(57)【要約】 【課題】  簡単な装置で短時間に、十分な強度を有し熱歪み等の熱影響のない高精度の電子加速管を安価に提供する。  【解決手段】  複数個の銅製のディスク１１１を本結合する前に、その複数個の銅製のディスクを位置決めブロック１８０上のＶ字状の支え面１８１に連接載置し、その連接載置したディスクを軸方向に押圧した後、レーザ光１３２を断続的にデューティ比を変えて照射し、溶接ブレージングワイヤ１５０をディスクの接合面の外周糸面取り溝または外周面に部分的にろう付けして仮結合し、続いて本結合する電子加速管の製造方法。【選択図】  図４  
2005224832.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
銅製物品相互、または銅製物品と異種金属物品とのろう付け結合方法であって、それらの銅製物品、または銅製物品と異種金属物品とを連接固定し、レーザ光を断続的にデューティ比を変えて照射し、溶接ブレージングワイヤを接合外周面に断続または連続溶着して結合する工程を有することを特徴とする銅製物品相互または銅製物品と異種金属物品とのろう付け結合方法。
【請求項２】
複数個の銅製のディスクを連接し、結合したレギュラーセルを有する電子加速管の製造方法であって、
上記複数個の銅製のディスクを本結合する前に、複数個の銅製のディスクを連接固定し、レーザ光を断続的にデューティ比を変えて照射し、溶接ブレージングワイヤをディスクの接合外周面に部分的にろう付けして仮結合する工程を有することを特徴とする電子加速管の製造方法。
【請求項３】
上記ろう付け工程において、上記レーザ光の出力が２．０乃至４．０Ｋｗであり、上記銅製ディスクの外周速度が１００乃至２５０ｍｍ/分で、上記デューティ比が３５乃至４０％、または上記銅製ディスクの外周速度が２５０乃至４００ｍｍ/分で、上記デューティ比が５５乃至６０％であることを特徴とする請求項２に記載の電子加速管の製造方法。  
【請求項４】
複数個の銅製のディスクを連接し、結合したレギュラーセルを有する電子加速管であって、
上記複数個の銅製のディスクを本結合する前に、複数個の銅製のディスクを連接固定し、レーザ光を断続的にデューティ比を変えて照射し、溶接ブレージングワイヤをディスクの接合外周面に部分的にろう付けして仮結合したことを特徴とする電子加速管。
【請求項５】
上記ろう付けは、上記レーザ光の出力が２．０乃至４．０Ｋｗであり、上記銅製ディスクの外周速度が１００乃至２５０ｍｍ/分で、上記デューティ比が３５乃至４０％、または上記銅製ディスクの外周速度が２５０乃至４００ｍｍ/分で、上記デューティ比が５５乃至６０％であることを特徴とする請求項４に記載の電子加速管。
【請求項６】
電子加速管のレギュラーセルを構成する複数個のディスクを
直線状に仮結合する仮結合装置であって、
上記複数個のディスクの外周を保持して直線状に連接して載置するＶ字状の
支え面を有する移動体（１７０、１８０）と、
該移動体に連接して載置された上記ディスクを押圧する押圧装置と、
該移動体に連接し押圧された上記ディスクを回転させる回転装置と、
該ディスクを上記移動体と一体に軸方向に移動させる駆動装置と、
上記複数個のディスクの接合外周面に部分的にろう付けするためのレーザ照射装置と溶接ブレージングワイヤ供給装置とを有することを特徴とする電子加速管のレギュラーセルの仮結合装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、線形の電子加速器に適用される電子加速管の製造方法および製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子ビームを用いて各種加工を行う電子ビーム加工装置には線形の電子加速管が備えられている。
【０００３】
この電子加速器は中央部のレギュラーセルと両端部のカプラーセルから構成されており、レギュラーセルは複数個の銅製のディスクを連接結合して製造されている。
【０００４】
レギュラーセルの製造は、複数個の銅製のディスクをＶ型ブロックのＶ字状の支え面の上に載せ、ディスクの外周を衝にして、連接するディスクの内孔の面一精度を確保し、当て金を当ててネジ止めして約６０００Ｎの軸方向力を付加して１５０乃至３００℃の温度で４８時間加熱炉の中で加熱して低温拡散接合がなされる。
【０００５】
或は、トリウム入りタングステン電極を使用して７０アンペアを通電し、ディスクと電極との隙間を１ｍｍ、通電時間を１秒としてディスクの外周端部をＴＩＧスポット溶接して仮結合し、その後拡散接合により本結合が行なわれる。
【０００６】
なお、下記特許文献１には、複数の円筒状のスペーサとディスクを交互に配置し、これらのスペーサとディスクを拡散接合或はろう付けによって結合した線形の電子加速器に適用される電子加速管のレギュラーセルの構造が示されている。
【特許文献１】特開平７−３０２６９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、低温拡散接合による方法は、複数個の銅製ディスクを、その連接するディスクの内孔の面一精度を保持して、約６０００Ｎの軸方向力を付加しながら４８時間の長時間、加熱炉の中に入れるものであるから、量産性に欠け、また製作本数を増やすためには加熱炉を大きくする必要が生じて設備費の増大を招き、加熱炉内の温度分布を均一に保つことが困難になるという問題がある。
【０００８】
また、ＴＩＧスポット溶接により仮結合する方法は、１本の電極で約５０回の点付けを行うのが限界であり、それ以上は電極が消耗し、その先端形状が変形し、安定した溶接強度が得られず結合品質の安定性の低下、電極の交換のための作業の中断による作業効率の低下、電極の交換による費用が発生し生産性が悪いという問題がある。
【０００９】
また、レーザ光を活用して銅製のディスクを安定的に短時間で結合させることが考えられるが、元来銅はレーザ光の吸収率が２乃至４％程度で反射率が高く、しかも熱伝導率が高いためレーザの熱エネルギーがほとんど吸収されることがなく、また吸収された熱エネルギーも直ぐに拡散してしまうため、直接レーザで溶解して結合することができないという問題がある。
【００１０】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、ブレージングワイヤを使用し、レーザ光を断続的に照射することを検討し、従来の低温拡散接合による結合やＴＩＧスポット溶接による仮結合上の問題点を解消し生産が高く品質の高い電子加速管の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を達成するための第１の発明は、銅製物品相互、または銅製物品と異種金属物品とのろう付け結合方法であって、それらの銅製物品、または銅製物品と異種金属物品とを連接固定し、レーザ光を断続的にデューティ比を変えて照射し、溶接ブレージングワイヤを接合外周面に断続または連続溶着して結合する工程を有することを特徴とする銅製物品相互または銅製物品と異種金属物品とのろう付け結合方法である。
本発明には仮結合工程を廃止し本結合工程のみとするものも含まれる。
【００１２】
第２の発明は、複数個の銅製のディスクを連接し、結合したレギュラーセルを有する電子加速管の製造方法であって、上記複数個の銅製のディスクを本結合する前に、複数個の銅製のディスクを連接固定し、レーザ光を断続的にデューティ比を変えて照射し、溶接ブレージングワイヤをディスクの接合外周面に部分的にろう付けして仮結合する工程を有することを特徴とする電子加速管の製造方法である。
【００１３】
第３の発明は、第２の発明における上記ろう付け工程において、上記レーザ光の出力が２．０乃至４．０Ｋｗであり、上記銅製ディスクの外周速度が１００乃至２５０ｍｍ/分で、上記デューティ比が３５乃至４０％、または上記銅製ディスクの外周速度が２５０乃至４００ｍｍ/分で、上記デューティ比が５５乃至６０％であることを特徴とする電子加速管の製造方法である。
【００１４】
第４の発明は、複数個の銅製のディスクを連接し、結合したレギュラーセルを有する電子加速管であって、上記複数個の銅製のディスクを本結合する前に、複数個の銅製のディスクを連接固定し、レーザ光を断続的にデューティ比を変えて照射し、溶接ブレージングワイヤをディスクの接合外周面に部分的にろう付けして仮結合したことを特徴とする電子加速管である。
【００１５】
第５の発明は、第４の発明における上記ろう付けが、上記レーザ光の出力を２．０乃至４．０Ｋｗとし、上記銅製ディスクの外周速度が１００乃至２５０ｍｍ/分で、上記デューティ比が３５乃至４０％、または上記銅製ディスクの外周速度が２５０乃至４００ｍｍ/分で、上記デューティ比が５５乃至６０％であることを特徴とする電子加速管である。
【００１６】
第６の発明は、電子加速管のレギュラーセルを構成する複数個のディスクを直線状に仮結合する仮結合装置であって、上記複数個のディスクの外周を保持して直線状に連接して載置するＶ字状の支え面を有する移動体（１７０、１８０）と、該移動体に連接して載置された上記ディスクを押圧する押圧装置と、該移動体に連接し押圧された上記ディスクを回転させる回転装置と、該ディスクを上記移動体と一体に軸方向に移動させる駆動装置と、上記複数個のディスクの接合外周面に部分的にろう付けするためのレーザ照射装置と溶接ブレージングワイヤ供給装置とを有することを特徴とする電子加速管のレギュラーセルの仮結合装置である。
【発明の効果】
【００１７】
第１の発明は、銅製物品相互、または銅製物品と異種金属物品とのろう付け結合方法であって、それらの銅製物品、または銅製物品と異種金属物品とを連接固定し、レーザ光を断続的にデューティ比を変えて照射し、溶接ブレージングワイヤを接合外周面に断続または連続溶着して結合する工程を有することを特徴とする銅製物品相互または銅製物品と異種金属物品とのろう付け結合方法であるから、従来の低温拡散接合による方法やＴＩＧスポットによる仮結合をした後本結合する方法に比較して、短時間に必要強度を確保し、またレーザ光の熱エネルギーは大部分が溶接ブレージングワイヤの溶融に使用されるため、銅の本体部分にはほとんど熱影響がなく、高精度、高品質の結合が安価にできるという効果がある。
【００１８】
第２の発明は、複数個の銅製のディスクを連接し、結合したレギュラーセルを有する電子加速管の製造方法であって、上記複数個の銅製のディスクを本結合する前に、複数個の銅製のディスクを連接固定し、レーザ光を断続的にデューティ比を変えて照射し、溶接ブレージングワイヤをディスクの接合外周面に部分的にろう付けして仮結合する工程を有することを特徴とする電子加速管の製造方法であるから、この方法によれば、短時間に十分な強度を有し、熱歪み等の熱影響のない高精度の電子加速管を安価に得ることができる。
【００１９】
第３の発明は、第２の発明における上記ろう付け工程において、上記レーザ光の出力が２．０乃至４．０Ｋｗであり、上記銅製ディスクの外周速度が１００乃至２５０ｍｍ/分で、上記デューティ比が３５乃至４０％、または上記銅製ディスクの外周速度が２５０乃至４００ｍｍ/分で、上記デューティ比が５５乃至６０％であることを特徴とする電子加速管の製造方法であるから、この方法によれば、第２の発明に係る方法の効果に加えて、溶接ブレージングワイヤの溶着が確実で安定した仮結合強度を有する電子加速管が得られる。
【００２０】
第４の発明は、複数個の銅製のディスクを連接し、結合したレギュラーセルを有する電子加速管であって、上記複数個の銅製のディスクを本結合する前に、複数個の銅製のディスクを連接固定し、レーザ光を断続的にデューティ比を変えて照射し、溶接ブレージングワイヤをディスクの接合外周面に部分的にろう付けして仮結合したことを特徴とする電子加速管であるから、短時間に十分な強度を有し、熱歪み等の熱影響のない高精度の電子加速管を安価に得ることができる。
【００２１】
第５の発明は、第４の発明における上記ろう付けを、上記レーザ光の出力を２．０乃至４．０Ｋｗとし、上記銅製ディスクの外周速度が１００乃至２５０ｍｍ/分で、上記デューティ比が３５乃至４０％、または上記銅製ディスクの外周速度が２５０乃至４００ｍｍ/分で、上記デューティ比が５５乃至６０％であることを特徴とする電子加速管であるから、第４の発明の効果に加えて、溶接ブレージングワイヤの溶着が確実で安定した仮結合強度を有する電子加速管が得られる。
【００２２】
第６の発明は、電子加速管のレギュラーセルを構成する複数個のディスクを直線状に仮結合する仮結合装置であって、上記複数個のディスクの外周を保持して直線状に連接して載置するＶ字状の支え面を有する移動体（１７０、１８０）と、該移動体に連接して載置された上記ディスクを押圧する押圧装置と、該移動体に連接し押圧された上記ディスクを回転させる回転装置と、該ディスクを上記移動体と一体に軸方向に移動させる駆動装置と、上記複数個のディスクの接合外周面に部分的にろう付けするためのレーザ照射装置と溶接ブレージングワイヤ供給装置とを有することを特徴とする電子加速管のレギュラーセルの仮結合装置であるから、ＴＩＧスポットによる仮結合装置に比較して、電極の消耗がなくその交換のための作業の中断による作業効率の低下や電極の交換による費用の発生がなく、生産性の高いレギュラーセルの仮結合装置を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態について説明する。
【００２４】
図１は本発明の実施の形態に係る加速管の断面図であり、図２は図１の側面図である。
【００２５】
図１、図２において、１００は電子加速管であり銅製のディスク１１１が複数個気密に結合され、中央部に位置するレギュラーセル１１０と両端部に位置するカプラーセルとから構成されている。
【００２６】
各ディスク１１１には中央に大径の孔がその周囲に４個の小径の孔が形成され、ディスクが複数個気密に結合されることによって、中央に電子の加速用の通路１１５が、その外側に冷却用の水路１１６が形成されている。
【００２７】
カプラーセル１２０には、不図示の高周波導波管に接続されるカップリング１２６がエクステンション１２７を介して半径方向外側に取付けられ、軸方向には不図示の真空装置に接続されるカップリング１２２がエクステンション１２８を介して接続されている。
【００２８】
レギュラーセル１１０とカプラーセル１２０とは同軸にかつ気密に結合されている。
【００２９】
１２５は外部の冷却装置から冷却水を取入れるためのジョイントであり４つの冷却用水路１１６の両端にそれぞれ設けられている。
【００３０】
カプリング１２３で接続された真空装置によって加速管１００の内部は真空に保持され、カプリング１２６の一方に接続された不図示のマイクロ波発生装置からマイクロ波が取込まれレギュラーセル１１０を通ってもう一方のカプリング１２６より外部に取出される。
【００３１】
この時、レギュラーセル１１０の加速電子の通路１１５を形成する銅壁はマイクロ波電流のオーム損により発熱するが、精密に加工し結合されたレギュラーセルの寸法精度が損なわれることがないように冷却用の水路１１６に冷却水を通して発熱が防止されている。
【００３２】
図３は本発明の実施の形態に係る電子加速管の製造装置の全体図である。
【００３３】
図３において、１６０は本装置のベースプレートであり、その上部に設けられた凹溝には、この凹溝に沿って直線状に移動可能な移動プレート１７０が嵌入されている。
【００３４】
移動プレート１７０の上面には複数個の銅製のディスク１１１の外周面を支持し、その複数個のディスク１１１を直線状にかつ高精度に連接するためのＶ字状の支え面１８１を有する位置決めブロック１８０がボルト１８２で固定され、その移動プレートの左右両端には垂直に起立した支持壁１７３が設けられている。
【００３５】
また、位置決めブロック１８０の支え面１８１は、その支え面に支持された複数個のディスクの軸の方向と移動プレート１７０の移動（矢印Ｘ）方向とが一致するように形成されている。
【００３６】
そして、支持壁１７３の相対する内面の一方には連接した複数個のディスク１１１を不図示の外部駆動源によって駆動される回転装置１９０が設けられ、そのさらに内側に、連接したディスク１１１を軸方向に押圧する油圧シリンダー１９１が設けられている。１９２は連接したディスク１１１の両端に介挿される回転プレートである。
【００３７】
１７１はベースプレート１６０上に固定され、駆動スクリュー１７２を回転させることによって、移動プレート１７０を直線（矢印Ｘ）方向に移動させる駆動装置である。
【００３８】
図４は図３のＡ−Ａ断面図であり、図５は図４のＢ−Ｂ断面図である。
図４、図５において、１５１はブレージングワイヤでありブレージングワイヤ供給装置１５０から供給され、ブレージングワイヤの先端は、合せ面の外周糸面取り溝１１２に一致するように配置されている。
１３２はレーザ光でありレーザ発信器１３０から発振され、レーザノズル１３１を経て、連接されたディスクの合せ面１３１に形成された外周糸面取り溝１１２部に位置するブレージングワイヤの先端に向けて照射される。
【００３９】
１４２は不活性ガス供給ボンベであり、不活性ガスは供給管１４１を介してレーザノズルに供給される。
次に、以上の装置を使用して、レギュラーセルを仮結合する場合の動作について説明する。
【００４０】
シリンダ１９１のピストンを右端に寄せた状態で、ディスク１１１を所定の個数位置決めブロックの支え面１８１に載置し、一方の支持壁にディスクの平面を当接させた後、油圧シリンダ１９１を作動させ、ピストンを左側に寄せて各ディスクに所定の軸方向力を加える（図３参照）。
【００４１】
なお、シリンダ１９１を作動させ、ピストンを左側に寄せる前に、連接しディスクの両端に回転プレートを介挿する。
【００４２】
次に、図４に示す上記の位置に溶接ブレージングワイヤ１５１とレーザノズル１３１を移動し、レーザ発信器１３０からレーザ光１３２を所定の出力で、断続的に所定のデュ-ティ比で発振し、同時に不活性ガスをレーザ光照射部に供給する。
【００４３】
また同時に、回転装置１９０によって連接したディスク１１１を矢印Ｙ方向に所定の回転速度で回転し、ブレージングワイヤ供給装置１５０から、回転装置１９０の回転速度に同期した速度でブレージングワイヤ１５１を供給する。
【００４４】
なお、レーザノズル１３１は図５に示されたディスク１１１の外周糸面取り溝１１２の直上で、レーザ発信器１３０やレーザノズル１３１に反射光が当らない角度θに傾けてレーザ光１３２の焦点をブレージングワイヤ１５１の先端に合せ、ブレージングワイヤ１５１を外周糸面取り溝１１２および外周面１１４に溶着させる。位置決めブロック１８０には、ディスク１１１の合せ面と同位置に溝（不指示）が形成されており、デイスク１１１が回転する際に外周面に溶着した溶着ビード１５２が干渉することはない。
【００４５】
所定の長さのろう付けビード１５２が形成されたところで、レーザ光の照射とブレージングワイヤの供給を中止し、回転装置１９０によって連接した複数個のディスク１１１を所定の角度だけ回転させ、上記と同じ動作を繰り返し、周上最低ほぼ相対する２箇所のろう付けを完了する。
【００４６】
なお、回転装置１９０が回転するときには、図３の左側の回転プレート１９２と支持壁１７３との間で回転摺動する。
【００４７】
その後、１ピッチ（ディスク１１１の厚さ分）軸（矢印Ｇ）方向に送って上記と同じ操作を繰返し、レギュラーセル１１０の全長に亘って仮結合を行なう。
このようにして、レギュラーセル１１０は、レーザ光の熱による熱変形によって精度が低下することなく、簡単な作業で十分な強度と精度を有する仮結合がなされ、その後の本結合に続いてカプラーセル１２０との結合がなされ、品質が良好で生産性の高い電子加速管が得られる。
【００４８】
なお、上記の実施の形態においては、ＣＯ２レーザを使用したがレーザはこれに限定されるものではなく、ＹＡＧレーザにて光ファイバーを介してレーザ光を送り、ノズルも複数個配置して同時に複数個所を溶着する方法も可能である。
【００４９】
また、レギュラーセルを回転移動させる代わりにレーザ光を回転移動させてもよい。さらに本発明の結合方法は電子加速管用ディスクのみならず、広く種々の銅製物品相互、または銅製物品と異種金属物品相互の結合に適用可能である。
【００５０】
例えば、医療用加速管の加速空洞部、空洞共振型の直進型クライストロンのメインボデイ部、銅管継ぎ手、銅ブロックタイプヒートシンクなどがある。特に、空洞共振型の直進型クライストロンのメインボデイ部は無酸素銅と鋼との異種金属をろう付けしているが、上記の仮付けをしその後に拡散接合による本結合を行うことにより信頼性の高い強固な接合が簡単に得られるという効果がある。
【００５１】
なお、本発明の結合方法は部分的にろう付けする仮結合に限定されるものではなく、連続的にろう付けする本結合にも適用できることは明白であり、本発明における仮結合工程を廃止し本結合工程のみとすることもできる。
【実施例】
【００５２】
以下実施例に基づき本発明を詳細に説明する。
【００５３】
ディスクの寸法：直径６０ｍｍ×厚さ８ｍｍ  
枚数：７５
外周糸面取り溝：両幅約０.５ｍｍ×深さ約０.５ｍｍ
レギュラーセルの長さ：６００ｍｍ
レギュラーセルの軸方向押圧力：４０００乃至５０００Ｎ
ブレージングワイヤ  ：銅系ワイヤ
不活性ガス：アルゴン
レーザ光の種類：ＣＯ２
出力：２．０乃至４．０Ｋｗ
ディスクの周速度：１００乃至２５０ｍｍ/分、２５０乃至４００ｍｍ/分の  ２種
デュ-ティ比：３５、４０％（ディスクの周速度１００乃至２５０ｍｍ/分のとき）
デュ-ティ比：５５、６０％（ディスクの周速度２５０乃至４００ｍｍ/分のとき）
ろう付けビードの長さ：２ｍｍ
【００５４】
以上の条件で仮結合したときの結果を表１に示した。
溶着状況の○はほぼ完全溶着、◎は完全溶着、△は一部球状、×は球状飛散を示している。結合強度はろう付け部の剥離強度を実測したものである。
【００５５】
実施例１は移動速度１００乃至２５０ｍｍ/分、デューティ比３５％としたものであるが結合強さは１４３ＭＰａであり、仮結合に必要な強度（安全率４、最低溶着２個所の場合、約１２０ＭＰａ以上）を十分確保できた。
【００５６】
実施例２は実施例１において、デューティ比４０％としたものであるが結合強さは１８９ＭＰａであり、実施例１より高い強度が得られた。
【００５７】
実施例３は移動速度２５０乃至４００ｍｍ/分、デューティ比５５％としたものであるが結合強さは１５１ＭＰａであり、十分な強度であった。
【００５８】
実施例４は実施例３において、デューティ比６０％としたものであり、実施例３より溶着が完全で結合強さは１８０ＭＰａであり、実施例３より高い強度が得られた。
【００５９】
比較例１、２、３は実施例１において、デューティ比をそれぞれ３０、４５、５０％にしたものであるが、比較例１はデューティ比が低すぎ、比較例２、３
は高過ぎていずれも溶着不良であった。
【００６０】
比較例４、５、６は実施例３、および４において、デューティ比をそれぞれ５０、６５、７０％にしたものであるが、比較例４はデューティ比が低すぎ、比較例５，及び６はデューティ比が高過ぎていずれも溶着不良であった。
【００６１】
【表１】
2005224832.tif 000003
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の実施の形態に係る電子加速管の断面図である。
【図２】図1の側面図である。
【図３】本発明の実施の形態に係る電子加速管の製造装置の全体図である。
【図４】図３のＡ−Ａ断面図である。
【図５】図４のＢ−Ｂ断面図である。
【符号の説明】
【００６３】
１００・・・電子加速管
１１０・・・レギュラーセル
１１１・・・ディスク（銅製）
１１２・・・外周糸面取り溝
１１３・・・合せ面
１１４・・・外周面
１１５・・・通路（加速電子）
１１６・・・水路
１２０・・・カプラーセル
１２１・・・高周波導入口
１２２・・・電子ビーム導入口
１２３・・・カップリング
１２４・・・冷却水導通孔
１２５・・・ジョイント
１２６・・・カップリング
１２７・・・エクステンション
１２８・・・エクステンション
１３０・・・レーザ発信器
１３１・・・レーザノズル    
１３２・・・レーザ光  
１４１・・・不活性ガス供給管  
１４２・・・不活性ガス供給ボンベ
１５０・・・ブレージングワイヤ供給装置
１５１・・・ブレージングワイヤ
１５２・・・溶着ビード
１６０・・・ベースプレート
１７０・・・移動プレート    
１７１・・・駆動装置    
１７２・・・駆動スクリュー
１７３・・・支持壁
１８０・・・位置決めブロック
１８１・・・支え面
１８２・・・固定ボルト
１９０・・・回転装置    
１９１・・・押圧シリンダ    
１９２・・・回転プレート
【図１】
2005224832.tif 000004
【図２】
2005224832.tif 000005
【図３】
2005224832.tif 000006
【図４】
2005224832.tif 000007
【図５】
2005224832.tif 000008