(57)【要約】【課題】コーティング装置と締め付け装置を提供する。【解決手段】本発明のコーティング装置は、ホルダーと締め付け装置からなる。締め付け装置は、ホルダー周縁に設置され、且つ、被コーティング物を装載する。締め付け装置とホルダーは、フック構造により連接される。締め付け装置は、キャリア、定位部、挟持部、から構成される。定位部の一側面は、キャリアの承載面上に連接され、被コーティング物承載領域を有する。挟持部は、定位部のもう一側面上に連接され、開口を有し、この開口と被コーティング物承載領域は、部分的に重畳し、且つ、開口の尺寸は、被コーティング物承載領域より小さい。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ホルダーと、
前記ホルダー周縁に設置され、少なくとも一つの被コーティング物を装載し、且つ、前記ホルダーと、フック構造、係固構造、装接構造の群からなる少なくとも一つにより相互に連接される締め付け装置と、
からなることを特徴とするコーティング装置。
【請求項２】
前記フック構造、前記係固構造、前記装接構造のからなる群の少なくとも一つと、前記ホルダー、及び、前記締め付け装置からなる群の一つの連結方式は、リベット、鎖合、係固、掛接、溶接、一体成形、からなる群のどれか一つであることを特徴とする請求項１に記載のコーティング装置。
【請求項３】
前記締め付け装置は、
両端がそれぞれ、前記フック構造、前記係固構造、前記装接構造、前記鎖合構造からなる群の少なくとも一つにより、前記ホルダーと連接されるキャリアと、
一側面が前記キャリアの承載面上に連接し、少なくとも一つの被コーティング物承載領域を有し、前記被コーティング物承載領域の形状、及び、尺寸が前記被コーティング物に対応する少なくとも一つの定位部と、
前記定位部のもう一側面上に連接され、少なくとも一つの開口を有し、前記開口と前記被コーティング物承載領域は、部分的、及び／又は、全部が重畳し、且つ、前記開口の尺寸は、前記被コーティング物承載領域の尺寸より小さい少なくとも一つの挟持部と、
からなることを特徴とする請求項１に記載のコーティング装置。
【請求項４】
更に、前記挟持部と前記定位部間に位置する突出部を有し、前記被コーティング物承載領域の側壁を構成することを特徴とする請求項３に記載のコーティング装置。
【請求項５】
前記キャリアの前記承載面両側に、それぞれ、第一、及び、第二突出構造を有し、前記第一突出構造と前記第二突出構造の位置は対応し、且つ、形状は嵌合することを特徴とする請求項３に記載のコーティング装置。
【請求項６】
前記ホルダーは、
少なくとも一つの支承体と、
前記支承体両端に位置する二つの固定座と、
から構成され、
少なくとも一つの前記固定座上に、第一定位構造を形成し、
前記締め付け装置の一端は、第二定位構造を形成し、且つ、前記第二定位構造と第三定位構造は、対応する凸ブロック／ホールのどちらか一つであることを特徴とする請求項１に記載のコーティング装置。
【請求項７】
前記ホルダーを容置し、物理的気相成長法、化学気相蒸着のどちらか一つを実行するチャンバーと、
前記チャンバーに連接され、ターゲット、及び／又は、コーティング材を提供する少なくとも一つのターゲット領域と、
前記チャンバーに連接され、処理材料、及び／又は、気体を提供する少なくとも一つの処理領域と、を更に有する
ことを特徴とする請求項１に記載のコーティング装置。
【請求項８】
少なくとも一つの被コーティング物を装載する締め付け装置であって、
キャリアと、
一側面が前記キャリアの承載面上に連接し、少なくとも一つの被コーティング物承載領域を有する少なくとも一つの定位部と、
前記定位部のもう一側面上に連接され、少なくとも一つの開口を有し、前記開口と前記被コーティング物承載領域は、部分的、及び／又は、全部が重畳し、且つ、前記開口の尺寸は、前記被コーティング物承載領域の尺寸より小さい少なくとも一つの挟持部と、
からなることを特徴とする締め付け装置。
【請求項９】
前記被コーティング物承載領域の形状は、四角形、円形、多辺形からなる群のどれか一つであることを特徴とする請求項８に記載の締め付け装置。
【請求項１０】
更に、前記挟持部と前記定位部間に位置する突出部を有し、前記被コーティング物承載領域の側壁を構成することを特徴とする請求項８に記載の締め付け装置。
【請求項１１】
前記突出部は導引部を有し、前記被コーティング物を導引することを特徴とする請求項１０に記載の締め付け装置。
【請求項１２】
前記キャリアの前記承載面両側に、それぞれ、第一、及び、第二突出構造を有し、前記第一突出構造と前記第二突出構造の位置は対応し、且つ、形状は嵌合することを特徴とする請求項８に記載の締め付け装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コーティング装置及び締め付け装置に関するものであって、特に、被コーティング物を迅速に取り外す締め付け装置と、前記締め付け装置を迅速に取り外すコーティング装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光電産業の迅速な発展により、光学素子等の素子の重要性が日増しに高まっていて、中でも、光学素子は、コーティング品質を最も重要としている。現在の光学素子中、光学コーティングにより好ましい光学性能を達成する必要があり、光学コーティングも、高速、高容量のコーティングへと発展している。
【０００３】
業界で常用されている３０層の光学コーティングの光学フィルターを例にすると、公知のコーティング機は、僅か６０〜７０片ほどしか放置できない２５００平方ミリ（ｍｍ２）の光学基板で、且つ、コーティング工程を完成するのに、６〜８時間も必要で、よって、製造効率が低く、時間を消耗する。
【０００４】
また、最新の高性能コーティング機は、４００片を収容することが可能な２５００平方ミリの光学基板で、且つ、２〜３時間でコーティング工程を完成するので、大幅に生産効率を向上させ、生産時間を短縮させる。前述の高性能コーティング機の締め付け装置１００（図１で示される）は、複数の穿孔１０２を有する挟持体１０４、複数の凸ブロック１０６、及び、開口１０８を有する複数の挟持片１１０により構成され、凸ブロックの突出部１１２の軸向きの断面半径は穿孔の孔径より小さく、且つ、開口の孔径は穿孔の孔径より小さい。
【０００５】
コーティング前に、まず、螺旋鎖合方式で、各挟持片を挟持体の側面上に鎖合し、開口中心が穿孔軸線上に位置する。続いて、光学基板を円形薄板に切割りし、更に、円形の光学基板を穿孔中に置入し、挟持片と接触させる。接触側の光学基板表面はスパッタリング面である。続いて、凸ブロックを、挟持体のもう一側から穿孔内に装入し、更に、螺旋鎖合方式で、凸ブロックを挟持体のもう一側に鎖合する。この時、光学基板が挟持片、及び、凸ブロックにより、挟持体上に挟持される。
【０００６】
続いて、螺旋鎖合方式で、挟持体両端を、コーティング機上に鎖合して、スパッタリング工程を実行する。スパッタリング工程が終了する時、順序よく、挟持体、凸ブロック、光学基板、挟持片を取り外す。連続して工程を実行する必要があるとき、挟持片を取り外さなくても、挟持体、凸ブロック、及び、円光学基板を繰り返しつけたり外したりすればよい。
【０００７】
しかし、前述の各工程は、螺旋鎖合方式で相互固接するので、コーティング機が満載の時、必要な最小螺旋数は、数千個である。よって、大幅に設備コストを増加させるだけでなく、長い鎖合時間を必要とするので、生産時間が大幅に増加する。
【０００８】
この他、挟持体の数量を大幅に増加させて、遅延の発生を減少させることができるが、挟持体も、螺旋鎖合方式で固定するので、遅延時間は僅かに減少するだけで、生産及び設備コストは大幅に増加する。
【０００９】
更に、穿孔の形式、尺寸は、挟持体整備の際、一体成形されるので、光学基板の形式、尺寸は、穿孔形式、尺寸の制限を受ける。光学基板の形式、尺寸が変更する時、対応する挟持体を改めて製作しなければならず、コストがかかる。よって、上述の高性能のコーティング機は、時間、及び／又は、コストを減少することができない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、生産時間とコストを大幅に減少させるコーティング装置を提供することを目的とする。
【００１１】
本発明は、異なる尺寸、形状の被コーティング物に適用するコーティング装置を提供することをもう一つの目的とする。
【００１２】
本発明は、被コーティング物の挟載時間を短縮させる締め付け具を提供することを更なる目的とする。
【００１３】
本発明は、異なる尺寸、形状の被コーティング物に適用する締め付け具を提供することを更なる目的とする。
【００１４】
本発明は、生産時間、及び、コストを大幅に減少させる締め付け具を提供することを最後の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明のコーティング装置は、チャンバー、少なくとも一つのターゲット領域、少なくとも一つの処理領域、及び、少なくとも一つのホルダー、からなる。ターゲット領域は、チャンバーに連接され、ターゲット、及び／又は、コーティング料を提供する。処理領域は、チャンバーに連接され、処理材料、及び／又は、気体を提供する。ホルダーはチャンバー内に位置し、ホルダー周縁は、少なくとも一つの締め付け装置を設置し、締め付け装置は、少なくとも一つの被コーティング物を装載し、且つ、締め付け装置とホルダーは、フック構造、係固構造、装接構造の群からなる少なくとも一つにより相互に連接される。このチャンバーは、スパッタリング、蒸着等の物理的気相成長法、或いは、化学気相蒸着を実行する。
【００１６】
本発明の締め付け装置は、少なくとも一つの被コーティング物を装載し、キャリア、少なくとも一つの定位部、及び、少なくとも一つの挟持部、から構成される。定位部の一側面は、キャリアの承載面上に連接され、少なくとも一つの被コーティング物承載領域を有する。挟持部は、定位部のもう一側面上に連接され、開口を有し、この開口と被コーティング物承載領域は、部分的、及び／又は、全体的に重畳し、且つ、開口の尺寸は、被コーティング物承載領域より小さい。
【００１７】
本発明のコーティング装置は、少なくとも一つのホルダー、及び、少なくとも一つの締め付け装置、からなる。締め付け装置は、ホルダー周縁に設置され、少なくとも一つの被コーティング物を装載し、且つ、締め付け装置とホルダーは、フック構造、係固構造、装接構造の群からなる少なくとも一つにより相互に連接される。
【００１８】
前述のコーティング装置中、フック構造は弾性フック構造である。ホルダー、及び／又は、締め付け装置と、フック構造、係固方式、装接方式からなる群から選択される少なくとも一つの連結方式は、リベット、鎖合、係固、掛接、溶接、一体成形、からなる群のどれか一つである。
【００１９】
前述のコーティング装置、及び／又は、締め付け装置中、更に、挟持部と定位部間に位置する突出部を有し、被コーティング承載領域の側壁を構成する。突出部と定位部、及び／又は、挟持部の結合方式は、リベット、鎖合、係固、掛接、溶接、一体成形、からなる群のどれか一つである。この時、定位部は、被コーティング物の被コーティング面のもう一側面の辺縁に対し支承を提供する。突出部、及び／又は、定位部は、被コーティング物を導引する導引部を有する。
【００２０】
前述のコーティング装置、及び／又は、締め付け装置中、キャリアの承載面両側は、それぞれ、突出構造を形成し、二つの突出構造の位置は対応し、且つ、形状は互いに嵌合する。
【００２１】
前述のコーティング装置中、少なくとも一つの固定座上に、定位構造を形成し、且つ、締め付け装置の一端は、対応する定位構造を形成する。この二つの定位構造は、相互に対応する凸ブロック／ホールである。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の締め付け装置を使用する時、締め付け装置は取り外しを必要としないので、直接、且つ、迅速に、被コーティング物を締め付け装置上に装載し、被コーティング物の装載時間を大幅に減少させ、生産時間を大幅に短縮させる。
【００２３】
更に、本発明の締め付け装置を使用する時、締め付け装置の被コーティング物承載区の形状、及び／又は、尺寸、被コーティングパターン形状、尺寸等は、部分的な素子を交換する情況下で、容易に変更できるので、異なる被コーティング物を使用する時、公知技術のように、締め付け装置全部を取り替える必要がなく、コストを大幅に削減できる。
【００２４】
更に、本発明のホルダーと締め付け装置は、係接、或いは、係固の方式で接合するので、ホルダーと締め付け装置の接合時間が大幅に短縮され、遅延時間を減少させると共に、コーティング装置の性能及び利用率を向上させ、生産コストと時間を減少させる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
図２は、本発明の好ましい実施例によるコーティング装置２００を示す図である。図３は、図２の締め付け具４００を示す図である。図２と図３を同時に参照すると、コーティング装置２００は、ホルダー３００、ホルダー３００周縁に設置された締め付け装置４００、チャンバー２０２、ターゲット領域２０６、２０８、処理領域２１０からなり、締め付け装置４００とホルダー３００間の装着、取り外しは、例えば、それぞれ、締め付け装置４００とホルダー３００に連接し、且つ、相互に対応するフック５０２、５０４（例えば、弾性フック）により、掛接／緩脱する方式、係固方式、装接方式などである。この他、締め付け装置４００とホルダー３００は、直接、鎖合方式により固接してもよい。
【００２６】
ホルダー３００は、支承体３０４と、支承体３０４両端に位置する固定座３０２、３０６から構成され、締め付け装置４００を承載する。支承体３０４と固定座３０２、３０６の接合方式は、例えば、リベット、鎖合、係固、掛接、溶接、一体成形である。支承体３０４は、例えば、筒状構造で、表面は花紋、パターン、ホールでもよい。この他、支承体３０４内も、回転構造（図示しない）と連結し、ホルダー３００を帯動して回転させる。固定座３０２、３０６の辺縁は、それぞれ、締め付け装置４００両端と接合され、締め付け装置４００の位置を固定する。固定座３０２、３０６は、例えば、円盤、多辺形盤で、固定座３０２、３０６の表面は花紋、パターン、ホールでもよい。支承体３０４、固定座３０２、３０６の材質は、相同でも不相同でもよく、例えば、金属、プラスチック、導磁材料である。この他、固定座３０２、或いは、３０６の辺縁上に、少なくとも一つの定位構造３０８を形成して、締め付け具４００の定位を実行する。定位構造３０８は、例えば、凸ブロック、凹孔である。
【００２７】
締め付け具４００は、キャリア４０６、キャリア４０６上に連結した定位部４０４、及び、定位部４０４上に連結した挟持部４０２、から構成され、且つ、挟持部４０２、及び、定位部４０４が囲繞する領域は、被コーティング物承載区４１６である。被コーティング物承載区４１６の形式、尺寸は、被コーティング物の形式、尺寸より若干大きいか、等しく、例えば、四角形、円形、多辺形、及び、その他特定の形状である。
【００２８】
挟持部４０２は開口４１８を有し、開口４１８と被コーティング物承載区４１６は、部分的に、及び／又は、全部が重畳し、且つ、開口４１８の尺寸は、被コーティング物承載区４１６の尺寸より若干小さく、挟持部４０２は、被コーティング物承載区４１６の脱離を防止するものである。開口４１８の形式と被コーティング物承載区４１６の形式は、相同でも、不相同でもよい。開口４１８の形式、尺寸は、被コーティングパターンの形式、尺寸により異なり、例えば、四角形、円形、多辺形、多角形、或いは、その他特定の形状である。
【００２９】
定位部４０４は、被コーティング物承載区４１６の周縁（被コーティング物承載区４１６の側壁）を環繞し、且つ、被コーティング物の進出用の進出口４２０を有して、被コーティング物を定位、及び、被コーティング物のシフトを防止する。この他、定位部４０４は、進出口４２０の辺縁に、導引部４２２を形成し、被コーティング物の被コーティング物承載区４１６への進出を導引する。更に、定位部４０４の高度は、被コーティング物の厚さより大きいか、等しい。
【００３０】
この他、定位部４０４一側の表面上に、突出部４０８を形成し、且つ、一側表面とキャリア４０６は連結し、突出部４０８は、挟持部４０２と連結している。この時、突出部４０８は、被コーティング物承載区４１６の周縁（被コーティング物承載区４１６の側壁）を環繞し、且つ、被コーティング物の進出用の進出口４２０を有して、被コーティング物を定位、及び、被コーティング物のシフトを防止する。この他、突出部４０８は、進出口４２０の辺縁に、導引部４２２を形成し、被コーティング物の被コーティング物承載区４１６への進出を導引する。更に、突出部４０８を除く定位部４０４は、被コーティング物のもう一側面の辺縁に対し支承を提供して、被コーティング物とキャリア４０６が接触するのを回避し、被コーティング物のもう一側表面が衝撃を受けたり、傷を受けたりするのを防止する。
【００３１】
この他、突出部４０８は、定位部４０４と一体成形でき、挟持部４０２と一体成形することも出来、また、個別に成形することも出来る。具体的には、突出部４０８と定位部４０４、及び／又は、挟持部４０２の結合方式は、例えば、リベット、鎖合、係固、掛接、溶接、一体成形である。
【００３２】
キャリア４０６は、定位部４０４、及び、定位部４０４上の挟持部４０２を承載し、定位部４０４は、キャリア４０６の承載面上に連接される。キャリア４０６の少なくとも一端は、固定構造５００と連結され、固定構造５００により、ホルダー３００上に固定される。この他、固定構造５００とキャリア４０６、及び、ホルダー３００の連結方式は、例えば、リベット、鎖合、係固、掛接、溶接、一体成形である。この他、キャリア４０６の両側に、固定構造５００を連結することが出来、一側が固定構造５００に連結し、もう一側が、定位構造３０８と相互に対応する定位部４１０を形成してもよい。定位部４１０は、例えば、凹孔、凸ブロックである。
【００３３】
この他、ホルダー３００、或いは、キャリア４０６のコーティング不要面がコーティングされるのを防止するため、キャリア４０６の承載面両側も、それぞれ、突出部４１２、４１４を形成し、突出部４１２、４１４の位置は対応し、形状は互いに嵌合する。少なくとも二つのキャリアを使用する時、キャリアの突出部４１２（４１４）は、もう一つのキャリアの突出部４１４（４１２）と接合するので、ホルダー３００、或いは、キャリア４０６のコーティング不要面がコーティングされるのを効果的に防止する。また、突出部４１２、４１４を形成する時、突出部４１２、４１４が保護板となり、被コーティング物が回転中に、締め付け具４００を脱離するのを防止する。
【００３４】
更に、上述のキャリア４０６、定位部４０４、挟持部４０２は一体成形でもよく、先に、それぞれを成形してから組み合わせてもいいし、一部を一体成形して、更に組み合わせてもよい。キャリア４０６、定位部４０４、挟持部４０２の結合方式は、例えば、鎖合、係固、溶接、一体成形である。キャリア４０６、定位部４０４、挟持部４０２、突出部４０８の材質は、相同でも不相同でもよく、例えば、金属、プラスチック、導磁材料である。
【００３５】
この他、キャリア４０６と定位部４０４、及び、挟持部４０２を分離させる時、直接、定位部４０４、及び、挟持部４０２で構成される被コーティング物承載区４１６の形状、尺寸の変更により、同一キャリア４０６上で、異なる尺寸、形状の被コーティング物を装載する効果を達成する。この他、直接、挟持部４０２を変更することにより、異なる尺寸、形状の被コーティングパターンを変更する効果を達成する。
【００３６】
チャンバー２０２は、ホルダーを収容し、コーティング処理室となる。チャンバー２０２の周縁は、ターゲットを安置するターゲット領域２０６、２０８を設置し、処理材料／気体の処理領域２１０を安置し、ホルダー３００がチャンバー２０２を進出する環境条件調整の予備室２０４等を提供する。更に、チャンバー２０２とターゲット領域２０６、２０８、処理領域２１０、予備室２０４の間に、バルブ２１４、２１６、２１８、２１２を有し、これにより、バルブ２１４、２１６、２１８、２１２が、それぞれ、ターゲット領域２０６、２０８、処理領域２１０、予備室２０４が、チャンバー２０２と連通するのを制御して、外界環境が、チャンバー２０２内の反応環境に対し影響を与えるのを効果的に防止する。
【００３７】
更に、チャンバー２０２内でのコーティング反応は、例えば、スパッタリング、蒸着等の物理的気相成長法（PVD）、化学気相蒸着（CVD）である。ターゲット領域２０６、２０８中に安置されるターゲット、及び／或いは、コーティング材、処理領域２１０に安置される処理材料／気体、及び、ターゲット領域２０６、２０８と処理領域２１０の設置位置は、どれも、実際のコーティング反応の需要に応じて変更する。
【００３８】
本発明の締め付け装置を使用する時、締め付け装置は取り外しを必要としないので、直接、且つ、迅速に、被コーティング物を締め付け装置上に装載し、被コーティング物の装載時間を大幅に減少させ、生産時間を大幅に短縮させる。
【００３９】
更に、本発明の締め付け装置を使用する時、締め付け装置の被コーティング物承載区の形状、及び／又は、尺寸、被コーティングパターン形状、尺寸等は、部分的な素子を交換する情況下で、容易に変更できるので、異なる被コーティング物を使用する時、公知技術のように、締め付け装置全部を取り替える必要がなく、コストを大幅に削減できる。
【００４０】
更に、本発明のホルダーと締め付け装置は、係接、或いは、係固の方式で接合するので、ホルダーと締め付け装置の接合時間が大幅に短縮され、遅延時間を減少させると共に、コーティング装置の性能及び利用率を向上させ、生産コストと時間を減少させる。
【００４１】
本発明では好ましい実施例を前述の通り開示したが、これらは決して本発明に限定するものではなく、当該技術を熟知する者なら誰でも、本発明の精神と領域を脱しない範囲内で各種の変動や潤色を加えることができ、従って本発明明の保護範囲は、特許請求の範囲で指定した内容を基準とする。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】公知のコーティング締め付け装置を示す図である。
【図２】本発明の好ましい実施例によるコーティング装置を示す図である。
【図３】本発明の締め付け装置を示す図である。
【符号の説明】
【００４３】
１００    締め付け装置
１０２    穿孔
１０４    挟持体
１０６    凸ブロック
１０８、４１８    開口
１１０    挟持片
１１２    突出部
２００    コーティング装置
２０２    チャンバー
２０４    予備室
２０６、２０８    ターゲット領域
２１０    処理室
２１２、２１４、２１６、２１８    バルブ
３００    ホルダー
３０２、３０６    固定座
３０４    支承体
３０８    定位構造
４００    締め付け装置
４０２    挟持部
４０４、４１０    定位部
４０６    キャリア
４０８、４１２、４１４    突出部
４１６    被コーティング物承載領域
４２０    進出口
４２２    導引部
５００    固定構造
５０２、５０４    フック
【図１】
2005224798.tif 000003
【図２】
2005224798.tif 000004
【図３】
2005224798.tif 000005