(57)【要約】【課題】タクト方式のワーク表面処理において、設備の大型化を抑制しつつ、洗浄液の廃棄量を最小限に抑えることのできるワーク表面処理装置を提供する。【解決手段】化成処理部（薬液処理部）１６の直後の第１洗浄部１８において、化成処理直後のワーク１２に対し、スプレーノズル２８により少量の洗浄液をスプレーして前洗浄を行う。続いて、前洗浄後のワーク１２に対して、シャワーノズル３０により洗浄液をシャワーして本洗浄を行う。前洗浄の時はバルブＭＶ−３を閉制御、バルブＭＶ−４を開制御して前洗浄液のみを排出する。また、本洗浄の時はバルブＭＶ−３を開制御、バルブＭＶ−４を閉制御して本洗浄液を貯留タンク２４に戻し、洗浄に循環再利用する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送されてくるワークに対し、処理工程毎に間欠的に表面処理を行うタクト方式の処理装置であって、前記ワークに対し薬液による表面処理を行う薬液処理部と、前記薬液処理部の次段以降に設けられ、薬液処理後のワークに洗浄液を付与し前記ワークに付着した液を置換除去する洗浄部と、を含むワーク表面処理装置において、
前記洗浄部は複数段形成され、最後段の洗浄部には当該最後段の洗浄部で使用する洗浄液の濃度を所定値以下に維持する新水を供給する新水供給手段が設けられ、
各洗浄部には、
前記新水の供給によりオーバーフローした洗浄液を順次前段の洗浄部に戻し供給する戻し供給手段が設けられ、
前記薬液処理部の直後の洗浄部には、
洗浄液を薬液処理後のワークに供給し、ワークの前洗浄を行う前洗浄手段と、
前洗浄後のワークに対し洗浄液を供給し本洗浄を行う本洗浄手段と、
前記前洗浄に使用した洗浄液と本洗浄で使用した洗浄液を分別し、前洗浄で使用した洗浄液を排出し、本洗浄で使用した洗浄液を当該洗浄部で循環再利用するために分離する液分離手段と、
を含むことを特徴とするワーク表面処理装置。
【請求項２】
請求項１記載の装置において、
前記前洗浄手段はスプレーであり、本洗浄手段はスプレーまたはシャワーであることを特徴とするワーク表面処理装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２の装置において、
前記液分離手段は、前洗浄後の洗浄液と本洗浄後の洗浄液の排水経路を切り換える切換バルブであることを特徴とするワーク表面処理装置。
【請求項４】
請求項３に記載の装置において、
前記切換バルブは、前洗浄完了後所定時間経過してから排水経路の切り換え動作を行うことを特徴とするワーク表面処理装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか１つに記載の装置において、
前記前洗浄で使用する洗浄液量と当該洗浄部に戻し供給される後段の洗浄部の洗浄液量とが略一致していることを特徴とするワーク表面処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワーク表面処理装置、特に、薬液でワークの表面処理を行った後にそのワークの洗浄を行うワーク表面処理装置における洗浄液削減の改善に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から機械部品等（以下ワークという）に対して塗装処理を行う場合、実際の塗料の塗布に先立つ前処理工程として、ワークに付着した油脂物質（プレス加工や機械加工等の際に付着するマシン油や防錆油等）を洗い流す脱脂処理やワークの腐食防止や塗装工程における塗料の密着性を増大させる化成処理が行われる。このような脱脂処理や化成処理はそれぞれ専用の薬液がスプレー方式やディップ方式によってワークに塗布され、それぞれの表面処理が行われるが、各処理工程の後には、脱脂剤や過剰に付着した化成処理剤を除去、すなわち洗い流すために洗浄工程が配置される。洗浄方法としては、シャワーノズルを用いてワークに対して洗浄液（通常、所定純度以上の水等）をシャワーリングするシャワーリング方式や洗浄液が満たされた浴槽にワーク全体を浸けて洗浄を行うディップ方式等がある。この洗浄液による洗浄の善し悪しにより塗装工程における塗装品質が大きく左右される。
【０００３】
ところで、洗浄工程において、常時新水（未使用の洗浄液）を使用し、１回の洗浄でその洗浄液を廃棄した場合、洗浄液の消費量は膨大な量になると共に、廃棄コストも増加する。そのため、通常、脱脂工程や化成処理工程の後の洗浄工程は、２工程以上設けると共に、各洗浄工程では、使用した洗浄液の循環利用を行っている。つまり、一度用いた洗浄液を回収し、再度使用している。この場合、後段の洗浄工程に進むに連れて薬液は稀釈されるので、洗浄工程の段数が多いほど洗浄効果が増大する。しかし、洗浄液の再利用の回数増加に伴い、洗浄液中の薬液の割合が増加する。そのため、最後段の洗浄工程のみに所定量の新水を供給し、そこでオーバーフローした洗浄液（供給した新水の量に相当する量）を前段の洗浄工程に供給し、さらにそこでオーバーフローした洗浄液を前段の洗浄工程に供給することを繰り返している。そして、薬液処理工程（脱脂工程や化成処理工程）の直後の洗浄工程でオーバーフローした洗浄液のみを廃棄している。このように、薬液処理工程の直後の洗浄工程から順に薬液含有量の少ない洗浄液で段階的に洗浄を行うことにより洗浄液の廃棄量を低減しつつ、ワーク洗浄効率を向上している。この場合、最後段の洗浄工程における洗浄液濃度が薬液処理工程の直後の洗浄液濃度の例えば１／１０００になるように新水の供給が行われている。また、さらに、効率的な薬液除去を行い、後続の洗浄工程における処理を軽減する目的で、薬液処理後のワークにエアブローを施し、ワークに付着した薬液をある程度吹き飛ばして液切りを行い、その後、洗浄処理を行うことにより、薬液除去効率を向上させようとする提案がある（例えば、特許文献１）。
【０００４】
【特許文献１】特開平８−２１８１８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ワークの表面処理を行う場合、処理対象となるワークが大量生産の場合、ワークを高速コンベアー等で搬送しながら連続的に処理を順次行う連続処理方式が採用される。連続処理方式の場合ワークは連続したトンネル状のブース内を搬送されるため、ブースの全長を必要ゾーン数に適宜分割することにより前述したような液切り等、洗浄工程での処理を軽減するための工程を容易に形成することができる。また、各処理ゾーンは相互の干渉を防止する必要があるため予めある程度処理工程間に空間が保たれている。そのため、その空間部分を利用して液切りゾーン等を形成することもできる。一方、少量生産の場合、各処理工程における処理時間の調節が容易なタクト方式が採用されている。タクト方式の場合、個別の処理ブースが準備され、オーバーヘッドコンベア等により吊り下げられたワークは、各処理ブースの位置で停止し、降下することにより処理ブースに投入される。すなわち、ワークに対して間欠的な処理が施される。
【０００６】
この場合、処理ブースは、各処理毎に形成されているため、前述したような液切り等、洗浄工程での処理を軽減するための工程を薬液処理工程の直後の洗浄工程で行おうとした場合、排除した薬液が洗浄工程と同一の領域に入るため、そこの洗浄工程における薬液含有量が増大し、結果的に、洗浄工程で使用する洗浄液の薬液による汚染度が増加し所望の洗浄効果を得られなくなる。一方、液切り用の新たなブースを新設すると、塗装処理装置全体の規模が大型化したり、設備コストの増加等を招いてしまうという問題が生じる。もちろん、洗浄工程の数を増加すれば、個々の洗浄工程における洗浄負荷は軽減されるが、設備規模が増大する。
【０００７】
そこで、本発明の目的は、タクト方式のワーク表面処理装置において、設備の大型化を抑制しつつ、洗浄液の廃棄量を最小限に抑えることのできるワーク表面処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によれば、薬液処理部の直後の洗浄部において、前洗浄と本洗浄の２種類の洗浄が行われる。そして、前洗浄に使用した洗浄液のみが廃棄され、本洗浄で使用した洗浄液は、回収し再度前洗浄または本洗浄に用いる。
【０００９】
本発明の一態様によれば、搬送されてくるワークに対し、処理工程毎に間欠的に表面処理を行うタクト方式の処理装置であって、前記ワークに対し薬液による表面処理を行う薬液処理部と、前記薬液処理部の次段以降に設けられ、薬液処理後のワークに洗浄液を付与し前記ワークに付着した液を置換除去する洗浄部と、を含むワーク表面処理装置において、前記洗浄部は複数段形成され、最後段の洗浄部には当該最後段の洗浄部で使用する洗浄液の濃度を所定値以下に維持する新水を供給する新水供給手段が設けられ、各洗浄部には、前記新水の供給によりオーバーフローした洗浄液を順次前段の洗浄部に戻し供給する戻し供給手段が設けられ、前記薬液処理部の直後の洗浄部には、洗浄液を薬液処理後のワークに供給し、ワークの前洗浄を行う前洗浄手段と、前洗浄後のワークに対し洗浄液を供給し本洗浄を行う本洗浄手段と、前記前洗浄に使用した洗浄液と本洗浄で使用した洗浄液を分別し、前洗浄で使用した洗浄液を排出し、本洗浄で使用した洗浄液を当該洗浄部で循環再利用するために分離する液分離手段と、を含む。
【００１０】
この構成によれば、薬液処理直後で高濃度の薬液が付着したワークは、まず前洗浄で、付着した高濃度の薬液が置換除去される。そして、前洗浄の結果、汚染度が増加した洗浄液のみを廃棄する。一方、本洗浄は、前洗浄の結果、薬液の付着度が低下したワークに対して行うので、本洗浄後の薬液は薬液の含有量が低下する。その結果、本洗浄に使用した洗浄液を洗浄に再利用することができる。すなわち、前洗浄後の洗浄液を分別し廃棄することにより洗浄液の廃棄量を最小限に抑えつつ、同一の洗浄部において、２段階の洗浄が可能となり、後続する洗浄工程での処理を軽減することができる。また、新たな工程を設ける必要がなく、設備に大型化を抑制することができる。
【００１１】
なお、前記前洗浄手段はスプレー形式で行うことが可能であり、本洗浄手段はスプレーまたはシャワー形式で行うことが可能である。このように、スプレーまたはシャワーのタイミング切り換えにより前洗浄と本洗浄と分離を容易に行うことができる。
【００１２】
また、前記液分離手段は、前洗浄後の洗浄液と本洗浄後の洗浄液の排水経路を切り換える切換バルブとすることができる。
【００１３】
この場合、同一の洗浄部の下部に貯留された前洗浄後の洗浄液と、本洗浄後の洗浄液とを容易に分離することができる。
【００１４】
また、前記切換バルブは、前洗浄完了後所定時間経過してから排水経路の切り換え動作を行うことが望ましい。
【００１５】
この場合、前洗浄に使用した洗浄液の分別を確実に行うことができる。
【００１６】
なお、前記前洗浄で使用する洗浄液量と当該洗浄部に戻し供給される後段の洗浄部の洗浄液量とが略一致していることが望ましい。
【００１７】
この場合、薬液処理後の洗浄部の洗浄液の汚染度を所定値に維持することが可能であり、洗浄部の洗浄能力の維持を容易に行うことができる。
【発明の効果】
【００１８】
この発明によれば、タクト方式のワーク表面処理装置において、薬液処理後の洗浄部において、前洗浄と本洗浄を行う。前洗浄を行うことで、本洗浄及び後続する洗浄の負荷を軽減し効率的な洗浄処理を行うことができる。また、前洗浄後の薬液濃度の高い洗浄液のみを排出するので洗浄液の排出量の軽減、すなわち新水の供給量の軽減を行うことができる。また、前洗浄と本洗浄とを分別して行うことにより同一の洗浄部の使用が可能になり設備規模の増大を伴うことなく、良好な洗浄処理を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明を実施するための好適な形態（以下、実施形態という）を図面に基づき説明する。
【００２０】
図１は、本実施形態のワークの表面処理装置１０の構成概念図である。本実施形態において、ワークとは、例えばプレス加工や機械加工等で形成され、塗装処理を必要とする部品であり、塗装処理のための前処理、例えば、ワークに付着した油脂物質（プレス加工や機械加工等の際に付着するマシン油や防錆油等）を洗い流す脱脂処理やワークの腐食防止や塗装工程における塗料の密着性を増大させる目的で化成処理を必要とする機械部品、その他、脱脂処理や化成処理等の前処理を必要とする塗装部品であれば、材質、形状等任意である。
【００２１】
処理対象のワーク１２は、オーバーヘッドタイプのコンベア１４に吊り下げられ、複数配列された各処理工程を間欠的に移動することができる。すなわち、図１において矢印で示すように、ワーク１２は、各処理工程間をコンベア１４の軌道に沿った移動と、各処理工程の直上位置において、停止し上下移動を行うことが可能である。図１の場合、一例として、化成処理部（薬液処理部）１６の後段に、第１洗浄部１８、第２洗浄部２０、第３洗浄部２２の３段の洗浄部が配置されている。そして、ワーク１２はコンベア１４の昇降機構（不図示）により化成処理部１６、第１洗浄部１８、第２洗浄部２０、第３洗浄部２２の処理槽に降下し、その中で所定の処理が行われる。例えば、化成処理部１６の場合、処理槽内には、薬液として化成処理剤が満たされ、ワーク１２を所定時間浸漬することによりワーク１２の表面に防錆膜等が形成される。また、第１洗浄部１８では、ワーク１２が中空ブース１８ａ内に降下した後洗浄水供給装置による洗浄が行われ、洗浄後滴下した洗浄液は別途設けられた貯留タンク２４に送られる。第２洗浄部２０、第３洗浄部２２では、化成処理部１６と同様に槽内に洗浄液（例えば、水）が満たされ、ワーク１２が所定時間浸漬されたり、洗浄液内で任意の方向に振動させられることにより、ワーク１２の表面に付着した液（薬液や、前段の洗浄で使用された洗浄液）を置換除去される。
【００２２】
なお、洗浄部の段数は任意であり、必要に応じてさらに段数を増やしてもよし、２段としてもよい。例えば、薬液処理部が脱脂処理の場合、洗浄部は通常２段で構成される。
【００２３】
ところで、薬液処理を行ったワーク１２の洗浄を行う場合、各洗浄部には薬液が順次持ち出される。その結果、貯留タンク２４及び第２洗浄部２０及び第３洗浄部２２の薬液濃度は増加し、洗浄効率が低下する。そこで、本実施形態においては、最後段の第３洗浄部２２に新水供給部２６から常時新水を供給している。ここで、新水とは、所定純度以上の洗浄液（例えば、未使用の水）である。第３洗浄部２２には、新水の供給により槽内の洗浄液が所定量を超えたらオーバーフローするように、スロット２２ａが形成されている。そして、オーバーフローした洗浄液はその前段、つまり第２洗浄部２０に戻し供給されるようになっている。同様に、第２洗浄部２０にはスロット２０ａが形成され、第３洗浄部２２からの戻し供給によりオーバーフローした洗浄液は、スロット２０ａを介して第１洗浄部１８に接続された貯留タンク２４に戻し供給されるようになっている。なお、第１洗浄部１８の貯留タンク２４からは、後述する前洗浄で使用される所定量の洗浄液が排出されるので、貯留タンク２４がオーバーフローすることはない。ただし、何らかの原因により、第２洗浄部２０から貯留タンク２４に供給される洗浄液の量が前洗浄で使用するために貯留タンク２４から持ち出される量より多くなってしまった場合、洗浄液が貯留タンク２４から意図せずに溢れてしまう。そこで、貯留タンク２４においても第２洗浄部２０のスロット２０ａと同様なスロットを設け、貯留タンク２４の洗浄液が所定量をオーバーした場合、そのオーバーフロー分を確実に排水処理経路に導けるようにしておくことが望ましい。
【００２４】
このように、最後段の洗浄部に新水を供給し、オーバーフローした洗浄液を順次前段側に戻し供給することにより、戻し供給を受けた洗浄部の洗浄液は、より新水に近い洗浄液により稀釈され、所定濃度以下に維持されることとなる。
【００２５】
一方、第１洗浄部１８は、中空ブース１８ａの内部に、２種類の洗浄液供給装置が配置されている。一方は中空ブース１８ａに投入された直後のワーク１２に対して貯留タンク２４からの洗浄液を供給する前洗浄用のスプレーノズル２８であり、他方は、スプレーノズル２８による前洗浄の完了後のワーク１２に再度貯留タンク２４からの洗浄液を供給する本洗浄用のシャワーノズル３０である。スプレーノズル２８に対する洗浄液の供給はバルブＭＶ−１の開閉制御により行い、シャワーノズル３０に対する洗浄液の供給はバルブＭＶ−２の開閉制御により行う。
【００２６】
また、中空ブース１８ａの底面は図１に示すように一方向に傾斜しており、スプレーノズル２８による前洗浄または、シャワーノズル３０による本洗浄で使用された洗浄液が配管３２に自然に流れ込むようになっている。配管３２に流れ込んだ使用済み洗浄水は、バルブＭＶ−３の開閉制御により貯留タンク２４に戻され循環再利用されるものと、バルブＭＶ−４の開閉制御により排水処理のために排出されるものとに分別される。
【００２７】
すなわち、薬液処理（図１の場合化成処理）が行われた直後のワーク１２に付着した薬液（所定濃度の原液）を洗い流した薬液含有量の多い前洗浄後の洗浄液はバルブＭＶ−４を介して排水処理に送られ、前洗浄が完了し、ある程度薬液が落ちたワーク１２の洗浄を行う本洗浄に使用した洗浄液はバルブＭＶ−３を介して貯留タンク２４に送られる。
【００２８】
なお、本実施形態において、前洗浄とは、大量の洗浄液でワーク１２の完全な洗浄を行うことを意味するものではなく、スプレーノズル２８により供給される少量の洗浄液がワーク１２の表面を流れ落ち一通り通過する程度を意味するものである。この場合、前洗浄に使用する洗浄液の量は極少量であり、バルブＭＶ−４を介して排水処理（廃棄）に送られる使用済み洗浄液の量は少量である。ワーク１２の洗浄はワーク１２の表面に、それまで付着していた液体と流れ落ちる洗浄液が置換されることによって行われるので、前洗浄を行うことによりワーク１２に付着する薬液は稀釈され、実質的に後続する本洗浄における洗浄負荷（洗浄液の汚染濃度の上昇）は大きく抑制することができる。また、前洗浄で使用した洗浄液は排出し、本洗浄で使用した洗浄液のみ貯留タンク２４に戻すので、原液レベルの薬液が貯留タンク２４に戻されることがないので、貯留タンク２４内の洗浄液の汚染濃度が極端に上昇することはなく、また、第２洗浄部２０から戻し供給される薬液汚染度の低い洗浄液で貯留タンク２４内の洗浄液は稀釈されるので、貯留タンク２４内の洗浄液の濃度を所定値以下に容易に維持することができる。また、前洗浄で使用する洗浄液の量は、ワーク１２の表面積に応じて変化するが、前洗浄で使用する洗浄液量と新水供給部２６が供給する新水の量を略一致させることにより、洗浄部全体の濃度管理を容易に行うことが可能となる。
【００２９】
以下、図２のフローチャートを用いて、第１洗浄部１８の動作を説明する。なお、各バルブＭＶ−１，ＭＶ−２，ＭＶ−３，ＭＶ−４の開閉制御やコンベア１４によるワーク１２の搬送制御を行う図示を省略した制御部には、図示を省略した各種センサ（例えば、コンベア１４や昇降装置に設置されたリミットセンサや光電センサ等）からの信号が供給され、ワーク１２の移動状態を監視しつつ、各バルブＭＶ−１，ＭＶ−２，ＭＶ−３，ＭＶ−４の動作タイミングの制御に利用されている。
【００３０】
まず、制御部は、コンベア１４に設けられたセンサの検出結果に基づき、ワーク１２が薬液処理を完了したか否か判断する（Ｓ１００）。薬液処理を完了した場合、制御部は、第１洗浄部１８における洗浄作業の前準備として、バルブＭＶ−１，ＭＶ−２，ＭＶ−３，ＭＶ−４を全て閉制御する（Ｓ１０１）。その後、第１洗浄部１８の直上に移動してきたワーク１２の降下を開始する（Ｓ１０２）。続いて、バルブＭＶ−１，ＭＶ−４を開制御すると共に、貯留タンク２４の洗浄液を汲み上げるポンプ３４の運転を開始する（Ｓ１０３）。この時、バルブＭＶ−１が開いているので、スプレーノズル２８から洗浄液がワーク１２に向けて供給され、前洗浄が開始される。前述したように薬液処理直後のワーク１２に付着した薬液と置換され流れ落ちた薬液濃度の高い洗浄液は、中空ブース１８の傾斜した底面から開放されているバルブＭＶ−４を介して系外に排出され必要に応じて排水処理が施され廃棄される。また、制御部では前洗浄の開始からの時間を計測する前洗浄タイマーをスタートさせる（Ｓ１０４）。
【００３１】
制御部は、前洗浄タイマーがタイムアップしたか否かの監視を行い（Ｓ１０５）、前洗浄タイマーがタイムアップした場合、制御部はポンプ３４の運転を停止すると共に、バルブＭＶ−１を閉制御し、液切りタイマーをスタートさせる（Ｓ１０６）。前述したように、前洗浄は、少量の洗浄液をワーク１２にスプレーして、表面を流れ落ちる洗浄液によってワーク１２の表面に付着した薬液を置換除去するので、スプレー終了後もしばらくワーク１２の表面を洗浄液が流れると共に、ワーク１２の下端部に停留する場合もある。そこで、スプレー終了後所定時間（数秒〜数十秒）液切り時間を設ける。なお、この液切りの間に、ワーク１２を振動させる等して液切りを促進することが望ましい。この結果、前洗浄で使用された薬液を多く含んだ洗浄液はバルブＭＶ−４を介して確実に排出される。
【００３２】
制御部は、液切りタイマーがタイムアップしたか否かの監視を行い（Ｓ１０７）、タイムアップした場合、バルブＭＶ−３を開制御し、バルブＭＶ−４を閉制御して（Ｓ１０８）、配管３２の排水経路を貯留タンク２４側に切り換える。
【００３３】
続いて、制御部はバルブＭＶ−２を開制御すると共に、ポンプ３４の運転を再開する（Ｓ１０９）。これによりシャワーノズル３０による本洗浄が開始される。制御部は本洗浄の開始と同時に本洗浄タイマーをスタートさせ、本洗浄の経過時間の計測を行う（Ｓ１１０）。この時、バルブＭＶ−３が開き、バルブＭＶ−４が閉じているので、ワーク１２の本洗浄を行った後の洗浄液は、バルブＭＶ−３を介して貯留タンク２４に戻され、洗浄に循環再利用される。前述したように、ワーク１２に付着した薬液は既に前洗浄液により置換され稀釈されているので、本洗浄により再度洗浄液の置換を行っても洗浄液の薬液による著しい濃度上昇は発生しない。従って、本洗浄後の洗浄液を貯留タンク２４に戻しても、第２洗浄部２０から戻し供給されるオーバーフローした薬液汚染度の少ない洗浄液により十分稀釈可能であり、貯留タンク２４の濃度を所定値以下に維持管理することができる。
【００３４】
制御部は、本洗浄タイマーの監視を行い（Ｓ１１１）、タイムアップした場合には、ポンプ３４の運転を停止し（Ｓ１１２）、ワーク１２を上昇させて（Ｓ１１３）、第１洗浄部１８における処理を終了し、ステップ（Ｓ１００）に戻り、次のワーク１２の第１洗浄部１８への投入に備える。
【００３５】
このように、本実施形態においては、第１洗浄部１８における洗浄を前洗浄と本洗浄に分離し、それぞれの洗浄で使用した洗浄液を分別し、薬液含有量の多い前洗浄液のみを廃棄のために排出し、前洗浄効果により薬液含有量が低下した本洗浄の液を洗浄液として再利用するために貯留タンク２４に戻している。そのため、洗浄液の廃棄量を低減することができると共に、本洗浄以降の洗浄の負荷を軽減することができる。その結果、新水の供給量も低減することができる。
【００３６】
また、実質的に２段階の洗浄を洗浄液の供給タイミングと排出経路の切換により、同一の洗浄部で行うことができるので、設備規模を増大することなく、効率的なワーク洗浄を行うことができる。
【００３７】
なお、本実施形態の図１で示す構成及び図２に示すフローチャートは一例であり、薬液処理の直後に行われる洗浄部において、前洗浄と本洗浄の切り換え及び前洗浄液と本洗浄液の分別と前洗浄液のみの排出が可能な構成であれば、各構成を任意に変更しても上述した実施形態と同様の効果を得ることができる。また、上述して実施形態では薬液として化成処理液を示したが、本構成は、脱脂処理液やその他、ワークの表面処理後に洗浄処理を必要とする薬液を使用する表面処理装置に適用可能であり、同様の効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の実施の形態に係るワーク表面処理装置の構成概念を説明する説明図である。
【図２】本発明の実施の形態に係るワーク表面処理装置の第１洗浄部における動作を説明するフローチャートである。
【符号の説明】
【００３９】
１０  表面処理装置、１２  ワーク、１４  コンベア、１６  化成処理部（薬液処理部）、１８  第１洗浄部、１８ａ  中空ブース、２０  第２洗浄部、２０ａ，２２ａ  スロット、２２  第３洗浄部、２４  貯留タンク、２６  新水供給部、２８  スプレーノズル、３０  シャワーノズル、３２  配管、３４  ポンプ、ＭＶ−１，ＭＶ−２，ＭＶ３，ＭＶ−４  バルブ。
【図１】
2005081279.tif 000003
【図２】
2005081279.tif 000004