(57)【要約】      （修正有）【課題】板状物の面取り装置に用いられる面取り砥石の溝形状を、容易に、所望の形状に、ツルーイングすることのできるツルーイング方法及び面取り装置を提供すること。【解決手段】面取り装置１０には、同軸上に外周粗研削砥石とマスター砥石からなる外周加工砥石５２を設けるとともに、板状物Ｗを載置して回転する載置台３４の回転軸と同軸上にツルーイング砥石４１を設け、マスター砥石の溝形状をツルーイング砥石４１の外周に転写し、ツルーイング砥石の外周形状を面取り砥石に転写して面取り砥石に溝を形成し、面取り砥石に所望の形状の溝をオンマシンで、精度よく容易に形成することができるようにした。【選択図】図１
2005153085.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状物の周縁を面取り加工する面取り砥石のツルーイング方法において、
所望の溝形状を有するマスター砥石でツルーイング砥石に面取り加工を施して、該ツルーイング砥石の周縁形状を所望の面取り形状となし、
前記面取り加工されたツルーイング砥石で前記面取り砥石に溝加工を施すことによって、前記マスター砥石の溝形状を前記面取り砥石に転写し、前記面取り砥石に所望の形状の溝を形成することを特徴とする面取り砥石のツルーイング方法。
【請求項２】
前記ツルーイング砥石には、ＧＣ（Ｇｒｅｅｎ  ｓｉｌｉｃｏｎ  ｃａｒｂｉｄｅ）砥石、又はＷＡ（Ｗｈｉｔｅ  ｆｕｓｅｄ  ａｌｕｍｉｎａ）砥石が用いられることを特徴とする、請求項１に記載の面取り砥石のツルーイング方法。
【請求項３】
前記マスター砥石には、メタルボンドのダイヤモンド砥石又はダイヤモンド電着砥石が用いられ、
前記面取り砥石には、レジンボンドのダイヤモンド砥石が用いられることを特徴とする、請求項１又は請求項２に記載の面取り砥石のツルーイング方法。
【請求項４】
前記ツルーイングされる面取り砥石は、仕上げ研削用の面取り砥石であることを特徴とする、請求項１、２、又は３のうちいずれか１項に記載の面取り砥石のツルーイング方法。
【請求項５】
前記溝形状の転写時に発生する形状偏倚分を考慮して、前記マスター砥石の溝の形状に予め反映させておくことを特徴とする、請求項１に記載の面取り砥石のツルーイング方法。
【請求項６】
前記マスター砥石で前記ツルーイング砥石に面取り加工を施して、前記マスター砥石に形成されている溝の断面形状を前記ツルーイング砥石の周縁の断面形状として転写する時に、転写形状を所定量変化させるように前記マスター砥石と前記ツルーイング砥石とを相対移動させることを特徴とする、請求項１に記載の面取り砥石のツルーイング方法。
【請求項７】
前記ツルーイング砥石で前記面取り砥石に溝加工を行って、前記マスター砥石の溝形状を前記面取り砥石に転写する時に、転写形状を所定量変化させるように前記ツルーイング砥石と前記面取り砥石とを相対移動させることを特徴とする、請求項１に記載の面取り砥石のツルーイング方法。
【請求項８】
前記ツルーイングされた面取り砥石を用いて前記板状物の周縁を面取り加工し、
加工後の前記板状物の周縁の断面形状を測定し、
測定された前記断面形状の値によって前記相対移動の移動量を補正することを特徴とする、請求項６又は請求項７に記載の面取り砥石のツルーイング方法。
【請求項９】
板状物の周縁を面取り加工する面取り装置において、
前記板状物の周縁を粗面取りする外周粗研削砥石と同軸上に設けられ、所望の溝形状を有するマスター砥石と、
前記板状物を載置して回転する載置台の回転軸と同軸上に設けられたツルーイング砥石と、
前記板状物の周縁を仕上げ面取りする精研削砥石とを有し、
前記マスター砥石で前記ツルーイング砥石に面取り加工を施して、該ツルーイング砥石の周縁形状を所望の面取り形状となし、
前記面取り加工されたツルーイング砥石で前記精研削砥石に溝加工を施すことによって、前記マスター砥石の溝形状を前記精研削砥石に転写し、該精研削砥石に所望の形状の溝を形成するツルーイングを行い、
ツルーイングされた前記精研削砥石で前記板状物の周縁を仕上げ面取りするように構成されたことを特徴とする面取り装置。
【請求項１０】
前記マスター砥石で前記ツルーイング砥石に面取り加工を施して、前記マスター砥石に形成されている溝の断面形状を前記ツルーイング砥石の周縁の断面形状として転写する時に、転写形状を所定量変化させるように前記マスター砥石と前記ツルーイング砥石とを相対移動させるコントローラを有していることを特徴とする、請求項９に記載の面取り装置。
【請求項１１】
前記ツルーイング砥石で前記精研削砥石に溝加工を行って、前記マスター砥石の溝形状を前記精研削砥石に転写する時に、転写形状を所定量変化させるように前記ツルーイング砥石と前記精研削砥石とを相対移動させるコントローラを有していることを特徴とする、請求項９に記載の面取り装置。
【請求項１２】
面取り加工後の前記板状物の周縁の断面形状を測定する測定機が設けられ、            前記コントローラは、測定された前記断面形状の値によって前記相対移動の移動量を補正することを特徴とする、請求項１０又は請求項１１に記載の面取り装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は面取り砥石のツルーイング方法及び面取り装置に関し、特に半導体装置や電子部品等のウェーハを面取りする面取り砥石のツルーイング方法、及び面取り装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
高脆性材料であるシリコン等のウェーハを面取り加工する砥石には、その結合材としてメタル又はレジンが主に使用されている。
【０００３】
メタルボンド砥石は砥粒保持力が高いというメリットがあるが、公差を厳しく作成しても、砥石をスピンドルに取り付ける際に砥石の中心とスピンドルの中心とを正確に合わせることが困難であるため、外周に振れが生じるという欠点がある。
【０００４】
一方、レジンボンド砥石は、砥粒保持力が高くはないが、砥石をスピンドルに取り付けた後、ツルーイングを実行して砥石の溝（面取り加工用の溝）を新たに作成することで、振れの発生を抑制することができるというメリットがある。
【０００５】
しかしながら、面取り装置でレジンボンド砥石をツルーイングする場合には、別途ツルーイング機構が必要となり、そのツルーイング機構を面取り装置に装備すると、面取り装置全体が大型かつ複雑化するという欠点があった。
【０００６】
このような欠点を補うものとして、簡単な機構で砥石のツルーイングを行うことができるツルーイング工具及びツルーイング工具付きウェーハ面取り装置が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００７】
これは、円盤状に形成された基材の外周部に所定形状に成形されたツルーイング砥石が固着されたツルーイング工具を用い、このツルーイング工具をウェーハテーブルと同軸上に装着し、ウェーハテーブルと砥石とを回転させて相対的に近づけることにより、砥石の外周にツルーイング工具の外周部を接触させて砥石をツルーイングするものである。
【特許文献１】特開平１１−３４７９０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところが、この特開平１１−３４７９０１号公報に記載されたツルーイング方法では、外周部が所定形状に成形されたツルーイング工具をウェーハテーブルと同軸上に装着しているが、ツルーイング工具が摩耗して型崩れが生じた時、或いはウェーハの面取り形状を変更する時には、新たな別のツルーイング工具を装着し直さなければならなかった。
【０００９】
また、その都度回転軸芯に対してツルーイング工具の芯だしをしなければならず、ツルーイング工具の交換には熟練技術者が多大な時間を費やしていた。
【００１０】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、板状物の面取り装置に用いられる面取り砥石の溝形状を、容易に、所望の形状に、ツルーイングすることのできるツルーイング方法及び面取り装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は前記目的を達成するために、板状物の周縁を面取り加工する面取り砥石のツルーイング方法において、所望の溝形状を有するマスター砥石でツルーイング砥石に面取り加工を施して、該ツルーイング砥石の周縁形状を所望の面取り形状となし、前記面取り加工されたツルーイング砥石で前記面取り砥石に溝加工を施すことによって、前記マスター砥石の溝形状を前記面取り砥石に転写し、前記面取り砥石に所望の形状の溝を形成することを特徴とする。
【００１２】
本発明の面取り砥石のツルーイング方法によれば、マスター砥石の溝形状をツルーイング砥石の外周に転写し、このツルーイング砥石の外周形状を面取り砥石に転写して、面取り砥石に溝を形成するので、面取り砥石に所望の形状の溝を精度よく容易に形成することができる。また、ツルーイング砥石が摩耗して型崩れが生じても容易に修復することができる。
【００１３】
また、本発明は前記ツルーイング砥石には、ＧＣ（Ｇｒｅｅｎ  ｓｉｌｉｃｏｎ  ｃａｒｂｉｄｅ）砥石、又はＷＡ（Ｗｈｉｔｅ  ｆｕｓｅｄ  ａｌｕｍｉｎａ）砥石が用いられることを付加的要件とし、また前記マスター砥石には、メタルボンドのダイヤモンド砥石又はダイヤモンド電着砥石が用いられ、前記面取り砥石には、レジンボンドのダイヤモンド砥石が用いられることを付加的要件とし、更に前記ツルーイングされる面取り砥石は、仕上げ研削用の面取り砥石であることを付加的要件としている。
【００１４】
これによれば、面取り砥石は仕上げ研削用の面取り砥石でレジンボンドのダイヤモンド砥石であるため、切れ味に優れ、良好な仕上げ面が得られる。また、レジンボンド砥石であるため、ＧＣ砥石又はＷＡ砥石のツルーイング砥石でツルーイングすることができ、更に、ツルーイング砥石がＧＣ砥石又はＷＡ砥石であるため、メタルボンドのダイヤモンド砥石又はダイヤモンド電着砥石から成るマスター砥石でツルーイング砥石を容易に成形することができる。
【００１５】
また本発明は、前記溝形状の転写時に発生する形状偏倚分を考慮して、前記マスター砥石の溝の形状に予め反映させておくことを付加的要件としている。
【００１６】
この付加的要件によれば、マスター砥石の溝形状をツルーイング砥石を介して面取り砥石に転写するに当たり、各砥石の振れや撓み等によって生ずる転写形状偏倚分をマスター砥石の溝の形状に予め反映させておくので、面取り砥石の溝形状を精度よく形成することができる。
【００１７】
また本発明は、前記マスター砥石で前記ツルーイング砥石に面取り加工を施して、前記マスター砥石に形成されている溝の断面形状を前記ツルーイング砥石の周縁の断面形状として転写する時に、転写形状を所定量変化させるように前記マスター砥石と前記ツルーイング砥石とを相対移動させることを付加的要件とし、更に前記ツルーイング砥石で前記面取り砥石に溝加工を行って、前記マスター砥石の溝形状を前記面取り砥石に転写する時に、転写形状を所定量変化させるように前記ツルーイング砥石と前記面取り砥石とを相対移動させることを付加的要件としている。
【００１８】
これによれば、マスター砥石からツルーイング砥石への転写、及びツルーイング砥石から面取り砥石への転写夫々において、転写形状補正動作を行うので、マスター砥石の溝形状から所望の溝形状に変化させた溝形状を形成させることができる。従って、板状物の最終面取り形状が所望の形状に成るように面取り加工することができる。
【００１９】
また本発明は、前記ツルーイングされた面取り砥石を用いて前記板状物の周縁を面取り加工し、加工後の前記板状物の周縁の断面形状を測定し、測定された前記断面形状の値によって前記相対移動の移動量を補正することを付加的要件としている。
【００２０】
これによれば、面取り加工された板状物の周縁の断面形状を測定し、その値を転写形状補正動作にフィードバックしているので、板状物を正確な断面形状で面取り加工することができる。
【００２１】
また、本発明の面取り装置は、板状物の周縁を面取り加工する面取り装置において、前記板状物の周縁を粗面取りする外周粗研削砥石と同軸上に設けられ、所望の溝形状を有するマスター砥石と、前記板状物を載置して回転する載置台の回転軸と同軸上に設けられたツルーイング砥石と、前記板状物の周縁を仕上げ面取りする精研削砥石とを有し、前記マスター砥石で前記ツルーイング砥石に面取り加工を施して、該ツルーイング砥石の周縁形状を所望の面取り形状となし、前記面取り加工されたツルーイング砥石で前記精研削砥石に溝加工を施すことによって、前記マスター砥石の溝形状を前記精研削砥石に転写し、該精研削砥石に所望の形状の溝を形成するツルーイングを行い、ツルーイングされた前記精研削砥石で前記板状物の周縁を仕上げ面取りするように構成されたことを特徴とする。
【００２２】
本発明の面取り装置によれば、外周粗研削砥石と同軸上に設けられたマスター砥石の溝形状を載置台の回転軸と同軸上に設けられたツルーイング砥石の外周に転写し、ツルーイング砥石の外周形状を面取り砥石に転写して、面取り砥石に溝を形成するので、面取り砥石に所望の形状の溝をオンマシンで、精度よく容易に形成することができる。また、ツルーイング砥石が摩耗して型崩れが生じても容易にオンマシンで修復することができる。
【００２３】
また、本発明の面取り装置は、前記マスター砥石で前記ツルーイング砥石に面取り加工を施して、前記マスター砥石に形成されている溝の断面形状を前記ツルーイング砥石の周縁の断面形状として転写する時に、転写形状を所定量変化させるように前記マスター砥石と前記ツルーイング砥石とを相対移動させるコントローラを有していること付加的要件とし、更に前記ツルーイング砥石で前記精研削砥石に溝加工を行って、前記マスター砥石の溝形状を前記精研削砥石に転写する時に、転写形状を所定量変化させるように前記ツルーイング砥石と前記精研削砥石とを相対移動させるコントローラを有していることを付加的要件としている。
【００２４】
この付加的要件によれば、マスター砥石からツルーイング砥石への転写、及びツルーイング砥石から面取り砥石への転写夫々において、転写形状補正動作を行うことができるので、マスター砥石の溝形状から所望の溝形状に変化させた溝形状を形成させることができる。従って、板状物の最終面取り形状が所望の形状に成るように面取り加工することができる。
【００２５】
また、本発明の面取り装置は、面取り加工後の前記板状物の周縁の断面形状を測定する測定機が設けられ、前記コントローラは、測定された前記断面形状の値によって前記相対移動の移動量を補正することを付加的要件としている。
【００２６】
これによれば、面取り加工された板状物の周縁の断面形状を測定し、その値を転写形状補正動作にフィードバックしているので、板状物を正確な断面形状で面取り加工することができる。
【発明の効果】
【００２７】
以上説明したように本発明の面取り砥石のツルーイング方法及び面取り装置によれば、マスター砥石の溝形状をツルーイング砥石の外周に転写し、ツルーイング砥石の外周形状を面取り砥石に転写して、面取り砥石に溝を形成するので、面取り砥石に所望の形状の溝を精度よく容易に形成することができる。また、ツルーイング砥石が摩耗して型崩れが生じても容易に修復することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下添付図面に従って本発明に係る面取り砥石のツルーイング方法及び面取り装置の好ましい実施の形態について詳説する。尚、各図において同一部材には同一の番号または記号を付している。
【００２９】
先ず最初に、本発明に係るツルーイング方法で使用するウェーハ（板状物）の面取り装置について説明する。図１は、面取り装置の主要部を示す正面図である。面取り装置１０は、ウェーハ送りユニット２０、砥石回転ユニット５０、図示しないウェーハ供給／収納部、ウェーハ洗浄／乾燥部、ウェーハ搬送手段、及び面取り装置各部の動作を制御する後出のコントローラ１５等から構成されている。
【００３０】
ウェーハ送りユニット２０は、本体ベース１１上に載置されたＸ軸ベース２１、２本のＸ軸ガイドレール２２、２２、４個のＸ軸リニアガイド２３、２３、…、ボールスクリュー及びステッピングモータから成るＸ軸駆動手段２５によって図のＸ方向に移動されるＸテーブル２４を有している。
【００３１】
Ｘテーブル２４には、２本のＹ軸ガイドレール２６、２６、４個のＹ軸リニアガイド２７、２７、…、図示しないボールスクリュー及びステッピングモータから成るＹ軸駆動手段によって図のＹ方向に移動されるＹテーブル２８が組込まれている。
【００３２】
Ｙテーブル２８には、２本のＺ軸ガイドレール２９、２９と図示しない４個のＺ軸リニアガイドによって案内され、ボールスクリュー及びステッピングモータから成るＺ軸駆動手段３０によって図のＺ方向に移動されるＺテーブル３１が組込まれている。
【００３３】
Ｚテーブル３１には、θ軸モータ３２、θスピンドル３３が組込まれ、θスピンドル３３には板状物であるウェーハＷを吸着載置するウェーハテーブル（載置台）３４が取り付けられており、ウェーハテーブル３４はウェーハテーブル回転軸心ＣＷを中心として図のθ方向に回転される。
【００３４】
また、ウェーハテーブル３４の下部には、ウェーハＷの周縁を仕上げ面取りする砥石のツルーイングに用いるツルーイング砥石４１（以下ツルアー４１ともいう）が、ウェーハテーブル回転軸心ＣＷと同心に取り付けられている。
【００３５】
このウェーハ送りユニット２０によって、ウェーハＷ及びツルアー４１は図のθ方向に回転されるとともに、Ｘ、Ｙ、及びＺ方向に移動される。
【００３６】
砥石回転ユニット５０は、外周加工砥石５２が取り付けられ、図示しない外周砥石モータによって軸心ＣＨを中心に回転駆動される外周砥石スピンドル５１、外周加工砥石５２の上方に配置されたターンテーブル５３に取付けられた外周精研スピンドル５４及び外周精研モータ５６、ノッチ粗研スピンドル６０及びノッチ粗研モータ６２、ノッチ精研スピンドル５７及びノッチ精研モータ５９を有している。
【００３７】
外周精研スピンドル５４にはウェーハＷの外周を仕上げ研削する面取り砥石である外周精研削砥石５５が取付けられ、ノッチ粗研スピンドル６０にはノッチ粗研削砥石６１が、またノッチ精研スピンドル５７にはノッチ部を仕上げ研削する面取り砥石であるノッチ精研削砥石５８が取付けられている。
【００３８】
外周精研削砥石５５、ノッチ精研削砥石５８、及びノッチ粗研削砥石６１はターンテーブル５３の回転によって夫々加工位置に位置付けられる。
【００３９】
図２は、ウェーハテーブル３４に取付けられたツルアー４１を表わしている。ツルアー４１は、図２に示すように、ウェーハテーブル３４の下部にウェーハテーブル回転軸心ＣＷと同心で取付けられ、θ軸モータ３２によってθ回転される。また、ウェーハテーブル３４の上面は、図示しない真空源と連通する吸着面になっており、面取り加工されるウェーハＷが載置されて吸着固定される。
【００４０】
図３は、外周加工砥石５２の構成を表わしたものである。外周加工砥石５２は３段構成になっており、最下部はツルアー４１の外周形状を形成するマスター溝５２ａを有するマスター砥石５２Ａで、中間部はウェーハＷの外周粗研削用溝５２ｂが形成された外周粗研削砥石５２Ｂになっており、最上部はウェーハＷのオリフラ及びオリフラコーナー精研削用溝５２ｄが形成され、オリフラ及びオリフラコーナーを仕上げ研削する面取り砥石であるオリフラ及びオリフラコーナー精研削砥石５２Ｄになっている。
【００４１】
なお、図３においては説明を簡略にするため、各砥石に夫々１個の溝が記載されているが、実際には摩耗による溝形状の変形に対処するため、各砥石には夫々複数個の溝が形成されている。
【００４２】
本実施の形態においては、ツルアー４１は加工されるウェーハＷと略同径、同厚の円盤状ＧＣ砥石が用いられ、砥石の粒度は＃３２０である。
【００４３】
また、マスター砥石５２Ａは直径２０２ｍｍのダイヤモンド砥粒のメタルボンド砥石で、粒度＃６００とした。また外周粗研削砥石５２Ｂは、直径２０２ｍｍのダイヤモンド砥粒のメタルボンド砥石で、粒度＃８００である。また、オリフラ及びオリフラコーナー精研削砥石５２Ｄは、直径２０２ｍｍのダイヤモンド砥粒のレジンボンド砥石で、粒度＃３０００である。
【００４４】
外周精研削砥石５５は、直径５０ｍｍのダイヤモンド砥粒のレジンボンド砥石で、粒度＃３０００とした。また、ノッチ粗研削砥石６１は直径１．８ｍｍ〜２．４ｍｍの小径で、ダイヤモンド砥粒のレジンボンド砥石、粒度＃８００が用いられ、ノッチ精研削砥石５８は、直径１．８ｍｍ〜２．４ｍｍの小径で、ダイヤモンド砥粒のレジンボンド砥石、粒度＃４０００が用いられている。
【００４５】
外周砥石スピンドル５１は、ボールベアリングを用いたビルトインモータ駆動のスピンドルで、回転速度８，０００ｒｐｍで回転される。また、外周精研スピンドル５４はエアーベアリングを用いたビルトインモータ駆動のスピンドルで、回転速度３５，０００ｒｐｍで回転される。
【００４６】
ノッチ粗研スピンドル６０は、エアーベアリングを用いたエアータービン駆動のスピンドルで、回転速度８０，０００ｒｐｍで回転され、ノッチ精研スピンドル５７はエアーベアリングを用いたビルトインモータ駆動のスピンドルで、回転速度１５０，０００ｒｐｍで回転される。
【００４７】
面取り装置１０のその他の構成部分については、一般的によく知られた機構であるため、詳細な説明は省力する。
【００４８】
次に、本発明に係るツルーイング方法について説明する。先ず最初にマスター砥石５２Ａでツルアー４１の外周に面取り加工を行う。この加工においては、マスター砥石５２Ａが回転速度８，０００ｒｐｍで回転されている。この状態でＺテーブル３１がＺ軸駆動手段３０によって移動され、ツルアー４１の高さがマスター砥石５２Ａのマスター溝５２ａと一致する高さに位置決めされる。
【００４９】
次いでＹテーブル２８がマスター砥石５１Ａに向かって移動される。図４（ａ）はこの状態を表わしたものである。Ｙテーブル２８のＹ方向の移動によって、ツルアー４１の外周部がマスター砥石５２Ａのマスター溝５２ａ内に切り込まれ、ウェーハテーブル３４がθ軸モータ３２によってゆっくりと１回転することにより、ツルアー４１の外周部が面取りされ、ツルアー４１の外周部にマスター溝５２ａの形状が転写さる。
【００５０】
図４（ｂ）はこの状態を表わしている。次に、図４（ｃ）に示すように、ツルアー４１はマスター砥石５２Ａから離れる方向に移動され、マスター砥石５２Ａのマスター溝５２ａの断面形状からツルアー４１の外周部の断面形状への転写が終了する。
【００５１】
次に、外周部にマスター溝５２ａの断面形状が転写されたツルアー４１を用いて、オリフラ及びオリフラコーナー精研削砥石５２Ｄに精研削用溝５２ｄを形成する。この工程では、先ずＺテーブル３１がＺ軸駆動手段３０によって移動され、図５（ａ）に示すように、ツルアー４１の高さがオリフラ及びオリフラコーナー精研削砥石５２Ｄの溝形成位置に位置決めされる。
【００５２】
次いで、ツルアー４１が高速回転されるとともにＹ方向に移動されて、図５（ｂ）に示すように、オリフラ及びオリフラコーナー精研削砥石５２Ｄに切り込み、オリフラ及びオリフラコーナー精研削砥石５２Ｄがゆっくりと１回転されることにより精研削用溝５２ｄが形成される。次いで、ツルアー４１がＹ方向に戻されて、オリフラ及びオリフラコーナー精研削砥石５２Ｄの精研削用溝５２ｄ形成加工が終了する。
【００５３】
このようにマスター砥石５２Ａのマスター溝５２ａの断面形状がツルアー４１の外周部に転写され、ツルアー４１からオリフラ及びオリフラコーナー精研削砥石５２Ｄに転写されることにより、マスター砥石５２Ａのマスター溝５２ａの断面形状がオリフラ及びオリフラコーナー精研削砥石５２Ｄの精研削用溝５２ｄとして転写される。
【００５４】
外周精研削砥石５５への精研削用溝の形成も、オリフラ及びオリフラコーナー精研削砥石５２Ｄの精研削用溝５２ｄと同様に、マスター砥石５２Ａのマスター溝５２ａの断面形状をツルアー４１を介して転写形成する。
【００５５】
また、ノッチ精研削砥石５８への精研削用溝の形成も、全く同様に行い、マスター砥石５２Ａのマスター溝５２ａの断面形状をツルアー４１を介して転写形成する。
【００５６】
ウェーハＷの面取り加工の仕上げ研削においては、前述のようにしてツルーイングされた外周精研削砥石５５、オリフラ及びオリフラコーナー精研削砥石５２Ｄ又はノッチ精研削砥石５８を用いて行う。
【００５７】
このように、マスター砥石５２Ａのマスター溝５２ａの断面形状をツルアー４１の外周部に転写し、このツルアー４１を用いて精研削砥石をツルーイングするので、ツルアー４１及び精研削砥石の夫々の回転軸心に対する高精度の芯だし作業が不要になり、またウェーハＷの面取り加工と同じ手順でツルーイングできるので、容易に、高精度なツルーイングをオンマシンで行うことができる。また、大掛かりなツルーイング手段を面取り装置１０内に設ける必要もない。
【００５８】
なお、前述の実施の形態では、総形砥石のツルーイングを例に説明したが、通常の溝付砥石のツルーイングにおいても、本発明を実施することができる。即ち、図６（ａ）に示すように、最初に溝の上側面５２ｅをツルアー４１でツルーイングし、次いで図６（ｂ）に示すように、ツルアー４１を下降させながら溝底５２ｆを形成させ、最後に溝の下側面５２ｇをツルーイングすることにより、上側面５２ｅ及び下側面５２ｇにマスター溝５２ａの側面形状を転写することができる。
【００５９】
次に、ツルーイング形状の補正について説明する。一般にウェーハＷの面取り加工においては、図７に示すウェーハＷの側面の直線部分の長さＸ３、及び側面の直線部分と面取り傾斜部分との接続部の曲率半径Ｒ１、Ｒ２の寸法が重要視されている。
【００６０】
ところで、前述のマスター砥石５２Ａのマスター溝５２ａは、放電加工等にて時間をかけて精密に加工されているが、マスター砥石５２Ａからツルアー４１に転写する時、及びツルアー４１から精研削砥石に転写する時に、ツルアー４１や各砥石に発生する振動や撓みのために、マスター砥石５２Ａのマスター溝５２ａの形状をそのまま正確に精研削砥石に転写することができない。
【００６１】
従って、本実施の形態によるツルーイング方法では、ツルアー４１や各砥石の振動や撓みによって生ずる転写偏倚量を予め測定しておき、この転写偏倚量を考慮してマスター砥石５２Ａのマスター溝５２ａを設計するようにしている。これによって、精研削砥石に所定の溝形状を形成することができる。
【００６２】
また、別の実施形態では、図８に示すような、ツルーイング補正動作をコントローラ１５にプログラムしておき、ツルーイング時にはこのツルーイング補正動作を行わせる。例えば、マスター砥石５２Ａのマスター溝５２ａからツルアー４１に転写する時に、側面の直線部分の長さＸ３を小さくする場合、図８に示すように、最初にマスター溝５２ａの中央に向けてツルアー４１を切り込み（１）、次にＸ３の補正量の１／２だけツルアー４１を上昇させて切り込み（２）、最後にＸ３の補正量の１／２だけツルアー４１を最初の高さから下降させて切り込む（３）。このように補正動作を行わせることにより、Ｘ３を小さくして転写させることができる。
【００６３】
また、例えば、ツルアー４１から精研削砥石に転写ツルーイングを行う時に、Ｘ３、Ｒ１、及びＲ２を大きくする場合、図９に示すように、ツルアー４１を精研削砥石に切り込んだ後、ツルアー４１を上方向に移動させてＸ３の補正量の１／２分を広げ（１）、次にツルアー４１を上方向に移動させながら後退方向に移動させてＲ１を大きくする。次にツルアー４１を最初に切り込んだ位置から下方向にＸ３の補正量の１／２だけ下降させ（３）、最後にツルアー４１を下方向に移動させながら後退方向に移動させてＲ２を大きくする。
【００６４】
このような補正動作を行わせることにより、Ｘ３、Ｒ１、及びＲ２を大きくツルーイングすることができる。
【００６５】
この別の実施形態では、転写偏倚量の補正だけでなく、ウェーハＷの品種が変ったために面取り形状が変化した場合でも、変化量がさほど大きなものでなければこの補正動作で対応することができる。
【００６６】
図１０は、面取り装置１０に設けられたウェーハＷの面取り状態を測定する測定手段（測定機）７０を表わす概念図である。測定手段７０は、ウェーハＷを載置して回転可能な測定テーブル７１、ウェーハＷの周縁に配置され、面取り形状を撮像するＣＣＤカメラ（上面用）７２、ＣＣＤカメラ（下面用）７３、ＣＣＤカメラ（側面用）７４、ＬＥＤ照明装置７５、画像処理ユニット７６、及びモニター７７等で構成されている。
【００６７】
ＣＣＤカメラ（上面用）７２、ＣＣＤカメラ（下面用）７３、ＣＣＤカメラ（側面用）７４で撮像されたウェーハＷの周縁部画像は、画像処理ユニット７６で信号処理されてコントローラに送信され、面取り形状寸法が演算される。
【００６８】
この測定手段７０によって得られたウェーハＷの面取り形状寸法によって、コントローラ１５が前述のツルーイング補正動作を制御することができるので、所望の面取り形状を得るための最適ツルーイングをオンマシンで容易に実施することができる。
【００６９】
また、測定手段（測定機）７０でマスター砥石５２Ａによって面取り加工されたツルアー４１の周縁部形状を測定し、得られた測定データによってツルアー４１の面取り補正動作を制御することができる。
【００７０】
また、所定枚数面取り加工を行った後、自動的に適正ツルーイングを実施することができるので、常に良好な面取り加工を行うことができる。
【００７１】
なお、前述の実施の形態では、ツルアー４１や各砥石の材質、寸法、粒度、回転数等を特定した形で説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、マスター砥石５２Ａのマスター溝５２ａの溝形状をツルアー４１に転写し、ツルアー４１から加工用砥石に転写することができれば、種々の材質、寸法、粒度、回転数等に適応させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】本発明の実施の形態に係る面取り装置を表わす正面図
【図２】ウェーハテーブル周りの拡大図
【図３】外周加工砥石を説明する概念図
【図４】本発明の実施の形態に係るツルーイング方法を表わす概念図
【図５】本発明の実施の形態に係るツルーイング方法を表わす概念図（続）
【図６】別のツルーイング動作を表わす概念図
【図７】ウェーハの面取り断面を表わす部分断面図
【図８】ツルーイング補正動作を説明する概念図
【図９】別のツルーイング補正動作を説明する概念図
【図１０】面取り形状測定手段を表わす概念図
【符号の説明】
【００７３】
１０…面取り装置、１５…コントローラ、３４…ウェーハテーブル（載置台）、４１…ツルアー（ツルーイング砥石）、５２…外周加工砥石、５２Ａ…マスター砥石、５２Ｂ…外周粗研削砥石、５２Ｄ…オリフラ及びオリフラコーナー精研削砥石（面取り砥石）、５５…外周精研削砥石（精研削砥石、面取り砥石）、５８…ノッチ精研削砥石（面取り砥石）、７０…測定手段（測定機）、Ｗ…ウェーハ（板状物）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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