(57)【要約】      （修正有）【課題】  連続動作が可能なガラスコーティング装置とする。【解決手段】  特に、通過する基板の連続コーティングのための、好ましくはガラス・コーティング装置である真空処理装置であって、１以上のチャンバー壁および／または隔離壁によって相互に隔てられ、前記チャンバー壁および／または隔離壁の開口部４、好ましくは前記基板の通路用のスロットロックによって相互に接続された、少なくとも２つの、好ましくは多数の隣接して配置されたチャンバー２０、３０またはチャンバー区域２１、２２、３１、３２、３３を有し、少なくとも１つの開口部は、チャンバーおよび／またはチャンバー区域を真空気密に隔てるための弁ユニット５によって真空気密に閉じることができ、弁ユニットが、チャンバーの内部に、特に、チャンバー壁および／または隔離壁の内側に、分離可能に取り付けられている、真空処理装置とする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
１つ以上のチャンバー壁（２３、３４、３５）および／または隔離壁（２４、３６、３７）によって相互に隔てられ、前記チャンバー壁および／または隔離壁の開口部（４）、好ましくは基板通路用のスロットロックによって相互に接続された、少なくとも２つの、好ましくは多数の隣接して配置されたチャンバー（２０、３０）またはチャンバー区域（２１、２２、３１、３２、３３）を有し、少なくとも１つの開口部が、チャンバーおよび／またはチャンバー区域を真空気密に隔てるための弁ユニットによって閉じることができる、特に、通過する基板の連続コーティングのための、好ましくはガラス・コーティング装置である真空処理装置において、
前記弁ユニットが、前記チャンバーの内部に、特に、チャンバー壁および／または隔離壁の内側に、分離可能に取り付けられていることを特徴とする真空処理装置。
【請求項２】
弁ユニット（５）が、取付けおよび／または取外しを、チャンバー壁または隔離壁を必要的に変えることなしに実行することができるようにしてチャンバー壁または隔離壁取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載の真空処理装置。
【請求項３】
一方に前記弁ユニット（５）を、他方に、内部に配置されたプロセス・ツールおよび基板搬送部を有する前記チャンバーが、チャンバー壁または隔離壁の弁ユニットの配置および取外しを、少なくとも再活性化／不活性化動作状態で、チャンバーを変えることなく、ならびに／または、前記チャンバー内のプロセス・ツールおよび／または搬送部の配置を変えることなく、ならびに／またはチャンバーの相互位置を変えることなく、遂行することができるようにして、相互に調節されていることを特徴とする請求項１または２に記載の真空処理装置。
【請求項４】
弁ユニット（５）が、ハウジング（６）と、その内部で可動な、開口部（４）を真空気密に密閉するための弁蓋（７）とを含み、閉じた弁蓋により、前記ハウジングが、真空気密で、かつ分離可能にチャンバー壁または隔離壁に取り付けられていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の真空処理装置。
【請求項５】
開口部（４）の前記弁ユニット（５）が、保持体（７０）によって分離可能に取り付けられており、特に、前記開口部の周囲部分のすぐ隣に、前記隣接するチャンバー壁またはそれぞれの隔離壁を真空気密に抱え込むクランプとして前記保持体が造られていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の真空処理装置。
【請求項６】
前記弁ユニット（５）が、真空気密に保持体（７０）に取り付けられており、特に、分離可能に取り付けられていることを特徴とする請求項５に記載の真空処理装置。
【請求項７】
前記保持体（７０）が、中央スロット状開口部が設けられた、特に通路方向に２つの部分での第１（７１、７２）および第２（７３、７４）ステップ板を含んでおり、該ステップ板は、通路方向に、ステップを構成する異なる長さおよび／または幅の２つの領域を特徴として有し、弁ユニットから取り外される、弁ユニット（５）のハウジング（６）に付いた前記第１ステップ板と、チャンバー壁または隔離壁、特に隣接するチャンバーのチャンバー壁（３４）に付いた前記第２ステップ板、ならびに両ステップ板が、分離可能に相互連結されており、また、弁ハウジングと第１ステップ板との間、および、第２ステップ板とチャンバー壁または隔離壁との間、ならびに、前記各ステップ板の間にストップ面が設けられ、そこにシール手段が組み込まれていることを特徴とする請求項５または６に記載の真空処理装置。
【請求項８】
チャンバー壁（２３、３４）が、その内側にステップ状の窪みを有し、または、前記隔離壁が、前記ステップ板がその中に貫入する双方向的にステップ状である窪みを特徴として有していることを特徴とする請求項７に記載の真空処理装置。
【請求項９】
前記分離可能な連結部が、ねじ山付き連結部（７５、７６、７７）であることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の真空処理装置。
【請求項１０】
前記弁ユニットが、滑り弁（５）またはフラップ弁であることを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載の真空処理装置。
【請求項１１】
弁ユニット（５）が、両方のシール方向で、したがって大気圧側および真空側とは無関係に、前記開口部（４）を閉鎖するのに適していることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載の真空処理装置。
【請求項１２】
前記弁ユニット（５）が、２つの部分でのハウジング（６）を備え、ハウジング部品（６．１、６．２）が、ハウジングに予見される、通路開口部のように径方向に真空気密に相互連結され、それらの間に可動弁フラップ（７）のためのガイド・スロット（６Ｓ）を形成し、前記可動弁フラップは、前記通路開口部を閉鎖する位置と、前記通路開口部を開放する位置との間で移動させることができ、かつ、１つ、好ましくはガイド・スロットに相対して対称に設けられた２つのアクチュエーター（８、１０）によって、好ましくはシール手段（９、１１）が設けられた少なくとも１つ、好ましくは２つのシール面に通路方向に押しつけることができ、前記アクチュエーターは、流体圧力によって動作させることができ、特に弾性可動要素上に作用することを特徴とする請求項１〜１１のいずれか１項に記載の真空処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、請求項１のプリアンブルに記載の真空処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラス基板は、真空処理装置、特に昨今、いろいろなプロセスにかけられる、さまざまな隣接して配置されたチャンバーまたはチャンバー区域（隔室）を通して、コーティングされるガラス基板が連続的に導かれていくガラス・コーティング装置が、広く用いられている。
【０００３】
別々のチャンバー区域（隔室）で遂行されるプロセスの間の相互干渉を避けるために、前記隔室すなわち区域は、通常、別々の隔室によって真空気密に相互に隔てられ、ポンプで吸い出されており、前記コーティングされる基板を１つの隔室から別の隔室に移動させることができるように、いわゆるスロットロックのみが、隔室すなわちチャンバーの間に組み込まれている。前記隔室すなわちチャンバーの間にスロット状開口部の形で必要的に造られているこれらのスロットロックによって、一方では、弁すなわちロックのいかなる付加的な作動も必要なく、例えばローラーコンベアのような対応するコンベア装置で、ガラス板の形の前記ガラス基板を連続的に移動させることが可能となり、他方では、隣接する隔室間の雰囲気の不要な交換が避けられる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、通常、ある隔室すなわちチャンバーの間には、給電カソードのメンテナンス作業または交換の際に、コーティング装置全体を通気する必要なく、メンテナンスまたは交換作業で影響が及ぼされる部分のみとするために、前記隔室すなわちチャンバーの完全なガス気密すなわち真空気密な隔離を可能とする付加的な隔離弁が組み込まれている。
【０００５】
前記隔離弁の所要の真空気密配置および前記隔室内に収容されたプロセス・ツールまたは測定ツールに対しての所要の調節に基づいて、隔離弁の容積および配置が予め定められ、ガラス・コーティング装置の組立時に取り付けられ、これにより、どの区域を隔離弁によって順次相互にロックすることができるかが正確に定められる。
【０００６】
本発明の目的は、前記ガラス・コーティング装置の効率的で可変の利用と、その製造とを可能にする、真空コーティング装置、特に連続動作ガラス・コーティング装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この課題は、請求項１の特徴を有する真空処理装置によって解決され、有利な実施形態は、従属請求項の対象物である。
【０００８】
コーティング・プロセスの変更時に、例えば層の順序の変更の結果として、おそらく、可変のコーティングすなわちプロセス・ツールによる隔室のさまざまな利用が行われる必要があり、結果として、前記隔離弁の所定の配置が、変更されたコーティング・プロセスに対する適切なメンテナンス作業に対して、もはや適当ではなくなるため、ガラス・コーティング装置の組立時に隔離弁が堅固かつ固定的に組み込まれる当該ガラス・コーティング装置は、可変で効率的な利用に関してかなりの不都合を生じさせるということを、本発明者らは認識した。
【０００９】
本発明によれば、前記隔離弁が別々のチャンバーまたはチャンバー区域内に別個に取り付けられており、これにより、必要な場合には、ガラス・コーティング装置すなわち真空処理装置内に他の隔離可能区域を作り出すために、いつでも前記隔離弁を移動したりその配置を変えたりすることができるということによって、この課題は解決することができる。
【００１０】
特に、かなりの空間をさらに必要とする、隣接するチャンバーの間の別個のハウジング内に前記隔離弁、すなわち弁ユニットを組み込むことが必要なく、弁ユニットは、好ましくは前記チャンバー壁および／または隔離壁の内側に取り付けられており、これにより、中間の隔離弁を組み込むことによって隣接するチャンバーを距離をおいて配置することが事実上避けられる。
【００１１】
弁ユニットおよびチャンバーの両方が、それらが取り付けられるチャンバー壁および／または隔離壁の必要的な変更をこうむることなく、弁ユニットを前記部分に取り付けることができるように、または、そこから再び取り外すことができるようにして造られることが有効である。
【００１２】
また、一方に前記弁ユニットを、他方に、内部に組み込まれたプロセス・ツールおよび基板搬送部を有する前記チャンバーが、前記弁ユニットを、前記チャンバー内のプロセス・ツールおよび搬送部と独立して、すなわちチャンバー壁または隔離壁に取り付けることができるようにして、相互に同調されることが有効である。これは、隔離弁すなわち前記弁ユニットが、プロセス・ツールおよび／または搬送部との衝突を避けるようにして、特に小さな寸法を有し、かつ特別な平面様に造られている場合に、特に達成される。
【００１３】
チャンバー内部での弁ユニット（隔離弁）の可動に取り付けられた配置によって、隔離弁の組立てまたは取外しが、実質的に、チャンバーの変更、または少なくとも組立てもしくは取外しの後のチャンバー内のプロセス・ツールおよび搬送部の配置の変更なしを、ならびに、チャンバーの相互位置の変更を伴い、これは通常は全体で達成することはできない。前記チャンバー間に別個の隔離弁ハウジングを付加的に組み込むことも、こうして除かれている。
【００１４】
好ましくは、前記弁ユニットは、それによって弁ユニットをチャンバー内に、すなわちチャンバー壁または隔室壁に、真空気密、すなわちガス気密に組み込むことができるハウジングを備えている。この場合、真空気密とは、閉じた弁蓋により、確実に真空気密、すなわちガス気密に隔室、すなわちチャンバー区域を隔てるために、特に、前記基板用通路開口部から径方向において、シールを連結部に設け、これにより、隔離壁またはチャンバー壁の、弁ハウジングのすぐそばでも、気密度が確保される。
【００１５】
好ましくは、前記弁ユニット、すなわちハウジングを有する隔離弁が、チャンバー壁すなわち隔離壁に、前記スロットロックの領域内に取付支持体を介して配置され、好ましくはクランプの形の前記取付支持体が、通路開口部のまわりで、前記隣接するチャンバー壁または隔離壁を抱え込んでいる。これにより、確実に、チャンバーまたは隔室での大規模な変更なしの、特に簡単な取付けとなる。
【００１６】
好ましくは、特に気密な連結をその場所でもたらすために、前記取付支持体および隔離壁すなわちチャンバー壁が、相補的なかみ合うステップを備えている。
【００１７】
好ましくは、滑り弁またはフラップ弁として予見しうる前記隔離弁が、閉鎖段階の間に回転動作または並進動作をする弁フラップをも備えることができ、両方向に前記開口部を閉鎖することができる滑り弁としても造ることができ、これにより、弁ユニットを、真空状態または大気状態のもとで、一方の側にまたは他方の側に取り付けることができる。対応して、弁ユニットは、搬送方向で見て、チャンバー壁または隔離壁の前方または後方に取り付けることもできる。
【００１８】
本発明の対象物のさらなる詳細および利点を、実施形態の図面に、および以下の説明に基づいて示す。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
図１は、別々の隔室２１、２２、３１、３２および３３にさらに分けられる２つの隣接するチャンバー２０、３０を有するガラス・コーティング装置の一部を、断面で示している。
【００２０】
基板の前方において、チャンバー３０は、チャンバーのフランジとして造られたチャンバー壁３４および３５によって制限されており、一方、チャンバー３０のチャンバー壁３４に隣接するチャンバー２０は、チャンバーのフランジの形でチャンバー壁２３を備えている。
【００２１】
隔室２１、２２、３１、３２および３３は、基板通路用のスロットロックとして機能する、前記開口部４まで突出させた隔離壁２４、３６および３７によって、チャンバー２０、３０内部で相互に真空気密に隔てられている。
【００２２】
コーティング工程のための真空状態を調節するために、チャンバー２０および３０上部には、ポンプユニット４０が設けられ、隔室２１、２２および３１から３３までをポンプ引きするようにされている。
【００２３】
隔室すなわちチャンバーの構造が実質的に同じである隔室の内部では、例えば、コーティング・プロセス、測定または同様な動作のような、異なるプロセスすなわち加工工程を遂行することができ、または、それらを、異なるコーティングツールを有する隔室間のガス分離工程として用いることができる。例えば、隔室２２は測定隔室として造られ、隔室３１および３３は回動可能なデュアルマグネトロン・カソード５０を有するコーティング隔室として造られており、一方、隔室３０は例えばポンプ隔室として造られている。
【００２４】
基板は、別々の隔室を通して別々のコンベア・ローラー６１を好ましくは備えるコンベア装置で破線６０に沿って移動し、１つの隔室から別の隔室への、すなわちチャンバー間の移動は、スロットロックの形の開口部４を通して行われる。
【００２５】
特にコーティング隔室として造られた隔室３１および３３では、絞り装置８０を、隔離弁３６、３７および／またはチャンバー壁３４、３５で一体とすることができる。
【００２６】
メンテナンス作業時に、前記ガラス・コーティング装置を部分的にのみ通気することができるように、別々のチャンバー区域（隔室）またはチャンバーは、隔離弁５の可変配置によって、真空気密にロックすることができる。例えば、装置の残りの部分を通気する必要なしに内部カソードを交換するために、例えば、一方においては隔離壁３６で、他方においてはチャンバー壁２３および２４で、隔離弁５を有する隔室３１を、真空気密にロックすることができる。
【００２７】
本発明によれば、メンテナンス作業のために装置全体をさらに分離することが結局必要とされうるコーティング・プロセス変更の間に、前記隔離弁５が隔離壁２４、３６、３７またはチャンバー壁２３、３４、３５に分離可能に取り付けられているため、他の隔離壁またチャンバー壁に取り付けられているそれらを、前記隔離壁またはチャンバー壁から取り外すことができる。隔離弁５は各チャンバー壁および／または隔離壁に配置することができることから、コーティング装置のそれぞれの任意の構成部分を任意に真空気密状態に閉鎖することができるということが重要である。
【００２８】
後述の好ましい隔離弁５の配置に基づいて、好ましくは、基板の搬送方向において前記チャンバー壁すなわち隔室壁の前方または後方で、前記隔離弁を組み込むことができ、これによりさらに確実にされることは、シール方向が、両方のシール方向のどちらでも実施可能とされ、その結果、隔離弁５の一方の側と他方の側との両方で、大気状態または真空状態が実施されうるということである。
【００２９】
図２は、拡大スケールで、通路開口部４による隔室２２から隔室３１への移動の地点の断面図を示しており、この通路開口部４は、図面の面に向かって垂直に、今や明らかとなったその高さよりも大きな寸法をはっきりと明白に示しうるもの、すなわち、スロット形状と見ることができるものであるが、全体的に見ると、可能な限り最小の自由断面積で造られている。好ましい利用について言えば、３ｍを超える幅の平坦なガラスパネルの通過を許容するのにちょうど十分に大きくなければならない。
【００３０】
開口部４が、次に記述する滑り弁で閉じられているとき、および、例えば、モジュール３１内が真空であり、同時に、モジュール２２が通気中であるときに、どのような二次的な気流の形成も避けるために、非常に緊密かつ堅固に相互連結された両方のチャンバーを、開口部４の領域に見ることができる。
【００３１】
まず、前記滑り弁５は、２つのハウジング部品６．１および６．２を有するハウジング６を含んでいる。前記ハウジング６は、特に非常によくシールされ、別個の構成部品からなることが分かる。ここでは、例えば、両方のハウジング部品６．１および６．２の間の隙間内にシールリング６Ｄを、また、ハウジング部品６．２と、全体としてハウジング６が開口部４の領域において取り付けられるところの保持壁７０との間の隙間内に他のシールリング７９を、認めることができる。
【００３２】
ハウジング６は、全体として、開口部４によって一様に貫通されており、すなわち、自由かつ連続する断面を有する前記開口部４の延長を形成する通路を備えている。
【００３３】
当技術分野の最初に示した状態とは反対に、本滑り弁は、必ずしも両方のモジュール２２および３１の間に組み立てる必要はなく、そのハウジング６を、モジュール２２の内部に片側だけに配置することができるということを、認めることができる。
【００３４】
両方のハウジング部品６．１および６．２は、それらの間に、ガイド・スロット６Ｓを形成し、その中に滑り板７が、ぶら下がった状態で、小さくされた水平方向の隙間を有して組み立てられ、すなわち、その主要面に対して垂直な方向に見える。これは、詳細には示していない並進アクチュエーター７ａに吊されている。水平方向にかたよることを可能とするために、その調節要素（ここでは詳細に示していない）が、前記滑り板７と適切に連結されている。アクチュエーター７ａと前記滑り板７との間のこの連結部は、ハウジング６を貫通している。
【００３５】
（垂直）ガイド・スロット６Ｓは、搬送面６０の両側の部分で、その中に組み込まれている前記滑り板と同じように、（水平）通路機構である開口部４に対して横断して延びている。その本質的縦方向部分は、前記搬送面６０の上方に配置されているが、小さい部分が下にも予見される。
【００３６】
ガイド・スロット６Ｓ内で、滑り板７は、開口部４が完全に開き、基板が通過しうる非活動位置（図３参照）と、滑り板７が完全にスロット開口部４にふたをする、ここで示した動作位置すなわち閉鎖位置との間で、アクチュエーター７ａによって可逆的に作動させることができる。
【００３７】
非活動位置では、滑り板７は、完全にガイド・スロット６Ｓの上部に取り込まれ、動作位置では、その下端がガイド・スロット６Ｓの下部に、ブレードのように貫入し、一方、滑り板７の上部はまだガイド・スロット６Ｓの上部内に残っている。滑り板７が開口部４の境界のいたるところを覆うことが重要である。
【００３８】
アクチュエーター７ａによる滑り板７の可逆的な動作は、最初、ガイド・スロット６Ｓ内での過度にきつい案内動作によらず、すなわち、無視しうる摩擦率で自由に行われる。結果として、アクチュエーター７ａは、非常に強い調節力を加える必要がない。これは、例えば、空気もしくは液圧式リフトシリンダー、ラック・ピニオン駆動装置、または電磁リニアエンジンとすることができる。これは、長いストローク（数センチメートル）を実行する必要はないが、比較的表面的にだけは、その動作位置にシール板を配置することができる必要がある。
【００３９】
次に述べる滑り板７が、わずかなストロークでも、直線駆動装置７ａの調節方向に向かって垂直な方向にも移動可能である必要があるため、いずれにせよ、滑り板とのアクチュエーターとの連結には、すでに概説したように、一定の弾性または有関節性が求められる。この目的のため、例えば、アクチュエーター７ａの調節要素の端部に、前記滑り板７が要求されるように可動に吊される、１つ、２つまたはそれを上回る軸で２つの側面が相互接続されたフォークが配置されていてもよい。
【００４０】
なお、アクチュエーター７ａは、滑り板７が、最終的に図面の面に向かって垂直にいろいろなメートル長にわたって延びる場合に、必要なときに用いる、さまざまな同様な同期的に命令を受けるアクチュエーターを表している。
【００４１】
左半分のハウジング部品６．１においては、第１閉鎖機構８が設けられている。これは、好ましくは、ハウジング壁の、周囲環状の溝内に挿入され、その形で、開口部４の全周を取り囲む、膨張可能なシールとして作製する。機能的にこの閉鎖駆動装置８に対応する、環状シール９が設けられており、これは反対側の半分のハウジング部品６．２の壁においても環状溝内に挿入されていて、やはり開口部４を完全に取り囲んでいる。
【００４２】
前記閉鎖機構８とちょうど反対側（ガイド・スロット６Ｓおよび滑り板７の中間面に対して）に、示した実施形態においては、反対側のハウジング部品６．２の壁に、閉鎖機構８と同じ様式の第２閉鎖機構１０が挿入されている。これは、環状シール９によって囲まれた領域内に配置されている。
【００４３】
閉鎖機構１０には、ハウジング部品６．１の壁に挿入される環状シール１１が、再び環状シール９のちょうど反対方向にて機能的に対応し、閉鎖機構８を周囲で内包している。
【００４４】
閉鎖機構８および１０を、シールリング９および１１によって周囲を囲まれた領域の内側に配置するか外側に配置するかは、実際、実施形態次第である。後者の場合、閉鎖機構は、真空の影響に対して閉じた側で保護される。前者の場合、閉鎖機構は、同じ側に配置されたシールリングをスプレーしぶきから保護する、すなわち、開口部および弁に到達しうる、真空チャンバー内で作り出されたコーティング粒子の不必要な堆積を避けることである。
【００４５】
既に示したように、チューブタイヤと同様な、一様な周囲を囲む室として、閉鎖機構８および／または１０を作製することが強制的に要求されるものではない。特に、周囲を囲むように閉鎖機構を与えるのではなく、開口部４の両側の２つの平行な長く延びる部分としてのみ閉鎖機構を与えることも考えられる。これもまた、重要な、スプレーしぶきからのシールリングの保護を、確実にしうる。
【００４６】
さらに、多くの独立した室を、シール面の周囲に沿って、一様に分布させることもでき、これらは、あきらかに、流体工学的に相互連通し、かつ、同期的に圧力にさらされるものである。
【００４７】
本発明に照らせば、滑り板を、一方向のみでシール位置に用意しなければならない場合、閉鎖駆動装置のうちの１つだけが予見されうるということが予見される。
【００４８】
本明細書で説明されるような閉鎖駆動装置８および１０の周囲構成は、それらの外側の部分の適切な構成によって、二次的なシールとしてそれらが滑り板７の平滑面に寄りかかられ、それらの内側の領域が加圧されている限り、シールリング９、１１のシール動作を強化するという効果を示す。
【００４９】
搬送面６０の下側で、開口部４およびガイド・スロット６Ｓの領域において、ハウジングの内側には、永久的弾性材料の帯１２が、交換可能に取り付けられている。これは、搬送面の下側に位置するガイド・スロット６Ｓの部分を閉ざし、ガイド・スロット６Ｓの下部内に粒子が入り込むことを防ぐ。これは、リップシールとして分けて造られ、ひとたび滑り板７がその動作位置へと動かされると、滑り板７の自由な貫入を許容する。
【００５０】
シールリング９および１１、ならびに閉鎖駆動装置８および１０は、非活動位置と動作位置との間の反転動作中の、滑り板７との接触による損傷または単に摩擦を排除することができる程度まで、それぞれのハウジング壁内に挿入される、すなわち、最終的に、負圧にさらすことでそこに挿入することができる。
【００５１】
加えて、適当な保護方法によって、閉鎖駆動装置８および１０のうちの１つが加圧されたときには、言うまでもなく、アクチュエーター７ａの作動は避けられるべきである。閉鎖駆動装置８または１０のうちの１つを作動させた状態での滑り板７の単なる手動の駆動は、その強い圧縮力のために、どのようにしても不可能であろう。
【００５２】
ハウジング部品６．１および６．２の厚さと比較して、滑り板７は、非常に薄くかつ軽く作製することができるということが分かる。閉鎖駆動装置８、１０によって生み出される閉鎖力のおそらく一様な分布と相まって、滑り板７は、シールリング９および１１が理想シール面からの小さな長波のずれを明白に示すであろうときにも、滑り板７自体を、それぞれシールリング９および１１の経路に正確に合わせることができる。
【００５３】
調節について言えば、滑り板７は、（引き続き、または再び）相互に隔てられる両モジュールにおける圧力が等しい場合、すなわち、例えば、両側において、大気圧または真空がかけられた場合に、アクチュエーター７ａによって作動させる。
【００５４】
ひとたび、その動作位置に到達したら（その下端がガイド・スロット６Ｓの下部におおい隠されたら）、まだ解消されている（これから形成される）圧力差の方向（例えば、モジュール３１内が真空、モジュール２２内が大気圧、またはその逆）にしたがって、閉鎖駆動装置８または１０のうちの１つに、内部圧力が供給され／を受け、このとき、好ましくは、低い側の圧力レベルに面しない閉鎖機構を作動させている。
【００５５】
例えば、滑り弁５が閉鎖位置にあり、真空がモジュール３１にかけられる場合、（左の）閉鎖機構８を作動させる。その横断するチューブ部分の、結果として起こる膨張のために、滑り板７は、（右の）環状シール９に押しつけられる。
【００５６】
一方、滑り弁５が閉鎖位置にあり、モジュール２２内の圧力が、モジュール３１内の圧力よりも小さくなる場合には、滑り板７を（左の）環状シール１１に可動に押しつけるために、（右の）閉鎖駆動装置１０を作動させる。
【００５７】
これらの方法によって、過剰な圧力差（真空に対する内部圧力）にともなう閉鎖駆動装置８および１０それぞれの柔軟な凸状面の負担が回避されている。
【００５８】
滑り板７の一方の側へのより強い圧力が、環状シール９および１１それぞれにさらに強い圧力を加えるため、明らかに、モジュール２２と３１との間の圧力差の増加にともなう閉鎖駆動装置８および１０それぞれの圧縮力は、さらに強められている。
【００５９】
閉鎖駆動装置８および１０は、シール機能を確保する事実上の弁駆動装置であるということが、さらに理解される。アクチュエーター７Ａは、単に、圧力差の方向によらず、前記滑り板をその全体の動作位置に配置するということが予見されるのみである。結果的に、滑り弁５の、すなわちその一部をなす滑り板７の実際のシール機能は、ここでは、閉鎖駆動装置８または１０のうちの１つを任意に作動させることにより、両方の方向で用いることができる。
【００６０】
シール機能を有する構成部品を備える滑り弁５の上述の示した実施形態は、鏡映対称で造られており、したがって、滑り板７の面上で双方向的に高い圧力差を支えるのに適しているということが分かる。しかし、一方のみのシール方向のための実施形態を想像することができ、このとき、閉鎖駆動装置８および環状シール１０、または閉鎖駆動装置９および環状シール１１のいずれかは除くことができる。
【００６１】
滑り弁５によってパージすべき圧力差の低下の後、また最終的には前に作動させていた閉鎖駆動装置８または１０の能動的収縮の後に、アクチュエーター７ａは、再び、その非活動位置に向けて滑り板を移動させることができる。最終的に、滑り板７を環状シール９または１１から離すことは、その復元力が閉鎖駆動装置に無理なく圧倒される、不図示の薄板ばねまたはカップ状ばねによって促進することができる。
【００６２】
断面図の図２は、また、そのハウジング６を前記隣接する隔室２２および３１のチャンバー壁２３および３４に有して、前記隔離弁、すなわち滑り弁５がそれを用いて配置される前記保持体７０を示している。
【００６３】
保持体７０は第１ステップ板７１、７２を含むが、これらは、基板通路方向に、異なる縦寸法および幅寸法を有する２つの異なる領域７１および７２を特徴として有しており、これにより、第１ステップ板７１、７２を、開口部４およびチャンバー壁２３のステップ状の窪み内に挿入することができる。この工程の間、チャンバー壁２３と相対する、第１ステップ板７１、７２の径方向シールを得るために、スロット開口部４の周りを囲んで配置されるシール７８を、前記ステップ領域内で、チャンバー壁２３に寄りかからせる。次に示すように、第１ステップ板７１、７２は、別個の領域７１および７２を有する、一体の、または分割されたユニットとしても造ることができる。
【００６４】
開口部４を囲むいろいろなねじを包含するねじ山付き連結部７５によって、第１ステップ板７１、７２は、隔離弁、すなわち滑り弁５のハウジング６と一体化される。第１ステップ板７１、７２とハウジング６、特にハウジング部品６．２との間の共通のストップ面上に、前記開口部を囲むシール７９も予見され、これにより、ハウジング６と第１ステップ板７１、７２との間の径方向の真空気密な連結ももたらされる。
【００６５】
第１ステップ板７１、７２に接して、第２ステップ板７３、７４が設けられ、これもまた第１ステップ板７１、７２に対して鏡面対称なステップ状構成を特徴として有しており、チャンバー壁３４の対応するステップ状の窪み内に貫入している。第１および第２ステップ板がその上で相互接触を確立しているストップ面、すなわちシール面８１上には、やはり開口部４を囲むシール７８が設けられ、これにより、やはり径方向に、第１ステップ板７１、７２と第２ステップ板７３、７４との間の真空気密な連結がもたらされている。好ましくは前記開口部を囲む異なるねじ７６をも備えた、ねじ山付き連結部によって、やはり領域７３および７４を有する２つの部分で造ることができる第２ステップ板７３、７４が第１ステップ板７１、７２に連結され、さらに、やはり前記開口部を囲むさまざまなねじを備えうるねじ山付き連結部７７によりチャンバー壁３４に連結され、これにより、保持体と隔離弁５とを真空気密にチャンバー壁２３および３４にそのように配置するために、ねじ山付き連結部７６によって、開口部４の前記保持体７０が、クランプのように、チャンバー壁２３および３４の縁部を抱え込んでいる。
【００６６】
閉鎖弁位置において、すなわち、図２の滑り板７の位置において、形はどうあれ、隔室２２と３１との間のガス気密な分離を確立することができ、シール方向を自由に選択することができ、これにより、隔離弁５の一方の側でも他方の側でも、大気状態または真空状態が実施されうる。
【００６７】
平面形状の隔離弁５によれば、この弁は、搬送部６０、６１それぞれには無関係に、チャンバー壁２３および３４に配置することができ、すなわち搬送部の変更が必要ない。
【００６８】
さらに、必要な場合には、ねじ山付き連結部７７、７６および最終的には７５を緩めることによって、前記隔離弁５を簡単に取り外し、また再び取り付けることができる。これにより、装置の全ての領域における、隔離弁の可変の使用が可能とされる。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】別々のチャンバーおよびチャンバー区域（隔室）を有するガラス・コーティング装置を通しての縦断面図を概略的に示している。
【図２】滑り板の動作位置での、本発明による滑り弁の断面図を概略的に示している。
【図３】滑り板の非活動位置での、類似の断面図を示している。
【符号の説明】
【００７０】
４…開口部、５…隔離弁、６…ハウジング部品、７…板、７ａ…アクチュエーター、８…閉鎖機構、９…シール、１０…閉鎖機構、２０…チャンバー、２１，２２…隔室、２３…チャンバー壁、２４…隔離壁、３０…チャンバー、３１，３２，３３…隔室、３４…チャンバー壁、３６…隔離弁、４０…ポンプユニット、５０…デュアルマグネトロン・カソード、６０…搬送面、６１…コンベア・ローラー、７０…保持壁、７１，７３…ステップ板、７５，７６，７７…連結部、７８，７９…シール、８０…絞り装置、８１…シール面。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【外国語明細書】
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