(57)【要約】 【課題】    真空チャンバ内で基板に枚葉式でフィルムを貼り付けることができ、気泡や段差は発生せず、装置構成が簡単で済むようにしたい。  【解決手段】    基板３５と基板に貼り付けたいフィルムとこれを支持するベースフィルムからなる二層一体化フィルムとを一対の圧着ローラ３０を有する真空チャンバ４内に搬送し、貼り付けたいフィルムが基板側となるようにして基板と二層一体化フィルムとを圧着ローラ３０間を通過させて基板に二層一体化フィルムを貼り付けるものであり、真空チャンバ４で基板３５の寸法に合うように二層一体化フィルムの切断を行ない、切断で得た個別の二層一体化フィルムＦｃは少なくとも一方の該圧着ローラに巻き掛けてある循環ベルト３３に移載して、循環ベルトの循環により基板３５とともに圧着ローラ３０間を通過させ、基板上に個別の二層一体化フィルムＦｃを貼り付ける。  【選択図】  図１
2005161782.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と該基板に貼り付けたいフィルムとこれを支持するベースフィルムからなる二層一体化フィルムとを一対の圧着ローラを有する真空チャンバ内に搬送し、該貼り付けたいフィルムが該基板側となるようにして該基板側と二層一体化フィルムとを該一対の圧着ローラ間を通過させて該基板に該二層一体化フィルムを貼り付けるフィルム貼付方法において、  
該真空チャンバ外で基板の寸法に合うように該二層一体化フィルムの切断を行ない、切断で得た個別の二層一体化フィルムは少なくとも一方の該圧着ローラに巻き掛けてある循環ベルトに移載して、該循環ベルトの循環により該基板とともに一対の圧着ローラ間を通過させることを特徴とするフィルム貼付方法。  
【請求項２】
基板と該基板に貼り付けたいフィルムとこれを支持するベースフィルムからなる二層一体化フィルムとを一対の圧着ローラを有する真空チャンバ内に搬送し、該貼り付けたいフィルムが該基板側となるようにして該基板側と二層一体化フィルムとを該一対の圧着ローラ間を通過させて該基板に該二層一体化フィルムを貼り付けるフィルム貼付装置において、  
該真空チャンバの内部に少なくとも一方の該圧着ローラに巻き掛けてある循環ベルトを有し、該真空チャンバの外部に該基板の寸法に合うように切断した個別の二層一体化フィルムを該循環ベルトに移載する移載手段を有し、該循環ベルトの循環により該基板とともに一対の圧着ローラ間を通過させることを特徴とするフィルム貼付装置。  
【請求項３】
上記請求項２に記載のフィルム貼付装置において、さらにフィルムロールから繰り出したフィルムを切断し個別の二層一体化フィルムとする切断手段を有し、該移載手段は個別の二層一体化フィルムの先端部と後端部をそれぞれ吸着保持して該循環ベルトに移載する先端保持部材と後端保持部材を有することを特徴とするフィルム貼付装置。  
【請求項４】
上記請求項２に記載のフィルム貼付装置において、該循環ベルトは該個別の二層一体化フィルムを載置する面に誘電体膜を有しており、該真空チャンバは該個別の二層一体化フィルム搬入口の内側に該循環ベルトに対し電荷を印加する静電手段を有することを特徴とするフィルム貼付装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板と該基板に貼り付けたいフィルムとこれを支持するベースフィルムからなる二層一体化フィルムとを一対の圧着ローラを有する真空チャンバ内に搬送し、該貼り付けたいフィルムが該基板側となるようにして該基板側と二層一体化フィルムとを該一対の圧着ローラ間を通過させて該基板に該二層一体化フィルムを貼り付けるフィルム貼付方法及びフィルム貼付装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のフィルム貼付方法として、フィルムとしてレジストフィルムなどの貼り付けたいフィルム（以下、レジストフィルムで説明），レジストフィルムを支持するベースフィルム，レジストフィルムを覆うカバーフィルムの三層構造としたもの（以下、三層一体化フィルムと略記）をベースフィルムが外周側，カバーフィルムが内周側になるように巻回したフィルムロールを用い、フィルムロールから繰り出した一体化フィルムからカバーフィルムを剥離し、搬送路上を一定間隔をもって搬送されて来る各基板の寸法に合わせて二層となったレジストフィルムとベースフィルム（以下、二層一体化フィルムと略記）を幅方向に切断し、レジストフィルムが基板表面側になるようにして一対の圧着ローラ間を通して基板毎に貼り付ける枚葉法がある（下記特許文献１）。
【０００３】
この枚葉法では、基板の上方において、フィルム中央部は吸着板上をフィルムが摺動できる緩く保持しておいて、フィルム先端部は仮付部材で保持し基板搬送方向での基板先端部に仮付けしてから仮付部材は退避して圧着ローラで貼り付けていき、フィルム後端部は吸着板から離れると自由端として基板上に落下させ圧着ローラで最後まで貼り付けるようにしている。
【０００４】
この枚葉法では、フィルム先端部やフィルム後端部に気泡が発生する問題があることや、フィルム先端部の貼り付けが仮付部材と圧着ローラに分かれているために圧着力に差が出て段差を生じる問題があった。
【０００５】
このような問題を解決する方法として、真空チャンバ内でフィルムを各基板の寸法に合わせて幅方向に切断することなく一対の圧着ローラで連続的に貼り付けて行く下記特許文献２に記載された真空連続法がある。
【０００６】
真空連続法では真空中で貼り付けていくので、気泡は発生しないし、仮付部材を使用していないので段差を生じることもない。
【０００７】
【特許文献１】特開平７−２２３１９７号公報
【０００８】
【特許文献２】特開２００１-３８８０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記真空連続法では、真空チャンバ外から二層一体化フィルムを搬入しており、フィルム貼付後はフィルムで繋がった基板を真空チャンバ外に搬出し、フィルムで繋がった各基板は真空チャンバ外の適宜な位置でフィルムを幅方向に切断し分離独立した基板を得ている。
【００１０】
フィルム搬入部や基板搬出部ではフィルムが存在しているので、気密構造が複雑になっていた。
【００１１】
それゆえ本発明の目的は、真空チャンバ内で基板に枚葉式でフィルムを貼り付けることができ、気泡や段差は発生せず、装置構成が簡単ですむフィルム貼付方法を提供することにある。
【００１２】
また、本発明の目的は、真空チャンバ内で基板に枚葉式でフィルムを貼り付けることができ、気泡や段差は発生せず、装置構成が簡単なフィルム貼付装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成する本発明の特徴とするところは、基板と該基板に貼り付けたいフィルムとこれを支持するベースフィルムからなる二層一体化フィルムとを一対の圧着ローラを有する真空チャンバ内に搬送し、該貼り付けたいフィルムが該基板側となるようにして該基板側と二層一体化フィルムとを該一対の圧着ローラ間を通過させて該基板に該二層一体化フィルムを貼り付けるフィルム貼付方法において、該真空チャンバ外で基板の寸法に合うように該二層一体化フィルムの切断を行ない、切断で得た個別の二層一体化フィルムは少なくとも一方の該圧着ローラに巻き掛けてある循環ベルトに移載して、該循環ベルトの循環により該基板とともに一対の圧着ローラ間を通過させ、基板上に個別の二層一体化フィルムを貼り付けることにある。
【００１４】
循環ベルトとしては静電吸着が可能なフィルム搬送ベルトを用いて、静電吸着にて枚葉に切断された個別の二層一体化フィルム（枚葉フィルム）を循環ベルト上に吸着して搬送し、真空中にて基板に貼り付けを行なう。
【００１５】
また、上記目的を達成する本発明の特徴とするところは、基板と該基板に貼り付けたいフィルムとこれを支持するベースフィルムからなる二層一体化フィルムとを一対の圧着ローラを有する真空チャンバ内に搬送し、該貼り付けたいフィルムが該基板側となるようにして該基板側と二層一体化フィルムとを該一対の圧着ローラ間を通過させて該基板に該二層一体化フィルムを貼り付けるフィルム貼付装置において、該真空チャンバの内部に少なくとも一方の該圧着ローラに巻き掛けてある循環ベルトを有し、該真空チャンバの外部に該基板の寸法に合うように切断した個別の二層一体化フィルムを該循環ベルトに移載する移載手段を有し、該循環ベルトの循環により該基板とともに一対の圧着ローラ間を通過させることにある。
【発明の効果】
【００１６】
本発明においては、フィルムは枚葉で連続していないために、フィルム搬入部や基板搬出部の封止を確実なものとすることができて、構成は簡単で気密性は高く、真空中での貼り付けであるために気泡を発生することはない。循環ベルトを介していても貼付手段は一対の圧着ローラだけであるので段差を発生することはない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、図１乃至図３に基づいて本発明フィルム貼付方法及びフィルム貼付装置の一実施形態を説明する。
【実施例１】
【００１８】
図１は、本発明を実施するためのフィルム貼付装置の概要を示している。
【００１９】
図１において、１は基板搬送路、２は装置ハウジング、３はフィルム供給ユニット、４は真空チャンバ、５は本圧着ローラ、である。なお、図１ではスペースの都合から、基板搬送路１の上下に線対称的も設けられているものには簡略化のために同一符号を付けてあり、上下のいずれかの部品で説明する。
【００２０】
基板搬送路１は、複数の搬送ローラ６を左側から右側に並べて構成されたものである。
【００２１】
フィルム供給ユニット３における１０は、カバーフィルム，レジストフィルム，ベースフィルムの３層で形成された三層一体化フィルムＦａを内側からカバーフィルム，レジストフィルム，ベースフィルムの順番で巻いたものである。
【００２２】
フィルムロール１０からフィルムを基板搬送路に供給するために、フィルムロール１０の右側にガイドロール１１があり、フィルムロール１０とガイドロール１１との間にセパレータ１２が用いられ、ここでカバーフィルムは剥離し巻取ロール１３に巻き取って回収している。
【００２３】
フィルムロール１０及び巻取ロール１３の駆動はフィルム残量に応じてトルク調整する機能（図示せず）を設けているため、三層一体化フィルムＦａの張力を一定にして搬送することができる。
【００２４】
ガイドロール１１の左側にはカバーフィルムを剥離しレジストフィルムとベースフィルムとなった二層一体化フィルムＦｂの先端や後端を吸着保持して搬送する先端保持部材１５と後端保持部材１６が設けられている。
【００２５】
先端保持部材１５の内部には真空室，フィルム側の面には吸着孔が設けられており、その真空室が真空ポンプに接続されることにより、二層一体化フィルムＦｂのフィルム先端をベースフィルム側の面で吸着するようになっている。
【００２６】
また、図２に示すように、サーボモータ１７と直結されたボールねじ１８の回転で左右方向に移動可能な可動部１９があり、可動部１９にはエアシリンダ２０が固定されていて、そのピストン軸２１に先端保持部材１５を設けてある。
【００２７】
後端保持部材１６は、揺動アーム２２を介して可動部１９に支持されている。後端保持部材１６も先端保持部材１５と同じように内部に真空室があり、ベースフィルム側の面に吸着孔が設けられている。また、後端保持部材１６はベースフィルム側の面に幅方向に溝が設けられており、二層一体化フィルムＦｂを基板の寸法に合わせて幅方向に切断するときのカッタ受けとして用いられる。
【００２８】
可動部１９に設けられたロータリアクチュエータにより揺動アーム２２を回転させることで、後端保持部材１６はフィルム搬送面から基板搬送面側に退避させることが可能である。
【００２９】
カッタ２３は後端保持部材１６の溝に対向して設けてあり、ロッドレスシリンダ等で幅方向に移動することにより、二層一体化フィルムＦｂを幅方向に切断する。なお、基板の寸法に合わせてカッタ２３で切断された二層一体化フィルムＦｂは、以下の説明で枚葉フィルムＦｃと呼ぶ。
【００３０】
図１に戻って、真空チャンバ４内には、基板搬送路１の上下に仮圧着用の一対の圧着ローラ３０があり、各圧着ローラ３０にそれぞれフィルム搬送ローラ３１，３２があり、圧着ローラ３０とフィルム搬送ローラ３１，３２間に掛けてフィルム搬送ベルト（循環ベルト）３３を巻き掛けてある。圧着ローラ３０の内部にはヒータが設けられており、圧着ローラ３０はフィルム搬送ベルト３３と枚葉フィルムＦｃとの間での帯電し易くするために接地してある。
【００３１】
圧着ローラ３０は、フィルム搬送ローラ３１，３２とともに基板搬送路１上を搬送されてくる基板３５を上下方向から挟むように連結されたエアシリンダで移動する。
【００３２】
すなわち、圧着ローラ３０とフィルム搬送ローラ３１，３２は、図示していない移動フレームで一緒に移動するように軸支してあり、上下の各移動フレームを図示していないエアシリンダで連結して基板３５を上下方向から挟むようになっている。
【００３３】
圧着ローラ３０が回転すると、フィルム搬送ローラ３１，３２に巻き掛けてあるフィルム搬送ベルト３３はこれらのローラ３０〜３２間を循環する。
【００３４】
以下、各移動フレームに軸支してある圧着ローラ３０とフィルム搬送ローラ３１，３２およびフィルム搬送ベルト３３を圧着ローラユニット３６と呼ぶこととする。
【００３５】
フィルム搬送ベルト３３は、枚葉化フィルムＦｃの帯電及び寸法安定性を考慮してスチールベルトの外側にゴムライニングを施したものを用いている。
【００３６】
フィルム搬送ローラ３２のフィルム移載部分には電極３７を設置してあり、図示していない静電気発生装置と接続してある。静電気発生装置から電極３７に高電圧を印加すると、電極３７とフィルム搬送ベルト３３との間に搬送されてくる枚葉フィルムＦｃを帯電させることが可能である。また、真空チャンバ４内をクリーンエアで外気に対して正圧とする事によりチャンバ内の雰囲気をクリーンとし、枚葉フィルムＦｃにゴミが付着することを防ぐことができる。
【００３７】
本圧着ローラ５は基板搬送方向において圧着ローラ３０の下流側に位置し、圧着ローラ３０にて枚葉フィルムＦｃを貼りつけた基板３５を上下方向から挟むように配置されており、内部にはヒータが設けられ、連結されたエアシリンダで基板搬送路１の方向にそれぞれ移動することができる。基板３５の搬送に合わせて回転し、圧着ローラ３０で仮に貼り付けた枚葉フィルムＦｃと基板３５を再度圧着し、貼り付けを確実なものとしている。
【００３８】
真空チャンバ４には、基板３５の搬入・搬出のために気密扉４１〜４４が有り、枚葉フィルムＦｃの搬入のために気密扉４５がある。基板３５の搬入・搬出と枚葉フィルムＦｃの搬入は、以下のフィルム貼付動作に合わせて説明する。
【００３９】
次ぎに、フィルム貼付について説明する。
【００４０】
準備として、手動でフィルムロール１０から三層一体化フィルムＦａを引き出してガイドロール１１に渡し、セパレータ１２にてカバーフィルムを剥離する。剥離したカバーフィルムは巻取ロール１３に巻き付かせる。残りの二層一体化フィルムＦｂは後端保持部材１６の先端まで引き出し、先端保持部材１５及び後端保持部材１６の上面で真空吸着する。
【００４１】
フィルムロール１０及び巻取ロール１３については、常に二層一体化フィルムＦｂの張力が一定になるようにフィルムロール１０及び巻取ロール１３の主軸に連結してあるトルクモータを動作させて、三層一体化フィルムＦａ，二層一体化フィルムＦｂや剥離したカバーフィルムが張った状態を維持できるようにさせる。
【００４２】
後端保持部材１６の溝部分にカッタ刃が通過するようにカッタ２３を幅方向に移動させて二層一体化フィルムＦｂを切断し、二層一体化フィルムＦｂを吸着していた後端保持部材１６の真空吸着を停止させて、二層一体化フィルムＦｂの切れ端を廃棄する。
【００４３】
このとき、図２に示すように先端保持部材１５には二層一体化フィルムＦｂが１０ｍｍ程度はみ出した状態で真空吸着されており、これで準備が完了する。
【００４４】
準備が完了した状態では、基板搬送路１の上下に位置する圧着ローラユニット３６はともに基板搬送路１から離れており、圧着ローラ３０は内蔵するヒータで枚葉フィルムＦｃに変形，変質のない所望の温度範囲内に加熱された状態で基板搬送方向に回転している。
【００４５】
まず、図３に示すように、気密扉４５を開放し、サーボモータ１７を動作させて可動部１９を真空チャンバ４側に移動させ、後端保持部材１を保持している揺動アーム２２を回転させて、後端保持部材１６を基板搬送路１側に退避させる。
【００４６】
そして、エアシリンダ２０を作動させて二層一体化フィルムＦｂの先端が圧着ローラユニット２６における気密扉４５側のフィルム搬送ローラ３２の中央付近まで先端保持部材１５を移動させる。
【００４７】
このとき、静電気発生装置で電極３７に高電圧を印加し、その電極３７とフィルム搬送ベルト３３の間にあり，先端保持部材１５からはみ出している二層一体化フィルムＦｂのフィルム先端部分が帯電され、フィルム搬送ローラ３２を介して接地されているフィルム搬送ベルト３３に吸着される。
【００４８】
圧着ローラ３０は基板搬送方向に回転しており、吸着された二層一体化フィルムＦｂを左側に搬送しようとする。このとき、先端保持部材１５の真空吸着を解除することで二層一体化フィルムＦｂは圧着ローラ３０の回転とともに左側に搬送される。
【００４９】
二層一体化フィルムＦｂをフィルム搬送ベルト３３に受け渡した（移載した）先端保持部材１５はサーボモータ１７及びエアシリンダ２０によりガイドロール１１側に移動し、退避していた後端保持部材１６も揺動アーム２２の動作で先端保持部材１５に並び、フィルム搬送面に戻る。
【００５０】
二層一体化フィルムＦｂがフィルム搬送ベルト３３により基板３５に貼り付ける所望の長さだけ搬送されたときに、圧着ローラ３０の回転は停止する。
【００５１】
そして、先端保持部材１５と後端保持部材６で二層一体化フィルムＦｂを真空吸着して保持し、カッタ２３で二層一体化フィルムＦｂを幅方向に切断する。このとき、切断したフィルムの長さは基板３５に貼り付ける長さになっており、枚葉フィルムＦｃとなる。
【００５２】
なお、圧着ローラ３０の回転を停止せず、先端保持部材１５及び後端保持部材１６とカッタ２３を二層一体化フィルムＦｂの搬送に同期して移動させて、二層一体化フィルムＦｂを吸着保持しつつ切断してもよい。
【００５３】
その後、後端保持部材１６を真空チャンバ4側に移動させ圧着ローラ３０の回転で枚葉フィルムＦｃが搬送され、枚葉フィルムＦｃの後端がフィルム搬送ベルト３３付近まで到達したとき、静電気発生装置から高電圧を電極３７に印加することで、枚葉フィルムＦｃの後端部を帯電させてフィルム搬送ベルト３３に静電吸着させる。
【００５４】
後端保持部材１６の真空吸着を解除し枚葉フィルムＦｃの後端部がすべてフィルム搬送ベルト３３に移載された後、揺動アーム２２を回転させて、後端保持部材１６を下側に退避させる。
【００５５】
ここで、先端保持部材１５及び後端保持部材１６は、図４に示すように、そのままサーボモータ１７により、先端保持部材１５の先端部が真空チャンバ４の外に出るように、ガイドローラ１1側に後退させる。
【００５６】
このとき、フィルムロール１０及び巻取ロール１３のトルクモータは、三層一体化フィルムＦａ，二層一体化フィルムＦｂや剥離したカバーフィルムが張った状態を維持できるように、これらのフィルムの巻き戻しを行なう。なお、このトルクモータによる巻き戻しに代えて、ガイドローラ１１と先端保持部材１５の間にダンパーローラを設けて、二層一体化フィルムＦｂのだぶつきを調整できるようにしてもよい。
【００５７】
フィルム搬送ベルト３３への枚葉フィルムＦｃの移載が終了した後に真空チャンバ４の気密扉４５を閉じ、真空チャンバ４の真空引きを開始する。この時、気密扉４１〜４５は全て閉じている。
【００５８】
一方、基板搬送路１上を基板３５が搬送されてくると、真空チャンバ４の気密扉４１を開き、気密扉４２との間の空間を搬入側ロードロック室として、この空間に基板３５を搬入したら気密扉４１を閉じ、搬入側ロードロック室の真空引きを行なう。
【００５９】
真空チャンバ４と搬入側ロードロック室が同等の真空度になったら気密扉４２を開いて、基板３５を真空チャンバ４内に搬入する。
【００６０】
圧着ローラ３０の回転でフィルム搬送ベルト３３上の枚葉フィルムＦｃは圧着ローラ３０側に移動し、基板３５の貼り合せ開始位置に枚葉フィルムＦｃの先端が一致したら、圧着ローラユニット３６を基板搬送路1側に移動させ、圧着ローラ３０でフィルム搬送ベルト３３上の枚葉フィルムＦｃの先端部を基板３５に貼り付け、圧着ローラ３０を回転させることで、枚葉フィルムＦｃを順次加熱加圧し、基板３５に貼り付けていく。
【００６１】
気密扉４４は閉じたまま気密扉４３を開くことで、貼り付けの終った基板３５は気密扉４３と気密扉４４の間の搬出側ロードロック室に搬出できる。
【００６２】
貼り付けの終った基板３５が搬出側ロードロック室に搬出されたら、気密扉４２と気密扉４３を閉じ、気密扉４４を開いて、搬出側ロードロック室から貼り付けの終った基板３５を搬出する。
【００６３】
気密扉４２と気密扉４３が閉じられたら、圧着ローラユニット３６は図1に示す位置の戻り、次の枚葉フィルムＦｃの移載に備える。
【００６４】
次の枚葉フィルムＦｃの移載に際しては、図４に示すように、先端保持部材１５が二層一体化フィルムＦｂの先端部を保持し、後端保持部材１６は基板搬送路１側に退避した状態になっているので、気密扉４５を開放し、図３に示すように、先端保持部材１５で二層一体化フィルムＦｂの先端部をフィルム搬送ベルト３３に受け渡すようにすればよい。
【００６５】
搬出側ロードロック室から搬出した貼り付けの終った基板３５は本圧着ローラ５でさらに加熱加圧を行なって、枚葉フィルムＦｃと基板３５の必要な密着力を確保して一連の動作は完了する。なお、圧着ローラ３０の過熱加圧による貼り付けで充分な基板３５と枚葉フィルムＦｃの密着性が得られるなら、本圧着ローラ５による加熱加圧は省略して構わない。
【００６６】
後は、以上説明した基板３５の搬入・搬出にあわせた動作の繰り返しとなるので、その説明は省略する。
【００６７】
真空チャンバ４には、貼り付けるフィルムを枚葉で搬入しており、気密扉４５になるフィルム搬入部には封止の際にフィルムが存在しないために、複雑な気密構造を取らなくても済み、装置構成は簡単で済む。
【００６８】
枚葉フィルムＦｃの先端から終端（後端）まで圧着ローラ３０だけで加熱加圧し基板３５に貼り付けるので、段差は生じない。また真空中での貼り付けであるので、気泡は発生しない。
【００６９】
枚葉フィルムＦｃの先端と後端はそれぞれ先端保持部材と後端保持部材でフィルム搬送ベルト３３上に移載するので、枚葉フィルムＦｃの先端部や後端部に皺などを発生することがない。
【００７０】
また、フィルム搬送ベルト３３が先端保持部材１５から枚葉フィルムＦｃを受けて圧着ローラ３３へ搬送していく間に、フィルム搬送ベルト３３は圧着ローラ３３において受けた熱で枚葉フィルムＦｃを予熱しておくことができ、圧着ローラ３０での加熱加圧を速やかに行なうことができる。
【００７１】
圧着ローラ３３と本圧着ローラ５の加熱加圧の条件を調整することで、枚葉フィルムＦｃと基板３５の特性に合わせた貼り付けを得ることができる。
【００７２】
以上、基板３５に対する枚葉フィルムＦｃの貼り付けについて、一枚の基板を基準に説明したが、図１に示すように、フィルム搬送ベルト３３上に複数の枚葉フィルムＦｃが保持されるようにし、搬入側か搬出側の各ロードロック室や真空チャンバ４に複数の基板３５が存在するように各ロードロック室や真空チャンバ４を個別の真空系統で真空化し、各部が並行して動作するようにしておけば、単位時間当たりの処理枚数を多くすることができる。
【００７３】
フィルム供給ユニット３を気密室内に設置するようにすれば、気密扉４５を開閉しても真空チャンバ4内の真空度を維持でき、単位時間当たりの処理枚数を多くすることができる。
【００７４】
なお、上記実施例では基板３５の上下両面に枚葉フィルムＦｃを貼り付けるようになっているが、基板３５の上下いずれかの片面に枚葉フィルムＦｃを貼り付けるようになっていてもよい。
【実施例２】
【００７５】
実施例１の形態において、枚葉フィルムＦｃの先端及び後端をフィルム搬送ベルト３３に受け渡すときのみ枚葉フィルムＦｃを静電吸着するのではなく、枚葉フィルムＦｃ全面に対して静電気を帯電させてフィルム搬送ベルト３３に吸着させてもよい。
【実施例３】
【００７６】
実施例１及び実施例２の形態において、先端保持部材５及び後端保持部材６に静電気で枚葉フィルムＦｃなどを帯電させて吸着保持してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】本発明フィルム貼付装置の一実施例を示す概略断面図である。
【図２】図1に示したフィルム貼付装置において、貼付準備が完了した状態を示す部分断面図である。
【図３】図1に示したフィルム貼付装置においてフィルム先端部の受け渡し状況を示す部分断面図である。
【図４】図1に示したフィルム貼付装置においてフィルム後端部の受け渡しを終了した後の状況を示す部分断面図である。
【符号の説明】
【００７８】
Ｆａ‥三層一体化フィルム  
Ｆｂ‥二層一体化フィルム  
Ｆｃ‥枚葉フィルム  
１‥基板搬送路  
２‥装置ハウジング  
３‥フィルム供給ユニット  
４‥真空チャンバ  
５‥本圧着ローラ  
６‥搬送ローラ  
１０‥フィルムロール  
１１‥ガイドロール  
１２‥セパレータ  
１３‥巻取ロール  
１５‥先端保持部材  
１６‥後端保持部材  
１７‥サーボモータ  
１８‥ボールねじ  
１９‥可動部  
２０‥エアシリンダ  
２１‥ピストン軸  
２２‥揺動アーム  
２３‥カッタ  
３０‥圧着ローラ  
３１，３２‥フィルム搬送ローラ  
３３‥フィルム搬送ベルト  
３５‥基板  
３６‥圧着ローラユニット  
３７‥電極  
４１〜４５‥気密扉
【図１】
2005161782.tif 000003
【図２】
2005161782.tif 000004
【図３】
2005161782.tif 000005
【図４】
2005161782.tif 000006