(57)【要約】【課題】小型で組み立て生産性が高い長尺状のインクジェットヘッド及びこれを用いたインクジェットプリンタを提供すること。【解決手段】それぞれ圧電材料により形成された隔壁２１と溝状に凹設されたインクチャネル２２とが交互に並設された複数個のチャネル基板２が、隣接するチャネル基板２との間に間隔をおき、且つ、各インクチャネル２２間の位相が合うように、１枚のカバー基板１の両面に各チャネル基板２のインクチャネル凹設面側をそれぞれ配置させて千鳥状に交互にずらして接着されると共に、全チャネル基板２及び前記カバー基板１の前端面に亘って１枚のノズルプレート３が接着されてなることを特徴とするインクジェットヘッド及びこれを用いたインクジェットプリンタ。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれ圧電材料により形成された隔壁と溝状に凹設されたインクチャネルとが交互に並設された複数個のチャネル基板が、隣接するチャネル基板との間に間隔をおき、且つ、各インクチャネル間の位相が合うように、１枚のカバー基板の両面に各チャネル基板のインクチャネル凹設面側をそれぞれ配置させて千鳥状に交互にずらして接着されると共に、全チャネル基板及び前記カバー基板の前端面に亘って１枚のノズルプレートが接着されてなることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
隣接するチャネル基板の間に隙間を埋める充填部材が設けられていることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記充填部材は放熱部材であることを特徴とする請求項２記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記充填部材の少なくとも一つには、インクを共通インク室へ導入するためのインク導入口が設けられていることを特徴とする請求項１、２又は３記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記充填部材の少なくとも一つには、インク及び／又はインク中の気体を排出するためのインク排出口が設けられていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載のインクジェットヘッドが複数ヘッド並設されると共に、各インクジェットヘッドは、そのノズルの並び方向に沿う位置が独立して調整可能であることを特徴とするインクジェットプリンタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はインクジェットヘッド及びインクジェットプリンタに関し、詳しくは、複数個のチャネル基板を用いて長尺状に形成したインクジェットヘッド及びこれを用いたインクジェットプリンタに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＰＺＴ等の圧電材料により形成された隔壁と溝状に凹設されたインクチャネルとを交互に並設したチャネル基板を有するインクジェットヘッドでは、入手できる圧電材料基板の大きさに限界があるため、並設可能なインクチャネルの数も自ずと限界があり、ノズル数の多い長尺状に形成することが困難である。このため、従来、特許文献１や特許文献２に記載されているように、それぞれ独立したヘッドユニットを複数個形成し、それらを１枚の基板の両面に千鳥状に交互にずらして取り付けることにより、インクチャネルの並設数を増加させて長尺状のインクジェットヘッドを構成している。
【０００３】
しかし、１枚の基板の両面に取り付けられるヘッドユニットは、それぞれが独立して完成されたインクジェットヘッドであるため、全てのヘッドユニットのノズル面の位置が合うように、各ヘッドユニット毎にそれぞれ位置合わせしながら、一つずつ位置決めして基板に取り付けていかなくてはならず、組み立て作業が困難であるという問題がある。
【０００４】
また、各ヘッドユニットは、それ自体がそれぞれ完成したインクジェットヘッドであるため、これを基板の両面に取り付けると、最終的に得られるインクジェットヘッドが大型化してしまう問題がある。
【０００５】
更に、ヘッド交換の場合、位置合わせして取り付けることが困難であるという問題がある。
【特許文献１】特開２０００-１３５７８７号公報の図１１
【特許文献２】特許第３３９５１２３号公報の図８
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
そこで、本発明の課題は、小型で組み立て生産性が高い長尺状のインクジェットヘッドを提供することにある。
【０００７】
また、本発明の他の課題は、長尺状のインクジェットヘッドを複数有し、他ヘッドとの位置合わせが容易なインクジェットプリンタを提供することにある。
【０００８】
本発明の他の課題は、以下の記載により明らかとなる。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題は、以下の各発明によって解決される。
【００１０】
請求項１記載の発明は、それぞれ圧電材料により形成された隔壁と溝状に凹設されたインクチャネルとが交互に並設された複数個のチャネル基板が、隣接するチャネル基板との間に間隔をおき、且つ、各インクチャネル間の位相が合うように、１枚のカバー基板の両面に各チャネル基板のインクチャネル凹設面側をそれぞれ配置させて千鳥状に交互にずらして接着されると共に、全チャネル基板及び前記カバー基板の前端面に亘って１枚のノズルプレートが接着されてなることを特徴とするインクジェットヘッドである。
【００１１】
請求項２記載の発明は、隣接するチャネル基板の間に隙間を埋める充填部材が設けられていることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッドである。
【００１２】
請求項３記載の発明は、前記充填部材は放熱部材であることを特徴とする請求項２記載のインクジェットヘッドである。
【００１３】
請求項４記載の発明は、前記充填部材の少なくとも一つには、インクを共通インク室へ導入するためのインク導入口が設けられていることを特徴とする請求項１、２又は３記載のインクジェットヘッドである。
【００１４】
請求項５記載の発明は、前記充填部材の少なくとも一つには、インク及び／又はインク中の気体を排出するためのインク排出口が設けられていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のインクジェットヘッドである。
【００１５】
請求項６記載の発明は、請求項１〜５のいずれかに記載のインクジェットヘッドが複数ヘッド並設されると共に、各インクジェットヘッドは、そのノズルの並び方向に沿う位置が独立して調整可能であることを特徴とするインクジェットプリンタである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、小型で組み立て生産性が高い長尺状のインクジェットヘッドを提供することができる。
【００１７】
また、本発明によれば、長尺状のインクジェットヘッドを複数有し、他ヘッドとの位置合わせが容易なインクジェットプリンタを提供することができる。
【００１８】
本発明の他の課題は、以下の記載により明らかとなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。
【００２０】
図１は、本発明に係るインクジェットヘッドの正面図、図２（ａ）は、図１の(a)-(a)線に沿う断面図、（ｂ）は、図１の(b)-(b)線に沿う断面図、図３は、図２の(iii)-(iii)線に沿う断面図である。
【００２１】
本発明に係るインクジェットヘッド１００は、１枚のカバー基板１の両面に、それぞれ複数個のチャネル基板２が交互にずらして接着され、全チャネル基板２及びカバー基板１の前端面に亘って、これらを全て覆うように１枚のノズルプレート３が接着されている。
【００２２】
各チャネル基板２は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等からなる圧電材料基板に多数のインクチャネル２２となる溝が平行に形成されることにより、該圧電材料からなる隔壁２１と溝状に凹設されたインクチャネル２２とが交互に並設されている。個々のインクチャンネル２２は、チャネル基板２の前端（図２における左端）から後端（図２における右端）に向けて延びる直線状の細長い溝形状に切削されて、削り残した圧電材料が各インクチャンネル２２の間の隔壁２１となっている。また、各インクチャネル２２は、チャネル基板２の前端から後端側の中途部まで凹設されており、後端側にいくにつれて徐々に浅くなって浅溝部２２ａを形成し、ついには消滅する。
【００２３】
そして、このようなチャネル基板２の複数個が、カバー基板１の同一面において隣接するチャネル基板２との間に間隔をおいて、そのインクチャネル２２の凹設面側をカバー基板１に配置させると共に、カバー基板１の両面で千鳥状に交互にずらして接着されている。
【００２４】
各チャネル基板２は、図３に示すように、一つのチャネル基板２におけるインクチャネル２２間のピッチをＬとした場合、カバー基板１の一方の面のチャネル基板２の最端部のインクチャネル２２と、カバー基板１の他方の面において上記チャネル基板２と近接配置されるチャネル基板２の最端部のインクチャネル２２との間のピッチもＬとなっており、全チャネル基板２は、各インクチャネル２２間の位相が合うように配置されている。
【００２５】
なお、本実施形態では、カバー基板１の両面で各チャネル基板２のインクチャネル２２同士は重複しないように同一ピッチＬで配置されているが、図４に示すように、カバー基板１の両面の各チャネル基板２における端部の１又は複数のインクチャネル２２同士を、互いに重複するように配置させるようにしてもよく、この場合は、各チャネル基板２間でのインクチャネル２２の位相を揃えることが容易となる。
【００２６】
各インクチャンネル２２の内面（隔壁２１の表面）には電極２３が形成されている。電極２３を形成する金属は、Ｎｉ（ニッケル）、Ｃｏ（コバルト）、Ｃｕ（銅）、Ａｌ（アルミニウム）等があるが、ＮｉやＣｕが好ましく、特に好ましくはＮｉである。
【００２７】
各インクチャネル２２内の電極２３は、インクチャネル２２の後端側の浅溝部２２ａを介してチャネル基板２の後端側の上面２ａまでそれぞれ引き出されている。従って、各電極２３は、チャネル基板２の後端側の上面２ａにおいて、インクチャネル２２と同一ピッチで平行に並設されている。
【００２８】
圧電材料からなるチャネル基板２は分極処理されており、隔壁２１の表面に形成された上記電極２３に電圧を印加することで分極方向と直角方向から電圧を掛けると、隔壁２１が圧電滑り効果によってくの字形にせん断変形し、インクチャネル２２の容積が変化して、インクチャネル２２内のインクに圧力変化を与える。インクチャネル２２内において圧力変化を与えられたインクは、ノズルプレート３に各インクチャネル２２に対応して開設されたノズル孔３１からインク滴として外部に噴射され、紙等の記録媒体上に着弾することで画像の記録が行われる。
【００２９】
カバー基板１には、例えば、窒化アルミを成分に含むセラミックス、分極処理されていない圧電材料、液晶ポリマー等の材料を用いることができ、更に、熱膨張係数が、チャネル基板２の熱膨張係数の±２ｐｐｍ／℃以内であるものが好ましい。熱膨張係数をこの範囲とすることで、各基板間に熱膨張係数の差による剥離等が起こらない。
【００３０】
カバー基板１の長さ（図２中の左右方向の長さ）は、各チャネル基板２のインクチャネル２２の長さ（図２中の左右方向の長さ）よりも短く、これによって各インクチャネル２２の後端側の浅溝部２２ａ付近はカバー基板１によって塞がれていない。
【００３１】
カバー基板１の同一面において隣接するチャネル基板２、２の間には、その隙間を埋めるようにそれぞれ充填部材４が設けられており、このように充填部材４を設けることは本発明において好ましい態様である。充填部材４は、カバー基板１と同様、例えば、窒化アルミを成分に含むセラミックス、分極処理されていない圧電材料、液晶ポリマー等の材料を用いることができる。また、アルミニウムや銅等の放熱性に優れた金属により形成することで、各チャネル基板２の駆動時に発生する熱を放熱する放熱部材として機能させることも好ましい。
【００３２】
各充填部材４は、図２に示すように、その前端面が各チャネル基板２及びカバー基板１の前端面と同一面とされており、ノズルプレート３の接着面をインクジェットヘッド１００全体に亘ってほぼ平坦面としている。また、各充填部材４は各チャネル基板２の長さ（図２における左右方向の長さ）とほぼ同一長さを有しており、後端側はカバー基板１を挟んでチャネル基板２の上面２ａと対面している。
【００３３】
そして、このようにカバー基板１を挟んで対面している上側のチャネル基板２及び充填部材４と下側のチャネル基板２及び充填部材４との間には、全チャネル基板２及び全充填部材４に亘って１枚の接続基板５が接着され、該チャネル基板２と充填部材４の後端を密閉している。これにより、カバー基板１の後方には、各チャネル基板２、カバー基板１及び接続基板５により囲まれる空間が形成され、この空間によって、各チャネル基板２の各インクチャネル２２にインクを分配するための共通のインク流路６が形成されている。この接続基板５には、例えばカバー基板１と同一の材料を用いることができる。
【００３４】
接続基板５の後端は、各チャネル基板２の後端よりも更に後方に突出している。この接続基板５の各チャネル基板２との接着面には、各チャネル基板２の後端側の上面２ａ（図２参照）に引き出された各電極２３とそれぞれ電気的に接続される引き出し電極５１が、各電極２３と対応するように同一ピッチで平行に設けられている。従って、各インクチャネル２２内の電極２３は、各チャネル基板２の後端から、引き出し電極５１によって接続基板５の両面を通って外部に引き出されており、この外部に引き出された引き出し電極５１を利用して、各チャネル基板２の後端側から、各インクチャネル２２内の電極２３に電圧を印加することができるようになっている。
【００３５】
この接続基板５の外部に露出する引き出し電極５１には、駆動回路と電気的に接続するための配線が接続される。本実施形態では、異方性導電フィルムを用いてＦＰＣ（フレキシブルプリント基板）７がそれぞれ接合され、このＦＰＣ７を介して駆動回路（図示せず）からの駆動電圧が各インクチャネル２２内の電極２３に印加されるようになっている。
【００３６】
このようなインクジェットヘッド１００を製造する方法の一例を図５〜図１１を用いて説明する。
【００３７】
まず、図５に示すように、チャネル基板２となる分極処理された圧電材料基板２００の表面に、電極を選択的に形成するためのマスクを予めドライフィルム８により形成し、圧電材料基板２００の表面の両端側に、各電極形成領域８ａに相当するドライフィルム８を露光処理することにより除去し、圧電材料基板２００の表面を露出させておく。
【００３８】
なお、図示しないが、圧電材料基板２００は、表面側に厚さが概ね溝２０１の深さの半分で、分極方向が下側の圧電材料基板とは逆の圧電材料薄板が接着された構造となっている。このことにより、ヘッドは電極を溝２０１の内部の全面に形成しても駆動できる構造となる。めっき法によって金属膜２０３を形成する場合は、溝２０１の全面に電極が形成されるので、この構造をとっておく必要がある。
【００３９】
この後、図６に示すように、圧電材料基板２００の表面からダイシングブレード９により多数の溝２０１を平行に切削加工することにより形成する。この溝２０１がそれぞれインクチャネル２２となる。個々の溝２０１は、圧電材料基板２００の一端の電極形成領域８ａからダイシングブレード９を圧電材料基板２００の表面に下降させた後、矢印の方向に同一深さとなるように他端の電極形成領域８ａに至るまでダイシングブレード９を移動させて研削し、該他端の電極形成領域８ａに到達したらダイシングブレード９を上昇させることによって凹設する。これにより、圧電材料基板２００に、溝２０１とその間に削り残された圧電材料からなる隔壁２０２とが交互に平行に並設されると同時に、溝２０１は、圧電材料基板２００の両端にいくにつれて徐々に浅くなって浅溝部２０１ａとなり、ついには消滅する。
【００４０】
このようにして圧電材料基板２００にインクチャネルとなる溝２０１とその間の隔壁２０２を形成した後、ドライフィルム８が被覆された表面に対し、めっき法、蒸着法、スパッタ法等によって金属膜２０３を形成する。金属膜２０３はドライフィルム８により被覆されていない各電極形成領域８ａ及びダイシングブレード９により研削加工された各溝２０１内にのみ形成される。
【００４１】
このとき、溝２０１内の金属膜２０３は、図７に示すように、圧電材料基板２００の各溝２０１の長さ方向に沿う両端に位置する浅溝部２０１ａを介して圧電材料基板２００の表面までそれぞれ引き出し形成される。これにより、各金属膜２０３は、圧電材料基板２００の両端側の表面において、各溝２０１と同一ピッチで平行に並設される。この金属膜２０３が、それぞれインクチャネル２２内及び該インクチャネル２２から引き出される電極２３となる。
【００４２】
このようにして作成された圧電材料基板２００を、各溝２０１の並び方向に沿って複数個並置すると共に、隣接する圧電材料基板２００との間に充填部材４を挟みこむようにして並設する。更に、図８に示すように、溝２０１の凹設面側におけるほぼ中央部位に、全圧電材料基板２００及び充填部材４に亘って１枚のカバー基板１を配置させて接着すると共に、各圧電材料基板２００及び充填部材４の両端部に、それぞれ接続基板５を接着する。
【００４３】
この接続基板５には、予めそれぞれ両面に、対応する圧電材料基板２００の各金属膜２０３と同一位置、同一ピッチで引き出し電極５１を形成しておき、圧電材料基板２００に形成された各金属膜２０３と引き出し電極５１とが合致するように位置合わせして異方性導電フィルム等を用いて接着する。引き出し電極５１の形成は、上記金属膜２０３の形成方法と同様に、接続基板５の両面にドライフィルムを被覆し、そのうちの引き出し電極形成領域を露光処理することにより除去した後、電極形成用金属をめっき法、蒸着法、スパッタ法等によって形成し、しかる後、残ったドライフィルムを除去すればよい。
【００４４】
その後、そのカバー基板１及び接続基板５、５の上方から更に、隣接する圧電材料基板２００との間に充填部材４を挟みこむようにして複数個並設した圧電材料基板２００を、下方の圧電材料基板２００の各溝２０１との間で、各溝２０１間の位相が合うように、それら溝２０１の凹設面側をそれぞれ配置させ、圧電材料基板２００がカバー基板１の上下で千鳥状に交互にずれるように配置させて接着する。これにより、カバー基板１と各接続基板５、５との間で形成される空間に共通インク室６となる空間が形成される。
【００４５】
このようにしてカバー基板１及び接続基板５、５を挟んで、上下にそれぞれ複数個の圧電材料基板２００を接着した後、図９に示すように、カットラインＣ１、Ｃ２に沿って、各圧電材料基板２００の並び方向に沿うように切断することにより、２つの長尺状のヘッドチップ１０Ａ、１０Ａを作成する。
【００４６】
得られたヘッドチップ１０Ａは、図中上側に配置されるチャネル基板２のインクチャネル２２と図中下側に配置されるチャネル基板２のインクチャネル２２とでカバー基板１が共通のものとなる。インクチャネル２２は、このカバー基板１によって覆われている部分の長さ（以下、これをＬ長という。）は、インクジェットヘッド１００のインク吐出特性を決定付ける重要な要素となるが、このようにカバー基板１が共通となることで、複数個のチャネル基板１を用いて長尺状に構成しても、１つのインクジェットヘッド１００における各チャネル基板２間でＬ長を均一化でき、インク吐出特性のばらつきが抑えられる。
【００４７】
このようにしてヘッドチップ１０Ａを形成した後は、図１０に示すように、切断面に、各インクチャネル２２に対応する位置にノズル孔３１が開穿されたノズルプレート３を接着する。このノズルプレート３の接着面は、カットラインＣ１、Ｃ２に沿って、各チャネル基板２及び充電部材４に亘って一度に切断されることで平坦面となるため、ノズルプレート３を精度良く接着することができる。
【００４８】
また、接続基板５の各引き出し電極５１に、それぞれ駆動回路（図示せず）と電気的に接続するためのＦＰＣ（フレキシブルプリント基板）７、７を、異方性導電フィルム等を用いて接合する。
【００４９】
これまで説明した構造においては、インクは共通インク室６へ、ヘッドの端（図１における左右の端）から供給される。この場合、ヘッドが長尺になるとインク供給が不足したり、温度分布の不均一が起こる場合がある。そのような場合は、充填部材４の少なくとも一つに、インクを共通インク室６へ導入するためのインク導入口（図示せず）を設け、そこからもインクを供給するようにしてもよい。
【００５０】
また、インクを安定射出するためには、共通インク室６内の気泡を除去することが必要である。このために、充填部材４の少なくとも一つに、インク中の気泡を排出するためのインク排出口（図示せず）を設けるようにしてもよい。このインク排出口からは、共通インク室６内のインクを排出するようにすることもできる。
【００５１】
本発明に係るインクジェットヘッド１００は、このように複数個のチャネル基板２が、隣接するチャネル基板２との間に間隔をおき、且つ、各インクチャネル２２間の位相が合うように、１枚のカバー基板１の両面に各チャネル基板２のインクチャネル２２の凹設面側をそれぞれ配置させて交互にずらして接着され、全チャネル基板１及びカバー基板１の前端面に亘って１枚のノズルプレート３を接着して構成されているので、従来のように、１枚のカバー基板にヘッドユニットを複数取り付けて構成されるものに比べ、小型化を図ることができる。
【００５２】
また、本発明に係るインクジェットヘッド１００は、複数のチャネル基板２の前端面に１枚のノズルプレート３を接着することによって１つのインクジェットヘッドが構成されるので、従来のように各ヘッドユニット毎にノズル面をそれぞれ位置合わせしながら、一つずつ位置決めして基板に取り付ける必要がなく、組み立て作業性に優れ、生産性が高い。
【００５３】
インクジェットプリンタは、一般に、かかるインクジェットヘッド１００を複数個並置することによって構成される。図１１は、かかるインクジェットヘッドを用いて構成したインクジェットプリンタの一例を模式的に示している。
【００５４】
ここでは、４つのインクジェットヘッド１００Ａ〜１００Ｄは、記録媒体Ｐの幅方向に亘る長さを有するライン状のインクジェットヘッドの態様を例示している。各インクジェットヘッド１００Ａ〜１００Ｄは、各ノズルの並び方向が記録媒体Ｐの搬送方向である副走査方向と直交する主走査方向に沿って平行に並設されている。なお、図１１中において、各インクジェットヘッド１００Ａ〜１００Ｄにおけるチャネル基板を斜線で示す。
【００５５】
本発明に係るインクジェットヘッド１００は、複数個のチャネル基板間で各インクチャネルの位相が合うように設けられているため、インクジェットヘッド１００Ａ〜１００Ｄのいずれかを交換する際、チャネル基板毎に個別に位置合わせをする必要がなく、他のヘッドに対する位置合わせが容易である。
【００５６】
また、このように本発明に係るインクジェットヘッド１００からなる複数のインクジェットヘッド１００Ａ〜１００Ｄを並設したインクジェットプリンタの場合、各インクジェットヘッド１００Ａ〜１００Ｄは、そのノズルの並び方向に沿う位置が独立して調整可能であることが好ましい。図１２は、インクジェットヘッド１００Ａ〜１００Ｄのうちのインクジェットヘッド１００Ｂのみを、ノズルの並び方向に沿って平行に位置調整した場合を示している。このような位置調整は、プリンタの稼動状態にあるときに実行可能とすることで、プリントモードによって打ち方を変えることもできる。
【００５７】
例えば、インクジェットヘッド１００Ａ〜１００Ｄを主走査方向に、インクチャネル間のピッチＬの１／４ずつ移動させて配置し、高精細モードとすることができる。このときのノズル間の位相の関係を図１３に示す。各ヘッドのピッチを１４０μｍとしたとき、このモードにおいては、主走査方向に３５μｍピッチでインクを射出することができる。各ノズルの駆動周期をＴとし、記録媒体の速度をＶとすると、Ｖ＝３５μｍ／Ｔの条件で記録媒体を搬送することにより、記録媒体に主、副両方とも３５μｍピッチでインクを射出することができる。
【００５８】
一方、ヘッド間のノズルの位置の主走査方向の位相を一致させて高速モードとすることができる。このときのノズル間の位相の関係を図１４に示す。この場合、各ヘッドのピッチを１４０μｍとしたとき、記録媒体上のインク滴の主走査方向のピッチは１４０μｍとなるが、副走査方向へは、搬送速度をＶの４倍としても３５μｍピッチでインク滴を射出することができ、高精細モードの４倍のスピードで出力することができる。
【００５９】
また、射出できないノズルが発生した場合、インクジェットヘッド１００Ａ〜１００Ｄのうちの１〜３個を通常の射出に用い、残りを欠ノズルの補間のために用いることもできる。
【００６０】
なお、本発明に係るインクジェットヘッド１００を用いたインクジェットプリンタは、図１１、図１２のようにインクジェットヘッド１００をライン状のインクジェットヘッドとして使用するものに限らず、そのノズルの並び方向を副走査方向に沿うように配置させ、インクジェットヘッド１００自体を主走査方向に沿って往復移動可能に設けるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明に係るインクジェットヘッドの正面図
【図２】（ａ）は、図１の(a)-(a)線に沿う断面図、（ｂ）は、図１の(b)-(b)線に沿う断面図
【図３】図２の(iii)-(iii)線に沿う断面図
【図４】カバー基板に対するチャネル基板の配置構成の他の態様を示す図
【図５】本発明に係るインクジェットヘッドの製造工程を説明する図
【図６】本発明に係るインクジェットヘッドの製造工程を説明する図
【図７】本発明に係るインクジェットヘッドの製造工程を説明する図
【図８】本発明に係るインクジェットヘッドの製造工程を説明する図
【図９】本発明に係るインクジェットヘッドの製造工程を説明する図
【図１０】本発明に係るインクジェットヘッドの製造工程を説明する図
【図１１】本発明に係るインクジェットヘッドを用いたインクジェットプリンタの一例を模式的に示す図
【図１２】複数のインクジェットヘッドのうちの一つを位置調整した状態を示す図
【図１３】複数のインクジェットヘッドをノズル間の位相をずらして配置した状態を示す図
【図１４】複数のインクジェットヘッドをノズル間の位相を一致させて配置した状態を示す図
【符号の説明】
【００６２】
１：カバー基板
２：チャネル基板
２１：隔壁
２２：インクチャネル
２３：電極
３：ノズルプレート
３１：ノズル孔
４：充填部材
５：接続基板
６：共通インク室
７：ＦＰＣ
８：ドライフィルム
８ａ：電極形成領域
９：ダイシングブレード
１０Ａ：ヘッドチップ
２００：圧電材料基板
２０１：溝
２０１ａ：浅溝部
２０２：隔壁
２０３：金属膜
１００、１００Ａ〜１００Ｄ：インクジェットヘッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2005193602.tif 000007
【図６】
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【図７】
2005193602.tif 000009
【図８】
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【図９】
2005193602.tif 000011
【図１０】
2005193602.tif 000012
【図１１】
2005193602.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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