(57)【要約】【課題】  測定基準を明確にして光ファイバの端面中心の位置測定を行う方法を提供する。【解決手段】  光ファイバ１ａの端面を有する第１面３と、その第１面３に対して側面をなす平坦な第２面４と、を備えたコネクタ部材２で、第１面３における光ファイバ１ａの端面中心の位置測定を行う方法であって、まず、平坦面６と、その平坦面６の一方端をなしコネクタ部材２のいづれの角部３ａよりも鋭利に形成されたエッジ部７と、を備えた位置基準部材５を準備する。次に、位置基準部材５をコネクタ部材２に、第１面３を正面視したときにエッジ部７が視認され且つ第２面４に平坦面６が当接するように固定する。そして、第１面３の正面視でエッジ部７先端を基準として光ファイバ１ａの端面中心の位置測定を行う。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定点を有する第１面と、該第１面に対して側面をなす平坦な第２面と、を備えたブロック状部材で、該第１面における該被測定点の位置測定を行う方法であって、
平坦面と、該平坦面の一方端をなし上記ブロック状部材のいづれの角部よりも鋭利に形成されたエッジ部と、を備えた位置基準部材を準備する第１ステップと、
上記第１ステップに続いて、上記位置基準部材を上記ブロック状部材に、上記第１面を正面視したときに上記エッジ部が視認され且つ上記第２面に上記平坦面が当接するように固定するステップと、
上記第２ステップに続いて、上記第１面の正面視で上記エッジ部先端を基準として上記被測定点の位置測定を行うステップと、
を包含する位置測定方法。
【請求項２】
光ファイバの端面を有する第１面と、該第１面に対して側面をなす平坦な第２面と、を備えたコネクタ部材で、該第１面における該光ファイバの端面中心の位置測定を行う方法であって、
平坦面と、該平坦面の一方端をなし上記コネクタ部材のいづれの角部よりも鋭利に形成されたエッジ部と、を備えた位置基準部材を準備する第１ステップと、
上記第１ステップに続いて、上記位置基準部材を上記コネクタ部材に、上記第１面を正面視したときに上記エッジ部が視認され且つ上記第２面に上記平坦面が当接するように固定する第２ステップと、
上記第２ステップに続いて、上記第１面の正面視で上記エッジ部先端を基準として上記光ファイバの端面中心の位置測定を行う第３ステップと、
を包含する位置測定方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載された位置測定方法において、
上記位置基準部材はシリコンで形成されている位置測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被測定点を有する第１面と、その第１面に対して側面をなす平坦な第２面と、を備えたブロック状部材で、第１面における被測定点の位置測定を行う方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の製造において、エッチング加工の高精度化が進んでいる。そのため、その精度を検査するための分光器にも高い測定精度が要求されている。通常、かかる分光器では、紫外線が照射された半導体基板からの反射光を複数本の光ファイバを並列させた光ファイバアレイにより受光して分光器本体に伝送するようになっている。そして、光ファイバアレイと分光器本体の受光部との間にはスリットが設けられており、このスリットの幅狭化により波長分解能等の測定精度を向上させることができる。
【０００３】
ところが、スリットが幅狭化すると、光ファイバアレイの端面が精度よくスリットに対峙するように配置されなければ、十分な光のパワーを得ることができないという問題がある。光ファイバアレイは分光器本体側の端部に取り付けられたコネクタ部材の部材端面にその端面が露出しているが、つまり、その部材端面における光ファイバアレイの端面の位置精度も高くなければならないということである。
【０００４】
特許文献１には、ｙ方向にピッチＰｖで互いに積層されたｎ枚の基板と、それぞれの端面がｘｙ面内にｎ×ｍ（ｎ、ｍ＞２）のマトリクス状に配列されたｎ×ｍ本の光ファイバとを有する２次元光ファイバアレイであって、ｎ枚の基板のそれぞれは、ｚｘ面に平行な主面と、その主面に形成され、それぞれがｚ方向に延び、ｘ方向にピッチＰｈで配列され、且つｘｙ面内の断面形状がＶ字状のｍ本の溝とを有し、ｎ×ｍ本の光ファイバのそれぞれは、ｎ枚の基板のそれぞれのｍ本の溝のそれぞれ内に配置されており、ｎ枚の基板のそれぞれのｍ本の溝のｘ方向における位置は、隣接する基板ごとに、一定のシフト量Ｓだけ異なっているものが開示されている。そして、これによれば、多様で、且つ位置精度が高い２次元配列を有する２次元光ファイバアレイを得ることができる、と記載されている。
【０００５】
特許文献２には、各光ファイバと各々係合可能な凹部が形成された基板と、その下面で光ファイバの各々を個別に各凹部に向けて押圧する４個の押圧部材と、これらの押圧部材をその両側から挟持する一対のガイド板とを備え、各光ファイバは、凹部を有する基板と押圧部材により、その光軸周りの回転角度位置とその光軸方向の位置とを調整可能な状態で支持されている光ファイバアレイ部が開示されている。そして、これによれば、光ファイバアレイにおける各光ファイバのコアの位置を正確かつ容易に調整することが可能である、と記載されている。
【特許文献１】特開２００１−３３０７５９号公報
【特許文献２】特開２００３−５０３３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、図７に示すように、光ファイバアレイの端部に取り付けられたコネクタ部材が金属製の場合、部材端面３の周縁の角部３ａは、ミクロンオーダーでは丸く形成されており、従って、部材端面３の正面視で光ファイバアレイを構成する光ファイバ１ａの端面の位置測定を同オーダーで行う場合、その測定基準が不明確である。
【０００７】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、測定基準を明確にして被測定点、或いは、光ファイバの端面中心の位置測定を行う方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、被測定点を有する第１面と、該第１面に対して側面をなす平坦な第２面と、を備えたブロック状部材で、該第１面における該被測定点の位置測定を行う方法であって、
平坦面と、該平坦面の一方端をなし上記ブロック状部材のいづれの角部よりも鋭利に形成されたエッジ部と、を備えた位置基準部材を準備する第１ステップと、
上記第１ステップに続いて、上記位置基準部材を上記ブロック状部材に、上記第１面を正面視したときに上記エッジ部が視認され且つ上記第２面に上記平坦面が当接するように固定するステップと、
上記第２ステップに続いて、上記第１面の正面視で上記エッジ部先端を基準として上記被測定点の位置測定を行うステップと、
を包含する。
【０００９】
以上のようにすれば、位置基準部材のエッジ部がブロック状部材のいづれの角部よりも鋭利に形成されており、そして、第１面を正面視したときにエッジ部が視認され且つ第２面に平坦面が当接するように位置基準部材をブロック状部材に固定するので、第１面の周縁が測定オーダーにおいて測定基準となり得ないような丸い角部に形成されていても、エッジ部先端を基準として被測定点の位置測定を行うことができる。
【００１０】
また、本発明は、光ファイバの端面を有する第１面と、該第１面に対して側面をなす平坦な第２面と、を備えたコネクタ部材で、該第１面における該光ファイバの端面中心の位置測定を行う方法であって、
平坦面と、該平坦面の一方端をなし上記コネクタ部材のいづれの角部よりも鋭利に形成されたエッジ部と、を備えた位置基準部材を準備する第１ステップと、
上記第１ステップに続いて、上記位置基準部材を上記コネクタ部材に、上記第１面を正面視したときに上記エッジ部が視認され且つ上記第２面に上記平坦面が当接するように固定する第２ステップと、
上記第２ステップに続いて、上記第１面の正面視で上記エッジ部先端を基準として上記光ファイバの端面中心の位置測定を行う第３ステップと、
を包含する。
【００１１】
以上のようにすれば、位置基準部材のエッジ部がコネクタ部材のいづれの角部よりも鋭利に形成されており、そして、第１面を正面視したときにエッジ部が視認され且つ第２面に平坦面が当接するように位置基準部材をコネクタ部材に固定するので、第１面の周縁が測定オーダーにおいて測定基準となり得ないような丸い角部に形成されていても、エッジ部先端を基準として光ファイバの端面中心の位置測定を行うことができる。
【００１２】
本発明は、上記位置基準部材がシリコンで形成されているものであってもよい。シリコンで形成されるエッジ部は鋭利であり、ミクロンオーダーの高精度の測定基準として好適である。
【発明の効果】
【００１３】
以上説明したように、本発明によれば、第１面の周縁が測定オーダーにおいて測定基準となり得ないような丸い角部に形成されていても、エッジ部先端を基準として被測定点或いは光ファイバの端面中心の位置測定を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１５】
本発明の実施形態として、図１に示すように、光ファイバアレイ１の端部に直方体状の金属製のコネクタ部材（ブロック状部材）２が取り付けられ、その部材端面（第１面）３に露出した光ファイバアレイ１の端面、つまり、複数本の光ファイバ１ａの端面中心（被測定点）のそれぞれの位置測定を行う方法について説明する。
【００１６】
図２は、コネクタ部材２の部材端面３における光ファイバアレイ１の端面の位置測定を行うための位置測定装置８を示す。
【００１７】
この位置測定装置８は、図示しない部材固定具と、固定具の上方に設けられたＣＣＤカメラ９と、ＣＣＤカメラ９に接続された画像処理部１０と、で構成されている。そして、部材固定具でコネクタ部材２をその部材端面３が上方を向くように保持し、部材端面３をＣＣＤカメラ９で写して画像処理部１０で部材端面３の画像処理を行うことにより、光ファイバアレイ１の端面の位置測定を行うようになっている。
【００１８】
具体的には、まず、第１ステップでは、平板状のシリコン製の位置基準部材５を２枚準備する。位置基準部材５は、後述のようにコネクタ部材２の側面（第２面）４に取り付けられるものであるが、その側面当接面６が平坦面に形成されていると共に、その平坦な側面当接面６の一方端がコネクタ部材２の部材端面３周縁を含むいづれの角部３ａよりも鋭利に形成されたエッジ部７に形成されたものである。つまり、金属製のコネクタ部材２では、ミクロンオーダーで角部３ａが丸く形成されるが、位置基準部材５のエッジ部７はそれよりも鋭利に形成されている。
【００１９】
第１ステップに続く第２ステップでは、図３及び４に示すように、コネクタ部材２の隣接する一対の側面４のそれぞれに位置基準部材５を固定する。このとき、部材端面３を正面視したときにエッジ部７が視認され且つ側面４に側面当接面６が当接するようにする。
【００２０】
第２ステップに続く第３ステップでは、コネクタ部材２を部材固定具に取り付け、ＣＣＤカメラ９で部材端面３の正面視の画像を取得し、光ファイバアレイ１の端面を構成する複数の光ファイバ１ａの端面中心のそれぞれの位置測定を行う。このとき、図５（ａ）及び（ｂ）に示すように、位置基準部材５のエッジ部７がコネクタ部材２の部材端面３周縁の角部３ａよりも鋭利に形成されているので、そのエッジ部７先端を位置基準とすることができ、それによって、図６に示すように、一方の位置基準部材５のエッジ部７をＸ軸及び他方の位置基準部材５のエッジ部７をＹ軸した座標系を構成することができる。そして、光ファイバ１ａの端面中心の位置測定は、このＸＹ座標系の座標点として得ることができる。
【００２１】
以上のような測定方法によれば、位置基準部材５のエッジ部７がコネクタ部材２の部材端面３周縁の角部３ａよりも鋭利に形成されており、そして、部材端面３を正面視したときにエッジ部７が視認され且つ側面４に側面当接面６が当接するように位置基準部材５をコネクタ部材２に固定するので、部材端面３の周縁がミクロンオーダーにおいて測定基準となり得ないような丸い角部３ａに形成されているにも関わらず、エッジ部７先端を基準として光ファイバ１ａの端面中心の位置測定を行うことができる。
【００２２】
なお、本実施形態は、光ファイバアレイ１の端部にコネクタ部材２が取り付けられ、その部材端面３に露出した光ファイバアレイ１の端面の位置測定を行う方法について説明したが、特にこれに限定されるものではなく、その他の位置測定に適用してもよい。特に、非常に小さいスケールオーダーの位置測定に有効である。
【産業上の利用可能性】
【００２３】
以上説明したように、本発明は、被測定点を有する第１面と、その第１面に対して側面をなす平坦な第２面と、を備えたブロック状部材で、第１面における被測定点の位置測定を行う方法について有用である。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】コネクタ部材が取り付けられた光ファイバアレイの斜視図である。
【図２】位置測定装置の構成を示す図である。
【図３】コネクタ部材への位置基準部材の取付を示す説明図である。
【図４】位置基準部材が取り付け固定されたコネクタ部材の斜視図である。
【図５】図４における（ａ）ＶＡ断面図及び（ｂ）ＶＢ断面図である。
【図６】光ファイバの端面中心の位置測定を示す説明図である。
【図７】コネクタ部材の断面図である。
【符号の説明】
【００２５】
１  光ファイバアレイ
１ａ  光ファイバ
２  コネクタ部材
３  部材端面
３ａ  角部
４  側面
５  位置基準部材
６  側面当接面
７  エッジ部
８  位置測定装置
９  ＣＣＤカメラ
１０  画像処理部
【図１】
2005062049.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2005062049.tif 000008
【図７】
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