(57)【要約】【課題】  従来の液体塗布装置に替わり、微少量の液体材料を精度良く塗布できる液体塗布装置を提供する。【解決手段】  本発明の液状材料塗布装置は、被塗布物に液状材料を配する液状材料塗布装置において、前記液状材料を滴状に露呈して保持する保持手段と、前記液状材料が前記基板に触れるまで前記前記保持手段と前記被塗布物との少なくとも一方を移動させる移動手段とを備えたことを特徴とする。また、本発明の液状体塗布方法は、前記保持手段の先端部に前記液状材料を滴状に形成し、次いでこの滴状の液体材料を被塗布物上に転写することを特徴とする。【選択図】    図２
2005193230.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被塗布物に液状材料を配する液状材料塗布装置において、
先端部に前記液状材料を滴状に露呈して保持する保持手段と、
前記液状材料が前記被塗布物に触れるまで、前記保持手段と前記被塗布物との少なくとも一方を移動させる移動手段とを備えたことを特徴とする液状材料塗布装置。
【請求項２】
前記液状材料を収容する液状材料収容部と、前記液状材料収容部内の空間に対して圧力を加える加圧手段とを有し、さらに、前記保持手段が、前記液状材料収容部と連結され、前記液体材料を流通させる孔を有するノズルであることを特徴とする請求項１に記載の液状材料塗布装置。
【請求項３】
前記液状材料収容部を温度調節するための温度調節手段が具備されてなることを特徴とする請求項２に記載の液状材料塗布装置。
【請求項４】
前記液状材料収容部及び前記保持手段が温度調節室に収容されてなることを特徴とする請求項２に記載の液状塗布装置。
【請求項５】
一の前記加圧手段に対して、複数の前記孔が設けられたことを特徴とする請求項２に記載の液状材料塗布装置。
【請求項６】
前記保持手段の先端部が撥液処理されたことを特徴とする請求項１ないし５のいずれか一項に記載の液状材料塗布装置。
【請求項７】
前記被塗布物と前記保持手段とを水平方向に相対的に移動させる水平移動手段を備えたことを特徴とする請求項１ないし６のいずれか一項に記載の液状材料塗布装置。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれか一項に記載の液状材料塗布装置を使用した液状材料塗布方法であって、
前記保持手段の先端部に前記液状材料を滴状に露呈し、
次いで、この滴状の液状材料が前記被塗布物に触れるまで前記保持手段と前記被塗布物との少なくとも一方を移動させ、被塗布物上に前記液状材料を塗布することを特徴とする液状材料塗布方法。
【請求項９】
液滴の数によって総合塗布量を制御することを特徴とする請求項８に記載の液状材料塗布方法。
【請求項１０】
一対の基板に液晶を挟持してなる液晶装置の製造方法であって、
請求項８又は９に記載の液状材料塗布方法を用いて前記一対の基板のうちの一方の基板上に液晶を塗布することを特徴とする液晶装置の製造方法。
【請求項１１】
一対の基板に液晶を挟持してなる液晶装置の製造方法であって、
請求項８又は９に記載の液状材料塗布方法を用いて前記基板に形成された部材を覆うオーバーコート材料を塗布し、オーバーコート層を形成することを特徴とする液晶装置の製造方法。
【請求項１２】
閉じた環状に形成されたシール剤を介して貼り合わされた一対の基板に液晶を挟持してなる液晶装置の製造方法であって、
保持手段に前記液晶の液滴を形成する工程と、
前記保持手段に形成された前記液滴が前記基板の所定領域に触れるまで、前記保持手段と前記基板との少なくとも一方を移動させて塗布する工程と、を備えたことを特徴とする液晶装置の製造方法。
【請求項１３】
前記所定領域に塗布する工程では、前記所定領域に必要な全液量を複数回に分けて塗布しうるように前記液滴の液量を決定し、前記液滴の塗布回数によって前記所定領域に塗布する量を制御することを特徴とする請求項１２に記載の液晶装置の製造方法。
【請求項１４】
前記液滴は、液状材料収容部内の前記液晶が加圧手段により加圧されることで前記保持手段に形成され、前記液滴の液量を、前記加圧手段が前記液晶を加圧する加圧時間によって制御することを特徴とする請求項１２又は１３に記載の液晶装置の製造方法。
【請求項１５】
前記液滴は、液状材料収容部内の前記液晶が加圧手段により加圧されることで前記保持手段に形成され、前記液滴の液量を、前記加圧手段により前記液晶を加圧する加圧値と塗布する時間間隔とによって制御することを特徴とする請求項１２又は１３に記載の液晶装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状材料塗布装置、液状材料塗布方法、および液晶装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶装置の製造工程において、ノズルを介して液体材料を液滴として吐出する液滴吐出法が使われている。近年、液晶装置を用いた種々の電気光学装置は、パネルなどの小型化により、液晶を、例えば液滴吐出法を用いて配する際、より精密性が要求されるようになってきている。
液滴吐出法としては、例えば、液状材料を収容する液室の天井部にダイアフラムを設け、このダイアフラムを外部力を用いて振動させることにより、液室より液状材料を吐出するという方法がある（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２００１−６３０３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
前述したように、近年液晶材料の粘度はより高くなっており、また、液滴量もより微量な制御が必要になっている。しかしながら、上記のダイアフラムを液室の上部に用いた構成では、微量な液滴を吐出しようとする際、液滴が完全に吐出されないことがあるという問題点を有している。また、液滴吐出法は、吐出量の安定性にも疑問が持たれる。
本発明は、このような状況に鑑みてなされたものであり、従来の液体塗布装置に替わり、微少量の液体材料を精度良く塗布できる液体塗布装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
かかる課題を解決するため、本発明の液状材料塗布装置は、被塗布物に液状材料を配する液状材料塗布装置において、先端部に前記液状材料を滴状に露呈して保持する保持手段と、前記液状材料が前記被塗布物に触れるまで前記保持手段と前記被塗布物との少なくとも一方を移動させる移動手段と、を備えたことを特徴とする。
従来のように、液状材料を液滴として吐出することにより被塗布物に塗布する場合、液滴を微少量に制御することが困難であった。本発明は、液状材料を保持手段によって滴状に露呈して保持し、移動手段を用いて保持手段と被塗布物とを接近させ、滴状の液状材料を被塗布物に接触させることにより液滴が被塗布物上に転写される。従来の液滴吐出法においては、ノズル内の汚れなど液滴量に影響を与える種々の要因があり、液滴量の制御が困難であったが、本発明の液状材料塗布装置において、液滴の容量はピストンなど簡便な加圧手段によって比較的容易にできる。したがって、本発明の液状材料塗布装置及び液状材料塗布方法は、微少量の液体材料を精度良く塗布することが可能である。
【０００５】
前記液状材料塗布装置は、前記液状材料を収容する液状材料収容部と、前記液状材料収容部内の空間に対して圧力を加える加圧手段とを有し、さらに、前記保持手段が、前記液状材料収容部と連結され、前記液体材料を流通させる孔を有するノズルであることが好ましい。
液状材料が液状材料収容部内に収容されていれば、圧力を加えない状態においては、液状材料がノズル内に留まり、液状材料の不用意な流出が防止される。加圧手段によって液状材料収容部内の空間に対して所定の圧力を加えると液状材料が孔より押し出され、保持手段の先端に液滴を形成することができる。前述したように、液状材料を液滴として塗布する方法は、精密性に優れているので、液晶装置など種々の電気光学装置を製造する工程において好適に用いられる。
【０００６】
ここで、本発明の液状材料塗布装置には、前記液状材料収容部を温度調節するための温度調節手段が具備されてなるものとすることができる。この場合、液状材料を適温に調製することが可能となり、該液状材料の粘度を安定化できるようになる。また、液状材料収容部全体を温度調節室に収容すれば、該液状材料の粘度は一層安定なものとなり、さらには保持手段までを温度調節室に収容すれば粘度の安定化、ひいては吐出安定化を一層向上させることができるようになる。また、液状材料収容部全体を温度調節することで、外乱（外部環境による温度変化等）の影響により液状材料の粘度が変化してしまう等の不具合発生も抑制可能となる。なお、温度調節室は熱伝導率の低い材料からなる恒温壁にて構成され、該恒温壁中の大気を加熱する加熱手段を備えて構成されるものが好適である。
【０００７】
さらに好ましくは、一の前記加圧手段に対して、複数の前記孔が設けられた構成である。一の前記加圧手段に対して、複数の前記孔が設けられていれば、一度の加圧によって複数の液滴を形成し、より多くの液状材料を効率良く塗布することができるようになる。
さらに、前記保持手段の先端部が撥液処理されていることが望ましい。保持手段の先端部が撥液処理されていれば、液滴が保持手段の先端部に濡れ拡がることがなく、液滴の容量がより精密に制御される。また、液滴を被塗布物上に転写する際、液滴が保持手段側に戻ることが防止され、被塗布物側に液滴を移動させやすくなる。
【０００８】
さらに、前記液状材料塗布装置は、前記被塗布物と前記保持手段とを水平方向に相対的に移動させる水平移動手段を備えていてもよい。この水平移動手段を用いて、被塗布物と保持手段とを水平方向に相対的に移動させ、被塗布物上の任意の位置に液状材料を塗布することができる。この効果は、例えば、液晶表示装置を製造する工程において、無数の微少量の液晶を高密度で塗布して液晶層を形成する際など特に効果的である。
【０００９】
前述した本発明の液状材料塗布方法において、液滴の数によって総合塗布量を制御することが好ましい。例えば、所望の総合塗布量に対して、その１００分の１を一の液滴として塗布し、１００液滴分を塗布すればよい。このようにすることによって、一つ一つの液滴塗布量に多少のばらつきがあっても、転写する回数を重ねるごとに全体的なばらつきは減少し、所望の総合塗布量をより正確に得ることができるようになる。
【００１０】
本発明の液晶装置の製造方法は、一対の基板に液晶を挟持してなる液晶装置の製造方法であって、上述した液状材料塗布方法を用いて前記一対の基板のうちの一方の基板上に液晶を塗布することを特徴とする。
また、本発明の液晶装置の製造方法は、一対の基板に液晶を挟持してなる液晶装置の製造方法であって、上述した液状材料塗布方法を用いて前記基板に形成された部材を覆うオーバーコート材料を塗布し、オーバーコート層を形成することを特徴とする。
このような液晶装置の製造方法においては、セル厚のばらつきが抑えられ、表示品位が安定した液晶装置が製造できる。
【００１１】
本発明の液晶装置の製造方法は、閉じた環状に形成されたシール剤を介して貼り合わされた一対の基板に液晶を挟持してなる液晶装置の製造方法であって、保持手段に前記液晶の液滴を形成する工程と、前記保持手段に形成された前記液滴が前記基板の所定領域に触れるまで、前記保持手段と前記基板との少なくとも一方を移動させて塗布する工程とを備えたことを特徴とする。
この構成によれば、液状材料を保持手段によって滴状に保持し、保持手段と被塗布物とを接近させ、液滴を基板上の所定領域に接触させることにより液滴が被塗布物上に転写される。したがって、微少量の液晶を基板上に精度良く塗布することが可能となる。
【００１２】
また、上記液晶装置の製造方法において、前記所定領域に塗布する工程では、前記所定領域に必要な全液量を複数回に分けて塗布しうるように前記液滴の液量を決定し、前記液滴の塗布回数によって前記所定領域に塗布する量を制御することを特徴とする。
この構成によれば、必要量の液晶を、複数回の液滴を塗布する塗布回数によって制御するため、所定量の液晶を高い精度で塗布することができる。
【００１３】
また、前記液滴は、液状材料収容部内の前記液晶が加圧手段により加圧されることで前記保持手段に形成され、前記液滴の液量を、前記加圧手段が前記液晶を加圧する加圧時間によって制御するようにしてもよい。
この構成によれば、液晶を加圧する時間によって液滴の容量を制御しているので、所定量の液滴を形成することができる。よって、塗布の時間間隔が異なっても、つまり、どんな塗布タイミングでも所定の液滴の量を塗布することができる。
【００１４】
もしくは、前記液滴は、液状材料収容部内の前記液晶が加圧手段により加圧されることで前記保持手段に形成され、前記液滴の液量を、前記加圧手段により前記液晶を加圧する加圧値と塗布する時間間隔とによって制御するようにしてもよい。
この構成によれば、加圧値と塗布の時間間隔で液滴の量を制御する。よって、加圧時間のみで液量を正確に制御するのが難しいが、決めた一定の加圧値に保持した状態で、同様に決めた時間間隔で塗布していけば、正確な液滴量で塗布することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
（液晶表示装置）
本実施形態においては、アクティブマトリクス型の液晶装置（液晶表示装置）に用いられる液晶パネルの一部を本発明の液状材料塗布方法を用いて形成する。
最初に、本実施形態に使用する液状材料塗布装置について図を参照して説明する。なお、以下の説明に用いた各図においては、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材毎に縮尺を異ならせてある。
【００１６】
図１は、本実施形態に用いる液状材料塗布装置の概略構成を示した斜視図である。図１に示す液状材料塗布装置１は、液状材料を吐出するヘッド２と、このヘッド２を上下動させる上下移動部（移動手段）３と、ヘッド２下方にあって液滴９が転写される基板Ｐを載置するテーブル４と、ヘッド２とテーブル４を水平方向に相対的に移動させることができる水平移動部（水平移動手段）５とが備えられている。上下移動部３、水平移動部５としては、例えば、ボールねじとサーボモータを用いることができる。
液状材料塗布装置１において、上下移動部３及び水平移動部５の動作は、図示しない制御装置によって制御されている。
【００１７】
図２（ａ）は、図１に示した液状材料塗布装置１におけるヘッド２の内部構成を示した断面図であり、図２（ｂ）は、ヘッド２におけるノズル６の先端部を拡大した断面図である。
ヘッド２には、液状材料８を収容する密閉容器７（液状材料収容部）と、前記密閉容器７内の空間に対して圧力を加える加圧手段１０とが備えられている。加圧手段１０は、ピストンであり、図示しないエアシリンダ等により上下動可能とされている。また、このようなヘッド２の先端部には、前記密閉容器７と連通され、液体材料８を流通、吐出させる孔を有したノズル（保持手段）６が設けられている。本実施形態のヘッド２は、一の加圧手段に対して複数のノズル６を備えている。すなわち、一度の加圧によってより多くの液体を塗布できるようになっている。
【００１８】
図１及び図２に示す液状材料塗布装置１は、ノズル６の先端部６１が撥液処理されている。従来の液滴吐出装置において、微少量の液滴９が確実に吐出されない問題があったが、本実施形態のように、ノズル６の先端部６１が撥液処理されていれば、液滴９をノズル６から吐出する際に液滴９がヘッド２方向に戻ることを防止し、より確実に液滴９を吐出することが可能となる。また、液状材料がノズル６の先端部６１に濡れ拡がることがないため、吐出する液滴量がより精密に制御される。
【００１９】
なお、図７の断面図（ａ）及び底面図（ｂ）に示すように、密閉容器７とノズル６とを含むヘッド２は温度調節室２１内に収容するものとしても良い。この場合、液体材料８の温度を一定に保つことができるため粘度が一定となり、その結果、一層安定した吐出を実現できるようになる。
【００２０】
ここで、温度調節室２１は熱伝導性の低い樹脂等からなる恒温壁２２にて囲まれた空間で、恒温壁２２内部には大気が充満されている。温度調節室２１には、該室内の温度を調整するためのヒータ２３が具備されており、該ヒータ２３は温度調節室２１内に設けられた温度センサ（図示略）からの温度情報に基づいて作動するものとなっている。ここでは、恒温壁２２に設けた貫通孔２３ａに配線２３ｂを挿通させ、該配線２３ｂにより外部に設けた制御手段との間で作動制御信号又は温度情報等を送受信するものとしている。なお、貫通孔２３ａには配線２３ｂを挿通した状態で、孔を封止するための樹脂が充填されている。
【００２１】
また、恒温壁２２の底部には、ノズル６を挿通させるための開口部２４が形成されている。なお、ノズル６を挿通させなくても、ノズル６が恒温壁２２内に配置され、滴下する液滴９が開口部２４を通過するように、当該開口部２４を形成するものとしても良い。
【００２２】
図７に示した例では、恒温壁２２にヒータ２３を取り付けているが、例えば密閉容器７に該ヒータ２３を取り付けるものとしても良い。しかしながら、密閉容器７全体の温度調節を図るためには、図７に示したように、密閉容器７とは離間してヒータ２３を設け、大気を媒体として密閉容器７全体を温度調節することが好ましい。なお、例えば液状材料として液晶材料を用いる場合には温度調節室２１を２８℃に保つことが好ましい。
【００２３】
さらに、図８に示したようにヒータ２５を別途取り付けるものとしても良い。複数のヒータを設けることにより温度調節が一層迅速なものとなる。また、図９に示すように、恒温壁２２の内周全域にヒータ２６を設けるものとしても良い。これにより温度調節効果が一層簡便且つ確実なものとなる。
【００２４】
次に、図３は、本発明に係る液晶表示装置（液晶装置）について、各構成要素を対向基板側から見た平面図である。図３において、本実施形態の液晶表示装置１００は、対をなすＴＦＴアレイ基板１１０と対向基板１２０とが光硬化性の封止材であるシール材５２によって貼り合わされ、このシール材５２によって区画された領域内に液晶層が封入、保持されている。シール材５２は、基板面内の領域において閉ざされた枠状に形成されており、液晶注入口を備えていない構成となっている。
【００２５】
シール材５２の形成領域の内側の領域には、遮光性材料からなる周辺見切り５３が形成されている。シール材５２の外側の領域には、データ線駆動回路２０１及び実装端子２０２がＴＦＴアレイ基板１１０の一辺に沿って形成されており、この一辺に隣接する二辺に沿って走査線駆動回路２０４が形成されている。ＴＦＴアレイ基板１１０の残る一辺には、画像表示領域の両側に設けられた走査線駆動回路２０４の間を接続するための複数の配線２０５が設けられている。また、対向基板１２０のコーナー部の少なくとも一箇所においては、ＴＦＴアレイ基板１１０と対向基板１２０との間で電気的導通をとるための基板間導通材２０６が配設されている。
【００２６】
なお、データ線駆動回路２０１及び走査線駆動回路２０４をＴＦＴアレイ基板１１０の上に形成する代わりに、例えば、駆動用ＬＳＩが実装されたＴＡＢ（Tape  Automated Bonding）基板とＴＦＴアレイ基板１１０の周辺部に形成された端子群とを異方性導電膜を介して電気的及び機械的に接続するようにしてもよい。さらに、使用する液晶の種類、すなわち、ＴＮ（Twisted Nematic）モード、ＳＴＮ（Super Twisted Nematic）モード等の動作モードや、ノーマリホワイトモード／ノーマリブラックモードの別に応じて、位相差板、偏光板等が所定の向きに配置されるが、ここでは図示を省略する。また、このような構造を有する液晶表示装置１００の画像表示領域においては、複数の画素がマトリクス状に構成されているとともに、これらの画素の各々には、画素スイッチング用のＴＦＴ（スイッチング素子）が形成されているが、これらについても図示を省略する。
【００２７】
図４及び図５は、本実施形態の液晶表示装置の製造方法を、順を追って示した断面図である。
本実施形態では、ＴＦＴ素子などが形成されたアクティブマトリクス基板Ｐ上の所定の位置に前述した液状材料塗布装置１を用いて液晶を塗布する。図４及び以下の図において、ＴＦＴ素子は図示を省略する。また、以下、アクティブマトリクス基板Ｐを基板Ｐと称する。さらに、基板Ｐは、後述する液滴の転写を行いやすくするために、表面に親液処理が施されている。
【００２８】
本実施の形態の場合、塗布対象となる液体材料８は液晶である。この液体材料８を、予め必要量分ヘッド２内の密閉容器７に収容しておく。前述したように、密閉容器７はノズル６と連通しており、ノズル６はその先端部に微少な孔を有している。ヘッド２の加圧手段１０により密閉容器７内に圧力を加えると、密閉容器７に収容されている液体材料８が前記孔を介してヘッド２の外へ押し出され、図２に示すように、ノズル６の先端部に液滴９を形成するようになっている。このとき、ヘッド２の先端部６１が撥液処理されているので、この部位に液状材料が濡れ拡がることがない。したがって、液滴９が精度よく形成され、且つ、液滴９を転写しやすくなる。
【００２９】
液状材料８を基板Ｐに塗布する際は、最初に、図４（ａ）に示すように、基板Ｐの所定の位置上方にヘッド２が配置されるように、液状材料塗布装置１の水平移動部５によってｘ軸とｙ軸方向にヘッド２の位置を調整する。加圧手段１０によって密閉容器７内を加圧し、ノズル６の先端に液滴９を作る。加圧の程度は、密閉容器の容量、ノズルの数、液体材料の特性などを考慮して決定する。このとき、液滴９が基板Ｐに触れないように上下移動部３によってヘッド２と基板Ｐとの間を所定間隔空けておく。
【００３０】
具体的には、ノズル６に形成される液滴９の重量を図示しない電子天秤などによって測定し、その測定結果と、転写を行う所定領域内に必要な総合液量とを基に、加圧量を決定する。すなわち、予め決められた滴数転写した際に、必要な液量に満たなければ初期の加圧量を増やし、必要滴量を超えるようであれば初期の加圧量を減らして、採用する加圧量を決定する。加圧量は加圧値と加圧時間によって決まるが、制御方法には２通りがある。一つは、加圧手段１０が液晶を加圧する加圧値を一定とし、加圧時間によって制御する方法である。この方法によれば、塗布の時間間隔が異なっても、つまり、どんな塗布タイミングでも所定の液滴の量を塗布することができる。他の一つは、加圧手段１０により液晶を加圧する加圧値と塗布する時間間隔とによって制御する方法である。この方法によれば、加圧時間のみで液量を正確に制御するのは難しいが、決めた一定の加圧値に保持した状態で、同様に決めた時間間隔で塗布していけば、正確な液滴量で塗布することができる。
【００３１】
次に、図４（ｂ）に示すように、上下移動部３によってヘッド２を下降させ、液滴９を基板Ｐに接触させ、液滴９を転写する。このとき、液滴９の周辺部一点において基板Ｐと接触すればよく、したがって、液滴９の大きさに応じて基板Ｐとヘッド２をどの程度接近させるべきか調整する。前述したように、基板Ｐの表面は親液処理が施されており、液滴９が接触すると、ノズル６から基板Ｐへと液滴９の転写が行われやすくなっている。さらに、ノズル６の先端部６１が撥液処理されていることで、転写された液滴９がノズル６方向に戻ることが防止される。
【００３２】
次いで、図５（ｃ）に示すように、転写された液滴が基板Ｐ上に留まった状態で、上下移動部３がヘッド２を上昇させ、一回の転写を終了する。このようにして、液体材料８を液滴９として基板Ｐの所定位置に塗布する。従来の技術においては、微少量の液滴を吐出する際の精密性に課題を有していたが、以上説明したように、本発明においては、ノズル６の先端に形成された一定量の液滴９が転写して塗布されるため、精度が良い。さらに、従来のピエゾ素子による圧力を利用した液滴吐出装置と比較して、この液状材料塗布装置１は、一度の加圧によってより多くの液状材料を塗布することができる。
【００３３】
さらに、図５（ｄ）に示すように、水平移動部５によって、ヘッド２の位置を次の所望位置に移動する。加圧手段１０によって、密閉容器７内をさらに加圧し、新たな液滴９をノズル６先端に形成する。
以上説明した工程を繰り返し、図５（ｅ）に示すように、シール剤５２の内側に総合塗布量が所望量になるように液体材料（液晶）を塗布していく。
【００３４】
次いで、図５（ｆ）に示すように、対向基板１２０を基板Ｐ上にシール材５２を介して貼り合わせる。対向基板１２０上には、図示はしないが液晶側に電極層及び配向膜が順に形成されている構成である。このようにして、液体塗布方法によって塗布された液体材料が基板Ｐ、対向基板１２０、シール材５２で囲まれた空間に密閉された液晶層８０が形成される。本発明の液状材料塗布方法を用いれば、液晶が均一に塗布された液晶層８０を得ることができ、このような液晶層においては、画面表示領域の色むらなどの問題が抑制される。
【００３５】
（カラーフィルタ）
本実施形態においては、先に述べたような液晶表示装置の対向基板１２０において、ＴＦＴアレイ基板１１０の各画素電極に対向する領域に、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のカラーフィルタをそのオーバーコート（保護膜）とともに形成し、カラー液晶表示装置を得る。以下、カラー液晶表示装置の製造方法を説明するが、対向基板１２０上にカラーフィルタを形成する他の上記の実施形態と重複する部分については、説明を省略する。
【００３６】
図６は、本実施形態に係るカラーフィルタを示した断面図である。
図６に示すように、ガラスでできた対向基板１２０上には、透光性のない樹脂材料からなる隔壁１０５が矢印Ｂ方向から見て格子状パターンに形成されている。隔壁１０５は、カラーフィルタ材料１０４の流動を阻止する機能及びブラックマトリクスの機能を併せて有する。隔壁１０５は、任意のパターニング手法、例えばフォトリソグラフィ法によって形成され、さらに必要に応じてヒータによって加熱されて焼成されることによって形成されている。なお、個々の格子の矢印Ｂ方向から見た場合の平面寸法は、例えば、３０μｍ×１００μｍ程度である。
さらに、図６に示すように、対向基板１２０上には、上記の格子状の隔壁１０５で囲まれた領域１０２にそれぞれカラーフィルタ材料１０４が所定の厚さで配置されている。図６において、符号ＲはＲ（赤）の色を、符号ＧはＧ（緑）の色を、そして符号ＢはＢ（青）の色を有するカラーフィルタ材料を示している。
【００３７】
このような対向基板１２０に対して、前述の実施形態において述べた液状材料塗布方法と同様にしてオーバーコート層１０６を形成する。このオーバーコート層１０６は、カラーフィルタ１０４Ｒ、１０４Ｇ、１０４Ｂ等を保護し、また、カラーフィルタ１０４の表面を平坦化する。
【００３８】
オーバーコート層１０６を形成した後、電極１０７、配向膜１０８を順を追って形成する。これらの層の形成方法は、公知の技術を使用すればよい。
以上説明した構成の対向基板１２０を、電極１０７や配向膜１０８が基板Ｐ側になる状態で、液晶層を備えた基板Ｐ上に配する。オーバーコート層１０６は、前述した液体塗布方法によって所定の膜厚でムラなく精度良く形成されているため、このようにして得られたカラー液晶表示装置の品質は良好である。なお、本実施形態ではカラーフィルタ上のオーバーコート層に適用した例を示したが、例えば電極の上や反射層の上に形成されるオーバーコート層に対しても本発明の液状材料塗布方法を適用することができる。
【００３９】
以上、本発明に係る好適な実施の形態例について説明したが、本発明はこれらの実施例に限定されないことは言うまでもなく、本発明の主旨を損なわない程度に適宜変更可能である。例えば、本発明の液晶表示装置の製造方法は、アクティブマトリクス基板以外にもパッシブマトリクス基板にも適用できる。本発明の液体塗布装置は、ヘッド２を固定して、テーブル４をｘ軸、ｙ軸方向に移動させることも可能である。また、上下移動手段や水平移動手段としては、サーボモータなど種々の方法を用いることができる。
本実施形態においては、液状材料塗布装置の保持手段は、先窄みの円錐形状のノズルを採用したが、保持手段の形状はこれに限定されるものではなく、液体材料を液滴として保持できるものであれば、細長い円柱など如何なる形状であってもよい。カラーフィルタもまた、本実施形態に限定されず、液晶表示装置の他、種々の表示装置などに備えられるものであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】第１の実施形態に用いる液体塗布装置の概略構成を示した斜視図である。
【図２】図１に示した液体塗布装置１におけるヘッド２の内部構成を示した断面図である。
【図３】本発明に係る液晶表示装置について、各構成要素を対向基板側から見た平面図である。
【図４】第１の実施形態の液晶表示装置の製造方法を順を追って示した断面図である。
【図５】図４に続く本実施形態の液晶表示装置の製造方法を示した断面図である。
【図６】第２の実施形態に係るカラーフィルタを示した断面図である。
【図７】温度調節手段の一例を示す断面図（ａ）及び平面図（ｂ）である。
【図８】温度調節手段の一変形例を示す断面図である。
【図９】温度調節手段の一変形例を示す断面図である。
【符号の説明】
【００４１】
１…液体塗布装置、３…上下移動部（上下移動手段）、５…水平移動部（水平移動手段）、６…ノズル（保持手段）、７…密閉容器、８…液体材料、９…液玉、１０…ピストン（加圧手段）、Ｐ…基板
【図１】
2005193230.tif 000003
【図２】
2005193230.tif 000004
【図３】
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【図４】
2005193230.tif 000006
【図５】
2005193230.tif 000007
【図６】
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【図７】
2005193230.tif 000009
【図８】
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【図９】
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