(57)【要約】【課題】  液晶装置等を構成する基板装置において、コンタクトホール付近における微細化及び低抵抗化を図る。【解決手段】  基板装置は、基板と、該基板上に形成された下層導電部と、該下層導電部上に積層された層間絶縁膜と、該層間絶縁膜上に形成された上層導電部とを備えている。層間絶縁膜にはコンタクトホールが開孔されており、該コンタクトホール内に、その側壁に沿って側壁膜が形成されており、該側壁膜によって、コンタクトホール内に、コンタクトホールの縁における径より小径であり且つ上層導電部側からコンタクトホールの底に向かう小穴が規定されており、上層導電部を構成する導電膜は、層間絶縁膜上における小穴外から小穴内まで連続的に設けられている。【選択図】      図１
2005062759.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
該基板上に形成された導電膜からなる一の配線、電極又は電子素子の少なくとも一部である下層導電部と、
該下層導電部上に積層された層間絶縁膜と、
該層間絶縁膜上に形成された導電膜からなる他の配線、電極又は電子素子の少なくとも一部である上層導電部と
を備えており、
前記層間絶縁膜には、前記下層導電部と前記上層導電部とを相互に電気的に接続するためのコンタクトホールが開孔されており、
該コンタクトホール内に、その側壁に沿って形成された側壁膜を更に備えており、
該側壁膜によって、前記コンタクトホール内に、前記コンタクトホールの縁における径より小径であり且つ前記上層導電部側から前記コンタクトホールの底に向かう小穴が規定されており、
前記上層導電部を構成する導電膜は、前記層間絶縁膜上における前記小穴外から前記小穴内まで連続的に設けられていることを特徴とする基板装置。
【請求項２】
前記側壁膜は、前記小穴が前記下層導電部まで至る貫通穴となると共に該貫通穴の底部の周囲にて前記下層導電部に接触するように形成されており、
前記上層導電部を構成する導電膜は、前記貫通穴を介して前記下層導電部に接触するように形成されていることを特徴とする請求項１に記載の基板装置。
【請求項３】
前記側壁膜は、前記小穴が前記下層導電部まで至らない貫通穴となると共に該貫通穴の底部の周囲にて前記下層導電部に接触しないように形成されており、
前記上層導電部を構成する導電膜は、前記貫通穴及び前記貫通穴よりも前記下層導電部に近い側を占める前記コンタクトホール部分を介して前記下層導電部に接触するように形成されていることを特徴とする請求項１に記載の基板装置。
【請求項４】
前記側壁膜は、導電膜からなることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の基板装置。
【請求項５】
前記側壁膜は、前記小穴が貫通穴とならないと共に前記小穴の底部及びその周辺にて前記下層導電部に接触するように形成されていることを特徴とする請求項４に記載の基板装置。
【請求項６】
前記側壁膜は、前記小穴の縁の高さが前記コンタクトホールの縁の高さより低くなるように形成されていることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の基板装置。
【請求項７】
前記側壁膜は、前記小穴の縁が前記コンタクトホールの縁と同一高さとなるように形成されていることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の基板装置。
【請求項８】
前記小穴の縁には、テーパが形成されていることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の基板装置。
【請求項９】
前記側壁膜は、多層膜からなることを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の基板装置。
【請求項１０】
前記側壁膜は、前記上層導電部を構成する導電膜よりも遮光性に優れた材料からなることを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載の基板装置。
【請求項１１】
請求項１から９のいずれか一項に記載の基板装置を備えたことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１２】
請求項１０に記載の基板装置と、
前記基板に、平面的に見て前記下層導電部及び前記コンタクトホールを覆うように形成された遮光膜と
を備えたことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１３】
請求項１０に記載の基板装置と、
前記基板装置に対向配置された対向基板と、
前記基板装置及び前記対向基板間に挟持された電気光学物質と、
前記基板及び前記対向基板のうち少なくとも一方に、平面的に見て前記下層導電部及び前記コンタクトホールを覆うように形成された遮光膜と
を備えたことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１４】
前記基板上における画像表示領域内に配置された複数の画素電極と、各画素の非開口領域内に配置されると共に前記画素電極をスイッチング制御するための薄膜トランジスタとを備えており、
前記下層導電部は、前記薄膜トランジスタに接続されており、
前記遮光膜は、平面的に見て前記薄膜トランジスタを覆うように形成されていることを特徴とする請求項１２又は１３に記載の電気光学装置。
【請求項１５】
請求項１１から１４のいずれか一項に記載の電気光学装置を具備してなることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば液晶装置等の電気光学装置、半導体装置一般などに用いられる、基板上の積層構造内にコンタクトホールを有する基板装置、並びにそのような基板装置を備えた電気光学装置及び各種電子機器の技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の基板装置では、基板上に、配線や電極等の所定形状にパターニングされた複数の導電膜が層間絶縁膜を介して積層形成されている。ここで回路設計上、層間絶縁膜を介して積層された、配線や電極或いは薄膜トランジスタ（以下適宜“ＴＦＴ”と称する）などの各種電子素子を構成する二つの上下の導電膜部分を、相互に電気的に接続する場合がある。このような場合には、上層側の導電膜部分（本願では適宜、単に“上層導電部”と称する）と下層側の導電膜部分（本願では適宜、単に“下層導電部”と称する）の間に介在する層間絶縁膜にコンタクトホールを開孔し、両導電部間の電気的な接続をとるのが一般的である。
【０００３】
より具体的には、例えば、このような基板装置の製造工程中で、パターニングされた下層導電部の上に層間絶縁膜を形成した後に、これに対してコンタクトホールを開孔する。更に、層間絶縁膜上に、先ず蒸着、スパッタリング等によって導電膜を、コンタクトホール内も含めて層間絶縁膜上の一面に成膜し、その後、パターニングによってコンタクトホール部分を含む所定パターンの上層導電部を層間絶縁膜上に残す。これらにより、コンタクトホール内に形成された上層導電部を構成する導電膜部分を介して、上層導電部と下層導電部とが電気的に接続された積層構造が得られる（特許文献１及び２参照）。
【０００４】
他方、このようなコンタクトホールを開孔後に、その内部にタングステン等の導電性金属でプラグを形成することで、上層導電部と下層導電部とを電気的に接続する技術も開発されている。
【０００５】
【特許文献１】特開平８−８３４９号公報
【特許文献２】特開平９−６４２９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述の如きコンタクトホール内を含めて層間絶縁膜の一面に導電膜を形成して上層導電部を形成する技術によれば、コンタクトホール内では、蒸着、スパッタリング等を用いた成膜過程においてその性質上、上層導電部を構成する導電膜からなる側壁部が相対的に薄くなる。しかも、コンタクトホールの径が小さくなると、コンタクトホールの底部における上層導電部を形成する導電膜からなる部分も相対的に薄くなってしまう。更に、不用意に上層導電部を構成する導電膜の膜厚を増大させたのでは、コンタクトホール内に形成される側壁部は、コンタクトホールの開口付近が肉厚となると共に奥付近が肉薄になる、所謂「オーバーハング」形状となりやすく、コンタクトホール内の導電膜による電気的な接続がとり難くなる。これらの結果、コンタクトホール内において上層導電膜の部分により実現される電気抵抗が高くなってしまうという技術的問題点がある。
【０００７】
更に、このようなコンタクトホール内における側壁部や底部における成膜不良に起因した電気抵抗の増加は、画素ピッチの微細化や配線ピッチの微細化、特に、これらに伴い必要とされるコンタクトホールの径の微細化を進めるに連れて、より顕在化してしまう。
【０００８】
他方、上述の如きコンタクトホール内にプラグを形成する場合、その製造途中で、コンタクトホール開孔後における層間絶縁膜全体にタングステン膜をスパッタリング等で形成した時点で、その応力によって基板に反りが発生してしまう。このため、基板上における積層構造内に構築された配線等が、クラックにより破壊されるなど、プラグを形成するための工程中で諸弊害を起こしかねない。
【０００９】
本発明は、例えば上記問題点に鑑みなされたものであり、微細化に適していると共に低抵抗化が容易であるコンタクトホールを有する基板装置並びに該基板装置を備えた電気光学装置及び各種電子機器を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の基板装置は上記課題を解決するために、基板と、該基板上に形成された導電膜からなる一の配線、電極又は電子素子の少なくとも一部である下層導電部と、該下層導電部上に積層された層間絶縁膜と、該層間絶縁膜上に形成された導電膜からなる他の配線、電極又は電子素子の少なくとも一部である上層導電部とを備えており、前記層間絶縁膜には、前記下層導電部と前記上層導電部とを相互に電気的に接続するためのコンタクトホールが開孔されており、該コンタクトホール内に、その側壁に沿って形成された側壁膜を更に備えており、該側壁膜によって、前記コンタクトホール内に、前記コンタクトホールの縁における径より小径であり且つ前記上層導電部側から前記コンタクトホールの底に向かう小穴が規定されており、前記上層導電部を構成する導電膜は、前記層間絶縁膜上における前記小穴外から前記小穴内まで連続的に設けられている。
【００１１】
本発明の基板装置によれば、基板上に、下層導電部と上層導電部とが、層間絶縁膜を介して積層形成され、且つ両者間がコンタクトホールにより電気的に接続された積層構造が得られる。このため、下層導電部と上層導電部とを夫々、例えば配線や電子素子の一部をなす導電膜から構成すれば、基板上の積層構造内に、各種配線や電子素子を作り込むことができる。よって、例えば電気光学装置或いは電気光学パネルやその駆動回路等の各種の電気電子装置を構築できる。
【００１２】
ここで特に、コンタクトホール内には、側壁に沿って、側壁膜によってコンタクトホールの底に向かう小穴が規定されている。ここに「側壁に沿って」とは、側壁に並行である場合及び側壁に斜めに沿っている場合の両者を含み、側壁に垂直である場合を除く趣旨である。また「小穴」の径は、コンタクトホールの縁、即ち、層間絶縁膜の表面におけるコンタクトホールの輪郭における径より小さい。尚、この場合の「小穴」は、下層導電部まで貫通する貫通穴でもよいし、非貫通穴でもよいが、後者の場合には、側壁膜となると共に小穴の底をなす材料膜は、コンタクトホールを介しての電気的接続のために導電膜である必要がある。
【００１３】
そして、上層導電部を構成する導電膜は、層間絶縁膜上における小穴外から小穴内まで連続的に設けられているので、上層導電部と下層導電部とは、小穴内に設けられた導電膜部分及び側壁膜部分によって、コンタクトホール内を介して相互に電気的に接続されることになる。そして、コンタクトホール内に小穴が開いているので、コンタクトホールの入口付近に、コンタクトホール単独の場合よりも緩やかな傾斜形状或いは段差形状を、コンタクトホール及び小穴の組合せにより容易に実現できる。従って、上層導電部を構成する導電膜が、例えばそのスパッタリング等による成膜の際に、コンタクトホール内でオーバーハング形状やピンチオフ形状となるのを効果的に防止できる。このため、コンタクトホールにより接続される、上層又は下層導電部である配線のピッチを狭めたり、電子素子等の微細化を進めることも可能となる。
【００１４】
以上の結果、本発明の基板装置によれば、微細化に適していると共に低抵抗化が容易であるコンタクトホールを有する基板装置を実現できる。
【００１５】
本発明の基板装置の一態様では、前記側壁膜は、前記小穴が前記下層導電部まで至る貫通穴となると共に該貫通穴の底部の周囲にて前記下層導電部に接触するように形成されており、前記上層導電部を構成する導電膜は、前記貫通穴を介して前記下層導電部に接触するように形成されている。
【００１６】
この態様によれば、小穴として下層導電部に至る貫通穴が規定されているので、貫通穴内に成膜された上層導電部を構成する導電膜部分を介して、上層導電部と下層導電部との電気的な接続が得られる。また、側壁膜に導電性があれば、これによっても、コンタクトホール内の電気抵抗を低めることができる。
【００１７】
或いは本発明の基板装置の他の態様では、前記側壁膜は、前記小穴が前記下層導電部まで至らない貫通穴となると共に該貫通穴の底部の周囲にて前記下層導電部に接触しないように形成されており、前記上層導電部を構成する導電膜は、前記貫通穴及び前記貫通穴よりも前記下層導電部に近い側を占める前記コンタクトホール部分を介して前記下層導電部に接触するように形成されている。
【００１８】
この態様によれば、小穴として下層導電部まで至らない貫通穴が規定されているので、貫通穴内に成膜された上層導電部を構成する導電膜部分と、貫通穴の下側に延びるコンタクトホール下部内に成膜された上層導電部を構成する導電膜部分とを介して、上層導電部と下層導電部との電気的な接続が得られる。
【００１９】
本発明の基板装置の他の態様では、前記側壁膜は、導電膜からなる。
【００２０】
この態様によれば、コンタクトホール内において、該導電膜たる側壁膜自体が導電路の一部となる。従って、コンタクトホール内に配置された上層導電部を構成する導電膜部分と側壁膜との両者により、コンタクトホールによる良好な電気的接続を実現できる。
【００２１】
この態様では、前記側壁膜は、前記小穴が貫通穴とならないと共に前記小穴の底部及びその周辺にて前記下層導電部に接触するように形成されてよい。
【００２２】
このように構成すれば、非貫通穴内に成膜された上層導電部を構成する導電膜部分と、これに接触する非貫通穴の底部をも構成する導電膜からなる側壁膜とにより、上層導電部と下層導電部との電気的な接続が得られる。
【００２３】
本発明の基板装置の他の態様では、前記側壁膜は、前記小穴の縁の高さが前記コンタクトホールの縁の高さより低くなるように形成されている。
【００２４】
この態様によれば、コンタクトホール内における、落ち窪んだ位置に小穴が設けられるので、コンタクトホールの入口付近に、コンタクトホール単独の場合よりも緩やかな傾斜形状或いは段差形状を、コンタクトホール及び小穴の組合せにより容易に実現できる。従って、その製造時に、上層導電部を構成する導電膜が、例えばそのスパッタリング等による成膜の際に、コンタクトホール内でオーバーハング形状やピンチオフ形状となるのを効果的に防止できる。よって、装置の信頼性が高まる。
【００２５】
本発明の基板装置の他の態様では、前記側壁膜は、前記小穴の縁が前記コンタクトホールの縁と同一高さとなるように形成されている。
【００２６】
この態様によれば、コンタクトホールの縁において、コンタクトホールよりも小径の小穴が、層間絶縁膜の表面に同一高さで現れる。即ち、層間絶縁膜の表面にて凹部或いは窪みとなる領域を小さくでき、層間絶縁膜表面の平坦化を図れる。
【００２７】
本発明の基板装置の他の態様では、前記小穴の縁には、テーパが形成されている。
【００２８】
この態様によれば、コンタクトホールの入口付近に、一層緩やかな傾斜形状或いは段差形状を、テーパを有する小穴により容易に実現できる。
【００２９】
本発明の基板装置の他の態様では、前記側壁膜は、多層膜からなる。
【００３０】
この態様によれば、多層膜から側壁膜を形成することにより、コンタクトホールの入口付近に、緩やかな傾斜形状或いは段差形状を、小穴により容易に実現できる。特に、多層膜の形成位置や膜厚或いは形状を膜毎に変化させることで、一層緩やかな傾斜形状或いは段差形状を実現することも可能となる。但し、単純に積層され、同一領域に形成される複数の膜を含む多層膜であってもよい。
【００３１】
本発明の基板装置の他の態様では、前記側壁膜は、前記上層導電部を構成する導電膜よりも遮光性に優れた材料からなる。
【００３２】
この態様によれば、遮光性に優れた側壁膜を、コンタクトホール内に形成できるので、当該基板装置におけるコンタクトホール付近における遮光性能或いは耐光性能を顕著に向上させられる。
【００３３】
但し、前記側壁膜は、前記上層導電部を構成する導電膜と同一材料からなってもよい。
【００３４】
更に、前記側壁膜は、前記上層導電部を構成する導電膜よりも、エレクトロマイグレーションし難い材料から構成してもよく、この場合、コンタクトホールを介して電流が流れる動作時にコンタクトホール内で多少なりとも発生するエレクトロマイグレーションを、効果的に防止できる。例えば、上層導電部を構成する導電膜を構成する材料としてアルミニウム合金を用いた場合、側壁部を構成する材料としてはタングステン材料やチタン系材料等を用いるのが好ましい。
【００３５】
本発明の第２電気光学装置は上記課題を解決するために、上述した本発明の基板装置（但し、その各種態様を含む）を含む。
【００３６】
本発明の第１電気光学装置は、上述した本発明の基板装置を備えるので、画素ピッチや配線ピッチの微細化に適していると共に低抵抗化が容易であるコンタクトホールを有する、液晶装置、有機ＥＬ装置等の電気光学装置として構築される。例えば、画素電極と薄膜トランジスタとの間や、配線と薄膜トランジスタとの間などの電気的な接続を良好にとることができ、また、側壁膜に光吸収等の光学的に特徴のある層を使用する事により、フリッカー等の低減された高品位の画層表示が可能となる。
【００３７】
本発明の第２電気光学装置は上記課題を解決するために、上述した本発明の基板装置における側壁膜が遮光性に優れた材料からなる態様と、前記基板に、平面的に見て前記下層導電部及び前記コンタクトホールを覆うように形成された遮光膜とを備える。
【００３８】
本発明の第２電気光学装置によれば、基板に内蔵された遮光膜によって、下層導電部及びコンタクトホールが覆われており、例えばプロジェクタ用のライトバルブなど、強力な入射光が入射される型の電気光学装置として構築されている。そして特に、コンタクトホール内に遮光性の材料からなる側壁膜が形成されているので、一般に問題となりやすいコンタクトホール付近における光漏れ或いは遮光性能の低下が効果的に防止されている。これにより、フリッカー等の低減された高品位の画層表示が可能となる。
【００３９】
本発明の第３電気光学装置は上記課題を解決するために、上述した本発明の基板装置における側壁膜が遮光性に優れた材料からなる態様と、前記基板装置に対向配置された対向基板と、前記基板装置及び前記対向基板間に挟持された電気光学物質と、前記基板及び前記対向基板のうち少なくとも一方に、平面的に見て前記下層導電部及び前記コンタクトホールを覆うように形成された遮光膜とを備える。
【００４０】
本発明の第３電気光学装置によれば、基板に内蔵された又は対向基板に設けられた遮光膜によって、下層導電部及びコンタクトホールが覆われており、コンタクトホール内に遮光性の材料からなる側壁膜が形成されているので、コンタクトホール付近における光漏れ或いは遮光性能の低下が効果的に防止されている。これにより、フリッカー等の低減された高品位の画層表示が可能となる。
【００４１】
本発明の第２又は第３電気光学装置の一態様では、前記基板上における画像表示領域内に配置された複数の画素電極と、各画素の非開口領域内に配置されると共に前記画素電極をスイッチング制御するための薄膜トランジスタとを備えており、前記下層導電部は、前記薄膜トランジスタに接続されており、前記遮光膜は、平面的に見て前記薄膜トランジスタを覆うように形成されている。
【００４２】
この態様によれば、基板に内蔵された又は対向基板に設けられた遮光膜によって、薄膜トランジスタが覆われている。そして特に、コンタクトホール内の遮光性の材料からなる側壁膜により、薄膜トランジスタに接続された下層導電部が遮光されているので、光リーク電流が問題となる薄膜トランジスタへの光の浸入を効果的に阻止し得、これによりフリッカー等の低減されたアクティブマトリクス駆動による高品位の画層表示が可能となる。
【００４３】
本発明の電子機器は上記課題を解決するために、上述した本発明の第１から第３電気光学装置（但し、その各種態様も含む）のいずれかを具備してなる。
【００４４】
本発明の電子機器は、上述した本発明の電気光学装置を具備してなるので、高品位の画像表示画可能な、投射型表示装置、液晶テレビ、携帯電話、電子手帳、ワードプロセッサ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルなどの各種電子機器を実現できる。また、本発明の電子機器として、例えば電子ペーパなどの電気泳動装置の他に、電子放出素子（Field Emission Display及びSurface-Conduction Electron-Emitter Display）等も実現することが可能である。
【００４５】
本発明のこのような作用及び他の利得は次に説明する実施の形態から明らかにされる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４６】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００４７】
＜１：第１実施形態＞
本発明の基板装置に係る第１実施形態について、図１から図４を参照して説明する。
【００４８】
＜１−１；基板装置の構成＞
先ず、本発明の基板装置の構成について、図１を参照して説明する。図１（ａ）は、本実施形態に係る基板装置の構成例におけるコンタクトホール付近の断面図であり、図１（ｂ）は、基板装置の上面側から見た平面図である。図１（ａ）は、図１（ｂ）のＢ−Ｂ’断面図に相当する。
【００４９】
図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、基板装置は、基板７００上に、下層導電部７０２と上層導電部７１０とが、層間絶縁膜７０４を介して積層形成され、且つ両者間がコンタクトホール７０６により電気的に接続された積層構造を備えている。
【００５０】
よって、下層導電部７０２と上層導電部７１０とを夫々、例えば配線や電子素子の一部をなす導電膜から構成すれば、基板装置における積層構造内に、各種配線や電子素子を作り込むことができる。よって、例えば電気光学装置或いは電気光学パネルやその駆動回路等の各種の電気電子装置を構築できる。
【００５１】
図１（ａ）及び図１（ｂ）において、コンタクトホール７０６内には、その側壁に沿って側壁膜７０８が形成されている。側壁膜７０８によって、コンタクトホール７０６内に、該コンタクトホール７０６の縁における径より小径であり且つ上層導電部７１０側から該コンタクトホール７０６の底に向かう小穴７１２が規定されている。小穴７１２は、コンタクトホール７０６の縁において、層間絶縁膜７０４の表面の高さよりも低い側壁膜７０８の上端面から下層導電部７０２までに至る貫通穴となる。この貫通穴の底部の周囲にて下層導電部７０２に接触するように、側壁膜７０８は形成されている。これにより、コンタクトホール７０６の入口付近には、コンタクトホール７０６単独の場合よりも緩やかな傾斜形状或いは段差形状が、コンタクトホール７０６及び小穴７１２によって形成される。
【００５２】
尚、図１（ｂ）中、コンタクトホール７０８及び小穴７１２の輪郭を夫々円形状として示してあるが、コンタクトホール７０８及び小穴７１２の輪郭は、図１（ａ）に示す形状に限定されず、例えば矩形、長方形、多角形など、当業者が適宜決め得る設計事項である。
【００５３】
上層導電部７１０は、層間絶縁膜７０４上における小穴７１２外から小穴７１２内まで連続的に設けられている。図１（ａ）に示すように、上層導電部７１０は、前述したような貫通穴として形成された小穴７１２を介して下層導電部７０２に接触する。よって、本実施形態によれば、上層導電部７１０は、該上層導電部７１０における小穴７１２の底部に形成された一部分によって、コンタクトホール７０６内を介して、下層導電部７０２と相互に電気的に接続されることになる。
【００５４】
尚、側壁膜７０８を構成する材料膜として導電膜を用いた場合、更に上層導電部７１０は、該上層導電部７１０における小穴７１２を規定する側壁膜７０８を介して、下層導電部７０２と相互に電気的に接続されることになる。即ち、側壁膜７０８に導電性があれば、これによっても、コンタクトホール７１０内の電気抵抗を低めることができる。
【００５５】
＜１−２；基板装置の製造方法＞
次に、上述した基板装置の製造プロセスについて、図２乃至図６を参照して説明する。ここに図２乃至図６は、製造プロセスの各工程における基板装置の積層構造を、図１（ａ）の断面図及び図１（ｂ）の平面図に関して、順を追って示す工程図である（前者は図２〜図６中上方に位置する各図（ａ）に、後者は図２〜図６中下方に位置する各図（ｂ）に示されている。）。
【００５６】
先ず図２の工程に示すように、同図中に図示しない基板上に、下層導電部７０２が所定のパターンとして形成される。下層導電部７０２は、例えばスパッタリング、蒸着等による成膜後にフォトリソグラフィ及びエッチング処理を施すことにより、例えば導電性ポリシリコン膜、金属膜等の導電膜を用いて構成される。
【００５７】
続いて、図３の工程に示すように、下層導電部上７０２に、例えばスパッタリング、蒸着等によって、酸化シリコン膜、特殊ガラス膜等の層間絶縁膜７０４が形成される。
【００５８】
その後、図４の工程に示すように、異方位エッチング又は等方性エッチング、或いはドライエッチング又はウエットエッチングなどのエッチングによって、下層導電部７０２にまで至るコンタクトホール７０６が開孔される。
【００５９】
その後、図５の工程に示すように、コンタクトホール７０６内も含めて層間絶縁膜７０４上に、例えばスパッタリング、蒸着等により、導電性ポリシリコン膜、導電性金属膜、絶縁膜等の材料膜７０８ａが成膜される。材料膜７０８ａは層間絶縁膜７０４上に、該層間絶縁膜７０４の上部表面に成膜される。よって、コンタクトホール７０６内にも材料膜７０８ａが成膜されることになる。
【００６０】
その後、図６の工程に示すように、材料膜７０８ａがエッチバックされる。より具体的には、層間絶縁膜７０４上に成膜された材料膜７０８ａの表面を、マスクなしでエッチングすることにより後退させ、コンタクトホール７０６外における層間絶縁膜７０４上に形成された材料膜７０８ａ部分を好ましくは完全に除去する。これにより、コンタクトホール７０６内に側壁膜７０８が形成される。側壁膜７０８は、材料膜７０８ａのエッチバック後、小穴７１２として下層導電部７０２に至る貫通穴を規定するように形成される。また、側壁膜７０８の上端面７１２Ｓは、エッチバックにより、層間絶縁膜７０４の表面よりも低くなるように形成されている。尚、図６の工程では、好ましくは、層間絶縁膜７０４の表面に垂直な方向に指向性を持たせた異方位エッチングが行われる。例えばドライエッチングなどの異方位エッチングにより、導電膜からなる側壁膜７０８に対するエッチングを低減しつつ、層間絶縁膜７０４の一面に形成された材料膜７０８ａや、コンタクトホール７０６の底面上に形成された材料膜７０８ａを効率的に除去できる。
【００６１】
その後、コンタクトホール７０６内に側壁膜７０８が形成された状態にある層間絶縁膜７０４上に、例えば導電性ポリシリコン膜、金属膜等の導電膜からなる上層導電部７１０が形成される。上層導電部７１０は、スパッタリング、蒸着等による導電膜の成膜とフォトリソグラフィ等によるパターニングとによって形成される。これにより、図１に既に示したように、コンタクトホール７０６の入口付近には、コンタクトホール７０６単独の場合よりも緩やかな傾斜形状或いは段差形状が、コンタクトホール７０６及び小穴７１２によって形成される。従って、上層導電部７１０を構成する導電膜が、例えばそのスパッタリング等による成膜の際に、コンタクトホール７０６内でオーバーハング形状やピンチオフ形状となるのを効果的に防止できる。
【００６２】
このように本実施形態によれば、図１に示した基板装置を比較的容易に製造でき、特に、小穴７１２を規定する側壁膜７０８を、マスクを必要とすることなくコンタクトホール７０６内に形成できるので、マスクによる寸法精度や位置精度が落ちることなく且つ簡単な工程により形成できる。よって、コンタクトホール７０６により接続される、上層又は下層導電部７１０又は７０２である配線のピッチを狭めたり、電子素子等の微細化を進める場合に、大変有利となる。
【００６３】
以上の結果、本実施形態によれば、微細化に適していると共に低抵抗化が容易であるコンタクトホール７０６を有する基板装置を実現できる。
【００６４】
＜２：第２実施形態＞
本発明の基板装置に係る第２実施形態について、図５乃至図７を参照して説明する。
【００６５】
＜２−１；基板装置の構成＞
先ず、第２実施形態における基板装置の構成について、図７を参照して説明する。図７（ａ）は、本実施形態に係る基板装置の構成例におけるコンタクトホール付近の断面図であり、図７（ｂ）は、基板装置の上面側から見た平面図である。図７（ａ）は、図７（ｂ）のＢ−Ｂ’断面図に相当する。
【００６６】
第２実施形態において、基板装置の構成は、側壁膜の詳細な構成を除いて、第１実施形態における図１に示す基板装置と同様である。尚、図５において、第１実施形態との共通個所には同一符号を付して重複する説明を省略する。
【００６７】
図７（ａ）及び図７（ｂ）に示すように、側壁膜７０８は、第１側壁膜７０８ｂ及び第２側壁膜７０８ｃを含む多層膜からなる。第１側壁膜７０８ｂは後述する一の材料膜から形成され、第２側壁膜７０８ｃは、一の材料膜と同一又は異なる他の材料膜から形成される。尚、第１側壁膜７０８ｂ及び第２側壁膜７０８ｃの形成について詳細は後述する。
【００６８】
小穴７１２ａは、コンタクトホール７０６の縁において、層間絶縁膜７０４の表面の高さよりも低い側壁膜７０８ｂの上端面から下層導電部７０２までに至る貫通穴となる。更に小穴７１２ｂは、側壁膜７０８ｂの上端面の高さよりも更に低い側壁膜７０８ｃの上端面から下層導電部７０２までに至る貫通穴となる。これにより、コンタクトホール７０６の入口付近には、コンタクトホール７０６単独の場合よりも緩やかな傾斜形状或いは段差形状が、コンタクトホール７０６並びに小穴７１２ａ及び７１２ｂによって形成される。
【００６９】
＜２−２；基板装置の製造方法＞
次に、上述した基板装置の製造プロセスについて、図８乃至図１１を参照して説明する。ここに図８乃至図１１は、製造プロセスの各工程における基板装置の積層構造を、図７（ａ）の断面図及び図７（ｂ）の平面図に関して、順を追って示す工程図である（前者は図８〜図１１中上方に位置する各図（ａ）に、後者は図８〜図１１中下方に位置する各図（ｂ）に示されている。）。
【００７０】
第２実施形態において、基板装置の製造方法は側壁膜７０８の形成を除いて、第１実施形態と同様である。よって、側壁膜７０８の形成についてのみ以下に説明する。
【００７１】
図８の工程では、第１実施形態における図５の工程と同様の手順により、一の材料膜７０８ｂｂが成膜される。尚、一の材料膜７０８ｂｂは第１実施形態における図５の工程で用いられる材料膜７０８ａと同様の材料を用いて構成されるのが好ましい。
【００７２】
その後、図９の工程では、第１実施形態における図６の工程と同様の手順により、コンタクトホール７０６内に、コンタクトホール７０６の底に向かう一の小穴７１２ａを規定する第１側壁膜７０８ｂが形成される。
【００７３】
続いて、図１０の工程では、図８の工程と同様に、一の小穴７１２ａ内も含めて層間絶縁膜７０４上に、他の材料膜７０８ｃｃが成膜される。
【００７４】
その後、図１１の工程では、図９の工程と同様の手順によって、一の小穴７１２ａ内にのみ他の材料膜７０８ｃｃを残存させて、第２側壁膜７０８ｃを形成する。一の小穴７１２ａ内において、第２側壁膜７０８ｃによって、一の小穴７１２ａの底に向かう他の小穴７１２ｂが規定される。尚、他の小穴７１２ｂは、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示す小穴７１２と同様の構成となっている。
【００７５】
その後、層間絶縁膜７０４上に、上層導電部７１０が形成される。上層導電部７１０は、層間絶縁膜７０４上における、第２側壁膜７０８ｃにより規定される他の小穴７１２ｂ外から該小穴７１２ｂ内まで連続的に設けられるので、上層導電部７１０は、該上層導電部７１０における他の小穴７１２ｂの底部に形成された一部分によって、コンタクトホール７０６内を介して、下層導電部７０２と相互に電気的に接続されることになる。これにより、図７に示した第２実施形態に係る基板装置が得られる。
【００７６】
尚、一の材料膜７０８ｂｂ及び他の材料膜７０８ｃｃとして導電膜を用いた場合、更に上層導電部７１０は、該上層導電部７１０における他の小穴７１２ｂの側壁部に形成された部分によっても、第１及び第２側壁膜７０８ｂ及び７０８ｃを介して、下層導電部７０２と相互に電気的に接続されることになる。
【００７７】
本実施形態では特に、コンタクトホール７０６の入口付近に、コンタクトホール７０６単独の場合よりも緩やかな傾斜形状或いは段差形状を、コンタクトホール７０６並びに一及び他の小穴７１２ａ及び７１２ｂの組合せにより容易に実現できる。従って、上層導電部７１０を構成する導電膜が、例えばそのスパッタリング等による成膜の際に、コンタクトホール７０６内でオーバーハング形状やピンチオフ形状となるのを効果的に防止できる。しかも、上述の如くこのような二つの小穴７１２ａ及び７１２ｂを規定する第１及び第２側壁膜７０８ｂ及び７０８ｃを夫々、マスクを必要とすることなく形成できるので、マスクによる寸法精度や位置精度が落ちることなく且つ簡単な工程により形成できる。これらより、コンタクトホール７０６により接続される、上層又は下層導電部７１０又は７０２である配線のピッチを狭めたり、電子素子等の微細化を進める場合に、大変有利となる。
【００７８】
以上の結果、第２実施形態によれば、微細化に適していると共に低抵抗化が容易であるコンタクトホール７０６を有する基板装置を実現できる。
【００７９】
尚、後述する第３実施形態又は第４実施形態と同様の製造方法を更に用いることにより、特に、側壁膜７０８を構成する多層膜の形成位置や膜厚或いは形状を膜毎に変化させることで、一層緩やかな傾斜形状或いは段差形状を実現することも可能となる。但し、単純に積層され、同一領域に形成される複数の膜を含む多層膜であってもよい。
【００８０】
＜３：第３実施形態＞
本発明の基板装置に係る第３実施形態について、図１２を参照して説明する。
【００８１】
＜３−１；基板装置の構成＞
先ず、第３実施形態における基板装置の構成について説明する。第３実施形態において、基板装置の構成は、側壁膜及び上層導電部の詳細な構成を除いて、第１実施形態における図１に示す基板装置と同様である。ここに、図１２は、第３実施形態における基板装置のコンタクトホール付近での断面図である。図１２において、第１実施形態との共通個所には同一符号を付して重複する説明を省略する。
【００８２】
図１２において、側壁膜７０８ｄによって規定される小穴７１２ｃは、下層導電部７０２までに至る貫通穴とならない点が、図１に示す小穴７１２の構成と異なっている。そして、側壁膜７０８ｄは、小穴７１２ｃの底部及びその周辺にて下層導電部７０２に接触する。第３実施形態では、側壁膜７０８ｄを構成する材料膜として導電膜が用いられる。
【００８３】
上層導電部７１０は、層間絶縁膜７０４上における小穴７１２ｃ外から小穴７１２ｃ内まで連続的に設けられている。そして、小穴７１２ｃ内に成膜された上層導電部７１０の一部分、より具体的には小穴７１２ｃの側壁部及び底部に形成された部分と、これに接触する小穴７１２ｃの底部をも構成する側壁膜７０８ｄとにより、上層導電部７１０と下層導電部７０２との電気的な接続が得られる。
【００８４】
＜３−２；基板装置の製造方法＞
次に、上述した基板装置の製造プロセスについて説明する。第３実施形態において、基板装置の製造方法は側壁膜７０８ｄの形成を除いて、第１実施形態とほぼ同様である。よって、側壁膜７０８ｄの形成についてのみ、図５及び図６を参照して以下に説明する。
【００８５】
図５の工程における材料膜７０８の成膜と同様の手順により材料膜が成膜され、続いて、図６の工程と概ね同様の手順により、コンタクトホール７０６内に側壁膜７０８ｄが形成される。第３実施形態では、側壁膜７０８ｄは、非貫通穴である小穴７１２ｃを規定するように形成される。
【００８６】
よって、第３実施形態においても、第１実施形態と同様に、微細化に適していると共に低抵抗化が容易であるコンタクトホール７０６を有する基板装置を実現することができる。
【００８７】
＜４；第４実施形態＞
本発明の基板装置に係る第４実施形態について、図１３乃至図１８を参照して説明する。
【００８８】
＜４−１；基板装置の構成＞
先ず、第４実施形態における基板装置の構成について、図１３を参照して説明する。図１３（ａ）は、本実施形態に係る基板装置の構成例におけるコンタクトホール付近の断面図であり、図１３（ｂ）は、基板装置の上面側から見た平面図である。図１３（ａ）は、図１３（ｂ）のＢ−Ｂ’断面図に相当する。
【００８９】
第４実施形態において、基板装置の主要な構成は、第１実施形態における図１に示す基板装置と同様である。尚、図１３において、第１実施形態との共通個所には同一符号を付して重複する説明を省略する。
【００９０】
図１３（ａ）及び図１３（ｂ）に示すように、側壁膜７０８によって規定される小穴７１２ｄは、下層導電部７０２ｄにまで至らない貫通穴として形成されている点が、図１に示す小穴７１２の構成と異なっている。より具体的には、小穴７１２ｄは、コンタクトホール上部７０６ａ内に、コンタクトホール上部７０６ａの縁における径より小径であり且つコンタクトホール上部７０６ａの底に向かう貫通穴として形成される。そして、側壁膜７０８は、小穴７１２ｄの底部の周囲にて下層導電部７０２ｄに接触しないように形成されている。尚、本実施形態に係る下層導電部７０２ｄは、図１３（ａ）から分かるように、コンタクトホール上部７０６ａの径とほぼ同様の幅を有する。
【００９１】
また、上層導電部７１０は、層間絶縁膜７０４上における小穴７１２ｄ外からコンタクトホール下部７０６ｂ内まで連続的に設けられている。ここに、コンタクトホール上部７０６ａと、その内周に側壁膜が形成されていないコンタクトホール下部７０６ｂとは、最終的に層間絶縁膜を７０４貫通する一連のコンタクトホールとされる。そして、上層導電部７１０は、小穴７１２ｄ内及びコンタクトホール下部７０６ｂ内に設けられた部分によって、下層導電部７０２ｄとコンタクトホール内を介して相互に電気的に接続されることになる。尚、貫通穴の下側に延びるコンタクトホール下部７０６ｂは、側壁膜７０８が形成されたコンタクトホール上部７０６ａよりも径が小さく、例えば側壁膜７０８により規定される貫通穴と同じ径であってもよい。
【００９２】
また、側壁膜７０８を構成する材料膜として導電膜を用いた場合、更に上層導電部７１０は、該上層導電部７１０における小穴７１２ｄ内に形成された部分によっても、側壁膜７０８を介して、下層導電部７０２ｄと相互に電気的に接続されることになる。即ち、側壁膜７０８に導電性があれば、これによっても、コンタクトホール内の電気抵抗を低めることができる。
【００９３】
＜４−２；基板装置の製造方法＞
次に、上述した基板装置の製造プロセスについて、図１４乃至図１７を参照して説明する。ここに図１４乃至図１７は、製造プロセスの各工程における基板装置の積層構造を、図１３（ａ）の断面図及び図１３（ｂ）の平面図に関して、順を追って示す工程図である（前者は図１４〜図１７中上方に位置する各図（ａ）に、後者は図１４〜図１７中下方に位置する各図（ｂ）に示されている。）。
【００９４】
第４実施形態において、基板装置の製造方法は第１実施形態と同様の工程を含む。よって、第１実施形態と異なる工程についてのみ以下に説明する。
【００９５】
図１４の工程では、層間絶縁膜７０４に、第１実施形態の場合と異なり（図４参照）、下層導電部７０２ｄにまで至らないコンタクトホール上部７０６ａが、エッチングにより開孔される。尚、コンタクトホール上部７０６ａは、予めパターニングされた下層導電部７０２ｄの幅とほぼ同様の径を有するように開孔される。
【００９６】
続いて、図１５の工程では、コンタクトホール上部７０６ａ内も含めて層間絶縁膜７０４上に、例えばスパッタリング、蒸着等により、導電性ポリシリコン膜、導電性金属膜、絶縁膜等の材料膜７０８ａが成膜される。
【００９７】
続いて、図１６の工程では、第１実施形態における図６の工程と同様の手順により、材料膜７０８ａがエッチバックされる。よって、図１６の工程では、何らのマスクを用いることもなく、コンタクトホール上部７０６ａ内にのみ材料膜を残すことが可能となる。これにより、コンタクトホール上部内に側壁膜７０８が形成される。側壁膜７０８は、材料膜７０８ａのエッチバック後、小穴７１２ｄとしてコンタクトホール上部７０６ａの底に至る貫通穴を規定するように形成される。このように、小穴７１２ｄを貫通穴として形成すれば、その底に露出した層間絶縁膜７０４を、次のエッチング工程により掘り進めることが容易となる。但し小穴７１２ｄが非貫通穴であっても、その底部を含めて次のエッチング工程により掘り進めることも可能である。
【００９８】
また、下層導電部７０２ｄ及び側壁膜７０８の膜種が、エッチバックするのにエッチレート差が無い場合に有効な手段である。上述したような第１又は第２実施形態では、エッチバックをする際に下層導電部７０２ｄも一緒に削ってしまい、最悪の場合、下層導電部７０２ｄを失ってしまう可能性がある。さらに、第４実施形態では、エッチバック時に下地を層間絶縁膜７０４とすることでエッチバック時に下地導電膜７０２ｄを余分に削らないという利点も得られる。
【００９９】
その後、図１７の工程では、ドライエッチング等で、小穴７１２ｄ内を含む層間絶縁膜７０４の一面をエッチングすることで、層間絶縁膜７０４に、小穴７１２ｄの底から下層導電部７０２まで至るコンタクトホール下部７０６ｂが開孔される。コンタクトホール下部７０６ｂは、側壁膜７０８がエッチングの際のマスクとして機能するので、コンタクトホール上部７０６ａより小径であり、且つ小穴７１２ｄとほぼ同径となる。
【０１００】
更に本実施形態では好ましくは、図１６（ａ）及び図１７（ａ）に示したように、側壁膜７０８の上端面と層間絶縁膜７０４の表面との高さ差Δｄ１と、側壁膜７０８の下端面と下層導電部７０２ｄの表面との高さ差Δｄ２とをほぼ同様にするように、図１６の工程におけるエッチングを停止しておく。すると、図１７の工程におけるエッチングによって、コンタクトホール下部７０６ｂが下層導電部７０２ｄに至るとほぼ同時に、側壁膜７０８の上端面と層間絶縁膜７０４の表面との高さを揃えることが可能となる。また、側壁膜７０８の下端面と下層導電部７０２ｄの表面との高さ差Δｄ２を上述のような値とすることにより、エッチングの際に下層導電部７０２を保護することが可能となる。
【０１０１】
このように小穴７１２ｄの底側に位置する層間絶縁膜７０４の一部分にコンタクトホール下部７０６ｂを開孔する際には特に、側壁膜７０８がマスクとなってエッチングできるという大きな利益が得られる。即ち、側壁膜７０８がマスクとなって、側壁膜７０８により規定される小穴７１２ｄとほぼ同径のコンタクトホール下部７０６ｂを、小穴７１２ｄの底から下層導電部７０２まで至るように開孔できる。
【０１０２】
尚、この方法では、特に、側壁膜７０８を形成するエッチバックの際、非貫通穴の底部である層間絶縁膜７０６ｂによって下層導電部７０２をエッチバックから守ることが出来る。
【０１０３】
その後、第１実施形態と同様の手順により、層間絶縁膜７０４上に上層導電部７１０が形成される。
【０１０４】
以上により、図１４に示した第４実施形態の基板装置が得られる。
【０１０５】
第４実施形態では特に、下層導電部７０２ｄとコンタクトホール７０６との間におけるアラインメントずれに対するマージンを大きくでき、しかも、上導電部７１０とコンタクトホール７０６との間におけるアラインメントずれに対するマージンを大きくできるという大きな利点がある。この利点について、次に図１８を参照して説明する。ここに図１８（ａ）は、便宜上、上層導電部７１０の幅を狭くすると共に下層導電部７０２ｄに対してコンタクトホール７０６がアラインメントずれを起こした場合における、本実施形態に係る基板装置の構成例におけるコンタクトホール付近の断面図であり、図１８（ｂ）は、この場合における基板装置の上面側から見た平面図である。図１８（ａ）は、図１８（ｂ）のＢ−Ｂ’断面図に相当する。
【０１０６】
図１８（ａ）及び図１８（ｂ）に示すように、コンタクトホール上部７０６ａの入り口における径よりも、コンタクトホール下部７０６ｂにおける下層導電部７０２ｄと接触する領域の径を、側壁膜７０８の厚みｄに応じて小さくできる。即ち、下層導電部７０２ｄに対して、コンタクトホール７０６ａを開孔する際のアラインメントずれがΔＳだけ生じても、これを側壁膜７０８の厚みｄにより吸収できる。言い換えれば、アラインメントずれΔＳが側壁膜７０８の厚みｄより小さい限り、コンタクトホール７０６による電気的導通が良好に得られると共に、下層導電部７０２ｄの脇をエッチングが抜けて、その下層側に位置する不図示の他の配線や電極或いは電子素子等に対して悪影響を及ぼすことを効果的に回避できる。
【０１０７】
しかも、図１８（ｂ）に示したように、側壁膜７０８を導電膜から形成することで、上層導電部７１０の幅をコンタクトホール上部７０６ａの径と比べて細めても、上層導電部７１０のコンタクトホール７０６を介しての電気的導通を良好に得られる。或いは、コンタクトホール７０６に対して上層導電部７１０がアラインメントずれしても、側壁膜７０８の厚みｄより小さければ、コンタクトホール７０６による電気的導通が良好に得られると共に、上層導電部７１０の脇を抜けて、コンタクトホール７０６内にエッチングが進行する事態についても未然防止可能となる。これらにより、配線ピッチや電子素子ピッチを微細化するのに大変有利となる。
【０１０８】
以上の結果、第４実施形態によれば、微細化に適していると共に低抵抗化が容易であるコンタクトホールを有する基板装置を実現することができる。
【０１０９】
＜５；基板装置及びその製造方法の変形形態＞
次に以上説明した第１から第４実施形態における基板装置の変形形態及びそれらの製造方法についての変形形態について説明する。
【０１１０】
先ず、図１９を参照して基板装置の変形形態について説明する。ここに、図２１９は、変形形態における基板装置のコンタクトホール付近での断面図である。図１９において、第１実施形態との共通個所には同一符号を付して重複する説明を省略する。尚、本変形形態が第２から第４実施形態いずれかに適用される場合についても、第１実施形態と同様である。
【０１１１】
図１９において、小穴７１２の縁にはテーパが形成されている。よって、コンタクトホール７０６の入口付近に、一層緩やかな傾斜形状或いは段差形状を、テーパを有する小穴により容易に実現できる。このようなテーパを有する小穴７１２は、例えば、ウエットエッチングにより若しくはこれとドライエッチングとの組合せにより、比較的容易に形成できる。
【０１１２】
更に基板装置の他の変形形態として、側壁膜７０８は遮光性に優れた材料から構成されてもよい。このように構成すれば、遮光性に優れた側壁膜７０８を、コンタクトホール７０６内に形成できるので、当該基板装置におけるコンタクトホール７０６付近における遮光性能或いは耐光性能を顕著に向上させられる。従って、例えば光リーク電流の発生により性能が劣化するＴＦＴ等の半導体素子が、下層導電部７０２の延在先に接続されている場合や、下層導電部７０２の更に下層側や近辺に配置されている場合に、非常に有益である。
【０１１３】
尚、このような遮光性に優れた側壁膜の材料としては、窒化チタン、タングステン等の光吸収能力が高い材料や、光透過率が低い材料が挙げられる。また、光反射率が高い材料として例えばアルミニウム等を用いれば、反射により遮光が可能である。他方、遮光性に優れると共に光反射率が低い材料であれば、コンタクトホール付近における乱反射を防ぐことも可能となる。
【０１１４】
更に基板装置の製造方法の変形形態として、図６の工程の前又は後に、ＣＭＰ（化学的機械研磨）処理を層間絶縁膜７０４の一面に対して施す工程が行われても良い。図６の工程の前にＣＭＰ処理を施すことにより、コンタクトホール７０６内に成膜された側壁膜７０８となる材料膜７０８ａ部分を殆ど薄くすること無く、層間絶縁膜７０４の一面に形成された材料膜７０８ａ部分を、ある程度、殆ど又はほぼ完全に除去できる。そして、後の図６の工程では、層間絶縁膜７０４の一面に形成された材料膜７０８ａ部分を容易に完全除去できると共に、それまでのエッチング量を著しく少なくできる。このため、エッチング後にコンタクトホール７０６内に残される材料膜７０８ａである側壁膜７０８の厚みを十分厚く或いは所望の膜厚に確保できる。また、図６の工程の後に、ＣＭＰ処理を施すことにより、層間絶縁膜７０４の平坦化を図ることができると共に、層間絶縁膜７０４の一面に形成された材料膜７０８ａ部分の除去を、より完璧に行える。更に、コンタクトホール７０６の縁の高さと、コンタクトホール７０８内に形成された側壁膜７０８により規定される小穴７１２の縁の高さとを同じにすることも可能となる。
【０１１５】
更にまた、基板装置の製造方法の他の変形形態として、図５の工程において、材料膜７０８ａとしてポリシリコン膜を成膜すると共に、その後、上層導電部７１０として、側壁膜７０８たるポリシリコン膜よりもドープ量が多いポリシリコン膜から構成される導電膜を形成するようにしてもよい。このように材料膜７０８ａ及び上層導電部７１０を形成すれば、コンタクトホール７０６内には、その外周寄りに側壁膜７０８たるドープ量が相対的に少ないポリシリコン膜が存在し、その中央寄りに小穴内に配置された上層導電部７１０を構成する導電膜部分である、例えばリン等のドープ量が相対的に多いポリシリコン膜が存在する。ここで、通常は、下層導電部７０２は、図１には図示しない基板面に沿って、コンタクトホール７０６の開孔位置からいずれかの方向に延在する。上述したように材料膜７０８ａ及び上層導電部７１０を形成すると、側壁膜７０８の膜厚の分だけ、下層導電部７０２の延在先にドーパントが拡散する可能性或いは該下層導電部７０２の延在先に至るドーパントの拡散量を低減できる。従って、下層導電部７０２の延在先として、ドーパントの拡散が悪影響を及ぼすような半導体層、例えばＴＦＴのチャネル領域やＬＤＤ（Lightly Doped Drain）型のＴＦＴのＬＤＤ領域などが存在する場合に、これに対して、上側導電部７１０を構成するドープ量が多いポリシリコン膜から、製造工程中の高温化における熱拡散によりドーパントが伝わることを、側壁膜７０８の存在により低減できる。逆に、ドープ量を増大させることで、例えば配線、電極等として機能する上層導電部７１０の電気抵抗を低めることが可能となる。
【０１１６】
＜６；第６実施形態＞
次に、第６実施形態として、本発明に係る基板装置を含んでなる、本発明の電気光学装置に係る実施形態を、図２０から図２５を参照して説明する。尚、以下の実施形態は、本発明の電気光学装置を、駆動回路内臓型のＴＦＴアクティブマトリクス駆動形式の液晶装置に適用したものである。
【０１１７】
＜６−１；電気光学装置の全体構成＞
先ず図２０及び図２１を参照して電気光学装置の全体構成について説明する。ここに、図２０は、ＴＦＴアレイ基板をその上に形成された各構成要素と共に対向基板の側から見た電気光学装置の平面図であり、図２１は、図２０のＨ−Ｈ’断面図である。
【０１１８】
図２０及び図２１において、第６実施形態に係る電気光学装置では、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０とが対向配置されている。ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間に液晶層５０が封入されており、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０とは、画像表示領域１０ａの周囲に位置するシール領域に設けられたシール材５２により相互に接着されている。
【０１１９】
シール材５２は、両基板を貼り合わせるための、例えば紫外線硬化樹脂、熱硬化樹脂等からなり、製造プロセスにおいてＴＦＴアレイ基板１０上に塗布された後、紫外線照射、加熱等により硬化させられたものである。また、シール材５２中には、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間隔（基板間ギャップ）を所定値とするためのグラスファイバ或いはガラスビーズ等のギャップ材が散布されている。あるいは、当該液晶装置が液晶ディスプレイや液晶テレビのように大型で等倍表示を行う液晶装置であれば、このようなギャップ材は、液晶層５０中に含まれてよい。
【０１２０】
シール材５２が配置されたシール領域の内側に並行して、画像表示領域１０ａの額縁領域を規定する遮光性の額縁遮光膜５３が、対向基板２０側に設けられている。但し、このような額縁遮光膜５３の一部又は全部は、ＴＦＴアレイ基板１０側に内蔵遮光膜として設けられてもよい。
【０１２１】
シール材５２が配置されたシール領域の外側に位置する領域には、データ線駆動回路１０１及び外部回路接続端子１０２がＴＦＴアレイ基板１０の一辺に沿って設けられている。また、走査線駆動回路１０４は、この一辺に隣接する２辺に沿い、且つ、前記額縁遮光膜５３に覆われるようにして設けられている。更に、このように画像表示領域１０ａの両側に設けられた二つの走査線駆動回路１０４間をつなぐため、ＴＦＴアレイ基板１０の残る一辺に沿い、且つ、前記額縁遮光膜５３に覆われるようにして複数の配線１０５が設けられている。
【０１２２】
また、対向基板２０の４つのコーナー部には、両基板間の上下導通端子として機能する上下導通材１０６が配置されている。他方、ＴＦＴアレイ基板１０にはこれらのコーナー部に対向する領域において上下導通端子が設けられている。これらにより、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間で電気的な導通をとることができる。
【０１２３】
図２１において、ＴＦＴアレイ基板１０上には、画素スイッチング用のＴＦＴや走査線、データ線等の配線が形成された後の画素電極９ａ上に、配向膜が形成されている。他方、対向基板２０上には、対向電極２１の他、格子状又はストライプ状の遮光膜２３、更には最上層部分に配向膜が形成されている。また、液晶層５０は、例えば一種又は数種類のネマティック液晶を混合した液晶からなり、これら一対の配向膜間で、所定の配向状態をとる。
【０１２４】
なお、図２０及び図２１に示したＴＦＴアレイ基板１０上には、これらのデータ線駆動回路１０１、走査線駆動回路１０４等に加えて、画像信号線上の画像信号をサンプリングしてデータ線に供給するサンプリング回路、複数のデータ線に所定電圧レベルのプリチャージ信号を画像信号に先行して各々供給するプリチャージ回路、製造途中や出荷時の当該電気光学装置の品質、欠陥等を検査するための検査回路等を形成してもよい。
【０１２５】
＜６−２；画素部における構成＞
以下では、本発明の第６実施形態における電気光学装置の画素部における構成について、図２２から図２５を参照して説明する。ここに図２２は、電気光学装置の画像表示領域を構成するマトリクス状に形成された複数の画素における各種素子、配線等の等価回路であり、図２３は、データ線、走査線、画素電極等が形成されたＴＦＴアレイ基板の相隣接する複数の画素群の平面図であり、図２４は、図２３のうち特に走査線、ＴＦＴ、及び該ＴＦＴに対して形成されるコンタクトホールの配置関係を示すためこれらの要素を抜き出して描いた平面図である。図２５は、図２３のＡ−Ａ´断面図である。なお、図２５においては、各層・各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、該各層・各部材ごとに縮尺を異ならしめてある。
【０１２６】
＜６−２−１；画素部の回路構成＞
図２２において、第６実施形態における電気光学装置の画像表示領域を構成するマトリクス状に形成された複数の画素には、それぞれ、画素電極９ａと当該画素電極９ａをスイッチング制御するためのＴＦＴ３０とが形成されており、画像信号が供給されるデータ線６ａが当該ＴＦＴ３０のソースに電気的に接続されている。データ線６ａに書き込む画像信号Ｓ１、Ｓ２、…、Ｓｎは、この順に線順次に供給しても構わないし、相隣接する複数のデータ線６ａ同士に対して、グループ毎に供給するようにしてもよい。
【０１２７】
また、ＴＦＴ３０のゲートにゲート電極３ａが電気的に接続されており、所定のタイミングで、走査線１１ａ及びゲート電極３ａにパルス的に走査信号Ｇ１、Ｇ２、…、Ｇｍを、この順に線順次で印加するように構成されている。画素電極９ａは、ＴＦＴ３０のドレインに電気的に接続されており、スイッチング素子であるＴＦＴ３０を一定期間だけそのスイッチを閉じることにより、データ線６ａから供給される画像信号Ｓ１、Ｓ２、…、Ｓｎを所定のタイミングで書き込む。
【０１２８】
画素電極９ａを介して電気光学物質の一例としての液晶に書き込まれた所定レベルの画像信号Ｓ１、Ｓ２、…、Ｓｎは、対向基板に形成された対向電極との間で一定期間保持される。液晶は、印加される電圧レベルにより分子集合の配向や秩序が変化することにより、光を変調し、階調表示を可能とする。ノーマリーホワイトモードであれば、各画素の単位で印加された電圧に応じて入射光に対する透過率が減少し、ノーマリーブラックモードであれば、各画素の単位で印加された電圧に応じて入射光に対する透過率が増加され、全体として電気光学装置からは画像信号に応じたコントラストをもつ光が出射する。
【０１２９】
ここで保持された画像信号がリークするのを防ぐために、画素電極９ａと対向電極との間に形成される液晶容量と並列に蓄積容量７０を付加する。この蓄積容量７０は、走査線１１ａに並んで設けられ、固定電位側容量電極を含むとともに定電位に固定された容量電極３００を含んでいる。
【０１３０】
＜６−２−２；画素部の具体的構成＞
以下では、上記データ線６ａ、走査線１１ａ及びゲート電極３ａ、ＴＦＴ３０等による、上述のような回路動作が実現される電気光学装置の、具体的の構成について、図２３乃至図２５を参照して説明する。
【０１３１】
まず、図２３において、画素電極９ａは、ＴＦＴアレイ基板１０上に、マトリクス状に複数設けられており、画素電極９ａの縦横の境界に各々沿ってデータ線６ａ及び走査線１１ａが設けられている。データ線６ａは、後述するようにアルミニウム膜等を含む積層構造からなり、走査線１１ａは、例えば導電性のポリシリコン膜等からなる。また、走査線１１ａは、半導体層１ａのうち図中右上がりの斜線領域で示したチャネル領域１ａ´に対向するゲート電極３ａにコンタクトホール１２ｃｖを介して電気的に接続されており、該ゲート電極３ａは該走査線１１ａに含まれる形となっている。すなわち、ゲート電極３ａとデータ線６ａとの交差する箇所にはそれぞれ、チャネル領域１ａ´に、走査線１１ａに含まれるゲート電極３ａが対向配置された画素スイッチング用のＴＦＴ３０が設けられている。これによりＴＦＴ３０（ゲート電極を除く。）は、ゲート電極３ａと走査線１１ａとの間に存在するような形態となっている。
【０１３２】
次に、電気光学装置は、図２５に示すように、例えば、石英基板、ガラス基板、シリコン基板からなるＴＦＴアレイ基板１０と、これに対向配置される、例えばガラス基板や石英基板からなる対向基板２０とを備えている。
【０１３３】
ＴＦＴアレイ基板１０の側には、図２５に示すように、前記の画素電極９ａが設けられており、その上側には、ラビング処理等の所定の配向処理が施された配向膜１６が設けられている。画素電極９ａは、例えばＩＴＯ膜等の透明導電性膜からなる。他方、対向基板２０の側には、その全面に渡って対向電極２１が設けられており、その下側には、ラビング処理等の所定の配向処理が施された配向膜２２が設けられている。対向電極２１は、上述の画素電極９ａと同様に、例えばＩＴＯ膜等の透明導電性膜からなる。
【０１３４】
このように対向配置されたＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０間には、前述のシール材５２（図２０及び図２１参照）により囲まれた空間に液晶等の電気光学物質が封入され、液晶層５０が形成される。液晶層５０は、画素電極９ａからの電界が印加されていない状態で配向膜１６及び２２により所定の配向状態をとる。
【０１３５】
一方、ＴＦＴアレイ基板１０上には、前記の画素電極９ａ及び配向膜１６の他、これらを含む各種の構成が積層構造をなして備えられている。この積層構造は、図２５に示すように、下から順に、走査線１１ａを含む第１層、ゲート電極３ａを含むＴＦＴ３０等を含む第２層、蓄積容量７０を含む第３層、データ線６ａ等を含む第４層、容量配線４００等を含む第５層、前記の画素電極９ａ及び配向膜１６等を含む第６層（最上層）からなる。また、第１層及び第２層間には下地絶縁膜１２が、第２層及び第３層間には第１層間絶縁膜４１が、第３層及び第４間には第２層間絶縁膜４２が、第４層及び第５層間には第３層間絶縁膜４３が、第５層及び第６層間には第４層間絶縁膜４４が、それぞれ設けられており、前述の各要素間が短絡することを防止している。また、これら各種の絶縁膜１２、４１、４２、４３及び４４には、例えば、ＴＦＴ３０の半導体層１ａ中の高濃度ソース領域１ｄとデータ線６ａとを電気的に接続するコンタクトホール等もまた設けられている。以下では、これらの各要素について、下から順に説明を行う。
【０１３６】
（積層構造・第１層の構成―走査線等―）
まず、第１層には、例えば、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｗ、Ｔａ、Ｍｏ等の高融点金属のうちの少なくとも一つを含む、金属単体、合金、金属シリサイド、ポリシリサイド、これらを積層したもの、或いは導電性ポリシリコン等からなる走査線１１ａが設けられている。該走査線１１ａは下側遮光膜としても機能する。
【０１３７】
図２３及び図２４において、走査線１１ａは、平面的にみて、同図中のＸ方向に沿うように、ストライプ状にパターニングされている。より具体的には、図２３及び図２４において、ストライプ状の走査線１１ａは、同図中のＸ方向に沿うように延びる本線部と、データ線６ａ或いは容量配線４００が延在する同図中のＹ方向に延びる突出部とを備えている。なお、図２４に示すように、隣接する走査線１１ａから延びる突出部は相互に接続されることはなく、したがって、該走査線１１ａは１本１本分断された形となっている。
【０１３８】
（積層構造・第２層の構成―ＴＦＴ等―）
次に、第２層として、ゲート電極３ａを含むＴＦＴ３０が設けられている。ＴＦＴ３０は、図２５に示すように、ＬＤＤ（Lightly Doped Drain）構造を有しており、その構成要素としては、上述したゲート電極３ａ、例えばポリシリコン膜からなりゲート電極３ａからの電界によりチャネルが形成される半導体層１ａのチャネル領域１ａ´、ゲート電極３ａと半導体層１ａとを絶縁するゲート絶縁膜を含む絶縁膜２、半導体層１ａにおける低濃度ソース領域１ｂ及び低濃度ドレイン領域１ｃ並びに高濃度ソース領域１ｄ及び高濃度ドレイン領域１ｅを備えている。
【０１３９】
また、第６実施形態では、この第２層に、上述のゲート電極３ａと同一膜として中継電極７１９が形成されている。この中継電極７１９は、平面的に見て、図２３及び図２４に示すように、各画素電極９ａのＸ方向に延びる一辺の略中央に位置するように、島状に形成されている。中継電極７１９とゲート電極３ａとは同一膜として形成されているから、後者が例えば導電性ポリシリコン膜等からなる場合においては、前者もまた、導電性ポリシリコン膜等からなる。
【０１４０】
なお、上述のＴＦＴ３０は、好ましくは図２５に示したようにＬＤＤ構造をもつが、低濃度ソース領域１ｂ及び低濃度ドレイン領域１ｃに不純物の打ち込みを行わないオフセット構造をもってよいし、ゲート電極３ａをマスクとして高濃度で不純物を打ち込み、自己整合的に高濃度ソース領域及び高濃度ドレイン領域を形成するセルフアライン型のＴＦＴであってもよい。
【０１４１】
（積層構造・第１層及び第２層間の構成―下地絶縁膜―）
以上説明した走査線１１ａの上、かつ、ＴＦＴ３０の下には、例えばシリコン酸化膜等からなる下地絶縁膜１２が設けられている。下地絶縁膜１２は、走査線１１ａからＴＦＴ３０を層間絶縁する機能のほか、ＴＦＴアレイ基板１０の全面に形成されることにより、ＴＦＴアレイ基板１０の表面研磨時における荒れや、洗浄後に残る汚れ等で画素スイッチング用のＴＦＴ３０の特性変化を防止する機能を有する。
【０１４２】
この下地絶縁膜１２には、平面的にみて半導体層１ａの両脇に、後述するデータ線６ａに沿って延びる半導体層１ａのチャネル長の方向に沿った溝状のコンタクトホール１２ｃｖが掘られており、このコンタクトホール１２ｃｖに対応して、その上方に積層されるゲート電極３ａは下側に凹状に形成された部分を含んでいる。また、このコンタクトホール１２ｃｖ全体を埋めるようにして、ゲート電極３ａが形成されていることにより、該ゲート電極３ａには、これと一体的に形成された側壁部３ｂが延設されるようになっている。これにより、ＴＦＴ３０の半導体層１ａは、図２４によく示されているように、平面的にみて側方から覆われるようになっており、少なくともこの部分からの光の入射が抑制されるようになっている。
【０１４３】
また、この側壁部３ｂは、前記のコンタクトホール１２ｃｖを埋めるように形成されているとともに、その下端が前記の走査線１１ａと接するようにされている。ここで走査線１１ａは、上述のようにストライプ状に形成されていることから、ある行に存在するゲート電極３ａ及び走査線１１ａは、当該行に着目する限り、常に同電位となる。
【０１４４】
（積層構造・第３層の構成―蓄積容量等―）
さて、前述の第２層に続けて第３層には、蓄積容量７０が設けられている。蓄積容量７０は、ＴＦＴ３０の高濃度ドレイン領域１ｅ及び画素電極９ａに接続された画素電位側容量電極としての下部電極７１と、固定電位側容量電極としての容量電極３００とが、誘電体膜７５を介して対向配置されることにより形成されている。この蓄積容量７０によれば、画素電極９ａにおける電位保持特性を顕著に高めることが可能となる。また、第６実施形態に係る蓄積容量７０は、図２３及び図２４の平面図を見るとわかるように、画素電極９ａの形成領域にほぼ対応する光透過領域には至らないように形成されているため（換言すれば、遮光領域内に収まるように形成されているため）、電気光学装置全体の画素開口率は比較的大きく維持され、これにより、より明るい画像を表示することが可能となる。
【０１４５】
より詳細には、下部電極７１は、例えば導電性のポリシリコン膜からなり画素電位側容量電極として機能する。ただし、下部電極７１は、金属又は合金を含む単一層膜又は多層膜から構成してもよい。また、この下部電極７１は、画素電位側容量電極としての機能のほか、画素電極９ａとＴＦＴ３０の高濃度ドレイン領域１ｅとを中継接続する機能をもつ。ちなみに、ここにいう中継接続は、前記の中継電極７１９を介して行われている。
【０１４６】
容量電極３００は、蓄積容量７０の固定電位側容量電極として機能する。第６実施形態において、容量電極３００を固定電位とするためには、固定電位とされた容量配線４００（後述する。）と電気的接続が図られることによりなされている。また、容量電極３００は、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｗ、Ｔａ、Ｍｏ等の高融点金属のうちの少なくとも一つを含む、金属単体、合金、金属シリサイド、ポリシリサイド、これらを積層したもの、或いは好ましくはタングステンシリサイドからなる。これにより、容量電極３００は、ＴＦＴ３０に上側から入射しようとする光を遮る機能を有している。
【０１４７】
誘電体膜７５は、図２５に示すように、例えば膜厚５〜２００ｎｍ程度の比較的薄いＨＴＯ（High Temperature Oxide）膜、ＬＴＯ（Low Temperature Oxide）膜等の酸化シリコン膜、あるいは窒化シリコン膜等から構成される。
【０１４８】
第６実施形態において、この誘電体膜７５は、図２５に示すように、下層に酸化シリコン膜７５ａ、上層に窒化シリコン膜７５ｂというように二層構造を有するものとなっている。上層の窒化シリコン膜７５ｂは画素電位側容量電極の下部電極７１より少し大きなサイズにパターニングされ、遮光領域（非開口領域）内で収まるように形成されている。
【０１４９】
なお、第６実施形態では、誘電体膜７５は、二層構造を有するものとなっているが、場合によっては、例えば酸化シリコン膜、窒化シリコン膜及び酸化シリコン膜等というような三層構造や、あるいはそれ以上の積層構造を有するように構成してもよい。むろん単層構造としてもよい。
【０１５０】
（積層構造、第２層及び第３層間の構成―第１層間絶縁膜―）
以上説明したＴＦＴ３０ないしゲート電極３ａ及び中継電極７１９の上、かつ、蓄積容量７０の下には、例えば、ＮＳＧ（ノンシリケートガラス）、ＰＳＧ（リンシリケートガラス）、ＢＳＧ（ボロンシリケートガラス）、ＢＰＳＧ（ボロンリンシリケートガラス）等のシリケートガラス膜、窒化シリコン膜や酸化シリコン膜等、あるいは好ましくはＮＳＧからなる第１層間絶縁膜４１が形成されている。
【０１５１】
そして、この第１層間絶縁膜４１には、ＴＦＴ３０の高濃度ソース領域１ｄと後述するデータ線６ａとを電気的に接続するコンタクトホール８１が、後記第２層間絶縁膜４２を貫通しつつ開孔されている。また、第１層間絶縁膜４１には、ＴＦＴ３０の高濃度ドレイン領域１ｅと蓄積容量７０を構成する下部電極７１とを電気的に接続するコンタクトホール８３が開孔されている。さらに、この第１層間絶縁膜４１には、蓄積容量７０を構成する画素電位側容量電極としての下部電極７１と中継電極７１９とを電気的に接続するためのコンタクトホール８８１が開孔されている。更に加えて、第１層間絶縁膜４１には、中継電極７１９と後述する第２中継電極６ａ２とを電気的に接続するためのコンタクトホール８８２が、後記第２層間絶縁膜を貫通しつつ開孔されている。
【０１５２】
本実施形態では特に図２５において、コンタクトホール８３内には、その側壁に沿って側壁膜８５が形成されている。即ち、コンタクトホール８３は、図１に示したコンタクトホール７０６と同様に構成されている。蓄積容量７０における下部電極７１は、側壁膜８５によって規定される小穴８４外から小穴８４内まで連続的に設けられている。そして、下部電極７１は、該下部電極７１における小穴８４の底部に形成された一部分によって、コンタクトホール８３内を介して、半導体層１ａにおける高濃度ドレイン領域１ｅと相互に電気的に接続されることになる。尚、側壁膜８５を構成する材料膜として導電膜を用いた場合、更に下部電極７１は、該下部電極７１における小穴８４の側壁部に形成された部分によっても、側壁膜８５を介して、高濃度ドレイン領域１ｅと相互に電気的に接続されることになる。
【０１５３】
また、好ましくは、側壁膜８５はポリシリコン膜として形成されており、下部電極７１は側壁膜８５たるポリシリコン膜よりもドープ量が多いポリシリコン膜から構成される。
【０１５４】
このように構成すれば、ＴＦＴ３０のチャネル領域１ａ’や低濃度ソース領域１ｂ及び低濃度ドレイン領域１ｃ並びに高濃度ソース領域１ｄ及び高濃度ドレイン領域１ｅなどに対して、下部電極７１を構成するポリシリコン膜から、製造工程中の高温化における熱拡散により、例えばリン等のドーパントが伝わることを、ドープ量の少ない側壁膜８５の存在により低減できる。逆に、ドープ量を増大させることで、下部電極７１の電気抵抗を低めることが可能となる。
【０１５５】
更に、図２４に示すように、下側遮光膜としても機能する走査線１１ａは、ＴＦＴ３０、半導体層１ａ、及びコンタクトホール８３を覆うように形成されている。また、側壁膜８５をポリシリコン膜として形成すれば遮光性が確保される。よって、コンタクトホール８３付近における光漏れ或いは遮光性能の低下が効果的に防止されている。従って、ＴＦＴ３０における光リーク電流の発生を防止することが可能となる。
【０１５６】
よって、当該電気光学装置では、高品位の画層表示を行うことが可能となる。
【０１５７】
（積層構造・第４層の構成―データ線等―）
さて、前述の第３層に続けて第４層には、データ線６ａが設けられている。このデータ線６ａは、図２５に示すように、下層より順に、アルミニウムからなる層（図２５における符号４１Ａ参照）、窒化チタンからなる層（図２５における符号４１ＴＮ参照）、窒化シリコン膜からなる層(図２５における符号４０１参照)の三層構造を有する膜として形成されている。窒化シリコン膜は、その下層のアルミニウム層と窒化チタン層を覆うように少し大きなサイズにパターニングされている
【０１５８】
また、この第４層には、データ線６ａと同一膜として、容量配線用中継層６ａ１及び第２中継電極６ａ２が形成されている。これらは、図２３に示すように、平面的に見ると、データ線６ａと連続した平面形状を有するように形成されているのではなく、各者間はパターニング上分断されるように形成されている。
【０１５９】
ちなみに、これら容量配線用中継層６ａ１及び第２中継電極６ａ２は、データ線６ａと同一膜として形成されていることから、下層より順に、アルミニウムからなる層、窒化チタンからなる層、プラズマ窒化膜からなる層の三層構造を有する。
【０１６０】
（積層構造・第３層及び第４層間の構成―第２層間絶縁膜―）
以上説明した蓄積容量７０の上、かつ、データ線６ａの下には、例えばＮＳＧ、ＰＳＧ，ＢＳＧ、ＢＰＳＧ等のシリケートガラス膜、窒化シリコン膜や酸化シリコン膜等、あるいは好ましくはＴＥＯＳガスを用いたプラズマＣＶＤ法によって形成された第２層間絶縁膜４２が形成されている。この第２層間絶縁膜４２には、ＴＦＴ３０の高濃度ソース領域１ｄとデータ線６ａとを電気的に接続する、前記のコンタクトホール８１が開孔されているとともに、前記容量配線用中継層６ａ１と蓄積容量７０の上部電極たる容量電極３００とを電気的に接続するコンタクトホール８０１が開孔されている。さらに、第２層間絶縁膜４２には、第２中継電極６ａ２と中継電極７１９とを電気的に接続するための、前記のコンタクトホール８８２が形成されている。
【０１６１】
（積層構造・第５層の構成―容量配線等―）
さて、前述の第４層に続けて第５層には、容量配線４００が形成されている。この容量配線４００は、平面的にみると、図２３に示すように、図中Ｘ方向及びＹ方向それぞれに延在するように、格子状に形成されている。該容量配線４００のうち図中Ｙ方向に延在する部分については特に、データ線６ａを覆うように、且つ、該データ線６ａよりも幅広に形成されている。また、図中Ｘ方向に延在する部分については、後述の第３中継電極４０２を形成する領域を確保するために、各画素電極９ａの一辺の中央付近に切り欠き部を有している。
【０１６２】
さらには、図２３中、ＸＹ方向それぞれに延在する容量配線４００の交差部分の隅部においては、該隅部を埋めるようにして、略三角形状の部分が設けられている。容量配線４００に、この略三角形状の部分が設けられていることにより、ＴＦＴ３０の半導体層１ａに対する光の遮蔽を効果的に行うことができる。すなわち、半導体層１ａに対して、斜め上から進入しようとする光は、この三角形状の部分で反射又は吸収されることになり半導体層１ａには至らないことになる。したがって、光リーク電流の発生を抑制し、フリッカ等のない高品質な画像を表示することが可能となる。この容量配線４００は、画素電極９ａが配置された画像表示領域１０ａからその周囲に延設され、定電位源と電気的に接続されることで、固定電位とされている。
【０１６３】
また、第４層には、このような容量配線４００と同一膜として、第３中継電極４０２が形成されている。この第３中継電極４０２は、後述のコンタクトホール８０４及び８９を介して、第２中継電極６ａ２及び画素電極９ａ間の電気的接続を中継する機能を有する。なお、これら容量配線４００及び第３中継電極４０２間は、平面形状的に連続して形成されているのではなく、両者間はパターニング上分断されるように形成されている。
【０１６４】
他方、上述の容量配線４００及び第３中継電極４０２は、下層にアルミニウムからなる層、上層に窒化チタンからなる層の二層構造を有している。
【０１６５】
（積層構造・第４層及び第５層間の構成―第３層間絶縁膜―）
以上説明した前述のデータ線６ａの上、かつ、容量配線４００の下には、ＮＳＧ、ＰＳＧ、ＢＳＧ、ＢＰＳＧ等のシリケートガラス膜、窒化シリコン膜や酸化シリコン膜等、あるいは好ましくは、ＴＥＯＳガスを用いたプラズマＣＶＤ法で形成された第３層間絶縁膜４３が形成されている。この第３層間絶縁膜４３には、前記の容量配線４００と容量配線用中継層６ａ１とを電気的に接続するためのコンタクトホール８０３、及び、第３中継電極４０２と第２中継電極６ａ２とを電気的に接続するためのコンタクトホール８０４がそれぞれ開孔されている。
【０１６６】
（積層構造・第６層並びに第５層及び第６層間の構成―画素電極等―）
最後に、第６層には、上述したように画素電極９ａがマトリクス状に形成され、該画素電極９ａ上に配向膜１６が形成されている。そして、この画素電極９ａ下には、ＮＳＧ、ＰＳＧ、ＢＳＧ、ＢＰＳＧ等のシリケートガラス膜、窒化シリコン膜や酸化シリコン膜等、あるいは好ましくはＮＳＧからなる第４層間絶縁膜４４が形成されている。この第４層間絶縁膜４４には、画素電極９ａ及び前記の第３中継電極４０２間を電気的に接続するためのコンタクトホール８９が開孔されている。画素電極９ａとＴＦＴ３０との間は、このコンタクトホール８９及び第３中継層４０２並びに前述したコンタクトホール８０４、第２中継層６ａ２、コンタクトホール８８２、中継電極７１９、コンタクトホール８８１、下部電極７１及びコンタクトホール８３を介して、電気的に接続されることとなる。
【０１６７】
本実施形態では特に図２５において、コンタクトホール８９は、図１に示したコンタクトホール７０６と同様に構成されてもよい。更に、コンタクトホール８９に係る構成を、例えば第１実施形態と同様の製造方法を用いて形成する場合、第４層間絶縁膜４４に対して、既に説明した変形例と同様のＣＭＰ処理が行われるのが好ましい。これにより、第４層間絶縁膜４４の表面を平坦化できる。そして特に、コンタクトホール８９の入口付近が、側壁膜８７の存在によってコンタクトホール８９単独の場合よりも緩やかな傾斜形状或いは段差形状とされている。このため、画素電極９ａと、該画素電極９ａにおける小穴８８の底部に形成された一部分についても、大きく窪むこと或いは殆ど窪むことがなくなり、平坦化できる。
【０１６８】
従って、画素電極９ａによる電気光学動作を、コンタクトホール８９の周辺を含めて平坦化された該画素電極９ａにより良好に行える。より具体的には、平坦化された画素電極９ａを用いることで、段差による液晶５０の配向不良や、縦電界の乱れによる液晶５０の配向不良を低減できる。このように、高品位の画層表示が可能な電気光学装置を製造できる。
【０１６９】
＜７；電子機器＞
次に、以上詳細に説明した電気光学装置を各種の電子機器に適用される場合について説明する。
【０１７０】
＜７−１；プロジェクタ＞
まず、この電気光学装置たる液晶装置をライトバルブとして用いたプロジェクタについて説明する。図２６は、プロジェクタの構成例を示す平面図である。この図に示されるように、プロジェクタ１１００内部には、ハロゲンランプ等の白色光源からなるランプユニット１１０２が設けられている。このランプユニット１１０２から射出された投射光は、ライトガイド１１０４内に配置された４枚のミラー１１０６および２枚のダイクロイックミラー１１０８によってＲＧＢの３原色に分離され、各原色に対応するライトバルブとしての液晶装置１１１０Ｒ、１１１０Ｂおよび１１１０Ｇに入射される。液晶装置１１１０Ｒ、１１１０Ｂおよび１１１０Ｇの構成は、上述した電気光学装置と同等であり、画像信号処理回路から供給されるＲ、Ｇ、Ｂの原色信号でそれぞれ駆動されるものである。そして、これらの液晶装置によって変調された光は、ダイクロイックプリズム１１１２に３方向から入射される。このダイクロイックプリズム１１１２においては、ＲおよびＢの光が９０度に屈折する一方、Ｇの光が直進する。したがって、各色の画像が合成される結果、投射レンズ１１１４を介して、スクリーン等にカラー画像が投写されることとなる。
【０１７１】
＜７−２；モバイル型コンピュータ＞
次に、この電気光学装置たる液晶装置を、モバイル型のパーソナルコンピュータに適用した例について説明する。図２７は、このパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。図において、コンピュータ１２００は、キーボード１２０２を備えた本体部１２０４と、液晶表示ユニット１２０６とから構成されている。この液晶表示ユニット１２０６は、先に述べた電気光学装置にバックライトを付加することにより構成されている。
【０１７２】
＜７−３；携帯電話＞
さらに、この電気光学装置たる液晶装置を、携帯電話に適用した例について説明する。図２８は、この携帯電話の構成を示す斜視図である。図において、携帯電話１３００は、複数の操作ボタン１３０２とともに、反射型の液晶装置１００５を備えるものである。この反射型の液晶装置１００５にあっては、必要に応じてその前面にフロントライトが設けられる。
【０１７３】
尚、図２６から図２８を参照して説明した電子機器の他にも、液晶テレビや、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた装置等などが挙げられる。そして、これらの各種電子機器に適用可能なのは言うまでもない。
【０１７４】
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う基板装置、並びにこれを備えた電気光学装置及び電子機器もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【図面の簡単な説明】
【０１７５】
【図１】本発明の第１実施形態に係る基板装置の構成例を示す断面図（図１（ａ））及び平面図（図１（ｂ））である。
【図２】第１実施形態に係る基板装置の製造方法を、順を追って示す製造工程図（その１）である。
【図３】第１実施形態に係る基板装置の製造方法を、順を追って示す製造工程図（その２）である。
【図４】第１実施形態に係る基板装置の製造方法を、順を追って示す製造工程図（その３）である。
【図５】第１実施形態に係る基板装置の製造方法を、順を追って示す製造工程図（その４）である。
【図６】第１実施形態に係る基板装置の製造方法を、順を追って示す製造工程図（その５）である。
【図７】本発明の第２実施形態に係る基板装置の構成例を示す断面図（図７（ａ））及び平面図（図７（ｂ））である。
【図８】第２実施形態に係る基板装置の製造方法を、順を追って示す製造工程図（その１）である。
【図９】第２実施形態に係る基板装置の製造方法を、順を追って示す製造工程図（その２）である。
【図１０】第２実施形態に係る基板装置の製造方法を、順を追って示す製造工程図（その３）である。
【図１１】第２実施形態に係る基板装置の製造方法を、順を追って示す製造工程図（その４）である。
【図１２】本発明の第３実施形態に係る基板装置の構成例を示す断面図である。
【図１３】本発明の第４実施形態に係る基板装置の構成例を示す断面図（図１３（ａ））及び平面図（図１３（ｂ））である。
【図１４】第４実施形態に係る基板装置の製造方法を、順を追って示す製造工程図（その１）である。
【図１５】第４実施形態に係る基板装置の製造方法を、順を追って示す製造工程図（その２）である。
【図１６】第４実施形態に係る基板装置の製造方法を、順を追って示す製造工程図（その３）である。
【図１７】第４実施形態に係る基板装置の製造方法を、順を追って示す製造工程図（その４）である。
【図１８】第４実施形態において、下層導電部に対してコンタクトホールがアラインメントずれを起こした場合における、基板装置の構成例を示す断面図（図１８（ａ））及び平面図（図１８（ｂ））である。
【図１９】本変形例に係る一の構成を示す断面図である。
【図２０】電気光学装置の全体構成を示す平面図である。
【図２１】図２０のＨ−Ｈ’断面図である。
【図２２】電気光学装置の画像表示領域を構成するマトリクス状に形成された複数の画素部における各種素子、配線等の等価回路である。
【図２３】データ線、走査線、画素電極等が形成されたＴＦＴアレイ基板の相隣接する複数の画素群の平面図である。
【図２４】図２３のうち、特に走査線、ＴＦＴ、及び該ＴＦＴに対して形成されるコンタクトホールの配置関係を示すためこれらの要素を抜き出して描いた平面図である。
【図２５】図２３のＡ−Ａ´断面図である。
【図２６】電気光学装置を適用した電子機器の一例たるプロジェクタの構成を示す図である。
【図２７】電気光学装置を適用した電子機器の一例たるパーソナルコンピュータの構成を示す図である。
【図２８】電気光学装置を適用した電子機器の一例たる携帯電話の構成を示す図である。
【符号の説明】
【０１７６】
７０２…下層導電部、７０４…層間絶縁膜、７０６…コンタクトホール、７０８…側壁膜、７１０…上層導電部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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