(57)【要約】【課題】  封止層前駆体に対する比重制限がなく、紫外線硬化型材料を封止層前駆体として使用でき、かつ均一な封止層の形成が可能な表示素子の製造方法を提供する。【解決手段】  基板上に隔壁２０を設けて形成された空隙に分散液充填工程により、微粒子５０と分散媒４０からなる分散液及び分散液に溶解された封止層前駆体を充填すると共に、支持層載置工程により隔壁上に支持層３０を載置する。そして、被覆工程により、分散液と接触している支持層３０の表面と少なくとも支持層近傍の隔壁側面とに封止層前駆体を集合させ、支持層３０の表面と少なくとも支持層近傍の隔壁側面とを封止層前駆体により連続被覆させる。さらに、封止層形成工程により、封止層前駆体に対し、重合処理及び架橋処理の少なくとも一方の処理を施すことにより封止層６０を形成する。【選択図】      図１
2005292789.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、基板上に設けた複数の隔壁と、前記隔壁を前記基板と挟持する状態で配置された支持層と、前記支持層の基板側の表面と少なくとも支持層近傍の隔壁側面とを連続被覆している封止層とにより形成された中空部内における微粒子の分布状態を表示状態に反映させる表示素子の製造方法であって、
前記基板上に前記隔壁を設けて形成された空隙に前記微粒子と分散媒からなる分散液及び前記分散液に溶解及び／又は分散した封止層前駆体を充填する分散液充填工程と、
前記隔壁上に支持層を載置する支持層載置工程と、
前記分散液と接触している前記支持層の表面と少なくとも前記支持層近傍の隔壁側面とに前記封止層前駆体を集合させ、前記支持層の表面と少なくとも前記支持層近傍の隔壁側面とを前記封止層前駆体により連続被覆させる被覆工程と、
前記封止層前駆体に対して重合処理及び架橋処理の少なくとも一方の処理を行うことにより前記封止層を形成する封止層形成工程と、
を有することを特徴とする表示素子の製造方法。
【請求項２】
前記封止層前駆体が、前記支持層の表面と少なくとも前記支持層近傍の隔壁側面に対して親和性を有していることを特徴とする請求項１記載の表示素子の製造方法。
【請求項３】
前記支持層と少なくとも前記支持層近傍の隔壁側面には、前記封止層前駆体と結合可能な有機分子が存在していることを特徴とする請求項２記載の表示素子の製造方法。
【請求項４】
前記封止層前駆体が、両親媒性化合物であることを特徴とする請求項１記載の表示素子の製造方法。
【請求項５】
前記封止層前駆体が、重合性化合物であることを特徴とする請求項１記載の表示素子の製造方法。
【請求項６】
前記封止層前駆体が、両親媒性化合物と架橋剤との混合物であることを特徴とする請求項１記載の表示素子の製造方法。
【請求項７】
前記微粒子は帯電泳動粒子であることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の表示素子の製造方法。
【請求項８】
前記支持層と少なくとも前記支持層近傍の前記隔壁側面との少なくともいずれかには、前記封止層前駆体と結合可能な有機分子が存在していることを特徴とする請求項２記載の表示素子の製造方法。
【請求項９】
前記支持層と少なくとも前記支持層近傍の隔壁側面との少なくともいずれかに重合開始基を有することを特徴とした請求項２記載の表示素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微粒子を移動させて表示を行う表示素子の製造方法に関し、特に基板上に形成された空隙に充填された微粒子と分散媒からなる分散液を封止する封止層の形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、中空部内における微粒子の分布状態を表示状態に反映させる表示素子が提案されており、このような表示素子の一例として、帯電している微粒子である帯電泳動粒子を絶縁性液体中に分散させ、この帯電泳動粒子に電界を印加して帯電泳動粒子を移動させることにより、表示を行うようにした電気泳動表示素子がある。
【０００３】
ここで、このように帯電泳動粒子を絶縁性液体中に分散させている場合、帯電泳動粒子は基板面内方向に変位しやすく、このように帯電泳動粒子が所定の位置から変位すると、表示画像の劣化を誘起することから、帯電泳動粒子の可動領域を制限する必要がある。
【０００４】
そこで、このように帯電泳動粒子の可動領域を制限する一つの方法として、基板と、基板上に設けた隔壁と、隔壁を基板と挟持する状態で配置している支持層と、少なくとも支持層の基板側の表面と支持層近傍の隔壁側面とを連続被覆している封止層とにより基板上に複数個の微細な中空部を形成し、この中空部内に帯電泳動粒子と絶縁性液体を閉じ込める方法がある。そして、この閉じ込めが完全ならば、帯電泳動粒子の変位領域は、この中空部内に限定する事ができる。
【０００５】
次に、このような構成の電気泳動表示素子の製造方法について説明する。
【０００６】
先ず、基板上にエッチング法、インクジェット法、或いはエンボス法により隔壁を形成し、分割セルを形成する。なお、エッチング法は公知のフォトリソ法に対応するものであり、感光性塗布膜に対するマスク露光後に現像及びリンスを行う事により隔壁を形成するものである。また、インクジェット法は、隔壁材料を基板上に徐々に堆積し、その後、隔壁材料を硬化させて隔壁を形成するものであり、エンボス法は、平板状の材料に対する加圧により材料に凹みを形成すると同時に、隔壁を形成するものである。
【０００７】
次に、このように隔壁を形成した後、インクジェット方式により、隔壁により区分けされた各分割セルに、帯電泳動粒子と絶縁性液体からなる混合物（以下、分散系という）を充填する。そして、このように分散系を充填した後、この分散系上に封止材を塗布し、封止材を硬化させる。これにより、分散系が閉じ込められた状態を形成する。
【０００８】
次に、このように硬化させた封止材と隔壁形成基板に対する対向基板とを貼り合わせて電気泳動表示素子が完成する。なお、このような電気泳動表示素子の製造方法において、封止材は、分散系と混ざらない事が要求される。
【０００９】
一方、電気泳動表示素子を製造する他の製造方法として、分散系よりも比重が小さく、且つ分散系と混ざらない封止材前駆体と、分散系との混合物をインクジェット方式により分割セルに充填する方法がある。この方法では、隔壁形成後、封止材前駆体が分散系から分離し、最終的に封止材前駆体が分散系の上側に位置する状態が形成される。
【００１０】
そして、このような状態が形成されたならば、この後、例えば紫外線照射により封止材前駆体を硬化させ、封止層を形成する。これにより、分散系が閉じ込められた状態が形成される。この後、封止層と隔壁形成基板に対する対向基板とを貼り合わせて電気泳動表示素子が完成する（例えば、特許文献１参照。）。
【００１１】
【特許文献１】特開２００１−３４３６７２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、このような特許文献１に記載の電気泳動表示素子の製造方法おいては、次の２つの問題点があった。
【００１３】
第１の問題点は、封止材の選択幅が非常に小さいということである。
【００１４】
ここで、選択幅を抑制する原因は大きく分けて二つあり、一つめの原因は、封止材に課せられた比重制限に起因する。つまり、従来の製造方法では、封止材の比重が分散系の比重よりも小さくなければならない。例えば、分散液として多用されるイソパラフィン系の溶媒を使用した場合、封止材の比重は１未満である事が要求される。しかしながら、多くの硬化性を有する材料の比重は１よりも大きく、１よりも小さい材料を見つける事は非常に困難である。
【００１５】
二つめの原因は、封止材は外気に接した状態で硬化しなければならず、このため封止材は酸素存在下でも硬化できる事が要求される。しかしながら、安価で柔らかい封止膜となりうる紫外線硬化樹脂（例えば、アクリレート系の紫外線硬化型材料）は、一般的に嫌気状態で重合する。もし、嫌気条件が必要な場合は、重合環境から酸素を除去する特殊な効果装置が必要となる。これらの原因により、封止材の選択幅は極めて制限されるという問題点があった。
【００１６】
第２の問題点は、封止材を広範囲にわたって均一に設置する事が難しいことである。
【００１７】
これは、外気に剥き出しの封止材の層に不均一性が発生するためである。不均一性を発生させる原因の一つとして、封止材の液滴化現象をあげる事ができる。これらの不均一性発生を回避する事は、一般的に難しい。この状況は、素子サイズが大きくなる程顕著になる傾向にある。
【００１８】
そこで、本発明は、このような現状に鑑みてなされたものであり、封止層前駆体に対する比重制限がなく、紫外線硬化型材料を封止層前駆体として使用でき、かつ均一な封止層を形成が可能な電気泳動表示素子（表示素子）の製造方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明は、基板と、基板上に設けた複数の隔壁と、前記隔壁を前記基板と挟持する状態で配置された支持層と、前記支持層の基板側の表面と少なくとも支持層近傍の隔壁側面とを連続被覆している封止層とにより形成された中空部内における微粒子の分布状態を表示状態に反映させる表示素子の製造方法であって、前記基板上に前記隔壁を設けて形成された空隙に前記微粒子と分散媒からなる分散液及び前記分散液に溶解及び／又は分散した封止層前駆体を充填する分散液充填工程と、前記隔壁上に支持層を載置する支持層載置工程と、前記分散液と接触している前記支持層の表面と少なくとも前記支持層近傍の隔壁側面とに前記封止層前駆体を集合させ、前記支持層の表面と少なくとも前記支持層近傍の隔壁側面とを前記封止層前駆体により連続被覆させる被覆工程と、前記封止層前駆体に対して重合処理及び架橋処理の少なくとも一方の処理を行うことにより前記封止層を形成する封止層形成工程と、を有することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００２０】
本発明のように、被覆工程において支持層の表面と少なくとも支持層近傍の隔壁側面とを連続被覆した封止層前駆体に対し、封止層形成工程において重合処理及び架橋処理の少なくとも一方の処理を施すことによって封止層を形成するようにすることにより、封止層前駆体に対する比重制限がなく、紫外線硬化型材料を封止層前駆体として使用することができ、かつ均一な封止層を形成することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明を実施するための最良の形態について図を用いて説明する。
【００２２】
図１は、本発明の実施の形態に係る電気泳動表示素子の概略構成を示す図であり、同図において、１０は基板、９０は基板１０の上面に形成された絶縁層、２０は基板上に形成された格子状の隔壁である。なお、この格子状の隔壁２０の形状は四角形でも円形でも構わない。
【００２３】
３０は、隔壁２０を基板１０と挟持する状態で、電気泳動表示素子の表示面側に配置されている支持層であり、この支持層３０と基板１０と隔壁２０とにより囲まれた空間が中空部である。そして、この中空部に分散媒４０と帯電泳動粒子５０からなる分散液が充填されている。なお、７０は第１電極、８０は第２電極である。
【００２４】
６０は封止層であり、この封止層６０は、中空部の内壁を全て被覆している。なお、本実施の形態において、この封止層６０は支持層３０と隔壁２０との間の空隙にも充填されている。
【００２５】
ここで、この電気泳動表示素子は、帯電泳動粒子５０の分布状態を表示状態に反映させるものであり、同図において、（Ａ）と示した領域では、帯電泳動粒子５０が隔壁２０側に集合した分布状態を示している。そして、このような状態のとき（Ａ）領域を支持層３０側から観察すれば、例えば第１電極面又は絶縁層９０の色が白色ならば、白色に見える。さらに、例えば、第１電極面（又は絶縁層９０）を適宜赤・緑・青色等に着色するとカラー表示も可能である。
【００２６】
一方、同図において、（Ｂ）と示した領域では、帯電泳動粒子５０は基板面内方向に分散した分布状態を示している。そして、このような状態のとき（Ｂ）領域を支持層３０側から観察すれば、例えば帯電泳動粒子５０の色が黒色ならば、黒色に見える。
【００２７】
なお、表示状態を変化させるには、帯電泳動粒子５０を基板上で変位させ、帯電泳動粒子５０の分布状態を変化させればよい。例えば、第１電極７０と第２電極８０との間に電気信号を印加することにより、帯電泳動粒子５０を電気泳動力で駆動し、変位させる事ができる。なお、帯電泳動粒子５０を変位させる方法は、特に制限はなく、例えば誘電泳動力、分散媒の電気流体力学的な流動などを利用して変位させても構わない。また、微粒子の色も黒色以外に適宜着色させることもできる。
【００２８】
ところで、本実施の形態においては、封止層６０を、封止層前駆体を分散液に溶解させ、この封止層前駆体を硬化させることにより形成するようにしている。
【００２９】
次に、本実施の形態に係る封止層の形成方法を、図２に示す工程図を用いて説明する。
【００３０】
＜工程１＞
工程１は、基板１０と隔壁２０とにより形成される空隙に、封止層前駆体を溶解した（及び／又は分散した）分散液を充填するまでの工程である。
【００３１】
この分散液充填工程である工程１においては、先ず、例えば公知のフォトリソグラフィー法を用いて基板１０上に不図示のスイッチング素子、第１電極７０、絶縁層９０を形成し、この後、絶縁層９０上に、第２電極８０及び隔壁２０を形成する。
【００３２】
ここで、この隔壁２０は、例えば公知のリソグラフィー法により形成する。なお、このとき、隔壁２０の表面に、後述する工程３において封止層前駆体の吸着を促進するための処理を施しても構わない。例えば、封止層前駆体が両親媒性材料の場合、隔壁表面に疎水性処理を施せば、両親媒性材料の疎水性部位は隔壁２０の疎水性部位に吸着しやすくなる。また、隔壁表面に封止層前駆体と結合可能な残基を固定化しても構わない。なお、封止層前駆体は、分散液中の分散媒に必ずしも溶解している必要はなく、分散性を有しているものであれば用いることができる。
【００３３】
そして、このように隔壁２０を形成した後、基板１０と隔壁２０が形成する空隙に、図２の（ａ）に示すように帯電泳動粒子５０及び封止層前駆体を溶解（あるいは分散）させた分散液２００を充填する。
【００３４】
＜工程２＞
工程２は、隔壁２０上に支持層３０を載置する工程であり、この支持層載置工程である工程２においては、分散液２００を空隙に充填させた後、図２の（ｂ）に示すように隔壁２０の上に支持層（材）３０を載せる。
【００３５】
なお、この支持層３０の表面には、後述する工程３において封止層前駆体の吸着を促進するための処理を施しても構わない。例えば、封止層前駆体が両親媒性材料の場合、支持層表面に疎水性処理を施せば、両親媒性材料の疎水性部位は支持層３０の疎水性部位に吸着しやすくなる。また、支持層表面に封止層前駆体と結合可能な有機分子を固定化しても構わない。
【００３６】
さらに、支持層３０と、少なくとも支持層近傍の隔壁側面との少なくともいずれかに封止層前駆体と結合可能な有機分子を固定化しても構わない。この場合、後述する化学的な吸着現象を利用する場合に有効である。
【００３７】
なお、この有機分子を支持層３０と、少なくとも支持層近傍の隔壁側面との少なくともいずれかに固定化する方法は、化学的（共有結合など）、物理的（非共有結合など）な方法があり特に限定しないが、本発明において、より好ましくは化学的な方法による固定化である。また、ＵＶアッシングなどの酸化処理によって支持層３０と少なくとも支持層近傍の隔壁側面との少なくともいずれかに得られた反応性の官能基を用いて封止層前駆体と結合してもよい。
【００３８】
＜工程３＞
工程３は、分散液２００に溶解（あるいは分散）している封止層前駆体を、支持層３０、隔壁２０、絶縁層９０に吸着させることにより集合（析出）させ、これら３者の表面を封止層前駆体で連続被覆するまでの工程であり、この被覆工程である工程３においては、封止層前駆体を溶解した分散液２００に接触した支持層３０、隔壁２０、絶縁層９０の表面に、親和性により封止層前駆体が吸着する。これにより、図２の（ｃ）に示すように、これら３者の表面が集合（析出）した封止層前駆体２１０により連続被覆された状態が形成される。なお、本実施の形態においては、封止層前駆体２１０は、支持層３０と隔壁２０に挟まれた空隙にも充填されている。
【００３９】
＜工程４＞
工程４は、封止層前駆体２１０の固定化処理を行い、封止層６０を形成するまでの工程であり、このような封止層形成工程である工程４においては、封止層前駆体２１０に対し固定化処理を施す結果、図１に示す封止層６０が形成される。
【００４０】
なお、固定化処理の方法は、封止層前駆体の性質に依存する。例えば、封止層前駆体２１０が重合性化合物から構成されている場合には、重合性化合物の性質に応じた重合処理を固定化処理として施せば良く、光重合性化合物からなる封止層前駆体２１０を用いた場合には、光重合処理を施せば良い。また、封止層前駆体２１０が紫外線重合可能な構造を含んでいる場合には、紫外線照射による架橋処理を施すようにする。
【００４１】
なお、この本発明における封止層前駆体２１０に対する重合処理及び／又は架橋処理により封止層３０を形成する工程とは、封止層前駆体同士の重合処理及び／又は架橋処理や、封止層前駆体２１０と支持層３０と少なくとも支持層近傍の隔壁側面との少なくともいずれかとに対する重合処理及び／又は架橋処理により封止層６０を形成する工程のことである。
【００４２】
次に、本実施の形態に係る電気泳動表示素子を形成する材料等について説明する。
【００４３】
分散媒４０は、絶縁性流体であり、イソパラフィン（例えば、商品名がアイソパーのエクソン社製の流体）、シリコーンオイル及びキシレン、トルエン等の有機溶媒をあげる事ができる。
【００４４】
帯電泳動粒子５０は、所望の表示を行う事ができれば、特に材料や粒子サイズや粒子の色等に制限はないが、着色されていて絶縁性液体中で正極性又は負極性の良好な帯電特性を示す材料が好ましい。例えば、各種の無機顔料や有機顔料やカーボンブラック、或いは、それらを含有させた樹脂を使用すると良い。粒子の平均粒径は通常０．０１〜５０μｍ程度のものを使用できるが、好ましくは、０．１〜１０μｍ程度のものを用いる。
【００４５】
なお、絶縁性液体中や帯電泳動粒子中には、帯電泳動粒子５０の帯電を制御し、安定化させるための荷電制御剤を添加しても構わない。ここで、このような荷電制御剤としては、コハク酸イミド、モノアゾ染料の金属錯塩やサリチル酸や有機四級アンモニウム塩やニグロシン系化合物などをあげる事ができる。
【００４６】
基板１０は、特に制限はなく、例えばポリエーテルサルフォン（ＰＥＳ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）やポリカーボネート（ＰＣ）等の柔らかい基板や、ガラス、石英等の硬い基板を使用できる。なお、封止層前駆体が後述するような光重合性の場合、重合用の光を照射する側の基板（例えば、前記支持層）は、重合用の光に対する透過性を有している必要がある。
【００４７】
第１及び第２電極７０，８０は所望の表示を実現できれば大きな制限はなく、電極材料としてはＡｌ電極やＩＴＯ電極を挙げる事ができる。なお、第１電極７０を光反射層としても利用する場合は、銀（Ａｇ）あるいはＡｌ等の光反射率の高い材料を好適に使用する。また、第１電極７０を白色表示として使用する場合は、電極表面そのものに光が乱反射するように表面凹凸をつけるか、あるいは電極上に光散乱層を形成しておく。
【００４８】
電極配置としては、表示状態の変化に必要な所望の帯電泳動粒子変位を誘起できるものであれば、特に制限はない。例えば、図１においては、帯電泳動粒子５０を封止層（膜）６０の面内方向に大きく変位させるよう基板１０側に電極を配置したが、帯電泳動粒子５０を基板１０の法線方向に大きく変位させるよう、基板１０と支持層３０とにそれぞれ電極を設けるようにして構わない。
【００４９】
次に、本発明の特徴的な封止層前駆体について説明する。
【００５０】
本実施の形態に係る封止層前駆体は、所望の封止層６０を形成できれば液体でも固体でも構わないが、分散媒４０に溶解するもの、即ち分散媒４０に対して溶解性を有する、例えば低分子のものを使用する。ここで、このように封止層前駆体として分散媒４０に対して溶解性を有するものを使用することにより、封止層前駆体に対する比重の制限、即ち比重１以下という制限はなくなる。これにより、封止層前駆体として使用できる材料の種類を増やすことができる。なお、封止層前駆体としては、分散媒中に溶解するもののみならず、微細な液滴として分散するものであれば適用可能である。
【００５１】
また、この封止層前駆体は、封止層前駆体を溶解した分散媒４０が隔壁２０や支持層３０等に接触した場合、封止層前駆体が少なくとも支持層３０の表面及び隔壁２０の支持層近傍側面の領域に吸着できるよう親和性を有しているものを使用する。ここで、このように封止層前駆体が支持層３０の表面及び少なくとも隔壁２０の支持層近傍側面の領域に吸着できるようにすることにより、封止層前駆体は分散媒４０と支持層３０及び隔壁２０の界面に存在する、つまり嫌気状態に存在するようになる。そして、このように嫌気状態に存在することにより、多くの紫外線硬化型の材料を使用する事が可能となる。さらに、分散媒４０からの吸着現象を利用しているので、均一な封止層前駆体の層の形成が可能である。
【００５２】
更には、封止層前駆体としては、帯電泳動粒子５０との親和性が小さい事が望ましい。
【００５３】
そして、このような封止層前駆体として使用可能な材料の１例として、親水性ユニットと疎水性ユニットからなる両親媒性材料をあげる事ができる。ここで、両親媒性材料は、各ユニットの分子構造や分子量等の調整により、分散媒４０に対する溶解性と支持層等への吸着性を制御する事が可能である。
【００５４】
なお、このような両親媒性材料の１群として、トリブロック型共重合体をあげる事ができる。ここで、このトリブロック型共重合体は、親水性ユニット−疎水性ユニット−親水性ユニットの順番で、或は、疎水性ユニット−親水性ユニット−疎水性ユニットの順番で連結している共重合体である。
【００５５】
なお、前者の例としては、ＰＥＯ（ポリエチレンオキサイド）とＰＰＯ（ポリプロピレン）がＰＥＯ−ＰＰＯ−ＰＥＯの順番で連結している材料をあげる事ができ、後者の例としては、ＰＰＯ−ＰＥＯ−ＰＰＯの順番で連結している材料をあげる事ができる。
【００５６】
そして、これらの共重合体は、ＰＥＯユニットとＰＰＯユニットの長さ（即ち、分子量）により、溶解性や吸着性を制御できる。また、両親媒性を示すユニットに光重合基が結合している材料も、封止層前駆体として使用する事ができる。光重合基としてはアクリレートやマレイミドなどをあげることができる。さらに、封止層前駆体は、１種類以上の材料の混合物であっても構わない。
【００５７】
さらに、封止層前駆体は、重合もしくは架橋可能な構造を有している事が望ましい。これは、重合処理や架橋処理によって封止層前駆体を固化することにより、帯電泳動粒子５０の閉じ込めがより確実になるからである。なお、このような封止層前駆体は、支持層等に対する所定の被覆状態を形成した後、硬化処理を施す事が好ましい。これは、硬化処理により、封止層の機械的強度が増大し、更に封止層と隔壁との接着性が向上するからである。
【００５８】
なお、両親媒性を示すユニットに重合性置換基（例えばビニル基、メタクリル基、アクリル基、マレイミド基など）や、化学的に反応性がある置換基（例えば水酸基、カルボン酸、アミノ基、イソシアナート基、ハロゲン基、ビニル基、エポキシ基、ハロゲン化カルボニル基等）が結合している材料も、本発明では封止層前駆体として使用する事ができる。
【００５９】
ここで、硬化方法は、封止層前駆体の重合もしくは架橋可能な構造に合わせて選択すればよい。例えば、封止層前駆体にアクリレート基やマレイミド基に代表される紫外線重合可能な構造が含まれる場合には、硬化方法として紫外線重合を選択する事ができる。
【００６０】
また、前述したＰＥＯ−ＰＰＯ−ＰＥＯ構成の共重合体を封止層前駆体として用いる場合には、この共重合体を架橋する架橋材を前駆体の構成成分として添加すれば良く、このような架橋材としてはジクミルパーオキシド（ｄｉｃｕｍｙｌ  ｐｅｒｏｘｉｄｅ）をあげる事ができる。あるいは、共重合体の水酸基と結合可能な基（例えば、イソシアネ−ト）を有する架橋材を用いる事も可能である。
【００６１】
また、支持層３０や、隔壁２０の、少なくとも支持層近傍の側面表面に、封止層前駆体と結合可能な構造を有する有機分子を固定化しておいても構わない。例えば、支持層等の表面にイソシアネート基を有する分子を固定化し、基板に吸着してきたＰＥＯ−ＰＰＯ−ＰＥＯ構成の共重合体と結合させても構わない。なお、これまでは封止層前駆体として紫外線硬化樹脂を例に説明したが、その他の重合性化合物の利用も可能である。
【００６２】
ところで、本発明における吸着現象は物理的な吸着現象によるものと、化学的な吸着現象によるものが含まれる。ここで、物理的な吸着現象は、支持層３０と少なくとも支持層近傍の隔壁側面との少なくともいずれかと、封止層前駆体とが非共有結合（イオン結合、配位結合、親水―疎水結合、水素結合、酸―塩基結合など）により結合する現象である。この場合、支持層３０と少なくとも支持層近傍の隔壁側面との少なくともいずれかには、封止層前駆体に対する親和性を有することで、吸着を促進させる事が好ましい。
【００６３】
一方、化学的な吸着現象は、支持層３０と少なくとも支持層近傍の隔壁側面との少なくともいずれかと、封止層前駆体が化学反応して共有結合を形成する現象である。この方法では、中空部内における封止層前駆体の分布濃度勾配により吸着が促進させることが考えられる。
【００６４】
なお、この共有結合を形成する形態として、封止層前駆体が少なくとも２つ以上の反応性置換基を有し、支持層３０と少なくとも支持層近傍の隔壁側面との少なくともいずれかと化学反応させる方法や、支持層３０と少なくとも支持層近傍の隔壁側面との少なくともいずれかの中空部側表面に重合開始基があり、重合開始基を起点として封止層前駆体を重合して化学反応させる方法等が挙げられる。
【００６５】
ここで、前者は、封止層前駆体が高分子でも低分子でも良く、後者は、封止層前駆体が低分子またはオリゴマーであることが望ましい。また、前者の場合、封止層前駆体同士の重合処理及び／又は架橋処理と、封止層前駆体と、支持層３０と少なくとも支持層近傍の隔壁側面との少なくともいずれかの中空部側表面との固定化の順列は特に限定しない。なお、吸着現象は、物理的な吸着、化学的な吸着をそれぞれ用いても、また両方同時に用いても良い。
【００６６】
本発明においては、封止層前駆体を重合して封止膜を形成させる場合、モノマーを用いることができる。このモノマーは、分散媒に溶解するものであれば一般的に高分子重合に用いられるモノマーで良く、特に限定しない。具体的には各種のビニル系モノマー等、すなわち、スチレン、２−メチルスチレン、３−メチルスチレン、４−メチルスチレン、２−エチルスチレン、３−エチルスチレン、４−エチルスチレン、２−プロピルスチレン、３−プロピルスチレン、４−プロピルスチレン、２−イソプロピルスチレン、３−イソプロピルスチレン、４−イソプロピルスチレン、４−ｔｅｒｔ−ブチルスチレン、２、３−ジメチルスチレン、３、４−ジメチルスチレン、２、４−ジメチルスチレン、２、６−ジメチルスチレン、２、３−ジエチルスチレン、３、４−ジエチルスチレン、２、４−ジエチルスチレン、２、６−ジエチルスチレン、２−メチル−３−エチルスチレン、２−メチル−４−エチルスチレン、α−メチルスチレン、４−フェニルスチレン、アセトキシスチレン、メトキシスチレン、エトキシスチレン、ブトキシスチレン等のスチレン系モノマー、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸イソプロピル、（メタ）アクリル酸ｎ−ブチル等の（メタ）アクリレート系モノマー、ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、ビニルイソブチルエーテル等のビニルエーテル系モノマー、ビニルメチルケトン、ビニルエチルケトン、ビニルヘキシルケトン等のビニルケトン系モノマー、Ｎ−ビニルピロール、Ｎ−ビニルカルバゾール、Ｎ−ビニルインドール、Ｎ−ビニルピロリドン等のＮ−ビニル化合物系モノマー、エチレン、ブチレン、ヘキセン等のビニル炭化水素モノマー、酢酸ビニル、（メタ）アクリロニトリル、（メタ）アクリルアミド、上記モノマーのハロゲン化したモノマー等が挙げられる。また、エチル２−（ビニロキシ）エトキシアセテートや、２−（ｔｅｒｔ−ブチルジメチルシロキシ）エチルビニルエーテル、２−（トリメチルシロキシ）エチルビニルエーテル、２−ビニロキシエチルフタルアミド等のモノマーも使用可能である。以上のようなモノマーを単独、又は２種以上を混合して用いてもよい。
【００６７】
また、必要に応じて架橋剤を併用してもよく、このように架橋剤を併用することにより、より強固な封止層を形成することができる。ここで、架橋剤の具体例としては、ジビニルベンゼン、ジビニルナフタレン、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、アリル（メタ）アクリレート、１、３−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１、６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ヘキサンジオールジグリシジルエーテル（メタ）アクリレート、Ｎ、Ｎ−ジビニルアニリン、ジビニルエーテル、ジクミルパーオキシド、等の化合物が挙げられ、これらを単独、又は２種以上を混合して用いてもよい。
【００６８】
従って、単一モノマーからなる高分子や、複数種のモノマーからなり複数種以上の繰り返し構造をもつブロックポリマー、繰り返し構造を持たないランダムポリマーであってもよい。なお、これらのモノマーにより、画素表面の物理的特性や化学的特性を画素全体で制御して、表示装置の表示特性、表示安定性、メモリ性を制御しても良い。また、本発明に関する封止層前駆体は、１種類以上の材料の混合物であっても構わない。
【００６９】
次に、支持層３０と少なくとも支持層近傍の隔壁側面との少なくともいずれかに存在させる封止層前駆体と結合可能な有機分子について説明する。
【００７０】
この有機分子は既述したように、支持層３０と少なくとも支持層近傍の隔壁側面との少なくともいずれかと、有機分子とが化学的（共有結合など）、物理的（非共有結合など）な方法により、支持層３０と少なくとも支持層近傍の隔壁側面との少なくともいずれかに固定化する。好ましくは化学的な方法による固定化である。従って、支持層３０と少なくとも支持層近傍の隔壁側面との少なくともいずれかと、有機分子内とのそれぞれに反応性の官能基があること、これらの反応性の官能基同士が反応することが必須となる。
【００７１】
ここで、反応性の官能基としては、化学的に反応性がある置換基であれば良く、特に限定しないが、好ましくは、水酸基、カルボン酸、アミノ基、イソシアナート基、ハロゲン基、ビニル基、エポキシ基、ハロゲン化カルボニル基等があげられる。これらのなかから反応性の官能基同士が反応するよう適宜選択される。なお、支持層３０と少なくとも支持層近傍の隔壁側面との少なくともいずれかの材質は特に限定しないが、金属など反応性の官能基がない場合は、中間層として反応性の官能基を有する物質を被覆させても良い。また、ＵＶアッシングなどの酸化処理によって反応性の官能基を支持層３０と少なくとも支持層近傍の隔壁側面との少なくともいずれかに形成しても良い。
【００７２】
また、有機分子と封止層前駆体とが、化学的（共有結合など）、物理的（非共有結合など）な方法により結合することが必要である。好ましくは化学的な方法による結合である。従って、封止層前駆体と有機分子内とのそれぞれに反応性の官能基があること、これらの反応性の官能基同士が反応することが必須となる。反応性の官能基としては、化学的に反応性がある置換基であれば良く、特に限定しないが、好ましくは、水酸基、カルボン酸、アミノ基、イソシアナート基、ハロゲン基、ビニル基、エポキシ基、ハロゲン化カルボニル基、ビニル基等があげられる。これらのなかから反応性の官能基同士が反応するよう適宜選択される。
【００７３】
また、有機分子にビニル基や重合開始基を導入することにより、封止層前駆体を重合して封止膜を形成させながら封止膜を支持層３０や支持層近傍の隔壁側面に固定化することができる。この時に用いられる重合開始基としては、一般にラジカル重合やリビングラジカル重合、リビングカチオン重合、リビングアニオン重合等に用いられている公知の重合開始剤の骨格を持つ置換基であれば良い。
【００７４】
次に、本実施の形態の実施例について説明する。
【００７５】
（実施例１）
本実施例では、図１に示すような電気泳動表示素子を作製した。ここで、作製した電気泳動表示素子の１画素の大きさは、１００μｍ×１００μｍであり、各画素は周囲を隔壁２０によって囲まれている。なお、隔壁２０は格子状であり、幅８μｍ、高さ２０μｍである。また、第１電極７０は、隔壁２０に囲まれた部分の中央部に位置し、不図示のスイッチング素子に接続している。第２電極８０は、隔壁２０と基板１０の間に位置しており、全画素の共通電極となっている。
【００７６】
次に、本実施例に関する電気泳動表示素子の製造方法を説明する。
【００７７】
先ず、公知のフォトリソグラフィー法を用いて基板１０上に不図示のスイッチング素子、第１電極７０、絶縁層９０を形成し、さらに絶縁層９０上に第２電極８０を形成した後、隔壁２０を、例えば公知のリソグラフィー法により形成する。そして、このようにして隔壁２０を形成した後、基板１０と隔壁２０とにより形成される空隙に、封止層前駆体を溶解させた帯電泳動粒子５０と分散媒からなる分散液２００を充填する（図２の（ａ）参照）。
【００７８】
なお、本実施例では、分散媒として帯電制御剤コハク酸イミド（商品名：ＯＬＯＡ１２００、シェブロン社製）を含有させたイソパラフィン（商品名：アイソパー、比重０．７６、エクソン社製）を用い、帯電泳動粒子５０として平均粒径１〜２μｍ程度であるカーボンブラック含有のポリスチレン−ポリメチルメタクリレート共重合体樹脂からなるポリマービーズを使用した。
【００７９】
また、封止層前駆体にはＰＥＯ−ＰＰＯ−ＰＥＯ構成のトリブロック型共重合体（商品名：Ｐｌｕｒｏｎｉｃ  ＰＥ  ６１００、ＢＡＳＦジャパン株式会社製、比重：１以上）９５重量部とｄｉｃｕｍｙｌ  ｐｅｒｏｘｉｄｅ５重量部との混合物を用いた。なお、封止層前駆体を構成するＰｌｕｒｏｎｉｃ  ＰＥ  ６１００の濃度は１．５モル／リットルである。
【００８０】
次に、このように分散液２００を空隙に充填させた後、支持層３０を構成する厚さ３０μｍのＰＥＴフィルムを隔壁上に載せた（図２の（ｂ）参照）。この後、このＰＥＴ基板を隔壁２０上で１時間静置した。この結果、支持層３０、隔壁２０、絶縁層９０の表面には、封止層前駆体が吸着し、これら３者の表面が封止層前駆体２１０により被覆された状態が形成される（図２の（ｃ）参照）。
【００８１】
そして、この後、室温下で強度３０ｍＷ／ｃｍ２の紫外線を１０分間照射し、封止層前駆体に対する架橋処理を行った。その結果、封止層前駆体が硬化され、封止層６０が形成された（図１参照）。
【００８２】
ここで、この後、ＵＶ照射後の電気泳動表示素子を分解し、電子顕微鏡で観察したところ、支持層としてのＰＥＴ表面、隔壁表面、ＰＥＴと隔壁２０との間、そして基板１０の絶縁層上に均一な封止層６０が形成されている事が確認された。
【００８３】
また、このようにして得られた電気泳動表示素子の第１電極７０を接地し、第２電極８０の電位を１ヘルツ（Ｈｚ）にて＋１５Ｖ、−１５Ｖと交互に変調した。その結果、電位の変調に同期して、黒、白と交互に表示が変化した。そして、このような駆動を連続して行っても、帯電泳動粒子が隔壁２０をのりこえて変位していく事は観察されなかった。
【００８４】
同時に、分散媒が揮発していく事もなかった。即ち、分散液が隔壁２０と基板１０により閉じ込められている事が確認できた。また、得られた電気泳動表示素子を前後に撓ませたが、帯電泳動粒子５０が隔壁２０をのりこえて変位していく現象は観察されなかった。
【００８５】
（実施例２）
本実施例における電気泳動表示素子の製造工程は、隔壁形成までは実施例１と同じであるが、本実施例では、隔壁２０と絶縁層９０の表面に、末端にイソシアネート基を有するシランカップリング剤（商品名：ＫＢＥ−９００７、信越化学工業株式会社製）を公知のシランカップリング剤の固定化法に従って固定化した。
【００８６】
次に本実施例では、基板１０と隔壁２０が形成する空隙に、封止層前駆体を溶解させた帯電泳動粒子と分散媒からなる分散液２００を充填する（図２の（ａ）参照）。なお、本実施例では、分散媒として帯電制御剤コハク酸イミド（商品名：ＯＬＯＡ１２００、シェブロン社製）を含有させたイソパラフィン（商品名：アイソパー、比重０．７６、エクソン社製）を用い、帯電泳動粒子として平均粒径１〜２μｍ程度であるカーボンブラック含有のポリスチレン−ポリメチルメタクリレート共重合体樹脂からなるポリマービーズを使用した。
【００８７】
また、封止層前駆体にはＰＥＯ−ＰＰＯ−ＰＥＯ構成のトリブロック型共重合体（商品名：Ｐｌｕｒｏｎｉｃ  ＰＥ  ６１００、ＢＡＳＦジャパン株式会社製、比重：１以上）のみを用いた。なお、封止層前駆体を構成するＰｌｕｒｏｎｉｃ  ＰＥ  ６１００の濃度は、１モル／リットルである。
【００８８】
次に、このような封止層前駆体を溶解させた分散液２００を空隙に充填させた後、支持層３０を構成する厚さ３０μｍの表面修飾されたＰＥＴフィルムを隔壁２０上に載せた（図２の（ｂ）参照）。なお、このＰＥＴフィルムの表面には、末端にイソシアネート基を有するシランカップリング剤（商品名：ＫＢＥ−９００７、信越化学工業株式会社製）が固定化されている。
【００８９】
この後、ＰＥＴ基板を隔壁上で３０分間静置した。この静置過程で、ＰＥＴ表面のイソシアネート基と前記共重合体の水酸基とが反応し、その結果、共重合体が支持層３０、隔壁２０、絶縁層９０に固定化され、封止層６０が形成された（図１参照）。
【００９０】
なお、このような電気泳動表示素子を分解し、電子顕微鏡で観察したところ、支持層としてのＰＥＴ表面、隔壁表面、ＰＥＴと隔壁２０との間、そして基板１０の絶縁層上に均一な封止層６０が形成されている事が確認された。
【００９１】
ところで、このようにして得られた電気泳動表示素子の第１電極７０を接地し、第２電極８０の電位を１ヘルツ（Ｈｚ）にて、＋１５Ｖ、−１５Ｖと交互に変調した。その結果、電位の変調に同期して、黒、白と交互に表示が変化した。この様な駆動を連続して行っても、帯電泳動粒子が隔壁２０をのりこえて変位していく事は観察されなかった。
【００９２】
同時に、分散媒が揮発していく事もなかった。即ち、分散液が隔壁２０と基板１０により閉じ込められている事が確認できた。また、得られた電気泳動表示素子を前後に撓らせたが、帯電泳動粒子が隔壁２０をのりこえて変位していく現象は観察されなかった。
【００９３】
（実施例３）
本実施例における電気泳動表示素子の製造工程は、隔壁形成までは実施例１と同じであり、本実施例では、隔壁２０を形成した後、基板１０と隔壁２０が形成する空隙に、封止層前駆体を溶解させた帯電泳動粒子と分散媒からなる分散液２００を充填する（図２の（ａ）参照）。なお、本実施例では、分散媒として帯電制御剤コハク酸イミド（商品名：ＯＬＯＡ１２００、シェブロン社製）を含有させたイソパラフィン（商品名：アイソパー、比重０．７６、エクソン社製）を用い、帯電泳動粒子として平均粒径１〜２μｍ程度であるカーボンブラック含有のポリスチレン−ポリメチルメタクリレート共重合体樹脂からなるポリマービーズを使用した。
【００９４】
また、封止層前駆体には、紫外線硬化型材料の１Ｈ、１Ｈ、５Ｈ−オクタフルオロペンチルアクリレート（例えば、大阪有機化学工業製のＶ−８Ｆ、比重１以上）を用いた。なお、このような紫外線硬化型材料中には、光重合開始剤（イルガキュア１８４、チバガイギー社製）が添加（添加濃度＝３ｗｔ％）されている。
【００９５】
次に、このような封止層前駆体を溶解させた分散液２００を空隙に充填させた後、支持層３０を構成する厚さ３０μｍのＵＶ／オゾン処理を施されたＰＥＴフィルムを隔壁２０上に載せた（図２の（ｂ）参照）。
【００９６】
この後、ＰＥＴ基板を隔壁上で１時間静置した後、室温下で強度３０ｍＷ／ｃｍ２の紫外線を３分間照射し、封止層前駆体に対する架橋処理を行った。その結果、封止層前駆体が硬化され、封止層６０が形成された（図１参照）。
【００９７】
なお、ＵＶ照射後の電気泳動表示素子を分解し、電子顕微鏡で観察したところ、支持層としてのＰＥＴ表面、隔壁表面、ＰＥＴと隔壁２０との間に均一な封止層６０が形成されている事が確認された。
【００９８】
ところで、このようにして得られた電気泳動表示素子の第１電極７０を接地し、第２電極８０の電位を１ヘルツ（Ｈｚ）にて、＋１５Ｖ、−１５Ｖと交互に変調した。その結果、電位の変調に同期して、黒、白と交互に表示が変化した。この様な駆動を連続して行っても、帯電泳動粒子が隔壁２０をのりこえて変位していく事は観察されなかった。
【００９９】
同時に、分散媒が揮発していく事もなかった。即ち、分散液が隔壁２０と基板１０により閉じ込められている事が確認できた。また、得られた電気泳動表示素子を前後に撓らせたが、帯電泳動粒子が隔壁をのりこえて変位していく現象は観察されなかった。
【０１００】
（実施例４）
本実施例における電気泳動表示素子の製造工程は、封止層前駆体を変更した以外は、実施例３と同じである。本実施例では、封止層前駆体としてＰＥＯ−ＰＰＯ−ＰＥＯ構成のトリブロック型共重合体（商品名：Ｌ６１、旭電化工業株式会社製、比重：１以上）にマレイミド基を公知の方法で結合させたものを用いた。このＬ６１とマレイミド基との結合には、Ｌ６１が有している水酸基を利用した。本実施例では、実施例３と異なり、光重合開始剤は用いない。なぜならば、本実施例の封止層前駆体が有するマレイミドは、光重合開始剤がなくとも光重合反応を進行させる事が可能であるからである。
【０１０１】
次に、このような封止層前駆体を溶解させた分散液２００を空隙に充填させた後、支持層３０を構成する厚さ３０μｍのＵＶ／オゾン処理を施されたＰＥＴフィルムを隔壁２０上に載せた（図２（ｂ）参照）。
【０１０２】
この後、ＰＥＴ基板を隔壁上で１時間静置した後、室温下で強度３０ｍＷ／ｃｍ２の紫外線を３分間照射し、封止層前駆体に対する架橋処理を行った。その結果、封止層前駆体が硬化され、封止層６０が形成された。この様子を模式的に示したのが、図１である。なお、ＵＶ照射後の電気泳動表示素子を分解し、電子顕微鏡で観察したところ、支持層としてのＰＥＴ表面、隔壁表面、ＰＥＴと隔壁との間に均一な封止層６０が形成されている事が確認された。
【０１０３】
また、このようにして得られた電気泳動表示素子（上記分解処理は施していない）の第１電極７０を接地し、第２電極８０の電位を１ヘルツ（Ｈｚ）にて、＋１５Ｖ、−１５Ｖと交互に変調した。その結果、電位の変調に同期して、黒、白と交互に表示が変化した。そして、このような駆動を連続して行っても、帯電泳動粒子が隔壁２０をのりこえて変位していく事は観察されなかった。同時に、分散媒が揮発していく事もなかった。即ち、分散液が隔壁２０と基板１０により閉じ込められている事が確認できた。また、得られた電気泳動表示素子を前後に撓らせたが、帯電泳動粒子５０が隔壁２０をのりこえて変位していく現象は観察されなかった。
【０１０４】
（実施例５）
本実施例における電気泳動表示素子の製造工程は、隔壁形成までは実施例１と同じである。本実施例では、ＵＶアッシング処理を施した隔壁２０と絶縁層９０の表面に、メタクリル基を有するシランカップリング剤（３−メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン商品名：ＫＢＥ−５０２、信越化学工業株式会社製）を公知のシランカップリング剤の固定化法に従って固定化した。
【０１０５】
次に本実施例では、基板１０と隔壁２０が形成する空隙に、封止層前駆体を溶解させた帯電泳動粒子と分散媒からなる分散液２００を充填する（図２（ａ）参照）。なお、本実施例では、帯電制御剤コハク酸イミド（商品名：ＯＬＯＡ１２００、シェブロン社製）を含有させたイソパラフィン（商品名：アイソパー、比重０．７６、エクソン社製）を分散媒として用いた。
【０１０６】
また、帯電泳動粒子には平均粒径１〜２μｍ程度であるカーボンブラック含有のポリスチレン−ポリメチルメタクリレート共重合体樹脂からなるポリマービーズを使用する。また、封止層前駆体には、ラウリルメタクリレート（キシダ化学株式会社製）９５重量部とジ（３，５，５−トリメチルヘキサノイル）パーオキシド（商品名：パーロイル３５５、日本油脂株式会社製）５重量部を用いた。なお、この封止層前駆体の濃度は、２０ｇ／Ｌである。
【０１０７】
次に、このような封止層前駆体を溶解させた分散液２００を空隙に充填させた後、支持層３０を構成する、分散液と接する側の表面が前述したメタクリル基を有するシランカップリング剤により表面処理された厚さ３０μｍのＰＥＴフィルムを隔壁２０上に載せた（図２（ｂ）参照）。
【０１０８】
この後、ＰＥＴ基板を隔壁上で７０℃で４時間静置した。この静置過程で、ＰＥＴ表面のメタクリル基や前駆体のメタクリル基が重合する。その結果、共重合体が支持層３０、隔壁２０、絶縁層９０に固定化され、封止層６０が形成された。この様子を模式的に示したのが図１である。なお、このような電気泳動表示素子を分解し、電子顕微鏡で観察すると、支持層としてのＰＥＴ表面、隔壁表面、ＰＥＴと隔壁２０との間、そして基板１０の絶縁層上に均一な封止層６０が形成されている事が確認された。
【０１０９】
ところで、このようにして得られた電気泳動表示素子（上記分解処理は施していない）の第１電極７０を接地し、第２電極８０の電位を１ヘルツ（Ｈｚ）にて、＋１５Ｖ、−１５Ｖと交互に変調した。その結果、電位の変調に同期して、黒、白と交互に表示が変化し、この様な駆動を連続して行っても、帯電泳動粒子５０が隔壁２０をのりこえて変位していく事は観察されなかった。同時に、分散媒が揮発していく事もなかった。即ち、分散液が隔壁２０と基板１０により閉じ込められている事が確認できた。また、得られた電気泳動表示素子を前後に撓らせても、帯電泳動粒子が隔壁２０をのりこえて変位していく現象は観察されなかった。
【０１１０】
（実施例６）
本実施例における電気泳動表示素子の製造工程は、隔壁形成までは実施例１と同じである。本実施例では、ＵＶアッシング処理を施した隔壁２０と絶縁層９０の表面に、ヘキサメチレンジイソシアナートをスピンコートすることで、表面にイソシアナート基を有する隔壁２０及び絶縁層９０を形成する。
【０１１１】
次に、アゾビスシアノ吉草酸を１０重量％、αピコリン０．１重量％溶解させたトルエン溶液をスピンコートすることで、表面に重合開始基を有する隔壁２０及び絶縁層９０を形成することができる。またこれらと同じ工程を、ＵＶアッシング処理を施した厚さ３０μｍのＰＥＴフィルムの分散液と接する側の表面に行うことにより、表面に重合開始基を有するＰＥＴフィルムを作製する。
【０１１２】
次に、基板１０と隔壁２０が形成する空隙に、封止層前駆体を溶解させた帯電泳動粒子と分散媒からなる分散液２００を充填する（図２（ａ）参照）。なお、本実施例では、帯電制御剤コハク酸イミド（商品名：ＯＬＯＡ１２００、シェブロン社製）を含有させたイソパラフィン（商品名：アイソパー、比重０．７６、エクソン社製）を分散媒として用いた。また、帯電泳動粒子には平均粒径１〜２μｍ程度であるカーボンブラック含有のポリスチレン−ポリメチルメタクリレート共重合体樹脂からなるポリマービーズを使用した。また、封止層前駆体には、ラウリルメタクリレート（キシダ化学株式会社製）９５重量部とヘキサンジオールジメタクリレート（和光純薬工業株式会社製）５重量部を用いた。なお、この封止層前駆体の濃度は、２０ｇ／Ｌである。
【０１１３】
次に、このような封止層前駆体を溶解させた分散液２００を空隙に充填させた後、支持層３０を構成する、分散液と接する側の表面に重合開始基を有するＰＥＴフィルムを隔壁２０上に載せた（図２（ｂ）参照）。
【０１１４】
この後、ＰＥＴ基板を隔壁上で７０℃で４時間静置した。この静置過程で、隔壁２０、絶縁層９０表面の重合開始基から重合が始まり、その結果、共重合体が支持層３０、隔壁２０、絶縁層９０に固定化され、封止層６０が形成された。この様子を模式的に示したのが図１である。なお、この電気泳動表示素子を分解し、電子顕微鏡で観察すると、支持層としてのＰＥＴ表面、隔壁表面、ＰＥＴと隔壁２０との間、そして基板１０の絶縁層上に均一な封止層６０が形成されている事が確認された。
【０１１５】
ところで、このようにして得られた電気泳動表示素子（上記分解処理は施していない）の第１電極７０を接地し、第２電極８０の電位を１ヘルツ（Ｈｚ）にて、＋１５Ｖ、−１５Ｖと交互に変調した。その結果、電位の変調に同期して、黒、白と交互に表示が変化し、この様な駆動を連続して行っても、帯電泳動粒子が隔壁をのりこえて変位していく事は観察されなかった。同時に、分散媒が揮発していく事もなかった。即ち、分散液が隔壁２０と基板１０により閉じ込められている事が確認できた。また、得られた電気泳動表示素子を前後に撓らせても、帯電泳動粒子が隔壁２０をのりこえて変位していく現象は観察されなかった。
【０１１６】
（実施例７）
本実施例における電気泳動表示素子の製造工程は、隔壁形成までは実施例１と同じである。本実施例では、ＵＶアッシング処理を施した隔壁２０と絶縁層９０の表面に、化学式（１）に示す原子移動ラジカル重合開始基を持つ化合物を溶解させたトルエン溶液をスピンコートすることで、表面に原子移動ラジカル重合開始基を有する隔壁２０及び絶縁層９０を形成することができる。またこれらと同じ工程を、厚さ３０μｍのＰＥＴフィルムの分散液と接する側の表面に行うことにより、表面に原子移動ラジカル重合開始基を有するＰＥＴフィルムを作製する。
【０１１７】
＜化学式（１）＞
【化１】
2005292789.tif 000003
【０１１８】
次に、基板１０と隔壁２０が形成する空隙に、封止層前駆体を溶解させた帯電泳動粒子と分散媒からなる分散液２００を充填する（図２（ａ）参照）。なお、本実施例では、帯電制御剤コハク酸イミド（商品名：ＯＬＯＡ１２００、シェブロン社製）を含有させたイソパラフィン（商品名：アイソパー、比重０．７６、エクソン社製）を分散媒として用いた。また、帯電泳動粒子には平均粒径１〜２μｍ程度であるカーボンブラック含有のポリスチレン−ポリメチルメタクリレート共重合体樹脂からなるポリマービーズを使用する。また、封止層前駆体には、ラウリルメタクリレート（キシダ化学株式会社製）９５重量部とヘキサンジオールジメタクリレート（和光純薬工業株式会社製）５重量部を用いた。なお、この封止層前駆体の濃度は、２０ｇ／Ｌである。
【０１１９】
次に、このような封止層前駆体を溶解させた分散液２００を空隙に充填させた後、支持層３０として、分散液と接する側の表面に重合開始基を有するＰＥＴフィルムを隔壁２０上に載せた（図２（ｂ）参照）。
【０１２０】
この後、ＰＥＴ基板を７０℃で７時間静置する。この静置過程で、隔壁２０、絶縁層９０表面の原子移動ラジカル重合開始基から重合が始まり、その結果、共重合体が支持層３０、隔壁２０、絶縁層９０に固定化され、封止層６０が形成された。この様子を模式的に示したのが図１である。なお、この電気泳動表示素子を分解し、電子顕微鏡で観察すると、支持層としてのＰＥＴ表面、隔壁表面、ＰＥＴと隔壁２０との間、そして基板１０の絶縁層上に均一な封止層６０が形成されている事が確認された。
【０１２１】
ところで、このようにして得られた電気泳動表示素子（上記分解処理は施していない）の第１電極７０を接地し、第２電極８０の電位を１ヘルツ（Ｈｚ）にて、＋１５Ｖ、−１５Ｖと交互に変調した。その結果、電位の変調に同期して、黒、白と交互に表示が変化し、この様な駆動を連続して行っても、帯電泳動粒子が隔壁をのりこえて変位していく事は観察されなかった。同時に、分散媒が揮発していく事もなかった。即ち、分散液が隔壁２０と基板１０により閉じ込められている事が確認できた。また、得られる電気泳動表示素子を前後に撓らせても、帯電泳動粒子が隔壁２０をのりこえて変位していく現象は観察されなかった。
【０１２２】
以上説明したように、工程３（被覆工程）において支持層３０の表面と少なくとも支持層近傍の隔壁側面とを連続被覆した封止層前駆体に対し、工程４（封止層形成工程）において重合処理及び架橋処理の少なくとも一方の処理を施すことによって封止層６０を形成することにより、封止層前駆体に対する比重制限がなく、紫外線硬化型材料などを封止層前駆体として使用することができ、かつ均一な封止層６０を形成することが可能となる。
【０１２３】
なお、これまでの説明においては、封止層６０により支持層３０、隔壁２０、絶縁層９０を被覆する場合について述べてきたが、本発明は、これに限らず、少なくとも支持層３０の基板１０側の表面と支持層３０の近傍にある隔壁２０の側面を被覆していれば、中空部の被覆状態に特に制限はない。
【０１２４】
したがって、封止層前駆体を支持層３０と隔壁２０の表示面側にのみに吸着させると共に、工程４により図３の（ａ）に示すように封止層６０が支持層３０と、支持層３０と隔壁２０との空隙のみを被覆している構成としても良い。また、封止層前駆体が、絶縁層９０にのみ吸着しないようにすると共に、工程４により図３の（ｂ）のように支持層３０と隔壁２０の側面全てを被覆している構成としても良い。
【０１２５】
また、これまでの説明においては、微粒子を移動させて表示を行う表示素子の製造方法の一例として電気泳動表示素子の製造方法を例にとって説明したが、本発明は、これに限らず、微粒子を移動させて表示を行う他の表示素子の製造方法に適用することができるのは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【０１２６】
【図１】本発明の実施の形態に係る電気泳動表示素子の概略構成を示す図。
【図２】上記電気泳動表示素子の製造方法を説明する図。
【図３】本発明の実施の形態に係る電気泳動表示素子の他の構成を示す図。
【符号の説明】
【０１２７】
１０      基板
２０      隔壁
３０      支持層
４０      分散媒
５０      帯電泳動粒子
６０      封止層
７０      第１電極
８０      第２電極
９０      絶縁層
２００    分散液
２１０    封止層前駆体
【図１】
2005292789.tif 000004
【図２】
2005292789.tif 000005
【図３】
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