(57)【要約】【課題】  リーク電流を正確に短時間で測定可能なリレー回路を提供する。【解決手段】  一端を入力に接続し、他端を出力に接続し、オンオフする第１リレーと、前記第１リレーを包含するガードとを備えるリレー回路において、一端を前記ガードに接続し、他端を共通電位に接続し、前記第１リレーに対して逆位相でオンオフする第２リレーと、一端を前記ガードに接続し、他端を前記第１リレーの一端に接続し、前記第１リレーに対して同位相でオンオフする第３リレーとを備えることを特徴とするリレー回路。【選択図】                    図１
2005249699.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端を入力に接続し、他端を出力に接続し、オンオフする第１リレーと、
前記第１リレーを包含するガードと
を備えるリレー回路において、
一端を前記ガードに接続し、他端を共通電位に接続し、前記第１リレーに対して逆位相でオンオフする第２リレーと、
一端を前記ガードに接続し、他端を前記第１リレーの一端に接続し、前記第１リレーに対して同位相でオンオフする第３リレーと
を備えることを特徴とするリレー回路。
【請求項２】
一端を入力に接続し、他端を出力に接続し、それぞれが同位相でオンオフする第１リレーと第２リレーとの直列回路を備えるリレー回路において、
一端を前記第１リレーと前記第２リレーとの接続点に接続し、他端を共通電位に接続し、前記第１リレー及び前記第２リレーに対して逆位相でオンオフする第３リレーを備え、
前記第１リレーを包含するガードを前記第１リレーと前記第２リレーとの接続点に接続し、
前記第２リレーを包含するガードを前記第３リレーの他端に接続することを特徴とするリレー回路。
【請求項３】
前記第２リレーと前記第３リレーとは同時オンとならないように制御されることを特徴とする請求項１記載のリレー回路。
【請求項４】
前記第１リレー及び前記第２リレーと前記第３リレーとは同時オンとならないように制御されることを特徴とする請求項２記載のリレー回路。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、低リークの測定に用いるリレー回路、または、測定システムの信号切り替え等に用いるリレー回路に関する。
【背景技術】
【０００２】
図４は、従来のソリッドステートリレー（ＳＳＲ）３０のリーク電流を測定する測定回路の構成図である。
【０００３】
同図において、リレー回路ＲＬ０の一端は電圧源１０の電圧Ａに接続し、リレー回路ＲＬ０の他端はソリッドステートリレー３０の端子１及び端子２に接続する。
また、リレー回路ＲＬ８の端子８２は電圧Ａに接続し、リレー回路ＲＬ８の端子８１はソリッドステートリレー３０の端子６に接続する。
【０００４】
さらに、リレー回路ＲＬ９の一端はソリッドステートリレー３０の端子６に接続し、リレー回路ＲＬ９の他端はソリッドステートリレー３０の端子４に接続する。
また、電流計２０の一端はソリッドステートリレー３０の端子４に接続し、電流計２０の他端は共通電位Ｇに接続する
【０００５】
そして、リレー回路ＲＬ０とソリッドステートリレー３０の端子１及び端子２との接続点の電圧を電圧Ｂとする。また、リレー回路ＲＬ８の端子８１とソリッドステートリレー３０の端子６とリレー回路ＲＬ９の一端との接続点の電圧を電圧Ｃとする。さらに、リレー回路ＲＬ９他端とソリッドステートリレー３０の端子４と電流計２０との接続点の電圧を電圧Ｄとする。
【０００６】
さらに、ソリッドステートリレー３０において、端子１及び端子２は入力であり、端子６及び端子４は出力である。
【０００７】
また、リレー回路ＲＬ８の構成を詳しく説明する。
リレーＲＬ８０の一端は端子８２を介して電圧Ａに接続し、リレーＲＬ８０の他端は端子８１を介して電圧Ｃに接続する。
【０００８】
また、リレーＲＬ８０はガード（図示せず）で包含されるように形成される。詳しくは、リレーＲＬ８０を金属ケースのガードで包含する。さらに、端子８１とガードとは絶縁し、端子８２とガードとは絶縁する。また、ガードは端子８３を介して共通電位Ｇに等価的に接続する。
【０００９】
さらに、等価容量Ｃ１と等価抵抗Ｒ１との直列回路は、リレーＲＬ８０の他端とガードとの間の等価的な寄生インピーダンスである。また、等価容量Ｃ２と等価抵抗Ｒ２との直列回路は、リレーＲＬ８０の一端とガードとの間の等価的な寄生インピーダンスである。
【００１０】
そして、リレーＲＬ８０は、入力である電圧Ａと出力である電圧Ｃとをオンオフする。
【００１１】
また、誘電吸収は、誘電体または絶縁体の分極が原因で生じるものであり、長時間かかって分極が平衡状態にもどる現象（緩和現象）をいう。そして、等価容量Ｃ１、等価抵抗Ｒ１、等価容量Ｃ２、等価抵抗Ｒ２を有するリレー回路ＲＬ８は、この誘電吸収を加味したリレーの等価モデルとなっている。
【００１２】
このように構成される図４の従来例の動作を説明する。
まず、ソリッドステートリレー３０の出力間（端子６と端子４との間）のリーク電流を測定するときは、リレー回路ＲＬ０をオフ、リレー回路ＲＬ８をオン、リレー回路ＲＬ９をオフとする。そして、電圧Ｃは電圧Ａとなる。また、出力間のリーク電流は、電流計２０と電圧源１０とリレーＲＬ８０との回路に流れる。
【００１３】
次に、ソリッドステートリレー３０の入力出力間（端子１及び端子２と端子６及び端子４との間）のリーク電流を測定するときは、リレー回路ＲＬ０をオン、リレー回路ＲＬ８をオフ、リレー回路ＲＬ９をオンとする。そして、電圧Ｂは電圧Ａとなり、電圧Ｃは電圧Ｄとなる。また、入力出力間のリーク電流は、電流計２０と電圧源１０とリレー回路ＲＬ０との回路に流れる。
【００１４】
また、従来の半導体素子測定方法は、外部から探針可能な少なくとも一対のパッド電極を備えた素子の電気特性を測定する方法であって、一方のケーブル側は接地電位に対して正極性の電位に保持し、他方のケーブル側は接地電位に対して負極性の電位に保持した状態で測定を行うものもある（例えば、特許文献１参照。）。
【００１５】
さらに、従来のテスト素子微小電流測定方法は、少なくとも一部共用を含む多数のランドを備えており、全ランド同時にプローブを当接させ切換操作により個々のテスト素子の電気特性を逐次測定するものもある（例えば、特許文献２参照。）。
【００１６】
【特許文献１】特許３３１９０７８号公報
【特許文献２】特開平７−８６３４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
しかしながら、図４の従来例は、特に、電圧Ａが高電圧で、リーク電流が微小のときに、誘電吸収の作用によって、リーク電流の測定に要する時間が長いという課題がある。また、電流計２０に余計な電流が加算されるという課題がある。
【００１８】
以下にその詳細を詳しく説明する。
まず、ソリッドステートリレー３０の出力間（端子６と端子４との間）のリーク電流を測定するステップを実行する。そして、リレー回路ＲＬ０をオフ、リレー回路ＲＬ８をオン、リレー回路ＲＬ９をオフとする。
【００１９】
このとき、電圧Ｃは電圧Ａとなるため、等価容量Ｃ１及び等価容量Ｃ２は充電される。また、等価容量Ｃ１と等価抵抗Ｒ１との時定数及び等価容量Ｃ２と等価抵抗Ｒ２との時定数は大きな値であるため、等価容量Ｃ１及び等価容量Ｃ２の充電に要する時間は長い。
【００２０】
次に、ソリッドステートリレー３０の入力出力間（端子１及び端子２と端子６及び端子４との間）のリーク電流を測定するステップを実行する。そして、リレー回路ＲＬ０をオン、リレー回路ＲＬ８をオフ、リレー回路ＲＬ９をオンとする。
【００２１】
このとき、電圧Ｃは電圧Ｄとなるため、等価容量Ｃ１はリレー回路ＲＬ９、電流計２０、共通電位Ｇ，等価抵抗Ｒ１の回路で放電する。また、等価容量Ｃ１と等価抵抗Ｒ１との時定数は大きな値であるため、等価容量Ｃ１の放電に要する時間は長い。例えば、等価容量Ｃ１の放電には数分間要する。
【００２２】
よって、等価容量Ｃ１が放電している間は、ソリッドステートリレー３０の入力出力間のリーク電流と等価容量Ｃ１の放電電流との和が電流計２０に流れる。即ち、等価容量Ｃ１が放電している間は、電流計２０に余計な電流が加算される。
【００２３】
このため、ソリッドステートリレー３０の入力出力間におけるリーク電流の測定は、等価容量Ｃ１が十分に放電した後に実施する必要がある。したがって、図４の従来例におけるリーク電流の測定は、長時間要する。
【００２４】
本発明の目的は、以上説明した課題を解決するものであり、リーク電流を正確に短時間で測定可能なリレー回路を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２５】
このような目的を達成する本発明は、次の通りである。
（１）一端を入力に接続し、他端を出力に接続し、オンオフする第１リレーと、前記第１リレーを包含するガードとを備えるリレー回路において、一端を前記ガードに接続し、他端を共通電位に接続し、前記第１リレーに対して逆位相でオンオフする第２リレーと、一端を前記ガードに接続し、他端を前記第１リレーの一端に接続し、前記第１リレーに対して同位相でオンオフする第３リレーとを備えることを特徴とするリレー回路。
【００２６】
（２）一端を入力に接続し、他端を出力に接続し、それぞれが同位相でオンオフする第１リレーと第２リレーとの直列回路を備えるリレー回路において、一端を前記第１リレーと前記第２リレーとの接続点に接続し、他端を共通電位に接続し、前記第１リレー及び前記第２リレーに対して逆位相でオンオフする第３リレーを備え、前記第１リレーを包含するガードを前記第１リレーと前記第２リレーとの接続点に接続し、前記第２リレーを包含するガードを前記第３リレーの他端に接続することを特徴とするリレー回路。
【００２７】
（３）前記第２リレーと前記第３リレーとは同時オンとならないように制御されることを特徴とする（１）記載のリレー回路。
【００２８】
（４）前記第１リレー及び前記第２リレーと前記第３リレーとは同時オンとならないように制御されることを特徴とする（２）記載のリレー回路。
【発明の効果】
【００２９】
以上説明したことから明らかなように、本発明によれば次のような効果がある。
本発明によれば、リーク電流を正確に短時間で測定可能なリレー回路を提供できる。また、簡便・汎用で測定に好適なリレー回路を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下に図１に基づいて本発明を詳細に説明する。図１は、本発明に係るソリッドステートリレー（ＳＳＲ）３０のリーク電流を測定する測定回路の一実施例を示す構成図である。なお、図４の従来例と同一の要素には同一符号を付し説明を省略する。
【００３１】
図１の実施例の特徴は、本発明のリレー回路ＲＬ１と本発明のリレー回路ＲＬ２との構成を備える点にある。また、図１の実施例のリレー回路ＲＬ１は図４の従来例のリレー回路ＲＬ８に対応し、図１の実施例のリレー回路ＲＬ２は図４の従来例のリレー回路ＲＬ９に対応している。
【００３２】
まず、リレー回路ＲＬ１の構成を詳しく説明する。
同図において、リレーＲＬ１０の一端は端子１２を介して電圧Ａに接続し、リレーＲＬ１０の他端は端子１１を介して電圧Ｃに接続する。
【００３３】
また、リレーＲＬ１０はガード（図示せず）で包含されるように形成される。詳しくは、リレーＲＬ１０を金属ケースのガードで包含する。さらに、端子１１とガードとは絶縁し、端子１２とガードとは絶縁する。また、ガードは電圧Ｅに接続する。
【００３４】
さらに、等価容量ＣＧ１と等価抵抗ＲＧ１との直列回路は、リレーＲＬ１０の他端とガードとの間の等価的な寄生インピーダンスである。また、等価容量ＣＧ２と等価抵抗ＲＧ２との直列回路は、リレーＲＬ１０の一端とガードとの間の等価的な寄生インピーダンスである。
【００３５】
さらに、リレーＲＬ１１の一端は電圧Ｅに接続し、リレーＲＬ１１の他端は端子１３を介して共通電位Ｇに等価的に接続する。また、リレーＲＬ１２の一端は電圧Ｅに接続し、リレーＲＬ１２の他端はリレーＲＬ１０の一端に接続する。
【００３６】
即ち、等価容量ＣＧ１と等価抵抗ＲＧ１との直列回路の他端と、等価容量ＣＧ２と等価抵抗ＲＧ２との直列回路の他端と、リレーＲＬ１１の一端と、リレーＲＬ１２の一端との接続点の電圧を電圧Ｅとする。
【００３７】
また、リレー回路ＲＬ１がオンのとき、リレーＲＬ１０はオン、リレーＲＬ１１はオフ、リレーＲＬ１２はオンとする。
さらに、リレー回路ＲＬ１がオフのとき、リレーＲＬ１０はオフ、リレーＲＬ１１はオン、リレーＲＬ１２はオフとする。
【００３８】
詳細には、リレーＲＬ１０がターンオフし、リレーＲＬ１２がターンオフするステップを実行の後、リレーＲＬ１１がターンオンするステップを実行する。
また、リレーＲＬ１１がターンオフするステップを実行の後、リレーＲＬ１０がターンオンし、リレーＲＬ１２がターンオンするステップを実行する。
【００３９】
即ち、リレーＲＬ１１はリレーＲＬ１０に対して逆位相でオンオフし、リレーＲＬ１１はリレーＲＬ１０に対して同位相でオンオフする。また、リレーＲＬ１１とリレーＲＬ１２とが同時オンとならないように制御する。
【００４０】
次に、リレー回路ＲＬ２の構成を詳しく説明する。
同図において、リレーＲＬ２０の一端は端子２２を介して電圧Ｃに接続し、リレーＲＬ２０の他端は電圧Ｆに接続する。また、リレーＲＬ２１の一端は電圧Ｆに接続し、リレーＲＬ２１の他端は端子２１を介して電圧Ｄに接続する。さらに、リレーＲＬ２２の一端は電圧Ｆに接続し、リレーＲＬ２２の他端は端子２３を介して共通電位Ｇに等価的に接続する。
【００４１】
また、リレーＲＬ２０はガード（図示せず）で包含されるように形成される。詳しくは、リレーＲＬ２０を金属ケースのガードで包含する。さらに、端子２２とガードとは絶縁する。また、ガードは電圧Ｆに接続する。
【００４２】
さらに、等価容量ＣＧ３と等価抵抗ＲＧ３との直列回路は、リレーＲＬ２０の他端とガードとの間の等価的な寄生インピーダンスである。また、等価容量ＣＧ４と等価抵抗ＲＧ４との直列回路は、リレーＲＬ２０の一端とガードとの間の等価的な寄生インピーダンスである。
【００４３】
また、リレーＲＬ２１はガード（図示せず）で包含されるように形成される。詳しくは、リレーＲＬ２１を金属ケースのガードで包含する。さらに、端子２１とガードとは絶縁し、電圧Ｆとガードとは絶縁する。また、ガードは端子２３を介して共通電位Ｇに等価的に接続する。
【００４４】
さらに、等価容量ＣＧ５と等価抵抗ＲＧ５との直列回路は、リレーＲＬ２１の他端とガードとの間の等価的な寄生インピーダンスである。また、等価容量ＣＧ６と等価抵抗ＲＧ６との直列回路は、リレーＲＬ２１の一端とガードとの間の等価的な寄生インピーダンスである。
【００４５】
即ち、リレーＲＬ２０の他端と、リレーＲＬ２１の一端と、リレーＲＬ２２の一端と、等価容量ＣＧ３と等価抵抗ＲＧ３との直列回路の一端及び他端と、等価容量ＣＧ４と等価抵抗ＲＧ４との直列回路の他端と、等価容量ＣＧ６と等価抵抗ＲＧ６との直列回路の一端との接続点の電位を電圧Ｆとする。
【００４６】
また、リレー回路ＲＬ２がオンのとき、リレーＲＬ２０はオン、リレーＲＬ２１はオン、リレーＲＬ２２はオフとする。
さらに、リレー回路ＲＬ２がオフのとき、リレーＲＬ２０はオフ、リレーＲＬ２１はオフ、リレーＲＬ２２はオンとする。
【００４７】
詳細には、リレーＲＬ２０がターンオフし、リレーＲＬ２１がターンオフするステップを実行の後、リレーＲＬ２２がターンオンするステップを実行する。
また、リレーＲＬ２２がターンオフするステップを実行の後、リレーＲＬ２０がターンオンし、リレーＲＬ２１がターンオンするステップを実行する。
【００４８】
即ち、リレーＲＬ２０とリレーＲＬ２１とはそれぞれが同位相でオンオフし、リレーＲＬ２０及びリレーＲＬ２１とリレーＲＬ２２とは逆位相でオンオフする。また、リレーＲＬ２１とリレーＲＬ２２とが同時オンとならないように制御する。
【００４９】
このように構成される図１の実施例の動作を説明する。
まず、ソリッドステートリレー３０の出力間（端子６と端子４との間）のリーク電流を測定するときは、リレー回路ＲＬ０をオフ、リレー回路ＲＬ１をオン、リレー回路ＲＬ２をオフとする。即ち、リレーＲＬ１０はオン、リレーＲＬ１１はオフ、リレーＲＬ１２はオン、リレーＲＬ２０はオフ、リレーＲＬ２１はオフ、リレーＲＬ２２はオンとする。
【００５０】
このとき、電圧Ｃは電圧Ａとなり、電圧Ｅは電圧Ａとなり、電圧Ｆは共通電位Ｇとなる。また、出力間のリーク電流は、電流計２０と電圧源１０とリレーＲＬ１０との回路に流れる。
【００５１】
そして、等価容量ＣＧ４には電圧Ａが印加される。また、等価容量ＣＧ５には電圧Ｄが印加される。さらに、等価容量ＣＧ１、等価容量ＣＧ２、等価容量ＣＧ３、等価容量ＣＧ６には電圧が印加されない。
【００５２】
次に、ソリッドステートリレー３０の入力出力間（端子１及び端子２と端子６及び端子４との間）のリーク電流を測定するときは、リレー回路ＲＬ０をオン、リレー回路ＲＬ１をオフ、リレー回路ＲＬ２をオンとする。即ち、リレーＲＬ１０はオフ、リレーＲＬ１１はオン、リレーＲＬ１２はオフ、リレーＲＬ２０はオン、リレーＲＬ２１はオン、リレーＲＬ２２はオフとする。
【００５３】
このとき、電圧Ｂは電圧Ａとなり、電圧Ｃは電圧Ｄとなり、電圧Ｅは共通電位Ｇとなり、電圧Ｆは電圧Ｃ及び電圧Ｄとなる。また、入力出力間のリーク電流は、電流計２０と電圧源１０とリレー回路ＲＬ０との回路に流れる。
【００５４】
そして、等価容量ＣＧ２には電圧Ａが印加される。また、等価容量ＣＧ１、等価容量ＣＧ５、等価容量ＣＧ６には電圧Ｄが印加される。さらに、等価容量ＣＧ３、等価容量ＣＧ４には電圧が印加されない。
【００５５】
そしてまた、電圧Ｄは非常に小さい値であり、ほぼ共通電位Ｇに等しい。よって、電圧Ｄに基づく充放電の電流は小さく無視できる。
【００５６】
また、等価容量ＣＧ２の充電電流は電圧源１０、等価抵抗ＲＧ２、リレーＲＬ１１、共通電位Ｇの回路を流れ、等価容量ＣＧ２の放電電流はリレーＲＬ１２、等価抵抗ＲＧ２の回路を流れる。
【００５７】
さらに、等価容量ＣＧ４の充電電流は電圧源１０、リレーＲＬ１０、等価抵抗ＲＧ４，リレーＲＬ２２、共通電位Ｇの回路を流れ、等価容量ＣＧ４の放電電流はリレーＲＬ２０、等価抵抗ＲＧ４の回路を流れる。
【００５８】
したがって、電流計２０にはほぼリーク電流のみが流れる。即ち、電流計２０に余計な電流が加算されない。
【００５９】
このため、リーク電流の測定は、等価容量ＣＧ１から等価容量ＣＧ６の充放電に関係なく実施できる。したがって、図１の実施例におけるリーク電流の測定は、短時間で実施できる。
【００６０】
また、リレー２１は、リレー２２がオンのときオフとなるため、リレーＲＬ２２、リレーＲＬ２１、電流計２０、共通電位Ｇの回路に電流が流れない。即ち、リレー２１は、電流計２０のショートを抑制する。
【００６１】
さらに、リレーＲ１１に係る誘電吸収、リレー１２に係る誘電吸収、リレーＲＬ２２に係る誘電吸収は、電流計２０に影響を与えない。即ち、電流計２０に余計な電流が加算されない。
【００６２】
また、特許文献１の発明は、一方のケーブル側の電位と他方のケーブル側の電位とが異なるに対し、図１の実施例はガードがリレーを介して共通電位Ｇ等に等価的に接続する点で相違する。
【００６３】
以下に図２に基づいて本発明を詳細に説明する。図２は、本発明に係るソリッドステートリレー（ＳＳＲ）３０のリーク電流を測定する測定回路における他の実施例を示す構成図である。なお、図１の実施例と同一の要素には同一符号を付し説明を省略する。
【００６４】
図２の実施例の特徴は、本発明のリレー回路ＲＬ２と本発明のリレー回路ＲＬ３との構成を備える点にある。そして、図２の実施例におけるリレー回路ＲＬ３は図１の実施例におけるリレー回路ＲＬ１に対応し、図２の実施例におけるリレー回路ＲＬ３内部の構成は図１の実施例におけるリレー回路ＲＬ２内部の構成に対応している。
【００６５】
リレー回路ＲＬ３の構成を詳しく説明する。
同図において、リレーＲＬ３０の一端は端子３２を介して電圧Ｃに接続し、リレーＲＬ３０の他端は電圧Ｈに接続する。また、リレーＲＬ３１の一端は電圧Ｈに接続し、リレーＲＬ３１の他端は端子３１を介して電圧Ａに接続する。さらに、リレーＲＬ３２の一端は電圧Ｈに接続し、リレーＲＬ３２の他端は端子３３を介して共通電位Ｇに等価的に接続する。
【００６６】
また、リレーＲＬ３０はガード（図示せず）で包含されるように形成される。詳しくは、リレーＲＬ３０を金属ケースのガードで包含する。さらに、端子３２とガードとは絶縁する。また、ガードは電圧Ｈに接続する。
【００６７】
さらに、等価容量ＣＧ７と等価抵抗ＲＧ７との直列回路は、リレーＲＬ３０の他端とガードとの間の等価的な寄生インピーダンスである。また、等価容量ＣＧ８と等価抵抗ＲＧ８との直列回路は、リレーＲＬ３０の一端とガードとの間の等価的な寄生インピーダンスである。
【００６８】
また、リレーＲＬ３１はガード（図示せず）で包含されるように形成される。詳しくは、リレーＲＬ３１を金属ケースのガードで包含する。さらに、端子３１とガードとは絶縁し、電圧Ｈとガードとは絶縁する。また、ガードは端子３３を介して共通電位Ｈに等価的に接続する。
【００６９】
さらに、等価容量ＣＧ９と等価抵抗ＲＧ９との直列回路は、リレーＲＬ３１の他端とガードとの間の等価的な寄生インピーダンスである。また、等価容量ＣＧ１０と等価抵抗ＲＧ１０との直列回路は、リレーＲＬ３１の一端とガードとの間の等価的な寄生インピーダンスである。
【００７０】
即ち、リレーＲＬ３０の他端と、リレーＲＬ３１の一端と、リレーＲＬ３２の一端と、等価容量ＣＧ７と等価抵抗ＲＧ７との直列回路の一端及び他端と、等価容量ＣＧ８と等価抵抗ＲＧ８との直列回路の他端と、等価容量ＣＧ１０と等価抵抗ＲＧ１０との直列回路の一端との接続点の電位を電圧Ｈとする。
【００７１】
また、リレー回路ＲＬ３がオンのとき、リレーＲＬ３０はオン、リレーＲＬ３１はオン、リレーＲＬ３２はオフとする。
さらに、リレー回路ＲＬ３がオフのとき、リレーＲＬ３０はオフ、リレーＲＬ３１はオフ、リレーＲＬ３２はオンとする。
【００７２】
このように構成される図２の実施例の動作を説明する。
まず、ソリッドステートリレー３０の出力間（端子６と端子４との間）のリーク電流を測定するときは、リレー回路ＲＬ０をオフ、リレー回路ＲＬ３をオン、リレー回路ＲＬ２をオフとする。即ち、リレーＲＬ３０はオン、リレーＲＬ３０はオン、リレーＲＬ３２はオフ、リレーＲＬ２０はオフ、リレーＲＬ２１はオフ、リレーＲＬ２２はオンとする。
【００７３】
このとき、電圧Ｃは電圧Ａとなり、電圧Ｈは電圧Ａ及び電圧Ｃとなり、電圧Ｆは共通電位Ｇとなる。また、出力間のリーク電流は、電流計２０と電圧源１０とリレーＲＬ１０との回路に流れる。
【００７４】
そして、等価容量ＣＧ９、等価容量ＣＧ１０、等価容量ＣＧ４には電圧Ａが印加される。また、等価容量ＣＧ５には電圧Ｄが印加される。さらに、等価容量ＣＧ７、等価容量ＣＧ８、等価容量ＣＧ３、等価容量ＣＧ６には電圧が印加されない。
【００７５】
次に、ソリッドステートリレー３０の入力出力間（端子１及び端子２と端子６及び端子４との間）のリーク電流を測定するときは、リレー回路ＲＬ０をオン、リレー回路ＲＬ３をオフ、リレー回路ＲＬ２をオンとする。即ち、リレーＲＬ３０はオフ、リレーＲＬ３１はオフ、リレーＲＬ３２はオン、リレーＲＬ２０はオン、リレーＲＬ２１はオン、リレーＲＬ２２はオフとする。
【００７６】
このとき、電圧Ｂは電圧Ａとなり、電圧Ｃは電圧Ｄとなり、電圧Ｈは電圧Ａとなり、電圧Ｆは電圧Ｃ及び電圧Ｄとなる。また、入力出力間のリーク電流は、電流計２０と電圧源１０とリレー回路ＲＬ０との回路に流れる。
【００７７】
そして、等価容量ＣＧ９には電圧Ａが印加される。また、等価容量ＣＧ８、等価容量ＣＧ５、等価容量ＣＧ６には電圧Ｄが印加される。また、さらに、等価容量ＣＧ７、等価容量ＣＧ１０、等価容量ＣＧ３、等価容量ＣＧ４には電圧が印加されない。
【００７８】
そしてまた、電圧Ｄは非常に小さい値であり、ほぼ共通電位Ｇに等しい。よって、電圧Ｄに基づく充放電の電流は小さく無視できる。
【００７９】
また、等価容量ＣＧ９の充電電流及び放電電流は、電圧源１０、端子３１、等価抵抗ＲＧ９、端子３３、共通電位Ｇの回路を流れる。
【００８０】
さらに、等価容量ＣＧ１０の充電電流は電圧源１０、端子３１、リレーＲＬ３１、等価抵抗ＲＧ１０、端子３３、共通電位Ｇの回路を流れ、等価容量ＣＧ１０の放電電流はリレーＲＬ３２、等価抵抗ＲＧ１０の回路を流れる。
【００８１】
さらに、等価容量ＣＧ４の充電電流は電圧源１０、リレーＲＬ３１、リレーＲＬ３０、等価抵抗ＲＧ４，リレーＲＬ２２、共通電位Ｇの回路を流れ、等価容量ＣＧ４の放電電流はリレーＲＬ２０、等価抵抗ＲＧ４の回路を流れる。
【００８２】
したがって、電流計２０にはほぼリーク電流のみが流れる。即ち、電流計２０に余計な電流が加算されない。
【００８３】
このため、リーク電流の測定は、等価容量ＣＧ１から等価容量ＣＧ６の充放電に関係なく実施できる。したがって、図２の実施例におけるリーク電流の測定は、図１の実施例におけるリーク電流の測定と同様に、短時間で実施できる。
【００８４】
以下に図３に基づいて本発明を詳細に説明する。図３は、本発明のリレー回路ＲＬ４及びリレー回路ＲＬ５を備える測定器の入力回路５０の一実施例を示す構成図である。なお、図１の実施例と同等の要素には同等符号を付し説明を省略する。
【００８５】
図３の実施例の特徴は、本発明のリレー回路ＲＬ４と本発明のリレー回路ＲＬ５との構成を備える点にある。そして、図３の実施例におけるリレー回路ＲＬ４内部の構成及びリレー回路ＲＬ５内部の構成は、図１の実施例におけるリレー回路ＲＬ２内部の構成に対応している。
【００８６】
また、リレー回路ＲＬ４とリレー回路ＲＬ５とは入力マルチプレクサを形成する。
【００８７】
まず、リレー回路ＲＬ４の構成を詳しく説明する。
同図において、リレーＲＬ４０の一端は端子４２を介して電流測定入力Ｉｉｎに接続し、リレーＲＬ４０の他端は端子４１を介して電圧Ｊ及びＡ／Ｄ変換器４０に接続する。
【００８８】
また、リレーＲＬ４０はガード（図示せず）で包含されるように形成される。詳しくは、リレーＲＬ４０を金属ケースのガードで包含する。さらに、端子４１とガードとは絶縁し、端子４２とガードとは絶縁する。また、ガードは電圧Ｋに接続する。
【００８９】
さらに、等価容量ＣＧ１１と等価抵抗ＲＧ１１との直列回路は、リレーＲＬ４０の他端とガードとの間の等価的な寄生インピーダンスである。また、等価容量ＣＧ１２と等価抵抗ＲＧ１２との直列回路は、リレーＲＬ４０の一端とガードとの間の等価的な寄生インピーダンスである。
【００９０】
さらに、リレーＲＬ４１の一端は電圧Ｋに接続し、リレーＲＬ４１の他端は端子４３を介して共通電位Ｇに等価的に接続する。また、リレーＲＬ４２の一端は電圧Ｋに接続し、リレーＲＬ４２の他端はリレーＲＬ４０の一端に接続する。
【００９１】
即ち、等価容量ＣＧ１１と等価抵抗ＲＧ１１との直列回路の他端と、等価容量ＣＧ１２と等価抵抗ＲＧ１２との直列回路の他端と、リレーＲＬ４１の一端と、リレーＲＬ４２の一端との接続点の電圧を電圧Ｋとする。
【００９２】
また、リレー回路ＲＬ４がオンのとき、リレーＲＬ４０はオン、リレーＲＬ４１はオフ、リレーＲＬ４２はオンとする。
さらに、リレー回路ＲＬ４がオフのとき、リレーＲＬ４０はオフ、リレーＲＬ４１はオン、リレーＲＬ４２はオフとする。
【００９３】
次に、リレー回路ＲＬ５の構成を詳しく説明する。そして、リレー回路ＲＬ５の構成は、リレー回路ＲＬ４の構成とほぼ同じになる。
【００９４】
同図において、リレーＲＬ５０の一端は端子５２を介して電圧測定入力Ｖｉｎに接続し、リレーＲＬ５０の他端は端子５１を介して電圧Ｊ及びＡ／Ｄ変換器４０に接続する。
【００９５】
また、リレーＲＬ５０はガード（図示せず）で包含されるように形成される。詳しくは、リレーＲＬ５０を金属ケースのガードで包含する。さらに、端子５１とガードとは絶縁し、端子５２とガードとは絶縁する。また、ガードは電圧Ｌに接続する。
【００９６】
さらに、等価容量ＣＧ１３と等価抵抗ＲＧ１３との直列回路は、リレーＲＬ５０の他端とガードとの間の等価的な寄生インピーダンスである。また、等価容量ＣＧ１４と等価抵抗ＲＧ１４との直列回路は、リレーＲＬ５０の一端とガードとの間の等価的な寄生インピーダンスである。
【００９７】
さらに、リレーＲＬ５１の一端は電圧Ｌに接続し、リレーＲＬ５１の他端は端子５３を介して共通電位Ｇに等価的に接続する。また、リレーＲＬ５２の一端は電圧Ｌに接続し、リレーＲＬ５２の他端はリレーＲＬ５０の一端に接続する。
【００９８】
即ち、等価容量ＣＧ１３と等価抵抗ＲＧ１３との直列回路の他端と、等価容量ＣＧ１４と等価抵抗ＲＧ１４との直列回路の他端と、リレーＲＬ５１の一端と、リレーＲＬ５２の一端との接続点の電圧を電圧Ｌとする。
【００９９】
また、リレー回路ＲＬ５がオンのとき、リレーＲＬ５０はオン、リレーＲＬ５１はオフ、リレーＲＬ５２はオンとする。
さらに、リレー回路ＲＬ５がオフのとき、リレーＲＬ５０はオフ、リレーＲＬ５１はオン、リレーＲＬ５２はオフとする。
【０１００】
このように構成される図３の実施例の動作を説明する。
まず、電流測定入力Ｉｉｎを選択する場合は、リレー回路ＲＬ４をオン、リレー回路ＲＬ５をオフとする。即ち、リレーＲ４０をオン、リレーＲ４１をオフ、リレーＲ４２をオン、リレーＲ５０をオフ、リレーＲ５１をオン、リレーＲ５２をオフとする。
【０１０１】
このとき、電圧Ｊは電流測定入力Ｉｉｎとなり、電圧Ｋは電流測定入力Ｉｉｎとなり、電圧Ｌは共通電位Ｇとなる。そして、Ａ／Ｄ変換器４０は、電流測定入力Ｉｉｎのアナログ入力信号をディジタル信号に変換する。
【０１０２】
そして、等価容量ＣＧ１４には電圧測定入力Ｖｉｎが印加される。また、等価容量ＣＧ１３には電圧Ｊが印加される。さらに、等価容量ＣＧ１１、等価容量ＣＧ１２には電圧が印加されない。
【０１０３】
次に、電圧測定入力Ｖｉｎを選択する場合は、リレー回路ＲＬ４をオフ、リレー回路ＲＬ５をオンとする。即ち、リレーＲ４０をオフ、リレーＲ４１をオン、リレーＲ４２をオフ、リレーＲ５０をオン、リレーＲ５１をオフ、リレーＲ５２をオンとする。
【０１０４】
このとき、電圧Ｊは電圧測定入力Ｖｉｎとなり、電圧Ｋは共通電位Ｇとなり、電圧Ｌは電圧測定入力Ｖｉｎとなる。そして、Ａ／Ｄ変換器４０は、電圧測定入力Ｖｉｎのアナログ入力信号をディジタル信号に変換する。
【０１０５】
そして、等価容量ＣＧ１２には電流測定入力Ｉｉｎが印加される。また、等価容量ＣＧ１１には電圧Ｊが印加される。さらに、等価容量ＣＧ１３、等価容量ＣＧ１４には電圧が印加されない。
【０１０６】
また、等価容量ＣＧ１１の充電電流は電圧Ｊ、等価抵抗ＲＧ１１，リレーＲＬ４１、共通電位Ｇの回路を流れ、等価容量ＣＧ１１の放電電流はリレーＲＬ４０、リレーＲＬ４２、等価抵抗ＲＧ１１の回路を流れる。
【０１０７】
また、等価容量ＣＧ１２の充電電流は電流測定入力Ｉｉｎ、等価抵抗ＲＧ１２，リレーＲＬ４１、共通電位Ｇの回路を流れ、等価容量ＣＧ１２の放電電流はリレーＲＬ４２、等価抵抗ＲＧ１２の回路を流れる。
【０１０８】
また、等価容量ＣＧ１３の充電電流は電圧Ｊ、等価抵抗ＲＧ１３，リレーＲＬ５１、共通電位Ｇの回路を流れ、等価容量ＣＧ１３の放電電流はリレーＲＬ５０、リレーＲＬ５２、等価抵抗ＲＧ１３の回路を流れる。
【０１０９】
また、等価容量ＣＧ１４の充電電流は電圧測定入力Ｖｉｎ、等価抵抗ＲＧ１４，リレーＲＬ５１、共通電位Ｇの回路を流れ、等価容量ＣＧ１４の放電電流はリレーＲＬ５２、等価抵抗ＲＧ１４の回路を流れる。
【０１１０】
したがって、Ａ／Ｄ変換器４０には等価容量ＣＧ１１から等価容量ＣＧ１４の充放電に影響を受けない。よって、図３の実施例は、誤差が小さくなる。特に、電圧測定入力Ｖｉｎが高電圧で、電圧測定入力Ｉｉｎが微小電流のときであっても、誤差が小さい測定が可能となる。
【０１１１】
さらに、図３の実施例において、例えば、リレー回路ＲＬ４とリレー回路ＲＬ５とＡ／Ｄ変換器４０とを一体に集積化して形成できる。このように形成すると、入力回路５０は低コスト・簡便となる。
【０１１２】
前述の例において、リレー回路をメカニカルで形成しても同様の作用及び効果があり、リレー回路をソリッドステートで形成しても同様の作用及び効果がある。
【０１１３】
以上のように、本発明は、前述の実施例に限定されることなく、その本質を逸脱しない範囲でさらに多くの変更及び変形を含むものである。
【図面の簡単な説明】
【０１１４】
【図１】本発明のリレー回路を備え、ソリッドステートリレー（ＳＳＲ）のリーク電流を測定する測定回路の一実施例を示す構成図である。
【図２】本発明のリレー回路を備え、ソリッドステートリレー（ＳＳＲ）のリーク電流を測定する測定回路における他の実施例を示す構成図である。
【図３】本発明のリレー回路を備える測定器の入力回路の一実施例を示す構成図である。
【図４】従来のソリッドステートリレー（ＳＳＲ）のリーク電流を測定する測定回路の構成図である。
【符号の説明】
【０１１５】
１０  電圧源
２０  電流計
３０  ソリッドステートリレー（ＳＳＲ）
４０  Ａ／Ｄ変換器
５０  入力回路
ＲＬ１からＲＬ５  リレー回路
ＲＬ１０からＲＬ１２，ＲＬ２０からＲＬ２２，ＲＬ３０からＲＬ３２，ＲＬ４０からＲＬ４２，ＲＬ５０からＲＬ５２  リレー
ＣＧ１からＣＧ１４  等価容量
ＲＧ１からＲＧ１４  等価抵抗
Ｖｉｎ  電圧測定入力
Ｉｉｎ  電流測定入力
Ｇ  共通電位
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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