(57)【要約】【課題】  機能液消費動作の動作状況をモニタリングして、機能液消費動作の動作状態を確認できるモニタリング方法およびモニタリング装置、並びに描画装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器を提供することを課題とする。【解決手段】  機能液滴吐出ヘッド１６に機能液を供給する機能液タンク５１から、機能液滴吐出ヘッド１６を介して機能液を消費する機能液消費動作をモニタリングするモニタリング方法において、機能液消費動作による機能液の経時的な消費動向を測定する消費動向測定工程と、正常動作時の動作開始から動作終了に至る消費動向を経時的に規定した消費テーブルから、測定した消費動向に対応する消費動向を、基準消費動向として取得する基準消費動向取得工程と、測定した消費動向と基準消費動向とを比較して、機能液消費動作が正常であるか否かを判定する判定工程と、を備える。【選択図】  図６
2005161131.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液タンクから、前記機能液滴吐出ヘッドを介して機能液を消費する機能液消費動作をモニタリングするモニタリング方法において、
前記機能液消費動作による機能液の経時的な消費動向を測定する消費動向測定工程と、
正常動作時の動作開始から動作終了に至る消費動向を経時的に規定した消費テーブルから、測定した前記消費動向に対応する前記消費動向を、基準消費動向として取得する基準消費動向取得工程と、
測定した前記消費動向と前記基準消費動向とを比較して、前記機能液消費動作が正常であるか否かを判定する判定工程と、を備えたことを特徴とするモニタリング方法。
【請求項２】
前記機能液消費動作は、前記機能液滴吐出ヘッドの吐出駆動により為される描画動作、
前記機能液滴吐出ヘッドの吐出駆動により為される捨て吐出動作、
前記機能液滴吐出ヘッドのノズル面から前記機能液を吸引することにより、前記機能液滴吐出ヘッドを保守する保守動作、
および前記機能液滴吐出ヘッドのノズル面から前記機能液を吸引することにより、前記機能液タンクから前記機能液滴吐出ヘッドに至る機能液流路に、前記機能液を充填する機能液充填動作の少なくとも１つの動作より成ることを特徴とする請求項１に記載のモニタリング方法。
【請求項３】
前記機能液消費動作の種別と、前記判定結果と、を報知する報知工程をさらに備えたことを特徴とする請求項２に記載のモニタリング方法。
【請求項４】
前記消費動向は、所定時間内に消費される前記機能液の消費量であり、
前記消費動向測定工程は、前記機能液タンクの重量を計測する第１計測工程と、
前記第１計測工程による計測から前記所定時間後に、前記機能液タンクの重量を再度計測する第２計測工程と、
前記第１計測工程および前記第２計測工程の計測結果から、前記消費量の経時的変化を算出する算出工程と、を有していることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のモニタリング方法。
【請求項５】
前記消費動向は、所定時間内に減少してゆく前記機能液タンクの重量であり、
前記消費動向測定工程は、前記機能液タンクの重量を計測する第１計測工程と、
前記第１計測工程による計測から前記所定時間後に、前記機能液タンクの重量を再度計測する第２計測工程と、を有していることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のモニタリング方法。
【請求項６】
機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液タンクから、前記機能液滴吐出ヘッドを介して機能液を消費する機能液消費動作をモニタリングするモニタリング装置において、
前記機能液消費動作による機能液の経時的な消費動向を測定する消費動向測定手段と、
正常動作時の動作開始から動作終了に至る消費動向を経時的に規定した消費テーブルから、測定した前記消費動向に対応する前記消費動向を、基準消費動向として取得する基準消費動向取得手段と、
測定した前記消費動向と前記基準消費動向とを比較して、前記機能液消費動作が正常であるか否かを判定する判定手段と、を備えたことを特徴とするモニタリング装置。
【請求項７】
前記機能液消費動作は、前記機能液滴吐出ヘッドの吐出駆動により為される描画動作、
前記機能液滴吐出ヘッドの吐出駆動により為される捨て吐出動作、
前記機能液滴吐出ヘッドのノズル面から前記機能液を吸引することにより、前記機能液滴吐出ヘッドを保守する保守動作、
および前記機能液滴吐出ヘッドのノズル面から前記機能液を吸引することにより、前記機能液タンクから前記機能液滴吐出ヘッドに至る機能液流路に、前記機能液を充填する機能液充填動作の少なくとも１つの動作より成ることを特徴とする請求項６に記載のモニタリング装置。
【請求項８】
前記機能液消費動作の種別と、前記判定結果を報知する報知手段と、をさらに備えたことを特徴とする請求項７に記載のモニタリング装置。
【請求項９】
ワークに対して、吐出ノズルが形成された機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら前記機能液滴吐出ヘッドを駆動することにより、前記ワークに機能液滴による描画を行う描画装置において、
請求項１ないし５のいずれかに記載のモニタリング方法を適用した、または請求項６ないし８のいずれかに記載のモニタリング装置を備えたことを特徴とする描画装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の描画装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１１】
請求項９に記載の描画装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１２】
請求項１０に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項１１に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液タンクから、機能液滴吐出ヘッドを介して機能液を消費する機能液消費動作のモニタリング方法およびモニタリング装置、並びに描画装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
機能液タンクから機能液の供給を受ける機能液滴吐出ヘッドを吐出駆動することにより、機能液滴による描画をワークに行う描画装置では、精度良く描画を行うために、描画動作（機能液消費動作）を行う前に、機能液滴吐出ヘッドを吐出駆動して所定の検査パターンを描画させ、機能液滴吐出ヘッドの吐出状態を確認するようになっている。
【特許文献１】特開２００３−２５１２４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、従来の描画装置では、ワークに対する描画前の吐出状態を確認することができても、ワークに対して行った描画動作の吐出状態の確認を行うことができず、ワークに行った描画動作の動作状態を確認するためには、描画動作を行ったワークに対し、別途ドット抜け等を検出する検査を行わねばならない。すなわち、動作結果に対して改めて検査を行うことによってのみ、動作状態を確認できるに過ぎない。そこで、本発明は、機能液消費動作の動作状況をモニタリングして、機能液消費動作の動作状態を確認できるモニタリング方法およびモニタリング装置、並びに描画装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明は、機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液タンクから、機能液滴吐出ヘッドを介して機能液を消費する機能液消費動作をモニタリングするモニタリング方法において、機能液消費動作による機能液の経時的な消費動向を測定する消費動向測定工程と、正常動作時の動作開始から動作終了に至る消費動向を経時的に規定した消費テーブルから、測定した消費動向に対応する消費動向を、基準消費動向として取得する基準消費動向取得工程と、測定した消費動向と基準消費動向とを比較して、機能液消費動作が正常であるか否かを判定する判定工程と、を備えたことを特徴とする。
【０００５】
また、本発明は、機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液タンクから、機能液滴吐出ヘッドを介して機能液を消費する機能液消費動作をモニタリングするモニタリング装置において、機能液消費動作による機能液の経時的な消費動向を測定する消費動向測定手段と、正常動作時の動作開始から動作終了に至る消費動向を経時的に規定した消費テーブルから、測定した消費動向に対応する消費動向を、基準消費動向として取得する基準消費動向取得手段と、測定した消費動向と基準消費動向とを比較して、機能液消費動作が正常であるか否かを判定する判定手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００６】
これらの構成によれば、機能液消費動作による機能液の経時的な消費動向を測定すると共に、これに対応する正常動作時の基準消費動向を取得してこれらを比較することにより、行われた機能液消費動作が正常であるか否かを判定することができる。すなわち、正常動作時の消費動向を示す消費テーブルに基づいて、実際に行われた機能液消費動作の消費動向を把握することにより、行われた機能液消費動作が適切であるか否かを容易に判断することができる。また、測定した機能液の消費動向および消費テーブルに基づいて取得した基準消費動向を比較するだけで機能液消費動作の動作状況の適否を判断できるため、機能液消費動作の実行中に当該機能液消費動作が正常であるか否かを判定することも可能である。すなわち、機能液消費動作と並行して、当該機能液消費動作の動作状況を判断できるため、機能液消費動作中に不具合が生じても、これを速やかに見つけることができ、無駄な機能液消費動作が継続して行われることを防止することができる。なお、機能液タンクは、貯留した機能液を機能液滴吐出ヘッドに供給するものであれば良く、パック形式のものやカートリッジ形式のものであっても良い。
【０００７】
これらの場合、機能液消費動作は、機能液滴吐出ヘッドの吐出駆動により為される描画動作、機能液滴吐出ヘッドの吐出駆動により為される捨て吐出動作、機能液滴吐出ヘッドのノズル面から機能液を吸引することにより、機能液滴吐出ヘッドを保守する保守動作、および機能液滴吐出ヘッドのノズル面から機能液を吸引することにより、機能液タンクから機能液滴吐出ヘッドに至る機能液流路に、機能液を充填する機能液充填動作の少なくとも１つの動作より成ることが好ましい。
【０００８】
この構成によれば、機能液消費動作を構成する動作の動作状況が適切に行われているか否かを容易に判定することができる。なお、描画動作、捨て吐出動作、保守動作、および機能液充填動作は、機能液消費動作になり得る代表的なものであり、動作時間が動作当りの機能液の消費量がそれぞれ異なるこれらの動作状況が適切に行われているか否かを判断可能とすることにより、効率よく各動作を行うことが可能である。
【０００９】
この場合、モニタリングした機能液消費動作の種別と、判定結果を報知する報知工程と、をさらに備えることが好ましい。
【００１０】
また、この場合、機能液消費動作の種別と、判定結果を報知する報知手段と、をさらに備えることが好ましい。
【００１１】
これらの構成によれば、機能液消費動作の種別と判定結果とが報知されるので、ユーザはこれらに基づいて効率よく対応を行うことができる。すなわち、モニタリングした機能液消費動作が正常であれば、これに続く動作を指示することができる。一方、機能液消費動作が異常であれば、異常原因を解消すべくメンテナンスを行うことができる。
【００１２】
この場合、消費動向は、所定時間内に消費される機能液の消費量であり、消費動向測定工程は、機能液タンクの重量を計測する第１計測工程と、第１計測工程による計測から所定時間後に、機能液タンクの重量を再度計測する第２計測工程と、第１計測工程および第２計測工程の計測結果から、消費量の経時的変化を算出する算出工程と、を有していることが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、機能液消費動作によって、所定時間内に消費された機能液の消費量を算出し、これを（所定時間に対応する）正常動作時の機能液の消費量と比較することにより、機能液消費動作の動作状況を判定可能である。なお、機能液の消費量は、機能液の消費重量、消費体積等を示すものである。
【００１４】
この場合、消費動向は、所定時間内に減少してゆく機能液タンクの重量であり、消費動向測定工程は、機能液タンクの重量を計測する第１計測工程と、第１計測工程による計測から所定時間後に、機能液タンクの重量を再度計測する第２計測工程と、を有することが好ましい。
【００１５】
この構成によれば、機能液消費動作が適切に行われていれば、消費テーブルから取得される基準消費動向に略従って、機能液タンクの重量が減少していくので、機能液消費動作によって減少していく機能液タンクの重量を直接的に用いて、機能液消費動作の動作状況を判定可能である。
【００１６】
本発明は、ワークに対して、吐出ノズルが形成された機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら機能液滴吐出ヘッドを駆動することにより、ワークに機能液滴による描画を行う描画装置において、上記のいずれかに記載のモニタリング方法を適用した、または上記のいずれかに記載のモニタリング装置を備えたことを特徴とする。
【００１７】
この構成によれば、描画装置において行われる機能液消費動作（具体的には、機能液滴吐出ヘッドによる描画動作、捨て吐出動作など）の動作状況をモニタリングにより把握して、動作状況の適否を判断することが可能である。
【００１８】
本発明の電気光学装置の製造方は、上記の描画装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。また、本発明の電気光学装置は、上記の描画装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００１９】
これらの構成によれば、機能液消費動作の動作状況をモニタリングにより把握可能な描画装置を用いているので、機能液消費動作の動作不良を速やかに見つけることができるため、これらを効率よく製造を行うことができる。なお、電気光学装置（デバイス）としては、液晶表示装置、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）装置またはＳＥＤ（Surface-Conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００２０】
本発明の電子機器は、上記に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００２１】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【発明の効果】
【００２２】
以上のように、本発明のモニタリング方法およびモニタリング装置によれば、機能液消費動作による機能液の消費動向を正常動作時の消費動向と比較することにより、その動作が正常に行われているか否かを容易に判定可能である。そして、この判定は、機能液消費動作の実行中に行うことも可能であるため、動作中に生じた不具合を検出することができる。
【００２３】
本発明の描画装置は、上記のモニタリング方法およびモニタリング装置を備えているため、機能液消費動作の動作状況の適否を判断して、効率よく機能液消費動作を行うことができる。例えば、不適切な機能液消費動作が継続して行われることを防止することができるため、不適切な機能液消費動作によって消費する機能液量を削減することが可能である。また、本発明の電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器は、上記の描画装置を用いて製造されるため、これらを効率よく製造することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、添付の図面を参照して、本発明を適用した描画装置について説明する。この描画装置は、いわゆるフラットディスプレイの製造ラインに組み込まれるものであり、機能液滴吐出ヘッドを用いた液滴吐出法により、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。
【００２５】
図１は、描画装置の平面模式図である。同図に示すように、描画装置１は、機能液滴吐出ヘッド１６を有し、機台２上の全域に広く載置された液滴吐出装置３と、液滴吐出装置３に添設するように機台２上に載置したヘッド保守装置４と、これらに接続された制御装置５と、を備えている。また、描画装置１には、描画装置１の運転状況をモニタリングするためのモニタリング装置６が備えられており、モニタリング装置６も制御装置５に接続されている。
【００２６】
描画装置１では、制御装置５が装置全体を統括制御しており、制御装置５による制御に基づいて、液滴吐出装置３がワークＷに対する描画動作を行うと共に、機能液滴吐出ヘッド１６に対して、ヘッド保守装置４が適宜保守動作（メンテナンス）を行うようになっている。また、液滴吐出装置３による液滴吐出動作およびヘッド保守装置４による保守動作は、モニタリング装置６を介して制御装置５にモニタリングされており、各動作が正常に行われているか否かが監視されるようになっている。
【００２７】
液滴吐出装置３は、ワークＷを主走査（Ｘ軸方向に移動）させるＸ軸テーブル１２およびＸ軸テーブル１２に直交するＹ軸テーブル１３から成るＸ・Ｙ移動機構１１と、Ｙ軸テーブル１３に移動自在に取り付けられたメインキャリッジ１４と、メインキャリッジ１４に垂設され、機能液滴吐出ヘッド１６を搭載したヘッドユニット１５と、機能液滴吐出ヘッド１６に機能液を供給する機能液供給機構１７と、を有している。
【００２８】
Ｘ軸テーブル１２は、Ｘ軸方向の駆動系を構成するＸ軸モータ（図示省略）駆動のＸ軸スライダ２２を有し、これに吸着テーブル２３およびθテーブル２４等から成るセットテーブル２５を移動自在に搭載して構成されている。同様に、Ｙ軸テーブル１３は、Ｙ軸方向の駆動系を構成するＹ軸モータ（図示省略）駆動のＹ軸スライダ２７を有し、これにθ回転機構２８を介してヘッドユニット１５を支持する上記のメインキャリッジ１４をＹ軸方向に移動自在に搭載して構成されている。
【００２９】
なお、Ｘ軸テーブル１２は、Ｘ軸方向に平行に配設されており、機台２上に直接支持されている。一方、Ｙ軸テーブル１３は、機台２上に立設した左右の支柱３１に支持されており、Ｘ軸テーブル１２およびヘッド保守装置４を跨ぐようにＹ軸方向に延在している（図１参照）。
【００３０】
描画装置１では、Ｘ軸テーブル１２およびＹ軸テーブル１３が交わるエリアがワークＷの描画を行う描画エリア３２、Ｙ軸テーブル１３およびヘッド保守装置４が交わるエリアが機能液滴吐出ヘッド１６に対する機能回復処理を行う保守エリア３３となっており、ワークＷに描画を行う場合には描画エリア３２に、機能回復処理を行う場合には保守エリア３３に、ヘッドユニット１５を臨ませるようになっている。
【００３１】
ヘッドユニット１５は、（１個の）機能液滴吐出ヘッド１６と、ヘッド保持部材（図示省略）を介して機能液滴吐出ヘッド１６を搭載するヘッドプレート（図示省略）と、を備えている。なお、メインキャリッジ１４には、Ｙ軸スライダ２７に支持され、ヘッドユニット１５を微少にθ方向に回転させるθ回転機構２８が取り付けられている。すなわち、ヘッドユニット１５は、θ回転機構２８に支持させたヘッドプレートを介してメインキャリッジ１４に支持されている。
【００３２】
図２に示すように、機能液滴吐出ヘッド１６は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針４２を有する機能液導入部４１と、機能液導入部４１に連なる２連のヘッド基板４３と、機能液導入部４１の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体４４と、を備えている。接続針４２は、図外の機能液供給機構１７に接続され、機能液滴吐出ヘッド１６のヘッド内流路に機能液を供給する。ヘッド本体４４は、キャビティ４５（ピエゾ圧電素子）と、多数（１８０個）の吐出ノズル４７が開口するノズル面４７を有するノズルプレート４６と、で構成されており、機能液滴吐出ヘッド１６を吐出駆動すると、キャビティ４５のポンプ作用により、吐出ノズル４７から機能液滴を吐出する。なお、機能液滴吐出ヘッド１６の吐出駆動は、ワークＷに対する描画動作時と、吐出ノズル４７のノズル詰まりを防止するためのフラッシング動作時（後述する）に行われる。
【００３３】
図１および図３に示すように、機能液供給機構１７は、機能液を貯留する機能液パック５１と、機能液パック５１および機能液滴吐出ヘッド１６を接続する機能液供給チューブ５２と、を有している。機能液パック５１内の機能液は、機能液滴吐出ヘッド１６のポンプ作用により、機能液供給チューブ５２を介して、機能液滴吐出ヘッド１６に連続的に供給される。なお、機能液滴吐出ヘッド１６近傍の機能液供給チューブ５２に、機能液供給チューブ５２を通液する機能液の流量を測定する流量センサ、および機能液供給チューブ５２を開閉する機能液供給バルブを介設することも可能である。また、言うまでもないが、機能液を貯留する手段としては、機能液パック５１に限るものではなく、タンク形式のものや、カートリッジ形式のものを適用可能である。
【００３４】
ヘッド保守装置４は、機台２上に載置され、Ｘ軸方向に延在する移動テーブル６１と、移動テーブル６１上に載置した吸引ユニット６２と、吸引ユニット６２と並んで移動テーブル６１上に配設されたワイピングユニット６３と、を備えている。移動テーブル６１は、Ｘ軸方向に移動可能に構成されており、機能液滴吐出ヘッド１６の保守時には、吸引ユニット６２およびワイピングユニット６３を適宜保守エリア３３に移動させる構成となっている。なお、上記の各ユニットに加え、機能液滴吐出ヘッド１６から吐出された機能液滴の飛行状態を検査する吐出検査ユニットや、機能液滴吐出ヘッド１６から吐出された機能液滴の重量を測定する重量測定ユニット等を、ヘッド保守装置４に搭載することが好ましい。
【００３５】
図１および図３に示すように、吸引ユニット６２は、キャップスタンド７１と、キャップスタンド７１に支持され、機能液滴吐出ヘッド１６のノズル面４７に密着させる（１個の）キャップ７２と、キャップ７２を介して機能液滴吐出ヘッド１６の吸引を行う吸引ポンプ７３と、キャップ７２と吸引ポンプ７３とを接続する吸引チューブ７４と、を有している。なお、吸引チューブ７４のキャップ７２の下流側（吸引ポンプ７３側）には、吸引圧力を検出する吸引圧検出センサ７５、吸引チューブ７４を通過する機能液の有無を検出する液体検出センサ７６が設けられている。また、図示省略したが、キャップスタンド７１には、モータ駆動により、キャップ７２を昇降させるキャップ昇降機構７７が組み込まれており、保守エリア３３に臨んだヘッドユニット１５の機能液滴吐出ヘッド１６に対して、キャップ７２を離接できるようになっている。
【００３６】
そして、機能液滴吐出ヘッド１６の吸引を行う場合には、キャップ昇降機構７７を駆動して、機能液滴吐出ヘッド１６のノズル面４７にキャップ７２を密着させると共に、吸引ポンプ７３を駆動する。これにより、キャップ７２を介して機能液滴吐出ヘッド１６に吸引力を作用させることができ、機能液滴吐出ヘッド１６から機能液が強制的に排出される。この機能液の吸引は、機能液滴吐出ヘッド１６の目詰まりを解消／防止するために行われる他、描画装置１を新設した場合や、機能液滴吐出ヘッド１６のヘッド交換場合などに、機能液パック５１から機能液滴吐出ヘッド１６に至る機能液流路に機能液を充填するために行われる。
【００３７】
なお、キャップ７２は、機能液滴吐出ヘッド１６の捨て吐出（予備吐出）により吐出された機能液を受けるフラッシングボックスの機能を有しており、ワークＷの交換時のように、ワークＷに対する描画を一時的に停止するときに行う定期フラッシングの機能液を受けるようになっている。この捨て吐出（フラッシング動作）では、キャップ昇降機構７７は、機能液滴吐出ヘッド１６のノズル面４７からキャップ７２（の上面）を僅かに離間する位置に移動させる。
【００３８】
また、吸引ユニット６２は、描画装置１の非稼動時に、機能液滴吐出ヘッド１６を保管するためにも用いられる。この場合、保守エリア３３にヘッドユニット１５を臨ませ、機能液滴吐出ヘッド１６のノズル面４７にキャップ７２を密着させる。これにより、ノズル面４７が封止され、機能液滴吐出ヘッド１６（吐出ノズル４７）の乾燥を防いで、吐出ノズル４７のノズル詰まりを防止できるようになっている。
【００３９】
図１に示すように、ワイピングユニット６３は、巻取りモータ８２（図示省略）の駆動により、ロール状に巻回したワイピングシート８３を繰り出しながら巻き取ってゆく巻取りユニット８１と、洗浄液ノズル（図示省略）を有し、繰り出したワイピングシート８３に洗浄液を散布する洗浄液供給ユニット８５と、洗浄液が散布されたワイピングシート８３でノズル面４７を拭取る拭取りユニット８４と、を備えている。そして、保守エリア３３に位置するヘッドユニット１５に対してワイピングユニット６３を臨ませ、機能液滴吐出ヘッド１６のノズル面４７を、洗浄液を含浸したワイピングシート８３でワイピング動作（拭き取り）することにより、ノズル面に付着する（機能液）汚れを除去する。
【００４０】
図１および図３に示すように、モニタリング装置６は、機台２上に固定的に設置した天秤９１（例えば電子天秤）で構成されており、上記した機能液パック５１をセットして、機能液パック５１の重量を測定する。天秤９１は、制御装置５に接続されており、制御装置５は、天秤９１の計測結果に基づいて、機能液を消費する動作（機能液滴吐出ヘッド１６の吐出駆動による描画動作およびフラッシング動作、吸引ユニット６２による吸引保守動作および機能液充填動作）の動作状況を判断できるようになっている。すなわち、機能液滴吐出ヘッド１６の吐出駆動や、吸引ユニット６２による吸引動作により、機能液パック５１から機能液が消費されてゆくため、機能液パック５１の重量変化を測定（モニタリング）することにより、機能液滴吐出ヘッド１６の吐出駆動や、吸引動作が適切に行われているか否かを判断でする（詳細は後述する）。
【００４１】
制御装置５は、パソコン等で構成されており、装置本体１０１に、キーボード１０２やマウス１０３等の入力装置１０４、ＦＤドライブやＣＤ−ＲＯＭドライブ等の各種ドライブ（図示省略）、モニタディスプレイ１０５等の周辺機器を接続したものである（図３参照）。
【００４２】
次に、図４を参照しながら描画装置１の主制御系について説明する。描画装置１は、液滴吐出装置３を有する液滴吐出部１１１と、ヘッド保守装置４を有するヘッド保守部１１２と、モニタリング装置６や、液滴吐出装置３およびヘッド保守装置４の各種センサを有し、各種検出を行う検出部１１３と、各部を駆動する駆動部１１４と、各部に接続され、描画装置１全体の制御を行う制御部１１５（制御装置５）と、を備えている。
【００４３】
制御部１１５には、液滴吐出装置３、ヘッド保守装置４、およびモニタリング装置６を接続するためのインタフェース１２１、一時的に記憶可能な記憶領域を有し、制御処理のための作業領域として使用されるＲＡＭ１２２、各種記憶領域を有し、制御プログラムや制御データを記憶するＲＯＭ１２３、ワークＷに描画を行うための描画データや、液滴吐出装置３およびヘッド保守装置４からの各種データ等を記憶すると共に、各種データを処理するためのプログラム等を記憶するハードディスク１２４、ＲＯＭ１２３やハードディスク１２４に記憶されたプログラム等に従い、各種データを演算処理するＣＰＵ１２５、これらを互いに接続するバス１２６、が備えられている。
【００４４】
制御部１１５は、液滴吐出装置３、ヘッド保守装置４、モニタリング装置６等からの各種データを、インタフェース１２１を介して入力すると共に、ハードディスク１２４に記憶された（または、ＣＤ−ＲＯＭドライブ等により順次読み出される）プログラムに従ってＣＰＵ１２５に演算処理させ、その処理結果を、インタフェース１２１を介して液滴吐出装置３やヘッド保守装置４等に出力することにより、各手段を制御している（図４参照）。
【００４５】
また、制御部１１５は、検出部１１３を介して、各手段のモニタリングを行っており、各手段が適切に動作しているか否かをチェックしている。そして、このモニタリング結果を各手段の制御に反映（フィードバック）することにより、描画装置１全体が適切に駆動制御されるようにしている。
【００４６】
例えば、制御部１１５は、モニタリング装置６を用いて、機能液滴吐出ヘッド１６の吐出動作およびヘッド保守装置４の吸引ユニット６２の吸引動作を機能液パック５１内の機能液を消費する機能液消費動作としてモニタリングしている。上述したように、機能液滴吐出ヘッド１６の液滴吐出動作は、描画動作およびフラッシング動作を含んでいると共に、吸引ユニット６２の吸引動作は、吸引保守動作および機能液充填動作を含んでおり、制御部１１５は、描画動作、フラッシング動作、吸引保守動作、および機能液充填動作のそれぞれを制御しながら、これらの動作状況をそれぞれモニタリングすることにより、これらの動作が適切に為されているか否かを監視している。
【００４７】
ここで、制御部１１５による吸引保守動作のモニタリング方法を例に、機能液消費動作のモニタリング方法について説明する。なお、描画動作、フラッシング動作、および機能液充填動作に対するモニタリング方法は吸引保守動作のモニタリング方法と略同様であり、「吸引保守動作」を描画動作、フラッシング動作、および機能液充填動作に読替えれば、各動作のモニタリング方法とすることができるため、ここでは、吸引保守動作におけるモニタリング方法についてのみ説明する。
【００４８】
ハードディスク１２４には、吸引ユニット６２のモニタリング処理を実行するためのモニタリング実行プログラム１３１がインストールされており、吸引保守動作の実行命令が為されると、このモニタリング実行プログラム１３１が読み出され、吸引保守動作のモニタリング処理が開始される。モニタリング実行プログラム１３１は、所定時間ｔ内に吸引保守動作により実際に消費された機能液の消費動向と、これに対応する所定時間ｔ内に吸引保守動作が正常に行われた時に消費すると見込まれる機能液の基準消費動向とを比較することにより、吸引保守動作が適切に行われているか否かを判定するためのものであり、制御部１１５は、モニタリング実行プログラム１３１に従い、モニタリング装置６による機能液パック５１の重量計測結果から実際の消費動向を取得して、適切な吸引保守動作が行われているか否かを判断するようになっている。なお、ここにいう「機能液の消費動向」とは、機能液の消費量の経時的な変化量または変化率を示している。
【００４９】
なお、請求項にいう消費動向測定手段、基準消費動向取得手段、判定手段、および報知手段は、モニタリング実行プログラム１３１に従って、ＣＰＵ１２５を演算処理させることにより実現する仮想的な手段である。
【００５０】
また、制御部１１５には、モニタリング実行プログラム１３１によって提供される設定画面（図示省略）を介して、吸引保守動作が正常に行われた時に消費される機能液の標準的な消費動向（基準消費動向）を吸引保守動作の（開始Ｔｓから終了Ｔｅまでの）経過時間と関連付けた消費テーブル（消費関数）と、吸引保守動作が正常であると認められる消費動向の許容範囲が予め設定されている（図５参照）。なお、消費動向および消費動向の許容範囲（誤差範囲）には、吸引ポンプ７３の吸引量および吸引ポンプ７３に係る負荷変動に基づいた理論値を用いることも可能であるが、吸引保守動作を実際に行うことにより実験的に求めた値を用いることが好ましい。
【００５１】
図５および図６を参照しながら、機能液の消費動向として、機能液の消費重量を用いた場合のモニタリング処理について具体的に説明する。図６に示すように、モニタリング処理では、先ず、吸引保守動作の実行開始（Ｓ２）に先立って、モニタリング装置６による機能液パック５１の重量計測および測定結果の制御部１１５への送信が為される（Ｓ１：第１計測工程）。吸引保守動作の実行開始Ｔｓから所定時間ｔ（Ｔ１）が経過した後、再度モニタリング装置６により機能液パック５１の重量計測および測定結果の制御部１１５への送信が為される（Ｓ３：第２計測工程）。そして、Ｓ１で測定した重量とＳ３で測定した重量との差をとり、ＴｓからＴ１までの所定時間ｔ内に消費された機能液の実消費重量Ｗ１を算出する（Ｓ４）（図５参照）。
【００５２】
続いて、算出した実消費重量と、上記の消費テーブルに基づいて取得されたＴｓからＴ１までの所定時間ｔ内に消費される基準消費重量Ｗｓ１と、を比較する（Ｓ５）。そして、実消費重量Ｗ１が基準消費重量Ｗｓ１の許容範囲内であるか否かを判定し、実消費重量が基準消費重量の許容範囲内であれば（Ｓ５：Ｙｅｓ）、正常な吸引保守動作により、機能液パック５１から機能液が正常に消費されているとして、吸引保守動作が正常であると判断する（Ｓ６）。
【００５３】
そして、第２測定工程による測定からさらに所定時間ｔが経過した後、吸引保守動作が終了しているか否かを確認し（Ｓ７）、吸引保守動作が終了している場合（Ｓ７：Ｙｅｓ）には、吸引保守動作が正常に終了したことを制御装置５のモニタディスプレイ１０５に表示させた（Ｓ８）後、一連の処理を終了させる。吸引保守動作が終了していない場合（Ｓ７：Ｎｏ）には、再度機能液パック５１の重量計測を行い、新たに経過した所定時間ｔにおける実消費重量Ｗｎと基準消費重量Ｗｓｎとの比較を行い、吸引保守動作の動作状況のモニタリングを継続する。すなわち、上記したＳ３からの動作を行い、所定時間ｔが経過する毎に吸引保守動作が正常であるか否かを判定するようになっている。
【００５４】
なお、基準消費重量Ｗｓ１の取得は、Ｓ２以降に行えばよいが、モニタリング処理の時間を短縮するために、Ｓ３までに行うことが好ましい。
【００５５】
一方、実消費重量Ｗ１が基準消費重量Ｗｓ１の許容範囲外であれば（Ｓ５：Ｎｏ）、吸引保守動作が異常（不適切）であると判断して（Ｓ１１）、吸引保守動作の異常をモニタディスプレイに表示し（Ｓ１２）、一連のモニタリング処理を終了させる。なお、異常表示を行う場合、所定時間内に消費された機能液の消費量を併せて表示することが好ましい。また、この場合、実消費重量Ｗ１（Ｗｎ）が基準消費重量Ｗｓ１（Ｗｓｎ）の許容範囲を下回っている場合と上回っている場合とを区別可能に表示することが好ましい。これにより、ユーザは、吸引保守動作の異常状態に対応した保守を吸引ユニット６２に行うことができる。なお、実消費重量および基準消費重量の比較による判断結果の表示（報知）は、報知ランプや報知ブザー等により行うようにすることも可能である。
【００５６】
次に、本実施形態の変形例について説明する。ここでは、機能液の消費量を算出して比較するのではなく、モニタリング装置６によって測定された機能液パック５１の重量と、上記の消費テーブルから推定される正常動作時の機能液パック５１の重量（基準パック重量）とを比較することにより、適切な吸引保守動作が行われているか否かを判断する。図７を参照して、異なる部分を中心に説明する。第１計測工程の計測結果が制御部１１５に送信される（Ｓ３１）と、吸引保守動作が開始される（Ｓ３２）と共に、消費テーブルに基づいて、吸引保守動作の開始から所定時間ｔ経過後の基準パック重量Ｗｓが算出（取得）される（Ｓ３３）。
【００５７】
また、吸引保守動作の実行から所定時間ｔが経過すると、再度モニタリング装置６により機能液パック５１の重量計測が行われ、測定結果が制御部１１５に送信される（Ｓ３４：第２計測工程）。そして、算出した基準パック重量Ｗｓと、第２計測工程により測定された機能液パック５１の実重量Ｗとを比較して（Ｓ３５）、機能液パック５１の実重量が基準パック重量の許容範囲内であれば（Ｓ３５：Ｙｅｓ）、吸引保守動作が正常であると判断し（Ｓ３７）、許容範囲外であれば（Ｓ３５：Ｎｏ）、吸引保守動作が異常であると判断する（Ｓ４１）。
【００５８】
このように、本実施形態のモニタリング処理によれば、実行中の動作状況を把握して、適切な機能液消費動作（描画動作、フラッシング動作、吸引保守動作および機能液充填動作）が行われているか否かをチェックすることができるため、動作が終了した後に、これらが適切に行われたか否かを改めて検査する必要がない。また、機能液消費動作の実行中に動作異常の判定が行われるため、不適切な機能液の消費動作が継続して行われることがなく、動作異常が生じた場合には速やかにこれを検出して、ユーザに報知することができる。さらに、不適切な機能液消費動作が継続することを防止できるため、高価な機能液を無駄に消費することがない。
【００５９】
なお、本実施形態では、所定時間ｔ内における機能液の消費重量を機能液の消費動向として用いたが、これに限定されるものではない。例えば、所定時間ｔ内における消費体積を消費動向として用いることも可能である。この場合、モニタリング装置６は、機能液パック５１から流出する機能液の流量を計測する上記の流量センサ（図示省略）や、機能液パック５１の出口や機能液供給チューブ５２に設けた流速計（図示省略）等で構成することが好ましい。そして、消費テーブルによって規定される正常動作時の基準消費体積と、計測した機能液の流量または流速から算出される実際に消費された消費体積と、を比較することにより、吸引保守動作が正常に行われているか否かを判定する。
【００６０】
また、機能液パック５１に代えて、機能液タンク（図示省略）を用いた場合には、機能液タンクにおける機能液の液面の位置変化（変移）を機能液の消費動向としてもよい。この場合、モニタリング装置６として、レーザ等により機能液の液面位置を計測する計測装置を用いる。そして、消費テーブルにより規定される正常動作時の所定時間ｔにおける液面位置の変移と、実際の吸引保守動作時における所定時間ｔ内の液面位置の変移と、を比較することにより、吸引保守動作が正常に行われているか否かを判定する。このように、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、機能液の消費動向は任意に設定可能である。
【００６１】
また、第２測定工程を開始するまでの所定時間ｔおよび機能液パック５１の重量計測間隔となる所定時間ｔは、実情に応じて任意に設定可能である。この所定時間ｔを短くすると、動作異常を速やかに検出ができる一方、機能液の消費動向を取得し難くなるため、各動作における機能液の消費総量等を考慮して設定すればよい。特に、１回の動作（例えば、１枚のワークＷを描画するための描画動作や、一連のフラッシング動作、吸引保守動作、および機能液充填動作）による機能液の消費総量が少ない場合には、動作の実行動作中に敢えて機能液パック５１の重量計測を行う必要はなく、１回の動作を挟むように、第１測定工程および第２測定工程を行うようにしても良い。すなわち、１回の動作に要する時間を所定時間ｔとし、各動作の終了後に第２測定工程を行うようにしても良い。
【００６２】
また、本実施形態では、機能液消費動作の動作状況をモニタリングし、その適否を、モニタディスプレイ１０５を介して報知するだけであるが、動作異常が判定されたときには、考え得る異常原因を例示的に列挙させるようにしても良い。例えば、液滴吐出動作（描画動作およびフラッシング動作）の異常が判定されたときには、機能液滴吐出ヘッド１６のノズル詰まり、機能液滴吐出ヘッド１６の駆動波形の異常等を表示させればよい。また、吸引動作（吸引保守動作および機能液充填動作）の異常が判定されたときには、吸引チューブ７４や吸引チューブ７４に介設された継手等の劣化、吸引ポンプ７３による吸引不良（キャップ７２の密着不良）等を表示させる。なお、描画装置１に配設された各種センサからの検出結果から、より詳細な異常原因が特定可能な場合は、これを表示させることが好ましい。
【００６３】
次に、本実施形態の描画装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、更にこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、及び薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板を言う。
【００６４】
先ず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図８は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図９は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ５１）では、図９（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００６５】
続いて、バンク形成工程（Ｓ５２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図９（ｂ）に示すように、基板５０１及びブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図９（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において液滴吐出ヘッド７１により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００６６】
以上のブラックマトリクス形成工程及びバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置精度が向上する。
【００６７】
次に、着色層形成工程（Ｓ５３）では、図９（ｄ）に示すように、液滴吐出ヘッド７１によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、液滴吐出ヘッド７１を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００６８】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ５４）に移り、図９（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【００６９】
図１０は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図９に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００７０】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、及び、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００７１】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１０において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【００７２】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００７３】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【００７４】
実施形態の描画装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、液滴吐出ヘッド７１で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を液滴吐出ヘッド７１で行うことも可能である。
【００７５】
図１１は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【００７６】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【００７７】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００７８】
図１２は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【００７９】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【００８０】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１及び信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【００８１】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【００８２】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【００８３】
次に、図１３は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【００８４】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３及び陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるとともに、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【００８５】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａ及びドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【００８６】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６及び半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９及びゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【００８７】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第1層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【００８８】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【００８９】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３及び機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、及び、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【００９０】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ２、ＴｉＯ２等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【００９１】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層を更に形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成する事も可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【００９２】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、又は青色（Ｂ）の何れかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【００９３】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【００９４】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【００９５】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１４〜図２２を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１４に示すように、バンク部形成工程（Ｓ６１）、表面処理工程（Ｓ６２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ６３）、発光層形成工程（Ｓ６４）、及び対向電極形成工程（Ｓ６５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【００９６】
まず、バンク部形成工程（Ｓ６１）では、図１５に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１６に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【００９７】
表面処理工程（Ｓ６２）では、親液化処理及び撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａ及び画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓ及び有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、液滴吐出ヘッド７１を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【００９８】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した描画装置１のセットテーブル３２に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ６３）及び発光層形成工程（Ｓ６４）が行われる。
【００９９】
図１７に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ６３）では、液滴吐出ヘッド７１から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図１８に示すように、乾燥処理及び熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入/輸送層６１７ａを形成する。
【０１００】
次に発光層形成工程（Ｓ６４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【０１０１】
そして次に、図１９に示すように、各色のうちの何れか（図１９の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【０１０２】
その後、乾燥工程等を行う事により、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２０に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【０１０３】
同様に、液滴吐出ヘッド７１を用い、図２１に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）及び緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決める事も可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１０４】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａ及び発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ６５）に移行する。
【０１０５】
対向電極形成工程（Ｓ６５）では、図２２に示すように、発光層６１７ｂ及び有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ２、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１０６】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【０１０７】
次に、図２３は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、及びこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１０８】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１０９】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１１０】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、及びＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１１１】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、及び蛍光体７０９を、図１に示した描画装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を描画装置１のセットテーブル２５に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、液滴吐出ヘッド７１により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、又はニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１１２】
補充対象となる全てのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１１３】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１及び蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を液滴吐出ヘッド７１から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１１４】
次に、図２４は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、及びこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１１５】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１１６】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１１７】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１１８】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、描画装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、描画装置１を用いて形成することができる。
【０１１９】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２５（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２５（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（描画装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（描画装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１２０】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した描画装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１２１】
【図１】本発明の実施形態に係る描画装置の平面模式図である。
【図２】機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。
【図３】モニタリング装置廻りの説明図である。
【図４】描画装置の主制御系を説明した制御ブロック図である。
【図５】機能液の消費重量を消費動向としたときのモニタリング処理の説明図であり、（ａ）は、消費テーブルを例示した図であり、（ｂ）は、機能液消費動作（吸引保守動作）により経時的に減少するインクパックの重量変化を示した図である。
【図６】モニタリング処理の一連のフローを例示したフローチャートである。
【図７】モニタリング処理の一連のフローを例示したフローチャートである。
【図８】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図９】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図１０】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１１】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１２】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１３】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図１４】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図１５】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１６】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１７】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図１８】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図１９】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２０】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２１】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２２】陰極の形成を説明する工程図である。
【図２３】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図２４】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図２５】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【０１２２】
１  描画装置                      ６  モニタリング装置
１６  機能液滴吐出ヘッド          ４７  ノズル面
５１  機能液パック                ５２  機能液供給チューブ
１１５  制御部                    １２５  ＣＰＵ
Ｗ  ワーク
【図１】
2005161131.tif 000003
【図２】
2005161131.tif 000004
【図３】
2005161131.tif 000005
【図４】
2005161131.tif 000006
【図５】
2005161131.tif 000007
【図６】
2005161131.tif 000008
【図７】
2005161131.tif 000009
【図８】
2005161131.tif 000010
【図９】
2005161131.tif 000011
【図１０】
2005161131.tif 000012
【図１１】
2005161131.tif 000013
【図１２】
2005161131.tif 000014
【図１３】
2005161131.tif 000015
【図１４】
2005161131.tif 000016
【図１５】
2005161131.tif 000017
【図１６】
2005161131.tif 000018
【図１７】
2005161131.tif 000019
【図１８】
2005161131.tif 000020
【図１９】
2005161131.tif 000021
【図２０】
2005161131.tif 000022
【図２１】
2005161131.tif 000023
【図２２】
2005161131.tif 000024
【図２３】
2005161131.tif 000025
【図２４】
2005161131.tif 000026
【図２５】
2005161131.tif 000027