(57)【要約】【課題】周面で析出し、落下した異物がガラスリボン上に落下して欠点を生じることが防止されたＣＶＤ装置及びガラス製造装置を提供することを目的とする。【解決手段】フロートバス１内のガラスリボン８の上方にＣＶＤ装置１２が配置されている。ＣＶＤ装置１２には、断熱材４２を介してＬ型部材４０が取り付けられている。ＣＶＤ装置１２の外面やフロートバスの天井部で析出して落下した異物は、Ｌ型部材４０によって捕獲される。【選択図】図１
2005060136.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フロートバス内に配置され、フロートガラス表面に膜を形成させるＣＶＤ装置において、
ＣＶＤ装置の周面又はフロートバスの天井部から落下する異物を捕獲する捕獲部材を備えたことを特徴とするＣＶＤ装置。
【請求項２】
請求項１において、前記捕獲部材は前記ＣＶＤ装置の周面と対向する垂直片と、該垂直片の下端からＣＶＤ装置と離隔する方向に突出した水平片とからなる断面Ｌ字形状のＬ型部材であることを特徴とするＣＶＤ装置。
【請求項３】
請求項１において、前記捕獲部材はプレートであり、
該プレートは、該ＣＶＤ装置から略水平に張り出した張出姿勢と、起立姿勢とをとりうるように起倒回動可能に該ＣＶＤ装置に取り付けられていることを特徴とするＣＶＤ装置。
【請求項４】
フロートバスと、該フロートバス内の溶融金属上のガラスリボンの表面に膜を形成させるＣＶＤ装置とを有するガラス製造装置において、
該ＣＶＤ装置は請求項１ないし３のいずれか１項のＣＶＤ装置であることを特徴とするガラス製造装置。
【請求項５】
フロートバス内の溶融金属上にガラスリボンを製造し、該ガラスリボンの表面にＣＶＤ装置を用いて膜を形成させてガラスを製造するガラス製造装方法において、
該ＣＶＤ装置は請求項１ないし３のいずれか１項のＣＶＤ装置であることを特徴とするガラス製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フロートバス内に設けられるＣＶＤ装置と、このＣＶＤ装置を備えたフロートバス方式のガラス製造装置と、このＣＶＤ装置を備えたフロートバスを用いたガラス製造方法とに係り、特にガラスリボン上に錫化合物等の異物が落下して欠点（ドリップ）が発生することが防止されるＣＶＤ装置、ガラス製造装置及びガラス製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
フロートバス内の溶融金属錫上にガラスリボンをフロートさせてシートガラスを製造するフロート法によるガラス製造方法は、従来より広く行われている。また、フロートバス内にＣＶＤ装置を設け、フロートバス内でガラスリボン表面にアモルファスシリコンなどの金属薄膜や酸化錫などの酸化物薄膜などの薄膜を形成させるオンラインＣＶＤ技術も公知である。
【０００３】
かかるフロート法及びオンラインＣＶＤ技術によるガラスの製造においては、金属錫自体は蒸気圧が低く昇華は殆ど問題とならないが、フロートバス内に酸素や硫黄が存在すると、金属錫はＳｎＯ、ＳｎＳとして８５０℃以上の温度で昇華する。なお、ＳｎＯは錫の１０倍、ＳｎＳは錫の１００倍の蒸気圧（１０００℃にて）を有する。この酸素の供給源はシール不良による大気の漏れ込みやガラスリボン自体である。また、硫黄はガラス自体から供給される。
【０００４】
この様にして昇華したＳｎＯ、ＳｎＳはクーラーやフロートバス天井部等の比較的低温部分に凝縮ないし析出し、天井析出物を形成する。
【０００５】
この天井析出物中のＳｎＯ、ＳｎＳはＨ２により還元され金属錫となり、リボン上に落下して欠点（ドリップ：φ１〜１００μｍ）を発生させる。なお、ＳｎＯ、ＳｎＳ自体が落下する場合もある。
【０００６】
特に、オンラインＣＶＤ技術によるガラス製造においては、ＣＶＤ装置は冷媒で冷却されており、このＣＶＤ装置は水冷ビームごとフロートバス内に取り付けられている。このため、ＣＶＤ装置の周面の温度は低くなり、欠点（ドリップ）の発生の原因になっている。この欠点の発生は、建築用、太陽電池用などの用途のガラスを製造する場合は問題となることは少ないが、オンラインＣＶＤ技術の用途開発の一環として電子部材用のガラスを製造する場合には大きな問題となる。
【０００７】
特開平３−３７１２３号公報には、ＣＶＤ装置を内蔵していないフロートバスにおいて、ガラスリボンとフロートバスの天井部との間に耐熱性及び熱良導性の材料よりなるプレートを設け、ガラスリボン上への異物落下を防止する構成が記載されている。
【０００８】
このような構成とすると、天井析出物が落下しても、この落下物はプレートにて受け止められ、ガラスリボン上に落下することがない。従って、リボンに欠点を発生させることが確実に防止される。
【特許文献１】特開平３−３７１２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
特開平３−３７１２３号公報のプレートは、ガラスリボン上への異物落下を防止するためにガラスリボン全てを覆い隠すように設けられている。従って、このプレートをオンラインＣＶＤ技術に適用する場合は、成膜を可能とすべくＣＶＤ装置の上方にプレートを設けることになるが、この場合、プレートはＣＶＤ装置の周面に付着した異物のシートガラス上への落下を防止することはできない。また、プレートに穴をあけ、この穴内にＣＶＤ装置を配置することも考えられるが、この場合、プレートの穴の周縁とＣＶＤ装置の周面との間に隙間が生じ、ＣＶＤ装置の周面に付着した異物がこの隙間からシートガラス上に落下する。
【００１０】
本発明は、ＣＶＤ装置の周面やフロートバスの天井部からの析出物の落下が防止されたＣＶＤ装置と、このＣＶＤ装置を備えたフロートバス方式のガラス製造装置と、このＣＶＤ装置を備えたフロートバスを用いたガラス製造方法とを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明のＣＶＤ装置は、フロートバス内に配置され、フロートガラス表面に膜を形成させるＣＶＤ装置において、ＣＶＤ装置の周面又はフロートバスの天井部から落下する異物を捕獲する捕獲部材を備えたことを特徴とするものである（請求項１）。
【００１２】
本発明のガラス製造装置は、フロートバスと、該フロートバス内の溶融金属上のガラスリボンの表面に膜を形成させるＣＶＤ装置とを有するガラス製造装置において、該ＣＶＤ装置は上記ＣＶＤ装置であることを特徴とするものである（請求項４）。
【００１３】
本発明のガラス製造方法は、フロートバス内の溶融金属上にガラスリボンを製造し、該ガラスリボンの表面にＣＶＤ装置を用いて膜を形成させてガラスを製造するガラス製造装方法において、該ＣＶＤ装置は上記ＣＶＤ装置であることを特徴とするものである（請求項５）。
【００１４】
かかる本発明のＣＶＤ装置、ガラス製造装置及びガラス製造方法によれは、ＣＶＤ装置の周面及びフロートバスの天井部から落下する異物を捕獲部材が確実に捕獲するため、ガラスリボン上に落下することがない。従って、ガラスに欠点（ドリップ）が発生することが確実に防止される。
【００１５】
本発明において、捕獲部材は前記ＣＶＤ装置の周面と対向する垂直片と、該垂直片の下端からＣＶＤ装置と離隔する方向に突出した水平片とからなる断面Ｌ字形状のＬ型部材であってもよい（請求項２）。
【００１６】
また、捕獲部材は、該ＣＶＤ装置から略水平に張り出した張出姿勢と、起立姿勢とをとりうるように起倒回動可能に該ＣＶＤ装置に取り付けられているプレートであってもよい（請求項３）。この場合、プレートを起立させた状態でＣＶＤ装置をフロートバス内に挿入することができるため、ＣＶＤ装置の搬入、設置作業が容易である。また、設置後はプレートを張り出し姿勢とすることにより、落下する異物を広範囲にわたって捕獲することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によると、ＣＶＤ装置の周面やフロートバスの天井部からの析出物の落下を確実に防止することができ、欠点の発生を確実に防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
図１は実施の形態に係るＣＶＤ装置を内蔵したフロートバスの部分断面図である。
【００１９】
フロートバス１の天井部２及び底部４は耐火物よりなっており、底部上に溶融錫６のバスが構成されている。この溶融錫６の上にガラスリボン８がフロートしている。
【００２０】
ガラスリボン８の上方にはＣＶＤ装置１２が配置されている。このＣＶＤ装置１２の下面部１４のうちガラスリボン送り方向（図１の左右方向）の中央には、ＣＶＤ装置の幅方向（図１の紙面と垂直な方向）に延在する１条の原料供給口１８が設けられている。この原料供給口１８の前後には、排気口２０が１条ずつ、原料供給口１８と平行に設けられている。下面部１４の内部には保冷配管２６が配管されている。
【００２１】
この下面部１４の前面及び後面には、断熱材４２を介してＬ型部材４０が取り付けられている。この断熱材４２により、Ｌ型部材４０が下面部１４によって冷却されることが防止される。これにより、Ｌ型部材４０に錫が凝集して落下し、欠点（ドリップ）が生じることが防止される。
【００２２】
このＬ型部材４０は、下面部１４の前面又は後面に対向する垂直片と、該垂直片の下端からＣＶＤ装置１２と離隔する方向に突出した水平片とからなり、該垂直片が断熱材４２を介して下面部１４の前面又は後面に取り付けられている。このＬ型部材４０の長さ（ＣＶＤ装置の幅方向、即ち、図１の紙面と垂直方向の長さ）は、ガラスリボン８の幅（図１の紙面と垂直方向の長さ）と同等以上となっている。このＬ型部材４０の水平片の幅は大きい程よいが、フロートバス１に設けられたＣＶＤ装置挿入用開口（図示略）を挿通可能である必要があるため、通常は１４０ｍｍ以下程度とされる。
【００２３】
このＬ型部材４０の材質としては、例えば炭素繊維強化炭素材料（ＣＣＭ）、耐腐蝕性合金（インコネル、ハステロイ等）、ステンレス、鉄、セラミックス、炭素材料使用され、好ましくは炭素繊維強化炭素材料（ＣＣＭ）、耐腐蝕性合金（インコネル、ハステロイ等）、ステンレスが使用される。
【００２４】
原料供給口１８の上端は供給部３０と連通しており、この供給部３０の上端には原料ガス導入部３４が設けられている。排気口２０の上端は排気部３２と連通しており、排気部３２の上端には排気ガス回収部３６が設けられている。
【００２５】
ＣＶＤ装置１２の側面にはコータービーム（梁）２４が設けられている。このＣＶＤ装置１２は、このビーム２４ごと、フロートバス１内に着脱可能に取り付けられている。このビーム２４は水冷可能とされている。
【００２６】
このように構成されたＣＶＤ装置を備えたフロートバス１を用いてガラスを製造する際には、従来のフロート法と同様にして溶融錫６上にガラスリボン８を製造する。
【００２７】
また、ＣＶＤ装置１２内の原料ガス導入部３４から供給部３０及び原料供給口１８を通して原料ガスを供給し、ガラスリボン８上にＣＶＤ反応析出物を蒸着させる。なお、原料供給口１８からＣＶＤ装置１２の前後方向に移動した原料ガスは、排気口２０，２０から排気部３２，３２を通って排気ガス回収部３６，３６に回収される。
【００２８】
蒸着に際し、ＣＶＤ装置１２の保冷配管２６内に冷媒を流通し、またビーム２４を水冷してＣＶＤ装置１２を保冷する。これにより、原料ガスを最適温度でガラスリボン８に導くことができる。
【００２９】
本実施の形態においては、ＣＶＤ装置１２を保冷するためにビーム２４を水冷しているため、ＣＶＤ装置１２の周面に析出物が生じ、落下する。しかしながら、ＣＶＤ装置１２の下面部１４の前面及び後面に設けられたＬ型部材４０が落下物を確実に捕獲するため、落下物がガラスリボン８上に落下することが防止される。
【００３０】
上記実施の形態では、フロートバス１内にＣＶＤ装置を１機配置したが、複数機配置してもよい。
【００３１】
図２は、図１のＣＶＤ装置１２をフロートバス内に複数機設置し、相互間に水平プレート５０を架設配置した態様を説明する断面図である。
【００３２】
図２では、図１と同様のＣＶＤ装置１２が２機、ガラスリボン送り方向に間隔をあけて配置されている。
【００３３】
前側（図２における左側）のＣＶＤ装置１２の後面に取り付けられたＬ型部材４０と、後方側（図２における右側）のＣＶＤ装置１２の前面に取り付けられたＬ型部材４０とによってプレート５０が支持されている。このＬ型部材４０とプレート５０とは、好ましくはボルト及びナット、リベット等によって固定されている。このプレート５０は、ＣＶＤ装置１２をフロートバス内に配置した後に、ＣＶＤ装置１２に取り付けられる。
【００３４】
この図２の構成によれば、ＣＶＤ装置１２の周面から落下した異物が、Ｌ型部材４０及びプレート５０によって確実に捕獲される。また、プレート５０の上方にあるフロートバスの天井部（図２では図示略）から落下した異物も確実に捕獲することができる。
【００３５】
図３は、図１のＣＶＤ装置１２をフロートバス内に複数機配置した別の態様を説明する断面図である。
【００３６】
前側（図３における左側）のＣＶＤ装置１２の後面に取り付けられたＬ型部材４０の水平片に、プレート５０Ａがヒンジ等を介して起倒方向回動可能に取り付けられている。同様に、後方側のＣＶＤ装置１２の前面に取り付けられたＬ型部材４０の水平片の先端に、プレート５０Ｂがヒンジ等を介して起倒方向回動可能に取り付けられている。このプレート５０Ａ，５０Ｂの対向する一端同士は倒状したときに突き合うように配置されている。
【００３７】
このＣＶＤ装置ユニットによっても、ＣＶＤ装置１２の周面から落下した異物が、Ｌ型部材４０及びプレート５０Ａ，５０Ｂによって確実に捕獲される。また、プレート５０Ａ，５０Ｂの上方にあるフロートバスの天井部（図３では図示略）から落下した異物も確実に捕獲することができる。
【００３８】
このＣＶＤ装置１２をフロートバス内に配置する際には、プレート５０Ａ，５０Ｂを図３の２点鎖線のように起立させた状態でこのＣＶＤ装置１２をフロートバス内に搬入して設置する。その後に、プレート５０Ａ，５０Ｂを水平位置に倒す。このように、フロートバスの外で予めプレート５０Ａ，５０ＢをＣＶＤ装置１２に取り付けておくことができるため、フロートバス内でプレート５０Ａ，５０Ｂを取り付ける場合と比べて作業効率が向上する。
【００３９】
なお、図３では、プレート５０Ａ，５０Ｂが突き合うようにして配置されているが、プレート５０Ａ，５０Ｂの高さを変えて、両プレート５０Ａ，５０Ｂの先端部同士が重なり合うように配置してもよい。
【００４０】
図４は、図１のＣＶＤ装置１２をフロートバス内に複数機配置した異なる態様を説明する断面図である。
【００４１】
図４では、水平プレート６０がＬ型部材４０の間に配置され、Ｉ型の支持部材５４を介してフロートバスの側壁に固定されている。
【００４２】
このＣＶＤ装置ユニットによっても、ＣＶＤ装置１２の周面から落下した異物が、Ｌ型部材４０及びプレート６０によって確実に捕獲される。また、プレート６０の上方にあるフロートバスの天井部（図４では図示略）からの異物落下も防止することができる。
【００４３】
なお、図２〜４ではＣＶＤ装置は２機図示されているが、３機以上であってもよい。
【００４４】
上記実施の形態では捕獲部材はＬ型部材であるが、他の形状であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】実施の形態に係るガラス製造装置の一部の拡大断面図である。
【図２】別のガラス製造装置の一部の拡大断面図である。
【図３】さらに別のガラス製造装置の一部の拡大断面図である。
【図４】異なるガラス製造装置の一部の拡大断面図である。
【符号の説明】
【００４６】
１  フロートバス
２  天井部
６  錫
８  ガラスリボン
１０  膜
１２  ＣＶＤ装置
１４  下面部
１８  原料供給口
２０  排気口
２４  ビーム
２６  保冷配管
４０  Ｌ型部材
５０，５０Ａ，５０Ｂ，６０  プレート
５４  支持部材
【図１】
2005060136.tif 000003
【図２】
2005060136.tif 000004
【図３】
2005060136.tif 000005
【図４】
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