(57)【要約】【課題】圧電素子と振動板の接着に導電性接着剤を使用した場合における圧電素子の上下電極間の短絡を防止可能にする。【解決手段】圧電素子１００の上面電極１０２を該圧電素子端部１００Ａから内側に形成し（図４（Ａ））、この上面電極１０２の全面をフォトレジスト１１０で覆う（図４（Ｂ））。続いて、フォトレジスト１１０が形成された圧電素子１００を導電性接着剤１２０を用いて振動板１３０に接着し（図４（Ｃ））、接着後にフォトレジスト１１０を剥離する（図４（Ｄ）。これにより、圧電素子１００と振動板１３０との間に挟まれた導電性接着剤１２０が圧電素子１００の端部にはみ出しても、はみ出した導電性接着剤１２２は、フォトレジスト１１０によって覆われた上面電極１０２に接触することがなく、この接着後にフォトレジスト１１０を剥離することで、上面電極１０２を露出させることができる。【選択図】      図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素子によって振動板を駆動することによりヘッドからインクを吐出するインクジェットヘッドの製造方法において、
前記圧電素子に駆動電圧を印加するための上面電極を該圧電素子の端部から内側に形成するステップと、
前記圧電素子の下面を振動板に接着する前に該圧電素子の上面を覆う保護層を形成するステップと、
前記保護層が形成された圧電素子を導電性接着剤を用いて振動板に接着するステップと、
前記接着後に前記保護層を除去するステップと、
を含むことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記保護層は、少なくとも前記上面電極の全面を覆うことを特徴と請求項１に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記保護層はフォトレジストであることを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記保護層を形成するステップ及び保護層を除去するステップは、前記圧電素子のキューリ点よりも低い温度で処理することを特徴とする請求項１、２又は３に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項５】
圧電素子によって振動板を駆動することによりヘッドからインクを吐出するインクジェットヘッドの製造方法において、
前記圧電素子に駆動電圧を印加するための上面電極を該圧電素子の端部から内側に形成するステップと、
前記圧電素子の下面を振動板に接着する前に該圧電素子の上面を覆う保護層を形成するステップと、
前記保護層が形成された圧電素子を導電性接着剤を用いて振動板に接着するステップと、
前記接着後に前記圧電素子上に形成された保護層のうちの該圧電素子の外周部分の保護層及び上面電極の電気的接合部分の保護層を除去するステップと、
前記上面電極の電気的接合部分と配線板の端子とを電気的に接合するステップと、
を含むことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記保護層はソルダーレジストであり、前記電気的接合はハンダを使用した接合であることを特徴とする請求項５に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法によって製造されたインクジェットヘッド。
【請求項８】
請求項１乃至６のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法で作られたインクジェットヘッドを備えたインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はインクジェットヘッドの製造方法及びインクジェットヘッド並びにインクジェット記録装置に係り、特にインクジェットヘッドにおける圧電素子と振動板とを電気的に接合する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットヘッドの製造過程において、圧電素子の下面電極を導電性のある振動板と接着して振動板を共通電極にする工程がある。この圧電素子の下面電極と振動板との接着に求められる項目は、圧電素子からの振動を無駄なく振動板に伝達し、かつ機械的に確実に接着することと、圧電素子の下面電極と振動板とが電気的に確実に接続されることである。
【０００３】
従来、以上を実現するために接着剤として非導電性接着剤又は異方性導電性接着剤を用いた接着が行われている。
【０００４】
接着剤として非導電性接着剤を用いて接着する場合、圧電素子と振動板とを電気的に接続するために圧電素子の電極面の表面の粗さを利用し、電極面の表面の凸部と振動板との接触により電気的な導通をとり、凹部に充填される接着剤により機械的な接合を行うようにしている（特許文献１）。
【０００５】
接着剤として異方性導電性接着剤を用いて接着する場合、圧電素子と振動板との間隙、及び圧電素子と配線部材との間隙にそれぞれ異方性導電性接着剤を介在させて加圧しつつ加熱することによって導電性となった異方性導電性接着剤により配線部材と圧電素子と振動板とを導通させるとともに、圧電素子及び振動板の周囲にはみ出した状態で絶縁性を保っている異方性導電性接着剤により圧電素子の上下の電極間を絶縁シールしている（特許文献２）。
【特許文献１】特開平６−１０６７２４号公報
【特許文献２】特開平７−３０４１８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載の非導電性接着剤を用いて接着する場合、接着剤を薄く塗らなければならず、振動板と圧電素子の反りや圧電素子の電極面の表面粗さが電気的な接続に影響を与えるという問題がある。
【０００７】
また、異方性導電性接着剤は、絶縁接着材料の中に導電性充填材（フィラー）の微粒子が分散されたものである。これを板の間に挟んで圧着すると、挟まれた導電性微粒子により縦方向には電気的な導通がとれ、横方向には導電性微粒子が分散しているために導通がとれない状態となる。このように縦方向のみに導電性を有する異方性導電性接着剤として作用するか否かは、導電性充填材の充填法・粒子径分布・分散に依存している。導電性微粒子の粒径は、数μｍから数十μｍ程度のものがあり、粒径の揃っている導電性微粒子が分散している。
【０００８】
従って、特許文献２に記載の異方性導電性接着剤を用いて接着する場合、圧電素子と振動板との面粗さのバラツキが導電性微粒子の粒径よりも大きいと、導電性微粒子が圧電素子と振動板との間に良好に挟まらず、導通が得られなくなるという問題がある。
【０００９】
また、圧電素子と振動板間の接着剤の厚みは、振動伝達の観点から薄くすることが好ましく、よって圧電素子と振動板の電極面間は、数μｍから十数μｍの導電性微粒子が分散している異方性導電性接着剤によって接着が行われるため、粒径以下の平坦性が要求されることになる。
【００１０】
更に、異方性導電性接着剤は、絶縁接着材料の中に導電性微粒子が分散しているが、流動性があるため導電性微粒子の分散ムラが生じる。この分散ムラは、異方性に大きく影響し、極端な場合には、縦方向に電気的に導通しない状態や、横方向に導通してしまう状態となってしまう。よって、塗布前にミキサー等で一様な分散とする必要がある。更にまた、接着には加熱加圧が必要であり、このときに圧電素子のキュリー点より高温に圧電素子が加熱されると、圧電素子の分極が消えてしまうために、再分極が必要となる。
【００１１】
上記２種類の接着剤の他に、接着材料の中に導電性充填材（フィラー）の微粒子が多数分散された導電性接着剤がある。導電性接着剤には異方性はなく、縦横方向に導通がとれる。よって、非導電性接着剤や異方性導電性接着剤を用いた場合の圧電素子と振動板の反りや圧電素子電極面の表面の粗さについて、異方性導電性接着剤を用いた場合の導電性微粒子の分散ムラについて注意が緩和する。
【００１２】
しかし、圧電素子と振動板との接着に導電性接着剤を使用した場合、図８に示すように圧電素子１の下面電極２を含む下面と振動板３との間に挟まれた導電性接着剤４が圧電素子１の端部にはみ出し、圧電素子１の上面電極５に接触して上下電極間を短絡させてしまうという問題がある。
【００１３】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、圧電素子と振動板の接着に導電性接着剤を使用できるようにし、この導電性接着剤を使用した場合の圧電素子の上下電極の短絡を防止することができるインクジェットヘッドの製造方法及びインクジェットヘッド並びにインクジェット記録装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
前記目的を達成するために請求項１に係る発明は、圧電素子によって振動板を駆動することによりヘッドからインクを吐出するインクジェットヘッドの製造方法において、前記圧電素子に駆動電圧を印加するための上面電極を該圧電素子の端部から内側に形成するステップと、前記圧電素子の下面を振動板に接着する前に該圧電素子の上面を覆う保護層を形成するステップと、前記保護層が形成された圧電素子を導電性接着剤を用いて振動板に接着するステップと、前記接着後に前記保護層を除去するステップと、を含むことを特徴としている。
【００１５】
即ち、圧電素子の上面電極を圧電素子の端部から内側に形成することで、圧電素子の端部からの絶縁距離を確保するようにしている。
【００１６】
その後、保護層が形成された圧電素子を導電性接着剤を用いて振動板に接着し、接着後に保護層を除去するようにしている。これにより、圧電素子と振動板との間に挟まれた導電性接着剤が圧電素子の端部にはみ出しても、はみ出した導電性接着剤は、保護層によって覆われた上面電極に接触することがない。この接着後に保護層を除去することで、上面電極を露出させることができる。もちろん、この露出した上面電極に導電性接着剤が接触することはない。
【００１７】
請求項２に示すように請求項１に記載のインクジェットヘッドの製造方法において、前記保護層は、少なくとも前記上面電極の全面を覆うことを特徴としている。尚、上面電極の全面とは、電極の上面と側面の双方を意味している。また、保護膜の除去後に上面電極と導電性接着剤との間の絶縁性を保つための距離（絶縁距離）が得られるように前記保護層で上面電極を覆うことが好ましい。
【００１８】
請求項３に示すように請求項１又は２に記載のインクジェットヘッドの製造方法において、前記保護層はフォトレジストであることを特徴としている。
【００１９】
請求項４に示すように請求項１、２又は３に記載のインクジェットヘッドの製造方法において、前記保護層を形成するステップ及び保護層を除去するステップは、前記圧電素子のキューリ点よりも低い温度で処理することを特徴としている。これにより、圧電素子と振動板との接着後に圧電素子を（再）分極するための処理が不要となる。
【００２０】
請求項５に係る発明は、圧電素子によって振動板を駆動することによりヘッドからインクを吐出するインクジェットヘッドの製造方法において、前記圧電素子に駆動電圧を印加するための上面電極を該圧電素子の端部から内側に形成するステップと、前記圧電素子の下面を振動板に接着する前に該圧電素子の上面を覆う保護層を形成するステップと、前記保護層が形成された圧電素子を導電性接着剤を用いて振動板に接着するステップと、前記接着後に前記圧電素子上に形成された保護層のうちの該圧電素子の外周部分の保護層及び上面電極の電気的接合部分の保護層を除去するステップと、前記上面電極の電気的接合部分と配線板の端子とを電気的に接合するステップと、を含むことを特徴としている。
【００２１】
請求項５に係る発明によれば、はみ出した導電性接着剤と上面電極との接触を防止することができ上下電極の短絡を防止することができ、また、保護層を部分的に残す（特に、上面電極の電気的接合部分の周囲を残す）ようにしたため、上面電極と配線板の端子とを電気的に接続するための接続面だけを露出し、その他の面を保護層で保護できる。
【００２２】
請求項６に示すように請求項５に記載のインクジェットヘッドの製造方法において、前記保護層はソルダーレジストであり、前記電気的接合はハンダを使用した接合であることを特徴としている。
【００２３】
即ち、ハンダが上面電極上から流出することを防止することができ、ハンダと導電性接着剤との接触を防止するとともに、隣接電極間の短絡、駆動電極の剛性の均一化を図ることができる。
【００２４】
請求項７に係るインクジェットヘッドは、請求項１乃至６のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法によって製造されたものである。
【００２５】
請求項８に係るインクジェット記録装置は、請求項１乃至６のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法で作られたインクジェットヘッドを備えたものである。
【発明の効果】
【００２６】
上記構成の本発明によれば、圧電素子と振動板とを導電性接着剤で接着する際に、接着面からはみ出した導電性接着剤が圧電素子の上面電極と接触しないようにしたため、導電性接着剤による圧電素子の上下電極の短絡を防止することができ、これにより圧電素子と振動板との接着に導電性接着剤を使用することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下添付図面に従って本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法及びインクジェットヘッド並びにインクジェット記録装置の好ましい実施の形態について詳説する。
【００２８】
〔インクジェット記録装置の全体構成〕
まず、本発明が適用されるインクジェット記録装置の概要について説明する。
【００２９】
図１は本発明に係るインクジェットヘッドが適用されるインクジェット記録装置の全体構成図である。同図に示したように、このインクジェット記録装置１０は、インクの色ごとに設けられた複数のインクジェットヘッド（以下、単に「ヘッド」という）１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙを有する印字部１２と、各ヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙに供給するインクを貯蔵しておくインク貯蔵／装填部１４と、記録紙１６を供給する給紙部１８と、記録紙１６のカールを除去するデカール処理部２０と、前記印字部１２のノズル面（インク吐出面）に対向して配置され、記録紙１６の平面性を保持しながら記録紙１６を搬送する吸着ベルト搬送部２２と、印字部１２による印字結果を読み取る印字検出部２４と、印画済みの記録紙（プリント物）を外部に排紙する排紙部２６と、を備えている。
【００３０】
給紙部１８から送り出される記録紙１６はマガジンに装填されていたことによる巻き癖が残り、カールする。このカールを除去するために、デカール処理部２０においてマガジンの巻き癖方向と逆方向に加熱ドラム３０で記録紙１６に熱を与える。
【００３１】
ロール紙を使用する装置構成の場合、図１のように、裁断用のカッター（第１のカッター）２８が設けられており、該カッター２８によってロール紙は所望のサイズにカットされる。カッター２８は、記録紙１６の搬送路幅以上の長さを有する固定刃２８Ａと、該固定刃２８Ａに沿って移動する丸刃２８Ｂとから構成されており、印字裏面側に固定刃２８Ａが設けられ、搬送路を挟んで印字面側に丸刃２８Ｂが配置される。なお、カット紙を使用する場合には、カッター２８は不要である。
【００３２】
デカール処理後、カットされた記録紙１６は、吸着ベルト搬送部２２へと送られる。吸着ベルト搬送部２２は、ローラ３１、３２間に無端状のベルト３３が巻き掛けられた構造を有し、少なくとも印字部１２のノズル面及び印字検出部２４のセンサ面に対向する部分が水平面（フラット面）をなすように構成されている。
【００３３】
ベルト３３は、記録紙１６の幅よりも広い幅寸法を有しており、ベルト面には多数の吸引孔（不図示）が形成されている。図１に示したとおり、ローラ３１、３２間に掛け渡されたベルト３３の内側において印字部１２のノズル面及び印字検出部２４のセンサ面に対向する位置には吸着チャンバ３４が設けられており、この吸着チャンバ３４をファン３５で吸引して負圧にすることによってベルト３３上の記録紙１６が吸着保持される。
【００３４】
ベルト３３が巻かれているローラ３１、３２の少なくとも一方にモータ（不図示）の動力が伝達されることにより、ベルト３３は図１上の時計回り方向に駆動され、ベルト３３上に保持された記録紙１６は図１の左から右へと搬送される。
【００３５】
縁無しプリント等を印字するとベルト３３上にもインクが付着するので、ベルト３３の外側の所定位置（印字領域以外の適当な位置）にベルト清掃部３６が設けられている。
【００３６】
吸着ベルト搬送部２２により形成される用紙搬送路上において印字部１２の上流側には、加熱ファン４０が設けられている。加熱ファン４０は、印字前の記録紙１６に加熱空気を吹き付け、記録紙１６を加熱する。印字直前に記録紙１６を加熱しておくことにより、インクが着弾後乾き易くなる。
【００３７】
印字部１２は、最大紙幅に対応する長さを有するライン型ヘッドを紙送り方向と直交方向（主走査方向）に配置した、いわゆるフルライン型のヘッドとなっている。各ヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙは、本インクジェット記録装置１０が対象とする最大サイズの記録紙１６の少なくとも一辺を超える長さにわたってインク吐出口（ノズル）が複数配列されたライン型ヘッドで構成されている。
【００３８】
記録紙１６の送り方向（以下、紙搬送方向という。）に沿って上流側から黒（Ｋ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の順に各色インクに対応したヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙが配置されている。記録紙１６を搬送しつつ各ヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙからそれぞれ色インクを吐出することにより記録紙１６上にカラー画像を形成し得る。
【００３９】
印字検出部２４は、印字部１２の打滴結果を撮像するためのイメージセンサを含み、該イメージセンサによって読み取った打滴画像からノズルの目詰まりその他の吐出不良をチェックする手段として機能する。
【００４０】
印字検出部２４の後段には、後乾燥部４２が設けられている。後乾燥部４２は、印字された画像面を乾燥させる手段であり、例えば、加熱ファンが用いられる。印字後のインクが乾燥するまでは印字面と接触することは避けたほうが好ましいので、熱風を吹き付ける方式が好ましい。
【００４１】
後乾燥部４２の後段には、加熱・加圧部４４が設けられている。加熱・加圧部４４は、画像表面の光沢度を制御するための手段であり、画像面を加熱しながら所定の表面凹凸形状を有する加圧ローラ４５で加圧し、画像面に凹凸形状を転写する。
【００４２】
こうして生成されたプリント物はカッター２８によって所定のサイズに切断された後、排紙部２６から排出される。本来プリントすべき本画像（目的の画像を印刷したもの）とテスト印字とは分けて排出することが好ましい。このインクジェット記録装置１０では、本画像のプリント物と、テスト印字のプリント物とを選別してそれぞれの排出部２６Ａ、２６Ｂへと送るために排紙経路を切り替える不図示の選別手段が設けられている。なお、大きめの用紙に本画像とテスト印字とを同時に並列に形成する場合は、カッター（第２のカッター）４８によってテスト印字の部分を切り離す。
【００４３】
次に、ヘッドの構造について説明する。インク色ごとに設けられている各ヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙの構造は共通しているので、以下、これらを代表して符号５０によってヘッドを示すものとする。
【００４４】
図２に示したように、本例のヘッド５０は、インク滴が吐出するノズル５１と、各ノズル５１に対応する圧力室５２等からなる複数のインク室ユニットを、千鳥でマトリックス状に配置させた構造を有し、これにより見かけ上のノズルピッチの高密度化を達成している。
【００４５】
各ノズル５１に対応して設けられている圧力室５２は、その平面形状が概略正方形となっており、対角線上の両隅部にノズル５１と供給口５４が設けられている。各圧力室５２は供給口５４を介して共通流路５５と連通されている。
【００４６】
圧力室５２の天面を構成している振動板５６には上面電極５７及び下面電極（図示せず）を備えた圧電素子５８が接合されており、上面電極５７に駆動電圧を印加することによって圧電素子５８とともに振動板５６が変形してノズル５１からインクが吐出される。インクが吐出されると、共通流路５５から供給口５４を通って新しいインクが圧力室５２に供給される。
【００４７】
〔インクジェットヘッドの製造方法の第１の実施の形態〕
次に、本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法の第１の実施の形態について説明する。
【００４８】
図３（Ａ）及び（Ｂ）はそれぞれ圧電素子の下面図及び上面図である。
【００４９】
これらの図面に示すように、圧電素子１００の上面及び下面には、それぞれ上面電極１０２及び下面電極１０４が形成されている。
【００５０】
上面電極１０２は、８個の電極が配列形成されてなり、各電極は圧電素子１００の端部１００Ａから距離Ｌだけ内側に形成されている。また、この実施の形態では、下面電極１０４も上面電極１０２と同様に形成されている。尚、上面電極１０２、下面電極１０４は、例えばＡｕやＡｇ系の電極材を圧電素子１００に蒸着させて形成することができる。また、圧電素子１００は、電極形成前又は電極形成後に所要の電界が印加され、圧電素子として機能できるように分極されている。
【００５１】
図４は本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法の第１の実施の形態を示す工程図である。
【００５２】
(1) 両面電極付け後の圧電素子の準備
図４（Ａ）は図３に示した両面電極付け後の圧電素子１００の側面図である。後述するフォトリソグラフィー工程のために、圧電素子１００をウエット洗浄及び塗布前ベークを行う。ウエット洗浄は、アセトン→メタノール→純水の順に洗浄液を使った圧電素子１００を超音波洗浄を行い、圧電素子１００の表面に無機性有機性の汚染物が存在しないようにする。塗布前ベークでは、圧電素子１００へのフォトレジストの密着性よくするために圧電素子１００を乾燥させる。
【００５３】
(2) 圧電素子上面にフォトレジスト塗布
図４（Ｂ）は圧電素子１００の上面をフォトレジスト（保護層）１１０で覆った状態を示している。
【００５４】
フォトレジスト１１０は、以下のフォトリソグラフィー工程によって形成される。まず、フォトレジストを圧電素子１００上に塗布する。このフォトレジストとしては、例えば、標準ｇ線ポジ型フォトレジスト（東京応化工業株式会社のOFPR-800) を使用することができる。続いて、プリベークと呼ばれる軽い焼きしめを行い、レジスト中に残っている溶媒を蒸発させて膜を緻密にする。このプリベークは、温風循環乾燥機で１１０°Ｃ、７分間行う。
【００５５】
次に、露光・現像・リンス処理を行う。ｇ線ポジ型フォトレジストを使用しているため、フォトマスクは前記圧電素子１００の上面のみを遮光するものを使用し、ｇ線（波長 436nmの青い光) にて露光する。その後、現像液で現像処理する。これにより、光（ｇ線）が当たった部分のみが現像液に溶け、図４（Ｂ）に示したように圧電素子１００の上面のフォトレジスト１１０のみが残る。
【００５６】
現像後、ポストベークと呼ばれる熱処理を行う。ポストベークは、残存する現像液やリンス液、水分を除去するとともに、レジスト膜の密着性を向上させるために行う。このポストベークは、温風循環乾燥機で１２０°Ｃ、５分間行う。
【００５７】
尚、この実施の形態では、液体状のフォトレジストの例を示したが、フィルム状のフォトレジストも市販されており、こちらを使用しても同様な効果が得られる。また、ポジ型フォトレジストに限らず、ネガ型フォトレジストを使用することもできる。ネガ型フォトレジストを使用する場合には、レジストを残す部分（圧電素子１００の上面）のみを露光するようにする。
【００５８】
上記温風循環乾燥機で使用される温度は、圧電素子１００のキュリー点以下であるため、圧電素子１００の分極状態が消えることがない。
【００５９】
(3) 圧電素子下面と振動板を導電性接着剤で接着
図４（Ｃ）は圧電素子１００の下面と導電性を有する振動板１３０（図２に示した振動板５６参照）とを導電性接着剤１２０によって接着した状態を示している。
【００６０】
この圧電素子１００と振動板１３０との接着時に、圧電素子１００の下面電極１０４を含む下面と振動板１３０との間に挟まれた導電性接着剤１２０は、その一部が圧電素子１００の端部１００Ａ側にはみ出す。このはみ出した導電性接着剤１２２は、圧電素子１００、フォトレジスト１１０の端部やフォトレジスト１１０の上面に付着する。
【００６１】
(4) フォトレジスト除去
図４（Ｄ）は圧電素子１００と振動板１３０との接着後にフォトレジスト１１０を剥離した状態に関して示している。
【００６２】
フォトレジスト１１０の除去方法には、ウエットエッチングとドライエッチングとがある。ウエットエッチングは、剥離液に浸けることによって行う。剥離液の温度を上げることで剥離性能が向上するが、圧電素子１００のキュリー点よりも低い温度（例えば、１２０°）にする。
【００６３】
一方、ドライエッチングは、レジストをアッシング（灰化）することで除去する方法である。尚、ドライエッチングは圧電素子１００の温度が上がらない光アッシング等の低温ドライエッチング法を選択する必要がある。
【００６４】
上記第１の実施の形態のインクジェットヘッドの製造方法によれば、図４（Ｄ）に示すように圧電素子１００の上面電極１０２と、圧電素子１００と振動板１３０との間からはみ出した導電性接着剤１２２とが接触することがなく、圧電素子１００の上下電極間が短絡することがない。
【００６５】
〔インクジェットヘッドの製造方法の第２の実施の形態〕
次に、本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法の第２の実施の形態について説明する。
【００６６】
図５は本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法の第２の実施の形態を示す工程図である。
【００６７】
(1) 両面電極付け後の圧電素子の準備
図５（Ａ）は両面電極付け後の圧電素子１００の側面図である。尚、両面電極付け後の圧電素子の準備は、図４（Ａ）で説明した準備と同じであるため、その詳細な説明は省略する。
【００６８】
(2) 圧電素子上面にフォトレジスト塗布
図５（Ｂ）は圧電素子１００の上面にサンドブラスト用のフォトレジスト１５０を塗布した状態を示している。尚、このフォトレジスト１５０はポジ型フォトレジストである。
【００６９】
(3) レジスト露光
図５（Ｃ）はフォトレジストを露光している状態を示している。同図に示すように、圧電素子１００の上面にフォトマスク１６０を配置したのち、フォトマスク１６０上から露光する。このフォトマスク１６０は、圧電素子１００の上面よりも小さく、上面電極１０２と同等または大きく形成されている。
【００７０】
(4) レジスト現像
図５（Ｄ）はフォトレジストを現像処理した状態を示している。即ち、上記露光後に現像液で現像処理することにより、光が当たった部分のフォトレジストを現像液で溶かす。これにより、フォトマスク１６０で覆った部分のフォトレジストのみが残る。
【００７１】
(5) 圧電素子下面と振動板を導電性接着剤で接着
図５（Ｅ）は圧電素子１００の下面と振動板１３０とを導電性接着剤１２０によって接着した状態を示している。
【００７２】
この圧電素子１００と振動板１３０との接着時に、圧電素子１００の下面電極１０４を含む下面と振動板１３０との間に挟まれた導電性接着剤１２０は、その一部が圧電素子１００の端部１００Ａ側にはみ出す。このはみ出した導電性接着剤１２２は、圧電素子１００、フォトレジスト１１０の端部、圧電素子１００の端部上面等に付着する。
【００７３】
(6) はみ出した導電性接着剤のエッチング
図５（Ｆ）はエッチングによってはみだした導電性接着剤１２２を除去した状態を示している。サンドブラスタにより、はみだした導電性接着剤１２２を削り取る。
【００７４】
(7) フォトレジスト除去
図５（Ｇ）は上記導電性接着剤のエッチング後にフォトレジスト１５０を剥離した状態に関して示している。
【００７５】
フォトレジスト１１０の除去方法は、図４（Ｄ）で説明した方法と同様にして行うことができる。
【００７６】
尚、図５（Ｃ）及び（Ｄ）に示した処理は省略してもよい。
【００７７】
〔インクジェットヘッドの製造方法の第３の実施の形態〕
次に、本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法の第３の実施の形態について説明する。
【００７８】
図６は本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法の第３の実施の形態を示す工程図である。
【００７９】
(1) 両面電極付け後の圧電素子の準備
図６（Ａ）は両面電極付け後の圧電素子の側面図であり、図７（Ａ）及び（Ｂ）はそれぞれ圧電素子の下面図及び上面図である。
【００８０】
これらの図面に示すように、圧電素子１０１の上面及び下面には、それぞれ上面電極１０３及び下面電極１０５が形成されている。
【００８１】
尚、この圧電素子１０１は、図３、図４（Ａ）に示した圧電素子１００とは下面電極１０５の形状が異なっているが、その他は同一の構成のものである。また、両面電極付け後の圧電素子の準備は、図４（Ａ）で説明した準備と同じであるため、その詳細な説明は省略する。
【００８２】
(2) 圧電素子上面にソルダーレジスト塗布、予備乾燥
図６（Ｂ）は圧電素子１０１の上面にソルダーレジストインキ１７０を塗布した状態を示している。
【００８３】
同図に示すように、圧電素子１０１の上面に液状のソルダーレジストインキ１７０を塗布する。ここで、１ｍｍ以上のパターンであればシルク印刷等によりソルダーレジストパターンを印刷塗布するが、１ｍｍ以下のファインパターン化が必要な場合には写真法によるパターン形成を行う。続いて、プリベークと呼ばれる軽い焼きしめを行う。
【００８４】
(3) レジスト露光
図６（Ｃ）はソルダーレジストインキを露光している状態を示している。同図に示すように、圧電素子１０１の上面にフォトマスク１６２を配置したのち、フォトマスク１６２上から露光する。このフォトマスク１６２は、図６（Ｃ）及び図７（Ｃ）に示すように圧電素子１０１の外周部分と、上面電極１０３のハンダ付け部分とが開口しており、これらの外周部分とハンダ付け部分上のレジストを除去するためのマスクパターンを有している。
【００８５】
(4) 圧電素子下面と振動板を導電性接着剤で接着
図６（Ｄ）は圧電素子１０１の下面と振動板１３０とを導電性接着剤１２０によって接着した状態を示している。
【００８６】
この圧電素子１０１と振動板１３０との接着時に、圧電素子１０１の下面電極１０５を含む下面と振動板１３０との間に挟まれた導電性接着剤１２０は、その一部が圧電素子１０１の端部側にはみ出す。このはみ出した導電性接着剤１２２は、圧電素子１０１、ソルダーレジスト層１７２の端部等に付着する。
【００８７】
(5) レジスト現像、ポストキュア
図６（Ｅ）はレジストを現像処理した状態を示している。即ち、現像処理することにより、フォトマスク１６２で遮光されたソルダーレジスト層１７２を残しながら、光が当たった部分のレジストとともに、はみ出した導電性接着剤が除去される。
【００８８】
(6) 配線板接続
図６（Ｆ）は圧電素子１０１の上面電極１０３と配線板１８０とをハンダ付けした状態を示している。
【００８９】
圧電素子１０１の上面電極１０３と、該圧電素子１０１に駆動電圧を印加するための配線板１８０の端子とをハンダ１９０で接続する。このとき、各上面電極１０３のハンダ付け部分の周囲にソルダーレジスト層１７２が残っているため（図７（Ｃ）参照）、ハンダ１９０の流出を防止することができる。これにより、圧電素子１０１の上下電極間の短絡を防止することができるとともに、隣接電極間の短絡、さらに駆動電極の剛性の均一化を図ることができるという利点がある。図には示さないが、圧電素子１０１の上面電極１０３と配線板１８０をバンプやソルダーボールを使用しハンダ付けした場合も同様な効果が得られる。
【００９０】
尚、本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法によって製造されるインクジェットヘッドは、図１に示したフルライン型のヘッドに限らず、ヘッドが印字媒体の送り方向と直交する方向に往復移動するシャトル型のヘッドにも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００９１】
【図１】本発明に係るインクジェットヘッドが適用されるインクジェット記録装置の全体構成図
【図２】ヘッドの構造例を示す要部断面図
【図３】本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法に使用される圧電素子の下面図及び上面図
【図４】本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法の第１の実施の形態を示す工程図
【図５】本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法の第２の実施の形態を示す工程図
【図６】本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法の第３の実施の形態を示す工程図
【図７】本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法の第３の実施の形態に使用される圧電素子の下面図及び上面図
【図８】従来のインクジェットヘッドの問題点を説明するために用いた要部断面図
【符号の説明】
【００９２】
１０…インクジェット記録装置、１２…印字部、１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙ…ヘッド、５０…ヘッド、５１…ノズル、５２…圧力室、５６、１３０…振動板、５７、１０２、１０３…上面電極、５８、１００、１０１…圧電素子、１０４、１０５…下面電極、１１０、１５０…フォトレジスト、１２０…導電性接着剤、１６０、１６２…フォトマスク、１７０…ソルダーレジストインキ、１７２…ソルダーレジスト層、１８０…配線板、１９０…ハンダ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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