(57)【要約】      （修正有） 【課題】複数枚の半導体ウエハが収納されているキャリアから１枚ごとにウエハを抜き取ったり、ウエハをキャリアに戻したりする際、抜き取られるウエハ又は戻されるウエハの隣のウエハ表面にキズや汚れを付けることを抑制できる真空ピンセットを提供する。【解決手段】  真空ピンセット１００は、複数枚の半導体ウエハが収納されているキャリアから１枚の半導体ウエハを抜き取ったり、半導体ウエハをキャリアに戻したりするための真空ピンセットであって、半導体ウエハの裏面を真空吸着する吸着用溝６と、吸着用溝６の裏側に設けられた、隣接する半導体ウエハとの接触を検出するタッチセンサ４と、タッチセンサ４の接触検出により警報を出す警報タワーと、を具備する真空ピンセット。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数枚の半導体ウエハが収納されているキャリアから１枚ごとに半導体ウエハを抜き取ったり、半導体ウエハをキャリアに戻したりするための真空ピンセットにおいて、半導体ウエハの裏面を真空吸着する吸着部と、前記吸着部の裏側に設けられた、隣接する半導体ウエハとの接触を検出するタッチセンサと、前記タッチセンサの接触検出により警報を出す警報手段と、を具備することを特徴とする真空ピンセット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハを真空吸着する真空ピンセットに関し、特に、複数枚の半導体ウエハが収納されているキャリアから１枚の半導体ウエハを抜き取ったり、半導体ウエハをキャリアに戻したりするための真空ピンセットに関する。
【背景技術】
【０００２】
複数枚の半導体ウエハが収納されているキャリアから１枚ごとにウエハを抜き取る真空ピンセットについて図４を参照しつつ説明する。この真空ピンセットは、例えば特許文献１に開示されている。
【０００３】
図４に示すように、従来の真空ピンセット２００は、半導体ウエハの裏面を真空吸着するための吸着ヘッド２０を有している。この吸着ヘッド２０は、表面部２１及びそれと反対側の裏面部２２を備えている。裏面部２２にはガス吹き出し口２３が設けられており、この吹き出し口２３はガス導入用の配管２４の一端に繋げられている。ガス吹き出し口２３は裏面部２２の中央付近に配置されている。
【０００４】
表面部２１には環状の吸着用溝２５が設けられており、吸着用溝２５は、平面形状が環状の四角形を有している。吸着用溝２５には真空引き用の配管２６の一端に繋げられている。また、表面部２１における吸着用溝２５以外の部分は平坦な面となっている。
【０００５】
吸着ヘッド２０には接続部材２７を介してハンドル部（図示せず）の一端が取り付けられており、真空引き用の配管２６の他端には真空ポンプ（図示せず）が接続されている。また、ガス導入用の配管２４の他端には工場内のガスラインに繋ぐ手段（図示せず）が設けられており、このガスラインから半導体ウエハに悪影響を与えない不活性ガスなどが導入されるようになっている。
【０００６】
ハンドル部には配管２４、２６を開閉するための開閉弁（図示せず）が設けられており、弁の開閉により裏面部２２のガス吹き出し口２３からガスが吹き出した状態で、吸着ヘッド２０をキャリア（図示せず）のウエハ３１間に挿入し、ウエハ３１を抜き取ることで、抜き取るウエハ３１とその隣のウエハ３１との間隔を広く保ち、吸着ヘッド２０がウエハ表面の素子部３２に接触することを防止し、抜き取られるウエハの隣のウエハ表面に真空ピンセット２００によるキズや汚れを付けることを抑制している。また、キャリア内に真空ピンセット２００で吸着したウエハを挿入して収納する際、ガス吹き出し口２３からガスを吹き出すことにより、吸着ヘッド２０がウエハ表面の素子部３２に接触することを防止し、収納するウエハの隣のウエハ表面に真空ピンセット２００によるキズや汚れを付けることを抑制している。
【特許文献１】特開２００１−１４４１６３号（第３頁、第１図、第２図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、このような図４に示す従来の真空ピンセット２００では、裏面部２２のガス吹き出し口２３からガスが吹き出した状態であっても、吸着ヘッド２０をキャリアのウエハ３１間に挿入したとき、抜き取るウエハ３１と吸着ヘッド２０が接触しキズや汚れを付けてしまうことがある。このような場合、作業者は僅かな接触に関して気づかずに作業を継続してしまう虞があり、ウエハとの接触を避けるには作業者の注意・意識に依存していた。
本発明は上記の事情を考慮してなされたもので、ウエハへの接触を作業者に知らせることのできる真空ピンセットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１記載の発明は、複数枚の半導体ウエハが収納されているキャリアから１枚ごとに半導体ウエハを抜き取ったり、半導体ウエハをキャリアに戻したりするための真空ピンセットにおいて、半導体ウエハの裏面を真空吸着する吸着部と、前記吸着部の裏側に設けられた、隣接する半導体ウエハとの接触を検出するタッチセンサと、前記タッチセンサの接触検出により警報を出す警報手段と、を具備することを特徴とする真空ピンセットである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の真空ピンセットによれば、吸着ヘッドと半導体ウエハとの接触をタッチセンサで検出し、警報を発することにより、作業者への注意を喚起できる。また、警報を発することにより作業者以外の第三者に知らせることができ、第三者による作業の監視や指導が容易となる。従って、吸着するウエハの隣のウエハ表面に真空ピンセットによるキズや汚れを付けることを抑制できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施例の真空ピンセット１００について図１及び図２を参照して説明する。
【００１１】
図１に示すように、真空ピンセット１００は、半導体ウエハの裏面を真空吸着するための吸着ヘッド１を有している。図１（ａ）は真空ピンセット１００の裏面図、図１（ｂ）は表面図、図１（ｃ）は１ａ−１ａに沿った断面図である。この吸着ヘッド１は、図１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示すように表面部２及びそれと反対側の裏面部３を備えており先端部はテーパ状になっている。裏面部３にはタッチセンサ４が貼り付けられており、その一部からセンサ導線５が導出されている。タッチセンサ４は図１（ａ）に示すように裏面部３のほぼ全面に貼り付けられている。
【００１２】
表面部２には吸着用溝６が設けられており、吸着用溝６は、図１（ｂ）に示すように平面形状が"8"の字型を有している。また、図１（ｃ）に示すように吸着用溝６の側面は真空引き用の配管７の一端に繋げられている。表面部２における吸着用溝６以外の部分は平坦な面となっている。
【００１３】
吸着ヘッド１には接続部材８を介してハンドル部９の一端が取り付けられており、ハンドル部９の他端には配管被覆部材１０が取り付けられている。吸着ヘッド１、接続部材８、ハンドル部９及び配管被覆部材１０の内部には、真空引き用の配管７が配置され、真空引き用の配管７に沿ってセンサ導線５が配置されている。
【００１４】
ハンドル部９にはスイッチ１１が埋設されており、その一部からスイッチ導線１２が導出され、センサ導線５に沿って配置されている。
【００１５】
そして、図２に示すようにセンサ導線５、配管被覆部材１０及びスイッチ導線１２は真空発生ユニット１３に接続され、スイッチ１１のオンまたはオフにより真空を発生または解除するようになっている。真空発生ユニット１３には警報タワー１４が付設され、タッチセンサ４への半導体ウエハ等の接触による信号を受け取り、音や光により警報を発するようになっている。
【００１６】
次に、図１に示す真空ピンセットを用いて、複数枚の半導体ウエハが収納されているキャリアから１枚ごとにウエハを抜き取る方法について図３を参照しつつ説明する。
【００１７】
キャリア（図示せず）には複数枚の半導体ウエハ３１が所定の間隔をあけて並べて配置されている。これら半導体ウエハ３１の表面には素子部３２が形成されている。このような半導体ウエハ３１が収納されたキャリアから１枚ごとにウエハを抜き取る際、まず作業者が真空ピンセットのスイッチ１１を指で押しながら、裏面部３のタッチセンサ４が半導体ウエハ３１の表面素子部３２に接触しない状態で、吸着ヘッド１をキャリアのウエハ３１間に挿入し、ウエハ３１を抜き取る。誤ってタッチセンサ４が半導体ウエハ３１の表面素子部３２に接触すると、警報タワー１４から音や光により警報が発せられ、作業者への注意が喚起される。従って、吸着ヘッド１がウエハ表面の素子部３２に接触することを抑制でき、抜き取られるウエハの隣のウエハ表面に真空ピンセットによるキズや汚れを付けることを抑制できる。
【００１８】
次に、キャリア（図示せず）内には複数枚の半導体ウエハ３１が所定の間隔をあけて並べて配置されているが、所々半導体ウエハが抜けた状態になっている場合で、この抜けた箇所に半導体ウエハを挿入して収納する方法について説明する。
【００１９】
まず作業者が真空ピンセットのスイッチ１１を指で押し、半導体ウエハの裏面を表面部２によって真空吸着すると共に、裏面部３のタッチセンサ４が半導体ウエハ３１の表面素子部３２に接触しない状態で、その半導体ウエハをキャリア内の前記抜けた箇所に挿入して収納する。このとき、誤ってタッチセンサ４が半導体ウエハ３１の表面素子部３２に接触すると、警報タワー１４から音や光により警報が発せられ、作業者への注意が喚起される。従って、キャリア内において吸着ヘッド１がウエハ表面の素子部３２に接触することを抑制できる。
【００２０】
尚、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。例えば、前述したような機能を備えていれば、吸着ヘッド１の形状を種々変更することも可能である。また、上記実施の形態では、真空発生ユニット１３に警報タワー１４が付設されているが、警告を発する機能を有するものをハンドル部９に設けることも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００２１】
以上、説明したように、本発明の真空ピンセットによれば、吸着ヘッドと半導体ウエハとの接触をタッチセンサで検出し、警報を発するため、ウエハへの接触を作業者に知らせることができ、作業者以外の第三者による作業の監視や指導が容易となる。従って、吸着するウエハの隣のウエハ表面に真空ピンセットによるキズや汚れを付けることを抑制できるという優れた産業上の効果を奏し得る。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】図１（ａ）は、本発明の実施の形態による真空ピンセット１００の裏面側を示す平面図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）に示す真空ピンセットの表面側を示す平面図であり、図１（ｃ）は、図１（ａ）に示す１ａ−１ａ線に沿った断面図である。
【図２】本発明の実施の形態による真空ピンセット１００の全体図である。
【図３】図１に示す真空ピンセット１００を用いて、複数枚の半導体ウエハが収納されているキャリアから１枚ごとにウエハを抜き取る様子を示す図である。
【図４】従来の真空ピンセット２００を用いて、複数枚の半導体ウエハが収納されているキャリアから１枚ごとにウエハを抜き取る様子を示す図である。
【符号の説明】
【００２３】
１  吸着ヘッド
２  表面部
３  裏面部
４  タッチセンサ
５  センサ導線
６  吸着用溝
７  真空引き用の配管
８  接続部材
９  ハンドル部
１０  配管被覆部材
１１  スイッチ
１２  スイッチ導線
１３  真空発生ユニット
１４  警報タワー
２０  吸着ヘッド
２１  表面部
２２  裏面部
２３  ガス吹き出し口
２４  ガス導入用の配管
２５  吸着用溝
２６  真空引き用の配管
２７  接続部材
３１  半導体ウエハ
３２  素子部
１００  真空ピンセット
２００  真空ピンセット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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