(57)【要約】【課題】  機構系モデルのパラメータを切り換えるのみで、ひとつの機構系モデルで複数の種類の負荷機械の挙動を模擬することができ、一台の電動機制御装置で複数の負荷機械を切り換えて駆動することを可能にする電動機制御装置の機械モデルを提供する。  【解決手段】  電動機モデル１３と、負荷機械モデル９と、第一減算器１１と、トルク伝達機構モデル１０と、第二減算器１８とを備えた電動機制御装置において、ゲイン乗算手段２１と、パラメータ切換手段３０とを備える。【選択図】    図２
2005229734.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電動機の模擬位置または模擬速度を示す電動機モデルと、負荷機械の模擬位置または模擬速度を示す負荷機械モデルと、前記電動機モデルの模擬位置または模擬速度と前記負荷機械モデルの模擬位置または模擬速度との偏差を算出する第一減算器と、前記第一減算器が出力する信号を入力して、前記電動機から前記負荷機械に接続されるトルク伝達機構の発生する模擬伝達トルクを出力するトルク伝達機構モデルと、模擬入力トルクを入力してその模擬入力トルクと前記模擬伝達トルクとの偏差を算出し、前記電動機モデルの入力とする第二減算器とを備えた電動機制御装置において、
前記模擬指令トルクを入力し、前記模擬入力トルクを発生するゲイン乗算手段と、前記ゲイン乗算手段、前記電動機モデル、前記トルク伝達機構モデル、および前記負荷機械モデルのパラメータを、モデル切換信号により変更するパラメータ切換手段とを備えることを特徴とする電動機制御装置。
【請求項２】
前記パラメータ切換手段は、第一慣性パラメータと、第二慣性パラメータと、バネパラメータとにより、電動機モデルパラメータと負荷機械モデルパラメータとトルク伝達機構モデルパラメータとゲイン乗算手段パラメータとを決定するパラメータ演算部を備えることを特徴とする請求項１記載の電動機制御装置。
【請求項３】
前記モデル切換信号は、電動機とトルク伝達機構と負荷機械とが直列に接続されている場合と、
電動機がリニアモータであって、該リニアモータを駆動することにより設置個所のバネ要素により固定子が振動するような機台振動系である場合とを区別することを特徴とする請求項１記載の電動機制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品実装装置や工作機などに用いられる搬送機構であるリニアスライダなどを駆動する電動機を制御する電動機制御装置に関し、特に電動機制御装置の応答性能を向上するために用いられる機構系モデルの構成に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の電動機制御装置においては、制御対象である負荷機械と電動機との接続状況を勘案した機構系をモデルとして有し、負荷機械のイナーシャが変化しても所望の応答が得られる電動機の速度制御を行なっている場合がよくある（例えば、特許文献１参照）。なお、指令値には「＊」記号を付けている。
図１０は従来の電動機制御装置の構成を示すブロック図である。図１０において、減算器１７は速度指令信号ωＭ＊から第１の模擬速度信号ωA1を減じて偏差信号（ωＭ＊−ωA1）を第1の速度制御回路１６へ出力する。第1の速度制御回路１６は偏差信号（ωＭ＊−ωA1）を入力し偏差信号（ωＭ＊−ωA1）が減少するように制御を行い第1のトルク信号Ｔ１＊を減算器１５へ出力する。減算器１５は第１の速度制御回路１６から出力された第１のトルク信号Ｔ１＊から補償トルク演算回路１４の出力ＴＣを減じて第３のトルク信号Ｔ３＊を加算器６および減算器１８へ出力する。減算器１８は第３のトルク信号Ｔ３＊とトルク伝達機構模擬回路１０の出力である模擬伝達トルク信号ＴＦとの偏差信号（Ｔ３＊−ＴＦ）を電動機模擬回路１３へ出力する。電動機模擬回路１３は電動機１の伝達関数を模擬するとともに（Ｔ3＊−ＴF ）を入力して第１の模擬速度信号ωA1を減算器１１、減算器１２、減算器１７および減算器７へ出力する。減算器１１は第１の模擬速度信号ωＡ１から第２の模擬速度信号ωＡ２を減じて偏差信号（ωＡ１−ωＡ２）をトルク伝達機構模擬回路１０へ出力する。トルク伝達機構模擬回路１０はトルク伝達機構２の伝達間数を模擬するとともに減算器１１から出力される偏差信号（ωＡ１−ωＡ２）を入力して模擬伝達トルク信号ＴＦを負荷機械模擬回路９および減算器１８へ出力する。負荷機械模擬回路９は負荷機械３の伝達関数を模擬するとともにトルク信号ＴF を入力して第２の模擬速度信号ωA2を減算器１１および減算器１２へ出力する。減算器１２は第１の模擬速度信号ωA1から第２の模擬速度信号ωA2を減じて偏差信号（ωA1−ωA2）を補償トルク演算回路１４へ出力する。補償トルク演算回路１４は第１の模擬速度信号ωA1と第２の模擬速度信号ωA2との偏差信号（ωA1−ωA2）を入力して負荷機械が速度指令信号ωM＊に追従するように補償トルク信号ＴＣを減算器１５へ出力する。減算器７は速度信号ωA1から実速度信号ωM を減じて偏差信号(ωA1−ωM)を第２の速度制御回路８へ出力する。第２の速度制御回路８は速度偏差（ωA1−ωM ）が減少するように第２のトルク信号Ｔ2＊を加算器６へ出力して実速度信号ωM が第１の模擬速度信号ωA1に追従するように制御する。加算器６は第３のトルク信号Ｔ3＊と第２のトルク信号Ｔ2＊を合算してトルク指令信号ＴM＊をトルク制御回路５へ出力する。トルク制御回路５はトルク指令信号ＴM＊を入力して電動機１を駆動する。電動機１はトルク伝達機構２を介して負荷機械３を駆動する。また、電動機１には速度検出器４が搭載されており、電動機１の実速度を検出して実速度信号ωMを出力する。
このようにして、負荷機械のイナーシャが変化しても所望の応答が得られる電動機の速度制御を行なっている。
図中破線で囲んだ部分が機構系モデルである。
【０００３】
また、第２の従来技術として、機台振動現象を考慮した機台振動モデルを用いることで機台制振可能なモデル追従制御系を構成し、モデルの変化が生じた場合でも仕様を満たすロバストな制御手法が提案されている（非特許文献１参照）。
図７に機台振動システムを示す。図７において、機台は機台固定治具により土台に取付けられている。また、テーブルは機台上に設置されたリニアモータにより左右方向に駆動される。その際、テーブル推進力の反力により機台に振動が生じ、テーブルの高速・高精度な位置決めに支障をきたす。
図７において、７１はテーブル（可動子）、７２は機台（固定子）、７３ａおよび７３ｂは機台固定治具である。テーブル７１は質量Ｍであり推力Ｆで駆動され、機台７２に対して相対速度ｖで相対位置ｘ移動する。機台７２は質量ＭＢでありテーブル７１の反力により、速度ｖＢで位置ｘＢ移動する。また、機台７２は機台固定治具７３ａおよび７３ｂによって、左右方向成分のバネ定数ＫＣで土台に固定されている。
図８は機台振動モデルのブロック図である。図８において、３０１はテーブルモデル、３０２は機台モデル、３０３は機台固定治具モデル、３０４は加算器、３０５は減算器である。
テーブルモデル３０１は推力Ｆを入力し、テーブル模擬演算を行い、テーブル速度ｖＡを減算器３０５へ出力する。減算器３０５はテーブル速度ｖＡおよび機台速度ｖＢを入力し、（ｖＡ−ｖＢ）を算出して、相対速度ｖを出力する。加算器３０４は推力Ｆおよび機台固定治具からの反力ＦＫを入力し、（−Ｆ−ＦＫ）を算出して、機台モデル３０２へ出力する。機台モデル３０２は（−Ｆ−ＦＫ）を入力し、機台模擬演算を行い、機台速度ｖＢを減算器３０５および機台固定モデル３０３へ出力する。機台固定モデル３０３は機台速度ｖＢを入力し、機台固定模擬演算を行い、反力ＦＫを加算器３０４へ出力する。
このように、機台振動モデルが構成されて所望の性能を実現している。
【特許文献１】特開平８−１６８２８０号公報（第８頁、図１）
【非特許文献１】大川不二夫他著「ロバストなモデル追従制御による機台振動系の振動抑制」日本機械学会論文集（Ｃ編）６８巻６６８号、２００２年４月、ｐ．１１２８−１１３２
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかるに、従来の電動機制御装置は、２つの慣性モーメントがバネ要素で結合されているいわゆる２慣性系の制御対象を制御する場合、電動機制御装置内部に２慣性系モデルを塔載し、補償器が構成される場合がある。しかし、２つの慣性モーメントの間にバネ要素がある場合と、２つの慣性モーメントは剛体結合され、多端にバネ要素を有する、いわゆる機台振動系とでは、モデルが異なるために、両方の機構系に一台の電動機制御装置で対応させるためには、装置内部に両方のモデルを搭載させる必要があり、演算処理負荷を増大させ、制御プログラムを格納するメモリ容量も増大させていた。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、機構系モデルのパラメータを切り換えるのみで、ひとつの機構系モデルで複数の種類の負荷機械の挙動を模擬することができ、一台の電動機制御装置で複数の負荷機械を切り換えて駆動することを可能にする電動機制御装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記問題を解決するため、本発明は、次のように構成した。
請求項１に記載の発明は、電動機の模擬位置または模擬速度を示す電動機モデルと、負荷機械の模擬位置または模擬速度を示す負荷機械モデルと、前記電動機モデルの模擬位置または模擬速度と前記負荷機械モデルの模擬位置または模擬速度との偏差を算出する第一減算器と、前記第一減算器が出力する信号を入力して、前記電動機から前記負荷機械に接続されるトルク伝達機構の発生する模擬伝達トルクを出力するトルク伝達機構モデルと、模擬入力トルクを入力してその模擬入力トルクと前記模擬伝達トルクとの偏差を算出し、前記電動機モデルの入力とする第二減算器とを備えた電動機制御装置において、
前記模擬指令トルクを入力し、前記模擬入力トルクを発生するゲイン乗算手段と、前記ゲイン乗算手段、前記電動機モデル、前記トルク伝達機構モデル、および前記負荷機械モデルのパラメータを、モデル切換信号により変更するパラメータ切換手段とを備えることを特徴とするものである。
【０００６】
また、請求項２に記載の発明は、前記パラメータ切換手段は、第一慣性パラメータと、第二慣性パラメータと、バネパラメータとにより、電動機モデルパラメータと負荷機械モデルパラメータとトルク伝達機構モデルパラメータとゲイン乗算手段パラメータとを決定するパラメータ演算部を備えることを特徴とするものである。
【０００７】
また、請求項３に記載の発明は、前記モデル切換信号は、電動機とトルク伝達機構と負荷機械とが直列に接続されている場合と、
電動機がリニアモータであって、該リニアモータが駆動することにより設置個所のバネ要素により固定子が振動するような機台振動系である場合とを区別することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００８】
このように、本発明によれば、機構系モデルのパラメータを切り換えるのみで、ひとつの機構系モデルで複数の種類の負荷機械の挙動を模擬することができるので、機構系モデルを複数装備する必要がなく、演算処理負荷も軽減でき、制御プログラムを格納するメモリ容量の増大も防止できる。また、一台の電動機制御装置で複数の負荷機械を切り換えて駆動することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
実際の電動機制御装置には様々な機能や手段が内蔵されているが、図には本発明に関係する機能や手段のみを記載し説明することとする。また、以下同一名称には極力同一符号を付け重複説明を省略する。
【実施例１】
【００１０】
図１は本発明を適用する電動機制御装置のブロック図である。図１において、１は電動機、２はトルク伝達機構、３は負荷機械、４は速度検出器、５はトルク制御手段、６は加算器、７は減算器、８は第２の速度制御手段、１４は補償トルク演算手段、１５は減算器、１６は第１の速度制御手段、１７は減算器、２０は機械モデル、４０はモデル切換指令取得手段である。
減算器１７は速度指令ωＭ＊および電動機回転速度検出信号ωＭを入力し、偏差（ωＭ＊−ωＭ）を第１の速度制御手段１６へ出力する。第１の速度制御手段１６は前記偏差（ωＭ＊−ωＭ）を入力し、第１のトルク信号Ｔ１＊を減算器１５へ出力する。減算器１５は前記第１のトルク信号Ｔ１＊および補償トルクＴＣを入力し、第３のトルク信号Ｔ３＊を加算器６および機械モデル２０へ出力する。加算器６は前記第３のトルク信号Ｔ３＊および第２のトルク信号Ｔ２＊を入力し、トルク指令信号ＴM＊をトルク制御手段５へ出力する。トルク制御手段５は前記トルク指令信号ＴM＊を入力し、駆動電流を電動機１へ出力する。電動機１は前記駆動電流を入力し、駆動トルクを発生し、トルク伝達機構２を介して負荷機械３を駆動する。また、電動機１には速度検出器４が装着されている。速度検出器４は電動機１の回転速度を検出し、前記電動機回転速度検出信号ωＭを減算器７および減算器１７へ出力する。減算器７は前記電動機回転速度検出信号ωＭおよび第１の模擬速度信号ωA1を入力し、偏差(ωA1−ωM)を第２の速度制御手段８へ出力する。第２の速度制御手段８は前記偏差(ωA1−ωM)を入力し、前記第２のトルク信号Ｔ２＊を加算器６へ出力する。
機械モデル２０は前記第３のトルク信号Ｔ３＊およびモデル切換信号ＰＣを入力し、前記第１の模擬速度信号ωA1を減算器７へ、また、前記第１の模擬速度信号ωA1と第２の模擬速度信号ωA２との偏差（ωA1−ωA2）を補償トルク演算手段１４へ出力する。補償トルク演算手段１４は前記偏差（ωA1−ωA2）を入力し、前記補償トルクＴＣを減算器１５へ出力する。モデル切換指令取得手段４０は前記モデル切換信号ＰＣを機械モデル２０へ出力する。
【００１１】
第１の速度制御手段１６は、前記偏差（ωＭ＊−ωＭ）が零になるように速度制御演算を行ない、第１のトルク信号Ｔ１＊を算出する。第２の速度制御手段８は前記偏差(ωA1−ωM)が零になるように速度制御演算を行ない、第２のトルク信号Ｔ２＊を算出する。トルク制御手段５は前記トルク指令信号ＴM＊に基づいてトルク制御演算を行い、前記駆動電流を算出する。補償トルク演算手段１４は前記偏差（ωA1−ωA2）に基づいて補償トルク演算を行い、前記補償トルクＴＣを算出する。
【００１２】
機械モデル２０は電動機１、トルク伝達機構２および負荷機械３を模擬しており、前記第３のトルク信号Ｔ３＊に基づいて前記第１の模擬速度信号ωA1および前記偏差（ωA1−ωA2）を算出する。また、機械モデル２０は前記モデル切換信号ＰＣに基づいて機械モデル２０自身の内部のパラメータを切り換える。
モデル切換指令取得手段４０はモデル切換指令を入力し、そのモデル切換指令に基づいてモデル切換信号ＰＣを得る。前記モデル切換指令の数は本電動機制御装置で駆動する負荷機械の種類に対応した数だけある。即ち、モデル切換指令取得手段４０は、本電動機制御装置が現在駆動しようとしている負荷機械の種類に対応したモデル切換指令を取得するのである。前記負荷機械の種類は、自動的に判別するものであってもよいが、前記電動機制御装置の使用者が入力機器を使用して入力してもよい。
【００１３】
図２は機械モデル２０の詳細を示すブロック図である。図２において、９は負荷機械モデル、１０はトルク伝達機構モデル、１１は減算器、１３は電動機モデル、１８は減算器、２１はゲイン乗算手段、３０はパラメータ切換手段である。
ゲイン乗算手段２１は前記第３のトルク信号Ｔ３＊を入力し、第４のトルク信号Ｔ４＊を減算器１８へ出力する。減算器１８は前記第４のトルク信号Ｔ４＊および第５のトルク信号Ｔ５＊を入力し、偏差（Ｔ４＊−Ｔ５＊）を電動機モデル１３へ出力する。電動機モデル１３は前記偏差（Ｔ４＊−Ｔ５＊）を入力し、前記第１の模擬速度信号ωA1を減算器１１へ出力する。減算器１１は前記第１の模擬速度信号ωA1および前記第２の模擬速度信号ωA２を入力し、前記偏差（ωA1−ωA2）をトルク伝達機構モデル１０へ出力する。トルク伝達機構モデル１０は前記偏差（ωA1−ωA2）を入力し、前記第５のトルク信号Ｔ５＊を前記減算器１８および負荷機械モデル９へ出力する。負荷機械モデル９は前記第５のトルク信号Ｔ５＊を入力し、前記第２の模擬速度信号ωA２を前記減算器１１へ出力する。パラメータ切換手段３０は前記モデル切換信号ＰＣを入力し、ゲイン乗算手段２１、電動機モデル１３、トルク伝達機構モデル１０、および負荷機械モデル９の各パラメータを変更する。
【００１４】
図４はパラメータ切換手段３０のブロック図である。図４において、３１は第１慣性パラメータ取得手段、３２は第２慣性パラメータ取得手段、３３はバネパラメータ取得手段、３４はパラメータ演算部である。
第１慣性パラメータ取得手段３１は第１慣性パラメータＪ１を取得して、その第１慣性パラメータＪ１をパラメータ演算部３４へ出力する。第２慣性パラメータ取得手段３２は第２慣性パラメータＪ２を取得して、その第２慣性パラメータＪ２をパラメータ演算部３４へ出力する。バネパラメータ取得手段３３はバネパラメータＫＢを取得して、そのバネパラメータＫＢをパラメータ演算部３４へ出力する。
第１慣性パラメータＪ１、第２慣性パラメータＪ２、およびバネパラメータＫＢは予め図面から計算された値や実測した値を電動機制御装置内の記憶装置に記憶しておいて、必要なときにそれを読み出してもよいし、電動機制御装置に装備されている入出力装置を利用して入力してもよい。
パラメータ演算部３４は、前記第１慣性パラメータＪ１、第２慣性パラメータＪ２、およびバネパラメータＫＢを入力し、ゲイン乗算手段２１、電動機モデル１３、トルク伝達機構モデル１０、および負荷機械モデル９の各パラメータを算出し、ゲイン乗算手段２１へゲイン乗算手段パラメータＫ、電動機モデル１３へ電動機モデルパラメータＰＭ、トルク伝達機構モデル１０へトルク伝達機構モデルパラメータＰＢ、および負荷機械モデル９へ負荷機械モデルパラメータＰＬを出力する。
【００１５】
図３は本発明の機械モデルの伝達関数を示すブロック図である。図３（ａ）はトルク指令の入力に対して、模擬速度を出力する場合の例である。図３（ｂ）はトルク指令の入力に対して、模擬位置を出力する場合の例である。
本実施例においては、機械モデルの出力を模擬速度ωＡ１とした例を紹介しているが、本発明の機械モデルは、模擬速度を出力するものに限定するものではなく、模擬位置を出力するものであってもよい。電動機制御装置の制御方式によって都合の良いものに固定しておけばよい。
図３の構成は図２と同じであるので、重複する説明は省略し、各ブロックの動作についてのみ説明する。
図３（ａ）において、ゲイン乗算手段２１は入力信号にゲイン乗算手段パラメータＫを２乗したものを乗算する。電動機モデル１３は入力信号を、電動機モデルパラメータＰＭを時定数として１階積分する。トルク伝達機構モデル１０は入力信号を、トルク伝達機構モデルパラメータＰＢを時定数として１階積分する。負荷機械モデル９は入力信号を、負荷機械モデルパラメータＰＬを時定数として１階積分する。
また、図３（ｂ）において、ゲイン乗算手段２１は入力信号にゲイン乗算手段パラメータＫを２乗したものを乗算する。電動機モデル１３は入力信号を、電動機モデルパラメータＰＭを時定数として２階積分する。トルク伝達機構モデル１０は入力信号に、トルク伝達機構モデルパラメータＰＢを乗算する。負荷機械モデル９は入力信号を、負荷機械モデルパラメータＰＬを時定数として２階積分する。
【００１６】
つぎに、パラメータ切換手段３０の動作を、具体的な例を示して説明する。
第１の例として、電動機とトルク伝達機構と負荷機械との構成が、図５に示すような、いわゆる２慣性系システムの場合を考える。図５において、５１は電動機、５２はトルク伝達機構、５３は負荷機械である。
電動機５１と負荷機械５３は、トルク伝達機構５２を介して接続されていて、電動機５１で発生したトルクはトルク伝達機構５２を介して負荷機械５３へ伝えられる。
いま、電動機５１のイナーシャをＪＭ、トルク伝達機構５２のバネ定数をＫＦ、負荷機械５３のイナーシャをＪＬとする。
また、電動機５１の発生トルクをＴＭ、回転速度をωＭ、回転角をθＭとし、トルク伝達機構５２で発生したねじれトルクをＴＦとし、負荷機械５３を加速するトルクをＴＬ、回転速度をωＬ、回転角をθＬとして、ブロック図に表すと図６となる。
即ち、図３（ａ）において、Ｋ＝１、ＰＭ＝ＪＭ、ＰＬ＝ＪＬ、ＰＢ＝ＫＦとおくと、図６と同じになる。
したがって、パラメータ切換手段３０が、電動機５１のイナーシャＪＭを第１慣性パラメータＪ１として、トルク伝達機構５２のバネ定数をＫＦをバネパラメータＫＢとして、負荷機械５３のイナーシャをＪＬを第２慣性パラメータＪ２として、取得し、パラメータ演算部３４において、Ｋ＝１、ＰＭ＝ＪＭ、ＰＬ＝ＪＬ、ＰＢ＝ＫＦと算出すると、図５に示す２慣性系システムは本発明の機械モデルで表現することができる。
【００１７】
また、第２の例として、図７に示している、前述のリニアモータの可動子が起動することにより固定子が振動する、いわゆる機台振動系システムの場合について説明する。
図９は図８の機構系モデルのブロック図を本発明の機械モデルに変換した図である。ゲイン乗算手段２１は可動子推力Ｆを入力し、その可動子推力Ｆにゲイン｛（Ｍ＋ＭＢ）／Ｍ｝２を乗算して、減算器１８へ出力４３１を出力する。減算器１８はゲイン乗算手段２１の出力４３１およびトルク伝達機構モデル１０の出力４３５を入力を入力し、｛（出力４３１）−（出力４３５）｝を算出して、出力４３２を電動機モデル１３へ出力する。電動機モデル１３は出力４３２を入力し、電動機模擬演算を行って、可動子の固定子に対する速度ｖを減算器１１へ出力し、さらに機械モデルの出力とする。減算器１１は可動子の固定子に対する速度ｖおよび負荷機械モデル９の出力４３３を入力し、｛ｖ−（出力４３３）｝を算出して、出力４３４をトルク伝達機構モデル１０へ出力する。トルク伝達機構モデル１０はトルク伝達機構模擬演算を行い、出力４３５を減算器１８および負荷機械モデル９へ出力する。負荷機械モデル９は負荷機械模擬演算を行ない、出力４３３を減算器１１へ出力する。
【００１８】
つぎに、図８に示す機構系モデルが図９に示す本発明の機械モデルに変換する手順を説明する。
図３（ａ）に示す機構系モデルのブロック図を、ブロック図の変換定理を使って整理した伝達関数で表現すると、式（１）となる。
【００１９】
【数１】
2005229734.tif 000003
【００２０】
また、同様に、ブロック図の変換定理を使って整理して、図８に示す機構系モデルの伝達関数を求めると、式（２）となる。
【００２１】
【数２】
2005229734.tif 000004
【００２２】
式（２）を整理すると、式（３）となる。
【００２３】
【数３】
2005229734.tif 000005
【００２４】
そこで、ＰＢ＝ＫＣ、ＰＬ＝Ｍ＋ＭＢ、ＰＭ＝ＭＢ（Ｍ＋ＭＢ）／Ｍ、Ｋ＝（Ｍ＋ＭＢ）／Ｍとおくと、式（１）は式（３）と同じになり、図８は図９に変換される。
したがって、パラメータ切換手段３０が、テーブル７１の質量Ｍを第１慣性パラメータＪ１として、機台固定治具７３ａおよび７３ｂの左右方向成分のバネ定数をバネパラメータＫＢとして、機台７２の質量ＭＢを第２慣性パラメータＪ２として、取得し、パラメータ演算部３４において、ＰＢ＝ＫＣ、ＰＬ＝Ｍ＋ＭＢ、ＰＭ＝ＭＢ（Ｍ＋ＭＢ）／Ｍ、Ｋ＝（Ｍ＋ＭＢ）／Ｍと算出すると、図７に示す機台振動系システムも本発明の機械モデルで表現することができる。
このように、本発明によれば、機構系モデルのパラメータを切り換えるのみで、ひとつの機構系モデルで複数の種類の負荷機械の挙動を模擬することができる。
【産業上の利用可能性】
【００２５】
本発明は、半導体製造装置の位置決め駆動用電動機制御装置、工作機械や産業用ロボットを駆動する電動機制御装置に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明を適用する電動機制御装置のブロック図
【図２】本発明の機械モデルの詳細を示すブロック図
【図３】本発明の機械モデルの伝達関数を示すブロック図
【図４】本発明のパラメータ切換手段のブロック図
【図５】従来例の２慣性系システムの概念図
【図６】従来例の２慣性系システムの伝達関数を示すブロック図
【図７】従来例２の機台振動システム
【図８】従来例２の機台振動モデルのブロック図
【図９】図８を本発明の機械モデルに変換したブロック図
【図１０】従来の電動機制御装置の構成を示すブロック図
【符号の説明】
【００２７】
１、５１  電動機
２、５２  トルク伝達機構
３、５３  負荷機械
４  速度検出器
５  トルク制御手段
６、３０４  加算器
７、１１、１２、１５、１７、１８、３０５  減算器
８  第２の速度制御手段
９  負荷機械モデル
１０  トルク伝達機構モデル
１３  電動機モデル
１４  補償トルク演算手段
１６  第１の速度制御手段
２０  機械モデル
２１  ゲイン乗算手段
３０  パラメータ切換手段
３１  第１慣性パラメータ取得手段
３２  第２慣性パラメータ取得手段
３３  バネパラメータ取得手段
３４  パラメータ演算部
４０  モデル切換指令取得手段
７１  テーブル（可動子）
７２  機台（固定子）
７３ａ、７３ｂ  機台固定治具
３０１  テーブルモデル
３０２  機台モデル
３０３  機台固定治具モデル
【図１】
2005229734.tif 000006
【図２】
2005229734.tif 000007
【図３】
2005229734.tif 000008
【図４】
2005229734.tif 000009
【図５】
2005229734.tif 000010
【図６】
2005229734.tif 000011
【図７】
2005229734.tif 000012
【図８】
2005229734.tif 000013
【図９】
2005229734.tif 000014
【図１０】
2005229734.tif 000015