(57)【要約】【課題】本発明の課題は、被洗浄物に固定されたタグに記録された洗浄情報を用いることにより、洗浄作業の所要時間を短縮するとともに、被洗浄物の洗浄作業やその管理作業の省力化を図る超臨界または亜臨界流体を用いた洗浄システムを提供することにある。【解決手段】本発明は、超臨界または亜臨界流体を用いて被洗浄物を洗浄する洗浄槽１６と、被洗浄物に固定されたタグとの洗浄情報の送受信および演算処理を行う洗浄情報処理装置２８と、洗浄槽１６内の流体の温度、圧力を検知する温度計２１、圧力計２２と、洗浄槽１６内の流体を所定時間通流させるとともに、加熱器１４、コンプレッサ１３を制御する洗浄装置制御装置２６とを備えることを特徴とする。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被洗浄物に固定されたタグに記録された被洗浄物の洗浄情報に基づいて、被洗浄物に通流させる超臨界または亜臨界流体の状態を制御し、被洗浄物を洗浄することを特徴とする超臨界または亜臨界流体を用いた洗浄方法。
【請求項２】
被洗浄物の洗浄が完了した後に、最新の洗浄情報をタグに書き込むステップを有することを特徴とする請求項１に記載の超臨界または亜臨界流体を用いた洗浄方法。
【請求項３】
被洗浄物に固定されたタグには、洗浄情報として少なくとも、被洗浄物を特定する情報と、被洗浄物の洗浄条件を特定する情報と、被洗浄物の洗浄履歴情報とが記録されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の超臨界または亜臨界流体を用いた洗浄方法。
【請求項４】
超臨界または亜臨界流体を用いて被洗浄物を洗浄する洗浄槽と、
被洗浄物に固定されたタグに記録された被洗浄物の洗浄情報に基づいて、洗浄槽内の被洗浄物に通流させる超臨界または亜臨界流体の状態を制御する制御装置と
を備えることを特徴とする超臨界または亜臨界流体を用いた洗浄システム。
【請求項５】
超臨界または亜臨界流体を用いて被洗浄物を洗浄する洗浄槽と、
被洗浄物に固定されたタグとの洗浄情報の送受信および演算処理を行う洗浄情報処理装置と、
被洗浄物に通流させる流体の温度を調整する温度調整装置と、
被洗浄物に通流させる流体の圧力を調整する圧力調整装置と、
前記洗浄槽内の流体の温度や圧力等の状態を検知する状態検知装置と、
前記状態検知装置で検知された洗浄槽内の流体の状態、および、前記洗浄情報処理装置によって処理された被洗浄物の洗浄情報に基づいて、洗浄槽内の流体を所定時間通流させるとともに、洗浄槽内の流体が所定の速度で所定温度および／または所定圧力になるように、前記温度調整装置および／または前記圧力調整装置を制御する制御装置と
を備えることを特徴とする超臨界または亜臨界流体を用いた洗浄システム。
【請求項６】
被洗浄物に固定されたタグには、洗浄情報として少なくとも、被洗浄物を特定する情報と、被洗浄物の洗浄条件を特定する情報と、被洗浄物の洗浄履歴情報とが記録されていることを特徴とする請求項４又は５に記載の超臨界または亜臨界流体を用いた洗浄システム。
【請求項７】
制御装置は、順次実行される流体充填、昇圧・昇温、洗浄、減圧・減温の４つの制御モードを有し、この制御モードに応じて、洗浄槽内の被洗浄物に通流させる超臨界または亜臨界流体の温度および／または圧力を制御することを特徴とする請求項４、５又は６に記載の超臨界または亜臨界流体を用いた洗浄システム。
【請求項８】
被洗浄物がエアフィルタであることを特徴とする請求項４、５、６又は７に記載の超臨界または亜臨界流体を用いた洗浄システム。
【請求項９】
被洗浄物の重量を測定する重量測定装置をさらに備え、被洗浄物に固定されたタグに対し、洗浄情報としてさらに被洗浄物の洗浄前および洗浄後の重量を書き込むことを特徴とする請求項４、５、６、７又は８に記載の超臨界または亜臨界流体を用いた洗浄システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被洗浄物に固定されたタグに記録された被洗浄物の洗浄情報に基づき、超臨界または亜臨界流体を通流させて被洗浄物を洗浄する、超臨界または亜臨界流体を用いた洗浄方法および洗浄システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液体以外の洗浄溶媒で、特に微細な構造物の洗浄に優れた方法として、超臨界状態や亜臨界状態の流体を利用する洗浄方法がある。
【０００３】
この種の洗浄方法として、例えば、被洗浄物を超臨界流体に浸漬し汚染物質を流体中に溶解させて洗浄する方法、動力を使用せずに超臨界流体を循環通流（気化・液化状態での蒸気圧差による圧送、蒸気圧差を基にしたレベル差設定の重力落下搬送を利用）させて洗浄する方法（例えば、特許文献１〜３参照。）、超臨界流体循環経路の気体状態の場所に気体用フィルタを設けて汚染物が再付着するのを防ぐ方法（例えば、特許文献４参照。）、洗浄器内の超臨界流体を洗浄器外に急速に流出させること等により、汚染物質表面で強い攪乱や大量の気泡を発生させ、この流れやバブリング作用により汚染物質を迅速に強制剥離・強制溶解させて被洗浄物の洗浄を行う方法（例えば、特許文献５参照。）、ノズルから超臨界流体をジェット噴流で投射し、被洗浄物の汚れを剥離する方法（例えば、特許文献１、２参照。）などが提案されている。
【０００４】
図５に二酸化炭素を例とした状態線図を示す。臨界点を越えた温度・圧力の流体が超臨界流体であり、その臨界点近傍の状態が亜臨界流体である。
【０００５】
超臨界状態とはどんなに加圧を行っても液体にならない状態である。超臨界流体は、粘度、拡散係数、密度、溶解力が気体と液体の中間の値を持ち、その密度は液体に近く、その粘度は気体のような挙動を示すことから、浸透力と高拡散性に優れるという特徴を持つ。さらに高拡散性から物質移動の面でも優れている。また、超臨界流体は、わずかの圧力変化で大きな密度変化が得られるという特徴を有している。一般に物質の溶解度は密度と比例するので、超臨界流体は圧力変化により大きな溶解度差を得ることができ、洗浄溶媒として優れた利点を持つ。
【０００６】
また、超臨界流体を用いた洗浄は、従来からの湿式洗浄と比較し、微細な対象の洗浄効果に優れる、洗浄後の乾燥が不要、短時間の処理が可能、気化させることにより廃液が出ない、添加剤を加えることで溶解力を自由に制御できる、ランニングコストが安いなど、その利点は非常に大きい。
【０００７】
なお、このような超臨界流体は、分離抽出操作において古くから工業的に利用されている。原料物質から目的の物質を超臨界流体中に溶解させてから取り出し、超臨界流体を減圧気化させることにより目的成分を抽出する。このプロセスは原料を洗浄していることに非常に類似するが、抽出された成分が対象となる抽出操作は、分離された後の元の素材が重要となる洗浄操作と基本的に目的が異なる。また、超臨界による洗浄は、抽出操作とは異なり、被洗浄物が損傷しないための配慮が必要であり、さらに、一度取り除いた汚れが、再び被洗浄物に付着しないようにしなければ、完全な洗浄が行えないことに留意する必要がある。
【特許文献１】特開平１０−９４７６６号公報
【特許文献２】特開平１０−１６３１５２号公報
【特許文献３】特開２０００−１５３２４４号公報
【特許文献４】特開平７−２８４７３９号公報
【特許文献５】特開平８−２９０１２８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
超臨界または亜臨界流体を利用した洗浄では、超臨界または亜臨界状態への昇圧や、洗浄後の流体および被洗浄物の排出に時間がかかること、あるいは、密閉された洗浄槽内で処理を行うことなどの制約があり、所要時間の短縮が大きな課題となっている。
【０００９】
また、超臨界または亜臨界流体を利用した洗浄において、被洗浄物の洗浄条件（圧力・温度・洗浄時間など）は、非常に重要なパラメータである。なぜなら、こうした条件によって、被洗浄物の洗浄性能が大きく左右されるからである。
【００１０】
従来の洗浄システムでは、洗浄の際、洗浄槽内に収容する被洗浄物の種別が変わる度に、最良の洗浄性能が得られるように、前掲の洗浄条件をいちいち入力・設定しなければならなかった。この不便さを解消する方法として、例えば、あらかじめ被洗浄物の種別とその洗浄条件とを関連付けたデータベースを用意しておき、洗浄の際に入力・設定された被洗浄物を特定するコードをキー情報として、洗浄条件に関する情報をデータベースから検索・取得し、取得した洗浄条件に基づいて、洗浄槽内の被洗浄物を洗浄する方法が有効である。しかしながら、この方法には、被洗浄物の種別が多種類になるほど、被洗浄物に応じた洗浄条件の入力・設定作業やデータベースのメンテナンス作業に多大な手間と時間を要するという問題や、洗浄システムとは別にデータベース管理システムを構築することを余儀なくされるという問題がある。
【００１１】
さらに、洗浄後の履歴管理（例えば、洗浄日や洗浄回数など）が重要となる被洗浄物では、洗浄時の洗浄条件のみならず、洗浄後の管理情報も同時にデータベース化する必要があり、その作成作業に一層の手間と時間を要する上に、膨大な量のデータを管理し得るデータベースの整備を要するという問題がある。
【００１２】
他方、近年、無線通信技術を利用してＩＣチップに格納された製品の個別情報を読み取ることにより、製品の識別やトレーサビリティなどを行うシステム、いわゆるＲＦＩＤ（Radio Frequency Identification）システムが脚光を浴びている。
【００１３】
ＲＦＩＤシステムは、主に、ＲＦＩＤタグおよびＲＦＩＤリーダ（またはＲＦＩＤリーダ／ライタ）から構成される。ＲＦＩＤタグは、アンテナと、データを記憶するＩＣチップとを備え、ＲＦＩＤリーダは、アンテナ、データの送受信を行う送受信部、データの処理を行う演算部とを備えている。この仕組みにより、双方のアンテナ間で交わされる電磁波に伴う電磁誘導作用または電磁結合作用の結果として、非接触で環境の影響を受けないデータ送受信が実現できる。
【００１４】
ＲＦＩＤタグは、製品の任意の場所に取り付けることができ、不正な着脱を防止することも可能である。また、ＲＦＩＤシステムは、従来のバーコード情報を用いたシステムと異なり、大量の情報の書き込み・読み出しを繰り返して行うことができ、複数のＲＦＩＤタグの情報を一括して読み取ることも可能である。このような利点を活かし、ＲＦＩＤシステムは、種々の分野において、業務効率化に大きく寄与する技術として期待されている。
【００１５】
本発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、被洗浄物に固定されたタグに記録された洗浄情報を用いることにより、洗浄作業の所要時間を短縮するとともに、被洗浄物の洗浄作業やその管理作業の省力化を図る超臨界または亜臨界流体を用いた洗浄方法および洗浄システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記目的を達成するために本発明の超臨界または亜臨界流体を用いた洗浄方法は、被洗浄物に固定されたタグに記録された被洗浄物の洗浄情報に基づいて、被洗浄物に通流させる超臨界または亜臨界流体の状態を制御し、被洗浄物を洗浄することを特徴とする。
【００１７】
また、本発明の超臨界または亜臨界流体を用いた洗浄システムは、超臨界または亜臨界流体を用いて被洗浄物を洗浄する洗浄槽と、被洗浄物に固定されたタグに記録された被洗浄物の洗浄情報に基づいて、洗浄槽内の被洗浄物に通流させる超臨界または亜臨界流体の状態を制御する制御装置とを備えることを特徴とするものである。
【００１８】
また、本発明の超臨界または亜臨界流体を用いた洗浄システムは、超臨界または亜臨界流体を用いて被洗浄物を洗浄する洗浄槽と、被洗浄物に固定されたタグとの洗浄情報の送受信および演算処理を行う洗浄情報処理装置と、被洗浄物に通流させる流体の温度を調整する温度調整装置と、被洗浄物に通流させる流体の圧力を調整する圧力調整装置と、前記洗浄槽内の流体の温度や圧力等の状態を検知する状態検知装置と、前記状態検知装置で検知された洗浄槽内の流体の状態、および、前記洗浄情報処理装置によって処理された被洗浄物の洗浄情報に基づいて、洗浄槽内の流体を所定時間通流させるとともに、洗浄槽内の流体が所定の速度で所定温度および／または所定圧力になるように、前記温度調整装置および／または前記圧力調整装置を制御する制御装置とを備えることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１９】
本発明は、被洗浄物に固定されたタグに記録された洗浄情報を用いることにより、洗浄作業の所要時間を短縮するとともに、被洗浄物の洗浄作業やその管理作業の省力化を図る超臨界または亜臨界流体を用いた洗浄方法および洗浄システムを提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下図面を参照して本発明の実施の形態例を詳細に説明する。なお、本実施形態例において、被洗浄物としてＨＥＰＡフィルタ、被洗浄物に通流させる流体として超臨界二酸化炭素（または亜臨界二酸化炭素）を例に挙げて説明する。
【００２１】
図１に本発明の実施形態例に係る超臨界または亜臨界流体を用いた洗浄システムの基本構成例を示す。１１は二酸化炭素を供給するボンベ（二酸化炭素供給装置）、１２はシャットバルブ、１３はコンプレッサ（二酸化炭素の加圧送液装置）、１４は加熱器（加熱装置）、１５は冷却器（冷却装置）、１６は洗浄溶媒の導入部と排出部を持つ洗浄槽、１７は圧力制御弁（圧力調整装置）、１８は二酸化炭素中の汚染物を除去する分離フィルタ、１９は二酸化炭素を通流させる配管、２０は二酸化炭素を循環供給させるための管、２１は洗浄槽内の流体温度を検知する温度計、２２は洗浄槽内の流体圧力を検知する圧力計、２３は冷却器１５と分離フィルタ１８間の配管１９内の流体温度を検知する温度計、２４は冷却器１５と分離フィルタ１８間の配管１９内の流体圧力を検知する圧力計、２５はシャットバルブ１２と加熱器１４間の配管１９内の流体流量を検知する流量計、２６は洗浄装置制御装置（制御装置）、２７はフィルタ表面の歪みを検知する歪みセンサ、２８は洗浄情報処理装置、２９はＲＦＩＤリーダ／ライタを内蔵した秤（重量測定装置）である。図１において、洗浄装置制御装置２６に接続された点線は洗浄装置制御装置２６への入力を表し、洗浄装置制御装置２６に接続された実線は洗浄装置制御装置２６からの出力を表している。
【００２２】
なお、被洗浄物であるＨＥＰＡフィルタは、洗浄槽１６内に収納・固定される。加熱器１４および冷却器１５は、流体温度を調整する温度調整装置として機能し、コンプレッサ１３および圧力制御弁１７は、流体圧力を調整する圧力調整装置として機能する。
【００２３】
図２は、本発明の実施形態例に係る洗浄システムにおけるＨＥＰＡフィルタの洗浄プロセスを示すフローチャートである。以下にそのプロセスを詳述する。
【００２４】
（１）前処理
前処理における洗浄前動作について説明する。
【００２５】
まず、洗浄槽１６の操作盤上の準備ボタンを操作する（ステップＳ１１）と、秤２９によってＨＥＰＡフィルタの重量が測定されるとともに、秤２９に内蔵されたＲＦＩＤリーダ／ライタを介して、ＨＥＰＡフィルタのタグに記録された洗浄情報が読み取られる（ステップＳ１２）。読み取られた洗浄情報は、洗浄情報処理装置２８へ送信される。洗浄情報処理装置２８は、受信した洗浄情報を分析し（ステップＳ１３）、洗浄履歴情報が存在し、かつ、洗浄回数が規定回数に達していないＨＥＰＡフィルタについてのみ、洗浄が可能であると判断し、秤２９で測定された重量（ステップＳ１４）を洗浄前重量として、ＨＥＰＡフィルタのタグに書き込む（ステップＳ１５）。
【００２６】
洗浄回数が洗浄回数上限値に達している場合は、直ちに洗浄作業を終了し、ＨＥＰＡフィルタの廃棄を促すメッセージを洗浄槽１６の操作盤上の入出力装置に表示する（ステップＳ１６）。また、タグが取り付けられていない等の理由により、洗浄履歴情報が存在しない場合は、洗浄情報の入力を促すメッセージに従い、洗浄槽１６の操作盤上の入出力装置から洗浄情報を入力する（ステップＳ３７）。入力された洗浄情報は、洗浄情報処理装置２８へ送信される。
【００２７】
続いて、洗浄槽１６内にＨＥＰＡフィルタを導入する（ステップＳ１７）。
【００２８】
（２）流体充填プロセス
次に、ＨＥＰＡフィルタを保持した洗浄槽１６に対する二酸化炭素の供給方法について説明する。
【００２９】
開始ボタンをオンすると（ステップＳ１８）、制御装置２６は、まず、シャットバルブ１２を開放し（ステップＳ１９）、ボンベ１１からの液化二酸化炭素を配管１９に液体状態で導入する。加熱器１４の加熱スイッチをオンし（ステップＳ２０）、加熱器１４で配管１９に導入された液化二酸化炭素の温度を上昇させ、二酸化炭素を液体から気体の状態にする。加熱器１４で気体の状態にされた二酸化炭素をコンプレッサ１３を介して配管１９から洗浄槽１６に導入し、圧力制御弁１７を開放し、洗浄槽１６に保持されたフィルタの繊維の細部まで気体の二酸化炭素を充満させる（ステップＳ２１）。洗浄槽１６から圧力制御弁１７を介して排出される気体の二酸化炭素は配管１９から冷却器１５に送られ、冷却器１５は冷却スイッチがオンされる（ステップＳ２２）。冷却操作により気体の状態から液体の状態の二酸化炭素に戻し、冷却器１５で液体状態に戻された二酸化炭素は配管１９、分離フィルタ１８を介して配管１９から排出、または管２０から循環し再利用される。ここで、加熱器１４の加熱操作と冷却器１５の冷却操作は洗浄槽１６の温度計の実測値を参照しながら行われる。なお、二酸化炭素は、冷却器１５の冷却操作を行わずにそのまま排出しても良い。
【００３０】
（３）昇圧・昇温プロセス
次に、洗浄槽１６内の気体の超臨界状態への移行方法について説明する。
【００３１】
制御装置２６は、洗浄情報処理装置２７によって処理されたタグの洗浄情報、および、洗浄槽１６の流体の温度と圧力の実測値を比較・参照しながら、圧力制御弁１７を絞って洗浄槽１６内の圧力を上昇させ、二酸化炭素を気体の状態から超臨界状態に徐々に移行させるか、またはコンプレッサ１３で気体の状態の二酸化炭素を加圧し超臨界の状態に徐々に移行させて（ステップＳ２３）、洗浄槽１６の流体を超臨界状態にする（ステップＳ２５）。この場合、超臨界状態に至るまでに、洗浄槽１６内の温度や圧力などの制御量が、洗浄情報に含まれた設定値になるように、制御が実施される（ステップＳ２４）。
【００３２】
具体的には、洗浄槽１６内の圧力を０．１２ＭＰａ／ｍｉｎで徐々に臨界圧力以上、好ましくは１５〜２０ＭＰａまで上昇させて洗浄槽１６内部の二酸化炭素を超臨界の状態にする。温度は臨界温度以上、好ましくは４０〜６０度の状態になるように加熱器１４で随時調整する。洗浄槽１６内の流体温度は、圧力が１５〜２０ＭＰａに到達するまでに４０〜６０度になるように調整する。なお、超臨界の状態への移行時も洗浄槽１６からの排出流体は、冷却器１５で冷却後、液体の状態として排出しても良いし、または循環により再利用しても良い。また、冷却器１５で冷却せずにそのまま排出しても良い。
【００３３】
（４）洗浄プロセス
次に、洗浄時の動作について説明する。
【００３４】
制御装置２６は、加熱器１４の加熱スイッチのオンを維持し、かつ圧力制御弁１７を絞り洗浄槽１６内の圧力を上昇させるか、またはコンプレッサ１３で気体の状態の二酸化炭素を加圧し超臨界状態に移行させる状態（ステップＳ２６）を維持し、洗浄槽１６内に超臨界状態の二酸化炭素を通流させる（ステップＳ２８）。この場合、洗浄槽１６内への超臨界状態の二酸化炭素の通流時間が、洗浄情報に含まれた設定値になるように、制御が実施される（ステップＳ２７）。二酸化炭素の通流は、洗浄情報に含まれた設定時間（例えば、１〜２時間）が経過するまで実施される。洗浄槽１６に配管１９から導入される超臨界二酸化炭素は、ＨＥＰＡフィルタの汚染物質を強制剥離、強制溶解し、汚染物を下流側に洗い流し、配管１９から排出される。汚染物を含む超臨界の二酸化炭素は冷却器１５で減温されて液体の状態に移行し、分離フィルタ１８で汚染物を取り除かれた後、排出されるか、または流体を再び洗浄槽１６に循環供給させるように流体の供給路を切り替えて循環再利用される。二酸化炭素を循環再利用する場合、洗浄時の液体から超臨界への昇圧・昇温は、気体の状態から超臨界の状態へ移行させても良いし、圧力の高い状態を維持して加熱器１４において液体から超臨界の状態へ移行させても良い。実際の洗浄では、洗浄槽１６において圧力１５〜２０ＭＰａ、温度４０〜６０度の超臨界二酸化炭素を、１〜２時間程度通流させて洗浄する。洗浄時間は、汚れの程度や要求する洗浄度により任意に設定することができる。
【００３５】
なお、本プロセスにおいて、ＨＥＰＡフィルタの汚れが二酸化炭素に溶解度の高い汚れの場合は、浸漬させた後に通流させても良いし、汚れの程度によっては浸漬と通流を繰り返す洗浄方法を採用しても良い。
【００３６】
（５）減圧・減温プロセス
次に、洗浄後に洗浄槽１６を減圧・減温し、常温・常圧に戻す方法について説明する。
【００３７】
制御装置２６は、洗浄情報処理装置２８によって処理されたタグの洗浄情報、および、洗浄槽１６の流体の温度と圧力を参照しながら、圧力制御弁１７の開度またはコンプレッサ１３の回転数を調節し、同時に加熱器１４の出力を落とし（ステップＳ２９）、洗浄槽１６内の圧力を０．１２ＭＰａ／ｍｉｎで徐々に減圧し、二酸化炭素を超臨界の流体状態から気体の状態に移行させ、気体の状態を維持しながら温度を常温まで低下させる（ステップＳ３０）。洗浄槽１６内の流体温度は、圧力が常圧に到達するまでに常温になるように調整する。そして洗浄槽１６内が常温・常圧に移行したのを確認し、冷却器１５の冷却スイッチをオフする（ステップＳ３１）。
【００３８】
（６）後処理
後処理における洗浄後動作について説明する。
【００３９】
シャットバルブ１２が閉じた後（ステップＳ３２）、洗浄槽１６の操作盤上の終了ボタンを操作する（ステップＳ３３）と、洗浄槽１６からのＨＥＰＡフィルタの取り出しが可能になる。フィルタを取り出すと（ステップＳ３４）、秤２９によってＨＥＰＡフィルタの重量が測定される（ステップＳ３５）とともに、秤２９に内蔵されたＲＦＩＤリーダ／ライタを介して、ＨＥＰＡフィルタのタグへ洗浄後重量などの洗浄履歴が書き込まれる（ステップＳ３６）。
【００４０】
以上で、一連のＨＥＰＡフィルタ洗浄プロセスが終了する。
【００４１】
なお、前述の流体充填、昇圧・昇温、洗浄、減圧・減温の４つのプロセスは、所定の制御開始条件に達したら次のプロセスに自動的に移行するようにしても良い。この場合、制御装置２６には、流体充填、昇圧・昇温、洗浄、減圧・減温の４つの操作を実行するための制御モードが設けられ、制御装置２６のメモリに変更可能に設定・記憶される制御開始条件に基づいて、前述の各制御モードが順次実行される。
【００４２】
洗浄槽１６内における洗浄温度、洗浄圧力、温度変化速度、圧力変化速度、洗浄時間、超臨界流体の状態変化（液相・気相・超臨界相の移行経路）などの洗浄条件、あるいは、各制御モードの制御開始条件は、被洗浄物の材質や強度により適宜決定される。これらの洗浄条件に関する情報は、被洗浄物を特定する固有の識別番号とともに、被洗浄物に固定されたＲＦＩＤタグにあらかじめ記録される。ＲＦＩＤタグの取付け箇所は、セキュリティ上、容易に被洗浄物から取り外しができないところが望ましい。この観点から、フィルタろ材とフィルタフレームが分離できるＨＥＰＡフィルタの場合では、フィルタろ材に取り付けるか、フィルタろ材とフィルタフレームの両方に固定するのが好ましい。
【００４３】
図４に、ＲＦＩＤタグのＨＥＰＡフィルタへの固定方法を例示する。ＨＥＰＡフィルタは、ガラス繊維やポリプロピレン等の不織布を織り込んだろ材３１を、アルミまたは木製のフレーム材３２に接着固定したもので、空気等の流体を通流させることにより流体中の粒子等の不純物を捕集し取り除くことができる。微細な繊維で形成されたろ材は非常に強度が弱いため、空気通流時の圧力や振動で破損しないように、織り込まれた繊維と繊維の隙間がセパレータ３３で補強されている。３４はフレーム３２に設けられたＲＦＩＤタグであり、３５はろ材３１に設けられたＲＦＩＤタグである。２つのＲＦＩＤタグ３４，３５を設けるのは改ざんされるのを防止するためである。なお、通常のＲＦＩＤタグでは取付け箇所によってはデータの送受信が困難になる場合も考えられる。このような場合には、金属に取り付けた状態でも良好な通信が可能なタイプのＲＦＩＤタグを用いれば良い。
【００４４】
また、洗浄槽１６内の洗浄条件によっては、被洗浄物に固定されたＲＦＩＤタグが損傷を受けることも考えられる。このような場合に備え、被洗浄物に固定するタグとして、十分な耐水性や高圧・高温環境での耐久性を有するものを用いるか、もしくは、セキュリティ上の問題が生じるが、被洗浄物に着脱可能に取り付けられるものを用い洗浄時にのみ被洗浄物から取り外すようにすると良い。なお、「タグを被洗浄物に固定する」とは、被洗浄物からタグが取り外せないことを意味するものではなく、タグは被洗浄物に直接固定されていても良いし、介在物を介して間接的に被洗浄物に固定されていても良い。
【００４５】
図３は、ＲＦＩＤタグに記録される被洗浄物の洗浄情報のデータ構造（データ名称とデータ形式）を示す図である。本発明の洗浄システムで用いる洗浄情報には、主として、
［１］被洗浄物を特定する情報
［２］被洗浄物の洗浄条件を特定する情報
［３］被洗浄物の洗浄履歴情報
の三種類がある。製造元情報、型番、種別など、被洗浄物を一意に識別するための情報は［１］の情報に相当し、洗浄時の流体圧力、流体温度、圧力変化速度、温度変化速度、洗浄時間、流体流量など、被洗浄物を洗浄する際の制御量や操作量に関する情報は［２］の情報に相当する。また、再利用のために何度も繰り返して洗浄するような被洗浄物では、洗浄前後の性能変化を示す数値を履歴として記録しておくことで、その機能劣化状況を客観的に把握することが可能になる。洗浄日、洗浄前重量、洗浄後重量などは［３］の情報に相当する。履歴情報として記録するデータの規模は、被洗浄物の種別に応じて、適宜決定することができる。
【００４６】
以上、本発明の好適な実施形態例を説明したが、洗浄システムの実施態様は前述した例に限定されるものではない。例えば、被洗浄物としてＨＥＰＡフィルタに代わり、ＵＬＰＡフィルタやケミカルフィルタなどのエアフィルタを適用しても良い。エアフィルタは、空気中のダストやヒューム等のエアロゾルやアレルゲン、細菌、分子状の汚染物質を乾式で取り除く吸着材、あるいは、それら吸着材を一部に有する構成体であれば、その種類や構造を問わない。
【００４７】
また、本洗浄システムには流体圧力調整手段としてコンプレッサ１３が含まれているが、二酸化炭素の温度・圧力の状態によっては、コンプレッサ１３を使用せず、加熱器１４と圧力制御弁１７による流体制御も可能である。
【００４８】
また、前掲の流体充填プロセスと昇圧・昇温プロセスにおいて、気体状態の二酸化炭素を超臨界状態に移行させる方法を説明したが、液体状態の二酸化炭素を超臨界状態に直接移行させる方法を採用することも可能である。この場合、ボンベ１１からの液化二酸化炭素を液体状態のまま配管１９を介して洗浄槽１６に導入・充填した後、洗浄槽１６内を昇圧・昇温させれば良い。
【００４９】
なお、洗浄用流体として液化二酸化炭素を用いる場合には、被洗浄物によっては、前掲の昇圧・昇温プロセスの実行前に被洗浄物に対して液化二酸化炭素を浸漬し通流し、液体の粘性力を活かした洗浄を併用しても良く、あるいは、被洗浄物に液化二酸化炭素を通流するだけで洗浄を終了しても良い。特に後者の洗浄方式では、二酸化炭素を超臨界または亜臨界状態に移行させる必要がないため、流体を昇圧または減圧させるプロセスが不要となるメリットがある。
【００５０】
さらに、前掲の昇圧・昇温プロセスでは、必ずしも、昇圧制御および昇温制御をともに実行する必要はない。すなわち、先行プロセス（流体充填プロセス）において、流体温度が所望の温度に調整されている場合には、昇圧・昇温プロセスでの二酸化炭素の状態制御は、圧力調整装置（コンプレッサ１３または圧力制御弁１７）による昇圧制御のみで良く、また同様に、流体充填プロセスにおいて、流体圧力が所望の圧力に調整されている場合には、昇圧・昇温プロセスでの二酸化炭素の状態制御は、温度調整装置（加熱器１４）による昇温制御のみで良い。
【００５１】
なお、本発明は、上記実施形態例そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態例に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。例えば、実施形態例に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施形態例に亘る構成要素を適宜組み合せてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の実施形態例に係る洗浄システムを示す構成説明図である。
【図２】本発明の実施形態例に係る洗浄システムにおけるＨＥＰＡフィルタの洗浄プロセスを示すフローチャートである。
【図３】本発明の実施形態例に係るＲＦＩＤタグに記録される洗浄情報を示す説明図である。
【図４】本発明の実施形態例に係るＲＦＩＤタグを取付けたＨＥＰＡフィルタを示す斜視図である。
【図５】二酸化炭素の温度と圧力の関係を示す状態線図である。
【符号の説明】
【００５３】
１１…二酸化炭素を供給するボンベ（二酸化炭素供給装置）、１２…シャットバルブ、１３…コンプレッサ（二酸化炭素の加圧送液装置）、１４…加熱器（加熱装置）、１５…冷却器（冷却装置）、１６…洗浄槽、１７…圧力制御弁（圧力調整装置）、１８…分離フィルタ、１９…配管、２０…二酸化炭素を循環供給させるための管、２１…温度計、２２…圧力計、２３…温度計、２４…圧力計、２５…流量計、２６…洗浄装置制御装置（制御装置）、２７…歪みセンサ、２８…洗浄情報処理装置、２９…ＲＦＩＤリーダ／ライタを内蔵した秤（重量測定装置）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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