(57)【要約】【課題】産業システムを支持する支持装置の設置作業を容易にすること。【解決手段】支持装置１００は、床面に設置される基台部１と、エアマウント等によって構成される伸縮支持部材２と、支持板３とを備えて構成される。伸縮支持部材２は、ゴム等で形成された膨張部材２ａを備えており、支持装置１００の外部にある、所定のエアー供給源９から供給されるエアー圧力に応じた膨張収縮作用によって、上下方向への伸縮動作を行う。支持板３の下面側中央部は伸縮支持部材２の上端部に固定されており、支持板３は支持部材２の伸縮動作に伴って上下方向に移動するように構成される。そのため、支持装置１００の設置時には、伸縮支持部材２のエアー圧を調整することにより、支持板３の調整ができる。【選択図】図１
2005161433.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台と、
前記基台の上面に設けられ、所定のエアー供給源から供給されるエアーの圧力に応じて上下方向に伸縮可能な伸縮支持手段と、
前記伸縮支持手段の上端に連結される平板状の支持板と、
を備え、
前記伸縮支持手段は、エアーの供給圧力に応じて前記支持板の高さ位置を調整することを特徴とする支持装置。
【請求項２】
請求項１に記載の支持装置において、
前記伸縮支持手段のエアー供給経路には、前記伸縮支持手段の伸縮状態を維持するための逆止弁が設けられることを特徴とする支持装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の支持装置において、
前記伸縮支持手段を囲むように、前記支持板の下面に複数の案内棒が垂設されるとともに、前記基台には、前記複数の案内棒を挿通するための孔が複数形成され、
前記伸縮支持手段の伸縮動作に伴って、前記複数の案内棒のそれぞれが前記孔に対して進退することを特徴とする支持装置。
【請求項４】
請求項３に記載の支持装置において、
前記複数の案内棒のそれぞれには、前記支持板の上限位置及び下限位置を規定するストッパ部材が形成されることを特徴とする支持装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかに記載の支持装置において、
前記支持板には、隣接配置される他の支持装置を連結するための連結部が設けられることを特徴とする支持装置。
【請求項６】
請求項５に記載の支持装置において、
前記連結部は、テーパピンがテーパ孔に嵌合することによって、前記他の支持装置を連結するように形成されることを特徴とする支持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、産業機械等を支持するための支持装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数の支持台を床面上に隣接して配置し、それら複数の支持台の上面に、組立ロボットや部分パレット等を設置して、複数の支持台上で部品の自動組立などが行われる産業システムが存在する（例えば、特許文献１）。この種の産業システムでは、複数の支持台によって形成される上面がほぼ均一な平面とみなせるように設置されることが望まれる。そのため、従来は、複数の支持台を現場の床面に設置する際、作業者が水準器を用いて、各支持台の下部四隅に設けられたネジ状のアジャストフットを個別に高さ調整することで、各支持台の上面がほぼ水平となるように調整作業が行われていた。
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−３５４９１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のような従来の産業システムでは、複数の支持台上面をほぼ均一な平面とみなせるようにするための現場での設置作業に、多大な労力と時間と費やし、産業システムを速やかに稼動させることができないという問題があった。
【０００５】
また、稼動現場とは異なる場所で、産業システムを一時的に構築して、組立ロボットのティーチング作業を行っていたとしても、その産業システムを実際の稼動現場で構築した場合には、如何にアジャストフットを調整したとしても、ティーチング現場との床面の相違やその他の要因により、予め行われたティーチング結果では、正確な組立作業を行うことができないことが多かった。そのため、従来の産業システムでは、設置作業に時間がかかるとともに、あらためてティーチング作業を行わなければならいという問題があった。
【０００６】
特に、産業システムが多品種少量生産を行うものであり、製造品の種類に応じて頻繁に支持台の配置等を変更する場合、その配置変更の度に、アジャストフットを調整して均一平面を形成するための作業と、ティーチング作業とを行う必要があり、産業システムの稼働率を著しく低下させることになっていた。
【０００７】
そこで、本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、簡単に設置することができ、産業システムの稼動を迅速に開始することのできる、産業機械等を支持するための支持装置を提供することを、その目的とするものである。また、複数の支持装置を隣接配置する場合には、それら支持装置の上面をほぼ均一な平面に設置する作業を効率的に行うことのできる支持装置を提供することを、その目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明にかかる支持装置は、基台と、基台の上面に設けられ、所定のエアー供給源から供給されるエアーの圧力に応じて上下方向に伸縮可能な伸縮支持手段と、伸縮支持手段の上端に連結される平板状の支持板と、を備え、伸縮支持手段が、エアーの供給圧力に応じて支持板の高さ位置を調整することを特徴とするものである。
【０００９】
また、上記支持装置における伸縮支持手段のエアー供給経路には、伸縮支持手段の伸縮状態を維持するための逆止弁が設けられることが好ましい。
【００１０】
また、上記支持装置においては、伸縮支持手段を囲むように、支持板の下面に複数の案内棒が垂設されるとともに、基台には、複数の案内棒を挿通するための孔が複数形成され、伸縮支持手段の伸縮動作に伴って、複数の案内棒のそれぞれがその孔に対して進退するように構成されることが好ましい。
【００１１】
また、複数の案内棒のそれぞれには、支持板の上限位置及び下限位置を規定するストッパ部材が形成されることが好ましい。
【００１２】
また、上記支持装置において、支持板には、隣接配置される他の支持装置を連結するための連結部が設けられることが好ましい。
【００１３】
さらに、その連結部は、テーパピンがテーパ孔に嵌合することによって、他の支持装置を連結するように形成されることが好ましい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、エアー圧力に応じて上下方向に伸縮可能な伸縮支持手段が平板状の支持板を支持しており、エアーの供給圧力に応じて支持板の高さ位置を調整するように構成されるので、設置時に水準器による設置作業が必要ではなく、支持装置を簡単に設置することができる。それ故、産業システムの稼動を迅速に開始することができ、産業システムの稼働率を向上させることができる。
【００１５】
また、伸縮支持手段のエアー供給経路に、伸縮支持手段の伸縮状態を維持するための逆止弁が設けられることにより、エアー圧によって調整された支持板の高さ位置を良好に維持することができる。そのため、エアー供給源が停止した場合であっても、支持板の状態は良好に維持される。
【００１６】
また、伸縮支持手段を囲むように、支持板の下面に複数の案内棒が垂設されるとともに、基台にはそれら複数の案内棒を挿通するための孔が複数形成され、伸縮支持手段の伸縮動作に伴って、複数の案内棒のそれぞれがそれらの孔に対して進退するように構成されることにより、伸縮支持手段の伸縮動作に伴って支持板が上下移動する際、ねじれが生じたり、著しい傾斜が生じることを良好に防止できる。
【００１７】
また、複数の案内棒のそれぞれには、支持板の上限位置及び下限位置を規定するストッパ部材が形成されることにより、伸縮支持手段が破損することを防止することができる。
【００１８】
また、支持板には、隣接配置される他の支持装置を連結するための連結部が設けられることにより、他の支持装置と連結されるときに、支持板の位置決めを行うことができる。このため、伸縮支持手段によって支持板を位置決めされた状態に持ち上げるようにすれば、他の支持装置によって規定される基準面と、支持板の上面とがほぼ均一な平面となり、極めて容易に複数の支持装置の上面をほぼ均一な平面に設置することができる。
【００１９】
そして、テーパピンがテーパ孔に嵌合することによって、他の支持装置を連結するように形成されることにより、他の支持装置を連結する際の連結作業が簡単な作業になり、支持装置の設置作業がさらに簡略化される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。
【００２１】
図１は本実施形態における支持装置１００の概略構成を示す側面図である。図１に示すように、この支持装置１００は、床面に設置される基台部１と、エアマウント等によって構成される伸縮支持部材２と、支持板３とを備えて構成され、支持板３の上面３ａに、図示を省略する、組立ロボット等の産業機械や、部品パレット、治具、ツール等の備品が設置される。そのため、支持装置１００によって支持される産業システムが稼働する際には、主に支持板３の上方空間で組立動作等の各種の動作が行われる。
【００２２】
基台部１は、その上端部に天板１ａが設けられ、その天板１ａのほぼ中央に伸縮支持部材２の下端部が固定される。伸縮支持部材２は、ゴム等で形成された膨張部材２ａを備えており、支持装置１００の外部にある、所定のエアー供給源９から供給されるエアー圧力に応じた膨張収縮作用によって、上下方向への伸縮動作を行うものである。支持板３の下面側中央部は伸縮支持部材２の上端部に固定されており、支持板３は伸縮支持部材２の伸縮動作に伴って上下方向に移動するようになっている。そして支持板３の上面３ａは平面状に形成される。なお、伸縮支持部材２が設置される位置は、支持板３に設置される産業機械や備品等の重量バランスを考慮して、その重心位置に設置されることが好ましく、支持板３の下面側中央部を支持するものでなくてもよい。
【００２３】
伸縮支持部材２の膨張部材２ａには、ひとつのエアー供給口が形成され、エアー供給口以外の部分ではエアー漏れがないように、膨張部材２ａの内部は密閉された状態となっている。
【００２４】
この膨張部材２ａに対して、エアー供給口よりエアーを供給するための構成として、支持装置１００は、エアーレギュレータ１１、チェック弁１２、操作弁１３及び圧力計１４を備えている。エアーレギュレータ１１は、膨張部材２ａに供給するエアー圧力を調整するものである。チェック弁１２は、膨張部材２ａ側がエアーレギュレータ側よりも高圧のとき、弁を閉じて膨張部材２ａの内部圧力を保持する逆止め弁であり、膨張部材２ａ側がエアーレギュレータ側よりも低圧のときには弁を開いて膨張部材２ａに対してエアー供給を行う。操作弁１３は、上記のエアー経路においてチェック弁と並列して設置され、例えば産業システムの移設時等に膨張部材２ａの内部エアーを抜くための弁である。このため、操作弁１３は、産業システムが設置・稼動される際には、通常は閉状態とされて膨張部材２ａからのエアー漏れが生じないように構成される。圧力計１４は膨張部材２ａの内部エアー圧力を計測して表示するものである。
【００２５】
上記のようなエアー供給系により、膨張部材２ａの内部圧力を調整することができるとともに、その圧力を一定の状態に保持することができる。その結果、伸縮支持部材２の上部に連結された支持板３の高さ位置を調整することができるとともに、その高さ位置を保持することができるようになっている。例えば、エアー供給源９が停止した場合であっても、チェック弁１２の機能によって、膨張部材２ａの内部圧力を一定の状態に保持し、支持板３の高さ位置を保持するので、支持板３の上方に設置される産業機械等は正確な位置を保持することができる。したがって、エアー供給源９が停止した場合でも、産業システムを正常に稼動させることができる。
【００２６】
支持板３の下面側には、伸縮支持部材２を囲むように、複数の案内棒５が垂下設置されている。図２は支持板３を上方から見た平面図である。図２に示すように、本実施形態の支持装置１００では、支持板３の下面から垂設される複数の案内棒５は、伸縮支持部材２を中心とする同心円上にほぼ等間隔で設置されている。
【００２７】
図３及び４は、案内棒５の機能を説明するための図である。基台部１の天板１ａには、各案内棒５の設置位置に対応して、案内棒５を挿通するための孔１ｂが形成されており、伸縮支持部材２の伸縮動作に伴って支持板３が上下移動すると、複数の案内棒５のそれぞれが天板１ａに形成された孔１ｂに対して進退するようになっている。このように案内棒５が孔１ｂに対して挿通されているので、例えば、支持板３上の重量バランスが偏っていたり、床面がねじれていたとしても、伸縮支持部材２が支持板３を上下移動させる際、支持板３をねじれ方向に変位させたり、支持板３に著しい傾斜が生じることを防止し、ほぼ一定の姿勢を保った状態で上下移動させることができる。
【００２８】
また、各案内棒５には、外径が孔１ｂの直径よりも大きい２つのストッパ５１，５２が孔１ｂを挟んで異なる高さ位置に設けられている。ストッパ５１は支持板３の下限位置を規定するための部材であり、ストッパ５２は支持板３の上限位置を規定するための部材である。伸縮支持部材２が支持板３を上方に持ち上げていく際、案内棒５が孔１ｂの内部を上方向に移動し、ストッパ５２が天板１ａに当接すると、その位置で支持板３の上昇が停止する。すなわち、図３に示すように、ストッパ５２が天板１ａの下面に接した状態で、支持板３が上限位置に達することになる。一方、伸縮支持部材２が支持板３を下方に下げていく際、案内棒５が孔１ｂの内部を下方向に移動し、ストッパ５１が天板１ａに当接すると、その位置で支持板３の下降が停止する。すなわち、図４に示すように、ストッパ５１が天板１ａの上面に接した状態で、支持板３が下限位置に達することになる。
【００２９】
このようにストッパ５１，５２は支持板３の上下動範囲を規定している。伸縮支持部材２の膨張部材２ａは、内部のエアー圧力が高くなり、膨張率が所定値を越えると、破損するおそれがあり、また、内部のエアーが抜かれた状態で膨張部材２ａに支持板３の荷重が直接かかると破損するおそれがある。そのため、ストッパ５１，５２によって支持板３の上限位置及び下限位置が規定されることにより、膨張部材２ａの膨張による破損及び荷重による破損を防ぐことができる。
【００３０】
上記のような構成とすることにより、設置時にアジャストフットを操作して高さ調整を行う必要がなくなる。すなわち、支持装置１００を設置する際、設置場所となる床面に載置して、エアー供給源９をエアーレギュレータ１１に接続した後、エアーレギュレータ１１を調整して伸縮支持部材２に対するエアー供給を行えば、支持板３の高さ位置を調整できる。そして調整完了後、圧力計１４の示す圧力値を記録しておくことにより、圧力低下が生じた場合に、記録しておいた圧力値に戻すだけで設置当初の状態を再現することができる。したがって、本実施形態の支持装置１００は、設置時の作業負担を大幅に低減するものである。
【００３１】
また、上記のような支持装置１００は、他の支持装置と組み合わせて使用する場合であって、支持板３の上面を、他の支持装置の上面とほぼ均一な平面とみなせる状態に設置する場合に、特に有効なものとなる。以下、これについての詳細な構成を説明する。
【００３２】
図５及び図６は、支持装置１００が他の支持装置２００に連結されて使用される場合の概略構成を示す側面図であり、図５は連結前の状態を示しており、図６は連結後の状態を示している。なお、図５及び図６では、上述した部材と同様の部材には同一符号を付している。また図５及び図６では、支持装置１００に関し、上述したエアー供給系の図示を省略している。
【００３３】
図５に示すように、支持装置２００は、床面に設置される基台部２１と、基台部２１上に設置される支持部２２と、支持部２２上に設置される支持板２３と、支持部２２から横方向に突出して形成されたテーパピン２４とを備えて構成される。この支持装置２００は、支持装置１００に隣接配置され、支持装置１００と連結される。そのための連結機構としてテーパピン２４が形成されている。このテーパピン２４は支持板２３に対して所定の位置関係となるように形成されており、その先端部２５には、ボルト８と螺合するネジ孔が形成される。なお、支持装置２００の支持板２３は固定された状態にあり、支持装置１００と連結される際には、支持板２３の上面２３ａが基準平面となる。
【００３４】
一方、支持装置１００は、図１に示した構成と同様の構成を有し、他の支持装置２００と連結されるようになっている。そのため、支持装置１００は、支持装置２００と連結するための構成として、支持板３の下面側に連結部材７が設けられている。連結部材７には、支持装置２００のテーパピン２４の形状に対応したテーパ孔７ａが形成されており、そのテーパ孔７ａは連結部材７を貫通している。テーパ孔７ａは、支持板３に対して、支持装置２００における支持板２３とテーパピン２４との位置関係と等しい位置関係となるように形成される。
【００３５】
そして例えば、予め位置決めされた支持装置２００のテーパピン２４が、支持装置１００のテーパ孔７ａに挿入されるようにして、支持装置１００を横方向（図５の例では左方向）へ押し込んでいくと、テーパピン２４がテーパ孔７ａに嵌合する。その状態で、ボルト８をテーパ孔７ａの貫通部から締結することにより、支持装置１００と支持装置２００との連結状態が保持される（図６参照）。なお、ボルト８の頭部はテーパ孔７ａの貫通部よりも大きな直径となっており、ボルト８は、テーパピン２４がテーパ孔７ａから抜けることを防止する機能を有している。
【００３６】
このようにテーパピン２４がテーパ孔７ａに嵌合することによって、支持装置１００と支持装置２００とが連結される構造とすることにより、連結作業が極めて簡単になり、支持装置２００に対して、支持装置１００を固定することができる。つまり、テーパピン２４がテーパ孔７ａに収まるようにして、支持装置１００を横方向から、支持装置２００に対して押し込むことにより、支持装置１００と２００とを正確な位置で連結することができるので、微妙な連結位置の調整作業が不要であり、作業効率が向上する。また、支持装置１００の連結部材７が支持板３に取り付けられているので、支持装置１００が支持装置２００に連結されると、それによって支持板３の一端側の位置決めが行われることになる。
【００３７】
図７は、支持装置１００と支持装置２００とが連結された状態の支持板３を上方から見た平面図である。図７に示すように、本実施形態では、テーパピン２４とテーパ孔７ａとによる連結機構が複数箇所に設けられており、それらは案内棒５の配置位置を避けて形成されている。このように支持装置１００と支持装置２００とを複数箇所で固定することにより、ねじれ等を生じることなく、適切な連結状態が実現される。
【００３８】
上記のような連結機構によって連結された状態では、支持装置１００の支持板３は、連結端部（支持装置２００と接する側の端部：図６では左端部）において、支持装置２００の支持板２３と一体的な構造体となる。これに対し、連結端部の反対側端部（非連結端部：図６では支持板３の右端部）は、支持板３の自重及び支持板３上に設置される機械類等の重さの影響を受けて、その高さ位置は連結端部よりも低くなる。そのため、支持装置１００において伸縮支持部材２に対するエアー供給が行われ、支持板３の持ち上げが行われる。このとき、連結端部は固定されているので、非連結端部側が持ち上げられることになる。そして支持板３の非連結端部が連結端部と同じ高さ位置に持ち上げられることにより、支持板３の傾斜が解消され、支持板３の上面３ａを基準平面とほぼ均一な平面とすることができる。
【００３９】
また、基準平面となる支持装置２００の上面２３ａが、水平な状態でなく、一定の傾斜を有していた場合でも、上記のように伸縮支持部材２によって支持板３を持ち上げることにより、支持板３の上面３ａを、水平でない基準平面と、ほぼ均一な平面にすることができる。
【００４０】
したがって、伸縮支持部材２によって支持板３を調整することにより、支持板３の上面３ａを、支持装置２００の基準面（支持板２３の上面２３ａ）とほぼ均一な平面とすることができる。
【００４１】
図８は、３台の支持装置１００，２００，３００が連結されて、産業システムを構成する場合の例を示す側面図である。なお、図８では、上述した部材と同様の部材には同一符号を付している。また図８では、支持装置１００，３００に関し、上述したエアー供給系の図示を省略している。
【００４２】
図８に示すように、支持装置２００を中心にして、支持装置２００の側方に支持装置１００，３００が連結され、それらが一体となって産業システムの支持台を構成する。支持装置１００及び３００は、上述したものと同様の構成となっており、伸縮支持部材２によって支持板３が任意の高さ位置で支持されるようになっている。支持装置１００及び支持装置２００は、上述した連結機構によって互いに連結固定される。同様に、支持装置３００及び支持装置２００もまた互いに連結固定される。
【００４３】
支持装置２００に設けられるテーパピン２４が、支持装置１００及び３００のそれぞれに形成される連結部材７に固定されることにより、支持装置２００の支持板２３と、支持装置１００及び３００の支持板３とが一体的な構造体となる。
【００４４】
そして支持装置１００，３００において伸縮支持部材２に対するエアー供給が行われることにより、支持板３の持ち上げが行われ、それぞれの支持板３が、基準となる支持装置２００の支持板２３とほぼ均一な平面となるように、調整される。
【００４５】
以上のように、本実施形態の支持装置１００（３００）は、エアー圧力に応じて上下方向に伸縮する伸縮支持部材２によって支持板３が支持されており、支持板３の高さ位置は、伸縮支持部材２の伸縮動作によって調整されるように構成されている。そのため、設置時には、アジャストフットを調整することなく、簡単に支持装置１００の調整を行うことができる。
【００４６】
また、伸縮支持部材２に対するエアー供給経路には、伸縮支持部材２の伸縮状態を維持するためのチェック弁１２が設けられているので、上記のようにして調整された支持板３の状態を良好に維持することができる。
【００４７】
特に、支持装置１００（３００）では、他の支持装置２００との連結を行うための連結部材７が支持板３の下面側に設置されているので、支持装置２００との連結によって、支持板３の連結端部側が位置決めされることになる。そのため、伸縮支持部材２を動作させて、支持板３の全体を位置決めされた状態に持ち上げることにより、支持装置２００の上面２３ａを基準平面とした場合、支持板３の上面３ａをその基準平面とほぼ均一な平面に設定することができる。そのため、水準器を用いて各支持装置のアジャストフット等を調整する作業が軽減され、作業効率が著しく向上する。
【００４８】
さらに、支持装置１００（３００）の支持板３は、伸縮支持部材２の作用によって基準平面とほぼ均一な平面を形成するため、基準平面が水平となっていない場合でも、支持板３はその基準平面に対して整合することになる。そのため、産業システムが異なる床面の設置場所に移設されたとしても、移設後における支持板３の上面３ａを、簡単に、基準平面とほぼ均一な平面とすることができ、移設前の状態を容易に再現することができる。したがって、支持装置１００（３００）の上に設置される組立ロボットに対するティーチング作業が異なる場所で行われ、その後、稼動現場に移設された場合であっても、支持板３の上面３ａと基準平面との関係を、ティーチング作業時と同等の関係にすることは極めて容易であり、事前に行われたティーチング結果を、産業システムの稼働現場においても適用することができる。
【００４９】
また、支持装置１００（３００）の上に設置される産業機械が多品種少量生産を行うものであり、製造品の種類に応じて、複数の支持装置の配置変更が頻繁に行われる場合であっても、迅速に産業システムの稼動を開始することができ、産業システムの稼働率を向上させることができる。
【００５０】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は上述したものに限定されるものではない。
【００５１】
例えば、複数の支持装置を連結するための構造を、テーパピンとテーパ孔とによって形成する場合を例示したが、これに限定されるものではなく、他の構造を採用してもよい。また、上記の例では、伸縮支持部材２を備える支持装置１００（３００）にテーパ孔７ａが形成され、基準となる支持装置２００にテーパピン２４が形成される場合を例示したが、これらは互いに逆の関係になってもよい。
【００５２】
また、上記においては、支持装置が２台連結される場合と、３台連結される場合とを例示したが、連結される支持装置の台数はそれに限定されるものではなく、４台以上の支持装置が連結されるものであっても構わない。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】支持装置の概略構成を示す側面図である。
【図２】図１の支持装置を上方から見た平面図である。
【図３】案内棒の機能を説明するための図である。
【図４】案内棒の機能を説明するための図である。
【図５】複数の支持装置が連結されて使用される場合の概略構成を示す側面図である。
【図６】複数の支持装置が連結されて使用される場合の概略構成を示す側面図である。
【図７】複数の支持装置が連結された状態を上方から見た平面図である。
【図８】３台の支持装置が連結されて、産業システムを構成する場合の例を示す側面図である。
【符号の説明】
【００５４】
１  基台部
１ａ  天板
１ｂ  孔
２  伸縮支持部材（伸縮支持手段）
２ａ  膨張部材
３  支持板
５  案内棒
７  連結部材
７ａ  テーパ孔
８  ボルト
９  エアー供給源
１１  エアーレギュレータ（圧力調整手段）
１２  チェック弁（逆止弁）
１３  操作弁
１４  圧力計
２４  テーパピン
５１，５２  ストッパ
１００，２００，３００  支持装置
【図１】
2005161433.tif 000003
【図２】
2005161433.tif 000004
【図３】
2005161433.tif 000005
【図４】
2005161433.tif 000006
【図５】
2005161433.tif 000007
【図６】
2005161433.tif 000008
【図７】
2005161433.tif 000009
【図８】
2005161433.tif 000010