(57)【要約】      （修正有）【課題】光学干渉型反射構造体が、外部環境により損傷されないように保護する、光学干渉型ディスプレイパネルおよび製造方法を提供する。【解決手段】第一電極および犠牲層を、基板上に連続的に形成し、次に、内側の支持体を形成するための第一開口部を、第一電極および犠牲層中に形成する。支持体を、第一開口部中に形成し、次に第二電極を、犠牲層および支持体上に形成し、これにより、微細電気機械システム構造体を形成する。その後、接着剤を用いて、保護構造体を、チャンバーを形成するための基板に接着させて、微細電気機械的システム構造体を包囲し、少なくとも１つの第二開口部を、チャンバーの側壁上に保存する。その後、リリースエッチング法を用いて、犠牲層を、第二開口部を通して除去して、光学干渉型反射構造体中に空洞を形成する。最後に、第二開口部を閉鎖して、光学干渉型反射構造体を、基板と保護構造体との間に密閉する。【選択図】図２Ａ
2005062815.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学干渉型ディスプレイパネルの製造方法であって：
微細電気機械的構造体を有する基板を提供する工程であって、該微細電気機械的構造体は：
基板上の第一電極；
第一電極上の犠牲層；
犠牲層上の第二電極；および
第一電極と第二電極との間に位置する、複数の支持体
を含む、前記工程；
基板を保護構造体に、第一接着剤で接着させて、微細電気機械的構造体を包囲するための空洞を形成する工程であって、ここで、該空洞の側壁は、少なくとも１つの開口部を有する、前記工程；および
エッチング試薬を用いてリリースエッチング法により、犠牲層を、開口部を通して除去して、光学干渉型反射構造体を形成すること
を含む、前記方法。
【請求項２】
方法がさらに：
開口部を、リリースエッチング法が完了した後に閉鎖する工程
を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
開口部を、ＵＶ接着剤または熱硬化性接着剤を含む、第二接着剤を充填することにより閉鎖する、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
光学干渉型ディスプレイパネルであって：
基板；
基板にほぼ平行に位置する、保護構造体；
第一電極と第二電極との間に犠牲層を有する、微細電気機械的構造体；および
保護構造体を基板に接着させて、前記微細電気機械的構造体を包囲するための、少なくとも１つの空洞を形成するための接着剤を含み、ここで、前記空洞の側壁は、犠牲層を除去し、光学干渉型反射構造体を形成するために用いられるエッチング試薬を投入するための開口部を有する、
前記光学干渉型ディスプレイパネル。
【請求項５】
保護構造体が、Ｕ字型保護構造体であり、開口部が、該Ｕ字型保護構造体の側壁上に位置する、請求項４に記載の光学干渉型ディスプレイパネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ディスプレイパネルに関する。さらに特に、本発明は、光学干渉型ディスプレイパネルに関する。
【背景技術】
【０００２】
軽量であり、大きさが小さいために、ディスプレイパネルは、携帯型ディスプレイおよび空間的制限を有する他のディスプレイの市場において、好ましい。現在まで、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）およびプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）モジュールに加えて、光学干渉型ディスプレイのモジュールが調査されている。
【０００３】
特許文献１には、モジュレーターアレー、即ちディスプレイパネルにおいて用いることができる、可視光線のための色変化可能な画素が開示されている。図１Ａは、従来技術のモジュレーターの断面図を例示する。すべてのモジュレーター１００は、２つの壁１０２および１０４を含む。これらの２つの壁は、ポスト１０６により支持されており、従って空洞１０８を形成する。これらの２つの壁の間の距離、即ち空洞１０８の深さは、Ｄである。壁１０２は、光入射電極であり、これは、吸収率により、可視光線を部分的に吸収する。壁１０４は、電圧がこれに印加される際に曲げられる、光反射電極である。
【０００４】
入射光が、壁１０２を通り、空洞１０８に到達する際には、式１．１に相当する波長を有する可視光線のみが、反射されて戻り、即ち、
２Ｄ＝Ｎλ      （１．１）
式中、Ｎは、自然数である。
【０００５】
空洞１０８の深さＤが、すべての自然数Ｎを乗じた入射光の１つのある波長λ１に等しい際には、建設的干渉が生じ、波長λ１を有する光は、反射されて戻る。従って、パネルを入射光の方向から見る観察者は、該観察者に反射されて戻された、ある波長λ１を有する光を観察する。モジュレーター１００は、ここで、「開放」状態にある。
【０００６】
図１Ｂは、電圧を印加した後の、図１Ａにおけるモジュレーター１００の断面図を例示する。印加された電圧の下で、壁１０４は、静電気引力により、壁１０２の方向に曲げられる。この瞬間、壁１０２と１０４との間の距離、即ち空洞１０８の深さは、ｄとなり、０に等しくなり得る。
【０００７】
以下、式１．１におけるＤを、ｄと置き換え、式１．１を満たす他のある波長λ２を有する可視光線によってのみ、空洞１０８における建設的干渉が生じ、壁１０２を通して反射して戻る。しかし、モジュレーター１００において、壁１０２は、波長λ２を有する光についての高い吸収率を有するように設計されている。従って、波長λ２を有する入射可視光線が吸収され、他の波長を有する光は、相殺的干渉を有する。従って、すべての光にフィルターがかけられ、観察者は、壁１０４が曲げられた際には、すべての反射された可視光線を見ることができない。モジュレーター１００は、ここでは、「閉鎖」状態にある。
【０００８】
前に記載したように、印加された電圧の下では、壁１０４は、静電気引力により壁１０２の方向に曲げられ、従ってモジュレーター１００は、「開放」状態から「閉鎖」状態に切り換えられる。モジュレーター１００が、「閉鎖」状態から「開放」状態に切り換えられた際には、壁１０４を曲げるための電圧は、除去され、壁１０４は、図１Ａに例示したように、弾性的に最初の状態、即ち「開放」状態に戻る。
【０００９】
しかし、光反射電極（壁１０４）は、典型的には金属製の膜であり、一般的に、微細電気機械的システム（ＭＥＭＳ）の製造において広く用いられている「犠牲層」手法で製造される。光反射電極は、極めて薄く、わずかな外部力によってさえも容易に損傷され、該電極が適切に機能することが妨げられる。さらに、２つの壁１０２と１０４とを離間させる空洞１０８は、中空である。実際に、外部環境は、通常、薄い空洞１０８のために、色変化可能な画素１００の表示性能に影響し、これを低下させる。
【００１０】
例えば、空気中の水が、空洞１０８中に吸着される傾向がある。空洞の深さＤは、典型的に、１μｍ未満であり、従って吸着された水は、２つの電極間に、不所望な静電気引力を生じる。色変化可能な画素１００が、「開放」状態にあると仮定する際には、吸着された水により生じる静電気引力により、２つの壁が、互いに引きつけられ、色変化可能な画素１００が、「閉鎖」状態にあるように見える。光反射電極はまた、空洞１０８中に侵入し得る、空気からの塵により、正常に切り換えるのを妨げられ得る。さらに、２つの薄い壁１０２および１０４は、空気により、これらの光学的または電気的特性に悪影響が生じる程度に、容易に酸化される。
一方、製造中に用いられた犠牲層を、保護構造を基板に接着させる前に除去した場合には、前記加工工程により製造された色変化可能な画素は、これらの問題が軽減するが、これらを実質的に回避することはできない。色変化可能な画素が、犠牲層の除去と、保護構造体の接着との間の期間の間に、空気に暴露されると、空気中の水、塵および酸素が、色変化可能な画素に影響し、この表示性能を低下させ得るからである。
【００１１】
【特許文献１】米国特許第５８３５２５５号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明は、前記の問題に鑑み、色変化可能な画素を、基板に接着された保護構造を提供することによって保護的に包囲して、前記問題を解決する。
【００１３】
すなわち、本発明の目的は、光学干渉型反射構造体が、外部環境により損傷されないように保護する、光学干渉型ディスプレイパネルおよび製造方法を提供することにある。
本発明の他の目的は、表示性能を高め、信頼性を増大させ、パネルの寿命を延長する、光学干渉型ディスプレイパネルおよび製造方法を提供することにある。
【００１４】
本発明の尚他の目的は、リリースエッチング法を、保護構造体を基板に接着させた後に実施して、空気中の水、塵および酸素がその中の光学干渉型反射構造体に損傷を与える可能性を減少させる、光学干渉型ディスプレイパネルおよび製造方法を提供することにある。
本発明のさらに他の目的は、光学干渉型ディスプレイパネルおよび製造方法を提供することにある。該製造方法においては、基板、保護構造体および接着剤が、開口部を有するチャンバーを形成し、リリースエッチング法を開口部を通して実施して、光学干渉型反射構造体の犠牲層を除去し、これにより空気中の水または酸素が光学干渉型反射構造体に損傷を与える可能性を減少させる。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明の前記の、および他の目的に従って、光学干渉型ディスプレイパネルおよびこの製造方法を提供する。第一電極および犠牲層を、基板上に順番に形成し、次に、複数の第一開口部を、第一電極および犠牲層中に形成する。１つの支持体を、第一開口部の各々中に形成し、次に、第二電極を犠牲層および支持体上に形成し、これにより微細電気機械的構造体を形成する。
【００１６】
次に、保護層を、基板に、接着剤で接着させて、チャンバーを形成して、微細電気機械的構造体を、少なくとも１つの第二開口部が、チャンバーの側壁上で利用可能であるように包囲する。次に、リリースエッチング法をエッチング試薬を用いて実施し、犠牲層を第二開口部を通して除去して、光学干渉型反射構造体中に空洞を形成する。最後に、第二開口部を閉鎖して、基板と保護構造体との間の光学干渉型反射構造体を密閉する。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の１つの好ましい態様において、光学干渉型反射構造体は、複数の色変化可能な画素を含む。基板および保護構造体は、気密性であって、光学干渉型反射構造体が、外部環境により損傷されるのを防止する。保護構造体は、平坦な保護構造体、例えばガラス基板である。接着剤は、ＵＶ接着剤、熱硬化性接着剤または他の接着剤などの材料を含む。接着剤は、さらにスペーサーを含む。
【００１８】
本発明の他の好ましい態様において、保護構造体は、Ｕ字型保護構造体であるかまたは、前述の第二開口部を側壁上に有する、Ｕ字型保護構造体である。
【００１９】
第二開口部の位置、形状および性状は、限定されないが、この大きさが大きいほど、またはこの性状が優れるほど、リリースエッチング法の効率は、良好である。第二開口部の位置が、チャンバー上で均一に分布している場合、エッチング方法の均一性が、増強される。第二開口部は、基板と保護構造体とを一緒に接合し、接着剤により完全に密封した後に、切断により、または他の方法により形成することができる。あるいはまた、第二開口部を、接着工程の間に形成することができる。
【００２０】
この好ましい態様において、リリースエッチング法は、リモートプラズマエッチング方法である。リモートプラズマエッチング方法において、犠牲層を、フッ素基または塩素基、例えばＣＦ４、ＢＣｌ３、ＮＦ３またはＳＦ６、を前駆体として有するエッチング試薬により得られるリモートプラズマによってエッチングする。
【００２１】
本発明においては、リリースエッチング法を実施する前に、基板に保護構造体が接着剤で接着されて、微細電気機械的構造体を包囲するチャンバーが形成される。チャンバーの側壁は、リリースエッチング法の間に犠牲層の除去のために用いられる、少なくとも１つの開口部を有する。すなわち、光学干渉型反射構造体は保護されるため、その後の製造工程の間に空気に暴露されることに起因する、水、塵および酸素により損傷を受けない。
【００２２】
保護構造体は、基板に接着されて、微細電気機械的構造体を包囲することにより、該微細電気機械的構造体が、外部力による直接の影響を受け、損傷されないように保護される。さらに、光学干渉型反射構造体は、基板と保護構造体との間で密閉され、外部環境、例えば空気中の水、塵または酸素が、該光学干渉型反射構造体と接触し、従って静電気引力が生じるかまたは、この金属フィルムを酸化し、これにより、この光学的および電気的特性に影響が生じるのを効果的に防止する。従って、本発明により、光学干渉型ディスプレイパネルの表示性能が増強されるとともに、その信頼性が増大し、その寿命も延長される。
【００２３】
前記の一般的記載および以下の詳細な記載は、いずれも例であり、クレームされた本発明をさらに説明をするためのものであることを、理解されたい。
【００２４】
図面の簡単な説明
本発明のこれらのおよび他の特徴、観点および利点は、以下の記載、添付した特許請求の範囲および添付した図面によってより一層理解される。なお：
図１Ａは、従来技術のモジュレーターの断面図を示し；
図１Ｂは、電圧を印加した後の、図１Ａにおけるモジュレーターの断面図を示し；
図２Ａは、本発明の１つの好ましい態様の断面図を示し；
図２Ｂは、本発明の他の好ましい態様の断面図を示し；
図３Ａ〜３Ｃは、本発明の１つの好ましい態様の製造方法を示し；
図４Ａは、本発明の他の好ましい態様の三次元図を示し；
図４Ｂは、本発明の他の好ましい態様の三次元図を示し；
図４Ｃは、本発明の他の好ましい態様の三次元図を示し；
図５Ａは、本発明の他の好ましい態様の三次元図を示し；
図５Ｂは、本発明の他の好ましい態様の三次元図を示し；および
図５Ｃは、本発明の他の好ましい態様の三次元図を示す。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
ここで、本発明の存在する好ましい態様を詳細に参照し、この例を、添付した図面に例示する。可能である限り、同一の、または同様の部分に言及するために、図面および説明中で、同一の参照符号を用いる。
【００２６】
本発明の製造方法は、第１に、第一電極および犠牲層を、基板上に、順番に形成し、次に、複数の第一開口部を、第一電極および犠牲層中に形成する。１つの支持体を、第一開口部の各々の中に形成し、次に、第二電極を、犠牲層および支持体上に形成することによって微細電気機械的構造体を形成する。
【００２７】
次に、保護構造体を、基板に接着剤で接着させることによって、微細電気機械的構造体を中に包囲するチャンバーを形成し、少なくとも１つの第二開口部が、チャンバーの側壁上において用いられるようにする。次に、リリースエッチング法を実施するが、ここで、エッチング試薬は、犠牲層を第二開口部を通して除去し、光学干渉型反射構造体中に空洞を形成する。最後に、第二開口部を閉鎖して、光学干渉型反射構造体を基板と保護構造体との間に密閉する。
【００２８】
図２Ａは、本発明の１つの好ましい態様の断面図を例示する。光学干渉型反射構造体は、複数の色変化可能な画素を有する。明確化および理解の容易のために、以下の記載および図面は、１つのみの色変化可能な画素１００のみを用いて、この好ましい態様の光学干渉型ディスプレイパネルの内側の光学干渉型反射構造体を表す。
【００２９】
図２Ａに例示するように、平坦な保護構造体２００ａを、基板１１０に、接着剤２０２で接着させる。基板１１０は、ガラス基板または可視光線を透過させる基板である。平坦な保護構造体２００ａにより、外部力が、色変化可能な画素１００に到達する可能性が減少する。さらに、接着剤２０２は、光学干渉型反射構造体を、基板１１０と平坦な保護構造体２００ａとの間に密閉する。接着剤２０２を用いて、色変化可能な画素１００を外部環境から分離させることによって、これが、空気中の水、塵および酸素により損傷されるのを防止する。
【００３０】
空気中の水が、色変化可能な画素１００の空洞１０８中に侵入すると、水により生じる静電気引力は、極めて大きいため（空洞の深さＤが、極めて小さいため）、色変化可能な画素１００のスイッチングがなされなくなる。また、金属フィルム、例えば色変化可能な画素の光入射電極または光反射電極が酸素と接触すると、金属フィルムは、極めて容易に酸化され、色変化可能な画素１００の光学的および電気的特性に悪影響が及ぼされる。
【００３１】
好ましい態様においては、接着剤２０２を用いて、平坦な保護構造体２００ａを基板１１０に接着させるのみならず、色変化可能な画素１００を外部環境から分離する。十分な分離により、色変化可能な画素１００が損傷から有効に保護される。本発明の１つの好ましい態様においては、接着剤は、平坦な保護構造体２００ａを基板１１０に接合させて、色変化可能な画素を密閉することにより、色変化可能な画素の信頼性および寿命が、顕著に増大する。
【００３２】
平坦な保護構造体２００ａは、ガラス構造であるか、または他の材料、例えばプラスチック、有機ポリマーもしくは無機ポリマー製の基板である。接着剤２０２は、ＵＶ接着剤または熱硬化性接着剤などの材料を含む。しかし、保護構造体および基板を接着させるのに適する他の接着剤は、本発明において用いるのに有用であり、この態様により限定されない。
【００３３】
さらに、平坦な保護構造体２００ａを基板１１０に接着させる間、押圧手法を通常用いることにより、平坦な保護構造体２００ａと基板１１０とを、より近接させ、より密に位置させる。平坦な保護構造体２００ａが、色変化可能な画素１００の壁１０４を圧迫（crush）するのを防止するために、または保護構造体が、外部力により基板１１０に対して移動するか、もしくは傾斜するのを防止するために、好ましい態様では、スペーサーが接着剤２０２中に加えられる。
【００３４】
スペーサーを有する接着剤２０２は、平坦な保護構造体２００ａと基板１１０との間の所定の距離を保ち、平坦な保護構造体２００ａが、色変化可能な画素１００に損傷を与えるのを防止する。好ましい態様の１つの例において、スペーサーの大きさは、約１００μｍであり、色変化可能な画素１００の大きさは、典型的には、１μｍより小さい。したがって、平坦な保護構造体２００ａと壁１０４との間に、極めて大きい距離があり、これにより、前述の圧迫の可能性が回避される。
【００３５】
図２Ｂは、本発明の他の好ましい態様の断面図を例示する。この好ましい態様において、保護構造体は、Ｕ字型保護構造体２００ｂである。Ｕ字型保護構造体２００ｂは、側部が拡展した平坦な保護構造体である。Ｕ字型保護構造体２００ｂは、基板１１０に、同様に接着剤で接着されて、色変化可能な画素１００を、空気中の水、塵および酸素から分離させ、また、色変化可能な画素１００が、外部力により損傷されるのを防止する。
【００３６】
図３Ａ〜３Ｃは、本発明の好ましい態様の製造方法を示す。明確化および理解を容易にするために、以下の記載および図面は、１つのみの色変化可能な画素のみを用いて、光学干渉型反射構造体を表す。先ず、図３Ａを参照すると、ここで、第一電極３１０および犠牲層３１１は、透明な基板３０９上に順番に形成されている。犠牲層３１１の材料は、誘電体、金属またはシリコンである。開口部３１２を、第一電極３１０および犠牲層３１１中に形成し、すべての開口部３１２は、１つの支持体３０６をこの中に形成するのに適する。次に、支持体３０６を、開口部３１２中に形成し、第二電極３１４を、犠牲層３１１および支持体３０６上に形成して、微細電気機械的構造体を形成する。
【００３７】
図３Ｂを参照すると、この場合には、平坦な保護構造体３０４を、接着剤３０８で基板３０９に接着させて、微細電気機械的構造体をこの中に包囲する。少なくとも１つの開口部３２０を、接着剤３０８中に確保する。さらに、押圧手法を用いて、平坦な保護構造体３０４と基板３０９との間の接着を、より近くにも、より密にする。さらに、接着剤３０８が、熱硬化性接着剤である場合には、加熱手法を用いて、熱硬化性接着剤を加熱することにより、これを固化させ、固定することができる。
【００３８】
犠牲層３１１は、リリースエッチング法、例えばリモートプラズマエッチング法により、開口部３２０を通して、エッチング試薬で除去されて、空洞（図面中に例示していない）を形成する。空洞の深さＤは、犠牲層３１１の厚さである。リモートプラズマエッチング方法により、犠牲層３１１が、フッ素基または塩素基、例えばＣＦ４、ＢＣｌ３、ＮＦ３またはＳＦ６、を前駆体として有するエッチング試薬により得られたリモートプラズマで、エッチングされる。
【００３９】
図３Ｃに例示したように、前述のリリースエッチング法が完了した際に、エッチング試薬を空気抽出により、または他の方法により浄化した後に、続いて、開口部３２０を、接着剤３２８で閉鎖して、保護構造体３０４と基板３０９との間にチャンバーを密閉する。接着剤３２８は、ＵＶ接着剤または熱硬化性接着剤であることができる。本発明の他の好ましい態様においては、他の物品、例えばプラスチックもしくは他のポリマー材料、または金属であって、この態様において用いられるＵＶ接着剤または熱硬化性接着剤に限定されない物品を用いて、開口部３２０を閉鎖することができる。
【００４０】
開口部３２０を閉鎖するために用いられる接着剤３２８は、スペーサーを含む必要はない；およびいくつかの場合において、接着剤３０８および接着剤３２８は、同一の材料でなくてもよい。接着剤３０８は、平坦な保護構造体３０４と基板３０９との間の所定の距離を保持するためのスペーサーを含むが、接着剤３２８は、開口部３２０を閉鎖するために用いられるに過ぎないため、スペーサーを含む必要はない。
【００４１】
前述の記載は、平坦な保護構造体を有する光学干渉型ディスプレイパネルを製造するための方法を説明するものである。Ｕ字型保護構造体を有する光学干渉型ディスプレイパネルの製造方法は、類似するが、さらなる明確化のために、以下に記載する。
【００４２】
先ず、第一電極、第二電極および犠牲層を間に含む、微細電気機械的構造体を、基板上に形成する。次に、Ｕ字型保護構造体を、基板に接着して、チャンバーを形成し、微細電気機械的構造体が、Ｕ字型保護構造体と基板との間に位置するようにする。次に、接着剤中の開口部を通して、リリースエッチング法を実施して、微細電気機械的構造体中の犠牲層を除去する。次に、開口部を、接着剤で密閉する。押圧手法を用いて、Ｕ字型保護構造体と基板との間の接着を、より近く、より密にする。
【００４３】
図４Ａ〜４Ｃは、図３Ｂにおける開口部の配置および形状を例示する、本発明のいくつかの態様の三次元図を示す。図４Ａに示すように、開口部４１２は、接着剤４０６上に位置する。開口部４１２の形状および位置は、すべての特定の幾何学または位置に限定されない。開口部４１２の大きさが、大きければ大きいほど、リリースエッチング法のエッチング効率は良好である。
【００４４】
さらに、開口部４１２の数量は、１つより多くすることができる。図４Ｂに例示するように、２個の開口部４１４が、接着剤４０６中にある。開口部４１４の数量が、多ければ多いほど、リリースエッチング法のエッチング効率は良好である。さらに、開口部４１４の位置が、接着剤４０６上に均一に分布している場合には、エッチング方法の均一性が向上する。
【００４５】
さらに、本発明の他の態様においては、開口部を拡大して、図４Ｃに示す開口部４１６のように、基板４０２と平坦な保護構造体４０４との間の１つの全体の側面が含まれるようにすることもできる。平坦な保護構造体４０４を基板４０２に、接着剤４０６で接着する間に、１つの側面（これは、通常、接着剤４０６により占有される）を、開口部４１６として作用するように保ち、エッチング試薬をその後のリリースエッチング法の間に容易に適用することができるようにする。
【００４６】
基板と保護構造体とを接着剤で一緒に接着させ、密閉した後に、切断により、または他の方法により、開口部を形成することができる。あるいはまた、開口部を、接着工程の間に、確保することもできる。
【００４７】
保護構造体が、Ｕ字型保護構造体である場合の開口部は、前述の態様におけるように接着剤上に位置するのみならず、保護構造体の側壁上に位置することもできる。
【００４８】
図５Ａ〜５Ｃは、開口部が、Ｕ字型保護構造体の側壁上にいかにして位置するかを例示するために有用である、本発明のいくつかの態様の三次元図を例示する。図５Ａに示すように、開口部５１２は、Ｕ字型保護構造体５０４ａの側壁上にある。Ｕ字型保護構造体５０４ａは、基板に接着剤で接着されて、光学干渉型反射構造体（図面中に例示していない）を包囲するチャンバーを形成する。開口部の位置は、限定されず、開口部の大きさが大きいほど、リリースエッチング法のエッチング効率は良好である。
【００４９】
さらに、開口部の数量は、１つより多くすることができる。図５Ｃに例示するように、２個の開口部５１４は、Ｕ字型保護構造体５０４ｃの側壁上にある。開口部の数量が多いほど、リリースエッチング法のエッチング効率は良好である。さらに、開口部の位置が、Ｕ字型保護構造体の周囲に均一に分布している場合には、エッチング方法の均一性は向上する。
【００５０】
本発明により、保護構造体が、基板に接着剤で接着されて、リリースエッチング法を実施する前に微細電気機械的構造体を包囲するチャンバーが形成される。チャンバーの側壁は、リリースエッチング法の間に犠牲層の除去のために用いられる、少なくとも１つの開口部を有する。従って、光学干渉型反射構造体は、その後の製造手順の間に空気に暴露されることに起因する、水、塵および酸素による損傷を受けることが防止される。
【００５１】
保護構造体は、基板に接着されて微細電気機械的構造体を包囲し、該微細電気機械的構造体が、直接の影響を受け、これにより外部力により損傷されないように保護する。さらに、光学干渉型反射構造体は、基板と保護構造体との間に密閉され、外部環境、例えば空気中の水、塵または酸素が、光学干渉型反射構造体と接触することによってこの光学的または電気的特性に悪影響を与える、静電気引力の発生またはこの金属フィルムの酸化を有効に防止する。従って、本発明により、光学干渉型ディスプレイパネルの表示性能が高められ、その信頼性が増大し、その寿命が延長される。
【００５２】
種々の修正および変更を、本発明の範囲または精神から逸脱せずに、本発明の構成に実施することができることは、当業者には明らかである。前述の観点において、本発明は、これらが、特許請求の範囲およびこれらの等価なものの範囲内にある場合には、本発明の修正および変更を包含することを意図する。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１Ａ】従来技術のモジュレーターの断面図を示す。
【図１Ｂ】電圧を印加した後の、図１Ａにおけるモジュレーターの断面図を示す。
【図２Ａ】本発明の１つの好ましい態様の断面図を示す。
【図２Ｂ】本発明の他の好ましい態様の断面図を示す。
【図３Ａ】本発明の１つの好ましい態様の製造方法を示す。
【図３Ｂ】本発明の１つの好ましい態様の製造方法を示す。
【図３Ｃ】本発明の１つの好ましい態様の製造方法を示す。
【図４Ａ】本発明の他の好ましい態様の三次元図を示す。
【図４Ｂ】本発明の他の好ましい態様の三次元図を示す。
【図４Ｃ】本発明の他の好ましい態様の三次元図を示す。
【図５Ａ】本発明の他の好ましい態様の三次元図を示す。
【図５Ｂ】本発明の他の好ましい態様の三次元図を示す。
【図５Ｃ】本発明の他の好ましい態様の三次元図を示す。
【符号の説明】
【００５４】
１００  モジュレーター
１０２、１０４  壁
１０６  ポスト
１０８  空洞
１１０、３０９、４０２  基板
２００ａ、３０４、４０４  平坦な保護構造体
２００ｂ、５０４ａ、５０４ｃ  Ｕ字型保護構造体
２０２、３０８、３２８、４０６  接着剤
３０６  支持体
３１０  第一電極
３１１  犠牲層
３１２、３２０、４１２、４１４、４１６、５１２、５１４  開口部
３１４  第二電極
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図５Ｃ】
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