(57)【要約】      （修正有）【課題】  装置立ち上げ時や換気時において、本体チャンバーを減圧する際に、ゴム手袋の破損の発生を無くしたバキュームグローブボックスを提供する。【解決手段】  本体チャンバー１０と、この本体チャンバー１０に設けられた手袋取付口１２と、この手袋取付口１２に装着されるゴム手袋１３と、本体チャンバー１０に連通された本体チャンバー真空引き用管路と、手袋取付口１２部分に連通されたゴム手袋真空引き管路と、本体チャンバー１０並びに手袋取付口１２部分とを排気する真空ポンプ７と、を備え、本体チャンバー１１並びに手袋取付口１２部分との管路３２、３２ａ、３１ａの上流側を共通の第１のバルブ３で接続し、この第１のバルブ３に接続される管路３１を２つの管路３１ａ、３１ｂに分岐し、一方の分岐された管路を第２のバルブ１を介して本体チャンバー１０と接続し、他方の分岐された管路３１ａを手袋取付口１２部分に連通させる。【選択図】  図１
2005081452.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体チャンバーと、この本体チャンバーに設けられた手袋取付口と、この手袋取付口に装着されるゴム手袋と、本体チャンバーに連通された本体チャンバー真空引き用管路と、前記手袋取付口部分に連通されたゴム手袋真空引き管路と、前記本体チャンバー並びに手袋取付口部分とを排気する真空ポンプと、を備え、前記本体チャンバー並びに手袋取付口部分との管路の上流側を共通の第１のバルブで接続し、この第１のバルブに接続される管路を２つの管路に分岐し、一方の分岐された管路を第２のバルブを介して本体チャンバーと接続し、他方の分岐された管路を手袋取付口１２部分に連通させたことを特徴とするバキュームグローブボックス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、バキュームグローブボックスに係り、特に簡単、かつ、安価な構成で、バキュームグローブボックスに取り着けたゴム手袋の破損を起こさずに、バキュームグローブボックス内のガス置換が行えるようにしたバキュームグローブボックス装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
バキュームグローブボックスは大気中では不安定な固体、粉体、放射性物質、きわめて毒性の強い物質及び空気中の酸素と反応して爆発する物質などを乾燥雰囲気あるいは不活性雰囲気中で取り扱う作業に用いられ、作業空間をその外部と気密状に区画する本体ボックス内の空気をドライエアーあるいは窒素、アルゴン、ヘリウムなどの不活性ガスで置換して乾燥雰囲気あるいは不活性雰囲気（以下、雰囲気ガスという。）を本体チャンバー内に形成するようにしている。装置立ち上げ時などで、本体チャンバー内の空気を雰囲気ガスで置換するためには、本体チャンバー内を真空置換するバキュームグローブボックスが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
従来のバキュームグローブボックスの概要について図２に基づいて説明することにする。
【０００４】
バキュームグローブボックスは、作業空間を外部から気密状に区画する本体チャンバー１０と、一端を本体チャンバー１０内に連通させ、他端を大気中に連通させたサイドボックス１１と、このサイドボックス１１の内部空間を本体チャンバー１０内に連通させる内側開口５を開閉する内側ハッチ１５、この内部空間を大気中に連通させる外側開口部１１を開閉する外側ハッチ１６とを備える。
【０００５】
本体チャンバー１０の前面の上部には、図示しないが窓ガラスが取り着けられ、下部には人の手を本体チャンバー１０内に入れるための１対の手袋取付口１２が形成され、各手袋取付口１２はゴム手袋１３で気密状に覆われる。更に、手袋取付口１２には、開閉自在な蓋１４が設けられている。
【０００６】
本体チャンバー１０には、本体チャンバー１０内の空気を雰囲気ガスで置換するためのパイプ４２が取り着けられ、このパイプ４２は、分岐部により、真空パイプ４２ａ、ガス供給パイプ４２ｂにそれぞれ分岐されている。真空パイプ４２ａは本体真空引きバルブ２１を介して真空ポンプ７に接続されている。また、ガス供給パイプ４２ｂは本体ガス供給バルブ２４を介して雰囲気ガスが充填されたガスボンベなどからなるガス供給部８に接続されている。
【０００７】
また、サイドボックス１１にも、予備ボックス１０内の空気を雰囲気ガスで置換するためのパイプ４３が取り着けられ、このパイプ４３は、分岐部により、真空パイプ４３ａ、ガス供給パイプ４３ｂにそれぞれ分岐されている。真空パイプ４３ａは真空引きバルブ２２を介して真空ポンプ７に接続されている。また、ガス供給パイプ４３ｂは本体ガス供給バルブ２５を介してガス供給部８に接続されている。
【０００８】
更に、手袋取付口１２を密封する蓋１４にはパイプ４１を連通させてあり、このパイプ４１にゴム手袋真空引きバルブ２３を介して真空ポンプ７が取り着けられている。
【０００９】
尚、真空ポンプ７に連通する管路には、リーク弁６が設けられている。
【００１０】
上記した、バキュームグローブボックスにおいて、装置立ち上げ時などで、本体チャンバー１０内の空気を雰囲気ガスで置換するためには、本体チャンバー１０内を真空置換する。この真空置換は、手袋取付口１２を蓋１４で密閉した後、ゴム手袋真空引きバルブ２３、真空引きバルブ２２、真空引きバルブ２１の順でバルブを開けて真空ポンプ７により、掃引して真空を確保している。
【００１１】
しかしながら、上記作業において、ゴム手袋真空引きバルブ２３を開けるのを忘れて、本体チャンバー１０内を真空掃引すると、本体チャンバー１０内は減圧されるが、ゴム手袋１３部分は減圧されず、圧力差によりゴム手袋１３が膨れ、破裂する場合があった。
【特許文献１】特開平５−１０４４８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
この発明は、上記した従来の問題点に鑑みてなされたものにして、装置立ち上げ時や喚起時において、本体チャンバーを減圧する際に、ゴム手袋の破損の発生を無くしたバキュームグローブボックスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
この発明は、本体チャンバーと、この本体チャンバーに設けられた手袋取付口と、この手袋取付口に装着されるゴム手袋と、本体チャンバーに連通された本体チャンバー真空引き用管路と、前記手袋取付口部分に連通されたゴム手袋真空引き管路と、前記本体チャンバー並びに手袋取付口部分とを排気する真空ポンプと、を備え、前記本体チャンバー並びに手袋取付口部分との管路の上流側を共通の第１のバルブで接続し、この第１のバルブに接続される管路を２つの管路に分岐し、一方の分岐された管路を第２のバルブを介して本体チャンバーと接続し、他方の分岐された管路を手袋取付口１２部分に連通させたことを特徴とする。
【００１４】
上記した構成によれば、第１のバルブを開けてからでないと、本体真空引きバルブ１を開けても、本体チャンバーは減圧することはできない。
【発明の効果】
【００１５】
この発明のバキュームグローブボックスは、本体チャンバーを減圧する場合には、必ず、手袋取付口部分に繋がる第１のバルブを開けることになるので、ゴム手袋に圧力差により膨れることが防止され、ゴム手袋１３の破損が防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、この発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図１は、この発明にかかるバキュームグローブボックスの構成を示す概略構成図である。尚、従来例と同一部分には同一符号を付す。
【００１７】
この発明のバキュームグローブボックスも従来例と同様に、作業空間を外部から気密状に区画する本体チャンバー１０と、一端を本体チャンバー１０内に連通させ、他端を大気中に連通させたサイドボックス１１と、このサイドボックス１１の内部空間を本体チャンバー１０内に連通させる内側開口５を開閉する内側ハッチ１５、この内部空間を大気中に連通させる外側開口部１１を開閉する外側ハッチ１６と、を備える。
【００１８】
本体チャンバー１０の前面の上部には、図示しないが窓ガラスが取り着けられ、下部には人の手を本体チャンバー１０内に入れるための１対の手袋取付口１２が形成され、各手袋取付口１２はゴム手袋１３で気密状に覆われる。更に、各手袋取付口１２には、開閉自在な蓋１４が設けられている。
【００１９】
本体チャンバー１０には、本体チャンバー１０内の空気を雰囲気ガスで置換するための真空パイプ３２が取り着けられ、この真空パイプ３２は、分岐部により、真空パイプ３２ａ、ガス供給パイプ３２ｂにそれぞれ分岐されている。また、ガス供給パイプ３２ｂは本体ガス供給バルブ４を介して雰囲気ガスが充填されたガスボンベなどからなるガス供給部８に接続されている。
【００２０】
また、真空パイプ３２ａは本体真空引きバルブ１を介して真空パイプ３１ｂに接続され、更に、上流側の真空パイプ３１ａ、第１の真空引きバルブ３を介して真空ポンプ７に接続されている。
【００２１】
手袋取付口１２を密封する蓋１４にはパイプ３１を連通させてあり、このパイプ３１の上流側は、真空パイプ３１ａ、第１の真空引きバルブ３を介して真空ポンプ７に取り着けられている。
【００２２】
尚、ここで、上流とは、真空ポンプ７に近い側の方を意味する。
【００２３】
また、真空ポンプ７に連通する管路には、リーク弁６が設けられている。
【００２４】
そして、サイドボックス１１にも、サイドボックス１１内の空気を雰囲気ガスで置換するためのパイプ３３が取り着けられ、このパイプ３３は、分岐部により、真空パイプ３３ａ、ガス供給パイプ３３ｂにそれぞれ分岐されている。真空パイプ３３ａはサイドボックス真空引きバルブ２を介して真空ポンプ７に接続されている。また、ガス供給パイプ３３ｂはサイドボックスガス供給バルブ５を介してガス供給部８に接続されている。
【００２５】
上記したように、この発明のバキュームグローブボックスは、本体チャンバー１０並びに手袋取付口１２部分との管路の上流側を共通の第１のバルブ３で接続し、この第１のバルブ３に接続されるパイプ３１を２つの管路に分岐し、一方の分岐されたパイプ３１ｂを本体チャンバー１０側、他方の分岐されたパイプ３１ａを手袋取付口１２部分に連通させたものである。そして、分岐されたパイプ３１ａと本体チャンバー１０に接続されたパイプ３２とを真空引きバルブ１を介して接続されている。
【００２６】
このように構成することで、第１のバルブ３を開けてからでないと、本体真空引きバルブ１を開けても、本体チャンバー１０は減圧することはできない。即ち、本体チャンバー１０を減圧する場合には、必ず、手袋取付口１２部分に繋がる第１のバルブ３を開けることになるので、ゴム手袋１３に圧力差により膨れることが防止され、ゴム手袋１３の破損が防止できる。
【００２７】
上記した実施形態において、更に、本体真空引きバルブ１を第１のバルブ３を開放しない限り、開放できないように、第１のバルブ３と本体真空引きバルブ１とを連動させるように構成して安全性を向上させることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】この発明にかかるバキュームグローブボックスの構成を示す概略構成図である。
【図２】従来のバキュームグローブボックスの構成を示す概略構成図である。
【符号の説明】
【００２９】
１  本体真空引きバルブ
２  サイドボックス真空引きバルブ
３  第１の真空引きバルブ
４  本体ガス供給バルブ
５  サイドボックスガス供給バルブ
６  リーク弁
７  真空ポンプ
８  ガス供給部
１０  本体チャンバー
１１  サイドボックス
１２  手袋取付口
１３  ゴム手袋
３１  パイプ
３１ａ  真空パイプ
３１ｂ  真空パイプ
３２  パイプ
３３  パイプ
３２ａ  真空パイプ
３２ｂ  ガス供給パイプ
【図１】
2005081452.tif 000003
【図２】
2005081452.tif 000004