(57)【要約】【課題】インク流路を形成するためのタンクホルダと流路形成部材との接合がインク流路内に異物を発生することなく確実に少ない工程で行われているインクジェット記録ヘッドを提供する。【解決手段】流路形成部材２２０に、インク流路を形成するための凹部が形成されており、流路形成部材２２０の接合面２２３は、接合されない部分の面よりも凸状態となっており、流路形成部材２２０はレーザー光に対して透過性のある透過樹脂で形成され、タンクホルダ２１０はレーザー光に対して透過性のない非透過樹脂で形成されており、タンクホルダ２１０に流路形成部材２２０が圧接された状態においての流路形成部材２２０側からのインク流路２２４周囲へのレーザー光の照射によって接合面２２３が溶着されてインク流路２２４が形成されている。【選択図】    図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を収容するための液体収納容器が装着される容器保持部材と該容器保持部材に接合された流路形成部材とを有し、接合された前記容器保持部材と前記流路形成部材との間に前記液体収納容器と連通する複数の液体流路が形成されたインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記容器保持部材および前記流路形成部材の少なくとも一方に、各前記液体流路を形成するための凹部が形成されており、
前記容器保持部材の接合面部および前記流路形成部材の接合面部の少なくとも一方の前記接合面部は、該接合面部を有する部材の接合されない部分の面に対して突出した形状を持つ凸部を具えており、
前記流路形成部材はレーザー光に対して透過性がある樹脂で形成され、容器保持部材の少なくとも前記容器保持部材と前記流路形成部材との接合領域には前記レーザー光に対して透過性がない非透過材料が存在し、前記容器保持部材に前記流路形成部材が圧接された状態で、前記流路形成部材側からの前記インク流路の周囲への前記レーザー光の照射により前記非透過材料が発熱して前記容器保持部材の前記接合面部と前記流路形成部材の前記接合面部とが溶着されることにより前記液体流路が形成されているインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
前記流路形成部材を構成する材料は、色材を含有しない変性ポリフェニレンエーテルである請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
前記容器保持部材と前記流路形成部材とが前記凸部をそれぞれ備える請求項１または２に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
前記液体流路は、該液体流路中を液体が流れる方向と垂直な断面の形状が略円形である請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】
前記インクジェット記録ヘッドは、前記液体流路に連通しインクを吐出するための吐出口を備える記録部をさらに有し、前記吐出口の最小径が５μｍ以上１５μｍ未満である請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】
前記吐出口の最小径が５μｍ以上１０μｍ未満である請求項５に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項７】
前記レーザー光が照射されると加熱されて、前記容器保持部材の前記接合面部と前記流路形成部材の前記接合面部とを溶融するレーザー吸収剤を前記接合面部に備える請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項８】
前記容器保持部材を構成する材料は、色材を含有しない変性ポリフェニレンエーテルである請求項７に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項９】
前記容器保持部材が前記非透過材料によって構成されている請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１０】
液体を収容するための液体収納容器が装着される容器保持部材と該容器保持部材に接合する流路形成部材とを有し、接合された前記容器保持部材と前記流路形成部材との間に前記液体収納容器と連通する液体流路が形成されたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
前記容器保持部材および前記流路形成部材の少なくとも一方に、前記液体流路を形成するための凹部が形成されており、前記容器保持部材の接合面部および前記流路形成部材の接合面部の少なくとも一方の前記接合面部に、該接合面部を有する部材の接合されない部分の面に対して突出した形状となっている凸部を備えた前記容器保持部材および前記流路形成部材を準備する準備工程と、
前記容器保持部材と前記流路形成部材との接合領域にレーザー光に対して透過性がない非透過材料が存在する状態で前記容器保持部材と前記流路形成部材とを圧接させる圧接工程と、
前記容器保持部材と前記流路形成部材とが圧接された状態で、前記レーザー光を透過する樹脂で形成された前記流路形成部材の側から前記液体流路の周囲にレーザー光が照射されて、前記非透過材料が加熱されることによって前記容器保持部材の前記接合面部と前記流路形成部材の前記接合面部とが溶着されて前記液体流路が形成される溶着工程と、を含むことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項１１】
前記流路形成部材を構成する材料は、色材を含有しない変性ポリフェニレンエーテルである請求項１０に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項１２】
前記容器保持部材と前記流路形成部材とがそれぞれ前記凸部を備える請求項１０または１１に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項１３】
前記液体流路は、該液体流路中を液体が流れる方向と垂直な断面の形状が略円形である請求項１０から１１のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項１４】
前記インクジェット記録ヘッドは、前記液体流路に連通しインクを吐出するための吐出口を備える記録部をさらに有し、前記吐出口の最小径が５μｍ以上１５μｍ未満である請求項１０から１３のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項１５】
前記吐出口の最大径が５μｍ以上１０μｍ未満である請求項１４に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項１６】
前記レーザー光が照射されると加熱されて、前記容器保持部材の前記接合面部と前記流路形成部材の前記接合面部とを溶融するレーザー吸収剤を前記接合面部に備える請求項１０から１５のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項１７】
前記容器保持部材を構成する材料は、色材を含有しない変性ポリフェニレンエーテルである請求項１０から１６のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項１８】
前記容器保持部材が前記非透過材料によって構成されている請求項１０から１５のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項１９】
前記準備工程では、前記凸部は該凸部の前記接合面部が接合されない部分の面よりも粗い表面である請求項１０から１８のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクを吐出して記録を行うインクジェット記録装置のインクジェット記録ヘッド及び該インクジェット記録ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１７に従来のインクジェット記録ヘッドの構成を説明するための分解斜視図を、図１８にインクジェット記録ヘッドにインクタンクが装着された記録ヘッドカートリッジの横断面図を示し、図１９（ａ）から（ｃ）にインク流路の形成工程を説明する模式的断面拡大図を示す。
【０００３】
図１７、図１８で示すインクジェット記録ヘッド１０２０において、従来は、インクタンク１０４０のインクをタンクホルダ１２１０経由で記録素子ユニット１３００に導くためのインク流路１２１４を形成するために、タンクホルダ１２１０に流路形成部材１２２０を超音波溶着により接合してタンクホルダユニット１２００を組立てる方法が用いられていた。
【０００４】
図１８に示されるように、インクタンク１０４０がインクジェット記録ヘッド１０２０に装着された状態で、インクタンク１０４０のインク供給口１４０１よりフィルタ１２３０、シールゴム１２４０を備えたジョイント部を介してインクがインクジェット記録ヘッド１０２０内に供給される。インクはインク流路１２１４を通って記録素子ユニット１３００の記録素子基板１３３０へ供給されてシリコン基板内のエネルギー素子(不図示)の発生するエネルギーにより記録用紙（不図示）に吐出される。
【０００５】
このときインク流路１２１４は、タンクホルダ１２１０に流路形成部材１２２０が超音波溶着により接合されて形成されていた。図１９を参照して組立ての工程を説明すると、図１９（ａ）に示されるようにタンクホルダ１２１０には、接合部にバリ溜め１２１８としての溝が設けられ、流路形成部材１２２０には、接合部に溶着リブ１２２７が設けられている。図１９（ｂ）に示されるようにバリ溜め１２１８の溝に溶着リブ１２２７がはまり込むように、タンクホルダ１２１０の上に流路形成部材１２２０を載せてさらに上から超音波溶着ホーン１０５４で押さえ、圧力を加えながら超音波を発振させる。それによって、図１９（ｃ）に示すように溶着リブ１２２７は溶けながらバリ溜め１２１８の中で拡がり、タンクホルダ１２１０と流路形成部材１２２０を強固に接合することでインク流路１２２４が形成される。
【０００６】
なお、図１７，１８中で、符号１３１０は第１のプレートを示し、符号１３１１は第１のプレートに設けられたインク供給口を示し、符号１３２０は第２のプレート、符号１３３０は記録素子基板、符号１３３７は記録素子基板に設けられた吐出口を示し、符号１３４０は電気配線基板を示し、符号１３４１はインクジェット記録ヘッドをインクジェット記録装置に電気的に接続するための外部信号入力端子を示している。第１のプレート１３１１は流路形成部材１２２０に接合され、記録素子基板１３３０及び第２のプレート１３２０を支持する。第２プレート１３２０は電気配線基板１３４０を支持する。これらの部材により記録素子ユニット１３００が構成される。
【特許文献１】特開平８−１８３１８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
以上に説明した方法は、低コスト且つ短時間で確実に気密性のあるインク流路を形成する手段としては合理的な方法である。しかしながら、上述の従来の技術においては、溶着リブ１２２７から超音波振動で溶けて出た溶着バリ１２２９がバリ溜め１２１８からインク流路１２２４にはみ出してしまい、樹脂の細かい粒がちぎれてゴミとなって記録素子基板１３３０のインクの吐出口１３３７に詰まることによってインクの吐出不良を引き起こし、その結果インクジェット記録ヘッド１０２０の信頼性を低下させるおそれがある。
【０００８】
この樹脂の溶着バリ１２２９によるゴミを無くすために、後の洗浄工程でインク流路１２２４を洗浄するのであるが、バリ溜め１２１８は溶着バリ１２２９ですべてが埋まるのではなく、わずかな隙間が残って洗浄水を流すときに澱み部となり、洗浄水の洗浄圧力も及びにくくて完全に洗い流すために非常に長い時間が必要となり、組立ての時間が短縮できずにコストを上げる要因となった。
【０００９】
また、流路形成部材１２２０には超音波溶着リブ１２２７の凸部を設け、タンクホルダ１２１０にはバリ溜め１２１８としての凹部を設けるため、隣接するインク流路の間の隙間を約１．５ｍｍ以上設けたりさせねばならなかった。その結果、高密度にインク流路を配置することができないためにインクジェット記録ヘッドの小型化が困難であるといった不都合を生じていた。
【００１０】
一方、特許文献１においては、複数の吐出口および複数の液流路を有する樹脂製天板と吐出エネルギーを発生する基板とをレーザー光の照射によって溶着することで一体化する技術が開示されており、従来の樹脂製天板を弾性部材によって基板に押圧して一体化する方法で発生していた、樹脂製天板に歪が発生して液流路や吐出口が変形して液吐出性能が損なわれるといった不具合を防いでいる。
【００１１】
ただし、この樹脂製天板を基板に確実に溶着するには、予め基板上の溶着表面に樹脂膜を設けておく必要があり、このための樹脂膜付着工程を基板製造工程の中に設けることで、基板のコストアップになっていた。
【００１２】
本発明の目的は、インク流路（以下、"液体流路"とも言う。）を形成するためのタンクホルダ（以下、"容器保持部材"とも言う。）と流路形成部材との接合がインク流路内に異物を発生することなく、短い流路間の間隔で確実に少ない工程で行われているインクジェット記録ヘッドを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明のインクジェット記録ヘッドは、液体を収容するための液体収納容器が装着される容器保持部材とその容器保持部材に接合する流路形成部材を有し、接合された容器保持部材と流路形成部材の間に液体収納容器に繋がる液体流路が形成されている。さらに、容器保持部材および流路形成部材の少なくとも一方に、液体流路を形成するための凹部が形成されており、前記容器保持部材の接合面部および前記流路形成部材の接合面部の少なくとも一方の前記接合面部は、該接合面部を有する部材の接合されない部分の面に対して突出した形状を持つ凸部を備えていることを特徴とする。また、前記流路形成部材はレーザー光に対して透過性がある樹脂で形成され、少なくとも前記容器保持部材と前記流路形成部材との接合領域には前記レーザー光に対して透過性がない非透過材料が存在しており、前記容器保持部材と前記流路形成部材とが圧接された状態で、前記流路形成部材側からの前記インク流路の周囲への前記レーザー光の照射により前記非透過材料が発熱して前記容器保持部材の前記接合面部と前記流路形成部材の前記接合面部とが溶着されて前記液体流路が形成されていることを特徴とする。
【００１４】
また、本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、液体を収容するための液体収納容器が装着される容器保持部材と該容器保持部材に接合する流路形成部材とを有し、接合された前記容器保持部材と前記流路形成部材との間に前記液体収納容器と連通する液体流路が形成されたインクジェット記録ヘッドの製造方法である。その特徴は、前記容器保持部材および前記流路形成部材の少なくとも一方に、前記液体流路を形成するための凹部が形成されており、前記容器保持部材の接合面部および前記流路形成部材の接合面部の少なくとも一方の前記接合面部に、該接合面部を有する部材の接合されない部分の面に対して突出した形状となっている凸部を備えた前記容器保持部材および前記流路形成部材を準備する準備工程と、少なくとも前記容器保持部材と前記流路形成部材との接合領域に前記レーザー光に対して透過性がない非透過性材料が存在する状態で前記容器保持部材と前記流路形成部材とを圧接させる圧接工程と、前記容器保持部材と前記流路形成部材が圧接された状態で、前記レーザー光に対して透過性がある樹脂で形成された前記流路形成部材の側から前記インク流路の周囲にレーザー光が照射されることにより、前記非透過材料が加熱され、この加熱により前記容器保持部材の前記接合面部と前記流路形成部材の前記接合面部とが溶着されて前記液体流路が形成される溶着工程と、を含むことを特徴としている。
【００１５】
容器保持部材および流路形成部材の液体流路が形成される部位周囲の接合面のうち、少なくとも一つの面は接合されない部分の面よりも突出した形状となっており、流路形成部材はレーザー光に対して透過性のある透過樹脂で形成され、容器保持部材の少なくとも接合面領域にはレーザー光に対して透過性のない非透過材料が存在しており、容器保持部材に流路形成部材が圧接された状態においての、流路形成部材側から液体流路周囲へのレーザー光の照射によって接合面が溶着されて液体流路が形成されているので、簡単かつ低コストな方法で、容器保持部材や流路形成部材を構成する樹脂材料のごみの発生がなく、液体流路内に澱み部がなく、かつ液体流路の高密度な配置設計が可能なインクジェット記録ヘッドとなる。
【発明の効果】
【００１６】
以上説明したように本発明によれば、簡単かつ低コストな方法で、タンクホルダや流路形成部材を構成する樹脂材料のごみの発生がなく、インク流路内に澱み部がなく、かつインク流路の高密度な配置設計が可能なインクジェット記録ヘッドが形成できるという効果がある。
【００１７】
これは、タンクホルダおよび流路形成部材のインク流路が形成される部位周囲の接合面の、少なくとも一つの面は接合されない部分の面よりも凸状態となっており、流路形成部材はレーザー光に対して透過性がある透過樹脂で形成され、タンクホルダの少なくとも接合面領域にはこのレーザー光に対して透過性のない非透過材料が存在しており、タンクホルダに流路形成部材が圧接された状態においての、流路形成部材側からインク流路周囲へのレーザー光の照射によってこの非透過材料が発熱して、タンクホルダおよび流路形成部材の接合面部が溶着されてインク流路が形成されるからである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
次に、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明の第１の実施の形態のインクジェット記録ヘッドのタンクホルダに流路形成部材を取り付ける工程を示す斜視図であり、図２は本発明の第１の実施の形態のインクジェット記録ヘッドの流路形成部材を取り付けたタンクホルダにレーザー光を照射する工程を示す模式的斜視図であり、図３は図１および図２の模式的側面図であり、図３（ａ）は図１に対応し、図３（ｂ）は図２に対応する。図４は本発明の第１の実施の形態のインクジェット記録ヘッドのタンクホルダに流路形成部材を接合する工程を示す模式的側面部分断面図であり、図４（ａ）は接合前のタンクホルダと流路形成部材の相対関係、図４（ｂ）はタンクホルダに流路形成部材を接触させてレーザー光を照射している状態、図４（ｃ）は接着状態を示す。
【００１９】
先ず、本発明の第１の実施の形態のインクジェット記録ヘッドの構成、ならびに関連する記録ヘッドカートリッジ、インクタンク、インクジェット記録装置本体、キャリッジとの関係を説明する。図５〜図９はそのための説明図であり、図５は記録ヘッドカートリッジの斜視図であり、図５（ａ）は組立て状態、図５（ｂ）はインクタンクを取り外した状態、図６はインクジェット記録ヘッドのタンクホルダユニットと記録素子ユニットの斜視図であり、図７はインクジェット記録ヘッドの模式的分解斜視図、図８は記録素子ユニットを構成する記録素子基板の模式的一部切断斜視図、図９はインクジェット記録ヘッドとインクタンクの関係を示す模式的斜視図である。以下、これらの図面を参照して各部の構成について説明する。
【００２０】
本発明のインクジェット記録ヘッド２０は、図５（ａ）および図５（ｂ）の斜視図でわかるように、記録ヘッドカートリッジ１０を構成する一構成要素であり、記録ヘッドカートリッジ１０は、インクジェット記録ヘッド２０とインクジェット記録ヘッド２０に着脱自在に設けられた液体収納容器であるインクタンク４０（４１、４２、４３、４４、４５、４６）とで構成されている。この記録ヘッドカートリッジ１０は、不図示のインクジェット記録装置本体に載置されているキャリッジの位置決め手段および電気的接点によって固定支持されるとともに、そのキャリッジに対して着脱可能となっている。インクタンク４１はブラックのインク用、インクタンク４２はライトシアンのインク用、インクタンク４３はライトマゼンタのインク用、インクタンク４４はシアンのインク用、インクタンク４５はマゼンタのインク用、インクタンク４６はイエローのインク用である。このようにインクタンク４１，４２，４３，４４，４５，４６のそれぞれがインクジェット記録ヘッド２０に対して着脱自在となり、それぞれのインクタンクが交換可能となっていることにより、インクジェット記録装置における印刷のランニングコストが低減される。図５から図９に示される記録ヘッドカートリッジ、インクジェット記録ヘッド、インクタンク、インクジェット記録装置本体、キャリッジは、本発明の成立段階において成された数々の新規の技術が適用された構成となっているので、これらの構成を簡単に説明しながら全体を説明する。
【００２１】
（１）インクジェット記録ヘッドの説明
インクジェット記録ヘッド２０は、電気信号に応じて膜沸騰をインクに対して生じせしめるための熱エネルギーを生成する電気熱変換体を用いて記録を行うバブルジェット方式のサイドシュータ型とされるインクジェット記録ヘッドである。
【００２２】
インクジェット記録ヘッド２０は、図６の分解斜視図に示すように、記録素子ユニット３００とタンクホルダユニット２００とから構成される。さらに、図７の分解斜視図に示すように、記録素子ユニット３００は、記録素子基板３３０、第１のプレート３１０、電気配線基板３４０、第２のプレート３２０で構成されており、また、タンクホルダユニット２００は、容器保持部材であるタンクホルダ２１０、流路形成部材２２０、フィルタ２３０、シールゴム２４０から構成されている。
【００２３】
（１−１）記録素子ユニット
図８は、記録素子基板３３０の構成を説明するために一部を切断した斜視図である。記録素子基板３３０は、例えば、厚さ０．５〜１ｍｍのシリコン基板３３１で薄膜が形成されている。また、６色のインクの流路として長溝状の貫通口からなるインク供給口３３２が６列形成され、各々のインク供給口３３２の両側に電気熱変換素子３３３がそれぞれ１列ずつ千鳥状に配列されており、電気熱変換素子３３３と、電気熱変換素子３３３に電力を供給するＡｌ等の電気配線は成膜技術により形成されている。また、電気配線に電力を供給するための電極部３３４には、Ａｕ等のバンプ３３５が設けられている。インク供給口３３２の形成には、シリコン基板３３１の結晶方位を利用して、異方性エッチングを行う。ウエーハ面に＜１００＞、厚さ方向に＜１１１＞の結晶方位を持つ場合、アルカリ系（ＫＯＨ、ＴＭＡＨ、ヒトラジン等）の異方性エッチングにより、約５４．７度の角度でエッチングが進行する。この方法を用いて、所望の深さにエッチングする。また、シリコン基板３３１上には、電気熱変換素子３３３に対応したインク流路を形成するためのインク流路壁３３６と吐出口３３７とがフォトリソグラフィー技術により形成され、６色のインクに対応した６列の吐出口列３３８が形成されている。また、吐出口３３７に対向するように電気熱変換素子３３３が設けられており、インク供給口３３２から供給されたインクを電気熱変換素子３３３により気泡を発生させてインクを吐出させる。
【００２４】
第１のプレート３１０は、例えば、厚さ０．５〜１０ｍｍのアルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）材料で形成されている。なお、第１のプレートの素材は、アルミナに限られることなく、記録素子基板３３０の材料の線膨張率と同等の線膨張率を有し、かつ、記録素子基板３３０材料の熱伝導率と同等もしくは同等以上の熱伝導率を有する材料で作られてもよい。第１のプレート３１０の素材は、例えば、シリコン（Ｓｉ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ2 ）、窒化珪素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）、炭化珪素（ＳｉＣ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）のうちいずれであってもよい。第１のプレート３１０には、記録素子基板３３０に６色のインクを供給するための６つのインク供給口３１１が形成されており、記録素子基板３３０の６つのインク供給口３３２が第１のプレート３１０の６つのインク供給口３１１にそれぞれ対応し、かつ、記録素子基板３３０は第１のプレート３１０に対して位置精度良く接着固定される。接着に用いられる第１の接着剤は第１のプレート３１０上にほぼ記録素子基板の形状で、しかも、隣り合うインク供給口間にエアーパスが発生しないように塗布される。その第１の接着剤は、例えば、粘度が低く、接触面に形成される接着層が薄く、かつ、硬化後、比較的高い硬度を有し、かつ、耐インク性のあるものが望ましい。その第１の接着剤は、例えば、エポキシ樹脂を主成分とした熱硬化接着剤であり、接着層の厚みは５０μｍ以下が望ましい。
【００２５】
電気配線基板３４０は、記録素子基板３３０に対してインクを吐出するための信号電圧を印加するものであり、記録素子基板３３０を組み込むための開口部と、記録素子基板３３０の電極部３３４に対応する電極端子（不図示）と、この配線端部に位置し本体装置からの電気信号を受け取るための外部信号入力端子３４１を有している。電気配線基板３４０と記録素子基板３３０は、電気的に接続されており、接続方法は、例えば、記録素子基板３３０の電極部３３４と電気配線基板３４０の電極端子間に熱硬化接着樹脂を塗布後、記録素子基板３３０の電極部３３４と電気配線基板３４０の電極端子をヒートツールにて一括で加熱とともに加圧して、熱硬化接着樹脂を硬化させることにより、電極部３３４と電極端子は電気的に一括接続される。また、熱硬化接着樹脂としては、導電粒子を含んだ異方性導電接着剤を用いた場合でも同様に可能である。電気配線基板３４０の素材としては、例えば、配線が二層構造のフレキシブル配線基板が使用され、表層はレジストフィルムで覆われている。また、外部信号入力端子３４１の裏面側には、補強板が接着され、外部信号入力端子３４１部の平面性を向上させている。補強板の素材としては、例えば板厚０．５〜２ｍｍのガラスエポキシ、アルミニウム等の耐熱性のある材料が使用される。
【００２６】
第２のプレート３２０は、例えば、厚さ０．５〜１ｍｍのアルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）材料で形成されている。なお、第２のプレートの素材は、アルミナに限られることなく、記録素子基板３３０および第１のプレート３１０と同等の線膨張率を有し、かつ、それらの熱伝導率と同等もしくは同等以上の熱伝導率を有する材料で作られてもよい。そして、第２のプレート３２０は、第１のプレート３１０に接着固定された記録素子基板３３０の外形寸法よりも大きな開口部を有する形状となっている。また、記録素子基板３３０と電気配線基板３４０を平面的に電気接続できるように第１のプレート３１０に第２の接着剤により接着されており、電気配線基板３４０の裏面が第３の接着剤により接着固定される。また、電気配線基板３４０は、第２のプレート３２０に接着されると同時に、第１のプレート３１０および第２のプレート３２０の一側面で折り曲げられ、第１のプレート３１０の側面に第３の接着剤で接着される。第２の接着剤は、例えば、粘度が低く、接触面に形成される接着層が薄く、かつ、耐インク性のあるものが使用される。また、第３の接着剤は、例えば、エポキシ樹脂を主成分とした厚さ１０〜１００μｍの熱硬化接着膜が使用される。
【００２７】
以上のように構成された記録素子ユニット３００の記録素子基板３３０と電気配線基板３４０の電気接続部分は、第１の封止剤および第２の封止剤により封止され、電気接続部分をインクによる腐食や外的衝撃から保護している。第１の封止剤は、主に記録素子基板３３０の外周部分を封止し、第２の封止剤は、電気配線基板３４０の開口部のエッジを封止している。また、折り曲げられた電気配線基板３４０は、タンクホルダユニット２００の形状に合わせて、さらに、フォーミングされる。
【００２８】
（１−２）タンクホルダユニット
タンクホルダ２１０は、例えば、樹脂成形により形成される。その樹脂材料には、形状的剛性を向上させるためにガラスフィラーを５〜４０％混入した樹脂材料を使用することが望ましい。タンクホルダ２１０は、着脱自在のインクタンク４０を保持するものであり、インクタンク４０のタンク位置決めピン、第１の爪、第２の爪、第３の爪をそれぞれ係合するタンク位置決め穴、第１の穴、第２の穴、第３の穴、および、インク残量検知に使用するプリズムのための開口部を有している。また、記録ヘッドカートリッジ１０をインクジェット記録装置本体のキャリッジの装着位置に案内するための装着ガイド、記録ヘッドカートリッジ１０をヘッドセットレバーによりキャリッジに装着固定するための係合部、およびキャリッジの所定の装着位置に位置決めするためのＸ突き当て部、Ｙ突き当て部、Ｚ突き当て部を備えている。また、記録素子ユニット３００の外部信号入力端子３４１部分を位置決め固定する端子固定部を有し、端子固定部およびその周囲には複数のリブが設けられ、端子固定部を有する面の剛性を高めている。また、各インクタンク４１、４２、４３、４４、４５、４６が装着される各色の間の部分には、各色の混色を防止する色間リブが設けられている。また、タンクホルダ２１０の側面には、手掛かり部が設けられ、インクジェット記録ヘッド２０のハンドリング性を向上させている。また、図７に示すように、タンクホルダ２１０は、インクタンク４０から記録素子ユニット３００にインクを導くためのインク流路２１４を形成するタンクホルダユニット２００の一構成部品であり、従来は流路形成部材２２０を超音波溶着することによりインク流路２１４を形成している。また、インクタンク４０と係合するジョイント部には、外部からのゴミの進入を防ぐためのフィルタ２３０が熱溶着により接合されており、さらに、ジョイント部からのインクの蒸発を防止するために、シールゴム２４０が装着されている。
【００２９】
（１−３）記録素子ユニットとタンクホルダユニットの結合
インクジェット記録ヘッド２０は、図６に示した通り、記録素子ユニット３００をタンクホルダユニット２００に結合することにより完成する。結合は以下のように行われる。記録素子ユニット３００のインク供給口（第１のプレート３１０のインク供給口３１１）とタンクホルダユニット２００のインク供給口（流路形成部材２２０のインク流路２２４）を連通させるように第４の接着剤を塗布し、接着固定する。また、インク供給口部分以外にも記録素子ユニット３００とタンクホルダユニット２００の接する部分を数ヶ所、第５の接着剤で接着固定している。第４の接着剤と第５の接着剤は、耐インク性があり、かつ、常温で硬化し、かつ、異種材料間の線膨張差に耐えられる柔軟性のある接着剤が望ましく、本実施の形態においては、例えば、吸湿硬化型のシリコン接着剤を使用している。また、第４の接着樹脂と第５の接着樹脂は、同一の接着剤でも構わない。また、記録素子ユニット３００をタンクホルダユニット２００に第４の接着剤と第５の接着剤で接着する際に、記録素子ユニット３００を第６の接着剤で位置決め固定する。その第６の接着剤は、瞬時に硬化する接着剤が望ましく、本実施の形態においては、例えば、紫外線硬化接着剤を使用しているが、他の接着剤でも構わない。
【００３０】
記録素子ユニット３００の外部信号入力端子３４１部分はタンクホルダ２１０の一側面に、端子位置決めピン（２ヶ所）と端子位置決め穴（２ヶ所）により位置決めされて固定される。固定方法は、例えば、タンクホルダ２１０に設けられた端子結合ピンと、電気配線基板３４０の外部信号入力端子３４１周辺に設けられた端子結合穴をはめ合わせ、端子結合ピンを熱溶着することで固定しているが、その他の固定手段を用いてもよい。
【００３１】
（２）記録ヘッドカートリッジの説明
記録ヘッドカートリッジ１０を構成するインクジェット記録ヘッド２０とインクタンク４１、４２、４３、４４、４５、４６との装着を説明する図９を参照すると、インクタンク４１、４２、４３、４４、４５、４６の内部には、それぞれ対応する色のインクが収納されている。また、それぞれのインクタンク４０には、インクタンク内のインクをインクジェット記録ヘッド２０に供給するためのインク供給口４０１が形成されている。例えばインクタンク４１にはインク供給口４０１が形成されており、インクタンク４１がインクジェット記録ヘッド２０に装着された状態で、インクタンク４１内のブラックのインクがインク供給口４０１を介してインクジェット記録ヘッド２０に供給される。
【００３２】
また、記録ヘッドカートリッジ１０の断面図である図１０を参照すると、箱状のインクジェット記録ヘッド２０の下面の一側部側に記録素子基板３３０が設けられている。また、インクジェット記録ヘッド２０には、先述のようにジョイント部が設けられており、そのジョイント部には、記録素子基板３３０に向かって延びるインク流路２１４が形成されている。このような記録ヘッドカートリッジ１０におけるインクの流れとして、ブラックのインク用のインクタンク４１を例にとって説明する。インクタンク４１内のインクはインクタンク４１のインク供給口４０１およびジョイント部を介してインクジェット記録ヘッド２０内に供給される。インクジェット記録ヘッド２０内に供給されたインクはタンクホルダ２１０内のインク流路２１４と流路形成部材２２０内のインク流路２２４を通って記録素子ユニット３００の第１のプレート３１０に供給され、さらに、第１のプレート３１０から記録素子基板３３０のインク供給口３３２に供給され、さらに、記録素子基板３３０の電気熱変換素子３３３と吐出口３３７のある発泡室に供給される。発泡室に供給されたインクは、電気熱変換素子３３３によって与えられる熱エネルギーによって被記録媒体である記録用紙に向けて吐出口３３７から吐出される。
【００３３】
（第１の実施の形態）
次に本発明の第１の実施の形態のインクジェット記録ヘッドの構成と特徴について図１〜図４を参照して説明する。本発明の第１の実施の形態の上述のような構成のインクジェット記録ヘッド２０は、インク流路２２４を形成するための流路形成部材２２０とタンクホルダ２１０の接合面領域に、レーザー光に対して透過性のない非透過材料が配置されるようにするために、タンクホルダ２１０自体がレーザー光を吸収する染料または顔料を含有する樹脂で成形されており、一方、流路形成部材２２０はこのレーザー光を透過する樹脂で成形されており、流路形成部材２２０の接合面２２３のみが他の接合されない面に対して突出した形状を持つ凸部となっている。また、タンクホルダ２１０および流路形成部材２２０の液体流路が形成される部位周囲の接合面はすべて同一平面状である。
【００３４】
本実施形態では、具体的に流路形成部材に用いた材料は、レーザー光を透過しつつ耐インク性に優れた透明材料である、「ＧＥ  Ｐｌａｓｔｉｃｓ」（ジェネラル・エレクトリック・インターナショナル・インク）（General Electric International Inc.）の透明ノリル「ＴＰＮ９２２１」である。また、タンクホルダの材料としては、黒色ノリル「ＳＥ１Ｘ」を採用した。流路形成部材の材料としては透明ノリル「ＴＮ３００」を使用することも可能である。
なお、ここでノリルとは、変性ポリフェニレンエーテル（Modified Polyphenylene ether）または変性ポリフェニルオキサイド（Modified Polyphenylene oxide）のことである。ノリルは前述のＧＥ社により開発された樹脂であり、耐熱性及び強度を上げるためにポリフェニレンエーテル（ポリフェニレンオキサイド）を変性させたものであり、熱可塑性樹脂に属し、酸・アルカリに強い耐性を持つ特徴を有する。前述の透明ノリルは、色材を含まないノリルである。
【００３５】
第１の実施の形態では、インク流路２２４は流路形成部材２２０に形成され、その断面形状は接合された状態でタンクホルダ２１０を１辺とするほぼ長方形の構成となっている。
【００３６】
本発明の第１の実施の形態のインクジェット記録ヘッドは、上述のインクジェット記録ヘッドにおいて、図１、図３（ａ）、図４（ａ）で示すように、流路形成部材２２０を矢印の方向にタンクホルダ２１０に装着した後に、図３（ｂ）、図４（ｂ）で示すようにレーザー光に対して透過性を有する押さえ治具５３で流路形成部材２２０を押さえて接合面を密着させた後に、図２、図３（ｂ）、図４（ｂ）で示すようにレーザー照射機５１からレーザー光を照射することで、タンクホルダ２１０を形成する樹脂モールド内に含有されるレーザー光を吸収する染料または顔料が発熱して樹脂が溶融し、そのときの発熱により流路形成部材２２０も発熱溶融することで、図４（ｃ）で示すように、インク流路２２４の周囲の接合面２２３は溶着接合する。なお、図３（ａ），（ｂ）中のホルダ受け台５２は、タンクホルダに流路形成部材を溶着する際にタンクホルダ２１０を支持する台である。
【００３７】
ここで、流路形成部材２２０は、接合面のみが他の接合されない面よりも凸形状となっているために密着性が向上し、発熱したタンクホルダ２１０の樹脂の溶融熱が効率よく流路形成部材２２０のモールド樹脂に伝達してお互い溶融しあって結合することが可能となる。タンクホルダ２１０と流路形成部材２２４との溶着面には融け部２２８を生ずるが、インク流路２２４に従来例のような大きな溶着バリが発生することはない。
【００３８】
また、タンクホルダ２１０および流路形成部材２２０の液体流路が形成される部位周囲の接合面は全て同一平面状であるため、レーザー光の光源と接合面部との距離を一定に合わせれば、液体流路の周囲を全て溶着することができ、製造コストを下げることができる。
【００３９】
本実施形態では、上述した通り、流路形成部材の材料として前述の透明ノリルを用いが、他の耐インク性のある樹脂、例えばPPS（Polyphenylenesulfide）材料を用いた場合にはレーザー光を十分には透過せずタンクホルダと流路形成部材との溶着部の接合強度が不十分であったり、流路形成部材として十分な機械的強度が得られなかったりした。また、他のレーザー光透過性の高いグレードを有するABS樹脂やポリカーボネートなど、つまりレーザー溶着に適した多くの樹脂は逆に耐インク性に劣るものが多く、流路形成部材の材料としては不十分であった。
【００４０】
これに対して、流路形成部材の材料として前述の透明ノリルを用いた場合には、レーザー光を十分に透過するため、十分に良好な接合強度でタンクホルダと流路形成部材とを溶着することができた上、流路形成部材として十分な機械的強度が得られた。さらに、十分な耐インク性が得られた。
【００４１】
（第２の実施の形態）
次に本発明の第２の実施の形態のインクジェット記録ヘッドの構成とその特徴について図１１を参照して説明する。図１１は本発明の第２の実施の形態のインクジェット記録ヘッドのタンクホルダに流路形成部材を接合する工程を示す模式的側面部分断面図であり、図１１（ａ）は接合前のタンクホルダと流路形成部材の相対関係、図１１（ｂ）はタンクホルダに流路形成部材を接触させてレーザー光を照射している状態、図１１（ｃ）は接着状態を示す。ここで第１の実施の形態と同じ部材については同一の符号を付している。
【００４２】
図１１において、流路形成部材２２０とタンクホルダ２１１とをそれぞれ構成する材料は第１の実施形態と同様である。第１の実施の形態では流路形成部材２２０の接合面２２３のみが他の接合されない面よりも突出した形状を持つ凸部となっていたが、第２の実施の形態ではタンクホルダ２１１および流路形成部材２２０の両方において、それぞれの接合面２１６、２２３が他の接合されない面に対して突出した形状を持つ凸部となっている。
【００４３】
第２の実施の形態でも、インク流路２２４は流路形成部材２２０に形成され、その断面形状は接合された状態でタンクホルダ２１１を１辺とするほぼ長方形の構成となっている。
【００４４】
本発明の第２の実施の形態のインクジェット記録ヘッドは、上述のインクジェット記録ヘッドにおいて、図１１（ａ）で示すように、流路形成部材２２０を矢印の方向にタンクホルダ２１１に装着した後に、図１１（ｂ）で示すようにレーザー光に対して透過性を有する押さえ治具５３で流路形成部材２２０を押さえて接合面を密着させた後に、レーザー照射機５１からレーザー光を照射することで、タンクホルダ２１１を形成する樹脂モールド内に含有されるレーザー光を吸収する染料または顔料が発熱して樹脂が溶融し、そのときの発熱により流路形成部材２２０も発熱溶融することで、図１１（ｃ）で示すように、インク流路２２４の周囲の接合面２１６、２２３は溶着接合する。
【００４５】
ここで、タンクホルダ２１１および流路形成部材２２０は、双方の接合面のみが他の接合されない面よりも凸形状となっているために密着性が向上し、発熱したタンクホルダ２１１の樹脂の溶融熱が効率よく流路形成部材２２０のモールド樹脂に伝達してお互い溶融しあって結合することが可能となる。
【００４６】
（第３の実施の形態）
次に本発明の第３の実施の形態のインクジェット記録ヘッドの構成とその特徴について図１２を参照して説明する。図１２は本発明の第３の実施の形態のインクジェット記録ヘッドのタンクホルダに流路形成部材を接合する工程を示す模式的側面部分断面図であり、図１２（ａ）は接合前のタンクホルダと流路形成部材の相対関係、図１２（ｂ）はタンクホルダに流路形成部材を接触させてレーザー光を照射している状態、図１２（ｃ）は接着状態を示す。ここで第１の実施の形態と同じ部材については同一の符号を付している。
【００４７】
図１２において、流路形成部材２２１とタンクホルダ２１２とをそれぞれ構成する材料は第１及び第２の実施形態と同様である。また、第１に実施の形態と同様に流路形成部材２２１の接合面２２４のみが他の接合されない面よりも突出した形状を持つ凸部となっている。
【００４８】
第１および第２の実施の形態では、インク流路２２４は流路形成部材２２０に形成され、その断面形状は接合された状態でタンクホルダ２１２を１辺とするほぼ長方形であったが、第３の実施の形態では、タンクホルダ２１２と流路形成部材に２２１にそれぞれ半円形状のインク流路２１４、２２５が形成され、接合された状態で断面が円形のインク流路２１５が構成され、接合面２２３を中心面として対称断面形状であることを特徴としている。
【００４９】
図１２（ａ）で示すように流路形成部材２２１を矢印の方向にタンクホルダ２１２に装着した後に、図１２（ｂ）で示すようにレーザー光に対して透過性を有する押さえ治具５３で流路形成部材２２１を押さえて接合面を密着させた後にレーザー照射機５１からレーザー光を照射することで、タンクホルダ２１２を形成する樹脂モールド内に含有されるレーザー光を吸収する染料または顔料が発熱して樹脂が溶融し、そのときの発熱により流路形成部材２２１も発熱溶融することで、図１２（ｃ）で示すようにインク流路２１５の周囲の接合面は溶着接合する。
【００５０】
ここで、流路形成部材２２１の接合面のみが他の接合されない面よりも凸形状となっているために、タンクホルダ２１２および流路形成部材２２１との密着性が向上し、発熱したタンクホルダ２１２の樹脂の溶融熱が効率よく流路形成部材２２１のモールド樹脂に伝達してお互い溶融しあって結合することが可能となる。
【００５１】
また、タンクホルダ２１２と流路形成部材２２１に形成されるインク流路の断面形状はともに半円形状であり、接合面を中心面として対称断面形状であるので、でき上がったインク流路の断面形状はほぼ円形状をしており、澱み部のないインク流路２１５の形成が可能となる。
【００５２】
従来の超音波溶着により組立てたタンクホルダユニットと本実施形態のレーザー溶着により組立てたタンクホルダユニットとを各々のインク流路内を樹脂で固めて切断、研磨して、各々のインク流路断面を観察した。その顕微鏡写真をそれぞれ図１３（ａ）及び図１３（ｂ）に示す。
【００５３】
図１３（ａ）は、従来手法の超音波溶着により形成したタンクホルダユニットのインク流路の断面である。
【００５４】
従来手法の実施例では、超音波溶着性を考慮して、流路形成部材とタンクホルダとを同じ樹脂材料で、耐インク性に優れた材料として、「ＧＥ  Ｐｌａｓｔｉｃｓ」（ジェネラル・エレクトリック・インターナショナル・インク）（General  Electric  International  Inc.）の黒色ノリル「ＰＣＮ２９１０」を採用している。
【００５５】
図１３（ａ）の断面写真からも判るように、溶着時の超音波振動により、先の尖ったトゲ状の溶着バリ１２２９が発生しており、一部、プラスチックに添加されている直径φ１３μｍのガラスフィラーも突出して脱落しかかっているのが観察される。
【００５６】
これは、流路形成部材１２２０がタンクホルダ１２１０に溶着される際に、超音波振動により両部材が擦れあい、接触部に摩擦熱にて溶けた樹脂や樹脂中に含有されるガラスフィラー等が散乱するためである。
【００５７】
また、超音波溶着では、多くの溶着バリ１２２９が発生するために、この溶着バリがインク流路１２２４に大きくはみ出さないように、広くバリ溜め部１２１８を設ける必要があり、これがインク澱み部となっており、これら超音波溶着時に発生するゴミが澱みやすく、後の洗浄工程でも、非常に除去しにくくなっている。
【００５８】
図１３（ｂ）は、本実施例のレーザー溶着を用いて流路形成部材２２１をタンクホルダ２１２に溶着して形成したタンクホルダユニットをインク流路２１４内を液体が流れる方向に垂直な方向に切断した断面写真である。
【００５９】
レーザー溶着でもわずかではあるがレーザー溶着される場合でも、インク流路形成部材２２１がタンクホルダに押圧されるだけなので、溶着バリ２２９は接合面から突出する小さく丸い凸形状であり、インク流路２１４の断面形状は略円形である。このように小さく丸い凸形状である溶着バリ２２９は容易に脱落するものではないので、組立て時に発生するゴミを大幅に低減することが出来る。
【００６０】
そして、レーザー溶着によるインク流路形成では発生する溶着バリの量も少ないので、超音波溶着による組立てでは必須だったインク澱み部となるバリ溜めを無くすことが可能である。
【００６１】
レーザー溶着により形成したタンクホルダユニットが、従来の超音波溶着により形成したタンクホルダユニットよりも発生するゴミが小さく且つ少なくなる効果を検証するために、超音波溶着、レーザー溶着によりそれぞれ組立てたタンクホルダユニットのインク流路をPH１１．０のアルカリ洗浄水で洗浄して、洗浄排水中のゴミを、リオン社の液中パーテイクルカウンタで観察した。図１４には液中パーテイクル測定装置の概念図を示す。
【００６２】
ゴミの個数の測定は、毎分約４．５リットル流れる洗浄排水を、洗浄治具の排水ホースから分岐した一部分（２５ｃｃ/ｍｉｎ）を液中パーテイクルカウンタに導入して、洗浄開始から1分間、時間軸３秒ごとに１秒間中のゴミの個数を検知している。
【００６３】
表１では、図１３（ａ）に示した超音波溶着により形成したタンクホルダユニットと、図１３（ｂ）に示した本実施例のレーザー溶着により形成したタンクホルダユニットでの発生したゴミの個数を合計値で比較している。
【００６４】
【表１】
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【００６５】
レーザー溶着では、超音波溶着よりも５μｍ未満のゴミの個数が約１０％少なかった。また、レーザー溶着では、５μｍ以上のサイズでは全く無かったのに対し、超音波溶着では５μｍ以上１５μｍ未満のサイズのゴミが確認された。
【００６６】
これより、レーザー溶着によりタンクホルダユニットを組立てることで、従来の超音波溶着工程で組立てたものよりもゴミの発生を少なく出来ることがわかる。
【００６７】
一方、近年、高品位のインクジェット記録を行うための一つの手法として、記録ヘッドから吐出される液滴の体積を小さくするために、インクを吐出するための吐出口の面積を小さくする傾向がある。しかし、吐出口の最小径が小さくなればなるほど、インク流路内のゴミにより吐出口が詰まることによる吐出不良が発生し易くなる。したがって、上述の実験結果によれば、本発明のレーザー溶着による液体流路の形成は、吐出口の最小径が５μｍ以上１５μｍ未満の記録ヘッド、特には吐出口の最小径が５μｍ以上１０μｍ未満の記録ヘッドを用いる場合により好適に利用できることがわかる。
（第４の実施の形態）
次に本発明の第４の実施の形態のインクジェット記録ヘッドの構成とその特徴について図１５を参照して説明する。図１５は本発明の第４の実施の形態のインクジェット記録ヘッドのタンクホルダに流路形成部材を接合する工程を示す模式的側面部分断面図であり、図１５（ａ）は接合前のタンクホルダと流路形成部材の相対関係、図１５（ｂ）はタンクホルダに流路形成部材を接触させてレーザー光を照射している状態、図１５（ｃ）は接着状態を示す。ここで第１の実施の形態と同じ部材については同一の符号を付している。
【００６８】
図１５において、流路形成部材２２０だけでなくタンクホルダ２１０も上述の各実施形態で流路形成部材２２０の材料として用いたＧＥ社の透明ノリルで成形されている。
【００６９】
また、第１に実施の形態と同様に流路形成部材２２０の接合面２２３のみが他の接合されない面よりも突出した形状を持つ凸部となっている。
【００７０】
第４の実施形態では、そのインク流路２２４を形成するためのタンクホルダ２１０との接合面領域に非透過材料が配置されるようにするために、接合面２２３にレーザー光に対して透過性のないレーザー吸収塗料２２６が塗布されている。
【００７１】
第４の実施の形態では、第１と第２の実施の形態と同様にインク流路２２４は流路形成部材２２０に形成され、その断面形状は接合された状態でタンクホルダ２１０を１辺とするほぼ長方形の構成となっている。
【００７２】
図１５（ａ）で示すように流路形成部材２２０の接合面２２３にレーザー光を吸収する塗料または顔料からなるレーザー吸収塗料２２６を塗布した後に、流路形成部材２２０を矢印の方向にタンクホルダ２１０に装着した後に、図１５（ｂ）で示すようにレーザー光に対して透過性を有する押さえ治具５３で流路形成部材２２０を押さえて接合面を密着させた後にレーザー照射機５１からレーザー光を照射することで、流路形成部材２２０の接合面に塗布されたレーザー吸収塗料２２６が発熱してレーザー吸収塗料２２６に接するタンクホルダ２１０と流路形成部材２２０の樹脂も発熱溶融することで、図１５（ｃ）で示すように、インク流路２２４の周囲の接合面２２３は溶着接合する。
【００７３】
ここで、流路形成部材２２０は、接合面のみが他の接合されない面よりも凸形状となっているために、レーザー吸収塗料を接合面のみに塗布することが可能であり、発熱したレーザー吸収塗料は、タンクホルダ２１０の樹脂と流路形成部材２２０のモールド樹脂との接合面でのみ発熱することによりこれらのモールド樹脂は互いに溶融しあってレーザー吸収塗料の残留物を介して結合することが可能となる。
【００７４】
第４の実施の形態では、タンクホルダ２１０および流路形成部材２２０を同じ樹脂で形成することができ接合面における樹脂の熱膨張の差による影響を避けることができる。
【００７５】
本実施の形態では流路形成部材２２０の接合面のみが凸形状であるとして説明したが、タンクホルダ２１０の接合面が、あるいは双方の接合面が凸形状であってもよく、その場合レーザー吸収塗料２２６はタンクホルダ２１０の接合面に塗布されてもよい。
【００７６】
（第５の実施の形態）
次に本発明の第５の実施の形態のインクジェット記録ヘッドの構成とその特徴について図１６を参照して説明する。図１６は本発明の第５の実施の形態のインクジェット記録ヘッドのタンクホルダに流路形成部材を接合する工程を示す模式的側面部分断面図であり、図１６（ａ）は接合前のタンクホルダと流路形成部材の相対関係、図１６（ｂ）はタンクホルダに流路形成部材を接触させてレーザー光を照射している状態、図１６（ｃ）は接着状態を示す。ここで第１の実施の形態と同じ部材については同一の符号を付している。
【００７７】
図１６において、流路形成部材２２０とタンクホルダ２１１を構成する材料は第１から３の各実施形態と同様である。また、第２の実施の形態と同様にタンクホルダ２１１および流路形成部材２２０の両方において接合面のみが他の接合されない面に対して突出した形状を凸部となっている。また、第５の実施の形態でも、第１，第２及び第４の実施形態と同様にインク流路２２４は流路形成部材２２０に形成され、その断面形状は接合された状態でタンクホルダ２１１を１辺とするほぼ長方形の構成となっている。
【００７８】
第５の実施形態では、タンクホルダ２１１の接合面となる凸部分には他の接合されない面よりも表面を粗くした梨地処理（roughing surface treatment）が施された接合面２１７となっている。
【００７９】
図１６（ａ）で示すように流路形成部材２２０を矢印の方向にタンクホルダ２１１に装着した後に、図１６（ｂ）で示すようにレーザー光に対して透過性を有する押さえ治具５３で流路形成部材２２０を押さえて接合面を密着させた後にレーザー照射機５１からレーザー光を照射することで、タンクホルダ２１１を形成する樹脂モールド内に含有されるレーザー光を吸収する染料または顔料が発熱して樹脂が溶融し、そのときの発熱により流路形成部材２２０も発熱溶融することで、図１６（ｃ）で示すようにインク流路２２４の周囲の接合面２１７、２２３は溶着接合する。
【００８０】
ここで、タンクホルダ２１１および流路形成部材２２０は、接合面２１７、２２３のみが他の接合されない面よりも凸形状を持つ凸部となっており、かつタンクホルダ２１１の接合面２１７には表面を粗くした梨地処理が施されているために、流路形成部材２２０に接触する梨地の隆起面が短時間で溶融して流路形成部材２２０の接触面を溶融し、梨地の隆起部を中心としてモールド樹脂は互いに溶融しあって強固に結合することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００８１】
【図１】本発明の第１の実施の形態のインクジェット記録ヘッドのタンクホルダに流路形成部材を取り付ける工程を示す模式的斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態のインクジェット記録ヘッドの流路形成部材を取り付けたタンクホルダにレーザー光を照射する工程を示す模式的斜視図である。
【図３】（ａ）は図１の模式的側面断面図であり、（ｂ）は図２の模式的側面断面図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態のインクジェット記録ヘッドのタンクホルダに流路形成部材を接合する工程を示す模式的側面部分断面図であり、（ａ）は接合前のタンクホルダと流路形成部材の相対関係を示した図、図（ｂ）はタンクホルダに流路形成部材を接触させてレーザー光を照射している状態を示した図、図（ｃ）は接着状態を示した図である。
【図５】記録ヘッドカートリッジの斜視図であり、図（ａ）は組立て状態を示す図、図（ｂ）はインクタンクを取り外した状態を示す図である。
【図６】インクジェット記録ヘッドのタンクホルダユニットと記録素子ユニットの斜視図である。
【図７】インクジェット記録ヘッドの模式的分解斜視図である。
【図８】記録素子ユニットを構成する記録素子基板の模式的一部切断斜視図である。
【図９】インクジェット記録ヘッドとインクタンクの関係を示す模式的斜視図である。
【図１０】記録ヘッドカートリッジの模式的断面図である。
【図１１】本発明の第２の実施の形態のインクジェット記録ヘッドのタンクホルダに流路形成部材を接合する工程を示す模式的側面部分断面図であり、図（ａ）は接合前のタンクホルダと流路形成部材の相対関係を示す図、図（ｂ）はタンクホルダに流路形成部材を接触させてレーザー光を照射している状態を示す図、図（ｃ）は接着状態を示す図である。
【図１２】本発明の第３の実施の形態のインクジェット記録ヘッドのタンクホルダに流路形成部材を接合する工程を示す模式的側面部分断面図であり、図（ａ）は接合前のタンクホルダと流路形成部材の相対関係を示す図、図（ｂ）はタンクホルダに流路形成部材を接触させてレーザー光を照射している状態を示す図、図（ｃ）は接着状態を示す図である。
【図１３】（ａ）は、従来の超音波溶着を用いて形成したインク流路内を液体が流れる方向に垂直な方向に切断したインク流路の断面写真であり、（ｂ）は、第３の実施形態のレーザー溶着を用いて形成したインク流路内を液体が流れる方向に垂直な方向に切断したインク流路の断面写真である。
【図１４】液中パーテイクル測定装置の概念図を示す。
【図１５】本発明の第４の実施の形態のインクジェット記録ヘッドのタンクホルダに流路形成部材を接合する工程を示す模式的側面部分断面図であり、図（ａ）は接合前のタンクホルダと流路形成部材の相対関係を示す図、図（ｂ）はタンクホルダに流路形成部材を接触させてレーザー光を照射している状態を示す図、図（ｃ）は接着状態を示す図である。
【図１６】本発明の第５の実施の形態のインクジェット記録ヘッドのタンクホルダに流路形成部材を接合する工程を示す模式的側面部分断面図であり、図（ａ）は接合前のタンクホルダと流路形成部材の相対関係を示す図、図（ｂ）はタンクホルダに流路形成部材を接触させてレーザー光を照射している状態を示す図、図（ｃ）は接着状態を示す図である。
【図１７】従来例のインクジェット記録ヘッドの構成を説明するための分解斜視図である。
【図１８】従来例のインクジェット記録ヘッドにインクタンクが装着された記録ヘッドカートリッジの横断面図である。
【図１９】従来例のインクジェット記録ヘッドのタンクホルダに流路形成部材を接合する工程を示す模式的側面部分断面図であり、図（ａ）は接合前のタンクホルダと流路形成部材の相対関係を示す図、図（ｂ）はタンクホルダに流路形成部材を接触させて上から超音波溶着ホ−ンで押さえて超音波ホーンを発振させている状態を示す図、図（ｃ）は接着状態を示す図である。
【符号の説明】
【００８２】
１０    記録ヘッドカートリッジ
２０    インクジェット記録ヘッド
４０、４１、４２、４３、４４、４５、４６、１０４０    インクタンク
５１    レーザー照射機
５２    ホルダ受け台
５３    押さえ治具
２００    タンクホルダユニット
２１０、２１１、２１２、２１３、１２１０    タンクホルダ
２１３    インク供給口
２１４、２１５、２２４、１２１４、１２２４    インク流路
２１６、２２２、２２３    接合面
２１７    梨地接合面
２２０、２２１、１２２０    流路形成部材
２２６    レーザー吸収塗料
２２８    融け部
２２９、１２２９    溶着バリ
２３０、１２３０    フィルタ
２４０、１２４０    シールゴム
３００、１３００    記録表示ユニット
３１０、１３１０    第１のプレート
３１１、１３１１    インク供給口
３２０、１３２０    第２のプレート
３３０、１３３０    記録素子基板
３３１    シリコン基板
３３２    インク供給口
３３３    電気熱変換素子
３３４    電極部
３３５    バンプ
３３６    流路壁
３３７、１３３７    吐出口
３３８    吐出口列
３４０、１３４０    電気配線基板
３４１、１３４１    外部信号入力端子
４０１、１４０１    インク供給口
１０５４    超音波溶着ホーン
１２１８    バリ溜め
１２２７    溶着リブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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