(57)【要約】【課題】  本発明は、脱気度を低下させることなく機能液を機能液滴吐出ヘッドに供給することができる機能液供給機構およびこれを備えた機能液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを課題としている。【解決手段】  本発明の機能液供給機構４は、機能液滴を吐出する機能液滴吐出ヘッド１１に接続され、機能液滴吐出ヘッド１１に機能液を供給し、機能液を真空パックしたパック形式の機能液タンク５１と、上流端部５８を機能液タンク５１に接続し、下流端部５９を機能液滴吐出ヘッド１１に接続した機能液供給チューブ５２と、を備え、機能液タンク５１には脱気した機能液が貯留されている。【選択図】  図４
2005161567.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能液滴を吐出する機能液滴吐出ヘッドに接続され、前記機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液供給機構において、
前記機能液を真空パックしたパック形式の機能液タンクと、
上流端部を前記機能液タンクに接続し、下流端部を前記機能液滴吐出ヘッドに接続した機能液供給チューブと、を備え、
前記機能液タンクには脱気した機能液が貯留されていることを特徴とする機能液供給機構。
【請求項２】
前記機能液供給チューブは一本のもので構成され、
前記機能液供給チューブの上流端部は、機能液タンクの供給口部に直接接続され、下流端部は、前記機能液滴吐出ヘッドの導入口部に直接接続されていることを特徴とする請求項１に記載の機能液供給機構。
【請求項３】
前記機能液供給チューブは一本のもので構成され、
前記機能液供給チューブの上流端部および下流端部のうち、少なくとも一方は接続具を介して接続されていることを特徴とする請求項１に記載の機能液供給機構。
【請求項４】
前記接続具は、前記機能液供給チューブの前記上流端部にのみ設けられており、一方の端部に設けられ、前記機能液供給チューブが直接接続されるチューブ接続部と、他方の端部に設けられ、前記チューブ接続部に連通すると共に、前記機能液タンクに接続される流路つきの接続針と、を有し、
前記供給口部は前記接続針を抜き差し自在に受容する弾性体で封止されていることを特徴とする請求項３に記載の機能液供給機構。
【請求項５】
前記機能液タンクは、気体非透過性および防水性を有する密封パックで構成されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の機能液供給機構。
【請求項６】
前記機能液供給チューブは、気体非透過性および防水性を有していることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の機能液供給機構。
【請求項７】
前記機能液タンクを支持するタンク架台を、更に備え、
前記タンク架台には、前記機能液タンクと前記機能液滴吐出ヘッドとの水頭差を調整する高さ調整機構が組み込まれていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の機能液供給機構。
【請求項８】
前記機能液は、有機ＥＬ装置の正孔注入層および発光層のいずれかを構成する成膜材を主成分とするものであることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の機能液供給機構。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれかに記載の機能液供給機構と、
前記機能液滴吐出ヘッドと、
ワークを、前記機能液滴吐出ヘッドに対しＸ軸方向およびＹ軸方向に相対的に移動させるＸ・Ｙ移動機構と、を備えたことを特徴とする機能液滴吐出装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の機能液滴吐出装置を用い、前記ワークに前記機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１１】
請求項９に記載の機能液滴吐出装置を用い、前記ワークに前記機能液滴による前記成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１２】
請求項１０に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項１１に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機能液タンクから機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液供給機構およびこれを備えた機能液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、機能液滴吐出装置の一種で、フラットパネルディスプレイのカラーフィルタの製造に用いられる機能液滴吐出装置は、機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液供給機構として、機能液を貯留するメインタンクと、メインタンクから機能液の供給を受けるサブタンクと、メインタンクとサブタンクとの間に設けられたサブ脱気装置と、サブタンクと機能液滴吐出ヘッドとの間に設けられたメイン脱気装置と、これらを機能液滴吐出ヘッドに接続する複数本のチューブと、これらのチューブを２分岐させる継手と、機能液の流路を開閉できるバルブと、を備え、これらチューブ、継手、およびバルブを介してメインタンクからサブタンクを経由し、機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
この場合、サブタンクは、機能液滴吐出ヘッドと機能液供給機構との水頭差を調整する開放タンクで構成されており、機能液は所定の水頭圧でサブタンクから機能液滴吐出ヘッドに供給されるようになっている。
【特許文献１】特開平１１−４２７９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記従来の機能液供給機構では、機能液の初期充填時に混入した気泡が継手やバルブの流路隅部に残留し、これが描画時に流れ出して機能液滴吐出ヘッドの吐出不良を起こしたりする問題がある。しかも、サブタンクはその構造上外気に開放されており、サブ脱気装置で脱気してもサブタンクで外気に触れ脱気度が低下してしまう問題がある。
【０００４】
本発明は、脱気度を低下させることなく機能液を機能液滴吐出ヘッドに供給することができる機能液供給機構およびこれを備えた機能液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の機能液供給機構は、機能液滴を吐出する機能液滴吐出ヘッドに接続され、機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液供給機構において、機能液を真空パックしたパック形式の機能液タンクと、上流端部を機能液タンクに接続し、下流端部を機能液滴吐出ヘッドに接続した機能液供給チューブと、を備え、機能液タンクには脱気した機能液が貯留されていることを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、機能液は真空パックされたものであって、機能液タンクに貯留された状態で周囲エアーに直接触れることがない。このため、機能液の脱気度が低下するのを防止することができる。また機能液は、脱気によって溶存している気体が取り除かれた不飽和状態にあるため、流路を構成する機能液供給チューブの接続部分等から微小な気泡が混入しても、あるいは機能液供給チューブを分子レベルで周囲エアーが透過しても、その気泡を吸収する。すなわち、たとえ流路内に気泡（周囲エアー）の進入を許すことがあっても、気泡の発生を防止することができる。
【０００７】
この場合、機能液供給チューブは一本のもので構成され、機能液供給チューブの上流端部は、機能液タンクの供給口部に直接接続され、下流端部は、機能液滴吐出ヘッドの導入口部に直接接続されていることが、好ましい。
【０００８】
この構成によれば、機能液タンクと機能液滴吐出ヘッドとの接続は継手等を用いることなく単一の機能液供給チューブのみで直接行われている。すなわち、機能液供給チューブの接続箇所を最小限とすることができ、接続箇所から気泡が混入するのを極力抑えることができる。
【０００９】
この場合、機能液供給チューブは一本のもので構成され、機能液供給チューブの上流端部および下流端部のうち、少なくとも一方は接続具を介して接続されていることが、好ましい。
【００１０】
この構成によれば、機能液供給チューブと機能液タンクとの接続を容易に行うことができる。
【００１１】
この場合、接続具は、機能液供給チューブの上流端部にのみ設けられており、一方の端部に設けられ、機能液供給チューブが直接接続されるチューブ接続部と、他方の端部に設けられ、チューブ接続部に連通すると共に、機能液タンクに接続される流路つきの接続針と、を有し、供給口部は接続針を抜き差し自在に受容する弾性体で封止されていることが、好ましい。
【００１２】
この構成によれば、接続具の接続針を弾性体に貫通するように挿入することにより、機能液の流路が形成される。これにより、接続部分で接続針の周囲が弾性体で密閉されるため、接続針と供給口部との間から気泡が入ることがない。また、接続針を引き抜くだけで、機能液供給チューブと弾性体との接続状態を解くことができるだけでなく、接続を解除した状態でも弾性体で封止された箇所から機能液がもれ出ることがない。
【００１３】
この場合、機能液タンクは、気体非透過性および防水性を有する密封パックで構成されていることが、好ましい。
【００１４】
この構成によれば、機能液タンクの内部において、機能液の脱気度が低下することがなく、また、周囲エアーから機能液タンク内に酸素や湿気が進入するのを有効に防止することができる。これにより、機能液タンクに貯留されている機能液に酸素や水分が混入して機能液が変質するのを防ぐことができる。
【００１５】
この場合、機能液供給チューブは、気体非透過性および防水性を有していることが、好ましい。
【００１６】
この構成によれば、機能液供給チューブ内を流れる機能液に分子レベルで透過した酸素や水が混入し、機能液が変質することを防止することができる。通常、機能液滴の吐出では機能液が微小量ずつ消費されるため、機能液タンクから送られる機能液は機能液滴吐出ヘッドに至るまで長時間かけて機能液供給チューブ内を移動する。このため、その移動中の機能液の変質を防ぐことが機能液滴の吐出の安定化に特に有効である。
【００１７】
この場合、機能液タンクを支持するタンク架台を、更に備え、タンク架台には、機能液タンクと機能液滴吐出ヘッドとの水頭差を調整する高さ調整機構が組み込まれていることが、好ましい。
【００１８】
この構成によれば、高さ調整機構により、機能液の種別や流路の圧力損失に対し水頭差を適切に調整することができる。すなわち、機能液タンクの位置が高すぎて機能液滴吐出ヘッドから機能液がタレたり、機能液タンクの位置が低すぎて機能液の吐出量が減少して吐出不良を起こしたりするのを防止することができる。なお、高さ調整を自動化し、機能液タンク内の機能液の目減りに対しても、水頭圧調整を行うことが、より好ましい。
【００１９】
この場合、機能液は、有機ＥＬ装置の正孔注入層および発光層のいずれかを構成する成膜材を主成分とするものであることが、好ましい。
【００２０】
この構成によれば、機能液供給機構が、周囲エアーに含まれる湿気や酸素によって機能液が変質するのを防止できるため、成膜材にも好適に用いることができる。これにより、成膜材の寿命を伸ばすとともに、形成される有機ＥＬ装置の正孔注入層および発光層の信頼性を向上させることができる。
【００２１】
本発明の機能液滴吐出装置は、上記の機能液供給機構と、機能液滴吐出ヘッドと、ワークを、機能液滴吐出ヘッドに対しＸ軸方向およびＹ軸方向に相対的に移動させるＸ・Ｙ移動機構と、を備えたことを特徴とする。
【００２２】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドに新鮮な機能液が供給されるため、機能液滴吐出装置で製造される製品の信頼性を向上させることができる。具体的には、製品の成膜不良、発光不良等を生じることがない。
【００２３】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記の機能液滴吐出装置を用い、ワークに機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。
【００２４】
また、本発明の電気光学装置は、上記の機能液滴吐出装置を用い、ワークに機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００２５】
これらの構成によれば、機能液の品質が変質しにくい機能液滴吐出装置を用いて製造されるため、信頼性の高い電気光学装置を製造することが可能となる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００２６】
本発明の電子機器は、上記の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記の電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００２７】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【発明の効果】
【００２８】
以上に述べたように、本発明の機能液供給機構およびこれを備えた機能液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器によれば、機能液の変質を防止して機能液を安定に供給することができるため、機能液滴の吐出精度を向上させることができ、生産性を向上させることができる。
【００２９】
また、本発明の電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器は、上記の機能液滴吐出装置を用いて製造されるため、作業の信頼性を高め、効率的にこれらを製造することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、添付の図面を参照して、本発明の機能液供給チューブおよびこれを備えた機能液供給機構を適用した機能液滴吐出装置について説明する。本実施形態の機能液滴吐出装置は、いわゆるフラットパネルディスプレイの一種である有機ＥＬ装置や液晶表示装置等の製造ラインに組み込まれるものである。この機能液滴吐出装置は、ポリエチレンジオキシチオフェン（PEDOT）に代表される水系の機能液を用いた正孔注入層形成用のものや、有機溶剤に溶かしたＥＬ発光材に代表される溶剤系の機能液の発光層形成用のもの等が存在する。これらはその溶媒の違いによって一部構成が異なるものの概ね同形態であるため、本実施形態では主として正孔注入層形成用の機能液滴吐出装置について説明する。
【００３１】
図１に示すように、機能液滴吐出装置１は、機台６と、機台６の上側中央に十字状に配設された、３個の機能液滴吐出ヘッド１１を有する描画装置２と、機台６上に描画装置２と並列に設置され機能液滴吐出ヘッド１１の保守等に用いる各種の装置から成るメンテナンス装置３と、描画装置２に機能液を供給する機能液供給機構４と、を備えている。描画装置２は、機能液滴吐出ヘッド１１を用いてワークＷ上に機能液滴による描画を行うものである。メンテナンス装置３は、機能液滴吐出ヘッド１１の保守を行うと共に、機能液滴吐出ヘッド１１から適切に機能液滴が吐出されているか否かの検査を行い、機能液滴吐出ヘッド１１による機能液滴の吐出を安定させるためのものである。また、機能液滴吐出装置１は、上記の各構成装置を統括的に制御する制御装置１６１を備えている。なお、本実施形態では機能液滴の吐出をドライエアーや不活性ガスの雰囲気で行うチャンバ装置が取り付けられていないが、これを備えた構成としてもよい。
【００３２】
メンテナンス装置３は、機能液滴吐出装置１の非稼働時に、機能液滴吐出ヘッド１１に密接してその乾燥を防止する保管ユニット２１と、増粘した機能液を除去するための吸引（クリーニング）および機能液滴吐出ヘッド１１の捨て吐出を受ける（フラッシング）吸引ユニット３１と、機能液滴吐出ヘッド１１のノズル面１２に付着する汚れを払拭するためのワイピングユニット４１とを有している。これら各ユニットは、機台６上にＸ軸方向に延在するように載置された移動テーブル４３に搭載され、この移動テーブル４３によってＸ軸方向に移動可能に構成されている。
【００３３】
保管ユニット２１は、機能液滴吐出ヘッド１１のノズル面１２に密着する封止キャップ２２を有しており、封止キャップ２２は封止キャップ昇降機構２３を介して移動テーブル４３に取り付けられている。機能液滴吐出装置１の非稼働時には、機能液滴吐出ヘッド１１は移動テーブル４３上のメンテナンス位置２４に移動しており、これに対し封止キャップ２２を上昇させて機能液滴吐出ヘッド１１のノズル面１２に密着させる。すなわち、機能液滴吐出ヘッド１１の全ノズル１３を封止し、各ノズル１３における機能液滴の乾燥を防止している。これにより機能液の増粘を抑制していわゆるノズル詰りを防止するようになっている。
【００３４】
吸引ユニット３１には、機能液滴吐出ヘッド１１のノズル面１２に密着する吸引キャップ３２を有しており、吸引キャップ３２は吸引キャップ昇降機構３３を介して移動テーブル４３に取り付けられている。また、吸引キャップ３２には図示しないが、吸引ポンプが接続されている。機能液滴吐出ヘッド１１に機能液の充填を行う場合や増粘した機能液を吸引する場合には、この吸引キャップ３２を上昇させて機能液滴吐出ヘッド１１に密着させて、ポンプ吸引を行う。また、機能液滴の吐出（描画）を休止するとき、機能液滴吐出ヘッド１１を駆動させてフラッシング（捨て吐出）を行う。その際、吸引キャップ３２を機能液滴吐出ヘッド１１から僅かに離間させてフラッシングを受けるようにしている。これにより、ノズル詰まりが防止されると共に、ノズル詰まりの生じた機能液滴吐出ヘッド１１の機能が回復される。
【００３５】
ワイピングユニット４１には、ワイピングシート４２が繰出し自在且つ巻取り自在に設けられており、繰り出したワイピングシート４２を送りながら、且つ移動テーブル４３によりワイピングユニット４１をＸ軸方向に移動させながら、機能液滴吐出ヘッド１１のノズル面１２を拭き取るようになっている。このため、上記吸引動作等により機能液滴吐出ヘッド１１のノズル面１２に付着した機能液が取り除かれ、機能液滴吐出時の飛行曲がり等が防止される。なお、メンテナンス装置３として、上記の各ユニットに加え、機能液滴吐出ヘッド１１から吐出された機能液滴の飛行状態を検査する吐出検査ユニット（図示省略）等を、搭載することが好ましい。
【００３６】
図１に示すように描画装置２は、機台６上に十字状に設置したＸ・Ｙ移動機構６１を有している。Ｘ・Ｙ移動機構６１は、機能液滴吐出ヘッド１１に対して、ワークＷをＸ軸方向およびＹ軸方向に相対移動させるものであり、ワークＷを搭載するＸ軸テーブル６２と、これを跨いで直交するように設置されて、機能液滴吐出ヘッド１１を搭載しているＹ軸テーブル７１と、を有している。また、描画装置２には、機能液滴吐出ヘッド１１の位置認識を行うヘッド認識カメラ（図示省略）や、ワークＷの位置認識を行うための一対のワーク認識カメラ７７、７７等の各種の装置が備えられている。
【００３７】
ワークＷは、電極等を作り込んだ透光性（透明）のガラス基板で構成されており、その表面は、画素を作りこむための複数の描画領域Ｄと非描画領域Ｓとに区分けされている。そして、この描画領域Ｄに機能液滴を吐出して描画が行われる。
【００３８】
Ｘ軸テーブル６２は、Ｘ軸方向に延在するメンテナンス装置３と相互に平行になるように機台６に直接設置されており、ワークＷを吸着する吸着テーブル６３および吸着テーブル６３をＺ軸廻りに回転自在に支持するθテーブル６４からなるセットテーブル６６と、セットテーブル６６をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸スライダ６５と、Ｘ軸スライダ６５を駆動するＸ軸モータ（図示省略）とを有している。ワークＷは吸着テーブル６３上に吸着載置され、Ｘ軸スライダ６５を介して主走査方向であるＸ軸方向に移動できるようになっている。
【００３９】
Ｙ軸テーブル７１は、Ｘ軸テーブル６２を挟んで機台６に立設された左右一対の支柱７２と、両支柱７２に掛渡されたＹ軸フレーム７３と、Ｙ軸フレーム７３にスライド自在に支持されるＹ軸スライダ７４と、Ｙ軸スライダ７４を駆動するＹ軸モータ（図示省略）と、Ｙ軸スライダ７４に支持され機能液滴吐出ヘッド１１を搭載するメインキャリッジ７５とを有している。メインキャリッジ７５にはヘッドユニット７６が垂設されており、ヘッドユニット７６には、サブキャリッジ（図示省略）を介して３つの機能液滴吐出ヘッド１１が搭載されている。
【００４０】
図１に示すように、機能液滴吐出ヘッド１１は、機能液滴を吐出する多数（例えば１８０個）のノズル１３をそのノズル面１２に有しており、それら多数のノズル１３が２列のノズル列１４を形成している（図示のように１列でも可）。また機能液滴吐出ヘッド１１は、これらのノズル列に対応した一対のヘッド内流路（図示省略）と、これらヘッド内流路に連なる一対の導入口部１５が設けられている（図４参照）。本実施形態では、各機能液滴吐出ヘッド１１のノズル列のうち、一方のみを使用するようになっており、片側の導入口部１５にのみ機能液供給機構４が接続されている。この３個の機能液滴吐出ヘッド１１は、ノズル列１４が主走査方向に直交するようにヘッドユニット７６にＸ軸方向に横並びに配設されている。
【００４１】
そして、ワークＷに描画を行う場合には、機能液滴吐出ヘッド（ヘッドユニット７６）１１を所定のワークギャップを存してワークＷに臨ませておいて、Ｘ軸テーブル６２による主走査（ワークＷの往復移動）に同期して、機能液滴吐出ヘッド１１を吐出駆動させる。また、Ｙ軸テーブル７１により適宜、副走査（ヘッドユニット７６の移動）が行われる。この一連の動作により、ワークＷの描画領域Ｄに所望の機能液滴の選択的吐出、すなわち描画が行われる。
【００４２】
また、機能液滴吐出ヘッド１１のメンテナンスを行う場合には、移動テーブル４３により吸引ユニット３１を所定のメンテナンス位置２４に移動させると共に、Ｙ軸テーブル７１によりヘッドユニット７６を上記のメンテナンス位置２４に移動させ、機能液滴吐出ヘッド１１のフラッシング或いはポンプ吸引を行う。また、ポンプ吸引を行った場合には、続いて移動テーブル４３によりワイピングユニット４１をメンテナンス位置２４に移動させ、機能液滴吐出ヘッド１１のワイピングを行う。同様に、作業が終了して装置の稼動を停止する時には、保管ユニット２１により、機能液滴吐出ヘッド１１にキャッピングが行われる。
【００４３】
次に、図１および図２を参照して、機能液供給機構４について詳細に説明する。機能液供給機構４は、３つの機能液タンク５１と、機能液タンク５１を昇降自在に支持するタンク架台１０１と、を有している。各機能液タンク５１と各機能液滴吐出ヘッド１１との間には機能液の供給流路となる機能液供給チューブ５２が、各機能液供給チューブ５２と各機能液滴吐出ヘッド１１との間にはこれらを接続するヘッド側アダプタ（接続具）５３が、そして各機能液チューブ５２と各機能液タンク５１との間にはこれらを接続するタンク側アダプタ（接続具）１２１が、それぞれ設けられている。すなわち、各機能液供給チューブ５２は、その上流端部５８を機能液滴吐出ヘッド１１に接続され、その下流端部５９が機能液タンク５１に接続されている。
【００４４】
図２に示すように、タンク架台１０１は、３つの機能液タンク５１を昇降自在に支持するタンクベース１０９と、機能液タンク５１を昇降させる昇降機構（高さ調整機構）１０３と、昇降機構１０３を機台６上に支持する一対の支持ブロック１０４と、を有している。また、タンクベース１０９上には、３つの機能液タンク５１をセットするための３組のタンクホルダ１１０が設けられている。昇降機構１０３は、タンクベース１０９を載置した「コ」字状断面の昇降部材１０２と、昇降部材１０２をスライド自在に案内する昇降ガイド部材１０７と、昇降部材１０２に螺合するリードねじ１０８と、リードねじ１０８の下端部に連結されリードねじ１０８を正逆回転させる昇降モータ１６９と、を有している。
【００４５】
昇降ガイド部材１０７は、上板部１５３と下板部１５４との間に一対のガイドバー１０６，１０６を有しており、この一対のガイドバー１０６，１０６に上記の昇降部材１０２がスライド自在に係合している。昇降モータ１６９が正逆回転すると、リードねじ１０８を介して、昇降部材１０２が昇降し、機能液滴吐出ヘッド１１に対する機能液タンク５１の水頭差を微調整できるようになっている。なお、昇降モータ１６９は上記した制御装置１６１によってその駆動を制御される。
【００４６】
次に、図３を参照しながら機能液タンク５１について説明する。機能液タンク５１はカートリッジ形式のものであり、水系の溶媒で構成される機能液を真空パックした機能液パック８１と、機能液パック８１を収容する樹脂製のカートリッジケース８２と、を有している。機能液パック８１は、上下２枚の長方形のフィルムシート８４を重ねて合せ、その周辺を熱融着した袋状に形成され、内部に機能液を１１０ｃｃ貯留する貯留空間８５が構成されている。機能液は脱気されたものであり、エアーを排除した状態で貯留空間８５に密封して貯留されている。機能液の貯留時には機能液パック８１は上下方向に膨らんでおり、機能液が目減りするに従って、機能液パック８１は扁平形状に変形し、最後まで使い切ることができるようになっている。機能液パック８１の一方の端面には機能液を供給する供給口部８６が設けられており、この供給口部８６から機能液供給チューブ５２に機能液を供給する。なお、機能液パック８１への機能液の充填は真空中で行われる。
【００４７】
機能液パック８１に貯留される機能液は、水系の機能液であるポリエチレンジオキシチオフェン（PEDOT）であり、図示しない脱気装置によって予め脱気され、溶存している溶存気体量がゼロに近い状態（不飽和な状態）で機能液パック８１に密封されている。
【００４８】
フィルムシート８４は、気体非透過性、防水性、を有する複数の素材からなる積層構造で構成されている。本実施形態では、例えば、外層８７がアルミニウム、その内層８８が樹脂等で構成されており、気体非透過性および防水性を有するように積層あるいはコーティングしたものが使用されている。供給口部８６は、樹脂により、所定の強度を保持して円筒形状に形成され、機能液パック側の取付孔部８９と、取付孔部８９と一体に形成されて先端側に設けたフランジ部９０とを有している。
【００４９】
フランジ部９０は、その軸心部に貯留空間８５に連通する開口部９１を有している。また開口部９１は、これを封止する弾性体９３で閉栓されており、この弾性体９３はブチルゴム等で形成されている。この場合ブチルゴムのもつ気体非透過性および防水性によって、弾性体９３は、機能液が周囲エアーの酸素や湿気によって変質するのを防ぐ構成となっている。
【００５０】
カートリッジケース８２は、上部を開口した方形の箱状のケース本体１１１と、ケース本体１１１の開口を閉塞する蓋ケース１１２とで形成され、内部に機能液パック８１が収容される収容空間１１５が構成されている。ケース本体１１１は、その前面中央に窪入形成されたパック接合部１１３を有しており、パック接合部１１３には、機能液パック８１のフランジ部９０が係合する略「Ｕ」字状の係止溝１４１が形成されている。そして、係止溝１４１には、一対の係止突起１４３が中心に向かって突設され、これに挿入したフランジ部９０をこの一対の係止突起１４３により抜止め状態で係止（固定）されるようになっている。
【００５１】
このように構成された機能液タンク５１は、上記のタンクホルダ１１０に側方から着脱自在に装着される。一方、タンクホルダ１１０には、装着した機能液タンク５１のフランジ部９０に対応して機能液供給チューブ５２に連なる上記のタンク側アダプタ１２１が固定されている。なお、カートリッジケース８２はスナップイン形式でタンクホルダ１１０にセットされ、タンクホルダ１１０近傍に取り付けられた検出機構１７０で完全にセットされたか否かを判断できるようになっている（図６参照）。
【００５２】
図４に示すように、タンク側アダプタ１２１は、機能液供給チューブ５２に直接接続されるチューブ接続部１２２と、機能液タンク５１に接続されるタンク接続部１２３とを有しており、両接続部１２２，１２３の内部には機能液パック８１から機能液チューブ５２に機能液を供給する流路が形成されている。チューブ接続部１２２は、機能液供給チューブ５２を軸心に挿嵌する円筒雄ねじ部１２４と、円筒雄ねじ部１２４を支持するチューブ側フランジ１２５と、円筒雄ねじ部１２４の外側に螺合する雌ねじキャップ１２６と、円筒雄ねじ部１２４と雌ねじキャップ１２６との間に介設され、機能液供給チューブ５２を液密に保持するチューブ側Ｏリング１２７と、で構成されている。一方、タンク接続部１２３は、軸心に流路を形成した接続針１３１と、接続針１３１を保持するタンク側フランジ１５２と、チューブ側フランジ１２５の接続針受入れ溝１２９に介設したタンク側Ｏリング１２８とで構成されている。チューブ接続部１２２とタンク接続部１２３とは、チューブ側フランジ１２５とタンク側フランジ１５２とをフランジ接合することにより接続されている。なお、両Ｏリングは、ブチルゴム等の気体非透過性、および防水性を備えたものであることが好ましい。
【００５３】
接続針１５１は、先端が鋭利に形成されており、この先端部分には内部流路（図示省略）に連なる微小な複数の流入孔（図示省略）を形成されている。すなわち、接続針１５１は、上記した機能液パック８１の弾性体９３を貫いて差し込まれることにより機能液パック８１に接続され、機能液パック８１から機能液を流出させて流路を形成する。また、接続針１５１の基部は機能液供給チューブ５２に挿入されており、内部流路と機能液供給チューブ５２の流路とが接続されている。なお、図示では省略したが、タンク側アダプタ１２１は、タンクホルダ１１０に機能液タンク５１を完全にセット（装着）することにより、タンク側アダプタ１２１の接続針１５１に機能液タンク５１の開口部９１（弾性体９３）が正確に接続されるようになっている。
【００５４】
ヘッド側アダプタ５３は、ブチルゴムによって短尺の円筒形状に形成され、上半部内面に機能液供給チューブ５２が接続され、下半部内面に機能液滴吐出ヘッド１１の導入口部１５が接続されている。なお、ヘッド側アダプタ５３もブチルゴムで形成されていることから、上記した気体非透過性等の性質を有していることはいうまでもない。
【００５５】
次に、図５を参照して機能液供給チューブ５２について詳細に説明する。機能液供給チューブ５２は水系機能液に専用の５層構造を有し、内径２ミリに形成されている。機能液供給チューブ５２は、ポリエチレンからなる最内層１８３と、ポリエチレンからなる最外層１８４と、エチレンビニルアルコール共重合体からなり最も中間に位置する中間層１８５と、最外層１８４と中間層１８５との間に位置しポリオリフィン系接着剤からなる外側接着剤層１８７と、最内層１８３と中間層１８５との間に位置しポリオリフィン系接着剤からなる内側接着剤層１８６とを有している。最内層１８３の内側には機能液が流れるチューブ内流路５７が形成されている。
【００５６】
中間層１８５は、エチレンビニルアルコール共重合体で構成され、気体が透過するのを防ぐ気体非透過性と、成形収縮率が小さく射出成形した後も形状が安定する成形安定性と、を有している。気体非透過性は、周囲エアーからの気体の混入を防ぎ、機能液に気体が溶け込んで機能液の溶存気体量が飽和状態になったり、機能液が酸化したりしないようにしている。
【００５７】
最内層１８３および最外層１８４は、ポリエチレンで構成され、当該素材が持つ防水性により周囲エアーの湿気が流路内の機能液に取り込まれて、機能液が変質することを防止している。ポリエチレンには低密度のものと、高密度のものとが存在するが、本実施形態では低密度のものを使用している。なお、コストは高くなるが、高密度のものを使用すれば、防水性をさらに向上させることも可能となる。また、最内層１８３および最外層１８４はポリプロピレンで構成してもよい。ポリプロピレンもポリエチレンと同様の性質を持ち、その防水性から最内層１８３および最外層１８４に使用することができる。
【００５８】
内側接着剤層１８６および外側接着剤層１８７は、ポリオリフィン系の樹脂接着剤で構成されており、ポリオリフィン系の樹脂接着剤のうち、ポリエチレンを用いている。ポリエチレンは、最内層１８３および最外層１８４にも用いられているが、表面エネルギーが低くそのままでは中間層１８５であるエチレンビニルアルコール共重合体と接着しにくいものとなっているため、１５０℃でホットメルトしたものを内側接着剤層１８６および外側接着剤層１８７として用いて最外層１８４と、中間層１８５と、最内層１８３とを接着するようにしている。このため、たとえ最外層１８４と最内層１８３とに防水性が低下するシール切れを生じていても内側接着剤層１８６と外側接着剤層１８７とがシール切れ部分を補修するように作用することになり、機能液供給チューブ５２はより防水性の高い（すなわち透湿性が低い）ものとなっている。なお、１５０℃でホットメルトしたエチレン酢酸ビニール共重合体や１７０℃でホットメルトしたポリプロピレンを用いても概ね同じ性能を得ることができる。
【００５９】
上記した機能液供給チューブ５２は、最外層１８４、外側接着剤層１８７、中間層１８５、内側接着剤層１８６および最内層１８３を射出成形機（図示省略）によって多層同時射出することにより各層が接着された一体物として容易に製造することができる。このように製造された機能液供給チューブ５２は、屈曲耐久性を備えており、折り曲げられて応力集中した場合にも内側接着剤層１８６および外側接着剤層１８７が層間滑りを防ぐ構成となっている。
【００６０】
本実施形態の機能液供給機構４においては、機能液タンク５１に貯留されている機能液は、機能液滴吐出ヘッド１１の駆動に応じて、上記の接続針１５１に形成された内部流路から機能液供給チューブ５２のチューブ内流路５７を通り、ヘッド側アダプタ５３を介して機能液滴吐出ヘッド１１まで供給され、機能液滴吐出ヘッド１１からワークＷに吐出される。
【００６１】
次に図６を参照して、本実施形態の機能液滴吐出装置１の制御装置１６１による制御について説明する。制御装置１６１は、機能液滴吐出装置１の各構成装置を直接的に、または各種のドライバを介して間接的に、統括制御する制御部１６２と、これら各構成装置の駆動を直接に担うドライバ群１６３と、を有している。
【００６２】
制御部１６２は、マイクロプロセッサで構成されるＣＰＵ１６４と、各種制御プログラムを記憶しているＲＯＭ１６５と、主記憶装置となるＲＡＭ１６６と、それらをドライバ群１６３に連絡する周辺制御回路１７５と、を備えており、これらは互いに内部バス１６７により接続されている。ドライバ群１６３は、表示装置１６８を表示させるためのディスプレイドライバ１７１、機能液滴吐出ヘッド１１の吐出を制御するヘッドドライバ１７２、Ｘ・Ｙ移動機構６１を駆動するためのモータドライバ１７４、昇降モータ１６９を駆動する昇降モータドライバ１７３等の各種ドライバから構成されている。
【００６３】
上記した制御装置１６１において、ＣＰＵ１６４は、モータドライバ１７４を介してＸ・Ｙ移動機構６１を駆動し、機能液滴吐出ヘッド１１がワークＷに対して相対移動するように指示を行うとともに、ヘッドドライバ１７２を介して機能液滴吐出ヘッド１１の機能液滴の選択的吐出を制御して、機能液滴吐出ヘッド１１に所定のパターンの描画を行わせる。またＣＰＵ１６４は、昇降モータドライバ１７３を介して昇降機構１０３を制御し、機能液タンク５１を昇降させて、適切な水頭差をとるように機能液の液面高さを調整する。なお、この液面高さの調整は、ＣＰＵ１０４により機能液滴吐出ヘッド１１の吐出回数等（吸引も吐出回数に換算する）から機能液タンク５１の目減り量を算定し、この算定結果に基づいて行うことが好ましい。
【００６４】
以上が本発明の機能液滴吐出装置の第一実施形態である。本実施形態によれば、機能液供給チューブ５２が気体非透過性、および防水性を備えているとともに、機能液タンク５１、接続具１２１、およびヘッド側アダプタ５３も同様の性能を有しているため、機能液供給機構４全体において機能液に周囲エアーが混入することがない。したがって、機能液が変質するのを有効に防止できる。また、たとえ周囲エアーの酸素や窒素が、機能液供給チューブ５２を断面方向に超えて分子レベルで進入することがあっても、脱気した機能液がそれらを吸収するため流路内に微小な気泡が残ることがない。以上から流路内の圧力を適切化でき、精度良く機能液滴を吐出することができる。
【００６５】
次に図７を参照しながら、本発明の機能液滴吐出装置の第２実施形態について、主に上記した第１実施形態と異なる部分を説明する。この第２実施形態の機能液滴吐出装置は、機能液供給チューブ５２がより大口径に形成されており（例えば内径４ミリ）、機能液供給チューブ５２の上流端部が機能液タンク５１（機能液パック８１）に設けられた機能液供給用のコネクタ（供給口部）１８１に直接接続され、下流側（下流端部）が機能液滴吐出ヘッド１１の導入口部１５に直接接続されている。
【００６６】
第２実施形態によれば、機能液滴吐出ヘッド１１に機能液を供給する機能液供給機構４は、一本の機能液供給チューブ１１と、機能液タンク５１とで構成されるため、異なる部材同士が接続する継ぎ目の数を最小限にすることができ、より効果的に機能液の変質を防ぐことができる。
【００６７】
また、上記したタンク架台１０１に代えて、例えば図８に示すように、機能液タンク５１を昇降可能に支持するタンク昇降台１９１にしてもよい。このタンク昇降台１９１は、機能液タンク５１が直接載置される上側プレート１９２と、一方の支柱７２にブラケット形状に固定される下側プレート１９３と、上側プレート１９２を昇降自在に支持する前後一対のＸリンク１９４、１９４と、各Ｘリンク１９４の下側の一方の端部を連結する連結ロッド１９５と、連結ロッド１９５に螺合したリード状ねじ２０２と、リード状ねじ２０２を正逆回転する昇降駆動モータ１９６とを備えている。
【００６８】
Ｘリンク１９４は中間位置で相互に回動自在に連結した２個のリンク２０１、２０１からなり、２個のリンク２０１、２０１の一方の端部は、上側プレート１９２および下側プレート１９３の側面に形成した長孔１９９に水平方向に摺動可能かつ回動可能に、他方の端部は、上側プレート１９２および下側プレート１９３に回動可能に取り付けられている。昇降駆動モータ１９６が正逆回転することにより、連結ロッド１９５が長孔を案内にして進退し、Ｘリンク１９４、１９４が開閉脚して動作して上側プレート１９２が昇降動する。なお、Ｘリンク１９４を上下複数重ねて昇降用のリンク機構を構成してもよい。また、図示ではタンクホルダは省略されている。
【００６９】
なお、本発明の機能液滴吐出装置により上記した有機ＥＬ装置の正孔注入層を形成する以外にも、有機ＥＬ装置の発光層およびカラーフィルタ、液晶表示装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、更にこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等の、各種の機能層を形成する場合にも適用可能である。
【００７０】
例えば、有機ＥＬ装置の発光層を形成する場合には、機能液として有機溶剤系の溶媒にＥＬ発光材料を溶かしたものを用いるとともに、機能液供給機構として、図９に示すように、有機溶剤系の機能液に専用の３層からなる溶剤系機能液供給チューブ１８２を機能液供給機構４に用いてもよい。この溶剤系機能液供給チューブ１８２は、耐有機溶媒性および気体非透過性を有する最内層の内面積層材５４と、防水性を有する最外層の外面積層材５５と、内面積層材５４と外面積層材５５とをその中間で接着する接着剤層５６（例えばホットメルトしたポリエチレン）と、を備えている。この溶剤系機能液供給チューブ１８２には、内面積層材５４の内側に機能液が流れるチューブ内流路１８８が形成されており、有機ＥＬ装置の発光層を形成する溶剤系の機能液用に特化したものになっている。
【００７１】
次に、本実施形態の機能液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、更にこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、及び薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板を言う。
【００７２】
先ず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１０は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１１は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１１）では、図１１（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００７３】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１１（ｂ）に示すように、基板５０１及びブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１１（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において液滴吐出ヘッド１１により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００７４】
以上のブラックマトリクス形成工程及びバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置精度が向上する。
【００７５】
次に、着色層形成工程（Ｓ１３）では、図１１（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１１によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド１１を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００７６】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１４）に移り、図１１（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【００７７】
図１２は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１１に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００７８】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、及び、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００７９】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１２において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【００８０】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００８１】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【００８２】
実施形態の機能液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１１で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１１で行うことも可能である。
【００８３】
図１３は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【００８４】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【００８５】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００８６】
図１４は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【００８７】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【００８８】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１及び信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【００８９】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【００９０】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【００９１】
次に、図１５は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【００９２】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３及び陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるとともに、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【００９３】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａ及びドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【００９４】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６及び半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９及びゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【００９５】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【００９６】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【００９７】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３及び機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、及び、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【００９８】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ２、ＴｉＯ２等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【００９９】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層（正孔注入層）６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層を更に形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成する事も可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【０１００】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、又は青色（Ｂ）の何れかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【０１０１】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【０１０２】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【０１０３】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１６〜図２４を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１６に示すように、バンク部形成工程（Ｓ２１）、表面処理工程（Ｓ２２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）、発光層形成工程（Ｓ２４）、及び対向電極形成工程（Ｓ２５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【０１０４】
まず、バンク部形成工程（Ｓ２１）では、図１７に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１８に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【０１０５】
表面処理工程（Ｓ２２）では、親液化処理及び撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａ及び画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓ及び有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド１１を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【０１０６】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した機能液滴吐出装置１のセットテーブル６６に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）及び発光層形成工程（Ｓ２４）が行われる。
【０１０７】
図１９に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）では、機能液滴吐出ヘッド１１から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図１９に示すように、乾燥処理及び熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【０１０８】
次に発光層形成工程（Ｓ２４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【０１０９】
そして次に、図２１に示すように、各色のうちの何れか（図２１の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【０１１０】
その後、乾燥工程等を行う事により、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２２に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【０１１１】
同様に、機能液滴吐出ヘッド１１を用い、図２３に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）及び緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決める事も可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１１２】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａ及び発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ２５）に移行する。
【０１１３】
対向電極形成工程（Ｓ２５）では、図２４に示すように、発光層６１７ｂ及び有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ２、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１１４】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【０１１５】
次に、図２５は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、及びこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１１６】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１１７】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１１８】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、及びＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１１９】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、及び蛍光体７０９を、図１に示した機能液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を機能液滴吐出装置１のセットテーブル６６に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１１により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、又はニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１２０】
補充対象となる全てのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１２１】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１及び蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を液滴吐出ヘッド１１から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１２２】
次に、図２６は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、及びこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１２３】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１２４】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１２５】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１２６】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、機能液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、機能液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１２７】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２６（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２６（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（機能液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（機能液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１２８】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した機能液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１２９】
【図１】第１実施形態の機能液供給機構を搭載した機能液滴吐出装置の平面模式図である。
【図２】第１実施形態のタンク架台の側面図である。
【図３】機能液タンクを示した図であり、（ａ）機能液タンクの分解斜視図、（ｂ）機能液パックの斜視図、（ｃ）機能液タンクの正面図である。
【図４】第１実施形態の機能液供給機構の接続構造を示す説明図である。
【図５】機能液供給チューブの側面模式図である。
【図６】機能液滴吐出装置の主制御系である制御装置を示したブロック図である。
【図７】第２実施形態の機能液供給機構の接続構造を示す説明図である。
【図８】水系機能液供給チューブの側面模式図である。
【図９】タンク昇降台の外観斜視図である。
【図１０】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図１１】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図１２】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１３】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１４】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１５】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図１６】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図１７】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１８】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１９】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２０】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２１】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２２】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２３】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２４】陰極の形成を説明する工程図である。
【図２５】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図２６】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図２７】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【０１３０】
１  機能液滴吐出装置                      ４  機能液供給機構
１１  機能液滴吐出ヘッド                  １５  導入口部
５１  機能液タンク                        ５２  機能液供給チューブ
５３  ヘッド側アダプタ（接続具）          ５８  上流端部
５９  下流端部                            ６１  Ｘ・Ｙ移動機構
８６  供給口部                            ９３  弾性体
１０１  タンク架台                        １０３  高さ調整機構
１２１  タンク側アダプタ（接続具）        １２２  チューブ接続部
１３１  接続針                            ５０８  成膜部
６１７ａ  正孔注入層                      ６１７ｂ  発光層
Ｗ  ワーク
【図１】
2005161567.tif 000003
【図２】
2005161567.tif 000004
【図３】
2005161567.tif 000005
【図４】
2005161567.tif 000006
【図５】
2005161567.tif 000007
【図６】
2005161567.tif 000008
【図７】
2005161567.tif 000009
【図８】
2005161567.tif 000010
【図９】
2005161567.tif 000011
【図１０】
2005161567.tif 000012
【図１１】
2005161567.tif 000013
【図１２】
2005161567.tif 000014
【図１３】
2005161567.tif 000015
【図１４】
2005161567.tif 000016
【図１５】
2005161567.tif 000017
【図１６】
2005161567.tif 000018
【図１７】
2005161567.tif 000019
【図１８】
2005161567.tif 000020
【図１９】
2005161567.tif 000021
【図２０】
2005161567.tif 000022
【図２１】
2005161567.tif 000023
【図２２】
2005161567.tif 000024
【図２３】
2005161567.tif 000025
【図２４】
2005161567.tif 000026
【図２５】
2005161567.tif 000027
【図２６】
2005161567.tif 000028
【図２７】
2005161567.tif 000029