(57)【要約】【課題】  主搬送部と副搬送部との間の搬送を、搬送物の姿勢を安定した状態で素早く行うことができる搬送装置を提供する。【解決手段】  搬送物２を非接触状態で支持する送風式支持手段３及びその送風式支持手段３にて支持された搬送物２に搬送方向の推進力を付与する推進力付与手段４を備え、中継搬送部５ｃに備えさせる推進力付与手段４が、搬送物２における横幅方向の両端部を接触支持する一対の推進力付与部４ａを備える両側駆動式に構成され、中継搬送部５ｃが、推進力付与手段４と送風式支持手段３との相対昇降により、搬送物２を推進力付与手段４に接触させる主搬送状態と搬送物２を推進力付与手段４に対して非接触状態とする副搬送状態とに切り換えて、副搬送状態においては、副搬送用として備えさせた補助推進手段６による副搬送方向での推進力により副搬送部５ｂとの間で搬送物２を搬送するように構成する。【選択図】        図１２
2005145650.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送物の下面に向けて清浄空気を供給して水平姿勢又は略水平姿勢で搬送物を非接触状態で支持する送風式支持手段及びその送風式支持手段にて支持された搬送物の下面に接触して搬送物に搬送方向の推進力を付与する推進力付与手段を備える搬送部が設けられた搬送装置であって、
前記搬送部として、搬送物を主搬送方向に搬送する主搬送部、搬送物を前記主搬送方向と交差する副搬送方向に搬送する副搬送部、及び、前記主搬送部と前記副搬送部との接続箇所に位置して、搬送物を前記主搬送方向に沿って搬送して前記主搬部との間で搬送物を搬送し且つ搬送物を前記副搬送方向に沿って搬送して前記副搬送部との間で搬送物を搬送する中継搬送部が設けられ、
前記中継搬送部に備えさせる前記推進力付与手段が、搬送物における前記主搬送方向と直交する横幅方向の両端部を接触支持する一対の推進力付与部を備える両側駆動式に構成され、
前記中継搬送部が、前記推進力付与手段と前記送風式支持手段との相対昇降により、搬送物を前記推進力付与手段に接触させる主搬送状態と搬送物を前記推進力付与手段に対して非接触状態とする副搬送状態とに切り換えて、前記主搬送状態においては、前記推進力付与手段による推進力により前記主搬送部との間で搬送物を搬送し、且つ、前記副搬送状態においては、副搬送用として備えさせた補助推進手段による前記副搬送方向での推進力により前記副搬送部との間で搬送物を搬送するように構成されている搬送装置。
【請求項２】
前記中継搬送部が、
前記送風式支持手段を、前記主搬送部に備えさせる送風式支持手段及び前記副搬送部に備えさせる送風式支持手段と同じ又は略同じ高さで搬送物を支持する高さで設け、且つ、
前記推進力付与手段を、前記主搬送状態においては前記主搬送部に備えさせる推進力付与手段と同じ又は略同じ高さに位置する上方位置となり且つ前記副搬送状態においては前記副搬送部に備えさせる推進力付与手段よりも下方に位置する下方位置となるように、昇降操作自在に設けるように構成されている請求項１記載の搬送装置。
【請求項３】
前記中継搬送部が、
前記推進力付与手段を、前記主搬送部に備えさせる推進力付与手段と同じ又は略同じ高さで且つ前記副搬送部に備えさせる推進力付与手段よりも低い高さの固定状態で設け、且つ、
前記送風式支持手段を、前記主搬送状態においては前記主搬送部に備えさせる前記送風式支持手段と同じ又は略同じ高さで搬送物を支持する下方位置となり、且つ、前記副搬送状態においては前記副搬送部に備えさせる前記送風式支持手段と同じ又は略同じ高さで搬送物を支持する上方位置とになるように、昇降操作自在に設けるように構成されている請求項１記載の搬送装置。
【請求項４】
前記補助推進手段が、搬送物の下面を接触支持して推進力を付与する駆動回転体を、前記副搬送状態において搬送物の下面を接触支持し且つ前記主搬送状態における搬送物の下面の接触支持を解除すべく昇降操作自在に構成されている請求項１〜３のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項５】
前記補助推進手段が、搬送物における前記搬送方向の搬送上手側の側面に接当する状態で前記副搬送方向に移動することにより、搬送物に対して前記副搬送方向での推進力を付与する押し部材を備えて構成されている請求項１〜３いずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項６】
前記中継搬送部に備えさせた前記推進力付与手段が、前記主搬送方向に沿って搬送物を正逆移動させるように推進力を付与可能に構成され、前記補助推進手段が、前記副搬送方向に沿って搬送物を正逆移動させるように推進力を付与可能に構成されている請求項１〜５のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項７】
前記送風式支持手段が、塵埃を除去する除塵フィルタと、その除塵フィルタを通して搬送物の下面に向けて清浄空気を供給する送風手段とを一体的に組み付けた送風ユニットを、前記主搬送方向及び前記副搬送方向に並べて構成されている請求項１〜６のいずれか１項に記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送物の下面に向けて清浄空気を供給して水平姿勢又は略水平姿勢で搬送物を非接触状態で支持する送風式支持手段及びその送風式支持手段にて支持された搬送物の下面に接触して搬送物に搬送方向の推進力を付与する推進力付与手段を備える搬送部が設けられた搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
かかる搬送装置は、送風式支持手段にて搬送物を非接触状態に支持し、推進力付与手段にて搬送方向での推進力を接触状態で搬送物に付与するように構成されているものであり、例えば、搬送物として液晶用のガラス基板を搬送する場合では、ガラス基板における製品化される部分を送風式支持手段にて非接触状態に支持し、ガラス基板における製品化する際にカットされる部分を前記推進力付与手段にて推進力を接触状態で付与するというように、搬送物における接触支持が好ましくない部分を支持しながら接触状態で推進力を付与して搬送物を確実に搬送するのに適している。
そして、メイン搬送方向に搬送物を搬送するメイン搬送部と、メイン搬送方向と交差するサブ搬送方向に搬送物を搬送するサブ搬送部とを備えて、搬送物の搬送方向をメイン搬送方向とサブ搬送方向とに切り換えて搬送する場合では、搬送物をメイン搬送部からサブ搬送部に移載させる分岐搬送、又は、搬送物をサブ搬送部からメイン搬送部に移載させる合流搬送を行う必要がある。
そこで、搬送物を支持する送風式支持手段を回転板に片持ち状に支持させた移載用搬送部をメイン搬送部とサブ搬送部との接続箇所に設けて、送風式支持手段を昇降操作並びに回転板の中心に位置する縦軸芯周りに回転操作して分岐搬送や合流搬送を行うものがあった。（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−６２９５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記従来の移載用搬送部では、分岐搬送や合流搬送を行う際に、回転板の中心に位置する縦軸芯周りに送風式支持手段を回転させるものであるので、その回転による遠心力により送風式支持手段に支持される搬送物の姿勢が崩れる可能性があり、それを抑制するために送風式支持手段の回転速度を遅くすると、分岐搬送や合流搬送を迅速に行えないという不利がある。
【０００５】
本発明は、上記実情に鑑みて為されたものであって、その目的は、分岐搬送や合流搬送を搬送物の姿勢が崩れる可能性を抑制し且つ迅速に行うことができる搬送装置を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本願発明の搬送装置は、搬送物の下面に向けて清浄空気を供給して水平姿勢又は略水平姿勢で搬送物を非接触状態で支持する送風式支持手段及びその送風式支持手段にて支持された搬送物の下面に接触して搬送物に搬送方向の推進力を付与する推進力付与手段を備える搬送部が設けられた搬送装置であって、
第１特徴構成は、前記搬送部として、搬送物を主搬送方向に搬送する主搬送部、搬送物を前記主搬送方向と交差する副搬送方向に搬送する副搬送部、及び、前記主搬送部と前記副搬送部との接続箇所に位置して、搬送物を前記主搬送方向に沿って搬送して前記主搬部との間で搬送物を搬送し且つ搬送物を前記副搬送方向に沿って搬送して前記副搬送部との間で搬送物を搬送する中継搬送部が設けられ、前記中継搬送部に備えさせる前記推進力付与手段が、搬送物における前記主搬送方向と直交する横幅方向の両端部を接触支持する一対の推進力付与部を備える両側駆動式に構成され、前記中継搬送部が、前記推進力付与手段と前記送風式支持手段との相対昇降により、搬送物を前記推進力付与手段に接触させる主搬送状態と搬送物を前記推進力付与手段に対して非接触状態とする副搬送状態とに切り換えて、前記主搬送状態においては、前記推進力付与手段による推進力により前記主搬送部との間で搬送物を搬送し、且つ、前記副搬送状態においては、副搬送用として備えさせた補助推進手段による前記副搬送方向での推進力により前記副搬送部との間で搬送物を搬送するように構成されている点を特徴とする。
【０００７】
すなわち、中継搬送部にて分岐搬送を行なう場合には、推進力付与手段による推進力により主搬送部から搬送物を搬入し、推進力付与手段と送風式支持手段との相対昇降により主搬送状態から副搬送状態に切り換え、搬入した搬送物を補助推進手段による推進力により副搬送部に搬出し、また、中継搬送部にて合流搬送を行なう場合には、補助推進手段による推進力により副搬送部から搬送物を搬入し、推進力付与手段と送風式支持手段との相対昇降により副搬送状態から主搬送状態に切り換えて、搬入した搬送物を推進力付与手段による推進力により主搬送部に搬送物を搬出する。
そして、搬送物の横幅方向の両端部を推進力付与手段における一対の推進力付与部にて接触支持して推進力を付与しているので、これにより搬送物の姿勢を安定させながら推進力を的確に付与して主搬送部との間で搬送物の搬送を行うことができる。
しかも、分岐搬送や合流搬送の際に行う主搬送部との間での搬送物の搬送、中継搬送部の主搬送状態と副搬送状態との切り換え、副搬送部と中継搬送部との間での搬送物の搬送のいずれにおいても搬送物が回転しないものであるため、回転による遠心力により搬送物の姿勢が崩れる可能性を抑制するために搬送物の搬送速度を遅くしたり中継搬送部を主搬送状態と副搬送状態との切り換え速度を遅くする必要がなく、搬送物の分岐搬送や合流搬送を搬送物の姿勢が崩れる可能性を抑え且つ安定した状態で迅速に行うことができる搬送装置を提供することができるに至った。
【０００８】
第２特徴構成は、上記第１特徴構成に加えて、前記中継搬送部が、前記送風式支持手段を、前記主搬送部に備えさせる送風式支持手段及び前記副搬送部に備えさせる送風式支持手段と同じ又は略同じ高さで搬送物を支持する高さで設け、且つ、前記推進力付与手段を、前記主搬送状態においては前記主搬送部に備えさせる推進力付与手段と同じ又は略同じ高さに位置する上方位置となり且つ前記副搬送状態においては前記副搬送部に備えさせる推進力付与手段よりも下方に位置する下方位置とになるように、昇降操作自在に設けるように構成されている点を特徴とする。
【０００９】
すなわち、中継搬送部に備えさせる推進力付与手段を主搬送部に備えさせる推進力付与手段と同じ又は略同じ高さに位置する上方位置に上昇操作することにより主搬送状態に切り換えられ、中継搬送部における推進力付与手段を副搬送部に備えさせる推進力付与手段よりも下方に位置する下方位置に下降操作することにより副搬送状態に切り換えられる。
つまり、推進力付与手段の昇降操作により、送風式支持手段を昇降操作させることなく主搬送状態と副搬送状態とに切り換えるため、中継搬送部に備えさせた送風式支持手段の主搬送部や副搬送部に備えさせた送風式支持手段に対する高さが主搬送状態と副搬送状態とで変化しないので、主搬送部と中継搬送部との間で搬送する際や副搬送部と中継搬送部との間で搬送する際にも円滑に搬送物を搬送することができる。
【００１０】
第３特徴構成は、上記第１特徴構成に加えて、前記中継搬送部が、前記推進力付与手段を、前記主搬送部に備えさせる推進力付与手段と同じ又は略同じ高さで且つ前記副搬送部に備えさせる推進力付与手段よりも低い高さの固定状態で設け、且つ、前記送風式支持手段を、前記主搬送状態においては前記主搬送部に備えさせる前記送風式支持手段と同じ又は略同じ高さで搬送物を支持する下方位置となり、且つ、前記副搬送状態においては前記副搬送部に備えさせる前記送風式支持手段と同じ又は略同じ高さで搬送物を支持する上方位置とになるように、昇降操作自在に設けるように構成されている点を特徴とする。
【００１１】
すなわち、中継搬送部に備えさせる送風式支持手段を主搬送部に備えさせる送風式支持手段と同じ又は略同じ高さに位置する下方位置に下降操作とすることにより主搬送状態に切り換えられ、中継搬送部における送風式支持手段を副搬送部に備えさせる送風式支持手段と同じ又は略同じ高さに位置する上昇位置に上昇操作することにより副搬送状態に切り換えられる。
つまり、送風式支持手段の昇降操作により、推進力付与手段を昇降操作することなく主搬送状態と副搬送状態とに切り換えることができるので、主搬送部や副搬送部に備えさせた推進力付与手段に対する中継搬送部に備えさせた推進力付与手段の高さが主搬送状態と副搬送状態とで変化しないので、前記夫々に備えさせた推進力付与手段を一連の伝動構造に構成し易く推進力付与手段の伝動構造の複雑化を抑制することができる。
【００１２】
第４特徴構成は、上記第１〜３のいずれか１つの特徴構成に加えて、前記補助推進手段が、搬送物の下面を接触支持して推進力を付与する駆動回転体を、前記副搬送状態において搬送物の下面を接触支持し且つ前記主搬送状態における搬送物の下面の接触支持を解除すべく昇降操作自在に構成されている点を特徴とする。
【００１３】
すなわち、搬送物を副搬送方向に搬送する際に、補助推進手段における駆動回転体にて搬送物の下面を接触支持しながら搬送物を副搬送方向の推進力を付与することができるので、補助推進手段の接触支持により姿勢を安定させた状態で搬送物を副搬送方向に搬送することができる。
【００１４】
第５特徴構成は、上記第１〜３のいずれか１つの特徴構成に加えて、前記補助推進手段が、搬送物における前記搬送方向の搬送上手側の側面に接当する状態で前記副搬送方向に移動することにより、搬送物に対して前記副搬送方向での推進力を付与する押し部材を備えて構成されている点を特徴とする。
【００１５】
すなわち、搬送物を副搬送方向に搬送する際に、押し部材にて搬送物の側面を押すことにより搬送物に副搬送方向の推進力を付与する構成であるため、押し部材と搬送物とがスリップすることがなく搬送物を副搬送方向に確実に搬送することができる。
【００１６】
第６特徴構成は、上記第１〜５のいずれか１つの特徴構成に加えて、前記中継搬送部に備えさせた前記推進力付与手段が、前記主搬送方向に沿って搬送物を正逆移動させるように推進力を付与可能に構成され、前記補助推進手段が、前記副搬送方向に沿って搬送物を正逆移動させるように推進力を付与可能に構成されている点を特徴とする。
【００１７】
すなわち、例えば、中継搬送部の主搬送方向の両側に主搬送部を設け、分岐搬送させる際には補助推進手段を副搬送方向に沿って搬送物を正移動させるように推進力を付与し、合流搬送させる際には補助推進手段を副搬送方向に沿って搬送物を逆移動させるように推進力を付与するようにして、一方の主搬送部から搬送物を搬入しその搬送物を副搬送部に搬出する分岐操作と、副搬送部から搬送物を搬入しその搬送物を他方の主搬送部に搬出する合流搬送との両方を行うことができる便利な中継搬送部に構成することができる。
【００１８】
第７特徴構成は、上記第１〜６のいずれか１つの特徴構成に加えて、前記送風式支持手段が、塵埃を除去する除塵フィルタと、その除塵フィルタを通して搬送物の下面に向けて清浄空気を供給する送風手段とを一体的に組み付けた送風ユニットを、前記主搬送方向及び前記副搬送方向に並べて構成されている点を特徴とする。
【００１９】
すなわち、送風手段と除塵フィルタとを一体的に組み付けた送風ユニットを主搬送方向及び副搬送方向に並べて備えるだけで、搬送される搬送物の下面に向けて清浄空気を供給して搬送物を非接触状態で支持する送風式支持手段を設置することができるので、送風式支持手段の設置が簡単なものとなり、もって、製作の容易化を図ることができる搬送装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
〔第１実施の形態〕
以下、本発明に係る搬送装置を搬送物として液晶用の矩形状のガラス基板を搬送するように構成した場合について図面に基づいて説明する。
【００２１】
図１に示すように、搬送装置Ｈは、ガラス基板２を主搬送方向に搬送する主搬送部５ａ、ガラス基板２を主搬送方向と直交する副搬送方向に搬送する副搬送部５ｂ、及び、主搬送部５ａと副搬送部５ｂとの接続箇所に位置して、ガラス基板２を主搬送方向に沿って搬送して主搬部５ａとの間でガラス基板２を搬送し且つガラス基板２を副搬送方向に沿って搬送して副搬送部５ｂとの間でガラス基板２を搬送する中継搬送部５ｃが搬送部として設けられている。
【００２２】
そして、図２、図１０に示すように、各搬送部は、非接触状態で支持する送風式支持手段３と接触状態で支持する推進力付与手段４とでガラス基板２を支持し、その支持されたガラス基板２に搬送方向の推進力を前記推進力付与手段４にて付与してガラス基板２を搬送方向に搬送するように構成され、これら送風式支持手段３や推進力付与手段４が収納ケース７に収納されている。
また、主搬送部５ａは、主搬送ユニットを１つ或いは複数を主搬送方向に沿って備えて構成されており、副搬送部５ｂは、副搬送ユニットを１つ或いは複数を副搬送方向に沿って備えて構成されており、中継搬送部５ｃは、１つの中継搬送ユニットにて構成されている。つまり、搬送装置Ｈは、主搬送ユニットと副搬送ユニットと中継搬送ユニットとを組み合わせて構成されている。
【００２３】
中継搬送部５ｃについて説明する。
図２、図３に示すように、中継搬送部５ｃには、中継搬送部５ｃに備えさせた前記送風式支持手段３と、ガラス基板２に主搬送方向の推進力を付与する中継搬送部５ｃに備えさせた前記推進力付与手段４と、ガラス基板２に副搬送方向の推進力を付与する補助推進手段６と、これら送風式支持手段３、推進力付与手段４並びに補助推進手段６を収納する中継搬送部５ｃに備えられたケース体７とを備えて構成されている。
【００２４】
図３、図４に示すように、中継搬送部５ｃに備えられた前記ケース体７は、送風式支持手段３を載置支持する平面視が略矩形状のユニット用枠体９と、ユニット用枠体９の横幅方向の両側に搬送方向に沿って固定状態で備えた収納フレーム８とを備えて構成されている。
前記収納フレーム８のそれぞれは、搬送方向視で角筒状に構成されており、ユニット用枠体９と連結する内壁８ａ側とは反対側は開閉可能な収納カバー８ｃにて構成され、収納フレーム８の下壁８ｂには、収納フレーム内の空気を外部に排出する外部排出口２１を備えている。そして、外部排出口２１を閉塞するように、送風機能と除塵機能とを有するサブ送風ユニット２３が備えられており、このサブ送風ユニット２３にて収納フレーム８内の空気が清浄されて外部に排出されるように構成されている。また、前記ユニット用枠体９は、フレーム部材を組み付けた支持枠部分９ａと、その支持枠部分９ａより下方に位置して、外部空気を導入する空気導入口１１を備えた略矩形で板状の板状枠部分９ｂとで構成されている。
【００２５】
中継搬送部５ｃに備えられた前記送風式支持手段３について説明すると、図３〜５に示すように、前記送風式支持手段３は、ガラス基板２の下面２ａに向けて清浄空気を供給する４つのファンフィルタユニット（送風ユニットの一例）１４と、このファンフィルタユニット１４に載置支持されてガラス基板２の下面２ａに供給される清浄空気の整風を行う整風板１５とを備えて構成されており、特に図５に示すように、前記ユニット用枠体９に昇降操作自在に支持されている。ファンフィルタユニット１４は、塵埃を除去する除塵フィルタ１２と、その除塵フィルタ１２を通してガラス基板２の下面２ａに向けて清浄空気を供給する送風ファン１３（送風手段の一例）とを一体的に組み付けて構成されている。尚、前記４つのファンフィルタユニット１４は、連結フレームにて互いに連結されており、また、整風板１５には、パンチングにより形成された通気孔１５ａと、前記補助推進手段６が送風式支持手段３より上方に突出可能なように形成された昇降用孔１５ｂとが形成されている。
【００２６】
そして、図５に示すように、ファンフィルタユニット１４の下面には、このファンフィルタユニット１４を昇降操作するための電動式の支持手段用モータ１６が設けられており、この支持手段用モータ１６の出力ギヤ１６ａと、ユニット用枠体９における支持枠部分９ａの側面に形成されたギヤ溝９ｃとが噛み合わされている。従って、支持手段用モータ１６を正逆方向に駆動回転させることによって、中継搬送部５ｃに備えられた送風式支持手段３が昇降操作されることとなる。
【００２７】
次に、中継搬送部５ｃに備えられた推進力付与手段４について説明する。図２、図３に示すように、前記推進力付与手段４は、ガラス基板２における横幅方向の両端部を接触支持する一対の推進力付与部４ａを備えて両側駆動式に構成され、推進力付与部４ａは前記一対の収納フレーム８に振り分けて備えられている。
推進力付与部４ａのそれぞれは、図６〜８に示すように、電動モータ２５と、この電動モータ２５の出力ギヤと噛み合う平歯車２８を備えた伝動軸２７と、伝動軸２７に備えられた出力ギヤ２９と噛み合う入力ギヤ３０を備えた多数の出力軸２６とを備えて構成されている。そして、伝動モータ２５及び伝動軸２７は収納フレーム８内に配備されており、前記出力軸２６は、収納フレーム８から突出する状態で前記内壁８ａに回転自在に支持されている。出力軸２６の収納フレーム８から突出する部分にはガラス基板２の下面２ａを接触支持して推進力を付与する前記駆動ローラ２４が備えられており、この駆動ローラ２４には、図４、図８に示すように、ガラス基板２の横幅方向の両端部の側面に接当して、ガラス基板２の横幅方向への移動を受け止める大径部２４ａが備えられている。
【００２８】
次に、補助推進手段６について説明する。図５、図９に示すように、補助推進手段６は、副搬送方向の上手側に位置して電動式の駆動モータ３３によって回転する駆動輪３４と、搬送上手側に位置する回転自在な従動輪３５と、これら駆動輪３４と従動輪３５とに亘って巻回する前記タイミングベルト３６（駆動回転体の一例）と、タイミングベルト３６における送り経路部分を内周面側から支持する内支持輪３７と、これらを支持する支持枠４０とから構成されている。
【００２９】
そして、支持枠４０には、補助推進手段６を昇降操作するための電動式の推進手段用モータ３９が設けられており、この推進手段用モータ３９の出力ギヤ３９ａと、ファンフィルタユニット１４の側面に形成されたギヤ溝１４ａとが噛み合わされている。従って、推進手段用モータ３９を正逆方向に駆動回転させることによって、補助推進手段６が昇降操作されることとなる。
【００３０】
前記主搬送部５ａについて説明すると、図１０に示すように、主搬送部５ａは、主搬送部５ａに備えられた前記送風式支持手段３と、ガラス基板２に主搬送方向の推進力を付与する主搬送部５ａに備えられた前記推進力付与手段４と、これら送風式支持手段３並びに推進力付与手段４を収納する主搬送部５ａに備えられたケース体７とを備えて構成されている。
そして、図１１に示すように、主搬送部５ａには、中継搬送部５ｃに備えられていた補助推進手段６が備えられておらず、主搬送部５ａに備えられた送風式支持手段３は、ユニット用枠体９の支持枠部分に固定支持されており、昇降操作ができないように構成されている。
尚、主搬送部５ａの推進力付与手段４がガラス基板２の横幅方向の両端部を接触支持し、副搬送部５ｂの推進力付与手段４がガラス基板２の前後方向の両端部を接触支持する関係上、主搬送部５ａと副搬送部５ｂとは横幅が異なるように構成されているが、その他の点以外は同様に構成されているので説明は省略する。
【００３１】
そして、図１１に示すように、中継搬送部５ｃと主搬送部５ａとが同じ又は略同じ高さに設けられており、図１２に示すように、副搬送部５ｂが中継搬送部５ｃより高い位置に設けられている。
つまり、前記中継搬送部５ｃに備えさせた推進力付与手段４は、図１１に示すように、前記主搬送部５ａに備えさせた推進力付与手段４と同じ又は略同じ高さで、且つ、図１２に示すように、前記副搬送部５ｂに備えさせた推進力付与手段４よりも低い高さに固定状態で設けられている。また、中継搬送部５ｃに備えさせた送風式支持手段３は、図１１（イ）、図１２（イ）に示すような、前記主搬送部５ａに備えさせる送風式支持手段３と同じ又は略同じ高さでガラス基板２を支持する下方位置や、図１１（ロ）、図１２（ロ）に示すような、前記副搬送部５ｂに備えさせる送風式支持手段３と同じ又は略同じ高さでガラス基板２を支持する上方位置とに昇降操作自在に設けるように構成されている。
【００３２】
そして、搬送装置Ｈには、ガラス基板の存否を検出する図示しない検出センサや、この検出結果に基づいて推進力付与手段４における電動モータ２５、補助推進手段６における駆動モータ３３、送風式支持手段３を昇降操作する推進手段用モータ３９及び補助推進手段６を昇降操作する支持手段用モータ１６の作動を制御する図示しない制御手段が備えられている。
【００３３】
次に、中継搬送部５ｃの主搬送状態と副搬送状態との切り換えについて説明する。
前述した通り、中継搬送部５ｃに備えられた送風式支持手段３は前記ユニット用枠体９に昇降操作自在に支持されており、中継搬送部５ｃは、中継搬送部５ｃに備えられた送風式支持手段３を前記下方位置に下降させることにより、同じく下降したガラス基板２が中継搬送部５ｃに備えられた推進力付与手段４に接触して支持される主搬送状態となり、中継搬送部５ｃに備えられた送風式支持手段３を上方位置に上昇させることにより、同じく上昇したガラス基板２は中継搬送部５ｃに備えられた推進力付与手段４に対して非接触状態となって副搬送状態となる。
そして、主搬送状態においては、中継搬送部５ｃに備えられた推進力付与手段４による推進力により主搬送部５ａとの間でガラス基板２を搬送し、且つ、副搬送状態においては、補助推進手段６による副搬送方向での推進力により副搬送部５ｂとの間でガラス基板２を搬送するように構成されている。
また、補助推進手段６も前述したように前記ユニット用枠体９に昇降操作自在に支持されており、補助推進手段６は、昇降操作することにより、前記副搬送状態におけるガラス基板２の下面２ａを前記タイミングベルト３６にて接触支持すべく上昇させたり、主搬送状態におけるガラス基板２の下面２ａの接触支持を解除すべく下降するように昇降操作自在に構成されている。
尚、副搬送状態においては、中継搬送部５ｃに備えられた送風式支持手段３にて支持されるガラス基板２は、その下面２ａが中継搬送部５ｃに備えられた推進力付与手段４の上端より高く、且つ、中継搬送部５ｃに備えられた収納フレーム８の上端より高く位置し、ガラス基板２をそのまま水平に副搬送方向に搬送しても推進力付与手段４や収納フレーム８に干渉しないようにしている。
【００３４】
次に、図１の矢印Ａに示すような、ガラス基板２を搬送上手側の主搬送部５ａから中継搬送部５ｃに搬入し、その搬入したガラス基板２を搬送方向を変えずに搬送下手側の主搬送部５ａに搬出する主搬送、矢印Ｂに示すような、ガラス基板２を主搬送部５ａから中継搬送部５ｃに搬入し、その搬入したガラス基板２の搬送方向を主搬送方向から副搬送方向に切り換えてガラス基板２を副搬送部５ｂに搬出する分岐搬送、並びに、矢印Ｃに示すような、ガラス基板２を副搬送部５ｂから中継搬送部５ｃに搬入し、その搬入したガラス基板２の搬送方向を副搬送方向から主搬送方向に切り換えてガラス基板２を主搬送部５ａに搬出する合流搬送を行う場合について説明する。
【００３５】
まず、矢印Ａに示すような主搬送を行う場合では、図１１（イ）、図１２（イ）に示すように、中継搬送部５ｃに備えられた送風式支持手段３を下方位置に下降させて中継搬送部５ｃを主搬送状態とし、補助推進手段６をガラス基板２の下面２ａの接触支持を解除すべく下降させておく。この状態で主搬送部５ａに備えられた推進力付与手段４と中継搬送部５ｃに備えられた推進力付与手段４とを作動させてガラス基板２に主搬送方向の推進力を付与することにより、搬送上手側の主搬送部５ａから中継搬送部５ｃに搬入し、その搬入したガラス基板２を搬送方向を変えずに搬送下手側の主搬送部５ａに搬出する。
【００３６】
また、矢印Ｂに示すように分岐搬送を行う場合では、図１１（イ）、図１２（イ）に示すように、中継搬送部５ｃに備えられた送風式支持手段３を下方位置に下降させて中継搬送部５ｃを主搬送状態とし、補助推進手段６を主搬送状態におけるガラス基板２の下面２ａの接触支持を解除すべく下降させておく。この状態で主搬送部５ａに備えさせた推進力付与手段４と中継搬送部５ｃに備えさせた推進力付与手段とを作動させてガラス基板２に主搬送方向の推進力を付与してガラス基板２を主搬送部５ａから中継搬送部５ｃに搬入し、その搬入したガラス基板２が中継搬送部５ｃの所定の位置まで搬送されたことが前記検出センサにて検出されると推進力付与手段４の作動を停止させる。
【００３７】
その後、図１１（ロ）、図１２（ロ）に示すように、中継搬送部５ｃに備えられた送風式支持手段３を上方位置に上昇させて中継搬送部５ｃを副搬送状態とする。この際の補助推進手段６は、送風式支持手段３を上昇させる前に上昇させて、主搬送状態において送風式支持手段３にて非接触状態で支持されたガラス基板２を推進力付与手段４と協働で接触支持する。そして、ガラス基板２の下面２ａに対する接触支持を維持すべく送風式支持手段３の上昇に合わせて補助推進手段６も上昇させ、副搬送状態における送風式支持手段３にて非接触状態で支持されたガラス基板２を補助推進手段６のみで接触支持する。
この副搬送状態において補助推進手段６と主搬送部５ａに備えられた推進力付与手段４とを作動させてガラス基板２に副搬送方向の推進力を付与して、ガラス基板２を中継搬送部５ｃから副搬送部５ｂに搬出する。
【００３８】
最後に、矢印Ｃに示すような合流搬送を行う場合では、図１１（ロ）、図１２（ロ）に示すように、中継搬送部５ｃに備えられた送風式支持手段３を上方位置に上昇させて中継搬送部５ｃを副搬送状態とし、補助推進手段６を副搬送状態におけるガラス基板２の下面２ａを接触支持すべく上昇させておく。この状態で補助推進手段６と副搬送部５ｂに備えられた推進力付与手段４とを作動させてガラス基板２に副搬送方向の推進力を付与してガラス基板２を副搬送部５ｂから中継搬送部５ｃに搬入し、その搬入したガラス基板２が中継搬送部５ｃの所定の位置まで搬送されたことが前記検出センサにて検出されると補助推進手段６の作動を停止させる。
【００３９】
その後、図１１（イ）、図１２（イ）に示すように、中継搬送部５ｃに備えられた送風式支持手段３を下方位置に下降させて中継搬送部５ｃを主搬送状態とする。この際の補助推進手段６は、ガラス基板２の下面２ａに対する接触支持を維持すべく送風式支持手段３の下降に合わせて補助推進手段６も下降させて、主搬送状態における送風式支持手段３にて非接触状態で支持されたガラス基板２を推進力付与手段４と協働で接触支持する。そして、補助推進手段６をさらに下降させて補助推進手段６のガラス基板２の下面２ａに対する接触支持を解除して、主搬送状態における送風式支持手段３にて非接触状態で支持されたガラス基板２を推進力付与手段４のみで接触支持させる。
この主搬送状態において主搬送部５ａに備えられた推進力付与手段４と中継搬送部５ｃに備えられた推進力付与手段４とを作動させてガラス基板２に主搬送方向の推進力を付与し、ガラス基板２を中継搬送部５ｃから副搬送部５ｂに搬出する。
【００４０】
〔第２実施の形態〕
中継搬送部５ｃの主搬送状態と副搬送状態との切り換えを、中継搬送部５ｃに備えられた推進力付与手段を昇降操作することにより切り換えるものとした場合について図面に基づいて説明する。尚、第１実施の形態と同様に構成されるものについては、第１実施の形態と同じ符号を付け、説明は省略する。
【００４１】
図１４に示すように、一対の収納フレーム８における副搬送方向の下手側に位置するものが、ユニット用枠体９に昇降操作自在に支持されている。つまり、一方の収納フレーム８の下部には、この収納フレーム８を昇降操作するための電動式のフレーム用モータ３１が設けられており、このフレーム用モータ３１の出力ギヤ３１ａと、ユニット用枠体９における支持枠部分９ａの側面に形成されたギヤ溝とが噛み合わされている。従ってフレーム用モータ３１を正逆方向に駆動回転させることによって、一方の収納フレーム８が昇降し、その収納ブレーム８に備えられている推進力付与手段４における一方の推進力付与部４ａが昇降操作されることとなる。
また、図１３に示すように、中継搬送部５ｃにおける送風式支持手段３は、ユニット用枠体９に固着支持されている。
【００４２】
そして、図１５、図１６に示すように、中継搬送部５ｃと主搬送部５ａと副搬送部５ｂとが同じ又は略同じ高さに設けられている。
つまり、前記中継搬送部５ｃに備えさせた送風式支持手段３を、図１５、図１６に示すように、主搬送部５ａに備えさせる送風式支持手段３及び副搬送部５ｂに備えさせる送風式支持手段３と同じ又は略同じ高さでガラス基板２を支持する高さで設け、且つ、中継搬送部に備えさせた推進力付与手段４（一方の推進力付与部４ａ）を、主搬送状態においては、図１５（イ）に示すように、主搬送部５ａに備えさせる推進力付与手段４と同じ又は略同じ高さに位置する上方位置となり、副搬送状態においては、図１６（ロ）に示すように、副搬送部５ｂに備えさせる推進力付与手段４よりも下方に位置する下方位置とになるように、昇降操作自在に設けるように構成されている。
【００４３】
次に、中継搬送部５ｃの主搬送状態と副搬送状態との切り換えについて説明する。
前述した通り、中継搬送部５ｃに備えられた推進力付与手段４は昇降操作自在に設けられており、中継搬送部５ｃは、前記推進力付与手段４における前記一方の推進力付与部４ａを前記上方位置に上昇させることにより、中継搬送部５ｃに備えられた送風式支持手段３に支持されるガラス基板２の下面２ａを接触支持する主搬送状態となり、前記推進職付与手段４を前記下方位置に下降させることにより、中継搬送部５ｃに備えられた送風式支持手段３に支持されるガラス基板２の下面に対して非接触状態（一方の推進力付与部４ａは非接触し他方の推進力付与部は接触する状態）となって副搬送状態となる。
【００４４】
次に、図１の矢印Ａに示すような主搬送、矢印Ｂで示すような分岐搬送、矢印Ｃで示すような合流搬送を行なう場合について説明する。
まず、矢印Ａに示すようにガラス基板２を搬送する場合では、図１５（イ）、図１６（イ）に示すように、中継搬送部５ｃに備えられた推進力付与手段４を上方位置に上昇させて中継搬送部５ｃを主搬送状態とし、補助推進手段６をガラス基板２の下面２ａの接触支持を解除すべく下降させておく。この状態で推進力付与手段４を作動させてガラス基板２に主搬送方向の推進力を付与して、ガラス基板２を搬送上手側の主搬送部５ａから中継搬送部５ｃに搬入し、その搬入したガラス基板２を搬送方向を変えずに搬送下手側の主搬送部５ａに搬出する。
【００４５】
また、矢印Ｂに示すようにガラス基板２を搬送する場合では、図１５（イ）、図１６（イ）に示すように、中継搬送部５ｃに備えられた推進力付与手段４を上方位置に上昇させて中継搬送部５ｃを主搬送状態とし、補助推進手段６を主搬送状態におけるガラス基板２の下面２ａの接触支持を解除すべく下降させておく。この状態で主搬送部５ａに備えさせた推進力付与手段４と中継搬送部５ｃに備えさせた推進力付与手段４とを作動させてガラス基板２に主搬送方向の推進力を付与して、ガラス基板２を主搬送部５ａから中継搬送部５ｃに搬入し、その搬入したガラス基板２が中継搬送部５ｃの所定の位置まで搬送されたことが前記検出センサにて検出されると推進力付与手段４の作動を停止させる。
【００４６】
その後、補助推進手段６を上昇させて、補助推進手段６にて主搬送状態におけるガラス基板２の下面２ａを接触支持して、主搬送状態において送風式支持手段３にて非接触状態で支持されたガラス基板２を推進力付与手段４と補助推進手段６とで接触支持する。そして、中継搬送部５ｃに備えられた推進力付与手段４を下方位置に下降させて、推進力付与手段４のガラス基板２の下面２ａに対する接触支持を解除して、中継搬送部５ｃを図１５（ロ）、図１６（ロ）に示すような副搬送状態として、副搬送状態において送風式支持手段３にて非接触状態で支持されたガラス基板２の下面２ａを他方の推進力付与部４ａと補助推進手段６とで接触支持する。
この副搬送状態において補助推進手段６と主搬送部５ａに備えられた推進力付与手段４とを作動させてガラス基板２に副搬送方向の推進力を付与して、ガラス基板２を中継搬送部５ｃから副搬送部５ｂに搬出する。
【００４７】
最後に、矢印Ｃに示すようにガラス基板２を搬送する場合では、図１５（ロ）、図１６（ロ）に示すように、中継搬送部５ｃに備えられた推進力付与手段４を下方位置に下降させて中継搬送部５ｃを副搬送状態とし、補助推進手段６を副搬送状態においてガラス基板２を接触支持すべく上昇させておく。この状態で補助推進手段６と副搬送部５ｂに備えられた推進力付与手段４とを作動させてガラス基板２に副搬送方向の推進力を付与してガラス基板２を副搬送部５ｂから中継搬送部５ｃに搬入し、その搬入したガラス基板２が中継搬送部５ｃの所定の位置まで搬送されたことが前記検出センサにて検出されると補助推進手段６の作動を停止させる。
【００４８】
その後、図１５（イ）、図１６（イ）に示すように、中継搬送部５ｃに備えられた推進力付与手段４を上方位置に上昇させて中継搬送部５ｃを主搬送状態とし、送風式支持手段３に非接触状態で支持されたガラス基板２を推進力付与手段４と補助推進手段６とで接触支持する。そして、補助推進手段６を下降させて補助推進手段６のガラス基板２の下面２ａに対する接触支持を解除して、主搬送状態において送風式支持手段３にて非接触状態で支持されたガラス基板２を推進力付与手段４にのみで接触支持する。
この主搬送状態において主搬送部５ａに備えられた推進力付与手段４と中継搬送部５ｃに備えられた推進力付与手段４とを作動させてガラス基板２に主搬送方向の推進力を付与し、ガラス基板２を中継搬送部５ｃから副搬送部５ｂに搬出する。
【００４９】
〔別実施の形態〕
（１）  上記第１、第２実施の形態では、補助推進手段６を、タイミングベルト３６等を備えてガラス基板２の下面２ａを接触支持して推進力を付与するように構成したが、ガラス基板２における横幅方向の一方側の側面、つまりは、副搬送方向の搬送上手側の側面に接当する状態で副搬送方向に移動することにより、ガラス基板２に対して副搬送方向での推進力を付与する押し部材４３を備えて構成してもよい。
【００５０】
上記第１実施の形態に採用した場合を例に挙げて説明すると、図１８に示すように、ケース体７を送風式支持手段３の上方を覆うカバー体４６を備えて構成し、そのカバー体４６に、駆動機構４７により補助推進手段６を副搬送方向に沿って移動操作可能に支持されている。その補助推進手段６は、図１９に示すように、副搬送方向に移動する本体部４４と、この本体部４４に支持された前記押し部材４３と、同じく本体部４５に支持されて、ガラス基板２の前後方向への位置ずれをガラス基板２の前後の側面に接当することにより規制する規制部材４５と、規制部材４５を副搬送方向に沿って移動させる前記駆動機構４７を備えて構成する。
そして、図１９に示すように、整風板１５には副搬送方向に沿って形成された凹入部１５ｃが形成され、副搬送状態においては整風板１５の上面より押し部材４３の下端が下方に位置するように構成し、補助推進手段６が副搬送方向に移動する際には、押し部材４３の一部が凹入部１５ｃに入り込む状態で移動させ、副搬送状態での送風式支持手段３にて支持されるガラス基板の搬送上手側の側面を確実に接当するように構成してもよい。
【００５１】
（２）  上記各実施の形態では、中継搬送部５ｃの主搬送方向の搬送上手側と搬送下手側との両側に主搬送部５ａを設け、中継搬送部５ｃの副搬送方向の搬送上手側と搬送下手側とのうちの一方に副搬送部５ｂを設けたが、図２０に示すように、主搬送方向の搬送下手側に主搬送部５ａを設けなかったり、図２１に示すように、副搬送方向の搬送上手側と搬送下手側との両側に副搬送部５ｂを設ける等、適宜変更してもよい。
【００５２】
（３）  上記各実施の形態では、中継搬送部５ｃに備えさせた前記推進力付与手段４を、主搬送方向に沿ってガラス基板２を正移動させるべく推進力を付与するように構成し、副推進手段６を、副搬送方向に沿ってガラス基板２を正移動させるべく推進力を付与するように構成したが、中継搬送部５ｃに備えさせた推進力付与手段５ｃを、主搬送方向に沿ってガラス基板２を正逆移動させるように推進力を付与可能に構成し、補助推進手段６を、副搬送方向に沿ってガラス基板２を正逆移動させるように推進力を付与可能に構成してもよい。
つまり、第１実施の形態を例に挙げて説明すると、図１に示す矢印Ａや矢印Ｂ、矢印Ｃにて示す方向とは逆方向にガラス基板２を搬送できるように構成することができる。また、１つの中継搬送部５ｃにおいて矢印Ｂに示す分岐搬送と矢印Ｃに示す合流搬送との両方を行えるように構成することもできる。
【００５３】
（４）  上記各実施の形態では、中継搬送部５ｃにおける送風式支持部３と中継搬送部５ｃにおける主推進力付与部４とのうちのいずれか一方を昇降操作することによる相対昇降により、中継搬送部５ｃを主搬送状態と副搬送状態とに切り換えるように構成したが、中継搬送部５ｃにおける送風式支持部３と中継搬送部５ｃにおける主推進力付与部４との両方を昇降操作することにより相対昇降させて、中継搬送部５ｃを主搬送状態と副搬送状態とに切り換えるように構成してもよい。
【００５４】
（５）  上記第２実施の形態では、中継搬送部５ｃに備えられた推進力付与手段４における一方の推進力付与部４ａを昇降操作自在に構成したが、一対の推進力付与部４ａの両方を昇降操作自在に構成してもよい。
【００５５】
（６）  上記各実施の形態では、推進付与部４ａを、複数の駆動ローラを備えて構成したが、タイミングベルト等の無端帯状体にて構成してもよい。また、第１実施の形態では、補助推進手段６を、タイミングベルト３６を備えて構成したが、複数のローラ体を備えて構成してもよい。
【００５６】
（７）  上記各実施の形態では、除塵フィルタ１２と送風ファン１３とを一体的に組付けたファンフィルタユニット１４を例示したが、必ずしも除塵フィルタ１２と送風ファン１３とを一体的に取り付ける必要はなく、送風ファン１３にて送風される空気を除塵フィルタ１２に案内する案内路などを設けて、除塵フィルタ１２と送風ファン１３とを別体にて構成して実施することも可能である。
【００５７】
（８）  上記実施の形態では、搬送物として、液晶用のガラス基板２としたが、半導体のウェハ等でもよく、搬送物の形状や大きさは実施形態に限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】第１実施の形態における搬送装置の平面図
【図２】第１実施の形態における中継搬送部の斜視図
【図３】第１実施の形態における中継搬送部の正面図
【図４】第１実施の形態における中継搬送部の一部拡大図
【図５】第１実施の形態における中継搬送部の側面図
【図６】第１実施の形態における推進力付与手段の側面図
【図７】第１実施の形態における推進力付与手段の正面図
【図８】第１実施の形態における推進力付与手段の一部拡大側面図
【図９】第１実施の形態における補助推進手段の側面図
【図１０】第１実施の形態における主搬送部の斜視図
【図１１】第１実施の形態における中継搬送部の主搬送状態と副搬送状態とを示す側面図
【図１２】第１実施の形態における中継搬送部の主搬送状態と副搬送状態とを示す正面図
【図１３】第２実施の形態における中継搬送部の側面図
【図１４】第２実施の形態における推進力付与手段の正面図
【図１５】第２実施の形態における中継搬送部の主搬送状態と副搬送状態とを示す側面図
【図１６】第２実施の形態における中継搬送部の主搬送状態と副搬送状態とを示す正面図
【図１７】別実施の形態（１）における搬送装置の平面図
【図１８】別実施の形態（１）における中継搬送部の主搬送状態と副搬送状態とを示す正面図
【図１９】別実施の形態（１）における補助推進手段と整風板との高さ関係を示す図
【図２０】別実施の形態（２）における搬送装置の平面図
【図２１】別実施の形態（２）における搬送装置の平面図
【符号の説明】
【００５９】
２    ガラス基板（搬送物）
２ｃ  下面
３    送風式支持手段
４    推進力付与手段
４ａ  推進力付与部
５ａ  主搬送部
５ｂ  副搬送部
５ｃ  中継搬送部
１２    除塵フィルタ
１３    送風ファン（送風装置）
１４    ファンフィルタユニット（送風ユニット）
４３    押し部材
【図１】
2005145650.tif 000003
【図２】
2005145650.tif 000004
【図３】
2005145650.tif 000005
【図４】
2005145650.tif 000006
【図５】
2005145650.tif 000007
【図６】
2005145650.tif 000008
【図７】
2005145650.tif 000009
【図８】
2005145650.tif 000010
【図９】
2005145650.tif 000011
【図１０】
2005145650.tif 000012
【図１１】
2005145650.tif 000013
【図１２】
2005145650.tif 000014
【図１３】
2005145650.tif 000015
【図１４】
2005145650.tif 000016
【図１５】
2005145650.tif 000017
【図１６】
2005145650.tif 000018
【図１７】
2005145650.tif 000019
【図１８】
2005145650.tif 000020
【図１９】
2005145650.tif 000021
【図２０】
2005145650.tif 000022
【図２１】
2005145650.tif 000023