(57)【要約】【課題】  気泡が発生しにくく、効率よく良好な塗膜形成が可能な樹脂分散液の塗布方法及び塗布装置を提供すること。また、上記塗布方法を利用した定着ベルトの製造方法を提供すること。【解決手段】  基体１０（被塗布物）を密閉容器１２内に配置した後、この密閉容器内を減圧或いは真空発生装置２２により減圧状態或いは真空状態にして、樹脂分散液２６を供給装置２８から密閉容器１２内に供給する。そして、大気開放弁２４を開放すると共に、排出装置により樹脂分散液２６を密閉容器から排出して、基体１０に樹脂分散液を塗布する。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂分散液を被塗布物に塗布するための樹脂分散液の塗布装置であって、
前記被塗布物を配置するための密閉容器と、
前記被塗布物が配置された前記密閉容器内を、減圧状態或いは真空状態にするための減圧・真空発生手段と、
前記樹脂分散液を前記密閉容器内に供給する供給手段と、
前記樹脂分散液を前記密閉容器から排出する排出手段と、
を備えることを特徴とする樹脂分散液の塗布装置。
【請求項２】
樹脂分散液を被塗布物に塗布する樹脂分散液の塗布方法であって、
前記被塗布物を、密閉容器内に配置する配置工程と、
前記被塗布物が配置された前記密閉容器内を、減圧状態或いは真空状態にする減圧・真空工程と、
前記樹脂分散液を、前記被塗布物の少なくとも一部が前記樹脂分散液で浸るように前記密閉容器内に供給する供給工程と、
前記樹脂分散液を前記密閉容器から排出する排出工程と、
を有することを特徴とする樹脂分散液の塗布方法。
【請求項３】
ポリイミド樹脂層又はポリイミド樹脂前駆体層が外周面に形成された基体を、密閉容器内に配置する配置工程と、
前記基体が配置された前記密閉容器内を、減圧状態或いは真空状態にする減圧・真空工程と、
フッ素樹脂が分散されたフッ素樹脂分散液を、前記基体の外周面が前記フッ素樹脂分散液で浸るように前記密閉容器内に供給する供給工程と、
前記樹脂分散液を前記密閉容器から排出する排出工程と、
前記樹脂分散液が塗布された前記基体を前記密閉容器から取り出して、前記基体を乾燥・加熱処理を行い、前記基体の外周面にポリイミド樹脂層及びフッ素樹脂層の積層体を形成する積層体形成工程と、
前記基体と前記積層体とを分離する工程と、
を有することを特徴とする定着ベルトの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、樹脂分散液を被塗布物に塗布する樹脂分散液の塗布方法及び塗布装置に関する。また、複写機やレーザープリンタ等の電子写真装置の加熱定着体等として使用される定着ベルトの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子写真装置では、トナー像を記録用紙上に加熱定着するための定着体として、金属やプラスチック、又はゴム製の回転体が使用されるが、装置の小型化や省電力化のために、例えば、回転体として、変形が可能な、肉厚が薄い樹脂製ベルトが用いられることがある（例えば、特許文献１及び２参照）。この場合、ベルトに継ぎ目があると、継ぎ目に起因する欠陥が出力画像に生じるので、継ぎ目のない無端ベルトが好ましい。その材料としては、強度や寸法安定性、耐熱性等の面でポリイミド樹脂が好ましい。
【０００３】
ポリイミド樹脂無端ベルトを定着体として使用するには、表面に付着するトナーの剥離性のため、ベルト表面に非粘着性の層を設けることが好ましい。その層の材料としては、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）等のフッ素樹脂が好ましい。
【０００４】
非粘着性の層には、耐摩耗性や静電オフセットの向上、トナーの付着防止用オイルとの親和性等のために、カーボン粉体や、酸化チタン、硫酸バリウム等の無機化合物粉体等、フッ素樹脂以外の材料を含んでもよい。
【０００５】
定着ベルトとしてのポリイミド樹脂層の厚さは、２５〜２００μｍの範囲が好ましく、非粘着層の厚さは５〜５０μｍの範囲が好ましい。
【０００６】
ところで、ポリイミド樹脂無端ベルトの製造方法として、基体の表面に、浸漬塗布法によってポリイミド前駆体溶液を塗布して乾燥し、加熱することにより、基体外面上にポリイミド樹脂皮膜を形成する方法もある。ポリイミド前駆体溶液が高粘度のために、膜厚が厚くなりすぎる場合には、基体の外径よりも大きな孔を設けたフロートをポリイミド前駆体溶液に浮かべて、ポリイミド前駆体溶液の膜厚を制御する方法がある（例えば、特許文献３参照）。
【０００７】
この方法では、外型に載せ換える工数が不要のため、ポリイミド樹脂層の表面にフッ素樹脂層を塗布形成する場合は、そのままで塗布することができる。
【０００８】
一方、ポリイミド樹脂層の表面にフッ素樹脂層を形成するには、フッ素樹脂が溶剤に不溶性であるため、フッ素樹脂の粉体を、界面活性剤等を用いて、水等の溶媒に分散した塗料を塗布した後、溶媒を乾燥し、焼成して加熱溶融する方法がとられる。
【０００９】
フッ素樹脂分散液の塗布方法として、スプレー塗布法は、表面の平滑性が劣るほか、高価なフッ素樹脂分散液の塗着効率が悪いために、あまり好ましくない。また、基体を回転させながら、フッ素樹脂分散液をディスペンサーにより供給し、かつディスペンサーを基体の回転軸方向に移動させることにより、らせん状に巻回して塗布する方法（例えば、特許文献４参照）もある。しかし、かかる方法では、フッ素樹脂分散液が流延性に乏しいために、らせん状の筋が消えにくく、特に膜厚が２５μｍ以上と厚い場合、らせん筋が顕著になる問題がある。
【００１０】
他のフッ素樹脂分散液の塗布方法として、基体の軸方向を水平方向に対し垂直にして、フッ素樹脂分散液に浸漬し、次いで引き上げることにより塗布する浸漬塗布方法もあり、平滑な被膜を形成する場合に好ましい。ところが、フッ素樹脂分散液は、主溶媒が水であり、界面活性剤等を用いて分散されているために、液中に気泡が混入しやすく、一度混入した気泡はなかなか消えにくいという問題がある。液中に気泡があると、塗膜にも気泡が付着し、突起又は穴といった重大な欠陥に結び付く。
【００１１】
液中への気泡の混入を防止するには、液の運搬や撹拌に十分注意をするのはもちろんであるが、フッ素樹脂粉体は比重が重いこと等のため、分散液の安定性が十分ではなく、粉体が沈降したり、凝集しやすいので、ある程度強く撹拌し、気泡が混入することは避けられない。そこで、塗布の直前に、減圧等の方法で脱泡処理を行うのがよい。
【００１２】
しかしながら、塗布前に脱泡を行っても、浸漬塗布方法では、塗布の最中にやはり気泡が発生し、気泡が塗膜に付着することもある。
【００１３】
このような気泡が塗膜に付着するといった問題は、フッ素樹脂に限らず、他の樹脂の場合でも生じるので、良好な樹脂層（塗膜）を形成するためには、同様に改善しなければならない。
【特許文献１】特開平８−２６２９０３号公報
【特許文献２】特開平１１−１３３７７６号公報
【特許文献３】特開２００２−９１０２７号公報
【特許文献４】特開平９−２９７４８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
本発明は、前記従来における諸問題を解決し、以下の目的を達成することを課題とする。即ち、本発明の目的は、気泡が発生しにくく、効率よく良好な塗膜形成が可能な樹脂分散液の塗布方法及び塗布装置を提供することである。
また、本発明の他の目的は、上記塗布方法を利用した定着ベルトの製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記課題を解決すべく検討の結果、下記発明により当該課題を解決できることが見出された。すなわち、
本発明の樹脂分散液の塗布装置は、
被塗布物を配置するための密閉容器と、
前記被塗布物が配置された前記密閉容器内を、減圧状態或いは真空状態にするための減圧・真空発生手段と、
前記樹脂分散液を前記密閉容器内に供給する供給手段と、
前記樹脂分散液を前記密閉容器から排出する排出手段と、
を備えることを特徴としている。
【００１６】
本発明の樹脂分散液の塗布装置では、密閉容器に被塗布物を配置した後、当該密閉容器内を減圧状態或いは真空状態にする。そして、この状態で、樹脂分散液を密閉容器内に供給し、樹脂分散液と被塗布物とを接触させた後、密閉容器から樹脂分散液を排出する。このように、減圧状態或いは真空状態で、樹脂分散液と被塗布物とを接触させるため、樹脂分散液に気泡が発生しにくくなると共に、塗膜にも気泡が混入しにくくなり、効率よく良好な塗膜形成が可能なる。特に、被塗布物の塗布面が平滑な場合でも、効率よく良好な塗膜形成が可能となる。
【００１７】
本発明の樹脂分散液の塗布装置において、前記供給手段により前記密閉容器に供給する際、前記被塗布物の所望の部分のみが前記樹脂分散液で浸されるように、前記樹脂分散液を前記密閉容器内で塞き止めるための塞き止め手段を備えることもできる。
【００１８】
塞き止め手段により、密閉容器内で樹脂分散液を部分的に塞き止めて、被塗布物の所望の部分のみが樹脂分散液と接触させることで、気泡が混入することなく、被塗布物の所望の部分に樹脂分散液が塗布され、良好な樹脂層を形成することが可能となる。
【００１９】
本発明の樹脂分散液の塗布装置において、前記排出工手段は、前記樹脂分散液を前記密閉容器内から吸引して排出する排出手段であることがよい。
【００２０】
排出工手段により、樹脂分散液を密閉容器から吸引して、強制的に排出することで、自然排出に比べ、密閉容器に供給した樹脂分散液の排出速度を一定とさせることができ、塗膜の厚みのバラツキが少なくなり、膜厚の均一な樹脂層を形成することが可能となる。
【００２１】
本発明の樹脂分散液の塗布装置において、前記樹脂分散液は、フッ素樹脂が分散された樹脂分散液であることがよい。
【００２２】
フッ素樹脂は、他の樹脂に比べ、塗着効率、流延性が悪く、フッ素樹脂分散液には気泡が混入し易く消え難いので、樹脂分散液としてフッ素樹脂分散液を適用することが特に好適である。
【００２３】
一方、本発明の樹脂分散液の塗布方法は、上記本発明の樹脂分散液の塗布装置を利用して行われる塗布方法である。具体的には、
本発明の樹脂分散液の塗布方法は、
前記被塗布物を、密閉容器内に配置する配置工程と、
前記被塗布物が配置された前記密閉容器内を、減圧状態或いは真空状態にする減圧・真空工程と、
前記樹脂分散液を、前記被塗布物の少なくとも一部が前記樹脂分散液で浸るように前記密閉容器内に供給する供給工程と、
前記樹脂分散液を前記密閉容器から排出する排出工程と、
を有することを特徴としている。
【００２４】
また、本発明の樹脂分散液の塗布方法においては、前記被塗布物の所望の部分のみが前記樹脂分散液で浸すように、前記樹脂分散液を前記密閉容器内で塞き止めつつ供給することがよい。
【００２５】
また、前記排出工程において、前記樹脂分散液を、前記密閉容器内から吸引して排出することがよい。
【００２６】
また、前記樹脂分散液は、フッ素樹脂が分散された樹脂分散液であることよい。
【００２７】
さらに、本発明の定着ベルトの製造方法は、上記本発明の樹脂分散液の塗布方法を利用して行われる製造方法である。具体的には、
本発明の定着ベルトの製造方法は、
ポリイミド樹脂層又はポリイミド樹脂前駆体層が外周面に形成された基体を、密閉容器内に配置する配置工程と、
前記基体が配置された前記密閉容器内を、減圧状態或いは真空状態にする減圧・真空工程と、
フッ素樹脂が分散されたフッ素樹脂分散液を、前記基体の外周面が前記フッ素樹脂分散液で浸るように前記密閉容器内に供給する供給工程と、
前記樹脂分散液を前記密閉容器から排出する排出工程と、
前記樹脂分散液が塗布された前記基体を前記密閉容器から取り出して、前記基体を乾燥・加熱処理を行い、前記基体の外周面にポリイミド樹脂層及びフッ素樹脂層の積層体を形成する積層体形成工程と、
前記基体と前記積層体とを分離する工程と、
を有することを特徴としている。
【００２８】
本発明の定着ベルトの製造方法では、上述のように気泡の混入がなく、効率よく良好なフッ素樹脂分散液の塗膜が形成可能であり、平滑で良好なフッ素樹脂層が形成された定着ベルトを得ることが可能となる。
【発明の効果】
【００２９】
本発明の樹脂分散液の塗布方法及び塗布装置によれば、気泡が発生しにくく、効率よく良好な塗膜形成が可能となる、といった効果を奏する。
また、定着ベルトの製造方法によれば、上記塗布方法を利用したため、平滑で良好なフッ素樹脂層が形成された定着ベルトが得られる、といった効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、本発明について、図面を参照しつつ説明する、なお、実質的に同じ機能を有する部材には、全図面通して同じ符号を付して説明する。
【００３１】
（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態に係る樹脂分散液の塗布装置を示す分解構成図である。図２は、本発明の第１の実施形態に係る樹脂分散液の塗布装置を示す構成図である。
【００３２】
なお、以下、本実施形態は、定着ベルトを製造するために、被塗布物としてポリイミド層或いはポリイミド前駆体層が形成された基体を用いて、この外周面にフッ素樹脂分散液（以下、単に樹脂分散液と略記）を塗布してフッ素樹脂層（非粘着層）を形成する形態を説明する。
【００３３】
本実施形態は、図１及び図２に示すように、ポリイミド樹脂層或いはポリイミド前駆体層が形成された基体１０（図中、１１はポリイミド樹脂層或いはポリイミド前駆体層を示す。）を配置すると共に気密状態にすることが可能な密閉容器１２が備えられている。この密閉容器１２は、一方の面が開放された円筒状の塗布容器１４と、基体１０を配置すると共に塗布容器１４の開放面を覆って塞ぐ台座１６から構成されている。また、台座１６には、塗布容器１４との密閉度を向上させるためにパッキン１８、そして、基体１０を配置したときに下方から基体内部に樹脂分散液が浸入しないように弾性体２０（例えばゴム）が設けられている。
【００３４】
塗布容器１４には、密閉容器１２内を減圧状態或いは真空状態にするための減圧或いは真空発生装置２２と、減圧状態或いは真空状態を解除するための大気開放弁２４と、がそれぞれ連結されている。一方、台座１６には、塗布容器１４を被せたとき、樹脂分散液２６を密閉容器内に供給するための供給装置２８と、密閉容器に供給された樹脂分散液２６を排出するための排出装置３０と、が連結されている。この台座１６と供給装置２８と排出装置３０とは、３方弁３２で連結されている。
【００３５】
減圧或いは真空発生装置２２は、例えば、真空ポンプ、シリンダの体積変化を利用した装置などで構成することができる。また、大気開放弁２４には、図示しない加圧エアー装置を連結し、減圧状態或いは真空状態を解除した時、強制的に密閉容器に内にエアーを供給するように構成してもよい。
【００３６】
供給装置２８は、ポンプ、シリンダの体積変化を利用した装置、加圧エアーを利用した装置などで構成することができる。なお、減圧状態或いは真空状態を維持させながら密閉容器１２内と外との圧力差を利用して樹脂分散液２６を自然供給する場合、供給装置２８は、単なる密閉された容器で構成してもよい。
【００３７】
排出装置３０は、シリンダーの体積変化を利用した装置、ロータリポンプなどで構成することができる。
【００３８】
基体１０の材質は、樹脂分散液を塗布後、基体１０と共に加熱する場合（本実施本実施形態では、例えば、ポリイミド前駆体層が基体１０に形成されている場合）、アルミニウムや、ニッケル、ステンレス鋼等の金属が好ましい。また、乾燥しか施さない場合（本実施形態では、ポリイミド樹脂層が基体１０に形成されている場合）、プラスチック等の使用が可能である。なお、フッ素樹脂層は、乾燥のみで形成可能である。
【００３９】
本実施形態では、基体１０を台座１６の上に固定して配置する。その際、弾性体２０（例えばゴム等）を介して基体１０を台座１６上に配置する（図１参照）。そして、基体１０を台座１６に配置後、塗布容器１４をその内部に基体１０が覆われるように台座１６に被せて密閉する。（図２参照）。
【００４０】
次に、図３に示すように、気密が維持された密閉容器１２内を、減圧或いは真空発生装置２２により減圧又は真空状態にした後、３方弁３２を密閉容器１２と供給装置２８とが連通するように開き、樹脂分散液２６を供給装置２８から密閉容器１２（塗布容器１４）内に供給して満たす。ここで、減圧状態又は真空状態における密閉容器内の圧力としては、１０3〜１０-1Ｐａが好ましく、より好ましくは、１０3〜１０Ｐａであり、さらに好ましくは１０3〜１０2Ｐａである。
【００４１】
次に、図４に示すように、大気開放弁２４を開放し、密閉容器１２（塗布容器１４）内を大気開放する。そして、３方弁３２を密閉容器１２と排出装置３０とが連通するように開き、排出装置３０により排出速度を一定にしつつ樹脂分散液２６を強制的に排出する。
【００４２】
なお、単に大気開放弁２４を開放して、自然排出させることもできるが、排出速度が一定になり難いため、均一な塗膜が得られない場合がある。これに比べ、排出装置３０により強制的に排出させて排出速度を一定にすると均一な塗膜が容易に得られる。また、排出速度を一定にするために強制的に排出する排出手段としては、減圧状態或いは真空状態を解除した時、強制的に密閉容器に内にエアーを供給する加圧エアー装置（図示せず）が挙げられる。この加圧エアー装置は、上述のように大気開放弁２４に連結することが可能である。
【００４３】
このようにして、基体１０の外周面に樹脂分散液２６の塗膜３４が形成される。
【００４４】
その後、塗布容器１４を持ち上げ、樹脂分散液２６の塗膜３４が形成された基体１０を取り出す。必要に応じて、塗膜３４に気流を当て、溶媒の乾燥を促進してもよい。塗膜に当てる気流は、一方向からよりは、周方向で均一になるよう、周回又は環状に当てるのがよい。
【００４５】
次に、常温から１００℃の間にて５〜２０分間置いて、塗膜３４から溶媒を乾燥させる。そして、塗膜３４を加熱すると、フッ素樹脂粉体は溶融焼成されてフッ素樹脂層となる。基体１０上にポリイミド前駆体層が形成されている場合には、加熱により、ポリイミド樹脂層とフッ素樹脂層が同時に形成され密着性が向上する。
【００４６】
そして、このポリイミド樹脂層とフッ素樹脂層との積層体を、基体１０から分離することで、無端ベルトが得られる。得られた無端ベルトに対して、必要に応じて、部の長さを揃える切断加工、表面の粗さを調整する研磨加工、等が施して、定着ベルトが得られる。
【００４７】
なお、予めポリイミド前駆体層が形成されている基体１０を使用した場合、加熱焼成の後、基体１０を冷却し常温状態にすると、熱膨張率の差で、積層体（無端ベルト）は基体１０から容易に分離することができる。
【００４８】
以下、本実施例を適用した定着ベルトの製造方法を具体的に説明する。
まず、ポリイミド前駆体（ＰＩ前駆体）溶液として、３，３´，４，４´−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物と、ｐ−フェニレンジアミンが、Ｎ−メチルピロリドン中で合成された、固形分濃度１８％（重量％、以下同じ）、粘度約２０Ｐａ・ｓの溶液を用意した。
【００４９】
外径７０ｍｍ、長さ４００ｍｍの素管を３５０℃で１０分間加熱し、自然冷却させた後、表面を切削して外径を６８ｍｍにしたアルミニウム製円筒を用意した。次いで、球形アルミナ粒子によるブラスト処理により、Ｒａ０．８μｍに粗面化した後、表面にシリコーン系離型剤（商品名：ＫＳ７００、信越化学(株)製）を塗布して、３００℃で１時間、焼き付け処理し、基体１０とした。
【００５０】
回転塗布工程として、図５に示すように、基体１０の軸方向を水平にして、１２０ｒｐｍで回転させた。へら３６は幅２０ｍｍ、厚さ１ｍｍのポリエチレンからなり、弾力性を有している。これを基体１０に押し付け、ＰＩ前駆体溶液４２は、容器３８から口径４ｍｍのノズル４０を通して、エア圧０．４ＭＰａにて、２３ｍｌ／ｍｉｎの流量で押し出した。ＰＩ前駆体溶液４２がへら３６を通過する際、へら３６が押し広げられ、へらと基体１０の間には隙間ができた。次いで、ノズル４０とへら３６を１８０ｍｍ／分の速度で、基体１０の一端から他端へ移動させて塗布した。この条件で、基体１０の１回転あたり、ノズル４０とへら３６は１．５ｍｍずつ移動させた。
【００５１】
乾燥工程において、基体１０を２０ｒｐｍで回転させながら、１００℃の乾燥炉に入れた。６０分後に取り出すと、約１５０μｍ厚のＰＩ前駆体皮膜（ポリイミド前駆体層１１）が形成され、残留溶剤は約４０％（重量比）であった。
【００５２】
一方、ＰＦＡ水性塗料（フッ素樹脂分散液２６、商品名：７１０ＣＬ、三井デュポンフロロケミカル社製、濃度６０％、粘度４００ｍＰａ・ｓ、溶媒として水のほかに、エタノール、ｔ−ブタノールを含む）を供給装置２８内に入れ、また、ＰＩ前駆体皮膜が形成された基体１０を台座１６に置いた。ガラス製の塗布容器１４をＰＩ前駆体皮膜が形成された基体１０に被せて密閉し、７２０Ｐaの減圧状態にして、３方弁３２を密閉容器１２と供給装置２８と連通するように開き、ＰＦＡ水性塗料を密閉容器１２（塗布容器１４）内に満たした。次いで、大気開放弁２４を開き、大気開放後、排出装置３０（例えば計量シリンダ）にて流量を一定にしながら、ＰＦＡ水性塗料を排出した。
【００５３】
ガラス製の塗布容器１４を持ち上げ後、ＰＦＡ水性塗料が塗布された基体１０を取り出し、８０℃で１０分間乾燥した。
【００５４】
最後の加熱焼成工程として、１５０℃で２０分間、２２０℃で２０分間、及び３８０℃で３０分間加熱して、ＰＩ樹脂皮膜（ポリイミド樹脂層）を形成すると共に、ＰＦＡ塗膜（フッ素樹脂層）を焼成した。室温に冷えた後、基体１０から皮膜を取り外し、７５μｍ厚のＰＩ樹脂無端ベルト上に、３０μｍ厚のＰＦＡ層（フッ素樹脂層）を有する無端定着ベルトを得ることができた。また、ＰＩ樹脂の内面は、Ｒａ０．８μｍの粗面であり、その形は球状に凸形状になっていた。
【００５５】
定着ベルトとして、定着ベルトの内面に圧力パッドが摺動する定着装置に装着して試験を行ったところ、その摩擦力は小さく、定着ベルトの回転に支障はなかった。また、摺動音が発生することもなかった。
【００５６】
以上、説明したように本実施形態では、減圧状態或いは真空状態で密閉容器内に樹脂分散液２６を供給して、基体１０と樹脂分散液２６を接触させるので、樹脂分散液に気泡が発生し難く、その塗膜に気泡が混入することが防止される。
【００５７】
また、排出装置３０により排出速度を一定に保ちつつ強制的に樹脂分散液２６を排出しているので、均一な塗膜が形成される。
【００５８】
また、他の樹脂に比べ、塗着効率、流延性が悪く、気泡が混入し易く消え難いフッ素樹脂分散液を使用しても、気泡が発生し難く、その塗膜に気泡が混入することが防止される。
【００５９】
このため、平滑で良好なフッ素樹脂層（非粘着層）が形成されたポリイミド無端ベルト、即ち、定着ベルトが得られる。
【００６０】
（第２の実施形態）
図６は、本発明の第２の実施形態に係る樹脂分散液の塗布装置を示す概略構成図である。図７は、本発明の第２の実施形態に係る樹脂分散液の塗布装置を示す部分斜視図である。
【００６１】
本実施形態は、図６及び図７に示すように、密閉容器１２（塗布容器１４）内で、供給した樹脂分散液２６が所定の領域にのみに満たされるように２つのパッキン４４（塞き止め部材）により塞き止めて、樹脂分散液を基体１０に塗布する形態である。
【００６２】
２つのパッキン４４は、塗布容器１４と、円筒状の基体１０と、で囲まれた領域に樹脂分散液が充填されるように配設されている。このように、２つのパッキン４４と、塗布容器１４と、円筒状の基体１０と、で密閉領域を形成している。２つのパッキン４４は、基体１０の両端よりも内側にそれぞれ配置されており、この配置位置によって基体１０の所望の部分のみが樹脂分散液２６で浸され、基体１０における樹脂分散液２６の塗布領域を設定することができる。本実施形態では、フッ素樹脂層はポリイミド樹脂層上にのみ形成されることがよいので、基体１０のポリイミド樹脂層或いはポリイミド前駆体層上のみに樹脂分散液の塗膜１０が形成されるように、２つのパッキン４４がポリイミド樹脂層或いはポリイミド前駆体層の形成領域両端に設けている。
【００６３】
なお、減圧或いは真空発生装置２２、大気開放弁２４、供給装置２８及び排出装置３０は、塗布容器１４における２つのパッキン４４と円筒状の基体１０とで囲まれた領域に連結されている。
【００６４】
以上のように、本実施形態では、２つのパッキン４４により樹脂分散液２６を密閉容器１２（塗布容器１４）内で塞き止めて、２つのパッキン４４と塗布容器１４と円筒状の基体１０とで囲まれた領域に樹脂分散液が充填されせるので、気泡が混入することなく、被塗布物の所望の部分に樹脂分散液が塗布され、良好な樹脂層を形成することが可能となる。
【００６５】
上記何れの実施形態では、樹脂分散液として、フッ素樹脂が分散されたフッ素樹脂分散液を用いた形態を説明したが、これに限定されず、他の樹脂種でも同様に適用することができる。ここで、本発明に適用可能な樹脂分散液の粘度（２０℃における粘度）としては、好ましくは１〜１０4ｍＰａ・ｓ、より好ましくは１〜１０3ｍＰａ・ｓ、さらに好ましくは１〜５×１０2ｍＰａ・ｓである。
【００６６】
また、本実施形態では、密閉容器１２として、基体１０を覆う塗布容器１４と、基体１０を支持固定する台座１６とから構成される形態を説明したが、これに限定されず、例えば、図８に示すように、台座１６として、筒状支持体１６ａが一体的に形成された台座１６を用いる形態でもよい。この形態では、筒状の基体１０の内径よりも若干小さい筒状支持体１６ａに、当該基体１０を嵌め込み台座１６上に支持固定する。また、この形態では、例えば、被塗布物として、無端ベルト（例えば、ポリイミドベルト）などの弾性変形する筒状体を使用しても、筒状支持体１６ａに嵌め込むことで容易に台座１６に支持固定され、樹脂分散液２６を塗布可能となる。なお、間隙なく基体１０（或いは上記筒状体）を筒状支持体１６ａに嵌め込めば、弾性体２０を設けなくとも、基体１０の内側に樹脂分散液２６が入り込むことがなくなる。
【００６７】
上記何れの実施の形態においても、限定的に解釈されるものではなく、本発明の要件を満足する範囲内で実現可能であることは、言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る樹脂分散液の塗布装置を示す分解構成図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係る樹脂分散液の塗布装置を示す構成図である。
【図３】本発明の第１の実施形態に係る樹脂分散液の塗布装置において、密閉容器に樹脂分散液を供給した状態を示す概略構成図である。
【図４】本発明の第１の実施形態に係る樹脂分散液の塗布装置において、密閉容器から樹脂分散液を排出した状態を示す概略構成図である。
【図５】ポリイミド前駆体溶液の回転塗布工程を説明するための概略構成図である。
【図６】本発明の第２の実施形態に係る樹脂分散液の塗布装置を示す構成図である。
【図７】本発明の第２の実施形態に係る樹脂分散液の塗布装置を示す部分斜視図である。
【図８】本発明の他の実施形態に係る樹脂分散液の塗布装置を示す概略構成図である。
【符号の説明】
【００６９】
１０          基体
１１          ポリイミド樹脂層或いはポリイミド前駆体層
１２          密閉容器
１４          塗布容器
１６          台座
１８          パッキン
２０          弾性体
２２          減圧或いは真空発生装置（減圧或いは真空発生手段）
２４          大気開放弁（排出手段）
２６          樹脂分散液（フッ素樹脂分散液）
２８          供給装置（供給手段）
３０          排出装置（排出手段）
３２          ３方弁
３４          塗膜
４４          パッキン（塞き止め手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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