(57)【要約】【課題】  定盤の上下動並びに定盤及びワークの熱変形を抑制させ、加工精度を向上させることを可能とさせるラップ盤を提供する。【解決手段】  ラップ盤１１は、基台１３に回転可能に支持されたテーブル１５と、テーブル１５に垂直方向の支持を与えるための静圧軸受とを備え、テーブル１５上に下定盤１７が固定される。静圧軸受に圧力流体を供給するための圧力流体供給流路５３がテーブル１５内に設けられ、下定盤１７を冷却するための定盤冷却流路７５が下定盤１７又はテーブル１５内に設けられる。さらに、圧力流体供給流路７５は、減圧手段８７を介して定盤冷却流路７５と連通し、圧力流体供給流路５３を流れる大気圧よりも高い圧力の圧力流体を概ね大気圧に等しい圧力に減圧して定盤冷却流路７５に供給する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台に回転可能に支持されたテーブルを備え、該テーブル上に固定された定盤とワークとの間に砥粒を介在させ、回転する定盤にワークを押し付けてワークのラップ加工を行うラップ盤であって、
テーブルに垂直方向の支持を与えるための静圧軸受をさらに備え、該静圧軸受に圧力流体を供給するための圧力流体供給流路を前記テーブル内に設けると共に、前記定盤を冷却するための定盤冷却流路を前記定盤又は前記テーブル内に設け、前記圧力流体供給流路が、減圧手段を介して前記定盤冷却流路と連通し、前記圧力流体供給流路を流れる大気圧よりも高い圧力の圧力流体を概ね大気圧に等しい圧力に減圧して前記定盤冷却流路に供給するようにしたことを特徴とするラップ盤。
【請求項２】
前記定盤冷却流路は半径方向に往復動しつつ円周方向にジグザグ状に延びており、前記定盤又は前記テーブルの中心部において前記圧力流体供給流路から圧力流体の供給を受け前記定盤又は前記テーブルの中心部から外部に圧力流体を排出する、請求項１に記載のラップ盤。
【請求項３】
前記テーブルは前記基台に設けられた軸収容穴内に収容される回転軸部を含み、該回転軸部の内部には前記圧力供給流路が延びていると共に該回転軸部の外周には回転軸線周りに等間隔で複数の凹状ポケットが形成されており、前記圧力流体供給流路から前記凹状ポケットに圧力流体が供給され、前記回転軸部の外周面と前記軸収容穴の内周面との間に静圧軸受を形成している、請求項１に記載のラップ盤。
【請求項４】
前記テーブルは上面に定盤が取り付けられる略円盤状の本体部を含み、該本体部の底面の下方には前記基台の支持面が対面配置されていると共に前記本体部の内部には前記圧力流体供給流路が延びており、前記本体部の底面と前記基台の支持面との隙間に前記圧力流体供給流路から圧力流体が供給され、静圧軸受を形成している、請求項１から請求項３の何れか一項に記載のラップ盤。
【請求項５】
前記テーブルは環状フランジ部を備え、前記基台には前記環状フランジ部を収容する環状溝が設けられており、前記環状フランジ部の上面と前記環状溝の上側表面との隙間並びに前記環状フランジ部の下面と前記環状溝の下側表面との隙間に前記圧力流体供給流路から圧力流体が供給され、静圧軸受を形成している、請求項１から請求項３の何れか一項に記載のラップ盤。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転する定盤とシリコンウエハ等のワークとの間に砥粒を介在させ定盤にワークを押し付けてワークのラップ加工を行うラップ盤に関する。
【背景技術】
【０００２】
ラップ盤は、回転するテーブル上に固定された定盤とワークとの間に砥粒を介在させた状態で、ワークを定盤に押し付けながらワークを揺動させることにより、ワークの表面のラップ加工を行う。砥粒は、砥粒を含んだ加工液を定盤上に供給することにより又は定盤上に砥粒を有する砥石を固定することにより、ワークと定盤との間に介在させる。
【０００３】
このようなラップ盤において、テーブルは、一般に、ローラベアリングやボールベアリングなどの転がり軸受により基台に回転可能に支持される（特許文献１を参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−２９１１５６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ワークは定盤上において偏心位置に押し付けられることが一般的であり、定盤には偏荷重が作用することになる。ところが、特許文献１に記載されているようなラップ盤では、転がり軸受によって基台に回転可能に支持される回転軸部上にテーブル本体部を支持する形態であるので、定盤が固定されるテーブル本体部は中心部を除いて上下方向の支持がなく、テーブル本体部はワークを定盤に押し付ける力による偏荷重で傾きを生じやすい。さらに、ワークの揺動に伴う荷重位置の半径方向の移動によって、定盤に作用する回転モーメントが変化して、定盤の回転の際に上下動を伴わせ得る。この定盤の上下動は、ワークへ付与される圧力の変化につながり、ワークに亀裂を生じさせる等の問題を生じさせる恐れがある。
【０００６】
また、ラップ盤では、ワークを定盤に押し付けながら定盤を回転させ砥粒とワークとの摩擦によりワーク表面を研磨するので、ワークと定盤との間には摩擦熱が発生する。このとき、定盤の周速が外周側ほど大きくなることから、摩擦熱も定盤外側において大きくなり、熱変形により定盤に反りを生じさせ得る。このような定盤の反りはワーク表面の加工精度に大きな影響を与える。さらに、摩擦熱によりワークが高温になりワークの熱変形を生じさせる問題も生じ得る。
【０００７】
よって、本発明の目的は、上記従来技術に存する問題を解消して、定盤の上下動並びに定盤及びワークの熱変形を抑制させ、加工精度を向上させることを可能とさせるラップ盤を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記目的に鑑み、基台に回転可能に支持されたテーブルを備え、該テーブル上に固定された定盤とワークとの間に砥粒を介在させ、回転する定盤にワークを押し付けてワークのラップ加工を行うラップ盤であって、テーブルに垂直方向の支持を与えるための静圧軸受をさらに備え、該静圧軸受に圧力流体を供給するための圧力流体供給流路を前記テーブル内に設けると共に、前記定盤を冷却するための定盤冷却流路を前記定盤又は前記テーブル内に設け、前記圧力流体供給流路が、減圧手段を介して前記定盤冷却流路と連通し、前記圧力流体供給流路を流れる大気圧よりも高い圧力の圧力流体を概ね大気圧に等しい圧力に減圧して前記定盤冷却流路に供給するようにしたラップ盤を提供する。
【０００９】
テーブルに垂直方向の支持を与える静圧軸受を設けることにより、テーブルは上下動を抑制される。また、静圧軸受には高圧流体が供給されるので静圧軸受は強いバネとして機能し、定盤に生じた上下動を迅速に減衰させ、振動を抑制する作用を奏する。一方、定盤内又はテーブル内に定盤冷却流路を設けることによって、定盤を冷却させると共に、定盤における温度分布を均一化させ、定盤の反り防止及びワークからの除熱が可能となり、その結果、ワーク加工精度を向上させることができる。さらに、静圧軸受に圧力流体を供給する圧力流体供給流路を回転部であるテーブル内に設け、さらに圧力流体供給流路の圧力流体を定盤冷却流路へ供給することにより、流路構造が簡単化される。また、圧力流体供給流路と定盤冷却流路との間に減圧手段を介在させることにより、圧力流体供給流路から静圧軸受及び定盤冷却流路の両方に圧力流体を供給しながらも定盤冷却流路内に略大気圧の圧力流体を供給することが可能となる。この結果、定盤冷却流路が内部を流れる流体によって膨張し定盤に変形を生じさせることを回避させることができる。
【００１０】
上記ラップ盤において、好ましくは、前記定盤冷却流路は半径方向に往復動しつつ円周方向にジグザグ状に延びており、前記定盤又は前記テーブルの中心部において前記圧力流体供給流路から圧力流体の供給を受け前記定盤又は前記テーブルの中心部から外部に圧力流体を排出する。
【００１１】
上記ラップ盤において、好ましくは、前記テーブルは、前記基台に設けられた軸収容穴内に収容される回転軸部を含み、該回転軸部の内部には前記圧力供給流路が延びていると共に該回転軸部の外周には回転軸線周りに等間隔で複数の凹状ポケットが形成されており、前記圧力流体供給流路から前記凹状ポケットに圧力流体が供給され、前記回転軸部の外周面と前記軸収容穴の内周面との間に静圧軸受を形成している。
【００１２】
上記ラップ盤の好ましい実施形態では、前記テーブルは上面に定盤が取り付けられる略円盤状の本体部を含み、該本体部の底面の下方には前記基台の支持面が対面配置されていると共に前記本体部の内部には前記圧力流体供給流路が延びており、前記本体部の底面と前記基台の支持面との隙間に前記圧力流体供給流路から圧力流体が供給され、静圧軸受を形成している。
【００１３】
上記ラップ盤の他の好ましい実施形態では、前記テーブルが環状フランジ部を備え、前記基台には前記環状フランジ部を収容する環状溝が設けられており、前記環状フランジ部の上面と前記環状溝の上側表面との隙間並びに前記環状フランジ部の下面と前記環状溝の下側表面との隙間に前記圧力流体供給流路から圧力流体が供給され、静圧軸受を形成している。
【発明の効果】
【００１４】
本発明のラップ盤では、静圧軸受を用いて定盤に対して垂直方向の支持を与え且つ定盤の上下動を減衰させると共に、定盤冷却流路を設けることによりワーク加工の際に生じる熱を除去して、定盤の反りの防止及びワークの変形の防止を可能とさせ、ワーク加工精度の向上を可能とさせる。
【００１５】
同時に、静圧軸受及び定盤冷却流路への圧力流体の供給に圧力流体供給流路を共用することにより、流路構造の簡単化を図っており、流路構造が複雑化することもない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面を参照して、本発明のラップ盤の好ましい実施形態を説明する。
【００１７】
図１は本発明のラップ盤の下定盤及びその回転支持機構の断面図、図２は図１のラップ盤のテーブルの環状フランジ部の拡大図、図３はテーブルの本体部を上方から見た図、図４は定盤冷却流路を示す平面図、図５は減圧手段である固定絞りの側面図、図６は本発明のラップ盤の全体構成を示す斜視図である。
【００１８】
最初に、図６を参照して、本発明のラップ盤１１の全体構成を説明する。ラップ盤１１は、床面に設置される基台１３と、基台１３に回転可能に支持されているテーブル１５と、テーブル１５の上面に固定されている下定盤１７と、下定盤１７の上方に対向して配置されている上定盤１９と、テーブル１５を回転させるためのモータ２１と、上定盤１９を下定盤１７に押し付け下定盤１７に対して揺動させるための送り機構２３と、ラップ盤１１の動作を制御するための操作盤２５とを備える。送り機構２３として、ボールネジ機構及びモータを用いたものが図示されているが、ボールネジ機構及びモータの組合せやシリンダ装置などによって構成される公知の適した機構も採用され得る。
【００１９】
シリコンウエハ等のワークＷは上定盤１９の下面に接着された状態で下定盤１７の表面に押し付けられ、下定盤１７とワークＷとの間に砥粒を介在させた状態で、回転する下定盤１７に対して上定盤１９を揺動させることにより、ワークＷの加工面がラッピング加工される。砥粒は、砥粒を含んだ加工液を下定盤１７の表面に供給することにより下定盤１７とワークＷとの間に介在させることが一般的である。また、下定盤１７の表面に砥粒を有した砥石を取り付け、砥石上に上定盤１９に取り付けられたワークＷを押し付けることにより、下定盤１７とワークＷとの間に砥粒を介在させてもよい。
【００２０】
次に、図１を参照して、下定盤の回転支持機構について詳述する。
【００２１】
テーブル１５は、下定盤１７を取り付けるための略円盤状の本体部２７と、本体部２７の中心部から下方に延びる回転軸部２９とを含む。本体部２７は、基台１３の支持面３１が回転軸部２９の領域を除く本体部２７の下面の下方に微小間隔を隔てて対面配置されるように、基台に形成された略円筒状凹部３５内に回転可能に収容されている。また、本体部２７の下側部分の外周には半径方向外側に突出する環状フランジ部３３が形成されており、環状フランジ部３３は基台１３の略円筒状凹部３５の外周面に形成された環状溝３７内に収容されるようになっている。なお、基台１３の支持面３１と環状溝３７の下側表面とは概ね同一平面上に延びている。
【００２２】
一方、回転軸部２９は基台１３の一部をなすスリーブ部３９に形成された軸収容穴４１内に回転可能に収容されており、その先端部はスリーブ部３９の軸収容穴４１から下方に突出している。回転軸部２９の先端部には、プーリ４３がキー（図示せず）などによって固定されており、モータ２１の回転シャフト（図示せず）に固定されたプーリ４５との間にベルト４９を張設し、モータ２１の駆動によりテーブル１５を回転させるようになっている。また、回転軸部２９の上側部分及び下側部分の外周面には回転軸線Ｏ周りに等間隔で独立した複数の凹状ポケット４９が形成されており、凹状ポケット４９が形成されている上側部分と下側部分との間には環状溝５１が形成されている。
【００２３】
テーブル１５の回転軸部２９の中心には回転軸部２９の先端から本体部２７まで回転軸線Ｏに沿って延びる圧力流体供給流路５３が形成されている。圧力流体供給流路５３はロータリジョイント（図示せず）を介して圧力流体供給源（図示せず）に接続されており、圧力流体供給源から圧力流体の供給を受けるようになっている。なお、圧力流体供給源から供給される圧力流体の圧力は１Ｍｐａ程度であることが好ましい。
【００２４】
また、圧力流体供給流路５３は半径方向に延びる半径方向連通路５５を通して回転軸部２９の外周面の上側部分及び下側部分にそれぞれ形成された各ポケット４９とそれぞれ連通しており、上側部分及び下側部分の各ポケット４９に圧力流体を供給している。このようにして各ポケット４９に供給された圧力流体により、テーブル１５の回転軸部２９の外周面と軸収容穴４１の内周面との間に静圧軸受が形成され、テーブル１５の回転軸部２９が軸収容穴４１の内周面に対して回転可能になると同時に、回転軸部２９が周方向から中心に向かって均等に圧力を受けて常時軸収容穴４１の中心に位置合わせされるようになる。なお、環状溝５１を挟んで回転軸部２９の上側部分及び下側部分にポケット４９（すなわち軸受部）を設けることで、てこの原理により、テーブル１５を傾ける方向の回転モーメントに抗する機能を高めさせ、テーブル１５の偏心位置に外力を作用させたときに生じるテーブル１５の傾きを抑制する効果を奏する。
【００２５】
本体部２７の外周に形成された環状フランジ部３３の上面及び下面には、図２及び図３に示されているように、周方向に延び回転軸線Ｏ周りに等間隔で配置された独立した複数の細長い凹状ポケット５７が上下対称的に形成されている。各ポケット５７は、本体部２７内を半径方向に延びる分岐流路５９を介して圧力流体供給流路５３と連通しており、圧力流体供給流路５３から分岐流路５９を通して圧力流体の供給を受け、各ポケット５７と基台１３の環状溝３７の内壁（詳細には、下側表面及び上側表面）との間に静圧軸受を形成するようになっている。なお、特に図２からよく分かるように、分岐流路５９から各ポケット５７に供給される圧力流体の圧力調整のために、分岐流路５９から各ポケット５７への流路の出口付近に圧力調整手段６３として固定絞りを設けることが好ましい。
【００２６】
さらに、基台１３には排出ポート６１が設けられている。そして、基台１３の支持面３１に形成された流体排出溝６５から延びる第１の流体排出流路６７と、基台１５に形成され基台１５の環状溝３７の内周面から延びる第２の流体排出流路６９とが排出ポート６１に接続されていると共に、本体部２７の外周面と基台１３の略円筒状凹部３５の外周面との間の空間と本体部２７の下面と基台１３の支持面３１との間の空間を連通させる第３の流体排出流路７１が本体部２７の内部に形成され、静圧軸受に供給された圧力流体を基台１３と本体部２７との間の空間から外部に排出できるようになっている。しかしながら、静圧軸受に供給された圧力流体を基台１３と本体部２７との間の空間から外部に排出できるのであれば、他の圧力流体排出構成をとることも可能であることはいうまでもない。
【００２７】
このように形成された静圧軸受は、基台１３に対してテーブル１５を回転可能に支持すると共に、基台１３の環状溝３７の上側表面及び下側表面とテーブル１５の環状フランジ部３３の上面及び下面との間で強いバネとして機能してテーブル１５に対する垂直方向支持（すなわち上下方向支持）を提供する。これにより、テーブル１５に上下方向の外力を付与されたときでもテーブル１５の上下動を抑制すると共にテーブル１５に生じた振動を迅速に減衰させる効果を奏する。また、各ポケット５７は環状フランジ部３３の上面及び下面に上下対称的に形成されており、環状フランジ部３３には常時上下方向に等しい力が作用することから、圧力流体供給流路５３内を流れる圧力流体の圧力に脈動が生じてもテーブル１５の本体部２７が上下動を生じにくくなる効果を有する。
【００２８】
テーブル１５の本体部２７の上面には、さらに、冷却流路形成部材７３がネジなどにより本体部２７に一体的に固定されている。冷却流路形成部材７３の上面には、図４に示されているように、半径方向に往復動しつつ円周方向にジグザグ状に延びる溝が形成されており、冷却流路形成部材７３の上に蓋部材７７をネジ等で取り付けることによって定盤冷却流路７５が形成される。定盤冷却流路７５の始点８１及び終点８３は共に冷却流路形成部材７３の中心部に位置するようになっている。また、冷却流路形成部材７３の上面におけるジグザグ状に延びる溝の外側及び内側にはそれぞれ漏れを防止するためのＯリング７９が設置される。なお、冷却流路形成部材７３及び蓋部材７７は、定盤冷却流路７５を形成するために使用され、テーブル１５の本体部２７の一部を構成するものであり、本体部２７と一体的に成形されてもよい。
【００２９】
定盤冷却流路７５の始点８１はテーブル１５の本体部２７に形成された分岐流路５９と連通路８５を介して接続されており、圧力流体供給流路５３の圧力流体を冷却流体として供給されるようになっている。このように、静圧軸受へ圧力流体を供給するための圧力流体供給流路５３を定盤冷却流路７５への冷却流体の供給にも用いることで、テーブル１５内の流路構造を簡略化させている。
【００３０】
なお、連通路８５には減圧手段８７として図５に示されているような固定絞りが設けられており、圧力流体供給流路５３から供給される高圧の圧力流体をほぼ大気圧まで減圧させた後に冷却流体として定盤冷却流路７５に供給するようになっている。このように連通路８５に減圧手段８７を設けることにより、定盤冷却流路７５に高圧の冷却流体が供給されることが回避され、定盤冷却流路７５内には大気圧にほぼ等しい圧力の冷却流体が流通するようになる。したがって、冷却流体の供給に圧力流体供給流路５３を利用しながらも、定盤冷却流路７５が高圧になって冷却流路形成部材７３及び蓋部材７７を変形させることを回避させることが可能となり、定盤冷却流路７５による下定盤１７の変形が防止される。また、減圧手段８７は、定盤冷却流路７５に冷却流体として供給される圧力流体の流量を制限して静圧軸受に供給される圧力流体の圧力低下を防止する機能も果たしている。
【００３１】
一方、定盤冷却流路７５の終点８３はテーブル１５の本体部２７に形成された冷却流体排出流路８９に接続されており、定盤冷却流路７５の終点８３に到達した冷却流体は冷却流体排出流路８９を経てテーブル１５の本体部２７の下方に排出され、基台１３のスリーブ部３９に形成された流体排出流路９１を通して外部に排出されるようになっている。また、流体排出流路９１は、その途中でテーブル１５の回転軸部２９の環状溝５１と軸収容穴４１の内周面とによって規定された回収空間に連通しており、圧力流体供給流路５３から回転軸部２９の上側部分及び下側部分の各ポケット４９に供給された圧力流体を回収空間を経て回収できるようになっている。
【００３２】
なお、図１では、説明の簡明化のために、定盤冷却流路７５の始点８１及びそれに関連する連通路８５と終点８３及びそれに関連する冷却流体排出流路８９とが回転軸線Ｏを挟んで逆側に配置されているように示されているが、実際には図４に示されているように隣接して配置されていることに留意されたい。
【００３３】
このようにして形成されたテーブル１５の本体部２７の上面、すなわち蓋部材７７の上面には、錫製の下定盤１７が取り付けられ、下定盤１７がテーブル１５によって上定盤１９に対して回転させられるようになっている。
【００３４】
次に、上記ラップ盤１１における流体の流れについて説明する。圧力流体供給源からロータリジョイントを介して圧力流体供給流路５３に供給された圧力流体は、テーブル１５の回転軸部２９を通るときに、半径方向連通路５５を通してポケット４９に供給され、回転軸部２９の外周面と基台１３の軸収容穴４１の内周面との間に静圧軸受を形成し、軸収容穴４１に対して回転軸部２９を回転可能にさせると同時に、回転軸部２９を軸収容穴４１の中心に維持させる。圧力流体はさらに圧力流体供給流路５３を通り分岐流路５９を経てテーブル１５の環状フランジ部３３の各ポケット５７に供給され、環状フランジ部３３の上面及び下面と基台１３の環状溝３７の上側表面及び下側表面との間にそれぞれ静圧軸受を形成する。この静圧軸受は環状フランジ部３３の上下に対称的に形成され、テーブル１５を基台１３に対して回転可能に支持すると同時にテーブル１５を垂直方向（上下方向）の所定の位置に維持させる機能を果たす。このとき、静圧軸受に供給された圧力流体は、基台１３に形成された流体排出溝６５、第１の流体排出流路及び第２の流体排出流路６９並びにテーブル１５の本体部２７に形成された第３の流体排出流路７１を通して排出ポート６１から排出される。
【００３５】
圧力流体供給流路５３の圧力流体はさらに分岐流路５９から連通路８５及び減圧手段８７を経てほぼ大気圧に等しい圧力に減圧された後、定盤冷却流路７５に冷却流体として供給される。冷却流体は中心部付近に位置する定盤冷却流路７５の始点８１に供給され、定盤冷却流路７５に沿って半径方向に往復動しながら周方向にジグザグ状に流通していき同じく中心部付近に位置する終点８３に至る。このようにジグザグ状の冷却流路形状は、螺旋状に延びる冷却流路と比較して、定盤の半径方向の温度分布を均一化させる利点を有している。
【００３６】
定盤冷却流路７５から排出された冷却流体は、冷却流体排出流路８９及びスリーブ部３９の流体排出流路９１を経て外部に排出される。
【００３７】
このように静圧軸受及び定盤冷却流路７５への流体供給に圧力流体供給流路５３を共用することにより、流路構造を簡単化させながら、下定盤１７の上下動を防止し且つ下定盤１７及びワークＷの熱変形を抑制することを可能とさせている。
【００３８】
以上、図示されている実施形態に基づいて、本発明のラップ盤１１を説明したが、本発明のラップ盤１１は図示される実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、冷却流路形成部材７３及び蓋部材７７は、テーブル１５の本体部２７の一部を構成するとして説明したが、下定盤１７の一部を構成してもよく、さらに下定盤１７と一体的に形成されてもよい。
【００３９】
また、上記実施形態では、テーブル１５の本体部２７の環状フランジ部３３の上面及び下面と基台１３の環状溝３７の上側表面及び下側表面との間に上下対称的に静圧軸受を形成するものとして説明したが、静圧軸受は必ずしも上下対称的に形成される必要はない。例えば、テーブル１５の本体部２７の下面とこれと対面配置される基台１３の支持面３１との間にのみ静圧軸受を形成するようにすることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明のラップ盤の下定盤及びその回転支持機構の断面図である。
【図２】図１のラップ盤のテーブルの環状フランジ部の拡大図である。
【図３】テーブルの本体部を上方から見た図である。
【図４】定盤冷却流路を示す平面図である。
【図５】減圧手段である固定絞りの側面図である。
【図６】本発明のラップ盤の全体構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００４１】
１１…ラップ盤
１３…基台
１５…テーブル
１７…下定盤
２７…本体部
２９…回転軸部
３１…支持面
３３…環状フランジ部
３７…環状溝
４１…軸収容穴
４９…ポケット
５３…圧力流体供給流路
７５…定盤冷却流路
８７…減圧手段
【図１】
2005212069.tif 000003
【図２】
2005212069.tif 000004
【図３】
2005212069.tif 000005
【図４】
2005212069.tif 000006
【図５】
2005212069.tif 000007
【図６】
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