(57)【要約】【課題】  吸着面上に位置し、隣り合う片状部材の境界からエア漏れが発生することを回避して、片状部材の吸着力を安定して維持することができるようにすること。【解決手段】  吸着テーブル１９と、この吸着テーブル１９の上面側に設けられるとともに、略同一面上に位置するラベルＬを吸着する吸着面２０が形成された板状部材２１とを備えて吸着装置１２が構成されている。吸着テーブル１９は、テーブル本体２３の内側に配置された多孔質部材２４を含んで構成される。吸着面２０には、各ラベルＬの面内に収まる対応領域に開口２９がそれぞれ設けられている。吸着面２０は、隣り合うラベルＬの境界Ｌ１に対応する領域に吸着力保持領域３２を備え、当該吸着力保持領域３２は、開口２９が設けられていない境界Ｌ１に沿う領域とされる。【選択図】      図４
2005193315.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の吸着面に、略同一面上に位置する複数枚の片状部材を吸着可能に設けた吸着装置において、
前記吸着面は、隣り合う片状部材の境界に対応する領域を吸着力保持領域として形成していることを特徴とする吸着装置。
【請求項２】
前記吸着面には、各片状部材の面内に収まる対応領域に開口がそれぞれ設けられる一方、当該開口が設けられていない前記境界に沿う領域が前記吸着力保持領域とされることを特徴とする請求項１記載の吸着装置。
【請求項３】
前記各開口は、多数の穴によりそれぞれ形成されていることを特徴とする請求項１又は２記載の吸着装置。
【請求項４】
前記吸着面は、板状部材により形成され、この板状部材は、多孔質部材を備えた吸着テーブルの上面に配置されていることを特徴とする請求項１，２又は３記載の吸着装置。
【請求項５】
前記板状部材は、吸着テーブルに着脱自在に設けられていることを特徴とする請求項４記載の吸着装置。
【請求項６】
略同一面上に位置する複数枚の片状部材を吸着装置の吸着面上で保持する吸着方法において、
前記吸着面は、隣り合う片状部材の境界に対応する領域を吸着力保持領域として各片状部材を保持することを特徴とする吸着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、略同一面上に位置する複数枚の片状部材を吸着する吸着装置及び吸着方法に係り、更に詳しくは、各片状部材の吸着力を維持することができる吸着装置及び吸着方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、粘着面側に所定の印字が施された片状部材からなるラベルが広くされており、このようなラベルは、一般に、以下に述べるような製造工程によって製造される。
前記製造工程では、先ず、ベースシートに貼付されたラベルシートをダイカット装置を介して抜き加工し、ベースシート上に複数のラベルの外周形状を形成する。次に、吸着装置の吸着面に各ラベルの粘着面と反対側面を吸着させた状態で、剥離装置により各ラベルからベースシートを剥離し、各ラベルの粘着面側を表出させる。次いで、各ラベルを保持した吸着装置が印字装置に搬送され、各ラベルの粘着面側に印字を行った後、吸着装置が貼付装置部に搬送され、各ラベルの粘着面に再度ベースシートが貼付される。
ここで、前記吸着装置は、吸着面に多数のバキューム穴を備え、当該バキューム穴より真空ポンプ又は減圧ポンプを介して空気を吸引することで各ラベルを保持するようになっている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、前記吸着装置にあっては、ベースシートが剥離されたラベルを吸着するときに、隣り合うラベルの境界に隙間があると、当該隙間を通じてバキューム穴による空気の吸引、つまり、いわゆるエア漏れが発生し、各ラベルに対する吸着力が低下するという不都合がある。この結果、吸着装置の搬送時や、ラベルからベースシートを剥離する力によってラベルの位置が吸着面上でずれてしまい、隣り合うラベル同士が接着したり、印字がずれたりする等、ラベルの製品精度や品質が損なわれるという不都合を招来する。
【０００４】
［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、隣り合う片状部材の境界からのエア漏れを回避して、片状部材の吸着力を安定して維持することができる吸着装置及び吸着方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記目的を達成するため、本発明は、所定の吸着面に、略同一面上に位置する複数枚の片状部材を吸着可能に設けた吸着装置において、
前記吸着面は、隣り合う片状部材の境界に対応する領域を吸着力保持領域として形成する、という構成を採っている。
【０００６】
本発明において、前記吸着面には、各片状部材の面内に収まる対応領域に開口がそれぞれ設けられる一方、当該開口が設けられていない前記境界に沿う領域が前記吸着力保持領域とされる、という構成も好ましくは採用される。
【０００７】
また、前記各開口は、多数の穴によりそれぞれ形成される、という構成も採用することができる。
【０００８】
更に、前記吸着面は、板状部材により形成され、この板状部材は、多孔質部材を備えた吸着テーブルの上面に配置される、という構成を採用することが好ましい。
【０００９】
また、前記板状部材は、吸着テーブルに着脱自在に設けられる、という構成を採るとよい。
【００１０】
更に、本発明に係る吸着方法は、略同一面上に位置する複数枚の片状部材を吸着装置の吸着面上で保持する吸着方法において、
前記吸着面は、隣り合う片状部材の境界に対応する領域を吸着力保持領域として各片状部材を保持する、という方法を採っている。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、複数の片状部材を吸着面上で吸着することに起因する吸着力の低下を抑制することができる。
また、吸着面における開口が設けられていない領域が吸着力保持領域とされるので、隣り合う片状部材の境界に隙間が生じた場合であっても、その隙間を塞ぐように吸着力保持領域が作用することとなる。これにより、従来のように、隣り合う片状部材の境界からエア漏れが生じることを防止でき、各片状部材に対する吸着力の低下を回避することが可能となる。従って、吸着装置の搬送等によって片状部材に外力が付与された場合であっても、当該片状部材が吸着面上で位置ずれを起こし難くなり、片状部材を所定処理する位置精度を高めて品質の安定化を達成することが可能となる。
更に、多数の穴により開口を形成したので、吸着面の剛性を維持しつつ、開口による片状部材の吸着力を十分に確保することができる。
また、吸着面を板状部材としたから、片状部材の形状や配置パターンに応じて吸着力保持領域や開口を吸着面に簡単に形成することができる。
更に、吸着テーブルに板状部材を着脱自在としたから、板状部材を容易に交換でき、片状部材の形状や配置パターンに応じた板状部材を複数タイプ準備することで、吸着装置の汎用性を向上させることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１３】
［第１実施形態］
図１には、第１実施形態に係る吸着装置が適用された印字機の概略構成図が示されている。この図において、印字機１０は、図１中左右方向に延びるスライダ１１を介して移動可能に支持されるとともに、上面にシート材Ｓを保持する吸着装置１２と、スライダ１１に沿う位置に同図中左側から順に設けられた第１の載置装置１４、剥離装置１５、印字装置１６及び第２の載置装置１７とを備えて構成されている。
【００１４】
前記吸着装置１２に保持されるシート材Ｓは、図２及び図３に示されるように、剥離シートとしてのベースシートＢと、このベースシートＢの面内中央領域に粘着剤を介して積層された複数の片状部材としてのラベルＬとからなる。各ラベルＬは、特に限定されるものでないが、本実施形態では、所定のダイカット装置を介して平面視略方形状にそれぞれ形成されるとともに、図２中左右及び上下方向に四列ずつ配置された状態でベースシートＢに積層されている。
【００１５】
前記吸着装置１２は、図３及び図４にも示されるように、吸着テーブル１９と、この吸着テーブル１９の上面側に設けられるとともに、上面に吸着面２０が形成された板状部材２１とを備えて構成されている。
【００１６】
前記吸着テーブル１９は、平面視略方形状の有底容器状をなすテーブル本体２３と、このテーブル本体２３の内側に配置されるとともに、上面がテーブル本体２３の上端面と略同一面上に位置する多孔質部材２４と、テーブル本体２３の底側に接続されたホース２５とを備えて構成されている。ホース２５は、所定の減圧ポンプ（図示省略）に接続されており、当該減圧ポンプを介して多孔質部材２４の上面略全領域より空気を吸引できるようになっている。また、テーブル本体２３の上端面における各コーナー部には、ねじ穴２７がそれぞれ加工されており、これらねじ穴２７に挿入される皿ねじ２７Ａを介して前記板状部材２１が吸着テーブル１９に着脱自在に保持される。ここにおいて、ねじ穴２７及び皿ねじ２７Ａにより保持手段が構成される。
【００１７】
前記板状部材２１は、本実施形態では、約０．１ｍｍ厚のステンレス鋼により構成され、吸着テーブル１９の平面形状と略同一となる略方形状に形成されている。板状部材２１は、図５にも示されるように、シート材Ｓを吸着面２０（上面）に配置したときに、各ラベルＬの面内に収まる対応領域にそれぞれ形成された開口２９を吸着面２０に備えており、各開口２９は、図５中上下及び左右方向に沿って複数形成された穴３０により構成されている。これにより、多孔質部材２４の上面から吸引される空気は、各穴３０を通じて多孔質部材２４に流れるようになり、開口２９毎にラベルＬをそれぞれ吸着するようになる。
なお、前記各穴３０は、特に限定されるものでないが、本実施形態では、板状部材２１に所定のエッチング処理等を施すことにより形成される。
【００１８】
ここで、板状部材２１において、隣り合うラベルＬの境界Ｌ１に対応する領域が吸着力保持領域３２とされ、当該吸着力保持領域３２は、前記開口２９が設けられていない領域となる。すなわち、吸着力保持領域３２は、略線状をなす境界Ｌ１に沿う領域に設けられ、境界Ｌ１の延出方向に略直交する方向の幅を拡げた領域に設けられている。従って、剥離装置１５によって各ラベルＬからベースシートＢを剥離してラベルＬだけを吸着面２０上に吸着させる（図８参照）ときに、吸着力保持領域３２が境界Ｌ１を下方から塞ぐように作用し、境界Ｌ１を通じて多孔質部材２４に空気が吸引されることを防止するようにようになっている。
【００１９】
前記第１の載置装置１４は、図１に示されるように、図１中左側に位置する台３４上のシート材ＳのベースシートＢ側を下面側で吸着する吸着グリッド３５と、この吸着グリッド３５を図１中矢印Ａ方向に移動可能に支持するロボットアーム等からなる駆動手段（図示しない）とを備えている。前記駆動手段は、吸着グリッド３５に吸着されたシート材Ｓを吸着装置１２の吸着面２０上に配置し、且つ、シート材Ｓの各ラベルＬの境界Ｌ１が吸着力保持領域３２上に位置するように駆動制御されている。第１の載置装置１４を介して吸着面２０上にシート材Ｓがセットされると、吸着装置１２の前記減圧ポンプが作動してシート材Ｓが吸着面２０に吸着され、この状態でスライダ１１を介して吸着手段１２が剥離装置１５に搬送される。
【００２０】
前記剥離装置１５は、図６及び図７に示されるように、取付板３７と、この取付板３７の図６中右上側に回転可能に支持されるとともに、一方の面に粘着剤を備えた粘着テープＴの原反を繰り出す繰出リール３８と、この繰出リール３８の下方に設けられて粘着テープＴに繰り出す力を付与する一対の繰出ローラ３９，３９と、これら繰出ローラ３９，３９の下方に設けられて、繰出リール３８から繰り出された粘着テープＴをベースシートＢの上面側に案内するガイドローラ４０と、ベースシートＢの上面側に位置する粘着テープＴを上方より押さえ付けて当該粘着テープＴをベースシートＢに貼り付ける押圧手段４２と、繰出ローラ３９とガイドローラ４０との間に位置するとともに、粘着テープＴを切断するカッター４３と、このカッター４３により切断された粘着テープＴを保持する保持部材４４と、この保持部材４４を図６中左右方向に移動させるスライド手段４６と、剥離されるベースシートＢを折り返すプレート４７とを備えて構成されている。剥離装置１５において、ベースシートＢに貼付された粘着テープＴを保持部材４４を介して左方向に移動させるとともに、スライダ１１を介して吸着手段１２を右方向に移動させることにより、ベースシートＢがプレート４７により折り返されつつ剥離される。この際、各ラベルＬは、吸着装置１２の吸着力により厚さ方向及び面方向の移動が規制された状態で、吸着面２０上に保持される。
剥離装置１５により、各ラベルＬからベースシートＢの剥離を終えると、図８に示されるように、各ラベルＬの粘着剤側が上方に表出された状態で吸着装置１２が印字装置１６に搬送される。
【００２１】
前記印字装置１６は、各ラベルＬの粘着剤側に所定の印字を行うことができる公知のインクジェット装置が適用され、ここでは、説明を省略する。印字装置１６の印字を終えた後、吸着装置１２は第２の載置装置１７に搬送される。
【００２２】
前記第２の載置装置１７は、第１の載置装置１４を図１中左右対称に設けた構造に設けられ、吸着装置１２に吸着されたラベルＬにベースシートＢを再度貼付可能に設けられている。すなわち、第２の載置装置１７は、台４９上のベースシートＢを下面側で吸着する吸着グリッド５０と、この吸着グリッド５０を図１中矢印Ｃ方向に移動させ、吸着装置１２に吸着されたラベルＬにベースシートＢを貼付する駆動手段（図示省略）とを備えている。前記駆動手段は、貼付するベースシートＢとラベルＬとの相対位置が、ベースシートＢを剥離する前のシート材Ｓと略同一となるように駆動制御されている。
【００２３】
以上により、各ラベルＬからベースシートＢを剥離してラベルＬの粘着剤側に印字が施されるとともに、ラベルＬにベースシートＢを再度貼付した状態としてシート材Ｓを次工程に搬送したり、市場に流通させることができる。
【００２４】
従って、このような実施の形態によれば、吸着面２０における隣り合うラベルＬの境界Ｌ１に対応する領域に吸着力保持領域３２を形成して各ラベルＬを吸着面２０上に保持させているので、図８に示される状態で、境界Ｌ１を通じて多孔質部材２４に空気が吸引されることを回避することができ、多孔質部材２４内の圧力を安定的に保ってラベルＬに対する吸着力を十分に確保することが可能となる。
また、各ラベルＬからベースシートＢを一旦剥離した後、ラベルＬにベースシートＢを再度貼付したので、前述のダイカット装置によりラベルＬの外周側の粘着剤がベースシートＢに食い込んだ場合であっても、当該食い込みを解消して次工程等におけるラベルＬの剥離を容易に行うことが可能となる。
【００２５】
［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態について説明する。なお、以下の説明において、前記第１実施形態と同一若しくは同等の構成部分については必要に応じて同一符号を用いるものとし、説明を省略若しくは簡略にする。
【００２６】
図９ないし図１３には、本発明の吸着装置に係る第２実施形態が示されている。この第２実施形態の吸着装置７０は、略円形の平面形状に設けられ、複数の片状部材としての半導体チップＣを吸着可能に設けられている。
吸着装置７０に吸着される半導体チップＣは、略円盤状をなすウエハＷを賽の目状にダイシングすることにより形成される。具体的には、リングフレームＦに取り付けられたダイシングテープＤに、ウエハＷの図１０（Ａ）中上面の回路面Ｃ１と反対側の面（同図中下面）を貼付してダイシングを行うことにより、各半導体チップＣが固片化された状態で形成される。ここにおいて、前記ダイシングにより形成されるダイシングラインＣ２が、隣り合う半導体チップＣの境界とされる。
半導体チップＣを吸着装置７０に配置する場合、図１０（Ｂ）に示されるように、カッターＫによりダイシングテープＤをウエハＷと同心円上に切断してリングフレームＦを分離する。その後、図１１に示されるように、ダイシングテープＤが貼付された半導体チップＣを反転させ、半導体チップＣの回路面Ｃ１を下向きとして当該半導体チップＣを吸着装置７０に配置する。
【００２７】
前記吸着装置７０の板状部材２１は、図１２にも示されるように、ダイシングテープＤが貼付された半導体チップＣを吸着面２０（上面）に配置したときに、各半導体チップＣの面内に収まる対応領域にそれぞれ形成された開口２９を吸着面２０に備え、各開口２９は、複数の穴３０により構成されている。また、板状部材２１において、前記ダイシングラインＣ２に対応する領域が吸着力保持領域３２とされ、当該吸着力保持領域３２は、前記開口２９が設けられていない領域となる。
【００２８】
なお、図１３に示されるように、吸着装置７０によって吸着された半導体チップＣからダイシングテープＤを剥離する作業は、第１実施形態と同様に剥離装置１５を介して行われる。ダイシングテープＤが剥離された後、各半導体チップＣは、図示しないピックアップ装置を介してリードフレーム等に載置される。
【００２９】
従って、このような第２実施形態によれば、半導体チップＣからダイシングテープＤを剥離するときに、ダイシングラインＣ２を通じて空気が吸引されることを防止することができる。これにより、剥離されるダイシングテープＤに半導体チップＣが追従して吸着面２０から捲れ上がらないようになり、半導体チップＣの剥離不良が発生することを回避することが可能となる。
【００３０】
本発明を実施するための最良の構成、方法などは、以上の記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施の形態に関して特に図示し、且つ、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上に述べた実施の形態に対し、形状、数量、材質、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００３１】
例えば、第１実施形態において、ラベルの形状や形成数は、図示構成例に限られず、ラベルＬの形状を略円形や略多角形状としたり、ラベルＬの配列数を増減したりしてもよい。
また、本発明は、吸着面２０に吸着可能とされ、略同一平面上に位置する片状部材に広く適用することができる。よって、片状部材は、第２実施形態のようにダイシングテープＤに半導体チップＣが貼付されたものに限られず、図１４に示されるように、半導体チップＣを、バックグラインド用の保護粘着シートＨが貼付された先ダイシング済みウエハにより形成してもよい。この場合、各半導体チップＣの回路面Ｃ１側に保護粘着シートＨが貼付される。
【００３２】
更に、片状部材の他の構成として、図１５（Ａ）、（Ｂ）に示されるタイプのものも適用可能である。同図において、片状部材は、半導体チップＣの外周縁から所定幅隔てた位置に回路面Ｃ１（図１５（Ｂ）中網点領域）を備え、当該回路面Ｃ１にバンプ等の突起Ｃ３が形成されている。
このとき、板状部材２１は、図１６ないし図１８に示されるように、吸着面２０における各開口２９の対応領域を凹ませた受容部７５を備えた構成とされる。各受容部７５は、半導体チップＣを吸着面２０に配置したときに、前記突起Ｃ３を受容するとともに、回路面Ｃ１全体を下方から覆うように当該回路面Ｃ１より大きい平面形状を備えている。ここで、各受容部７５が設けられていない領域が、前述と同様の作用を奏する吸着力保持領域３２とされる。
このような構成によれば、突起Ｃ３と吸着面２０との干渉が回避され、すなわち、半導体チップＣの回路面Ｃ１側と吸着面２０との間に隙間が生じることなく略密着するようになり、それらの間からのエア漏れを防止して吸着力を維持することが可能となる。しかも、各半導体チップＣの回路面Ｃ１が形成されていない領域が吸着力保持領域３２上に配置されるので、回路面Ｃ１が吸着面２０と非接触となり、回路面Ｃ１に傷等を付けることなく保護できるという効果を得る。
【００３３】
また、吸着装置１２は、種々の設計変更が可能であり、例えば、多孔質部材２４を省略し、吸着テーブル１９の上面に前述のように各開口２９及び吸着力保持領域３２を形成した吸着面２０を一体に設けてもよい。但し、吸着面２０を形成する板状部材２１を吸着テーブル１９に着脱自在とした方が、種々のタイプのラベルＬに吸着装置１２が簡単に対応できる点で有利となる。
更に、前述した保持手段は、例えば、磁石等を利用した構成としてもよい。この場合、テーブル本体２３の上端面における各辺部に磁石部をそれぞれ設ける一方、板状部材２１を被磁性体材料としてテーブル本体２３に板状部材２１を取り付ける構成としてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
本発明は、主に、略同一面上に位置する複数枚の片状部材が吸着された状態で所定処理を行う装置に利用される。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】第１実施形態に係る吸着装置が適用された印字機の概略構成図。
【図２】ラベルが貼付されたシート材の平面図。
【図３】前記シート材及びこれを吸着する吸着装置の正面断面図。
【図４】吸着装置の概略分解斜視図。
【図５】板状部材の平面図。
【図６】シート材のベースシートを剥離する初期状態を示す説明図。
【図７】シート材のベースシートを剥離する中間状態を示す説明図。
【図８】ラベルを吸着した状態を示す吸着装置の正面断面図。
【図９】第２実施形態に係る吸着装置の概略分解斜視図。
【図１０】（Ａ）及び（Ｂ）は、第２実施形態に係る吸着装置に保持される半導体チップ等の正面断面図。
【図１１】第２実施形態に係る吸着装置の図３と同様の断面図。
【図１２】第２実施形態の板状部材の平面図。
【図１３】第２実施形態に係る吸着装置の図７と同様の説明図。
【図１４】変形例に係る片状部材及び吸着装置を示す図３と同様の断面図。
【図１５】（Ａ）は、他の変形例に係る半導体チップ等の正面断面図、（Ｂ）は、（Ａ）の半導体チップの概略斜視図。
【図１６】他の変形例に係る板状部材の概略斜視図。
【図１７】他の変形例に係る半導体チップ等が吸着装置に吸着された状態の正面断面図。
【図１８】図１７の要部拡大図。
【符号の説明】
【００３６】
１２  吸着装置
１９  吸着テーブル
２０  吸着面
２１  板状部材
２４  多孔質部材
２９  開口
３０  穴
３２  吸着力保持領域
７０  吸着装置
Ｌ  ラベル（片状部材）
Ｌ１  境界
Ｃ  半導体チップ（片状部材）
Ｃ２  ダイシングライン（境界）
【図１】
2005193315.tif 000003
【図２】
2005193315.tif 000004
【図３】
2005193315.tif 000005
【図４】
2005193315.tif 000006
【図５】
2005193315.tif 000007
【図６】
2005193315.tif 000008
【図７】
2005193315.tif 000009
【図８】
2005193315.tif 000010
【図９】
2005193315.tif 000011
【図１０】
2005193315.tif 000012
【図１１】
2005193315.tif 000013
【図１２】
2005193315.tif 000014
【図１３】
2005193315.tif 000015
【図１４】
2005193315.tif 000016
【図１５】
2005193315.tif 000017
【図１６】
2005193315.tif 000018
【図１７】
2005193315.tif 000019
【図１８】
2005193315.tif 000020