(57)【要約】【課題】  封止効果の高い有機ＥＬ素子を提供する。【解決手段】  有機ＥＬ素子の外周部に液体層を有する多層封止構造を設ける。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向する陽極と陰極からなる１対の電極と前記１対の電極の間に有機層が設けられている有機ＥＬ素子において、前記有機ＥＬ素子の外周部には更に多層封止構造が配置されており、前記多層封止構造は液体層を有していることを特徴とする有機ＥＬ素子。
【請求項２】
前記液体封止層は不活性液体による層であることを特徴とする請求項１に記載の有機ＥＬ素子。
【請求項３】
前記液体封止層は金属液体による層であることを特徴とする請求項１に記載の有機ＥＬ素子。
【請求項４】
前記多層封止構造は固体層を有しており、前記固体層は光硬化性樹脂からなる層であることを特徴とする請求項１に記載の有機ＥＬ素子。
【請求項５】
前記不活性液体は、フルオロカーボンを主成分とするフッ素系液体であることを特徴とする請求項２に記載の有機ＥＬ素子。
【請求項６】
前記不活性液体の水分溶解度は１００ｐｐｍ以下であることを特徴とする請求項２に記載の有機ＥＬ素子。
【請求項７】
前記金属液体は、インジウムを主成分とすることを特徴とする請求項３記載の有機ＥＬ素子。
【請求項８】
前記光硬化性樹脂は光カチオン重合性樹脂であることを特徴とする請求項４に記載の有機ＥＬ素子。
【請求項９】
前記光硬化性樹脂からなる層は、固体の吸湿材が内添されていることを特徴とする請求項４に記載の有機ＥＬ素子。
【請求項１０】
前記固体の吸湿材の平均粒子径は１０ミクロン以下であることを特徴とする請求項９に記載の有機ＥＬ素子。
【請求項１１】
前記多層封止構造の基板面内方向における巾は３．０ｍｍ以下で、前記基板面に対して鉛直方向の厚みが０．１ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１〜１０記載の有機ＥＬ素子。
【請求項１２】
一対の電極と、前記一対の電極の間に狭持される有機層とを基板上に配置する有機ＥＬ素子形成工程と前記有機ＥＬ素子を外周部で封止する封止工程とを有する有機ＥＬ素子の製造方法において、
前記封止工程は、前記有機ＥＬ素子形成工程の後の工程であり、且つ前記有機ＥＬ素子の前記外周部に液体層を形成する工程と前記外周部に固体層を形成する工程とからなる多層封止構造形成工程であることを特徴とする有機ＥＬ素子の製造方法。
【請求項１３】
前記液体層を形成する工程において、前記固体層が一部として構成する空隙に封止液体を注入する工程を有することを特徴とする請求項１２に記載の有機ＥＬ素子の製造方法。
【請求項１４】
前記有機ＥＬ素子は、トップエミッション構造である請求項１〜１１のいずれか１項に記載の有機ＥＬ素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は有機発光素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
下部のガラス基板上に有機発光層が二つの電極の間に挟まれたサンドイッチ構造の有機ＥＬ素子が知られているが、前記有機発光層の光を外に取り出せるようにするために、電極の片方は透明のものが使われており、一般的には陽極にＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）透明電極が使われている。更に前記有機発光層の外周面は封止材により封止され、外部駆動回路により電圧を印加することにより発光する。
【０００３】
以上の原理により発光する有機ＥＬ素子は、視認性やあるいはフレキシブル性に優れ且つ発色性が多様であることから、車載用コンポや携帯電話等のディスプレイや表示素子に利用されている。
【０００４】
ところで、これらの特性を有するディスプレイではあるが、一方で有機ＥＬ素子は一般に水分に対して極めて弱いという問題がよく知られている。一例としては有機ＥＬ素子中に有機発光層を形成するガラス基板を封止する際の環境雰囲気中に含まれる水分や封止層欠陥部を透過してくる水分が進入することにより、ダークスポットと称する非発光領域が発生、発光が維持出来なくなるといった寿命の課題が生じている。
【０００５】
この寿命に関する課題を解決するための方策として、有機ＥＬ素子の外周部の封止部材として、カチオン硬化タイプの紫外線硬化型接着剤を用い封止する方法が知られている。（特許文献１、特許文献２）
更に、有機ＥＬ素子の外周部をバリアコート層およびバリア層ベースからなるバリア性基材を二層以上積層してなるバリア性積層構造体を用いて封止する手法も知られている。（特許文献２）
【特許文献１】特開平１０−２４１８５８号公報
【特許文献２】特開平１０−２３３２８３号公報
【特許文献３】特開２００２−１３４２７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記、特許文献１乃至２に示されるように、有機ＥＬ素子をカチオン硬化タイプの紫外線硬化型接着剤を用いて有機ＥＬ素子を封止しても、接着剤自体からの水分の侵入や封止界面からの侵入を完全には防ぐことは出来ず、ダークスポットが徐々に生じたり、これが拡大したりして素子が劣化、ついには使用不能になってしまうという課題があった。また、特許文献３に示されるようにバリア性積層構造体を用いて封止する手法もあるが、製造工程が複雑になり、コスト高になるといった課題がある。
【０００７】
そこで、本発明は上述の問題点に鑑みてなされたものであり、水分の侵入を防ぐことにより、長期にわたって安定した発光特性を維持するとともに、製造工程上安価に作製することが可能な有機ＥＬ素子およびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
よって本発明は、
対向する陽極と陰極からなる１対の電極と前記１対の電極の間に有機層が設けられている有機ＥＬ素子において、前記有機ＥＬ素子の外周部には更に多層封止構造が配置されており、前記多層封止構造は液体層を有していることを特徴とする有機ＥＬ素子を提供する。
【０００９】
また本発明は、
一対の電極と、前記一対の電極の間に狭持される有機層とを基板上に配置する有機ＥＬ素子形成工程と前記有機ＥＬ素子を外周部で封止する封止工程とを有する有機ＥＬ素子の製造方法において、
前記封止工程は、前記有機ＥＬ素子形成工程の後の工程であり、且つ前記有機ＥＬ素子の前記外周部に液体層を形成する工程と前記外周部に固体層を形成する工程とからなる多層封止構造形成工程であることを特徴とする有機ＥＬ素子の製造方法を提供する。
【発明の効果】
【００１０】
以上説明したように、本発明によれば、有機ＥＬの封止材として。有機ＥＬ素子外周面に少なくとも一層が液体封止層を有する多層封止構造にすることにより、下記に示す効果が得られる。
【００１１】
１．有機ＥＬ素子の封止外部から進入する空気中の水蒸気が液体封止部の材料の飽和水分量以上には取り込まないため、素子内部まで到達することがなくなり、長期間安定性に優れた有機ＥＬ素子を提供することが出来る。
【００１２】
２．液体封止を行うことで、これまでの封止材による封止と比較して、接着界面の密着性が向上したことで、更に水分の侵入を防ぐことが出来る。
【００１３】
また本発明の有機ＥＬ素子は作成にあたり、不活性液体自体の表面張力により固体封止材のすき間に前記不活性液体が流れ込むことで、簡易装置であるディスペンサーによる精密な封止作業が不要となり、信頼性の高い有機ＥＬ素子を安価に提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明の代表図を図１に示す。図１は符号１のガラス基板上に蒸着装置やスピンコーターなどの成膜装置により透明電極と有機発光層と電極からなる符号３の有機ＥＬ素子を形成した後、符号６の多層封止構造を形成する。本発明の多層封止構造はまず図２に示すように符号２の封止ガラスの外周部に固体封止部の材料４を精密ディスペンサーにより塗布し、前記ガラス基板１と該封止ガラス２とを固体封止部の材料４を介して封着したあと硬化させる。その後、図３に示すように符号５の液体封止部の材料を前記ガラス基板１と封止ガラス２の隙間に注入した後、再び精密ディスペンサーにより封止ガラスの外周部に固体封止部の材料４で封止する。封止後、電極を外部回路に接続することにより本発明の有機ＥＬ素子が発光する。
【００１５】
ここで本発明の多層封止構造の詳細について、封止部分を拡大して図４に示す。
【００１６】
まず、符号４の固体封止部の材料中には外部からの水分や素子内部に残存する微量な水分を吸着するフィラー（符号７）を内添することが好ましい。
【００１７】
ここで符号７のフィラーは、水分吸着作用を有するフィラーであり、具体的には、シリカ（合成シリカ含む）、カオリン、デラミカオリン、水酸化アルミニウム、チタンホワイト、重質炭酸カルシウム、軽質炭酸カルシウム、硫酸カルシウム、硫酸バリウム、二酸化チタン、焼成カオリン、タルク、酸化亜鉛、炭酸亜鉛、硫化亜鉛、アルミナ、微粒子状アルミナ、ケイソウ土、焼成ケイソウ土、珪酸アルミニウム、珪酸カルシウム、珪酸マグネシウム、酸化マグネシウム、炭酸マグネシウム、アルミノ珪酸塩、コロイダルシリカ、活性白土、ベントナイト、ゼオライト、セリサイト、リトポン等の鉱物質顔料、多孔質顔料や有機顔料等の微粒子、多孔質微粒子、及び中空微粒子等が挙げられる。
【００１８】
また、有機材料としては、エポキシ樹脂、環状ポリオレフィン系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリ（メタ）アクリル系樹脂、ポリエチレンテレフタレート系樹脂、各種ナイロンのポリアミド樹、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリアリールフタレート樹脂、シリコーン樹脂、ポリスルホン系樹脂、ポリフェニレンスルフィド系樹脂、ポリエーテルスルホン系樹脂、ポリウレタン系樹脂、アセタール系樹脂、及上記列挙の前駆体を共重合してなる共重合体が挙げられる。
【００１９】
ここで一例として、前記有機材料としては光カチオン重合系の液状樹脂（ＫＲ６９５Ａ／旭電化工業製）を用い、前記樹脂中に吸湿作用を併せ持つフィラーとして、ここでは合成シリカ（商品名：マイクロイド／東洋化学工業製）を５０ｗｔ％添加した材料を固体封止部の材料符号４として調製し、前記固体封止部の材料をディスペンサーにより符号２の封止ガラス上に幅１ｍｍ、厚み４ミクロンに精密塗布を行い、ガラス基板１と封着した後、図５に示す符号８のＵＶ照射装置により硬化させた。
【００２０】
次に符号５の液体封止部の材料として、ここではフッ素系溶剤（ＨＦＥ−７２００／住友３Ｍ製）を用い、前記ガラス基板１と封止ガラス２の隙間（４ミクロン）に充填した。
【００２１】
ここで、充填可能な液体としては飽和溶解水分量が少ない液体であれば、公知または周知のものが使用できる。具体的には、パーフルオロヘキサン、パーフルオロオクタンなどのパーフルオロ脂肪族炭化水素類、１Ｈ，１Ｈ，１Ｈ，２Ｈ，２Ｈ−パーフルオロオクタン、１Ｈ，１Ｈ，１Ｈ，２Ｈ，２Ｈ−パーフルオロデカンなどの含フッ素脂肪族炭化水素類、パーフルオロデカリン、パーフルオロシクロヘキサン、パーフルオロ（１，２−ジメチルシクロブタン）などの含フッ素脂環式炭化水素類、パーフルオロトリペンチルアミン、パーフルオロトリブチルアミン、パーフルオロトリプロピルアミンなどの含フッ素アルキルアミン類、ＨＣＦ２ＣＦ２ＯＣＨ２ＣＦ３などの含フッ素エーテル類、パーフルオロ（２−ブチルテトラヒドロフラン）などの含フッ素環状エーテル類が挙げられる。これらを２種以上混合して使用してもよい。
【００２２】
更に符号５の液体封止部の材料として、上記フルオロカーボン系溶媒を代表とする不活性液体以外に、常温で液体状態である金属液体も好適である。具体的には、ガリウムやインジウム合金等からなる金属液体が挙げられる。
【００２３】
上記に挙げた溶剤を充填後、前記液体封止部の材料の安定性を確保するために、カバーガラスの外周部を再び符号４の固体封止部の材料により封着した。
【００２４】
これら封着する工程は、グローブボックス（不図示）中の水分濃度を１０ｐｐｍ以下に制御して封着することにより、組み立て直後にこれまで大きな課題であったダークスポットの発生を押さえ込むことが可能となった。また、長期信頼性においても６０℃／９０％ＲＨの雰囲気条件で１０００時間の連続耐久試験を行ったが、輝度劣化等の発光特性の低下は確認されず、ダークスポット等の発生もなく、安定した有機ＥＬ素子とその製造方法を得ることが出来た。
【００２５】
本発明の有機ＥＬ素子は、照明用光源、電子写真方式の画像形成装置における感光体へ画像を露光するための光源、およびそのような光源を有する電子写真方式の画像形成装置、車載用ディスプレイ、デジタルカメラや電子写真方式の画像形成装置の表示部、テレビ、パソコン用ディスプレイ等に適用可能である。
【実施例】
【００２６】
（第１の実施例）
本実施例は一対の電極のうち基板側から遠い電極から光を取り出すいわゆるトップエミッション構造の有機ＥＬ素子に係る。
【００２７】
本発明の代表図を図１に示す。ここで符号１はガラス基板であり、符号３は蒸着装置やスピンコーターなどの成膜装置により透明電極と有機発光層と電極からなる有機ＥＬ素子を示す。ここで、該有機ＥＬ素子の詳細な作製方法について以下に述べる。
【００２８】
［Ｃｒ電極形成］
ガラス基板上に、ＣｒターゲットをＤＣスパッタし陽極Ａとして１００ｎｍの厚さにＣｒ膜を成膜した。この際成膜マスクを用いて、３ｍｍのストライプとした。Ａｒガスを用いて、０．２Ｐａの圧力、３００Ｗの投入Ｐｗ条件で行った。
【００２９】
［大気開放］
次に基板をスパッタ装置より取り出してアセトン、イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）で順次超音波洗浄し、次いでＩＰＡで煮沸洗浄後乾燥した。さらに、ＵＶ／オゾン洗浄した。
【００３０】
［前処理］
有機ＥＬ蒸着装置へ移し真空排気し、前処理室で基板付近に設けたリング状電極に５０ＷのＲＦ電力を投入し酸素プラズマ洗浄処理を行った。酸素圧力は０．６Ｐａ、処理時間は４０秒であった。
【００３１】
［正孔輸送層形成］
基板を前処理室より成膜室へ移動し、成膜室を、１×１０Ｅ（−４）Ｐａまで排気した後、正孔輸送性を有するαＮＰＤを抵抗加熱蒸着法により成膜速度０．２〜０．３ｎｍ／ｓｅｃの条件で成膜、膜厚３５ｎｍ正孔輸送層を形成した。なお、正孔輸送層、発光層、および電子注入層は、同一の蒸着マスクを用いることにより所定の部分に蒸着した。所定の部分とは基板上で、Ｃｒが露出している部分である。（画素電極）
【００３２】
［発光層形成］
続いて正孔輸送層の上にアルキレート錯体であるＡｌｑ３を抵抗加熱蒸着法により正孔輸送層と同様の成膜条件で膜厚１５ｎｍ成膜、発光層を形成した。
【００３３】
［電子注入電極層形成］
次に、発光層の上に抵抗加熱共蒸着法によりＡｌｑ３と炭酸セシウム（Ｃｓ２ＣＯ３）を膜厚比９：１の割合で混合されるよう、各々の蒸着速度を調整して成膜、膜厚３５ｎｍ電子注入層を形成した。詳しくは、それぞれの蒸着ボートにセットした材料を抵抗加熱方式で蒸発させ、有機層は〜５Ａ／Ｓ、共蒸着層もそれぞれのボート電流値を調整することで、あわせて〜５Ａ／Ｓの蒸着速度で膜形成を行った。
【００３４】
［陰極（透明導電膜）形成］
最後に別の成膜室に基板を移し、電子注入層の上にＩＴＯターゲットを用いてＤＣマグネトロンスパッタリング法により、膜厚が１３０ｎｍになるようマスク成膜によりＣｒ画素電極を覆って、Ｃｒストライプに交差するように、陰極Ｋを形成した。
【００３５】
成膜中においては、成膜時間の経過につれてＨ２Ｏガス供給量を減少させることにより陰極Ｋの膜厚方向にＨの濃度勾配を形成した。Ｈの濃度勾配は、電子注入電極層界面近傍においてＨを５×１０２１〜１×１０２２ａｔｏｍ／ｃｃとし、膜厚方向に向かって連続的に濃度を低下させ、陰極Ｋの膜厚中心付近（電子注入電極層界面より６５ｎｍ）でＨの含有量が１０２０ａｔｏｍ／ｃｃ台とした。なお、前述のようにＩＴＯターゲット裏面には強磁場タイプのマグネットが配置されており、低電圧スパッタリングが可能となっている。
【００３６】
成膜条件としては、基板加熱なしの室温成膜で成膜圧力を１．０Ｐａ、Ａｒ、Ｈ２ＯおよびＯ２ガスを用いそれぞれの流量は５００、１．５、５．０ｓｃｃｃｍとし、ターゲットに印加する投入パワーはＩＴＯ：５００Ｗで成膜を行った。透過率は８５％（ａｔ．４５０ｎｍ）、比抵抗値は８．０Ｅ−４Ωｃｍであった。
【００３７】
以上のようにして、符号１のガラス基板上に、陽極、正孔輸送層、発光層、電子注入電極層及び陰極を設け、有機ＥＬ発光素子を形成した。
【００３８】
［封止工程］
次に形成した有機ＥＬ発光素子に空気中の水蒸気が浸入しないような封止材料でバリア性を付与させるため、封止工程に移る。
【００３９】
ここで用いる封止材料としては、光カチオン重合系の液状樹脂（ＫＲ６９５／旭電化製）を用い、前記液状樹脂中に水分吸着作用を有するフィラーとして、ここでは合成シリカ（商品名：マイクロイド／東海化学工業所製）を混合・分散装置により５０ｗｔ％内添した材料を封止材料４として調製した。
【００４０】
調製した前記封止材料４を精密ディスペンサー用シリンジ中に注入し、注入後、図２に示すように、符号２の封止ガラスの外周部に封止材料４をディスペンサーにより、幅１ｍｍ、厚み４ミクロンで精密塗布を行った。その後、前記ガラス基板１と該封止ガラス２とを封止材料４を介して封着し、図５に示す紫外線照射装置（ＥＸ２５０  ＨＯＹＡ−ＳＨＯＴＴ製）のランプ８により硬化させた。尚、その時の紫外線照射強度は１００ｍＷ／ｃｍ２で光量は３，０００ｍＪ／ｃｍ２である。
【００４１】
封着後、図３に示すように符号５の液体封止部の材料として、ここではフッ素系溶剤（ＨＦＥ−７２００／住友３Ｍ製）を用い、前記ガラス基板１と封止ガラス２の隙間（４ミクロン）に充填した。
【００４２】
ここで、充填は前記フッ素系溶剤自体の持つ表面自由エネルギーが小さいため、容易に充填可能である。
【００４３】
液体封止部の材料であるフッ素系溶剤充填後、前記液体封止部の材料の安定性を確保するために、カバーガラスの外周部を再び符号４の固体封止部の材料により封着した。
【００４４】
以上述べた封着工程は、グローブボックス（不図示）中の水分濃度を１０ｐｐｍ以下に制御して封着することにより、組み立て直後にこれまで大きな課題であったダークスポットの発生を押さえ込むことが可能となった。
【００４５】
［素子評価］
長期信頼性においても図６の表１に示すように、６０℃／９０％ＲＨの雰囲気条件で１０００時間の連続耐久試験を行ったが、多層封止構造の液体封止部により外部からの余分な水分の浸入がないため、輝度劣化等の発光特性の低下はほとんど確認されず（輝度：９５％）、ダークスポット等の発生もなく、安定した有機ＥＬ素子とその製造方法を得ることが出来た。
【００４６】
（第２の実施例）
第１の実施例と比較して、金属液体を液体封止部の材料として用いた場合を示す。
【００４７】
本発明の代表図を図１に示す。ここで有機ＥＬ発光素子の製造方法として、Ｃｒ電極形成から封止工程の前記ガラス基板１と封止ガラス２の封着までは同様であるので割愛する。
【００４８】
［封止工程］
前記ガラス基板１と封止ガラス２を封着した後、図３に示すように符号５の液体封止部の材料として、ここではインジウム／ガリウム金属液体（豊島製作所製）を用い、前記ガラス基板１と封止ガラス２の隙間（４ミクロン）に充填した。
【００４９】
ここで、前記金属液体の持つ表面自由エネルギーが大きいため、前記液体金属を充填する前に基板を表面処理した。
【００５０】
表面処理法としては、一般的に用いられる乾式表面処理法であれば良く、例えば、ＵＶ／Ｏ３洗浄、エキシマ洗浄処理などの紫外線照射処理法や低温プラズマ法が好適である。
【００５１】
具体的には不図示の大気圧プラズマクリーニング装置（商品名：Ａｉｐｌａｓｍａ／松下電工製）により、封止部を予め処理を行うことで、前記液体金属の充填は可能となる。
【００５２】
液体封止部の材料である金属液体を充填後、前記液体封止部の材料の安定性を確保するために、カバーガラスの外周部を再び符号４の固体封止部の材料により封着した。
【００５３】
以上述べた封着工程は、グローブボックス（不図示）中の水分濃度を１０ｐｐｍ以下に制御して封着することにより、組み立て直後にこれまで大きな課題であったダークスポットの発生を押さえ込むことが可能となった。
【００５４】
［素子評価］
長期信頼性においても図６の表１に示すように、６０℃／９０％ＲＨの雰囲気条件で１０００時間の連続耐久試験を行ったが、多層封止構造の液体封止部により外部からの余分な水分の浸入がないため、輝度劣化等の発光特性の低下はほとんど確認されず（輝度：９２％）、ダークスポット等の発生もなく、安定した有機ＥＬ素子とその製造方法を得ることが出来た。
【００５５】
（第１の比較例）
第１の比較例は第１の実施例に対して、有機ＥＬの封止材料として、液体封止を用いなかった場合について示す。
【００５６】
ここで用いる封止材料としては、光カチオン重合系の液状樹脂（ＫＲ６９５／旭電化製）及び水分吸着フィラーは実施例１と同様とした。
【００５７】
前記封止材料４を符号５のディスペンサー用シリンジ中に注入し、注入後、図２に示すように、符号２の封止ガラスの外周部に封止材料４をディスペンサーにより、幅１ｍｍ、厚み４ミクロンで精密塗布を行った。
【００５８】
塗布後、前記ガラス基板１と該封止ガラス２とを封止材料４を介して封着し、図５に示す紫外線照射装置（ＥＸ２５０  ＨＯＹＡ−ＳＨＯＴＴ製）ランプ８により硬化させた。尚、その時の紫外線照射強度は１００ｍＷ／ｃｍ２で光量は３，０００ｍＪ／ｃｍ２である。
【００５９】
封着後、ここでは液体封止は行わずに、前記封止ガラスの外周部を再び符号４の固体封止部の材料により封着した。
【００６０】
以上述べた封着工程は、グローブボックス（不図示）中の水分濃度を１０ｐｐｍ以下に制御して封着した。
【００６１】
［素子評価］
組み立てた有機ＥＬ素子について、６０℃／９０％ＲＨの雰囲気条件で１０００時間の連続耐久試験を行ったが、余分な水分が封止材及び封止界面から浸入し、図６の表１に示すように輝度劣化が進む（輝度：３５．５％）、安定性に乏しい有機ＥＬ素子となった。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の有機ＥＬ素子の断面図である。
【図２】ディスペンサーにより封止ガラス上に固体封止部の材料を塗布した後、ガラス基板を封着した図である。
【図３】封着後、ガラス基板と封止ガラスの隙間に液体封止材を注入した後、封止ガラスの外周部を固体封止材により封着した図である。
【図４】本発明の封止部の拡大図である。
【図５】固体封止材をＵＶランプにより硬化している図である。
【図６】封止した有機ＥＬ素子の高温・高湿耐久試験結果表１である。
【符号の説明】
【００６３】
１  ガラス基板
２  封止ガラス
３  有機ＥＬ素子
４  固体封止部
５  封止部
６  多層封止構造
７  水分吸着フィラー
８  ＵＶ照射装置のランプ
【図１】
2005190683.tif 000003
【図２】
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【図３】
2005190683.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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