(57)【要約】【課題】２つの搬送台が同一方向にも作動でき、微細な動きも可能なハンドリング用ロボットを提供する。【解決手段】ハンドリング用ロボットは、複数のダイレクトドライブタイプのモータユニットを軸方向に並べ、少なくとも１ケのアーム基端が、対応するモータユニットのモータ回転子と軸方向に略同一位置となるよう、各モータユニットのモータ回転子にアーム基端を連結し、この各アーム３６ａ〜３６ｄにリンク３７ａ〜３７ｄを介して搬送台８ａ，８ｂを連結し、搬送台８ａ，８ｂを軸直角方向に往復動あるいは回転動するようにしている。【選択図】図１２
2005096076.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のダイレクトドライブタイプのモータユニットを軸方向に並べ、
少なくとも１個のアーム基端が、対応するモータユニットのモータ回転子と軸方向に略同一位置となるよう、各モータユニットの各モータ回転子にアーム基端を連結し、この各アームにリンクを介して搬送台を連結し、搬送台を軸直角方向に往復動あるいは回転動するようにしたことを特徴とするハンドリング用ロボット。
【請求項２】
複数のダイレクトドライブタイプのモータユニットを軸方向に並べ、
上下方向に位置をずらせて同心状に回転自在に設けた複数のリング状ボスを備えたハンドリング用ロボットであって、
少なくとも１つのアームが、前記複数のリング状ボスのうち、上側のリング状ボスの頂面に脚柱を介して突設され、
この各アームにリンクを介して搬送台を連結し、搬送台を軸直角方向に往復動あるいは回転動するようにしたことを特徴とするハンドリング用ロボット。
【請求項３】
複数のダイレクトドライブタイプのモータユニットを軸方向に並べ、
上下方向に位置をずらせて同心状に回転自在に設けた複数のリング状ボスを備えたハンドリング用ロボットであって、
前記複数のリング状ボスの側面には、少なくとも１つのアームが突設され、
この各アームにリンクを介して搬送台を連結し、搬送台を軸直角方向に往復動あるいは回転動するようにしたことを特徴とするハンドリング用ロボット。
【請求項４】
請求項２または請求項３に記載のハンドリング用ロボットにおいて、
前記複数のリング状ボスを駆動する各モータユニットが、隔壁部材の内側に配置されていることを特徴とするハンドリング用ロボット。
【請求項５】
請求項４に記載のハンリング用ロボットにおいて、
前記隔壁部材は、上側を閉じた円筒状であることを特徴とするハンドリング用ロボット。
【請求項６】
請求項４または請求項５に記載のハンドリング用ロボットにおいて、
位置検出器が前記隔壁部材の内側に配置されていることを特徴とするハンドリング用ロボット。
【請求項７】
請求項１〜請求項６のいずれかに記載のハンドリング用ロボットにおいて、
各モータユニットの各モータ回転子を互いに逆方向に回転することにより搬送台が軸直角方向に往復動し、同一方向へ回転することにより搬送台を回転するようにしたことを特徴とするハンドリング用ロボット。
【請求項８】
請求項１〜請求項７のいずれかに記載のハンドリング用ロボットにおいて、
各モータユニットの各モータ固定子を隔壁部材を介して各モータ回転子に対向する位置に配置したことを特徴とするハンドリング用ロボット。
【請求項９】
請求項８に記載のハンドリング用ロボットにおいて、
前記隔壁部材に前記モータ固定子が固着していることを特徴とするハンドリング用ロボット。
【請求項１０】
請求項１〜請求項９のいずれかに記載のハンドリング用ロボットにおいて、
前記各モータユニットは、軸方向に隣接していることを特徴とするハンドリング用ロボット。
【請求項１１】
請求項１〜請求項１０のいずれかに記載のハンドリング用ロボットにおいて、
各モータユニットの各モータ回転子にアーム基端を連結する箇所を２個設けたことを特徴とするハンドリング用ロボット。
【請求項１２】
請求項１〜請求項１１のいずれかに記載のハンドリング用ロボットにおいて、
トランスファチャンバ底面より上に、２個のダイレクトドライブモータのモータ回転子を配置したことを特徴とするハンドリング用ロボット。
【請求項１３】
請求項１〜請求項１２のいずれかに記載のハンドリング用ロボットにおいて、
モータ回転子が真空中に置かれ、モータ固定子が大気中に置かれることを特徴とするハンドリング用ロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造装置や、ＬＣＤ製造装置等のように、１つのトランスファチャンバの周囲に複数のステーションとなるプロセスチャンバを配設し、各プロセスチャンバにて加工処理されるウエハ等の薄板状のワークを、トランスファチャンバを経由して、このトランスファチャンバに設けたハンドリング用ロボットにて、１つのプロセスチャンバから他のプロセスチャンバへ搬送するようにしたマルチチャンバタイプの製造装置における上記ハンドリング用ロボットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
マルチチャンバタイプの半導体製造装置は図１に示すようになっていて、トランスファチャンバ１の周囲に、複数のプロセスチャンバからなるプロセスチャンバステーション２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅと、外部に対してワークを受け渡しを行うワーク受け渡しステーション３とが配設されており、トランスファチャンバ１内は常時真空装置にて真空状態が保たれている。
【０００３】
そして上記トランスファチャンバ１は図２に示すようになっていて、これの中心部にハンドリング用ロボットＡが回転可能に備えてあり、周壁で、かつプロセスチャンバステーション２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅ及びワーク受け渡しステーション３に対向する仕切り壁５には各プロセスチャンバステーションへのワークの出入口となるゲート６が設けてある。このゲート６はトランスファチャンバ２の内側に各ゲート６に対向して設けられた図示しない開閉扉にて開閉されるようになっている。
【０００４】
上記ハンドリング用ロボットＡはいわゆるフロッグレッグ式の双腕型といわれているものが用いられていて、その構成は図３から図６に示すようになっている。
【０００５】
回転中心に対して同長の２本のアーム７ａ，７ｂがそれぞれ回転可能に設けられている。一方同一形状の２つの搬送台８ａ，８ｂを有しており、この各搬送台８ａ，８ｂの基部に、同長の２本のリンク９ａ，９ｂの一端が連結されている。この両リンク９ａ，９ｂの一端は搬送台８ａ，８ｂに対してフロッグレッグ式の搬送台姿勢規制機構を介して連結されており、両リンク９ａ，９ｂは各搬送台８ａ，８ｂに対して完全に対称方向に回転するようになっている。そして各搬送台８ａ，８ｂに連結した２本のリンクのうちの一方のリンクは一方のアームに、他方のリンクは他方のアームにそれぞれ連結されている。
【０００６】
図４は上記フロッグレッグ式の搬送台姿勢規制機構を示すもので、搬送台８ａ，８ｂに連結される２本のリンク９ａ，９ｂの先端部は図４（ａ）に示すように互いに噛合う歯車９ｃ，９ｃからなる歯車構成により結合されており、搬送台８ａ，８ｂに対するリンク９ａ，９ｂの姿勢角θＲ，θＬが常に同じになるようにしている。これにより、搬送台８ａ，８ｂは常にトランスファチャンバ１の半径方向に向けられると共に、半径方向へ動作される。上記リンク９ａ，９ｂの連結は歯車に代えて、図４（ｂ）に示すようにたすき掛けしたベルト９ｄによるものもある。
【０００７】
図５は上記アーム７ａ，７ｂをそれぞれ独立して回転するための従来の機構を示すものである。各アーム７ａ，７ｂの基部はそれぞれリング状になっていて、この各リング状ボス１０ａ，１０ｂは回転中心に対して同軸状にしてトランスファチャンバ１に対して回転自在に支持されている。
【０００８】
一方両リング状ボス１０ａ，１０ｂの内側には円板状ボス１１ａ，１１ｂがそれぞれに対向されて同じ同心状に配置されており、この各対向するリング状ボスと円板状ボスとがマグネットカップリング１２ａ，１２ｂにて回転方向に磁気的に連結されている。
【０００９】
上記各円板状ボス１１ａ，１１ｂのそれぞれの回転軸１３ａ，１３ｂは同心状に配置されていて、このそれぞれの回転軸１３ａ，１３ｂはトランスファチャンバ１のフレーム１ａに同心状にして軸方向に位置をずらせて支持されたモータユニット１４ａ，１４ｂの出力部に連結されている。このとき、一方のモータユニット１４ｂの回転軸１３ｂは長くなっていて、他方のモータユニット１４ａを貫通して上方へ延設されている。
【００１０】
上記モータユニット１４ａ，１４ｂは、例えばＡＣサーボモータを用いたモータ１５と、ハーモニックドライブ（商品名、以下同じ）を用いた減速機１６が一体状に結合されていて、各減速機１６，１６の出力部が上記各回転軸１３ａ，１３ｂの基端に連結されている。アーム７ａ，７ｂが位置されるトランスファチャンバ１内は真空状態に維持されることから、このアーム回転機構のリング状ボス１０ａ，１０ｂと円板状ボス１１ａ，１１ｂとの間に密閉用の隔壁１７が設けてある。
【００１１】
図６の（ａ），（ｂ）は上記したハンドリング用ロボットＡの作用を示すもので、図６（ａ）に示すように、両アーム７ａ，７ｂが回転中心に対して直径方向に対称位置にあるときには、両搬送台８ａ，８ｂに対してリンク９ａ，９ｂが最も拡開するよう回転された状態となり、従って両搬送台８ａ，８ｂは回転中心側へ移動されている。
【００１２】
この状態で両アーム７ａ，７ｂを同一方向に回転することにより、両搬送台８ａ，８ｂは半径方向の位置を維持したまま回転中心に対して回転される。また図６（ａ）に示す状態から、両アーム７ａ，７ｂを、これらが互いに近付く方向（互いに逆方向）に回転することにより、図６（ｂ）に示すように、両アーム７ａ，７ｂでなす角度が小さくなる方に位置する搬送台８ａがリンク９ａ，９ｂに押されて放射方向外側へ突出動されて、トランスファチャンバ１に対して放射方向外側に隣接して設けられた上記ステーション２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅ，３の１つのステーションのプロセスチャンバ内に突入する。
【００１３】
このとき、他方の搬送台は回転中心側へ移動されるが、各アーム７ａ，７ｂとリンク９ａ，９ｂとのなす角度の関係上、その移動量はわずかとなる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
上記従来のハンドリング用ロボットにあっては、図５に示すように、同心状に複数の駆動軸を持つ必要があり、中空の軸等でモータユニットと負荷を結合するようにしている。このためモータユニットの出力部材から負荷までの動力伝達経路が長くなり、位置決め精度の低下やねじれによる振動が生じる。そのため動力伝達経路をなるべく短くしたい。
【００１５】
また、既存技術として、特表平８−５０６７７１号公報に示されているように、ダイレクトドライブタイプの真空用モータを用いたハンドリング用ロボットも存在しているが、これらは、２つのモータを上下に出力軸をそれぞれ同一方向に向けて同心状に配置させているため上側のモータは中空で、その中を下側のモータの出力軸を貫挿させており、この下側のモータの出力軸は長くなり、それだけねじれ振動の問題が生じる恐れがある。またこの場合、モータを構成する巻き線やセンサ、軸受など構成する部品に放出ガスの少ない材質を使う等、特殊なものが必要となる等の問題がある。
【００１６】
一方、上記問題を解決するために、特公平７−５５４６４号公報にあるように、２個のモータを、それぞれの出力軸を対向させて上下方向に同心状に配置し、それぞれの出力軸にフランジ状の駆動部材を固着し、この駆動部材と従動部材とをマグネットカップリングを介して連結したものがあるが、この従来のものは、両モータが上下に突出されており、この両モータを含む駆動部がハンドリング作動部に対して軸心部が干渉する構成となっている。
【００１７】
このため、搬送台によるハンドリング作動は上記両モータを含む駆動部の半径方向外側で行わなければならず、ハンドリング作動部の回転半径が大きくなり、従って、このハンドリング作動部が収容されるトランスファチャンバが大きくなってしまうという問題があった。
【００１８】
本発明は上記のことにかんがみなされたもので、モータユニットの出力部の剛性が極めて大きくなり、位置決め精度の低下や、ねじれ変形等による振動の発生をなくすることができ、しかもモータユニットを含む駆動部がハンドリング作動部の邪魔になることがないようにしたハンドリング用ロボットを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明に係る請求項１記載のハンドリング用ロボットは、複数のダイレクトドライブタイプのモータユニットを軸方向に並べ、少なくとも１個のアーム基端が、対応するモータユニットのモータ回転子と軸方向に略同一位置となるよう、各モータユニットの各モータ回転子にアーム基端を連結し、この各アームにリンクを介して搬送台を連結し、搬送台を軸直角方向に往復動あるいは回転動するようにしたことを特徴とする。
【００２０】
本発明に係る請求項２記載のハンドリング用ロボットは、複数のダイレクトドライブタイプのモータユニットを軸方向に並べ、上下方向に位置をずらせて同心状に回転自在に設けた複数のリング状ボスを備えたハンドリング用ロボットであって、少なくとも１つのアームが、前記複数のリング状ボスのうち、上側のリング状ボスの頂面に脚柱を介して突設され、この各アームにリンクを介して搬送台を連結し、搬送台を軸直角方向に往復動あるいは回転動するようにしたことを特徴とする。
【００２１】
本発明に係る請求項３記載のハンドリング用ロボットは、複数のダイレクトドライブタイプのモータユニットを軸方向に並べ、上下方向に位置をずらせて同心状に回転自在に設けた複数のリング状ボスを備えたハンドリング用ロボットであって、前記複数のリング状ボスの側面には、少なくとも１つのアームが突設され、この各アームにリンクを介して搬送台を連結し、搬送台を軸直角方向に往復動あるいは回転動するようにしたことを特徴とする。
本発明に係る請求項４記載のハンドリング用ロボットは、請求項２または請求項３に記載のハンドリング用ロボットにおいて、前記複数のリング状ボスを駆動する各モータユニットが、隔壁部材の内側に配置されていることを特徴とする。
本発明に係る請求項５記載のハンドリング用ロボットは、請求項４に記載のハンリング用ロボットにおいて、前記隔壁部材は、上側を閉じた円筒状であることことを特徴とする。
本発明に係る請求項６記載のハンドリング用ロボットは、請求項４または請求項５に記載のハンドリング用ロボットにおいて、位置検出器が前記隔壁部材の内側に配置されていることを特徴とする。
本発明に係る請求項７記載のハンドリング用ロボットは、請求項１〜請求項６のいずれかに記載のハンドリング用ロボットにおいて、各モータユニットの各モータ回転子を互いに逆方向に回転することにより搬送台が軸直角方向に往復動し、同一方向へ回転することにより搬送台を回転するようにしたことを特徴とする。
本発明に係る請求項８記載のハンドリング用ロボットは、請求項１〜請求項７のいずれかに記載のハンドリング用ロボットにおいて、各モータユニットの各モータ固定子を隔壁部材を介して各モータ回転子に対向する位置に配置したことを特徴とする。
本発明に係る請求項９記載のハンドリング用ロボットは、請求項８に記載のハンドリング用ロボットにおいて、前記隔壁部材に前記モータ固定子が固着していることを特徴とする。
本発明に係る請求項１０記載のハンドリング用ロボットは、請求項１〜請求項９のいずれかに記載のハンドリング用ロボットにおいて、前記各モータユニットは、軸方向に隣接していることを特徴とする。
本発明に係る請求項１１記載のハンドリング用ロボットは、請求項１〜請求項１０のいずれかに記載のハンドリング用ロボットにおいて、各モータユニットの各モータ回転子にアーム基端を連結する箇所を２個設けたことを特徴とする。
本発明に係る請求項１２記載のハンドリング用ロボットは、請求項１〜請求項１１のいずれかに記載のハンドリング用ロボットにおいて、トランスファチャンバ底面より上に、２個のダイレクトドライブモータのモータ回転子を配置したことを特徴とする。
本発明に係る請求項１３記載のハンドリング用ロボットは、請求項１〜請求項１２のいずれかに記載のハンドリング用ロボットにおいて、モータ回転子が真空中に置かれ、モータ固定子が大気中に置かれることを特徴とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
本発明の実施の形態を図７以下に基づいて説明する。なおこの実施の形態の説明において、図６まで示した従来の構成部材と同一部材は同一符号を付して説明を省略した。
【００２３】
図７は本発明の第１の実施の形態を示すもので、一対のアーム７ａ，７ｂの基端が固着される各リング状ボス１０ａ，１０ｂが、上側を閉じた円筒状で、かつ下端部をトランスファチャンバ１のフレーム２１に固着した隔壁部材２２にそれぞれ軸受２３，２３を介して回転自在に支持されている。
【００２４】
上記隔壁部材２２は上端を閉じた略帽子状に形成されていて、これの下端部がトランスファチャンバ１のフレーム２１に固着されており、この隔壁部材２２にてトランスファチャンバ１内とボス部内側とが気密状に遮断されている。そして、この隔壁部材２２の内側に上記リング状ボス１０ａ，１０ｂを駆動する２個のモータユニット２４ａ，２４ｂが、同軸状で、かつ軸方向に並べて配置されている。
【００２５】
上記各モータユニット２４ａ，２４ｂには扁平円筒状をなしているダイレクトドライブタイプのモータが用いられており、それぞれの構成は、ケース２５と、モータ固定子２６，２６と、モータ回転子２７と、このモータ回転子２７に結合された円筒状の出力部材２８とからなっている。また２９は出力部材２８の回転角を検出する位置検出器である。
【００２６】
図７に示す実施の形態にあっては、両モータユニット２４ａ，２４ｂのそれぞれの出力部材２８，２８が上側になるように配置されており、下側のモータ２４ａは、隔壁部材２２の基部に、また上側のモータ２４ｂは隔壁部材２２の上下方向の中間部に、それぞれ支持部材３０ａ，３０ｂを介して支持されている。
【００２７】
そして、この下側のモータユニット２４ａの出力部材２８に、上記各リング状ボス１０ａ，１０ｂのうち、下側に位置するリング状ボス１０ａの内側に上記隔壁部材２２を隔てて対向される下側の内側ボス３１ａが、また上側のモータユニット２４ｂの出力部材２８に、上側に位置するリング状ボス１０ｂの内側に上記隔壁部材２２を隔てて対向される上側の内側ボス３１ｂが、それぞれ連結部材３２ａ，３２ｂを介して連結されている。この各連結部材３２ａ，３２ｂはそれぞれ板状に薄く構成され、かつ断面形状が椀状になるように形成されている。この各連結部材３２ａ，３２ｂの椀状部の深さは各内側ボス３１ａ，３１ｂの軸方向の位置により決められる。上記各リング状ボス１０ａ，１０ｂと内側ボス３１ａ，３１ｂとは上記隔壁部材２２を隔てて対向配置されたマグネットカップリング３３ａ，３３ｂにて磁気的に連結されている。
【００２８】
上記両リング状ボス１０ａ，１０ｂには図３から図６に示した従来のものと同じハンドリング用ロボットＡのハンドリング作動部を支持するアーム７ａ，７ｂが固着してある。このとき、上記ハンドリング作動部はトランスファチャンバ１とボス部内側とを隔てる隔壁部材２２の頂面より上側に位置され、この隔壁部材２２の頂部が、ハンドリング作動部の作動の邪魔にならないようになっている。
【００２９】
上記構成において、両モータユニット２４ａ，２４ｂの回転による作用は図３から図６に示した従来のものと同じであり、両モータユニット２４ａ，２４ｂを同一方向に回転することにより、図６（ａ）に示すように、両搬送台８ａ，８ｂは半径方向の位置を維持したまま回転中心に対して回転され、また、両モータユニット２４ａ，２４ｂを、互いに逆方向に回転することにより、図６（ｂ）に示すように、両アーム７ａ，７ｂでなす角度が小さくなる方に位置する搬送台８ａがリンク９ａ，９ｂに押されて放射方向外側へ突出動されて、これがトランスファチャンバ１に対して放射方向外側に隣接して設けられた上記ステーション２ａ〜２ｅ，３の１つのステーションのプロセスチャンバ１内に突入される。
【００３０】
この構成では、各モータユニット２４ａ，２４ｂの出力部材２８，２８がそれぞれ断面形状が椀状になっている連結部材３２ａ，３２ｂを介して従動側に連結されることにより、この連結部材３２ａ，３２ｂが板状に薄く構成されているにもかかわらず、これの剛性を大きくすることができ、この部分での弾性変形による振動の発生が防止できる。
【００３１】
図８は第２の実施の形態を示すもので、上側のモータユニット２４ｂの上下方向を逆にして、出力部材２８を下側に位置させた構成となっている。この場合、上側のモータユニット２４ｂは隔壁部材２２の頂面内側に固着されて吊り下げ状態となっている。そしてこれの出力部材２８は図７にて示す場合より下側に位置するので、これと円側ボス３１ｂとを連結する支持部材３２ｂ′はより深い椀状になっている。
【００３２】
図９は本発明の第３の実施の形態を示すもので、以下のモータユニット２４ａ′，２４ｂ′は通常のモータ３４と減速機３５とを組み合わせた構成となっており、それぞれのモータユニット２４ａ′，２４ｂ′の減速機３５，３５の出力部材に、各内側ボス３１ａ，３１ｂに結合したそれぞれ板材からなり、かつ椀状に形成された連結部材３２ａ″，３２ｂ″が連結してある。なお上記各減速機３５，３５は減速比が大きいハーモニックドライブを用いた。
【００３３】
図１０は本発明の第４の実施の形態を示すもので、マグネットカップリングを用いずダイレクトドライブタイプのモータユニット２４ａ″，２４ｂ″のモータ回転子２７，２７が直接リング状ボス１０ａ，１０ｂに固着され、モータ固定子２６，２６が上記モータ回転子２７，２７と隔壁部材２２と介して対向させてこの隔壁部材２２側に固着されている。
【００３４】
上記各実施の形態において、２つのリング状ボス１０ａ，１０ｂに連結する搬送台装置は図３から図６に示した構成のハンドリング用ロボットＡのものと同じものを用いた例を示したが、この搬送台装置はこれに限るものではなく、図１１以下に示すように、２つの搬送台８ａ，８ｂが同一方向に作動するようにした搬送台装置を用いてもよい。
【００３５】
すなわち、図１１以下に示すように、下側のリング状ボス１０ａの側面には第１、第２のアーム３６ａ，３６ｂが直径方向両側へ向けて突設されている。また上側のリング状ボス１０ｂの側面には第３のアーム３６ｃが、またこの上側のリング状ボス１０ａの頂面に脚柱３６ｅを介して第４のアーム３６ｄが、それぞれ直径方向両側へ向けて突設されている。
【００３６】
この各アーム３６ａ〜３６ｄの円周方向の配置関係及びそれぞれの先端部に設けた回転支点までの長さは以下のようになっている。すなわち、下側のリング状ボス１０ａに突設された第１、第２のアーム３６ａ，３６ｂのそれぞれの回転支点までの長さＲ1 ，Ｒ2 は変えてあり、Ｒ1 ＞Ｒ2 となっている。また上側のリング状ボス１０ｂに突設された第３、第４のアーム３６ｃ，３６ｄのそれぞれの回転支点までの長さはＲ2 ′，Ｒ1 ′でＲ1 ′＞Ｒ2 ′となっている。この実施例ではＲ1 ＝Ｒ1 ′，Ｒ2 ＝Ｒ2 ′となっている。そして長い方の第１のアーム３６ａの回転支点はこの第１のアーム３６ａの先端上面に設けてあり、第４のアーム３６ｄの回転支点はこの第４のアーム３６ｄの先端下面に設けられておりそれぞれはリング状ボスの回転中心の軸方向で同位置になっている。また、短い方の第２のアーム３６ｂと第３のアーム３６ｃのそれぞれの回転支点はそれぞれのアームの先端上面に設けてあり、かつ軸方向に同位置となっている。
【００３７】
上記長い方の第１、第４のアーム３６ａ，３６ｄのそれぞれの回転支点には同長の第１、第４のリンク３７ａ，３７ｄの一端が回転自在に連結されており、この両リンク３７ａ，３７ｄのそれぞれの他端にフロッグレッグ式の搬送台姿勢規制機構を介して第１の搬送台８ａが連結されている。なおこの両リンク３７ａ，３７ｄの長さは、これらに連結された状態の搬送台８ａとの連結点が両アーム３６ａ，３６ｄがボス部の回転中心に対して直径方向に一直線状になった状態で、これらを結ぶ線より搬送台８ａの突出動方向へずれるような長さにしてある。
【００３８】
また、短い方の第２、第３のアーム３６ｂ，３６ｃのそれぞれの回転支点には同長の第２、第３のリンク３７ｂ，３７ｃの一端が回転自在に連結されており、この両リンク３７ｂ，３７ｃのそれぞれの他端にグロッグレッグ式の搬送台姿勢規制機構を介して第２の搬送台８ｂが連結されている。なお、この両リンク３７ｂ，３７ｃの長さは、これらに連結された状態の搬送台８ｂとの連結点が両アーム３６ｂ，３６ｃがボス部の回転中心に対して直径方向に一直線状になった状態で、これらを結ぶ線より搬送台８ｂの突出動方向へずれると共に、上記第１の搬送台８ａの下側で略同一位置となるようにした長さになっている。
【００３９】
この構成において、図１２に示すように、第１、第４のアーム３６ａ，３６ｄがボス部の直径方向に一直線状になり、また第２、第３のアーム３６ｂ，３６ｃが上記第１、第４のアームと旋回方向同一位置でボス部の直径方向に一直線状になった状態になった状態を待機姿勢とする。
【００４０】
この状態において、各リング状ボス１０ａ，１０ｂをそれぞれ個々に回転して、第２、第３のアーム３６ｂ，３６ｃが互いに第２の搬送台８ｂに近付く方向へ回転するように回転されると、図１３に示すように、第２の搬送台８ｂが突出動される。一方、このとき、第１、第４のアーム３６ａ，３６ｄは第１の搬送台８ａ側から遠ざかる方向に回転し、これにより、第１の搬送台８ａはわずかに上記第２の搬送台８ｂとは逆方向へ没入動される。このときの没入動は脚柱３６ｅに当接しない範囲になるようにする。
【００４１】
逆に、第１、第４のアーム３６ａ，３６ｄが互いに第１の搬送台８ａ側へ近付く方向へ回転されると、図１３に示す場合と逆となり、第１の搬送台８ａが突出動される。一方、このとき第２、第３のアーム３６ｂ，３６ｃは第２の搬送台８ｂから遠ざかる方向に回転し、これにより第２の搬送台８ｂはわずかに上記第１の搬送台８ａとは逆方向へ没入動される。このときの没入動は脚柱３６ｅに当接しない範囲になるようにする。
【００４２】
また、上記待機状態において、各リング状ボス１０ａ，１０ｂを同一方向に回転することにより両搬送台８ａ，８ｂがトランスファチャンバ１内で旋回動される。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
本発明は、ハンドリング用ロボットに利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】マルチチャンバタイプの製造装置の一例である半導体製造装置の概略的な平面図である。
【図２】トランスファチャンバとハンドリング用ロボットの関係を示す分解斜視図である。
【図３】ハンドリング用ロボットの一例を示す斜視図である。
【図４】（ａ），（ｂ）は搬送台姿勢規制機構を示す説明図である。
【図５】従来のハンドリング用ロボットのアーム回転機構を示す断面図である。
【図６】（ａ），（ｂ）はハンドリング用ロボットの作用説明図である。
【図７】本発明におけるアーム回転機構の一例を示す断面図である。
【図８】本発明におけるアーム回転機構の他例を示す断面図である。
【図９】本発明におけるアーム回転機構の他例を示す断面図である。
【図１０】本発明におけるアーム回転機構の他例を示す断面図である。
【図１１】搬送台装置の他例を示す正面図である。
【図１２】搬送台装置の他例を示す平面図である。
【図１３】搬送台装置の他例を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００４５】
Ａ…ハンドリング用ロボット
１…トランスファチャンバ
２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅ…プロセスチャンバステーション
３…ワーク受け渡しステーション
５…仕切り壁
６…ゲート
７ａ，７ｂ，３６ａ，３６ｂ，３６ｃ，３６ｄ…アーム
８ａ，８ｂ…搬送台
９ａ，９ｂ，３７ａ，３７ｂ，３７ｃ，３７ｄ…リンク
１０ａ，１０ｂ…リング状ボス
１１ａ，１１ｂ…円板状ボス
１２ａ，１２ｂ，３３ａ，３３ｂ…マグネットカップリング
１３ａ，１３ｂ…回転軸
１４ａ，１４ｂ，２４ａ，２４ｂ，２４ａ′，２４ｂ′，２４ａ″，２４ｂ″…モータユニット
１５，３４…モータ
１６，３５…減速機
２１…フレーム
２２…隔壁部材
２６…モータ固定子
２７…モータ回転子
２８…出力部材
３０ａ，３０ｂ…支持部材
３１ａ，３１ｂ…内側ボス
３２ａ，３２ｂ，３２ｂ′，３２ａ″，３２ｂ″…連結部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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