(57)【要約】【課題】フォトレジストの固形物の付着を抑制し、吐出ムラに起因する塗布ムラを防止するために、吐出ノズルの先端部を直角に平坦性をもって切断する吐出ノズル切断用治具を提供すること。吐出ノズルの管理の作業効率を上げること。【解決手段】切断刃３０が、その側面３１を治具の水平面Ｈ上に、その長手方向の中央部をＹ軸上にし、その刃部３２をＸ軸上にして設けられており、治具の水平面が該水平面のＸ軸方向で塗布装置の水平面と平行であることを表示する第一水準計１１、及び該水平面のＸ軸と直角に交わるＹ軸方向で塗布装置の水平面と平行であることを表示する第二水準計１２を具備すること。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布装置内で開口した先端部を下方に向け、外壁を水平面と垂直に保って取り付けられた、液状物質を吐出する吐出ノズルの先端部を切断する吐出ノズル切断用治具であって、切断刃が、その側面を吐出ノズル切断用治具の水平面上に、その長手方向の中央部を吐出ノズル切断用治具の水平面のＹ軸上にし、その刃部を吐出ノズル切断用治具の水平面のＸ軸上にして設けられており、吐出ノズル切断用治具の水平面が該水平面のＸ軸方向で塗布装置の水平面と平行であることを表示する第一水準計、及び該水平面のＸ軸と直角に交わるＹ軸方向で塗布装置の水平面と平行であることを表示する第二水準計を具備することを特徴とする吐出ノズル切断用治具。
【請求項２】
前記液状物質が、フォトレジストであることを特徴とする請求項１記載の吐出ノズル切断用治具。
【請求項３】
請求項１、又は請求項２記載の吐出ノズル切断用治具を用い、開口した先端部を下方に向け、外壁を水平面と垂直に保って取り付けられた吐出ノズルの先端部を水平面と平行に、切断面を平坦に切断することを特徴とする吐出ノズルの切断方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状物質を吐出する吐出ノズルの先端部を切断する吐出ノズル切断用治具に関するものであり、特に、吐出ノズルの外壁に対し、吐出ノズルの先端部を直角に、且つ平坦性をもって切断する吐出ノズル切断用治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体集積回路の高集積化、高速化によりパターンの急激な微細化が進んでおり、それに沿った形でフォトリソグフィ工程で用いられるフォトマスクに対しても微細化が求められている。
これに伴い、以前は問題視されなかったフォトマスク上の微小な欠陥がフォトリソグフィ工程において致命的な欠陥となる可能性があるので、フォトマスクの欠陥に対しては更なる品質の向上が望まれている。
【０００３】
このような背景により、製造プロセスにおける技術的な改善は勿論のこと、その他、クリーンルーム環境、製造工程内でのフォトマスクの運搬、取扱い方法といった製造環境の見直しが必要になってきた。
【０００４】
フォトレジストの塗布工程において、フォトレジストを吐出する吐出ノズルの先端部に付着し、乾燥したフォトレジストの固形物などが吐出ノズルの先端部から離脱してフォトレジストが塗布された塗布面に付着すると、その部分は現像不良となる。その結果、フォトマスクに微小な欠陥が発生する。
このような、固形物などが吐出ノズルの先端部から離脱するのを事前に回避するために、フォトレジストの固形物などが吐出ノズルの先端部にある程度付着した時点、或いは定期的に吐出ノズルの先端部を切断し除去する必要がある。
【０００５】
従来、フォトレジストの塗布工程においては、吐出ノズルの先端部の固形物などを取り除くため、チューブ状の吐出ノズルの先端部を約１ｍｍ程カッターナイフで作業者が切断している。
この吐出ノズルの先端部を切断する際には、吐出ノズルを塗布装置から取り外さなければならないといった煩雑さがある。或いは、吐出ノズルを塗布装置から取り外さずに切断することもできるが、この際には垂直に取り付けられている吐出ノズルの切断面（開口面）が水平になるように切断することが肝要である。
【０００６】
水平面に対し吐出ノズルの切断面が平行に保たれていないと、切断面の斜面に沿ってフォトレジストが集まり、液ダレが起こる可能性があるからである。この液ダレが乾燥すると、再び吐出ノズルの先端部にて固形物となってしまう。
また、カッターナイフで作業者が吐出ノズルの先端部を切断する際には、吐出ノズルの先端部の切断面（開口面）に平坦性が保たれていないと、フォトレジストが均等に吐出されず塗布ムラが発生することがあるので、切断面は平坦に切断することが肝要である。
【０００７】
このような吐出ノズルの切断方法は、時には、作業者は切断面の水平及び平坦性が得られるまで、数回にわたり切断作業を行わなければならず非能率的である。
【特許文献１】特開２０００−２５４３６２号公報
【特許文献２】実用新案登録第３０９３６９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、上記の問題を解決し、フォトマスクの品質を向上させるものである。すなわち、フォトレジストの固形物の付着を抑制し、且つフォトレジストの吐出ムラに起因する塗布ムラを防止するために、吐出ノズルの外壁に対し吐出ノズルの先端部を直角に平坦性をもって切断することのできる吐出ノズル切断用治具を提供することを課題とするものである。
また、フォトレジストの塗布において、吐出ノズルの管理の作業効率を上げること、すなわち、上記吐出ノズル切断用治具を用いることにより、吐出ノズルを塗布装置から取り外すことなく、切断作業は一回の切断で容易に正確に切断することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、塗布装置内で開口した先端部を下方に向け、外壁を水平面と垂直に保って取り付けられた、液状物質を吐出する吐出ノズルの先端部を切断する吐出ノズル切断用治具であって、切断刃が、その側面を吐出ノズル切断用治具の水平面上に、その長手方向の中央部を吐出ノズル切断用治具の水平面のＹ軸上にし、その刃部を吐出ノズル切断用治具の水平面のＸ軸上にして設けられており、吐出ノズル切断用治具の水平面が該水平面のＸ軸方向で塗布装置の水平面と平行であることを表示する第一水準計、及び該水平面のＸ軸と直角に交わるＹ軸方向で塗布装置の水平面と平行であることを表示する第二水準計を具備することを特徴とする吐出ノズル切断用治具である。
【００１０】
また、本発明は、上記発明による吐出ノズル切断用治具において、前記液状物質が、フォトレジストであることを特徴とする吐出ノズル切断用治具である。
【００１１】
また、本発明は、請求項１、又は請求項２記載の吐出ノズル切断用治具を用い、開口した先端部を下方に向け、外壁を水平面と垂直に保って取り付けられた吐出ノズルの先端部を水平面と平行に、切断面を平坦に切断することを特徴とする吐出ノズルの切断方法である。
【発明の効果】
【００１２】
本発明は、切断刃が、その側面を吐出ノズル切断用治具の水平面上に、その長手方向の中央部を吐出ノズル切断用治具の水平面のＹ軸上にし、その刃部を吐出ノズル切断用治具の水平面のＸ軸上にして設けられており、吐出ノズル切断用治具の水平面が該水平面のＸ軸方向で塗布装置の水平面と平行であることを表示する第一水準計、及び該水平面のＸ軸と直角に交わるＹ軸方向で塗布装置の水平面と平行であることを表示する第二水準計を具備する吐出ノズル切断用治具であるので、吐出ノズルの外壁に対し吐出ノズルの先端部を直角に平坦性をもって切断することのできる吐出ノズル切断用治具となる。
【００１３】
また、吐出ノズル切断用治具が水平であるか否かは第一水準計及び第二水準計によって容易に確認できるので、吐出ノズルの先端部を外壁に対し直角に、且つ平坦性をもって一回の操作で正確に切断することができる吐出ノズルの切断方法となる。
【００１４】
従って、フォトレジストの固形物の付着を抑制し、且つフォトレジストの吐出ムラに起因する塗布ムラを防止し、フォトマスクの品質を向上させることができる。また、吐出ノズルの管理の作業効率を上げることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下に本発明による吐出ノズル切断用治具を、その一実施の形態に基づいて説明する。第二水準計の位置関係、及び切断する吐出ノズルと吐出ノズル切断用治具との位置関係の説明図である。図１は、切断刃が吐出ノズルを切断した時点での位置関係を示している。
【００１６】
図１中、（Ｈ）は、吐出ノズル切断用治具の水平面である。Ｘ軸とＹ軸は水平面上の軸であり、直角に交わっている。切断刃（３０）は、切断刃の側面（３１）を吐出ノズル切断用治具の水平面（Ｈ）上に、その長手方向（ａ）の中央部を吐出ノズル切断用治具の水平面（Ｈ）のＹ軸上にし、その刃部（３２）を吐出ノズル切断用治具の水平面（Ｈ）のＸ軸上にして設けられている。
すなわち、切断刃（３０）は、その刃部（３２）を吐出ノズル切断用治具の水平面（Ｈ）上のＸ軸とＹ軸の交点（Ｏ）に接してＸ軸方向に、その長手方向（ａ）の中央部をＹ軸上にし、側面（３１）を水平面（Ｈ）上にしている。
【００１７】
Ｚ軸は、吐出ノズル切断用治具の水平面（Ｈ）上のＸ軸とＹ軸の交点（Ｏ）で水平面（Ｈ）に垂直に交わる軸である。
第一水準計（１１）は、Ｙ軸上の交点（Ｏ）から離れたＹ軸上の位置に、Ｘ軸／Ｚ軸面と第一水準計（１１）の裏面を平行にし、Ｙ軸に第一水準計（１１）の中心を合わせて設けられている。
また、第二水準計（１２）は、Ｘ軸上の交点（Ｏ）から離れたＸ軸上の位置に、Ｙ軸／Ｚ軸面と第二水準計（１２）の裏面を平行にし、Ｘ軸に第二水準計（１２）の中心を合わせて設けられている。
【００１８】
第一水準計（１１）は、吐出ノズル切断用治具を取り扱う際に、その水平面（Ｈ）、すなわち、切断刃の側面（３１）がＸ軸方向で水平に保たれているか否かの傾きを検出する水準計である。
また、第二水準計（１２）は、吐出ノズル切断用治具を取り扱う際に、その水平面（Ｈ）、すなわち、切断刃の側面（３１）がＹ軸方向で水平に保たれているか否かの傾きを検出する水準計である。
【００１９】
第一水準計（１１）及び第二水準計（１２）によって、切断刃の側面（３１）がＸ軸方向及びＹ軸方向で水平であることを確認し、切断刃（３０）によってＺ軸上の吐出ノズル（４０）を切断することにより、吐出ノズル（４０）の切断面（開口面）は塗布装置の水平面と平行になる。
すなわち、吐出ノズル（４０）の外壁に対し、切断面（開口面）は直角になる。
【００２０】
図１における切断刃（３０）の位置は、吐出ノズルを切断した時点での位置を示している。吐出ノズルを切断する際は、白太矢印で示すように、切断刃（３０）をＹ軸方向に点線で表す位置まで移動させ、吐出ノズル（４０）を交点（Ｏ）のＺ軸上に配し、再び切断刃（３０）の刃部（３２）を交点（Ｏ）まで押し戻すことによって吐出ノズル（４０）を切断する。
【００２１】
図２は、本発明による吐出ノズル切断用治具の一実施例の平面図である。図１と同様に、切断刃が吐出ノズルを切断した時点での状態を示している。
図３は、図２に示す吐出ノズル切断用治具が吐出ノズルを挟み込むために、押さえ板（２０）が開放された時点での状態を示している。また、図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、及び（ｄ）は、切断刃が吐出ノズルを切断した時点での平面図、正面図、左側面図、及び右側面図を各々示している。
【００２２】
図２〜図４におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、図１におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸に各々対応した軸である。図２〜図４に示すように、本発明による吐出ノズル切断用治具は、対向した基盤（１０）と押さえ板（２０）が枢軸ピン（３７）を介して回転可能にした治具である。
基盤（１０）の片端には、基盤（１０）面と垂直な面を有する側板（１３）がＬ字状に基
盤（１０）の内面側に向かって設けられ、基盤（１０）の内面側の該片端より中央部寄りには折曲部（１４）が設けられ、また、基盤（１０）の他端の外面側には、にぎり部（２２Ｂ）が設けられている。
【００２３】
また、基盤（１０）の内面側には、受け座（３４）が、その中心部をＹ軸に一致させ、その表面をＸ軸に一致させて設けられている。また、上記枢軸ピン（３７）の中心は、Ｘ軸を通りＺ軸と平行になっている。
基盤（１０）の外面側には、第一水準計（１１）が、その中心部をＹ軸に一致させて設けられており、また、側板（１３）の外面側には、第二水準計（１２）が、その中心部をＸ軸に一致させて設けられている。
【００２４】
押さえ板（２０）の片端には、折曲部（２１）が内面側に向かって逆Ｌ字状に設けられ、枢軸ピン（３７）を介し折曲部（２１）と折曲部（１４）が連結している。押さえ板（２０）の他端の外面側には、にぎり部（２２Ａ）が設けられている。
また、押さえ板（２０）の内面側には、切断刃（３０）の台座（３３）が、その中心部をＹ軸に一致させて設けられており、切断刃（３０）は台座（３３）上で、その側面（３１）を吐出ノズル切断用治具の前記水平面（Ｈ）上に、その長手方向（ａ）の中央部を水平面（Ｈ）のＹ軸上にし、その刃部（３２）を吐出ノズル切断用治具の水平面（Ｈ）のＸ軸上にして設けられている。
【００２５】
また、押さえ板（２０）を開放するための板ばね（３６）が、対向する基盤（１０）と押さえ板（２０）との間に設けられており、基盤（１０）側は固定され、押さえ板（２０）側は枢軸ピン（３７）を軸とした押さえ板（２０）の回転による開閉に伴って、（Ｓ）で示す押さえ板（２０）の内面側の部分でスライドするようになっている。
【００２６】
図２は、切断刃（３０）が吐出ノズル（図示せず）を切断した時点での状態を示している。すなわち、基盤（１０）の他端の外面側のにぎり部（２２Ｂ）と、押さえ板（２０）の他端の外面側のにぎり部（２２Ａ）が握られ吐出ノズル切断用治具は閉じた状態である。
握りを弛めることによって、板ばね（３６）が押さえ板（２０）を押し上げ、押さえ板（２０）は回転し、受け座（３４）と切断刃（３０）の間が離れ、図３に示すように、吐出ノズル（４０）を挟み込む間隔ができるようになっている。
【００２７】
図４（ｂ）の正面図には、第一水準計（１１）の正面、第二水準計（１２）の側面、にぎり部（２２Ｂ）の正面が、また、図４（ｃ）の左側面図には、吐出ノズル切断用治具が閉じられた状態での基盤（１０）と押さえ板（２０）との位置関係、台座（３３）及び切断刃（３０）と受け座（３４）とのＸ軸、Ｚ軸における位置関係が、また、図４（ｄ）の右側面図には、第二水準計（１２）の正面が各々示されている。
【００２８】
図５は、第一水準計（１１）及び第二水準計（１２）の表示盤を拡大して説明する正面図である。第一水準計（１１）は、その裏面をＸ軸／Ｚ軸面と平行に、その中心（Ｏ２）をＹ軸に一致させて吐出ノズル切断用治具に取付けられている。また、第二水準計（１２）は、その裏面をＹ軸／Ｚ軸面と平行に、その中心（Ｏ２）をＸ軸に一致させて吐出ノズル切断用治具に取付けられている。        表示盤の目盛りは、水準計の傾きを表すもので盤上では固定した目盛りである。一方、水準計の針（５０）は、水平面に対し常に垂直方向（図５中の上方向）を指すように、表示盤内で揺動するようになっている。
【００２９】
従って、水準計の針（５０）に目盛りのゼロが合致するように、吐出ノズル切断用治具のＸ軸方向及びＹ軸方向の傾きを調節すると吐出ノズル切断用治具は水平になる。
すなわち、吐出ノズル切断用治具の取扱中に、第一水準計（１１）及び第二水準計（１２
）の針に目盛りのゼロが合致していることを確認して吐出ノズルを切断すれば、容易に吐出ノズルの先端部を直角に平坦性をもって切断することができる。
【００３０】
塗布装置の吐出ノズルの先端部にフォトレジストが付着し、乾燥してフォトレジストの固形物となった、その先端部を除去するために吐出ノズルの先端部を切断する際には、例えば、吐出ノズルを塗布装置から取り外し、上記発明による吐出ノズル切断用治具を用いて切断してもよい。
この際には、吐出ノズルの外壁を塗布装置の水平面と垂直に保ち、吐出ノズル切断用治具のＸ軸方向及びＹ軸方向の傾きを調節して水平にした状態で吐出ノズルの先端部を挟み込み切断することが好ましい。
【００３１】
しかし、本発明による吐出ノズル切断用治具は、塗布装置内で開口した先端部を下方に向け、外壁を水平面と垂直に保って取り付けられた、吐出ノズルの先端部を塗布装置から取り外すことなく、取り付けられたままの状態で吐出ノズルの外壁に対し吐出ノズルの先端部を直角に、且つ平坦性をもって切断することができることを特徴としている。
【００３２】
すなわち、まづ、塗布装置内で、その外壁を水平面と垂直に保って取り付けられた吐出ノズルの先端部に吐出ノズル切断用治具を、図３に示すように押さえ板（２０）が開放された状態で近づける。
基盤（１０）と押さえ板（２０）の間の、Ｘ軸とＹ軸の交点（Ｏ）にある受け座（３４）の表面上に吐出ノズル（４０）を接触させ、第一水準計（１１）及び第二水準計（１２）を目視しながら吐出ノズル切断用治具の傾きを調節し、吐出ノズル切断用治具の水平面（Ｈ）と塗布装置の水平面を一致させる。そして、基盤（１０）の他端のにぎり部（２２Ｂ）と、押さえ板（２０）の他端のにぎり部（２２Ａ）を握りしめて押さえ板（２０）を閉じるようにして吐出ノズル（４０）の先端部を切断する。
【００３３】
吐出ノズル（４０）は、塗布装置内で垂直に保って取り付けられており、また、吐出ノズル切断用治具が水平であるか否かは第一水準計（１１）及び第二水準計（１２）によって容易に確認できるので、吐出ノズルの先端部を外壁に対し直角に、且つ平坦性をもって一回の操作で正確に切断することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】切断刃、第一水準計、第二水準計の位置関係、及び切断する吐出ノズルと吐出ノズル切断用治具との位置関係の説明図である。
【図２】本発明による吐出ノズル切断用治具の一実施例の、切断刃が吐出ノズルを切断した時点での状態を示す平面図である。
【図３】図２に示す吐出ノズル切断用治具が吐出ノズルを挟み込むために、押さえ板が開放された時点での状態を示す平面図である。
【図４】（ａ）は、切断刃が吐出ノズルを切断した時点での平面図である。
【００３５】
（ｂ）は、切断刃が吐出ノズルを切断した時点での正面図である。
【００３６】
（ｃ）は、切断刃が吐出ノズルを切断した時点での左側面図である。
【００３７】
（ｄ）は、切断刃が吐出ノズルを切断した時点での右側面図である。
【図５】第一水準計及び第二水準計の表示盤を拡大して説明する正面図である。
【符号の説明】
【００３８】
１０・・・基盤
１１・・・第一水準計
１２・・・第二水準計
１３・・・側板
１４、２１・・・折曲部
２０・・・押さえ板
２２Ａ、２２Ｂ・・・にぎり部
３０・・・切断刃
３１・・・切断刃の側面
３２・・・切断刃の刃部
３３・・・台座
３４・・・受け座
３６・・・板ばね
３７・・・枢軸ピン
４０・・・吐出ノズル
５０・・・水準計の針
Ｈ・・・吐出ノズル切断用治具の水平面
Ｏ・・・Ｘ軸とＹ軸の交点
Ｏ２・・・第一水準計及び第二水準計の中心
ａ・・・切断刃の側面の長手方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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