(57)【要約】【課題】  上定盤の円周方向で波打ち変形が生じることを解消し、上定盤の平坦度を高精度化すること。【解決手段】  下側研磨具１５を備えた下定盤１４の上に配置された複数のキャリア７の複数の保持孔にワーク６を保持し、各キャリア７に噛み合う太陽歯車９と、太陽歯車９の外方に配置され各キャリア７に噛み合う内歯歯車８とを相対回転させた状態で、下定盤１４とこれに対向した上側研磨具５を備えた上定盤４とを回転させることにより、ワーク６の両面を研磨加工する両面研磨装置であって、上定盤４を回転させる上定盤駆動軸１を上定盤４に直接連結したものである。【選択図】  図１
2005329513.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下側研磨具を備えた下定盤の上に配置された複数のキャリアの複数の保持孔にワークを保持し、それぞれの前記キャリアに噛み合う太陽歯車と、前記太陽歯車の外方に配置されてそれぞれ前記キャリアに噛み合う内歯歯車とを相対回転させた状態で、前記下定盤とこれに対向した上側研磨具を備えた上定盤とを回転させることにより、前記ワークの両面を研磨加工する両面研磨装置であって、前記上定盤を回転させる上定盤駆動軸を上定盤に直接連結したことを特徴とする両面研磨装置。
【請求項２】
請求項１記載の両面研磨装置において、上定盤の断面形状をコーン形状にしたことを特徴とする両面研磨装置。
【請求項３】
請求項１記載の両面研磨装置において、上定盤と上定盤駆動軸との連結をユニバーサルジョイントによる連結機構にしたことを特徴とする両面研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ディスク基板などのワークの両面を研磨加工する両面研磨装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数枚の磁気ディスク基板の両面を同時に研磨加工する両面研磨装置としては、図２に図示したように、上面に環状の下側研磨具（下側砥石あるいは下側研磨布）１５を設けた下定盤１４と、下面に環状の上側研磨具（上側砥石あるいは上側研磨布）５が下側研磨具１５に対向するようにして設けられた上定盤４とを有するものがある。ワーク６である磁気ディスク基板は、下側研磨具１５の上に配置される複数のキャリア７の保持孔に保持されるようになっており、それぞれのキャリア７は下定盤１４の回転中心部に回転自在に設けられた太陽歯車９に噛み合うと共に、下定盤１１の外側に設けられた内歯歯車８にも噛み合っている。
【０００３】
太陽歯車９を回転させて太陽歯車９の周りにキャリア７を自転させながら公転させた状態で上定盤４と下定盤１４を回転させると、キャリア７に保持されたワーク６は、上側研磨具５と下側研磨具１５とにより所定の押し付け力が加えられた状態で、両面が同時に研磨加工される。このような磁気ディスク基板６の両面研磨装置としては、例えば、特許第２５３５０８９号公報や特許３１３３３００号公報に記載されたものがある。
【０００４】
以上のように、キャリア７を用いてワーク６を上側研磨具５と下側研磨具１５に沿って自転させながら公転させるようにしたタイプの両面研磨装置では、上定盤４を回転駆動するために、下定盤１４の上方に上下動自在に配置されたコラムに垂直方向の回転中心を有する上定盤駆動軸１を設け、この上定盤駆動軸１にいわゆるユニバーサルジョイント方式（特許第３１３３３００号公報に開示されているような連結機構）の連結機構２で連結された駆動プレート３に上定盤４を固定するようにしている。
【０００５】
上定盤４と駆動プレート３との固定は、上定盤４の径方向の重心位置となるようにして上定盤４の円周方向に所定の間隔毎に上定盤４にねじ結合される複数本のボルトを用いている。これにより、ワーク６を介して下定盤１４に向けて上定盤４から押し付け力を加えるようにしても、上定盤４の撓み変形をなくすようにしている。この場合、駆動プレート３自体の撓み変形が上定盤４に伝達される場合があるため、これを改善するために、特許第３１３３３００号公報に開示されたような方法を採用している場合もある。
【０００６】
しかしながら、以上のように上定盤４と駆動プレート３とを結合した場合、上定盤４の円周方向の結合部で波打ち変形が生じる問題が発生している。また、上定盤４と駆動プレート３との接合面に研磨材が浸入し固着することにより、上定盤４が変形して平坦度が悪化するという問題も発生している。これらの問題は、従来は無視できる程度の問題であったが、磁気ディスクの記録密度が年々高密度化してきた昨今では無視できない重要な問題となり、改善することが急務となっている。
【特許文献１】特許第２５３５０８９号公報
【特許文献２】特許第３１３３３００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
解決しようとする問題点は、従来問題にならなかった上定盤の円周方向の結合部で波打ち変形が生じることと、上定盤の平坦度が悪化することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、前記課題を解決するために、下側研磨具を備えた下定盤の上に配置された複数のキャリアの複数の保持孔にワークを保持し、それぞれの前記キャリアに噛み合う太陽歯車と、前記太陽歯車の外方に配置されてそれぞれ前記キャリアに噛み合う内歯歯車とを相対回転させた状態で、前記下定盤とこれに対向した上側研磨具を備えた上定盤とを回転させることにより、前記ワークの両面を研磨加工する両面研磨装置であって、前記上定盤を回転させる上定盤駆動軸を上定盤に直接連結したことを特徴とするものである。
【０００９】
また、上定盤の断面形状をコーン形状にしたことを特徴とするものである。
【００１０】
また、上定盤と上定盤駆動軸との連結をユニバーサルジョイントによる連結機構にしたことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の両面研磨装置は、上定盤を回転させる上定盤駆動軸を上定盤に直接連結したので、上定盤の円周方向に波打ち変形が生じることがなく上定盤の平坦度を高精度にできる。また、駆動プレートを使用しないことで、上定盤と駆動プレートとの接合面に研磨材が浸入し固着することにより上定盤が変形して平坦度が悪化するという問題も解消できる。また、上定盤の断面形状をコーン形状にしたことで、上定盤が外周に向かって変形が大きくなることを抑制できる。また、上定盤と上定盤駆動軸との連結をユニバーサルジョイントによる連結機構にしたことで、上定盤駆動軸の回転力を円滑に上定盤に伝達することができる。更に、駆動プレートを廃止したことにより、上定盤と駆動プレートとの間に研磨材の固着物脱落によるスクラッチの発生を防止でき、また、通常アルミニウム材で構成されている駆動プレートは、使用研磨液が強酸の場合に腐食する問題が発生するが、駆動プレートを廃止することで腐食部品を排除することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明の両面研磨装置は、下側研磨具を備えた下定盤の上に配置された複数のキャリアの複数の保持孔にワークを保持し、それぞれの前記キャリアに噛み合う太陽歯車と、前記太陽歯車の外方に配置されてそれぞれ前記キャリアに噛み合う内歯歯車とを相対回転させた状態で、前記下定盤とこれに対向した上側研磨具を備えた上定盤とを回転させることにより、前記ワークの両面を研磨加工する両面研磨装置であって、前記上定盤を回転させる上定盤駆動軸を上定盤に直接連結したものである。このように構成したことにより、上定盤の円周方向に波打ち変形が生じることがなく上定盤の平坦度を高精度にでき、駆動プレートを使用しないことで、上定盤と駆動プレートとの接合面に研磨材が浸入し固着することにより上定盤が変形して平坦度が悪化するという問題も解消することができる。また、上定盤の断面形状をコーン形状にしたことで、上定盤が外周に向かって変形が大きくなることを抑制できる。また、上定盤と上定盤駆動軸との連結をユニバーサルジョイントによる連結機構にしたことで、上定盤駆動軸の回転力を円滑に上定盤に伝達することができる。
【実施例１】
【００１３】
図１は、本発明の一実施例の主要部概要構成を示す概念図である。
【００１４】
本発明の両面研磨装置は、水平面内において回転する下定盤１４を有し、この下定盤１４の上面には下側研磨具１５として研磨砥石や研磨布が環状に取り付けられている。下定盤１４の上方には、これに対向して回転する上定盤４が配置されており、この上定盤４の下面には下側研磨具１５に対応した環状の上側研磨具（研磨砥石や研磨布）５が取り付けられている。この上定盤４は、上下方向に移動して下定盤１４に対して接近離反移動自在となっている。
【００１５】
下定盤１４の回転中心部には、外形が下側研磨具１５の内径よりもやや小径の太陽歯車９が回転自在に設けられている。下側研磨具１５の外側には、この外形よりもやや大径の環状の内歯歯車８が下定盤１４を囲むように回転体に固定され、内歯歯車８は回転体によって回転駆動される。
【００１６】
太陽歯車９は、太陽歯車９の中心部の下方に連結された太陽歯車駆動軸１０により回転駆動され、下定盤１４は、下定盤１４の中心部の下方に連結され太陽歯車駆動軸１０が貫通する中空の下定盤駆動軸１１により回転駆動される。
【００１７】
両面研磨装置は、上定盤４を回転駆動するために、下定盤１４の上方に上下動自在に配置されたコラムに垂直方向の回転中心を有する上定盤駆動軸１を設け、この上定盤駆動軸１と上定盤４とは、いわゆるユニバーサルジョイント方式の連結機構２で連結している。
【００１８】
また、上定盤４の断面形状をコーン形状にし、つまり、上定盤４の上面形状を略円錐形状にすることで、上定盤４が外周に向かって変形が大きくなることを抑制している。
【００１９】
下定盤１４の上面に設けた下側研磨具１５の上面には、複数のキャリア７が配置され、各キャリア７の外周部に形成された外歯歯車部は、太陽歯車９と内歯歯車８とに噛み合っている。各キャリア７には、ワーク６を保持するための円形の保持孔が複数個形成されており、キャリア７の厚みは、ワーク６の厚みよりも薄く形成している。例えば、１０個の保持孔が形成されたキャリア７を１０個配置できるように構成した両面研磨装置では、同時に１００枚のワーク６を両面研磨することができる。
【００２０】
以上のように本発明の両面研磨装置は、上定盤４を回転させる上定盤駆動軸１を上定盤４に直接連結したので、上定盤４の円周方向に波打ち変形が生じることがなく上定盤４の平坦度を高精度にできる。また、駆動プレートを使用しないことで、上定盤４と駆動プレートとの接合面に研磨材が浸入し固着することにより上定盤４が変形して平坦度が悪化するという問題も解消できる。また、上定盤４の断面形状をコーン形状にしたことで、上定盤４が外周に向かって変形が大きくなることを抑制できる。また、上定盤４と上定盤駆動軸１との連結をユニバーサルジョイントによる連結機構２にしたことで、上定盤駆動軸１の回転力を円滑に上定盤４に伝達することができる。更に、駆動プレートを廃止したことにより、上定盤４と駆動プレートとの間に研磨材の固着物脱落によるスクラッチの発生を防止でき、また、通常アルミニウム材で構成されている駆動プレートは、使用研磨液が強酸の場合に腐食する問題が発生するが、駆動プレートを廃止することで腐食部品を排除することができる。
【００２１】
以上のような本発明の両面研磨装置を用いて、ワーク６である磁気ディスク基板を両面研磨加工することで、磁気ディスク基板の平坦度は従来達成することができなかったような高精度の平坦度を達成することができ、これにより磁気ディスクの更なる高記録密度化が達成できる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の一実施例の主要部概要構成を示す概念図である。
【図２】従来の両面研磨装置の主要部概要構成を示す概念図である。
【符号の説明】
【００２３】
１    上定盤駆動軸
２    連結機構
４    上定盤
５    上側研磨具
６    ワーク
７    キャリア
８    内歯歯車
９    太陽歯車
１４  下定盤
１５  下側研磨具
【図１】
2005329513.tif 000003
【図２】
2005329513.tif 000004