(57)【要約】【課題】周囲温度の変化による影響を受けることなく、荷重の計測精度を高め得ると共に、コンパクト化を図ることができ、更に、誘電体の材料の選定を容易に行い得る静電容量型荷重計を提供する。【解決手段】温度特性の異なる誘電体１，４を電極２，３並びに電極３，５で挟んで積層し、各誘電体１，４における静電容量を計測し、荷重の関数として与えられる静電容量の複数の式と、温度の関数として与えられる誘電率の複数の式とを連立して解くことにより、荷重を求めるよう構成する。【選択図】図１
2005249574.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
誘電体を挟んで電極を対向配置してなる静電容量型荷重計において、
温度特性の異なる誘電体を電極で挟んで積層し、各誘電体における静電容量を計測し、荷重の関数として与えられる静電容量の複数の式と、温度の関数として与えられる誘電率の複数の式とを連立して解くことにより、荷重を求めるよう構成したことを特徴とする静電容量型荷重計。
【請求項２】
荷重の関数として与えられる静電容量の複数の式が
[数１]
Ｃ1＝ε0・ε1・Ｓ2・Ｅ1／｛ｄ0・（Ｓ・Ｅ1＋Ｆ）｝
[数２]
Ｃ2＝ε0・ε2・Ｓ2・Ｅ2／｛ｄ0・（Ｓ・Ｅ2＋Ｆ）｝
但し、Ｃ1：第一の誘電体における静電容量
Ｃ2：第二の誘電体における静電容量
ε0：真空の誘電率
ε1：第一の誘電体の比誘電率
ε2：第二の誘電体の比誘電率
Ｓ：誘電体面積
Ｅ1：第一の誘電体のヤング率
Ｅ2：第二の誘電体のヤング率
Ｆ：荷重
ｄ0：無負荷時の電極間距離
であり、温度の関数として与えられる誘電率の複数の式が
[数３]
ε1＝ｆ1（Ｔ）
[数４]
ε2＝ｆ2（Ｔ）
であり、未知数がＦ、ε1、ε2、Ｔである請求項１記載の静電容量型荷重計。
【請求項３】
誘電体を挟んで電極を対向配置してなる静電容量型荷重計において、
面積の異なる誘電体を電極で挟んで積層し、各誘電体における静電容量を計測し、荷重の関数として与えられる静電容量の複数の式を連立して解くことにより、荷重を求めるよう構成したことを特徴とする静電容量型荷重計。
【請求項４】
荷重の関数として与えられる静電容量の複数の式が
[数５]
Ｃ1＝ε0・ε・Ｓ12・Ｅ／｛ｄ0・（Ｓ1・Ｅ＋Ｆ）｝
[数６]
Ｃ2＝ε0・ε・Ｓ22・Ｅ／｛ｄ0・（Ｓ2・Ｅ＋Ｆ）｝
但し、Ｃ1：第一の誘電体における静電容量
Ｃ2：第二の誘電体における静電容量
ε0：真空の誘電率
ε：第一の誘電体並びに第二の誘電体の比誘電率
Ｓ1：第一の誘電体の面積
Ｓ2：第二の誘電体の面積
Ｅ：第一の誘電体並びに第二の誘電体のヤング率
Ｆ：荷重
ｄ0：無負荷時の電極間距離
であり、未知数がＦ、εである請求項３記載の静電容量型荷重計。
【請求項５】
誘電体を挟んで電極を対向配置してなる静電容量型荷重計において、
誘電体を電極で挟んで積層し、各誘電体における静電容量を異なる周波数で計測し、計測周波数が異なることによって誘電率が変化するために得られ且つ荷重の関数として与えられる静電容量の複数の式を連立して解くことにより、荷重を求めるよう構成したことを特徴とする静電容量型荷重計。
【請求項６】
計測周波数が異なることによって誘電率が変化するために得られ且つ荷重の関数として与えられる静電容量の複数の式が
[数７]
Ｃ1＝ε0・ε・Ｓ2・Ｅ／｛ｄ0・（Ｓ・Ｅ＋Ｆ）｝
[数８]
Ｃ2＝ε0・ε・Ｓ2・Ｅ／｛ｄ0・（Ｓ・Ｅ＋Ｆ）｝
但し、Ｃ1：第一の誘電体における静電容量
Ｃ2：第二の誘電体における静電容量
ε0：真空の誘電率
ε1：第一の誘電体の比誘電率
ε2：第二の誘電体の比誘電率
Ｓ：第一の誘電体並びに第二の誘電体の面積
Ｅ：第一の誘電体並びに第二の誘電体のヤング率
Ｆ：荷重
ｄ0：無負荷時の電極間距離
であり、［数７］式と［数８］式から比誘電率の比を
[数９]
ε1／ε2＝Ｃ1／Ｃ2
より導き、該比誘電率の比に基づいて温度を求め、該温度から第一の誘電体の比誘電率と第二の誘電体の比誘電率とのうち少なくとも一方を求め、該第一の誘電体の比誘電率と第二の誘電体の比誘電率とのうち少なくとも一方を用い、［数７］式と［数８］式とのうち少なくとも一方より未知数としての荷重を算出する請求項５記載の静電容量型荷重計。
【請求項７】
［数７］式より算出される荷重と［数８］式より算出される荷重とが異なる場合に、両者の平均を荷重として算出する請求項６記載の静電容量型荷重計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静電容量型荷重計に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、静電容量型荷重計は、図５に示される如く、誘電体１を挟んで電極２，３を対向配置してなる、いわゆるコンデンサとしての構成を有しており、荷重付与時に変化する静電容量を計測することにより、荷重を求めるようになっている。
【０００３】
即ち、前記静電容量型荷重計における静電容量Ｃは、
[数１]
Ｃ＝ε0・εr・Ｓ／ｄ
但し、ε0：真空の誘電率
εr：比誘電率
Ｓ：誘電体の面積
ｄ：電極間距離
という式で与えられるが、静電容量型荷重計に荷重が付与されると、電極間距離ｄの変化に伴って静電容量Ｃが変化する。
【０００４】
ここで、弾性体の歪は応力に比例するというフックの法則より、［数１］式における電極間距離ｄを消去すると、静電容量Ｃは、
[数２]
Ｃ＝ε0・εr・Ｓ2・Ｅ／｛ｄ0・（Ｓ・Ｅ＋Ｆ）｝
但し、Ｅ：ヤング率
Ｆ：荷重
ｄ0：無負荷時の電極間距離
という式で与えられるため、静電容量型荷重計への荷重付与時に、実際に計測される静電容量Ｃを［数２］式に代入することにより、荷重Ｆを導き出すことができるわけである。
【０００５】
ところで、前記誘電体１の誘電率は、温度によって変化し、該誘電体１の誘電率の変化は、その材料によって異なっており、誘電体１の材料として用いられる、例えば、ポリフェニルサルファイド（ＰＰＳ）やポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）の場合、図６に示されるような差がある。
【０００６】
前記静電容量Ｃは、［数２］式から明らかなように、誘電率の関数であって温度依存性があるため、周囲の温度が変化すると、正確な静電容量Ｃ即ち荷重Ｆが計測できなくなる。
【０００７】
このため、従来においては、温度センサを設置して周囲温度を計測し、該計測された周囲温度に基づいて誘電率を求め、該誘電率と計測される静電容量とから［数２］式を用いて荷重を求めるようにした静電容量型荷重計が開発されていた。（例えば、特許文献１参照。）
【０００８】
又、荷重が付与されない位置に参照用として温度依存性のあるコンデンサを設置し、該コンデンサの静電容量を計測することでその誘電率から温度を求め、該温度に基づいて静電容量型荷重計における誘電体１の誘電率を求め、該誘電率と計測される静電容量とから［数２］式を用いて荷重を求めるようにしたものもある。（例えば、特許文献２参照。）
【０００９】
更に又、温度特性が逆特性となる誘電体１を積層した構造、即ち、温度上昇に対して誘電率が増加する誘電体１と、温度上昇に対して誘電率が減少する誘電体１とを積層した構造を採用することにより、温度依存性を相殺するようにしたものも存在する。（例えば、特許文献３参照。）
【特許文献１】特開２００１−１３０２５号公報
【特許文献２】特開昭６０−２０１２３０号公報
【特許文献３】特開平７−５５６１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、前述の如く、温度センサや参照用のコンデンサを用いて温度を計測する場合、それらに荷重がかからない位置、即ち静電容量型荷重計の外部や周辺に設置するため、誘電体１の温度を正確に計測することができなかった。
【００１１】
又、温度センサや参照用のコンデンサが静電容量型荷重計の外部にはみ出すため、コンパクト化を図ることが難しかった。
【００１２】
更に又、温度特性が逆特性となる誘電体１を積層した構造を採用するのでは、誘電体１の材料が限定され、その選定が困難になるという欠点を有していた。
【００１３】
本発明は、斯かる実情に鑑み、周囲温度の変化による影響を受けることなく、荷重の計測精度を高め得ると共に、コンパクト化を図ることができ、更に、誘電体の材料の選定を容易に行い得る静電容量型荷重計を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は、誘電体を挟んで電極を対向配置してなる静電容量型荷重計において、
温度特性の異なる誘電体を電極で挟んで積層し、各誘電体における静電容量を計測し、荷重の関数として与えられる静電容量の複数の式と、温度の関数として与えられる誘電率の複数の式とを連立して解くことにより、荷重を求めるよう構成したことを特徴とする静電容量型荷重計にかかるものである。
【００１５】
前記静電容量型荷重計においては、荷重の関数として与えられる静電容量の複数の式が
[数３]
Ｃ1＝ε0・ε1・Ｓ2・Ｅ1／｛ｄ0・（Ｓ・Ｅ1＋Ｆ）｝
[数４]
Ｃ2＝ε0・ε2・Ｓ2・Ｅ2／｛ｄ0・（Ｓ・Ｅ2＋Ｆ）｝
但し、Ｃ1：第一の誘電体における静電容量
Ｃ2：第二の誘電体における静電容量
ε0：真空の誘電率
ε1：第一の誘電体の比誘電率
ε2：第二の誘電体の比誘電率
Ｓ：誘電体面積
Ｅ1：第一の誘電体のヤング率
Ｅ2：第二の誘電体のヤング率
Ｆ：荷重
ｄ0：無負荷時の電極間距離
であり、温度の関数として与えられる誘電率の複数の式が
[数５]
ε1＝ｆ1（Ｔ）
[数６]
ε2＝ｆ2（Ｔ）
であり、未知数がＦ、ε1、ε2、Ｔであるようにすることができる。
【００１６】
又、本発明は、誘電体を挟んで電極を対向配置してなる静電容量型荷重計において、
面積の異なる誘電体を電極で挟んで積層し、各誘電体における静電容量を計測し、荷重の関数として与えられる静電容量の複数の式を連立して解くことにより、荷重を求めるよう構成したことを特徴とする静電容量型荷重計にかかるものである。
【００１７】
前記静電容量型荷重計においては、荷重の関数として与えられる静電容量の複数の式が
[数７]
Ｃ1＝ε0・ε・Ｓ12・Ｅ／｛ｄ0・（Ｓ1・Ｅ＋Ｆ）｝
[数８]
Ｃ2＝ε0・ε・Ｓ22・Ｅ／｛ｄ0・（Ｓ2・Ｅ＋Ｆ）｝
但し、Ｃ1：第一の誘電体における静電容量
Ｃ2：第二の誘電体における静電容量
ε0：真空の誘電率
ε：第一の誘電体並びに第二の誘電体の比誘電率
Ｓ1：第一の誘電体の面積
Ｓ2：第二の誘電体の面積
Ｅ：第一の誘電体並びに第二の誘電体のヤング率
Ｆ：荷重
ｄ0：無負荷時の電極間距離
であり、未知数がＦ、εであるようにすることができる。
【００１８】
更に又、本発明は、誘電体を挟んで電極を対向配置してなる静電容量型荷重計において、
誘電体を電極で挟んで積層し、各誘電体における静電容量を異なる周波数で計測し、計測周波数が異なることによって誘電率が変化するために得られ且つ荷重の関数として与えられる静電容量の複数の式を連立して解くことにより、荷重を求めるよう構成したことを特徴とする静電容量型荷重計にかかるものである。
【００１９】
前記静電容量型荷重計においては、計測周波数が異なることによって誘電率が変化するために得られ且つ荷重の関数として与えられる静電容量の複数の式が
[数９]
Ｃ1＝ε0・ε・Ｓ2・Ｅ／｛ｄ0・（Ｓ・Ｅ＋Ｆ）｝
[数１０]
Ｃ2＝ε0・ε・Ｓ2・Ｅ／｛ｄ0・（Ｓ・Ｅ＋Ｆ）｝
但し、Ｃ1：第一の誘電体における静電容量
Ｃ2：第二の誘電体における静電容量
ε0：真空の誘電率
ε1：第一の誘電体の比誘電率
ε2：第二の誘電体の比誘電率
Ｓ：第一の誘電体並びに第二の誘電体の面積
Ｅ：第一の誘電体並びに第二の誘電体のヤング率
Ｆ：荷重
ｄ0：無負荷時の電極間距離
であり、［数９］式と［数１０］式から比誘電率の比を
[数１１]
ε1／ε2＝Ｃ1／Ｃ2
より導き、該比誘電率の比に基づいて温度を求め、該温度から第一の誘電体の比誘電率と第二の誘電体の比誘電率とのうち少なくとも一方を求め、該第一の誘電体の比誘電率と第二の誘電体の比誘電率とのうち少なくとも一方を用い、［数９］式と［数１０］式とのうち少なくとも一方より未知数としての荷重を算出することができる。
【００２０】
前記静電容量型荷重計においては、［数９］式より算出される荷重と［数１０］式より算出される荷重とが異なる場合に、両者の平均を荷重として算出することができる。
【００２１】
上記手段によれば、以下のような作用が得られる。
【００２２】
静電容量型荷重計への荷重付与時には、積層された各誘電体における静電容量が計測され、該静電容量に関連する各種の式が連立して解かれ、これにより、従来の如く静電容量型荷重計の外部や周辺に設置される温度センサや参照用のコンデンサを用いて温度を計測するのとは異なり、温度を直接計測せずに、荷重が精度良く求められる。
【００２３】
しかも、構造的には誘電体を電極で挟んで積層するだけで良く、従来必要となっていた温度センサや参照用のコンデンサは、静電容量型荷重計の外部や周辺に設置しなくて済み、静電容量型荷重計の外部にはみ出すようなことはないため、コンパクト化を図ることが可能となる。
【００２４】
更に、温度特性が逆特性となる誘電体を積層した構造を採用するのに比べ、誘電体の材料が限定されず、その選定が容易になる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明の請求項１〜７記載の静電容量型荷重計によれば、周囲温度の変化による影響を受けることなく、荷重の計測精度を高め得ると共に、コンパクト化を図ることができ、更に、誘電体の材料の選定を容易に行い得るという優れた効果を奏し得る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明の実施の形態を添付図面を参照して説明する。
【００２７】
図１（ａ）、（ｂ）は本発明を実施する形態の第一例であって、図中、図５と同一の符号を付した部分は同一物を表わしており、温度特性の異なる誘電体１，４を電極２，３並びに電極３，５で挟んで積層し、各誘電体１，４における静電容量を計測し、荷重の関数として与えられる静電容量の複数の式と、温度の関数として与えられる誘電率の複数の式とを連立して解くことにより、荷重を求めるよう構成したものである。
【００２８】
前記荷重の関数として与えられる静電容量の複数の式は、
[数１２]
Ｃ1＝ε0・ε1・Ｓ2・Ｅ1／｛ｄ0・（Ｓ・Ｅ1＋Ｆ）｝
[数１３]
Ｃ2＝ε0・ε2・Ｓ2・Ｅ2／｛ｄ0・（Ｓ・Ｅ2＋Ｆ）｝
但し、Ｃ1：第一の誘電体１における静電容量
Ｃ2：第二の誘電体４における静電容量
ε0：真空の誘電率
ε1：第一の誘電体１の比誘電率
ε2：第二の誘電体４の比誘電率
Ｓ：誘電体１，４の面積
Ｅ1：第一の誘電体１のヤング率
Ｅ2：第二の誘電体４のヤング率
Ｆ：荷重
ｄ0：無負荷時の電極２，３間距離並びに無負荷時の電極３，５間距離
であり、温度の関数として与えられる誘電率の複数の式は、
[数１４]
ε1＝ｆ1（Ｔ）
[数１５]
ε2＝ｆ2（Ｔ）
であり、未知数はＦ、ε1、ε2、Ｔである。
【００２９】
尚、前記誘電体１の材料としては、例えば、ポリフェニルサルファイド（ＰＰＳ）等の樹脂フィルムを用い、前記誘電体４の材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等の樹脂フィルムを用いることができ、又、電極２，３並びに電極３，５は、誘電体１，４の表面に蒸着により形成され、その材料としては、例えば、金（Ａｕ）、クロム（Ｃｒ）、クロム−ニッケル（Ｃｒ−Ｎｉ）等を用いることができる。
【００３０】
次に、上記図示例の作用を説明する。
【００３１】
静電容量型荷重計への荷重付与時には、積層された各誘電体１，４における静電容量Ｃ1，Ｃ2が計測され、該静電容量Ｃ1，Ｃ2に関連する［数１２］式、［数１３］式、［数１４］式、［数１５］式という四つの式が連立して解かれ、これにより、従来の如く静電容量型荷重計の外部や周辺に設置される温度センサや参照用のコンデンサを用いて温度を計測するのとは異なり、温度を直接計測せずに、荷重Ｆが精度良く求められる。
【００３２】
しかも、構造的には誘電体１，４を電極２，３並びに電極３，５で挟んで積層するだけで良く、従来必要となっていた温度センサや参照用のコンデンサは、静電容量型荷重計の外部や周辺に設置しなくて済み、静電容量型荷重計の外部にはみ出すようなことはないため、コンパクト化を図ることが可能となる。
【００３３】
更に、温度特性が逆特性となる誘電体を積層した構造を採用するのに比べ、誘電体１，４の材料が限定されず、その選定が容易になる。
【００３４】
こうして、周囲温度の変化による影響を受けることなく、荷重の計測精度を高め得ると共に、コンパクト化を図ることができ、更に、誘電体１，４の材料の選定を容易に行い得る。
【００３５】
尚、図１（ａ）、（ｂ）に示す第一例においては、誘電体１，４を挟む電極として電極３を共用する形としているが、電極３を二枚に分け、その間に絶縁体を介在させるようにしても良いことは言うまでもない。
【００３６】
図２（ａ）、（ｂ）は本発明を実施する形態の第二例であって、図中、図１（ａ）、（ｂ）と同一の符号を付した部分は同一物を表わしており、面積の異なる誘電体１，６を電極２，３並びに電極３’，５で挟んで積層し、各誘電体１，６における静電容量を計測し、荷重の関数として与えられる静電容量の複数の式を連立して解くことにより、荷重を求めるよう構成したものである。
【００３７】
前記荷重の関数として与えられる静電容量の複数の式は、
[数１６]
Ｃ1＝ε0・ε・Ｓ12・Ｅ／｛ｄ0・（Ｓ1・Ｅ＋Ｆ）｝
[数１７]
Ｃ2＝ε0・ε・Ｓ22・Ｅ／｛ｄ0・（Ｓ2・Ｅ＋Ｆ）｝
但し、Ｃ1：第一の誘電体１における静電容量
Ｃ2：第二の誘電体６における静電容量
ε0：真空の誘電率
ε：第一の誘電体１並びに第二の誘電体６の比誘電率
Ｓ1：第一の誘電体１の面積
Ｓ2：第二の誘電体６の面積
Ｅ：第一の誘電体１並びに第二の誘電体６のヤング率
Ｆ：荷重
ｄ0：無負荷時の電極２，３間距離並びに無負荷時の電極３’，５間距離
であり、未知数はＦ、εである。
【００３８】
尚、前記誘電体１，６は同一材料を用い、その材料としては、例えば、ポリフェニルサルファイド（ＰＰＳ）やポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等の樹脂フィルムを用いることができ、又、電極２，３並びに電極３’，５は、誘電体１，４の表面に蒸着により形成され、その材料としては、例えば、金（Ａｕ）、クロム（Ｃｒ）、クロム−ニッケル（Ｃｒ−Ｎｉ）等を用いることができる。
【００３９】
又、図２（ａ）、（ｂ）に示す第二例では、アクリル板等の絶縁体からなるアタッチメント７，９を電極２，５の外面を覆うように配置すると共に、電極３，３’間にアクリル板等の絶縁体からなるアタッチメント８を介在させるようにしてある。
【００４０】
図２（ａ）、（ｂ）に示す第二例においては、静電容量型荷重計への荷重付与時には、積層された各誘電体１，６における静電容量Ｃ1，Ｃ2が計測され、該静電容量Ｃ1，Ｃ2に関連する［数１６］式、［数１７］式という二つの式が連立して解かれ、これにより、従来の如く静電容量型荷重計の外部や周辺に設置される温度センサや参照用のコンデンサを用いて温度を計測するのとは異なり、温度を直接計測せずに、荷重Ｆが精度良く求められる。
【００４１】
しかも、構造的には誘電体１，６を電極２，３並びに電極３’，５で挟んで積層するだけで良く、従来必要となっていた温度センサや参照用のコンデンサは、静電容量型荷重計の外部や周辺に設置しなくて済み、静電容量型荷重計の外部にはみ出すようなことはないため、コンパクト化を図ることが可能となる。
【００４２】
更に、温度特性が逆特性となる誘電体を積層した構造を採用するのに比べ、誘電体１，６の材料が限定されず、その選定が容易になる。
【００４３】
こうして、図２（ａ）、（ｂ）に示す第二例の場合、周囲温度の変化による影響を受けることなく、荷重の計測精度を高め得ると共に、コンパクト化を図ることができ、更に、誘電体１，６の材料の選定を容易に行い得る。
【００４４】
図３（ａ）、（ｂ）は本発明を実施する形態の第三例であって、図中、図２（ａ）、（ｂ）と同一の符号を付した部分は同一物を表わしており、誘電体１，１０を電極２，３並びに電極３’，５で挟んで積層し、各誘電体１，１０における静電容量を異なる周波数ｆｒ1，ｆｒ2で計測し、計測周波数ｆｒ1，ｆｒ2が異なることによって誘電率が変化するために得られ且つ荷重の関数として与えられる静電容量の複数の式を連立して解くことにより、荷重を求めるよう構成したものである。
【００４５】
前記計測周波数ｆｒ1，ｆｒ2が異なることによって誘電率が変化するために得られ且つ荷重の関数として与えられる静電容量の複数の式は、
[数１８]
Ｃ1＝ε0・ε・Ｓ2・Ｅ／｛ｄ0・（Ｓ・Ｅ＋Ｆ）｝
[数１９]
Ｃ2＝ε0・ε・Ｓ2・Ｅ／｛ｄ0・（Ｓ・Ｅ＋Ｆ）｝
但し、Ｃ1：第一の誘電体１における静電容量
Ｃ2：第二の誘電体１０における静電容量
ε0：真空の誘電率
ε1：第一の誘電体１の比誘電率
ε2：第二の誘電体１０の比誘電率
Ｓ：第一の誘電体１並びに第二の誘電体１０の面積
Ｅ：第一の誘電体１並びに第二の誘電体１０のヤング率
Ｆ：荷重
ｄ0：無負荷時の電極２，３間距離並びに無負荷時の電極３’，５間距離
であり、［数１８］式と［数１９］式から比誘電率の比を
[数２０]
ε1／ε2＝Ｃ1／Ｃ2
より導き、該比誘電率の比ε1／ε2に基づいて温度を求め、該温度から第一の誘電体１の比誘電率ε1と第二の誘電体１０の比誘電率ε2とのうち少なくとも一方を求め、該第一の誘電体１の比誘電率ε1と第二の誘電体１０の比誘電率ε2とのうち少なくとも一方を用い、［数１８］式と［数１９］式とのうち少なくとも一方より未知数としての荷重Ｆを算出するようにしてある。
【００４６】
ここで、前記誘電体１，１０を同一材料として、例えば、ポリフェニルサルファイド（ＰＰＳ）等の樹脂フィルムを用いると、誘電体１，１０を同一材料としていても、図４に示す如く、計測周波数ｆｒ1（＝１［ｋＨｚ］），ｆｒ2（＝１００［ｋＨｚ］）が異なることによって誘電率（比誘電率ε1，ε2）が変化するため、該誘電率の比が判れば、温度と誘電率（比誘電率ε1，ε2）を図４のデータから求めることが可能となる。
【００４７】
尚、前記［数１８］式より算出される荷重Ｆと、［数１９］式より算出される荷重Ｆとが必ずしも一致せず、若干の誤差を生じることもあるが、このように［数１８］式より算出される荷重Ｆと［数１９］式より算出される荷重Ｆとが異なる場合には、両者の平均を荷重Ｆとして算出すれば良い。
【００４８】
図３（ａ）、（ｂ）に示す第三例においては、静電容量型荷重計への荷重付与時には、積層された各誘電体１，１０における静電容量Ｃ1，Ｃ2が異なる周波数ｆｒ1，ｆｒ2で計測され、該静電容量Ｃ1，Ｃ2に関連する［数１８］式、［数１９］式という二つの式から比誘電率の比ε1／ε2が［数２０］式より導かれ、該比誘電率の比ε1／ε2に基づいて、図４のデータから温度が求められ、該温度から第一の誘電体１の比誘電率ε1と第二の誘電体１０の比誘電率ε2とのうち少なくとも一方が求められ、該第一の誘電体１の比誘電率ε1と第二の誘電体１０の比誘電率ε2とのうち少なくとも一方が用いられて、［数１８］式と［数１９］式とのうち少なくとも一方より未知数としての荷重Ｆが算出され、これにより、従来の如く静電容量型荷重計の外部や周辺に設置される温度センサや参照用のコンデンサを用いて温度を計測するのとは異なり、温度を直接計測せずに、荷重Ｆが精度良く求められる。
【００４９】
しかも、構造的には誘電体１，１０を電極２，３並びに電極３’，５で挟んで積層するだけで良く、従来必要となっていた温度センサや参照用のコンデンサは、静電容量型荷重計の外部や周辺に設置しなくて済み、静電容量型荷重計の外部にはみ出すようなことはないため、コンパクト化を図ることが可能となる。
【００５０】
更に、温度特性が逆特性となる誘電体を積層した構造を採用するのに比べ、誘電体１，１０の材料が限定されず、その選定が容易になる。
【００５１】
こうして、図３（ａ）、（ｂ）に示す第三例の場合、周囲温度の変化による影響を受けることなく、荷重の計測精度を高め得ると共に、コンパクト化を図ることができ、更に、誘電体１，１０の材料の選定を容易に行い得る。
【００５２】
尚、本発明の静電容量型荷重計は、上述の図示例にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明を実施する形態の第一例の概要構成図であって、（ａ）は側面図、（ｂ）は平面図である。
【図２】本発明を実施する形態の第二例の概要構成図であって、（ａ）は側面図、（ｂ）は平面図である。
【図３】本発明を実施する形態の第三例の概要構成図であって、（ａ）は側面図、（ｂ）は平面図である。
【図４】誘電体の計測周波数による誘電率の温度特性の違いの一例を示す線図である。
【図５】静電容量型荷重計の一例を示す斜視図である。
【図６】誘電体の材料による誘電率の温度特性の違いの一例を示す線図である。
【符号の説明】
【００５４】
１    誘電体
２    電極
３    電極
３’  電極
４    誘電体
５    電極
６    誘電体
７    アタッチメント
８    アタッチメント
９    アタッチメント
１０    誘電体
ｆｒ1    周波数
ｆｒ2    周波数
【図１】
2005249574.tif 000003
【図２】
2005249574.tif 000004
【図３】
2005249574.tif 000005
【図４】
2005249574.tif 000006
【図５】
2005249574.tif 000007
【図６】
2005249574.tif 000008