(57)【要約】【課題】極力安価な配管コストにて、要求スペックに応じた超純水を効率よく製造供給することができる超純水製造供給装置を提供する。【解決手段】一次純水を処理して超純水を製造する二次処理装置を構成すべく各構成ユニットを配管で接続した超純水製造ラインと、二次処理装置からの超純水をユースポイントに送水する供給ラインと、ユースポイントにおける残余の超純水を二次処理装置の前段に戻す返送ラインとを備えた超純水製造供給装置において、各ラインにおいて接液する配管が、少なくとも二つ以上の互いに異なる樹脂系材料で構成されていることを特徴とする超純水製造供給装置。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一次純水を処理して超純水を製造する二次処理装置を構成すべく各構成ユニットを配管で接続した超純水製造ラインと、前記二次処理装置からの超純水をユースポイントに送水する供給ラインと、ユースポイントにおける残余の超純水を前記二次処理装置の前段に戻す返送ラインとを備えた超純水製造供給装置において、各ラインにおいて接液する配管が、少なくとも二つ以上の互いに異なる樹脂系材料で構成されていることを特徴とする超純水製造供給装置。
【請求項２】
前記超純水製造ラインの配管と、前記供給ライン又は前記返送ラインの配管のすべて又は少なくとも一部が互いに異なる樹脂系材料で構成されていることを特徴とする、請求項１の超純水製造供給装置。
【請求項３】
前記超純水製造ライン又は前記供給ラインの配管と、前記返送ラインの配管のすべて又は少なくとも一部が互いに異なる樹脂系材料で構成されていることを特徴とする、請求項１の超純水製造供給装置。
【請求項４】
前記超純水製造ライン又は前記返送ラインの配管と、前記供給ラインの配管のすべて又は少なくとも一部が互いに異なる樹脂系材料で構成されていることを特徴とする、請求項１の超純水製造供給装置。
【請求項５】
前記樹脂系材料が、ポリ塩化ビニル、ポリフッ化ビニリデン、ポリプロピレン、ポリフェニレンサルファイド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエチレン、ポリテトラフルオロエチレン、パーフルオロアルコキシアルカンから選ばれることを特徴とする、請求項１〜４のいずれかに記載の超純水製造供給装置。
【請求項６】
前記超純水製造ラインの配管のすべて又は少なくとも一部にポリ塩化ビニルを使用することを特徴とする、請求項１〜５のいずれかに記載の超純水製造供給装置。
【請求項７】
前記二次処理装置には、少なくとも、紫外線照射装置、非再生型イオン交換装置、限外濾過膜装置の各構成ユニットがこの順に配置されており、該二次処理装置の少なくとも紫外線照射装置から非再生型イオン交換装置までを接続する配管のすべて又は少なくとも一部にポリ塩化ビニルを使用することを特徴とする、請求項１〜６のいずれかに記載の超純水製造供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体デバイス、液晶ディスプレイ、シリコンウエハ、プリント基板等の電子部品製造工場、原子力発電所あるいは医薬品製造工場で広く利用される超純水を製造し供給する超純水製造供給装置に関し、特に、安価な設備で要求水質を効率よく満足させることができる超純水製造供給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体デバイス、液晶ディスプレイ、シリコンウエハ、プリント基板等の電子部品製造、原子力発電所あるいは医薬品の製造工程においては、イオン状物質、微粒子、有機物、溶存ガス及び生菌等の不純物含有量が極めて少ない超純水が使用されている。特に、半導体デバイスをはじめとする電子部品製造工程においては、多くの超純水が使用されており、半導体デバイスの集積度の向上にともなって、超純水の純度に対する要求は益々厳しくなってきている。たとえば、半導体製造用超純水のスペックは、抵抗率＞１８．２ＭΩ・ｃｍ、０．０５μｍ以上の微粒子数＜１個／ｍＬ、ＴＯＣ＜１μｇ／Ｌ、金属成分＜５ｎｇ／Ｌと厳しく、更に、要求水質は厳しくなる傾向にある（例えば、金属成分＜１ｎｇ／Ｌ）。
【０００３】
超純水製造供給装置（システム）は、一般に前処理装置、一次純水装置、二次純水装置（サブシステム）で構成されており、工業用水、市水、井水等の原水を処理して超純水を製造・供給する。二次純水装置は、通常、一次純水を処理して超純水を製造する二次処理装置と、この二次処理装置からの超純水を所定のユースポイントに供給する供給ラインと、ユースポイントにおける残余の（未使用の）超純水を二次処理装置の前段に戻す返送ラインを備えている。このような超純水製造供給装置においては、超純水の安定供給や水質向上をはかるために、従来から各種の提案がなされている（例えば、特許文献１、特許文献２、特許文献３）。
【０００４】
但し、要求水質は工場や製品によって異なるものであり、また同じ製品の製造工場であっても製造工程によって異なる。半導体の製造工程で要求される超純水のスペックはかなり高いが、それを要求する半導体製造工場でも、全製造工程でそのスペックが要求される訳ではない。要求スペックの高い工程に合わせた超純水を製造し工場内の全工程で使用する方法の他、適度な純度の超純水を供給し要求スペックの高い工程用には別途処理を施すようにした方法も提案されており（例えば、特許文献４）、イオン吸着膜によるメタルの高度除去装置、脱気装置、機能水製造装置などを必要に応じて付加する方法なども考えられる。
【０００５】
超純水製造供給装置においては、二次処理装置を構成する各精製ユニット（紫外線照射装置、非再生型イオン交換装置、限外濾過膜装置など）の性能が超純水の純度に大きく影響することは言うまでもないが、純水や超純水が接する配管材からの微量溶出物も純度に大きく影響する。超純水製造供給装置のユースポイントへの供給ラインの配管は、数百ｍ以上の長距離に及ぶことも多く、ユースポイントに達するまでに配管材から微量溶出物が超純水中に溶け出す。また、ユースポイントから二次処理装置の前段への返送ラインは供給ラインと同等の距離があり、配管材から溶け出した溶出物は二次処理装置の前段に戻って、各精製ユニットの負荷となる。さらに、二次処理装置の超純水製造ラインにおいて各精製ユニットを接続する配管は、上記供給ラインや返送ラインに比べて一般的に短いが、各ユニットの配置やスペースの都合などで長距離配管となることは少なくなく、超純水製造ラインの配管からの溶出物も超純水の純度に少なからず影響を及ぼす。
【０００６】
したがって、超純水製造供給装置で使用される配管材料は設計時に十分な配慮が必要である。半導体、液晶を始めとする電子部品産業では、金属不純物の混入を特に嫌うことから、超純水製造供給装置の配管材料には樹脂系材料がほとんど用いられている。使用可能な配管材料として、例えば、ポリ塩化ビニル（以下、ＰＶＣと略称することもある。）、ポリプロピレン（以下、ＰＰと略称することもある。）、ポリフッ化ビニリデン（以下、ＰＶＤＦと略称することもある。）、ポリフェニレンサルファイド（以下、ＰＰＳと略称することもある。）、ポリエーテルエーテルケトン（以下、ＰＥＥＫと略称することもある。）が挙げられ、この他、ＳＵＳ系の配管内面を、ポリエチレン（以下、ＰＥと略称することもある。）、ポリテトラフルオロエチレン（以下、ＰＴＦＥと略称することもある。）、パーフルオロアルコキシアルカン（以下、ＰＦＡと略称することもある。）などの樹脂でライニングした配管（超純水用途に製造され処理された配管）も使用可能である。
【０００７】
一方、超純水製造・供給には多大なエネルギーとコストがかかるため、超純水の製造コスト低減の要求も強い。超純水製造供給装置においては、配管コストの割合は少なくなく、性能とコストの両方を考慮して配管の選定をする必要がある。例えば、配管材料コストは一般にＰＶＣが最も安く、ＰＰ、ＰＶＤＦの順に高い。
【０００８】
ところが、このように配管材料にコスト差と、材料に応じた特性差があるにもかかわらず、従来の超純水製造供給装置では、選定された配管による画一的な施工が行われており、要求されるスペックや用途と各構成ユニットの構成や能力に応じた配管材料の使い分けは十分になされていなかった。例えば、コスト重視であればＰＶＣを選定し、選定したＰＶＣの配管で全ラインを画一的に施工するのが通常であり、超純水のスペック重視であればより高価な材料を選定し、選定した材料の配管で全ラインを画一的に施工するのが通常であった。したがって、前者の施工方法では、近年のより高度な超純水の純度要求スペックを満たすことが困難になり、後者の施工方法では、純度の要求スペックを満たすことは可能になるものの、装置全体のコストが顕著に増加し、装置部位によってはオーバースペックになっている可能性も少なからずあった。
【特許文献１】特開平９−１９２６５７号公報
【特許文献２】特開平９−２９２５１号公報
【特許文献３】特開２００１−３８３６４号公報
【特許文献４】特開平１１−２６０７８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
そこで本発明の課題は、上記のような実情に鑑み、極力安価な配管コストにて、要求スペックに応じた超純水を効率よく製造供給することができる超純水製造供給装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明に係る超純水製造供給装置は、一次純水を処理して超純水を製造する二次処理装置を構成すべく各構成ユニットを配管で接続した超純水製造ラインと、前記二次処理装置からの超純水をユースポイントに送水する供給ラインと、ユースポイントにおける残余の超純水を前記二次処理装置の前段に戻す返送ラインとを備えた超純水製造供給装置において、各ラインにおいて接液する配管が、少なくとも二つ以上の互いに異なる樹脂系材料で構成されていることを特徴とするものからなる。なお、本発明において、配管とは、計器取付け部のねじ部等を意図的にかつ局部的に異種材料で構成する場合には、その部分を除いた主配管部のことを指す。
【００１１】
上記本発明に係る超純水製造供給装置においては、上記超純水製造ラインの配管と、上記供給ライン又は上記返送ラインの配管のすべて又は少なくとも一部が互いに異なる樹脂系材料で構成されている形態とすることができる。あるいは、上記超純水製造ライン又は上記供給ラインの配管と、上記返送ラインの配管のすべて又は少なくとも一部が互いに異なる樹脂系材料で構成されている形態とすることもできる。さらに、上記超純水製造ライン又は上記返送ラインの配管と、上記供給ラインの配管のすべて又は少なくとも一部が互いに異なる樹脂系材料で構成されている形態とすることもできる。
【００１２】
上記配管を構成する樹脂系材料としては、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、パーフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）から選ぶことができる。このうち、ＰＥ、ＰＴＦＥ、ＰＦＡは配管内面へのライニング材として使用されるものである。また、ＰＰＳ、ＰＥＥＫからなる超純水製造供給装置用の配管は、販売量が少ないため最近製造が中止されているが、製造は可能である。これらの材料のうち、ＰＶＣは最も安価であり、超純水の水質スペックを重視する場合には、ＰＶＤＦやＰＰＳ、ＰＥＥＫなどを使用できる。ＰＰはコストはＰＶＣよりも高くＰＶＤＦよりも安いが、性能はＰＶＤＦよりも劣り、ＰＶＣに比べ一部（ある目的の場合に）勝る。
【００１３】
したがって、コストを重視する場合には、水質に影響を及ぼさない限り、極力ＰＶＣ配管を用いることが好ましく、後述の実施形態に示すように、超純水製造ラインの配管のすべて又は少なくとも一部にＰＶＣを使用することが可能である。また、上記二次処理装置に、少なくとも、紫外線照射装置、非再生型イオン交換装置、限外濾過膜装置の各構成ユニットがこの順に配置されている場合、該二次処理装置の少なくとも紫外線照射装置から非再生型イオン交換装置までを接続する配管のすべて又は少なくとも一部にＰＶＣを使用することが可能である。
【００１４】
超純水用の配管材料は、原料、製造工程、洗浄、梱包、保管などの工夫や管理により、材料からの汚染や溶出物は極力抑えられている。しかし、溶出物を完全にゼロにすることは困難であり、微量の不純物が溶出する。溶出する物質やその量は、さまざまな要因（メーカーでの原料から出荷までの工程、現場保管状態、施工状態など）によるが、基本的には材料自身がもつ特性があり、溶出挙動もその影響によるところが大きい。例えば、材料の基本構成が異なるため溶出するＴＯＣ成分もＰＶＣ、ＰＶＤＦ、ＰＰで異なり、その溶出量も異なる。本発明は、超純水製造供給装置用に使用される配管材料の溶出特性（挙動）に着目し、その挙動を詳細に評価検討することによって、要求されるスペックや用途と各構成ユニットの構成や能力に応じて超純水製造供給装置内の配管仕様を使い分けることで、要求される水質の超純水を効率的に製造供給することができることを見出したものである。すなわち、上記のような互いに異なる材質の配管を、超純水製造供給装置の全体にわたって適所に用いることにより、要求水質を維持しつつ、極力配管コストを低減できるようにしたものである。配管コストの低減には、ＰＶＣ配管を適所に使用することが有効であり、本発明においては、特に要求水質を維持しつつＰＶＣ配管を適用できる箇所も特定された。
【発明の効果】
【００１５】
このように本発明によれば、配管材料をその特性と超純水の要求スペックに応じて適宜選定し、複数種類の材料を適所に用いることで、超純水を効率的に、安定した水質でかつ安価な設備構成にて製造供給することができる超純水製造供給装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に、本発明の望ましい実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明が適用される超純水製造供給装置の一例を示しており、本発明では、この超純水製造供給装置における各部の配管材料の材質が、後述の如く、要求に応じて各々最適な材質に設定されることになる。図１において、１は超純水製造供給装置全体を示しており、この超純水製造供給装置１は、一次純水製造装置２からの一次純水を処理して超純水を製造する二次処理装置３を構成すべく各構成ユニットを配管で接続した超純水製造ライン４（後述の実施態様では「Ｐ」と表記することもある。）と、二次処理装置３からの超純水を各ユースポイント５に送水する供給ライン６（後述の実施態様では「Ｓ」と表記することもある。）と、ユースポイント５における残余の超純水を二次処理装置の前段に設けられた一次純水タンク７に戻す返送ライン８（後述の実施態様では「Ｒ」と表記することもある。）とを備えている。これら超純水製造ライン４、供給ライン６、返送ライン８を含むシステムは、サブシステムと呼ばれることもある。二次処理装置３には、上記一次純水タンク７からの一次純水を送水するポンプ９と、一次純水を所定の温度に制御する熱交換器１０と、紫外線照射処理を行う紫外線照射装置１１（図１ではＵＶと表記してある。）と、非再生型イオン交換装置１２（図１ではＣＰと表記してある。）と、限外濾過膜装置１３（図１ではＵＦと表記してある。）が、この順に配置されており、これら各構成ユニットが配管で接続されている。殺菌処理が要求される場合のために、紫外線照射装置１１から非再生型イオン交換装置１２をバイパスして限外濾過膜装置１３へと送水するバイパスライン１４も設けられている。この超純水製造供給装置１において、各ライン４、６、８において接液する配管が、少なくとも二つ以上の互いに異なる樹脂系材料で構成されている
【００１７】
このように構成された超純水製造供給装置１において、各部の配管を構成する樹脂系材料が、前述の如く、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、パーフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）等から選定される。以下に各種の実施態様について例示するが、以下の各実施形態においては、上記の樹脂系材料のうち、ＰＶＣ、ＰＶＤＦ、ＰＰを使用し、これらの材料からなる配管が、要求に応じてどのように配置されるのが望ましいかについて説明する。配置に際しては、各材料の以下のような特性を考慮する。すなわち、ＰＶＣでは、抵抗率の低下（純度低下）は大きいが、ＴＯＣ溶出量が少ない。ＰＶＤＦでは抵抗率の低下（純度低下）は小さく、ＴＯＣ溶出量も少ない（ＰＶＣより若干多い）。ＰＰでは抵抗率の低下（純度低下）はＰＶＤＦより大きくＰＶＣよりも小さいが、ＴＯＣ溶出量は多い。ＤＯ増加量についてはＰＰではやや多いが、ＰＶＣ、ＰＶＤＦでは少ない。これらの樹脂系材料からなる配管の接続施工は通常、溶着とフランジ接続等により行われる。ＰＶＣ配管の接続は接着により行うこともできるが、ＴＯＣ溶出量の少ない溶着接続の方が好ましい。以下の各実施形態においては、超純水製造ライン４（Ｐ）を、超純水製造ライン中のＣＰ以前（少なくともＵＶ−ＣＰ間）を（Ｐ１）、超純水製造ライン中のＣＰ以降（ＣＰ−ＵＦ間）を（Ｐ２）で表す。供給ライン６は（Ｓ）、返送ライン８は（Ｒ）で表す。
【００１８】
実施形態１
〔（Ｐ１）：ＰＶＣ、（Ｐ２）：ＰＶＤＦ、（Ｓ）：ＰＶＤＦ、（Ｒ）：ＰＶＣ〕
高純度および低ＴＯＣを重視して配管すべてを画一的にＰＶＤＦとする場合に比べ、（Ｐ１）、（Ｒ）で安価なＰＶＣを使用することによりコスト低減を図る。ＰＶＣは純度低下度が他に比べて大きいが、ＣＰ処理によって純度は向上する。ＣＰからユースポイントまでの（Ｐ２）＋（Ｓ）はＰＶＤＦなのでユースポイントでの純度低下度は小さい。また、ＰＶＣはＴＯＣ溶出量が少なく、（Ｒ）から二次処理装置に持ち込まれるＴＯＣ量が少ないので、ＴＯＣ分解を行うＵＶの負荷を抑えられる。更に、（Ｐ１）がＰＶＣなので、ＴＯＣ溶出量を少なくできる（純度低下度は大きいがＣＰで高純度に処理される）。また、ＵＶはＴＯＣを分解する装置として機能し、これ以降基本的にＴＯＣ分解装置はないので、ＵＶ以降ＴＯＣを上げたくないことから、（Ｐ１）を、とくにＵＶからＣＰまでをＰＶＣとすることが好ましい。（Ｐ２）では純度を維持するためにＰＶＤＦを使用している。
【００１９】
実施形態２
〔（Ｐ１）：ＰＶＣ、（Ｐ２）：ＰＶＣ、（Ｓ）：ＰＶＤＦ、（Ｒ）：ＰＶＣ〕
実施形態１の（Ｐ２）がＰＶＣに変更されており、この分安価に構成できる。（Ｐ２）での純度低下は若干あるが、一般に（Ｐ２）間は短いので、最終純度への影響は少ない。他の効果は実質的に実施形態１と同じである。
【００２０】
実施形態３
〔（Ｐ１）：ＰＶＣ、（Ｐ２）：ＰＰ、（Ｓ）：ＰＰ、（Ｒ）：ＰＶＣ〕
実施形態１の（Ｐ２）と（Ｓ）がＰＰに変更されている。ＰＶＤＦに比べ、ユースポイントでの純度、ＴＯＣ、ＤＯは劣るが、安価である。ＰＶＣに対しては、コストを含め純度以外劣るが、純度を重視した低コスト向きの構成である。
【００２１】
実施形態４
〔（Ｐ１）：ＰＶＣ、（Ｐ２）：ＰＶＤＦ、（Ｓ）：ＰＶＤＦ、（Ｒ）：ＰＰ〕
実施形態１の（Ｒ）がＰＰに変更されている。ＰＰは、ＰＶＣに比べて、コストを含め純度以外劣るが、返送水の導電性不純物量が少ないため（純度低下度小）ＣＰ負荷が減る。尚、ＤＯ上昇の可能性があるので、要求ＤＯレベルによっては、二次処理装置３の超純水製造ライン４（Ｐ）上に膜脱気ユニットを設置しておくことが好ましく、特に、熱交換器からＵＶ間、ＵＶからＣＰ間あるいはＣＰからＵＦ間のいずれかに設置しておくことが好ましい。
【００２２】
実施形態５
〔（Ｐ１）：ＰＶＤＦ、（Ｐ２）：ＰＶＤＦ、（Ｓ）：ＰＶＤＦ、（Ｒ）：ＰＶＣ〕
実施形態１の（Ｐ１）がＰＶＤＦに変更されており、（Ｒ）のみＰＶＣとされている。オールＰＶＤＦに対し、（Ｒ）で安価なＰＶＣを使用しコスト低減を図ることができる。但し、実施形態１の方がより安価に構成できる。
【００２３】
実施形態６
〔（Ｐ１）：ＰＶＤＦ、（Ｐ２）：ＰＶＤＦ、（Ｓ）：ＰＶＤＦ、（Ｒ）：ＰＰ〕
実施形態１の（Ｐ１）がＰＶＤＦに、（Ｒ）がＰＰに変更されており、（Ｒ）のみＰＰとされている。オールＰＶＤＦに比べ、（Ｒ）で安価なＰＰを使用しコスト低減を図ることができる。
【００２４】
実施形態７
〔（Ｐ１）：ＰＶＣ、（Ｐ２）：ＰＶＣ、（Ｓ）：ＰＰ、（Ｒ）：ＰＶＣ〕
実施形態２の（Ｓ）がＰＰに変更されている。（Ｓ）がＰＶＤＦである場合に比べ、ユースポイントでの純度、ＴＯＣ、ＤＯは劣るが、安価である。ＰＶＣに対しては、コストを含め純度以外劣るが、純度を重視した低コスト向きの構成である。
【００２５】
実施形態８
〔（Ｐ１）：ＰＶＣ、（Ｐ２）：ＰＶＣ、（Ｓ）：ＰＰ、（Ｒ）：ＰＰ〕
実施形態７の（Ｒ）がＰＰに変更されている。（Ｒ）がＰＶＣである場合に比べ、純度以外劣るが、返送水の導電性不純物量が少ないため（純度低下度小）ＣＰ負荷が減る。尚、ＤＯ上昇の可能性があるので、要求ＤＯレベルによっては、二次処理装置３の超純水製造ライン４（Ｐ）上に膜脱気ユニットを設置しておくことが好ましく、特に、熱交換器からＵＶ間、ＵＶからＣＰ間あるいはＣＰからＵＦ間のいずれかに設置しておくことが好ましい。
【００２６】
実施形態９
〔（Ｐ１）：ＰＶＣ、（Ｐ２）：ＰＶＤＦ、（Ｓ）：ＰＶＤＦ、（Ｒ）：ＰＶＤＦ〕
実施形態１の（Ｒ）がＰＶＤＦに変更されている。（Ｒ）がＰＶＣである場合に比べ、高コストとなるが、返送水の導電性不純物量が少ないため（純度低下度低）ＣＰ負荷が減る。又、ＴＯＣ溶出量も十分低い。熱水による殺菌処理が要求される場合、ＰＶＤＦは耐熱性があるので、図１に示したようにバイパスライン１４を設け、このバイパスライン１４および（Ｐ１）のＵＶまでのライン（ＵＶ−ＣＰ間以外）を耐熱性の高いＰＶＤＦ等で構成すればよい。この場合においても、ＵＶ−ＣＰ間は採水のためにＰＶＣで構成することが可能である。
【実施例】
【００２７】
上記各実施形態で示したＰＶＣ、ＰＶＤＦ、ＰＰからなる配管の基本性能を確認するために、以下のような試験を行った。
旭有機材工業社製の３種類の純水用樹脂系配管を用いた。サイズ１６Ａで１００ｍ長の配管を溶着継ぎ手とフランジ（ＰＴＦＥ被覆パッキン）で接続施工し、形状、寸法等の条件は同一とした。また、水温２３℃±１℃の超純水を線速度１ｍ／秒で通水し、１００ｍ長の配管の出入口の水質を測定した。用いた材料は次の通りである。
（１）アサヒＡＶ超純ＰＶＣパイプ・継手
（２）アサヒＡＶＰＰパイプ・継手
（３）ＰＶＤＦパイプ・継手
表１に１００ｍ地点（出口）と０ｍ地点（入口）の水質の低下の度合を示す。
【００２８】
【表１】
2005224656.tif 000003
【００２９】
表１に示すように、使用する配管材料によって極微量に溶出する物質やその挙動が異なるため、痕跡量の不純物を問題とする超純水製造供給のためには、配管材料を要求スペックに応じて適宜選定使用することが重要であることが分かる。それにより、超純水を効率的に（とくに、性能とコストの兼ね合いにおいて効率よく）製造供給することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３０】
本発明に係る超純水製造供給装置は、高純度の超純水を安価に製造供給することが望まれるあらゆる分野に適用でき、特に、半導体デバイス、液晶ディスプレイ、シリコンウエハ、プリント基板等の電子部品製造工場、原子力発電所あるいは医薬品製造工場で使用される超純水の製造供給に好適である
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明が適用される超純水製造供給装置の一例を示す機器系統図である。
【符号の説明】
【００３２】
１  超純水製造供給装置
２  一次純水製造装置
３  二次処理装置
４  超純水製造ライン４（Ｐ、Ｐ１、Ｐ２）
５  ユースポイント
６  供給ライン（Ｓ）
７  一次純水タンク
８  返送ライン（Ｒ）
９  ポンプ
１０  熱交換器
１１  紫外線照射装置（ＵＶ）
１２  非再生型イオン交換装置（ＣＰ）
１３  限外濾過膜装置（ＵＦ）
１４  バイパスライン
【図１】
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