(57)【要約】【課題】  厚さ２０μｍ以下で且つ寸法安定性のばらつきに優れたフィルム状基板となるガラスクロスを提供すること。【解決手段】  タテ糸及びヨコ糸の両方の平均フィラメント径が２．５μｍ以上であり、その少なくとも片方の平均フィラメント径が４．５μｍ未満であり、且つタテ糸及びヨコ糸の両方のフィラメント数が５本以上７０本以下のガラスヤーンで構成されるガラスクロスであって、厚さが５μｍ以上１５μｍ未満で、且つ表面ガラス糸被覆率が５０％以上１００％以下であることを特徴とするガラスクロス。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
タテ糸及びヨコ糸の両方の平均フィラメント径が２．５μｍ以上であり、その少なくとも片方の平均フィラメント径が４．５μｍ未満であり、且つタテ糸及びヨコ糸の両方のフィラメント数が５本以上７０本以下のガラスヤーンで構成されるガラスクロスであって、厚さが５μｍ以上１５μｍ未満で、且つ表面ガラス糸被覆率が５０％以上１００％以下であることを特徴とするガラスクロス。
【請求項２】
請求項１に記載のガラスクロスとマトリックス樹脂からなるプリプレグ。
【請求項３】
請求項２に記載のプリプレグを硬化してなるフィルム状基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は電子・電気分野で使用されるプリント配線板に用いられるガラスクロスに関する。
【背景技術】
【０００２】
プリント配線板の分野においては、電子機器の小型化に伴ない、単層のフィルム状基板、及び多層配線板を製造するために使用されるプリプレグの薄型化要求が、近い将来、最小厚さで１５μｍ以上２０μｍ以下に達するものと予測されている。このプリプレグにおいては、その薄さと、機械的特性、特に高剛性、及び高寸法安定性、並びに低熱膨張率とを両立させるために、ガラスクロスの使用が必須になるものと思われるが、上記の最小厚さを満たすためには、該ガラスクロスの厚さを１５μｍ未満にする必要がある。
ところで、極薄地ガラスクロスとしては、厚さが２５μｍ以下（好ましい厚さは１５〜２０μｍ）で、且つ、タテ糸またはヨコ糸の少なくともどちらか一方が、隣り合う糸同士が実質的に隙間無く配列されているガラスクロスが提案されている（特許文献１参照）。
上記特許文献１の実施例に記載されたガラスクロスは、平均フィラメント径３．５〜４．５μｍ、構成フィラメント数１００本のガラス糸を７５〜１００本／２５ｍｍの織密度で製織し、高圧散水流によって開繊加工することにより得られたものであり、厚さが１７〜２１μｍであったことが開示されている。
【０００３】
また、単位面積当たりの質量が１６×１０-3〜８０×１０-3（Ｋｇ／ｍ2 ）であって、ガラスクロスが占有する空間においてマトリックス樹脂が含浸可能な空隙の割合が４７〜６１％であり、たて糸の開繊率が６０％以上１００％未満、且つよこ糸の開繊率が９０％以上１００％以下であるガラスクロスが提案されている（特許文献２参照）。該特許文献２には、「２３×１０-3では、厚さ２１（μｍ）程度（段落番号００３３）」との記載があるので、仮に厚さが質量に比例するものとすると、上記質量の下限１６×１０-3Ｋｇ／ｍ2 は厚さ１５μｍ程度に相当することになる。
上記特許文献２の実施例（表８）に記載されたガラスクロスは、平均フィラメント径４μｍ、構成フィラメント数１００本のガラス糸を６９〜７２本／２５ｍｍの織密度で製織し、ローラー及びテンションフリー開繊加工の組合せ、又は超音波開繊加工によって得られたものであり、厚さが２１〜２２μｍであったことが開示されている。
すなわち、上記特許文献１、又は特許文献２記載の先行技術においては、厚み１５μｍ未満のガラスクロス、及びその製造方法は具体的には開示されていない。
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−２４２０４７号公報（特許請求の範囲、表１）
【特許文献２】特開２００３−０１３３３８号公報（表８）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は厚さが１５μｍ未満のプリント配線板用ガラスクロス、及び該ガラスクロスを用いたプリプレグ、あるいは該プリプレグを硬化させてなる、寸法安定性、機械的特性に優れたフィルム状基板を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前述した特許文献１、または特許文献２においては、マトリックス樹脂の含浸量を減少させ機械特性の向上や熱伝導率の低下をはかる、絶縁信頼性を確保する、あるいはレーザー加工性のばらつきを減少させる等の目的で、構成フィラメント数の多い糸を開繊加工によって拡幅することによって、バスケットホール（タテ糸もヨコ糸も分布しない部分）の面積割合の少ないガラスクロスを得ることが主眼となっている。
本発明者らが検討した結果、上記手法によっては厚さが１５μｍ未満、かつ寸法安定性、機械的特性に優れたフィルム状基板を得ることができるガラスクロスを作成することが困難であることを見出した。即ち、上記手法によって厚さが１５μｍ未満のガラスクロスを得るためには、織密度を下げた上でより強い条件の開繊加工を行って糸幅を拡幅し厚み方向のフィラメント数を減少させる必要があるが、このような拘束力が弱い状態に製織されたガラスクロスを強い条件で開繊加工した場合には目曲がりが発生しやすく、該ガラスクロスを用いたプリプレグからは寸法安定性に優れたフィルム状基板を得ることができなかった。
【０００７】
そこで、目曲がりが発生しないような穏やかな条件で開繊加工することで糸幅を拡幅し厚み方向のフィラメント数を減少させるべく検討を重ねた結果、糸の撚りの部分で拡幅率が低下すること、及びガラスクロスを構成するガラス糸のフィラメント数の違いにより拡幅率が異なることを見出した。この知見に基づき、構成フィラメント数の少ない糸を穏やかな条件の開繊加工によって拡幅してある程度のバスケットホールを許容するガラスクロスとすることで厚さ１５μｍ未満を達成すると共に、このガラスクロスを用いたプリプレグを硬化させてなるフィルム状基板において優れた機械特性を保持することを見出し、本発明を完成するに至った。
即ち、本発明は以下のものである。
１．タテ糸及びヨコ糸の両方の平均フィラメント径が２．５μｍ以上であり、その少なくとも片方の平均フィラメント径が４．５μｍ未満であり、且つタテ糸及びヨコ糸の両方のフィラメント数が５本以上７０本以下のガラスヤーンで構成されるガラスクロスであって、厚さが５μｍ以上１５μｍ未満で、且つ表面ガラス糸被覆率が５０％以上１００％以下であることを特徴とするガラスクロスを提供する。
２．上記１に記載のガラスクロスとマトリックス樹脂からなるプリプレグを提供する。
３．上記２に記載のプリプレグを硬化してなるフィルム状基板を提供する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明のガラスクロスは厚さが１５μｍ未満で且つ目曲がり量が小さいため、該ガラスクロスを用いたプリプレグを硬化させることで寸法安定性、機械的特性に優れたフィルム状基板を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下本発明について具体的に説明する。
ガラスクロスの厚さは、該ガラスクロスを構成するタテ糸とヨコ糸との交点における厚さ方向（以下、「Ｚ方向」ともいう。）に配列される平均フィラメント本数により決まる。即ち、例えば厚さ２０μｍを達成するためには、フィラメント径が４．０μｍの原糸で構成されれば、交点においてＺ方向に配列される平均フィラメント本数をタテ糸とヨコ糸あわせて５本にすることにより、２０μｍの厚さを得ることができる。本発明においては、厚さが２０μｍ以下のプリプレグを製造するにあたって、ガラスクロスの表層に樹脂のみからなる層を２．５μｍ超に保持させることが好ましいため、ガラスクロスの厚さは５μｍ以上１５μｍ未満が好ましく、７μｍ以上１２μｍ以下の厚さがより好ましい。
【００１０】
このことから交点におけるＺ方向の平均フィラメント数は、平均フィラメント径３．５μｍのフィラメントを用いた場合でも約４本以下にまで減らさなければならず、大きな加工力を有する扁平化加工が必要となるものであった。しかしながら、本発明のガラスクロスは極めて薄いガラスクロスであり、タテ糸とヨコ糸の拘束力が低いため、大きな加工力を加えた場合には目曲がりが発生しやすい。  そのために、本発明のガラスクロスにおいては、ガラス糸を構成するフィラメント数を低減することで、小さい加工力でも拡幅できるようにした。
即ち、ガラスクロスの製織に使用するガラス糸は、通常は糸強度保持のため１ｉｎｃｈに１回撚りを加えている。しかしながら、開繊加工等の扁平化加工を行った場合に、この撚りの部分で局所的に拡幅率が下がり、Ｚ方向のフィラメント本数を減らすことができなくなる。本発明者らは鋭意検討した結果、構成するガラス糸のフィラメント数の違いにより拡幅率が異なることを見出した。即ち、フィラメント数が多いガラス糸を用いた場合、撚りの部分はフィラメントの拘束力が高くなる部分が多くなっており、拡幅率の低下を招く。それに対して、フィラメント数の少ないガラス糸を用いた場合、フィラメント数が少ない分、同じ撚り数であっても撚りが及ぼすフィラメントの拘束力が減少することで拡幅率が上がり、Ｚ方向のフィラメント本数を減少させることができたと考察される。
【００１１】
上記考察をふまえて後述する偏平加工条件下で実験を行った結果、本発明のガラスクロスの厚さを得るためにはＺ方向の平均フィラメント本数を約４本以下にする必要があることから、これを満たすことができるタテ糸及びヨコ糸のフィラメント本数は５本以上７０本以下が好ましく、３０本以上６０本以下がより好ましく、４０本以上５０本以下が最も好ましい。
フィラメント本数が５本未満の場合、該フィラメントで構成されるガラス糸の強度の保持が難しく、７０本よりフィラメント数を多くすれば、ガラスクロスの厚みを１５μｍ未満にすることが難しくなる。
また、ガラスクロスの厚みを薄くするためには、ガラスクロスを構成する糸（ヤーン）の平均フィラメント径が細い方が効果的である。具体的には、タテ糸及びヨコ糸のいずれか一方、もしくは両方の平均フィラメント径が４．５μｍ未満が好ましく、４．１μｍ以下がより好ましい。また、タテ糸及びヨコ糸の両方の平均フィラメント径が４．５μｍ未満がより好ましく、４．１μｍ以下がさらに好ましい。
【００１２】
また、タテ糸、及びヨコ糸の平均フィラメント径の下限は、２．５μｍ以上が好ましく、３．５μｍ以上がより好ましい。タテ糸、又はヨコ糸のいずれかの糸の平均フィラメント径が２．５μｍ未満の場合は該糸のフィラメント強度が低いため毛羽が発生しやすく、タテ糸、及びヨコ糸のいずれか一方、もしくは双方の平均フィラメント径が４．５μｍより大きい場合は厚さ１５μｍ未満を達成することが困難になる。
また、ガラスクロスとして用いられるためには、目曲がりのないガラスクロス構造が重要である。ここで、目曲がり量とは、ガラスクロスの幅方向に平行に定規を配置して、等間隔にタテ糸が並んだと仮定した場合の糸の位置と、実際のタテ糸の位置とのずれの最大量をいう。そのためには、以下に定義する表面ガラス被覆率が５０％〜１００％であることが好ましく、７０％〜１００％であることがより好ましい。
【００１３】
ここで言う表面ガラス被覆率（％）とは表面より観察した際のタテ糸またはヨコ糸の少なくともいずれかで被覆されている面積の比率を表したもので、具体的には表面観察により測定されたタテ糸幅（ＴＷ）、ヨコ糸幅（ＹＷ）、タテ糸−タテ糸隙間量（ＴＳ）、ヨコ糸−ヨコ糸隙間量（ＹＳ）より、（ＴＷ・ＹＷ＋ＹＷ・ＴＳ＋ＴＷ・ＹＳ）×１００／（（ＴＷ＋ＴＳ）・（ＹＷ＋ＴＳ））で算出される。
このようなガラスクロスを使用することで、厚さ約２０μｍ以下のプリプレグが得られ、それを硬化させることでフィルム状基板が得られる。また、前述したように表面ガラス被覆率を高くすることで、目曲がり等の欠点が減少し、樹脂固着ムラが改善され、寸法安定性に極めて良好な基板を得ることができる。
【００１４】
本発明のガラスクロスを得るためには、１．０回／インチの撚り数を有するガラス糸でも可能ではあるが、ガラス糸の撚り数を好ましくは０〜０．７回／インチ、より好ましくは０〜０．５回／インチ、さらに好ましくは０〜０．３回／インチに低撚糸化することが望ましい。低撚糸化により、より糸幅は拡がり易く、ガラスクロスの厚みが低減しやすくなる。また、低撚糸を使用することにより、糸が扁平化し、糸自体の断面形状が楕円の形状から平板の形状に近づき、ガラスクロス中のガラス繊維の分布がより均一となる。
また、本発明のガラスクロスを製造するにあたっては、製織したガラスクロスに、水流の圧力による開繊、液体を媒体とした高周波の振動による開繊、連続超音波加工開繊、ロールによる加圧での加工等の扁平化加工を施すことが好ましい。水流の圧力による開繊を使用する場合は、加工圧は０．５〜３．０ＭＰａが好ましい。加工圧が０．５ＭＰａ以下であると開繊の効果が充分でなく薄いガラスクロスをえることが困難になる。また３．０ＭＰａ以上の場合は目曲がりが発生する恐れがある。
【００１５】
該扁平化加工により、より糸幅は拡がり、ガラス被覆率を高くしやすくなる。  また、糸が扁平化してＺ方向のフィラメント分布が減るので１５μｍ未満という厚みを達成しやすくなると共に、糸自体の断面形状が楕円の形状から平板の形状に近づき、ガラスクロス中のガラス繊維の分布がより均一となるという、糸の低撚糸化と同様の効果が得られる。
なお、上記の扁平化加工を行う場合には、搬送のためにガラスクロスにかかる張力が０．１〜３０Ｎ／ｍであることが好ましく、１〜１０Ｎ／ｍであることがより好ましい。そのためには、通常使用されるロール型の搬送装置のかわりに、たとえば特表平１１−５０７９９５号公報に記載されたコンベア型の搬送装置を使用することができる。
【００１６】
さらに、ガラス糸に滑剤の特性を示す有機物が付着した状態のガラスクロス、または通常のガラスクロスを製織する際に使用されるバインダー、糊剤等が付着した状態（通常、生機という）での扁平化加工やこれらの手法の組み合わせによって、より効果的となる。また、両手法の組み合わせにより、さらに効果的となる。
ここで、製織されるガラス原糸に付着している１次サイジング剤は、でんぷん系サイジング剤あるいは水溶性エポキシサイジング剤、もしくはこれらの成分の１次サイジング剤としての効果を阻害しない、潤滑成分、帯電防止剤等の成分を好適に添加したものが好ましい。また、１次サイジング剤のガラス繊維に対する付着量としては、０．０５質量％以上１０．０質量％以下、好ましくは糸強度、取り扱い性を考慮すれば０．１０質量％以上７．０質量％以下、さらに０．１５質量％以上５．０質量％以下が特に好ましい。
【００１７】
さらに、ガラスクロスの通常実施される表面処理としてガラスクロスの風合いを固くする処理、例えば表面処理剤の付着量を上げる、被膜性の高い表面処理剤を使用する、表面処理剤に一般に使用されるシランカップリング剤のシラノール基の縮重合度合いを上げる等、もしくはガラス糸の目止め効果を有する処理等を実施することでガラスクロスの取り扱い性は向上させることができる。
本発明のプリプレグを製造するには、定法に従えばよい。例えば、ガラスクロスにエポキシ樹脂のようなマトリックス樹脂を有機溶剤で希釈した熱硬化性樹脂ワニス（以下、単に「ワニス」ともいう。）を含浸した後、乾燥炉にて有機溶剤を揮発させ、熱硬化性樹脂をＢステージ（半硬化状態）まで硬化させたプリプレグを作ればよい。この際に極力ガラスクロスに張力を与えないようにすると、さらに寸法安定性に優れたプリプレグを得ることができるのでより好ましい。なお、ガラスクロスへのマトリックス樹脂付着量は、ワニスの固形分とガラスクロスの質量の合計に対して、ワニス固形分の質量が２０質量％から８０質量％になるようにするのが好ましい。
【００１８】
本発明のフィルム状基板を製造するには、上記プリプレグを圧縮成型により硬化させる等の定法に従えばよい。この時に回路パターンを形成するための銅箔等を片側、もしくは両側に積層してもよい。また、上記プリプレグを複数枚積層して多層プリント回路板を作成することも可能である。
本発明のプリプレグ、あるいはフィルム状基板に使用されるマトリックス樹脂としては、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂、ＢＴ樹脂、シアネート樹脂等の熱硬化性樹脂や、ＰＰＯ樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、フッ素樹脂等の熱可塑性樹脂、またはそれらの混合樹脂などが挙げられる。また、樹脂中に水酸化アルミニウム、タルク等の無機充填剤を混在させた樹脂を使用しても構わない。しかしながら、本発明の目的から、マトリックス樹脂は可撓性に優れた樹脂が好ましい。
【実施例】
【００１９】
以下、本発明を実施例により詳しく説明する。
実施例、比較例中のガラスクロスの物性、ガラスクロスを用いたフィルム状基板の作成方法、及び試験方法は以下の方法により測定した。
１．ガラスクロスの物性測定方法：
ＪＩＳ  Ｒ３４２０に従い測定した。
２．ガラスクロスの目曲がり量測定方法：
１００ｍ長のガラスクロスにおいて、１０ｍごとに１０箇所の目曲がり量を測定し、その平均目曲がり量を求めた。
３．プリプレグの作成方法：
ガラスクロスに、下記調合割合で調整したエポキシ樹脂ワニスを浸漬し、各ガラスクロス厚さの２倍のスリットで余剰樹脂ワニスを掻き落とし、１７０℃で３分間乾燥させてプリプレグを得た。
［エポキシ樹脂ワニス調合割合] ５０４６Ｂ８０（ジャパンエポキシレジン株式会社製、商品名）：７０質量％、１８０Ｓ７５Ｂ７０（ジャパンエポキシレジン株式会社製、商品名）：１４質量％、ジシアンジアミド：１．６質量％、２−エチル−４−メチル−イミダゾール：０．２質量％、ジメチルホルムアミド：７．１質量％、メチルセロソルブ：７．１質量％
【００２０】
４．フィルム状基板の成形条件：
上記３で作成したプリプレグ（３４０ｍｍ角にカットしたもの）を用いて、両面に１２μｍ銅箔を配置し、１７５℃、３．９ＭＰａで、１時間加熱成型し、硬化させて寸法安定性評価用１プライ板のフィルム状基板を得た。
５．寸法変化率のばらつきの測定：
上述のフィルム状基板に１２５ｍｍ間隔で、タテ糸方向３箇所×ヨコ糸方向３箇所の合計９箇所の標点をつけ、タテ糸方向、ヨコ糸方向のそれぞれについて、隣接する２標点の標点間隔６箇所を測定した（測定値ａ）。次にエッチング処理により銅箔を除去し、１７０℃で３０分加熱した後、該標点間隔を再度測定した（測定値ｂ）。測定値ａと測定値ｂの差の測定値ａに対する割合（％）を寸法変化率とし、その各方向の６箇所の寸法変化率より、タテ糸方向、ヨコ糸方向それぞれの寸法変化率のバラツキ（標準偏差σn-1 ）を求めた。
【００２１】
＜実施例１＞
タテ糸及びヨコ糸に平均フィラメント径４．１μｍ、フィラメント数５０本で撚り数が０．７ＺのＥガラス組成のガラス糸を使用し、エアージェットルームで、タテ糸８０本／ｉｎｃｈ、ヨコ糸８０本／ｉｎｃｈの織密度で平織りのガラスクロスを製織し、得られた生機を４．９Ｎ／ｍの張力下で水中に浸漬させ、連続超音波加工開繊（振動数３８ｋＨｚ，出力４００Ｗ）を行った。その後４００℃で２４時間高温脱糊した。
続いて、表面処理としてシランカップリング剤であるＳＺ６０３２（東レ・ダウコーニング株式会社製）を用いて処理液とし、ガラスクロスを浸漬し、絞液後、１２０℃で１分乾燥し、厚さ１２μｍ、表面ガラス被覆率８１％、平均目曲がり量４ｍｍのガラスクロスを得た。
【００２２】
＜実施例２＞
タテ糸及びヨコ糸に平均フィラメント径４．１μｍ、フィラメント数５０本で撚り数が０．７ＺのＥガラス組成のガラス糸を使用し、エアージェットルームで、タテ糸８５本／ｉｎｃｈ、ヨコ糸８５本／ｉｎｃｈの織密度でガラスクロスを製織し、得られた生機を４．９Ｎ／ｍの張力下で高圧散水流による開繊加工（加工圧２．０ＭＰａ）を行った。その後４００℃で２４時間高温脱糊した。
続いて、表面処理としてシランカップリング剤であるＳＺ６０３２を用いて処理液とし、ガラスクロスを浸漬し、絞液後、１２０℃で１分乾燥し、厚さ１２μｍ、表面ガラス被覆率８５％、平均目曲がり量３ｍｍのガラスクロスを得た。
【００２３】
＜実施例３＞
タテ糸及びヨコ糸に平均フィラメント径３．５μｍ、フィラメント数５０本で撚り数が０．７ＺのＥガラス組成のガラス糸を使用し、エアージェットルームで、タテ糸９０本／ｉｎｃｈ、ヨコ糸９０本／ｉｎｃｈの織密度でガラスクロスを製織し、得られた生機を４．９Ｎ／ｍの張力下で高圧散水流による開繊加工（加工圧２．０ＭＰａ）を行った。その後４００℃で２４時間高温脱糊した。
続いて、表面処理としてシランカップリング剤であるＳＺ６０３２を用いて処理液とし、ガラスクロスを浸漬し、絞液後、１２０℃で１分乾燥し、厚さ１０μｍ、表面ガラス被覆率８５％、平均目曲がり量５ｍｍのガラスクロスを得た。
【００２４】
＜実施例４＞
タテ糸及びヨコ糸に平均フィラメント径４．１μｍ、フィラメント数５０本で撚り数が０．２ＺのＥガラス組成のガラス糸を使用し、エアージェットルームで、タテ糸８０本／ｉｎｃｈ、ヨコ糸８０本／ｉｎｃｈの織密度で平織りのガラスクロスを製織し、得られた生機を４．９Ｎ／ｍの張力下で高圧散水流による開繊加工（加工圧２．０ＭＰａ）を行った。その後４００℃で２４時間高温脱糊した。
続いて、表面処理としてシランカップリング剤であるＳＺ６０３２（東レ・ダウコーニング株式会社製）を用いて処理液とし、ガラスクロスを浸漬し、絞液後、１２０℃で１分乾燥し、厚さ１１μｍ、表面ガラス被覆率８５％、平均目曲がり量５ｍｍのガラスクロスを得た。
【００２５】
＜比較例１＞
タテ糸及びヨコ糸に平均フィラメント径５．０μｍ、フィラメント数５０本で撚り数が１．０ＺのＥガラス組成のガラス糸を使用し、エアージェットルームで、タテ糸７４本／ｉｎｃｈ、ヨコ糸７４本／ｉｎｃｈの織密度でガラスクロスを製織し、その後４００℃で２４時間高温脱糊した。
続いて、表面処理としてシランカップリング剤であるＳＺ６０３２を用いて処理液とし、ガラスクロスを浸漬し、絞液後、１２０℃で１分乾燥し、厚さ２６μｍ、表面ガラス被覆率４７％、平均目曲がり量２５ｍｍのガラスクロスを得た。
【００２６】
＜比較例２＞
タテ糸及びヨコ糸に平均フィラメント径５．０μｍ、フィラメント数５０本で撚り数が１．０ＺのＥガラス組成のガラス糸を使用し、エアージェットルームで、タテ糸７４本／ｉｎｃｈ、ヨコ糸７４本／ｉｎｃｈの織密度でガラスクロスを製織し、得られた生機を４．９Ｎ／ｍの張力下で高圧散水流による開繊加工（加工圧２．０ＭＰａ）を行った。その後４００℃で２４時間高温脱糊した。
続いて、表面処理としてシランカップリング剤であるＳＺ６０３２を用いて処理液とし、ガラスクロスを浸漬し、絞液後、１２０℃で１分乾燥し、厚さ１８μｍ、表面ガラス被覆率８１％、平均目曲がり量１６ｍｍのガラスクロスを得た。
【００２７】
＜比較例３＞
タテ糸及びヨコ糸に平均フィラメント径４．１μｍ、フィラメント数１００本で撚り数が０．７ＺのＥガラス組成のガラス糸を使用し、エアージェットルームで、タテ糸４８本／ｉｎｃｈ、ヨコ糸４８本／ｉｎｃｈの織密度で平織りのガラスクロスを製織し、得られた生機を４．９Ｎ／ｍの張力下で高圧散水流による開繊加工（加工圧２．０ＭＰａ）を行った。その後４００℃で２４時間高温脱糊した。
続いて、表面処理としてシランカップリング剤であるＳＺ６０３２（東レ・ダウコーニング株式会社製）を用いて処理液とし、ガラスクロスを浸漬し、絞液後、１２０℃で１分乾燥し、厚さ２２μｍ、表面ガラス被覆率３５％、平均目曲がり量２０ｍｍのガラスクロスを得た。
以上の実施例１〜４、及び比較例１〜３のガラスクロスを用いて得たフィルム状基板の厚さ（μｍ）と上記５．の測定結果は次の表１に示されている。
【００２８】
【表１】
2005213656.tif 000002
【産業上の利用可能性】
【００２９】
本発明のガラスクロス、プリプレグ、及びフィルム状基板は、プリント配線板の分野で好適に利用できる。