(57)【要約】【課題】ＢａＯ含有量の少ないＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3系ガラス粉末を使用した場合でも、透光性を有する隔壁が形成可能なプラズマディスプレイパネル用隔壁形成材料を提供する。【解決手段】ＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3系ガラス粉末６０〜９０質量％とフィラー粉末１０〜４０質量％を含み、前記フィラー粉末の２０〜１００質量％をムライト粉末が占めることを特徴とする。ＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3系ガラス粉末は、質量百分率で、ＺｎＯ  ３０〜６０％、Ｂ2Ｏ3  １５〜３５％、ＢａＯ  ０〜２５％、ＳｉＯ2  ３〜２０％、Ｌｉ2Ｏ  ０．２〜６％、Ｌｉ2Ｏ＋Ｎａ2Ｏ＋Ｋ2Ｏ  １〜１２％含有するガラスからなることが好ましい。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3系ガラス粉末６０〜９０質量％とフィラー粉末１０〜４０質量％を含み、前記フィラー粉末の２０〜１００質量％をムライト粉末が占めることを特徴とするプラズマディスプレイパネル用隔壁形成材料。
【請求項２】
ムライト粉末がフィラー粉末の３０〜１００質量％を占めることを特徴とする請求項１のプラズマディスプレイパネル用隔壁形成材料。
【請求項３】
ＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3系ガラス粉末が６０〜８５質量％であり、フィラー粉末が１５〜４０質量％であることを特徴とする請求項１又は２のプラズマディスプレイパネル用隔壁形成材料。
【請求項４】
ムライト粉末の５０％平均粒子径が、０．５〜６μｍであることを特徴とする請求項１のプラズマディスプレイパネル用隔壁形成材料。
【請求項５】
ＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3系ガラス粉末が、ＺｎＯを３０質量％以上含有するガラスからなることを特徴とする請求項１のプラズマディスプレイパネル用隔壁形成材料。
【請求項６】
ＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3系ガラス粉末が、Ｂ2Ｏ3を１５質量％以上含有するガラスからなることを特徴とする請求項１のプラズマディスプレイパネル用隔壁形成材料。
【請求項７】
ＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3系ガラス粉末が、ＢａＯを２５質量％を超えて含有しないガラスからなることを特徴とする請求項１のプラズマディスプレイパネル用隔壁形成材料。
【請求項８】
ＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3系ガラス粉末が、ＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3系無鉛ガラスからなることを特徴とする請求項１のプラズマディスプレイパネル用隔壁形成材料。
【請求項９】
ＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3系ガラス粉末が、質量百分率で、ＺｎＯ  ３０〜６０％、Ｂ2Ｏ3  １５〜３５％、ＢａＯ  ０〜２５％、ＳｉＯ2  ３〜２０％、Ｌｉ2Ｏ  ０．２〜６％、Ｌｉ2Ｏ＋Ｎａ2Ｏ＋Ｋ2Ｏ  １〜１２％含有するガラスからなることを特徴とする請求項１のプラズマディスプレイパネル用隔壁形成材料。
【請求項１０】
請求項１〜９の何れかの隔壁形成材料を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成用ペースト。
【請求項１１】
請求項１〜９の何れかの隔壁形成材料を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成用グリーンシート。
【請求項１２】
請求項１〜９の何れかの隔壁形成材料を用いて形成されてなることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁。
【請求項１３】
請求項１０の隔壁形成用ペーストを用いて形成されてなることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁。
【請求項１４】
請求項１１の隔壁形成用グリーンシートを用いて形成されてなることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁。
【請求項１５】
膜厚３０μｍ換算での５５０ｎｍの拡散透過率値が、ガラス基板込みの透過率値で５０％以上であることを特徴とする請求項１２〜１４の何れかのプラズマディスプレイパネルの隔壁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はプラズマディスプレイパネル用隔壁形成材料に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネルは、自己発光型のフラットディスプレイであり、軽量薄型、高視野角等の優れた特性を備えており、また大画面化が可能であることから、最も将来性のある表示装置の一つとして注目されている。
【０００３】
プラズマディスプレイパネルは、一般に前面ガラス基板と背面ガラス基板とが対向して設けられており、これら基板の間の空間には、ガス放電部を区切るための多数の隔壁（バリアリブともいう）が形成されている。隔壁を形成する材料としては、ガラス粉末とセラミック粉末を混合した材料が広く用いられている。この隔壁形成材料には、ガラス基板の変形を防止するために６００℃以下で焼成できることが必要であり、それ故、ガラス粉末には、軟化点を低くする成分であるＰｂＯを含有させたガラスが使用されているが、ＰｂＯを含むガラスは、ガラス粉末を作製する際の人体への影響や廃棄物の処理が問題となっている。そこでＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3系ガラス粉末を用いたプラズマディスプレイパネル用隔壁形成材料が種々提案されている。（例えば特許文献１）
またプラズマディスプレイパネルの輝度向上を目的として、透光性のある隔壁を採用することが望まれている。そこで透光性のある隔壁を形成可能な材料が特許文献２で提案されている。この材料は、フィラー粉末として特定の粒度のアルミナ粉末を用いたものである。
【特許文献１】特開２００２−３２６８３９号公報
【特許文献２】特開２００２−１１００３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献２には、ＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3系ガラス粉末にアルミナ粉末を添加すれば、透光性のある隔壁を得ることができる旨の開示がある。しかしながらＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3系ガラスにおいて、特許文献２の技術が利用できる場合は限定されている。例えば特許文献２のＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3系ガラス粉末はＢａＯを多量に含有しているが、ＢａＯの含有量が少ないガラス粉末では、アルミナ粉末と組み合わせても透光性のある隔壁を作製しにくくなる。
【０００５】
本発明の目的は、ＢａＯ含有量の少ないＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3系ガラス粉末を使用した場合でも、透光性を有する隔壁が形成可能なプラズマディスプレイパネル用隔壁形成材料を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のプラズマディスプレイパネル用隔壁形成材料は、ＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3系ガラス粉末６０〜９０質量％とフィラー粉末１０〜４０質量％を含み、前記フィラー粉末の２０〜１００質量％をムライト粉末が占めることを特徴とする。
【０００７】
ＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3系ガラス粉末とフィラー粉末の割合は、それぞれ６０〜８５質量％、１５〜４０質量％であることが好ましく、またムライト粉末の占める割合は３０〜１００質量％であることが好ましい。
【０００８】
ムライト粉末の５０％平均粒子径は、０．５〜６μｍであることが好ましい。
【０００９】
ＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3系ガラス粉末は、ＺｎＯを３０質量％以上、Ｂ2Ｏ3を１５質量％以上、含有することが好ましい。またＢａＯの含有量が２５質量％を超えないことが望ましい。
【００１０】
またＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3系ガラス粉末は無鉛ガラスからなることが望ましい。
【００１１】
ＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3系ガラス粉末は、質量百分率で、ＺｎＯ  ３０〜６０％、Ｂ2Ｏ3  １５〜３５％、ＢａＯ  ０〜２５％、ＳｉＯ2  ３〜２０％、Ｌｉ2Ｏ  ０．２〜６％、Ｌｉ2Ｏ＋Ｎａ2Ｏ＋Ｋ2Ｏ  １〜１２％含有するガラスからなることが好ましい。
【００１２】
また本発明の隔壁形成用ペースト及び隔壁形成用グリーンシートは、上記材料を含むことを特徴とする。
【００１３】
また本発明の隔壁は、上記材料、上記ペースト或いは上記グリーンシートを用いて形成されてなることを特徴とする。
【００１４】
形成される隔壁は、膜厚３０μｍ換算での５５０ｎｍの拡散透過率値が、ガラス基板込みの透過率値で５０％以上であることが望ましい。
【００１５】
またＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3系ガラス粉末とムライト粉末を組み合わせた本発明の材料は、両材料とも誘電率が低いため、低誘電率（ε  １０以下）の隔壁を形成することができる。それゆえ、低誘電率の隔壁が求められる場合にも好適に使用可能である。
【発明の効果】
【００１６】
本発明のプラズマディスプレイパネル用隔壁形成材料は、形状維持性を確保しながら、高い透過率を有する隔壁を形成可能な材料である。従って、鉛を含まず、しかも輝度の高いプラズマディスプレイパネルを作製するための隔壁材料として好適である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
アルミナ粉末の代わりにムライト粉末を使用すると、ＢａＯ含有量の少ないＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3系ガラス粉末を使用した場合でも透光性のある隔壁を形成することが可能になることが本発明者等の調査で明らかになった。これは、この種のＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3系ガラスが、アルミナよりもムライトに近い屈折率を有しやすいことによるものと推測される。
【００１８】
以下、本発明の隔壁形成材料を詳述する。
【００１９】
本発明のプラズマディスプレイパネル用隔壁形成材料は、ＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3系ガラス粉末とフィラー粉末を含む。両者の割合は、ＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3系ガラス粉末６０〜９０質量％、フィラー粉末１０〜４０質量％、好ましくはＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3系ガラス粉末６０〜８５質量％、フィラー粉末１５〜４０質量％、さらに好ましくはＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3系ガラス粉末６３〜８４質量％、フィラー粉末１６〜３７質量％である。フィラー粉末が少ないと（即ちガラス粉末が多いと）形状維持性が低下する。一方、フィラー粉末が多くなると（即ちガラス粉末が少ないと）焼結性が不十分となり易く、緻密な隔壁を形成することが難しくなる。また得られる隔壁の透光性が低下する。
【００２０】
さらに本発明の材料は、フィラー粉末として主にムライト粉末を使用する。ムライト粉末は、アルミナとシリカの焼成品、あるいは電融品のいずれも使用可能であり、異物除去等の目的で、ムライト粉末を焼結しない程度、例えば３００〜１３００℃、特に３００〜１１００℃の範囲にて焼成を行ってもかまわない。なお、本発明においては、フィラー粉末全てをムライト粉末としてもよいが、透光性を損なわない範囲で、その他のフィラー粉末を併用することも可能である。例えば、アルミナ、シリカ等のセラミックフィラーを熱膨張係数の調整のために導入することが可能である。さらに形状維持性の向上を目的として、アルミナ、シリカのほか、コージエライト等のセラミックフィラーを導入しても良い。フィラー粉末全体に占めるムライト粉末の割合は２０〜１００質量％、好ましくは２５〜１００質量％、さらに好ましくは３０〜１００質量％である。ムライト粉末の占める割合が少ないと、得られる隔壁の透光性が低下する。
【００２１】
本発明において使用するムライト粉末は、５０％平均粒子径が０．５〜６μｍ、特に０．６〜５μｍであることが好ましい。ムライト粉末の平均粒子径が小さ過ぎると、ペーストの形態で供給される過程でレオロジー調整がしにくくなり、またコスト的にも高くなってしまう。一方、平均粒子径が大きくなると形状維持性が悪くなる傾向がある。なお平均粒子径の異なる２種類以上のムライトを任意の混合割合で混合して使用することも可能である。またムライト以外のフィラー粉末についても、ムライトの場合と同じ理由から、５０％平均粒子径が０．５〜６μｍの範囲のものを使用することが望ましい。ただし、チタニアを使用すると隔壁の透光性を著しく損ねるため、本発明においては使用すべきでない。
【００２２】
本発明において使用するＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3系ガラス粉末は、ＺｎＯとＢ2Ｏ3を主成分として含むガラスである。このようなガラスは、例えばＺｎＯを３０質量％以上、またＢ2Ｏ3を１５質量％以上含有するようなガラスである。またＢａＯを含まないか、或いは含む場合でも２５質量％を超えない組成のガラスであることが好ましい。その理由は、この範囲にあるガラスは、アルミナ粉末よりもムライト粉末と組み合わせる方が、透光性に優れた隔壁を作製する上で有利であるためである。また隔壁材料からＰｂＯを削減するという目的からすれば、ＰｂＯは１質量％以下、好ましくは全く含有しないことが望まれる。
【００２３】
ＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3系ガラスの好適な組成例として、質量百分率で、ＺｎＯ  ３０〜６０％、Ｂ2Ｏ3  １５〜３５％、ＢａＯ  ０〜２５％、ＳｉＯ2  ３〜２０％、Ｌｉ2Ｏ  ０．２〜６％、Ｌｉ2Ｏ＋Ｎａ2Ｏ＋Ｋ2Ｏ  １〜１２％含有するＢａＯ−ＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3系ガラスが挙げられる。上記組成を有するガラスは、６００℃以下、特に５６０℃程度の低温で焼成できる隔壁材料を作製可能なものである。以下に各成分について説明する。
【００２４】
ＺｎＯは軟化点を下げるとともに、熱膨張係数を低下させる成分であり、その含有量は３０〜６０％、好ましくは３５〜５５％、より好ましくは３７〜５４％である。ＺｎＯが３０％より少ないと上記効果を得ることができず、６０％より多いとガラス中に結晶が析出して緻密な焼結体が得られなくなる。
【００２５】
Ｂ2Ｏ3はガラスの骨格を構成する成分であり、その含有量は１５〜３５％、好ましくは１６〜３３％である。Ｂ2Ｏ3が１５％より少ないとガラス化が困難となる。一方、Ｂ2Ｏ3が３５％より多いと軟化点が高くなりすぎ５６０℃以下の温度で焼成すると緻密な焼結体を得られなくなり、パネル特性が低下してしまう。
【００２６】
ＢａＯはガラスを安定化させる成分であり、その含有量は０〜２５％、好ましくは３〜２５％、さらに好ましくは４〜２３％、特に好ましくは５〜２０％である。ＢａＯは必須成分ではないが、３％より少ないと、ガラスが不安定となり結晶化しやすくなり、ドライフィルムとの密着性に問題が生じたり、隔壁形成材料として焼成する場合に、結晶が析出して緻密な焼結体が得られなくなったりする場合がある。一方、２５％より多いと熱膨張係数が高くなりガラス基板のそれと適合しなくなったり、透光性が低下するため好ましくない。
【００２７】
ＳｉＯ2はガラスの骨格を形成する成分であり、その含有量は３〜２０％、好ましくは４〜１７％、より好ましくは４〜１６％である。ＳｉＯ2が３％より少ないとガラスが不安定になり、２０％より多いと軟化点が高くなりすぎ５６０℃以下の温度で焼成することができなくなる。
【００２８】
Ｌｉ2Ｏはガラスの軟化点を著しく低下させる成分であり、その含有量は０．２〜６％、好ましくは０．５〜５％である。Ｌｉ2Ｏが０．２％より少ないと軟化点が十分に低下しないため、５６０℃以下の温度で焼成することが難しくなる。一方、Ｌｉ2Ｏが６％より多いと著しくガラスが不安定になり、結晶化しやすくなり、ドライフィルムとの密着性が低下したり、隔壁形成材料として焼成する場合に、結晶が析出して緻密な焼結体が得られなくなる。
【００２９】
尚、ガラスの安定性を維持する目的で、Ｌｉ2Ｏをガラス中に多く添加できない場合、Ｌｉ2Ｏと同様にガラスの軟化点を低下させる成分であるＮａ2ＯまたはＫ2Ｏ、もしくは両者を併用することが望ましい。但し、Ｎａ2Ｏ、Ｋ2Ｏの含有量が多くなるとガラスの安定性が低下し、ドライフィルムとの密着性の低下や、緻密な焼成体が得られなくなることが懸念されるため、含有量は、Ｎａ2Ｏが９％以下、８％以下、特に６％以下、Ｋ2Ｏが６％以下、特に５％以下に制限することが望ましい。
【００３０】
アルカリ成分についてはＬｉ2Ｏ、Ｎａ2Ｏ及びＫ2Ｏの合量の含有量で、１〜１２％、好ましくは２〜１０％であることが必要である。合量で１％より少ないと、ガラスの軟化点が十分に低下しないために、５６０℃以下の温度で焼成することができなくなる。一方、１２％より多いとガラスが不安定になり、結晶化しやすくなり、ドライフィルムとの密着性が低下したり、ガラスの耐久性に問題が生じる。
【００３１】
アルカリ金属成分を添加するとドライフィルムとの密着性が低下する傾向にある。そこで、密着性を改善するために、Ａｌ2Ｏ3を含有させてもよい。但し、Ａｌ2Ｏ3の含有量が多くなると軟化点が上昇するため、１．５％以下に制限することが望ましい。
【００３２】
また、ガラスを安定化させるために、ＢａＯ／（Ｂ2Ｏ3＋ＳｉＯ2）の割合を０．１〜０．８の範囲内にすることが望ましい。この割合が０．１より小さいと、ガラスが不安定となり、隔壁形成材料として焼成する場合に、結晶が析出して緻密な焼結体が難しくなり易い。また、０．８より大きいと、隔壁形成材料の熱膨張係数が高くなり、ガラス基板のそれと適合し難くなる。より好ましい範囲は、０．１５〜０．６である。
【００３３】
また、上記成分の他にも、本発明の効果を損なわない範囲で他の成分を添加することができる。例えば耐水性や耐薬品性を向上させるためにＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ等のアルカリ土類金属酸化物や、Ｔａ2Ｏ5、Ｌａ2Ｏ3、ＳｎＯ2、ＺｒＯ2、ＴｉＯ2、Ｎｂ2Ｏ5を、またガラス安定化のためにＰ2Ｏ5を添加してもよい。なおこれらの成分の添加量は合量で１５％以下、１４％以下、１２％以下、特に１０％以下に制限することが好ましい。
【００３４】
本発明のプラズマディスプレイパネル用隔壁形成材料は、ペーストやグリーンシートなどの形態で使用することができる。
【００３５】
ペーストの形態で用いる場合、上述した隔壁形成材料と共に、熱可塑性樹脂、可塑剤、溶剤等を使用する。隔壁形成材料のペースト中の含有量としては、３０〜９０質量％程度が一般的である。ペーストの粘度としては、２００〜１５００ポイズが望ましい。２００ポイズ以下であると、ペーストの保管性に問題があり、１５００ポイズ以上では、印刷性に問題が生じる。また、ペースト粘度が１０００ポイズ以下の状態で提供される場合は、ペーストの分離、粘度低下、樹脂の劣化等を未然に防ぐために、０〜３％までの酸化防止剤や界面活性剤を添加することが望ましい。なお、本発明でいう粘度とは、２３℃、ずり速度５．７／秒の条件で測定したときの値である。
【００３６】
熱可塑性樹脂は、乾燥後の膜強度を高め、また柔軟性を付与する成分であり、その含有量は、０．１〜２０質量％程度が一般的である。熱可塑性樹脂としてはポリブチルメタアクリレート、ポリビニルブチラール、ポリメチルメタアクリレート、ポリエチルメタアクリレート、エチルセルロース等が使用可能であり、これらを単独あるいは混合して使用する。
【００３７】
可塑剤は、乾燥速度をコントロールすると共に、乾燥膜に柔軟性を与える成分であり、その含有量は０〜１０質量％程度が一般的である。可塑剤としてはブチルベンジルフタレート、ジオクチルフタレート、ジイソオクチルフタレート、ジカプリルフタレート、ジブチルフタレート等が使用可能であり、これらを単独あるいは混合して使用する。
【００３８】
溶剤は材料をペースト化するための材料であり、その含有量は１０〜３０質量％程度が一般的である。溶剤としては、例えばターピネオール、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、２，２，４−トリメチル−１，３−ペンタジオールモノイソブチレート等を単独または混合して使用することができる。
【００３９】
ペーストの作製は、隔壁形成材料（ガラス粉末及びフィラー粉末）、熱可塑性樹脂、可塑剤、溶剤等を用意し、これを所定の割合で混練することによりペーストとすることができる。
【００４０】
このようなペーストを用いて、例えば隔壁を形成するには、まずこれらのペーストをスクリーン印刷法や一括コート法等を用いて塗布し、続いてサンドブラスト法を用いて不要な部分を除去した後、焼成して所定形状の隔壁を得る。
【００４１】
本発明のプラズマディスプレイパネル用隔壁形成材料を、グリーンシートの形態で使用する場合、上記隔壁形成材料と共に、熱可塑性樹脂、可塑剤等を使用する。
【００４２】
隔壁形成材料のグリーンシート中の含有量は、６０〜８０質量％程度が一般的である。
【００４３】
熱可塑性樹脂及び可塑剤としては、上記ペーストの調製の際に用いられるのと同様の熱可塑性樹脂及び可塑剤を用いることができ、熱可塑性樹脂の混合割合としては、５〜３０質量％程度が一般的であり、可塑剤の混合割合としては、０〜１０質量％程度が一般的である。
【００４４】
グリーンシートを作製する一般的な方法としては、隔壁形成材料と、熱可塑性樹脂及び可塑剤とを用意し、これらに、トルエン等の主溶媒や、イソプロピルアルコール等の補助溶媒を添加してスラリーとし、このスラリーをドクターブレード法によって、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等のフィルムの上にシート成形する。シート成形後、乾燥させることによって溶媒や溶剤を除去し、グリーンシートとすることができる。
【００４５】
以上のようにして得られたグリーンシートを、ガラス層を形成すべき箇所に熱圧着し、その後焼成することによって、ガラス層を形成することができる。隔壁を形成する場合には、熱圧着して塗布層を形成した後に、上述のペーストの場合と同様にして所定の隔壁の形状に加工する。
【００４６】
上記の説明においては、隔壁形成方法として、ペーストまたはグリーンシートを用いたサンドブラスト法を例にして説明しているが、これらの方法に限定されるものではなく、印刷積層法、リフトオフ法、感光性ペースト法、感光性グリーンシート法、プレス成形法などその他の形成方法にも適用され得る材料である。
【００４７】
上記のようにして作製されるプラズマディスプレイパネルの隔壁は透光性を示す。透光性を評価するパラメータとして、ガラス粉末の軟化点で１０分間焼成した後、膜厚が３０μｍ換算での５５０ｎｍの拡散透過率値を利用することができる。本発明においては、この値が５０％以上、特に５５％以上となることが望ましい。この透過率値が５０％以上であれば、プラズマディスプレイパネルの輝度の向上が期待できる。
【実施例】
【００４８】
以下、実施例に基づいて本発明を詳述する。ただし本発明は、以下の実施例により限定されるものではない。
【００４９】
表１は、本実施例に用いたガラス粉末組成（試料Ａ〜Ｉ）を、表２は、本実施例に用いるフィラー粉末（試料ａ〜ｅ）を示すものである。また表３〜６は、隔壁材料の例（試料Ｎｏ．１〜２４）とその評価結果を示すものである。
【００５０】
表１の各試料は次のようにして調製した。まず表に示す組成となるように各種酸化物、炭酸塩等のガラス原料を調合し、均一に混合した後、白金坩堝に入れて１２５０℃で２時間溶融して均一なガラス体を得た。次いでこれをアルミナボールミルで粉砕し、平均粒径が３μｍ、最大粒径が２０μｍのガラス粉末を得た。
【００５１】
得られたガラス粉末について熱膨張係数、軟化点を測定した。その結果、Ａ〜Ｉの各試料は熱膨張係数が６９．３〜８０．０×１０-7／℃、軟化点が５６４℃以下であった。
【００５２】
【表１】
2005325011.tif 000002
【００５３】
【表２】
2005325011.tif 000003
【００５４】
次に表１のガラス粉末及び表２のフィラー粉末を用いて隔壁材料を調製した。
【００５５】
まず表３〜６に示す配合割合となるように、各ガラス粉末と種々のセラミックフィラー粉末を混合した。なお、表に示す配合割合は重量％表示で示している。次に得られた混合物を、エチルセルロールのターピネオール溶液と混練して隔壁形成用ペーストとした。
【００５６】
このペーストを用いて、形状維持性、透過率、膜厚を評価した。またガラス粉末とフィラー粉末からなる混合粉末を用いて誘電率を評価した。結果を表に示す。
【００５７】
なお形状維持性は次のようにして評価した。まず、２枚の窓板ガラス（板厚１．７ｍｍ）を用意し、各ガラス板に厚み２００μｍの塗布層をスクリーン印刷法により形成した。次に塗布層上にドライフィルムレジスト（ＤＦＲ）をラミネートした。続いてこのレジストをマスクとし、サンドブラスト法によりレジストで覆われていない部分を除去して、隔壁の形状を形成した。次に、一方はガラス粉末の軟化点で、もう一方はガラス粉末の軟化点より２０℃高い温度でそれぞれ１０分間焼成した。このようにして形成された２種類の隔壁の高さ、Ｈ(軟化点)、Ｈ(軟化点＋２０℃)、を評価して、その変化率△Ｈを以下の様な計算式により求め、隔壁材料としての形状維持性を評価した。なお隔壁の高さは、隔壁の断面をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）観察し、その写真から求めた。
【００５８】
△Ｈ＝（Ｈ(軟化点＋２０℃)）／Ｈ(軟化点)）×１００
また透過率及び膜厚は次のようにして評価した。まず上記と同様の方法で窓板ガラス（板厚１．７ｍｍ）上に焼成膜厚が３０±１μｍになるように、約５０μｍの塗布層を形成し、ガラス粉末の軟化点で１０分間焼成することにより焼成膜を作製した。このようにして作製した隔壁について、５５０ｎｍでの拡散透過率を測定した。さらにこの値を膜厚３０μｍに換算し、透過率として記載した。なお拡散透過率の測定は島津製分光光度計ＵＶ−３１００にて積分球付き検出器下で行い、ガラス基板込みの値を測定した。また各試料の膜厚は、焼成後の膜厚につき評価した値であり、マイクロメータにて測定した。
【００５９】
また、誘電率は混合された粉末を金属製の金型にて円盤状にプレスし、５６０℃にて焼成を行った後に、２ｍｍの厚みに研磨して円盤試料を作製した。その後、Ａｇ電極を両面に形成して、横河ヒューレット・パッカード株式会社製ＬＣＲメーターにて周波数１ＭＨｚでの値を測定した。
【００６０】
【表３】
2005325011.tif 000004
【００６１】
【表４】
2005325011.tif 000005
【００６２】
【表５】
2005325011.tif 000006
【００６３】
【表６】
2005325011.tif 000007