(57)【要約】【課題】  荷電粒子線照明装置において、容易に照明の一様性を調整する方法を提供する。【解決手段】  荷電粒子線源１１から放出された荷電粒子線は、照明用レンズ１２Ａ、１２Ｂにより開口絞り１４の開口面を均一に照明し、レンズ１２Ｃにより開口絞り１４の開口面の像をマスク１５上に形成する。この像の領域が照明領域となる。マスク１５上に形成されたパターンの像は、投影用レンズ１６Ａ、１６Ｂによりウエハ１８上に結像し、ウエハ１８上のレジストを感光させる。アライナー１９Ａ、１９Ｂにより、開口絞り１４を照明する荷電粒子線の位置と方向が調整される。照明される平面領域における位置座標を（ｘ，ｙ）とするとき、点（ｘ，ｙ）における照度を、その表面領域におけるｘとｙの２次関数として表し、当該２次関数の係数を小さくするように調整を行う。【選択図】  図１
2005158843.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
荷電粒子線照明装置において、照明の一様性を調整する方法であって、照明される平面領域における位置座標を（ｘ，ｙ）とするとき、点（ｘ，ｙ）における照度を、その表面領域におけるｘとｙの２次関数として表し、当該２次関数の係数を小さくするように調整を行うことを特徴とする荷電粒子線照明装置における照明一様性の調整方法。
【請求項２】
前記２次関数が（ａｘ２＋ｂｘｙ＋ｃｙ２＋ｄｘ＋ｅｙ＋ｆ）であることを特徴とする請求項１に記載の荷電粒子線照明装置における照明一様性の調整方法。但し、ａ〜ｅは係数、ｆは定数である。
【請求項３】
前記２次関数が（ａｘ２＋ａｙ２＋ｄｘ＋ｅｙ＋ｆ）であることを特徴とする請求項１に記載の荷電粒子線照明装置における照明一様性の調整方法。但し、ａ〜ｅは係数、ｆは定数である。
【請求項４】
請求項２又は請求項３に記載の荷電粒子線照明装置における照明一様性の調整方法であって、荷電粒子線照明装置に設けられたアライナとレンズの励磁電流又は印加電圧をそれぞれ単位量変化させたときの、前記係数ａ〜ｅの変化量（発生感度）を求め、それに基づいて、前記係数ａ〜ｅを単位量変化させるために必要な前記アライナとレンズに流すべき励磁電流又は印加すべき印加電圧（補正感度）をそれぞれ求め、求められた補正感度に基づいて、前記係数ａ〜ｅの絶対値を所定量より小さくする、前記アライナとレンズに流すべき励磁電流又は印加すべき印加電圧を求めて、これらの励磁電流を流すか印加電圧を印加することを特徴とする荷電粒子線照明装置における照明一様性の調整方法。
【請求項５】
前記係数ａ〜ｅの値が収束するまで、請求項４に記載の荷電粒子線照明装置における照明一様性の調整方法を繰り返すことを特徴とする荷電粒子線照明装置における照明一様性の調整方法。
【請求項６】
請求項２又は請求項３に記載の荷電粒子線照明装置における照明一様性の調整方法であって、荷電粒子線照明装置に設けられたアライナの励磁電流又は印加電圧を単位量変化させたときの、前記係数ｄ、ｅの変化量（発生感度）を求め、それに基づいて、前記係数ｄ、ｅを単位量変化させるために必要な前記アライナに流すべき励磁電流又は印加すべき印加電圧（補正感度）をそれぞれ求め、求められた補正感度に基づいて、前記係数ｄ、ｅの絶対値を所定量より小さくする、前記アライナに流すべき励磁電流又は印加すべき印加電圧を求めて、これらの励磁電流を流すか印加電圧を印加することを特徴とする荷電粒子線照明装置における照明一様性の調整方法。
【請求項７】
前記係数ｄ、ｅの値が収束するまで、請求項６に記載の荷電粒子線照明装置における照明一様性の調整方法を繰り返すことを特徴とする荷電粒子線照明装置における照明一様性の調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、荷電粒子線露光装置、荷電粒子線観察・検査装置等において使用される荷電粒子線照明装置における照明一様性の調整方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの高密度化に伴い、その製造工程においてレチクルからウエハに露光転写すべきパターンが微細化している。このような微細なパターンを露光転写するには、光学式露光転写装置ではその解像度が不足しており、光学式露光転写装置に変わるものとして、電子線等の荷電粒子線を使用した露光転写装置の開発が進められている。
【０００３】
荷電粒子線露光装置においては、荷電粒子線源から放出された荷電粒子を、照明光学系を介してレチクル上に照射して照明し、レチクルに形成されたパターンを、投影光学系を介してウエハ上に結像させることにより、露光転写を行っている。
【０００４】
又、従来から用いられている写像型電子顕微鏡においては、電子線によって試料を照明し、反射電子、２次電子等を電子線結像光学系で電子線撮像素子面に結像させ、電光変換を行うことにより試料の観察、検査を行っている。
【０００５】
これら、荷電粒子線露光装置、荷電粒子線観察・検査装置においては、レチクル面や試料面に到達する荷電粒子線の線量（本明細書、請求の範囲においては「照度」と称する）が一様でないと、正確な露光転写が行われなかったり、観察、検査に支障を来すことがある。よって、通常は照明光学系を構成する荷電粒子線照明装置におけるレンズやアライナを調整することにより、できるだけ照明領域の照度が一様になるようにしている。
【０００６】
照明領域における照度の分布を調べるには、例えば、照明領域又はそれと共役な面上においてピンホールを走査させ、ピンホールを透過する荷電粒子線の量を測定するか、照明領域面又はそれと共役な面に固定したピンホールを設け、照明領域の位置を移動させてピンホールを透過する荷電粒子線の量を測定することによって行う。一般に、照明一様性は、このようにして測定された照度の分布の標準偏差σを求め、３σの値で表示する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、照明一様性は上記のような方法で測定できるものの、それを調整するのは容易なことでない。調整は、前述のようにレンズやアライナを調整することにより行われるが、試行錯誤的である。例えば１個の電磁レンズと２セットの電磁アライナで調整しようとすると、これらに流す励磁電流は５種類ある。これら５種類の励磁電流を試行錯誤的に調整して照明一様性を満足させるためには、莫大な時間を必要としていた。
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、荷電粒子線照明装置において、容易に照明の一様性を調整する方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するための第１の手段は、荷電粒子線照明装置において、照明の一様性を調整する方法であって、照明される平面領域における位置座標を（ｘ，ｙ）とするとき、点（ｘ，ｙ）における照度を、その表面領域におけるｘとｙの２次関数として表し、当該２次関数の係数を小さくするように調整を行うことを特徴とするもの（請求項１）である。
【００１０】
発明者が、荷電粒子線照明装置における照明むらについて観測を行ったところ、照明される平面領域における位置座標を（ｘ，ｙ）とするとき（ｘ−ｙ直交座標系の座標とする）、点（ｘ，ｙ）における照度は、その表面領域におけるｘとｙの２次関数で近似できることを見いだした。よって、測定された照度に、この２次関数を当てはめて、その係数を小さくするように調整を行えば、明確な指標を持って調整を行うことが可能となり、従来のように試行錯誤的な調整に比して、調整が容易となる。
【００１１】
前記課題を解決するための第２の手段は、前記第１の手段であって、前記２次関数が（ａｘ２＋ｂｘｙ＋ｃｙ２＋ｄｘ＋ｅｙ＋ｆ）であることを特徴とするもの（請求項２）である。但し、ａ〜ｅは係数、ｆは定数である。
【００１２】
前記２次関数をこのように定めることにより、種々の形状の照度分布形状を、２次関数に当てはめることが可能となる。
【００１３】
前記課題を解決するための第３の手段は、前記第１の手段であって、前記２次関数が（ａｘ２＋ａｙ２＋ｄｘ＋ｅｙ＋ｆ）であることを特徴とするもの（請求項３）である。但し、ａ〜ｅは係数、ｆは定数である。
【００１４】
発明者が得た知見によれば、一般的に、ある程度の調整が進んだ段階では、照度分布を２次関数で表したとき、２次の成分は光軸中心に対称となり、光軸を中心とする半径の関数で表される。よって、このような場合には、２次の成分は（ａｘ２＋ａｙ２）と簡略化できる。このようにすると、前記第２の手段に比して、調整すべきパラメータを２つ減らすことができる。
【００１５】
前記課題を解決するための第４の手段は、前記第２の手段、又は第３の手段であって、荷電粒子線照明装置に設けられたアライナとレンズの励磁電流又は印加電圧をそれぞれ単位量変化させたときの、前記係数ａ〜ｅの変化量（発生感度）を求め、それに基づいて、前記係数ａ〜ｅを単位量変化させるために必要な前記アライナとレンズに流すべき励磁電流又は印加すべき印加電圧（補正感度）をそれぞれ求め、求められた補正感度に基づいて、前記係数ａ〜ｅの絶対値を所定量より小さくする、前記アライナとレンズに流すべき励磁電流又は印加すべき印加電圧を求めて、これらの励磁電流を流すか印加電圧を印加することを特徴とするもの（請求項４）である。
【００１６】
本手段においては、アライナとレンズの励磁電流（コイルに流す電流により駆動する場合）又は印加電圧（電極に印加する電圧で駆動する場合）をそれぞれ単位量変化させたときの、前記係数ａ〜ｅの変化量（発生感度）を求めておく、一般には、行列（感度行列）の形にしておくことが好ましい。そして、この発生感度から、前記係数ａ〜ｅを単位量変化させるために必要な前記アライナとレンズに流すべき励磁電流又は印加すべき印加電圧（補正感度）をそれぞれ求める。感度行列が求まっている場合には、その逆行列（補正行列）を求めることにより、簡単に計算できる。
【００１７】
そして、求められた補正感度に基づいて、前記係数ａ〜ｅの絶対値を所定量より小さくする（通常は０とする）、前記アライナとレンズに流すべき励磁電流又は印加すべき印加電圧を求めて、これらの励磁電流を流すか印加電圧を印加することにより、照明一様性の調整を行う。これにより、明確な手順に従って、照明一様性の調整を行うことができる。
【００１８】
一般には一つのアライナにおいては、２つの互いに直交する方向の荷電粒子線の進行方向を調整するために、２つの励磁電流又は印加電圧を調整できるようになっている。又、レンズにおいてはそのパワーを調整するために１つの励磁電流又は印加電圧を調整できるようになっている。よって、例えば、２つのアライナと１つのレンズの励磁電流又は印加電圧を調整することにより、係数ａ〜ｅを調整することが可能である。
【００１９】
又、前記第３の手段である場合には、係数はａ、ｄ、ｅの３つしかないので、例えば、１つのアライナの２つのコイルの励磁電流又は印加電圧と、１つのレンズの励磁電流又は印加電圧を調整することにより調整が可能である。この場合は、前記感度行列、補正行列は３行３列のものとなる。
【００２０】
前記課題を解決するための第５の手段は、前記第４の手段であって、前記係数ａ〜ｅの値が収束するまで、前記第４の手段である調整方法を繰り返すことを特徴とするもの（請求項５）である。
【００２１】
もともとの照明むらが大きくない場合（係数ａ〜ｅが小さい場合）は、前記第４の手段で目的を達成することができるが、照明むらが大きい場合（係数ａ〜ｅが大きい場合）には、関係式が線形でないためと、補正感度に誤差があるため、第４の手段を１回行うだけでは、十分な照明一様性が得られない場合がある。このような場合には、第４の手段で得られた状態を初期条件として、再び第４の手段を実行し、これを、係数ａ〜ｅの値が収束するまで繰り返すことにより、満足する照明一様性を得ることができる。係数ａ〜ｅの値が収束したかどうかは、例えば、どの係数の変化も所定値（係数毎に定めてもよい）以下となったこと、どの係数の絶対値も所定値以下（係数毎に定めてもよい）となったこと等により判別することができる。
【００２２】
前記課題を解決するための第６の手段は、前記第２の手段又は第３の手段であって、荷電粒子線照明装置に設けられたアライナの励磁電流又は印加電圧を単位量変化させたときの、前記係数ｄ、ｅの変化量（発生感度）を求め、それに基づいて、前記係数ｄ、ｅを単位量変化させるために必要な前記アライナとレンズに流すべき励磁電流又は印加すべき印加電圧（補正感度）をそれぞれ求め、求められた補正感度に基づいて、前記係数ｄ、ｅの絶対値を所定量より小さくする、前記アライナとレンズに流すべき励磁電流又は印加すべき印加電圧を求めて、これらの励磁電流を流すか印加電圧を印加することを特徴とするもの（請求項６）である。
【００２３】
発明者の知見によれば、ある程度調整が進んだ段階では、照度分布を前述のような２次式で表した場合に、２次の係数が小さくなり、かつ荷電粒子線照明装置を調整しても、小さな変化しか起こらない場合がある。このような場合には、２次式のうち１次の係数のみを調整すれば十分である。本手段はこのようなものである。本手段においては、例えば１つのアライナにおいて互いに直交する方向の進行方向を変化させる励磁電流、印加電圧を調整することにより、調整を行うことができる。又は、複数のアライナの励磁比を固定し、１セットのアライナとして使用し、これらの励磁電流、印加電圧を調整することによっても調整を行うことができる。
【００２４】
前記課題を解決するための第４の手段は、前記係数ｄ、ｅの値が収束するまで、前記第６の手段である調整方法を繰り返すことを特徴とするもの（請求項７）である。
【００２５】
本手段の作用効果は、前記第５の手段の作用効果と同じである。
【発明の効果】
【００２６】
以上説明したように、本発明によれば、荷電粒子線照明装置において、容易に照明の一様性を調整する方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明の実施の形態の例を、図を用いて説明する。図１は、荷電粒子露光装置の光学系の概要図である。図１において、１１は荷電粒子線源、１２Ａ〜１２Ｃは照明用レンズ、１３はビーム成形アパーチャ、１４は開口絞り、１５はマスク、１６Ａ、１６Ｂは投影用レンズ、１７は散乱アパーチャ、１８はウエハ、１９Ａ、１９Ｂはアライナである。
【００２８】
荷電粒子線源１１から放出された荷電粒子線は、照明用レンズ１２Ａ、１２Ｂにより開口絞り１４の開口面を均一に照明し、レンズ１２Ｃにより開口絞り１４の開口面の像をマスク１５上に形成する。この像の領域が照明領域となる。マスク１５上に形成されたパターンの像は、投影用レンズ１６Ａ、１６Ｂによりウエハ１８上に結像し、ウエハ１８上のレジストを感光させる。照明荷電粒子線の開口角を制限するために開口絞り１４が設けられ、マスク１５で散乱された散乱線をカットするために散乱アパーチャ１７が設けられている。アライナ１９Ａ、１９Ｂにより、開口絞り１４を照明する荷電粒子線の位置と方向が調整される。
【００２９】
このような荷電粒子線露光装置を例として、照明光学系の照明一様性を調整する、本発明の実施の形態の例について説明する。なお、以下の説明においては、レンズやアライナは、コイルに電流を流すことによって駆動する電磁型のものとして説明する。レンズやアライナには、電極に電圧を印加することによって駆動する静電型ものもあるが、これらにおいては、以下の説明における電流を電圧と読み替えることにより、当業者は容易にその調整方法を理解することができるであろう。
【００３０】
最初に、初期の照明一様性を測定する。この実施の形態においては、図１に示すような荷電粒子線露光装置の光学系において、マスク１５を使用せず、成形開口１４の像をマスク１５の位置に形成するようにする。そして、マスクステージ（図示せず）にマスク１５の代わりにピンホールが形成された基板を搭載し、マスクステージをｘ−ｙ方向（以下の説明においては、光軸をｚ軸とするｘ−ｙ−ｚ直交座標系を基準として説明を行う）に駆動して、各位置（ｘ，ｙ）においてピンホールを通過する荷電粒子線の量を検出器で測定し、それにより、各位置（ｘ，ｙ）における荷電粒子線の量（照度）を測定する。この量の分布が、成形開口１４の位置における照度の分布に対応する。
【００３１】
測定が完了したら、この照度分布を次の２次式に当てはめる。ここでＩ（ｘ，ｙ）は位置（ｘ，ｙ）における照度である。
Ｉ（ｘ，ｙ）＝ａｘ２＋ｂｘｙ＋ｃｙ２＋ｄｘ＋ｅｙ＋ｆ  …（１）
ここで、係数ａ〜ｆは、例えば最小二乗法を使用して決定する。
【００３２】
これを、照明用レンズ１２Ｂの励磁電流ＩＬｅｎｓ、アライナ１９Ａのｘ方向制御電流Ｉａｌｌｇｎ１ｘ、ｙ方向制御電流Ｉａｌｌｇｎ１ｙ、アライナ１９Ｂのｘ方向制御電流Ｉａｌｌｇｎ２ｘ、ｙ方向制御電流Ｉａｌｌｇｎ２ｙを変化させて（変化量をそれぞれの記号にΔをつけて表す）そのときの（１）式を求め、（１）式おける各係数の変化量（各係数にΔをつけて表す）を求める。このようにして、以下の（２）式に示す感度行列を求める。
【００３３】
【数１】
2005158843.tif 000003
（２）式右辺の行列[Ｓ]が感度行列であり、それぞれの励磁電流を単位量変化させたときの前記（１）式の係数の変化量を示すものである。
【００３４】
感度行列[Ｓ]の逆行列を求めると、（１）式の係数を単位量だけ変化させるために必要な各励磁電流値を求めるための行列、すなわち補正行列[Ｃ]が求まる。即ち、
【００３５】
【数２】
2005158843.tif 000004
であり、（３）式の右辺の行列が補正行列である。
【００３６】
補正行列が求まり、かつ、各励磁電流がＩＬｅｎｓ０、Ｉａｌｌｇｎ１ｘ０、Ｉａｌｌｇｎ１ｙ０、Ｉａｌｌｇｎ２ｘ０、Ｉａｌｌｇｎ２ｙ０のときに（１）式が成り立つとすると、
【００３７】
【数３】
2005158843.tif 000005
として、新しい各励磁電流をＩＬｅｎｓ、Ｉａｌｌｇｎ１ｘ、Ｉａｌｌｇｎ１ｙ、Ｉａｌｌｇｎ２ｘ、Ｉａｌｌｇｎ２ｙとすることにより、（１）式の各係数の値を０に近づけることができる。従って、照明一様性を向上させることが可能となる。なお、この方法では、係数ｆについては考慮していないが、ｆは定数であり、照明むらには寄与しないので、考慮する必要はない。
【００３８】
しかしながら、以上の方法は、各励磁電流と（１）式の係数との間に線形性があると仮定した方法であり、多くの場合には（１）式が２次式であること、照度分布を統計的手法により２次式に当てはめていること等により、この仮定は成立しない。よって、以上の方法を実施しても、（１）式の各係数の絶対値が十分に小さくならない場合がある。
【００３９】
この場合には、以上述べた方法を繰り返し使用し、（１）式の係数の収束を図ることが有効である。即ち、以上述べた方法で得られた結果を初期条件として、再び、照度分布の測定を行って（１）式の係数を決定すると共に、感度行列を求め、それから補正行列を求めて、補正行列を使用して、以上述べた方法と同じようにして、新しい励磁電流を求める。この操作を、（１）式の各係数が収束するまで繰り返す。このようにすれば、（１）式の各係数の絶対値を０又は十分に小さい値とすることができ、照明一様性を向上させることができる。
【００４０】
照明光学系の調整がある程度進んでおり、照度分布を２次式で近似したときの２次の項が、光軸に対して対称であり、光軸を中心とする半径によって決まると考えられるような場合には、照度分布を（１）式の代わりに以下の（５）式で近似することができる。
I（ｘ，ｙ）＝ａｘ２＋ａｙ２＋ｄｘ＋ｅｙ＋ｆ  …（５）
この場合には、照度むらに影響する係数はａ、ｄ、ｅの３個であるので、３つの励磁電流の調整により、照明一様性の調整を行うことができる。その例として、照明用レンズ１２Ｂの励磁電流ＩＬｅｎｓ、アライナ１９Ａのｘ方向制御電流Ｉａｌｌｇｎ１ｘ、アライナ１９Ａのｙ方向制御電流Ｉａｌｌｇｎ１ｙを変化させて調整を行う場合について説明する。
【００４１】
初期条件における照度分布の測定方法、及びその結果の（５）式への当てはめ方法は、（１）式を使用した場合と同じである。これを、照明用レンズ１２Ｂの励磁電流ＩＬｅｎｓ、アライナ１９Ａのｘ方向制御電流Ｉａｌｌｇｎ１ｘ、アライナ１９Ａのｙ方向制御電流Ｉａｌｌｇｎ１ｙを変化させて（変化量をそれぞれの記号にΔをつけて表す）そのときの（５）式を求め、（５）式おける各係数の変化量（各係数にΔをつけて表す）を求める。このようにして、以下の（６）式に示す感度行列を求める。
【００４２】
【数４】
2005158843.tif 000006
（６）式右辺の行列[Ｓ’]が感度行列であり、それぞれの励磁電流を単位量変化させたときの前記（５）式の係数の変化量を示すものである。
【００４３】
感度行列[Ｓ’]の逆行列を求めると、（５）式の係数を単位量だけ変化させるために必要な各励磁電流値を求めるための行列、すなわち補正行列[Ｃ’]が求まる。即ち、
【００４４】
【数５】
2005158843.tif 000007
であり、（７）式の右辺の行列が補正行列である。
【００４５】
補正行列が求まり、かつ、各励磁電流がＩＬｅｎｓ０、Ｉａｌｌｇｎ１ｘ０、Ｉａｌｌｇｎ１ｙ０のときに（５）式が成り立つとすると、
【００４６】
【数６】
2005158843.tif 000008
として、新しい各励磁電流ＩＬｅｎｓ、Ｉａｌｌｇｎ１ｘ、Ｉａｌｌｇｎ１ｙとすることにより、（５）式の各係数の値を０に近づけることができる。従って、照明一様性を向上させることが可能となる。
【００４７】
なお、（１）式を使用した照明一様性の調整方法の説明で述べたような理由により、以上のような方法を１回使用しただけでは調整が不十分である場合には、以上の方法を繰り返し使用することにより、照明一様性を向上させることができることは、（１）式を使用した場合と同じである。
【００４８】
さらに照明光学系の調整が進んだ段階では、（１）式、又は（５）式の２次の項の係数の絶対値が小さい値となり、励磁電流を調整しても現在の状態より小さくならないか、小さくなっても極わずかであるような場合がある。このようなときは、（１）式、又は（５）式の係数ｄ、ｅの絶対値を小さくすることを考えればよい。この方法について以下に説明する。この例においては、アライナ１９Ａのｘ方向制御電流Ｉａｌｌｇｎ１ｘ、アライナ１９Ａのｙ方向制御電流Ｉａｌｌｇｎ１ｙを変化させて調整を行うものとする。
【００４９】
初期条件における照度分布の測定方法、及びその結果の（１）式への当てはめ方法は、（１）式を使用した場合と同じである。これを、アライナ１９Ａのｘ方向制御電流Ｉａｌｌｇｎ１ｘ、アライナ１９Ａのｙ方向制御電流Ｉａｌｌｇｎ１ｙを変化させて（変化量をそれぞれの記号にΔをつけて表す）そのときの（１）式を求め、（１）式おける係数ｄ、ｅの変化量（各係数にΔをつけて表す）を求める。このようにして、以下の（８）式に示す感度行列を求める。
【００５０】
【数７】
2005158843.tif 000009
（９）式右辺の行列[Ｓ”]が感度行列であり、それぞれの励磁電流を単位量変化させたときの前記（１）式の係数ｄ、ｅの変化量を示すものである。
【００５１】
感度行列[Ｓ”]の逆行列を求めると、（１）式の係数ｄ、ｅを単位量だけ変化させるために必要な各励磁電流値を求めるための行列、すなわち補正行列[Ｃ”]が求まる。即ち、
【００５２】
【数８】
2005158843.tif 000010
であり、（１０）式の右辺の行列が補正行列である。
【００５３】
補正行列が求まり、かつ、各励磁電流がＩａｌｌｇｎ１ｘ０、Ｉａｌｌｇｎ１ｙ０のときに（１）式が成り立つとすると、
【００５４】
【数９】
2005158843.tif 000011
として、新しい各励磁電流をＩａｌｌｇｎ１ｘ、Ｉａｌｌｇｎ１ｙとすることにより、（１）式の係数ｄ、ｅの値を０に近づけることができる。従って、照明一様性を向上させることが可能となる。
【００５５】
なお、（１）式を使用した照明一様性の調整方法の説明で述べたような理由により、以上のような方法を１回使用しただけでは調整が不十分である場合には、以上の方法を繰り返し使用することにより、照明一様性を向上させることができることは、（１）式を使用した場合と同じである。
【実施例】
【００５６】
発明を実施するための最良の形態の欄で述べた（１）式を使用した照明一様性の調整方法を実施した。求められた感度行列は表１に示すようなものであった。なお、表１において、電流値と係数のΔを省略している。
（表１）
【００５７】
【表１】
2005158843.tif 000012
【００５８】
これから補正行列を求め、表２の結果を得た。なお、表２において、電流値と係数のΔを省略している。
（表２）
【００５９】
【表２】
2005158843.tif 000013
【００６０】
このときの、各補正器の電流値を表すベクトルは、
【００６１】
【数１０】
2005158843.tif 000014
であり、各係数を表すベクトルは、
【００６２】
【数１１】
2005158843.tif 000015
であった。これらの数値を（４）式に代入することにより、新しい各励磁電流をＩＬｅｎｓ、Ｉａｌｌｇｎ１ｘ、Ｉａｌｌｇｎ１ｙ、Ｉａｌｌｇｎ２ｘ、Ｉａｌｌｇｎ２ｙは、
【００６３】
【数１２】
2005158843.tif 000016
となった。これらの値の励磁電流によりレンズとアライナを励磁すれば、（１）式における各係数ａ〜ｅは０になるはずである。実際には、誤差や非線形性のため、
【００６４】
【数１３】
2005158843.tif 000017
となり、各係数とも、ほぼ０に近い値となり、当初の値に比べて著しく小さくできた。これは、照明一様性が著しく向上したことを示している。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】荷電粒子露光装置の光学系の概要図である。
【符号の説明】
【００６６】
１１…荷電粒子線源、１２Ａ〜１２Ｃ…照明用レンズ、１３…ビーム成形アパーチャ、１４…開口絞り、１５…マスク、１６Ａ、１６Ｂ…投影用レンズ、１７…散乱アパーチャ、１８…ウエハ、１９Ａ、１９Ｂ…アライナ
【図１】
2005158843.tif 000018