(57)【要約】  【課題】吐出口へのインクの供給性を向上させ、高速で連続的にドットを描画しても、安定して所望のサイズのドットを描画することができるインクジェットヘッドおよびインクジェット記録装置を提供する。  【解決手段】インクをインク液滴として吐出し、記録媒体に向けて飛翔させるインクジェットヘッドであって、インクが吐出される吐出口が開口された吐出口基板と、吐出口基板と所定の間隔を離して配置され、吐出口基板との間にインク流路を形成するヘッド基板と、吐出口からのインクの吐出を制御する吐出制御手段と、ヘッド基板のインク流路側の面に設けられた、インクのインク流の上流側から吐出口へ向かうインク流を形成するインク誘導堰とを備えることにより上記課題を解決する。【選択図】図１
2005096172.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクをインク液滴として吐出し、記録媒体に向けて飛翔させるインクジェットヘッドであって、
インクが吐出される吐出口が開口された吐出口基板と、
前記吐出口基板と所定の間隔を離して配置され、前記吐出口基板との間にインク流路を形成するヘッド基板と、
前記吐出口からのインクの吐出を制御する吐出制御手段と、
前記ヘッド基板の前記インク流路側の面に設けられた、前記インクのインク流の上流側から前記吐出口へ向かうインク流を形成するインク誘導堰とを備えることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記インク誘導堰は、前記インク流の上流側から前記吐出口の位置に向かって、前記ヘッド基板の前記インク流路側の面から前記吐出口基板の方向に傾斜する面を有することを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記吐出口の略中央を貫通し、その先端を前記インクの吐出方向に向けて、前記ヘッド基板上に配置されたインクガイドを備え、
前記インク誘導堰は、前記インクガイドに接して設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記吐出口基板の前記インク流路側の面に、インク流の上流側から前記吐出口に通じるインク誘導溝が形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記インクは、溶媒中に帯電した色材粒子を分散させたものであり、
前記吐出口基板は、絶縁性基板と、この絶縁性基板の前記インク流路側および前記記録媒体側の少なくとも一方の面に、前記吐出口の周囲を囲むように設けられた少なくとも１層の吐出電極とを有し、
前記吐出制御手段は、前記吐出電極であり、
前記吐出電極によって前記インクに静電力を作用させることにより、前記インクを吐出し、記録媒体に向けて飛翔させることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
前記吐出電極は、前記インク流の上流側の一部の電極が取り除かれた円弧状に形成され、
前記インク誘導溝は、前記吐出電極の電極が取り除かれた部分を通過して、最も前記記録媒体側に形成された前記吐出電極よりも前記記録媒体側の層まで達する深さに形成されていることを特徴とする請求項５に記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載のインクジェットヘッドを用いて、画像データに応じた画像を前記記録媒体上に記録することを特徴とするインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクを吐出して記録媒体に向けて飛翔させるインクジェットヘッド、および、このインクジェットヘッドを用いて画像データに対応した画像を記録媒体上に記録するインクジェット記録装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録装置は、インクを吐出口から吐出し、画像データに対応した画像を記録媒体上に記録するものである。インクジェット記録装置としては、インクの吐出制御手段の違いに応じて、静電式、サーマル式、ピエゾ式等のものが知られている。
【０００３】
以下、静電式インクジェット記録装置を例に挙げて説明する。静電式インクジェット記録装置は、帯電した色材粒子（着色荷電粒子）を含むインクを用い、画像データに応じて、インクジェットヘッドの各々の吐出部に所定の電圧を印加することにより、静電力を利用してインクの吐出を制御し、画像データに対応した画像を記録媒体上に記録する。この静電式インクジェット記録装置としては、例えば特許文献１に開示のインクジェット記録装置が知られている。
【０００４】
図７は、特許文献１に開示の静電式インクジェット記録装置のインクジェットヘッドの一例の構成概略図である。同図に示すインクジェットヘッド８０は、特許文献１に開示のインクジェットヘッドの１つの吐出部のみを概念的に表したものであり、ヘッド基板８２と、インクガイド８４と、絶縁性基板８６と、制御電極８８と、対向電極９０と、ＤＣバイアス電圧源９２と、パルス電圧源９４とを備えている。
【０００５】
ここで、インクガイド８４はヘッド基板８２の上に配置されており、絶縁性基板８６には、インクガイド８４の配置に対応する位置に貫通孔（吐出口）９６が開孔されている。インクガイド８４は、この貫通孔９６を通過し、その凸状の先端部分８４ａが絶縁性基板８６の記録媒体Ｐ側の表面よりも上部に突出している。また、ヘッド基板８２と絶縁性基板８６とは所定の間隔を離して配置されており、両者の間にはインクＱの流路９８が形成されている。
【０００６】
制御電極８８は、各々の吐出部毎に、絶縁性基板８６の記録媒体Ｐ側の面の表面に、貫通孔９６の周囲を取り囲むようにリング状に設けられている。また、制御電極８８は、画像デ−タに応じてパルス電圧を発生するパルス電圧源９４に接続され、このパルス電圧源９４は、ＤＣバイアス電圧源９２を介して接地されている。
【０００７】
また、対向電極９０は、インクガイド８４の先端部分８４ａに対向する位置に配置され、接地されている。記録媒体Ｐは、対向電極９０のインクガイド８４側の面の表面に配置されている。すなわち、対向電極９０は、記録媒体Ｐを支持するプラテンとして機能する。
【０００８】
記録時には、図示していないインクの循環機構により、制御電極８８に印加される電圧と同極性に帯電した色材粒子を含むインクＱが、インク流路９８内を図中右側から左側へ向かって循環される。また、ＤＣバイアス電圧源９２によって、例えば１．５ｋＶの高電圧が制御電極８８に常時印加される。この時、インク流路９８内のインクＱの一部は、毛細管現象などによって絶縁性基板８６の貫通孔９６を通り、インクガイド８４の先端部分８４ａに濃縮される。
【０００９】
バイアス電圧源９２によって１．５ｋＶにバイアスされた制御電極８８に対し、パルス電圧源９４から、例えば０Ｖのパルス電圧が印加されると、制御電極８８には両電圧が重畳された１．５ｋＶが印加される。この状態では、インクガイド８４の先端部分８４ａ近傍の電界強度は比較的低く、インクガイド８４の先端部分８４ａに濃縮された色材粒子を含むインクＱはインクガイド８４の先端部分８４ａからは飛び出さない。
【００１０】
一方、１．５ｋＶにバイアスされた制御電極８８に対し、信号電圧源９４から、例えば５００Ｖのパルス電圧が印加されると、制御電極８８には両電圧が重畳された２ｋＶが印加される。その結果、インクガイド８４の先端部分８４ａに濃縮された色材粒子を含むインクＱは、静電力によってその先端部分８４ａからインク液滴Ｒとして飛び出し、接地された対向電極９０に引っ張られて記録媒体Ｐ上に付着し、色材粒子のドットが形成される。
【００１１】
こうして、インクジェットヘッド８０と対向電極９０上に支持された記録媒体Ｐとを相対的に移動させながら色材粒子のドットによって記録を行うことにより、記録媒体Ｐに、画像データに対応する画像が記録される。
【００１２】
ところで、静電式インクジェットヘッドでは、複数の吐出部をマトリクス状に配置してマルチチャンネルヘッドを構成した場合、各々の吐出部の制御電極（吐出電極）への信号配線の接続が次第に困難になる。このため、チャンネル数が多い場合には絶縁性基板を多層配線構造化して、制御電極への信号配線を接続することが考えられる。従って、今後チャンネル数の増加とともに、絶縁性基板の厚さは次第に厚くなる傾向にある。
【００１３】
ところが、絶縁性基板が厚くなると、貫通孔（吐出口）の開口径に比べてその長さが長くなるため、インクと貫通孔内壁との間の抵抗が大きくなってインクが吐出されにくくなる。また、インク流の速度に対して、絶縁性基板が厚くなると、インクが貫通孔の中で滞留してインクガイド先端部分へのインクの供給性が劣化するため、吐出周波数に対する応答性が悪くなり、描画速度を上げるに従って次第にドット径が小さくなるという問題があった。
【００１４】
なお、静電式に限らず、絶縁性基板が厚くなった場合、すなわち貫通孔の長さが長くなった場合には、各種方式のインクジェットヘッドを用いるインクジェット記録装置においても同様の問題が発生する。
【特許文献１】特開平１０−１３８４９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
本発明の目的は、上記従来技術に基づく問題点を解消し、吐出口へのインクの供給性を向上させ、高速で連続的にドットを描画しても、安定して所望のサイズのドットを描画することができるインクジェットヘッドおよびインクジェット記録装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記課題を解決するために、本発明は、インクをインク液滴として吐出し、記録媒体に向けて飛翔させるインクジェットヘッドであって、
インクが吐出される吐出口が開口された吐出口基板と、
前記吐出口基板と所定の間隔を離して配置され、前記吐出口基板との間にインク流路を形成するヘッド基板と、
前記吐出口からのインクの吐出を制御する吐出制御手段と、
前記ヘッド基板の前記インク流路側の面に設けられた、前記インクのインク流の上流側から前記吐出口へ向かうインク流を形成するインク誘導堰とを備えることを特徴とするインクジェットヘッドを提供するものである。
【００１７】
ここで、前記インク誘導堰は、前記インク流の上流側から前記吐出口の位置に向かって、前記ヘッド基板の前記インク流路側の面から前記吐出口基板の方向に傾斜する面を有するのが好ましい。
【００１８】
また、前記吐出口の略中央を貫通し、その先端を前記インクの吐出方向に向けて、前記ヘッド基板上に配置されたインクガイドを備え、
前記インク誘導堰は、前記インクガイドに接して設けられているのが好ましい。
【００１９】
また、前記吐出口基板の前記インク流路側の面に、インク流の上流側から前記吐出口に通じるインク誘導溝が形成されているのが好ましい。
【００２０】
また、前記インクは、溶媒中に帯電した色材粒子を分散させたものであり、
前記吐出口基板は、絶縁性基板と、この絶縁性基板の前記インク流路側および前記記録媒体側の少なくとも一方の面に、前記吐出口の周囲を囲むように設けられた少なくとも１層の吐出電極とを有し、
前記吐出制御手段は、前記吐出電極であり、
前記吐出電極によって前記インクに静電力を作用させることにより、前記インクを吐出し、記録媒体に向けて飛翔させるのが好ましい。
【００２１】
また、前記吐出電極は、前記インク流の上流側の一部の電極が取り除かれた円弧状に形成され、
前記インク誘導溝は、前記吐出電極の電極が取り除かれた部分を通過して、最も前記記録媒体側に形成された前記吐出電極よりも前記記録媒体側の層まで達する深さに形成されているのが好ましい。
【００２２】
また、本発明は、上記のいずれかのインクジェットヘッドを用いて、画像データに応じた画像を前記記録媒体上に記録することを特徴とするインクジェット記録装置を提供するものである。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、ヘッド基板の吐出口に対応する領域に、インク流の上流側から吐出口へ向かって傾斜するインク誘導堰を備えることにより、インクがインク誘導堰に沿って誘導され、吐出口へ向かうインク流が形成されるため、吐出口へのインクの供給性を向上させることができる。従って、画像記録時の吐出周波数の応答性が改善され、高速で連続的にドットを描画してもドット径が小さくなるのを抑制することができるため、安定して所望のサイズのドットを描画することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下に、添付の図面に示す好適実施形態に基づいて、本発明のインクジェットヘッドおよびインクジェット記録装置を詳細に説明する。
【００２５】
図１は、本発明のインクジェットヘッドの一実施形態の構成概略図である。図１に示すインクジェットヘッド１０は、帯電された顔料等の色材粒子を含むインクＱを静電力によりインク液滴Ｒとして吐出し、画像データに応じた画像を記録媒体Ｐ上に記録する静電式インクジェットヘッドである。
【００２６】
インクジェットヘッド１０は、図２に示すように、１５個の吐出部を２次元的に配置して構成されたマルチチャンネル構造を有しているが、説明を容易にするために、図１には、その１つの吐出部のみを示してある。
【００２７】
図１に示すインクジェットヘッド１０は、ヘッド基板１２と、吐出口基板１４と、インクガイド１６とを備えている。なお、同図には、説明の都合上、インクジェットヘッド１０を用いたインクジェット記録装置に備えられる対向電極１８および記録媒体Ｐの帯電ユニット２０も併せて示してある。なお、以下の説明においては、特記しない場合には、説明を簡略化するために、図１に示すように、記録媒体Ｐ側を上側、ヘッド基板１２側を下側という。
【００２８】
まず、ヘッド基板１２は、全ての吐出部に共通なシート状の絶縁性基板であり、その内部には、同シート状に、電気的にフローティング状態である浮遊導電板２２が設けられている。
【００２９】
浮遊導電板２２には、画像の記録時に、後述する吐出電極に印加される吐出電圧の電圧値に応じて誘起される誘導電圧が発生する。また、誘導電圧の電圧値は稼動チャンネル数に応じて自動的に変化する。浮遊導電板２２により、インク流路４８内のインクＱに含まれる色材粒子は付勢されて吐出口基板１４側に泳動し、インクガイド１６の先端部分１７に濃縮される。このため、吐出されるインクＱ内の色材粒子の濃度は常に所定濃度に安定される。
【００３０】
なお、浮遊導電板２２は必須の構成要素ではなく、必要に応じて適宜設けるのが好ましい。また、浮遊導電板２２は、インク流路４８よりもヘッド基板１２側に配置されていればよく、例えばヘッド基板１２の表面に配置してもよい。また、浮遊導電板２２は、吐出部が配置される位置よりもインク流路４８の上流側に配置される方が好ましい。また、浮遊導電板２２に所定の電圧を印加するようにしても良い。
【００３１】
続いて、吐出口基板１４は、同様に全ての吐出部に共通なシート状の絶縁性基板であり、吐出口基板１４には、各々の吐出部のインクガイド１６に対応する位置に貫通孔（インクの吐出口。以下、吐出口３８とする）が開孔されている。
【００３２】
ヘッド基板１２と吐出口基板１４とは所定の間隔を離して配置されており、両者の間には、インクガイド１６にインクＱを供給するためのインク流路４８が形成されている。インクＱは、詳細は後述するが、第１吐出電極２６および第２吐出電極２８に印加される吐出電圧と同極性に帯電した色材粒子を含み、画像の記録時には、インク流路４８内を所定方向（図示例では、矢印ａ方向）に所定の速度（例えば、２００ｍｍ／ｓのインク流）で循環される。
【００３３】
吐出口基板１４は、絶縁性基板２４と、第１吐出電極２６と、第２吐出電極２８と、ガード電極３０と、絶縁層３２，３４，３６とを備えている。
【００３４】
第１吐出電極２６および第２吐出電極２８は、それぞれ絶縁性基板２４の上側および下側の表面に、各々の吐出部に対応する吐出口３８の周囲を囲むようにリング状に設けられた円形電極である。絶縁性基板２４および第１吐出電極２６の表面には、その表面を保護するとともに、平坦化する絶縁層３４が被覆され、同様に、絶縁性基板２４および第２吐出電極２８の表面には、その表面を保護するとともに平坦化する絶縁層３２が被覆されている。
【００３５】
なお、第１吐出電極２６および第２吐出電極２８はリング状の円形電極に限定されず、インクガイド１６に臨むように配置される電極であれば、例えば略円形電極、分割円形電極、平行電極、略平行電極など、どのような形状であっても良い。
【００３６】
図２に示すように、１５個の吐出部は、行方向（副走査方向）の１行当り５個（１列、２列、３列、４列、５列）ずつ、かつ列方向（主走査方向）の１列当たり３個（Ａ行、Ｂ行、Ｃ行）ずつマトリクス状に配置されている。
【００３７】
図２（ｂ）に示すように、１列目に配置された３個の吐出部の第１吐出電極２６は相互に接続されている。２〜５列目も同様である。また、図２（ｃ）に示すように、Ａ行目に配置された５個の吐出部の第２吐出電極２８は相互に接続されている。Ｂ行およびＣ行も同様である。そして、第１吐出電極２６および第２吐出電極２８は、それぞれ画像データに応じた吐出電圧を出力する制御手段（図示省略）に接続されている。
【００３８】
また、Ａ行目の５個の吐出部は、行方向に対して所定の間隔を離して配置されている。Ｂ行およびＣ行も同様である。また、Ｂ行目の５個の吐出部は、Ａ行目の５個の吐出部に対して、列方向に所定の間隔を離して、かつ、行方向に対して、それぞれＡ行目の５個の吐出部とＣ行目の５個の吐出部との間に配置されている。同様に、Ｃ行目の５個の吐出部は、Ｂ行目の５個の吐出部に対して、列方向に所定の間隔を離して、かつ、行方向に対して、それぞれＢ行目の５個の吐出部とＡ行目の５個の吐出部との間に配置されている。
【００３９】
このように、各行Ａ，Ｂ，Ｃに含まれる５個の吐出部をそれぞれ行方向にずらして配置することにより、記録媒体Ｐに記録される１行は行方向に３分割される。
【００４０】
画像の記録時には、同一列に配置された３個の第１吐出電極２６は同時かつ同一電圧レベルに駆動される。同様に、同一行に配置された５個の第２吐出電極２８は同時かつ同一電圧レベルに駆動される。また、記録媒体Ｐに記録される１行は、行方向に対して、第２吐出電極２８の行数に相当する３つのグループに分割され、時分割で順次記録される。例えば、図２に示す例の場合、第２吐出電極２８のＡ行目、Ｂ行目、Ｃ行目を順次記録することにより、記録媒体Ｐ上に１行分の画像が記録される。
【００４１】
なお、吐出電極は、第１吐出電極２６および第２吐出電極２８の２層電極構造に限定されず、単層電極構造でもよいし、３層以上の電極構造としても良い。
【００４２】
ガード電極３０は、全ての吐出部に共通なシート状の電極であり、図２（ａ）に示すように、各々の吐出部の吐出口３８の周囲に形成された第１吐出電極２６および第２吐出電極２８に相当する部分がリング状に開口されている。絶縁層３４およびガード電極３０の表面には、その表面を保護するとともに、平坦化する絶縁層３６が被覆されている。ガード電極３０には所定の電圧が印加されており、隣接する吐出部のインクガイド１６の間に生じる電界干渉を抑制する役割を果たす。
【００４３】
なお、ガード電極３０は必須の構成要素ではない。また、吐出口基板１４には、第１吐出電極２６または第２吐出電極２８からのインク流路４８方向への反発電界を遮蔽するために、第２吐出電極２８よりもインク流路４８側にシールド電極を設けるようにしても良い。
【００４４】
続いて、インクガイド１６は、凸状の先端部分１７を持つ所定厚みのセラミック製部材であり、ヘッド基板１２上に所定の間隔を離して配置されている。インクガイド１６は、吐出口基板１４に開孔された吐出口３８を通過し、その先端部分１７が吐出口基板１４の記録媒体Ｐ側の最表面（絶縁層３６の図中上側の表面）よりも上部に突出している。
【００４５】
インクガイド先端部分１７は、対向電極１８側へ向かうに従って次第に細く略三角形（ないしは台形）に成形されている。インクガイド先端部分（最先端部）１７には、金属が蒸着されているのが好ましい。このインクガイド先端部分１７の金属蒸着は必須の要素ではないが、これにより、インクガイド先端部分１７の誘電率が実質的に大きくなり、強電界を生じさせやすくできるという効果がある。
【００４６】
なお、インクガイド１６の形状は、インクＱ内の色材粒子を吐出口基板１４の吐出口３８を通って先端部分１７に濃縮させることができれば、特に制限的ではなく、例えばインクガイド先端部分１７は凸状でなくても良いなど自由に変更してもよい。また、インクガイド先端部分１７への色材粒子の濃縮を促進するために、毛細管現象によってインクＱをインクガイド先端部分１７に集めるインク案内溝となる切り欠きを、インクガイド１６の中央部分に図中上下方向に沿って形成しても良い。
【００４７】
ヘッド基板１２の上側の面、すなわち、インク流路４８の底面の、吐出口３８に対応する領域には、インク誘導堰５０が設けられている。インク誘導堰５０は、インク流路４８のインク流の上流側から吐出口３８に向かうインク流を形成するためのものである。インク誘導堰５０の構造および作用については後に詳述する。
【００４８】
続いて、対向電極１８は、インクガイド先端部分１７に対向する位置に所定の間隔（例えば、２００〜１０００μｍ）を離して配置されており、電極基板４０と、絶縁シート４２とを備えている。電極基板４０は接地され、絶縁シート４２は、電極基板４０のインクガイド１６側の表面に配置されている。記録媒体Ｐは絶縁シート４２の表面に保持されており、対向電極１８（絶縁シート４２）は記録媒体Ｐのプラテンとして機能する。
【００４９】
記録媒体Ｐの帯電ユニット２０は、記録媒体Ｐを負の高電圧に帯電させるためのスコロトロン帯電器４４と、スコロトロン帯電器４４に負の高電圧を供給するバイアス電圧源４６とを備えている。スコロトロン帯電器４４は、記録媒体Ｐの表面に対向する位置に所定の間隔を離して配置されている。また、バイアス電圧源４６の負側の端子はスコロトロン帯電器４４に接続され、その正側の端子は接地されている。
【００５０】
なお、帯電ユニット２０の帯電手段は、スコロトロン帯電器４４に限定されず、コロトロン帯電器、固体チャージャなどの従来公知の種々の帯電手段を用いることができる。
【００５１】
画像の記録時には、帯電ユニット２０によって、対向電極１８の絶縁シート４２の表面、すなわち記録媒体Ｐは、第１吐出電極２６または第２吐出電極２８に印加される高電圧と逆極性の所定の負の高電圧、例えば−１．５ｋＶに帯電される。その結果、記録媒体Ｐは、帯電ユニット２０により、第１吐出電極２６または第２吐出電極２８に対して負の高電圧に常時バイアスされるとともに、対向電極１８の絶縁シート４２に静電吸着される。
【００５２】
なお、対向電極１８を電極基板４０と絶縁シート４２とで構成し、記録媒体Ｐを、帯電ユニット２０によって負の高電圧に帯電させることにより絶縁シート４２の表面に静電吸着させているが、これに限定されず、対向電極１８を電極基板４０のみで構成し、対向電極１８（電極基板４０自体）をバイアス電圧源４６に接続して負の高電圧に常時バイアスしておき、対向電極１８の表面に記録媒体Ｐを静電吸着させるようにしても良い。
【００５３】
また、記録媒体Ｐの対向電極１８への静電吸着と、記録媒体Ｐへの負の高電圧への帯電または対向電極１８への負のバイアス高電圧の印加とを別々の負の高電圧源によって行っても良いし、対向電極１８による記録媒体Ｐの支持は、記録媒体Ｐの静電吸着に限られず、他の支持方法や支持手段を用いても良い。
【００５４】
上記では、第１吐出電極２６および第２吐出電極２８の駆動方法について、１５個の吐出部を備える例を挙げて説明したが、吐出部の個数やその物理的な配置等は自由に選択することができる。例えば、複数の吐出部を１次元的または２次元的に配置してラインヘッドを構成することが可能である。また、使用するインク色数に応じた数のヘッドユニットを設けることによって、モノクロおよびカラーのどちらにも対応可能である。
【００５５】
次に、本発明の特徴部分となる、インク誘導堰５０の構造について説明する。
【００５６】
図３（ａ）は、図１のインクジェットヘッド１０における吐出部近傍の構成を示す部分断面斜視図である。同図では、インク誘導堰５０の構造を明示するために、吐出口基板１４をインクガイド１６の略中央の位置でインク流方向に沿って切断して示している。
【００５７】
インク誘導堰５０は、ヘッド基板１２のインク流路４８側の面、すなわちインク流路４８の底面において、吐出口３８に対応する位置に配置されたインクガイド１６のインク流方向（矢印ａ方向）の上流側および下流側に備えられており、インク流方向に対して、吐出口３８に対応する位置の近傍から吐出口３８の中心に対応する位置に向かって、吐出口基板１４に漸次近接するように傾斜した面を有している。すなわち、インク誘導堰５０は、インク流方向に沿って、吐出口３８に向かって傾斜する形状を有している。
【００５８】
また、インク誘導堰５０は、インク流に直交する方向には、吐出口３８と略同一の幅を有し、底面から垂設する壁面を有する形状とされている。また、インク誘導堰５０は、吐出口３８を塞ぐことなく、インクＱの流路を確保するように、吐出口基板１４のインク流路４８側の面、すなわちインク流路４８の上面から所定の間隔を置いて設けられている。このようなインク誘導堰５０は、各々の吐出部にそれぞれ設けられている。
【００５９】
このように、インク流路４８の底面に、インク流方向に沿って、吐出口３８に向かって傾斜するインク誘導堰５０を設けることによって、吐出口３８へ向かうインク流が形成され、インクＱが吐出口３８のインク流路４８側の開口部に誘導される。そのため、インクＱを吐出口３８内部へ好適に流入させることができ、インク液滴Ｒの吐出部となるインクガイド先端部分１７へのインクの供給性を向上させることができる。従って、画像記録時の吐出周波数の応答性が改善され、高速で連続的にドットを描画しても安定して所望のサイズのドットを描画することができる。
【００６０】
また、これにより、吐出口３８内部でインクＱが滞留するのを防ぐことができ、吐出口３８の目詰まりを防止することができる。
【００６１】
インク誘導堰５０のインク流方向の長さｌは、隣接する吐出部と干渉しない範囲で、インクＱを吐出口３８へ好適に誘導できるように適宜設定されればよいが、図３（ｂ）に示すように、インク誘導堰５０の最高部の高さｈに対し、３倍以上（ｌ／ｈ≧３）とするのが好ましく、８倍以上（ｌ／ｈ≧８）とするのがより好ましい。
【００６２】
インク誘導堰５０のインク流と直交する方向の幅は、吐出口３８と同等か、若干広いのが好ましい。また、インク誘導堰５０の幅は、図示例のように均一なものには限定されず、幅が漸減するものや漸増するもの等であってもよい。また、その壁面も、垂直面には限定されず、傾斜面等であってもよい。
【００６３】
インク誘導堰５０の傾斜面（インク誘導面）は、インクＱを吐出口３８に誘導するのに好適な形状とすればよく、一定の傾斜角を有する斜面であってもよいし、傾斜角が変化する面や、湾曲面であってもよい。また、その表面は、平滑面には限定されず、インク流方向に、あるいは吐出口３８の中心部に向かって放射状に、１条以上の畝や溝等が形成されていてもよい。
【００６４】
また、インク誘導堰５０の上部のインクガイド１６との接部近傍は、図示例のように段差を有することなく、滑らかにつながる形状としてもよい。
【００６５】
図示例では、インク誘導堰５０がインクガイド１６の上流側および下流側に配置された形態としているが、吐出口３８の上流側および下流側に斜面を有する台形状のインク誘導堰５０を設け、その上部にインクガイド１６を立設する形態としてもよいし、インクガイド１６およびインク誘導堰５０を一体的に形成してもよい。このように、インク誘導堰５０は、インクガイド１６と別々に、または、一体的に形成されて、ヘッド基板１２に取り付けられてもよいし、あるいは、従来公知の掘削手段によりヘッド基板１２を削り出して形成されてもよい。
【００６６】
なお、インク誘導堰５０は、吐出口３８の上流側に設けられていれば良いが、図示例のように、吐出口３８の下流側にも、インク液滴Ｒの吐出方向の高さが吐出口３８から遠ざかるにつれて低くなるように設けられているのが好ましい。これにより、上流側のインク誘導堰５０によって吐出口３８に向かって誘導されたインクＱが滑らかに下流側へ流れるので、インクＱが乱流になることなく、インク流の安定を保つことができ、吐出安定性を保つことができる。
【００６７】
また、図３の例では、インク誘導堰５０は、ヘッド基板１２の上側の面上に配置されているが、図４に示すように、ヘッド基板１２にインク流溝５２を設け、インク流溝５２の内部にインク誘導堰５０が配置されてもよい。
【００６８】
図４に示す形態では、インク流方向（矢印ａ方向）に沿って、吐出口３８に対応する位置を通過する所定深さのインク流溝５２が設けられている。また、ヘッド基板１２の上側の面の、インク流溝５２以外の面と、吐出口基板１４の下面との間隔は、図３における両者の間隔よりも狭くなっている。このように、インク流溝５２を設けることによって、インク流路４８を流れるインクＱの多くを選択的にインク流溝５２に流すことができる。
【００６９】
インク流溝５２の吐出口３８に対応する位置には、図３の例と同様の、インク流方向に沿って吐出口３８に向かって傾斜する面を有するインク誘導堰５０が設けられており、インク流溝５２を流れるインクＱは、インク誘導堰５０によって吐出口３８に誘導される。これにより、インクＱを吐出口３８の内部へ好適に流入させることができ、インクガイド先端部分１７へのインクの供給性を向上させることができる。
【００７０】
インク流溝５２およびインク誘導堰５０は、従来公知の切削手段によりヘッド基板１２を加工して形成することができる。
【００７１】
また、インクＱの吐出口３８への供給性を更に向上させるために、例えば図５に示すように、吐出口基板１４のインク流路４８側の面にインク誘導溝を設けるのも好ましい。図５（ａ）および（ｂ）は、吐出口基板１４の吐出口３８近傍の構成の一例を表す構成上面図および構成断面図である。なお、図５（ｂ）には、対応する位置のヘッド基板１２およびインク誘導堰５０が破線で示されている。
【００７２】
同図に示すように、吐出口基板１４のインク流路４８側の面、すなわち絶縁層３２のインク流路４８側の面には、インク流の上流側から吐出口３８に通じるインク誘導溝５４が形成されている。また、インク誘導溝５４は、インク流の上流側から吐出口３８に向かうに従って、溝の深さが次第に深くなるように所定角度で傾斜されている。
【００７３】
このように、吐出口３８に通じるインク誘導溝５４を設けることによって、インクＱがインク誘導溝５４に沿って吐出口３８内部に誘導されるため、吐出口３８およびインクガイド先端部分１７へのインクの供給性を更に向上させることができる。
【００７４】
ここで、インク誘導溝５４の傾斜角度および形状は、インク誘導堰５０のインク誘導面の傾斜角度および形状と相似していてもよいし、インク誘導堰５０とインク誘導溝５４との間隔が、吐出口３８に近付くにつれて狭まるようにし、吐出口３８内部へのインクＱの流速を速めるようにしてもよい。
【００７５】
なお、インク誘導溝５４を設ける場合、図６に示すように、第１吐出電極２６および第２吐出電極２８をインク流の上流側の一部を切り欠いた円弧状の電極とし、インク誘導溝５４の吐出口３８近傍の深さを第２吐出電極２８を超える深さとするのが好ましい。図６（ａ）および（ｂ）は、吐出口基板１４の吐出口３８近傍の構成の他の例を表す構成上面図および構成断面図である。このように、インク誘導溝５４の深さを深くすることによって、吐出口３８およびインクガイド先端部分１７へのインクの供給性を更に向上させることができる。
【００７６】
インク誘導溝５４のインク流方向の長さＬは、隣接する吐出部と干渉しない範囲で、インクＱを吐出口３８へ好適に誘導できるように適宜設定されればよいが、インクＱを整流の状態で吐出口３８へ誘導するために、例えば図５（ｂ）に示すように、インク誘導溝５４のインク流方向の長さＬは、最大深さＨに対し、３倍以上（Ｌ／Ｈ≧３）とするのが好ましく、８倍以上（Ｌ／Ｈ≧８）とするのがより好ましい。
【００７７】
インク誘導溝５４は、インク流方向にわたって一定の深さに形成してもよい。また、インク流の方向にわたって均一な幅であってもよいし、インク流の上流側に向かうに従ってその幅が狭くなっていてもよいし、吐出口３８側に向かうに従ってその幅が狭くなっていてもよい。また、インク誘導溝５４の断面形状は、その深さが深くなるに従って次第に狭くなるような台形状もしくは逆三角形状であるのが好ましい。また、インク誘導溝５２は、１本の溝であってもよいし、吐出口３８に向かう複数の溝で形成されてもよい。
【００７８】
なお、インク誘導堰５０、インク流溝５２およびインク誘導溝５４の長さ、幅、深さ、平面形状、断面形状等は何ら限定されないが、これらの設定に応じて、吐出口へのインクの供給性が変化するため、必要に応じて適宜設定するのが好ましい。
【００７９】
次に、インクジェットヘッド１０で使用されるインクＱについて説明する。
【００８０】
インクＱとしては、粒径０．１〜５μｍ程度の帯電された色材粒子（着色荷電粒子）がキャリア液中に分散されたものを用いる。なお、インクＱ中には、印刷後の画像の定着性を向上させるための分散樹脂粒子が適宜含有されていてもよい。また、キャリア液は、高い電気抵抗率（１０9 Ω・ｃｍ以上、好ましくは１０10Ω・ｃｍ以上、また、好ましくは１０16Ω・ｃｍ以下）を有する誘電性の液体（非水溶媒）であるのが好ましい。
【００８１】
キャリア液として、電気抵抗率の高い誘電性液体を使用すると、吐出電極に印加される電圧により、キャリア液自身が電荷注入を受けることを少なくすることができ、色材粒子を濃縮することができる。また、電気抵抗率の高いキャリア液は、隣接する吐出部間での電気的導通の防止にも寄与し得る。また、上記範囲の電気抵抗率のキャリア液からなるインクを用いると、低電界下でも、インクの吐出を良好に行うことができる。
【００８２】
また、キャリア液の比誘電率は、５以下が好ましく、より好ましくは４以下、さらに好ましくは３．５以下であるのがよく、その下限値は１．９程度であるのが望ましい。このような比誘電率の範囲とすることによって、誘電性液体中の色材粒子に電界が有効に作用し、その泳動が起こりやすくなる。これにより、溶媒の分極を抑え、電界が緩和されることを抑えることができ、滲みの少ない良好な画像濃度のドットを形成することができる。
【００８３】
キャリア液としては、好ましくは、直鎖状もしくは分岐状の脂肪族炭化水素および脂環式炭化水素、芳香族炭化水素、これらの炭化水素のハロゲン置換体等を用いることができる。
【００８４】
具体的には、キャリア液として、例えばへキサン、ヘプタン、オクタン、イソオクタン、デカン、イソデカン、デカリン、ノナン、ドデカン、イソドデカン、シクロヘキサン、シクロオクタン、シクロデカン、ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレン、アイソパーＣ、アイソパーＥ、アイソパーＧ、アイソパーＨ、アイソパーＬ、アイソパーＭ（アイソパー：エクソン社の商品名）、シェルゾール７０、シェルゾール７１（シェルゾール：シェルオイル社の商品名）、アムスコＯＭＳ、アムスコ４６０溶剤（アムスコ：スピリッツ社の商品名）、シリコーンオイル（例えば、信越シリコーン社製ＫＦ−９６Ｌ）等を単独あるいは混合して用いることができる。
【００８５】
色材粒子は、色材をそのまま、もしくは色材を定着性を向上させるための分散樹脂粒子中に含有させてから誘電性液体中に分散させてもよい。色材を分散樹脂粒子中に含有させる場合、顔料などは分散樹脂粒子の樹脂材料で被覆して樹脂被覆粒子とする方法などが一般的であり、染料などは分散樹脂粒子を着色して色材粒子とする方法などが一般的である。また、色材としては、従来からインクジェット用インク組成物、印刷用（油性）インキ組成物、あるいは静電写真用液体現像剤に用いられている顔料および染料であればどれでも使用可能である。
【００８６】
また、色材粒子の含有量（色材粒子および樹脂粒子の合計含有量）は、印刷画像濃度、均一な分散液の形成、吐出ヘッドでのインクの目詰まりの抑制という観点から、インク全体に対して０．５〜３０重量％の範囲で含有されることが好ましく、より好ましくは１．５〜２５重量％、さらに好ましくは３〜２０重量％の範囲で含有されることが望ましい。
【００８７】
色材として用いる顔料としては、無機顔料、有機顔料を問わず、印刷の技術分野で一般に用いられているものを使用することができる。
【００８８】
具体的には、色材として用いる顔料としては、例えばカーボンブラック、カドミウムレッド、モリブデンレッド、クロムイエロー、カドミウムイエロー、チタンイエロー、酸化クロム、ビリジアン、コバルトグリーン、ウルトラマリンブルー、プルシアンブルー、コバルトブルー、アゾ系顔料、フタロシアニン系顔料、キナクリドン系顔料、イソインドリノン系顔料、ジオキサジン系顔料、スレン系顔料、ペリレン系顔料、ぺリノン系顔料、チオインジゴ系顔料、キノフタロン系顔料、金属錯体顔料、等の従来公知の顔料を特に限定することなく用いることができる。
【００８９】
また、色材として用いる染料としては、アゾ染料、金属錯塩染料、ナフトール染料、アントラキノン染料、インジゴ染料、カーボニウム染料、キノンイミン染料、キサンテン染料、アニリン染料、キノリン染料、ニトロ染料、ニトロソ染料、ペンゾキノン染料、ナフトキノン染料、フタロシアニン染料、金属フタロシアニン染料、等の油溶性染料が好ましい。
【００９０】
また、色材粒子の平均粒径は、０．１μｍ〜５μｍが好ましく、より好ましくは０．２μｍ〜１．５μｍであり、更に好ましくは０．４μｍ〜１．０μｍの範囲であるのがよい。この粒径はＣＡＰＡ−５００（堀場製作所（株）製商品名）により求めたものである。
【００９１】
なお、インクＱ中の色材粒子は、好ましくは正荷電または負荷電の検電性粒子であるのがよい。色材粒子に検電性を付与するには、湿式静電写真用現像剤の技術を適宜利用することで達成可能である。具体的には、「最近の電子写真現像システムとトナー材料の開発・実用化」１３９〜１４８頁、電子写真学会編「電子写真技術の基礎と応用」４９７〜５０５頁（コロナ社、１９８８年刊）、原崎勇次「電子写真」１６（Ｎｏ．２）、４４頁（１９７７年）等に記載の検電材料および他の添加剤を用いることで行われる。
【００９２】
また、インク組成物の粘度は、０．５〜５ｍＰａ・ｓｅｃの範囲が好ましく、より好ましくは０．６〜３．０ｍＰａ・ｓｅｃ、さらに好ましくは０．７〜２．０ｍＰａ・ｓｅｃの範囲であるのがよい。色材粒子は、荷電を有し、必要に応じて電子写真用液体現像剤に用いられている種々の荷電制御剤が使用でき、その荷電量は５〜２００μＣ／ｇの範囲が望ましく、より好ましくは１０〜１５０μＣ／ｇ、さらに好ましくは１５〜１００μＣ／ｇの範囲であるのがよい。
【００９３】
また、荷電制御剤の添加によって誘電性液体の電気抵抗が変化する事もあり、下記に定義する分配率Ｐが、５０％以上、より好ましくは６０％以上、さらに好ましくは７０％以上であるのがよい。
Ｐ＝１００×（σ１−σ２）／σ１
ここで、σ１は、インク組成物の電気伝導度、σ２は、インク組成物を遠心分離器にかけた上澄みの電気伝導度である。
【００９４】
電気伝導度は、ＬＣＲメーター（安藤電気（株）社製ＡＧ−４３１１）および液体用電極（川口電機製作所（株）社製ＬＰ−０５型）を使用し、印加電圧５Ｖ、周波数１ｋＨｚの条件で測定を行った値である。また遠心分離は、小型高速冷却遠心機（トミー精工（株）社製ＳＲＸ−２０１）を使用し、回転速度１４５００ｒｐｍ、温度２３℃の条件で３０分間行った。
【００９５】
以上のようなインク組成物とすることによって、色材粒子の泳動が起こりやすくなり、濃縮しやすくなる。
【００９６】
一方、インク組成物の電気伝導度σ１は、１００〜３０００ｐＳ／ｃｍの範囲が好ましく、より好ましくは１５０〜２５００ｐＳ／ｃｍ、さらに好ましくは２００〜２０００ｐＳ／ｃｍの範囲であるのがよい。以上のような電気伝導度の範囲とすることによって、吐出電極に印加する電圧が極端に高くならず、隣接する記録電極間での電気的導通を生じさせる懸念もない。
【００９７】
また、インク組成物の表面張力は、１５〜５０ｍＮ／ｍの範囲が好ましく、より好ましくは１５．５〜４５ｍＮ／ｍさらに好ましくは１６〜４０ｍＮ／ｍの範囲であるのがよい。表面張力をこの範囲とすることによって、吐出電極に印加する電圧が極端に高くならず、ヘッド周りにインクが漏れ広がり汚染することがない。
【００９８】
インクジェットヘッド１０は、インク全体に力を作用させて、インク液滴Ｒを記録媒体Ｐに向けて飛翔させるのではなく、主に、キャリア液体に分散された色材粒子に力を作用させて飛翔させるものである。その結果、普通紙を初めとして、非吸収性のフィルム、例えばＰＥＴフィルムなどの種々の記録媒体に画像を記録することができ、また、記録媒体上で、滲みや流動を生じることなく、種々の記録媒体に対して、高画質な画像を得ることができる。
【００９９】
次に、インクＱ中の色材粒子が正帯電している場合を例に挙げて、静電式インクジェットヘッド１０の動作を説明する。
【０１００】
画像の記録時には、インクＱが、図示していないインクの循環機構により、インク流路４８内を図中右側から左側（図１中矢印ａ方向）に向かって所定の速度で循環される。
【０１０１】
この時、インク流路４８内のインクＱに含まれる色材粒子は、浮遊導電板２２により付勢され、吐出口３８を通ってインクガイド１６の先端部分に濃縮される。これにより、インクＱ内の正帯電した色材粒子の濃度は常に所定濃度に安定される。また、インクＱは、インク誘導堰５０に沿って吐出口３８のインク流路４８側の開口部に誘導されるため、吐出口３８およびインクガイド先端部分１７へのインクの供給性を向上させることができる。
【０１０２】
一方、記録媒体Ｐは、帯電ユニット２０により、負の高電位（例えば、−１．５ｋＶ）に帯電され、対向電極１８の絶縁シート４２に静電吸着されつつ、搬送手段（図示省略）により、図１中紙面奥手側に所定の速度で搬送される。
【０１０３】
制御手段により、第２吐出電極２８は、１行ずつ順番に高電圧レベル（例えば、４００〜６００Ｖ）またはハイインピーダンス状態（オン状態）とされ、残りの全ての第２吐出電極２８は接地レベル（接地状態：オフ状態）に駆動される。また、第１吐出電極２６は、全ての列が同時に、画像データに応じて、列単位で高電圧レベルまたは接地レベルに駆動される。これにより、各々の吐出部におけるインクの吐出／非吐出が制御される。
【０１０４】
すなわち、第２吐出電極２８が高電圧レベルまたはハイインピーダンス状態で、かつ第１吐出電極２６が高電圧レベルの場合にはインクＱがインク液滴Ｒとして吐出され、第１吐出電極２６および第２吐出電極２８の少なくとも一方が接地レベルの場合にはインクは吐出されない。そして、各々の吐出部から吐出されたインク液滴Ｒは、負の高電位に帯電された記録媒体Ｐに引き寄せられ、記録媒体Ｐの所定位置に付着して画像が形成される。
【０１０５】
この時、前述の通り、吐出口３８へ向かうインク流を形成し、吐出口３８にインクＱを誘導するインク誘導堰５０が設けられていることによって、吐出口３８へのインクの供給性が向上される。このため、画像記録時の吐出周波数の応答性が改善され、高速で連続的にドットを描画してもドット径が小さくなるのを抑制することができ、安定して所望のサイズのドットを描画することができる。すなわち、ドットサイズにばらつきのない高画質な画像を記録することが可能である。
【０１０６】
なお、上記では、吐出口３８にインクガイド１６が配置されていたが、インクガイド１６を有さないインクジェットヘッドにおいても、吐出口３８に対応する位置にインク誘導堰５０が設けられることにより、吐出口３８へ向かうインクＱの流れが形成されるので、吐出口３８へのインクの供給性を向上することができる。
【０１０７】
なお、上記のように、下層の第２吐出電極２８の行を順次オンし、画像データに応じて、上層の第１吐出電極２６をオン／オフした場合、第１吐出電極２６が画像データに応じて駆動されるため、列方向のそれぞれの吐出部を中心として、その両側の吐出部では、第１吐出電極２６が高電圧レベルまたは接地レベルに頻繁に変化する。この場合、画像の記録時にガード電極３０を所定のガード電位、例えば接地レベル等にバイアスすることにより、隣接する吐出部の電界の影響を排除することができる。
【０１０８】
また、別の実施形態として、第１吐出電極２６と第２吐出電極２８とを逆の状態、すなわち第１吐出電極２６を１列毎に順次駆動し、画像データに応じて、第２吐出電極２８を駆動することも可能である。
【０１０９】
この場合、列方向は、第１吐出電極２６の１列毎に駆動され、列方向のそれぞれの吐出部を中心として、その両側の列の吐出部の第１吐出電極２６は常に接地レベルになるため、この両側の列の吐出部の第１駆動電極２６がガード電極３０の役割を果す。このように、上層の第１吐出電極２６で各列を順次オンし、画像データに応じて下層の第２吐出電極２８を駆動する場合には、ガード電極３０を設けなくても、隣接する吐出部の影響を排除し、記録品質を向上させることができる。
【０１１０】
インクジェットヘッド１０では、第１吐出電極２６または第２吐出電極２８の一方、または両方で、インク吐出／非吐出の制御を行うかは何ら制限的ではない。すなわち、吐出電極側のインク吐出／非吐出の時の電圧値と記録媒体Ｐ側の電圧値との差分が所定値よりも大きい場合にはインクが吐出され、所定値よりも小さい場合にはインクが吐出されないように、吐出電極側および記録媒体Ｐ側の電圧を適宜設定すればよい。
【０１１１】
また、上記実施形態では、インク中の色材粒子を正帯電させ、記録媒体側を負の高電圧に帯電させているが、これに限定されず、逆に、インク中の色材粒子を負に帯電させ、記録媒体Ｐ側を正の高電圧に帯電させても良い。このように、色材粒子の極性を上記の実施形態と逆にする場合には、対向電極１８、記録媒体Ｐの帯電ユニット２０、各々の吐出部の第１吐出電極２６および第２吐出電極２８への印加電圧極性等を上記の例と逆にすれば良い。
【０１１２】
また、本発明のインクジェット記録装置は、その具体的な構成は図示省略するが、本発明のインクジェットヘッドを用いて、画像データに応じた画像を記録媒体上に記録するものである。
【０１１３】
なお、本発明は、静電式インクジェットヘッドおよび静電式インクジェット記録装置に限定されるものではなく、サーマル式、ピエゾ式等のインクの吐出制御手段を用いる従来公知の各種のインクジェットヘッドおよびインクジェット記録装置に適用することが可能である。
【０１１４】
本発明は、基本的に以上のようなものである。
以上、本発明のインクジェットヘッドおよびインクジェット記録装置について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更をしてもよいのはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【０１１５】
【図１】本発明のインクジェットヘッドの一実施形態の構成概略図である。
【図２】（ａ）、（ｂ）および（ｃ）は、それぞれガード電極、第２吐出電極、および第１吐出電極の配置を表す一実施形態の構成概略図である。
【図３】（ａ）は、図１のインクジェットヘッドにおける吐出部近傍の構成を示す部分断面斜視図であり、（ｂ）は、インク誘導堰の形状寸法を説明する図である。
【図４】ヘッド基板の吐出部近傍の構成の別の実施形態を示す部分断面斜視図である。
【図５】（ａ）および（ｂ）は、それぞれ、吐出口基板の貫通孔近傍の構成の一例を示す構成上面図および構成断面図である。
【図６】（ａ）および（ｂ）は、それぞれ、吐出口基板の貫通孔近傍の構成の他の例を示す構成上面図および構成断面図である。
【図７】従来のインクジェットヘッドの一例の構成概略図である。
【符号の説明】
【０１１６】
１０，８０  インクジェットヘッド
１２，８２  ヘッド基板
１４  吐出口基板
１６，８４  インクガイド
１７，８４ａ  インクガイド先端部分
１８，９０  対向電極
２０  帯電ユニット
２２  浮遊導電板
２４，８６  絶縁性基板
２６，２８  吐出電極
３０  ガード電極
３２，３４，３６  絶縁層
３８  吐出孔
４０  電極基板
４２  絶縁シート
４４  スコロトロン帯電器
４６  バイアス電圧源
４８，９８  インク流路
５０  インク誘導堰
５２  インク流溝
５４  インク誘導溝
８８  制御電極
９２  ＤＣバイアス電圧源
９４  パルス電圧源
９６  貫通孔
【図１】
2005096172.tif 000003
【図２】
2005096172.tif 000004
【図３】
2005096172.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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