(57)【要約】【課題】振動板の変位量を拡大することができると共に、隣接液室へのクロストークの影響を軽減させることができ、更に、圧電素子の接着安定性を確保できる吐出ヘッド及び液吐出装置を提供する。【解決手段】圧力室の天面を形成する振動板５６には、アクチュエータ５８接合面に凹部５９及び凹部１２０が設けられ、圧力室側面には凹部１２２が設けられている。凹部５９はアクチュエータ５８配接領域に設けられており、この部分の剛性が低くなることによって振動板５６の変位量を拡大でき、更にアクチュエータ５８を接合する接着剤の逃がし溝として機能する。また、アクチュエータ配接領域の外側に設けられた凹部１２０及び凹部１２２は、隣り合うインク室の設けられたアクチュエータの動作によって振動板５６が変位してしまうクロストークを緩和させることができる。【選択図】  図１５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被吐出媒体上に液を吐出させる吐出ヘッドであって、
吐出させる液が蓄えられる圧力室の少なくとも一部を形成する振動板と、
前記振動板上に接合され、前記圧力室内の液を吐出させる吐出力となる圧力を発生させる圧電素子と、
を備え、
前記振動板の前記圧電素子配接領域の略中央に凹部が形成されていることを特徴とする吐出ヘッド。
【請求項２】
前記凹部の平面形状は、ｎ°( 但し、n<180 °）回転させたときに合致する回転対称形状であることを特徴とする請求項１記載の吐出ヘッド。
【請求項３】
前記凹部は前記振動板の前記圧電素子接合面に設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載の吐出ヘッド。
【請求項４】
前記振動板の前記圧電素子接合面には、前記圧電素子の外周位置に凹部が設けられていることを特徴とする請求項１、２又は３記載の吐出ヘッド。
【請求項５】
被吐出媒体上に液を吐出させる吐出ヘッドであって、
吐出させる液が蓄えられる圧力室の少なくとも一部を形成する振動板と、
前記振動板上に接合され、前記圧力室内の液を吐出させる吐出力となる圧力を発生させる圧電素子と、
を備え、
前記振動板の前記圧電素子接合面には第１の凹部が設けられ、前記振動板の前記圧力室側面には第２の凹部が設けられていることを特徴とする吐出ヘッド。
【請求項６】
前記第１の凹部は、前記振動板の圧電素子配接領域の略中央に設けられていることを特徴とする請求項５記載の吐出ヘッド。
【請求項７】
前記第２の凹部は、前記圧電素子配接領域の外側に対応する位置に設けられていることを特徴とする請求項５又は６記載の吐出ヘッド。
【請求項８】
前記振動板の圧電素子接合面には、前記圧電素子配接領域の外側に第３の凹部が設けられていることを特徴とする請求項５、６又は７記載の吐出ヘッド。
【請求項９】
前記振動板の圧電素子接合面には、前記圧電素子配接領域に第４の凹部が設けられていることを特徴とする請求項５、６又は７記載の吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記圧力室の平面形状は、長手方向の長さと短手方向の長さの比が略１となる形状であることを特徴とする請求項１乃至９のうち何れか１項に記載の吐出ヘッド。
【請求項１１】
前記圧電素子は、ｄ31モードを利用した圧電素子であることを特徴とする請求項１乃至１０のうち何れか１項に記載の吐出ヘッド。
【請求項１２】
前記振動板を有する前記圧力室が二次元的に配置されていることを特徴とする吐出ヘッド。
【請求項１３】
請求項１乃至１２のうち何れか１項に記載された吐出ヘッドを備えたことを特徴とする液吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は吐出ヘッド及び液吐出装置に係り、特にアクチュエータから発生されるエネルギーによって液滴を吐出させる液吐出ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、デジタルスチルカメラにより撮影された画像などを印刷記録する記録装置としてインクジェット記録装置（インクジェットプリンター）が普及している。インクジェット記録装置はヘッドに複数のノズル（記録素子）を備え、このノズルからインクの液滴を被記録媒体に吐出しながら記録ヘッドを走査し、記録紙上に画像を１ライン分記録すると被記録媒体を１ライン分搬送し、この工程を繰り返すことにより記録紙上に画像を形成するものである。
【０００３】
インクジェットプリンターには、単尺のシリアルヘッドを用い、ヘッドを被記録媒体の幅方向に走査させながら記録を行うものや、被記録媒体の１辺の全域に対応して記録素子が配列されているラインヘッドを用いるものがある。ラインヘッドを用いたものでは、記録素子の配列方向と直交する方向に被記録媒体を走査させることで被記録媒体の全面に画像記録を行うことができる。ラインヘッドを用いたプリンターでは短尺ヘッドを走査するキャリッジ等の搬送系が不要となり、また、キャリッジの移動と被記録媒体との複雑な走査制御が不要になる。また、被記録媒体だけが移動するのでシリアルヘッドを用いたプリンターに比べて記録速度の高速化が実現できる。
【０００４】
インクを吐出する多数のノズルには、吐出されるインクが蓄えられるインク室（圧力室）が該ノズルに連通して設けられている。このインク室内のインクを加圧した結果、ノズルからインクが吐出される。
【０００５】
インクに圧力を与えるには、インク室内に熱源を備えてインクを加熱し、この熱により発生した泡（バブル）によりインク室内のインクを加圧するサーマルジェット方式や、インク室の壁面に圧電素子を備え、この圧電素子の変位によりインク室の壁面を加圧し、この圧力によってインク室内のインクと吐出される圧電方式がある。
【０００６】
前述した圧電方式では、圧電素子のエネルギーを効率よくインク室内のインクに伝達させるために様々な工夫がなされている。
【０００７】
特許文献１に開示されたインクジェットヘッドでは、駆動素子の歪み現象を利用して振動させる振動板の駆動素子配設領域面、又はインク室対向面領域に歪みエネルギーを集中さえる溝を設けた構造にすることにより、駆動素子に対する駆動電圧の高電圧化や振動板の薄板化を行うことなくインク滴の噴射効率を高めると共に、駆動中のインク室での振動を、駆動しない隣接インク室へ影響させないようにしたものである。
【０００８】
また、特許文献２に記載されたインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置では、ノズル開口に連通する圧力発生室の一部を構成する振動板が圧力発生室内側の一部に凹部を有することにより、振動板の初期変化が抑えられるように構成されている。
【０００９】
また、特許文献３に記載されたインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置では、ノズル開口に連通する圧力発生室の一部を構成する振動板が圧力発生室内側の少なくとも幅方向両側に長手方向に亘って凹部を有することにより、圧電体能動部の駆動による変位量が向上するように構成されている。
また、特許文献４に記載されたインクジェットプリンタヘッド及びインクジェットプリンタヘッド用の圧電／電歪アクチュエータでは、圧力室の壁面を形成する振動伝達板には凹部が形成されており、該凹部の剛性が低くなることにより振動伝達板の輪郭近傍も変位に寄与する構造になっている。
【特許文献１】特開昭６３−５７２５０号公報
【特許文献２】特開平１１−３００９７１号公報
【特許文献３】特開平１１−３０９８６４号公報
【特許文献４】特開２００２−２２５２６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、圧電素子の変位を大きくするために圧電素子の印加電圧を高電圧にすると、電圧供給源となる電源装置が大型化するだけでなく、高電圧に対する保護回路等が必要になる。また、圧電素子から圧力を受ける振動板を薄板化すると振動板の強度が弱くなることにより、隣接するインク室へのクロストークが起こり得る。更に、薄板化した振動板を製造するための製造工程が複雑になると共に、その製造が困難になる。
【００１１】
特許文献１に開示されたインクジェットヘッドでは、振動板に設けられた溝の配設位置や該溝の形状について開示されていない。
【００１２】
また、特許文献２及び特許文献３に開示されたインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置では、長手方向に亘って設けられた凹部について開示されており、このような凹部では、その効果は、圧力発生室の形状が長方形或いは菱形といった形状に限定される。
【００１３】
また、特許文献４に記載されたインクジェットプリンタヘッド及びインクジェットプリンタヘッド用の圧電／電歪アクチュエータでは、変位拡大の効果はあるものの、クロストーク低減及び接着安定の効果は得ることが難しい。
【００１４】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、振動板の変位量を拡大することができると共に、隣接液室へのクロストークの影響を軽減させることができ、更に、圧電素子の接着安定性を確保できる液吐出ヘッド及び液吐出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
前記目的を達成するために請求項１に係る発明は、被吐出媒体上に液を吐出させる吐出ヘッドであって、吐出させる液が蓄えられる圧力室の少なくとも一部を形成する振動板と、前記振動板上に接合され、前記圧力室内の液を吐出させる吐出力となる圧力を発生させる圧電素子と、を備え、前記振動板の前記圧電素子配接領域の略中央に凹部が形成されていることを特徴としている。
【００１６】
即ち、圧力室の少なくとも一部を形成する振動板の圧電素子接合領域に凹部を形成したので、この部分では振動板の剛性が低くなり圧電素子から圧力を受けたときの振動板の変位を拡大させることができる。
【００１７】
凹部には２以上の凹部（溝）の組み合わせにより構成される凹部を含んでいてもよい。２以上の凹部は同一形状でもよいし、異なる形状でもよい。
【００１８】
吐出ヘッドは、被吐出媒体の幅方向の全域にわたって吐出が配置されているフルライン型の吐出ヘッドでもよいし、短尺の吐出ヘッドを被吐出媒体の幅方向に移動しながら吐出を行うシリアル型（シャトルスキャン型）吐出ヘッドでもよい。また、被吐出媒体の幅方向に複数の吐出ヘッドを備えた分割型ヘッドでもよい。
【００１９】
被吐出媒体は、吐出ヘッドによって吐出される受液部材であり、連続用紙、カット紙、シール用紙、ＯＨＰシート等の樹脂シート、フイルム、布、その他材質や形状を問わず、様々な媒体を含む。
【００２０】
請求項２に示すように請求項１記載の発明において、前記凹部の平面形状は、ｎ°( 但し、n<180 °）回転させたときに合致する回転対称形状であることを特徴としている。
【００２１】
即ち、該凹部を回転対称形状とすることで、より効率よく振動板を変位させることができる。
【００２２】
平面形状は振動板を圧電素子接合面側からみた形状を示している。
【００２３】
回転対称形状には、例えば、略中心で直交する２つの凹部からなる十字形状や、平面形状が略円形状及び略正方形形状などがある。
【００２４】
また、凹部の断面形状は、略正方形でもよいし略長方形でもよい。また、半円形状や長だ円、更に、これ以外の形状でもよい。
【００２５】
ウエットエッチングなどにより凹部を形成すると、凹部の深さに対する幅の割合は略１になるが、凹部の形成方法にシリコンの異方性エッチング等を用いると、幅に対する深さの割合が１以上の凹部を形成可能である。
【００２６】
請求項３に示すように請求項１又は２記載の発明において、前記凹部は前記振動板の前記圧電素子接合面に設けられていることを特徴としている。
【００２７】
振動板の圧電素子接合面に凹部を設けると、該振動板の変位拡大効果の他に、該振動板と該圧電素子と接合する際の接着剤、気泡の逃がし溝として機能させることも可能である。
【００２８】
したがって、接着剤溜りを防止でき、圧電素子が接着安定する。また、気泡が溜まりにくくなる。
【００２９】
請求項４に示すように請求項１、２又は３記載の発明において、前記振動板の前記圧電素子接合面には、前記圧電素子の外周位置に凹部が設けられていることを特徴としている。
【００３０】
即ち、圧電素子が接合されている外側の領域に凹部を設けると、隣接する圧電素子が動作した際に影響を受けるクロストークを緩和することができる。
【００３１】
また、前記目的を達成するために請求項５に係る発明は、被吐出媒体上に液を吐出させる吐出ヘッドであって、吐出させる液が蓄えられる圧力室の少なくとも一部を形成する振動板と、前記振動板上に接合され、前記圧力室内の液を吐出させる吐出力となる圧力を発生させる圧電素子と、を備え、前記振動板の前記圧電素子接合面には第１の凹部が設けられ、前記振動板の前記圧力室側面には第２の凹部が設けられていることを特徴としている。
【００３２】
第１の凹部と第２の凹部とは、平面上の位置がずれて設けられることが好ましい。また、第１の凹部と第２の凹部とは同一形状でもよいし、異なる形状でもよい。更に、第１の凹部及び第２の凹部は１つだけ設けられていてもよいし、複数の凹部が設けられていてもよい。
【００３３】
また、請求項６に示すように請求項５記載の発明において、前記第１の凹部は、前記振動板の圧電素子配接領域の略中央に設けられていることを特徴としている。
【００３４】
即ち、圧電素子配接領域の略中央部に設けられた第１の凹部は、振動板の変位拡大、圧電素子と振動板との接着安定性の確保に寄与する。
【００３５】
圧電素子配接領域に設けられた第１の凹部は回転対称形状であることが好ましい。
【００３６】
また、請求項７に示すように請求項５又は６記載の発明において、前記第２の凹部は、前記圧電素子配接領域の外側に対応する位置に設けられていることを特徴としている。
【００３７】
即ち、圧電素子の外側に対応する位置に設けられた第２の凹部は、クロストークの緩和に寄与する。
【００３８】
また、請求項８に示すように請求項５、６又は７記載の発明において、前記振動板の圧電素子接合面には、前記圧電素子配接領域の外側に第３の凹部が設けられていることを特徴とする請求項５、６又は７記載の吐出ヘッド。
【００３９】
即ち、振動板の圧電素子接合面の圧電素子の外側に第３の凹部を備えると、更にクロストークを低減させることができる。
【００４０】
第２の凹部と第３の凹部は平面上の異なる位置に設けられる態様が好ましい。
【００４１】
また、請求項９に示すように請求項５、６又は７記載の発明において、前記振動板の圧電素子接合面には、前記圧電素子配接領域に第４の凹部が設けられていることを特徴としている。
【００４２】
即ち、振動板の圧電素子接合面の圧電素子配接領域に第４の凹部を備えると、更に圧電素子の接着安定性を上げることができる。
【００４３】
第１の凹部と第３の凹部及び第４の凹部とは連通されていてもよい。
【００４４】
また、請求項１０に示すように請求項１乃至９のうち何れか１項に記載の発明において、前記圧力室の平面形状は、長手方向の長さと短手方向の長さの比が略１となる形状であることを特徴としている。
【００４５】
長手方向の長さと短手方向の長さの比、即ち、アスペクト比が略１となる形状には、略正方形、略正六角形、などの正略多角形や略円形などがある。
【００４６】
また、請求項１１に示すように請求項１乃至１０のうち何れか１項に記載の発明において、前記圧電素子は、ｄ31モードを利用した圧電素子であることを特徴としている。
【００４７】
また、請求項１２に示すように請求項１乃至１１のうち何れか１項に記載の発明において、前記振動板を有する前記圧力室が二次元的に配置されていることを特徴としている。
【００４８】
図のようなメカ分割だけでなく、１枚の圧電素子に複数の個別電極が設けられ、それぞれの電極配接部分（圧電活性部）を独立して動作させる電極分割型の圧電素子を適用可能である。その場合、圧電素子の配接領域が活性領域となる。
【００４９】
また、前記目的を達成するために請求項１３に係る発明は、請求項１乃至１２のうち何れか１項に記載された吐出ヘッドを備えたことを特徴としている。
【発明の効果】
【００５０】
本発明によれば、圧力室の少なくとも一部を形成する振動板の圧電素子配接領域の略中央に凹部を設けたので、該凹部では剛性が低下して歪み易くなるために、振動板の変位量を拡大させることができる。また、該凹部を圧電素子接合面に設けると、圧電素子の接着安定性を確保できる。
【００５１】
一方、圧電素子配接領域の外側に凹部を設けると、クロストークを低減させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５２】
以下添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について詳説する。
【００５３】
〔インクジェット記録装置の全体構成〕
図１は本発明の実施形態に係るインクジェット記録装置の全体構成図である。同図に示したように、このインクジェット記録装置１０は、インクの色ごとに設けられた複数の印字ヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙを有する印字部１２と、各印字ヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙに供給するインクを貯蔵しておくインク貯蔵／装填部１４と、記録紙１６を供給する給紙部１８と、記録紙１６のカールを除去するデカール処理部２０と、前記印字部１２のノズル面（インク吐出面）に対向して配置され、記録紙１６の平面性を保持しながら記録紙１６を搬送する吸着ベルト搬送部２２と、印字部１２による印字結果を読み取る印字検出部２４と、印画済みの記録紙（プリント物）を外部に排紙する排紙部２６と、を備えている。
【００５４】
図１では、給紙部１８の一例としてロール紙（連続用紙）のマガジンが示されているが、紙幅や紙質等が異なる複数のマガジンを併設してもよい。また、ロール紙のマガジンに代えて、又はこれと併用して、カット紙が積層装填されたカセットによって用紙を供給してもよい。
【００５５】
複数種類の記録紙を利用可能な構成にした場合、紙の種類情報を記録したバーコード或いは無線タグなどの情報記録体をマガジンに取り付け、その情報記録体の情報を所定の読取装置によって読み取ることで、使用される用紙の種類を自動的に判別し、用紙の種類に応じて適切なインク吐出を実現するようにインク吐出制御を行うことが好ましい。
【００５６】
給紙部１８から送り出される記録紙１６はマガジンに装填されていたことによる巻きクセが残り、カールする。このカールを除去するために、デカール処理部２０においてマガジンの巻きクセ方向と逆方向に加熱ドラム３０で記録紙１６に熱を与える。このとき、多少印字面が外側に弱いカールとなるように加熱温度を制御するとより好ましい。
【００５７】
ロール紙を使用する装置構成の場合、図１のように、裁断用のカッター（第１のカッター）２８が設けられており、該カッター２８によってロール紙は所望のサイズにカットされる。カッター２８は、記録紙１６の搬送路幅以上の長さを有する固定刃２８Ａと、該固定刃２８Ａに沿って移動する丸刃２８Ｂとから構成されており、印字裏面側に固定刃２８Ａが設けられ、搬送路を挟んで印字面側に丸刃２８Ｂが配置される。なお、カット紙を使用する場合には、カッター２８は不要である。
【００５８】
デカール処理後、カットされた記録紙１６は、吸着ベルト搬送部２２へと送られる。吸着ベルト搬送部２２は、ローラ３１、３２間に無端状のベルト３３が巻き掛けられた構造を有し、少なくとも印字部１２のノズル面及び印字検出部２４のセンサ面に対向する部分が水平面（フラット面）をなすように構成されている。
【００５９】
ベルト３３は、記録紙１６の幅よりも広い幅寸法を有しており、ベルト面には多数の吸引穴（不図示）が形成されている。図１に示したとおり、ローラ３１、３２間に掛け渡されたベルト３３の内側において印字部１２のノズル面及び印字検出部２４のセンサ面に対向する位置には吸着チャンバ３４が設けられており、この吸着チャンバ３４をファン３５で吸引して負圧にすることによってベルト３３上の記録紙１６が吸着保持される。
【００６０】
ベルト３３が巻かれているローラ３１、３２の少なくとも一方にモータ（図１中不図示，図７中符号８８として記載）の動力が伝達されることにより、ベルト３３は図１上の時計回り方向に駆動され、ベルト３３上に保持された記録紙１６は図１の左から右へと搬送される。なお、ベルト３３の詳細は後述する。
【００６１】
縁無しプリント等を印字するとベルト３３上にもインクが付着するので、ベルト３３の外側の所定位置（印字領域以外の適当な位置）にベルト清掃部３６が設けられている。ベルト清掃部３６の構成について詳細は図示しないが、例えば、ブラシ・ロール、吸水ロール等をニップする方式、清浄エアーを吹き掛けるエアーブロー方式、或いはこれらの組み合わせなどがある。清掃用ロールをニップする方式の場合、ベルト線速度とローラ線速度を変えると清掃効果が大きい。
【００６２】
なお、吸着ベルト搬送部２２に代えて、ローラ・ニップ搬送機構を用いる態様も考えられるが、印字領域をローラ・ニップ搬送すると、印字直後に用紙の印字面をローラが接触するので画像が滲み易いという問題がある。したがって、本例のように、印字領域では画像面を接触させない吸着ベルト搬送が好ましい。
【００６３】
吸着ベルト搬送部２２により形成される用紙搬送路上において印字部１２の上流側には、加熱ファン４０が設けられている。加熱ファン４０は、印字前の記録紙１６に加熱空気を吹き付け、記録紙１６を加熱する。印字直前に記録紙１６を加熱しておくことにより、インクが着弾後乾き易くなる。
【００６４】
印字部１２は、最大紙幅に対応する長さを有するライン型ヘッドを紙送り方向 (記録紙搬送方向）と直交方向に配置した、いわゆるフルライン型のヘッドとなっている（図２参照）。詳細な構造例は後述するが、各印字ヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙは、図２に示したように、本インクジェット記録装置１０が対象とする最大サイズの記録紙１６の少なくとも一辺を超える長さにわたってインク吐出口（ノズル）が複数配列されたライン型ヘッドで構成されている。
【００６５】
記録紙１６の送り方向（以下、記録紙紙搬送方向という。）に沿って上流側から黒（Ｋ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の順に各色インクに対応した印字ヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙが配置されている。記録紙１６を搬送しつつ各印字ヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙからそれぞれ色インクを吐出することにより記録紙１６上にカラー画像を形成し得る。
【００６６】
このように、紙幅の全域をカバーするフルラインヘッドがインク色ごとに設けられてなる印字部１２によれば、記録紙搬送方向について記録紙１６と印字部１２を相対的に移動させる動作を一回行うだけで（すなわち１回の記録紙搬送方向への走査で）、記録紙１６の全面に画像を記録することができる。これにより、印字ヘッドが記録紙搬送方向と略直交する方向に往復動作するシリアル（シャトルスキャン）型ヘッドに比べて高速印字が可能であり、生産性を向上させることができる。
【００６７】
なお、本例では、ＫＣＭＹの標準色（４色）の構成を例示したが、インク色や色数の組み合わせについては本実施形態に限定されず、必要に応じて淡インク、濃インクを追加してもよい。例えば、ライトシアン、ライトマゼンタなどのライト系インクを吐出する印字ヘッドを追加する構成も可能である。
【００６８】
図１に示したように、インク貯蔵／装填部１４は、各印字ヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙに対応する色のインクを貯蔵するタンクを有し、各タンクは不図示の管路を介して各印字ヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙと連通されている。また、インク貯蔵／装填部１４は、インク残量が少なくなるとその旨を報知する報知手段（表示手段、警告音発生手段等）を備えるとともに、色間の誤装填を防止するための機構を有している。
【００６９】
印字検出部２４は、印字部１２の打滴結果を撮像するためのイメージセンサを含み、該イメージセンサによって読み取った打滴画像からノズルの目詰まりその他の吐出不良をチェックする手段として機能する。
【００７０】
本例の印字検出部２４は、少なくとも各印字ヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙによるインク吐出幅（画像記録幅）よりも幅の広い受光素子列を有するラインセンサで構成される。このラインセンサは、赤（Ｒ）の色フィルタが設けられた光電変換素子（画素）がライン状に配列されたＲセンサ列と、緑（Ｇ）の色フィルタが設けられたＧセンサ列と、青（Ｂ）の色フィルタが設けられたＢセンサ列と、からなる色分解ラインＣＣＤセンサで構成されている。なお、ラインセンサに代えて、受光素子が二次元配列されて成るエリアセンサを用いることも可能である。
【００７１】
印字検出部２４は、各色の印字ヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙにより印字されたテストパターン（或いは実画像）を読み取り、各ヘッドの吐出検出を行う。吐出判定は、吐出の有無、ドットサイズの測定、ドット着弾位置の測定などで構成される。また、印字検出部２４には、打滴されたドットに光を照射させる光源（不図示）を備えている。
【００７２】
印字検出部２４の後段には、後乾燥部４２が設けられている。後乾燥部４２は、印字された画像面を乾燥させる手段であり、例えば、加熱ファンが用いられる。印字後のインクが乾燥するまでは印字面と接触することは避けたほうが好ましいので、熱風を吹き付ける方式が好ましい。
【００７３】
多孔質のぺーパに染料系インクで印字した場合などでは、加圧によりペーパの孔を塞ぐことでオゾンなど、染料分子を壊す原因となるものと接触することを防ぐことで画像の耐候性がアップする効果がある。
【００７４】
後乾燥部４２の後段には、加熱・加圧部４４が設けられている。加熱・加圧部４４は、画像表面の光沢度を制御するための手段であり、画像面を加熱しながら所定の表面凹凸形状を有する加圧ローラ４５で加圧し、画像面に凹凸形状を転写する。
【００７５】
こうして生成されたプリント物は排紙部２６から排出される。本来プリントすべき本画像（目的の画像を印刷したもの）とテスト印字とは分けて排出することが好ましい。このインクジェット記録装置１０では、本画像のプリント物と、テスト印字のプリント物とを選別してそれぞれの排出部２６Ａ、２６Ｂへと送るために排紙経路を切り換える不図示の選別手段が設けられている。なお、大きめの用紙に本画像とテスト印字とを同時に並列に形成する場合は、カッター（第２のカッター）４８によってテスト印字の部分を切り離す。カッター４８は、排紙部２６の直前に設けられており、画像余白部にテスト印字を行った場合に本画像とテスト印字部を切断するためのものである。カッター４８の構造は前述した第１のカッター２８と同様であり、固定刃４８Ａと丸刃４８Ｂとから構成される。
【００７６】
また、図１には示さないが、本画像の排出部２６Ａには、オーダ別に画像を集積するソーターが設けられる。なお、符号２６Ｂはテスト印字排出部である。
【００７７】
次に、印字ヘッド５０の構造について説明する。インク色ごとに設けられている各印字ヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙの構造は共通しているので、以下、これらを代表して符号５０によって印字ヘッドを示すものとする。
【００７８】
次に、印字ヘッド５０の構造について説明する。インク色ごとに設けられている各印字ヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙの構造は共通しているので、以下、これらを代表して符号５０によって印字ヘッドを示すものとする。
【００７９】
図３(a) は印字ヘッド５０の構造例を示す平面透視図であり、図３(b) はその一部の拡大図である。また、図３(c) は印字ヘッド５０の他の構造例を示す平面透視図、図４はインク室ユニットの立体的構成を示す断面図（図３(a) 中の４−４線に沿う断面図）である。記録紙面上に印字されるドットピッチを高密度化するためには、印字ヘッド５０におけるノズルピッチを高密度化する必要がある。本例の印字ヘッド５０は、図３(a) 〜(c) 及び図４に示したように、インク滴が吐出するノズル５１と、各ノズル５１に対応する圧力室５２等からなる複数のインク室ユニット５３を千鳥でマトリックス状に配置させた構造を有し、これにより見かけ上のノズルピッチの高密度化を達成している。
【００８０】
すなわち、本実施形態における印字ヘッド５０は、図３(a) ，(b) に示すように、インクを吐出する複数のノズル５１が印字媒体送り方向と略直交する方向に印字媒体の全幅に対応する長さにわたって配列された１列以上のノズル列を有するフルラインヘッドである。
【００８１】
また、図３(c) に示すように、短尺の２次元に配列されたヘッド５０’を千鳥状に配列して繋ぎ合わせて、印字媒体の全幅に対応する長さとしてもよい。
【００８２】
各ノズル５１に対応して設けられている圧力室５２は、その平面形状が概略正方形となっており、対角線上の両隅部にノズル５１と供給口５４が設けられている。各圧力室５２は供給口５４を介して図示しない共通流路と連通されている。
【００８３】
圧力室５２の天面を構成している振動板５６には個別電極５７を備えたアクチュエータ５８が接合されており、個別電極５７に駆動電圧を印加することによってアクチュエータ５８が変形してノズル５１からインクが吐出される。インクが吐出されると、前記共通流路から供給口５４を通って新しいインクが圧力室５２に供給される。
【００８４】
また、振動板５６のアクチュエータ接合面或いは圧力室側面のうち何れか一方の面には溝（凹部）５９が形成されている。凹部５９の形状、配接位置等の詳細は後述する。
【００８５】
かかる構造を有する多数のインク室ユニット５３を図５に示す如く、主走査方向に沿う行方向及び主走査方向に対して直交しない一定の角度θを有する斜めの列方向とに沿って一定の配列パターンで格子状に配列させた構造になっている。主走査方向に対してある角度θの方向に沿ってインク室ユニット５３を一定のピッチｄで複数配列する構造により、主走査方向に並ぶように投影されたノズルのピッチＰはｄ× cosθとなる。
【００８６】
すなわち、主走査方向については、各ノズル５１が一定のピッチＰで直線状に配列されたものと等価的に取り扱うことができる。このような構成により、主走査方向に並ぶように投影されるノズル列が１インチ当たり2400個（2400ノズル／インチ）におよぶ高密度のノズル構成を実現することが可能になる。以下、説明の便宜上、ヘッドの長手方向（主走査方向）に沿って各ノズル５１が一定の間隔（ピッチＰ）で直線状に配列されているものとして説明する。
【００８７】
また、本発明の実施に際してノズルの配置構造は図示の例に限定されない。また、本実施形態では、ピエゾ素子（圧電素子）に代表されるアクチュエータ５８の変形によってインク滴を飛ばす方式が採用されている。本発明の実施に際して、アクチュエータ５８にはピエゾ素子以外の他のアクチュエータを適用できる。
【００８８】
図６は、インクジェット記録装置１０におけるインク供給系の構成を示した概要図である。
【００８９】
インク供給タンク６０はインクを供給するための基タンクであり、図１で説明したインク貯蔵／装填部１４に設置される。インク供給タンク６０の形態には、インク残量が少なくなった場合に、不図示の補充口からインクを補充する方式と、タンクごと交換するカートリッジ方式とがある。使用用途に応じてインク種類を変える場合には、カートリッジ方式が適している。この場合、インクの種類情報をバーコード等で識別して、インク種類に応じた吐出制御を行うことが好ましい。なお、図６のインク供給タンク６０は、先に記載した図１のインク貯蔵／装填部１４と等価のものである。
【００９０】
図６に示したように、インク供給タンク６０と印字ヘッド５０の中間には、異物や気泡を除去するためにフィルタ６２が設けられている。フィルタ・メッシュサイズは、ノズル径と同等若しくはノズル径以下（一般的には、２０μｍ程度）とすることが好ましい。
【００９１】
なお、図６には示さないが、印字ヘッド５０の近傍又は印字ヘッド５０と一体にサブタンクを設ける構成も好ましい。サブタンクは、ヘッドの内圧変動を防止するダンパ効果及びリフィルを改善する機能を有する。
【００９２】
サブタンクにより内圧を制御する態様には、大気開放されたサブタンクと印字ヘッド５０内のインク室ユニット５３とのインク水位の差によりインク室ユニット５３内の内圧を制御する態様や、密閉されたサブタンクに接続されたポンプによりサブタンク及びインク室の内圧を制御する態様などがあり、何れの態様を適用してもよい。
【００９３】
また、インクジェット記録装置１０には、ノズル５１の乾燥防止又はノズル５１近傍のインク粘度上昇を防止するための手段としてのキャップ６４と、ノズル５１面の清掃手段としてのクリーニングブレード６６とが設けられている。
【００９４】
これらキャップ６４及びクリーニングブレード６６を含むメンテナンスユニットは、不図示の移動機構によって印字ヘッド５０に対して相対移動可能であり、必要に応じて所定の退避位置から印字ヘッド５０下方のメンテナンス位置に移動される。
【００９５】
キャップ６４は、図示せぬ昇降機構によって印字ヘッド５０に対して相対的に昇降変位される。電源ＯＦＦ時や印刷待機時にキャップ６４を所定の上昇位置まで上昇させ、印字ヘッド５０に密着させることにより、ノズル面（インク吐出面）をキャップ６４で覆う。
【００９６】
印字中又は待機中において、特定のノズル５１の使用頻度が低くなり、ある時間以上インクが吐出されない状態が続くと、ノズル近傍のインク溶媒が蒸発してインク粘度が高くなってしまう。このような状態になると、アクチュエータ５８が動作してもノズル５１からインクを吐出できなくなってしまう。
【００９７】
このような状態になる前に（アクチュエータ５８の動作により吐出が可能な粘度の範囲内で）アクチュエータ５８を動作させ、その劣化インク（粘度が上昇したノズル近傍のインク）を排出すべくキャップ６４（インク受け）に向かって予備吐出（パージ、空吐出、つば吐き）が行われる。
【００９８】
また、印字ヘッド５０内のインク（圧力室５２内）に気泡が混入した場合、アクチュエータ５８が動作してもノズルからインクを吐出させることができなくなる。このような場合には印字ヘッド５０にキャップ６４を当て、吸引ポンプ６７で圧力室５２内のインク（気泡が混入したインク）を吸引により除去し、吸引除去したインクを回収タンク６８へ送液する。
【００９９】
この吸引動作は、初期のインクのヘッドへの装填時、或いは長時間の停止後の使用開始時にも粘度上昇（固化）した劣化インクの吸い出しが行われる。なお、吸引動作は圧力室５２内のインク全体に対して行われるので、インク消費量が大きくなる。したがって、インクの粘度上昇が小さい場合には予備吐出を行う態様が好ましい。
【０１００】
クリーニングブレード６６は、ゴムなどの弾性部材で構成されており、図示せぬブレード移動機構（ワイパー）により印字ヘッド５０のインク吐出面（ノズル板表面）に摺動可能である。ノズル板にインク液滴又は異物が付着した場合、クリーニングブレード６６をノズル板に摺動させることでノズル板表面を拭き取り、ノズル板表面を清浄する。なお、該ブレード機構によりインク吐出面の汚れを清掃した際に、該ブレードによってノズル５１内に異物が混入することを防止するために予備吐出が行われる。
【０１０１】
図７はインクジェット記録装置１０のシステム構成を示す要部ブロック図である。インクジェット記録装置１０は、通信インターフェース７０、システムコントローラ７２、画像メモリ７４、モータドライバ７６、ヒータドライバ７８、プリント制御部８０、画像バッファメモリ８２、ヘッドドライバ８４等を備えている。
【０１０２】
通信インターフェース７０は、ホストコンピュータ８６から送られてくる画像データを受信するインターフェース部である。通信インターフェース７０にはＵＳＢ、ＩＥＥＥ１３９４、イーサネット、無線ネットワークなどのシリアルインターフェースやセントロニクスなどのパラレルインターフェースを適用することができる。この部分には、通信を高速化するためのバッファメモリ（不図示）を搭載してもよい。ホストコンピュータ８６から送出された画像データは通信インターフェース７０を介してインクジェット記録装置１０に取り込まれ、一旦画像メモリ７４に記憶される。画像メモリ７４は、通信インターフェース７０を介して入力された画像を一旦格納する記憶手段であり、システムコントローラ７２を通じてデータの読み書きが行われる。画像メモリ７４は、半導体素子からなるメモリに限らず、ハードディスクなど磁気媒体を用いてもよい。
【０１０３】
システムコントローラ７２は、通信インターフェース７０、画像メモリ７４、モータドライバ７６、ヒータドライバ７８等の各部を制御する制御部である。システムコントローラ７２は、中央演算処理装置（ＣＰＵ）及びその周辺回路等から構成され、ホストコンピュータ８６との間の通信制御、画像メモリ７４の読み書き制御等を行うとともに、搬送系のモータ８８やヒータ８９を制御する制御信号を生成する。
【０１０４】
モータドライバ７６は、システムコントローラ７２からの指示にしたがってモータ８８を駆動するドライバ（駆動回路）である。なお、図７にはモータドライバ７６及びモータ８８のみ示したが、システムコントローラ７２は複数のモータドライバ及びモータを制御している。
【０１０５】
また、ヒータドライバ７８は、システムコントローラ７２からの指示にしたがって後乾燥部４２等のヒータ８９を駆動するドライバである。
【０１０６】
プリント制御部８０は、システムコントローラ７２の制御に従い、画像メモリ７４内の画像データから印字制御用の信号を生成するための各種加工、補正などの処理を行う信号処理機能を有し、生成した印字制御信号をヘッドドライバ８４に供給する制御部である。プリント制御部８０において所要の信号処理が施され、該画像データに基づいてヘッドドライバ８４を介して印字ヘッド５０のインク液滴の吐出量や吐出タイミングの制御が行われる。これにより、所望のドットサイズやドット配置が実現される。
【０１０７】
プリント制御部８０には画像バッファメモリ８２が備えられており、プリント制御部８０における画像データ処理時に画像データやパラメータなどのデータが画像バッファメモリ８２に一時的に格納される。なお、図７において画像バッファメモリ８２はプリント制御部８０に付随する態様で示されているが、画像メモリ７４と兼用することも可能である。また、プリント制御部８０とシステムコントローラ７２とを統合して一つのプロセッサで構成する態様も可能である。
【０１０８】
ヘッドドライバ８４はプリント制御部８０から与えられる印字データに基づいて各色の印字ヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙのアクチュエータを駆動する。ヘッドドライバ８４にはヘッドの駆動条件を一定に保つためのフィードバック制御系を含んでいてもよい。
【０１０９】
〔第１実施形態〕
次に、本発明の第１実施形態に係る印字ヘッド５０が有する振動板５６に設けられた凹部５９について詳説する。
【０１１０】
図８は、振動板５６のアクチュエータ接合面（以下、表面と記載）の圧電活性部（アクチュエータ配接領域）に設けられた凹部５９の効果を説明する図である。なお、図８はインク室ユニット５３の断面図（図４に相当）であり、振動板５６及びアクチュエータ５８、凹部５９以外の部分は省略されている。
【０１１１】
図８(a) において、アクチュエータ５８は、個別電極５７に所定の電圧が印加されると、図８に示すように電圧の印加方向と直交し、アクチュエータ５８の外縁部から中心部に向かって歪むことにより変位する圧電横方向の変位を利用する（即ち、ｄ31モード）圧電素子である。該圧電素子にはチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系の材料が好適である。
【０１１２】
アクチュエータ５８の歪み方向は図８(a) のＡに示す方向であり、アクチュエータ５８の変位量は印加される電圧に比例する。
【０１１３】
アクチュエータ５８の歪みに応じて、振動板５６はＢに示す方向に加圧され、Ｃに示す方向、即ち中心部から外縁部に向かって変位する。
【０１１４】
このように、振動板５６及びアクチュエータ５８が変位した様子を図８(b) に示す。図８(b) に示すように振動板５６が変位した結果、前述した圧力室５２の体積が変化して、この体積変化量に相当するインクがノズル５１から吐出される。
【０１１５】
圧力室５２内のインクを好適に吐出させるためには、アクチュエータ５８の圧力を効率よく振動板５６に伝える必要があり、本例に示した振動板５６には、アクチュエータ５８から振動板５６に加えられる圧力を効率よく伝達するために、少なくとも振動板５６表面に凹部５９が設けられている。
【０１１６】
このように振動板表面に凹部５９を設けると、凹部５９が設けられている領域では他の部分に比べて剛性が低くなるために変位し易くなり、振動板５６の変位量を大きくすることができる。
【０１１７】
凹部５９は、少なくとも振動板表面のアクチュエータ５８配接領域（アクチュエータと相対する位置）に設けられていればよいが、アクチュエータ５８配接領域からアクチュエータ５８配接領域外部までに至る長さを有していてもよい。
【０１１８】
本例では、圧電横方向の変位を利用した、即ちｄ31モードの圧電素子について説明した。これは、ｄ33モードの圧電素子を用いた場合には、ｄ31モードの圧電素子に比べると効果は小さいので、ｄ31モードの圧電素子を用いることが好ましいからである。
【０１１９】
図９は、凹部５９の振動板５６の表面からみた平面形状を示す図である。図９には平面形状が略正方形形状である振動板を示している。印字ヘッド５０のインク室ユニット５３（ノズル５１）が高密度化されると、効率よくインク室ユニッ５３を配置することが必要になる。そのために、インク室ユニット５３の形状、即ち、圧力室５２の形状は略正方形に近い形状になり、これに合わせてアクチュエータ５８の形状（個別電極５７の形状）も略正方形にすることが好ましい。
【０１２０】
図９(a) は、略正方形形状のアクチュエータ５８の外周を形成する辺のうち、対向する２辺間に凹部５９Ａ及び凹部５９Ｂが形成されている態様を示している。図９(a) において、凹部５９Ａ及び凹部５９Ｂは略中心部で略直交する十字形状をなしている。
【０１２１】
また、図９(b) は図９(a) に示した十字形状を形成する凹部５９Ａ及び凹部５９Ｂを略４５度回転させた態様であり、凹部５９Ａ及び凹部５９Ｂは、それぞれ圧力室５２の対角線に沿うように、対向する頂角間に形成されている。
【０１２２】
図９(a) 及び(b) には、２本の凹部５９Ａ及び凹部５９Ｂが略直交するように設けられている態様を例示したが、凹部５９は３以上の凹部から形成されてもよく、また、複数の溝が略９０°以外の角度をなして交差してもよい。
【０１２３】
例えば、中心から外縁部に向かって３本の溝が略１２０°ごとに設けられる態様や、複数の溝が４５°、９０°、…のように２以上の角度ピッチをなして得られる形状でもよい。
【０１２４】
振動板５６の変位が中心から外縁部に向かって（外縁部から対向する外縁部に向かって）連続的に変化するように、即ち、変位が起こらない領域が存在しないように、凹部５９の平面形状は対称形であることが好ましい。
【０１２５】
例えば、中心から外縁部に向かって３本の溝が略１２０°ごとに設けられる態様（三角形形状）や、中心から外縁部に向かって５本の溝が略７２°ごとに設けられる態様（五角形形状）がある。これらの対称形状は点対称形状、線対称形状及び回転対称形状などでもよい。
【０１２６】
更に、凹部５９は図９(c) ，(d）に示すように溝形状（平面形状に長手方向と、短手方向が存在する凹部）でなくてもよく、長さと幅が略同一でもよい。その平面形状は、図９(c) に示すような略円形状でもよいし、だ円など他の形状でもよい。もちろん、図９(d）に示すような略四角形 (略正方形）でもよい。
【０１２７】
なお、本実施形態では圧力室５２の形状の一例として略正方形形状を例示したが、圧力室５２の形状は四角形以外の形状とすることも可能であり、ここで、圧力室５２の形状について説明する。
【０１２８】
四角形に限らず、様々な形状の圧力室についても同様に適用するために、圧力室の平面形状について、次のようにアスペクト比を定義する。
【０１２９】
即ち、圧力室の平面の長手方向の長さと短手方向の長さとの比を圧力室のアスペクト比と定義する。即ち、略正方形などの略正多角形のアスペクト比は略１となる。また、略円形もアスペクト比は略１になり、本例の圧力室の平面形状は、アスペクト比が略１となる形状が好ましい。なお、上記アスペクト比は、凹部の平面形状にも適用可能である。
【０１３０】
凹部５９は幅と深さが略同一の長さ（即ち、断面形状が略正方形）でもよいし、幅と深さが異なる長さで形成されてもよい。
【０１３１】
振動板５６に凹部５９を形成する方法には、一般に、ウエットエッチング、ドライエッチングなどのエッチング技法が用いられるため、深さ方向の制御は難しく幅方向の位置制御が効果的である。深さ方向を制御するにはシリコンの異方性エッチングを用いる必要がある。この場合、圧力室５２を形成する部材の材質はシリコンになる。
【０１３２】
更に、凹部５９の平面形状は略直線でもよいし曲線でもよい。更に直線と曲線との組み合わせた形状でもよい。
【０１３３】
一方、アクチュエータ５８の圧力を効率よく振動板５６に伝達させるためには、振動板５６とアクチュエータ５８との接合の安定性を確保する必要がある。したがって、振動板５６とアクチュエータ５８との接合部に余剰接着剤が残留したり、気泡が混入したりすることを避けるために逃がし溝を設けるとよい。振動板５６とアクチュエータ５８とを接着剤を用いて接合させる際に、余剰接着剤の逃がし溝として凹部５９を利用することができる。
【０１３４】
上記の如く構成された振動板５６を有する印字ヘッド５０では、振動板５６の表面において、少なくともアクチュエータ配接領域に凹部５９が設けられている。該凹部５９が設けられている部分では剛性が低くなり、振動板５６がたわみ易くなる。
【０１３５】
したがって、振動板５６の変位を大きくとることができ、振動板５６が天面となっている圧力室５２内のインクにアクチュエータ５８から発生される圧力を効率よく伝えることができる。なお、振動板５６が変位し易くするために溝５９の形状を対称形状とする態様が好ましい。
【０１３６】
また、凹部５９を振動板５６とアクチュエータ５８との接合に用いる接着剤の逃がし溝として利用すると、振動板５６とアクチュエータ５８との接着安定性を確保することができる。
【０１３７】
〔第２実施形態〕
次に、図１０乃至図１２を用いて、本発明の第２実施形態に係る印字ヘッドについて説明する。なお、図１０乃至図１２中、図４及び図８、図９と同一又は類似する部分には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【０１３８】
本実施形態では、隣接するインク室において、一方の振動板の変位（歪み）の影響を受け他方の振動板も歪んで変位してしまう、いわゆるクロストークの緩和を主目的として振動板に設けられた凹部について説明する。
【０１３９】
図１０(a) は、振動板５６を表面側から見た平面図であり、図１０(b) は図１０(a) 中ｂ−ｂ線に沿った断面図である。
【０１４０】
振動板５６の表面の圧電活性部外側には凹部１２０が形成され、一方、振動板５６の圧力室側面（以下、裏面と記載）にも圧電活性部外側に凹部１２２が形成されている。凹部１２０及び凹部１２２は圧電活性部を囲むように、振動板５６の外周を形成する４辺に沿って形成されている。
【０１４１】
ここで、圧電活性部とは、アクチュエータ５８によって振動板５６が加圧されたときに、振動板５６内で変位する領域を示している。即ち、圧電活性部外側とは、振動板５６の圧電活性部を指示する変位しない領域を示す。
【０１４２】
図１０(b) によると、凹部１２０及び凹部１２２は平面上の位置が異なる位置にオフセット配置されている。図１１(a) に凹部１２０及び凹部１２２の拡大図（図１０の符号１２４の部分を拡大した図）を示す。
【０１４３】
両面にエッチングにより凹部を形成する場合、図１１(a) に示すように深さは振動板５６の厚みの半分以上となるのが通常であるために、振動板５６両面で溝を形成するには、平面上の位置をずらすことで製造上安定した構造となる。
【０１４４】
もちろん、他の製造方法を用いて、図１１(b）に示すような凹部１２０と凹部１２２とを平面上の同一位置に設けてもよい。なお、図１１(a) ，(b）にｔで示す凹部１２０と凹部１２２との間隔が略同一であれば、何れの場合にもクロストーク緩和効果はほぼ同じと考えられる。
【０１４５】
また、図１２には凹部１２０及び凹部１２２の他の態様を示している。図１２(a) ，(b）に示すように、凹部１２０及び凹部１２２はそれぞれ４本の溝（凹部１２０Ａ，１２０Ｂ，１２０Ｃ，１２０Ｄ及び凹部１２２Ａ，１２２Ｂ，１２２Ｃ，１２２Ｄ）で構成されていてもよい。
【０１４６】
図１２(a) に示す態様は、アクチュエータ５８（アクチュエータ５８の外周を形成する辺）の中心線と各凹部の中心線とはほぼ一致しており、凹部１２０の長さはアクチュエータ５８の一辺の長さと略同一である。
【０１４７】
また、図１２(b）に示す態様は、アクチュエータ５８の中心線と各凹部の中心線とが一致しない配置になっている。また、各凹部の少なくとも一方の端部がアクチュエータ５８の端部と揃っている。
【０１４８】
もちろん、これ以外の態様も考えられ、例えば、凹部１２０Ａ及び凹部１２０Ｂが連通されたＬ字上の凹部と、凹部１２０Ｃ及び凹部１２０Ｄが連通されたＬ字上の凹部と、を備えてもよい。また、凹部１２０Ａ、凹部１２０Ｂ及び凹部１２０Ｃが連通されたコの字形状の凹部と、凹部１２０Ｄと、を備えた態様でもよい。
【０１４９】
上記の如く構成された振動板５６を有する印字ヘッド５０では、圧電活性部の外側において、表面には凹部１２０が設けられ、裏面には凹部１２２が設けられた構造を有しているので、隣接するインクユニットとのクロストークを緩和することができる。
【０１５０】
本実施形態では、振動板５６の表面に凹部１２０が設けられ、裏面に凹部１２２が設けられた態様を例示したが、少なくとも振動板５６の表面或いは裏面の何れか一方に凹部が設けられていればよい。
【０１５１】
凹部１２０及び凹部１２２には様々な形状が適用可能であり、特に、振動板５６の略中心を回転中心とする回転対称形状や、点対称形状及び、図１２(a) に示した中心線を対称軸とした線対称形状とする態様が好ましい。
【０１５２】
〔第３実施形態〕
次に、図１３乃至図１８を用いて、本発明の第３実施形態に係る印字ヘッド５０について説明する。
【０１５３】
第３実施形態では、第１実施形態に示した、主として振動板５６の変位量拡大に寄与する凹部５９と、第２実施形態に示した、主としてクロストーク緩和に寄与する凹部１２０（凹部１２２）を組み合わせた態様を説明する。
【０１５４】
図１３は、振動板５６表面において、アクチュエータ５８と相対する位置には図９(d) に示した凹部５９が設けられ、圧電活性部外側には図１０に示した凹部１２０が設けられている。図１３(a) は振動板５６の表面から見た平面図であり、図１３(b) はその断面図（図１０(b) に相当）である。
【０１５５】
図１４に示すように、振動板５６表面に設けられた凹部１２０に代わり、振動板裏面の圧電活性部外側に図１０(b) に示した凹部１２２を設けてられていてもよいし、図１５に示すように、振動板表面の圧電活性部外側には凹部１２０を設けると共に、振動板５６裏面の圧電活性部外側にも凹部１２２を設けてもよい。
【０１５６】
図１６には、振動板５６表面のアクチュエータ５８と相対する位置に設けらた凹部５９の形状の態様を示している。凹部５９には図１６(a) 乃至（d)に示すような円形状の態様、十字形状の態様、十字形状を回転させた態様及び凹部５９と凹部１２０とが連通されている態様などが考えられる。もちろん、これ以外の形状を用いてもよい。
【０１５７】
図１７には、図１６に示した凹部１２０がアクチュエータ５８と相対する位置に設けられている態様を示している。
【０１５８】
図１７に示した態様では、凹部１２０を主として接着剤逃がし溝として機能させている。即ち、振動板５６表面には、主として振動板５６の変位拡大に寄与する凹部５９と、主として接着剤の逃がし溝として機能する凹部１２０を備えた態様である。ただし、凹部５９は接着剤逃がし溝としても機能し、凹部１２０は振動板の変位を拡大させる効果を得ることも可能である。
【０１５９】
図１８には、図１７に示した態様における凹部５９の形状の態様を示している。凹部５９には図１８(a) 乃至（d)に示すような円形状の態様、十字形状の態様、十字形状を回転させた態様及び凹部５９と凹部１２０とが連通されている態様などが考えられる。もちろんこれ以外の形状を用いてもよい。
【０１６０】
上記のように、振動板５６表面のアクチュエータ５８と相対する位置に設けられた凹部５９、圧電活性部外側に設けられた凹部１２０、振動板５６裏面の圧電活性部外側に設けられた凹部１２２を適宜組み合わせることにより、振動板５６の変位量拡大、クロストークの緩和及び振動板５６とアクチュエータ５８との接着安定性の確保が可能になる。また、振動板５６表面に設けられた凹部１２０は、圧電活性部に設けられると主として振動板５６の変位量拡大及び接着安定性の確保に寄与し、圧電活性部の外側に設けられると主としてクロストークに緩和に寄与する。
【０１６１】
上述した実施形態では、振動板５６に１つのアクチュエータ（圧電素子）を備えた態様を例示したが、本発明は１枚の圧電素子に複数の個別電極が設けられ、各個別電極配接領域を１つの圧電素子として機能させる電極分割型圧電素子を適用してもよい。
【０１６２】
上述してした実施形態では、インクジェット記録装置１０の印字ヘッド５０について例示したが、本発明の適用範囲はインクジェット記録装置に限定されず、ヘッドに設けられた吐出孔（ノズル）から水、薬液、処理液等の液類を吐出させる液吐出装置に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１６３】
【図１】本発明の実施形態に係るインクジェット記録装置の基本構成図
【図２】図１に示したインクジェット記録装置の印字部周辺の要部平面図
【図３（ａ）】印字ヘッドの構造例を示す平面透視図
【図３（ｂ）】図３(a) の要部拡大図
【図３（ｃ）】印字ヘッドの他の構造例を示す平面透視図
【図４】図３(a) 中の４−４線に沿う断面図
【図５】図３(a) に示した印字ヘッドのノズル配列を示す拡大図
【図６】本実施形態に係るインクジェット記録装置におけるインク供給部の構成を示した概要図
【図７】本実施形態に係るインクジェット記録装置のシステム構成を示す要部ブロック図
【図８】本発明の実施形態に係る印字ヘッドが有するインク室における動作原理を説明する図
【図９】本発明の第１実施形態に係る印字ヘッドが有するインク室の振動板に設けられた凹部の形状を示す図
【図１０】本発明の第２実施形態に係る印字ヘッドが有するインク室の振動板に設けられた凹部の形状を示す図
【図１１】図１０の一部拡大図
【図１２】図１０に示す振動板に設けられた凹部の他の態様を示す図
【図１３】本発明の第３実施形態に係る印字ヘッドが有するインク室の振動板に設けられた凹部の形状を示す図
【図１４】図１３に示した態様の変形例を示す図
【図１５】図１３に示した態様の応用例を示す図
【図１６】図１３に示す振動板に設けられた凹部の他の態様を示す図
【図１７】図１５に示した態様の変形例を示す図
【図１８】図１７に示す振動板に設けられた凹部の他の態様を示す図
【符号の説明】
【０１６４】
１０…インクジェット記録装置、５０…印字ヘッド、５１…ノズル、５２…圧力室、５６…振動板、５８…アクチュエータ、５９，１２０，１２２…凹部
【図１】
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【図２】
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【図３（ａ）】
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【図３（ｂ）】
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【図３（ｃ）】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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