(57)【要約】【課題】  様々な形状や容量のボトルのいずれに対しても、同一のチャンバで、性能の優れた蒸着膜を形成可能とし、しかも、コストの低下や、作業効率及び生産性の向上を可能とする。【解決手段】  プラズマ蒸着装置１のチャンバ１０におけるチャンバ内側面１１に対して着脱可能な中子部材１２を装着する。この中子部材１２は、成膜対象物であるボトル２０の形状や容量に応じて適切な形状のものが選択され、チャンバ内側面１１に装着される。しかも、中子部材１２は、ボトル２０の形状等により、チャンバ内側面１１に複数装着することができ、また、小容量のボトル２０の場合は、チャンバ内側面１１の全体に装着することもできる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャンバ内に定置された成膜対象物に蒸着膜を施すプラズマ蒸着装置であって、
前記チャンバの内側面に対して着脱可能な中子部材を備えた
ことを特徴とするプラズマ蒸着装置。
【請求項２】
前記中子部材は、
前記成膜対象物の胴部水平方向断面における短径方向の中心線上付近において最も前記成膜対象物の表面に接近し、かつ、前記接近した部分よりも周辺の部分においては前記成膜対象物の表面との距離が次第に又は急激に遠くなる
ことを特徴とする請求項１記載のプラズマ蒸着装置。
【請求項３】
前記中子部材が、導電性材料により形成された
ことを特徴とする請求項１又は２記載のプラズマ蒸着装置。
【請求項４】
前記中子部材が、前記チャンバの内側面に複数装着された
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のプラズマ蒸着装置。
【請求項５】
前記プラズマ蒸着装置が、マイクロ波又は高周波によりプラズマを発生することで前記成膜対象物に蒸着膜を施す
ことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のプラズマ蒸着装置。
【請求項６】
チャンバ内に定置された成膜対象物に対して蒸着膜を施すプラズマ蒸着方法であって、
前記成膜対象物の形状に応じて複数種類の中子部材の中から選択された一又は二以上の中子部材が内側面に装着されている前記チャンバの内部に、前記成膜対象物が定置され、かつ真空状態にするセッティング工程と、
前記成膜対象物内にプロセスガスを導入し、高周波又はマイクロ波電力をかけ、前記プロセスガスをプラズマ化して、前記成膜対象物の内側表面に前記蒸着膜を形成する膜形成工程とを有した
ことを特徴とするプラズマ蒸着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、成膜対象物の表面や内面に蒸着膜を施すプラズマ蒸着装置及びプラズマ蒸着方法に関し、特に、主要胴部が非円形の断面形状を有するプラスチック容器への膜形成に好適なプラズマ蒸着装置及びプラズマ蒸着方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
化学蒸着法（ＣＶＤ）は、常温では反応の起こらない処理用ガスを用いて、高温雰囲気での気相成長により、処理対象物の表面に反応生成物を膜状に析出させる技術であり、半導体の製造、金属やセラミックの表面改質等に広く採用されている。
最近では、ＣＶＤでも低圧プラズマＣＶＤとしてプラスチック容器の表面改質、特に、ガスバリア性の向上にも応用されている。
【０００３】
プラズマＣＶＤは、プラズマを利用して薄膜成長を行うものであり、基本的には、減圧下において処理用ガスを含むガスを高電界の電気的エネルギーで放電させることにより、解離、結合して生成した物質を、気相中又は処理対象物上で化学反応させることによって、処理対象物上に堆積させる方法である。
プラズマ状態は、グロー放電、コロナ放電、アーク放電などによって実現されるものであり、たとえば、グロー放電の方式としては、直流グロー放電を利用する方法、高周波グロー放電を利用する方法（高周波プラズマＣＶＤ）、マイクロ波放電を利用する方法（マイクロ波プラズマＣＶＤ）などが知られている。
【０００４】
ここで従来の関連技術を見ると、高周波プラズマＣＶＤの具体例として、例えば、プラスチック容器の内側面に硬質炭素膜を形成した炭素膜コーティングプラスチック容器に関する技術がある（例えば、特許文献１参照。）。
また、マイクロ波プラズマＣＶＤの具体例として、例えば、ボトルを筒状のマイクロ波閉じ込め室に同軸に配置して、ボトルの内部とボトルの外部の空間を同時に排気し、かつ、所定の処理時間ボトルの内部に処理ガスを流入させるとともに、マイクロ波をマイクロ波閉じ込め室に導入し、ボトル内部にプラズマを点火維持させて、ボトルを処理するという技術がある（例えば、特許文献２参照。）。
【０００５】
ところで、プラズマＣＶＤによる薄膜蒸着の対象物には、上述したように、例えばプラスチック容器がある。
プラスチック容器は、成形・加工が容易であることや、透明性、耐衝撃性に優れているなどの物性を有していることから、ボトル容器、カップ、パウチ又は包袋シート等の各種包装体として広く利用されている。さらに、ボトル容器は、各種の飲料、調味料、化粧品、薬品などを内容物として利用されている。
従来、ボトル容器は、直立状態における主要胴部の水平方向断面がほぼ円形の円筒形状に形成されているものが多数を占めていた。このため、プラズマ蒸着用装置のチャンバも、従来から円筒形状のものが用いられてきた。
【特許文献１】特開平８−５３１１６号公報
【特許文献２】特表２００１−５１８６８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、近年では、食用油等を内容物とするものとして、直立状態における水平方向断面が長方形や多角形などの扁平角形状（非円形形状）や楕円形状に形成されたボトルが使用されてきている。
また、従来の容量５００［ｍｌ］以上のボトルに加え、近年では、３５０［ｍｌ］や２８０［ｍｌ］、さらには、２００［ｍｌ］といった小容量のボトルも使用されるようになってきた。
【０００７】
これら扁平角形状或いは小容量のボトルに対して蒸着膜を施す場合に、従来の円筒形状のチャンバを備えたプラズマ蒸着装置を用いると、それらボトルの表面とチャンバの内側面との距離が不均一となり或いはさらに離間してしまうため、性能の優れた膜が形成されないという問題があった。
そこで、チャンバ自体の形状をボトルの形状に合わせることが考えられる。例えば、扁平角形状のボトルに蒸着膜を施す場合は、扁平角形状に形成されたチャンバを使用し、小容量のボトルに蒸着膜を施す場合は、円筒形状かつ小型のチャンバを使用するという方法が考えられる。
【０００８】
ところが、その方法を用いるとすると、それらボトルの形状等に応じてチャンバの型替えが必要となるため、作業効率が悪くなるという問題があった。
また、扁平角形状や小容量のボトルをチャンバ内に定置した場合は、円筒形状のボトルを定置した場合に比べて、ボトル内外の真空の引きが遅くなっていた。このため生産性が低下するという問題があった。
さらに、ボトルの形状ごと或いは容量ごとに対応するチャンバをそれぞれ用意しなければならず、かつ、チャンバそれ自体高価なものであるため、ボトルの形状等の種類が多くなるほどコストがかかるという問題があった。
【０００９】
本発明は、上記の諸問題を解決すべくなされたものであり、様々な形状や容量のボトルのいずれに対しても、同一のチャンバで、性能の優れた蒸着膜を形成可能とし、しかも、コストの低下や、作業効率及び生産性の向上を可能とするプラズマ蒸着装置及びプラズマ蒸着方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この目的を達成するため、本発明のプラズマ蒸着装置は、チャンバ内に定置された成膜対象物に蒸着膜を施すプラズマ蒸着装置であって、チャンバの内側面に対して着脱可能な中子部材を備えた構成としてある。
【００１１】
プラズマ蒸着装置をこのような構成とすると、チャンバ内側面と成膜対象物との間に中子（なかご）部材を設けることができ、しかも、その中子部材は、チャンバ内側面に対して着脱可能とすることができる。このため、成膜対象物の形状や容量に応じた最適な形状の中子部材を選んで装着することができ、したがって、様々な形状等の成膜対象物のいずれに対しても、同一のチャンバを使用して、性能の優れた蒸着膜を形成できる。
【００１２】
そして、一台のチャンバが様々な形状等の成膜対象物に対応可能なことから、チャンバの型替えが不要となる。これにより、作業効率を高めることができる。
しかも、中子部材を装着するため、ボトルの形状が扁平角形状であったりその容量が小さいものであったりしても、ボトル内外を真空により早く引くことができる。これにより、生産性を向上させることができる。
さらに、ボトルの形状等ごとにチャンバを用意する必要がなく、一台のチャンバで対応可能なことから、コストの低減を図ることができる。
【００１３】
加えて、中子部材を装着することで、チャンバの内側面に代わる中子部材の表面とボトルの表面との距離を縮めることができる。このため、ボトル表面におけるマイクロ波等の電気的な整合状態が良くなり、性能の優れた蒸着膜を形成できる。さらに、成膜対象物の角部における局所的な熱変形の発生を回避でき、ひいては、成膜処理で発生する不良品の数を減らすことができる。
【００１４】
また、本発明のプラズマ蒸着装置は、中子部材が、成膜対象物の胴部水平方向断面における短径方向の中心線上付近において最も成膜対象物の表面に接近し、かつ、接近した部分よりも周辺の部分においては成膜対象物の表面との距離が次第に又は急激に遠くなる構成としてある。
プラズマ蒸着装置をこのような構成とすれば、成膜対象物の平面部分では他の部分と同様に性能の優れた蒸着膜を形成でき、一方、角部では局所的な熱変形の発生を抑えることができる。
【００１５】
なお、中子部材は、チャンバの内側面のうち成膜対象物の表面との距離が最も近い部分を除いた部分（特に、成膜対象物の角部に対向した部分以外の部分）に装着することができる。この場合、成膜対象物の平面部におけるマイクロ波等の電気的な整合状態が良くなり、性能の優れた蒸着膜を形成できる。しかも、エネルギーを必要以上に与えなくてもよくなるため、成膜対象物の角部における局所的な熱変形の発生を回避でき、ひいては、成膜処理で発生する不良品の数を減らすことができる。
【００１６】
また、本発明のプラズマ蒸着装置は、中子部材が、導電性材料により形成された構成としてある。
プラズマ蒸着装置をこのような構成とすると、中子部材が導電性材料により形成されているため、成膜対象物の表面のうち中子部材に対向した部分においては、マイクロ波等の電気的な整合状態を改善できる。そして、この導電性材料により形成された中子部材をボトルの形状等に応じて選択しチャンバに装着することにより、様々な形状のボトルに対する薄膜形成を一台のチャンバで対応することができる。
【００１７】
また、本発明のプラズマ蒸着装置は、中子部材が、チャンバの内側面に複数装着された構成としてある。
プラズマ蒸着装置をこのような構成とすれば、成膜対象物の形状等に応じて中子部材を適切な数だけ選択し装着することができる。例えば、成膜対象物の水平方向断面が四角形の場合は、中子部材を４つ選択し、その成膜対象物の平面部分に対向するチャンバ内側面上の部分にそれぞれ装着する。また、水平方向断面が五角形の場合は、中子部材を５つ、六角形の場合は中子部材を６つなどというように選択することができる。
これにより、様々な形状等のボトルに対しその形状等に応じた数の中子部材を選択し装着することができ、これにより、一台のチャンバで対応可能となる。
【００１８】
また、本発明のプラズマ蒸着装置は、マイクロ波又は高周波によりプラズマを発生することで成膜対象物に蒸着膜を施す構成としてある。
プラズマ蒸着装置をこのような構成とすると、中子部材の装着により様々な形状等のボトルを同一のチャンバにて対応可能という効果を、マイクロ波ＣＶＤにおいても、また、高周波ＣＶＤにおいても実現できる。
【００１９】
また、本発明のプラズマ蒸着方法は、チャンバ内に定置された成膜対象物に対して蒸着膜を施すプラズマ蒸着方法であって、成膜対象物の形状に応じて複数種類の中子部材の中から選択された一又は二以上の中子部材が内側面に装着されているチャンバの内部に、成膜対象物が定置され、かつ真空状態にするセッティング工程と、成膜対象物内にプロセスガスを導入し、高周波又はマイクロ波電力をかけ、プロセスガスをプラズマ化して、成膜対象物の内側表面に蒸着膜を形成する膜形成工程とを有した方法としてある。
【００２０】
プラズマ蒸着方法をこのような方法とすると、成膜対象物の形状に応じて複数種類の中子部材の中から選択された一又は二以上の中子部材がチャンバの内側面に装着されるため、形状等の異なる複数種類の成膜対象物に対して同一のチャンバにより薄膜形成を行うことができる。
さらに、チャンバの型替えが不要となり、しかも、成膜対象物（ボトル）内外を真空により早く引くことができ、生産性を向上できる。
加えて、その中子部材により、成膜対象物の表面とチャンバの内側面（中子部材の表面）との距離を調整できるため、成膜対象物におけるマイクロ波等の電気的整合性を向上でき、これによりマイクロ波等のエネルギーの利用効率を向上できる。しかも、成膜対象物の角部における局所的な熱変形の発生を抑止できる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、チャンバの内側面に対して着脱可能に、ボトルの形状等に応じて選択された中子部材が装着されるため、様々な形状や容量のボトルのいずれに対しても、同一のチャンバで、性能の優れた蒸着膜を形成することができる。
しかも、一台のチャンバで複数種類のボトルの成膜が可能となることから、設備コストを抑えることができ、さらに作業効率や生産性を向上できる。
加えて、中子部材によりチャンバの内側面と成膜対象物の表面との間の距離が調整されるため、成膜対象物におけるマイクロ波等の電気的整合状態を良好な状態にでき、成膜対象物の角部における局所的な熱変形を回避できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明に係るプラズマ蒸着装置及びプラズマ蒸着方法の好ましい実施形態について、図面を参照して説明する。
【００２３】
［実施形態］
まず、本発明のプラズマ蒸着装置の実施形態について、図１を参照して説明する。
同図は、本実施形態におけるプラズマ蒸着装置の構造を示す構造断面図であって、（ａ）は、上面断面図（（ｂ）のＡ−Ａ断面図）、（ｂ）は、側面断面図である。
なお、本実施形態におけるプラズマ蒸着装置は、マイクロ波ＣＶＤ法又は高周波ＣＶＤ法によりプラズマを発生させて成膜対象物（例えば、ボトル２０）に蒸着膜を施すものである。
【００２４】
ここで、同図（ａ）,（ｂ）に示すように、プラズマ蒸着装置１は、チャンバ１０の内面（内側面）１１に中子部材１２が着脱可能に装着されている。
中子部材１２を着脱可能とすることにより、ボトル２０の形状等に応じた任意の形状の中子部材１２を選択してチャンバ１０の内側面１１に装着することができる。これにより、同一のチャンバ１０を用いて様々な形状や容量のボトル２０に蒸着膜を施すことができる。
この中子部材１２を装着する方法としては、例えば、同図（ｂ）に示すように、ボルト１３などで固定する方法などがある。ただし、中子部材１２の装着方法は、ボルト１３を用いた方法に限るものではなく、例えば、嵌合や接着などによって装着することもできる。
【００２５】
中子部材１２の形状は、図２（ａ）〜（ｆ）に示すように、ボトル２０の形状に応じた任意の形状とすることができる。
例えば、同図（ａ）に示すように、中子部材１２の露出面（表面）１２−１が平面（平坦）となるような形状とすることができる。また、同図（ｂ）,（ｄ）,（ｅ）,（ｆ）に示すように、露出面１２−１に角部１２−２（二つの平面の接合部分及びその近傍や、その接合部分が半径の短い曲面に加工されたものを含む）を設けたり、同図（ｃ）に示すように、露出面（表面）１２−１の全体に曲面に形成したりすることもできる。
なお、同図（ａ）〜（ｃ）に示すように、ボトル２０の形状が同一であっても、異なる形状の中子部材１２を用いることができる。ただし、同図（ａ）の場合は、ボトル２０の角部に熱変形が生じる可能性があるため、同図（ｂ）や（ｃ）に示す形状の中子部材１２を用いるのが望ましい。
【００２６】
さらに、中子部材１２は、一台のチャンバ１０に対して、二つ（同図（ａ）〜（ｃ））、三つ（同図（ｄ））、四つ（同図（ｅ））、五つ（同図（ｆ））、あるいはそれ以上の数だけ設けることができる。
この中子部材１２の数は、ボトル２０の形状や、チャンバ内側面１１とボトル２０の表面２１との距離などによって決めることができる。
特に、ボトル２０の表面２１上、マイクロ波等の電気的整合状態が悪くなる部分が複数ある場合は、それら各箇所に対向するチャンバ内側面１１の各位置にそれぞれ中子部材１２を装着することが望ましい。
なお、一台のチャンバ１０に装着される中子部材１２が複数ある場合は、同図（ｅ）に示すように、それぞれ異なった形状とすることもできる。
【００２７】
そして、中子部材１２は、図３に示すように、ボトル２０の直立状態における胴部水平方向断面の短径方向２２の中心線上付近１２−３において最もそのボトル２０の表面２１に接近し、その周辺部１２−４においてはボトル２０の表面２１との距離が次第に又は急激に遠くなるような形状とすることができる。
中子部材１２をこのような形状とすることで、チャンバ内側面１１のうちボトル２０の角部に対向する部分には、中子部材１２が装着されないか、あるいは厚みの薄い中子部材１２が装着される。これにより、ボトル２０の角部では、中子部材１２の接近によりエネルギーが極度に集中することを回避できることから、局所的な熱変形を生じにくくすることができる。
【００２８】
また、中子部材１２は、チャンバ１０の内側面１１の一部に装着することもでき（図２（ａ）〜（ｆ））、チャンバ１０の内側面１１の全体に装着することもできる（図４（ａ）〜（ｂ））。
チャンバ１０の内側面１１の全体に中子部材１２を装着することにより、特に小容量のボトル２０にも対応可能となる。
なお、チャンバ１０の内側面１１の全体に装着された中子部材１２の水平方向断面における内面の形状は、図４（ａ）に示すように円形とすることもでき、また、同図（ｂ）に示すように、ボトル２０の形状に合わせて方形又はそれに近い形状等（例えば、四角形又はそれに近い形状など）とすることもできる。
【００２９】
これら中子部材１２は、チャンバ内側面１１と同様、導電性材料で形成されている。
この中子部材１２を形成する導電性材料としては、例えば、アルミニウムやステンレスなどが挙げられる。
中子部材１２を導電性材料で形成することにより、成膜対象物におけるマイクロ波等の電気的な整合状態を良好にすることができ、エネルギー効率を向上できる。
【００３０】
なお、中子部材１２が設けられる位置は、チャンバ内側面１１のうち、ボトル２０の表面２１との距離が最も近い部分を除いた部分とすることができる。つまり、中子部材１２は、チャンバ内側面１１のうち、ボトル２０の表面２１との距離が比較的離れた部分に装着される。
例えば、ボトル２０の主要胴部の断面形状が扁平角形状の場合、その主要胴部の角部１２−２とチャンバ内側面１１との距離は近くなる。一方、その主要胴部の平面部分とチャンバ内側面１１との距離は離れたものとなる。
この比較的離れた部分のチャンバ内側面に中子部材１２を設けることで、チャンバ内側面１１に代わる中子部材１２の表面とボトル２０の表面２１との距離を近くすることができる。これにより、ボトル２０の表面２１におけるマイクロ波等の電気的整合性を向上してマイクロ波エネルギーの利用効率を高めることができる。
【００３１】
次に、チャンバ内に定置されたボトルに対して蒸着膜を施すプラズマ蒸着方法について、図５を参照して説明する。
まず、形状の異なる複数種類の中子部材１２が予め用意されている（ステップ１０）。
これら複数種類の中子部材１２の中から、ボトル２０の形状に応じて、一又は二以上の中子部材１２が選択される（ステップ１１）。
【００３２】
次いで、この選択された中子部材１２がチャンバ内側面１１に装着される（ステップ１２）。
この中子部材１２が装着されたチャンバ１０の内部に、ボトル２０が定置される（ステップ１３）。
そして、チャンバ１０の内部及びボトル２０の内部が真空状態にされる（ステップ１４）。
【００３３】
続いて、ボトル２０の内部にプロセスガスが導入され（ステップ１５）、高周波又はマイクロ波電力がかけられ（ステップ１６）、プロセスガスがプラズマ化されて（ステップ１７）、ボトル２０の表面２１に蒸着膜が形成される（ステップ１８）。
なお、本実施形態においては、ステップ１０からステップ１４をセッティング工程、ステップ１５からステップ１８を膜形成工程という。
【００３４】
［実施例］
次に、チャンバ内側面に中子部材を装着した場合の効果を確認するための成膜の実施例について、図６を参照して説明する。
成膜対象物である供試ボトルとしては、次のようなＰＥＴ製二軸延伸ボトルを用意した。
（１）円筒形状のボトルＡ１
飲料用ＰＥＴボトル（５００ｍｌ用）
胴径：φ６４
ハイト：２０５［ｍｍ］
（２）円筒形状のボトルＡ２
飲料用ＰＥＴボトル（２５０ｍｌ用）
胴径：φ４９
ハイト：１７０［ｍｍ］
（３）扁平八角形の角柱形状のボトルＢ１
食用油用ＰＥＴボトル（６００ｇ用）
長径×短径：７９［ｍｍ］×５９［ｍｍ］
扁平比：１．３４
ハイト：２１０［ｍｍ］
（４）扁平八角形の角柱形状のボトルＢ２
食用油用ＰＥＴボトル（６００ｇ用）
長径×短径：８１［ｍｍ］×５５［ｍｍ］
扁平比：１．４７
ハイト：２１０［ｍｍ］
（５）正方形の角柱形状のボトルＣ
飲料用ＰＥＴボトル（５００ｍｌ用）
主要胴部の水平方向断面における一辺の長さ：６０［ｍｍ］
ハイト：２０５［ｍｍ］
【００３５】
プラズマ蒸着装置は、次のような規格のものを使用した。
（１）チャンバ
内径：φ９０［ｍｍ］、φ１０６［ｍｍ］
（２）真空度
ボトル内：２０［Ｐａ］
チャンバ内：５０００［Ｐａ］
（３）原料ガス
珪素源：ＨＭＤＳＯ（ヘキサメチルジシロキサン）、３［ｓｃｃｍ］
酸化源：Ｏ２（酸素）、３０［ｓｃｃｍ］
（４）マイクロ波
２．４５［ＧＨｚ］、６００［Ｗ］
【００３６】
本実施例においては、次の項目について測定した。
（１）エネルギー利用率
蒸着を行うためにマイクロ波発振器から供給されたマイクロ波（入射波）の強度［Ｗ］と、蒸着に有効利用されずにチャンバ側から発振器側へ戻ってきたマイクロ波（反射波）の強度［Ｗ］から、次式により算出してｎ＝１０の平均値を求めた。
エネルギー利用率［％］＝（１−（反射波強度［Ｗ］／入射波強度［Ｗ］））×１００                                          ・・・（式１）
なお、目標値は、８０［％］以上とする。
（２）水分バリア性能
蒸着していない容器に蒸留水を充填し、充填後の重量と（４０℃−ＲＨ２０％の条件で１週間経時したのちの重量との差分から水分透過量を計算し、ｎ＝１０での平均値を求めた。
この値を、同様にして求めた蒸着後の容器での水分透過量で割ることによる倍率から、蒸着された膜の水分バリア性能を求めた。
目標値は、４．０倍以上とする。
なお、これら項目の測定結果にもとづき総合評価を行った。すなわち、エネルギー利用率及び水分バリア性能の各項目の測定結果を目標値（目標範囲）と比較することにより、＜測定１＞〜＜測定９＞の各条件下における薄膜形成の評価を行った。
【００３７】
＜測定１＞
測定１として、φ６４の円筒形状のボトルＡ１について、中子部材を有しないφ９０の円形チャンバ内で蒸着を試みた。
この条件下においては、エネルギー利用率が８７［％］、膜の水分バリア性能が４．７［倍］であった。
この結果、いずれの測定項目も目標値に達していたことから、総合評価は「○」であった。
【００３８】
＜測定２＞
測定２として、φ６４の円筒形状のボトルＡ１について、中子部材を有しないφ１０６の円形チャンバ内で蒸着を試みた。
この条件下においては、エネルギー利用率が６２［％］、膜の水分バリア性能が２．０［倍］であった。
この結果、いずれの測定項目も目標値に達しなかったことから、総合評価は「×」であった。
なお、測定２の総合評価が「×」となった原因としては、チャンバ内側面とボトルとの距離が遠いため（＜測定１＞におけるチャンバ内側面とボトルとの距離に比べて遠くなっているため）と考えられる。
【００３９】
＜測定３＞
測定３として、φ６４の円筒形状のボトルＡ１について、ドーナツ型（８［ｍｍ］厚）の中子部材が装着されたφ１０６の円形チャンバ内で蒸着を試みた。
この条件下においては、エネルギー利用率が８５［％］、膜の水分バリア性能が４．６［倍］であった。
この結果、いずれの測定項目も目標値に達していたことから、総合評価は「○」であった。
この測定３において総合評価が「○」となった理由としては、ボトルＡ１の形状に適応した中子部材を装着したためと考えられる。
【００４０】
＜測定４＞
測定４として、φ４９の円筒形状のボトルＡ２について、ドーナツ型（１５［ｍｍ］厚）の中子部材が装着されたφ１０６の円形チャンバ内で蒸着を試みた。
この条件下においては、エネルギー利用率が８８［％］、膜の水分バリア性能が４．３［倍］であった。
この結果、いずれの測定項目も目標値に達していたことから、総合評価は「○」であった。
この測定４において総合評価が「○」となった理由としては、ボトルＡ２の形状に適応した中子部材を装着したためと考えられる。例えば、測定３においては、ボトルＡ１の直径φ６４に応じた厚さ８［ｍｍ］の中子部材を装着したのに対し、測定４においては、ボトルＡ２の直径φ４９に応じた厚さ１５［ｍｍ］の中子部材を装着した。このように、チャンバ内側面に代わる中子部材の表面とボトルの表面との距離が適切な距離となるように中子部材を選択することで、性能の優れた蒸着膜を形成できる。
【００４１】
＜測定５＞
測定５として、扁平八角形の角柱形状のボトルＢ１について、中子部材を有しないφ１０６の円形チャンバ内で蒸着を試みた。
その条件下においては、エネルギー利用率が４７［％］、水分バリア性能が１．４［倍］しか得られず、蒸着膜の性質が悪いものとなった。この結果、いずれの測定項目も目標値に達しなかったことから、総合評価は「×」となった。
この結果が示すように、中子部材を有しない円形チャンバを用いて扁平角形状のボトルに蒸着膜を施そうとすると、ボトル２０の表面２１におけるマイクロ波等の電気的整合性が悪くなるため、性能の優れた薄膜を形成できない。
【００４２】
＜測定６＞
測定６として、扁平八角形の角柱形状のボトルＢ１について、チャンバ径がφ１０６の円形チャンバ内で蒸着を試みた。なお、このチャンバの内側面には、ボトルＢ１の主要胴部の水平方向断面における２つの長辺側に対向する各位置（計２箇所）に、台形型（１４［ｍｍ］厚）の中子部材を装着した。
その条件下においては、エネルギー利用率が８２［％］、水分バリア性能が４．５［倍］であった。
この結果、いずれの測定項目も目標値に達していたことから、総合評価は「○」であった。
この結果が示すように、中子部材（特に、台形の中子部材）が装着された円形チャンバを用いて扁平角形状のボトルに蒸着膜を施すことで、性能の優れた薄膜を形成できる。
【００４３】
＜測定７＞
測定７として、扁平八角形の角柱形状のボトルＢ２について、チャンバ径がφ１０６の円形チャンバ内で蒸着を試みた。なお、このチャンバの内側面には、ボトルＢ１の主要胴部の水平方向断面における２つの長辺側に対向するチャンバ内側面上の各位置（計２箇所）に、台形型（１４［ｍｍ］厚）の中子部材を装着した。
その条件下においては、エネルギー利用率が８０［％］、水分バリア性能が４．１［倍］であった。
この結果、いずれの測定項目も目標値に達していたことから、総合評価は「○」であった。
【００４４】
＜測定８＞
測定８として、扁平八角形の角柱形状のボトルＢ２について、チャンバ径がφ１０６の円形チャンバ内で蒸着を試みた。なお、このチャンバの内側面には、ボトルＢ１の主要胴部の水平方向断面における２つの長辺側に対向するチャンバ内側面上の各位置（計２箇所）に、台形型（２０［ｍｍ］厚）の中子部材を装着した。
その条件下においては、エネルギー利用率が９０［％］、水分バリア性能が４．８［倍］であった。
この結果、いずれの測定項目も目標値に達しており、しかも、高い値を示していることから、総合評価は「◎」であった。
この測定８において総合評価が「◎」となった理由は、ボトルＢ２の形状に適応した中子部材を装着したためと考えられる。
【００４５】
＜測定９＞
測定９として、水平断面が正方形のボトルＣについて、チャンバ径がφ１０６の円形チャンバ内で蒸着を試みた。なお、このチャンバの内側面には、ボトルＣの主要胴部の水平方向断面における４つの辺にそれぞれ対向するチャンバ内側面上の各位置（計４箇所）に、台形型（２０［ｍｍ］厚）の中子部材を装着した。
その条件下においては、エネルギー利用率が８５［％］、水分バリア性能が４．５［倍］であった。これにより、総合評価は「○」となった。
【００４６】
以上、本発明のプラズマ蒸着装置及びプラズマ蒸着方法の好ましい実施形態について説明したが、本発明に係るプラズマ蒸着装置及びプラズマ蒸着方法は上述した実施形態にのみ限定されるものではなく、本発明の範囲で種々の変更実施が可能であることは言うまでもない。
例えば、図１（ｂ）においては、中子部材がチャンバ内部の上面から下面にかけて装着されているが、上面から下面にかけて装着されることに限るものではなく、例えば、チャンバ内部の側面の一部に中子部材を装着することもできれば、ボトルの高さ方向のプロファイルが均一でない場合には中子部材の厚みを高さ方向で変えるようにすることもできる。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明は、チャンバの構造に関する発明であるため、成膜を行う装置や方法において利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明のプラズマ蒸着装置の構造を示す構造断面図であって、（ａ）は、上面断面図（（ｂ）のＡ−Ａ断面図）、（ｂ）は、側面断面図である。
【図２】成膜対象物（ボトル）の形状に対応した中子部材の形状や個数等の具体例を示す概略図である。
【図３】中子部材の形状の他の具体例を示す概略図である。
【図４】中子部材の形状のさらに他の具体例を示す概略図である。
【図５】プラズマ蒸着方法の処理手順を示すフローチャートである。
【図６】実施例における各測定の条件及び結果を示す図表である。
【符号の説明】
【００４９】
１  プラズマ蒸着装置
１０  チャンバ
１１  チャンバ内側面
１２  中子部材
１２−１  露出面
１２−２  角部
１２−３  短径方向の中心線上付近
１２−４  周辺部
１３  ボルト
１４  チャンバ筐体
２０  ボトル
２１  表面
２２  短径方向
２３  長径方向
１００  チャンバ
２１０  円筒形状のボトル
２２０  扁平角形状のボトル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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