(57)【要約】【課題】  シフトレジスタチェーンにおける伝播エラーの効果を低減する。【解決手段】  行および列のアレイに配置された回路素子を有する電子回路であって、回路素子３１０は、その中に記憶されるデータ２２２に応答して状態変更可能であり、回路素子３１０の間でデータ２２２をシフトするように構成されており、集合を構成する回路素子３１０に電気結合されたストロボラインであって、回路素子にストロボ信号６０２を提供して、前記集合の中の回路素子３１０に対して、インタリーブパターンで前記集合の外の回路素子３１０のうち隣接していない回路素子３１０へとデータ２２２をシフトさせるストロボラインであり、前記集合は、行が隣接する回路素子３１０と列が隣接する回路素子３１０とを含むものである、ストロボライン８００を特徴とする電子回路を提供する。【選択図】  図１
2005311351.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
行および列のアレイに配置された回路素子を有する電子回路であって、該回路素子は、その中に記憶されるデータに応答して状態変更可能であり、該回路素子の間でデータをシフトするように構成されており、
ある集合を構成する回路素子に電気結合されたストロボラインであって、回路素子にストロボ信号を提供して、前記集合の中の回路素子に対して、インタリーブパターンで前記集合の外の前記回路素子のうち隣接していない回路素子へとデータをシフトさせるストロボラインであり、前記集合は、行が隣接する回路素子と列が隣接する回路素子とを含むものである、ストロボラインを特徴とする電子回路。
【請求項２】
前記ストロボラインは、前記アレイの中の少なくとも２つの隣接する行の少なくとも一部にある回路素子に電気結合されることを特徴とする請求項１に記載の電子回路。
【請求項３】
前記ストロボラインは、前記アレイの中の第１対の隣接する行にある前記回路素子に電気結合され、前記第１対の隣接する行にある前記各回路素子に第１のストロボ信号を提供し、
前記電子回路は、前記アレイの中の第２の隣接する行にある前記回路素子に電気結合された別のストロボラインをさらに含んでおり、前記第２対の隣接する行にある回路素子に第２のストロボ信号を提供し、前記第１のストロボ信号は、前記第１の隣接する行にある前記回路素子から、前記第２の隣接する行にある回路素子にデータをシフトするように動作可能である請求項２に記載の電子回路。
【請求項４】
前記ストロボラインは、前記アレイの少なくとも２つの隣接する列の少なくとも一部にある回路素子に電気結合されるものである請求項１に電子回路。
【請求項５】
前記ストロボラインは、前記回路素子のうち直交して隣接する各々の少なくとも２つのグループに電気結合され、前記少なくとも２つのグループは前記アレイ内で互いに対して対角線上に位置するものである、請求項１に記載の電子回路。
【請求項６】
前記アレイの少なくとも１つの端に接続され、回路素子にデータをロードするためのバッファをさらに含んでおり、前記バッファはバッファ素子を含み、該バッファ素子の各々は前記アレイのそれぞれの部分にデータをロードし、前記ストロボラインは、前記アレイの第２の部分内にあり、前記アレイの第１の部分と関連づけられたバッファ素子のうち１つをクロックして、前記アレイの第１の部分にデータをロードするものである請求項１に記載の電子回路。
【請求項７】
画像を表すデータを光変調素子へとロードするステップと、
画像のインスタンスを基板上へと転写するために、前記ロードされたデータに応答して前記光変調素子を状態変更させるステップと、
前記光変調素子のうち隣接していない光変調素子の間でデータをインタリーブパターンによりシフトするステップと、
前記画像の別のインスタンスを前記基板に転写するために、前記シフトされたデータに応答して前記光変調素子を状態変更させるステップと
を含んでなる、フォトリソグラフィを行う方法。
【請求項８】
前記シフトするステップは、
前記光変調素子に電気結合されたストロボラインにストロボ信号を供給して、前記光変調素子のうち隣接していない光変調素子の間でデータをシフトさせることをさらに含む請求項７に記載の方法。
【請求項９】
行および列のアレイに配置された光変調素子を提供することをさらに含み、
前記シフトするステップは、
前記光変調素子の集合にストロボ信号を供給することであって、前記集合のうち少なくとも１つは少なくとも２つの隣接する行の少なくとも一部の中に各光変調素子を含むものである、ストロボ信号を供給することと、
前記隣接していない行の中の光変調素子の間でデータをシフトすることと
をさらに含む請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記シフトするステップは、
前記光変調素子の集合にストロボ信号を供給することであって、前記集合のうち少なくとも１つは前記少なくとも２つの隣接する列の少なくとも一部の中に各光変調素子を含むものである、ストロボ信号を供給することと、
前記隣接していない列の光変調素子の間でデータをシフトすることと
を含む請求項８に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般にフォトリソグラフィに関し、より具体的には、動的なフォトリソグラフィシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、空間光変調器（spatial light modulator：ＳＬＭ）を使用して、フォトレジスト層などの感光面を有する基板上にイメージングされるパターンを画定する動的なフォトリソグラフィシステムが開発されている。ＳＬＭは、電気信号に応答して画像のピクセルを画定する、個別に制御可能な光変調素子（たとえば、液晶セルまたはマイクロミラーなどの）のアレイを含む電気デバイスである。典型的には、（たとえば、５μｍ以下の）小さなピクセルサイズで、数平方センチメートル以下の面積のＳＬＭの中に数千万個もの光変調素子がある。たとえば、１６３８４列×６０６行の３μｍの光変調素子のアレイを含むＳＬＭが、このような小さなピクセルサイズのために提案されている。
【０００３】
一般に、小さなサイズのＳＬＭでは、基板の全面積をイメージングするために多数回の露光が必要である。ＳＬＭによって形成された画像は容易に再構成可能であるので、最終的な画像をセクションに分割して、画像セクションのうち１つを基板面の適切な領域に転写するようにＳＬＭを構成すること、基板とＳＬＭの相対的な位置をシフトして、全画像が基板表面上に転写されるまで、各画像セクションについて処理を繰り返すことは、比較的単純なプロセスである。
【０００４】
しかし、光変調素子が多くなると、ＳＬＭに欠陥がないと仮定することは非現実的である。統計的に考えると、ＳＬＭの何千万個もの変調素子の中には、少なくとも数十個の不良品がでるであろう。多数回のイメージングプロセスの結果として、不良な光変調素子の各々は、基板表面にＮ個のピクセル欠陥を生成する。ここで、Ｎは、画像が分割されるセクションの数である。不良な光変調素子から生じる、転写された画像の欠陥の数を限定するために、ＳＬＭを介してデータをシフトし、ＳＬＭ内の異なる光変調素子を使用することによって、各画像セクションを基板の同じ部分に多数回転写することができる。このことは、同時係属の共同譲渡された特許文献１に記載されているとおりである。
【０００５】
ＳＬＭ内のストロボラインは、光変調素子にストロボ信号を供給し、シフトレジスタ構成の光変調素子間のデータシフトを駆動する。しかし、ＳＬＭを介したデータシフトには、シフトされる位置ごとに１つのクロックサイクルが必要である。たとえば、６００ピクセル長のシフトレジスタチェーンは、入力から出力へデータをシフトするために６００クロックサイクルが必要である。６００クロックサイクルに必要な時間は画像の転送と転送との間で使用可能な時間より長いことがある。さらに、シフトレジスタ構成では、シフトレジスタチェーンの１つのポイントで故障が生じると、故障ポイントからチェーンの端まで伝播する。
【０００６】
【特許文献１】米国特許出願第１０／７３７１２６号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
したがって、ＳＬＭを介したデータシフトに必要なクロックサイクルの数を減少させ、シフトレジスタチェーンにおける伝播エラーの効果を低減するストロボライン構成が必要である。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
たとえば、本発明の実施形態は、空間光変調器の中で使用できる電子回路を提供する。電子回路は、行および列のアレイに配置された回路素子を含む。回路素子は、回路素子の中に記憶されたデータに応答して状態変更可能であり、回路素子同士の間でデータをシフトするように構成される。ストロボラインは、回路素子の集合に電気結合される。この集合は、行が隣接する回路素子と、列が隣接する回路素子とを含む。ストロボラインは、この集合の中の回路素子がインタリーブパターンにより、集合の外側の隣接していない回路素子へとデータをシフトするように、集合の中の回路素子にストロボ信号を提供する。
【０００９】
一実施形態では、ストロボラインは、アレイの中の少なくとも２つの隣接する行または列の少なくとも一部の回路素子に電気結合され、ストロボ信号を回路素子に提供して、回路素子の隣接していない行または列の間でデータをそれぞれシフトする。別の実施形態では、ストロボラインは、アレイの中で互いに対して対角線上に位置する回路素子の少なくとも２つのグループに電気結合される。各グループは、アレイ内に２つ以上の隣接する行または列の少なくとも一部に回路素子を含む。
【００１０】
別の実施形態では、少なくとも１つのバッファがアレイの端に接続され、データをアレイの一部にロードする。バッファは、回路素子の少なくとも２つの行または列の少なくとも一部にデータをロードするように構成される。一実施形態では、バッファは、各々がアレイのそれぞれの部分にデータをロードするバッファ素子を含む。アレイの第２の部分に関連づけられた第１のストロボラインは、アレイの第１の部分に関連づけられた第１のバッファをクロックし、アレイの第１の部分にデータをロードするように構成される。シフトレジスタは、ストロボラインに電気接続され、ストロボラインにストロボ信号を連続的に供給する。
【００１１】
本発明の他の実施形態では、画像を表わすデータを光変調素子にロードするフォトリソグラフィを行なうプロセスを提供する。光変調素子の一部は、光変調素子へとロードされたデータに応答して状態変更され、画像のインスタンスを基板上に転送する。データは、隣接していない光変調素子同士の間でインタリーブパターンによりシフトされる。光変調素子のうち別の光変調素子は、シフトされたデータに応答して状態変更され、画像の別のインスタンスを基板上に転送する。
【００１２】
光変調素子のアレイ全体にわたってインタリーブパターンによりデータをシフトすることによって、アレイを介したデータシフトに必要なクロックサイクルの数が低減される。さらに、データのインタリーブにより、シフトレジスタチェーンにおける伝播エラーの効果も低減される。加えて、本発明は、上記の特徴および利点に追加するか、または上記の特徴および利点の代わりに他の特徴および利点も提供する。これらの特徴および利点の多くは、以下の図面を参照しながら以下の説明を読むことにより明らかになるであろう。
【００１３】
次に、発明の例としての実施形態を示し、引用することにより本明細書の一部をなすものとする添付図面を参照して、本明細書に開示する発明を説明する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
図１は、フォトリソグラフィによって基板１５０に画像を転写する動的フォトリソグラフィシステム１００を示す。フォトリソグラフィシステム１００は、光１０４を出力するように動作可能な光源１０２を含む。当業者であれば理解されるように、光源１０２は、エキシマレーザなどのレーザ、またはレーザ以外の他の光源でありうる。光源１０２は、ビーム形成光学素子１０６に光学的に結合する。ビーム形成光学素子１０６は、本発明の実施形態による空間光変調器１１０に向けられた光１０８を出力する。空間光変調器１１０は、選択的に光１０８を転送するように動作可能な光変調素子（図示せず）を含む。図３に関して光変調素子をより詳細に説明する。一実施形態では、光変調素子は、液晶素子である。しかし、他の実施形態では、光変調素子は、マイクロミラー、または、反射、透過、もしくは他の方法によって選択的に光を転送することができる別のタイプの光学デバイスでありうることを理解されたい。
【００１５】
空間光変調器１１０の出力は、光のない暗い領域と、選択された光変調素子によって転送されパターンを含む画像の少なくとも一部を形成する多数の光ビーム１１２ａから１１２ｎ（集合的に１１２と呼ぶ）から構成される明るい領域とを含む。光ビーム１１２は投射光学素子１１４に向けられ、投射光学素子１１４は光ビーム１１２を基板１５０の上に向けるように光学的に並ぶ。基板１５０の表面上には、フォトレジスト層などの感光層（図示せず）がある。感光層は、光ビーム１１２に応答して反応し、基板１５０の表面上にパターンを生成する。一実施形態では、基板１５０が空間光変調器１１０に対して任意の方向に移動できるように、基板１５０が走査ステージ１２０に装着される。走査ステージ１２０は、たとえば高精度走査ステージでありうる。別の実施形態では、基板１５０は固定しており、光学素子および／または光ビーム１１２が基板１５０に対して移動する。いずれの構成でも、基板１５０および空間光変調器１１０のうち１つは互いに対して移動し、基板１５０上に画像を転写する。
【００１６】
空間光変調器１１０は、光変調素子に一意的に結合するピクセル駆動回路（図示せず）をさらに含む。図３に関してピクセル駆動回路を詳細に説明する。ピクセル駆動回路は、光変調素子の状態を定義するデータを記憶する。たとえば、（たとえば、論理ＬＯＷと論理ＨＩＧＨとのデータ値などの）データを光変調素子と関連づけられたピクセル駆動回路に記憶することによって、反射性の光変調素子を反射状態または非反射状態に選択的に変更し、受光した光１０８を基板１５０上に反射するかまたは反射しないかのいずれかにすることができる。実際には、空間光変調器１１０は、基板１５０の感光層上にイメージングされるパターンを形成する動的マスクとして動作する。
【００１７】
図２は、図１のフォトリソグラフィシステム１００を制御するように動作可能なコンピュータシステム２０２の構成２００を示す構成図である。コンピュータシステム２０２は、ソフトウェア２０６を実行するように動作可能な処理ユニット２０４を含む。処理ユニット２０４は、任意のタイプのマイクロプロセッサ、マイクロコントローラ、プログラマブルロジックデバイス、デジタル信号プロセッサ、または他の処理デバイスでありうる。処理ユニット２０４は、メモリユニット２０８と入出力（Ｉ／Ｏ）ユニット２１０とに結合する。Ｉ／Ｏユニット２１０は、ワイヤードまたはワイヤレスでありうる。
処理ユニット２０４は、転写される画像を記憶する記憶ユニット２１２と、フォトリソグラフィシステム１００のためのタイミング信号２１６を生成するタイミング回路２１４とにさらに結合される。任意選択的には、コンピュータシステム２０２に電子ディスプレイ２２０が結合され、図１の基板１５０上にイメージングするために空間光変調器１１０に通信される画像（または画像の一部）を表示するように動作可能である。
【００１８】
タイミング信号２１６は、露光サイクルの間に、ステージ１２０、空間光変調器１１０、レーザ１０２の動作を制御する。タイミング信号２１６の例は、画像の一部を表すデータ２２２を空間光変調器１１０にシーケンシャルにクロックするデータクロック信号と、空間光変調器１１０内のストロボラインに沿って提供され空間光変調器１１０の光変調素子の間でデータをシフトするストロボ信号と、レーザ１０２のフラッシュを開始する露光信号と、空間光変調器１１０とレーザ１０２とステージ１２０とを駆動するその他のクロック信号とを含む。プロセッサ２０４は、タイミング回路２１４およびＩ／Ｏユニット２１０と通信し、空間光変調器１１０と、レーザ１０２やステージ１２０などのフォトリソグラフィシステム１００の他の構成要素に、データ２２２およびタイミング信号２１６を通信する。たとえば、露光サイクル中に、ストロボ信号によって空間光変調器１１０内の光変調素子間でデータ２２２をシフトし、データクロック信号と、ＳＬＭ１１０とステージ１２０とレーザ１０２とを駆動する他のクロック信号とに応じて、コンピュータシステム２０２から空間光変調器１１０へとデータ２２２を送信し、ＳＬＭ１１０内の光変調素子の状態をデータ２２２の関数として変え、画像を転写するためにステージ１２０をＳＬＭ１１０と並べ、露光信号のタイミングを制御してレーザ１０２のフラッシュを開始する。
【００１９】
光変調素子の故障によって生じる転写された画像の欠点を低減するために、各露光サイクル中にＳＬＭ１１０に通信されるデータ２２２は、画像の一部しか含まず、基板上で画像の光学的なオーバーサンプリングができるようになっている。光学的なオーバーサンプリング技術の例は、同時係属中の、共同譲渡された米国特許出願第１０／７３７１２６号（代理人文書番号第１００３０５７１号）および米国特許出願第１０／７３６０９０号（代理人文書番号１００４００７０号）に説明されている。これらの出願は、引用することにより本明細書の一部をなすものとする。
【００２０】
一実施形態では、画像がセクションへと分割され、各セクションは単一の露光サイクルの間にＳＬＭ１１０によって転写される。さらに、各セクションは、ＳＬＭ１１０に送信されたデータ２２２が画像サブセクションのうち少なくとも１つを表すようにサブセクションへと分割される。特定の画像セクションの残りの画像サブセクションを表すデータはＳＬＭ１１０内でシフトされるので、残りの画像サブセクションはＳＬＭ１１０の異なる光変調素子によってイメージングできる。
【００２１】
たとえば、ある実施形態において、各画像セクションを６つの画像サブセクションに分割する場合には、データ２２２は、５つの画像サブセクションを表わす、すでに基板に転写されたデータと、１つの新しい画像サブセクションを表わすデータとを含む。しかし、何千万もの光変調素子がある可能性があるので、各露光サイクル中にすべての画像サブセクションを表わすデータ２２２をＳＬＭ１１０に書き込むためには、Ｉ／Ｏユニット６０２とＳＬＭ１１０との間で多量のデータ２２２を通信する必要がある。このような大きなＩ／Ｏ帯域幅は、電力消費を増加させ、フォトリソグラフィシステム１００の処理速度を制限する。したがって、他の実施形態では、各露光サイクル中にＳＬＭ１１０に通信されるデータ２２２は、以前に転写された画像サブセクションを表すデータではなく、新しい画像サブセクション（複数可）を表すデータだけを含み、帯域幅を低減し、電力消費を低減し、処理速度を増加させる。以前に基板に転写された画像サブセクションを表わすデータは、ＳＬＭ１１０の内に記憶され、ＳＬＭ１１０の内部で移動する。
【００２２】
図３は、フォトリソグラフィプロセス中にデータを内部で動かす機能を有する、例としての空間光変調器１１０の一部を示す概略図である。ＳＬＭは、今後は光変調素子３１０ａおよび３１０ｂ（集合的に３１０）と呼ばれる回路素子のアレイ３００を含む。各光変調素子は、光変調素子３１０が定義するピクセルの状態を制御する機能を少なくとも部分的に果たす関連づけられたピクセルコントローラ３０４と通信するメモリ素子３０２を含む。図３では、各メモリ素子３０２は、入力ライン３０６と順方向アクセス制御素子３０８とを含む静的なメモリ素子である。示された例において、順方向アクセス制御素子３０８は、順方向シフト動作の間に順方向アクセス制御素子３０８の状態をコントロールするように動作可能な順方向アクセスストロボライン３１１を有するトランジスタである。図３では、順方向シフト動作は光変調素子３１０ａから光変調素子３１０ｂへとデータをシフトアップする。各メモリ素子３０２は、逆シフト動作の間に、逆アクセス制御素子３１２の状態を制御するように動作可能な逆アクセスストロボライン３１４を有する逆アクセス制御素子３１２をさらに含む。図３では、逆シフト動作は、光変調素子３１０ｂから光変調素子３１０ａへとデータをシフトダウンする。
【００２３】
アレイ３００の構成に依存して、光変調素子３１０ａおよび３１０ｂは、同じ行の異なる列に配置されるか、または同じ列の異なる行に配置される。このことを図３に示す。したがって、メモリ素子３０２は、アレイ３００の隣接する行または列の間でデータを二方向にシフトするように構成される。さらに、他の実施形態では、メモリ素子３０２は、追加または別法として、アレイ３００の隣接していない行、列、または光変調素子３１０の間で、データをシフトするように構成できることも理解されたい。
【００２４】
順方向および逆方向のアクセス制御素子３０８および３１２のコモンノード３１６は、メモリセル３１７にそれぞれ結合する。一実施形態では、メモリセル３１７は、画像の１つのピクセルを表わすデータを記憶するために使用される双安定回路または静的なラッチである。リップルクロックを使用してメモリセル３１７間でデータを伝播するラッチ（つまりスイッチおよび逆並列インバータ）として実施されたメモリセル３１７を示す。図４から図７を参照して、リップルクロックをより詳細に説明する。
【００２５】
各メモリセル３１７は、順方向インバータ３１８とフィードバックインバータ３２０とを含む。フィードバックインバータ３２０は、現在の状態（すなわちＬＯＷ状態またはＨＩＧＨ状態）を安定位置に強化するために使用する「弱い」フィードバック素子である。したがって、コモンノード３１６が低電圧レベル（つまりＬＯＷ状態）である場合には、順方向インバータ３１８は、出力ノード３２２に結合された出力上のＬＯＷ状態をＨＩＧＨ状態に反転する。出力ノード３２２上のＨＩＧＨ状態はフィードバックインバータ３２０への入力であり、インバータ３２０はノード３１６に低電圧レベルを出力する。弱いフィードバックインバータ３２０から出力される低電圧レベルは、ノード３１６上のＬＯＷ状態を強化するが、制御はしない。同様に、弱いフィードバックインバータ３２０から出力される高電圧レベルは、ノード３１６の上のＨＩＧＨ状態を強化するが、制御はしない。
【００２６】
出力ノード３２２は、ピクセルコントローラ３０４に結合し、光変調素子３１０の出力ノードである。一実施形態では、ピクセルコントローラ３０４は、液晶（liquid crystal：以下、「ＬＣ」とよぶ）光変調素子のピクセル電極である。出力ノード３２２の上の電圧レベルは、ＬＣ光変調素子のピクセル電極に印加され、ピクセル電極に印加された電圧レベルがＬＣ光変調素子の共通電極に印加された電圧と異なる時には、ＬＣ光変調素子の状態を変更する。他の実施形態では、ピクセルコントローラ３０４は、マイクロミラーの状態または位置を制御するエレクトロメカニカルデバイスである。
【００２７】
多数の光変調素子３１０は相互に電気接続する。一実施形態では、図３に示すように、光変調素子３１０はシフトレジスタ構成により接続される。シフトレジスタ構成では、（たとえば光変調素子３１０ａなどの）第１の光変調素子の出力ノード３２２は、（たとえば光変調素子３１０ｂなどの）第２の光変調素子の入力ライン３０６に接続される。第２の光変調素子３１０ｂの出力ノード３２２は、第３の光変調素子（図示せず）の入力ラインに接続される。第（Ｎ−１）のピクセル（図示せず）の出力ノードが、第Ｎのピクセル（図示せず）の入力ライン３０６に接続され、順方向接続ネットワークを形成するまで、以下に同様に接続される。順方向接続ネットワークに入力データをロードするために、入力データは、第１の光変調素子３１０ａの入力ライン３０６に提供され、ストロボ信号が光変調素子３１０ａの順方向アクセスストロボライン３１１上で受信されると、データは第１の光変調素子３１０ａから第２の光変調素子３１０ｂへとシフトされる。以下、同様である。データがアレイ３００の最後の光変調素子３１０へと入力される逆接続ネットワークに関しても、同様なデータロード／シフト構成を実施できることを理解されたい。
【００２８】
図４は、光変調素子３１０の、例としての高レベルシフトレジスタ構成４００を示す構成図である。光変調素子３１０は、順方向にメモリ素子３０２（図３に示す）を介して入力ライン３０６のデータを伝播させるために結合された、順方向アクセスストロボライン３１１を有する。光変調素子３１０は、素子Ｎ、Ｎ−１、Ｎ−２からＮ−３として見ることができる。ここで、第Ｎの光変調素子３１０は最後の光変調素子であり、第（Ｎ−３）の光変調素子３１０は第１の光変調素子である。シフトレジスタ構成４００は、光変調素子３１０のアレイの隣接または隣接していない行および／または列の間でデータを伝播することができる。
【００２９】
図６は、光変調素子間でデータをシフトするタイミング図６０５である。図６に示すように、リップルクロックまたは別の方法で生成される非オーバーラップストロボ信号のシーケンスを使用して、光変調素子を介してデータをシフトする。図示するように、ストロボ信号６０２は、時間ｔ1とｔ2との間で順方向アクセスストロボライン３１１を介して第Ｎの光変調素子の順方向アクセス制御素子３０８に供給され、第Ｎの光変調素子からデータを取り出す。第（Ｎ−１）、第（Ｎ−２）、第（Ｎ−３）の光変調素子のメモリ素子に関する他の各ストロボ信号６０２は、シーケンシャルにパルスされ、時間ｔ3とｔ4との間では第（Ｎ−１）の光変調素子から第Ｎの光変調素子へと、時間ｔ5とｔ6との間では第（Ｎ−２）の光変調素子から第（Ｎ−１）の光変調素子へと、時間ｔ7とｔ8との間では第（Ｎ−３）の光変調素子から第（Ｎ−２）の光変調素子へとデータが連続的に移動し、光変調素子を介してデータがシフトされるときにデータが保持されるようにする。同様なシフト機構を使用して逆のシーケンスでデータをシフトし、双方向のデータ移動を行うことも可能であることを理解されたい。
【００３０】
図５は、図４に示す構成と同様なシフトレジスタ構成で配置された光変調素子３１０を備え、図３の空間光変調器１１０の例としての構成を示す構成図である。図示された光変調素子３１０のアレイ３００は、行５５０および列５６０により構成される。行５５０より列５６０のほうが多いので、空間光変調器１１０は大きなアスペクト比を伴う。図５に示す例では、光変調素子３１０は、アレイ３００の行５５０の間でデータをシフトするように構成される。しかし、他の実施形態では、アレイ３００の列５６０間でデータをシフトするように光変調素子を構成してもよいことを理解されたい。
【００３１】
一実施形態では、個別の光変調素子３１０の順方向アクセスストロボライン３１１（図３に示す）に接続されたストロボライン５２０ａ、５２０ｂから５２０Ｎは、行５５０の長さにわたって伸び、行５５０の間でデータをシフトする。したがって、ストロボ信号が各ストロボラインに送信されると、データは行５５０の間でシフトする。たとえば、最初の時（たとえばｔ1）に、データがアレイ３００の中でシフトアップされると仮定すると、第１のストロボ信号は、光変調素子３１０の行５５０ａ上のストロボライン５２０ａに送信され、光変調素子３１０の行５５０ａの中のデータをアレイ３００から外にシフトする。その後の時間（たとえばｔ2）に、第２のストロボ信号がアレイ３００の行５５０ｂ上のストロボライン５２０ｂに送信され、行５５０ｂの光変調素子３１０から行５５０ａの光変調素子３１０へとデータをシフトする。このプロセスは、ストロボ信号がアレイ３００の行５５０Ｎのストロボライン５２０Ｎに送信され、光変調素子３１０の行５５０Ｎのデータをシフトアップするまで継続する。
【００３２】
他の実施形態では、データ２２２は、バス５１０とバッファ５００ａと５００ｂ（集合的に５００）とを介して光変調素子３１０へと入力される。各データバッファ５００は、データ２２２を記憶してデータバッファ５００に関連づけられた光変調素子３１０へとロードする双方向先入れ先出し（ＦＩＦＯ）バッファである。一実施形態では、各データバッファ５００は、アレイ３００の単一の列５６０にデータ２２２をロードする。別の好ましい実施形態では、各データバッファ５００は、アレイ３００の多数の列５６０にデータ２２２をロードする。たとえば、行５５０Ｎの光変調素子３１０のデータがシフトアップされた後に、バッファ５００ａから光変調素子３１０の行５５０Ｎに新しいデータ２２２がロードされる。行５５０ａの光変調素子３１０から出力されたデータ２２２は、バッファ５００ｂへとさらに入力され、これにより、行５５０Ｎから行５５０ａへとデータをシフトするために必要な時間に対応する時間だけデータが遅延する。そして、行５５０ａからシフトされたデータを遅延された元の入力データと比較し、データシフトの間にエラーが生じたかどうかを判定して、不良な光変調素子がある場合にはこれを識別することができる。
【００３３】
図７はデータシフトを使用する、例としての基板露光タイミングシーケンスを示す。図７は、液晶（ＬＣ）材が露光と露光との間に定着する、一連のＬＣ定着間隔７０２ａから７０２ｅ（集合的に７０２）を示す。各ＬＣ定着間隔７０２の終了時に、レーザがフラッシュする（７１０で表す）。連続的なＬＣ定着間隔７０２の間に、遷移時間間隔ｔｔ1からｔｔ5がある。各遷移時間間隔ｔｔlからｔｔ5の間に、データは次の露光に備えてＳＬＭ内のメモリ素子間で移動する。タイミング回路２１４（図２に示す）を使用し、ストロボライン５２０（図５に示す）にストロボ信号を供給し、データ伝播を駆動することができる。
【００３４】
共通電極信号７１２の電気状態は、連続する時間間隔ｔｔ1からｔｔ5の各々の間で交互に変わる。共通電極信号７１２の遷移７０８ａから７０８ｅは、時間間隔ｔｔlからｔｔ5の間であって、７１０で示すレーザフラッシュの後に生じる。図７では、２つの例としてのピクセル電極７０４および７０６を示す。ここで、ピクセル電極信号７０４はＯＮ液晶素子を示し、ピクセル電極信号７０６はＯＦＦ液晶素子を示す。各レーザフラッシュ６０２では、ピクセル電極上のピクセル電極信号７０４は共通電極と同じ電位を有する。また、ピクセル電極上のピクセル電極信号７０６は共通電極とは反対の電位を有する。遷移時間間隔ｔｔlからｔｔ5の間に、データがメモリアレイを介してシフトするとデータ反転が行われ、液晶素子のＤＣバランスを維持する。一実施形態では、データは、約６０秒の遷移時間間隔ｔｔlからｔｔ5の間に光変調素子のメモリ素子間でシフトされる。これにより、１ミリ秒のデューティサイクルのうちの９４０マイクロ秒で、液晶材が、ピクセル電極と共通電極との間に印加された電場に応答できるようになる。液晶材が遷移した後に、各ＬＣ定着間隔７０２の終了時にレーザの２０ナノ秒（２０ｎｓ）のフラッシュ７１０が生じる。液晶材の遷移レートと、空間光変調器に対する基板の移動速度とに基づいて、他のタイミングを確立し、ＬＣ定着間隔７０２とデータシフトレートとを増加または減少できることが理解されるであろう。
【００３５】
連続的なレーザフラッシュ７１０間の遷移時間間隔ｔｔlからｔｔ5は、光変調素子のアレイを介してデータをクロックするために必要な時間より短い場合がある。さらに、光変調素子をシフトレジスタ構成にすることにより、シフトレジスタチェーン内のある点で不良な光変調素子から障害が起きると、その障害ポイントからチェーンの端まで伝播し、アレイ内の障害領域が大きくなってしまう。
【００３６】
したがって、本発明の実施形態による改善されたストロボライン構成を図８に示す。光変調素子３１０は、行５５０ａ、５５０ｂ、５５０ｃ、５５０ｄから５５０Ｎ−１、５５０Ｎ（集合的に５５０）および列５６０を有するアレイ３００に配列される。図８では、ストロボライン８００ａから８００Ｎ（本明細書では集合的に８００と呼ぶ）は、アレイ３００内の光変調素子３１０の２つの隣接する行５５０に電気結合される。したがって、各ストロボライン８００は、光変調素子３１０の２つの行５５０へと同じストロボ信号６０２を供給し、アレイ３００を介して光変調素子３１０の隣接していない行５５０の間でインタリーブパターンによりデータがシフトされる。光変調素子３１０の２つの行５５０に同じストロボ信号６０２を供給することによって、データはアレイ３００を介して一度に２つの行だけシフトされ、アレイ３００を介したデータシフトに必要なクロックサイクルの数を１／Ｉだけ低減する。ここで、Ｉは、インタリーブ係数であり、単一のストロボライン８００に接続された行の数に等しい。図面全体でストロボライン８００ａから８００Ｎは、導電体で光変調素子３１０に結合されるように示されているが、別法としては、ストロボライン８００ａから８００Ｎは、バッファなどの回路を介在させて光変調素子３１０に結合できることを理解されたい。このことは、同時係属中で共同譲渡された米国特許出願第１０／８１００６７号（代理人書類番号１００３０９２９号）に記述されるとおりである。
【００３７】
他の実施形態では、各ストロボライン８００は、光変調素子３１０の２つ以上の行５５０に電気結合する。別の実施形態では、ストロボライン８００は、光変調素子のアレイ３００全体で全般に対角線上に伸び、２つ以上の行５５０にわたって水平に隣接する光変調素子３１０と対角線上に隣接する光変調素子３１０に交互に電気接続し、ストロボライン８００の数を低減する。この構成を図１２に示し、以下に詳述する。アレイ３００の列５６０の間でデータをシフトする別の実施形態では、ストロボライン８００は、アレイ３００内の光変調素子３１０の２つ以上の隣接する列５６０に電気結合する。
【００３８】
各ストロボライン８００は、リップルクロックを使用してデジタル遅延ラインを実装し、光変調素子３１０の間でデータをシフトするタイミングを制御するシフトレジスタ８５０を使用して順次にアクセスされる。たとえば、ストロボ信号６０２が（図２の２１４に示す）タイミング回路から送信される場合には、ストロボ信号６０２はシフトレジスタ８５０へと入力され、シフトレジスタ８５０を介してクロックされ、各ストロボライン８００にストロボ信号６０２を順次に供給する。順次の供給は、ストロボライン８００ａから開始し、アレイ３００の行５５０ａおよび５５０ｂの光変調素子３１０からのデータをシフトする。続いて、ストロボライン８００ｂに供給して、行５５０ｃおよび５５０ｄの光変調素子３１０から行５５０ａおよび５５０ｂの光変調素子３１０にデータをそれぞれシフトし、最後にストロボライン８００Ｎに供給して、アレイ３００の行８００Ｎ−１と８００Ｎのデータ２２２を記憶しているデータバッファ５００から、行５５０Ｎ−１と５５０Ｎの中の光変調素子に新しいデータ２２２をシフトする。
【００３９】
図８で示される例では、ストロボライン８００ａは、行５５０ａおよび５５０ｂの光変調素子３１０にストロボ信号６０２を供給し、行５５０ａおよび５５０ｂの光変調素子３１０からのデータをシフトする。ストロボライン８００ｂは、行５５０ｃおよび５５０ｄの光変調素子３１０にストロボ信号６０２を供給し、行５５０ｃの光変調素子３１０からデータを、行５５０ａの対応する列５６０の光変調素子３１０にシフトし、行５５０ｄの光変調素子からデータを、行５５０ｂの対応する列５６０の光変調素子にシフトする。ストロボライン８００Ｎは、行５５０Ｎ−１および５５０Ｎの光変調素子３１０にストロボ信号６０２を供給して、行５５０Ｎ−１の光変調素子３１０から行５５０ｃの中の対応する列５６０の光変調素子３１０にデータをシフトし、行５５０Ｎの光変調素子３１０から行５５０ｄの中の対応する列５６０の光変調素子３１０にデータをシフトする。さらに、行５５０Ｎ−１および５５０Ｎの光変調素子３１０からのデータをシフトしてしまうと、新しいデータ２２２は、データバッファ５００から、行５５０Ｎ−１および５５０Ｎの光変調素子３１０にシフトされる。データをインタリーブするため、データバッファ５００の広さは２倍になり、一度に新しいデータ２２２の２つの行を保持する。
【００４０】
図９にデータインタリーブをより詳細に示す。図示された光変調素子３１０ａ〜３１０ｈは列５６０に配置される。ストロボライン８００ａ〜８００ｄは、２つの隣接する光変調素子３１０ａ〜３１０ｈのグループに接続する。たとえば、ストロボライン８００ａは光変調素子３１０ａおよび３１０ｂに同じストロボ信号を供給するように接続され、ストロボライン８００ｂは光変調素子３１０ｃおよび３１０ｄに同じストロボ信号を供給するように接続される。また、ストロボライン８００ｃは、光変調素子３１０ｅおよび３１０ｆに同じストロボ信号を供給するように接続され、ストロボライン８００ｄは、光変調素子３１０ｇおよび３１０ｈに同じストロボ信号を供給するように接続される。
【００４１】
ストロボ信号が（たとえばストロボライン８００ｄなどの）ストロボラインに沿って（たとえば３１０ｇおよび３１０ｈなどの）２つの光変調素子に供給されると、光変調素子３１０ｇおよび３１０ｈに記憶されたデータは、インタリーブパターンにより列５６０にシフトアップされ、データは隣接していない光変調素子にシフトされる。したがって、光変調素子３１０ｈに記憶されたデータは、入力ライン３０６ａ上で光変調素子３１０ｆへとシフトアップされる。また、光変調素子３１０ｇに記憶されたデータは、入力ライン３０６ｂ上で光変調素子３１０ｅへとシフトアップされる。このパターンは、光変調素子のアレイを介して継続し、光変調素子の隣接していない行どうしの間において入力ライン３０６ａ〜３０６ｆ上でデータが１度に２行ずつシフトする。この結果として、不良な光変調素子によりシフトレジスタチェーンの中の伝播が妨げられる作用は低減する。たとえば、光変調素子３１０ｈが不良な場合には、故障は光変調素子３１０ｆ、３１０ｄ、３１０ｂだけにしか広がらない。光変調素子３１０ａ、３１０ｃ、３１０ｅ、３１０ｇの中のデータは、不良な光変調素子３１０ｈの影響を受けない。
【００４２】
図１０は、空間光変調器のそれぞれの光変調素子の、ピクセルコントローラ（３０４ａ〜３０４Ｎ（集合的に３０４）とメモリ素子３０２ａ〜３０２Ｎ（集合的に３０２）との間の論理インタリーブ関連を示す。図示されたメモリ素子３０２ａ〜３０２Ｎは、２つのグループ１０００および１０１０に分けられている。各ピクセルコントローラ３０４は、インタリーブパターンにより、グループ１０００または１０１０のいずれかにあるメモリ素子３０２のうちの１つと関連づけられている。たとえば、ピクセルコントローラ３０４ａはグループ１０００のメモリ素子３０２ａに関連づけられ、ピクセルコントローラ３０４ｂはグループ１０１０のメモリ素子３０２ｂに関連づけられている。データは、同じグループ１０００または１０１０内のメモリ素子３０２間で連続的にシフトされる。したがって、データは、グループ１０００ではメモリ素子３０２ａ、３０２ｃ、３０２ｅ、３０２ｇから３０２Ｎ−１の間で連続的にシフトされ、グループ１０１０ではメモリ素子３０２ｂ、３０２ｄ、３０２ｆ、３０２ｈから３０２Ｎの間で連続的にシフトされる。したがって、データは、メモリ素子３０２の一部だけでシフトされ、メモリ素子３０２全体でデータをシフトするために必要な時間が低減され、メモリ素子３０２の間の伝播エラーの影響も低減される。
【００４３】
隣接していない光変調素子のメモリ素子３０２の間でインタリーブパターンによりデータをシフトするための、例としての回路の概略図を図１１に示す。図３に関して上述したように、各メモリ素子３０２ａ〜３０２ｈ（集合的に３０２）は、入力ライン３０６と、順方向アクセス制御素子３０８とを含む。図１１に示す例では、順方向アクセス制御素子３０８は、順方向シフト動作の間に順方向アクセス制御素子３０８の状態を制御するように動作可能である順方向アクセスストロボライン３１１を有するトランジスタである。図３に関して上述したように、各メモリ素子３０２ａ〜３０２ｈは、順方向インバータ３１８とフィードバックインバータ３２０とをさらに含む。
【００４４】
メモリ素子３０２は、インタリーブシフトレジスタ構成により接続される。インタリーブシフトレジスタ構成では、（たとえばメモリ素子３０２ａなどの）第１のメモリ素子の出力ノード３２２は、（たとえばメモリ素子３０２ｅなどの）第２の隣接していないメモリ素子の入力ライン３０６に接続される。同様に、第３のメモリ素子３０２ｂの出力ノード３２２は、（たとえばメモリ素子３０２ｆなどの）第４の隣接していないメモリ素子の入力ライン３０６に接続される。メモリ素子３０２ａおよび３０２ｅは、同じ列５６０ａにあるが、行はそれぞれ隣接していない異なる行５５０ｄおよび５５０ｂである。同様に、メモリ素子３０２ｂおよび３０２ｆは、同じ列５６０ａにあるが、行は隣接していない異なる行５５０ｄおよび５５０ｂである。
【００４５】
ストロボ信号が、行５５０ｃおよび５５０ｄの間に接続されたストロボライン８００ｂを介してメモリ素子３０２ａおよび３０２ｂの順方向アクセスストロボライン３１１上で受信されると、データは、メモリ素子３０２ａからメモリ素子３０２ｅへと、そしてメモリ素子３０２ｂからメモリ素子３０２ｆへとシフトされる。また、ストロボ信号がストロボライン８００ｂに送信されると、データは、メモリ素子３０２ｃからメモリ素子３０２ｇへと、そしてメモリ素子３０２ｄからメモリ素子３０２ｈへとシフトされる。同様に、行５５０ａと５５０ｂとの間に接続されたストロボライン８００ａを介してメモリ素子３０２ｅ、３０２ｆ、３０２ｇ、３０２ｈの順方向アクセスストロボライン３１１上でストロボ信号が受信されると、データがメモリ素子３０２ｅ、３０２ｆ、３０２ｇ、３０２ｈからシフトされる。
【００４６】
図１２は、本発明の別の実施形態による光変調素子の行の間でデータをインタリーブする、短くなったストロボライン構成を示す。図１２では、ストロボライン８００ａ、８００ｂ、８００ｃから８００Ｎは、光変調素子３１０のアレイ３００全体で全般に対角線上に伸びる。本明細書において、「対角線（diagonal）」という用語は、少なくとも２つの非直交の光変調素子３１０を介して通過することを意味し、「非直交」または「直交でない」（non-orthogonal）という用語は、アレイ３００の異なる行と異なる列に位置することを意味する。光変調素子３１０のうち各ストロボライン８００に結合された光変調素子は、光変調素子３１０の集合を構成する。図１２に示すように一実施形態では、各ストロボライン８００は、（たとえばストロボライン８００ａはグループ１２００ａに接続されるように）少なくとも光変調素子の第１のグループにそれぞれ電気結合され、第１のグループは（たとえば行５５０ａおよび５５０ｂなどの）光変調素子３１０の２つの隣接する行５５０の部分を含む。したがって、各ストロボライン８００は、行すなわちｙ方向に隣接する光変調素子３１０と、列すなわちｘ方向に隣接する光変調素子３１０とを含む光変調素子３１０の集合に電気結合される。他の実施形態では、各ストロボライン８００は、（たとえば、ストロボライン８００ｂはグループ１２００ｂに接続される）第１のグループにそれぞれ電気接続され、（たとえばグループ１２００ｃなどの）第２のグループにそれぞれ電気接続される。ここで、第１のグループと第２のグループとは、光変調素子３１０のアレイ３００の中で対角線上に互いに隣接している。図１２において対角線上に伸びるストロボライン構成は、個別のストロボライン８００の長さを低減する。これによりクロックスキューが低減され、空間光変調器の動作周波数が増加する。さらに、対角線上に伸びるストロボライン８００により、ストロボライン８００が伸びるのはアレイ３００の全幅の一部だけになる。これにより、ストロボライン８００内の障害から起きる損害の範囲は、アレイ３００のより小さな部分に限定される。
【００４７】
図１２に示す例では、ストロボライン８００ａは、グループ１２００ａ内で直交関係をもって隣接する光変調素子３１０ａ〜３１０ｈにストロボ信号を供給し、グループ１２００ａの中の光変調素子３１０ａ〜３１０ｈからのデータをシフトする。行５５０ａの中の光変調素子３１０ａ〜３１０ｄは水平すなわちｘ方向に隣接しており、行５５０ｂの中の光変調素子３１０ｅ〜３１０ｈは水平に隣接している。さらに、光変調素子３１０ａ〜３１０ｄは、光変調素子３１０ｅ〜３１０ｈに対して、垂直すなわちｙ方向に隣接している。同様に、ストロボライン８００ｂは、グループ１２００ｂ内の直交関係をもって隣接する光変調素子３１０と、グループ１２００ｃ内の直交関係をもって隣接する光変調素子３１０とにストロボ信号を供給する。グループ１２００ｂおよび１２００ｃは、アレイ３００内で対角線上に隣接する。さらに、グループ１２００ｂおよび１２００ｃは、グループ１２００ａに対して直交関係をもって隣接する。具体的には、グループ１２００ｂは、グループ１２００ａに対して直交関係をもって隣接し、グループ１２００ｃは、グループ１２００ａに対して水平に隣接する。したがって、ストロボライン８００ｂを伝わって伝播するストロボ信号は、グループ１２００ｂ内の光変調素子３１０からのデータをシフトし、インタリーブパターンにより、グループ１２００ａ内の対応する列５６０の中の光変調素子３１０にデータを入れ、グループ１２００ｃ内の光変調素子３１０からのデータをシフトする。
【００４８】
図８に関して上述したように、各ストロボライン８００は、リップルクロックを使用してデジタル遅延ラインを実装するシフトレジスタ８５０を使用して順次にアクセスされ、光変調素子３１０間のデータシフトのタイミングを制御する。たとえば、ストロボ信号６０２をタイミング回路（図２の２１４）から送信すると、ストロボ信号６０２はシフトレジスタ８５０へと入力され、ｙ方向の行５５０とｘ方向の列５６０とに沿ってシフトレジスタ８５０を介してクロックされ、ストロボ信号６０２を各ストロボライン８００に順次に供給する。順次の供給は、ストロボライン８００ａから開始しストロボライン８００Ｎで終了する。アレイ３００の第１のセクション１２１０のデータは、バッファ５００ａから並列に、第１のセクション１２１０の行５５０Ｎ−１および５５０Ｎの光変調素子３１０にロードされる。一方、アレイ３００の第２のセクション１２２０のデータは、バッファ５００ｂから並列に、第２のセクション１２２０の行５５０Ｎ−１および５５０Ｎの光変調素子３１０にロードされる。多数のバッファ５００を使用してデータを記憶しアレイ内に入力できることを理解されたい。たとえば、一実施形態では、１２８の先入れ先出し（ＦＩＦＯ）バッファ５００を使用し、各バッファは２５６ｋｂｙｔｅの大きさである。また、各ＦＩＦＯ５００はインタリーブ係数に依存して、少なくとも２つのデータセグメントを保持するように十分に深く、可変的な走査速度が可能でなければならないことが理解されるであろう。
【００４９】
データがアレイ３００の列５６０間でシフトされる別の実施形態では、ストロボライン８００は、互いに対して対角線上に位置する光変調素子３１０の垂直に隣接する列５６０の一部のグループに電気接続される。別の実施形態では、ストロボライン８００は、アレイ３００の全領域にわたって同じパターンで継続することができる。他の実施形態では、ストロボライン８００は、アレイ３００の第１の部分全体で第１のパターンで配置し、また、アレイの第２の部分全体で第２のパターンで配置することができる。たとえば、ストロボライン８００は、互いにミラーとなる２つのパターンで配置し、アレイ３００の各部の、ミラーとなっているストロボライン８００に同時にアクセスし、空間光変調器のストロボライン８００の動作周波数を増加させてもよい。このことは、同時係属の共同譲渡された米国特許出願第１０／８１００６７号（代理人文書番号第１００３０５１７号）に記述されている。同出願を引用することにより本明細書の一部をなすものとする。
【００５０】
図１３は、図１２で示すストロボライン構成によりバッファ５００をクロックする、例としてのクロック方法を示す。各バッファ５００は、光変調素子３１０のアレイ３００のセクションに関するデータを記憶する。データが光変調素子３１０を介してシフトされるときにデータを保持し、空間光変調器の動作効率を改善するために、バッファ５００と関連づけられた光変調素子３１０をストロボ信号が通過した後に、各バッファ５００はデータをアレイ３００にシフトして入れる。図１３で示す例では、バッファ５００は、アレイ３００のセクション１２１０の中の行５５０Ｎ−１および５５０Ｎの光変調素子３１０にデータをロードする。ストロボ信号６０２がストロボバッファ１２６０を介して第１のセクション１２１０の中の光変調素子３１０に接続されたストロボライン８００ａ全体を介して伝播すると、データはセクション１２１０の中で行５５０Ｎ−１および５５０Ｎの光変調素子３１０からシフトされ、セクション１２１０の中の行５５０Ｎ−１と５５０Ｎの光変調素子３１０がバッファ５００から新しいデータを受信できるようになる。ストロボ信号６０２が光変調素子３１０の第１のセクション１２１０に隣接する光変調素子３１０の第２のセクション１２２０の中の第１のストロボライン８００ｂに到達すると、ストロボ信号６０２は光変調素子３１０の第１のセクション１２１０のバッファ５００に供給され、光変調素子３１０の第１のセクション１２１０のバッファ５００をクロックし１２３０、バッファ５００は、第１のセクション１２１０の行５５０Ｎ−１および５５０Ｎの光変調素子３１０に進む（またはデータをロードする）。
【００５１】
シフトレジスタ８５０に沿って伝播する各ストロボ信号６０２は、バッファ５００の幅によって他のストロボ信号６０２から分離され、バッファ５００に関連づけられた光変調素子３１０からのデータがシフトされる間に、バッファ５００が進むことを防ぐ。たとえば、幅が２５６のＦＩＦＯ５００では、ＦＩＦＯ５００につき３２行のストロボラインがある。したがって、ストロボ信号６０２は、少なくとも３３クロックサイクルだけ分離される。たとえば、第１のストロボ信号６０２がタイミング回路（図２の２１６）から時間ｔ0に送信されると、第２のストロボ信号６０２はタイミング回路から時間ｔ33に送信され、第１のストロボ信号６０２はバッファ５００に関連づけられたすべてのストロボライン８００ａを介して伝播し、バッファ５００をクロックし、第１のセクション１２１０の行５５０Ｎ−１および５５０Ｎの中の光変調素子３１０に新しいデータをロードしてから、バッファ５００に関連づけられた第１のストロボライン８００ａが第２のストロボ信号６０２を受信する。
【００５２】
図１４は、空間光変調器内の光変調素子にストロボ信号を供給し、光変調素子間でデータをシフトする例としてのプロセス１３００を示すフローチャートである。プロセスはブロック１３１０で開始する。ブロック１３２０では光変調素子の少なくとも２つの隣接する行の少なくとも１つの部分に結合されたストロボラインにストロボ信号を供給し、ブロック１３３０では光変調素子のうち隣接していない光変調素子の間でインタリーブパターンによりデータのシフトをトリガする。ブロック１３４０では、ストロボ信号が、少なくとも１つのバッファに関連した光変調素子の少なくとも１つのセクションについてデータシフトが完了していない場合、ブロック１３２０では、ストロボ信号は、シフトレジスタチェーンの次のストロボラインに伝播する。
【００５３】
しかし、ブロック１３４０において、ストロボ信号が光変調素子の少なくとも１つのセクションについてデータシフトを完了する場合には、ブロック１３５０において、完了したセクション（複数可）に関連したバッファ（複数可）から光変調素子に新しいデータがロードされる。たとえば、ストロボラインが光変調素子の第２のセクションの第１のストロボラインであって、光変調素子の第１のセクションにおけるデータシフトの完了を示した場合には、光変調素子の第１のセクションと関連づけられたバッファはクロックされて、データを第１のセクションの光変調素子にロードする。別の例としては、ストロボラインがシフトレジスタチェーンの中の最後のストロボラインであり、光変調素子のアレイ全体でデータシフトが完了したことを示した場合には、バッファ（複数可）がクロックされて光変調素子のそれぞれのセクションへとデータをロードする。
【００５４】
ブロック１３６０では、アレイ全体にわたってデータシフトが完了した場合には、プロセスはブロック１３７０で終了する。しかし、アレイの中でシフトするデータがまだ残っている場合には、ブロック１３２０では、ストロボ信号は次のクロックサイクルでシフトレジスタチェーンの次のストロボラインへ伝播し、光変調素子の少なくとも２つの隣接する行の少なくとも別の部分にある光変調素子にストロボ信号を供給し、光変調素子のうち隣接していない光変調素子の間で、インタリーブパターンでのデータのシフトをトリガする。
【００５５】
図１５は、空間光変調器内でデータをシフトし、画像を基板に動的にフォトリソグラフィによって転写する例としてのプロセス１４００を示すフローチャートである。フォトリソグラフィプロセスはブロック１４１０において開始する。ブロック１４２０では、画像を表わすデータを空間光変調器内の光変調素子にロードする。ブロック１４３０では、光変調素子は、その中へとロードされたデータに応答して状態変更される。状態変更された光変調素子に照射し、照射パターンを基板上に向ける。ブロック１４４０では、データは隣接していない光変調素子間でシフトされる。たとえば、光変調素子の少なくとも２つの隣接する行または列のそれぞれの部分に電気結合されたストロボラインにストロボ信号を供給し、インタリーブパターンにより、光変調素子のアレイの隣接していない行および／または列の間で双方向的にデータをシフトさせる。ブロック１４５０では、光変調素子間で移動したデータに応答して、光変調素子を再び状態変更する。プロセスはブロック１４６０で終了する。
【００５６】
本出願に記述された本発明の概念は、広い応用範囲にわたって修正および変更できる。従って、特許出願の主題事項の範囲は、上記の特定の例としての教示に限定されるものではなく、添付の請求項によって定義されるものである。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の実施形態による、空間光変調器を使用して画像を基板にフォトリソグラフィによって転送する、フォトリソグラフィシステムを示す図である。
【図２】図１のフォトリソグラフィシステムを制御するように動作可能なコンピュータシステムを示す構成図である。
【図３】本発明の実施形態による、空間光変調器を介してデータをシフトする、例としての空間光変調器の回路概略図である。
【図４】図３の空間光変調器内の光変調素子の、例としてのシフトレジスタ構成を表現した図である。
【図５】光変調素子にデータをロードする、例としての空間光変調器の構成図である。
【図６】光変調素子間でデータをシフトするタイミング図である。
【図７】例としての基板露光タイミングシーケンスを示す図である。
【図８】本発明の実施形態による、光変調素子間でデータをインタリーブするストロボライン構成を含む例としての空間光変調器を示す図である。
【図９】本発明の実施形態による、光変調素子間の例としてのデータインタリーブ構成を示す図である。
【図１０】本発明の実施形態による、空間光変調器のそれぞれの光変調素子内で、ピクセルコントローラとメモリ素子の間の、論理的にインタリーブされた関連を示す図である。
【図１１】本発明の実施形態による、隣接していない光変調素子のメモリ素子間で、インタリーブパターンでデータをシフトする空間光変調器の例としての回路概略図である。
【図１２】本発明の他の実施形態による、光変調素子間でデータをインタリーブする、短くなったストロボライン構成を含む、例としての空間光変調器を示す図である。
【図１３】バッファをクロックし光変調素子へデータをロードするストロボライン構成を含む、例としての空間光変調器を示す図である。
【図１４】空間光変調器内の光変調素子にストロボ信号を提供し、光変調素子間でデータをシフトする例としてのプロセスを示すフローチャートである。
【図１５】空間光変調器内でデータをシフトし、フォトリソグラフィによって基板上に画像を動的に転写する例としてのプロセスを示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００５８】
１００  動的フォトリソグラフィイシステム
１０２  光源
１０４、１０８  光
１０６  ビーム形成光学素子
１１０  空間光変調器
１１２  光ビーム
１１４  投射光学素子
１２０  走査ステージ
１５０  基板
２０２  コンピュータシステム
２０６  ソフトウェア
２０４  処理ユニット
２０８  メモリユニット
２１０  入出力ユニット
２１２  記憶ユニット
２１４  タイミング回路
２１６  タイミング信号
２２０  電子ディスプレイ
２２２  データ
３００  アレイ
３０２  メモリ素子
３０４  ピクセルコントローラ
３０６  入力ライン
３０８  順方向アクセス制御素子
３１０  光変調素子
３１１  順方向アクセスストロボライン
３１２  逆アクセス制御素子
３１４  逆アクセスストロボライン
３１６  コモンノード
３１７  メモリセル
３１８  順方向インバータ
３２０  フィードバックインバータ
３２２  出力ノード
４００  高レベルシフトレジスタ構成
５００  バッファ
５１０  バス
５２０、８００  ストロボライン
５５０  行
５６０  列
７０２  ＬＣ定着間隔
７０４、７０６  ピクセル電極
７０８  遷移
７１０  レーザフラッシュ
７１２  共通電極信号
８５０  シフトレジスタ
１２００  グループ
１２１０  セクション
１２６０  ストロボバッファ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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