(57)【要約】【課題】コインスタックキャリアー内に積層状態で収容されているウエーハの表裏を、ウエーハをコインスタックキャリアーから取り出して反転させ再度収容することなしに、容易に反転することができるコインスタックキャリアーを提供する。【解決手段】コインスタックキャリアーを、ウエーハの外周を支持し複数のウエーハを積層状態で収容する筒体と、この筒体の両端部に形成され該ウエーハを出し入れする一対の搬出入開口部と、搬出入開口部の各々に着脱自在に取り付けられ収容されたウエーハの面を直接又はクッション材を介して支持する一対の底部とを備えて形成し、両端に底部を取り付けた状態で筒体を反転させることにより収容されているウエーハの表裏を反転させる。【選択図】図１
2005158854.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエーハの外周を支持し複数のウエーハを積層状態で収容する筒体と、この筒体の両端部に形成され該ウエーハを出し入れする一対の搬出入開口部と、搬出入開口部の各々に着脱自在に取り付けられ収容されたウエーハの面を直接又はクッション材を介して支持する一対の底部とを備えている、ことを特徴とするコインスタックキャリアー。
【請求項２】
該一対の底部の一方を取り外すことにより開口した該搬出入開口部を通してウエーハが該筒体に出し入れされる、請求項１記載のコインスタックキャリアー。
【請求項３】
該底部は、該筒体の搬出入開口部を受け入れる凹部及び搬出入開口部を固定する係合部を備え、搬出入開口部は、該係合部に係合する被係合部を備えている、請求項１記載のコインスタックキャリアー。
【請求項４】
該係合部は、該底部の凹部の内周面に内方に向けて立設する複数個のピンを備え、該被係合部は、このピンの各々に係合する複数個の係合溝を備えている、請求項３記載のコインスタックキャリアー。
【請求項５】
該筒体は、収容したウエーハの直径方向の移動を規制する規制部と、この規制部から両端の該搬出入開口部それぞれに向けて漸次広がる漏斗状部とを備えている、請求項１から４までのいずれかに記載のコインスタックキャリアー。
【請求項６】
該筒体の外周には、該一対の搬出入開口部各々の端から該ウエーハが収容される部分まで延びる切欠きを、該搬出入開口部それぞれに少なくとも筒体の直径方向に対向して一対備えている、請求項１から５までのいずれかに記載のコインスタックキャリアー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コインスタックキャリアー、さらに詳しくは半導体ウエーハのようなウエーハを、出し入れを自在に積層状態で収容するコインスタックキャリアーに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等の半導体チップが表面に複数形成された半導体ウエーハは、研削装置によって裏面が研削され所定の厚さに形成される。
【０００３】
研削装置は、複数のウエーハを収容したカセットが載置されるカセット載置部と、カセット載置部に載置されたカセットに進入しウエーハを搬出入するウエーハ搬出入手段と、ウエーハ搬出入手段が搬出したウエーハの中心位置を調整する位置調整手段と、位置調整手段によって調整されたウエーハを搬送する搬入手段と、搬入手段によって搬入されたウエーハを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削手段と、研削手段によって研削されたウエーハをチャックテーブルから搬出する搬出手段と、搬出手段によって搬出されたウエーハを洗浄する洗浄手段と、洗浄手段によって洗浄されたウエーハを搬送する前記ウエーハ搬出入手段と、洗浄済みのウエーハを収容するカセットとを備え、半導体ウエーハの裏面が自動的に効率よく研削される（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
しかしながら、半導体ウエーハの裏面が研削されて、半導体ウエーハの厚みが１００μｍ以下５０μｍ以下と薄くなると、半導体ウエーハを両側に支持溝が形成された通常のカセットに収容するとウエーハに撓みが生じ、カセット内に収容できないという問題がある。
【０００５】
そこで、コインスタックキャリアーと称する特殊なケースに半導体ウエーハを収容する技術が開発され実用に供されている。
【０００６】
このコインスタックキャリアーは、あたかもコインを収容するかのように半導体ウエーハと仕切り用の紙ウエーハとを交互に積層させて収容するケースであり、半導体ウエーハがいかに薄く加工されても安全に収容し搬送することが可能になる。
【０００７】
【特許文献１】特開２００３−５９８７２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところが、コインスタックキャリアーは、ウエーハを出し入れする搬出入開口部を有する筒体と、ウエーハをクッション材を介して支持する底部とから構成されており、ウエーハは紙ウエーハと交互に収容されるが、例えばウエーハの半導体チップの形成された回路面が底部を向いて収容されていた場合に、ウエーハの回路面を搬出入開口部に向けたい場合には、全てのウエーハをコインスタックキャリアーから搬出し、ウエーハの表裏を反転させコインスタックキャリアーに再度収容しなければならず、作業が煩雑であるとともにウエーハを損傷させるおそれもある。
【０００９】
本発明は上記事実に鑑みてなされたもので、その技術的課題は、コインスタックキャリアー内に積層状態で収容されているウエーハの表裏を、ウエーハをコインスタックキャリアーから取り出して反転させ再度収容することなしに、容易に反転することができるコインスタックキャリアーを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明によれば上記技術的課題を解決するコインスタックキャリアーとして、ウエーハの外周を支持し複数のウエーハを積層状態で収容する筒体と、この筒体の両端部に形成され該ウエーハを出し入れする一対の搬出入開口部と、搬出入開口部の各々に着脱自在に取り付けられ収容されたウエーハの面を直接又はクッション材を介して支持する一対の底部とを備えている、ことを特徴とするコインスタックキャリアーが提供される。
【００１１】
そして、該一対の底部の一方を取り外すことにより開口した該搬出入開口部を通してウエーハが該筒体に出し入れされる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に従って構成されたコインスタックキャリアーによれば、ウエーハを収容する筒体の両端にウエーハの搬出入開口部を備え、それぞれに底部を着脱自在に取り付けたので、一端の搬出入開口部に底部を取り付け他端の搬出入開口部には底部を取り付けない状態でこの開口した搬出入開口部を通して筒体内にウエーハを搬出入し、収容されたウエーハの表裏を反転させる場合には、開口した搬出入開口部にも底部を取り付け、すなわち両端の搬出入開口部に底部を取り付け、この状態でコインスタックキャリアーを反転させ、当初取り付けられていた方の底部を外せば、ウエーハを容易にコインスタックキャリアー内に収容したままで反転させた状態にすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明に従って構成されたコインスタックキャリアーについて、好適実施形態を図示している添付図面を参照して、さらに詳細に説明する。
【００１４】
先ずこのコインスタックキャリアーについて概要を、ウエーハを収容した状態のコインスタックキャリアーの側面断面図である図１、及びコインスタックキャリアー自体を分解して示した斜視図である図２を参照して説明する。全体を番号２で示すコインスタックキャリアーは、ウエーハＷの外周を支持し複数のウエーハＷを積層状態で収容する筒体４と、筒体４の両端部に形成されウエーハＷを出し入れする一対の搬出入開口部６ａ、６ｂと、搬出入開口部６ａ、６ｂ各々に着脱を自在に取り付けられ収容されたウエーハＷの面をそれぞれクッション材８を介して支持する一対の底部１０ａ、１０ｂを備えている。
【００１５】
この搬出入開口部６ａと６ｂは、また底部１０ａと１０ｂは、実質的に同一の形状に形成されている。したがって以下の説明においては、単に搬出入開口部６、底部１０と呼ぶことがある。
【００１６】
図１及び図２とともに、コインスタックキャリアー２の詳細図である図３及び図４を参照して説明する。筒体４は、ステンレス鋼板あるいはプラスチックなどによって成形され、収容したウエーハの直径方向の移動を規制する真直筒状の規制部１２と、規制部１２から両端の搬出入開口部６ａ、６ｂそれぞれに向けて漸次広がる漏斗状部１４ａ、１４ｂを備えている。
【００１７】
この漏斗状部１４ａと１４ｂは、実質的に同一の形状に形成されている。したがって以下の説明においては、単に漏斗状部１４と呼ぶことがある。
【００１８】
筒体４の外周には、搬出入開口部６ａ、６ｂ各々の端からウエーハＷが収容される規制部１２まで、規制部１２を含めて延びる切欠きＳが、搬出入開口部６ａ、６ｂそれぞれに周方向に均等に４個、筒体４の直径方向に２個を対向させて一対とし、計２対４個備えられている。したがって、一端の搬出入開口部６ａから延びる４個の切欠きＳに対して、他端の搬出入開口部６ｂから延びる4個の切欠きＳは、一端側の切欠きＳに対して周方向に位相を４５°ずらして配設されている。
【００１９】
切欠きＳの周方向の幅は、搬出入開口部６を通して規制部１２にウエーハＷを搬出入するときに、ウエーハＷを吸着保持し搬出入するウエーハ搬出入手段（図示していない）を切欠きＳに沿って移動させることができるように、あるいはウエーハＷをその端部を対向した一対の切欠きＳ、Ｓから手指を入れて支え搬出入できる大きさに設定されている。
【００２０】
底部１０は、ステンレス鋼板あるいはプラスチックなどによって形成され、矩形板状の一面側に筒体４の搬出入開口部６を被嵌して受け入れる円形の凹部１６が形成されている。
凹部１６の内周面には筒体４の搬出入開口部６を着脱自在に固定する係合部としてのピン１８が４個、周方向に等間隔に、内方に向けて立設されている。
【００２１】
クッション材８は、円錐台形状にウレタンのような合成樹脂によって生成されたスポンジにより形成されている。クッション材８は、筒体４の漏斗状部１４に挿入され、底部１０によりウエーハＷを支持するクッションとしての適宜のつぶし代を有する大きさに形成されている。
【００２２】
筒体４の搬出入開口部６ａ、６ｂの各々には、底部１０の係合部である４個のピン１８それぞれと係脱自在に係合する被係合部としての係合溝２０が周方向に等間隔に４個形成されている。係合溝２０は、搬出入開口部６の端から筒体４の規制部１２の方向に向けて延びる真直部２０ａとその先端から周方向に直角に曲がった水平部２０ｂを有したＬ字形状に形成されている（図３）。このＬ字形状の係合溝２０は、水平部２０ｂの方向を、底部１０をその凹部１６を搬出入開口部６に被せ４個のピン１８をそれぞれ係合溝２０の真直部２０ａに挿通し、底部１０を時計方向に回すことにより、筒体４と底部１０とが係止されるように形成されている。したがって、係止状態の底部１０を筒体４に対して反時計方向に回すことにより、筒体４と底部１０との係止を解除し底部１０を外すことができる。なお、ピン１８と係合溝２０とが係合した状態で回動を規制するストッパーを設けることが好ましい。
【００２３】
上述したとおりのコインスタックキャリアー２によるウエーハの反転について、反転手順を示した図５を参照して説明する。
【００２４】
手順（ａ）は、上方に位置した、コインスタックキャリアーの一方の底部が外され開口した搬出入開口部の側に、ウエーハが「表」側を位置づけて収容されている状態を示している。この状態のウエーハの「表」「裏」を、以下の手順によって反転させる。なお図５においては、コインスタックキャリアーの当初開口している搬出入開口部の側が「０」閉じている搬出入開口部の側が「１」で識別されている。
【００２５】
手順（ｂ）においては、開口している搬出入開口部に取り付けるクッション材及び底部を用意する。
【００２６】
手順（ｃ）においては、搬出入開口部にクッション材を挿入し、底部を被せ、底部を搬出入開口部に固定する。
【００２７】
この手順（ｃ）のコインスタックキャリアーを反転させ手順（ｄ）の状態にする。手順（ｄ）の状態においてはウエーハの「表」側は下方に「裏」側は上方に位置づけられる。
【００２８】
手順（ｅ）において、上方に位置した搬出入開口部から底部及びクッション材を取り外す。
【００２９】
かくして、手順（ｆ）に示すように、上方に位置した、コインスタックキャリアーの底部が外されて開口した搬出入開口部の側に、ウエーハの「裏」側が位置づけられた状態になり、ウエーハの反転が完了する。
【００３０】
したがって、コインスタックキャリアー内に積層状態で収容されているウエーハの表裏を、ウエーハをコインスタックキャリアーから取り出して反転させ再度収容することなしに、容易に反転することができる。
【００３１】
上述したとおりのコインスタックキャリアー２の作用の説明を続ける。
【００３２】
規制部及び漏斗状部：
ウエーハＷを収容する筒体４に、規制部１２及び漏斗状部１４を備えたので、ウエーハＷを確実にまた整列させた状態で保持することができるとともに、規制部１２から搬出入開口部６に漸次広がる漏斗状部１４によってウエーハＷの出し入れを容易に行うことができる。
【００３３】
切欠き：
筒体４の外周に、ウエーハＷの収容されている部分から搬出入開口部６につながる切欠きＳを備えたので、この切欠きＳを、ウエーハを吸着保持して搬出入開口部６を通して搬出入する手段の通路として用いることができる。また、切欠きＳを筒体４の直径方向に対向して対に備えることにより、作業者はウエーハＷの両端部を切欠きＳを通した手指によって支持し筒体４内に搬出入することができる。さらに切欠きＳにより、筒体４の両端に底部１０を取り付けた状態であっても、内部のウエーハＷの有無を外部から容易に確認することができる。
【００３４】
以上、本発明を実施の形態に基づいて詳細に説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではなく、例えば下記のように、本発明の範囲内においてさまざまな変形あるいは修正ができるものである。
【００３５】
係合部、被係合部：
本実施の形態においては、搬出入開口部６と底部１０とを着脱自在に固定する係合部としてピン１８を、被係合部として係合溝２０を備えたが、係合部及び被係合部として、搬出入開口部６と底部１０とを着脱自在に取り付けるものであれば、雌ねじと雄ねじの組み合わせなど、他の適宜の手段を用いてもよい。
【００３６】
クッション材：
本実施の形態においては、収容されたウエーハＷの面をクッション材８を介して底部１０によって支持したが、ウエーハＷの種類などによっては、底部１０の形状などを変更して、底部１０によって直接支持してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明に従って構成されたコインスタックキャリアーを、ウエーハを収容した状態で示した側面断面図。
【図２】図１に示すコインスタックキャリアー自体を、分解した状態で示した斜視図。
【図３】図１に示すコインスタックキャリアーをウエーハを除いた状態で示した断面図。
【図４】図３のＡ−Ａ矢印方向に見て筒体と底部の部分を示した断面図。
【図５】本発明に係るコインスタックキャリアーによるウエーハの反転手順を示した説明図。
【符号の説明】
【００３８】
２：コインスタックキャリアー
４：筒体
６、６ａ、６ｂ：搬出入開口部
８：クッション材
１０、１０ａ、１０ｂ：底部
１２：規制部
１４、１４ａ、１４ｂ：漏斗状部
１６：凹部
１８：ピン（係合部）
２０：係合溝（被係合部）
Ｓ：切欠き
Ｗ：ウエーハ
【図１】
2005158854.tif 000003
【図２】
2005158854.tif 000004
【図３】
2005158854.tif 000005
【図４】
2005158854.tif 000006
【図５】
2005158854.tif 000007