(57)【要約】【課題】  比較的簡単な方法により通電電極をインクによる腐食から防ぎ、信頼性の高いインクジェット記録ヘッド及びその製造方法、並びに、インクジェット記録装置を提供すること。【解決手段】    発熱抵抗体２４及び発熱抵抗体２４に通電するための通電電極（第１及び第２通電電極１６、２０）が設けられた基板１２と、発熱抵抗体２４上に有するインク流路３２及びインク吐出口３４が設けられたインク流路形成体３０と、を備えるインクジェット記録ヘッドに、さらに、通電電極（第１及び第２通電電極１６、２０）上に、有機系保護層２８を設けた構成とする。【選択図】        図１
2005081585.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発熱抵抗体及び前記発熱抵抗体に通電するための通電電極が設けられた基板と、
前記通電電極上に設けられた有機系保護層と、
前記発熱抵抗体上に有するインク流路及びインク吐出口が設けられたインク流路形成体と、
を備えることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
前記発熱体層は、前記自己酸化性保護層を有する発熱抵抗体であることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
前記自己酸化性保護層を有する発熱抵抗体は、表面を自己酸化させたＴａＳｉＯ層であることを特徴とする請求項２に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
前記通電電極は、その構成材料がアルミニウム或いはアルミニウム合金であると共に、前記発熱抵抗体の下層として配置されることを特徴とする請求項１記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】
前記有機系保護層の下層として、前記通電電極を保護するための無機系保護層を有することを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】
前記有機系保護層は、前記インク流路形成体と実質的に同一材料を含んで構成されることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項７】
前記有機系保護層は、カップリング成分を含むことを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項８】
基板上に、発熱抵抗体及び前記発熱抵抗体に通電するための通電電極を形成する工程と、
前記通電電極上に、有機系保護層を形成する工程と、
前記発熱抵抗体を覆うように第１の樹脂体を形成し、前記第１の樹脂体を覆うように第２の樹脂体を形成し、前記第２の樹脂体を部分的に除去してインク吐出部を形成すると共に、前記第１の樹脂体を除去して前記発熱抵抗体が露出したインク流路を形成する工程と
を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項９】
インクを吐出して、記録媒体に画像を記録するためのインクジェット記録ヘッドを備えるインクジェット記録装置であって、
前記インクジェット記録ヘッドは、請求項１〜７のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッドであることを特徴とするインクジェット記録装置である。
【請求項１０】
前記インクが、多価金属イオンを含有する反応系インクであることを特徴とする請求項９に記載のインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット方式のプリンタなどに利用されるインクジェット記録ヘッド及びその製造方法、並びに、インクジェット記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、一般に市販されているサーマルインクジェットプリンタの記録ヘッド構造の多くは、図５に示すように基板２００上に設けられた発熱抵抗体２０２および通電電極層２０４の表面に、発熱抵抗体２０２および通電電極層２０４をインクから保護するための保護絶縁層２０６と、発熱抵抗体２０２と保護絶縁層２０６をキャビテーションダメージから保護するための耐キャビテーション層２０８の２層が形成されている。なお、図５中、２０１は蓄熱層（シリコン酸化膜）を示す。
【０００３】
しかし、保護絶縁層２０６および耐キャビテーション層２０８の２層が発熱抵抗体２０２表面に形成されることにより、発熱抵抗体２０２からインクへ伝わる熱がこの２層によって阻害され、エネルギー効率（投入した電気エネルギーがインクを沸騰させるエネルギーに変換される割合）が低下しており、消費電力の増大する原因となっている（例えば、特開平５−８３９１号公報参照［絶縁保護層１．９μｍ＋Ｔａ耐キャビテーション層の構成］）。
【０００４】
このためヒータとなる発熱抵抗体２０２自身（素材はＴａＳｉＯ、ＣｒＳｉＯなど）の表面に自己形成酸化膜を形成し、保護絶縁層２０６および耐キャビテーション層２０８を不要とする構造が提案されている（例えば、特開平６−７１８８８号公報、特開平８−２３８７７１号公報等参照）。
【０００５】
しかし、従来は保護絶縁層と耐キャビテーション層で保護されていた通電電極材料が直接インクに接する事になる。一般に通電電極に使用される材料としてはＡｌが一般的であるが、インクにより腐食してしまう。その為、インクに腐食されないＮｉまたはＮｉ／Ａｕ材料を通電電極（配線）材料として使用することが提案されている（例えば、特開平８−２３８７７１号公報、特開平１０−１６２４２号公報など参照）。
【特許文献１】特開平５−８３９１号公報
【特許文献２】特開平６−７１８８８号公報
【特許文献３】特開平８−２３８７７１号公報
【特許文献４】特開平１０−１６２４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
一方で、ＮｉやＮｉ化合物は発ガン性物質として知られており、ＰＲＴＲ法の規制物質となっている（ＰＲＴＲ＝Ｐｏｌｌｕｔａｎｔ（汚染物質）Ｒｅｌｅａｓｅ（排出）ａｎｄ  Ｔｒａｎｓｆｅｒ（移動）Ｒｅｇｉｓｔｅｒ（登録））。よって安全、環境の面から制約が多い物質であるため今後、工業製品として使用するのは望ましくないのが現状である。
【０００７】
このため、通電電極に関しては、一般に通電電極に使用されるＡｌなどの金属材料を使用し、通電電極を保護絶縁層で保護させる構成が、再び着目されている。しかし、保護絶縁層と耐キャビテーション層で保護されていた通電電極材料が直接インクに接する事になった場合に、保護絶縁層は、一般的にシリコン絶縁物などの無機系材料で形成されており、このシリコン絶縁物などの無機系材料で構成された保護絶縁層はインクの種類によってはインク中のイオンにより腐食（侵食）を受ける。従って、シリコン絶縁物を侵食しないインク材料を選択せざるを得ず、多様なインク材料を使用しインクジェット記録ヘッドの汎用性を高めることが困難である。
【０００８】
従って、本発明は、前記従来における諸問題を解決し、以下の目的を達成することを課題とする。即ち、本発明の目的は、比較的簡単な方法により通電電極をインクによる腐食から防ぎ、信頼性の高いインクジェット記録ヘッド及びその製造方法、並びに、インクジェット記録装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題は、以下の手段により解決される。即ち、
請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドは、
発熱抵抗体及び前記発熱抵抗体に通電するための通電電極が設けられた基板と、
前記通電電極上に設けられた有機系保護層と、
前記発熱抵抗体上に有するインク流路及びインク吐出口が設けられたインク流路形成体と、
を備えることを特徴としている。
【００１０】
上記構成の発明では、通電電極上に有機系保護層を形成することにより、無機系保護層のみが形成され、無機系保護層が直接インクと接する従来の構成に比べ、インクの種類によらず、当該インクの通電電極の腐食を防ぎ、信頼性を向上させたインクジェット記録ヘッドとすることができる。
【００１１】
請求項２に記載のインクジェット記録ヘッドは、前記発熱抵抗体が自己酸化性保護層を有する発熱抵抗体であることを特徴とする。
【００１２】
上記構成の発明では、例えば熱酸化処理を施して、前記発熱抵抗体表面に自己酸化性保護層を形成することで、発熱抵抗体の表面から分厚い絶縁保護層と耐キャビテーション層を排することで発熱抵抗体のエネルギー効率を向上させることができる。
【００１３】
請求項３に記載のインクジェット記録ヘッドは、前記自己酸化性保護層を有する発熱抵抗体が、表面を自己酸化させたＴａＳｉＯ層であることを特徴とする。
【００１４】
上記構成の発明では、発熱抵抗体にＴａＳｉＯ系材料を用いることにより、熱酸化によって表面に絶縁性の自己酸化保護層を発熱抵抗体表面形成することができる。
【００１５】
請求項３に記載のインクジェット記録ヘッドは、前記通電電極は、その構成材料がアルミニウム或いはアルミニウム合金であると共に、前記発熱抵抗体の下層として配置されることを特徴とする。
上記構成の発明では、通電電極の構成材料としてアルミニウム或いはアルミニウム合金を使用することで発熱抵抗体との接触抵抗（電気抵抗）を小さくさせると共に、発熱抵抗体と通電電極の接触が発熱抵抗体の下面で行われるため、当該接触付近の通電電極は発熱抵抗体により保護され、確実にインクに接触が防止され腐食されることがなく、接触不良が防止される。
【００１６】
請求項４に記載のインクジェット記録ヘッドは、前記有機系保護層の下層として、前記通電電極を保護するための無機系保護層を有することを特徴とする。
【００１７】
上記構成の発明では、通電電極上に無機系保護層及び有機系保護層を形成するため、より確実に通電電極をインクによる腐食から保護することができる。
【００１８】
請求項５に記載のインクジェット記録ヘッドは、前記有機系保護層が、前記インク流路形成体と実質的に同一材料を含んで構成されることを特徴とする。
【００１９】
上記構成の発明では、有機系保護層とインク流路形成体とを実質的に同一な材料で形成することで、作製工程において複数の材料を使用することを回避し、かつ有機系保護層とインク流路形成体との密着性を向上させることができる。
【００２０】
請求項６に記載のインクジェット記録ヘッドは、有機系保護層は、カップリング成分を含むことを特徴とする。
【００２１】
上記構成の発明では、有機系保護層にカップリング成分を添加することにより、有機系保護層下層（例えば、通電電極、無機系保護層、層間絶縁層など）との密着性が向上され、有機系保護層に起因する層間剥離が防止される。
【００２２】
請求項７に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、
基板上に、発熱抵抗体及び前記発熱抵抗体に通電するための通電電極を形成する工程と、
前記通電電極上に、有機系保護層を形成する工程と、
前記発熱抵抗体を覆うように第１の樹脂体を形成し、前記第１の樹脂体を覆うように第２の樹脂体を形成し、前記第２の樹脂体を部分的に除去してインク吐出部を形成すると共に、前記第１の樹脂体を除去して前記発熱抵抗体が露出したインク流路を形成する工程と
を有することを特徴とする
【００２３】
上記構成の発明では、通電電極上に有機系保護層を形成させ、無機系保護層のみを形成した従来の構成に比べ、インクの種類によらず、当該インクの通電電極の腐食を防ぎ、信頼性を向上させたインクジェット記録ヘッドを、簡易に製造することができる。
【００２４】
請求項８に記載のインクジェット記録装置は、インクを吐出して、記録媒体に画像を記録するためのインクジェット記録ヘッドとして、請求項１〜６のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッドを備えることを特徴とする。
【００２５】
上記構成の発明では、インクの種類によらず、当該インクの通電電極の腐食を防ぎ、信頼性を向上させたインクジェット記録装置となる。
【００２６】
請求項９に記載のインクジェット記録装置は、前記インクが、多価金属イオンを含有する反応系インクであることを特徴とする。
【００２７】
上記構成の発明では、特に、従来、無機系保護層のみを設けた構成では侵食の激しかった、多価金属イオンを含有する反応系インクを使用しても、当該インクの通電電極の腐食を防ぎ、信頼性を向上させることができる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によれば、較的簡単な方法により通電電極をインクによる腐食から防ぐぎ、高い信頼性を得る、といった効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。なお、実質的に同様の機能を有するものには、全図面通して同じ符号を付して説明し、場合によってはその説明を省略することがある。
【００３０】
（第１の実施の形態）
図１は、本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドを示す構成図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は（Ａ）のｂ−ｂ’断面図である。
【００３１】
本実施形態のインクジェット記録ヘッドは、基板１２上に形成された蓄熱層１４の上に、第１通電電極１６（金属配線）、層間絶縁層１８、第２通電電極２０（金属配線）が形成され、第１及び第２通電電極１６、２０を保護するように無機系保護層２２（絶縁保護層）が形成されている。
【００３２】
第２通電電極２０は発熱抵抗体２４の下層として形成されており、発熱抵抗体２４の下面において接触するように形成されている。
【００３３】
なお、本実施形態では、無機系保護層２２の構成材料としてＳｉＯ、第１及び第２通電電極１６、２０の構成材料としてＡｌ合金（アルミニウム合金）を、また発熱抵抗体２４の構成材料としてはＴａＳｉＯを用いている。このＴａＳｉＯからなる発熱抵抗体２４表面には自己酸化性保護層２６が形成されており、インクに対して絶縁層として作用する。
【００３４】
そして、さらに発熱領域部以外のほぼ全域に渡って（少なくとも通電電極１６、２０領域上に）、有機系保護層２８が形成されている。本実施形態においては、有機系保護層の構成材料として感光性エポキシ樹脂（ＭｉｃｒｏＣｈｅｍ製ＳＵ−８）を用いている。また、有機系保護層２８（感光性エポキシ樹脂）と基板１２上の無機系保護層２２との密着性を向上させるために、構成材料であるエポキシ樹脂には、γ-グリシドキシプロピルトリエトキシシラン・カップリング剤が添加されている。
【００３５】
ここで、有機系保護層２８の構成材料としては、エポキシ樹脂に限られず、例えば、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、ジグリコールアルキルカーボネート樹脂、ポリエーテルアミド樹脂などの硬化性樹脂を好適に使用することができる。
【００３６】
また、カップリング剤としては、上記シランカップリング剤に限られず、例えば、β−（３，４エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−β（アミノエチル）γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、Ｎ−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン等のシランカップリング剤や、イソプロピルトリイソステアロイルチタネート、イソプロピルトリドデシルベンゼンスルホニルチタネート、イソプロピルトリ（ジオクチルホスフェート）チタネート、イソプロピルトリクミルフェニルチタネート、イソプロピルトリ（Ｎ−アミノエチル−アミノエチル）チタネート等のチタネートカップリング剤や、ジルコアルミネートカップリング剤等を好適に使用することができる。
【００３７】
そして、さらに、発熱抵抗体２４上にインク流路３２及びインク吐出口３４（ノズル）が設けられたインク流路形成体３０が形成されている。このインク流路３２は、その外壁がインク流路形成体３０と有機系保護層２８の一部で構成されている。本実施形態においては、インク流路形成体の構成材料として、有機系保護層と同じ材料であるエポキシ樹脂を使用している。
【００３８】
基板１２上に形成された複数の発熱抵抗体２４及びインク吐出口３４は、基板１２に開口されたインク供給口３６の長手方向に沿って、その開口の両端部に形成されると共に、各列での発熱抵抗体２４及びインク吐出口３４の位置を半分の間隔にずらし、長手方向に沿って全体を見たときに等間隔となるように配置した、いわゆる千鳥配置としている。これにより、記録ヘッドでの記録解像度は、１列あたりの解像度の２倍の解像度となる。本実施形態では、１列あたりの解像度を６００ｄｐｉとしており、これが２列となる事で１２００ｄｐｉの解像度となる。
【００３９】
次に、本実施形態のインクジェット記録ヘッドの製造方法について説明する。図２〜図３は、本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法を示す工程図である。
【００４０】
先ず、単結晶シリコン基板１２上（表裏共）に酸化シリコン（酸化膜）を１μｍ厚で形成し、これを蓄熱層１４する。基板１２裏面の酸化膜をインク供給口３６を開口するためのマスク３８としてパターニングする。次いでアルミニウム合金からなる第１通電電極１６を０．７μｍ厚で着膜した後、パターニングする（図２−ａ）。
【００４１】
次に、層間絶縁層１８を１μｍ厚で形成する。この層間絶縁層１８の上にフォトレジスト４０（東京応化工業製ＯＦＰＲ−８００）を回転塗布し、露光、現像を行ない、パターニングを行なう（図２−ｂ）。
【００４２】
続いて、パターニングされたフォトレジスト４０をマスクとしてフッ素系ガスによるドライエッチングを行ない、層間絶縁層１８の一部を酸素プラズマで除去して、開口を設けて第１通電電極１６を露出さする。そして、アルミニウム合金からなる第２通電電極２０を０．５μｍ厚で着膜し、図示しないフォトレジストを塗布し、露光、現像を行ない、パターニングを行なったのち、塩素系ガスにてドライエッチングを行ないパターニングを施し、フォトレジストを除去する。この工程によって発熱抵抗体の発熱領域が規定される（図２−ｃ）。
【００４３】
次いで、無機系保護層２２を０．７μｍ厚で着膜し、エッチングによってパターニングする。この、工程によって発熱抵抗体２４と第２通電電極２０の接触領域が開口される（図２−ｄ）。
【００４４】
次に、ＴａＳｉＯからなる発熱抵抗体２４を０．１μｍ厚でスパッタ（着膜）を行ない、図示しないレジストでマスクし、フッ素系ガスでエッチングを行なうことで所望のサイズにパターニングする。その後、レジストを除去する（図２−ｅ）。
【００４５】
次に４５０°Ｃ程度の温度で数十分、酸素雰囲気中で熱処理を加える。表面に露出した発熱抵抗体２４（ＴａＳｉＯ層）表面に薄い酸化膜（自己酸化性保護層２６）が形成される（図２−ｆ）。
【００４６】
以上の工程で発熱抵抗体素子の完成となる。
【００４７】
次に、この発熱抵抗体２４を有する基板１２上に、回転塗布によって有機系保護層となる感光性エポキシ樹脂（ＭｉｃｒｏＣｈｅｍ製ＳＵ−８）を２μｍ厚で塗布した後、フォトリソグラフィーによって樹脂を除去することにより、発熱領域及びインク供給口領域の開口を行なう。ここで、上述したが、有機系保護層２８（感光性エポキシ樹脂）と基板１２上の無機系保護層２２との密着性を向上させるために、構成材料である感光性エポキシ樹脂には、γ-グリシドキシプロピルトリエトキシシラン・カップリング剤を添加して使用している（図２−ｇ）。
【００４８】
次に、感光性のレジスト（ＭｉｃｒｏＣｈｅｍ製  ＰＭＧＩ）を回転塗布により１５μｍ厚で塗布を行い、フォトリソグラフィーによってインク流路（インク室）の型となるようにパターニングされたレジストパターン４２（第１の樹脂体）を形成する（図３−ｈ）。
【００４９】
なお、本実施形態では、感光性のレジストをフォトリソグラフィーによってパターン形成しているが、非感光性のレジストを使用しても良い。その場合には、非感光性のレジスト上に耐酸素プラズマ性の感光性レジストを塗布し、フォトリソグラフィーによりパターン形成した後、この耐酸素プラズマ性レジストをマスクとして酸素プラズマによって悲観構成のレジストをドライエッチングした後、耐酸素プラズマ性レジストを除去することにより、インク流路（インク室）の型となるようにパターニングされたレジストパターン４２（第１の樹脂体）を形成する。
【００５０】
続いて、インク流路（インク室）の型となるレジストパターン４２が形成された基板１２上に、回転塗布によって感光性樹脂４４（第２の樹脂体：インク流路形成体３０）を１５μｍ厚で塗布する。ここで塗布する感光性樹脂４４は、有機系保護層として使用した樹脂と同じ感光性エポキシ樹脂（ＭｉｃｒｏＣｈｅｍ製ＳＵ−８）を使用する（図３−ｉ）。
【００５１】
次に、この感光性樹脂４４にフォトリソグラフィーによってインク吐出口３４を形成する（図３−ｊ）。
【００５２】
以上の工程の後、基板１２の裏面からエッチングを行い、インク供給のためのインク供給口３６を基板に設ける（図３−ｋ）。
【００５３】
次いで、インク流路（インク室）の型となっているレジストパターン４２を除去液に浸すことにより除去し、インク供給口３６からインク吐出口３４までのインク流路３２（インク室）を形成する。更に、感光性樹脂４４であるエポキシ樹脂を完全に硬化させる為に、２００℃／３時間加熱を行い、得られた形成体をインク流路形成体３０とした（図３−ｌ）。
【００５４】
以上のようにしてインクジェット記録ヘッドを得た。
【００５５】
以上説明したように、本実施形態では、通電電極上（本実施形態では発熱領域及びインク供給口以外の全面に渡って）に、有機系保護層２８を設けることで、インクが当該保護層を侵食せず、通電電極とインクとの間が短絡することによる記録ヘッドの劣化及び破壊を防止し、インクジェット記録ヘッドの寿命の向上を図ることができる。
【００５６】
また、本実施形態では、発熱抵抗体２４にＴａＳｉＯ系材料を用いることにより、容易に熱酸化によって表面に絶縁性の自己酸化膜を形成することができ、かつ、発熱抵抗体２４の表面から分厚い保護層と耐キャビテーション層を排することで発熱抵抗体２４のエネルギー効率を向上させることができる。
【００５７】
また、本実施形態では、発熱抵抗体２４と通電電極（第２通電電極２０）の接触が発熱抵抗体２４の下面で行われる為、通電電極接触部付近は発熱抵抗体２４により保護され、インクに接触して腐食されることが無く、通電電極（配線）上には無機系保護層２２及び有機系保護層２８を形成しているため、確実に通電電極をインクによる腐食から保護することができる。
【００５８】
また、本実施形態では、有機系保護層２８と、インク流路３２及びインク吐出口３４（ノズル）を形成するインク流路形成体３０（樹脂材料）と、を実質的に同一な材料（本実施形態ではエポキシ樹脂）で構成していることで、製造工程において複数の工程／材料を使用することを回避し、かつ有機系保護層２８とインク流路形成体３０との密着性も向上させることができる。
【００５９】
また、本実施形態では、有機系保護層２８の一部は、インク流路形成体３０と共にインク流路３２の外壁の一部を構成しているが、本実施形態では、有機系保護層２８とインク流路形成体３０とを実質的に同一な材料で構成しているので、異なる材料を使用したときに比べ、インクの流れが乱れ難くなり、インク吐出安定性を向上させることができる。
【００６０】
また、本実施形態では、有機系保護層２８にカップリング成分を添加することにより、下層である無機系保護層２２との密着性を向上させることができる。
【００６１】
以下、本実施形態のインクジェット記録ヘッドを備えるインクジェット記録装置について説明する、
【００６２】
図４は、本発明の実施の形態に係るインクジェット記録装置を示す概略斜視図である。
【００６３】
図４に示すように、インクジェット記録装置１１０はインクジェット記録用ヘッド（上述した本発明のインクジェット記録ヘッド）１１１が搭載されたキャリッジ１１２を備えている。キャリッジ１１２はインクジェット記録装置１１０に設けられたシャフト１１４に沿って主走査方向（矢印Ｍ方向）に移動する。
【００６４】
また、インクジェット記録装置１１０には記録用紙１１６を搬送する搬送ローラ１１８が設けられている。記録用紙１１６は搬送ローラ１１８に挟持されて搬送され、副走査方向（矢印Ｓ方向）へ移動する。
【００６５】
インクジェット記録用ヘッド１１１にはインクタンク１２０が設けられており、インクジェット記録装置本体に対してユーザが着脱可能な消耗品としてのインクジェットカートリッジ１３０を構成している。インクジェットカートリッジ１３０は、インクジェット記録用ヘッド１１１と、インクタンク１２０と、両者を連結する図示しないインク供給路とを備えた構造を有している。インクタンク内には、インク吸収体が内臓されていてもよい。また、インクジェット記録ヘッドのみがキャリッジ１１２に載置され、インクタンクはインクジェット記録装置本体のキャリッジ外部に配置され、両者がインク供給路で連結される構造とすることもできる。このインクタンク１２０の、記録用紙１１６に対面する側（図４では下側）が、インクジェット記録用ヘッド１１１となっている。
なお、図４に示す態様のインクジェット記録用ヘッド１１１では長手方向が副操作方向と一致し、短手方向が主走査方向と一致しているため、図４においてインクジェット記録用ヘッド１１１の長手方向が矢印Ｓで、短手方向が矢印Ｍでそれぞれ示されている。
【００６６】
（試験例）
本実施形態のインクジェット記録ヘッドを作製し、参考例として、有機系保護層２８を形成していない（その他の実施形態は同様）インクジェット記録ヘッドを作製した。
【００６７】
これらのインクジェット記録ヘッドに、下記組成の多価金属イオンを含有するインクを充填した。
【００６８】
―組成―
・ダイレクトブルー１９９：３重量部
・ジエチレングリコール：２０重量部
・ブチルカルビトール：４．５重量部
・尿素：６重量部
・サーフィノール４６５：１重量部
・硝酸カルシウム４水和塩：１重量部
・水：６４．５重量部
【００６９】
これらのインクを充填したインクジェット記録ヘッドを７０℃の環境で５００時間保存した後、インクジェット記録ヘッドの寿命試験を行った。その結果、参考例である有機系保護層２８を形成していないインクジェット記録ヘッド（参考例）では、６．２×１０7で初期故障が発生し、その故障は無機系保護層２２の溶解による通電電極の劣化であった。一方、本実施形態のインクジェット記録ヘッドでは８．４×１０8で初期故障が発生し、分厚い絶縁保護層と耐キャビテーション層で通電電極を覆う形態の従来インクジェット記録ヘッドと同様／それ以上の結果を得られた。
【００７０】
このように、本実施形態のインクジェット記録ヘッドにおいては、無機系保護層２２（ＳｉＯ層、ＳｉＮ層等）を侵食する多価金属イオンを含有するインクであっても、有機系保護層２８により無機系保護層を含む通電電極を多価金属イオンの侵食を防止する事が可能となり、インクジェット記録ヘッドの寿命の向上を図ることができることがわかる。
【００７１】
なお、上記何れの実施の形態においても、限定的に解釈されるものではなく、本発明の要件を満足する範囲内で実現可能であることは、言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドを示す構成図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は（Ａ）のｂ−ｂ’断面図である。
【図２】本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法を示す工程図である。
【図３】本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法を示す工程図である。
【図４】本発明の実施の形態に係るインクジェット記録装置の一例を示す概略斜視図である。
【図５】従来のインクジェット記録ヘッドを示す概略断面図である。
【符号の説明】
【００７３】
１２  基板
１４  蓄熱層
１６  第１通電電極
１８  層間絶縁層
２０  第２通電電極
２２  無機系保護層
２４  発熱抵抗体
２６  自己酸化性保護層
２８  有機系保護層
３０  インク流路形成体
３２  インク流路
３４  インク吐出口
３６  インク供給口
１１０      インクジェット記録装置
１１１      インクジェット記録用ヘッド
１１２      キャリッジ
１１４      シャフト
１１６      記録用紙
１１８      搬送ローラ
１２０      インクタンク
１３０      インクジェットカートリッジ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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