(57)【要約】    【課題】  瞬間的に照射される大きな強度の光や紫外光を局部的に、かつ、比較的簡便に測定する照射エネルギー測定装置および照射エネルギー測定方法を提供する。    【解決手段】  照射エネルギー測定装置は、紫外光から赤外光までの波長域の少なくとも一部に属する光エネルギーを放射する光エネルギー源ＨＦＬから所定距離離間した位置の微小部分に対して光エネルギー源ＨＦＬにから照射される光エネルギーの強度を測定する照射光エネルギー測定装置において；前記微小位置に照射される光エネルギー源からの光エネルギーを選択して導入する光選択導入手段１と；紫外光から赤外光までの波長域の少なくとも一部に属する波長域にピーク感度が有り、光選択導入手段により導入された光エネルギーを受光して電気信号を出力する受光手段２と；受光手段２から出力される電気信号に基づいて前記微小位置に照射される光エネルギーの強度を計測する計測手段３と；を具備している。【選択図】    図１
2005156472.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
紫外光から赤外光までの波長域の少なくとも一部に属する光エネルギーを放射する光エネルギー源から所定距離離間した位置の微小部分に対して光エネルギー源にから照射される光エネルギーの強度を測定する照射光エネルギー測定装置において；
前記微小位置に照射される光エネルギー源からの光エネルギーを選択して導入する光選択導入手段と；
紫外光から赤外光までの波長域の少なくとも一部に属する波長域にピーク感度が有り、光選択導入手段により導入された光エネルギーを受光して電気信号を出力する受光手段と；
受光手段から出力される電気信号に基づいて前記微小位置に照射される光エネルギーの強度を計測する計測手段と；
を具備していることを特徴とする照射エネルギー測定装置。
【請求項２】
紫外光から赤外光までの波長域の少なくとも一部に属する光エネルギーを放射する閃光放電ランプまたは紫外線放射ランプから所定距離離間した微小位置に対して閃光放電ランプまたは紫外線放射ランプにより照射される光エネルギーの強度を測定する照射エネルギー測定方法において；
閃光放電ランプまたは紫外線放射ランプにより微小位置に照射された光エネルギーを選択して導入する第１の工程と；
第１の工程により導入された光エネルギーを、紫外光から赤外光までの波長域の少なくとも一部に属する波長域にピーク感度が有る受光手段で受光する第２の工程と；
第２の工程により得た電気信号に基づき、計測手段を用いて微小位置に照射される光エネルギーの強度を計測する第３の工程と；
を具備していることを特徴とする照射エネルギー測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、閃光放電ランプや紫外線放射ランプにより照射されるエネルギーを測定するのに適した照射エネルギー測定装置および照射エネルギー測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
透光性の細長い気密容器の内部にキセノンなどの放電媒体を封入した閃光放電ランプを点灯させてパルスのランプ電流を通流させると、瞬間的に大きな強度の閃光、例えば波長４００ｎｍ以下の紫外光および可視光などからなる放射を瞬間的に発生させることができる。閃光放電ランプの発光を照射することによって半導体材料のアニールなど半導体、液晶プロセス分野など各種の分野における表面加熱、表面殺菌および表面硬化などが可能になる。
【０００３】
また、紫外線硬化、光洗浄、半導体のパターン焼付けおよび殺菌などのために紫外線照射が利用されている。これらの目的に用いる紫外線は、低圧水銀蒸気放電または高圧水銀蒸気放電により紫外光を発生させたり、エキシマ放電やエキシマレーザにより紫外光を発生させたりしている。
【０００４】
なお、従来から照度計や輝度計が使用されている（例えば、非特許文献１参照。）が、これらは人間の眼に感じる被照面における照度および光源や照明器具の輝度を測定するための計測手段であり、そのため可視光を標準比視感度に近い感度特性を持たせた受光手段を用いている。
【０００５】
照度計は、光電池およびその光電流を直接または演算増幅器で増幅して指示するマイクロアンメータで構成され、被照面に到達する全ての可視光を受光する。また、輝度計には、レンズ系からなる光学系を用いて光源などの被測定面の像を作って、その像の明るさを光電的に測るレンズ系式光電輝度計と、遮光筒を用いて入射光の入射立体角を制限して立体角内の面の輝度を測る遮光筒式光電輝度計とがある。
【非特許文献１】「新しい照明ノート」第１４〜１７頁、平成１０年４月３０日株式会社  オーム社発行
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、閃光放電ランプによる閃光放電を上述した表面処理の実用に供するには、一方では閃光放電ランプおよびこれを用いる光照射装置の性能向上についての改良が望まれていて、開発が行われている。しかし、他方では、従来、閃光放電ランプや紫外線放射ランプから所定距離離間した位置のそれぞれの局部ごとに、瞬間的に照射される大きな強度の光や紫外光の照射をどの程度受けるかについて正確、かつ、簡便に測定するのが困難であった。照度計や輝度計を用いて測定しようとしても、上記の目的には沿うことができない。
【０００７】
そのため、従来においては、閃光放電ランプや紫外線放射ランプを光源とする光照射装置を正確な光照射量の測定結果に基づいてきめ細かく制御したり、光照射装置を適切に設計したりすることができなかった。特に照射される光が真空紫外光を含む短波長光を主体とする場合には、なお一層測定が困難になっている。
【０００８】
したがって、閃光や紫外光を利用して上述した表面処理やその他光照射処理を行うためには、瞬間的に照射される大きな強度の光や紫外光を照射される光照射処理部側において、局部的に、しかも比較的簡便に測定できる照射エネルギー測定装置および照射エネルギー測定方法の出現が強く望まれている。
【０００９】
本発明は、瞬間的に照射される大きな強度の光や紫外光を局部的に、かつ、比較的簡便に測定する照射エネルギー測定装置および照射エネルギー測定方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１の発明の照射エネルギー測定装置は、紫外光から赤外光までの波長域の少なくとも一部に属する光エネルギーを放射する光エネルギー源から所定距離離間した位置の微小部分に対して光エネルギー源にから照射される光エネルギーの強度を測定する照射光エネルギー測定装置において；前記微小位置に照射される光エネルギー源からの光エネルギーを選択して導入する光選択導入手段と；紫外光から赤外光までの波長域の少なくとも一部に属する波長域にピーク感度が有り、光選択導入手段により導入された光エネルギーを受光して電気信号を出力する受光手段と；受光手段から出力される電気信号に基づいて前記微小位置に照射される光エネルギーの強度を計測する計測手段と；を具備していることを特徴としている。
【００１１】
本発明および以下の各発明において、特に指定しない限り用語の定義および技術的意味は次による。
【００１２】
＜照射エネルギー測定装置について＞    本発明において、「照射エネルギー測定装置」とは、光照射処理部側において、任意の局部に照射される照射エネルギーの強度を測定するように構成された装置をいう。すなわち、閃光放電ランプや紫外光放射ランプの放射を利用する部位に到達するエネルギーの強度を測定する装置である。なお、「光照射処理部」とは、閃光放電ランプや紫外光放射ランプの放射を照射する位置において被処理物を配置するように構成されている手段をいう。したがって、本発明の照射エネルギー測定装置を用いることにより、閃光放電ランプや紫外光放射ランプから所定距離離間した位置におけるエネルギー分布を求めること、光照射装置において被照射物の各被照射ポイントにおけるエネルギー分布の把握、あるいは光学シミュレーションとの相関関係の把握などが可能になる。
【００１３】
＜光選択導入手段について＞    光選択導入手段は、光エネルギー源から所定距離離間した位置、例えば放射照射処理部において、その微小部分に対して光エネルギー源から照射される光エネルギーを測定のために、後述する受光手段の受光部に当該光エネルギーを選択して導入する手段である。すなわち、「微小部分」とは、測定ポイントの大きさを規定する。また、「光エネルギーを選択する」とは、当該部分に照射される大きな光エネルギーを受光手段で計測可能な程度まで絞ることを意味する。なお、「絞る」とは、光エネルギーの量や波長域などに限定することを意味する。したがって、光選択導入手段は、光エネルギーのうち可視光または／および紫外光を減光させるフィルタ手段または波長選択性のフィルタ手段を備えることができる。
【００１４】
また、光選択導入手段は、上記の機能を発揮するために、入光部を備えている。入光部は、好ましくはピンホールのような小径孔により構成される。小径孔は、通過する光エネルギーを適当な量に制限するために、一般的にはその開口面積が１００ｍｍ２以下であり、好適には１０ｍｍ２以下である。また、ピンホールおよび小径孔は、その形状が円形、スリット状など適宜の形状をなしていることを許容される。
【００１５】
さらに、入光部は、所望により遮光部材に形成した小径孔に遮光性メッシュ体またはグレイスケールなどの減光フィルタや波長選択性の色フィルタを配設した構成であってもよい。さらにまた、後述する遮光ボックスを配設する場合、入光部を遮光ボックスの例えば受光手段の受光面に対向する位置に形成することができる。さらにまた、入光部は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）、ニッケル（Ｎｉ）、タングステン（Ｗ）およびモリブデン（Ｍｏ）などの耐火性金属やシリコーン樹脂、フッ素系樹脂（例えば、「テフロン」（登録商標））などの耐候性、耐薬品性などを備えた合成樹脂などからなる基板にこれを形成することができる。
【００１６】
また、光選択導入手段は、好ましくは入光部に加えて遮光ボックスを備えて構成される。遮光ボックスは、その頂面にピンホールなどの入光部を配設しているのが好ましい。そして、ピンホールなどの入光部以外に外部から不所望な光が遮光ボックス内に侵入しないように構成されるとともに、内部に後述する受光手段を収納する。したがって、遮光ボックスは、入光部と受光手段との間に適当な距離の空間を与える。この遮光ボックスは、その内面が遮光面、反射面または光拡散面などが形成され、入光部から入射した光エネルギーのみをなるべくはさらに減衰させたり、角度特性がなくなるようにしたりして、受光手段へ導くように作用する。
【００１７】
さらにまた、遮光ボックスは、ステンレス鋼（ＳＵＳ）、ニッケル（Ｎｉ）、タングステン（Ｗ）およびモリブデン（Ｍｏ）などの耐火性金属やシリコーン樹脂、フッ素系樹脂（例えば、「テフロン」（登録商標））などの耐候性、耐薬品性などを備えた合成樹脂などを用いて形成することができる。
【００１８】
さらにまた、所望により、遮光ボックス内における紫外光、殊に真空紫外光の減衰や吸収を低減するための手段を付設することができる。紫外光、殊に真空紫外光の減衰を低減するための好ましい手段は、紫外光の減衰の少ない気体、例えば窒素（Ｎ２）などを封入して空気を置換したり、または上記気体を遮光ボックス内にフローして空気をパージしたりするように構成することである。
【００１９】
＜受光手段について＞    受光手段は、光選択導入手段により導入された光エネルギーを受光して電気信号、例えば電圧信号に変換して出力する手段であり、電子管や固体素子として入手することができる。そして、そのピーク感度が紫外光から赤外光までの波長域の少なくとも一部に属する波長域に存在するものであればよい。すなわち、閃光放電ランプは、紫外光から赤外光までの比較的広範囲にわたる波長域の放射を生じる。また、紫外光放射ランプは、主として紫外光を放射し、その他に可視光および赤外光をも放射する場合が多い。そして、閃光放電ランプや紫外光放射ランプにおいては、紫外光から赤外光までの波長域の少なくとも一部の放射は、残余の放射と一定の比率関係にあることが多いので、上記一部の波長域を主として受光すれば、その他波長域の放射の強度を推定することが可能である。しかし、望ましくは主として測定したい波長域の放射にピーク感度を有する受光手段を用いるのがよい。
【００２０】
また、受光手段は、量子形の光電形センサおよび熱形の焦電形センサなどを用いることができる。なお、光電形センサは、光導電形および光起電力形のいずれであってもよい。焦電形センサは、受光した光エネルギーにより発熱して出力を生じるので、紫外光〜赤外光までの幅広い波長域の光エネルギーを熱エネルギーに変換して受光することによって光エネルギーの強度を計測することができる。
【００２１】
＜計測手段について＞    計測手段は、受光手段から出力される電気信号を光エネルギーの強度として示す手段である。光エネルギーの強度として示すには、光エネルギーの強度を表示したり、光エネルギーの強度の信号を出力して、例えば閃光放電ランプや紫外光放射ランプを制御したりすることができる。光エネルギーの強度を表示する場合には、ディジタルおよびアナログのいずれの形式であってもよい。
【００２２】
＜本発明の作用について＞    本発明は、上記の構成を具備していることにより、閃光放電ランプまたは紫外光放射ランプから所定距離離間した位置、例えば光照射処理部において、所望の微小部分に光導入手段を配置すれば、上記微小部分に照射される光エネルギーが光導入手段を経由することによって、たとえ瞬間的に非常に強い光エネルギーであっても計測可能な程度まで小さく絞られて、換言すれば減光されて受光手段に入射される。受光手段に入射した光エネルギーは、電気信号に変換されて計測手段に入力される。計測手段に入力された電気信号は、計数などの演算が行われて光エネルギーの強度を示す値として出力される。光エネルギーの強度を示す値の出力の形態は、表示および電気信号など所望により適宜選択することができる。
【００２３】
したがって、本発明によれば、たとえ瞬間的に非常に強い光エネルギーであっても計測可能になり、しかも所望の微小部分ごとに当該部位に照射される光エネルギーを計測できるので、例えば被処理物の各位置ごとに照射を受ける光エネルギーを計測することが可能になる。そのため、本発明の光エネルギー計測装置を使用することによって、照射される光エネルギーの数値管理を行うことができるので、したがって被処理物の光照射処理のいわゆるモニタリングが可能になる。また、閃光放電ランプや紫外光放射ランプの自動的な制御も可能になる。
【００２４】
＜本発明におけるその他の説明＞    本発明における必須構成要素ではないが、本発明の理解をより一層容易にするために、計測対象の光エネルギーを放射する閃光放電ランプの構成例について以下簡単に説明する。なお、紫外光放射ランプについては比較的広く知られているので、省略する。
【００２５】
閃光放電ランプは、透光性の細長い気密容器と、気密容器の両端内部に封装されている一対の電極と、少なくとも希ガスを含み、気密容器の内部に封入されて放電時に発光する放電媒体と、気密容器の外周に近接して配設されたトリガーワイヤと、を具備している。
【００２６】
（気密容器について）    気密容器は、少なくとも放電により発生した光、例えば紫外光または／および可視光や赤外光を外部に導出して利用しようとする部位すなわち主要部が上記の光に対して透光性の石英ガラスにより形成されている。したがって、上記の部位以外のその他の部位は透光性でなくてもよい。なお、「透光性」とは、外部に導出して利用とする所望波長帯の光を実質的に透過すればよく、要すれば真空紫外光に対しても実質的に透過性にすることができる。
【００２７】
また、気密容器は、全体として細長い形状をなしていて、内部が中空になっていて、放電空間として利用される。気密容器の長さは、被処理物の大きさに応じて所望の値に設定することができる。例えば、１〜２ｍ程度の長さを有する気密容器を備えた閃光放電ランプを得ることができる。
【００２８】
さらに、気密容器は、所望により中空部の長さ方向に内部断面積が例えばある値を有する第１の領域および内部断面積が上記の値と異なる値を有する第２の領域を管軸方向に備え、それら領域の断面積比が所定の関係を満足するように構成することができる。なお、「内部断面積」とは、管軸方向に対して垂直な面内における気密容器の内壁面により囲まれた空間の面積をいう。このように管軸方向における内部断面積の変化は、段階的および連続的のいずれであってもよい。内部断面積の変化は、以下に例示する目的に沿って適宜設定することができる。なお、目的の如何にかかわらず、ある領域の内部断面積が相対的に小さくなると、当該領域を流れる電流密度が大きくなり、これに伴って発光の強さが相対的に大きくなり、反対に内部断面積が相対的に大きくなると、当該領域を流れる電流密度が小さくなり、これに伴って発光の強さが相対的に小さくなる関係にある。
１．管軸方向に沿って均一な光照射効果が比較的長い距離にわたり得られるようにする。
２．管軸方向の中間部に比較的発光の強い領域が形成されるようにする。
３．管軸方向の両端部に比較的発光の強い領域が形成されるようにする。設定されている
さらにまた、気密容器は、その内部を外気に対して気密に封止するとともに、後述する電極を封装して支持するために、その両端に封止部を備えている。封止部は、適宜の構成を採用することができるが、閃光放電時には数千Ａの大電流が瞬間的に流れるので、これに耐える封止構造を採用する必要がある。好適にはグレーデッドシール構造を採用するのがよい。
【００２９】
（一対の電極について）    一対の電極は、気密容器の両端内部に対向して封装されている。そして、従来から閃光放電ランプに一般に用いられている構成であるところの冷陰極形の電極を用いることができる。この場合、例えばニッケル（Ｎｉ）、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）、タンタル（Ｔａ）およびチタン（Ｔｉ）のグループから選択された一種または複数種の耐火性金属あるいはこれらの複数種からなる合金またはステンレス鋼などを用いて電極を形成することができる。
【００３０】
また、電極は、例えば電極主部および電極軸を含み、電極主部を電極軸の先端に支持させて構成することができる。電極軸は、その基端が気密容器の封止部に気密に封着される。なお、グレーデッドシール構造の場合、電極軸を気密容器の封止部を貫通させ、その基端を直接外部へ露出させて、外部へ露出した基端部を外部導入導体として兼用させるように構成することもできる。
【００３１】
（放電媒体について）    放電媒体は、その放電により所望波長の光を放射する媒体であり、少なくとも希ガスを含み、所望により水銀（Ｈｇ）を含むことができる。希ガスは、アルゴン（Ａｒ）、クリプトン（Ｋｒ）およびキセノン（Ｘｅ）のグループから選択された一種を単独で、または複数種の希ガスを混合して用いることができる。また、希ガスの封入圧は、従来から閃光放電ランプに一般に用いられているのと同様な圧力であればよい。
【００３２】
希ガスに加えて水銀を封入する場合は、閃光放電によりその蒸気が放電に寄与して特有のスペクトルの放射を行うように適量を封入する。水銀蒸気は、閃光放電において、主として波長２５４ｎｍ、３６５ｎｍの紫外光を高効率で放射する。封入した水銀は、その全量が蒸発するように封入してもよいし、一部が蒸発しないで液相で滞留するように封入してもよい。
【００３３】
（トリガーワイヤについて）    トリガーワイヤは、気密容器の外面に近接して配設され、少なくとも一方の電極との間に強い電位傾度を形成することにより、気密容器内の内部を絶縁破壊して、一対の電極間に放電を生起させるための手段である。トリガーワイヤによって一方の電極との間に強い電位傾度を形成するためには、例えばトリガーワイヤと当該一方の電極との間にトリガー用電源を接続したり、トリガーワイヤを他方の電極に接続したりすればよい。また、トリガーワイヤの電極間における長さを調節することによって、一対の電極間における放電開始電圧を所望値になるように制御することもできる。
【００３４】
請求項２の発明の照射エネルギー測定方法は、紫外光から赤外光までの波長域の少なくとも一部に属する光エネルギーを放射する閃光放電ランプまたは紫外線放射ランプから所定距離離間した微小位置に対して閃光放電ランプまたは紫外線放射ランプにより照射される光エネルギーの強度を測定する照射エネルギー測定方法において；閃光放電ランプまたは紫外線放射ランプにより微小位置に照射された光エネルギーを選択して導入する第１の工程と；第１の工程により導入された光エネルギーを、紫外光から赤外光までの波長域の少なくとも一部に属する波長域にピーク感度が有る受光手段で受光する第２の工程と；第２の工程により得た電気信号に基づき、計測手段を用いて微小位置に照射される光エネルギーの強度を計測する第３の工程と；を具備していることを特徴としている。
【００３５】
本発明は、閃光放電ランプまたは紫外線放射ランプから所定距離離間した微小位置に照射される光エネルギーの強度を測定する照射エネルギー測定方法を規定している。本発明の実施に際して請求項１に規定する照射エネルギー測定装置を使用すると好都合である。しかし、上記装置の使用は必須要件ではない。
【００３６】
また、本発明は、上記のように第１ないし第３の工程からなる。
【００３７】
第１の工程は、閃光放電ランプまたは紫外線放射ランプから所定距離離間した微小位置に照射される光エネルギーを計測可能な程度まで選択する工程である。「光エネルギーを計測可能な程度まで選択する」とは、微小位置に照射された光エネルギーを選択するとともに、計測可能な程度まで減光することを意味する。そして、第２の工程へ引き継ぐものである。
【００３８】
第２の工程は、第１の工程により導入された光エネルギーを受光手段で受光する工程である。受光手段は、紫外光から赤外光までの波長域の少なくとも一部に属する波長域にピーク感度が有るものを用いるものとする。受光手段としては、請求項１の発明において説明したセンサを用いることができる。
【００３９】
第３の工程は、第２の工程により発生した電気信号に基づいて閃光放電ランプや紫外光放射ランプから所定距離離間した位置の微小部分に照射された光エネルギーの強度を測定する工程である。
【００４０】
そうして、光エネルギー強度の測定結果を表示したり、測定結果に基づいて閃光放電ランプや紫外光放射ランプを制御したりすることができる。
【発明の効果】
【００４１】
請求項１の発明によれば、瞬間的に照射される大きな強度の光や紫外光を局部的に、かつ、比較的簡便に測定して、その測定結果を表示したり、測定結果に基づいて閃光放電ランプや紫外光放射ランプなどを制御したりすることが可能な照射エネルギー測定装置を提供することができる。
【００４２】
請求項２の発明によれば、瞬間的に照射される大きな強度の光や紫外光を局部的に、かつ、比較的簡便に測定して、その測定結果を表示したり、測定結果に基づいて閃光放電ランプや紫外光放射ランプなどを制御したりすることが可能な照射エネルギー測定方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４３】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
【００４４】
図１ないし図４は、本発明の照射エネルギー測定装置および照射エネルギー測定方法を実施するための第１の形態を示し、図１は概念図、図２は光選択導入手段の入光部およびその変形例を示す正面図、図３は光エネルギーの光選択導入手段への入光状態および受光手段の受光状態を説明する概念図、図４は使用される閃光放電ランプの１例を示す正面断面図である。各図において、１は光選択導入手段、２は受光手段、３は計測手段、ＨＦＬは閃光放電ランプである。
【００４５】
光選択導入手段１は、ステンレス鋼などの遮光性の基板１ａに入光部１ｂを形成した構成からなる。そして、入光部１ｂを測定ポイントに配置して光エネルギーの測定を行う。なお、測定ポイントは、後述する閃光放電ランプＨＦＬから所定距離離間した位置に設定される。また、光選択導入手段１は、閃光放電ランプＨＦＬからの光エネルギー以外の外来光エネルギーが測定に実質的な影響を与える程度に侵入しないように配慮されている。基板１ａに形成された入光部１ｂは、図２の（ａ）に示すように、ピンホールのような小径孔からなる。しかし、所望により図２の（ｂ）に示す紫外光を減光するメッシュ体ｍを張設した小径孔の構成および図２の（ｃ）に示すスリットなどの変形例が許容される。
【００４６】
受光手段２は、焦電素子または光電素子からなり、光選択導入手段１の背方に配置されて光選択導入手段１の小径孔１ｂを通過することによって絞られた光すなわち減光された光を受光する。
【００４７】
計測手段３は、受光手段２から出力される電気信号を入力して、それを光エネルギーの強度を示す値に変換するとともに、表示手段３ａを備えていて、この表示手段３ａで光エネルギーの強度を表示する。
【００４８】
閃光放電ランプＨＦＬは、図４に示すように、気密容器ＳＥ、一対の電極Ｅ、Ｅ、放電媒体およびトリガーワイヤＴＷからなる。
【００４９】
気密容器ＳＥは、石英ガラスからなり、管軸方向に一端から第２の領域２、第１の領域１および第２の領域２からなるが、全体的には直線的に延伸して直管状をなしている。第１および第２の領域１は、その管軸方向の内部断面積がＳ１、Ｓ２であり、内部断面積比がＳ２／Ｓ１が数式０．３＜Ｓ２／Ｓ１＜０．９を満足している。すなわち、第１および第２の領域は、ともに横断面がほぼ真円形状であり、第１の領域１が内径１０ｍｍ、第２の領域２が内径６ｍｍであり、ともに管軸方向に延在する円筒状をなしている。第１および第２の領域１、２の中間は、段継ぎされてこれらの領域と一体化されている。第２の領域１の一端部は、気密容器ＳＥの封止端部を構成している。この封止端部は、いわゆるグレーデッドシールを形成していて、第２の領域における円筒状の石英ガラスからなる主体部分と後述する導入線３との間を熱膨張係数が徐々に変化している複数の封止材を順次溶着することによって気密に封着している。
【００５０】
一対の電極Ｅ、Ｅは、タングステン（Ｗ）製であり、導入線３によって支持されて第２の領域２、２の端部の内部に封装されている。なお、一方は陽極であり、他方は陰極として作用する。また、導入線３は、電極Ｅを支持するとともに、気密容器ＳＥの両端部から外部へ気密に導出されていて、電極Ｅにランプ電流を供給する際の導電体としても機能する。
【００５１】
放電媒体は、キセノン（Ｘｅ）および水銀（Ｈｇ）またはキセノンのみが封入されている。
【００５２】
トリガーワイヤＴＷは、例えばモリブデン（Ｍｏ）線からなり、気密容器ＳＥの外面に接触した状態で管軸方向に沿って延在している。
【００５３】
そうして、閃光放電ランプＨＦＬを静電容量４０μＦの充放電用のコンデンサに電圧６ｋＶに充電し、かつ、インダクタンス０μＨの直流電源を用いて閃光放電ランプＨＦＬを点灯させると、ピーク電流９ｋＡ、電流半値幅２５μｓのランプ電流が流れて閃光放電が生起する。
【００５４】
閃光放電ランプＨＦＬから所定距離離間した位置に配置された光選択導入手段１の入光部１ｂを通過して所要に減光された閃光は、図３に示すように、受光手段２により受光される。そして、受光手段２から出力される電気信号は、計測手段３に入力して、計測されて、その値が表示部３ａに表示される。
【００５５】
以下、図５および図６を参照して本発明の照射エネルギー測定装置および照射エネルギー測定方法を実施するためのその他の形態を説明する。なお、各図において、図１と同一部分については同一符号を付して説明する。
【００５６】
図５は、本発明の照射エネルギー測定装置および照射エネルギー測定方法を実施するための第２の形態を示す概念図である。本形態は、光選択導入手段１が第１の形態における構造に加えて遮光ボックス１ｃを備えているとともに、計測手段３の出力を帰還して閃光放電ランプＨＦＬの点灯を制御する点で異なる。
【００５７】
すなわち、遮光ボックス１ｃは、入光部１ｂを備えた基板１ａを含んで構成されていて、入光部１ｂに対向する底面に受光手段２が配設されている。また、遮光ボックス１ｃの内面は、反射性になっている。しかし、遮光性や光拡散性であってもよい。
【００５８】
計測手段３は、その出力である計測値データを閃光放電ランプＨＦＬの点灯回路ＯＣに帰還するように構成されている。
【００５９】
閃光放電ランプＨＦＬの点灯回路ＯＣは、帰還された計測値データに基づいて発生光量が一定になるように自動的に制御される。
【００６０】
そうして、本形態においては、光選択導入手段１が遮光ボックス１ｃを備えているので、閃光放電ランプＨＦＬから照射された閃光が小径孔からなる入光部１ｂで減光され、さらに加えて遮光ボックス１ｃ内でも適度に減光されるので、受光手段２が適正に作動することができる。また、遮光ボックス１ｃ内の壁面を遮光性にすれば、閃光放電ランプＨＦＬから照射された閃光以外の外来光の入射が少なくなり、外来光の影響を一層低減することができる。
【００６１】
また、計測手段３の出力を閃光放電ランプＨＦＬの点灯回路ＯＣに帰還するので、光量が一定になるように自動的に制御することができる。
【００６２】
図６は、本発明の照射エネルギー測定装置および照射エネルギー測定方法を実施するための第３の形態を示す概念図である。なお、図において、閃光放電ランプＨＦＬおよび計測手段３は図1におけるのと同様に具備されているが、図示を省略している。本形態は、遮光ボックス１ｃ内に窒素ガスをフローするようにした構成を備えている点で異なる。
【００６３】
すなわち、遮光ボックス１ｃには、流入孔１ｃ１および流出孔１ｃ２が配設されている。そして、流入孔１ｃ１は、窒素ボンベなどの窒素供給源（図示しない）が接続して、一定量の窒素ガスがフローされるように構成されている。流出孔１ｃ２は、外気中に開口したり、あるいは浄化循環装置（図示しない。）に接続したりする。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明の照射エネルギー測定装置および照射エネルギー測定方法を実施するための第１の形態を示す概念図
【図２】同じく光選択導入手段の入光部およびその変形例を示す正面図
【図３】同じく光エネルギーの光選択導入手段への入光状態および受光手段の受光状態を説明する概念図
【図４】同じく使用される閃光放電ランプの１例を示す正面断面図
【図５】本発明の照射エネルギー測定装置および照射エネルギー測定方法を実施するための第２の形態を示す概念図
【図６】本発明の照射エネルギー測定装置および照射エネルギー測定方法を実施するための第３の形態を示す概念図
【符号の説明】
【００６５】
１…光選択導入手段、１ａ…基板、１ｂ…入光部、２…受光手段、３…計測手段、３ａ…表示手段、ＨＦＬ…閃光放電ランプ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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