(57)【要約】【課題】補正に必要な時間が短く、測定精度の高い時間間隔測定装置を提供する。【解決手段】上記課題は、測定信号とクロック信号の時間間隔を電圧に変換する時間電圧変換手段と、前記電圧をデジタル値に変換するアナログ・デジタル変換手段と、前記デジタル値から前記時間間隔を測定する時間間隔測定手段を有する時間間隔測定器の補正量決定方法であって、前記クロック信号の分周周期に対して、前記アナログ・デジタル変換手段の分解能に相当する時間よりも短い周期差を有する補正信号を発生する補正信号発生ステップと、前記補正信号を繰り返し測定して、前記デジタル値を求め、前記デジタル値の累積度数分布を計測する度数分布計測ステップと、前記累積度数分布が線形となるように、前記デジタル値の補正量を決定する補正量決定ステップとを含むことを特徴とする時間間隔測定器の補正量決定方法により解決される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定信号とクロック信号の時間間隔を電圧に変換する時間電圧変換手段と、
前記電圧をデジタル値に変換するアナログ・デジタル変換手段と、
前記デジタル値から前記時間間隔を測定する時間間隔測定手段とを有する時間間隔測定器の補正量決定方法であって、
前記クロック信号の分周周期に対して、前記アナログ・デジタル変換手段の分解能に相当する時間よりも短い周期差を有する補正信号を発生する補正信号発生ステップと、
前記補正信号を繰り返し測定して、前記デジタル値を求め、前記デジタル値の累積度数分布を計測する度数分布計測ステップと、
前記累積度数分布が線形となるように、前記デジタル値の補正量を決定する補正量決定ステップとを含むことを特徴とする時間間隔測定器の補正量決定方法。
【請求項２】
前記周期差が前記分解能に相当する時間の約数であることを特徴とする請求項１記載の時間間隔測定器の補正量決定方法。
【請求項３】
前記補正信号発生ステップが、
前記クロック信号の周期を測定するステップと、
前記補正信号の周期を前記周期差だけずらすステップとを含むことを特徴とする請求項１または２に記載の時間間隔測定器の補正量決定方法。
【請求項４】
前記補正信号と前記クロック信号の時間間隔が、前記分解能に相当する時間よりも短くなったときから、前記度数分布の計測を開始することを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の時間間隔測定器の補正量決定方法。
【請求項５】
測定信号とクロック信号の時間間隔を電圧に変換する時間電圧変換手段と、
前記電圧をデジタル値に変換するアナログ・デジタル変換手段と、
前記デジタル値から前記時間間隔を測定する時間間隔測定手段とを有する時間間隔測定器の補正量決定方法であって、
前記クロック信号の分周周期に対して、前記アナログ・デジタル変換手段の分解能に相当する時間よりも短い周期差を有する補正信号を発生する補正信号発生ステップと、
前記補正信号を繰り返し測定して、前記デジタル値を求め、前記デジタル値の度数分布を計測する度数分布計測ステップと、
前記度数分布が平均化するように、前記デジタル値の補正量を決定する補正量決定ステップとを含むことを特徴とする時間間隔測定器の補正量決定方法。
【請求項６】
クロック信号を発生するクロック信号発生手段と、
測定信号と前記クロック信号の時間間隔を電圧に変換する時間電圧変換手段と、
前記電圧をデジタル値に変換するアナログ・デジタル変換手段と、
前記クロック信号の分周信号の周期に対して、前記アナログ・デジタル変換手段の分解能に相当する時間よりも短い周期差を有する補正信号を発生する補正信号発生手段と、
前記補正信号を繰り返し測定して、前記デジタル値の累積度数分布を求め、前記累積度数分布が線形となるように、前記デジタル値の補正量を決定する補正量決定手段とを有する時間間隔測定器。
【請求項７】
前記補正信号または前記クロック信号の一方または双方を前記時間間隔測定器の外部から入力する外部入力端子を有することを特徴とする請求項６に記載の時間間隔測定器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、時間間隔測定器の補正量決定方法に関し、特に測定信号とクロック信号の時間間隔を電圧差に変換し、その電圧差をアナログ・デジタル変換することにより、信号間の時間間隔を測定する時間間隔測定器の補正量決定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年のデジタル通信の高速化にともない、信号間の時間間隔を正確に測定する時間間隔測定器が必要とされている。一般に、信号の間隔は、信号入力間に発生したクロックをカウントし、カウント数にクロック周期を積算すれば求められる。しかし、この測定方法はクロック周期より短い時間間隔を測定することはできないため、高い測定精度を得るためには短い周期のクロック信号が必要となるが、カウンタの動作速度には限界があるため、測定精度にも限界があった。このため、従来のカウンタによる測定方法に加えて、時間電圧変換器とアナログ・デジタル変換器（ＡＤＣ）を用いてクロック周期よりも短い時間の測定手段を追加することより、クロック周波数をあげることなく高精度な測定が可能となった。図２にその代表的な測定器の構成を示す。
【０００３】
図２の時間間隔測定器は、ｓｔａｒｔ入力に信号エッジが入力されてからｓｔｏｐ入力に信号エッジが入力されるまでの時間間隔を測定する測定器であり、ｓｔａｒｔ入力に接続されたランプ信号を発生するランプ発生器１００と、クロック発振器１０１と、ランプ発生器１００とクロック発振器１０１に接続され、ランプ信号電圧をクロック１周期の間保持するサンプル・ホールド回路（Ｓ／Ｈ回路）１０２と、Ｓ／Ｈ回路１０２に接続されＳ／Ｈ信号をデジタル信号に変換するアナログ・デジタル変換器（ＡＤＣ）１０３と、ｓｔｏｐ信号入力が接続されたランプ発生器２００と、ランプ発生器２００とクロック発振器１０１に接続され、ランプ信号電圧をクロックの1周期の時間保持するサンプル・ホールド回路（Ｓ／Ｈ回路）２０２と、Ｓ／Ｈ回路１０２に接続されＳ／Ｈ信号をデジタル信号に変換するアナログ・デジタル変換器（ＡＤＣ）２０３と、クロック発振器１０１とランプ発生器１００、２００に接続され、イベント検出信号１からイベント検出信号２までのクロック数をカウントするカウンタ１０４と、クロック発振器１０１、ＡＤＣ１０３、２０３およびカウンタ１０４に接続されｓｔａｒｔ信号入力からｓｔｏｐ信号入力までの時間を計算する処理装置１０５により構成される。
【０００４】
図３参照下に、図２の時間間隔測定器の動作を説明する。ランプ発生器１００は、通常状態では所定電圧を出力するが、ｓｔａｒｔ入力に測定信号が入力されると、測定信号の立ち上がりエッジを基準として所定電圧からリニアに増加するランプ信号を出力する。ランプ信号が入力されたＳ／Ｈ回路１０２では、通常状態ではランプ動作しない一定の電圧を出力し続けるが、ｓｔａｒｔ入力後の最初のクロック信号（ＣＬＫ）の立ち上がりエッジが入力されるとランプ出力をＣＬＫ１周期分保持する。この保持期間の間に、ＡＤＣ１０３が入力電圧をデジタル値に変換したサンプルデータと、ランプ発生器が通常状態で出力している電圧との電位差から、ｓｔａｒｔ入力に測定信号が入力されてから、直後のＣＬＫ信号入力までの時間間隔（Ｔ１）を処理装置１０５で求める。同様にして、ｓｔｏｐ入力に測定信号が入力されてから、直後のＣＬＫ信号入力までの時間間隔（Ｔ２）を求めることができる。Ｓ／Ｈ回路２０２は、保持期間終了後に通常状態の電圧まで復帰する。
【０００５】
一方、ｓｔａｒｔ入力に測定信号が入力されると、ランプ発生器１００はカウンタ１０４にイベント検出信号を出力する。この信号はｓｔａｒｔ信号の次のＣＬＫの立ち上がりから1周期遅れた信号で発生される。このイベント検出信号はリセット信号として扱われ、このリセット信号によりカウンタ１０４のカウント値は０となり、次のパルス入力からカウントアップする。従って、ｓｔｏｐ信号入力によるランプ信号発生器２００からのイベント検出信号発生時点でのカウント値を参照すれば、ｓｔａｒｔ信号入力からｓｔｏｐ信号入力までに発生したクロック数（Ｎ）を得ることができる。
これらの測定結果から、処理装置１０５はｓｔａｒｔ信号入力からｓｔｏｐ信号入力までの時間間隔（Ｔ）を算出する。具体的には、ＣＬＫの周期をＴＣとすると、Ｔ＝Ｎ×ＴＣ＋Ｔ１−Ｔ２となる。
【０００６】
このように、ランプ発生器、Ｓ／Ｈ回路、ＡＤＣの組み合わせを２組用意し、それぞれをｓｔａｒｔ入力からの信号とｓｔｏｐ入力からの信号に対応させることにより、ランプ発生器が通常状態に復帰するまでの時間よりも短い時間間隔の計測が可能となる。
【０００７】
前述したように図2のような測定器では、原理上では、クロック信号よりも精度の高い時間間隔測定が可能となる。しかし、現実には、高速で、かつ、良好なリニアな変換特性を有している時間電圧変換器やＡＤＣは存在しないため、十分な測定精度が得られないという問題があった。そこで、特許文献１で開示されているように、予め測定器に補正信号を入力して、その測定結果から求めた補正量により補正を行うことにより、測定精度を向上させる技術がある。この補正方法は、異なる周期をもつ補正信号をランダムに発生して測定信号として与え、測定された補正信号の時間に対する度数分布を作成し、この度数分布から求めた補正量により、測定値を補正するものである。十分に大きな標本数をとれば度数分布は均一に近づくはずであるから、度数分布が平均化するように補正量を決定すれば真値に近い補正量が得られることになる。
【０００８】
【特許文献１】特開平９−１７１０８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかし、精度を向上させるために十分な標本数をとると、補正量を決定するまでに非常に時間を要することになる。また、完全な乱数を発生方法は存在しないため、測定精度を保証しえないという問題がある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、測定信号とクロック信号の時間間隔を電圧に変換する時間電圧変換手段と、前記電圧をデジタル値に変換するアナログ・デジタル変換手段と、前記デジタル値から前記時間間隔を測定する時間間隔測定手段を有する時間間隔測定器の補正量決定方法であって、前記クロック信号の分周信号の周期に対して、前記アナログ・デジタル変換手段の分解能に相当する時間よりも短い周期差を有する補正信号を発生する補正信号発生ステップと、前記補正信号を繰り返し測定して、前記デジタル値を求め、前記デジタル値の累積度数分布を計測する度数分布計測ステップと、前記累積度数分布が線形となるように、前記デジタル値の補正量を決定する補正量決定ステップとを含むことを特徴とする時間間隔測定器の補正量決定方法により、上記課題を解決する。
【００１１】
すなわち、クロック信号の分周信号と周期がわずかに異なる信号を補正信号として用いると、クロック信号と補正信号の時間間隔が等差的に大きくなるため、時間に対する累積度数分布は、理論上、完全にリニアな分布となる。ゆえに、実際の測定結果の累積度数分布がリニアな分布となるように補正量を決定すれば精度の高い測定が可能となる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の補正量決定方法により、短時間で精度の高い補正量を決定することができる。これにより、補正に必要な時間が短く、測定精度の高い時間間隔測定装置を提供することができる。
【実施例】
【００１３】
以下に添付図面を参照して、本発明の好適実施形態となる検査装置および方法について詳細に説明する。
図１は、本発明に係る時間間隔測定器の構成の概略図である。図１の時間間隔測定器は、補正信号発生器１０７と、スイッチ（ＳＷ）１０６と、スイッチ１０６に接続され入力信号を分周するカウンタ１１１、２１１と、カウンタ１１１、２１１に接続された時間電圧変換手段であるランプ発生器１００、２００と、５０ＭＨｚの矩形波を発信するクロック発振器１０１と、ランプ発生器１００、２００とクロック発振器１０１に接続されたＳ／Ｈ回路１０２、２０２と、Ｓ／Ｈ回路１０２、２０２に接続された１２ｂｉｔの分解能もつ両電源のＡＤＣチップを有するアナログ・デジタル変換器１０３、２０３と、クロック発振器１０１に接続されたカウンタ１０４と、カウンタ１０４とランプ発生器１００、２００に接続された処理装置１０５からなる。
【００１４】
図５のように、ランプ発生器１００、２００は、通常状態では＋０Ｖ（ＧＮＤ）の一定電圧を出力するが、信号が入力されると、信号の立ち上がりエッジを基準に１ｎｓにつき０．1Ｖの割合でリニアに増加するランプ信号を出力する。Ｓ／Ｈ回路１０２、２０２は、通常状態では入力されたランプ信号をそのまま出力するが、ランプ信号入力後最初のクロック信号の立ち上がりエッジが入力されると、その時点におけるランプ信号の電圧をＣＬＫの１周期の間、すなわち２０ｎｓの間保持する。これは、アナログ・デジタル変換器１０３、２０３に、変換時間２０ｎｓのＡＤＣチップを用いているためである。この保持期間の間に、アナログ・デジタル変換器１０３、２０３は、ＣＬＫ入力毎に入力されたアナログ値である電圧をデジタル値に変換して出力する。アナログ・デジタル変換器１０３、２０３が電圧値を変換したデジタル値をデータ処理部１０５内のフリップフロップ（Ｆ／Ｆ）１１０、２１０でラッチして時間測定のデータとして用いる。一方、ランプ発生器１００、２００は、保持期間の間に出力電圧を通常状態の０Ｖに復帰させるよう動作を開始し、次の補正信号入力を待機する。
【００１５】
補正信号発生器１０７は、予め本装置よりもさらに精度が高いＮＩＳＴ上位測定器から値付けされいる。カウンタ１０４は、測定開始信号を受けて、リセットしカウントを開始する。カウンタ１１１、２１１の入力側に接続されたスイッチ１０６は、入力信号として外部測定信号（ｓｔａｒｔ入力とｓｔｏｐ入力をまとめて外部測定信号と表す）と補正信号発生器１０７からの補正信号を選択する構成となっている。本実施例ではスイッチ１０６としてリレーを用いているが、他の機械式のスイッチでもよいし、トランジスタスイッチのような電子的なスイッチを用いてもよい。クロック発振器１０１および補正信号発生器１０７は、時間間隔測定器の内部にあってもよいし、他の測定器と共通化するために外部に設置してもよい。本実施例の時間間隔測定器は、クロック発振器１０１を内蔵しているが、外部からのクロック信号でも動作できるように、クロック信号および補正信号の外部入力端子が設けられている。処理装置１０５には、アナログ・デジタル変換器１０３やカウンタ１０４に接続されたＦ／Ｆ１１０、２１０と、Ｆ／Ｆ１１０、２１０に接続され時間間隔を算出するデータ処理手段１０９と、メモリ１０８が設けられている。Ｆ／Ｆ１１０は、カウンタ１０４からのデータをイベント検出信号毎にラッチしてデータ処理手段１０９に送る。データ処理手段１０９はイベント検出信号毎にラッチされたカウントデータをメモリ１０８に送り記録する。メモリ１０８ではラッチ毎のデータが記録される。
【００１６】
次に、本発明に係る時間間隔測定器の動作を説明する。本測定器には、補正モードと測定モードの２つの動作モードがあり、補正モードは補正信号によりデータ処理手段１０９で使用する補正量を決定するモードであり、測定モードは外部からの測定信号を測定するモードである。
補正モードには、さらに周波数測定ステップとランプ補正測定ステップに分けることができる。周波数測定ステップは、クロック発振器１０１の発振周波数を高精度の補正信号発生器１０７により求めるステップで、ランプ補正測定ステップはランプ発生器１００、２００とアナログ・ディジタル変換器１０３、２０３の直線性の補正するためのデータを取得するための測定である。
以下、これらのモードおよびステップについて詳細に述べる。
【００１７】
周波数測定ステップは、周波数カウンタ測定の原理を用いて非同期の２つの発振源（クロック発振器１０１と補正信号発生器１０７）の周波数差を求めるものである。このステップでは、ＳＷ１０６がＡ側に接続される。補正信号発生器１０７は、１ＭＨｚのパルスを出力する。補正信号発生器１０７が発生するパルスの周期は、ランプ信号の動作周期、すなわちＳ／Ｈ回路１０２による信号保持期間およびランプ信号が通常電圧に復帰するまでの復帰時間の合計、より長い周期であればよい。このときカウンタ１１１は“０”にセットされており、補正信号発生器１０７からの信号を分周することなくランプ発生器１００に送られる。このため、補正信号はクロック発振器１０１からのクロック信号（５０MＨｚ、周期２０ｎｓ）の整数倍（通常は、数倍から数十倍）にあたる周期、すなわちクロック信号の分周信号に相当する周期を出力することになる。（ただし、補正信号はクロック信号とは独立した信号であり、クロック信号を分周して作るわけではない。）または、補正信号発生器１０７から、クロック信号と同じ周期の信号を発生させる場合では、カウンタ１１１の値を５０にセットしておけば同様の信号がランプ発生器１００に送られることになる。ランプ発生器１００は、補正信号の入力毎、すなわち１マイクロ秒毎にイベント検出信号を発生する。周波数測定ステップでは、アナログ・ディジタル変換器１０３からのデータは保存されず、カウンタ１０４からのデータのみがメモリ１０８に送られるようにデータ処理部１０９が処理を行っている。図７（ａ）のように、クロック発振器１０１が正確に５０．００MＨｚを出力したものとすれば１ＭＨｚ毎に記録されるカウント値は、常に５０カウントずつ大きくなっていき、１０００００１回めのイベント検出時のデータから1回めのイベント時のデータを引いた値は、５００００００となるはずである。しかしながら、周波数に誤差があった場合、例えば、図７ｂのようにクロック発振器１０１が５０．０５MＨｚを出力していた場合には、１０００００１回めのイベント検出時のデータから1回めのイベント時のデータを引いた値は、５００５０００となる。これにより、クロック発振器１０１と補正信号発生器１０７の周期の差を求めることができる。
上述した周期差を加味して、カウンタ値を“０”にセットした場合にはランプ補正測定に使う補正信号の周波数を次式のように設定する。
補正信号周波数 ＝ １／（１サンプル毎にずらしたい時間 ＋ 測定周期差）
【００１８】
次にランプ補正測定ステップの動作を説明する。以下の説明ではランプ発生器１００、Ｓ／Ｈ回路１０２、およびアナログデジタル変換器１０３に関する補正を行うが、ランプ発生器２００、Ｓ／Ｈ回路２０２、およびアナログデジタル変換器２０３の補正も同様な手順で順次行う。
ランプ補正測定ステップでは、周波数測定ステップとは逆に、カウンタ１０４の出力は無視され、アナログ・デジタル変換器１０３の出力のみ有効として記録される。本実施例では、２０ｎｓのランプ発生器に対して１２ｂｉｔのＡＤＣデバイスを用いているが、ＡＤＣのフルスケールをぎりぎりまで用いることはノイズによるオーバーレンジの危険性があるために、４８から４０４８の範囲で使用するよう調整されているとする。このとき分解能は２０ｎｓ／４０００＝５ｐｓとなる。補正信号は、１サンプル毎のずれ量を１ｐｓに設定する。すると補正信号の立ち上がりエッジとクロック信号の立ち上がりエッジは、１周期毎に１ｐｓずれるため、アナログ・デジタル変換器１０３から出力するデジタル値は、５回測定毎に一つずる大きくなる。言い換えれば、アナログ・デジタル変換手段の分解能（５ｐｓ）に対して５回ずつの測定が行われることになる。このようにして１２００００回の測定を行った結果、メモリ１０８に格納されたデータを図８に示す。
【００１９】
本来であれば、４０００のデジタル値に対して５回ずつの測定が行われることから、最低２００００回の測定を行えば全てのデジタル値についての補正データが得られるが、測定開始時点における、補正信号とＣＬＫ信号の時間間隔が不明なため、測定開始後、最初に４０４８から４８に減少するときから累積度数分布を求める。また、記録されたデータの最後から先に記録されたデータを見ていくと４０４８から４８に減少するときが存在する。この点を始点として用い、メモリの最後から逆順に検索していって、最初に４８から４０４８に増加する部分を終点としたデータを使って累積度数分布（ヒストグラム）を求める。
なお、補正信号やＣＬＫにはジッタが存在しＡＤＣにもノイズが存在するために、本実施例では、アナログデジタル変換器１０３の出力にフィルタをかけてノイズを除去してメモリ１０８に記憶しているが、アナログデジタル変換器１０３の出力をそのまま記録した場合には、ガウス分布を持ったノイズを含んで増加していく。この場合には、最初のデータから４０００に近い値だけ、例として３８００減少した場所をサーチしてこのデータが格納されている場所を始点とする。さらに最後のデータ付近で最初に、４０００に近い値、例として３８００以上ずれているメモリのアドレス終点として累積度数分布を求めてもよい。
【００２０】
ランプ発生器１００およびアナログ・デジタル変換器１０３が理想的な特性をもっていれば、度数分布は図４（ｂ）のように累積度数はデジタル値に対してリニアに増加する。ところが、理想的な素子や回路は存在しないため、実際には図４（ａ）のような分布となる。そこで、データ処理手段１０９は、この度数分布がリニアになるように補正関数を決定する。すなわち、データ処理手段１０９は、累積度数分布を２次関数で近似し、その逆関数を補正関数とする。以上で補正モードは終了する。なお、補正関数は２次関数に限られず任意の関数を選択することができる。また、補正量を決定するためには、本実施例のようにデジタル値に対する累積度数分布をリニアにするような補正関数を求める方法以外にも、デジタル値の度数分布を求めて平均化するように補正関数を決定してもよい。また、補正関数を使用せずに、各デジタル値ごとに理想の分布からの差分を求め、補正テーブルを作成してもよい。
【００２１】
最後に、測定モードにおける測定器の動作について説明する。測定モードでは、スイッチ１０６がＢに接続され、測定信号がカウンタ１１１、２１１で所定周期に分周され、ランプ発生器１００、１０１に入力される。ランプ発生器１００、２００と、Ｓ／Ｈ回路１０２、２０２と、アナログ・デジタル変換器１０３、２０３と、カウンタ１０４は、補正モードと同じ機能を有する。補正信号発生器１０７は非動作状態となる。データ処理手段１０９では、図２の測定器の測定器１０５と同様にアナログ・デジタル変換器１０３とカウンタ１０４からの出力データから測定信号の時間間隔を算出するが、算出に先立ってアナログ・デジタル変換器１０３出力データを補正モードで決定された補正量（補正関数または補正値）に従って、デジタル値に変換する。これにより、極めて精度の高い測定結果得ることができる。
【００２２】
なお、上述した本実施形態およびその変形例は、特許請求の範囲に記載した本発明の説明のための一実施形態にすぎず、特許請求の範囲で示した権利範囲内において種々の変形を行うことができることは、当業者にとって明らかである。
【００２３】
最後に、本発明の代表的な実施態様を以下に示す。
（実施態様１）
測定信号とクロック信号の時間間隔を電圧に変換する時間電圧変換手段と、
前記電圧をデジタル値に変換するアナログ・デジタル変換手段と、
前記デジタル値から前記時間間隔を測定する時間間隔測定手段とを有する時間間隔測定器の補正量決定方法であって、
前記クロック信号の分周周期に対して、前記アナログ・デジタル変換手段の分解能に相当する時間よりも短い周期差を有する補正信号を発生する補正信号発生ステップと、
前記補正信号を繰り返し測定して、前記デジタル値を求め、前記デジタル値の累積度数分布を計測する度数分布計測ステップと、
前記累積度数分布が線形となるように、前記デジタル値の補正量を決定する補正量決定ステップとを含むことを特徴とする時間間隔測定器の補正量決定方法。
【００２４】
（実施態様２）
前記周期差が前記分解能に相当する時間の約数であることを特徴とする実施態様１記載の時間間隔測定器の補正量決定方法。
【００２５】
（実施態様３）
前記補正信号発生ステップが、
前記クロック信号の周期を測定するステップと、
前記補正信号の周期を前記周期差だけずらすステップとを含むことを特徴とする実施態様１または２に記載の時間間隔測定器の補正量決定方法。
【００２６】
（実施態様４）
前記補正信号と前記クロック信号の時間間隔が、前記分解能に相当する時間よりも短くなったときから、前記度数分布の計測を開始することを特徴とする実施態様１から３のいずれかに記載の時間間隔測定器の補正量決定方法。
【００２７】
（実施態様５）
測定信号とクロック信号の時間間隔を電圧に変換する時間電圧変換手段と、
前記電圧をデジタル値に変換するアナログ・デジタル変換手段と、
前記デジタル値から前記時間間隔を測定する時間間隔測定手段とを有する時間間隔測定器の補正量決定方法であって、
前記クロック信号の分周周期に対して、前記アナログ・デジタル変換手段の分解能に相当する時間よりも短い周期差を有する補正信号を発生する補正信号発生ステップと、
前記補正信号を繰り返し測定して、前記デジタル値を求め、前記デジタル値の度数分布を計測する度数分布計測ステップと、
前記度数分布が平均化するように、前記デジタル値の補正量を決定する補正量決定ステップとを含むことを特徴とする時間間隔測定器の補正量決定方法。
【００２８】
（実施態様６）
クロック信号を発生するクロック信号発生手段と、
測定信号と前記クロック信号の時間間隔を電圧に変換する時間電圧変換手段と、
前記電圧をデジタル値に変換するアナログ・デジタル変換手段と、
前記クロック信号の分周信号の周期に対して、前記アナログ・デジタル変換手段の分解能に相当する時間よりも短い周期差を有する補正信号を発生する補正信号発生手段と、
前記補正信号を繰り返し測定して、前記デジタル値の累積度数分布を求め、前記累積度数分布が線形となるように、前記デジタル値の補正量を決定する補正量決定手段とを有する時間間隔測定器。
【００２９】
（実施態様７）
前記補正信号または前記クロック信号の一方または双方を前記時間間隔測定器の外部から入力する外部入力端子を有することを特徴とする実施態様６に記載の時間間隔測定器。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の好適実施例である測定器の全体図である。
【図２】背景技術欄記載の測定器の全体図である。
【図３】背景技術欄記載の測定器の信号の経時変化を示した図である。
【図４ａ】好適実施例における累積度数分布である。
【図４ｂ】理想の累積度数分布である。
【図５】好適実施例におけるランプ信号とＡＤＣスケールに関する説明図である。
【図６】好適実施例の周波数測定ステップにおける信号の経時変化を示した図である
【図７ａ】好適実施例の周波数測定ステップにおけるメモリ内容の説明図である。
【図７ｂ】好適実施例の周波数測定ステップにおけるメモリ内容の説明図である。
【図８】好適実施例のランプ補正測定ステップにおけるメモリ内容の説明図である。
【符号の説明】
【００３１】
１００、２００    ランプ発生器
１０１    クロック発振器
１０２、２０１    サンプル・ホールド回路
１０３、２０３    アナログ・デジタル変換器
１０４、１１１，２１１    カウンタ
１０５    処理回路
１０６    スイッチ
１０７    補正信号発生器
１０８    メモリ
１０９    データ処理手段
【図１】
2005156495.tif 000003
【図２】
2005156495.tif 000004
【図３】
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【図４ａ】
2005156495.tif 000006
【図４ｂ】
2005156495.tif 000007
【図５】
2005156495.tif 000008
【図６】
2005156495.tif 000009
【図７ａ】
2005156495.tif 000010
【図７ｂ】
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【図８】
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