(57)【要約】【課題】照射幅の長尺化に対し、出射窓の保守点検を容易にするための出射窓の保守機構を備える長尺低エネルギ電子線照射装置を提供する。【解決手段】長尺低エネルギ電子線照射装置１は、内部に電子線発生部を収容に、一面に該電子線発生部で発生した電子線を照射する出射窓６を有する真空容器２と、該真空容器２を軸中心に回転可能に保持する保持機構（１２）及び長手方向に移動し得る移動手段（５１）を有する可動式の架台１０と、該架台１０に対して前記真空容器２を回転させる回転機構（１４，１６）と、を備えることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に電子線発生部を収容に、一面に該電子線発生部で発生した電子線を照射する出射窓を有する真空容器と、
該真空容器を軸中心に回転可能に保持する保持機構、及び、長手方向に移動し得る移動手段を有する可動式の架台と、
該架台に対して前記真空容器を回転させる回転機構と、を備えてなる長尺低エネルギ電子線照射装置。
【請求項２】
前記真空容器は、真空排気装置に接続される真空排気容器と、前記出射窓を有する真空容器本体との別体から構成されており、該真空容器本体が前記架台に保持されている請求項１に記載の長尺低エネルギ電子線照射装置。
【請求項３】
前記保持機構は、前記真空容器へ回転駆動力を伝達する回転機構を兼ね備えている請求項１に記載の長尺低エネルギ電子線照射装置。
【請求項４】
前記保持機構は、前記架台とは別体に形成されており、
前記回転機構は、前記架台及び前記真空容器とは別体に形成されており、
保守作業時に、前記保持機構及び回転機構を、前記架台及び前記真空容器に取り付ける請求項１乃至３の内のいずれか１項に記載の長尺低エネルギ電子線照射装置。
【請求項５】
前記保持機構は、前記真空容器の両端に取り付けられる回転軸を有する一対のフランジと、該回転軸を支持し且つ前記架台に取り付けられるジャッキ機構を有する支持冶具とからなり、
前記回転機構は、前記一対のフランジの内のいずれか一方のフランジの回転軸に取り付けられる駆動力伝達手段と、架台に取り付けられる駆動源とからなり、
前記ジャッキ機構を作動させて前記真空容器を前記架台から持ち上げて、前記真空容器を任意の位置まで回転可能にする請求項４に記載の長尺低エネルギ電子線照射装置。
【請求項６】
さらに、前記架台に対する前記真空容器の軸中心周りの回転運動を許容すると共に、前記真空容器と前記架台との間における軸方向の相対移動を防止する位置決め手段を備える請求項１乃至３の内のいずれか１項に記載の長尺低エネルギ電子線照射装置。
【請求項７】
前記位置決め手段は、前記真空容器の少なくとも一側のフランジを該フランジに接続されるフランジの外径よりも大径化し、その余剰部分へ前記架台に取り付けられたキャスタを当接させるように構成されている請求項６に記載の長尺低エネルギ電子線照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、印刷インクの乾燥処理、樹脂の表面改質処理、建材の表面加工処理、食品容器表面の殺菌処理等に使用される長尺低エネルギ電子線照射装置の構造に関し、特に、該装置で生成された電子線を大気中に放出させるための出射窓の保守機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
低エネルギ電子線照射装置とは、真空中で８０ｋｅＶ〜３００ｋｅＶに加速した低エネルギの電子線を、出射窓を介して大気中の物質に照射させる装置である。電子線が物質表面に照射されると、被照射物質として、高分子材料では重合反応や架橋反応を起こし、細胞等では細胞の活性化（破壊）等を引き起こす。これを利用して、低エネルギ電子線照射装置の用途としては、印刷インクの乾燥硬化処理、樹脂の表面改質処理、建材の表面加工、食品容器表面の殺菌処理などに使用されている。
【０００３】
図を用いて従来の低エネルギ電子線照射装置の構成の概略を説明すると、図１３は、従来使用されている低エネルギ電子線照射装置１００の構造を示す基本構成図、図１４は、図１３の矢視Ｇ−Ｇの拡大図で、出射窓１０２の構造を示す図である。図１３に示す低エネルギ電子線照射装置１００は、電子線発生部１０１と、この電子線発生部１０１を真空に保持するための真空容器１０３と、この真空容器１０３内の雰囲気を真空にするための真空排気装置１０４と、発生させた電子線を加速させるために真空容器１０３に絶縁タンク１０６を介して連結された電源タンク１０５と、加速された電子線１０７を大気中に放出させるための出射窓１０２から構成されている。なお、電子線発生原理については省略する。被処理物１０８は、出射窓１０２の下方に配置され、出射窓１０２から放出された電子線が表面に照射されるように構成されている。
【０００４】
図１４を参照するに、出射窓１０２は、真空容器１０３の下面、あるいは側面に配設されており、電子線１０７を透過させ且つ真空隔壁としての機能を有するＴｉあるいは同等機能を有する材質の薄膜１０９と、この薄膜１０９が内圧と大気圧との差圧で損傷しないように配設された桟１１０と、そして、これらに電子線１０７が照射されることによる発生した熱を除去するための冷却装置１１１とから構成されており、これらはユニット化されている。
【０００５】
このように、ユニット化された出射窓に関しては、被照射物の搬送路の長手方向に直角な方向に沿って出射窓を案内するスライドガイドを取り付けると共に、スライドガイドの奥部の所定位置にストッパーを設け、出射窓の窓枠をスライドガイドに沿ってスライドさせ、窓枠の先端がストッパーに当接するまで押し込んで押圧棒によりクランプ板を下方から押圧して、真空容器の下面に出射窓を着脱自在に取り付けているものがある（例えば、特許文献１参照。）。
また、出射窓を備える出射室を固定側と可動側とに分割し、可動部側を昇降機構により上昇下降操作することで、出射窓の薄膜の交換作業を容易に行えるようにしているものがある（例えば、特許文献２参照。）。
さらに、走査管の下方の一部と薄膜を含む出射窓の部分を出射窓ユニットとして一体化し、走査管の他の部分及び筺体から出射窓ユニットを取り外し取り付けできるようにしているものもある（例えば、特許文献３参照。）。
【０００６】
【特許文献１】特開平５−８７９９３号公報  （要約）
【特許文献２】特開平８−６２３９７号公報  （要約）
【特許文献３】特開平１１−３８１９６号公報  （要約）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
前述した低エネルギ電子線照射装置では、従来、照射幅は長尺なもので１ｍ〜１．５ｍまでの装置が主流であったが、近年、被処理物の対象物が大型化し照射幅の長尺化（２ｍ以上）が要求されている。また、低エネルギ電子線を用いるため、出射窓の加熱が問題となり、冷却機構を組込む必要性がある。従って、出射窓、電子線発生部及び真空容器等が大型重量化し、保守部品の交換や点検時に作業区域の確保が困難であったり、作業性の点で劣るという問題点があった。特に、出射窓に関しては、前述のとおり真空容器の下面あるいは側面に配設されるため、例えば、出射窓をユニットごと取り外すことなく、出射窓に付属する冷却装置の脱着、Ｔｉ薄膜の交換等の作業を行うことができない、あるいは、出射窓をユニットごと脱着する必要がある場合に、クレーン等の搬送機器を用いた保守作業の実施が困難であるなど、保守作業が極めて困難な場合が多かった。
【０００８】
従って、本発明は、上述した従来の技術の問題を解決するためになされたもので、照射幅の長尺化に対し、出射窓の保守点検を容易にするための出射窓の保守機構を備える長尺低エネルギ電子線照射装置を提供することを主な目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述の目的を達成するため、本発明に係る長尺低エネルギ電子線照射装置は、内部に電子線発生部を収容に、一面に該電子線発生部で発生した電子線を照射する出射窓を有する真空容器と、該真空容器を軸中心に回転可能に保持する保持機構、及び、長手方向に移動し得る移動手段を有する可動式の架台と、該架台に対して前記真空容器を回転させる回転機構と、を備えてなることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、真空容器を保持機構を介し支持することで該真空容器を軸中心に回転できるようにしたことにより、真空容器下面、あるいは側面に配設された出射窓を、真空容器に取り付けた状態で保守作業しやすい位置（例えば上側）に移動でき、冷却装置の取り外しやＴｉ薄膜の交換を容易にする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
次に、本発明の好適な実施の形態を、添付図面を参照しながら説明するが、図中、同一符号は、同一又は対応部分を示すものとする。
【実施例１】
【００１２】
図１は、本発明による長尺低エネルギ電子線照射装置１の基本構成図及び真空容器移動時の透視図であり、図２は、図１に示すＡ−Ａ断面図、図３は、図１に示すＢ−Ｂ断面図である。長尺低エネルギ電子線照射装置１は、内部に電子線発生部（図示せず）を収納し且つこの電子線発生部を真空に保持するための真空容器２と、この真空容器２内の雰囲気を真空にするための真空排気装置３と、発生させた電子線を加速させるために真空容器２に絶縁タンク５を介して連結された電源タンク４と、加速された電子線を大気中に放出させるための出射窓６から構成されている。なお、電子線発生原理については省略する。被処理物８は、出射窓６の下方に配置され、出射窓６から放出された電子線が表面に照射されるように構成されており、所定の処理、例えば、印刷インクの乾燥硬化処理、樹脂の表面改質処理、建材の表面加工、食品容器表面の殺菌処理などを行う。
【００１３】
真空容器２は、内部に電子線発生部を収容する円筒状の真空容器本体２０と、真空排気装置３に連結されている真空排気容器２１とに分割した構成になっている。真空容器本体２０の真空排気容器２１側には、この真空排気容器２１のフランジ２４の外径より大きい外径を有する大径部２２ａを備えるフランジ２２が接合されており、両フランジを介して真空容器本体２０と真空排気容器２１とが結合されるようになっている。図１３に示すように従来構造では、真空容器１０３に真空排気装置１０４が接続されていたため、真空容器１０３と絶縁タンク１０６（絶縁タンクが配設されていない場合もある）及び真空容器１０３と真空排気装置１０４をそれぞれ切離し、真空容器内容物の保守作業を行っていたが、本発明によれば、真空容器２を真空容器本体２０及び真空排気容器２１の二つに分割することで、真空容器及び真空容器内部構造物の保守作業に必要な切離し個所を1箇所にすることができる。一方、真空容器本体２０のメンテナンス扉９側には、真空容器本体２１の外径より大きい外径を有する大径部２３ａを備えるフランジ２３が接合されている。これらのフランジ２２及び２３の大径部２２ａ及び２３ａには、後述するキャスタ１７が各々当接するように構成されている。なお、出射窓２は、真空容器本体２０の下面に、既知の方法で着脱自在に取り付けられている。
【００１４】
本発明による長尺低エネルギ電子線照射装置１は、さらに、架台１０を備えている。架台１０は、真空容器本体２０の軸方向の両端部を下側から支えることができるように長手方向長さを有する構造をしており、その足部１１の下端には、リニアガイド５１が取り付けられていて、土台に敷設されたリニアレール５０の上を移動できるように構成されている。従って、リニアガイド５１とリニアレール５０とは、移動手段を構成している。移動手段としては、これに限定されるものではなく、土台上を架台１０が移動できるものであれば、レール及び車輪、駆動輪を備えた自走台車、牽引など、如何なるものでも良い。架台１０の上側、即ち、足部１１の上側には、正方形状の矩形枠１２が形成されており、矩形枠１２の内側の隅部四箇所に、各々キャスタ１３が取り付けられていて、このキャスタ１３を介して真空容器２の真空容器本体２０が架台１０に回転可能に保持されている。これらのキャスタ１３は、保持機構を構成している。保持機構は、これに限定されるものではなく、架台１０に対して真空容器本体２０が相対回転できるように保持できる構造であれば、ローラ、ベアリング、歯車など、如何なるものでも良い。
【００１５】
一方側の矩形枠１２、本実施例では、メンテナンス扉９側の矩形枠１２の外方には、モータ１４が固定されている。また、真空容器本体２０には、プーリ１５が取り付けられており、ベルト１６を介して真空容器本体２０を回転できるように構成してある。これらモータ１４、プーリ１５、及びベルト１６により回転機構を構成している。回転機構としては、これに限定されるものではなく、モータ１４の動力を伝達して真空容器本体２０を回転できれば、例えば、真空容器本体２０の外側に歯車を嵌め込むなど、如何なる構成であっても良い。なお、図示してないが、エンコーダなどの検出器を用いて回転角度の一検出や制御を行うことができることは言うまでもない。
【００１６】
架台１０の上方、例えば矩形枠１２の上端部には、一対の相対する矩形枠１２の各々外向きに突出する方向にキャスタ１７が取り付けられている。このキャスタは、真空容器本体２０のフランジ２２及び２３の大径部２２ａ及び２３ａに当接しており、真空容器本体２０の両端部に配設されたフランジ２２及びフランジ２３を架台１０に設けたキャスタ１７で位置決めする構造となっている。従って、真空容器本体２０の両フランジ２２及び２３と架台に取り付けられたキャスタ１７とは、位置決め手段を構成する。この位置決め手段により、移動手段によって架台１０を移動させる場合にも、真空容器本体２０の軸方向の位置ずれを起こすことがない。また、回転機構によって真空容器本体２０を回転させる場合にも、キャスタ１７がガイドとなり、回転の安定性が向上する。なお、位置決め手段は、真空容器本体２０と架台１０との間における長手方向の相対移動を防止することができ、且つ架台１０に対する真空容器本体２０の軸中心周りの回転運動を許容することができれば、如何なる構造でも良い。例えば、真空容器本体２０には、その外径に溝を切り、架台１０には、この溝に係合する係合ピンを取り付けることにより、軸方向移動を防止すると共に回転運動を許容することができる。
【００１７】
上述した構成の長尺低エネルギ電子線照射装置１の保守点検作業を簡単に説明すると、最初に、真空容器２を真空排気容器２１と真空容器本体２０との接続部（フランジ２２及び２４）で取り外し、移動手段によって架台１０をリニアレール５０に沿って図１における点線部分まで軸方向（長手方向）に移動させる。この際、架台１０に保持されている真空容器本体２０は、架台１０に取り付けられたキャスタ１７により架台１０に対して位置決めされているため、軸方向に位置ずれを起こすことがない。その後、回転機構のモータ１４を駆動することにより、ベルト１６及びプーリ１５を介して、キャスタ１２により回転可能に保持されている真空容器本体２０が軸中心に回転され、真空容器本体２０の下面、あるいは側面に配設されている出射窓６を保守・点検し易い位置に移動する。保守点検が終了した後は、手順を逆にして、まず出射窓６が下面に向くように真空容器本体２０を回転させた後、架台１０を軸方向に移動させて、真空容器２の真空容器本体２０と真空排気容器２１とのフランジを整合させて、両フランジを組み付けて作業は完了する。
【００１８】
以上のように、本発明により長尺化された低エネルギ電子線照射装置は、上述したように構成されているため、次のような作用と効果を奏する。
（１）長尺低エネルギ電子線照射装置１の真空容器２の真空容器本体２０を可動式の架台１０に設置したキャスタ１３により支持すると共に回転機構（１４、１５、１６）を設けたことにより、例えば上側に出射窓６が配置されるように真空容器２の真空容器本体２０を回転させ電子線用の出射窓６をユニットごと取り外すことなく、出射窓に付属する冷却装置の脱着、Ｔｉ薄膜の交換等の作業を容易に実施できる。また、出射窓６をユニットごと脱着する必要がある場合には、クレーン等の搬送機器を用いた保守作業を容易に実施できる。
（２）架台１０にモータ１４を、真空容器２の真空容器本体２０にプーリ１５を各々取り付け、ベルト１６を介して動力を伝達する機構を設けることで、真空容器本体２０の回転及び任意の回転角度における保持が可能となる。
（３）真空排気装置３が配設される部分を真空排気容器２１として真空容器２の真空容器本体２０とは別構造としたことにより、出射窓６及び真空容器内構造物（電子線発生部）の保守時において、真空排気装置３を取り外して移動させることなく、真空排気容器６と真空容器本体２０との接続フランジ２２及び２４を切離すのみで、上記の出射窓及び電子線発生部等の保守作業が可能となる。
（４）真空容器２の真空容器本体２０の両端に取り付けられたフランジ２２及び２３を、架台１０に設けたキャスタ１７で位置決めする位置決め手段を設けたことにより、保守作業時の架台移動による真空容器の真空容器本体と架台との位置ずれを防止することを可能とした。
【実施例２】
【００１９】
実施例２は、架台１０に対して真空容器２の真空容器本体２０を回転させる別の回転機構を示すもので、真空容器本体２０を支持するキャスタ１３を駆動伝達機として用いた例である。ここで、図４は、真空容器２の真空容器本体２０を回転させる別の回転機構を示す外観図であり、図５は、図４のＪ部の拡大図、図６は、図４の矢視Ｃ−Ｃ断面図である。
【００２０】
実施例２では、実施例１において矩形枠１２の内側四隅に配設されたキャスタ１３の下側の１つもしくは２つをローラ１９とし、ギヤ１８及びチェーン２５を介してモータ９の駆動力を伝達する構成とする。このような構成により、モータ９が駆動すると、真空容器本体２０が回転する。なお、この実施例では、駆動力伝達にチェーン２５を用いているが、本発明はこれに限定されるものではなく、直接歯車を噛み合わせても良いし、ローラ１９自体をモータで駆動しても良い。このように、実施例２では、架台１０に配設された、真空容器２の荷重を受けるキャスタ１３を駆動力伝達機とすることで、実施例１のように真空容器２の真空容器本体２０にプーリ１５を取り付けるような加工を必要とせず、真空容器２の真空容器本体２０を回転させることができる。即ち、真空容器本体２０を回転可能に保持する保持機構に、真空容器本体２０へ回転駆動力を伝達する回転機構を兼ね備えさせたものである。
【実施例３】
【００２１】
本実施例３は、通常運転時には、真空容器２の真空容器本体２０は架台３０に直接固定されるが、保守作業時には真空容器を架台３０から切離し、保守用の真空容器保持・回転冶具を取り付け、真空容器の真空容器本体を保持回転させることを可能とした構造に関するものである。ここで、図７は、保持機構及び回転機構の別の実施例を示す外観図で、図８は、図７のＤ−Ｄ矢示図の拡大図、図９は、図７のＥ−Ｅ矢示図の拡大図である。
【００２２】
本実施例３の架台３０には、通常運転時に真空容器２の真空容器本体２０を直接支持し得る支持柱３２が、長手方向に離間配置された足部３１の上側に各々一対ずつ取り付けられており、この支持柱３２は、台部３２ａと受け部３２ｂとから構成されている。また、支持治具３３は、支持台３４を介して架台３０に着脱自在に取り付けられるように構成されていて、図示しないジャッキ機構を備えている。支持治具３３の上端には、軸受板３３ａが取り付けられており、後述するフランジの回転用軸を回転可能に保持するようになっている。あんた、メンテナンス扉側（図７における紙面右側）の支持台３４には、支持治具３３に保持されたフランジの軸に取り付けたギヤ３７に噛合し得るギヤ付きモータ３８が取り付けられている。
【００２３】
真空容器本体２０の真空排気容器２１側のフランジ２２には、図７に示すように、真空容器本体２０と真空排気容器２１との接続部を切り離した後に取り付けることができる回転用の軸３５ａを有するフランジ３５が取り付けられる。一方、メンテナンス扉側にも、メンテナンス扉を取り外した後に取り付けることができる回転用の軸３６ａを有するフランジ３６が取り付けられる。
【００２４】
以上のような構成によれば、保守作業時においては、まず、真空容器本体２０と真空排気容器２１との接続部を切り離した後に、フランジ２２にフランジ３５を取り付けると共に、メンテナンス扉を取り外してフランジ３６を取り付ける。それから、フランジ３５及びフランジ３６を支持するジャッキ機構を持つ支持冶具３３を支持台３４を介して架台３０に各々取り付ける。この際に、フランジ３６の軸３６ａにギヤ３７を取り付ける。それから支持治具３３のジャッキ機構で真空容器本体２０を持ち上げて支持柱３２から真空容器本体２０を切り離し、フランジ３６の軸３６ａに取り付けたギヤ３７をモータ３８により駆動させて真空容器本体２０を回転させる。このような構成を備える実施例３によれば、通常運転の状態において、真空容器の回転構造等を設置するスペースが確保できないような場合であっても、回転用の軸を有するフランジと、それらを支持する支持冶具とを真空容器等へ保守時に取り付けることにより、真空容器を回転可能にすることができ、実施例１と同様の効果が得られる。
【００２５】
実施例３によれば、真空容器２０の両端のフランジ面に取り付けられる回転軸３５ａ及び３６ａを有するフランジ３５及び３６と、これらの軸３５ａ及び３６ａを支持し且つ架台３０に取り付けられるジャッキ機構を有する支持冶具３３とにより、真空容器を軸中心に回転可能に保持できるので、これらフランジ３５及び３６と支持治具３３とにより保持機構を構成する。また、軸３６ａに取り付けられたギヤ３７とモータ３８とにより、架台３０に対して真空容器を回転させることができるので、これらギヤ３７とモータ３８とにより回転機構を構成する。このように、保持機構は、架台とは別体に形成され、回転機構は、架台及び真空容器とは別体に形成され、各々保守作業時に、架台及び真空容器に取り付けられるようになっている。
【００２６】
なお、軸受板３３ａの軸保持構造は、軸受板３３ａに穿孔された穴に軸３５ａを挿入するようになっているが、軸受板に上側が開放しているＵ字溝を設け、フランジの軸を下から保持できるように構成することもできる。この場合には、メンテナンス扉側のギヤ３７は、最初からフランジ３６の軸３６ａに取り付けておくことができる。また、支持柱３２にジャッキ機構を組み入れて、支持治具３３で真空容器本体２０を保持した後、支持柱を下降させて真空容器本体２０と架台３０とを切り離して、真空容器本体２０を回転させるようにすることもできる。
【実施例４】
【００２７】
実施例４は、真空容器本体２０と架台４０との調芯と、真空容器本体２０の回転時の支持とを、真空排気容器２１側の大型化したフランジ２２の大径部２２ａを一対のキャスタ４４で挟むことにより行うように構成したものである。別の見方をすれば、実施例１における架台１０に取り付けられたキャスタ１７と、このキャスタが当接するフランジ２２及び２３とで構成する位置決め手段の別の実施例を示すものである、ここで、図１０は、真空容器の調芯と支持を真空容器側の大型化したフランジをキャスタで挟むことで行う構造の外観図で、図１１は、図１０のＫ部の拡大図、図１２は、図１０のＦ−Ｆ矢示図の拡大図である。
【００２８】
実施例４の架台４０は、基本的構成は、実施例１の架台１０とほぼ同様であるが、足部４１の上側に取り付けられた矩形枠４２は、真空排気容器２１との接続部であるフランジ２２側を支持する足部４１にのみ形成されている。この足部４１の真空容器本体２０の下側には、水平方向外向きにキャスタ台４３が突設されており、このキャスタ台４３の上側に、フランジ２２の大径部２２ａを挟み込むように一対のキャスタ４４が配設されている。
【００２９】
以上のように、フランジ２２の大径部２２ａを一対のキャスタ４４で挟み込むことにより、真空容器２の真空容器本体２０の調芯と、真空容器本体２０の回転時における支持が容易であり、また、移動手段によって架台４０を移動させる場合にも、真空容器本体２０の軸方向の位置ずれを起こすことがない。このような簡易な位置決め手段を採用することにより、真空容器２の架台４０の構造を大幅に簡素にすることができる。即ち、実施例４においては、片側のフランジ２２を一対のキャスタ４４で挟み込むことにより位置決め手段を構成しているため、実施例１におけるメンテナンス扉側の大径フランジ２３や、この大径フランジ２３側を支持する矩形枠１２なども省略することができる。また、位置決め手段は、メンテナンス扉側に配設することも可能であるが、実施例４のように真空排気容器側に配設すれば、メンテナンス扉側には、フランジを設ける必要がなくなるため、円筒状の真空容器本体２０の外径に合う円盤状のメンテナンス扉４５を取り付けるだけでよく、さらに構造が簡素化することができる。
このように、位置決め手段は、真空容器の少なくとも一側のフランジを、このフランジに接続されるフランジの外径よりも大径化し、その余剰部分（大径部）へ架台に取り付けられたキャスタを当接させるような構造にしてあり、特に、この実施例４においては、フランジの余剰部分を一対のキャスタで挟み込む構造にしてある。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明による長尺低エネルギ電子線照射装置の基本構成を示す図である。
【図２】図１に示すＡ−Ａ断面図である。
【図３】図１に示すＢ−Ｂ断面図である。
【図４】真空容器の真空容器本体を回転させる別の回転機構を示す外観図である。
【図５】図４のＪ部の拡大図である。
【図６】図４の矢視Ｃ−Ｃ断面図である。
【図７】保持機構及び回転機構の別の実施例を示す外観図である。
【図８】図７のＤ−Ｄ矢示図の拡大図である。
【図９】図７のＥ−Ｅ矢示図の拡大図である。
【図１０】位置決め装置の別の実施例を示す外観図である。
【図１１】図１０のＫ部の拡大図である。
【図１２】図１０のＦ−Ｆ矢示図の拡大図である。
【図１３】従来使用されている低エネルギ電子線照射装置の構造を示す基本構成図である。
【図１４】図１３の矢視Ｇ−Ｇの拡大図で、出射窓の構造を示す図である。
【符号の説明】
【００３１】
１  長尺低エネルギ電子線照射装置
２  真空容器
３  真空排気装置
４  電源タンク
５  絶縁タンク
６  出射窓
８  被処理物
１０  架台
１１  足部
１２  矩形枠
１３  キャスタ
１４  モータ
１５  プーリ
１６  ベルト
１７  キャスタ
１８  ギヤ
１９  ローラ
２０  真空容器本体
２１  真空排気容器
２２、２３  フランジ
２２ａ、２３ａ  大径部
２４  フランジ
２５  チェーン
３０  架台
３１  足部
３２  支持柱
３３  支持治具
３３ａ  軸受部
３４  支持台
３５、３６  フランジ
３５ａ、３６ａ  軸
３７  ギヤ
３８  モータ
４０  架台
４１  足部
４２  矩形枠
４３  キャスタ台
４４  キャスタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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