(57)【要約】 【課題】  ガラス基板を搬送ボックスに高い作業空間を要することなく効率よく搬入出させることができ、かつガラス基板の支持される両側端間の距離が異なる各種のガラス基板に対し、共通の搬送ボックスで対応させることができるガラス基板搬送用ボックスを提供すること。【解決手段】  ボックス本体３内には、ガラス基板２の一側端部を支持する複数の支持溝Ｇを有した移動側板１８が挿入され、この移動側板１８に対設する一方のボックス側壁板８ａの上部側が開放自在に構成され、前記移動側板１８が、一方のボックス側壁板８ａに対し移動可能に装架することで、ガラス基板２の搬入出に際し、高い作業空間を要することなく容易に作業することができ、サイズの異なる各種ガラス基板２を搬送する場合に異なるサイズのボックスをガラス基板２のサイズ別に用意することなく、移動側面パッド１８の移動のみで対応することができる。【選択図】  図１
2005193912.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
有底のボックス本体と蓋体とから成るガラス基板搬送用ボックスであって、前記ボックス本体内には、ガラス基板の一側端部を支持する複数の支持溝を有した側板が挿入され、該側板の支持溝が設けられている側と対設するボックス本体の側壁は、その上部側もしくは全部が開放自在の壁面で構成され、前記側板は前記壁面に対し移動可能に装架されていることを特徴とするガラス基板搬送用ボックス。
【請求項２】
前記側板の支持溝が設けられている側と対設するボックス本体の側壁の上部側が開放自在である場合に、その下方側の開放されていない側壁にガラス基板の他側端部を支持する複数の支持溝が形成されている請求項１に記載のガラス基板搬送用ボックス。
【請求項３】
前記側板の支持溝が設けられている側と対設するボックス本体の側壁の全部が開放自在である場合に、該側壁近傍のボックス本体底壁面にガラス基板の底端部を支持する複数の支持溝が形成されている請求項１に記載のガラス基板搬送用ボックス。
【請求項４】
前記移働可能な側板は、前記ボックス本体に設けた任意の伸縮位置で固定可能なレール体に保持されている請求項１ないし３のいずれかに記載のガラス基板搬送用ボックス。
【請求項５】
前記レール体はボックス本体の両側壁に形成されている請求項４に記載のガラス基板搬送用ボックス。
【請求項６】
前記レール体がボックス本体の底面壁に形成されている請求項５に記載のガラス基板搬送用ボックス。
【請求項７】
前記移働可能な側板の背面とボックス本体の対面する壁面間に、伸縮自在の突っ張り体が配設されている請求項１ないし６のいずれかに記載のガラス基板搬送用ボックス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有底のボックス本体と蓋体とから成るガラス基板搬送用ボックスに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、素板ガラス、液晶表示用ガラス基板、プラズマ表示用ガラス基板、ハイブリッドＩＣセラミックス基板、ウエハなどの各種の基板、あるいはこれら基板を用いて製造した完成パネル等（以下単に「ガラス基板」という）を例えば、ガラスメーカからデバイスメーカに移送する場合に用いられる搬送用ボックスとして、有底のボックス本体と、このボックス本体の開口を開閉可能な蓋体とから成るボックスが知られていた（特許文献１、２参照）。
【０００３】
図４は、従来知られているガラス基板搬送用ボックスの外観斜視図であり、ガラス基板搬送用ボックス０１は、有底の本体部０２と蓋体（図示せず）で構成され、本体部０２内にはガラス基板支持用の支持溝０４を有した側板が一対挿入されている。ガラス基板Ｇの両側端部は対向する側板の支持溝０４間内に一枚ずつ係合支持され、上部より蓋体をガラス基板Ｇの上端縁を押さえるようにして本体部０２上にかぶせて搬送に供される。
【０００４】
【特許文献１】特開平８−３０１３５４号公報（段落００２７、第５図）
【特許文献２】特開平９−５８７７０号公報（第５，６図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献に記載の従来のガラス基板搬送用ボックスにあっては、ガラス基板を支持する側板の位置がボックス本体部０２の側壁面に固定されているため、ガラス基板のサイズ、特に、ガラス基板の支持される両側端間の距離が異なると、そのサイズに合わせた搬送ボックスを用意しなければならず、コスト高になる欠点を有していた。また、ガラス基板を搬送ボックスに搬入出させる場合に、ボックスの高さ以上にガラス基板を持ち上げなければならず、高い作業空間と長い作業時間を要していた。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、ガラス基板を搬送ボックスに高い作業空間を要することなく効率よく搬入出させることができ、かつガラス基板の支持される両側端間の距離が異なる各種のガラス基板に対し、共通の搬送ボックスで対応させることができるガラス基板搬送用ボックスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明の請求項１に記載のガラス基板搬送用ボックスは、有底のボックス本体と蓋体とから成るガラス基板搬送用ボックスであって、前記ボックス本体内には、ガラス基板の一側端部を支持する複数の支持溝を有した側板が挿入され、該側板の支持溝が設けられている側と対設するボックス本体の側壁は、その上部側もしくは全部が開放自在の壁面で構成され、前記側板は前記壁面に対し移動可能に装架されていることを特徴としている。
この特徴によれば、ボックス本体の側壁の上部側もしくは全部が開放自在の壁面で構成されているので、ガラス基板の搬入出に際し、高い作業空間を要することなく容易に作業することができ、しかもサイズの異なる各種ガラス基板を搬送する場合に、異なるサイズのボックスをガラス基板のサイズに応じて用意することなく、側板の移動のみで対応することができる。
【０００８】
本発明の請求項２に記載のガラス基板搬送用ボックスは、請求項１に記載のガラス基板搬送用ボックスであって、前記側板の支持溝が設けられている側と対設するボックス本体の側壁の上部側が開放自在である場合に、その下方側の開放されていない側壁にガラス基板の他側端部を支持する複数の支持溝が形成されていることを特徴としている。
この特徴によれば、ガラス基板の両側端部は側板の支持溝とボックス本体の開放されていない側壁の支持溝とで支持されているので、ガラス基板を安定して搬送できる。
【０００９】
本発明の請求項３に記載のガラス基板搬送用ボックスは、請求項１に記載のガラス基板搬送用ボックスであって、前記側板の支持溝が設けられている側と対設するボックス本体の側壁の全部が開放自在である場合に、該側壁近傍のボックス本体底壁面にガラス基板の底端部を支持する複数の支持溝が形成されていることを特徴としている。
この特徴によれば、ガラス基板の両側端部は側板の支持溝とボックス本体の底壁面の支持溝とで支持されているので、ガラス基板を安定して搬送できる。
【００１０】
本発明の請求項４に記載のガラス基板搬送用ボックスは、請求項１ないし３のいずれかに記載のガラス基板搬送用ボックスであって、前記移動可能な側板は、前記ボックス本体に設けた任意の伸縮位置で固定可能なレール体に保持されていることを特徴としている。
この特徴によれば、側板を押し引きして固定操作するだけで任意の位置に側板を保持固定することができる。
【００１１】
本発明の請求項５に記載のガラス基板搬送用ボックスは、請求項４に記載のガラス基板搬送用ボックスであって、前記レール体はボックス本体の両側壁に形成されていることを特徴としている。
この特徴によれば、側板が両側壁で摺動支持されるから、側板を円滑に移動させることができる。
【００１２】
本発明の請求項６に記載のガラス基板搬送用ボックスは、請求項５に記載のガラス基板搬送用ボックスであって、前記レール体がボックス本体の底面壁に形成されていることを特徴としている。
この特徴によれば、側板が両側壁に加えて底面壁でも摺動支持されているので、側板をより円滑に移動させることができる。
【００１３】
本発明の請求項７に記載のガラス基板搬送用ボックスは、請求項１ないし６のいずれかに記載のガラス基板搬送用ボックスであって、前記移働可能な側板の背面とボックス本体の対面する壁面間に、伸縮自在の突っ張り体が配設されていることを特徴としている。
この特徴によれば、突っ張り体が移働可能な側板の背面側から側板を支持しているので、側板が傾斜することなく任意の位置に立設させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明の実施例を以下に説明する。
【実施例１】
【００１５】
本発明の実施例を図面に基づいて説明すると、先ず図1は本発明の実施例１であって、移動可能に装架された移動側板に対設するボックス本体の側板が開放自在に構成されたガラス基板搬送用ボックスの概観斜視図、図２はガラス基板搬送用ボックス内で移動可能な移動側板を任意の位置で支持する突っ張り支持装置の斜視図であり、図３は本発明の搬送用ボックスにガラス基板を自動挿入する動作説明図である。
【００１６】
先ず図1には、本発明の実施例１としてのガラス基板搬送用ボックス１が示されており、このガラス基板搬送用ボックス１は、複数のガラス基板２（１８００ｍｍ×２０００ｍｍ×０．７ｍｍ）を例えば、ガラスメーカからデバイスメーカに移送する場合に用いられる搬送用ボックスとして使用するものであって、図１に示す横長直方体で後述する上部及び前縦側部の一部が開口したボックス本体３と天井蓋体４と切り欠き開口部蓋体５とから成り、ボックス本体３は、底板６と４枚の長寸ボックス側壁板７ａ，７ｂ及び短寸ボックス側壁板８ａ，８ｂとを組み合わせて構築されている。
【００１７】
図１に示されるように、ガラス基板搬送用ボックス１を構成する長寸ボックス側壁板７ａ，７ｂ及び短寸ボックス側壁板８ａ，８ｂ、底板６及び天井蓋体４及び切り欠き開口部蓋体５は同材料の板体から形成され、この板体は両側が発砲スチロール樹脂（例えば発砲ポリエチレン樹脂）を両側からアルミ複合板で挟んだ断面構造となっており、アルミ複合板の最外面と最内面は導電処理のためにポリエステル樹脂系の焼き付け塗料が塗布されている。
【００１８】
一方のボックス側壁板８ａ上部には切り欠き開口部９が形成され、他方側のボックス側壁板８ｂに比べて、一方のボックス側壁板８ａは高さが低い形状になっている。また、ボックス本体３の上部には天井開口部１０が形成され、前記切り欠き開口部９には切り欠き開口部蓋体５が、前記天井開口部１０には天井蓋体４がそれぞれ取付け可能になっている。
【００１９】
前記切り欠き開口部蓋体５の裏面には、切り欠き蓋体パッド１１が貼着され、この切り欠き蓋体パッド１１は弾性材、例えばポリエチレン系発砲体等で形成され、この蓋体パッド１１は所定厚みを有する直方体に形成されている。
【００２０】
前記天井蓋体４の下面には、天井蓋体パッド１３が貼着され、このパッド１３は前記切り欠き蓋体パッド１１と同様の弾性材で形成されるが底板６の上面に貼着された底面パッド１４と同形状で同材質にすることも可能である。このパッド１３はガラス基板２の上端面を押圧するよう構成されている。
【００２１】
また、図１に一部が示されるように、ボックス本体２内の底板６上面には、硬質材として例えばポリプロピレン系発泡体より成る所定厚みを有する直方体に形成されたガラス基板支持用の複数の底面パッド１４が長手方向に所定間隔毎に並設して貼着されている。そして、この底面パッド１４の上面には、断面山形の、例えば１４ｍｍピッチ間隔の平行な支持溝Ｙを構成するリブが形成されている。
【００２２】
そして、ボックス本体２の長寸側の対向する両ボックス側壁板７ａ，７ｂ内壁の略中央には、レール体となるリニアガイドレール２０，２０（一方のみ図示）が平行に敷設され、このリニアガイドレール２０，２０に直線方向に移動可能に支持される両リニアスライド２２，２２には、図示しないブラケットを介して矩形状の側板となる移動側板１８が垂直に支持されている。
【００２３】
この移動側板１８は、他方のボックス側壁板８ｂ側の前面にあって、一方のボックス側壁板８ａの内壁に貼着された側板に対向するように配設されている。そして、この移動側板１８は、一対のブラケット２２ａ，２２ｂに装架される所定強度を持つアルミ製の基板１５前面に所定間隔（例えば１４ｍｍ）で複数の支持溝Ｇを縦方向に形成した断面山形の誘導リブ部材１２が貼着され、これら支持溝Ｇは一方のボックス側壁板８ａの誘導リブ部材１２で形成される支持溝Ｇと同間隔で対応している。
【００２４】
また、移動側板１８は、前後に移動することで一方のボックス側壁板８ａにおける誘導リブ部材１２の支持溝Ｇと対向する支持溝Ｇ間距離が可変となり、搬送されるガラス基板２の長さに応じて自由に設定して、ガラス基板２の両端を対向する支持溝Ｇ間で支持することができる。
【００２５】
次に、移動側板１８を任意の位置で位置決め保持する突っ張り支持装置Ｅに付き図２を参照して詳述する。
【００２６】
他方側のボックス側壁板８ｂ中央の内壁面上下に２つの突っ張り支持装置Ｅが離間して平行に配設されており、この突っ張り支持装置Ｅは、互いに摺動可能に挿嵌する直径の異なる突っ張り筒体２４，２５と突っ張り棒体２６から構成されている。
【００２７】
後方に配置される突っ張り筒体２４は、中空管で構成されて後端外周縁には開口２８ａが形成されるようにフランジ２８が溶接接合されると共に、内周面には環状のガイドブッシュ３２が装着され、その部位における突っ張り筒体２４外周に形成されたネジ孔には蝶ネジＴが螺挿している。
【００２８】
また、中間に配置される突っ張り筒体２５は、突っ張り筒体２４のガイドブッシュ３２に摺動可能に挿通支持される小径の中空管で構成され、後端の開口（図示せず）する外周縁にはフランジ３４が溶接接合されされて突っ張り筒体２４内に挿嵌されると共に、先端の内周面には環状のガイドブッシュ３８が装着され、その部位における突っ張り筒体２５外周に形成されたネジ孔には蝶ネジＴが螺挿している。
【００２９】
更に、前方に配置される突っ張り棒体２６は、突っ張り筒体２５より短尺で筒体２５のガイドブッシュ３８に摺動可能に挿通支持される小径の丸軸で構成され、後端の外周縁にはフランジ３６が溶接接合されされて突っ張り筒体２５内に挿嵌されると共に、先端の外周縁にはフランジ３０が着脱可能に取着されている。
【００３０】
このように、突っ張り筒体２５は、その後方外周が突っ張り筒体２４内部のガイドブッシュ３２に挿通支持されると共に、後端外周のフランジ３４外周が筒体２４の内周に保持されて前進移動端がガイドブッシュ３２によって制限されている。
【００３１】
更に、丸軸状の突っ張り棒体２６は、その後方外周が突っ張り支持体２５内部のガイドブッシュ３８に挿通支持されると共に、後端外周のフランジ３６外周が突っ張り筒体２５の内周に保持されて前進移動端がガイドブッシュ３８によって制限されている。
【００３２】
そして、後方の突っ張り筒体２４のフランジ２８を側板が貼着されていない他方のボックス側壁板８ｂ内壁に固定すると共に、突っ張り支持体２６に取着されたフランジ３０を移動側板１８の基板１５裏面に固定する。
【００３３】
このように構成された突っ張り支持装置Ｅは、３個の突っ張り体２４，２５，２６によって無段階に伸縮できるよう構成され、搬送されるガラス基板２の長さに応じて移動側板１８を移動して対向する支持溝Ｇ間距離が設定されると、２つの蝶ネジＴを締め付けることで位置決め保持することができる。
【００３４】
図１に示す１６は、天井蓋体４及び切り欠き開口部蓋体５とボックス本体３の開口部９，１０を閉塞固定するための連結金具で、例えばパッチン錠を使用し、このパッチン錠の作用で係合保持され、前記各蓋体４，５の開放がロックされる。
【００３５】
次に、上記のように構成されたガラス基板搬送用ボックスの機能につき図３を参照して説明する。
【００３６】
図３に示す１７はガラス基板２の搬送装置で、例えばクレーンや特殊フォークにガラス基板２を吸着するための真空吸着具Ｒを取り付けた通常のガラス基板搬送装置である。
【００３７】
図３に示すように、搬送装置１７に取り付けた真空吸着具Ｒによりガラス基板２を吸着して横方向に移動し、一方の低い高さのボックス側壁板８ａをまたぎ、ボックス本体３内に搬送し、移動側板１８の誘導リブ部材１２で形成された縦方向の支持溝Ｇにガラス基板２の先端部を挿入させる。
【００３８】
次に、搬送装置１７によりガラス基板２が下方に移動されると、ガラス基板２は支持溝Ｇ内を下方に移動し、所定の位置でガラス基板２の後端部は一方のボックス側壁板８ａに設けられた支持溝Ｇ内に誘導されて更に下方に移動し、ガラス基板２の下端部は底板６に設けられた底面パッド１４の支持溝Ｙに支持され、この時点でガラス基板２の吸着は解放される。このように、ボックス本体３の開口部９，１０からガラス基板を搬入出できるので、ガラス基板を開口部１０まで持ち上げる必要がなく、作業効率が向上する。
【００３９】
この動作を順次繰り返すことによって、ガラス基板２は順次ボックス本体３内に収納されていく。ボックス本体３内に所定個数のガラス基板２が収納されると、天井蓋体４及び切り欠き開口部蓋体５の閉塞が行われ、各蓋体４，５はパッチン錠１６ロックされる。
【００４０】
尚、本実施例では、蓋体パッド１１，１３が別体となっているが、別の変形例としてポリエチレン系発砲体より形成されている蓋体パッド１１，１３を断面Ｌ字状の蓋体として一体的に形成することで、天井蓋体４及び切り欠き開口部蓋体５を同時に開閉可能に構成することができ、このように形成すると蓋体の開閉工程を一つ省略できる。また、各蓋体４，５を蝶番で一体化することもできる。
【００４１】
上記の方法で収納されたガラス基板搬送ボックス１は、例えば、ガラスメーカからデバイスメーカに移送するボックスとして使用される。
【００４２】
このように実施例１によれば、ボックス本体３の一方のボックス側壁板８ａ上部側が開放自在の壁面で構成されているので、ガラス基板２の搬入出に際し、高い作業空間を要することなく容易に作業することができ、しかもサイズの異なる各種ガラス基板２を搬送する場合に、異なるサイズのボックスをガラス基板２のサイズに応じて用意することなく、移動側板１８の移動のみで対応することができる。
【００４３】
また、ガラス基板２の両側端部が、一方のボックス側壁板８ａの支持溝Ｇとボックス本体３の開放されていない移動側板１８の支持溝Ｇとで支持されているので、ガラス基板２を安定して搬送できる。
【００４４】
更に、ガラス基板２の両側端部は一方のボックス側壁板８ａの支持溝Ｇと移動側板１８の支持溝Ｇに支持されると共に、移動側板１８の下端が底面パッド１４の支持溝Ｙに支持されているので、ガラス基板２を安定した状態で搬送できる。
【００４５】
そして、移動側板１８は、両端がリニアガイドレール２０，２０に直線方向に移動可能に支持されるので円滑に移動させることができる。また、移動側板１８の背面が、他方側のボックス側壁板８ｂ中央の内壁面上下に配設された２つの突っ張り支持装置Ｅにより保持されているので、傾斜することなく任意の位置に立設させることができ、移動側板１８を押し引きして固定操作するだけで任意の位置に保持固定することができる。
【実施例２】
【００４６】
次に、実施例２に付き図４を参照して説明する。図４は実施例２におけるガラス基板搬送用ボックスであって、移動側板を移動可能に支持するガイドレールの配置構成を示すガラス基板搬送用ボックスを一部断面した外観斜視図である。尚、同一構成部材に付いては同一符号を付してその説明を省略する。
【００４７】
本実施例は、実施例１に対しレール体を更に追加したもので、ボックス本体２の長寸側の対向する両ボックス側壁板７ａ，７ｂ内壁の上下には、一対のレール体となるリニアガイドレール４０ａ，４０ｂ及び４２ａ，４２ｂが平行に敷設されると共に、底板６中央の上面にもリニアガイドレール４４が平行に敷設されている。
【００４８】
本実施例２における移動側板４６は、ベース部材と、該ベース部材の上面に形成された例えば１４ｍｍピッチ間隔の平行で垂直な断面山形の誘導リブ部材１２によって形成される複数の支持溝Ｇを有するパッドから構成されている。
【００４９】
移動側板４６の垂直基板４５ａからＬ字状に折曲した水平基板４５ｂの上面にもガラス基板の底側端を支持する支持溝Ｇを有する底面パッドが貼着されている。このように側板の底部に、ガラス基板の底側端の一部を支持する支持溝が形成された底面パッドを備えることで、ガラス基板を移働可能な側板位置に影響されずに、常に安定に支持することができる。
【００５０】
そして、移動側板４６は、両側端縁がリニアガイドレール４０ａ，４０ｂ及び４２ａ，４２ｂのリニアスライド２０ａ，２０ｂ及び２１ａ，２１ｂにブラケット２２ａ，２２ｂを介して架設されると共に、下端面もボックス本体２内の底板６上面に敷設されたリニアガイドレール４４の図示しないリニアスライドにブラケットを介して支持されている。
【００５１】
このように構成することで、ガラス基板２の他方側端部とこの端部近傍下端縁が移動側板４６によって支持され、ガラス基板２の一方の側端部が一方のボックス側壁板８ａの内側壁に貼着された側板の複数の支持溝Ｇに支持されると共に、下端縁が一方のボックス側壁板８ｂ近傍の底板６上面に貼着された底面パッド１４上面の支持溝Ｙにそれぞれ支持される。
【００５２】
これにより、サイズの異なるガラス基板は、一方のボックス側壁板８ａ及び底面パッド１４と、移動可能な移動側板４６の支持溝Ｇと底面パッドの支持溝Ｙにそれぞれ支持され、支持溝Ｇ間距離が設定されると突っ張り支持装置Ｅの２つの蝶ネジＴを締め付けることで位置決め保持することができる。
【００５３】
また、底板６中央の上面にもリニアガイドレール４４が平行に敷設されているので、移動側板４６をより円滑に移動させることができる。
【００５４】
ガラス基板の搬入出を更に容易にするために、ボックス側壁板８ａを設けずに、一方のボックス側壁を全部開放したものにも本発明は適用できる。この場合、ガラス基板は移動側板と底面パッドで支持させればよい。
【００５５】
以上、本発明の実施例を図面により説明してきたが、具体的な構成はこれら実施例に限られるものではなく、例えば突っ張り支持装置として公知のターンバックル体を使用することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の実施例１であって、移動可能に装架された移動側板に対設するボックス本体の側板が開放自在に構成されたガラス基板搬送用ボックスの概観斜視図である。
【図２】ガラス基板搬送用ボックス内で移動可能な移動側板を任意の位置で支持する突っ張り支持装置の斜視図である。
【図３】本発明の搬送用ボックスにガラス基板を自動挿入する動作説明図である。
【図４】実施例２におけるガラス基板搬送用ボックスであって、移動側板を移動可能に支持するガイドレールの配置構成を示すガラス基板搬送用ボックスを一部断面した外観斜視図である。
【図５】従来のガラス基板搬送用ボックスの外観斜視図である。
【符号の説明】
【００５７】
１                      搬送用ボックス（ガラス基板搬送用ボックス）
２                      ガラス基板
３                      ボックス本体
４                      天井蓋体
５                      開口部蓋体
６                      底板
７ａ，７ｂ              長寸ボックス側壁板
８ａ，８ｂ              ボックス側壁板
９，１０                開口部
１０                    天井開口部
１１                    切り欠き蓋体パッド
１２                    誘導リブ部材
１２’                  誘導リブ部材
１３                    天井蓋体パッド
１４                    底面パッド
１５                    基板
１６                    パッチン錠（連結金具）
１７                    搬送装置
１８                    移動側板
２０                    リニアガイドレール（レール体）
２０ａ，２０ｂ          リニアスライド
２１ａ，２１ｂ          リニアスライド
２２，２２              リニアスライド
２２ａ，２２ｂ          ブラケット
２４，２５，２６        支持体
２８，３０              フランジ
２８ａ                  開口
３２                    ガイドブッシュ
３４，３６              フランジ
３８                    ガイドブッシュ
４０ａ，４０ｂ          リニアガイドレール
４２ａ，４２ｂ          リニアガイドレール
４４                    リニアガイドレール
４５ａ                  垂直基板
４５ｂ                  水平基板
４６                    移動側板
Ｅ                      突っ張り支持装置（突っ張り体）
Ｇ                      支持溝
Ｒ                      真空吸着具
Ｔ                      蝶ネジ
Ｙ                      支持溝
【図１】
2005193912.tif 000003
【図２】
2005193912.tif 000004
【図３】
2005193912.tif 000005
【図４】
2005193912.tif 000006
【図５】
2005193912.tif 000007