(57)【要約】【課題】  多数の発光パネルの光学及び電気特性検査を小スペースで連続して同時にかつ安定して行うことが可能な発光パネルのエイジング検査装置及びその方法を提供する。【解決手段】  発光パネルのエイジング検査装置１０は、発光パネル１１を搭載した検査パレット１２を受け入れる搬入ステーション１３と、検査パレット１２を多段に収容し発光パネル１１の電気特性検査を行ないながらエイジング試験を行うエイジング試験手段１４と、試験終了後の検査パレット１２を順次受け入れる検査済パレット収納手段１５と、検査パレット１２のエイジング試験手段１４への装入、光検出器１６による光学特性検査時の検査パレット１２の引き出し及び装入の繰り返し、試験終了後の検査パレット１２の検査済パレット収納手段１５への装入を行う検査パレット搬送手段１７と、発光パネル１１の光学特性検査の判定を行うエイジング試験判定手段１８とを有する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
通電可能な状態にセットされた複数の発光パネルを搭載した検査パレットを順次受け入れ、搬出時まで収納する搬入ステーションと、
前記搬入ステーションと並べて設けられ、該搬入ステーションから搬出された前記検査パレットを多段に収容して該各検査パレットに搭載している前記発光パネルにそれぞれ通電して一定時間のエイジング試験を行いながら所定時間毎に該発光パネルの電気特性検査を行うエイジング試験手段と、
前記エイジング試験手段と並べて設けられ、前記エイジング試験終了後に該エイジング試験手段から取り出された前記検査パレットを順次受け入れ、搬出時まで収納する検査済パレット収納手段と、
前記搬入ステーションから前記検査パレットを引き出し前記エイジング試験手段に搬送して装入し、かつ、該エイジング試験手段に収納されている該検査パレットを設定された時間毎に引き出し前記エイジング試験中の前記各発光パネルの明るさを搭載した光検出器で順次測定する光学特性検査を行ってから再度該エイジング試験手段に装入することを繰り返し、更に、前記エイジング試験が終了すると該エイジング試験手段から該検査パレットを引き出し前記検査済パレット収納手段に搬送して装入することが可能な検査パレット搬送手段と、
前記発光パネル毎に前記電気特性検査及び前記光学特性検査の判定を行うエイジング試験判定手段とを有することを特徴とする発光パネルのエイジング検査装置。
【請求項２】
請求項１記載の発光パネルのエイジング検査装置において、前記光検出器が積分型ラインカメラであることを特徴とする発光パネルのエイジング検査装置。
【請求項３】
請求項１及び２のいずれか１項に記載の発光パネルのエイジング検査装置において、前記検査済パレット収納手段には、前記エイジング試験判定手段で合格と判定された前記発光パネルのみを搭載した検査パレットを受け入れる合格ステーションと、該エイジング試験判定手段で不合格と判定された前記発光パネルを搭載した検査パレットを受け入れる不合格ステーションを有していることを特徴とする発光パネルのエイジング検査装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の発光パネルのエイジング検査装置において、前記検査パレットには前記各発光パネルに電力を供給する出力側電極と、該各出力側電極に接続する入力側電極を有するパレット側コネクターが設けられ、前記エイジング試験手段には装入された前記検査パレットの前記パレット側コネクターと着脱可能な試験手段側コネクターが設けられていることを特徴とする発光パネルのエイジング検査装置。
【請求項５】
請求項４記載の発光パネルのエイジング検査装置において、前記試験手段側コネクターは、前記検査パレットが前記エイジング試験手段に装入された際に前記パレット側コネクターと自動的に接続して通電を開始し、前記光学特性検査の際には該検査パレットの移動に伴って該パレット側コネクターと接続した状態で該エイジング試験手段内を進退し、前記エイジング試験が終了して該エイジング試験手段から該検査パレットが引き出される際には通電を停止して該パレット側コネクターと自動的に分離することを特徴とする発光パネルのエイジング検査装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の発光パネルのエイジング検査装置において、前記光検出器の感度の校正を行う校正ステーションが設けられていることを特徴とする発光パネルのエイジング検査装置。
【請求項７】
検査パレットに並べて搭載されたエイジング試験中の発光パネルの明るさを一定時間毎に光検出器で測定する発光パネルのエイジング検査方法であって、
前記光検出器に積分型ラインカメラを使用し、該積分型ラインカメラの走査周期を該積分型ラインカメラで撮像する１ライン内に存在する発光素子の発光周期の整数倍に設定することを特徴とするを発光パネルのエイジング検査方法。
【請求項８】
請求項７記載の発光パネルのエイジング検査方法において、前記積分型ラインカメラで撮像した一定時間毎の前記発光パネルの画像から赤発光画素、緑発光画素、及び青発光画素毎の領域を抽出してそれぞれ平均輝度を算出し、該各平均輝度の時間変化の大きさから色度変化を求め前記発光パネルの良否判定を行うことを特徴とする発光パネルのエイジング検査方法。
【請求項９】
請求項７及び８のいずれか１項に記載の発光パネルのエイジング検査方法において、前記光検出器の感度の校正を一定時間おきに行うことをを特徴とする発光パネルのエイジング検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、発光パネルのエイジング検査装置及びその方法に係り、更に詳細には複数の発光パネルを搭載した検査パレットを多段に収納して、小スペースで安定的、かつ連続的に全数検査する装置及びその方法に関する。
ここで、発光パネルとは、例えば、有機エレクトロルミネッセンスパネルやプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）を指す。
【背景技術】
【０００２】
従来、発光パネルを恒温槽内に設けられたステージの上に平面的に並べて発光させ、所定の時間間隔で発光パネルの輝度、色度等を測定器で測定し、輝度、色度等の時間変化を求める発光パネルの光学的エイジング検査を行う検査装置が市販されている。
また、発光パネルを発光可能な状態でカセット内に複数収納し、カセット単位で搬送して恒温槽内に設けられた棚に収納すると共に、カセットを介して各発光パネルに電力を供給して発光パネルを発光させて電気的エイジング検査を行う検査装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。この検査装置では、多量の発光パネルの電気的エイジング検査を小さなスペースで実施できるという利点がある。
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−２４１４９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、光学的エイジング検査を行う市販の検査装置では、発光パネルを平面的に並べるため発光パネルの数に比例して検査装置のサイズが大きくなり、検査装置コストが上昇すると共に、検査装置の設置スペースも増加するという問題が生じる。更に、発光パネルのステージへの装着、排出が人手によって行われるため、エイジング検査における省力化が困難になっていた。
一方、特許文献１に記載された発明の検査装置で光学的エイジング検査も可能にするには、輝度、色度等を測定する測定器が移動するための隙間をカセットの間に確保する必要がある。このため、カセットを収容する棚のサイズが大きくなって、検査装置のサイズも大きくなるという問題が生じ、検査装置のコスト上昇及び設置スペースの増加という問題が発生する。
【０００５】
本発明はかかる事情に鑑みてなされたもので、多数の発光パネルの光学特性検査及び電気特性検査を小スペースで連続して同時にかつ安定して行うことが可能な発光パネルのエイジング検査装置及びその方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的に沿う請求項１記載の発光パネルのエイジング検査装置は、通電可能な状態にセットされた複数の発光パネルを搭載した検査パレットを順次受け入れ、搬出時まで収納する搬入ステーションと、
前記搬入ステーションと並べて設けられ、該搬入ステーションから搬出された前記検査パレットを多段に収容して該各検査パレットに搭載している前記発光パネルにそれぞれ通電して一定時間のエイジング試験を行いながら所定時間毎に該発光パネルの電気特性検査を行うエイジング試験手段と、
前記エイジング試験手段と並べて設けられ、前記エイジング試験終了後に該エイジング試験手段から取り出された前記検査パレットを順次受け入れ、搬出時まで収納する検査済パレット収納手段と、
前記搬入ステーションから前記検査パレットを引き出し前記エイジング試験手段に搬送して装入し、かつ、該エイジング試験手段に収納されている該検査パレットを設定された時間毎に引き出し前記エイジング試験中の前記各発光パネルの明るさを搭載した光検出器で順次測定する光学特性検査を行ってから再度該エイジング試験手段に装入することを繰り返し、更に、前記エイジング試験が終了すると該エイジング試験手段から該検査パレットを引き出し前記検査済パレット収納手段に搬送して装入することが可能な検査パレット搬送手段と、
前記発光パネル毎に前記電気特性検査及び前記光学特性検査の判定を行うエイジング試験判定手段とを有する。
【０００７】
検査前の検査パレットを順次受け入れる搬入ステーションと、検査済の検査パレットを順次受け入れる検査済パレット収納手段を設けることにより、搬入ステーションから検査パレットを順次引き出してエイジング試験手段に装入してエイジング試験を開始し、エイジング試験が終了した検査パレットをエイジング試験手段から順次引き出して搬送し検査済パレット収納手段に装入するまでの全操作を自動で行うことができる。
検査パレットがエイジング試験手段に多段で収容されるので、エイジング試験手段のサイズを大きくしなくても大量の発光パネルを収容することができる。また、光学特性検査は検査パレットをエイジング試験手段から引き出して外で行うので、光検出器が移動するスペースをエイジング試験手段内に設ける必要がなくエイジング試験手段の設置床面積を縮小することができる。
更に、エイジング試験手段内で発光している発光パネルを設定された時間（例えば、１時間）毎に引き出して光学特性検査を繰り返すようにすることで、電気特性検査を行いながら光学特性検査を行うことができる。ここで、電気特性検査とは、発光パネルに通電した際の電圧と電流の時間変化を、一定時間（例えば、１分）毎に測定することをいう。
【０００８】
請求項２記載の発光パネルのエイジング検査装置は、請求項１記載の発光パネルのエイジング検査装置において、前記光検出器が積分型ラインカメラである。
積分型ラインカメラには複数段（例えば、Ｎ段）の受光素子列が搭載されているので、露光時間Ｔで発光パネルからの光を検出して前面の受光素子列で発生した初期電荷量は順に後段側の受光素子列に転送されて、最終段の受光素子列から出力される総電荷量は初期電荷量のＮ倍になる。従って、積分型ラインカメラを用いて露光時間Ｔで撮像すると、露光時間ＴをＮ倍にして撮像したのと同等の明るさの画像を得ることができる。このため、発光パネルの明るさを測定する際の測定時間を短縮することができる。
【０００９】
請求項３記載の発光パネルのエイジング検査装置は、請求項１及び２記載の発光パネルのエイジング検査装置において、前記検査済パレット収納手段には、前記エイジング試験判定手段で合格と判定された前記発光パネルのみを搭載した検査パレットを受け入れる合格ステーションと、該エイジング試験判定手段で不合格と判定された前記発光パネルを搭載した検査パレットを受け入れる不合格ステーションを有している。
これによって、合格と判定された発光パネルのみを搭載した検査パレットと、不合格と判定された発光パネルを搭載した検査パレットを選別して保管することができる。
【００１０】
請求項４記載の発光パネルのエイジング検査装置は、請求項１〜３記載の発光パネルのエイジング検査装置において、前記検査パレットには前記各発光パネルに電力を供給する出力側電極と、該各出力側電極に接続する入力側電極を有するパレット側コネクターが設けられ、前記エイジング試験手段には装入された前記検査パレットの前記パレット側コネクターと着脱可能な試験手段側コネクターが設けられている。
これによって、検査パレット単位でエイジング試験を行うことができる。
【００１１】
請求項５記載の発光パネルのエイジング検査装置は、請求項４記載の発光パネルのエイジング検査装置において、前記試験手段側コネクターは、前記検査パレットが前記エイジング試験手段に装入された際に前記パレット側コネクターと自動的に接続して通電を開始し、前記光学特性検査の際には該検査パレットの移動に伴って該パレット側コネクターと接続した状態で該エイジング試験手段内を進退し、前記エイジング試験が終了して該エイジング試験手段から該検査パレットが引き出される際には通電を停止して該パレット側コネクターと自動的に分離する。
このような構成とすることにより、検査パレットをエイジング試験手段に装入すると直ちにエイジング試験を開始し、エイジング試験を行いながら電気特性検査を行うことができ、更に、各発光パネルを発光させた状態で検査パレットを引き出したり装入したりすることができる。また、エイジング試験が終了して検査パレットを引き出したい場合は、検査パレットのみを引き出すことができる。
【００１２】
請求項６記載の発光パネルのエイジング検査装置は、請求項１〜５記載の発光パネルのエイジング検査装置において、前記光検出器の感度の校正を行う校正ステーションが設けられている。
これによって、光検出器の感度を一定にしてエイジング試験を行うことができる。
【００１３】
前記目的に沿う請求項７記載の発光パネルのエイジング検査方法は、検査パレットに並べて搭載されたエイジング試験中の発光パネルの明るさを一定時間毎に光検出器で測定する発光パネルのエイジング検査方法であって、
前記光検出器に積分型ラインカメラを使用し、該積分型ラインカメラの走査周期を該積分型ラインカメラで撮像する１ライン内に存在する発光素子の発光周期の整数倍に設定する。
これによって、積分型ラインカメラで得られる測定画像に、発光素子の発光動作に起因した明るさのむらが発生するのを防止でき、発光パネルの発光特性を反映する測定画像を得ることができる。
【００１４】
請求項８記載の発光パネルのエイジング検査方法は、請求項７記載の発光パネルのエイジング検査方法において、前記積分型ラインカメラで撮像した一定時間毎の前記発光パネルの画像から赤発光画素、緑発光画素、及び青発光画素毎の領域を抽出してそれぞれ平均輝度を算出し、該各平均輝度の時間変化の大きさから色度変化を求め前記発光パネルの良否判定を行う。
これによって、エイジング試験中の発光パネルの色度（色合い）の変化を定量的に把握することができる。
【００１５】
請求項９記載の発光パネルのエイジング検査方法は、請求項７及び８記載の発光パネルのエイジング検査方法において、前記光検出器の感度の校正を一定時間おきに行う。
これによって、エイジング試験中の光検出器の感度を一定に保つことができる。
【発明の効果】
【００１６】
請求項１〜６記載の発光パネルのエイジング検査装置においては、検査パレット単位で発光パネルのエイジング試験を自動的に行うことができるので、検査パレットへの各発光パネルのセット（搭載）、発光パネルを搭載した検査パレットの搬入ステーションへの装入、及び検査済パレット収納手段からの検査パレットの取り出しだけを人手で行えばよいことになる。その結果、大量の発光パネルのエイジング試験を効率的かつ省力化して実施することが可能になる。
また、検査パレットをエイジング試験手段内で多段に収容することで大量の発光パネルを収容してもエイジング試験手段の設置面積の増加を防止し、かつ、光学特性検査をエイジング試験手段から検査パレットを引き出して外で行うことにより光検出器が移動するスペースをエイジング試験手段から除去してエイジング試験手段の面積を検査パレットが収容できる面積まで縮小することができるので、エイジング検査装置のサイズをコンパクトにして製造コストの上昇を抑えると共に、エイジング検査装置の設置スペースを小さくすることが可能になる。
更に、エイジング試験手段内で発光している発光パネルを設定された時間毎に引き出して光学特性検査を繰り返すようにすることで電気特性検査と光学特性検査を同時進行で行うことができ、短時間で効率的に発光パネルのエイジング試験を行うことが可能になる。
【００１７】
特に、請求項２記載の発光パネルのエイジング検査装置においては、光検出器が積分型ラインカメラであるので、発光パネルの明るさを測定する際の測定時間を短縮することができ、光学特性検査の時間を短縮することが可能になる。
【００１８】
請求項３記載の発光パネルのエイジング検査装置においては、検査済パレット収納手段には、エイジング試験判定手段で合格と判定された発光パネルのみを搭載した検査パレットを受け入れる合格ステーションと、エイジング試験判定手段で不合格と判定された発光パネルを搭載した検査パレットを受け入れる不合格ステーションを有しているので、合格と判定された発光パネルのみを搭載した検査パレットと、不合格と判定された発光パネルを搭載した検査パレットを選別して保管することができ、合格と判定された発光パネルのみを直ちに次工程に搬送することが可能になる。
【００１９】
請求項４記載の発光パネルのエイジング検査装置においては、検査パレットには各発光パネルに電力を供給する出力側電極と、各出力側電極に接続する入力側電極を有するパレット側コネクターが設けられ、エイジング試験手段には装入された検査パレットのパレット側コネクターと着脱可能な試験手段側コネクターが設けられているので、検査パレット単位でエイジング試験を行うことができ、大量の発光パネルのエイジング試験を効率的に実施することが可能になる。
【００２０】
請求項５記載の発光パネルのエイジング検査装置においては、試験手段側コネクターは、検査パレットがエイジング試験手段に装入された際にパレット側コネクターと自動的に接続して通電を開始し、光学検査の際には検査パレットの移動に伴ってパレット側コネクターと接続した状態でエイジング試験手段内を進退し、エイジング試験が終了してエイジング試験手段から検査パレットが引き出される際には通電を停止してパレット側コネクターと自動的に分離するので、各発光パネルを発光させた状態で検査パレットを引き出したり装入したりすることができ、電気特性検査を行いながら光学特性検査を行うことが可能になる。
【００２１】
請求項６記載の発光パネルのエイジング検査装置においては、光検出器の感度の校正を行う校正ステーションが設けられているので、光検出器の感度を一定にしてエイジング試験を行うことができ、安定した計測を行うことが可能になる。
【００２２】
請求項７〜９記載の発光パネルのエイジング検査方法においては、発光パネルの発光特性を反映する測定画像を得ることができ、エイジング試験中の発光パネルの光学特性の時間変化を正確に把握することが可能になる。その結果、エイジング試験における発光パネルの合格、不合格の判定精度を確保することができる。
【００２３】
特に、請求項８記載の発光パネルのエイジング検査方法においては、積分型ラインカメラで撮像した一定時間毎の発光パネルの画像から赤発光画素、緑発光画素、及び青発光画素毎の領域を抽出してそれぞれ平均輝度を算出し、各平均輝度の時間変化の大きさから色度変化を求め発光パネルの良否判定を行うので、発光パネルの色度（色合い）の変化を定量的に把握することができ、発光パネルの良否判定を安定して行うことが可能になると共に、良否判定を自動で行うことが可能になる。
【００２４】
請求項９記載の発光パネルのエイジング検査方法においては、光検出器の感度の校正を一定時間おきに行うので、エイジング試験中の光検出器の感度を一定に保つことができ、エイジング試験における発光パネルの合格、不合格の判定精度を確保することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態につき説明し、本発明の理解に供する。
ここで、図１は本発明の一実施の形態に係る発光パネルのエイジング検査装置の構成を示す説明図、図２は同エイジング検査装置によって検査される発光パネルを搭載した検査パレットの説明図、図３は同エイジング検査装置の搬入ステーションの説明図、図４、図５は同エイジング検査装置のエイジング試験手段の一部省略平面図、図６は同エイジング検査装置のエイジング試験手段の一部省略正面図、図７は同エイジング検査装置の検査パレット搬送手段が検査パレットを載置している状態を示す説明図、図８は同エイジング検査装置の検査パレット搬送手段の投入側パレットガイド、基板、及び短軸ロボットの関係を示す説明図、図９、図１０は同エイジング検査装置の検査パレット搬送手段のパレット掛止機構の説明図、図１１は同エイジング検査装置の光検出器及び校正ステーションの説明図、図１２（Ａ）〜（Ｄ）はエイジング試験手段に搬入ステーションから搬送してきた検査パレットを装入する際の工程図、図１３（Ａ）〜（Ｄ）はエイジング試験手段内でエイジング試験中の検査パレットを保持する際の工程図、図１４（Ａ）〜（Ｄ）は光学特性検査を行うためにエイジング試験手段からエイジング試験中の検査パレットを引き出す際の工程図、図１５（Ａ）は積分型ラインカメラで発光パネルの光学特性検査を行う際の説明図、（Ｂ）は積分型ラインカメラの動作原理の説明図、図１６は積分型ラインカメラで発光パネルを撮像した際に得られる測定画像の説明図、図１７（Ａ）〜（Ｄ）はエイジング試験手段内へエイジング試験中の検査パレットを装入する際の工程図、図１８（Ａ）はエイジング試験手段内の保持位置へのエイジング試験中の検査パレットの装入が完了して検査パレットからパレット保持アームを解放した際の説明図、（Ｂ）はパレット保持アームが搬送装置内に復帰した際の説明図、図１９（Ａ）〜（Ｃ）はエイジング試験が終了した検査パレットを検査済パレット収納手段へ搬送するためにエイジング試験手段から引き出す際の工程図である。
【００２６】
図１、図２に示すように、本発明の一実施の形態に係る発光パネルのエイジング検査装置１０は、通電可能な状態にセットされた複数の発光パネル（例えば、有機エレクトロルミネッセンス）１１を搭載した検査パレット１２を順次受け入れ、搬出時まで収納する搬入ステーション１３と、搬入ステーション１３から搬出された検査パレット１２を多段に収容して各検査パレット１２に搭載している発光パネル１１にそれぞれ通電して電気特性検査を行ないながら一定時間のエイジング試験を行う複数（本実施の形態では３基）のエイジング試験手段１４と、エイジング試験終了後に各エイジング試験手段１４から取り出された検査パレット１２を順次受け入れ、搬出時まで収納する検査済パレット収納手段１５を有している。
【００２７】
更に、エイジング検査装置１０は、搬入ステーション１３から検査パレット１２を引き出しエイジング試験手段１４に搬送して装入し、かつ、エイジング試験手段１４に収納されている検査パレット１２を設定された時間毎に引き出し各発光パネル１１を発光させてその明るさを、搭載した光検出器１６（図１１参照）で順次測定する光学特性検査を行ってから再度エイジング試験手段１４に装入することを繰り返し、更に、エイジング試験が終了するとエイジング試験手段１４から検査パレット１２を引き出し検査済パレット収納手段１５に搬送して装入することが可能な検査パレット搬送手段１７と、光検出器１６で測定した各発光パネル１１の明るさから発光パネル１１毎に光学特性検査の判定を行うエイジング試験判定手段１８と、光検出器１６の感度の校正を行う校正ステーション１９を有する。
なお、搬入ステーション１３、エイジング試験手段１４、検査済パレット収納手段１５、校正ステーション１９は一列に並べて配置されている。以下これらについて、詳細に説明する。
【００２８】
発光パネル１１を搭載した検査パレット１２は、各発光パネル１１を機械的に保持しながら各発光パネル１１に電力を供給する出力側電極が設けられている複数の搭載ステージ２０が形成された基板２１と、基板２１に取付け部材２２を介して取付けられ検査パレット搬送手段１７で搬送される際に掛止箇所になる移動用保持板２３を有している。
更に、検査パレット１２は、移動用保持板２３の前面の中央部に取付けられ各出力側電極に接続する入力側電極を有するパレット側コネクター２４と、移動用保持板２３の前面の両側に設けられエイジング試験手段１４に収容される際に検査パレット１２の位置決めを行う位置決めピン２５を有している。
このような構成とすることにより、複数の発光パネル１１を検査パレット１２に搭載して、検査パレット１２単位でエイジング試験を行うことができる。
【００２９】
搬入ステーション１３は、例えば、棚構造となっており、図３に示すように、検査パレット１２が装入されるのに十分なスペースを備えた複数のケース２７を有し、各ケース２７には装入された複数の検査パレット１２をそれぞれ幅方向に位置決めして支持する対となる載置台２８が複数段設けられている。
このような構成とすることにより、各ケース２７の一方側から、発光パネル１１を搭載した検査パレット１２を順次装入して、複数の検査パレット１２を搬入ステーション１３内で同時に収納することができる。
【００３０】
エイジング試験手段１４は、図４、図５に示すように、検査パレット搬送手段１７により運ばれて収容される検査パレット１２の両側をそれぞれ支持し検査パレット１２の移動の案内を行う対となるパレットガイド２９、３０を上下方向に多段で備えた対となるパレットガイド支持部材３１、３２を有している。
また、エイジング試験手段１４は、収容された検査パレット１２毎に、パレット側コネクター２４に着脱可能で、接続時にパレット側コネクター２４を介して検査パレット１２に搭載された各発光パネル１１に電力を供給する電力ケーブルの出力側端子を有する試験手段側コネクター３３が中央部に取付けられパレットガイド２９、３０上を進退可能なコネクター保持板３４と、試験手段側コネクター３３の基側に接続され電力ケーブルを内側に収納して保護しながらコネクター保持板３４の進退に伴って移動するケーブルベア３５を有している。なお、コネクター保持板３４には、中央部の試験手段側コネクター３３の両側に対となる貫通孔３６、３７が設けられ、貫通孔３６、３７の外側に位置決めピン２５が挿通する対となる挿通孔３７ａが設けられている。
【００３１】
更に、エイジング試験手段１４は、パレットガイド支持部材３１、３２の後方に配置され、検査パレット１２が未装入の場合には各コネクター保持板３４を機械的にロックし、検査パレット１２が装入されてパレット側コネクター２４が試験手段側コネクター３３に接続された場合にコネクター保持板３４のロックを解除するロック機構３８を両側に多段に備えたコネクター保持ベース３９を有している。また、コネクター保持ベース３９には、各コネクター保持板３４がコネクター保持ベース３９にロックされる際に各貫通孔３６、３７に挿通されて各コネクター保持板３４の位置を規制する位置決めピン４０、４１が設けられている。
そして、図６に示すように、パレットガイド支持部材３１、３２と、コネクター保持ベース３９と、収容した検査パレット１２毎に設けられているコネクター保持板３４及びケーブルベア３５は、例えば、前面が開放された箱型の容器４４内に収容されている。更に、容器４４には、各ケーブルベア３５内に収容された電源ケーブルの入力側端子が接続される電源部４５が設けられている。
【００３２】
ここで、ロック機構３８は、コネクター保持板３４の背面の両側に設けられた装入ピン４２と、コネクター保持ベース３９の両側に設けられ各装入ピン４２の先部をロックするロック部４３を有しており、ロック部４３は、分離している各装入ピン４２が押し込まれると各装入ピン４２の先部を把持してロックし、把持している各装入ピン４２が押し込まれると各装入ピン４２のロックを解除する機能を有している。なお、ロック機構３８の初期状態は、各装入ピン４２がロック部４３内に押し込まれてロックされている。
このような構成とすることにより、検査パレット搬送手段１７により運ばれて来た検査パレット１２がエイジング試験手段１４に装入されると、検査パレット１２のパレット側コネクター２４が試験手段側コネクター３３に押し込まれて接続され、各発光パネル１１に通電が開始される。また、パレット側コネクター２４が試験手段側コネクター３３に押し込まれる際に、コネクター保持板３４に設けられた各装入ピン４２はロック部４３内に押し込まれるので、各装入ピン４２のロックが解除される。
【００３３】
これによって、検査パレット１２を試験手段側コネクター３３が接続された状態でエイジング試験手段１４内のパレットガイド２９、３０上を進退させることができる。
また、エイジング試験が終了してエイジング試験手段１４内に収容されている検査パレット１２を引き出す際にコネクター保持ベース３９側に一度押し込んでから引き出すようにすると、コネクター保持板３４に設けられた各装入ピン４２はロック部４３内に押し込まれてロックされコネクター保持板３４はコネクター保持ベース３９に固定される。このため、検査パレット１２を引き出すようにすると、パレット側コネクター２４と試験手段側コネクター３３との接続が解除されて各発光パネル１１への通電が停止できると共に、検査パレット１２だけをエイジング試験手段１４内から外に引き出すことができる。
【００３４】
図１に示すように、検査済パレット収納手段１５は、エイジング試験判定手段１８で合格と判定された発光パネル１１のみを搭載した検査パレット１２を受け入れる合格ステーション４５ａと、エイジング試験判定手段１８で不合格と判定された発光パネル１１を搭載した検査パレット１２を受け入れる不合格ステーション４５ｂを有している。なお、合格ステーション４５ａと、不合格ステーション４５ｂは、例えば、搬入ステーション１３と同様の棚構造とすることができる。
このような構成とすることにより、合格と判定された発光パネル１１のみを搭載した検査パレット１２と、不合格と判定された発光パネル１１を搭載した検査パレット１２を選別して保管することができ、エイジング試験後の発光パネルの管理が容易になる。
【００３５】
検査パレット搬送手段１７は、一列に並べて配置された搬入ステーション１３、エイジング試験手段１４、検査済パレット収納手段１５、校正ステーション１９と平行に隙間を設けて配設された軌道４６と、軌道４６上を走行して搬入ステーション１３から検査パレット１２を引き出しエイジング試験手段１４に搬送して装入し、光学特性検査時にエイジング試験手段１４から検査パレット１２を引き出し検査後にエイジング試験手段１４に再装入し、エイジング試験が終了するとエイジング試験手段１４から検査パレット１２を引き出し検査済パレット収納手段１５に搬送して装入する搬送装置４７を有している。
また、搬送装置４７は、検査パレット１２を保持して装入及び引き出しを行う投入機構部４８と、投入機構部４８を載置してエイジング試験手段１４に設けられたパレットガイド２９、３０の高さ位置に合わせて投入機構部４８の高さ位置を調整する上下移動部４９と、上下移動部４９を載置して軌道４７上を走行する走行部５０を有している。ここで、上下移動部４９には、例えば、ボールネジを用いた上下移動機構、走行部５０には、例えば、駆動車輪を用いた走行機構を適用することができるので、投入機構部４８について説明する。
【００３６】
図７〜図１０に示すように、投入機構部４８は、検査パレット１２の両側が載置されて移動する投入側パレットガイド５１、５２が両側に設けられた基板５３を有している。また、投入機構部４８は、投入側パレットガイド５１、５２に載置された検査パレット１２をエイジング試験手段１４内に装入する際に、検査パレット１２の移動用保持板２３の両端部を掛止し、エイジング試験手段１４内に装入された検査パレット１２を引き出す際にコネクター保持板３４の両端部を掛止する１対のパレット保持アーム５４、５５を備えたパレット掛止機構５６と、基板５３の中央部に設けられパレット掛止機構５６を載置してエイジング試験手段１４に対して進退させる短軸ロボット５７を有している。
ここで、パレット掛止機構５６は、パレット保持アーム５４、５５の基部側を支持する軸受５８が取付けられたアーム支持部材５９と、アーム支持部材５９を載置する掛止機構本体６０と掛止機構本体６０に取付けられ、各パレット保持アーム５４、５５の基部と接続するロータリーアクチュエータ６１、６２を有している。更に、各パレット保持アーム５４、５５の先側には、切り欠き溝６３が形成された掛止部６４、６５が設けられている。
【００３７】
パレット掛止機構５６を上記のような構成とすることにより、図９に示すように、ロータリーアクチュエータ６１、６２を駆動させて各パレット保持アーム５４、５５の先部に設けられた掛止部６４、６５を回動させて各切り欠き溝６３を上方に向けて配置させることができる。
また、図１０に示すように、ロータリーアクチュエータ６１、６２を駆動させて各パレット保持アーム５４、５５の先部に設けられた掛止部６４、６５を回動させて各切り欠き溝６３が対向するように配置させることができる。なお、軌道４６上で搬送装置４７が待機している場合、図９に示すように、各パレット保持アーム５４、５５の先部に設けられた掛止部６４、６５は各切り欠き溝６３を上方に向けた状態になっている。
【００３８】
これによって、例えば、掛止部６４、６５の各切り欠き溝６３を上方に向けて配置させて投入側パレットガイド５１、５２に検査パレット１２が載置されている状態で、短軸ロボット５７を駆動させてパレット掛止機構５６を基板５３上で進退させ、移動用保持板２３の両端に対して各掛止部６４、６５の切り欠き溝６３が対向するようにできる。
そして、ロータリーアクチュエータ６１、６２を駆動させて掛止部６４、６５をそれぞれ回動させて各切り欠き溝６３同士が対向するようにすると、図７に示すように、各切り欠き溝６３内に移動用保持板２３の両端部を収納することができる。その結果、短軸ロボット５７を駆動させてパレット掛止機構５６を基板５３上で進退させると、検査パレット１２を投入側パレットガイド５１、５２上で移動させることができる。
【００３９】
光検出器１６は積分型ラインカメラであって、図１１に示すように、投入機構部４８のアーム支持部材５９の上面に取付け部材６６を介して取付けられている。ここで、取付け部材６６は、検査パレット１２に搭載された発光パネル１１を１つずつ上方から積分型ラインカメラで撮像できるように、例えば、取付けアーム６７で保持した光検出器１６を検査パレット１２の長さ方向にそって一定速度で移動させることが可能な第１の駆動部６８と、アーム支持部材５９に載置され第１の駆動部６８を保持する保持アーム６９を検査パレット１２の幅方向にそって一定速度で移動させることが可能な第２の駆動部７０を有している。
光検出器１６の感度の校正を行う校正ステーション１９は、校正時に基準光を発光する基準光源７１と、基準光源７１の輝度を測定する輝度計７２と、基準光源７１及び輝度計７２を収容し外乱光の影響を除去する校正容器７３を有している。また、校正容器７３には、取付け部材６６に保持された光検出器１６を装入する装入口７４が設けられている。
【００４０】
エイジング試験判定手段１８は、各発光パネル１１の光学特性検査を行って測定した発光パネル１１の明るさから輝度及び色度を求めて、予め設定された基準値と比較して発光パネル１１の光学特性検査の判定を行う機能を有している。更に、エイジング試験判定手段１８は、各発光パネル１１の通電特性（電流と、電圧の時間変化）を求めて、予め設定された基準値と比較して発光パネル１１の電気特性検査の判定を行う機能、光検出器１６の校正を行う機能、エイジング試験判定手段１８の判定結果に応じて検査済の検査パレット１２を振り分け合格ステーション４５ａあるいは不合格ステーション４５ｂに搬送する機能、及び各検査パレット１２についてのエイジング試験の管理をする機能を有している。ここで、エイジング試験判定手段１８は、上記の各機能を実現するプログラムを、例えば、コンピュータに搭載させることにより構成することができる。
更に、エイジング検査装置１０には、軌道４６を囲む安全柵７５と、安全柵７５内に出入りする扉７６が設けられている。
【００４１】
次に、本発明の一実施の形態に係る発光パネルのエイジング検査装置及びその方法について説明する。
先ず、搬送装置４７に対してエイジング試験判定手段１８から、エイジング試験を行う検査パレット１２が収容されている搬入ステーション１３内での場所が入力される。そこで、搬送装置４７は入力情報に従って、軌道４６上を走行し検査パレット１２を収容している搬入ステーション１３の前で停止する。そして、引き出そうとする検査パレット１２を載置している載置台２８と、基板５３に設けられた投入側パレットガイド５１、５２の高さ位置が一致するように上下移動部４９を駆動させる。
【００４２】
次いで、短軸ロボット５７を駆動させてパレット保持アーム５４、５５を搬入ステーション１３内に装入し、検査パレット１２の移動用保持板２３の両端に対して各掛止部６４、６５の切り欠き溝６３が対向する位置で停止させる。
続いて、ロータリーアクチュエータ６１、６２を駆動させて掛止部６４、６５をそれぞれ回動させて各切り欠き溝６３内に移動用保持板２３の両端部を収納する。そして、短軸ロボット５７を駆動させてパレット保持アーム５４、５５を搬入ステーション１３内から引き出すと、移動用保持板２３はパレット保持アーム５４、５５の掛止部６４、６５で掛止されているので、検査パレット１２はパレット保持アーム５４、５５の移動と共に載置台２８上を移動して投入側パレットガイド５１、５２上に進入する。
なお、パレット保持アーム５４、５５が搬入ステーション１３内から完全に引き出された状態では、図７に示すように、検査パレット１２はパレット保持アーム５４、５５の掛止部６４、６５で掛止されて投入側パレットガイド５１、５２に載置された状態になっている。
【００４３】
検査パレット１２が搬送装置４７に載置されると、エイジング試験判定手段１８から検査パレット１２を受け入れるエイジング試験手段１４の指定とそこでの収納場所が入力される。そこで、搬送装置４７は入力情報に従って軌道４６上を走行し、図１２（Ａ）に示すように、検査パレット１２を収容するエイジング試験手段１４の前で停止する。
そして、収納しようとする位置に対応して設けられたパレットガイド２９、３０と、基板５３に設けられた投入側パレットガイド５１、５２の高さ位置が一致するように上下移動部４９を駆動させる。
【００４４】
次いで、短軸ロボット５７を駆動させてパレット保持アーム５４、５５のエイジング試験手段１４内への装入を開始する。ここで、検査パレット１２の移動用保持板２３の両端部がそれぞれ掛止部６４、６５の切り欠き溝６３に収容されているので、パレット保持アーム５４、５５がエイジング試験手段１４内に装入されるにつれて検査パレット１２もエイジング試験手段１４内に向かって移動し、パレットガイド２９、３０上に進入する。更に、パレット保持アーム５４、５５がエイジング試験手段１４内に装入されると、各位置決めピン２５がコネクター保持板３４に設けられた挿通孔３７ａに装入する。
これによって、パレットガイド２９、３０上を進入する検査パレット１２の位置が規制されて、検査パレット１２の移動用保持板２３の中央部に設けられたパレット側コネクター２４はコネクター保持板３４の中央に設けられた試験手段側コネクター３３と接続を開始する。
【００４５】
そして、更に、検査パレット１２がエイジング試験手段１４内に装入されると、図１２（Ｂ）に示すように、パレット側コネクター２４と試験手段側コネクター３３との接続が完了すると共に、コネクター保持ベース３９に保持されているコネクター保持板３４がコネクター保持ベース側に押圧される。
これによって、コネクター保持板３４に設けられた各装入ピン４２がロック部４３内に押し込まれて各装入ピン４２のロックが解除される。更に、パレット側コネクター２４と試験手段側コネクター３３との接続が完了したことに伴って、各発光パネル１１は通電状態になって、各発光パネル毎に電気特性検査（電流及び電圧の測定）が開始される。
【００４６】
パレット側コネクター２４と試験手段側コネクター３３との接続が完了すると、各ロータリーアクチュエータ６１、６２を駆動させて、図１２（Ｃ）に示すように、移動用保持板２３の両端部を掛止している各掛止部６４、６５を回動させて各切り欠き溝６３を上方に向けて配置させて、移動用保持板２３の両端部の掛止を解放する。
次いで、短軸ロボット５７を駆動させて、パレット保持アーム５４、５５を更にエイジング試験手段１４内に装入し、図１２（Ｄ）に示すように、パレット保持アーム５４、５５の先部に設けられた掛止部６４、６５の切り欠き溝６３がコネクター保持板３４の両端と対向する位置で停止させる。続いて、ロータリーアクチュエータ６１、６２を駆動させて掛止部６４、６５をそれぞれ回動させて、図１３（Ａ）に示すように、各切り欠き溝６３内にコネクター保持板３４の両端部を収納する。
【００４７】
そして、短軸ロボット５７を駆動させてパレット保持アーム５４、５５をエイジング試験手段１４内から徐々に引き出すと、コネクター保持板３４はパレット保持アーム５４、５５の掛止部６４、６５で掛止されているので、コネクター保持板３４を介して検査パレット１２をパレットガイド２９、３０上で移動させることができ、図１３（Ｂ）に示すように、検査パレット１２をエイジング試験手段１４内での保持位置にセットすることができる。
エイジング試験手段１４内で検査パレット１２を保持位置にセットすることが完了すると、各ロータリーアクチュエータ６１、６２を駆動させて、図１３（Ｃ）に示すように、コネクター保持板３４の両端部を掛止している各掛止部６４、６５を回動させて各切り欠き溝６３を上方に向けて配置させて、コネクター保持板３４の両端部の掛止を解除する。そして、図１３（Ｄ）に示すように、短軸ロボット５７を駆動させてパレット保持アーム５４、５５をエイジング試験手段１４内から引き出す。これによって、搬送装置４７は軌道４６上で待機状態となる。
【００４８】
検査パレット１２がエイジング試験手段１４内に収納されて設定された時間が経過すると、搬送装置４７に対してエイジング試験判定手段１８から光学特性検査を行う指令が出力される。搬送装置４７は、光学特性検査を実施する検査パレット１２が収容されているエイジング試験手段１４の場所の情報に基づいて軌道４６上を走行し、検査パレット１２を収容しているエイジング試験手段１４の前で停止する。
そして、図１４（Ａ）に示すように、引き出そうとする検査パレット１２を載置しているパレットガイド２９、３０と、基板５３に設けられた投入側パレットガイド５１、５２の高さ位置が一致するように上下移動部４９を駆動させる。
【００４９】
次いで、短軸ロボット５７を駆動させて、パレット保持アーム５４、５５をエイジング試験手段１４内に装入し、図１４（Ｂ）に示すように、パレット保持アーム５４、５５の先部に設けられた掛止部６４、６５の切り欠き溝６３がコネクター保持板３４の両端と対向する位置で停止させる。
続いて、ロータリーアクチュエータ６１、６２を駆動させて掛止部６４、６５をそれぞれ回動させて、図１４（Ｃ）に示すように、各切り欠き溝６３内にコネクター保持板３４の両端部を収納する。
【００５０】
そして、短軸ロボット５７を駆動させてパレット保持アーム５４、５５をエイジング試験手段１４内から徐々に引き出すと、コネクター保持板３４はパレット保持アーム５４、５５の掛止部６４、６５で掛止されているので、コネクター保持板３４を介して検査パレット１２をパレットガイド２９、３０上で移動させ、投入側パレットガイド５１、５２上に進入させることができる。
そこで、パレット保持アーム５４、５５をエイジング試験手段１４内から完全に引き出すと、図１４（Ｄ）に示すように、検査パレット１２はパレット保持アーム５４、５５の掛止部６４、６５で掛止されて投入側パレットガイド５１、５２に載置された状態になる。
【００５１】
検査パレット１２が投入側パレットガイド５１、５２に載置された状態になると、エイジング試験判定手段１８から第１及び第２の駆動部６８、７０に駆動指令が出力される。第１及び第２の駆動部６８、７０では、図１５（Ａ）に示すように、光検出器１６を投入側パレットガイド５１、５２に載置された検査パレット１２の上方に配置させ、発光パネル１１の列に沿って光検出器１６を移動させて発光している各発光パネル１１の明るさを順に測定する。
ここで、光検出器１６として積分型ラインカメラを使用し、積分型ラインカメラの走査周期を積分型ラインカメラで撮像する１つのライン７７内に存在する発光素子７８の発光周期の整数倍に設定する。このように設定することによって、積分型ラインカメラで１つのライン７７を測定しているときに、ライン７７内に存在する発光素子７８を必ず発光させることができ、測定された画像に点灯むらが生じないようにすることができる。
【００５２】
また、図１５（Ｂ）に示すように、積分型ラインカメラには複数段（例えば、Ｎ段）の受光素子列７９が搭載されているので、最前列の受光素子列７９が露光時間Ｔで発光パネル１１内の１つのライン７７からの光を検出した際に発生した初期電荷量ｑは順に後段側の受光素子列７９に転送されて、最終段の受光素子列７９から出力される総電荷量（すなわち、出力信号）は初期電荷量ｑのＮ倍になる。このことは、露光時間ＴをＮ倍にして発光パネルの光を検出するのと同等の効果となる。
従って、積分型ラインカメラでは通常のラインカメラよりも走査周期を速くすることができ、例えば、光学特性検査の際に積分型ラインカメラの移動速度を速くすることができる。
【００５３】
なお、積分型ラインカメラが移動する場合、積分型ラインカメラの最前列の受光素子列７９は発光パネル１１内の各ライン７７を順に撮像していくので、１つのライン７７を最前列の受光素子列７９が撮像してそのとき発生した電荷が後段の受光素子列７９に転送されてから次のライン７７の撮像を開始する必要がある。
このため、積分型ラインカメラが移動速度を受光素子列７９間で電荷が転送される電荷転送速度と一致させる必要がある。具体的には、使用する積分型ラインカメラにおいて電荷転送速度が判明しているので、積分型ラインカメラのレンズ機構８０と積分型ラインカメラの移動速度の調整を行う。
【００５４】
積分型ラインカメラから出力された信号はエイジング試験判定手段１８に入力される。
エイジング試験判定手段１８では、図１６に示すように、発光パネル１１毎に赤発光画素、緑発光画素、及び青発光画素毎の発光領域８１を抽出した測定画像８２を構成し、各発光領域８１内に計測領域８３を形成する。
次いで、計測領域８３内の平均強度を算出し、輝度に換算した後この値を平均輝度として採用する。そして、赤発光画素、緑発光画素、及び青発光画素毎の平均輝度の時間変化の大きさから色度変化を求め、その変化挙動を予め設定しておいた変化挙動と比較することにより、測定している発光パネル１１に対しての良否判定を行う。
このように計測領域８３内に存在する赤、緑、及び青の各発光画素を色度変化の最小単位にしているので、精度の高い判定を行うことができる。
【００５５】
なお、発光パネル１１のエイジング試験中に、一定時間おきに搬送装置４７に対してエイジング試験判定手段１８から光検出器１６の感度の校正を行う指令が出力される。
光検出器１６の感度校正の指令を受け取った搬送装置４７は、軌道４６上を走行し校正ステーション１９の前で停止する。そして、取付け部材６６の第１及び第２の駆動部６８、７０を操作して校正容器７３内に装入口７４から光検出器１６を装入し基準光源７１の上方で停止させる。
次いで、基準光源７１を発光させて光検出器１６で明るさを測定し、エイジング試験判定手段１８において輝度を算出する。このとき、基準光源７１の上方に配置されている光検出器１６で明るさを測定し、エイジング試験判定手段１８において輝度の値を算出する。そして、光検出器１６で測定して得られた輝度の値と、輝度計７２で測定された輝度の値とが一致するように、光検出器１６の出力を調整する。調整が終了すると、第１及び第２の駆動部６８、７０を操作して光検出器１６を受光容器７３の装入口７４から外に引き出し、搬送装置４７上で待機させる。
これによって、光検出器１６の感度を一定にしてエイジング試験を行うことができるようになる。
【００５６】
投入側パレットガイド５１、５２に載置された検査パレット１２に搭載された全発光パネル１１の光学特性検査が終了すると、搬送装置４７に対してエイジング試験判定手段１８から検査パレット１２をエイジング試験手段１４内に装入する指令が出力される。
搬送装置４７では、各ロータリーアクチュエータ６１、６２を駆動させて、図１７（Ａ）に示すように、コネクター保持板３４の両端部を掛止している各掛止部６４、６５を回動させて各切り欠き溝６３を上方に向けて配置させて、コネクター保持板３４の両端部の掛止を解除する。
そして、図１７（Ｂ）に示すように、短軸ロボット５７を駆動させてパレット保持アーム５４、５５を徐々に後退させ、パレット保持アーム５４、５５の先部に設けられた掛止部６４、６５の切り欠き溝６３が移動用保持板２３の両端と対向する位置で停止させる。
【００５７】
続いて、ロータリーアクチュエータ６１、６２を駆動させて掛止部６４、６５をそれぞれ回動させて、図１７（Ｃ）に示すように、各切り欠き溝６３内に移動用保持板２３の両端部を収納する。そして、短軸ロボット５７を操作しパレット保持アーム５４、５５を介して、図１７（Ｄ）に示すように、検査パレット１２をエイジング試験手段１４内の保持位置まで装入する。
次いで、図１８（Ａ）に示すように、各ロータリーアクチュエータ６１、６２を駆動させて、移動用保持板２３の両端部を掛止している各掛止部６４、６５を回動させて各切り欠き溝６３を上方に向けて配置させて移動用保持板２３の両端部の掛止を解除し、図１８（Ｂ）に示すように、短軸ロボット５７を駆動させてパレット保持アーム５４、５５をエイジング試験手段１４内から引き出す。これによって、搬送装置４７は軌道４６上で待機状態となる。
そして、図１４（Ａ）〜図１８（Ｂ）までの一連の動作を各検査パレット１２に対して設定された時間毎に繰り返し光学特性検査を行っていく。
【００５８】
ここで、検査パレット１２に対して一定時間のエイジング試験が終了した場合、図１４（Ａ）〜（Ｄ）の操作で検査パレット１２をエイジング試験手段１４から引き出して投入側パレットガイド５１、５２に載置し光学特性検査を行った後、図１９（Ａ）に示すように、各ロータリーアクチュエータ６１、６２を駆動させてコネクター保持板３４の両端部を掛止している各掛止部６４、６５を回動させて各切り欠き溝６３を上方に向けて配置させて、コネクター保持板３４の両端部の掛止を解除する。
次いで、短軸ロボット５７を駆動させてパレット保持アーム５４、５５を徐々に後退させ、パレット保持アーム５４、５５の先部に設けられた掛止部６４、６５の切り欠き溝６３が移動用保持板２３の両端と対向する位置で停止させ、ロータリーアクチュエータ６１、６２を駆動させて掛止部６４、６５をそれぞれ回動させて、各切り欠き溝６３内に移動用保持板２３の両端部を収納する。そして、短軸ロボット５７を操作しパレット保持アーム５４、５５を介して、検査パレット１２をエイジング試験手段１４内に装入していく。
【００５９】
検査パレット１２がエイジング試験手段１４内に装入されると、図１９（Ｂ）に示すように、検査パレット１２と接続しているコネクター保持板３４に設けられている装入ピン４２がコネクター保持ベース３９に設けられた各ロック部４３内に押し込まれ各装入ピン４２はロック部４３にロックされる。このため、コネクター保持板３４がコネクター保持ベース３９に固定された状態になる。
続いて、短軸ロボット５７を駆動させてパレット保持アーム５４、５５をエイジング試験手段１４内から引き出すと、移動用保持板２３の両端部はパレット保持アーム５４、５５の掛止部６４、６５で掛止されているので、検査パレット１２をパレットガイド２９、３０上で移動させ、投入側パレットガイド５１、５２上に進入させることができる。
そして、パレット保持アーム５４、５５をエイジング試験手段１４内から完全に引き出すと、図１９（Ｃ）に示すように、検査パレット１２はパレット保持アーム５４、５５の掛止部６４、６５で掛止されて投入側パレットガイド５１、５２に載置された状態になる。
【００６０】
エイジング試験が終了した検査パレット１２が搬送装置４７に載置されると、搬送装置４７は軌道４６上を検査済パレット収納手段１５に向かって移動する。ここで、検査パレット１２にはエイジング試験判定手段１８で合格と判定された発光パネル１１のみが搭載されている場合はその検査パレット１２を合格ステーション４５ａまで搬送して停止する。
そして、検査パレット１２を収納しようとする載置台と、基板５３に設けられた投入側パレットガイド５１、５２の高さ位置が一致するように上下移動部４９を駆動させ、次いで、短軸ロボット５７を駆動させて検査パレット１２を掛止しているパレット保持アーム５４、５５を合格ステーション４５ａ内に装入して検査パレット１２を合格ステーション４５ａ内に収納させる。
【００６１】
次いで、ロータリーアクチュエータ６１、６２を駆動させて掛止部６４、６５をそれぞれ回動させて移動用保持板２３の両端部の掛止を解除した後、短軸ロボット５７を駆動させてパレット保持アーム５４、５５を合格ステーション４５ａ内から引き出す。これによって、検査パレット１２を合格ステーション４５ａ内に収容することが完了する。
また、検査パレット１２にはエイジング試験判定手段１８で不合格と判定された発光パネル１１が搭載されている場合はその検査パレット１２を不合格ステーション４５ｂまで搬送して停止する。そして、合格ステーション４５ａに検査パレット１２を装入したのと同様の手順で不合格の発光パネル１１が搭載された検査パレット１２を不合格ステーション４５ｂに収容する。
【００６２】
以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明は、この実施の形態に限定されるものではなく、発明の要旨を変更しない範囲での変更は可能であり、前記したそれぞれの実施の形態や変形例の一部又は全部を組み合わせて本発明の発光パネルのエイジング検査装置及びその方法を構成する場合も本発明の権利範囲に含まれる。
例えば、エイジング試験手段を３基としたが、エイジング試験手段の基数を２以下又は４以上にすることもできる。また、大量の発光パネルのエイジング試験を行う場合、検査済パレット収納手段の両側に複数のエイジング試験手段、更にその外側に校正ステーション及び搬入ステーションを配置すると共に軌道を平行に配設し、２基の搬送装置を走行させるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の一実施の形態に係る発光パネルのエイジング検査装置の構成を示す説明図である。
【図２】同エイジング検査装置によって検査される発光パネルを搭載した検査パレットの説明図である。
【図３】同エイジング検査装置の搬入ステーションの説明図である。
【図４】同エイジング検査装置のエイジング試験手段の一部省略平面図である。
【図５】同エイジング検査装置のエイジング試験手段の一部省略平面図である。
【図６】同エイジング検査装置のエイジング試験手段の一部省略正面図である。
【図７】同エイジング検査装置の検査パレット搬送手段が検査パレットを載置している状態を示す説明図である。
【図８】同エイジング検査装置の検査パレット搬送手段の投入側パレットガイド、基板、及び短軸ロボットの関係を示す説明図である。
【図９】同エイジング検査装置の検査パレット搬送手段のパレット掛止機構の説明図である。
【図１０】同エイジング検査装置の検査パレット搬送手段のパレット掛止機構の説明図である。
【図１１】同エイジング検査装置の光検出器及び校正ステーションの説明図である。
【図１２】（Ａ）〜（Ｄ）はエイジング試験手段に搬入ステーションから搬送してきた検査パレットを装入する際の工程図である。
【図１３】（Ａ）〜（Ｄ）はエイジング試験手段内でエイジング試験中の検査パレットを保持する際の工程図である。
【図１４】（Ａ）〜（Ｄ）は光学特性検査を行うためにエイジング試験手段からエイジング試験中の検査パレットを引き出す際の工程図である。
【図１５】（Ａ）は積分型ラインカメラで発光パネルの光学特性検査を行う際の説明図、（Ｂ）は積分型ラインカメラの動作原理の説明図である。
【図１６】積分型ラインカメラで発光パネルを撮像した際に得られる測定画像の説明図である。
【図１７】（Ａ）〜（Ｄ）はエイジング試験手段内へエイジング試験中の検査パレットを装入する際の工程図である。
【図１８】（Ａ）はエイジング試験手段内の保持位置へのエイジング試験中の検査パレットの装入が完了して検査パレットからパレット保持アームを解放した際の説明図、（Ｂ）はパレット保持アームが搬送装置内に復帰した際の説明図である。
【図１９】（Ａ）〜（Ｃ）はエイジング試験が終了した検査パレットを検査済パレット収納手段へ搬送するためにエイジング試験手段から引き出す際の工程図である。
【符号の説明】
【００６４】
１０：エイジング検査装置、１１：発光パネル、１２：検査パレット、１３：搬入ステーション、１４：エイジング試験手段、１５：検査済パレット収納手段、１６：光検出器、１７：検査パレット搬送手段、１８：エイジング試験判定手段、１９：校正ステーション、２０：搭載ステージ、２１：基板、２２：取付け部材、２３：移動用保持板、２４：パレット側コネクター、２５：位置決めピン、２７：ケース、２８：載置台、２９、３０：パレットガイド、３１、３２：パレットガイド支持部材、３３：試験手段側コネクター、３４：コネクター保持板、３５：ケーブルベア、３６、３７：貫通孔、３７ａ：挿通孔、３８：ロック機構、３９：コネクター保持ベース、４０、４１：位置決めピン、４２：装入ピン、４３：ロック部、４４：容器、４５：電源部、４５ａ：合格ステーション、４５ｂ：不合格ステーション、４６：軌道、４７：搬送装置、４８：投入機構部、４９：上下移動部、５０：走行部、５１、５２：投入側パレットガイド、５３：基板、５４、５５：パレット保持アーム、５６：パレット掛止機構、５７：短軸ロボット、５８：軸受、５９：アーム支持部材、６０：掛止機構本体、６１、６２：ロータリーアクチュエータ、６３：切り欠き溝、６４、６５：掛止部、６６：取付け部材、６７：取付けアーム、６８：第１の駆動部、６９：保持アーム、７０：第２の駆動部、７１：基準光源、７２：輝度計、７３：校正容器、７４：装入口、７５：安全柵、７６：扉、７７：ライン、７８：発光素子、７９：受光素子列、８０：レンズ機構、８１：発光領域、８２：測定画像、８３：計測領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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