(57)【要約】【課題】  成膜対象物の断面形状が非円形の場合にも、その成膜対象物の表面各部におけるマイクロ波又は高周波の電気的な整合状態を良好に保って、性能の優れた蒸着膜を形成でき、かつ、チャンバ内側面に近いボトル角部等における局所的な熱変形を防止可能とする。【解決手段】  プラズマ蒸着装置１のチャンバ１０におけるチャンバ内側面１１に距離調整部１２が設けられている。この距離調整部１２は、チャンバ内側面１１のうち、成膜対象物２０の表面２１との距離が最も近い部分を除いた部分の全部又は一部に設けられる。また、距離調整部１２は、ボトル２０の胴部水平方向断面における短径方向の中心線上付近１２−３において最もボトル２０の表面に接近し、かつ、その接近した部分よりも周辺の部分１２−４においてはボトル２０の表面との距離が次第に又は急激に遠くなる。【選択図】  図１
2005290506.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャンバ内に定置された成膜対象物に蒸着膜を施すプラズマ蒸着装置であって、
前記チャンバの内側面のうち、前記成膜対象物の表面との距離が最も近い部分を除いた部分の全部又は一部に、前記成膜対象物との距離を縮める距離調整部が設けられた
ことを特徴とするプラズマ蒸着装置。
【請求項２】
前記距離調整部は、
前記成膜対象物の胴部水平方向断面における短径方向の中心線上付近において最も前記成膜対象物の表面に接近し、かつ、前記接近した部分よりも周辺の部分においては前記成膜対象物の表面との距離が次第に又は急激に遠くなる
ことを特徴とする請求項１記載のプラズマ蒸着装置。
【請求項３】
前記距離調整部が、前記チャンバの内側面に複数形成された
ことを特徴とする請求項１又は２記載のプラズマ蒸着装置。
【請求項４】
前記プラズマ蒸着装置が、マイクロ波又は高周波によりプラズマを発生することで前記成膜対象物に蒸着膜を施す
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のプラズマ蒸着装置。
【請求項５】
チャンバ内に定置された成膜対象物に対して蒸着膜を施すプラズマ蒸着方法であって、
前記成膜対象物との距離を調整する距離調整部が内側面に設けられた前記チャンバの内部に、前記成膜対象物が定置され、前記チャンバの内部及び前記成膜対象物の内部を真空状態にするセッティング工程と、
前記成膜対象物の内部にプロセスガスを導入し、高周波又はマイクロ波電力をかけ、前記プロセスガスをプラズマ化して、前記成膜対象物の内側表面に前記蒸着膜を形成する膜形成工程とを有した
ことを特徴とするプラズマ蒸着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、成膜対象物の表面や内面に蒸着膜を施すプラズマ蒸着装置及びプラズマ蒸着方法に関し、特に、主要胴部が非円形の断面形状を有するプラスチック容器への膜形成に好適なプラズマ蒸着装置及びプラズマ蒸着方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
化学蒸着法（ＣＶＤ）は、常温では反応の起こらない処理用ガスを用いて、高温雰囲気での気相成長により、処理対象物の表面に反応生成物を膜状に析出させる技術であり、半導体の製造、金属やセラミックの表面改質等に広く採用されている。
最近では、ＣＶＤでも低圧プラズマＣＶＤとしてプラスチック容器の表面改質、特に、ガスバリア性の向上にも応用されている。
【０００３】
プラズマＣＶＤは、プラズマを利用して薄膜成長を行うものであり、基本的には、減圧下において処理用ガスを含むガスを高電界の電気的エネルギーで放電させることにより、解離、結合して生成した物質を、気相中又は処理対象物上で化学反応させることによって、処理対象物上に堆積させる方法である。
プラズマ状態は、グロー放電、コロナ放電、アーク放電などによって実現されるものであり、たとえば、グロー放電の方式としては、直流グロー放電を利用する方法、高周波グロー放電を利用する方法（高周波プラズマＣＶＤ）、マイクロ波放電を利用する方法（マイクロ波プラズマＣＶＤ）などが知られている。
【０００４】
ここで従来の関連技術を見ると、高周波プラズマＣＶＤの具体例として、例えば、プラスチック容器の内側面に硬質炭素膜を形成した炭素膜コーティングプラスチック容器に関する技術がある（例えば、特許文献１参照。）。
また、マイクロ波プラズマＣＶＤの具体例として、例えば、ボトルを筒状のマイクロ波閉じ込め室に同軸に配置して、ボトルの内部とボトルの外部の空間を同時に排気し、かつ、所定の処理時間ボトルの内部に処理ガスを流入させるとともに、マイクロ波をマイクロ波閉じ込め室に導入し、ボトル内部にプラズマを点火維持させて、ボトルを処理するという技術がある（例えば、特許文献２参照。）。
【０００５】
ところで、プラズマＣＶＤによる薄膜蒸着の対象物には、上述したように、例えばプラスチック容器がある。
プラスチック容器は、成形・加工が容易であることや、透明性、耐衝撃性に優れているなどの物性を有していることから、ボトル容器、カップ、パウチ又は包袋シート等の各種包装体として広く利用されている。さらに、ボトル容器は、各種の飲料、調味料、化粧品、薬品などを内容物として利用されている。
従来、ボトル容器は、直立状態における主要胴部の水平方向断面がほぼ円形の円筒形状に形成されているものが多数を占めていた。このため、プラズマ蒸着用装置のチャンバも、従来から円筒形状のものが用いられてきた。
【特許文献１】特開平８−５３１１６号公報
【特許文献２】特表２００１−５１８６８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、近年では、食用油等を内容物とするものとして、直立状態における水平方向断面が長方形や多角形などの扁平角形状（非円形形状）や楕円形状に形成されたボトルが使用されてきている。
このような扁平角形状の容器への薄膜蒸着に、円筒形状のチャンバを備えた従来のプラズマ蒸着用装置を用いると、次のような種々の障害が発生していた。
【０００７】
ここで、円筒形状のボトル２１０及び扁平角形状のボトル２２０が内部に定置されたチャンバ１００の水平方向断面の模式図を図６に示す。
同図に示すように、例えば、円筒形状のボトル２１０が定置された場合は、そのボトル表面２１１とチャンバ内側面１０１との距離は、ボトル表面２１１のどの部分をとってもほぼ同じである。
これに対し、扁平角形状のボトル２２０の場合は、そのボトル表面２２１とチャンバ内側面１０１との距離がボトル表面２２１の各部で相違する。例えば、ボトルの角部２２２においてはチャンバ内側面１０１との距離が近くなるのに対し、ボトルの平面部分２２３（特に、面積の広い平面部分２２３の中央付近）においてはチャンバ内側面１０１との距離が遠くなる。
【０００８】
この場合、特に、ボトルの平面部分２２３では、蒸着するためのエネルギーであるマイクロ波又は高周波の電気的な整合状態が悪くなっていた。このため、その平面部分２２３では性能の優れた膜が形成されないという問題があった。
しかも、そのボトルの平面部分２２３の膜質をよくするために、エネルギーをさらに多く与えていくと、今度は、ボトルの角部２２２で局所的な熱変形が生じるという問題が起こっていた。
【０００９】
本発明は、上記の問題を解決すべくなされたものであり、成膜対象物の断面形状が非円形の場合にも、その成膜対象物の表面各部におけるマイクロ波又は高周波の電気的な整合状態を良好に保って、性能の優れた蒸着膜を形成でき、かつ、チャンバ内側面に近いボトル角部等における局所的な熱変形を防止可能とするプラズマ蒸着装置及びプラズマ蒸着方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この目的を達成するため、本発明のプラズマ蒸着装置は、チャンバ内に定置された成膜対象物に蒸着膜を施すプラズマ蒸着装置であって、チャンバの内側面のうち、成膜対象物の表面との距離が最も近い部分を除いた部分の全部又は一部に、成膜対象物との距離を縮める距離調整部が設けられた構成としてある。
【００１１】
プラズマ蒸着装置をこのような構成とすると、チャンバの内側面に設けられた距離調整部の表面と成膜対象物の表面との距離が、距離調整部が設けられていないチャンバの内側面と成膜対象物の表面との距離に比べて近くなる。しかも、距離調整部は、チャンバの内側面のうち、成膜対象物の表面との距離が最も近い部分を除いた部分に設けられる。
一方、扁平角形状からなる成膜対象物は、チャンバの内側面との距離が近くなる角部と、その距離が遠くなる平面部とを有しており、特に、面積の広い平面部の中央付近において、マイクロ波等の電気的な整合状態が悪くなり、よって性能の優れた蒸着膜を形成することができなかった。
【００１２】
そこで、チャンバの内側面のうち成膜対象物の表面との距離が最も近い部分を除いた部分、つまり、ここでは、成膜対象物の角部に対向した部分以外の部分に距離調整部を設けることにより、成膜対象物の平面部とチャンバの内側面（距離調整部の表面）との距離が縮まるため、その平面部におけるマイクロ波等の電気的な整合状態が良くなり、マイクロ波等のエネルギーの利用効率を向上できる。したがって、成膜対象物に対して性能の優れた蒸着膜を形成できる。
【００１３】
さらに、チャンバの内側面の好適な箇所に距離調整部を設けることで、成膜対象物全体（平面部を含む）に性能の優れた蒸着膜を形成できるため、エネルギーを必要以上に与えなくてもよくなる。これにより、成膜対象物の角部における局所的な熱変形の発生を回避でき、ひいては、成膜処理で発生する不良品の数を減らすことができる。
なお、距離調整部は、チャンバの内側部分に一体形成されたものであってもよく、また、チャンバとは別個に形成されてその内側面に固着させたものであってもよく、さらには、チャンバの内側面に対して着脱可能な構造とすることもできる。
【００１４】
また、本発明のプラズマ蒸着装置は、距離調整部は、成膜対象物の胴部水平方向断面における短径方向の中心線上付近において最も成膜対象物の表面に接近し、かつ、接近した部分よりも周辺の部分においては成膜対象物の表面との距離が次第に又は急激に遠くなる構成としてある。
【００１５】
プラズマ蒸着装置をこのような構成とすれば、成膜対象物の平面部では性能の優れた蒸着膜を形成でき、一方、角部では局所的な熱変形の発生を抑えることができる。
チャンバ内側面に距離調整部を設けることにより、成膜対象物の表面とチャンバの内側面（距離調整部の表面）との距離を縮めることができる。このため、チャンバの内側面のうち、成膜対象物の平面部分に対向した部分に距離調整部を設けることで、その平面部には性能の優れた蒸着膜を形成できる。ところが、距離調整部の表面が平坦でボトルの角部付近まで及ぶ場合は、成膜対象物の平面部とチャンバの内側面との距離だけでなく、成膜対象物の角部とチャンバの内側面との距離をも近づけることとなる。そうすると、その角部に過剰なエネルギーが加わることから、平面部では性能の優れた蒸着膜を形成できるものの、角部では熱変形が起こりやすくなる。
【００１６】
そこで、距離調整部を次のような形状に形成する。すなわち、成膜対象物の平面部の中央付近に対向した部分（特に、成膜対象物の胴部水平方向断面における短径方向の中心線上付近）では最も成膜対象物の表面に接近するようにし、しかも、この接近した部分よりも周辺の部分については、成膜対象物の表面との距離が次第に又は急激に遠くなるようにする。これにより、チャンバ内側面のうち成膜対象物の角部に対向した部分では、距離調整部が設けられていないか、あるいは、厚みの薄い距離調整部が設けられる。したがって、成膜対象物の角部にはエネルギーが極度に集中することがなくなるため、その局所的な熱変形の発生を抑制でき、ひいては、性能の優れた蒸着膜が施された成膜対象物を不良品の発生確率を低減しつつ生産できる。
【００１７】
また、本発明のプラズマ蒸着装置は、距離調整部が、チャンバの内側面に複数形成された構成としてある。
プラズマ蒸着装置をこのような構成とすれば、成膜対象物が扁平角形状であっても、全体に性能の優れた蒸着膜を形成できる。
成膜対象物は、例えば扁平角形状である場合には、面積の広い平面部や狭い平面部など複数の平面部を有している。このため、成膜対象物の表面においては、マイクロ波等の電気的な整合状態が悪くなる部分が複数存在することとなる。
そこで、チャンバの内側面に複数の距離調整部を形成等可能とすることにより、成膜対象物の表面のうちマイクロ波等の電気的な整合状態が悪くなる複数部分のそれぞれに対して、その整合状態を改善させることができる。したがって、成膜対象物の全体に、性能の優れた蒸着膜を形成できる。
【００１８】
また、本発明のプラズマ蒸着装置は、プラズマ蒸着装置が、マイクロ波又は高周波によりプラズマを発生することで成膜対象物に蒸着膜を施す構成としてある。
プラズマ蒸着装置をこのような構成とすると、距離調整部を設けることにより成膜対象物の表面におけるマイクロ波等の電気的な整合状態を改善して性能の優れた蒸着膜を形成可能とするという効果を、マイクロ波ＣＶＤにおいても、また、高周波ＣＶＤにおいても実現できる。
【００１９】
また、本発明のプラズマ蒸着方法は、チャンバ内に定置された成膜対象物に対して蒸着膜を施すプラズマ蒸着方法であって、成膜対象物との距離を調整する距離調整部が内側面に設けられたチャンバの内部に、成膜対象物が定置され、チャンバの内部及び成膜対象物の内部を真空状態にするセッティング工程と、成膜対象物の内部にプロセスガスを導入し、高周波又はマイクロ波電力をかけ、プロセスガスをプラズマ化して、成膜対象物の内側表面に蒸着膜を形成する膜形成工程とを有した方法としてある。
【００２０】
プラズマ蒸着方法をこのような方法とすると、チャンバの内側面に距離調整部が設けられるため、成膜対象物の表面との距離を縮めることができる。
このため、成膜対象物におけるマイクロ波等の電気的整合性を向上でき、これによりマイクロ波等のエネルギーの利用効率を向上できる。しかも、成膜対象物の角部における局所的な熱変形の発生を抑止できる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、チャンバの内側面と成膜対象物の表面との間の距離を調整するための距離調整部を、チャンバの内側面に設けることで、成膜対象物におけるマイクロ波等の電気的整合状態を良好な状態にでき、マイクロ波等のエネルギーの利用効率を向上できる。
また、距離調整部の形状を、成膜対象物の胴部水平方向断面における短径方向の中心線上付近において最も成膜対象物の表面に接近するようにし、かつ、その接近した部分よりも周辺の部分においては成膜対象物の表面との距離が次第に又は急激に遠くなるようにすることで、成膜対象物の角部における局所的な熱変形を回避できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明に係るプラズマ蒸着装置及びプラズマ蒸着方法の好ましい実施形態について、図面を参照して説明する。
【００２３】
［実施形態］
まず、本発明のプラズマ蒸着装置の実施形態について、図１を参照して説明する。
同図は、本実施形態におけるプラズマ蒸着装置の構造を示す構造断面図であって、（ａ）は、上面断面図（（ｂ）のＡ−Ａ断面図）、（ｂ）は、側面断面図である。
なお、本実施形態におけるプラズマ蒸着装置は、マイクロ波ＣＶＤ法又は高周波ＣＶＤ法によりプラズマを発生させて成膜対象物（例えば、ボトル２０）に蒸着膜を施すものである。
【００２４】
ここで、同図（ａ）,（ｂ）に示すように、プラズマ蒸着装置１は、チャンバ１０の内面（内側面）１１に距離調整部１２が設けられている。
距離調整部１２は、ボトル２０の表面２１との間の距離を縮める役割を果たしている。
この距離調整部１２が設けられる位置は、チャンバ内側面１１のうち、ボトル２０の表面２１との距離が最も近い部分を除いた部分とする。
こうすることで、ボトル２０の表面２１のうちチャンバ内側面１１と距離が離れていた部分（例えば、面積の広い平面部など）において、そのチャンバ内側面１１と同じ導電性材料で形成された距離調整部１２との距離を近くすることができる。これにより、ボトル２０の表面２１におけるマイクロ波等の電気的整合性を向上してマイクロ波エネルギーの利用効率を高めることができる。
【００２５】
さらに、距離調整部１２は、図２（ａ）〜（ｆ）に示すように、任意の形状とすることができる。
例えば、同図（ａ）に示すように、中子部材１２の露出面（表面）１２−１が平面（平坦）となる形状に形成することができる。また、同図（ｂ）,（ｄ）,（ｅ）,（ｆ）に示すように、露出面１２−１に角部１２−２（二つの平面の接合部分及びその近傍や、その接合部分が半径の短い曲面に加工されたものを含む）を設けたり、同図（ｃ）に示すように、露出面（表面）１２−１の全体に曲面に形成したりすることもできる。
なお、同図（ａ）〜（ｃ）に示すように、ボトル２０の形状が同一であっても、異なる形状の距離調整部１２を用いることができる。ただし、同図（ａ）の場合は、ボトル２０の角部に熱変形が生じる可能性があるため、同図（ｂ）や（ｃ）に示す形状の距離調整部１２を用いるのが望ましい。
【００２６】
また、距離調整部１２は、一台のチャンバ１０において、二つ（同図（ａ）〜（ｃ））、三つ（同図（ｄ））、四つ（同図（ｅ））、五つ（同図（ｆ））、あるいはそれ以上の数だけ設けることができる。
この距離調整部１２の数は、ボトル２０の形状や、チャンバ内側面１１とボトル２０の表面２１との距離などによって決めることができる。
特に、ボトル２０の表面２１上、マイクロ波等の電気的整合状態が悪くなる部分が複数ある場合は、それら各箇所に対向するチャンバ内側面１１の各位置にそれぞれ距離調整部１２を設けることが望ましい。
なお、一台のチャンバ１０に距離調整部１２が複数設けられる場合は、同図（ｅ）に示すように、それぞれ異なった形状とすることもできる。
【００２７】
そして、距離調整部１２は、図３に示すように、ボトル２０の直立状態における胴部水平方向断面の短径方向２２の中心線上付近１２−３において最もそのボトル２０の表面２１に接近し、その周辺部１２−４においてはボトル２０の表面２１との距離が次第に又は急激に遠くなるような形状とすることができる。
距離調整部１２をこのような形状とすることで、チャンバ内側面１１のうちボトル２０の角部に対向する部分には、距離調整部１２が設けられないか、あるいは厚みの薄い距離調整部１２が設けられる。これにより、ボトル２０の角部では、距離調整部１２の接近によりエネルギーが極度に集中することを回避できることから、局所的な熱変形を生じにくくすることができる。
【００２８】
距離調整部１２は、チャンバ内側面１１と同様、導電性材料で形成されている。
この距離調整部１２を形成する導電性材料としては、例えば、アルミニウムやステンレスなどが挙げられる。
距離調整部１２を導電性材料で形成することにより、成膜対象物におけるマイクロ波等の電気的な整合状態を良好にすることができ、エネルギー効率を向上できる。
【００２９】
次に、チャンバ内に定置されたボトルに対して蒸着膜を施すプラズマ蒸着方法について、図４を参照して説明する。
まず、ボトル２０の表面２１との距離を縮めるための距離調整部１２が装着されたチャンバ１０を準備し（ステップ１０）、その内部にボトル２０が定置される（ステップ１１）。
そして、チャンバ１０の内部及びボトル２０の内部が真空状態にされる（ステップ１２）。
【００３０】
続いて、ボトル２０の内部にプロセスガスが導入され（ステップ１３）、高周波又はマイクロ波電力がかけられ（ステップ１４）、プロセスガスがプラズマ化されて（ステップ１５）、ボトル２０の表面２１に蒸着膜が形成される（ステップ１６）。
なお、本実施形態においては、ステップ１１及びステップ１２をセッティング工程、ステップ１３からステップ１６を膜形成工程という。
【００３１】
［実施例］
次に、チャンバ内側面に距離調整部が設けられた場合の効果を確認するための成膜の実施例について、図５を参照して説明する。
成膜対象物である供試ボトルとしては、次のようなＰＥＴ製二軸延伸ボトルを用意した。
（１）円筒形状のボトルＡ
飲料用ＰＥＴボトル（５００ｍｌ用）
胴径：φ６４
ハイト：２０５［ｍｍ］
（２）扁平八角形の角柱形状のボトルＢ１
食用油用ＰＥＴボトル（６００ｇ用）
長径×短径：７９［ｍｍ］×５９［ｍｍ］
扁平比：１．３４
ハイト：２１０［ｍｍ］
（３）扁平八角形の角柱形状のボトルＢ２
食用油用ＰＥＴボトル（６００ｇ用）
長径×短径：８１［ｍｍ］×５５［ｍｍ］
扁平比：１．４７
ハイト：２１０［ｍｍ］
【００３２】
プラズマ蒸着装置は、次のような規格のものを使用した。
（１）チャンバ
内径：φ９０［ｍｍ］、φ１０６［ｍｍ］
（２）真空度
ボトル内：２０［Ｐａ］
チャンバ内：５０００［Ｐａ］
（３）原料ガス
珪素源：ＨＭＤＳＯ（ヘキサメチルジシロキサン）、３［ｓｃｃｍ］
酸化源：Ｏ２（酸素）、３０［ｓｃｃｍ］
（４）マイクロ波
測定１〜５，７，８  …  ２．４５［ＧＨｚ］、６００［Ｗ］
測定６              …  ２．４５［ＧＨｚ］、６５０［Ｗ］
【００３３】
本実施例においては、次の項目について測定した。
（１）エネルギー利用率
蒸着を行うためにマイクロ波発振器から供給されたマイクロ波（入射波）の強度［Ｗ］と、蒸着に有効利用されずにチャンバ側から発振器側へ戻ってきたマイクロ波（反射波）の強度［Ｗ］から、次式により算出してｎ＝１０の平均値を求めた。
エネルギー利用率［％］＝（１−（反射波強度［Ｗ］／入射波強度［Ｗ］））×１００                                          ・・・（式１）
なお、目標値は、８０［％］以上とする。
（２）変形発生の有無
目視により評価した。
目標値としては、目視ですぐに変形していることが判るような変形が無いこととする。
【００３４】
（３）水分バリア性能
蒸着していない容器に蒸留水を充填し、充填後の重量と４０℃−ＲＨ２０％の条件で１週間経時したのちの重量との差分から水分透過量を計算し、ｎ＝１０での平均値を求めた。
この値を、同様にして求めた蒸着後の容器での水分透過量で割ることによる倍率から、蒸着された膜の水分バリア性能を求めた。
目標値は、４．０倍以上とする。
なお、これら項目の測定結果にもとづき総合評価を行った。すなわち、エネルギー利用率及び水分バリア性能の各項目の測定結果を目標値（目標範囲）と比較し、さらに変形発生の有無を考慮することにより、＜測定１＞〜＜測定８＞の各条件下における薄膜形成の評価を行った。
【００３５】
＜測定１＞
測定１として、φ６４の円筒形状のボトルＡについて、距離調整部を有しないφ９０の円形チャンバ内で蒸着を試みた。
この条件下においては、エネルギー利用率が８７［％］、ボトルの表面での変形なし、膜の水分バリア性能が４．７［倍］であった。
この結果、すべての測定項目が目標値に達していたことから、総合評価は「○」であった。
【００３６】
＜測定２＞
測定２として、扁平八角形の角柱形状のボトルＢ１について、距離調整部を有しないφ９０の円形チャンバ内で蒸着を試みた。
その条件下においては、チャンバ内側面との距離が近くなるボトルの短辺側（長径方向）両脇の稜線部２４（図１参照）に著しい変形が生じていた。また、長辺側（短径方向）がチャンバ内側面１１から遠ざかるためかエネルギー利用率が６２［％］と悪かった。このため、得られた蒸着膜の性質が悪くなり、水分バリア性能が２．０［倍］しか得られなかった。なお、総合評価は「×」であった。
【００３７】
＜測定３＞
測定３として、扁平八角形の角柱形状のボトルＢ１について、今度はチャンバ径がφ１０６であって距離調整部を有しない円形チャンバ内で蒸着を試みた。
その条件下においては、チャンバ径が広がった分、ボトル胴部の変形は無くなったものの、エネルギー利用率が４７［％］まで低下した。このため、得られた蒸着膜の性質が一層悪くなり、水分バリア性能が１．４［倍］しか得られなかった。このことから、総合評価は「×」であった。
【００３８】
＜測定４＞
測定４として、扁平八角形の角柱形状のボトルＢ１について、露出面が平坦形状で中心の厚みが１４［ｍｍ］の距離調整部を有した、チャンバ径がφ１０６の円形チャンバ内で蒸着を試みた。
その条件下においては、エネルギー利用率が８３［％］まで向上してしっかりとエネルギーをかけた蒸着を行うことができた。しかも、ボトル胴部の変形はほとんど見られなかった。また、水分バリア性能は、未蒸着ボトルに対して４．２［倍］の性能が得られ、目標値に達する結果となった。このため、総合評価は「○」であった。
【００３９】
＜測定５＞
測定５として、扁平八角形の角柱形状のボトルＢ１について、断面が台形形状で中心の平坦部の厚みが１４［ｍｍ］の距離調整部を有した、チャンバ径がφ１０６の円形チャンバ内で蒸着を試みた。
その条件下においては、８２［％］のエネルギー利用率で蒸着を行うことができ、ボトル胴部の変形はまったく見られなかった。しかも、水分バリア性能が未蒸着ボトルに対して４．５［倍］であり、目標値に達する結果となった。この条件下においては、総合評価は「○」であった。
【００４０】
＜測定６＞
測定５の条件が比較的良好な評価結果であったことから、測定５の条件に対してマイクロ波の出力を６５０［Ｗ］まで高めた以外は測定５と同一の条件で蒸着を試みた。
距離調整部の断面形状が台形であることの効果から、マイクロ波エネルギーをより沢山加えてもボトル胴部の変形はまったく見られなかった。しかも、水分バリア性能が未蒸着ボトルに対して５．１［倍］まで向上した。従って、この条件において、総合評価は「◎」であった。
【００４１】
＜測定７＞
測定７として、扁平八角形の角柱形状のボトルＢ２について、断面が台形形状で中心の平坦部の厚みが１４［ｍｍ］の距離調整部を有した、チャンバ径がφ１０６の円形チャンバ内で蒸着を試みた。
その条件下においては、８０［％］のエネルギー利用率で蒸着を行うことができ、ボトル胴部の変形は見られなかった。しかも、水分バリア性能が未蒸着ボトルに対して４．１［倍］であり、目標値に達する結果となった。このため、総合評価は「○」であった。
【００４２】
＜測定８＞
測定８として、扁平八角形の角柱形状のボトルＢ２について、断面が台形形状で中心の平坦部の厚みが２０［ｍｍ］の距離調整部を有した、チャンバ径がφ１０６の円形チャンバ内で蒸着を試みた。
その条件下においては、９０［％］のエネルギー利用率で蒸着を行うことができ、ボトル胴部の変形も見られなかった。しかも、水分バリア性能が未蒸着ボトルに対して４．８［倍］であり、目標値に達する結果となった。この測定８の総合評価は「◎」であった。
【００４３】
以上、本発明のプラズマ蒸着装置及びプラズマ蒸着方法の好ましい実施形態について説明したが、本発明に係るプラズマ蒸着装置及びプラズマ蒸着方法は上述した実施形態にのみ限定されるものではなく、本発明の範囲で種々の変更実施が可能であることは言うまでもない。
例えば、図１（ｂ）においては、距離調整部がチャンバ内部の上面から下面にかけて設けられているが、上面から下面にかけて設けられることに限るものではなく、例えば、チャンバ内部の側面の一部に距離調整部が設けられるようにすることもできれば、ボトルの高さ方向のプロファイルが均一でない場合には距離調整部の厚みを高さ方向で変えるようにすることもできる。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明は、チャンバの構造に関する発明であるため、成膜を行う装置や方法において利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明のプラズマ蒸着装置の構造を示す構造断面図であって、（ａ）は、上面断面図（（ｂ）のＡ−Ａ断面図）、（ｂ）は、側面断面図である。
【図２】成膜対象物（ボトル）の形状に対応した距離調整部の形状や個数等の具体例を示す概略図である。
【図３】距離調整部の形状の他の具体例を示す概略図である。
【図４】プラズマ蒸着方法の処理手順を示すフローチャートである。
【図５】実施例における測定結果を示す図表である。
【図６】従来の円筒形状チャンバ内側面とその内部に定置された円筒形状及び扁平角形状のボトル表面との距離関係を示した図である。
【符号の説明】
【００４６】
１  プラズマ蒸着装置
１０  チャンバ
１１  チャンバ内側面
１２  距離調整部
１２−１  露出面
１２−２  角部
１２−３  短径方向の中心線上付近
１２−４  周辺部
１３  チャンバ筐体
２０  ボトル
２１  表面
２２  短径方向
２３  長径方向
１００  チャンバ
２１０  円筒形状のボトル
２２０  扁平角形状のボトル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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