(57)【要約】【課題】      集積回路に対するプローブの針先の位置を安定させると共に、針圧を高めることにある。【解決手段】  プローブ装置は、筒状の外被を用いた同軸ケーブルを備えたプローブと、該プローブをこれの後端側において片持ち梁状に支持するホルダと、前記プローブの少なくとも先端を変位させて被検査体に対する前記プローブの先端の位置を調整する位置調整手段とを含むことを特徴とする。【選択図】          図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状の外被を用いた同軸ケーブルを備えたプローブと、該プローブをこれの後端側において片持ち梁状に支持するホルダと、前記プローブの少なくとも先端を変位させて被検査体に対する前記プローブの先端の位置を調整する位置調整手段とを含む、プローブ装置。
【請求項２】
前記プローブは、さらに、前記同軸ケーブルの後端部に結合されたコネクタであって前記ホルダに支持されたコネクタを備える、請求項１に記載のプローブ装置。
【請求項３】
前記調整手段は、前記ホルダに螺合された調整ねじであって前記ホルダへのねじ込み量を調整可能に調整ねじを備える、請求項１又は２に記載のプローブ装置。
【請求項４】
前記ホルダは前記プローブの少なくとも一端部が通された穴を有し、前記調整手段は、前記穴の外から中に貫通する状態に前記ホルダに螺合された調整ねじを備える、請求項１又は２に記載のプローブ装置。
【請求項５】
前記ホルダは前記プローブが通された穴を有し、前記プローブは、さらに、前記同軸ケーブルの後端部に結合されたコネクタであって前記ホルダに支持されたコネクタを備え、前記調整手段は、前記穴の外から中に貫通する状態に前記ホルダに螺合された調整ねじを備える、請求項１に記載のプローブ装置。
【請求項６】
前記ホルダは、前記プローブをこれの後端側において片持ち梁状に支持するベースであって前記プローブの少なくとも先端部が伸びるベースと、前記ベースに被せられて前記穴を前記ベースと共同して形成するカバーとを含む、請求項４又は５に記載のプローブ装置。
【請求項７】
前記調整手段は、さらに、前記前記プローブを受けるプローブ受けであって前記調整ねじにより変位されて前記プローブを変形させるプローブ受けを備える、請求項３，４又は５に記載のプローブ装置。
【請求項８】
複数の前記プローブが前記ホルダに片持ち梁状に支持されている、請求項１から６のいずれか１項に記載のプローブ装置。
【請求項９】
前記位置調整手段は前記被検査体に対する前記プローブの先端の高さ位置を調整する、請求項１から７のいずれか１項に記載のプローブ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、集積回路の通電試験に用いるプローブ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
集積回路（ＩＣ）の通電試験（すなわち、検査）は、ある設計や、ある製造方法により所望の製品を得ることができるか否かを判定する技術として、重要な工程の１つである。この種の通電試験は、少なくとも１つのプローブを用い、プローブにオーバードライブを作用させて行われる。
【０００３】
この種のプローブの１つとして、金属細線を用いた芯線、この芯線の周りに配置された誘電体のような電気絶縁体、及びこの電気絶縁体の周りに配置された筒状の金属外被を備えたいわゆるセミリジッドケーブルを用いたものがある（特許文献１）。
【０００４】
【特許文献１】特表平８−５１０５５３号公報
【０００５】
上記従来のプローブは、芯線の一端部を電気絶縁体及び金属外被の一端部（先端部）から突出させて信号用針先部としている。そのようなプローブを用いたプローブ装置は、プローブをその他端部（後端部）においてホルダに片持ち梁状に支持し、プローブの針先が集積回路に押圧されたとき、プローブの針先部又は同軸ケーブルを弾性変形させる構造となっている。
【０００６】
しかし、上記従来のプローブ装置では、プローブが後端部においてホルダに片持ち梁状に支持されているにすぎないから、被検査体としての集積回路に対するプローブの針先の位置が不安定である。また、プローブの針先が集積回路に押圧されたとき、押圧力（針圧）が不足し、正確な検査をすることができない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、集積回路に対するプローブの針先の位置を安定させると共に、針圧を高めることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係るプローブ装置は、筒状の外被を用いた同軸ケーブルを備えたプローブと、該プローブをこれの後端側において片持ち梁状に支持するホルダと、前記プローブの少なくとも先端を変位させて被検査体に対する前記プローブの先端の位置を調整する位置調整手段とを含む。
【発明の効果】
【０００９】
集積回路に対するプローブの先端の位置が調整可能であると、プローブの一端部を予め湾曲させて、プローブに予圧を付与することができる。このため、集積回路に対する針先の位置が安定し、針先が集積回路に押圧されたときの針圧が高くなる。
【００１０】
前記プローブは、さらに、前記同軸ケーブルの後端部に結合されたコネクタであって前記ホルダに支持されたコネクタを備えていてもよい。
【００１１】
前記調整手段は、前記ホルダに螺合されｔｓ調整ねじであって前記ホルダへのねじ込み量を調整可能に調整ねじを備えていてもよい。
【００１２】
前記ホルダは前記プローブの少なくとも一端部が通された穴を有し、前記調整手段は、前記穴の外から中に貫通する状態に前記ホルダに螺合された調整ねじを備えていてもよい。
【００１３】
前記ホルダは前記プローブが通された穴を有し、前記プローブは、さらに、前記同軸ケーブルの後端部に結合されたコネクタであって前記ホルダに支持されたコネクタを備え、前記調整手段は、前記穴の外から中に貫通する状態に前記ホルダに螺合された調整ねじを備えていてもよい。
【００１４】
前記調整手段は、さらに、前記前記プローブを受けるプローブ受けであって前記調整ねじにより変位されて前記プローブを変形させるプローブ受けを備えていてもよい。
【００１５】
前記ホルダは、前記プローブをこれの後端側において片持ち梁状に支持するベースであって前記プローブの少なくとも先端部が伸びるベースと、前記ベースに被せられて前記穴を前記ベースと共同して形成するカバーとを含むことができる。
【００１６】
複数の前記プローブが前記ホルダに片持ち梁状に支持されていてもよい。
【００１７】
前記位置調整手段は前記被検査体に対する前記プローブの先端の高さ位置を調整するものであってもよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
図１〜図５を参照するに、プローブ装置１０は、複数（図示の例では、２つ）のプローブ１２と、プローブ１２を片持ち梁状に支持するホルダ１４とを含む。
【００１９】
各プローブ１２は、同軸ケーブル１６を用いており、またスリーブ１８を同軸ケーブル１２の一端（先端）部の周りに配置し、コネクタ２０を同軸ケーブル１８の他端（後端）部に取り付けている。プローブ１２の一端（先端）側には、共通の基板２２がスリーブ１８の一端部に配置されている。
【００２０】
同軸ケーブル１６は、図６に示すように、金属細線を用いた芯線２４の周りに電気絶縁体２６を配置し、電気絶縁体２６の周りに筒状の金属外被２８を配置したセミリジッドケーブルである。芯線２４の一端部は、電気絶縁体２６及び金属外被２８から突出されている。
【００２１】
スリーブ１８は、導電性の金属材料により円筒状に形成されており、また直径方向と平行な方向に間隔をおいた箇所を当該スリーブ１８の長手方向における一端から途中まで伸びる一対のスリット３０を有している。スリーブ１８は、スリット３０が水平となる状態に同軸ケーブル１６の一端部外側に嵌合されて、金属外被２８に半田のような導電性接着材により接着されている。
【００２２】
各コネクタ２０は、対応する同軸ケーブル１６の芯線及び外皮に個々に接続された複数の端子を有しており、プローブ１２を他のケーブルによりテスタに電気的に接続することに用いられる。
【００２３】
基板２２は、コプレナー基板である。基板２２は、図５及び図６に示すように、電気絶縁性の薄い板状部材３２と、板状部材３２の一方の面に形成されて板状部材３２の一端から突出する一対の第１の接触子３４と、各第１の接触子３４を間にして板状部材３２の一方の面に板状部材３２の一端から突出する状態に形成された二対の第２の接触子３６とを有している。
【００２４】
第１及び第２の接触子３４及び３６は、１つの第１の接触子３４と両端に位置する第２の接触子３６とが組とされて、組毎に同軸ケーブル１６に対応されている。中央に位置する第２の接触子３６は、各組で共通とされている。
【００２５】
各組の第１及び第２の接触子３４及び３６は、板状部材３２の一方の面を同軸ケーブル１６の伸長方向に平行に伸びており、また伸長方向と直交する水平方向に間隔をおいている。
【００２６】
第１及び第２の接触子３４及び３６の先端は、それぞれ、集積回路の電極に押圧される先鋭な針先とされている。
【００２７】
基板２２は、第１及び第２の接触子３４及び３６がそれぞれ芯線２４及び金属外皮２８に接触した状態に、スリーブ１８のスリット３０に差し込まれている。第１及び第２の接触子３４及び３６を、それぞれ、芯線２４及び金属外皮２８に半田のような導電性接着材により接着してもよい。
【００２８】
ホルダ１４は、プローブ１２をこれの後端側において片持ち梁状に支持するベース３８と、ベース３８に被せられたカバー４０とを含む。
【００２９】
ベース３８の一端側はプローブの少なくとも先端部が伸びる箇所とされており、ベース３８の他端部はプローブ装置１０を検査装置に取り付けるボルトを通す複数の穴４４を有する取付座４６とされている。
【００３０】
ベース３８は、それぞれプローブ１２が通された複数の穴４８をカバー４０と共同して形成している。カバー４０は、一端側に嵌合されて、複数のボルト（図示せず）によりベース３８に取り付けられている。
【００３１】
各プローブ１２は、同軸ケーブル１６が穴４８の中心を伸びる状態に、コネクタ２０においてベース３８に片持ち梁状に取り付けられている。
【００３２】
プローブ装置１０は、また、プローブ１２の少なくとも先端を変位させて被検査体に対する前記プローブの先端の位置を調整する位置調整手段５０をプローブ１２毎に備えている。
【００３３】
各位置調整手段５０は、図示の例では、穴４８の外から中に貫通する状態にベース３８に螺合された調整ねじ５２と、穴４８内にあって調整ねじに接触するプローブ受け５４とを備えている。
【００３４】
調整ねじ５２は、ベース３８へのねじ込み量を調整可能であり、ねじ込み量を調節することによりプローブ受け５４を変位させてプローブ１２を湾曲させ、それによりプローブ１２に作用させる予圧を調整する。
【００３５】
プローブ装置１０において、第１の接触子３４の先端は信号用針先として用いられ、第２の電接触子３６の先端はアース用電極として用いられる。プローブ装置１０は、それらの針先を集積回路の電極に押圧される。これにより、プローブ１２にオーバードライブが作用すると、その負荷は同軸ケーブル１６及び基板２２が弾性的に湾曲することにより吸収される。
【００３６】
上記のプローブ装置１０によれば、基板２２がスリット３０に差し込まれた状態に、スリーブ１８に配置されているから、基板２２とスリーブ１８とをユニット化することが容易になる。そのため、基板２２とスリーブ１８とのユニットを同軸ケーブル１６とは別に製造し、その後両者を結合することにより、製造することができる。
【００３７】
また、プローブ１２の先端の故障時には、基板２２及びスリーブ１８のユニットを他のユニットに交換することにより、修理をすることができる。それらの結果、組立や修理が容易なり、廉価になる。
【００３８】
プローブ１２は、ベース３８への調整ねじ５２のねじ込み量が小さいと、大きな予圧をプローブ１２に与えられないが、ねじ込み量を大きくすると、同軸ケーブル１６において弾性変形して、大きな予圧を与えられる。このため、集積回路に対する針先の位置が安定し、針先が集積回路に押圧されたときの針圧が高くなる。
【００３９】
上記のように予圧が大きいと、大きなオーバードライブをプローブ１２に作用させることなく、目的とする針圧を得ることができるから、集積回路の電極に対する針先の滑り量が少なく、その結果集積回路に対する針先の位置が安定する。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明に係るプローブ装置の一実施例を示す、カバーを取り外した状態の平面図である。
【図２】プローブの先端部の拡大斜視図である。
【図３】図１における３−３線に沿って得た断面図である。
【図４】図３における４−４線に沿って得た断面図である。
【図５】図２における５−５線に沿って得た断面図である。
【図６】図５における６−６線に沿って得た断面図である。
【符号の説明】
【００４２】
１０  プローブ装置
１２  プローブ
１４  ホルダ
１６  同軸ケーブル
１８  スリーブ
２０  コネクタ
２２  基板
２４  芯線
２６  電気絶縁体
２８  金属外被
３０  スリット
３２  板状部材
３４，３６，  第１及び第２の接触子
３８  ベース
４０カバー
４８  穴
５０  位置調整手段
５２  調整ねじ
５４  プローブ受け
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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