(57)【要約】【課題】  ケース内に収納されたセンシング部に圧力導入部から圧力を導入するとともに、この圧力導入部をシールリングを介して被測定部材へ取り付けるようになっている圧力センサにおいて、被測定部材への組み付け時におけるシールリングの脱落および損傷を防止する。【解決手段】  被測定部材２００からセンシング部へ圧力を導入するための圧力導入部１２ｂ、１３ｂにおける取付面１２ｃ、１３ｃには、シールリング１３０を収納するリング状の溝１４０が設けられ、圧力導入部１２ｂ、１３ｂはシールリング１３０を介して被測定部材２００に取り付けられ、溝１４０の側面には突起部１４１が形成されており、この突起部１４１においてシールリング１３０の一部が溝１４０に対して圧入されることにより、シールリング１３０は溝１４０内に保持されるようになっている。【選択図】        図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力検出用のセンシング部（２０）と、
リング状のシールリング（１３０）を介して被測定部材（２００）に取り付けられ、前記被測定部材（２００）から前記センシング部（２０）へ圧力を導入するための圧力導入部（１２ｂ、１３ｂ）とを備え、
前記圧力導入部（１２ｂ、１３ｂ）における前記被測定部材（２００）への取付面（１２ｃ、１３ｃ）には、前記シールリング（１３０）を収納するリング状の溝（１４０）が設けられている圧力センサにおいて、
前記シールリング（１３０）の一部が前記溝（１４０）に対して圧入されることにより、前記シールリング（１３０）は前記溝（１４０）内に保持されるようになっていることを特徴とする圧力センサ。
【請求項２】
前記溝（１４０）の側面には、当該側面から突出する突起部（１４１）が形成されており、
当該突起部（１４１）において前記シールリング（１３０）の一部が、前記溝（１４０）に対して圧入されていることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項３】
前記溝（１４０）の側面に形成された前記突起部（１４１）の表面は、凸曲面形状となっていることを特徴とする請求項２に記載の圧力センサ。
【請求項４】
前記溝（１４０）の側面に形成された前記突起部（１４１）における前記取付面（１２ｃ、１３ｃ）側の面は、当該突起部（１４１）の根元側から先端側に向かって前記取付面（１２ｃ、１３ｃ）から離れる方向に傾斜したテーパ面（１４１ａ）となっていることを特徴とする請求項２または３に記載の圧力センサ。
【請求項５】
前記溝（１４０）の側面に形成された前記突起部（１４１）は、２個以上であることを特徴とする請求項２ないし４のいずれか１つに記載の圧力センサ。
【請求項６】
前記シールリング（１３０）の表面には、当該表面から突出する突起部（１３１）が形成されており、
前記シールリング（１３０）は、当該突起部（１３１）において前記溝（１４０）に対して圧入されていることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項７】
前記シールリング（１３０）の表面に形成された前記突起部（１３１）は、２個以上であることを特徴とする請求項６に記載の圧力センサ。
【請求項８】
前記溝（１４０）の側面には、当該側面から突出する突起部（１４１）が形成されており、
前記シールリング（１３０）の表面には、当該表面から突出する突起部（１３１）が形成されており、
前記溝（１４０）の側面に形成された前記突起部（１４１）および前記シールリング（１３０）の表面に形成された前記突起部（１３１）において、前記シールリング（１３０）が、前記溝（１４０）に対して圧入されていることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項９】
前記シールリング（１３０）のリング形状が真円形状であり、前記溝（１４０）のリング形状が楕円形状であることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１つに記載の圧力センサ。
【請求項１０】
前記シールリング（１３０）のリング形状が楕円形状であり、前記溝（１４０）のリング形状が真円形状であることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１つに記載の圧力センサ。
【請求項１１】
圧力検出用のセンシング部（２０）と、
リング状のシールリング（１３０）を介して被測定部材（２００）に取り付けられ、前記被測定部材（２００）から前記センシング部（２０）へ圧力を導入するための圧力導入部（１２ｂ、１３ｂ）とを備え、
前記圧力導入部（１２ｂ、１３ｂ）における前記被測定部材（２００）への取付面（１２ｃ、１３ｃ）には、前記シールリング（１３０）を収納するリング状の溝（１４０）が設けられている圧力センサにおいて、
前記シールリング（１３０）は、前記溝（１４０）に接着された状態で前記溝（１４０）内に保持されていることを特徴とする圧力センサ。
【請求項１２】
前記シールリング（１３０）は、前記溝（１４０）に接着されていることを特徴とする請求項１ないし１０のいずれか１つに記載の圧力センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ケース内に収納されたセンシング部に圧力導入部から圧力を導入するとともに、この圧力導入部にてシールリングを介して被測定部材へ取り付けられるようになっている圧力センサに関し、たとえばＥＧＲにおけるＥＧＲ管内の圧力を検出する圧力センサ等に適用することができる。
【背景技術】
【０００２】
近年、エミッション規制が強化され、特にディーゼルエンジンではＮＯｘやＰＭ（パティキュレートマター）を低減する必要が生じている。特にＮＯｘを低減するシステムとして、ＥＧＲ（Ｅｘｈａｕｓｔ  Ｇａｓ  Ｒｅｃｉｒｃｕｌａｔｉｏｎ、排気ガス再循環装置）が注目を集めている。
【０００３】
これは、排気ガスの一部を吸気側に戻して酸素濃度を低くすることでＮＯｘを減らすものである。このシステムでは、排気から吸気に戻す量をいかに制御するかが重要であり、流量を検出する方法として圧力センサが使用される。
【０００４】
このような圧力センサとしては、圧力検出用のセンシング部と、センシング部を収納するケースと、ケース外部からセンシング部へ圧力を導入するための圧力導入部とを備えるものが提案されている（たとえば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００２−２２１４６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、このような圧力センサを、被測定部材としてのＥＧＲ管に組み付ける場合、一般には、圧力センサは、その圧力導入部にてリング状のシールリングを介してＥＧＲ管に取り付けられる。
【０００６】
図９は、この圧力センサ９００のＥＧＲ管２００への組み付けの一般的な例を示す概略断面図であり、図１０は、図９中の圧力センサ９００における圧力導入部１２ｂ、１３ｂの取付面（つまりシール面）１２ｃ、１３ｃおよびシールリング１３０の形状を示す図である。
【０００７】
ここで、図１０において、（ａ）は圧力導入部１２ｂ、１３ｂの断面図、（ｂ）は取付面１２ｃ、１３ｃの平面図、（ｃ）は取付面１２ｃ、１３ｃに形成された溝１４０とシールリング１３０との寸法関係を示すための図である。
【０００８】
図９に示されるように、圧力センサ９００は、圧力検出用のセンシング部（図示せず）がケース１０に収納されており、このケース１０には、開口部を有する圧力導入部１２ｂ、１３ｂが設けられている。そして、圧力センサ９００は、ブラケット１１０を介してネジ締めされるなどにより、ＥＧＲ管２００に固定されている。
【０００９】
このとき、圧力導入部１２ｂ、１３ｂは、ゴム等の弾性材料からなるシールリング１３０を介してＥＧＲ管２００に取り付けられている。それにより、ＥＧＲ管２００内部からの圧力Ｐ１、Ｐ２が、圧力導入部１２ｂ、１３ｂの開口部を介してケース１０内部へ漏れなく導入され、上記センシング部へ導かれるようになっている。
【００１０】
そして、図１０に示されるように、圧力導入部１２ｂ、１３ｂにおけるＥＧＲ管２００への取付面１２ｃ、１３ｃには、シールリング１３０が収納されるリング状の溝１４０が設けられている。
【００１１】
ここで、ＥＧＲの流量を測定するためには、図９に示されるように、ＥＧＲ管２００内にオリフィス２１０を設け、このオリフィス２１０の前後の差圧を検出するのが一般的である。つまり、図９に示される圧力センサ９００は、差圧（相対圧）検出型の圧力センサ９００として構成されている。
【００１２】
ちなみに、図９に示されるように、圧力センサ９００との接続部分におけるＥＧＲ管２００の内部構成としては、オリフィス２１０の上流側圧力Ｐ１を導出する上流側圧力導出路２２０と、オリフィス２１０の下流側圧力Ｐ２を導出する下流側圧力導出路２３０とが設けられたものとなっている。
【００１３】
そして、上流側圧力導出路２２０は、圧力センサ９００の一方の圧力導入部１２ｂとシールリング１３０を介して連通し、下流側圧力導出路２３０は、圧力センサ９００の他方の圧力導入部１３ｂとシールリング１３０を介して連通している。
【００１４】
検出圧力は排気量やターボの有無にもよるが、排気圧の脈動ピークが最大３００ｋＰａに達するものもあるため、圧力センサとＥＧＲ管との接続には通常のゴムホース配管は使えない。そのため、図９に示されるように、シールリング１３０を使った圧力センサ９００の組み付け構造、いわゆるダイレクトマウント構造を採用している。
【００１５】
しかしながら、このダイレクトマウント構造では、圧力センサ９００をＥＧＲ管２００の搭載部にセットする際、シールリング１３０が下向きになる。そのため、図１０（ｃ）に示されるように、シールリング１３０の外径Ｄ１が溝１４０の外径Ｄ２以下であるような通常のＯリングシール構造では、シールリング１３０が溝１４０から脱落してしまうことになる。
【００１６】
この被測定部材への組み付け時におけるシールリング１３０の脱落を防止するため、従来では、図１１に示されるように、断面角形のシールリング１３０を用いた構造が採用されている。
【００１７】
図１１は、従来の断面角形のシールリング１３０を用いた溝１４０への圧入構造を示す概略断面図であり、（ａ）はシールリング１３０と溝１４０との寸法関係を示す図、（ｂ）はシールリング１３０を溝１４０へ圧入した後の状態を示す図、（ｃ）は圧力センサ９００を被測定部材２００へ組み付けた後の状態を示す図である。
【００１８】
この図１１に示されるように、従来では、シールリング１３０の断面を角形にするとともに、溝１４０の外径よりもシールリング１３０全体の外径を大きくする構造を採用している。
【００１９】
それにより、シールリング１３０の全体が溝１４０に押しつけられるように接した状態、つまり、シールリング１３０全体が溝１４０に対して軽い圧入状態となるような構造となり、シールリング１３０が溝１４０に保持され、脱落が防止される。
【００２０】
しかしながら、この構造では、図１１（ｂ）に示されるように、シールリング１３０を溝１４０へ圧入したときに、シールリング１３０の先端部が溝１４０から横にはみ出す可能性がある。
【００２１】
すると、図１１（ｃ）に示されるように、組み付け時に、取付面１２ｃ、１３ｃと被測定部材２００における搭載部との間にシールリング１３０の先端部が挟まる。つまり、シールリング１３０の噛み込みが生じ、シールリング１３０を傷つけてしまうという問題が起こる。
【００２２】
なお、上記した問題は、被測定部材としてのＥＧＲ管に組み付けられる圧力センサ以外にも、圧力導入部をリング状のシールリングを介して被測定部材に取り付けるようにしたダイレクトマウント組み付け構造を採用する圧力センサであれば、共通した問題であると考えられる。
【００２３】
本発明は上記問題に鑑み、ケース内に収納されたセンシング部に圧力導入部から圧力を導入するとともに、この圧力導入部をシールリングを介して被測定部材へ取り付けるようになっている圧力センサにおいて、被測定部材への組み付け時におけるシールリングの脱落および損傷を防止することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、圧力検出用のセンシング部（２０）と、リング状のシールリング（１３０）を介して被測定部材（２００）に取り付けられ、被測定部材（２００）からセンシング部（２０）へ圧力を導入するための圧力導入部（１２ｂ、１３ｂ）とを備え、圧力導入部（１２ｂ、１３ｂ）における被測定部材（２００）への取付面（１２ｃ、１３ｃ）には、シールリング（１３０）を収納するリング状の溝（１４０）が設けられている圧力センサにおいて、シールリング（１３０）の一部が溝（１４０）に対して圧入されることにより、シールリング（１３０）は溝（１４０）内に保持されるようになっていることを特徴としている。
【００２５】
それによれば、シールリング（１３０）の一部が溝（１４０）に圧入されることによって、シールリング（１３０）は溝（１４０）内に保持されるため、シールリング（１３０）を下向きにしても、シールリング（１３０）の溝（１４０）からの脱落が生じることはない。
【００２６】
また、シールリング（１３０）の一部が溝（１４０）に圧入された状態とすればよいため、この圧入部以外では、溝（１４０）の外形寸法をシールリング（１３０）の外形よりも十分余裕のある寸法とすることができる。それにより、上記した従来のような溝からのシールリングのはみ出しを、防止することができる。
【００２７】
よって、本発明の圧力センサによれば、被測定部材（２００）への組み付け時におけるシールリング（１３０）の脱落および損傷を防止することができる。
【００２８】
また、請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の圧力センサにおいて、溝（１４０）の側面には、当該側面から突出する突起部（１４１）が形成されており、当該突起部（１４１）においてシールリング（１３０）の一部が、溝（１４０）に対して圧入されていることを特徴としている。
【００２９】
それによれば、シールリング（１３０）の一部が溝（１４０）に対して圧入されることにより、シールリング（１３０）を溝（１４０）内に保持する構成を適切に実現することができる。
【００３０】
ここで、請求項３に記載の発明では、請求項２に記載の圧力センサにおいて、溝（１４０）の側面に形成された突起部（１４１）の表面は、凸曲面形状となっていることを特徴としている。
【００３１】
それによれば、突起部（１４１）に角部がなくなるので、当該突起部（１４１）に対して圧入されるシールリング（１３０）が傷つくのを防止するためには好ましい。
【００３２】
さらに、請求項４に記載の発明では、請求項２または請求項３に記載の圧力センサにおいて、溝（１４０）の側面に形成された突起部（１４１）における取付面（１２ｃ、１３ｃ）側の面は、当該突起部（１４１）の根元側から先端側に向かって取付面（１２ｃ、１３ｃ）から離れる方向に傾斜したテーパ面（１４１ａ）となっていることを特徴としている。
【００３３】
それによれば、溝（１４０）の側面に形成された突起部（１４１）における取付面（１２ｃ、１３ｃ）側の面をこのようなテーパ面（１４１ａ）とすることにより、被測定部材（２００）への組み付け時に、シールリング（１３０）のうち当該突起部（１４１）に接して圧入されている部分が、取付面（１２ｃ、１３ｃ）と被測定部材（２００）との間にはみだして挟まること、すなわち、当該突起部（１４１）におけるシールリング（１３０）の噛み込みを防止することができる。
【００３４】
また、当該突起部（１４１）における取付面（１２ｃ、１３ｃ）側の面を上記テーパ面（１４１ａ）とすることにより、溝（１４０）へのシールリング（１３０）の挿入がスムーズなものとなるため、シールリング（１３０）の組み付け性を向上させることができるという利点もある。
【００３５】
ここで、請求項５に記載の発明のように、請求項２〜請求項４に記載の圧力センサにおいては、溝（１４０）の側面に形成された突起部（１４１）は、２個以上であることが好ましい。
【００３６】
また、請求項６に記載の発明では、請求項１に記載の圧力センサにおいて、シールリング（１３０）の表面には、当該表面から突出する突起部（１３１）が形成されており、シールリング（１３０）は、当該突起部（１３１）において溝（１４０）に対して圧入されていることを特徴としている。
【００３７】
それによれば、シールリング（１３０）の一部が溝（１４０）に対して圧入されることにより、シールリング（１３０）を溝（１４０）内に保持する構成を適切に実現することができる。
【００３８】
ここで、請求項７に記載の発明のように、請求項６に記載の圧力センサにおいては、シールリング（１３０）の表面に形成された突起部（１３１）は、２個以上であることが好ましい。
【００３９】
また、請求項８に記載の発明では、請求項１に記載の圧力センサにおいて、溝（１４０）の側面には、当該側面から突出する突起部（１４１）が形成されており、シールリング（１３０）の表面には、当該表面から突出する突起部（１３１）が形成されており、溝（１４０）の側面に形成された突起部（１４１）およびシールリング（１３０）の表面に形成された突起部（１３１）において、シールリング（１３０）が、溝（１４０）に対して圧入されていることを特徴としている。
【００４０】
それによれば、シールリング（１３０）の一部が溝（１４０）に対して圧入されることにより、シールリング（１３０）を溝（１４０）内に保持する構成を適切に実現することができる。
【００４１】
また、請求項９に記載の発明では、請求項１〜請求項８に記載の圧力センサにおいて、シールリング（１３０）のリング形状が真円形状であり、溝（１４０）のリング形状が楕円形状であることを特徴としている。
【００４２】
また、請求項１０に記載の発明では、請求項１〜請求項８に記載の圧力センサにおいて、シールリング（１３０）のリング形状が楕円形状であり、溝（１４０）のリング形状が真円形状であることを特徴としている。
【００４３】
これら請求項９および請求項１０に記載の発明によっても、シールリング（１３０）の一部が溝（１４０）に対して圧入されることにより、シールリング（１３０）を溝（１４０）内に保持する構成を適切に実現することができる。
【００４４】
請求項１１に記載の発明では、圧力検出用のセンシング部（２０）と、リング状のシールリング（１３０）を介して被測定部材（２００）に取り付けられ、被測定部材（２００）からセンシング部（２０）へ圧力を導入するための圧力導入部（１２ｂ、１３ｂ）とを備え、圧力導入部（１２ｂ、１３ｂ）における被測定部材（２００）への取付面（１２ｃ、１３ｃ）には、シールリング（１３０）を収納するリング状の溝（１４０）が設けられている圧力センサにおいて、シールリング（１３０）は、溝（１４０）に接着された状態で溝（１４０）内に保持されていることを特徴としている。
【００４５】
それによれば、シールリング（１３０）が溝（１４０）に接着されることによって、シールリング（１３０）は溝（１４０）内に保持されるため、シールリング（１３０）を下向きにしても、シールリング（１３０）の溝（１４０）からの脱落が生じることはない。
【００４６】
また、シールリング（１３０）を溝（１４０）に接着すればよいため、溝（１４０）の外形寸法をシールリング（１３０）の外形よりも十分余裕のある寸法としてもかまわない。それにより、上記した従来のような溝からのシールリングのはみ出しを、極力防止することができる。
【００４７】
よって、本発明の圧力センサによれば、被測定部材（２００）への組み付け時におけるシールリング（１３０）の脱落および損傷を防止することができる。
【００４８】
また、請求項１２に記載の発明では、請求項１〜請求項１０に記載の圧力センサにおいて、シールリング（１３０）は、溝（１４０）に接着されていることを特徴としている。
【００４９】
それによれば、請求項１〜請求項１０に記載の圧力センサにおいて、請求項１１に記載の発明の効果も期待することができる。
【００５０】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５１】
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。
【００５２】
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係る差圧検出型の圧力センサＳ１の概略断面構成を示す図であり、図２は、同圧力センサＳ１を被測定部材２００に組み付けた状態において図１中の矢印Ａ方向から見て９０度回転させた構成を示す一部切り欠き断面図である。
【００５３】
限定するものではないが、本実施形態は、たとえば上記図９に示されるものと同様に、自動車のディーゼルエンジンのＥＧＲシステムにおける被測定部材としてのＥＧＲ管２００に取り付けられ、ＥＧＲ２００管内に設けられたオリフィスの前後の差圧を検出する差圧（相対圧）検出型の圧力センサとして適用することができる。
【００５４】
［全体構成等］
図１において、ケース１０は圧力センサＳ１の本体を区画するもので、例えばＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）やＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）等の樹脂材料等よりなる。
【００５５】
このケース１０は、ターミナル１０ａがインサート成形されたコネクタケース部（センサ素子設置部）１１と、このコネクタケース部１１に組み付けられた第１のポート部１２および第２のポート部１３とよりなる。ケース１０におけるこれら各部１１〜１３は、樹脂成形等にて作られる。
【００５６】
ケース１０のうちコネクタケース部１１においては、一面側（図１中の上面側）に第１の凹部１１ａが形成され、当該一面と反対の面側（図１中の下面側）に第１の凹部１１ａと連通する第２の凹部１１ｂが形成されている。第１の凹部１１ａ内には、第１の凹部１１ａと第２の凹部１１ｂとの連通部を遮断するように圧力検出用のセンサ素子２０が設けられている。
【００５７】
センサ素子２０は、センシング部として構成されたものであり、印加された圧力値に応じたレベルの電気信号を発生するものである。本例のセンサ素子２０は、シリコン基板等の半導体基板に薄肉部としてのダイアフラム（図示せず）を有する半導体ダイアフラム式のセンサチップである。
【００５８】
そして、センサ素子２０には、ガラス等よりなる台座３０が接合されセンサ素子２０と一体化されている。そして、センサ素子２０は、この台座３０を介して、コネクタケース部１１の第１の凹部１１ａの底面に、図示しないシリコーン系接着剤等の接着剤により接着され、第１の凹部１１ａ内に収納固定されている。
【００５９】
ここで、台座３０には、第２の凹部１１ｂと連通する貫通孔３１が形成されている。つまり、第２の凹部１１ｂは台座３０の貫通孔３１まで通じているが、その先はセンサ素子２０により遮断されており、このセンサ素子２０を境として、第１の凹部１１ａと第２の凹部１１ｂとは遮断されている。
【００６０】
また、コネクタケース部１１にインサート成形されたターミナル１０ａは、センサ素子２０からの信号を取り出すためのものであり、銅等の導電性金属よりなる。ターミナル１０ａの一端側はセンサ素子２０の近傍において第１の凹部１１ａに露出しており、センサ素子２０とアルミや金等のワイヤ４０により結線され電気的に接続されている。
【００６１】
ここで、第１の凹部１１ａ内に露出しているターミナル１０ａの一端部の周囲には、ターミナル１０ａとコネクタケース部１１との隙間をシールするためのシール材５０が設けられている。このシール材５０は、樹脂等からなるものである。
【００６２】
そして、ターミナル１０ａは、センサ素子２０からケース１０におけるセンサ素子２０の搭載面すなわちコネクタケース部１１の第１の凹部１１ａの底面と平行な方向に延びるように配置されており、ワイヤ４０との接続部とは反対側の端部が、ケース１０（コネクタケース部１１）の外部に露出している。
【００６３】
そして、このターミナル１０ａの露出端部は、コネクタケース部１１とともに、図示しない外部配線部材に接続可能となっており、それによって、センサ素子２０は、ワイヤ４０、ターミナルピン１０ａを介して外部回路（車両のＥＣＵ等）に対して信号のやり取りが可能となっている。
【００６４】
このようにケース１０のうちコネクタケース部１１は、センサ素子２０が設置されたセンサ素子設置部として構成されている。また、第１のポート部１２、第２のポート部１３はそれぞれ、図１中において、２点鎖線にて示す圧力導入ポート１２ａ、１３ａが設けられている。
【００６５】
ここで、コネクタケース部１１とポート部１２、１３とは、ネジ部材としてのネジ６０およびナット６１、６２を用いて接合されている。
【００６６】
ナット６１はコネクタケース部１１にインサート成形されたもので、コネクタケース部１１と第１および第２のポート部１２、１３とをネジ６０およびナット６１によりネジ結合した後、ナット６２を用いて締結している。なお、ネジ部材６０〜６２に代えてリベットを用いても良い。
【００６７】
また、ケース１０のうちコネクタケース部１１における第１の凹部１１ａおよび第２の凹部１１ｂには、フッ素系オイルやシリコーン系オイル等からなるオイル７０が充填されている。
【００６８】
そして、ケース１０において、コネクタケース部１１と第１のポート部１２との間には第１のダイアフラム８１が固定され、コネクタケース部１１と第２のポート部１３との間には第２のダイアフラム８２が固定されている。
【００６９】
本実施形態では、第１および第２のダイアフラム８１、８２は、ＣｒやＮｉ等の耐食性や耐熱性にすぐれた金属からなるメタルダイアフラムであり、たとえば（Ｃｒ＋３．３Ｍｏ＋２０Ｎ）で表される孔食指数が５０以上であり且つＮｉを３０重量％以上含む材料からなるものにできる。
【００７０】
図１に示されるように、第１のダイアフラム８１は、第１の凹部１１ａを覆うように配置され、第１の凹部１１ａ内のオイル７０を封止している。一方、第２のダイアフラム８２は、第２の凹部１１ｂを覆うように配置され、第２の凹部１１ｂ内のオイル７０を封止している。
【００７１】
図１では示さないが、第１のダイアフラム８１、第２のダイアフラム８２はそれぞれ、第１のポート部１２、第２のポート部１３に対して、フロロシリコーン系樹脂あるいはフッ素系樹脂等の樹脂からなる接着剤を介して接着されている。なお、この接着剤は後述する図４において、符号１００を付して示してある。
【００７２】
また、コネクタケース部１１において、第１および第２のダイアフラム８１、８２が押しつけられる部位には、Ｏリング９０が設けられており、第１および第２のダイアフラム８１、８２によるオイル７０の封止をより確実なものとしている。
【００７３】
また、図１に示す圧力センサＳ１では、センサ素子２０を境にして、第１のダイアフラム８１側に配置されるオイル７０の量と第２のダイアフラム８２側に配置されるオイル７０の量とが等しいものにすることが好ましい。これは、第１の凹部１１ａの容積や第２の凹部１１ｂの容積、センサ素子２０や台座３０の体積等を考慮して設計することで実現可能である。
【００７４】
また、図２に示されるように、ケース１０のうち第１のポート部１２、第２のポート部１３には、それぞれ、圧力を導入するための開口部を有する圧力導入部１２ｂ、圧力導入部１３ｂが形成されている。
【００７５】
そして、図１に示される第１のポート部１２の圧力導入ポート１２ａ、第２のポート部１３の圧力導入ポート１３ａは、それぞれ、図２に示される第１のポート部１２の圧力導入部１２ｂ、第２のポート部１３の圧力導入部１３ｂに連通している。
【００７６】
そして、図２に示されるように、たとえば、第１のポート部１２の圧力導入部１２ｂがＥＧＲ管２００における上流側圧力導出管２２０に対して接続され、第２の圧力ポート部１３の圧力導入部１３ｂがＥＧＲ管２００における下流側圧力導出管２３０に対して接続されている。
【００７７】
ここで、図１、図２に示されるように、本圧力センサＳ１においては、ケース１０の周囲に、取付部材としてのブラケット１１０がネジ部材１２０を介して組み付けられている。ここで、ブラケット１１０は樹脂や金属等からなる。このネジ部材１２０は、ナット６１にネジ締めされることにより、ブラケット１１０をケース１０に固定している。
【００７８】
そして、図２に示されるように、圧力センサＳ１は、このブラケット１１０を被測定部材であるＥＧＲ管２００にネジ締めするなどにより、当該ＥＧＲ管２００に取り付けられる。
【００７９】
なお、このブラケット１１０を介した圧力センサＳ１のＥＧＲ管２００への取付状態は、上記図９に示される状態と同様のものである。つまり、圧力センサＳ１との接続部分におけるＥＧＲ管２００の内部構成についても、図２では一部省略してあるが、上記図９と同様に、上流側圧力導出管２２０と下流側圧力導出管２３０との間に上記オリフィスが設けられている。
【００８０】
この圧力センサＳ１をＥＧＲ管２００に取付固定するとき、圧力センサＳ１における圧力導入部１２ｂ、１３ｂが、リング状のシールリング１３０を介してＥＧＲ管（被測定部材）２００に取り付けられる。
【００８１】
このシールリング１３０は、ゴムや樹脂等の弾性材料からなるものである。本例では、シールリング１３０は、断面四角の角リングであるが、それ以外にも断面円形のリング、断面がＣ字形やＸ字形のリングであってもよい。なお、このことは以下の各実施形態においても同様である。
【００８２】
ここで、圧力センサＳ１の各圧力導入部１２ｂ、１３ｂにおけるＥＧＲ管２００への取付面１２ｃ、１３ｃには、リング状の溝１４０が設けられており、シールリング１３０は、この溝１４０内に収納され保持されている。
【００８３】
そして、シールリング１３０とＥＧＲ管２００とが密着することにより、圧力導入部１２ｂ、１３ｂとＥＧＲ管２００との接続部が気密にシールされている。それにより、ＥＧＲ管２００内の圧力Ｐ１、Ｐ２が、漏れることなく圧力導入部１２ｂ、１３ｂからケース１０内へ導入されるようになっている。
【００８４】
ＥＧＲ管２００内のオリフィスの上流側圧力Ｐ１は、第１のポート部１２において圧力導入部１２ｂから圧力導入ポート１２ａを介して第１のダイアフラム８１へ導入され、一方、ＥＧＲ管２００内のオリフィスの下流側圧力Ｐ２は、第２のポート部１３において圧力導入部１３ｂから圧力導入ポート１３ａを介して第２のダイアフラム８２へ導入されるようになっている。
【００８５】
そして、第１および第２のダイアフラム８１、８２に印加された圧力Ｐ１、Ｐ２がそれぞれオイル７０を介して、センシング部としてのセンサ素子２０に受圧される。そして、第１のダイアフラム８１側から受圧された圧力Ｐ１と第２のダイアフラム８２側から受圧された圧力Ｐ２との差圧をセンサ素子２０により検出するようになっている。
【００８６】
上述した圧力導入形態を採用する本例においては、センサ素子２０に形成されている図示しないダイアフラムの表面に第１のダイアフラム８１側からオリフィスの上流側圧力Ｐ１が受圧され、裏面に第２のダイアフラム８２側からオリフィスの下流側圧力Ｐ２が受圧される。
【００８７】
センサ素子２０のダイアフラムは両圧力Ｐ１、Ｐ２の差圧により歪み、この歪みに基づく信号がセンサ素子２０からワイヤ４０を介してターミナル１０ａから外部に出力される。こうして、圧力検出がなされる。
【００８８】
［圧力導入部の特徴的構成］
ここにおいて、本実施形態では、このような圧力センサＳ１において、シールリング１３０および溝１４０の構成について、次のような独自の特徴点を持たせている。図３（ａ）〜（ｄ）は、本圧力センサＳ１における圧力導入部１２ｂ、１３ｂの近傍部の詳細構成を示す拡大図である。
【００８９】
図３において、（ａ）は圧力導入部１２ｂ、１３ｂ、シールリング１３０およびＥＧＲ管２００の概略断面図、（ｂ）は圧力導入部１２ｂ、１３ｂの取付面１２ｃ、１３ｃに形成されている溝１４０の平面図、（ｃ）は（ｂ）中のＢ−Ｂ線に沿った概略断面図、（ｄ）は溝１４０の斜視図である。
【００９０】
図３に示されるように、溝１４０の外周側の側面には、当該側面から突出する突起部１４１が形成されている。ここで、突起部１４１は２個以上あることが好ましく、本例では、４個設けられている。
【００９１】
そして、シールリング１３０が溝１４０に収納された状態において、シールリング１３０のうちこれら突起部１４１に接する部位が、溝１４０に対して圧入され保持された状態となっている。
【００９２】
具体的には、溝１４０の外周側の側面から突出する突起部１４１の先端部が、シールリング１３０の外径にて規定される仮想円内に入り込むように、当該突起部１４１の突出長さを決めればよい。それにより、この突起部１４１においてシールリング１３０の圧入状態が実現される。
【００９３】
つまり、本実施形態では、シールリング１３０の一部が溝１４０に対して圧入されることにより、シールリング１３０は溝１４０内に保持されるようになっている独自の構成となっている。
【００９４】
ここで、本実施形態の好ましい形態として、図３（ｂ）および（ｄ）に示されるように、各突起部１４１の表面は、凸曲面形状となっている。つまり、突起部１４１の表面は、角部が存在しない曲面形状となっている。
【００９５】
また、本実施形態の好ましい形態として、図３（ｃ）に示されるように、各突起部１４１における取付面１２ｃ、１３ｃ側の面は、突起部１４１の根元側から先端側に向かって取付面１２ｃ、１３ｃから離れる方向に傾斜したテーパ面１４１ａとなっている。
【００９６】
［製造方法等］
次に、本圧力センサＳ１の製造方法の一例について、図４も参照して述べる。図４は、図１に示す圧力センサＳ１において、ブラケット１１０およびこのブラケット１１０をセンサ本体に固定するためのネジ部材１２０を除いた各部の分解図である。
【００９７】
ターミナル１０ａおよびナット６１がインサート成形されたコネクタケース部１１において、第１の凹部１１ａ内に露出したターミナル１０ａの一端部をシール材５０にてシールする。
【００９８】
次に、台座３０と一体化されたセンサ素子２０を、コネクタケース部１１の第１の凹部１１ａに接着固定し、センサ素子２０とターミナル１０ａとをワイヤボンディングして結線する。
【００９９】
次に、第１のポート部１２に第１のダイアフラム８１を上記接着剤１００を用いて接着するとともに、コネクタケース部１１の第１の凹部１１ａにオイル７０を注入し、コネクタケース部１１にＯリング９０をセットする。
【０１００】
そして、真空中にて、コネクタケース部１１と第１のポート部１２とを、ネジ６０とナット６１とをネジ結合しながら一体化することにより、オイル７０の封止を行う。ここで、オイル７０中に気泡が入らないようにネジ６０によりネジ締めを行っていく。
【０１０１】
その後、第１のポート部１２と同様に、第２のポート部１３についても、第２のダイアフラム８２、オイル７０、Ｏリング９０を介在させながら、真空中にてコネクタケース部１１に対してナット６２を用いてネジ結合する。
【０１０２】
その後、特性調整や検査を行い、上記図１に示されるように、ケース１０に対してネジ部材１２０を介してブラケット１１０を取付固定する。そして、最後に、圧力導入部１２ｂ、１３ｂの溝１４０にシールリング１３０を圧入して保持させる。こうして、図１に示す圧力センサＳ１が完成する。
【０１０３】
そして、できあがった圧力センサＳ１は、図２に示されるように、ＥＧＲ管２００を下側、圧力センサＳ１を上側とし、シールリング１３０を下向きにした状態で、ＥＧＲ管２００の搭載部にセットされる。
【０１０４】
そして、ブラケット１１０を、図示しないネジ部材等によりＥＧＲ管２００に固定する。こうして、図２に示されるように、圧力センサＳ１のＥＧＲ管２００への組み付け構造が形成され、圧力センサＳ１による圧力検出が可能となる。
【０１０５】
［特徴点等］
ところで、本実施形態によれば、圧力検出用のセンシング部としてのセンサ素子２０と、リング状のシールリング１３０を介して被測定部材としてのＥＧＲ管２００に取り付けられ、ＥＧＲ管２００からセンサ素子２０へ圧力を導入するための圧力導入部１２ｂ、１３ｂとを備え、圧力導入部１２ｂ、１３ｂにおける取付面１２ｃ、１３ｃに、シールリング１３０を収納するリング状の溝１４０が設けられている圧力センサにおいて、シールリング１３０の一部が溝１４０に対して圧入されることにより、シールリング１３０は溝１４０内に保持されるようになっていることを主たる特徴とする圧力センサＳ１が提供される。
【０１０６】
それによれば、シールリング１３０の一部が溝１４０に圧入されることによって、シールリング１３０は溝１４０内に保持されるため、シールリング１３０を下向きにしても、シールリング１３０の溝１４０からの脱落が生じることはない。
【０１０７】
また、シールリング１３０の一部が溝１４０に圧入された状態とすればよいため、この圧入部以外では、溝１４０の外形寸法をシールリング１３０の外形よりも十分余裕のある寸法とすることができる。
【０１０８】
具体的には、図３に示されるように、シールリング１３０のうち突起部１４１と接していない部位では、シールリング１３０の太さに対して溝１４０の幅を十分に広いものとすることができる。それにより、上記した従来のような溝からのシールリングのはみ出し（上記図１１参照）を、防止することができる。
【０１０９】
よって、本実施形態の圧力センサＳ１によれば、被測定部材であるＥＧＲ管２００への組み付け時におけるシールリング１３０の脱落および損傷を防止することができる。
【０１１０】
そして、本実施形態では、シールリング１３０の一部が溝１４０に対して圧入される状態を、溝１４０の側面に突起部１４１を形成し、この突起部１４１においてシールリング１３０の一部が溝１４０に対して圧入されるようにすることで適切に実現している。
【０１１１】
また、上述したが、好ましい形態によれば、突起部１４１の表面を凸曲面形状としている（上記図３参照）。このようにすることによって、突起部１４１に角部がなくなるので、当該突起部１４１に対して圧入されるシールリング１３０が傷つくのを防止することができ、好ましい。
【０１１２】
さらに、好ましい形態として、突起部１４１における取付面１２ｃ、１３ｃ側の面を、突起部１４１の根元側から先端側に向かって取付面１２ｃ、１３ｃから離れる方向に傾斜したテーパ面１４１ａとしている（上記図３参照）。
【０１１３】
それによれば、突起部１４１における取付面１２ｃ、１３ｃ側の面をこのようなテーパ面１４１ａとすることにより、ＥＧＲ管２００への組み付け時に、シールリング１３０のうち突起部１４１に接して圧入されている部分が、取付面１２ｃ、１３ｃとＥＧＲ管２００との間にはみだして挟まることを防止できる。すなわち、突起部１４１におけるシールリング１３０の噛み込みを防止することができる。
【０１１４】
また、突起部１４１における取付面１２ｃ、１３ｃ側の面を上記テーパ面１４１ａとすることにより、溝１４０へのシールリング１３０の挿入がスムーズなものとなるため、シールリング１３０の組み付け性を向上させることができるという利点もある。
【０１１５】
［変形例］
図５において（ａ）、（ｂ）は、ともに本実施形態の変形例を示す図であり、溝１４０の平面図である。
【０１１６】
上記図３では、溝１４０の外周側の側面に突起部１４１が形成されていたが、この突起部１４１は、図５（ａ）に示されるように、溝１４０の内周側の側面に形成してもよく、さらには、図５（ｂ）に示されるように、溝１４０の内周側および外周側の両方の側面に形成してもよい。
【０１１７】
ここで、溝１４０の内周側の側面から突出する突起部１４１の場合、具体的には、当該突起部１４１の先端部が、シールリング１３０の内径にて規定される仮想円の外に飛び出すように、当該突起部１４１の突出長さを決めればよい。それにより、この突起部１４１においてシールリング１３０の圧入状態が実現される。
【０１１８】
また、本実施形態では、溝１４０の側面に形成された突起部１４１は、２個以上あることが好ましいが、溝１４０へのシールリング１３０の保持が十分になされるならば、突起部１４１は１つでもよい。
【０１１９】
（第２実施形態）
図６は、本発明の第２実施形態の要部を示す図であり、本実施形態のシールリング１３０の特徴的構成を示す図である。なお、図６において、（ｂ）、（ｄ）は平面構成を示す図、（ａ）は（ｂ）のＣ−Ｃ線に沿った概略断面図、（ｃ）は（ｄ）のＤ−Ｄ線に沿った概略断面図である。
【０１２０】
上記実施形態では、突起部１４１が溝１４０の側面に形成されていたが、本実施形態では、溝１４０ではなく、シールリング１３０の表面に当該表面から突出する突起部１３１が形成されたものとしている。
【０１２１】
ここで、図６（ａ）、（ｂ）に示される例では、シールリング１３０の突起部１３１は、シールリング１３０の外周側面において円周方向に一回りする形で設けられている。また、図６（ｃ）、（ｄ）に示される例では、シールリング１３０の突起部１３１は、シールリング１３０の外周側面において複数個設けられている。
【０１２２】
この図６（ｃ）、（ｄ）に示される例のように、突起部１３１を設ける場合には、突起部１３１は２個以上あることが好ましく、本例では、４個設けられている。また、図示しないが、シールリング１３０に突起部を設ける場合には、シールリング１３０の内周側面に設けてもよく、さらには、内周側面と外周側面との両方に設けてもよい。
【０１２３】
ここで、具体的に、シールリング１３０の外周側面から突出する突起部１３１の場合、その先端部が、溝１４０の外径にて規定される仮想円から飛び出すように、当該突起部１３１の突出長さを決めればよい。
【０１２４】
一方、シールリング１３０の内周側面から突出する突起部の場合、その先端部が、溝１４０の内径にて規定される仮想円内に入り込むように、当該突起部の突出長さを決めればよい。それにより、この突起部１３１においてシールリング１３０の圧入状態が実現される。
【０１２５】
このような突起部１３１を有するシールリング１３０を採用した本実施形態によれば、シールリング１３０は、このシールリング１３０の突起部１３１において溝１４０に対して圧入され、溝１４０に対して保持された状態となる。
【０１２６】
つまり、本実施形態においても、シールリング１３０の一部が溝１４０に対して圧入されることにより、シールリング１３０は溝１４０内に保持されるようになっている。
【０１２７】
この場合についても、シールリング１３０の突起部１３１が溝１４０に圧入された状態とすればよいため、この圧入部以外では、溝１４０の外形寸法をシールリング１３０の外形よりも十分余裕のある寸法とすることができる。
【０１２８】
具体的には、シールリング１３０の突起部１３１以外の部位では、シールリング１３０の太さに対して溝１４０の幅を十分に広いものとすることができる。それにより、上記した従来のような溝からのシールリングのはみ出し（上記図１１参照）を、極力防止することができる。
【０１２９】
したがって、本実施形態の圧力センサによっても、上記実施形態と同様に、被測定部材であるＥＧＲ管２００への組み付け時におけるシールリング１３０の脱落および損傷を防止することができる。
【０１３０】
また、図６（ｃ）、（ｄ）に示される例では、シールリング１３０の側面に形成された突起部１３１は、２個以上あることが好ましいが、溝１４０へのシールリング１３０の保持が十分になされるならば、当該突起部１３１は１つでもよい。
【０１３１】
（第３実施形態）
図７（ａ）、（ｂ）は、本発明の第３実施形態の要部を示す図であり、本実施形態のシールリング１３０および溝１４０の平面構成を示す図である。なお、図７では、識別化を図るために便宜上シールリング１３０の表面にハッチングを施してある。
【０１３２】
上記各実施形態では、シールリング１３０の一部が溝１４０に対して圧入されることにより、シールリング１３０を溝１４０内に保持する構成として、溝１４０もしくはシールリング１３０に突起部を設けた構成を採用していた。
【０１３３】
本実施形態では、このようなシールリング１３０の一部圧入による溝１４０への保持構成として、図７（ａ）に示されるように、シールリング１３０のリング形状を真円形状とし、溝１４０のリング形状を楕円形状とするか、それとは反対に、図７（ｂ）に示されるように、シールリング１３０のリング形状を楕円形状とし、溝１４０のリング形状を真円形状としている。
【０１３４】
ここで、真円形状であることとは、完全な真円でなくてもよい。たとえば、図７（ａ）に示される例では、楕円形状である方の溝１４０に比べて、シールリング１３０のリング形状がより真円に近い形状であればよい。
【０１３５】
それによって、図７に示されるように、シールリング１３０の側面の一部と溝１４０の側面の一部とが接する部分が形成され、この部分にてシールリング１３０が溝１４０に圧入され保持された状態となる。
【０１３６】
この場合についても、上記実施形態と同様に、シールリング１３０と溝１４０との圧入部以外では、溝１４０の外形寸法をシールリング１３０の外形よりも十分余裕のある寸法とすることができる。
【０１３７】
そのため、本実施形態の圧力センサによっても、上記実施形態と同様に、被測定部材であるＥＧＲ管２００への組み付け時におけるシールリング１３０の脱落および損傷を防止することができる。
【０１３８】
（第４実施形態）
図８（ａ）、（ｂ）は、本発明の第４実施形態の要部を示す図であり、本実施形態の圧力導入部１２ｂ、１３ｂおよびシールリング１３０の概略断面構成を示す図である。
【０１３９】
上記各実施形態では、シールリング１３０の一部が溝１４０に対して圧入されることにより、シールリング１３０を溝１４０内に保持する構成を採用していたが、本実施形態では、図８に示されるように、シールリング１３０が溝１４０に接着された状態で溝１４０内に保持されていることを特徴としている。
【０１４０】
具体的には、図８（ａ）に示されるように、溝１４０に接着剤１５０を塗布してシールリング１３０を溝１４０内に接着して保持させたり、それとは反対に、図８（ｂ）に示されるように、シールリング１３０に接着剤１５０を塗布してシールリング１３０を溝１４０内に接着して保持させることができる。
【０１４１】
ここで、本実施形態では、上記実施形態に示したように溝１４０やシールリング１３０に突起部１３１、１４１を設けたり、溝１４０およびシールシング１３０のうち一方を真円形状、他方を楕円形状とするようなことはしなくてもよく、溝１４０およびシールシング１３０の形状は従来のままでよい。
【０１４２】
本実施形態によれば、シールリング１３０が溝１４０に接着されることによって、シールリング１３０は溝１４０内に保持されるため、シールリング１３０を下向きにしても、シールリング１３０の溝１４０からの脱落が生じることはない。
【０１４３】
また、シールリング１３０を溝１４０に接着すればよいため、溝１４０の外形寸法をシールリング１３０の外形よりも十分余裕のある寸法としてもかまわない。それにより、上記した従来のような溝からのシールリングのはみ出し（上記図１１参照）を、極力防止することができる。
【０１４４】
よって、本実施形態の圧力センサによれば、上記実施形態と同様に、被測定部材であるＥＧＲ管２００への組み付け時におけるシールリング１３０の脱落および損傷を防止することができる。
【０１４５】
なお、本実施形態は、上記各実施形態に示したようなシールリング１３０の一部が溝１４０に対して圧入されることにより、シールリング１３０を溝１４０内に保持する構成に対しても、組み合わせて採用できることは明らかである。
【０１４６】
（他の実施形態）
なお、上記第１および第２実施形態では、突起部１３１、１４１を、溝１４０およびシールリング１３０のどちらか一方に設けたものとしたが、溝１４０およびシールリング１３０の両方に突起部を設けた構成であってもかまわない。
【０１４７】
また、上記した差圧検出型の圧力センサＳ１は、被測定部材としてのＥＧＲ管２００以外にも、エンジンの吸気管内の吸気圧や排気管内の排気圧を検出するものとしても適用することができる。
【０１４８】
たとえば、自動車のディーゼルエンジンの排気管に設けられたＤＰＦ（ディーゼルパティキュレートフィルタ）の圧力損失を検出するために圧力センサを排気管に取り付け、該ＤＰＦの前後の排気管の差圧を検出する差圧検出型の圧力センサとしても適用することができる。
【０１４９】
また、本発明は、センシング部と圧力導入部とを備え、圧力導入部をシールリングを介して直接被測定部材に取り付けるようにしたダイレクトマウント構造を採用する圧力センサであれば、差圧（相対圧）検出型の圧力センサ以外にも、絶対圧を検出するタイプの圧力センサにも適用することができる。
【０１５０】
具体的に、上記差圧検出型の圧力センサでは、センシング部の両面に測定圧力を受圧させるものであったが、絶対圧を検出するタイプの圧力センサは、センシング部の一方の面側が基準圧（たとえば大気圧）となっており、他方面側に測定圧力を受圧させるタイプのものである。
【図面の簡単な説明】
【０１５１】
【図１】本発明の第１実施形態に係る圧力センサの概略断面構成を示す図である。
【図２】図２は、図１中の矢印Ａ方向から見た構成を示す一部切り欠き断面図である。
【図３】上記図１に示される圧力センサにおける圧力導入部の近傍部の詳細構成を拡大して示す図である。
【図４】上記図１に示される圧力センサの分解図である。
【図５】上記第１実施形態の変形例を示す図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係るシールリングの構成を示す図である。
【図７】本発明の第３実施形態に係るシールリングおよび溝の平面構成を示す図である
【図８】本発明の第４実施形態に係る圧力導入部およびシールリングの概略断面構成を示す図である。
【図９】従来の圧力センサのＥＧＲ管への組み付けの一般的な例を示す概略断面図である。
【図１０】図９中の圧力センサにおける圧力導入部の取付面およびシールリングの形状を示す図であり、（ａ）は圧力導入部の断面図、（ｂ）は取付面の平面図、（ｃ）は取付面に形成された溝とシールリングとの寸法関係を示すための図である
【図１１】従来の断面角形のシールリングを用いた溝への圧入構造を示す概略断面図であり、（ａ）はシールリングと溝との寸法関係を示す図、（ｂ）は圧入後の状態を示す図、（ｃ）はセンサ組み付け後の状態を示す図である。
【符号の説明】
【０１５２】
１２ｂ、１３ｂ…圧力導入部、
１２ｃ、１３ｃ…圧力導入部における被測定部材への取付面、
２０…センシング部としてのセンサ素子、１３０…シールリング、
１３１…シールリングの表面に形成された突起部、１４０…溝、
１４１…溝の側面に形成された突起部、１４１ａ…テーパ面、
２００…被測定部材としてのＥＧＲ管。
【図１】
2005156307.tif 000003
【図２】
2005156307.tif 000004
【図３】
2005156307.tif 000005
【図４】
2005156307.tif 000006
【図５】
2005156307.tif 000007
【図６】
2005156307.tif 000008
【図７】
2005156307.tif 000009
【図８】
2005156307.tif 000010
【図９】
2005156307.tif 000011
【図１０】
2005156307.tif 000012
【図１１】
2005156307.tif 000013