(57)【要約】【課題】塗布液中に含まれる気泡によって発生する泡故障を防止し、均一で良好な塗布膜を形成するのに好適な塗布液の脱泡方法及び脱泡装置を提供する。【解決手段】周波数帯域の異なる複数の超音波を同時に塗布液に照射して、塗布液の脱泡を行う。このため、一端に塗布液供給口２４を有するとともに、他端に塗布液排出口２６を有する脱泡管１２であり、この管状部材の外周面に複数の超音波振動子１４、１６が固着されており、脱泡管１２の内部に周波数帯域の異なる複数の超音波が同時に照射可能となっている装置を設ける。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
周波数帯域の異なる複数の超音波を同時に塗布液に照射して、前記塗布液の脱泡を行うことを特徴とする塗布液の脱泡方法。
【請求項２】
前記塗布液を気液界面のない状態とし、かつ１０ｋＰａ以上に加圧する請求項１に記載の塗布液の脱泡方法。
【請求項３】
前記塗布液が、写真感光材料塗布液、熱現像感光材料塗布液、透明感熱材料塗布液、及び有機溶剤塗布液のいずれかである請求項１又は２に記載の塗布液の脱泡方法。
【請求項４】
一端に塗布液の流入口を有するとともに、他端に塗布液の流出口を有する管状部材であり、該管状部材の外周面に複数の超音波振動子が固着されており、該管状部材の内部に周波数帯域の異なる複数の超音波が同時に照射可能となっていることを特徴とする塗布液の脱泡装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布液の脱泡方法及び脱泡装置に係り、特に、写真感光材料塗布液、熱現像感光材料塗布液、透明感熱材料塗布液、有機溶剤塗布液等の塗布液の脱泡に好適な塗布液の脱泡方法及び脱泡装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、支持体に各種液体を塗布するために用いられる塗布液は、塗布工程前に行なわれる攪拌、分散、送液等の操作によって気泡が生じ易い。このような気泡を含んだままの塗布液を、塗布装置に供給して支持体に塗布、乾燥させると、塗布膜に泡筋、ピンホール等の泡故障が発生しやすく、均一で良好な塗布膜を形成することができない。したがって、塗布工程に到るまでに充分な脱泡処理を施す必要がある。このような目的で採用される脱泡方法として、超音波を利用した脱泡方法が公知であり、これまでに数多くの提案がなされている（特許文献１〜８等参照）。
【０００３】
このうち、特許文献１は、超音波振動子の配置に工夫を加えた提案である。特許文献２は、超音波の照射前に溶存空気を除去処理する旨の提案である。特許文献３は、超音波脱泡装置の構成に工夫を加えた提案である。特許文献４は、超音波の照射前に真空ポンプにより減圧し、超音波の照射後に加圧ポンプにより加圧する旨の提案である。特許文献５は、減圧超音波脱泡、加圧超音波脱泡、及び液温度の管理を組み合わせた提案である。特許文献６は、複数の脱泡工程を組み合わせ、かつ脱泡工程に超音波の照射を組み合わせた提案である。特許文献７は、脱泡槽を２個直列に設け、これらの脱泡槽における超音波の照射条件を異ならせる提案である。特許文献８は、超音波の発振周波数を連続して変調させ、定在波を緩和、消滅させて脱泡の促進を図る提案である。
【特許文献１】特開昭５９−９２００３号公報
【特許文献２】特開昭６３−１７８８０７号公報
【特許文献３】特開平５−９２１０３号公報
【特許文献４】特開平６−１３０５４７号公報
【特許文献５】特開平８−３１８１０２号公報
【特許文献６】特開平１１−２６２６０１号公報
【特許文献７】特開平１１−１９７４０６号公報
【特許文献８】特開平１１−２９０６１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、超音波を使用した上記の各種提案によっても、以下に列記する未解決の課題が存在している。
【０００５】
１）塗布液中の気泡を十分に除去できない。
【０００６】
２）塗布液中に溶解した気体が再び気泡として析出する。
【０００７】
３）塗布液がダメージを受けたり、塗布液を移送する配管内に腐食を生じたりする。
【０００８】
４）塗布液の組成や脱泡処理速度に応じて照射する超音波を最適化する必要がある。
【０００９】
５）超音波と他の脱泡方法とを組み合わせた場合、装置が大型化する。
【００１０】
これらの課題について、以下に説明する。先ず、１）の課題について説明する。
【００１１】
写真感光材料塗布液のように各種添加剤を含む塗布液は、液そのものが泡立ちやすく、かつ、気泡を含み易い性質を有している。また、近年、塗布方式の改良や生産性の向上に伴い、塗布液の粘度が高粘度化し、かつ、単位時間当たりの脱泡処理量が増大する傾向にある。それゆえ、過去に様々な脱泡方法及び脱泡装置が提案されているにもかかわらず、これら従来の方法では脱泡能力がいまだ不十分であった。
【００１２】
この脱泡能力が不十分な理由として、一定の発振周波数で脱泡容器に収容された液体に超音波を照射すると、超音波振動による一定の疎密波が形成され、定在波が発生することが挙げられる。この定在波は、液中の気泡を特定箇所でトラップして気泡の浮上を妨げたり、微少な気泡を溶解、消滅させる能力を低下させたりする等の障害を伴い、その結果、気泡を効率的に除去できない。
【００１３】
この課題に対し、脱泡容器の底部や側面に複数の超音波振動子を対向して配置し、個々の超音波振動子から照射される超音波を互いに補完する構成が、たとえば、特許文献１、３、及び７に提案されている。しかしながら、これらの方法は脱泡容器の単位容積当たりの超音波照射量を増大させて脱泡効率を向上させることは可能であっても、定在波自体をなくすことはできず、これらの提案によっても液中から気泡を効率的に、かつ完全に除去することは困難であった。
【００１４】
また、この課題に対し、照射する超音波の発振周波数を、基準となる周波数を中心に所定の周波数帯域幅に連続して変調させ、塗布液に照射される超音波の音圧分布を周期的に連続して変化させる構成が、たとえば、特許文献８等に提案されている。この構成によれば、塗布液中の気泡を十分に除去できないという問題はかなり解決したが、液物性と単位時間当たりの脱泡処理速度次第では、未だ脱泡が不十分であった。すなわち、液物性毎の超音波の出力を単位時間当たりの脱泡処理速度を考慮して個々に設定しなければならないという問題が残った。
【００１５】
次いで、２）の課題について説明する。従来例の超音波脱泡装置は、塗布液を脱泡槽に収容してこれに超音波を照射する構成の装置である。この装置で塗布液に超音波を照射すると、塗布液の圧力変動が発生し、加圧下での液中気泡の溶解が促進される。この効果は超音波の出力を高くすると更に増加するが、超音波の出力を上げ過ぎると液体中に負圧の微小な気泡、すなわちキャビテーションが瞬間的に発生し、続いて消滅する現象が発生する。このキャビテーションの消滅時には、圧力８７０００ａｔｍ、温度１６００００°Ｃと推定される局所的な反応場が瞬間的に形成されるため、周囲の液中に溶解していた気体が再び析出するという問題も生じる。この現象は、超音波の出力を上げ過ぎた場合と単位時間当たりの脱泡処理速度が少ない場合に発生し易い。
【００１６】
次いで、３）の課題について説明する。従来例の超音波脱泡装置では、既述のように、キャビテーションの消滅時には、圧力８７０００ａｔｍ、温度１６００００°Ｃと推定される局所的な反応場を瞬間的に形成させる衝撃波が発生する。そのため、塗布渡がダメージを受けたり、塗布液を移送する配管内に腐食を生じたりする問題があった。
【００１７】
次いで、４）の課題について説明する。従来例の超音波脱泡装置において、気泡の脱泡不足と超音波の出力を上げ過ぎた際に生じ易い泡の析出に対処すべく、貯液槽又は移送管内の塗布液に外側より、周波数の低い振動から高い振動へと変化する周波数変化サイクルの超音波振動を１周波数変化サイクル分以上伝える構成の提案や、超音波発振周波数を、基準となる周波数を中心に所定の周波数帯域幅に連続して変調させ、塗布液に照射される超音波の音圧分布を周期的に連続して変化させる構成の提案などが、たとえば、特許文献７、８等に開示されている。この周波数変調方式を有する超音波脱泡方式によれば、脱泡不足は格段に減少した。しかし、液物性と単位時間当たりの脱泡処理速度次第では、未だ脱泡不足が存在しており、液物性毎の超音波の出力を単位時間当たりの脱泡処理速度を考慮して個々に設定しなければならないという問題が残った。
【００１８】
次いで、５）の課題について説明する。超音波脱泡方法に他の脱泡方法を組み合わせ、複数の脱泡工程を有する構成が、特許文献４、５、及び６等に提案されている。たとえば、特許文献４によれば、所定の脱泡容器に塗布液を導き、一旦、塗布液を減圧下において気泡を浮上除去し、次いで、同一の脱泡容器内を加圧しながら超音波照射を併用して気泡を塗布液中に溶解させる。この方法によれば、ある程度の脱泡能力はあるものの、同一容器で複数の工程を経るために、脱泡処理に長時間を要し、また、装置が大型になるという問題があった。
【００１９】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、写真感光材料塗布液のような液体を塗布装置により支持体に塗布する工程において、塗布液中に含まれる気泡によって発生する泡故障を防止し、均一で良好な塗布膜を形成するのに好適な塗布液の脱泡方法及び脱泡装置を提供することを目的とする。
【００２０】
特に、高粘度の塗布液で、単位時間当たりの脱泡処理速度が大きい場合に、塗布液中の気泡を短時間で、効率的に脱泡、除去できる塗布液の脱泡方法及び脱泡装置を提供することを目的とする。
【００２１】
また、キャビテーション消滅時の衝撃波による塗布液へのダメージ及び塗布液を移送する配管内の腐食が抑制でき、キャビテーション消滅時の局所的な反応場による周囲の液体中に溶解していた気体の再析出をも同時に抑制できる塗布液の脱泡方法及び脱泡装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
本発明は、前記目的を達成するために、周波数帯域の異なる複数の超音波を同時に塗布液に照射して、前記塗布液の脱泡を行うことを特徴とする塗布液の脱泡方法を提供する。
【００２３】
また、本発明は、一端に塗布液の流入口を有するとともに、他端に塗布液の流出口を有する管状部材であり、該管状部材の外周面に複数の超音波振動子が固着されており、該管状部材の内部に周波数帯域の異なる複数の超音波が同時に照射可能となっていることを特徴とする塗布液の脱泡装置を提供する。
【００２４】
本発明によれば、塗布液に周波数帯域の異なる複数の超音波を同時に照射して前記塗布液の脱泡を行う。これにより、単一の周波数の超音波照射によるキャビテーションを抑制でき、また、塗布液の振動現象を高めることによる液体と液中気泡との界面の振動を促進でき、気泡を液中に効率的に溶解させられる。その結果、塗布液中に含まれる気泡によって発生する泡故障を防止し、均一で良好な塗布膜を形成できる。
【００２５】
また、特に、高粘度の塗布液で、単位時間当たりの脱泡処理速度が大きい場合に、塗布液中の気泡を短時間で、効率的に脱泡、除去できる。
【００２６】
更に、キャビテーション消滅時の衝撃波による塗布液へのダメージ及び塗布液を移送する配管内の腐食が抑制でき、キャビテーション消滅時の局所的な反応場による周囲の液体中に溶解していた気体の再析出をも同時に抑制できる。
【００２７】
本発明において、前記塗布液を気液界面のない状態とし、かつ１０ｋＰａ以上に加圧することが好ましい。このような条件下で脱泡を行うことにより、本発明の効果が一層発揮できる。
【００２８】
また、本発明において、前記塗布液が、写真感光材料塗布液、熱現像感光材料塗布液、透明感熱材料塗布液、及び有機溶剤塗布液のいずれかであることが好ましい。このような種類の塗布液に適用することにより、本発明の効果が好適に発揮できる。
【発明の効果】
【００２９】
以上説明したように、本発明によれば、塗布液に周波数帯域の異なる複数の超音波を同時に照射して前記塗布液の脱泡を行う。これにより、単一の周波数の超音波照射によるキャビテーションを抑制でき、また、塗布液の振動を高めることによる液体と液中気泡との界面の振動を促進でき、気泡を液中に効率的に溶解させられる。その結果、塗布液中に含まれる気泡によって発生する泡故障を防止し、均一で良好な塗布膜を形成できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、添付図面に基づいて、本発明の実施態様の例について説明する。図１は、本発明に適用される塗布液の脱泡装置１０の構成を説明する断面図である。この塗布液の脱泡装置１０は、塗布液を流動させる管状部材である脱泡管１２と、脱泡管１２の外周面に固着される複数個の超音波振動子１４、１６と、全体を覆う躯体であるカバー１８とより構成される。
【００３１】
脱泡管１２は、内管１２Ａと外管１２Ｂとが同心円状に配された二重管である。内管１２Ａの内部には塗布液が流動し、内管１２Ａの外面と外管１２Ｂの内面との間には温度調節水が循環できる構造となっている。
【００３２】
すなわち、内管１２Ａの上端部は、上蓋２０により塞がれ、内管１２Ａの下端部は、下蓋２２により塞がれている。そして、上蓋２０には塗布液供給口２４が設けられ、下蓋２２には塗布液排出口２６がそれぞれ設けられている。塗布液供給口２４には塗布液供給手段（送液ポンプ等）からの配管（図示略）が接続可能となっており、塗布液排出口２６には塗布液供給手段へ向かう戻り用の配管（図示略）が接続可能となっている。塗布液排出口２６の下流側の配管経路中には、圧力調節弁が設けられており、内管１２Ａ内部に流動する塗布液に加えられる圧力が調整可能となっている。
【００３３】
塗布液供給手段としては、連続的に、かつ一定の流量で送液可能な定量送液手段、一般的には定量ポンプ（たとえば、プランジャポンプ、歯車ポンプ等の流量可変の送液手段）が好ましく使用できる。
【００３４】
なお、脱泡管１２の断面形状は、円形のみならず、多角形のものも採用できる。また、脱泡管１２及びその周辺の部材は、１０ｋＰａ以上の内圧に耐え得る構成とすることが好ましい。
【００３５】
上蓋２０は、透明なドーム状のもので、脱泡管１２内部の塗布液の脱泡状態を観察できるようになっている。
【００３６】
内管１２Ａの外面と外管１２Ｂの内面とが形成する空間は上端部及び下端部で塞がれており、下端部には温度調節水供給口２８が設けられ、上端部には温度調節水排出口３０が設けられている。温度調節水供給口２８には循環式恒温水槽からの配管（図示略）が接続可能となっており、温度調節水排出口３０には循環式恒温水槽への戻り配管（図示略）が接続可能となっている。これにより、内管１２Ａの外面と外管１２Ｂの内面とが形成する空間に温度調節水が循環し、内管１２Ａの内部に流動する塗布液の温度調節が可能となっている。
【００３７】
外管１２Ｂの外周面には、複数の超音波振動子１４、１６が固着されている。超音波振動子１４は、発振周波数が４０ｋＨｚのものであり、超音波振動子１６は、発振周波数が１２０ｋＨｚのものである。これらの超音波振動子１４、１６は、図１に示されるように、交互に並んで配されるとともに、内管１２Ａを挟んで相対する超音波振動子が異なる発振周波数のものとなるように配されている。このような構成により、内管１２Ａの内部に周波数帯域の異なる複数の超音波が同時に照射可能となっている。
【００３８】
なお、後述する比較例においては、図１に示される構成の塗布液の脱泡装置１０であって、超音波振動子１４、１６のいずれもが、発振周波数が４０ｋＨｚのものが採用されている。
【００３９】
超音波振動子１４、１６の周方向の配置は、最低限２個（１対）が内管１２Ａを挟んで相対していればよいが、複数対配されていることが効率の点より好ましい。いずれにせよ、脱泡管１２のサイズ（外径）、超音波振動子１４、１６のサイズ、仕様等に応じて適宜の構成を採用すればよい。
【００４０】
次に、塗布液の脱泡装置１０の作用について説明する。
【００４１】
塗布液供給手段より供給される塗布液は、塗布液供給口２４を経て内管１２Ａ内部に流入し、内管１２Ａ内部を流動した後に、塗布液排出口２６を経て塗布液供給手段に戻る。この際、塗布液排出口２６の下流側の配管経路中に設けられている圧力調節弁によって、内管１２Ａの内部は所定の圧力状態に維持される。また、内管１２Ａの外面と外管１２Ｂの内面とが形成する空間に温度調節水が循環し、内管１２Ａの内部に流動する塗布液の温度が調節される。更に、超音波振動子１４、１６により、周波数帯域の異なる複数（この場合は２種）の超音波が、温度調節水及び内管１２Ａを経て塗布液に同時に照射される。
【００４２】
発振周波数が４０ｋＨｚと１２０ｋＨｚの超音波が塗布液に同時に照射されることにより、単一の発振周波数（たとえば、４０ｋＨｚ）の超音波照射によるキャビテーションを抑制できる。また、塗布液の振動現象が高められ、液体と液中気泡との界面の振動を促進でき、気泡を液中に効率的に溶解させられる。
【００４３】
なお、周波発帯域の異なる複数の超音波を照射する方法による液体のキャビテーションの抑制効果に加え、液体の振動が活性化する効果も得られる。この効果は、液体に与えられた超音波エネルギーが、液中での超音波の干渉状態に影響を受け、発泡現象が振動現象に遷移したため生じたと考えられる。
【００４４】
また、発振周波数が４０ｋＨｚと１２０ｋＨｚの超音波が塗布液に同時に照射されることにより、キャビテーション消滅時の衝撃波による塗布液へのダメージ及び塗布液を移送する配管内の腐食が抑制でき、キャビテーション消滅時の局所的な反応場による周囲の液体中に溶解していた気体の再析出をも同時に抑制できる。
【００４５】
以上、本発明に係る塗布液の脱泡方法及び脱泡装置の実施形態の例について説明したが、本発明は上記実施形態の例に限定されるものではなく、各種の態様が採り得る。
【００４６】
たとえば、本実施形態の例では、図１に示される塗布液の脱泡装置１０において、２種類の超音波振動子１４、１６を使用する構成が採用されているが、３種類の超音波振動子（たとえば、発振周波数が４０ｋＨｚ、８０ｋＨｚ、１２０ｋＨｚのもの）を使用する構成を採用してもよい。このような構成であっても、同様な効果が得られる。
【００４７】
また、図１に示される塗布液の脱泡装置１０のように、垂直方向の脱泡管１２とせず、水平方向の脱泡管とする構成を採用してもよい。
【実施例】
【００４８】
本発明の実施例を、比較例と対比して説明する。
【００４９】
実施例、比較例、ともに、図１に示される構成の塗布液の脱泡装置１０を使用したが、既述のように、実施例では超音波振動子１４の発振周波数を４０ｋＨｚ、超音波振動子１６の発振周波数を１２０ｋＨｚとし、比較例では超音波振動子１４、１６の発振周波数を４０ｋＨｚ、１２０ｋＨｚとした。
【００５０】
超音波の総出力は、実施例、比較例、ともに、最大で１５００Ｗであり、総出力を最大値の１０〜１００％まで１０％きざみで変化させた。
【００５１】
内管１２Ａの内径は、１２４ｍｍであり、内管１２Ａの長さは、８４５ｍｍである。内管１２Ａの内部に加えられる圧力（液圧）は、９８ｋＰａ（１. ０ｋｇｆ／ｃｍ2 ）に統一した。
【００５２】
塗布液の流量は、５. ０〜２５. ０リットル／分まで５リットルきざみで変化させた。      
【００５３】
塗布液として、以下の２種類のもの（被脱泡液Ａ、被脱泡液Ｂ）を準備した。被脱泡液Ａとして、濃度９％のゼラチン溶液に、界面活性剤（α−ｈｅｘｅｄｅｃｙｌ−ω−ｈｙｄｒｏｘｙｐｏｌｙｏｘｙｅｔｈｙｌｅｎｅ１０％溶液）を、ゼラチン溶液全量に対して２％添加し、更に、増粘剤（Ｐｏｔａｄｉｕｍ４−Ｖｉｎｙｌｂｅｎｚｅｎｓｕｌｆｏｎａｔｅｐｏｌｙｍｅｒ）を加え、粘度を５５ｃＰに調整した。
【００５４】
被脱泡液Ｂとして、濃度９％のゼラチン溶液に、界面活性剤（α−ｈｅｘｅｄｅｃｙｌ−ω−ｈｙｄｒｏｘｙｐｏｌｙｏｘｙｅｔｈｙｌｅｎｅ１０％溶液）を、ゼラチン溶液全量に対して２％添加し、更に、増粘剤（Ｐｏｔａｄｉｕｍ４−Ｖｉｎｙｌｂｅｎｚｅｎｓｕｌｆｏｎａｔｅｐｏｌｙｍｅｒ）と、メタノールを濃度１０％になるように加え、粘度を１５ｃＰに調整した。
【００５５】
被脱泡液Ａ及び被脱泡液Ｂのいずれにも３０〜５００μｍのサイズの気泡を一定量混入させた。
【００５６】
塗布液の脱泡装置１０による脱泡処理の効果は、脱泡管１２の上流側と下流側に設けた気泡検出器（図示略）の検出信号（気泡通過時に検出信号（電圧）が変化）を比較し、脱泡の可否（気泡検出の有無）を○×で評価した。
【００５７】
本発明の実施例の結果を図２の表に、比較例の結果を図３及び図４の表に、それぞれ示す。先ず、高粘度（５５ｃＰ）の被脱泡液Ａの結果を比較する。単一の発振周波数４０ｋＨｚによる比較例の場合、全５０条件のうち僅か４条件のみ脱泡が可能（○）であった。この４条件のうち、３条件は塗布液の流量が５. ０リットル／分の場合であり、１条件は塗布液の流量が１０. ０リットル／分の場合であった。ただし、脱泡が可能（○）な超音波の総出力は、１００％の条件ではなく、２０〜４０％の条件であった。この理由は、超音波の総出力が高い状態では、キャビテーションが悪影響を及ぼしていると推定される。
【００５８】
単一の発振周波数１２０ｋＨｚによる比較例の場合、全５０条件のうち僅か６条件のみ脱泡が可能（○）であった。この６条件は、全て塗布液の流量が５. ０リットル／分の場合であった。この理由は、１２０ｋＨｚの方が４０ｋＨｚよりも液体の振動が弱いためと推定される。また、出力は２０〜７０％の条件で脱泡が可能（○）であり、これは、超音波の総出力が高い状態では、キャビテーションの影響を受けていると推定される。
一方、２種類の発振周波数（４０ｋＨｚ、１２０ｋＨｚ）による実施例の場合、全５０条件のうち３６条件の脱泡が可能（○）であった。このうち、塗布液の流量が５. ０、１０. ０、１５. ０リットル／分の場合は超音波の総出力の大小に拘り無く、いずれも脱泡が可能（○）であった。そして、塗布液の流量がこれより増えるにつれ、脱泡が可能（○）な条件は狭まってきた。
【００５９】
以上の結果より、高粘度（５５ｃＰ）の被脱泡液Ａにおいて、本発明の効果が確認できた。
【００６０】
次いで、メタノールを含有する低粘度（１５ｃＰ）の被脱泡液Ｂの結果を比較する。単一の発振周波数４０ｋＨｚによる比較例の場合、単一の発振周波数１２０ｋＨｚによる比較例の場合のいずれにおいても、全５０条件のうち脱泡が可能（○）な条件はなかった。
【００６１】
一方、２種類の発振周波数（４０ｋＨｚ、１２０ｋＨｚ）による実施例の場合、全５０条件のうち３８条件の脱泡が可能（○）であった。このうち、塗布液の流量が５. ０、１０. ０、１５. ０リットル／分の場合は超音波の総出力の大小に拘り無く、いずれも脱泡が可能（○）であった。そして、塗布液の流量がこれより増えるにつれ、脱泡が可能（○）な条件は狭まってきた。
【００６２】
以上の結果より、メタノールを含有する低粘度（１５ｃＰ）の被脱泡液Ｂにおいて、本発明の効果が確認できた。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】塗布液の脱泡装置の構成を説明する断面図
【図２】実施例の結果を示す表
【図３】比較例の結果を示す表
【図４】比較例の結果を示す表
【符号の説明】
【００６４】
１０…塗布液の脱泡装置、１２…脱泡管、１２Ａ…内管、１２Ｂ…外管、１４、１６…超音波振動子、１８…カバー、２０…上蓋、２２…下蓋、２４…塗布液供給口、２６…塗布液排出口、２８…温度調節水供給口、３０…温度調節水排出口
【図１】
2005161164.tif 000003
【図２】
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【図３】
2005161164.tif 000005
【図４】
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