(57)【要約】【課題】  被吐出部の多様なピッチに容易に対応可能な液滴吐出装置を提供すること。【解決手段】  ヘッド可変機構部１５０は、キャリッジ３と、レールベース３６と、モータ部１５１と、ヘッド部１５２とを備えている。キャリッジ３とレールベース３６とはノックピン（図示せず）で相対位置が決まっている。レールベース３６はモータ部１５１と、ヘッド部１５２とを備えている。モータ部１５１は、リードスクリュウ１４１と、モータ１４０と、エンコーダ部１４３と、係合体１４２とを備えている。リードスクリュウ１４１は、ねじ状の精度良い溝が螺旋状に形成されている。また、モータ１４０のボールねじ１４４と螺合し、ボールねじ１４４が回転することにより、この回転方向とリードスクリュウ１４１のねじ状の精度良い溝の方向とで、リードスクリュウ１４１が前後進する。リードスクリュウ１４１の一端には、係合体１４２が固着されヘッド部１５２に伝える。【選択図】      図１４
2005161215.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステージと、
前記ステージに対して相対位置を変更するキャリッジと、
前記キャリッジに、所定値のノズルピッチで配列された複数のノズルをそれぞれ有する複数のヘッドと、
前記ノズルから液滴を吐出する際に前記キャリッジが前記ステージに対して相対位置を変更する第１の方向と直交する第２の方向と平行な仮想線上に、前記各ヘッドの有するすべてのノズルを射像した際の射像点のピッチが前記所定値より小さくなるように、前記複数のヘッド間の相対位置を可変可能にするヘッド可変機構部と
を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
請求項１記載の液滴吐出装置において、
前記複数のヘッドは前記キャリッジに対して、前記ノズルから液滴を吐出する際に前記キャリッジが前記ステージに対して相対位置を変更する第１の方向にずらして配列されており、
前記ヘッド可変機構部は、前記複数のヘッドを前記第１の方向と直交する第２の方向への変位が可能に、前記複数のヘッドを前記キャリッジに対して独立に相対位置を変更することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項３】
請求項１に記載の液滴吐出装置において、
前記ヘッド可変機構部は、前記各ヘッドが有するすべてのノズルを前記仮想線上に射像した際の、前記射像点のピッチが前記所定値を等分割する値となるように、前記複数のヘッドの相対位置を変更することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項４】
請求項１記載の液滴吐出装置において、
前記複数のヘッドはＮ個あって、前記ヘッド可変機構部は、前記射像点のピッチを決める前記所定値の分割数を２等分割〜Ｎ等分割のうちから選択できるように、前記複数のヘッドを複数種の相対位置に配置可能であることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項５】
請求項１記載の液滴吐出装置において、
前記複数のヘッドはＮ個あって、前記ヘッド可変機構部は、前記Ｎ個のうちから選択されるＭ個（但しＭ≦Ｎ）の前記ヘッドを、前記射像点のピッチが前記所定値の１／Ｍとなる相対位置に配置可能であることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項６】
請求項１記載の液滴吐出装置において、
前記ヘッド可変機構部は、前記複数のヘッドの相対位置を変更するアクチュエータを備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項７】
請求項６記載の液滴吐出装置において、
前記ヘッド可変機構部は、前記アクチュエータを駆動制御する制御部を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項８】
請求項６記載の液滴吐出装置において、
前記制御部は、前記ステージに対して前記キャリッジがＸ軸方向（第２の方向）に相対位置を変更する期間に、前記アクチュエータを駆動し、前記キャリッジに載置された前記複数のヘッド間の相対位置を変更することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項９】
請求項６記載の液滴吐出装置において、
前記制御部は、前記ステージが前記キャリッジに対してＹ軸方向（第１の方向）に相対位置を変更している期間に、前記アクチュエータを駆動し、前記キャリッジに載置された前記複数のヘッド間の相対位置を変更し、前記複数のヘッドの少なくとも１つから被吐出部に液状の材料を吐出することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１０】
請求項６記載の液滴吐出装置において、
前記制御部は、前記ステージが前記キャリッジに対してＹ軸方向（第１の方向）に相対位置を変更している期間に、前記アクチュエータを駆動し、前記キャリッジに載置された前記複数のヘッド間の相対位置を変更することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１１】
請求項６記載の液滴吐出装置において、
前記制御部は、前記ステージが前記キャリッジに対して停止している期間に、前記アクチュエータを駆動し、前記キャリッジに載置された前記複数のヘッドの少なくとも１つの相対位置を変更しながら、被吐出部に液状の材料を吐出することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１２】
請求項６記載の液滴吐出装置において、
前記ヘッド可変機構部は、前記複数のヘッドの相対位置を変更するアクチュエータを備え、前記ステージと前記キャリッジとが相対回動され、前記相対回動前後で前記複数のヘッド間の相対位置を前記アクチュエータによって変更することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１３】
複数のヘッドを有するキャリッジと、
前記キャリッジに載置された前記複数のヘッド間の相対位置を変更するヘッド可変機構部と、
前記各ヘッドに対応して前記ヘッドと同数設けられ、前記ヘッドのノズルに詰った液状の材料を除去する複数の吸引部を有する吸引ユニットと、
前記ヘッド可変機構部によってキャリッジ上で変更したヘッドの相対位置と対応する相対位置となるように、前記吸引ユニットの複数の吸引部を可変される吸引可変部と
を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１４】
複数のヘッドを有するキャリッジと、
前記キャリッジに載置された前記複数のヘッド間の相対位置を可変するヘッド可変機構部と、
前記各ヘッドに対応してヘッドと同数設けられ、前記ヘッドから吐出される液状の材料の吐出重量を計測する吐出重量測定ユニットと、
前記ヘッド可変機構部によってキャリッジ上で相対位置を変更したヘッドの相対位置と対応する相対位置となるように、前記吐出重量測定ユニットの複数の吐出重量測定部を可変される吐出量可変部と
を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１５】
複数のヘッドを有するキャリッジと、
前記キャリッジに載置された前記複数のヘッド間の相対位置を可変するヘッド可変機構部と、
前記複数のヘッドから吐出される液状の材料が吐出されているか否かを検出する、少なくとも一対の発光部と受光部とを備えた吐出検出ユニットと、
前記複数のヘッドが有する複数のノズル列の１つのノズルから液状の材料が吐出され、前記ノズルから吐出された液状の材料によって前記一対の発光部と受光部との光路が遮断されたことに基づく検出信号と、前記ノズルから液状の材料を吐出する信号との比較によって、前記液状の材料が吐出されないノズルを特定する制御部と
を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１６】
請求項１５記載の液滴吐出装置において、
前記制御部は、液状の材料が吐出されないノズルを特定し、前記ヘッドのノズルに詰った液状の材料を除去する吸引部を有する吸引ユニットによって、液状の材料が吐出されないノズルを有するヘッドだけを吸引することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１７】
複数のヘッドを有するキャリッジと、
前記キャリッジに載置された前記複数のヘッド間の相対位置を変更するヘッド可変機構部と、
前記複数のヘッドに詰った液状の材料を除去する複数の吸引部を有する吸引ユニットと、
前記複数のヘッドから吐出される液状の材料の吐出重量を計測する複数の吐出重量計測部を有する吐出重量測定ユニットと、
前記複数のヘッド間の相対位置が、前記複数の吸引部および前記吐出重量計測部の相対位置と対応する相対位置となるように、前記ヘッド可変機構部のアクチュエータによって前記複数のヘッド間の相対位置を変更する制御部と
を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１８】
複数のヘッドによって液状の材料を被吐出部に吐出する液滴吐出装置であって、
１つのヘッドが有する複数のノズルの位置をパレットに対して計測する手順と、
前記ノズルの位置が前記パレットに対して所定の位置に調整する手順と、
前記ヘッドと前記パレットとが固着される手順と、
固着された前記ヘッドと前記パレットを、キャリッジに載置されているヘッド可変機構部に挿着する手順と、
挿着された前記ヘッドと前記パレットを前記ヘッド可変機構部に固着する手順と
を備えたことを特徴とする液滴吐出装置の調整方法。
【請求項１９】
請求項１〜１９記載の液滴吐出装置において、
前記ステージに載置される前記被吐出部はカラーフィルタ基板またはエレクトロルミネッセンス表示装置の基板またはプラズマ表示装置の基板であることを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状の材料を吐出する液滴吐出装置および吐出方法に関し、より具体的には、カラーフィルタ基板や、マトリクス型表示装置などにおいてほぼ周期的に配置された領域に液状の材料を塗布するのに好適な液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット装置を用いて、画素化された領域に材料を塗布することが知られている。例えば、インクジェット装置を用いてカラーフィルタ基板のフィルタエレメントや、マトリクス型表示装置においてマトリクス状に配置された発光部を形成することが知られている（例えば特許文献１）。
また、複数のインクジェットヘッドが使用されているインクジェット装置において、インクジェットヘッド間の距離をノズルピッチの自然数倍に調整する製造装置が知られている（例えば特許文献２）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−１２７３４３号公報（第４２〜４６頁、第５１、５２図）
【特許文献２】特開２００１−３３０７２０号公報（第２８〜３０頁、第２３、２４図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
材料が塗布されるべき複数の被吐出部のピッチが、インクジェット装置のノズルピッチに一致しないことが多い。被吐出部とは、例えばフィルタエレメントが設けられるべき部位である。
【０００５】
このため、特許文献１のインクジェット装置において、２つの被吐出部の間の距離と、２つの吐出ノズルとの間の距離と、が一致するように、被吐出部が並ぶ方向に対してインクジェットヘッド（あるいは吐出ノズルが並ぶ方向）が傾いている。しかしながら、このような構成では、２つの被吐出部の間の距離がカラーフィルタ毎に異なる場合に、カラーフィルタ毎にインクジェットヘッドの取り付け角度を変更する手間が生じる。ヘッドの取り付け角度を変更するためには、ヘッドの角度に応じたキャリッジを新たに製造する手間と、その新しいキャリッジにヘッドを取り付け直す手間とが生じる。
【０００６】
また、特許文献２のインクジェット装置において、インクジェットヘッド間の距離をノズルピッチの自然数倍に調整して吐出する。しかしながら、このような構成では、被吐出部が並ぶ方向に対してインクジェットヘッドを傾けずに吐出する場合は、ノズルピッチの自然数倍に調整するだけではすべての被吐出部に対して吐出することができない。
【０００７】
本発明は上記課題を鑑みてなされたものであり、その目的の１つは、被吐出部の多様なピッチに容易に対応可能な液滴吐出装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明は、ステージと、前記ステージに対して相対位置を変更するキャリッジと、前記キャリッジに、所定値のノズルピッチで配列された複数のノズルをそれぞれ有する複数のヘッドと、前記ノズルから液滴を吐出する際に前記キャリッジが前記ステージに対して相対位置を変更する第１の方向と直交する第２の方向と平行な仮想線上に、前記各ヘッドの有するすべてのノズルを射像した際の射像点のピッチが前記所定値より小さくなるように、前記複数のヘッド間の相対位置を可変可能にするヘッド可変機構部とを備えたことを要旨とする。
【０００９】
これによれば、キャリッジに載置された複数のヘッドをヘッド可変機構部によってキャリッジまたはステージに対して相対位置を変更することによって、任意の相対位置の組み合わせを得ることができる。この結果、多様なピッチで並ぶターゲット（被吐出部）に対応できる液滴吐出装置が得られる。
【００１０】
また、本発明では、前記複数のヘッドは前記キャリッジに対して、前記ノズルから液滴を吐出する際に前記キャリッジが前記ステージに対して相対位置を変更する第１の方向にずらして配列されており、前記ヘッド可変機構部は、前記複数のヘッドを前記第１の方向と直交する第２の方向への変位が可能に、前記複数のヘッドを前記キャリッジに対して独立に相対位置を変更することを要旨とする。
【００１１】
これによれば、ステージに対してキャリッジが相対位置を変更する期間に、キャリッジに載置された複数のヘッド間の相対位置を変更することによって、さらに多様なピッチで並ぶターゲット（被吐出部）に対応できる液滴吐出装置が得られる。
【００１２】
また、本発明では、前記ヘッド可変機構部は、前記各ヘッドが有するすべてのノズルを前記仮想線上に射像した際の、前記射像点のピッチが前記所定値を等分割する値となるように、前記複数のヘッドの相対位置を変更することを要旨とする。
【００１３】
これによれば、ヘッドをＹ軸方向またはＸ軸方向に平行に配設されるヘッド間の相対位置がヘッドの所定値のノズルピッチを複数のヘッドが等分してグループ（以下、ヘッド群という）を構成している。このヘッド群を構成する各ヘッドの組合せは一定ではなく、前記ヘッド可変機構部によって各ヘッド間の相対位置を変更するようにして、多様なピッチで並ぶターゲット（被吐出部）に対して最も生産性の良い組合せにすることができる。
【００１４】
また、本発明では、前記複数のヘッドはＮ個あって、前記ヘッド可変機構部は、前記射像点のピッチを決める前記所定値の分割数を２等分割〜Ｎ等分割のうちから選択できるように、前記複数のヘッドを複数種の相対位置に配置可能であることを要旨とする。
【００１５】
これによれば、キャリッジに複数のヘッド群を構成し、各ヘッド群での所定値のノズルピッチを等分する寸法は一定ではなく、また、ヘッド群のヘッドの構成も一定ではない。このため、前記ヘッド可変機構部によってこれらのヘッド群の異なる所定値のノズルピッチを等分割した相対位置に対応したヘッドの相対位置を変更することによって、さらに多様なピッチで並ぶターゲット（被吐出部）に対応できる液滴吐出装置が得られる。
【００１６】
また、本発明では、前記複数のヘッドはＮ個あって、前記ヘッド可変機構部は、前記Ｎ個のうちから選択されるＭ個（但しＭ≦Ｎ）の前記ヘッドを、前記射像点のピッチが前記所定値の１／Ｍとなる相対位置に配置可能であることを要旨とする。
【００１７】
これによれば、Ｎ個の前記複数のヘッドから、選択されたＭ個のヘッドによって１つ以上のヘッド群を構成し、各ヘッド間の相対位置が前記射像点のピッチが前記所定値の１／Ｍとなる相対位置に前記ヘッド可変機構部によって配置されることにより、さらに多様なピッチで並ぶターゲット（被吐出部）に対応できる液滴吐出装置が得られる。
【００１８】
また、本発明では、前記ヘッド可変機構部は、前記複数のヘッドの相対位置を変更するアクチュエータを備えたことを要旨とする。
【００１９】
これによれば、キャリッジまたはステージに対する前記複数のヘッドの相対位置をヘッド可変機構部が備えているアクチュエータによって、前記複数のヘッド間の相対位置を精度良く制御することができる。また、液滴吐出装置で製造される基板は粉塵を嫌うものが多く、アクチュエータもこれに対応したものが採用され歩留りの良い製造を実現している。
【００２０】
また、本発明では、前記ヘッド可変機構部は、前記アクチュエータを駆動制御する制御部を備えたことを要旨とする。
【００２１】
これによれば、前記アクチュエータを駆動制御する制御部を備えることによって、前記ヘッド可変機構部による各ヘッドの動きと、ステージ、キャリッジの動きおよび各ヘッドからの液状の材料の吐出のタイミングを確実に制御することができる。
【００２２】
また、本発明では、前記制御部は、前記ステージに対して前記キャリッジがＸ軸方向（第２の方向）に相対位置を変更する期間に、前記アクチュエータを駆動し、前記キャリッジに載置された前記複数のヘッド間の相対位置を変更することを要旨とする。
【００２３】
これによれば、前記ステージと比較して前記キャリッジのサイズが小さい場合は、前記ステージのＹ軸方向の往復する相対位置の変更と、キャリッジのＸ軸方向の相対位置の変更とが繰り返されて多種多様な基板のターゲット（被吐出部）に対応している。基板が有するターゲット（被吐出部）のＸ軸方向またはＹ軸方向のピッチが一様でないものに対応するには、前記ヘッド可変機構部によりキャリッジに対してヘッドの相対位置を変更して対応することができる。キャリッジがステージに対して相対位置を変更している期間に、各ヘッドはキャリッジに対して相対位置を変更する。このことによって、液滴吐出装置の稼働率を向上させて、短時間で基板を製造することができる。
【００２４】
また、本発明では、前記制御部は、前記ステージが前記キャリッジに対してＹ軸方向（第１の方向）に相対位置を変更している期間に、前記アクチュエータを駆動し、前記キャリッジに載置された前記複数のヘッド間の相対位置を変更し、前記複数のヘッドの少なくとも１つから被吐出部に液状の材料を吐出することを要旨とする。
【００２５】
これによれば、前記制御部によって前記ステージが前記キャリッジに対してＹ軸方向（第１の方向）に相対位置を変更している期間に、前記アクチュエータを駆動してキャリッジに配設されている前記複数のヘッド間の相対位置を変更しながら、ステージに保持されている基体のターゲット（被吐出部）に対して前記複数のヘッドから液状の材料を吐出して、Ｙ軸方向（第１の方向）またはＸ軸方向（第２の方向）に対して傾いたターゲット（被吐出部）に対して液状の材料の吐出をすることができる。またこれにより、円形状のターゲット（被吐出部）に対して塗布することができる。
【００２６】
また、本発明では、前記制御部は、前記ステージが前記キャリッジに対して停止している期間に、前記アクチュエータを駆動し、前記キャリッジに載置された前記複数のヘッドの少なくとも１つの相対位置を変更しながら、被吐出部に液状の材料を吐出することを要旨とする。
【００２７】
これによれば、前記制御部によって前記ステージが前記キャリッジに対して停止している期間に、前記アクチュエータを駆動して前記キャリッジに対して相対位置を変更しながら、前記複数のヘッドの少なくとも１つのヘッドから液状の材料を吐出する。これにより、前記ステージと前記キャリッジとの相対位置の変更による吐出に加えて、ヘッド単体の相対位置を変更しながら吐出することによって、キャリッジの相対位置を変更する方向とヘッドの相対位置を変更する方向が同方向の場合は、他のヘッドが描画する長さよりも長く描画することができる。またこの場合に、吐出頻度を制御することによって濃淡の制御をすることができる。さらに、キャリッジの相対位置を変更する方向とヘッドの相対位置を変更する方向が反対方向で液状の材料を吐出した場合は、他のヘッドが描画する長さよりも短く描画することができる。またこの場合に、吐出頻度を制御することによって濃淡の制御をすることができる。さらに、キャリッジが停止している期間に、ヘッドが相対位置を変更して液状の材料を吐出した場合は、特定のターゲット（被吐出部）に対して描画することができる。このように、さらに多様なピッチで並ぶターゲット（被吐出部）に対応できる液滴吐出装置が得られる。
【００２８】
また、本発明では、前記ヘッド可変機構部は、前記複数のヘッドの相対位置を変更するアクチュエータを備え、前記ステージと前記キャリッジとが相対回動され、前記相対回動前後で前記複数のヘッド間の相対位置を前記アクチュエータによって変更することを要旨とする。
【００２９】
これによれば、前記ステージに保持されている基体が有するターゲット（被吐出部）が多様なため、ターゲットの形状によっては前記ステージのＹ軸方向（第１の方向）の走査と前記キャリッジのＸ軸方向（第２の方向）の走査に、前記ステージまたは前記キャリッジのそれぞれに対する相対的な回動走査を加えたほうが良い場合がある。例えば、基体を所定の方向に保持し、前記ステージが１通りのＹ軸方向（第１の方向）の走査を終えた後に、前記ステージを回動させ、もう１度前記ステージをＹ軸方向（第１の方向）に走査される場合に、最初の前記ステージに対するヘッドの位置と２回目の前記ステージに対するヘッドの位置とは、相対位置を変更する必要がある。ヘッド可変機構部はアクチュエータを備え、前記ステージの走査に合せてステージまたはキャリッジに対する相対位置を変更することができるため、吐出データの読み込みに基づいて容易に対応することができる。
【００３０】
また、本発明では、複数のヘッドを有するキャリッジと、前記キャリッジに載置された前記複数のヘッド間の相対位置を変更するヘッド可変機構部と、前記各ヘッドに対応して前記ヘッドと同数設けられ、前記ヘッドのノズルに詰った液状の材料を除去する複数の吸引部を有する吸引ユニットと、前記ヘッド可変機構部によってキャリッジ上で相対位置を変更したヘッドの相対位置と対応する相対位置となるように、前記吸引ユニットの複数の吸引部を可変される吸引可変部とを備えたことを要旨とする。
【００３１】
これによれば、前記複数のヘッドは、キャリッジに対して相対位置を変更するため、ヘッドのノズルに液状の材料等が詰まった場合、前記吸引ユニットが有する複数の吸引部が、ヘッドが相対位置を変更された相対位置に対応する相対位置に吸引可変部によって相対位置を変更することにより、ヘッドと吸引部とで吸引することができる。このため前記ノズルの詰りによる、基板の歩留り向上を実現することができた。
【００３２】
また、本発明では、複数のヘッドを有するキャリッジと、前記キャリッジに載置された前記複数のヘッド間の相対位置を可変するヘッド可変機構部と、前記各ヘッドに対応してヘッドと同数設けられ、前記ヘッドから吐出される液状の材料の吐出重量を計測する吐出重量測定ユニットと、前記ヘッド可変機構部によってキャリッジ上で相対位置を変更したヘッドの相対位置と対応する相対位置となるように、前記吐出重量測定ユニットの複数の吐出重量測定部を可変される吐出量可変部とを備えたことを要旨とする。
【００３３】
これによれば、前述の吸引ユニットと同様に各ヘッドから吐出される液状の材料の吐出量の管理は、基体に成膜される厚みに影響するため正確な測定が必要である。このため、ヘッドと吐出重量測定部との相対位置を変更する吐出量可変部によって実現している。
【００３４】
また、本発明では、複数のヘッドを有するキャリッジと、前記キャリッジに載置された前記複数のヘッド間の相対位置を可変するヘッド可変機構部と、前記複数のヘッドから吐出される液状の材料が吐出されているか否かを検出する、少なくとも一対の発光部と受光部とを備えた吐出検出ユニットと、前記複数のヘッドが有する複数のノズル列の１つのノズルから液状の材料が吐出され、前記ノズルから吐出された液状の材料によって前記一対の発光部と受光部との光路が遮断されたことに基づく検出信号と、前記ノズルから液状の材料を吐出する信号との比較によって、前記液状の材料が吐出されないノズルを特定する制御部とを備えたことを要旨とする。
【００３５】
これによれば、キャリッジが有する複数のヘッドに複数のノズルを有しており、例えばキャリッジに２４個のヘッドがある場合、１つのヘッドに２列のノズル列を有し、１つのノズル列に８０個のノズルがある場合は、キャリッジ上にあるノズルの総数は３８４０個となる。この内１つでも液状の材料を吐出しないノズルがあると、基体は不良品となる。このため、一つ一つのノズルの液状の材料の吐出を検出するために、吐出検出ユニットに少なくとも一対の発光部と受光部とを備え、しかもヘッドの１つから液状の材料を吐出し、吐出された液状の材料によって前記発光部と受光部との光路が遮断されたことを検出された信号と、制御部がヘッドに対して液状の材料を吐出される信号とによって一つ一つのノズルからの液状の材料の吐出を確認することによって、生産効率を上げることができる。
【００３６】
また、本発明では、前記制御部は、液状の材料が吐出されないノズルを特定し、前記ヘッドのノズルに詰った液状の材料を除去する吸引部を有する吸引ユニットによって、液状の材料が吐出されないノズルを有するヘッドだけを吸引することを要旨とする。
【００３７】
これによれば、前記吐出検出ユニットで検出された吐出検出データに基づき、制御部は液状の材料が吐出されないノズルを特定し、前記吸引ユニットを液状の材料が詰っていることが検出された特定のノズルを有するヘッドに対して吸引することにより、短時間でノズルの詰りを解消し、液状の材料の吐出不良を未然に防止することができ、不良品の発生を防ぐことができる。
【００３８】
また、本発明では、複数のヘッドを有するキャリッジと、前記キャリッジに載置された前記複数のヘッド間の相対位置を変更するヘッド可変機構部と、前記複数のヘッドに詰った液状の材料を除去する複数の吸引部を有する吸引ユニットと、前記複数のヘッドから吐出される液状の材料の吐出重量を計測する複数の吐出重量計測部を有する吐出重量測定ユニットと、前記複数のヘッド間の相対位置が、前記複数の吸引部および前記吐出重量計測部の相対位置と対応する相対位置となるように、前記ヘッド可変機構部のアクチュエータによって前記複数のヘッド間の相対位置を変更する制御部とを備えたことを要旨とする。
【００３９】
これによれば、キャリッジに載置された前記複数のヘッド間の相対位置を変更するヘッド可変機構部によって、多様なピッチで並ぶターゲット（被吐出部）に対して液状の材料を吐出できるが、各ヘッドのノズルからの吐出の有無または吐出の量を検出したり計測したりするために吸引ユニットと吐出重量測定ユニットとが備えられている。このヘッドへのメンテナンスを行うために、制御部は、ヘッド可変機構部を駆動して各ヘッドの相対位置を吸引ユニットまたは吐出重量測定ユニットの複数の吸引部または複数の吐出重量計測部の相対位置に対応する位置に変更する。したがって、吸引ユニットの複数の吸引部と吐出重量測定ユニットの複数の吐出重量計測部との相対位置は異なっていても対応できるため、液滴吐出装置の構造を簡単にすることができる。
【００４０】
また、本発明では、複数のヘッドによって液状の材料を被吐出部に吐出する液滴吐出装置であって、１つのヘッドが有する複数のノズルの位置をパレットに対して計測する手順と、前記ノズルの位置が前記パレットに対して所定の位置に調整する手順と、前記ヘッドと前記パレットとが固着される手順と、固着された前記ヘッドと前記パレットを、キャリッジに載置されているヘッド可変機構部に挿着する手順と、挿着された前記ヘッドと前記パレットを前記ヘッド可変機構部に固着する手順とを備えたことを要旨とする。
【００４１】
これによれば、１つのヘッドの外形に対するノズル全体の位置精度は液滴吐出装置が必要とする位置精度を満たしていない。そこで、予めパレットに対してヘッドを位置決めする相対関係に配設されている位置決め装置に１つのヘッドを１つのパレットに載置してパレットに対するヘッドのノズルの位置を調整して符号させ固着する。固着されたヘッドとパレットとをキャリッジに載置されているヘッド可変機構部に挿着し、押さえ部材で固着する。この結果、パレットに対するヘッドのノズル全体の位置が精度良く確保され、いずれの複数のヘッド可変機構部へのヘッドの着脱・交換が可能となり液滴吐出装置の稼働率を向上することができる。このような調整方法によって、複数のヘッド間の相対位置が精度良く確保され、さらに多様なピッチで並ぶターゲット（被吐出部）に対応できる液滴吐出装置が得られる。
【００４２】
また、本発明は、前記ステージに載置される前記被吐出部はカラーフィルタ基板またはエレクトロルミネッセンス表示装置の基板またはプラズマ表示装置の基板であることを要旨とする。
【００４３】
これによれば、本発明の液滴吐出装置は、多様なピッチで並ぶターゲット（被吐出部）に対応できるため、カラーフィルタ基板またはエレクトロルミネッセンス表示装置の基板またはプラズマ表示装置の基板等の態様で実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４４】
（実施例１）
【００４５】
図１は液滴吐出装置を示す斜視図である。液滴吐出装置１は、液状の材料１１を保持するタンク１２と、チューブ１３と、チューブ１３を介してタンク１２から液状の材料１１が供給される吐出走査部２とを備える。吐出走査部２は、複数のヘッド５１（詳細は、図３に示す）を保持するキャリッジ３と、キャリッジ３の位置を制御する第２位置制御装置４と、被吐出部２１を有する基体１０Ａを保持するステージ５と、ステージ５の位置を制御する第１位置制御装置６と、制御部７と、メンテナンス装置８と、排液装置９とを備えている。タンク１２とキャリッジ３における複数のヘッド５１とはチューブ１３で連結されており、タンク１２から複数のヘッド５１のそれぞれに液状の材料１１が圧縮空気１４によって供給される。液状の材料１１は、例えば、液状の導電性薄膜材料、液状の蛍光材料、液状の発光材料、および液状のカラーフィルタ材料等である。
【００４６】
基体１０Ａに被吐出部２１を設ける方法は、基体１０Ａの１面に公知のスクリーン印刷技術またはパターニング技術を用いて、液状の材料１１が収まる複数の区画を製造する。複数の区画に分けている部位の内側部および基体１０Ａのある底面をバンク２２と呼ぶ。また、バンクを形成している境目を境界壁２５と表記する。基体１０Ａの材質はガラス、金属板、セラミックス、およびプラスチック等からなる。液状の材料１１を基体１０Ａに設けられている複数の区画に均一に塗布するには基体１０Ａの表面を親液化することが好ましい。このため、大気圧下の酸素プラズマ処理またはアルコール系の洗浄液等で処理する。基体１０Ａの表面は親液性を呈するようになる。また、基体１０Ａによっては、部分的に撥液性を持たせ液状の材料１１が付着することを防ぐために、例えば４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理等を施している。なお、基体１０Ａの材質およびバンク２２の材質によっては、上記のような表面処理を行わなくても、所望の親液性および撥液性を呈する表面が得られることもある。なお、本明細書では、被吐出部２１を有する基体１０Ａを「受容基板」と表記することもある。
【００４７】
第２位置制御装置４は、制御部７からの信号に応じて、キャリッジ３をＸ軸方向、およびＸ軸方向に直交するＺ軸方向に沿って相対位置を変更する。さらに、第２位置制御装置４は、Ｚ軸に平行な軸の回りでキャリッジ３を回転する機能も有する。本実施例では、Ｚ軸方向は、鉛直方向（つまり重力加速度の方向）にほぼ平行な方向である。第１位置制御装置６は、制御部７からの信号に応じて、Ｘ軸方向およびＺ軸方向の双方に直交するＹ軸方向に沿ってステージ５の相対位置を変更する。さらに、第１位置制御装置６は、Ｚ軸に平行な軸の回りでステージ５を回転する機能も有する。なお、本明細書では、第２位置制御装置４および第１位置制御装置６を「走査部」と表記することもある。
【００４８】
ステージ５は、Ｘ軸方向とＹ軸方向との双方に平行な平面を有する。また、ステージ５は、所定の液状の材料１１を塗布すべき被吐出部２１を有する基体１０Ａをその平面上に着脱可能に載置、または保持できるように構成されている。
【００４９】
本明細書におけるＸ軸方向、Ｙ軸方向、およびＺ軸方向は、キャリッジ３およびステージ５のどちらか一方が他方に対して相対位置を変更する方向に一致している。また、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、およびＺ軸方向を規定するＸＹＺ座標系の仮想的な原点は、液滴吐出装置１の基準部分に固定されている。本明細書において、Ｘ座標、Ｙ座標、およびＺ座標とは、このようなＸＹＺ座標系における座標である。なお、上記の仮想的な原点は、ステージ５に固定されていてもよいし、キャリッジ３に固定されていてもよい。本明細書では、相対位置を変更する方向が、Ｙ軸方向とＸ軸方向のどちらでも成立する場合は、第１の方向および第１の方向と直交する第２の方向と表記する。
【００５０】
上述のように、キャリッジ３は第２位置制御装置４によってＸ軸方向に相対位置を変更させられる。一方、ステージ５は第１位置制御装置６によってＹ軸方向に相対位置を変更させられる。つまり、第２位置制御装置４および第１位置制御装置６によって、ステージ５に対する複数のヘッド５１（図３に示す）の相対位置が変わる。より具体的には、これらの動作によって、キャリッジ３、複数のヘッド５１、またはノズル５２（図４に示す）は、ステージ５上で位置決め保持された被吐出部２１に対して、Ｚ軸方向に所定の距離を保ちながら、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に相対位置を変更、すなわち相対的に走査する。ここで、静止した被吐出部２１に対してキャリッジ３がＹ軸方向に相対位置を変更してもよい。そしてキャリッジ３がＹ軸方向に沿って所定の２点間の相対位置を変更する期間内に、静止した被吐出部２１に対してノズル５２から液状の材料１１を吐出してもよい。「相対位置を変更」または「相対走査」とは、液状の材料１１を吐出する側（ヘッド側）と、そこからの液状の材料１１の吐出物が着弾する側（被吐出部側）の少なくとも一方を他方に対して相対位置を変更することを含む。したがって、ステージ５が相対位置を変更している期間内に、ヘッド５１から被吐出部２１に対して液状の材料１１を吐出することを含む。
【００５１】
さらに、キャリッジ３、複数のヘッド５１（図３に示す）またはノズル５２（図４に示す）が相対位置を変更するとは、ステージ５、基体１０Ａ、または被吐出部２１に対するこれらの相対位置が変わることである。このため、本明細書では、キャリッジ３、複数のヘッド５１またはノズル５２が液滴吐出装置１に対して静止して、ステージ５のみが相対位置を変更する場合であっても、キャリッジ３、複数のヘッド５１またはノズル５２が、ステージ５、基体１０Ａまたは被吐出部２１に対して相対位置を変更すると表記する。また、相対走査または相対位置を変更と、材料の吐出との組み合わせを指して「塗布走査」と表記することもある。
【００５２】
キャリッジ３およびステージ５は上記以外の平行相対位置を変更したりおよび回転の自由度をさらに有している。ただし、本実施例では、上記自由度以外の自由度に関する記載は説明を平易にする目的で省略されている。
【００５３】
制御部７は、液状の材料１１を吐出すべき相対位置を表す吐出データを外部情報処理装置（図２に示す）から受け取るように構成されている。制御部７の詳細な構成および機能は、図２において説明する。
【００５４】
メンテナンス装置８において、移動台８１上に吐出重量測定ユニット８２、吸引ユニット８３、定期フラッシングユニット８４および吐出検出ユニット８０が配設されている。移動台８１は、吐出重量測定ユニット８２、吸引ユニット８３、定期フラッシングユニット８４および吐出検出ユニット８０のいずれかのユニットをキャリッジ３に対応するためにＹ軸方向に相対位置を変更して停止する。
【００５５】
吐出重量測定ユニット８２は複数の吐出重量測定部を有し、所定時間内にキャリッジ３の複数のヘッド５１から吐出された液状の材料１１の吐出重量を計測し、複数のヘッド５１からの吐出量が適性か否かを判断するユニットである。
【００５６】
吸引ユニット８３は吐出重量測定ユニット８２で複数のヘッド５１の吐出状況が正常でないと判断された場合、つまり複数のヘッド５１のいずれかのヘッド５１の吐出が少ないまたは無い場合は、吸引ユニット８３が移動台８１によってキャリッジ３の位置に相対位置を変更され、その後Ｚ軸方向に相対位置を変更して複数のヘッド５１と、吸引ユニット８３が有する複数の吸引部（図９に示す）とが接触してポンプ等で複数のヘッド５１を吸引する。この吸引によってヘッド５１のノズル５２（図４に示す）で生じている液状の材料１１の詰りを解消する。
【００５７】
複数のヘッド５１からの吐出停止時間が長くなると吐出方向が乱れたり、吐出量が多くなり過ぎたりまた吐出量が少なくなり過ぎたりする現象が起こり易くなり、液状の材料１１の吐出が不安定になる傾向にある。このため、定期フラッシングユニット８４は複数のヘッド５１から定期的または随時に液状の材料１１を吐出させヘッド５１が適正に液状の材料１１を吐出することができる状態に維持する。
【００５８】
吐出検出ユニット８０は、複数のヘッド５１が有する複数のノズル５２それぞれから液状の材料１１が吐出されているか否かを検出する。ノズル５２から液状の材料１１を吐出するためのヘッドの吐出駆動部への電気信号と、発光部としての発光体９５から発せられたレーザ光等の光を受光部としての受光体９４が受け取ることによって発生する電気信号を、制御部が比較して吐出駆動部への電気信号に対して受光体９４からの電気信号が無い場合はこのノズルは詰っていると制御部が判断する。この光路の中に光を遮断するものがあれば、受光体９４は光を受け取ることができない。そこで、第２位置制御装置４によってキャリッジ３の複数のヘッド５１の各ノズル列（図４に示す）の相対位置を、発光体９５と受光体９４との光路に合うように相対位置を変更させて、各ノズル５２からの液状の材料１１の吐出検出を行う。発光体９５と受光体９４とが１対の場合は、第２位置制御装置４によってキャリッジ３の相対位置を変更し、ノズル列毎の検出を行う。また、発光体９５と受光体９４とがノズル列毎に配設されている場合は、一度に複数のノズル列の検査ができるので、より短時間で検出することができる。図１１において詳述する。
【００５９】
ヘッド５１のメンテナンスを実行する場合は、第２位置制御装置４によってキャリッジ３はＸ軸方向にメンテナンス装置８上に相対位置を変更し、所望のユニットがキャリッジ３の位置にくるように移動台８１によって選択されて相対位置を変更されて成される。
【００６０】
排液装置９は、吐出重量測定ユニット８２、吸引ユニット８３、定期フラッシングユニット８４および吐出検出ユニット８０で回収された液状の材料１１は排液チューブ９１を介して排液タンク９２に回収するようになっている。
【００６１】
図２は、液滴吐出装置の電気ブロック図である。液滴吐出装置は、制御部７としてのＣＰＵ（Central Processing Unit）１００と、ＲＯＭ(Read Only Memory)１０１と、ＥＥＰＲＯＭ（Electrically Erasable Programmable Read Only Memory）１０２及びＲＡＭ（Random Access Memory）１０３とを備えている。また、例えばＰＣ（Personal Computer）等の外部情報処理装置１０８との接続をするＩ／Ｏポート１０７と、ユーザインタフェイス（以降、ユーザＩ／Ｆという）１０４と、処理部１１０と、メンテナンス装置駆動制御部１１６とを有し、これらはデータバス１０９を介してそれぞれ互いに電気的に接続されている。
【００６２】
ＣＰＵ１００がＲＯＭ１０１及びＥＥＰＲＯＭ１０２に記憶された制御プログラムや各種アプリケーションプログラムに基づいて各種動作を実行する。ＥＥＰＲＯＭ１０２は、制御プログラムや各種データを電気的に内容を書き換えることができるＲＯＭである。ＲＡＭ１０３は、処理中のデータやプログラムを格納しており、ヘッド位置バッファ１０３ａと、液体吐出順序バッファ１０３ｂと、液体吐出位置バッファ１０３ｃとを備えている。液滴吐出装置１の電源を切ると、ＲＡＭ１０３にあるメモリの内容は自動的に消去される。
【００６３】
例えばＰＣ（Personal Computer）等の外部情報処理装置１０８との接続をするＩ／Ｏポート１０７によって、基体１０Ａの被吐出部２１に対して液状の材料１１を吐出するための各種データ（吐出データともいう）を取り込みＲＡＭ１０３に一旦記憶される。ＣＰＵ１００は、ユーザＩ／Ｆ１０４を介して操作部１０５の信号を受け、その信号に応じて記憶された吐出データを処理部１１０に送る。送られる吐出データは、基体１０Ａ上のすべての被吐出部の相対位置を表すデータと、すべての被吐出部に液状の材料１１を所望の厚さにまで塗布するのに必要となる相対走査の回数を示すデータと、ノズルが吐出するか否かを指定するデータとを含む。
【００６４】
吐出データを受けた処理部１１０は、吐出データに基づいて被吐出部に対するノズル５２の相対位置を示すデータを走査駆動部１１１に与える。走査駆動部１１１はこのデータに応じた駆動信号を第２位置制御装置４としてのステージ制御部１１２および第１位置制御装置６としてのキャリッジ制御部１１３に与える。この結果、被吐出部２１に対してヘッド５１が相対走査する。
【００６５】
一方、処理部１１０は、記憶部としてのＲＡＭ１０３に記憶された吐出データに基づいて、吐出タイミング毎のノズル５２のオン・オフを指定する選択信号をヘッド駆動制御部１１４へ与える。ヘッド駆動制御部１１４は、選択信号に基づいて、液状の材料１１の吐出に必要な吐出信号をヘッド５１に与える。この結果、ヘッド５１における対応するノズル５２から、液状の材料１１が液滴として吐出される。もちろん、制御部７は専用の回路（ハードウェア）によって実現されてもよい。また、液滴吐出装置１の電源を切る場合は、ＲＡＭ１０３のデータは、ＥＥＰＲＯＭ１０２に自動的に保存され次回液滴吐出装置を使用する際に読み出してデータを使うことができる。
【００６６】
メンテナンス装置駆動制御部１１６は吐出検出ユニット８０と、吐出重量測定ユニット８２と、吸引ユニット８３とを備えている。吐出検出ユニット８０には、少なくとも１対の発光部としての発光体９５と受光部としての受光体９４を備えており、ヘッド５１のノズル５２から吐出された液状の材料１１の液滴が発光体９５と受光体９４との光路を遮断した場合に、この遮断に基づいた信号をメンテナンス装置駆動制御部１１６を介して制御部７に伝える。
【００６７】
吐出重量測定ユニット８２には、複数の吐出重量測定部９９が備えられており、各吐出重量測定部９９に吐出された液状の材料１１の重量を計測する。測定された液状の材料１１の重量データは制御部７に送られ、各ヘッド５１から吐出される液状の材料１１の量を制御するデータとして使用される。
【００６８】
吸引ユニット８３には、吸引部としての弾性体８７と吸引可変部９３とを有し、弾性体８７はヘッド５１と機械的に当接して、ヘッド５１と吸引ユニット８３との密着性を確保している。吸引可変部９３はキャリッジ３に載置されているヘッド５１の相対位置データを制御部７から受け取り、吸引部としての複数の弾性体８７の相対位置をヘッド５１の相対位置に対応した位置に変更する。
【００６９】
図３は、キャリッジ３をステージ５側から観察した平面図である。同図の紙面に垂直な方向がＺ軸方向である。また、紙面の左右方向がＸ軸方向であり、紙面の上下方向がＹ軸方向である。キャリッジ３は、それぞれほぼ同じ構造を有する複数のヘッド５１を保持している。本実施例では、キャリッジ３に保持されるヘッド５１の数は２４個である。それぞれのヘッド５１は、後述する複数のノズル５２が設けられた底面を有している。それぞれのヘッド５１のこの底面の形状は、２つの長辺と２つの短辺とを有する四角形である。キャリッジ３に保持されたヘッド５１の底面はステージ５側を向いており、さらに、ヘッド５１の長辺方向と短辺方向とは、それぞれＸ軸方向とＹ軸方向とにほぼ平行である。なお、ヘッド５１同士の相対位置関係の詳細は、後述する。
【００７０】
図４は、ヘッドが有する複数のノズルの平面図である。ヘッド５１は、Ｘ軸方向に並んだ複数のノズル５２を有する。これら複数のノズル５２は、ヘッド５１のＸ軸方向のノズルピッチＨＸＰが約７０μｍとなるように配置されている。ここで、「ヘッド５１のＸ軸方向のノズルピッチＨＸＰ」は、ヘッド５１におけるノズル５２のすべてをＹ軸方向に沿ってＸ軸上に射像して得られた複数のノズル像間のピッチに相当する。
【００７１】
本実施例では、ヘッド５１における複数のノズル５２は、ともにＸ軸方向に延びるノズル列５３と、ノズル列５４とをなす。ノズル列５３とノズル列５４とはＹ軸方向に隣合っている。ノズル列５３およびノズル列５４のそれぞれにおいて、９０個のノズル５２が一定間隔でＸ軸方向に一列に並んでいる。本実施例では、この一定間隔は約１４０μｍである。つまり、ノズル列５３のＸ軸方向のノズルピッチＬＮＰおよびノズル列５４のＸ軸方向のノズルピッチＬＮＰは、ともに約１４０μｍである。
【００７２】
ノズル列５３の位置は、ノズル列５４の位置に対して、Ｘ軸方向のノズルピッチＬＮＰの半分の長さ（約７０μｍ）だけＸ軸方向の正の方向（図４の右方向）にずれている。このため、ヘッド５１のＸ軸方向のノズルピッチＨＸＰは、ノズル列５３（またはノズル列５４）のＸ軸方向のノズルピッチＬＮＰの半分の長さ（約７０μｍ）である。
【００７３】
したがって、ヘッド５１のＸ軸方向のノズル線密度は、ノズル列５３（またはノズル列５４）のノズル線密度の２倍である。なお、本明細書において「Ｘ軸方向のノズル線密度」とは、複数のノズルをＹ軸方向に沿ってＸ軸上に射像して得られた複数のノズル像の単位長さ当たりの数に相当する。
【００７４】
もちろん、ヘッド５１が含むノズル列の数は、２つだけに限定されない。ヘッド５１はＭ個のノズル列を含んでもよい。ここで、Ｍは１以上の自然数である。この場合には、Ｍ個のノズル列のそれぞれにおいて複数のノズル５２は、ノズルピッチＨＸＰのＭ倍の長さのピッチで並ぶ。さらに、Ｍが２以上の自然数の場合には、Ｍ個のノズル列のうちの一つに対して、他の（Ｍ−１）個のノズル列は、ノズルピッチＨＸＰのｉ倍の長さだけ重複無くＸ軸方向にずれている。ここで、ｉは１から（Ｍ−１）までの自然数である。また、ノズル列５３とノズル列５４との距離をノズル列間距離ＤＡと表記する。また、複数のヘッド５１がＸ軸方向に並んだ場合に、各ヘッド５１のノズル列の中心線をノズル列ＮＬと表記することもある。
【００７５】
さて、ノズル列５３およびノズル列５４のそれぞれが９０個のノズル５２からなるため、１つのヘッド５１は１８０個のノズル５２を有する。ただし、ノズル列５３の両端のそれぞれ５個のノズルは「休止ノズル５２ｂ」として設定されている。同様に、ノズル列５４の両端のそれぞれ５個のノズルも「休止ノズル５２ｂ」として設定されている。そして、これら２０個の「休止ノズル５２ｂ」からは液状の材料１１が吐出されない。このため、ヘッド５１における１８０個のノズル５２のうち、１６０個のノズル５２が液状の材料１１を吐出するノズルとして機能する。本明細書では、これら１６０個のノズル５２を「吐出ノズル」と表記することもある。
【００７６】
本明細書では、ヘッド５１同士の相対位置関係を説明する目的で、ノズル列５３に含まれる９０個のノズル５２のうち、左から６番目のノズル５２をヘッド５１の「基準ノズル５２Ｌ」と表記する。つまり、ノズル列５３における８０個の吐出ノズルのうち、最も左側の吐出ノズルがヘッド５１の基準ノズル５２Ｌである。また、ノズル列５３に含まれる９０個のノズル５２のうち、右から６番目のノズル５２をヘッド５１の「副基準ノズル５２Ｒ」と表記する。なお、すべてのヘッド５１に対して、基準ノズル５２Ｌまたは副基準ノズル５２Ｒの指定の仕方が同じであればよいので、基準ノズル５２Ｌまたは副基準ノズル５２Ｒの位置は、上記位置でなくてもよい。また、他の図中では、休止ノズル５２ｂは省略してある。
【００７７】
図５（ａ）は、インクジェットヘッド全体の断面斜視図である。図５（ｂ）は、吐出部の詳細断面図である。それぞれのヘッド５１は、インクジェットヘッドである。より具体的には、それぞれのヘッド５１は、振動板１２６と、ノズルプレート１２８とを備えている。振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、タンク１２からチューブ１３を介して、孔１３１から供給される液状の材料１１が常に充填される液たまり１２９が位置している。
【００７８】
また、振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、複数の隔壁１２２が位置している。そして、振動板１２６と、ノズルプレート１２８と、１対の隔壁１２２と、によって囲まれた部分がキャビティ１２０である。キャビティ１２０はノズル５２に対応して設けられているため、キャビティ１２０の数とノズル５２の数とは同じである。キャビティ１２０には、１対の隔壁１２２間に位置する供給口１３０を介して、液たまり１２９から液状の材料１１が供給される。
【００７９】
図５（ｂ）では、振動板１２６上には、それぞれのキャビティ１２０に対応して、振動子１２４が位置する。振動子１２４は、ピエゾ素子１２４ｃと、ピエゾ素子１２４ｃを挟む１対の電極１２４ａ、１２４ｂとを含む。この１対の電極１２４ａ、１２４ｂとの間に駆動電圧を与えることで、対応するノズル５２から液状の材料１１が吐出される。なお、ノズル５２からＺ軸方向に液状の材料１１が吐出されるように、ノズル５２の形状が調整されている。
【００８０】
ここで、本明細書において「液状の材料」とは、ノズルから吐出可能な粘度を有する材料をいう。この場合、材料が水性であると油性であることを問わない。ノズルから吐出可能な流動性（粘度）を備えていれば十分で、固体物質が混入していても全体として流動体であればよい。
【００８１】
処理部１１０（図２参照）は、複数の振動子１２４のそれぞれに互いに独立に信号を与えるように構成されていてもよい。つまり、ノズル５２から吐出される液状の材料１１の体積が、処理部１１０からの信号に応じてノズル５２毎に制御されてもよい。そのような場合には、ノズル５２のそれぞれから吐出される液状の材料１１の体積は、０ｐｌ〜４２ｐｌ（ピコリットル）の間で可変にしてもよい。また、処理部１１０は、後述するように、塗布走査の間に吐出動作を行うノズル５２と、吐出動作を行わないノズル５２と、を設定することでもできる。
【００８２】
本明細書では、１つのノズル５２と、ノズル５２に対応するキャビティ１２０と、キャビティ１２０に対応する振動子１２４と、を含んだ部分を「吐出部１２７」と表記することもある。この表記によれば、１つのヘッド５１は、ノズル５２の数と同じ数の吐出部１２７を有する。吐出部１２７は、ピエゾ素子の代わりに電気熱変換素子を有してもよい。つまり、吐出部１２７は、電気熱変換素子による材料の熱膨張を利用して材料を吐出する構成を有していてもよい。
【００８３】
図６は、走査期間を説明する液滴吐出装置の平面図である。本実施例において「走査期間」とは、キャリッジ３の一辺がＹ軸方向に沿って走査範囲１３４の一端Ｅ１（または他端Ｅ２）から他端Ｅ２（または一端Ｅ１）まで相対位置の変更を１回行う期間を意味する。「走査範囲１３４」とは、基体１０Ａ上のすべての被吐出部２１に材料を塗布するためにキャリッジ３が相対位置を変更する範囲を意味し、走査範囲１３４によってすべての被吐出部２１が覆われている。なお、場合によって、用語「走査範囲」は、１つのノズル５２が相対位置を変更する範囲を意味することもあるし、１つのノズル列５３または５４が相対位置を変更する範囲を意味することもあるし、１つのヘッド５１が相対位置を変更する範囲を意味することもある。
【００８４】
第１の走査期間が始まると、走査範囲１３４の一端Ｅ１からＹ軸方向の正の方向（図６の紙面上方向）に、ステージ５がノズル列に対して相対位置を変更し始める。そうすると、図７で示すノズル列１Ａ，１Ｂ，２Ａ，２Ｂ，３Ａ，３Ｂ，４Ａ，４Ｂの順番で、これらのノズル列が被吐出部２１Ｌに重なる。液状の材料１１を被吐出部２１Ｌに対して吐出するタイミングは、ヘッド５１のノズル５２と、ステージ５に保持されている基体１０Ａが有する被吐出部２１との移動相対速度を考慮して、ノズル列が被吐出部２１Ｌに重なる前から液状の材料１１を吐出する。本実施例では、被吐出部２１と液状の材料１１を吐出することができるノズル５２との相対位置関係を「領域に侵入する」と表記する。
【００８５】
図７（ａ）は被吐出部に対して液状の材料を吐出する方法の説明図であり、図７（ｂ）は、液状の材料が被吐出部に着弾する順序の説明図である。図７（ａ）および（ｂ）を参照しながら、Ｘ軸方向に平行なストライプ状のターゲット（被吐出部２１）、すなわち被吐出部２１Ｌに対して、液滴吐出装置１が液状の材料１１を吐出する方法を説明する。具体的には、ヘッド群５１Ｇまたはキャリッジ３における任意の一つのヘッドにおけるノズル列と、この任意の一つのヘッドに隣合うヘッドにおけるノズル列との間の距離、つまりヘッド間距離ＤＢをノズル列間距離ＤＡのほぼ整数倍に維持しながら、キャリッジ３をステージ５に対してＸ軸方向に相対位置を変更するステップを含んだ、液状の材料１１の塗布方法を説明する。
【００８６】
図７（ａ）において、４つのヘッド５１（５１１，５１２，５１３，５１４）が配置されている。この４個のヘッド５１を１つのクループとしてヘッド群５１Ｇと表記する。ヘッド群５１Ｇにおける４つのヘッド５１の相対位置関係を説明する。
【００８７】
ヘッド群５１ＧのＸ軸方向の相対間隔ＧＸＰが、ヘッド５１のＸ軸方向のノズルピッチＨＸＰのほぼ１／４倍の長さとなるように、ヘッド群５１Ｇにおいて４つのヘッド５１（５１１，５１２，５１３，５１４）が配置されている。
【００８８】
以下では、本実施例のヘッド５１の相対位置関係を、より具体的に説明する。
まず、説明を平易にする目的で、図７（ａ）のヘッド群５１Ｇに含まれる４つのヘッド５１を、Ｙ軸方向の負の方向（図７の下方向）に向かって、ヘッド５１１、ヘッド５１２、ヘッド５１３、ヘッド５１４と表記する。ヘッド５１１〜５１４におけるノズル列５３，５４を上からノズル列１Ａ，１Ｂ，２Ａ，２Ｂ，３Ａ，３Ｂ，４Ａ，４Ｂと表記する。また、ヘッド５１のノズル列５３とＹ軸方向のプラス側（紙面の上方側）の他のヘッド５１のノズル列５４との距離をヘッド間距離ＤＢと表記する。
【００８９】
これらノズル列１Ａ〜４Ｂのそれぞれは、実際には休止ノズル５２ｂを含まないＸ軸方向に並んでいる８０個のノズル５２からなる。ただし、図７では説明の便宜上、ノズル列１Ａ〜４Ｂのそれぞれが、４つの吐出ノズル（ノズル５２）からなるように描かれている。さらに、各ノズル列の最も左のノズル５２がヘッド５１１〜５１４の基準ノズル５２Ｌである。
【００９０】
ヘッド５１１〜５１４の基準ノズル５２Ｌの位置（またはＸ座標）は、ヘッド５１１の基準ノズル５２Ｌの位置（またはＸ座標）から約１７．５μｍずつＸ軸方向の正の方向（図７の右方向）にずれている。なお、あるヘッドが他のヘッドに対してずれる方向は、Ｘ軸方向の正の方向だけでなく、負の方向（図７の左方向）でもよい。
【００９１】
上記配置によって、ノズル列１Ａの最も左の基準ノズル５２ＬのＸ座標とノズル列１Ｂの最も左のノズル５２のＸ座標との間に、ノズル列２Ａ，３Ａ，４Ａの最も左の基準ノズル５２Ｌが等間隔（同図では１７．５μｍ）で配設される。本実施例では、ヘッド５１１の基準ノズル５２ＬのＸ座標に対して、ヘッド５１２、５１３、５１４の基準ノズル５２ＬのＸ座標が、ノズルピッチＨＸＰのほぼ１／４倍の長さ、ノズルピッチＨＸＰのほぼ２／４倍の長さ、ノズルピッチＨＸＰのほぼ３／４倍の長さだけそれぞれずれている。しかしながら、４つのヘッド５１の配置はこのような配置に限定されず、１つのヘッド５１の基準ノズル５２ＬのＸ座標に対して、他のヘッドの基準ノズル５２ＬのＸ座標が、ノズルピッチＨＸＰのほぼｊ／４倍の長さだけＸ軸方向に重複無くずれて位置していればよい。ここで、ｊは１から３までの自然数である。
【００９２】
本実施例では、ヘッド５１のＸ軸方向のノズルピッチＨＸＰは約７０μｍであるので、ヘッド群５１ＧのＸ軸方向の相対間隔ＧＸＰは、その１／４倍の約１７．５μｍである。ここで、「ヘッド群５１ＧのＸ軸方向の相対間隔ＧＸＰ」は、ヘッド群５１Ｇにおけるノズル５２のすべてを、Ｙ軸方向に沿ってＸ軸上に射像して得られた複数のノズル像間のピッチに相当する。
【００９３】
もちろん、ヘッド群５１Ｇが含むヘッド５１の数は、４つだけに限定されない。ヘッド群５１ＧはＮ個のヘッド５１からなってもよい。ここで、Ｎは２以上の自然数である。この場合には、相対間隔ＧＸＰがノズルピッチＨＸＰのほぼ１／Ｎ倍の長さになるように、ヘッド群５１ＧにおいてＮ個のヘッド５１が配置されればよい。あるいは、Ｎ個のヘッド５１の１つにおける基準ノズル５２ＬのＸ座標に対して、他の（Ｎ−１）個のヘッド５１における基準ノズル５２ＬのＸ座標が、ノズルピッチＨＸＰのほぼｊ／Ｎ倍の長さだけ重複無くずれていればよい。なお、この場合には、ｊは１から（Ｎ−１）までの自然数である。
【００９４】
次に、液状の材料が被吐出部２１Ｌに着弾する順序の説明をする。図７（ａ）に示す例では、キャリッジ３が被吐出部２１に対してＹ軸方向へ相対位置を変更することによって、ヘッド５１１，５１２，５１３，５１４がこの順番で被吐出部２１Ｌと重なり合う。
【００９５】
キャリッジ３がステージ５に対してＹ軸方向に相対位置を変更（矢印の方向）し始める。そして、ノズル列１Ａが被吐出部２１Ｌに重なると、ノズル列１Ａに含まれるノズル５２から、被吐出部２１Ｌに対して液状の材料１１が同時に吐出される。図７（ｂ）の「１Ａ」のラベルの右には、ノズル列１Ａの吐出による着弾位置が黒丸で描かれている。ノズル列１Ａの吐出によって、Ｘ軸方向にほぼ１４０μｍのピッチで液状の材料１１が被吐出部２１Ｌに着弾する。
【００９６】
ノズル列１Ａの次に、ノズル列１Ｂが被吐出部２１Ｌに重なる。ノズル列１Ｂが被吐出部２１Ｌに重なると、ノズル列１Ｂに含まれるノズル５２から、被吐出部２１Ｌに対して液状の材料１１が同時に吐出される。図７（ｂ）の「１Ｂ」のラベルの右には、ノズル列１Ｂの吐出による着弾位置が黒丸で描かれている。ノズル列１Ｂの吐出によって、Ｘ軸方向にほぼ１４０μｍのピッチで液状の材料１１が被吐出部２１Ｌに着弾する。ただし、ノズル列１Ｂの吐出による着弾位置と、ノズル列１Ｂに先行するノズル列１Ａの吐出による着弾位置との間の距離は、ほぼ７０μｍである。なお、図７（ｂ）の「１Ｂ」のラベルの右には、ノズル列１Ｂに先行するノズル列の吐出による着弾位置が白丸で描かれている。
【００９７】
ノズル列１Ｂの次に、ノズル列２Ａが被吐出部２１Ｌに重なる。ノズル列２Ａが被吐出部２１Ｌに重なると、ノズル列２Ａに含まれるノズル５２から、被吐出部２１Ｌに対して液状の材料１１が同時に吐出される。図７（ｂ）の「２Ａ」のラベルの右には、ノズル列２Ａの吐出による着弾位置が黒丸で描かれている。ノズル列２Ａの吐出によって、Ｘ軸方向にほぼ１４０μｍのピッチで液状の材料１１が被吐出部２１Ｌに着弾する。ただし、ノズル列２Ａの吐出による着弾位置と、ノズル列２Ａに先行するノズル列の吐出による着弾位置との間の最短距離は、ほぼ１７．５μｍである。なお、図７（ｂ）の「２Ａ」のラベルの右には、ノズル列２Ａに先行するノズル列による着弾位置が白丸で描かれている。
【００９８】
ノズル列２Ａの次に、ノズル列２Ｂが被吐出部２１Ｌに重なる。ノズル列２Ｂが被吐出部２１Ｌに重なると、ノズル列２Ｂに含まれるノズル５２から、被吐出部２１Ｌに対して液状の材料１１が同時に吐出される。図７（ｂ）の「２Ｂ」のラベルの右には、ノズル列２Ｂの吐出による着弾位置が黒丸で描かれている。ノズル列２Ｂの吐出によって、Ｘ軸方向にほぼ１４０μｍのピッチで液状の材料が被吐出部２１Ｌに着弾する。ただし、ノズル列２Ｂの吐出による着弾位置と、ノズル列２Ｂに先行するノズル列の吐出による着弾位置との間の最短距離は、ほぼ１７．５μｍである。なお、図７（ｂ）の「２Ｂ」のラベルの右には、ノズル列２Ｂに先行するノズル列の吐出による着弾位置が白丸で描かれている。
【００９９】
その後、ノズル列３Ａ，３Ｂ，４Ａ，４Ｂがこの順番で被吐出部２１Ｌに重なり、ノズル列３Ａ，３Ｂ，４Ａ，４Ｂのそれぞれから被吐出部２１Ｌに対して、ノズル列１Ａ，１Ｂ，２Ａ，２Ｂと同様に液状の材料１１が吐出される。この結果、ヘッド群５１Ｇが被吐出部２１Ｌに対してＹ軸方向に１回だけ相対位置を変更する間に、ヘッド５１のＸ軸方向のノズルピッチＨＸＰのほぼ１／４倍の長さ、すなわち１７．５μｍのピッチで液状の材料１１が着弾する。
【０１００】
次に、ヘッド５１のＹ軸方向の配列寸法と被吐出部２１への液状の材料１１の吐出方法を説明する。
【０１０１】
本実施例では、ヘッド間距離ＤＢは、ノズル列間距離ＤＡのほぼ整数倍である。つまり、
ＤＢ＝ｃ1・ＤＡ…（式１）
である。ここで、ｃ1は、整数である。
【０１０２】
本実施例では、ステージ５に対するキャリッジ３の移動相対速度Ｖは、
Ｖ＝ＤＡ／（ｃ2・ＥＰ）…（式２）
となるように設定されている。ここで、ＤＡはノズル列間距離であり、ＥＰは、ヘッド５１に与えられる吐出信号の吐出周期であり、ｃ2は整数である。
【０１０３】
さらに本実施例では、上記（式２）から求めた移動相対速度Ｖに基づいて、ノズル列間距離ＤＡが、
ＤＡ＝ｃ4・ＥＰ・Ｖ…（式３）
となるように設定されている。ノズル列間距離ＤＡが上記（式３）を満足するので、ノズル列１Ａが被吐出部２１Ｌに重なった時点から、吐出周期ＥＰの整数倍（ｃ4倍）の時間間隔で、ノズル列１Ｂがその被吐出部２１Ｌに重なる。
【０１０４】
移動相対速度Ｖが上記（式２）を満足するので、吐出周期ＥＰの整数（ｃ2）倍の時間間隔で、ノズル列１Ａとノズル列１Ｂとが被吐出部２１Ｌに重なる。しかも、本実施例では、ヘッド間距離ＤＢは、ノズル列間距離ＤＡの整数（ｃ1）倍であるので、ノズル列１Ｂが被吐出部２１Ｌに重なった時点から吐出周期ＥＰの整数（ｃ1・ｃ2）倍の時間間隔で、ノズル列２Ａが被吐出部２１Ｌに重なる。同様に、ヘッド群５１Ｇにおけるすべてのノズル列が吐出周期ＥＰの整数倍の時間間隔で被吐出部２１Ｌに重なる。
【０１０５】
したがって、すべてのノズル列が、吐出周期ＥＰに関して同位相で被吐出部２１Ｌに重なる、あるいは、被吐出部２１Ｌに対応する領域に侵入する。このため、すべてのノズル列におけるノズル５２に対して、処理部１１０での処理を共通にできる。このため、吐出波形（駆動波形）の精度を維持しつつ、回路構成をシンプルにすることができる。
【０１０６】
上記のストライプ状の被吐出部２１Ｌの例の一つは、金属配線が形成されるための部分である。したがって、本実施例の液滴吐出装置１は、液状の配線材料を吐出することで金属配線を製造する配線製造装置に適用できる。例えば、プラズマ表示装置における基板上に電極を形成する配線製造装置に適用できる。
【０１０７】
図８は、カラーフィルタの受容基板に対する塗布方法の説明図である。第１の走査期間が始ると、走査範囲１３４の一端Ｅ１からＹ軸方向の正の方向（図８の紙面上方向）に、ヘッド群５１Ｇが相対位置を変更し始める。そうすると、ノズル列１Ａ、１Ｂ、２Ａ、２Ｂ、３Ａ、３Ｂ、４Ａ、４Ｂの順番で、これらのノズル列が被吐出部２１Ｒに対応する領域に侵入する。
【０１０８】
ここで、制御部７は、吐出周期ＥＰの整数倍の時間間隔毎に、１つのノズル５２とＹ軸方向に並んだ被吐出部２１Ｒとが重なるように、キャリッジ３の移動相対速度Ｖを決定している。そうすれば、その１つのノズル５２を含むノズル列における他のノズル５２も、吐出周期ＥＰの整数倍の時間間隔毎に、それぞれの被吐出部２１Ｒと重なるからである。
【０１０９】
基体１０Ａは、被吐出部２１Ｒの長辺方向および短辺方向がそれぞれＸ軸方向およびＹ軸方向に一致するように、ステージ５に保持されている。ここで、複数のバンク２２における、Ｙ軸方向の各バンク２２の列をバンク列ＢＹと表記し、Ｘ軸方向の各バンク２２の列をバンク列ＢＸと表記する。また、各バンク列ＢＹ間のピッチをバンク列ピッチＢＹＰと表記し、各バンク列ＢＸ間のピッチをバンク列ピッチＢＸＰと表記する。
【０１１０】
まず、第１の走査期間が始まる前に、制御部７は、吐出データに応じていくつかのノズル５２のＸ座標が被吐出部２１ＲのＸ座標範囲に収まるように、キャリッジ３、すなわちヘッド群５１Ｇを基体１０Ａに対してＸ軸方向に相対位置を変更する。被吐出部２１ＲのＸ座標範囲とは、被吐出部２１Ｒの両端のＸ座標で決まる範囲である。本実施例では、被吐出部２１Ｒの長辺の長さは約３００μｍであり、ヘッド群５１ＧのＸ軸方向のノズルピッチＨＸＰは１７．５μｍである。このため、ヘッド群５１Ｇは２つの被吐出部２１Ｒに跨った状態となる。ヘッド群５１Ｇは、２つの被吐出部２１ＲのＸ座標範囲に入る。Ｘ座標範囲外の４個のノズル５２ｃからは、走査期間の内になんらカラーフィルタ材料１１Ｒは吐出されない。
【０１１１】
ノズル列１Ａが、ある２つの被吐出部２１Ｒに対応する領域に侵入すると、ノズル列１Ａの最も左の５２ｃのノズルを除く３個のノズル５２からほぼ同時にカラーフィルタ材料１１Ｒが吐出される。さらに、ノズル列１Ｂがその２つの被吐出部２１Ｒに対応する領域に侵入すると、ノズル列１Ｂのすべてからカラーフィルタ材料１１Ｒが吐出される。
【０１１２】
その後、ノズル列２Ａがその２つの被吐出部２１Ｒに対応する領域に侵入すると、ノズル列２Ａの左から３番目のノズル５２ｃを除く他のノズル５２から、カラーフィルタ材料１１Ｒが吐出される。次に、ノズル列２Ｂがその２つの被吐出部２１Ｒに対応する領域に侵入すると、ノズル列２Ｂのすべてからカラーフィルタ材料１１Ｒが吐出される。
【０１１３】
ノズル列３Ａがその２つの被吐出部２１Ｒに対応する領域に侵入すると、ノズル列３Ａの左から３番目のノズル５２ｃを除くすべてのノズル５２から、カラーフィルタ材料１１Ｒが吐出される。次に、ノズル列３Ｂがその２つの被吐出部２１Ｒに対応する領域に侵入すると、ノズル列３Ｂのすべてからカラーフィルタ材料１１Ｒが吐出される。
【０１１４】
さらに、ノズル列４Ａがその２つの被吐出部２１Ｒに対応する領域に侵入すると、ノズル列４Ａの左から３番目のノズル５２ｃを除くすべてのノズル５２からカラーフィルタ材料１１Ｒが吐出される。次に、ノズル列４Ｂがその２つの被吐出部２１Ｒに対応する領域に侵入すると、ノズル列４Ｂのすべてのノズル５２からカラーフィルタ材料１１Ｒが吐出される。
【０１１５】
本実施例によれば、１つの走査期間内に、２つの被吐出部２１Ｒに、必要とされる体積のカラーフィルタ材料１１Ｒを吐出できる。これは、ヘッド群５１ＧのＸ軸方向の相対間隔ＧＸＰが、１つのヘッド５１のＸ軸方向のノズルピッチＨＸＰのほぼ１／４であり、このため、１つの走査期間内に、より多くのノズル５２が被吐出部２１に重なるからである。
【０１１６】
ところで、第１の走査期間内では、ノズル列１Ａにおける最も左側のノズル５２ｃと、ノズル列２Ａにおける左から３番目のノズル５２ｃと、ノズル列３Ａにおける左から３番目のノズル５２ｃと、ノズル列４Ａにおける左から３番目のノズル５２ｃとは、一度も被吐出部２１Ｒに重ならない。したがって、これらのノズルからはなんらカラーフィルタ材料１１Ｒの吐出は行われない。
【０１１７】
第１の走査期間が終わると、制御部７は、ステージ５に対してキャリッジ３をＸ軸方向に相対位置を変更させてから次の走査期間を開始して、まだ塗布されていない被吐出部２１Ｒにカラーフィルタ材料１１Ｒを吐出する。
【０１１８】
被吐出部２１Ｇおよび２１Ｂには、別のヘッド群５１Ｇが別の液状の材料１１を塗布することにより、すべての被吐出部２１が塗布される。
【０１１９】
以上では、被吐出部２１Ｒにカラーフィルタ材料１１Ｒを塗布する工程を説明した。
【０１２０】
図９は、吸引ユニットの断面図である。吸引ユニット８３は、メンテナンス装置８の１つとして移動台８１の上に配設され、吸引ユニット基体８５の上にキャリッジ３にある複数のヘッド５１の位置と、相対位置が同じになるように複数の吸引部が配設されている。吸引部は、ヘッド５１と圧接して密閉性を確保するための弾性体８７と、弾性体８７を補強する受体８８と、受体８８を押圧するばね８６と、ばね８６によって弾性体８７が飛び出さないように押さえる押さえ蓋９０、押さえ体８９および排液チューブ９１とを備えている。キャリッジ３の複数のヘッド５１に液状の材料１１の詰りが生じた場合に、制御部７によってキャリッジ３は吸引ユニット８３上に相対位置を変更される。吸引ユニット８３上に相対位置を変更されたキャリッジ３はＺ方向に下降し、ヘッド５１が弾性体８７を押下し、ばね８６によって互いに密接する。排液チューブ９１は吸引装置としての吸引ポンプ（図示せず）と連結し、ヘッド５１と弾性体８７とが密接した状態で吸引ポンプを作動すると、ポンプの吸引力でヘッド５１のノズル５２に生じた詰りを除去することができる。この場合、吸引された液状の材料１１は吸引装置を介して排液タンクに回収されリサイクルされる。また、吸引された量とほぼ同量の液状の材料１１がヘッドチューブ１３ａを介してタンク１２よりヘッド５１に供給され、空気がヘッド５１内に侵入することを防止している。
【０１２１】
また、以降の実施例でヘッド５１をキャリッジ３に対して相対位置を変更するものが掲げられている。この場合、吸引ユニット８３の弾性体８７の位置をキャリッジ３のヘッド５１の位置に合わせる必要があり、各弾性体８７にモータ等の吸引可変部９３としての駆動部材（図示せず）を配設して、ヘッド５１と相対位置が同じにしている。またさらに好ましくは、吸引ユニット８３で吸引が必要になった場合で、ヘッド５１の位置を弾性体８７の位置と同じになるように相対位置を変更して吸引し、その後、基体１０Ａに吐出する位置にヘッド５１を復帰する方法がある。
【０１２２】
図１０は、吐出重量測定ユニットの断面図である。吐出重量測定ユニット８２は、基体１０Ａに対する液状の材料１１の吐出動作の準備段階として、ヘッド５１からの液状の材料１１の１回の吐出量（重量）を測定するのに利用するものである。本実施例では、基体１０Ａに対する液状の材料１１の吐出動作前、キャリッジ３と移動台８１との相対位置を変更し、吐出重量測定ユニット８２の上方にキャリッジ３が位置するように相対位置を変更し、各ヘッド５１のすべてのノズル５２から１回または複数回液状の材料１１を吐出重量測定ユニット８２に対し吐出する。
【０１２３】
吐出重量測定ユニット８２は、吐出量測定基体９７の上に配設され、吐出された液状の材料１１を受ける着脱可能な液受け部９６を備えており、この液受け部９６で受けた液体の重量を液滴吐出装置１の外部に設置された電子天秤等の重量計で計測する。または、吐出重量測定ユニット８２に重量計を設け、ここで重量を計測してもよい。制御部７は、この重量計測結果に基づいて、ノズル５２から吐出される１滴の液状の材料１１の量（重量）を算出し、その算出値が予め定められた設計値に等しくなるように、ヘッド５１を駆動するヘッド５１のピエゾ素子１２４ｃに対する印加電圧を補正する。
【０１２４】
また、以降の実施例でヘッド５１をキャリッジ３に対して相対位置を変更するものが掲げられている。この場合、吐出重量測定ユニット８２の液受け部９６の位置をキャリッジ３のヘッド５１の位置に合わせる必要があり、各液受け部９６にモータ等の吐出量可変部７９としての駆動部材（図示せず）を配設して、ヘッド５１と相対位置が同じにしている。またさらに好ましくは、吐出重量測定ユニット８２で吐出重量の測定が必要になった場合で、ヘッド５１の位置を液受け部９６の位置と同じになるように相対位置を変更して吐出し、その後、基体１０Ａに吐出する位置にヘッド５１を復帰する方法がある。
【０１２５】
図１１は、吐出検出ユニットの断面図である。吐出検出ユニット８０は、ヘッド５１の複数のノズル５２から液状の材料１１が吐出されているか否かをそれぞれのノズル５２について検出するものである。吐出検出ユニット８０は、メンテナンス装置８の１つとして移動台８１の上に配設され、吐出検出ユニット基体９８の上に液受け部９６と、レーザ光等を発する発光体９５と、レーザ光等を受け取る受光体９４とを備えている。検出処理の際には、キャリッジ３と吐出検出ユニット８０との少なくとも一方が相対位置を変更することで、吐出検出ユニット８０の上方にキャリッジ３が位置するように、予め、ヘッド５１のノズル列５３，５４の位置をプログラムして記憶部としてのＥＥＰＲＯＭ１０２に記憶させておく。このノズル列５３，５４の位置データに基づいて、第２位置制御装置４がキャリッジ３の相対位置を変更する。発光体９５と受光体９４とが１対の場合は、発光体９５と受光体９４との光路上に１つのノズル列からの液滴の理想軌道が交差するようにキャリッジ３の相対位置を変更し停止する。
【０１２６】
制御部７は、ヘッド駆動制御部１１４に対して光路上に位置する１つのノズル列のノズル５２の１つに液状の材料１１を吐出する。液状の材料１１が吐出されれば、光路が吐出された液状の材料１１により遮断され受光体９４によって吐出されたことが検出される。また、液状の材料１１が吐出されない場合は、光路が遮断されないため吐出されないことが検出される。制御部７は、吐出する信号を送ったノズル５２のデータと、受光体９４で検出された吐出結果データとを記憶部としてのＲＡＭ１０３に一旦記憶する。１つのノズル列の検出が終了次第、次のノズル列が上記光路に対応するように、吐出検出ユニット８０に対してキャリッジ３の相対位置を変更し検出を実行する。こうして、すべてのヘッド５１について吐出検出を行い、制御部７は、吐出結果データから吐出されなかったヘッド５１を特定する。この特定されたデータをメンテナンス装置駆動制御部１１６に送り、特定されたヘッド５１だけを吸引する。吸引された後、再び該当するヘッド５１だけの吐出検出を行う。これを繰り返してキャリッジ３に配設されている１９２０個（１６０個ノズル×１２ヘッド）のヘッド５１の吐出ノズルすべての詰りを解消する。
【０１２７】
図１２は、位置決め装置におけるノズルとパレットとの位置調整方法を示す斜視図である。位置決め装置４０は、パレット４４を位置決めするためのテーブル４５と、基本顕微鏡６１および従顕微鏡６２とを備えている。テーブル４５にはＸａ方向の基準となるＸａ方向基準４５ａとＸａ方向と直角なＹａ方向の基準となるＹａ方向基準４５ｂとを備えている。基本顕微鏡６１とテーブル４５との相対位置は、Ｘａ方向基準４５ａとＹａ方向基準４５ｂとからの所定の距離に配設されていればよい。基本顕微鏡６１とテーブル４５との相対位置は変更しないことが原則であるが、ノズルの位置が大幅に相対位置を変更されたヘッド等に対応するために相対位置を変更してもよい。本実施例では、すべてのヘッドのノズル位置を調整する期間は、基本顕微鏡６１とテーブル４５との相対位置は変更しないものとする。
【０１２８】
また、従顕微鏡６２とテーブル４５との相対位置は、基本顕微鏡６１の中心と従顕微鏡６２との中心を結ぶ線がＹａ方向基準４５ｂと平行をなすように配設されている。この場合、Ｘａ方向基準４５ａに平行でもよい。
【０１２９】
次に、前述の位置決め装置４０を使用してパレット４４とヘッド５１のノズル５２との位置調整方法について説明する。まず、パレット４４のＸａ基準面４４ａとＹａ基準面４４ｂをテーブル４５のＸａ方向基準４５ａとＹａ方向基準４５ｂとに押し当てて真空または押下部材で動かないように装着する。Ｘａ基準面４４ａとＹａ基準面４４ｂとを認識しずらい場合には、基準面でない面で構成される角に面部４６を備えておけばよい。そうすれば、面部４６が図１２の紙面の右手前にくるようにパレット４４をテーブル４５に配設すれば間違えることがない。また、パレット４４のいずれかに印を付けておいてもよい。パレット４４の中心部にはヘッド５１の下ヘッド部４３を充分余裕を持って挿入することができるヘッド逃げ穴４４ｃが備えられている。このヘッド逃げ穴４４ｃはヘッド５１の中ヘッド部４２より小さくなるように配設され、パレット４４の上面にヘッド５１が載置される。また、テーブル４５に接触しているパレット４４の底面とヘッド５１が載置される上面との平行度が最小の誤差となるようにパレット４４は加工されている。
【０１３０】
パレット４４に載置されたヘッド５１は、パレット４４に対して比較的自由に動くことができる。そこで、ヘッド５１の上ヘッド部４１をＸａ方向およびＹａ方向に相対位置を変更することができる調整テーブル（図示せず）と、基本顕微鏡６１の中心を中心としてθ方向に回動することができる回転テーブル（図示せず）とで挟持するようにする。調整テーブルを使用して基本顕微鏡６１から観察しながらヘッド５１の基準ノズル５２Ｌを基本顕微鏡６１の中心に合わせ込む。続いて、従顕微鏡６２から観察しながら回転テーブルを使用して副基準ノズル５２Ｒが基本顕微鏡６１の中心と従顕微鏡６２の中心との線上になるように合わせ込む。この状態では、ヘッド５１はパレット４４に対して相対位置を変更することができるため、接着剤等を使用してヘッド５１とパレット４４とを固着する。以下、このヘッド５１とパレット４４とが固着された全体をヘッドセット４７という。このように、位置決め装置４０によって、ヘッド５１の基準ノズル５２Ｌと副基準ノズル５２Ｒおよびパレット４４との相対位置が安定した精度で確保され、複数のパレット４４に対してヘッド５１を所定の相対位置に固着することができる。
【０１３１】
図１３は、ヘッド可変機構部の組立方法を説明する斜視図である。図１２でパレット４４に対してヘッド５１のノズル５２の位置出しが完了したヘッドセット４７をヘッド可変機構部１５０に組み付ける方法について詳述する。まず、スライダ３０をヘッド基体４８に挿着し、４本のねじ７０で固定する。ヘッドセット４７に配設されている面部４６が紙面上の右手前になるようにして、ヘッド基体４８に組み付ける。ヘッドセット４７の底面が挿着されたスライダ３０の上面に当接するまで挿入する。ヘッド基体４８の２つの面には４個のねじ穴３１が配設され、それぞれのねじ穴３１に鋼球３２、ばね３３および止めねじ７１の順にねじ穴３１に組み付ける。止めねじ７１によってばね３３が撓み鋼球３２が付勢される。これによって、ヘッドセット４７はヘッド基体４８の２つの基準面３４に密接される。ヘッド５１とパレット４４とは、接着剤で仮固定されているため、ヘッド押さえ３５を４本のねじ７２でヘッド基体４８に固定し、直接ヘッド５１を押さえて確実に固定する。
【０１３２】
キャリッジ３に配設されたノックピン（図示せず）によって装着されたレールベース３６を４本のねじ７３で固定する。レールベース３６の上に前記ノックピンを共用してレール３７を装着し２本のねじ７４で固定する。モータ１４０をレールベース３６にねじ（図示せず）で固定する。モータ１４０のリードスクリュウ１４１の一端に固定された係合体１４２の板部１４２ａをヘッド基体４８に配設された溝３８に挿入する。２本のスライダピン２９をスライダ３０とレール３７とに配設した１対のスライダ溝２８に挿入する。このとき、ヘッドチューブ１３ａをレール３７の長孔３７ａに入れる。スライダピン２９が抜けないように止め板３９を２本のねじ７５でレール３７に固定する。
【０１３３】
このようにして組み付けられたヘッド可変機構部１５０は、２本のスライダピン２９を介してレール３７の上の相対位置を変更することができる。つまり、ヘッド５１がキャリッジ３に対して相対位置を変更することができる。モータ１４０による駆動方法は図１４で詳述する。
【０１３４】
図１４（ａ）は、ヘッド可変機構部の平面図であり、図１４（ｂ）は、ヘッド可変機構部の正断面図であり、図１４（ｃ）は、ヘッド可変機構部の右側断面図であり、図１４（ｄ）は、ヘッド可変機構部の左側面図である。同図は、キャリッジ３をステージ５側から観察した図である。ヘッド可変機構部１５０は、キャリッジ３と、レールベース３６と、モータ部１５１と、ヘッド部１５２とを備えている。キャリッジ３とレールベース３６とはノックピン（図示せず）で相対位置が決まっている。レールベース３６はモータ部１５１と、ヘッド部１５２とを備えている。モータ部１５１は、リードスクリュウ１４１と、モータ１４０と、エンコーダ部１４３と、係合体１４２とを備えている。リードスクリュウ１４１は、ねじ状の精度良い溝が螺旋状に形成されている。また、モータ１４０のボールねじ１４４と螺合し、ボールねじ１４４が回転することにより、この回転方向とリードスクリュウ１４１のねじ状の精度良い溝の方向に応じて、リードスクリュウ１４１が前後進する。リードスクリュウ１４１の一端には、係合体１４２が固着されている。係合体１４２は、ヘッド基体４８の溝３８に係合してリードスクリュウ１４１の前後進をヘッド部１５２に伝える。リードスクリュウ１４１は、４本の案内ピン１４５によってガイドされ、モータ部１５１とレール３７との平行度を確保している。
【０１３５】
モータ部１５１は、ハイブリッド型ステッピングモータ（以下、ＨＢＭという）である。ボールねじ１４４の中央部には永久磁石１４６が固着され、この永久磁石１４６を包むように、珪素鋼板等で造られた１対のロータコア１４７がボールねじ１４４に固着されている。ロータコア１４７の外周部には、歯形状の凹凸が形成され永久磁石１４６の磁性をそれぞれの歯部から発している。ロータコア１４７に対向してステータ１４８が配設され、ステータ１４８の外周には、複数のコイル１４９が巻かれ電気的に結線されている。ステータ１４８の中心穴の内周にも歯形状の凹凸が形成され、ロータコア１４７の歯形と対向している。ロータコア１４７は１対のボールベアリング等の軸受け１５３で軸支されている。
【０１３６】
ロータコア１４７には、エンコーダ部１４３のスリット板１５４が固着され、ボールねじ１４４と一体で回動する。スリット板１５４に近接して３対（図示は２対）の発光素子１５５と受光素子１５６とが配設され、スリット板１５４が有するスリット状の孔と孔がない部分とを検出し、モータ１４０の回転角度、回転方向および回転数を知ることができる。エンコーダ部１４３で検出されたデータは一旦記憶部としてのＲＡＭ１０３に記憶される。制御部７は、ＲＡＭ１０３に記憶されているエンコーダ部１４３で検出されたデータを読み出し、キャリッジ３に対するヘッド５１の相対位置の制御を行う。また、１つのレール３７を複数のヘッド部１５２が共用する場合は、制御部７が複数のヘッド部１５２が干渉しないように制御する。
【０１３７】
ヘッド５１には、タンク１２（図１に示す）からチューブ１３を介して、液状の材料１１が供給される。したがって、ヘッド５１と接合されているヘッドチューブ１３ａはヘッド５１に連れて動くため、ヘッド基体４８、レール３７、レールベース３６およびキャリッジ３には、長孔が設けられている。
【０１３８】
モータ部１５１とリードスクリュウ１４１とヘッド部１５２との動きの関係について詳述する。モータ部１５１のステップ数が、例えば、２００ステップとする。１ステップで約１．８度回動することになる。リードスクリュウ１４１のリードピッチが、例えば、０．２ｍｍ（２００μｍ）とする。モータ部１５１が１回転するとリードスクリュウ１４１は０．２ｍｍ前後進することから、モータ部１５１の１ステップ当たりリードスクリュウ１４１は１μｍ（２００μｍ÷２００ステップ）前後進する。ボールねじ１４４とリードスクリュウ１４１との間には、バックラッシュが存在するため、正確に位置制御する場合は、最終位置の手前から一方向に制御することがよい。
【０１３９】
本実施例では、アクチュエータとしてのモータ部がハイブリッド型モータの実施例を示したが、他に圧電型アクチュエータ、静電リニア型アクチュエータ等微小変異ができるアクチュエータを含む。
【０１４０】
図１５は、複数のヘッド可変機構部をキャリッジに装着した平面図である。同図は、ステージ５側からキャリッジ３を観察したものである。キャリッジ３に１２個のヘッド可変機構部１５０が配設されている。１つのヘッド可変機構部１５０に２つのヘッド５１が装着されている。２つのヘッド部１５２は、１つのレール３７を共用してそれぞれ専用のモータ１４０で単独に制御できるようになっている。１２個のヘッド可変機構部１５０は紙面の上から順に１５０ａ〜１５０ｌとする。ヘッド部１５２の可動範囲はＴの範囲となる。この範囲内であれば、ヘッド部１５２同士が干渉しない限り任意にヘッド部１５２を配設することができる。したがって、基体１０Ａの被吐出部２１の形状が変更に成った場合、或いは基体１０Ａの機種が多数ある場合に、外部情報処理装置１０８の吐出データをＩ／Ｏポート１０７を介して読み込み、読み込んだ吐出データに基づいて制御部７は処理部１１０に吐出データを送り、処理部１１０で解析されたヘッド位置データをヘッド可変機構制御部１１５に送り、ヘッド位置信号をモータ１４０に送り、ヘッド部１５２を所望の位置に変更する。各ヘッド可変機構部１５０の各ヘッド５１の基準ノズル５２Ｌとの相対間隔ＧＸＰと、基準ノズル５２Ｌとノズル列５４の最も左側のノズルとのＸ軸方向距離Ｌとの組み合わせで任意の組み合わせができる。各ヘッド５１との相関関係は、図７および図８と重複するため省略する。
【０１４１】
以下、第１の実施例の効果を記載する。
（１）キャリッジ３に載置された複数のヘッド５１をヘッド可変機構部１５０によってキャリッジ３またはステージ５に対して相対位置を変更することによって、任意の相対位置の組み合わせを得ることができる。この結果、多様なピッチで並ぶターゲット（被吐出部２１）に対応できる液滴吐出装置１が得られる。
【０１４２】
（２）ステージ５に対してキャリッジ３が相対位置を変更する期間に、キャリッジ３に載置された複数のヘッド５１間の相対位置を変更することによって、さらに多様なピッチで並ぶターゲット（被吐出部２１）に対応できる液滴吐出装置が得られる。
【０１４３】
（３）ヘッド５１をＹ軸方向またはＸ軸方向に平行に配設されるヘッド５１間の相対位置がヘッド５１の所定値のノズルピッチＨＸＰを複数のヘッド５１が等分してグループ（５１ｇ）を構成している。このヘッド群５１Ｇを構成する各ヘッド５１の組合せは一定ではなく、ヘッド可変機構部１５０によって各ヘッド５１間の相対位置を変更するようにして、多様なピッチで並ぶターゲット（被吐出部２１）に対して最も生産性の良い組合せにすることができる。
【０１４４】
（４）キャリッジ３に複数のヘッド群５１Ｇを構成し、各ヘッド群５１Ｇでの所定値のノズルピッチＨＸＰを等分する寸法は一定ではなく、また、ヘッド群５１Ｇのヘッド５１の構成も一定ではない。このため、ヘッド可変機構部１５０によってこれらのヘッド群５１Ｇの異なる所定値のノズルピッチＨＸＰを等分割した相対位置に対応したヘッド５１の相対位置を変更することによって、さらに多様なピッチで並ぶターゲット（被吐出部２１）に対応できる液滴吐出装置が得られる。
【０１４５】
（５）Ｎ個の複数のヘッド５１から、選択されたＭ個のヘッド５１によって１つ以上のヘッド群５１Ｇを構成し、各ヘッド５１間の相対位置が射像点のピッチが所定値としてのノズルピッチＨＸＰの１／Ｍとなる相対位置にヘッド可変機構部１５０によって配置されることにより、さらに多様なピッチで並ぶターゲット（被吐出部２１）に対応できる液滴吐出装置が得られる。
【０１４６】
（６）キャリッジ３またはステージ５に対する複数のヘッド５１の相対位置をヘッド可変機構部１５０が備えているアクチュエータによって、複数のヘッド５１間の相対位置を精度良く制御することができる。また、液滴吐出装置１で製造される基板は粉塵を嫌うものが多く、アクチュエータもこれに対応したものが採用され歩留りの良い製造を実現している。
【０１４７】
（７）アクチュエータを駆動制御する制御部７またはヘッド可変機構制御部１１５を備えることによって、ヘッド可変機構部１５０による各ヘッド５１の動きと、ステージ５、キャリッジ３の動きおよび各ヘッド５１からの液状の材料１１の吐出のタイミングを確実に制御することができる。
【０１４８】
（８）ステージ５と比較してキャリッジ３のサイズが小さい場合は、ステージ５のＹ軸方向の往復する相対位置の変更と、キャリッジ３のＸ軸方向の相対位置の変更とが繰り返されて多種多様な基板のターゲット（被吐出部）２１に対応している。基板が有するターゲット（被吐出部）２１のＸ軸方向またはＹ軸方向のピッチが一様でないものに対応するには、ヘッド可変機構部１５０によりキャリッジ３に対してヘッド５１の相対位置を変更して対応することができる。キャリッジ３がステージ５に対して相対位置を変更している期間に、各ヘッド５１はキャリッジ３に対して相対位置を変更する。このことによって、液滴吐出装置１の稼働率を向上させて、短時間で基板を製造することができる。
【０１４９】
（９）制御部７によってステージ５がキャリッジ３に対してＹ軸方向（第１の方向）に相対位置を変更している期間に、アクチュエータを駆動してキャリッジ３に配設されている複数のヘッド５１間の相対位置を変更しながら、ステージ５に保持されている基体１０Ａのターゲット（被吐出部）２１に対して複数のヘッド５１から液状の材料１１を吐出して、Ｙ軸方向（第１の方向）またはＸ軸方向（第２の方向）に対して傾いたターゲット（被吐出部）２１に対して液状の材料１１の吐出をすることができる。またこれにより、円形状のターゲット（被吐出部）２１に対して塗布することができる。
【０１５０】
（１０）制御部７によってステージ５がキャリッジ３に対して停止している期間に、アクチュエータを駆動してキャリッジ３に対して相対位置を変更しながら、複数のヘッド５１の少なくとも１つのヘッド５１から液状の材料１１を吐出する。これにより、ステージ５とキャリッジ３との相対位置の変更による吐出に加えて、ヘッド５１単体の相対位置を変更しながら吐出することによって、キャリッジ３の相対位置を変更する方向とヘッド５１の相対位置を変更する方向が同方向の場合は、他のヘッド５１が描画する長さよりも長く描画することができる。またこの場合に、吐出頻度を制御することによって濃淡の制御をすることができる。さらに、キャリッジ３の相対位置を変更する方向とヘッド５１の相対位置を変更する方向が反対方向で液状の材料１１を吐出した場合は、他のヘッド５１が描画する長さよりも短く描画することができる。またこの場合に、吐出頻度を制御することによって濃淡の制御をすることができる。さらに、キャリッジ３が停止している期間に、ヘッド５１が相対位置を変更して液状の材料１１を吐出した場合は、特定のターゲット（被吐出部）２１に対して描画することができる。このように、さらに多様なピッチで並ぶターゲット（被吐出部）２１に対応できる液滴吐出装置１が得られる。
【０１５１】
（１１）複数のヘッド５１は、キャリッジ３に対して相対位置を変更するため、ヘッド５１のノズル５２に液状の材料１１等が詰まった場合、吸引ユニット８３が有する複数の吸引部としての弾性体８７が、ヘッド５１が相対位置を変更された相対位置に対応する相対位置に吸引可変部９３によって相対位置を変更することにより、ヘッド５１と吸引部としての弾性体８７とで吸引することができる。このためノズル５２の詰りによる、基板の歩留り向上を実現することができる。
【０１５２】
（１２）吸引ユニット８３と同様に各ヘッド５１から吐出される液状の材料１１の吐出量の管理は、基体に成膜される厚みに影響するため正確な測定が必要である。このため、ヘッド５１と吐出重量測定部９９との相対位置を変更する吐出量可変部７９によって実現している。
【０１５３】
（１３）キャリッジ３が有する複数のヘッド５１に複数のノズル５２を有しており、例えばキャリッジ３に２４個のヘッド５１がある場合、１つのヘッド５１に２列のノズル列５３，５４を有し、１つのノズル列に８０個のノズル５２がある場合は、キャリッジ３上にあるノズル５２の総数は３８４０個となる。この内１つでも液状の材料１１を吐出しないノズル５２があると、基体１０Ａは不良品となる。このため、一つ一つのノズル５２の液状の材料１１の吐出を検出するために、吐出検出ユニット８０に少なくとも一対の発光部としての発光体９５と受光部としての受光部９４とを備え、しかもヘッド５１の１つから液状の材料１１を吐出し、吐出された液状の材料１１によって発光部と受光部との光路が遮断されたことを検出された信号と、制御部７がヘッド５１に対して液状の材料１１を吐出される信号とによって一つ一つのノズル５２からの液状の材料１１の吐出を確認することによって、生産効率を上げることができる。
【０１５４】
（１４）吐出検出ユニット８０で検出された吐出検出データに基づき、制御部７は液状の材料１１が吐出されないノズル５２を特定し、吸引ユニット８３を液状の材料１１が詰っていることが検出された特定のノズル５２を有するヘッド５１に対して吸引することにより、短時間でノズル５２の詰りを解消し、液状の材料１１の吐出不良を未然に防止することができ、不良品の発生を防ぐことができる。
【０１５５】
（１５）キャリッジ３に載置された複数のヘッド５１間の相対位置を変更するヘッド可変機構部１５０によって、多様なピッチで並ぶターゲット（被吐出部）２１に対して液状の材料１１を吐出できるが、各ヘッド５１のノズル５２からの吐出の有無または吐出の量を検出したり計測したりするために吸引ユニット８３と吐出重量測定ユニット８２とが備えられている。このヘッド５１へのメンテナンスを行うために、制御部７は、ヘッド可変機構部１５０を駆動して各ヘッド５１の相対位置を吸引ユニット８３または吐出重量測定ユニット８２の複数の吸引部としての弾性体８７または複数の吐出重量計測部９９の相対位置に対応する位置に変更する。したがって、吐出重量測定ユニット８２の複数の吐出重量計測部９９と吸引ユニット８３の複数の吸引部としての弾性体８７との相対位置は異なっていても対応できるため、液滴吐出装置１の構造を簡単にすることができる。
【０１５６】
（１６）１つのヘッド５１の外形に対するノズル５２全体の位置精度は液滴吐出装置１が必要とする位置精度を満たしていない。そこで、予めパレット４４に対してヘッド５１を位置決めする相対関係に配設されている位置決め装置４０に１つのヘッド５１を１つのパレット４４に載置することでパレット４４に対するヘッド５１のノズル５２の位置を調整して符号させ固着する。固着されたヘッド５１とパレット４４とをキャリッジ３に載置されているヘッド可変機構部１５０に挿着し、押さえ部材としてのヘッド押さえ３５で固着する。この結果、パレット４４に対するヘッド５１のノズル５２全体の位置が精度良く確保され、いずれの複数のヘッド可変機構部１５０へのヘッド５１の着脱・交換が可能となり液滴吐出装置１の稼働率を向上することができる。このような調整方法によって、複数のヘッド５１間の相対位置が精度良く確保され、さらに多様なピッチで並ぶターゲット（被吐出部）２１に対応できる液滴吐出装置１が得られる。
【０１５７】
（１７）本発明の液滴吐出装置１は、多様なピッチで並ぶターゲット（被吐出部）２１に対応できるため、カラーフィルタ基板またはエレクトロルミネッセンス表示装置の基板またはプラズマ表示装置の基板等の態様で実現することができる。
【０１５８】
（１８）ヘッド可変機構部１５０の１つのレール３７を複数のヘッド部１５２が共用するように構成してある。これによれば、キャリッジ３の上により多くのヘッド５１を配設することができ、基体１０Ａの製造時間を短縮することができる。また、制御部７が複数のヘッド部１５２が干渉しないように制御することによって、故障のない液滴吐出装置１を提供することができる。
【０１５９】
（１９）液滴吐出装置１において、ステージ５に対して、キャリッジ３が相対位置を変更する方向（Ｙ軸方向）に直交する方向（Ｘ軸方向）に、複数のノズル５２が並んでいる。このため、Ｘ軸方向に延びた被吐出部２１Ｌに対して、複数のノズル５２からほぼ同時に液状の材料１１を吐出できる。この結果、駆動信号は複数のノズル５２に対して１つでよい。また、一方向に並んだ複数のノズル５２からの吐出タイミングがほぼ同時であるため遅延回路等が不要となり回路構成が簡単になる。この結果、駆動信号の波形が安定し精密な吐出波形を振動子１２４（図５参照）に印加することができる。したがって、ノズル５２からの液状の材料１１の吐出がより安定する。
【０１６０】
（２０）液滴吐出装置１において、ヘッド群５１ＧのＸ軸方向のノズルピッチは、ヘッドのＸ軸方向のノズルピッチのほぼ１／Ｎ倍の長さである。ここで、Ｎはヘッド群５１Ｇに含まれるヘッド５１の数である。このため、液滴吐出装置１のＸ軸方向のノズル線密度が、通常のインクジェット装置のＸ軸方向のノズル線密度よりも高くすることができる。この結果、ステージ５に対して、キャリッジ３をＹ軸方向に１回だけ相対位置を変更する期間内に、Ｘ軸方向に沿ってより細密な着弾パターンを形成できる。
【０１６１】
以下に、他の実施例を掲げるが、実施例１と異なる点のみを記載する。
（実施例２）
【０１６２】
図１６は、複数のヘッド可変機構部をキャリッジに装着した平面図である。キャリッジ３にヘッド可変機構部１５０が１２個（１５０ａ〜１５０ｌ）並んで配設されている。各ヘッド可変機構部１５０は、１つのヘッド部１５２を備えている。レール３７は１つのヘッド部１５２が専有しているため、他のヘッド部１５２との干渉をすることがないため、制御が簡単になる。
【０１６３】
以下、第２の実施例の効果を記載する。
（２１）１つのヘッド可変機構部１５０に１つのヘッド部１５２しかないので、ヘッド部１５２同士の干渉を制御する必要がなく、液滴吐出装置１の制御が簡単になり安価な装置を提供することができる。
（実施例３）
【０１６４】
図１７は、複数のヘッド可変機構部をキャリッジに装着した平面図である。キャリッジ３にヘッド可変機構部１５０が１２個並んで配設されている。各ヘッド可変機構部１５０は、１つのレール３７を共用して２つのヘッド部１５２を備えている。１つのヘッド部１５２には、２つのヘッド５１が備えられている。
【０１６５】
以下、第３の実施例の効果を記載する。
（２２）キャリッジ３が装置の大きさ等の関係から大きくできない場合に、本実施例は、効率良く、より多くのヘッド５１をキャリッジ３に配設することができるため、１回のステージ５の走査で塗布できる範囲が広くなり、短時間で塗布できるようになり製造効率が上がる。
（実施例４）
【０１６６】
図１８（ａ）は、リニア駆動式のヘッド可変機構部の平面図であり、図１８（ｂ）は、リニア駆動式のヘッド可変機構部の正断面図であり、図１８（ｃ）は、リニア駆動式のヘッド可変機構部の左側断面図である。同図は、ステージ５側からキャリッジ３を観察したものである。本実施例は、リニアモータを使った駆動方式のものである。キャリッジ３にノックピン１６５を挿着し、レールベース３６に配設した孔を使ってノックピン１６５に挿入する。レール３７も同様にノックピン１６５に挿入する。このことによってキャリッジ３に対するＸ軸およびＹ軸方向の位置精度を確保することができる。ヘッド部１５２の組み付け方法は図１２および図１３と同様に組み付ける。
【０１６７】
スライダ３０の凹部奥に１対のリニア磁石１６２が固着されている。レール３７の上面には、コイルヨーク１６１とコイル基板１６６とリニアコイル１６０とが重ねられて配設されている。リニアコイル１６０の下部に位置するコイルヨーク１６１は珪素鋼板等で造られ、リニアコイル１６０の隣同士の磁界を閉じる機能を有する。コイル基板１６６とリニアコイル１６０は電気的に結線され、コネクタ１６７を介して、リニア制御部１６８と電気的に接続されている。レール３７の側面には、リニアスケール用センサ１６４が固着され、リニア制御部１６８と電気的に接続されている。スライダ３０の凹部側面には、リニアスケール用センサ１６４に対向して光学式リニアスケール１６３が固着されている。
【０１６８】
リニア磁石１６２は、リニアコイル１６０とほぼ同じピッチで着磁されている。リニア制御部１６８を介してリニアコイル１６０に電流が供給されると、リニアコイル１６０に磁界が発生する。リニア制御部１６８によってリニアコイル１６０に流す電流の向きと、リニア磁石１６２の磁極との制御をすることによってヘッド部１５２は連続して相対位置を変更することができる。
【０１６９】
レール３７の側面に固着されたリニアスケール用センサ１６４は、レーザ等の光を発する発光部と光学式リニアスケール１６３によって反射してきた光を受光する受光部とを備えている。光学式リニアスケール１６３には、光が反射する部分と反射しない部分とを有し、この間隔が規則正しく並べられて、いわゆる光学式のスケールとなっている。受光部で受光された信号はリニア制御部１６８に送られ、ヘッド部１５２の位置データとして記憶される。
【０１７０】
図１９は、リニア駆動式の複数のヘッド可変機構部をキャリッジに装着した平面図である。同図は、ステージ５側からキャリッジ３を観察したものである。キャリッジ３に複数のヘッド可変機構部１５０が配設されている。ヘッド部１５２は、リニアコイル１６０とリニア磁石１６２とで駆動されるため、モータ等との機械的な連結が不必要となる。
【０１７１】
以下、第４の実施例の効果を記載する。
（２３）レール３７の上でリニアコイル１６０とリニア磁石１６２とで駆動されるため、キャリッジ３にヘッド可変機構部１５０を配設する際に任意性が増す。また、機械的な接触部が少なくなったことによって故障しにくくなる。また、粉塵が発生しないためクリーンルーム内での製造に適する液滴吐出装置を提供することができる。
【０１７２】
（２４）
光学式のリニアスケールを使用することによって、ヘッド部１５２の位置精度が向上し、より細密な被吐出部２１に対応できる。
（実施例５）
【０１７３】
図２０（ａ）は、リニア駆動式のヘッド可変機構部の平面図であり、図２０（ｂ）は、リニア駆動式のヘッド可変機構部の正断面図であり、図２０（ｃ）は、リニア駆動式のヘッド可変機構部の左側断面図である。実施例４と比較してレール３７上に複数のヘッド部１５２を配設している。本実施例では、レール３７上に４個のヘッド部１５２を配設する場合について詳述する。レール３７上に４対のリニアコイル１６０（１６０ａ〜ｄ）を配設し、４個のヘッド部１５２（図では２個を図示し他の２個は省略）が有しているそれぞれ１対のリニア磁石１６２ａ，１６２ｂの間隔は、対応するリニアコイル１６０ａ，１６０ｂと同じになっている。したがって、ヘッド部１５２ａは、最も外側の１対のリニアコイル１６０ａを使用し、このリニアコイル１６０ａと同じ位置に１対のリニア磁石１６２ａを配設している。ヘッド部１５２ｂも同様に外側から２番目の１対のリニアコイル１６０ｂを使用している。図示してないが他の２個のヘッド部１５２も同様に順じ１対のリニアコイル１６０ｃ，１６０ｄを使用するようになっている。リニア制御部１６８によって駆動するべきヘッド部１５２に対応するリニアコイル１６０に電流を流し制御される。
【０１７４】
図２１は、リニア駆動式の複数のヘッド可変機構部をキャリッジに装着した平面図である。同図は、ステージ５側からキャリッジ３を観察したものである。キャリッジ３に複数のヘッド可変機構部１５０を配設し、１つのレール３７上に４個のヘッド部１５２をそれぞれに配設してある。ヘッド部１５２の使い方による組み合わせは自由である。ヘッド部１５２をＹ軸方向に６個ずつを１組とした４個のヘッド群５１１Ｇ〜５１４Ｇとしてもよい。各ヘッド群（５１１Ｇ〜５１４Ｇ）の６個のヘッド部１５２は、それぞれのヘッド５１のノズル５２のＸ方向への相対距離が、Ｘ軸方向のノズルピッチＨＸＰ（図４参照）のほぼ１／６倍になっている。また、４個のヘッド群５１１Ｇ〜５１４Ｇの各基準ノズル５２Ｌ間の相対距離はＸ軸方向のノズルピッチＨＸＰの自然数倍の位置に配設されている。４個のヘッド群５１１Ｇ〜５１４Ｇで液状の材料１１が吐出されていない部分は、キャリッジ３を第２位置制御装置４によってＸ軸方向に、Ｘ軸方向のノズルピッチＨＸＰの自然数倍の距離をステージ５に対して相対位置を変更させて、その後、ステージ５をＹ軸方向に走査させて液状の材料１１を吐出して基体１０Ａの全体に吐出する。
【０１７５】
図２２を参照しながら、図２１のキャリッジ３を有する液滴吐出装置１かにの液状の材料１１の吐出方法を詳述する。ステージ５には、複数のバンク２２を有する基体１０Ａが保持されている。また、キャリッジ３には、５個のヘッド５１からなるヘッド群５１１Ｇと５１２Ｇの２組のヘッド群がある。ヘッド群５１１Ｇと５１２ＧとのＸ軸方向の相対距離は、Ｘ軸方向のノズルピッチＨＸＰ（７０μｍ）の自然数倍に設定する。この場合、キャリッジ３に対するヘッド群５１１Ｇと５１２Ｇとの相対位置を、ヘッド可変機構部１５０によって変更して決定する。次に、各ヘッド群５１１Ｇ，５１２Ｇの最も右端上の基準ノズル５２Ｌの位置とステージ５に保持されている基体１０Ａのバンク２２内の最も左端の位置とを第２位置制御装置４によってキャリッジ３をステージ５に対してＸ軸方向に相対位置を変更して決定する。
【０１７６】
ステージ５に基体１０Ａを保持したまま、ステージ５はキャリッジ３に対して第１位置制御装置６によってＹ軸方向に相対位置を変更する。基体１０Ａのバンク２２Ａがノズル列１Ａの直下にきた時に対象ノズル５２ａが液状の材料１１を吐出する。こうしてノズル５２からバンク２２に対して液状の材料１１の吐出が繰り返される。ここでは、バンク２２Ｂがノズル列２Ｂに達して液状の材料１１を吐出してから、ステージ５を最初の位置に戻したものである。１つのバンク２２の中を観察すると、バンク２２の端から順序良く液状の材料１１が吐出されるのではなく、かなり不規則に吐出されている。このことは、隣の液状の材料１１が吐出されてから時間が経過して吐出されるため、吐出された液状の材料１１同士が混ざり合いにくい塗布方法である。
【０１７７】
以下、第５の実施例の効果を記載する。
（２５）本実施例によれば多くのヘッド５１をキャリッジ３上に配設することができるので、１回に塗布できる面積を飛躍的に大きくすることができ、製造時間の大幅な短縮となる。しかも、それぞれのヘッド５１の相対位置は遠隔操作または予めプログラムされたデータに基づき相対位置を変更できるため、基体１０Ａの機種切り替え等を無人化することができる。
（実施例６）
【０１７８】
図２３（ａ）は、可変機構部により、被吐出部のバンクに対してヘッドが相対位置を変更する前の吐出方法の説明図である。図２３（ｂ）は、可変機構部により、被吐出部のバンクに対してヘッドが相対位置を変更した後の吐出方法の説明図である。図２３（ａ）では、ステージ５（図１参照）に保持された基体１０Ａ（図１参照）に設けられた複数のバンク２２の領域に、ヘッド５１が有するノズル５２から液状の材料１１を吐出して所望の基体１０Ａを製造する方法について説明する。キャリッジ３（図１参照）には、複数のヘッド５１が配設され、いくつかのヘッド５１を１つの群にして複数のバンク２２に対応している。
【０１７９】
例えば、ヘッド群５１１Ｇがヘッド５１１、ヘッド５１２およびヘッド５１３の３個のヘッドから構成されている場合について述べる。３個のヘッド５１１，５１２，５１３のＸ軸方向の相対位置は、ヘッド５１におけるノズル列のＸ軸方向のノズルピッチＬＮＰの１／２倍であるノズルピッチＨＸＰの１／３倍ずつＸ軸方向にずれて配設される。つまり、各ヘッド５１間のずれ量は、ノズル列のＸ軸方向のノズルピッチＬＮＰ×１／２×１／（ヘッド群を構成しているヘッド数）で求められる。ここで、「ヘッド５１のＸ軸方向のノズルピッチＨＸＰ」は、ヘッド５１におけるノズル５２のすべてをＹ軸方向に沿ってＸ軸上に射像して得られた複数のノズル像間のピッチに相当する。
【０１８０】
したがって、図２３（ａ）のように各ヘットを階段状に配設しなくてもよい。具体的には、ヘッド５１１の位置がヘッド５１２の位置とでＸ軸方向の相対位置はそのままに、Ｙ軸方向の相対位置を入れ替えることができる。ただし、この場合のヘッド５１１とヘッド５１２のノズルから液状の材料１１が吐出される順番は逆になる。他のヘッド群で余っているヘッド５１は、新たに属するヘッド群のヘッド５１の相対間隔の整数倍された位置に配設される。
【０１８１】
さらに、説明を簡略化するためにヘッド５１におけるノズル列間距離ＤＡと、ヘッド間距離ＤＢと、Ｙ軸方向のバンク列ピッチＢＹＰと、が等しいとして述べる。もちろん、ノズル列間距離ＤＡと、ヘッド間距離ＤＢおよびＹ軸方向のバンク列ピッチＢＹＰとがそれぞれ異なっても同様に行うことができる。
【０１８２】
ステージ５をキャリッジ３に対して相対位置を変更する場合、ステージ５のＹ軸方向の送り量は、ヘッド群５１Ｇおよびバンク２２のＹ軸方向のピッチとで決定される。図２６で詳述する。
【０１８３】
ステージ５がＹ軸方向に相対位置の変更を開始する。初めにバンク列２２Ａがノズル列１Ａの領域に入ると、ノズル１Ａａ，１Ａｂからバンク列２２Ａに液状の材料１１が吐出される。ステージ５がさらに紙面の上方に前進し、バンク列２２Ａがノズル列１Ｂの領域に入ると、ノズル列１Ａは、バンク列２２Ｂの上になる。ヘッド５１１のすべてのノズル（１６０個）から液状の材料１１が吐出される。ヘッド５１１で吐出された所を斜線で示してある。この時点でヘッド５１１はＸ軸方向に相対位置を変更可能な状態になる。つまり、１つのヘッド５１は２列のノズル列５３，５４を有しているため、バンク列ＢＹの２列に吐出し終えると、ノズル列５３，５４を有するヘッド５１は、バンク２２に対してＸ軸方向の別の場所に相対位置を変更できるのである。ヘッド５１にＭ列のノズル列を有している場合は、バンク列ＢＹ２２のＭ列分に液状の材料１１を吐出し終えると、ステージ５が次のノズル列まで相対位置を変更している期間に、ヘッド５１はバンク２２に対してＸ軸方向の別の場所に相対位置を変更することができる。
【０１８４】
図２３（ｂ）は、ヘッド５１１が次のバンク列２２Ｃに対応するため、図２３（ａ）におけるヘッド５１１のヘッド位置５１１ａからヘッド位置５１１ｂにヘッド可変機構部１５０によりバンク２２に対する相対位置を変更した状態を示す。バンク列２２Ｃは、バンク列２２Ａ，２２Ｂよりも、ヘッド群５１ＧのＸ軸方向の相対間隔ＧＸＰ（図８参照）の２つ分紙面の左側に寄っている。したがって、ヘッド５１１の位置を紙面の左側に相対間隔ＧＸＰの２つ分に相当する位置にバンク２２に対する相対位置を変更する。
【０１８５】
このとき、ヘッド５１２は、ヘッド５１３に対して相対位置が同じ、すなわち、図２３（ａ）と同じ位置で、ヘッド５１２のノズル列２Ａのノズルがバンク列２２ａの領域に入る直前にある。ヘッド５１３もバンク列２２ａへの吐出がヘッド５１２より後のため、ヘッド５１２との相対位置を保っている。
【０１８６】
ステージ５は、さらに前進してバンク列２２Ａがヘッド５１２のノズル列２Ａの領域に入ると、ノズル列１Ａは、バンク列２２Ｃの上に達し、ノズル１Ａａ，１Ａｂは液状の材料１１を吐出する。これと同時にノズル列１Ｂは、バンク列２２Ｂ上に達っする。ノズル１Ｂａ，１Ｂｂ，１Ｂｃからは液状の材料１１は吐出されない。ノズル列２Ａのノズル２Ａａ，２Ａｂから液状の材料１１をバンク列２２Ａに吐出する。
【０１８７】
ステージ５は、さらに前進してバンク列２２Ａがヘッド５１２のノズル列２Ｂの領域に侵入する。これと同時に、バンク列２２Ｂは、ノズル列２Ａの領域に侵入する。バンク列２２Ｃは、ノズル列１Ｂの領域に侵入する。これと同時に、バンク列２２Ｄは、ノズル列１Ａの領域に侵入する。境界壁２５上に位置していない、ノズル５２からほぼ同時に液状の材料１１がバンク２２に吐出される。
【０１８８】
この様に順次ヘッド群５１２Ｇとバンク２２との相対位置の変更と吐出を繰り返していく。ヘッド５１２のノズル列２Ａ，２Ｂのバンク列２２Ａ，２２Ｂへの吐出が終了すると、ヘッド５１２は、Ｘ軸方向のバンク２２に対する相対位置を５１２ａから５１２ｂの位置に変更する。このとき、ヘッド５１３は、バンク列２２Ｂへの吐出が終了するまで、以前の位置を保持する。ヘッド５１２のノズル列２Ｂが吐出した所までの、吐出状況を示す。黒丸は、ヘッド５１１が吐出した箇所であり、斜線で示した丸がヘッド５１２が吐出した箇所を示す。
【０１８９】
ところで、ヘッド５１３は、バンク列２２Ａ，２２Ｂには液状の材料１１を吐出するが、バンク列２２Ｃ以降すべてのノズルが境界壁２５上に位置するようになるため、液状の材料１１の吐出はまったく行われない。ヘッド５１を休止することは、生産効率上も好ましくないことである。そこで、ヘッド５１３は、ヘッド５１４の位置に相対位置を変更するようにすれば、すべてのノズル５２を使用することができる。また、ヘッド５１４はこのヘッド群には不要となるため、他のヘッド群で使用されるようにバンク２２に対する相対位置を変更する。この場合、他のヘッド群は隣り合うヘッド群とは限らない。
【０１９０】
逆に、３個のヘッド（５１１，５１２および５１３）では、バンク列２２Ｃ以降の塗布ができないため、ヘッド５１４，５１５は他のヘッド群から相対位置の変更をしてヘッド群５１２Ｇに加えられたものである。
【０１９１】
基体１０Ａの被吐出部２１がキャリッジ３より大きい場合は、ステージ５の１回の走査では塗布できないため、キャリッジ３をＸ軸方向にステージ５に対して相対位置を変更して、再びステージ５を吐出走査する。この場合、キャリッジ３がステージ５に対して相対位置を変更している期間内にすべてのヘッド５１は、ステージ５が１回目の吐出走査を始めるときの位置にキャリッジ３に対して相対位置を変更する。
【０１９２】
このように、ヘッド５１のキャリッジ３およびバンク２２に対する相対位置を変更する距離および方向は一定なものではなく、バンク２２の形状、ピッチおよび液状の材料１１の種類によって異なるものである。また、基体１０Ａが有する被吐出部２１のバンク２２のＹ軸方向のピッチが異なる場合も同様に対応できる。
【０１９３】
以下、第６の実施例の効果を記載する。
（２６）キャリッジ３に載置された複数のヘッド５１をヘッド可変機構部１５０によって相対位置を変更することによって任意の相対位置の組み合わせを得ることができる。この結果、多様なピッチで並ぶターゲット（被吐出部２１）に対応できる液滴吐出装置１が得られる。
【０１９４】
（２７）ステージ５がキャリッジ３に対してＹ軸方向に相対位置を変更している期間に、キャリッジ３に載置された複数のヘッド５１間の相対位置を変更することによって、ターゲット（被吐出部２１）のＸ軸方向およびＹ軸方向のピッチが異なる場合に対応できる。
【０１９５】
（２８）キャリッジ３上でヘッド５１の相対位置を変更することによって、キャリッジ３が有するヘッド５１を有効に活用して、短時間で製造することができる液滴吐出装置１を提供できる。
【０１９６】
（２９）多様なピッチで並ぶターゲット（被吐出部２１）に対して、ステージ５がＹ軸方向に１走査するだけで対応することができる。
【０１９７】
（３０）ステージ５の２回目の吐出走査を行う場合に、キャリッジ３の相対位置を変更する必要がある。キャリッジ３上のすべてのヘッド５１はこのキャリッジ３が相対位置を変更している期間内に、所定の位置に相対位置を変更するため、生産効率性に優れている。また、ステージ５に被吐出部２１の異なる基体１０Ａが供給された場合も、予め用意されている走査プログラムを読み込むだけで容易に対応できる。
（実施例７）
【０１９８】
図２４（ａ）は、可変機構部により、被吐出部のバンクに対してヘッドが相対位置を変更する前の吐出方法の説明図である。図２３（ｂ）は、可変機構部により、被吐出部のバンクに対してヘッドが相対位置を変更した後の吐出方法の説明図である。図２３（ａ）では、ステージ５（図１参照）に保持された基体１０Ａ（図１参照）に設けられた複数のバンク２２の領域に、ヘッド５１が有するノズル５２から液状の材料１１を吐出して所望の基体１０Ａを製造する。キャリッジ３（図１参照）には、複数のヘッド５１が配設され、いくつかのヘッド５１を１つの群にして複数のバンク２２に対応している。
【０１９９】
例えば、ヘッド群５１１Ｇがヘッド５１１とヘッド５１２との２個のヘッドから構成されている場合について述べる。２個のヘッド５１１，５１２のＸ軸方向の相対位置は、ヘッド５１におけるノズル列のＸ軸方向のノズルピッチＬＮＰの１／２倍であるノズルピッチＨＸＰの１／２倍ずつＸ軸方向にずれて配設される。つまり、各ヘッド５１間のずれ量は、ノズル列のＸ軸方向のノズルピッチＬＮＰ×１／２×１／（ヘッド群を構成しているヘッド数）で求められる。ここで、「ヘッド５１のＸ軸方向のノズルピッチＨＸＰ」は、ヘッド５１におけるノズル５２のすべてをＹ軸方向に沿ってＸ軸上に射像して得られた複数のノズル像間のピッチに相当する。
【０２００】
さらに、説明を簡略化するためにヘッド５１におけるノズル列間距離ＤＡと、ヘッド間距離ＤＢと、Ｙ軸方向のバンク列ピッチ１ＢＹＰとが等しいとして述べる。もちろん、ノズル列間距離ＤＡと、ヘッド間距離ＤＢと、Ｙ軸方向のバンク列ピッチ１ＢＹＰとがそれぞれ異なっても同様に行うことができる。
【０２０１】
ステージ５をキャリッジ３に対して相対位置を変更する場合、ステージ５のＹ軸方向の送り量は、ヘッド群５１１Ｇおよびバンク２２のＹ軸方向のバンク列ピッチＢＹＰとで決定される。図２６で詳述する。
【０２０２】
ステージ５がキャリッジ３に対してＹ軸方向に相対位置の変更を開始する。初めにバンク列２２Ａがノズル列１Ａの領域に入ると、ノズル列１Ａのすべてのノズル５２からバンク列２２Ａに液状の材料１１が吐出される。ステージ５がさらに紙面の上方に前進し、ノズル列１Ｂがバンク列２２Ａの領域に入ると、ノズル列間距離ＤＡとＹ軸方向のバンク列ピッチ１ＢＹＰとが等しいため、ノズル列１Ａは、バンク列２２Ｂの領域に入る。つまり、ヘッド５１１のすべてのノズル５２は、バンク２２Ａとバンク２２Ｂの領域に入る。ヘッド５１１のすべてのノズル（１６０個）から液状の材料１１がバンク２２Ａとバンク２２Ｂとに吐出される。この時点でヘッド５１１は被吐出部２１に対してＸ軸方向に相対位置を変更可能な状態になる。つまり、１つのヘッド５１は２列のノズル列５３，５４を有しているため、バンク列ＢＹの２列に吐出し終えると、ノズル列５３，５４を有するヘッド５１は、バンク２２に対してＸ軸方向の別の場所に相対位置を変更できるのである。ヘッド５１にＭ列のノズル列を有している場合は、バンク列ＢＹのＭ列分に液状の材料１１を吐出し終えると、ステージ５が次のノズル列まで相対位置を変更している期間に、ヘッド５１はバンク２２に対してＸ軸方向の別の場所に相対位置を変更することができる。
【０２０３】
図２３（ｂ）は、ヘッド５１１が次のバンク列２２Ｃに対応するため、図２３（ａ）におけるヘッド５１１のヘッド位置５１１ａからヘッド位置５１１ｂにヘッド可変機構部１５０によりバンク２２に対する相対位置を変更した状態を示す。バンク列２２Ｃは、バンク列２２Ａ，２２Ｂよりも、Ｙ軸方向の幅が広い。しかも、ノズル５２から吐出する液状の材料１１の吐出径を大きくしてバンク列２２Ｃに対応する。ヘッド５１１は、図２３（ａ）の位置５１１ａより紙面の右側に１Ｕに相当する位置にバンク２２に対する相対位置を変更する。
【０２０４】
ここで、１Ｕはバンク列２２Ａおよび２２Ｂの吐出径とバンク２２Ｃおよび２２Ｄの吐出径との差の１／２倍に相当する。次に、ヘッド５１２のノズル列２Ａがバンク列２２Ａの領域に入る。ヘッド５１２は、バンク列２２Ａと２２Ｂの塗布が終了していないため、ヘッド位置５１２ａ（図２３（ａ）と同じ位置）でノズル列２Ａのすべてのノズル５２からバンク２２Ａに液状の材料１１を吐出する。次に、ノズル列１Ａがバンク列２２Ｃの領域に入る。制御部７は、ヘッド駆動制御部１１４にヘッド５１１のノズル列１Ａの左から２番目のノズル５２に対応している吐出部１２７に吐出径に相当する強さの信号を与える。または、ノズルの径を大きくして吐出する液状の材料１１の量を多くする。この結果、ヘッド５１１のノズル列１Ａの左から２番目のノズル５２から、バンク列２２Ｃに対応した液状の材料１１の吐出が行われる。
【０２０５】
このように、バンク列ＢＹのノズル列に対するＹ軸方向の相対位置の変更と、選択されたノズル５２からの液状の材料１１の吐出が繰り返されて、ヘッド５１２からバンク列２２Ａおよび２２Ｂへのすべての液状の材料１１の吐出が終了すると、ヘッド５１２は、ヘッド可変機構部１５０によってヘッド位置５１２ａから５１２ｂにバンク２２に対して相対位置を変更する。このときのヘッド５１２の紙面の右側に相対位置を変更する量２Ｕは、ヘッド５１１の相対位置の変更量１Ｕの２倍に相当する。
【０２０６】
また、バンク２２Ｃに対応するには、ヘッド５１１とヘッド５１２だけでは、ノズル５２を配設することができないため、新たにヘッド５１３とヘッド５１４とを他のヘッド群５１Ｇからヘッド可変機構部１５０によってバンク２２に対する相対位置の変更が行われる。この場合、他のヘッド群は隣り合うヘッド群とは限らない。
【０２０７】
基体１０Ａの被吐出部２１がキャリッジ３より大きい場合は、ステージ５の１回の走査では塗布できないため、キャリッジ３をＸ軸方向にステージ５に対して相対位置を変更して、再びステージ５を吐出走査する。この場合、キャリッジ３がステージ５に対して相対位置を変更している期間内にすべてのヘッド５１は、ステージ５が１回目の吐出走査を始めるときの位置にキャリッジ３に対して相対位置を変更する。
【０２０８】
このように、ヘッド５１のキャリッジ３およびバンク２２に対する相対位置を変更する距離および方向は一定なものではなく、バンク２２の形状、ピッチおよび液状の材料１１の種類によって異なるものである。Ｙ軸方向のバンク２２の幅が異なる被吐出部２１の場合であっても対応することができる。
【０２０９】
以下、第７の実施例の効果を記載する。
（３１）Ｙ軸方向のバンク２２の幅が異なる被吐出部２１の場合であっても対応することができる。
（実施例８）
【０２１０】
図２５（ａ）は、ステージを回動する前の吐出方法の説明図であり、図２５（ｂ）は、ステージを回動した後の吐出方法の説明図である。図２５（ａ）では、被吐出部２１としてのバンク２２のＹ軸方向のピッチが等しくない基体１０Ａがステージ５（図１参照）に保持されている。例えば、バンク列２２Ａ，２２Ｃのバンクの幅が同じで、バンク列２２Ｂ，２２Ｄの幅が同じスタイルの被吐出部２１があった場合で、しかも、バンク列２２Ｂ，２２ＤのＸ軸方向の幅が１つのノズル５２で満たされる幅の場合について述べる。ここで基体１０Ａの生産性を考えると、生産性を向上するには単位時間内でのノズル使用数を向上することが重要である。そこで、バンク列２２Ｂ，２２ＤのＸ軸方向の幅が１つのノズル５２で満たされる幅に液状の材料１１を塗布する場合に、図２５（ａ）でステージ５に保持されている方向だけで塗布する方法について述べる。
【０２１１】
バンク列２２Ａ〜２２Ｄ（以降、繰り返すため省略）を１回の塗布走査だけで行うようにするには、ヘッド５１が３個必要となる。そこで３個のヘッド５１１，５１２，５１３をヘッド群５１Ｇとして相対間隔ＧＸＰを計算して配設すると図２５（ａ）のようになる。したがって、この基体１０Ａを１回の塗布走査で行う場合は、常に３個のヘッド５１が必要となる。
【０２１２】
ところが、図２５（ａ）では、バンク列２２Ａ，２２Ｃだけを塗布し、図２５（ｂ）に示すように、基体１０Ａを保持したままステージ５をキャリッジ３に対して直角方向に回動する。ステージ５の回動前に塗布されたバンク列２２Ａ，２２Ｃは既に塗布が終わっているので斜線で示す。ステージ５を回動する前は、Ｘ軸方向にバンク列２２Ｂ，２２Ｄがあったが、ステージ５を回動すると図２５（ｂ）で示すように、バンク列２２Ｅ，２２Ｆ，２２Ｇ，２２Ｈとなる。このバンク列２２Ｅ〜２２ＨのＸ軸方向の幅はノズル５２から吐出される液状の材料１１の２個分の幅となる。そこで、このバンク列２２Ｅに塗布するために必要なヘッド５１は、２個である。したがって、ヘッド５１３は、他のヘッド群に相対位置を変更してバンク列２２Ｅ〜２２Ｈへの液状の材料１１の塗布を、ヘッド５１１，５１２と同時に他のバンク列に施すことができる。このことは、バンク列２２Ｅ〜２２Ｈに塗布する時間が、図２５（ａ）の状態でバンク列２２Ｂ，２２Ｄに塗布する時間に比べて２／３に短縮されているのである。もちろん、図２５（ａ）でのバンク列２２Ａ，２２Ｃを塗布する時間はどちらも変わりない。
【０２１３】
また、ステージ５の相対回動前後で、ヘッド群５１Ｇのヘッド５１間の相対位置を変更することによって、バンク２２に対して、選択的に異なる液状の材料１１を短時間で塗布することができる。このことを回動走査という。
【０２１４】
以下、第８の実施例の効果を記載する。
（３２）キャリッジ３に対してステージ５が相対回動した場合、相対回動の前後で、ヘッド間の相対位置を変更することにより、相対回動前後で、描画する形状を変えることができる。
【０２１５】
（３３）ステージ５の相対回動前後で、描画する形状を変えることにより、塗布時間が大幅に短縮することができる。
【０２１６】
（３４）基体１０Ａの被吐出部２１に異なるピッチ、形状、液状の材料１１の材質を塗布する場合に、ステージ５を回動して塗布することによって、２回目に塗布されるときには、１回目に塗布されたときから時間が経過しているため、１回目に塗布された液状の材料１１が乾燥している。このため、特に、隣り合うバンク２２同士の液状の材料１１の材質が異なる場合は混入を軽減することができる。
（実施例９）
【０２１７】
図２６は、ステージのＹ軸方向の送りピッチの説明図である。バンク２２に対して４個のヘッド５１を１つのヘッド群５１Ｇとして構成している。Ｙ軸方向の配設としては、各ヘッド５１のノズル列５３とノズル列５４とのノズル列間距離ＤＡと、隣り合ったヘッド５１の紙面で下方側のヘッド５１のノズル列５３と隣り合った紙面で上方側のノズル列５４とのヘッド間距離ＤＢと、各バンク２２のＹ軸方向のバンク列ピッチＢＹＰとがステージ５の送りピッチに影響する。
【０２１８】
また、Ｘ軸方向の配設としては、各ヘッド５１の１つのノズル列当たりのノズル数Ｑと、各ヘッド５１の各ノズル列のＸ軸方向のノズルピッチＬＮＰと、各ヘッド５１のＭ個のノズル列をＸ軸方向から見た場合のノズルピッチＨＸＰと、Ｎ個のヘッド５１からなるヘッド群５１ＧのＸ軸方向の例えば基準ノズル５２Ｌの相対間隔ＧＸＰと、液状の材料１１が基体１０Ａの被吐出部２１に吐出された場合のＸ軸方向のノズル径Ｄと、バンク２２のＸ軸方向の位置またはバンク列ピッチＢＸＰとが、ヘッド群５１ＧのＸ軸方向の相対位置を変更する量に影響し、また、ヘッド５１の相対位置を変更する際の相対位置を変更する量にも影響する。
【０２１９】
ヘッド群５１ＧのＸ軸方向のノズル５２の相対間隔ＧＸＰは、ノズルピッチＨＸＰの１／Ｎ倍となる。すなわち、相対間隔ＧＸＰは１つのノズルピッチＨＸＰの中を幾つのヘッド５１で分担して吐出するかを決めると決定する。液状の材料１１が基体１０Ａの被吐出部２１に吐出された場合のＸ軸方向のノズル径Ｄは、ノズルの直径と、吐出する速度と、ノズルとバンク間の距離と、液状の材料１１のバンク領域に対する表面張力係数と、液状の材料１１の溶剤比率とから決定される。バンク２２のＸ軸方向の位置およびピッチは、製品としての機能から決定される。
【０２２０】
ステージ５のＹ軸方向の送りピッチを決定する方法について述べる。ここでは、複数のバンク２２のＹ軸方向のバンク列ピッチＢＹＰが等間隔ピッチであり、Ｘ軸方向の位置が一致している場合について述べる。また、ノズル５２から吐出された液状の材料１１の液滴１つがバンク２２の幅にほぼ等しいものとする。バンク列ピッチＰａ〜Ｐｆは、各バンク２２のＹ軸方向の中心線をそれぞれ延長し一括りにして模式図化したものである。ステージ５に保持されている基体１０Ａの相対位置が変更される動きを代行して、バンク列ピッチＰａ〜ＰｆがＹ軸方向に相対位置を変更するようにして述べる。バンク列ピッチＰａのバンク２２の中心線を示す紙面での横線を紙面の上側から「１，２，３，４，５，６，７」とする。「１」は、「Ｐａ１」と表記する。また、各ヘッド５１のノズル列の中心線をノズル列と表記し、紙面の下側から「ＮＬ１〜ＮＬ８」と表記する。
【０２２１】
基体１０Ａ（図１参照）がステージ５に保持されて、キャリッジ３に対してＹ軸方向に相対位置の変更を始め、バンク２２の中心線Ｐａ１とノズル列ＮＬ１が一致した位置で停止する。ヘッド群５１Ｇのヘッド５１１のノズル列５４の複数のノズル５２の内で、Ｘ軸方向のバンク列２２Ａ（以降、単にバンク列２２Ａのように表記する）のバンクの境界壁２５上に位置するノズル５２は液状の材料１１の吐出を行わない。以降、これらの状態を述べるときは、単に中心線Ｐａ１がノズル列ＮＬ１に位置すると表記する。また、この状態での中心線の先頭の位置を矢印Ｓａのように示す。
【０２２２】
ノズル列ＮＬ１の吐出を終え、ステージ５はＹ軸方向へ前進する。本実施例の場合は、ノズル列間距離ＤＡの方がバンク列ピッチＢＹＰに比較して長いため、中心線Ｐｂ１がノズル列ＮＬ２に達する前に中心線Ｐｂ２がＮＬ１に先に位置する。この中心線Ｐｂ２がＮＬ１に達したときの中心線Ｐｂ１の位置を矢印Ｓｂで示す。先の矢印Ｓａと矢印Ｓｂとの距離を送りピッチＰｙａｂと表記する。
【０２２３】
ステージ５がさらに前進し、中心線Ｐｃ１がノズル列ＮＬ２に位置する。中心線Ｐｃ１の位置は矢印Ｓｃで示され、送りピッチＰｙｂｃは送りピッチＰｙａｂと比較して短くなる。ステージ５がさらに前進し、中心線Ｐｄ３がノズル列ＮＬ１に位置する。中心線Ｐｄ１の位置は矢印Ｓｄで示され、送りピッチＰｙｃｄは送りピッチＰｙｂｃと比較してさらに短くなる。ステージ５がさらに前進し、中心線Ｐｅ２がノズル列ＮＬ２に位置する。中心線Ｐｅ１の位置は矢印Ｓｅで示され、送りピッチＰｙｄｅは送りピッチＰｙｂｃと等しくなる。
【０２２４】
このように、ステージ５が前進していきながら、中心線のいずれかがノズル列のいすれかに達したときに停止し、液状の材料１１の吐出を行いノズル列ＮＬ３〜ＮＬ７とさらに前進していく。すると、ノズル列ＮＬ７以降は、一定の送りピッチＰｙで前進していく。
【０２２５】
ステージ５の送りピッチを決定する要因は、バンク２２のＹ軸方向のバンク列ピッチＢＹＰと、ノズル列間距離ＤＡと、ヘッド間距離ＤＢと、ノズル径Ｄである。ここで、これらの各要因について述べる。バンク２２のＹ軸方向のバンク列ピッチＢＹＰは、一定ではなく製品の機能要求によって２種類のＹ軸方向のバンク列ピッチＢＹＰを有することもあり、また、それ以上の種類を持つＹ軸方向のバンク列ピッチＢＹＰがある。
【０２２６】
ノズル列間距離ＤＡは、キャリッジ３上で一定ではなく液状の材料１１を効率良く吐出するために、２種類以上のノズル列間距離ＤＡを有するヘッド５１を配設して、特定のバンク列ピッチＢＹＰに対応することによって、短時間で効率良く塗布することができる。
【０２２７】
ヘッド間距離ＤＢは、キャリッジ３上で一定ではなく２種類以上のＹ軸方向のバンク列ピッチＢＹＰに効率良く対応するために、いずれかのバンク列ピッチＢＹＰと等しくなるように配設することによって、ノズル列ＮＬとバンク列ピッチＢＹＰとの一致率が飛躍的に向上し、所要生産時間を短縮することができる。
【０２２８】
ノズル径Ｄは、キャリッジ３上で一定ではなく２種類以上のノズル径Ｄを有するヘッド５１を配設し、吐出する液状の材料１１の粘度等の特性に合ったノズル径Ｄを選択して吐出するため、均一で良好な塗布が行えるようになる。また、１つのヘッド５１の中の複数のノズル５２を２種類以上のノズル径Ｄで構成し、特に１つのヘッド５１の両隅付近で生じる吐出量の減少または不安定な吐出量を是正し、１つのヘッド５１での液状の材料１１の吐出量を一定にすることができる。また、バンク２２のサイズは一定ではなく、バンク２２の幅が広いものに対してはノズル径Ｄを大きくして１度に吐出する面積を広くすることによって、ステージ５の送りピッチを大きくできるため効率良く短時間で生産することができる。
【０２２９】
このように、ステージ５の送りピッチは一定ではなく、バンク２２のＹ軸方向のバンク列ピッチＢＹＰと、ノズル列間距離ＤＡと、ヘッド間距離ＤＢと、ノズル径Ｄとの組み合わせにより決定する。これらの組み合わせの中で次の構成にすると容易に効率を上げることができる。ノズル列間距離ＤＡまたはヘッド間距離ＤＢをバンク列ピッチＢＹＰの自然数倍に配設すると、ステージ５の送りピッチが早く一定の送りピッチに達し、ステージ５を制御する制御部７での処理を容易にする。
【０２３０】
ヘッド間距離ＤＢをバンク列ピッチＢＹＰの自然数倍に配設するために、ヘッド可変機構部１５０をキャリッジ３に対してＹ軸方向に相対位置を変更するように構成することによって、多様なバンク２２に容易に対応することができる。
【０２３１】
以下、第９の実施例の効果を記載する。
（３５）１つのヘッド群５１Ｇで活用されないヘッド５１を、他のヘッド群５１Ｇのいずれかの位置に相対位置を変更して新たなヘッド群５１Ｇを形成する。これによれば、キャリッジ３が有する複数のヘッド５１をより多く活用することができ、多様な被吐出部２１に容易に対応することができるとともに生産性を向上することができる。
【０２３２】
（３６）２種類以上のノズル列間距離ＤＡを有するヘッド５１をキャリッジ３に配設する。これによれば、バンク列ピッチＢＹＰが大きく異なる２種類以上のバンク列ピッチＢＹＰと等しいノズル列間距離ＤＡを有するヘッド５１で構成することによって、短時間で効率良く液状の材料１１を塗布することができる。
【０２３３】
（３７）２種類以上のＹ軸方向のヘッド間距離ＤＢをいずれかのバンク列ピッチＢＹＰと等しくなるようにキャリッジ３に配設する。これによれば、２種類以上のＹ軸方向のバンク列ピッチＢＹＰに効率良く対応することができために、ノズル列ＮＬとバンク列ピッチＢＹＰとの一致率が飛躍的に向上し、所要生産時間を短縮することができる。
【０２３４】
（３８）２種類以上の異なるノズル径Ｄを有する複数のヘッド５１をキャリッジ３上に配設する。これによれば、吐出する液状の材料１１の粘度等の特性に合ったノズル径Ｄを選択して吐出することができるため、均一で良好な塗布が行えるようになる。
【０２３５】
（３９）１つのヘッド５１の中の複数のノズル５２を２種類以上のノズル径Ｄで構成する。これによれば、特に１つのヘッド５１の両隅付近で生じる吐出量の減少または不安定な吐出量を是正し、１つのヘッド５１での液状の材料１１の吐出量を一定にすることができる。
【０２３６】
（４０）バンク２２の幅が広いものに対してはノズル径Ｄを大きくして１度に吐出する面積を広くすることによって、ステージ５の送りピッチを大きくできるため効率良く短時間で生産することができる。
【０２３７】
（４１）ノズル列間距離ＤＡまたはヘッド間距離ＤＢをバンク列ピッチＢＹＰの自然数倍に配設する。これによれば、ステージ５の送りピッチが少ないピッチ送りで一定の送りピッチに達し、ステージ５を制御する制御部７での処理を容易にすることができる。
【０２３８】
（４２）ヘッド可変機構部１５０をキャリッジ３に対してＹ軸方向に相対位置を変更するように構成し、ヘッド間距離ＤＢをバンク列ピッチＢＹＰの自然数倍に配設する。これによれば、多様なバンク２２に容易に対応することができるとともに、キャリッジ３を他のキャリッジ３に交換する等の手間がなくなり、生産性を向上することができる。
（実施例１０）
【０２３９】
図２７は、ステージがＹ方向に相対位置を変更する期間に、ヘッド可変機構部がキャリッジに対して相対位置を変更しつつ吐出する方法の説明図である。ステージ５が基体１０Ａ（図１参照）を保持し、基体１０Ａには被吐出部２１（図１参照）としての金属配線２６がバンク２２と境界壁２５とで基体１０Ａの上に生成されている。金属配線２６は、電気素子等の足部をハンダ等で基体１０Ａに固定するハンダ部２６ａ，２６ｂと、ハンダ部２６ａとハンダ部２６ｂとを電気的に接続するための連結部２６ｃとからなっている。この電気配線２６は、基体１０Ａ上にＸ軸方向およびＹ軸方向に複数配列されている。本実施例では、その中の１つの金属配線２６について述べる。
【０２４０】
この金属配線２６に対応するために、キャリッジ３（図１参照）にはヘッド可変機構部１５０（前記実施例参照）に載置されヘッド群５１Ｇを構成する、３個のヘッド５１１，５１２，５１３がある。ヘッド５１２およびヘッド５１３は、それぞれ別のヘッド可変機構部１５０に載置されるか、または１つのヘッド可変機構部１５０に一緒に載置されている。ヘッド５１３は、単独にヘッド可変機構部１５０に載置されている。ヘッド５１１，５１２，５１３は、ヘッド可変機構部１５０によって、Ｘ軸方向に被吐出部２１としての金属配線２６に対して相対位置を変更することができる。
【０２４１】
ヘッド５１１とヘッド５１２とは、ヘッド群５１Ｇの中でヘッド群５１１Ｇを構成している。ヘッド可変機構部１５０により、同期してＸ軸方向にキャリッジ３上を金属配線２６に対して相対位置を変更することができる。ヘッド５１３は、被吐出部２１としての金属配線２６に対して、連続して液状の材料１１を吐出することができるように吐出信号を調整してある。また、液状の材料１１は、金属配線として適する成分（有機銅、有機鉄、有機アルミニュウム等）を溶剤によって適度な粘性を有するようになっている。基体１０Ａに塗布後に乾燥装置により、溶剤が蒸発し有機物が金属物になる。
【０２４２】
具体的には、ステージ５（図１参照）が金属配線２６に対してＹ軸方向に前進（紙面上の上方に移動）し、金属配線２６のバンク列２２Ａが、ヘッド５１１のノズル列１Ａの領域に侵入すると、ノズル１Ａａによってハンダ部２６ａのバンクの１ＴＢに液状の材料１１が吐出される。さらに、ステージ５（図１参照）が金属配線２６に対してＹ軸方向に前進し、バンク列２２Ａがヘッド５１２のノズル列２Ａの領域に侵入すると、ノズル２Ａａによってハンダ部２６ａのバンクの２ＴＢに液状の材料１１が吐出される。このとき、ヘッド５１１のノズル１Ａａからは液状の材料１１は吐出されない。ここまで状態で、ハンダ部２６ａが製造された。
【０２４３】
次に、ヘッド群５１１Ｇ（ヘッド５１１、ヘッド５１２）は、ハンダ部２６ｂへの吐出を行うために、ヘッド可変機構部１５０によって金属配線２６に対してＸ軸方向に相対位置を変更（紙面上で左側に移動する）し、ノズル１Ａａの中心が、吐出部としての３ＴＢのＹ軸線延長上になった位置で停止して待機する。
【０２４４】
ステージ５（図１参照）が金属配線２６に対してＹ軸方向に前進（紙面上の上方に移動）を開始すると同時に、ヘッド５１３は金属配線２６に対してＸ軸方向に相対位置の変更（紙面の右側に移動）を開始する。このとき、ヘッド５１３のノズル３Ａａから金属配線２６に対して液状の材料１１を連続して吐出し始める。すなわち、被吐出部２１がＹ軸方向に位置を変更している期間に、ヘッド可変機構部１５０によって、ヘッド５１３の被吐出部２１に対する相対位置をＸ軸方向に変更し、ノズル５２から被吐出部２１に液状の材料１１を吐出する。
【０２４５】
ヘッド５１１のノズル１Ａａと、ヘッド５１３のノズル３Ａａとの相対位置が吐出部としての１ＴＢと４ＴＢとの相対位置と同じ関係（対応関係）になっている。すなわち、前述したヘッド５１３のノズル３Ａａが液状の材料１１を吐出し始めた位置は、吐出部としての４ＴＢ上である。
【０２４６】
さらに、ステージ５（図１参照）が金属配線２６に対してＹ軸方向に前進し、ヘッド５１３も金属配線２６に対してＸ軸方向に相対位置を変更しながら、ヘッド５１３のノズル３Ａａから液状の材料１１を吐出し続ける。金属配線２６のバンク列２２Ｂが、金属配線２６に対して相対位置を変更して待機している、ヘッド５１１のノズル列１Ａの領域に侵入するまで、ヘッド５１３のノズル３Ａａから液状の材料１１を吐出し続ける。
【０２４７】
これによって、連結部２６ｃに対して連続して吐出（同図に斜線で示す）することができる。被吐出部２１としての金属配線２６と、ヘッド５１３とが同時に相対位置を変更しながら液状の材料１１を吐出するため、Ｘ軸およびＹ軸に対して傾きを持った形状を基体１０Ａに塗布することができる。
【０２４８】
この場合に、被吐出部２１（ステージ５）とヘッド５１（ヘッド可変機構部１５０）との相対位置を変更する方向によって、Ｘ軸およびＹ軸に対する傾きが決定する。この組み合わせは、次の４通りである。
１．被吐出部２１がヘッド５１に対してＹ軸のプラス方向に相対位置を変更している期間に、ヘッド５１が被吐出部２１に対してＸ軸のプラス方向に相対位置を変更する。
２．被吐出部２１がヘッド５１に対してＹ軸のプラス方向に相対位置を変更している期間に、ヘッド５１が被吐出部２１に対してＸ軸のマイナス方向に相対位置を変更する。
３．被吐出部２１がヘッド５１に対してＹ軸のマイナス方向に相対位置を変更している期間に、ヘッド５１が被吐出部２１に対してＸ軸のプラス方向に相対位置を変更する。
４．被吐出部２１がヘッド５１に対してＹ軸のマイナス方向に相対位置を変更している期間に、ヘッド５１が被吐出部２１に対してＸ軸のマイナス方向に相対位置を変更する。
【０２４９】
この４通りに対応した、少なくとも２個のヘッド５１間の相対位置を、液状の材料１１の吐出を開始して終了するまでの被吐出部２１のＹ軸方向の変移量と、液状の材料１１の吐出を開始して終了するまでのヘッド５１のＸ軸方向の変移量にすることによってなされる。
【０２５０】
また、ヘッド５１から被吐出部２１に対して吐出された吐出形状のＸ軸およびＹ軸に対する傾きは、被吐出部２１およびヘッド５１が変移するスピードを変えることによって変えることができる。ヘッド５１が変移するスピードを一定とした場合に、被吐出部２１が変移するスピードが速くなると、Ｙ軸に対する傾きが小さくなり、逆に、被吐出部２１が変移するスピードが遅くなると、Ｙ軸に対する傾きが大きくなる。また、被吐出部２１が変移するスピードを一定とした場合に、ヘッド５１が変移するスピードが速くなると、Ｘ軸に対する傾きが小さくなり、逆に、ヘッド５１が変移するスピードが遅くなると、Ｘ軸に対する傾きが大きくなる。
【０２５１】
さらに、ステージ５（図１参照）が金属配線２６に対してＹ軸方向に前進し、バンク列２２Ｂがヘッド５１１のノズル列１Ａの領域に侵入すると、相対位置を変更したノズル１１Ａａから被吐出部２１としてのハンダ部２６ｂの吐出部としての３ＴＢに液状の材料１１を吐出する。ヘッド５１３のノズル３Ａａは３１Ａａの位置に金属配線２６に対して相対位置を変更している。ヘッド５１３は、ノズル３１Ａａに達した時点で液状の材料１１の吐出を停止する。
【０２５２】
ヘッド群５１１Ｇはヘッド可変機構部１５０により、ノズルの位置を１１Ａａからノズルの位置１Ａａに復帰する。また、ヘッド５１３は、ノズル位置を３１Ａａから３Ａａに復帰する。さらに、ステージ５（図１参照）は、他の金属配線２６に対してＹ軸方向に前進して、これまでの工程を繰り返す。
【０２５３】
以下、第１０の実施例の効果を記載する。
（４３）ステージ５がキャリッジ３に対して相対位置を変更している期間に、キャリッジ３に載置されたヘッド５１の少なくとも１つのヘッド５１の相対位置を変更し、被吐出部２１に液状の材料１１を吐出することによって、被吐出部２１の表面に傾斜した描画を作り出すことができる。
【０２５４】
（４４）ステージ５がキャリッジ３に対して相対位置を変更している期間に、キャリッジ３に載置されたヘッド５１の少なくとも１つのヘッド５１の相対位置を変更し、被吐出部２１に液状の材料を連続して吐出することによって、被吐出部２１の表面に滑らかな描画を作り出すことができる。
（実施例１１）
【０２５５】
本発明をカラーフィルタ基板１０の製造装置２０１に適用した例を説明する。
図２８（ａ）および（ｂ）に示す基体１０Ａは、後述する製造装置２０１（図２９に示す）による処理を経て、カラーフィルタ基板１０となる基板である。基体１０Ａは、マトリクス状に配置された複数の被吐出部２１８Ｒ、２１８Ｇ、２１８Ｂを有する。
【０２５６】
具体的には、基体１０Ａは、光透過性を有する支持基板２１２と、支持基板２１２上に形成されたブラックマトリクス２１４と、ブラックマトリクス２１４上に形成されたバンク２１６と、を含む。ブラックマトリクス２１４は遮光性を有する材料で形成されている。そして、ブラックマトリクス２１４とブラックマトリクス２１４上のバンク２１６とは、支持基板２１２上にマトリクス状の複数の光透過部分、すなわちマトリクス状の複数の画素領域、が規定されるように位置している。
【０２５７】
それぞれの画素領域において、支持基板２１２、ブラックマトリクス２１４、およびバンク２１６で規定される凹部は、被吐出部２１８Ｒ、被吐出部２１８Ｇ、被吐出部２１８Ｂに対応する。被吐出部２１８Ｒは、赤の波長域の光線のみを透過するフィルタ層１１ＦＲが形成されるべき領域であり、被吐出部２１８Ｇは、緑の波長域の光線のみを透過するフィルタ層１１ＦＧが形成されるべき領域であり、被吐出部２１８Ｂは、青の波長域の光線のみを透過するフィルタ層１１ＦＢが形成されるべき領域である。
【０２５８】
図２８（ｂ）に示す基体１０Ａは、Ｘ軸方向とＹ軸方向との双方に平行な仮想平面上に位置している。そして、複数の被吐出部２１８Ｒ，２１８Ｇ、２１８Ｂが形成するマトリクスの行方向および列方向は、それぞれＸ軸方向およびＹ軸方向と平行である。基体１０Ａにおいて、被吐出部２１８Ｒ、被吐出部２１８Ｇ、および被吐出部２１８Ｂは、Ｙ軸方向にこの順番で周期的に並んでいる。一方、被吐出部２１８Ｒ同士はＸ軸方向に所定の一定間隔をおいて１列に並んでおり、また、被吐出部２１８Ｇ同士はＸ軸方向に所定の一定間隔をおいて１列に並んでおり、そして、被吐出部２１８Ｂ同士はＸ軸方向に所定の一定間隔をおいて１列に並んでいる。なお、Ｘ軸方向およびＹ軸方向は互いに直交する。
【０２５９】
被吐出部２１８Ｒ同士のＹ軸方向に沿った一定間隔ＬＲＹ、すなわちピッチは、ほぼ５６０μｍである。この間隔は、被吐出部２１８Ｇ同士のＹ軸方向に沿ったバンク列ピッチＬＧＹと同じであり、被吐出部２１８Ｂ同士のＹ軸方向に沿ったバンク列ピッチＬＢＹとも同じである。また、被吐出部２１８Ｒの平面像は、長辺と短辺とで決まる矩形である。具体的には、被吐出部２１８ＲのＹ軸方向の長さはほぼ１００μｍであり、Ｘ軸方向の長さはほぼ３００μｍである。被吐出部２１８Ｇおよび被吐出部２１８Ｂも被吐出部２１８Ｒと同じ形状・大きさを有している。被吐出部同士の上記間隔および被吐出部の上記大きさは、４０インチ程度の大きさのハイビジョンテレビにおいて、同一色に対応する画素領域同士の間隔や大きさに対応する。
【０２６０】
図２９に示す製造装置２０１は、図２８の基体１０Ａの被吐出部２１８Ｒ、２１８Ｇ、２１８Ｂのそれぞれに対して、対応するカラーフィルタ材料を吐出する装置である。具体的には、製造装置２０１は、被吐出部２１８Ｒのすべてにカラーフィルタ材料１１Ｒを塗布する液滴吐出装置２００Ｒと、被吐出部２１８Ｒ上のカラーフィルタ材料１１Ｒを乾燥する乾燥装置２５０Ｒと、被吐出部２１８Ｇのすべてにカラーフィルタ材料１１Ｇを塗布する液滴吐出装置２００Ｇと、被吐出部２１８Ｇ上のカラーフィルタ材料１１Ｇを乾燥する乾燥装置２５０Ｇと、被吐出部２１８Ｂのすべてにカラーフィルタ材料１１Ｂを塗布する２００Ｂと、被吐出部２１８Ｂのカラーフィルタ材料１１Ｂを乾燥する乾燥装置２５０Ｂと、カラーフィルタ材料１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂを再度加熱（ポストベーク）する乾燥装置２６０と、ポストベークされたカラーフィルタ材料１１Ｒ，１１Ｇ、１１Ｂの層の上に保護膜２２０を設ける液滴吐出装置２００Ｃと、保護膜２２０を乾燥する乾燥装置２５０Ｃと、乾燥された保護膜２２０を再度加熱して硬化する硬化装置２６５と、を備えている。さらに製造装置２０１は、液滴吐出装置２００Ｒ、乾燥装置２５０Ｒ、液滴吐出装置２００Ｇ、乾燥装置２５０Ｇ、液滴吐出装置２００Ｂ、乾燥装置２５０Ｂ、液滴吐出装置２００Ｃ、乾燥装置２５０Ｃ、硬化装置２６５の順番に基体１０Ａを搬送する搬送装置２７０も備えている。
【０２６１】
図３０に示すように、液滴吐出装置２００Ｒの構成は、実施例１の液滴吐出装置１の構成と基本的に同じである。ただし、タンク１２とチューブ１３に代えて、液滴吐出装置２００Ｒが液状のカラーフィルタ材料１１Ｒ用のタンク２０６Ｒとチューブ２２６Ｒとを備える点で、液滴吐出装置２００Ｒの構成は液滴吐出装置１の構成と異なる。なお、液滴吐出装置２００Ｒの構成要素のうち、液滴吐出装置１の構成要素と同様なものには実施例１と同じ参照符号を付して、重複する説明を省略する。
【０２６２】
液滴吐出装置２００Ｇの構成と、液滴吐出装置２００Ｂの構成と、液滴吐出装置２００Ｃの構成とは、いずれも基本的に液滴吐出装置２００Ｒの構造と同じある。ただし、液滴吐出装置２００Ｒにおけるタンク２０６Ｒとチューブ２２６Ｒとの代わりに、液滴吐出装置２００Ｇがカラーフィルタ材料１１Ｇ用のタンクとチューブとを備える点で、液滴吐出装置２００Ｇの構成は液滴吐出装置２００Ｒの構成と異なる。同様に、タンク２０６Ｒとチューブ２２６Ｒとの代わりに、液滴吐出装置２００Ｂがカラーフィルタ材料１１Ｂ用のタンクとチューブとを備える点で、液滴吐出装置２００Ｂの構成は液滴吐出装置２００Ｒの構成と異なる。さらに、タンク２０６Ｒとチューブ２２６Ｒとの代わりに、液滴吐出装置２００Ｃが保護膜材料用のタンクとチューブとを備える点で液滴吐出装置２００Ｃの構成は液滴吐出装置２００Ｒの構成と異なる。なお、本実施例における液状のカラーフィルタ材料１１Ｒ，１１Ｇ、１１Ｂは、本発明の液状の材料の一例である。
【０２６３】
次に、液滴吐出装置２００Ｒの動作を説明する。液滴吐出装置２００Ｒは、基体１０Ａ上でマトリクス状に配置された複数の被吐出部２１８Ｒに同一の材料を吐出する。なお、実施例１１〜１３において説明するように、基体１０Ａは、エレクトロルミネッセンス表示装置用の基板に置き換わってもよいし、プラズマ表示装置用の背面基板に置き換わってもよいし、電子放出素子を備えた画像表示装置の基板に置き換わってもよい。
【０２６４】
以下では、製造装置２０１によってカラーフィルタ基板１０が得られるまでの一連の工程を説明する。
まず、以下の手順にしたがって図２８の基体１０Ａを作成する。まず、スパッタ法または蒸着法によって、支持基板２１２上に金属薄膜を形成する。その後、フォトリソグラフィー工程によってこの金属薄膜から格子状のブラックマトリクス２１４を形成する。ブラックマトリクス２１４の材料の例は、金属クロムや酸化クロムである。なお、支持基板２１２は、可視光に対して光透過性を有する基板、例えばガラス基板である。続いて、支持基板２１２およびブラックマトリクス２１４を覆うように、ネガ型の感光性樹脂組成物からなるレジスト層を塗布する。そして、そのレジスト層の上にマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム密着させながら、このレジスト層を露光する。その後、レジスト層の未露光部分をエッチング処理で取り除くことで、バンク２１６が得られる。以上の工程によって、基体１０Ａが得られる。
【０２６５】
なお、バンク２１６に代えて、樹脂ブラックからなるバンクを用いても良い。その場合は、金属薄膜（ブラックマトリクス２１４）は不要となり、バンク層は、１層のみとなる。
【０２６６】
次に、大気圧下の酸素プラズマ処理によって、基体１０Ａを親液化する。この処理によって、支持基板２１２と、ブラックマトリクス２１４と、バンク２１６と、で規定されたそれぞれの凹部（画素領域の一部）における支持基板２１２の表面と、ブラックマトリクス２１４の表面と、バンク２１６の表面と、が親液性を呈するようになる。さらに、その後、基体１０Ａに対して、４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理を行う。４フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、それぞれの凹部におけるバンク２１６の表面がフッ化処理（撥液性に処理）され、このことで、バンク２１６の表面が撥液性を呈するようになる。なお、４フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、先に親液性を与えられた支持基板２１２の表面およびブラックマトリクス２１４の表面は若干親液性を失うが、それでもこれら表面は親液性を維持する。このように、支持基板２１２と、ブラックマトリクス２１４と、バンク２１６と、によって規定された凹部の表面に所定の表面処理が施されることで、凹部の表面が被吐出部２１８Ｒ，２１８Ｇ、２１８Ｂとなる。
【０２６７】
なお、支持基板２１２の材質、ブラックマトリクス２１４の材質、およびバンク２１６の材質によっては、上記のような表面処理を行わなくても、所望の親液性および撥液性を呈する表面が得られることもある。そのような場合には、上記表面処理を施さなくても、支持基板２１２と、ブラックマトリクス２１４と、バンク２１６と、によって規定された凹部の表面が被吐出部２１８Ｒ，２１８Ｇ、２１８Ｂである。
【０２６８】
被吐出部２１８Ｒ，２１８Ｇ、２１８Ｂが形成された基体１０Ａは、搬送装置２７０によって、液滴吐出装置２００Ｒのステージ５に運ばれて、ステージ５に載置される。そして、図３１（ａ）に示すように、液滴吐出装置２００Ｒは、被吐出部２１８Ｒのすべてにカラーフィルタ材料１１Ｒの層が形成されるように、ヘッド５１からカラーフィルタ材料１１Ｒを吐出する。具体的には、液滴吐出装置２００Ｒは、図８を参照しながら説明した吐出方法で被吐出部２１８Ｒにカラーフィルタ材料１１Ｒを塗布する。基体１０Ａの被吐出部２１８Ｒのすべてにカラーフィルタ材料１１Ｒの層が形成された場合には、搬送装置２７０が基体１０Ａを乾燥装置２５０Ｒ内に位置する。そして、被吐出部２１８Ｒ上のカラーフィルタ材料１１Ｒを完全に乾燥することで、被吐出部２１８Ｒ上にフィルタ層１１ＦＲを得る。
【０２６９】
次に搬送装置２７０は、基体１０Ａを液滴吐出装置２００Ｇのステージ５に位置する。そして、図３１（ｂ）に示すように、液滴吐出装置２００Ｇは、被吐出部２１８Ｇのすべてにカラーフィルタ材料１１Ｇの層が形成されるように、ヘッド５１からカラーフィルタ材料１１Ｇを吐出する。具体的には、液滴吐出装置２００Ｇは、図８を参照しながら説明した吐出方法で被吐出部２１８Ｇにカラーフィルタ材料１１Ｇを塗布する。基体１０Ａの被吐出部２１８Ｇのすべてにカラーフィルタ材料１１Ｇの層が形成された場合には、搬送装置２７０が基体１０Ａを乾燥装置２５０Ｇ内に位置する。そして、被吐出部２１８Ｇ上のカラーフィルタ材料１１Ｇを完全に乾燥することで、被吐出部２１８Ｇ上にフィルタ層１１ＦＧを得る。
【０２７０】
次に搬送装置２７０は、基体１０Ａを液滴吐出装置２００Ｂのステージ５に位置する。そして、図３１（ｃ）に示すように、液滴吐出装置２００Ｂは、被吐出部２１８Ｂのすべてにカラーフィルタ材料１１Ｂの層が形成されるように、ヘッド５１からカラーフィルタ材料１１Ｂを吐出する。具体的には、液滴吐出装置２００Ｂは、図８を参照しながら説明した吐出方法で被吐出部２１８Ｂにカラーフィルタ材料１１Ｂを塗布する。基体１０Ａの被吐出部２１８Ｂのすべてにカラーフィルタ材料１１Ｂの層が形成された場合には、搬送装置２７０が基体１０Ａを乾燥装置２５０Ｂ内に位置する。そして、被吐出部２１８Ｂ上のカラーフィルタ材料１１Ｂを完全に乾燥することで、被吐出部２１８Ｂ上にフィルタ層１１ＦＢを得る。
【０２７１】
次に搬送装置２７０は、基体１０Ａを、乾燥装置２６０内に位置する。その後、乾燥装置２６０はフィルタ層１１ＦＲ、１１ＦＧ、１１ＦＢを再加熱（ポストベーク）する。
【０２７２】
次に搬送装置２７０は、基体１０Ａを液滴吐出装置２００Ｃのステージ５に位置する。そして、液滴吐出装置２００Ｃは、フィルタ層１１ＦＲ、１１ＦＧ、１１ＦＢ、およびバンク２１６を覆って保護膜２２０が形成されるように、液状の保護膜材料を吐出する。フィルタ層１１ＦＲ，１１ＦＧ、１１ＦＢ、およびバンク２１６を覆う保護膜２２０が形成された後に、搬送装置２７０は基体１０Ａを乾燥装置２５０Ｃ内に位置する。そして、乾燥装置２５０Ｃが保護膜２２０を完全に乾燥させた後に、硬化装置２６５が保護膜２２０を加熱して完全に硬化することで、基体１０Ａはカラーフィルタ基板２２２となる。
【０２７３】
以下、第１１の実施例の効果を記載する。
（４５）本実施例によれば、液滴吐出装置２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂのそれぞれにおいて、ヘッド群５１ＧのＸ軸方向のノズルピッチは、ヘッド５１のＸ軸方向のノズルピッチの１／Ｎ倍の長さである。ここで、Ｎはヘッド群５１Ｇに含まれるヘッド５１の数である。このため、液滴吐出装置２００Ｒ、２００Ｇ、２００ＢのＸ軸方向のノズル線密度が、通常のインクジェット装置のＸ軸方向のノズル線密度よりも高い。したがって、製造装置２０１は、吐出データの相対位置を変更するだけで、さまざまな大きさの被吐出部２１にカラーフィルタ材料を塗布できる。さらに製造装置２０１は、吐出データの相対位置を変更するだけで、さまざまなピッチのカラーフィルタ基板２２２を製造できる。
（実施例１２）
【０２７４】
次に、本発明をエレクトロルミネッセンス表示装置の製造装置２０２に適用した例を説明する。
図３２（ａ）および（ｂ）に示す基体１０Ｂは、後述する製造装置２０２（図３３に示す）による処理によって、エレクトロルミネッセンス表示装置２３０となる基板である。基体１０Ｂは、マトリクス状に配置された複数の被吐出部２３８Ｒ、２３８Ｇ、２３８Ｂを有する。
【０２７５】
具体的には、基体１０Ｂは、支持基板２３２と、支持基板２３２上に形成された回路素子層２３４と、回路素子層２３４上に形成された複数の画素電極２３６と、複数の画素電極２３６の間に形成されたバンク２４０と、を有している。支持基板２３２は、可視光に対して光透過性を有する基板であり、例えばガラス基板である。複数の画素電極２３６のそれぞれは、可視光に対して光透過性を有する電極であり、例えば、ＩＴＯ（Indium-Tin Oxide）電極である。また、複数の画素電極２３６は、回路素子層２３４上にマトリクス状に配置されており、それぞれが画素領域を規定する。そして、バンク２４０は、格子状の形状を有しており、複数の画素電極２３６のそれぞれを囲む。また、バンク２４０は、回路素子層２３４上に形成された無機物バンク２４０Ａと、無機物バンク２４０Ａ上に位置する有機物バンク２４０Ｂとからなる。
【０２７６】
回路素子層２３４は、支持基板２３２上で所定の方向に延びる複数の走査電極と、複数の走査電極を覆うように形成された絶縁膜２４２と、絶縁膜２４２上に位置するともに複数の走査電極が延びる方向に対して直交する方向に延びる複数の信号電極と、走査電極および信号電極の交点付近に位置する複数のスイッチング素子２４４と、複数のスイッチング素子２４４を覆うように形成されたポリイミドなどの層間絶縁膜２４５と、を有する層である。それぞれのスイッチング素子２４４のゲート電極２４４Ｇおよびソース電極２４４Ｓは、それぞれ対応する走査電極および対応する信号電極と電気的に接続されている。層間絶縁膜２４５上には複数の画素電極２３６が位置する。層間絶縁膜２４５には、各スイッチング素子２４４のドレイン電極２４４Ｄに対応する部位にスルーホール２４４Ｖが設けられており、このスルーホール２４４Ｖを介して、スイッチング素子２４４と、対応する画素電極２３６と、の間の電気的接続が形成されている。また、バンク２４０に対応する位置にそれぞれのスイッチング素子２４４が位置している。つまり、図３２（ｂ）の紙面に垂直な方向から観察すると、複数のスイッチング素子２４４のそれぞれは、バンク２４０に覆われるように位置している。
【０２７７】
基体１０Ｂの画素電極２３６とバンク２４０とで規定される凹部（画素領域の一部）は、被吐出部２３８Ｒ、被吐出部２３８Ｇ、被吐出部２３８Ｂに対応する。被吐出部２３８Ｒは、赤の波長域の光線を発光する発光層２１１ＦＲが形成されるべき領域であり、被吐出部２３８Ｇは、緑の波長域の光線を発光する発光層２１１ＦＧが形成されるべき領域であり、被吐出部２３８Ｂは、青の波長域の光線を発光する発光層２１１ＦＢが形成されるべき領域である。
【０２７８】
図３２（ｂ）に示す基体１０Ｂは、Ｘ軸方向とＹ軸方向との双方に平行な仮想平面上に位置している。そして、複数の被吐出部２３８Ｒ，２３８Ｇ、２３８Ｂが形成するマトリクスの行方向および列方向は、それぞれＸ軸方向およびＹ軸方向と平行である。基体１０Ｂにおいて、被吐出部２３８Ｒ、被吐出部２３８Ｇ、および被吐出部２３８Ｂは、Ｙ軸方向にこの順番で周期的に並んでいる。一方、被吐出部２３８Ｒ同士はＸ軸方向に所定の一定間隔をおいて１列に並んでおり、また、被吐出部２３８Ｇ同士はＸ軸方向に所定の一定間隔をおいて１列に並んでおり、同様に、被吐出部２３８Ｂ同士はＸ軸方向に所定の一定間隔をおいて１列に並んでいる。なお、Ｘ軸方向およびＹ軸方向は互いに直交する。
【０２７９】
被吐出部２３８Ｒ同士のＹ軸方向に沿った間隔ＬＲＹ、すなわちピッチは、ほぼ５６０μｍである。この間隔は、被吐出部２３８Ｇ同士のＹ軸方向に沿ったバンク列ピッチＬＧＹと同じであり、被吐出部２３８Ｂ同士のＹ軸方向に沿ったバンク列ピッチＬＢＹとも同じである。また、被吐出部２３８Ｒの平面像は、長辺と短辺とで決まる矩形である。具体的には、被吐出部２３８ＲのＹ軸方向の長さはほぼ１００μｍであり、Ｘ軸方向の長さはほぼ３００μｍである。被吐出部２３８Ｇおよび被吐出部２３８Ｂも被吐出部２３８Ｒと同じ形状・大きさを有している。被吐出部同士の上記間隔および被吐出部の上記大きさは、４０インチ程度の大きさのハイビジョンテレビにおいて、同一色に対応する画素領域同士の間隔や大きさに対応する。
【０２８０】
図３３に示す製造装置２０２は、図３４の基体１０Ｂの被吐出部２３８Ｒ，２３８Ｇ、２３８Ｂのそれぞれに対して、対応する発光材料を吐出する装置である。製造装置２０２は、被吐出部２３８Ｒのすべてに発光材料２１１Ｒを塗布する液滴吐出装置２００Ｒと、被吐出部２３８Ｒ上の発光材料２１１Ｒを乾燥する乾燥装置２５０Ｒと、被吐出部２３８Ｇのすべてに発光材料２１１Ｇを塗布する液滴吐出装置２００Ｇと、被吐出部２３８Ｇ上の発光材料２１１Ｇを乾燥する乾燥装置２５０Ｇと、被吐出部２３８Ｂのすべてに発光材料２１１Ｂを塗布する液滴吐出装置２００Ｂと、被吐出部２３８Ｂ上の発光材料２１１Ｂを乾燥する乾燥装置２５０Ｂと、を備えている。さらに製造装置２０２は、液滴吐出装置２００Ｒ、乾燥装置２５０Ｒ、液滴吐出装置２００Ｇ、乾燥装置２５０Ｇ、液滴吐出装置２００Ｂ、乾燥装置２５０Ｂの順番に基体１０Ｂを搬送する搬送装置２７０も備えている。
【０２８１】
図３４に示す液滴吐出装置２００Ｒは、液状の発光材料２１１Ｒを保持するタンク２０７Ｒと、チューブ２２７Ｒと、チューブ２２７Ｒを介してタンク２０７Ｒから発光材料２１１Ｒが供給される吐出走査部２と、を備える。吐出走査部２の構成は、実施例１の吐出走査部２（図１参照）の構成と同じであるため、同様な構成要素には同一の参照符号を付けるとともに、重複する説明を省略する。また、液滴吐出装置２００Ｇの構成と液滴吐出装置２００Ｂの構成とは、どちらも基本的に液滴吐出装置２００Ｒの構造と同じある。ただし、タンク２０７Ｒとチューブ２２７Ｒとの代わりに、液滴吐出装置２００Ｇが発光材料２１１Ｇ用のタンクとチューブとを備える点で、液滴吐出装置２００Ｇの構成は液滴吐出装置２００Ｒの構成と異なる。同様に、タンク２０７Ｒとチューブ２２７Ｒとの代わりに、液滴吐出装置２００Ｂが発光材料２１１Ｂ用のタンクとチューブとを備える点で、液滴吐出装置２００Ｂの構成は液滴吐出装置２００Ｒの構成と異なる。なお、本実施例における液状の発光材料２１１Ｒ、２１１Ｂ、２１１Ｇは、本発明の液状の材料の一例である。
【０２８２】
図３５において、製造装置２０２を用いたエレクトロルミネッセンス表示装置２３０の製造方法を説明する。まず、公知の製膜技術とパターニング技術とを用いて、図３２に示す基体１０Ｂを製造する。
【０２８３】
次に、大気圧下の酸素プラズマ処理によって、基体１０Ｂを親液化する。この処理によって、画素電極２３６とバンク２４０とで規定されたそれぞれの凹部（画素領域の一部）における画素電極２３６の表面、無機物バンク２４０Ａの表面、および有機物バンク２４０Ｂの表面が、親液性を呈するようになる。さらに、その後、基体１０Ｂに対して、４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理を行う。４フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、それぞれの凹部における有機物バンク２４０Ｂの表面がフッ化処理（撥液性に処理）されて、このことで有機物バンク２４０Ｂの表面が撥液性を呈するようになる。なお、４フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、先に親液性を与えられた画素電極２３６の表面および無機物バンク２４０Ａの表面は、若干親液性を失うが、それでも親液性を維持する。このように、画素電極２３６と、バンク２４０と、によって規定された凹部の表面に所定の表面処理が施されることで、凹部の表面が被吐出部２３８Ｒ、２３８Ｇ、２３８Ｂとなる。
【０２８４】
なお、画素電極２３６の材質、無機物バンク２４０Ａの材質、および有機物バンク２４０Ｂの材質によっては、上記のような表面処理を行わなくても、所望の親液性および撥液性を呈する表面が得られることもある。そのような場合には、上記表面処理を施さなくても、画素電極２３６と、バンク２４０と、によって規定された凹部の表面は被吐出部２３８Ｒ、２３８Ｇ、２３８Ｂである。
【０２８５】
このようにして製造された基体１０Ｂに対して、図３５に示す表面処理が施された複数の画素電極２３６のそれぞれの上に、対応する正孔輸送層２３７Ｒ、２３７Ｇ、２３７Ｂを形成してもよい。正孔輸送層２３７Ｒ、２３７Ｇ、２３７Ｂが、画素電極２３６と、後述の発光層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢと、の間に位置すれば、エレクトロルミネッセンス表示装置の発光効率が高くなる。複数の画素電極２３６のそれぞれの上に正孔輸送層を設ける場合には、正孔輸送層と、バンク２４０と、によって規定された凹部が、被吐出部２３８Ｒ、２３８Ｇ、２３８Ｂに対応する。
【０２８６】
なお、正孔輸送層２３７Ｒ、２３７Ｇ、２３７Ｂをインクジェット法により形成することも可能である。この場合、正孔輸送層２３７Ｒ、２３７Ｇ、２３７Ｂを形成するための材料を含む溶液を各画素領域ごとに所定量塗布し、その後、乾燥することにより正孔輸送層を形成することができる。
【０２８７】
被吐出部２３８Ｒ，２３８Ｇ、２３８Ｂが形成された基体１０Ｂは、搬送装置２７０によって、液滴吐出装置２００Ｒのステージ５に運ばれて、ステージ５に載置される。そして、図３７（ａ）に示すように、液滴吐出装置２００Ｒは、被吐出部２３８Ｒのすべてに発光材料２１１Ｒの層が形成されるように、ヘッド５１から発光材料２１１Ｒを吐出する。具体的には、液滴吐出装置２００Ｒは、図８を参照しながら説明した吐出方法で被吐出部２３８Ｒに発光材料２１１Ｒを塗布する。基体１０Ｂの被吐出部２３８Ｒのすべてに発光材料２１１Ｒの層が形成された場合には、搬送装置２７０が基体１０Ｂを乾燥装置２５０Ｒ内に位置する。そして、被吐出部２３８Ｒ上の発光材料２１１Ｒを完全に乾燥することで、被吐出部２３８Ｒ上に発光層２１１ＦＲを得る。
【０２８８】
次に搬送装置２７０は、基体１０Ｂを液滴吐出装置２００Ｇのステージ５に位置する。そして、図３５（ｂ）に示すように、液滴吐出装置２００Ｇは、被吐出部２３８Ｇのすべてに発光材料２１１Ｇの層が形成されるように、ヘッド５１から発光材料２１１Ｇを吐出する。具体的には、液滴吐出装置２００Ｇは、図８を参照しながら説明した吐出方法で被吐出部２３８Ｇに発光材料２１１Ｇを塗布する。基体１０Ｂの被吐出部２３８Ｇのすべてに発光材料２１１Ｇの層が形成された場合には、搬送装置２７０が基体１０Ｂを乾燥装置２５０Ｇ内に位置する。そして、被吐出部２３８Ｇ上の発光材料２１１Ｇを完全に乾燥することで、被吐出部２３８Ｇ上に発光層２１１ＦＧを得る。
【０２８９】
次に搬送装置２７０は、基体１０Ｂを液滴吐出装置２００Ｂのステージ５に位置する。そして、図３５（ｃ）に示すように、液滴吐出装置２００Ｂは、被吐出部２３８Ｂのすべてに発光材料２１１Ｂの層が形成されるように、ヘッド５１から発光材料２１１Ｂを吐出する。具体的には、液滴吐出装置２００Ｂは、図８を参照しながら説明した吐出方法で被吐出部２３８Ｂに発光材料２１１Ｂを塗布する。基体１０Ｂの被吐出部２３８Ｂのすべてに発光材料２１１Ｂの層が形成された場合には、搬送装置２７０が基体１０Ｂを乾燥装置２５０Ｂ内に位置する。そして、被吐出部２３８Ｂ上の発光材料２１１Ｂを完全に乾燥することで、被吐出部２３８Ｂ上に発光層２１１ＦＢを得る。
【０２９０】
図３５（ｄ）に示すように、次に、発光層２１１ＦＲ，２１１ＦＧ、２１１ＦＢ、およびバンク２４０を覆うように対向電極２４６を設ける。対向電極２４６は陰極として機能する。その後、封止基板２４８と基体１０Ｂとを、互いの周辺部で接着することで、図３５（ｄ）に示すエレクトロルミネッセンス表示装置２３０が得られる。なお、封止基板２４８と基体１０Ｂとの間には不活性ガス２４９が封入されている。
【０２９１】
エレクトロルミネッセンス表示装置２３０において、発光層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢから発光した光は、画素電極２３６と、回路素子層２３４と、支持基板２３２と、を介して射出する。このように回路素子層２３４を介して光を射出するエレクトロルミネッセンス表示装置は、ボトムエミッション型の表示装置と呼ばれる。
【０２９２】
以下、第１２の実施例の効果を記載する。
（４６）本実施例によれば、液滴吐出装置２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂのそれぞれにおいて、ヘッド群５１ＧのＸ軸方向のノズルピッチは、ヘッド５１のＸ軸方向のノズルピッチの１／Ｎ倍の長さである。ここで、Ｎはヘッド群５１Ｇに含まれるヘッド５１の数である。このため、液滴吐出装置２００Ｒ、２００Ｇ、２００ＢのＸ軸方向のノズル線密度が、通常のインクジェット装置のＸ軸方向のノズル線密度よりも高い。したがって、したがって、製造装置２０２は、吐出データの相対位置を変更するだけで、さまざまな大きさの被吐出部に発光材料を塗布できる。さらに製造装置２０２は、吐出データの相対位置を変更するだけで、さまざまなピッチのエレクトロルミネッセンス表示装置を製造できる。
（実施例１３）
【０２９３】
本発明をプラズマ表示装置の背面基板２２４の製造装置２０３に適用した例を説明する。
図３６（ａ）および（ｂ）に示す基体１０Ｃは、後述する製造装置２０３（図３７）による処理によって、プラズマ表示装置の背面基板２２４となる基板である。基体１０Ｃは、マトリクス状に配置された複数の被吐出部２５８Ｒ、２５８Ｇ、２５８Ｂを有する。
【０２９４】
具体的には、基体１０Ｃは、支持基板２５２と、支持基板２５２上にストライプ状に形成された複数のアドレス電極２５４と、アドレス電極２５４を覆うように形成された誘電体ガラス層２５６と、格子状の形状を有するとともに複数の画素領域を規定する隔壁２６１と、を含む。複数の画素領域はマトリクス状に位置しており、複数の画素領域が形成するマトリクスの列のそれぞれは、複数のアドレス電極２５４のそれぞれに対応する。このような基体１０Ｃは、公知のスクリーン印刷技術で形成される。
【０２９５】
基体１０Ｃのそれぞれの画素領域において、誘電体ガラス層２５６および隔壁２６１によって規定される凹部が、被吐出部２５８Ｒ、被吐出部２５８Ｇ、被吐出部２５８Ｂに対応する。被吐出部２５８Ｒは、赤の波長域の光線を発光する蛍光層３１１ＦＲが形成されるべき領域であり、被吐出部２５８Ｇは、緑の波長域の光線を発光する蛍光層３１１ＦＧが形成されるべき領域であり、被吐出部２５８Ｂは、青の波長域の光線を発光する蛍光層３１１ＦＢが形成されるべき領域である。
【０２９６】
図３６（ｂ）に示す基体１０Ｃは、Ｘ軸方向とＹ軸方向との双方に平行な仮想平面上に位置している。そして、複数の被吐出部２５８Ｒ，２５８Ｇ、２５８Ｂが形成するマトリクスの行方向および列方向は、それぞれＸ軸方向およびＹ軸方向と平行である。基体１０Ｃにおいて、被吐出部２５８Ｒ、被吐出部２５８Ｇ、および被吐出部２５８Ｂは、Ｙ軸方向にこの順番で周期的に並んでいる。一方、被吐出部２５８Ｒ同士はＸ軸方向に所定の一定間隔をおいて１列に並んでおり、また、被吐出部２５８Ｇ同士はＸ軸方向に所定の一定間隔をおいて１列に並んでおり、同様に、被吐出部２５８Ｂ同士はＸ軸方向に所定の一定間隔をおいて１列に並んでいる。なお、Ｘ軸方向およびＹ軸方向は互いに直交する。
【０２９７】
被吐出部２５８Ｒ同士のＹ軸方向に沿った間隔ＬＲＹ、すなわちピッチは、ほぼ５６０μｍである。この間隔は、被吐出部２５８Ｇ同士のＹ軸方向に沿ったバンク列ピッチＬＧＹと同じであり、被吐出部２５８Ｂ同士のＹ軸方向に沿ったバンク列ピッチＬＢＹとも同じである。また、被吐出部２５８Ｒの平面像は、長辺と短辺とで決まる矩形である。具体的には、被吐出部２５８ＲのＹ軸方向の長さはほぼ１００μｍであり、Ｘ軸方向の長さはほぼ３００μｍである。被吐出部２５８Ｇおよび被吐出部２５８Ｂも被吐出部２５８Ｒと同じ形状・大きさを有している。被吐出部同士の上記間隔および被吐出部の上記大きさは、４０インチ程度の大きさのハイビジョンテレビにおいて、同一色に対応する画素領域同士の間隔や大きさに対応する。
【０２９８】
図３７に示す製造装置２０３は、図３６の基体１０Ｃの被吐出部２５８Ｒ，２５８Ｇ、２５８Ｂのそれぞれに対して、対応する蛍光材料を吐出する装置である。製造装置２０３は、被吐出部２５８Ｒのすべてに蛍光材料３１１Ｒを塗布する液滴吐出装置３００Ｒと、被吐出部２５８Ｒ上の蛍光材料３１１Ｒを乾燥する乾燥装置３５０Ｒと、被吐出部２５８Ｇのすべてに蛍光材料３１１Ｇを塗布する液滴吐出装置３００Ｇと、被吐出部２５８Ｇ上の蛍光材料３１１Ｇを乾燥する乾燥装置３５０Ｇと、被吐出部２５８Ｂのすべてに蛍光材料３１１Ｂを塗布する液滴吐出装置３００Ｂと、被吐出部２５８Ｂ上の蛍光材料３１１Ｂを乾燥する乾燥装置３５０Ｂと、を備えている。さらに製造装置２０３は、液滴吐出装置３００Ｒ、乾燥装置３５０Ｒ、液滴吐出装置３００Ｇ、乾燥装置３５０Ｇ、液滴吐出装置３００Ｂ、乾燥装置３５０Ｂの順番に基体１０Ｃを搬送する搬送装置３７０も備えている。
【０２９９】
図３８に示す液滴吐出装置３００Ｒは、液状の蛍光材料３１１Ｒを保持するタンク３０１Ｒと、チューブ３１０Ｒと、チューブ３１０Ｒを介してタンク３０１Ｒからカラーフィルタ材料が供給される吐出走査部２と、を備える。吐出走査部２の構成は、実施例１において説明したため重複する説明を省略する。
【０３００】
液滴吐出装置３００Ｇの構成と液滴吐出装置３００Ｂの構成とは、どちらも基本的に液滴吐出装置３００Ｒの構造と同じある。ただし、タンク３０１Ｒとチューブ３１０Ｒとの代わりに、液滴吐出装置３００Ｇが蛍光材料３１１Ｇ用のタンクとチューブとを備える点で、液滴吐出装置３００Ｇの構成は液滴吐出装置３００Ｒの構成と異なる。同様に、タンク３０１Ｒとチューブ３１０Ｒとに代えて、液滴吐出装置３００Ｂが蛍光材料３１１Ｂ用のタンクとチューブとを備える点で、液滴吐出装置３００Ｂの構成は液滴吐出装置３００Ｒの構成と異なる。なお、本実施例における液状の蛍光材料３１１Ｒ、３１１Ｂ、３１１Ｇは、液状の発光材料の一種であり、本発明の液状の材料の一例である。
【０３０１】
製造装置２０３を用いたプラズマ表示装置の製造方法を説明する。まず、公知のスクリーン印刷技術によって、支持基板２５２上に、複数のアドレス電極２５４と、誘電体ガラス層２５６と、隔壁２６１と、を形成して、図３６に示す基体１０Ｃを得る。
【０３０２】
次に、大気圧下の酸素プラズマ処理によって、基体１０Ｃを親液化する。この処理によって、隔壁２６１および誘電体ガラス層２５６によって規定されたそれぞれの凹部（画素領域の一部）の隔壁２６１の表面、誘電体ガラス層２５６の表面が、親液性を呈し、これらの表面が被吐出部２５８Ｒ，２５８Ｇ、２５８Ｂとなる。なお、材質によっては、上記のような表面処理を行わなくても、所望の親液性を呈する表面が得られることもある。そのような場合には、上記表面処理を施さなくても、隔壁２６１と、誘電体ガラス層２５６と、によって規定された凹部の表面は、被吐出部２５８Ｒ，２５８Ｇ、２５８Ｂである。
【０３０３】
被吐出部２５８Ｒ，２５８Ｇ、２５８Ｂが形成された基体１０Ｄは、搬送装置３７０によって、液滴吐出装置３００Ｒのステージ５に運ばれて、ステージ５に載置される。そして、図３９（ａ）に示すように、液滴吐出装置３００Ｒは、被吐出部２５８Ｒのすべてに蛍光材料３１１Ｒの層が形成されるように、ヘッド５１から蛍光材料３１１Ｒを吐出する。具体的には、液滴吐出装置３００Ｒは、図８を参照しながら説明した吐出方法で被吐出部２５８Ｒに蛍光材料３１１Ｒを塗布する。基体１０Ｄの被吐出部２５８Ｒのすべてに蛍光材料３１１Ｒの層が形成された場合には、搬送装置３７０が基体１０Ｄを乾燥装置３５０Ｒ内に位置する。そして、被吐出部２５８Ｒ上の蛍光材料３１１Ｒを完全に乾燥することで、被吐出部２５８Ｒ上に蛍光層３１１ＦＲを得る。
【０３０４】
次に搬送装置３７０は、基体１０Ｄを液滴吐出装置３００Ｇのステージ５に位置する。そして、図３９（ｂ）に示すように、液滴吐出装置３００Ｇは、被吐出部２５８Ｇのすべてに蛍光材料３１１Ｇの層が形成されるように、ヘッド５１から蛍光材料３１１Ｇを吐出する。具体的には、液滴吐出装置３００Ｇは、図８を参照しながら説明した吐出方法で被吐出部２５８Ｇに蛍光材料３１１Ｇを塗布する。基体１０Ｄの被吐出部２５８Ｇのすべてに蛍光材料３１１Ｇの層が形成された場合には、搬送装置３７０が基体１０Ｄを乾燥装置３５０Ｇ内に位置する。そして、被吐出部２５８Ｇ上の蛍光材料３１１Ｇを完全に乾燥することで、被吐出部２５８Ｇ上に蛍光層３１１ＦＧを得る。
【０３０５】
次に搬送装置３７０は、基体１０Ｄを液滴吐出装置３００Ｂのステージ５に位置する。そして、図３９（ｃ）に示すように、液滴吐出装置３００Ｂは、被吐出部２５８Ｂのすべてに蛍光材料３１１Ｂの層が形成されるように、ヘッド５１から蛍光材料３１１Ｂを吐出する。具体的には、液滴吐出装置３００Ｂは、図８を参照しながら説明した吐出方法で被吐出部２５８Ｂに蛍光材料３１１Ｂを塗布する。基体１０Ｄの５０Ａの被吐出部２５８Ｂのすべてに蛍光材料３１１Ｂの層が形成された場合には、搬送装置３７０が基体１０Ｄを乾燥装置３５０Ｂ内に位置する。そして、被吐出部２５８Ｂ上の蛍光材料３１１Ｂを完全に乾燥することで、被吐出部２５８Ｂ上に蛍光層３１１ＦＢを得る。
以上の工程によって、基体１０Ｄはプラズマ表示装置の背面基板２２４となる。
【０３０６】
次に図４０に示すように、背面基板２２４と、前面基板２２５と、を公知の方法によって貼り合わせてプラズマ表示装置２２１が得られる。前面基板２２５は、ガラス基板２６８と、ガラス基板２６８上で互いに平行にパターニングされた表示電極２６６Ａおよび表示スキャン電極２６６Ｂと、表示電極２６６Ａおよび表示スキャン電極２６６Ｂとを覆うように形成された誘電体ガラス層２６４と、誘電体ガラス層２６４上に形成されたＭｇＯ保護層２６２と、を有する。背面基板２２４と前面基板２２５とは、背面基板２２４のアドレス電極２５４と、前面基板２２５の表示電極２６６Ａ・表示スキャン電極２６６Ｂとが、互いに直交するように位置合わせされている。各隔壁２６１で囲まれるセル（画素領域）には、所定の圧力で放電ガス２６９が封入されている。
【０３０７】
以下、第１３の実施例の効果を記載する。
（４７）本実施例によれば、液滴吐出装置３００Ｒ、３００Ｇ、３００Ｂのそれぞれにおいて、ヘッド群５１ＧのＸ軸方向のノズルピッチは、ヘッド５１のＸ軸方向のノズルピッチの１／Ｎ倍の長さである。ここで、Ｎはヘッド群５１Ｇに含まれるヘッド５１の数である。このため、液滴吐出装置３００Ｒ、３００Ｇ、３００ＢのＸ軸方向のノズル線密度が、通常のインクジェット装置のＸ軸方向のノズル線密度よりも高い。したがって、したがって、製造装置２０３は、吐出データの相対位置を変更するだけで、さまざまな大きさの被吐出部に蛍光材料を塗布できる。さらに製造装置２０３は、吐出データの相対位置を変更するだけで、さまざまなピッチのプラズマ表示装置を製造できる。
（実施例１４）
【０３０８】
次に本発明を、電子放出素子を備えた画像表示装置の製造装置２０４に適用した例を説明する。
図４１（ａ）および（ｂ）に示す基体１０Ｅは、後述する製造装置２０４（図４２）による処理によって、画像表示装置の電子源基板２１９となる基板である。基体１０Ｅは、マトリクス状に配置された複数の被吐出部２７８を有する。
【０３０９】
具体的には、基体１０Ｅは、支持基板２７２と、支持基板２７２上に位置するナトリウム拡散防止層２７４と、ナトリウム拡散防止層２７４上に位置する複数の素子電極２７６Ａ、２７６Ｂと、複数の素子電極２７６Ａ上に位置する複数の金属配線２７９Ａと、複数の素子電極２７６Ｂ上に位置する複数の金属配線２７９Ｂと、を備えている。複数の金属配線２７９ＡのそれぞれはＹ軸方向に延びる形状を有する。一方、複数の金属配線２７９ＢのそれぞれはＸ軸方向に延びる形状を有する。金属配線２７９Ａと金属配線２７９Ｂとの間には絶縁膜２７５が形成されているので、金属配線２７９Ａと金属配線２７９Ｂとは電気的に絶縁されている。
【０３１０】
１対の素子電極２７６Ａおよび素子電極２７６Ｂを含む部分は１つの画素領域に対応する。１対の素子電極２７６Ａおよび素子電極２７６Ｂは、互いに所定の間隔だけ離れてナトリウム拡散防止層２７４上で対向している。ある画素領域に対応する素子電極２７６Ａは、対応する金属配線２７９Ａと電気的に接続されている。また、その画素領域に対応する素子電極２７６Ｂは、対応する金属配線２７９Ｂと電気的に接続されている。なお、本明細書では、支持基板２７２とナトリウム拡散防止層２７４とを合わせた部分を支持基板と表記することもある。
【０３１１】
基体１０Ｅのそれぞれの画素領域において、素子電極２７６Ａの一部と、素子電極２７６Ｂの一部と、素子電極２７６Ａと素子電極２７６Ｂとの間で露出したナトリウム拡散防止層２７４とが、被吐出部２７８に対応する。より具体的には、被吐出部２７８は、導電性薄膜４１１Ｆ（図４５）が形成されるべき領域であり、導電性薄膜４１１Ｆは、素子電極２７６Ａの一部と、素子電極２７６Ｂの一部と、素子電極２７６Ａ，２７６Ｂの間のギャップとを覆うように形成される。図４１（ｂ）において点線で示すように、本実施例における被吐出部２７８の平面形状は円形である。このように、本発明の被吐出部の平面形状は、Ｘ座標範囲とＹ座標範囲とで決まる円形でも構わない。
【０３１２】
図４１（ｂ）に示す基体１０Ｅは、Ｘ軸方向とＹ軸方向との双方に平行な仮想平面上に位置している。そして、複数の被吐出部２７８が形成するマトリクスの行方向および列方向は、それぞれＸ軸方向およびＹ軸方向と平行である。つまり、基体１０Ｅにおいて、複数の被吐出部２７８は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に並んでいる。なお、Ｘ軸方向およびＹ軸方向は互いに直交する。
【０３１３】
被吐出部２７８同士のＹ軸方向に沿った間隔ＬＲＹ、すなわちピッチは、ほぼ１９０μｍである。また、被吐出部２７８のＸ軸方向の長さ（Ｘ座標範囲の長さ）はほぼ１００μｍであり、Ｙ軸方向の長さ（Ｙ座標範囲の長さ）もほぼ１００μｍである。被吐出部２７８同士の上記間隔および被吐出部の上記大きさは、４０インチ程度の大きさのハイビジョンテレビにおいて、画素領域同士の間隔や大きさに対応する。
【０３１４】
図４２に示す製造装置２０４は、図４１の基体１０Ｅの被吐出部２７８のそれぞれに対して、導電性薄膜材料４１１を吐出する装置である。具体的には、製造装置２０４は、被吐出部２７８のすべてに導電性薄膜材料４１１を塗布する液滴吐出装置４００と、被吐出部２７８上の導電性薄膜材料４１１を乾燥する乾燥装置４５０と、を備えている。さらに製造装置２０４は、液滴吐出装置４００、乾燥装置４５０の順番に基体１０Ｅを搬送する搬送装置４７０も備えている。
【０３１５】
図４３に示す液滴吐出装置４００は、液状の導電性薄膜材料４１１を保持するタンク４０１と、チューブ４１０と、チューブ４１０を介してタンク４０１から導電性薄膜材料４１１が供給される吐出走査部２と、を備える。吐出走査部２の説明は、実施例１で説明したため省略する。本実施例では、液状の導電性薄膜材料４１１は有機パラジウム溶液である。なお、本実施例における液状の導電性薄膜材料４１１は、本発明の液状の材料の一例である。
【０３１６】
図４４において、製造装置２０４を用いた画像表示装置の製造方法を説明する。まず、ソーダガラスなどから形成された支持基板２７２上に、ＳｉＯ2を主成分とするナトリウム拡散防止層２７４を形成する。具体的には、スパッタ法を用いて支持基板２７２上に厚さ１μｍのＳｉＯ2膜を形成することによってナトリウム拡散防止層２７４を得る。次に、ナトリウム拡散防止層２７４上に、スパッタ法または真空蒸着法によって厚さ５ｎｍのチタニウム層を形成する。そして、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術を用いて、そのチタニウム層から、互いに所定の距離だけ離れて位置する１対の素子電極２７６Ａおよび素子電極２７６Ｂを複数対形成する。
【０３１７】
その後、スクリーン印刷技術を用いて、ナトリウム拡散防止層２７４および複数の素子電極２７６Ａ上にＡｇペーストを塗布して焼成することで、Ｙ軸方向に延びる複数の金属配線２７９Ａを形成する。次に、スクリーン印刷技術を用いて、各金属配線２７９Ａの一部分にガラスペーストを塗布して焼成することで、絶縁膜２７５を形成する。そして、スクリーン印刷技術を用いて、ナトリウム拡散防止層２７４および複数の素子電極２７６Ｂ上にＡｇペーストを塗布して焼成することで、Ｘ軸方向に延びる複数の金属配線２７９Ｂを形成する。なお、金属配線２７９Ｂを作製する場合には、金属配線２７９Ｂが絶縁膜２７５を介して金属配線２７９Ａと交差するようにＡｇペーストを塗布する。以上のような工程によって、図４１に示す基体１０Ｅを得る。
【０３１８】
次に、大気圧下の酸素プラズマ処理によって、基体１０Ｅを親液化する。この処理によって、素子電極２７６Ａの表面の一部と、素子電極２７６Ｂの表面の一部と、素子電極２７６Ａと素子電極２７６Ｂとの間で露出した支持基板の表面とは、親液化される。そして、これらの表面が被吐出部２７８となる。なお、材質によっては、上記のような表面処理を行わなくても、所望の親液性を呈する表面が得られることもある。そのような場合には、上記表面処理を施さなくても、素子電極２７６Ａの表面の一部と、素子電極２７６Ｂの表面の一部と、素子電極２７６Ａと素子電極２７６Ｂとの間で露出したナトリウム拡散防止層２７４の表面とは、被吐出部２７８となる。
【０３１９】
被吐出部２７８が形成された基体１０Ｅは、搬送装置４７０によって、液滴吐出装置４００のステージ５に運ばれて、ステージ５に載置される。そして、図４５に示すように、液滴吐出装置４００は、被吐出部２７８のすべてに導電性薄膜４１１Ｆが形成されるように、ヘッド５１から導電性薄膜材料４１１を吐出する。具体的には、液滴吐出装置４００は、図８を参照しながら説明した吐出方法で被吐出部２７８に導電性薄膜材料４１１を塗布する。本実施例では、被吐出部２７８上に着弾した導電性薄膜材料４１１の液滴の直径が６０μｍから８０μｍの範囲となるように、制御部７はヘッド５１に信号を与える。基体１０Ｅの被吐出部２７８のすべてに導電性薄膜材料４１１の層が形成された場合には、搬送装置４７０が基体１０Ｅを乾燥装置４５０内に位置する。そして、被吐出部２７８上の導電性薄膜材料４１１を完全に乾燥することで、被吐出部２７８上に酸化パラジウムを主成分とする導電性薄膜４１１Ｆを得る。このように、それぞれの画素領域において、素子電極２７６Ａの一部と、素子電極２７６Ｂの一部と、素子電極２７６Ａと素子電極２７６Ｂとの間に露出したナトリウム拡散防止層２７４と、を覆う導電性薄膜４１１Ｆが形成される。
【０３２０】
次に素子電極２７６Ａおよび素子電極２７６Ｂとの間に、パルス状の所定の電圧を印加することで、導電性薄膜４１１Ｆの一部分に電子放出部４１１Ｄを形成する。なお、素子電極７６Ａおよび素子電極７６Ｂとの間の電圧の印加を、有機物雰囲気下および真空条件下でもそれぞれ行うことが好ましい。そうすれば、電子放出部４１１Ｄからの電子放出効率がより高くなるからである。素子電極２７６Ａと、対応する素子電極２７６Ｂと、電子放出部４１１Ｄが設けられた導電性薄膜４１１Ｆと、は電子放出素子である。また、それぞれの電子放出素子は、それぞれの画素領域に対応する。
以上の工程によって、図４５に示すように、基体１０Ｅは電子源基板２２８となる。
【０３２１】
次に図４６に示すように、電子源基板２２８と、前面基板２２９と、を公知の方法によって貼り合わせて画像表示装置２３１が得られる。前面基板２２９は、ガラス基板２８２と、ガラス基板２８２上にマトリクス状に位置する複数の蛍光部２８４と、複数の蛍光部２８４を覆うメタルプレート２８６と、を有する。メタルプレート２８６は、電子放出部４１１Ｄからの電子ビームを加速するための電極として機能する。電子源基板２２８と前面基板２２９とは、複数の電子放出素子のそれぞれが、複数の蛍光部２８４のそれぞれに対向するように、位置合わせされている。また、電子源基板２２８と、前面基板２２９との間は、真空状態に保たれている。
【０３２２】
なお、上記の電子放出素子を備えた画像表示装置２３１は、ＳＥＤ(Surface-Conduction Electron-Emitter Display）またはＦＥＤ（Field Emission Display)と呼ばれることもある。また、本明細書では、液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス表示装置、プラズマ表示装置、電子放出素子を利用した画像表示装置など、を「電気光学装置」と表記することもある。ここで、本明細書でいう「電気光学装置」とは、複屈折性の変化や、旋光性の変化や、光散乱性の変化などの光学的特性の変化（いわゆる電気光学効果）を利用する装置に限定されず、信号電圧の印加に応じて光を射出、透過、または反射する装置全般を意味する。
【０３２３】
以下、第１４の実施例の効果を記載する。
（４８）本実施例によれば、液滴吐出装置４００において、ヘッド群５１ＧのＸ軸方向のノズルピッチは、ヘッド５１のＸ軸方向のノズルピッチの１／Ｎ倍の長さである。ここで、Ｎはヘッド群５１Ｇに含まれるヘッド５１の数である。このため、液滴吐出装置４００のＸ軸方向のノズル線密度が、通常のインクジェット装置のＸ軸方向のノズル線密度よりも高い。したがって、製造装置２０４は、吐出データの相対位置を変更するだけで、さまざまな大きさの被吐出部に導電性薄膜材料を塗布できる。さらに製造装置２０４は、吐出データの相対位置を変更するだけで、さまざまなピッチの電子源基板２２８を製造できる。
【０３２４】
（第１〜１３の実施例の変形例）
（変形例１）ヘッド可変機構部１５０は、Ｘ軸方向にヘッド５１の相対位置を変更する他に、Ｙ軸方向およびその他の方向に相対位置を変更するようにしてもよい。
【０３２５】
（変形例２）複数列あるリニアコイル１６０の間に、珪素鋼板または純鉄等を挟持してもよい。
【０３２６】
前記各実施形態及び変形例から把握される技術的思想を以下に記載する。
（１）請求項１記載の液滴吐出装置において、前記ヘッド可変機構部に１つのヘッドを有することを特徴とする液滴吐出装置。
【０３２７】
（２）請求項１記載の液滴吐出装置において、前記ヘッド可変機構部が有する１つのレールを複数のヘッド部が共用することを特徴とする液滴吐出装置。
【０３２８】
（３）請求項１記載の液滴吐出装置において、前記ヘッド可変機構部が有する複数のヘッド部が干渉しないように制御することを特徴とする液滴吐出装置。
【０３２９】
（４）請求項１記載の液滴吐出装置において、前記ヘッド可変機構部が有する１つのヘッド部に複数のヘッドが備えられていることを特徴とする液滴吐出装置。
【０３３０】
（５）請求項１記載の液滴吐出装置において、前記ヘッド可変機構部が有するリニアコイルとリニア磁石とで駆動されることを特徴とする液滴吐出装置。
【０３３１】
（６）請求項１記載の液滴吐出装置において、前記ヘッド可変機構部が有するリニアコイルとリニア磁石とで駆動され、光学式のリニアスケールと受発光部材により前記ヘッドの位置を測定し、前記測定の結果に基づいて制御部が前記ヘッドの位置を制御することを特徴とする液滴吐出装置。
【０３３２】
（７）請求項１記載の液滴吐出装置において、記憶部に記憶されているヘッド位置および吐出データに基づいて前記ステージに保持される基体の種別の相対位置を変更することを特徴とする液滴吐出装置。
【０３３３】
（８）請求項１記載の液滴吐出装置において、前記ヘッド可変機構部が有する複数のヘッドは、前記ステージが相対位置を変更している期間内に他の相対位置に相対位置を変更することを特徴とする液滴吐出装置。
【０３３４】
（９）請求項１記載の液滴吐出装置において、前記ステージに保持されている基体が有する２種類以上のＹ軸方向のバンク列ピッチの少なくとも１つのバンク列ピッチとヘッド間距離とが等しいことを特徴とする液滴吐出装置。
【０３３５】
（１０）請求項１記載の液滴吐出装置において、前記複数のヘッドの少なくとも１つのヘッドのノズル径が他のヘッドのノズル径と異なることを特徴とする液滴吐出装置。
【０３３６】
（１１）請求項１記載の液滴吐出装置において、前記複数のヘッドの少なくとも１つのヘッドが有するノズルのノズル径が異なることを特徴とする液滴吐出装置。
【０３３７】
（１２）請求項１記載の液滴吐出装置において、前記複数のヘッドのノズル列間距離がバンク列ピッチの自然数倍であることを特徴とする液滴吐出装置。
【０３３８】
（１３）請求項１記載の液滴吐出装置において、前記複数のヘッドのヘッド間距離がバンク列ピッチの自然数倍であることを特徴とする液滴吐出装置。
【０３３９】
（１４）請求項１記載の液滴吐出装置において、前記ヘッド可変機構部が有するヘッドをＹ軸方向に相対位置を変更することを特徴とする液滴吐出装置。
【０３４０】
（１５）請求項１記載の液滴吐出装置において、前記ヘッド可変機構部が有する複数のヘッドのＹ軸方向のヘッド間距離がＹ軸方向のバンク列ピッチの自然数倍であることを特徴とする液滴吐出装置。
【０３４１】
（１６）請求項１記載の液滴吐出装置において、前記ステージが前記キャリッジに対して相対位置を変更している期間に、前記キャリッジに載置された複数のヘッドの少なくとも１つの相対位置を変更させ被吐出部に液状の材料を連続して吐出することを特徴とする液滴吐出装置。
【図面の簡単な説明】
【０３４２】
【図１】実施例１の液滴吐出装置を示す斜視図。
【図２】実施例１の液滴吐出装置の電気ブロック図。
【図３】実施例１のキャリッジをステージ側から観察した平面図。
【図４】実施例１のヘッドが有する複数のノズルの平面図。
【図５】（ａ）は、実施例１のインクジェットヘッド全体の断面斜視図、（ｂ）は、実施例１の吐出部の詳細断面図。
【図６】実施例１の走査期間を説明する液滴吐出装置の平面図。
【図７】（ａ）は実施例１の被吐出部に対して液状の材料を吐出する方法の説明図、（ｂ）は、実施例１の液状の材料が被吐出部に着弾する順序の説明図。
【図８】実施例１のカラーフィルタの受容基板に対する塗布方法の説明図。
【図９】実施例１の吸引ユニットの断面図。
【図１０】実施例１の吐出重量測定ユニットの断面図。
【図１１】実施例１の吐出検出ユニットの断面図。
【図１２】実施例１の位置決め装置におけるノズルとパレットとの位置調整を示す斜視図。
【図１３】実施例１のヘッド可変機構部の組立方法を説明する斜視図。
【図１４】（ａ）は、実施例１のヘッド可変機構部の平面図、（ｂ）は、実施例１のヘッド可変機構部の正断面図、（ｃ）は、実施例１のヘッド可変機構部の右側断面図、（ｄ）は、実施例１のヘッド可変機構部の左側面図。
【図１５】実施例１の複数のヘッド可変機構部をキャリッジに装着した平面図。
【図１６】実施例２の複数のヘッド可変機構部をキャリッジに装着した平面図。
【図１７】実施例３の複数のヘッド可変機構部をキャリッジに装着した平面図。
【図１８】（ａ）は、実施例４のリニア駆動式のヘッド可変機構部の平面図、（ｂ）は、実施例４のリニア駆動式のヘッド可変機構部の正断面図、（ｃ）は、実施例４のリニア駆動式のヘッド可変機構部の左側断面図。
【図１９】実施例４のリニア駆動式の複数のヘッド可変機構部をキャリッジに装着した平面図。
【図２０】（ａ）は、実施例５のリニア駆動式のヘッド可変機構部の平面図、（ｂ）は、実施例５のリニア駆動式のヘッド可変機構部の正断面図、（ｃ）は、実施例５のリニア駆動式のヘッド可変機構部の左側断面図。
【図２１】実施例５のリニア駆動式の複数のヘッド可変機構部をキャリッジに装着した平面図。
【図２２】実施例５のヘッド群の配設方法と吐出方法の説明図。
【図２３】（ａ）は、可変機構部により、被吐出部のバンクに対してヘッドが相対位置を変更する前の吐出方法の説明図、（ｂ）は、可変機構部により、被吐出部のバンクに対してヘッドが相対位置を変更した後の吐出方法の説明図。
【図２４】（ａ）は、実施例７の可変機構部により、被吐出部のバンクに対してヘッドが相対位置を変更する前の吐出方法の説明図、（ｂ）は、実施例７の可変機構部により、被吐出部のバンクに対してヘッドが相対位置を変更した後の吐出方法の説明図。
【図２５】（ａ）は、実施例８のステージを回動する前の吐出方法の説明図、（ｂ）は、実施例８のステージを回動した後の吐出方法の説明図。
【図２６】実施例９のステージのＹ軸方向の送りピッチの説明図。
【図２７】実施例１０のステージがＹ方向に相対位置を変更する期間に、ヘッド可変機構部がキャリッジに対して相対位置を変更しつつ吐出する方法の説明図。
【図２８】実施例１１の基体を示す模式図。
【図２９】実施例１１の製造装置を示す模式図。
【図３０】実施例１１の液滴吐出装置を示す模式図。
【図３１】実施例１１の製造方法を示す模式図。
【図３２】（ａ）および（ｂ）は実施例１２の基体を示す模式図。
【図３３】実施例１２の製造装置を示す模式図。
【図３４】実施例１２の液滴吐出装置を示す模式図。
【図３５】実施例１２の製造方法を示す模式図。
【図３６】（ａ）および（ｂ）は実施例１３の基体を示す模式図。
【図３７】実施例１３の製造装置を示す模式図。
【図３８】実施例１３の液滴吐出装置を示す模式図。
【図３９】実施例１３の製造方法を示す模式図。
【図４０】実施例１３の製造方法を示す模式図。
【図４１】（ａ）および（ｂ）は実施例１４の基体を示す模式図。
【図４２】実施例１４の製造装置を示す模式図。
【図４３】実施例１４の液滴吐出装置を示す模式図。
【図４４】実施例１４の製造方法を示す模式図。
【図４５】実施例１４の製造方法を示す模式図。
【図４６】実施例１４の製造方法を示す模式図。
【符号の説明】
【０３４３】
１…１，２００Ｒ，２００Ｇ，２００Ｂ，２００Ｃ，３００Ｒ，３００Ｇ，３００Ｂ，４００…液滴吐出装置、２…吐出走査部、３…キャリッジ、４…第２位置制御装置、５…ステージ、６…第１位置制御装置、７…制御部、８…メンテナンス装置、９…排液装置、１０…カラーフィルタ基板、１０Ａ〜１０Ｅ…基体、１１…液状の材料、１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂ…カラーフィルタ材料、１１ＦＲ，１１ＦＧ，１１ＦＢ…フィルタ層、１２，２０６Ｒ，２０７Ｒ，３０１Ｒ…タンク、１３，２２６Ｒ，３１０Ｒ，４１０…チューブ、２１，２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂ，２１８Ｂ，２３８Ｒ，２３８Ｇ，２３８Ｂ，２５８Ｒ，２５８Ｇ，２５８Ｂ…被吐出部、２２，２２Ａ〜２２Ｈ，２１６…バンク、２５…境界壁、３７…レール、４０…位置決め装置、４７…ヘッドセット、５１，５１１〜５１４…ヘッド、５１Ｇ，５１１Ｇ〜５１４Ｇ…ヘッド群、５２…ノズル、５２Ｌ…基準ノズル、５２Ｒ…副基準ノズル、５３…ノズル列、５４…ノズル列、７９…吐出量可変部、８０…吐出検出ユニット、８２…吐出重量測定ユニット、８３…吸引ユニット、８７…弾性体、９３…吸引可変部、１００…ＣＰＵ、１０１…ＲＯＭ、１０２…ＥＥＰＲＯＭ、１０３…ＲＡＭ、１０９…データバス、１１０…処理部、１１１…走査駆動部、１１２…ステージ制御部、１１３…キャリッジ制御部、１１４…ヘッド駆動制御部、１１５…ヘッド可変機構制御部、１１６…メンテナンス装置駆動制御部、１２４…振動子、１４１…リードスクリュウ、１５０…ヘッド可変機構部、１５２…ヘッド部、１６０…リニアコイル、１６２…リニア磁石、１６３…光学式リニアスケール、２０１，２０２，２０３，２０４…製造装置、
２１１Ｒ，２１１Ｇ，２１１Ｂ…発光材料、２１１ＦＲ，２１１ＦＧ，２１１ＦＢ…発光層、２４０Ａ…無機物バンク、２４０Ｂ…有機物バンク、３１１Ｒ，３１１Ｇ，３１１Ｂ…蛍光材料、３１１ＦＲ，３１１ＦＧ，３１１ＦＢ…蛍光層、４１１…導電性薄膜材料、ＢＸ…Ｘ軸方向のバンク列、ＢＸＰ…Ｘ軸方向のバンク列ピッチ、ＢＹ…Ｙ軸方向のバンク列、ＢＹＰ…Ｙ軸方向のバンク列ピッチ、ＤＡ…ノズル列間距離、ＤＢ…ヘッド間距離、ＧＸＰ…ヘッド群のヘッドの相対間隔、ＨＸＰ…ノズルピッチ、Ｘ…Ｘ軸、Ｙ…Ｙ軸、Ｚ…Ｚ軸。
【図１】
2005161215.tif 000003
【図２】
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【図３】
2005161215.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2005161215.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
2005161215.tif 000019
【図１８】
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【図１９】
2005161215.tif 000021
【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４４】
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【図４５】
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【図４６】
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