(57)【要約】  【課題】  焼成等により圧電シートに反りが生じたアクチュエータユニットをも流路ユニットに組み付けることが可能なインクジェットヘッドを提供する。  【解決手段】  インクジェットヘッド１０１は、複数のノズルに連通した複数の圧力室が平面に沿って配置された流路ユニット１と、複数の個別電極、共通電極、及び、個別電極及び共通電極とによって挟まれている圧電シートを含み、流路ユニット１に固定された多角形状のアクチュエータユニット２を備え、流路ユニット１におけるアクチュエータユニット２との固定面に、アクチュエータユニット２の少なくとも１つの角部２ａの先端及び当該先端の近傍に対向した凹部３０が形成されている。【選択図】  図６
2005212227.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルに連通した複数の圧力室が平面に沿って配置された流路ユニットと、
各々が前記圧力室に対向する位置に配置された複数の個別電極、一定の電位が供給される共通電極、及び、前記共通電極と前記個別電極とによって挟まれている圧電シートを含み、多角形状を有するとともに前記流路ユニットの一表面に固定されたアクチュエータユニットとを備えており、
前記複数の個別電極が前記アクチュエータユニットにおける前記流路ユニットの固定面とは反対側の面上に配置されており、
前記流路ユニットにおける前記アクチュエータユニットとの固定面には、前記アクチュエータユニットの少なくとも１つの角部の先端及び当該先端の近傍に対向した凹部が形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
複数のノズルに連通した複数の圧力室が平面に沿って配置された流路ユニットと、
各々が前記圧力室に対向する位置に配置された複数の個別電極、一定の電位が供給される共通電極、及び、前記共通電極と前記個別電極とによって挟まれている圧電シートを含み、多角形状を有するとともに前記流路ユニットの一表面に固定されたアクチュエータユニットとを備えており、
１つの前記圧力室に対して一又は複数の絶縁シートを介して互いに重なる位置に配置された前記個別電極と、前記アクチュエータユニットにおける前記流路ユニットとの固定面と反対側の面上に配置されている電極とが、スルーホールを介して電気的に接続されており、
前記流路ユニットにおける前記アクチュエータユニットとの固定面には、前記アクチュエータユニットの少なくとも１つの角部の先端及び当該角部の近傍に対向した凹部が形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記角部は、直角又は鋭角の角部であることを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記凹部は、前記角部を形成する２辺に夫々平行な辺と、当該２辺の少なくとも一方の辺と交差する辺とにより区画され、
前記平面に垂直な方向から見て、前記交差する辺に対して、前記角部の先端よりも前記凹部の中心の方が近くに位置することを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記流路ユニットにおける前記アクチュエータユニットとの前記固定面には、前記アクチュエータユニットの少なくとも１つの辺全域に亘って延設され、当該辺と対向した凹部がさらに形成されていることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
複数のノズルに連通した複数の圧力室が平面に沿って配置された流路ユニットと、
各々が前記圧力室に対向する位置に配置された複数の個別電極、一定の電位が供給される共通電極、及び、前記共通電極と前記個別電極とによって挟まれている圧電シートを含み、矩形状を有するとともに前記流路ユニットの一表面に固定されたアクチュエータユニットとを備えており、
前記流路ユニットにおける前記アクチュエータユニットとの固定面には、前記アクチュエータユニットの少なくとも一方の短辺全域に亘って延設され、当該短辺の両端を含んで対向した凹部が形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項７】
前記流路ユニットにおける前記アクチュエータユニットとの前記固定面には、前記アクチュエータユニットの少なくとも一方の長辺全域に亘って延設され、当該長辺の両端を含んで対向した凹部がさらに形成されていることを特徴とする請求項６に記載のインクジェットヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、記録媒体にインクを吐出して印刷を行うインクジェット記録装置に使用されるインクジェットヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットヘッドは、インクタンクからマニホールドに供給されたインクが複数の圧力室に分配されて、これら複数の圧力室に選択的にパルス状の圧力を与えることにより圧力室に連通したノズルからインクを吐出するように構成されている。その中でも、複数の圧力室に選択的に圧力を与える手段として、複数の圧力室にわたって配設されたセラミック製の圧電シートを有する圧電式のインクジェットヘッドが提案されている。
【０００３】
このような圧電式のインクジェットヘッドとしては、例えば、複数のノズル及びこれら複数のノズルに夫々連通する複数の圧力室を備えた流路ユニットと、複数の圧力室に対向する位置に配置された複数の個別電極、一定の電位が供給される共通電極、及び、これら共通電極と個別電極とによって挟まれたセラミック製の圧電シートを含み、流路ユニットの表面に接着された、平面視矩形状のアクチュエータユニットとを備えたものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−２４６７４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前記特許文献１に記載のインクジェットヘッドにおいては、複数枚の圧電シートが積層された状態で焼成されて、圧電式のアクチュエータユニットが構成される。そして、このアクチュエータユニットは、流路ユニットの表面に押圧されて接着されるようになっている。しかし、セラミック製の圧電シートは、導電性を有する個別電極及び共通電極と比較して、焼成時の収縮量が大きいために、図１２に示すように反ってしまい、特に、角部や辺の近傍が流路ユニット１１１側に垂れるように変形してしまう場合がある。この状態で、アクチュエータユニット１１２が流路ユニット１１１の接着面に押圧されると、変形した部分においてクラックが生じるなどして圧電シートの一部が破損したり、あるいは、圧電シートが流路ユニット表面に密着しない部分１１３が生じて、その部分からインクが漏れる虞がある。一方で、製造工程で、焼成により圧電シートに反りが生じたアクチュエータユニットを全て排除してしまうと、製品の歩留まりが低下するためコストアップにつながる。
【０００６】
本発明の目的は、製造工程で圧電シートに反りが生じたアクチュエータユニットをも流路ユニットに組み付けることが可能なインクジェットヘッドを提供することである。
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
【０００７】
第１の発明のインクジェットヘッドは、複数のノズルに連通した複数の圧力室が平面に沿って配置された流路ユニットと、各々が前記圧力室に対向する位置に配置された複数の個別電極、一定の電位が供給される共通電極、及び、前記共通電極と前記個別電極とによって挟まれている圧電シートを含み、多角形状を有するとともに前記流路ユニットの一表面に固定されたアクチュエータユニットとを備えており、前記複数の個別電極が前記アクチュエータユニットにおける前記流路ユニットの固定面とは反対側の面上に配置されており、前記流路ユニットにおける前記アクチュエータユニットとの固定面には、前記アクチュエータユニットの少なくとも１つの角部の先端及び当該先端の近傍に対向した凹部が形成されていることを特徴とするものである。
【０００８】
アクチュエータユニットの圧電シートは、複数の圧力室に夫々対向する複数の個別電極と、一定の電位が供給される共通電極とに挟まれている。このうち、複数の個別電極が、流路ユニットとの固定面と反対側の面上に配置されている。
【０００９】
このような構成のアクチュエータユニットは、例えば、個別電極及び共通電極が予め設けられた圧電シートを焼成するなどして製造される。その焼成時には、収縮率が異なる圧電シートに対する各電極材料の配置のされかたに起因して、多角形状のアクチュエータユニットの角部の近傍が流路ユニット側に垂れるように変形する場合がある。また、焼成前において、アクチュエータユニットを多角形状に成型する際にも角部の先端が変形することがある。しかし、流路ユニットにおけるアクチュエータユニットとの固定面に、アクチュエータユニットの少なくとも１つの角部の先端及び当該先端の近傍に対向した凹部が形成されているので、アクチュエータユニットを流路ユニットに押圧して固定する際に、垂れ下がったアクチュエータユニットの角部の近傍をこの凹部に収容して逃すことができる。これにより、反りが生じたアクチュエータユニットでも、流路ユニットに対して反りがないアクチュエータユニットと同様の組み付けができる。
【００１０】
第２の発明のインクジェットヘッドは、複数のノズルに連通した複数の圧力室が平面に沿って配置された流路ユニットと、各々が前記圧力室に対向する位置に配置された複数の個別電極、一定の電位が供給される共通電極、及び、前記共通電極と前記個別電極とによって挟まれている圧電シートを含み、多角形状を有するとともに前記流路ユニットの一表面に固定されたアクチュエータユニットとを備えており、１つの前記圧力室に対して一又は複数の絶縁シートを介して互いに重なる位置に配置された前記個別電極と、前記アクチュエータユニットにおける前記流路ユニットとの固定面と反対側の面上に配置されている電極とが、スルーホールを介して電気的に接続されており、前記流路ユニットにおける前記アクチュエータユニットとの固定面には、前記アクチュエータユニットの少なくとも１つの角部の先端及び当該角部の近傍に対向した凹部が形成されていることを特徴とするものである。
【００１１】
このインクジェットヘッドにおいては、アクチュエータユニットの表面の電極と個別電極とがスルーホールを介して電気的に接続され、圧電シートが個別電極と共通電極とに挟まれている。このアクチュエータユニットは、例えば、第１の発明と同様に、その焼成の前後で、アクチュエータユニットの角部の近傍が流路ユニット側に垂れるように変形してしまう虞がある。しかし、前記流路ユニットにおける前記アクチュエータユニットとの固定面に、アクチュエータユニットの少なくとも１つの角部の先端及び当該角部の近傍に対向した凹部が形成されているため、反ってしまったアクチュエータユニットの角部を凹部に収容して逃すことができる。これにより、反りが生じたアクチュエータユニットでも、流路ユニットに対して反りがないアクチュエータユニットと同様の組み付けができる。
【００１２】
第３の発明のインクジェットヘッドは、前記第１又は第２の発明において、前記角部は、直角又は鋭角の角部であることを特徴とするものである。直角又は鋭角に形成された角部は、圧電シートの焼成時や成型時に曲がり変形が生じやすい。そこで、流路ユニットの固定面に、このような角部に対向する凹部を形成することにより、変形が生じた角部を凹部により確実に逃すことができ、製造工程において、このようなアクチュエータユニットを排除する必要がなくなり、歩留まりを向上させることができる。
【００１３】
第４の発明のインクジェットヘッドは、前記第１〜第３の何れかの発明において、前記凹部は、前記角部を形成する２辺に夫々平行な辺と、当該２辺の少なくとも一方の辺と交差する辺とにより区画され、前記平面に垂直な方向から見て、前記交差する辺に対して、前記角部の先端よりも前記凹部の中心の方が近くに位置することを特徴とするものである。従って、アクチュエータユニットの角部近傍が広い範囲で変形した場合でも、その変形した部分を凹部により確実に逃すことができ、アクチュエータユニットの歩留まりを向上させることが可能となる。
【００１４】
第５の発明のインクジェットヘッドは、前記第１〜第４の何れかの発明において、前記流路ユニットにおける前記アクチュエータユニットとの前記固定面には、前記アクチュエータユニットの少なくとも１つの辺全域に亘って延設され、当該辺と対向した凹部がさらに形成されていることを特徴とするものである。従って、多角形状を有するアクチュエータの全体が、流路ユニットと反対側に凸となるように反ってしまった場合でも、流路ユニット側に垂れたアクチュエータユニットの１つの辺の近傍を凹部に収容して逃すことができる。これにより、アクチュエータユニットの歩留まりをさらに向上させることが可能となる。
【００１５】
第６の発明のインクジェットヘッドは、複数のノズルに連通した複数の圧力室が平面に沿って配置された流路ユニットと、各々が前記圧力室に対向する位置に配置された複数の個別電極、一定の電位が供給される共通電極、及び、前記共通電極と前記個別電極とによって挟まれている圧電シートを含み、矩形状を有するとともに前記流路ユニットの一表面に固定されたアクチュエータユニットとを備えており、前記流路ユニットにおける前記アクチュエータユニットとの固定面には、前記アクチュエータユニットの少なくとも一方の短辺全域に亘って延設され、当該短辺の両端を含んで対向した凹部が形成されていることを特徴とするものである。
【００１６】
アクチュエータユニットの焼成時や成型時に、アクチュエータユニットの全体が流路ユニットと反対側に凸となるように変形して流路ユニット側に垂れてしまう場合には、矩形状のアクチュエータユニットの短辺の近傍の変位が特に大きくなる傾向がある。この変位の大きい部分を凹部により逃すことができるため、このようなアクチュエータユニットを流路ユニットの固定面に固定しても、短辺の近傍における破損やインクの漏れ等が生じない。そのため、製造工程において、このようなアクチュエータユニットを排除する必要がなく、アクチュエータユニットの歩留まりを向上させることが可能となる。
【００１７】
第７の発明のインクジェットヘッドは、前記第６の発明において、前記流路ユニットにおける前記アクチュエータユニットとの前記固定面には、前記アクチュエータユニットの少なくとも一方の長辺全域に亘って延設され、当該長辺の両端を含んで対向した凹部がさらに形成されていることを特徴とするものである。従って、短辺の近傍に加えて、長辺の近傍が変形する場合にもその変形した部分を凹部により逃すことができる。これにより、広い範囲の反りの度合や形態において、反りのあるアクチュエータユニットを、流路ユニットに対して反りのないアクチュエータユニットと同様に組み付けることが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
本発明の実施の形態について説明する。本実施形態のインクジェットヘッドは、搬送されてきた用紙に対してインクを吐出して用紙に記録するインクジェットプリンタに用いられるものである。図１に示すように、インクジェットヘッド１０１は、流路ユニット１とアクチュエータユニット２とを積層した積層構造を有している。そして、アクチュエータユニット２の流路ユニット１との接着面（固定面：図１の下面側）の反対側（図１の上面側）に、アクチュエータユニット２をインクジェットプリンタの制御装置（図示省略）と電気的に接続するためのフレキシブルフラットケーブル４０が接合される。
【００１９】
次に流路ユニット１について図２〜図４を参照しつつ説明する。流路ユニット１は、その内部に、図示しないインクタンクからインクが供給される共通インク室と、共通インク室からインクを吐出する各ノズル１０に至る複数のインク流路とを備えている。図２及び図３に示すように、流路ユニット１はキャビティプレート３、ベースプレート４、マニホールドプレート６、７、及びノズルプレート９を備えており、これら５枚のプレートが互いに積層されている。各プレート３、４、６、７、９は略矩形状を有する厚さ５０μｍ〜１５０μｍの４２％ニッケル合金鋼板であり、各平面領域に塗布された接着剤により積層された状態で接合される。
【００２０】
キャビティプレート３の短手方向の中央には、長手方向に沿って２列の千鳥状に配列された複数の圧力室１１が形成されている。圧力室１１は平面視で略矩形状に形成されており、その長手方向がキャビティプレート３の長手方向に対して直交するように配置されている。図３に示すように、各圧力室１１のキャビティプレート３の中央部側の端部には孔１１ａが形成され、一方、反対側の端部にはキャビティプレート３の下面側の空間にのみ連通する制限流路１１ｂが形成されている。また、図２に示すように、キャビティプレート３の長手方向の一端部には、短手方向に長い平面視楕円形状の凹部１７が形成されている。この凹部１７の底部には、キャビティプレート３の短手方向に並んだ２つのインク供給孔１５ａ、１５ｂが形成されている。さらに、凹部１７にはインクタンクから供給されるインクを濾過するための図示しないフィルタが配置されている。
【００２１】
図２に示すように、ベースプレート４の短手方向における中央部には、長手方向に沿って２列の千鳥状に配列された複数の孔１２ａが形成されている。また、ベースプレート４の短手方向の両側には、長手方向に沿って配列された複数の孔１３が形成されている。
【００２２】
図２に示すように、マニホールドプレート６の短手方向の両側部分には孔であるマニホールド６ａ、６ｂが長手方向に沿って延在するように貫通して形成されている。また、マニホールドプレート７の短手方向の両側には凹部であるマニホールド７ａ、７ｂが長手方向に沿って延在するようにハーフエッチングで形成されている。マニホールド６ａ、７ａの一端部は平面視でベースプレート４のインク供給孔１５ａに重なる位置に配置され、同様に、マニホールド６ｂ、７ｂの一端部は平面視でベースプレート４のインク供給孔１５ｂに重なる位置に配置されている。また、マニホールド６ａ、６ｂ、７ａ、７ｂはベースプレート４の短手方向両端側に形成された２列の孔１３の各列に対応する位置に配置されている。そして、マニホールドプレート６、７が上下に重ねられて接合されることにより、マニホールド６ａ、６ｂ、７ａ、７ｂにより共通インク室が形成されている。また、マニホールドプレート６、７の短手方向の中央部における、ベースプレート４の孔１２ａに対応する位置には、長手方向に沿って配列された複数の孔１２ｂ、１２ｃが夫々形成されている。
ノズルプレート９の短手方向の中央部における、マニホールドプレート７に形成された孔１２ｂに対応する位置には、長手方向に沿って配列された複数のノズル１０が夫々形成されている。
【００２３】
そして、図４に示すように、各圧力室１１に対応して、マニホールド６ａ，７ａ（６ｂ，７ｂ）により形成された共通インク室から、孔１３、制限流路１１ｂ、圧力室１１、孔１２ａ，１２ｂ，１２ｃを経てノズル１０に至る個別インク流路が形成されている。
【００２４】
次にアクチュエータユニット２について説明する。図１、図４に示すように、アクチュエータユニット２は、平面視で流路ユニットよりも一回り面積の小さい矩形状に形成されている。そして、このアクチュエータユニット２は、各々が圧力室１１に対向する位置に配置された複数の個別電極２４と、グランド電位に接続された共通電極２５と、複数の圧電シート２１，２２とを含んでおり、個別電極２４が設けられた２枚の圧電シート２１と共通電極２５が設けられた２枚の圧電シート２２とが１枚ずつ交互に積層され、さらにその上に、トップシート２３が積層された積層構造を有している。
【００２５】
そして、トップシート２３は、絶縁材料からなる平面視矩形状のシート部材であり、フレキシブルフラットケーブル４０（図１参照）を介してインクジェットプリンタの制御装置（図示省略）に電気的に接続される複数の表面電極２６と、フレキシブルフラットケーブル４０を介してグランド電位に保持される複数の表面電極２７とを備えている。図１に示すように、表面電極２６は、トップシート２３の表面の短手方向両端部に長手方向に並べて配列されている。一方、表面電極２７は、表面電極２６の列よりもさらに長手方向両端側の部分に夫々配置されている。
【００２６】
圧電シート２１は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）からなる平面視矩形状のシート部材であり、この圧電シート２１には、表面電極２６と電気的に接続される複数の個別電極２４が設けられている。これら複数の個別電極２４は、トップシート２３の複数の表面電極２６に夫々対応するように、圧電シート２１上の短手方向両端部に長手方向（図４の紙面垂直方向）に沿って配列されている。尚、図４には、図１の手前側の列の表面電極２６に対応する個別電極２４のみが表されている。また、個別電極２４は、圧電シート２１，２２を介して流路ユニット１の圧力室１１に重なるように、圧電シート２１の短手方向（図４の左右方向）の中央付近まで延在している。図５（ａ）に、図４中に示した一点鎖線で囲まれた領域を示す。ここでは、説明の都合上、アクチュエータユニット２に接合されたフレキシブルフラットケーブル４０は省略してある。図５（ａ）に示すように、圧電シート２１，２２を介して圧力室１１に重なる位置に配置された上下２つの個別電極２４は、スルーホール２８を介してトップシート２３上の表面電極２６と電気的に接続されている。
【００２７】
圧電シート２２は、圧電シート２１と同様にＰＺＴからなる平面視矩形状のシート部材であり、この圧電シート２２には、表面電極２７と電気的に接続される共通電極２５が設けられている。図４、図５（ｂ）に示すように、共通電極２５は、複数の圧力室１１にまたがるように圧電シート２２上の中央部に広がって配置されており、スルーホール２９を介してトップシート２３の表面電極２７と電気的に接続されている。
【００２８】
このアクチュエータユニット２の作用を説明する。本実施の形態によるインクジェットヘッド１０１において、圧電シート２１，２２はその厚み方向に分極されている。従って、個別電極２４を共通電極２５と異なる電位にして圧電シート２１，２２に対してその分極方向に電界を印加すると、その電界が印加された部分が活性層として働き、その厚み方向すなわち積層方向に伸長又は収縮しようとする。一方、最下層の圧電シート２１は、個別電極２４と共通電極２５とに挟まれた領域をもたない非活性層であるので、自発的に変形することができない。例えば、表面電極２６の電位を、電界の方向と分極方向とが同方向となるような正又は負の所定電位とすると、複数の圧電シート２１，２２全体が伸長するように変形しようとする。このとき、図４に示すように、圧電シート２１の下面は圧力室１１を区画するキャビティプレート３の上面に固定されているので、圧電シート２１，２２は圧力室１１側へ凸になるように変形する。このため、圧力室１１の容積が低下して圧力室１１内のインクの圧力が上昇し、圧力室１１に連通するノズル１０からインクが吐出される。その後、個別電極２４を共通電極２５と同じ電位に戻すと、圧電シート２１，２２は元の形状になって圧力室１１の容積が元の容積に戻るので、インクを共通インク室側から吸い込む。
【００２９】
ここで、このアクチュエータユニット２は、以下のようにして製造される。まず、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミック粉末、バインダ及び溶剤を混合して、粘度10,000〜30,000ＣＰＳに調製した混合物を、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）等の樹脂フィルム上に広げて乾燥させたグリーンシートを形成する。尚、グリーンシートは、１枚で複数のアクチュエータユニット２の圧電シート２１，２２又はトップシート２３を形成することができる、比較的大判のものである。また、グリーンシートの厚さは３０μｍ程度である。
【００３０】
そして、一方の圧電シート２１となるグリーンシートの表面に、導電性ペーストを印刷形成して個別電極２４を形成する。また、他方の圧電シート２２となるグリーンシートの表面に、導電性ペーストを印刷形成して共通電極２５を形成する。さらに、トップシート２３となるグリーンシートの表面に、導電性ペーストを印刷形成して表面電極２６，２７を形成する。
【００３１】
これらのグリーンシートを乾燥させた後に、圧電シート２１，２２となるグリーンシートを交互に積層し、さらに、最上層にトップシート２３となるグリーンシートを重ねる。そして、これらのグリーンシートを積層方向に加圧して一体化させた後、大判のグリーンシートの積層体から、１つのインクジェットヘッド１０１に対応するアクチュエータユニット２に対応する領域を切り出し、切り出されたグリーンシートの積層体を焼成する。尚、トップシート２３の材料は、絶縁性を有するものであれば特に限定されない。アクチュエータユニット２を一体形成できるという観点からは、圧電シート２１，２２と同じＰＺＴであればよい。また、表面電極２６，２７に電圧が印加されても不要な変位を起こさないという観点から、低誘電率を有する絶縁性材料であってもよい。
【００３２】
ところで、このようにして製造されたアクチュエータユニット２は、流路ユニット１の上面（固定面）に押圧されて接着剤により接着されることになる。しかし、グリーンシートからなる圧電シート２１，２２及びトップシート２３は、導電性を有する個別電極２４及び共通電極２５と比較して、焼成時の収縮量が大きいために、角部２ａ近傍においてアクチュエータユニット２が流路ユニット１と反対側に凸となるように反ってしまうことがある。または、焼成時の温度分布によっても角部２ａの近傍が局所的に変形してしまうことがある。あるいは、焼成前においても、グリーンシートからの切り出し方によっては、角部２ａの近傍に反りを残してしまうことがある。そして、このような角部２ａが反った状態のアクチュエータユニット２を流路ユニット１の上面に押圧して接着すると、応力が集中しやすい角部２ａにクラックが生じたり、あるいは、角部２ａ近傍の反りが十分に矯正されずに流路ユニット１に接着されてしまうため、流路ユニット１の上面に密着しない部分が生じて、その隙間からインクが漏れだしてしまう虞がある。
【００３３】
そこで、本実施形態のインクジェットヘッド１０１においては、図６に示すように、流路ユニット１におけるアクチュエータユニット２との接着面（キャビティプレート３の上面）に、アクチュエータユニット２の４つの角部２ａの先端及びこれら角部２ａの近傍に対向した４つの凹部３０が夫々形成されている。図７（ａ）に示すように、凹部３０は、アクチュエータユニット２の角部２ａを形成する２辺に夫々平行な辺３０ａ，３０ｂと、当該２辺のうちの一方の辺と交差する辺３０ｃ，３０ｄとにより区画されて、平面視略正方形状に形成されている。そして、平面視で、凹部３０の中心から前記交差する辺３０ｃ（または、３０ｄ）までの距離（図７（ａ）の距離ａ）が、角部２ａの先端から前記交差する辺３０ｃ（または、３０ｄ）までの距離（図７（ａ）の距離ｂ）よりも小さくなっている。これにより、角部２ａの近傍が広い範囲にわたって変形した場合でも、その変形した部分が凹部３０に確実に収まるようになっている。
【００３４】
そのため、図７（ｂ）に示すように、アクチュエータユニット２の角部２ａ近傍が反って流路ユニット１（キャビティプレート３）側に垂れ下がってしまった場合でも、そのアクチュエータユニット２の角部２ａの近傍が凹部３０に収容されて逃されるため、アクチュエータユニット２を流路ユニット１の接着面に押圧しても、アクチュエータユニット２の角部２ａが破損することがない。また、角部２ａの近傍をキャビティプレート３に確実に密着させることができ、流路ユニット１とアクチュエータユニット２との間からのインクの漏れを極力防止できる。さらに、このように角部２ａが反ってしまったアクチュエータユニット２でも、流路ユニット１に対して反りのないアクチュエータユニットと同様の組み付けが可能となり、製造ラインから排除する必要がない。従って、製造時の歩留まりが向上し、コストダウンが可能となる。
【００３５】
尚、凹部３０は、図７（ｂ）に示すように、キャビティプレート３により形成された貫通穴形状のものであってもよいし、ハーフエッチング等により形成された底部を有する凹部であってもよい。さらには、キャビティプレート３を含む複数枚のプレート（例えば、キャビティプレート３及びベースプレート４）にわたる凹部としてもよい。このように、アクチュエータユニット２の角部２ａ近傍の変形の度合に応じて、凹部３０の深さを適宜設定することが可能である。
【００３６】
次に、前記実施形態に種々の変更を加えた変更形態について説明する。尚、前記実施形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。
【００３７】
１］アクチュエータユニットの形状は、前記実施形態のような平面視で矩形状のものに限らず、他の多角形状を有するものに対しても本発明を適用できる。ここで、アクチュエータユニットが、鈍角形状の角部を有する場合には、その鈍角の角部においては鋭角や直角の角部と比較して変形が生じにくいため、鈍角の角部に対する凹部を省略してもよい。この場合には、凹部が形成されていない分だけ流路ユニットにおける流路配設の自由度が増す。
２］凹部の平面形状は矩形状である必要は必ずしもなく、例えば、円形、楕円形、あるいは、矩形以外の多角形等、種々の平面形状に形成してもよい。
【００３８】
３］積層された複数枚の圧電シート２１，２２及びトップシート２３を焼成したときに、アクチュエータユニット２全体が、流路ユニット１と反対側に凸となるように反ってしまい、その短辺２ｂの全域にわたって流路ユニット１側に垂れ下がる場合も考えられる。そこで、前記実施形態のようなアクチュエータユニット２の角部２ａに対向する部分だけでなく、図８、図９に示すように、流路ユニット１Ａのアクチュエータユニット２との接着面の、アクチュエータユニット２の少なくとも１つの短辺２ｂ（好ましくは、両方の短辺２ｂ）の両端２ａを含んで対向する部分に、短辺２ｂ全域に亘って延設する溝状の凹部４０を形成してもよい。そして、アクチュエータユニット２の短辺２ｂの近傍部分が流路ユニット１Ａ側に垂れ下がった場合でも、図９に示すように、凹部４０に短辺２ｂの近傍を収容して逃すことにより、破損やインク漏れ等を防止できるため、アクチュエータユニット２製造時の歩留まりをより向上させることが可能となる。
【００３９】
さらに、上述の短辺２ｂに対向する凹部４０に加えて、アクチュエータユニット２の少なくとも１つの長辺２ｃ全域に亘って延設され、長辺２ｃの両端２ａを含んで対向した凹部５０がさらに形成されていてもよい。例えば、図１０に示すように、２つの短辺２ｂに夫々対向する２つの溝状の凹部４０と、２つの長辺２ｃに夫々対向する２つの溝状の凹部５０が互いに連通して、凹部４０及び５０が矩形枠状に形成されていてもよい。そして、アクチュエータユニット２の長辺２ｃの近傍部分が流路ユニット１Ｂ側に垂れ下がった場合でも、凹部５０に長辺２ｃの近傍部分を収容して逃すことができる。これにより、広い範囲の反りの度合や形態において、反りのあるアクチュエータユニット２を、流路ユニット１Ｂに対して反りのないアクチュエータユニットと同様に組み付けることが可能になる。
【００４０】
４］アクチュエータユニット２を製造する際に、大判のグリーンシートを複数枚積層させて一体化し、積層されたグリーンシートを焼成してから、複数のアクチュエータユニット２に切り分けるようにしてもよい。この場合には、アクチュエータユニット２に生じる反りの大きさは前記実施形態と比べて多少小さくなる。
【００４１】
５］前記実施形態のような、個別電極２４が設けられた複数枚の圧電シート２１と共通電極２５が設けられた複数枚の圧電シート２２が交互に重ね合わされて構成された構造以外のアクチュエータユニットを有するインクジェットヘッドにも本発明を適用可能である。例えば、図１１に示すように、アクチュエータユニット６２が、個別電極６４が最上層の圧電シート６６の面上（流路ユニット１との固定面と反対側の面上）に配置されるとともに、共通電極６５が２層目の圧電シート６７の上面に配置され、さらに圧電シート６６の下に、複数枚の圧電シート６８，６９，７０が積層された構造であってもよい。このアクチュエータユニット６２においては、最上層の１枚の圧電シート６６が活性層となり、下側（圧力室１１側）の圧電シート６７〜７０が非活性層となる。そして、個別電極６４と共通電極６５との間に電圧が付加されたときに、活性層の部分が変形して圧力室１１の容積が変化し、圧力室１１に連通したノズルからインクが吐出される。
【００４２】
尚、本変更形態では、個別電極６４が最上層の圧電シート６６の面上のみに各圧力室１１に対向して配置されている。この個別電極６４は、ちょうど前記実施形態における表面電極２６の働きを兼ねている。また、図示はしないが、２層目の圧電シート６７上に配置された共通電極６５は、各圧力室１１に跨るように形成されており、最上層の圧電シート６６の面上において、個別電極６４が配置された領域の外縁部にスルーホールを介して複数箇所露出している。このスルーホールには、隣接する個別電極６４と電気的に絶縁された状態で表面電極２７が接続されている。何れの電極も対応する圧電シートの表面内に形成されている。そして、最上層の面上において、各電極６４，２７（６５）に形成された端子（例えば、個別電極６４については、図１１に示すランド６４ａ）とフレキシブルフラットケーブル４０とが半田接合されている。これにより、上述したようなインク吐出を生じさせる電圧が、各個別電極６４と共通電極６５（表面電極２７）との間に印加される。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の実施形態に係るインクジェットヘッドの分解斜視図である。
【図２】流路ユニットの分解斜視図である。
【図３】流路ユニットの部分拡大斜視図である。
【図４】図１のIV-IV線断面図である。
【図５】アクチュエータユニットの部分断面図であり、（ａ）は個別電極を接続するスルーホールが設けられた部分（図４中の一点鎖線で囲まれた領域）の断面図、（ｂ）は共通電極を接続するスルーホールが設けられた部分の断面図である。
【図６】流路ユニット及びアクチュエータユニットの平面図である。
【図７】アクチュエータユニットの１つの角部近傍を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のVIIA-VIIA線断面図である。
【図８】変更形態の図６相当図である。
【図９】図８のIX-IX線断面図である。
【図１０】別の変更形態の図６相当図である。
【図１１】さらに別の変更形態のアクチュエータユニットの部分断面図である。
【図１２】部分的に変形した状態のアクチュエータユニットの部分拡大断面図である。
【符号の説明】
【００４４】
１，１Ａ，１Ｂ    流路ユニット
２，６２    アクチュエータユニット
２ａ  角部
２ｂ  短辺
２ｃ  長辺
１０  ノズル
１１  圧力室
２１，２２，６６，６７  圧電シート
２４，６４  個別電極
２５，６５  共通電極
２６  表面電極
２８  スルーホール
３０，４０，５０  凹部
１０１      インクジェットヘッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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