(57)【要約】    【課題】  機械加工時に必要な部品精度を容易に確保しつつ対サイズ出力比を向上させることができる振動波駆動装置を提供する。    【解決手段】  超音波モータ１は、主として、振動子２と、振動子２に加圧接触状態で保持されるスライダ３とを備える。スライダ３は、磁石材料から成るスライダ基部３１と、スライダ基部３１に接合され摩擦部材３２とを備える。振動子２は、一方の面における接触部１１−ａでスライダ３の摩擦部材３２が加圧接触する弾性振動板１１と、振動板１１の他方の面に接着等で接合された圧電素子板１２とから成り、いわゆるユニモルフ構造をなす。振動板１１は、一方の面に、井桁状の厚い部分をなす２つの接触部１１−ａ及び２つの縁部１１−ｂと、スライダ３に対向する領域部分において振動板１１のＸ方向中央付近で凹部をなす薄板部１１−ｃ及び同両端部で凹部をなす２つの薄板部１１−ｄとを備える。接触部１１−ａの面は縁部１１−ｂの面と同一面内にある。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被駆動部材と、当該被駆動部材に一方の面における複数の接触部で接触する平板状の弾性部材、及び当該弾性部材の他方の面に接合された平板状の電気−機械変換素子とから成る振動子とを備える振動波駆動装置において、
前記複数の接触部は、前記弾性部材の一方の面と同一面にあることを特徴とする振動波駆動装置。
【請求項２】
前記振動子は略矩形板状であり、前記一方の面は前記振動子と略同一の形状サイズであることを特徴とする請求項１記載の振動波駆動装置。
【請求項３】
前記弾性部材は、金属の板材から打ち抜き加工又はエッチング加工により形成されることを特徴とする請求項１又は２記載の振動波駆動装置。
【請求項４】
前記電気−機械変換素子は、圧電材料と電極材料が交互に積層された積層圧電素子であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の振動波駆動装置。
【請求項５】
前記弾性部材は、前記振動子の振動特性を調整するための切り欠き又は凹部を複数箇所に備えることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の振動駆動装置。
【請求項６】
前記弾性部材に、前記振動子を支持するための支持部材が一体的に形成されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の振動波駆動装置。
【請求項７】
前記電気−機械変換素子は、互いに方向の異なる面外の１次曲げ振動モード及び２次曲げ振動モードを前記振動子に励振し、前記複数の接触部は前記１次曲げ振動モードの腹部付近且つ前記２次曲げ振動モードの節部付近に形成されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の振動波駆動装置。
【請求項８】
前記接触部は、前記電気−機械変換素子との対向面に隙間を有することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の振動波駆動装置。
【請求項９】
前記被駆動部材の少なくとも一部に磁石が備えられていることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の振動波駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動波駆動装置に関し、特に小型のリニアタイプ超音波モータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の振動波駆動を行う超音波モータとしては、突起を備えた角棒状又は角板状の振動子を用いたものがいくつか提案され（例えば、特許文献１参照）、また、振動子に突起ではなく接触部を形成したものが提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【０００３】
前者の超音波モータは、図１２に示すように、突起５２ａ，５２ｂを一方の面に有する振動板５１と、振動板５１の他方の面に配された圧電素子５３ａ，５３ｂ，５３ｃと、突起５２ａ，５２ｂと接触する被駆動部材５５とを備える。圧電素子５３ａ，５３ｂ，５３ｃは振動板５１に伸縮振動モードと曲げ振動モードから成る振動を励起する。突起５２ａ，５２ｂは、それらの先端が伸縮振動モードにおいて図中Ｘ方向の繰り返し運動を生じるように伸縮振動モードの腹又はその近傍であって、それらの先端が図中Ｚ方向の繰り返し運動を発生するように曲げ振動モードの腹付近に配置される。上記伸縮振動モードと曲げ振動モードの合成により、突起５２ａ，５２ｂの先端は略楕円運動を行って、この略楕円運動により被駆動部材５５に生じた送り力により被駆動部材５５を振動板５１に相対的に図中Ｘ方向に移動する。
【０００４】
振動板５１が突起５２ａ，５２ｂを伸縮振動モードの腹又はその近傍且つ曲げ振動モードの腹付近に備えるのは、これ以外のところで被駆動部材５５が振動板５１に接触すると異音、出力低下等の不具合が生じるからである。
【０００５】
後者の超音波モータは、図１３に示すように、フレーム状のベース６０に４本のステーにより支持され、突起や凹部のない略平滑な矩形平板状の振動板６１と、振動板６１の一端側６２において一方の面に設けられた圧電素子６３と、振動板６１の他方の面に接触している被駆動部材６５とを備える。
【０００６】
圧電素子６３は、振動板６１に１次の面外曲げ振動を励起して振動板６１を変形し、この変形により生じた被駆動部材送り力により被駆動部材６５を振動板６１に相対的に図中矢印方向に移動する。この振動板６１は、突起を備えないため加工性に優れており、製造工程の簡素化と必要な部品精度が得られ易いという利点がある。
【特許文献１】特公平６−１０６０２８号（第７頁、図１）
【特許文献２】特開２００１−１１１１２８号（第１０頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、後者の超音波モータの振動子における振動板６１は、唯一励振し得る１つの外曲げ振動モードのみでは大きな被駆動部材送り力を得ることが困難であり、加えて振動板６１に対する被駆動部材６５との接触個所がごく狭い領域である縁であることから、振動子の接触部位を規定するために、この部位の形状や平面度に高い精度を得るのが困難である。
【０００８】
一方、前者の超音波モータの振動子における振動板５１は、２つの振動モードの励振により上記のような超音波モータとしての出力確保の問題点はなく、しかも、２つの突起５２ａ，５２ｂにより上記のような接触箇所の形状や平面度の問題もないが、この振動板５１は、突起５２ａ，５２ｂを一般的に素材から機械加工で削り出すことにより作製されており、この機械加工時に、突起以外の部分を大きく削り取ることから振動板に加工歪みが発生し易く、必要な部品精度を確保するのが困難であり、さらに、突起５２ａ，５２ｂを備えることで振動子のサイズが大きくなって対サイズ出力比が低下し、超音波モータの小型化を阻害する。
【０００９】
本発明の目的は、機械加工時に必要な部品精度を容易に確保しつつ対サイズ出力比を向上させることができる振動波駆動装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、請求項１記載の振動波駆動装置は、被駆動部材と、当該被駆動部材に一方の面における複数の接触部で接触する平板状の弾性部材、及び当該弾性部材の他方の面に接合された平板状の電気−機械変換素子とから成る振動子とを備える振動波駆動装置において、前記複数の接触部は、前記弾性部材の一方の面と同一面にあることを特徴とする。
【００１１】
請求項２記載の振動波駆動装置は、請求項１記載の振動波駆動装置において、前記振動子は略矩形板状であり、前記一方の面は前記振動子と略同一の形状サイズであることを特徴とする。
【００１２】
請求項３記載の振動波駆動装置は、請求項１又は２記載の振動波駆動装置において、前記弾性部材は、金属の板材から打ち抜き加工又はエッチング加工により形成されることを特徴とする。
【００１３】
請求項４記載の振動波駆動装置は、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の振動波駆動装置において、前記電気−機械変換素子は、圧電材料と電極材料が交互に積層された積層圧電素子であることを特徴とする。
【００１４】
請求項５記載の振動波駆動装置は、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の振動波駆動装置において、前記弾性部材は、前記振動子の振動特性を調整するための切り欠き又は凹部を複数箇所に備えることを特徴とする。
【００１５】
請求項６記載の振動波駆動装置は、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の振動波駆動装置において、前記弾性部材に、前記振動子を支持するための支持部材が一体的に形成されていることを特徴とする。
【００１６】
請求項７記載の振動波駆動装置は、請求項１乃至６のいずれか１項に記載の振動波駆動装置において、前記電気−機械変換素子は、互いに方向の異なる面外の１次曲げ振動モード及び２次曲げ振動モードを前記振動子に励振し、前記複数の接触部は前記１次曲げ振動モードの腹部付近且つ前記２次曲げ振動モードの節部付近に形成されていることを特徴とする。
【００１７】
請求項８記載の振動波駆動装置は、請求項１乃至７のいずれか１項に記載の振動波駆動装置において、前記接触部は、前記電気−機械変換素子との対向面に隙間を有することを特徴とする。
【００１８】
請求項９記載の振動波駆動装置は、請求項１乃至８のいずれか１項に記載の振動波駆動装置において、前記被駆動部材の少なくとも一部に磁石が備えられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
請求項１記載の振動波駆動装置によれば、複数の接触部が弾性部材の一方の面と同一面にあるので、機械加工時に必要な部品精度を容易に確保しつつ、突起をなくして振動子のサイズを小さくし、ひいては対サイズ出力比を向上させることができる。
【００２０】
請求項５記載の振動波駆動装置によれば、弾性部材は、振動子の振動特性を調整するための切り欠き又は凹部を複数箇所に備えるので、弾性部材加工時に生じる弾性部材の厚さ等のばらつきに起因する２つの振動モードの共振周波数差のばらつきを調整して振動子の振動特性の低下を防止することができる。
【００２１】
請求項６記載の振動波駆動装置によれば、弾性部材は、振動子を支持するための支持部材が一体的に形成されているので、部品の接合個所に起因して生じる振動エネルギの消散、振動特性のばらつき等を抑制することができる。
【００２２】
請求項８記載の振動波駆動装置によれば、接触部は電気−機械変換素子との対向面に隙間を有するので、接触部に弾性特性を付与し、もって、接触部の被駆動部材に対する接触を安定させて、振動子の振動エネルギを効率的に被駆動部材に伝達することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら詳述する。
【００２４】
図１は、本発明の実施の形態に係る振動波駆動装置の構成を概略的に示す斜視図である。
【００２５】
図１の超音波モータ１は、主として、振動子２と、振動子２に加圧接触状態で保持されるスライダ３とを備える。超音波モータ１は、これらの他に、振動子２と外部との電気的な接続を行なうフレキシブル基板、振動子２を支持する支持部材、スライダ３のガイド部材、スライダ３を振動子２に対して加圧する加圧機構等を備えるが、これらの構成要素は公知であるので説明を省略する。
【００２６】
スライダ３は、磁石材料から成る角棒状のスライダ基部３１と、スライダ基部３１に接合され、高摩擦係数と摩擦耐久性を兼ね備える材料、本実施の形態では、表面を窒化処理したマルテンサイト系のＳＵＳ４４０Ｃから成る板状の摩擦部材３２とを備える。
【００２７】
スライダ基部３１を構成する磁石材料は、振動板１１を構成する強磁性のＳＵＳ４４０Ｃと協働して磁気回路を形成する。また、摩擦部材３２は、振動子２に対するスライダ３の加圧時に振動板１１との間で摩擦力を発生する。
【００２８】
振動子２は、例えば厚さ０．１５ｍｍの強磁性のマルテンサイト系ステンレスであるＳＵＳ４４０Ｃの板材から加工され、一方の面における後述する接触部１１−ａ（図２）でスライダ３の摩擦部材３２が加圧接触する矩形平板状の弾性振動板１１（弾性部材）と、同様に矩形平板状であり、振動板１１の他方の面に接着等で接合された圧電素子板１２（電気−機械変換素子）とから成り、いわゆるユニモルフ構造をなす。振動板１１は全体が略平板状であるので、所望の面内方向の剛性を確保することができ、もって振動子２はユニモルフ構造に要求される振動板１１の面内方向の剛性を満足することができる。
【００２９】
図２は、図１における振動子２の斜視図である。
【００３０】
図２の振動子２において、振動板１１と圧電素子板１２は、Ｘ方向及びＹ方向の縁が略一致するように形状と位置が規定され、振動子２の長辺は５．５ｍｍ、短辺は３．１ｍｍ、厚さは０．５ｍｍである。
【００３１】
振動板１１は、一方の面に、井桁状の厚い部分をなす２つの接触部１１−ａ及び２つの縁部１１−ｂと、スライダ３に対向する領域部分において振動板１１のＸ方向中央付近で凹部をなす薄板部１１−ｃ及び同両端部で凹部をなす２つの薄板部１１−ｄとを備える。接触部１１−ａの面は縁部１１−ｂの面と同一面内にある。２つの縁部１１−ｂはスライダ３に対向していない。また、振動板１１には、振動子２を支持するための図示しない支持部材が一体的に形成されている。
【００３２】
２つの接触部１１−ａは、夫々、後述するように圧電素子板１２により生起される第１の振動モードの腹付近且つ第２の振動モードの節付近に配される（図４）。
【００３３】
振動板１１は、薄板部１１−ｃ，１１−ｄにおいて一方の面側からエッチング加工により厚さが薄くなるように形成されている。薄板部１１−ｃ，１１−ｄの厚さは０．１ｍｍである。
【００３４】
薄板部１１−ｃ，１１−ｄは、プレスによる打ち抜き加工により切り欠かかれてもよい。
【００３５】
図３は、図２の振動子２のＸＺ断面図である。
【００３６】
図３において、圧電素子板１２は、後述する図５の積層圧電素子から成る。この圧電素子１２は、バルク状の圧電素子であってもよい。
【００３７】
圧電素子板１２は、Ｘ方向に２つの活性部１３−Ａ，１３−Ｂを備え、これらの活性部１３−Ａ，１３−Ｂの各々に所定の電界を与えることで振動板２は曲げ変形する。具体的には、活性部１３−Ａ，１３−Ｂに後述する図４の第１及び第２振動モードの共振周波数付近の交流信号を互いの位相が９０°ずれるように印加すると、振動子２を第１及び第２の振動モードが互いの位相を略９０°ずらせて励振させることができる。
【００３８】
図４は、図１における振動子２に励起される振動モードを説明するのに用いられる図であり、（ａ）は第１の振動モードを示し、（ｂ）は第２の振動モードを示す。
【００３９】
図４（ａ）において、第１の振動モードは、図中Ｘ方向に沿った節が１つ生じる面外１次曲げモードであり、図４（ｂ）において、第２の振動モードは図中Ｙ方向に沿った節が２つ生じる面外２次曲げモードである。これら２つの振動モードは共振周波数が略一致するように振動子２の形状が選択されている。
【００４０】
振動子２が第１の振動モードで励振されているとき、２つの接触部１１−ａは図中Ｚ方向の繰り返し上下運動を行い、第２の振動モードが励起されているとき、２つの接触部１１−ａはＸ方向の繰り返し前後運動を行う。第１と第２の振動モードの時間的な位相が例えば９０°ずれるように各々の振動モードの励振を行うと接触部１１−ａはＸＺ面内で略楕円運動を生じ、この略楕円運動により、接触部１１−ａと加圧接触しているスライダ３は図１のＸ方向への送り力を伝達して、振動子２に対して相対的に移動する。
【００４１】
薄板部１１−ｃ，１１−ｄは接触部１１−ａより凹むように構成されているので薄板部１１−ｃ，１１−ｄがスライダ３と干渉せずに接触部１１−ａのみがスライダ３に当接して、所望の送り力を伝達することができる。
【００４２】
図５（ａ）〜図５（ｇ）は、夫々図２における圧電素子板１２の積層構造の圧電素子膜Ｓ１〜Ｓ７の平面図である。
【００４３】
図５において、圧電素子板１２は、７つの圧電素子膜Ｓ１〜Ｓ７を順序と位置を揃えて積層して一体的に焼成することにより積層圧電素子として作製される。圧電素子膜Ｓ２の一方の面には電極膜Ｓ２−Ａ，Ｓ２−Ｂが形成され、圧電素子膜Ｓ３の一方の面には電極膜Ｓ３−Ｇが形成され、圧電素子膜Ｓ４の一方の面には電極膜Ｓ４−Ａ，Ｓ４−Ｂが形成され、圧電素子膜Ｓ５の一方の面には電極膜Ｓ５−Ｇが形成され、圧電素子膜Ｓ６の一方の面には電極膜Ｓ６−Ａ，Ｓ６−Ｂが形成され、圧電素子膜Ｓ７の一方の面には電極膜Ｓ７−Ｇが形成されている。
【００４４】
また、圧電素子膜Ｓ１には４つの貫通電極Ｓ１−ＨＡ，Ｓ１−ＨＢ，Ｓ１−ＨＳ，Ｓ１−ＨＧが形成され、圧電素子膜Ｓ２には３つの貫通電極Ｓ２−ＨＡ，Ｓ２−ＨＢ，Ｓ２−ＨＧが形成され、圧電素子膜Ｓ３には３つの貫通電極Ｓ３−ＨＡ，Ｓ３−ＨＢ，Ｓ３−ＨＧが形成され、圧電素子膜Ｓ４には３つの貫通電極Ｓ４−ＨＡ，Ｓ４−ＨＢ，Ｓ４−ＨＧが形成され、圧電素子膜Ｓ５には３つの貫通電極Ｓ５−ＨＡ，Ｓ５−ＨＢ，Ｓ５−ＨＧが形成され、圧電素子膜Ｓ６には１つの貫通電極Ｓ６−ＨＧが形成されている。
【００４５】
上記貫通電極は圧電素子膜の厚さ方向に貫通するように電極が形成されるもので、所望の電極膜の導通を行う。また、表面層を形成する圧電素子膜Ｓ１の貫通電極は圧電素子板１２と外部回路との導通用としても用いられる。
【００４６】
貫通電極Ｓ１−ＨＡは電極膜Ｓ２−Ａ，Ｓ４−Ａ，Ｓ６−Ａと導通を行い、貫通電極Ｓ１−ＨＢは電極膜Ｓ２−Ｂ，Ｓ４−Ｂ，Ｓ６−Ｂと導通を行い、貫通電極Ｓ１−ＨＧは電極膜Ｓ３−Ｇ，Ｓ５−Ｇ，Ｓ７−Ｇと導通を行い、貫通電極Ｓ１−ＨＳは電極膜Ｓ２−Ｓと導通を行う。
【００４７】
貫通電極Ｓ１−ＨＧをコモン電位として貫通電極Ｓ１−ＨＡに交流電位を与えると、圧電素子板の略１／２が活性部１３−Ａ（図３）として作用し、貫通電極Ｓ１−ＨＧをコモン電位として貫通電極Ｓ１−ＨＢに交流電位を与えると、圧電素子板の略１／２が活性部１３−Ｂ（図３）として作用し、貫通電極Ｓ１−ＨＧをコモン電位として振動子１の駆動状態で貫通電極Ｓ１−ＨＳの出力電位を検出することで、振動子１の振動状態モニタ用のセンサとして作用する。
【００４８】
図１の超音波モータ１によれば、接触部１１−ａの面は縁部１１−ｂの面と同一面内にあるので、機械加工次に必要な部品精度を容易に確保することができ、さらに突起をなくして振動子のサイズを小さくできることから、超音波モータ１の対サイズ出力比を向上させることができる。
【００４９】
また、図１の超音波モータ１によれば、接触部１１−ａと縁部１１−ｂ全域に亘って振動板１１が略同一の厚さであるので、振動板２は金属の板材からプレスによる打ち抜き加工、又はエッチング加工により形成され、加工方法が選択できる。
【００５０】
図６は、図２の振動子の第１の変形例の構成を概略的に示すＸＺ断面図である。
【００５１】
図６の振動子１０２は、図２の振動子２と構成が基本的に同じであり、図１のものと同一の構成要素には同一符号を付して重複した説明を省略し、図２の振動子２と異なる構成要素についてのみ以下に説明する。このことは、以下の変形例において同様である。
【００５２】
図６において、圧電素子板１２には振動板１１との接合部付近に非活性部１４が設けられている。振動板１１と圧電素子板１２が接合され一体化された状態で、振動板１２と非活性部１４とによりユニモルフ構造に必要な面内の剛性部位として作用する。
【００５３】
本第１の変形例における圧電素子板１２は積層圧電素子が望ましい。具体的には図５に示した積層圧電素子の圧電素子膜Ｓ７の次に電極を設けない、不活性部１４として作用する圧電素子膜を加えることで図５の圧電素子板１２の構成が得られる。
【００５４】
図７は、図２の振動子の第２の変形例の構成を概略的に示す斜視図である。
【００５５】
図７の振動子２０２における振動板１０１は、図２の振動子２と同様に接触部１１−ａと縁部１１−ｂから構成される。振動板１０１のＸ方向及びＹ方向長さは、夫々圧電素子板１２のものより短い。
【００５６】
図７の振動子２０２によれば、振動板１１の形状が単純なので、より簡易に製造可能であり、さらに振動板１１と圧電素子板１２との接合面積を低減することから、接着剤による振動エネルギの吸収量を低減して、超音波モータとしての効率を向上させることができる。
【００５７】
図８は、図２の振動子の第３の変形例の構成を概略的に示す斜視図である。
【００５８】
図８の振動子３０２における振動板１１は、薄板部１１−ｃの対向長辺部の２対４箇所に薄板部１１−ｃと同じ厚さで補償用薄板部１１−ｅが形成されている。補償用薄板部１１−ｅは、薄板部１１−ｃと同時に、例えばエッチング加工により素材の金属の板材から除去することで形成される。
【００５９】
これらの補償用薄板部１１−ｅは、２つの薄板部１１−ｃ，１１-ｅの厚さに応じて２つの振動モードの周波数が同じように変化するように形状が規定される。本第３の変形例では補償用薄板部１１−ｅを第２の振動モードの略節部付近４箇所に形成して、２つの振動モードの薄板部に対する周波数変化の割合を合わせている。
【００６０】
図８の振動子３０２によれば、薄板部加工時に生じる厚さのばらつきに起因する、特に２つの振動モードの共振周波数差ばらつきを調整して振動子２の振動特性の低下を防止することができる。
【００６１】
図９は、図２の振動子の第４の変形例の構成を概略的に示す斜視図である。
【００６２】
図９の振動子４０２の振動板１１は、接触部１１−ａにおいて圧電素子板１２との対向面に隙間を形成すべく凹部１１−ａ’を有する（図１０）。これにより、接触部１１−ａは、図９中Ｚ方向に弾性特性を付与し、もって、接触部１１−ａのスライダ３に対する接触を安定させて、振動子４０２の振動エネルギを効率的にスライダ３に伝達することができる。この弾性特性は、接触部１１−ａの厚さやＹ及びＸ方向の寸法を選択することで所望の値とすることができる。
【００６３】
図１１は、図２の振動子の第５の変形例の構成を概略的に示す斜視図である。
【００６４】
図１２の振動子５０２の振動板１１には、振動子５０２の支持部材１１−ｆが、図中Ｙ方向に張り出すように一体的に形成されている。
【００６５】
図１２の振動子５０２によれば、支持部材１１−ｆが振動子５０２と一体的に形成されているので、部品の接合個所に起因して生じる振動エネルギの消散、振動特性のばらつき等を抑制することができる。
【００６６】
支持部材１１−ｆの形成方法としては、振動板１１のプレスによる打ち抜き加工、エッチング加工等と同時に形成する方法があり、量産に適すると共に安定した部品精度が得られる。支持部材の寸法精度の向上により、振動子５０２の支持状態に起因する特性のばらつきを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明の実施の形態に係る振動波駆動装置の構成を概略的に示す斜視図である。
【図２】図１における振動子の斜視図である。
【図３】図２の振動子のＸＺ断面図である。
【図４】図１における振動子２に励起される振動モードを説明するのに用いられる図であり、（ａ）は第１の振動モードを示し、（ｂ）は第２の振動モードを示す。
【図５】（ａ）〜（ｇ）は、夫々図２における圧電素子板の積層構造の圧電素子膜の平面図である。
【図６】図２の振動子の第１の変形例の構成を概略的に示すＸＺ断面図である。
【図７】図２の振動子の第２の変形例の構成を概略的に示す斜視図である。
【図８】図２の振動子の第３の変形例の構成を概略的に示す斜視図である。
【図９】図２の振動子の第４の変形例の構成を概略的に示す斜視図である。
【図１０】図９の線Ｘ−Ｘに沿う断面図である。
【図１１】図２の振動子の第５の変形例の構成を概略的に示す斜視図である。
【図１２】従来の超音波モータの構成を説明するのに用いられる図である。
【図１３】従来の他の超音波モータの構成を説明するのに用いられる図である。
【符号の説明】
【００６８】
１  超音波モータ
２  振動子
３  スライダ
１１  振動板
１１−ａ  接触部
１１−ｂ  縁部
１１−ｃ  薄板部
１１−ｄ  薄板部
１１−ｅ  補償用薄板部
１１−ｆ  支持部材
１２  圧電素子板
１３Ａ、１３Ｂ  活性部
１４  非活性部
３１  スライダ基部
３２  摩擦部材
【図１】
2005354787.tif 000003
【図２】
2005354787.tif 000004
【図３】
2005354787.tif 000005
【図４】
2005354787.tif 000006
【図５】
2005354787.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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