(57)【要約】【課題】レーザ干渉計の計測空間のように空調エアが流れ込みにくい局所領域の温度を精度良く制御することのできる空調設備を提供する。【解決手段】空調設備１０の環境チャンバ１２の内部には、レーザ干渉計等の計測装置５０が設置される。この計測装置５０は、ベース５２の凹部に計測空間５８が形成される。計測空間５８には局所吹出ユニット６０が設けられ、この局所吹出ユニット６０は、分岐ダクト４２を介して第２ヒータ３４に連通される。これにより、第２ヒータ３４を通過した空調エアが、局所吹出ユニット６０から計測空間５８に向けて吹き出される。局所吹出ユニット６０から吹き出される空調エアは、吹出パネル１４から吹き出される空調エアよりも風速が大きくなるように制御される。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャンバ内に形成される局所領域の温度を制御する空調設備において、
前記チャンバに送気されるエアの温度を制御する温度制御装置と、
前記局所領域に設けられる吹出口と、
前記温度制御装置によって温度が制御された空調エアを前記吹出口に送気するためのダクトと、を備え、
前記局所領域内の圧力が該局所領域の周辺部の圧力よりも大きくなるように前記吹出口から空調エアを吹き出すことを特徴する空調設備。
【請求項２】
前記局所領域を挟んで前記吹出口に対向する位置にエアの吸込口が設けられ、該吸込口は、前記吹出口から吹き出す空調エアの風量よりも少ない風量でエアを吸い込むことを特徴とする請求項１に記載の空調設備。
【請求項３】
前記吹出口には、前記温度制御装置から前記チャンバに空調エアを送気するダクトが分岐された分岐ダクトが接続されることを特徴とする請求項１又は２に記載の空調設備。
【請求項４】
前記分岐ダクトには、該分岐ダクトを流れる空調エアの温度を調節する局所用温度制御装置が設けられることを特徴とする請求項３に記載の空調設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は空調設備に係り、特に、レーザ干渉計等の精密計測機器が設置される環境チャンバの温度を制御する空調設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の半導体製造用クリーンルームの精密環境チャンバ室は、半導体の大規模集積化に伴い、室内の温度管理が厳しく要求されている。特に、実際に検査解析作業を行なう空間では、検査解析精度を上げるために室温の変動を±１／１０００度以下に抑えることが要求されている。このため、精密環境チャンバ室用の空調設備においては、高精度な温度管理が実施されている。
【０００３】
特許文献１には、クリーンルームの天井面にＦＦＵが配設されるとともに、クリーンルーム内の局所領域に対向するＦＦＵに冷却コイルが内蔵された空調設備が記載されている。この空調設備によれば、冷却コイルに流す冷水流量を調節することによって局所領域の温度を設定温度に制御することができる。
【特許文献１】特開平１１−３３７１１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１の局所領域に精密計測機器、例えばレーザ干渉計を設置しても、解析精度を向上させることができないという問題があった。
【０００５】
その原因として、レーザ干渉計のベースは複雑な形状、例えば凹状に形成されているため、チャンバの天井面から空調エアをダウンフローさせても、ベースの凹部に形成された計測空間（局所領域）に空調エアがスムーズに流れず、計測空間の温度を精度良く制御することができないという問題があった。したがって、引用文献１は、空調エアが流れ込みにくい局所空間の温度を精度良く制御することができなかった。
【０００６】
また、引用文献１は、冷却コイルによって温度を調節しているため、温度制御の即応性が悪く、厳しい温度管理をすることはできないという問題があった。
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、空調エアが流れ込みにくい局所領域の温度を精度良く制御することのできる空調設備を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載の発明は前記目的を達成するために、チャンバ内に形成される局所領域の温度を制御する空調設備において、前記チャンバに送気されるエアの温度を制御する温度制御装置と、前記局所領域に設けられる吹出口と、前記温度制御装置によって温度が制御された空調エアを前記吹出口に送気するためのダクトと、を備え、前記局所領域内の圧力が該局所領域の周辺部の圧力よりも大きくなるように前記吹出口から空調エアを吹き出すことを特徴としている。
【０００９】
請求項１に記載の空調設備によれば、温度制御装置によって温度が制御された空調エアをチャンバに送気してチャンバ内全体の温度を制御するとともに、前記空調エアを吹出口から局所領域に直接吹き出して局所領域の温度を制御する。したがって、局所領域の温度を確実に制御することができる。また、チャンバ内全体の温度を制御しているので、局所領域の周辺部で熱が発生した場合にも、その熱をすぐにチャンバ外に排除することができ、局所領域に悪影響を及ぼすことを防止することができる。
【００１０】
また、請求項１の発明によれば、局所領域に空調エアを直接吹き出すようにしたので、局所領域には空調エアの気流が安定して形成されるようになり、局所領域における圧力変動を防止することができる。
【００１１】
さらに、請求項１の発明によれば、局所領域が周辺部よりも高い圧力になるように制御しているので、周辺部のエアが局所領域に流れ込むことを防止することができる。したがって、周辺部の熱が局所領域に伝わることを防止することができ、局所領域での温度変動を防止することができる。また、周辺部のエアが局所領域に流れ込まないので、局所領域内の空調エアの気流が乱れることを防止することができ、局所領域での圧力変動を防止することができる。
【００１２】
請求項２に記載の発明は請求項１の発明において、前記局所領域を挟んで前記吹出口に対向する位置にエアの吸込口が設けられ、該吸込口は、前記吹出口から吹き出す空調エアの風量よりも少ない風量でエアを吸い込むことを特徴としている。
【００１３】
請求項２の発明によれば、局所領域を挟んで吹出口に対向する位置に吸込口を設けてエアを吸い込むようにしたので、吹出口から局所領域に空調エアを吹き出す一方で、局所領域のエアが吸込口から吸い込まれる。したがって、局所領域には、吹出口から吸込口に流れる空調エアの気流が安定して形成される。これにより、局所領域における温度変動及び圧力変動を防止することができる。
【００１４】
また、請求項２の発明によれば、吹出口からの吹出風量が吸込口からの吸込風量よりも大きいので、局所領域の周辺部のエアが局所領域に流れ込むことを防止することができる。したがって、局所領域に周辺部の熱が伝わることを防止でき、局所領域での温度変動をより確実に防止することができる。さらに、局所領域の気流の乱れを防止することができるので、局所領域での圧力変動をより確実に防止することができる。
【００１５】
請求項３に記載の発明は請求項１又は２の発明において、前記吹出口には、前記温度制御装置から前記チャンバに空調エアを送気するダクトが分岐された分岐ダクトが接続されることを特徴としている。
【００１６】
請求項３に記載の発明によれば、温度制御装置によって温度が制御された空調エアがチャンバと局所領域の両方に供給されるので、チャンバと局所領域とを同じ温度に制御することができる。また、チャンバと局所領域とで、同一の温度制御特性になるので、チャンバ内と局所領域内との温度変動の差が少なくなる。したがって、局所領域が周辺部の温度の影響を受けにくくなるので、局所領域での温度変動をより確実に抑制することができる。
【００１７】
請求項４に記載の発明は請求項３の発明において、前記分岐ダクトには、該分岐ダクトを流れる空調エアの温度を調節する局所用温度制御装置が設けられることを特徴としている。
【００１８】
請求項４に記載の発明によれば、分岐ダクトに設けた局所用温度制御装置によって、分岐ダクトを流れるエアの温度をさらに制御するので、局所領域の温度をより高い精度で制御することができる。また、分岐ダクトを流れるエアは風量が小さいので、局所用温度制御装置によって温度を制御することによって、温度制御の即応性を向上させることができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明に係る空調設備によれば、チャンバ内に空調エアを供給してチャンバ内全体の温度を制御するだけでなく、局所領域に空調エアを供給し、且つ局所領域が周辺部よりも高い圧力になるように制御したので、局所領域の温度を精度良く制御することができるとともに、局所領域での温度変動や圧力変動を抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、添付図面に従って本発明に係る空調設備の好ましい実施の形態について詳説する。
【００２１】
図１は第１の実施形態の空調設備１０の構成を模式的に示す平面断面図である。
【００２２】
図１に示すように、空調設備１０は環境チャンバ１２を備え、この環境チャンバ１２の対向する側面に、吹出パネル１４と吸込パネル１６が設けられる。
【００２３】
吸込パネル１６は、排気ダクト１８を介して外部に連通され、この排気ダクト１８を介して環境チャンバ１２内のエアの一部が排気される。また、吸込パネル１６は吸込ダクト２０を介して空調機２２の吸込口２２Ａに連通される。空調機２２の内部にはファン２４が設けられ、このファン２４を駆動することによって、チャンバ１２内のエアが吸込ダクト２０を介して空調機２２に吸い込まれる。また、空調機２２の吸込口２２Ａには外気取り入れダクト３０が接続され、この外気取り入れダクト３０を介して外気が空調機２２に取り入れられる。なお、空調機２２に取り入れられる外気の風量は、排気ダクト１８から排気されるエアの風量に応じて調節される。
【００２４】
空調機２２の内部には冷却コイル２６が設けられる。この冷却コイル２６には、冷水供給源（不図示）から供給された冷水が循環するようになっている。したがって、空調機２２に吸い込まれたエアは冷却コイル２６によって所定の温度（具体的には、目標とする温度よりも若干低い温度）まで冷却される。
【００２５】
空調機２２の吹出口２２Ｂには、吹出ダクト２８が接続される。この吹出ダクト２８には第１ヒータ３２と第２ヒータ３４が順に配設されており、吹出ダクト２８の先端は吹出パネル１４に接続される。
【００２６】
第１ヒータ３２としては、例えば電熱ワイヤに通電することによって加熱を行う電気ヒータが用いられる。第１ヒータ３２の下流側には第１温度センサ３６が設けられ、この第１温度センサ３６によって、第１ヒータ３２で加熱したエアの温度が測定される。第１温度センサ３６は指示調節器３８を介してサイリスタ４０に接続され、このサイリスタ４０によって第１ヒータ３２に供給される電源の電圧が制御される。これにより、第１温度センサ３６の測定値に基づいて第１ヒータ３２がフィードバック制御され、第１ヒータ３２を通過するエアが所定の温度に制御される。
【００２７】
第２ヒータ３４は、例えばハロゲンランプ等を用いた電球ヒータから成り、点灯させることによって第２ヒータ３４を通過する空気を加熱するようになっている。第２ヒータ３４は、後述する分岐ダクト４２に配設された第２温度センサ４４の測定値に基づいてフィードバック制御される。すなわち、第２温度センサ４４は、指示調節器４６を介してサイリスタ４８に接続され、このサイリスタ４８によって第２ヒータ３４に供給される電源の電圧が調節される。これにより、第２温度センサ４４の測定値に基づいて第２ヒータ３４がフィードバック制御され、第２ヒータ３４を通過するエアが所定の温度に制御される。
【００２８】
なお、第１ヒータ３２と第２ヒータ３４の種類や構成は上述した例に限定されるものではない。ただし、第２ヒータ３４は、第１ヒータ３２よりも細かな温度制御が可能なものが好ましい。また、第２温度センサ４４は第１温度センサ３６よりも測定精度の良いものを使用することが好ましい。さらに、第２温度センサ４４は、後述する局所吹出ユニット６０の近傍に配置することが好ましく、局所吹出ユニット６０の内部に設置することがより好ましい。
【００２９】
上記の如く第１ヒータ３２と第２ヒータ３４によって二段階で温度制御を行うことによって、エアの温度をより精度良く制御することができる。
【００３０】
第１ヒータ３２と第２ヒータ３４によって加熱されて温度制御された空調エアは、吹出ダクト２８を介して吹出パネル１４に送気され、吹出パネル１４から環境チャンバ１２内へ吹き出される。吹出パネル１４の内部には、パンチングプレート等の整流手段（不図示）が設けられており、吹出パネル１４の全面から空調エアが均等に吹き出されるようになっている。一方、吸込パネル１６の内部にも、パンチングプレート等の整流手段（不図示）が設けられており、吸込パネル１４の全面からエアが均等に吸い込まれるようになっている。したがって、環境チャンバ１２の内部には、吹出パネル１４から吸込パネル１６に向けて空調エアが水平に流れる層流状態が形成される。これにより、環境チャンバ１２の内部全体の温度が精度良く制御される。
【００３１】
環境チャンバ１２の内部には計測装置５０が設けられている。計測装置５０は、図１上で門状に形成されたベース５２を有し、このベース５２の側面５２Ａに計測部５４が支持されている。計測部５４は、例えばレーザ干渉計などから成り、側面５２Ａに対向する側面５２Ｂに向けてレーザ等を照射することによって被計測物５６の寸法等を正確に計測するようになっている。以下、ベース５２の側面５２Ａと側面５２Ｂとの間に形成される空間を計測空間（局所領域に相当）５８という。なお、ベース５２は、計測空間５８を挟んで側面５２Ｃに対向する面が開口されており、計測空間５８はこの面を介して周囲に連通されている。
【００３２】
ベース５２の側面５２Ｃには、局所吹出ユニット６０が設けられている。局所吹出ユニット６０は、図２に示すように、中空状のケーシング６２を有し、このケーシング６２は計測空間５８側の面がパンチングプレート６４によって構成される。パンチングプレート６４は、孔（吹出口に相当）６４Ａ、６４Ａ…が全面に均等に形成されている。また、前記ケーシング６２は、ベース５２に対して若干の隙間を持って取り付けられており、ベース５２からの熱伝達を極力抑制できるようになっている。なお、ケーシング６２とベース５２との間に若干の隙間を設ける代わりに、ケーシング６２を断熱部材によって囲むことによって、ベース５２からの熱伝導を防止するようにしてもよい。
【００３３】
ケーシング６２には、前述した分岐ダクト４２の先端が接続される。分岐ダクト４２の基端は、図１に示すように、吹出ダクト２８の第２ヒータ３４の下流側に接続される。したがって、第２ヒータ３４を通過した空調エアが分岐ダクト４２に分流され、局所吹出ユニット６０に送気される。局所吹出ユニット６０に送気された空調エアは、図２のパンチングプレート６４によって整流されて水平方向に吹き出される。これにより、計測空間５８の内部には、空調エアの層流状態が形成される。
【００３４】
局所吹出ユニット６０から吹き出される空調エアは、その風速が、吹出パネル１４から吹き出される空調エアの風速よりも若干大きくなるように制御される。この制御は例えば、吹出ダクト２８の断面積と分岐ダクト４２の断面積の比を調節したり、或いは、吹出ダクト２８や分岐ダクト４２にダンパなどの風量調節手段を設けて各ダクトの風量を調節したりすることによって行われる。
【００３５】
なお、吹出ダクト２８や分岐ダクト４２を断熱部材によって囲むようにしてもよい。これにより、吹出ダクト２８や分岐ダクト４２を通過する空調エアが、外部からの熱の影響を受けることを防止できる。
【００３６】
次に上記の如く構成された空調設備１０の作用を説明する。
【００３７】
空調機２２のファン２４を駆動すると、環境チャンバ１２内のエアが吸込パネル１６から吸い込まれ、空調機２２の冷却コイル２６によって所定の温度まで冷却される。冷却されたエアは、第１ヒータ３２によって加熱され、目標とする温度に対して所定の精度、例えば３／１００度程度の範囲まで温度調節される。この空調エアは、さらに第２ヒータ３４で加熱されることによって、目標とする温度に対して、より高い精度、例えば１／１０００度程度の範囲に制御される。こうして厳密に温度制御された空調エアの大部分は、吹出パネル１４に送気されて、吹出パネル１４から環境チャンバ１２内に吹き出される。そして、吹出パネル１４に対向配置された吸込パネル１６から吸い込まれ、環境チャンバ１２内に水平方向の層流状態が形成される。したがって、環境チャンバ１２内で発生した熱、例えば計測装置５０から発生した熱は、環境チャンバ１２内に滞ることなく、吸込パネル１６から吸い込まれる。これにより、環境チャンバ１２の内部全体を所望の温度に制御することができる。
【００３８】
ところで、本実施の形態では、計測空間５８がベース５２の凹部に形成されているため、吹出パネル１４から吹き出された空調エアが計測空間５８にスムーズに入り込むことができない。このため、吹出パネル１４から吹き出された空調エアだけで、計測空間５８の温度を精度良く制御することはできない。
【００３９】
そこで、本実施の形態では、計測空間５８に局所吹出ユニット６０を設けて、計測空間５８に直接、空調エアを吹き出すようにしている。したがって、計測空間５８の内部には、第２ヒータ３４を通過して厳密に温度制御された空調エアによって水平方向の層流状態が形成される。これにより、計測空間５８の温度を精度良く制御することができる。
【００４０】
また、本実施の形態では、局所吹出ユニット６０から吹き出される空調エアの風速が、吹出パネル１４から吹き出される空調エアの風速よりも大きくなるように制御される。したがって、計測空間５８は、その周辺部よりも動圧が大きくなり、周辺部のエアが計測空間５８の内部に流れ込むことが防止される。これにより、計測空間５８の内部に形成された層流状態が乱されることがないので、計測空間５８での圧力変動を防止することができる。また、周辺部のエアが計測空間５８内に入り込まないので、周辺部で発生した熱が計測空間５８内に入り込むことを防止でき、計測空間５８での温度変動を防止することができる。
【００４１】
さらに、本実施の形態によれば、第２ヒータ３４を通過した空調エアを分流させて環境チャンバ１２と計測空間５８とに供給しているので、環境チャンバ１２と計測空間５８とで同一の温度に精度良く制御することができる。また、環境チャンバ１２と計測空間５８とで同一の空調系機器（すなわち空調器２２、第１ヒータ３２、及び第２ヒータ３４）を用いたことによって、両方の制御特性も同一になり、温度変動の差が発生することを防止することができる。これにより、計測空間５８がその周辺部の温度の影響を受けにくくなるので、計測空間５８の温度をより精度良く制御することができる。
【００４２】
以上説明したように、本実施の形態によれば、計測空間５８内の温度を精度よく制御することができるとともに、計測空間５８内の温度変動や圧力変動を抑制することができるので、計測装置５８において被測定物の寸法を精度良く測定することができる。
【００４３】
なお、上述した実施の形態では、吹出パネル１４から吹き出された空調エアの方向と、局所吹出ユニット６０から吹き出された空調エアの方向とが、直交するように計測装置５０が配置された例を示したが、これに限定するものではない。例えば図３には、吹出パネル１４から吹き出された空調エアの方向と、局所吹出ユニット６０から吹き出された空調エアの方向とが平行になるように、計測装置５０が配置された例が示されている。この場合には、計測空間５８と、その周辺部とで同一方向に空調エアが流れているので、計測空間５８と周辺部との境界において気流が乱れることがない。したがって、環境チャンバ１２の内部に形成された層流状態が乱れることがないので、環境チャンバ１２内全体の温度制御の精度を高めることができる。その結果、計測空間５８が周辺部から悪影響を受けることを抑制することができるので、計測空間５８内における温度制御の精度を向上させることができる。
【００４４】
なお、上述した実施の形態において、吹出ダクト２８と分岐ダクト４２の連結部分に混気チャンバ（不図示）を設けるとよい。これにより、第２ヒータ３４を通過した空調エアを混気させることができ、空調エアを均一な温度分布にすることができる。したがって、環境チャンバ１２と計測空間５８の温度をより厳密に制御することができる。
【００４５】
図４は第２の実施形態の空調設備の構成を示す模式図である。
【００４６】
第２の実施形態の空調設備は、第２ヒータ３４が分岐ダクト４２に配設されており、分岐ダクト４２の基端は、吹出ダクト２８の第１温度センサ３６の下流側に接続されている。したがって、第１ヒータ３２によって大まかに温度制御された空調エアの一部が分岐ダクト４２に分流され、第２ヒータ３４によって細かく温度制御される。そして、分岐ダクト４２を介して局所吹出ユニット６０に送気され、局所吹出ユニット６０から計測空間５８に吹き出される。
【００４７】
上記の如く構成された第２の実施形態によれば、分岐ダクト４２を流れる少ない風量のエアを第２ヒータ３４によって温度制御するので、即応性の良い温度制御を行うことができる。これにより、計測空間５８の温度制御の即応性を向上させることができる。
【００４８】
なお、第２の実施形態の場合にも、吹出ダクト２８と分岐ダクト４２との連結部分に混気チャンバを設けたり、計測装置５０を図３に示した如く配置するとよい。
【００４９】
また、第２の実施形態では、環境チャンバ１２と計測空間５８とで、一部異なる空調系統を用いたが、完全に異なる空調系統によって温度を制御するようにしてもよい。
【００５０】
図５（Ａ）は、第３の実施形態の空調設備の構成を模式的に示す平面断面図であり、図５（Ｂ）は、その縦断面図である。
【００５１】
図５（Ａ）に示すように、第３の実施形態の空調設備は、局所吹出ユニット６０がベース５２の側面５２Ａに取り付けられている。また、側面５２Ａに対向する側面５２Ｂには、局所吸込ユニット６６が取り付けられている。局所吸込ユニット６６は、図２に示した局所吹出ユニット６０と同様に構成されている。すなわち、局所吸込ユニット６６は、ベース５２に対して若干の隙間をあけて取り付けられたケーシング（不図示）と、このケーシングの計測空間５８側の面に設けられたパンチングプレート（不図示）とから成り、ケーシングには、ダクト６８が接続されている。ダクト６８は、吸込ダクト２０に接続されており、この吸込ダクト２０を介して空調機２２（図１参照）に接続されている。したがって、空調機２２のファン２４を駆動することによって、計測空間５８のエアが局所吸込ユニット６６に吸い込まれ、ダクト６８、吸込ダクト２０を介して空調機２２に送気される。その際、局所吸込ユニット６６にパンチングプレートが設けられているので、局所吸込ユニット６６の全面から均等にエアを吸い込むことができる。
【００５２】
また、局所吸込ユニット６６が吸い込まれるエアの風量は、局所吹出ユニット６０から吹き出される空調エアの風量よりも小さくなるように制御される。例えば、この関係を満たすような、分岐ダクト４２の断面積とダクト６８の断面積との比を予め試験等により求めたり、或いは、ダクト６８にダンパ等の風量調節手段を設けて風量を調節したりして行われる。
【００５３】
図５（Ｂ）に示すように、計測部５４は、ベース５２の上部に取り付けられる。そして、計測部５４は、下方に固定された被計測物５８に向けてレーザ等を照射して、被計測物５８の寸法を測定するように構成される。
【００５４】
上記の如く構成された第３の実施形態によれば、計測空間５８を挟んで局所吹出ユニット６０に対向する位置に局所吸込ユニット６６を設けたので、局所吹出ユニット６０から吹き出された空調エアは局所吸込ユニット６６に吸い込まれる。したがって、計測空間５８には空調エアの層流状態がより安定して形成されるので、計測空間５８における計測をより精度良く安定して行うことができる。
【００５５】
また、第３の実施形態によれば、局所吹出ユニット６０から吹き出す空調エアの風量よりも、局所吸込ユニット６６から吸い込むエアの風量が若干小さくなるように制御したので、計測空間５８の周辺部のエアが計測空間５８内に入り込むことを防止することができる。したがって、計測空間５８での温度変動や圧力変動を防止することができる。
【００５６】
なお、計測装置５０の構成は、上述した実施の形態に限定されるものではない。例えば図６に示す計測装置は、計測空間５８の上部と下部とに計測部５４、５４が配置されている。そして、一方の計測部５４から、もう一方の計測部５４に向けてレーザ等を照射し、これをもう一方の計測部５４が受光することによって、被計測物５６の寸法を測定するように構成されている。この計測装置のベース５２は、被計測物５６を計測空間５８に出し入れするための一対の開口部５２Ｄ、５２Ｄを有し、この一対の開口部５２Ｄ、５２Ｄは、計測空間５８を挟んで反対側に形成されている。
【００５７】
局所吹出ユニット６０は、開口部５２Ｄの外側で、且つ計測空間５８に近接した位置に配置される。この局所吹出ユニット６０から空調エアを吹き出すと、空調エアは、計測空間５８を通った後、もう一方の開口部５２Ｄを介して周辺部に送気される。これにより、計測空間５８内に、空調エアの層流状態を形成することができ、計測空間５８の温度を精度よく制御することができる。
【００５８】
なお、上述した実施の形態では、レーザ干渉計等の計測装置５０に形成される計測空間５８の温度を制御する空調設備として本発明を適用したが、本発明の用途はこれに限定するものではない。本発明は、吹出パネル１４から吹き出された空調エアだけでは層流状態が形成されにくい局所領域の温度を精度良く制御する空調設備に適用することができる。したがって、計測装置５０はレーザ干渉計に限定されるものではなく、その他の機器を設置してもよい。また、計測空間５８の圧力変動の影響が少ない機器を設置した場合には、局所吹出ユニット６０や吹出パネル１４から吹き出す空調エアの風量を調節することによって、計測空間５８に周辺部からエアが流れ込むことを確実に防止してもよい。すなわち、計測空間５８に周辺部のエアの侵入があるか否かを常にセンシングし、これに基づいて、局所吹出ユニット６０や吹出パネル１４から吹き出す空調エアの風量を調節し、計測空間５８に周辺部からのエアの侵入がなくなるようにする。これにより、周辺部のエアが計測空間５８に侵入することを確実に防止でき、計測空間５８での温度変動を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】第１の実施形態の空調設備の構成を模式的に示す平面断面図
【図２】局所吹出ユニットの構成を示す平面断面図
【図３】計測装置の他の設置例を示す平面断面図
【図４】第２の実施形態の空調設備の構成を模式的に示す平面断面図
【図５】第３の実施形態の空調設備の構成を模式的に示す説明図
【図６】計測装置の他の構成例を示す縦断面図
【符号の説明】
【００６０】
１０…空調設備、１２…環境チャンバ、１４…吹出パネル、１６…吸込パネル、１８…排気ダクト、２０…吸込ダクト、２２…空調機、２４…ファン、２６…冷却コイル、２８…吹出ダクト、３０…外気取り入れダクト、３２…第１ヒータ、３４…第２ヒータ、３６…第１温度センサ、３８…指示調節器、４０…サイリスタ、４２…分岐ダクト、４４…第２温度センサ、４６…指示調節器、４８…サイリスタ、５０…計測装置、５２…ベース、５４…計測部、５６…被計測物、５８…計測空間、６０…局所吹出ユニット
【図１】
2005172313.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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