(57)【要約】【課題】  接着剤がインク流路内に流れ込むことを防止することによりインクの吐出特性の低下を防止する。【解決手段】  インクジェット記録ヘッド１０は、吐出口が形成されたオリフィスプレート４が配置された基板１が、接着剤３０を用いて支持部材２１上に接着固定されることにより構成されている。基板１には、基板１を貫通し、表面側にインク供給口を形成するように開口した共通液室９が形成されている。基板１とオリフィスプレート４との間には、内壁の一部が基板１の表面によって構成され、インク供給口の角部に開口してインク供給口と連通する逃げ部１２が形成されている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを吐出する吐出口に供給するためのインクを貯留する共通液室が貫通孔として形成された基板が、接着剤によって支持部材に接着固定されたインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記共通液室を伝って流動した接着剤が流入する少なくとも１つの逃げ部が設けられていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
前記吐出口は前記基板上に配置されたオリフィスプレートに形成され、前記共通液室は前記オリフィスプレートが配置された側の表面にインク供給口として開口するものであって、
前記逃げ部は、前記基板と前記オリフィスプレートとによって構成され、前記インク供給口の角部に開口して前記共通液室と連通するように形成されている、請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
前記逃げ部は断面形状が矩形であり、その一面が前記基板の表面によって構成されている、請求項２に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
前記逃げ部は前記オリフィスプレートの側面に開口している、請求項２または３に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】
前記逃げ部は、その断面積が前記オリフィスプレートの側面側に向かうにしたがって小さくなっている、請求項２ないし４のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】
前記吐出口は前記基板上に配置されたオリフィスプレートに形成され、前記共通液室は前記オリフィスプレートが配置された側の表面にインク供給口として開口するものであって、
前記逃げ部は、前記基板と前記オリフィスプレートとによって、接着剤を捕集する空間を形成するように構成され、前記空間の入口が前記インク供給口の端部を含んでいる、請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項７】
前記逃げ部の入口側の境界壁は、少なくとも前記インク供給口まで延びている、請求項６に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項８】
前記逃げ部の前記空間内に、接着剤を毛管力により保持する少なくとも１つの構造体が形成されている、請求項６または７に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項９】
前記逃げ部は前記インク供給口の両端に設けられている、請求項６ないし８のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１０】
前記接着剤は、熱硬化性、光硬化性、または、光と熱の併用によって硬化するものうちのいずれか１つである、請求項１ないし９のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１１】
吐出口からインクを吐出するためのエネルギー発生手段が形成された基板に、前記基板を貫通して前記エネルギー発生手段が形成された側の表面にインク供給口として開口する共通液室が形成されたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
エネルギー発生手段が形成された基板上に、溶解可能な樹脂材料にて、前記インク供給口が形成される領域上に位置する中央部と、前記中央部から外側に向かって延びる複数の流路部と、前記中央部の角部のうちの少なくとも１つに連続する逃げ部とを含む樹脂層を形成する工程と、
前記基板上に、前記樹脂層を覆うようにして樹脂材料からなる被覆樹脂層を形成し、該被覆樹脂層に、前記流路部に連通する前記吐出口を形成する工程と、
前記基板の一部を、前記エネルギー発生手段が形成された面の反対側から除去することにより、表面側に前記インク供給口として開口する共通液室を形成する工程と、
前記中央部、前記流路部、および前記逃げ部を、前記共通液室から溶出させることにより除去する工程と、
前記中央部、前記流路部、および前記逃げ部を除去した後に、前記基板と支持部材とを接着剤を用いて接着固定する工程とを有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項１２】
前記樹脂層を形成する工程は、前記角部を起点として前記中央部から外側に向かって延びる逃げ部を形成することを含む、請求項１１に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項１３】
前記樹脂層を形成する工程は、前記中央部の端部を含む逃げ部を形成することを含む、請求項１１に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項１４】
前記樹脂層を形成する工程は、前記溶解可能な樹脂材料を前記基板の表面全体に平坦に形成した後、パターニングを行うことによって前記中央部、前記流路部、および前記逃げ部を形成することを含む、請求項１１ないし１３のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吐出口からインク等の液体を飛翔液滴として吐出して被記録媒体に記録を行うインクジェット記録ヘッドおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録ヘッドの吐出口からインクを吐出して記録を行うインクジェット記録装置は、高速な記録が可能であって、記録時の騒音がほとんど生じないといった特徴を有しておりこれまでにも種々提案されている。
【０００３】
図１０は従来のインクジェット記録ヘッドの一例を説明するための斜視図であり、図１１は図１０のインクジェット記録ヘッドをＡ−Ａ線で切断した断面図である。
【０００４】
図１０、図１１に示すように、インクジェット記録ヘッド１１０は、インクを吐出するための吐出口１０３が形成されたオリフィスプレート１０４が基板１０１上に配置され、その基板１０１が支持部材１２１上に位置決め固定されることによって構成されている。
【０００５】
基板１０１には、各吐出口１０３に供給するインクを貯留するための共通液室１０９が貫通孔として形成されており、共通液室１０９は基板１０１の表面側に長穴のインク供給口１０６として開口している。インク供給口１０６の両側には、複数のエネルギー発生素子１０６（例えば電気熱変換素子）がインク供給口１０６に沿う方向に配列されている。
【０００６】
オリフィスプレート１０４には、複数の吐出口１０３が２列にわたって形成されており、各吐出口１０３は上記エネルギー発生素子１０６にそれぞれ対向する位置に配置されている。オリフィスプレート１０４と基板１０１との間には、インク供給口１０６から供給されたインクを各吐出口１０３に導くインク流路１０５が形成されている。隣り合うインク流路１０５同士は、オリフィスプレート１０４の一部として構成された隔壁によって隔てられている。
【０００７】
このようにオリフィスプレート１０４が配置された基板１０１は、図１１に示すように、例えば接着剤１３０を用いて、インクを供給するための供給流路１２６が形成された支持部材１２１上に接着固定される。これにより、供給流路１２６と共通液室１０９とが連通する。接着剤１３０は、供給流路１２６（共通液室１０９）の開口部を包囲するようにして塗布され、両部材の密着面からインクが漏れるのを防止している。
【０００８】
このように構成されたインクジェット記録ヘッド１１０では、インクは、供給流路１２６から共通液室１０９に供給され、さらにインク流路１０５を経由して各吐出口１０３に供給され、エネルギー発生素子２を駆動させることによって各吐出口１０３から吐出される。
【０００９】
なお、基板１と支持部材１２１とを固定するには、接着剤１３０を用いる方法の他にも、例えばバネ等の付勢手段を利用して両部材を互いに押圧させて固定する方法や、両部材の密着面に嵌合部を設けて嵌合させることにより固定する方法などが考えられる。しかし、付勢手段を利用して両部材を固定する方法の場合、基板１０１と支持部材１２１との間の密着面からインクが漏れるのを防ぐために非常に大きな荷重で両部材を付勢する必要があり、その結果、その荷重によってオリフィスプレート１０４または基板１０１が変形してしまう恐れがある。このような変形は、吐出口位置のズレやインク流路１０５の変形などの原因となり、インクの吐出特性を劣化させることがある。また、嵌合部を設けて両部材を固定する方法の場合、例えば、嵌合部を形成するときに基板１０１の表面に微小な凹凸が形成され、基板１０１と支持部材１２１とを密着させても両部材の密着面からインクが漏れる恐れがある。このような理由から、基板１と支持部材１２１とを固定するには上述したように接着剤を用いることが一般的となっている。
【００１０】
接着剤を用いて基板と支持部材とが固定されたインクジェット記録ヘッドは、他にも特許文献１に提案されている。
【特許文献１】特開２００２−１５４２０９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、接着剤を用いて基板と支持部材とが接着された従来のインクジェット記録ヘッドでは、その製造工程において、硬化前の接着剤が流動してインク流路内に流れ込んでしまうことがあった。すなわち、例えば図１２に示すように、基板１０１と支持部材１２１との間に塗布した接着剤１３０が、硬化前に、毛管力により共通液室１０９の角部を伝わり、インク流路１０５内に流入してしまう可能性があった。このようにインク流路１０５内に流入した接着剤１３０はインク流路１０５内で硬化してインク流路１０５を形状を変形させ、その結果、インクジェット記録ヘッドの吐出特性を低下させることがあった。また、接着剤１３０がインク流路１０５を完全に閉塞する可能性もある。なお、図１２は、接着剤による不具合を分かりやすく示すため、オリフィスプレート１０４の一部が切り取られて示されている。
【００１２】
そこで本発明の目的は、接着剤がインク流路内等に流れ込むことを防止することにより、インクの吐出特性の低下を防止したインクジェット記録ヘッドおよびその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するため、本発明によるインクジェット記録ヘッドは、インクを吐出する吐出口に供給するためのインクを貯留する共通液室が貫通孔として形成された基板が、接着剤によって支持部材に接着固定されたインクジェット記録ヘッドにおいて、前記共通液室を伝って流動した前記接着剤が流入する少なくとも１つの逃げ部が設けられていることを特徴とする。
【００１４】
本発明のインクジェット記録ヘッドによれば、少なくとも１つの逃げ部が設けられているため、その製造工程において、仮に、硬化前の接着剤が毛管力により共通液室を伝って流動した場合であっても、接着剤は、逃げ部内に流入するため、例えばインク流路内などの他の構造部内に流入することが防止される。
【００１５】
上記本発明によるインクジェット記録ヘッドは、逃げ部の断面形状が矩形でありその一面が基板の表面によって構成されたものであってもよい。この構成によれば、基板上全面に樹脂材料からなる層を形成し、その樹脂層を例えばフォトリソグラフィ技術を利用してパターニングするだけで逃げ部の形状を種々変更することができる。また、逃げ部は、その断面積が前記オリフィスプレートの側面側に向かうにしたがって小さくなるように形成されていてもよい。このように、逃げ部を、外側に向かうにしたがって毛管力が徐々に増加する形状とすることにより、接着剤がより効果的に逃げ部内に導かれる。
【００１６】
本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、吐出口からインクを吐出するためのエネルギー発生手段が形成された基板に、前記基板を貫通して前記エネルギー発生手段が形成された側の表面にインク供給口として開口する共通液室が形成されたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、エネルギー発生手段が形成された基板上に、溶解可能な樹脂材料にて、インク供給口が形成される領域上に位置する中央部と、前記中央部から外側に向かって延びる複数の流路部と、前記中央部の角部のうちの少なくとも１つに連続する逃げ部とを含む樹脂層を形成する工程と、前記基板上に、前記樹脂層を覆うようにして樹脂材料からなる被覆樹脂層を形成し、該被覆樹脂層に、前記流路部に連通する前記吐出口を形成する工程と、前記基板の一部を、前記エネルギー発生手段が形成された面の反対側から除去することにより、表面側に前記インク供給口として開口する共通液室を形成する工程と、前記中央部、前記流路部、および前記逃げ部を、前記共通液室から溶出させることにより除去する工程と、前記中央部、前記流路部、および前記逃げ部を除去した後に、前記基板と支持部材とを接着剤を用いて接着固定する工程とを有することを特徴とする。
【００１７】
本発明による製造方法によれば、オリフィスプレートとして形成された被覆樹脂層と基板との間に、インク供給口の角部に開口してインク供給口に連通する逃げ部が形成されるため、その後の製造工程において、仮に、硬化前の接着剤が流動した場合であっても接着剤はその逃げ部内に流入する。したがって、例えばインク流路内などの他の構造部に接着材が流入することが防止される。
【００１８】
なお、本明細書において、「記録」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を被記録媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を付与することも意味する。また、「被記録媒体」は、紙に限らず、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等も含む。「記録装置」は、プリンタに限らず、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサ、さらに各種処理装置と複合的に組み合わせた産業記録装置も含む。
【発明の効果】
【００１９】
上述したように本発明のインクジェット記録ヘッドによれば、接着剤を捕集する逃げ部が形成されているため、その製造工程において硬化前の接着剤がインク流路内等に流入されることが防止され、その結果、インクの吐出特性が良好なものとなる。また、本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法によれば、上記本発明のインクジェット記録ヘッドを良好に製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００２１】
（第１の実施形態）―インクジェット記録ヘッド―
図１は、本発明の一例によるインクジェット記録ヘッドを示す斜視図である。図２は、本実施形態の製造方法によって製造されるインクジェット記録ヘッドを示す斜視図であり、図示するインクジェット記録ヘッドは図１に示したインクジェット記録ヘッド１０と同一のものである。
【００２２】
図１、図２に示すインクジェット記録ヘッド１０は、オリフィスプレート４と基板１との間に逃げ部１２が形成されている点を除いては図１０〜８に示したインクジェット記録ヘッド１１０と同様に構成されているため、同一の構造部についてはその説明を省略する。なお、逃げ部１２は後述するように共通液室９の各角部に１つずつ形成されているが、図１では説明を簡単にするため１つの逃げ部１２のみが示されている。
【００２３】
逃げ部１２は、より具体的には、オリフィスプレート４の裏面、すなわち、基板１に密着する側の面に形成された溝状の構造部と、基板１の表面とによってその内壁が構成されている。逃げ部１２は矩形断面であり、基板１の基板面と平行な面内に延びるように設けられ、その断面積は一定となっている。逃げ部１２は、その一端が共通液室９の角部（インク供給口６の角部）の直上に開口するように形成され、これにより、インク供給口６と連通している。一方、逃げ部１２の他端はオリフィスプレート４の側面に開口している。図３の上面図に示すように、各逃げ部１２は、インク供給口６の角部から所定の角度をなしてインク供給口６から離れる方向に延びるように形成されている。
【００２４】
このように構成されたインクジェット記録ヘッド１０によれば、オリフィスプレート４と基板１との間に、インク供給口６の角部に開口する逃げ部１２が形成されているため、その製造工程において、硬化前の接着剤３０が毛管力により共通液室９の角部を伝ってオリフィスプレート４側に向かって流動した場合であっても、接着剤３０は、逃げ部１２内に流入するため、インク流路５内に流入することが防止される。
【００２５】
（第２の実施形態)―インクジェット記録ヘッドの製造方法―
本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法の一例を、主に図４を参照して以下に説明する。図４は、本実施形態の製造方法の工程を説明するための図であり、図２のＢ−Ｂ線で切断した断面図である。
【００２６】
以下に説明するインクジェット記録ヘッドの製造方法は、図１〜図３および図４（ｆ）に示すインクジェット記録ヘッド１０を製造するものである。インクジェット記録ヘッド１０の構成は、図１〜図３を参照して第１の実施形態内で説明したとおりであるため、その詳細な説明は省略する。
【００２７】
インクジェット記録ヘッド１０は、以下の工程によって製造される。
【００２８】
まず、図４（ａ）に示すように、シリコンからなる基板１の表面側（図面上側）に、エネルギー発生素子２である複数の電気熱変換素子と、その電気熱変換素子に電源を供給するための電気配線（不図示）とを形成する。なお、エネルギー発生素子２は電気熱変換素子に限らず圧電素子等であってもよい。
【００２９】
次いで、図４（ｂ）に示すように、基板１の表面側に溶解可能な樹脂材料からなる樹脂層１９を形成して所定の形状にパターニングする。具体的には、樹脂層１９は、中央部１９ａ、流路部１９ｂ、および逃げ部１９ｃから構成されている。
【００３０】
中央部１９ａは、インク供給口６（図３参照）の上方に位置し、インク供給口６の開口形状とほぼ同じ外形形状となっている。流路部１９ｂおよび逃げ部１９ｃは、図３に示したインク流路５および逃げ部１２にそれぞれ対応した外形形状に形成され、中央部１９ａから外側に向かって延びるように形成されている。
【００３１】
樹脂層１９の形成は、例えば、溶解可能な樹脂材料をスピンコートにより基板１の表面全体に平坦に形成した後、その樹脂材料に紫外線または深紫外線等を照射して露光と現像とを行いパターニングすることによって実施可能である。
【００３２】
次いで、図４（ｃ）に示すように、樹脂材料からなる被覆樹脂層１３を、樹脂層１９全体を覆うようにして基板１上に形成した後、エネルギー発生素子２に対向する位置に貫通孔として吐出口３を形成する。
【００３３】
この吐出口３の形成はフォトリソグラフィ技術を用いて実施可能であり、具体的には、被覆樹脂層１３上に配置したレジストを露光、現像した後、被副樹脂層１３の吐出口３に対応する位置をエッチングすることにより貫通孔が形成される。こうして複数の吐出口３が形成された被覆樹脂層１３は、最終的にオリフィスプレート４（図１、２参照）として機能するものである。なお、吐出口３の形成には、フォトリソグラフィ技術の他にも、Ｏ2プラズマを用いたエッチング、エキシマレーザを用いた部材の除去などの方法によっても実施可能である。
【００３４】
次いで、図４（ｄ）に示すように、例えばＫＯＨ、ＮａＯＨ、ＴＭＡＨ等の強アルカリ溶液を用いた異方性エッチングを用い、基板１の一部を、裏面側からエッチングする。これにより、共通液室９が基板１を貫通する貫通孔として形成され、共通液室９の上側はインク供給口６として開口する。共通液室９の形状は、より詳細には、図１、２の斜視図に示すように、基板１の表面側および裏面側の開口部形状がいずれも矩形であり、基板１の表面側に向かってその開口面積が徐々に小さくなる形状となっている。
【００３５】
なお、共通液室９を形成するには、このような化学的な異方性エッチングの他にもドリル等の切削工具を用いて機械的に部材を除去する方法や、レーザー等の光エネルギーを用いて部材を除去する方法もあるが、先の工程で形成した樹脂層１９のパターンを変形または破損させる可能性が小さい点で、やはり上述した化学的なエッチングがより好ましい。
【００３６】
次いで、図４（ｅ）に示すように、溶解可能な樹脂材料からなる樹脂層１９の各部１９ａ、１９ｂ、１９ｃを共通液室９から溶出させる。すると、樹脂層１９のうちの流路部１９ｂ（図４（ｂ）参照）がインク流路５として形成され、樹脂層１９のうちの逃げ部１９ｃが接着剤を受けるための逃げ部１２として形成される。最終的に、逃げ部１２は、図３を参照して説明したように、いずれもインク供給口６の角部に開口し、各角部から基板１の側面に向かって延びるように形成される。
【００３７】
次いで、図４（ｆ）に示すように、基板１を、予め供給流路２６が形成された支持部材２１上に接着固定してインクジェット記録ヘッド１０を完成させる。
【００３８】
この工程は、例えば、まず支持部材２１の表面に硬化前の接着剤３０を転写法によって塗布し、次いで基板１を支持部材２１に対して位置決めして両部材を密着させ、接着剤３０を硬化させることにより実施される。なお、接着剤３０は、熱によって硬化するもの、光によって硬化するもの、またはそれらの併用によって硬化するものを用いることができ、耐インク性を備えていることがより好ましい。
【００３９】
支持部材２１の材質は、例えば、Ａｌやマグネシウム合金といった金属材料、アルミナ等のセラミックス材料、または、ポリサルフォン等の樹脂材料であってもよいが、特に、熱伝導率が高い材質であることが、エネルギー発生素子２（電気熱変換素子）が発生する熱によって加熱された基板１を効率よく冷却できる点でより好ましい。
【００４０】
以上の工程によって製造されたインクジェット記録ヘッド１０を、例えばプリンタなどの記録装置に搭載して使用する場合、エネルギー発生素子２に接続された電気配線（不図示）を記録装置の回路基板（不図示）に電気的に接続し、支持部材２１の供給流路２６から基板１の共通液室９にインクを供給してインク流路５にインクが充填された状態で、記録装置から電気的信号を与えてエネルギー発生素子２を駆動することにより、インク流路５内のインクが加熱されて気泡が発生し、その気泡の発生によりインクが吐出口３から液滴として吐出される。
【００４１】
以上説明した本実施形態の製造方法によれば、オリフィスプレート（被覆樹脂層１３）と基板１との間に、インク供給口６の角部に開口するように形成した逃げ部１２を設けることにより、その製造工程において、仮に、硬化前の接着剤３０が基板裏面側からオリフィスプレート１３側に向かって流動した場合であっても接着剤３０は逃げ部１２に流入するため、インク流路５内に流入されることが防止される。その結果、インクジェット記録ヘッド１０は、そのインク流路の形状が接着剤３０によって変形させられることはないため吐出特性が良好なものとなる。また、逃げ部の断面形状が矩形であれば、基板１上全体に配置した樹脂材料を例えばフォトリソグラフィ技術を利用してパターニングするだけで逃げ部１２の形状を種々変更することができる。
【００４２】
図１〜図４を参照して説明した逃げ部１２は、断面積が一定であり、オリフィスプレート４の中央付近から外側に向かって延びるように形成されてオリフィスプレート４の側面に開口するものであったが、逃げ部はそれに限らず種々変更可能である。
【００４３】
逃げ部の変形例について、図面を参照して以下に説明する。
【００４４】
図５は、逃げ部の変形例を説明するための図であり、逃げ部以外の構成は図１〜図３のインクジェット記録ヘッド１０と同様である。
【００４５】
図５（ａ）に示す逃げ部１２ａは、基板１の厚さ方向における厚みが一定であって断面幅寸法が徐々に小さくなることにより、その断面積が外側に向かうにしたがって小さくなる形状に形成されており、外側に向かうにしたがって毛管力が徐々に増加する形状となっている。これにより、接着剤３０はより効果的に逃げ部１２ａ内に導かれる。
【００４６】
また、逃げ部は、図５（ｂ）に示す逃げ部１２ｂのように端部が基板１の側面に開口しないものであってもよい。このような、逃げ部の形状の変更は、樹脂層１９（図４参照）を形成する工程における樹脂層のパターニングを種々変更することにより実施することができる。あるいは、第１の実施形態で示したような側面に開口する逃げ部１２（図３参照）を、後工程において塞いでもよい。なお、逃げ部はインク供給口６の角部の全てに設けることが好ましいが、必要に応じて、接着剤３０が伝って流出する可能性が高い角部のみに配置してもよい。
【００４７】
逃げ部は、図６、図７に示すようなものであってもよい。図６は、逃げ部の他の変形例を説明するための図であり、図６（ａ）はインクジェット記録ヘッドの吐出口側から見た上面図であり、図６（ｂ）はその一部を拡大した拡大図である。図７は、図６の逃げ部およびその周辺の構造を示す斜視図である。
【００４８】
逃げ部１２ｃは、図示するように、インク供給口６の長手方向の両端に１つずつ形成されている。逃げ部１２ｃは、図７に示すように、基板１の表面を底面として１つ空間を形成している。その空間の側壁面および天面（不図示）は、オリフィスプレート４によって構成されている。
【００４９】
図６（ｂ）に示すように、逃げ部１２ｃは、インク供給口６の２つの角部６ａおよび１つの短辺を含む位置に設けられている。これにより、インク供給口６の端部が、逃げ部１２ｃに対する１つの入口となっている。
【００５０】
逃げ部境界壁１５は、図７に示すように、逃げ部１２ｃの入口側の側壁を構成する構造部であり、インク供給口６側に向かって延びるように形成されている。また、その端面１５ａは、インク供給口６の周縁に一致している。
【００５１】
このような構成の逃げ部１２ｃによれば、共通液室９（図１参照）の角部を伝って流動した接着剤は、図７の矢印に示すようにインク供給口６の角部６ａから逃げ部１２ｃの空間内に流れ込む。また、仮に、その接着剤の量が多い場合、あるいは、角部ではなく共通液室９の側壁面を伝って流動した場合であっても、インク逃げ部１２ｃの入口がインク供給口６の短辺およびその両端の角部６ａを含んで大きく形成されているため、上述した逃げ部１２、１２ａ、１２ｂと比較して、接着剤がより確実に捕集される。このように逃げ部１２ｃの入口を大きく形成することは、接着剤によって入口が閉塞される可能性が小さくなる点で好ましい。また、逃げ部１２ｃは、上述した逃げ部１２、１２ａ、１２ｂと比較してその内部空間が大きく形成されているため、より多くの接着剤を捕集することができる。
【００５２】
また、逃げ部境界壁１５がインク供給口６の周縁まで形成されているため、逃げ部１２ｃ内に一旦捕集された接着剤が逃げ部１２ｃから流れ出してインク流路５内に流入することが防止されている。仮に、逃げ部境界壁１５が図７に示すものよりも短い場合、逃げ部１２ｃ内の接着剤は、逃げ部境界壁１５の側面１５ｂおよび端面１５ａを伝って隣接するインク流路５内に流れ出す可能性がある。
【００５３】
なお、逃げ部境界壁１５は図８に示すようなものであってもよい。図８の逃げ部境界壁１６は、図７の逃げ部１５より長く形成されており、その先端側の端部１６ａがインク供給口６上に位置している。なお、このような形状の逃げ部境界壁１６であっても、図４を参照して説明した上記製造方法によって形成可能であり、具体的には、樹脂層１９のパターニングを変更することにより実施することができる。
【００５４】
逃げ部境界壁１６は、その先端側の端部１６ａがインク供給口６上に突出しているため、図７の逃げ部境界壁１５と比較して、接着剤がインク流路内に流入するのをより効果的に防止することができる。この理由として、図７の逃げ部境界壁１５はその端面１５ａがインク供給口６の周縁に位置しているため、逃げ部１２ｃ内に一端捕集された接着剤がその端面１５ａを伝ってインク供給路５内に流入する可能性があるが、図８の逃げ部境界壁１６では先端側が突出しているため、接着剤がそのように流入する可能性がより小さくなる。また、逃げ部境界壁１６の先端側が突出していることにより、共通液室の側壁を伝って流動した接着剤が突出した逃げ部境界壁１６の裏面（図示下面）に付着して保持される作用も期待できるため、インク流路５内への接着剤の流入がより効果的に防止される。
【００５５】
逃げ部は図９に示すようなものであってもよい。図９の逃げ部１２ｅは、その空間内に、逃げ部境界壁１６と平行に延びる誘導壁１８が形成されている。図９（ｂ）の矢印に示すように、通常、インク供給口６の角部６ａから流入した接着剤は逃げ部１２ｅの内壁を伝って捕集されるため、誘導壁１８が形成されていることにより接着剤が伝わる内壁の距離が長くなり、接着剤の捕集がより確実なものとなる。また、接着剤は、毛管力により、逃げ部１２ｅの内壁に付着して保持される傾向があるため、このように誘導壁１８を設けることは、逃げ部１２ｅの接着剤保持能力を向上させる点で好ましい。これにより、一旦捕集された接着剤が逃げ部１２ｅから流出しにくくなり、インク流路５内への接着剤の流入がより防止される。誘導壁１８の数および形状は適宜変更可能であり、例えば、１つの側壁に２本以上の誘導壁を設けてもよい。また、誘導壁１８は、必ずしも逃げ部１２ｅの側壁に連続して形成されている必要はなく、独立して逃げ部１２ｅ内に設けられていてもよい。このような構成であっても、捕集した接着剤を毛管力により保持するものであれば、逃げ部１２ｅの接着剤保持能力を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の一例によるインクジェット記録ヘッドを示す斜視図である。
【図２】本実施形態の製造方法によって製造されるインクジェット記録ヘッドを示す斜視図である。
【図３】図２のインクジェット記録ヘッドの逃げ部の形状を説明するための模式図である。
【図４】本実施形態の製造方法の工程を説明するための図であり、図２のＢ−Ｂ線で切断した断面図である。
【図５】逃げ部の変形例を説明するための図である。
【図６】逃げ部の他の変形例を説明するための図である。
【図７】図６の逃げ部およびその周辺の構造を示す斜視図である。
【図８】逃げ部の境界壁の変形例を示す図である。
【図９】逃げ部の空間内に形成された誘導壁を示す図である。
【図１０】従来のインクジェット記録ヘッドの一例を説明するための斜視図である。
【図１１】図１０のインクジェット記録ヘッドをＡ−Ａ線で切断した断面図である。
【図１２】従来のインクジェット記録ヘッドの、接着剤による不具合を説明するための図である。
【符号の説明】
【００５７】
１  基板
２  エネルギー発生素子
３  吐出口
４  オリフィスプレート
５  インク流路
５ａ  インク流路壁
６  インク供給口
６ａ  角部
９  共通液室
１０  インクジェット記録ヘッド
１２、１２ａ〜１２ｅ  逃げ部
１３  被覆樹脂層
１５、１６  逃げ部境界壁
１５ａ、１６ａ  端面
１５ｂ  側面
１８  誘導壁
１９  樹脂層
１９ａ  中央部
１９ｂ  流路部
１９ｃ  逃げ部
２１  支持部材
２６  供給流路
３０  接着剤
【図１】
2005246946.tif 000003
【図２】
2005246946.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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