(57)【要約】【課題】  幅方向において制御性よく均一厚みの塗膜を形成する。【解決手段】  対向して配置された第１ブロック１０１と第２ブロック１０２との間に所定の隙間を有するスリット１０８が形成される。塗料溜まり１０５に供給された塗料は、スリット１０８を通過し、第１エッジ１１０と第２エッジ１１１との間のリップから走行する基材１１３上に塗布される。スリット１０８内には、外力により変形してスリット１０８の隙間を変化させる薄板１０７が配置されている。薄板１０７を変形させてスリット１０８内を通過する塗料の幅方向の流量分布を均一化することにより、幅方向に厚みが均一な塗膜１２１を形成できる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端に第１エッジを有する第１ブロックと、
一端に第２エッジを有する第２ブロックと、
互いに対向して配置された前記第１ブロックと前記第２ブロックとの間に形成された所定の隙間を有するスリットと、
前記スリットに連続して、前記第１ブロック及び／又は前記第２ブロックに形成された塗料溜まりと
を有し、前記塗料溜まりに供給された塗料が前記スリットを通過して前記第１エッジと前記第２エッジとの間のリップから吐出されるエクストルージョンダイであって、
前記スリット内に、外力により変形して前記スリットの隙間を変化させる薄板を更に有することを特徴とするエクストルージョンダイ。
【請求項２】
前記薄板の両端は変位しないように拘束されている請求項１に記載のエクストルージョンダイ。
【請求項３】
前記スリット内における塗料の流動方向と略平行な複数のリブが前記薄板の接液面とは反対側の面に設けられている請求項１に記載のエクストルージョンダイ。
【請求項４】
前記薄板を変形させる外力が、前記リブ間の前記薄板に作用する請求項３に記載のエクストルージョンダイ。
【請求項５】
前記リブの剛性が前記塗料の流動方向の下流側ほど小さい請求項３に記載のエクストルージョンダイ。
【請求項６】
前記外力が押力のみである請求項１に記載のエクストルージョンダイ。
【請求項７】
前記薄板は、その前記塗料の流動方向の下流側端又はその近傍において、前記薄板に前記外力を付与する前記第１エッジ又は前記第２エッジと接合されている請求項１に記載のエクストルージョンダイ。
【請求項８】
前記スリット内の前記塗料の幅方向における圧力分布を測定する複数の圧力センサを更に有する請求項１に記載のエクストルージョンダイ。
【請求項９】
前記塗料の幅方向における圧力分布が一定となるように前記薄板の変形が制御される請求項８に記載のエクストルージョンダイ。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれかに記載のエクストルージョンダイを用い、前記エクストルージョンダイの前記リップを相対的に移動する塗布対象物の被塗布面に対向させて、前記被塗布面に前記塗料を塗布する塗料塗布方法。
【請求項１１】
前記スリットに対して前記薄板は、前記塗布対象物の相対的移動方向の上流側に配置されている請求項１０に記載の塗料塗布方法。
【請求項１２】
前記塗布対象物に塗布された塗料の幅方向における厚み分布を測定し、前記厚み分布が一定となるように前記薄板を変形させる請求項１０に記載の塗料塗布方法。
【請求項１３】
請求項１０〜１２のいずれかに記載の塗料塗布方法を用いて製造されたセラミックグリーンシート。
【請求項１４】
請求項１０〜１２のいずれかに記載の塗料塗布方法を用いたセラミックグリーンシートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エクストルージョンダイ及びこれを用いた塗料塗布方法に関する。また、本発明は、このエクストルージョンダイを用いて製造されたセラミックグリーンシート及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
エクストルージョンダイを用いて連続走行する基材の表面に一定幅で走行方向に塗料を塗布するに際しては、塗料をエクストルージョンダイのスリット吐出口から幅方向に均一に吐出させるため、塗料の粘度特性を考慮した流動実験や流体解析等により、エクストルージョンダイの塗料溜まり形状やスリットの長さ及び隙間等が最適に決定される。
【０００３】
また、ダイのスリット先端の吐出口（以下、「リップ」と称する）付近にヒートボルト、差動ネジ、又は圧電アクチュエータ等を取り付けて、塗膜厚みの不均一をリップ形状を局部的に弾性変形させることにより解消する技術も知られている。例えば特許文献１には、エクストルージョンダイにおいて、塗料溜まりとスリットを設けたダイに、スリット間隔調整用ネジを取り付け、このネジを操作することにより、スリット間隔を調整するダイ構造が開示されている。この構造では、ダイの片側ブロックにスリット間隔縮小用ネジとスリット間隔拡大用ネジがそれぞれ取り付けられる。スリット間隔縮小用ネジは、そのネジ先端でダイを押すことによりスリット間隔を縮小する方向に調整する。また、スリット間隔拡大用ネジは、ダイのネジ孔にねじ込まれ、ダイを外側へ引っ張る力により、スリット間隔を拡大する方向に調整する。そして、スリット間隔縮小用ネジに設けた目盛りにより、スリットの調整量を数量的に認識しながら、スリット全長にわたってスリット間隔が均一に調整される。
【特許文献１】特開平１０−１５４６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記の従来の調整ネジによる方法では、操作力の作用点付近の構造が複雑になるため、バックラッシュ等の影響によりネジの送り量とリップの変形量との再現性が低下する。また、ダイ本体は、塗料溜まり内圧力による変形や取り付け時の歪みを防止するため、一般に高剛性に設計されている。そのため、調整ネジ方式はもちろん、それ以外の方式でも、ダイ本体を変形させてスリット間隔を調整する方式では、変形部分と高剛性部分とが明確な直線状の境界によって区別され、変形部分内での変形の自由度が制限される。また、変形部分の剛性を十分に低下させることができないため、変形量を大きくすることができず、十分な制御性を確保できない。大きな変形量を得るためには更に大きな変形操作力を与える必要があり、その反力に耐えるためは更に剛性を向上させる必要がある、といった悪循環に陥ってしまう。更に、このような高剛性のダイ本体を変形させるための高出力のアクチュエータは応答速度が遅く、システムとしても大きく、重く、高価となってしまう。
【０００５】
本発明は、上記の従来の技術が有する課題を解決し、基材の幅方向において塗料を均一厚みに塗布することができるエクストルージョンダイと、これを用いた塗料塗布方法、及びそのエクストルージョンダイを用いたセラミックグリーンシート及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のエクストルージョンダイは、一端に第１エッジを有する第１ブロックと、一端に第２エッジを有する第２ブロックと、互いに対向して配置された前記第１ブロックと前記第２ブロックとの間に形成された所定の隙間を有するスリットと、前記スリットに連続して、前記第１ブロック及び／又は前記第２ブロックに形成された塗料溜まりとを有し、前記塗料溜まりに供給された塗料が前記スリットを通過して前記第１エッジと前記第２エッジとの間のリップから吐出されるエクストルージョンダイであって、前記スリット内に、外力により変形して前記スリットの隙間を変化させる薄板を更に有することを特徴とする。
【０００７】
本発明の塗料塗布方法は、上記の本発明のエクストルージョンダイを用い、前記エクストルージョンダイの前記リップを相対的に移動する塗布対象物の被塗布面に対向させて、前記被塗布面に前記塗料を塗布することを特徴とする。
【０００８】
本発明のセラミックグリーンシートは、上記の本発明の塗料塗布方法を用いて製造されたことを特徴とする。
【０００９】
また、本発明のセラミックグリーンシートの製造方法は、上記の本発明の塗料塗布方法を用いて製造することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のエクストルージョンダイによれば、スリット内の薄板を外力により変形させてスリットの隙間を変化させることにより、幅方向において均一厚みで塗料を塗布することができる。しかも、この薄板は、低出力で応答性の良好なアクチュエータを用いて変形させることができる。
【００１１】
本発明の塗料塗布方法によれば、上記エクストルージョンダイを用いることにより、被塗布面上に幅方向に均一な厚みで塗膜を形成することができる。
【００１２】
また、本発明のセラミックグリーンシート及びその製造方法によれば、本発明の塗料塗布方法を用いるので、セラミック積層技術を利用して製造される電子部品のバラツキを安定化でき、品質を大幅に向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明の上記のエクストルージョンダイにおいて、前記薄板の両端は変位しないように拘束されていることが好ましい。これにより、薄板の一部にのみ外力が作用したときに、外力が作用していない部分も同様に変位してしまうのを防止できる。その結果、塗膜の幅方向における厚みの制御性が大幅に向上したエクストルージョンダイを実現できる。
【００１４】
また、本発明の上記のエクストルージョンダイにおいて、前記スリット内における塗料の流動方向と略平行な複数のリブが前記薄板の接液面とは反対側の面に設けられていることが好ましい。これにより、複数のリブにより薄板が幅方向において複数の領域に分割され、薄板を領域ごとに他の領域の影響を受けることなく独立して変形させることができるので、塗膜の幅方向における厚みの制御性が大幅に向上したエクストルージョンダイを実現できる。
【００１５】
この場合において、前記薄板を変形させる外力が、前記リブ間の前記薄板に作用することが好ましい。これにより、薄板をリブにより分割された領域ごとに変形させることができる。
【００１６】
また、前記リブの剛性が前記塗料の流動方向の下流側ほど小さいことが好ましい。これにより、リブを挟む領域間で薄板をなだらかに連続的に変化させることができる。この結果、急激な厚み変化がなく、表面がより平坦な塗膜を形成できるエクストルージョンダイを実現できる。
【００１７】
また、本発明の上記のエクストルージョンダイにおいて、前記外力が押力のみであることが好ましい。これにより、簡単な構成で幅方向に均一な厚みで塗膜を形成することができるエクストルージョンダイを実現できる。
【００１８】
また、本発明の上記のエクストルージョンダイにおいて、前記薄板は、その前記塗料の流動方向の下流側端又はその近傍において、前記薄板に前記外力を付与する前記第１エッジ又は前記第２エッジと接合されていることが好ましい。これにより、薄板の一部にのみ外力が作用したときに、外力が作用していない部分も同様に変位してしまうのを防止できる。また、薄板の変形プロファイルがなだらかに変化する自然な形になる。従って、塗膜の幅方向における厚みの制御性が向上し、且つ、幅方向における厚み変化が少なく、表面がより平坦な塗膜を形成できるエクストルージョンダイを実現できる。また、薄板に押力のみならず引っ張り力も作用させることができるので、塗膜の幅方向における厚みの制御性が大幅に向上したエクストルージョンダイを実現できる。
【００１９】
また、本発明の上記のエクストルージョンダイにおいて、前記スリット内の前記塗料の幅方向における圧力分布を測定する複数の圧力センサを更に有することが好ましい。これにより、圧力分布と吐出量分布とは相関関係を有するから、実際の塗膜厚み分布を測定しなくても幅方向の厚み分布を制御できる。
【００２０】
この場合において、前記塗料の幅方向における圧力分布が一定となるように前記薄板の変形が制御されることが好ましい。これにより、幅方向における塗膜厚みむらの少ないエクストルージョンダイを実現できる。
【００２１】
次に、本発明の塗料塗布方法は、上記の本発明のエクストルージョンダイを用い、前記エクストルージョンダイの前記リップを相対的に移動する塗布対象物の被塗布面に対向させて、前記被塗布面に前記塗料を塗布する。
【００２２】
ここで、前記スリットに対して前記薄板は、前記塗布対象物の相対的移動方向の上流側に配置されていることが好ましい。これにより、スリットに対して下流側となる、不動の第１エッジ又は第２エッジにより被塗布面上の塗膜の表面がレベリングされる。従って、経時的な厚みむらが少ない塗膜を形成できる。
【００２３】
また、前記塗布対象物に塗布された塗料の幅方向における厚み分布を測定し、前記厚み分布が一定となるように前記薄板を変形させることが好ましい。これにより、幅方向の厚みむらの少ない塗膜を安定的に形成することができる。
【００２４】
以下に図を用いて、本発明の実施の形態を説明する。
【００２５】
（実施の形態１）
本発明の実施の形態１におけるエクストルージョンダイについて、図１（Ａ）及び図１（Ｂ）を用いて説明する。図１（Ａ）は、本実施の形態１に係るエクストルージョンダイの正面図、図１（Ｂ）は、図１（Ａ）の１Ｂ−１Ｂ線に沿った矢視断面図である。
【００２６】
本実施の形態のエクストルージョンダイは、主に、上ブロック（第１ブロック）１０１、下ブロック（第２ブロック）１０２、左右のサイドブロック１０３，１０４より構成され、これらは各々十分な剛性と耐腐食性を確保するためにＳＵＳ系の厚肉の金属材料からなる。上ブロック１０１の一端には上エッジ（第１エッジ）１１０が形成され、下ブロック１０２の一端には下エッジ（第２エッジ）１１１が形成されている。上ブロック１０１と下ブロック１０２とは、スリット制御板１０７とスペーサ１０６とを挟んで一体化される。スペーサ１０６は、上下エッジ１１０，１１１とは反対側の一部の領域にのみ存在するので、スペーサ１０６に対して上下エッジ１１０，１１１側の領域には、スリット制御板１０７と下ブロック１０２とが所定の隙間を隔てて対向することによりスリット１０８が形成されている。下ブロック１０２にはスリット１０８に連続して塗料溜まり１０５が形成されている。下ブロック１０２のスリット１０８を形成する面は高精度に平滑加工されている。
【００２７】
上ブロック１０１とスペーサ１０６とに挟まれて片持ち支持された薄板状のスリット制御板１０７の自由端は、上エッジ１１０の先端にまで延びている。
【００２８】
上ブロック１０１の上エッジ１１０は、幅方向に６分割されて、相互に独立して変位可能な可動部１０９を構成している。上ブロック１０１の上面に、６つの可動部１０９に一対一に対応して６個のアクチュエータ１１２が設けられている。アクチュエータ１１２がそのロッド１１２ａを出し入れすることにより、ロッド１１２ａの先端が当接する可動部１０９は、ノッチ１１６を回動中心として変位する。
【００２９】
左右のサイドブロック１０３，１０４は、上ブロック１０１、スリット制御板１０７、スペーサ１０６、下ブロック１０２がこの順に積層一体化された構造物の両側面に密着して、上ブロック１０１と下ブロック１０２との間に充填された塗料が、左右の側面から漏れるのを防止する壁としての機能を果たす。
【００３０】
次に、図１のエクストルージョンダイの動きを説明する。
【００３１】
塗料１２０は右サイドブロック１０３又は左サイドブロック１０４に繋がれた配管（図示せず）を通して塗料溜まり１０５へ供給される。塗料溜まり１０５内が塗料１２０で満たされると、内圧が上昇し、スリット１０８を通り、スリット制御板１０７と下エッジ１１１との間から吐出する。即ち、スリット制御板１０７の先端と下エッジ１１１とがエクストルージョンダイのリップを構成する。吐出した塗料１２０はこのリップ近傍を上ブロック１０１側から下ブロック１０２側へ走行する基材１１３上に塗布され、塗膜１２１が形成される。塗膜１２１の表面は下エッジ１１１の端縁でレベリングされ平滑化される。しかし、塗膜１２１の基材１１３の幅方向における厚みはリップから吐出される塗料の幅方向における吐出量分布により決まる。
【００３２】
本実施の形態では、幅方向において塗膜１２１の厚みにバラツキが生じた場合、厚みの厚い部分に相当する可動部１０９をアクチュエータ１１２で押し下げる。すると、この可動部１０９先端がスリット制御板１０７を変形させ、この可動部１０９の位置でのスリット１０８の隙間（即ち、リップ間隔）が狭くなり、吐出量が抑えられ、その結果、塗膜厚みの幅方向の分布が均一化される。塗膜厚みに対して十分な制御性を確保するには、スリット制御板１０７の変形量を大きくすることが好ましく、そのためには、スリット制御板１０７の弾性変形を容易にし、且つ可動部１０９の変形量を大きくすることが好ましい。従って、スリット制御板１０７としては、ＳＵＳ系の材料からなり、厚みが１ｍｍ程度以下の板材が望ましい。また、可動部１０９を、薄肉のノッチ１１６を介して支持することにより、可動部１０９の変形量を大きくすることが好ましい。ノッチ１１６の部分での材料厚みは、耐久性等を考慮すると、２〜３ｍｍ程度が適当である。さらに、隣り合う可動部１０９の変位の独立制御性を確保するために、隣り合う可動部１０９はスリットを介して分割されている。可動部１０９間のスリットの加工法としてはワイヤ放電によるワイヤーカット工法が適している。ワイヤーカット工法によれば、可動部１０９間に約０．３〜０．５ｍのスリット（隙間）を形成できる。
【００３３】
従来の塗布装置では、高スラスト力を発生できるヒートボルトの様なアクチュエータを用いないとリップを十分に変位させることができなかった。これに対して、本実施の形態では、スリット制御板１０７や可動部１０９の剛性が小さいので、９８０Ｎ（１００ｋｇｆ）以下のスラスト力でも十分な変形を実現でき、その結果、応答速度は速いが低スラスト力のアクチュエータを利用できる。図１（Ａ）及び図１（Ｂ）に示したアクチュエータ１１２は圧電体の歪みを利用したものであるが、これに限定されず、金属の熱膨張差を利用したヒートボルトや、手動もしくはロボットで締め付けられる作動ネジでも良い。
【００３４】
ある可動部１０９がアクチュエータ１１２により変位させられると、これと隣り合う可動部１０９との間に段差が形成されるが、塗料の塗出量を決定する接液面を形成するのは、可動部１０９ではなく、スリット制御板１０７であるから、前記の段差や隣り合う可動部１０９間の隙間（スリット）はスリット制御板１０７により補間される。従って、幅方向において塗膜厚みが急激に変化したり、隣り合う可動部１０９の境界に対応する位置だけ厚くなったりすることがない。
【００３５】
以上のように、本実施の形態によれば、ダイナミックレンジの大きい高応答なスリット隙間制御型のエクストルージョンダイを実現できる。
【００３６】
（実施の形態２）
本発明の実施の形態２におけるエクストルージョンダイについて、図２（Ａ）及び図２（Ｂ）を用いて説明する。図２（Ａ）は、本実施の形態２に係るエクストルージョンダイの正面図、図２（Ｂ）は、図２（Ａ）の２Ｂ−２Ｂ線に沿った矢視断面図である。
【００３７】
本実施の形態のエクストルージョンダイは、実施の形態１のエクストルージョンダイと以下の点で相違する。図２（Ａ）に示すように、左右のサイドブロック１０３，１０４は、それぞれ上ブロック１０１の側面に密着する上サイドブロック１０３ａ，１０４ａと下ブロック１０２の側面に密着する下サイドブロック１０３ｂ，１０４ｂとに分割されている。スリット制御板１０７は、上ブロック１０１及び下ブロック１０２より大きな幅寸法を有し、スリット制御板１０７の幅方向の右側端部は右側の上下サイドブロック１０３ａ，１０３ｂで挟まれ、左側端部は左側の上下サイドブロック１０４ａ，１０４ｂで挟まれて固定されている。上記以外は実施の形態１と同様である。
【００３８】
次に、本実施の形態のエクストルージョンダイの動きについて説明する。
【００３９】
塗膜の幅方向における厚みの制御性の向上のためには、スリット制御板１０７が、可動部１０９によって押圧される部分（以下、「操作部」という）では大きく変位し、それ以外の部分（以下、「非操作部」という）では変位量ができるだけ小さいことが望ましい。
【００４０】
そこで、本実施の形態では、スリット制御板１０７の幅方向の両端を右側の上下サイドブロック１０３ａ，１０３ｂ及び左側の上下サイドブロック１０４ａ，１０４ｂで挟んで拘束している。これにより、スリット制御板１０７が、操作部における変位によって、非操作部においても同様に変位してしまう現象（スリット制御板１０７の全体的な倒れ込み）を防止できる。
【００４１】
このように、本実施の形態によれば、塗膜の幅方向における厚みの制御性が大幅に向上したエクストルージョンダイを実現できる。
【００４２】
（実施の形態３）
本発明の実施の形態３におけるエクストルージョンダイについて、図３（Ａ）及び図３（Ｂ）を用いて説明する。図３（Ａ）は、本実施の形態３に係るエクストルージョンダイの正面図、図３（Ｂ）は、図３（Ａ）の３Ｂ−３Ｂ線に沿った矢視断面図である。
【００４３】
前述の実施の形態２で述べたように、幅方向の制御性を確保するには、スリット制御板１０７が操作部（可動部１０９によって押圧される部分）では大きく変形し、非操作部では変形量ができるだけ小さいことが望ましい。そこで、本実施の形態では、スリット制御板１０７の操作部での変位が非操作部での変位に影響しないように、スリット制御板１０７の接液面とは反対側（上ブロック１０１側）に、棒状のリブ３０１がスリット制御板１０７と一体に設けられている。各リブ３０１の長手方向は、スリット１０８内における塗料の流動方向（図３（Ａ）において紙面と直交する方向）と略平行であり、その幅方向における取り付け位置は、相互に隣り合う可動部１０９間の境界と、スリット制御板１０７の両端である。リブ３０１の一端は上ブロック１０１とスペーサ１０６とに挟まれて片持ち支持され、その他端はスリット制御板１０７のリップ側先端にまで延びている。リブ３０１はスリット制御板１０７に比べて充分に大きな剛性を有するよう大きな断面積を有する。この結果、リブ３０１近傍でのスリット制御板１０７の変形は抑えられる。即ち、リブ３０１は、可動部１０９に対応するように、スリット制御板１０７を幅方向に複数の領域に分割する。また、各領域内において、可動部１０９の変位がスリット制御板１０７に伝達されやすいように、スリット制御板１０７が可動部１０９から受ける力の作用点３０５を、隣り合うリブ３０１の略中央の微小な領域に限定している。
【００４４】
このようなリブ３０１を設けることにより、ある可動部１０９が変位し、スリット制御板１０７のこれに対応する領域内の部分が変形しても、その変形はリブ３０１を介した隣の領域内のスリット制御板１０７の変形にほとんど影響を与えない。従って、スリット制御板１０７の各領域内での変形を、他の領域内での変形の影響を受けることなく制御できるので、塗膜の幅方向における厚みの制御性が大幅に向上したエクストルージョンダイを実現できる。
【００４５】
なお、図３（Ａ）及び図３（Ｂ）は、実施の形態１のエクストルージョンダイにリブ３０１を設けた例を示したが、実施の形態２のエクストルージョンダイにリブ３０１を設けることもでき、その場合には、スリット制御板１０７の両端は右側の上下サイドブロック１０３ａ，１０３ｂ及び左側の上下サイドブロック１０４ａ，１０４ｂにより拘束されるので、図３（Ａ）に示したスリット制御板１０７の両端のリブ３０１を省略できる。
【００４６】
（実施の形態４）
本発明の実施の形態４におけるエクストルージョンダイについて、図４（Ａ）及び図４（Ｂ）を用いて説明する。図４（Ａ）は、本実施の形態４に係るエクストルージョンダイの正面図、図４（Ｂ）は、図４（Ａ）の４Ｂ−４Ｂ線に沿った矢視断面図である。
【００４７】
本実施の形態のエクストルージョンダイは、実施の形態３のエクストルージョンダイと同様に、スリット制御板１０７にリブ３０１が設けられているが、図４（Ｂ）に示すように、リブ３０１の高さ寸法がスリット制御板１０７のリップ側先端に近づくにしたがって徐々に小さくなっている点で実施の形態３のエクストルージョンダイと相違する。
【００４８】
実施の形態３で説明したように、リブ３０１を設けることにより、幅方向の制御性は向上するが、幅方向においてリブ３０１で分割された各領域間の独立性が強すぎると、例えば、変形が与えられた領域と、これに隣接する変形してない領域との境界部分（即ち、リブ３０１近傍）において、スリット制御板１０７の変形プロファイルが不連続となり、歪を生じる。この歪が塗膜の厚みを幅方向において段差状に急激に変化させる場合がある。
【００４９】
本実施の形態では、リップ側先端側ほど、リブ３０１の縦寸法を徐々に低下させてその剛性を低下させているので、各領域の独立性が緩和され、リブ３０１を挟む領域間でスリット制御板１０７の変形プロファイルをなだらかに連続的に変化させることができる。この結果、急激な厚み変化がなく、表面がより平坦な塗膜を形成することができる。
【００５０】
なお、上記の例では、リップ側先端側ほどリブ３０１の高さ寸法を小さくしたが、リブ３０１の剛性を所望するように低下させることができれば、幅寸法を小さくすることもできる。
【００５１】
（実施の形態５）
本発明の実施の形態５におけるエクストルージョンダイについて、図５（Ａ）及び図５（Ｂ）を用いて説明する。図５（Ａ）は、本実施の形態５に係るエクストルージョンダイの正面図、図５（Ｂ）は、図５（Ａ）の５Ｂ−５Ｂ線に沿った矢視断面図である。
【００５２】
本実施の形態のエクストルージョンダイは、各可動部１０９の先端の中央部とスリット制御板１０７の先端とが接合部５０１にて接合されている点を除いて、実施の形態１のエクストルージョンダイと同じである。各可動部１０９とスリット制御板１０７とを接合することにより、ある可動部１０９によってスリット制御板１０７に与えられた外力は、その隣の非変位の可動部１０９によって支持される。従って、スリット制御板１０７が、操作部における変位によって、非操作部においても同様に変位してしまう現象（スリット制御板１０７の全体的な倒れ込み）を防止できる。また、非変位の可動部１０９が支える力は、変位している可動部１０９からの距離に応じて分配されるため、スリット制御板１０７の変形プロフィルはなだらかに変化する自然な形になる。従って、塗膜の幅方向における厚みの制御性が向上すると共に、幅方向における厚みの変化を少なくし、表面がより平坦な塗膜を形成することができる。
【００５３】
更に、各可動部１０９がスリット制御板１０７と接合されているので、スリット制御板１０７はその接合部５０１にて可動部１０９から押力のみならず引っ張り力をも受ける。従って、アクチュエータ１１２として可動部１０９に押力のみならず引っ張り力をも付与できるアクチュエータを用いて、各可動部１０９の位置を制御することにより、スリット制御板１０７の変形プロファイルの制御性が格段に向上し、その結果、塗膜の幅方向における厚みの制御性が大幅に向上したエクストルージョンダイを実現できる。
【００５４】
（実施の形態６）
本発明の実施の形態６におけるエクストルージョンダイについて、図６（Ａ）及び図６（Ｂ）を用いて説明する。図６（Ａ）は、本実施の形態６に係るエクストルージョンダイの正面図、図６（Ｂ）は、図６（Ａ）の６Ｂ−６Ｂ線に沿って矢印方向から見た組み合わせ断面図である。
【００５５】
本実施の形態のエクストルージョンダイは、実施の形態１のエクストルージョンダイに、可動部１０９に一対一に対応するように、下ブロック１０２のスリット１０８の壁面に圧力センサ６０１が設置されたものである。
【００５６】
塗料溜まり１０５中の塗料がスリット１０８を通過し吐出する原動力は塗料の圧力差である。幅方向において塗料の圧力分布を一定にすれば、塗料はスリット中を吐出口に向かって層流となって進むため、幅方向の吐出量分布を均一にできる。エクストルージョンダイのスリット１０８内の塗料のエネルギーの幅方向における分布を考えると、位置エネルギーの変化は無視でき、リップ端からの距離が同一ならば摩擦損失も同じなので、圧力エネルギーと運動エネルギーの和が一定と考えられる。従って、例えばリップを変形させ吐出口を狭めると、流速が低下し、その代わりに圧力が上昇する。逆に、幅方向で圧力が同一となるように、即ち全ての圧力センサ６０１の検出値が同一となるようにスリット制御板１０７を変形させると、幅方向において流速を一定にでき、吐出量も一定となる。
【００５７】
更に、各圧力センサ６０１の検出値の経時的な検出値が一定となるように、スリット制御板１０７を変形させると、基材１１３（図１（Ｂ）参照）の長手方向においても塗膜の厚みを一定にすることができる。
【００５８】
ここで、図６（Ａ）及び図６（Ｂ）における圧力センサ６０１は静圧が検出可能な歪みゲージ式の圧力センサであるが、これに限定されず、高絶縁型の圧電式圧力センサは準静圧も測定可能であり、本実施の形態で使用可能である。このような圧電型の高絶縁圧力センサとしてはスイスのキスラー社のものがある。キスラー社の水晶を用いた圧力センサは、圧電式ながらマイクロＨｚオーダーで圧力変化を検出可能である。
【００５９】
（実施の形態７）
本発明の実施の形態７におけるセラミックグリーンシートの製造装置について、図７を用いて説明する。巻き出しロール９００から巻き出された基材フィルム１１３は、バックロール９０１を通過後、第１乾燥室９０２および第２乾燥室９０３を通って、巻き取りロール９０４に巻き取られる。バックロール９０１近傍にはダイ９０５が設置されている。塗料タンク９１０内の塗料は、その下部に設置された送液ポンプ９１１により送液配管９１２を通してダイ９０５に供給される。
【００６０】
次に各部の機能を説明する。塗料タンク９１０内の塗料は送液ポンプ９１１により、一定流量でダイ９０５に送られる。送られた塗料はダイ９０５の先端のリップより吐出され、バックロール９０１で支持され走行する基材フィルム１１３上に塗布され、塗膜が形成される。形成された基材フィルム１１３上の塗膜は、第１乾燥室９０２および第２乾燥室９０３を通過する間に乾燥され、グリーンシート９０８となる。このグリーンシート９０８を用いて、積層セラミックコンデンサ等の電子部品を製造することができる。
【００６１】
この製造された電子部品の品質に重大な影響を与えるものに、グリーンシートの厚み均一性がある。この均一性は、塗料を基材フィルム１１３上に塗布する際の塗布精度で決まり、これはダイ９０５のリップからの塗料の幅方向における吐出分布の均一性と相関がある。
【００６２】
従って、ダイ９０５として実施の形態１〜５に示したエクストルージョンダイを使用することにより、幅方向の塗料の吐出量分布を均一化でき、このグリーンシートより製造される電子部品の品質を大幅に向上できる。例えば、基材１１３上の塗膜又はグリーンシート９０８の幅方向の厚み分布を測定し、その厚み分布が均一になる様に、エクストルージョンダイのアクチュエータ１１２を制御することにより、厚みの均一なグリーンシートを製造できる。
【００６３】
更に、実施の形態６のエクストルージョンダイを使用して、スリット１０８内の幅方向の圧力分布が均一化されるようにスリット制御板１０７の変形を常に制御しつつ塗料の塗布を行うことにより、幅方向に加えて、吐出量の経時的な変化をも補正できるため、厚みの均一性をより向上させることが可能になる。この場合においても、基材１１３上の塗膜又はグリーンシート９０８の幅方向の厚み分布を測定し、その測定値を考慮してエクストルージョンダイのアクチュエータ１１２を制御しても良い。
【産業上の利用可能性】
【００６４】
本発明のエクストルージョンダイ及びこれを用いた塗料塗布方法の利用分野は特に制限はなく、例えば、無機粉体、有機バインダ、及び溶媒等より構成される塗料を、基材上に均一に塗布する際に広く利用できる。特に、基材上にセラミックグリーンシートを製造する場合に適している。
【００６５】
また、本発明のセラミックグリーンシートの用途は特に限定されないが、その厚みむらが少ないことから、コンデンサや回路部品などの電子部品用途に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】図１（Ａ）は、本発明の実施の形態１に係る塗料塗方法に用いるエクストルージョンダイの正面図である。図１（Ｂ）は、図１（Ａ）の１Ｂ−１Ｂ線に沿った矢視断面図である。
【図２】図２（Ａ）は、本発明の実施の形態２に係る塗料塗方法に用いるエクストルージョンダイの正面図である。図２（Ｂ）は、図２（Ａ）の２Ｂ−２Ｂ線に沿った矢視断面図である。
【図３】図３（Ａ）は、本発明の実施の形態３に係る塗料塗方法に用いるエクストルージョンダイの正面図である。図３（Ｂ）は、図３（Ａ）の３Ｂ−３Ｂ線に沿った矢視断面図である。
【図４】図４（Ａ）は、本発明の実施の形態４に係る塗料塗方法に用いるエクストルージョンダイの正面図である。図４（Ｂ）は、図４（Ａ）の４Ｂ−４Ｂ線に沿った矢視断面図である。
【図５】図５（Ａ）は、本発明の実施の形態５に係る塗料塗方法に用いるエクストルージョンダイの正面図である。図５（Ｂ）は、図５（Ａ）の５Ｂ−５Ｂ線に沿った矢視断面図である。
【図６】図６（Ａ）は、本発明の実施の形態６に係る塗料塗方法に用いるエクストルージョンダイの正面図である。図６（Ｂ）は、図６（Ａ）の６Ｂ−６Ｂ線に沿って矢印方向から見た組み合わせ断面図である。
【図７】本発明の実施の形態７に係るグリーンシートの製造装置の概略構成図である。
【符号の説明】
【００６７】
１０１  上ブロック（第１ブロック）
１０２  下ブロック（第２ブロック）
１０３  右サイドブロック
１０４  左サイドブロック
１０３ａ，１０３ｂ  右側の上下サイドブロック
１０４ａ，１０４ｂ  左側の上下サイドブロック
１０５  塗料溜まり
１０６  スペーサ
１０７  スリット制御板
１０８  スリット
１０９  可動部
１１０  上エッジ（第１エッジ）
１１１  下エッジ（第２エッジ）
１１２  アクチュエータ
１１３  基材
１１６  ノッチ
１２０  塗料
１２１  塗膜
３０１  リブ
５０１  接合部
６０１  圧力センサ
９００  巻き出しロール
９０１  バックロール
９０２  第１乾燥室
９０３  第２乾燥室
９０４  巻き取りロール
９０５  ダイ（エクストルージョンダイ）
９０８  グリーンシート
９１０  塗料タンク
９１１  送液ポンプ
９１２  送液配管
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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