(57)【要約】      （修正有）【課題】接合対象物に外力を加えず、接合部上で半田ボールが移動するのを防止するとともに、接合処理の効率向上を図ることのできる半田ボールの接合方法および接合装置を提供する。【解決手段】接合対象物に形成された複数の電極部に対し半田ボールの溶融にて接合を行う半田ボールの接合方法および装置である。接合対象物１６の電極２４に倣う複数の吸着ノズルにて半田ボールを吸引し当該半田ボールを電極部上に搬送する。そして吸着ノズルの上方に位置するレーザ照射部３４を吸着ノズルの配列方向に沿って移動させるとともに、レーザ照射部にて吸着ノズルの吸引口を貫通するよう半田ボール１２にレーザを照射させれば、単一のレーザ照射部にて複数の半田ボールを電極部上で溶融させることができる。【選択図】図１
2005081406.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
接合対象物に形成された複数の電極部に対し半田ボールの溶融にて接合を行う半田ボールの接合方法であって、前記接合対象物の前記電極部に倣う複数の吸着ノズルにて前記半田ボールを吸引し当該半田ボールを前記電極部上に搬送した後、前記吸着ノズルの上方に位置するレーザ照射部を前記吸着ノズルの配列方向に移動させるとともに、前記レーザ照射部にて前記吸着ノズルの吸引口を貫通するよう前記半田ボールにレーザを照射させ複数の前記半田ボールを前記電極部上で溶融させることを特徴とする半田ボールの接合方法。
【請求項２】
接合対象物の突合せにて断面がＶ字に形成された複数の電極部に対し半田ボールの溶融にて接合を行う半田ボールの接合方法であって、前記接合対象物の前記電極部に倣う複数の吸着ノズルにて前記半田ボールを吸引し当該半田ボールを前記電極部のＶ字溝に接するよう搬送した後、前記吸引ノズルにて前記電極部のＶ字溝の稜線方向と交差する方向に前記半田ボールを転動規制し、前記吸着ノズルの上方に位置するレーザ照射部を前記吸着ノズルの配列方向に移動させるとともに、前記レーザ照射部にて前記吸着ノズルの吸引口を貫通するよう前記半田ボールにレーザを照射させ複数の前記半田ボールを前記電極部上で溶融させることを特徴とする半田ボールの接合方法。
【請求項３】
前記半田ボールにレーザを照射する際、前記前記吸着ノズルの吸引口より不活性ガスを送気することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の半田ボールの接合方法。
【請求項４】
接合対象物に形成された複数の電極部に半田ボールを搬送し、この搬送された前記半田ボールをレーザ照射によって溶融させ前記電極部の接合を行う半田ボールの接合装置であって、装置本体内に共役空間を形成し、この共役空間に連通する吸着ノズルを前記複数の電極部に応じて複数配置するとともに、前記共役空間への圧力変動をなす送排気手段を前記装置本体に接続し、前記装置本体を挟んだ前記吸着ノズルの反対側に前記吸着ノズルの吸引口を貫通して照射をなすレーザ照射部を設け、このレーザ照射部と前記装置本体との間に、前記レーザ照射部を複数の前記電極部の配置方向に移動可能とする搬送手段を設け、複数の吸着ノズルにて吸引された前記半田ボールを前記レーザ照射部の移動により連続して溶融させることを特徴とする半田ボールの接合装置。
【請求項５】
接合対象物の突合せにて断面がＶ字に形成された複数の電極部に半田ボールを搬送し、この搬送された前記半田ボールをレーザ照射によって溶融させ前記電極部の接合を行う半田ボールの接合装置であって、装置本体内に共役空間を形成し、この共役空間に連通する吸着ノズルを前記複数の電極部に応じて複数配置するとともに前記吸引ノズルにおける前記電極部のＶ字溝の稜線方向と交差する方向に前記半田ボールの転動規制をなす規制面を形成し、前記共役空間への圧力変動をなす送排気手段を前記装置本体に接続し、前記装置本体を挟んだ前記吸着ノズルの反対側に前記吸着ノズルの吸引口を貫通して照射をなすレーザ照射部を設け、このレーザ照射部と前記装置本体との間に、前記レーザ照射部を複数の前記電極部の配置方向に移動可能とする搬送手段を設け、複数の吸着ノズルにて吸引された前記半田ボールを前記レーザ照射部の移動により連続して溶融させることを特徴とする半田ボールの接合装置。
【請求項６】
前記装置本体に前記共役空間に連通する不活性ガス送気手段を接続したことを特徴とする請求項４または請求項５に記載の半田ボールの接合装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半田ボールの接合方法および接合装置に係り、特に磁気ヘッドのスライダに形成されたボンディングパッドと、リードフレーム側に形成されたパッドとの接合に代表される微細接合に好適な半田ボールの接合方法および接合装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、接合対象となる電極同士を近接させるとともに、これら電極に球状の半田（以下、半田ボールと称す）を接触させ、当該半田ボールに加熱と超音波振動を加える（いわゆる超音波圧着）ことで前記電極間の電気的接続を行う接合方法が知られている。
【０００３】
また上記圧着による接合とは別に、半田ボールを前記電極間に設置した後、前記半田ボールをレーザ照射により溶融させ、電極間の電気的接続を行う接合方法も知られている。
【０００４】
図７は、レーザ照射を用いて半田ボールを溶融し電極間の接合を行う手順を示す説明図である。なお同図は磁気ヘッドのスライダに形成されたボンディングパッドと、リードフレーム側に形成されたパッドとの接合を対象としている。
【０００５】
このような磁気ヘッドにおける接合では、まず同図（１）に示すように、接合対象となる磁気ヘッドを構成するスライダ１と、当該スライダ１を支持するためのフレキシャ２を、互いの電極が接するようあらかじめ双方を接着剤を用いて接続しておく。
【０００６】
このようにスライダ１とフレキシャ２に対し接合をなす接合装置３は、半田ボール４の吸着をなす吸着ノズル５と、前記半田ボール４へのレーザ照射をなすレーザ照射部６から構成され、これら吸着ノズル５とレーザ照射部６とは連結ブロック７によって固定され、図示しない移動手段によって、磁気ヘッド側と半田ボールの供給装置８側との間を往復移動するようにしている。
【０００７】
そしてスライダ１とフレキシャ２に対し接合を行う際は、まず接合装置３を供給装置８側に移動させ、吸着ノズル５を用いて、供給装置８から半田ボール４を吸引する。このように吸着ノズル５にて半田ボール４を吸引した後は、前記移動手段を稼働させ、同図（２）に示すようにスライダ１とフレキシャ２の電極が接する電極部９に半田ボール４を搬送し、その後、吸着ノズル５による吸引を停止させ、半田ボール４を電極部９上に搭載する。そして半田ボール４を電極部９上に搭載した後は、移動手段を再度稼働させ、レーザ照射部６を半田ボール４上に移動させるとともに、当該半田ボール４にレーザを照射し、半田ボール４の溶融によりスライダ１とフレキシャ２に形成された電極同士の接続を行う（例えば、特許文献１を参照）。
【０００８】
また半田ボールの他の接合装置として、例えばレーザ光源が上方に配置されるとともにその側部に半田ボールを供給する接続片が備えられた接続素子を有し、半田ボールを前記接続素子内に落とし込んだ後に、前記半田ボールをレーザ光源にて溶融させるものも知られている（例えば、特許文献２を参照）。
【０００９】
さらに配列用マスクとシャッタ用マスクと供給用マスクからなる３層構造とし、配列用マスクと供給用マスクとに挟まれるシャッタ用マスクの摺動により、半田ボールを配列用マスク側から供給用マスク側に自由落下させ、パッド上に半田ボールを供給し、接合を行うようにしたものも知られている（例えば、特許文献３を参照）。
【００１０】
【特許文献１】特開２００２−２５０２５号公報（第６図）
【００１１】
【特許文献２】特表平１１−５０９３７５号公報（第１図）
【００１２】
【特許文献３】特開平８−２３６９１６号公報（第８図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかし上述したいずれの接合装置では、以下に示すような問題点があった。
【００１４】
すなわち加熱と超音波振動を組み合わせることで対象物間の接合を行う方式では、対象物に圧着を行うだけの外力を加えなくてはならず、例えば接合対象が磁気ヘッドを構成するスライダやフレキシャである場合、外力に対する変形を防止するため、その背面側に外力を受ける受け部材を設けなければならず、設備を構成する部材が増加するという問題点があった。
【００１５】
また吸引ノズル５とレーザ照射部６とを別体で備えた接合装置では、吸引ノズル５を用いて半田ボール４を電極部９上に搭載した後、半田ボール４を接合装置側で保持できないため、電極部９上に搭載された半田ボール４が外乱によって位置ずれをおこすおそれがあった。このため製品自体や接合装置とは別に、半田ボール４を保持する手段を別途設けなければならないという問題点があった。
【００１６】
また上述した圧着を用いた接合装置、吸引ノズル５とレーザ照射部６とを別体で備えた接合装置、あるいはレーザ光源と接続片とを有した接続素子を用いた接合装置は、単一の電極に対して接合を行うものであり、前記電極が複数存在する場合には、上記一連の工程を前記電極の数だけ繰り返し行わなければならず、製造工程の効率を向上させることが困難であった。
さらに配列用マスクとシャッタ用マスクと供給用マスクからなる３層構造を用いた装置では、多数の半田ホールを多孔に配置させることは可能であるものの、分離された特定の半田ボールを特定の位置に搬送し、接合を行うものではなかった。
【００１７】
本発明は、上記従来の問題点に着目し、接合対象物に外力を加えず、接合部上で半田ボールが移動するのを防止するとともに、接合処理の効率向上を図るようにした半田ボールの接合方法および装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明は、単一のレーザ照射部を複数の半田ボール吸着部間で移動可能に設置するとともに、前記半田ボール吸着部の先端に半田ボールの転動を防止する規制面を設けるようにすれば、接合時間の短縮と、半田ボールを電極上に正確に保持することができるという知見に基づいてなされたものである。
【００１９】
すなわち本発明に係る半田ボールの接合方法は、接合対象物に形成された複数の電極部に対し半田ボールの溶融にて接合を行う半田ボールの接合方法であって、前記接合対象物の前記電極部に倣う複数の吸着ノズルにて前記半田ボールを吸引し当該半田ボールを前記電極部上に搬送した後、前記吸着ノズルの上方に位置するレーザ照射部を前記吸着ノズルの配列方向に移動させるとともに、前記レーザ照射部にて前記吸着ノズルの吸引口を貫通するよう前記半田ボールにレーザを照射させ複数の前記半田ボールを前記電極部上で溶融させる手順とした。
【００２０】
また本発明に係る半田ボールの他の接合方法は、接合対象物の突合せにて断面がＶ字に形成された複数の電極部に対し半田ボールの溶融にて接合を行う半田ボールの接合方法であって、前記接合対象物の前記電極部に倣う複数の吸着ノズルにて前記半田ボールを吸引し当該半田ボールを前記電極部のＶ字溝に接するよう搬送した後、前記吸引ノズルにて前記電極部のＶ字溝の稜線方向と交差する方向に前記半田ボールを転動規制し、前記吸着ノズルの上方に位置するレーザ照射部を前記吸着ノズルの配列方向に移動させるとともに、前記レーザ照射部にて前記吸着ノズルの吸引口を貫通するよう前記半田ボールにレーザを照射させ複数の前記半田ボールを前記電極部上で溶融させる手順とした。
【００２１】
そして前記半田ボールにレーザを照射する際、前記前記吸着ノズルの吸引口より不活性ガスを送気することが望ましい。
【００２２】
また本発明に係る半田ボールの接合装置は、接合対象物に形成された複数の電極部に半田ボールを搬送し、この搬送された前記半田ボールをレーザ照射によって溶融させ前記電極部の接合を行う半田ボールの接合装置であって、装置本体内に共役空間を形成し、この共役空間に連通する吸着ノズルを前記複数の電極部に応じて複数配置するとともに、前記共役空間への圧力変動をなす送排気手段を前記装置本体に接続し、前記装置本体を挟んだ前記吸着ノズルの反対側に前記吸着ノズルの吸引口を貫通して照射をなすレーザ照射部を設け、このレーザ照射部と前記装置本体との間に、前記レーザ照射部を複数の前記電極部の配置方向に移動可能とする搬送手段を設け、複数の吸着ノズルにて吸引された前記半田ボールを前記レーザ照射部の移動により連続して溶融させるよう構成した。
【００２３】
また本発明に係る他の半田ボールの接合装置は、接合対象物の突合せにて断面がＶ字に形成された複数の電極部に半田ボールを搬送し、この搬送された前記半田ボールをレーザ照射によって溶融させ前記電極部の接合を行う半田ボールの接合装置であって、装置本体内に共役空間を形成し、この共役空間に連通する吸着ノズルを前記複数の電極部に応じて複数配置するとともに前記吸引ノズルにおける前記電極部のＶ字溝の稜線方向と交差する方向に前記半田ボールの転動規制をなす規制面を形成し、前記共役空間への圧力変動をなす送排気手段を前記装置本体に接続し、前記装置本体を挟んだ前記吸着ノズルの反対側に前記吸着ノズルの吸引口を貫通して照射をなすレーザ照射部を設け、このレーザ照射部と前記装置本体との間に、前記レーザ照射部を複数の前記電極部の配置方向に移動可能とする搬送手段を設け、複数の吸着ノズルにて吸引された前記半田ボールを前記レーザ照射部の移動により連続して溶融させるよう構成した。
【００２４】
ここで前記装置本体に前記共役空間に連通する不活性ガス送気手段を接続することが望ましい。
【００２５】
上記構成によれば、送排気手段を稼働させ共役空間を減圧環境にすれば、吸着ノズルの吸引作用によって半田ボールを吸着させることができる。そして吸着ノズルで半田ボールを吸着した後は、装置本体を移動させ、複数の吸着ノズルを複数の電極部の位置に一致させ、その後、共役空間に送排気手段によって圧力を導入し、前記共役空間を減圧環境から大気圧に戻せば（いわゆる真空破壊）、吸着ノズルによる吸引力が解放され半田ボールは、前記吸着ノズルから離反可能な状態となる。
【００２６】
そして前記半田ボールを吸着ノズルに対し離反可能な状態にした後は、レーザ照射部によって半田ボールにレーザ照射を行い、前記半田ボールを溶融させ接合対象物の電極部同士の電気的接合を行う。なおレーザ照射を行う際、半田ボールが酸化するのを防止するために、不活性ガス送気手段によって、共役空間に不活性ガスを導入させ、吸着ノズルより前記不活性ガスを半田ボールに向かって噴射すればよい。
【００２７】
こうして複数の電極部上に搭載された半田ボールの中の１つを溶融させ、電極部同士の接合を行った後は、搬送手段を稼働させ、レーザ照射部からのレーザ照射が隣接する吸着ノズルの吸引口を貫通させるまで前記レーザ照射部を移動させる。こうして前記レーザ照射部の移動を行った後は、半田ボールに対するレーザ照射を繰り返し行い、隣接する電極部の接合をおこなうようにすればよい。
【００２８】
このような構成を用いれば、単一のレーザ照射部によって複数の半田ボールの溶融が可能になるので、接合時間の短縮を達成することができる。
【００２９】
さらに吸着ノズルの先端に規制面を設ければ、前記規制面と電極部で形成されるＶ字溝とで半田ボールの転動規制が行われるので、共役空間の減圧環境を解放し、半田ボールが吸着ノズルから離反しても当該半田ボールが電極部から離れるのを防止することができる。このため半田ボールを確実に溶融させ、電極部の接合信頼性をより向上させることができる。
【発明の効果】
【００３０】
以上説明したように本発明によれば、接合対象物に形成された複数の電極部に対し半田ボールの溶融にて接合を行う半田ボールの接合方法であって、前記接合対象物の前記電極部に倣う複数の吸着ノズルにて前記半田ボールを吸引し当該半田ボールを前記電極部上に搬送した後、前記吸着ノズルの上方に位置するレーザ照射部を前記吸着ノズルの配列方向に移動させるとともに、前記レーザ照射部にて前記吸着ノズルの吸引口を貫通するよう前記半田ボールにレーザを照射させ複数の前記半田ボールを前記電極部上で溶融させるようにしたので、接合対象物に外力を加えず、接合部上で半田ボールが移動するのを防止するとともに、接合処理の効率向上を図ることが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下に本発明に係る半田ボールの接合方法および接合装置に好適な具体的実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。図１は、本実施の形態に係る半田ボールの接合装置の全体を示す斜視図である。同図に示すように本実施の形態に係る半田ボールの接合装置１０は、半田ボール１２の供給をなす供給装置１４と、接合対象物となる磁気ヘッドの構成部品（すなわちＧＭＲ素子等が埋め込まれたスライダ１６とこのスライダ１６を支持するためのフレキシャ１８）との間を図示しない移動手段によって往復移動を可能にしている。なお前記移動手段は、図中、矢印２０、矢印２２の方向に移動可能としており、供給装置１４と磁気ヘッドの構成部品との間の移動は、これら矢印２０と矢印２２に示す方向の組み合わせで達成するようにしている。また後述する吸着ノズルによる半田ボール１２の吸引、および磁気ヘッド側の電極部に対する半田ボール１２の位置決めは、前記移動手段に連動する画像認識手段が判断を行うようにしており、当該画像認識手段からの情報を基に前記移動手段が対象位置に対し正確な位置決めを行うようにしている。
【００３２】
ところで本実施の形態では、スライダ１６に形成された電極部２４は全部で４箇所あり、前記フレキシャ１８には、この電極部２４に対応するだけの電極部２６が形成されている。そしてこれら電極部２４と電極部２６とは、縁辺同士がつき合わされるとともに互いに直交するように配置されている（すなわち電極部２４と電極部２６とでＶ字溝を形成するようになっている）。
【００３３】
また前記スライダ１６およびフレキシャ１８に形成された電極部に対応するために半田ボール１２の供給装置１４には、前記電極部の配列方向と平行に且つ前記電極部のピッチと等しくなるよう半田ボールの供給穴２８が形成されており、この供給穴２８より複数の前記半田ボール１２を同時に供給可能にしている。
【００３４】
供給装置１４と磁気ヘッド側との間を往復移動する接合装置１０は、装置本体となる円錐筒体３０と、この下方に形成された複数の吸着ノズル３２（図２を参照）と、前記円錐筒体３０を介して前記吸着ノズル３２の反対側に配置されるレーザ照射部３４とを主要構成としている。なお円錐筒体３０とレーザ照射部３４との間には、搬送手段が設けられており、この図示しない搬送手段を稼働させることで図中、矢印３６の方向、すなわち電極部の配列方向にレーザ照射部３４を移動可能にしている。
【００３５】
図２は、半田ボールの接合装置の構造を示す説明図であり、同図（１）は、同装置の正面図を示し、同図（２）は、同図（１）の下側面図を示す。
【００３６】
これらの図に示すように、半田ボールの接合装置１０では、その中央部に円錐筒体３０が設けられている。そして当該円錐筒体３０の内部には、共役空間３８が設けられており、この共役空間３８には、送排気手段４０と不活性ガス供給手段となる窒素ガス供給手段４２が接続されており、前記共役空間３８内を減圧させ吸着ノズル３２から吸込を行うようにしたり、減圧環境下の共役空間３８の大気解放を行うようにしたり（いわゆる真空破壊）、あるいは共役空間３８内に窒素ガスを送気し、吸着ノズル３２から窒素ガスを噴射可能にしている。
【００３７】
また円錐筒体３０の下方に複数設けられる吸着ノズル３２は、その中央部に前記共役空間に連通する吸引口４４が形成されており、当該吸引口４４の周囲には半田ボール１２の転動規制をなす規制面４６が形成されている。ここで前記規制面４６は、同図（２）に示される矢印４８の方向に半田ボール１２が転動するのを規制するものであるが、例えば図３に示すようにこの矢印４８の方向を、電極部２４と電極部２６とで形成されるＶ字溝の稜線方向に一致させれば、半田ボール１２における前記矢印４８に対する法線方向を電極部２４と電極部２６とが規制するので、半田ボール１２は規制面４６とこれら電極部に規制され電極部上に位置が固定される。このため吸着ノズル３２によって半田ボール１２を電極部上まで搬送した後、吸着ノズル３２の吸引を停止し当該吸着ノズル３２から半田ボール１２を離反可能にしても、当該半田ボール１２は、電極部から外れることなくその位置を保つことができる。
【００３８】
円錐筒体３０の上方に設けられるレーザ照射部３４は、前記円錐筒体３０に搬送手段を介して接続されているが、このレーザ照射部３４は、吸着ノズル３２における吸引口４４を貫通してレーザ光５０を照射可能にしている。このため前記搬送手段を稼働させ円錐筒体３０に対するレーザ照射部３４の相対位置を変動させれば、図２（１）に示すように隣接する吸引口４４に連続して前記レーザ光５０を照射させることが可能になる。
【００３９】
なお本実施の形態では、レーザ照射部３４を物理的に移動させる搬送手段を用いることにしたが、これに限定されることもなく光学的手段を用いてレーザ光５０を各吸引口４４に対し貫通させるよう照射することも可能である。すなわちレーザ照射部３４の直後にポリゴンミラーやスキャンミラーを配置するとともに、その下流側にｆ−θレンズを配置すれば、レーザ照射部３４を移動させずとも、レーザ光５０を各吸引口４４に対し貫通させることができる。
【００４０】
また搬送手段を機械的なもので構成するとすれば、サーボモータやステッピングモータを用いた精密送り機構など製品仕様に合わせて適宜選定すればよい。
【００４１】
このように構成された半田ボールの接合装置１０を使用して、磁気ヘッドのスライダ１６に形成された電極部２４と、フレキシャ１８側に形成された電極部２６とを接合する手順を説明する。
【００４２】
なお上記電極部２４と電極部２６との接続に用いられる半田ボール１２は、その外径が８０〜１５０ミクロン程度の微細なものとなっている。
【００４３】
図４は、半田ボールの接合装置の動作手順を示すフローチャートであり、図５は、半田ボールの接合装置の動作手順を示す説明図である。
【００４４】
このような磁気ヘッドにおける接合では、まず図５（１）に示すように接合装置１０を半田ボールの供給装置１４側に移動させ、当該供給装置１４の供給穴２８に位置する半田ボール１２を、吸着ノズル３２によって吸引し、前記半田ボール１２を吸着ノズル３２側に移動させる。なおこの動作の際、供給穴２８に対する吸引を停止するとともに（ステップ１００）、送排気手段４０を稼働させ共役空間３８内を減圧環境下にする（ステップ１１０）。
【００４５】
なおステップ１００とステップ１１０の動作とともに、画像認識手段にて接合対象となる電極部２４、２６の位置検出を行う（ステップ１３０）
そしてステップ１００〜１３０の処理が終了した後は、図５（２）に示すように移動手段を稼働させ、接合装置１０を半田接合位置まで移動させる（ステップ１４０）。
【００４６】
そして接合装置１０を半田接合位置まで移動させた後は、送排気手段４０を稼働させ、共役空間３８内を大気圧に戻し（真空破壊）、次いで窒素ガス供給手段４２によって窒素ガスを共役空間３８内に導入し、吸着ノズル３２から窒素ガスを噴出させる（ステップ１５０、ステップ１６０）。
【００４７】
そしてステップ１６０による窒素ガスの噴出状態を保ったまま、レーザ照射部３４を稼働させ、初期の位置に前記レーザ照射部３４を移動させ、その後レーザ光５０を任意の半田ボール１２に対して照射する（ステップ１７０、ステップ１８０）。そして図６に示すように隣接する半田ボール１２に対し、ステップ１７０とステップ１８０を半田ボール１２の数だけ繰り返し行う（ステップ１９０）。
【００４８】
このように複数の半田ボールを一斉に接合対象物上に配置し、その状態を保ったまま単一のレーザ照射部によって半田ボールの溶融を行えば、従来行われていた１個の半田ボールの溶融を１工程とした接合工程に対し、大幅な時間短縮を図ることができる。すなわち発明者の検討によれば、本実施の形態に係る半田ボールの接合装置を用いれば、従来の接合装置に比較して、その作業効率を７０％向上させることが確認された。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本実施の形態に係る半田ボールの接合装置の全体を示す斜視図である。
【図２】半田ボールの接合装置の構造を示す説明図であり、同図（１）は、同装置の正面図を示し、同図（２）は、同図（１）の下側面図を示す。
【図３】半田ボールを規制面と電極部とで規制した状態を示す説明図である。
【図４】半田ボールの接合装置の動作手順を示すフローチャートである。
【図５】半田ボールの接合装置の動作手順を示す説明図である。
【図６】半田ボールの溶融手順を示す動作説明図である。
【図７】レーザ照射を用いて半田ボールを溶融し電極間の接合を行う手順を示す説明図である。
【符号の説明】
【００５０】
１………スライダ
２………フレキシャ
３………接合装置
４………半田ボール
５………吸着ノズル
６………レーザ照射部
７………連結ブロック
８………供給装置
９………電極部
１０………接合装置
１２………半田ボール
１４………供給装置
１６………スライダ
１８………フレキシャ
２０………矢印
２２………矢印
２４………電極部
２６………電極部
２８………供給穴
３０………円錐筒体
３２………吸着ノズル
３４………レーザ照射部
３６………矢印
３８………共役空間
４０………送排気手段
４２………窒素ガス供給手段
４４………吸引口
４６………規制面
４８………矢印
５０………レーザ光
【図１】
2005081406.tif 000003
【図２】
2005081406.tif 000004
【図３】
2005081406.tif 000005
【図４】
2005081406.tif 000006
【図５】
2005081406.tif 000007
【図６】
2005081406.tif 000008
【図７】
2005081406.tif 000009