(57)【要約】【課題】  このスライド装置は，ボールねじを軌道レールの外側側方に平行に配設して全高さを低いものにし，ボールねじの仕様変更が容易に行って取付け取外しを簡単に行う。【解決手段】このスライド装置は，ボールねじ３を軌道レール２の外側に平行に配設し，軌道レール２に取り付けたねじ軸支持体８，９に回転可能に軸支されたボールねじ軸７，及びスライドテーブル４に取り付けたボールねじナット６から構成されている。ボールねじ軸７は，ねじ軸支持体９に取り付けられたモータ５によって回転駆動される。【選択図】図６
2005325880.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺状の軌道レール，前記軌道レールに沿って摺動自在なスライドテーブル，及び前記スライドテーブルに取外し可能に取り付けられ且つ前記スライドテーブルを往復移動させる送りねじ機構を有し，
前記送りねじ機構は，前記軌道レールの側面側に沿って平行に配設され且つ前記軌道レールに取り付けられた一対のねじ軸支持体に回転可能に軸支されたねじ軸，及び前記スライドテーブルに取り付けられ且つ前記ねじ軸に螺合して前記ねじ軸に沿って往復移動するナットから構成され，
前記ねじ軸支持体は，前記軌道レールに載置状態に取り付けられた支持基部，及び前記支持基部から前記軌道レールの前記側面側に延びて前記ねじ軸を回転可能に支持するねじ軸支持部を有し，
前記ねじ軸は，前記ねじ軸支持体のいずれか一方側に取り付けられたモータによって回転駆動されることから成るスライド装置。
【請求項２】
前記軌道レールは，一対の側部と前記側部に一体構造で他部材への取付面を備えた底部とで樋形状に形成され，前記ねじ軸支持体の前記支持基部は，前記一対の側部に載置した状態で前記軌道レールの前記側部の上面に取り付けられていることから成る請求項１に記載のスライド装置。
【請求項３】
前記スライドテーブルは，前記軌道レールの前記側部間で転動体を介して摺動自在なスライダ，及び前記スライダの上面に固着され且つ前記軌道レールの前記側面側に配置された前記ナットが取り付けられたテーブル部からなり，前記テーブル部にはワークを取り付けるワーク用取付面が形成されていることから成る請求項２に記載のスライド装置。
【請求項４】
前記送りねじ機構は，前記ナットがボールねじナット，及び前記ねじ軸がボールねじ軸からなるボールねじから構成され，前記ボールねじ軸の両端部は前記一対のねじ軸支持体のそれぞれに配設された軸受を介して回転自在に軸支され，一方の前記ボールねじ軸の軸端は前記モータの出力軸にカップリングを介して連結されていることから成る請求項１又は２に記載のスライド装置。
【請求項５】
前記軌道レールの長手方向に沿った上面エリア，前記送りねじ機構の長手方向に沿った上面エリア及び側面エリアには，異物の出入を防止するカバーが配設され，前記カバーは断面Ｌ形状の薄板で形成されていることから成る請求項１〜４のいずれか１項に記載のスライド装置。
【請求項６】
前記一対のねじ軸支持体は，モータブラケット及びエンドブラケットを構成し，前記モータブラケットを構成する前記ねじ軸支持体は，前記ねじ軸を支持するため前記軸受を嵌入する軸受ハウジング部を有する前記ねじ軸支持部と前記軸受ハウジング部に連結し且つ前記モータを支持する嵌合孔が形成されたモータ支持部とを有し，前記軸受ハウジング部と前記モータ支持部との間の下部には凹んだ凹部が形成され，前記凹部には前記ねじ軸の端部と前記モータの出力軸とを連結する前記カップリングが収容されていることから成る請求項４又は５に記載のスライド装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は，工作機械，半導体製造装置，各種組立装置，試験装置等の各種装置に使用されるスライド装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年，スライド装置は，工作機械，半導体製造装置，各種組立装置，試験装置等の各種の装置において益々多用途になって各種の仕様のものが求められている。スライド装置としては，例えば，互いに連結された一対の側部からなる軌道レールを有するコンパクトな構成を有するものが知られている。該スライド装置は，スライダを軌道レール上で摺動させるためのねじ軸と螺合するナット体をスライダに対して取外し可能に構成し，ねじ軸の両端部を支持するねじ軸支持体を軌道レールの上面に対して取り付けることによって，スライド装置のメンテナンス，又は軌道レールの長さ，異なるリード，ねじ径等を変更する場合に，スライド装置の分解・組立作業を簡素化し，ねじ軸支持体の取付けのための各種作業を簡素化することができるものになっている（例えば，特許文献１参照）。
【０００３】
また，アクチュエータとしては，送りねじ軸機構をユニット化し，送りねじ軸機構をフレームに対して容易に組み付けたり，容易に離脱させるものが知られている。該アクチュエータは，スライダの上部の中央部には，軸線方向に沿って延在する断面Ｕ字状の開口部が形成され，ボールねじナットの円筒部が上方側から着脱自在になっている。また，開口部から下部側に向かって貫通する矩形状の孔部が形成され，ボールねじナットのリターンチューブを収納するものになっており，スライダの高さ方向の寸法を抑制したものになっている（例えば，特許文献２参照）。
【０００４】
また，直動案内ユニットとして，ワークの加工や搬送を行う際に，ワークの位置及び姿勢を好ましい状態に維持することを可能にするものが知られている。該直動案内ユニットは，ベッドやテーブルに対して軌道レールとスライダを取付け基準面で予め定められた位置と姿勢で規制した状態で取り付けることにより，テーブルがスライダと共に軌道レールに沿って移動しても，ベッドとテーブルとを精度良い姿勢に保つものであり，軌道レールとスライダから成り，スライダは，軌道レールの各側部の内側で且つ側部の上面を超えて突出するスライダヘッド部を備えており，軌道レールにはベッドに形成された軌道レール取付け面に対して位置決めされる第１取付け基準面が形成され，スライダヘッド部にはテーブルに形成されたスライダ取付け面に対して位置決めされる第２取付け基準面が形成されている（例えば，特許文献３参照）。
【特許文献１】特開平１１−３０２３４号公報（第１頁，図１）
【特許文献２】特開２００２−１７４３１７号公報（第１頁，図７）
【特許文献３】特開２００１−１２４６５号公報（第１頁，図５）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら，上記のスライド装置は，スライダを軌道レールに対して往復移動させるねじ軸が，軌道レール内に配置されたスライダの上方に位置するように軌道レールに取り付けられており，そのため，スライダの高さが高くなり，軌道レールの底面からスライダの上面までの全高さが高いものになっていた。従って，上記スライド装置は，高さ方向に制限の有る領域には利用することができず，スライド装置の低い高さで使用するのには不向きなものになっていた。
【０００６】
また，上記のアクチュエータは，スライダにねじ軸を挿通するため開口部及び孔部を形成しなければならないため，ボールねじの仕様を変更する場合等には適合し難いものになっており，スライダに開口部及び孔部を形成するため，スライダを大きく肉抜きしなければならず，スライダの剛性が小さなものになって，負荷容量の大きな使用条件では使用できないものになっている。
【０００７】
この発明の目的は，上記の課題を解決して，一般的使用で広範囲で使用可能な標準仕様であり，本出願人に係る特開平１１−３０２３４号公報に開示されたスライド装置に対して，ボールねじを軌道レールの真横即ち外側側方になる側面側に沿って平行に配設して，従来例のものに比較して全高さを低い構造に構成でき，直動案内ユニット等の仕様を変更すること無く，ボールねじの仕様の変更が容易に行え，ボールねじの直動案内ユニットへの取付けも取外しも簡単に行うことができ，スライド装置の全高さを可及的に低くし，高さ方向に制限のあるエリアに配設して好ましく，客先の要望に応えることができ，簡単な構造にして安価であるスライド装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明は，長尺状の軌道レール，前記軌道レールに沿って摺動自在なスライドテーブル，及び前記スライドテーブルに取外し可能に取り付けられ且つ前記スライドテーブルを往復移動させる送りねじ機構を有し，前記送りねじ機構は，前記軌道レールの側面側に沿って平行に配設され且つ前記軌道レールに取り付けられた一対のねじ軸支持体に回転可能に軸支されたねじ軸，及び前記スライドテーブルに取り付けられ且つ前記ねじ軸に螺合して前記ねじ軸に沿って往復移動するナットから構成され，前記ねじ軸支持体は，前記軌道レールに載置状態に取り付けられた支持基部，及び前記支持基部から前記軌道レールの前記側面側に延びて前記ねじ軸を回転可能に支持するねじ軸支持部を有し，前記ねじ軸は，前記ねじ軸支持体のいずれか一方側に取り付けられたモータによって回転駆動されることから成るスライド装置に関する。
【０００９】
また，前記軌道レールは，一対の側部と前記側部に一体構造で他部材への取付面を備えた底部とで樋形状に形成され，前記ねじ軸支持体の前記支持基部は，前記一対の側部に載置した状態で前記軌道レールの前記側部の上面に取り付けられている。
【００１０】
前記スライドテーブルは，前記軌道レールの前記側部間で転動体を介して摺動自在なスライダ，及び前記スライダの上面に固着され且つ前記軌道レールの前記側面側に配置された前記ナットが取り付けられたテーブル部からなり，前記テーブル部にはワークを取り付けるワーク用取付面が形成されている。
【００１１】
前記送りねじ機構は，前記ナットがボールねじナット，及び前記ねじ軸がボールねじ軸からなるボールねじから構成され，前記ボールねじ軸の両端部は前記一対のねじ軸支持体のそれぞれに配設された軸受を介して回転自在に軸支され，一方の前記ボールねじ軸の軸端は前記モータの出力軸にカップリングを介して連結されている。
【００１２】
このスライド装置は，前記軌道レールの長手方向に沿った上面エリア，前記送りねじ機構の長手方向に沿った上面エリア及び側面エリアには，異物の出入を防止するカバーが配設され，前記カバーは断面Ｌ形状の薄板で形成されている。
【００１３】
また，前記一対のねじ軸支持体は，モータブラケット及びエンドブラケットを構成し，前記モータブラケットを構成する前記ねじ軸支持体は，前記ねじ軸を支持するため前記軸受を嵌入する軸受ハウジング部を有する前記ねじ軸支持部と前記軸受ハウジング部に連結し且つ前記モータを支持する嵌合孔が形成されたモータ支持部とを有し，前記軸受ハウジング部と前記モータ支持部との間の下部には凹んだ凹部が形成され，前記凹部には前記ねじ軸の端部と前記モータの出力軸とを連結する前記カップリングが収容されている。
【発明の効果】
【００１４】
このスライド装置は，上記のように構成されているので，本出願人に係る特開平１１−３０２３４号公報に開示されたスライド装置に比較して全高さを可及的に低く構成することができ，特に，互いに連結された一対の側部からなる軌道レールを有する構造でコンパクトに構成でき，更に，スライドテーブルを軌道レール上で摺動させるためのボールねじ軸に螺合するボールねじナットをスライドテーブルに対して取付け取外し可能とし，ボールねじ軸の両端部を支持するねじ軸支持体を軌道レールの上面に対して取り付けることによって，スライド装置のメンテナンス，軌道レールの長さ，ボールねじの異なるリード，ねじ径等の種々の変更に対して送りねじ機構であるボールねじを交換するのみで容易に対応でき，分解・組立作業が簡素化になり，ねじ軸支持体の取り付けのための各種作業を簡素化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下，図面を参照して，この発明によるスライド装置の実施例を説明する。この発明によるスライド装置は，クリーンルーム，試験実験室，粉塵作業環境等のエリアで稼働される半導体製造装置，工作機械，各種組立装置，試験装置，位置決めテーブル，スライドテーブル等の各種装置に組み込んで使用できるものである。このスライド装置は，図８及び図９に示すように，本出願人に係る特開２００１−１２４６５号公報に開示された軌道レールとスライダから成る直動案内ユニットが利用できる構造を備えている。このスライド装置は，上記特開平１１−３０２３４号公報に開示されたものの特徴を組み込んだものであり，簡単な構造でありながら，全高さが低く構成され，装置そのものが剛性のある構造に構成され，コンパクトな構造に構成されている。
【００１６】
このスライド装置は，図１〜図７に示すように，ねじ軸であるボールねじ軸７が軌道レール２の外側で真横に並列状態になるように，軌道レール２の側部１２の側面側に沿って配設されており，特に，スライド装置自体の全高さが低いものに構成されていることを特徴としている。このスライド装置において，ボールねじ軸７の両端部を軸支する一対のねじ軸支持体８，９，即ち，エンドブラケットを構成するねじ軸支持体８及びモータブラケットを構成するねじ軸支持体９は，送りねじ機構を構成するボールねじ３を軌道レール２の外側で真横に並設状態に軌道レール２の側部１２の側面側に沿って配設し，エンドブラケットの支持基部６４及びモータブラケットの支持基部６２が軌道レール２の一対の側部１２の上面１４に載置した状態で取り付けられている。軌道レール２の側部１２に形成されたねじ穴４７には，ねじ軸支持体８を軌道レール２に固定するため，ねじ３６が螺入される。また，軌道レール２の側部１２に形成されたねじ穴４８には，ねじ軸支持体９を軌道レール２に固定するため，ねじ２７を螺入される。ねじ軸支持体８，９の端面には，ストッパ２２が設けられている。従って，ボールねじ３は，直動案内ユニット７１，詳しくは軌道レール２の側部１２の上面１４からの着脱が簡単になり，ボールねじ３のメンテナンスも簡単に行え，また，ボールねじ軸７の長さの変更，軌道レール２の長さ，ボールねじ軸７のリード，ねじ径等の変更を簡単に行える構造に構成されている。また，このスライド装置は，分解・組立作業が簡素化し，ねじ軸支持体８，９の取付けのための各種作業が簡素化されている。
【００１７】
スライドテーブル４は，直動案内ユニット７１におけるスライダ１にテーブル部１５が固定ねじ２４によって固着されるものであり，直動案内ユニット７１とは別体構造に構成されている。即ち，スライドテーブル４は，軌道レール２の側部１２間に転動体（図示せず）を介して摺動自在なスライダ１，及びスライダ１の上面３７に固着され且つ側部１２の外側で側面側にナットであるボールねじナット６を配設したテーブル部１５から成り，テーブル部１５には搭載物，搬送物，部材等のワークを取り付けるワーク用取付面２６が形成されている。また，テーブル部１５は，所定の剛性を確保するために鋳物等の鋼製材料で形成されている。
【００１８】
このスライド装置は，長尺状に延びている軌道レール２，軌道レール２に沿って摺動自在なスライドテーブル４，及びスライドテーブル４に取付け取外し可能に取り付けられ且つスライドテーブル４を往復移動させる送りねじ機構であるボールねじ３を有している。ボールねじ３は，軌道レール２の側面側に軌道レール２に沿って平行な並設状態に配設され且つ軌道レール２に取り付けられた一対のねじ軸支持体８，９に回転可能に軸支されたねじ軸であるボールねじ軸７，及びスライドテーブル４に取り付けられ且つボールねじ軸７に螺合してボールねじ軸７に沿って往復移動するナットであるボールねじナット６から構成されている。
【００１９】
更に，ねじ軸支持体８は，ボールねじ軸７の一端に取り付けられたエンドブラケットを構成している。ねじ軸支持体８は，軌道レール２に載置状態に取り付けられた支持基部６４，及び支持基部６４から軌道レール２の側面側に延びてボールねじ軸７を軸受１３によって回転可能に支持するねじ軸支持部６５を有している。また，ねじ軸支持体９は，ボールねじ軸７の他端に取り付けられると共に，モータ５をモータアタッチメント１７を介して取り付けるモータブラケット２８を構成している。ねじ軸支持体９は，軌道レール２に載置状態に取り付けられた支持基部６２，及び支持基部６２から軌道レール２の側面側に延びてボールねじ軸７を軸受１３によって回転可能に支持するねじ軸支持部５９を有している。モータ５は，駆動部１８とエンコーダ部１９とから構成されている。ボールねじ軸７は，ここではねじ軸支持体９に支持され，モータ５の駆動軸即ち出力軸３２に連結されてモータ５によって回転駆動されるものである。
【００２０】
このスライド装置において，軌道レール２は，一対の側部１２と，両側部１２に一体構造で且つ他部材を取り付けるための取付面４３を備えた底部１１とによって樋形状に形成されている。スライダ１は，図８に示すように，ねじ孔４５を備えたケーシング３０，ケーシング３０の両端面に固定されたエンドキャップ３１，及びエンドキャップ３１の端面に固定されたエンドシール２９から構成され，エンドシール２９の端面にはグリースニップル４６が配設されている。エンドキャップ３１とエンドシール２９は，固定ねじ４９（図９）によってケーシング３０に固定されている。ねじ軸支持体８，９の支持基部６２，６４は，一対の側部１２に載置した状態で軌道レール２の側部１２の上面１４に取り付けられている。軌道レール２には軌道溝５０が形成され，軌道溝５０に対応してケーシング３０には軌道溝が形成されている。また，スライドテーブル４は，軌道レール２の側部１２に転動体を介して摺動自在なスライダ１の上面に固着され，且つ軌道レール２の側面側に配置されたボールねじナット６が取り付けられるテーブル部１５を備えており，テーブル部１５には搭載物，搬送物，部材，機器等のワークを取り付けるワーク用取付面２６が形成されている。
【００２１】
このスライド装置における送りねじ機構は，ナットであるボールねじナット６及びねじ軸であるボールねじ軸７から成るボールねじ３から構成されている。ボールねじ軸７の両端部は，一対のねじ軸支持体８，９にそれぞれ位置して，ねじ軸支持体８，９に軸受１３を介して回転自在に軸支されている。一方のボールねじ軸７の軸端は，ねじ軸支持体９内に位置し，モータ５の出力軸３２にカップリング１６を介して連結されている。
【００２２】
このスライド装置は，軌道レール２の長手方向に沿った側部１２の上面１４に跨がった上面エリア，ボールねじ３の長手方向に沿った上面エリア及び側面エリアを覆って，異物の侵入を防止する機能を有するカバー２０が配設されている。カバー２０は，全体的には断面Ｌ形状の薄板で形成され，軌道レール２に固定されたねじ軸支持体８，９に固定されている。このスライド装置は，簡単なカバー２０によってモータ５及びスライドテーブル４の後述の凸部５１を除いた部分のスライド装置のほぼ全面を覆った構造に構成されている。また，カバー２０は，断面Ｌ字形状に形成されているので，薄板でありながら強度を備えた強固な構造に構成されている。軌道レール２の上面エリアを覆うカバー２０の平面部は，部分的に加工硬化させる方法を採用して強固な構造にして補強されている。カバー２０は，その平面部を部分的に補強するだけで長尺状の構造でありながら強度を有する構造になっている。また，カバー２０は，一対のねじ軸支持体８，９であるエンドブラケット及びモータブラケットにカバー固定ねじ４１で固定されている。
【００２３】
このスライド装置は，上記のように構成されているので，送りねじ機構のボールねじ３が直動案内ユニット７１の側面側に位置しているために，搭載物等のワークを移動させる場合等に，スライダ１に回転モーメント荷重が負荷される状態にあるため，スライド装置の可動部分のスライダ１と軌道レール２との間には転動体を介在させた構造に構成し，それによってスライドテーブル４を滑らかな動きで往復移動させ，過度な負荷が掛からないように工夫されている。
【００２４】
また，このスライド装置は，図２〜図６に示すように，ボールねじ３を取り付けた軌道レール２の側部１２とは反対側の他方の側部１２には，外側側面の長手方向に沿ってセンサレール１０が取付板２３を介して取り付けられており，センサレール１０に対しては，リミットセンサ，原点センサ，原点前センサ等のセンサ２５を各使用条件に合わせて複数取り付けられ，スライドテーブル４の下面に対向してスライドテーブル４の位置等を感知即ち検出することができる構造に構成されている。また，カバー２０の側面部には，図１に示すように，潤滑剤供給用孔３９が設けられており，ボールねじ３に潤滑剤を補給できる構造を備えている。カバー２０の潤滑剤供給用孔３９には，ゴム製等のブシュ３８が嵌め込まれている。
【００２５】
また，このスライド装置は，図６，図１０及び図１１に示すように，スライドテーブル４を構成する鋼製でなるテーブル部１５は，テーブル基部５２とナットハウジング部５５とから構成されている。テーブル基部５２の上部は，両側を突出させて凸部５１を形成し，凸部５１の上面がワーク用取付け面２６に形成され，凸部５１の上面にはワーク取付け用ねじ穴４０が形成されている。スライドテーブル３の凸部５１間の凹部５４には，カバー２０が嵌挿される構造になっている。テーブル基部５２は，その下面が凹部５４に形成された取付け用孔５８を通してスライダ１におけるケーシング３０の上面７２にねじ固定される。ナットハウジング部５５は，テーブル基部５２の一方の側面側でテーブル基部５２と一体構造にブロック体状に形成され，ナットハウジング部５５には，ボールねじナット６及びそのリターンチューブが配設できるように長孔のハウジング孔７６，及びボールねじナット６を固定するための取付け用ねじ穴５６が形成されている。ボールねじナット６は，固定ねじ７７をナットハウジング部５５に形成した取付け用ねじ穴５６に螺入してスライドテーブル３に固着されている。
【００２６】
モータブラケットを構成するねじ軸支持体９は，図６，図１２〜図１５に示すように，軌道レール２の一方の端部である一対の側部１２の上面１４にねじ固定される支持基部６２，支持基部６２の一方の端面側にねじ軸支持部５９，及び支持基部６２の他方の端面側にモータ５を支持するモータ支持部５７を備えた構造を有している。ねじ軸支持部５９は，軸受１３が嵌入する軸受ハウジング孔６３を備え且つ軸受１３を介してボールねじ軸７を支持する軸受ハウジング部６０を有する。また，モータ支持部５７は，軸受ハウジング部６０に一体構造に連結され，モータ５を支持する嵌合孔６１を備えている。軸受ハウジング部６０とモータ支持部５７との間は，下部側が凹んだ凹部７０に形成され，凹部７０にはモータ５の出力軸３２とボールねじ軸７の端部とを連結するカップリング１６が収容されている。モータ支持部５７は，ボールねじ３の駆動源であるモータ５を位置決めして取り付けるために，モータ５用の嵌合孔６１が形成されている。また，支持基部６２には，軌道レール２の一対の側部１２の上面１４にねじ軸支持体９を固着するための固定用孔５３が設けられている。また，支持基部６２には，軌道レール２をベース等に固定するため，軌道レール２のザグリ孔である取付け用孔３３に通じる通し孔３４が形成されている。モータブラケットを構成するねじ軸支持体９の上面には，カバー固定用のねじ穴３５が形成されている。
【００２７】
エンドブラケットを構成するねじ軸支持体８は，図６，図７，図１６及び図１７に示すように，軌道レール２の他方の端部である一対の側部１２の上面１４にねじ固定される支持基部６４，及び支持基部６４の一方の側面側にねじ軸支持部６５が形成された構造を有している。ねじ軸支持体８には，ボールねじ軸７の他方の端部を軸受１３で支持するために，軸受１３をねじ軸支持部６５の端面に配設可能にする薄板でなる軸受支持具２１が固定ねじ４２（図３）で固着されており，ボールねじ軸７の端部が貫通するねじ軸用孔６６が形成されている。ねじ軸支持体８は，上記の構成により，ボールねじ軸７の回転中心を一直線上に位置調整しやすいものに形成されている。支持基部６４には，軌道レール２の一対の側部１２の上面１４にねじ固定するための固定用孔６７が設けられている。また，エンドブラケットのねじ軸支持体８の上面には，カバー固定用のねじ穴３５が形成されている。
【００２８】
カバー２０は，図１８〜図２０に示すように，軌道レール２の上面側及びモータ５を除いたボールねじ３の上面側を覆う上面カバー部７４，及びモータ５を除くボールねじ３の側面側を覆う側面カバー部７５を有している。カバー２０は，モータブラケットからエンドブラケットに延びる長尺状に形成されている。上面カバー部７４には，スライドテーブル４の一方の凸部５１が摺動自在に貫通する窓６８，及びモータブラケットの上面及びエンドブラケットの上面にねじ固定される取付け用孔６９が形成されている。上面カバー部７４は，カバー固定ねじ４１によってモータブラケットのねじ軸支持体９とエンドブラケットのねじ軸支持体８に固定されている。また，側面カバー部７５には，潤滑剤供給用孔３９が形成されている。
【産業上の利用可能性】
【００２９】
このスライド装置は，工作機械，半導体製造装置，精密測定装置，粉塵環境やクリーン環境内での製造装置等における相対摺動部材を備えた各種装置に使用される。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】この発明によるスライド装置を示す正面図である。
【図２】図１のスライド装置を示す平面図である。
【図３】図１のスライド装置を示す左側面図である。
【図４】図１のスライド装置を示す右側面図である。
【図５】図２のスライド装置を示すＡ−Ａ断面図である。
【図６】図２のスライド装置からカバーを外した状態を示す平面図である。
【図７】図６のスライド装置を示すＢ−Ｂ断面図である。
【図８】図６のスライド装置を構成する直動案内ユニットを示す平面図である。
【図９】図８の直動案内ユニットを示す側面図である。
【図１０】図６のスライド装置におけるスライドテーブルを示す正面図である。
【図１１】図１０のスライドテーブルを示す平面図である。
【図１２】図６のスライド装置におけるモータブラケットを構成するねじ軸支持体を示す正面図である。
【図１３】図１２のねじ軸支持体を示す平面図である。
【図１４】図１２のねじ軸支持体を示す右側面図である。
【図１５】図１２のねじ軸支持体を示す左側面図である。
【図１６】図６のスライド装置におけるエンドブラケットを構成するねじ軸支持体を示す正面図である。
【図１７】図１６のねじ軸支持体を示す平面図である。
【図１８】図１のスライド装置におけるカバーを示す正面図である。
【図１９】図１８のカバーを示す平面図である。
【図２０】図１８のカバーを示す側面図である。
【符号の説明】
【００３１】
１      スライダ
２      軌道レール
３      ボールねじ
４      スライドテーブル
５      モータ
６      ボールねじナット（ナット）
７      ボールねじ軸（ねじ軸）
８      ねじ軸支持体（エンドブラケット）
９      ねじ軸支持体（モータブラケット）
１１    底部
１２    側部
１４    上面
１５    テーブル部
１６    カップリング
２０    カバー
２６    ワーク用取付面
３２    出力軸
３７    上面
４３    ベース用取付面
５１    凸部
５７    モータ支持部
５９，６５    ねじ軸支持部
６０    軸受ハウジング部
６１    モータ嵌合孔
６２，６４    支持基部
【図１】
2005325880.tif 000003
【図２】
2005325880.tif 000004
【図３】
2005325880.tif 000005
【図４】
2005325880.tif 000006
【図５】
2005325880.tif 000007
【図６】
2005325880.tif 000008
【図７】
2005325880.tif 000009
【図８】
2005325880.tif 000010
【図９】
2005325880.tif 000011
【図１０】
2005325880.tif 000012
【図１１】
2005325880.tif 000013
【図１２】
2005325880.tif 000014
【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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