(57)【要約】【課題】  多数の液滴吐出ヘッドを同時使用する場合における、各液滴吐出ヘッドの位置決め精度の向上を図るとともに、制御の複雑化を抑制することが可能な液滴吐出装置の制御方法を提供する。【解決手段】  液滴吐出装置７２は、液状体を吐出する液滴吐出ヘッド３４と、液滴吐出ヘッド３４が各々に配設された複数のキャリッジ１５３ａ〜１５３ｇと、複数のキャリッジ１５３ａ〜１５３ｇを所定の方向に移動自在に案内するガイド部１５７と、複数のキャリッジ１５３ａ〜１５３ｇの各駆動部１５９ａを個別に制御可能な制御装置１７５と、を備える。制御装置１７５は、複数のキャリッジ１５３ａ〜１５３ｇの各駆動部１５９ａを個別に制御する第１モードと、複数のキャリッジ１５３ａ〜１５３ｇのうちのいずれかのキャリッジの駆動部を制御し、かつそのキャリッジの動きに他の少なくとも１つのキャリッジを従動させる第２モードと、を有する。【選択図】      図１２
2005224723.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状体を吐出する液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置の制御方法であって、
前記液滴吐出ヘッドは、所定の方向に移動自在に案内される複数のキャリッジの各々に配設されており、
前記複数のキャリッジの各駆動部を個別に制御する第１モードと、
前記複数のキャリッジのうちのいずれかのキャリッジの駆動部を制御し、かつそのキャリッジの動きに他の少なくとも１つのキャリッジを従動させる第２モードと、を有することを特徴とする液滴吐出装置の制御方法。
【請求項２】
前記第２モードにおける制御対象のキャリッジは、従動対象のキャリッジに対して移動方向の後方または前方に配されることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置の制御方法。
【請求項３】
前記複数のキャリッジの各駆動部は、リニアモータを含み、
前記第２モードでは、従動対象のキャリッジに対応するコイルの励磁を切るか弱めることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液滴吐出装置の制御方法。
【請求項４】
前記第２モードは、前記複数のキャリッジの原点復帰時、または前記液滴吐出ヘッドのメンテナンス時に用いられることを特徴とする請求項１から請求項３のうちのいずれかに記載の液滴吐出装置の制御方法。
【請求項５】
液状体を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記液滴吐出ヘッドが各々に配設された複数のキャリッジと、
前記複数のキャリッジを所定の方向に移動自在に案内するガイド部と、
前記複数のキャリッジの各駆動部を個別に制御可能な制御装置と、を備え、
前記制御装置は、前記複数のキャリッジの各駆動部を個別に制御する第１モードと、前記複数のキャリッジのうちのいずれかのキャリッジの駆動部を制御し、かつそのキャリッジの動きに他の少なくとも１つのキャリッジを従動させる第２モードと、を有することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項６】
前記複数のキャリッジ同士を連結するための連結部を備え、
前記連結部は、前記複数のキャリッジ同士で押し合うための当接部材と、前記複数のキャリッジ同士で引き合うための接続部材との少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項５に記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
前記複数のキャリッジの各駆動部は、リニアモータを含み、
前記制御装置は、前記第２モードにおいて、従動対象のキャリッジに対応するコイルの励磁を切るか弱めることを特徴とする請求項５または請求項６に記載の液滴吐出装置。
【請求項８】
請求項５から請求項７のいずれかに記載の液滴吐出装置を使用して製造したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項９】
請求項８に記載の電気光学装置を備えたことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状体を吐出する液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置の制御方法、液滴吐出装置、電気光学装置、電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、コンピュータディスプレイや大型テレビジョン等の電子機器の発達に伴い、液晶表示装置、特にカラー液晶表示装置の使用が増加している。この種の液晶表示装置には、通常、表示画像をカラー化するためにカラーフィルターが用いられている。カラーフィルターには、例えばガラス基板に対してＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のインクを所定のパターンで吐出させ、このインクを基板上で乾燥させることで着色層を形成するものがある。このような基板に対してインクを吐出する手段として、例えばインクジェット方式の液滴吐出装置が採用されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
図２４に、従来技術に係るヘッドユニットの斜視図を示す。このヘッドユニット５７１では、メインプレート５７４に対して、６個の液滴吐出ヘッド５３４が光硬化性樹脂等により固定されている。各液滴吐出ヘッド５３４におけるインク吐出面５１２ａには、多数のノズル５１８が液滴吐出ヘッド５３４の長手方向に沿って等間隔に形成されている。そして、各液滴吐出ヘッド５３４は、メインプレート５７４の長手方向に沿って千鳥状に配置されている。これにより、各液滴吐出ヘッド５３４におけるすべてのノズル５１８が、メインプレート５７４の長手方向に沿って等間隔に配置されるようになっている。このようなヘッドユニット５７１を使用することにより、ヘッドユニット５７１の長さと同等幅の基板に対して一気にインクを吐出することが可能になり、カラーフィルターを効率的に製造することができる。
【特許文献１】特開平１１−２４８９２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年では、３０〜６０インチといった大型の液晶テレビジョンが市場に提供されつつある。これに適応するような大型のカラーフィルターを製造するため、より多くの液滴吐出ヘッドを配列させたヘッドユニットの導入が検討されている。このようなヘッドユニットを用いれば、カラーフィルター製造用の大型基板に対して、広い領域に一度にインクの吐出を行うことができる。その結果、１枚の基板を処理するのに必要なタクトタイムを短縮することが可能となる。
【０００５】
しかしながら、単純に液滴吐出ヘッドの個数を増加させてヘッドユニットを形成するのには以下のような課題がある。例えば、液滴吐出ヘッドを固定するために光硬化性樹脂に光を照射すると、メインプレートや液滴吐出ヘッドが発熱して膨張し、各液滴吐出ヘッドの配置に位置ずれ（配置誤差）が生じる。１つのヘッドユニットに配置する液滴吐出ヘッドが多数の場合、この配置誤差が累積されやすい。液滴吐出ヘッドの配置誤差は、基板上でのインクの配置誤差を招き、製造される電子機器の信頼性の低下を招くおそれがある。
【０００６】
また近年、カラーフィルターのみならず、インクジェット方式の液滴吐出装置を用いた有機ＥＬ（Electro-Luminescence）素子等のデバイス形成技術、あるいは配線形成技術が検討されている。上ではカラーフィルター製造装置を例に挙げ、従来の技術とその問題点を説明したが、上記の問題点はこれらデバイス形成技術、配線形成技術にも共通の問題点であり、より信頼性の高い製品、ひいては当該製品を製造する液滴吐出装置の実現が望まれている。
【０００７】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、多数の液滴吐出ヘッドを同時使用する場合における、各液滴吐出ヘッドの位置決め精度の向上を図るとともに、それに伴う制御の複雑化を抑制することが可能な液滴吐出装置の制御方法及び液滴吐出装置を提供することを目的とする。
また、本発明の別の目的は、信頼性の高い電気光学装置及び電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明に係る液滴吐出装置の制御方法は、液状体を吐出する液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置の制御方法であって、前記液滴吐出ヘッドは、所定の方向に移動自在に案内される複数のキャリッジの各々に配設されており、前記複数のキャリッジの各駆動部を個別に制御する第１モードと、前記複数のキャリッジのうちのいずれかのキャリッジの駆動部を制御し、かつそのキャリッジの動きに他の少なくとも１つのキャリッジを従動させる第２モードと、を有することを特徴とする。
【０００９】
この液滴吐出装置の制御方法によれば、液滴吐出ヘッドが配設された複数のキャリッジの各駆動部を個別に制御することから、複数のキャリッジの各々を個別に位置決めすることが可能である。その結果、各キャリッジに配設された液滴吐出ヘッドの各々が所望の位置に精度よく位置決めされる（第１モード）。すなわち、基板の大型化に対応して、多数の液滴吐出ヘッドを同時使用する場合にも、各液滴吐出ヘッドの位置決め精度の向上を図ることができる。
【００１０】
さらにこの制御方法では、上記第１モードとは別に、複数のキャリッジのうちのいずれかのキャリッジの動きに他の少なくとも１つのキャリッジを従動させる第２モードを有することから、制御の複雑化が抑制される。すなわち、第２モードでは、１つのキャリッジの移動の制御によって、複数のキャリッジをまとめて移動させることが可能であり、複数のキャリッジの移動を個々に制御する第１モードに比べて制御が簡素化される。
【００１１】
上記の制御方法において、前記第２モードにおける制御対象のキャリッジは、従動対象のキャリッジに対して移動方向の後方または前方に配されるとよい。
例えば、従動対象のキャリッジ（従動キャリッジ）に対して制御対象のキャリッジ（駆動キャリッジ）が後方に配される場合、従動キャリッジが駆動キャリッジに押されて移動する。また、駆動キャリッジが前方に配される場合、従動キャリッジが駆動キャリッジに引かれて移動する。
【００１２】
また上記の制御方法において、前記複数のキャリッジの各駆動部は、リニアモータを含み、前記第２モードでは、従動対象のキャリッジに対応するコイルの励磁を切るか弱めるとよい。
これにより、第２モードにおいて従動キャリッジの移動に関わる抵抗が小さくなり、従動キャリッジが駆動キャリッジに好ましく従動される。そして、従動キャリッジの駆動部であるリニアモータに対する制御が、第１モードに比べて省略または簡略化される。
なお、従動キャリッジに対応するコイルの励磁を完全に切るのではなく弱めた状態とし、従動キャリッジの移動に関わる抵抗を適度に残すことにより、複数のキャリッジ同士の相対的な位置関係を一定に保ちやすいという利点がある。
【００１３】
また上記の制御方法において、前記第２モードは、例えば、前記複数のキャリッジの原点復帰時、または前記液滴吐出ヘッドのメンテナンス時に用いられる。
装置の使用状況に応じて第２モードを適宜使用することにより、制御の簡素化が図られる。
【００１４】
本発明に係る液滴吐出装置は、液状体を吐出する液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドが各々に配設された複数のキャリッジと、前記複数のキャリッジを所定の方向に移動自在に案内するガイド部と、前記複数のキャリッジの各駆動部を個別に制御可能な制御装置と、を備え、前記制御装置は、前記複数のキャリッジの各駆動部を個別に制御する第１モードと、前記複数のキャリッジのうちのいずれかのキャリッジの駆動部を制御し、かつそのキャリッジの動きに他の少なくとも１つのキャリッジを従動させる第２モードと、を有することを特徴とする。
【００１５】
この液滴吐出装置によれば、上記構成により、上記した本発明の制御方法を実施できることから、基板の大型化に対応して、多数の液滴吐出ヘッドを同時使用する場合にも、各液滴吐出ヘッドの位置決め精度の向上を図ることができるとともに、制御の複雑化が抑制される。
【００１６】
上記の液滴吐出装置において、前記複数のキャリッジ同士を連結するための連結部を備えるのが好ましい。
例えば、前記連結部は、前記複数のキャリッジで押し合うための当接部材と、前記複数のキャリッジで引き合うための接続部材との少なくとも一方を含む。
この場合、当接部材を介して、従動キャリッジが駆動キャリッジに押されて移動する。あるいは、接続部材を介して、従動キャリッジが駆動キャリッジに引かれて移動する。
【００１７】
また上記の液滴吐出装置において、前記複数のキャリッジの各駆動部は、リニアモータを含み、前記制御装置は、前記第２モードにおいて、従動対象のキャリッジに対応するコイルの励磁を切るか弱めるとよい。
これにより、第２モードにおいて従動対象のキャリッジ（従動キャリッジ）の移動に関わる抵抗が小さくなり、従動キャリッジが制御対象のキャリッジ（駆動キャリッジ）に好ましく従動される。そして、従動キャリッジの駆動部であるリニアモータに対する制御が、第１モードに比べて省略または簡略化される。
なお、従動キャリッジに対応するコイルの励磁を完全に切るのではなく弱めた状態とし、従動キャリッジの移動に関わる抵抗を適度に残すことにより、複数のキャリッジ同士の相対的な位置関係を一定に保ちやすいという利点がある。
【００１８】
本発明に係る電気光学装置は、上述した液滴吐出装置を使用して製造したことを特徴とする。
この電気光学装置によれば、高い位置精度で吐出された液状体により信頼性の高い電気光学装置を提供することができる。
【００１９】
本発明の電子機器は、上述した電気光学装置を備えたことを特徴とする。
この電子機器によれば、信頼性の高い電子機器を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
【００２１】
［第１実施形態］
最初に、本発明の第１実施形態につき、図１から図２１を用いて説明する。
図１はカラーフィルター製造装置の概略構成図である。
カラーフィルター製造装置１は、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色の着色層を備えたカラーフィルターを製造するものであり、図１に示すように、上流側からインク受容層形成装置２、Ｒ着色層形成装置３、Ｇ着色層形成装置４、Ｂ着色層形成装置５、本焼成装置６（加熱装置）が配置され、これらの装置が任意の搬送装置（図示略）を介して連結されたものである。このカラーフィルター製造装置１には、Ｒ、Ｇ、Ｂの各着色層のパターンを区画する隔壁（バンクとも言う）が形成されたガラス、プラスチック等からなる透明基板（基板）が供給される。インク受容層形成装置２は、隔壁で区画された領域内に樹脂組成物からなるインク受容層を下地層として形成するための装置である。Ｒ着色層形成装置３、Ｇ着色層形成装置４、Ｂ着色層形成装置５は、それぞれ後で着色層となるＲ、Ｇ、Ｂのインクからなる液状体を塗布するための装置である。本焼成装置６は、塗布後のＲ、Ｇ、Ｂのインクからなる液状体を一括して加熱、焼成するための装置である。これらの装置のうち、インク受容層形成装置２、Ｒ着色層形成装置３、Ｇ着色層形成装置４、Ｂ着色層形成装置５の４台には、本発明の液滴吐出装置（インクジェット装置）が用いられている。
【００２２】
［液滴吐出装置］
ここではＲ着色層形成装置３を一例として説明する。Ｒ着色層形成装置３は、上流側から下流側（図１における右側から左側）に向けて給材部６１、表面改質部６２、描画部６３、検査部６４、仮焼成部６５、除材部６６が備えられている。大まかな処理の流れとしては、給材部６１から供給された描画前の基板に対し、表面改質部６２において親液処理、撥液処理が施され、描画部６３において隔壁で区画された所定の領域にＲのインクが吐出、描画される。次いで、検査部６４において描画状態が検査され、仮焼成部６５でインクの仮焼成が施された後、描画後の基板が除材部６６により排出される。本装置において、これら各部は基板の流れ方向に沿って直線状に配置されている。給材部６１および除材部６６は任意の基板搬送手段で構成することができ、例えばローラコンベア、ベルトコンベア等が用いられる。表面改質部６２は、プラズマ処理室を備えており、親液処理としては大気雰囲気中で酸素を反応ガスとするプラズマ処理（Ｏ２プラズマ処理）が行われ、基板の表面及び隔壁の側面が親液化される。撥液処理としては大気雰囲気中でテトラフルオロメタン（四フッ化炭素）を反応ガスとするプラズマ処理（ＣＦ４プラズマ処理）が行われ、隔壁の上面が撥液化される。
【００２３】
図２は、描画部６３の近傍のみを示す概略構成斜視図であり、図３は図２における左側面図である。描画部６３においては、基板Ｓに対して描画を行う液滴吐出装置７２が設置されている。液滴吐出装置７２は、基板Ｓに対して液滴（液状体）を吐出することで描画を行う描画装置（液滴吐出装置本体）Ｂと、描画装置の＋Ｙ側に接続される整備ユニット８０と、描画装置Ｂと整備ユニット８０との間で後述する液滴吐出ヘッド３４を駆動させる（駆動処理する）駆動ユニット１７２とを主体として構成されている。
【００２４】
描画装置Ｂは、図３に示すように、搬送方向であるＸ方向に移動可能なベース１５０と、ベース１５０上に載置され描画対象となる基板Ｓを吸着保持するテーブル７０と、下面側に複数個の液滴吐出ヘッドを備え、各液滴吐出ヘッドのノズルから下方の基板Ｓに対してインク滴（液滴）を吐出するＹ方向（基板Ｓの搬送方向と垂直方向）に延びるヘッドユニット７１とから概略構成されている。ベース１５０上には、テーブル７０をθＺ方向（Ｚ軸周りの方向）に駆動するθ駆動装置１５１と、テーブル７０の＋Ｘ側に位置し液滴吐出ヘッドから予備吐出（フラッシング）が行われるフラッシングユニット１５２とが設けられている。これら描画装置Ｂは、基台１７０上に一体化された状態で設置される。
【００２５】
ヘッドユニット７１は、相互に独立して移動するＹ方向に配列された複数（本例では７つ）のキャリッジ１５３ａ〜１５３ｇ（以後、必要に応じてこれらをまとめてキャリッジ１５３と総称する。）を備えている。図４は、キャリッジ１５３ａ〜１５３ｇの１つを、液滴吐出ヘッド３４のノズル側（基板Ｓ側、下側）から見た図である。各キャリッジ１５３は、Ｘ方向に延びる矩形のプレート７４と、それぞれが複数（所定個数；ここでは１２個）の液滴吐出ヘッド３４を保持（支持）するヘッドキャリッジ（サブキャリッジ）７３と、ヘッドキャリッジ７３をプレート７４に対してθＺ方向に駆動するθ駆動装置１５４（図３参照）と、ヘッドキャリッジ７３をＺ方向に昇降させる昇降装置１５５（図３参照）とから構成されており、ヘッドキャリッジ１５３はθ駆動装置１５４及び昇降装置１５５を介してプレート７４に着脱自在に取り付けられている。
【００２６】
図２及び図３に戻り、駆動ユニット１７２は、整備ユニット８０を挟んだＸ方向両側に、Ｙ方向に延在するように平行に配置された架台１５６に設けられたガイドレール１５７と、各プレート７４（すなわちキャリッジ１５３）をガイドレール１５７に沿って駆動するシャフト型リニアモータ１５８とを主体に構成されており、各架台１５６上には、液滴吐出ヘッド３４に接続されるインクケーブルやリニアモータ１５８（の可動子）に接続される電力供給線等を収容するためのケース１７１がＹ方向に沿って設置されている。
【００２７】
プレート７４のＸ方向両側にはリニアガイド７５、７５が設けられており、ガイドレール１５７に沿ってＹ方向に移動自在となっている。リニアモータ１５８は、各プレート７４の両側に設けられた円筒状の可動子１５９と、描画装置Ｂと整備ユニット８０とに亙ってＹ方向に沿って配置され各プレート７４の可動子１５９がそれぞれ挿通する固定子１６０とから構成される。本実施の形態では、可動子１５９がコイル体で構成され、固定子１６０が発磁体で構成されるムービングコイル型のリニアモータ１５８が用いられ、各可動子１５９に通電する電流を調整することにより、各キャリッジ１５３ａ〜１５３ｇの位置を独立して制御できる。
【００２８】
各液滴吐出ヘッド３４には、複数の液滴吐出ノズルが配列形成されている。そして、そのノズル列の配列方向をＹ方向に一致させて、各液滴吐出ヘッド３４がヘッドキャリッジ７３に固定されている。また、各液滴吐出ヘッド３４は、Ｙ方向に順次ずれた状態で階段状に配置されている。これにより、ヘッドユニット７１の全幅にわたって等ピッチで液滴吐出ノズルが配置されている。この構成により、このヘッドユニット７１は、基板Ｓの搬送方向と直交する方向（Ｙ方向）で例えば数ｍという長い寸法にわたって所定のピッチでインク滴を吐出可能となっている。そして、液滴吐出ヘッド３４の配列方向と直交する方向に基板Ｓを搬送しつつインク滴を吐出することで、基板Ｓの全面にわたって所望のパターン形状でＲのインクを描画することができる。
【００２９】
描画装置Ｂにおいて描画を行う前に、まず描画部のアライメント調整を行う必要がある。そのアライメント調整を行うために、まず各ヘッドの各ノズルから描画前フラッシング（液滴の予備吐出）を行う。この描画前フラッシングは、基板Ｓを載置したテーブル７０を移動させる前に、基板Ｓ上の液滴吐出領域に対して行う。次に、基板Ｓ上に吐出された液滴をＣＣＤ７８により撮影し、吐出位置および吐出面積を算出する。この吐出位置の算出結果に基づいて、描画装置Ｂのアライメント調整を行う。Ｘ方向のアライメントは、各ノズルの液滴吐出タイミングを調整することによって行う。またＹ方向のアライメントは、リニアモータ１５８により各プレート７４の位置を調整することによって行う。このように、本実施形態のヘッドユニットは、複数のヘッドがグループごとに異なるヘッドキャリッジに装着されているので、描画部のアライメント調整を簡単に行うことができる。なお、アライメント以外の描画前フラッシングや描画間フラッシングは、フラッシングユニット１５２に対して行われる。
【００３０】
［液滴吐出ヘッド］
図５（ａ）は、液滴吐出ヘッドの構造説明図、図５（ｂ）は正面断面図である。液滴吐出ヘッド３４は、例えばピエゾ素子によって液室を圧縮してその圧力波で液体を吐出させるもので、上述したように、一列または複数列に配列された複数のノズル１８を有している。この液滴吐出ヘッド３４の構造の一例を説明すると、液滴吐出ヘッド３４は、図５（ａ）に示すように、例えばステンレス製のノズルプレート１２と振動板１３とを備え、両者を仕切部材（リザーバプレート）１４を介して接合したものである。ノズルプレート１２と振動板１３との間には、仕切部材１４によって複数の空間１５と液溜まり１６とが形成されている。各空間１５と液溜まり１６の内部はインクで満たされており、各空間１５と液溜まり１６とは供給口１７を介して連通したものとなっている。また、ノズルプレート１２には、空間１５からインクを噴射するためのノズル１８が形成されている。一方、振動板１３には、液溜まり１６にインクを供給するための孔１９が形成されている。
【００３１】
また、振動板１３の空間１５に対向する面と反対側の面上には、図５（ｂ）に示すように、圧電素子（ピエゾ素子）２０が接合されている。この圧電素子２０は、圧電材料を一対の電極２１で挟持したものであり、一対の電極２１に通電すると圧電材料が収縮するよう構成されたものである。そして、このような構成のもとに圧電素子２０が接合されている振動板１３は、圧電素子２０と一体になって同時に外側へ撓曲するようになっており、これによって空間１５の容積が増大するようになっている。したがって、空間１５内に増大した容積分に相当するインクが、液溜まり１６から供給口１７を介して流入する。また、このような状態から圧電素子２０への通電を解除すると、圧電素子２０と振動板１３はともに元の形状に戻る。したがって、空間１５も元の容積に戻ることから、空間１５内部のインクの圧力が上昇し、ノズル１８から基板に向けてインクの液滴Ｌが吐出される。
【００３２】
なお、液滴吐出ヘッド２のインクジェット方式としては、前記の圧電素子２０を用いたピエゾジェットタイプ以外の方式でもよく、例えば、エネルギー発生素子として電気熱変換体を用いた方式を採用してもよい。
【００３３】
［整備ユニット］
図２に示すように、ヘッドユニット７１（描画装置Ｂ）の＋Ｙ方向には、整備ユニット８０が設けられている。
図６は整備ユニット８０の平面図である。整備ユニット８０には、各液滴吐出ヘッドのインク吐出面を覆うキャップユニット（キャッピング手段）８１と、各液滴吐出ヘッドのインク吐出面を拭うワイパユニット（ワイピング手段）９０とが、隣接して形成されている。
【００３４】
キャップユニット８１は、前記ヘッドキャリッジに対応して、Ｙ方向に整列配置された複数のキャップキャリッジ８３を備えている。なお、各キャップキャリッジ８３はＺ方向に移動可能とされている。そして、各キャップキャリッジ８３には、前記液滴吐出ヘッドに対応して、複数のキャップ８２が階段状に配置されている。このキャップ８２は、液滴吐出ヘッドのインク吐出面を覆うことにより、液滴吐出に付随する処理として、ヘッドにおけるノズル内のインクの乾燥を防止（乾燥防止処理）する保湿キャップとして機能する。
【００３５】
キャップ８２は、その上面を液滴吐出ヘッド３４のインク吐出面１２ａ（図４参照）に当接させて使用する。そのため、キャップ８２の上面には凹部が形成されている。この凹部は、液滴吐出ヘッド３４に形成されたすべてのノズル１８を内包しうる大きさに形成されている。これにより、液滴吐出ヘッド３４のノズル１８とキャップ８２の上面との接触が回避され、各ノズル１８の開口部に形成されるインクのメニスカスが維持される。また、凹部を取り囲むキャップ８２の上面は面精度よく形成されている。これにより、液滴吐出ヘッド３４のインク吐出面１２ａに形成された各ノズル１８を密閉封止することができるようになっている。
【００３６】
なお、最も描画装置Ｂ寄りのキャリッジ８３ａに配置されたキャップは、液滴吐出ヘッド３４におけるノズル内のインクを吸引可能な吸引キャップ８２ａとして機能する。吸引キャップ８２ａにおいては、凹部から外部のポンプに接続され、ポンプを運転することにより、凹部内の空気が吸引されて、各ノズル１８内のインクを吸引しうるようになっている。
【００３７】
図７は、図６における正面図である。
この図に示すように、整備ユニット８０においては、基台１６１に対してキャップユニット８１及びワイパユニット９０が一体的に取り付けられている。各キャップユニット８１においては、液滴吐出ヘッド３４が上方を移動する動作に応じてキャップキャリッジ８３を下降させる昇降装置１６２、液滴吐出ヘッド３４から吐出される液滴の重量を測定する動作に応じてキャップキャリッジ８３を昇降させる昇降装置１６３、ヘッド交換等のメンテナンスに応じてキャップキャリッジ８３を昇降させる昇降装置１６４がそれぞれ設けられた３段昇降システムとなっている。
【００３８】
一方、ワイパユニット９０には、例えばポリエステルの織布等からなるワイピングシート９２が配置されている。このワイピングシート９２は、ヘッドキャリッジ７３に搭載された液滴吐出ヘッド群と同等以上の幅に形成されている。またワイパユニット９０には、ワイピングシート９２の繰り出しローラ９３および巻き取りローラ９６が配置されている。なお巻き取りローラ９６は、図示しないモータ等により回転駆動可能とされている。またワイパユニット９０の上部には、ガイドローラ９４が配置されており、繰り出しローラ９３とガイドローラ９４との間にはテンションローラ９５が配置されている。なお、各ローラ９３，９４，９５、９６は平行に配置され、ワイピングシート９２は繰り出しローラ９３からテンションローラ９５及びガイドローラ９４を介して巻き取りローラ９６に巻き回されている。そして、ガイドローラ９４の上端部に配置されたワイピングシート９２が、液滴吐出ヘッド３４のインク吐出面１２ａと当接するようになっている。
【００３９】
なお、テンションローラ９５とガイドローラ９４との間には、ワイピングシート９２に対する洗浄液塗布手段（図示せず）が設けられている。この洗浄液塗布手段は、ワイピングシート９２の全幅にわたって洗浄液を塗布しうるように形成されている。なお、ワイパユニット９０は、液滴吐出に付随する処理として、洗浄液の塗布されたワイピングシート９２によって液滴吐出ヘッド３４のインク吐出面１２ａを拭う処理を行うことにより、インク吐出面１２ａに付着したインク５４ａを除去するものである。そこで洗浄液として、インクとの親和性がよく、なおかつインク吐出面１２ａから揮発し易い物質を使用するのが望ましい。具体的には、液滴吐出ヘッド３４により吐出されるインクの溶媒を洗浄液として使用することができる。
【００４０】
なお、ワイパユニット９０においては、液滴吐出ヘッド３４が上方を移動する動作に応じてガイドローラ９４を下降させる昇降装置１６５、ヘッド交換等のメンテナンスに応じてワイパユニット９０を昇降させる昇降装置１６６がそれぞれ設けられた２段昇降システムとなっている。
【００４１】
なお、上記のようにワイピングシート９２を使用したワイパユニット９０に代えて、またはそのワイパユニット９０とともに、ゴムべらを使用したワイパユニットを設けてもよい。このワイパユニットは、整備ユニット８０の上面に可撓性を有するゴムべらを立設して構成する。このゴムべらは、ヘッドユニット７１と同等の長さに形成されている。そして、このゴムべらを液滴吐出ヘッドのインク吐出面に押し当てて、インク吐出面と平行に移動させることにより、インク吐出面１２ａに付着したインクを除去することができる。ゴムべらを使用したワイパユニットは、ワイピングシート９２を使用したワイパユニット９０より、低コストで構築することができる。なお整備ユニット８０には、上記以外の整備手段を設けてもよい。
【００４２】
［描画装置の整備方法］
次に、上述した整備ユニット８０を使用して描画装置を整備する方法について説明する。
上述した描画前フラッシングでは、液滴の吐出位置に加えて吐出面積を算出するので、ノズル詰まりを検出することが可能である。また、描画状態の検査や定期フラッシング等においても、ノズル詰まりが検出される場合がある。そして、ノズル詰まりが検出された場合には、これを解消させる必要がある。ノズル詰まりの解消は、当該ヘッドをキャッピングした上で、ノズルを吸引することによって行う。
【００４３】
具体的には、リニアモータ１５８の駆動によって、ノズル詰まりが検出されたヘッド３４を、吸引キャップ８２ａの上方まで移動させる。なお上述したように、各ヘッドキャリッジ７３は、独立してＹ方向に移動させることが可能であり、このとき吸引対象となるヘッド３４よりも整備ユニット８０側に他のヘッド（キャリッジ１５３）が存在する場合はこれらのキャリッジ１５３も一体的に移動させる。次に、昇降装置１６２〜１６４の駆動により、吸引キャップ８２ａが搭載されたキャップキャリッジ８３を上昇させ、キャップキャリッジ８３に搭載された吸引キャップ８２ａの上面を、液滴吐出ヘッド３４のインク吐出面１２ａに対向・当接させる。その際、液滴吐出ヘッド３４のすべてのノズル１８が、吸引キャップ８２ａの凹部に内包されるように、あらかじめ両者を位置決めしておく。これにより、液滴吐出ヘッド３４のすべてのノズル１８が、吸引キャップ８２ａにより密閉封止される。
【００４４】
次に、吸引キャップ８２ａに接続されたポンプを運転することにより、各キャップ８２における凹部内の空気が吸引されて、液滴吐出ヘッド３４のノズル１８が吸引される。これにより、液滴吐出ヘッド３４内のインクが各ノズル１８に導入されて、ノズル詰まりが解消される。なお、液滴吐出ヘッド３４のノズル１８を吸引すると、ノズル１８から若干のインクが凹部内に漏れ出すことになる。この漏れ出したインクは、ポンプにより図示しない廃液タンクに回収して再利用することができる。
このとき、吸引対象ではない他のヘッドについては、吸引キャップ８２で密閉封止することにより、インク溶媒の蒸発を防いで増粘状態となることを回避する。
【００４５】
なお、液滴吐出ヘッド３４のノズル１８を吸引すると、ノズル１８から漏れ出したインクが液滴吐出ヘッド３４のインク吐出面１２ａに付着することがある。そして、インク吐出面１２ａにおけるノズル１８の開口部周辺にインクが付着した状態で、液滴吐出ヘッド３４からインクを吐出すると、吐出されたインクの飛行曲がりが発生するおそれがある。そこで、液滴吐出ヘッド３４のノズル１８を吸引した後に、インク吐出面１２ａに付着したインクを除去するため、インク吐出面１２ａのワイピングを行う。
【００４６】
具体的には、インク吸引後のヘッド３４をワイパユニット９０の上方まで移動させる。次に、図示しないモータ等により巻き取りローラ９６を回転させ、各ローラに沿ってワイピングシート９２を移動させる。また、洗浄液塗布手段からワイピングシート９２に対して洗浄液を塗布する。そして、ワイパユニット９０を上昇させ、ガイドローラ９４の上端部に配置されたワイピングシート９２をインク吐出面１２ａに押し当てる。すると、インク吐出面１２ａに付着したインクが、ワイピングシート９２に塗布された洗浄液に溶解されつつ、ワイピングシート９２に吸収される。また、ワイピングシート９２はインク吐出面１２ａに沿って移動しているので、常にフレッシュなワイピングシート９２によりインク吐出面１２ａが払拭される。なお、ワイピングシート９２と逆方向に、ヘッドキャリッジ７３を移動させてもよい。以上により、インク吐出面１２ａに付着したインクが除去される。
【００４７】
一方、使用不可能となった液滴吐出ヘッド３４を交換する場合には、ヘッドキャリッジ７３単位で交換すればよい。具体的には、あらかじめ各ヘッド３４が精度良く配置されたヘッドキャリッジ７３を補修用に準備しておく。そして、使用不可能となった液滴吐出ヘッド３４をヘッドキャリッジ７３ごとヘッドユニット７１から取り外す。その際、ヘッドキャリッジ７３をキャップユニット８１上に移動させるとともに、昇降装置１６４の駆動によりキャップキャリッジを下降させて作業エリアを確保した上で、ヘッドキャリッジ７３を取り外す。次に、あらかじめ準備しておいたヘッドキャリッジ７３をプレート７４に取付ける。この作業はロボットにより行ってもよいが、ヘッドキャリッジ７３単位であれば人手により行うことも可能である。その後、上記と同様に描画部のアライメントを行えばよい。このように、本実施形態のヘッドユニットは、複数のヘッドがグループごとに異なるヘッドキャリッジに装着されているので、使用不可能となった液滴吐出ヘッド３４を簡単に交換することができる。
【００４８】
図８は、上述した描画装置の整備の様子を側面から見た模式図である。
図８（ａ）は、キャップユニット８１において、キャリッジ１５３に対してキャッピングを行う様子を示している。この例では、複数のキャリッジ１５３のすべてに対して同時にキャッピングを行っている。図８（ｂ）は、複数のキャリッジのうちの１つのキャリッジ１５３について、そのヘッドキャリッジ７３を交換する様子を示している。この例では、ワイパユニット９０とその隣の１つのキャップユニット８１（キャップキャリッジ８３）とを、それぞれ下方に移動させて、ヘッドキャリッジ７３を交換するためのスペースを確保している。図８（ｃ）は、キャップキャリッジ８３をメンテナンスする様子を示している。この例では、メンテナンス対象のキャップキャリッジ８３の両側のキャッピングユニット８１（キャップキャリッジ８３）を下方に移動させて、メンテナンス用のスペースを確保している。
【００４９】
図９〜図１１は、上述した描画装置の整備の様子を上面から見た模式図である。
図９（ａ）〜（ｃ）は、キャリッジ１５３に対してキャッピングを行う様子を示している。図９（ａ）の例では、複数のキャリッジ１５３のすべてに対してキャッピングを行っている。図９（ｂ）の例では、キャップユニット８１において２つのキャリッジ１５３に対してキャッピングを行い、残りの５つのキャリッジ１５３に対してはフラッシングユニット１５２においてフラッシングを行っている。図９（ｃ）の例では、キャップユニット８１において５つのキャリッジ１５３に対してキャッピングを行い、このうち、４つのキャリッジ１５３に対しては、キャップ内でインクの吸引（キャップ内フラッシング）を行っている。また、残りの２つのキャリッジ１５３に対してはフラッシングユニット１５２においてフラッシングを行っている。
【００５０】
図１０（ａ）〜（ｃ）は、複数のキャリッジ１５３に対してワイピングを順次行う様子を示している。図１０（ａ）〜（ｃ）に示す例では、キャップユニット８１上にすべてのキャリッジ１５３を一旦移動させた後、複数のキャリッジ１５３のうちのワイパユニット９０に近い側から順に、ワイパユニット９０においてワイピングを行っている。なお、ワイピングを行っていないキャリッジ１５３については、キャップユニット８１においてキャップ内フラッシングを行ったり、フラッシングユニット１５２においてフラッシングを行ったりしてもよい。
【００５１】
図１１（ａ）〜（ｃ）は、キャリッジ１５３におけるヘッドキャリッジを交換する様子を示している。図１１（ａ）の例は、先の図８（ｂ）の例と同様であり、ワイパユニット９０とその隣の１つのキャップユニット８１（キャップキャリッジ）とを、それぞれ下方に移動させて、ヘッドキャリッジを交換するためのスペースを確保している。また、残りの６つのキャリッジ１５３に対してはフラッシングユニット１５２においてフラッシングを行っている。図１１（ｂ）及び（ｃ）の例は、ワイパユニット９０とその隣の１つのキャップユニット８１（キャップキャリッジ）とを、それぞれ下方に移動させて、ヘッドキャリッジを交換するためのスペースを確保している点は図１１（ａ）と同様であるが、図１１（ｂ）の例では残りの６つのキャリッジ１５３のうち、４つのキャリッジ１５３についてはキャップユニット８１においてキャッピングを行い、２つのキャリッジ１５３に対してはフラッシングユニット１５２においてフラッシングを行っている。また図１１（ｃ）の例では、残りの６つのキャリッジ１５３について、キャップユニット８１においてキャッピングを行っている。
【００５２】
［液滴吐出装置の制御方法］
図１２は、上述した液滴吐出装置７２の制御方法、特に、キャリッジ１５３ａ〜１５３ｇの移動に関わる制御方法を説明するための図である。
【００５３】
図１２において、前述したように、液滴吐出装置７２は、液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッド３４（ヘッドキャリッジ７３）が各々に配設された複数のキャリッジ１５３ａ〜１５３ｇを備えており、この複数のキャリッジ１５３ａ〜１５３ｇは、ガイドレール１５７によってＹ方向に移動自在に案内されるとともに、その移動がリニアモータ１５８により個別に制御可能となっている。すなわち、複数のキャリッジ１５３ａ〜１５３ｇのそれぞれに、ムービングコイル型のリニアモータ１５８における可動子１５９ａ〜１５９ｇが対応付けられており、各可動子１５９ａ〜１５９ｇに流れる電流がそれぞれ制御装置１７５により個別に調整可能となっている。
【００５４】
図１２（ａ）に示すように、通常の描画動作時、すなわち、液滴吐出ヘッド３４から基板に対して液状体を吐出する液滴吐出時、制御装置１７５は、各可動子１５９ａ〜１５９ｇを流れる電流をそれぞれ個別に調整し、各キャリッジ１５３ａ〜１５３ｇのＹ方向の位置を個別に制御する（第１モード）。これにより、各キャリッジ１５３ａ〜１５３ｇが個別に独立して位置決めされ、各キャリッジ１５３ａ〜１５３ｇに配設された液滴吐出ヘッド３４が所望の位置に精度よく位置決めされる。
【００５５】
なお、この各キャリッジ１５３ａ〜１５３ｇの位置制御に加え、基板を保持するテーブル７０（図３参照）の位置を制御したり、各液滴吐出ヘッド３４におけるノズルごとに吐出のタイミングを制御したりすることにより、基板上の所望位置に精度よく液状体を配置することができる。
【００５６】
一方、図１２（ｂ）に示すように、原点復帰時や所定のメンテナンス時において、制御装置１７５は、複数のキャリッジ１５３ａ〜１５３ｇのうちのいずれか１つのキャリッジの位置制御を行い、そのキャリッジの動きに他の少なくとも１つのキャリッジを従動させる制御を行う（第２モード）。図１２（ｂ）の例では、制御装置１７５は、複数のキャリッジ１５３ａ〜１５３ｇのうち、−Ｙ方向の端に配されるキャリッジ１５３ａを＋Ｙ方向に向けて移動させる制御を行い、残りのキャリッジ１５３ｂ〜１５３ｇをそのキャリッジ１５３ａの動きに従動させる。
【００５７】
より具体的には、制御装置１７５は、制御対象のキャリッジ１５３ａに対応する可動子における電磁コイルを励磁してその位置制御を行うとともに、残りのキャリッジ１５３ｂ〜１５３ｇに対応する可動子１５９ｂ〜１５９ｇにおける電磁コイルの励磁を切る。可動子１５９ｂ〜１５９ｇの励磁が解かれることで、可動子１５９ｂ〜１５９ｇがいわゆるフリー状態となり、キャリッジ１５３ｂ〜１５３ｇの移動に関わる抵抗が小さくなる。そして、制御対象のキャリッジ１５３ａに後方から押される形で、従属対象のキャリッジ１５３ｂ〜１５３ｇのそれぞれが＋Ｙ方向へまとめて移動する。
【００５８】
ここで、複数のキャリッジ１５３ａ〜１５３ｇのそれぞれには、キャリッジ同士を連結するための連結部１７６が配設されている。具体的には、連結部１７６は、キャリッジ同士が近づいたときに、キャリッジ同士の間で最初に当たる部材として、各キャリッジのプレート７４（図３参照）の端部に配設される当接部材１７７を含む。図１２（ｂ）の例では、複数のキャリッジ１５３ａ〜１５３ｇのそれぞれが当接部材１７７を介して隣のキャリッジとの間で当接状態となる。なお、連結部１７６として、当接部材１７７の他に、緩衝機構を含んでもよい。
【００５９】
このように、第２モードでは、１つのキャリッジ１５３ａに対する移動制御によって、残りの複数のキャリッジ１５３ｂ〜１５３ｇをまとめて移動させることから、制御の複雑化の抑制が図られる。すなわち、従動対象のキャリッジ１５３ｂ〜１５３ｇに対応する可動子１５９ｂ〜１５９ｇの制御が省略されることにより、第１モードに比べて制御が簡素化される。
【００６０】
なお、第２モードは、例えば、複数のキャリッジ１５３ａ〜１５３ｇのそれぞれの原点位置を検出するための原点復帰や、先の図９から図１１に示した描画装置のメンテナンスにおいて２以上のキャリッジをまとめて移動させる場合などに好ましく用いることができる。
【００６１】
図１３及び図１４は、第２モードにおける別の制御の例を示している。
図１３の例では、上記した例と異なり、複数のキャリッジ１５３ａ〜１５３ｇのうちの３つのキャリッジ１５３ｅ〜１５３ｇを＋Ｙ方向にまとめて移動させる。すなわち、制御装置１７５は、移動方向に対して最後方のキャリッジ１５３ｅに対応する可動子１５９ｅを励磁し、他の２つのキャリッジ１５３ｆ、１５３ｇに対応する可動子１５９ｆ、１５９ｇの励磁を切っている。これにより、制御対象のキャリッジ１５３ｅに後方から押される形で、従属対象のキャリッジ１５３ｆ、１５３ｇのそれぞれが＋Ｙ方向へまとめて移動する。なお、第２モードにおいてまとめて移動させるキャリッジの数は任意に設定可能である。
【００６２】
図１４の例では、先の図１２（ｂ）の例と同様に、複数のキャリッジ１５３ａ〜１５３ｇのすべてを＋Ｙ方向にまとめて移動させる。また、先の図１２（ｂ）の例と異なり、制御装置１７５は、従動対象のキャリッジ１５３ｂ〜１５３ｇのうち、＋Ｙ方向の端に配されるキャリッジ１５３ｇに対応する可動子１５９ｇに対する励磁を完全に切るのではなく、弱めた状態としている。なお、他の従動対象のキャリッジ１５３ｂ〜１５３ｆに対応する可動子１５９ｂ〜１５９ｆについては、励磁を完全に切っている（オフ状態）。
【００６３】
より具体的には、制御装置１７５は、可動子１５９ｇに対して、制御対象のキャリッジ１５３ａの移動方向とは逆方向の−Ｙ方向に移動するように励磁を行う。なお、その励磁に伴う可動子１５０ｇの駆動力は制御対象の可動子１５９ａに比べて小さい。これにより、可動子１５９ｇの駆動力は、制御対象のキャリッジ１５３ａの移動に対して抵抗として働く。＋Ｙ方向にまとめて移動する複数のキャリッジ１５３ａ〜１５３ｇのうちの、先頭のキャリッジ１５３ｇに対応する可動子１５９ｇが抵抗となることにより、複数のキャリッジ１５３ａ〜１５３ｇが互いに押し合う状態となり、それら複数のキャリッジ１５３ａ〜１５３ｇ同士の当接状態が保たれる。つまり、複数のキャリッジ１５３ａ〜１５３ｇの間の相対的な位置関係が一定に保たれる。これは、例えば、原点復帰時などにおいて、１つのキャリッジの位置をセンサで検出し、他のキャリッジの位置を設計値から求める際に有利である。
【００６４】
図１５は、連結部１７６の他の形態例を示している。
図１５の例では、連結部１７６は、２つのキャリッジ同士が離れるのをつなぎとめる部材として、各キャリッジのプレート７４（図３参照）間にわたって配設される接続部材１７８を含む。接続部材１７８は、例えば、鎖状の部材からなり、液滴吐出の際に各キャリッジの位置制御の邪魔にならないようにその長さが定められている。また、図１５の例では、制御装置１７５は、複数のキャリッジ１５３ａ〜１５３ｇのうちの、＋Ｙ方向の端に配されるキャリッジ１５３ｇを制御対象とし、他を従動対象として制御し、これらをまとめて＋Ｙ方向へ移動させる。すなわち、制御装置１７５は、移動方向の先頭のキャリッジ１５３ｇに対応する可動子１５９ｇを＋Ｙ方向に移動するように励磁するとともに、他のキャリッジ１５３ａ〜１５３ｆに対応する可動子１５９ａ〜１５９ｇの励磁を切る。この結果、複数のキャリッジ１５３ａ〜１５３ｇが接続部材１７８を介して互いに引張り合う状態となり、先頭のキャリッジ１５３ｇの移動動作に引かれる形で、後方の複数のキャリッジ１５３ａ〜１５３ｆのすべてがまとめて＋Ｙ方向に移動する。
【００６５】
［液滴吐出装置の変形例］
次に、第１実施形態に係る液滴吐出装置の変形例につき、図１６から図１８を用いて説明する。
図１６は、液滴吐出装置の第１変形例の説明図である。第１変形例は、各ヘッドキャリッジ１７３に対応して複数の整備ユニット１８０を設けたものである。各整備ユニット１８０は、それぞれキャップユニット１８１およびワイプユニット１９０を備えている。なお、各整備ユニット１８０の間には、ヘッドキャリッジ１７３の交換作業エリア１６０が設けられている。この構成によれば、各ヘッドの整備時間を短縮することが可能になる。また、各ヘッドキャリッジ１７３に搭載されたヘッドのキャッピングからワイピングまでの時間を統一することが可能になり、各ヘッドを同じ状態で使用することができる。
【００６６】
図１７は、液滴吐出装置の第２変形例の説明図である。第２変形例は、各ヘッドキャリッジ２７３のグループごとに整備ユニット２８０を設けたものである。例えば、第１整備ユニット２８０ａには３個のキャップキャリッジ２８３が配置され、第２整備ユニット２８０ｂおよび第３整備ユニット２８０ｃにはそれぞれ２個のキャップキャリッジ２８３が配置されている。また、各整備ユニットにはヘッドキャリッジ２７３の交換作業用（メンテナンス作業用）の作業エリアとしての凹部２６０ａ〜２６０ｃと、ワイプユニット２９０とがそれぞれ設けられている。この構成によっても、各ヘッドの整備時間を短縮することができる。また、図１６の変形例と比べて、ヘッドキャリッジ２７３の移動距離を短くすることが可能になり、液滴吐出装置の製造コストを低減することができる。
【００６７】
図１８は、液滴吐出装置の第３変形例の説明図である。第３変形例は、各ヘッドキャリッジを２列に配置するとともに、列間で整備ユニットを共用可能としたものである。例えば、第１列には３個のヘッドキャリッジ３７３が配置され、第２列には４個のヘッドキャリッジ３７３が配置されている。なお、各ヘッドキャリッジをＹ方向にずらして配置することにより、各ヘッドのノズルがＹ方向に等ピッチで配置されている。また、第１整備ユニット３８０ａないし第４整備ユニット３８０ｄと第１列および第２列との交点には、それぞれ１個のキャップキャリッジが配置されている。さらに、各整備ユニットにはワイプユニット３９０が設けられている。これにより、各列に属するヘッドキャリッジ３７３が整備ユニットを共用しうるようになっている。この構成によっても、各ヘッドの整備時間を短縮することができる。また、上記各変形例と比べて、ヘッドキャリッジ３７３の移動距離を短くすることが可能になり、液滴吐出装置の製造コストを低減することができる。
【００６８】
［カラーフィルタの製造方法］
次に、上述したカラーフィルタ製造装置１を用いたカラーフィルタの製造方法の一例を説明する。図１９は、基板Ｓにおけるカラーフィルタ領域５１の説明図である。上記カラーフィルタ製造装置を用いたカラーフィルタの製造方法は、生産性を高める観点から長方形状の基板Ｓ上に、複数個のカラーフィルタ領域５１をマトリクス状に形成する際に適用することができる。これらのカラーフィルタ領域５１は、後で基板Ｓを切断することにより、電気光学装置である液晶表示装置に適合する個々のカラーフィルタとして用いることができる。なお、各カラーフィルタ領域５１においては、図１９に示したように、Ｒのインク、Ｇのインク、およびＢのインクをそれぞれ所定のパターン、本例では従来公知のストライプ型で形成して配置する。なお、この形成パターンとしては、ストライプ型のほかに、モザイク型やデルタ型あるいはスクウェア型等としてもよい。
【００６９】
図２０は、カラーフィルタの製造方法の説明図である。このようなカラーフィルタ領域５１を形成するには、まず、図２０（ａ）に示すように、透明の基板Ｓの一方の面に対し、ブラックマトリクス５２を形成する。このブラックマトリクス５２を形成する際には、光透過性のない樹脂（好ましくは黒色樹脂）を、スピンコート等の方法で所定の厚さ（例えば２μｍ程度）に塗布し、フォトリソグラフィ技術を用いてパターニングする。このブラックマトリクス５２の格子で囲まれる最小の表示要素、すなわちフィルタエレメント５３については、例えばＸ軸方向の幅を３０μｍ、Ｙ軸方向の長さを１００μｍ程度とする。このブラックマトリクスは充分な高さを有しており、インク吐出時の隔壁として機能する。
【００７０】
次に、上述したカラーフィルタ製造装置におけるインク受容層形成装置の液滴吐出ヘッドから、図２０（ｂ）に示すようにインク受容層となる樹脂組成物を含有するインク滴５４（液状体）を吐出し、これを基板Ｓ上に着弾させる。吐出するインク滴５４の量については、加熱工程におけるインクの体積減少を考慮した十分な量とする。次いで、インク受容層形成装置の焼成部においてインク滴の焼成を行い、図２０（ｃ）に示すようなインク受容層６０とする。
【００７１】
次に、Ｒ着色層形成装置の液滴吐出ヘッド３４から、図２０（ｄ）に示すようにＲのインク滴５４Ｒ（液状体）を吐出し、これを基板Ｓ上に着弾させる。吐出するインク滴５４の量については、加熱工程におけるインクの体積減少を考慮した十分な量とする。次いで、Ｒ着色層形成装置の仮焼成部においてインクの仮焼成を行い、図２０（ｅ）に示すようなＲ着色層３４Ｒとする。以上の工程を、Ｇ着色層形成装置、Ｂ着色層形成装置においても繰り返し、図２０（ｆ）に示すように、Ｇ着色層３４Ｇ、Ｂ着色層３４Ｂを順次形成する。Ｒ着色層３４Ｒ、Ｇ着色層３４Ｇ、Ｂ着色層３４Ｂを全て形成した後、本焼成装置においてこれら着色層３４Ｒ，３４Ｇ，３４Ｂを一括して焼成する。
【００７２】
次いで、基板Ｓを平坦化し、かつ着色層３４Ｒ，３４Ｇ，３４Ｂを保護するため、図２０（ｇ）に示すように各着色層３４Ｒ，３４Ｇ，３４Ｂやブラックマトリクス５２を覆うオーバーコート膜（保護膜）５６を形成する。このオーバーコート膜５６の形成にあたっては、スピンコート法、ロールコート法、リッピング法等の方法を採用することもできるが、着色層３４Ｒ，３４Ｇ，３４Ｂの場合と同様に液滴吐出装置を用いることも可能である。
【００７３】
このカラーフィルタは、図１に示したカラーフィルタ製造装置１を用いて製造されるが、給材部６１と除材部６６とを結ぶ直線状の基板搬送ラインの途中に描画部６３を備え、基板Ｓの搬送方向と交差する方向に配列された液滴吐出ヘッドからインクを吐出することで、所望形状のパターンを形成するものである。つまり、描画前の基板Ｓを描画部６３の一端から供給し、描画後の基板Ｓを描画部６３の他端から排出する構成であるから、基板Ｓを描画部６３内に連続的に流すことができ、一方向のみの搬送中に複数の液滴吐出ヘッド３４を用いて一気に描画を行うことができる。そのため、１枚の基板を処理するのに必要なタクトタイムを短縮でき、生産性に優れた装置を実現することができる。また、給材部６１、描画部６３、および除材部６６が直線状に配列されているため、装置の占有スペースを縮小することができる。さらに、基板の搬送方向を変える機能を持つ搬送装置が不要となるので、装置構成を簡略化することができる。
【００７４】
［液晶装置］
次に、上記カラーフィルタを備えた液晶装置（電気光学装置）の一実施形態を示す。図２１はパッシブマトリクス型の液晶装置の側面断面図であり、図２１中の符号３０は液晶装置である。この液晶装置３０は透過型のもので、一対のガラス基板３１、３２の間にＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶等からなる液晶層３３が挟持されてなるものである。
【００７５】
一方のガラス基板３１には、その内面に上記カラーフィルタ５５が形成されている。カラーフィルタ５５は、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色からなる着色層３４Ｒ、３４Ｇ、３４Ｂが規則的に配列されて構成されたものである。なお、これらの色素層３４Ｒ（３４Ｇ、３４Ｂ）間には、ブラックマトリクス５２が形成されている。そして、これらカラーフィルタ５５およびブラックマトリクス５２の上には、カラーフィルタ５５やブラックマトリクス５２によって形成される段差をなくしてこれを平坦化するため、オーバーコート膜（保護膜）５６が形成されている。オーバーコート膜５６の上には複数の電極３７がストライプ状に形成され、さらにその上には配向膜３８が形成されている。
【００７６】
他方のガラス基板３２には、その内面に、カラーフィルタ５５側の電極３７と直交するようにして、複数の電極３９がストライプ状に形成されており、これら電極３９上には、配向膜４０が形成されている。なお、前記カラーフィルタ５５の各着色層３４Ｒ、３４Ｇ、３４Ｂは、それぞれ各ガラス基板３２上の電極３９、３７の交差する位置に配置されている。また、電極３７、３９は、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの透明導電材料によって形成されている。さらに、ガラス基板３２とカラーフィルタ５５の外面側にはそれぞれ偏光板（図示せず）が設けられ、ガラス基板３１、３２間にはこれら基板３１、３２間の間隔（セルギャップ）を一定に保持するためスペーサ４１が設けられている。さらに、これらガラス基板３１、３２間には液晶３３を封入するためのシール材４２が設けられている。
【００７７】
本実施形態の液晶装置３０では、上記カラーフィルタ製造装置を用いて製造されるカラーフィルタ５５を適用しているため、描画精度に優れた高品質のカラー液晶表示装置を実現することができる。
【００７８】
［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態につき、図２２を用いて説明する。図２２は、第２実施形態に係るカラーフィルタ製造装置の概略構成図である。なお、第１実施形態と同様の構成となる部分については、その詳細な説明を省略する。
【００７９】
第２実施形態のカラーフィルタ製造装置は、基板Ｓの搬送ラインの側方に描画部６３を有しており、前工程側から後工程側に搬送される基板Ｓをメイン搬送ライン４６０から引き込んで描画を行い、描画後に再度メイン搬送ライン４６０に戻す構成である。そのため、メイン搬送ライン４６０から描画部６３への分岐点に、基板の搬送方向を９０°切り替えるスイッチＰが設けられている。なお、このスイッチＰと描画部６３との間に、表面改質部６２が設けられている。本実施形態の構成とすることにより、基板Ｓをメイン搬送ライン４６０から引き込む過程でカラーフィルタの描画を行い、基板Ｓを再度メイン搬送ライン４６０に戻す過程で描画不良の補修を行うことができる。
そして、第２実施形態のカラーフィルタ製造装置における描画部６３にも、第１実施形態と同様の液滴吐出装置を採用することが可能であり、第１実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００８０】
［電子機器］
次に、上記液晶装置からなる表示手段を備えた電子機器の具体例について説明する。
図２３は、液晶テレビジョンの一例を示した斜視図である。図２３において、符号５００は液晶テレビジョン本体を示し、符号５０１は上記実施形態の液晶装置を備えた液晶表示部を示している。このように、図２３に示す電子機器は、上記実施形態の液晶装置を備えたものであるから、表示品位に優れたカラー液晶表示を有する電子機器を実現することができる。
【００８１】
なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。例えば上記実施形態のカラーフィルタ製造装置の細部の具体的な構成等に関しては適宜変更が可能である。また、上記実施形態では本発明の描画装置をカラーフィルタの製造に応用する例を挙げたが、カラーフィルタのみならず、有機ＥＬ素子等のデバイス形成技術、あるいは各種配線形成技術に適用することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００８２】
【図１】第１実施形態のカラーフィルタ製造装置の概略構成図である。
【図２】描画部の近傍のみを示す概略構成斜視図である。
【図３】図２における左側面図である。
【図４】ヘッドユニットの底面図である。
【図５】液滴吐出ヘッドの説明図である。
【図６】整備ユニットの平面図である。
【図７】整備ユニットの正面図である。
【図８】描画装置の整備の様子を側面から見た模式図である。
【図９】描画装置の整備の様子を上面から見た模式図である。
【図１０】描画装置の整備の様子を上面から見た模式図である。
【図１１】描画装置の整備の様子を上面から見た模式図である。
【図１２】液滴吐出装置の制御方法、特に、キャリッジの移動に関わる制御方法を説明するための図である。
【図１３】第２モードにおける別の制御の例を示し図である。
【図１４】第２モードにおける別の制御の例を示し図である。
【図１５】連結部の他の形態例を示す図である。
【図１６】第１実施形態に係る液滴吐出装置の第１変形例の説明図である。
【図１７】第１実施形態に係る液滴吐出装置の第２変形例の説明図である。
【図１８】第１実施形態に係る液滴吐出装置の第３変形例の説明図である。
【図１９】基板におけるカラーフィルタ領域の説明図である。
【図２０】カラーフィルタの製造方法の説明図である。
【図２１】パッシブマトリクス型の液晶装置の側面断面図である。
【図２２】液晶テレビジョンの一例を示した斜視図である。
【図２３】第２実施形態のカラーフィルタ製造装置の要部である描画装置の部分のみを示す概略構成斜視図である。
【図２４】従来のヘッドユニットの説明図である。
【符号の説明】
【００８３】
Ｂ…描画装置（液滴吐出装置本体）、Ｓ…基板、３０…液晶装置（電気光学装置）、３４…液滴吐出ヘッド、７２…液滴吐出装置、７３…ヘッドキャリッジ（サブキャリッジ）、８１…キャップユニット、９０…ワイパユニット、１５３ａ〜１５３ｇ…キャリッジ、１５７…ガイドレール（ガイド部）、１５８…リニアモータ（駆動部）、１５９ａ〜１５９ｇ…可動子（駆動部、コイル）、１６０…固定子、１７５…制御装置、１７６…連結部、１７７…当接部材、１７８…接続部材、１７２…駆動ユニット、５００…液晶テレビジョン本体（電子機器）。
【図１】
2005224723.tif 000003
【図２】
2005224723.tif 000004
【図３】
2005224723.tif 000005
【図４】
2005224723.tif 000006
【図５】
2005224723.tif 000007
【図６】
2005224723.tif 000008
【図７】
2005224723.tif 000009
【図８】
2005224723.tif 000010
【図９】
2005224723.tif 000011
【図１０】
2005224723.tif 000012
【図１１】
2005224723.tif 000013
【図１２】
2005224723.tif 000014
【図１３】
2005224723.tif 000015
【図１４】
2005224723.tif 000016
【図１５】
2005224723.tif 000017
【図１６】
2005224723.tif 000018
【図１７】
2005224723.tif 000019
【図１８】
2005224723.tif 000020
【図１９】
2005224723.tif 000021
【図２０】
2005224723.tif 000022
【図２１】
2005224723.tif 000023
【図２２】
2005224723.tif 000024
【図２３】
2005224723.tif 000025
【図２４】
2005224723.tif 000026