(57)【要約】【課題】  気体と共に液体を筒体の下部側から噴射させるようにして、流速のエネルギーを泡の発生には使用せず、渦の発生にのみ使用するようにしたことで、渦の圧力（遠心力）によって、気体の溶解を促進させた気体溶解方法及び気体溶解装置を提供する。【解決手段】  気体溶解装置は、液体を吸引吐出するポンプと、このポンプの吸引側及び／又は吐出側に溶解させる気体を注入する気体注入手段と、気体と攪拌された液体が流入され該気体の溶解を促進させる密閉溶解タンクと、この密閉溶解タンク内の液体を排出する排出配管とを備えた気体溶解装置であって、ポンプからの導通管を密閉溶解タンクの下部に、この密閉溶解タンク内で渦を巻くようにこの密閉溶解タンクの径の接線方向に配設したことである。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポンプにより汲み上げた液体に気体を注入するとともに、該気体を注入した液体を円筒形状の密閉溶解タンクの下部側からタンク内に渦を巻くように流入させ、発生する渦を利用して気体の溶解を促進することを特徴とする気体溶解方法。
【請求項２】
前記気体を溶解した液体を前記密閉溶解タンクの上部から排出することを特徴とする請求項１に記載の気体溶解方法。
【請求項３】
前記密閉溶解タンクの上部に溜まる未溶解気体を前記液体に注入される気体に還流することを特徴とする請求項１または２に記載の気体溶解方法。
【請求項４】
液体を吸引および吐出するポンプと、該ポンプの吸引側及び／又は吐出側において前記液体に溶解させるべき気体を注入する気体注入手段と、前記気体の前記液体への溶解を促進する円筒形状の密閉溶解タンクと、前記ポンプより吐出された液体を前記密閉溶解タンクに流入させる導通管と、前記密閉溶解タンク内の液体を排出する排出配管とを備えた気体溶解装置であって、前記導通管を前記密閉溶解タンクの下部にしかも流入する液体がこのタンク内で渦を巻くように配設したことを特徴とする気体溶解装置。
【請求項５】
前記密閉溶解タンクの上部側に前記排出配管を配設したことを特徴とする請求項４に記載の気体溶解装置。
【請求項６】
前記密閉溶解タンクの上部にこのタンク内に溜まった未溶解気体を前記気体注入手段に還流させる気体還流手段を設けたことを特徴とする請求項４または５に記載の気体溶解装置。
【請求項７】
前記密閉溶解タンクの上部にこのタンク内に溜まった未溶解気体を調節弁を備えた流量制限機構を介して大気中に放出する気体放出手段を設けたことを特徴とする請求項４乃至６のいずれかに記載の気体溶解装置。
【請求項８】
液体を吸引および吐出するポンプと、該ポンプの吸引側及び／又は吐出側において前記液体に溶解させるべき気体を注入する気体注入手段と、前記気体の前記液体への溶解を促進する円筒形状の密閉溶解タンクと、前記ポンプより吐出された液体を前記密閉溶解タンクに流入させる導通管と、前記密閉溶解タンク内の液体を排出する排出配管とを備えた気体溶解装置であって、前記密閉溶解タンクを上部で連通した２重円筒形状のタンクとするとともに、前記導通管を前記密閉溶解タンクにおける内側円筒の下部にしかも流入する液体がこのタンク内で渦を巻くように配設したことを特徴とする気体溶解装置。
【請求項９】
前記密閉溶解タンクにおける外側円筒の下部側に前記排出配管を配設したことを特徴とする請求項８に記載の気体溶解装置。
【請求項１０】
前記密閉溶解タンクの上部にこのタンク内に溜まった未溶解気体を前記気体注入手段に還流させる気体還流手段を設けたことを特徴とする請求項８または９に記載の気体溶解装置。
【請求項１１】
前記密閉溶解タンクの上部にこのタンク内に溜まった未溶解気体を調節弁を備えた流量制限機構を介して大気中に放出する気体放出手段を設けたことを特徴とする請求項８乃至１０のいずれかに記載の気体溶解装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、気体溶解方法及び気体溶解装置に関し、詳しくは液体（水など）中に効率良く、かつ制御性良く、気体（酸素、オゾンなど）を混合、溶解させる気体溶解方法及び気体溶解装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体プロセスではオゾンなどの気体を水などの液体中に溶解させ、機能水として使用している。又、排水処理施設や汚れた河川・湖沼等においては、予め空気や酸素等の気体を溶解した水を水中に放出することにより、水中の溶存酸素量を増大させて、微生物の活動を活発にして汚水の浄化を行う装置が知られている。
従来技術における気体溶解装置は、特開平９−１６８７７７号公報、特開平１１−２０７１６２号公報に開示されており、それは、図６に示すように、溶存酸素濃度が低い水を吸い上げるポンプ１１２と、ポンプ１１２の吸引側或いは吐出側に設けた空気、酸素、オゾン等の気体を注入する気体注入部１１３ａと、注入された気体と液体を攪拌させるラインミキサ１１４と、ラインミキサ１１４で攪拌された気体と液体を吐出するノズル１１５と、ノズル１１５からの攪拌された気体と液体を渦状態で受け入れる長尺な密閉溶解タンク１１６とからなり、導通管１１７には調節弁１１８ａが設けられ、密閉溶解タンク１１６の底部には液体を排出するための排出管１１９が設けられ、この排出管１１９には調節弁１１８ｂが設けられている。又、密閉溶解タンク１１６には、直接空気、酸素、オゾン等を注入する気体注入部１１３ｂを備えた構成になっている。
【０００３】
このような構造をした気体溶解装置は、溶存酸素濃度の低い原水をポンプ１１２にて汲み上げる。この時、ポンプ１１２の吸引側又は吐出側から酸素を注入する。注入された酸素ガスは、ポンプ１１２の羽根車や配管、ラインミキサ１１４などにより攪拌・破砕され、小さな気泡となる。
【０００４】
この気泡を含んだ水を円筒形をした密閉溶解タンク１１６内に渦を巻くように密閉溶解タンク１１６上部からノズル１１５を介して噴出する。
密閉溶解タンク１１６内の水は激しく泡立ちながら渦を巻く。渦の圧力により、酸素の溶解が進むと共に気泡として残っている未溶解の酸素ガスは水より質量が軽いために渦の中心部に集まり、これにより気液の分離が行なわれる。密閉溶解タンク１１６の上部には気体溜まりができ、気泡を含まない高溶存酸素濃度の水が排出管１１９より吐出する。
密閉溶解タンク１１６内の液面は、酸素ガスの供給量を調節（ＯＮ／ＯＦＦ）することにより、所定レベルに保たれる。
【０００５】
尚、ポンプ１１２の吸引側は通常負圧になっており、特に注入する仕掛けが無くとも酸素ガスを注入することができる。但し、過大なガス量を吸引させると、ポンプ１１２が泡噛み（キャビテーション）を起こしてしまい送液が不可能となる。小さなポンプ（せいぜい１００Ｌ／ｍｉｎ程度まで）を使用した場合でも送液量の５％以上のガスを吸引させることは難しい。又、大きなポンプでは、元々キャビテーションを起こし易いことから、吸引側に酸素ガスを注入することは行われない。
ポンプの吐出側に酸素を注入する場合は、ポンプの吐出圧より大きな圧力にて注入するか、又はエジェクタにより負圧にさせて吸引させる。
【０００６】
配管内の乱流だけでも酸素ガスは攪拌・破砕することはできるが、ラインミキサ１１４を設置すればより効率良く酸素を溶解することができる。但し、湖沼などの溶存酸素を向上させるために環境中の水を吸引し酸素を溶かす場合は、ラインミキサ１１４が詰まりの原因となることもあるので使用には注意が必要となる。
【０００７】
特開２００２−３４６３５１号公報に開示されている気体溶解装置は、図７に示すように、図６に示すものとほぼ同じ構成になっており、溶存酸素濃度が低い水を吸い上げるポンプ１１２と、ポンプ１１２の吸引側に、空気、酸素、オゾン等の気体を調節弁１１８ｅを介して注入する気体注入部１１３ｂと、気体注入部１１３ｂから調節弁１１８ｃを介して注入された気体と液体を攪拌させるラインミキサ１１４と、ラインミキサ１１４で攪拌された気体と液体を吐出するノズル１１５と、ノズル１１５からの攪拌された気体と液体を渦状態で受け入れる長尺な密閉溶解タンク１１６とからなり、導通管１１７には調節弁１１８ａが設けられ、密閉溶解タンク１１６の底部には液体を排出するための排出管１１９が設けられ、この排出管１１９には調節弁１１８ｂが設けられている。
そして、密閉溶解タンク１１６内にはノズル１１５からの液体が衝突する邪魔板１２０を備えた構成になっており、密閉溶解タンク１１６上部には大気を放出する流量制限機構である調節弁１１８ｄを備えた大気排出管１２１を備えた構成になっている。
【０００８】
このような構成からなる気体溶解装置は、密閉溶解タンク１１６内の水面下に配置された邪魔板１２０に向かって、ノズル１１５から水を噴出させることにより、邪魔板１２０への衝突圧力を利用すると共に激しく泡立てることにより酸素を溶解する。
【０００９】
【特許文献１】特開平９−１６８７７７号公報
【特許文献２】特開平１１−２０７１６２号公報
【特許文献３】特開２００２−３４６３５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ここで、従来技術で説明した気体溶解装置は、ノズルから放出された水流が水面に衝突する時の圧力エネルギーと、液面での泡立ちを良くすることで気液接触表面積が大きくなり、効率良く酸素を溶解している。
しかしながら、これらの方式は、水流が水面へ衝突する時の速度を大きくするためにノズルにより吐出径を絞っている為、圧力損失が発生し、エネルギー効率を低下させているという問題がある。
【００１１】
本発明は、水などの液体中に、酸素、オゾン等の気体を効率よく溶解させる装置を提供すると共に、溶解の為に必要とされるポンプの吐出圧力を下げ、エネルギー効率を上昇させると共に、供給ガスの再利用を図ることのできる装置を実現することを目的としたものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
このような目的を達成するために、本発明の気体溶解方法及び気体溶解装置は、次に示す構成を有するものである。
【００１３】
（１）気体溶解方法は、ポンプにより汲み上げた液体に気体を注入するとともに、該気体を注入した液体を円筒形状の密閉溶解タンクの下部側からタンク内に渦を巻くように流入させ、発生する渦を利用して気体の溶解を促進するようにしたことを特徴とする。
（２）前記気体を溶解した液体を前記密閉溶解タンクの上部から排出することを特徴とする（１）に記載の気体溶解方法。
（３）前記密閉溶解タンクの上部に溜まる未溶解気体を前記液体に注入される気体に還流することを特徴とする（１）または（２）に記載の気体溶解方法。
【００１４】
（４）気体溶解装置は、液体を吸引および吐出するポンプと、該ポンプの吸引側及び／又は吐出側において前記液体に溶解させるべき気体を注入する気体注入手段と、前記気体の前記液体への溶解を促進する円筒形状の密閉溶解タンクと、前記ポンプより吐出された液体を前記密閉溶解タンクに流入させる導通管と、前記密閉溶解タンク内の液体を排出する排出配管とを備えた気体溶解装置であって、前記導通管を前記密閉溶解タンクの下部にしかも流入する液体がこのタンク内で渦を巻くように配設したことを特徴とする。
（５）前記密閉溶解タンクの上部側に前記排出配管を配設したことを特徴とする（４）に記載の気体溶解装置。
（６）前記密閉溶解タンクの上部にこのタンク内に溜まった未溶解気体を前記気体注入手段に還流させる気体還流手段を設けたことを特徴とする（４）または（５）に記載の気体溶解装置。
（７）前記密閉溶解タンクの上部にこのタンク内に溜まった未溶解気体を調節弁を備えた流量制限機構を介して大気中に放出する気体放出手段を設けたことを特徴とする（４）乃至（６）のいずれかに記載の気体溶解装置。
【００１５】
（８）気体溶解装置は、液体を吸引および吐出するポンプと、該ポンプの吸引側及び／又は吐出側において前記液体に溶解させるべき気体を注入する気体注入手段と、前記気体の前記液体への溶解を促進する円筒形状の密閉溶解タンクと、前記ポンプより吐出された液体を前記密閉溶解タンクに流入させる導通管と、前記密閉溶解タンク内の液体を排出する排出配管とを備えた気体溶解装置であって、前記密閉溶解タンクを上部で連通した２重円筒形状のタンクとするとともに、前記導通管を前記密閉溶解タンクにおける内側円筒の下部にしかも流入する液体がこのタンク内で渦を巻くように配設したことを特徴とする。
（９）前記密閉溶解タンクにおける外側円筒の下部側に前記排出配管を配設したことを特徴とする（８）に記載の気体溶解装置。
（１０）前記密閉溶解タンクの上部にこのタンク内に溜まった未溶解気体を前記気体注入手段に還流させる気体還流手段を設けたことを特徴とする（８）または（９）に記載の気体溶解装置。
（１１）前記密閉溶解タンクの上部にこのタンク内に溜まった未溶解気体を調節弁を備えた流量制限機構を介して大気中に放出する気体放出手段を設けたことを特徴とする（８）乃至（１０）のいずれかに記載の気体溶解装置。
【発明の効果】
【００１６】
流速のエネルギーを泡の発生には使用せず、渦の発生にのみ使用することにより、渦の圧力（遠心力）によって、高いエネルギー効率で気体の溶解を促進することが可能になる。
又、未溶解のガスを気体注入箇所に還流させることにより、気体の有効利用を進めることができ、更に、酸素濃度が低下した気体溜まりの気体を溶解タンク外に放出することにより、溶解タンクから吐出される液体の溶存酸素濃度の低下を防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明に係る気体溶解装置の様々な実施形態について、図面を参照して、以下説明する。
【実施例１】
【００１８】
本願発明に係る第１の実施形態の気体溶解装置は、図１に示すように、溶存酸素濃度が低い液体である水を吸い上げるポンプ１２と、ポンプ１２の吸引側に設け、空気、酸素、オゾン等の気体を注入する気体注入部１３と、ポンプ１２からの攪拌された気体と液体を受け入れる長尺な密閉溶解タンク１６とからなり、密閉溶解タンク１６の下部側にポンプ１２からの液体を供給する吐出配管である注入管１５を備えた構成になっている。
ポンプ１２に連結された導通管１７は調節弁１８ｄを介在させている。
注入管１５は、密閉溶解タンク１６の径の接線方向に沿った位置に配設されており、これによりポンプ１２から吐出された液体が密閉溶解タンク１６内で渦を巻きながら上方向に巻き上がる。
又、密閉溶解タンク１６の上部には、液体を排出するための排出配管である排出管２５を備え、この排出管２５には調節弁１８ｅが設けられて、排出する液体の量を制御できる構成になっている。更に密閉溶解タンク１６の気体が溜まる上部位置に未溶解の気体を還流させる気体排出管２１を備え、途中から大気に開放する大気開放管２２、及び還流させる気体還流管２３を備えた構成になっている。これら大気開放管２２は調節弁１８ａを、気体還流管２３は調節弁１８ｂをそれぞれ介在させており、これらの調節弁１８ａ、１８ｂを制御することで、大気に開放するか又は還流させる気体の量を制御できる構成になっている。
気体注入部１３は、調節弁１８ｃを介在させて、ポンプ１２に気体を送り込む構成になっており、この調節弁１８ｃを調整することで、送り込む気体の量を制御し、所謂、泡噛み（キャビテーション）が起きないように制御する。
【００１９】
このような構成からなる気体溶解装置において、先ず、ポンプ１２で導通管１７を介して液体を吸引すると同時に、気体注入部１３からポンプ１２の吸引側に気体である酸素を注入する。また、この水は吐出配管である注入管１５を介して円筒形の密閉された密閉溶解タンク１６内に渦を巻くように、その下部から噴出される。ここで、図２に示すように、水を円筒の中心軸からずらして接線方向成分を持たせて噴出すれば、タンク内で渦を巻くことになる。
密閉溶解タンク１６内では、渦の圧力を利用して、酸素の溶解を進めるので、渦を巻く速度は速い必要がある。従って、ポンプ１２から吐出される水の流速から比べて密閉溶解タンク１６の径は小さい必要があるため、細長い形状となる。
密閉溶解タンク１６内では渦を巻いているため、気泡として残っている未溶解の酸素ガスは水より重さが軽いことから渦の中心部に集まり、未溶解ガスの分離が行われる。尚、図１に示すように、密閉溶解タンク１６の上部には未溶解ガスの気体溜まり２４ができる。また、密閉溶解タンク１６内では上部へ行くほど気体の溶解が進むので、上部に設けられた排出管２５からは、溶解の進んだ水（気体溶解水）が排出される。
【００２０】
未溶解ガスは徐々に増えるので、密閉された密閉溶解タンク１６内においては、その水面レベルは低下する。水面レベルが低下し続け、排出管２５の位置まで達すると未溶解ガスも水と一緒に放出されてしまうので、気体環流管２３を介して、気体溜まり２４の未溶解ガスをポンプ１２の吸引側に還流させたり、大気開放管２２を介して、気体溜まり２４の未溶解ガスを大気に放出し、水面レベルを一定以上に制御する。
密閉溶解タンク１６上部の気体溜まり２４の酸素ガスを再度気体注入部１３側に還流させることにより、酸素ガスの利用効率を高めることができる。
【００２１】
水の中には、通常、酸素の他に窒素や炭酸ガス等が溶け込んでいる。そこに、酸素ガスを溶け込ませると、今まで水に溶けていたこれらのガスが、気相への再放出を生じる。
又、使用する酸素ガスには、純酸素ガスを使用する場合もあるが、空気から酸素を濃縮するＰＳＡ（Ｐｒｅｓｓｕｒｅ  Ｓｗｉｎｇ  Ａｄｓｏｒｐｔｉｏｎ）方式や膜方式を使用することが多い。
ＰＳＡ方式は酸素濃度が９０〜９５％程度、膜方式は３０％程度の酸素富化ガスが得られる。
【００２２】
残りは、窒素やアルゴンが主な成分となる。これらのガスに比べて、酸素のほうが溶けやすいことから、未溶解のガスの酸素濃度は徐々に低下してくる。
従って、気体溜まり２４のガスを、密閉溶解タンク１６外に放出して、気体溜まり２４の酸素濃度低下を防止する必要がある。これには、気体溜まり２４の酸素濃度がある濃度以下になったら排出する方式、時間を決めて定期的に排出する方式、ある水位以下に密閉溶解タンク１６内の水位レベルが下がったら排出する方式がある。
【実施例２】
【００２３】
次に、本願発明に係る第２の実施形態の気体溶解装置について、図面を参照して説明する。
【００２４】
本願発明に係る第２の実施形態の気体溶解装置は、図３に示すように、液体への気体の注入をポンプ１２の吐出側でも行うようにしたものである。図において、前記図１と同様のものは同一符号を付して示す。ポンプ１２の吐出側にはラインミキサ１４が設けられ、ラインミキサ１４には第２の気体注入部１３ｂから気体が供給される。第２の気体注入部１３ｂは、調節弁１８ｆを介在させており、この調節弁１８ｆを調整することで、ラインミキサ１４に送り込む気体の量を制御する。
また、気体還流管２３は、ポンプ１２の吸引側に還流させる第１の還流管２６ａと、ラインミキサ１４に還流させる第２の還流管２６ｂとに分岐され、第１の還流管２６ａは調節弁１８ｂを介してポンプ１２に気体を還流させ、第２の還流管２６ｂは調節弁１８ｇを介してラインミキサ１４に気体を還流させる。
【００２５】
このような構成からなる気体溶解装置においては、ポンプ１２の吸引側で気体（酸素）をキャビテーション（泡噛み）させない程度で注入させるとともに、ポンプ１２の吐出側でも気体を注入し、ラインミキサ１４で乱流とすることにより、密閉溶解タンク１６に供給する以前に液体（水）に気体を効率よく混合させることができる。
【実施例３】
【００２６】
次に、本願発明に係る第３の実施形態の気体溶解装置について、図面を参照して説明する。
【００２７】
本発明に係る第３の実施形態の気体溶解装置は、密閉溶解タンクを二重管にして、第１の実施形態でのタンクの上部で発生するすり鉢状の液面が乱されないようにして渦の効果を十分に発揮させる構造にしたものである。
その構成を、図４に示す。図において、前記図１および図３と同様のものは同一符号を付して示す。
密閉溶解タンク１６Ａは、中央に設けた円筒形状の内側有底筒体２６と、この内側有底筒体２６の外側に所定の間隔を持って配置した外側有底筒体２７とからなる二重管で形成され、内側有底筒体２６から溢れた液体を外側有底筒体２７で受け入れるようにしたタンクである。
密閉溶解タンク１６Ａにおける内側有底筒体２６の下部側には、ポンプ１２からの吐出配管である注入管１５ａが配設され、外側有底筒体２７の下部側には、液体を排出するための排出配管である排出管２５ａが配設されている。また、密閉溶解タンク１６Ａの液体が溜まる上部位置には、未溶解の気体を還流させる気体排出管２１が配設されている。
【００２８】
このような構成からなる気体溶解装置においては、ポンプ１２から吐出された水は注入管１５ａを介して、密閉溶解タンク１６Ａの内側有底筒体２６内に噴出され、渦を巻きながら上部方向に移動する。また、内側有底筒体２６から溢れた水は外側有底筒体２７に流れ込み、外側有底筒体２７の下部位置に設けられた排出管２５ａを通して、気体溶解水として外部に排出される。
ここで、密閉溶解タンク１６Ａの内側有底筒体２６内では、渦の圧力を利用して、酸素の溶解を進めるので、渦を巻く速度は速い必要がある。従って、ポンプ１２から吐出される水の流速から比べて内側有底筒体２６の径は小さい必要があるため、細長い形状となる。
内側有底筒体２６内では渦を巻いているため、気泡として残っている未溶解の酸素ガスは水より重さが軽いことから渦の中心部に集まり、未溶解ガスの分離が行われる。尚、図４に示すように、密閉溶解タンク１６Ａの上部には未溶解ガスの気体溜まり２４ができる。
【００２９】
このように、密閉溶解タンク１６Ａを二重管とし、内側有底筒体２６の下部から水を噴出させ、外側有底筒体２７の下部から気体溶解水を排出するように構成すると、水の流路を延長し、気体の溶解をさらに促進させることができるとともに、気体溜まり２４の液面位置に関係なく、安定した排出量の気体溶解水を得ることができる。
なお、未溶解ガスの増加により気体溜まり２４の液面が低下しても、内側有底筒体２６内の液面は変化しないので、気体溜まり２４における液面の調整は、外側有底筒体２７における液面を監視することにより行われる。
また、内側有底筒体２６内の液面が変化しないので、内側有底筒体２６内で発生する渦を利用して、安定に気体の溶解を行うことができる。
【実施例４】
【００３０】
次に、本願発明に係る第４の実施形態の気体溶解装置について、図面を参照して説明する。
【００３１】
本発明に係る第４の実施形態の気体溶解装置は、図５に示すように、液体への気体の注入をポンプ１２の吸引側でも行うようにしたものである。図において、前記図３および図４と同様のものは同一符号を付して示す。ポンプ１２の吸引側および吐出側には第１の気体注入部１３ａおよび第２の気体注入部１３ｂから気体が供給される。また、気体還流管２３は、ポンプ１２の吸引側に還流させる第１の還流管２６ａと、ラインミキサ１４に還流させる第２の還流管２６ｂとに分岐され、第１の還流管２６ａは調節弁１８ｂを介してポンプ１２に気体を還流させ、第２の還流管２６ｂは調節弁１８ｇを介してラインミキサ１４に気体を還流させる。
【００３２】
このような構成からなる気体溶解装置においては、ポンプ１２の吸引側で気体（酸素）をキャビテーション（泡噛み）させない程度で注入させるとともに、ポンプ１２の吐出側でも気体を注入し、ラインミキサ１４で乱流とすることにより、密閉溶解タンク１６に供給する以前に液体（水）に気体を効率よく混合させることができる。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
気体と共に液体を筒体の下部側から噴射させるようにして、流速のエネルギーを泡の発生には使用せず、渦の発生にのみ使用するようにしたことで、渦の圧力（遠心力）によって、高いエネルギー効率で気体の溶解を促進することが可能になる。
又、未溶解のガスを気体注入箇所に還流させることにより、気体の有効利用を進めることができ、更に、酸素濃度が低下した気体溜まりの気体を溶解タンク外に放出することにより、溶解タンクから吐出される液体の溶存酸素濃度の低下を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本願発明に係る第１の実施形態の気体溶解装置の構造を示した説明図である。
【図２】同、密閉溶解タンクを上部からみた説明図である。
【図３】本願発明に係る第２の実施形態の気体溶解装置の構造を示した説明図である。
【図４】本願発明に係る第３の実施形態の気体溶解装置の構造を示した説明図である。
【図５】本願発明に係る第４の実施形態の気体溶解装置の構造を示す説明図である。
【図６】従来技術における気体溶解装置の構造を示す説明図である。
【図７】従来技術における気体溶解装置の構造を示す説明図である。
【符号の説明】
【００３５】
１２      ポンプ
１３      気体流入部
１３ａ    第１の気体流入部
１３ｂ    第２の気体流入部
１４      ラインミキサ
１５      注入管
１５ａ    注入管
１５ｂ    注入管
１６      密閉溶解タンク
１６Ａ    密閉溶解タンク
１６Ｂ    密閉溶解タンク
１７      導通管
１８ａ    調節弁
１８ｂ    調節弁
１８ｃ    調節弁
１８ｄ    調節弁
１８ｅ    調節弁
１８ｆ    調節弁
１８ｇ    調節弁
２１      排出管
２２      大気開放管
２３      気体還流管
２４      気体溜まり
２５      排出管
２５ａ    排出管
２５ｂ    排出管
【図１】
2005161174.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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