(57)【要約】【課題】  圧電素子を高密度に配列できると共に圧電素子の破壊を長期間に亘って確実に防止することができ、且つ液滴の吐出特性の低下を防止することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】  圧電素子３００を各圧力発生室１２に対向する領域に設け、圧電素子３００間に対応する領域の下電極６０上から圧電素子３００の外側まで引き出される接続配線９０を設けると共に圧電素子３００を構成する各層及び接続配線９０を耐湿性を有する絶縁材料からなる保護膜１００によって覆い、上電極８０に接続される個別電極用リード電極１１０と接続配線９０に接続される共通電極用リード電極１２０とを保護膜１００上に設けると共に接続配線９０と共通電極用リード電極１２０とを接続するための保護膜１００の開口部１００ｂを、圧電素子３００の外側の領域に設ける。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出するノズル開口にそれぞれ連通する複数の圧力発生室が形成される流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して設けられる共通電極、圧電体層及び個別電極からなる圧電素子とを具備する液体噴射ヘッドであって、
前記圧電素子が各圧力発生室に対向する領域に設けられ、前記圧電素子間に対応する領域の前記共通電極上から前記圧電素子が並設された領域の外側まで引き出される接続配線を有すると共に前記圧電素子を構成する各層及び前記接続配線が耐湿性を有する無機絶縁材料からなる保護膜によって覆われ、前記個別電極に接続される個別電極用リード電極と前記接続配線に接続される共通電極用リード電極とが前記保護膜上に設けられると共に前記接続配線と前記共通電極用リード電極を接続するための前記保護膜の開口部が、前記圧電素子の並設された領域の外側の領域に設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
請求項１において、前記保護膜の開口部に対向する前記接続配線の接続部の幅が、少なくとも前記圧電素子間に対応する領域の幅よりも広くなっていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項３】
請求項１又は２において、前記圧電素子間に対応する領域の前記接続配線の幅が、前記圧力発生室間の隔壁の幅よりも狭いことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項１〜３の何れかにおいて、前記接続配線が、単層で構成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項５】
請求項４において、前記接続配線が、タングステン、モリブデン又はタンタルで形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項６】
請求項１〜５の何れかの液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に、インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板の表面に圧電素子を形成して、圧電素子の変位によりインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子により変形させて圧力発生室のインクを加圧してノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドには、圧電素子の軸方向に伸長、収縮する縦振動モードの圧電アクチュエータを使用したものと、たわみ振動モードの圧電アクチュエータを使用したものの２種類が実用化されている。
【０００３】
前者は圧電素子の端面を振動板に当接させることにより圧力発生室の容積を変化させることができて、高密度印刷に適したヘッドの製作が可能である反面、圧電素子をノズル開口の配列ピッチに一致させて櫛歯状に切り分けるという困難な工程や、切り分けられた圧電素子を圧力発生室に位置決めして固定する作業が必要となり、製造工程が複雑であるという問題がある。
【０００４】
これに対して後者は、圧電材料のグリーンシートを圧力発生室の形状に合わせて貼付し、これを焼成するという比較的簡単な工程で振動板に圧電素子を作り付けることができるものの、たわみ振動を利用する関係上、ある程度の面積が必要となり、高密度配列が困難であるという問題がある。
【０００５】
一方、後者の記録ヘッドの不都合を解消すべく、振動板の表面全体に亙って成膜技術により均一な圧電材料層を形成し、この圧電材料層をリソグラフィ法により圧力発生室に対応する形状に切り分けて各圧力発生室毎に独立するように圧電素子を形成したものがある。これによれば圧電素子を振動板に貼付ける作業が不要となって、リソグラフィ法という精密で且つ簡便な手法で圧電素子を作り付けることができるばかりでなく、圧電素子の厚みを薄くできて高速駆動が可能になるという利点がある。
【０００６】
しかしながら、このような圧電素子は、例えば、湿気等の外部環境に起因して破壊され易いという問題がある。そして、この問題を解決するために、圧電素子を構成する上電極の上面の少なくとも周縁及び圧電体層の側面を覆うように、例えば、酸化シリコン、窒化シリコン、有機材料、好ましくは感光性ポリイミドからなる薄い絶縁体層を設け、この絶縁体層上に、導電パターン（リード電極）を形成したものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００７】
また、圧電素子を高密度に配列したインクジェット式記録ヘッドでは、多数の圧電素子を同時に駆動すると、電圧降下が発生して圧電素子の変位量が不安定になり、インク吐出特性が低下するという問題がある。このような問題を解決するために、下電極から複数の共通リード電極を延設するようにしたものがある（例えば、特許文献２参照）。
【０００８】
そして、上述した引用文献１に記載の構造において、下電極に接続される共通リード電極を、上電極に接続される導電パターンと同様に絶縁体層上に設ける場合、この共通リード電極によって圧電素子の間隔が制限されてしまい、圧電素子を十分に高密度に配列することができないという問題がある。なお、このような問題は、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドだけではなく、勿論、インク以外の液滴を吐出する他の液体噴射ヘッドにおいても、同様に存在する。
【０００９】
【特許文献１】特開平１０−２２６０７１号公報（第２図、段落［００１５］）
【特許文献２】特開２００３−１２７３５８号公報（特許請求の範囲、第３図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、このような事情に鑑み、圧電素子を高密度に配列できると共に圧電素子の破壊を長期間に亘って確実に防止することができ、且つ液滴の吐出特性の低下を防止することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決する本発明の第１の態様は、液滴を吐出するノズル開口にそれぞれ連通する複数の圧力発生室が形成される流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して設けられる共通電極、圧電体層及び個別電極からなる圧電素子とを具備する液体噴射ヘッドであって、前記圧電素子が各圧力発生室に対向する領域に設けられ、前記圧電素子間に対応する領域の前記共通電極上から前記圧電素子の並設された領域の外側まで引き出される接続配線を有すると共に前記圧電素子を構成する各層及び前記接続配線が耐湿性を有する絶縁材料からなる保護膜によって覆われ、前記個別電極に接続される個別電極用リード電極と前記接続配線に接続される共通電極用リード電極とが前記保護膜上に設けられると共に前記接続配線と前記共通電極用リード電極を接続するための前記保護膜の開口部が、前記圧電素子の外側の領域に設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第１の態様では、共通電極と共通電極用リード電極とを接続するための開口部が、圧電素子の長手方向端部の外側の領域に設けられているため、圧電素子の間隔がこの開口部によって制限されることがなく、圧電素子を高密度に配列することができる。
【００１２】
本発明の第２の態様は、第１の態様において、前記保護膜の開口部に対向する前記接続配線の接続部の幅が、少なくとも前記圧電素子間に対応する領域の幅よりも広くなっていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第２の態様では、圧電素子間を狭くすることにより圧電素子を高密度に配列でき且つ接続配線と共通電極用リード電極とを良好に接続することができる。
【００１３】
本発明の第３の態様は、第１又は２の態様において、前記圧電素子間に対応する領域の前記接続配線の幅が、前記圧力発生室間の隔壁の幅よりも狭いことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第３の態様では、圧電素子を高密度に配列してヘッドを小型化することができると共に、接続配線と共通電極用リード電極とを良好に接続することができる。
【００１４】
本発明の第４の態様は、第１〜３の何れかの態様において、前記接続配線が、単層で構成されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第４の態様では、接続配線の周囲に保護膜が良好に形成され、大気中の水分等に起因する圧電素子の破壊を確実に防止できる。
【００１５】
本発明の第５の態様は、第４の態様において、前記接続配線が、タングステン、モリブデン又はタンタルで形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第５の態様では、接続配線として特定の材料を用いることで、共通電極と接続配線とで電池が形成されるのを防止することができる。これにより、接続配線のエッチング時に発生する共通電極及び接続配線の腐食が防止される。
【００１６】
本発明の第６の態様は、第１〜５の何れかの態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる第６の態様では、信頼性及び耐久性を向上した液体噴射装置を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドを示す分解斜視図であり、図２は、図１の平面図であり、図３は、図２のＡ−Ａ′断面図及びＢ−Ｂ′断面図である。図示するように、流路形成基板１０は、本実施形態では面方位（１１０）のシリコン単結晶基板からなり、その一方の面には予め熱酸化により形成した二酸化シリコンからなる、厚さ１〜２μｍの弾性膜５０が形成されている。流路形成基板１０には、隔壁１１によって区画された複数の圧力発生室１２が並設されている。また、流路形成基板１０の圧力発生室１２の長手方向外側の領域には連通部１３が形成され、連通部１３と各圧力発生室１２とが、各圧力発生室１２毎に設けられたインク供給路１４を介して連通されている。なお、連通部１３は、後述する保護基板のリザーバ部と連通して各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバの一部を構成する。インク供給路１４は、圧力発生室１２よりも狭い幅で形成されており、連通部１３から圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。
【００１８】
また、流路形成基板１０の開口面側には、圧力発生室１２を形成する際のマスクとして用いられる絶縁膜５１を介して、各圧力発生室１２のインク供給路１４とは反対側の端部近傍に連通するノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が接着剤や熱溶着フィルム等を介して固着されている。なお、ノズルプレート２０は、厚さが例えば、０．０１〜１ｍｍで、線膨張係数が３００℃以下で、例えば２．５〜４．５［×１０-6／℃］であるガラスセラミックス、シリコン単結晶基板又は不錆鋼などからなる。
【００１９】
一方、このような流路形成基板１０の開口面とは反対側には、上述したように、厚さが例えば約１．０μｍの弾性膜５０が形成され、この弾性膜５０上には、例えば、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）からなり厚さが約０．４μｍの絶縁体膜５５が形成されている。さらに、この絶縁体膜５５上には、例えば、白金（Ｐｔ）とイリジウム（Ｉｒ）とからなり厚さが約０．２μｍの下電極膜６０と、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）からなり厚さが約１．０μｍの圧電体層７０と、例えば、イリジウム（Ｉｒ）からなり厚さが約０．０５μｍの上電極膜８０とが、後述するプロセスで積層形成されて、圧電素子３００を構成している。ここで、圧電素子３００は、下電極膜６０、圧電体層７０及び上電極膜８０を含む部分をいう。一般的には、圧電素子３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層７０から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。本実施形態では、下電極膜６０は圧電素子３００の共通電極とし、上電極膜８０を圧電素子３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。何れの場合においても、各圧力発生室毎に圧電体能動部が形成されていることになる。また、ここでは、圧電素子３００と当該圧電素子３００の駆動により変位が生じる振動板とを合わせて圧電アクチュエータと称する。
【００２０】
ここで、圧電素子３００の構造について詳しく説明する。本実施形態では、図２及び図３に示すように、下電極膜６０は、複数の圧力発生室１２に対応する領域に亘って連続的に設けられて複数の圧電素子３００に共通する共通電極を構成している。なお、圧力発生室１２の並設方向とは直交する方向では、下電極膜６０の端部は、圧力発生室１２に対向する領域内に位置している。一方、圧電体層７０及び上電極膜８０は、基本的には圧力発生室１２に対向する領域内に設けられて圧電素子３００が形成されている。なお、本実施形態では、圧電体層７０及び上電極膜８０の端部は、圧力発生室１２の並設方向とは直交する方向では、圧力発生室１２の外側に位置している。
【００２１】
そして、圧電素子３００の共通電極である下電極膜６０には、接続配線９０が直接接続されている。この接続配線９０は、隣接する圧電素子３００間に対応する領域の下電極膜６０上から圧電素子３００のインク供給路１４とは反対側の端部の外側まで延設され、その先端部近傍は他の部分よりも広い幅を有する。すなわち、接続配線９０は、圧電素子３００の間隔よりも狭い幅、好ましくは隔壁１１よりも狭い幅を有する延設部９０ａと、この延設部９０ａよりも広い幅を有し後述する共通電極用リード電極が接続される接続部９０ｂとからなる。接続部９０ｂの幅は、特に限定されないが、共通電極用リード電極を良好に接続するためには、比較的広い幅とするのが好ましい。例えば、本実施形態では、接続配線９０の延設部９０ａは、隔壁１１の幅よりも狭い幅で形成され、接続部９０ｂは、隣接する圧電素子３００の間隔よりも広い幅で形成されている。
【００２２】
このような接続配線９０は単層、すなわち、一層の金属膜で形成されていることが好ましく、その材料としては、例えば、タングステン、モリブデン、タンタル等を用いることが好ましい。接続配線９０の材料としては、下電極膜６０の材料よりも導電性の高い材料を用いることが好ましいが、下電極膜６０上に下電極膜６０とは異なる金属からなる接続配線９０を直接形成すると電池が形成されてしまい、接続配線９０をエッチングによりパターニングする際に接続配線９０又は下電極膜６０が腐食してしまう虞がある。しかしながら、接続配線９０を上記のような材料で形成することで、このような腐食の発生を防止することができる。なお、このような接続配線９０は、所定の間隔で複数本設けられていることが好ましく、例えば、本実施形態では、１０本の圧電素子３００に対して１本程度の割合で設けるようにしている。
【００２３】
そして、圧電素子３００を構成する下電極膜６０、圧電体層７０及び上電極膜８０、並びに接続配線９０は、耐湿性を有する絶縁材料からなる保護膜１００によって覆われている。このように圧電素子３００を保護膜１００で覆うことにより、大気中の水分等に起因する圧電素子３００の破壊を防止することができる。保護膜１００の材料としては、耐湿性を有する絶縁材料であれば、特に限定されないが、例えば、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、五酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５）等の無機絶縁材料を用いることが好ましく、特に、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）を用いるのが好ましい。保護膜１００の材料として酸化アルミニウムを用いた場合、保護膜１００の膜厚を１００ｎｍ程度と比較的薄くしても、高湿度環境下での水分透過を十分に防ぐことができる。
【００２４】
この保護膜１００上には、例えば、金（Ａｕ）等からなる個別電極用リード電極１１０及び共通電極用リード電極１２０が設けられている。個別電極用リード電極１１０は、保護膜１００に設けられた開口部１００ａを介して一端部が上電極膜８０に接続されると共に、他端部側が流路形成基板１０の端部近傍まで延設され、その先端部は後述する駆動配線が接続される端子部１１０ａとなっている。一方、共通電極用リード電極１２０は、保護膜１００に設けられた開口部１００ｂを介して一端部が接続配線９０の接続部９０ａに接続されると共に、他端部側が流路形成基板１０の端部近傍まで延設され、その先端部が個別電極用リード電極１１０と同様に駆動配線が接続される端子部１２０ａとなっている。
【００２５】
なお、流路形成基板１０の圧電素子３００側の面には、圧電素子３００に対向する領域にその運動を阻害しない程度の空間を確保可能な圧電素子保持部３１を有する保護基板３０が接着剤３５を介して接合されている。この空間は、完全に密封されていても良いが、密封されていなくとも良い。圧電素子３００は、この圧電素子保持部３１内に形成されているため、外部環境の影響を殆ど受けない状態で保護されている。また、上述した個別電極用リード電極１１０及び共通電極用リード電極１２０は、この圧電素子保持部３１の外側まで延設され、各端子部１１０ａ，１２０ａは、保護基板３０の外側に設けられている。そして、保護基板３０上には、圧電素子３００を駆動するための駆動ＩＣ１３０が実装されており、これら個別電極用リード電極１１０の端子部１１０ａ及び、共通電極用リード電極１２０の端子部１２０ａには、この駆動ＩＣ１３０から延設される駆動配線１４０の一端が接続されている。
【００２６】
また、保護基板３０には、流路形成基板１０の連通部１３に対応する領域にリザーバ部３２が設けられている。このリザーバ部３２は、本実施形態では、保護基板３０を厚さ方向に貫通して圧力発生室１２の並設方向に沿って設けられており、上述したように流路形成基板１０の連通部１３と連通されて各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバ１５０を構成している。
【００２７】
なお、保護基板３０の材料としては、例えば、ガラス、セラミックス材料、金属、樹脂等が挙げられるが、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料で形成されていることがより好ましく、本実施形態では、流路形成基板１０と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。
【００２８】
また、保護基板３０上には、封止膜４１及び固定板４２とからなるコンプライアンス基板４０が接合されている。封止膜４１は、剛性が低く可撓性を有する材料（例えば、厚さが６μｍのポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）フィルム）からなり、この封止膜４１によってリザーバ部３２の一方面が封止されている。また、固定板４２は、金属等の硬質の材料（例えば、厚さが３０μｍのステンレス鋼（ＳＵＳ）等）で形成される。この固定板４２のリザーバ１５０に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４３となっているため、リザーバ１１０の一方面は可撓性を有する封止膜４１のみで封止されている。
【００２９】
このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッドでは、図示しない外部インク供給手段からインクを取り込み、リザーバ１５０からノズル開口２１に至るまで内部をインクで満たした後、駆動ＩＣ１３０からの記録信号に従い、圧力発生室１２に対応するそれぞれの下電極膜６０と上電極膜８０との間に電圧を印加し、弾性膜５０、絶縁体膜５５、下電極膜６０及び圧電体層７０をたわみ変形させることにより、各圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル開口２１からインク滴が吐出する。
【００３０】
以上説明したように、下電極膜６０に接続される複数の共通電極用リード電極１２０を設けることで、複数の圧電素子３００を同時に駆動した際に、電圧降下が発生するのを防止することができ、インク吐出特性を常に良好に維持することができる。そして、本発明では、下電極膜６０上から圧電素子３００の端部の外側まで延設される接続配線９０を設け、この接続配線９０を介して下電極膜６０と共通電極用リード電極１２０とを接続するようにした。このため、保護膜１００上に共通電極用リード電極１２０が設けられていても、共通電極用リード電極１２０によって圧電素子３００の間隔が制限されることがない。すなわち、下電極膜６０に対向する領域の保護膜１００に、下電極膜６０と共通電極用リード電極１２０とを接続するための開口部を設ける必要がないため、圧電素子３００の間隔がこの開口部によって制限されることがない。したがって、圧電素子３００の間隔を十分に狭くすることができ、圧電素子３００を高密度に配列することができる。
【００３１】
さらに、接続配線９０を単層とすることで、圧電体層７０の水分（湿気）に起因する破壊を防止することができる。例えば、スパッタ法等により保護膜１００を形成する際、接続配線が複数層であると、その周囲への保護膜１００が形成され難い場合があるが、接続配線９０を単層とすることで、その周囲への保護膜の付きまわりがよくなり、保護膜が良好に形成される。したがって、圧電体層７０の水分（湿気）に起因する破壊を確実に防止することができる。
【００３２】
（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、上述した実施形態では、各接続配線は、それぞれ独立して設けられているが、これに限定されず、例えば、図４に示すように、接続配線９０の接続部９０ａとは反対側の端部を圧力発生室１２の外側まで延設し、圧力発生室１２の外側の領域で各接続配線９０を連結するようにしてもよい。これにより、複数の圧電素子３００を同時に駆動した際の電圧降下の発生をより確実に防止することができる。また、上述した実施形態では、接続配線９０及び共通電極用リード電極１２０は、圧電素子３００の間のみに設けられているが、勿論、圧電素子３００の列の外側にも設けられていてもよい。
【００３３】
また、上述した実施形態では、個別電極用リード電極１１０及び共通電極用リード電極１２０が露出されているが、勿論、これら個別電極用リード電極１１０及び共通電極用リード電極１２０を覆う第２の保護膜をさらに設けるようにしてもよい。これにより、保護膜内への水分の侵入がさらに抑えられるため、圧電素子（圧電体層）の水分に起因する破壊をより確実に防止することができる。
【００３４】
なお、上述した実施形態のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図５は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。図５に示すように、インクジェット式記録ヘッドを有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。そして、駆動モータ６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８上を搬送されるようになっている。
【００３５】
また、上述した実施形態においては、本発明の液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを説明したが、液体噴射ヘッドの基本的構成は上述したものに限定されるものではない。本発明は、広く液体噴射ヘッドの全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射するものにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】実施形態１に係る記録ヘッドの平面図である。
【図３】実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図４】他の実施形態に係る記録ヘッドの平面図である。
【図５】一実施形態に係る記録装置の概略図である。
【符号の説明】
【００３７】
１０  流路形成基板、  １２  圧力発生室、  ２０  ノズルプレート、  ２１  ノズル開口、  ３０  保護基板、  ３１  圧電素子保持部、  ３２  リザーバ部、  ４０  コンプライアンス基板、  ５０  弾性膜、  ５５  絶縁体膜、  ６０  下電極膜、  ７０  圧電体膜、  ８０  上電極膜、  ９０  接続配線、  １００  保護膜、  １１０  個別電極用リード電極、  １２０  共通電極用リード電極、  １３０  駆動ＩＣ、  １４０  駆動配線、  ３００  圧電素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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