(57)【要約】【課題】従来のプローブよりも著しく細くすることができ、ピッチ間隔の狭いプリント基板の検査を支障なく実施することができる極細コンタクトプローブを提供する。【解決手段】先端にニードル部を有する極細線状体をプローブガイドに進退自在に嵌合させ、後端を弾性体に当接させて、該弾性体の弾性力によって、前記極細線状体を前後方向に弾性移動し得るように構成した。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
極細線状体から形成したプローブピンをプローブガイドに進退自在に嵌合させ、後端を弾性体に当接させて、該弾性体の弾性力によって、前記プローブピンを前後方向に弾性移動し得るように構成したことを特徴とする極細コンタクトプローブ。
【請求項２】
前記プローブピンの径が、５０〜１００μである請求項１に記載のコンタクトプローブ。 
【請求項３】
前記コンタクトプローブを、鋼、銅合金若しくはタングステンから形成してなる請求項１又は２に記載のコンタクトプローブ。
【請求項４】
前記プローブガイドに進退自在に嵌合させたプローブピン受け具に、前記プローブピンを嵌合させ、該受け具を介して前記プローブピンを前記弾性体に当接するように構成してなる請求項１〜３のいずれかに記載のコンタクトプローブ。
【請求項５】
前記受け具の前方で、前記プローブピンをガイドパイプを介して第２のプローブガイドに進退自在に嵌合させてなる請求項１〜４のいずれか１項に記載のコンタクトプローブ。
【請求項６】
前記プローブピン受け具を金属でパイプ状の中央部を細径に形成し、前記プローブピン後端が当たる該受け具のストッパーの反対側の面に、硬質金属の線状体を連結し、前記細径部にリード線を連結してなる請求項１〜５のいずれかに記載のコンタクトプローブ。
【請求項７】
前記受け具の後方で、該受け具を第３のプローブガイドに進退自在に嵌合させてなる請求項６に記載のコンタクトプローブ。
【請求項８】
前記弾性体をゴムで形成し、該ゴムに対する押圧力を調整し得るようにして、ゴムの弾性力を調整する請求項１〜７のいずれかに記載のコンタクトプローブ。
【請求項９】
前記弾性体の前記プローブ若しくは受け具当接部とその対向面には、フィルム若しくは板状体を設け、該対向面のフィルム若しくは板状体をネジで押圧してゴムの弾性力を調整する請求項８に記載のコンタクトプローブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、微小なピッチ間隔の半導体、液晶等の基板電極若しくはパターン等の断線、ショート等を精密にトライ検査することができる極細コンタクトプローブに関する。
【背景技術】
【０００２】
プリント配線基板の電気回路の断線、ショート等を点検するため、従来から一体型コンタクトプローブが使用されている。
【０００３】
従来の一体型コンタクトプローブは、図１に示すように、筒状スリーブ１内に中心導体２を嵌合させ、同スリーブ１内後端に形成した突起部４と中心導体２の後端との間に、小球５を介してコイルスプリング３を固定し、中心導体２の先端部がプリント基板の被測定面に押し当てられたときに、中心導体２がスリーブ１に対して相対移動可能に構成されている。
しかして、最近検査するプリント基板のピッチ間隔が非常に狭くなってきている。そのため、更に細く且つ信頼性があり高寿命のプローブ開発が求められているので、ニードル部の先端が振れないコンタクトプローブが強く求められている。
【０００４】
ニードル部の先端が若干でも移動すると、ニードル部の先端が目的としない被測定面に当たる恐れが生じるからである。ニードル部を極細に形成することによって、それに比例してスリーブ若しくはプローブガイドとのクリアランスが縮小されるので、スリーブ若しくはプローブガイドとの間隙を小さくすることができるから、ニードル部の先端の振れが改善される。
【０００５】
従来の図１に示すコンタクトプローブでは、コイルスプリング３が必要であるので、コンタクトプローブの径を細くするには、自ずから限界があった。即ち、内部に装着されるスプリングコイルの機能上、プローブの外径は、直径０．１５ｍｍ程度が限界であった。仮に、これ以下のプローブができたとしても、コンタクトの機能性が不完全であるので、産業上使用し得ないものであった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
この発明は、このような問題点を解消しようとするものであり、従来のプローブよりも著しく細くすることができ、ピッチ間隔の狭いプリント基板の検査を支障なく実施することができる極細コンタクトプローブを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明者は鋭意研究の結果、コイルスプリングを使用せずに、極細線状体を弾性体に当接させ、該弾性体にコイルスプリングの役割を付与させることを想到し、本発明に到達した。
【０００９】
即ち本発明は、極細線状体から形成したプローブピンをプローブガイドに進退自在に嵌合させ、後端を弾性体に当接させて、該弾性体の弾性力によって、前記プローブピンを前後方向に弾性移動し得るように構成したことを特徴とする。
【００１０】
前記プローブピンの径は、５０〜１００μとするのが好ましい（請求項２）。 
前記コンタクトプローブを、鋼、銅合金若しくはタングステンのようなバネ性を有する材料から形成するのが好ましい（請求項３）。
【００１１】
前記プローブガイドに進退自在に嵌合させたプローブピン受け具に、前記プローブピンを嵌合させ、該受け具を介して前記プローブピンを前記弾性体に当接するように構成するのが好ましい（請求項４）。
【００１２】
前記受け具の前方で、前記プローブピンをガイドパイプを介して第２のプローブガイドに進退自在に嵌合させるようにするのが良い（請求項５）。
【００１３】
前記プローブピン受け具を金属でパイプ状の中央部を細径に形成し、前記プローブピン後端が当たる該受け具のストッパーの反対側の面に、硬質金属線状体を連結し、前記細径部にリード線を連結し、前記細径部にリード線を連結すると良い（請求項６）。この硬質金属線状体は、細径部が折れたり、曲がったりするのを防止する役割もしている。
（請求項６）。
【００１４】
受け具の中央を細く形成した場合は、受け具の後方で、該受け具を第３のプローブガイドに進退自在に嵌合させるのが良い（請求項７）。
【００１５】
前記弾性体をゴムで形成し、該ゴムに対する押圧力を調整し得るようにして、ゴムの弾性力を調整すると良い（請求項８）。
【００１６】
前記弾性体の前記プローブ若しくは受け具当接部とその対向面には、フィルム若しくは板状体を設け、該対向面のフィルム若しくは板状体をネジで押圧してゴムの弾性力を調整すると良い（請求項９）。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、コンタクトプローブを直径０．０５ｍｍ程度という従来の半分以下の極細とすることができるので、ピッチ間隔の狭いプリント基板等の検査を支障なく行うことができると共に、先端ニードル部が中心から移動し難くなるので、先端が目的としない被測定物に当たる恐れを効果的に回避できるというこの種従来のコンタクトプローブには、全く見られない絶大な効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
次に、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１９】
図２は、本発明の一実施例を示すものであり、ガイド用樹脂板１１の貫通孔には金属製プローブピン受け具１２が上下動自在に嵌合し、同受け具１２の後端は、バネの役割をするダンパーゴム１３に当接している。
【００２０】
受け具１２の先端には、プローブピン（極細線状体）１４が嵌合し、同プローグピン１４の先端が被測定物１５に押圧コンタクトすると、受け具１２はダンパーゴム１３のバネの力に抗して上昇し、押圧が解かれると、ダンパーゴム１３のバネの力により下降するようになっている。
【００２１】
ガイド用樹脂板１１の下方には、第２のガイド用樹脂板１６が対向し、同第２のガイド用樹脂板１６の貫通孔に耐磨耗性ガイドパイプ１７が密嵌し、同ガイドパイプ１７にプローブピン１４の先端部が摺動（上下動）自在に嵌合するようになっている。
【００２２】
パイプ状受け具１２内には、半球状（断面半円形）ストッパー１８が形成され、同ストッパー１８にプローブピン１４の後端が当接するようになっている。プローブピン１４は、受け具１２に嵌合していることと、ストッパー１８に弾性当接していることから、プローブピン１４を細く形成しても検査の信頼性は損なわれない。
【００２３】
半球状ストッパー１８の反対側の面には、硬質金属ワイヤー（線状体）１９が連設され、同ワイヤー１９は、パイプ状受け具１２の後端に達している。パイプ状受け具１２の中央は細径部２０に形成され、同細径部２０にリード線２１が接続されるようになっている。尚、細径部２０とその内部の金属ワイヤー１９とは接触している。
【００２４】
ガイド用樹脂板１１の上方には、第３のガイド用樹脂版２６が対向し、同第３のガイド用樹脂版２６に形成された貫通孔に、受け具１２の後部が摺動（上下動）自在に嵌合している。
【００２５】
受け具１２後端は強力フィルム２２を介して、ダンパーゴム１３に当接するようになっている。強力フイルム２２の厚さは、受け具１２の太さ及びダンパーゴム１３の弾性力に応じて、適当な厚さを選択すると良い。
【００２６】
ダンパーゴム１３上端には、板体２３が固定され、同板体２３をネジ２４で押圧して、ダンパーゴム１３の弾性力の強さを調整し得るように構成されている。尚、ダンパーゴム１３は板状体２５に固定されている。
【００２７】
本発明のプローブピンの直径は、５０〜１００μとするのが好ましい。図２の実施例では、プローブピンの直径を６０μ程度とし、ガイドパイプ１７の直径は１００μ程度としている。
【００２８】
第２のガイド用樹脂板１６とガイド用樹脂板１１との間隔及びガイド用樹脂板１１と第３のガイド用樹脂板２６との間隔は、プローブが折れたり、曲がったりし難い間隔に調整すると良い。
【００２９】
上記実施例によれば、プローブピン１４は受け具１２に着脱し得るように嵌合しているので、プローブ先端部が破損した場合には、容易に交換することができる。
【００３０】
本発明によれば、従来のプローブのようにスリーブ内にコイルスプリング等を内装していないので、その分プローブを細く形成することができる。また、プローブピンは受け具に嵌合して受け具のストッパー１８に当接しているので、プローブピンを細くしても検査の信頼性は損なわれない。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】従来の一体型コンタクトプローブを示す断面図である。
【００３２】
【図２】本発明のコンタクトプローブの一実施例を示す断面図である。
【符号の説明】
【００３３】
１１………ガイド用樹脂板
１２………プローブピン受け具
１３………ダンパーゴム
１４………プローブピン
１５………被測定物
１６………第２のガイド用樹脂板
１７………ガイドパイプ
１８………受け具内のストッパー
１９………硬質金属ワイヤー（金属線状体）
２０………細径部
２１………リード線
２２………強力フィルム
２３………板体
２４………ねじ
２５………板状体
２６………第２のガイド用樹脂板
【図１】
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【図２】
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