(57)【要約】 【課題】  従来の圧電型エキサイタは落下等の衝撃発生時に発生したクラックに起因して表面電極が断線して圧電型エキサイタの機能低下あるいは動作を停止してしまう恐れがあった。【解決手段】  金属薄片からなるシムの上下面に圧電素子を貼り付けた圧電型エキサイタにおいて、該圧電型エキサイタの前記圧電振動子の保持部側から表面電極への主たる給電路以外に新たに内部電極を経由して前記圧電振動子の先端部から前記表面電極までの第２の給電路を設けた。【選択図】    図１
2005354298.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属薄片からなるシムの上下面に圧電素子を貼り付けた圧電型エキサイタにおいて、該圧電型エキサイタの前記圧電振動子の保持部側から表面電極への主たる給電路以外に新たに内部電極を経由して前記圧電振動子の先端部から前記表面電極までの第２の給電路を設けたことを特徴とする圧電型エキサイタ。
【請求項２】
請求項１記載の前記第２の給電路は前記圧電振動子の保持部側と先端部の側面に付加した側面電極であることを特徴とする圧電型エキサイタ。
【請求項３】
請求項１記載の前記第２の給電路は前記圧電振動子の保持部側と先端部側に設けたスルーホール電極であることを特徴とする圧電型エキサイタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はパソコン、ＰＤＡ、携帯電話機等の小型端末機器用スピーカー装置の振動板あるいは小型端末機器の筐体を機械的に励振する圧電型エキサイタ関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の小型端末機器等に適した音響変換器としては特許文献１および特許文献２に例示するような振動板あるいは小型端末機器の筐体を直接圧電型エキサイタで励振するスピーカー装置がある。以下図７、図８、図９、図１０に基づいて従来の圧電型エキサイタを説明する。
【０００３】
図７は特許文献１に示す従来の単層バランス型の圧電型エキサイタの原理を示す断面図である。
３００は単層バランス型の圧電型エキサイタであり、３３０は単層バイモルフ圧電素子で構成した圧電振動子で中央部を保持部３０３により保持している。
【０００４】
図８は図７に基づき前述した単層バランス型の圧電型エキサイタ３００の更に詳細な断面図である。
３０１は金属薄片から成るシム、３０２は単層圧電素子で、このシム３０１を中心に上下対象に同一構成の単層の圧電素子３０２を貼り付けて単層バイモルフ型の圧電振動子３３０を構成している。３０３は保持部であり、圧電振動子３３０の中央部を支点として保持している。
圧電素子３０２は圧電体３１１に表面電極３１４とシム側電極３１５を施してあり、圧電振動子３３０への給電はシム３０１と接するシム側電極３１５から負電圧を、表面電極３１４から正電圧を印加する。符号Ｃは細線で示す表面電極の断線部であり、３１４ａは後に詳述する符号Ｃで切断された表面電極３１４の延長部である。
【０００５】
圧電振動子３３０は表面電極３１４に正極電圧、とシム側電極３１５にシム３０１を経由して負電圧を印加することで保持部３０３を支点として振動する。保持部３０３は図示していないが、振動板あるいは小型端末機器の筐体に直接固着して圧電型エキサイタ３００を電圧駆動することにより圧電振動子３３０の振動を保持部３０３を介して振動板あるいは筐体を励振してスピーカー装置として機能させるのである。
【０００６】
図９は特許文献１に示すもうひとつの従来の積層バランス型の圧電型エキサイタの断面図である。
５００は積層バランス型の圧電型エキサイタで、構造は前述の図８に示した単層バランス型の圧電型エキサイタ３００と類似しているが、圧電素子が積層構造となっている。
すなわち、５０１は金属薄片から成るシム、５０２は３層構造の圧電素子で、このシム５０１を中心に上下対象に積層の圧電素子５０２を貼り付けて積層バイモルフ型の圧電振動子５３０を構成している。５０３は保持部であり、圧電振動子５３０の中央部を支点として保持している。
【０００７】
圧電素子５０２は圧電体５１１、５１２、５１３の３層で構成してあり、各々表面電極５１４、内部電極５１５、５１６、シム側電極５１７を施してある。
５０４および５０５は側面電極であり、側面電極５０４はシム側電極５１７と内部電極５１５を接続、側面電極５０５は表面電極５１４と内部電極５１６を接続していて、圧電振動子５３０への給電はシム５０１と接するシム側電極５１７から負電圧を、表面電極５１４から正電圧を印加する。
符号Ｃは細線で示す表面電極の断線部であり、５１４ａは符号Ｃで切断された表面電極５１４の延長部である。
【０００８】
図１０は特許文献２に示す従来の単層片持ち梁型の圧電型エキサイタの原理を示す断面図である。
４００は単層片持ち梁型の圧電型エキサイタであり、４３０は単層バイモルフ圧電素子で構成した圧電振動子で、端部を保持部４０３により保持している。圧電振動子４３０は図７及び図８に基づいて説明した圧電型エキサイタ３００と同様に単層バイモルフ圧電素子で構成した圧電振動子であり、電極に電圧を印加することで保持部４０３を支点として振動する。保持部４０３は前述の単層バランス型の圧電型エキサイタ３００と同様に振動板あるいは小型端末機器の筐体に直接固着して圧電型エキサイタ４００を電圧駆動することにより圧電振動子４３０の振動を保持部４０３を介して振動板あるいは筐体を励振してスピーカー装置として機能させるのである。
図示はしていないが単層片持ち梁型の圧電型エキサイタ４００に対して積層片持ち梁型の圧電型エキサイタも従来例として存在する。
【０００９】
以上述べたように、単層バランス型の圧電型エキサイタ３００、積層バランス型の圧電型エキサイタ５００、片持ち梁型の圧電型エキサイタ４００、あるいは図示していないが積層片持ち梁型の圧電型エキサイタはいずれも圧電振動子の電極に電圧を印加することで圧電素子が撓み、圧電振動子３３０、５３０の中央部あるいは４３０の端部を支点として振動し、保持部３０３、５０３あるいは４０３を介してその振動を振動板あるいは筐体に伝え、スピーカー装置として機能させるのである。
【００１０】
【特許文献１】特願２００３−３００９９２号公報
【特許文献２】特願２００３−３６５５０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
一般的に梁の中央部を支持するバランス型の圧電振動子、あるいは圧電振動子の端部を支持する片持ち梁型の圧電振動子は衝撃等で撓み方向に外力が加わった場合は、大きなモーメントが働き、保持部の根元近くに大きな剪断力が働く。
しかるに、前述の従来の小型端末機器用スピーカー装置の圧電型エキサイタ３００、４００あるいは５００は、落下等の衝撃により圧電振動子３３０、４３０あるいは５３０が過大に変形して圧電素子にクラックが発生することがある。多くの場合はこのクラックが発生した時点では表面電極および内部電極は導通が維持されるため衝撃等を受けた時点では前記圧電エキサイタの特性に大きな影響を与えることはない。しかし、その後も圧電型エキサイタとしての動作を続けるとクラック部分は大きく進行し、図８、図９の符号Ｃで示すように圧電振動子表面の電極３１４あるいは５１４が突然断線して導通がなくなってしまうことがあった。
【００１２】
なお、衝撃等による圧電振動子のクラック発生およびクラックに起因する電極の切断は、バランス型あるいは片持ち梁型を問わず保持部の根元に近い点に発生しやすいという事実があり、また、これまでの圧電型エキサイタの実験および製造の経験から、衝撃等によるクラック発生に起因して電極導通がなくなるのは表面電極であり、内部電極の導通は維持されているという事実もあった。
【００１３】
すなわち、従来の圧電型エキサイタは落下等の衝撃発生時に生じた圧電振動子のクラックが動作時間を経過して徐々に進行拡大し、あるとき突然表面電極が断線して圧電型エキサイタの機能低下あるいは動作を停止してしまうことがあったため、圧電型エキサイタあるいは圧電型エキサイタを搭載したスピーカ装置の信頼性を大きく損なうという問題があった。
【００１４】
以下図８の断面図に基づいて落下等の衝撃により発生する圧電素子のクラックおよびクラックに起因する電極切断の事象および問題を説明する。
すなわち、単層バイモルフ型の圧電型エキサイタ３００に衝撃が加わり、符号Ｃ点に細線で示すクラックが発生すると、その後の圧電型エキサイタとしての動作継続によりクラック部分が進行拡大し、表面電極３１４のクラック発生点Ｃが切断して表面電極３１４と表面電極３１４ａに分離してしまう。
【００１５】
この結果、圧電振動子３３０の符号Ｃ点より先端部への給電が行われなくなり、圧電型エキサイタ３００は印加電圧に対する駆動効率の低下、あるいは、最悪時は全く駆動ができなくなってしまうことがあった。この表面電極３１４の符号Ｃ点の電極切断は落下衝撃発生時より時間経過した時点で突然発生することがあり、圧電型エキサイタを搭載した小型端末機器のスピーカーとしての信頼性を損ない誠に具合が悪かった。
【００１６】
図９の積層バイモルフ型の圧電型エキサイタ５００に関しても圧電素子が衝撃等の過大な撓みで符号Ｃ点にクラックが発生すると、その後表面電極５１４の符号Ｃ点で電極は切断して表面電極５１４と表面電極５１４ａに分離してしまうため、図８に基づいて説明した単層バイモルフ型の圧電型エキサイタ３００と全く同様に駆動効率の低下、あるいは、最悪時は全く駆動ができなくなってしまうという問題があった。
詳細な図示はしていないが、図１０の単層片持ち梁型の圧電型エキサイタ４００においても同様な理由から表面電極切断の問題が存在していた。
【００１７】
すなわち、本発明の目的は上記問題を解決することにあり、積層圧電型エキサイタの圧電振動子表面電極への給電路を前記圧電振動子の保持部側から前記表面電極への主たる給電路以外に新たに内部電極を経由して前記圧電振動子の先端部から前記表面電極への第２の給電路を設けることで、前記圧電型エキサイタを装着した小型端末機器等の落下等による衝撃で万一前記圧電型エキサイタの圧電素子にクラックが発生し、その後の経過動作で該クラック発生部の前記表面電極の導通が切断しても、給電を維持できる信頼性の高い圧電型エキサイタを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
上記目的を達成するための本発明の構成は、金属薄片からなるシムの上下面に圧電素子を貼り付けた圧電型エキサイタにおいて、該圧電型エキサイタの前記圧電振動子の保持部側から表面電極への主たる給電路以外に新たに内部電極を経由して前記圧電振動子の先端部から前記表面電極までの第２の給電路を設けたことを特徴とする。
【００１９】
また、前記積層圧電型エキサイタの圧電振動子の前記第２の給電路は前記圧電振動子の保持部側と先端部側面に付加した側面電極であることを特徴とする。
【００２０】
あるいは、前記積層圧電型エキサイタの圧電振動子の前記第２の給電路は該圧電振動子の保持部側と先端部側に設けたスルーホール電極であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
すなわち、本発明は積層圧電型エキサイタの圧電振動子の保持部側から表面電極への主たる給電路と併せて内部電極を経由して該圧電振動子の先端部から該表面電極への第２の給電路を設けたことにより、衝撃等の過大変形で発生した該圧電振動子のクラックに起因する表面電極の切断で保持部側からの給電が停止する事態が発生しても、該圧電振動子の先端部から該表面電極への第２の給電路を確保できる構造のため、過酷な使用環境においても圧電型エキサイタとしての特性を損なわない信頼性の高い圧電型エキサイタを提供できるものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
【実施例１】
【００２３】
以下、本発明の実施形態を図面により説明する。
図１、図２、図３は本発明の第１の実施形態で、図１は本発明における圧電型エキサイタの断面図、図２は図１に示す圧電型エキサイタ電極の結線図、図３は図１および図２に示す圧電型エキサイタの電極の結線図におけるＡおよびＢ厚み方向の電極断面を示す。
【００２４】
図１、図２および図３において、１００は３層バイモルフ圧電振動子を用いた片持ち梁型の圧電型エキサイタである。１０１は片持ち梁の中心素材である金属薄片のシム、１０２および１０２は厚み方向に分極した３層構造の圧電素子で、シム１０１を中心に上下対象に同一構造の積層圧電素子１０２を貼り付けて積層バイモルフ型の圧電振動子１３０を構成している。１０３は保持部であり、圧電振動子１３０の端部（Ｒ）を支点として保持する。
【００２５】
圧電素子１０２は圧電体１１１、１１２、１１３の３層で構成してあり、各々表面電極１１４、内部電極１１５、１１６、シム側電極１１７を施してある。１１４ａは本来は表面電極１１４と同一面電極であるが、後述するように表面電極１１４から断線分離した表面電極である。１０４、１０５および図１には示されない１０６、１０７は圧電素子１０２の側面電極である。
表面電極１１４、内部電極１１５、１１６、シム側電極１１７の保持部側（Ｒ）の一部には島状電極１１４ｂ、１１５ｂ、１１６ｂ、１１７ｂを、先端部（Ｌ）の一部には島状電極１１４ｃ、１１５ｃ、１１６ｃ、１１７ｃを設けてあり、これら島状電極は表面電極１１４、内部電極１１５、１１６、シム側電極１１７を後述のように側面電極１０４、１０５、１０６、１０７で接続するための圧電作用には寄与しないダミー電極である。
【００２６】
図２で明かなように側面電極１０４、１０５、１０６、１０７は各々以下の経路で表面電極１１４、内部電極１１５、１１６、シム側電極１１７を接続している。
すなわち、側面電極１０４は島状電極１１４ｃ、内部電極１１５、島状電極１１６ｃ、シム側電極１１７を接続している。側面電極１０６は表面電極１１４ａ、島状電極１１５ｃ、内部電極１１６、島状電極１１７ｃを接続している。側面電極１０５は表面電極１１４、島状電極１１５ｂ、内部電極１１６、島状電極１１７ｂを接続している。側面電極１０７は島状電極１１４ｂ、内部電極１１５、島状電極１１６ｂ、シム側電極１１７を接続している。
【００２７】
ここで、３層バイモルフ型の圧電型エキサイタ１００に衝撃が加わると、圧電素子１１１の符号Ｃ点にクラックが発生する場合があり、その後の圧電型エキサイタとしての動作継続によりクラック部分が進行拡大し、表面電極１１４のクラック発生点Ｃの細線部が切断して表面電極１１４と表面電極１１４ａに分離してしまう。この結果、表面電極１１４から切断された同じ表面電極１１４ａへの主たる給電路は絶たれてしまう。
【００２８】
ところが、本発明は積層圧電型エキサイタの圧電振動子１０２の保持部側から表面電極１１４への主たる給電路と併せて内部電極を経由する第２の給電路、すなわち、表面電極１１４の保持部側（Ｒ）側面電極１０５と内部電極１１６と先端部側（Ｌ）側面電極１０６を経由して表面電極１１４ａへの給電路を設けてある。
つまり、図３に示す電極断面図Ａの表面電極１１４〜側面電極１０５〜内部電極１１６〜電極断面図Ｂの内部電極１１６〜側面電極１０６〜表面電極１１４ａが第２の給電路である。
なお、内部電極１１５、１１６やシム側電極１１７は表面電極１１４と比較して断線する確率は極めて低いので内部電極１１５とシム側電極１１７を接続している側面電極１０４あるいは１０７のいずれかは省略しても差し支えない。
【００２９】
更に、図１における細線で示すような符号Ｄ点にもクラックが発生し、表面電極１１４が切断したと仮定する。この場合は保持部側（Ｒ）から表面電極１１４のＣ点までと、先端部（Ｌ）側面電極１０６を経由して表面電極１１４ａのＤ点までの給電路があるのでＣ−Ｄ間の狭い範囲のみ給電できないだけであり、圧電型エキサイタ１００の機能が全く動作しなくなるという大きなダメージは避けることが出来る。
【００３０】
以上の説明からも明白なように、本発明においては表面電極への給電路は、片持ち梁保持部側（Ｒ）からの表面電極１１４から表面電極１１４ａへの主たる給電路と内部電極１１６と先端部側（Ｌ）の側面電極１０６を経由する第２の給電路の２経路を新たに設けているため、衝撃等の過大変形で発生した圧電素子のクラックに起因して表面電極１１４の切断という事態が発生しても、圧電素子１０２の先端部からの第２の給電路が確保できているため動作上の支障はなく、信頼性の高い圧電型エキサイタを提供できるのである。
【００３１】
なお、本発明は３層バイモルフ圧電振動子を用いた片持ち梁型の圧電型エキサイタの構造に基づいて説明したが、３層に限らず、内部電極を経由して先端部の側面電極で表面電極へ折り返すことができる多層片持ち構造であれば同様の結果を得られることは言うまでもない。また、給電の正極と負極の区別は説明の便宜上付けた符号であって、圧電振動子を駆動する上では極性の入れ替えはその動作には全く関与しない。
【実施例２】
【００３２】
図４、図５、図６は本発明の第２の実施形態で、図４は本発明における圧電型エキサイタの断面図、図５は図４の圧電型エキサイタの電極展開図である。図６は本発明による圧電型エキサイタの給電路の断面図である。
【００３３】
図４および図５において、２００は３層バイモルフ圧電振動子を用いた片持ち梁型の圧電型エキサイタである。
２０１は片持ち梁の中心素材である金属薄片のシム、２０２は厚み方向に分極した３層構造の圧電素子で、シム２０１を中心に上下対象に同一構造の積層圧電素子２０２を貼り付けて積層バイモルフ型の圧電振動子２３０を構成している。２０３は保持部であり、圧電振動子２３０の端部（Ｒ）を支点として保持する。
【００３４】
圧電素子２０２は圧電体２１１、２１２、２１３の３層で構成してあり、表面電極２１４、内部電極２１５、２１６、シム側電極２１７を施してある。２１４ａは本来は表面電極２１４と同一面電極であるが、後述するように表面電極２１４から断線分離した表面電極である。２０４は圧電素子２０２の先端部（Ｌ）のスルーホール電極、２０５は保持部側（Ｒ）のスルーホール電極である。更に図４の断面図では示していないが、スルーホール電極２０５の後ろ側にはスルーホール電極２０７がある。
【００３５】
スルーホール電極２０４は圧電素子２０２の先端部（Ｌ）の表面電極２１４、内部電極２１５、２１６を貫く２０４ａ、２０４ｂ、２０４ｃからなるスルーホールであって、内部電極２１５とスルーホール２０４ｂは絶縁分離してある。
スルーホール電極２０５は圧電素子２０２の保持部側（Ｒ）の表面電極２１４、内部電極２１５、２１６を貫く２０５ａ、２０５ｂ、２０５ｃからなるスルーホールであって、内部電極２１５とスルーホール２０５ｂは絶縁分離してある。
【００３６】
図４では示していないスルーホール電極２０７は圧電素子２０２の保持部側（Ｒ）の表面電極２１４、内部電極２１５、２１６、シム側電極２１７を貫く２０７ａ、２０７ｂ、２０７ｃ、２０７ｄからなるスルーホールであって、表面電極２１４とスルーホール２０７ａおよび内部電極２１６とスルーホール２０７ｃは絶縁分離してある。
すなわち、圧電素子２０２の表面電極２１４と内部電極２１６は保持部側（Ｒ）スルーホール電極２０５および先端部（Ｌ）スルーホール電極２０４で導通があり、内部電極２１５とシム側電極２１７は保持部側（Ｒ）スルーホール電極２０７で導通がある。
【００３７】
圧電素子２０２への給電点は負電圧はシム２０１、正電圧はスルーホール２０５ａであり、符号ＣあるいはＤは細線で示すような表面電極の断線部である。
負極の給電路はシム２０１と接するシム側電極２１７およびシム側電極２１７の保持部側（Ｒ）スルーホール電極２０７を経由して内部電極２１５への経路であり、正極の主たる給電路は保持部側（Ｒ）スルーホール２０５ａおよび表面電極２１４の保持部側（Ｒ）スルーホール電極１０５経由して内部電極１１６ｃへの経路であり、スルーホール２０５ａ〜内部電極１１６〜スルーホール２０４ｃ〜スルーホール２０４ａ〜表面電極２１４ａが本発明で新たに設けた第２の給電路である。
【００３８】
ここで、３層バイモルフ型の圧電型エキサイタ２００に衝撃が加わり圧電素子２１１の符号Ｃ点にクラックが発生すると、その後の圧電型エキサイタとしての動作継続によりクラック部分が進行拡大し、表面電極２１４のクラック発生点Ｃの細線部が切断して表面電極２１４と表面電極２１４ａに分離して正極給電点のスルーホール２０５ａから表面電極２１４を経由して同じ表面電極１１４ａへの主たる給電路は絶たれてしまう。
【００３９】
しかし、本発明の表面電極２１４ａへの給電路は表面電極２１４から直接２１４ａに至る主たる給電路と併せて、スルーホール電極２０５〜内部電極１１６〜スルーホール２０４〜表面電極２１４ａという第２の給電路を設けてあるので前述のようにクラックに起因する表面電極２１４の切断で保持部側（Ｒ）からの主たる給電路が断たれ給電が停止する事態が発生しても表面電極２１４ａへの給電が途絶えることはない。
【００４０】
更に、図４における細線で示すような符号Ｄ点にもクラックが発生し、表面電極２１４が切断したと仮定する。この場合は保持部側（Ｒ）から表面電極２１４のＣ点までと、先端部（Ｌ）スルーホール電極２０５〜内部電極１１６〜スルーホール２０４〜表面電極２１４ａを経由して表面電極２１４ａのＤ点までの給電路があるのでＣ−Ｄ間の狭い範囲のみ給電できないだけであり、圧電型エキサイタ２００の機能が全く動作しなくなるという大きなダメージは避けることが出来る。
【００４１】
図６は図４および図５に示した本発明の第２の実施形態の拡張性を説明する圧電型エキサイタの給電路の断面図であり、奇数層バイモルフ圧電振動子あるいは偶数層バイモルフ圧電振動子に関わらず適用できることを示す。
【００４２】
２５０は３層、すなわち、奇数層バイモルフ圧電振動子を用いた片持ち梁型の圧電型エキサイタの給電路の断面図である。
２５１、２５２、２５３、２５４は第１層電極、第２層電極、第３層電極、第４層電極で、第１層電極２５１が表面電極であり、ＴＨ１、ＴＨ２、ＴＨ３がスルーホール電極である。ＴＨ１とＴＨ２が梁の保持部側（Ｒ）スルーホール電極、ＴＨ３が梁の先端側（Ｌ）スルーホール電極である。
【００４３】
第１層電極２５１と第３層電極２５３は保持部側スルーホール電極ＴＨ２と先端側スルーホール電極ＴＨ３で導通している。第２層電極２５２と第４層電極２５４は保持部側スルーホール電極ＴＨ１で導通している。
すなわち、表面電極２５１が保持部と先端部の中間で切断しても保持部側スルーホール電極ＴＨ２と内部電極すなわち第３層電極２５３と先端側スルーホール電極ＴＨ３を経由して給電路が確保できている。
【００４４】
２６０は２層、すなわち、偶数層バイモルフ圧電素子を用いた片持ち梁型の圧電型エキサイタの給電路の断面図である。
２６１、２６２、２６３は第１層電極、第２層電極、第３層電極で、第１層電極２５１が表面電極であり、ＴＨ４が梁の保持部側（Ｒ）スルーホール電極、ＴＨ５が梁の先端側（Ｌ）スルーホール電極である。第１層電極２６１と第３層電極２６３は保持部側（Ｒ）スルーホール電極ＴＨ４と先端側（Ｌ）スルーホール電極ＴＨ５で導通している。
すなわち、表面電極２６１が保持部と先端部の中間で切断しても保持部側スルーホール電極ＴＨ２と内部電極すなわち第３層電極２６３と先端側スルーホール電極ＴＨ３を経由して給電路が確保できている。
【００４５】
以上の説明からも明白なように、本発明は表面電極の主たる給電路に加えて保持部側（Ｒ）スルーホール電極〜内部電極〜先端部側（Ｌ）スルーホール電極を経由する第２の給電路を付け加え、かつ、圧電体が奇数層あるいは偶数層に限らず多層バイモルフ圧電振動子を用いた圧電型エキサイタに適用できるので前述のように圧電型エキサイタに衝撃等の過大変形で発生した圧電振動子のクラックに起因して表面電極の切断という事態が発生しても、圧電振動子の先端部からの第２の給電路が確保できているため信頼性の高い圧電型エキサイタを提供できるのである。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明における圧電型エキサイタの断面図である。
【図２】図１における圧電型エキサイタ電極の結線図である。
【図３】図１および図２における圧電型エキサイタの電極断面図である。
【図４】本発明の他の実施形態における圧電型エキサイタの断面図ある。
【図５】図４における圧電型エキサイタの電極展開図である。
【図６】本発明の他の実施形態における圧電型エキサイタの給電路断面図である。
【図７】従来の単層バランス型の圧電型エキサイタの原理を示す断面図である。
【図８】従来の単層バランス型の圧電型エキサイタの詳細な断面図である。
【図９】従来の積層バランス型の圧電型エキサイタの断面図である。
【図１０】従来の単層片持ち梁型の圧電型エキサイタの原理を示す断面図である。
【符号の説明】
【００４７】
１０１、２０１、３０１、５０１                    シム
１０３、２０３、３０３、４０３、５０３            保持部
１１４、２１４、３１４、５１４                    表面電極
１０４、１０５、１０６、１０７、５０４、５０５    側面電極
２０４、２０５、２０７                            スルーホール電極
ＴＨ１、ＴＨ２、ＴＨ３、ＴＨ４、ＴＨ５            スルーホール電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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