(57)【要約】【課題】  ハウジング内に収納されたセンシング部に、受圧ダイアフラムから棒状の圧力伝達部材を介して圧力を印加するようにした圧力検出装置において、受圧ダイアフラムをハウジングに溶接する時に受圧ダイアフラムが荷重によって熱変形するのを防止する。【解決手段】  ハウジング１０のうちセンシング部２０の取り付け部位から突出するパイプ部１０ｃの突出先端部の開口部１０ｄには受圧ダイアフラム１３が溶接され、一端部がセンシング部２０、他端部が受圧ダイアフラム２３にそれぞれ荷重を与えた状態で接触するように、パイプ部１０ｃ内に棒状の圧力伝達部材８０が収納されてなる圧力検出装置において、ハウジング１０は、ハウジング１０におけるセンシング部２０の取り付け部位と受圧ダイアフラム１３の固定部位との間で分割されており、これら分割された各部１０ａ、１０ｂが圧入により組み付けられて一体化されたものである。【選択図】        図１
2005249513.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウジング（１０）と、
前記ハウジング（１０）に取り付けられ圧力に応じた信号を出力するセンシング部（２０）と、
前記ハウジング（１０）のうち前記センシング部（２０）の取り付け部位から突出するパイプ状をなすパイプ部（１０ｃ）と、
前記パイプ部（１０ｃ）の突出先端部の開口部（１０ｄ）に対して当該開口部（１０ｄ）を遮蔽するように溶接されて固定された受圧ダイアフラム（１３）と、
前記パイプ部（１０ｃ）内に、一端部が前記センシング部（２０）に荷重を与えた状態で接触し他端部が前記受圧ダイアフラム（１３）に荷重を与えた状態で接触するように、収納された棒状の圧力伝達部材（８０）とを備え、
前記受圧ダイアフラム（１３）が受けた圧力を前記圧力伝達部材（８０）を介して前記センシング部（２０）に伝達することにより圧力の検出を行うようにした圧力検出装置において、
前記ハウジング（１０）は、前記ハウジング（１０）における前記センシング部（２０）の取り付け部位と前記受圧ダイアフラム（１３）の固定部位との間で分割されており、これら分割された各部（１０ａ、１０ｂ）が組み付けられて一体化されたものであることを特徴とする圧力検出装置。
【請求項２】
前記各分割部（１０ａ、１０ｂ）は圧入により互いに固定されていることを特徴とする請求項１に記載の圧力検出装置。
【請求項３】
前記センシング部（２０）は、一端側が開口部（２２）、他端側がダイアフラム（２３）である中空筒状の金属ステム（２１）と、この金属ステム（２１）の前記ダイアフラム（２３）の表面に設けられた歪みゲージ（３０）とからなるものであることを特徴とする請求項１または２に記載の圧力検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハウジング内に収納されたセンシング部に、受圧ダイアフラムから棒状の圧力伝達部材を介して圧力を印加するようにした圧力検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の一般的なこの種の圧力検出装置は、圧力に応じた信号を出力するセンシング部をハウジングに取り付けるとともに、このセンシング部に圧力を伝達するための棒状の圧力伝達部材をハウジング内に収納したものである。センシング部としては歪みゲージなどが採用される（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
ここで、ハウジングにおいては、センシング部の取り付け部位からパイプ状をなして突出するパイプ部が備えられており、このパイプ部の突出先端部の開口部には、当該開口部を遮蔽するように受圧ダイアフラムが溶接されて固定されている。
【０００４】
そして、圧力伝達部材は、一端部がセンシング部に荷重を与えた状態で接触し他端部が受圧ダイアフラムに荷重を与えた状態で接触するように、パイプ部内に収納されるようになっている。こうして、受圧ダイアフラムが受けた圧力を圧力伝達部材を介してセンシング部に伝達することにより圧力の検出を行うようにしている。
【特許文献１】特開平５−３４２３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、本発明者が試作検討したところ、上記した従来の圧力検出装置において次のような問題が生じることがわかった。図２は、本発明者の試作品としての圧力検出装置を示す概略断面図である。
【０００６】
金属製のハウジング１０の外周面には、被測定体にネジ結合可能なネジ部１１が形成されており、その内部には、センシング部２０が取り付けられ収納されている。
【０００７】
ここでは、センシング部２０は、一端側が開口部２２、他端側がダイアフラム２３である中空筒状の金属ステム２１と、この金属ステム２１のダイアフラム２３の表面に低融点ガラスなどによって接合され設けられた歪みゲージ３０とからなる。
【０００８】
この歪みゲージ３０は、たとえば、圧力によって金属ステム２１のダイアフラム２３が変形したとき、この変形に応じた抵抗値変化を電気信号に変換して出力する半導体チップなどからなる。
【０００９】
また、ステム２１の外周の側面にはネジ部２４が形成されており、このネジ部２４を介してステム２１とハウジング１０とはネジ結合され、ステム２１はハウジング１０に取り付けられ固定されている。
【００１０】
また、ハウジング１０の内部において、ステム２１の外周には、セラミック基板などからなる回路基板４０が、スペーサ４１に接着されて設けられている。そして、歪みゲージ３０と回路基板４０とは、ボンディングワイヤ４２により結線され、電気的に接続されている。
【００１１】
この回路基板４０における歪みゲージ３０とのワイヤボンディング面には、コネクタターミナル６０へ電気的接続するためのピン４３が接合されている。また、回路基板４０のワイヤボンディング面と反対側の面には、歪みゲージ３０からの出力を増幅したり調整したりするためのＩＣチップ４４が接着されている。なお、ＩＣチップ４４は、回路基板４０に形成されたスルーホールなどにより、ピン４３と電気的に接続されている。
【００１２】
コネクタターミナル６０は、ターミナル６１が樹脂６２にインサート成形により構成されたアッシー（ＡＳＳＹ）である。ターミナル６１と回路基板４０とはピン４３にレーザ溶接などにより接合されている。
【００１３】
また、コネクタターミナル６０は、ハウジング１０の端部１２をコネクタケース７０にかしめることにより、コネクタケース７０に固定保持され、ターミナル６１は外部の配線部材などへ電気的に接続可能となっている。
【００１４】
コネクタケース７０は、コネクタターミナル６０の外形を成す樹脂などからなるもので、ハウジング１０の端部１２をコネクタケース７０にかしめることにより、ハウジング１０と一体化してパッケージを構成し、該パッケージ内部の歪みゲージ３０、各種ＩＣ、電気的接続部を湿気・機械的外力より保護するものである。
【００１５】
また、ハウジング１０においては、センシング部２０の取り付け部位からパイプ状をなして突出するパイプ部１０ｃが備えられており、このパイプ部１０ｃの突出先端部の開口部１０ｄには、当該開口部１０ｄを遮蔽するように、金属製の受圧ダイアフラム１３が溶接されて固定されている。
【００１６】
そして、パイプ部１０ｃ内には、金属製棒状の圧力伝達部材８０が収納されている。ここで、圧力伝達部材８０の一端部は、センシング部２０としての金属ステム２１の開口部２２から金属ステム２１内へ挿入され、金属ステム２１のダイアフラム２３に荷重を与えた状態で接触している。
【００１７】
一方、圧力伝達部材８０の他端部は受圧ダイアフラム１３に荷重を与えた状態で接触している。こうして、受圧ダイアフラム１３が受けた圧力は、圧力伝達部材８０を介してセンシング部２０に伝達され、圧力の検出が行われるようになっている。
【００１８】
この図２に示される圧力検出装置の組付方法について、述べる。まず、歪みゲージ３０が接合された金属ステム２１を、ハウジング１０にネジ結合して固定する。次に、スペーサ４１をハウジング１０内に投入するとともに、スペーサ４１に回路基板４０を接着する。
【００１９】
次に、歪みゲージ３０と回路基板４０とをボンディングワイヤ４２により結線し、コネクタターミナル６０とピン４３とをレーザ溶接などにて接合する。そして、コネクタケース７０をハウジング１０に組み付け、ハウジング１０の端部１２をかしめることにより、コネクタケース７０とハウジング１０とを固定する。
【００２０】
次に、圧力伝達部材８０を、パイプ部１０ｃの突出先端部の開口部１０ｄから挿入した後、当該開口部１０ｄを覆うように受圧ダイアフラム１３を取り付ける。
【００２１】
そして、圧力伝達部材８０によって金属ステム２１のダイアフラム２３が押されるように受圧ダイアフラム１３に荷重をかけながら、受圧ダイアフラム１３をパイプ部１０ｃの開口部１０ｄに溶接して固定する。こうして、上記図２に示される圧力検出装置が完成する。
【００２２】
この圧力検出装置は、ハウジング１０のネジ部１１を介して被測定体に取り付けられる。そして、図２中の矢印Ｙに示されるように、圧力が受圧ダイアフラム１３に印加されると、圧力伝達部材８０を介してセンシング部２０に伝達される。すると、その圧力によって金属ステム２１のダイアフラム２３が変形し、この変形を歪みゲージ３０により電気信号に変換し、圧力検出を行うようにしている。
【００２３】
このような試作品としての圧力検出装置においては、上記組み付け方法に示したように、受圧ダイアフラム１３の溶接時には、受圧ダイアフラム１３に対して圧力伝達部材８０から荷重が加わっている。このように、受圧ダイアフラム１３に荷重をかけながら溶接を行う主な理由は、次の２つである。
【００２４】
１つは、もし、圧力伝達部材８０の両端部が、金属ステム２１のダイアフラム２３、受圧ダイアフラム１３に対してほとんど荷重をかけないで接している状態である場合、圧力伝達部材８０が、その線膨張係数により縮んだとき、圧力伝達部材８０が上記両ダイアフラム１３、２３の少なくとも一方から離れた状態となってしまう。
【００２５】
２つ目としては、この圧力検出装置をたとえばエンジンの燃焼室内の圧力を検出するセンサとして用いた場合、当該燃焼室内の圧力は負圧になることがある。すると、受圧ダイアフラム１３が、外側に膨らんで圧力伝達部材８０から離れてしまうことが起こりうる。
【００２６】
このようなことから、圧力伝達部材８０と両ダイアフラム１３、２３との接触を確保するために、受圧ダイアフラム１３に荷重をかけながら溶接を行うことで、組み付け後において圧力伝達部材８０の各端部が各ダイアフラム１３、２３に荷重を与えた状態で接触するようにしている。
【００２７】
しかしながら、受圧ダイアフラム１３に荷重をかけながら溶接を行うと、溶接時の熱で受圧ダイアフラム１３が軟らかくなったところへ荷重が加わるため、受圧ダイアフラム１３が熱によって変形してしまうという問題が生じる。また、このことは、組み付け後において圧力伝達部材８０から各ダイアフラム１３、２３に与えられる荷重が、設定値通りにならないという問題にもつながる。
【００２８】
本発明は上記問題に鑑み、ハウジング内に収納されたセンシング部に、受圧ダイアフラムから棒状の圧力伝達部材を介して圧力を印加するようにした圧力検出装置において、受圧ダイアフラムをハウジングに溶接する時に受圧ダイアフラムが荷重によって熱変形するのを防止することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２９】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、ハウジング（１０）と、ハウジング（１０）に取り付けられ圧力に応じた信号を出力するセンシング部（２０）と、ハウジング（１０）のうちセンシング部（２０）の取り付け部位から突出するパイプ状をなすパイプ部（１０ｃ）と、パイプ部（１０ｃ）の突出先端部の開口部（１０ｄ）に対して当該開口部（１０ｄ）を遮蔽するように溶接されて固定された受圧ダイアフラム（１３）と、パイプ部（１０ｃ）内に、一端部がセンシング部（２０）に荷重を与えた状態で接触し他端部が受圧ダイアフラム（１３）に荷重を与えた状態で接触するように、収納された棒状の圧力伝達部材（８０）とを備え、受圧ダイアフラム（１３）が受けた圧力を圧力伝達部材（８０）を介してセンシング部（２０）に伝達することにより圧力の検出を行うようにした圧力検出装置において、ハウジング（１０）は、ハウジング（１０）におけるセンシング部（２０）の取り付け部位と受圧ダイアフラム（１３）の固定部位との間で分割されており、これら分割された各部（１０ａ、１０ｂ）が組み付けられて一体化されたものであることを特徴としている。
【００３０】
それによれば、ハウジング（１０）におけるセンシング部（２０）の取り付け部位側の分割部（１０ａ）にセンシング部（２０）を取り付け、一方、受圧ダイアフラム（１３）の固定部位側の分割部（１０ｂ）に受圧ダイアフラム（１３）を溶接して固定することができる。
【００３１】
そして、圧力伝達部材（８０）を収納するように、上記の両分割部（１０ａ、１０ｂ）を組み付けて一体化する。この組み付け時に、圧力伝達部材（８０）の一端部がセンシング部（２０）に荷重を与えた状態で接触し、他端部が受圧ダイアフラム（１３）に荷重を与えた状態で接触するように、両分割部（１０ａ、１０ｂ）を組み付ける。
【００３２】
このとき、受圧ダイアフラム（１３）には、圧力伝達部材（８０）から荷重が印加されるが、受圧ダイアフラム（１３）は、あらかじめ溶接が済んでおり、熱的に安定した状態であるため、当該印加荷重による受圧ダイアフラム（１３）の熱変形は生じない。
【００３３】
このように、本発明によれば、受圧ダイアフラム（１３）に対する予荷重印加工程と溶接工程とを分離できるため、受圧ダイアフラム（１３）をハウジング（１０）に溶接する時に受圧ダイアフラム（１３）が荷重によって熱変形するのを防止することができる。
【００３４】
ここで、請求項２に記載の発明のように、請求項１に記載の圧力検出装置においては、ハウジング（１０）の各分割部（１０ａ、１０ｂ）は圧入により互いに固定されているものにできる。
【００３５】
また、請求項３に記載の発明のように、請求項１または請求項２に記載の圧力検出装置において、センシング部（２０）は、一端側が開口部（２２）、他端側がダイアフラム（２３）である中空筒状の金属ステム（２１）と、この金属ステム（２１）のダイアフラム（２３）の表面に設けられた歪みゲージ（３０）とからなるものにできる。
【００３６】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３７】
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。
【００３８】
図１は、本発明の実施形態に係る圧力検出装置１００の概略断面構成を示す図である。この圧力検出装置１００は、たとえば、自動車のエンジンブロックに取り付けられ、燃焼室内の圧力（筒内圧）を検出するセンサとして適用することができる。
【００３９】
ハウジング１０は、円筒状の第１の分割部１０ａとこの第１の分割部１０ａよりも細いパイプ部１０ｃを有する第２の分割部１０ｂとからなり、これら両分割部１０ａ、１０ｂは、切削や冷間鍛造等により加工された金属製のものである。
【００４０】
たとえば、ハウジング１０すなわち両分割部１０ａ、１０ｂはステンレスなどから構成されるもので、第１の分割部１０ａの端部を第２の分割部１０ｂに設けられた拡径部に圧入することにより、両分割部１０ａ、１０ｂは一体に固定されている。
【００４１】
ハウジング１０におけるパイプ部１０ｃの外周面には、被測定体としての上記エンジンブロックにネジ結合可能なネジ部１１が形成されている。ここで、ハウジング１０のパイプ部１０ｃは、被測定体としてのエンジンブロックに形成されたネジ穴に挿入され、ネジ部１１を介して取り付けられる。
【００４２】
ハウジング１０における第１の分割部１０ａの内部には、圧力に応じた信号を出力するセンシング部２０が取り付けられている。ここでは、センシング部２０は、一端側が開口部２２、他端側がダイアフラム２３である中空筒状の金属ステム２１と、この金属ステム２１のダイアフラム２３の表面にガラス溶着などによって設けられた歪みゲージ３０とからなる。
【００４３】
金属ステム２１は、中空円筒形状に加工された金属製の部材であり、ハウジング１０における第１の分割部１０ａの中空部に圧入されて固定されている。なお、本実施形態においても、上記図２と同様に、金属ステム２１はハウジング１０に対してネジ結合されるものであってもよい。
【００４４】
ここでは、図１に示されるように、金属ステム２１は、第１の分割部１０ａにおける第２の分割部１０ｂとの圧入部側の端部寄りに、金属ステム２１の開口部２２を位置させ、第１の分割部１０ａにおける第２の分割部１０ｂとの圧入部側の端部とは反対側の端部寄りに、金属ステム２１のダイアフラム２３を位置させている。
【００４５】
この歪みゲージ３０は、たとえば、ブリッジ回路などが形成されたシリコン半導体チップなどからなるもので、圧力によって金属ステム２１のダイアフラム２３が変形したとき、この変形に応じた抵抗値変化を電気信号に変換して出力する機能する。そして、これら金属ステム２１のダイアフラム２３および歪みゲージ３０が、圧力検出装置１００の基本性能を左右する。
【００４６】
ここで、金属ステム２１を構成する金属材料には、超高圧を受けることから高強度であること、及び、Ｓｉ半導体などからなる歪みゲージ３０を低融点ガラスにより接合することなどのため、低熱膨張係数であることが求められ、具体的には、Ｆｅ、Ｎｉ、ＣｏまたはＦｅ、Ｎｉを主体とし、析出強化材料としてＴｉ、Ｎｂ、Ａｌまたは、Ｔｉ、Ｎｂが加えられた材料を選定し、プレス、切削や冷間鍛造などにより形成できる。
【００４７】
また、ハウジング１０の内部において、金属ステム２１のダイアフラム２３の外周には、セラミック基板などからなる第１の回路基板４０が設けられている。そして、歪みゲージ３０と第１の回路基板４０とは、アルミニウム（Ａｌ）などからなるボンディングワイヤ４２により結線され、電気的に接続されている。
【００４８】
また、第１の回路基板４０における歪みゲージ３０とのワイヤボンディング面には、たとえばセラミック基板などからなる第２の回路基板５０が対向して配置されている。この第２の回路基板５０における第１の回路基板４０との対向面には、ＩＣチップ４４が接着されて搭載されている。
【００４９】
このＩＣチップ４４は、歪みゲージ３０からの出力を増幅したり調整したりするための回路が形成されたものであり、第２の回路基板５０とはボンディングワイヤ４２を介して電気的に接続されている。そして、これら第１および第２の回路基板４０、５０は、両回路基板４０、５０間に介在するスプリング４５により電気的に接続されている。
【００５０】
ここで、スプリング４５は導電性の弾性体であり、たとえば、第１および第２の回路基板４０、５０の一方にろう付けやはんだ付けされ、他方には接触することによって、両回路基板４０、５０の導通が実現されている。
【００５１】
また、第２の回路基板５０における第１の回路基板４０側とは反対側の面には、ターミナル６１を有するコネクタケース７０が設けられている。コネクタケース７０はＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）等の樹脂などからなるもので、ターミナル６１はコネクタケース７０にインサート成形などにより一体化されている。
【００５２】
そして、ターミナル６１と第２の回路基板５０とは導電性接続部材６３を介して電気的に接続されている。この導電性接続部材６３としては、たとえばゴム中に導電性のピンが異方性を持って多数配列されたもの、あるいは、スプリング、あるいは、導電性接着剤などを採用することができる。
【００５３】
また、ハウジング１０の端部１２をコネクタケース７０にかしめることにより、コネクタケース７０とハウジング１０とは一体に固定されている。そして、ターミナル６１は自動車のＥＣＵなどへ配線部材を介して電気的に接続可能となっている。
【００５４】
一方、図１に示されるように、ハウジング１０全体でみると、第２の分割部１０ｂに設けられているパイプ部１０ｃは、センシング部２０の取り付け部位からパイプ状をなして突出するものとなっている。
【００５５】
そして、このパイプ部１０ｃの突出先端部の開口部１０ｄには、当該開口部１０ｄを遮蔽するように、金属製の受圧ダイアフラム１３が溶接されて固定されている。具体的に、受圧ダイアフラム１３はステンレスなどからなるものにできる。
【００５６】
また、パイプ部１０ｃ内には、金属製棒状の圧力伝達部材８０が収納されている。ここで、圧力伝達部材８０の一端部は、センシング部２０としての金属ステム２１の開口部２２から金属ステム２１内へ挿入され、金属ステム２１のダイアフラム２３に荷重を与えた状態で接触している。
【００５７】
一方、圧力伝達部材８０の他端部は受圧ダイアフラム１３に荷重を与えた状態で接触している。こうして、受圧ダイアフラム１３が受けた圧力は、圧力伝達部材８０を介してセンシング部２０に伝達され、圧力の検出が行われるようになっている。
【００５８】
このように、本圧力検出装置１００においては、ハウジング１０は、ハウジング１０におけるセンシング部２０の取り付け部位と受圧ダイアフラム１３の固定部位との間で第１の分割部１０ａと第２の分割部１０ｂとに分割され、これら各分割部１０ａ、１０ｂが組み付けられて一体化されたものとなっている。
【００５９】
かかる構成を有する圧力検出装置１００の組付方法について、述べる。まず、歪みゲージ３０が接合された金属ステム２１を、ハウジング１０における第１の分割部１０ａに圧入して固定する。
【００６０】
次に、第１の回路基板４０を金属ステム２１の外周に配置し、第１の回路基板４０と歪みゲージ３０との間をボンディングワイヤ４２により結線する。そして、第１の回路基板４０と、ＩＣチップ４４がワイヤボンド実装された第２の回路基板５０とをスプリング４５を介して接続する。
【００６１】
続いて、コネクタケース７０をハウジング１０における第１の分割部１０ａに組み付け、ハウジング１０の端部１２をかしめることにより、コネクタケース７０とハウジング１０における第１の分割部１０ａとを固定する。それとともに、ターミナル６１と第２の回路基板５０とを導電性接続部材６３を介して接続する。
【００６２】
こうして、センシング部２０および両回路基板４０、５０が設けられた第１の分割部１０ａと、コネクタケース７０とが一体に組み付けられる。
【００６３】
また、一方で、ハウジング１０における第２の分割部１０ｂにおいてパイプ部１０ｃの上記開口部１０ｄに対し、受圧ダイアフラム１３を溶接して固定する。
【００６４】
次に、圧力伝達部材８０の一端部を金属ステム２１の開口部から挿入し圧力伝達部材８０の他端部をパイプ部１０ｃに挿入した状態で、ハウジング１０における第１の分割部１０ａと第２の分割部１０ｂとを圧入させることで、一体化する。こうして、上記図１に示される圧力検出装置１００が完成する。
【００６５】
かかる圧力検出装置１００は、ハウジング１０のネジ部１１を介して、被測定体としてのたとえば上記エンジンブロック形成されたネジ穴に取り付けられることによって、当該エンジンブロックに接続固定される。
【００６６】
そして、燃焼室内の圧力（筒内圧）が、図１中の矢印Ｙに示されるように、受圧ダイアフラム１３に印加されると、圧力伝達部材８０を介してセンシング部２０に伝達される。すると、その圧力によって金属ステム２１のダイアフラム２３が変形し、この変形を歪みゲージ３０により電気信号に変換し、圧力検出を行うようにしている。そして、歪みゲージ３０からの信号は、ＩＣチップ４４にて処理され、ターミナル６１から外部へ出力される。
【００６７】
ところで、本実施形態の圧力検出装置１００は、ハウジング１０と、ハウジング１０に取り付けられ圧力に応じた信号を出力するセンシング部２０と、ハウジング１０のうちセンシング部２０の取り付け部位から突出するパイプ状をなすパイプ部１０ｃと、パイプ部１０ｃの突出先端部の開口部１０ｄに対して当該開口部１０ｄを遮蔽するように溶接されて固定された受圧ダイアフラム１３と、パイプ部１０ｃ内に、一端部がセンシング部２０に荷重を与えた状態で接触し他端部が受圧ダイアフラム１３に荷重を与えた状態で接触するように、収納された棒状の圧力伝達部材８０とを備え、受圧ダイアフラム１３が受けた圧力を圧力伝達部材８０を介してセンシング部２０に伝達することにより圧力の検出を行うようにしたものである。
【００６８】
そして、このような圧力検出装置１００において、本実施形態では、ハウジング１０は、ハウジング１０におけるセンシング部２０の取り付け部位と受圧ダイアフラム１３の固定部位との間で分割されており、これら分割された各部１０ａ、１０ｂが組み付けられて一体化されたものであることを特徴としている。
【００６９】
このような特徴する本圧力検出装置１００によれば、ハウジング１０におけるセンシング部２０の取り付け部位側の分割部すなわち第１の分割部１０ａにセンシング部２０を取り付け、一方、受圧ダイアフラム１３の固定部位側の分割部すなわち第２の分割部１０ｂに受圧ダイアフラム１３を溶接して固定することができる。
【００７０】
そして、圧力伝達部材８０を収納するように、上記の両分割部１０ａ、１０ｂを組み付けて一体化する。この組み付け時に、圧力伝達部材８０の一端部がセンシング部２０に荷重を与えた状態で接触し、他端部が受圧ダイアフラム１３に荷重を与えた状態で接触するように、両分割部１０ａ、１０ｂを組み付ける。
【００７１】
このとき、受圧ダイアフラム１３には、圧力伝達部材８０から荷重が印加されるが、受圧ダイアフラム１３は、あらかじめ溶接が済んでおり、熱的に安定した状態であるため、当該印加荷重による受圧ダイアフラム１３の熱変形は生じない。
【００７２】
このように、本実施形態の圧力検出装置１００によれば、受圧ダイアフラム１３に対する予荷重印加工程と溶接工程とを分離できるため、受圧ダイアフラム１３をハウジング１０に溶接する時に受圧ダイアフラム１３が荷重によって熱変形するのを防止することができる。
【００７３】
ここで、本実施形態では、上述したように、ハウジング１０の各分割部１０ａ、１０ｂは圧入により互いに適切に固定されたものとしている。
【００７４】
また、本実施形態では、上述したように、センシング部２０は、一端側が開口部２２、他端側がダイアフラム２３である中空筒状の金属ステム２１と、この金属ステム２１のダイアフラム２３の表面に設けられた歪みゲージ３０とからなるものとしており、適切な圧力検出を可能としている。
【００７５】
（他の実施形態）
なお、上記実施形態では、ハウジング１０は、ハウジング１０におけるセンシング部２０の取り付け部位と受圧ダイアフラム１３の固定部位との間で分割され、分割された各部が組み付けられて一体化されたものであればよく、たとえばパイプ部１０ｃの途中部で分割されていてもよい。
【００７６】
ただし、この場合、金属ステム２１は、細いパイプ部１０ｃ側から圧入してハウジング１０に固定することはできないため、上記図２に示されるように、金属ステム２１はネジ結合によりハウジング１０に固定することが好ましい。
【００７７】
また、ハウジング１０における各分割部１０ａ、１０ｂは圧入により互いに固定されているもの以外にも、たとえば、溶接や接着あるいはネジ結合などにより、互いに固定されたものであってもよい。
【００７８】
また、センシング部としては、上述した金属ステム２１と歪みゲージ３０とから構成されるものに限定されるものではなく、圧力伝達部材８０から受けた圧力に応じた信号を出力するものであれば、かまわない。
【００７９】
要するに、本発明は、パイプ部１０ｃを有するハウジング１０にセンシング部２０を取り付け、パイプ部１０ｃの突出先端部の開口部１０ｄに受圧ダイアフラム１３を溶接し、パイプ部１０ｃ内に、一端部がセンシング部２０に荷重を与えた状態で接触し他端部が受圧ダイアフラム１３に荷重を与えた状態で接触するように、棒状の圧力伝達部材８０を収納してなる圧力検出装置において、ハウジング１０を上述のように分割したことを要部とするものであり、それ以外の部分については適宜設計変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】本発明の実施形態に係る圧力検出装置の概略断面構成を示す図である
【図２】本発明者の試作品としての圧力検出装置を示す概略断面図である。
【符号の説明】
【００８１】
１０…ハウジング、１０ａ…ハウジングにおける第１の分割部、
１０ｂ…ハウジングにおける第２の分割部、１０ｃ…ハウジングにおけるパイプ部、
１０ｄ…パイプ部の突出先端部の開口部、１３…受圧ダイアフラム、
２０…センシング部、２１…金属ステム、２２…金属ステムの開口部、
２３…金属ステムのダイアフラム、３０…歪みゲージ、８０…圧力伝達部材。
【図１】
2005249513.tif 000003
【図２】
2005249513.tif 000004