(57)【要約】【課題】液晶部材を充填して表示セルを形成する液晶基板製造の効率化を図る。【解決手段】液晶基板８における、表示セル内での空洞の存在あるいはギャップむらの存在を、光学的に識別できることに着目し、偏光板７２を介して得られた撮像パターンを第１及び第２の閾値Ｌ１，Ｌ２と対比し、得られた明度レベルが基準範囲である第１と第２の閾値Ｌ１，Ｌ２との間にあるか否か判定を行う。  撮像パターンが第１の閾値Ｌ１を超えている領域を有するときには、たとえば液晶滴下部３の滴下量を増加させ、第２の閾値Ｌ２を下回る領域を有するときには、基板貼合わせ部４におけるプレス機構の加圧力を増加させることで、液晶基板の表示セルにおける空洞の存在及びギャップむらの存在を抑制ないしは解消して、液晶基板の製造上の歩留まりを改善できる。【選択図】図１
2005062501.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
貼り合わされた２枚の基板間に液晶部材を充填してなる液晶基板への偏光板の取り付け操作に先立ち、液晶基板の良否を検査する液晶基板の良否検査装置であって、
前記液晶基板を保持する受け手段と、
この受け手段に保持された前記液晶基板に光を照射するように配置された光源と、
この光源からの光に照射された前記液晶基板を撮像する撮像手段と、
この撮像手段からの出力信号に基づいて前記液晶基板に充填された液晶部材の良否を判定する判定手段と
を具備することを特徴とする液晶基板の良否検査装置。
【請求項２】
２枚の基板が貼り合わされた液晶基板を保持する受け手段と、
この受け手段に保持される前記液晶基板を挟むように対向配置され前記液晶基板と相対的に移動可能な第１及び第２の偏光板と、
この第２の偏光板を介して、前記受け手段に保持された液晶基板に光を照射するように配置された光源と、
この光源からの光に照射された前記液晶基板を、前記第１の偏光板を介して撮像する撮像手段と、
この撮像手段からの出力信号に基づいて前記液晶基板の良否を判定する判定手段と
を具備することを特徴とする液晶基板の良否検査装置。
【請求項３】
２枚の基板が貼り合わされた液晶基板を、対向配置された第１と第２の偏光板との間に配置する第１の工程と、
この第１の工程の後に、前記第１及び第２の偏光板間に配置された前記液晶基板を、第１または第２の偏光板を介して撮像する第２の工程と、
この第２の工程によって得られた出力信号に基づいて前記液晶基板の良否を判定する第３の工程と、
この第３の工程で良否判定された前記液晶基板を、前記第１及び第２の偏光板間から取り出し搬出する第４の工程と
からなることを特徴とする液晶基板の良否検査方法。
【請求項４】
前記第２の工程は、前記第２または第１の偏光板を介して光が照射された前記液晶基板を撮像することを特徴とする請求項３に記載の液晶基板の良否検査方法。
【請求項５】
貼り合わされる２枚の基板のいずれか一方の基板の表示領域を囲むようにシール剤を塗布するシール剤塗布手段と、シール剤に囲まれた領域内に液晶部材を滴下する滴下手段と、前記シール剤を間に２枚の基板を加圧して貼り合わせる貼合わせ手段とを有してなる液晶基板の製造装置において、
前記貼合わせ手段により前記２枚の基板が貼り合わされた液晶基板を保持する受け手段と、
この受け手段に保持された前記液晶基板に光を照射するように配置された光源と、
この光源からの光に照射された前記液晶基板を撮像する撮像手段と、
この撮像手段からの出力信号に基づいて前記液晶基板に充填された液晶部材の良否を判定する判定手段と、
この判定手段による判定結果に基づいて、前記シール剤塗布手段におけるシール剤の塗布位置、前記滴下手段における液晶の滴下量、または前記貼合わせ手段における加圧力の少なくともいずれか１つを調整制御する制御手段と
を具備することを特徴とする液晶基板の製造装置。
【請求項６】
貼り合わされる２枚の基板のいずれか一方の基板の表示領域を囲むようにシール剤を塗布するシール剤塗布手段と、シール剤に囲まれた領域内に液晶部材を滴下する滴下手段と、前記シール剤を間に２枚の基板を加圧して貼り合わせる貼合わせ手段とを有してなる液晶基板の製造装置において、
前記貼合わせ手段により前記２枚の基板が貼り合わされた液晶基板を保持する受け手段と、
この受け手段に保持される前記液晶基板を挟むように対向配置させた第１及び第２の偏光板と、
この第２の偏光板を介して、前記受け手段に保持された液晶基板に光を照射するように配置された光源と、
この光源からの光に照射された前記液晶基板を、前記第１の偏光板を介して撮像する撮像手段と、
この撮像手段からの出力信号に基づいて前記液晶基板の良否を判定する判定手段と、
この判定手段による判定結果に基づいて、前記シール剤塗布手段におけるシール剤の塗布位置、前記滴下手段における液晶の滴下量、または前記貼合わせ手段における加圧力の少なくともいずれか１つを調整制御する制御手段と
を具備することを特徴とする液晶基板の製造装置。
【請求項７】
前記制御手段は、前記出力信号から得られた撮像パターン中に上限を定めた第１の閾値を超える明度部分があるときに、前記シール剤塗布手段におけるシール剤の塗布位置、または前記滴下手段における液晶滴下量の少なくとも一方を調整制御するように構成されたことを特徴とする請求項５または請求項６に記載の液晶基板の製造装置。
【請求項８】
前記制御手段は、前記出力信号から得られた撮像パターン中に下限を定めた第２の閾値を下回る明度部分があるときに、前記貼合わせ手段における加圧力を調整制御するように構成されたことを特徴とする請求項５ないし請求項７のうちのいずれか１項に記載の液晶基板の製造装置。
【請求項９】
貼り合わされる２枚の基板のいずれか一方の基板の表示領域を囲むようにシール剤を塗布する塗布工程と、シール剤で囲まれた領域内に液晶部材を滴下する滴下工程と、この滴下工程の後に、シール剤を間に、２枚の基板を加圧して貼り合わせる貼合わせ工程とを有してなる液晶基板の製造方法において、
前記貼合わせ工程を経て、前記２枚の基板が貼り合わされた液晶基板を、対向配置された第１の偏光板と第２の偏光板との間に配置する第１の工程と、
この第１の工程の後に、前記第１及び第２の偏光板間に配置された前記液晶基板を、前記第１または第２の偏光板を介して撮像する第２の工程と、
この第２の工程によって得られた出力信号に基づいて前記液晶基板の良否を判定する第３の工程と、
この第３の工程における判定結果に基づいて、前記塗布工程におけるシール剤の塗布位置、前記滴下工程における液晶滴下量、または前記貼合わせ工程における加圧力の少なくともいずれか一つを調整制御する第４の工程と
からなることを特徴とする液晶基板の製造方法。
【請求項１０】
前記第４の工程は、前記出力信号から得られた撮像パターン中に上限を定めた第１の閾値を超える明度部分があるときに、前記塗布工程におけるシール剤の塗布位置、または前記滴下工程における液晶滴下の少なくとも一方を調整制御することを特徴とする請求項９に記載の液晶基板の製造方法。
【請求項１１】
前記第４の工程は、前記出力信号から得られた撮像パターン中に下限を定めた第２の閾値を下回る明度部分があるときに、前記貼合わせ工程における加圧力を調整制御することを特徴とする請求項９または請求項１０に記載の液晶基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶基板の良否検査装置、液晶基板の良否検査方法、液晶基板の製造装置、及び液晶基板の製造方法の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶基板は、貼り合わされる２枚の基板、例えばＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ：薄膜トランジスタ）ガラス基板とカラーフィルタガラス基板との間に、液晶部材が充填されて製造される。
【０００３】
従来の液晶基板の製造装置は、図７に示したように概略構成され、貼り合わされる２枚の基板は、基板搬入部１を経てシール剤塗布部２に供給される。シール剤塗布部２では、２枚の基板のうち少なくともいずれか一方の基板の表示領域を囲むようにシール剤が塗布される。
【０００４】
シール剤が塗布された基板は、液晶滴下部３に搬送供給される。液晶滴下部３では、シール剤が塗布された表示領域に、予め設定された量の液晶部材が滴下される。
【０００５】
シール剤に囲まれた表示領域に所定量の液晶部材が滴下された基板は、真空槽を有する基板貼合わせ部４に搬送供給され、２枚の基板は、真空雰囲気中での位置決め操作の後、プレス機構による加圧操作によりシール剤を介して貼り合わされる。
【０００６】
貼り合わされた２枚の基板は、真空槽内の大気圧への復帰操作により、基板間における内外圧力差によりさらに加圧されることから、所定のセルギャップを有する表示セルが形成され、基板搬出部５を経て次の偏光板の貼付け工程及び駆動用ＩＣの実装工程へと搬出される。
【０００７】
制御部６は、一連の上記製造工程を統括制御するとともに、各工程における操作制御、例えばシール剤塗布部２におけるシール剤塗布操作の際の位置制御やシール剤の吐出量制御、液晶滴下部３における液晶部材の滴下量制御、基板貼合わせ部４における基板の位置合わせ制御及びプレス操作や真空槽内の圧力調整の制御等を担うように構成されている。
【０００８】
上記のように、偏光板の貼り付けや駆動用ＩＣの接続実装がいまだ行われていない液晶表示基板を、以下、本明細書では液晶基板と称するものとする。
【０００９】
そこで、液晶基板は、偏光板の貼付け工程及び駆動用ＩＣの実装工程において、液晶基板に対する偏光板の貼り付け及び駆動用ＩＣの接続実装等を経て液晶表示パネルが組み立てられるが、液晶表示パネルが、何ら欠陥がなく適正かつ良好に画像を表示し得るか否かは、作業員の目視による官能検査、あるいは画質検出ツールと画像処理技術とを用いて検査する方法が知られている（例えば、特許文献１参照。）。また、偏光板とともに駆動用ＩＣを組み込んだ液晶表示パネルでは、ゲートバスライン及びデータバスラインに実際に試験電気信号を供給し、表示領域内における明度の変化を目視確認して、表示領域内における欠陥の有無あるいは良否を判定する方法も知られている（例えば、特許文献２参照。）。
【特許文献１】特開２００２−２４３５８３号公報
【特許文献２】特開平１１−１４５５６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
液晶基板の製造装置において、２枚の基板間に液晶部材を充填して貼り合わせ、良好な表示セルを形成するためには、セル内に液晶部材が行き渡りきらない空洞が存在しないこと、またギャップむらが存在しないこと等が要求される。
【００１１】
しかしながら、表示面の大型化及び基板の大型化が進展する中で、薄いガラス製の２枚の基板を、セル内に空洞が存在せずまたギャップむらが生じないように貼り合わせることは技術的には必ずしも容易ではない。
【００１２】
従来は、セル内に空洞が存在したりあるいはギャップむら等が生じた液晶基板でも、これを確認する有効な手段がなかったので、製造された液晶基板は次の工程に自動的に搬送され、偏光板の貼り合わせ及び駆動用ＩＣの実装等が行われていた。
【００１３】
その結果、上記のように、液晶表示パネルとして完成した後にはじめて、空洞やギャップムラの存在に基づく欠陥が検出されることが多く、その間、無駄な工程を重ねることになり、液晶表示パネル製造上の生産効率の低下の要因となっていたので改善が要望されていた。
【００１４】
そこで、本発明は、液晶基板の製造過程において、セル内の空洞の有無やギャップむらの有無を自動的に検知し得て、不良品が次の偏光板の貼付工程等に渡るのを未然に防止可能な液晶基板の良否検査装置、及び液晶基板の良否検査方法、並びにその液晶基板の良否検査装置を搭載して、空洞の発生を抑制ないしは回避するとともにギャップむらを抑制ないしは回避して、製造効率の向上を実現し得る液晶基板の製造装置、及び液晶基板の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は、セル内での空洞の有無やギャップむらがあるか否かを光学的に認識できることに加えて、空洞発生の回避を液晶部材の滴下量調整により、またギャップむら発生の回避は貼合わせ手段における基板に対する加圧力の調整によって解消できることに着目してなされたもので、◎
第１の発明は、貼り合わされた２枚の基板間に液晶部材を充填してなる液晶基板への偏光板の取り付け操作に先立ち、液晶基板の良否を検査する液晶基板の良否検査装置であって、前記液晶基板を保持する受け手段と、この受け手段に保持された前記液晶基板に光を照射するように配置された光源と、この光源からの光に照射された前記液晶基板を撮像する撮像手段と、この撮像手段からの出力信号に基づいて前記液晶基板に充填された液晶部材の良否を判定する判定手段とを具備することを特徴とする。
【００１６】
第２の発明は、液晶基板の良否検査装置であって、２枚の基板が貼り合わされた液晶基板を保持する受け手段と、この受け手段に保持される前記液晶基板を挟むように対向配置され前記液晶基板と相対的に移動可能な第１及び第２の偏光板と、この第２の偏光板を介して、前記受け手段に保持された液晶基板に光を照射するように配置された光源と、この光源からの光に照射された前記液晶基板を、前記第１の偏光板を介して撮像する撮像手段と、この撮像手段からの出力信号に基づいて前記液晶基板の良否を判定する判定手段とを具備することを特徴とする。
【００１７】
この第１及び第２の発明によれば、液晶基板は、撮像画像が、判定手段において予め定められた基準範囲内にあるか否か判定されるので、欠陥液晶基板が誤って次の工程に渡るのを未然に防ぐことができる。
【００１８】
第３の発明は、液晶基板の良否検査方法であって、２枚の基板が貼り合わされた液晶基板を、対向配置された第１と第２の偏光板との間に配置する第１の工程と、この第１の工程の後に、前記第１及び第２の偏光板間に配置された前記液晶基板を、第１または第２の偏光板を介して撮像する第２の工程と、この第２の工程によって得られた出力信号に基づいて前記液晶基板の良否を判定する第３の工程と、この第３の工程で良否判定された前記液晶基板を、前記第１及び第２の偏光板間から取り出し搬出する第４の工程とからなることを特徴とする。
【００１９】
このように、第３の発明によれば、第２の工程において偏光板を介した撮影が行われ、また第３の工程において画像信号に対する良否判定が行われるので、欠陥液晶基板を検出することができ、第１の発明と同様に、その欠陥液晶基板が誤って次の工程に搬出されるのを回避することができる。
【００２０】
第４の発明は、貼り合わされる２枚の基板のいずれか一方の基板の表示領域を囲むようにシール剤を塗布するシール剤塗布手段と、シール剤に囲まれた領域内に液晶部材を滴下する滴下手段と、前記シール剤を間に２枚の基板を加圧して貼り合わせる貼合わせ手段とを有してなる液晶基板の製造装置において、前記貼合わせ手段により前記２枚の基板が貼り合わされた液晶基板を保持する受け手段と、この受け手段に保持された前記液晶基板に光を照射するように配置された光源と、この光源からの光に照射された前記液晶基板を撮像する撮像手段と、この撮像手段からの出力信号に基づいて前記液晶基板に充填された液晶部材の良否を判定する判定手段と、この判定手段による判定結果に基づいて、前記シール剤塗布手段におけるシール剤の塗布位置、前記滴下手段における液晶の滴下量、または前記貼合わせ手段における加圧力の少なくともいずれか１つを調整制御する制御手段とを具備することを特徴とする。
【００２１】
第５の発明は、貼り合わされる２枚の基板のいずれか一方の基板の表示領域を囲むようにシール剤を塗布するシール剤塗布手段と、シール剤に囲まれた領域内に液晶部材を滴下する滴下手段と、前記シール剤を間に２枚の基板を加圧して貼り合わせる貼合わせ手段とを有してなる液晶基板の製造装置において、前記貼合わせ手段により前記２枚の基板が貼り合わされた液晶基板を保持する受け手段と、この受け手段に保持される前記液晶基板を挟むように対向配置させた第１及び第２の偏光板と、この第２の偏光板を介して、前記受け手段に保持された液晶基板に光を照射するように配置された光源と、この光源からの光に照射された前記液晶基板を、前記第１の偏光板を介して撮像する撮像手段と、この撮像手段からの出力信号に基づいて前記液晶基板の良否を判定する判定手段と、この判定手段による判定結果に基づいて、前記シール剤塗布手段におけるシール剤の塗布位置、前記滴下手段における液晶の滴下量、または前記貼合わせ手段における加圧力の少なくともいずれか１つを調整制御する制御手段とを具備することを特徴とする。
【００２２】
この第４及び第５の発明によれば、制御手段が判定手段の判定結果に基づいて、シール剤塗布手段におけるシール剤の塗布位置、滴下手段における液晶の滴下量、または貼合わせ手段における加圧力の少なくともいずれか１つを調整制御するので、セル内での空洞の発生あるいはギャップむらの発生に伴う画質の低下を回避して、液晶基板を歩留まり良く製造することができる。
【００２３】
第６の発明は、貼り合わされる２枚の基板のいずれか一方の基板の表示領域を囲むようにシール剤を塗布する塗布工程と、シール剤で囲まれた領域内に液晶部材を滴下する滴下工程と、この滴下工程の後に、シール剤を間に、２枚の基板を加圧して貼り合わせる貼合わせ工程とを有してなる液晶基板の製造方法において、前記貼合わせ工程を経て、前記２枚の基板が貼り合わされた液晶基板を、対向配置された第１の偏光板と第２の偏光板との間に配置する第１の工程と、この第１の工程の後に、前記第１及び第２の偏光板間に配置された前記液晶基板を、前記第１または第２の偏光板を介して撮像する第２の工程と、この第２の工程によって得られた出力信号に基づいて前記液晶基板の良否を判定する第３の工程と、この第３の工程における判定結果に基づいて、前記塗布工程におけるシール剤の塗布位置、前記滴下工程における液晶滴下量または前記貼合わせ工程における加圧力の少なくともいずれか一つを調整制御する第４の工程とからなることを特徴とする。
【００２４】
このように、第６の発明によれば、第４の工程が第３の工程の判定結果に基づいて、塗布工程におけるシール剤の塗布位置、滴下工程における液晶の滴下量、または貼合わせ工程における加圧力の少なくともいずれか１つを調整制御するので、セル内での空洞の発生あるいはギャップむらの発生に伴う画質の低下を回避して、液晶基板を歩留まり良く製造することができる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明の液晶基板の良否検査装置及び液晶検査方法は、液晶基板の良否を容易かつ的確に判定し得て、欠陥液晶基板をリアルタイムに除去し得るので、液晶表示パネルの製造効率向上を実現することができる。
【００２６】
また、本発明の液晶基板の製造装置及び製造方法は、液晶基板の良否を容易かつ的確に判定し得るとともに、フィードバック制御により、製造上の歩留まりを改善し得るものであり、実用に際して得られる効果大である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明による液晶基板の良否検査装置、並びに液晶基板の良否検査方法、及びその良否検査装置を搭載した液晶基板の製造装置及び液晶基板の製造方法の一実施の形態を図１ないし図６を参照して詳細に説明する。なお、図７に示した従来の液晶基板の製造装置と同一構成には同一符号を付して詳細な説明を省略する。
【００２８】
本発明は、ガラス基板の間に液晶部材を充填させて形成した液晶基板が、内部に液晶部材が行き渡りきらない空洞が存在したりあるいはギャップむらが形成されて良好な画像を形成し得ないものであるか否かを、光学的に認識できることに着目してなされたものである。
【００２９】
図１は、本発明の一実施の形態に係る液晶基板の良否検査装置を搭載した液晶基板の製造装置の構成を示したブロック図である。
【００３０】
図１に示した液晶基板の製造装置は、従来と同様に、基板搬入部１から供給された２枚の基板は、シール剤塗布部２に供給され、いずれか一方の基板面にその表示領域を囲むようにシール剤が塗布された後、液晶滴下部３に搬送供給される。
【００３１】
液晶滴下部３においてシール剤が塗布された基板の表示領域には、予め設定された量の液晶部材が滴下され、このように表示領域液晶部材が滴下された基板は、真空槽を有する基板貼合わせ部４に搬送供給される。
【００３２】
基板貼合わせ部４では、真空雰囲気中で位置合わせ操作を経た後の２枚の基板は、プレス機構による加圧を経てシール剤を介して貼り合わされる。
【００３３】
プレス機構による加圧操作により貼り合わされた２枚の基板は、真空槽内の大気圧への復帰操作により、基板間の内外圧力差に基づく所定のセルギャップの形成を経て基板検査部７に供給される。
【００３４】
基板検査部７は、図２にその具体的構成を示したように、供給された液晶基板８を受け、これを載置して保持する搬送機器７１を備え、この液晶基板の受け手段を形成した搬送機器７１は、液晶基板８を図示矢印Ｘ方向に搬送し、水平方向に向けて固定配置した第１の偏光板７２に対向し得るように構成されている。
【００３５】
搬送機器７１は、図３に一部切り欠き要部斜視図を示したように、搬送方向に向けて配設された一対のガイドレール７１１，７１２と、このガイドレール７１１，７１２に案内されて移動可能に構成された基板受け機構７１３とで構成されている。
【００３６】
基板受け機構７１３は、内部に光源７３を収納した箱状体７１３ａと、この箱状体７１３ａの上部開口面を覆う透明で厚いガラス板７１３ｂとで構成され、光源７３とガラス板７１３ｂとの間には、ガラス板７１３ｂと平行で第１の偏光板７２と対向し得るように第２の偏光板７４が収納されている。
【００３７】
なおここで、第１及び第２の偏光板７２，７４は、いずれも光を直線偏光に変えるものであり、偏光軸に沿う方向に振動する光だけを通過させるものである。
【００３８】
また、第１の偏光板７２は、不図示の回転駆動機構によって第１の偏光板７２の偏光軸と第２の偏光板７４の偏光軸とが平行する状態から直交する状態までの少なくとも９０°の範囲で水平回転可能に設けられ、第２の偏光板７４の偏光軸に対して第１の偏光板７２の偏光軸の回転角度を調整可能としている。そして、回転駆動機構によって第１の偏光板７２の偏光軸と第２の偏光板７４の偏光軸との間の回転角度を調整することで、液晶基板における欠陥部分（後述する空洞部分８ａｂやギャップむら部分８ａｃ）と正常部分との間の濃淡の差がより顕著に現れるように調整することが可能である。なお、本実施の形態では、第１の偏光板７２の偏光軸と第２の偏光板７４の偏光軸とを平行に調整した例で説明する。
【００３９】
液晶基板８は、基板受け機構７１３の透明で厚いガラス板７１３ｂ上に載置されて保持されるので、変形することなく平坦性を保持しつつ搬送され、第１の偏光板７２に対向した位置で、第２の偏光板７４及びガラス板７１３ｂを介した光源７３からの光に照射される。なお、光源７３は、液晶基板８の広い表示領域内でほぼ均一な明るさが得られるように、面光源を構成するのが望ましい。
【００４０】
そこで、第１の偏光板７２の上方には、ＣＣＤカメラ等の撮像機器７５が配置され、撮像機器７５は、光源７３からの光に照射された液晶基板８の表示領域を、第１の偏光板７２を介して撮像し、そのデジタル画像（映像）信号を判定機器７６に供給する。
【００４１】
このとき、撮像機器７５の撮像パターン例を見ると、図４（ａ）に示すように、液晶部材が充填された表示領域８ａの全体は例えばやや青みがかった灰色の背景８ａａを呈しているが、内部に気泡が存在するとその気泡部分８ａｂは明るく白く浮き出て映し出され、他方、基板間にギャップむらが存在するギャップむら部分８ａｃは、背景８ａａよりも暗く（黒く）写し出される。
【００４２】
このような明るさの差は液晶基板８を通過する際における光の振動方向の捩れ具合や光の屈折の度合いの違いによって生ずると考えられる。すなわち、液晶部材が正常に充填された部分では、第２の偏光板７４で偏光された光は、液晶部材に入射するときに捩れや屈折を生じ、撮像機器７５の撮像パターン上で灰色に映る。一方、気泡部分８ａｂは、液晶部材が存在しないことから第２の偏光板７４で偏光された光の捩れや屈折がほとんどなく、そのため、撮像パターン上で液晶部材の存在する部分に比べて白く映る。他方、ギャップむら部分８ａｃのように他の液晶部材とは厚みが異なる部分では、適正な厚みの液晶部材の部分とは光の捩れや屈折の度合いが異なる。本実施の形態では、これによってギャップむら部分８ａｃが適正な厚みの液晶部材の部分に比べて黒く映った例である。なお、撮像パターン上における液晶部材が充填された部分は、灰色に限らず、茶色や黄色等の白と黒の間に位置する明度に映し出されることもある。
【００４３】
従って、図４（ａ）に示した撮像パターンにおいて、例えば破線で示した矢印Ｘ方向の表示走査線における明度信号（出力信号）は、図４（ｂ）に示した波形となり、この波形の明度信号は判定機器７６に供給される。
【００４４】
判定機器７６は、図５に示すように記憶器７６１、判定器７６２、及び第１及び第２の閾値設定器７６３，７６４で構成され、撮像機器７５による撮像パターンが記憶器７６１に記憶される。
【００４５】
判定器７６２は、記憶器７６１に記憶された撮像パターンを読み出し、適正な液晶基板を形成していることを示す基準範囲内の明度にあるか否かを判定する。
【００４６】
すなわち、背景８ａａの明度（灰色レベル）を間に、空洞部分８ａｂはより白く、ギャップむら部分８ａｃはより黒く映し出されることから、図４（ｂ）に示したように、良好な液晶基板が形成されたと見なすことができる基準範囲を予め設定し、その上限を第１の閾値Ｌ１、下限を第２の閾値Ｌ２とし、その値がそれぞれ第１の閾値設定器７６３及び第２の閾値設定器７６４に設定されている。
【００４７】
従って、判定器７６２は、図４（ｂ）に示すように、各設定された第１及び第２の閾値Ｌ１，Ｌ２と記憶器７６１から読み出した撮像機器７５からの撮像パターンとの比較判定により、空洞部分８ａｂ及びギャップむら部分８ａｃの有無を検出することができ、各検出信号は図１に示す制御部９の制御回路９１に供給する。
【００４８】
ところで、液晶基板の空洞発生原因の一つとして、液晶滴下部３における滴下液晶部材の不足があげられ、また液晶基板におけるギャップむらの原因の一つとしては、基板貼合わせ部４において、シール剤に対するプレス機構の加圧力の不足があげられる。
【００４９】
この実施の形態では、判定機器７６は、すでに空洞及びギャップむらが存在して良好な画面を形成し得ない液晶基板を製造ラインから排除するとともに、後続して製造される液晶基板からその空洞の発生及びギャップむらの形成を回避ないしは抑制し、品質の良い液晶基板を効率良く製造することができる。
【００５０】
すなわち、判定機器７６の判定器７６２における判定結果は、制御部９の制御回路９１に供給される。制御回路９１は空洞及びギャップむらが存在した当該液晶基板８を、例えば不図示の搬出ロボットを駆動制御して製造ラインから排除するように制御するとともに、判定結果をフィードバックし、空洞が存在した場合には、シール剤塗布部２におけるシール剤によって囲む領域の面積を狭めるように制御して２枚の基板とシール剤とによって形成される空間の容積を低減するか、或いは、液晶滴下部３における滴下液晶を増加するように制御して２枚の基板とシール剤とによって形成される空間に封入する液晶部材の総量を増加させる。
【００５１】
また、ギャップむらが存在した場合には、基板貼合わせ部４におけるプレス機構の加圧力を高めるように駆動制御する。もっとも、不良液晶基板８は、制御部９による制御に基づく基板搬出部５による搬出過程で製造ラインから排除するようにしても良い。
【００５２】
このように、液晶基板の良否検査装置を搭載した製造装置では、不良液晶基板８を製造ラインから適切に排除し得るとともに、不良の状態（空洞又はギャップむら）に応じて、シール剤塗布部２におけるシール剤によって囲む領域の面積の低減、液晶滴下部３における滴下する液晶部材の量の増加、基板貼合わせ部４におけるプレス機構の加圧力の増加のいずれかを行なうので、空洞の発生並びにギャップむらは解消され液晶基板を歩留まり良く製造できる。
【００５３】
上記説明の液晶基板の製造装置による製造方法の動作手順を、図６に示したフローチャートを参照して説明する。
【００５４】
まず、ステップ６Ａにおいて、液晶部材を充填した液晶基板８は、一対の対向した偏光板７２，７４間に位置決め配置される（第１の工程）。
【００５５】
ステップ６Ｂにおいて、撮像機器７５は、第１の偏光板７２を介して、液晶基板８の表示面８ａを撮像する（第１の工程）。このとき、第２の偏光板７４の下方に配置された光源７３を点灯させ、液晶基板８を照射させる。
【００５６】
ステップ６Ｃにおいて、撮像機器７５は、液晶基板８の撮像パターンの明度信号を判定機器７６に供給する。
【００５７】
ステップ６Ｄにおいて、判定機器７６は、基準範囲の上限として予め設定された第１の閾値Ｌ１と対比し、供給された明度信号が第１の閾値Ｌ１以下であるか否か判定し、第１の閾値Ｌ１以下である場合（ＹＥＳ）は、次のステップ６Ｆに移行する。
【００５８】
ステップ６Ｄにおいて、供給された明度信号が第１の閾値Ｌ１を超えている（ＮＯ）と判定された場合は、当該液晶基板８には画質を損なわせる空洞が存在し、欠陥があるとして製造ラインから排除させるとともに、制御部９の制御回路９１は液晶滴下部３を制御し、滴下液晶量を増加させるように制御する（ステップ６Ｅ）。
【００５９】
次に、ステップ６Ｆにおいて、判定機器７６は、基準範囲の下限として予め設定された第２の閾値Ｌ２と対比し、供給された明度信号が第２の閾値Ｌ２以上であるか否か判定し、第２の閾値Ｌ２以上である場合（ＹＥＳ）は、当該液晶基板８は良品であるとして、次の工程に向けて搬送すべく終了する。
【００６０】
ステップ６Ｆにおいて、供給された明度信号が第２の閾値Ｌ２未満である（ＮＯ）と判定された場合は、当該液晶基板８には画質を損なわせるギャップむらが存在し、欠陥があるとして製造ラインから排除させるとともに、制御回路９１は基板貼合わせ部４を制御し、プレス機構による基板加圧力を高めるように制御する（ステップ６Ｇ）。
【００６１】
つまり、ステッ６Ｄ及びステッ６Ｆは、撮像された表示領域の明度が適正か否かを判定する第３の工程、及び液晶滴下量あるいは基板加圧力の少なくともいずれか一方を調整制御する第４の工程を形成する。なお、ステッ６Ｄ及びステッ６Ｆは、その順序は逆でも良い。
【００６２】
このように、本発明による液晶基板の製造方法によれば、液晶基板の良否検査を行って、液晶画面の画質を低下させる液晶基板を製造ラインから排除するとともに、その画質低下をもたらす個々の要因にそれぞれ対応し、シール剤塗布工程におけるシール剤によって囲む領域の面積、滴下工程における液晶の滴下量あるいは貼合わせ工程における加圧力の少なくともいずれかを調整制御するので、液晶基板を歩留まり良く製造することができる。
【００６３】
以上説明のように、本実施の形態における液晶基板の製造装置及び液晶基板の製造方法によれば、基板検査部７を設け、第１の偏光板７２を介して得た液晶基板８の画像信号に基づき、容易かつ明確に液晶基板内の空洞及びギャップむらの有無を判定して不良品を除去し得るとともに、その判定結果に基づく液晶滴下部３あるいは基板貼合わせ部４に対するフィードバック制御により、欠陥を回避して良好な液晶基板を製造することができるものであり、製造効率の向上を実現することができる。
【００６４】
上記実施の形態において、撮像機器７５は、液晶基板８の表示領域８ａ全体を一度に撮像する例で説明したが、これに限らず、撮像機器７５を水平面内（Ｘ，Ｙ方向）で移動自在に設け、表示領域８ａを複数に分割して撮像するようにしてもよい。このようにした場合、一度に撮像する範囲が小さくて済むので、撮像機器７５の撮像倍率を高めることができ、同じ解像度の撮像機器７５であれば、その分だけ検出精度を向上させることが可能となる。
【００６５】
また、上記実施の形態において、検査対象の液晶基板８は、図２に示したように、二枚の偏光板７２，７４に挟まれて撮像機器７５に撮像されるように構成されている。しかしながら、やや良否判定機能の低下は避けられないものの、判定機器７６は偏光板７２を介すことなく撮像された画像信号によっても実際には良否判定は可能であり、二枚の偏光板７２,７４を省略することもできる。
【００６６】
なお、特に偏光板７２，７４を介在させないで良否を検査する場合は、基板面に対する撮像方向によって液晶基板８の空洞部分の見やすさが変化することが実験上確認されている。従って、撮像機器７５に撮像方向の角度調整機能を付加し、撮像方向を調整できるようにするのが望ましい。
【００６７】
また、光源７３は、基板受け機構７１３の中に設けたが、特にこれに限らず、室内照明器具等の他の光源からの光が照射されるようにしても良いことは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明による液晶基板の製造装置の一実施の形態を示すブロック図である。
【図２】図１に示した基板検査部の構成図である。
【図３】図２に示した搬送機器の拡大斜視図である。
【図４】図４（ａ）は、図２に示した基板検査部で得られる撮影パターンを示した平面図で、図４（ｂ）は、図４（ａ）の矢印Ｘの走査で得られる明度パターンである。
【図５】図２に示した判定機器の構成図である。
【図６】図１に示した装置における液晶基板の製造方法の動作手順を示すフローチャートである。
【図７】従来の液晶基板の製造装置を示した構成図である。
【符号の説明】
【００６９】
２  シール剤塗布部
３  液晶滴下部（滴下手段、滴下工程）
４  基板貼合わせ部（貼合わせ手段、貼合わせ工程、プレス機構）
７  基板検査部
７１  搬送機器
７１３  基板受け機構（受け手段）
７２  第１の偏光板
７３  光源
７４  第２の偏光板
７５  撮像機器（撮像手段）
７６  判定機器（判定手段）
７６１  記憶器
７６２  判定器
７６３  第１の閾値設定器
７６４  第２の閾値設定器
８  液晶基板
８ａ  セル表示面
８ａａ  背景８ａａ
８ａｂ  気泡部分
８ａｃ  ギャップむら部分
９  制御部
９１  制御回路（制御手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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