(57)【要約】【課題】  フロントヘッドユニットの変形を防ぐとともに、接着剤による不都合を解消し、インクの吐出特性を安定させることのできるインクジェットプリンタヘッドを提供することである。【解決手段】  前記フロントヘッドユニット２１は、その背面に枠状の補強フレーム６５がシート状接着剤により接着され、その補強フレーム６５を介在させて、インク流路形成部材１３に固定される。補強フレーム６５には、フロントヘッドユニット２１におけるインク供給口８１に対応する位置に、インク流路形成部材１３とインク供給口８１とを接続するインク通路孔６６が穿設され、インク通路孔６６との間に弾性シール部材６７が介挿されている。弾性シール部材６７の圧縮に伴う押圧が補強フレーム６５で受けられ、フロントヘッドユニット２１の変形が防止される。【選択図】  図３
2005161762.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
前面に列状に配置された複数個のノズルと背面にインク供給口とを有するフロントヘッドユニットと、このフロントヘッドユニットに前記インク供給口からインクを供給するインク流路形成部材とが備えられるインクジェットプリンタヘッドにおいて、
前記フロントヘッドユニットは、その背面に枠状の補強フレームを介在させて、前記インク流路形成部材に固定され、
前記補強フレームには、フロントヘッドユニットにおけるインク供給口に対応する位置に、前記インク流路形成部材と前記インク供給口とを接続するインク通路孔が穿設されていることを特徴とするインクジェットプリンタヘッド。
【請求項２】
前記補強フレームは、金属製であることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項３】
前記補強フレームとインク流路形成部材との間には、前記補強フレームのインク通路孔の周囲を囲んで弾性シール部材が圧縮状態に配置されていることを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項４】
前記フロントヘッドユニットと補強フレームとは、シート状接着剤により接着されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項５】
前記フロントヘッドユニットには、ノズルを備えたキャビティユニットと、このキャビティユニットの背面に積層接着される圧電アクチュエータと、この圧電アクチュエータの背面に積層接着されるフレキシブルフラットケーブルとが備えられ、
前記補強フレームは、その枠内から圧電アクチュエータ及びフレキシブルフラットケーブルを表出させてキャビティユニットの背面に接着され、
前記シート状接着剤は、前記圧電アクチュエータの周囲を連続して囲む形状を有していることを特徴とする請求項４に記載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項６】
前記シート状接着剤は、ヤング率が１〜１０００ＭＰａ、融点が８０〜１８０℃、フロントヘッドユニットと補強フレームとを接着した後の厚さが５〜１００μｍ、接着強度が１０Ｎ以上であることを特徴とする請求項４または５に記載のインクジェットプリンタヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット記録装置の構成に係り、より詳しくは、フロントヘッドユニットとインク流路形成部材とが接続されるインクジェットプリンタヘッドの構成に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、入力信号に基づいてノズルからインク滴を用紙等の被記録媒体に吐出して記録するインクジェットプリンタにおいては、ノズルを備える部材をユニット化し、フロントヘッドユニットとして被記録媒体に対向する面に取り付けることが知られている。例えば、特許文献１に開示されている積層型のフロントヘッドユニットは、前面に多数のノズルを列状に備えたプレートと、インク流路を形成する複数枚のプレートと、インク吐出のための振動をノズル毎に与えることのできる圧電アクチュエータとから構成され、このフロントヘッドユニットが、これにインクを供給するためのインク流路形成部材（特許文献１ではヘッドケースと称する）に接着剤により固定されている。
【０００３】
前記フロントヘッドユニットとインク流路形成部材との接着面においては、フロントヘッドユニットのインク供給口とインク流路形成部材の出口部とが位置合わせされるため、塗布された接着剤が、インク供給口に流れ込み、インク流路形成部材からのインクの供給に支障をきたすことが多い。これを避けるために、特許文献１では、前記インク流路形成部材の出口部の周囲に、インク供給口の開口端面側に突出して当接する縁部を設け、インク供給口への接着剤の流れ込みを阻止するようにしている。そして、フロントヘッドユニットとインク流路形成部材とを前記インク供給口を除く広範囲で接着固定している。
【０００４】
しかしながら、一般的に、フロントヘッドユニットは金属製である一方、インク流路形成部材は合成樹脂製であることが多く、合成樹脂と金属とは線膨張係数が大きく異なる。そのため、長期使用における環境の温度変化により、フロントヘッドユニットとインク流路形成部材との間に剥離が発生し、インク漏れを生じ易いという課題を有していた。
【０００５】
また、インク漏れを防ぐため、フロントヘッドユニットのインク供給口とインク流路形成部材のインク出口部との間に弾性シール部材を介挿することが一般には行われるが、フロントヘッドユニットは金属の積層構造体であるとはいえ、全体としては薄いものであるため、弾性シール部材を圧縮する反力でフロントヘッドユニットが反り、多数のノズルの向きが揃わなくなるという問題がある。
【０００６】
特許文献２に記載の構成を使用すると、フロントヘッドユニットを変形させずに固定することができる。この構造では、フロントヘッドユニットのインク供給口にスリーブを突設し、このスリーブにオーリングを介挿し、さらにフロントヘッドユニットとインク流路形成部材との間に配置したバックアップ部材で、オーリングをインク流路形成部材に押圧すると同時に、オーリングをスリーブの外周に密着させている。これにより、オーリングの圧縮による反力がフロントヘッドユニットには作用しないようにしている。
【特許文献１】特開平８−２７６５８６号公報（図５参照）
【特許文献２】特開２００３−１４５７９１号公報（図１０参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述の特許文献２の構成では、フロントヘッドユニットとインク流路形成部材とを接続するために、オーリングやスリーブ等の部材を付加しているが、前述したオーリングへの押圧によるフロントヘッドユニットの変形防止のために、さらにバックアップ部材まで付加しなければならなかった。その結果、部品点数や工数の増加を招き、製造コストを押し上げるという課題を有していた。
【０００８】
また、特許文献２の構成では、フロントヘッドユニットのインク供給口にスリーブを突設する際に、接着剤が使用されている。そのため、従来と同様に、インク供給口に接着剤が流れ込み、インクの流れに支障をきたしやすいという課題を有していた。
【０００９】
本発明は、上記課題を解消するものでありフロントヘッドユニットの変形を防ぐとともに、接着剤による不都合を解消し、インクの吐出特性を安定させることのできるインクジェットプリンタヘッドを提供することを課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明におけるインクジェットプリンタヘッドは、前面に列状に配置された複数個のノズルと背面にインク供給口とを有するフロントヘッドユニットと、このフロントヘッドユニットに前記インク供給口からインクを供給するインク流路形成部材とが備えられるインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記フロントヘッドユニットは、その背面に枠状の補強フレームを介在させて、前記インク流路形成部材に固定され、前記補強フレームには、フロントヘッドユニットにおけるインク供給口に対応する位置に、前記インク流路形成部材と前記インク供給口とを接続するインク通路孔が穿設されていることを特徴とするものである。
【００１１】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記補強フレームは、金属製であることを特徴とするものである。
【００１２】
また、請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記補強フレームとインク流路形成部材との間には、前記補強フレームのインク通路孔の周囲を囲んで弾性シール部材が圧縮状態に配置されていることを特徴とするものである。
【００１３】
また、請求項４に記載の発明は、請求項１から３のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記フロントヘッドユニットと補強フレームとは、シート状接着剤により接着されていることを特徴とするものである。
【００１４】
また、請求項５に記載の発明は、請求項４に記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記フロントヘッドユニットには、ノズルを備えたキャビティユニットと、このキャビティユニットの背面に積層接着される圧電アクチュエータと、この圧電アクチュエータの背面に積層接着されるフレキシブルフラットケーブルとが備えられ、前記補強フレームは、その枠内から圧電アクチュエータ及びフレキシブルフラットケーブルを表出させてキャビティユニットの背面に接着され、前記シート状接着剤は、前記圧電アクチュエータの周囲を連続して囲む形状を有していることを特徴とするものである。
【００１５】
また、請求項６に記載の発明は、請求項４または５に記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記シート状接着剤は、ヤング率が１〜１０００ＭＰａ、融点が８０〜１８０℃、フロントヘッドユニットと補強フレームとを接着した後の厚さが５〜１００μｍ、接着強度が１０Ｎ以上であることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１６】
請求項１に記載の発明によれば、フロントヘッドユニットは、インク通路孔を有する補強フレームを介在させて、インク流路形成部材に固定されるから、フロントヘッドユニットとインク流路形成部材との固定時に押圧力が作用しても、その押圧力を補強フレームで支えることができてフロントヘッドユニット単体には直接働かない。そのため、フロントヘッドユニットに生じる変形を防止することができる。
【００１７】
請求項２に記載の発明によれば、補強フレームが金属製であるから、補強フレームの剛性が高く、補強フレームが取り付けられたフロントヘッドユニットの剛性も高められる。
【００１８】
請求項３に記載の発明によれば、弾性シール部材は、圧縮状態で補強フレームとインク流路形成部材との間に配置されるから、そのシール性能が向上される。その結果、インク流路形成部材からフロントヘッドユニットのインク供給口に漏れなくインクが供給される。
【００１９】
請求項４に記載の発明によれば、シート状接着剤を使用するから、液体系の接着剤に比べて、塗布によるムラや接着層の厚みバラツキ、接着剤のはみ出し等を大幅に低減することができる。また、シート状接着剤は、ライフタイム、硬化時間等の使い勝手がよいため、工程を容易化できるという効果も奏する。
【００２０】
請求項５に記載の発明によれば、補強フレームとキャビティユニットとの界面でシール効果を発揮するシート状接着剤が、圧電アクチュエータの周囲を連続して取り囲むから、圧電アクチュエータはシート状接着剤で囲まれた閉じた領域内に位置することとなり、圧電アクチュエータへのインクの侵入を確実に妨げる。その結果、圧電アクチュエータの電極が、インクにより電気的に短絡する等の不都合の発生を防止できるという効果を奏する。
【００２１】
請求項６に記載の発明によれば、多様なシート状接着剤の中から、ヤング率が１〜１０００ＭＰａ、融点が８０〜１８０℃、フロントヘッドユニットと補強フレームとを接着した後の厚さが５〜１００μｍ、接着強度が１０Ｎ以上であるシート状接着剤を選択することにより、フロントヘッドユニットのノズル列間に生じる振動伝播をシート状接着剤が吸収することができ、異なるノズル列間で同時に吐出する際のクロストークを防止することができる。また、シート状接着剤は、加熱により軟化しながら、押圧によりその厚みが調整されるため、補強フレームの仕上がり精度に起因する平面度のうねり（歪み）等を吸収し、全体として補正することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
次に、本発明を具体化した実施形態について説明する。図１に示すように、インクジェットプリンタ１００は、本体フレーム１に内包されて被記録媒体である用紙Ｐにインクを吐出させて記録する記録機構部２と、記録機構部２における記録ヘッドユニット３のメンテナンス処理を行うメンテナンスユニット４と、前記本体フレーム１内に固定して配置される記録ヘッドユニット３に供給するインクを貯留するインクタンク５等から構成されている。
【００２３】
フルカラー記録のための複数のインクタンク５（個別の色、即ち、ブラック、シアン、マゼンタ、イエロー用のインクタンクに対しては符号５ａ〜５ｄを付する、図１参照）は、インクの消耗に応じて交換することができる。
【００２４】
記録機構部２において、本体フレーム１内に平行状に設けられた左右長手の後ガイド軸６と、前ガイド軸７とにキャリッジ９が摺動自在に載置され、該キャリッジ９に記録ヘッドユニット３が一体的に取付けられている。
【００２５】
本体フレーム１の右後側に配置されたキャリッジ駆動モータ１０と、無端帯であるタイミングベルト１１とにより前記キャリッジ９は前記前後ガイド軸６、７に沿って左右方向に往復移動可能に構成されている。他方、図示しないが、公知の用紙搬送機構により、用紙Ｐは前記記録ヘッドユニット３の下面側で前記キャリッジ９の移動方向と直交する方向に水平状（図１の矢印Ｙ方向）に搬送される。
【００２６】
搬送される用紙Ｐの幅より外側には、その一端側（実施形態では図１の左端部）に、インク受け部１２が設けられており、他端側には、メンテナンスユニット４が配置されている。これにより、記録動作中に定期的に記録ヘッドユニット３は前記インク受け部１２が設けられたフラッシング位置にてノズルの目詰まり防止のためのインク吐出を行い、インク受け部１２にてインクを受ける。他端側のヘッド待機位置では、前記メンテナンスユニット４が配置されてノズル面のクリーニングを行い、また、色毎にインクを選択的に吸引するための回復処理及び後述するダンパー装置１３（請求項のインク流路形成部材に相当）内の気泡（空気）を除去する除去処理を行う。
【００２７】
図１に示すように、前記記録ヘッドユニット３の下面のノズル面より下方位置に、個別の色毎のインクタンク５をそれぞれ前方から挿入して装着できるように構成されている。図１において、左側から順に、ブラックインク（ＢＫ）用のインクタンク５ａ，シアンインク（Ｃ）用のインクタンク５ｂ、マゼンタインク（Ｍ）用のインクタンク５ｃ、イエローインク（Ｙ）用のインクタンク５ｄは、水平且つ並列状に配置される。
【００２８】
前記各インクタンク装着部の後側には、各色のインクタンク５の挿入方向（後側壁面）に対向するようにインク供給用中空針（図示せず）を水平状に突設している。各色のインクに対応する中空針の基端部は、対応する可撓性を有するインク供給チューブ１４ａ〜１４ｄを介して記録ヘッドユニット３に接続されている。この場合、ブラック用とシアン用のインク供給チューブ１４ａ，１４ｂの中途部同士、マゼンタ用及びイエロー用のインク供給チューブ１４ｃ，１４ｄの中途部同士を上下に重ねて結束している。
【００２９】
次に、キャリッジ９に搭載された記録ヘッドユニット３の実施形態を、図２〜図８を参照しながら説明する。本実施形態ではフルカラー記録のために記録ヘッドユニット３は、図３及び図４に示すように、合成樹脂材料により箱状に形成されたヘッドホルダ２０と、そのヘッドホルダ２０の底板２０ａの下面側に固定されたインクジェット式のフロントヘッドユニット２１と、前記底板２０ａの上側に固定されたダンパー装置１３及び排気弁手段２６と備える。
【００３０】
フロントヘッドユニット２１の下面には、図２（フロントヘッドユニット２１を下面からみた図）において左側からブラックインク（ＢＫ）用のノズル２２ａ、２２ａ′の２列と、シアンインク（Ｃ）用のノズル２２ｂの列と、イエローインク（Ｙ）用のノズル２２ｃの列と、マゼンタインク（Ｍ）用のノズル２２ｄの列とが、キャリッジ９の移動方向（主走査方向）と直交する方向に長く形成されている。そして、用紙Ｐの上面に対向するように各ノズル２２が下向きにて露出している。
【００３１】
前記フロントヘッドユニット２１の一側には、図３及び図５に示すように、キャビティユニット８０のインク供給口８１が、上面に開口して各インク色（本実施形態では４色）毎に設けられ、これらインク供給口８１（個別には符号８１ａ〜８１ｄを付す）から延びる各インク供給チャンネルを介してインクが分配され、圧電アクチュエータ２３の駆動によりノズル２２からインクを吐出させるように構成されている。圧電アクチュエータ２３の上面には、その圧電アクチュエータ２３に電圧を印加するフレキシブルフラットケーブル２４が固定されている。フロントヘッドユニット２１の各インク供給口８１には各インクタンク５からダンパー装置１３を介してインクが供給されるようになっている。実施形態のフロントヘッドユニット２１においては、圧電アクチュエータ２３の外形状を、キャビティユニット８０の外形状よりも小さくし、キャビティユニット８０の背面に圧電アクチュエータ２３を積層した際に、前記インク供給口８１が及び圧電アクチュエータ周囲のキャビティユニット８０の背面がフロントヘッドユニット２１の背面側に表出するようにしている。
【００３２】
このフロントヘッドユニット２１は、図３及び図４に示すように、その背面に枠状の補強フレーム６５を介在させて、前記ダンパー装置１３に固定されるようになっている。補強フレーム６５の枠内６５ａの大きさは、前記圧電アクチュエータ２３の外形状よりも僅かに大きく、且つキャビティユニット８０の外形状よりも小さく形成されている。そのため、補強フレーム６５は、その枠内６５ａから前記圧電アクチュエータ２３とフレキシブルフラットケーブル２４とを表出させて、キャビティユニット８０の背面に積層される。
【００３３】
この補強フレーム６５は、金属製（例えば、ＳＵＳ４３０）であり、キャビティユニット８０よりも厚く、剛性が大きく形成されている。補強フレーム６５は、キャビティユニット８０のインク供給口８１に対応する位置に、ダンパー装置１３のインク流出口４１と、フロントヘッドユニット２１のインク供給口８１とを接続するインク通路孔６６が穿設されている。この実施形態では、インク通路孔６６は、４つのインク供給口８１に対応させて、４つ並設されている。
【００３４】
ダンパー装置１３と補強フレーム６５との間には、インク通路孔６６の周囲を囲むように弾性シール部材６７が配置され、ダンパー装置１３と補強フレーム６５とを締着することで、弾性シール部材６７を圧縮状態として、インク通路孔６６とインク流出口４１との接続をシールするようにしている。この実施形態では、図７に示すネジ１３ｂが、ダンパー装置１３の取付穴１３ａを介して、補強フレーム６５のネジ穴６５ｂにネジ止めされることで、ダンパー装置１３と補強フレーム６５とが締着される。
【００３５】
補強フレーム６５とフロントヘッドユニット２１とは、接着により固定されるが、接着剤にはシート状接着剤６８が用いられている。シート状接着剤６８は、図２及び図８に示すように、圧電アクチュエータ２３を連続して囲む形状を有するとともに、さらに、４つのインク供給口８１ａ〜８１ｄをそれぞれ個別に取り囲む形状も有している。
【００３６】
シート状接着剤６８の種類は多様であるが、本実施形態では、ポリエチレン樹脂を基材に用いた熱可塑性のタイプで、耐インク性に優れたものを使用している。その物性として、ヤング率が１〜１０００ＭＰａ、融点が８０〜１８０℃、フロントヘッドユニット２１と補強フレーム６５とを接着した後の厚さが５〜１００μｍ、接着強度が１０Ｎ以上（好ましくは２００Ｎ以上）であるものが好適である。
【００３７】
次に、フロントヘッドユニット２１の構成について説明する。前記キャビティユニット８０は、図６に示すように、ノズルプレート８３、第１スペーサプレート８４、補助プレート８５、２枚のマニホールドプレート８６ａ、８６ｂ、第２スペーサプレート８７、第３スペーサプレート８８、及びベースプレート８９の合計８枚の薄い板をそれぞれ接着剤にて重ね接合した構造としている。
【００３８】
実施形態では、合成樹脂製のノズルプレート８３を除き、各プレート８３〜８９は、４２％ニッケル合金鋼板製で、５０〜１５０μｍ程度の厚さを有する。前記ノズルプレート８３には、微小径（実施形態では２５μｍ程度）のノズル２２が微小間隔で多数個穿設されている。このノズル２２は、ノズルプレート８３における第１の方向（長辺方向、Ｙ方向）に沿って、千鳥配列状で５列に配列されている。
【００３９】
また、前記ベースプレート８９には、複数の圧力室８２がベースプレート８９の長辺（前記Ｙ方向）に沿って千鳥配列状で５列に配列されている。各圧力室８２における先端部は、２枚のスペーサプレート８７、８８と２枚のマニホールドプレート８６ａ、８６ｂ、補助プレート８５、及び第１スペーサプレート８４に、同じく千鳥配列状にて穿設されているインク流通路としての微小径の貫通孔９０を介して、ノズルプレート８３における前記各ノズル２２に連通している。
【００４０】
ベースプレート８９の下面に隣接する第３スペーサプレート８８には、各圧力室８２の他端部に接続するために、前記各他端部に対応する位置にインク流通路としての連通孔９１が穿設されている。
【００４１】
第３スペーサプレート８８の下面に隣接する第２スペーサプレート８７には、後述する共通インク室９２から前記各圧力室８２へインクを供給するための接続流路９３が設けられる。
【００４２】
２枚のマニホールドプレート８６ａ，８６ｂには、その長辺方向（Ｙ方向）に沿って長い５つの共通インク室９２が前記ノズル２２の各列に沿って延びるように板厚さを貫通して形成されている。すなわち２枚のマニホールドプレート８６ａ、８６ｂを積層し、且つその上面を第２スペーサプレート８７にて覆い、下面を補助プレート８５にて覆うことにより、合計５つの共通インク室（マニホールド室）９２が密閉状に形成される。各共通インク室９２は、各プレートの積層方向から平面視したときに、前記圧力室８２の一部と重なって圧力室８２の列方向に沿って長く延びている。
【００４３】
マニホールドプレート８６ａの下面に隣接する補助プレート８５の下面側には、共通インク室９２と隔絶された補助室９４が凹み形成されている。この各補助室９４の位置および形状は、前記各共通インク室９２と一致させている。この補助プレート８５は、適宜弾性変形し得る金属素材であるため、補助室９４の薄い板状の底板部は、共通インク室９２側にも、補助室９４側にも自由に振動することができる。インク吐出時に、圧力室８２で発生した圧力変動が共通インク室９２に伝播しても、前記底板部が弾性変形して振動することにより、前記圧力変動を吸収減衰させるというダンパー効果を有し、圧力変動が他の圧力室８２へ伝播するというクロストークを防止する効果を奏するものである。
【００４４】
また、図６に示すように、ベースプレート８９、第３スペーサプレート８８、及び第２スペーサプレート８７の一端部には、上下の位置を対応させて、それぞれ４つのインク供給口８１が穿設されている。これら４つのインク供給口（個別には、符号８１ａ、８１ｂ、８１ｃ、８１ｄとする）に、前述したように、ダンパー装置１３のインク流出口４１が接続される。そして、これらインク供給口８１によって、インクタンク５から供給されたインクが、共通インク室９２の一端部に連通するようになっている。
【００４５】
インク供給口８１からノズル２２に至るインク流通路では、インクは、インク供給口８１から共通インク室９２に供給された後、第２スペーサプレート８７の接続流路９３及び第３スペーサプレート８８の連通孔９１を経由して各圧力室８２の他端部に分配供給される。そして、後述するように、圧電アクチュエータ２３の駆動により、インクは各圧力室８２内から前記貫通孔９０を通って、その圧力室８２に対応するノズル２２に至るという構成になっている。
【００４６】
この実施形態では、インク供給口８１が４つ設けられているのに対して、図６に示すように、共通インク室９２が５つ設けられており、インク供給口８１ａには、図６における左側に配置された２つの共通インク室９２，９２が接続されている。インク供給口８１ａには、ブラックインクが供給されるように設定されており、ブラックインクがその他のカラーインクに比べて使用頻度が高いことを考慮したものである。他のインク供給口８１ｂ、８１ｃ、８１ｄには、シアン、イエロー、マゼンタの各インクがそれぞれ単独に供給される。
【００４７】
前記各金属製のプレート８３〜８９の共通インク室９２、貫通孔９０、連通孔９１、接続流路９３、補助室９４等の凹み形成や貫通する孔等は、エッチング加工、放電加工、プラズマ加工、レーザ加工等により形成されている。
【００４８】
一方、前記圧電アクチュエータ２３は、図示しないが複数枚の圧電シートと、トップシートとを積層した構造で、１枚の厚さが３０μｍ程度の各圧電シートのうち最下段の圧電シートの上面（広幅面）には、前記キャビティユニット８０における各圧力室８２に対応した箇所ごとに細幅の個別電極が長辺方向（Ｙ方向）に沿って列状に形成され、各個別電極は前記長辺方向と直交するＸ方向に沿って各圧電シートの長辺の端縁部近傍まで延びている。下から偶数段目の圧電シートの上面（広幅面）には、複数個の圧力室８２に対して共通のコモン電極が形成されており、最上段のトップシートの上面には、表面電極９５として、前記個別電極の各々に対して電気的に接続される表面電極と、前記コモン電極に対して電気的に接続される表面電極とが設けられている。
【００４９】
圧電アクチュエータは、特開平４−３４１８５３号公報に開示されたものと同様に、より多くの圧電シートを積層した構造とすることもできる。
【００５０】
そして、このような構成のプレート型の圧電アクチュエータ２３における下面（圧力室８２と対面する広幅面）全体に、接着剤としてのインク非浸透性の合成樹脂材からなる接着剤シート（図示せず）を予め貼着し、次いで、前記キャビティユニット８０に対して、圧電アクチュエータ２３が、その各個別電極を前記キャビティユニット８０における各圧力室８２の各々に対応させて接着・固定される。また、この圧電アクチュエータ２３における上側の表面には、前記フレキシブルフラットケーブル２４が重ね押圧されることにより、このフレキシブルフラットケーブル２４における各種の配線パターン（図示せず）が、前記各表面電極９５に電気的に接合される。
【００５１】
次に、図９〜図１３に基づいて、インク流路形成部材としてのダンパー装置１３の構成について詳述する。ダンパー装置１３は、インク色毎に独立した複数のダンパー室２７を、主仕切り壁３５を挟んで、かつ主仕切り壁と交差する副仕切り壁３５ａ、３０によって区画して備えている。実施形態では、主仕切り壁３５の下にブラックインク（ＢＫ）用のダンパー室２７ａの一部が配置され、主仕切り壁３５の上にシアンインク（Ｃ）用のダンパー室２７ｂ、イエローインク（Ｙ）用のダンパー室２７ｃ及びマゼンタインク（Ｍ）用のダンパー室２７ｄが副仕切り壁３５ａ、３０によって区画されて配置され、全体として上下に２層状に構成されている。
【００５２】
具体的には、ダンパー装置１３における本体ケース２５は、矩形筒状の側壁を外周として有し、上下面を開放した箱状の下ケース３２と、その下ケース３２の上面を覆って固定された上ケース３１とから構成される。上ケース３１及び下ケース３２は共に合成樹脂材料にて射出成形されたものであり、超音波溶着等にて液密的に結合されている。
【００５３】
下ケース３２には、その下面にその下面の面積の大部分を開放した開口部が設けられ、その開口部及び上方の開放面からそれぞれ平行に間隔を置いた位置に主仕切り壁３５が形成されている。そして、その開口部はダンパー用の可撓性膜（合成樹脂製で空気及び液体非透過性のフィルム）３６で封止されている。具体的には、開口部の外周を画定する外周壁３７の下端面に、可撓性膜３６の外周縁を接着もしくは超音波溶着等により接合する。その可撓性膜３６と主仕切り壁３５との間にブラックインク（ＢＫ）用のダンパー室の第１室２７ａ−１が形成されている。可撓性膜３６とヘッドホルダ２０の底板２０ａとの間には、可撓性膜３６の変形のための間隙が確保されて、ダンパー装置１３がヘッドホルダ２０に固着されている。
【００５４】
前記主仕切り壁３５の上面には、その主仕切り壁３５と交差して一体的に立ち上がった副仕切り壁３５ａが形成され、下ケース３２内の主仕切り壁３５よりも上方の部分が、後述する上ケース３１と共同して複数のダンパー室として形成されている。実施形態では、２個の副仕切り壁３５ａが相互に間隔を置いて配置され、下ケース３２の側壁と共同してシアンインク（Ｃ）、イエローインク（Ｙ）及びマゼンタインク（Ｍ）用の３個のダンパー室２７ｂ〜２７ｄ（詳細にはそのダンパー室の第２室３９ｂ〜３９ｄ）が形成されている。各副仕切り壁３５ａは、図１１に示すように下ケース３２内を全長にわたって延びて形成され、主仕切り壁３５の上面から外れた位置においてダンパー室２７ｂ〜２７ｄ（詳細には第２室３９ｂ〜３９ｄ）を各インク色毎のインク流出口４１ｂ〜４１ｄに連通させている。
【００５５】
さらに追加の副仕切り壁３５ｂが、インク流出口４１ｂ〜４１ｄ近傍の主仕切り壁３５の上面から外れた位置へ延びて形成され、その副仕切り壁３５ｂと下ケース３２の側壁との間に、ブラックインク（ＢＫ）用のダンパー室の第２室３９ａが形成されている。その第２室３９ａの下端は、インク流出口４１ａに連通している（図４、図１１参照）。
【００５６】
ブラックインク（ＢＫ）用のダンパー室の第１室２７ａ−１は、第２室３９ａに、副仕切り壁３５ｂに沿って形成した円筒部内を上下方向に貫通する絞り部としての通路４２を介して連通している（図１０、図１１及び図１３（ｃ）参照）。通路４２は、第１室２７ａ−１よりも断面積を小さく形成され、その第１室２７ａ−１内よりも流路抵抗が大きく設定されている。
【００５７】
上ケース３１は、上面に複数の凹部を備えた偏平形状に形成されている。上ケース３１には、ブラックインク（ＢＫ）用のダンパー室の第１室２７ａ−１とほぼ対応する上方位置に、２個の副仕切り壁３０で仕切られたシアンインク（Ｃ）、イエローインク（Ｙ）及びマゼンタインク（Ｍ）用の３個のダンパー室２７ｂ〜２７ｄの第１室２７ｂ−１〜２７ｄ−１が、上方に開放して形成されている（図９参照）。副仕切り壁３０は、下ケース３２の副仕切り壁３５ａの延長面上に位置し、第１室２７ｂ−１〜２７ｄ−１の底壁２９には、絞り部としての多数個の通路孔４４が上下に貫通形成され、各第１室２７ｂ−１〜２７ｄ−１は、その下の室（下ケース３２に副仕切り壁３５ａによって区画された室）すなわち第２室３９ｂ〜３９ｄとそれぞれ個別に連通している。
【００５８】
通路孔４４は、各第１室２７ｂ−１〜２７ｄ−１よりも断面積を小さく形成され、その各第１室２７ｂ−１〜２７ｄ−１よりも流路抵抗が大きく設定されている。
【００５９】
第１室２７ｂ−１〜２７ｄ−１の上方開放面は、１枚のダンパー用の可撓性膜（合成樹脂製で空気及び液体非透過性のフィルム）４３で共通に封止されている。具体的には、各第１室の外周を画定する外周壁及び副仕切り壁３０の上端面に、可撓性膜４３を接着もしくは超音波溶着等により接合している。
【００６０】
前記各インク流出口４１ａ〜４１ｄは、図１０に示すように下ケース３２の下面に並んで位置し、可撓性膜３６よりも下方に延長した位置で、下向きに開口している。一方、フロントヘッドユニット２１は、上面に各インク色毎のインク供給チャンネル（マニホールド）の端部と連通した複数のインク供給口８１ａ〜８１ｄを、各インク流出口４１ａ〜４１ｄと対向した位置に備えている。各インク流出口４１ａ〜４１ｄは、ヘッドホルダ２０の底板２０ａに設けた開口２０ｂを貫通し、前述したようにフロントヘッドユニット２１の各インク供給口８１ａ〜８１ｄと、弾性シール部材６７を介して連通している。
【００６１】
インク流出口４１ａ〜４１ｄと反対側の下ケース３２の側面からフランジ状に突出した部分３２ａには、図４及び図９に示すように各インク色毎のインク流入口４７（実施形態では４個、ブラックインク（ＢＫ）用、シアンインク（Ｃ）用、イエローインク（Ｙ）用及びマゼンタインク（Ｍ）用の各インク流入口をそれぞれ４７ａ、４７ｂ、４７ｃ、４７ｄで示す）が上向きに開口されている。
【００６２】
これらのインク流入口４７に、各インク色毎のインク流路を有するジョイント部材４５が、各インク流路の下端を対応させパッキン等のシール４６を介して接続されている。ジョイント部材４５の各インク流路上端には、各インク色のインク供給チューブ１４ａ〜１４ｄの先端が接続されている。
【００６３】
そして、前記ブラックインク（ＢＫ）用のインク流入口４７ａは、前記下ケース３２の下面に下向き開放状に水平に形成された凹通路４８を介して対応するダンパー室２７ａの第１室に接続されている。他のインク流入口４７ｂ〜４７ｄは前記下ケース３２の下面に下向き開放状に水平に形成された凹通路４８及び下ケース３２の一側壁内に沿って上下方向（主仕切り壁３５のなす面とほぼ直交する方向）に延びるように形成された連通路４９と、上ケース３１に上下に貫通する連通路５０とを介して対応するダンパー室２７ｂ〜２７ｄの第１室に接続されている（図９、図１０、図１２（ａ）、図１２（ｂ）及び図１３（ｂ）参照）。記録動作に応じてキャリッジ９が主走査方向（左右方向）に往復移動するにつれて、各インク供給チューブ１４も左右方向に移動すると、そのリターン時の慣性力により前記各インク供給チューブ１４内のインクの圧力も大きく変動し、その圧力変動は、インク流入口４７を介して各ダンパー室２７に伝播する。本実施形態では、前記連通路５０の開口面が可撓性膜４３の下面に近接した高さ位置にあるので、ダンパー室２７ｂ〜２７ｄ内に流入されたインクが連通路５０の開口面と対峙して接近する可撓性膜４３に直接的に衝突できるから、インク供給チューブ１４ｂ〜１４ｄ内のインクの動圧変動を効率的に吸収緩和（ダンピング）させることができるのである。
【００６４】
各インク流入口４７ａ〜４７ｄおよび凹通路４８の開放下面は、前記可撓性膜３６を延長した部分で封止されている。
【００６５】
ブラックインク（ＢＫ）用のダンパー室の第１室２７ａ−１の天井面すなわち主仕切り壁３５の下面に、凹通路４８側の側壁に両端を接続した平面視Ｕ字形のリブ３５ｃが、可撓性膜３６まで達しない高さに形成されている。このため、Ｕ字形のリブ３５ｃに囲まれる部分には、インクが侵入しない空間が確保され、この中の空気と可撓性膜３６との共同で前述したインクの圧力変動を吸収するようにしている。
【００６６】
また、上ケース３１の上面には、前記インク流出口４１ａ〜４１ｄ近傍の各第２室３９ａ〜３９ｄとそれぞれ対応する位置に、各ダンパー室の第３室５５ａ〜５５ｄが互いに独立して凹み形成されている。各第３室５５ａ〜５５ｄは、上ケース３１に貫通形成された空気孔５４により、対応する第２室３９ａ〜３９ｄとそれぞれ連通している。つまり、各インク色毎のダンパー室２７ａ〜２７ｄは、それぞれ第１室から第３室までの３個の室から構成されている。
【００６７】
さらに、上ケース３１には、それぞれ前記第１室と第３室との間において各第２室３９ａ〜３９ｄの上部に連通する排気孔５３が貫通形成されている。各排気孔５３の上端は、上ケース３１の上面に互いに独立して凹み形成された複数の排気通路５１にそれぞれ接続され、その排気通路は、本体ケースの長手方向（インク流入口４７ａ〜４７ｄとインク流出口４１ａ〜４１ｄを結ぶ方向）と直交する方向に延びその他端が後述する排気弁手段２６に対する接続口５２ａ、５２ｂ、５２ｃ、５２ｄと接続されている（図９参照）。
【００６８】
各排気孔５３は、上ケース３１から各第２室３９ａ〜３９ｄ内に垂下する筒状壁内に形成され、上ケース３１から所定距離置いた位置で各第２室３９ａ〜３９ｄ内に開口している。つまり、後述するように排気孔５３から第２室３９ａ〜３９ｄ内の気泡を排出した状態でも、第２室３９ａ〜３９ｄの上部に筒状壁の垂下高さだけの空気層を確保するようにしている。また、通常、第３室５５ａ〜５５ｄにも空気層が確保されるから、これらの空気層により、ダンパー室２７ａ〜２７ｄ内で生じた前述の圧力変動を吸収緩和させ、フロントヘッドユニット２１のノズル２２での圧力を均一に維持し、記録品質を高めるようにしている。
【００６９】
前記各ダンパー室の第３室５５ａ〜５５ｄ及び排気通路５１は、その開放上面を前記可撓性膜４３を延長した部分で覆われ、その各室及び通路が画定されている。
【００７０】
ダンパー装置１３は、主仕切り壁３５及び可撓性膜３６，４３が、キャリッジ９の移動方向すなわちフロントヘッドユニット２１のノズルの開口面と平行に延在するように、キャリッジ９上に固定されている。
【００７１】
次に、排気弁手段２６について説明すると、下ケース３２の一側（図９及び図１３（ａ）の右端）に一体的に設けられた収納部３４には、上下方向に長く且つ上下に開口する通路孔５６がインク色毎に（４つ）形成されている。上ケース３１の側縁は、収納部３４の上端を覆う位置まで延長され、前記各排気通路５１の他端が各通路孔５６の上端開口部とそれぞれ個別に連通されている。
【００７２】
前記各通路孔５６は上半の大径部５６ａと下半の小径通路５６ｂとからなる。大径の弁体５７の下端には小径のバルブロッド５８が一体的に形成されている。バルブロッド５８に被嵌され、且つ弁体５７の下端面側にシール部材５９が配置されている。シール部材５９としては、弾性体のパッキン等が好適であり、この実施形態では、シール部材５９にオーリングを適用し、バルブロッド５８に被嵌させている。また、前記大径部５６ａの内部には、シール部材５９及び弁体５７に加えて、小径通路５６ｂを閉塞する方向に弁体５７を付勢する付勢手段として、ばね手段６０（コイルバネ等）も挿入されている。バルブロッド５８は小径通路５６ｂに挿入され、このバルブロッド５８の下端は小径通路５６ｂの下端開口部近傍まで延びている。
【００７３】
そして、弁体５７はばね手段６０によって常時下向きに押圧されており、シール部材５９が弁体５７と大径部５６ａの底面との間で押圧挟持された状態が弁閉止状態となる（図１３（ａ））。一方、バルブロッド５８が、後述する小キャップ部材７２の突起部７２ａによって上方に押し上げられた状態が弁開放状態となる。
【００７４】
メンテナンスユニット４は、フロントヘッドユニット２１のノズル２２の開口面を開閉可能に覆うキャップ部材７１と、排気弁手段２６の下端面すなわち各小径通路５６ｂの開口面を個別に開閉可能に覆う複数の小キャップ部材７２とを備える。両キャップ部材７１，７２は、公知のメンテナンスユニットと同様の上下移動機構７３により、キャリッジ９が待機位置（図１において右端位置）に移動したときに、ノズル２２の開口面及び排気弁手段２６の下端面に密着するように上昇し、他の位置ではそれらの面から離隔するように下降する。また、キャップ部材７１は、公知のメンテナンスユニットと同様に吸引ポンプ７４に接続され、吸引ポンプ７４の駆動によりノズル２２から増粘したインクや異物が吸引除去される。
【００７５】
各小キャップ部材７２は、そのキャップ部材よりも突出した突起部７２ａをそれぞれ有し、排気弁手段２６の下端面に密着したとき、突起部７２ａにより、前記バブルロッド５８をばね手段６０の付勢力に抗して押し上げ、シール部材５９を大径部５６ａの内底部から離し、弁開放状態にする。また、各小キャップ部材７２は共通の流路を介して前記吸引ポンプ７４に接続され、吸引ポンプ７４の駆動により各ダンパー室の第２室３９ａ〜３９ｄ内に蓄積した気泡が一括して吸引排出される。これは、インクタンク５からインク供給管１４を通して供給されるインクを第２室３９ａ〜３９ｄ内に一旦貯留することで、インク中から気泡を分離浮上させ、第２室３９ａ〜３９ｄの上部に蓄積した気泡を、上記のように、吸引ポンプ７４により排出させるのである。
【００７６】
キャップ部材７１と小キャップ部材７２は、切替弁７５により択一的に吸引ポンプ７４に接続される。キャップ部材７１と小キャップ部材７２は、上下移動機構７３により、同時にノズル２２の開口面及び排気弁手段２６の下端面に密着するが、好適には、まず小キャップ部材７２をとおして第２室３９ａ〜３９ｄの上部に蓄積した気泡を排出し、その後、キャップ部材７１をとおしてノズル２２からインクを排出する。仮にキャップ部材７１のみで第２室３９ａ〜３９ｄの気泡を排出しようとすると、多量のインクを排出しなければならないが、上記のようにすることで、少ないインク排出量で、気泡の排出及び記録ヘッドの回復処理を行うことができる。
【００７７】
また、ノズル２２からのインク吸引のみ、または第２室３９ａ〜３９ｄの気泡の排出のみを、それぞれ単独に行うこともできる。
【００７８】
なお、上記のように吸引ポンプ７４の吸引動作に代えて、インクタンク５側から、インクに正圧を加えて、ノズル２２から増粘したインクや異物を吸引除去したり、第２室３９ａ〜３９ｄの気泡を排出することもできる。あるいは、吸引動作とインクへの正圧印加を併用することもできる。
【００７９】
上述の構成によれば、製造工程において、積層形成されたフロントヘッドユニット２１と補強フレーム６５との接着に際し、まず、補強フレーム６５の下面側にシート状接着剤６８が位置合わせされて押圧加熱され、補強フレーム６５にシート状接着剤６８が仮転写される。次に、キャビティユニット８０のインク供給口８１と補強フレーム６５のインク通路孔６６とが位置合わせされる。補強フレーム６５にシート状接着剤６８を介してフロントヘッドユニット２１が押圧加熱され、補強フレーム６５とフロントヘッドユニット２１とが接着固定される。このとき、補強フレーム６５は、キャビティユニット８０の背面に接着されるため、補強フレーム６５の枠内６５ａから圧電アクチュエータ２３とフレキシブルフラットケーブル２４とが表出している。
【００８０】
この工程により、フロントヘッドユニット２１と補強フレーム６５とはサブユニットとして一体化され、以降の工程では、単体部品として取り扱うことができる。
【００８１】
次に、前記サブユニット化されたフロントヘッドユニット２１と補強フレーム６５が、ヘッドホルダ２０の底板２０ａの下面側に接着固定（ＵＶ接着剤等による）される。このとき、ヘッドホルダ２０の開口２０ｂから補強フレーム６５のインク通路孔６６が上方に表出するように位置合わせされる。
【００８２】
そして、補強フレーム６５の左右両側縁に対応して底板２０ａに設けた開口２０ｃ（図３）から接着剤を注入し、底板２０ａとフロントヘッドユニット２１とを固定する。なお、フロントヘッドユニット２１外周とヘッドホルダ２０の側壁との間の隙間も、接着剤もしくは充填剤で埋められる。
【００８３】
次に、ダンパー装置１３がヘッドホルダ２０の内部に搭載され、補強フレーム６５のインク通路孔６６と、ダンパー装置１３のインク流出口４１とが、弾性シール部材６７を挟んで位置合わせされる。そして、図７に示すように、ネジ１３ｂをダンパー装置１３の取付穴１３ａに挿通して、補強フレーム６５のネジ穴６５ｂにネジ止めする。これにより、インク供給口８１とインク流出口４１とが、弾性シール部材６７及びインク通路孔６６を介して接続される。弾性シール部材６７が前記締着により圧縮状態で介在しているため、インク流出口４１からインク供給口８１に供給されるインクはシールされ、外部に漏れることがない。また、必要に応じて前記ネジ１３ｂを外すことで、ダンパー装置１３の取り外しや交換も自在である。
【００８４】
このように組立られたフロントヘッドユニット２１及びダンパー装置１３を備えたインクジェットプリンタ１００では、フロントヘッドユニット２１に補強フレーム６５が固着されているため、弾性シール部材６７を押圧するように、ダンパー装置１３と補強フレーム６５とを締着しても、補強フレーム６５がその押圧力を支えるため、フロントヘッドユニット２１に変形を生じることがない。そして、従来技術の特許文献２では、弾性シール部材であるオーリングを装着するためのスリーブと、オーリングの押圧を受けるためのバックアップ板とを必要としていたが、本発明では、これらの機能を補強フレーム６５で兼用し、部品点数を削減している。
【００８５】
また、この補強フレーム６５は、前記特許文献２のようにインク供給口８１近傍のみに取り付けられるのではなく、フロントヘッドユニット２１の全体に渡って貼着されている。そのため、剛性の高い補強フレーム６５に略全面的に支持されたフロントヘッド２１（サブユニット）ごと、他の部材に着脱できるため、フロントヘッドユニット２１のみで他の部品に着脱する場合に比べて、吐出特性が安定化するという効果も奏する。加えて、フロントヘッドユニット２１と補強フレーム６５とからなるサブユニットとして、工程での取り扱いも容易になる。
【００８６】
また、フロントヘッドユニット２１と補強フレーム６５とを、液体状の接着剤ではなく、シート状接着剤６８で接着しているため、接着剤のはみ出しを無くすることができるため、インク供給口８１に接着剤が入り込むことによる支障を回避することができる。また、接着剤の塗布ムラやバラツキ等も無くすることができ、厚みのコントロールも容易になるという効果を奏する。
【００８７】
特に、シート状接着剤６８に、ヤング率が１〜１０００ＭＰａ、融点が８０〜１８０℃、フロントヘッドユニット２１と補強フレーム６５とを接着した後の厚さが５〜１００μｍ、接着強度が１０Ｎ以上（好ましくは２００Ｎ以上）のものを選択することにより、シート状接着剤６８が圧電アクチュエータ２３の振動に伴うキャビティユニット８０の振動を抑制して、ノズル間のクロストークを防止する効果も奏する。すなわち、５列あるノズル列のうち、任意の列のノズルから吐出しているときに、他のいずれかの列のノズルから吐出すると、吐出性能に悪影響を及ぼしあっていたが、上記物性のシート状接着剤６８によると、吐出のための振動伝播を吸収し、上述の悪影響を無くすことができるというものである。
【００８８】
また、補強フレーム６５が金属製であるため、同じく金属製であるフロントヘッドユニット２１と線膨張係数が近いうえに、その界面に所定の厚みが確保されたシート状接着剤６８を用いることで、熱衝撃（サーマルショック）等の環境変化に対しても耐性が高く、剥離等の不都合を生じることがない。
【００８９】
また、シート状接着剤６８は押圧加熱により、軟化してその厚みが薄膜化されるが、その際に補強フレーム６５の平面度におけるうねり（歪み）等を吸収し補正することもできる。
【００９０】
また、シート状接着剤６８は、図２及び図８に示すように、補強フレーム６５とキャビティユニット８０との界面において、圧電アクチュエータ２３の周囲を連続して取り囲むように貼着されている。そのため、前述したメンテナンスユニット４にて、ノズル２２の表面がワイパーにて拭き取られるときに、インクがフロントヘッドユニット２１の側面や裏面に回り込むことがあっても、圧電アクチュエータ２３に対するインクの侵入がシート状接着剤６８にて阻止されるから、圧電アクチュエータ２３の電極がインクにより電気的に短絡する等の不具合を防止できる効果も奏する。
【００９１】
また、シート状接着剤６８は、インク供給口８１の周囲も個別に取り囲む形状を有しているため、補強フレーム６５とキャビティユニット８０との界面におけるインク供給口８１からのインク漏れに対してもシール効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【００９２】
【図１】インクジェットプリンタの記録機構部の平面図である。
【図２】ヘッドホルダの下面図である。
【図３】フロントヘッドユニット、補強フレーム、ヘッドホルダ及びダンパー装置の分解斜視図である。
【図４】図２のIV-IV 線矢視断面図である。
【図５】フロントヘッドユニットの斜視図である。
【図６】キャビティユニットの分解斜視図である。
【図７】図３のVII-VII 線矢視断面図である。
【図８】シート状接着剤の位置を示す部分断面模式図である。
【図９】ダンパー装置の可撓性膜４３を除いた状態のダンパー装置の平面図である。
【図１０】可撓性膜３６を除いた状態のダンパー装置の下面図である。
【図１１】ダンパー装置の下ケースの上面図である。
【図１２】（ａ）はダンパー装置の上ケースのみの平面図、（ｂ）は上ケースのみの下面図である。
【図１３】（ａ）は図９の XIIIa−XIIIa 線矢視断面図、（ｂ）は図９の XIIIb−XIIIb 線矢視断面図、（ｃ）は図１０の XIIIc−XIIIc 線矢視断面図である。
【符号の説明】
【００９３】
１００  インクジェットプリンタ
３  記録ヘッドユニット
４  メンテナンスユニット
５（５ａ〜５ｄ）  インクタンク
１３  ダンパー装置（インク流路形成部材）１３ａ  取付穴
１３ｂ  ネジ
２０  ヘッドホルダ
２０ｂ  開口
２１  フロントヘッドユニット
２２  ノズル
２３  圧電アクチュエータ
２４  フレキシブルフラットケーブル
２７（２７ａ〜２７ｄ）  ダンパー室
４１ａ〜４１ｄ  インク流出口
６５  補強フレーム
６５ａ  枠内
６５ｂ  ネジ穴
６６  インク通路孔
６７  弾性シール部材
６８  シート状接着剤
８０  キャビティユニット
８１  インク供給口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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