱光受光部７および透過光受光部８から常時送られる検出信号を入力する入力手段として機能する。さらに中央処理部１０は入力した検出信号に基づいて、図１０で示した散乱光量Ｓと透過光量Ｔとの比Ｓ／Ｔを算出する比算出手段として機能する。最終的に中央処理部１０は比Ｓ／Ｔに対応するＳＳ濃度を算出するＳＳ濃度算出手段として機能する。
【００３０】
発光部６の光量が変動により増減して散乱光・透過光が増減したとしても、比Ｓ／Ｔではこの増減がキャンセルされて安定したＳＳ濃度の計測を行うことができる。計測終了後はピストン４を下降させて付着物質を掻き取り、さらにピストン４を下降させた状態を維持して試料に含まれる藻類等の汚物が透明測定セル２内に付着しないように配慮している。このようなＳＳ濃度の計測は、定期的周期で行われる。
【００３１】
続いて、自己診断装置の動作について図を参照しつつ概略説明する。図４は、診断を説明する説明図である。
上記した定期的周期のＳＳ濃度の計測の前に、自己診断装置は自己診断を行う。
中央処理部１０は、発光部６に対して駆動制御信号を出力する出力手段として機能し、発光部６を発光させて光線を照射させる。詳しくは発光部６から照射する光線の光量が所定変化率で変化する駆動制御信号である。この駆動制御信号は、例えば、ＬＥＤ等の発光部６への電流信号であり、図４（ａ）で示すように所定期間（本形態では１５秒）毎に複数の発光を行うものであり、さらに、制御駆動信号（発光量）を１００％→５０％→０％という変化率で変化させるような信号である。
【００３２】
この場合、散乱光受光部７および透過光受光部８から検出信号が出力される。中央処理部１０は、散乱光受光部７および透過光受光部８で受光した光線の光量に比例する検出信号を入力する入力手段として機能する。
【００３３】
続いて、中央処理部１０は、制御駆動信号に対する検出信号の挙動に基づいて、発光部と受光部との光線の授受が正常か異常かについて判断する判断手段として機能する。詳しくは散乱光受光部７および透過光受光部８から出力される検出信号（受光量）も所定変化率で変化するか否かについて判断している。
例えば、図４（ｂ）で示すように散乱光受光部７および透過光受光部８の検出信号（受光量）が、制御駆動信号と同じ変化率１００％→５０％→０％と変化したと判断したならば、自己診断機能付分析装置１００の光学系を含む測定機能は正常であると判断する。５０％時の制御駆動値（検出値）を１００％時の制御駆動値（検出値）で除すれば変化率１が算出される。また、０％時の制御駆動値（検出値）を１００％時の制御駆動値（検出値）で除すれば変化率２が算出される。制御駆動値と検出値とで変化率１が共に等しい場合や、制御駆動値と検出値とで変化率２が共に等しい場合や、または、制御駆動値と検出値とで変化率１，２が共に等しい場合には変化率は同じであると判断する。
【００３４】
また、図４（ｃ）で示すように発光量に対して検出信号（受光量）が若干減衰したとしても、制御駆動信号と同じ変化率１００％→５０％→０％と変化したと判断したならば自己診断機能付分析装置の光学系を含む測定機能は正常であると判断する。変化率の算出手法については上記手法と同じである。さて、このような減衰を伴うと判断した場合、ピストンワイパ部５では付着物質が拭き取れないと判断して透明測定セル２を清掃するようにしたり、受光部６，散乱光受光部７および透過光受光部８を点検するようにしても良い。
【００３５】
また、図４（ｄ）で示すように制御駆動信号（発光量）に対して検出信号（受光量）が変化を検知できない、あるいは、変化が階段状でなく立ち下がり部が検出できないと判断したような場合には、異常であると判断する。変化率の算出手法については上記手法と同じである。この場合、透明測定セル２に付着物質が堆積した、あるいは、発光部６・散乱光受光部７・透過光受光部８が異常を来したと判断する。自己診断装置はこのようにして測定機能の診断を行うこととなる。
このように測定機能の診断に変化率を採用することで、濃度は既知ではなく、また、常に濃度が変化しているような試料を測定部に注入したままでも、正常に動作しているならば変化率は変化することなく一定であり、試料に影響されることなく測定中に光学系を含めた測定機能を診断することができるようになる。
【００３６】
なお、自己診断機能付分析装置１００を水中に浸漬した当初は、図４（ｂ）のように最大の検出信号（受光量）が得られるが、時間が経過するにつれて、図４（ｃ）のように受光量が減衰していく。そこで、中央処理部１０は、自己診断機能付分析装置１００の稼働当初に自己診断により取得した検出信号（受光量）の１００％・５０％の検出値を図示しない、記憶部（ハードディスク・ＥＥＰＲＯＭなど長期間の記憶が可能な装置）により記憶させ、自己診断毎に取得した検出信号の１００％・５０％の検出値を、記憶している１００％・５０％の検出値で除して減衰率を判断し、所定減衰率に到達していると判断した場合に、例えば、図示しない表示部（ディスプレイ）・放音部（スピーカ）により警報を出力する手段として機能するようにしても良い。これら構成は適宜追加される。
【００３７】
以上、自己診断装置および自己診断機能付分析装置について説明した。このような自己診断装置では、自己診断用に標準液等の基準物を使用する必要もなくなり、計測の合間にサンプリング用の試料を充填したまま簡単に自己診断機能付分析装置を自己診断できるため、自己診断機能を簡単にし、また欠測をなくすことができる。
【００３８】
なお、上記した自己診断装置では、制御駆動信号が、所定期間（本形態では１５秒）毎に複数の発光を行うものであり、さらに、制御駆動信号（発光量）を１００％→５０％→０％と変化させるような信号であるものとして説明した。
しかしながら、所定期間については１５秒に限定されるものではなく、２０秒，３０秒等の値を選択してよい。また、複数の発光とする必要もなく一回限りとしても良い。また、制御駆動信号（発光量）の変化率を１００％→５０％→０％としているが、１００％→５０％→２５％→１０％→０％で変化させるような信号であるとしても良い。変化率については各種選択することが可能である。
【００３９】
続いて他の形態について図を参照しつつ簡単に説明する。図５は、他の自己診断機能付分析装置の構成図、図６は他の自己診断機能付分析装置（自己診断装置）の回路系のブロック構成図である。本形態では中濃度のＳＳ濃度について検出を行う自己診断機能付分析装置である。
１０００ｐｐｍ〜２００００ｐｐｍの中濃度のＳＳ濃度範囲では透過光を単独で用いる測定が最も信頼性が高い。透過光については、発光部６から発光された光線の強度をＩ０、透過光の強度をＩ、吸光係数をβ、ＳＳ濃度をｘ、光路長をｄとした場合、ランベルト・ベールの式としてＩ＝Ｉ０ｅ−βｘｄが成立するため、この式を用いてＳＳ濃度を算出している。一般には対数増幅器を併用して、光電素子である透過光受光部８の検出信号をＳＳ濃度に比例した信号に変換している。
【００４０】
本形態の自己診断機能付分析装置１００’は、図１，図２で示す自己診断機能付分析装置１００から散乱光受光部７を取り去った構成であり、図１，図５で示すように、本体部１、透明測定セル２、筒部３、ピストン４、ピストンワイパ部５、発光部６、透過光受光部８、蓋部９を備えている。また、図６で示すように、中央処理部１０を備え、発光部６、透過光受光部８と通信線により接続されている。
【００４１】
自己診断装置は、自己診断機能付分析装置１００’の一部構成を共通して使用するものであり、中央処理部１０、発光部６、透過光受光部８を備える。このような自己診断装置では透過光受光部８の検出信号のみ用いて先に説明した手法で自己診断を行うものであり、重複する説明を省略する。このように中濃度用の分析装置においても、同様の自己診断を行う自己診断装置・自己診断機能付分析装置とすることができる。
【００４２】
続いて他の形態について図を参照しつつ簡単に説明する。図７は、他の自己診断機能付分析装置の構成図、図８は他の自己診断機能付分析装置（自己診断装置）の回路系のブロック構成図である。本形態では高濃度のＳＳ濃度について検出を行う自己診断機能付分析装置である。
２００００ｐｐｍ以上の高濃度のＳＳ濃度範囲では、多重散乱が起こるため直線性が悪い。そこで、直線的な信号を得るために透過光量・散乱光量に加えて補償用の光を受光して補償を行っている。
【００４３】
本形態の自己診断機能付分析装置１００”は、図１，図２で示す自己診断機能付分析装置１００に加えて図７で示すように、補償受光部用窓１ｅ・透明測定セル２を介して光を受光する補償受光部１１を追加した構成であり、本体部１、透明測定セル２、筒部３、ピストン４、ピストンワイパ部５、発光部６、散乱光受光部７、透過光受光部８、蓋部９、補償受光部１１を備えている。また、図８で示すように、中央処理部１０を備え、発光部６、散乱光受光部７、透過光受光部８、補償受光部１１と通信線により接続されている。補償受光部１１で受光されて出力される検出信号により、色補償を行っている。
【００４４】
自己診断装置は、自己診断機能付分析装置１００”の一部構成を共通して使用するものであり、中央処理部１０、発光部６、散乱光受光部７、透過光受光部８、補償受光部１１を備える。このような自己診断装置では散乱光受光部７、透過光受光部８、補償受光部１１による検出信号を用いて先に説明した手法で自己診断を行うものであり、重複する説明を省略する。このように高濃度用の分析装置においても、同様の自己診断を行う自己診断装置・自己診断機能付分析装置とすることができる。
【００４５】
このように低・中・高濃度の分析装置に自己診断装置を搭載することで、自己診断機能を加えた分析装置とすることができる。
また、本形態の自己診断は、基準物を用いずに分析対象となる試料を用いて行うものであり、欠測が生じないため、例えば、長期間連続して計測の必要がある分野（浄水処理・下水処理）などに適用することができる。また、本形態では試料は液体であるとして説明したが、試料を気体としても同様の自己診断装置・自己診断機能付分析装置とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】自己診断機能付分析装置の構成図である。
【図２】自己診断機能付分析装置のＡ−Ａ線断面構成図である。
【図３】自己診断機能付分析装置（自己診断装置）の回路系のブロック構成図である。
【図４】診断を説明する説明図である。
【図５】他の自己診断機能付分析装置のＡ−Ａ線断面構成図である。
【図６】他の自己診断機能付分析装置（自己診断装置）の回路系のブロック構成図である。
【図７】他の自己診断機能付分析装置のＡ−Ａ線断面構成図である。
【図８】他の自己診断機能付分析装置（自己診断装置）の回路系のブロック構成図である。
【図９】懸濁物質による透過光・散乱光の挙動の説明図である。
【図１０】散乱光量と透過光量との関係を説明する特性図である。
【符号の説明】
【００４７】
１００，１００’，１００”：自己診断機能付分析装置
１：本体部
１ａ：収容穴
１ｂ：発光部用窓
１ｃ：散乱光受光部用窓
１ｄ：透過光受光部用窓
１ｅ：補償受光部用窓
２：透明測定セル
３：筒部
４：ピストン
５：ピストンワイパ部
６：発光部
６ａ：リード線
７：散乱光受光部
８：透過光受光部
８ａ：リード線
９：蓋部
１０：中央処理部
１１：補償受光部
【図１】
2005114541.tif 000003
【図２】
2005114541.tif 000004
【図３】
2005114541.tif 000005
【図４】
2005114541.tif 000006
【図５】
2005114541.tif 000007
【図６】
2005114541.tif 000008
【図７】
2005114541.tif 000009
【図８】
2005114541.tif 000010
【図９】
2005114541.tif 000011
【図１０】
2005114541.tif 000012