(57)【要約】【課題】  インクジェット法を用いて、高精細に液滴を塗布できる液滴吐出装置、液滴吐出方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供する。【解決手段】  直線上にピッチｄ１で配置された複数のノズル２７ａ，２７ｂからなるノズル（穴）列が複数列設けられているインクジェットヘッド２２ａを有し、ノズル列同士は、平行に配置され、ピッチｄ１の値を該ノズル列の列数で割った値のノズル列ズレ値ｄ２だけノズル列方向にずれて配置され、複数のインクジェットヘッド２２ａ，２２ｂが一組のヘッドＡとして保持され、一組のヘッドＡの各インクジェットヘッド２２ａ，２２ｂのノズル列が平行に保持され、各インクジェットヘッド２２ａ，２２ｂがヘッドズレ値ｄ３だけノズル列方向にずれて保持され、ヘッドズレ値ｄ３はノズル列ズレ値ｄ２を一組のヘッドＡの数で割った値である。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
直線上に所定ピッチで配置された複数のノズルからなるノズル列が複数列設けられているヘッドを有し、
前記ノズル列同士は、互いに平行に配置されているとともに、前記所定ピッチの値を該ノズル列の列数で割った値であるノズル列ズレ値だけノズル列方向にずれて配置されており、
複数の前記ヘッドを一組として保持するヘッド保持手段を有し、
前記ヘッド保持手段は、前記一組のヘッドにおける各ヘッドの前記ノズル列が互いに平行になるように該各ヘッドを保持するとともに、該各ヘッド相互が所定のヘッドズレ値だけ前記ノズル列方向にずれているように該各ヘッドを保持しており、
前記ヘッドズレ値は、前記ノズル列ズレ値を前記一組のヘッドの数で割った値であることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記ヘッド保持手段又は吐出対象基板を、前記ノズル列方向に対してほぼ直角に交差する方向に移動させる走査手段を有することを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記ヘッド保持手段は、前記一組のヘッドを複数組保持していることを特徴とする請求項１又は２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記ヘッド保持手段は、前記複数組のヘッドそれぞれのノズル列同士が互いに平行となるように、該複数組のヘッドを保持していることを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記ヘッド保持手段は、
直線上に所定間隔で配置された前記一組のヘッドの列が複数列となるように、前記複数組のヘッドを保持しているとともに、
前記走査手段が前記ヘッド保持手段又は吐出対象基板を移動させたときに、前記吐出対象基板に対する各ヘッドのノズルの位置がなす複数の軌跡が、互いに同一間隔の平行線となるように、該複数組のヘッドを保持していることを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
前記一つのヘッドにおいて、隣り合うノズルから吐出された液滴同士が前記吐出対象基板に着弾した後に、該着弾した液滴同士の一部が重なるように、少なくとも前記所定ピッチが設定されていることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか一項に記載の液滴吐出装置を用いて製造されたことを特徴とする電気光学装置。
【請求項８】
請求項７に記載の電気光学装置を備えたことを特徴とする電子機器。
【請求項９】
請求項１から６のいずれか一項に記載の液滴吐出装置を用いて、吐出対象基板に液滴を吐出することを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項１０】
１つの塗布領域に対して、複数の前記ノズルからほぼ同時に液滴を吐出させる処理を有することを特徴とする請求項９に記載の液滴吐出方法。
【請求項１１】
前記同時に液滴を吐出させる処理は、同時に吐出された複数の液滴が前記塗布領域に着弾した後に、隣り合う液滴同士の一部が重なるように行うことを特徴とする請求項１０に記載の液滴吐出方法。
【請求項１２】
前記吐出対象基板に液滴を吐出するときに、前記ヘッド保持手段又は吐出対象基板の移動軌跡が前記ノズル列方向に対してほぼ直角に交差するように、該ヘッド保持手段又は吐出対象基板を走査させることを特徴とする請求項９から１１のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。
【請求項１３】
塗布領域が長手形状である場合において、
前記塗布領域の短軸方向と前記ノズル列の方向とがほぼ直角に交差するように、前記ヘッド保持手段又は吐出対象基板を走査させて、前記同時に液滴を吐出させる処理をすることを特徴とする請求項１０から１２のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。
【請求項１４】
請求項９から１３のいずれか一項に記載の液滴吐出方法を用いて電気光学装置を製造することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置、電気光学装置、液滴吐出方法、電気光学装置の製造方法および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話機、携帯型コンピュータなどといった電子機器の表示部に液晶装置、エレクトロルミネッセンス装置（以下ＥＬ（electoroluminescence）装置という）などといった電気光学装置である表示装置が広く用いられている。また、最近では、表示装置によってフルカラー表示することが多くなっている。従来、カラーフィルタのＲ、Ｇ、Ｂなどの各色のフィルタエレメントをパターニングする場合、又はＥＬ装置のＲ、Ｇ、Ｂなどの各色の画素ピクセルをパターニングする場合、フォトリソグラフィー法を用いることが知られている。しかしながら、このフォトリソグラフィー法を用いる場合には、工程が複雑であること、および、各色の材料あるいはフォトレジストなどを多量に消費することなどにより、製造コストが高くなるなどといった問題がある。
【０００３】
この問題を解決するために、インクジェット法によってフィルタエレメント材料およびＥＬ発光材料などの液滴をドット状に吐出することにより、画素パターンなどをなすドット状配列のフィラメントおよびＥＬ発光層などを形成する方法が提案されている。インクジェット法を実行する液滴吐出装置としては、１つのヘッドに、複数のインクジェットノズルの孔（以下、単にノズルという）を直線上に所定間隔（ピッチ）で配置したノズル列を有するものがある。また、ノズル列の方向がヘッドの走査方向に対して斜めとなるようにヘッドの向きを設定している液滴吐出装置が考え出されている。このようにすると、ノズル間のピッチを狭めることなく、各液滴間の吐出位置を狭くすることができる（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００３−１５９７８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記特許文献１に記載されている液滴吐出装置では、異なる画素ピッチを持った複数種類の基板に液状体を塗布するとき、走査時のヘッドの向き、すなわち走査方向に対するノズル列の方向を調整する必要がある。このため、特許文献１記載の液滴吐出装置は、そのヘッドの向き合わせるためのヘッド保持機構が必要となり、汎用性が低く、ヘッド調整のための手間が必要になるという問題点があった。
【０００５】
また、上記特許文献１記載の液滴吐出装置における１つのヘッドに２列のノズル列を平行に設け、各ノズル列をノズル間ピッチの半分（１／２ピッチ）だけずらして保持することにより、ノズル間ピッチを狭めずに、各液滴間の吐出位置（着弾位置）を狭くしようとする考えがある。しかし、このようにすると、走査時において、一方のノズル列にある各ノズルの軌跡が他方のノズル列にある各ノズルの軌跡に重なってしまい、各液滴間の吐出位置は狭くならない。すなわち、一方のノズル列が無駄となってしまう。
【０００６】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、インクジェット法を用いて液状体を塗布するものであって、高精細に液滴を塗布することができる液滴吐出装置、液滴吐出方法、電気光学装置の製造方法、並びに、これらによって製造された電気光学装置および電子機器を提供することを目的とする。
また、本発明は、高精細に液滴を塗布することができ、かつ、簡便に液滴吐出機構を製造することができる液滴吐出装置、液滴吐出方法、電気光学装置の製造方法、並びに、これらによって製造された電気光学装置および電子機器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明の液滴吐出装置は、直線上に所定ピッチで配置された複数のノズルからなるノズル（穴）列が複数列設けられているヘッドを有し、前記ノズル列同士は、互いに平行に配置されているとともに、前記所定ピッチの値を該ノズル列の列数で割った値であるノズル列ズレ値だけノズル列方向にずれて配置されており、複数の前記ヘッドを一組として保持するヘッド保持手段を有し、前記ヘッド保持手段は、前記一組のヘッドにおける各ヘッドの前記ノズル列が互いに平行になるように該各ヘッドを保持するとともに、該各ヘッド相互が所定のヘッドズレ値だけ前記ノズル列方向にずれているように該各ヘッドを保持しており、前記ヘッドズレ値は、前記ノズル列ズレ値を前記一組のヘッドの数で割った値であることを特徴とする。
本発明によれば、ヘッド保持手段が複数のヘッド（インクジェットヘッド）についてヘッドズレ値だけノズル列方向にずらして保持しているので、ノズルのピッチ（間隔）を狭めずに、各液滴の吐出位置を狭めることができ、吐出精細度を向上させることができる。例えば、ノズルの間隔である前記所定ピッチを１ピッチとして、ノズル列を２列として、２つのヘッドを前記一組のヘッドとする。すると、ノズル列ズレ値は１／２ピッチとなり、ヘッドズレ値は１／４ピッチとなる。そして、ヘッド保持手段をノズル列方向に対して直角方向に移動させると、各ヘッドの各ノズルの位置がなす軌跡は相互に平行線となりその間隔は１／４ピッチとなる。そこで、各ヘッドのノズルの間隔が１ピッチでありながら、複数のヘッドのノズル全体としては各ノズルから１／４ピッチで液滴を吐出することができ、吐出精細度を向上させることができる。
ここで、１つのヘッドにおいてノズルの間隔であるノズルピッチを狭める加工は困難な加工となる。一方、複数のヘッドを微小位置だけずらして保持するという構造は比較的容易に製造することができる。そこで、本発明によれば、簡易に製造することができながら吐出精細度が高い液滴吐出装置を提供することができる。
また本発明の液滴吐出装置は、走査方向に対してヘッドのノズル列の方向をほぼ直角に交わるように配置すればよく、そのヘッドのノズル列の方向を走査方向に対して斜めに傾ける必要がない。したがって、本発明の液滴吐出装置は、各種形状の塗布領域に対してヘッドの角度を調整することなく対応することができ、取扱い易く汎用性の高いものとすることができる。また、１つのヘッドに複数のノズル列を設け、そのヘッドのノズル列の方向を走査方向に対して斜めに傾けて走査すると、ある傾け角度によっては一方のノズル列のノズル軌跡が他方のノズル列のノズル軌跡に重なってしまい、吐出された液滴のピッチは狭くならない。またそれ以外の角度においては、一方のノズル列のノズル軌跡が他方のノズル列のノズル軌跡とずれてしまい、一方のノズル列が無駄になってしまう。本発明によれば、各ヘッドを微小にずらして保持しているので、無駄となるノズル列が無くなり、高精細に液状体を描画することができる。
【０００８】
また、本発明の液滴吐出装置は、前記ヘッド保持手段又は吐出対象基板を、前記ノズル列方向に対してほぼ直角に交差する方向に移動させる走査手段を有することが好ましい。
本発明によれば、走査手段によって各ヘッド又は吐出対象基板が走査されると、その走査方向と各ヘッドのノズル列の方向とが直角に交わることとなる。すると、各ヘッドの各ノズルの位置が吐出対象基板面に対してなす軌跡は相互に平行線となり、その間隔はノズルピッチをノズル列数で割った値（ノズルズレ値）を、さらにヘッドの数で割った値（ヘッドズレ値）となる。したがって、各ノズルがなす上記軌跡の間隔はノズルピッチよりも大幅に小さくなるので、本発明の液滴吐出装置は、ノズルピッチを狭める構成とすることなく、高精細に液状体を塗布することができる。
【０００９】
また、本発明の液滴吐出装置は、前記ヘッド保持手段が前記一組のヘッドを複数組保持していることが好ましい。
本発明によれば、例えば複数組のヘッドを平行に並べてヘッド保持手段が保持することにより、ヘッド保持手段又は吐出対象基板の１回の走査で塗布される描画面積を拡大することができる。
【００１０】
また、本発明の液滴吐出装置は、前記ヘッド保持手段が、前記複数組のヘッドそれぞれのノズル列同士が互いに平行となるように、該複数組のヘッドを保持していることが好ましい。
本発明によれば、各組のヘッドがなす液滴吐出間隔を所定の一定値に合わせることができ、複数組のヘッド全体により、一定の塗布ピッチ（各ノズルから吐出された液滴の着弾位置の間隔）で高精細に液状体を塗布することができる。
【００１１】
また、本発明の液滴吐出装置は、前記ヘッド保持手段が、直線上に所定間隔で配置された前記一組のヘッドの列が複数列となるように、前記複数組のヘッドを保持しているとともに、前記走査手段が前記ヘッド保持手段又は吐出対象基板を移動させたときに、前記吐出対象基板に対する各ヘッドのノズルの位置がなす複数の軌跡が、互いに同一間隔の平行線となるように、該複数組のヘッドを保持していることが好ましい。
例えば、各ヘッドの外縁部が大きく、各ヘッドを１本の直線上に配置した場合に、あるヘッドの右端ノズルと、その右隣のヘッドの左端ノズルとの間隔が１ピッチ以上となる場合がある。本発明によれば、直線上に所定間隔で配置された一組のヘッドの列が複数列となるように配置しているので、上記のように各ヘッドの外縁部が大きくても、複数組のヘッド全体の塗布ピッチを一定にすることができる。したがって、本発明によれば、１回の走査で塗布される描画面積を拡大でき、かつ、一定の塗布ピッチで高精細に塗布することができる。
【００１２】
また、本発明の液滴吐出装置は、前記一つのヘッドにおいて、隣り合うノズルから吐出された液滴同士が前記吐出対象基板に着弾した後に、該着弾した液滴同士の一部が重なるように、少なくとも前記所定ピッチが設定されていることが好ましい。
本発明によれば、高精細な塗布ピッチとすることができ、隣り合うノズルによってほぼ同時に吐出されて着弾した液滴の一部同士が重なるように塗布することができる。このようにして１つの塗布領域に対して複数の液滴をほぼ同時に着弾させると、各着弾した液滴（液状体）が隣に着弾した液滴（液状体）に引き寄せられて、所望位置に正確に液状体を塗布できないという現象を回避でき、塗布領域全体について均一膜厚となるように偏りなく塗布することができる。すなわち、従来のように、１つの塗布領域に対して、第１液滴を着弾させ、その次の走査で第２液滴を着弾させて、第１液滴の一部と第２液滴の一部とが重なるようにすると、第２液滴は第１液滴に引き寄せられてしまう。これにより、膜厚および膜形状に偏りが生じてしまい、塗布位置が変動してしまうことともなる。本発明によれば、このような現象を回避することができ、正確にかつ高精細に、所望の塗布領域に対して所望の膜厚で液状体を塗布することができる。従来、上記現象を回避するために第１液滴が固形化した後に第２液滴を塗布する手法、すなわち、１つの塗布領域について複数回ヘッドを走査させる手法があった。本発明によれば、その走査回数を大幅に低減させることができ、迅速に高精細でかつ精密な塗布をすることができる。
【００１３】
本発明の電気光学装置は、前記液滴吐出装置を用いて製造されたことを特徴とする。
本発明によれば、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ装置、液晶装置などの電気光学装置を前記液滴吐出装置を用いて製造することにより、高精細で高品質な画像を表示することができる電気光学装置を安価に提供することができる。例えば、有機ＥＬ装置の構成要素となる発光材料および正孔輸送材料、並びにカラーフィルタなどを高精細な画素パターンをなすように塗布することができる。
【００１４】
また、本発明の電子機器は、前記電気光学装置を備えたことを特徴とする。
本発明によれば、高精細で高品質な画像を表示することができる電子機器を安価に提供することができる。
【００１５】
上記目的を達成するために、本発明の液滴吐出方法は、前記液滴吐出装置を用いて、吐出対象基板に液滴を吐出することを特徴とする。
本発明によれば、高精細に液状体を塗布することができるので、微小な画素領域などの所望領域内の全体に、精密に液状体を塗布することができる。
【００１６】
また、本発明の液滴吐出方法は、１つの塗布領域に対して、複数の前記ノズルからほぼ同時に液滴を吐出させる処理を有することが好ましい。
本発明によれば、高精細に液状体を塗布することができるので、画素などの微小な１つの塗布領域に対して同時に複数の液滴を吐出することができ、迅速に、高精細でかつ精密な塗布をすることができる。
【００１７】
また、本発明の液滴吐出方法は、前記同時に液滴を吐出させる処理について、同時に吐出された複数の液滴が前記塗布領域に着弾した後に、隣り合う液滴同士の一部が重なるように行うことが好ましい。
本発明によれば、着弾して隣り合う液滴の一部同士が重なっても、ある液滴が隣の液滴に引き寄せられ、塗布領域が偏る、又は、膜厚が偏よるという現象を回避することができる。すなわち、時間差をもって隣り合う液滴の一部が重なると、後に塗布された液滴が先に塗布された液滴の方に引き寄せられてしまう。本発明はこの現象を回避することができる。したがって本発明によれば、迅速に、高精細でかつ精密な塗布をすることができる。
【００１８】
また、本発明の液滴吐出方法は、前記吐出対象基板に液滴を吐出するときに、前記ヘッド保持手段又は吐出対象基板の移動軌跡が前記ノズル列方向に対してほぼ直角に交差するように、該ヘッド保持手段又は吐出対象基板を走査させることが好ましい。
本発明によれば、ヘッドの走査方向とノズル列の方向とが直角に交わることとなるので、その走査により、各ヘッドの各ノズル位置がなす軌跡は相互に平行線となる。そして、各平行線の間隔は、ノズルピッチよりも大幅に小さくなる。したがって、本発明によればノズルピッチの狭いヘッドを用いることなく、高精細に液状体を塗布することができる。
【００１９】
また、本発明の液滴吐出方法は、塗布領域が長手形状（長方形状）である場合において、前記塗布領域の短軸方向と前記ノズル列の方向とがほぼ直角に交差するように、前記ヘッド保持手段又は吐出対象基板を走査させて、前記同時に液滴を吐出させる処理をすることが好ましい。
本発明によれば、塗布領域の長軸方向とノズル列方向とを一致するように、ヘッドなどを走査させるので、その塗布領域に対して、複数のノズルにより複数の液滴を１回走査で同時に着弾させることができる。そこで、本発明によれば、長方形状の画素領域などについて、迅速に、高精細かつ均一に液状体を塗布することができる。
【００２０】
本発明の電気光学装置の製造方法は、前記液滴吐出方法を用いて電気光学装置を製造することを特徴とする。
本発明によれば、高精細で高品質な画像を表示することができる電気光学装置を迅速にかつ簡便に製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の実施形態に係る液滴吐出装置、液滴吐出方法、電気光学装置の製造方法、並びに、これらによって製造された電気光学装置および電子機器について、図面を参照して説明する。
【００２２】
（液滴吐出装置の全体構成）
図５は本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の全体構成を示す斜視図である。図６は図５に示す液滴吐出装置１６の主要部についての拡大斜視図である。液滴吐出装置１６は、ヘッドユニット２６と、ヘッド位置制御装置１７と、基板位置制御装置１８と、主走査駆動装置１９と、副走査駆動装置２１と、基板供給装置２３と、コントロール装置２４とを有する。ヘッドユニット２６は、本発明の主要部の一つであり、例えばプリンタなどで用いられるインクジェットヘッド２２を備えている。
【００２３】
ヘッド位置制御装置１７は、インクジェットヘッド２２の位置を制御するものである。基板位置制御装置１８は、マザー基板１２の位置を制御するものである。主走査駆動装置１９は、インクジェットヘッド２２をマザー基板１２に対して主走査移動させる主走査駆動手段となるものである。副走査駆動装置２１は、インクジェットヘッド２２をマザー基板１２に対して副走査移動させる副走査駆動手段となるものである。基板供給装置２３は、マザー基板１２を液滴吐出装置１６内の所定の作業位置へ供給するものである。コントロール装置２４は、液滴吐出装置１６の全般の制御を司るものである。ヘッド位置制御装置１７、基板位置制御装置１８、主走査駆動装置１９および副走査駆動装置２１の各装置は、ベース９の上に設置される。また、それらの各装置は必要に応じてカバー１４によって覆われる。
【００２４】
インクジェットヘッド２２は、例えば、図７に示す内部構造を有する。図７は、インクジェットヘッド２２の内部構造を示す図であり、図７（ａ）はインクジェットヘッド２２の一部破断斜視図であり、図７（ｂ）は図７（ａ）のＪ−Ｊ線の断面図である。具体的には、インクジェットヘッド２２は、例えばステンレス製のノズルプレート２９と、それに対向する振動板３１と、それらを互いに接合する複数の仕切部材３２とを有する。ノズルプレート２９と振動板３１との間には、仕切部材３２によって複数のインク室３３と液溜り３４とが形成される。複数のインク室３３と液溜り３４とは通路３８を介して互いに連通している。
【００２５】
振動板３１の適所にはインク供給孔３６が形成され、このインク供給孔３６にインク供給装置３７が接続される。このインク供給装置３７は、例えばカラーフィルタにおけるＲ、Ｇ、Ｂのうちの１色、例えばＲ色のフィルタエレメント材料Ｍをインク供給孔３６へ供給する。供給されたフィルタエレメント材料Ｍは、液溜り３４に充満し、さらに通路３８を通ってインク室３３に充満する。
【００２６】
ノズルプレート２９には、インク室３３からフィルタエレメント材料Ｍをジェット状に噴射するための孔であるノズル２７が設けられている。また、振動板３１のインク室３３を形成する面の裏面には、このインク室３３に対応させてインク加圧体３９が取り付けられている。このインク加圧体３９は、図７（ｂ）に示すように、圧電素子４１ならびにこれを挟持する一対の電極４２ａおよび４２ｂを有する。圧電素子４１は電極４２ａおよび４２ｂへの通電によって矢印Ｃで示す外側へ突出するように撓み変形し、これによりインク室３３の容積が増大する。すると、増大した容積分に相当するフィルタエレメント材料Ｍが液溜り３４から通路３８を通ってインク室３３へ流入する。
【００２７】
次いで、圧電素子４１への通電を解除すると、この圧電素子４１と振動板３１とは共に元の形状へ戻る。これにより、インク室３３も元の容積に戻るため、インク室３３の内部にあるフィルタエレメント材料Ｍの圧力が上昇し、ノズル２７からマザー基板１２（図６参照）へ向けてフィルタエレメント材料Ｍが液滴８となって噴出する。なお、ノズル２７の周辺部には、液滴８の飛行曲がりやノズル２７の孔詰まりなどを防止するために、例えばＮｉ−テトラフルオロエチレン共析メッキ層からなる撥インク層４３が設けられる。
また、ノズル２７は、例えば、インク室３３毎に設けられており、一定間隔で配置されたノズル列を形成している。この複数のノズル２７の配置については、後で詳細に説明する。
【００２８】
図６において、ヘッド位置制御装置１７は、インクジェットヘッド２２を面内回転させるαモータ４４と、インクジェットヘッド２２を副走査方向Ｙと平行な軸線回りに揺動回転させるβモータ４６と、インクジェットヘッド２２を主走査方向と平行な軸線回りに揺動回転させるγモータ４７と、そしてインクジェットヘッド２２を上下方向へ平行移動させるＺモータ４８とを有する。
【００２９】
基板位置制御装置１８は、図５および図６に示すように、マザー基板１２を載せるテーブル４９と、そのテーブル４９を矢印θのように面内回転させるθモータ５１とを有する。また、主走査駆動装置１９は、図６に示すように、主走査方向Ｘへ延びるＸガイドレール５２と、パルス駆動されるリニアモータを内蔵したＸスライダ５３とを有する。Ｘスライダ５３は内蔵するリニアモータが作動するときにＸガイドレール５２に沿って主走査方向へ平行移動する。
【００３０】
また、副走査駆動装置２１は、図６に示すように、副走査方向Ｙへ延びるＹガイドレール５４と、パルス駆動されるリニアモータを内蔵したＹスライダ５６とを有する。Ｙスライダ５６は内蔵するリニアモータが作動するときにＹガイドレール５４に沿って副走査方向Ｙへ平行移動する。
【００３１】
Ｘスライダ５３およびＹスライダ５６内においてパルス駆動されるリニアモータは、該モータに供給するパルス信号によって出力軸の回転角度制御を精細に行うことができる。従って、そのリニアモータは、Ｘスライダ５３に支持されたインクジェットヘッド２２の主走査方向Ｘ上の位置およびテーブル４９の副走査方向Ｙ上の位置などを高精細に制御できる。なお、インクジェットヘッド２２およびテーブル４９の位置制御は、パルスモータを用いた位置制御に限られず、サーボモータを用いたフィードバック制御、その他任意の制御方法によって実現することもできる。
【００３２】
基板供給装置２３は、図５に示すように、マザー基板１２を収容する基板収容部５７と、マザー基板１２を搬送するロボット５８とを有する。ロボット５８は、床、地面などといった設置面に置かれる基台５９と、基台５９に対して昇降移動する昇降軸６１と、昇降軸６１を中心として回転する第１アーム６２と、第１アーム６２に対して回転する第２アーム６３と、第２アーム６３の先端下面に設けられた吸着パッド６４とを有する。吸着パッド６４は空気吸引などによってマザー基板１２を吸着できる。
【００３３】
また、図５に示すように、主走査駆動装置１９によって駆動されて主走査移動するインクジェットヘッド２２の軌跡下であって副走査駆動装置２１の一方の脇位置に、キャッピング装置７６およびクリーニング装置７７が配設される。また、他方の脇位置に電子天秤７８が配設される。クリーニング装置７７はインクジェットヘッド２２を洗浄するための装置である。電子天秤７８はインクジェットヘッド２２内の個々のノズル２７（図７など参照）から吐出されるインクの液滴８の重量をノズル毎に測定する機器である。そして、キャッピング装置７６はインクジェットヘッド２２が待機状態にあるときにノズル２７の乾燥を防止するための装置である。
【００３４】
インクジェットヘッド２２の近傍には、そのインクジェットヘッド２２と一体に移動する関係でヘッド用カメラ８１が配設される。また、ベース９上に設けた支持装置（図示せず）に支持された基板用カメラ８２がマザー基板１２を撮影できる位置に配設される。
【００３５】
図５に示すコントロール装置２４は、プロセッサを収容したコンピュータ本体部６６と、入力装置６７としてのキーボードと、表示装置としてのＣＲＴ（Cathode-Ray Tube）ディスプレイ６８とを有する。上記プロセッサは、演算処理を行うＣＰＵ（Central Processing Unit）と、各種情報を記憶するメモリすなわち情報記憶媒体とを有する。
【００３６】
図５に示したヘッド位置制御装置１７、基板位置制御装置１８、主走査駆動装置１９、副走査駆動装置２１、およびインクジェットヘッド２２内の圧電素子４１（図７（ｂ）参照）を駆動するヘッド駆動回路７２の各機器は、入出力インターフェースおよびバスを介してＣＰＵに接続される。また、基板供給装置２３、入力装置６７、ＣＲＴディスプレイ６８、電子天秤７８、クリーニング装置７７およびキャッピング装置７６の各機器も、入出力インターフェースおよびバスを介してＣＰＵに接続される。そのＣＰＵは、上記情報記憶媒体であるメモリ内に記憶されたプログラムソフトに従って、マザー基板１２に表面の所定位置に吐出物であるインク（液状体）、例えばフィルタエレメント材料１３を吐出するための制御を行うものである。
【００３７】
（ヘッドユニットの第１実施形態）
次に、上記構成の液滴吐出装置１６におけるヘッドユニット２６の第１実施形態について、図１を参照して詳細に説明する。図１は、本発明の特徴の一つであるヘッドユニット２６の主要構成要素をなすインクジェットヘッド（ヘッド）２２ａ，２２ｂを示す底面図である。図１においては、２つのインクジェットヘッド２２ａ，２２ｂを示している。インクジェット２２ａとインクジェットヘッド２２ｂとは同一の構成をしている。そこで、まずインクジェットヘッド２２ａについて説明する。
【００３８】
インクジェットヘッド２２ａは、直線上に所定ピッチ（所定間隔）で配置された複数のノズル２７ａ，２７ｂ…からなる第１ノズル列と、同様に、直線上に所定ピッチで配置された複数のノズル２７Ａ，２７Ｂ…からなる第２ノズル列とを有している。第１ノズル列が配置されている直線と第２ノズル列が配置されている直線とは、平行に配置されている。第１および第２ノズル列におけるノズルの数は、例えば、それぞれ１８０個とする。そして、第１および第２ノズル列におけるピッチ（ノズル間距離）ｄ１は、例えば、ともに１４１μｍとする。各ノズル２７ａ，２７ｂ，２７Ａ，２７Ｂ…の孔径は例えば２８μｍとする。
【００３９】
第１ノズル列と第２ノズル列とでは、各ノズルの配置がノズル列方向に１／２ピッチｄ２だけ、すなわち１４１÷２＝約７０μｍだけ、ずれている。このずれ値を「ノズル列ズレ値ｄ２」という。このようにすると、ノズル列方向の座標（すなわちｘ軸ｙ軸平面におけるｘ軸座標）だけ考えると、第１ノズル列のノズル（例えばノズル２７ａ）とその隣のノズル（例えばノズル２７ｂ）との真ん中に第２ノズル列のノズル（例えばノズル２７Ａ）が配置されることとなる。
【００４０】
インクジェットヘッド２２ｂは、上記構成のインクジェット２２ａと同一構成となっており、第１ノズル列２７ａ’，２７ｂ’…と、第２ノズル列２７Ａ’，２７Ｂ’…とを有している。そして、インクジェットヘッド２２ａとインクジェットヘッド２２ｂとは、それぞれのノズル列が互いに平行となるように配置されている。さらに、インクジェットヘッド２２ａとインクジェットヘッド２２ｂとは、ノズル列方向にずれて配置されている。このずれ値である「ヘッドズレ値ｄ３」は、上記ノズル列ズレ値ｄ２を２で割った値、すなわちｄ３＝７０÷２＝３５μｍとする。
【００４１】
このようにすると、ノズル列方向の位置すなわちｘ軸座標だけ考えると、インクジェットヘッド２２ａにおける第１ノズル列のノズル（例えばノズル２７ａ）とその隣の第２ノズル列のノズル（例えばノズル２７Ａ）との真ん中に、インクジェットヘッド２２ｂのノズル（例えばノズル２７ａ’）が配置されることとなる。このように配置された２つのインクジェットヘッド２２ａ，２２ｂは、一組のヘッドＡを構成している。この一組のヘッドＡをなすインクジェットヘッド２２ａ，２２ｂは、ヘッド保持手段（後述）によって上記配置で保持されている。
【００４２】
このような構成の一組のヘッドＡによれば、ｘ軸座標だけ考えると、各ノズルがノズル２７ａ，２７ａ’，２７Ａ，２７Ａ’，２７ｂ，２７ｂ’，２７Ｂ，２７Ｂ’…の順で、３５μｍ間隔で配置されていることとなる。したがって、一組のヘッドＡは、ノズルのピッチ（１４１μｍ）を狭めずに、各液滴の吐出位置を３５μｍ間隔に狭めることができ、吐出精細度（描画精細度）を向上させることができる。
【００４３】
上記構成では、１つのインクジェットヘッド２２ａに設けるノズル列を２列としたが、本発明はこれに限定されるものではなく、１つのインクジェットヘッド２２ａに３列以上のノズル列を設けてもよい。このように１つのインクジェットヘッド２２ａに３列以上のノズル列を設けた場合、上記の「ノズル列ズレ値ｄ２」は、ピッチ（ノズル間距離）ｄ１を１つのインクジェットヘッド２２ａのノズル列の数で割った値とする。
【００４４】
また、上記構成では、２つのインクジェットヘッド２２ａ，２２ｂで一組のヘッドＡを構成したが、本発明はこれに限定されるものではなく、３個以上のインクジェットヘッドで一組のヘッドＡを構成してもよい。この場合、上記の「ヘッドズレ値ｄ３」は、「ノズル列ズレ値ｄ２」を一組のヘッドＡをなすインクジェットヘッドの数で割った値とする。
【００４５】
これらのようにすれば、ノズル２７ａ，２７ｂ…間の距離であるノズルのピッチを狭めることなく、さらに各液滴の吐出位置を３５μｍ間隔（またはもっと狭く）に狭めることができ、吐出精細度（描画精細度）をさらに向上させることができる。ここで、インクジェットヘッド２２は図７および上述に示すような構造となることなどにより、ノズルピッチｄ１を１４１μｍよりも狭くすることは製造上困難である。一方、図１に示すように、複数のインクジェットヘッド２２ａ，２２ｂを所望位置に精密に配置することは比較的容易である。そこで、図１に示す一組のヘッドＡによれば、簡易に製造することができながら描画精細度が高い液滴吐出装置を提供することができる。
【００４６】
また、一組のヘッドＡの走査方向は、インクジェットヘッド２２ａ，２２ｂのノズル列方向と直角に交わる方向であることが好ましい。すなわち、図１ではノズル列方向がｘ軸方向であるので、走査方向はｙ軸方向であることが好ましい。したがって、本実施形態の液滴吐出装置は、各種形状の塗布領域に対して一組のヘッドＡの角度を調整することなく対応することができ、取扱い易く汎用性の高いものとすることができる。
【００４７】
（ヘッドユニットの第２実施形態）
次に、上記構成の液滴吐出装置１６におけるヘッドユニット２６の第２実施形態について、図２を参照して詳細に説明する。図２は、ヘッドユニット２６の第２実施形態を示す底面図である。図１に示す実施形態では一組のヘッドＡが一つのヘッドユニット２６を構成している。図２に示す実施形態では、一組のヘッドＡを複数組用いて一つのヘッドユニット２６を構成している。すなわち、本実施形態では、ヘッド保持手段１が一組のヘッドＡを複数組保持している。ここで、複数組のヘッドＡのそれぞれは、ノズル列方向が互いに平行となるように配置されている。
【００４８】
また、ヘッド保持手段１は、直線上に所定間隔で配置された一組のヘッドＡの列が複数列となるように、複数組のヘッドＡを保持しているとともに、各ヘッドＡのノズルのｘ軸座標が重ならないように各ヘッドＡを保持している。例えば、図２に示すように、走査方向を矢印Ｓの方向（ｙ軸方向）として、ノズル列の方向をｘ軸方向とする。この場合に、マザー基板１２に対する各インクジェットヘッドのノズルの位置がなす複数の軌跡が、ｙ軸に平行であって、互いに同一間隔の平行線となるように、ヘッド保持手段１は複数組のヘッドを保持している。
【００４９】
本実施形態のヘッドユニット２６によれば、描画精細度を高めながら、１回の走査で塗布される描画面積を拡大することができる。また、例えば各インクジェットヘッド２２ａ，２２ｂ外縁部が大きく、各インクジェットヘッドを１本の直線上に配置した場合に、あるインクジェットヘッドの右端ノズルと、その右隣のインクジェットヘッドの左端ノズルとの間隔が１ピッチ以上となる場合がある。本実施形態によれば、直線上に所定間隔で配置された一組のヘッドＡの列が複数列となるように配置しているので、上記のように各インクジェットヘッドの外縁部が大きくても、複数組のヘッドＡ全体の塗布ピッチを高精細に一定にすることができる。したがって、本実施形態によれば、各インクジェットヘッド２２ａ，２２ｂの外縁部形状によらず、１回の走査で塗布できる描画面積を拡大でき、かつ、一定の塗布ピッチで高精細に塗布できる液滴吐出装置を提供することができる。
【００５０】
（液滴吐出方法の第１実施形態）
次に、図１又は図２に示すヘッドユニット２６を用いた液滴吐出方法の第１実施形態について、図３を参照して説明する。図３は、液滴吐出方法の第１実施形態を示す模式平面図である。インクジェットヘッド２２ａ，２２ｂからなる一組のヘッドＡは、ノズル列方向をｘ軸方向としながら、走査方向を矢印Ｓに示すようにｙ軸方向としている。そして、吐出対象基板であるマザー基板１２の塗布領域１００は、長方形でありその短軸と走査方向とが直交していることが好ましい。１つの塗布領域１００としては、例えば１つの画素領域が該当する。
【００５１】
そして、インクジェットヘッド２２ａ，２２ｂは走査されながら隣り合うノズルから吐出された液滴（例えば液滴１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅ）同士が塗布領域１００内に着弾した後に、その着弾した液滴同士の一部が重なるように、吐出されることが好ましい。すなわち、このように吐出されるように、インクジェットヘッド２２ａ，２２ｂのピッチ（ノズル間距離）ｄ１などが設定されていることが好ましい。
【００５２】
このようにすれば、１つの塗布領域１００の中に複数の液滴１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅをほぼ同時に着弾させることができ、各液滴１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅの一部が同時に重なるように塗布することができる。したがって、後に着弾した液滴が隣の先に着弾した液滴に引き寄せられて、所望位置に正確に液状体を塗布できないという現象を回避でき、塗布領域全体について均一な膜厚となるように偏りなく液状体を塗布することができる。
【００５３】
すなわち、上記特許文献１に記載されている従来の液滴吐出装置の液滴吐出方法では、図１２に示すようにインクジェットヘッド２２’のノズル列の方向が矢印Ｓの示す走査方向に対して斜めになっていた。これにより、ノズル列の方向が走査方向に対して斜めなので、液滴１０ａ’，１０ｂ’，１０ｃ’，１０ｄ’，１０ｅ’を同時に塗布領域１００に着弾させることができない。そこで、インクジェットヘッド２２’から吐出された液滴は、塗布領域１００に対して、液滴１０ａ’，１０ｂ’，１０ｃ’，１０ｄ’，１０ｅ’の順番で着弾させることとなる。すると、液滴１０ｂ’は液滴１０ａ’に引き寄せられ、液滴１０ｃ’は液滴１０ｂ’に引き寄せられ、液滴１０ｄ’は液滴１０ｃ’に引き寄せられ、液滴１０ｅ’は液滴１０ｄ’に引き寄せられる。これにより、膜厚および膜形状に偏りが生じてしまい、塗布位置が変動してしまうことともなる。
【００５４】
本実施形態によれば、塗布領域１００の中に複数の液滴１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅを同時に着弾させることができるので、上記偏りなどが生じる現象を回避でき正確にかつ高精細に、所望の塗布領域に対して所望の膜厚で液状体を塗布することができる。
【００５５】
また、上記の引き寄せられる現象を回避するためには、図１３に示すように、各液滴がつながらないように先ず第１走査で第１液滴１０ｘを塗布領域１００に着弾させ、その後の第２走査において、第２液滴１０ｙを第１液滴１０ｘの間に着弾させる方法がある。しかし、この方法では、１つの塗布領域１００に対して複数回インクジェットヘッド２２’を走査しなければならず、時間かかかるという問題点があった。本実施形態によれば、１つの塗布領域１００に対して１回の走査で塗布が完了でき、走査回数を大幅に低減させることができ、迅速に高精細でかつ精密な塗布をすることができる。
【００５６】
（液滴吐出方法の第２実施形態）
次に、図１又は図２に示すヘッドユニット２６を用いた液滴吐出方法の第２実施形態について、図４を参照して説明する。図４は、液滴吐出方法の第２実施形態を示す模式平面図である。本実施形態の塗布領域１０１は、例えば１００μｍ×８００μｍの長方形状であり、大型サイズの画素領域などが該当する。
【００５７】
図１又は図２に示すヘッドユニット２６は、上記実施形態と同様に、ノズル列方向をｘ軸方向としながら、ｙ軸方向を走査方向として液滴を塗布領域１０１に着弾させる。塗布領域１０１は図３に示す塗布領域１００に比べて大きいので、１回の走査で塗布領域１０１の全体に液滴を塗布することはできない。そこで、まず第１回目の走査において複数の液滴１０Ａを塗布する。すなわち、第１回目の走査では、複数の液滴１０Ａが直線上につながるように第１列の液滴１０Ａを吐出するとともに、第１列の液滴１０Ａとは所定間隔をもたせて、複数の液滴１０Ａが直線上につながるように第２列の液滴１０Ａを吐出する。ここで、第１列の液滴１０Ａと第２列の液滴１０Ａとの間隔は、１つの液滴が着弾してなす塗布領域の直径よりも小さくする。
【００５８】
その後、第２回目の走査において、複数の液滴１０Ｂが直線上につながるように列形状に液滴１０Ｂを吐出する。ここで、各液滴１０Ｂは、第１列の液滴１０Ａと第２列の液滴１０Ａとの中間に吐出され、その一部が第１列の液滴１０Ａおよび第２列の液滴１０Ａと重なるように吐出される。すると、第２回目の走査で吐出された液滴１０Ｂは第１列の液滴１０Ａおよび第２列の液滴１０Ａの両方に引き寄せられ、結局、その液滴１０Ｂが片寄ることとはならない。
【００５９】
これらにより、本実施形態の液滴吐出方法によれば、塗布領域１０１が大きい場合であっても、高精細に、かつ、塗布領域全体について均一な膜厚となるように偏りなく液状体を塗布することができる。
一方、図１２に示す従来の液滴吐出装置の液滴吐出方法では、大きな塗布領域１０１の全体について均一な膜厚となるようにするには、本実施形態よりも走査回数を多くしなければならない。この理由について図１４を参照して説明する。
【００６０】
上記特許文献１に記載されている従来の液滴吐出装置は、図１２に示すように走査方向に対してノズル列方向が斜めに交わるようにインクジェットヘッド２２’の向きを調整している。これにより、１つの塗布領域１０１に同時に着弾させうる液滴数が本実施形態の液滴吐出装置よりも少なくなる。そこで、従来の液滴吐出装置は、図１４に示すように、走査回数を多くして液滴を塗布する。
【００６１】
具体的には、第１走査において複数の第１液滴１０Ａ’を２列に着弾させる。複数の第１液滴１０Ａ’はそれぞれ時間差をもって着弾するので、上記偏りなどが生じる現象を回避するために、各第１液滴１０Ａ’はつながらないように間隔をもった位置に塗布される。その後、第２走査において複数の第２液滴１０Ｂ’を２列に着弾させる。ここでも各第２液滴１０Ｂ’はつながらないように間隔をもった位置に塗布される。その後、第３走査において複数の第３液滴１０Ｃ’を１列に着弾させる。ここでも各第３液滴１０Ｃ’はつながらないように間隔をもった位置に塗布される。その後、第４走査において複数の第４液滴１０Ｄ’を１列に着弾させる。ここでも各第４液滴１０Ｄ’はつながらないように間隔をもった位置に塗布される。これらにより、塗布領域１０１の全体について液状体が塗布されるが、その全体の塗布には４回の走査が必要となってしまう。
【００６２】
本実施形態の液滴吐出方法によれば、塗布領域１０１の全体に対して、上述のように２回の走査で液状体を偏りなく塗布することができる。したがって、本実施形態の液滴吐出方法によれば、迅速に、かつ、塗布領域全体について均一な膜厚となるように偏りなく液状体を塗布することができる。
【００６３】
（電気光学装置）
次に、上記実施形態の液滴吐出装置又は液滴吐出方法を用いて製造される電気光学装置の一例について、図８から図１０を参照して説明する。本実施形態では、電気光学装置の一例としてＥＬ装置を挙げて説明する。図８は、本発明の実施形態に係るＥＬ装置の製造工程を示す主要断面図である。
【００６４】
図８（ｄ）に示すように、ＥＬ装置２０１は、透明基板２０４上に画素電極２０２を形成し、各画素電極２０２間にバンク２０５を矢印Ｇ方向から見て格子状に形成する。それらの格子状凹部の中に、正孔注入層２２０を形成し、矢印Ｇ方向から見てストライプ配列などといった所定の配列となるようにＲ色発光層２０３Ｒ、Ｇ色発光層２０３ＧおよびＢ色発光層２０３Ｂを各格子状凹部の中に形成する。さらに、それらの上に対向電極２１３を形成することによってＥＬ装置２０１が形成される。
【００６５】
上記画素電極２０２をＴＦＤ（Thin Film Diode:薄膜ダイオード）素子などといった２端子型のアクティブ素子によって駆動する場合には、上記対向電極２１３は矢印Ｇ方向から見てストライプ状に形成される。また、画素電極２０２をＴＦＴ（Thin Film Transistor:薄膜トランジスタ）などといった３端子型のアクティブ素子によって駆動する場合には、上記対向電極２１３は単一な面電極として形成される。
【００６６】
各画素電極２０２と各対向電極２１３とによって挟まれる領域が１つの絵素ピクセルとなり、Ｒ、Ｇ、Ｂ３色の絵素ピクセルが１つのユニットとなって１つの画素を形成する。各絵素ピクセルを流れる電流を制御することにより、複数の絵素ピクセルのうちの希望するものを選択的に発光させ、これにより、矢印Ｈ方向に希望するフルカラー像を表示することができる。
【００６７】
上記ＥＬ装置２０１は、例えば、次に示す製造方法によって製造される。すなわち、図８（ａ）のように、透明基板２０４の表面にＴＦＤ素子又はＴＦＴ素子といった能動素子を形成し、さらに画素電極２０２を形成する。形成方法としては、例えばフォトリソグラフィー法、真空蒸着法、スパッタリング法、パイロゾル法などを用いることができる。画素電極２０２の材料としてはＩＴＯ（Indium-Tin Oxide）、酸化スズ、酸化インジウムと酸化亜鉛との複合酸化物などを用いることができる。
【００６８】
次に、図８（ａ）に示すように、隔壁すなわちバンク２０５を周知のパターンニング手法、例えばフォトリソグラフィー法を用いて形成し、このバンク２０５によって各透明な画素電極２０２の間を埋める。これにより、コントラストの向上、発光材料の混色の防止、画素と画素との間からの光漏れなどを防止することができる。バンク２０５の材料としては、ＥＬ発光材料の溶媒に対して耐久性を有するものであれば特に限定されないが、フロロカーボンガスプラズマ処理によりテフロン（登録商標）化できること、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、感光性ポリイミドなどといった有機材料が好ましい。
【００６９】
次に、機能性液状体としての正孔注入層用インクを塗布する直前に、透明基板２０４に酸素ガスとフロロカーボンガスプラズマの連続プラズマ処理を行う。これにより、ポリイミド表面は撥水化され、ＩＴＯ表面は親水化され、液滴を微細にパターニングするための基板側の濡れ性の制御ができる。プラズマを発生する装置としては、真空中でプラズマを発生する装置でも、大気中でプラズマを発生する装置でも同様に用いることができる。
【００７０】
次に、図８（ａ）に示すように、正孔注入層用インクを図１又は図２に示す液滴吐出装置１６のインクジェットヘッド２２（２２ａ，２２ｂ）から吐出し、各画素電極２０２の上にパターニング塗布を行う。具体的なインクジェットヘッド２２の制御方法および液滴吐出方法は、図１、図２、図３および図４に示した方法のいずれかの方法が用いられる。その塗布後、真空（１ｔｏｒｒ）中、室温、２０分という条件で溶媒を除去する。この後、大気中、２００℃（ホットプレート上）、１０分の熱処理により、発光層用インクと相溶しない正孔注入層２２０を形成する。上記条件では、膜厚は４０ｎｍであった。
【００７１】
次に、図８（ｂ）に示すように、各フィルタエレメント形成領域内の正孔注入層２２０の上に液滴吐出手法を用いて機能性液状体であるＥＬ発光材料としてのＲ発光層用インクおよび機能性液状体であるＥＬ発光材料としてのＧ発光層用インクを塗布する。ここでも、各発光層用インクは、図１又は図２に示す液滴吐出装置１６のインクジェットヘッド２２（２２ａ，２２ｂ）から吐出させる。インクジェットヘッド２２の制御方法は図１から図４に示した方法のいずれかの方法が用いられる。このインクジェット方式によれば、微細なパターニングを高精細に、簡便にかつ短時間に行うことができる。また、インク組成物の固形分濃度および吐出量を変えることにより膜厚を変えることが可能である。
【００７２】
発光層用インクの塗布後、真空（１ｔｏｒｒ）中、室温、２０分などという条件で溶媒を除去する（工程Ｐ５８）。続けて、窒素雰囲気中、１５０℃、４時間の熱処理により共役化させてＲ色発光層２０３ＲおよびＧ色発光層２０３Ｇを形成する。上記条件により、膜厚は５０ｎｍであった。熱処理により共役化した発光層は溶媒に不溶である。
【００７３】
なお、発光層を形成する前に正孔注入層２２０に酸素ガスとフロロカーボンガスプラズマの連続プラズマ処理を行ってもよい。これにより、正孔注入層２２０上にフッ素化物層が形成され、イオン化ポテンシャルが高くなることにより正孔注入効率が増し、発光効率の高いＥＬ装置を提供できる。
【００７４】
次に、図８（ｃ）に示すように、機能性液状体であるＥＬ発光材料としてのＢ色発光層２０３Ｂを各絵素ピクセル内のＲ色発光層２０３Ｒ、Ｇ色発光層２０３Ｇおよび正孔注入層２２０の上に重ねて形成する。これにより、Ｒ、Ｇ、Ｂの３原色を形成するのみならず、Ｒ色発光層２０３ＲおよびＧ色発光層２０３Ｇとバンク２０５との段差を埋めて平坦化することができる。これにより、上下電極間のショートを確実に防ぐことができる。Ｂ色発光層２０３Ｂの膜厚を調整することで、Ｂ色発光層２０３ＢはＲ色発光層２０３ＲおよびＧ色発光層２０３Ｇとの積層構造において、電子注入輸送層として作用してＢ色には発光しない。
【００７５】
以上のようなＢ色発光層２０３Ｂの形成方法としては、例えば湿式法として一般的なスピンコート法を採用することもできるし、あるいは、Ｒ色発光層２０３ＲおよびＧ色発光層２０３Ｇの形成法と同様のインクジェット法を採用することもできる。
【００７６】
その後、図８（ｄ）に示すように、対向電極２１３を形成することにより、目標とするＥＬ装置２０１が製造される。対向電極２１３はそれが面電極である場合には、例えば、Ｍｇ、Ａｇ、Ａｌ、Ｌｉなどを材料として、蒸着法、スパッタ法などといった成膜法を用いて形成できる。また、対向電極２１３がストライプ状電極である場合には、成膜された電極層をフォトリソグラフィー法などといったパターニング手法を用いて形成できる。
【００７７】
以上に説明したＥＬ装置２０１の製造方法によれば、インクジェットヘッド２２として図１又は図２に示すインクジェットヘッド２２ａ，２２ｂからなる一組のヘッドＡを用いており、また図３又は図４に示す液滴吐出方法を用いているので、図８における各絵素ピクセル内の正孔注入層２２０およびＲ、Ｇ、Ｂ各色発光層２０３Ｒ，２０３Ｇ，２０３Ｂなどを、複数の液滴により高精細に描画することができる。ここで、複数の液滴は所望の塗布領域に同時に着弾するので、着弾した各液滴が他の液滴に引き寄せられることがなく、塗布領域全体に均一な膜厚を形成することができる。これらにより、ＥＬ装置２０１の発光面の発光分布特性を平面的に均一にすることができる。このことは、図８（ｄ）のＥＬ装置２０１において、色むらのない鮮明なカラー表示が得られるということである。また、本実施形態のＥＬ装置の製造方法によれば、従来よりも少ない走査回数でＥＬ装置２０１について薄膜形成を完了させることができるので、迅速にかつ低コストで高性能なＥＬ装置を提供することができる。
【００７８】
また、本実施形態のＥＬ装置の製造方法では、液滴吐出装置１６を用いることにより、インクジェットヘッド２２を用いたインク吐出によってＲ、Ｇ、Ｂの各色絵素ピクセルを形成するので、フォトリソグラフィー法を用いる方法のような複雑な工程を経る必要もなく、またインクなどの材料を浪費することもない。
【００７９】
次に、本実施形態のＥＬ装置の回路構成について図９および図１０を参照して説明する。図９は、図８に示す製造方法で製造されたＥＬ装置を構成要素とした表示装置の一部を示す回路図である。図１０は図９に示す表示装置における画素領域の平面構造を示す拡大平面図である。
【００８０】
図９において、表示装置５０１はＥＬ装置であるＥＬ表示素子を用いたアクティブマトリックス型の表示装置である。この表示装置５０１は、基板である透明の表示基板５０２上に、複数の走査線５０３と、これら走査線５０３に対して交差する方向に延びる複数の信号線５０４と、これら信号線５０４に並列に延びる複数の共通給電線５０５とがそれぞれ配線された構成を有している。そして、走査線５０３と信号線５０４との各交点には、画素領域５０１Ａが設けられている。
【００８１】
信号線５０４に対しては、シフトレジスタ、レベルシフタ、ビデオライン、アナログスイッチを有したデータ側駆動回路５０７が設けられている。また、走査線５０３に対しては、シフトレジスタおよびレベルシフタを有した走査側駆動回路５０８が設けられている。そして、画素領域５０１Ａのそれぞれには、走査線５０３を介して走査信号がゲート電極に供給されるスイッチング薄膜トランジスタ５０９と、このスイッチング薄膜トランジスタ５０９を介して信号線５０４から供給される画像信号を蓄積して保持する蓄積容量ｃａｐと、この蓄積容量ｃａｐによって保持された画像信号がゲート電極に供給されるカレント薄膜トランジスタ５１０と、このカレント薄膜トランジスタ５１０を介して共通給電線５０５に電気的に接続したときに共通給電線５０５から駆動電流が流れ込む画素電極５１１と、この画素電極５１１および反射電極５１２間に挟み込まれる発光素子５１３とが設けられている。
【００８２】
この構成により、走査線５０３が駆動されてスイッチング薄膜トランジスタ５０９がオンすると、その時の信号線５０４の電位が蓄積容量ｃａｐに保持される。この蓄積容量ｃａｐの状態に応じて、カレント薄膜トランジスタ５１０のオン・オフ状態が決まる。そして、カレント薄膜トランジスタ５１０のチャネルを介して、共通給電線５０５から画素電極５１１に電流が流れ、さらに発光素子５１３を通じて反射電極５１２に電流が流れる。このことにより、発光素子５１３は、これを流れる電流量に応じて発光する。
【００８３】
ここで、画素領域５０１Ａは、反射電極５１２および発光素子５１３を取り除いた状態の表示装置５０１の拡大平面図である図１０に示すように、平面状態が長方形の画素電極５１１の４辺が、信号線５０４、共通給電線５０５、走査線５０３および図示しない他の画素電極５１１用の走査線５０３によって囲まれた配置となっている。
【００８４】
このような構成の表示装置５０１は、図１又は図２に示すインクジェットヘッド２２ａ，２２ｂからなる一組のヘッドＡを用いて製造されており、また図３又は図４に示す液滴吐出方法を用いて製造されている。そこで、発光素子５１３、画素電極５１１及び反射電極５１２などについて、膜厚を均一にすることができ、高精細に形成することができる。したがって、表示装置５０１は、発光面の発光分布特性を平面的に均一にすることができ、色むらのない鮮明なカラー表示を得ることができる。
【００８５】
（電子機器）
次に、上記実施形態の電気光学装置を備えた電子機器について説明する。
図１１（ａ）は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図１１（ａ）において、符号１０００は携帯電話本体を示し、符号１００１は電気光学装置である上記表示装置５０１からなる表示部を示している。図１１（ｂ）は、腕時計型電子機器の一例を示した斜視図である。図１１（ｂ）において、符号１１００は時計本体を示し、符号１１０１は電気光学装置である上記表示装置５０１からなる表示部を示している。図１１（ｃ）は、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。図１１（ｃ）において、符号１２００は情報処理装置、符号１２０２はキーボードなどの入力部、符号１２０４は情報処理装置本体、符号１２０６は電気光学装置である上記表示装置５０１からなる表示部を示している。
【００８６】
図１１に示す電子機器は、図１又は図２に示すインクジェットヘッド２２ａ，２２ｂからなる一組のヘッドＡを用いて製造されているので、高精細で高品質な画像を表示することができる。
【００８７】
なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能であり、実施形態で挙げた具体的な材料や層構成などはほんの一例に過ぎず、適宜変更が可能である。例えば、上記実施形態では電気光学装置の一例としてＥＬ装置を挙げているが、本発明はこれに限定されるものではなく、プラズマディスプレイ装置、液晶装置などの各種電気光学装置に本発明を適用でき、カラーフィルタの着色材料の塗布などに本発明を適用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００８８】
【図１】本発明の実施形態に係るヘッドユニットの底面図である。
【図２】本発明の他の実施形態に係るヘッドユニットの底面図である。
【図３】本発明の実施形態に係る液滴吐出方法を示す図である。
【図４】本発明の他の実施形態に係る液滴吐出方法を示す図である。
【図５】本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の全体構成を示す斜視図である。
【図６】同上の液滴吐出装置の主要部についての拡大斜視図である。
【図７】同上の液滴吐出装置のインクジェットヘッドの内部構造を示す図である。
【図８】本発明の実施形態に係る電気光学装置の製造工程を示す主要断面図である。
【図９】同上の電気光学装置を構成要素とした表示装置の一部を示す回路図である。
【図１０】同上表示装置の画素領域の平面構造を示す拡大平面図である。
【図１１】同上の表示装置を備えた電子機器を示す斜視図である。
【図１２】従来の液滴吐出装置による液滴吐出方法を示す図である。
【図１３】従来の液滴吐出装置による他の液滴吐出方法を示す図である。
【図１４】従来の液滴吐出装置による他の液滴吐出方法を示す図である。
【符号の説明】
【００８９】
１…ヘッド保持手段、１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅ，１０Ａ，１０Ｂ，…液滴、１２…マザー基板、１６…液滴吐出装置、１７…ヘッド位置制御装置、１８…基板位置制御装置、１９…主走査駆動装置、２１…副走査駆動装置、２２，２２ａ，２２ｂ…インクジェットヘッド、２３…基板供給装置、２４…コントロール装置、２６…ヘッドユニット、２７，２７ａ，２７ｂ，２７Ａ，２７Ｂ，２７ａ’，２７ｂ’，２７Ａ’，２７Ｂ’…ノズル、１００，１０１…塗布領域、Ａ…一組のヘッド、ｄ１…ピッチ（ノズル間距離）、ｄ２…ノズル列ズレ値、ｄ３…ヘッドズレ値
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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