(57)【要約】【課題】  大判の薄板状のワークを、立てかけた状態から概略水平状態に変更する動作時における負荷の軽減を図ると共に、この姿勢変更動作から所定のステージに送り込むという動作を、簡単な機構によって、一連の動作で円滑に、しかもワークを損傷することなく確実に行えるようにする。【解決手段】  支持部材１０に傾動フレーム１１が水平状態と最大傾斜角状態とに傾動変位可能に連結され、傾動フレーム１１にガイドレール２０を設けて、ワーク１を支持する支持ピン２５を設けたスライド部材１２が長手方向にスライド変位可能に装着され、傾動フレーム１１とスライド部材１２とでワーク１の姿勢を変えて、水平送りする作動ユニット１３が構成され、作動ユニット１３を最大傾斜状態でワーク１を装着した後、作動ユニット１３を水平状態にし、スライド部材１２を前進させて、処理ユニット４に搬入される。【選択図】  図２
2005060033.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄板部材からなるワークを立てた状態にして装着され、水平状態に姿勢を変更させて、所定のステージに送り込む薄板ワークの移送装置において、
固定的に設置した支持部材と、
長さ方向の中間部がこの支持部材に回動可能に連結されて、概略水平状態と、９０°以下の所定角度に立てた最大傾斜角状態とに往復回動可能な傾動部材と、
前記ワークが前記傾動部材と実質的に平行となるように装着され、この傾動部材に対して前進及び後退可能に連結されたスライド部材とからなり、
前記支持部材を最大傾斜角状態に保持することにより、前記ワークがスライド部材に装着され、この支持部材を概略水平状態にして、前記スライド部材を前進させることにより前記ワークを前記ステージに搬入可能な
構成としたことを特徴とする薄板ワークの移送装置。
【請求項２】
前記傾動部材の最大傾斜角状態での傾斜角は８０°±８°であることを特徴とする請求項１記載の薄板ワークの移送装置。
【請求項３】
前記支持部材と前記傾動部材との間には、この傾動部材が水平状態になったときと、最大傾斜角状態になったときに、それぞれ係脱可能に位置保持を行うロック手段を備える構成としたことを特徴とする請求項１記載の薄板ワークの移送装置。
【請求項４】
前記支持部材と前記傾動部材との間は回動軸を介して連結し、この回動軸には摩擦手段によって前記傾動部材を任意の角度状態で一時的に保持可能な構成としたことを特徴とする請求項１記載の薄板ワークの移送装置。
【請求項５】
前記傾動部材は、その傾動ストロークの両端位置で、この傾動部材の傾動ストローク端方向の動きを減衰する緩衝手段を備える構成としたことを特徴とする請求項１記載の薄板ワークの移送装置。
【請求項６】
前記スライド部材には、前記ワークの裏面を支持するために、先端がほぼ球面形状となった所定本数の支持ピンを設ける構成としたことを特徴とする請求項１記載の薄板ワークの移送装置。
【請求項７】
前記スライド部材には、前記ワークが、その後端側で位置決めされ位置決め部材を備え、また前記ワークが前進方向への動きを規制する規制部材を設ける構成としたことを特徴とする請求項６記載の薄板ワークの移送装置。
【請求項８】
前記位置決め部材とストッパとは、前記ワークのサイズに応じて位置調整可能なものであることを特徴とする請求項７記載の薄板ワークの移送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄板部材からなるワークを立てた状態から概略水平な状態に姿勢を変更して、このワークの処理、検査等を行うために、所定のステージに搬入可能とした薄板ワークの移送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶ディスプレイを構成する液晶パネルは、上下２枚の透明なガラス基板間にギャップを形成して、このギャップ内に液晶を封入したものから構成される。この液晶パネルを製造するに当っては、処理の効率化、迅速化を図るために、上下２枚のガラス基板を重ね合わせられる前のある段階までは大判のガラス板として種々の処理を行うようになし、この大判のガラス板から所望のサイズに切断する方式が一般的に採用される。
【０００３】
ところで、ガラス板等からなる薄板のワークは脆弱な部材であり、衝撃等により容易に破損したり、損傷したりすることから、その取り扱いを慎重にしなければならない。特に、極めて大判のワークをロボットでハンドリングさせるようにすると、このロボットの構成が極めて複雑かつ大型化することになる。従って、作業者による人手を介する半自動機として構成される方が有利な場合もある。サイズの大きいワークを所定の処理を行う機構に装着したり、それから取り出したりする作業を手作業で行う際には、ガラス板を保護するために、このワークを立てかけるようにして保持する方が望ましい。そして、このようにワークを立てかけたままで処理を行うこともあるが、処理の性質等によっては、ワークを水平状態にして処理しなければならない場合もある。このためには、立てかけたワークを水平となるように姿勢を変更しなければならない。
【０００４】
ワークの姿勢を変更するための機構としては、ワークが載置される支持部材の一端部を回動可能に支持させて、この支持部材にシリンダ等の駆動手段を接続して設け、この駆動手段を作動させることによって、ワークを支持する支持部材を概略水平な状態と、９０°以下の角度まで立てた状態とに変位させるように構成したものは、従来から知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００５】
しかしながら、前述したように、支持部材の一端を中心として回動させるように構成すると、その駆動手段に支持部材及びワークの全荷重が作用することから、駆動手段の駆動力を大きくしなければならず、駆動手段が大型化すると共に消費エネルギも大きくなる等の問題が生じる。また、ワークを水平に姿勢変更した後に、このワークに対して、例えば検査や液処理等といった処理を行う場合には、処理手段が姿勢変更時にワークの移動軌跡と干渉しないようにするために、ワークを処理するステージとは別のステージで姿勢変更させ、その後にワークを水平移動させて、処理手段を装備したステージに送り込まなければならない。このためには、ワークの姿勢変更機構と水平送り機構とを備える必要があり、さらにこれらの機構間でワークの受け渡しを行う手段も備えていなければならず、このために構成がさらに複雑かつ大型化することになる。
【特許文献１】特開平１０−３２９９３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従って、本発明が解決すべき課題としては、大判の薄板状のワークを、立てかけた状態から概略水平状態に変更する動作時における負荷の軽減を図ると共に、この姿勢変更動作から所定のステージに送り込むという動作を、簡単な機構によって、一連の動作で円滑に、しかもワークを損傷することなく確実に行えるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
このための手段として、本発明が採用したのは、固定的に設置した支持部材と、長さ方向の中間部がこの支持部材に回動可能に連結されて、概略水平状態と、９０°以下の所定角度に立てた最大傾斜角状態とに往復回動可能な傾動部材と、ワークが傾動部材と実質的に平行となるように装着され、この傾動部材に対して前進及び後退可能に連結されたスライド部材とから構成される。従って、支持部材を傾斜状態としてワークをスライド部材にセットするようになし、この支持部材を概略水平状態にして、スライド部材を前進させることによって、ワークを所定のステージに搬入できるようになる。
【０００８】
ここで、傾動部材の最大傾斜角状態での傾斜角は、鉛直状態、つまり水平面に対して９０°の角度に設定すると、スライド部材に装着したワークの安定性が損なわれるので好ましくはない。従って、この最大傾斜角状態での角度は、９０°以下、最も好ましくは８０°±８°程度とする。また、支持部材と傾動部材との間には、この傾動部材が水平状態になったときと、最大傾斜角状態になったときに、それぞれロック手段によって係脱可能に位置保持させる。そして、傾動動作を行わせるために、この傾動部材は支持部材に対して回動軸を介して連結する構成とする。この場合、回動軸に摩擦手段を作用させるように構成することによって傾動部材を任意の角度状態に簡易的、一時的に保持可能となる。さらに、傾動部材は、その傾動ストロークの両端位置で、この傾動部材のストローク端方向の動きを減衰する緩衝手段を備えることによって、ワークの安定性確保及びその傾動ストローク端での衝撃緩和が図られる。
【０００９】
ワークをスライド部材に面接触させるように装着すると、ワークが損傷したり、広い面で汚損されたりする可能性がある。従って、スライド部材に先端がほぼ球面形状をした複数本の支持ピンを立設して、これらの支持ピンにワークの裏面を支持させるようにするのが望ましい。スライド部材には、またワークの後端側、つまり水平送りする際における後端側を位置決めする位置決め部材を設け、さらにはワークが前進方向に向けて飛び出すのを防止するストッパを設けるようにするのが望ましい。そして、異なるサイズのワークをセットできるようにするには、これら位置決め部材とストッパとをワークのサイズに応じて位置調整可能な構成とする。
【発明の効果】
【００１０】
以上の構成によって得られる本発明の効果は、簡単な構成によって、ワークを立てた状態から水平状態に姿勢変更を行わせて、所定のステージに水平送りするという動作をワークが損傷したり、変形したりすることなく、円滑かつ確実に行わせることができ、また軽い負荷でワークの姿勢を変更させることができる等の効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態について説明する。まず、図１において、１はワークであり、このワーク１は、例えば厚みが薄く、大判のガラス板からなり、平面形状は長方形のものである。ワーク１は、その表面に種々の処理を行った後、切断によって所望のサイズに分割されて、液晶パネル用のガラス基板等として用いられるものである。
【００１２】
ワーク１はローディングステージ２に配置された、カセット等の収容治具２ａに多数収容されており、この収容治具２ａから１枚ずつ取り出されて、移送ステージ３に立てた状態にして後述する移送装置に装着させて、水平な姿勢として、処理ユニット４ａを設置した処理ステージ４に搬入される。そして、この処理ステージ４により処理が終了すると、ワーク１は移送ステージ３で再び立てた状態に戻され、ローディングステージ２の収容治具２ａに返還される。
【００１３】
ここで、移送ステージ３には、ワーク１を立てかけるようにしてセットされるが、処理ステージ４においては、概略水平状態として、その表面を液処理したり、表面検査を行ったり等といった処理が行われる。ワーク１を移送ステージ３に装着したり、取り出したりする作業はロボット等を用いて行うこともできるが、大掛かりなロボットが必要となる。そこで、以下の説明においては、人手作業で行う構成としたものとする。ワーク１はガラス板というように、脆弱な部材であることから、水平状態にして装着するより立てかけるように装着する方が安全であり、かつワーク１の損傷、変形等を抑制できる。
【００１４】
図２乃至図５に移送ステージ３に設けられる移送装置の具体的な構成を示す。図中において、１０は支持部材であって、この支持部材１０はボックスを構成する骨組み構造のものである。この支持部材１０に傾動部材としての傾動フレーム１１が連結して設けられ、傾動フレーム１１は水平状態と、最大傾斜角状態とに傾動変位可能となっている。そして、傾動フレーム１１にはスライド部材１２がこの傾動フレーム１１の長手方向にスライド変位可能に装着されている。従って、これら傾動フレーム１１とスライド部材１２とでワーク１の姿勢を変えて、水平送りする作動ユニット１３が構成される。
【００１５】
図２は傾動フレーム１１の最大傾斜角状態を示すものであり、また図３は傾動フレーム１１の水平状態を示し、さらに図４はこの傾動フレーム１１の水平状態において、スライド部材１２が図３の最後退位置から最前進した位置を示す。ここで、スライド部材１２の最後退位置では、このスライド部材１２は傾動フレーム１１とほぼ重なり合った状態となる。さらに、図５は図３の平面図である。これらの図から明らかなように、傾動フレーム１１は、前後の重量バランス等を考慮して、その長手方向の概略中央位置において、支持部材１０に回動手段によって傾動可能に連結されている。
【００１６】
そこで、図６に回動手段の具体的な構成を示す。同図において、１４は回動軸であって、この回動軸１４は支持部材１０の左右両側部であり、かつその基端部に固定して設けた取付ブロック１０ａに連結されており、水平方向の内向きに所定の長さ突出している。また、傾動フレーム１１の左右両側部であって、その前後方向の概略中間位置に軸受部材１５が取り付けられており、回動軸１４はこの軸受部材１５に相対回動可能に連結されている。なお、回動軸を傾動フレーム１１側に、軸受部材１５を支持部材１０側に設けても良い。そして、取付ブロック１０ａと軸受部材１５との間には、一対の摩擦板１６ａ，１６ｂと、摩擦板１６ｂを摩擦板１６ａに押圧するためのばね１６ｃとからなる摩擦手段１６が介装されており、この摩擦手段１６によって傾動フレーム１１は、その水平状態と最傾斜状態との中間位置にあるときに操作力を解除しても、その位置に一時的に保持されるようになっている。
【００１７】
また、支持部材１０には、その上面部及び基端側の側面部には、傾動フレーム１１が水平状態となったときと、最傾斜状態となったときとにおいて、その動きを緩衝するための緩衝手段１７と、傾動フレーム１１を固定するためのロック手段とが設けられている。ロック手段は、支持部材１０に設けたロック部材１８と、傾動フレーム１１の下面に設けられ、それぞれロック部材１８に着脱可能に係合する受け部材１９とから構成される。
【００１８】
図７に緩衝手段１７の具体的な構成の一例を示す。この図から明らかなように、緩衝手段１７は、支持部材１０に固定して設けたホルダ１７ａに作動部材１７ｂを、その軸線方向に移動可能に装着することにより構成され、作動部材１７ｂにはばね１７ｄが作用して、ホルダ１７ａから突出する方向に付勢している。従って、この作動部材１７ｂの先端に設けた当接部１７ｃに傾動フレーム１１が衝当すると、ばね１７ｄが撓むことによって、その衝撃が緩和されるようになっている。なお、緩衝手段の構成としては、ばね１７ｄを有するものの他、流体圧によるもの、ゴムその他の緩衝部材によるもの等を用いることができる。また、緩衝手段は傾動フレーム１１側に設けても良い。
【００１９】
そして、傾動フレーム１１を、図２に示した最傾動状態と、図３に示した水平状態とにおいて、固定的に保持するロック手段としてのロック部材１８及び受け部材１９の具体的な一例を図８及び図９に示す。ロック部材１８は、取付板１８ａに装着したロックピン１８ｂを有し、ロックピン１８ｂは、その本体部分１８０ｂの基端側には細径部１８１ｂが連設され、さらにこの細径部１８１ｂには操作部１８２ｂが連設される構成となっている。一方、取付板１８ａには、操作部１８２ｂを収容可能な長溝１８０ａが所定の深さに形成され、かつこの長溝１８０ａの溝底部にはロックピン１８ｂの細径部１８１ｂが挿通可能で、本体部１８０ｂ及び操作部１８２ｂは挿通できない口径の貫通孔１８１ａが穿設されている。そして、ロックピン１８ｂにおける細径部１８１ｂと本体部１８０ｂとの間の段差部と、取付板１８ａとの間には、ロックピン１８ｂの本体部１８０ｂを前方に突出させる方向に付勢するばね１８ｃが介装されている。
【００２０】
長溝１８０ａは、操作部１８２ｂを図９の実線状態にすると、この操作部１８２ｂのロックピン１８ｂへの連設部がこの長溝１８０ａの溝底部と当接し、操作部１８２ｂを図９に仮想線で示したように、９０°回動させると、操作部１８２ｂは取付板１８ａの表面に乗り上げた状態となる。従って、ロックピン１８ｂは、その操作部１８２ｂが長溝１８０ａ内に収容されると、本体部１８０ｂがばね１８ｃの作用により突出したロック位置となり、取付板１８ａの表面に乗り上げると、本体部１８０ｂがばね１８ｃの作用に抗して取付板１８ａに近接するように後退したロック解除位置となる。
【００２１】
受け部材１９はロック部材１８のロックピン１８ｂに係脱するものであり、このロックピン１８ｂが嵌入する凹部１９ａと、ロックピン１８ｂをこの凹部１９ａに導くために、凸球形状となった呼び込み部１９ｂとから構成されている。従って、ロックピン１８ｂをロック状態として、受け部材１９の凹部１９ａに係合させると、傾動フレーム１１は支持部材１０に対して固定される。そして、ロックピン１８ｂの操作部１８２ｂをばね１８ｃに抗して引っ張って、この操作部１８２ｂを長溝１８０ａから離脱させたロック解除状態にすると、受け部材１９との係合が解除されて、傾動フレーム１１は支持部材１０に対して傾動可能な状態となる。
【００２２】
作動ユニット１３を構成するスライド部材１２は傾動フレーム１１に対して、この傾動フレーム１１の長手方向に所定のストローク分だけ往復移動可能となっている。このために、スライド部材１２の左右の両側部上面にはガイドレール２０が設けられており、スライド部材１２はこのガイドレール２０に沿って前進及び後退可能となっている。このために、スライド部材１２の後方側は操作部２１となっており、この操作部２１の下面には各ガイドレール２０に係合して摺動するスライダ２２が前後方向には２箇所固定して設けられている。そして、スライド部材１２は、傾動フレーム１１と実質的に重なり合う後退位置（図３の位置）と、前進位置（図４の位置）との間に往復移動できるようになっている。作動ユニット１３全体の傾動及びそのスライド部材１２の水平動は人手により行われるものであり、この操作を容易に行えるようにするために、操作部２１には把手２３が装着されている。
【００２３】
そして、これら２つの位置において、スライド部材１２を傾動フレーム１１に対して固定するために、図８及び図９に示したロック部材１８及び受け部材１９からなるロック手段がこれらスライド部材１２と傾動フレーム１１との間に設けられている。ただし、スライド部材１２側に設けられるロック部材１８は１箇所のみ設けられており、傾動フレーム１１には、図５にロック部材１８を設けた位置の下方部と、前方部との2箇所に受け部材１９が取り付けられており、スライド部材１２のロック部材１８は、これらの受け部材１９に選択的に係合することになる。なお、支持部材１０と傾動フレーム１１との間に設けられるロック部材１８のロックピン１８ｂは、その軸線が左右方向に向けて設けられているのに対して、傾動フレーム１１とスライド部材１２との間に設けたロック部材１８のロックピン１８ｂは、その軸線が上下方向に向けて設けられている。
【００２４】
スライド部材１２には、その操作部２１の前方側に向けて左右一対のサポート板２４が突出するように設けられている。これらのサポート板２４上にワーク１が載置されるようになっている。ただし、ワーク１はサポート板２４に直接接触するのではなく、このサポート板２４に立設した複数の支持ピン２５上に支持されるようになっており、これら支持ピン２５の先端部を球面形状とすることによって、ワーク１を損傷しないようにしている。また、ワーク１を位置決めするために、サポート板２４の基端側の部位上にバー２６が固定されており、このバー２６にワーク１の基端側における２つのコーナ部に当接する一対の位置決め部材２７，２７が装着されている。
【００２５】
位置決め部材２７は、図１０にも示したように、Ｌ字状の位置決め壁２７ａが形成されており、ワーク１のコーナ部の端面はこの位置決め壁２７ａに当接することになる。これによって、ワーク１は左右及び基端側方向の位置が決められる。ただし、ワーク１は厳格に位置決めする必要はなく、ワーク１の端面と位置決め壁２７ａとの間に僅かな隙間が生じている。これによって、ワーク１をスライド部材１２に装着したり、取り外したりする作業を容易に行うことができる。また、位置決め壁２７ａに連なるように、傾斜状態となった呼び込み壁２７ｂが設けられており、この呼び込み壁２７ｂによって、ワーク１のコーナ部を容易に位置決め壁２７ａ上に乗り上げるようになる。
【００２６】
さらに、サポート板２４の前端部にはストッパピン２８が設けられている。このストッパピン２８は支持ブロック２９に立設されており、その高さ位置はサポート板２４上にまで突出している。そして、このストッパピン２８が装着されている支持ブロック２９は左右のサポート板２４に固定されている。これによって、ワーク１は前方に移動して飛び出すのを防止している。ここで、ストッパピン２８はワーク１の動きを規制する規制部材を構成するものであって、ワーク１の基端側は位置決め部材２７により位置決めされていることから、このストッパピン２８でワーク１の位置決めをする必要はない。ただし、ワーク１をより正確に位置決めする場合には、規制部材の構成としては、ストッパピン２８に代えて、図１１に示したように、支持ブロック２９´に段差壁２９ａ´を設けて、ワーク１をサポート板２４上に載置したときに、この段差壁２９ａ´がワーク１に対して僅かな隙間が生じるように対面させるように構成すれば良い。また、ワーク１の前方側の左右両側部にも位置決め部材を設ける場合には、段差壁を有する支持ブロックと同様の部材をサポート板２４，２４の先端側の位置に外方に向くように配置すれば良い。
【００２７】
以上のように構成することによって、薄板で大判のガラス板等、脆弱なワーク１の表面に対して検査や液処理等、所要の処理を、このワーク１を変形させたり、損傷させたりすることなく、円滑かつ確実に行うことができる。まず、ワーク１はローディング部２に設置した収容治具２ａに収容されており、この収容治具２ａから１枚のワーク１を取り出して、移送ステージ３に搬入する。この作業は、ロボット等を用いることもできるが、好ましくは人手で運ぶようにする。このワーク１を運ぶ場合、作業者の負担軽減及びワーク１の取り落とし防止、さらには他の物体との衝突等を避けるために、それを立てた状態にするのが一般的である。
【００２８】
移送ステージ３には移送装置が設けられており、ワーク１の搬入時には、この移送装置の作動ユニット１３を構成する傾動フレーム１１及びこれに連結したスライド部材１２からなる作動ユニット１３を図２に示した位置に保持しておく。また、支持部材１０の側部に設けたロック部材１８によって、傾動フレーム１１がこの位置に固定的に保持される。従って、ワーク１が載置されるスライド部材１２は鉛直状態より僅かに小さい角度傾斜した最大傾斜角状態で固定される。このときには、スライド部材１２の位置決め部材２７はスライド部材１２の下部側に位置している。そこで、ワーク１をこのスライド部材１２の下端における両コーナ部を位置決め部材２７の位置決め壁２７ａに当接させる。この位置決め部材２７は表面側に向けて拡開するテーパ面からなる呼び込み部２７ｂが設けられているので、ワーク１をスライド部材１２の前方側から位置決め部材２７側に送り込むことにより、このワーク１の端面部が円滑かつ確実に位置決め壁２７ａに係合する。そして、ワーク１の裏面側をサポート板２４に設けた支持ピン２５に当接させる。ここで、スライド部材１２はほぼ鉛直状態となっているので、ワーク１を支持ピン２５に当接させる際に、この支持ピン２５に対して殆ど重力が作用しない。従って、ワーク１をスライド部材１２に装着する際にワーク１が衝撃により変形したり、損傷したりすることはない。しかも、スライド部材１２は、最大傾斜角においては、鉛直状態に近い角度、即ち８０°±５°程度となり、この状態ではワーク１の重心は支持ピン２５への当接側に位置するので、ワーク１は確実にスライド部材１２の支持ピン２５により支持され、不安定になることはない。
【００２９】
このように、立てた状態でスライド部材１２に装着されているワーク１が水平になるように姿勢を変更する。このためには、まず支持部材１０の側部におけるロック部材１８と傾動フレーム１１に設けた受け部材１９とによる作動ユニット１３のロックを解除する。即ち、ロックピン１８ｂを受け部材１９の凹部１９ａから離脱させて、このロックピン１８ｂの操作部１８２ｂを９０°回動させる。これによって、スライド部材１２を連結した傾動フレーム１１からなる作動ユニット１３全体が回動軸１４を中心として回動できるようになる。ただし、緩衝手段１７が傾動フレーム１１に当接しており、かつ作動ユニット１３全体の重心位置Ｇをこの回動軸１４の位置近傍であって、多少下方に変位した位置となるように設定しておくことによって、また回動軸１４には摩擦手段１６が設けられているので、作動ユニット１３に対するロック解除後においても、それが自由状態になっても、その安定性が損なわれるようなことはない。
【００３０】
そこで、作動ユニット１３を図２の最大傾斜角位置から水平位置に回動変位させる。この操作は作業者が操作部２１に設けた把手２３を把持して上方に持ち上げるようにする。ここで、作動ユニット１３は、回動軸１４の上方と下方とでほぼバランスが取れ、回動軸１４の下方側の方が僅かに重量が大きくなっているので、その重量差分だけの力を作用させれば、作動ユニット１３を容易に回動変位させることができる。ただし、傾動フレーム１１の軸受部材１５と回動軸１４との間には摩擦手段１６が設けられているので、この摩擦手段１６による摩擦係合力分だけ余分な押し上げ力が必要となる。そして、摩擦手段１６が設けられている関係から、作動ユニット１３の動きの途中で操作部２１に対する操作力を解除しても、任意の角度状態で一時的に安定することになり、自重の作用で回動することはない。
【００３１】
この作動ユニット１３が水平な方向に変位する際に、支持部材１０の上面に設けたロック部材１８は、そのロックピン１８ｂにばね１８ｃの作用により突出したロック状態となるようにしておく。従って、傾動フレーム１１がほぼ水平状態となったときに、ロックピン１８ｂが傾動フレーム１１の下面に設けた受け部材１９の呼び込み部１９ｂに乗り上げることになる。その結果、ロックピン１８ｂはばね１８ｃに抗して取付板１８ａ側に押動される。そして、ロックピン１８ｂが受け部材１９の凹部１９ａを形成した位置にまで傾動フレーム１１が変位すると、ロック部材１８がこの凹部１９ａに係合することになり、作動ユニット１３全体が図３に示した位置に固定される。また、作動ユニット１３が水平状態となる直前の位置で傾動フレーム１１が支持部材１０の上面に設けた緩衝手段１７に当接するので、作動ユニット１３の回動ストローク端位置での衝撃の吸収が図られる。その結果、支持ピン２５に支持されているワーク１に衝撃が加わったり、躍り上がったりすることはなく、ワーク１の安定性が確保される。
【００３２】
以上のようにしてワーク１が水平状態になると、スライド部材１２のサポート板２４に所定数設けた支持ピン２５によりワーク１が支持される。ここで、作動ユニット１３が水平状態になるまでは、この作動ユニット１３を構成する傾動フレーム１１とスライド部材１２とは、この傾動フレーム１１の基端側に設けた受け部材１９にスライド部材１２に設けたロック部材１８を係合させることによって、スライド部材１２を傾動フレーム１１の基端側の位置に固定しておく。そして、作動ユニット１３の回動によりワーク１が水平状態になると、このロック部材１８によるロックを解除する。
【００３３】
そして、スライド部材１２を傾動フレーム１１上でガイドレール２０に沿って前進させることによって、スライド部材１２に装着されているワーク１が処理ステージ４内に進入する。このスライド部材１２が前進ストローク端位置まで変位すると、その操作部２１に設けたロック部材１８を傾動フレーム１１の前側に配置した受け部材１９と係合させることによって、その位置で固定する。スライド部材１２に装着されているワーク１は、その基端側が位置決め部材２７によって、また先端側がストッパピン２８によって位置規制されているので、ワーク１はスライド部材１２上で安定した状態に保持され、スライド部材１２から飛び出したり、大きく位置ずれしたりすることはない。
【００３４】
ワーク１が処理ステージ４内に搬入されると、この処理ステージ４に配設した処理ユニット４ａが作動して、このワーク１の表面検査や液処理等といった処理が実行される。なお、処理ステージ４にリフタと送り手段とを設けておけば、このリフタによってワーク１をスライド部材１２から分離して、送り手段により処理機構を設けた部位に搬送することができる。例えば、ワーク１に対して多段処理を行う場合等においては、このような構成を採用する。
【００３５】
処理ステージ４において、ワーク１に対して所定の処理が行われた後、このワーク１をローディングステージ２における収容治具２ａに回収するには、ワーク１が装着されているスライド部材１２を傾動フレーム１１の基端側に引き戻し、さらに作動ユニット１３全体を水平状態から立てた状態に姿勢変更させる。これによって、作業者はスライド部材１２に装着されているワーク１を容易に取り出すことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の実施の形態を示すものであって、ワークの処理機構において、ワークの動きを示す説明図である。
【図２】図１におけるワークの移送装置の構成を示す正面図である。
【図３】図２の移送装置において、ワークを水平状態となるように姿勢変更させた状態を示す作動説明図である。
【図４】図２の移送装置において、ワークを処理ステージに搬入した状態を示す作動説明図である。
【図５】図３の平面図である。
【図６】回動手段の一具体例を示す断面図である。
【図７】緩衝手段の一具体例を示す断面図である。
【図８】ロック手段の一具体例を示す断面図である。
【図９】ロック手段の作動を示す説明図である。
【図１０】位置決め部材の一具体例を示す断面図である。
【図１１】他の位置決め部材を設けたワークの移送装置を示す平面図である。
【符号の説明】
【００３７】
１  ワーク    ２  ローディングステージ
３  移送ステージ      ４  処理ステージ
１０  支持部材      １１  傾動フレーム
１２  スライド部材      １３  作動ユニット
１４  回動軸      １５  軸受部材
１６  摩擦手段      １７  緩衝手段
１８  ロック部材      １９  受け部材
２０  ガイドレール      ２１  操作部
２２  スライダ      ２４  サポート板
２５  支持ピン      ２６  バー
２７  位置決め部材    ２８  ストッパピン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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