(57)【要約】【課題】  電極段差を吸収し、電極間の層間厚みを薄くすることができる、コンデンサチップまたはインダクタチップ等の積層チップ電子部品製造用のセラミックグリーンシートおよびその製造方法の提供。【解決手段】  セラミック粉末、バインダ樹脂、可塑剤および有機溶剤を含有するセラミック塗料用組成物に有機酸性化合物を添加して調製したセラミック塗料を使用して、セラミックグリーンシートのセラミック層を形成する。【特許請求の範囲】
【請求項１】
離型フィルムおよび該離型フィルム上に形成されたセラミック層からなるセラミックグリーンシートであって、該セラミック層が、少なくともセラミック粉末、バインダ樹脂および可塑剤を含有するセラミック塗料用組成物に酸性化合物を添加して調製したセラミック塗料を塗布して乾燥した塗膜であることを特徴とするセラミックグリーンシート。
【請求項２】
前記酸性化合物が、有機酸（炭素数が１４個以上の高級脂肪酸を除く）であることを特徴とする請求項１に記載のセラミックグリーンシート。
【請求項３】
前記有機酸がカルボン酸、スルホン酸、ホスホン酸またはホスフィン酸であることを特徴とする請求項２に記載のセラミックグリーンシート。
【請求項４】
前記セラミック粉末がフェライト磁性粉末または誘電体磁器原料粉末であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のセラミックグリーンシート。
【請求項５】
前記フェライト磁性粉末がＮｉ−Ｃｕ−Ｚｎフェライト、Ｎｉ−ＺｎフェライトまたはＣｕ−Ｚｎフェライトの粉末であり、前記誘電体磁器原料粉末が酸化チタンまたはチタン酸バリウムであることを特徴とする請求項４に記載のセラミックグリーンシート。
【請求項６】
前記バインダ樹脂がアクリル樹脂またはポリビニルブチラール樹脂であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のセラミックグリーンシート。
【請求項７】
前記可塑剤がフタル酸エステル、アジピン酸エステルまたはセバシン酸エステルであることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載のセラミックグリーンシート。
【請求項８】
セラミック塗料を調製する工程、および該セラミック塗料を離型フィルム上に所定の厚さに塗布してセラミック層を形成する工程を含むセラミックグリーンシートの製造方法であって、
前記セラミック塗料を調製する工程を、少なくともセラミック粉末、バインダ樹脂および可塑剤を含有するセラミック塗料用組成物に酸性化合物を添加して行うことを特徴とするセラミックグリーンシートの製造方法。
【請求項９】
前記酸性化合物が、有機酸（炭素数が１４個以上の高級脂肪酸を除く）であることを特徴とする請求項８に記載のセラミックグリーンシートの製造方法。
【請求項１０】
前記有機酸がカルボン酸、スルホン酸、ホスホン酸またはホスフィン酸であることを特徴とする請求項９に記載のセラミックグリーンシートの製造方法。
【請求項１１】
前記セラミック粉末がフェライト磁性粉末または誘電体磁器原料粉末であることを特徴とする請求項８乃至１０のいずれか１項に記載のセラミックグリーンシートの製造方法。
【請求項１２】
前記フェライト磁性粉末がＮｉ−Ｃｕ−Ｚｎフェライト、Ｎｉ−ＺｎフェライトまたはＣｕ−Ｚｎフェライトの粉末であり、前記誘電体磁器原料粉末が酸化チタンまたはチタン酸バリウムであることを特徴とする請求項１１に記載のセラミックグリーンシートの製造方法。
【請求項１３】
前記バインダ樹脂がアクリル樹脂またはポリビニルブチラール樹脂であることを特徴とする請求項８乃至１２のいずれか１項に記載のセラミックグリーンシートの製造方法。
【請求項１４】
前記可塑剤がフタル酸エステル、アジピン酸エステルまたはセバシン酸エステルであることを特徴とする請求項８乃至１３のいずれか１項に記載のセラミックグリーンシートの製造方法。
【請求項１５】
請求項８乃至１４のいずれか１項に記載の製造方法によって製造されたセラミックグリーンシートを用いることを特徴とするセラミック積層体電子部品を製造する方法。
【請求項１６】
前記セラミック積層体電子部品がインダクタチップまたはコンデンサチップであることを特徴とする請求項１５に記載のセラミック積層体電子部品を製造する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、セラミック積層体電子部品、特にインダクタチップ、コンデンサチップ等の積層チップ電子部品を製造するために使用されるセラミックグリーンシートおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
セラミック積層体電子部品は携帯電話、各種のゲーム機および液晶装置（ＬＣＤ）等に広く利用されているが、セラミック積層体電子部品を製造するには、プラスチック等のベースフィルム上にセラミック粉末（例えば、フェライト磁性粉末または誘電体磁器原料粉末）、バインダ樹脂、可塑剤および溶剤を含有するセラミック塗料を塗布・乾燥して形成されたセラミック層を有するセラミックグリーンシートを使用する方法がある。この方法においては、積層体電子部品は、セラミックグリーンシートのセラミック層上に所定の電極パターンをスクリーン印刷等で形成し、このセラミックグリーンシートを逐一積み重ね、ベースフィルムを剥離し、セラミック層を介して電極を積層し、焼成することによって製造されている。
【０００３】
従来より、上記のようなセラミックグリーンシートを使用するセラミック積層体電子部品の製造方法を改良した方法が提案されており、例えば、次の方法が知られている。
【０００４】
均一に圧力がかかり、内部電極パターンの伸びがない積層セラミックコンデンサの製造方法であって、導電ペーストを塗布した硬度の高いセラミックグリーンシートと導電ペーストを塗布していない硬度の低いセラミックグリーンシートとを交互に重ね合わせるか、または軟質面と硬質面とを有するセラミックグリーンシートの硬質面に導電性ペーストを塗布し、このセラミックグリーンシートを硬質面と軟質面とが接するように重ね合わせ、積層して圧着する製造方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。この製造方法においては、セラミックグリーンシートを製造する際に誘電体磁器コンデンサ原料粉末、有機溶剤およびバインダの他に、分散剤および可塑剤を添加したスラリーを用いており、可塑剤の添加量を調節してセラミックグリーンシートの硬度をコントロールしている。
【０００５】
また、セラミック粉末とバインダ樹脂を含有するセラミックグリーンシート用塗料組成物に可塑剤としてフタル酸エステルを添加して形成したセラミックグリーンシートを用いることによって、セラミックグリーンシートの未焼成積層体の各層の接着強度を均一にすることにより剥離やクラックを生じ難くした積層セラミック電子部品の製造方法が提案されている（例えば、特許文献２参照）。このフタル酸エステルは可塑剤として作用するものであり、該塗料組成物の流動性およびシート成形性を改良し、バインダ樹脂に柔軟性を付与し、積層体の内部欠陥の発生を防止するものである。
【０００６】
セラミック積層体を構成するセラミックグリーンシートの製造方法としては、第１のペースト材料から所定のパターンの異材質部を一定の厚みでベーステープ上に印刷形成し、その第１のペースト材料の乾燥後、第２のペースト材料を該異材質部にもオーバーコートさせてベーステープ上に塗布し、この第２のペースト材料の乾燥前に、第２のペースト材料をブレードによる表面ならしで異材質部のパターン外に埋め込んで異材質部と同一厚みに形成し、第１のペースト材料による異材質部を第２のペースト材料によるシート部の同一面内に形成するようにした製造方法がある（例えば、特許文献３参照）。この方法は、全工程を印刷手段に頼って行うセラミックグリーンシートの改良方法であり、より簡略な工程で製造の能率を高める共に、グリーンシートの薄層化を図ることを目的として提案されたものである。
【０００７】
また、積層型電子部品を製造するために用いられるセラミックグリーンシートの製造方法として、多数の電極を間隔を置いて形成した帯状体を長手方向に走行させながらセラミック塗料を塗布して、電極を被覆すると共に、電極間の間隙を埋め、次に塗布されたセラミック塗料の表層を掻き取ってその表面を平坦化する方法がある（例えば、特許文献４参照）。この方法によって作製されたセラミックグリーンシートを使用して、セラミック塗料層が極薄層になった場合でも、構造欠陥のない高品質の積層型電子部品を製造することができる、とされている。
【０００８】
また、セラミックグリーンシート用組成物については、セラミック粉末、バインダとしてポリビニルブチラール樹脂を含有するセラミックグリーンシート用組成物であって、セラミックグリーンシートを用いて積層体を得る際に加熱圧着する温度以上で液状になり室温で固形の有機物分散剤を含有する組成物が提案されている（例えば、特許文献５参照）。この有機物分散剤は、具体的にはオレイン酸であるが、セラミックグリーンシートの圧着性を改良するものである。
【０００９】
【特許文献１】特公平８−２８１３８号公報
【特許文献２】特開平５−１９４０１９号公報
【特許文献３】特許３１３８７８９号
【特許文献４】特開２００２−２８９４６６号公報
【特許文献５】特公平７−１０８８１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上記の如く、セラミックグリーンシートを使用する積層体電子部品の製造方法においても種々改良が加えられているが、近年の積層チップ電子部品の製造に要求される条件を満足するのが困難となっている。特に、近年は積層チップ電子部品の微小化が要求されており、これに伴い、電極間の層間厚みを薄くすることが求められている。インダクタを例にとれば、従来の方法によるセラミックグリーンシートでは、十数μｍの電極段差を吸収し、電極間の層間厚みが５μｍ台またはそれ以下のインダクタチップを製造するのが非常に困難となっている。例えば、層間厚みを小さくしようとしてフェライト層の厚みを薄くすると、電極の段差を吸収することができず、セラミックグリーンシートの積層がうまくできない。また、フェライト層の可塑剤量を増やして積層時の変形を大きくした場合も、層間厚みを薄くする効果は小さく、逆に可塑剤の増量によりフェライト層の空隙がふさがれ、積層時に層間にエアを抱き込みやすくなり、積層性を悪化させてしまう。
【００１１】
したがって、本発明は、上記従来技術の技術的課題を解決するためになされたものであり、電極段差を吸収して、従来困難であった領域における薄い層間厚みを容易に達成することができるセラミックグリーンシートおよびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するため、本発明は、その一態様として、離型フィルムおよび該離型フィルム上に形成されたセラミック層からなるセラミックグリーンシートであって、該セラミック層が、少なくともセラミック粉末、バインダ樹脂および可塑剤を含有するセラミック塗料用組成物に酸性化合物を添加して調製したセラミック塗料を塗布して乾燥した塗膜であることを特徴とするセラミックグリーンシートを提供する。
【００１３】
また、本発明は、もう一つの態様として、セラミック塗料を調製する工程、および該セラミック塗料を離型フィルム上に所定の厚さに塗布してセラミック層を形成する工程を含むセラミックグリーンシートの製造方法であって、前記セラミック塗料を調製する工程を、少なくともセラミック粉末、バインダ樹脂および可塑剤を含有するセラミック塗料用組成物に酸性化合物を添加して行うことを特徴とするセラミックグリーンシートの製造方法を提供する。
【００１４】
さらに、本発明は、別の態様として、上記の製造方法によって製造されたセラミックグリーンシートを用いることを特徴とするセラミック積層体電子部品を製造する方法を提供する。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のセラミックグリーンシートのセラミック層には従来技術によるセラミック層に比して空隙が多く、本発明のセラミックグリーンシートは塑性変形が大幅に大きいものであるため、セラミックグリーンシートの塑性変形により電極段差を十分吸収でき、また層間の部分のつぶれも大きいため、層間厚みを薄くすることできる。具体的には、本発明のセラミックグリーンシートのセラミック層は、その優れた通気性および厚み方向の縮率により、十数μｍの電極段差をも容易に吸収することができるので、５μｍ台またはそれ以下の層間厚みを達成することができる。したがって、このセラミックグリーンシートを使用することによって、多数枚積層しても電極の段差による表面の凹凸が緩和され、大容量・高性能のインダクタチップ、コンデンサチップ、ＬＣフィルター、フェライトコイルなどの積層チップ電子部品を高い製造歩留まりで製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明のセラミックグリーンシートのセラミック層は、少なくともセラミック粉末、バインダ樹脂および可塑剤を含有するセラミック塗料用組成物に酸性化合物、好ましくは有機酸を添加して調製したセラミック塗料の塗膜からなるものである。また、セラミック塗料の調製の際に、必要に応じて分散剤および有機溶剤を用いることができる。
【００１７】
本発明では、セラミック塗料を調製するに当たり、上記セラミック塗料用組成物に酸性化合物を添加する点に特徴がある。酸性化合物を添加することによって、空隙の多いつぶれやすいセラミック層を形成することができる。
【００１８】
特に、酸性化合物として用いることができる有機酸のなかでも、カルボン酸、スルホン酸、ホスホン酸、およびホスフィン酸を好適に用いることができる。
【００１９】
カルボン酸としては、例えば、安息香酸、フタル酸およびナフトエ酸等の芳香族カルボン酸；酢酸、プロピオン酸および酪酸等の飽和脂肪族モノカルボン酸；コハク酸、アジピン酸、リンゴ酸およびシュウ酸等の飽和脂肪族ジカルボン酸；マレイン酸およびフマル酸等の不飽和脂肪族カルボン酸等が挙げられる。特に好ましいカルボン酸は、例えば、安息香酸、ｏ−フタル酸、ｐ−フタル酸、コハク酸、アジピン酸、マレイン酸、フマル酸、リンゴ酸である。
【００２０】
スルホン酸としては、例えば、ドデシルベンゼンスルホン酸およびジメチルベンゼンスルホン酸等が挙げられる。また、ホスホン酸としては、フェニルホスホン酸およびメチルホスホン酸等が挙げられる。さらに、ホスフィン酸としては、ジフェニルホスフィン酸およびフェニルメチルホスフィン酸等が挙げられる。
【００２１】
ただし、ミリスチン酸、パルミチン酸、ステアリン酸、オレイン酸、リノール酸およびリノレン酸等の炭素数が１４個以上の高級脂肪酸は、酸としての能力が低くそれを添加しても望ましい効果を奏しないことから、本発明に用いられる酸性化合物、特に有機酸から除かれる。
【００２２】
酸性化合物は、セラミック塗料用組成物に添加する時期およびその分散方法に拘わらず、得られるセラミックグリーンシートの特性に対して同様に望ましい効果をもたらす。例えば、酸性化合物は、最初から、すなわち、セラミック塗料用組成物を混合・分散する前から添加しておいてもよいし、途中で、すなわち、一旦セラミック塗料用組成物を混合・分散した後に酸性化合物を添加し、さらに混合・分散してもよい。
【００２３】
セラミック粉末としては、インダクタチップ、フェライトコイルおよびＬＣフィルターのインダクタ部分を製造する場合にはフェライト磁性粉末が使用され、コンデンサチップおよびＬＣフィルターのコンデンサ部分を製造する場合には誘電体磁器原料粉末が使用される。インダクタチップ、フェライトコイルおよびＬＣフィルターのインダクタ部分を製造するために使用することができるフェライト磁性粉末として、Ｎｉ−Ｃｕ−Ｚｎフェライト、Ｎｉ−ＺｎフェライトおよびＣｕ−Ｚｎフェライト等の磁性体の粉末を挙げることができる。また、コンデンサチップおよびＬＣフィルターのコンデンサ部分を製造するために使用できる誘電体磁器原料粉末として、酸化チタン、種々のチタン酸塩磁器の粉末、例えば、チタン酸バリウム、ジルコン酸塩磁器の粉末、例えばジルコン酸バリウムを好適に使用することができる。
【００２４】
バインダ樹脂としては、アクリル樹脂、ポリビニルブチラール樹脂等を挙げることができ、これらを単独または組み合わせにおいて使用することができる。
【００２５】
可塑剤としては、フタル酸ベンジルブチル、フタル酸ジメチル、フタル酸ジエチル、フタル酸ジブチルおよびフタル酸ジシクロヘキシル等のフタル酸エステル；アジピン酸ジオクチルおよびアジピン酸ジイソノニル等のアジピン酸エステル；セバシン酸ジブチルおよびセバシン酸ジオクチル等のセバシン酸エステル等を挙げることができ、これらに限られない。これらの可塑剤は単独でまたは組み合わせにおいて使用することができる。
【００２６】
また、その他アルコール系、リン酸エステル系、アミン系、スルホン酸塩系およびリン酸塩系等の分散剤等のような添加剤も必要に応じて使用される。有機溶剤としては、バインダ樹脂を溶解することができるものであれば特に制限はなく、アルコール類、脂肪族類、芳香族類、ケトン類およびエステル類などの溶媒を挙げることができ、これらを単独でまたは組み合わせて用いることができる。例えば、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサン、シクロヘキサン、トルエン、キシレン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、酢酸エチルおよび酢酸ブチル等を好適に用いることができる。
【００２７】
セラミック塗料は、例えば、先ずバインダ樹脂を有機溶剤に溶解して樹脂溶液を作製し、この樹脂溶液と、セラミック粉末、可塑剤、酸性化合物および分散剤を適当な分散手段を用いて分散し均質な分散液を作製することによって調製することができる。このとき、上記のとおり、酸性化合物は、最初から、他の成分と共に添加してもよいし、または最初は添加せず一旦酸性化合物以外の成分を含むセラミック塗料用組成物を分散した後に酸性化合物を添加し、さらにこれらの混合物を分散してもよい。また、分散手段としては、本技術分野において通常用いられる手段を用いることができ、例えば、ボールミル、サンドグラインダーミル、アトライター等を好適に用いることができる。
【００２８】
このセラミック塗料の調製においては、セラミック粉末１００重量部、バインダ樹脂５〜２０重量部、可塑剤１〜１５重量部の割合で混合し、その粘度はセラミック塗料の塗布厚みおよび塗布スピードに合うように調整することが好ましい。
【００２９】
上記によって得られたセラミック塗料を、離型処理を施した可撓性のフィルムからなる離型フィルム、例えば、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルム上に所定の厚さで塗布し、乾燥してセラミックグリーンシートを作製する。セラミックグリーンシートは、通常、連続した長尺のフィルム上にセラミック塗料を塗布・乾燥し、これを巻き上げてセラミックグリーンシートロールとして作製される。
【００３０】
以上のようにして作製されたセラミックグリーンシートのセラミック層上に、適当な手段、例えばスクリーン印刷によって、導電体（一般的には銀ペースト）のパターンを印刷して電極を形成する。コンデンサチップを製造する場合には電極をセラミック層上に、またインダクタチップを製造する場合にはセラミック層にレーザー光を照射してスルーホール穿孔を行ってからセラミック層上およびスルーホール内に電極を形成し、乾燥し、所定の大きさに切断して積層用セラミックグリーンシートを作製する。このようにして作製した積層用セラミックグリーンシートを重ね合わせ、加圧圧着し、離型フィルムを剥離する。この操作を所定枚数のセラミックグリーンシートについて繰り返し、積層体を作製し、所定の位置で切断した後、焼成して最終製品としてのコンデンサチップまたはインダクタチップを作製する。
【実施例】
【００３１】
本発明を以下の実施例を用いて詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。なお、「部」は、特に明記しない限り、「重量部」である。
【００３２】
実施例１
下記に示すとおりの成分および分量を用いてフェライト塗料１(セラミック塗料）を調製した。
Ｎｉ−Ｃｕ−Ｚｎフェライト粉末                      １００重量部
アクリル樹脂(分子量：６００，０００)                  １０重量部
フタル酸ベンジルブチル                                  ４重量部
ｏ−フタル酸                                            ２重量部
酢酸ブチル                                            ３６重量部
トルエン                                              ４５重量部
上記成分のうち、まずアクリル樹脂と酢酸ブチルとトルエンとを混合溶解して、樹脂溶液を作製した。
【００３３】
その後、この樹脂溶液と、他の成分である、Ｎｉ−Ｃｕ−Ｚｎフェライト粉末とフタル酸ベンジルブチルとｏ−フタル酸とをボールミルに投入し、４８時間分散を行いフェライト塗料１を調製した。
【００３４】
次に、このようにして得たフェライト塗料１を、離型処理を施したＰＥＴフィルムからなる５０μm厚の離型フィルム上に乾燥膜厚が２０μmの厚みとなるように塗布し、乾燥温度１００℃で乾燥させ、セラミックグリーンシートロールを作製した。このグリーンシート上にＡｇペーストからなる導電体パターンを乾燥膜厚が１８μｍの厚みとなるようにスクリーン印刷した後、乾燥し、所定の大きさに切断して、積層用磁性体シートを作製した。
【００３５】
次に、この積層用磁性体シートを位置合わせして重ね合わせ離型フィルムを剥離し、この作業を２０枚の積層用磁性体シートについて逐一繰り返し行って積層し、７００ｋｇ／ｃｍ２の圧力で加圧圧着させ、積層体を作製し、さらに所定の位置で切断し、８７０℃にて２時間焼成し、インダクタチップを作製した。
【００３６】
上記において得られたセラミックグリーンシートについて、通気性及びカレンダー加工による縮率の測定および評価を、またインダクタチップについては、電極間の層間厚みの測定および評価を、下記の方法にしたがって行った。
【００３７】
＜測定方法＞
各特性についての測定方法は、次のとおりである。
（１）通気性
ガーレ式デンソメータ（東洋精機製作所製）を用い、１００mlの空気が抜けるまでの時間（ｓ：秒)を各セラミックグリーンシートについて測定した。
（２）縮率
セラミックグリーンシートをスチール−スチール方式のカレンダロール間を線圧３００kg／ｃｍで通し、その塗膜（セラミック層またはフェライト層)の縮率を測定した。
（３）電極間の層間厚み
作製したインダクタチップの断面を露出させ、電子顕微鏡で電極間の厚みを測定した。
測定結果を表１に示す。
【００３８】
実施例２
実施例１においてｏ−フタル酸をｐ−フタル酸に変更した以外は実施例１と同様にしてセラミックグリーンシートおよびチップを作製した。それらについて実施例１と同様に測定および評価を行った。測定した結果を表１に示す。
【００３９】
実施例３
実施例１においてｏ−フタル酸を安息香酸に変更した以外は実施例１と同様にしてセラミックグリーンシートおよびチップを作製した。それらについて実施例１と同様に測定および評価を行った。測定した結果を表１に示す。
【００４０】
実施例４
実施例１においてｏ−フタル酸をアジピン酸に変更した以外は実施例１と同様にしてセラミックグリーンシートおよびチップを作製した。それらについて実施例１と同様に測定および評価を行った。測定した結果を表１に示す。
【００４１】
実施例５
実施例１においてｏ−フタル酸をコハク酸に変更した以外は実施例１と同様にしてセラミックグリーンシートおよびチップを作製した。それらについて実施例１と同様に測定および評価を行った。測定した結果を表１に示す。
【００４２】
実施例６
実施例１においてｏ−フタル酸をマレイン酸に変更した以外は実施例１と同様にしてセラミックグリーンシートおよびチップを作製した。それらについて実施例１と同様に測定および評価を行った。測定した結果を表１に示す。
【００４３】
実施例７
実施例１においてｏ−フタル酸をフマル酸に変更した以外は実施例１と同様にしてセラミックグリーンシートおよびチップを作製した。それらについて実施例１と同様に測定および評価を行った。測定した結果を表１に示す。
【００４４】
実施例８
実施例１においてｏ−フタル酸をリンゴ酸に変更した以外は実施例１と同様にしてセラミックグリーンシートおよびチップを作製した。それらについて実施例１と同様に測定および評価を行った。測定した結果を表１に示す。
【００４５】
実施例９
実施例１においてｏ−フタル酸をドデシルベンゼンスルホン酸に変更した以外は実施例１と同様にしてセラミックグリーンシートおよびチップを作製した。それらについて実施例１と同様に測定および評価を行った。測定した結果を表１に示す。
【００４６】
実施例１０
実施例１においてｏ−フタル酸をフェニルホスホン酸に変更した以外は実施例１と同様にしてセラミックグリーンシートおよびチップを作製した。それらについて実施例１と同様に測定および評価を行った。測定した結果を表１に示す。
【００４７】
実施例１１
実施例１においてｏ−フタル酸をジフェニルホスフィン酸に変更した以外は実施例１と同様にしてセラミックグリーンシートおよびチップを作製した。それらについて実施例１と同様に測定および評価を行った。測定した結果を表１に示す。
【００４８】
実施例１２
実施例１においてｏ−フタル酸の量を０．５重量部にした以外は実施例１と同様にしてセラミックグリーンシートおよびチップを作製した。それらについて実施例１と同様に測定および評価を行った。測定した結果を表１に示す。
【００４９】
実施例１３
実施例１においてｏ−フタル酸の量を４重量部にした以外は実施例１と同様にしてセラミックグリーンシートおよびチップを作製した。それらについて実施例１と同様に測定および評価を行った。測定した結果を表１に示す。
【００５０】
実施例１４
実施例６においてマレイン酸の量を０．５重量部にした以外は実施例６と同様にしてセラミックグリーンシートおよびチップを作製した。それらについて実施例１と同様に測定および評価を行った。測定した結果を表１に示す。
【００５１】
実施例１５
実施例６においてマレイン酸の量を４重量部にした以外は実施例６と同様にしてセラミックグリーンシートおよびチップを作製した。それらについて実施例１と同様に測定および評価を行った。測定した結果を表１に示す。
【００５２】
実施例１６
ｏ−フタル酸の添加時期および分散方法を下記に示すように変更する以外は、実施例1と同様にして、フェライト塗料を調製した。本実施例においては、まずアクリル樹脂と酢酸ブチルとトルエンとを混合溶解して樹脂溶液を作製し、その後、この樹脂溶液とＮｉ−Ｃｕ−Ｚｎフェライト粉末とフタル酸ベンジルブチルとをボールミルに投入し、４８時間分散を行った後、ｏ−フタル酸を加え、さらに５時間分散を行った。
このようにして得たフェライト塗料を用いて、実施例１と同様にして、セラミックグリーンシートおよびチップを作製した。それらについて実施例１と同様に測定および評価を行った。測定した結果を表１に示す。
【００５３】
実施例１７
ｏ−フタル酸の添加時期および分散方法を下記に示すように変更する以外は、実施例1と同様にして、フェライト塗料を調製した。本実施例においては、まずアクリル樹脂と酢酸ブチルとトルエンとを混合溶解して樹脂溶液を作製し、その後、この樹脂溶液にＮｉ−Ｃｕ−Ｚｎフェライト粉末とフタル酸ベンジルブチルとを加え混練処理を行い、サンドグラインダーミルにて滞留時間で３０分分散した後、ｏ−フタル酸を加え、さらに５分分散を行った。
【００５４】
このようにして得たフェライト塗料を用いて、実施例１と同様にして、セラミックグリーンシートおよびチップを作製した。それらについて実施例１と同様に測定および評価を行った。測定した結果を表１に示す。
【００５５】
実施例１８
実施例１においてフェライト粉をＮｉ−Ｚｎフェライトに変更した以外は実施例１と同様にしてセラミックグリーンシートおよびチップを作製した。それらについて実施例１と同様に測定および評価を行った。測定した結果を表１に示す。
【００５６】
実施例１９
実施例１においてフェライト粉をＣｕ−Ｚｎフェライトに変更した以外は実施例１と同様にしてセラミックグリーンシートおよびチップを作製した。それらについて実施例１と同様に測定および評価を行った。測定した結果を表１に示す。
【００５７】
実施例２０
実施例１においてフタル酸ベンジルブチルをセバシン酸ジブチルに変更した以外は実施例１と同様にしてセラミックグリーンシートおよびチップを作製した。それらについて実施例１と同様に測定および評価を行った。測定した結果を表１に示す。
【００５８】
実施例２１
実施例１においてアクリル樹脂をブチラール樹脂（積水化学（株）製、BM−S）に、フタル酸ベンジルブチルをアジピン酸ジオクチルに変更した以外は実施例１と同様にしてセラミックグリーンシートおよびチップを作製した。それらについて実施例１と同様に測定および評価を行った。測定した結果を表１に示す。
【００５９】
実施例２２
実施例２１においてフェライト粉を酸化チタンに変更した以外は実施例２１と同様にしてセラミックグリーンシートおよびチップを作製した。それらについて実施例１と同様に測定および評価を行った。測定した結果を表１に示す。
【００６０】
実施例２３
実施例２１においてフェライト粉をチタン酸バリウムに変更した以外は実施例２１と同様にしてセラミックグリーンシートおよびチップを作製した。それらについて実施例１と同様に測定および評価を行った。測定した結果を表１に示す。
【００６１】
比較例１
実施例１においてｏ−フタル酸を添加しなかった以外は実施例１と同様にしてセラミックグリーンシートおよびチップを作製した。それらについて実施例１と同様に測定および評価を行った。測定した結果を表１に示す。
【００６２】
比較例２
実施例１７においてｏ−フタル酸を添加しなかった以外は実施例１７と同様にしてセラミックグリーンシートおよびチップを作製した。それらについて実施例１と同様に測定および評価を行った。測定した結果を表１に示す。
【００６３】
比較例３
実施例１においてｏ−フタル酸をオレイン酸に変更した以外は実施例１と同様にしてセラミックグリーンシートおよびチップを作製した。それらについて実施例１と同様に測定および評価を行った。測定した結果を表１に示す。
【００６４】
比較例４
実施例１においてｏ−フタル酸をミリスチン酸に変更した以外は実施例１と同様にしてセラミックグリーンシートおよびチップを作製した。それらについて実施例１と同様に測定および評価を行った。測定した結果を表１に示す。
【００６５】
比較例５
実施例１８においてｏ−フタル酸を使用しなかった以外は実施例１８と同様にしてセラミックグリーンシートおよびチップを作製した。それらについて実施例１と同様に測定および評価を行った。測定した結果を表１に示す。
【００６６】
比較例６
実施例１９においてｏ−フタル酸を使用しなかった以外は実施例１９と同様にしてセラミックグリーンシートおよびチップを作製した。それらについて実施例１と同様に測定および評価を行った。測定した結果を表１に示す。
【００６７】
比較例７
実施例２０においてｏ−フタル酸を使用しなかった以外は実施例２０と同様にしてセラミックグリーンシートおよびチップを作製した。それらについて実施例１と同様に測定および評価を行った。測定した結果を表１に示す。
【００６８】
比較例８
実施例２１においてｏ−フタル酸を使用しなかった以外は実施例２１と同様にしてセラミックグリーンシートおよびチップを作製した。それらについて実施例１と同様に測定および評価を行った。測定した結果を表１に示す。
【００６９】
比較例９
実施例２２においてｏ−フタル酸を使用しなかった以外は実施例２２と同様にしてセラミックグリーンシートおよびチップを作製した。それらについて実施例１と同様に測定および評価を行った。測定した結果を表１に示す。
【００７０】
比較例１０
実施例２３においてｏ−フタル酸を使用しなかった以外は実施例２３と同様にしてセラミックグリーンシートおよびチップを作製した。それらについて実施例１と同様に測定および評価を行った。測定した結果を表１に示す。
【００７１】
表１にまとめて示す測定結果から、本発明により得られたセラミックグリーンシートは、比較例のセラミックグリーンシートと比較して、通気性及び厚み方向の縮率が格段に大きく空隙の多いつぶれやすいフェライト塗料の塗膜が作ることができることが分かる。また、セラミックグリーンシートを積層した後の縮率も、本発明のセラミックグリーンシートは非常に大きく、５μｍ台またはそれ以下といった層間厚みの小さいチップを作製することができることが分かる。本発明では、比較例で作製したチップの層間厚みの約５０％ほどのものもつくることができる。
【００７２】
なお、実施例および比較例における操作の理解を容易にするため、各実施例および各比較例で使用した成分および分量等をまとめて表２に示す。
【００７３】
【表１−１】
2005145752.tif 000002
【表１−２】
2005145752.tif 000003
【表２−１】
2005145752.tif 000004
【表２−２】
2005145752.tif 000005
【表２−３】
2005145752.tif 000006