(57)【要約】【課題】印刷前の初期精度及び印刷ショット数を重ねたときの印刷後精度の両方を高めることができるスクリーン印刷用版及びその製造方法を提供する。【解決手段】版枠２に張設されたメッシュスクリーン３に印刷パターン部５を形成してなるスクリーン印刷用版において、上記印刷パターン部５を、樹脂により形成され、少なくとも１つの開口５ａを有するものとし、上記メッシュスクリーン３の印刷面Ａ側の上記各印刷パターン部５の間の部分を金属箔６により覆う。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
版枠に張設されたメッシュスクリーンに複数の印刷パターン部を形成してなるスクリーン印刷用版において、上記各印刷パターン部は樹脂により形成され、少なくとも１つの印刷開口を有し、上記メッシュスクリーンの印刷面側の上記各印刷パターン部の間の部分は金属箔により覆われていることを特徴とするスクリーン印刷用版。
【請求項２】
請求項１において、上記メッシュスクリーンから上記印刷パターン部表面までの高さ寸法が、上記メッシュスクリーンから上記金属箔表面までの高さ寸法より大きいことを特徴とするスクリーン印刷用版。
【請求項３】
請求項１又は２において、上記メッシュスクリーンが、上記版枠に張設された第１のクリーンと、該第１のスクリーンに貼着され、かつ上記印刷パターン部が形成された第２のメッシュスクリーンとから構成されていることを特徴とするスクリーン印刷用版。
【請求項４】
請求項１ないし３の何れかに記載のスクリーン印刷用版の製造方法であって、上記メッシュスクリーンの印刷面側の各印刷パターン部の間の部分に金属箔を被覆形成する工程と、該印刷パターン部を少なくとも１つの印刷開口を有するよう樹脂により形成する工程とを備えていることを特徴とするスクリーン印刷用版の製造方法。
【請求項５】
請求項４において、上記金属箔がめっきにより形成されることを特徴とするスクリーン印刷用版の製造方法。
【請求項６】
請求項４又は５において、上記金属箔が上記メッシュスクリーンにめっきにより接合形成されることを特徴とするスクリーン印刷用版の製造方法。
【請求項７】
請求項４ないし６の何れかにおいて、上記印刷パターン部が、上記メッシュスクリーンに感光性乳剤を塗布した後、露光，現像することにより形成されていることを特徴とするスクリーン印刷用版の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリーン印刷用版及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、スクリーン印刷用版は、図１６（ａ），（ｂ）及び図１７（ａ），（ｂ）に示すように、版枠５０にメッシュスクリーン５１を所定の張力でもって張設し、該メッシュスクリーン５１に感光性乳剤又は金属膜からなり、所定の印刷パターンが形成された印刷パターン部５２又は５３を形成した構造となっている。
【０００３】
ところで、上記感光性乳剤を用いた印刷用版の場合は、リソグラフィーによるパターン形成であることから、印刷前の印刷パターン座標精度（初期精度）には優れているものの、乳剤膜自体の剛性が低いことから印刷ショット数を重ねると印刷パターンの座標にずれが生じ易いという問題がある。
【０００４】
一方、上記金属膜を用いた印刷用版の場合は、印刷パターン部の剛性が高いことから印刷ショット数を重ねても印刷パターンの座標ずれが生じにくい。しかしながら、金属膜をめっきでメッシュスクリーンに圧着接合する際に金属膜自体が変形し易く、印刷前の初期精度が得られない。また金属膜を電鋳法で形成した場合は、印刷パターンの粗密でめっき電流密度分布が生じ、結果として膜厚精度が劣化し易い。さらに金属膜がメッシュスクリーンのスキージ摺接面側にあると、印刷パターンのエッジ部でスキージが磨耗し易くなるという問題がある。
【０００５】
このような問題を解決する観点から、従来、メッシュスクリーンの印刷面全面に金属膜を形成し、該金属膜に乳剤等の樹脂膜を形成し、この金属膜及び樹脂膜に印刷パターンを形成したり（例えば、特許文献１，２参照）、あるいは印刷パターンのエッジ部のみを金属膜で形成し、残りの部分を乳剤で覆うようにしたりする場合がある（例えば、特許文献３参照）。
【特許文献１】特開平５−２００９６７号公報
【特許文献２】特公平６−９３６５５号公報
【特許文献３】実用新案第２５２１３４０号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記従来の特許文献１のように、金属膜に乳剤膜を積層する構造とした場合には、金属膜のエッチング時にオーバーエッチングが生じるおそれがあり、例えばスパイラル形状等の微細パターンを形成することが困難である。また特許文献２の場合には、基本的に金属膜による版であり、さらに特許文献３の場合は、金属膜で印刷パターンを形成する構造であり、両者とも印刷前の印刷パターン座標の初期精度が得られないという懸念がある。
【０００７】
本発明は、上記従来の状況に鑑みてなされたもので、印刷前の初期精度及び印刷ショット数を重ねたときの座標精度の両方を高めることができるとともに、微細パターンの形成を可能にできるスクリーン印刷用版及びその製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１の発明は、版枠に張設されたメッシュスクリーンに複数の印刷パターン部を形成してなるスクリーン印刷用版において、上記各印刷パターン部は樹脂により形成され、少なくとも１つの印刷開口を有し、上記メッシュスクリーンの印刷面側の上記各印刷パターン部の間の部分は金属箔により覆われていることを特徴としている。
【０００９】
請求項２の発明は、請求項１において、上記メッシュスクリーンから上記印刷パターン部表面までの高さ寸法が、上記メッシュスクリーンから上記金属箔表面までの高さ寸法より大きいことを特徴としている。
【００１０】
請求項３の発明は、請求項１又は２において、上記メッシュスクリーンが、上記版枠に張設された第１のスクリーンと、該第１のスクリーンに貼着され、かつ上記印刷パターン部が形成された第２のメッシュスクリーンとから構成されていることを特徴としている。
【００１１】
請求項４の発明は、請求項１ないし３の何れかに記載のスクリーン印刷用版の製造方法であって、上記メッシュスクリーンの印刷面側の各印刷パターン部の間の部分に金属箔を被覆形成する工程と、該印刷パターン部を少なくとも１つの印刷開口を有するよう樹脂により形成する工程とを備えていることを特徴としている。
【００１２】
請求項５の発明は、請求項４において、上記金属箔がめっきにより形成されることを特徴としている。
【００１３】
請求項６の発明は、請求項４又は５において、上記金属箔が上記メッシュスクリーンにめっきにより接合形成されることを特徴としている。
【００１４】
請求項７の発明は、請求項４ないし６の何れかにおいて、上記印刷パターン部が、上記メッシュスクリーンに感光性乳剤を塗布した後、露光，現像することにより形成されていることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１の発明に係るスクリーン印刷用版によれば、印刷パターン部を樹脂により形成するとともに、該各印刷パターン部の間の部分を金属箔により覆ったので、印刷前の印刷パターン座標精度（初期精度）及び印刷ショット数を重ねたときの印刷パターン座標精度の両方を高めることができる。
【００１６】
上記メッシュスクリーンの各印刷パターン部の間の部分が金属箔で覆われているので、スクリーン印刷用版自体の剛性を高めることができ、印刷時のスキージ摺動負荷に対する変形を防止でき、印刷ショット数を重ねても印刷パターン部の座標ずれを抑制することができる。また金属箔をメッシュスクリーンの印刷面側に形成したので、メッシュスクリーンのスキージ摺動面を平滑にすることができ、スキージの磨耗を抑制できる。さらに印刷パターン部を樹脂により形成したので、スパイラル形状等の微細パターンの形成が可能である。
【００１７】
請求項２の発明では、メッシュスクリーンから印刷パターン部表面までの高さ寸法を、上記金属箔表面までの高さ寸法より大きくしたので、金属箔が印刷物に接触するのを防止でき、印刷用版と印刷物との間の版離れ性を向上でき、ひいては印刷精度を向上できる。
【００１８】
請求項３の発明では、メッシュスクリーンを第１のスクリーンと第２のメッシュスクリーンにより構成したので、スクリーン印刷を行う際の印刷精度を高めることができる。
【００１９】
請求項４の発明では、メッシュスクリーンの印刷面側の各印刷パターン部の間の部分に金属箔を形成した後、該印刷パターン部を樹脂により形成したので、印刷前の初期精度及び印刷ショットを重ねたときの印刷後精度の高いスクリーン印刷用版を製造できる。
【００２０】
請求項５の発明では、金属箔をめっきにより形成したので、例えばレーザ加工により金属箔を形成する場合に比べて微細パターンの形成が可能である。
【００２１】
請求項６の発明では、金属箔をメッシュスクリーンにめっき接合したので、例えば接着剤により貼着する場合に比べて目詰まりを防止できるとともに接合力を高めることができる。
【００２２】
請求項７の発明では、印刷パターン部を感光性乳剤により形成したので、例えば反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）等により印刷パターン部を形成する場合に比べて微細な印刷パターンを容易に形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
【００２４】
図１ないし図５は、本発明の一実施形態によるスクリーン印刷用版及びその製造方法を説明するための図であり、図１はスクリーン印刷用版の平面図、図２はスクリーン印刷用版の断面図（図１のII−II線断面図) 、図３は印刷パターン部の拡大断面図、図４（ａ）〜（ｈ）はスクリーン印刷用版の製造工程を示す図、図５はスクリーン印刷用版の製造方法を示す図である。
【００２５】
図において、１は例えば電子部品が実装される回路基板に導電ペーストを印刷して回路パターンを形成するようにしたスクリーン印刷用版を示しており、これは矩形状の版枠２にメッシュスクリーン３を所定の張力を付与した状態に張設し、該メッシュスクリーン３に一対の印刷開口５ａ，５ａが形成された４つの印刷パターン部５を所定の間をあけて形成し、上記メッシュスクリーン３の各印刷パターン部５の間の部分及び各印刷パターン部５を囲む部分に金属箔６を被覆形成して構成されている。この金属箔６はメッシュスクリーン３の内側に矩形状をなすように形成されており、該メッシュスクリーン３の版枠２の内周部分には形成されていないが、この内周部分も含めて形成してもよい。
【００２６】
上記メッシュスクリーン３はステンレス等の金属極細線を編み込んで形成されたものである。なお、メッシュスクリーンに、例えばポリエステル等の導電性を有しない樹脂製メッシュの表面に蒸着などにより金属膜をコーテングした電鋳製メッシュスクリーンを用いてもよい。
【００２７】
上記各印刷パターン部５は、感光性乳剤をメッシュスクリーン３に塗布した後、露光，現像することにより形成されたものであり、この感光性乳剤には、光硬化形態がポリビニルアルコール・ポリマー（アクリルや酢酸ビニル）と光架橋用ジアゾ樹脂とを混ぜ合わせた光架橋型、ポリビニルアルコール・アクリルモノマーと光重合開始剤を混ぜ合わせた光重合型、または光架橋型と光重合型とを組み合わせたハイブリッド型のものが採用されている。
【００２８】
上記金属箔６は、上記メッシュスクリーン３の印刷面Ａ側に電解めっきにより一体に接合形成されている。このメッシュスクリーン３の印刷面Ａの反対側の上面がスキージ摺動面Ｂとなっている。また金属箔６は、Ａｕ，Ｃｏ，Ｃｒ，Ｃｕ，Ｍｏ，Ｎｉ，Ｗのうち少なくとも１つを含むものにより形成されている。
【００２９】
図３に示すように、上記メッシュスクリーン３から上記印刷パターン部５の印刷面Ａ側の表面までの高さ寸法ｈ１は、上記メッシュスクリーン３から上記金属箔６の表面までの寸法ｈ２より大きくなっている。即ち、印刷パターン部５と金属箔６との間にはギャップｈが設けられており、これにより回路基板には各印刷パターン部５のみが当接するようになっている。なお、図１５に示すように、上記寸法ｈ１と上記寸法ｈ２とが等しく、ギャップｈが設けられていなくてもよい。このギャップｈを設ける場合は、例えば１〜１００μｍの範囲で適宜設定される。このようなギャップｈを設けることにより金属箔６と印刷物とが接触するのを防止でき、スクリーン印刷用版と印刷物との間の版離れ性を向上させることができる。
【００３０】
次に上記スクリーン印刷用版１の一製造方法を図４に沿って説明する。
【００３１】
〔フォトレジスト形成工程〕
板厚０．４ｍｍ、面積２００×２００ｍｍの正方形状のＳＵＳ基材１０を中性洗剤にて脱脂洗浄を行なった後、該ＳＵＳ基材１０の上面にフォトリソグラフィーによりフォトレジスト膜１１をパターン形成する。このフォトレジスト膜１１は、東京応化工業（株）製のフォトレジストＰＭＥＲ−ＮＨＣ６００を使用し、スピンコーターにて１５μｍの厚みに塗布した後、９０℃のクリーンオーブンにて３０分間乾燥させて形成した。
【００３２】
上記ＳＵＳ基材１０のフォトレジスト膜１１にｉ線（波長４０５ｎｍ）を使用して露光を行い、続いて現像・乾燥を行なう。具体的には、東京応化工業（株）製の現像液Ｎ−Ａ５を使用し、２分間の現像と５分間の水洗を行なった後、１１０℃のクリーンオーブンにて３０分間乾燥させて行なった。このようにしてフォトレジスト膜１１の金属箔形成部分に開口１１ａを形成する（図４（ａ）参照）。
【００３３】
〔Ｎｉめっき工程〕
上記ＳＵＳ基材１０のフォトレジスト膜１１の各開口１１ａ内に電解めっきにより厚さ１０μｍのＮｉめっき膜１２を形成する（図４（ｂ）参照）。この電解めっきは、下記に示す処方によるスルファミン酸ニッケル浴にＳＵＳ基材１０を浸漬し、３０分間通電して行なった。
【００３４】
・スルファミン酸ニッケル：４００ｇ／ｌ
・ほう酸                ：３０ｇ／ｌ
・浴温度                ：５０℃
・ＰＨ                  ：４．１
・電流密度              ：２Ａ／ｄｍ2 
〔平滑化工程〕
市販のサンドペーパー＃２４００にて、フォトレジスト膜１１とＮｉめっき膜１２とが同一面となるように研磨する（図４（ｃ）参照）。ここで、予めＮｉめっき膜の厚さと同じとなるようにフォトレジスト膜を形成し、該フォトレジスト膜の開口部に電解めっきを施してＮｉめっき膜を形成してもよい。このようにした場合には研磨加工を不要にできる。
【００３５】
〔Ｎｉめっき接合工程〕
上記フォトレジスト膜１１及びＮｉめっき膜１２にメッシュスクリーン３の印刷面Ａ側を当接させるとともに、ＳＵＳ基材１０にメッシュスクリーン３を圧接して両者３，１０を密着させる（図４（ｄ）参照）。この状態で、メッシュスクリーン３のスキージ摺動面Ｂ側から電解めっきを施す。この電解めっきによりメッシュスクリーン３に厚さ３μｍのＮｉめっき皮膜を形成する。この電解めっきは、上述と略同様に、スルファミン酸ニッケル浴に上記密着させたＳＵＳ基材１０とメッシュスクリーン３とを浸漬し、１０分間通電して行なった。なお、メッシュスクリーン３は、予め中性洗剤にて脱脂洗浄を行なう。
【００３６】
〔ＳＵＳ基材の剥離工程〕
次いでＳＵＳ基材１０からＮｉめっき皮膜をメッシュスクリーン３ごと剥離する。この場合、Ｎｉめっき皮膜にフォトレジスト膜が付着している場合には、フォトレジスト膜をアルカリ溶液などで除去する。このようにしてメッシュスクリーン３に一体に接合された金属箔６が形成される（図４（ｅ）参照）。
【００３７】
〔感光性乳剤の塗布工程〕
上記メッシュスクリーン３に感光性乳剤１５を塗布する（図４（ｆ）参照）。これは、図５に示すように、逆Ｔ字状の支持台１６に版枠２を約７０度の傾斜角度をなすように固定し、メッシュスクリーン３の印刷面Ａ側から感光性乳剤１５をバケット１７により塗布する。この場合、バケット１７は版枠２幅よりも若干寸法の小さいものを使用し、感光性乳剤１５がメッシュスクリーン３の両面Ａ，Ｂに張り出し、かつ金属箔６を埋め込むようにエッジ側に約５０〜７０度傾斜させた状態で、かつバケット１７を下から上方に向かって撫で上げるように４回塗布する。この後、４０℃のクリーンオーブンに約１５分間放置し、感光性乳剤１５を乾燥させる。このような乳剤塗布／乾燥を２回繰り返す。なお、ギャップｈを設けない場合は、感光性乳剤１５を金属箔６と同じ高さになるように塗布する。
【００３８】
ここで、必要に応じて乳剤表面にフラット加工を実施してもよい。このフラット加工は、感光性乳剤をメッシュスクリーンに下から撫で上げるように２回塗布し、感光性乳剤が自然乾燥する前に、別途用意されたフラット加工用フィルム（例えば、１００μｍ厚のＰＥＴフィルム）を貼り付ける。このとき、フラット加工用フィルムと感光性乳剤の間に隙間が生じた場合にはフラット加工用フィルムを押圧する。この押圧工程は、上述のバケットのエッジ部分をフィルム原版に押し当て、押し当てた状態で下から上方に摺動させる。これらの工程後、メッシュスクリーンを４０℃に昇温したクリーンオーブンに１０分間放置し、感光性乳剤を乾燥させる。
【００３９】
〔感光性乳剤の露光工程〕
印刷パターンに対応する開口１８ａが形成されたポジフィルム原版１８を感光性乳剤１５に密着固定して露光を行なう（図４（ｇ）参照）。この露光では、ジアゾの感光帯域にピーク出力を持つメタルハイドランプ光源を使用し、ｈ線（波長４０５ｎｍ）での積算露光量が１２００ｍＪ／ｃｍ2 の条件で行なった。これによりポジフィルム原版１８の開口１８ａに対応する感光性乳剤１５の開口部分が局所的に光架橋反応でもって硬化する。なお、上述のフラット加工フィルムが貼着している場合には、露光前に剥がして取り除く必要がある。
【００４０】
〔感光性乳剤の現像乾燥工程〕
感光性乳剤１５を約３０℃の水中に２分間浸漬させた後、約１分間揺動させて現像する。この場合、市販のスクリーン印刷用現像装置で行なうことも可能である。次いで、約４０℃のクリーンオーブンに約１５分間放置し、乾燥させる。このようにして本実施形態のスクリーン印刷用版１が製造される（図４（ｈ）参照）。
【００４１】
次に本実施形態の効果を確認するために行なった実験について説明する。
【００４２】
本実験では、上述の製造方法により製造されたスクリーン印刷用版の印刷実施前の初期精度及び印刷５０００ショット後の印刷後精度について測定した。この測定は、設計座標に対する実測座標とのずれ量を版内の２５点で測定し、そのうちの最大ずれ量について評価した。また、比較するために市販の感光性乳剤を用いた印刷版及び金属膜を用いた印刷版についても同様の測定を行なった。表１にそのスクリーン印刷用版，感光性乳剤版，金属膜版の仕様を示す。
【００４３】
【表１】
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【００４４】
図６〜図８は、上記実験結果を示す図である。図６（ａ），（ｂ）は本実施形態のスクリーン印刷用版の初期精度，印刷後精度を示し、図７（ａ），（ｂ）及び図８（ａ），（ｂ）はそれぞれ市販の感光性乳剤版，金属膜版の初期精度，印刷後精度を示す。なお、各図は２５点／１３５ｍｍ□の座標を示し、図中の四角Ａは一辺１０μｎの座標精度用尺度を示す。
【００４５】
まず従来の感光性乳剤版の場合には、印刷前の初期精度は良好なものの（図７（ａ）参照）、印刷５０００ショット後では印刷パターンの座標ずれが生じており、印刷後精度が劣化している（図７（ｂ）参照）。また金属膜版の場合には、印刷５０００ショット後の印刷後精度では座標ずれは生じていないものの（図８（ｂ）参照）、圧着時の金属膜自体の変形により初期精度は低くなっている（図８（ａ）参照）。
【００４６】
これに対して、本実施形態のスクリーン印刷用版では、印刷前の初期精度と印刷５０００ショット後の印刷後精度とも座標ずれはほとんど生じておらず、良好であることが分かる（図６（ａ），（ｂ）参照）。
【００４７】
このように本実施形態のスクリーン印刷用版１によれば、一対の印刷開口５ａを有する４つの印刷パターン部５を感光性乳剤により形成するとともに、メッシュスクリーン３の各印刷パターン部５以外の部分を金属箔６により覆ったので、印刷前の初期精度及び印刷ショット数を重ねたときの印刷後精度の両方を高めることができる。
【００４８】
上記メッシュスクリーン３の各印刷パターン部５間が金属箔６で覆われているので、スクリーン印刷用版１自体の剛性を高めることができ、印刷時のスキージ摺動負荷に対する変形を防止でき、印刷ショット数を重ねても各印刷パターン部５の座標ずれを抑制することができる。
【００４９】
また上記金属箔６をメッシュスクリーン３の印刷面Ａ側に形成したので、メッシュスクリーン３のスキージ摺動面Ｂ側を平滑にすることができ、スキージの磨耗を抑制できる。さらに各印刷パターン部５を感光性乳剤により形成したので、スパイラル形状等の微細パターンを精度良くかつ容易に形成できる。
【００５０】
本実施形態では、上記メッシュスクリーン３から印刷パターン部５までの寸法ｈ１を、上記メッシュスクリーン３から金属箔６までの寸法ｈ２より大きくしたので、即ち、印刷パターン部５と金属箔６との間にギャップｈを設けたので、金属箔６が印刷物に接触するのを防止でき、印刷用版と印刷物との間の版離れ性を向上でき、ひいては印刷精度を向上できる。
【００５１】
上記金属箔６を電解めっきにより形成したので、例えばレーザ加工により金属箔を形成する場合に比べて微細パターンの形成が可能である。また上記金属箔６をメッシュスクリーン３に電解めっきにより一体に接合したので、例えば接着剤により貼着する場合に比べて目詰まりを防止できるとともに接合力を高めることができる。
【００５２】
なお、上記実施形態では、一対の印刷開口５ａを有する４つの印刷パターン部５を形成した場合を例にとって説明したが、本発明の印刷パターン部の形状等についてはこれに限られるものではなく、各種の変形例が考えられる。図９〜図１４は、それぞれ上記印刷パターン開口部の第１〜第３変形例を示しており、図中、図１及び図２と同一符号は同一又は相当部分を示す。
【００５３】
図９及び図１０は、１つの印刷開口２０ａを有する１６個の印刷パターン部２０を所定間隔をあけて形成し、該各印刷パターン部２０の間の部分及びこれらの周囲の部分を金属箔６で覆った例である。
【００５４】
図１１及び図１２は、４つの印刷開口２１ａを有する４つの印刷パターン部２１を所定間隔をあけて並列させて形成し、該各印刷パターン部２１の間及びこれらの周囲の部分を金属箔６で覆った例である。
【００５５】
図１３及び図１４は、１つの印刷開口２２ａを有する４つの印刷パターン部２２を１組とし、またこの１組の印刷パターン部２２に相当する大きさの印刷開口２３ａを有する印刷パターン部２３とを交互に形成した例である。
【００５６】
上記第１〜第３変形例の何れにおいても、各印刷パターン部の間及び周囲を金属箔で覆ったので、印刷前の初期精度及び印刷ショットを重ねたときの印刷後精度の両方を高めることができ、上記実施形態と同様の効果が得られる。
【００５７】
また上記実施形態では、１つのメッシュスクリーンに印刷パターン部を形成した場合を例に説明したが、本発明のメッシュスクリーンは、版枠に張設された例えば樹脂繊維からなる第１のスクリーンと、該第１のスクリーンに貼着された例えばステンレス細線からなり、かつ印刷パターン部が形成された第２のメッシュスクリーンとを有るものでもよく、このようにしたのが請求項３の発明である。なお、第１のスクリーンはメッシュスクリーンに限られず、例えば樹脂フィルムからなるスクリーンでもよい。この例では、スクリーン印刷を行う際の印刷精度をより一層高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の一実施形態によるスクリーン印刷用版の平面図である。
【図２】上記スクリーン印刷用版の断面図（図１のII-II 線断面図) である。
【図３】上記スクリーン印刷用版の印刷パターン部の断面図である。
【図４】上記スクリーン印刷用版の製造工程を示す図である。
【図５】上記スクリーン印刷用版の製造方法を示す図である。
【図６】上記実施形態の効果を確認するために行なった実験結果を示す図である。
【図７】上記実験結果を示す図である。
【図８】上記実験結果を示す図である。
【図９】上記実施形態の印刷パターン部の第１変形例を示す図である。
【図１０】上記印刷パターン部の断面図（図９のX-X 線断面図) である。
【図１１】上記印刷パターン部の第２変形例を示す図である。
【図１２】上記印刷パターン部の断面図（図１１のXII-XII 線断面図) である。
【図１３】上記印刷パターン部の第３変形例を示す図である。
【図１４】上記印刷パターン部の断面図（図１３のXIV-XIV 線断面図) である。
【図１５】上記実施形態の変形例を示すスクリーン印刷用版の断面図である。
【図１６】従来の一般的な感光性乳剤による印刷用版を示す図である。
【図１７】従来の一般的な金属膜による印刷用版を示す図である。
【符号の説明】
【００５９】
１        スクリーン印刷用版
２        版枠
３        メッシュスクリーン
５，２０〜２３  印刷パターン部
５ａ，２０ａ〜２３ａ  印刷開口
６        金属箔
Ａ        印刷面
Ｂ        スキージ摺動面
【図１】
2005212111.tif 000004
【図２】
2005212111.tif 000005
【図３】
2005212111.tif 000006
【図４】
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【図５】
2005212111.tif 000008
【図６】
2005212111.tif 000009
【図７】
2005212111.tif 000010
【図８】
2005212111.tif 000011
【図９】
2005212111.tif 000012
【図１０】
2005212111.tif 000013
【図１１】
2005212111.tif 000014
【図１２】
2005212111.tif 000015
【図１３】
2005212111.tif 000016
【図１４】
2005212111.tif 000017
【図１５】
2005212111.tif 000018
【図１６】
2005212111.tif 000019
【図１７】
2005212111.tif 000020