(57)【要約】【課題】流体の吐出量の低下を少なくし、消費電力の増大を防止することができる弁装置、往復式圧縮減圧器、および酸素濃縮器を提供すること。【解決手段】基材に形成され、流体を導入および/または排出可能な貫通孔６１と、前記貫通孔６１を覆う蓋手段６２と、前記蓋手段６２が前記貫通孔６１の開口部６１Ａを覆う側の前記基材表面に形成され、かつ、前記開口部６１Ａを囲んで形成された環状の加工溝６３とを備えてなることを特徴とする弁装置４６である。【選択図】          図８
2005249143.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材に形成され、流体を導入および/または排出可能な貫通孔と、前記貫通孔を覆う蓋手段と、前記蓋手段が前記貫通孔の開口部を覆う側の前記基材表面に形成され、かつ、前記開口部を囲んで形成された環状の加工溝とを備えてなる
ことを特徴とする弁装置。
【請求項２】
表面粗さＲｚで規定される前記加工溝の深さは、４μｍ以下である
ことを特徴とする前記請求項１に記載の弁装置。
【請求項３】
前記請求項１または請求項２に記載の弁装置を備えてなる
ことを特徴とする往復式圧縮減圧器。
【請求項４】
前記請求項３に記載の往復式圧縮減圧器を備えてなる
ことを特徴とする酸素濃縮器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、弁装置、往復式圧縮減圧器、および酸素濃縮器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、酸素濃縮器としては、例えば、酸素透過膜を使用した膜式酸素濃縮器と、空気中の窒素ガスを優先的に吸着する吸着剤を使用した圧力変動吸着型酸素濃縮器等が挙げられる。
【０００３】
後者の一例である圧力変動吸着型酸素濃縮器は、窒素ガスを優先的に吸着する吸着剤が充填された吸着筒と、この吸着筒に圧縮空気を供給するコンプレッサとを備えてなることが、一般的である。
【０００４】
この圧力変動吸着式酸素濃縮器の基本動作としては、まず、供給された空気中の窒素ガスを吸着剤に吸着させることにより濃縮された酸素を含む酸素濃縮気体を得る吸着工程と、吸着筒内の昇圧圧力を開放し、吸着剤より窒素を脱着させ、吸着剤の再生を行う脱着工程とを、所定間隔のサイクルで繰り返し行うことにより、連続的に酸素濃縮気体を得ている。
【０００５】
酸素濃縮器に用いるコンプレッサ（圧縮機）としては、例えば、「シリンダブロックのシリンダボア内にピストンを往復動可能に収容し、シリンダブロックの端面にはバルブプレートを介してハウジングを接合配置し、そのハウジング内には吸入室を区画形成し、バルブプレートには吸入室に対応して吸入弁機構を配設したピストン式圧縮機において、前記吸入弁機構は、バルブプレートに各シリンダボアと対応するように複数の吸入ポートを形成し、それらの各ポートと対向するように複数の弁体を独立して配設したものであるピストン式圧縮機。」が提案されている（特許文献１参照）。
【０００６】
【特許文献１】特開平９−２７３４７８号公報（請求項１）
【０００７】
前述した特許文献１に係るピストン式圧縮機においては、各ポートと対向するように設けられた複数の弁体は、直線状に形成されている。また、吸入ポートを構成する部材は、直線状の加工痕が残存している。そのため、弁体が吸入ポートを塞ぐ場合でも、加工痕と弁体との隙間から、気体が抜けてしまい、そのため、吐出空気量が低下し、また、吐出空気量が少ないために、ピストン式圧縮機全体の消費電力が増大するという問題点があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、このような従来の問題点を解消し、流体の吐出量の低下を少なくし、消費電力の増大を防止することができる弁装置、往復式圧縮減圧器、および酸素濃縮器を提供することをその課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するための手段は、基材に形成され、流体を導入および/または排出可能な貫通孔と、前記貫通孔を覆う蓋手段と、前記蓋手段が前記貫通孔の開口部を覆う側の前記基材表面に形成され、かつ、前記開口部を囲んで形成された環状の加工溝とを備えてなることを特徴とする弁装置である。
【００１０】
この発明に係る弁装置の好適な態様においては、表面粗さＲｚで規定される前記加工溝の深さは、４μｍ以下である。
【００１１】
前記課題を解決するための別の手段は、前記弁装置を備えてなることを特徴とする往復式圧縮減圧器である。
【００１２】
前記課題を解決するための別の手段は、前記往復式圧縮減圧器を備えてなることを特徴とする酸素濃縮器である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、前記貫通孔と、前記蓋手段と、前記加工溝とを備えてなることにより、加工溝は、開口部を囲んで環状に形成されているため、周囲の流体が外部から貫通孔に至るまでの経路を形成することがなく、弁装置内へ導入され、または弁装置外へ排出される流体の漏れが少なくなるので、流体の吐出量の低下を少なくすることができる。また、流体の吐出量の低下が少なくなった結果、余剰の動作をする必要がなくなるので、消費電力の増大を防止することができる。
【００１４】
また、本発明によれば、表面粗さＲｚで規定される前記加工溝の深さは、４μｍ以下であり、０．１〜１μｍであることが好ましい。ここで、表面粗さＲｚで規定される加工溝の深さが４μｍを超えると、気密性が不十分となる場合がある。
【００１５】
さらに、本発明によれば、前記弁装置を備えてなることにより、上記と同様の作用・効果を奏するため、往復式圧縮減圧器に好適に使用することができる。
【００１６】
そして、本発明によれば、前記往復式圧縮減圧器を備えてなることにより、上記と同様の作用・効果を奏するため、酸素濃縮器に好適に使用することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
[酸素濃縮器]
図１は、本発明に係る酸素濃縮器の一実施形態を示すブロック図である。本発明の一実施形態に係る酸素濃縮器１は、空気の導入路２に、上流側より、空気取入口３と、防塵フィルタ４と、吸気フィルタ５と吸気マフラ６と、往復式圧縮減圧器７と、吸着筒内の圧力を測定する第１圧力センサ７Ａと、一対の三方向切替弁８、９と、一対の吸着筒１０、１１とが設けられている。なお、吸着筒１０、１１内に充填される吸着剤としては、窒素ガスを優先的に吸着する吸着剤であれば、特に制限はなく、ゼオライト等を採用することができる。
【００１８】
なお、往復式圧縮減圧器７の近傍には、冷却ファン１２が配置されている。また、一対の吸着筒１０、１１から窒素を排気する排気路１３には、断続的な排気音を消すサイレンサ１４が設けられている。往復式圧縮減圧器７については、以下に詳述する。
【００１９】
さらに、一対の吸着筒１０、１１から酸素濃縮気体を供給する供給路１５が構成されている。この供給路１５の上流側から、両吸着筒１０、１１間の圧力を調節する２方弁である均圧弁１６と、酸素濃縮気体の逆流を防止する一対の逆止弁１７、１８と、酸素濃縮気体を溜める製品タンク１９と、酸素濃縮気体の圧力を調節する圧力調整器２０と、細菌等の通過を防止するバクテリアフィルタ２１と、酸素濃縮気体の流量を設定し、固定絞りを用いたロータリースイッチである流量設定器２２と、酸素濃縮気体の酸素濃度を検出する酸素センサ２３と、酸素濃縮気体を加湿する加湿器２４と、加湿器２４後段における圧力を測定する第２圧力センサ２４Ａと、酸素出口２５とが設けられている。
【００２０】
なお、酸素濃縮器１は、外装カバー（図１中実線）内に上記した各部材を収納している。また、吸気フィルタ５と、吸気マフラ６と、往復式圧縮減圧器７と、一対の三方向切替弁８、９と、冷却ファン１２と、サイレンサ１４とがスチールボックス（図１中点線）内に収納されている。
【００２１】
なお、図示は略すが、この酸素濃縮器１には、酸素濃縮器１の動作を制御する電子制御装置が搭載されている。この電子制御装置は、公知のマイクロコンピュータを備えてなる。このマイクロコンピュータの入力部には、前記流量設定器２２、酸素センサ２３、第１圧力センサ７Ａ、第２圧力センサ２４Ａ等が接続されている。また、このマイクロコンピュータの出力部には、往復式圧縮減圧器７、冷却ファン１２、三方向切替弁８、９、均圧弁１６等が接続されている。
【００２２】
したがって、電子制御装置には、流量設定器２２により設定された設定流量や、酸素センサ２３により検出された酸素濃度を示す信号、また、第１圧力センサ７Ａにより検出された吸着筒１０、１１内の圧力を示す信号、第２圧力センサ２４Ａにより検出された酸素濃縮気体の圧力を示す信号等が入力される。また、電子制御装置からは、往復式圧縮減圧器７、冷却ファン１２、三方向切替弁８、９、均圧弁１６等の動作を制御する制御信号が出力される。
【００２３】
[往復式圧縮減圧器]
図２は、図１の実施形態に係る往復式圧縮減圧器の一例を示す正面図である。また、図３は、図２の往復式圧縮減圧器の正面図に対応する上面図である。さらに、図４は、図２の往復式圧縮減圧器の正面図に対応する下面図である。そして、図５は、図１の実施形態に係る往復式圧縮減圧器の一例を示すＶ−Ｖ断面図である。また、図６は、図５の往復式圧縮減圧器のＶＩ−ＶＩ断面図である。さらに、図７は、図５の往復式圧縮減圧器のＶＩＩ−ＶＩＩ断面図である。
【００２４】
往復式圧縮減圧器７は、図２〜図７に示されるように、吸着筒に圧縮空気を送り込む加圧用揺動型コンプレッサ３１と、吸着筒内を減圧にする揺動型真空ポンプ３２と、加圧用揺動型コンプレッサ３１および揺動型真空ポンプ３２の間に配置された一本の駆動シャフト３３と、加圧用揺動型コンプレッサ３１、揺動型真空ポンプ３２、および駆動シャフト３３を支持するフレーム３４とを備えてなる。
【００２５】
ここで、駆動シャフト３３には、図示しないモータ等の駆動手段が接続されている。この図示しない駆動手段により、駆動シャフト３３は、回転駆動することとなる。
【００２６】
フレーム３４は、対向して設けられた２枚のフレーム板３５と、これらフレーム板３５に架け渡されるように固定された４本のフレーム柱３６とを備えてなる。
【００２７】
フレーム板３５は、略正方形状を有している。フレーム板３５の中心部には、駆動シャフト３３を支持する支持孔３５Ａが形成されている。また、フレーム板３５の４箇所の角隅部には、フレーム柱３６を固定する固定孔３５Ｂがそれぞれ形成されている。これら支持孔３５Ａ内には、ベアリング３５Ｃがそれぞれ設けられている。なお、支持孔３５Ａ、固定孔３５Ｂ、およびベアリング３５Ｃの形状等は、目的に応じて適宜変更してもよい。
【００２８】
フレーム板３５の端縁には、シリンダ固定板３５Ｄが、それぞれ対向するように固定されている。
【００２９】
一方、加圧用揺動型コンプレッサ３１および揺動型真空ポンプ３２は、それぞれ、駆動シャフト３３を中心軸として、フレーム３４の対向する端縁側に設けられている。また、加圧用揺動型コンプレッサ３１および揺動型真空ポンプ３２は、それぞれ、シリンダ３７と、ピストン３８とを備えてなる。なお、この往復式圧縮減圧器７においては、加圧用揺動型コンプレッサ３１および揺動型真空ポンプ３２の構造は、略同様であるため、適宜説明を省略する。
【００３０】
シリンダ３７は、シリンダ固定板３５Ｄにより、固定されている。シリンダ３７は、底面部３７Ａ、側壁部３７Ｂ、および開口部３７Ｃを有する略円筒形状に形成されてなる。底面部３７Ａは、板状のポンプヘッドプレート３９により構成されている。このポンプヘッドプレート３９と側壁部３７Ｂの端縁との接触面には、Ｏリング４０が介装されている。なお、加圧用揺動型コンプレッサ３１側のシリンダ３７の内径は、揺動型真空ポンプ３２側のシリンダ３７の内径よりも小さく形成されてなる。
【００３１】
さらに、ポンプヘッドプレート３９上には、略直方体形状で中空なポンプヘッドカバー４１が固定されている。ポンプヘッドカバー４１の内部には、後述するコネクティングロッド４８と同一線上（図５参照）であり、かつ、駆動シャフト３３と平行な方向に延びて形成された区画内壁４１Ａが形成されている。
【００３２】
ポンプヘッドカバー４１の内部は、この区画内壁４１Ａにより２つの部屋に区画されている。加圧用揺動型コンプレッサ３１側のシリンダ３７においては、ポンプヘッドカバー４１の内部は、この区画内壁４１Ａにより、加圧室４２と、吸気室４３とに区画されている（図３参照）。一方、揺動型真空ポンプ３２側のシリンダ３７においては、ポンプヘッドカバー４１の内部は、この区画内壁４１Ａにより、減圧室４４と、排気室４５とに区画されている（図４参照）。
【００３３】
ポンプヘッドカバー４１の側壁面には、駆動シャフト３３と平行な方向に、挿通孔４１Ｂが、加圧室４２、吸気室４３、減圧室４４、および排気室４５内と外部とを挿通可能にそれぞれ形成されている。
【００３４】
なお、ポンプヘッドプレート３９には、弁装置４６が設けられている。弁装置４６については、後に詳述する。
【００３５】
ピストン３８は、シリンダ３７内部で、駆動シャフト３３と直交する方向に往復動作可能に形成されてなる。ピストン３８は、ピストンヘッド４７と、このピストンヘッド４７の下側に接続されたコネクティングロッド４８とを備えてなる。
【００３６】
ピストンヘッド４７は、シリンダ３７の断面形状に対応する形状を有する板状の部材である。なお、シリンダ３７内部と、ピストンヘッド４７とで、シリンダ室３７Ｄが区画形成される。すなわち、ピストン３８が上死点および下死点間の動作を行うことに伴って、ピストンヘッド４７は、シリンダ室３７Ｄの容積を変化させる。
【００３７】
ピストンヘッド４７には、ピストンヘッド４７上より、パッキン４９およびパッキンリテーナ５０が固定されている。パッキン４９は、ピストンヘッド４７表面の形状に対応した形状に、かつ、ピストン３８の往復動方向に対して直交する方向に延在して形成されて成る。パッキン４９の材質は、弾性を有するものであれば特に制限はなく、例えば、ゴム等が挙げられる。
【００３８】
パッキンリテーナ５０は、パッキン４９をピストンヘッド４７表面に固定するものであり、公知の部材を採用することができる。
【００３９】
コネクティングロッド４８は、駆動シャフト３３の回転運動を変換し、ピストンヘッド４７をシリンダ３７内部で、駆動シャフト３３と直交する方向に往復動作させる。コネクティングロッド４８は、ピストンヘッド４７に接続されるロッド部５１と、ロッド部５１に設けられた環状部５２とを備えてなる。
【００４０】
ロッド部５１は、略棒状の部材である。環状部５２の中心軸と、駆動シャフト３３の中心軸とは、偏芯するように、環状部５２と駆動シャフト３３とが接続されている。
【００４１】
[弁装置]
図８は、図１の実施形態に係る弁装置を示す斜視図である。弁装置４６は、図２〜図７詳しくは、図８に示されるように、貫通孔６１と、蓋手段６２と、加工溝６３とを備えてなる。
【００４２】
貫通孔６１は、基材としてのポンプヘッドプレート３９に形成され、流体としての空気を導入および/または排出可能である。貫通孔６１は、加圧室４２、吸気室４３、減圧室４４、および排気室４５に２箇所ずつ形成されてなり、シリンダ室３７Ｄと、加圧室４２等とを空気が導入および/または排出可能となる。また、貫通孔６１は、開口部６１Ａを有している。
【００４３】
蓋手段６２は、貫通孔６１を覆う。蓋手段６２は、全体がハの字形状に形成されてなり、ポンプヘッドプレート３９と固定される固定部６４と、固定部６４より延びた２本の腕部６５とを一体的に形成されてなる。
【００４４】
蓋手段６２は、特に図６、７に示されるように、加圧室４２および排気室４５の貫通孔６１を覆うように、固定部６４を介してポンプヘッドプレート３９と固定される（図６、７実線部分参照）。また、使用用途に応じて、蓋手段６２は、図６、７に示されるように、吸気室４３および減圧室４４の貫通孔６１を覆うように、固定部６４を介してポンプヘッドプレート３９と固定されるようにしてもよい（図６、７破線部分参照）。
【００４５】
固定部６４は、円形状に形成されている。固定部６４の中心部には、ネジ等を固定する固定孔６４Ａが形成されている。腕部６５の基端は、固定部６４と連続に形成されている。腕部６５の先端部６５Ａは、円形状に形成されている。先端部６５Ａが、貫通孔６１を覆う。先端部６５Ａは、貫通孔６１の内径よりも大きな外形寸法を有している。
【００４６】
加工溝６３は、蓋手段６２が貫通孔６１の開口部６１Ａを覆う側のポンプヘッドプレート３９表面に形成され、かつ、開口部６１Ａを囲んで環状に形成されている。加工溝６３は、一本の溝でもよいが、複数あることが好ましい。また、加工溝６３は、貫通孔６１と同心円状に形成されていることが好ましい。
【００４７】
また、本発明によれば、表面粗さＲｚで規定される加工溝６３の深さは、４μｍ以下であり、０．１〜１μｍであることが好ましい。ここで、表面粗さＲｚで規定される加工溝の深さが４μｍを超えると、気密性が不十分となる場合がある。
【００４８】
加工溝６３の形成方法としては、回転型のグラインダにより貫通孔６１周辺を研削加工する方法等が挙げられる。
【００４９】
[酸素濃縮器、往復式圧縮減圧器、および弁装置の作用]
図１〜図８を参照して、以下に酸素濃縮器、往復式圧縮減圧器、および弁装置の作用を説明する。
【００５０】
まず、図示しない電子制御装置から、往復式圧縮減圧器７に動作を制御する制御信号が入力される。その後、往復式圧縮減圧器７の図示しないモータが作動し、図示しないモータの回転軸が回転する。
【００５１】
モータの回転軸の回転は、駆動シャフト３３に伝達される。駆動シャフト３３が回転することで、コネクティングロッド４８により、ピストン３８がシリンダ３７内を図示上下方向に上死点および下死点間の往復運動をする。このピストン３８が往復運動することで、往復式圧縮減圧器７外部から取り込まれた空気が圧縮、吸引されることとなる。
【００５２】
ここで、弁装置４６の作用により、図３に示されるように、加圧室４２および排気室４５から空気が放出される。また、弁装置４６の作用により、図４に示されるように、吸気室４３および減圧室４４に空気が吸引される。
【００５３】
一方、この圧縮空気は、往復式圧縮減圧器７より一対の三方向切替弁８、９を切り替えることで、所定量の圧縮空気が一対の吸着筒１０、１１に供給される。ここで、一対の吸着筒１０、１１の一方においては、圧縮空気の窒素が吸着され、一対の吸着筒１０、１１の他方においては、吸着された窒素の脱着が行われる。これら吸着および脱着の切り替えは、一対の三方向切替弁８、９、均圧弁１６、および一対の逆止弁１７、１８について所定の操作をすることにより行う。
【００５４】
一対の吸着筒１０、１１より脱着された窒素は、揺動型真空ポンプ３２によって吸着筒１０、１１内の気体（窒素）を減圧吸引され、サイレンサ１４を経て、酸素濃縮器１外へ排出される。  
【００５５】
一方、一対の吸着筒１０、１１で、圧縮空気より窒素が吸着除外されてなる酸素濃縮気体が生成される。一対の吸着筒１０、１１で生成された酸素濃縮気体は、製品タンク１９、圧力調整器２０、バクテリアフィルタ２１、流量設定器２２、加湿器２４を経る事によって、所定の容積、圧力、流量、湿度に調節され、また、細菌等が除去された酸素濃縮気体が、酸素出口２５より酸素濃縮器１外へ排出される。
【００５６】
なお、酸素センサ２３は、流量設定器２２と加湿器２４との間に配置され濃縮酸素ガスの酸素濃度を検出している。排出された酸素濃縮気体は、酸素濃縮器１に接続された所定のカニューラ等に供給され、そして、使用者に、酸素濃度の高い酸素濃縮気体が供給される。
【００５７】
上述のような本実施形態によれば、次のような効果がある。
（１）貫通孔６１と、蓋手段６２と、加工溝６３とを備えてなることにより、加工溝６３は、開口部６１Ａを囲んで環状に形成されているため、周囲の空気が外部から貫通孔６１に至るまでの経路を形成することがなく、弁装置４６内へ導入され、または弁装置４６外へ排出される空気の漏れが少なくなるので、吐出空気量の低下を少なくすることができる。また、吐出空気量の低下が少なくなった結果、余剰の動作をする必要がなくなるので、消費電力の増大を防止することができる。
【００５８】
（２）弁装置４６を備えてなることにより、吐出空気量の低下を少なくすることができ、また、消費電力の増大を防止することができるため、消費電力の低減が要望される往復式圧縮減圧器７に好適に使用することができる。
【００５９】
（３）往復式圧縮減圧器７を備えてなることにより、往復式圧縮減圧器７の消費電力の増大を防止することができるため、消費電力の低減が要望される酸素濃縮器１に好適に使用することができる。
【００６０】
なお、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良は、本発明に含まれるものである。本発明を実施する際の具体的な構造および形状等は、本発明の目的を達成できる範囲内で他の構造等としてもよい。
【００６１】
前記実施形態において、酸素濃縮器としては、吸着筒１０、１１の２つを備えているものであったが、これに限られず、吸着筒を３つ以上備えていてもよい。また、本実施形態においては、吸着筒内から窒素の排気（吸着筒の再生）に真空ポンプを用い、真空再生圧力変動方式により、行っているが、これに限られず、吸着筒内の窒素の排気に真空ポンプを用いず、大気圧下での自然開放を行う常圧再生圧力変動方式により、行ってもよい。
【００６２】
また、前記実施形態において、弁装置４６は、往復式圧縮減圧器７に適用されるものであったが、これに限られず、気体や液体の流通する際に使用する様々な弁として使用することができる。
【００６３】
さらに、前記実施形態において、往復式圧縮減圧器７は、吸着筒に圧縮空気を送り込む加圧用揺動型コンプレッサ３１と、吸着筒内を減圧にする揺動型真空ポンプ３２との両方を備えてなるものであったが、これに限られず、圧縮空気を送り込む加圧用揺動型コンプレッサの機能のみを有する往復式圧縮器または減圧にする揺動型真空ポンプの機能のみを有する往復式減圧器であってもよい。
【実施例】
【００６４】
以下、実施例および比較例を挙げて、本発明をより具体的に説明する。なお、本発明は実施例の内容に限定されるものではない。
【００６５】
[実施例]
上記実施形態における酸素濃縮器、往復式圧縮減圧器、および弁装置を使用して、酸素濃縮器を運転させた。ここで、弁装置における表面粗さＲｚで規定される加工溝は１μｍに加工した。なお、この表面粗さＲｚは、ＪＩＳ  Ｂ  ０６０１で規定される方法で測定した。
【００６６】
[比較例]
比較例は、実施例とは、図９に示されるように、加工溝の方向が、直線状である点のみが異なる。
【００６７】
[評価]
動作条件は、吐出圧力1.17680×105[Pa]（１．２ｋｇｆ/ｃｍ２を換算した値）、モータ回転数  １４６９ｒｐｍであった。この条件で、往復式圧縮減圧器の吐出空気量を測定した。
【００６８】
実施例に係る往復式圧縮減圧器の吐出空気量は、４４．０ L/minであった。一方、比較例に係る往復式圧縮減圧器の吐出空気量は、４２．６ L/minであった。したがって、実施例の吐出空気量と、比較例の吐出空気量とは、１．４ L/minの差異が認められた。
【００６９】
測定の結果、実施例の方が、比較例よりも良好であった。したがって、吐出空気量の低下を少なくすることができることがわかった。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】図１は、本発明に係る酸素濃縮器の一実施形態を示すブロック図である。
【図２】図２は、図１の実施形態に係る往復式圧縮減圧器の一例を示す正面図である。
【図３】図３は、図２の往復式圧縮減圧器の正面図に対応する上面図である。
【図４】図４は、図２の往復式圧縮減圧器の正面図に対応する下面図である。
【図５】図５は、図１の実施形態に係る往復式圧縮減圧器の一例を示すＶ−Ｖ断面図である。
【図６】図６は、図５の往復式圧縮減圧器のＶＩ−ＶＩ断面図である。
【図７】図７は、図５の往復式圧縮減圧器のＶＩＩ−ＶＩＩ断面図である。
【図８】図８は、図１の実施形態に係る弁装置を示す斜視図である。
【図９】図９は、比較例に係る弁装置を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００７１】
１    酸素濃縮器
２    導入路
３    空気取入口
４    防塵フィルタ
５    吸気フィルタ
６    吸気マフラ
７    往復式圧縮減圧器
７Ａ    第１圧力センサ
８    三方向切替弁
９    三方向切替弁
１０    吸着筒
１１    吸着筒
１２    冷却ファン
１３    排気路
１４    サイレンサ
１５    供給路
１６    均圧弁
１７    逆止弁
１８    逆止弁
１９    製品タンク
２０    圧力調整器
２１    バクテリアフィルタ
２２    流量設定器
２３    酸素センサ
２４    加湿器
２４Ａ    第２圧力センサ
２５    酸素出口
３１    加圧用揺動型コンプレッサ
３２    揺動型真空ポンプ
３３    駆動シャフト
３４    フレーム
３５    フレーム板
３５Ａ    支持孔
３５Ｂ    固定孔
３５Ｃ    ベアリング
３５Ｄ    シリンダ固定板
３６    フレーム柱
３７    シリンダ
３７Ａ    底面部
３７Ｂ    側壁部
３７Ｃ    開口部
３７Ｄ    シリンダ室
３８    ピストン
３９    ポンプヘッドプレート（基材）
４０    Ｏリング
４１    ポンプヘッドカバー
４１Ａ    区画内壁
４１Ｂ    挿通孔
４２    加圧室
４３    吸気室
４４    減圧室
４５    排気室
４６    弁装置
４７    ピストンヘッド
４８    コネクティングロッド
４９    パッキン
５０    パッキンリテーナ
５１    ロッド部
５２    環状部
６１    貫通孔
６１Ａ    開口部
６２    蓋手段
６３    加工溝
６４    固定部
６４Ａ    固定孔
６５    腕部
６５Ａ    先端部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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