(57)【要約】【課題】  界面の密着力が強固であり、剥がれが発生しにくい回折光学素子を提供する。【解決手段】  上面にレリーフパターンが形成されたガラス基板１を製造する（ａ）。そして、ガラス基板１の上面に、酸化アルミニウム層２と酸化ケイ素層３を順に成膜する（ｂ）。さらに、その上に、シランカップリング処理を施す。続いて、酸化ケイ素層３の上に、ディスペンサを使用して紫外線硬化樹脂層４を形成する（ｃ）。そして、紫外線を透過する物質でできた下面が平面の型５とガラス基板１で、紫外線硬化樹脂層４を挟んで成形した後、型５を通して紫外線硬化樹脂層４に紫外線を照射し、紫外線硬化樹脂層４を硬化させる（ｄ）。そして、型５から剥離すると、ガラス基板１と紫外線硬化樹脂層４と、その間に挟まった酸化アルミニウム層２と酸化ケイ素層３からなり、ガラス基板１と紫外線硬化樹脂層４の境界面にレリーフパターンが形成された回折光学素子６が完成する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラスと樹脂層とが積層されてなり、それらの境界面が光学的な回折効果を有するパターンとされている構造を有する回折光学素子であって、前記境界面のガラスと樹脂層との間に、酸化アルミニウムのみからなる層が形成されていることを特徴とする回折光学素子。
【請求項２】
２つの屈折率が異なる樹脂層が積層されてなり、それらの境界面が光学的な回折効果を有するパターンとされている構造を有する回折光学素子であって、前記２つの樹脂層の間に、酸化アルミニウムのみからなる層が形成されていることを特徴とする回折光学素子。
【請求項３】
ガラスと樹脂層とが積層されてなり、それらの境界面が光学的な回折効果を有するパターンとされている回折光学素子であって、前記境界面のガラスと樹脂層との間に、酸化アルミニウム層と酸化ケイ素層が積層されて形成されていることを特徴とする回折光学素子。
【請求項４】
２つの屈折率が異なる樹脂層が積層されてなり、それらの境界面が光学的な回折効果を有するパターンとされている構造を有する回折光学素子であって、前記２つの樹脂層の間に、酸化アルミニウム層と酸化ケイ素層が積層されて形成されていることを特徴とする回折光学素子。
【請求項５】
前記酸化アルミニウム層の厚さが、50nm以上であることを特徴とする請求項１から請求項４のうちいずれか１項に記載の回折光学素子。
【請求項６】
前記酸化アルミニウム層の厚さが、150nm以下であることを特徴とする請求項１から請求項５のうちいずれか１項に記載の回折光学素子。
【請求項７】
前記酸化アルミニウム層の厚さが、75nm以下であることを特徴とする請求項６に記載の回折光学素子。
【請求項８】
前記酸化ケイ素層を有し、前記酸化ケイ素層の厚さが、100nm以下であることを特徴とする請求項３から請求項請求項７のうちいずれか１項に記載の回折光学素子。
【請求項９】
前記酸化ケイ素層の厚さが、85nm以下であることを特徴とする請求項８に記載の回折光学素子。
【請求項１０】
前記酸化ケイ素層を有し、前記酸化アルミニウム層と前記酸化ケイ素層の合計厚さが160nm以下であることを特徴とする請求項３から請求項請求項９のうちいずれか１項に記載の回折光学素子。
【請求項１１】
ガラス面に光学的な回折効果を有するパターンを成形後、前記ガラス面に酸化アルミニウム層を形成し、前記酸化アルミニウム層表面をシランカップリング処理し、さらにその上に、前記酸化アルミニウム層に密着するように樹脂層を形成する工程を有することを特徴とする回折光学素子の製造方法。
【請求項１２】
ガラス面に光学的な回折効果を有するパターンを成形後、前記ガラス面に酸化アルミニウム層と酸化ケイ素層を形成し、前記酸化アルミニウム層と前記酸化ケイ素層のうち前記ガラス面から遠いものの表面をシランカップリング処理し、さらにその上に、前記酸化アルミニウム層と前記酸化ケイ素層のうち前記ガラス面から遠いものに密着するように樹脂層を形成する工程を有することを特徴とする回折光学素子の製造方法。
【請求項１３】
第１の樹脂面に光学的な回折効果を有するパターンを成形後、第１の樹脂面に酸化アルミニウム層を形成し、前記酸化アルミニウム層表面をシランカップリング処理し、さらにその上に、前記酸化アルミニウム層に密着するように、第１の樹脂と屈折率の異なる樹脂により第２の樹脂層を形成する工程を有することを特徴とする回折光学素子の製造方法。
【請求項１４】
第１の樹脂面に光学的な回折効果を有するパターンを成形後、第１の樹脂面に酸化アルミニウム層と酸化ケイ素層を形成し、前記酸化アルミニウム層と前記酸化ケイ素層のうち第１の樹脂面から遠いものの表面をシランカップリング処理し、さらにその上に、前記酸化アルミニウム層と前記酸化ケイ素層のうち第１の樹脂面から遠いものに密着するように、第１の樹脂と屈折率の異なる樹脂により第２の樹脂層を形成する工程を有することを特徴とする回折光学素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラスと樹脂層、又は屈折率の異なる２つの樹脂層の境界面に、レリーフパターン等の光学的な回折効果を有するパターンを形成して、所望の光学的特性を有するようにした回折光学素子、及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ガラスと樹脂層、又は屈折率が互いに異なる２つの樹脂層の境界面に、レリーフパターンのような光学的な回折効果を有するパターンを形成して、所望の光学的特性を有するようにした回折光学素子は、例えば、特開平９−１２７３２１号公報（特許文献１）に記載され、回折レンズ、回折格子等の光学特性を有する光学素子として使用されている。
【０００３】
ガラスモールド法を使用した、このような回折光学素子の製造方法の１例を図２に示す。まず、平板状の第１の金型１１の上に加熱軟化させたガラス材１２を載せ、その上方にレリーフパターンが形成された第２の金型１３を位置させる（ａ）。そして、これら２つの金型１１、１３でガラス材１２を挟んで加圧する（ｂ）。そして、ガラス材１２を冷却後、金型１１、１３から剥離すると、下面が平面で上面にレリーフパターンが形成されたガラス基板１２が形成される（ｃ）。このような方法は一般に、ガラスモールド法と呼ばれている。
【０００４】
第２の金型１３にレリーフパターンを形成するためには、主として切削加工が用いられる。切削加工により精密加工を施しやすいニッケル等は高温に弱いため、使用されるガラス材１２も、通常のガラスモールドに使用されるガラスよりは融点の低いガラスが用いられる。
【０００５】
次に、ガラス基板１２の上面に、樹脂との接着性を良くするために、シランカップリング処理を施す。続いて、このガラス基板１２の上に、ディスペンサを使用して紫外線硬化樹脂を滴下する（ｄ）。そして、紫外線を透過する物質（例えば石英）でできた下面が平面の型１５とガラス基板１２で、紫外線硬化樹脂層１４を挟んだ後、型１５を通して紫外線硬化樹脂層１４に紫外線を照射し、紫外線硬化樹脂層１４を硬化させる（ｅ）。そして、型１５から剥離すると、ガラス基板１２と紫外線硬化樹脂層１４とからなり、その境界面にレリーフパターンが形成された回折光学素子１６が完成する（ｆ）。
【０００６】
【特許文献１】特開平９−１２７３２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記のような回折光学素子の形成過程において、ガラス中の酸化ケイ素含有量が少ない場合には、シランカップリング処理の効果が得られにくい。そして、前述のような理由により、回折光学素子用として使用される低融点ガラスは、酸化ケイ素含有量が少ない。よって、低融点ガラスを使用する場合には、シランカップリング処理に先立ち、シランカップリング処理を施す面に酸化ケイ素からなる層を形成することが行われてきた。
【０００８】
しかしながら、酸化ケイ素層を形成した場合でも、ガラスと樹脂との接着性を十分なものとすることが困難であった。さらに、酸化ケイ素層の膜厚が厚くなると、ガラスと樹脂層との界面に、第三の物質からなる層が形成されることとなり、その結果、光学特性が設計値からずれてしまうという問題点があった。
【０００９】
また、樹脂同士の界面に回折パターンを形成した密着複層型回折光学素子においても、樹脂同士の界面に良好な付着力を持たせることは難しく、耐環境性が良好で信頼性のある素子を得ることは難しかった。すなわち、密着性を持たせるために境界面を改質する処理方法として、例えばカップリング処理の他、短波長の紫外線照射やスパッタリング処理やプラズマ処理が、特開２００１−２５５４０８号公報（特許文献２）に開示されている。
【００１０】
しかし、このような方法を用いる場合、樹脂層の上にカップリング処理を行っても充分な密着性は得にくかった。また、ＵＶ照射やプラズマ処理を施すと、樹脂が変色して、不良が発生しやすいなどの問題があった。
【００１１】
本発明はこのよう事情に鑑みてなされたもので、ガラスと樹脂層、又は屈折率の異なる２つの樹脂層の境界面に、レリーフパターン等の光学的な回折効果を有するパターンを形成して、所望の光学的特性を有するようにした回折光学素子であって、界面の密着力が強固であり、かつ、耐環境性を有する回折光学素子およびその製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
前記課題を解決するための第１の手段は、ガラスと樹脂層とが積層されてなり、それらの境界面が光学的な回折効果を有するパターンとされている構造を有する回折光学素子であって、前記境界面のガラスと樹脂層との間に、酸化アルミニウムのみからなる層が形成されていることを特徴とする回折光学素子（請求項１）である。
【００１３】
本手段においては、ガラスと樹脂層との間に、酸化アルミニウムのみからなる層が形成されているので、酸化アルミニウム層の効果により、ガラスと樹脂層との密着力が大きくなり、ガラスと樹脂層とが剥離しにくくなる。なお、本明細書においてガラスとは、石英ガラス、石英をも含む、包括的な概念である。又、本手段においては、上述した構造のものを含むものであれば、例えば上述した構成の片面又は両面にガラス等の基板や、その他の光学素子が形成されているものをも含むものであり、このことは、他の全ての手段及び請求項において同じである。
【００１４】
前記課題を解決するための第２の手段は、２つの屈折率が異なる樹脂層が積層されてなり、それらの境界面が光学的な回折効果を有するパターンとされている構造を有する回折光学素子であって、前記２つの樹脂層の間に、酸化アルミニウムのみからなる層が形成されていることを特徴とする回折光学素子（請求項２）である。
【００１５】
本手段においては、２つの樹脂層の間に、酸化アルミニウムのみからなる層が形成されているので、酸化アルミニウム層の効果により、樹脂層同士の密着力が大きくなり、２つの樹脂層が剥離しにくくなる。
【００１６】
前記課題を解決するための第３の手段は、ガラスと樹脂層とが積層されてなり、それらの境界面が光学的な回折効果を有するパターンとされている回折光学素子であって、前記境界面のガラスと樹脂層との間に、酸化アルミニウム層と酸化ケイ素層が積層されて形成されていることを特徴とする回折光学素子（請求項３）である。
【００１７】
本手段においては、ガラスと樹脂層との間に、酸化アルミニウム層と酸化ケイ素層が積層されて形成されているので、酸化アルミニウム層と酸化ケイ素層の効果により、ガラスと樹脂層との密着力が大きくなり、ガラスと樹脂層とが剥離しにくくなる。
【００１８】
前記課題を解決するための第４の手段は、２つの屈折率が異なる樹脂層が積層されてなり、それらの境界面が光学的な回折効果を有するパターンとされている構造を有する回折光学素子であって、前記２つの樹脂層の間に、酸化アルミニウム層と酸化ケイ素層が積層されて形成されていることを特徴とする回折光学素子（請求項４）である。
【００１９】
本手段においては、２つの樹脂層の間に、酸化アルミニウム層と酸化ケイ素層が形成されているので、酸化アルミニウム層と酸化ケイ素層の効果により、樹脂層同士の密着力が大きくなり、２つの樹脂層が剥離しにくくなる。
【００２０】
前記課題を解決するための第５の手段は、前記第１の手段から第５の手段のいずれかであって、前記酸化アルミニウム層の厚さが、50nm以上であることを特徴とするもの（請求項５）である。
【００２１】
酸化アルミニウム層の厚さを50nm以上とすると、真空蒸着等の手段により、均一な膜を容易に製造することができ、膜切れ等が発生する可能性が少なくなる。よって、境界面の全面に亘って、ガラスと樹脂層、又は樹脂層同士の密着力を強固なものとすることができる。
【００２２】
前記課題を解決するための第６の手段は、前記第１の手段から第５の手段のいずれかであって、前記酸化アルミニウム層の厚さが、150nm以下であることを特徴とするもの（請求項６）である。
【００２３】
界面での密着力の観点からは、酸化アルミニウム層の厚さに特に上限はないが、あまり厚くしても密着力向上の効果が飽和してしまう一方、光学上、第３の層が形成されたような効果が発生し、回折光学素子の光学特性を変化させる恐れがあるので、本手段においては、酸化アルミニウム層の厚さを、150nm以下に限定している。
【００２４】
前記課題を解決するための第７の手段は、前記第６の手段であって、前記酸化アルミニウム層の厚さが、75nm以下であることを特徴とするもの（請求項７）である。
【００２５】
本手段においては、光学上、第３の層が形成されたような効果が発生し、回折光学素子の光学特性を変化させる恐れを更に少なくするために、酸化アルミニウム層の厚さを、75nm以下に限定している。
【００２６】
前記課題を解決するための第８の手段は、前記第３の手段から第７の手段のいずれかであって、前記酸化ケイ素層を有し、前記酸化ケイ素層の厚さが、100nm以下であることを特徴とするもの（請求項８）である。
【００２７】
酸化ケイ素層もあまり厚くなると、光学上、第３の層が形成されたような効果が発生し、回折光学素子の光学特性を変化させる可能性があるので、本手段においては、酸化ケイ素層の厚さを、100nm以下に限定する。
【００２８】
前記課題を解決するための第９の手段は、前記第８の手段であって、前記酸化ケイ素層の厚さが、85nm以下であることを特徴とするもの（請求項９）である。
【００２９】
本手段においては、光学上、第３の層が形成されたような効果が発生し、回折光学素子の光学特性を変化させる可能性をさらに低下させるために、酸化ケイ素層の厚さを、85nm以下に限定する。
【００３０】
前記課題を解決するための第１０の手段は、前記第３の手段から第９の手段のいずれかであって、前記酸化ケイ素層を有し、前記酸化アルミニウム層と前記酸化ケイ素層の合計厚さが160nm以下であることを特徴とするもの（請求項１０）である。
【００３１】
酸化アルミニウム層と酸化ケイ素層の両者が形成される場合、両者の合計厚さがあまり厚くなると、やはり、光学上、第３の層が形成されたような効果が発生し、回折光学素子の光学特性を変化させる可能性がある。よって、本手段においては、両者の合計膜厚を160nm以下に限定する。
【００３２】
前記課題を解決するための第１１の手段は、ガラス面に光学的な回折効果を有するパターンを成形後、前記ガラス面に酸化アルミニウム層を形成し、前記酸化アルミニウム層表面をシランカップリング処理し、さらにその上に、前記酸化アルミニウム層に密着するように樹脂層を形成する工程を有することを特徴とする回折光学素子の製造方法（請求項１１）である。
【００３３】
前記課題を解決するための第１２の手段は、ガラス面に光学的な回折効果を有するパターンを成形後、前記ガラス面に酸化アルミニウム層と酸化ケイ素層を形成し、前記酸化アルミニウム層と前記酸化ケイ素層のうち前記ガラス面から遠いものの表面をシランカップリング処理し、さらにその上に、前記酸化アルミニウム層と前記酸化ケイ素層のうち前記ガラス面から遠いものに密着するように樹脂層を形成する工程を有することを特徴とする回折光学素子の製造方法（請求項１２）である。
【００３４】
前記課題を解決するための第１３の手段は、第１の樹脂面に光学的な回折効果を有するパターンを成形後、第１の樹脂面に酸化アルミニウム層を形成し、前記酸化アルミニウム層表面をシランカップリング処理し、さらにその上に、前記酸化アルミニウム層に密着するように、第１の樹脂と屈折率の異なる樹脂により第２の樹脂層を形成する工程を有することを特徴とする回折光学素子の製造方法（請求項１３）である。
【００３５】
前記課題を解決するための第１４の手段は、第１の樹脂面に光学的な回折効果を有するパターンを成形後、第１の樹脂面に酸化アルミニウム層と酸化ケイ素層を形成し、前記酸化アルミニウム層と前記酸化ケイ素層のうち第１の樹脂面から遠いものの表面をシランカップリング処理し、さらにその上に、前記酸化アルミニウム層と前記酸化ケイ素層のうち第１の樹脂面から遠いものに密着するように、第１の樹脂と屈折率の異なる樹脂により第２の樹脂層を形成する工程を有することを特徴とする回折光学素子の製造方法（請求項１４）である。
【００３６】
これら第１１の手段から第１４の手段によれば、現在汎用されている製造工程を使用して、簡単に、適宜、前記第１の手段から第１０の手段である回折光学素子を製造することができる。なお、第１２の手段、第１４の手段において、酸化アルミニウム層と酸化ケイ素層は、どちらを先に成膜してもよい。
【発明の効果】
【００３７】
以上説明したように、本発明によれば、ガラスと樹脂層、又は屈折率の異なる２つの樹脂層の境界面に、レリーフパターン等の光学的な回折効果を有するパターンを形成して、所望の光学的特性を有するようにした回折光学素子であって、界面の密着力が強固であり、かつ、耐環境性の優れた回折光学素子およびその製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３８】
以下、本発明の実施の形態の例を、図を用いて説明する。図１は、本発明の実施の形態の例である回折光学素子の製造方法、及びそれによって形成された回折光学素子の概要を示す図である。
【００３９】
まず、従来の方法と同様な方法（ガラスモールド法）により、上面にレリーフパターンが形成されたガラス基板１を製造する（ａ）。そして、ガラス基板１の上面（レリーフパターンが形成された面）に、真空蒸着により、酸化アルミニウム層２と酸化ケイ素層３を順に成膜する（ｂ）。さらに、その上に、シランカップリング処理を施す。
【００４０】
続いて、酸化ケイ素層３の上に、ディスペンサを使用して紫外線硬化樹脂を滴下する（ｃ）。そして、紫外線を透過する物質（例えば石英）でできた下面が平面の型５とガラス基板１で、紫外線硬化樹脂層４を挟んで成形した後、型５を通して紫外線硬化樹脂層４に紫外線を照射し、紫外線硬化樹脂層４を硬化させる（ｄ）。そして、型５から剥離すると、ガラス基板１と紫外線硬化樹脂層４と、その間に挟まった酸化アルミニウム層２と酸化ケイ素層３からなり、ガラス基板１と紫外線硬化樹脂層４の境界面にレリーフパターンが形成された回折光学素子６が完成する。
【００４１】
なお、以上の例においては、酸化アルミニウム層２と酸化ケイ素層３をこの順に形成していたが、酸化ケイ素層３を先に形成し、酸化アルミニウム層２をその上に形成するようにしてもよく、又、酸化ケイ素層３を形成することなく、酸化アルミニウム層２のみを形成するようにしてもよい。
【００４２】
又、ガラス基板１の代わりに、紫外線硬化樹脂層４とは屈折率の異なる樹脂層を用いるようにしてもよい。この場合、ガラス基板１の代わりに用いられる樹脂層は、ガラス基板の上に形成されていてもよい。なお、この場合でも、酸化ケイ素層３の上に施したシランカップリング剤と同じシランカップリング剤を用いて、酸化アルミニウム層２の上に、シランカップリング処理を行う。
【実施例】
【００４３】
＜実施例１＞下記（１）〜（５）のような工程により回折光学素子を作製した。
（１）ガラスモールド法で、上面に回折格子が形成されたガラス基板を作成した。使用した硝材は、外径60ｍｍのＰＳＫ60であり、使用した金型の形状は、同心円状の回折光学面光学素子のパターンが形成されたものである。このパターンは、格子高16μｍであり、格子ピッチは中心付近で２ｍｍ、外周付近0.12ｍｍで周辺に行くほどピッチが小さくなっている。成形温度は420℃、成形圧力は50kgf／cm２、除荷温度は370℃とした。
（２）回折格子成形面に酸化アルミニウム層、又はこれに加えて酸化ケイ素層を真空蒸着で成膜した。
（３）その上に下記のようにシランカップリング処理を行った。
(a)調合比：KBM503（信越化学）：エタノール：酢酸酸性水=2:48:50
(b)１時間攪拌後、ガラス表面にスピンコーターにて塗布し、110℃で５分間乾燥
（４）その上に、ディスペンサを使用して、多官能メタクリレートとウレタンアクリレートからなる紫外線硬化樹脂層を成形した。
（５）そして、発明の実施の形態に示した方法により、紫外線を透過する型とガラス基板で紫外線硬化樹脂を成型し、紫外線を照射して紫外線硬化樹脂を硬化させた後、型から剥離することにより、回折光学素子を完成させた。
＜実施例２＞下記（１）〜（５）のように回折光学素子を作製した。
（１）下記のように樹脂で回折格子を成形した。
【００４４】
外径60ｍｍのＰＳＫ60からなる平板状のガラス基板を用意し、樹脂成形前に成形面に予めシランカップリング処理を行った。シランカップリング処理は、実施例１の（３）と同様である。
（２）上記ガラス基板の上に、ディスペンサを使用し、２官能アクリレートと２官能チオールと光重合開始剤からなる紫外線硬化型樹脂を滴下した。そして、同心円状の回折光学面光学素子のパターンが形成された金型を使用し、ガラス基板とこの金型の間に樹脂を充填した後、ガラス基板側から紫外線を照射して、紫外線硬化樹脂を硬化させた後、金型から剥離した。金型に形成されたパターンは、格子高25μｍであり、格子ピッチは中心付近で２ｍｍ、外周付近0.12ｍｍで周辺に行くほどピッチが小さくなっている。
（３）回折格子成形面に酸化アルミニウム層、又はこれに加えて酸化ケイ素層を真空蒸着で成膜した。
（４）その上に下記のようにシランカップリング処理を行った。
(a)調合比：KBM503（信越化学）：エタノール：酢酸酸性水=2:48:50
(b)1時間攪拌後、ガラス表面にスピンコーターにて塗布し、110℃で5分間乾燥
（５）その上に、ディスペンサを使用して、ベンジルメタクリレート、2-propenoicacid[5,5'-[4-(1,1'-biphenylyl)methylene]bis[(1,1'-biphenyl)-2-poly(oxy-2,1-ethanediyl)ester]、ビスフェノールＡＦジメタクリレート、と光重合開始剤からなる紫外線硬化樹脂を滴下した。
（６）そして、発明の実施の形態に示した方法により、紫外線を透過する型とガラス基板で紫外線硬化樹脂を成型し、紫外線を照射して紫外線硬化樹脂を硬化させた後、型から剥離することにより、回折光学素子を完成させた。
＜比較例＞
酸化アルミニウム層の形成を行わなかった他は、実施例と同じ方法により回折光学素子を作成した。
【００４５】
実施例と比較例の結果を表１に示す。評価は、60℃で湿度90％、200時間の耐湿試験により行った。なお、表１において比較例の膜構成に「実施例１」、「実施例２」とあるのは、酸化アルミニウム層の形成を行わなかった他は、それぞれ実施例１、実施例２の方法と同じ方法で製造された回折光学素子であることを示す。
（表１）
【００４６】
【表１】
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【００４７】
表１を見ると分かるように、本発明の実施例においては、ガラスと樹脂層、又は樹脂層同士の界面の剥離が発生していないのに対し、比較例においては、いずれも、ガラスと樹脂層、又は樹脂層同士の界面の剥離が発生していることが分かる。
【００４８】
また、表１には記載されていないが、比較例１−２、２−２においては、耐湿試験後に、ガラス剥離面で白濁が発生していることが確認された。しかしながら、酸化アルミニウム層を有する本実施例では、全てにおいて耐湿試験を行っても変質は認められなかった。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の実施の形態の例である回折光学素子の製造方法、及びそれによって形成された回折光学素子の概要を示す図である。
【図２】ガラスモールド法を使用した、従来の回折光学素子の製造方法の１例を示す図である。
【符号の説明】
【００５０】
１…ガラス基板
２…酸化アルミニウム層
３…酸化ケイ素層
４…紫外線硬化樹脂層
５…型
６…回折光学素子
【図１】
2005062717.tif 000004
【図２】
2005062717.tif 000005