(57)【要約】【課題】着色画素の形成後の洗浄装置において、着色画素上、及びブラックマトリックス上に残存している残渣、付着した凝集物を十分に除去する洗浄装置であって、着色画素の形成装置に連結された液晶表示装置用カラーフィルタの洗浄装置を提供すること。また洗浄方法を提供すること。【解決手段】カラーフィルタ１０の表裏面に洗浄液を供給し、展開する洗浄液供給部Ａ、残渣、凝集物を離脱させる残渣離脱部Ｂ、残渣、凝集物、及び洗浄液を払拭する残渣払拭部Ｃで構成され、コロ・コンベア２０が前工程から後工程へと洗浄液供給部、残渣離脱部、残渣払拭部を貫いて設けられていること。【選択図】図１
2005249906.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カラーフィルタの着色画素が形成された直後に、カラーフィルタの表裏面を洗浄する洗浄装置において、
１）ａ）着色画素の形成装置から水平に搬送されてきたカラーフィルタの表裏面に洗浄液を供給する、上下一対の上洗浄液供給ノズル及び下洗浄液供給ノズル、
ｂ）カラーフィルタを上下から挟んで摺接し、カラーフィルタの表裏面に洗浄液を展開する、上下一対の上スポンジロール及び下スポンジロール、
ｃ）該上スポンジロールの上方から洗浄液を補給する上補給ノズル、及び下スポンジロールの下方から洗浄液を補給する下補給ノズル、
を具備する洗浄液供給部、
２）ａ）カラーフィルタを上下から挟んで摺接し、カラーフィルタの表裏面の残渣、凝集物を離脱させる、上下一対の上ブラシロール及び下ブラシロール、
ｂ）該上ブラシロールの上方から洗浄液を補給する上補給ノズル、及び下ブラシロールの下方から洗浄液を補給する下補給ノズル、
を具備する残渣離脱部、
３）カラーフィルタを上下から挟んで摺接し、カラーフィルタの表裏面から離脱した残渣、凝集物、及び洗浄液を払拭する、上下一対の上スポンジロール及び下スポンジロールを具備する残渣払拭部、
が、少なくとも、この順に設けられて構成され、カラーフィルタを搬送するコロ・コンベアが前工程である着色画素の形成装置から、後工程である水洗装置へと洗浄液供給部、残渣離脱部、残渣払拭部を貫いて設けられていることを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタの洗浄装置。
【請求項２】
前記上下一対の上ブラシロール及び下ブラシロールが、直径２０ｍｍ〜４００ｍｍの芯状基体の表面に、径０．００１ｍｍ〜０．６ｍｍのブラシ毛が植毛され、該芯状基体の半径をａとし、半径ａに直立したブラシ毛の長さｃを加えた長さをｂとするとき、ａとｂの関係が１．０２≦（ｂ／ａ）≦２．０であることを特徴とする請求項１記載の液晶表示装置用カラーフィルタの洗浄装置。
【請求項３】
前記上下一対の上ブラシロール及び下ブラシロールと、前記残渣、凝集物、及び洗浄液を払拭する、上下一対の上スポンジロール及び下スポンジロールとの間に、離脱した残渣、凝集物を流出除去させる洗浄液を供給する上下一対の上供給ノズル及び下供給ノズルを設けたことを特徴とする請求項１、又は請求項２記載の液晶表示装置用カラーフィルタの洗浄装置。
【請求項４】
カラーフィルタの着色画素が形成された直後に、カラーフィルタの表裏面を洗浄する洗浄方法において、
１）着色画素の形成装置から水平に搬送されてきたカラーフィルタの表裏面に洗浄液を供給する工程、
２）上下一対の上スポンジロール及び下スポンジロールで、カラーフィルタを上下から挟んで摺接し、カラーフィルタの表裏面に洗浄液を展開する工程、
３）上下一対の上ブラシロール及び下ブラシロールで、カラーフィルタを上下から挟んで摺接し、カラーフィルタの表裏面の残渣、凝集物を離脱させる工程、
４）上下一対の上スポンジロール及び下スポンジロールで、カラーフィルタを上下から挟んで摺接し、カラーフィルタの表裏面から離脱した残渣、凝集物、及び洗浄液を払拭し、カラーフィルタを水洗装置へと水平に搬送する工程、
を具備することを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタの洗浄方法。
【請求項５】
前記上下一対の上ブラシロール及び下ブラシロールが、直径２０ｍｍ〜４００ｍｍの芯
状基体の表面に、径０．００１ｍｍ〜０．６ｍｍのブラシ毛が植毛され、該芯状基体の半径をａとし、半径ａに直立したブラシ毛の長さｃを加えた長さをｂとするとき、ａとｂの関係が１．０２≦（ｂ／ａ）≦２．０であることを特徴とする請求項４記載の液晶表示装置用カラーフィルタの洗浄方法。
【請求項６】
前記３）上下一対の上ブラシロール及び下ブラシロールで、カラーフィルタを上下から挟んで摺接し、カラーフィルタの表裏面の残渣、凝集物を離脱させる工程、の後に、離脱した残渣、凝集物を洗浄液によって流出除去する工程を具備することを特徴とする請求項４、又は請求項５記載の液晶表示装置用カラーフィルタの洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタの洗浄に関するものであり、特に、カラーフィルタの着色画素上及びブラックマトリックス上の残渣、凝集物を十分に除去することのできる液晶表示装置用カラーフィルタの洗浄装置及び洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
図３は、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を模式的に示した平面図である。また、図４は、図３に示すカラーフィルタのＸ−Ｘ’線における断面図である。
図３、及び図４に示すように、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタは、ガラス基板（３０）上にブラックマトリックス（３１）、着色画素（３２）が形成されたものである。
図３、及び図４はカラーフィルタを模式的に示したもので、着色画素（３２）は９個表されているが、実際のカラーフィルタにおいては、例えば、対角１４インチの画面に数百μｍ程度の着色画素が多数個配列されている。
【０００３】
ブラックマトリックス（３１）は、遮光性を有し、開口部をマトリックス状に配置したものであり、着色画素（３２）は、例えば、赤色、緑色、青色のフィルタ機能を有するものである。
ブラックマトリックスは、カラーフィルタの着色画素の位置を定め、大きさを均一なものとし、また、表示装置に用いられた際に、好ましくない光を遮蔽し、表示装置の画像をムラのない均一な、且つコントラストを向上させた画像にする機能を有している。
【０００４】
このブラックマトリックス（３１）は、ガラス基板（３０）上にブラックマトリックスの材料としてのクロム（Ｃｒ）、酸化クロム（ＣｒＯX ）などの金属、もしくは金属化合物を薄膜状に成膜し、成膜された薄膜上に、例えば、ポジ型のフォトレジストを用いてエッチングレジストパターンを形成し、次に、成膜された金属薄膜の露出部分のエッチング及びエッチングレジストパターンの剥膜を行い、Ｃｒ、ＣｒＯX などの金属薄膜からなるブラックマトリックス（３１）に形成されたものである。
【０００５】
また、着色画素（３２）の形成は、このブラックマトリックス（３１）が形成されたガラス基板（３０）上に、例えば、顔料などの色素を分散させたネガ型のフォトレジストを用いて塗布膜を設け、この塗布膜への露光、現像によって着色画素を形成するといった方法がとられている。
【０００６】
また、図５は、図３に示すカラーフィルタのＸ−Ｘ’線における断面図であるが、ブラックマトリックスの材料として樹脂を用いた例を示すものである。
このカラーフィルタは、図４に示すカラーフィルタと同様に、ガラス基板（３０）上にブラックマトリックス（５１）、着色画素（５２）が形成されたものである。
このブラックマトリックス（５１）は、ガラス基板（３０）上に、例えば、ブラックマトリックス形成用の黒色感光性樹脂を用いてフォトリソグラフィ法によって形成されたものであり、樹脂を用いて形成されたブラックマトリックスを樹脂ブラックマトリックス（５１）と称している。
【０００７】
樹脂ブラックマトリックスは、例えば、テレビなどのように、高輝度なバックライトを用いた際に、クロムなどの金属をブラックマトリックスとして用いたときに起こる液晶表示装置での内部反射を抑制するために、低反射の樹脂ブラックマトリックスが要望される場合、或いは、例えば、ＩＰＳ（Ｉｎ  Ｐｌａｎｅ  Ｓｗｉｃｈｉｎｇ）方式に用いたと
きに起こる液晶表示装置での電界の乱れを抑制するために、高絶縁性の樹脂ブラックマトリックスが要望される場合などに採用されていた。しかし、ブラックマトリックスは、クロムなどの金属を用いたブラックマトリックスから、次第に樹脂ブラックマトリックスへと移行が進んでいる。
【０００８】
カラーフィルタを大量に製造する際には、一基の液晶表示装置に対応したカラーフィルタを大サイズのガラス基板に面付けした状態で製造する。例えば、対角１４インチのカラーフィルタを５５０ｍｍ×６５０ｍｍ程度の大サイズのガラス基板に４面付けし、或いは、対角１７インチのカラーフィルタを６５０ｍｍ×８５０ｍｍ程度の大サイズのガラス基板に４面付けして製造する。
【０００９】
カラーフィルタを面付けして大量に製造する際の、大サイズのガラス基板が、例えば、６５０ｍｍ×８５０ｍｍ程度から９００ｍｍ×１１００ｍｍ程度へと大サイズ化するに伴い、ブラックマトリックスの材料としてクロムなどの金属を用い真空装置で薄膜を成膜するブラックマトリックスよりも、黒色感光性樹脂を用いてフォトリソグラフィ法によって形成する樹脂ブラックマトリックスの方が価格的に有利なものとなり、次第に樹脂ブラックマトリックスへと移行が進んでいる。
また、環境に配慮してクロムなどの金属を用いることを回避する傾向もある。
【００１０】
樹脂ブラックマトリックスは、クロムなどの金属を用いたブラックマトリックスのように、膜厚１００ｎｍ〜２００ｎｍ程度の薄膜では高濃度を得ることはできず、例えば、０．５μｍ〜２．０μｍ程度の厚さにして必要な高濃度を得るようにしている。
樹脂ブラックマトリックスの膜厚が、例えば、１．０μｍ程度と厚くなると、図５に示すように、樹脂ブラックマトリックス（５１）上にその周縁部を重ねて形成された着色画素（５２）は、周縁部が樹脂ブラックマトリックス（５２）上にて突起（５３）となる。
【００１１】
前記金属薄膜からなるブラックマトリックス（３１）が形成されたカラーフィルタ、或いは樹脂ブラックマトリックス（５１）が形成されたカラーフィルタ、いずれのカラーフィルタにおいても、着色画素の形成後に洗浄が行われる。
この洗浄は、着色画素（３２、５２）上、及びブラックマトリックス（３１、５１）上に残存している残渣、付着した凝集物を除去するために行うものであり、これにより、後工程、例えば、透明導電膜の成膜における透明導電膜の密着性を良好なものとしている。
【００１２】
或いは、微量なイオンの溶出を防ぐために、カラーフィルタに与える高信頼性機能としてのオーバーコート層の形成におけるオーバーコート層の密着性を、或いは、周縁部を対向基板とのシール部とする際におけるシール剤との密着性を良好なものとしている。
【００１３】
このカラーフィルタ表面の洗浄として、例えば、洗浄液の吹き付け、及び水洗水によるシャワー洗浄といった、所謂、シャワー洗浄法では残渣、凝集物を除去することはできない。
従って、例えば、スポンジロールを用いた摺接による洗浄が行われる。このカラーフィルタ表面とスポンジロールとの摺り動く状態での洗浄によって、残渣、凝集物の大部分は除去されるが、凝集物の除去は十分ではない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、液晶表示装置用カラーフィルタの製造における、着色画素の形成後に行われる洗浄で用いられる洗浄装置において、着色画素上、及びブラックマトリックス上に残存している残渣、付着した凝集物を十分に除去することのできる洗浄装置であって、着色画素を形成する装置に連結された液晶表示
装置用カラーフィルタの洗浄装置を提供することを課題とする。
また、液晶表示装置用カラーフィルタの洗浄方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は、カラーフィルタの着色画素が形成された直後に、カラーフィルタの表裏面を洗浄する洗浄装置において、
１）ａ）着色画素の形成装置から水平に搬送されてきたカラーフィルタの表裏面に洗浄液を供給する、上下一対の上洗浄液供給ノズル及び下洗浄液供給ノズル、
ｂ）カラーフィルタを上下から挟んで摺接し、カラーフィルタの表裏面に洗浄液を展開する、上下一対の上スポンジロール及び下スポンジロール、
ｃ）該上スポンジロールの上方から洗浄液を補給する上補給ノズル、及び下スポンジロールの下方から洗浄液を補給する下補給ノズル、
を具備する洗浄液供給部、
２）ａ）カラーフィルタを上下から挟んで摺接し、カラーフィルタの表裏面の残渣、凝集物を離脱させる、上下一対の上ブラシロール及び下ブラシロール、
ｂ）該上ブラシロールの上方から洗浄液を補給する上補給ノズル、及び下ブラシロールの下方から洗浄液を補給する下補給ノズル、
を具備する残渣離脱部、
３）カラーフィルタを上下から挟んで摺接し、カラーフィルタの表裏面から離脱した残渣、凝集物、及び洗浄液を払拭する、上下一対の上スポンジロール及び下スポンジロールを具備する残渣払拭部、
が、少なくとも、この順に設けられて構成され、カラーフィルタを搬送するコロ・コンベアが前工程である着色画素の形成装置から、後工程である水洗装置へと洗浄液供給部、残渣離脱部、残渣払拭部を貫いて設けられていることを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタの洗浄装置である。
【００１６】
また、本発明は、上記発明による液晶表示装置用カラーフィルタの洗浄装置において、前記上下一対の上ブラシロール及び下ブラシロールが、直径２０ｍｍ〜４００ｍｍの芯状基体の表面に、径０．００１ｍｍ〜０．６ｍｍのブラシ毛が植毛され、該芯状基体の半径をａとし、半径ａに直立したブラシ毛の長さｃを加えた長さをｂとするとき、ａとｂの関係が１．０２≦（ｂ／ａ）≦２．０であることを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタの洗浄装置である。
【００１７】
また、本発明は、上記発明による液晶表示装置用カラーフィルタの洗浄装置において、前記上下一対の上ブラシロール及び下ブラシロールと、前記残渣、凝集物、及び洗浄液を払拭する、上下一対の上スポンジロール及び下スポンジロールとの間に、離脱した残渣、凝集物を流出除去させる洗浄液を供給する上下一対の上供給ノズル及び下供給ノズルを設けたことを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタの洗浄装置である。
【００１８】
また、本発明は、カラーフィルタの着色画素が形成された直後に、カラーフィルタの表裏面を洗浄する洗浄方法において、
１）着色画素の形成装置から水平に搬送されてきたカラーフィルタの表裏面に洗浄液を供給する工程、
２）上下一対の上スポンジロール及び下スポンジロールで、カラーフィルタを上下から挟んで摺接し、カラーフィルタの表裏面に洗浄液を展開する工程、
３）上下一対の上ブラシロール及び下ブラシロールで、カラーフィルタを上下から挟んで摺接し、カラーフィルタの表裏面の残渣、凝集物を離脱させる工程、
４）上下一対の上スポンジロール及び下スポンジロールで、カラーフィルタを上下から挟んで摺接し、カラーフィルタの表裏面から離脱した残渣、凝集物、及び洗浄液を払拭し、カラーフィルタを水洗装置へと水平に搬送する工程、
を具備することを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタの洗浄方法である。
【００１９】
また、本発明は、上記発明による液晶表示装置用カラーフィルタの洗浄方法において、前記上下一対の上ブラシロール及び下ブラシロールが、直径２０ｍｍ〜４００ｍｍの芯状基体の表面に、径０．００１ｍｍ〜０．６ｍｍのブラシ毛が植毛され、該芯状基体の半径をａとし、半径ａに直立したブラシ毛の長さｃを加えた長さをｂとするとき、ａとｂの関係が１．０２≦（ｂ／ａ）≦２．０であることを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタの洗浄方法である。
【００２０】
また、本発明は、上記発明による液晶表示装置用カラーフィルタの洗浄方法において、前記３）上下一対の上ブラシロール及び下ブラシロールで、カラーフィルタを上下から挟んで摺接し、カラーフィルタの表裏面の残渣、凝集物を離脱させる工程、の後に、離脱した残渣、凝集物を洗浄液によって流出除去する工程を具備することを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタの洗浄方法である。
【発明の効果】
【００２１】
本発明は、１）ａ）上下一対の上洗浄液供給ノズル及び下洗浄液供給ノズル、ｂ）上下一対の上スポンジロール及び下スポンジロール、ｃ）上補給ノズル及び下補給ノズルを具備する洗浄液供給部、２）ａ）上下一対の上ブラシロール及び下ブラシロール、ｂ）上補給ノズル及び下補給ノズルを具備する残渣離脱部、３）上下一対の上スポンジロール及び下スポンジロールを具備する残渣払拭部、で構成され、コロ・コンベアが着色画素の形成装置から水洗装置へと洗浄液供給部、残渣離脱部、残渣払拭部を貫いて設けられている液晶表示装置用カラーフィルタの洗浄装置であるので、着色画素上、及びブラックマトリックス上に残存している残渣、付着した凝集物を十分に除去することができ、且つ生産性の高い液晶表示装置用カラーフィルタの洗浄装置となる。
【００２２】
また、本発明は、上下一対の上ブラシロール及び下ブラシロールが、直径２０ｍｍ〜４００ｍｍの芯状基体の表面に、径０．００１ｍｍ〜０．６ｍｍのブラシ毛が植毛され、該芯状基体の半径をａとし、半径ａに直立したブラシ毛の長さｃを加えた長さをｂとするとき、ａとｂの関係が１．０２≦（ｂ／ａ）≦２．０であるので、カラーフィルタの着色画素上、及びブラックマトリックス上に残存している残渣、付着した凝集物の除去、特に、付着した凝集物を十分に除去することができる。その表面上に突起を有するカラーフィルタにおいても、残存している残渣、付着した凝集物の除去、特に、付着した凝集物を十分に除去することができる液晶表示装置用カラーフィルタの洗浄装置となる。
【００２３】
また、本発明は、上下一対の上ブラシロール及び下ブラシロールと、残渣、凝集物、及び洗浄液を払拭する、上下一対の上スポンジロール及び下スポンジロールとの間に、離脱した残渣、凝集物を流出除去させる洗浄液を供給する上下一対の上供給ノズル及び下供給ノズルを設けたので、残留している残渣、凝集物が更に十分に流出除去され、第二上スポンジロール及び第二下スポンジロールは、残渣、凝集物によって汚れることなく、払拭するロールとしての機能が常に保持された液晶表示装置用カラーフィルタの洗浄装置となる。
【００２４】
また、本発明による液晶表示装置用カラーフィルタの洗浄方法によれば、着色画素上、及びブラックマトリックス上に残存している残渣、付着した凝集物を、生産性よく、十分に除去することができる。
また、特に、付着した凝集物を十分に除去することができる。また、その表面上に突起を有するカラーフィルタにおいても、特に、付着した凝集物を十分に除去することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下に本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【００２６】
図１は、本発明による液晶表示装置用カラーフィルタの洗浄装置の一例の概念を示す断面図である。
図１に示すように、この洗浄装置は、洗浄液供給部（Ａ）、残渣離脱部（Ｂ）、残渣払拭部（Ｃ）で構成されている。カラーフィルタ（１０）を搬送するコロ・コンベア（２０）が、図中、左方の前工程である着色画素の形成装置（図示せず）から、右方の後工程である水洗装置（図示せず）へと、洗浄液供給部（Ａ）、残渣離脱部（Ｂ）、残渣払拭部（Ｃ）を貫いて設けられている。
【００２７】
カラーフィルタ（１０）は、白太矢印で示すように、左方の前工程である着色画素の形成装置から搬送され、コロ・コンベア（２０）で搬送されながら洗浄液供給部（Ａ）において、カラーフィルタの表裏面に洗浄液が供給、展開され、残渣離脱部（Ｂ）において、表裏面の残渣、凝集物が離脱され、残渣払拭部（Ｃ）において、離脱した残渣、凝集物、及び洗浄液が払拭され、右方の後工程である水洗装置へと搬送される。
【００２８】
洗浄液供給部（Ａ）は、ａ）カラーフィルタの表裏面に洗浄液を噴出して供給する、上下一対の上洗浄液供給ノズル（１ａ）及び下洗浄液供給ノズル（１ｂ）、ｂ）カラーフィルタを上下から挟んで摺接し、カラーフィルタの表裏面に洗浄液を展開する、上下一対の第一上スポンジロール（２ａ）及び第一下スポンジロール（２ｂ）、ｃ）第一上スポンジロール（２ａ）の上方から洗浄液を噴出して補給する第一上補給ノズル（３ａ）、及び第一下スポンジロール（２ｂ）の下方から洗浄液を噴出して補給する第一下補給ノズル（３ｂ）、で構成されている。
【００２９】
洗浄液供給ノズル、及びスポンジロールの数は、概ね、各々上下一対で十分である。洗浄液としては、界面活性剤に有機アルカリ、例えば、テトラメチルアンモニウムハイドレートを添加したものが用いられる。
上洗浄液供給ノズル（１ａ）及び下洗浄液供給ノズル（１ｂ）からの洗浄液の噴出圧力は、０．０１〜５．０ＭＰａ程度であり、０．０５〜１．５ＭＰａの範囲が好適に用いられる。
【００３０】
洗浄液が供給された直後に、補給ノズルから洗浄液が潤沢に供給された第一上スポンジロール（２ａ）及び第一下スポンジロール（２ｂ）によって、カラーフィルタの表裏面が摺接されるので、カラーフィルタの表裏面上で洗浄液が均一に供給された状態になり、カラーフィルタの洗浄は均一に行われるものとなる。
【００３１】
残渣離脱部（Ｂ）は、ａ）カラーフィルタを上下から挟んで摺接し、カラーフィルタの表裏面の残渣、凝集物を離脱させる、上下一対の第一上ブラシロール（４ａ）及び第一下ブラシロール（４ｂ）、ｂ）第一上ブラシロール（４ａ）の上方から洗浄液を噴出して補給する第二上補給ノズル（５ａ）、及び第一下ブラシロール（４ｂ）の下方から洗浄液を噴出して補給する第二下補給ノズル（５ｂ）、及びａ’）カラーフィルタを上下から挟んで摺接し、カラーフィルタの表裏面の残渣、凝集物を離脱させる、上下一対の第二上ブラシロール（６ａ）及び第二下ブラシロール（６ｂ）、ｂ’）第二上ブラシロール（６ａ）の上方から洗浄液を噴出して補給する第三上補給ノズル（７ａ）、及び第二下ブラシロール（６ｂ）の下方から洗浄液を噴出して補給する第三下補給ノズル（７ｂ）、で構成されている。
【００３２】
洗浄装置の一例として示す図１においては、上下一対のブラシロールの数は、二対であるが、上下一対のブラシロールの数は洗浄の難易によって適宜に設定されるものである。
上記、第一上ブラシロール（４ａ）及び第一下ブラシロール（４ｂ）、第二上ブラシロール（６ａ）及び第二下ブラシロール（６ｂ）には、補給ノズルから洗浄液が潤沢に供給されているので、カラーフィルタの表裏面から離脱した残渣、凝集物はブラシロールに滞留することは少ない。従って、残渣、凝集物を離脱させるブラシロールとしての機能は常に保持された状態になっている。
【００３３】
残渣払拭部（Ｃ）は、カラーフィルタを上下から挟んで摺接し、カラーフィルタの表裏面から離脱した残渣、凝集物、及び洗浄液を払拭する、上下一対の第二上スポンジロール（８ａ）及び第二下スポンジロール（８ｂ）で構成されている。スポンジロールの数は、概ね、上下一対で十分である。
残渣離脱部（Ｂ）のブラシロールには補給ノズルから洗浄液が潤沢に供給されているので、カラーフィルタの表裏面から離脱した残渣、凝集物は、略排出されるが、残留している残渣、凝集物を第二上スポンジロール（８ａ）及び第二下スポンジロール（８ｂ）によって、洗浄液と共に払拭する。
【００３４】
上記のように、本発明による洗浄装置を用いることにより、着色画素上、及びブラックマトリックス上に残存している残渣、付着した凝集物を十分に除去することができる。
また、前工程である着色画素の形成装置と洗浄装置は連結され、洗浄装置と後工程である水洗装置は連結されているので、洗浄作業の生産性は向上したものとなる。
【００３５】
また、請求項２に係わる本発明は、上下一対の上ブラシロール及び下ブラシロールが、直径２０ｍｍ〜４００ｍｍの芯状基体の表面に、径０．００１ｍｍ〜０．６ｍｍのブラシ毛が植毛され、該芯状基体の半径をａとし、半径ａに直立したブラシ毛の長さｃを加えた長さをｂとするとき、ａとｂの関係が１．０２≦（ｂ／ａ）≦２．０であることを特徴としている。
【００３６】
図２（ａ）は、請求項２に係わるブラシロールの一例を示す平面図である。また、図２（ｂ）は、図２（ａ）のＡ−Ａ’線での断面を拡大して示す断面図である。図２（ａ）に示すように、ブラシロールは、芯状基体（１１）の表面に、ブラシ毛（１２）が植毛されたものである。
【００３７】
また、芯状基体の半径を（ａ）とし、該半径（ａ）に直立したブラシ毛の長さ（ｃ）を加えた長さを（ｂ）とするとき、ｂ／ａの値は、１．０２≦（ｂ／ａ）≦２．０の関係にある。ｂ／ａは、特に、１．０５≦（ｂ／ａ）≦１．３の関係にあることが好ましい。
ブラシ毛（２）の材料は、例えば、ポリアミド樹脂、アクリル系樹脂などである。径は、０．００１ｍｍ〜０．６ｍｍのものである。
【００３８】
（ｂ／ａ）の値が２．０より大きいと、ブラシ毛が長すぎて着色画素上、及びブラックマトリックス上に残存している残渣、付着した凝集物の除去に支障をきたす。また、（ｂ／ａ）が１．０２より小さいと、ブラシ毛が短かすぎてカラーフィルタの表面に損傷をあたえることとなる。また、（ｂ／ａ）の値がが１．０２より小さいブラシ毛を有するブラシロールを製造することは困難である。
【００３９】
上記のように、芯状基体の半径（ａ）と半径（ａ）に直立したブラシ毛の長さを加えた長さ（ｂ）の関係を１．０２≦（ｂ／ａ）≦２．０に保ち、また、ブラシ毛の径を０．００１ｍｍ〜０．６ｍｍとしたブラシロールを洗浄に用いることによって、カラーフィルタの着色画素上、及びブラックマトリックス上に残存している残渣、付着した凝集物の除去、特に、付着した凝集物を十分に除去することができる。
【００４０】
また、前記樹脂ブラックマトリックス（５１）が形成されたカラーフィルタのように、
その表面上に突起（５３）を有するカラーフィルタにおいても、残存している残渣、付着した凝集物の除去、特に、付着した凝集物を十分に除去することができる。
また、ブラシ毛の径を０．００１ｍｍ〜０．６ｍｍに保ち、芯状基体の半径（ａ）と半径（ａ）に直立したブラシ毛の長さ（ｃ）を加えた長さ（ｂ）の関係を１．０２≦（ｂ／ａ）≦２．０としたブラシロールを洗浄に用いることによって、カラーフィルタの表面に損傷を与えることがなくなる。
【００４１】
また、請求項３に係わる本発明は、前記上下一対の上ブラシロール及び下ブラシロールと、残渣、凝集物、及び洗浄液を払拭する、上下一対の上スポンジロール及び下スポンジロールとの間に、離脱した残渣、凝集物を流出除去させる洗浄液を供給する上下一対の上供給ノズル及び下供給ノズルを設けたことを特徴とする洗浄装置であることを特徴としている。
【００４２】
図６は、請求項３に係わる、上下一対の上供給ノズル及び下供給ノズルを設けた洗浄装置の一例の部分を示す断面図である。
図６は、図１に示す洗浄装置の残渣払拭部（Ｃ）内に、上下一対の第二上スポンジロール（８ａ）及び第二下スポンジロール（８ｂ）に前置きして、洗浄液を供給する上下一対の上供給ノズル（９ａ）及び下供給ノズル（９ｂ）を設けた洗浄装置である。
【００４３】
前記のように、残渣離脱部（Ｂ）においてカラーフィルタの表裏面から離脱した残渣、凝集物は、略排出されるのであるが、上下一対の上供給ノズル（９ａ）及び下供給ノズル（９ｂ）を設け、洗浄液を供給することにより、残留している残渣、凝集物が、更に十分に流出除去される。
これにより、第二上スポンジロール（８ａ）及び第二下スポンジロール（８ｂ）は、残渣、凝集物によって汚れることがなくなり、払拭するロールとしての機能が常に保持されている状態になる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明による液晶表示装置用カラーフィルタの洗浄装置の一例の概念を示す断面図である。
【図２】（ａ）は、請求項２に係わるブラシロールの一例を示す平面図である。（ｂ）は、図２（ａ）のＡ−Ａ’線での断面を拡大して示す断面図である。
【図３】液晶表示装置用カラーフィルタの一例を模式的に示した平面図である。
【図４】図３に示すカラーフィルタのＸ−Ｘ’線における断面図である。
【図５】図３に示すカラーフィルタのＸ−Ｘ’線における断面図である。
【図６】請求項３に係わる、上下一対の上供給ノズル及び下供給ノズルを設けた洗浄装置の一例の部分を示す断面図である。
【符号の説明】
【００４５】
１０・・・カラーフィルタ
１１・・・芯状基体
１２・・・ブラシ毛
２０・・・コロ・コンベア
３０・・・ガラス基板
３１・・・ブラックマトリックス
３２、５２・・・着色画素
５１・・・樹脂ブラックマトリックス
５３・・・突起
Ｌ・・・芯状基体の長さ
ａ・・・芯状基体の半径
ｂ・・・半径に直立したブラシ毛の長さを加えた長さ
ｃ・・・直立したブラシ毛の長さ
Ａ・・・洗浄液供給部
Ｂ・・・残渣離脱部
Ｃ・・・残渣払拭部
１ａ・・・上洗浄液供給ノズル
１ｂ・・・下洗浄液供給ノズル
２ａ・・・第一上スポンジロール
２ｂ・・・第一下スポンジロール
３ａ・・・第一上補給ノズル
３ｂ・・・第一下補給ノズル
４ａ・・・第一上ブラシロール
４ｂ・・・第一下ブラシロール
５ａ・・・第二上補給ノズル
５ｂ・・・第二下補給ノズル
６ａ・・・第二上ブラシロール
６ｂ・・・第二下ブラシロール
７ａ・・・第三上補給ノズル
７ｂ・・・第三下補給ノズル
８ａ・・・第二上スポンジロール
８ｂ・・・第二下スポンジロール
９ａ・・・上供給ノズル
９ｂ・・・下供給ノズル
【図１】
2005249906.tif 000003
【図２】
2005249906.tif 000004
【図３】
2005249906.tif 000005
【図４】
2005249906.tif 000006
【図５】
2005249906.tif 000007
【図６】
2005249906.tif 000008