(57)【要約】【課題】被蒸着材の広い被蒸着面に、より均一に蒸着させる。【解決手段】蒸発された蒸発材料をガラス基板Ｗに付着させる蒸着装置において、ガラス基板Ｗに対向して配置される蒸発材料通路１３の出口１３ａに連通して、内部に拡散空間１６を有する放出用容器１５を設け、放出用容器１５のガラス基板Ｗ側で、蒸発材料通路１３の出口１３ａの対向部位を除く所定位置に複数の放出孔１７を穿設し、放出用容器１５出口１３ａを中心とする回転軸心Ｏ周りに回転させる容器回転装置２１を設けた。【選択図】        図１
2005330537.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
蒸発された蒸発材料を被蒸着部材に付着させる蒸着装置において、
前記被蒸着部材に対向して配置される蒸発材料通路出口に連通して、内部に拡散空間を有する放出用容器を設け、
前記放出用容器の被蒸着部材側の所定位置に複数の放出孔を穿設し、
放出容器を蒸発材料通路出口の中心を通る回転軸心周りに回転させる容器回転手段を設けた
ことを特徴とする蒸着装置。
【請求項２】
蒸発された蒸発材料を被蒸着部材に付着させる蒸着装置において、
前記被蒸着部材に対向して配置される蒸発材料通路出口に連通して、内部に拡散空間を有する放出用容器を設け、
前記放出用容器の被蒸着部材側の所定位置に複数の放出孔を穿設し、
放出用容器の拡散空間に、蒸発材料通路出口に対向して蒸発材料粒子を反射する反射部材を設け、
放出容器を蒸発材料通路出口の中心を通る回転軸心周りに回転させる容器回転手段を設けた
ことを特徴とする蒸着装置。
【請求項３】
反射部材に、蒸発材料通路出口に対向する中心部から外周側に向って、単位面積当りの開口面積が拡大するように配置された複数の調整用透孔を穿設した
ことを特徴とする請求項２記載の蒸着装置。
【請求項４】
蒸発された蒸発材料を被蒸着部材に付着させる蒸着装置において、
前記被蒸着部材に対向して配置される蒸発材料通路出口に連通して、内部に拡散空間を有する放出用容器を設け、
前記放出用容器の被蒸着部材側の所定位置に複数の放出孔を穿設し、
放出用容器の拡散空間に、蒸発材料通路出口側の空間部と放出孔側の空間部とを区画し多数の透孔を有する分散透過板を配置し、
前記分散透過板の蒸発材料通路出口に対向する部位に、蒸発材料粒子を反射する反射部を設け、
放出容器を蒸発材料通路出口の中心を通る回転軸心周りに回転させる容器回転手段を設けた
ことを特徴とする蒸着装置。
【請求項５】
反射部に、蒸発材料通路出口に対向する中心部から外周側に向って、単位面積当りの開口面積が拡大される配置された複数の調整用透孔を穿設した
ことを特徴とする請求項４記載の蒸着装置。
【請求項６】
蒸発された蒸発材料を被蒸着部材に付着させる蒸着装置において、
前記被蒸着部材に対向して配置される蒸発材料通路出口に連通して、内部に拡散空間を有する放出用容器を設け、
前記放出用容器の被蒸着部材側の所定位置に複数の放出孔を穿設し、
放出用容器の拡散空間に、蒸発材料通路出口に対向して蒸発材料粒子を反射する反射部材を設けた
ことを特徴とする蒸着装置。
【請求項７】
反射部材に、蒸発材料通路出口に対向する中心部から外周側に向って、単位面積当りの開口面積が拡大するように配置された複数の調整用透孔を穿設した
ことを特徴とする請求項６記載の蒸着装置。
【請求項８】
蒸発された蒸発材料を被蒸着部材に付着させる蒸着装置において、
前記被蒸着部材に対向して配置される蒸発材料通路出口に連通して、内部に拡散空間を有する放出用容器を設け、
前記放出用容器の被蒸着部材側の所定位置に複数の放出孔を穿設し、
放出用容器の拡散空間に、蒸発材料通路出口側の空間部と放出孔側の空間部とを区画し多数の透孔を有する分散透過板を配置し、
前記分散透過板の蒸発材料通路出口に対向する部位に、蒸発材料粒子を反射する反射部を設けた
ことを特徴とする蒸着装置。
【請求項９】
反射部に、蒸発材料通路出口に対向する中心部から外周側に向って、単位面積当りの開口面積が拡大される配置された複数の調整用透孔を穿設した
ことを特徴とする請求項８記載の蒸着装置。
【請求項１０】
蒸発材料通路に、蒸発材料の流れを緩衝する緩衝部材を設けた
ことを特徴とする請求項１，２，４，６，８のいずれかに記載の蒸着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空雰囲気または不活性ガス雰囲気中で、たとえば有機ＥＬディスプレイなどの画像表示部を製造するための蒸着装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、ディスプレイの薄型化が進み、この種のディスプレイとしては、液晶ディスプレイの実用化が非常に進んでいる。この液晶画面については、バックライトを必要とするもので、視野範囲、消費電力などの点で難点があり、最近、自発光性の有機ＥＬ方式のディスプレイが注目されている。
【０００３】
ところで、有機ＥＬディスプレイの基本構造は、ガラス基板上に、陽極（透明電極）を配置し、この上に、ホール輸送層および発光層が順番に配置され、さらに陰極が配置されたものであり、少なくとも前記発光層については、有機材料が蒸着により形成されている。
【０００４】
そして、基板上に蒸着により薄膜を形成する場合、真空容器内に有機材料の蒸発源を配置しておき、真空状態で蒸発源を加熱し、その蒸気を同じく真空容器内に配置された基板の表面に付着させることにより薄膜が形成されていた。
【０００５】
ところで、ディスプレイの大型化が促進され、また小型のものでも大型のガラス基板からダイシングして製造されることから、大型のガラス基板にも有機材料を均一に蒸着させることが重要となる。蒸発材料粒子などの希薄流体は、放出孔から放出されると、余弦則に従って広がってガラス基板表面に蒸着され、蒸着面の中央部で蒸着量が厚くなる傾向にある。
【０００６】
特許文献１には、一端側に移送部（小径管）が接続された放出部（大径管）に形成する放出孔の径を、一端側を小径に、他端側を大径に形成している。
また特許文献２は、蒸着室内で、回転式ウェハテーブルの下方に、２つの蒸着源を旋回移動式蒸着ボートを介して移動可能に配置したもので、ウェハテーブルに支持されるウェハの中心からずれた位置に蒸着源を移動させるようにしたものである。これにより、蒸着源から放出させた蒸発材料を、ウェハを回転させつつその表面に均一に蒸着させるものである。
【特許文献１】特開２００２−２４９８６８
【特許文献２】特開２００２−１６７６６４（図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１では、被蒸着部材の蒸着面積が小さい場合には問題がないが、蒸着面積が大きくなるに従って放出部の長さが長尺となり、放出孔の径を変化させるだけでは、蒸発材料を均等に放出させることが困難となるおそれがある。
【０００８】
また特許文献２では、被蒸着部材は吸着具により保持されるが、被蒸着部材の蒸着面積が大きくなり、かつ回転されるとなると、被蒸着部材を保持・回転させる機構が大きくなるとともに、回転時の被蒸着部材の精度が要求され、設計の負担が増えることになる。
【０００９】
本発明は上記問題点を解決して、被蒸着材の広い被蒸着面に、より均一に蒸着可能な蒸着装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１記載の発明は、蒸発された蒸発材料を被蒸着部材に付着させる蒸着装置において、前記被蒸着部材に対向して配置される蒸発材料通路出口に連通して、内部に拡散空間を有する放出用容器を設け、前記放出用容器の被蒸着部材側の所定位置に複数の放出孔を穿設し、放出容器を蒸発材料通路出口の中心を通る回転軸心周りに回転させる容器回転手段を設けたものである。
【００１１】
請求項２記載の発明は、蒸発された蒸発材料を被蒸着部材に付着させる蒸着装置において、前記被蒸着部材に対向して配置される蒸発材料通路出口に連通して、内部に拡散空間を有する放出用容器を設け、前記放出用容器の被蒸着部材側の所定位置に複数の放出孔を穿設し、放出用容器の拡散空間に、蒸発材料通路出口に対向して蒸発材料粒子を反射する反射部材を設け、放出容器を蒸発材料通路出口の中心を通る回転軸心周りに回転させる容器回転手段を設けたものである。
【００１２】
請求項３記載の発明は、反射部材に、蒸発材料通路出口に対向する中心部から外周側に向って、単位面積当りの開口面積が拡大するように配置された複数の調整用透孔を穿設したものである。
【００１３】
請求項４記載の発明は、蒸発された蒸発材料を被蒸着部材に付着させる蒸着装置において、前記被蒸着部材に対向して配置される蒸発材料通路出口に連通して、内部に拡散空間を有する放出用容器を設け、前記放出用容器の被蒸着部材側の所定位置に複数の放出孔を穿設し、放出用容器の拡散空間に、蒸発材料通路出口側の空間部と放出孔側の空間部とを区画し多数の透孔を有する分散透過板を配置し、前記分散透過板の蒸発材料通路出口に対向する部位に、蒸発材料粒子を反射する反射部を設け、放出容器を蒸発材料通路出口の中心を通る回転軸心周りに回転させる容器回転手段を設けたものである。
【００１４】
請求項５記載の発明は、反射部に、蒸発材料通路出口に対向する中心部から外周側に向って、単位面積当りの開口面積が拡大される配置された複数の調整用透孔を穿設したものである。
【００１５】
請求項６記載の発明は、蒸発された蒸発材料を被蒸着部材に付着させる蒸着装置において、前記被蒸着部材に対向して配置される蒸発材料通路出口に連通して、内部に拡散空間を有する放出用容器を設け、前記放出用容器の被蒸着部材側の所定位置に複数の放出孔を穿設し、放出用容器の拡散空間に、蒸発材料通路出口に対向して蒸発材料粒子を反射する反射部材を設けたものである。
【００１６】
請求項７記載の発明は、反射部材に、蒸発材料通路出口に対向する中心部から外周側に向って、単位面積当りの開口面積が拡大するように配置された複数の調整用透孔を穿設したものである。
【００１７】
請求項８記載の発明は、蒸発された蒸発材料を被蒸着部材に付着させる蒸着装置において、前記被蒸着部材に対向して配置される蒸発材料通路出口に連通して、内部に拡散空間を有する放出用容器を設け、前記放出用容器の被蒸着部材側の所定位置に複数の放出孔を穿設し、放出用容器の拡散空間に、蒸発材料通路出口側の空間部と放出孔側の空間部とを区画し多数の透孔を有する分散透過板を配置し、前記分散透過板の蒸発材料通路出口に対向する部位に、蒸発材料粒子を反射する反射部を設けたものである。
【００１８】
請求項９記載の発明は、反射部に、蒸発材料通路出口に対向する中心部から外周側に向って、単位面積当りの開口面積が拡大される配置された複数の調整用透孔を穿設したものである。
【００１９】
請求項１０記載の発明は、蒸発材料通路に、蒸発材料の流れを緩衝する緩衝部材を設けたものである。
【発明の効果】
【００２０】
請求項１記載の発明によれば、蒸着材料通路出口から拡散空間に放出された蒸発材料粒子は、放出用容器の内面に反射されつつ拡散されるため放出用容器内の各放出孔付近での蒸発材料の分布が平坦化され、さらに放出用容器の回転により旋回移動する放出孔から蒸発材料粒子が放出されることにより、被蒸着部材に向って効果的に広がって拡散され被蒸着面に蒸着される（余弦則による膜厚分布が平坦化される）ので、被蒸着面が広くても蒸発材料の膜厚が均一に蒸着させることができる。また中空部材を用いるため軽量であり、被蒸着部材の吸着・回転手段を大型化するのに比較して、簡略に構成できて容易に製造することができる。
【００２１】
請求項２記載の発明によれば、蒸発材料通路の出口から拡散空間に中心側ほど高密度で放出された蒸発材料粒子を、反射部材により反射させて拡散し、蒸発材料通路出口と反対側の放出容器の内面に達する蒸発材料の密度を低減することができる。したがって、蒸発材料粒子の密度が集中するために、蒸発材料通路出口の反対側の放出容器の内面に放出孔を形成できないという制限を受けるところ、反射部材により放出孔の形成位置の制限がなくなる。これにより、蒸発材料粒子を被蒸着面に均一に蒸着させることができる任意位置に放出孔を穿設配置することができ、各放出孔から放出される蒸発材料を均等化して、より均一な蒸着膜厚を実現することができる。
【００２２】
請求項３記載の発明によれば、反射部材は、調整用透孔により中央部で蒸発材料粒子の透過率が小さく、外周部で大きくすることで、蒸発材料通路出口の反対側の蒸発材料粒子の密度を、他の拡散空間の部位と均等化することができる。これにより各放出孔から放出される蒸発材料をさらに均一化して、均一な厚みの蒸着膜の形成に寄与することができる。
【００２３】
請求項４記載の発明によれば、蒸発材料通路出口から空間部に放出された蒸発材料粒子が、放出用容器の内面と分散透過板とに反射されつつ拡散し、さらに分散透過板の透孔を介して放出孔側の空間部に通過しつつ拡散され、蒸発材料粒子の密度が均一化されて、旋回移動する放出孔から放出することができる。また分散透過板の反射部により、放出孔の形成位置の制限がなくなって、蒸発材料粒子を被蒸着面に均一に蒸着させるように放出孔を穿設配置することができ、蒸発材料を被蒸着面に均一な膜厚で蒸着させることができる。
【００２４】
請求項５記載の発明によれば、反射部に穿設した調整用透孔により、反射部の中央部で蒸発材料粒子の透過率が少なく、外周部で透過率を多くすることができ、反射部の放出孔側の空間部における蒸発材料粒子の密度をさらに均一化することができ、被蒸着面に均一な厚みの蒸着膜を形成することができる。
【００２５】
請求項６記載の発明によれば、放出用容器の内面に反射されつつ拡散された蒸発材料粒子が、旋回移動する放出容器の放出孔から放出されるので、蒸発材料粒子が効果的に拡散されて、被蒸着部材の被蒸着面が広くても均一に蒸発材料を蒸着させることができる（余弦則による膜厚分布が平坦化される）。また、蒸発材料通路の出口から中心側ほど高密度で拡散空間に放出された蒸発材料粒子を、反射部材により反射させて拡散するので、蒸発材料通路出口に対向する部位（反射部材の蒸発材料通路出口の反対側）に達する蒸発材料の密度を低減することができる。したがって、従来では、蒸発材料粒子の密度が集中するために、蒸発材料通路出口に対向する部位に放出孔を形成できないという制限を受けていたが、反射部材により放出孔の形成位置の制限がなくなる。これにより、蒸発材料粒子を被蒸着面に均一に蒸着させることができる放出用容器の任意位置に放出孔を穿設配置することができ、より均一な蒸着を実現することができる。
【００２６】
請求項７記載の発明によれば、反射部材の中央部の透過率が少なく、外周部の透過率を多くすることで、反射部材の蒸発材料通路出口の反対側における蒸発材料粒子の密度を、他の拡散空間の部位とさらに均一化することができ、各放出孔から蒸発材料の放出量を均一化して、被蒸着面に均一な厚みの蒸着膜を形成することができる。
【００２７】
請求項８記載の発明によれば、蒸発材料通路出口から拡散空間部に放出された蒸発材料粒子が、放出用容器の内面と分散透過板とに反射されつつ拡散し、さらに分散透過板の透孔を介して放出孔側の空間部に通過しつつ拡散され、蒸発材料粒子の密度が均一化されて放出孔から放出することができる。また分散透過板の反射部により、放出孔の形成位置の制限がなくなって、蒸発材料粒子を被蒸着面に均一に蒸着させるように放出孔を穿設配置することができ、蒸発材料を被蒸着面に均一な膜厚で蒸着させることができる。
【００２８】
請求項９記載の発明によれば、調整用透孔により反射部の中央部の透過率が少なく、外周部の透過率を多くすることで、反射部の放出孔側の空間部における蒸発材料粒子の密度を、他の拡散空間の部位と均一化することができ、各放出孔からの蒸発材料の放出量を均一化して、均一な厚みの蒸着膜を形成することができる。
【００２９】
請求項１０記載の発明によれば、蒸発材料通路に緩衝部材を設けたので、蒸発材料通路に蒸発材料が急速に流入することがあっても、これを緩衝して蒸発材料の流速を均一化することができ、被蒸着面への膜厚制御を適正に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、本発明の実施の形態を図１および図２に基づいて説明する。
［実施の形態１］
図１，図２に示すように、蒸着用容器２内に、真空雰囲気中で被蒸着部材であるガラス基板Ｗの表面（下面）に、たとえば有機ＥＬ材料を蒸着する蒸着室１が設けられており、蒸着用容器２には、図示しない真空ユニットにより真空雰囲気にされる真空ポート４Ａと、被蒸着材であるガラス基板Ｗを出し入れ可能なゲートバルブ（仕切弁）付きの基板交換ポート４Ｂとが形成されている。蒸着用容器２の上部にはガラス基板Ｗを保持するワーク保持具３が設けられており、ワーク保持具３に保持されたガラス基板Ｗの下面（被蒸着面）に下方から蒸発材料を蒸着するアップブロータイプに構成されている。
【００３１】
蒸着用容器２の下部には蒸発室５を形成する蒸発用容器６が設けられ、蒸発用容器６内に材料を加熱して蒸発させる加熱用電熱線（加熱手段）８ａを有する容器載置台８に材料収納容器７が収容されている。この蒸発用容器６には、材料収納容器７を交換するためのゲートバルブ（仕切弁）付きの容器交換ポート９と、図示しない真空ユニットにより真空雰囲気にされる真空ポート１０が設けられている。また蒸発用容器６には、上部に蒸発材料を放出・閉止または流量調整可能な開閉弁１２を介して接続部材１１が接続され蒸発材料通路１３が形成されている。
【００３２】
接続部材１１は、蒸発用容器６に接続された固定管体１１Ａと、この固定管体１１Ａに回転継手１１Ｂを介して回転自在に接続された回転管体１１Ｃとで構成されており、回転管体１１Ｃは蒸着容器２の底部の開口部に回転軸受１４を介して接続されるとともに、蒸着室１内に突出された上端部に放出用容器１５が固定されて回転管体１１Ｃの回転軸心Ｏを中心に回転自在に支持されている。
【００３３】
放出用容器１５は、平面視が矩形（または円形や多角形であってもよい）の箱体形で内部に拡散空間１６が形成され、底部中央部に貫設固定された回転管体１１Ｃに蒸発材料通路１３の出口１３ａが開口されている。また放出用容器１５でガラス基板Ｗに対向する上面板１５ａには、中央部（蒸発材料通路１３の出口１３ａの対向部位）を除く外周部の所定の対称位置に複数の放出孔１７が穿設されている。
【００３４】
この蒸着用容器２には、放出用容器１３を回転駆動する容器回転装置（容器回転手段）２１が設けられている。この容器回転装置２１は、蒸着室１内で回転管体１１Ｃに固定された従動プーリ（歯付きプーリ）２１ａと、蒸着用容器１３の底板に軸受を介して回転自在に貫通支持された駆動軸２１ｂを回転駆動する回転駆動装置（電動モータ）２１ｃと、前記駆動軸２１ｂに取り付けられた駆動プーリ（歯付きプーリ）２１ｄと、駆動プーリ２１ｄと従動プーリ２１ａとに巻張されたベルト（タイミングベルト）２１ｅとで構成されている。
【００３５】
またこの回転管体１１Ｃに設けられたスリップリング１１Ｄを介して放出用容器１５および回転管体１１Ｃの加熱用電熱線（加熱手段）１８に電源が供給され、蒸発材料の付着を防止している。
【００３６】
上記構成において、蒸発室５内で加熱用電熱線８ａにより材料収納容器１３内の材料が加熱され蒸発されると、蒸発材料通路１３の出口１３ａから放出用容器１５の拡散空間１６に導入される。この拡散空間では、蒸発材料粒子が放出用容器１５の内面に反射して効果的に拡散され、各放出孔１７から均一に放出されるとともに、容器回転装置２１により放出用容器１５が回転軸心Ｏを中心に回転されることから、一定位置から放出されるのに比較して、蒸発材料粒子が各放出孔１７から効果的に分散され、ガラス基板Ｗの表面に均一に蒸着される。
[実施の形態２]
【００３７】
この実施の形態２は、実施の形態１の放出用容器内に反射部材を設けたもので、図３〜図５を参照して説明する。なお、実施の形態１と同一部材には同一符号を付して説明を省略する。
【００３８】
放出用容器１５には、蒸発材料通路１３の出口１３ａと放出用容器１５の上面板１５ａとの間（中間部）で、出口１３ａの対向位置に、出口１３ａとの間に所定距離をあけて反射面板（反射部材）３１Ａ〜３１Ｃを設けたもので、図３（ａ）〜（ｃ）に示す第１例では、反射面板３１Ａは、蒸発材料通路１３の出口１３ａの開口面よりやや大きい円板形状に形成され、複数の脚部材３２により支持されている。
【００３９】
また図４（ａ）〜（ｃ）に示す第２例は、出口１３ａの開口面の数倍（２〜４倍）の大きい径の大径の反射面板３１Ｂに形成され、複数の脚部材３２により支持されている。
さらに図５（ａ）〜（ｃ）に示す第３例は、開口面の数倍（２〜４倍）の大きい径の大径の反射面板３１Ｃで、かつ多数の透孔３３が穿設されたものである。反射面板３１Ｃは複数の脚部材３２により支持されるとともに、調整用透孔３３は蒸発材料通路１３の出口１３ａに対向する中心部から外周側に向って、単位面積当りの前記透孔３３の開口面積が順次拡大されるように形成されている。
【００４０】
また第１例〜第３例とも、放出用容器１５の上面板１５ａに形成された複数の放出孔１７は、中央部（反射面板３１Ａ〜３１Ｃの蒸発材料通路１３の出口１３ａの反対面）を含めて所定位置に穿設されている。
【００４１】
先の上記実施の形態１においては、蒸発材料通路１３の出口１３ａから拡散空間１６に放出された蒸発材料粒子は、蒸発材料粒子の密度が出口１３ａの回転軸心Ｏ上に集中するため、この部位に放出孔１７を形成すると、他の部位の放出孔１７に比べて多量の蒸発材料粒子が放出され、出口１３ａの対向部位に放出孔１７を形成できないという制限を受ける。しかし、実施の形態２では、反射部材３１Ａ〜３１Ｃにより、蒸発材料通路１３の出口１３ａから放出された高密度の蒸発材料粒子を反射させることで、出口１３ａに対向する部位に形成された放出孔１７からの蒸発材料粒子の放出量を制限することができる。つまり拡散空間１６を放出用容器１５の内壁面で反射し迂回された蒸発材粒子が、出口１３ａに対向する部位に形成された放出孔１７に達するため、他の放出孔１７と同等の条件になるので、放出孔１７の形成位置の制限がなくなり、放出用容器１５の上面板１５ａに形成する放出孔１７を任意位置に穿設配置するとともに、容器回転装置２１により放出容器１５を回転軸心Ｏ周りに回転させることにより、蒸発材料粒子をガラス基板Ｗの被蒸着面に均一に蒸着させることができる。
【００４２】
また第３例の反射面板３１Ｃによれば、中央部を通過する蒸発材料粒子の透過率が小さく、外周側ほど調整用透孔３３を介して蒸発材料粒子の透過率を大きくすることで、反射面板３１Ｃによる蒸発材料通路１３の出口１３ａの反対側における蒸発材料粒子の密度を、他の拡散空間１６の部位と均一化することができ、各放出孔１７から放出される蒸発材料粒子量を均一化するとともに、容器回転装置２１により放出容器１５を回転軸心Ｏ周りに回転させることにより放出された蒸発材料粒子量を効果的に拡散し、ガラス基板Ｗの表面に均一な厚みの蒸着膜を形成することができる。
【００４３】
［実施の形態３］
この実施の形態３は、実施の形態１の放出用容器１５内の分散空間を区画する反射部材を設けたもので、図６および図７を参照して説明する。なお、先の実施の形態と同一部材には同一符号を付して説明を省略する。
【００４４】
放出用容器１５の拡散空間１６には、拡散空間１６を上下、すなわち放出孔１７が形成された上面板１５ａ側の上部空間１６ｕと、蒸発材料通路１３の出口１３ａ側の下部空間１６ｄとに区画する分散透過板（反射部材）４１Ａ，４１Ｂが設けられている。
【００４５】
第１例の分散透過板４１Ａは、図６（ａ）〜（ｃ）に示すように、出口１３ａに対向する部位に出口１３ａの開口面の数倍（２〜４倍）の大きい径の反射部４２が形成され、この反射部４２Ａは透孔１７を有しない板状に形成されている。反射部４２Ａ以外の分散透過板４１Ａには、一定ピッチで均一に透孔４３が形成されたいわゆるパンチングメタル状に形成されている。
【００４６】
第２例の分散透過板４１Ｂは、図７（ａ）〜（ｃ）に示すように、出口１３ａに対向する部位に出口１３ａの開口面の数倍（２〜４倍）の大きい径の反射部４２Ｂが形成され、この反射部４２Ｂに調整用透孔４４が形成されている。これら調整用透孔４４は、蒸発材料通路１３の出口１３ａに対向する回転軸心Ｏから外周側に向って、単位面積当りの前記透孔３３の開口面積が順次拡大されるように形成されている。反射部４２Ｂ以外の分散透過板４１Ｂには、一定ピッチで透孔４３が多数形成されたいわゆるパンチングメタル状に形成されている。
【００４７】
上記実施の形態３によれば、放出用容器１５の拡散空間１６に上部空間１６ｕと下部空間１６ｄとに区画する分散透過板４１Ａ，４１Ｂを設けたので、蒸発材料通路１３の出口１３ａから放出された蒸発材料粒子は、下部空間１６ｄで分散透過板４１Ａと放出用容器１５の内面に反射されつつ透孔４３を介して上部空間１６ｕに導入され拡散される。また蒸発材料通路１３の出口１３ａに対向する部位は反射部４２Ａ，４２Ｂにより蒸発材料粒子の透過が制限されるので、上部空間１６ｕ内で蒸発材料粒子の密度がより均一化される。このように均一な密度で蒸発材料粒子を保持した上部空間１６ｕ内から放出孔１７を介して蒸発材料粒子をガラス基板Ｗに向って均一に放出するとともに、容器回転装置２１により放出容器１５を回転軸心Ｏ周りに回転させるので、放出孔１７から均等に放出された蒸発材料粒子をガラス基板Ｗの表面に蒸着させて均一な膜厚の蒸着膜を形成することができる。
【００４８】
また第２例によれば、反射部４２Ｂで中央部で通過する蒸発材料粒子の透過率を少なくするとともに、外周側ほど調整用透孔４４を介して通過する蒸発材料粒子の透過率を多くすることで、反射部４２Ｂの上部空間１６ｕ側における蒸発材料粒子の密度を他の拡散空間１６の部位と均等化し、各放出孔１７からの蒸発材料粒子の放出量を均一化することができるとともに、容器回転装置２１により放出容器１５を回転軸心Ｏ周りに回転させることで、放出された蒸発材料粒子を効果的に拡散してガラス基板Ｗの表面に均一な厚みの蒸着膜を形成することができる。
[実施の形態４]
【００４９】
この実施の形態４は、実施の形態２の放出用容器１５を固定したもので、図８〜図１１を参照して説明する。なお、実施の形態２と同一部材には同一符号を付して説明を省略する。
【００５０】
放出用容器１５には、固定管体１１Ｅにより形成された蒸発材料通路１３の出口１３ａに所定距離をあけて対向位置に、反射面板（反射部材）６１Ａ〜６１Ｃが設けられている。
【００５１】
図８，図９（ａ）〜（ｃ）に示す第１例では、反射面板６１Ａは、蒸発材料通路１３の出口１３ａの開口面よりやや大きい円板形状に形成され、複数の脚部材６２により支持されている。
【００５２】
また図１０（ａ）〜（ｃ）に示す第２例は、出口１３ａの開口面の数倍（２〜４倍）の大きい径の円板状の反射面板６１Ｂに形成され、複数の脚部材６２により支持されている。
【００５３】
さらに図１１（ａ）〜（ｃ）に示す第３例は、開口面の数倍（２〜４倍）の大きい径の円板状の反射面板６１Ｃで、かつ多数の調整用透孔６３が穿設されたものである。反射面板６１Ｃは複数の脚部材６２により支持されるとともに、調整用透孔６３は蒸発材料通路１３の出口１３ａに対向する中心部から外周側に向って、単位面積当りの前記調整用透孔６３の開口面積が順次拡大されるように形成配置されている。
【００５４】
また第１例〜第３例とも、放出用容器１５の上面板１５ａに形成された複数の放出孔１７は、中央部（反射面板６１Ａ〜６１Ｃの蒸発材料通路１３の出口１３ａの反対面）を含めて所定位置に穿設されている。
【００５５】
上記実施の形態４において、蒸発材料通路１３の出口１３ａから拡散空間１６に放出された蒸発材料粒子は、蒸発材料粒子の密度が出口１３ａの中心軸Ｏ’上に集中するため、この部位に放出孔１７を形成すると、他の部位の放出孔１７に比べて多量の蒸発材料粒子が放出されるため、出口１３ａの対向部位に放出孔１７を形成できないという制限を受ける。しかし、この実施の形態５では、反射部６１Ａ〜６１Ｃにより、蒸発材料通路１３の出口１３ａから放出された高密度の蒸発材料粒子を反射させることで、出口１３ａに対向する部位に形成された放出孔１７からの蒸発材料粒子の放出を制限することができる。これにより、放出孔の形成位置の制限がなくなり、放出用容器１５の上面板１５ａに形成する放出孔を、任意位置に穿設配置することにより、蒸発材料粒子を被蒸着面に均一に蒸着させることができる。
【００５６】
また第３例の反射面板６１Ｃによれば、中央部では通過する蒸発材料粒子の透過率は殆ど無く、外周部で調整用透孔６３を介して通過する蒸発材料粒子の透過率を大きくすることで、反射面板６１Ｃによる蒸発材料通路１３の出口１３ａの反対側における蒸発材料粒子の密度を、他の拡散空間１６の部位と均一化することができるので、各放出孔１７から放出される蒸発材料粒子を均一化して、ガラス基板Ｗの表面に均一な厚みの蒸着膜を形成することができる。
【００５７】
［実施の形態５］
この実施の形態５は、実施の形態３の放出用容器１５内の分散空間を区画する反射部材を設けるとともに、放出用容器１５を固定したもので、図１２および図１３を参照して説明する。なお、実施の形態１と同一部材には同一符号を付して説明を省略する。
【００５８】
放出用容器１５の拡散空間１６には、拡散空間１６を上下、すなわち放出孔１７が形成された上面板１５ａ側の上部空間１６ｕと、蒸発材料通路１３の出口１３ａ側の下部空間１６ｄとに区画する分散透過板（反射部材）７１Ａ，７１Ｂが設けられている。
【００５９】
第１例の分散透過板７１Ａは、図１２に示すように、出口１３ａに対向する部位に出口１３ａの開口面の数倍（２〜４倍）の大きい径の反射部７２Ａが形成され、この反射部７２Ａは透孔１７を有しない面板状に形成されている。反射部７２Ａ以外の分散透過板７１Ａには、一定ピッチで均一に透孔７３が多数形成されたいわゆるパンチングメタル状に形成されている。
【００６０】
第２例の分散透過板７１Ｂは、図１３に示すように、出口１３ａに対向する部位に出口１３ａの開口面の数倍（２〜４倍）の大きい径の反射部７２Ｂが形成され、この反射部７２Ｂに調整用透孔７４が形成されている。これら調整用透孔７４は、蒸発材料通路１３の出口１３ａに対向する中心軸Ｏ’から外周側に向って、単位面積当りの前記調整用透孔７４の開口面積が順次拡大されるように形成配置されている。反射部７２Ｂ以外の分散透過板７１Ｂには、一定ピッチで透孔７３が多数形成されたいわゆるパンチングメタル状に形成されている。
【００６１】
上記実施の形態５によれば、放出用容器１５の拡散空間１６に上部空間１６ｕと下部空間１６ｄとに区画する分散透過板７１Ａ，７１Ｂを設けたので、蒸発材料通路１３の出口１３ａから放出された蒸発材料粒子は、下部空間１６ｄで分散透過板７１Ａ，７１Ｂと放出用容器１５の内面に反射されつつ透孔７３を介して上部空間１６ｕに導入され拡散される。また蒸発材料通路１３の出口１３ａに対向する部位では反射部７２Ａ，７２Ｂにより蒸発材料粒子の透過が制限されるので、上部空間１６ｕ内で蒸発材料粒子の密度がより均一化される。この上部空間１６ｕ内から放出孔１７を介して蒸発材料粒子がガラス基板Ｗに向って均等に放出されるので、蒸発材料粒子をガラス基板Ｗの表面に蒸着させて均一な膜厚の蒸着膜を形成することができる。
【００６２】
また第２例によれば、反射部７２Ｂでは、中央部側で通過する蒸発材料粒子の透過率が小さく、外周部で調整用透孔７４を介して通過する蒸発材料粒子の透過率を大きくすることで、反射部７２Ｂの上部空間１６ｕ側における蒸発材料粒子の密度を他の上部空間１６ｕと同じ程度にすることができ、各放出孔１７から放出される蒸発材料粒子を均一化して、ガラス基板Ｗの表面に均一な厚みの蒸着膜を形成することができる。
【００６３】
［実施の形態６］
この実施の形態６は、実施の形態１〜５に示すように、蒸発された蒸発材料をガラス基板Ｗに付着させる蒸着装置において、ガラス基板Ｗに対向して配置される蒸発材料通路１３の出口１３ａに連通して、内部に拡散空間１６を有する放出用容器１５を設け、前記放出用容器１５の被蒸着部材側の所定位置に複数の放出孔１７を穿設し、前記蒸発材料通路１３に単数または複数の緩衝板（緩衝部材）８１Ａ，８１Ｂを配置したものである。
【００６４】
すなわち、図１４〜図１６に示すように、蒸発用容器６から開閉弁１２を介して放出容器１６に連通する接続部材１１，１１Ｅにより形成される蒸発材料通路１３に、単数または複数（図では２枚）の緩衝板８１Ａ，８１Ｂを所定間隔をあけて配置されている。前記緩衝板８１Ａ，８１Ｂは、多数の透孔８２Ａ，８２Ｂがそれぞれ形成されたパンチングメタル状に形成されるが、できれば図示したように、透孔８２Ａ，８２Ｂが位置ずれして形成されるほうが緩衝効果が高く、図１４では上段の緩衝板８１Ａの透孔８２Ａは外周部に多く分布され、下段の緩衝板８１Ｂの透孔８２Ｂは中央部に多く分布されて緩衝効果を向上させている。
【００６５】
これは、ガラス基板Ｗの交換時などで蒸発材料を放出しないまま加熱を続けていると、蒸発用容器６内の気圧が上昇する。この高圧の状態で開閉弁１２を開放すると、一気に蒸発材料が蒸発材料通路１３、放出用容器１５を介して蒸着用容器２に放出され、ガラス基板Ｗへの膜厚制御が困難になるという問題がある。このため、緩衝板８１Ａ，８１Ｂを蒸発材料通路１３に配置することで、蒸発材料の高速流を効果的に緩衝してガラス基板Ｗに蒸着される膜厚を良好に制御することができる。
【００６６】
なお、緩衝板８１Ａ，８１Ｂの透孔８２Ａ，８２Ｂは、たとえば均等に分布させた同一形状のものでもよく、緩衝板８１Ａ，８１Ｂを回転して透孔８２Ａ，８２Ｂを位置ずれさせることにより、同様の作用効果を奏することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明に係る蒸着装置の実施の形態１を示す全体縦断面図である。
【図２】同蒸着室の放出容器を示す斜視図である。
【図３】（ａ）〜（ｃ）は本発明に係る蒸着装置の実施の形態２の第１例を示し、（ａ）は放出容器を示す分解斜視図、（ｂ）は反射板の平面図、（ｃ）は反射板の配置部の側面断面図である。
【図４】（ａ）〜（ｃ）は本発明に係る蒸着装置の実施の形態２の第２例を示し、（ａ）は放出容器を示す分解斜視図、（ｂ）は反射板の平面図、（ｃ）は反射板の配置部の側面断面図である。
【図５】（ａ）〜（ｃ）は本発明に係る蒸着装置の実施の形態２の第３例を示し、（ａ）は放出容器を示す分解斜視図、（ｂ）は反射板の平面図、（ｃ）は反射板の配置部の側面断面図である。
【図６】（ａ）〜（ｃ）は本発明に係る蒸着装置の実施の形態３の第１例を示し、（ａ）は放出容器を示す分解斜視図、（ｂ）は反射板の平面図、（ｃ）は反射板の配置部の側面断面図である。
【図７】（ａ）〜（ｃ）は本発明に係る蒸着装置の実施の形態３の第２例を示し、（ａ）は放出容器を示す分解斜視図、（ｂ）は反射板の平面図、（ｃ）は反射板の配置部の側面断面図である。
【図８】本発明に係る蒸着装置の実施の形態４の第１例を示す全体縦断面図である。
【図９】（ａ）〜（ｃ）は実施の形態４の第１例を示し、（ａ）は放出容器を示す分解斜視図、（ｂ）は反射板の平面図、（ｃ）は反射板の配置部の側面断面図である。
【図１０】（ａ）〜（ｃ）は実施の形態４の第２例を示し、（ａ）は放出容器を示す分解斜視図、（ｂ）は反射板の平面図、（ｃ）は反射板の配置部の側面断面図である。
【図１１】（ａ）〜（ｃ）は実施の形態４の第３例を示し、（ａ）は放出容器を示す分解斜視図、（ｂ）は反射板の平面図、（ｃ）は反射板の配置部の側面断面図である。
【図１２】（ａ）〜（ｃ）は本発明に係る蒸着装置の実施の形態５の第１例を示し、（ａ）は放出容器を示す分解斜視図、（ｂ）は反射板の平面図、（ｃ）は反射板の配置部の側面断面図である。
【図１３】（ａ）〜（ｃ）は実施の形態５の第２例を示し、（ａ）は放出容器を示す分解斜視図、（ｂ）は反射板の平面図、（ｃ）は反射板の配置部の側面断面図である。
【図１４】本発明に係る実施の形態６を示し、緩衝板を示す蒸発材料通路の説明図である。
【図１５】同緩衝板を実施の形態１に設けた全体縦断面図である。
【図１６】同緩衝板を実施の形態４に設けた全体縦断面図である。
【符号の説明】
【００６８】
Ｏ    回転軸心
Ｏ’  中心軸
Ｗ    ガラス基板
１    蒸着室
２    蒸着用容器
５    蒸発室
７    材料収納容器
１１Ｃ  回転管体
１１Ｅ  固定管体
１３    蒸発材料通路
１３ａ  出口
１５    放出用容器
１６    拡散空間
１６ｕ  上部空間
１６ｄ  下部空間
１７    放出孔
２１    容器回転装置
３１Ａ，６１Ａ  反射面板
３１Ｂ，６１Ｂ  反射面板
３１Ｃ，６１Ｃ  反射面板
３３    調整用透孔
４１Ａ，７１Ａ  分散透過板
４１Ｂ，７１Ｂ  分散透過板
４２Ａ，４２Ｂ  反射部
４３    透孔
４４    調整用透孔
６３    調整用透孔
７３    透孔
７４    調整用透孔
８１Ａ，８１Ｂ  緩衝板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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