(57)【要約】【課題】ペースト充填量の安定化を可能にして印刷品質に対する信頼性を向上できるスクリーン印刷装置を提供する。【解決手段】スクリーン印刷装置において、メタルマスク１０の上方でかつスキージ９の移動方向前側にてペースト１７のローリング状態を撮像するローリング撮像カメラ１５と、該撮像された画像を解析して上記ペースト１７のローリング速度ｑを算出する画像解析装置（ローリング速度算出手段）２５と、該算出されたローリング速度ｑに基づいて上記スキージ９のスキージ速度を制御するコントロールユニット（スキージ速度制御手段）１２とを備える。【選択図】      図１
2005161783.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
印刷開口が形成されたスクリーンマスクを被印刷物の上面に配置し、該スクリーンマスク上に供給されたペーストをスキージにより一方向に移動させることにより該ペーストを上記スクリーンマスクの印刷開口に充填して上記被印刷物に印刷するようにしたスクリーン印刷装置において、上記スクリーンマスクの上方でかつ上記スキージの移動方向前側にて上記ペーストのローリング状態を撮像するローリング撮像カメラと、該撮像された画像を解析して上記ペーストのローリング速度を算出するローリング速度算出手段と、該算出されたローリング速度に基づいて上記スキージのスキージ速度を制御するスキージ速度制御手段とを備えたことを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項２】
請求項１において、上記スキージ速度制御手段は、上記算出されたローリング速度が所定値より高いときにはスキージ速度を下げるように構成されていることを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項３】
請求項１又は２において、上記スキージ速度制御手段は、上記算出されたローリング速度が所定値より低いときにはスキージ速度を上げるように構成されていることを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項４】
請求項１ないし３の何れかにおいて、上記スキージ速度制御手段は、上記算出されたローリング速度が所定値より低いときには上記スクリーンマスクに所定量のペーストを補給するように構成されていることを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項５】
請求項１において、上記スキージ速度制御手段は、上記算出されたローリング速度が所定値より高いとき又は低いときには警報信号を出力するように構成されていることを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項６】
請求項１ないし５の何れかにおいて、上記被印刷物の下方には、上記スクリーンマスクの印刷開口に充填されるペーストの充填過程を上記被印刷物を透過して撮像する印刷過程撮像カメラが配設されていることを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項７】
請求項１ないし６の何れかにおいて、上記スクリーンマスクの上方には、上記スクリーンマスクの版離れ状態を撮像する版離れ撮像カメラが配設されていることを特徴とするスクリーン印刷装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリーンマスク上に供給されたペーストをスキージにより一方向に移動させることによって被印刷物に印刷するようにしたスクリーン印刷装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、電子部品の表面実装を行なう場合、ソルダペーストあるいは導電性接着剤がスクリーン印刷されたプリント基板を採用するのが一般的である。このプリント基板にソルダペーストを印刷するには、印刷開口を有するスクリーンマスクをプリント基板上に配置するとともに両者を位置決めし、スクリーンマスクの上面にソルダペーストを供給し、スキージを一方向に移動させることにより、上記ソルダペーストをスクリーンマスクの印刷開口を介してプリント基板に印刷するようにしている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このようなスクリーン印刷装置では、スキージ速度やあるいはレーザセンサを用いてソルダペーストのローリング径を管理することによって、印刷物の安定化を図るようにしている。
【特許文献１】特開２００１−２９３８４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記従来のスキージ速度やローリング径を管理する方法では、印刷開口に充填されるペースト充填量にばらつきが生じ易く、印刷品質に対する信頼性が低いという問題があり、この点での改善が要請されている。
【０００５】
本発明は、上記状況に鑑みてなされたもので、ペースト充填量の安定化を可能にして印刷品質に対する信頼性を向上できるスクリーン印刷装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本件発明者らは、上述の要請に応えるために、印刷中におけるペーストの挙動について観察したところ、ペーストのローリング状態の如何によって印刷量にばらつきが生じることが判明した。この観察結果から、ペーストのローリング状態を直接管理することによって、ペースト充填量の安定化を図ることができることを見出し、本発明を成したものである。
【０００７】
そこで請求項１の発明は、印刷開口が形成されたスクリーンマスクを被印刷物の上面に配置し、該スクリーンマスク上に供給されたペーストをスキージにより一方向に移動させることにより該ペーストを上記スクリーンマスクの印刷開口に充填して上記被印刷物に印刷するようにしたスクリーン印刷装置において、上記スクリーンマスクの上方でかつ上記スキージの移動方向前側にて上記ペーストのローリング状態を撮像するローリング撮像カメラと、該撮像された画像を解析して上記ペーストのローリング速度を算出するローリング速度算出手段と、該算出されたローリング速度に基づいて上記スキージのスキージ速度を制御するスキージ速度制御手段とを備えたことを特徴としている。
【０００８】
請求項２の発明は、請求項１において、上記スキージ速度制御手段は、上記算出されたローリング速度が所定値より高いときにはスキージ速度を下げるように構成されていることを特徴としている。
【０００９】
請求項３の発明は、請求項１又は２において、上記スキージ速度制御手段は、上記算出されたローリング速度が所定値より低いときにはスキージ速度を上げるように構成されていることを特徴としている。
【００１０】
請求項４の発明は、請求項１ないし３の何れかにおいて、上記スキージ速度制御手段は、上記算出されたローリング速度が所定値より低いときには上記スクリーンマスクに所定量のペーストを補給するように構成されていることを特徴としている。
【００１１】
請求項５の発明は、請求項１において、上記スキージ速度制御手段は、上記算出されたローリング速度が所定値より高いとき又は低いときには警報信号を出力するように構成されていることを特徴としている。
【００１２】
請求項６の発明は、請求項１ないし５の何れかにおいて、上記被印刷物の下方には、上記スクリーンマスクの印刷開口に充填されるペーストの充填過程を上記被印刷物を透過して撮像する印刷過程撮像カメラが配設されていることを特徴としている。
【００１３】
請求項７の発明は、請求項１ないし６の何れかにおいて、上記スクリーンマスクの上方には、上記スクリーンマスクの版離れ状態を撮像する版離れ撮像カメラが配設されていることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１の発明に係るスクリーン印刷装置によれば、ペーストのローリング状態をカメラで撮像し、この撮像された画像を解析することにより得られたペーストのローリング速度に基づいてスキージ速度を制御するようにしたので、例えば、請求項２，３の発明のように、ローリング速度が所定値より高いときにはスキージ速度を下げ、ローリング速度が所定値より低いときはスキージ速度を上げることによって、ペーストのローリング速度を一定に保持することができ、ペーストの充填量を安定化させることができる。その結果、印刷品質に対する信頼性を向上でき、上述の要請に応えられる。
【００１５】
請求項４の発明では、ローリング速度が所定値より低いときにはペーストを補充するようにしたので、即ち、スクリーンマスク上のペーストの残量状態をローリング速度から判断することが可能となり、ペーストの補充を自動的に行なうことによって連続運転が可能となる。
【００１６】
請求項５の発明では、ローリング速度が所定値外のときには警報を発するようにしたので、この警報によってオペレータがスキージ速度の設定、あるいはペースト残量の確認を行なうことができ、ペースト充填量のばらつきを事前に防止することができる。
【００１７】
請求項６の発明では、スクリーンマスクの印刷開口に充填されるペーストの充填過程をカメラで撮像するようにしたので、印刷中におけるペーストの充填状態を直接監視することができ、品質管理を精度よく行なうことができる。
【００１８】
請求項７の発明では、スクリーンマスクの版離れ状態をカメラにより撮像するようにしたので、印刷終了時のスクリーンマスクの版離れ状態を直接監視することによってペーストの被印刷物への密着状態を管理することができ、品質管理を精度よく行なうことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
【００２０】
図１は本発明の一実施形態（第１実施形態）によるスクリーン印刷装置を説明するための全体構成図である。
【００２１】
本実施形態のスクリーン印刷装置１は、例えばプリント基板に電子部品を実装するためのはんだ等を印刷するためのものであり、上方に開口する箱状の印刷台２と、該印刷台２の底壁部２ａに接続され、該印刷台２を昇降駆動するパルスモータ３ａを備えた印刷台駆動部３と、上記印刷台２の開口部２ｂに配設されたスクリーン支持枠４と、該スクリーン支持枠４の上方に配設されたスキージヘッド５と、該スキージヘッド５を往復駆動するスキージ駆動部６とを備えている。上記印刷台２の昇降速度は０．０１ｍｍ／ｓ〜１００ｍｍ／ｓの範囲で可変可能となっている。
【００２２】
上記スキージ駆動部６は、サーボモータ６ａにより回転駆動されるボールねじ６ｂにナット６ｃを嵌装させたものである。上記ボールねじ６ｂの回転速度を制御することによりスキージ速度が制御され、またボールねじ６ｂの回転量，回転角度を制御することによりスキージ移動量が制御される。上記スキージ速度は１ｍｍ／ｓ〜８０ｍｍ／ｓの範囲で可変可能となっている。
【００２３】
上記スキージヘッド５は、上記ナット６ｃに昇降可能に支持された空気圧シリンダ７の下端にスキージホルダ８を固定し、該スキージホルダ８によりスキージ９を角度調整可能に把持した構造となっている。上記空気圧シリンダ７によりスキージ９の後述するメタルマスク１０へのスキージ圧が調整可能となっている。上記スキージ９は例えば硬度８０のウレタンゴム等からなり、メタルマスク１０に対して３０〜９０度の傾斜角度の範囲で可変可能となっている。なお、ｖはスキージ９の移動方向（印刷方向）を示している。
【００２４】
上記スクリーン支持枠４には透明なガラス基板（被印刷物）１１が配置されており、該ガラス基板１１は不図示の真空吸引機構により真空吸引することによりスクリーン支持枠４に位置決め固定されている。このガラス基板１１は不図示の搬送装置により自動的に搬入，搬出されるようになっている。
【００２５】
また上記スクリーン支持枠４のガラス基板１１の上面には上記メタルマスク１０が配置され、該メタルマスク１０には所定の大きさ，形状からなる印刷開口１０ａが形成されている。このメタルマスク１０は不図示のクランパを介してスクリーン支持枠４に位置決め固定されており、もってガラス基板１１との位置合わせが行なわれている。
【００２６】
上記スクリーン印刷装置１は、上記メタルマスク１０上を移動するソルダペースト１７のローリング状態を撮像する第１のカメラ１５と、メタルマスク１０の印刷開口１０ａへのソルダペースト１７の充填過程を撮像する第２のカメラ１４と、上記メタルマスク１０の版離れ状態を撮像する第３のカメラ１６とを備えている。
【００２７】
上記第１のカメラ１５は、上記メタルマスク１０の上方で、かつスキージ９の移動方向ｖ前側に配置され、第１のモニタ１９に接続されている。上記第２のカメラ１４は、印刷台２内の底壁部２ａのガラス基板１１の下方に配置され、第２のモニタ１８に接続されている。また上記第３のカメラ１６は、上記メタルマスク１０の上方で、かつスキージ９の後側に配置され、第３のモニタ２０に接続されている。上記第１，第３のカメラ１５，１６はスキージヘッド５に取付けられた支持アーム２１にスキージ９と共に移動するように取付けられている。上記第１のカメラ１５はガラス基板１１のペースト充填領域の全域，もしくは一部分を撮像するようになっており、第３のカメラ１６はスキージ９が印刷終了位置に移動したときにメタルマスク１０のペースト充填領域の全域を撮像するようになっている。上記各カメラ１４〜１６には、例えばソニー（株）製のＸＣ−７５，あるいはフォトロン（株）製ＦＡＳＴＣＡＭ−ＰＣＩ等の市販のものが採用されている。ここで、上記第３のカメラはスキージヘッドに取りつけられた支持アームにスキージとともに移動するように取りつけられているが、第３のカメラは、版離れを確認するためのものであるので、スクリーンマスクの上方に配置されていればよい。つまり、スキージヘッドに取り付けなくてもよく、固定してもよい。
【００２８】
上記各モニター１８〜２０には各カメラ１４〜１６により撮像された画像を記録保存する記録保存手段２２が接続されている。この記録保存手段２２は一般的なビデオレコーダやパーソナルコンピュータが採用されている。例えば、上記ＦＡＳＴＣＡＭ−ＰＣＩカメラを用いた場合には、パソコンにより１ミリ秒未満のコマ速度で画像を取り込むことができる。
【００２９】
上記メタルマスク１０の上方には、該メタルマスク１０にソルダペースト１７を供給するディスペンサ２３が配設されており、該ディスペンサ２３のペースト供給口２３ａはスキージ９とメタルマスク１０との間部分に位置している。このディスペンサ２３はスキージ９と共に移動するようになっている。このディスペンサ２３にはペースト供給駆動ユニット２４が接続されており、該ペースト供給駆動ユニット２４によりソルダペースト１７が上記スキージ９の移動方向前側部分に供給される。
【００３０】
上記第１のカメラ１５にはローリング速度算出手段としての画像解析装置２５が接続されている。この画像解析装置２５は、第１のカメラ１５により撮像されたソルダペースト１７のローリング状態を画像に基づいて解析してソルダペースト１７のローリング速度を算出するように構成されている。
【００３１】
ここで、図２に示すように、ローリング速度とは、スキージ９の移動に伴って該移動方向にローリングするソルダペースト１７の表面の移動速度ｑをいう。このローリング速度ｑはスキージ速度とローリング径に略比例し、かつローリング速度ｑの如何によってソルダペースト１７の充填量が変化する。上記ローリング径とは、スキージ９とメタルマスク１０との接点からソルダペースト１７の外周表面までの距離ｒをいう。
【００３２】
上記スクリーン印刷装置１は、印刷台駆動部３，スキージ駆動部６及びペースト供給駆動ユニット２４を駆動制御するスキージ速度制御手段としてのコントロールユニット１２を備えている。このコントロールユニット１２は、上記画像解析装置２５によって算出されたローリング速度に基づいてスキージ速度を制御するように構成されており、具体的にはローリング速度が所定値としての１８±２ｍｍ／ｓの範囲内となるようにスキージ速度を制御する。詳細には、ローリング速度が上記所定値より高いときにはスキージ速度を下げ、該所定値より低いときにはスキージ速度を上げることによって上記所定値を保持する。
【００３３】
またコントロールユニット１２は、ローリング速度が所定値より低い場合で、かつスキージ速度の設定値を大きくしてもローリング速度が上昇しないときにはペースト供給駆動ユニット２４を駆動してメタルマスク１０に所定量のソルダペーストを補充するように構成されている。
【００３４】
ここで、ローリング速度に基づいてスキージ速度を調整する領域は、スキージ９がメタルマスク１０に当接する印刷開始位置からメタルマスク１０の印刷開口１０ａが形成された印刷領域までの間に設定されている。このようにすることによってガラス基板の無駄をなくすことができる。
【００３５】
次に上記スクリーン印刷装置１の動作を図３のフローチャートに沿って説明する。
【００３６】
動作開始に伴って、ガラス基板１１がスクリーン支持枠４に搬送され、該ガラス基板１１とメタルマスク１０との位置合わせが行なわれるとともに両者１０，１１を密着させる（ステップＳ１〜Ｓ３）。スキージ９が下降してメタルマスク１０の印刷開始位置に所定のスキージ圧でもって当接し、所定量のソルダペースト１７が供給される（ステップＳ４）。
【００３７】
次いでスキージ９が移動し始め、これと同時に第１のカメラ１５によりソルダペースト１７のローリング状態を撮像しつつ、該ペースト１７の画像を解析してローリング速度を算出し、このローリング速度が所定値範囲内か否かを判定する（ステップＳ５〜Ｓ８）。
【００３８】
ローリング速度が所定値内であればそのままスキージ９を移動させて印刷を続行し、スキージ９が印刷終了位置に移動すると停止し、次いでメタルマスク１０を版離れさせてガラス基板１１と分離させる（ステップＳ９〜Ｓ１１）。この後、スキージ９が上昇して元の印刷開始位置に戻るとともに、ガラス基板１１が搬出される（ステップＳ１２，Ｓ１３）。このようしてガラス基板１１に所定パターンの印刷が行なわれる。
【００３９】
上記ステップＳ８において、ローリング速度が所定値より高いときにはスキージ速度を下げる（ステップＳ１４）。この後ステップＳ５に戻る。
【００４０】
一方、ステップ８において、ローリング速度が所定値より低いときにはスキージ速度を上げる。この場合、内蔵するライブラリからスキージ速度を選択するか、又は予め決められたステップで速度指令値を変更し、該速度指令値に基づいてスキージ速度を変更する（ステップＳ１５〜Ｓ１７）。続いてソルダペースト１７のローリング状態を撮像しつつ、該ペースト１７の画像を解析してローリング速度を算出し、このローリング速度が指令通りに上昇しているか否かを判定する（ステップＳ１８〜Ｓ２０）。ローリング速度が上昇しているときにはステップＳ５に戻る。
【００４１】
ローリング速度が上昇していないときには、ソルダペーストの残量が少なくなっていると判断してペースト供給駆動ユニット２４を駆動して、所定量のソルダペーストを補充する（ステップＳ２１〜Ｓ２３）。この後ステップＳ５に戻る。
【００４２】
このように本実施形態によれば、ソルダペースト１７のローリング状態を第１のカメラ１５で撮像し、この撮像された画像を解析してソルダペースト１７のローリング速度を算出し、該ローリング速度に基づいてスキージ９のスキージ速度を制御するようにしたので、この算出したローリング速度が所定値（１８±２ｍｍ／ｓ）より高いときにはスキージ速度を下げ、ローリング速度が所定値より低いときはスキージ速度を上げることによって、ソルダペースト１７のローリング速度を一定に保持することができ、ペーストの充填量を安定化させることができる。その結果、印刷品質に対する信頼性を向上できる。
【００４３】
また上記ローリング速度が所定値より低いときにはソルダペースト１７を補充するようにしたので、メタルマスク１０上のソルダペースト１７の残量状態をローリング速度から判断することが可能となり、ソルダペースト１７の補充を自動的に行なうことができ、連続運転が可能となる。
【００４４】
本実施形態では、上記メタルマスク１０の印刷開口１０ａに充填されるソルダペースト１７の充填過程を第２のカメラ１４で撮像するようにしたので、印刷中におけるソルダペースト１７のガラス基板１１への充填状態を直接監視することができ、品質管理を精度よく行なうことができる。
【００４５】
本実施形態では、上記メタルマスク１０の版離れ状態を第３のカメラ１６により撮像するようにしたので、印刷終了時のメタルマスク１０の版離れ状態を直接監視することによってソルダペースト１７のガラス基板１１への密着状態を管理することができ、品質管理を精度よく行なうことができる。
【００４６】
図４は、請求項５の発明の一実施形態（第２実施形態）によるスクリーン印刷装置を説明するためのフローチャート図である。図中、ステップＳ１〜Ｓ１３は図３のステップＳ１〜Ｓ１３と同様の動作を示している。
【００４７】
本実施形態では、ステップＳ８において、ソルダペーストのローリング速度が所定値範囲内か否かを判定し、ローリング速度が所定値より高いとき又は低いときには警報を発するとともに、印刷装置を停止する（ステップＳ２４）。
【００４８】
そしてオペレータがローリング速度を確認し、該ローリング速度が所定値より低いときにはソルダペーストのローリング径を測定し、このローリング径が設定値（例えば２０ｍｍ）以下のときにはソルダペーストを補充する（ステップＳ２５〜Ｓ２７）。この後、スクリーン印刷装置の再スタートを行なう（ステップＳ２８）。これによりステップＳ５に戻って自動運転が再開される。
【００４９】
一方、ステップＳ２５において、ローリング速度が所定値より高いときには、オペレータがスキージ速度の設定値を下げる（ステップＳ２９）。この後、スクリーン印刷装置の再スタートを行い、ステップＳ５に戻って自動運転が再開される。
【００５０】
上記実施形態では、ローリング速度が所定値以外のときには警報を発するとともに印刷装置を停止するようにしたので、この警報によってオペレータがスキージ速度の設定、あるいはペースト残量の確認を行なうことができ、ペースト充填量のばらつきを事前に防止することができる。
【００５１】
次に、本実施形態の効果を確認するために行なった実験及び実験結果について説明する。
【実施例１】
【００５２】
実施例１では、第２のカメラ１４によりメタルマスク１０の印刷開口１０ａ内に充填されるソルダペースト１７の充填過程を観察した。この実施例１では、□３００μｍ及び５００μｍの印刷開口１０ａが形成されたメタルマスク１０を用い、スキージ９には硬度８０のウレタンゴムを用い、印刷条件をアタック角６０度，スキージ圧０．１ＭＰａ，スキージ速度１０ｍｍ／ｓ，印刷ギャップ０ｍｍとした。
【００５３】
そしてソルダペースト１７がメタルマスク１０の各印刷開口１０ａ内に充填されていく過程をガラス基板１１を透して第２のカメラ１４で撮像し、この画像を第１のモニタ１８で直接観察するとともに記録保存した。
【００５４】
図５は観察結果を示す図である。図５（ａ）〜（ｄ）は第２のカメラで撮像したペースト充填状態の画像を模式的に示す図であり、図５（ａ′）〜（ｄ′）は側方から観察結果に基づいたペースト充填状態の模式図である。なお、ｖはスキージの移動方向（印刷方向）である。
【００５５】
この充填過程の観察によって明らかになった事象は、ソルダペースト先端部での充填初期（第１段階）、ソルダペーストのスリップ（第２段階）、スキージ近傍での充填（第３段階），スキージ先端での押し込み（第４段階）という４段階に分けられることが判明した。このような充填過程は、これまでに言われてきたものとは異なる新しい発見である。
【００５６】
充填過程を詳細に見ると、第１段階では、ソルダペースト１７の先端部１７ａが印刷開口１０ａ上を通過し始め、該印刷開口１０ａを一旦素通りした次の瞬間に、先端部１７ａが印刷開口１０ａの前内壁１０ｂに押し付けられつつ進入している（図５（ａ），（ａ′）参照）。第２段階では、ソルダペースト１７が印刷開口１０ａ上をスリップしてそのまま移動している（図５（ｂ），（ｂ′）参照）。そして第３段階では、スキージ９が印刷開口１０ａの縁部まで移動すると、ソルダペースト１７が一気に充填されている（図５（ｃ），（ｃ′）参照）。第４段階では、スキージ９が印刷開口１０ａ上を通過しつつソルダペースト１７を押し込んでいる（図５（ｄ），（ｄ′）参照）。
【００５７】
そして上述の第１段階で、先に進入したソルダペースト１７の先端部１７ａが印刷開口１０ａの前内壁１０ｂに押し付けられて強く密着しており、これに起因して後述する版離れが悪化し、安定した印刷厚さが得られないということが分かった。
【００５８】
この観察結果から、第１段階でのソルダペースト１７の進入量をできるだけ小さくし、第３段階で主にソルダペースト１７が充填されるように印刷条件を設定することにより版離れの悪化が防止できることを見出した。具体的にはスキージ速度を高めることにより、充填量の安定化を図ることが可能となる。
【実施例２】
【００５９】
実施例２では、第１のカメラ１５によりソルダペースト１７のローリング状態を観察した。具体的には、画像解析ソフトウエアを用い、ソルダペースト１７のローリング径とスキージ速度とからソルダペースト１７の表面の移動速度，つまりローリング速度を計測した。
【００６０】
ローリング状態の画像解析の結果、ローリング速度ｑはスキージ速度とローリング径ｒに略比例し、かつローリング速度ｑの如何によっては上述の第１段階でのソルダペースト１７の充填量が変化することが判明した。これは第２のカメラ１５をスキージ９と共に移動させたことによって、ソルダペースト１７のローリング状態を安定してかつ精度よく観察できたからである。
【００６１】
図６（ａ）〜（ｄ）は、ローリング径とスキージ速度を変化させた場合の第１段階でのソルダペースト充填状態を第１のカメラで撮像した画像を模式的に示す図である。なお、マスク開口深さは６０μｍとし、印刷開口は□５００μｍとした。
【００６２】
この観察結果によれば、ローリング径を１５ｍｍ，２０ｍｍとし、スキージ速度を１０ｍｍ／ｓと遅くした場合には、第１段階で２００μｍ幅程度のペーストが充填されている（図６（ａ），（ｃ）の矢印⇔参照）。一方、ローリング径を１５ｍｍ，２０ｍｍとし、スキージ速度を７５ｍｍ／ｓと高くした場合には、第１段階ではほとんどペーストが充填されていない（図６（ｂ），（ｄ）参照）。これはローリング径やスキージ速度の如何によっては第１段階でのソルダペーストの充填量が変動することを示している。
【００６３】
このような充填量の変動はローリング速度が関与しているものと考えられる。即ち、図６（ｃ）の画像を見ると、ローリング速度が高くなっていることから、単位時間当たりのソルダペースト表面の回転量が大きく、もって印刷開口にペーストがより多く供給されており、ペーストの充填量が上昇していることが分かる。また図６（ｂ）の画像を見ると、ローリング速度は高くなっているものの、スキージ速度も高くなっていることから、印刷開口にペーストが入り込む前に通り過ぎてしまって充填されていないことが分かる。さらに図６（ｄ）の画像を見ると、ローリング径を大きくするとともに、ローリング速度を高くした結果、図６（ｂ）と同等のスキージ速度であってもペーストが少し充填されていることがわかる。
【００６４】
このことから、ペースト充填量の安定化を図るには、第１段階でのペースト充填量をコントロールすることが望ましい。具体的には、ローリング径とスキージ速度とによって決まるローリング速度を管理することが必要となり、このローリング速度を管理することによってスクリーン印刷の品質を高めることが可能となる。
【実施例３】
【００６５】
実施例３では、第３のカメラ１６によりメタルマスク１０の版離れの状態を観察した。この実施例３では、印刷開口１０ａのアスペクト比をＡモードでは０．２７（開口径φ２２０μｍ×開口深さｔ６０μｍ）とし、Ｂモードでは０．６０（φ２００μｍ×ｔ１２０μｍ）とし、Ｃモードでは０．６６（φ１８０μｍ×ｔ１２０μｍ）とし、これによる版離れ時のソルダペーストの挙動を観察して行なった。
【００６６】
図７は、版離れ時のソルダペーストの挙動を示す模式図である。図７（ａ），（ａ′）はＡモードによる版離れ状態を示し、図７（ｂ），（ｂ′）はＢモードによる版離れ状態を示し、図７（ｃ），（ｃ′）はＣモードによる版離れ状態を示している。
【００６７】
上記観察結果から、ソルダペースト１７がメタルマスク１０から版離れするときには、ガラス基板１１に密着したペースト１７が引き伸ばされて変形し、さらに版離れがすすむとソルダペースト１７が分断されるということが新たに判明した。
【００６８】
そしてアスペクト比を小さくしたＡモードの場合には、ソルダペースト１７のガラス基板１１との密着性が強く、版離れが良好であることがわかる（図７（ａ），（ａ′）参照）。一方、Ｃモードの場合には、ソルダペースト１７のガラス基板１１との密着性よりもメタルマスク１０の内側壁との密着性の方が強く、版離れが悪化していることが分かる。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明の一実施形態によるスクリーン印刷装置を説明するための構成図である。
【図２】上記スクリーン印刷装置のソルダペーストのローリング速度の説明図である。
【図３】上記スクリーン印刷装置の動作を説明するためのフローチャート図である。
【図４】請求項５の発明の一実施形態によるスクリーン印刷装置の動作を説明するためのフローチャート図である。
【図５】上記実施形態の効果を確認するために行なった実験結果を示す図である。
【図６】上記実施形態の効果を確認するために行なった実験結果を示す図である。
【図７】上記実施形態の効果を確認するために行なった実験結果を示す図である。
【符号の説明】
【００７０】
１        スクリーン印刷装置
９        スキージ
１０      メタルマスク（スクリーンマスク）
１０ａ    印刷開口
１１      ガラス基板（被印刷物）
１２      コントロールユニット（スキージ速度制御手段）
１７      ソルダペースト
１４      第１のカメラ（印刷過程撮像カメラ）
１５      第２のカメラ（ローリング撮像カメラ）
１６      第３のカメラ（版離れ撮像カメラ）
２３      ディスペンサ
２４      ペースト供給駆動ユニット
２５      画像解析装置（ローリング速度算出手段）
ｑ        ローリング速度
【図１】
2005161783.tif 000003
【図２】
2005161783.tif 000004
【図３】
2005161783.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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