(57)【要約】【課題】駆動電極に電圧を印加していない状態で可動子が保持でき、小型化の可能な静電アクチュエータを提供すること。【解決手段】絶縁基板４上に複数の駆動電極２を配すると共にその上に絶縁体３を配した固定基板１と、上記固定基板１上に配置され、上記駆動電極２との間に生じる静電気力によって上記固定基板１に対し相対移動する可動子５と、上記駆動電極２への印加電圧を変化させる駆動制御手段４０と、非動作時の上記可動子５を保持する保持手段２０とを具備する静電アクチュエータにおいて、上記保持手段２０は、固定電極２３と、上記固定電極２３側にその一端が固定され、上記固定電極２３に対向して配置された導電性を有する薄板状部材２２とを備え、上記駆動制御手段４０からの出力電圧の変化に応じて生じる静電気力によって上記薄板状部材２２の自由端が上記可動子５に対し保持力を与える。【選択図】      図１
2005153110.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁基板上に複数の駆動電極を配すると共にその上に絶縁体を配した固定基板と、
前記固定基板上に配置され、前記駆動電極との間に生じる静電気力によって前記固定基板に対し相対移動する可動子と、
前記駆動電極への印加電圧を変化させる駆動制御手段と、
非動作時の前記可動子を保持する保持手段と、
を具備する静電アクチュエータにおいて、
前記保持手段は、固定電極と、前記固定電極側にその一端が固定され、前記固定電極に対向して配置された導電性を有する薄板状部材とを備え、前記駆動制御手段からの出力電圧の変化に応じて生じる静電気力によって前記薄板状部材の自由端が前記可動子に対し保持力を与えることを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項２】
前記保持手段は、前記固定電極と前記薄膜状部材とに電圧が印加されていない状態で、前記可動子に対し保持力を発生することを特徴とする請求項１に記載の静電アクチュエータ。
【請求項３】
前記可動子を前記固定基板とで挟むように配置された保護部材を更に具備し、
前記保持手段は、前記保護部材の前記可動子に対向する面に設置され、前記可動子を前記薄板状部材の自由端と前記固定基板とで挟むように保持することを特徴とする請求項１に記載の静電アクチュエータ。
【請求項４】
前記可動子を前記固定基板とで挟むように配置された保護部材を更に具備し、
前記保持手段は、前記固定基板の前記可動子に対向する面に設置され、前記可動子を、前記保護部材と前記薄板状部材の自由端とによって挟むように保持することを特徴とする請求項１に記載の静電アクチュエータ。
【請求項５】
前記保持手段の前記可動子に対する保持力の方向は、前記可動子の前記固定基板に対し相対移動する方向にほぼ直角であることを特徴とする請求項１に記載の静電アクチュエータ。
【請求項６】
前記保持手段が前記可動子の移動方向に複数配置されたことを特徴とする請求項１に記載の静電アクチュエータ。
【請求項７】
前記保持手段は、前記保護部材あるいは前記固定基板上に一体成形されていることを特徴とする請求項１に記載の静電アクチュエータ
【請求項８】
前記薄板状部材は、長さＬ、幅ｔ（Ｌ＞ｔ）であり、且つ、変位方向に対して垂直な面への投影形状がＬ×ｔ≦ａ×ｂ｛Ｌ＞（ａ，ｂ）＞ｔ｝となる辺ａ，ｂで囲まれた面積内に収まることを特徴とする請求項１に記載の静電アクチュエータ。
【請求項９】
前記辺の長さがａ＝ｂであることを特徴とする請求項８に記載の静電アクチュエータ。
【請求項１０】
前記薄板状部材は、長さＬ、幅ｔ（Ｌ＞ｔ）であり、且つ、変位方向に対して垂直な面への投影形状がＬ×ｔ≦２×π×ａ２（Ｌ＞ａ＞ｔ）となる半径ａで囲まれた面積内に収まることを特徴とする請求項１に記載の静電アクチュエータ。
【請求項１１】
前記薄板状部材の形状が馬蹄形状であることを特徴とする請求項８又は１０に記載の静電アクチュエータ。
【請求項１２】
前記駆動制御手段は、
駆動信号を生成する駆動制御回路と、
前記駆動制御回路からの前記駆動信号を増幅して前記駆動電極へ出力する第１の増幅器と、
前記駆動制御回路からの前記駆動信号を整流する整流回路と、
前記整流回路からの出力を増幅して前記保持手段へ出力する第２の増幅器と、
により構成されていることを特徴とする請求項１に記載の静電アクチュエータ。
【請求項１３】
前記駆動制御手段は、
駆動信号を生成する駆動制御回路と、
前記駆動制御回路からの前記駆動信号を増幅して前記駆動電極へ出力する第１の増幅器と、
正及び負の少なくとも一方の電圧を出力する直流電源と、
前記駆動制御回路からの前記駆動信号を整流する整流回路と、
前記整流回路からの出力により、前記駆動制御回路からの出力電圧の有無を判断するコンパレータと、
前記コンパレータからの出力により制御され、前記直流電源からの出力と前記整流回路からの出力とを選択的に前記保持手段へ出力するスイッチと、
によって構成されていることを特徴とする請求項１に記載の静電アクチュエータ。
【請求項１４】
前記駆動制御手段は、
駆動信号を生成する駆動制御回路と、
前記駆動制御回路からの前記駆動信号を増幅して前記駆動電極へ出力する第１の増幅器と、
前記駆動制御回路からの前記駆動信号を整流する整流回路と、
前記整流回路からの出力により、前記駆動制御回路からの出力電圧の有無を判断するコンパレータと、
前記コンパレータからの出力を増幅して前記保持手段へ出力する第２の増幅器と、
によって構成されていることを特徴とする請求項１に記載の静電アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静電アクチュエータに関し、特に、非動作時の可動子を保持する手段に関する。
【背景技術】
【０００２】
静電アクチュエータは、駆動電極に電圧を印加しないとき、固定基板上の可動子の位置が定まらない。このため、非印加時に可動子を保持するための機構が必要となる。
【０００３】
そのような非印加時の可動子を保持する保持機構を備えた静電アクチュエータは、例えば、特許文献１に提案されている。この特許文献１に開示されている保持機構は、図９に示すように、圧電素子２１が薄板状部材２２に貼付された構成となっており、その圧電素子２１に電圧を印加しない状態では可動子５を固定基板１に押付けて保持し、圧電素子２１に電圧を印加すると薄板状部材２２が変形して可動子５との間に隙間ができ、可動子５の移動を邪魔しない形態となる。この保持機構は、圧電素子２１に印加する電気系統を駆動電極（図示せず）に印加する電気系統と共有でき、駆動電極へ電圧を印加しないときは可動子５を固定基板１に保持し、駆動電極に印加すると同時に可動子５の保持が開放され、可動子５は問題なく固定基板上を移動することができる。
【特許文献１】特開平８‐８００６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献１に開示されているような保持手段２０は、圧電素子２１で薄板状部材２２を変形させる構造となっている。圧電素子の小型化には限界があるため、静電アクチュエータ全体を小型化することできない。
【０００５】
本発明は、上記の点に鑑みてなされたもので、駆動電極に電圧を印加していない状態で可動子が保持でき、小型化の可能な静電アクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の静電アクチュエータの一態様は、
絶縁基板上に複数の駆動電極を配すると共にその上に絶縁体を配した固定基板と、
上記固定基板上に配置され、上記駆動電極との間に生じる静電気力によって上記固定基板に対し相対移動する可動子と、
上記駆動電極への印加電圧を変化させる駆動制御手段と、
非動作時の上記可動子を保持する保持手段と、
を具備する静電アクチュエータにおいて、
上記保持手段は、固定電極と、上記固定電極側にその一端が固定され、上記固定電極に対向して配置された導電性を有する薄板状部材とを備え、上記駆動制御手段からの出力電圧の変化に応じて生じる静電気力によって上記薄板状部材の自由端が上記可動子に対し保持力を与えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、駆動電極に電圧を印加していない状態で可動子が保持でき、小型化の可能な静電アクチュエータを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面を参照して説明する。
【０００９】
［第１実施形態］  
図１（Ａ）は本発明の第１実施形態に係る静電アクチュエータの構成を示す図であり、図１（Ｂ）は保持手段２０の構成を示す図である。なお、図１（Ａ）では、内部構造を示すために、側板やスペーサ等の部材の図示を省略した側面図として示している（以下の他の実施形態の説明において使用する図においても同様）。
【００１０】
即ち、この静電アクチュエータは、絶縁基板４上に所定の間隔を設けて配置された複数の駆動電極２を有すると共にその上に絶縁体３を配した固定基板１と、該固定基板１上に配置された可動子５と、上記駆動電極２に電圧を印加する駆動制御手段４０とによって構成されている。係る構成の静電アクチュエータでは、駆動制御手段４０から駆動電極２に印加した電圧と可動子５が有している電荷とによって発生する静電気力で、可動子５を固定基板１に対し相対移動させることができるようになっている。
【００１１】
また、この静電アクチュエータは、可動子５を保護するための、固定基板１にスペーサ等（図示せず）で支持された保護部材３０を有している。そして、この保護部材３０の可動子５に対向する面に、駆動電極２への非印加（ＯＦＦ）時に上記可動子５を保持するための保持手段２０が設置されている。
【００１２】
この保持手段２０は、固定電極２３と、該固定電極２３と対向して固定電極２３側にその一端が設置され、他端は自由端とした導電性を有する薄板状部材２２とで構成されている。この薄板状部材２２は、該薄板状部材２２と固定電極２３に電圧を印加することで、静電気力により固定電極２３側に接近もしくは絶縁体２４を介して接触するようになっている。
【００１３】
従って、このような構成の保持手段２０では、上記駆動制御手段４０から上記駆動電極２への電圧印加（ＯＮ）時に、同様に上記駆動制御手段４０からこの薄板状部材２２及び固定電極２３への電圧印加も行うことにより、薄板状部材２２の自由端が固定電極２３側に接近もしくは絶縁体２４を介して接触するよう引き上げられるので、可動子５と固定基板１との相対移動の障害となることはない。そして、上記駆動制御手段４０から上記駆動電極２への電圧非印加（ＯＦＦ）時、つまり当該静電アクチュエータの非動作時には、薄板状部材２２及び固定電極２３への電圧印加もＯＦＦされることで、上記薄板状部材２２が元の状態に戻り、その自由端が可動子５に当接して、可動子５が移動しないように、その可動子５をその自由端と上記固定基板１とで挟むように保持することができる。
【００１４】
上述したように、本第１実施形態によれば、保持手段２０は、固定電極２３と薄板状部材２２とによる簡単な構成であるため、小型化が容易である。
【００１５】
なお、本実施形態では固定電極２３の上層に絶縁体２４を配置している構造としているが、これに限らず、薄板状部材２２が絶縁性膜により覆われているか、もしくは薄板状部材２２の固定電極２３と対向する面のみ絶縁膜で覆われているだけでも構わない。また、電圧を印加した際、固定電極２３と薄板状部材２２が接触しない状況であれば、絶縁体そのものを必要としない構造でも構わない。
【００１６】
［第２実施形態］  
図２は、本発明の第２実施形態に係る静電アクチュエータの構成を示す図である。
【００１７】
本実施形態は、図１（Ｂ）に示したような構成の保持手段２０を、上記第１実施形態のような保護部材３０側ではなく、固定基板１側に設置したものである。即ち、本実施形態においては、電圧を印加しない状態では、薄板状部材２２の自由端により可動子５を持ち上げ、可動子５を保護部材３０との間に挟み込むように保持するようにしている。
【００１８】
なお、この場合、保持手段２０は、電圧を印加した際に可動子５の移動の障害にならないように配置されており、例えば、絶縁体３に埋め込まれるように配置されている。
【００１９】
このように、保持手段２０を固定基板１に設置することにより、特に図示はしていないが、配線を固定基板１だけに集中でき、配線が簡略化できる。
【００２０】
なお、本実施形態では保持手段２０を固定基板１側のみに配置しているが、本発明はこれに限らず、上記第１実施形態との組み合わせ、即ち、保護部材３０と固定基板１との両方に保持手段２０を配置しても構わない。
【００２１】
［第３実施形態］  
保持手段２０の薄板状部材２２の自由端の変位方向は、図３（Ａ）に示すように、可動子５の移動方向に対してほぼ直角な方向であれば良い。
【００２２】
従って、図３（Ｂ）に示すように、断面コ字状の固定基板１を用い、該固定基板１の両内側面に保持手段２０を設置し、可動子５の側面を保持する構造にしても良い。
【００２３】
本実施形態のような構成であれば、静電アクチュエータの用途により可動子５に厚み（高さ）が求められる場合、可動子５自体は厚くしても、静電アクチュエータ自体の薄型化を図ることができる。また、本実施形態であれば、保護部材３０を使わずとも可動子５の保持が可能となる。
【００２４】
［第４実施形態］  
図４は、本発明の第４実施形態に係る静電アクチュエータの構成を示す図である。
【００２５】
本実施形態においては、保持手段２０を、保護部材３０に、可動子５の移動方向に複数、配列しているものである。
【００２６】
このように保持手段２０を複数配列することにより、可動子５の移動範囲内の複数の位置での保持が可能になる。
【００２７】
なお、本実施形態では保持手段２０を保護部材３０に設置しているが、保持手段２０が可動子５の移動方向にほぼ直角に変位する位置であれば、いかなる場所設置しても構わない。また、保持手段２０を、各保持手段２０がほぼ隣接するような間隔で配置すれば、可動子５を任意の位置で保持することができる。
【００２８】
［第５実施形態］  
上記保持手段２０の固定電極２３、薄板状部材２２等は、半導体プロセスにより成形することが可能である。従って、小型化はもちろんのこと、製作時における設置位置、角度等の取り付け精度に配慮する必要が無く、保持手段２０一つ一つに対する個体差も無くなる。
【００２９】
なお、半導体プロセスにより形成する際の薄板状部材２２の材料としては、金属ガラスが望ましい。
【００３０】
［第６実施形態］  
図５（Ａ）は、本発明の第６実施形態に係る静電アクチュエータの構成を示す図である。
【００３１】
本実施形態においては、保持手段２０の薄板状部材２２を馬蹄形状に構成しているものである。
【００３２】
即ち、薄板状部材２２の長さを長くすればするほど、薄板状部材２２の自由端の変位量を大きくすることができ、保護部材３０と可動子５のスペースが広く取れるので、保持手段２０の組付け精度を粗くしても差し支えなくなる。しかしながら、そのように薄板状部材２２の長さを長くした場合には、上記第４実施形態のように複数位置での保持を可能とするために薄板状部材２２を複数配置しようとしても、配置できる数が限られてしまうことになる。
【００３３】
これに対し、図５（Ｂ）に示すように、長さＬ、幅ｔ（Ｌ＞ｔ）の薄板状部材２２であっても、変位方向に対して垂直な面への投影形状がＬ×ｔ≦ａ×ｂ｛Ｌ＞（ａ，ｂ）＞ｔ｝となる辺ａ，ｂで囲まれた面積内に収まるように構成する、例えば馬蹄形状に構成することによって、薄板状部材２２の自由端の変位量が大きく取れると同時に、複数の保持手段２０を密に隣接して配置することが可能となる。
【００３４】
また、第１乃至第３実施形態のように、複数の位置に配置しない場合においても、このような馬蹄形状の薄板状部材２２とすることで変位量が多くなる分、保持力が高くなるので、それらの実施形態の構成においても、このような形状の薄板状部材２２は効果的である。
【００３５】
また、薄板状部材２２、図５（Ｃ）に示すように、上記辺の長さがａ＝ｂとなるようなＳ字形状に構成しても良い。
【００３６】
更には、変位方向に対して垂直な面への投影形状がＬ×ｔ≦２×π×ａ２（Ｌ＞ａ＞ｔ）となる半径ａで囲まれた面積内に収まるように、薄板状部材２２を構成しても良い。
【００３７】
［第７実施形態］  
図６（Ａ）は、本発明の第７実施形態に係る静電アクチュエータにおける駆動制御手段４０の構成を示す図である。
【００３８】
即ち、この駆動制御手段４０は、上記可動子５を走査するための多相の印加電圧パターンを出力する駆動制御回路４１と、該駆動制御回路４１からの出力電圧を増幅して上記駆動電極２へ出力する第１の増幅器４２と、上記駆動制御回路４１から出力された出力パターンを整流するための整流回路４３と、上記保持手段２０を駆動するために上記整流回路４３からの出力を増幅する第２の増幅器４４とにより構成されている。
【００３９】
図６（Ｂ）は、係る構成の駆動制御手段４０における各部の出力電圧波形の一例を示す図である。
【００４０】
即ち、駆動制御回路４１からの出力（ここでは正弦波Ａ）の１つを整流回路４３に入力し、直流出力にする。その出力信号は２系統（Ｂ，Ｃ）あるが、該整流回路４３内でＢを反転してＣを作り出している。これら整流回路４３の出力信号Ｂ，Ｃは、上記保持手段２０が駆動する電圧まで第２の増幅器４４で増幅されている。
【００４１】
係る構成によれば、駆動制御回路４１から０Ｖが出力されているときは、第２の増幅器４４からの出力も０Ｖであるため可動子５は停止しており、且つ、保持手段２０により保持されている。そして、駆動制御回路４１から電圧が印加されると、可動子５が駆動すると同時に保持手段２０も可動子５の保持を開放すべく動作する。即ち、駆動電極２への印加電圧を整流後、増幅して保持手段２０へ供給することにより、可動子５の動作とリンクして保持手段２０のＯＮ，ＯＦＦ制御を行うことができる。
【００４２】
なお、本実施形態においては、駆動制御回路４１の出力信号を正弦波としているが、パルス波形でも構わない。また、整流回路４３から２系統出力されているが、＋，−の何れか１系統の出力でも構わない。また、ここでは可動子５を３相で駆動している印加パターンであるがこれに限らない。
【００４３】
［第８実施形態］  
図７（Ａ）は、本発明の第８実施形態に係る静電アクチュエータにおける駆動制御手段４０の構成を示す図であり、図７（Ｂ）は出力波形と保持手段２０の動作テーブルを示している。
【００４４】
ここで、可動子５を駆動させるための構成要素と整流回路４３までは、上記第７実施形態のそれと同じ構成である。そして、本実施形態における駆動制御手段４０では、整流回路４３の後段に、その整流された電圧レベルを判断するためのコンパレータ４５を配置し、該コンパレータ４５の出力により、保持手段２０の前段に配置されたスイッチ４７で動作切り替えを行う。この場合、保持手段２０を動作させるための電圧は、外部直流電源４６を用いて得るようになっている。
【００４５】
このような構成によれば、保持手段２０の動作が必要となる電圧レベルになったならば可動子５を保持することになるため、例えば電源は切らないが可動子５をその場に固定しておきたい場合に、駆動電圧を極力押えることができ、次に可動子５を動作させる際の立ち上がりも早くなる。
【００４６】
勿論、図７（Ｂ）で設定する閾値は０Ｖとしても構わない。また、直流電源４６は±の２系統出力であるが、少なくともどちらか一方の出力だけでも構わない。
【００４７】
［第９実施形態］  
図８（Ａ）は、本発明の第９実施形態に係る静電アクチュエータにおける駆動制御手段４０の構成を示す図であり、図８（Ｂ）は出力波形と保持手段２０の動作テーブルを示している。
【００４８】
本実施形態における駆動制御手段４０の構成は、上記第８実施形態における直流電源４６を取り除いた例である。即ち、スイッチ４７のＯＮ，ＯＦＦ制御に用いていたコンパレータ４５の出力を、本実施形態では、第２の増幅器４４で増幅して保持手段２０に印加するものである。
【００４９】
このような構成としても、上記第８実施形態と同様、駆動電圧を整流しコンパレータ４５で電圧レベルを判断させて保持手段２０のＯＮ，ＯＦＦを行うので、非動作時においても省電力で可動子を保持しておくことができる。そして更に、コンパレータ４５の出力をそのまま保持手段２０のＯＮ，ＯＦＦ電圧に使用するので、外部の電源が不要である。
【００５０】
以上実施形態に基づいて本発明を説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形や応用が可能なことは勿論である。
【００５１】
例えば、第７乃至第９実施形態における整流回路４３とは、全波整流回路やピークホールド回路等、交流及びパルス状の波形を直流にできる手段であればいかなるものでも良い。
【００５２】
また、上記第１乃至第９実施形態において、保持手段２０に電圧を印加しない状態で可動子５に対して保持力を発生させていたが、保持手段２０に電圧を印加した状態で保持力を発生してもいっこうに構わない。
【００５３】
（付記）
前記の具体的実施形態から、以下のような構成の発明を抽出することができる。
【００５４】
（１）  絶縁基板上に複数の駆動電極を配すると共にその上に絶縁体を配した固定基板と、
上記固定基板上に配置され、上記駆動電極との間に生じる静電気力によって上記固定基板に対し相対移動する可動子と、
上記駆動電極への印加電圧を変化させる駆動制御手段と、
非動作時の上記可動子を保持する保持手段と、
を具備する静電アクチュエータにおいて、
上記保持手段は、固定電極と、上記固定電極側にその一端が固定され、上記固定電極に対向して配置された導電性を有する薄板状部材とを備え、上記駆動制御手段からの出力電圧の変化に応じて生じる静電気力によって上記薄板状部材の自由端が上記可動子に対し保持力を与えることを特徴とする静電アクチュエータ。
【００５５】
（対応する実施形態）
この（１）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、第１乃至第９実施形態が対応する。
【００５６】
（作用効果）
この（１）に記載の静電アクチュエータによれば、可動子の保持に静電気力の有無で変位する薄板状部材を用いているため、構成が簡単となり、保持手段の小型化に適しており、結果的に、静電アクチュエータ全体の小型化が可能である。そして、動作時には、薄板状部材が固定電極側に近接するため、可動子の走行には全く支障がない。
【００５７】
（２）  上記保持手段は、上記固定電極と上記薄膜状部材とに電圧が印加されていない状態で、上記可動子に対し保持力を発生することを特徴とする（１）に記載の静電アクチュエータ。
【００５８】
（対応する実施形態）
この（２）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、第１乃至第９実施形態が対応する。
【００５９】
（作用効果）
この（２）に記載の静電アクチュエータによれば、電圧を印加しない状態で可動子を保持できるため、電源を切った場合などの可動子保持が可能である。
【００６０】
（３）  上記可動子を上記固定基板とで挟むように配置された保護部材を更に具備し、
上記保持手段は、上記保護部材の上記可動子に対向する面に設置され、上記可動子を上記薄板状部材の自由端と上記固定基板とで挟むように保持することを特徴とする（１）に記載の静電アクチュエータ。
【００６１】
（対応する実施形態）
この（３）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、第１実施形態が対応する。
【００６２】
（作用効果）
この（３）に記載の静電アクチュエータによれば、保持手段を固定基板と対向した保護部材に設置することによって、薄板状部材と固定基板で挟むように可動子を保持できる。
【００６３】
（４）  上記可動子を上記固定基板とで挟むように配置された保護部材を更に具備し、
上記保持手段は、上記固定基板の上記可動子に対向する面に設置され、上記可動子を、上記保護部材と上記薄板状部材の自由端とによって挟むように保持することを特徴とする（１）に記載の静電アクチュエータ。
【００６４】
（対応する実施形態）
この（４）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、第２実施形態が対応する。
【００６５】
（作用効果）
この（４）に記載の静電アクチュエータによれば、保持手段を固定基板上に設置しているので、保護部材側に配線する必要が無いため構成が簡単となる。
【００６６】
（５）  上記保持手段の上記可動子に対する保持力の方向は、上記可動子の上記固定基板に対し相対移動する方向にほぼ直角であることを特徴とする（１）に記載の静電アクチュエータ。
【００６７】
（対応する実施形態）
この（５）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、第３実施形態が対応する。
【００６８】
（作用効果）
この（５）に記載の静電アクチュエータによれば、保持手段は可動子の移動方向に対してほぼ直角に変位すれば良いので、可動子が薄い場合には可動子上面を保持し、可動子に高さがある場合は可動子側面を保持する構造とすることで、確実に可動子を保持できる。
【００６９】
（６）  上記保持手段が上記可動子の移動方向に複数配置されたことを特徴とする（１）に記載の静電アクチュエータ。
【００７０】
（対応する実施形態）
この（６）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、第４実施形態が対応する。
【００７１】
（作用効果）
この（６）に記載の静電アクチュエータによれば、保持手段を複数配置することにより可動子をその移動範囲内の複数の位置で保持することが可能である。
【００７２】
（７）  上記保持手段は、上記保護部材あるいは上記固定基板上に一体成形されていることを特徴とする（１）に記載の静電アクチュエータ
（対応する実施形態）
この（７）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、第５実施形態が対応する。
【００７３】
（作用効果）
この（７）に記載の静電アクチュエータによれば、保持手段は構成が簡単で、例えば半導体プロセスで固定電極、薄板状部材の成形ができるため、小型化ができ、更に保持手段の設置角度等を気にする必要がない。
【００７４】
（８）  上記薄板状部材は、長さＬ、幅ｔ（Ｌ＞ｔ）であり、且つ、変位方向に対して垂直な面への投影形状がＬ×ｔ≦ａ×ｂ｛Ｌ＞（ａ，ｂ）＞ｔ｝となる辺ａ，ｂで囲まれた面積内に収まることを特徴とする（１）に記載の静電アクチュエータ。
【００７５】
（対応する実施形態）
この（８）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、第６実施形態が対応する。
【００７６】
（作用効果）
この（８）に記載の静電アクチュエータによれば、薄板状部材の固定されていない自由端の変位量が増し、従って、保護部材と可動子とのスペースをラフに取れ、また、スペースが狭い場合はより強い保持力が得られる。
【００７７】
（９）  上記辺の長さがａ＝ｂであることを特徴とする（８）に記載の静電アクチュエータ。
【００７８】
（対応する実施形態）
この（９）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、第６実施形態が対応する。
【００７９】
（作用効果）
この（９）に記載の静電アクチュエータによれば、薄板状部材の固定されていない自由端の変位量がより増し、従って、保護部材と可動子とのスペースをラフに取れ、また、スペースが狭い場合はより強い保持力が得られる。
【００８０】
（１０）  上記薄板状部材は、長さＬ、幅ｔ（Ｌ＞ｔ）であり、且つ、変位方向に対して垂直な面への投影形状がＬ×ｔ≦２×π×ａ２（Ｌ＞ａ＞ｔ）となる半径ａで囲まれた面積内に収まることを特徴とする（１）に記載の静電アクチュエータ。
【００８１】
（対応する実施形態）
この（１０）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、第６実施形態が対応する。
【００８２】
（作用効果）
この（１０）に記載の静電アクチュエータによれば、薄板状部材の固定されていない自由端の変位量が増し、従って、保護部材と可動子とのスペースをラフに取れ、また、スペースが狭い場合はより強い保持力が得られる。
【００８３】
（１１）  上記薄板状部材の形状が馬蹄形状であることを特徴とする（８）又は（１０）に記載の静電アクチュエータ。
【００８４】
（対応する実施形態）
この（１１）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、第６実施形態が対応する。
【００８５】
（作用効果）
この（１１）に記載の静電アクチュエータによれば、薄板状部材を馬蹄形にすることによって、固定されていない自由端の変位量が増し、従って、保護部材と可動子とのスペースをラフに取れ、また、スペースが狭い場合はより強い保持力が得られる。
【００８６】
（１２）  上記駆動制御手段は、
駆動信号を生成する駆動制御回路と、
上記駆動制御回路からの上記駆動信号を増幅して上記駆動電極へ出力する第１の増幅器と、
上記駆動制御回路からの上記駆動信号を整流する整流回路と、
上記整流回路からの出力を増幅して上記保持手段へ出力する第２の増幅器と、
により構成されていることを特徴とする（１）に記載の静電アクチュエータ。
【００８７】
（対応する実施形態）
この（１２）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、第７実施形態が対応する。
【００８８】
（作用効果）
この（１２）に記載の静電アクチュエータによれば、駆動電極への印加電圧を整流後、増幅して保持手段へ供給することにより、可動子の駆動とリンクして保持手段のＯＮ、ＯＦＦ制御を行うことができる。
【００８９】
（１３）  上記駆動制御手段は、
駆動信号を生成する駆動制御回路と、
上記駆動制御回路からの上記駆動信号を増幅して上記駆動電極へ出力する第１の増幅器と、
正及び負の少なくとも一方の電圧を出力する直流電源と、
上記駆動制御回路からの上記駆動信号を整流する整流回路と、
上記整流回路からの出力により、上記駆動制御回路からの出力電圧の有無を判断するコンパレータと、
上記コンパレータからの出力により制御され、上記直流電源からの出力と上記整流回路からの出力とを選択的に上記保持手段へ出力するスイッチと、
によって構成されていることを特徴とする（１）に記載の静電アクチュエータ。
【００９０】
（対応する実施形態）
この（１３）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、第８実施形態が対応する。
【００９１】
（作用効果）
この（１３）に記載の静電アクチュエータによれば、駆動電圧を整流しコンパレータで駆動電圧の電圧レベルを判断させて保持手段のＯＮ，ＯＦＦを行えば、電源を切らず省電力で停止させておくことができ、移動させるときのウォームアップ等が必要なくなる。
【００９２】
（１４）  上記駆動制御手段は、
駆動信号を生成する駆動制御回路と、
上記駆動制御回路からの上記駆動信号を増幅して上記駆動電極へ出力する第１の増幅器と、
上記駆動制御回路からの上記駆動信号を整流する整流回路と、
上記整流回路からの出力により、上記駆動制御回路からの出力電圧の有無を判断するコンパレータと、
上記コンパレータからの出力を増幅して上記保持手段へ出力する第２の増幅器と、
によって構成されていることを特徴とする（１）に記載の静電アクチュエータ。
【００９３】
（対応する実施形態）
この（１４）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、第９実施形態が対応する。
【００９４】
（作用効果）
この（１４）に記載の静電アクチュエータによれば、駆動電圧を整流しコンパレータで電圧レベルを判断させて保持手段のＯＮ，ＯＦＦを行えば、電源を切らず省電力で停止させておくことができ、且つ、コンパレータの出力をそのまま保持手段のＯＮ，ＯＦＦ電圧に使用するので外部の電源が必要にならない。
【図面の簡単な説明】
【００９５】
【図１】（Ａ）は本発明の第１実施形態に係る静電アクチュエータの構成を示す図であり、（Ｂ）は保持手段の構成を示す図である。
【図２】本発明の第２実施形態に係る静電アクチュエータの構成を示す図である。
【図３】（Ａ）は保持手段の薄板状部材の自由端の変位方向を説明するための図であり、（Ｂ）は本発明の第３実施形態に係る静電アクチュエータの構成を示す図である。
【図４】本発明の第４実施形態に係る静電アクチュエータの構成を示す図である。
【図５】（Ａ）は本発明の第６実施形態に係る静電アクチュエータの構成を示す図、（Ｂ）は長さＬ、幅ｔの薄板状部材を変位方向に対して垂直な面への投影形状がＬ×ｔ≦ａ×ｂ｛Ｌ＞（ａ，ｂ）＞ｔ｝となる辺ａ，ｂで囲まれた面積内に収まるように構成する場合の薄板状部材の形状を説明するための図であり、（Ｃ）は辺の長さがａ＝ｂとなるようように構成する場合の薄板状部材の形状を説明するための図である。
【図６】（Ａ）は本発明の第７実施形態に係る静電アクチュエータにおける駆動制御手段の構成を示す図であり、（Ｂ）は駆動制御手段における各部の出力電圧波形の一例を示す図である。
【図７】（Ａ）は本発明の第８実施形態に係る静電アクチュエータにおける駆動制御手段の構成を示す図であり、（Ｂ）は出力波形と保持手段の動作テーブルを示す図である。
【図８】（Ａ）は本発明の第９実施形態に係る静電アクチュエータにおける駆動制御手段の構成を示す図であり、（Ｂ）は出力波形と保持手段の動作テーブルを示す図である。
【図９】従来の静電アクチュエータにおける保持機構を示す図である。
【符号の説明】
【００９６】
１…固定基板、  ２…駆動電極、  ３…絶縁体、  ４…絶縁基板、  ５…可動子、  ２０…保持手段、  ２１…圧電素子、  ２２…薄板状部材、  ２３…固定電極、  ２４…絶縁体、  ３０…保護部材、  ４０…駆動制御手段、  ４１…駆動制御回路、  ４２…第１の増幅器、  ４３…整流回路、  ４４…第２の増幅器、  ４５…コンパレータ、  ４６…直流電源、  ４７…スイッチ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2005153110.tif 000009
【図８】
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【図９】
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