(57)【要約】【課題】  加工装置の大きさを小型にすることができるアクティブマスダンパを提供すること。【解決手段】  錘１８を水平方向に移動自在に支持する支持装置と、錘１８を駆動するモータ１１ｂと、モータ１１ｂを制御するコントローラ４０とからなるアクティブマスダンパ３のコントローラ４０に、Ｘテーブル７のモータ１１ａに指令されるトルク指令値６０とＺテーブルのモータ２１１ａに指令されるトルク指令値１６０とを入力してフィードフォワード制御と、錘１８の変位に基づくフィードバック制御と、によりモータ１１ｂを駆動する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
錘を水平方向に移動自在に支持する支持装置と、前記錘を駆動する錘駆動装置と、前記錘駆動装置を制御するコントローラと、からなり、前記錘の移動方向が加工機の第１の移動部の移動方向と平行になるようにして前記加工機に配置されるアクティブマスダンパにおいて、
前記コントローラは、前記第１の移動部の駆動部に指令されるトルク指令値と移動方向が前記第１の移動部と異なる他の移動部の駆動部に指令されるトルク指令値とによるフィードフォワード制御と、前記錘の変位に基づくフィードバック制御と、により前記錘駆動装置を駆動して、前記加工装置に発生する振動を抑制することを特徴とするアクティブマスダンパ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水平方向に移動自在の水平移動部と例えば垂直方向に移動自在の垂直移動部とを備える加工機に採用されるアクティブマスダンパに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、レーザ光を用いてプリント基板等に穴明け加工をするレーザ穴明け加工機は、ベッド上に水平方向に移動するＸテーブルと、Ｘテーブルに載置されＸテーブルの移動方向と直交する水平方向に移動するＹテーブルと、固定のレーザ光源と、回転自在に支持され、レーザ光を走査させるた反射ミラー等とを備えている。
【０００３】
そして、加工をするときには、プリント基板を予め定める大きさの加工領域に区分し、区分した任意の加工領域の中心をレーザ光の中心に位置決めした後、レーザ光を走査させて加工を行う。そして、当該加工領域内の穴の加工が終了すると、ＸテーブルとＹテーブルを動作させてプリント基板を次の加工領域に移動させる。以下、加工が終了するまで、上記の動作を繰り返す。
【０００４】
ここで、Ｘテーブルを移動させると、レーザ穴明け加工機には、ＸテーブルおよびＸテーブルに載置された部材の質量に加速度を掛けた大きさの加振力が水平方向に発生する。この加振力の作用点は床よりも高い所にあるため、この加振力と作用点の高さで決まるモーメント力により、レーザ穴明け加工機には、床の剛性とレーザ穴明け加工機の回転慣性によって決まる固有振動数の回転振動（ロッキング振動）が発生する。そして、レーザ穴明け加工機の重心を挾み、レーザ穴明け加工機の両側に配置されたレベリングボルトの一方から伝達される加振力は床を押し下げる方向に作用し、他方から伝達される加振力は床を引き上げる方向に作用する。この結果、床には上下方向の振動が発生する。
【０００５】
また、Ｙテーブルを移動させる場合も、Ｘテーブルを移動させた時と同様に、床には上下方向の振動が発生する。
【０００６】
したがって、加工能率を向上させようとして、ＸテーブルまたはＹテーブルを高速で移動させると、床の振動が大きくなる。
【０００７】
レーザ穴明け加工機が基礎のしっかりした建物の１階に設置された場合、床振動はそれほど大きくならない。しかし、レーザ穴明け加工機が２階以上の床に設置された場合、これらの床は１階ほどの剛性や質量を持たないことが多いため、レーザ穴明け加工機を稼働させると、床に大きな振動とこれに伴う騒音が発生する場合がある。このような振動や騒音は、作業者にとって不快感を引き起こすだけでなく、加工精度および加工能率の低下を招く。さらに、繰り返し振動により建物の強度が低下する場合がある。
【０００８】
そこで、錘を水平方向に移動自在に支持する支持装置と錘を駆動する錘駆動装置とからなる慣性力発生手段（アクティブマスダンパ）を水平方向に移動自在な水平移動部とその駆動手段とを備えた加工装置のベッド上に配置し、水平移動部の駆動手段に入力される入力信号に基づいて錘を移動させ、水平移動部の移動により床に伝えられる力を小さくするようにして、ロッキング振動の発生を予防するものがある（特許文献１）。
【特許文献１】特開２００３−１８１７３９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかし、ドリルを用いてプリント基板等に穴明け加工をするドリル穴明け加工機の場合、ベッド上に水平方向に移動するＸテーブルと、ベッドの上面に固定された門型フレーム上に載置されＸテーブルの移動方向と直交する水平方向に移動するＹテーブルと、Ｙテーブル上載置され垂直方向に移動するＺテーブルと、Ｚテーブル上に載置されドリルを回転させるスピンドルとを備え、加工をする時には、ＸテーブルとＹテーブルを移動させて加工部の中心をドリルの軸心に合わせた後、スピンドルを下降させてプリント基板に穴を明ける。
【００１０】
ＸテーブルとＹテーブルに対して上記のアクティブマスダンパを設ければ、ＸテーブルおよびＹテーブルが移動することによってドリル穴明け加工機に振動が発生することを防止できる。しかし、ドリル穴明け加工機の場合、Ｚテーブルを移動させる場合にも、ＺテーブルおよびＺテーブルに載置されたスピンドルなどの部材の質量に加速度を掛けた大きさの加振力が垂直方向に発生し、この加振力により、床は上下方向の振動が発生する。そして、この加振力の作用点はドリル穴明け加工機の重心と一致していないため、ドリル穴明け加工機には、Ｘテーブルを動作させた場合と同様に、床の剛性とドリル穴明け加工機の回転慣性で決まる固有振動数の回転振動（ロッキング振動）が発生する。
【００１１】
このため、加工能率を向上させようとして、Ｚテーブルを高速高加速度で移動させると、床の振動が大きくなり、この振動によりワークを載置したテーブルが振動して加工精度（穴中心の位置精度）が低下してしまう。また、Ｚテーブルの位置決め制御性能も悪化し、加工深さ精度が低下する。
【００１２】
しかし、Ｚテーブルによる加振力を低減するために、Ｚテーブルのためのアクティブマスダンパを設けると、ドリル穴明け加工機全体が大きくなる。
【００１３】
本発明の目的は、加工装置の大きさを小型にすることができるアクティブマスダンパを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記の目的を達成するため、本発明は、錘を水平方向に移動自在に支持する支持装置と、前記錘を駆動する錘駆動装置と、前記錘駆動装置を制御するコントローラと、からなり、前記錘の移動方向が加工機の第１の移動部の移動方向と平行になるようにして前記加工機に配置されるアクティブマスダンパにおいて、前記コントローラは、前記第１の移動部の駆動部に指令されるトルク指令値と移動方向が前記第１の移動部と異なる他の移動部の駆動部に指令されるトルク指令値とによるフィードフォワード制御と、前記錘の変位に基づくフィードバック制御と、により前記錘駆動装置を駆動して、前記加工装置に発生する振動を抑制することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
Ｘテーブル用に設けられているアクティブマスダンパの錘を制御することにより、Ｚテーブルが移動することによるドリル穴明け加工機のロッキング振動を時間遅れなく確実に抑制できるので、Ｚテーブル用のアクティブマスダンパを設ける必要がなく、装置を小型にすることができる。また、Ｚテーブルが移動してもＸテーブル７は振動しないので、加工精度が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明を図示の実施の形態に基づいて説明する。
【００１７】
図１は、本発明の第１の実施形態に係わるドリル穴明け加工機の正面図、図２はアクティブマスダンパの平面断面図、図３はアクティブマスダンパの制御ブロック図である。
【００１８】
ドリル穴明け加工機２のベッド６は、レベリングボルト５とブロック部材４とを介して床１に支持されている。ベッド６の上面には、リニアガイド１５ａのレール９ａが固定されている。Ｘテーブル７は、リニアガイド１５ａのスライドユニット８ａに固定され、図の左右方向（Ｘ方向）に移動自在である。Ｘテーブル７に保持された図示を省略するボールナットは、ボールネジ１０ａに螺合している。ボールネジ１０ａは、モータ１１ａにより駆動される。 モータ１１ａは、Ｘテーブル駆動用コントローラ４２から出力される制御信号に基づいてＸモータ用ドライバ４３により駆動される。Ｘテーブル駆動用コントローラ４２は、動作制御コントローラ２６０からの位置指令信号と図示を省略したＸテーブル位置検出器の信号に基づいて、Ｘテーブル７を位置決めする、いわゆる、位置決め制御系を構成している。プリント基板２５２はＸテーブル７に固定されている。
【００１９】
ベッド６の上面に固定された門型フレーム１２には、リニアガイド１１５ａのレール１０９ａが固定されている。Ｙテーブル１０７は、リニアガイド１１５ａのスライドユニット１０８ａに固定され、紙面に垂直なＹ方向に移動自在である。Ｙテーブル１０７に保持された図示を省略するボールナットは、ボールネジ１１０ａに螺合している。ボールネジ１１０ａは、図示を省略したモータにより駆動される。
【００２０】
Ｙテーブル１０７には、リニアガイド２１５ａのレール２０９ａが固定されている。Ｚテーブル２０７は、リニアガイド２１５ａのスライドユニット２０８ａに固定され、図の上下方向（Ｚ方向）に移動自在である。Ｚテーブル２０７に保持された図示を省略するボールナットは、ボールネジ２１０ａに螺合している。ボールネジ２１０ａは、モータ２１１ａにより駆動される。
【００２１】
モータ２１１ａは、Ｚテーブル駆動用コントローラ２４２から出力される制御信号に基づいてＺモータ用ドライバ２４３により駆動される。Ｚテーブル駆動用コントローラ２４２は、動作制御コントローラ２６０からの位置指令信号と図示を省略したＺテーブル位置検出器の信号に基づいて、Ｚテーブル２０７を位置決めする。
【００２２】
Ｚテーブル２０７上には、ドリル２５１を回転させるスピンドル２５０が載置されている。
【００２３】
そして、動作制御コントローラ２６０は、Ｘテーブル７とＹテーブル１０７をそれぞれ移動させることにより、プリント基板２５２の加工位置にドリル２５１の軸線を位置決めし、Ｚテーブル２０７を制御して、プリント基板２５２に穴を明ける。
【００２４】
なお、Ｙテーブル１０７上には１個または複数のＺテーブル２０７が載置される。そして、Ｙテーブル１０７上に複数のＺテーブル２０７が載置される場合、ドリル穴明け加工機２はＹ方向に長い装置となるので、Ｙテーブル１０７を移動させることにより発生するロッキング振動の振幅は小さいものになる。
【００２５】
次に、図１、２を用いてアクティブマスダンパ３の詳細を説明する。アクティブマスダンパ３の構成要素であるモータスタンド１３、軸受けスタンド１９ａ、１９ｂおよびリニアガイド１５ｂのレール９ｂは、架台２０に固定されている。錘１８は、リニアガイド１５ｂのスライドユニット８ｂに支持され、Ｘ方向に移動自在である。錘１８の内部に固定されたボールナット１６は、ボールネジ１０ｂに螺合している。ボールネジ１０ｂは軸受けスタンド１９ａに回転自在に支持され、一方の端部は、カップリング１４を介して、モータスタンド１３に支持されたモータ１１ｂの出力軸に接続されている。モータ１１ｂに設けられたエンコーダ１７は、モータ１１ｂのドライバ４１を介してコントローラ４０に接続されている。コントローラ４０はＸモータ用ドライバ４３の信号出力線６０とＺモータ用ドライバ２４３の信号出力線１６０に接続されている。
【００２６】
図３に示すように、コントローラ４０の係数器３００の入力側は、信号出力線６０に接続されている。また、係数器３０１の入力側は、信号出力線１６０に接続されている。加算器３０２の入力側は、係数器３００の出力側と係数器３０１の出力側に接続され、出力側は係数器４４の入力側に接続されている。
【００２７】
加算器５２の入力側は、係数器４４の出力側、係数器４７の出力側および係数器４９の出力側に接続され、出力側はドライバ４１の入力側に接続されている。エンコーダ１７は、パルスカウンタ４５および変換機４６を介して係数器４７および微分器４８の入力側に接続されている。微分器４８の出力側は係数器４９の入力側に接続されている。
【００２８】
次に、この実施形態の動作を説明する。
【００２９】
図４は、速度指令値とトルク指令値の時刻歴の一例を示す図であり、（ａ）はＸテーブル７に対する速度指令値、（ｂ）はＺテーブル２０７に対する速度指令値、（ｃ）はＸモータ用ドライバ４３に対するトルク指令値、（ｄ）はＺモータ用ドライバ２４３に対するトルク指令値である。
【００３０】
なお、（ａ）、（ｂ）は動作制御コントローラ２６０から出力された位置指令信号を時間微分して速度指令信号としたものである。また、（ｃ）、（ｄ）は（ａ）、（ｂ）の速度指令信号を時間微分してトルク指令値としたものである。ここで、Ｘテーブル７及びＺテーブル２０７は慣性体であるので、トルクを指令するということは加速度を指令することと同じになる。
【００３１】
以下、Ｘテーブル位置決め制御系とＺテーブル位置決め制御系及びアクティブマスダンパ制御系は、速度指令値及び加速度指令値に遅れなく追従し、Ｙテーブル１０７は、Ｘテーブル７と同じタイミングで駆動されるものとする。
【００３２】
はじめに、ドリル穴明け加工機の動作を説明する。
【００３３】
図４（ｃ）に示すように、Ｘテーブル７を時刻ｔ０から時刻ｔ１まで一定加速度（トルク）で増速し、時刻ｔ１から時刻ｔ２まで一定加速度で減速して、Ｘテーブル７を位置決めする。
【００３４】
そして、Ｚテーブル２０７をＸテーブル７の位置決めが完了した時刻ｔ２から時刻ｔ３まで一定加速度で下方に増速し、時刻ｔ３から時刻ｔ５まで加速度を零にしてドリル２５１を等速度で下降させる。時刻ｔ３から時刻ｔ５の途中の時刻（例えば図中の時刻ｔ４）においてドリル２５１の先端がプリント基板２５２の表面に到達して穴明けが開始され、時刻ｔ５において穴明けが完了する。
【００３５】
時刻ｔ５に達したら、時刻ｔ６まで一定加速度で上方に増速し、時刻ｔ６から時刻ｔ７まで一定加速度で減速する。そして、時刻ｔ７でＺテーブル２５７は待機位置（加工中における位置で、ドリル２５１の先端がプリント基板２５２の表面から例えば１ｍｍ離れた位置である。）に位置決めされる。
【００３６】
時刻ｔ０から時刻ｔ７までの動作で１個の穴明けが完了するので、以下、プリント基板２５２の加工が終了するまで、上記の動作を繰り返す（例えば、時刻ｔ７から時刻ｔ８）。
【００３７】
以上説明したように、穴明けの際、Ｘテーブル７とＺテーブル２０７は急激な加速・減速パターンで移動および停止を繰り返す。
【００３８】
次に、アクティブマスダンパ３の動作を説明する。なお、加工開始時（例えば時刻ｔ０）における錘１８の移動の原点は、錘１８の移動ストロークの中央である。
【００３９】
（１） 時刻ｔ０から時刻ｔ１まで
Ｘテーブル７の加速期間であり、Ｘモータトルク指令値６０はＴｘｍである。Ｘモータ用ドライバ４３から出力されたＸモータルク指令値６０は係数器３００により係数倍され、加算器３０２に入力される。一方、Ｚモータ用ドライバ２４３から出力されたＺモータトルク指令値１６０も係数器３０１により係数倍されて加算器３０２に入力されるが、Ｚテーブル１０７は停止期間であり、Ｚモータトルク指令値１６０の値は零である。この結果、加算器３０２の出力は係数器３００の出力値と同じである。
【００４０】
係数器４４により係数倍された加算器３０２の出力は、係数器４７の出力と係数器４９の出力が減算されて、ドライバ４１に入力される。ここで、ドライバ４１に入力される信号の符号は、モータ１１ａに出力される電流値の符号によって決まり、錘１８の加速方向がＸテーブル７の加速方向と逆になるように決定される。
【００４１】
この結果、Ｘテーブル７が移動を開始する際に発生する水平方向の加振力は、錘１８が移動されることによって発生する水平方向の加振力に相殺（あるいは、低減）される。したがって、穴明け加工機２にはロッキング振動が発生せず、床振動は発生しない。
【００４２】
このように、この実施形態では、トルク指令値信号により錘１８をフィードフォワード制御するので、時間遅れなく床振動の発生を防止できる。
【００４３】
また、エンコーダ１７から出力されたパルス信号をパルスカウンタ４５によりカウントして錘１８の変位に換算し、得られた変位を係数器４７により係数倍して加算器５２に入力（すなわち、錘１８の変位をモータ１１ｂの駆動信号にフィードバック）すると共に、微分器４８により速度信号に変換し、さらに係数器４９により係数倍して加算器５２に入力（すなわち、錘の速度をモータ１１ｂの駆動信号にフィードバック）するようにしたので、錘１８が過大に変位して軸受けスタンド１９ａ、１９ｂ等に衝突することを予防することができる。
【００４４】
ここで、フィードバック制御が強すぎると、錘１８の加速度が小さくなり、床振動を低減する効果が低下するので、係数器４７の係数は実験等により、適切な値に定める。
【００４５】
（２）時刻ｔ１から時刻ｔ２まで
Ｘテーブル７の減速期間であり、Ｘモータトルク指令値６０は−Ｔｘｍである。
【００４６】
この場合、錘１８の減速方向をＸテーブル７の減速方向と逆にすることにより、上記（１）の場合と同様に、Ｘテーブル７が移動を停止する際に発生する水平方向の加振力は、錘１８が移動されることによって発生する水平方向の加振力に相殺（あるいは、低減）される。したがって、穴明け加工機２にはロッキング振動が発生せず、床振動は発生しない。
【００４７】
（３）時刻ｔ２から時刻ｔ３まで
Ｚテーブル２０７の加速期間であり、Ｚモータトルク指令値１６０は−Ｔｚｍである。Ｚモータ用ドライバ２４３から出力されたＺモータトルク指令値１６０は係数器３０１により係数倍され、加算器３０２に入力される。一方、Ｘテーブル７は停止期間なので、Ｘモータトルク指令値６０の値は零であり、加算器３０２の出力は係数器３０１の出力値と同じである。
【００４８】
以下、上記（１）の場合と同様に、錘１８の加速方向がＺテーブル７の加速方向と逆になるような信号がドライバ４１に入力される。
【００４９】
この結果、Ｚテーブル２０７が移動を開始する際に発生する垂直方向の加振力によるロッキング振動は、錘１８が移動されることによって発生する水平方向の加振力により相殺（あるいは、低減）され、穴明け加工機２にはロッキング振動が発生せず、ロッキングによる床振動は発生しない。
【００５０】
このように、この実施形態では、Ｚモータトルク指令値信号１６０により錘１８をフィードフォワード制御するので、時間遅れなく床振動の発生を防止できる。
【００５１】
（４）時刻ｔ３から時刻ｔ５まで
Ｘテーブル７は停止期間、Ｚテーブル２０７は等速度移動期間であり、モータトルク指令値６０、１６０の値は零である。この結果、錘１８の位置及び速度のフィードバック制御により、錘１８は原点に戻される。
【００５２】
（５）時刻ｔ５から時刻ｔ６まで
Ｚテーブル２０７の下降方向の減速期間及び上昇方向の加速期間であり、Ｚモータトルク指令値１６０はＴｚｍである。
【００５３】
この場合、錘１８の加速方向は、Ｚテーブル２０７の下降方向の減速方向及び上昇方向の加速方向と逆になり、上記（２）の場合と同様に、Ｚテーブル２０７の移動により発生するロッキング振動は、錘１８が移動されることによって発生する水平方向の加振力により相殺（あるいは、低減）され、穴明け加工機２にはロッキング振動が発生せず、ロッキングによる床振動は発生しない。
【００５４】
（６）時刻ｔ６から時刻ｔ７まで
Ｚテーブル２０７の減速期間であり、Ｚモータトルク指令値１６０は−Ｔｚｍである。この場合、錘１８の減速方向がＺテーブル２０７の減速方向と逆になり、上記（５）の場合と同様に、穴明け加工機２のロッキング振動は発生せず、ロッキングによる床振動は発生しない。
【００５５】
ところで、上記では、Ｘテーブル位置決め制御系とＺテーブル位置決め制御系及びアクティブマスダンパ制御系は、速度指令値及び加速度指令値に遅れなく追従するものとした。しかし、実際のＸテーブル位置決め制御系とＺテーブル位置決め制御系及びアクティブマスダンパ制御系には、応答遅れがある。
【００５６】
以下、応答遅れがある場合の錘１８の挙動をシミュレーション結果に基づいて説明する。
【００５７】
なお、シミュレーションは以下の手順で行った。
【００５８】
（１）Ｘテーブル位置決め制御系とＺテーブル位置決め制御系及びアクティブマスダンパ制御系のシミュレーションモデルを作成。
【００５９】
（２）Ｘテーブル位置決め制御系とＺテーブル位置決め制御系モデルに、それぞれＸテーブル位置指令信号とＺテーブル位置指令信号を入力し、ＸテーブルとＺテーブルの挙動をシミュレーション。
【００６０】
なお、Ｘテーブル７の移動方向は、図１における右方向とした。
【００６１】
（３）上記（２）のシミュレーションにおける、実際のＸモータトルク指令値とＺモータトルク指令値に基き、アクティブマスダンパ制御系のシミュレーションを行い、錘１８の挙動を記録。
【００６２】
図５は、シミュレーション結果の一例を示す図である。
【００６３】
同図における（ａ）は、図４（ｃ）と同じくＸテーブル位置指令信号の２階時間微分信号であり、理想のＸモータトルク指令値である。
【００６４】
（ｂ）はＸテーブル位置指令信号に基いてＸテーブル７を駆動した時の実際のＸモータトルク指令値である。すなわち、（ａ）の波形の信号をＸモータトルク指令値として入力しても、Ｘテーブル位置決め制御系の応答遅れのため、実際のＸモータトルク指令値は（ｂ）の波形となる。
【００６５】
（ｃ）は、図４（ｄ）と同じくＺテーブル位置指令信号の２階時間微分信号であり、理想のＺモータトルク指令値である。
【００６６】
（ｄ）は、Ｚテーブル位置指令信号に基いてＺテーブル２０７を駆動した時の実際のＺモータトルク指令値である。すなわち、Ｘモータの場合と同様に、（ｃ）の波形の信号をＺモータトルク指令値として入力しても、Ｚテーブル位置決め制御系の応答遅れのため、実際のＺモータトルク指令値は（ｄ）の波形となる。
【００６７】
（ｅ）は、図３のＸモータトルク指令値６０に係数器３００で定まる係数値を掛け算した値と、Ｚモータトルク指令値１６０に係数器３０１で定まる係数値を掛け算した値を加算器３０２で加算した出力信号である。
【００６８】
図１において、Ｘテーブル７を右方向に移動させると（Ｘモータトルク値は正）、ドリル穴明け加工機には反時計方向の加振力（ロッキング力）が働く。一方、Ｚテーブルを下方に移動させると（Ｚモータトルク値は正）、ドリル穴明け加工機には時計方向の加振力（ロッキング力）が働く。そこで、ここでは、係数器３００の係数値は正、係数器３０１の係数値は負として、トルク値の極性とロッキング力の方向を一致させている。
【００６９】
（ｆ）は係数器４７、４９にある値を設定し（すなわち、速度と変位のフィードバックを行うようにして）（ｅ）の信号に基づいて駆動された錘１８の変位を示すものである。同図に示されているように、Ｘモータのトルク指令とＺモータのトルク指令の加算値がほぼ零である期間（（ｅ）におけるｔ１０〜ｔ１１、ｔ２０〜ｔ２１）に、錘１８の変位は徐々に０（原点）に近づく。
【００７０】
（ｇ）は、本発明の効果を説明するために示すもので、係数器４７、４９の値が零、すなわち、速度と変位のフィードバックが無い場合の応答である。同図に示されているように、速度と変位のフィードバックが無い場合、Ｘテーブル７が移動するごとに錘１８の変位が大きくなる。したがって、錘１８が移動端に衝突しないようにするためには、錘１８の移動距離を大きくしたり、頻繁に保守点検を行う必要がある。
【００７１】
なお、同じＸモータトルク値であっても、Ｘテーブル７の重量やＸテーブルの高さ方向の位置が変ると、ドリル穴明け加工機２に作用するロッキング力は変る。また、Ｚテーブルについても同様のことが言える。そこで、係数器３００、３０１に設定する係数の絶対値は、Ｘテーブル７とＺテーブル２０７の重量や取付位置寸法等に基いて決める。
【００７２】
以上説明したように、本発明のアクティブマスダンパをドリル穴明機に適用すると、Ｚテーブルの急激な加速・減速により発生するロッキング振動を防止することができるので、Ｘテーブル７が振動せず、加工精度を向上させることができる。
【００７３】
また、Ｘテーブル７及びＺテーブル２０７の移動に合わせて錘１８を繰り返し移動させても、錘１８を原点付近から移動させることができるので、小型のアクティブマスダンパとすることができる。この結果、すでに稼動中であるアクティブマスダンパを備えていないドリル穴明け加工機等に対しても、容易に後付で適用することができる。
【００７４】
また、ここではＸモータ用ドライバ４３から出力されたＸモータトルク指令値とＺモータ用ドライバ２４３から出力されたＺモータトルク指令値を用いて、ドライバ４１によりモータ１１ｂをトルク制御したが、コントローラ４２から出力されるＸテーブル７の速度制御信号及び、コントローラ２４２から出力されるＺテーブル２０７の速度制御信号を錘１８の制御に用いて、ドライバ４１によりモータ１１bを速度制御するようにしてもよい。
【００７５】
また、本実施例では、アクティブマスダンパ３が１個の場合について説明したが、ベッド６の両側に設置してもよい。両側に設置すると、ベッド６に対して水平方向の力のみを加えることができ、１個の場合に比べより良好な効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】本発明に係るドリル穴明け加工機の側面図である。
【図２】本発明に係るアクティブマスダンパの平面断面図である。
【図３】本発明に係るアクティブマスダンパの制御ブロック図である。
【図４】速度指令値とトルク指令値の時刻歴の一例を示す図である。
【図５】錘１８の動きをシミュレーションした結果を示す図である。
【符号の説明】
【００７７】
３  アクティブマスダンパ
１１ａ  モータ
１１ｂ  モータ
１８  錘
４０  コントローラ
６０  トルク指令値
２１１ａ  モータ
１６０  トルク指令値
【図１】
2005212008.tif 000003
【図２】
2005212008.tif 000004
【図３】
2005212008.tif 000005
【図４】
2005212008.tif 000006
【図５】
2005212008.tif 000007