(57)【要約】【課題】ベーンロータリ型真空ポンプの駆動部からポンプ部への気体の洩れを防ぐためにポンプ部と駆動部をつなぐシャフトにシール部品を取りつけているが、ポンプが大きくなり、かつコストＵＰになる課題があった。【解決手段】フロントプレート１１４とロータ１１２、または、リアプレート１１５とロータ１１２のそれぞれが対抗するいずれかの面で、ロータ１１２のスリット１１６に臨まない位置にそれぞれ環状溝１３１，１３４，１４１，１４３，１５１，１６１を設け、吐出ポート１１８に臨むポンプ空間１３２と溝１３３，１３５，１４２，１４４，１５２，１６２でそれぞれ連通させることにより、環状溝の圧力は吐出圧力とほぼ同じになって、大気圧空間２２０からポンプ空間１２０への気体の洩れ込みを防止でき、回転軸のシール部材が不要となって、小型で安価なベーンロータリ真空ポンプを提供することができる。【選択図】図１
2005330896.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポンプ機構部と駆動モータとが並設され、円筒状内面を有するシリンダと、該シリンダ内にその中心軸から偏心させた状態で配置され複数のベーンスリットを有する円筒状のロータと、該ロータと一体的に回転する回転軸と、前記複数のベーンスリットに摺動自在に挿入され自己潤滑性を有する材質よりなる板状のベーンと、前記ロータと前記ベーンを挟み込むように前記シリンダの前記駆動モータ側の端面に取り付けられたリアプレートと前記駆動モータ側とは反対の端面に取りつけられたフロントプレートとにより前記ポンプ機構部を構成して、該ポンプ機構部に複数のポンプ空間を形成し、前記回転軸を前記駆動モータで駆動することにより前記ポンプ空間の容積を変化させるようにし、前記ポンプ空間に臨む吸入ポートと吐出ポートを設けたベーンロータリ型真空ポンプであって、
前記ベーンスリットより中心に位置するように前記ロータに臨む前記リアプレートの面に環状溝を備え、前記環状溝は前記吐出ポートに臨む前記ポンプ空間に連通したことを特徴とするベーンロータリ型真空ポンプ。
【請求項２】
前記ベーンスリットより中心に位置するように前記ロータに臨む前記フロントプレートの面に環状溝を備え、前記環状溝は前記吐出ポートに臨む前記ポンプ空間に連通したことを特徴とする請求項１に記載のベーンロータリ型真空ポンプ。
【請求項３】
ポンプ機構部と駆動モータとが並設され、円筒状内面を有するシリンダと、該シリンダ内にその中心軸から偏心させた状態で配置され複数のベーンスリットを有する円筒状のロータと、該ロータと一体的に回転する回転軸と、前記複数のベーンスリットに摺動自在に挿入され自己潤滑性を有する材質よりなる板状のベーンと、前記ロータと前記ベーンを挟み込むように前記シリンダの前記駆動モータ側の端面に取り付けられたリアプレートと前記駆動モータ側とは反対の端面に取りつけられたフロントプレートとにより前記ポンプ機構部を構成して、該ポンプ機構部に複数のポンプ空間を形成し、前記回転軸を前記駆動モータで駆動することにより前記ポンプ空間の容積を変化させるようにし、前記ポンプ空間に臨む吸入ポートと吐出ポートを設けたベーンロータリ型真空ポンプであって、
前記ベーンスリットより中心に位置するように前記リアプレートに臨む前記ロータ端面に環状溝を備え、前記環状溝は前記吐出ポートに臨む前記ポンプ空間に連通したことを特徴とするベーンロータリ型真空ポンプ。
【請求項４】
前記ベーンスリットより中心に位置するように前記フロントプレートに臨む前記ロータ端面に環状溝を備え、前記環状溝は前記吐出ポートに臨む前記ポンプ空間に連通したことを特徴とする請求項３に記載のベーンロータリ型真空ポンプ。
【請求項５】
ポンプ機構部と駆動モータとが並設され、円筒状内面を有するシリンダと、該シリンダ内にその中心軸から偏心させた状態で配置され複数のベーンスリットを有する円筒状のロータと、該ロータと一体的に回転する回転軸と、前記複数のベーンスリットに摺動自在に挿入され自己潤滑性を有する材質よりなる板状のベーンと、前記ロータと前記ベーンを挟み込むように前記シリンダの前記駆動モータ側の端面に取り付けられたリアプレートと前記駆動モータ側とは反対の端面に取りつけられたフロントプレートとにより前記ポンプ機構部を構成して、該ポンプ機構部に複数のポンプ空間を形成し、前記回転軸を前記駆動モータで駆動することにより前記ポンプ空間の容積を変化させるようにし、前記ポンプ空間に臨む吸入ポートと吐出ポートを設けたベーンロータリ型真空ポンプであって、
前記リアプレートの前記回転軸に臨む面に環状溝を設け、前記環状溝は前記吐出ポートに臨む前記ポンプ空間に連通したことを特徴とするベーンロータリ型真空ポンプ。
【請求項６】
ポンプ機構部と駆動モータとが並設され、円筒状内面を有するシリンダと、該シリンダ内にその中心軸から偏心させた状態で配置され複数のベーンスリットを有する円筒状のロー
タと、該ロータと一体的に回転する回転軸と、前記複数のベーンスリットに摺動自在に挿入され自己潤滑性を有する材質よりなる板状のベーンと、前記ロータと前記ベーンを挟み込むように前記シリンダの前記駆動モータ側の端面に取り付けられたリアプレートと前記駆動モータ側とは反対の端面に取りつけられたフロントプレートとにより前記ポンプ機構部を構成して、該ポンプ機構部に複数のポンプ空間を形成し、前記回転軸を前記駆動モータで駆動することにより前記ポンプ空間の容積を変化させるようにし、前記ポンプ空間に臨む吸入ポートと吐出ポートを設けたベーンロータリ型真空ポンプであって、
前記回転軸の前記リアプレートに臨む面に環状溝を設け、前記環状溝は前記吐出ポートに臨む前記ポンプ空間に連通したことを特徴とするベーンロータリ型真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は真空ポンプに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のベーンロータリ型真空ポンプを図７の（ａ）と（ｂ）により説明する（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
この従来のベーンロータリ型真空ポンプは、ポンプ機構部とモータなどの駆動部（図示せず）とで構成されている。ポンプ機構部はシリンダ１内に偏心したロータ２が収納され、このロータ２にはシリンダ１の内周面３に摺動する複数個のベーン４が半径方向に摺動自在に設けられている。駆動軸７は転がり軸受け８により支持されている。また、エンドプレート５と駆動軸７にはシール部品９が設けられ、大気圧に置かれている駆動部からポンプ部へ気体が洩れこまないようになっている。シール部品９は、駆動軸７が回転することにより駆動軸７との接触部が摺動する。
【０００４】
上記構成により、シリンダ１とロータ２とベーン４とエンドプレート５によって囲まれた室６の気体を、モータなどの駆動部から駆動軸７を介してロータ２が回転することにより吸入ポートから吸入し、吐出ポートへ吐出される。
【特許文献１】実開昭５６−８３６８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、前記従来の構成では、シール部品７があることにより、真空ポンプの大きさが大きくなったり、シール部品７を取りつけることにより、真空ポンプのコストが増大するという課題を有していた。
【０００６】
本発明は、前記従来の課題を解決するもので、小型で安価なベーンロータリ真空ポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記従来の課題を解決するために、本発明のベーンロータリ小型真空ポンプは、ポンプ機構部と駆動モータとが並設され、円筒状内面を有するシリンダと、該シリンダ内にその中心軸から偏心させた状態で配置され複数のベーンスリットを有する円筒状のロータと、該ロータと一体的に回転する回転軸と、前記複数のベーンスリットに摺動自在に挿入され自己潤滑性を有する材質よりなる板状のベーンと、前記ロータと前記ベーンを挟み込むように前記シリンダの前記駆動モータ側の端面に取り付けられたリアプレートと前記駆動モータ側とは反対の端面に取りつけられたフロントプレートとにより前記ポンプ機構部を構成して、該ポンプ機構部に複数のポンプ空間を形成し、前記回転軸を前記駆動モータで駆動することにより前記ポンプ空間の容積を変化させるようにし、前記ポンプ空間に臨む吸入ポートと吐出ポートを設けたベーンロータリ型真空ポンプとして構成し、前記ベーンスリットより中心に位置するように前記ロータに臨む前記リアプレートの面に環状溝を備え、前記環状溝は前記吐出ポートに臨む前記ポンプ空間に連通したものである。
【０００８】
これによって前記環状溝の圧力は大気圧より高くなり、大気圧に置かれている駆動部からポンプ部の大気圧より低い圧力となるポンプ空間へ気体が洩れこむことがなくなる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明のベーンロータリ型真空ポンプは、高価なシール部品を用いずに、大気圧に置かれている駆動モータ部からポンプ機構部への気体の洩れ込みを防ぐことができ、小型で安価なベーンロータリ真空ポンプを構成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
第１の発明はポンプ機構部と駆動モータとが並設され、円筒状内面を有するシリンダと、該シリンダ内にその中心軸から偏心させた状態で配置され複数のベーンスリットを有する円筒状のロータと、該ロータと一体的に回転する回転軸と、前記複数のベーンスリットに摺動自在に挿入され自己潤滑性を有する材質よりなる板状のベーンと、ロータとベーンを挟み込むようにシリンダの駆動モータ側の端面に取り付けられたリアプレートと駆動モータ側とは反対の端面に取りつけられたフロントプレートとによりポンプ機構部を構成して、該ポンプ機構部に複数のポンプ空間を形成し、回転軸を駆動モータで駆動することにより前記ポンプ空間の容積を変化させるようにし、ポンプ空間に臨む吸入ポートと吐出ポートを設けたベーンロータリ型真空ポンプにおいて、ベーンスリットより中心に位置するようにロータに臨むリアプレートの面に環状溝を備え、その環状溝を吐出ポートに臨むポンプ空間に連通したことにより、環状溝の圧力は大気圧より高くなり大気圧に置かれている駆動部からポンプ部の大気圧より低い圧力となるポンプ空間へ気体が洩れこむことがなくなる。
【００１１】
第２の発明は、特に、第１の発明に加えてベーンスリットより中心に位置するようにロータに臨むフロントプレートの面に環状溝を備え、その環状溝は吐出ポートに臨む前記ポンプ空間に連通したことにより、環状溝の圧力は大気圧より高くなり大気圧に置かれている駆動部からロータと駆動軸の隙間を通ってポンプ部の大気圧より低い圧力となるポンプ空間へ気体が洩れこむことがなくなる。
【００１２】
第３の発明は、ポンプ機構部と駆動モータとが並設され、円筒状内面を有するシリンダと、該シリンダ内にその中心軸から偏心させた状態で配置され複数のベーンスリットを有する円筒状のロータと、該ロータと一体的に回転する回転軸と、複数のベーンスリットに摺動自在に挿入され自己潤滑性を有する材質よりなる板状のベーンと、ロータとベーンを挟み込むようにシリンダの駆動モータ側の端面に取り付けられたリアプレートと駆動モータ側とは反対の端面に取りつけられたフロントプレートとによりポンプ機構部を構成して、該ポンプ機構部に複数のポンプ空間を形成し、回転軸を駆動モータで駆動することにより前記ポンプ空間の容積を変化させるようにし、前記ポンプ空間に臨む吸入ポートと吐出ポートを設けたベーンロータリ型真空ポンプにおいて、ベーンスリットより中心に位置するようにリアプレートに臨むロータ端面に環状溝を備え、その環状溝を吐出ポートに臨むポンプ空間に連通したことにより、環状溝の圧力は大気圧より高くなり大気圧に置かれている駆動部からポンプ部の大気圧より低い圧力となるポンプ空間へ気体が洩れこむことがなくなる。
【００１３】
第４の発明は、特に、第３の発明に加えてベーンスリットより中心に位置するようにフロントプレートに臨むロータ端面に環状溝を備え、その環状溝を吐出ポートに臨むポンプ空間に連通したことにより環状溝の圧力は大気圧より高くなり大気圧に置かれている駆動部からロータと駆動軸の隙間を通ってポンプ部の大気圧より低い圧力となるポンプ空間へ気体が洩れこむことがなくなる。
【００１４】
第５の発明は、ポンプ機構部と駆動モータとが並設され、円筒状内面を有するシリンダと、該シリンダ内にその中心軸から偏心させた状態で配置され複数のベーンスリットを有する円筒状のロータと、該ロータと一体的に回転する回転軸と、複数のベーンスリットに摺動自在に挿入され自己潤滑性を有する材質よりなる板状のベーンと、ロータとベーンを挟み込むようにシリンダの駆動モータ側の端面に取り付けられたリアプレートと駆動モー
タ側とは反対の端面に取りつけられたフロントプレートとによりポンプ機構部を構成して、該ポンプ機構部に複数のポンプ空間を形成し、回転軸を駆動モータで駆動することによりポンプ空間の容積を変化させるようにし、ポンプ空間に臨む吸入ポートと吐出ポートを設けたベーンロータリ型真空ポンプにおいて、リアプレートの回転軸に臨む面に環状溝を設け、その環状溝は吐出ポートに臨むポンプ空間に連通したことにより、環状溝の圧力は大気圧より高くなり大気圧に置かれている駆動部からポンプ部の大気圧より低い圧力となるポンプ空間へ気体が洩れこむことがなくなる。
【００１５】
第６の発明は、ポンプ機構部と駆動モータとが並設され、円筒状内面を有するシリンダと、該シリンダ内にその中心軸から偏心させた状態で配置され複数のベーンスリットを有する円筒状のロータと、該ロータと一体的に回転する回転軸と、複数のベーンスリットに摺動自在に挿入され自己潤滑性を有する材質よりなる板状のベーンと、ロータとベーンを挟み込むようにシリンダの駆動モータ側の端面に取り付けられたリアプレートと駆動モータ側とは反対の端面に取りつけられたフロントプレートとによりポンプ機構部を構成して、該ポンプ機構部に複数のポンプ空間を形成し、回転軸を駆動モータで駆動することによりポンプ空間の容積を変化させるようにし、ポンプ空間に臨む吸入ポートと吐出ポートを設けたベーンロータリ型真空ポンプにおいて、回転軸のリアプレートに臨む面に環状溝を設け、環状溝を吐出ポートに臨むポンプ空間に連通したことにより、環状溝の圧力は大気圧より高くなり大気圧に置かれている駆動部からポンプ部の大気圧より低い圧力となるポンプ空間へ気体が洩れこむことがなくなる。
【００１６】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、この実施の形態によって本発明が限定されるものではない。
【００１７】
（実施の形態１）
図１（ａ）は、本発明の実施の形態１におけるベーンロータリ型真空ポンプの正面断面図で、同（ｂ）はそのポンプ機構部の側面断面図である。
【００１８】
図１（ａ），（ｂ）において、本発明のベーンロータリ型真空ポンプは、ポンプ機構部１００とモータ部２００と冷却回路部３００により構成されている。
【００１９】
ポンプ機構部１００は、筒状内壁を有するシリンダ１１１と、円筒形状のロータ１１２と、自己潤滑性材質よりなるベーン１１３と、これらを挟み込んで複数のポンプ空間１２０を形成させるフロントプレート１１４とリアプレート１１５とから構成されている。ロータ１１２はシリンダ１１１の中心軸から偏心した状態で配置され、このロータ１１２の中心軸方向に設けられた複数のスリット１１６に、ベーン１１３が摺動可能な状態で嵌合されている。そしてこれらの両側には、フロントプレート１１４とリアプレート１１５が隣接配置され、ポンプ空間１２０を形成している。フロントプレートには吸入ポート１１７と吐出ポート１１８が設けられている。
【００２０】
またロータ１１２の中心軸にはメカシャフト１１９が備えられており、このメカシャフトが回転することで、ロータ１１２も一体となって回転し、それに伴ってベーン１１３がスリット１１６の内部で移動する。運転中はベーン１１３の先端がシリンダ１１１の内壁と接触回転することにより、ポンプ空間１２０が仕切られ、吸入ポート１１７から吸入され、圧縮を経た後、吐出ポート１１８から吐出され、一連の動作を繰り返し、ポンプ機能を果たしている。
【００２１】
モータ部２００は、ステータ２１１とモータロータ２１２とモータケーシング２１３とから構成されている。ステータ２１４はリアプレート１１５とモータケーシング２１３で両側から挟み込まれ、その内部にモータロータ２１２を備えている。モータロータ２１２
の中心軸にはモータシャフト２１４が備えられており、その両端は転がり軸受２１５及び２１６により支持されている。またモータシャフト２１４とメカシャフト１１９は一体型となっており、モータロータ２１２の回転が直接ロータ１１２の回転となるため、動力の伝達ロスは発生しない。
【００２２】
冷却回路部３００は、冷却ファン３１１とエアーガイド３１２から構成されている。モータシャフト２１４の反ポンプ機構側端部に冷却ファン３１１を取り付け、その周りをエアーガイド３１２で囲い、風の分散を防いでいる。またモータケーシング２１３の軸方向端面には複数の貫通穴が設けられており、風回路を形成することでモータ部２００の冷却を行っている。
【００２３】
ここで、リアプレート１１５のロータ１１２側の面には、スリット１１６に臨まない中心側位置に環状溝１３１が設けられている。また環状溝１３１は、吐出ポート１１８に臨むポンプ空間１３２と溝１３３で連通している。
【００２４】
この構成によって環状溝１３１の圧力は吐出圧力とほぼ同じになり、この圧力は大気圧空間２２０の圧力とほぼ同等もしくは若干高めになるため、大気圧空間２２０から転がり軸受け２１５、リアプレート１１５とメカシャフト１１９の隙間、リアプレート１１５とロータ１１２の隙間を経路としたポンプ空間１２０への気体の洩れ込みはシール部材を使用することなく防止できる。
【００２５】
（実施の形態２）
図２（ａ）は、本発明の実施の形態２におけるベーンロータリ型真空ポンプの正面断面図で、同（ｂ）はそのポンプ機構部の側面断面図である。ここでは実施の形態１との相違点のみを説明する。
【００２６】
フロントプレート１１４のロータ１１２側の面にも、スリット１１６に臨まない中心側位置に環状溝１３４が設けられている。また環状溝１３４は、吐出ポート１１８に臨むポンプ空間１３２と溝１３５で連通している。
【００２７】
この構成によって環状溝１３４の圧力は吐出圧力とほぼ同じになり、この圧力は大気圧空間２２０の圧力とほぼ同等もしくは若干高めになるため、大気圧空間２２０から転がり軸受け２１５、リアプレート１１５とメカシャフト１１９の隙間、ロータ１１２とメカシャフト１１９の隙間、フロントプレート１１４とロータ１１２の隙間を経路としたポンプ空間１２０への気体の洩れ込みはシール部材を使用することなく防止できる。
【００２８】
（実施の形態３）
図３（ａ）は、本発明の実施の形態３におけるベーンロータリ型真空ポンプの正面断面図で、同（ｂ）はそのポンプ機構部の側面断面図である。
【００２９】
ベーンロータリ型真空ポンプの基本構成は実施の形態１で説明しているので省略する。図３（ａ），（ｂ）において、本発明のベーンロータリ型真空ポンプは、ロータ１１２のリアプレート１１５側の面に環状溝１４１が設けられている。また環状溝１４１は吐出ポート１１８に臨むポンプ空間１３２とリアプレート１１５に設けられた溝１４２で連通している。
【００３０】
この構成によって環状溝１４１の圧力は吐出圧力とほぼ同じになり、この圧力は大気圧空間２２０の圧力とほぼ同等もしくは若干高めになるため、大気圧空間２２０から転がり軸受け２１５、リアプレート１１５とメカシャフト１１９の隙間、リアプレート１１５とロータ１１２の隙間を経路としたポンプ空間１２０への気体の洩れ込みはシール部材を使
用することなく防止できる。
【００３１】
（実施の形態４）
図４（ａ）は、本発明の実施の形態４におけるベーンロータリ型真空ポンプの正面断面図で、同（ｂ）はそのポンプ機構部の側面断面図である。ここでは実施の形態３との相違点のみを説明する。
【００３２】
ロータ１１２のフロントプレート１１４側の面には環状溝１４３が設けられている。また環状溝１４３は、吐出ポート１１８に臨むポンプ空間１３２とフロントプレート１１４に設けられた溝１４４で連通している。
【００３３】
この構成によって環状溝１４３の圧力は吐出圧力とほぼ同じになり、この圧力は大気圧空間２２０の圧力とほぼ同等もしくは若干高めになるため、大気圧空間２２０から転がり軸受け２１５、リアプレート１１５とメカシャフト１１９の隙間、ロータ１１２とメカシャフト１１９の隙間、フロントプレート１１４とロータ１１２の隙間を経路としたポンプ空間１２０への気体の洩れ込みはシール部材を使用することなく防止できる。
【００３４】
（実施の形態５）
図５（ａ）は、本発明の実施の形態５におけるベーンロータリ型真空ポンプの正面断面図で、同（ｂ）はそのポンプ機構部の側面断面図である。
【００３５】
ベーンロータリ型真空ポンプの基本構成は実施の形態１で説明しているので省略する。図５において、本発明のベーンロータリ型真空ポンプは、リアプレート１１５のメカシャフト１１９に臨む面に環状溝１５１が設けられている。また環状溝１５１は吐出ポート１１８に臨むポンプ空間１３２とリアプレート１１５に設けられた溝１５２で連通している。
【００３６】
この構成によって環状溝１５１の圧力は吐出圧力とほぼ同じになり、この圧力は大気圧空間２２０の圧力とほぼ同等もしくは若干高めになるため、大気圧空間２２０から転がり軸受け２１５を経路としたポンプ空間１２０への気体の洩れ込みはシール部材を使用することなく防止できる。
【００３７】
（実施の形態６）
図６（ａ）は、本発明の実施の形態６におけるベーンロータリ型真空ポンプの正面断面図で、同（ｂ）はそのポンプ機構部の側面断面図である。
【００３８】
ベーンロータリ型真空ポンプの基本構成は実施の形態１で説明しているので省略する。図６において、本発明のベーンロータリ型真空ポンプは、メカシャフト１１９のリアプレート１１５に臨む面に環状溝１６１が設けられている。また環状溝１６１は吐出ポート１１８に臨むポンプ空間１３２とリアプレート１１５に設けられた溝１６２で連通している。
【００３９】
この構成によって環状溝１６１の圧力は吐出圧力とほぼ同じになり、この圧力は大気圧空間２２０の圧力とほぼ同等もしくは若干高めになるため、大気圧空間２２０から転がり軸受け２１５を経路としたポンプ空間１２０への気体の洩れ込みはシール部材を使用することなく防止できる。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
以上のように、本発明にかかるベーンロータリ真空ポンプはモータ駆動部からポンプ機構部への気体の洩れ込みがシール部材を用いずに防止できるため、真空ポンプ以外のポン
プ等の用途にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】（ａ）本発明の実施の形態１におけるベーンロータリ真空ポンプの正面断面図（ｂ）同ポンプ機構部の側面断面図
【図２】（ａ）本発明の実施の形態２におけるベーンロータリ真空ポンプの正面断面図（ｂ）同ポンプ機構部の側面断面図
【図３】（ａ）本発明の実施の形態３におけるベーンロータリ真空ポンプの正面断面図（ｂ）同ポンプ機構部の側面断面図
【図４】（ａ）本発明の実施の形態４におけるベーンロータリ真空ポンプの正面断面図（ｂ）同ポンプ機構部の側面断面図
【図５】（ａ）本発明の実施の形態５におけるベーンロータリ真空ポンプの正面断面図（ｂ）同ポンプ機構部の側面断面図
【図６】（ａ）本発明の実施の形態６におけるベーンロータリ真空ポンプの正面断面図（ｂ）同ポンプ機構部の側面断面図
【図７】（ａ）従来のベーンロータリ真空ポンプの正面断面図（ｂ）同ポンプ機構部の側面断面図
【符号の説明】
【００４２】
１００  ポンプ機構部
１１１  シリンダ
１１２  ロータ
１１３  ベーン
１１４  フロントプレート
１１５  リアプレート
１１６  スリット
１１７  吸入ポート
１１８  吐出ポート
１１９  メカシャフト
１２０  ポンプ空間
１３１、１３４、１４１、１４３、１５１、１６１  環状溝
１３２  ポンプ空間
１３３、１３５、１４２、１４４、１５２、１６２  溝
２００  モータ部
【図１】
2005330896.tif 000003
【図２】
2005330896.tif 000004
【図３】
2005330896.tif 000005
【図４】
2005330896.tif 000006
【図５】
2005330896.tif 000007
【図６】
2005330896.tif 000008
【図７】
2005330896.tif 000009