(57)【要約】      （修正有）【課題】大型のシート材であってもより少ないスペース及びエネルギーで搬送可能なシート材搬送装置と、このシート材搬送装置を備えた画像記録装置を得る。【解決手段】シート材搬送装置２０の搬送用ボックス２８には、シート材１８の幅方向両端近傍位置に、それぞれ１つずつ搬送部材３０が設けられている。搬送部材３０の搬送ベルト３６の循環により、シート材１８に搬送力を作用させる。搬送用ボックス２８の幅方向中央には複数の空気噴出し口４８が形成され、エアーにより、シート材１８は幅方向中央が搬送用ボックス２８からわずかに浮き上がって非接触の状態で保持される。シート材１８を非接触の状態で支持して搬送できるので搬送抵抗が少なくなり、大型のシート材であってもより少ないスペース及びエネルギーで搬送できる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート材を搬送しつつ画像記録する画像記録装置に用いられるシート材搬送装置であって、
シート材の片側の面の一部に対して、この面に沿った方向に搬送力を作用させる搬送部材と、
シート材に対して非接触で、シート材に法線方向に保持力を作用させてシート材を保持する保持部材と、
を有することを特徴とするシート材搬送装置。
【請求項２】
前記搬送部材が、シート材の搬送方向と直交する幅方向に複数配置されていることを特徴とする請求項１に記載のシート材搬送装置。
【請求項３】
前記搬送部材が、シート材に対する画像記録領域を搬送方向と直交する幅方向に延長した領域内に配置されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のシート材搬送装置。
【請求項４】
前記保持部材が、シート材に対する画像記録領域を搬送方向と直交する幅方向に延長した領域内に配置されていることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかに記載のシート材搬送装置。
【請求項５】
シート材に対する画像記録領域の外部に配置され、シート材に対して非接触で、シート材に法線方向に保持力を作用させてシート材を保持する第２保持部材、
を有することを特徴とする請求項１〜請求項４のいすれかに記載のシート材搬送装置。
【請求項６】
前記搬送部材が、シート材を吸着しつつ循環して搬送する吸着ベルト機構であることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれかに記載のシート材搬送装置。
【請求項７】
前記搬送部材が、シート材の法線方向へ接離可能で、かつシート材の搬送方向に移動可能とされた吸着パッドであることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれかに記載のシート材搬送装置。
【請求項８】
前記搬送部材が、画像記録装置の本体に支持される被支持部と、シート材に吸着する吸着部と、前記吸着部を前記被支持部に対してシート材の搬送方向へと往復動させる駆動部と、を備えた搬送アクチュエータであることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれかに記載のシート材搬送装置。
【請求項９】
前記搬送部材が、シート材に対して静電気力を切り替えて搬送する静電搬送部材であることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれかに記載のシート材搬送装置。
【請求項１０】
前記搬送部材が、超音波モータからの搬送力でシート材を搬送する超音波搬送部材であることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれかに記載のシート材搬送装置。
【請求項１１】
前記保持部材が、
シート材に対向配置される平板部材と、
前記平板部材に設けられシート材を平板部材から離間させる空気を噴出す空気噴出し口と、
を備えていることを特徴とする請求項１〜請求項１０のいずれかに記載のシート材搬送装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載のシート材搬送装置であって、
前記保持部材が、前記平板部材に設けられ空気を吸引することでシート材を平板部材に吸着する吸引口、をさらに有することを特徴とするシート材搬送装置。
【請求項１３】
請求項１１又は請求項１２に記載のシート材搬送装置であって、
前記保持部材が、シート材を静電力で吸引する静電吸引部材、をさらに有することを特徴とするシート材搬送装置。
【請求項１４】
請求項１〜請求項１３のいずれかに記載のシート材搬送装置と、
画像情報に応じて光源から照射された光を、前記シート材搬送装置によって搬送されるシート材に照射する露光ヘッドと、
を有することを特徴とする画像記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート材搬送装置及び画像記録装置に関し、さらに詳しくは、シート材を搬送しつつ画像記録する画像記録装置に用いられるシート材搬送装置と、このシート材搬送装置を備えた画像記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、画像記録装置の一例として、ステージ上に保持されたシート材を一定の搬送速度で搬送しつつ、シート材に光ビームで露光を行って画像を記録するものがある。このような画像記録装置では、シート材をステージに固定して搬送するため、高精度の搬送を容易に実現できるが、シート材が大きくなると、これに伴ってステージも大きくする必要があり、効率的な搬送が難しくなる。また、ステージは一般にレールや定盤などに支持されているが、ステージの大型化によってこれらの部材も大型になってしまう。
【０００３】
これに対し、特許文献１には、搬送ベルトに対してシートを静電吸着力により吸着して搬送するシート搬送装置が開示されている。しかしながら、このような搬送装置では、静電吸着力発生手段とシートとの間にベルトが介在しているため、シートの幅を広くすると、これに伴って幅広になったベルトと静電吸着力発生手段との摩擦抵抗が大きくなる。したがって、大型（幅広）のシート材の搬送を効率的に行うことは難しい。
【特許文献１】特開２００１−２４０２６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は上記事実を考慮し、大型のシート材であってもより少ないスペース及びエネルギーで搬送可能なシート材搬送装置と、このシート材搬送装置を備えた画像記録装置を得ることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１に記載の発明では、シート材を搬送しつつ画像記録する画像記録装置に用いられるシート材搬送装置であって、シート材の片側の面の一部に対して、この面に沿った方向に搬送力を作用させる搬送部材と、シート材に対して非接触で、シート材に法線方向に保持力を作用させてシート材を保持する保持部材と、を有することを特徴とする。
【０００６】
このシート材搬送装置では、搬送部材の搬送力がシート材に作用され、シート材がその面に沿った方向に搬送される。また、保持部材の保持力がシート材の法線方向に作用してシート材が保持される。ここで、搬送部材は、シート材の片側の面の一部に対してのみ搬送力を作用させており、保持部材はシート材を非接触で保持している。したがって、シート材を保持する際の摩擦抵抗が小さくなり、たとえ大型（幅広）のシート材であっても、小さなエネルギーで搬送できる。従来のように、シート材を搬送するためのステージが不要で、ステージを支持するための部材も不要となるので、シート材搬送装置として小型化を図ることも可能となる。
【０００７】
請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の発明において、前記搬送部材が、シート材の搬送方向と直交する幅方向に複数配置されていることを特徴とする。
【０００８】
すなわち、搬送部材は、シート材の幅方向に１つのみ配置されていてもよいが、複数配置すると、より安定的に搬送できる。
【０００９】
請求項３に記載の発明では、請求項１又は請求項２に記載の発明において、前記搬送部材が、シート材に対する画像記録領域を搬送方向と直交する幅方向に延長した領域内に配置されていることを特徴とする。
【００１０】
画像記録装置においては、シート材に画像を記録する際に高い搬送精度が要求される。搬送部材を、画像記録領域を搬送方向と直交する幅方向に延長した領域、すなわち、もっとも精度要求が高い領域に配置することで、画像記録時に画像記録領域近傍のシート材を高い搬送精度で搬送することが可能となる。
【００１１】
請求項４に記載の発明では、請求項１〜請求項３のいずれかに記載の発明において、前記保持部材が、シート材に対する画像記録領域を搬送方向と直交する幅方向に延長した領域内に配置されていることを特徴とする。
【００１２】
保持部材を、画像記録領域を搬送方向と直交する幅方向に延長した領域に配置することで、画像記録時に画像記録領域近傍のシート材をより確実に保持することができる。
【００１３】
請求項５に記載の発明では、請求項１〜請求項４のいずれかに記載の発明において、シート材に対する画像記録領域の外部に配置され、シート材に対して非接触で、シート材に法線方向に保持力を作用させてシート材を保持する第２保持部材、を有することを特徴とする。
【００１４】
画像記録領域外においても第２保持部材によってシート材を保持するので、より安定して保持することが可能となる。第２保持部材もシート材に対して非接触なので、シート材の搬送抵抗は増大せず、小さなエネルギーで搬送できる。
【００１５】
請求項６に記載の発明では、請求項１〜請求項５のいずれかに記載の発明において、前記搬送部材が、シート材を吸着しつつ循環して搬送する吸着ベルト機構であることを特徴とする。
【００１６】
搬送部材として吸着ベルト機構を使用すると、ベルト位置の検出が可能であるため、制御を容易に行うことができる。また、簡単且つ低コストの構成とすることができる。
【００１７】
請求項７に記載の発明では、請求項１〜請求項５のいずれかに記載の発明において、前記搬送部材が、シート材の法線方向へ接離可能で、かつシート材の搬送方向に移動可能とされた吸着パッドであることを特徴とする。
【００１８】
搬送部材として吸着パッドを使用すると、特に高い搬送精度で搬送することができる。また、吸着パッドの位置を容易に検出できるので、この検出結果を基にして、さらに高精度で搬送することも可能となる。
【００１９】
請求項８に記載の発明では、請求項１〜請求項５のいずれかに記載の発明において、前記搬送部材が、画像記録装置の本体に支持される被支持部と、シート材に吸着する吸着部と、前記吸着部を前記被支持部に対してシート材の搬送方向へと往復動させる駆動部と、を備えた搬送アクチュエータであることを特徴とする。
【００２０】
この搬送アクチュエータでは、駆動部により、吸着部を被支持部に対して往復動させるだけでシート材を搬送できるので、搬送部材をコンパクトに構成できる。
【００２１】
請求項９に記載の発明では、請求項１〜請求項５のいずれかに記載の発明において、前記搬送部材が、シート材に対して静電気力を切り替えて搬送する静電搬送部材であることを特徴とする。
【００２２】
したがって、シート材を完全非接触で搬送することができる。
【００２３】
請求項１０に記載の発明では、請求項１〜請求項５のいずれかに記載の発明において、前記搬送部材が、超音波モータからの搬送力でシート材を搬送する超音波搬送部材であることを特徴とする。
【００２４】
したがって、搬送部材を超音波モータのみでコンパクトに構成できる。
【００２５】
請求項１１に記載の発明では、請求項１〜請求項１０のいずれかに記載の発明において、前記保持部材が、シート材に対向配置される平板部材と、前記平板部材に設けられシート材を平板部材から離間させる空気を噴出す空気噴出し口と、を備えていることを特徴とする。
【００２６】
したがって、空気噴出し量を増減することで、シート材の保持高さを調整できる。しかも、平板部材に空気噴出し口を設けるだけなので、簡単かつ安価に構成できる。
【００２７】
請求項１２に記載の発明では、請求項１１に記載のシート材搬送装置であって、前記保持部材が、前記平板部材に設けられ空気を吸引することでシート材を平板部材に吸着する吸引口、をさらに有することを特徴とする。
【００２８】
したがって、空気噴出し量と空気吸引量とを適切にバランスさせることで、より高精度にシート材の保持高さを調整できる。
【００２９】
請求項１３に記載の発明では、請求項１１又は請求項１２に記載のシート材搬送装置であって、前記保持部材が、シート材を静電力で吸引する静電吸引部材、をさらに有することを特徴とする。
【００３０】
静電力でシート材を吸引してバランスを取ることができるので、静電力の応答性を利用してシート材の保持位置（浮上位置）を高速で制御可能となる。
【００３１】
請求項１４に記載の発明では、請求項１〜請求項１３のいずれかに記載のシート材搬送装置と、画像情報に応じて光源から照射された光を、前記シート材搬送装置によって搬送されるシート材に照射する露光ヘッドと、を有することを特徴とする。
【００３２】
シート材搬送装置によってシート材を搬送しつつ、露光ヘッドから光を照射して露光することができる。請求項１〜請求項１３のいずれかに記載のシート材搬送装置を用いているので、小さなエネルギーで搬送できると共に、小型化を図ることも可能となる。
【発明の効果】
【００３３】
本発明は上記構成としたので、大型のシート材であってもより少ないスペース及びエネルギーで搬送できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
図１（Ａ）及び（Ｂ）には、本発明の第１実施形態のシート材搬送装置２０を備えた画像記録装置１２が示されている。この画像記録装置１２は、搬送部１４と記録部１６とで構成されており、感光材料であるシート材１８を所定の搬送速度で矢印Ｆ方向に搬送（走査）しつつ、その表面に光ビームによって画像を記録する。以下、単に「搬送方向」というときはシート材１８の搬送方向と同方向をいい、単に「幅方向」というときはシート材１８の幅方向（矢印Ｗ方向）と同方向をいう。また、記録部１６によってシート材１８に画像が記録される領域を記録領域８０という。
【００３５】
搬送部１４は、２枚の平行な支持板２２が立設されており、この支持板２２の間に、搬送方向に沿って順に上流側からシート材支持ガイド２４、シート材搬送装置２０及びシート材支持ガイド２６が配置されている。シート材搬送装置２０は、記録領域８０内に一部が位置するように配置され、シート材支持ガイド２４、２６は記録領域８０の外部に配置されている。
【００３６】
シート材搬送装置２０は、図２（Ａ）及び（Ｂ）に詳細に示すように、箱状の搬送用ボックス２８を備えている。搬送用ボックス２８は、平面視にて長方形状に形成されており、搬送用ボックス２８の長手方向がシート材１８の幅方向と一致するように配置されている。搬送用ボックス２８の幅Ｗ１は、搬送されるシート材１８の幅Ｗ２よりも長くされている。なお、本実施形態では、大型（幅広）のシート材への画像記録を想定して画像記録装置１２を構成しており、シート材１８の幅Ｗ２に十分対応できるだけの幅Ｗ１を搬送用ボックス２８は有している。
【００３７】
搬送用ボックス２８の幅方向両端近傍には、それぞれ１つずつ搬送部材３０が設けられている。搬送部材３０のそれぞれは、駆動ローラ３２及び従動ローラ３４に巻きかけられた無端状の搬送ベルト３６を有している。図示しない駆動源からの駆動力を受けて駆動ローラ３２が回転し、搬送ベルト３６が循環する。
【００３８】
それぞれの搬送ベルト３６は、幅方向中央に複数の吸引孔４０が形成されており、搬送ベルト３６内に配置された吸引ダクト３８から吸引孔４０を通して空気が吸引される。
【００３９】
搬送ベルト３６の上面は、搬送用ボックス２８の上面よりもわすかに上方に位置しており、シート材１８の幅方向両端近傍の部分に接触する。吸引孔４０から空気が吸引されると、シート材１８が搬送ベルト３６に吸着される。そしてこの状態で搬送ベルト３６が循環すると、シート材１８の面に沿った方向に、搬送ベルト３６から搬送力が作用される。
【００４０】
搬送ベルト３６の幅方向端部には、循環方向に一定間隔でマーク４２が付けられており、マーク４２の上方にはマーク検出センサー４４が配置されている。マーク検出センサー４４で読み取ったマーク４２の移動速度から搬送ベルト３６の循環速度を知り、駆動ローラ３２の回転速度を制御できるようになっている。
【００４１】
図１４（Ａ）にも示すように、搬送用ボックス２８の幅方向中央は平面状の平板部４６とされており、図示しないポンプから送られたエアーが噴出される複数の空気噴出し口４８が形成されている。このエアーにより、シート材１８は幅方向中央が搬送用ボックス２８からわずかに浮き上がって非接触の状態で保持される。なお、平板部４６と空気噴出し口４８とで、本発明の保持部材５６が構成されている。
【００４２】
シート材搬送装置２０の上流側及び下流側に配置されたシート材支持ガイド２４、２６は略同一の構成とされており、図１（Ａ）から分かるように、シート材１８のうち、シート材搬送装置２０で支持されていない部分の略全部を支持可能な支持ボックス５２を有している。図３に詳細に示すように、支持ボックス５２の上面には複数の空気噴出し孔５０が形成されており、シート材搬送装置２０の空気噴出し口４８と同様に、図示しないポンプからのエアーを噴出して、シート材１８を非接触で支持可能とされている。
【００４３】
図４（Ｂ）には、記録部１６の構成が示されている。記録部１６は、複数の露光ヘッド６４で構成された露光ヘッドユニット６２を備えている。それぞれの露光ヘッド６４からは、一定速度で搬送されるシート材１８に対し、所定のタイミングで光ビームを照射して、シート材１８を露光することができるようになっている。
【００４４】
露光ヘッド６４は、図５にも示すように、入射された光ビームを画像データに応じて各画素ごとに変調するＤＭＤ（デジタル・マイクロミラー・デバイス）６６を備えている。ＤＭＤ６６は図６に示すように、ＳＲＡＭセル（メモリセル）６８上に、微小ミラー（マイクロミラー）７０が支柱により支持されて配置されたものであり、画素（ピクセル）を構成する多数のの微小ミラーを格子状に配列して構成されたミラーデバイスである。各ピクセルには、最上部に支柱に支えられたマイクロミラー７０が設けられており、マイクロミラー７０の表面にはアルミニウム等の反射率の高い材料（たとえば反射率９０％以上）が蒸着されている。マイクロミラー７０の直下には、ヒンジ及びヨークを含む支柱を介して通常の半導体メモリの製造ラインで製造されるシリコンゲートのＣＭＯＳのＳＲＡＭセル６８が配置されており、全体はモノリシック（一体型）に構成されている。
【００４５】
ＤＭＤ６６のＳＲＡＭセル６８にデジタル信号が書き込まれると、支柱に支えられたマイクロミラー７０が、対角線を中心としてＤＭＤ６６が配置された基板側に対して±α度（例えば±１０度）の範囲で傾けられる。図６（Ａ）は、マイクロミラー７０がオン状態である＋α度に傾いた状態を示し、図６（Ｂ）は、マイクロミラー７０がオフ状態である−α度に傾いた状態を示す。従って、画像信号に応じて、ＤＭＤ６６の各ピクセルにおけるマイクロミラー７０の傾きを図５に示すように制御することによって、ＤＭＤ６６に入射された光はそれぞれのマイクロミラー７０の傾き方向へ反射される。
【００４６】
図４（Ｂ）に示すように、複数の露光ヘッド６４は、ｍ行ｎ列（たとえば図示した例では２行５列）の略マトリックス状に配列されており、これら複数の露光ヘッド６４が、シート材１８を幅方向全域で露光可能となるように配置される。
【００４７】
１つの露光ヘッド６４による露光エリア７４は、走査方向に対して傾斜しており、走査線の間隔を密にして、より高い解像度が得られるようになっている。そして、シート材１８の搬送（走査）に伴い、図４（Ａ）に示すように、シート材１８に露光ヘッド６４ごとに帯状の露光領域が隙間無く形成される。
【００４８】
記録部１６には、露光ヘッド６４の上流側に、検知センサー７２が設けられている。検知センサー７２は、たとえばシート材１８の先端や後端を検出可能とされており、検出された位置データを基に、所定のタイミングで露光ができるように、露光ヘッド６４が制御される。
【００４９】
このような構成とされた本実施形態の画像記録装置１２を使用して、シート材１８に画像を記録する場合、図１（Ａ）に示すように、シート材１８の先端部分（搬送方向下流側の部分）がシート材搬送装置２０上に位置し、他の部分が、上流側のシート材支持ガイド２４上に位置するようにシート材１８がセットされる。図示しないポンプの駆動により、搬送ベルト３６の吸引孔４０からは空気が吸引され、シート材１８が部分的に吸着される。また、空気噴出し口４８、及び空気噴出し孔５０からは空気が噴出されるので、シート材１８はこの部分では平板部４６及びシート材支持ガイド２４とは非接触で支持される。このとき、空気噴出し口４８、及び空気噴出し孔５０からの空気噴出し量を増減することで、シート材１８の保持高さを調整できる。
【００５０】
この状態で、搬送ベルト３６が循環されると、搬送ベルト３６からシート材１８に搬送力が作用し、シート材１８が搬送される。このとき、シート材１８のうち、吸引孔４０によって吸引されている部分以外は、平板部４６やシート材支持ガイド２４に対して非接触となっており、シート材１８の搬送に抵抗が作用していない。したがって、きわめて低い搬送抵抗（実質的に搬送抵抗なし）となり、小さなエネルギーでシート材１８を搬送できる。なお、搬送ベルト３６の循環速度は、マーク４２をマーク検出センサー４４が読み取ることで検出され、一定の循環速度となるように制御される。このため、シート材１８も一定の搬送速度で搬送することができる。
【００５１】
シート材１８をこのようにして搬送しつつ、記録部１６ではシート材１８に対して変調された光ビームを照射して露光し、画像記録を行う。記録部１６による記録領域８０において、シート材１８をシート材搬送装置２０で支持しつつ搬送しているので、高い搬送精度が要求さえる記録時に、高精度で搬送できる。さらに、記録領域８０の外部においても、シート材支持ガイド２４、２６によってシート材１８を安定的に支持することができる。
【００５２】
シート材１８は搬送されるにしたがって、先端から順次、下流側のシート材支持ガイド２６上に位置するが、このシート材支持ガイド２６の空気噴出し孔５０からも空気が噴出されているので、シート材１８はシート材支持ガイド２６に非接触で支持される。したがって、シート材１８の搬送及び画像記録が終了するまで、搬送に抵抗が生じることはなく、小さなエネルギーで搬送できる。
【００５３】
このように、本実施形態のシート材搬送装置２０では、搬送時の摩擦抵抗が小さくなるので、たとえ大型（幅広）のシート材であっても、小さなエネルギーで搬送できる。また、従来のように、シート材を搬送するためのステージが不要となり、さらに、ステージを支持したり駆動したりするための部材も不要となるので、シート材搬送装置２０として小型化できる。
【００５４】
特に、本実施形態では、搬送部材として、吸引孔４０が形成された搬送ベルト３６（吸着ベルト機構）を使用しているので、簡単且つ低コストの構成で、上記のように搬送ベルト３６の循環位置を検出して、制御を容易に行うことができる。
【００５５】
なお、本発明の搬送部材としては、シート材を一定の搬送速度で確実に搬送できる構成であればよく、上記したもの以外にも、以下に示す各実施形態のものを挙げることができる。以下において、画像記録装置の全体的構成は第１実施形態と同様であるので詳細な説明を省略し、第１実施形態と異なる部分のみ説明する。また、第１実施形態と同一の構成要素、部材などについては同一符号を付して、説明を省略する。
【００５６】
図７に示す第２実施形態の搬送部材８２では、幅方向両端近傍に２つずつ、合計で４つの吸着パッド８４を有している。図７（Ｃ）にも詳細に示すように、吸着パッド８４を保持する吸着パッド保持部材８６は、レール８８によって搬送方向と同方向に移動可能に支持され、さらにリニアモータ９０からの駆動力を受けて搬送方向と同方向に移動するようになっている。レール８８に対する被支持部分にはリニアエンコーダ９２が設けられており、吸着パッド保持部材８６の移動に伴う所定パルスを検出してリニアモータ９０を制御し、一定の移動速度で吸着パッド８４が移動するようになっている。さらに、吸着パッド保持部材８６は、たとえばピエゾ素子を備えた昇降機構９４によって昇降するようになっている。上昇位置では吸着パッド８４は平板部４６よりも上方に位置し、シート材１８と接触可能であるが、降下位置では平板部４６よりも下方に位置し、シート材１８に接触しなくなる。なお、図示しない回路基板と吸着パッド保持部材とはケーブルベア９６によって接続されており、電力供給や制御信号の送受信がこのケーブルベア９６と通じて行われる。
【００５７】
このような構成とされた第２実施形態では、幅方向一端側の搬送部材８２の吸着パッドの１つ（符号８２Ａで示す）と、幅方向他端側の搬送部材８２の吸着パッド８４の１つ（同じく符号８２Ａで示す）が組として同期され、他方の吸着パッド８４（符号８２Ｂで示す）とが組として同期される。
【００５８】
シート材１８の搬送時には、吸着パッド８４Ａが上昇すると共に搬送方向上流側に位置し、吸着パッド８４Ｂが降下すると共に搬送方向下流側に位置する。そして、シート材１８の幅方向両端近傍が、まず吸着パッド８４Ａに吸着された状態で、吸着パッド８４Ａが搬送方向に移動して、シート材１８が搬送される。吸着パッド保持部材８６の移動に伴うリニアエンコーダ９２からの所定パルスを検出してリニアモータ９０が制御されるので、吸着パッド８４を高精度で一定の移動速度に維持できる。このとき、吸着パッド８４Ｂは降下した状態（シート材１８とは非接触）を維持しつつ、搬送方向上流側へと移動する。
【００５９】
吸着パッド８４Ａが搬送方向下流側に至ると共に吸着パッド８４Ｂが搬送方向上流側に至ると、吸着パッド８４Ａは降下してシート材１８から離れ、吸着パッド８４Ｂは上昇してシート材１８に接触する。そして、吸着パッド８４Ｂが搬送方向下流側へ移動すると共に、吸着パッド８４Ａが搬送方向上流側へと戻る。このように、２組の吸着パッド８４Ａ、８２Ｂを循環させることで、連続的にシート材１８を搬送できる。
【００６０】
特に、第２実施形態では、搬送部材として吸着パッド８４を使用しているので、特に高い搬送精度で搬送することができる。
【００６１】
図８に示す第３実施形態の搬送部材１０２では、幅方向両端に、搬送方向に沿って並ぶワーム型アクチュエータ１０４が用いられている。図９にも詳細に示すように、ワーム型アクチュエータ１０４は、２つの吸着パッド１０６Ａ、１０６Ｂが積層型ピエゾ素子１０８にで連結されて構成されており、積層型ピエゾ素子１０８は印加される電圧に応じて、搬送方向と同方向に伸縮する。これにより、吸着パッド１０６Ａ、１０６Ｂ接近又は離間する。吸着パッド１０６Ａ、１０６Ｂはそれぞれ独立して昇降機構１１０に支持されている。
【００６２】
したがって、第３実施形態では、それぞれのワーム型アクチュエータ１０４の、搬送方向上流側の吸着パッド１０６Ａのみでシート材１８を吸着させた状態で積層型ピエゾ素子１０８を伸ばし、次に、搬送方向下流側の吸着パッド１０６Ｂのみでシート材１８を吸着させた状態で積層型ピエゾ素子１０８を縮める。以上の動作を繰り返すことで、シート材１８を搬送することができる。
【００６３】
なお、ワーム型アクチュエータ１０４の数は、シート材１８を確実に搬送できれば特に限定されないが、１つの搬送部材１０２（幅方向の一端側）において、搬送方向に沿って少なくとも２つ設けられていると、シート材１８を安定して搬送することができるので好ましく、図８（Ａ）及び（Ｂ）に示したように３つ（あるいはそれ以上）とすることがより好ましい。いずれの構成であっても、駆動部（積層型ピエゾ素子１０８）によって吸着パッド１０６Ａ、１０６Ｂを移動させるだけのコンパクトな構成で、シート材１８を搬送できる。
【００６４】
図１０に示す第４実施形態の搬送部材１２２では、非導電性のシート材を搬送するために使用されるものであり、幅方向両端にそれぞれ、２枚の櫛歯状の電極部材１２４Ａ、１２４Ｂが配置されている。電極部材１２４Ａ、１２４Ｂは、電極１２６が搬送方向に交互に位置するように配置されている。
【００６５】
したがって、第４実施形態では、電極部材１２４Ａ、１２４Ｂごとに、電極１２６の正負を交互に切り替えることで、シート材を引付けつつ搬送力を作用させることができる。しかも、シート材１８を完全非接触で搬送できる。
【００６６】
図１１に示す第５実施形態の搬送部材１３２では、幅方向両端近傍に設けられたリニア型の超音波モータ１３４と、さらにその幅方向両側に設けられた吸引口１３６とを有している。超音波モータ１３４は、ピエゾ素子と弾性部材（いずれも図示省略）とを含んで構成されており、圧電素子の弾性振動による摩擦力が、シート材１８との接触部分において搬送力に変換される。吸引口１３６からは、図示しないポンプによって空気が吸引され、シート材１８を吸引することができる。なお、吸引口１３６が設けられた部分では、搬送用ボックス２８の上面の高さが、平板部４６よりもわずかに高い吸着部１３８とされている。
【００６７】
したがって、第５実施形態では、吸引口１３６によってシート材１８を吸着部１３８に吸着しながら、超音波モータ１３４を駆動して搬送力を作用させ、シート材１８を搬送することができる。しかも、搬送部材を超音波モータ１３４のみでコンパクトに構成できる。
【００６８】
なお、上記した第２〜第５実施形態の各構成では、第１実施形態のようなマーク４２を搬送部材に付けることが難しい場合もある。この場合には、図１２に示す画像記録装置１２’のように、検知センサー７２の上流側に、マーク付着装置７６を設けてもよい。マーク付着装置７６としては、たとえばインクジェット方式によってシート材１８に図１３に示すようなインク滴のドットパターン７８を記録するものを適用できる。このドットパターン７８を検知センサー７２で読み取ってシート材１８の搬送速度等を検知し、一定の搬送速度となるように搬送部材を制御することができる。ドットパターンは、シート材１８の搬送速度を検知できれば特に限定されないが、たとえば、図１３に示したドットパターン７８では、幅方向にも所定の間隔があくようなパターンとしており、幅方向でのシート材１８のずれも検知できるようになっている。また、このドットパターン７８では、大小のドットを混在させることで、より正確な搬送速度検知が可能とされている。なお、ここで使用するインクとしては、たとえばシート材１８の現像処理工程においてシート材１８の表面から除去される種類のものを選択すればよい。
【００６９】
上記した各実施形態では、搬送部材がシート材搬送装置の幅方向両端近傍に１つずつ、合計で２つ設けられたものを例にあげたが、搬送部材の数や位置はこれに限定されない。たとえば、シート材１８を確実に搬送することが可能であれば、幅方向の中央に１つのみ配置する構成でもよい。ただし、シート材１８の搬送速度を高精度に維持して安定的に搬送するためには、本発明の各実施形態のように、少なくとも２つの搬送部材を幅方向両端近傍に配置することが好ましい。
【００７０】
本発明の保持部材としても、上記したものに限定されず、以下の図１４（Ｂ）に示す構成や、図１４（Ｃ）に示す構成のものを採用することができる。
【００７１】
図１４（Ｂ）に示す保持部材１５２では、空気噴出し口４８に加えて、空気吸引口１５４が設けられており、シート材１８に対して吸引力を作用させることもできるようになっている。したがって、シート材１８に対し、空気噴出し口４８からの空気噴出しによる支持力と、空気吸引口１５４からの空気吸引による吸引力とを微調整して、より正確にシート材を所望の高さに保持できる。
【００７２】
図１４（Ｃ）に示す保持部材１６２では、図１４（Ｃ）の空気吸引口１５４に代えて、電極１６４が配置されれており、電極１６４への電圧印加によって静電的にシート材１８を引付けることができる。したがって、この例においても、空気噴出し口４８からの空気噴出しによる支持力と、電極１６４からの静電引力とを微調整して、より正確にシート材を所望の高さに正確に保持できる。特に、静電力でシート材１８を吸引してバランスを取ることができるので、静電力の応答性を利用してシート材１８の保持位置（浮上位置）を高速で制御可能となる。
【００７３】
また、上記各実施形態では、シート材１８を記録部１６と反対側（下側）から支持して搬送するものを例にあげたが、図１５に示す画像記録装置１２”のように、記録部１６と同じ側（上側）から支持して搬送する構成でもよい。この構成では、記録部１６とシート材１８との間にシート材搬送装置が位置することになるので、記録部１６からの光ビームの光路を避けた位置にシート材搬送装置を配置したり、あるいは光ビームが通過可能となるようにシート材搬送装置の一部を光透過性の高い材料で構成したりすればよい。
【００７４】
上記では、空間光変調素子であるＤＭＤを備えた露光ヘッド６４を挙げたが、このような反射型空間光変調素子の他に、透過型空間光変調素子（ＬＣＤ）を使用することもできる。例えば、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍｓ）タイプの空間光変調素子（ＳＬＭ；Ｓｐａｃｉａｌ  Ｌｉｇｈｔ  Ｍｏｄｕｌａｔｏｒ）や、電気光学効果により透過光を変調する光学素子（ＰＬＺＴ素子）や液晶光シャッタ（ＦＬＣ）等の液晶シャッターアレイなど、ＭＥＭＳタイプ以外の空間光変調素子を用いることも可能である。なお、ＭＥＭＳとは、ＩＣ製造プロセスを基盤としたマイクロマシニング技術によるマイクロサイズのセンサ、アクチュエータ、そして制御回路を集積化した微細システムの総称であり、ＭＥＭＳタイプの空間光変調素子とは、静電気力を利用した電気機械動作により駆動される空間光変調素子を意味している。さらに、Ｇｒａｔｉｎｇ Ｌｉｇｈｔ Ｖａｌｖｅ（ＧＬＶ）を複数ならべて二次元状に構成したものを用いることもできる。これらの反射型空間光変調素子（ＧＬＶ）や透過型空間光変調素子（ＬＣＤ）を使用する構成では、上記したレーザの他にランプ等も光源として使用可能である。
【００７５】
上記の露光装置は、例えば、プリント配線基板（ＰＷＢ；Ｐｒｉｎｔｅｄ  Ｗｉｒｉｎｇ  Ｂｏａｒｄ）の製造工程におけるドライ・フィルム・レジスト（ＤＦＲ；Ｄｒｙ  Ｆｉｌｍ  Ｒｅｓｉｓｔ）の露光、液晶表示装置（ＬＣＤ）の製造工程におけるカラーフィルタの形成、ＴＦＴの製造工程におけるＤＦＲの露光、プラズマ・ディスプレイ・パネル（ＰＤＰ）の製造工程におけるフォトレジストの露光等の用途に好適に用いることができる。
【００７６】
また、上記の露光装置には、露光により直接情報が記録されるフォトンモード感光材料、露光により発生した熱で情報が記録されるヒートモード感光材料の何れも使用することができる。フォトンモード感光材料を使用する場合、レーザ装置にはＧａＮ系半導体レーザ、波長変換固体レーザ等が使用され、ヒートモード感光材料を使用する場合、レーザ装置にはＡｌＧａＡｓ系半導体レーザ（赤外レーザ）、固体レーザが使用される。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】本発明の第１実施形態の画像記録装置の概略構成を示し、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は側面図である。
【図２】本発明の第１実施形態のシート材搬送装置を示し、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図である。
【図３】本発明に係るシート材支持ガイドの概略構成を示す説明図である。
【図４】（Ａ）はシート材に形成される露光済み領域を示す平面図であり、（Ｂ）は各露光ヘッドによる露光エリアの配列を示す説明図である。
【図５】本発明の第１実施形態の露光ヘッドに係るデジタルマイクロミラーデバイス（ＤＭＤ）の構成を示す部分拡大図である。
【図６】（Ａ）及び（Ｂ）は本発明の第１実施形態の露光ヘッドに係るＤＭＤの動作を説明するための説明図である。
【図７】本発明の第２実施形態のシート材搬送装置を示し、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図、（Ｃ）は要部拡大側面図、（Ｄ）は要部拡大正面図である。
【図８】本発明の第３実施形態のシート材搬送装置を示し、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図である。
【図９】本発明の第３実施形態のシート材搬送装置を示す要部拡大斜視図である。
【図１０】本発明の第４実施形態のシート材搬送装置を示し、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図である。
【図１１】本発明の第５実施形態のシート材搬送装置を示し、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図である。
【図１２】本発明の画像記録装置の変形例の概略構成を示し、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は側面図である。
【図１３】本発明の画像記録装置の変形例において記録されるドットパターンを示す説明図である。
【図１４】本発明の係る保持部材を示す断面図であり、（Ａ）は第１実施形態、（Ｂ）及び（Ｃ）はさらに別の例を示す。
【図１５】本発明の画像記録装置の図１２とは異なる変形例の概略構成を示す側面図である。
【符号の説明】
【００７８】
１２   画像記録装置
１２’ 画像記録装置
１２” 画像記録装置
１４   搬送部
１６   記録部
１８   シート材
２０   シート材搬送装置
２４   シート材支持ガイド
２６   シート材支持ガイド
２８   搬送用ボックス
３０   搬送部材
３２   駆動ローラ
３４   従動ローラ
３６   搬送ベルト
３８   吸引ダクト
４０   吸引孔
４２   マーク
４４   マーク検出センサー
４６   平板部
４８   空気噴出し口
５０   空気噴出し孔
５２   支持ボックス
５４   保持部材
６２   露光ヘッドユニット
６４   露光ヘッド
６８   セル
７０   マイクロミラー
７２   検知センサー
７４   露光エリア
７６   マーク付着装置
７８   ドットパターン
８０   記録領域
８２   搬送部材
８４   吸着パッド
８４Ａ 吸着パッド
８４Ｂ 吸着パッド
８６   吸着パッド保持部材
８８   レール
９０   リニアモータ
９２   リニアエンコーダ
９４   昇降機構
９６   ケーブルベア
１０２ 搬送部材
１０４ ワーム型アクチュエータ
１０６Ａ      吸着パッド
１０６Ｂ      吸着パッド
１０８ 積層型ピエゾ素子
１１０ 昇降機構
１２２ 搬送部材
１２４Ａ      電極部材
１２４Ｂ      電極部材
１２６ 電極
１３２ 搬送部材
１３４ 超音波モータ
１３６ 吸引口
１３８ 吸着部
１５２ 保持部材
１５４ 空気吸引口
１６２ 保持部材
１６４ 電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2005212954.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
2005212954.tif 000014
【図１３】
2005212954.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
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