(57)【要約】【課題】サーマルヘッド用グレーズド基板では、第一グレーズ層より５０度以上ガラス軟化点の低いグレーズを第二グレーズ層として用いることにより、第二グレーズ層のエッジ部の直線性を確保し表面うねりを向上しょうとするが、第二層グレーズ層のエッジ状態が悪くなり、ケミカルエッチング処理、サンドブラスト処理に比べ、第二グレーズ層頂部の平滑性が悪く、高密度、高画質、低消費電力が要求されるビデオプリンター用に用いるサーマルヘッド用のグレーズド基板として使用できなかった。【解決手段】本発明のグレーズド基板は、セラミック基板上に第一グレーズ層と、該第一グレーズ層上に凸状の第二グレーズ層を形成してなるグレーズド基板において、前記第一グレーズ層と第二グレーズ層のガラス軟化点が実質的に同一であり前記第二グレーズ層の厚みが３０〜１２０μｍ、前記第一グレーズ層の厚みが９０〜４５０μｍの範囲であることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミック基板上に第一グレーズ層と、該第一グレーズ層上に凸状の第二グレーズ層を形成してなるグレーズド基板において、前記第一グレーズ層と第二グレーズ層のガラス軟化点が実質的に同一であり前記第二グレーズ層の厚みが３０〜１２０μｍ、前記第一グレーズ層の厚みが９０〜４５０μｍの範囲であることを特徴とするグレーズド基板。
【請求項２】
前記第一グレーズ層表面の算術平均粗さ（Ｒａ）が０．０２μｍ以下であることを特徴とする請求項１記載のグレーズド基板。
【請求項３】
セラミック基板上に第一グレーズ層を形成して熱処理した後に、前記第一グレーズ層上に、該第一グレーズ層とガラス軟化点が実質的に同一の第二グレーズ層を凸状に形成するとともに、前記第一、第二のグレーズ層のガラス軟化点より５０〜３５０℃高い温度で熱処理することを特徴とするグレーズド基板の製造方法。
【請求項４】
前記第一グレーズ層の熱処理時の粘度をｌｏｇη１、前記第二グレーズ層形成後の熱処理時の粘度をｌｏｇη２としたとき、熱処理時の粘度の比が１＜（ｌｏｇη２／ｌｏｇη１）＜３であることを特徴とする請求項３記載のグレーズド基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、サーマルヘッド用グレーズド基板に関する。
【背景技術】
【０００２】
サーマルヘッド用グレーズド基板は、ワードプロセッサー及びファクシミリ及び多機能やフルカラー印字可能なプリンターに用いられ、近年特に印字の高密度化、高画質化、高速化、低消費電力化が求められている。
【０００３】
例えば図４に一般的な凸状のプリンター用サーマルヘッド５９（以下、単にヘッドと称す）の長さ方向に垂直な部分断面図を示すが、このようなヘッド５９は、セラミック基板５２上に第一グレーズ層５３並びに、先端曲率半径Ｒを有した凸状の第二グレーズ層５４を形成してグレーズド基板５１となし、前記第二グレーズ層５４上に発熱抵抗体層５５、電極層５６，５７、これらを覆うように保護膜層５８を形成して構成されている。
【０００４】
そして、このようなヘッド５９の特徴としては、第二グレーズ層５４の先端曲率半径Ｒを制御することが容易になるという特徴があり、そのために、発熱抵抗体層５６，５７および保護膜層５８と、印字媒体との接触圧力によって決まる印字性の制御がしやすくなるという利点がある。
【０００５】
さらに、第一グレーズ層５３の厚みを厚く出来ることから、蓄熱性が向上することによって、高画質、低消費電力が要求されるビデオプリンター用として主に用いることが可能となる。
【０００６】
このようなヘッド５９を構成する凸状の第二グレーズ層５４を有したグレーズド基板５１は、特許文献１，２，３の方法で形成されることが示されている。
【０００７】
まず、特許文献１ではグレーズ層の一部をケミカルエッチング処理し、凸状のグレーズド基板を製造する方法が示されている。
【０００８】
すなわち、セラミック基板上にグレーズ層となるペーストを塗布したあと、所定の温度で熱処理し、均一な厚みのグレーズ層を形成する。次に、凸状のグレーズ層となる部分にペースト状のレジスト膜を形成し、ケミカルエッチングを施し、グレーズ層上に凸部のグレーズ層を形成する。その後、レジスト膜を除去した後、所定の温度で熱処理することにより、凸状のグレーズ層の先端部分に丸みを持たせたグレーズド基板を得るものである。
【０００９】
このケミカルエッチング処理法は生産コスト面では良いものの、グレーズ層の凸状部の表面うねりや前記レジスト膜の寸法精度が悪いという問題があった。さらには、レジスト膜とグレーズ層との間にケミカルエッチング液が入り込むとグレーズ層の凸状部が凹凸になり、前記グレーズ層の凸状部の表面うねりがさらに悪くなるという問題があった。
【００１０】
そこで、前記ケミカルエッチング法の問題を解決する方法として、特許文献２に、サンドブラスト処理による製造方法が示されている。この方法は前記特許文献１のケミカルエッチングのかわりにレジスト膜によりマスキングされた部分を残して砥粒を吹き付け、所定深さ迄研削して凸状のグレーズ層を形成するものである。
【００１１】
この方法によれば、特許文献１で示されたケミカルエッチング法における前述したケミカルエッチング液がレジスト膜とグレーズ層との間に入り込むという問題がなく、熱処理後のグレーズ層の凸状部の表面のうねりを改善して、平滑性を向上することが可能となった。
【００１２】
一方、特許文献３、特許文献４では、グレーズ層をペースト印刷することによって、第一のグレーズ層上に凸状の第二グレーズ層を形成する製造方法が示されている。
【００１３】
この方法は、セラミック基板上に第一グレーズ層となるペーストを塗布、乾燥した後、所定の温度で熱処理し、均一な厚みの第一グレーズ層を形成する。次に、前記第一グレーズ層上に、該第一グレーズ層よりガラス軟化点の低い組成物の第二グレーズ層となるペーストを印刷し乾燥させる。その後、所定の温度で焼成することにより、先端が丸みを有した第二グレーズ層を形成するものである。この方法によれば、特許文献１，２に示す方法に比べ、製造工程が削減されるため、製造コストが低減できるという利点がある。
【特許文献１】特開平７−３２９３３２号公報
【特許文献２】特開平６−４００６４号公報
【特許文献３】特開２０００−２５２５９号公報
【特許文献４】特公平１−２４７５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
しかしながら、特許文献２のサンドブラスト処理による方法でも、サンドブラスト処理に用いる砥粒が前記凸状のグレーズ層を形成中に、前記凸状部のエッジ部に当り、わずかではあるがチッピングを発生し、この部分の表面うねりが悪くなるという問題が、なお残っていた。
【００１５】
さらには、サンドブラスト処理されたグレーズ層表面に多数の砥粒が部分的に埋没し、固着してしまうため、サーマルヘッド製造工程で電極パターンを作製中にパターンの欠落やショート等の原因となり、このようなグレーズド基板を用いて、ヘッド９を作製すると、印画がかすれる等の不具合を発生させる原因となっていた。
【００１６】
また、特許文献３に示すグレーズド基板では、第一グレーズ層より５０℃以上ガラス軟化点の低いグレーズを第二グレーズ層として用いることにより、第二グレーズ層のエッジ部の直線性を確保し表面うねりを向上するというものであるが、第二層グレーズ層を印刷する時のエッジ状態が悪くなり、特許文献１あるいは２におけるケミカルエッチング処理、サンドブラスト処理に比べ、第二グレーズ層頂部の平滑性が悪く、高密度、高画質、低消費電力が要求されるビデオプリンターとして用いるためのサーマルヘッド用には利用できなかった。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
したがって、本発明のグレーズド基板は、セラミック基板上に第一グレーズ層と、該第一グレーズ層上に凸状の第二グレーズ層を形成してなるグレーズド基板において、前記第一グレーズ層と第二グレーズ層のガラス軟化点が実質的に同一であり前記第二グレーズ層の厚みが３０〜１２０μｍ、前記第一グレーズ層の厚みが９０〜４５０μｍの範囲であることを特徴とする。
【００１８】
また、前記第一グレーズ層表面の算術平均粗さ（Ｒａ）が０．０２μｍ以下であることを特徴とする。
【００１９】
さらに、本発明のグレーズド基板は、セラミック基板上に第一グレーズ層を形成して熱処理した後に、前記第一グレーズ層上に、該第一グレーズ層とガラス軟化点が実質的に同一の第二グレーズ層を凸状に形成するとともに、前記第一、第二のグレーズ層のガラス軟化点より５０〜３５０℃高い温度で熱処理することを特徴とする。
【００２０】
さらに、前記第一グレーズ層の熱処理時の粘度をｌｏｇη１、前記第二グレーズ層形成後の熱処理時の粘度をｌｏｇη２としたとき、熱処理時の粘度の比が１＜（ｌｏｇη２／ｌｏｇη１）＜３であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
本発明のグレーズド基板は、第一のグレーズ層と第二のグレーズ層のガラス軟化点が実質的に同一であり前記第二のグレーズ層の厚みが３０〜１２０μｍ、前記第一のグレーズ層の厚みが９０〜４５０μｍの範囲とすることにより、第二のグレーズ層の表面を平滑性に優れたものにでき、サーマルヘッド用として用いられた時に、高画質な画像を形成することができる。更に第一のグレーズ層表面の算術平均粗さ（Ｒａ）が０．０２μｍ以下であることから、電極パターンを形成したときに、ショートや断線などの欠陥が発生しにくい。
【００２２】
そして、熱処理時に第一、第二のグレーズ層のガラス軟化点より５０〜３５０℃高い温度で熱処理することによって、前記の効果をより得ることができ、さらには熱処理時のグレーズの粘度比を１＜（ｌｏｇη２／ｌｏｇη１）＜３とすることによって、さらによりよく前記の効果を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
次に本発明を実施するための最良の形態を説明する。
【００２４】
図１は本発明のグレーズド基板を長さ方向に垂直に破断した部分斜視図である。
【００２５】
このグレーズド基板１は、セラミック基板２上に厚みが９０〜４５０μｍの第一グレーズ層３を形成し、その上に、厚みが３０〜１２０μｍの凸状の第二グレーズ層４を備えた構成としてある。
【００２６】
そして、第一グレーズ層３と第二グレーズ層４とは、ガラス軟化点が実質的に同一としてある。
【００２７】
すなわち、本発明のグレーズド基板１は、第二グレーズ層４の平滑性を得ることが高画質のためには重要であるが、その為には、第一グレーズ層３が平滑であることが必要である。第一グレーズ層３を平滑にするには、該第一グレーズ層３をグレーズド基板１上に形成するときに、十分な熱を加えることが必要であり、さらには、第一グレーズ層３を形成したうえに第二グレーズ層４を形成するときにも十分な熱が加わるようにすることが重要である。
【００２８】
したがって、第一グレーズ層３のガラス軟化点が、第二グレーズ層４のガラス軟化点より低いと、第二グレーズ層４に十分な熱を加えている間に第一グレーズ層３が結晶化して表面に凹凸が発生し、算術平均粗さ（Ｒａ）が悪くなったり、酷い時は、第一グレーズ層３が溶融したりするので、十分な平滑性が得られなくなるという問題が起こる。
【００２９】
逆に、第一グレーズ層３のガラス軟化点が第二グレーズ層４のガラス軟化点よりも高い時は、第二グレーズ層４の形成時に、十分な熱を第一グレーズ層３に加えることが出来ないために、第一グレーズ層３の平滑性が悪くなり、このことが、第二グレーズ層４の平滑性を悪くすることになるから、第一グレーズ層３と第二グレーズ層４のガラス軟化点は実質的に同一であることが好ましいのである。
【００３０】
そして、前記第一グレーズ層３と第二グレーズ層４のガラス軟化点が実質的に同一というのは、必ずしも一致することを示すことではなく、例えガラスの組成が同じであってもロットによって、１０℃程度のガラス軟化点の誤差は発生することから、前記１０℃の範囲も本発明の範囲に含まれるものである。
【００３１】
さらに、本発明は、第一グレーズ層３と第二グレーズ層４のガラス軟化点を実質的に同一にすることに加えて、第一グレーズ層３の厚みを９０〜４５０μｍとし、第二グレーズ層４の厚みを３０〜１２０μｍとすることが重要である。
【００３２】
すなわち、本発明のグレーズド基板１を用いて、例えば、サーマルヘッド用として用いるには、蓄熱性が高いことが重要で、この蓄熱性が低いと印画するときの熱エネルギーが不足して、印画の濃度が薄くなる問題が発生し、これを解決するために多くの消費電力を要するようになる。
【００３３】
そして、この蓄熱性を高めるには、前記第一グレーズ層３と第二グレーズ層４の厚みを出来る限り厚くすることが肝要ではあるが、第一グレーズ層３の厚みは９０〜４５０μｍであることがよく、第二グレーズ層４は３０〜１２０μｍであることがよい。
【００３４】
なぜならば、第一グレーズ層３の厚みが９０μｍ未満であると、前述のように蓄熱性が不足するという問題があり、４５０μｍを越えるとセラミック基板１と第一グレーズ層３との熱膨張差によるそりが発生し、このままサーマルヘッド用として用いると印画紙との接触の仕方がサーマルヘッドの部位によって異なり、印画に濃淡が発生するからである。  
従って第一グレーズ層３の厚みは９０〜４５０μｍの範囲が良く、より好ましくは１５０〜４５０μｍがよい。
【００３５】
次に第二グレーズ層４の厚みは３０μｍ未満になると高さが不足するために適正な曲率を出すことが困難になるという問題がある。また１２０μｍを越えると第二グレーズ層４の高さが高くなるために、第二グレーズ層４の長さ方向のエッジ部が凹凸状になりやすいという問題が起こり、このまま、これを熱処理すると、第二グレーズ層４の頂面の長さ方向での平滑性が悪くなるという問題が発生し、印画に濃淡が発生する。従って第二グレーズ層４の厚みは３０〜１２０μｍの範囲が良く、より好ましくは４０〜１００μｍが好適である。
【００３６】
さらに、第二グレーズ層４が形成される部位の表面を除く第一グレーズ層３表面の算術平均粗さ（Ｒａ）は０．０２μｍ以下がよく、０．０２μｍを越えるとサーマルヘッド製造工程で電極パターンを作製中にパターンの欠落やショート等の欠陥の原因となり、サーマルヘッドの性能上で印画のかすれ等の不具合を発生させる原因となる。従って、前記算術平均粗さ（Ｒａ）は０．０２μｍ以下が好ましく、より好ましくは０．０１μｍ以下である。
【００３７】
次に、図３に本発明のグレーズド基板を用いたサーマルヘッドの部分断面図を示す。（以下、図中同じ部位を示す場合は同符号で示す）
このサーマルヘッド９は図１のグレーズド基板１の第二グレーズ層４上に発熱抵抗体層５を形成し、この発熱抵抗体５の頂部で分離された電極層６，７、さらにその上に保護膜層８を薄膜形成して構成してある。
【００３８】
この製造過程で、第二グレーズ層４の表面にうねりがあると、印字媒体である印画紙と接触する保護膜層８の表面のうねりに直接影響し、そのまま印画の濃度へ影響するために、第二グレーズ層４の表面のうねりは、より小さい方が好ましい。また、図３に示す第二グレーズ層４の先端曲率半径Ｒは、サーマルヘッド９の用途により異なるが、印画の濃度ムラが発生しないようにするには先端曲率半径Ｒは２〜５ｍｍの範囲が良く、より好ましくは３．５〜４．５ｍｍである。
【００３９】
これは２ｍｍ未満であると接触面圧集中によるインクリボンにしわが発生し、印画の濃度にムラが発生するからで、また５ｍｍを超えるとサーマルヘッド９の凸部があたる部分の印画紙との接触面積が広くなるために印画の濃度にムラが発生しやすいためである。
【００４０】
次に、図２（a）〜（d）に本発明のグレーズド基板１の製造方法を詳細に説明する。
【００４１】
まず、図２（a）に示すように、スクリーン印刷などの一般的な印刷方法により、セラミック基板２上に第一グレーズ層３となるペースト１１を塗布し、乾燥した後、酸化雰囲気中、トンネル型連続熱処理炉で所定の温度（１１５０℃〜１５００℃）で熱処理し、（ｂ）に示すように非晶質化した第一グレーズ層３を形成する。次に（c）に示すように、第一グレーズ層３上に、第一グレーズ層３と実質的に同一のガラス軟化点を有するガラスを用いて、凸形状に第二グレーズ層４となるペースト１２を形成し、酸化雰囲気中で熱処理して第二グレーズ層４を形成する。このときの熱処理温度はガラス軟化点よりも５０℃〜３５０℃高い温度で熱処理する。
【００４２】
この熱処理をガラス軟化点との差が５０℃未満の温度で行うと、第二グレーズ層４に先端曲率半径Ｒを与えるのに必要な温度が不足するために、第二グレーズ層４の上部が曲面とならないという問題があり、また反対にガラス軟化点との差が３５０℃を越えると第二グレーズ層４の先端曲率半径Ｒが小さくなるか、酷い場合は、第一グレーズ層３に溶け込んで無くなる場合もある為、熱処理の温度は、第一グレーズ層３若しくは第二グレーズ層４のうち低い方のガラス軟化点よりも５０℃〜３５０℃高い温度であることが好ましく、より好ましくは５０℃〜１５０℃高い程度にすることがよい。
【００４３】
また、本発明者らは前記第一グレーズ層３の表面を平滑にして、該第一グレーズ層３上に第二グレーズ層４を形成し、この第二グレーズ層４の上部に前記先端曲率半径Ｒが３〜５ｍｍである曲面を設けるには、第一グレーズ層３を形成する際の熱処理時の温度における第一グレーズ層３のグレーズの粘度（ポアズ）をlogη１と表し、この第一グレーズ層３上に第二グレーズ層４を熱処理して形成するときの温度に対する粘度をlogη２とすると、これらlogη１とlogη２の比、（logη２／logη１）が１＜（logη２／logη１）＜３の範囲にあるときに、良好な第一グレーズ層３及び第二グレーズ層４を形成することが出来ることを知見したのである。
【００４４】
ここで、各々のグレーズの粘度を数式の範囲にするためには第１グレーズ層、第２グレーズ層の熱処理時の温度を調整すればよい。
【００４５】
特に、前記（logη２／logη１）の値が（logη２／logη１）≦１になると第二グレーズ層４が第一グレーズ層３に溶け込んで無くなるという問題が発生し、３≦（logη２／logη１）になると、第二グレーズ層４は頂部の平滑性を得ることができなくなるという問題がある。
【００４６】
このことから、前記熱処理する時の各々のグレーズの粘度比（logη２／logη１）は、１＜（logη２／logη１）＜３の範囲とすることが必要である。
【００４７】
なお、前記ガラスの粘度については、その測定方法の一例として、溶融ガラス中での
球体の運動を連結した天秤で測定する球引き上げ法があげられる。この球引き上げ法は、
ストークスの法則を利用して粘度を求める方法であり、球が溶融ガラス中で等速運動を
していると仮定した場合に、粘度ηはη＝Ｋａ（Ｗ―Ｗ０）Δｔ／Δｘで求められる。ここで、前記のＫａは容器係数、Ｗは分銅の重量、Ｗ０は天秤が釣り合っている時の分銅の重量、Δｔ／Δｘは加重Ｗの時の平均速度を表す。この他にも高温における溶液の粘性測定の方法としては回転式円筒法等が利用可能である。
【００４８】
尚、セラミック基板２を形成する材質としては特に限定するものではなく、アルミナ質焼結体、窒化アルミニウム質焼結体、窒化珪素質焼結体、炭化珪素質焼結体などのセラミック焼結体を用いることができ、これらは使用目的に応じて要求される機械的特性や熱的特性に見合ったものを用いれば良い。また、第一グレーズ層１３を形成するセラミック基板２の表面は、この上に形成する第一グレーズ層３、第二グレーズ層４の算術平均粗さに悪影響を与えないようにするため、前記セラミック基板２表面の算術平均粗さ（Ｒａ）を０．６μｍ以下とすることが好ましい。
【００４９】
一方、第一グレーズ層３を形成する材質としては、１１５０℃〜１５００℃の温度で熱処理を施しても結晶化することがなく、かつ熱処理後の第一グレーズ層３の算術平均粗さ（Ｒａ）を小さくできるものが良く、例えば、窒化珪素を主体とし、他にアルミニウム、カルシウム、バリウム等の金属酸化物を含むものを用いることができ、このようなグレーズに用いる代表的なガラス組成としては、ＳｉＯ２：４５〜６０質量％、ＢａＯ：５〜３０質量％、ＣａＯ：１０〜２０質量％、Ａｌ２Ｏ３：５〜１０質量％、Ｂ２Ｏ３：０〜１０質量％のガラスを挙げることができる。
【００５０】
そして、このようなガラスのガラス軟化点や粘度は、その成分の組成比を変えることによって変化させることができるので、予め各種の試料を作製して実験によって、適正なガラス軟化点やグレーズの粘度を測定しておくことによって、良好なグレーズド基板１を得ることが出来る。
【００５１】
なお、上記ガラス軟化点は熱重量示差熱分析装置によって測定することができ、例えば、０．５〜１０ｇ程度のグレーズ用ガラス粉末を用いて、昇温速度１０℃／ｍｉｎにおける前記グレーズ用ガラス粉末の重量変化と発熱・吸熱反応が起こる温度を測定する一般的な方法で求めることが出来る。
【００５２】
また、グレーズの粘度は、予め、球引き上げ式粘度計（例えば、オプト企業製、ＢＶＭ−１１Ｔなど）を用いて、各温度における粘度測定を行っておき、グレーズド基板１を製造するときの温度におけるlogηを求めておけばよい。
【００５３】
さらに、本発明のグレーズに用いるガラス組成は前記の組成に限定されるものではなく、
適宜、本発明の範囲内において、所望のガラス組成のものを適用することは可能である。
【実施例】
【００５４】
（実施例１）
つぎに、本発明の実施例１について説明する。
【００５５】
外辺寸法が２９０ｍｍ×７８ｍｍ、厚み１．０ｍｍのアルミナ含有率９６質量％のセラミック基板１上の全面に、ＳｉＯ２：４７質量％、ＢａＯ：２３質量％、ＣａＯ：１２質量％、Ａｌ２Ｏ３：６質量％、Ｂ２Ｏ３：５質量％を含有するグレーズ用ガラス（ガラス転移点６８５℃、ガラス軟化点８４５℃）を、熱処理後の第一グレーズ層３の厚みが、表１に示すような値となるようにペースト１１をスクリーン印刷し、乾燥後にトンネル型連続熱処理炉で最高温度１２００〜１３００℃、１０〜３０分間保持の温度条件で熱処理し、非晶質化した第一グレーズ層３を形成した。
【００５６】
次に、この第一グレーズ層３上に、前記第一グレーズ層３を形成したときに用いたのと同じグレーズ用ガラスを用いて、厚みが表１の値となり、幅１．３ｍｍ、長さ１００ｍｍとなるように第二グレーズ層４のペースト１２をスクリーン印刷し、最高温度８５０〜１１００℃、１０〜６０分間保持の温度条件で、トンネル型連続熱処理炉へのＩＮ−ＯＵＴ２時間の加熱処理を施し、第二グレーズ層４を形成し、グレーズド基板１を作製した。
【００５７】
また、同様にして、前記グレーズ用ガラスのＳｉＯ2の組成比率をかえたものを用いてガラス軟化点を若干変化させて試料Ｎｏ２３のグレーズド基板１を作製した。
【００５８】
また、これとは別に、従来と同じ手法の第一グレーズ層３と第二グレーズ層４のガラス軟化点に差を設けたグレーズド基板１を作製して、比較例１，２とした。
【００５９】
これらのグレーズド基板１を用いて、表１に示すように、試料Ｎｏ１〜２３及び比較例１，２の第一グレーズ層３及び第二グレーズ層４の厚みを測定した。
【００６０】
なお、この時、第一グレーズ層３と第二グレーズ層４の厚みは、スケールを有した顕微鏡で観察し、前記グレーズド基板１の長さ方向に垂直な方向、いわゆるグレーズド基板１の側面から、第一グレーズ層３、第二グレーズ層４の厚みを測定し、前記グレーズド基板１の長さ方向で３箇所測定して平均値を求めた。
【００６１】
また、試料Ｎｏに付記した＊印は本発明の範囲外を示すものである。
【００６２】
そして、これらのグレーズド基板１を用いて、サーマルヘッド９を作製し、サーマルヘッドプリンタに組み込み、印画のテストを行い、印画の濃淡の良し悪しを、良好である順に、優、良、可〜良、可、否として判定し、グレーズド基板としての総合評価を、特に優れるものを◎、良好なものを○、使用可を△、不可を×として表した。
【００６３】
結果を表１に示す。
【表１】
2005153237.tif 000003
【００６４】
表1の結果から、本発明の範囲内である試料Ｎｏ３〜６，８，１０〜１４，１７〜２１，２３については、従来例である比較例１，２に比べて、本来均一であるべき部分の印画の濃淡についてその差が少なく、より良好であり、グレーズド基板１としてもよい結果となった。
【００６５】
また、第一グレーズ層３、第二グレーズ層４の厚みを比較例１、２とそれぞれ同じにした試料Ｎｏ１１，１８は比較例１，２に比べて優れることがわかる。
【００６６】
さらに、本発明の範囲外である試料Ｎｏ１，２，７，９，１５，１６，２２については、いずれも本発明の範囲内のものに比べ劣る結果となっている。
【００６７】
（実施例２）
次に、表１の試料Ｎｏ５，１１，１８の条件で、表２の試料Ｎｏ２４〜４２に示す試料の第二グレーズ層４形成時の熱処理温度とガラス軟化点との温度差を変えて、各々の試料の第一グレーズ層３表面の算術平均粗さ（Ｒａ）と第二グレーズ層４の先端曲率半径Rを測定し、サーマルヘッド９を作製した後、サーマルヘッドプリンタに組み込んだときの印画の濃淡の良否とグレーズド基板１としての評価を実施例１と同様にして求めた。
【００６８】
この時、第一グレーズ層３表面の算術平均粗さ（Ｒａ）は、接触式算術平均粗さ計（小坂研究所（株）製ＳＥ−２３００型）を用いて２箇所測定して平均値を求めた。
【００６９】
また、第二グレーズ層４の先端曲率半径Ｒは一般的にサーマルヘッドの業界で用いられている方法を用いればよいが、例えば、接触式算術平均粗さ計（小坂研究所（株）製ＳＥ−２３００型）で第二グレーズ層４の表面を、短辺方向に前記接触式算術平均粗さ計の触針を移動させて測定し、測定条件は触針径５μｍ、９０°／４ｍＮダイヤモンド、カットオフモードはＲ＋Ｗ、測定スピード０．５ｍｍ／sec、測定倍率は縦２０００倍で横２００倍で行い、この測定結果をチャート図に表して、このチャート図から必要な数値を読み取り、先端曲率半径Ｒを求めた。
【００７０】
結果を表２に示す。
【表２】
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【００７１】
表２に示す結果から、本発明の範囲内である第二グレーズ層４形成時の熱処理温度とガラス軟化点との温度差を５０℃〜３５０℃とした試料Ｎｏ２５〜２８，３１〜３５，３８〜４１については第一グレーズ層３表面の算術平均粗さ（Ｒａ）及び第二グレーズ層４の先端曲率半径Ｒにおいても本発明の範囲内に含めることができ、その結果、サーマルヘッド９を作製して、サーマルヘッドプリンタに組み込んだときの印画の濃淡が良好であり、グレーズド基板１としての評価においても良好である結果となった。
【００７２】
とくに、同じ第一グレーズ層３及び第二グレーズ層４の厚みのものを比べた試料Ｎｏ２５〜２８の群，試料Ｎｏ３１〜３５の群，試料Ｎｏ３８〜４１の群のそれぞれの群において、いずれも第二グレーズ層４形成時の熱処理温度とガラス軟化点との温度差を５０℃〜１５０℃、第一グレーズ層３表面の算術平均粗さ（Ｒａ）が０．０２μｍ以下、第二グレーズ層４の先端曲率半径Ｒが３．５〜４．５ｍｍの範囲のものが特に優れている結果を得た。
【００７３】
（実施例３）
次に、第一グレーズ層３と第二グレーズ層４の厚みを表３のように設定し、予め、ガラス軟化点を測定して、第二グレーズ層４形成時の熱処理温度とガラス軟化点との温度差を表３のように設定して、熱処理温度における前述のlogη２／logη１の値を表３のように設定した試料Ｎｏ４３〜６５の第一グレーズ層３表面の算術平均粗さ（Ｒａ）を実施例２と同様にして測定し、さらに、第二グレーズ層４の頂部うねりを接触式算術平均粗さ計（小坂研究所（株）製ＳＥ−２３００型）で第二グレーズ層４の先端部１１を３０ｍｍ測定し、その時測定される波形を示すチャート図の最大振幅をうねりとして測定し、２箇所の平均値を測定した。測定条件は触針径５μｍ（型式Ｃ５、斧状）、カットオフモードｆｈ０．８ｍｍ、測定スピード０．５ｍｍ／sec、測定倍率は縦１００００倍で横は２倍で行った。
【００７４】
そして、前記うねりの平均値は、０．３μｍ以下を優、０．３μｍを超え、０．６μｍ未満を良、０．６μｍを越え、０．８μｍ未満を可、０．８μｍ以上を不可として評価した。
【００７５】
また、前記logη２／logη１の値を算出するもととなるガラスの粘度ηは予め球引き上げ法により求めた値であり、実際の測定は球引き上げ式粘度計（オプト企業（株）製  ＢＶＭ―１１Ｔ）により測定した値を用いている。
【００７６】
そして、これらのグレーズド基板１を用いて、サーマルヘッド９を作製し、サーマルヘッドプリンタに組み込み、印画のテストを行い、印画の濃淡の良し悪しを、良好である順に、優、良、可とし、劣るものを否として判定した。
【００７７】
さらに、グレーズド基板１としての総合評価を、特に優れるものを◎、良好なものを○、使用可のものを△、不可を×として表した。
【００７８】
結果を表３に示す。
【表３】
2005153237.tif 000005
【００７９】
表３の結果から、第二グレーズ層４形成時の熱処理温度とガラス軟化点との温度差を５０℃〜３５０℃とした試料Ｎｏ．４３〜４６，４８〜５５，５７〜６２，６４，６５は、これらをサーマルヘッド９に組み込んで駆動させた時の画質（濃淡）はいずれも使用可以上であり、特に、logη２／logη１の値が１＜（logη２／logη１）＜３の範囲にある試料Ｎｏ．４８〜５５，５７〜５９においては、良以上の評価となり、より好適であることがわかる。
【００８０】
また、第二グレーズ層４形成時の熱処理温度とガラス軟化点との温度差を５０℃〜３５０℃の範囲外とした試料Ｎｏ．４７，５６，６３の本発明の範囲外のものはlogη２／logη１の値に関わらず使用不可であった。
【００８１】
そして、第一グレーズ層３表面の算術平均粗さ（Ｒａ）、第二グレーズ層４の頂部うねり
値、サーマルヘッド９に組み込んで駆動させた時の画質（濃淡）の評価をもとに判断したグレーズド基板１としての総合評価もサーマルヘッド９に組み込んで駆動させた時の画質（濃淡）の評価と同様の結果となった。
【００８２】
また、第一及び第二グレーズ層の厚みをともに好適に満足し、加えて、第二グレーズ層形成時の熱処理温度とガラス軟化点との温度差を５０〜１５０℃の好適の範囲とし、さらに、１＜（logη２／logη１）＜３とした試料Ｎｏ．５０，５３，５７，５８については特に、優れた結果を得ることが判る。
【産業上の利用可能性】
【００８３】
本発明のサーマルヘッド用グレーズド基板は、特に印字の高密度化、高画質化、高速化、低消費電力化に優れ、ワードプロセッサー、ファクシミリ、多機能でフルカラー印画可能なプリンター等のさまざまな画像出力が要求される画像出力装置に搭載が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００８４】
【図１】本発明のグレーズド基板の断面を示す斜視図である。
【図２】本発明のグレーズド基板の工程図である。
【図３】本発明のグレーズド基板を用いたサーマルヘッドの一例を示す部分断面図である。
【図４】従来のグレーズド基板を用いたサーマルヘッドの一例を示す部分断面図である。
【符号の説明】
【００８５】
１                  グレーズド基板
２，５２            セラミック基板
３，５３            第一グレーズ層
４，５４            第二グレーズ層
５，５５            発熱抵抗体
６，７，５６，５７  電極層
８，５８            保護膜
９，５９            サーマルヘッド
１１，１２          ペースト
【図１】
2005153237.tif 000006
【図２】
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【図３】
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【図４】
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