(57)【要約】【課題】セラミックスラリーを型に充填して、セラミック成形体を得る湿式プレス装置において、成形後、装置の金型面に成形体の付着が起こり、生産性の面で問題となっていた。【解決手段】溶媒中にセラミック粉末及びバインダーを含有したセラミックスラリーを充填する加圧容器と、該加圧容器内で前記セラミックスラリーに圧力を付与する圧力付与部材と、前記加圧容器の内壁面の一部に多孔質材を介して前記加圧容器から溶媒を排出する排出口とを有する湿式プレス装置であって、前記圧力付与部材の加圧面に前記セラミックスラリーの付着防止層を設けた湿式プレス装置とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
溶媒中にセラミック粉末及びバインダーを含有したセラミックスラリーを充填する加圧容器と、該加圧容器内で前記セラミックスラリーに圧力を付与する圧力付与部材と、前記加圧容器の内壁面の一部に多孔質材を介して前記加圧容器から溶媒を排出する排出口とを有する湿式プレス装置であって、前記圧力付与部材の加圧面に前記セラミックスラリーの付着防止層を設けたことを特徴とする湿式プレス装置。
【請求項２】
前記付着防止層が非晶質硬質炭素膜からなり、その表面粗さ（Ｒａ）が０．３μｍ以下であることを特徴とする請求項１に記載の湿式プレス装置。
【請求項３】
前記非晶質硬質炭素膜が少なくとも１層以上のＣｒ、ＴｉＣもしくはＷからなる中間層を介して被覆されていることを特徴とする請求項１または２に記載の湿式プレス装置。
【請求項４】
前記加圧容器は、貫通穴を有する柱状体の一方開口を上パンチで閉鎖して形成されたものであり、前記圧力付与部材は前記加圧容器の貫通孔に挿入可能な柱状体からなる下パンチであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の湿式プレス装置。
【請求項５】
前記下パンチの側面の外周に、前記セラミックスラリーの漏洩を防止するＯ（オー）リングを形成したことを特徴とする請求項４に記載の湿式プレス装置。
【請求項６】
前記上パンチに排出口を形成したことを特徴とする請求項４又は５に記載の湿式プレス装置。
【請求項７】
請求項１乃至６に記載の湿式プレス装置によりジルコン酸チタン酸鉛を主成分とするセラミック粉末及びバインダーを含有したセラミックスラリーを用いてセラミック成形体を成形することを特徴とするセラミック成形体の製造方法。
【請求項８】
請求項７に記載のセラミック成形体の製造方法を用いて成形、焼成されてなることを特徴とするセラミック焼結体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は加圧容器内でセラミックスラリーに圧力を加えてセラミック成形体を得る湿式プレス装置およびこれを用いて成形されるセラミック成形体の製造方法ならびにこれを用いて成形、焼成されてなるセラミック焼結体に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、セラミック粉末と溶媒とバインダーを混合してなるセラミックスラリーを用いて、セラミック成形体を得る方法として、セラミックグリーンシートを作製するドクターブレード法や前記セラミックスラリーを例えば石膏型などに注入してセラミック成形体を得る鋳込み成形法、さらには前記セラミックスラリーをスプレードライヤー法によって顆粒としてプレス成形する方法などが用いられている。
【０００３】
しかしながら、近年セラミックの用途の拡大に伴って、欠陥の少ないセラミック焼結体が求められるようになってきている。特に、電気特性が重要視されるような例えば圧電セラミックなどにおいては、アクチュエータとしての小型化が進み、ますます電気特性を左右する気孔の少ないものが求められており、用いるセラミック粉末の微細化が進んでいるのが現状である。しかしながら、このような傾向とは裏腹に、前述のような成形法では気孔を減らすには限界があり、さらにセラミック粉末の微細化に伴って、得られるセラミック成形体にはクラックが入りやすくなっていた。
【０００４】
このような点から、より高密度で、気孔の少ないセラミック成形体を得る方法として、セラミックスラリーに圧力を加えて石膏型に注入することによってセラミック粉末が圧密されるセラミックの成形方法が開示されている（特許文献１参照）。
【０００５】
また、圧力を加えてセラミックスラリーを石膏型に注入してセラミック成形体を得るための高圧鋳込用泥しょうの調整方法が開示されている（特許文献２参照）。
【０００６】
ところが、上記のような石膏型を用いる方法は、石膏型がセラミックスラリー中の溶媒を吸収したあと、これを除去するのに時間がかかるとともに、微細なセラミック粉末が目詰まりして使えなくなるなど量産性に乏しいものであった。
【０００７】
そこで、このような状況を改善し、前述のような石膏型を用いた成形方法と比較して、溶媒除去や目詰まりの問題のない高密度のセラミック成形体を得る方法として、少なくとも溶媒中にセラミック粉末及びバインダーを含有したセラミックスラリーを充填する加圧容器と、この加圧容器内に圧力を付与する圧力付与部材と加圧容器の内壁面の一部に多孔質材を介して前記加圧容器から溶媒を排出する排出口とから成り、セラミックスラリーが充填された加圧容器内の圧力を、圧力付与部材により付与して成形体を形成してなるセラミック成形体の製造方法が開示されていた（特許文献３参照）。
【特許文献１】特公平２−４２３２１号公報
【特許文献２】特開平７−２５６６２７号公報
【特許文献３】特開平５−２２０７１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、石膏型を用いない特許文献３の方法においても次のような問題点があった。
【０００９】
すなわち、成形機の金型表面はより高精度の成形体を成形するために、その表面粗度を極めて平滑な面とするように仕上げられており、平滑な面であるが故に、成形後に成形体が金型の表面に密着してしまい、これを無理に取ろうとすると成形体が破損したり、成形体の一部が取れて金型表面に付着して、この結果成形体に欠陥を生じてしまっていた。そこで、この付着を防止するために、金型表面に離型剤を塗布する試みがなされたが、金型に用いられた金属は離型剤をその表面に長期間保持することができず、数回の成形で離型剤の効果が薄れ、前記の成形体の付着の問題が再発してしまうという問題である。
【００１０】
このような状況から前記の付着物を取ろうとして、新たに工程を設けると、著しく量産性に欠ける製造工程となってしまっていた。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は前記課題に鑑み、溶媒中にセラミック粉末及びバインダーを含有したセラミックスラリーを充填する加圧容器と、該加圧容器内で前記セラミックスラリーに圧力を付与する圧力付与部材と、前記加圧容器の内壁面の一部に多孔質材を介して前記加圧容器から溶媒を排出する排出口とを有する湿式プレス装置であって、前記圧力付与部材の加圧面に前記セラミックスラリーの付着防止層を設けたことを特徴とする。
【００１２】
また、前記付着防止層が非晶質硬質炭素膜からなり、その表面粗さ（Ｒａ）が０．３μｍ以下であることを特徴とする。
【００１３】
さらに、前記非晶質硬質炭素膜が少なくとも１層以上のＣｒ、ＴｉＣもしくはＷからなる中間層を介して被覆されていることを特徴とする。
【００１４】
また、前記加圧容器は貫通穴を有する柱状体の一方開口を上パンチで閉鎖して形成されたものであり、前記圧力付与部材は前記加圧容器の貫通孔に挿入可能な柱状体からなる下パンチであることを特徴とする。
【００１５】
また、前記下パンチの側面の外周に、前記セラミックスラリーの漏洩を防止するために、フッ素ゴムのＯリングを形成したことを特徴とする。
【００１６】
また、前記上パンチに排出口を形成したことを特徴とする。
【００１７】
また、前記湿式プレス装置を用いたセラミック成形体の製造方法であって、ジルコン酸チタン酸鉛を主成分とするセラミック粉末及びバインダーを含有したセラミックスラリーを成形することを特徴とする。
【００１８】
また、セラミック焼結体の製造方法として前記のセラミック成形体の製造方法を用いて成形、焼成されてなることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、前記圧力付与部材の少なくとも加圧面に付着防止層を設けたことによって、前記加圧面にスラリーが付着することなくセラミック成形体を成形することができ、それが原因で生じる成形体の欠陥をなくすことが可能となる。更には、連続成形が可能となり、量産性が向上する。
【００２０】
また、前記付着防止層が非晶質硬質炭素膜からなり、その表面粗さ（Ｒａ）を０．３μｍ以下とすることにより、圧力付与部材がセラミックスラリー中の粉体との摩擦により摩耗することを防止できるばかりか、スラリー付着防止のために圧力付与部材表面に塗布した離型剤を長期間にわたって保持することが可能となり、安定した成形を長期間にわたって持続することが可能となる。
【００２１】
さらに、前記非晶質硬質炭素膜が少なくとも１層以上のＣｒ、ＴｉＣもしくはＷからなる中間層を介して被覆されていることにより、圧力付与部材表面への前記非晶質硬質炭素膜の密着性を向上させることができるため、長期間の連続成形においても膜の剥離等がなく、良好な成形を維持することが可能となる。
【００２２】
また、前記セラミックスラリーの漏洩を防止する手段として、Ｏ（オー）リングを用いたことにより、加圧容器外へのセラミックスラリーの漏洩を防止することができる。さらに、Ｏリングの材質をフッ素ゴムとしたために、連続成形においてもＯリングが摩耗しにくく、長期間にわたってセラミックスラリーの加圧容器外への漏洩を防止できる。
【００２３】
また、前記上パンチに排出口を形成したことにより、セラミックスラリーに圧力を付与した際に、前記圧力付与部材の加圧方向に排出口が設置されており、スラリー中の溶媒がより排出されやすくなる。
【００２４】
また、前記湿式プレス装置によりジルコン酸チタン酸鉛を主成分とするセラミック粉末及びバインダーを含有したセラミックスラリーを用いてセラミック成形体を成形することにより、セラミックスラリーの付着が原因で生じる欠陥のない良好な成形体を製造可能となる。
【００２５】
また、前記のセラミック成形体の製造方法を用いてこれを成形、焼成することにより、欠陥が少なく、高密度なセラミック焼結体を得ることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明を実施するための最良の形態について説明する。
【００２７】
図１に本発明の湿式プレス装置の構造概略図を示す。
【００２８】
この湿式プレス装置１は、主に貫通穴を有する柱状体であるシリンダー４と上パンチ２からなる加圧容器と、圧力付与部材６である下パンチより構成されている。そして、シリンダー４の一方開口を多孔質材３が介して上パンチ２により閉鎖し、シリンダー４のもう一方の開口から下パンチを挿入して、上パンチと下パンチの間のスラリー充填域９にスラリーを充填して、下パンチに図の矢印Ａの方向から油圧等により圧力をかけることにより、多孔質材３でスラリー中の溶媒のみを濾し取り、上パンチ２に設けた排出口８より排出させながらセラミック成形体を成形する。
【００２９】
このため、従来から石膏型を用いた鋳込み成形等で問題となっていた石膏型に起因する目詰まり等の問題がなく、しかもスラリー中の材料粒子の自然沈降を待つ時間が必要ないために製造工程の大幅な時間短縮を図れ、セラミック成形体の生産性が向上する。
【００３０】
ここで、前記多孔質材３としては、布、紙、フェルト、多孔質セラミック、多孔質金属、多孔質樹脂等を用いることが可能であり、これらを組み合わせたものも使用可能である。本発明の湿式プレス装置１においては、特にナイロン製の濾布を用いるのが好適である。
【００３１】
なお、前記セラミックスラリーの溶媒として有機溶剤等を用いる場合は、多孔質材としては不溶性のものを用いるのがよい。また、多孔質材３の孔径としては、溶媒のみを透過させるのであれば、どのような範囲としても良いが、０．１〜１００μｍとするのがより好適である。
【００３２】
また、排出口８はシリンダー４の内壁面、あるいは上パンチ２のパンチ面に形成することが可能であり、排出口８形成面の反対側の出口に排出ポンプを接続すれば、前記セラミックスラリーの溶媒を効率的に排出できる。さらに、セラミックスラリー中の溶媒を多孔質材３で濾過し排出するには、圧力付与部材６の圧力がセラミックスラリーに直接かかるのが良く、このように良好な溶媒排出を実施できる構造とするには前記排出口８は上パンチに形成するのがより好適である。
【００３３】
また、前記排出口８の孔径としては、小さすぎて目詰まりを起こし、大きすぎて多孔質材に影響を及ぼすと好ましくないため、φ０．５〜φ１０ｍｍの範囲とするのがより好適であり、さらには、多孔質材３と上パンチ２の間に多孔質材３の孔径と排出口８の孔径のギャップをカバーするための０．１〜０．５ｍｍの孔径を有するフィルターを設置することもできる。
【００３４】
さらに、本発明の湿式プレス装置においては、前記圧力付与部材６の表面に付着防止層５が設けられていることが最大の特徴といえる。
【００３５】
この付着防止層５は、少なくとも圧力付与部材６である下パンチの加圧表面に設置されていれば良く、その他にもシリンダー内壁面や上パンチ２の表面にも設置することが可能である。そしてこのような付着防止層５を形成すると、圧力付与部材６の表面に成形体の付着を防止するために離型剤を塗布した際にも、長期間にわたってその効力を発揮することが可能であるため、欠陥のないセラミック成形体を作製可能である。
【００３６】
ここで、前記付着防止層５としては、例えば一般的に金属材料表面にコーティング層として被覆されるものであれば、どのようなものでも採用可能であるが、本発明では特に非晶質硬質炭素膜を用いるのが良い。この非晶質硬質炭素膜はＤＬＣとも呼ばれ、非常に高硬度であるために耐摩耗性に優れ、前記セラミックスラリー中に含まれるセラミック粒子との摩擦においてもほとんど摩耗することがない。また、この非晶質硬質炭素膜の表面粗さを算術平均粗さ（Ｒａ）で０．３μｍ以下の面とすると、セラミック成形体においても極めて良好な面粗度が得られる。さらに、この非晶質硬質炭素膜は離型剤の保持力に優れており、長期間にわたって離型剤の効果を持続させ、圧力付与部材６の表面に成形後のセラミック成形体の一部が付着することを防止することが可能である。
【００３７】
なお、上記離型剤としてはオイル型、溶液型のものを使用することがより好適である。
【００３８】
また、前記非晶質硬質炭素膜については、少なくとも１層以上のＣｒ、ＴｉＣもしくはＷからなる中間層を介して、圧力付与部材６の表面にコーティングすることが好ましい。こうすることにより、前記中間層が基材である圧力付与部材６表面と非晶質硬質炭素膜の両方に化学的に結合されるため、非晶質硬質炭素膜の圧力付与部材６表面への密着性を増すことができ、より耐久性を向上させることが可能となる。
【００３９】
さらに、前記非晶質硬質炭素膜は、成膜ガスとして炭化水素ガス（ＣＨ４、Ｃ２Ｈ６、Ｃ３Ｈ８などのパラフィン系炭化水素やＣ６Ｈ６などの芳香族炭化水素など）を用い、ＣＶＤ法、ＰＶＤ法、スパッタリング法等の薄膜形成手段を用いて、圧力付与部材６の加圧面に均一な膜として形成している。
【００４０】
また、本発明の湿式プレス装置１は、図１に示すようにスラリー充填域９に前記セラミックスラリーを充填して圧力を付与するために、圧力付与部材６とシリンダー４の隙間からセラミックスラリーが漏洩しないように、スラリーの漏洩を防止する手段であるＯ（オー）リング７を設けている。本発明では特に前記Ｏリング７の材質として高硬度であり耐熱性、耐薬品性にも優れるフッ素ゴムを用いることにより、Ｏリングの長寿命化を図っている。なお、前記Ｏリング７の材質としては、フッ素ゴムの他にも、天然ゴム、シリコンゴム、ニトリルゴム等様々な材質のものを用いることが可能である。
【００４１】
さらに、前記Ｏリング７は圧力付与部材６である下パンチの加圧面から５〜３０ｍｍの範囲内に設置するのが良い。Ｏリング７が圧力付与部材６の加圧面から５ｍｍより短い位置に設置した場合、加圧面と、Ｏリング７を設置するために設けたＯリング溝までの、細くなった圧力付与部材６の一部分が成形のために加圧した際に、その荷重に耐えきれず破損してしまうためである。また、３０μｍより長い位置に設置した場合には、圧力付与部材６の加圧面から、Ｏリング７までのシリンダー４と圧力付与部材６の微少隙間に入り込んだセラミックスラリーが、成形後にセラミック成形体のエッジに付着するため、ハンドリングの際にその部分がカケ易く、良好な成形体が製作できなくなるためである。
【００４２】
また、前記シリンダーと圧力付与部材６である下パンチの最小クリアランスは１０〜３０μｍとすることが好ましい。このクリアランスが１０μｍより小さくなると、シリンダーと圧力付与部材６のクリアランスが小さすぎるために、前記シリンダー４から圧力付与部材６である下パンチを引き抜くと、再度挿入することが非常に困難になるからである。また、３０μｍより大きなクリアランスではＯリング７からスラリーが漏れた場合に、下パンチとシリンダー４の隙間にスラリーが詰まり、下パンチの上下動に伴い、シリンダー４表面を傷つけるからである。さらに、１５〜２５μｍの範囲内とすればより好適にセラミック成形体を製造することが可能となる。
【００４３】
また、前記非晶質硬質炭素膜が非常に高硬度であり、耐摩耗性に優れることは述べたが、その表面粗さは、１０００回の成形を経ても成形前後の表面粗さの比率は１．１以下であり、プレス成形の繰り返しによる前記付着防止層５の劣化が極めて少なく、長期間にわたって良好な成形を維持することができるばかりか、付着防止層５の再コーティング等のメンテナンス回数を削減でき、装置のメンテナンスコストを削減できる。
【００４４】
また、本発明の湿式プレス装置１は特にセラミック基板等の薄板形状の高密度なセラミック成形体を得るために有用であり、成形に用いられるセラミック材料としては、チタン酸バリウム、チタン酸カリウム、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、アルミナ、ジルコニア、フェライト、炭化珪素、窒化珪素、窒化アルミニウム等を主成分とする材料が成形可能である。特に圧電セラミック等の平均粒子径が１μｍ以下の微細な粉末に有効であり、本発明の湿式プレス装置１により成形された圧電セラミック成形体を焼成すると、密度が７．９０〜７．９５ｇ／ｃｍ３で平均気孔率が０．２〜０．４面積％の焼結体を得ることができ、得られた焼結体は優れた電気特性を有する圧電セラミック体となる。
【００４５】
次に本発明の湿式プレス装置を用いたセラミック成形体の製造方法について説明する。
【００４６】
まず、成形に用いるセラミックスラリーとしては、溶媒として水を用い、これと前記のようなセラミック材料を混合し、これにバインダー、分散剤等を所定量加えて作製する。
【００４７】
ここで、前記セラミックスラリーに用いる溶媒としては、水の他にトルエン、カルビトール、イソプロピルアルコール、シクロヘキサン、メチルエチルケトン等を用いることが可能であるが、安全性、コスト面を考慮した場合に水を用いるのが好適である。
【００４８】
また、バインダーとしてはＰＶＡ、アクリル系樹脂、ブチラール系樹脂、セルロース系樹脂、ビニル系樹脂、酢酸セルロース等が使用可能であるが、特にアクリル系樹脂が好適である。
【００４９】
そして、前記のようなセラミックスラリーを回転ミル等の混合攪拌機にて混合して作製し、このセラミックスラリーを本発明の湿式プレス装置１のシリンダー４内のスラリー充填域９に充填する。このときスラリーの粘度としては、０．５〜４Ｐ（ポイズ）に調整するのが良い。０．５Ｐより低い粘度では均一に成形するのが困難であり、４Ｐより高い粘度ではスラリーを充填しにくい。スラリーを充填した後、圧力付与部材６である下パンチに圧力をかけて成形を実施する。圧力をかけられたスラリーは、スラリー充填域９内で圧縮されていき、多孔質材３を介してスラリー中の溶媒のみが排出口８を通して排出され、スラリー充填域９内に残留したスラリー中のセラミック粉体、バインダーがさらに圧力を受けて成形される。
【００５０】
前記のように成形されたセラミック成形体については、その内部の溶媒の残存量が３〜６質量％であり、適度な固さや強度を有しておりハンドリング性が良い。ここで、前記溶媒の残存量が３質量％未満であると、セラミック成形体が破損しやすく著しくハンドリング性が低下し、６質量％を超えるとこの後の乾燥工程において、特に多孔質材３との接触面側にクラックが発生しやすくなる。溶媒の残存量が６質量％を超えさらに多くなった場合には、ついにはセラミック成形体が柔らかくなり、ハンドリングできなくなる。
【００５１】
そして、前記のようなセラミック成形体中の溶媒残存量とするには、圧力付与部材による加圧力を２５〜６０ＭＰａの圧力とすれば良い。なぜなら圧力が２５ＭＰａ未満であると溶媒の残存量が３質量％未満となり、６０ＭＰａを超えると６質量％を超えることになるからである。６０ＭＰａを超えてさらに圧力を上昇させた場合には、セラミック成形体内部に応力が残留し、成形後に反りが発生する。
【００５２】
このようにして本発明の湿式プレス装置にて成形されたセラミック成形体は、高密度、高精度であり、ハンドリング性も非常に良好なものとなり、この成形体を焼成すると、優れた機械的、電気的特性を有したセラミック焼結体を得ることが可能となる。
【００５３】
以上、本発明の実施形態について示したが、本発明は上述した実施形態のものだけに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で改良や変更したものにも適用できることは言う迄もない。
【実施例】
【００５４】
以下、本発明の実施例について説明する。
【００５５】
図１に示すような断面構造を有する本発明の湿式プレス装置１を用いて圧電セラミック基板用成形体の製造を行った。以下に詳細を示す。
【００５６】
まず、チタンジルコン酸鉛（ＰＺＴ）の粉末１０ｋｇに、溶媒として水２、５ｋｇ、バインダーとしてアクリル樹脂１７０ｇをそれぞれ添加して、回転ミルにて混合してセラミックスラリーを作製した。
【００５７】
次に、前記セラミックスラリーを図１に示す構造の本発明の湿式プレス装置１のシリンダー４に３３０ｇ充填し、圧力付与部材６である下パンチを矢印Ａの方向に油圧装置（不図示）を用いて移動させ、吸引ポンプ（不図示）で溶媒の水を多孔質材３を介して排出口８を経て排出させながら、セラミック成形体１０００枚を成形した。このとき、加圧力は４０ＭＰａとし、多孔質材３としては布、紙と重ねて図１のように上パンチ２の表面に設置した。
【００５８】
なお、圧力付与部材６である下パンチの加圧面には、予め付着防止層５として非晶質硬質炭素膜をＣＶＤ法によりＣｒからなる中間層を介して形成してある。また、スラリー漏洩防止手段としては、フッ素ゴムからなるＯリングを圧力付与部材６である下パンチの加圧面から１０ｍｍの位置に設置してあり、さらにはシリンダー４と下パンチの最小クリアランスは２０μｍとしてある。
【００５９】
また、従来の湿式プレス装置においても前記セラミックスラリーを用いて同様の加圧力にてセラミック成形体１０００枚の成形を実施し、比較例とした。なお、従来の湿式プレス装置は、圧力付与部材６に付着防止層５を形成していないだけで、他の部分については、本発明の湿式プレス装置と同仕様としてある。
【００６０】
この実験の結果、比較例として実施した従来の湿式プレス装置による成形においては、離型剤を圧力付与部材６の表面に塗布して成形を開始したものの、５枚程度成形したところで、圧力付与部材６の表面にセラミック成形体の一部が付着するという不具合が生じ、再度離型剤を塗布する作業工程を追加しなければならず、作業時間の大幅なロスを生じた。
【００６１】
さらには、１０００枚の成形実施後、圧力付与部材６表面が摩耗しており、その表面粗さが成形前の算術平均粗さ（Ｒａ）０．５μｍから成形後に１μｍ以上となっていた。
【００６２】
これと比較して、本発明の湿式プレス装置１を用いた場合には、離型剤を塗布した後、１００枚成形しても付着の問題もなく良好に成形でき、従来の湿式プレス装置を用いて成形した場合と比較して、大幅にトータルの成形時間を短縮することができた。
【００６３】
さらには、１０００枚成形後も圧力付与部材６に設けた付着防止層５に剥離等なく、その表面粗さは成形前後で算術平均粗さ（Ｒａ）０．１μｍの値であり、摩耗していないことが確認された。
【００６４】
また、前記本発明のセラミック成形体については、成形体中の溶媒残存量が３．５質量％であり、これを減圧雰囲気下で室温で乾燥した後、さらに必要に応じて５０〜３００℃の温度で加熱し、脱脂、焼成を行い圧電セラミック基板を得た。得られた圧電セラミック基板は、密度７．９５、平均気孔率が０．３面積％であり、良好な圧電特性を示した。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明の湿式プレス装置の断面図である。
【符号の説明】
【００６６】
１：湿式プレス装置 
２：上パンチ
３：多孔質材 
４：シリンダー
５：付着防止層 
６：下パンチ 
７：スラリー漏洩防止手段
８：排出口
９：スラリー充填域 
【図１】
2005153365.tif 000003