(57)【要約】【課題】クリーンルーム内における搬送車両用のガイドレール内を清掃する際に、より高いクリーン度が得られる清掃用車両を提供する。【解決手段】床面上に配設されて溝状の走行用空間２を有する走行用レール１内を走行自在な走行用車輪２３が設けられて当該走行用レール１を清掃するための清掃用車両１１であって、空気排出穴３１ａにフィルタ３２が設けられてなる空気吸引機３３を車両本体１２に設けるとともに、この空気吸引機３３に接続された吸引ホース３４の先端部に走行用レール１の底面上に開口する空気吸引具３５を設け、空気吸引機３３全体を覆う箱状体３６の壁面に空気排出口３６ａを形成するとともに、この空気排出口３６ａに空気清浄ユニット３７を設けたものである。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
床面上に配設されて溝状の走行用空間を有するガイド部材内を走行自在な走行用車輪が設けられて当該ガイド部材内を清掃するための清掃用車両であって、
空気排出部に除塵部材が設けられてなる空気吸引機を上記車両本体に設けるとともに、この空気吸引機に接続された空気吸引管の先端部に上記ガイド部材の底面上に開口する空気吸引具を設け、
上記空気吸引機全体を箱状体にて覆い、
且つこの箱状体の壁面に空気排出口を形成するとともに、この空気排出口に空気清浄ユニットを設けたことを特徴とする清掃用車両。
【請求項２】
空気吸引具の開口部を、その水平断面形状がガイド部材の幅方向で長くなるような矩形状に形成するとともに、その横断面形状において、前後壁面が下方に行くにしたがって互いに離間するような台形状に形成したことを特徴とする請求項１に記載の清掃用車両。
【請求項３】
空気吸引具の開口部の前後縁部に、ガイド部材の底面に溜まっている塵埃の当該開口部外への移動を防止するためのブラシ材を設けたことを特徴とする請求項１または２に記載の清掃用車両。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばクリーンルーム内に設置されている搬送車両の走行用レール内を、清掃するための清掃用車両に関する。
【背景技術】
【０００２】
空気のクリーン度（清浄度）が要求される場所、例えば病院などにおいても、物品を自動的に搬送するための搬送車両が用いられている。
このような搬送車両としては、他の作業の邪魔にならないように、天井走行式のものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
この天井走行式の搬送車両は、天井に設けられたレール内を走行自在な車輪を有する車両本体に物品の移載機を設けたものであり、また車輪の接触部などで発生する塵埃が周囲に拡散するのを防止する目的で、車輪駆動部に近い車両本体側に空気浄化装置が設けられたものである。
【特許文献１】特開平１１−１００１２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示された搬送車両は病院に設けられるとともに、走行駆動部に近い車両本体側に空気浄化装置を配置したもので、すなわちファンにより走行駆動部近傍の空気を吸引してフィルタを通すだけのものであった。
【０００５】
ところで、半導体基板などを製造するためのクリーンルーム内にも、上述したような搬送車両が設けられており、この搬送車両が床面上を走行する場合、その走行用レールも当然に床側に配設されることになるが、やはり、その走行車輪の接触部において、塵埃が発生し走行用レール内に溜まることになるが、このようなクリーンルームにおいては、単に、ファンにより空気をフィルタに導くようにしたものでは、充分なクリーン度が得られないという問題がある。
【０００６】
そこで、本発明は、クリーンルーム内における搬送車両の走行用レール内を清掃する際に、より高いクリーン度が得られる清掃用車両を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明の請求項１に係る清掃用車両は、床面上に配設されて溝状の走行用空間を有するガイド部材内を走行自在な走行用車輪が設けられて当該ガイド部材内を清掃するための清掃用車両であって、
空気排出部に除塵部材が設けられてなる空気吸引機を上記車両本体に設けるとともに、この空気吸引機に接続された空気吸引管の先端部に上記ガイド部材の底面上に開口する空気吸引具を設け、
上記空気吸引機全体を箱状体にて覆い、
且つこの箱状体の壁面に空気排出口を形成するとともに、この空気排出口に空気清浄ユニットを設けたものである。
【０００８】
また、請求項２に係る清掃用車両は、請求項１に記載の車両における空気吸引具の開口部を、その水平断面形状がガイド部材の幅方向で長くなるような矩形状に形成するとともに、その横断面形状において、前後壁面が下方に行くにしたがって互いに離間するような台形状に形成したものである。
【０００９】
さらに、請求項３に係る清掃用車両は、請求項１または２に記載の車両における空気吸引具の開口部の前後縁部に、ガイド部材の底面に溜まっている塵埃の当該開口部外への移動を防止するためのブラシ材を設けたものである。
【発明の効果】
【００１０】
上記各清掃用車両の構成によると、空気吸引機にてガイド部材内の塵埃が吸引されるとともにその空気排出部に設けられた除塵部材により、清浄化が行われた空気を、箱状体に設けられた空気清浄ユニットにて、さらに清浄化を図るようにしたので、ガイド部材内の塵埃を確実に除去し得るとともに、当該清掃用車両から排出される空気中には塵埃が殆ど存在しなくなり、したがってクリーンルーム内のクリーン度を非常に高い状態に維持することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態に係る清掃用車両について、図面に基づき説明する。
［実施の形態］
本実施の形態に係る清掃用車両を、図１および図２に基づき説明する。
【００１２】
例えば、ウエハなどの半導体基板の製造ラインは、クリーンルーム内に設けられており、高いクリーン度が保たれた状態で製造が行われるとともに、半導体基板の各製造工程間での移動は、自動搬送車両により行われている。
【００１３】
この搬送車両は、溝型の走行用レール内を走行自在な走行用車輪を有するとともに、この走行用レールの底面に配置された磁極片と車両本体の底部に配置されたコイルとの協働により、推力を発生させるリニア駆動方式（リニアモータである）が採用されたものである。
【００１４】
そして、本実施の形態に係る清掃用車両は、上記走行用レール内に溜まった塵埃を除去するもので、図１および図２に基づき説明する。
まず、図１に示すように、走行用レール（ガイド部材）１について説明すると、その断面が矩形状にされて中央に走行用空間２が形成されている。
【００１５】
すなわち、この走行用レール１は、底壁部１ａと、左右の側壁部１ｂと、中央に走行経路に沿うスリット（切欠部）３が形成された上壁部１ｃとから構成されており、左右の側壁部１ｂに近い底壁部１ａの両側壁部１ｂ寄り部分が走行用車輪（後述する）が走行する走行面にされるとともに、底壁部１ａの中央に設けられた凹部内には、リニア駆動、すなわちリニアモータを構成する磁極片４が配置されている。
【００１６】
次に、上記走行用レール１に案内されてリニア駆動により走行されて当該走行用レール１内に溜まった塵埃を除去し得る清掃用車両１１について説明する。
この清掃用車両１１は、図１および図２に示すように、大きく分けて、機器の収納スペース１２ａが設けられた車両本体１２と、この車両本体１２の下面の前後位置から垂下して設けられた前後一対の走行部１３と、同じく車両本体１２に設けられて走行用レール１内を清掃する清掃装置１４とから構成されている。
【００１７】
まず、上記走行部１３について説明しておくと、搬送車両と同一のもので、車両本体１２の前部および後部の下面からそれぞれ垂設された支持軸体２１と、この支持軸体２１の下端部に取り付けられた水平支持板体２２と、この水平支持板体２２の中間位置の両側に水平軸心回りで回転自在に設けられた走行用車輪２３と、同じくこの水平支持板体２２の前後位置の両側に鉛直軸心回りで回転自在に設けられた側部案内用車輪２４とから構成されており、また前後の内、一方の水平支持板体２２間には、リニア駆動用のコイル（一次コイル）２５が配置されており、当該コイル２５に電流を流し、発生する磁束を走行方向で時間的に変化させることにより、床面に配設された磁極片４との間で、車両本体１２を前進させるように推力が発生する。
【００１８】
次に、上記清掃装置１４について説明する。
この清掃装置１４は、収納スペース１２ａに配置され且つそのケーシング３１の端部に複数の空気排出穴（空気排出部）３１ａが形成されるとともに当該空気排出穴３１ａにフィルタ（除塵部材）３２が設けられてなる空気吸引機３３と、一端部（基端部）がこの空気吸引機３３の空気吸込口に接続された吸引ホース（可撓性吸引管）３４と、車両本体１２の下部に配置されるとともに上記吸引ホース３４の他端部（先端部）に例えば支持軸体２１内に形成された中空穴部２１ａを介して接続された空気吸引具（勿論、支持軸体の中空穴部を介さずに、吸引ホースの先端に直接接続するようにしてもよい）３５と、上記空気吸引機３３全体を覆うとともに上壁部に空気排出口３６ａが形成された箱状体（囲撓体ともいう）３６と、この箱状体３６の上壁部に設けられて空気排出口３６ａから排出される空気の清浄化を図るための空気清浄ユニット３７とから構成されている。なお、この空気清浄ユニット３７は、例えば空気吸引機およびこの空気吸引機により吸引された空気中の塵埃を除去するフィルタ（除塵部材）が一体的に設けられたものである。
【００１９】
また、上記空気吸引具３５の開口部（吸込口である）は、その水平断面形状が走行用レール１の幅方向で長くなるような矩形状に形成されるとともに、その縦横断面形状において、前後壁面部が下方に行くにしたがって互いに離間するように台形状（喇叭状）に形成されており、さらに空気吸引具３５の開口部の前後縁部には、走行用レール１の底面に溜まっている塵埃の当該開口部外への流出（移動）をできるだけ防止するとともに空気吸引力を保持するためのブラシ材（例えば、合成繊維系のブラシ毛が用いられたもの）３８が設けられている。なお、図１中、３９は、車両本体１２の前後部に設けられた他の車両との衝突を防止するためのバンパー（勿論、車両との接触を検出する検出機能を具備させてもよい）である。
【００２０】
上記構成において、通常の搬送車両の走行により、走行用レール１内に塵埃が溜まることになるが、例えば定期的に清掃用車両１１が走行されて、当該走行用レール１内に溜まった塵埃が除去される。
【００２１】
以下、清掃用車両１１による清掃作業について説明する。
まず、搬送車両を走行経路外に移動させた後（勿論、搬送車両を走行させた状態でも清掃を行うことができる）、当該走行経路である走行用レール１に清掃用車両１１を導く。
【００２２】
次に、清掃用車両１１の空気吸引機３３および空気清浄ユニット３７を作動させた状態で、コイル２５に電流を流しリニア駆動により、清掃用車両１１を走行させる。
すると、走行用レール１内に溜まった塵埃は、空気吸引具３５の開口部から吸引ホース３４を介して空気吸引機３３に吸引され、ここで、殆どの塵埃がその空気排出穴３１ａに設けられたフィルタ３２にて捕集されて取り除かれ、クリーンにされた空気が箱状体３６内に排出される。
【００２３】
そして、この箱状体３６内に排出された空気は空気排出口３６ａから空気清浄ユニット３７内に入り、ここで、さらに清浄化が行われて、空気のクリーン度が一層高められる。走行用レール１内の清掃が完了すれば、走行用レール１から当該清掃用車両１１を取り出し、そして空気吸引機３３および空気清浄ユニット３７に溜まった塵埃を捨てればよい。
【００２４】
このように、空気吸引機３３にて走行用レール１内の塵埃が吸引されるとともにそのケーシング３１に設けられたフィルタ３２により清浄化が行われた空気を箱状体３６内に排出するとともに、この排出された空気を、さらに空気清浄ユニット３７にて清浄化を図るようにしているので、たとえ、空気吸引機３３から排出される空気中に、粒子径が非常に小さい塵埃が僅かながらでも残っているような場合でも、ほぼ完全に取り除くことができる。
【００２５】
すなわち、走行用レール１内に溜まった塵埃を吸引して除去する際に、清掃装置から排出される空気中には塵埃が殆ど存在しななくなり、したがってクリーンルーム内のクリーン度を非常に高い状態に維持することができる。
【００２６】
ところで、上記実施の形態においては、空気吸引具３５の開口部の前後縁部にブラシ材３８を設けたが、例えば空気吸引力を強くするために、ブラシ材を前後縁部に加えて左右縁部にも設けてもよく、さらに、少なくとも前縁部に設けられるブラシ材の密集度合い（植毛度合い）を、他の縁部のものよりも粗くして、前方の塵埃を空気吸引具３５側に導き易くしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の実施の形態に係る清掃用車両の側面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ矢視図である。
【符号の説明】
【００２８】
１      走行用レール
２      走行用空間
１１      清掃用車両
１２      車両本体
１３      走行部
１４      清掃装置
３１      ケーシング
３１ａ    空気排出穴
３２      フィルタ
３３      空気吸引機
３４      吸引ホース
３５      空気吸引具
３６      箱状体
３６ａ    空気排出口
３７      空気清浄ユニット
３８      ブラシ材
【図１】
2005081947.tif 000003
【図２】
2005081947.tif 000004