(57)【要約】【課題】      組立や修理が容易で、廉価なプローブとすることにある。【解決手段】  プローブは、筒状の外被を用いた同軸ケーブルと、該同軸ケーブルの一端部の周りに配置されたスリーブと、該スリーブの一端部に配置された基板とを含む。基板は、電気絶縁性の板状部材と、該板状部材の一方の面に形成されて板状部材の一端から突出する第１の接触子と、第１の接触子を間にして板状部材の一方の面に形成された一対の第２の接触子であって板状部材の前記一端から突出する第２の接触子とを有し、また、第１及び第２の接触子がそれぞれ同軸ケーブルの芯線及び外皮に接触した状態に、スリーブのスリットに差し込まれている。【選択図】          図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状の外被を用いた同軸ケーブルであってその芯線がこれの周りの電気絶縁体の一端側から突出された同軸ケーブルと、
該同軸ケーブルの一端部の周りに配置されたスリーブであってこれを直径方向と平行な方向に間隔をおいた箇所を当該スリーブの長手方向における一端部から途中まで伸びる一対のスリットを備えるスリーブと、
該スリーブの一端部に配置された基板とを含み、
前記基板は、電気絶縁性の板状部材と、該板状部材の一方の面に形成されて前記板状部材の一端から突出する第１の接触子と、前記第１の接触子を間にして前記板状部材の一方の面に形成された一対の第２の接触子であって前記板状部材の前記一端から突出する第２の接触子とを有し、
前記基板は、前記第１及び第２の接触子がそれぞれ前記芯線及び前記外皮に接触した状態に、前記スリットに差し込まれている、プローブ。
【請求項２】
前記第１の接触子は前記板状部材の一方の面を一方向へ伸びている、請求項１に記載のプローブ。
【請求項３】
それぞれが、筒状の外被を用いた複数の同軸ケーブルであってそれぞれの芯線がこれの周りの電気絶縁体の一端側から突出された複数の同軸ケーブルと、
前記外皮の一端部の周りに個々に配置された複数のスリーブであってそれぞれが直径方向と平行な方向に間隔をおいた箇所を当該スリーブの長手方向における一端部から途中まで伸びる一対のスリットを備える複数のスリーブと、
該スリーブの一端部に共通に配置された基板とを含み、
前記基板は、電気絶縁性の板状部材と、該板状部材の一方の面を一方向に間隔をおいて形成されて前記板状部材の一端から突出する複数の第１の接触子と、該第１の接触子を間にして前記板状部材の一方の面に形成された複数の第２の接触子であって前記板状部材の前記一端から突出する複数の第２の接触子とを有し、
前記基板は、前記第１及び第２の接触子がそれぞれ前記芯線及び前記外皮に接触した状態に、前記スリットに差し込まれている、プローブ。
【請求項４】
さらに、前記同軸ケーブルの他端部に配置されたコネクタを含む、請求項１から３のいずれか１項に記載のプローブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、集積回路の通電試験に用いるプローブに関する。
【背景技術】
【０００２】
集積回路（ＩＣ）の通電試験（すなわち、検査）は、ある設計や、ある製造方法により所望の製品を得ることができるか否かを判定する技術として、重要な工程の１つである。この種の通電試験は、少なくとも１つのプローブを用い、このプローブをホルダに取り付けてプローブ装置とし、プローブにオーバードライブを作用させて行われる。
【０００３】
この種のプローブの１つとして、金属細線を用いた芯線、この芯線の周りに配置されたゴムのような電気絶縁体、及びこの電気絶縁体の周りに配置された筒状の金属外被を備えたいわゆるセミリジッドケーブルを用いたものがある（特許文献１）。
【０００４】
【特許文献１】特表平８−５１０５５３号公報
【０００５】
上記従来のプローブは、芯線の一端部を電気絶縁体及び金属外被の一端部から突出させて信号用針先部とし、長い一対の導電体（バネ板延長部）をこれらの一端部が芯線の一端部を間にして金属外皮の直径方向に間隔をおいた状態に金属外皮に取り付けてグランド用針先部としている。
【０００６】
しかし、上記従来のプローブでは、導電体を金属外皮に接着してグランド用針先部としなければならないから、信号用針先部及びグランド用針先部の先端部の相対的位置関係が所定の状態になるように、導電体を金属外皮に接着することが難しい。
【０００７】
セミリジッドケーブルを用いた他のプローブとして、信号用針先として作用させる第１の金属片、及び、グランド用針先として作用させる一対の第２の金属片を、それぞれ、芯線及び金属外被の先端に半田のような接着材により接着したものがある。
【０００８】
しかし、上記他のプローブも、第１及び第２の金属片を芯線及び金属外被に接着するから、それら金属片の先端部の位置関係が所定の状態になるように、金属片を接着することが難しい。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、組立や修理が容易で、廉価なプローブとすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係るプローブは、筒状の外被を用いた同軸ケーブルであってこれの芯線がこれの周りの電気絶縁体の一端側から突出された同軸ケーブルと、該同軸ケーブルの一端部の周りに配置されたスリーブであってこれを直径方向と平行な方向に間隔をおいた箇所を当該スリーブの長手方向における一端部から途中まで伸びる一対のスリットを備えるスリーブと、該スリーブの一端部に配置された基板とを含む。
【００１１】
前記基板は、電気絶縁性の板状部材と、該板状部材の一方の面に形成されて前記板状部材の一端から突出する第１の接触子と、前記第１の接触子を間にして前記板状部材の一方の面に形成された一対の第２の接触子であって前記板状部材の前記一端から突出する第２の接触子とを有し、また、前記第１及び第２の接触子がそれぞれ前記芯線及び前記外皮に接触した状態に、前記スリットに差し込まれている。
【００１２】
本発明に係る他のプローブは、それぞれが筒状の外被を用いた複数の同軸ケーブルであってそれぞれの芯線がこれの周りの電気絶縁体の一端側から突出された複数の同軸ケーブルと、前記外皮の一端部の周りに個々に配置された複数のスリーブであってそれぞれが直径方向と平行な方向に間隔をおいた箇所を当該スリーブの長手方向における一端部から途中まで伸びる一対のスリットを備える複数のスリーブと、該スリーブの一端部に共通に配置された基板とを含む。
【００１３】
前記基板は、電気絶縁性の板状部材と、該板状部材の一方の面を一方向に間隔をおいて形成されて前記板状部材の一端から突出する複数の第１の接触子と、該第１の接触子を間にして前記板状部材の一方の面に形成された複数の第２の接触子であって前記板状部材の前記一端から突出する複数の第２の接触子とを有し、また、前記第１及び第２の接触子がそれぞれ前記芯線及び前記外皮に接触した状態に、前記スリットに差し込まれている。
【発明の効果】
【００１４】
上記のプローブにおいて、第１の接触子の先端部は信号用針先部として用いられ、各第２の接触子の先端部はグランド用針先部として用いられる。それらの針先を集積回路の電極に接触させた状態で、プローブにオーバードライブが作用すると、その負荷は同軸ケーブル及び基板が弾性的に湾曲することにより吸収される。
【００１５】
上記のプローブによれば、基板がスリットに差し込まれた状態に、スリーブに配置されているから、基板とスリーブとをユニット化することが容易になる。そのため、基板とスリーブとのユニットを同軸ケーブルと別個に製造し、その後両者を結合することにより、製造することができる。また、プローブ先端の故障時には、基板及びスリーブのユニットを他のユニットに交換することにより、修理をすることができる。それらの結果、組立や修理が容易なり、廉価になる。
【００１６】
前記第１の接触子は前記板状部材の一方の面を一方向へ伸びていてもよい。また、プローブは、さらに、前記同軸ケーブルの他端部に配置されたコネクタを含むことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
図１〜図５を参照するに、プローブ装置１０は、複数（図示の例では、２つ）のプローブ１２と、プローブ１２を片持ち梁状に支持するホルダ１４とを含む。
【００１８】
各プローブ１２は、同軸ケーブル１６を用いており、またスリーブ１８を同軸ケーブル１２の一端（先端）部の周りに配置し、コネクタ２０を同軸ケーブル１８の他端（後端）部に取り付けている。プローブ１２の一端（先端）側には、共通の基板２２がスリーブ１８の一端部に配置されている。
【００１９】
同軸ケーブル１６は、図６に示すように、金属細線を用いた芯線２４の周りに電気絶縁体２６を配置し、電気絶縁体２６の周りに筒状の金属外被２８を配置したセミリジッドケーブルである。芯線２４の一端部は、電気絶縁体２６及び金属外被２８から突出されている。
【００２０】
スリーブ１８は、導電性の金属材料により円筒状に形成されており、また直径方向と平行な方向に間隔をおいた箇所を当該スリーブ１８の長手方向における一端から途中まで伸びる一対のスリット３０を有している。スリーブ１８は、スリット３０が水平となる状態に同軸ケーブル１６の一端部外側に嵌合されて、金属外被２８に半田のような導電性接着材により接着されている。
【００２１】
各コネクタ２０は、対応する同軸ケーブル１６の芯線及び外皮に個々に接続された複数の端子を有しており、プローブ１２を他のケーブルによりテスタに電気的に接続することに用いられる。
【００２２】
基板２２は、コプレナー基板である。基板２２は、図５及び図６に示すように、電気絶縁性の薄い板状部材３２と、板状部材３２の一方の面に形成されて板状部材３２の一端から突出する一対の第１の接触子３４と、各第１の接触子３４を間にして板状部材３２の一方の面に板状部材３２の一端から突出する状態に形成された二対の第２の接触子３６とを有している。
【００２３】
第１及び第２の接触子３４及び３６は、１つの第１の接触子３４と両端に位置する第２の接触子３６とが組とされて、組毎に同軸ケーブル１６に対応されている。中央に位置する第２の接触子３６は、各組で共通とされている。
【００２４】
各組の第１及び第２の接触子３４及び３６は、板状部材３２の一方の面を同軸ケーブル１６の伸長方向に平行に伸びており、また伸長方向と直交する水平方向に間隔をおいている。
【００２５】
第１及び第２の接触子３４及び３６の先端は、それぞれ、集積回路の電極に押圧される先鋭な針先とされている。
【００２６】
基板２２は、第１及び第２の接触子３４及び３６がそれぞれ芯線２４及び金属外皮２８に接触した状態に、スリーブ１８のスリット３０に差し込まれている。第１及び第２の接触子３４及び３６を、それぞれ、芯線２４及び金属外皮２８に半田のような導電性接着材により接着してもよい。
【００２７】
ホルダ１４は、プローブ１２をこれの後端側において片持ち梁状に支持するベース３８と、ベース３８に被せられたカバー４０とを含む。
【００２８】
ベース３８の一端側はプローブの少なくとも先端部が伸びる箇所とされており、ベース３８の他端部はプローブ装置１０を検査装置に取り付けるボルトを通す複数の穴４４を有する取付座４６とされている。
【００２９】
ベース３８は、それぞれプローブ１２が通された複数の穴４８をカバー４０と共同して形成している。カバー４０は、一端側に嵌合されて、複数のボルト（図示せず）によりベース３８に取り付けられている。
【００３０】
各プローブ１２は、同軸ケーブル１６が穴４８の中心を伸びる状態に、コネクタ２０においてベース３８に片持ち梁状に取り付けられている。
【００３１】
プローブ装置１０は、また、プローブ１２の少なくとも先端を変位させて被検査体に対する前記プローブの先端の位置を調整する位置調整手段５０をプローブ１２毎に備えている。
【００３２】
各位置調整手段５０は、図示の例では、穴４８の外から中に貫通する状態にベース３８に螺合された調整ねじ５２と、穴４８内にあって調整ねじに接触するプローブ受け５４とを備えている。調整ねじ５２は、ベース３８へのねじ込み量を調整可能である。
【００３３】
調整ねじ５２は、ベース３８へのねじ込み量を調整可能であり、ねじ込み量を調節することによりプローブ受け５４を変位させてプローブ１２を湾曲させ、それによりプローブ１２に作用させる予圧を調整する。
【００３４】
プローブ装置１０において、第１の接触子３４の先端は信号用針先として用いられ、第２の接触子３６の先端はアース用電極として用いられる。プローブ装置１０は、それらの針先を集積回路の電極に押圧される。これにより、プローブ１２にオーバードライブが作用すると、その負荷は同軸ケーブル１６及び基板２２が弾性的に湾曲することにより吸収される。
【００３５】
上記のプローブ装置１０によれば、基板２２がスリット３０に差し込まれた状態に、スリーブ１８に配置されているから、基板２２とスリーブ１８とをユニット化することが容易になる。そのため、基板２２とスリーブ１８とのユニットを同軸ケーブル１６とは別に製造し、その後両者を結合することにより、製造することができる。
【００３６】
また、プローブ１２の先端の故障時には、基板２２及びスリーブ１８のユニットを他のユニットに交換することにより、修理をすることができる。それらの結果、組立や修理が容易なり、廉価になる。
【００３７】
プローブ１２は、ベース３８への調整ねじのねじ込み量が小さいと、大きな予圧波を与えられないが、ねじ込み量を大きくすると、同軸ケーブル１６において弾性変形して、大きな予圧を与えられる。このため、集積回路に対する針先の位置が安定し、針先が集積回路に押圧されたときの針圧が高くなる。
【００３８】
上記のように予圧が大きいと、大きなオーバードライブをプローブ１２に作用させることなく、目的とする針圧を得ることができるから、集積回路の電極に対する針先の滑り量が少なく、その結果集積回路に対する針先の位置が安定する。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明に係るプローブを用いたプローブ装置の一実施例を示す、カバーを取り外した状態の平面図である。
【図２】プローブの先端部の拡大斜視図である。
【図３】図１における３−３線に沿って得た断面図である。
【図４】図３における４−４線に沿って得た断面図である。
【図５】図２における５−５線に沿って得た断面図である。
【図６】図５における６−６線に沿って得た断面図である。
【符号の説明】
【００４１】
１０  プローブ装置
１２  プローブ
１４  ホルダ
１６  同軸ケーブル
１８  スリーブ
２０  コネクタ
２２  基板
２４  芯線
２６  電気絶縁体
２８  金属外被
３０  スリット
３２  板状部材
３４，３６，  第１及び第２の接触子
３８  ベース
４０カバー
４８  穴
５０  位置調整手段
５２  調整ねじ
５４  プローブ受け
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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