(57)【要約】  【課題】  レンズ素子が複数列で形成されたレンズアレイに対しても、レンズ素子の平行ずれや角度ずれといった配列状態を、ずれ方向に拘わらず短時間で精度良く評価する。  【解決手段】  レンズ素子の配列方向に沿って相対的に移動するＳＬＡ１０の第１のレンズ面１０ａに向けて第１の光源１１から平行光を出射し、これを複数の受光チップが直線状に配列されて構成されるとともに、ＳＬＡ１０の第２のレンズ面１０ｂ側であって第１の光源１１と対向する位置に、レンズ素子の配列方向に対して傾けて配置される第１の受光素子１２によって受光して第２のレンズ面１０ｂ側から出射される光の光量分布を計測する。また、同様にして、第２の受光素子１４によって第１のレンズ面１０ａ側から出射される光の光量分布を計測する。そして、第１の受光素子１２と第２の受光素子１４とから光量分布データを受けて、データ演算部１５によってレンズ素子の配列状態を算出する。  【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
多数のレンズ素子が規則的に配列されたレンズアレイにおける当該レンズ素子の配列状態を評価するレンズアレイ配列評価装置であって、
前記レンズ素子の配列方向に沿って相対的に移動する前記レンズアレイの一方のレンズ面に向けて平行光を出射する光源と、
複数の受光チップが直線状に配列されて構成されるとともに、前記レンズアレイの他方のレンズ面側であって前記光源と対向する位置に、前記レンズ素子の配列方向に対して傾けて配置される受光素子と、
前記レンズアレイの双方のレンズ面に関する前記受光素子からの光量分布データに基づき、前記レンズ素子の配列状態を算出する演算処理部と
を備えたことを特徴とするレンズアレイ配列評価装置。
【請求項２】
前記演算処理部は、前記レンズアレイの双方のレンズ面に関する前記受光素子からの信号を記憶する記憶部を備えたことを特徴とする請求項１記載のレンズアレイ配列評価装置。
【請求項３】
前記光源と前記受光素子とは、それぞれが前記レンズアレイの双方のレンズ面側に少なくとも１つずつ配置されることを特徴とする請求項１記載のレンズアレイ配列評価装置。
【請求項４】
前記光源は、前記受光素子の有効受光範囲を含む領域に平行光を出射することを特徴とする請求項１記載のレンズアレイ配列評価装置。
【請求項５】
前記光源は、前記受光素子の有効受光範囲と当該有効受光範囲の周囲の前記レンズアレイのレンズ径と同一の幅を有する円環状領域とを含む領域に平行光を出射することを特徴とする請求項４記載のレンズアレイ配列評価装置。
【請求項６】
多数のレンズ素子が規則的に配列されたレンズアレイにおける当該レンズ素子の配列状態を評価するレンズアレイ配列評価装置であって、
前記レンズ素子の配列方向に沿って相対的に移動する前記レンズアレイの第１のレンズ面に向けて平行光を出射する第１の光源と、
複数の受光チップが直線状に配列されて構成されるとともに、前記レンズアレイの第２のレンズ面側であって前記第１の光源と対向する位置に、前記レンズ素子の配列方向に対して傾けて配置される第１の受光素子と、
前記レンズ素子の配列方向に沿って相対的に移動する前記レンズアレイの第２のレンズ面に向けて平行光を出射する第２の光源と、
複数の受光チップが直線状に配列されて構成されるとともに、前記レンズアレイの第１のレンズ面側であって前記第２の光源と対向する位置に、前記レンズ素子の配列方向に対して傾けて配置される第２の受光素子と、
前記第１の受光素子と前記第２の受光素子とから光量分布データを受けて、前記レンズ素子の配列状態を算出する演算処理部と
を備えたことを特徴とするレンズアレイ配列評価装置。
【請求項７】
前記第１の光源と前記第２の光源とは、それぞれ前記第１の受光素子と前記第２の受光素子の有効受光範囲を含む領域に平行光を出射することを特徴とする請求項６記載のレンズアレイ配列評価装置。
【請求項８】
前記第１の受光素子と前記第２の受光素子とは、ラインＣＣＤで構成されたことを特徴とする請求項６記載のレンズアレイ配列評価装置。
【請求項９】
多数のレンズ素子が規則的に配列されたレンズアレイにおける当該レンズ素子の配列状態を評価するレンズアレイ配列評価方法であって、
前記レンズ素子の配列方向に沿って相対的に移動する前記レンズアレイの一方のレンズ面に向けて出射された平行光が前記レンズ素子を通過して他方のレンズ面から出射された際の光量分布を、当該レンズ素子の配列方向に対して傾けて配置された受光素子によって、当該レンズアレイの双方のレンズ面について計測する光量分布計測ステップと、
前記光量分布計測ステップによって計測された光量分布データに基づいて、前記レンズアレイの双方のレンズ面毎に当該光量のピーク位置を算出するピーク位置算出ステップと、
前記ピーク位置算出ステップによって算出された前記レンズアレイの双方のレンズ面毎の光量のピーク位置に基づいて、前記レンズ素子の配列状態を算出する配列状態算出ステップと
を含むことを特徴とするレンズアレイ配列評価方法。
【請求項１０】
前記ピーク位置算出ステップは、前記受光素子の傾きを補正する光量分布データの並べ替えステップを含むことを特徴とする請求項９記載のレンズアレイ配列評価方法。
【請求項１１】
前記配列状態算出ステップは、前記レンズ素子の平行ずれおよび／または角度ずれを算出することを特徴とする請求項９記載のレンズアレイ配列評価方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レンズアレイにおけるレンズ素子の配列状態を評価するレンズアレイ配列評価装置等に関し、より詳しくはレンズ素子の平行ずれと角度ずれとを区別して評価するレンズアレイ配列評価装置等に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、例えば電子写真方式を用いた画像形成装置の画像露光部や、画像読取装置の画像読取部においては、光学系を小型に構成できることから、結像素子としてレンズアレイが採用される場合も多い。このレンズアレイは、多数の微小なロッド状のレンズ素子（屈折率分布型ロッドレンズ）が１列または複数列に規則的に配列されて構成されている。そして、それぞれのレンズ素子により結像された像が互いに重なり合う領域を形成しながら、全体として１個の連続した像を形成している。
このようなレンズアレイでは、レンズ素子の配列に乱れが存在すると、像が不鮮明となったり、また像にスジが入ったりする等、レンズアレイの光学特性が一定の許容レベルに達しない場合がある。そのために、予め個々のレンズアレイ毎にレンズ素子の配列状態を検査して、レンズアレイの光学特性について評価を行っておく必要がある。
【０００３】
ここで、レンズアレイにおけるレンズ素子の配列状態を検査する方法として、次のような技術が存在する。すなわち、多数のレンズ素子を配列したレンズアレイに、その第１のレンズ面から平行光を入射し、第２のレンズ面から出射するレンズ透過光をスリットを通して受光するようにし、このスリットをレンズアレイに対して相対的にレンズ素子配列方向に走査しつつ、光量分布を測定することでスリット位置に対する光量の変化を求める。さらに、逆向きに、レンズアレイの第２のレンズ面から平行光を入射し、第１のレンズ面から出射するレンズ透過光をスリットを通して受光するようにし、このスリットをレンズアレイに対して相対的にレンズ素子配列方向に走査しつつ、光量を測定することでスリット位置に対する光量の変化を求める。そして、このようにして求められた光量変化の周期性の乱れおよび両方の光量変化の比較により、配列されているレンズ素子の平行ずれと角度ずれとを区別して評価する方法である（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−２６４２１０号公報(第４−５頁、図１)
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記したように、レンズアレイでは、それぞれのレンズ素子により結像された像が互いに重なり合う領域を形成しながら、全体として１個の連続した像を形成している。そのため、鮮明な像を作り出すには、レンズ素子の透過光量（透過率）が高くなるように構成することが好ましい。このような観点から、レンズ素子の配列方法としては、例えば千鳥状に複数列に形成される場合が多い。
しかしながら、レンズ素子が複数列で形成されたレンズアレイに対し、上記した特許文献１に記載されたように、レンズ面から出射するレンズ透過光をスリットを通して受光する方法では、例えばレンズ素子が２列に配列されたレンズアレイを例にとれば、レンズ素子の配列方向とは異なる方向（例えば、副走査方向）への角度ずれに関しては、レンズアレイの第１列目と第２列目のレンズ素子からのレンズ透過光を分離することができないために、測定は困難であった。
これに対し、これらのレンズ透過光を２次元ＣＣＤを用いて測定する方法も考えられるが、２次元ＣＣＤの個々のＣＣＤ画素同士の間隔が約５μｍ程度と粗いため、通常、レンズ素子の配列状態を測定するには１〜２μｍの精度が必要であるところ、必要な測定精度を得ることが難しい。また、測定点毎に静止させて測定する必要があるため、時間がかかるという不都合もある。
【０００６】
そこで本発明は、以上のような技術的課題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、レンズ素子が複数列で形成されたレンズアレイに対しても、レンズ素子の平行ずれや角度ずれといった配列状態を、ずれ方向に拘わらず短時間で精度良く評価することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
かかる目的のもと、本発明のレンズアレイ配列評価装置は、多数のレンズ素子が規則的に配列されたレンズアレイにおけるレンズ素子の配列状態を評価するレンズアレイ配列評価装置であって、レンズ素子の配列方向に沿って相対的に移動するレンズアレイの一方のレンズ面に向けて光源から平行光を出射し、これを複数の受光チップが直線状に配列されて構成されるとともに、レンズアレイの他方のレンズ面側であって光源と対向する位置に、レンズ素子の配列方向に対して傾けて配置される受光素子によって受光して光量分布を計測する。そして、レンズアレイの双方のレンズ面に関する受光素子からの光量分布データに基づき、演算処理部によってレンズ素子の配列状態を算出することを特徴としている。
ここで、演算処理部は、レンズアレイの双方のレンズ面に関する受光素子からの信号を記憶する記憶部を備えたことを特徴とすることができる。また、光源と受光素子とは、それぞれがレンズアレイの双方のレンズ面側に少なくとも１つずつ配置した構成とすることもできる。さらに、光源は、受光素子の有効受光範囲を含む領域に平行光を出射することを特徴とすることもできる。特に、光源は、受光素子の有効受光範囲とこの有効受光範囲の周囲のレンズアレイのレンズ径と同一の幅を有する円環状領域とを含む領域に平行光を出射することもできる。
【０００８】
また、本発明のレンズアレイ配列評価装置は、多数のレンズ素子が規則的に配列されたレンズアレイにおけるレンズ素子の配列状態を評価するレンズアレイ配列評価装置であって、レンズ素子の配列方向に沿って相対的に移動するレンズアレイの第１のレンズ面に向けて第１の光源から平行光を出射し、これを複数の受光チップが直線状に配列されて構成されるとともに、レンズアレイの第２のレンズ面側であって第１の光源と対向する位置に、レンズ素子の配列方向に対して傾けて配置される第１の受光素子によって受光して第２のレンズ面側から出射される光の光量分布を計測する。また、レンズ素子の配列方向に沿って相対的に移動するレンズアレイの第２のレンズ面に向けて第２の光源から平行光を出射し、これを複数の受光チップが直線状に配列されて構成されるとともに、レンズアレイの第１のレンズ面側であって第２の光源と対向する位置に、レンズ素子の配列方向に対して傾けて配置される第２の受光素子によって受光して第１のレンズ面側から出射される光の光量分布を計測する。そして、第１の受光素子と第２の受光素子とから光量分布データを受けて、演算処理部によってレンズ素子の配列状態を算出することを特徴としている。
ここで、第１の光源と第２の光源とは、それぞれ第１の受光素子と第２の受光素子の有効受光範囲を含む領域に平行光を出射することを特徴とすることができる。また、第１の受光素子と第２の受光素子とは、ラインＣＣＤで構成することもできる。
【０００９】
さらに、本発明をレンズアレイ配列評価方法と捉えることができ、本発明のレンズアレイ配列評価方法は、多数のレンズ素子が規則的に配列されたレンズアレイにおけるレンズ素子の配列状態を評価するレンズアレイ配列評価方法であって、レンズ素子の配列方向に沿って相対的に移動するレンズアレイの一方のレンズ面に向けて出射された平行光がレンズ素子を通過して他方のレンズ面から出射された際の光量分布を、レンズ素子の配列方向に対して傾けて配置された受光素子によって、レンズアレイの双方のレンズ面について計測する光量分布計測ステップと、光量分布計測ステップによって計測された光量分布データに基づいて、レンズアレイの双方のレンズ面毎に光量のピーク位置を算出するピーク位置算出ステップと、ピーク位置算出ステップによって算出されたレンズアレイの双方のレンズ面毎の光量のピーク位置に基づいて、レンズ素子の配列状態を算出する配列状態算出ステップとを含むことを特徴としている。
ここで、ピーク位置算出ステップは、受光素子の傾きを補正する光量分布データの並べ替えステップを含むことを特徴とすることができる。また、配列状態算出ステップは、レンズ素子の平行ずれおよび／または角度ずれを算出することを特徴とすることもできる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の効果として、レンズ素子が複数列で形成されたレンズアレイに対しても、レンズ素子の平行ずれや角度ずれといった配列状態を、ずれ方向に拘わらず短時間で精度良く評価することが可能となった。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
図１は本発明の一実施の形態であるレンズアレイ配列評価装置を説明する概略構成図である。図１に示すように、本実施の形態のレンズアレイ配列評価装置は、レンズアレイ（ＳＬＡ）１０の第１のレンズ面１０ａに平行光を出射する第１の光源１１、ＳＬＡ１０を通過してＳＬＡ１０の第２のレンズ面１０ｂから出射された第１の光源１１からの光を受光して光量分布を計測する第１の受光素子１２、ＳＬＡ１０の第２のレンズ面１０ｂに平行光を出射する第２の光源１３、ＳＬＡ１０を通過してＳＬＡ１０の第１のレンズ面１０ａから出射された第２の光源１３からの光を受光して光量分布を計測する第２の受光素子１４、第１の受光素子１２および第２の受光素子１４によって計測された光量分布に基づき、ＳＬＡ１０を構成するレンズ素子の平行ずれおよび角度ずれを算出する演算処理部の一例としてのデータ演算部１５で主要部が構成されている。
【００１２】
本実施の形態のレンズアレイ配列評価装置では、第１の光源１１と第１の受光素子１２とはＳＬＡ１０を挟んで対向した位置に配置され、第２の光源１３と第２の受光素子１４とはＳＬＡ１０を挟んで対向した位置に配置されている。ここで、図２に示したように、第１の受光素子１２はＳＬＡ１０の第２のレンズ面１０ｂ側において、ＳＬＡ１０の焦点位置と一致させた位置に受光面が配置されている。同様に、第２の受光素子１４はＳＬＡ１０の第１のレンズ面１０ａ側において、ＳＬＡ１０の焦点位置と一致させた位置に受光面が配置されている。
【００１３】
また、第１の光源１１と第１の受光素子１２、および第２の光源１３と第２の受光素子１４は、同一基板（図示せず）上に載置され、ＳＬＡ１０のレンズ素子の配列方向に沿って所定の間隔を隔てて固定されている。そして、ＳＬＡ１０は、第１の光源１１と第１の受光素子１２との間、および第２の光源１３と第２の受光素子１４との間を、レンズ素子の配列方向に沿って相対的に移動可能に構成されている。その際には、ＳＬＡ１０をレンズ素子の配列方向に移動できるように構成しても、レンズアレイ配列評価装置をレンズ素子の配列方向に移動できるように構成しても、いずれでもよい。またその際の移動は、モータ等の駆動力を用いて、ＳＬＡ１０またはレンズアレイ配列評価装置を一定速度で連続的に移動できるように構成している。
【００１４】
次に、第１の受光素子１２および第２の受光素子１４の構成について説明する。第１の受光素子１２および第２の受光素子１４は、ともに４．７μｍピッチでＣＣＤ画素が配列された有効受光範囲が２ｍｍのラインＣＣＤで構成されている。そして、図３に示したように、第１の受光素子１２および第２の受光素子１４は、ＳＬＡ１０のレンズ素子の配列方向に対して、傾き角θ（例えば１０°）だけ傾けて配置している。ここで、有効受光範囲とは、第１の受光素子１２および第２の受光素子１４が実質的に光量を計測することができる領域をいう。
このように構成することによって、ＳＬＡ１０のレンズ素子の配列方向に沿った一定の長さ領域において、レンズ素子の配列幅の全域に亘ってカバーするように第１の受光素子１２および第２の受光素子１４を配置することができる。例えば、レンズ素子が２列に配列されている場合には、第１の受光素子１２および第２の受光素子１４が２列のレンズ素子にクロスするように配置され、レンズ素子の２列の幅方向の全域をカバーすることができる。したがって、ＳＬＡ１０がレンズ素子の配列方向に向けて相対移動することで（矢印Ａ）、ＳＬＡ１０のすべてのレンズ素子は第１の受光素子１２および第２の受光素子１４の有効受光範囲を通過することとなる。
【００１５】
その際、第１の受光素子１２および第２の受光素子１４は、ＣＣＤ画素が４．７μｍピッチで配列されたラインＣＣＤであり、かつＳＬＡ１０のレンズ素子の配列方向に対して傾き角θを持って配置しているため、ＳＬＡ１０のすべてのレンズ素子から出射された光は、第１の受光素子１２および第２の受光素子１４に配列された多数のＣＣＤ画素によって細分化して受光することができ、高精度な光量分布を計測することができる。
ここで、図４は、第１の受光素子１２および第２の受光素子１４に配列されたＣＣＤ画素の間隔について説明する図である。図４に示したように、第１の受光素子１２および第２の受光素子１４は、ＳＬＡ１０のレンズ素子の配列方向に対して傾けて配置されているため、ＣＣＤ画素のレンズ素子の配列方向（主走査方向）の間隔ｄｍ、およびレンズ素子の配列とは直交する方向（副走査方向）の間隔ｄｓは、ＣＣＤ画素の間隔をＤ（Ｄ＝４．７μｍ）として、それぞれｄｍ＝Ｄｃｏｓθ、ｄｓ＝Ｄｓｉｎθ（θ：ＳＬＡ１０のレンズ素子の配列方向に対する傾き角）となるので、実際上のＣＣＤ画素の主走査方向の間隔ｄｍ、および副走査方向の間隔ｄｓは、ＣＣＤ画素の間隔Ｄよりも細かく設定することができる。そのため、ＳＬＡ１０から出射された光の光量分布は、高い分解能で計測することが可能となる。
【００１６】
なお、第１の光源１１および第２の光源１３から出射される平行光は、第１の受光素子１２および第２の受光素子１４の有効受光範囲の全域を含むように照射している。このように設定することで、第１の受光素子１２および第２の受光素子１４の有効受光範囲の全域に亘って、レンズ素子から出射された光を均一に受光することができるので、各レンズ素子から出射された光を同一の条件で比較することが可能となる。
さらには、第１の光源１１および第２の光源１３から出射される平行光は、第１の受光素子１２および第２の受光素子１４の有効受光範囲と、さらにこの有効受光範囲の周囲にＳＬＡ１０のレンズ素子の直径と同一の幅を有する円環状領域をも加えた領域をカバーするように照射するのが好ましい。このように設定することによって、第１の受光素子１２および第２の受光素子１４の有効受光範囲の端部領域においても、レンズ素子から出射された光を均一に受光することができる。
【００１７】
そして、第１の受光素子１２および第２の受光素子１４のそれぞれによって計測された光量分布データは、データ演算部１５に送信される。データ演算部１５では、第１の受光素子１２および第２の受光素子１４によって計測された光量分布データに基づいて、ＳＬＡ１０のそれぞれのレンズ素子の平行ずれおよび角度ずれを計測する。
図５は、データ演算部１５が行う平行ずれおよび角度ずれを計測する際の処理の流れを示すフローチャートである。まず第１の受光素子１２および第２の受光素子１４のそれぞれによって計測された光量分布データを、それぞれＡ／Ｄ変換してデータ演算部１５内に設けられたバッファに一時的に記憶する（ステップＳ１）。
次に、第１の受光素子１２および第２の受光素子１４は、ＳＬＡ１０のレンズ素子の配列方向に対して傾けて配置されているため、この傾きを補正する必要がある。そのため、ステップＳ１においてバッファに記憶された光量分布データの並べ替えを行う（ステップＳ２）。このステップＳ２の処理によって、第１の受光素子１２および第２の受光素子１４によって計測された光量分布データは、レンズ素子が配列されたＸ−Ｙ平面におけるデータに変換される。ここでは、レンズ素子の配列方向（主走査方向）をＸ軸、レンズ素子の配列とは直交する方向（副走査方向）をＹ軸と定義する。
【００１８】
ステップＳ２においてＸ−Ｙ平面におけるデータに変換された光量分布データに基づいて、第１の受光素子１２および第２の受光素子１４のそれぞれによって計測された光量分布データの中から光量のピーク位置（最も光量の大きな位置）を算出する（ステップＳ３）。このピーク位置は、各レンズ素子の集光点、すなわちレンズ素子の光軸位置を表している。なお、ピーク位置の算出に際しては、第１の受光素子１２と第２の受光素子１４とは、ＳＬＡ１０のレンズ素子の配列方向において異なる位置に配置されているため、特定の点を原点として、ともに共通の座標系で位置を表すように補正を施している。
【００１９】
ここで、図６は、ステップＳ３において第１の受光素子１２によって計測された光量分布データから算出された、レンズ素子Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４、Ｌ５の第２のレンズ面１０ｂから出射された光についてのピーク位置を、Ｘ−Ｙ平面において示したものである。図６では、レンズ素子Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４、Ｌ５のＸ−Ｙ平面におけるピーク位置の座標をＰ１（ｘｐ１，ｙｐ１）、Ｐ２（ｘｐ２，ｙｐ２）、Ｐ３（ｘｐ３，ｙｐ３）、Ｐ４（ｘｐ４，ｙｐ４）、Ｐ５（ｘｐ５，ｙｐ５）としている。同様に、ステップＳ３において第２の受光素子１４によって計測された光量分布データから算出された、レンズ素子Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４、Ｌ５の第１のレンズ面１０ａから出射された光についてのピーク位置の座標をＱ１（ｘｑ１，ｙｑ１）、Ｑ２（ｘｑ２，ｙｑ２）、Ｑ３（ｘｑ３，ｙｑ３）、Ｑ４（ｘｑ４，ｙｑ４）、Ｑ５（ｘｑ５，ｙｑ５）とする。なお、図６では、ＳＬＡ１０は２列のレンズ素子が千鳥状に配列された場合を示している。したがって、レンズ素子Ｌ１、Ｌ３、Ｌ５は第１列のレンズ素子を表し、レンズ素子Ｌ２、Ｌ４は第２列のレンズ素子を表している。
【００２０】
次に、ステップＳ３において算出されたレンズ素子Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４、Ｌ５に関する、第１のレンズ面１０ａから出射された光のＸ−Ｙ平面におけるピーク位置の座標と、第２のレンズ面１０ｂから出射された光のＸ−Ｙ平面におけるピーク位置の座標とに基づいて、平行ずれおよび角度ずれを算出する（ステップＳ４）。
平行ずれおよび角度ずれの算出は、次のように行う。まず、本実施の形態のレンズアレイ配列評価装置では、各レンズ素子の光軸位置（ピーク位置）をＸ−Ｙ平面における２次元の座標として把握することができる。そのため、第１の受光素子１２および第２の受光素子１４によって計測されたＳＬＡ１０の第１のレンズ面１０ａ側の光軸位置と、第２のレンズ面１０ｂ側の光軸位置とを比較することによって、各レンズ素子それぞれの配置状態を把握することが可能である。
【００２１】
具体的には、レンズ素子Ｌ１を例にとると、第２のレンズ面１０ｂ側の光軸位置Ｐ１（ｘｐ１，ｙｐ１）と、第１のレンズ面１０ａ側の光軸位置Ｑ１（ｘｑ１，ｙｑ１）とを比較することによって、レンズ素子Ｌ１の配置状態を把握することができる。例えば、ｘｐ１＝ｘｑ１、ｙｐ１＝ｙｑ１であれば、レンズ素子Ｌ１は角度ずれなく設置されていることが判断できる。また、ｘｐ１＝ｘｑ１、ｙｐ１≠ｙｑ１であれば、副走査方向への角度ずれがあることが把握できる。さらに、ｘｐ１≠ｘｑ１、ｙｐ１＝ｙｑ１であれば、主走査方向への角度ずれがあることが把握できる。一方、ｘｐ１≠ｘｑ１、ｙｐ１≠ｙｑ１であれば、主走査方向および副走査方向の双方への角度ずれがあることが把握できる。
さらには、第１のレンズ面１０ａ側の光軸位置と第２のレンズ面１０ｂ側の光軸位置とが座標として数値化されているので、どの方向にどの程度の角度ずれ量が存在するかを正確に把握することも可能となるので、角度ずれ量が許容レベルの範囲内か否かを判断することも可能である。
【００２２】
また、各レンズ素子における一方のレンズ面側の光軸位置、例えば第１のレンズ面１０ａ側の光軸位置のＸ座標、Ｙ座標を相互に比較することによって、同一の列に配置されたレンズ素子の平行ずれを把握することができる。例えば、第１列のレンズ素子であるレンズ素子Ｌ１、Ｌ３、Ｌ５を例にとれば、（ｘｐ５−ｘｐ３）＝（ｘｐ３−ｘｐ１）であれば、互いに隣接するレンズ素子Ｌ１、Ｌ３、Ｌ５において主走査方向における平行ずれはないと判断できる。同時に、ｙｐ５＝ｙｐ３＝ｙｐ１であれば、レンズ素子Ｌ１、Ｌ３、Ｌ５において副走査方向における平行ずれもないと判断できる。一方、（ｘｐ５−ｘｐ３）≠（ｘｐ３−ｘｐ１）であれば、レンズ素子Ｌ１、Ｌ３、Ｌ５のいずれかにおいて主走査方向に平行ずれが存在すると判断できる。また、ｙｐ５、ｙｐ３、ｙｐ１のうちのいずれかが異なる数値であれば、副走査方向に平行ずれが存在すると判断することもできる。
【００２３】
同様に、異なる列に配置されたレンズ素子の平行ずれを把握することができる。例えば、第１列のレンズ素子であるレンズ素子Ｌ１、Ｌ３、Ｌ５と第２列のレンズ素子であるレンズ素子Ｌ２、Ｌ４とを例にとれば、ｘｐ５−ｘｐ４、ｘｐ４−ｘｐ３、ｘｐ３−ｘｐ２、ｘｐ２−ｘｐ１を算出することで主走査方向の平行ずれを把握することができる。また、ｙｐ５、ｙｐ４、ｙｐ３、ｙｐ２、ｙｐ１を比較することで、副走査方向の平行ずれを把握することができる。
さらには、第１のレンズ面１０ａ側の光軸位置と第２のレンズ面１０ｂ側の光軸位置とが座標として数値化されているので、どの方向にどの程度の平行ずれ量が存在するかを正確に把握することも可能となるので、平行ずれ量が許容レベルの範囲内か否かを判断することも可能となる。
【００２４】
なお、上記の説明では、それぞれのレンズ素子の光軸位置の座標を相対的に比較して、平行ずれの有無を判断したが、隣り合ったレンズ素子間の間隔をＸ座標、Ｙ座標毎に算出し、それをデータ演算部１５に予め記憶した所定値（設計値）と比較することによって、平行ずれの有無を判断することも可能である。また、データ演算部１５に予めレンズ素子の光軸位置の設定位置を記憶した座標データテーブルを用意しておき、そのデータとの比較により、各レンズ素子の平行ずれを判断してもよい。
【００２５】
ところで、本実施の形態のレンズアレイ配列評価装置では、ＳＬＡ１０の双方のレンズ面側に、それぞれ第１の光源１１と第１の受光素子１２、および第２の光源１３と第２の受光素子１４の２セットを配置して、これらの間においてレンズ素子の配列方向に沿ってＳＬＡ１０を１方向に相対的に移動させる構成について説明した。しかしながら、本発明はこの構成に限らず、ＳＬＡ１０の双方のレンズ面側に光源と受光素子の１セットを配置し、これらの間においてレンズ素子の配列方向に沿って、ＳＬＡ１０を第１のレンズ面１０ａ側と第２のレンズ面１０ｂ側との向きを変えながら相対的に往復移動させ、ＳＬＡ１０の双方のレンズ面について光量分布を計測する構成も採ることができる。なお、この場合は、ＳＬＡ１０の双方のレンズ面についての光量分布は、時間差を持って計測することになるので、データ演算部１５には、それぞれのレンズ面についての光量分布データを記憶する記憶部が配設される。
【００２６】
以上説明したように、本実施の形態のレンズアレイ配列評価装置では、ＳＬＡ１０のそれぞれレンズ面から出射される光の光量分布を計測する受光素子をラインＣＣＤで構成するとともに、ＳＬＡ１０のレンズ素子の配列方向に対して傾けて配置し、ラインＣＣＤの有効受光範囲を含む領域を光源によって平行光で照射するように構成している。そして、光源と受光素子との間において、ＳＬＡ１０をレンズ素子の配列方向に沿って相対的に移動させることによって、ＳＬＡ１０の第１のレンズ面１０ａ側の光軸位置と第２のレンズ面１０ｂ側の光軸位置とをＸ−Ｙ平面における座標位置として高精度に算出することができる。
そのため、ＳＬＡ１０に配列されたレンズ素子の配列状態をそれぞれ個々に計測できるので、レンズ素子の平行ずれおよび角度ずれを、そのずれの方向を問わず、高精度で把握することが可能となる。特に、平行ずれおよび角度ずれを数値化して把握できるので、平行ずれ量および角度ずれ量が許容レベルの範囲内か否かを判断することも可能である。
また、ＳＬＡ１０を連続的に相対移動させながら計測できるので、短時間に計測を行うことができるという利点もある。
【産業上の利用可能性】
【００２７】
本発明の活用例として、例えば電子写真方式を用いた画像形成装置の画像露光部や、画像読取装置の画像読取部において使用されるセルフォックレンズアレイ（ＳＬＡ）への適用がある。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】レンズアレイ配列評価装置を説明する概略構成図である。
【図２】第１の受光素子および第２の受光素子の配置位置を説明する図である。
【図３】第１の受光素子および第２の受光素子のＳＬＡに対する配置状態を説明する図である。
【図４】第１の受光素子および第２の受光素子に配列されたＣＣＤ画素の間隔について説明する図である。
【図５】データ演算部が行う平行ずれおよび角度ずれを計測する際の処理の流れを示すフローチャートである。
【図６】レンズ素子Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４、Ｌ５のピーク位置を示した図である。
【符号の説明】
【００２９】
１０…レンズアレイ（ＳＬＡ）、１０ａ…第１のレンズ面、１０ｂ…第２のレンズ面、１１…第１の光源、１２…第１の受光素子、１３…第２の光源、１４…第２の受光素子、１５…データ演算部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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