(57)【要約】【課題】  位置決めマークを形成する充填物が抜け落ちることのないスクリーン印刷用マスクを提供する。【解決手段】  位置決めマーク２は、貫通孔３と貫通孔３の直径よりも大径に形成された第１及び第２の幅広部３１，３２とを備え、これら貫通孔３と第１及び第２の幅広部３１，３２内に充填物４が充填された構造になっている。これにより、外力が充填物４に加わった場合に、第１及び第２の幅広部３１，３２がマスク基体１に係合して、充填物４が貫通孔３から抜けることを防止する。また、位置決めマーク２は、第１及び第２の幅広部３１，３２の一方又は双方が断面テーパ状をなす構造とすることもできる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスク基体を貫通する貫通孔に充填物を充填してなる位置決めマークを有したスクリーン印刷用マスクであって、
上記位置決めマークの貫通孔の開口部であって上記マスク基体の一方面側の開口部に当該貫通孔より大径に開口する第１の幅広部を形成し、
当該貫通孔の部位であって上記第１の幅広部を除く部位に、貫通孔より大径の第２の幅広部を形成した、
ことを特徴とするスクリーン印刷用マスク。
【請求項２】
マスク基体を貫通する貫通孔に充填物を充填してなる位置決めマークを有したスクリーン印刷用マスクであって、
上記位置決めマークの貫通孔の部位であって当該貫通孔の開口部を除く部位に、貫通孔より大径の幅広部を形成した、
ことを特徴とするスクリーン印刷用マスク。
【請求項３】
マスク基体の表面に開口する非貫通孔に充填物を充填してなる位置決めマークを有したスクリーン印刷用マスクであって、
上記位置決めマークの非貫通孔の部位であって当該非貫通孔の開口部を除く部位に、非貫通孔の開口より大径の幅広部を形成した、
ことを特徴とするスクリーン印刷用マスク。
【請求項４】
上記第２の幅広部が、上記マスク基体の他方面側で開口する、
ことを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷用マスク。
【請求項５】
上記第１の幅広部または上記第２の幅広部のうち少なくともいずれか一方を、上記マスク基体の厚さ方向に幅が変化するテーパ状に形成した、
ことを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷用マスク。
【請求項６】
上記幅広部を、上記マスク基体の厚さ方向に幅が変化するテーパ状に形成した、
ことを特徴とする請求項２または請求項３に記載のスクリーン印刷用マスク。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明はスクリーン印刷用マスクに関し、特に位置決めマークの構造に特徴を有するスクリーン印刷用マスクに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えばプリント配線基板の表面に、半田ペーストのような印刷剤を所定のパターンで印刷する際には、スクリーン印刷用マスクが用いられる。このスクリーン印刷用マスクを用いた印刷では、プリント配線基板のような印刷対象物に対して正確な位置に位置決めをすることが必要であるため、位置決めマークがスクリーン印刷用マスクと印刷対象物とに、それぞれ設けられている（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
位置決めマークは、スクリーン印刷用マスクのマスク基体を貫通する貫通孔をマスク基体に穿ち設けて、そこにマスク基体の色とは異なった色調の形成材料またはカーボン材もしくは金属ペースト材等を充填し固化するなどして、その充填物の上面をマスク基体の表面に露出させることで、視覚的または光学的に識別しやすいものとして形成される。
そして、印刷対象物への印刷が終了すると、そのとき用いたスクリーン印刷用マスクに付着した半田ペーストを、溶剤等を用いて拭き取るなどして清掃することで、次回の印刷で新たに正確な印刷を行うことができるようにしている。
【０００４】
【特許文献１】実開平７−４０１５７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上記したスクリーン印刷用マスクでは、次のような問題がある。
すなわち、従来のスクリーン印刷用マスクにおける位置決めマークの貫通孔は、直線的な貫通孔状または表面に露出する位置決めマークの部分が幅広でそれ以外の部分は位置決めマークの部分よりも小さな直径になっているので、印刷が終了してスクリーン印刷用マスクを清掃する際や、スクリーン印刷用マスクを取り扱う際などに、位置決めマークを形成している一繋がりの充填物が抜け落ちてしまい、位置決めに支障が生じるという問題があった。また、そのように充填物が一旦抜け落ちると、それを再度充填し直すための手間やコストが余分に掛かることとなり、製造コスト高の要因にもなるという問題があった。
【０００６】
この発明は、上述した課題を解決するためになされたもので、位置決めマークを形成する充填物が抜け落ちることのないスクリーン印刷用マスクを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、請求項１記載の発明は、マスク基体を貫通する貫通孔に充填物を充填してなる位置決めマークを有したスクリーン印刷用マスクであって、位置決めマークの貫通孔の開口部であってマスク基体の一方面側の開口部に当該貫通孔より大径に開口する第１の幅広部を形成し、当該貫通孔の部位であって第１の幅広部を除く部位に、貫通孔より大径の第２の幅広部を形成した構成とする。
かかる構成により、第２の幅広部がマスク基体の内部でそのマスク基体に食い込んだ状態となるので、位置決めマークの充填物が貫通孔から脱落しない。
【０００８】
請求項２記載の発明は、マスク基体を貫通する貫通孔に充填物を充填してなる位置決めマークを有したスクリーン印刷用マスクであって、位置決めマークの貫通孔の部位であって当該貫通孔の開口部を除く部位に、貫通孔より大径の幅広部を形成した構成とする。
かかる構成においても、幅広部がマスク基体の内部でそのマスク基体に食い込んだ状態となる。
【０００９】
請求項３記載の発明は、マスク基体の表面に開口する非貫通孔に充填物を充填してなる位置決めマークを有したスクリーン印刷用マスクであって、位置決めマークの非貫通孔の部位であって当該非貫通孔の開口部を除く部位に、非貫通孔の開口より大径の幅広部を形成した構成とする。
【００１０】
請求項４記載の発明は、請求項１記載のスクリーン印刷用マスクにおいて、第２の幅広部が、マスク基体の他方面側で開口する構成とした。
かかる構成により、位置決めマークの形状が略エの字状になり、第１及び第２の幅広部によってマスク基体をその厚さ方向で挟み込んだ状態となる。
【００１１】
請求項５記載の発明は、請求項１記載のスクリーン印刷用マスクにおいて、第１の幅広部または第２の幅広部のうち少なくともいずれか一方を、マスク基体の厚さ方向に幅が変化するテーパ状に形成した構成とする。
【００１２】
請求項６記載の発明は、請求項２または３記載のスクリーン印刷用マスクにおいて、幅広部を、マスク基体の厚さ方向に幅が変化するテーパ状に形成した構成とする。
【発明の効果】
【００１３】
以上説明したように、この発明によれば、スクリーン印刷用マスクの位置決めマークに、幅広部または第１の幅広部もしくは第２の幅広部を備えるようにしたので、それらの部位がマスク基体に食い込んだ状態またはマスク基体を厚さ方向から挟み込んだ状態となり、充填物に外力が加わった場合において、第１又は第２の幅広部がマスク基体に係合して、充填物が貫通孔から脱落することを防止する。この結果、位置決めマークを形成している充填物の全体がマスク基体から抜け落ちることを防止することができるという優れた効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、この発明の最良の形態について図面を参照して説明する。
【実施例１】
【００１５】
図１は、この発明の第１実施例に係るスクリーン印刷用マスクの概略平面図であり、図２は、位置決めマークの部分を抜き出して拡大して示す概略断面図である。
【００１６】
図１に示すように、この実施例のスクリーン印刷用マスクは、複数のパターン孔１０が形成されたマスク基体１の所定個所に位置決めマーク２を設けた構成になっている。
位置決めマーク２は、図２に示すように、マスク基体１を表面側（図２の上面側）から裏面側に貫通する貫通孔３に充填物４が充填された構成になっている。
【００１７】
貫通孔３に、第１の幅広部３１と第２の幅広部３２とが形成され、位置決めマーク２が全体として断面略エ字状をなす。
具体的には、第１の幅広部３１は、貫通孔３の開口部であってマスク基体１の表面側の開口部に位置して、この貫通孔３の直径ｄ０よりも大きな直径ｄ１で上方に開口している。また、第２の幅広部３２は、貫通孔３の開口部であってマスク基体１の裏面側の開口部に位置して、この貫通孔３の直径ｄ０よりも大きな直径ｄ２で下方に開口している。なお、この実施例では、第１の幅広部３１の直径ｄ１と第２の幅広部３２の直径ｄ２とを等しく設定してある。
【００１８】
充填物４は、例えばカーボンペーストや金属ペーストのような充填材料であり、これらの材料を貫通孔３内に充填して固化したものである。
具体的には、充填物４は第１の幅広部３１及び第２の幅広部３２と貫通孔３とで画成された空孔内に充填されており、これにより、第１の幅広部３１内に充填された充填物４の表面がマスク基体１の表面側で露出し、第２の幅広部３２内に充填された充填物４の表面がマスク基体１の裏面側で露出する。
【００１９】
このように、充填物４の表面がマスク基体１の表面側及び裏面側で露出することにより、位置決めマーク２をスクリーン印刷用マスクの外部から光学的に識別または視認することがができるようになっている。
また、位置決めマーク２が、かかる構造を採ることにより、第１の幅広部３１及び第２の幅広部３２が、これら幅広部３１，３２の間のマスク基体１部分を上下から挟み込んだ状態になる。
【００２０】
次に、この実施例のスクリーン印刷用マスクの位置決めマーク２を形成する方法について説明する。
図３は、位置決めマーク２の第１の幅広部３１の形成方法を示す工程図であり、図４は第２の幅広部３２の形成方法を含めた位置決めマーク形成方法を示す工程図である。
位置決めマーク２の形成方法には、エッチング法、レーザ法、アディティブ法等、各種の方法があるが、この実施例では、エッチング法を適用した。
【００２１】
まず、図３（ａ）に示すように、マスク基体１に均一径の貫通孔３を穿ち設けた後、図３（ｂ）に示すように、マスク基体１の裏面全面をレジスト１００で覆うと共に、表面を第１の幅広部３１の平面形状に対応したパターンを有したレジスト１０１で覆う。
【００２２】
この状態で、図３（ｃ）に示すように、マスク基体１の表面におけるレジスト１０１では覆われていない（露出している）部分を、いわゆるハーフエッチング法により、そのマスク基体１の厚さ方向に所定の深さまでエッチングして、断面矩形状の第１の幅広部３１を形成する。このエッチングプロセス終了後、図３（ｄ）に示すように、マスク基体１の表裏のレジスト１００，１０１を除去する。
【００２３】
そして、図４（ａ）に示すように、マスク基体１を表裏逆転させ、図４（ｂ）に示すように、マスク基体１の下方を向いた表面全面をレジスト１０２で覆うと共に、上方を向いた裏面を第２の幅広部３２に対応したパターンを有したレジスト１０３で覆う。
【００２４】
続いて、図４（ｃ）に示すように、マスク基体１の裏面のレジスト１０３では覆われていない部分を、ハーフエッチング法により、そのマスク基体１の厚さ方向に所定の深さまでエッチングして、第２の幅広部３２を形成する。このエッチングプロセス終了後、図４（ｄ）に示すように、マスク基体１の表裏のレジスト１０２，１０３を除去する。
このようにして形成した貫通孔３と第１及び第２の幅広部３１，３２とで画成された空孔内に、図４（ｅ）に示すように、充填物４を充填することで、位置決めマーク２を形成することができる。
【００２５】
次に、この実施例のスクリーン印刷用マスクの位置決めマーク２が示す作用及び効果について説明する。
図５は、位置決めマーク２の作用を説明するための断面図である。
【００２６】
図５（ａ）に示すように、外力Ｆが位置決めマーク２の充填物４に対してマスク基体１の下面側から上向きに加えられた場合には、マスク基体１の一部分が第１及び第２の幅広部３１，３２の間に食い込んだ状態になっているので、この部分が第２の幅広部３２内の充填物４の上面を下向きに押さえ付けて、充填物４が上向きに移動することを防ぐ。これにより、マスク基体１の下面側から上向きの外力が加えられても、位置決めマークの充填物４が上方に抜け落ちることはない。
【００２７】
また、図５（ｂ）に示すように、外力Ｆが位置決めマークの充填物４に対してマスク基体１の上面側から下向きに加えられた場合にも、第１及び第２の幅広部３１，３２の間のマスク基体１の部分が第１の幅広部３１内の充填物４の下面を上向きに押さえ付けて、充填物４が下向きに移動することを防ぐ。これにより、マスク基体１の上面側から下向きの外力が加えられても、位置決めマークの充填物４が下方に抜け落ちることはない。
【実施例２】
【００２８】
次に、この発明の第２実施例について説明する。
図６は、この発明の第２実施例に係るスクリーン印刷用マスクの位置決めマークの概略断面図であり、図７は、位置決めマークの作用を説明するための断面図である。
図６に示すように、この実施例のスクリーン印刷用マスクにおける位置決めマーク２−１は、貫通孔３の部位であって貫通孔３の開口部を除く部位に、貫通孔３より大径の幅広部３３を形成した点が、上記第１実施例と異なる。
具体的には、貫通孔３の上下の開口部３ａ，３ｂには幅広部を設けず、貫通孔３のマスク基体１の表面から裏面までの間の途中に、貫通孔３の直径よりも大径の幅広部３３を形成した。
【００２９】
かかる構成により、図７（ａ）に示すように、外力Ｆが位置決めマーク２−１の充填物４に対してマスク基体１の下面側から上向きに加えられた場合には、幅広部３３より上のマスク基体１の部分が幅広部３３のフランジ状に突出した部分を下向きに押さえ付けて、充填物４が上向きに移動することを防ぐ。また、図７（ｂ）に示すように、外力Ｆが充填物４に対して上面側から下向きに加えられた場合には、幅広部３３よりも下のマスク基体１の部分が、充填物４の下方への移動を防ぐ。
その他の構成、作用および効果は、上記第１実施例と同様であるので、その記載は省略する。
【実施例３】
【００３０】
次に、この発明の第３実施例について説明する。
図８は、この発明の第３実施例に係るスクリーン印刷用マスクの位置決めマークの概略断面図であり、図９は、位置決めマークの作用を説明するための断面図である。
図８に示すように、この実施例のスクリーン印刷用マスクにおける位置決めマーク２−２は、マスク基体１の表面に開口する非貫通孔３′に充填物４を充填して形成した点が、上記第１実施例と異なる。
すなわち、非貫通孔３′よりも大径の幅広部３３′を、非貫通孔３′の最奥に形成した。
かかる構成により、図９（ａ）及び（ｂ）に示すように、充填物４が外力Ｆによって、マスク基体１の裏面側から上方に押されたり、表面側から引っ張られた場合においても、幅広部３３′よりも上のマスク基体１の部分が、充填物４の上方への移動を防止する。
その他の構成、作用および効果は、上記第１及び第２実施例と同様であるので、その記載は省略する。
【００３１】
なお、この発明は、上記実施例に限定されるものではなく、発明の要旨の範囲内において種々の変形や変更が可能である。
例えば、上記第１実施例では、共に断面矩形状の第１及び第２の幅広部３１，３２を貫通孔３の上下端部に設けたが、図１０に示すように、一方の第１の幅広部３１のみを下方に拡開する断面テーパ状に形成したり、図１１に示すように、第１及び第２の幅広部３１，３２の双方を互いに逆方向に拡開する断面テーパ状に形成しても良い。
また、上記第１実施例では、第１及び第２の幅広部３１，３２の双方を貫通孔３の上下開口部にそれぞれ設けたが、図１２に示すように、第２の幅広部３２を貫通孔３の途中に設ける構造とすることもできる。
また、上記第１実施例では、第１及び第２の幅広部３１，３２の中心が貫通孔３の中心とほぼ一致するように設定したが、図１３に示すように、第１の幅広部３１と第２の幅広部３２とを貫通孔３から互いに逆方向にずらした構造とすることもできる。
【００３２】
また、上記第２実施例では、貫通孔３の途中に１つの幅広部３３を設けたが、幅広部３３を貫通孔３の途中に複数設けることもできる。また、断面矩形状の幅広部３３でなく、幅広部３３を上方又は下方に拡開する断面テーパ状に形成しても良い。
【００３３】
また、上記第３実施例では、非貫通孔３′の最奥に断面矩形状の幅広部３３を形成したが、図１４に示すように、非貫通孔３′の開口３ａ′の真下にテーパ状の幅広部３３を形成し、位置決めマーク全体が上端から下方へと連続的に拡開するようにすることもできる。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
この発明は、例えばプリント配線基板のような印刷対象物の表面または裏面に半田ペーストやフラックス剤のような印刷剤（印刷材）を所定のパターンで印刷する際に用いられる、位置決めマークを有するスクリーン印刷用のメタルマスクなどに適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】この発明の第１実施例に係るスクリーン印刷用マスクの概略平面図である。
【図２】第１実施例に係る位置決めマークの部分を抜き出して拡大して示す概略断面図である。
【図３】第１実施例に係る位置決めマークの第１の幅広部の形成方法を示す工程図である。
【図４】第１実施例に係る第２の幅広部の形成方法を含めた位置決めマーク形成方法を示す工程図である。
【図５】第１実施例に係る位置決めマークの作用を説明するための断面図である。
【図６】この発明の第２実施例に係るスクリーン印刷用マスクの位置決めマークの概略断面図である。
【図７】第２実施例に係る位置決めマークの作用を説明するための断面図である。
【図８】この発明の第３実施例に係るスクリーン印刷用マスクの位置決めマークの概略断面図である。
【図９】第３実施例に係る位置決めマークの作用を説明するための断面図である。
【図１０】第１実施例の第１変形例を示す断面図である。
【図１１】第１実施例の第２変形例を示す断面図である。
【図１２】第１実施例の第３変形例を示す断面図である。
【図１３】第１実施例の第４変形例を示す断面図である。
【図１４】第３実施例の変形例を示す断面図である。
【符号の説明】
【００３６】
１…マスク基体、  ２…位置決めマーク、  ３…貫通孔、  ３′…非貫通孔、  ４…充填物、  ３１…第１の幅広部、  ３２…第２の幅広部、  ３３，３３′…幅広部、  Ｆ…外力。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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