(57)【要約】【課題】長寿命で異常音の発生がなく、安価な流体機械を提供する。【解決手段】本流体機械は、ブレードをフッ素樹脂で形成するとともに、螺旋状溝の低圧側側壁及び高圧側側壁に樹脂をバインダとして固体潤滑被膜を形成し、低圧側側壁の固体潤滑被膜の厚さを高圧側側壁の固体潤滑被膜の厚さよりも厚くする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリンダと、このシリンダ内に偏心して配置され螺旋状溝が設けられたローラと、前記螺旋状溝に出没自在に嵌め込まれた螺旋状のブレードとからなるヘリカル作動機構部を備えた流体機械において、前記ブレードをフッ素樹脂で形成するとともに、前記螺旋状溝の低圧側側壁及び高圧側側壁に樹脂をバインダとして固体潤滑被膜を形成し、低圧側側壁の固体潤滑被膜の厚さを高圧側側壁の固体潤滑被膜の厚さよりも厚くしたことを特徴とする流体機械。
【請求項２】
請求項１に記載の流体機械において、螺旋状溝の低圧側固体潤滑被膜の厚さは、被膜の表面粗さの１．５倍以上であることを特徴とする流体機械。
【請求項３】
請求項１に記載の流体機械において、螺旋状溝の低圧側固体潤滑被膜の厚さは、ローラの下地の表面粗さの２倍以上であることを特徴とする流体機械。
【請求項４】
シリンダと、このシリンダ内に偏心して配置され螺旋状溝が設けられたローラと、前記螺旋状溝に出没自在に嵌め込まれた螺旋状のブレードとからなるヘリカル作動機構部を備えた流体機械において、前記ブレードをフッ素樹脂で形成するとともに、前記螺旋状溝の少なくとも低圧側側壁に樹脂をバインダーとして無機物の固体潤滑剤を主とする下層に、フッ素樹脂を主とする固体潤滑被膜の上層を被覆したことを特徴とする流体機械。
【請求項５】
ブレードはフッ素樹脂に有機質の充填材を配合したことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の流体機械。
【請求項６】
前記上層及び下層の固体潤滑被膜のバインダを同一の樹脂で形成したことを特徴とする請求項４の流体機械。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は流体機械に係り、特にブレードと螺旋状溝の摺動部を改良した流体機械に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、流体機械の一種である無潤滑のヘリカルコンプレッサは、運転時、フッソ樹脂製等のブレードが摺動しながら螺旋状溝を出没する。低圧側、高圧側の圧力差により、ブレードの低圧側が螺旋状溝の低圧側側面に押し付けられるため、ブレードと低圧側溝側面に摩耗が発生するため、ヘリカルコンプレッサの寿命を縮め改良の余地があった（特許文献１など）。
【０００３】
この対策として、溝側面に固体潤滑被膜を形成することが提案されており、さらに、運転時に高圧側に比べて摺動することが多い低圧側の固体潤滑被膜は、高圧側の固体潤滑被膜に比べて大きく摩耗し、両側の固体潤滑被膜を厚くすることを提案しているが、外周に固体潤滑被膜が盛り上がり、ローラとシリンダが接触して異常音が発生することがあり、また、両側の固体潤滑被膜を厚くすることから、材料費が嵩み高価になり、さらに、改良の余地がある。
【特許文献１】特開２００３−３９７８号公報（段落［００３８］、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は上述した事情を考慮してなされたもので、長寿命で異常音の発生がなく、安価な流体機械を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するため、本発明の１つの態様によれば、シリンダと、このシリンダ内に偏心して配置され螺旋状溝が設けられたローラと、前記螺旋状溝に出没自在に嵌め込まれた螺旋状のブレードとからなるヘリカル作動機構部を備えた流体機械において、前記ブレードをフッ素樹脂で形成するとともに、前記螺旋状溝の低圧側側壁及び高圧側側壁に樹脂をバインダとして固体潤滑被膜を形成し、低圧側側壁の固体潤滑剤被膜の厚さを高圧側側壁の固体潤滑剤被膜の厚さよりも厚くしたことを特徴とする流体機械が提供される。
【０００６】
本発明の他の態様によれば、シリンダと、このシリンダ内に偏心して配置され螺旋状溝が設けられたローラと、前記螺旋状溝に出没自在に嵌め込まれた螺旋状のブレードとからなるヘリカル作動機構部を備えた流体機械において、前記ブレードをフッ素樹脂で形成するとともに、前記螺旋状溝の少なくとも低圧側側壁に樹脂をバインダとして無機物の固体潤滑剤を主とする下層に、フッ素樹脂を主とする固体潤滑被膜の上層を被覆したことを特徴とする流体機械が提供される。
【発明の効果】
【０００７】
本発明に係る流体機械によれば、長寿命で異常音の発生がなく、安価な流体機械を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明に係る流体機械の第１実施形態について添付図面を参照して説明する。
【０００９】
図１は本発明に係る流体機械の第１実施形態としての横型ヘリカルコンプレッサの縦断面図である。
【００１０】
図１に示すように、本第１実施形態の横型ヘリカルコンプレッサ１は、ケーシングレスであり、ヘリカル作動機構部としてのヘリカル圧縮機構部２と、このヘリカル圧縮機構部２を駆動させる駆動部としての電動機部３と、この電動機部３とヘリカル圧縮機構部２間に設けられモータステータ３１とモータロータ３２からなる電動機部３の動力をヘリカル圧縮機構部２に伝達し、クランク部４１を有するクランクシャフト４と、ヘリカル圧縮機構部２のローラ２２が自転するのを防止するための自転防止機構を構成するオルダムリング５を有している。
【００１１】
上記ヘリカル圧縮機構部２は、シリンダ２１内に旋回（公転）自在に偏心配置された環状のローラ２２と、このローラ２２とシリンダ２１間に軸方向に次第に容積が小さくなる圧縮室２３を区画する不等ピッチの螺旋状のブレード２４とを有している。
【００１２】
図２に示すように、ローラ２２の外周面には、所定寸法の螺旋状溝２２ａが図１中右端の吸込口２１ａ側端から左端の吐出口２１ｂ端に向けてピッチが徐々に小さくなるように形成されており、この螺旋状溝２２ａ内には弾性を有する上記ブレード２４が出没自在に嵌め込まれている。
【００１３】
図３に示すように、ローラ２２は、螺旋状溝２２ａが設けられた金属基材、例えば中空円筒状のアルミニウム合金製ローラ基材２２ｂを有し、螺旋状溝２２ａの表面には、樹脂材をバインダとして用い、自己潤滑性固体潤滑剤を密着保持してなる低圧側被膜２２ｃ１、高圧側被膜２２ｃ２が設けられている。
【００１４】
図３中、右側の低圧側固体潤滑被膜（以下、単に被膜という。）２２ｃ１の厚さｔ１は、左側の高圧側被膜２２ｃ２の厚さｔ２に比べて厚くなっている（ｔ１＞ｔ２）。
【００１５】
例えば、螺旋状溝２２ａの低圧側被膜２２ｃ１の厚さは、被膜２２ｃ１の表面粗さ（１０点平均高さ（Ｒｚ））の１．５倍以上であるのが好ましい。これにより、図６に示すように、被膜の摩耗は初期なじみ以降、定常摩耗域に入り、長期間にわたり被膜の厚さを維持することができ、ブレードの摩耗の傾きを小さく押さえ、すなわち摩耗率を小さくできる。１．５倍より小さいと、例えば、図６に示すように、被膜の厚さとその表面粗さが等しい場合には、初期なじみの傾きのまま被膜が摩耗するため、短時間で被膜が消滅し、ブレード摩耗が一気に進み好ましくない。
【００１６】
具体的には、図７に示すように、螺旋状溝の被膜は６μｍ以上であるのが好ましく、このとき被膜表面の表面粗さ（Ｒｚ）が４μｍ以下であるのが好ましい。これにより、ブレード摩耗量の時間変化の傾きが小さく、すなわち摩耗率を小さくできる。
【００１７】
また、螺旋状溝の低圧側被膜の厚さは、ローラの下地の表面粗さの２倍以上であるのが好ましい。これにより、密着性が良く、被膜、ブレードの摩耗進行の傾きが小さく、すなわち摩耗率を小さくできる。
【００１８】
上記ローラ２２は、アルミニウム合金を基材とし、ニッケル（８０ｗｔ％以上）系メッキ等の硬質膜が形成され、その表面に被膜２２ｃ１、２２ｃ２が形成されるが、このとき、下地（硬質膜）の表面粗さ（Ｒｚ）が１μｍ未満だと密着性が悪く、剥離を起こしやすい。また３μｍより大きいと、被膜の厚さと表面粗さの関係で、被膜、ブレードの摩耗進行の傾きが大きく、すなわち摩耗率が大きくなる。
【００１９】
上記ローラ２２がアルミニウム合金であるので、機器の軽量化、基材の熱伝導率が高いことにより、摺動部で発生する摩擦熱の放熱をより有効に行え、摺動部の発熱による激しい摩耗をより有効に防止でき、信頼性を向上できる。
【００２０】
アルミニウム合金製のローラ基材２２ｂは、硬度がＨＲＢ（ロックウェル硬さ）６０以上である。これにより、基材の強度が保たれ、異常振動や異常音の発生、あるいはシールの洩れ等を防止できる。ＨＲＢが６０より小さいと、基材が柔らか過ぎ、摺動面が摩耗しなくても摺動接触面圧によって基材がへこんでしまい、結果として摩耗と同じ問題が発生し、部品ガタの増加による異常振動や異常音の発生、あるいはシールの洩れ等が発生する。
【００２１】
また、上記バインダとしての樹脂材は、エポキシ樹脂またはポリアミドイミド樹脂が好ましい。これにより、バインダ樹脂は、いずれの基材に対しても密着性に優れ剥離しにくく、耐熱性に優れ摩擦熱による劣化が少なく、さらには材料自身の機械強度に優れるので、バインダ樹脂自身が耐摩耗性をもつため、高信頼性の摺動部を実現できる。
【００２２】
上記固体潤滑剤は、黒鉛、二硫化モリブデン、窒化ボロン、酸化アンチモン、雲母の中から１種以上選択されるのが好ましい。これにより、その固体潤滑効果が、自身の結晶構造が層状であり、層間がすべることによって潤滑効果を示すと同時に、摺動相手を削るような攻撃性が非常に低く、高信頼性の摺動部を構成するのに好適である。
【００２３】
ブレード２４は、５０重量％以上のフッ素樹脂を含む外、繊維状強化材あるいはその他充填材を含むのが好ましい。これにより、ブレード２４の変形は防止され、耐漏れ性向上、熱伝導性が向上して、摺動部温度を低下させることができ、摩耗低減、さらに、潤滑性付与による耐摩耗性の向上を達成でき、結果としてさらに高信頼性、長寿命の摺動部を実現できる。上記フッ素樹脂としては、ポリテトラフルオロエチレン樹脂、パーフルオロエチレンプロピレン樹脂、パーフルオロアルコキシ樹脂、エチレン−４フッ化エチレン樹脂、ビニリデンフルオライド樹脂、ビニルフルオライド樹脂、クロロトリフルオロエチレン樹脂、エチレンークロロトリフルオロエチレン樹脂等が好ましい。
【００２４】
上記繊維状強化材としては、芳香族ポリイミド繊維、アラミド繊維等の有機物繊維、炭素繊維、ガラス繊維、グラファイト繊維、ウォラストナイト、ホイスカ類（チタン酸カリウム、カーボン、シリコンカーバイド、サファイア）、鋼線、銅線、ステンレス線等の無機繊維、ボロン繊維、炭化ケイ素繊維、その他複合繊維などが好ましい。
【００２５】
上記他充填材は、有機物であるのが好ましい。これにより、フッ素樹脂の材料強度向上等が図れることに加えて、相手材（ローラ基材側）への攻撃性がないため、相手材の摩耗も最小限に押さえることができて、他充填材自身の摩耗を抑制できる。他充填材としては、芳香族ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリエーテルサルフォン樹脂、耐熱性ポリアミド樹脂、フェノール樹脂、芳香族ポリエステル樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂などの有機物が好ましいが、アルミニウム、マグネシウム、亜鉛等金属およびその酸化物、青銅等の熱伝導改良用無機粉末、ガラスビーズ、シリカバルーン、珪藻土、炭酸マグネシウム、雲母、滑石、二硫化モリブデン、二硫化タングステン、窒化ホウ素、炭化珪素、窒化珪素、リン酸化合物、酸化鉄、グラファイト、カーボンブラック等の無機質潤滑性向上物質、さらには、シリコンオイル、エステルオイル、ワックス、ステアリン酸亜鉛等の内部潤滑剤的添加剤等であってもよい。
【００２６】
なお、図２、図４及び図５中、符号２２ｄはレリース溝で、通常の圧縮条件では、図４の左側部位に吐出口２１ｂが形成され、右側部位に吸込口２１ａが形成されるところから、各圧縮室２３において、右側の圧縮室よりも左側の圧縮室が高圧状態にある。従って、各圧縮室２３におけるブレード２４の左側面に圧力がかかって、右側面が螺旋状溝２２ｄの右側壁面に密着するよう押圧される。ブレード２４の巻き始め端から巻き終り端に至るまで同様に形成されており、各圧縮室２３のシールが確実になされる。図５に示すようなある圧縮室の圧縮途中の圧力がそれより吐出側の圧縮室の圧力より高い場合（過圧縮時）、ブレード２４は螺旋状溝２２ａの高圧側に押し付けられるが、レリース溝２２ｄを設けていると、過圧縮はほとんどなくなり、高圧側に押し付けられている時、差圧はほぼ０である。従って、ブレード２４の摺動による負荷は、低圧側に比べて高圧側は少ない。また過圧縮状態は、通常運転時の一部であり、そのことからも、螺旋状溝２２ａの負荷は、低圧側の方が高圧側より厳しい。
【００２７】
次に本第１実施形態の横型ヘリカルコンプレッサの作用について説明する。
【００２８】
図１に示すような横型ヘリカルコンプレッサ１の電動機部３に通電することにより、電動機部３が起動されてモータステータ３１内に回転磁界が生じ、モータロータ３２が回転駆動される。
【００２９】
モータロータ３２の回転力は出力シャフトであるクランクシャフト４を介してクランク部４１に伝達され、ローラ２２を偏心回転（公転）させる。このローラ２２の偏心回転により、ローラ２２はシリンダ２１の内周面に内接しながら摺動し、公転される。上記ローラ２２の偏心回転によりシリンダ２１とローラ２２との間にブレード２４により形成される各圧縮室２３はシリンダ軸方向にヘリカル状に移動しながら容積が次第に小さくなるように体積変化する。各圧縮室２３は体積変化によりガス吸込口２１ａを経て吸込まれた流体例えば空気が順次圧縮されて高圧化され、高圧側圧縮室から吐出口２１ｂを経て吐出される。
【００３０】
上記のような流体例えば空気の圧縮過程において、図４に示すように、高圧側圧縮室と低圧側圧縮室の圧力には差があるため、螺旋状溝２２ａ内を出没するブレード２４が、螺旋状溝２２ａの低圧側被膜２２ｃ１に押し付けられる時間が、高圧側被膜２２ｃ２に押し付けられる時間に比べて長くなり、摩耗量が増加するが、螺旋状溝２２ａの低圧側被膜２２ｃ１の厚さが高圧側被膜２２ｃ２の厚さよりも厚いので、低圧側被膜２２ｃ１の消滅までの時間を長くすることができ、結果横型ヘリカルコンプレッサの長寿命化を図ることができる。
【００３１】
また、螺旋状溝２２ａの低圧側被膜２２ｃ１の厚さは、被膜２２ｃ１の表面粗さ（１０点平均高さ（Ｒｚ））の１．５倍以上であるので、被膜の摩耗は初期なじみ以降、定常摩耗域に入り、長期間にわたり被膜の厚さを維持することができ、ブレードの摩耗率を小さくできる。さらに、螺旋状溝２２ａの低圧側被膜２２ｃ１の厚さが、ローラ２２の下地の表面粗さの２倍以上であるので、密着性が良く、被膜、ブレードの摩耗率を小さくできる。
【００３２】
また、単に両被膜２２ｃ１、２２ｃ２を厚くすると、図３の破線で示すようなローラ外周面への被膜付着による大きな盛り上がりが発生し、運転時にローラ２２とシリンダ２１が接触して異常音を発生したりするが、本発明は被膜の付着を少なくできて、異常音の発生を防止でき、さらに、両側の被膜を厚くすることによる材料費の上昇も防止でき、安価になる。さらに、両側の被膜を厚くすることによる材料費の上昇も防ぐことができ、安価になる。
【００３３】
上記のように、本第１実施形態の流体機械によれば、長寿命で異常音の発生がなく、安価な流体機械を提供することができる。
【００３４】
さらに、本発明の第２実施形態に係る横型ヘリカルコンプレッサについて説明する。
【００３５】
上記第１実施形態が、低圧側側壁の固体潤滑被膜の厚さを高圧側側壁の固体潤滑被膜の厚さよりも厚くするのに対して、本第２実施形態は、螺旋状溝の少なくとも低圧側側壁に樹脂をバインダとして無機物の固体潤滑剤を主とする下層に、フッ素樹脂を主とする固体潤滑被膜の上層を被覆し２層とするものである。
【００３６】
例えば、図８に示すように、本第２実施形態の横型ヘリカルコンプレッサのヘリカル圧縮機構部２のローラ２２は、ブレード２４が出没する螺旋状溝２２ａが設けられたローラ基材２２ｂを有し、螺旋状溝２２ａの表面には、螺旋状溝の少なくとも低圧側側壁、例えば、全体に樹脂をバインダとして無機物の固体潤滑剤を主とする下層２２ｃ３に、フッ素樹脂を主とする固体潤滑被膜の上層２２ｃ４を被覆して、２層にするものである。
【００３７】
従って、上層２２ｃ４によって初期馴染みが良好でブレードの初期摩耗が低減し、塗膜硬度が高い下層２２ｃ３によって長期にわたって耐摩耗性が持続される。
【００３８】
上記ブレード２４はフッ素樹脂に有機質の充填材を配合したものであるのが好ましい。これにより、上層２２ｃ４は塗膜硬度が低いため、有機質の充填材を複合することによって攻撃性が小さく、上層２２ｃ４の効果をより一層高めることができる。また、上層２２ｃ４及び下層２２ｃ３の固体潤滑被膜のバインダを同一の樹脂で形成するのが好ましい。これにより、上層２２ｃ４と下層２２ｃ３の密着性が向上し、被膜剥離がなく上層２２ｃ４の効果をより一層高め、また焼成等の固化処理条件が同一で高い生産性が得られる。
【００３９】
なお、上記各実施形態では、ヘリカルコンプレッサを例に採り説明したが、本発明の流体機械はこれに限定されるものではない。
【実施例】
【００４０】
（１）試験方法と目的
図１に示す本発明に係るヘリカルコンプレッサに、次に示すブレードを組み込み、耐久試験を行い、ブレードの磨耗状態を調べた。
【００４１】
（実施例１）
図８に示すようなローラ表面の固体潤滑被膜は２層で形成されている。
【００４２】
１）構成部材の材質
ブレード：四フッ化エチレン樹脂（ＰＴＦＥ樹脂）に炭素繊維を１５重量％充填
ローラ：アルミニウム合金（Ａ5052）基材にＮｉ−Ｐ無電解メッキ処理固体潤滑被膜
：下層；エポキシ樹脂バインダに二硫化モリブデン、酸化アンチモン等を含む
被膜
上層；ポリイミドアミド樹脂バインダにＰＴＦＥ樹脂を含む被膜
（実施例２）
実施例１において、ブレードの充填材を炭素繊維から有機物のポリイミド樹脂に変更し、他は同じとした。
【００４３】
（実施例３）
実施例２において、固体潤滑被膜の下層のバインダ樹脂をエポキシ樹脂バインダから上層と同じポリイミドアミド樹脂バインダに変更し、他は同じとした。
【００４４】
（比較例１）
図９に示すように、ローラ表面の固体潤滑被膜は１層で形成した。
【００４５】
ブレード及びローラは実施例１と同じとした。
【００４６】
固体潤滑被膜：実施例１の下層と同じ材質で形成し、低圧側側壁、高圧側側壁共膜厚３
μｍ以下
（比較例２）
比較例１と同様の構造とした。
【００４７】
固体潤滑被膜：比較例１と同様にし、実施例１の上層と同じ材質で形成し、低圧側側壁
、高圧側側壁共膜厚３μｍ以下
（比較例３）
ブレード及びローラは実施例１と同じとし、固体潤滑被膜を設けない。
【００４８】
（２）結果
図１０に各線図で示す。
【００４９】
実施例１：初期段階の摩耗が小さく摩耗の傾きも小さい。フッ素樹脂を含む皮膜の特徴である初期馴染み性が良好で、下層の二硫化モリブデン、酸化アンチモン等を含む硬質の被膜によって、フッ素樹脂を含む被膜の欠点である摩滅し易い特性を補っていることが確認できた。但し、被膜のバインダ樹脂が異なるため上層と下層の境界での剥離によると思われる一部摩耗が進行する部分が認められた。
【００５０】
実施例２：実施例１に比べ相対的に摩耗量が小さく、摩耗の傾きも小さい。ブレードに使用したポリイミド樹脂によって固体潤滑膜の摩滅が減少し、長期に渡って潤滑効果が得られ、摩耗を小さくできることを確認できた。但し、実施例１で認められた上層と下層の境界と思われる一部摩耗が進行する部分があった。
【００５１】
実施例３：実施例２よリ更に摩耗が小さい。固体潤滑膜の上層と下層を同じバインダ樹脂で構成することにより、被膜の密着性が向上し、より一層の潤滑効果が得られることを確認できた。
【００５２】
比較例１：初期段階の摩耗が大きく摩耗の傾きも大きい。初期馴染みに時間が要するために、初期段階の摩耗が大きい。また、ブレード材に使用した炭素繊維は硬く固体潤滑膜を摩滅させるため、潤滑効果が小さいことを確認した。
【００５３】
比較例２：初期段階の摩耗が小さく良好であるが、時間の経過に伴い急激にブレード摩耗が進行することを確認した。フッ素樹脂を含む被膜は初期馴染みが早く初期段階の摩耗が小さい、急激な摩耗の進行は固体潤君膜が摩滅消耗して潤滑効果が無くなった。フッ素樹脂を含む被膜は柔らかく摩滅し易い。更にブレード材に使用した炭素繊維は硬く固体潤滑膜の消耗を加速させることを確認した。
【００５４】
比較例３：初期段階の摩耗及び摩耗の傾きが大きく、さらに、潤滑効果が小さいため、運転開始後早期に許容摩耗量を超えることを確認した。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の第１実施形態に係るヘリカルコンプレッサの縦断面図。
【図２】本発明の第１実施形態に係るヘリカルコンプレッサに用いられるローラの側面図。
【図３】本発明の第１実施形態に係るヘリカルコンプレッサに用いられる螺旋状溝の縦断面図。
【図４】本発明の第１実施形態に係るヘリカルコンプレッサに用いられるヘリカル圧縮機構部の一部の縦断面図。
【図５】本発明の第１実施形態に係るヘリカルコンプレッサに用いられるヘリカル圧縮機構部の一部の縦断面図。
【図６】（ａ）は本発明の第１実施形態における時間とブレード摩耗量の関係を示す線図、（ｂ）は本発明における時間と被膜摩耗量の関係を示す線図。
【図７】本発明の第１実施形態における時間とブレード摩耗量のブレード厚さ別線図。
【図８】本発明の第２実施形態に係るヘリカルコンプレッサに用いられる螺旋状溝の縦断面図。
【図９】実施例における試験で用いられる比較例の螺旋状溝の縦断面図。
【図１０】実施例における試験結果を示す線図。
【符号の説明】
【００５６】
１…横型ヘリカルコンプレッサ、２…ヘリカル圧縮機構部、３…電動機部、４…クランクシャフト、５…オルダムリング、２１…シリンダ、２２…ローラ、２２ａ…螺旋状溝、２２ｃ１…被膜、２２ｃ２…被膜、２２ｄ…レリース溝、２３…圧縮室、２４…ブレード。
【図１】
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【図２】
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【図３】
2005325827.tif 000005
【図４】
2005325827.tif 000006
【図５】
2005325827.tif 000007
【図６】
2005325827.tif 000008
【図７】
2005325827.tif 000009
【図８】
2005325827.tif 000010
【図９】
2005325827.tif 000011
【図１０】
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