(57)【要約】【課題】本発明の目的は、均一な膜厚の膜を形成し得る成膜方法、かかる成膜方法により形成された膜およびかかる膜を備えた電子デバイスならびに電子機器を提供すること。【解決手段】本発明の成膜方法は、基材５上にマスク６を形成する工程と、マスク６の開口部６１内に、膜形成用の液状材料７を供給する工程と、液状材料７に対して第１の熱処理を施して半固化させる工程と、マスク６を除去する工程と、半固化した液状材料８’を膨潤させる工程と、半固化した液状材料物８’に対して第２の熱処理を施す工程とを有する成膜方法である。このように液状材料７を固化させるのに先立って、マスク６を除去することにより、基材５と反対側の面が平坦化された膜８を得ることができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材上に液状材料を用いて、所定パターンの膜を成膜する成膜方法であって、
前記基材上に設けられたマスクの開口部内に、前記液状材料を供給する第１の工程と、
前記液状材料に対して第１の熱処理を施して半固化させる第２の工程と、
前記マスクを除去する第３の工程と、
半固化した前記液状材料に対して、前記第１の熱処理における温度よりも高い温度で、第２の熱処理を施して、前記基材と反対側の面を平坦化する第４の工程とを有することを特徴とする成膜方法。
【請求項２】
前記開口部の内面に対する前記液状材料の接触角は、８０°以下である請求項１に記載の成膜方法。
【請求項３】
前記第１の熱処理の際の温度をＡ［℃］とし、前記第２の熱処理の際の温度をＢ［℃］としたとき、Ｂ＝Ａ＋５０〜Ａ＋４００なる関係を満足する請求項１または２に記載の成膜方法。
【請求項４】
前記第１の熱処理の際の温度は、１００〜４００℃である請求項１ないし３のいずれかに記載の成膜方法。
【請求項５】
前記第１の熱処理の際の時間は、５〜３０分である請求項１ないし４のいずれかに記載の成膜方法。
【請求項６】
前記第１の熱処理の際の雰囲気は、不活性ガス雰囲気である請求項１ないし５のいずれかに記載の成膜方法。
【請求項７】
前記第２の熱処理の際の温度は、１５０〜６００℃である請求項１ないし６のいずれかに記載の成膜方法。
【請求項８】
前記第２の熱処理の際の時間は、５〜３０分である請求項１ないし７のいずれかに記載の成膜方法。
【請求項９】
前記第２の熱処理の際の雰囲気は、酸素雰囲気である請求項１ないし８のいずれかに記載の成膜方法。
【請求項１０】
前記第４の工程に先立って、半固化した前記液状材料を膨潤させる工程を有する請求項１ないし９のいずれかに記載の成膜方法。
【請求項１１】
前記膨潤は、半固化した前記液状材料を、前記液状材料を調整するのに用いた液体の蒸気に曝すことにより行われる請求項１０に記載の成膜方法。
【請求項１２】
請求項１ないし１１のいずれかに記載の成膜方法により成膜されたことを特徴とする膜。
【請求項１３】
前記膜は、薄膜トランジスタの絶縁膜である請求項１２に記載の膜。
【請求項１４】
請求項１２または１３に記載の膜を備えることを特徴とする電子デバイス。
【請求項１５】
請求項１４に記載の電子デバイスを備えることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、成膜方法、膜、電子デバイスおよび電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子デバイスである半導体装置は、高集積化に伴って、薄膜を多層化する構成のものが提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
従来、薄膜の形成には、樹脂を主成分とするマスクを利用することが、広く行われている。具体的には、Ｉ：基材上に所定のパターンの開口部を有するマスクを形成し、このマスクの開口部内に、膜形成用の液体（液状材料）を供給する。II：次いで、液状材料に対して熱処理を施して固化させる。III：その後、マスクを除去する。
【０００３】
ところで、マスクの開口部内面に対して、濡れ性の高い液状材料を用いた場合、液状材料が開口部内面に接触する部分において、メニスカス形状となる。
この状態で、液状材料に対して前記熱処理を施すと、液状材料は、常にマスクの開口部内面と接触しているため、メニスカス形状が維持された状態で固化し、その結果、縁部に尖鋭（鋭角）な角部を有する膜が形成されてしまう。
そして、このような膜上に他の膜を積層した場合には、積層する膜が損傷を受けたり、高い密着性を確保することが困難となったり等する。また、この膜の上下において隣接する膜同士が直接接触してしまうという問題も生じる。
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−２６７３２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、均一な膜厚の膜を形成し得る成膜方法、かかる成膜方法により形成された膜およびかかる膜を備えた電子デバイスならびに電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の成膜方法は、基材上に液状材料を用いて、所定パターンの膜を成膜する成膜方法であって、
前記基材上に設けられたマスクの開口部内に、前記液状材料を供給する第１の工程と、
前記液状材料に対して第１の熱処理を施して半固化させる第２の工程と、
前記マスクを除去する第３の工程と、
半固化した前記液状材料に対して、前記第１の熱処理における温度よりも高い温度で、第２の熱処理を施して、前記基材と反対側の面を平坦化する第４の工程とを有することを特徴とする。
これにより、前記開口部内面と接触する部分においてメニスカス形状となるのを防止して、均一な膜厚の膜を形成することができる。
【０００７】
本発明の成膜方法では、前記開口部の内面に対する前記液状材料の接触角は、８０°以下であるのが好ましい。
本発明は、このような関係を満足するマスクと液状材料とを用いた成膜方法への適用に適する。
本発明の成膜方法では、前記第１の熱処理の際の温度をＡ［℃］とし、前記第２の熱処理の際の温度をＢ［℃］としたとき、Ｂ＝Ａ＋５０〜Ａ＋４００なる関係を満足するのが好ましい。
かかる関係を満足することにより、基材と反対側の面が平坦化された膜を得ることができる。
【０００８】
本発明の成膜方法では、前記第１の熱処理の際の温度は、１００〜４００℃であるのが好ましい。
これにより、液状材料から適度に液状材料を調整するのに用いた液体が除去される。その結果、半固化した液状材料は、マスクの除去前後において、その形状が確実に維持される。
【０００９】
本発明の成膜方法では、前記第１の熱処理の際の時間は、５〜３０分であるのが好ましい。
これにより、液状材料から適度に液状材料を調整するのに用いた液体が除去される。その結果、半固化した液状材料は、マスクの除去前後において、その形状が確実に維持される。
【００１０】
本発明の成膜方法では、前記第１の熱処理の際の雰囲気は、不活性ガス雰囲気であるのが好ましい。
これにより、例えば、マスクの表面付近が酸化されるのを防止して、マスクの表面状態を維持すること（マスクの表面状態が変化するのを防止すること）ができる。
本発明の成膜方法では、前記第２の熱処理の際の温度は、１５０〜６００℃であるのが好ましい。
これにより、基材と反対側の面がより確実に平坦化され、より均一な膜厚の膜を得ることができる。
【００１１】
本発明の成膜方法では、前記第２の熱処理の際の時間は、５〜３０分であるのが好ましい。
これにより、例えば、膜の少なくとも表面付近を酸化させたい場合には、その酸化をより容易かつ確実に行うことができる。
本発明の成膜方法では、前記第２の熱処理の際の雰囲気は、酸素雰囲気であるのが好ましい。
これにより、表面が緻密な膜を得ることができる。
【００１２】
本発明の成膜方法では、前記第４の工程に先立って、半固化した前記液状材料を膨潤させる工程を有するのが好ましい。
これにより、前記第４の工程において、半固化した液状材料の基材と反対側の面の平坦化をより確実に行うことができる。
本発明の成膜方法では、前記膨潤は、半固化した前記液状材料を、前記液状材料を調整するのに用いた液体の蒸気に曝すことにより行われるのが好ましい。
これにより、半固化した液状材料の少なくとも表面付近を、前記液体で短時間かつ確実に、膨潤させることができる。
【００１３】
本発明の膜は、本発明の成膜方法により成膜されたことを特徴とする。
これにより、均一な膜厚の膜が得られる。
本発明の膜は、薄膜トランジスタの絶縁膜であるのが好ましい。
これにより、例えば、薄膜トランジスタに適用した場合には、特性に優れたものとなる。
【００１４】
本発明の電子デバイスは、本発明の膜を備えることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い電子デバイスが得られる。
本発明の電子機器は、本発明の電子デバイスを備えることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い電子機器が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明者は、上記問題点に鑑み、鋭意検討を重ねた結果、縁部に尖鋭（鋭角）な角部を有する膜が形成される原因は、マスクの開口部内において液状材料を固化させることにあるとの考えに至った。
本発明は、かかる知見に基づいてなされたものであり、液状材料を固化させるのに先立って、マスクを除去することを特徴とするものである。
以下、本発明の成膜方法、膜、電子デバイスおよび電子機器を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
まず、本発明の成膜方法について説明する。
【００１６】
＜成膜方法＞
図１は、本発明の成膜方法の好適な実施形態を示す縦断面図である。なお、以下の説明では、図１中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
図１に示す成膜方法は、基材５上にマスク６を形成するマスク形成工程と、マスク６の開口部６１内に、膜形成用の液状材料７を供給する液状材料供給工程と、液状材料７に対して第１の熱処理を施して半固化させる第１の熱処理工程と、マスク６を除去するマスク除去工程と、半固化した液状材料８’（以下、「半固化物８’」と言う。）を膨潤させる膨潤処理工程と、半固化物８’に対して第２の熱処理を施して、上面（基材５と反対側の面）が平坦化された膜８を得る第２の熱処理工程とを有する。以下、各工程について、順次説明する。
【００１７】
［マスク形成工程］
まず、基材５を用意する（１ａ）。
この基材５は、いかなる材料で構成されたものであってもよいが、例えば、石英ガラス、二酸化ケイ素、窒化ケイ素、ポリエチレンテレフタレート、ポリイミド、各種低誘電率材料（いわゆる、ｌｏｗ−Ｋ材）等の各種絶縁材料（誘電体）や、シリコン（例えば、アモルファスシリコン、多結晶シリコン等）、インジウムティンオキサイド（ＩＴＯ）、インジウムオキサイド（ＩＯ）、酸化スズ（ＳｎＯ２）、アンチモンティンオキサイド（ＡＴＯ）、インジウムジンクオキサイド（ＩＺＯ）、Ａｌ、Ａｌ合金、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｔａ等の導電性材料で構成されたものを用いることができる。
【００１８】
また、基材５は、膜８を形成した後、除去（分離）されるものであってもよく、膜８と一体的に使用されるものであってもよい。
次に、この基材５上に所定パターンのマスク６、すなわち、開口部６１を有するマスク６を形成する（１ｂ）。
マスク６は、所定のパターンの膜８を形成する際の型として用いられるものである。これにより、基材５のマスク６が覆われている部位には膜８を形成せず、これと同じ側の面のマスク６で覆われていない部位に膜８を好適に形成することができる。
【００１９】
このようなマスク６は、例えば、フォトリソグラフィー法、電解めっき、浸漬めっき、無電解めっき等の湿式めっき法、真空蒸着、スパッタリング、熱ＣＶＤ、プラズマＣＶＤ、レーザーＣＶＤ等の化学蒸着法（ＣＶＤ）、イオンプレーティング等の気相成膜法（乾式めっき法）等により形成することができる。
これらの中でも、マスク６の形成には、フォトリソグラフィー法を用いるのが好ましい。フォトリソグラフィー法によれば、大掛かりな設備を必要とせず、微細なパターン（形状）のマスク６を容易かつ確実に形成することができる。
【００２０】
なお、マスク６は、基材５上に、直接、所望のパターンとなるように形成されるものに限定されない。例えば、基材５のほぼ全面に、マスク６の構成材料からなる膜を形成した後、当該膜の一部を除去することにより、所望のパターンのマスク６としてもよい。
前記膜の一部を除去する方法（除去方法）としては、例えば、紫外線や、Ｎｅ−Ｈｅレーザー、Ａｒレーザー、ＣＯ２レーザー、ルビーレーザー、半導体レーザー、ＹＡＧレーザー、ガラスレーザー、ＹＶＯ４レーザー、エキシマレーザー等の各種レーザーを照射する方法が挙げられる。
【００２１】
マスク６の平均厚さは、特に限定されないが、後述するような電子デバイスの製造に適用する場合、０．０５〜１５μｍであるのが好ましく、０．２〜１０μｍであるのがより好ましい。マスク６の平均厚さが前記下限値未満であると、マスク６にピンホールが発生し易くなる傾向を示し、また、マスクの上に液体が完全に覆ってしまい、マスクとして機能しなくなる可能性がある。一方、マスク６の平均厚さが前記上限値を超えると、マスク６の各部位における膜厚のバラツキが大きくなる傾向を示す。また、マスク６の内部応力が高くなり、結果として、マスク６と基材５との密着性が低下したり、クラックが発生し易くなる。
また、マスク６は透明であることが好ましい。これにより、基材５との密着状態を外部から視認することが可能となる。
【００２２】
［液状材料供給工程（第１の工程）］
次に、基材５のマスク６が形成された面側に、膜形成用の液状材料７を供給する（１ｃ）。
液状材料７は、少なくとも、形成すべき膜８の構成材料またはその前駆体（以下、これらを総称して「膜８の構成材料」とも言う。）を含む溶液または分散液を用いることができる。
【００２３】
この溶液または分散液の調製に用いる液体（溶媒または分散媒）としては、例えば、水、メタノール、エタノール、ｎ−またはｉ−プロパノール、ｎ−、ｓ−またはｔ−ブタノールのような単価アルコール類、エチレングリコール、トリメチレングリコールのようなグリコール類（多価アルコール類）、アセトン、メチルエチルケトン、ジエチルケトン、アセチルアセトン、イソホロンのようなケトン類、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチルのようなエステル類、メトキシエタノール、エトキシエタノールのようなエーテルアルコール類、ジオキサン、テトラヒドロフランのようなエーテル類、キシレン、トリメチルベンゼンのような芳香族炭化水素類、酸アミド類等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００２４】
なお、以下では、この溶液または分散液の調製に用いる液体を、「調整用液体」と言う。
液状材料７における膜８の構成材料の含有量（濃度）は、膜８の構成材料等によっても若干異なり、特に限定されないが、１〜４０ｗｔ％程度であるのが好ましく、１０〜３０ｗｔ％程度であるのがより好ましい。
【００２５】
また、液状材料７の粘度（常温）は、１〜５０ｃｐｓ程度であるのが好ましく、１０〜３０ｃｐｓ程度であるのがより好ましい。これにより、液状材料７の基材５上への供給をより容易に行うことができる。
液状材料７を基材５上に供給する方法としては、例えば、ディップコート法、スピンコート法、スリットコート法、キャップコート法、ディスペンサー法、スプレーコート法、ロールコート法、スクリーン印刷法、インクジェット印刷法等の各種塗布法を用いるのが好適である。塗布法によれば、容易かつ確実に、液状材料７を基材５上へ供給することができる。
【００２６】
ここで、液状材料７のマスク６の開口部６１内面に対して濡れ性が高い場合には、液状材料７は、開口部６１内面と接触する部分においてメニスカス形状となる傾向が高くなるが、本発明の成膜方法によれば、このようなメニスカス形状が維持されるのを防止して、均一な膜厚の膜８を形成することができる。
この液状材料７のマスク６の開口部６１内面に対して濡れ性は、例えば、液状材料７のマスク６の開口部６１内面に対する接触角で表すことができ、その接触角は、好ましくは９０°以下、より好ましく８０°以下とされる。かかる関係を満足する液状材料７を用いた成膜方法に、本発明を適用することにより、その効果がより顕著に発揮される。
【００２７】
なお、かかる関係を満足するマスク６と液状材料７の組み合わせとしては、例えば、親水性の高いマスク６と親水性の高い液状材料７との組み合わせや、撥水性の高いマスク６と有機溶媒で構成される液状材料７との組み合わせ等が挙げられる。
マスク６の開口部６１内に液状材料７を供給する際の温度は、０〜１００℃であるのが好ましく、２０〜５０℃であるのがより好ましい。これにより、液面上の余分な調整用液体が気化し、液状材料７の液面が安定したものとなる。
【００２８】
さらに、本工程は、酸化性雰囲気、還元性雰囲気、不活性雰囲気等、いかなる雰囲気で行うものであってもよい。
次に、第１の工程に引き続き、液状材料７を乾燥させる工程（乾燥工程）を行うようにしてもよい。
この乾燥工程の温度は、マスク６に液状材料７を供給する際の温度範囲内で実施するのが好ましい。
【００２９】
また、この乾燥工程の雰囲気は、酸化性雰囲気、還元性雰囲気、不活性雰囲気等、いかなる雰囲気で行うものであってもよい。
さらに、この乾燥の時間は、特に限定されないが、雰囲気温度を前記範囲とする場合には、１〜９０分程度であるのが好ましく、２〜６０分程度であるのがより好ましい。これにより、より確実に液面上の余分な調整用液体が気化し、液状材料７の液面がより安定したものとなる。
【００３０】
［第１の熱処理工程（第２の工程）］
次に、基材５上の開口部６１内に供給された液状材料７に対して、第１の熱処理を施す。これにより、液状材料７を半固化させて、半固化物８’を得る（１ｄ）。
なお、半固化物８’は、マスク６の開口部６１内で半固化することから、液状材料７と同様に、尖鋭な角部８１’を有するメニスカス形状となる。
【００３１】
ここで、本明細書中において、半固化とは、液状材料７がマスク６を除去した後においても、その形状が維持される程度、かつ、最終的に得られる膜８における固化の程度より低い程度に、液状材料７が固化している状態のことを言う。
第１の熱処理の際の温度（熱処理温度）は、液状材料７の組成等により若干異なるが、１００〜４００℃程度であるのが好ましく、１５０〜３００℃程度であるのがより好ましく、２００〜２５０℃程度であるのが特に好ましい。これにより、液状材料７から適度に調整用液体が気化して除去される。その結果、得られる半固化物８’は、マスク６の除去前後において、その形状が確実に維持される。
【００３２】
また、第１の熱処理の時間（熱処理時間）も、液状材料７の組成等により異なるが、５〜３０分程度であるのが好ましく、１０〜２０分程度であるのがより好ましい。熱処理時間が短過ぎると、十分に調整用液体を除去することができないおそれがあり、一方、熱処理時間が長過ぎると、液状材料７が固化に至ってしまうおそれがある。
また、第１の熱処理は、酸化性雰囲気、還元性雰囲気、不活性雰囲気（不活性ガス雰囲気）、真空または減圧状態下等、いかなる雰囲気下で行うものであってもよいが、不活性雰囲気（不活性ガス雰囲気）であるのが好ましい。これにより、例えば、マスク６の表面付近が酸化されるのを防止して、マスク６の表面状態を維持すること（マスク６の表面状態が変化するのを防止すること）ができる。
【００３３】
［マスク除去工程（第３の工程）］            
次に、マスク６を除去する（１ｅ）。これにより、尖鋭な角部８１’を有する半固化物８’が形成される。
マスク６の除去は、マスク６の種類に応じて適宜選択すればよく、例えば、酸素プラズマやオゾンによる大気圧下または減圧下でのアッシング、紫外線の照射、Ｎｅ−Ｈｅレーザー、Ａｒレーザー、ＣＯ２レーザー、ルビーレーザー、半導体レーザー、ＹＡＧレーザー、ガラスレーザー、ＹＶＯ４レーザー、エキシマレーザー等の各種レーザーの照射、マスク６を溶解または分解し得る溶剤との接触（例えば浸漬）等により行うことができる。
例えば、マスク６がフォトリソグラフィー法により形成されたもの、すなわち、レジスト材料で構成されたものである場合、マスク６の除去は、これを溶解または分解し得る溶剤と接触させることにより行うのが好適である。かかる方法によれば、大掛かりな設備を必要とせず、容易にマスク６を除去することができる。
【００３４】
［膨潤処理工程］
次に、半固化物８’を膨潤させる（１ｆ）。
半固化物８’を膨潤させる方法としては、例えば、半固化物８’を調整用液体の蒸気に曝す方法、半固化物８’を調整用液体に含浸させる方法等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。これにより、半固化物８’の少なくとも表面付近が、調整用液体で膨潤して、尖鋭な角部８１’が丸みを帯びるようになる。このため、後述する第２の熱処理工程において、半固化物８’の上面の平坦化をより確実に行うことができるようになる。
【００３５】
これらの中でも、半固化物８’を膨潤させる方法としては、半固化物８’を調整用液体の蒸気に曝す方法を用いるのが好適である。かかる方法によれば、半固化物８’の膨潤に気体を用いることから、半固化物８’の少なくとも表面付近を、短時間かつ確実に、調整用液体で膨潤させることができる。
この半固化物８’を膨潤させる際の温度は、液状材料７の組成等により若干異なるが、０〜２００℃程度であるのが好ましく、２０〜１００℃程度であるのがより好ましい。これにより、半固化物８’の少なくとも表面付近を、調整用液体で膨潤させることができる。
【００３６】
また、半固化物８’を膨潤させる際の時間も、液状材料７の組成等により異なるが、５〜３０分程度であるのが好ましく、１０〜２０分程度であるのがより好ましい。膨潤させる時間が短過ぎると、半固化物８’を十分に膨潤させることができないおそれがあり、一方、膨潤させる時間を前記上限値を超えて長くしても、それ以上の効果の増大が期待できない。
また、膨潤処理工程は、酸化性雰囲気、還元性雰囲気、不活性雰囲気等、いかなる雰囲気下で行うものであってもよい。
なお、膨潤処理工程は、前述したマスク除去工程に先立って行うようにしてもよいし、液状材料７の構成材料等によっては、この膨潤処理工程を省略してもよい。
【００３７】
［第２の熱処理工程（第４の工程）］
次に、半固化物８’に対して、第１の熱処理における温度よりも高い温度で、第２の熱処理を施す。
これにより、半固化物８’を固化させて、膜８を得る（１ｇ）。このとき、半固化物８’の上面が平坦化し、均一な膜厚の膜８が得られる。
【００３８】
第２の熱処理の際の温度は、次のように設定するのが好ましい。
すなわち、第１の熱処理の際の温度をＡ［℃］とし、第２の熱処理の際の温度をＢ［℃］としたとき、Ｂ＝Ａ＋５０〜Ａ＋４００［℃］程度とするのが好ましく、Ｂ＝Ａ＋１５０〜Ａ＋２５０［℃］程度とするのがより好ましい。ＡとＢとの温度差が小さ過ぎると、半固形物８’の上面の平坦化が十分になされないおそれがあり、一方、ＡとＢとの温度差を前記上限値より大きくしても、それ以上の効果の増大が期待できないばかりか、膜８の特性が低下するおそれがある。
【００３９】
具体的には、第２の熱処理の際の温度（熱処理温度）は、膜８の構成材料の種類等によっても若干異なるが、１５０〜６００℃程度であるのが好ましく、２５０〜５００℃程度であるのがより好ましく、３５０〜４００℃程度であるのが特に好ましい。これにより、半固化物８’の上面がより確実に平坦化され、より均一な膜厚の膜８が得られる。
第２の熱処理の際の時間（熱処理時間）も、膜８の構成材料の種類等によっても若干異なるが、５〜３０分程度であるのが好ましく、１０〜２０分程度であるのがより好ましい。熱処理時間が短過ぎると、尖鋭な角部８１’の十分な減少が得られないおそれがあり、一方、熱処理時間を前記上限値を超えて長くしても、それ以上の効果の増大が期待できないばかりか、膜８の特性が低下するおそれがある。
【００４０】
また、熱処理は、酸化性雰囲気、還元性雰囲気、不活性雰囲気、真空または減圧状態下等、いかなる雰囲気下で行うものであってもよいが、酸性化雰囲気、特に酸素雰囲気であるのが好ましい。これにより、例えば、膜８の少なくとも表面付近を酸化させたい場合には、その酸化をより容易かつ確実に行うことができる。
形成する膜８の平均厚さは、特に限定されないが、膜８が後述するような電子デバイスを構成するものである場合、０．００５〜１０μｍであるのが好ましく、０．０１〜８μｍであるのがより好ましい。
【００４１】
以上のような工程を経て、膜（本発明の膜）８が得られる。
なお、本実施形態では、第２の熱処理工程において、半固化物８’を固化させる構成であったが、本発明では、第２の熱処理工程において、半固化物８’のメニスカス形状を緩和して上面を平坦化させ、その後の工程において、半固化物８’を固化させる構成とすることもできる。
【００４２】
＜電子デバイス＞
次に、本発明の成膜方法を適用して形成された薄膜トランジスタを備える液晶パネル（本発明の電子デバイス）、およびその製造方法について説明する。
図２は、液晶パネルの好適な実施形態を示す模式的な縦断面図、図３は、図２に示す液晶パネルの薄膜トランジスタ付近の拡大断面図である。
【００４３】
図２に示すように、液晶パネル（ＴＦＴ液晶パネル）１００は、ＴＦＴ基板（液晶駆動基板）９と、ＴＦＴ基板９に接合された配向膜３と、液晶パネル用対向基板１２と、液晶パネル用対向基板１２に接合された配向膜３’と、配向膜３と配向膜３’との空隙に封入された液晶よりなる液晶層２と、ＴＦＴ基板（液晶駆動基板）９の外表面側（配向膜３と対向する面とは反対の面側）に接合された偏光膜４と、液晶パネル用対向基板１２の外表面側（配向膜３’と対向する面とは反対の面側）に接合された偏光膜４’とを有している。
【００４４】
液晶層２は、主として、液晶分子で構成されている。
液晶層２を構成する液晶分子としては、ネマチック液晶、スメクチック液晶など配向し得るものであればいかなる液晶分子を用いても構わないが、ＴＮ型液晶パネルの場合、ネマチック液晶を形成させるものが好ましく、例えば、フェニルシクロヘキサン誘導体液晶、ビフェニル誘導体液晶、ビフェニルシクロヘキサン誘導体液晶、テルフェニル誘導体液晶、フェニルエーテル誘導体液晶、フェニルエステル誘導体液晶、ビシクロヘキサン誘導体液晶、アゾメチン誘導体液晶、アゾキシ誘導体液晶、ピリミジン誘導体液晶、ジオキサン誘導体液晶、キュバン誘導体液晶等が挙げられる。
【００４５】
さらに、これらネマチック液晶分子にモノフルオロ基、ジフルオロ基、トリフルオロ基、トリフルオロメチル基、トリフルオロメトキシ基、ジフルオロメトキシ基などのフッ素系置換基を導入した液晶分子も含まれる。
液晶層２の両面には、配向膜３、３’が配置されている。配向膜３、３’は、液晶層２を構成する液晶分子の（電圧無印加時における）配向状態を規制する機能を有する。
【００４６】
配向膜３、３’は、通常、主として、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリビニルアルコール、ポリテトラフルオロエチレン等の高分子材料で構成されたものである。
前記高分子材料の中でも特に、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂が好ましい。
配向膜３、３’が、主として、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂で構成されたものであると、製造工程において簡便に高分子膜を形成できるとともに、耐熱性、耐薬品性などに優れた特性を有するものとなる。
【００４７】
また、配向膜３、３’としては、通常、上記のような材料で構成された膜に、液晶層２を構成する液晶分子の配向を規制する配向機能を付与するための処理が施されたものが用いられる。配向機能を付与するための処理法としては、例えば、ラビング法、光配向法等が挙げられる。
ラビング法は、ローラ等を用いて、膜の表面を一定の方向に擦る（ラビングする）方法である。このような処理を施すことにより、膜はラビングした方向に異方性を有するものとなり、液晶層を構成する液晶分子の配向方向を規制することが可能となる。
【００４８】
光配向法は、直線偏光紫外線等の光を膜の表面付近に照射することにより、膜を構成する高分子のうち、特定方向を向いている分子のみを選択的に反応させる方法である。このような処理を施すことにより、膜は異方性を有するものとなり、液晶層を構成する液晶分子の配向方向を規制することが可能となる。
上記のような配向処理は、通常、基板（マイクロレンズ基板１１とブラックマトリックス１３との接合体、ＴＦＴ基板９）上に形成された電極（透明導電膜１４、画素電極９２）の表面に、前記材料で構成された膜を形成した後、当該膜に対して施される。
【００４９】
電極上に成膜を行う方法としては、例えば、ディッピング、ドクターブレード、スピンコート、刷毛塗り、スプレー塗装、静電塗装、電着塗装、ロールコーター等の各種塗布法、溶射法、電解めっき、浸漬めっき、無電解めっき等の湿式めっき法、真空蒸着、スパッタリング、熱ＣＶＤ、プラズマＣＶＤ、レーザーＣＶＤ等の化学蒸着法（ＣＶＤ）、イオンプレーティング等の乾式めっき法等が挙げられるが、この中でも特に、スピンコート法が好ましい。
【００５０】
スピンコート法を用いることにより、均質で、均一な厚さの膜を、容易かつ確実に形成することができる。
このような配向膜は、その平均厚さが２０〜１２０ｎｍであるのが好ましく、３０〜８０ｎｍであるのがより好ましい。
配向膜の平均厚さが前記下限値未満であると、配向膜に十分な配向機能を付与するのが困難になる可能性がある。一方、配向膜の平均厚さが前記上限値を超えると、駆動電圧が高くなり、消費電力が大きくなる可能性がある。
【００５１】
液晶パネル用対向基板１２は、マイクロレンズ基板１１と、かかるマイクロレンズ基板１１の表層１１４上に設けられ、開口１３１が形成されたブラックマトリックス１３と、表層１１４上にブラックマトリックス１３を覆うように設けられた透明導電膜（共通電極）１４とを有している。
マイクロレンズ基板１１は、凹曲面を有する複数（多数）の凹部（マイクロレンズ用凹部）１１２が設けられたマイクロレンズ用凹部付き基板（第１の基板）１１１と、かかるマイクロレンズ用凹部付き基板１１１の凹部１１２が設けられた面に樹脂層（接着剤層）１１５を介して接合された表層（第２の基板）１１４とを有しており、また、樹脂層１１５では、凹部１１２内に充填された樹脂によりマイクロレンズ１１３が形成されている。
【００５２】
マイクロレンズ用凹部付き基板１１１は、平板状の母材（透明基板）より製造され、その表面には、複数（多数）の凹部１１２が形成されている。
凹部１１２は、例えば、マスクを用いた、ドライエッチング法、ウェットエッチング法等により形成することができる。
このマイクロレンズ用凹部付き基板１１１は、例えば、石英ガラス等のガラスやポリエチレンテレフタレート等のプラスチック材料等で構成されている。
【００５３】
前記母材の熱膨張係数は、後述するガラス基板９１の熱膨張係数とほぼ等しいもの（例えば両者の熱膨張係数の比が１／１０〜１０程度）であることが好ましい。これにより、得られる液晶パネルでは、温度が変化したときに二者の熱膨張係数が違うことにより生じるそり、たわみ、剥離等が防止される。
かかる観点からは、マイクロレンズ用凹部付き基板１１１と、ガラス基板９１とは、同種類の材質で構成されていることが好ましい。これにより、温度変化時の熱膨張係数の相違によるそり、たわみ、剥離等が効果的に防止される。
【００５４】
特に、マイクロレンズ基板１１を高温ポリシリコンＴＦＴ液晶パネル（ＨＴＰＳ）に用いる場合には、マイクロレンズ用凹部付き基板１１１は、石英ガラスで構成されていることが好ましい。
ＴＦＴ液晶パネルは、液晶駆動基板としてＴＦＴ基板を有している。かかるＴＦＴ基板には、製造時の環境により特性が変化しにくい石英ガラスが好ましく用いられる。このため、これに対応させて、マイクロレンズ用凹部付き基板１１１を石英ガラスで構成することにより、そり、たわみ等の生じにくい、安定性に優れたＴＦＴ液晶パネルを得ることができる。
【００５５】
マイクロレンズ用凹部付き基板１１１の上面には、凹部１１２を覆う樹脂層（接着剤層）１１５が設けられている。
凹部１１２内には、樹脂層１１５の構成材料が充填されることにより、マイクロレンズ１１３が形成されている。
樹脂層１１５は、例えば、マイクロレンズ用凹部付き基板１１１の構成材料の屈折率よりも高い屈折率の樹脂（接着剤）で構成することができ、例えば、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、アクリルエポキシ系のような紫外線硬化樹脂等で好適に構成することができる。
【００５６】
樹脂層１１５の上面には、平板状の表層１１４が設けられている。
表層（ガラス層）１１４は、例えばガラスで構成することができる。この場合、表層１１４の熱膨張係数は、マイクロレンズ用凹部付き基板１１１の熱膨張係数とほぼ等しいもの（例えば両者の熱膨張係数の比が１／１０〜１０程度）とすることが好ましい。これにより、マイクロレンズ用凹部付き基板１１１と表層１１４の熱膨張係数の相違により生じるそり、たわみ、剥離等が防止される。
【００５７】
このような効果は、マイクロレンズ用凹部付き基板１１１と表層１１４とを同種類の材料で構成すると、より効果的に得られる。
表層１１４の厚さは、マイクロレンズ基板１１が液晶パネルに用いられる場合、必要な光学特性を得る観点からは、通常、５〜１０００μｍ程度とされ、より好ましくは１０〜１５０μｍ程度とされる。
【００５８】
なお、表層（バリア層）１１４は、例えばセラミックスで構成することもできる。なお、セラミックスとしては、例えば、ＡｌＮ、ＳｉＮ、ＴｉＮ、ＢＮ等の窒化物系セラミックス、Ａｌ２Ｏ３、ＴｉＯ２等の酸化物系セラミックス、ＷＣ、ＴｉＣ、ＺｒＣ、ＴａＣ等の炭化物系セラミックスなどが挙げられる。表層１１４をセラミックスで構成する場合、表層１１４の厚さは、特に限定されないが、２０ｎｍ〜２０μｍ程度とすることが好ましく、４０ｎｍ〜１μｍ程度とすることがより好ましい。
なお、このような表層１１４は、必要に応じて省略することができる。
【００５９】
ブラックマトリックス１３は、遮光機能を有し、例えば、Ｃｒ、Ａｌ、Ａｌ合金、Ｎｉ、Ｚｎ、Ｔｉ等の金属、カーボンやチタン等を分散した樹脂等で構成されている。
【００６０】
透明導電膜（電極）１４は、導電性を有し、例えば、インジウムティンオキサイド（ＩＴＯ）、インジウムオキサイド（ＩＯ）、酸化スズ（ＳｎＯ２）、アンチモンティンオキサイド（ＡＴＯ）、インジウムジンクオキサイド（ＩＺＯ）等で構成されている。
ＴＦＴ基板９は、液晶層２の液晶を駆動する基板であり、ガラス基板９１と、ガラス基板９１上に設けられた下地絶縁膜９４と、かかる下地絶縁膜９４上に設けられ、マトリックス状（行列状）に配設された複数（多数）の画素電極９２と、各画素電極９２に対応する複数（多数）の薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）９３とを有している。なお、図２では、シール材、配線等の記載は省略した。
【００６１】
ガラス基板９１は、前述したような理由から、石英ガラスで構成されていることが好ましい。
下地絶縁膜９４の構成材料は、特に限定されないが、例えば、ＳｉＯ2、ＴＥＯＳ（ケイ酸エチル）、ポリシラザン、ポリイミド、Ｌｏｗ−Ｋ材等を用いることができる。
この下地絶縁膜９４は、シロキサン結合を有するＳＯＧ（Spin On Glass）などの液体絶縁材料をガラス基板９１に塗布し、これを焼成して加熱分解させて形成することができる。これにより、高価な真空装置などを使用する必要がなく、成膜に必要な投入エネルギーや時間などを節減することができる。
【００６２】
液体絶縁材料の塗布は、例えば、スピンコート、ディップコート、液体ミスト化学堆積法（Liquid Source Misted Chemical Deposition：ＬＳＭＣＤ）、スリットコートなどにより行うことができる。また、液体絶縁材料の塗布は、いわゆるインクジェットプリンタのプリンタヘッドのような定量吐出装置によって行うこともできる。この定量吐出装置を用いれば、所望の部分にだけ塗布することが可能であるので、材料を節減することができる。
【００６３】
画素電極９２は、透明導電膜（共通電極）１４との間で充放電を行うことにより、液晶層２の液晶分子を駆動する（液晶の配向を変化させる）。
この画素電極９２は、例えば、前述した透明導電膜１４と同様の材料で構成されている。
薄膜トランジスタ９３は、近傍の対応する画素電極９２に接続されている。
【００６４】
また、薄膜トランジスタ９３は、図示しない制御回路に接続され、画素電極９２へ供給する電流を制御する。これにより、画素電極９２の充放電が制御される。
図３に示すように、薄膜トランジスタ９３は、下地絶縁膜９４上に設けられ、チャンネル領域９３２０とソース領域９３１６とドレイン領域９３１８とを備える半導体層９３１４と、半導体層９３１４を覆うように設けられたゲート絶縁膜９３２６、絶縁層９３４２と、ゲート絶縁膜９３２６を介してチャンネル領域９３２０と対向するように設けられたゲート電極９３５１と、ゲート電極９３５１上方の絶縁層９３４２上に設けられた導電部９３５６と、ソース領域９３１６上方の絶縁層９３４２上に設けられ、ソース電極として機能する導電部９３５２と、ドレイン領域９３１８上方の絶縁層９３４２上に設けられ、ドレイン電極として機能する導電部９３５４と、ゲート電極（第１導電部）９３５１と導電部（第２導電部）９３５６とを電気的に接続するコンタクトプラグ９３５５と、ソース領域（第１導電部）９３１６と導電部（第２導電部）９３５２とを電気的に接続するコンタクトプラグ９３５０と、ドレイン領域（第１導電部）９３１８と導電部（第２導電部）９３５４とを電気的に接続するコンタクトプラグ９３５３とを有している。
【００６５】
本実施形態では、この下地絶縁膜９４上に、半導体層９３１４が設けられている。この半導体層９３１４は、例えば、多結晶シリコン、アモルファスシリコン等のシリコン、ゲルマニウム、ヒ素化ガリウム等の半導体材料で構成される。
前述したように、この半導体層９３１４は、チャンネル領域９３２０とソース領域９３１６とドレイン領域９３１８とを有している。
【００６６】
図３に示すように、半導体層９３１４は、チャンネル領域９３２０の一方の側部にソース領域９３１６が形成され、チャンネル領域９３２０の他方の側部にドレイン領域９３１８が形成された構成となっている。
チャンネル領域９３２０は、例えば、真性半導体材料で構成される。
ソース領域９３１６およびドレイン領域９３１８は、例えば、リン等のｎ型不純物が導入（ドープ）された半導体材料で構成される。
【００６７】
なお、半導体層９３１４の構成はこの構成に限定されず、例えば、ソース領域９３１６およびドレイン領域９３１８は、ｐ型不純物が導入された半導体材料で構成されてもよい。
また、チャンネル領域９３２０は、例えば、ｐ型またはｎ型不純物が導入された半導体材料で構成されてもよい。
【００６８】
このような半導体層９３１４は、絶縁膜（ゲート絶縁膜９３２６、絶縁層９３４２）で覆われている。このような絶縁膜のうち、チャンネル領域９３２０と導電部９３５６との間に介在している部分は、チャンネル領域９３２０と導電部９３５６との間に生じる電界の経路となるゲート絶縁層として機能する。
ゲート絶縁膜９３２６、絶縁層９３４２の構成材料は、特に限定されないが、例えば、ＳｉＯ2、ＴＥＯＳ（ケイ酸エチル）、ポリシラザン等のケイ素化合物を用いることができる。
【００６９】
なお、ゲート絶縁膜９３２６、絶縁層９３４２は、上記以外の材料、例えば樹脂、セラミックス等で構成されてもよいことは、言うまでもない。
絶縁層９３４２上には、導電部９３５２、導電部９３５４、および導電部９３５６が設けられている。前述したように、導電部９３５６は、チャンネル領域９３２０の上方に形成されている。
【００７０】
導電部９３５２は、ソース領域９３１６に接触している。導電部９３５４は、ドレイン領域９３１８に接触している。
図３に示すように、ゲート絶縁膜９３２６および絶縁層９３４２のソース領域９３１６が形成された領域内には、ソース領域９３１６に連通する孔部（コンタクトホール）が形成されている。
【００７１】
導電部９３５２は、この孔部を通じて、ソース領域９３１６に接触している。
また、ゲート絶縁膜９３２６および絶縁層９３４２のドレイン領域９３１８が形成された領域内には、ドレイン領域９３１８に連通する孔部が形成されている。
導電部９３５４は、この孔部を通して、ドレイン領域９３１８に接触している。
本実施形態の液晶パネル１００では、導電部９３５４は、画素電極９２と接触している。すなわち、導電部９３５４は、画素電極９２と電気的に接続されている。また、液晶パネル１００を構成する複数個の導電部９３５２は、図示しない部分で、互いに電気的に接続されている。さらには、液晶パネル１００を構成する複数個の導電部９３５６は、他の回路に、並列に接続可能になっている。
【００７２】
これら導電部９３５２、導電部９３５４、および導電部９３５６は、例えば、インジウムティンオキサイド（ＩＴＯ）、インジウムオキサイド（ＩＯ）、酸化スズ（ＳｎＯ２）、アンチモンティンオキサイド（ＡＴＯ）、インジウムジンクオキサイド（ＩＺＯ）、Ａｌ、Ａｌ合金、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｔａ等の導電性材料で構成される。
なお、これらの導電部上には、例えば、ＳｉＯ２、ＳｉＮ等の材料で構成された、図示しないパッシベーション膜が形成されていてもよい。
【００７３】
図２に示すように、ＴＦＴ基板（液晶駆動基板）９の外表面側（配向膜３と対向する面とは反対の面側）には、偏光膜（偏光板、偏光フィルム）４が配置されている。
同様に、液晶パネル用対向基板１２の外表面側（配向膜３’と対向する面とは反対の面側）には、偏光膜（偏光板、偏光フィルム）４’が配置されている。
偏光膜４、４’の構成材料としては、例えば、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）等が挙げられる。また、偏光膜としては、前記材料にヨウ素をドープしたもの等を用いてもよい。
【００７４】
偏光膜としては、例えば、上記材料で構成された膜を一軸方向に延伸したものを用いることができる。
このような偏光膜４、４’を配置することにより、通電量の調節による光の透過率の制御をより確実に行うことができる。
偏光膜４、４’の偏光軸の方向は、通常、配向膜３、３’の配向方向に応じて決定される。
【００７５】
このような液晶パネル１００では、通常、１個のマイクロレンズ１１３と、かかるマイクロレンズ１１３の光軸Ｑに対応したブラックマトリックス１３の１個の開口１３１と、１個の画素電極９２と、かかる画素電極９２に接続された１個の薄膜トランジスタ９３とが、１画素に対応している。
液晶パネル用対向基板１２側から入射した入射光Ｌは、マイクロレンズ用凹部付き基板１１１を通り、マイクロレンズ１１３を通過する際に集光されつつ、樹脂層１１５、表層１１４、ブラックマトリックス１３の開口１３１、透明導電膜１４、液晶層２、画素電極９２、ガラス基板９１を透過する。
【００７６】
このとき、マイクロレンズ基板１１の入射側に偏光膜４’が設けられているため、入射光Ｌが液晶層２を透過する際に、入射光Ｌは直線偏光となっている。
その際、この入射光Ｌの偏光方向は、液晶層２の液晶分子の配向状態に対応して制御される。したがって、液晶パネル１００を透過した入射光Ｌを偏光膜４に透過させることにより、出射光の輝度を制御することができる。
【００７７】
このように、液晶パネル１００は、マイクロレンズ１１３を有しており、しかも、マイクロレンズ１１３を通過した入射光Ｌは、集光されてブラックマトリックス１３の開口１３１を通過する。
一方、ブラックマトリックス１３の開口１３１が形成されていない部分では、入射光Ｌは遮光される。したがって、液晶パネル１００では、画素以外の部分から不要光が漏洩することが防止され、かつ、画素部分での入射光Ｌの減衰が抑制される。このため、液晶パネル１００は、画素部で高い光の透過率を有する。
【００７８】
この液晶パネル１００は、例えば、後述するような方法により製造されたＴＦＴ基板９と液晶パネル用対向基板１２とに、それぞれ、配向膜３、３’を接合し、その後、シール材（図示せず）を介して両者を接合し、次いで、これにより形成された空隙部の封入孔（図示せず）から液晶を空隙部内に注入し、次いで、かかる封入孔を塞ぐことにより製造することができる。
【００７９】
次に、本発明の方法を適用して薄膜トランジスタ９３を形成する具体的な方法の一例について説明する。
図４〜図７は、薄膜トランジスタの形成方法の好適な実施形態を示す断面図である。なお、以下の説明では、図４〜図７の上側を「上」、図４〜図７の下側を「下」として説明する。
【００８０】
まず、下地絶縁膜９４の上に半導体層（多結晶シリコン膜）９３１４を形成する。この半導体層９３１４は、次のようにして形成することができる。
まず、下地絶縁膜９４の上に液体有機材料であるフォトレジストを塗布し、７０〜９０℃の温度で乾燥（プレベーク）してレジスト膜（マスク材膜）を形成する。
なお、液体有機材料は、感光性の樹脂（例えば、ポリイミド）であってもよい。
【００８１】
また、液体有機材料の塗布は、前記の液体絶縁材料の塗布と同様に、スピンコート、ディップコート、ＬＳＭＣＤ、スリットコート、定量吐出装置による塗布を用いることができる。
そして、フォトリソグラフィー法によりレジスト膜を露光、現像し、素子形成領域のレジスト膜を除去してパターニングし、マスク（パターン形状制御マスク）６Ａとする（４ａ）。その後、素子形成領域に液体水素化ケイ素（膜形成用の液体）を塗布して乾燥させる。次に、乾燥させた水素化ケイ素の膜を焼成して熱分解し、アモルファスシリコン膜９３１４’にする（４ｂ）。さらに、ガラス基板９１の全体に、例えばレジスト剥離液を用いてレジスト膜６Ａを分解して除去したのち、アモルファスシリコン膜９３１４’にＸｅＣｌなどのエキシマレーザーを照射してアニールし、アモルファスシリコン膜９３１４’を多結晶化して半導体層（多結晶シリコン膜）９３１４にする（４ｃ）。
【００８２】
その後、半導体層（多結晶シリコン膜）９３１４のチャンネルドープを行う。すなわち、全面に適宜の不純物（例えば、ｎ型導電層を形成する場合はＰＨ3イオン）を打ち込んで拡散させる。この半導体層（多結晶シリコン膜）９３１４は、第１導電部となる。
次に、半導体層（多結晶シリコン膜）９３１４を覆うように、液体有機材料であるフォトレジストを塗布する。そして、塗布したフォトレジストを乾燥させ、図４（４ｄ）の２点鎖線に示したようにレジスト膜９３２２を形成する。
【００８３】
次に、フォトリソグラフィー法によりレジスト膜９３２２を露光、現像し、第１導電部となる半導体層（多結晶シリコン膜）９３１４のソース領域９３１６、ドレイン領域９３１８となるべき領域上の、コンタクトホールの形成領域にのみレジスト膜９３２２を残し６Ｂにする（４ｄ）。このマスク６Ｂは、同図（４ｅ）に示したゲート絶縁膜９３２６の厚さと同等か、それ以上の高さに形成する。また、ゲート絶縁膜９３２６を形成する液体成膜材の塗布厚より高く形成してもよい。また、マスク６Ｂは、必要に応じて硬化処理を行う。マスク６Ｂの硬化処理は、実施形態の場合、次のようにして行う。
【００８４】
まず、マスク６Ｂを形成したガラス基板９１を図示しない真空チャンバに搬入し、真空チャンバ内を例えば１３３３ｋＰａ（１０Ｔｏｒｒ）以下に減圧する。そして、マスク６Ｂを所定の温度、例えば１００〜１３０℃程度の、通常のフォトレジストのポストベーク温度に加熱するとともに、マスク６Ｂに紫外線を照射する。これにより、マスク６Ｂは、溶存している水分が脱水されるとともに、紫外線により架橋反応が促進される。しかも、マスク６Ｂは、脱水されて水分の影響を受けないため、架橋反応が進んで緻密となり、耐熱性、耐薬品性が向上する。さらに、マスク６Ｂの硬化処理は、必要に応じてマスク６Ｂをポストベーク温度以上に加熱する熱処理を行う。この熱処理は、例えば３００℃〜４５０℃の温度で１０分間程度行う。これにより、非常に耐熱性、耐薬品性に優れたマスクとすることができ、各種の液体成膜材料（膜形成用の液体）の使用が可能となる。
【００８５】
その後、マスク６Ｂが被覆された領域を除く半導体層９３１４上、および下地絶縁層９４上に、ゲート絶縁膜９３２６を形成するための絶縁材料９３２６’を塗布する（４ｅ）。このゲート絶縁膜９３２６の材料の塗布は、下地絶縁膜９４の材料の塗布と同様の方法で塗布する。
次に、前述したような条件で第１の熱処理を施した後、マスクＢをアッシングして除去する。これにより、第１コンタクトホール９３２８、９３２９を形成する。
【００８６】
マスク６Ｂのアッシングは、大気圧または減圧下における酸素プラズマやオゾン蒸気によって行うことができる。
さらに、半固化したゲート絶縁膜９３２６の材料に前述したような条件で第２の熱処理を施すことにより、ゲート絶縁膜９３２６を形成することができる。（５ａ）。これにより、均一な膜厚のゲート絶縁膜９３２６とすることができる。
【００８７】
次に、ゲート絶縁膜９３２６を覆ってレジスト膜（図示せず）を形成する。さらに、フォトリソグラフィー法により当該レジスト膜を露光、現像し、チャンネル領域９３２０と対応した位置にゲート電極用トレンチ９３３２を形成し、開口部を有するマスク（パターン形状制御マスク）６Ｃとする（５ｂ）。そして、有機金属化合物を主成分とする液体パターン材料（膜形成用の液体）をゲート電極用トレンチ９３３２に供給し、これを熱処理してゲート電極９３５１を形成する（５ｃ）。その後、例えばレジスト剥離液を用いて、マスク６Ｃを分解して除去する（５ｄ）。
【００８８】
なお、液体パターン材料は、ＬＳＭＣＤやスピンコート、スリットコートなどによってゲート電極用トレンチ９３３２に供給してもよいが、例えばインクジェットプリンタのプリンタヘッドのような定量吐出装置によってゲート電極用トレンチ９３３２に選択的に供給してもよい。これにより、液体パターン材料の節約が図れるとともに、トレンチ周辺への液体パターン材料の付着を防止でき、また所望の厚さのゲート電極９３５１を容易に形成することができる。このゲート電極９３５１は、半導体層９３１４（ソース領域９３１６、ドレイン領域９３１８）とともに第１導電部となる。
【００８９】
次に、ゲート電極９３５１をマスクとして、ソース領域９３１６とドレイン領域９３１８とに適宜の不純物（例えば、ｐ型導電層を形成する場合はＢ2Ｈ6イオン）の打ち込みを行う。これにより、ゲート電極９３５１の下部がチャンネル領域９３２０となったＴＦＴ素子が完成する（５ｅ）。その後、ゲート絶縁膜９３２６上にマスク材であるレジスト膜９３３６を形成する（６ａ）。さらに、フォトリソグラフィー法を用いてレジスト膜９３３６を露光、現像し、コンタクトホール形成領域となる第１コンタクトホール９３２８、９３２９と対応した位置、およびゲート電極９３５１上の所定位置に、レジスト膜９３３６からなるマスク（パターン形状制御マスク）６Ｄを形成する（６ｂ）。これらのマスク６Ｄのうち、半導体層（多結晶シリコン膜）９３１４のソース領域９３１６に対応した位置のものは、下端が第１コンタクトホール９３２８を介してソース領域９３１６の上面に接触している。同様に、マスク６Ｄのうち、半導体層（多結晶シリコン膜）９３１４のドレイン領域９３１８に対応した位置のものは、下端が第１コンタクトホール９３２９を介してドレイン領域９３１８の上面に接触している。マスク６Ｄには、必要に応じて前記と同様に硬化処理を行う。
【００９０】
さらに、マスク６Ｄは、図６（６ｂ）の右側に示してあるように、ゲート絶縁膜９３２６の上の部分が第１コンタクトホール９３２８より大きくなるように形成してもよい。これにより、後述するようにマスク６Ｄを除去して形成したコンタクトホールに段差が形成され（同図（６ｃ）参照）、コンタクトホールのステップカバレッジが向上してコンタクトホール内における断線を防ぐことができる。
【００９１】
次に、マスク６Ｄが被覆された領域を除く、ゲート絶縁膜９３２６上およびゲート電極９３５１上に、二酸化ケイ素などからなる絶縁層９３４２を形成するための絶縁材料９３４２’を塗布する（６ｃ）。
この絶縁層９３４２の材料は、下地絶縁膜９４の材料などと同様に、ＬＳＭＣＤやスピンコート、スリットコートなどによって塗布する。
【００９２】
この塗布した絶縁層９３４２の材料に、第１の熱処理を施した後、マスク６Ｄをアッシングして除去して、第２コンタクトホール９３４４、９３４５、９３４６を形成する。
さらに、半固化した絶縁層９３４２の材料に第２の熱処理を施すことにより、絶縁層９３４２を形成することができる（６ｄ）。これにより、均一な膜厚の絶縁層９３４２とすることができる。
【００９３】
これにより、第２コンタクトホール９３４４が第１コンタクトホール９３２８と連通し、第２コンタクトホール９３４５が第１コンタクトホール９３２９と連通する。
次に、図示しない定量吐出装置を用いて、第１コンタクトホール９３２８、９３２９、および、第２コンタクトホール９３４４、９３４５、９３４６内に有機金属化合物を主成分とした液体コンタクト形成材料を供給する。その後、コンタクトホール（第１コンタクトホール９３２８、９３２９、および、第２コンタクトホール９３４４、９３４５、９３４６）内の液体コンタクト形成材料を焼成して固化する。これにより、ソース領域９３１６に接続されたコンタクトプラグ９３５０、ドレイン領域９３１８に接続されたコンタクトプラグ９３５３、およびチャンネル領域９３２０に接続されたコンタクトプラグ９３５５が形成される（６ｅ）。第２コンタクトホール９３４４、９３４５、９３４６を形成した後に、すなわち、第２コンタクトホール９３４４と第１コンタクトホール９３２８、第２コンタクトホール９３４５と第１コンタクトホール９３２９を、それぞれ、貫通させた後に、基板全体に紫外線を照射し、第１導電部となるソース領域９３１６、ドレイン領域９３１８、ゲート電極９３５１のコンタクトプラグ形成領域を親液処理してもよい。このような親液処理を施すことにより、コンタクトプラグとの密着性、接合性が向上して電気抵抗を小さくすることができる。
【００９４】
さらに、絶縁層９３４２を覆ってレジスト膜９３４８を形成する（７ａ）。そして、フォトリソグラフィー法によりレジスト膜９３４８を露光、現像し、開口部としての導電部用溝（配線溝）９３５７を有するマスク（パターン形状制御マスク）６Ｅとする（７ｂ）。その後、例えば、透明導電膜を構成するＩＴＯを溶解または分散させた液体配線材料（膜形成用の液体）を、定量吐出装置を用いて導電部用溝（配線溝）９３５７に供給し、これを熱処理して、導電部（第２導電部）９３５２、９３５４、９３５６を形成する（７ｃ）。これにより、ソース領域（第１導電部）９３１６が、コンタクトプラグ９３５０を介して導電部（第２導電部）９３５２と電気的に接続され、ドレイン領域（第１導電部）９３１８が、コンタクトプラグ９３５３を介して導電部（第２導電部）９３５４と電気的に接続され、ゲート電極（第１導電部）９３５１が、コンタクトプラグ９３５５を介して導電部（第２導電部）９３５６と電気的に接続される。なお、導電部９３５４は、画素電極９２に接続される。その後、例えばレジスト剥離液を用いて、マスク６Ｅを分解、除去する（７ｄ）。
【００９５】
さらに、導電部９３５２、９３５４、９３５６を覆うように、二酸化ケイ素、窒化ケイ素（ＳｉＮ）などで構成されたパッシベーション膜（図示せず）を形成する。
このような本実施形態では、本発明の成膜方法を、ゲート絶縁膜９３２６および絶縁層９３４２に適用する構成としている。この結果、ゲート絶縁膜９３２６および絶縁層９３４２の上面は平坦なものとなり、均一な膜厚のゲート絶縁膜９３２６および絶縁層９３４２とすることができる。この本発明の成膜方法を、ゲート絶縁膜９３２６および絶縁層９３４２に適用することにより、リーク電流の発生を軽減することができる。
【００９６】
また、本発明の成膜方法を、半導体層９３１４、ゲート電極９３５１および導電部（第２導電部）９３５２、９３５４、９３５６に適用する構成としてもよい。これにより、均一な膜厚を有する上記各層で構成される薄膜トランジスタ９３とすることができる。
薄膜トランジスタは、一般に、比較的膜厚の小さい膜（薄膜）が微細なパターンで積層された構造を有しており、本発明の方法は、このような構成を有する構造体の形成に特に適している。
【００９７】
また、液晶パネルを構成する薄膜トランジスタのような、微細な形状、パターンの膜を有する半導体装置（半導体素子）の製造に本発明を適用することにより、例えば、薄膜トランジスタ、画素電極上に配向膜を形成する際（ラビング処理を施す際）等における、引っ掛かり等による配向膜のはがれ、浮き等の発生も好適に防止することができる。
なお、マスク６Ａ、６Ｂ、６Ｃ、６Ｄ、６Ｅとしては、図１を参照しつつ説明した実施形態でのマスク６と同様のものを用いることができる。また、マスク６Ａ、６Ｂ、６Ｃ、６Ｄ、６Ｅは、互いに、実質的に同一のものであってもよいし、異なるものであってもよい。
【００９８】
また、本実施形態においては、コンタクトホールの形成位置にマスクピラーを設け、その後、マスクピラーの周囲に絶縁膜を形成してマスクピラーを除去することにより、コンタクトホールを形成している。すなわち、本実施形態では、絶縁膜を介して設けられる第１導電部と第２導電部とを電気的に接続するコンタクトホールを形成する工程を有し、前記第１導電部上のコンタクトホールの形成領域にマスク（パターン形状制御マスク）を設けるマスク形成工程と、前記マスクが形成された領域を除く、基板のほぼ全面に絶縁膜を形成する絶縁膜形成工程と、前記マスクを除去して前記絶縁膜に貫通孔を形成するマスク除去工程とを有する方法により薄膜トランジスタを形成している。このため、本実施形態では、絶縁膜のエッチングをすることなくコンタクトホールを形成することができ、高価な真空装置を必要とせず、工程数を削減することができ、工程の簡素化が図れる。また、コンタクトホールの形成を迅速に行うことができるとともに、コンタクトホールを形成するための手間とエネルギーとを節減でき、電子デバイスのコストを低減することができる。しかも、本実施形態においては、マスク６Ｄを除去してコンタクトホールを形成し、コンタクトホールにのみ液体プラグ形成材料を供給するようにしているため、コンタクトプラグの形成材料の使用量を大幅に削減することができる。
また、本実施形態では、液晶パネルを構成する液晶駆動基板として、ＴＦＴ基板を用いる構成について説明したが、液晶駆動基板にＴＦＴ基板以外の他の液晶駆動基板、例えば、ＴＦＤ基板、ＳＴＮ基板などを用いてもよい。
【００９９】
＜電子機器＞
次に、本発明の電子機器の一例として、上記液晶パネル１００を用いた投射型表示装置（液晶プロジェクター）について説明する。
図８は、本発明の電子機器（投射型表示装置）の光学系を模式的に示す図である。
同図に示すように、投射型表示装置３００は、光源３０１と、複数のインテグレータレンズを備えた照明光学系と、複数のダイクロイックミラー等を備えた色分離光学系（導光光学系）と、赤色に対応した（赤色用の）液晶ライトバルブ（液晶光シャッターアレイ）２４と、緑色に対応した（緑色用の）液晶ライトバルブ（液晶光シャッターアレイ）２５と、青色に対応した（青色用の）液晶ライトバルブ（液晶光シャッターアレイ）２６と、赤色光のみを反射するダイクロイックミラー面２１１および青色光のみを反射するダイクロイックミラー面２１２が形成されたダイクロイックプリズム（色合成光学系）２１と、投射レンズ（投射光学系）２２とを有している。
【０１００】
また、照明光学系は、インテグレータレンズ３０２および３０３を有している。色分離光学系は、ミラー３０４、３０６、３０９、青色光および緑色光を反射する（赤色光のみを透過する）ダイクロイックミラー３０５、緑色光のみを反射するダイクロイックミラー３０７、青色光のみを反射するダイクロイックミラー（または青色光を反射するミラー）３０８、集光レンズ３１０、３１１、３１２、３１３および３１４とを有している。
【０１０１】
液晶ライトバルブ２５は、前述した液晶パネル１００を備えている。液晶ライトバルブ２４および２６も、液晶ライトバルブ２５と同様の構成となっている。これら液晶ライトバルブ２４、２５および２６が備えている液晶パネル１００は、図示しない駆動回路にそれぞれ接続されている。
なお、投射型表示装置３００では、ダイクロイックプリズム２１と投射レンズ２２とで、光学ブロック２０が構成されている。また、この光学ブロック２０と、ダイクロイックプリズム２１に対して固定的に設置された液晶ライトバルブ２４、２５および２６とで、表示ユニット２３が構成されている。
【０１０２】
以下、投射型表示装置３００の作用を説明する。
光源３０１から出射された白色光（白色光束）は、インテグレータレンズ３０２および３０３を透過する。この白色光の光強度（輝度分布）は、インテグレータレンズ３０２および３０３により均一にされる。光源３０１から出射される白色光は、その光強度が比較的大きいものであるのが好ましい。これにより、スクリーン３２０上に形成される画像をより鮮明なものとすることができる。
【０１０３】
インテグレータレンズ３０２および３０３を透過した白色光は、ミラー３０４で図８中左側に反射し、その反射光のうちの青色光（Ｂ）および緑色光（Ｇ）は、それぞれダイクロイックミラー３０５で図８中下側に反射し、赤色光（Ｒ）は、ダイクロイックミラー３０５を透過する。
ダイクロイックミラー３０５を透過した赤色光は、ミラー３０６で図８中下側に反射し、その反射光は、集光レンズ３１０により整形され、赤色用の液晶ライトバルブ２４に入射する。
【０１０４】
ダイクロイックミラー３０５で反射した青色光および緑色光のうちの緑色光は、ダイクロイックミラー３０７で図８中左側に反射し、青色光は、ダイクロイックミラー３０７を透過する。
ダイクロイックミラー３０７で反射した緑色光は、集光レンズ３１１により整形され、緑色用の液晶ライトバルブ２５に入射する。
【０１０５】
また、ダイクロイックミラー３０７を透過した青色光は、ダイクロイックミラー（またはミラー）３０８で図８中左側に反射し、その反射光は、ミラー３０９で図８中上側に反射する。前記青色光は、集光レンズ３１２、３１３および３１４により整形され、青色用の液晶ライトバルブ２６に入射する。
このように、光源３０１から出射された白色光は、色分離光学系により、赤色、緑色および青色の三原色に色分離され、それぞれ、対応する液晶ライトバルブに導かれ、入射する。
【０１０６】
この際、液晶ライトバルブ２４が有する液晶パネル１００の各画素（薄膜トランジスタ９３とこれに接続された画素電極９２）は、赤色用の画像信号に基づいて作動する駆動回路（駆動手段）により、スイッチング制御（オン／オフ）、すなわち変調される。
同様に、緑色光および青色光は、それぞれ、液晶ライトバルブ２５および２６に入射し、それぞれの液晶パネル１００で変調され、これにより緑色用の画像および青色用の画像が形成される。この際、液晶ライトバルブ２５が有する液晶パネル１００の各画素は、緑色用の画像信号に基づいて作動する駆動回路によりスイッチング制御され、液晶ライトバルブ２６が有する液晶パネル１００の各画素は、青色用の画像信号に基づいて作動する駆動回路によりスイッチング制御される。
【０１０７】
これにより赤色光、緑色光および青色光は、それぞれ、液晶ライトバルブ２４、２５および２６で変調され、赤色用の画像、緑色用の画像および青色用の画像がそれぞれ形成される。
前記液晶ライトバルブ２４により形成された赤色用の画像、すなわち液晶ライトバルブ２４からの赤色光は、面２１３からダイクロイックプリズム２１に入射し、ダイクロイックミラー面２１１で図８中左側に反射し、ダイクロイックミラー面２１２を透過して、出射面２１６から出射する。
【０１０８】
また、前記液晶ライトバルブ２５により形成された緑色用の画像、すなわち液晶ライトバルブ２５からの緑色光は、面２１４からダイクロイックプリズム２１に入射し、ダイクロイックミラー面２１１および２１２をそれぞれ透過して、出射面２１６から出射する。
また、前記液晶ライトバルブ２６により形成された青色用の画像、すなわち液晶ライトバルブ２６からの青色光は、面２１５からダイクロイックプリズム２１に入射し、ダイクロイックミラー面２１２で図８中左側に反射し、ダイクロイックミラー面２１１を透過して、出射面２１６から出射する。
【０１０９】
このように、前記液晶ライトバルブ２４、２５および２６からの各色の光、すなわち液晶ライトバルブ２４、２５および２６により形成された各画像は、ダイクロイックプリズム２１により合成され、これによりカラーの画像が形成される。この画像は、投射レンズ２２により、所定の位置に設置されているスクリーン３２０上に投影（拡大投射）される。
なお、本実施形態では、投射型表示装置（電子機器）は、３個の液晶パネルを有するものであり、これらの全てに液晶パネル１００を適用したものについて説明したが、少なくともこれらのうち１個が、液晶パネル１００であればよい。
【０１１０】
以上、本発明の成膜方法、膜、電子デバイス、電子機器を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。
例えば、前述した実施形態では、薄膜トランジスタを構成する膜を形成する方法について説明したが、本発明の成膜方法は、これに限定されず、いかなる膜で形成する場合に適用してもよい。例えば、本発明の成膜方法を、前述したような画素電極や、ブラックマトリックスの形成に適用してもよい。
【０１１１】
また、本発明の電子デバイスは、液晶パネルの適用に限定されるものではない。例えば、有機ＥＬ素子、電気泳動表示装置等に適用してもよく、本発明の成膜方法は、これらの表示装置を構成する各膜の形成（成膜）に適用してもよい。
また、本発明の成膜方法は、前述したような電子デバイスの製造に適用するものに限定されず、例えば、装飾品の製造等の膜の形成（成膜）に適用してもよい。
【実施例】
【０１１２】
次に、本発明の具体的実施例について説明する。
１．ＴＦＴ基板の製造
以下のようにして、図２、図３に示すような液晶パネルを構成するＴＦＴ基板を製造した。
（実施例１）
まず、石英ガラス製のガラス基板９１を用意し、このガラス基板９１の表面に、ＳＯＧで構成される液体絶縁材料をスピンコートにより塗布し、その後、焼成することにより、下地絶縁層９４を形成した。
【０１１３】
次に、下地絶縁層９４の表面に、図４〜図７を参照しつつ説明した前記実施形態での方法に従い、本発明の成膜方法を半導体層９３１４、ゲート絶縁膜９３２６、ゲート電極９３５１、絶縁層９３４２および導電部９３５２、９３５４、９３５６に適用して、薄膜トランジスタ９３を形成することにより、ＴＦＴ基板９を得た。
また、以下に、各膜に施した本発明の成膜方法の条件を示す。
【０１１４】
マスク６Ａとしては、ノボラック樹脂で構成されたｉ線用フォトレジストに対し乾燥、露光、現像の各処理を施した後、１０Ｔｏｒｒ以下の真空チャンバ内で、１００〜１３０℃に加熱するとともに、紫外線を照射する硬化処理が施されたものを用いた。マスク６Ａは、膜厚が０．５μｍのものであり、液体水素化ケイ素で構成される液状材料（半導体層９３１４形成用の材料）との接触角が６２°であった。
【０１１５】
このような液状材料に対して、第１の熱処理と、第２の熱処理とを、順次施して半導体層９３１４を得た。
なお、第１の熱処理の条件は、大気中、２００℃×１０分とし、第２の熱処理は、大気中、４００℃×１５分とした。
また、マスク６Ｂとしては、ノボラック樹脂で構成されたｉ線用フォトレジストに対し乾燥、露光、現像の各処理を施した後、１０Ｔｏｒｒ以下の真空チャンバ内で、１００〜１３０℃に加熱するとともに、紫外線を照射する硬化処理が施されたものを用いた。マスク６Ｂは、膜厚が０．５μｍであり、ポリシラザンをキシレンに溶解した液状材料（ゲート絶縁膜９３２６形成用の材料）との接触角が５５°であった。
【０１１６】
このような液状材料に対して、第１の熱処理と、膨潤処理と、第２の熱処理とを、順次施してゲート絶縁膜９３２６を得た。
なお、第１の熱処理の条件は、大気中、３００℃×１０分とし、膨潤処理の条件は、キシレン蒸気中、２５℃×１０分とし、第２の熱処理は、大気中、４５０℃×１５分とした。
【０１１７】
また、マスク６Ｃとしては、ノボラック樹脂で構成されたｉ線用フォトレジストに対し乾燥、露光、現像の各処理を施した後、１０Ｔｏｒｒ以下の真空チャンバ内で、１００〜１３０℃に加熱するとともに、紫外線を照射する硬化処理が施されたものを用いた。膜厚が０．８μｍのものであり、液体水素化ケイ素で構成される液状材料（ゲート電極９３５１形成用の材料）との接触角が６２°であった。
【０１１８】
このような液状材料に対して、第１の熱処理と、第２の熱処理とを、順次施しゲート電極９３５１を得た。
なお、第１の熱処理の条件は、大気中、３００℃×１０分とし、第２の熱処理は、大気中、４５０℃×１５分とした。
また、マスク６Ｄとしては、ノボラック樹脂で構成されたｉ線用フォトレジストに対し乾燥、露光、現像の各処理を施した後、１０Ｔｏｒｒ以下の真空チャンバ内で、１００〜１３０℃に加熱するとともに、紫外線を照射する硬化処理が施されたものを用いた。マスク６Ｄは、膜厚が１．０μｍであり、ポリシラザンをキシレンで溶解した液状材料（絶縁層９３４２形成用の材料、膜形成用の液状材料）との接触角が５５°であった。
【０１１９】
このような液状材料に対して、第１の熱処理と、膨潤処理と、第２の熱処理とを、順次施し絶縁層９３４２を得た。
なお、第１の熱処理の条件は、大気中、３５０℃×１０分とし、膨潤処理の条件は、キシレン蒸気中、２５℃×１０分とし、第２の熱処理は、大気中、６００℃×１５分とした。
【０１２０】
また、マスク６Ｅとしては、ノボラック樹脂で構成されたｉ線用フォトレジストに対し乾燥、露光、現像の各処理を施した後、１０Ｔｏｒｒ以下の真空チャンバ内で、１００〜１３０℃に加熱するとともに、紫外線を照射する硬化処理が施されたものを用いた。マスク６Ｅは、膜厚が０．５μｍであり、ＩＴＯと水とで構成される液状材料（導電部９３５２、９３５４、９３５６形成用の材料）との接触角が７８°であった。
【０１２１】
このような液状材料に対して、第１の熱処理と、第２の熱処理とを、順次施し導電部９３５２、９３５４、９３５６を得た。
なお、第１の熱処理の条件は、大気中、３５０℃×１０分とし、第２の熱処理は、大気中、６００℃×１５分とした。
このようにして得られたＴＦＴ基板９においては、マスクを用いた方法により形成された各膜が、ほぼ平坦な形状を有するもの（縁部付近が突出した角部を有するメニスカス形状が、効果的に平坦化されたもの）であった。
【０１２２】
（実施例２）
ゲート絶縁膜９３２６と絶縁層９３４２との成膜方法で、膨潤処理工程を省略した以外は、前記実施例１と同様にしてＴＦＴ基板を製造した。
このようにして得られたＴＦＴ基板９においては、マスクを用いた方法により形成された各膜が、ほぼ平坦な形状を有するもの（縁部付近が突出した角部を有するメニスカス形状が、効果的に平坦化されたもの）であった。
【０１２３】
（実施例３）
半導体層９３１４と、ゲート電極９３５１と、導電部９３５２、９３５４、９３５６との成膜方法で、第２の熱処理工程を省略し、第１の熱処理工程の条件を変更した以外は、前記実施例１と同様にしてＴＦＴ基板を製造した。
具体的な条件の変更は、半導体層９３１４の成膜方法では、第１の熱処理の条件を、大気中、４００℃×１５分として半導体層９３１４を得た。
また、ゲート電極９３５１の成膜方法では、第１の熱処理の条件を、大気中、４５０℃×１５分としてゲート電極９３５１を得た。
【０１２４】
さらに、導電部９３５２、９３５４、９３５６の成膜方法では、第１の熱処理の条件を、大気中、６００℃×１５分として導電部９３５２、９３５４、９３５６を得た。
このようにして得られたＴＦＴ基板９において、マスクを用いた方法により形成された各膜のうち、ゲート絶縁膜９３２６と絶縁層９３４２とは、ほぼ平坦な形状を有するもの（縁部付近が突出した角部を有するメニスカス形状が、効果的に平坦化されたもの）であった。
これに対し、半導体層９３１４と、ゲート電極９３５１と、導電部９３５２、９３５４、９３５６とは、形成された膜の縁部付近が突出したメニスカス形状となっていた。
【０１２５】
（実施例４）
半導体層９３１４と、ゲート電極９３５１と、導電部９３５２、９３５４、９３５６との成膜方法で、第２の熱処理工程を省略した以外は、前記実施例２と同様にしてＴＦＴ基板を製造した。
このようにして得られたＴＦＴ基板９において、マスクを用いた方法により形成された各膜のうち、ゲート絶縁膜９３２６と絶縁層９３４２とは、ほぼ平坦な形状を有するもの（縁部付近が突出した角部を有するメニスカス形状が、効果的に平坦化されたもの）であった。
これに対し、半導体層９３１４と、ゲート電極９３５１と、導電部９３５２、９３５４、９３５６とは、形成された膜の縁部付近が突出したメニスカス形状となっていた。
【０１２６】
（比較例１）
各膜の成膜方法で、第２の熱処理工程を省略（前記第１の実施形態において、膨潤処理工程を行って膜を形成していた膜については、膨潤処理工程も省略）し、第１の熱処理工程の条件を変更した以外は、前記実施例１と同様にしてＴＦＴ基板を製造した。
具体的な条件の変更は、半導体層９３１４の成膜方法では、第１の熱処理の条件を大気中、４００℃×１５分として半導体層９３１４を得た。
【０１２７】
また、ゲート絶縁膜９３２６の成膜方法では、第１の熱処理の条件を大気中、４５０℃×１５分としてゲート絶縁膜９３２６を得た。
また、ゲート電極９３５１の成膜方法では、第１の熱処理の条件を大気中、４５０℃×１５分としてゲート電極９３５１を得た。
また、絶縁層９３４２の成膜方法では、第１の熱処理の条件を大気中、６００℃×１５分として絶縁層９３４２を得た。
さらに、導電部９３５２、９３５４、９３５６の成膜方法では、第１の熱処理の条件を大気中、６００℃×１５分として導電部９３５２、９３５４、９３５６を得た。
このようにして得られたＴＦＴ基板９においては、マスクを用いた方法により形成された膜の縁部付近が突出したメニスカス形状となっていた。
【０１２８】
（比較例２）
各膜の成膜方法で、第２の熱処理工程を省略（前記第１の実施形態において、膨潤処理工程を行って膜を形成していた膜については、膨潤処理工程も省略）した以外は、前記実施例１と同様にしてＴＦＴ基板を製造した。
このようにして得られたＴＦＴ基板９においては、マスクを用いた方法により形成された膜の縁部付近が突出したメニスカス形状となっていた。
【０１２９】
２．配向膜の被覆、液晶パネルの製造
各実施例および各比較例で作製したＴＦＴ基板の表面（薄膜トランジスタが形成された側の面）に、ポリイミドのＮ−メチルピロリドン溶液をスピンコートにより塗布し、その後、乾燥（溶媒の除去）をし、さらに、形成された膜にラビング処理を施すことにより、配向膜３’を形成した。
【０１３０】
その後、上記のようにして得られた配向膜３’が積層されたＴＦＴ基板９と、別途作製した配向膜３が積層された液晶パネル用対向基板１２とを、シール材を介して接合した。この接合は、液晶層２を構成する液晶分子が左ツイストするように配向膜の配向方向が９０°ずれるように行った。
次に、配向膜３’−配向膜３間に形成された空隙部の封入孔から液晶（メルク社製：MJ99247）を空隙部内に注入し、次いで、かかる封入孔を塞いだ。形成された液晶層２の厚さは、約３μｍであった。
【０１３１】
その後、液晶パネル用対向基板１２の外表面側と、ＴＦＴ基板９の外表面側とに、それぞれ、偏光膜４’、偏光膜４を接合することにより、図２に示すような構造のＴＦＴ液晶パネル１００を製造した。偏光膜としては、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）で構成された膜を一軸方向に延伸したものを用いた。なお、偏光膜４、偏光膜４’の接合方向は、それぞれ、配向膜３、配向膜３’の配向方向に基づき決定した。すなわち、電圧印加時には入射光が透過せず、電圧無印加時には入射光が透過するように、偏光膜４、偏光膜４’を接合した。
【０１３２】
３．評価
３−１．絶縁破壊耐性評価
各実施例および各比較例で得られたＴＦＴ基板について、それぞれ、半導体層９３１４とゲート電極９３５１との間に電圧を印加した。次に、電圧をステップワイズに増大させて、各電圧における電流を計測し、リーク電流が発生する電圧、すなわち、絶縁破壊電圧を求めた。
その結果を表１に示す。
【０１３３】
【表１】
2005158824.tif 000003
【０１３４】
なお、ＴＦＴ基板の絶縁破壊電圧の評価結果は、比較例２のＴＦＴ基板の絶縁破壊電圧を「１」とし、各実施例および比較例１のＴＦＴ基板の絶縁破壊電圧を、それぞれ相対値で示した。
表１から明らかなように、各実施例（本発明）のＴＦＴ基板は、いずれも、各比較例のＴＦＴ基板に対して、顕著に高い絶縁破壊耐性を有していた。
これは、各実施例のＴＦＴ基板において、本発明の成膜方法により形成された膜が均一な膜厚（正確な形状）で形成されていることを示唆する結果である。
【０１３５】
３−２．製品歩留まり評価
次に、各実施例および各比較例において、上記のような方法により製造された液晶パネルの製品歩留まりを求めた。
その結果を表２に示す。
【０１３６】
【表２】
2005158824.tif 000004
【０１３７】
なお、液晶パネルの製品歩留まりの評価結果は、比較例２の製品歩留まりを「１」とし、各実施例および比較例１の製品歩留まりを、それぞれ相対値で示した。
表１から明らかなように、各実施例（本発明）の液晶パネルは、いずれも、各比較例の液晶パネルに対して、製品歩留まりの向上が認められた。
これは、各実施例のＴＦＴ基板において、本発明の成膜方法により形成された膜が均一な膜厚（正確な形状）で形成されており、ＴＦＴ基板の表面に配向膜を形成する際（ラビング処理を施す際）等における、引っ掛かり等による配向膜のはがれ、浮き等の発生が好適に防されていることを示唆する結果である。
【０１３８】
なお、各実施例および各比較例について、上記のようにして得られた液晶パネルを用いて、図８に示すような投射型表示装置（液晶プロジェクター）を作製し、各投射型表示装置について、表示される画像の評価を行ったところ、各実施例で作製したＴＦＴ基板を備えた投射型表示装置では、ドット抜けや色ムラの発生が確認されなかったのに対し、各比較例で作製したＴＦＴ基板を備えた投射型表示装置では、ドット抜けや色ムラの発生がはっきりと認められた。
【図面の簡単な説明】
【０１３９】
【図１】本発明の膜の成膜方法の好適な実施形態を示す断面図である。
【図２】本発明の液晶パネルの好適な実施形態を示す模式的な縦断面図である。
【図３】図２に示す液晶パネルの薄膜トランジスタ付近の拡大断面図である。
【図４】薄膜トランジスタの形成方法の好適な実施形態を示す断面図である。
【図５】薄膜トランジスタの形成方法の好適な実施形態を示す断面図である。
【図６】薄膜トランジスタの形成方法の好適な実施形態を示す断面図である。
【図７】薄膜トランジスタの形成方法の好適な実施形態を示す断面図である。
【図８】本発明の電子機器（投射型表示装置）の光学系を模式的に示す図である。
【符号の説明】
【０１４０】
１００……液晶パネル  ２……液晶層  ３、３’……配向膜  ４、４’……偏光膜  ５……基材  ６、６Ａ、６Ｂ、６Ｃ、６Ｄ、６Ｅ……マスク  ６１……開口部  ７……液状材料  ８……膜  ８’……半固化物  ８１’……角部  ９……ＴＦＴ基板  ９１……ガラス基板  ９２……画素電極  ９３……薄膜トランジスタ  ９３１４……半導体層（多結晶シリコン膜）  ９３１４’……アモルファスシリコン膜  ９３１６……ソース領域  ９３１８……ドレイン領域  ９３２０……チャンネル領域  ９３２２……レジスト膜  ９３２６……ゲート絶縁膜  ９３２６’……絶縁材料  ９３２８……第１コンタクトホール  ９３２９……第１コンタクトホール  ９３３２……ゲート電極用トレンチ  ９３３６……レジスト膜  ９３４２……絶縁層  ９３４２’……絶縁材料  ９３４４……第２コンタクトホール  ９３４５……第２コンタクトホール  ９３４６……第２コンタクトホール  ９３４８……レジスト膜  ９３５０……コンタクトプラグ  ９３５１……ゲート電極（第１導電部）  ９３５２……導電部（第２導電部）  ９３５３……コンタクトプラグ  ９３５４……導電部（第２導電部）  ９３５５……コンタクトプラグ  ９３５６……導電部（第２導電部）  ９３５７……導電部用溝（配線溝）  ９４……下地絶縁膜  １１……マイクロレンズ基板  １１１……マイクロレンズ用凹部付き基板  １１２……凹部  １１３……マイクロレンズ  １１４……表層  １１５……樹脂層  １２……液晶パネル用対向基板  １３……ブラックマトリックス  １３１……開口  １４……透明導電膜  ３００……投射型表示装置  ３０１……光源  ３０２、３０３……インテグレータレンズ  ３０４、３０６、３０９……ミラー  ３０５、３０７、３０８……ダイクロイックミラー  ３１０〜３１４……集光レンズ  ３２０……スクリーン  ２０……光学ブロック  ２１……ダイクロイックプリズム  ２１１、２１２……ダイクロイックミラー面  ２１３〜２１５……面  ２１６……出射面  ２２……投射レンズ  ２３……表示ユニット  ２４〜２６……液晶ライトバルブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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