(57)【要約】【課題】粘着シート上の電子部品のピックアップにおいて、粘着力が大きくても電子部品を粘着シートから容易に引き剥がせるようにすることである。【解決手段】粘着シートを装着したシート保持枠を所定の位置関係にセット（Ｓ１０）し、シート台の真上に引き剥がす対象の電子部品１６がくるようにセット（Ｓ１２）する。つぎにシート押さえ機構を下降させ、粘着シートをシート台との間で挟んで押さえ（Ｓ１４）、粘着シートをシート台に吸着しない状態で突き上げピンを突き上げ（Ｓ１６）、これにより電子部品の外周において粘着シートが一部引き剥がされる。その後、粘着シートをシート台に吸着させた状態で突き上げピンを突き上げ、コレットで電子部品を吸着して、電子部品の全体を粘着シートから引き剥がす（Ｓ１８−Ｓ２４）。【選択図】図５
2005033065.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート保持枠に装着した粘着シートの粘着面側に粘着保持され、相互に分離された複数の電子部品を、粘着シートの粘着面の裏面側から粘着シートを介してピンで突き上げることで、これらの電子部品を粘着シートから順次引き剥がして搬送する電子部品ピックアップ装置であって、粘着シートの粘着面の裏面側に配置され、粘着シートを吸着保持する吸着穴を有するシート台と、粘着シートの粘着面側に配置されたシート押さえ機構であって、引き剥がす対象の電子部品の外側でかつその電子部品の外周に近接した押さえ位置において、シート台との間で粘着シートを挟んで押さえるシート押さえ機構と、粘着シートの粘着面の裏面側から、粘着シートを介してピンで電子部品を突き上げる突き上げ機構と、を含み、シート台が吸着を行わない状態で突き上げ機構により引き剥がす対象の電子部品を突き上げて、その電子部品のシート押さえ側の外周から粘着シートを一部引き剥がし、その後その電子部品全体を粘着シートから引き剥がしてピックアップすることを特徴とする電子部品ピックアップ装置。
【請求項２】
請求項１に記載の電子部品ピックアップ装置において、複数の電子部品は、パッケージ材料により包み込まれた単位で相互に分離されたパッケージ済みの電子部品であり、シート押さえ機構は、引き剥がす対象の電子部品に隣接する電子部品の外周であって、引き剥がす対象の電子部品に近接した押さえ位置において、粘着シートを押さえる機構であることを特徴とする電子部品ピックアップ装置。
【請求項３】
請求項１に記載の電子部品ピックアップ装置において、複数の電子部品は、パッケージ材料により包み込まれた単位で相互に分離されたパッケージ済みの電子部品であり、隣り合う電子部品を分離する際に分離代より広いダミー代を設け、分離後において隣り合う電子部品の間に残された残し代も粘着シートに粘着保持されており、シート押さえ機構は、引き剥がす対象の電子部品に隣接する残し代の外周であって、引き剥がす対象の電子部品に近接した押さえ位置において、粘着シートを押さえる機構であることを特徴とする電子部品ピックアップ装置。
【請求項４】
シート保持枠に装着した粘着シートの粘着面側に粘着保持され、相互に分離された複数の電子部品を、粘着シートの粘着面の裏面側から粘着シートを介してピンで突き上げることで、これらの電子部品を粘着シートから順次引き剥がして搬送する電子部品ピックアップ方法であって、複数の電子部品が粘着保持されている粘着シートをセットするセット工程と、粘着シートを吸着保持する吸着穴を有するシート台を、粘着シートの粘着面の裏面側に配置するシート台配置工程と、引き剥がす対象の電子部品の外側でかつその電子部品の外周に近接した押さえ位置において、シート押さえと、吸着を止めた状態のシート台との間で粘着シートを挟んで押さえるシート押さえ工程と、粘着シートが押さえられている状態で、引き剥がす対象の電子部品を粘着面の裏面側から粘着シートを介してピンで突き上げ、その電子部品のシート押さえ側の外周から粘着シートを一部引き剥がす一部引き剥がし工程と、電子部品より一部剥がれかけた状態の粘着シートからその電子部品全体を引き剥がして搬送する引き剥がし工程と、を備えることを特徴とする電子部品ピックアップ方法。
【請求項５】
シート保持枠に装着した粘着シートの粘着面側に粘着保持され、相互に分離された複数の電子部品を、粘着シートの粘着面の裏面側から粘着シートを介してピンで突き上げることで、これらの電子部品を粘着シートから順次引き剥がして搬送する電子部品ピックアップ装置において実行される電子部品ピックアッププログラムであって、複数の電子部品が粘着保持されている粘着シートをセットするセット処理手順と、粘着シートを吸着保持する吸着穴を有するシート台を、粘着シートの粘着面の裏面側に配置するシート台配置処理手順と、引き剥がす対象の電子部品の外側でかつその電子部品の外周に近接した押さえ位置において、シート押さえと、吸着を止めた状態のシート台との間で粘着シートを挟んで押さえるシート押さえ処理手順と、粘着シートが押さえられている状態で、引き剥がす対象の電子部品を粘着面の裏面側から粘着シートを介してピンで突き上げ、その電子部品のシート押さえ側の外周から粘着シートを一部引き剥がす一部引き剥がし処理手順と、電子部品より一部剥がれかけた状態の粘着シートからその電子部品全体を引き剥がして搬送する引き剥がし処理手順と、を実行することを特徴とする電子部品ピックアッププログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
電子部品のピックアップに係り、特に、シート保持枠に装着した粘着シートの粘着面側に粘着保持され、相互に分離された複数の電子部品を、粘着シートの粘着面の裏面側から粘着シートを介してピンで突き上げることで、これらの電子部品を粘着シートから順次引き剥がして搬送する電子部品ピックアップ装置、電子部品ピックアップ方法及び電子部品ピックアッププログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
ウエファ上に複数配列されたＬＳＩチップ等を、個々のチップとして取り出すには、まずウエファをダイシング装置等により個々のチップに分離し、その後１個ずつピックアップすることが行われる。このような多数のチップへの分離と、分離された多数のチップの整然とした保持と、保持されたチップの順次ピックアップのために、粘着シートが用いられる。そこで、粘着シートから個々のチップを引き剥がし、順次ピックアップする技術が必要になる。
【０００３】
特許文献１には、ウエファリングに装着した粘着シート粘着面側に、ウエファをダイシングして個片化したチップを転写して貼り付け、粘着シートにおける粘着面の裏面側から、粘着シート越しにピンで個々のチップを突き上げるようにして押圧し、チップを粘着シートから引き剥がす突き上げ機構が記載されている。そして、突き上げ機構によりチップを引き剥がすときについて、コレットでチップを吸着し、チップが粘着シートから引き剥がされるまで吸着状態を維持する方法と、粘着シートにおける粘着面の裏面側を吸着して保持し、粘着面側からコレットでチップを吸着し、チップが粘着シートから引き剥がされるまでチップの吸着状態を維持する方法とが開示されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−５０６７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、チップが大きくなると、粘着シートとチップとの間の粘着力がチップ面積に比例して増大し、コレットの吸着力あるいは粘着シートを吸着する力＋コレットの吸着力では引き剥がすことが次第に困難となる。
【０００６】
ピックアップする対象物の大型化は、一つはＬＳＩチップの大規模化によるチップサイズの大型化である。また、この他に、近年、いわゆるＣＳＰ（Ｃｈｉｐ  Ｓｉｚｅ  Ｐａｃｋａｇｅ）技術等により、電子部品をパッケージ材料により包み込まれた単位で相互に分離されたパッケージ済みの電子部品を製造する技術が進むにつれ、ピックアップする電子部品のサイズが大型化することがある。
【０００７】
例えば、複数の小型回路基板を接続された形態で整列配置し、個々の小型回路基板にそれぞれ半導体チップ等を搭載した大型基板を形成し、この大型基板全体を樹脂等で包み込む。このように樹脂等のパッケージ材料で全体が包み込まれた大型基板や、ＬＳＩウエファ全体を樹脂等のパッケージ材料で全体を包み込んだものは、その個別分離に当たり、あたかも複数のＬＳＩチップが整列配置されたＬＳＩウエファと同じように取り扱うことができ、いわば広義の基板と呼ぶことができる。
【０００８】
このパッケージ材料に包み込まれた広義の基板は、粘着シートに貼り付けられ、ダイシング装置により、パッケージ材料に包み込まれた個別の小型回路基板あるいは個別のＬＳＩチップに分離することができる。この個別に分離されたパッケージ済みの電子部品は、そのサイズが従来のＬＳＩチップのサイズよりかなり大きいものである場合がある。このような場合、粘着力に抗して大型の電子部品を引き剥がすことが困難となる。１つの対策として、粘着力の低い粘着シートを用いることができるが、複数の種類の粘着シートを準備し、場合に分け使い分けるため煩雑な工程となる。
【０００９】
本発明の目的は、かかる従来技術の課題を解決し、粘着力が大きくても電子部品を粘着シートから容易に引き剥がすことができる電子部品ピックアップ装置、電子部品ピックアップ方法及び電子部品ピックアッププログラムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するため、本発明に係る電子部品ピックアップ装置は、シート保持枠に装着した粘着シートの粘着面側に粘着保持され、相互に分離された複数の電子部品を、粘着シートの粘着面の裏面側から粘着シートを介してピンで突き上げることで、これらの電子部品を粘着シートから順次引き剥がして搬送する電子部品ピックアップ装置であって、粘着シートの粘着面の裏面側に配置され、粘着シートを吸着保持する吸着穴を有するシート台と、粘着シートの粘着面側に配置されたシート押さえ機構であって、引き剥がす対象の電子部品の外側でかつその電子部品の外周に近接した押さえ位置において、シート台との間で粘着シートを挟んで押さえるシート押さえ機構と、粘着シートの粘着面の裏面側から、粘着シートを介してピンで電子部品を突き上げる突き上げ機構と、を含み、シート台が吸着を行わない状態で突き上げ機構により引き剥がす対象の電子部品を突き上げて、その電子部品のシート押さえ側の外周から粘着シートを一部引き剥がし、その後その電子部品全体を粘着シートから引き剥がしてピックアップすることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明に係る電子部品ピックアップ装置において、複数の電子部品は、パッケージ材料により包み込まれた単位で相互に分離されたパッケージ済みの電子部品であり、シート押さえ機構は、引き剥がす対象の電子部品に隣接する電子部品の外周であって、引き剥がす対象の電子部品に近接した押さえ位置において、粘着シートを押さえる機構であることが好ましい。
【００１２】
また、本発明に係る電子部品ピックアップ装置において、複数の電子部品は、パッケージ材料により包み込まれた単位で相互に分離されたパッケージ済みの電子部品であり、隣り合う電子部品を分離する際に分離代より広いダミー代を設け、分離後において隣り合う電子部品の間に残された残し代も粘着シートに粘着保持されており、シート押さえ機構は、引き剥がす対象の電子部品に隣接する残し代の外周であって、引き剥がす対象の電子部品に近接した押さえ位置において、粘着シートを押さえる機構であることが好ましい。
【００１３】
また、本発明に係る電子部品ピックアップ方法は、シート保持枠に装着した粘着シートの粘着面側に粘着保持され、相互に分離された複数の電子部品を、粘着シートの粘着面の裏面側から粘着シートを介してピンで突き上げることで、これらの電子部品を粘着シートから順次引き剥がして搬送する電子部品ピックアップ方法であって、複数の電子部品が粘着保持されている粘着シートをセットするセット工程と、粘着シートを吸着保持する吸着穴を有するシート台を、粘着シートの粘着面の裏面側に配置するシート台配置工程と、引き剥がす対象の電子部品の外側でかつその電子部品の外周に近接した押さえ位置において、シート押さえと、吸着を止めた状態のシート台との間で粘着シートを挟んで押さえるシート押さえ工程と、粘着シートが押さえられている状態で、引き剥がす対象の電子部品を粘着面の裏面側から粘着シートを介してピンで突き上げ、その電子部品のシート押さえ側の外周から粘着シートを一部引き剥がす一部引き剥がし工程と、電子部品より一部剥がれかけた状態の粘着シートからその電子部品全体を引き剥がして搬送する引き剥がし工程と、を備えることを特徴とする。
【００１４】
また、本発明に係る電子部品ピックアッププログラムは、シート保持枠に装着した粘着シートの粘着面側に粘着保持され、相互に分離された複数の電子部品を、粘着シートの粘着面の裏面側から粘着シートを介してピンで突き上げることで、これらの電子部品を粘着シートから順次引き剥がして搬送する電子部品ピックアップ装置において実行される電子部品ピックアッププログラムであって、複数の電子部品が粘着保持されている粘着シートをセットするセット処理手順と、粘着シートを吸着保持する吸着穴を有するシート台を、粘着シートの粘着面の裏面側に配置するシート台配置処理手順と、引き剥がす対象の電子部品の外側でかつその電子部品の外周に近接した押さえ位置において、シート押さえと、吸着を止めた状態のシート台との間で粘着シートを挟んで押さえるシート押さえ処理手順と、粘着シートが押さえられている状態で、引き剥がす対象の電子部品を粘着面の裏面側から粘着シートを介してピンで突き上げ、その電子部品のシート押さえ側の外周から粘着シートを一部引き剥がす一部引き剥がし処理手順と、電子部品より一部剥がれかけた状態の粘着シートからその電子部品全体を引き剥がして搬送する引き剥がし処理手順と、を実行することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
上記構成により、シート押さえ機構は、引き剥がす対象の電子部品の外側でかつその電子部品の外周に近接した押さえ位置において、シート台との間で粘着シートを挟んで押さえる。そして、シート台が吸着を行わない状態で突き上げ機構により引き剥がす対象の電子部品を突き上げて、その電子部品のシート押さえ側の外周から粘着シートを一部引き剥がす。つまり、押さえ位置に対応する電子部品の周囲では粘着シートが一部剥がれており、電子部品の底面と粘着シートとの間に空気が入り込み、そこから粘着シートが剥がれやすい状態となっている。そこでその後の作業で、その電子部品全体を粘着シートから引き剥がすことが容易となる。このように、２段階で粘着シートから電子部品を引き剥がすので、粘着力が大きくても電子部品を粘着シートから容易に引き剥がすことができる。
【００１６】
また、パッケージ済みの電子部品については、引き剥がす対象の電子部品に隣接する電子部品の外周、あるいは引き剥がす対象の電子部品に隣接する残し代の外周を押さえ位置とする。つまり、シート押さえ機構は、粘着シートをシート台との間で直接押さえるのでなく、パッケージ済みの電子部品あるいはパッケージ材料からなる残し代を介して押さえる。したがって、シート押さえ機構の押さえ部分と粘着シートとの間の粘着を気にしなくてよく、作業がより容易となる。
【００１７】
以上述べたように、本発明に係る電子部品ピックアップ装置、電子部品ピックアップ方法及び電子部品ピックアッププログラムによれば、粘着力が大きくても電子部品を粘着シートから容易に引き剥がしてピックアップすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下に図面を用いて本発明に係る実施の形態につき詳細に説明する。なお、以下においては、ピックアップする対象の電子部品として、パッケージ材料により包み込まれた単位で相互に分離されたパッケージ済みの電子部品を取り上げて説明するが、それ以外でも、粘着シートの粘着面側に粘着保持され、相互に分離された電子部品であればよい。例えば、ＬＳＩウエファからダイシングにより相互分離されるＬＳＩチップ等であってもよい。また、以下においては、一部引き剥がし工程を有する専用設備として説明するが、一部引き剥がし工程を選択可能な手段を設け、一部引き剥がし工程のない従来のピックアップ方法との間で選択できるものとしてもよい。また、電子部品の大きさを３５ｍｍ角としてこれに対応する各部寸法を説明するが、これらはあくまで例示であり、これら以外の寸法であってもよい。
【００１９】
図１は、電子部品ピックアップ装置１０のブロック図である。図１においては、電子部品ピックアップ装置１０の構成要素ではないが、電子部品ピックアップ装置１０にセットされてピックアップ作業の対象となるものも併せて示してある。すなわち、シート保持枠１２に装着された粘着シート１４、及び粘着シート１４の粘着面側に粘着保持され相互に分離された複数の電子部品１６が図示されている。なお、粘着シート１４は、プラスチックフィルムの片面側のみに接着剤が塗布された片面粘着シートである。
【００２０】
ここで、電子部品１６は、パッケージ材料で包み込まれた広義の基板をダイシングにより相互分離されたもので、相互分離された状態でもパッケージ材料により包み込まれたパッケージ済みの電子部品である。その大きさは、一例として３５ｍｍ角である。なお、図１においては、個々の電子部品１６の周囲に、残し代１８が図示されている。ダイシングの際には隣り合う電子部品との間にダミー代が設けられるが、ダミー代の幅は、実際にダイシングにより刻まれる溝の幅である分離代よりも大きくとってある。このダミー代と分離代との差が残し代１８であり、残し代１８も粘着シート１４の上に粘着保持されている。残し代１８の幅寸法は、一例として、約１−３ｍｍとすることができる。なお、ダミー代を分離代と同じにして残し代がないようにしてもよい。その場合には、各電子部品１６が、相互に分離されて隣り合わせに配置されることになる。
【００２１】
電子部品ピックアップ装置１０は、粘着シートから電子部品を順次ピックアップする機構等の要素を備える装置本体部２０と、装置本体部２０と接続され、各構成要素を全体として制御する制御部１００とを含んで構成される。
【００２２】
装置本体部２０は、シート保持枠１２を保持し図１に示すＸ，Ｙ，Ｚ，θ方向に移動可能なステージ３０と、ステージ３０に対しＺ方向の上方に設けられて粘着シート１４を押さえつけるためのシート押さえ機構４０と、電子部品１６を吸着保持するためのコレット４４と、ステージ３０に対しＺ方向の下方に固定されて設けられるシート台５０と、シート台５０の内部に設けられる突き上げピン７０と、さらにこれらの要素を作動させるアクチュエータ等とを含んで構成される。
【００２３】
ステージ３０は、シート保持枠１２を保持するリング状の支持部分を有し、図１に示すＸ，Ｙ，Ｚの直交３軸方向に移動可能で、さらにリング状支持部分の中心軸周りのθ回転が可能なステージである。シート保持枠１２は、ステージ３０に取り付けたとき、粘着シート１４の面がＸＹ平面に平行になるように、リング状支持部分等の形状が設定される。ステージ３０のＸ軸及びＹ軸方向の移動機能により、ステージ３０をシート台５０に対し位置決めすることができる。また、Ｚ軸方向の移動機能により、粘着シート１４の粘着面の裏面側とシート台５０の上面とを接触させあるいは離間させることができる。また、θ回転機能により、シート保持枠１２上の電子部品の配列方向をＸ軸及びＹ軸方向に合わせることができる。ステージ３０の駆動は、制御部１００の指示に従いステージアクチュエータ８４により行われる。ステージアクチュエータ８４は、複数のステッピングモータ等で構成することができる。
【００２４】
シート押さえ機構４０は、Ｚ方向に上下動可能な部材で、シート台５０との間で粘着シート１４を挟んで押さえる機能を有する。具体的には、Ｘ方向の厚みｔが約１ｍｍで、Y方向の長さＬが約４０ｍｍの細長い押さえ部分４２を先端に有し、この押さえ部分４２の（約１ｍｍ×約４０ｍｍ）の面がシート台５０の上面５２に平行となるように配置され、この平行関係を維持しつつ、Ｚ方向に上下動することができる。後述するように、シート台５０は固定位置であるので、シート台５０に対して押さえ部分４２が下降してくる相対位置は常に同じである。その相対位置関係は、図１に示すように、シート台５０の中心から−Ｘ方向にずれた位置のところに押さえ部分４２が下降するように設定される。この相対位置のより詳しい意味については、引き剥がす対象の電子部品１６との位置関係のところで詳述する。シート押さえ機構４０の駆動は、制御部１００の指示の下でシート押さえアクチュエータ８０により行われる。
【００２５】
シート台５０は、上面５２の一部に粘着シート１４を吸着するためのくぼみ５４を有し、さらに、ピン穴５８の中でＺ方向に上下動可能な突き上げピン７０を内蔵する円筒状の部品で、装置本体部２０に対し位置が固定されて設けられる。シート台５０の大きさは、上記の３５ｍｍ角の電子部品１６に対応する場合、その直径Ｄを約６０ｍｍ、その高さＨを約１５ｍｍとすることができる。
【００２６】
図２にシート台５０の上面図を示し、そのＡ−Ａ断面図を図３に示す。シート台５０の上面５２の面積のうち大部分には、深さ約０．８ｍｍのくぼみ５４が設けられる。くぼみ５４は、真空路５６を経て、真空ポンプ８６に接続される。シート台５０の上面５２のうちくぼんでいない部分の面は、ステージ３０を下降させたとき、粘着シート１４の裏面側に接触する面となる。ここで真空ポンプ８６を駆動させれば、真空路５６を経てくぼみ５４の中が減圧され、粘着シート１４はくぼみ５４の中に吸い込まれる力を受けるので、シート台５０の上面５２に粘着シート１４を吸着保持することができる。
【００２７】
シート台５０の上面５２においてくぼんでいないところは、第１に外周部の約２ｍｍ幅の部分６０である。この部分６０は、くぼみ５４が減圧されたときに、大気圧との間を遮断する機能を有する。
【００２８】
くぼんでいないところの第２は、シート台５０の中心に対し放射状に配置された４個の細長い島状の部分６２である。この４個の島状の部分６２には、それぞれピン穴５８が設けられる。すなわち、各島状の部分の上面は、ピン穴５８の近傍で粘着シート１４と接触する面としての機能を有する。
【００２９】
くぼんでいないところの第３は、シート台５０の中心及び島状の部分６２の周辺に配置された９個の円状の部分６４である。この９個の円状の部分は、シート台５０の中心に対し対称形に配置され、これらの中心を結ぶと、約３２ｍｍ角の矩形となるように配置される。すなわち、各円状の部分６４の上面は、引き剥がす対象の電子部品１６がシート台５０の真上にくるようにしたときに、粘着シート１４を介し、約３５ｍｍ角の大きさの電子部品の４辺の周辺部分を支持する面としての機能を有する。その様子を図４に見ることができる。ここで図４は、シート押さえのときにおける各要素の位置関係を示す図で、引き剥がす対象の電子部品１６の中心がシート台５０の中心と一致するようにステージ３０を移動させたときの電子部品１６及び残し代１８の粘着シート１４上の配置が示されている。
【００３０】
くぼんでいないところの第４は、円状の部分６４の外側の配置された１２個の矩形状の部分６６である。この１２個の矩形状の部分は、シート台５０の中心に対し対称形に配置され、これらの中心を結ぶと、約３７ｍｍ角の矩形となるように配置される。すなわち、各矩形状の部分６６の上面は、引き剥がす対象の電子部品１６がシート台５０の真上にくるようにしたときに、約３５ｍｍ角の大きさの電子部品１６の４辺の外側で、電子部品１６の外周に近接した部分で粘着シート１４の裏面側を支持する面としての機能を有する。図４に示すように、粘着シート１４のこの部分には、それぞれ残し代１８ａ，１８ｂ等があるので、各矩形状の部分６６の上面は、残し代１８ａ，１８ｂ等の部分で粘着シート１４の裏面側を支持する面として働くことになる。
【００３１】
上記のように、シート台５０とシート押さえ機構４０とのＸＹ平面内での相対位置関係は常に同じであるが、その位置関係は、この各矩形状の部分６６に対し、シート押さえ機構４０の先端の押さえ部分４２の位置が対応するように設定される。すなわち、引き剥がす対象の電子部品１６がシート台５０の真上にあるときにシート押さえ機構４０を下降させると、その先端の押さえ部分４２は、残し代１８ａ，１８ｂ等の中の１つ、詳しくは、引き剥がす対象の電子部品１６の−Ｘ方向に位置する残し代１８ａの上面に接触し、残し代１８ａをシート台５０に向かって押し付ける。図４にはその様子が示されている。すなわち、押さえ部分４２の厚みｔ＝約１ｍｍ、長さＬ＝約４０ｍｍの細長い面が、残し代１８ａを介して各矩形状の部分６６に対向している。この部分のＺ方向の構成を見ると、「シート押さえ機構４０の押さえ部分４２−残し代１８ａ−粘着シート１４−シート台５０における矩形状の部分６６の上面」の順に配置され、シート押さえ機構４０の押さえ部分４２とシート台５０における矩形状の部分６６の上面との間で、粘着シート１４が挟み込まれて押さえられていることになる。
【００３２】
くぼんでいない４個の島状の部分６２にそれぞれ設けられるピン穴５８は、Ｚ方向に上下動可能な突き上げピン７０を収納し、上下動のガイドとなる機能を有する。ピン穴５８は、真空ポンプ８６に接続されない。突き上げピン７０は、先端が平らまたは半球面状のセラミックまたは金属製のピンで構成することができる。突き上げピン７０の上下方向の駆動は、突き上げピンアクチュエータ８８により行われる。突き上げピン７０の上下動の範囲は、シート台５０の上面５２に対し、通常はシート台５０の上面５２から約０．５−２ｍｍ程度引き込んでおり、突き出すときは上面５２から約０．２−１ｍｍ程度突き出るものとすることができる。また、突き上げ速度を可変できるものとしてもよい。
【００３３】
再び図１に戻り、コレット４４は、図示されていない搬送アームの先端に取り付けられ、電子部品１６を吸着保持する部品であり、搬送アームが所定の搬送経路を移動することにより、電子部品１６を粘着シート１４から吸着し保持して、さらに所定の位置まで搬送する機能を有する。コレット４４は、電子部品１６を吸着するためのくぼみを有し、内部にくぼみに接続する真空路を備え、真空路を図示されていないピックアップ用真空ポンプに接続される。コレット４４が電子部品１６を吸着する位置は、シート台５０の中心に対応する位置に設定される。コレット４４及び図示されていない搬送アームの駆動は、搬送アクチュエータ８２により行われる。
【００３４】
制御部１００は、装置本体部２０と接続され、各構成要素を制御して、粘着シート１４から電子部品１６を順次ピックアップし、所定の位置まで搬送を行う処理を行う機能を有し、一般的なコンピュータで構成することができる。制御部１００は、ＣＰＵ１０２と、キーボードあるいは操作パネル等の入力部１０４と、ディスプレイ等の出力部１０６と、外部記憶装置１０８とを含む。また、制御部１００は、装置本体部２０のシート押さえアクチュエータ８０等の各アクチュエータや真空ポンプ８６に対応するインターフェースとして、シート押さえＩ／Ｆ１１０から突き上げピンＩ／Ｆ１１８を有する。制御部１００内の各構成要素は、内部バスで相互に接続される。
【００３５】
ＣＰＵ１０２は、所定のシーケンスに従い、シート押さえアクチュエータ８０等の各アクチュエータや真空ポンプ８６に指示を与え、電子部品１６を粘着シート１４から順次ピックアップする処理を実行する機能を有する。これらの処理を行うには、ソフトウエアを用いることができ、対応する電子部品ピックアッププログラムを実行することで所定の処理を行うことができる。なお、処理の一部をハードウエアで実行させることもできる。
【００３６】
ＣＰＵ１０２の中の保持枠セット処理部１３０から搬送処理部１３８の機能については、電子部品ピックアップの処理手順のフローチャートである図５を用いて、以下に説明する。また、必要に応じ図６−図１１を用い、各処理手順に対応するシート台５０やシート押さえ機構４０等の状態もあわせて説明する。なお、図６−図１１においてシート台５０等は模式図で示した。
【００３７】
電子部品ピックアップ装置１０を立ち上げると、制御部１００の図示されていない初期設定機能により、ＣＰＵ１０２及び装置本体部２０の各構成要素が初期状態にセットされる。例えば、初期状態として、ステージ３０は上昇した状態で退避位置に、シート押さえ機構４０は上昇位置に、突き上げピン７０はピン穴５８に引き込まれた位置に、真空ポンプ８６はＯＦＦとすることができる。
【００３８】
この状態で、図示されていない保持枠マガジンから任意のシート保持枠１２を取り出し、ステージ３０のリング状支持部分に取り付ける。この処理は、図示されていない搬送機構を用いてもよく、オペレータが手作業で行ってもよい。次に、保持枠セット処理部１３０の機能により、ステージアクチュエータ８４に指示が与えられ、シート保持枠１２の取付角度調整等の保持枠セット処理が行われる（Ｓ１０）。例えば、ステージ３０をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させ、そのときの電子部品１６の移動軌跡を検出して、各電子部品１６の配列方向がＸ軸及びＹ軸と平行になるようにシート保持枠１２を回転調整し、その状態でクランプする。
【００３９】
装置本体部２０には図示されていないチップ位置識別装置が設けられ、各電子部品の位置が識別される。そこで、引き剥がす対象の電子部品１６の位置を識別し、シート台セット処理部１３２の機能により、電子部品１６の位置をシート台５０の位置にセットする（Ｓ１２）。このセット指示は、２段階で分けて行われる。最初に、ステージアクチュエータ８４にＸＹ平面内の駆動指示を与え、シート台５０の真上に引き剥がす対象の電子部品１６がくるようにステージ３０を移動させる。より詳しくは、対象の電子部品１６の中心と、シート台５０の中心を合わせるように移動指示が行われる。次に、ステージアクチュエータ８４にＺ方向に下降する駆動指示を与え、その位置でステージ３０を下降させ、粘着シート１４の粘着面の裏面をシート台５０の上面５２に接近させる。好ましくは、上面５２がちょうど粘着面の裏面と接触する程度がよい。この状態を図６に示す。
【００４０】
一部引き剥がし処理部１３４は、シート押さえアクチュエータ８０及び突き上げピンアクチュエータ８８へ駆動指示を与えることで、引き剥がす対象の電子部品１６の外周部において粘着シート１４を一部引き剥がす処理を行う機能を有する。この機能は、シート押さえ処理（Ｓ１４）とピン突き上げ処理（Ｓ１６）により行われる。このＳ１４及びＳ１６の処理の間、真空ポンプ８６には駆動指示を与えない。すなわち、粘着シート１４は、単にシート台５０の上面５２に載っている状態であり、吸着により保持されていない。
【００４１】
まず、粘着シート１４の裏面側にシート台５０の上面５２が接触している状態で、シート押さえアクチュエータ８０に指示を与え、シート押さえ機構４０を下降させ、押さえ部分４２を残し代１８ａに押し付け、粘着シート１４をシート台５０との間で挟んで押さえる（Ｓ１４）。この状態を図７に示す。
【００４２】
次に、突き上げピンアクチュエータ８８に指示を与え、突き上げピン７０をシート台５０より突き上げる（Ｓ１６）。突き上げピン７０は４本全部を同様に突き上げてもよく、あるいは、押さえ部分４２が残し代１８ａを押さえる押さえ位置により近い２本を突き上げることとしてもよい。後者の状態を図８に示した。粘着シート１４は、シート台５０による吸着が行われていないので、残し代１８ａの押さえ位置で固定されているだけであり、突き上げピン７０の突き上げにより、粘着シート１４はシート台５０の上面５２より浮く状態となる。そして、粘着シート１４は一方側が押さえ位置で固定されてその他の部分が突き上げピン７０により浮くので、押さえ位置と突き上げピン７０の突き上げ位置との間で形状が急に曲げられることになる。これに対し、電子部品１６は、粘着シート１４につられてＺ方向の上方に移動するが、ピンの突き上げ程度では形状の変化が起こらない。この粘着シート１４と電子部品１６の形状変化追随性の差により、図８に示すように、押さえ部分４２側の電子部品１６の外周において、粘着シート１４が一部引き剥がされる。この一部引き剥がしにより、電子部品１６の外周において、粘着シート１４との界面に空気が導入されることになる。この空気導入された界面では、粘着力が著しく低下することになる。
【００４３】
全体引き剥がし処理部１３６は、この一部引き剥がされた状態を利用し、さらに突き上げピンアクチュエータ８８と真空ポンプ８６等に指示を与えることで、電子部品１６の全体を粘着シート１４から引き剥がす処理を行う機能を有する。具体的には、シート押さえを解除する（Ｓ１８）処理と、粘着シートをシート台に吸着する（Ｓ２０）処理と、突き上げピンを突き上げる（Ｓ２２）処理を行う。
【００４４】
まず、突き上げピンアクチュエータ８８に指示を与え、突き上げピン７０をピン穴５８に引き込ませる。ついで、シート押さえアクチュエータ８０に指示を与え、シート押さえ機構４０を上昇させ、シート押さえを解除する（Ｓ１８）。そして、真空ポンプ８６に駆動指示を与え、「真空ポンプ８６−真空路５６−くぼみ５４」の経路により、くぼみ５４の内部を減圧し、粘着シート１４をシート台５０の上面に吸着する（Ｓ２０）。この状態を図９に示す。図８においてシート台５０から浮く状態であった粘着シート１４は、再びシート台５０の上面５２の方に復帰する。このときでも、電子部品１６を積極的に粘着シート１４に押し付けることはしないので、電子部品１６の外周における界面に空気が導入されて粘着力が著しく低下している状態はほとんどそのまま維持される。
【００４５】
次に、突き上げピンアクチュエータ８８に駆動指示を与え、突き上げピン７０をシート台５０から突き上げる（Ｓ２２）。突き上げは、４本の突き上げピンの全部について行うのが好ましい。その状態を図１０に示す。このとき真空ポンプ８６は作動を続けているので、粘着シート１４は、突き上げピン７０のところでシート台５０の上面５２より突き上げられ、その周囲の位置ではくぼみ５４における減圧によりシート台５０の上面５２に吸着されている。このように粘着シート１４は突き上げピン７０の近傍で急に形状が曲げられることになる。これに対し、電子部品１６は、粘着シート１４につられてＺ方向の上方に移動するが、ピンの突き上げ程度では形状の変化が起こらない。この粘着シート１４と電子部品１６との形状変化追随性の差により、粘着シート１４と電子部品１６との間に引き剥がし力が生ずる。この場合でも、電子部品１６が大きいときは、粘着力も相当大きく、引き剥がし力との競合となる。しかし、すでに、電子部品１６の外周において、粘着シート１４との界面に空気が導入され、一部剥がれかけているので、この部分から更なる空気の導入が容易に起こる。したがって、この一部剥れかけている部分から、電子部品１６の全体にかけて粘着シート１４の剥がれが進展し、電子部品１６と粘着シート１４との間の全体の粘着力が急速に低下する。その状態を図１０に示す。
【００４６】
図１０の状態において、電子部品１６は粘着シート１４からほとんど剥がれかかっているが、なお粘着シート１４の上に載っている。そこで、搬送アクチュエータ８２に指示を出し、電子部品１６を粘着シート１４から引き剥がし、所定の位置に搬送させる。具体的には、電子部品をコレットに吸着させる（Ｓ２４）処理と、電子部品をコレットに保持させて所定位置まで搬送させる（Ｓ２６）処理を行う。
【００４７】
まず、搬送アクチュエータ８２に、コレット４４を下降させ、電子部品１６に接触させてこれを吸着させる指示を出す。コレット４４の下降は図示されていない搬送アームの作動により行い、吸着は図示されていないピックアップ用真空ポンプを作動させて行う。これにより、コレット４４が粘着シート１４の上の電子部品１６を吸着（Ｓ２４）し、保持する。次に、コレット４４を上昇させる指示を出し、電子部品１６の全体を粘着シート１４から引き剥がす。その様子を図１１に示す。その後、図示されていない搬送アームの作動に指示を与え、搬送アームの先端のコレット４４に保持された電子部品１６を所定の位置に搬送する（Ｓ２６）。搬送は、例えば搬送アームを旋回させる等により行うことができる。
【００４８】
こうして、引き剥がす対象の電子部品１６が粘着シートから引き剥がされて所定位置に搬送される。ここで図示されていないチップ位置識別装置により、シート保持枠から全部の電子部品がピックアップされたか否かを判定する（Ｓ２８）。まだ全部の電子部品についてピックアップが済んでいないと判定されると、再びＳ１２へ戻り、次の引き剥がす対象の電子部品について上記の工程を繰り返す。全部の電子部品についてピックアップが終了と判定されると、このシート保持枠についてのピックアップ手順は完了する。
【００４９】
このように、一部引き剥がしにより、電子部品と粘着シートとの間に空気を導入し、この部分からさらに引き剥がしを進行させて電子部品全体の引き剥がしを行うことで、粘着力が大きくても電子部品を粘着シートから容易に引き剥がすことができる。
【００５０】
上記において、全体引き剥がしの工程は、シート押さえ解除（Ｓ１８）−粘着シート吸着（Ｓ２０）−ピン突き上げ（Ｓ２２）−コレット吸着（Ｓ２４）の手順で説明した。この他に、一部引き剥がしの程度に応じて、これらの手順を省略したり、順序を入れ替えたりしてもよい。例えば、一部引き剥がしにより相当程度引き剥がしが進んでいるものについては、そのままコレット吸着を行って全体引き剥がしをすることができる。また、粘着力が相当程度強い場合には、シート押さえ解除を行わず、シート押さえを行ったままＳ２０以降の手順を行ってもよい。あるいは、コレット吸着をシート吸着の前あるいは直後に設定して、電子部品を吸着しつつピン突き上げを行ってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明に係る実施の形態における電子部品ピックアップ装置のブロック図である。
【図２】本発明に係る実施の形態におけるシート台の上面図である。
【図３】本発明に係る実施の形態におけるシート台の断面図である。
【図４】本発明に係る実施の形態において、シート押さえの状況を示す図である。
【図５】本発明に係る実施の形態における電子部品ピックアップの処理手順のフローチャートである。
【図６】本発明に係る実施の形態の電子部品ピックアップ処理において、シート台と電子部品のセットが行われた状態を示す図である。
【図７】本発明に係る実施の形態の電子部品ピックアップ処理において、シート押さえの状態を示す図である。
【図８】本発明に係る実施の形態の電子部品ピックアップ処理において、一部引き剥がしが行われる様子を示す図である。
【図９】本発明に係る実施の形態の電子部品ピックアップ処理において、一部引き剥がしのあと粘着シートを吸着する様子を示す図である。
【図１０】本発明に係る実施の形態の電子部品ピックアップ処理において、粘着シートを吸着したまま突き上げピンを突き上げる様子を示す図である。
【図１１】本発明に係る実施の形態の電子部品ピックアップ処理において、コレットにより電子部品が吸着される様子を示す図である。
【符号の説明】
【００５２】
１０  電子部品ピックアップ装置、１２  シート保持枠、１４  粘着シート、１６  電子部品、１８，１８ａ，１８ｂ  残し代、２０  装置本体部、３０  ステージ、４０  シート押さえ機構、４２  押さえ部分、４４  コレット、５０  シート台、５２  上面、５４  くぼみ、５６  真空路、５８  ピン穴、６０，６２，６４，６６  くぼんでいない部分、７０  突き上げピン、１００  制御部、１０２  ＣＰＵ、１３０  保持枠セット処理部、１３２  シート台セット処理部、１３４  一部引き剥がし処理部、１３６  全体引き剥がし処理部、１３８  搬送処理部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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