(57)【要約】【課題】  エアーノズルの吹き出し口からカッターまでの距離が長いと、吹き出し口から出たエアーの勢いがカッターに到達するまでに大きく落ち込んでしまうと共に、エアーノズルから吹き出たエアーが拡散して、必要な部位にエアーを効率よく吹き付けることができない。【解決手段】  ガラス基板の表面に溝を刻設するカッター４１と、このカッター４１を支持するカッターホルダ４２と、カッター４１に向けて吹き付けられるエアーが流通するエアー流路と、を備えて構成される。エアー流路は、カッターホルダ４２に設けられると共にカッター４１に対向される吹き出し口５９を有する。【選択図】      図１
2005213116.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板の表面に溝を刻設するカッターと、
前記カッターを支持するカッターホルダと、
前記カッターに向けて吹き付けられるエアーが流通するエアー流路と、を備え、
前記エアー流路は、前記カッターホルダに設けられると共に前記カッターに対向される吹き出し口を有することを特徴とするスクライブ装置。
【請求項２】
前記カッターホルダには、前記カッターが一部を外部に突出させて収納されるスリットと、前記カッターを回転自在に支持する支持軸を両端支持する一対の軸受部と、一端が前記スリットに開口された前記吹き出し口と、を設け、
前記支持軸の軸方向と略直交する方向に延在された前記吹き出し口から前記エアーを吹き出して前記カッターに吹き付けるようにしたことを特徴とする請求項１記載のスクライブ装置。
【請求項３】
前記吹き出し口は、前記カッターと前記スリットの側壁面との間に対向するように設けたことを特徴とする請求項２記載のスクライブ装置。
【請求項４】
ガラス基板の表面に溝を刻設するカッターと、
前記カッターを支持するカッターホルダと、
前記カッターに向けて吹き付けられるエアーが流通するエアー流路と、
前記カッターホルダを、前記カッターの移動方向に回動自在に支持する回動支持手段と、を備え、
前記エアー流路は、前記カッターホルダに設けられると共に前記カッターに対向される吹き出し口を有することを特徴とするスクライブ装置。
【請求項５】
前記カッターホルダには、前記カッターが一部を外部に突出させて収納されるスリットと、前記カッターを回転自在に支持する支持軸を両端支持する一対の軸受部と、一端が前記スリットに開口された前記吹き出し口と、を設け、
前記支持軸の軸方向と略直交する方向に延在された前記吹き出し口から前記エアーを吹き出して前記カッターに吹き付けるようにしたことを特徴とする請求項４記載のスクライブ装置。
【請求項６】
前記吹き出し口は、前記カッターと前記スリットの側壁面との間に対向するように設けたことを特徴とする請求項５記載のスクライブ装置。
【請求項７】
前記回動支持手段は、前記カッターホルダが固定されると共に当該カッターホルダの前記吹き出し口に連通される通路を有するホルダベースと、本体側部材に回動自在に支持されると共にエアー発生源に連通される軸方向孔を有する回動軸と、前記ホルダベースに前記回動軸を着脱可能に連結すると共に前記通路と前記軸方向孔とに連通する連通孔を有する連結部材と、を備え、
前記エアー流路は、前記通路と前記軸方向孔と前記連通孔と前記吹き出し口とを含むことを特徴とする請求項４記載のスクライブ装置。
【請求項８】
前記ホルダベースに対して前記連結部材を、軸方向への移動を阻止しつつ回動自在に支持し、前記連結部材にネジ軸部を設けると共に、当該ネジ軸部が螺合されるネジ穴を前記回動軸に設け、
前記連結部材と前記回動軸をネジ結合により着脱可能としたことを特徴とする請求項７記載のスクライブ装置。
【請求項９】
前記回動軸には、回動中心を同一にする操作ツマミを一体的に設けると共に、当該操作ツマミの一部が突出される開口部を前記ホルダベースに設けたことを特徴とする請求項７記載のスクライブ装置。
【請求項１０】
前記本体側部材には、前記回動支持手段の回動量を制限するストッパピンを設けたことを特徴とする請求項７記載のスクライブ装置。
【請求項１１】
前記回動軸は、２個以上の玉軸受によって前記本体側部材に回転自在に支持すると共に、前記２個以上の玉軸受のうち少なくとも１個を、前記回動軸に接触するゴムシールを有する軸封装置付き単列深溝玉軸受としたことを特徴とする請求項７記載のスクライブ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置等に用いるガラス基板等をカッターによりスクライブして１枚の大きな基板から複数の板材部材を切り出すスクライブ装置に関し、特に、スクライブ時に発生するガラス屑等の粉塵がカッター等に付着するのを防止するスクライブ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の、この種のスクライブ装置としては、例えば、特許文献１に記載されているようなものがある。特許文献１には、複数のカラーフィルタが形成された基板から個々のカラーフィルタや端部を切断、分割するカラーフィルタの製造方法、破片の付着を防止する部材を備えたスクライブ装置及びブレイク装置に関するものが記載されている。この特許文献１に記載されたスクライブ装置は、カラーフィルタ基板の表面に溝を刻設する切削具と、切削具の切刃に向けてエアーを吹き掛ける送風手段と、前記切削具の切刃に近接して配置されて、前記基板の破片が飛散するのを遮る吸引口と、当該吸引口に連設された吸引手段と、を備えたことを特徴としている。
【０００３】
このような構成を有するスクライブ装置によれば、カラーフィルタ基板のブレイク処理時に飛散する基板の破片を効率よくしかも確実に吸引、除去することができ、カラーフィルタの表面に異物が形成されるのを確実に防止することができる、等の効果が期待される。
【０００４】
また、従来の他のスクライブ装置としては、例えば、特許文献２に記載されているようなものもある。特許文献２には、液晶表示装置等に用いるガラス基板等を、スクライブ時に発生するガラス屑等の粉塵を付着したり周囲に飛散させることなく切断できるスクライブ装置及びスクライブ方法に関するものが記載されている。この特許文献２に記載されたスクライブ装置は、スクライブテーブル上に設置された基板を、カッターによりスクライブするスクライブ装置において、前記基板の一方の側面方向から送風し、前記基板の他方の側面及び前記基板の周囲において吸気することにより、前記基板上において前記基板面に対して略平行方向に流れる気流を形成するとともに、前記基板の周囲に吸引される下向きの気流を形成して、前記カッターによる前記スクライブの際に発生する粉塵を吸引することにより、前記粉塵の前記基板への付着や周囲への飛散を抑制するようにした、ことを特徴としている。
【０００５】
このような構成を有するスクライブ装置によれば、基板のスクライブに伴って発生するガラス屑が基板に付着することを防ぐことができる。さらに、仮に基板に付着した場合でも、容易に除去することができるようになる。その結果として、液晶表示装置等の製品の不良が低減する、等の効果が期待される。
【０００６】
このような従来のスクライブ装置について、図４を参照して、更に詳しく説明する。図４に示す符号１は、横方向に延在されたオーバアームであり、図示しないベッドによって両端支持されている。このオーバアーム１の下方には、加工対象物であるガラス基板２が載置されるスクライブテーブルが配置され、同じくベッドに支持されている。更に、オーバアーム１には、サドル３が横方向へ移動可能に支持されており、このサドル３にカッタースライドユニット４が取り付けられている。
【０００７】
カッタースライドユニット４は、シリンダ５とカップリング６と軸受部材７とホルダベース８とカッターホルダ９とカッター１０等から構成されている。シリンダ５は、軸方向の一側に突出した摺動軸５ａを下方へ向けた状態でサドル３に固定されている。軸受部材７はシリンダ５の下方に配置されていて、この軸受部材７を上下方向に貫通する回動軸１１の上端が、カップリング６によって摺動軸５ａの下端と連結されている。また、回動軸１１の下端にはホルダベース８が固定されていて、軸受部材７に固定されたストッパピン１２によってホルダベース８の回動量が所定の角度範囲内に制限されている。
【０００８】
ホルダベース８の下部には、カッターホルダ９が一体的に固定されていて、このカッターホルダ９の下端にリング状のカッター１０が回転自在に取り付けられている。このカッター１０の走行方向の前後には、カッター１０を目掛けてエアーを吹き付けるための一対のエアーノズル１３，１４が配設されている。一対のエアーノズル１３，１４は、サドル３の両側部に固定された一対の支持アーム１５，１６にそれぞれ移動可能に取り付けられている。各エアーノズル１３，１４の吹き出し口はカッター１０に向けられており、それぞれ軸方向へ移動して突出量を変えることにより、各吹き出し口からカッター１０までの距離Ｌ１，Ｌ２が調整可能とされている。
【０００９】
しかしながら、このような構成を有するスクライブ装置においては、各エアーノズル１３，１４の吹き出し口からカッター１０までの距離Ｌ１，Ｌ２が比較的長いために、吹き出し口から出たエアーの勢いがカッター１０に到達するまでに大きく落ち込んでしまうと共に、エアーノズル１３，１４から吹き出たエアーが拡散することから、必要な部位にエアーを効率よく吹き付けることができないという課題があった。更に、カッター１０の走行方向前側に配置される前部エアーノズル１３は、カッター１０とガラス基板２の面を狙ってエアーを吹き付けるが、そのエアーが拡散することによってガラス基板２上の走行部にあるガラス切粉だけでなく、周辺のガラス切粉も一緒に撒き散らしてしまうという課題もあった。
【００１０】
また、カッター１０を回転させるために当該カッター１０とこれを支持するカッターホルダ９の側壁面との間に隙間があるため、その隙間内にガラス切粉が入り込むが、このポイントに効果的にエアーを吹き付けることができず、そのガラス切粉を除去することができなかった。更に、エアーノズル１３，１４の取り付けが支持アーム１５，１６の締込によって行われており、各エアーノズル１３，１４の位置決めが目測で行われていたため、エアーノズル１３，１４の交換時や同様の機械間において上記距離Ｌ１，Ｌ２を所定値に設定することが難しいという課題もあった。
【特許文献１】特開２００１−３１１８１９号公報
【特許文献２】特開平１１−１１９６６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
解決しようとする問題点は、エアーノズルの吹き出し口からカッターまでの距離が比較的長いために、吹き出し口から出たエアーの勢いがカッターに到達するまでに大きく落ち込んでしまうと共に、エアーノズルから吹き出たエアーが拡散することから、必要な部位にエアーを効率よく吹き付けることができず、また、エアーの拡散によってガラス基板上の走行部にあるガラス切粉だけでなく、周辺のガラス切粉も一緒に撒き散らしてしまうと言う点である。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本出願の請求項１記載のスクライブ装置は、ガラス基板の表面に溝を刻設するカッターと、このカッターを支持するカッターホルダと、カッターに向けて吹き付けられるエアーが流通するエアー流路と、を備え、エアー流路は、カッターホルダに設けられると共にカッターに対向される吹き出し口を有することを最も主要な特徴とする。
【００１３】
本出願の請求項２及び５記載のスクライブ装置は、カッターホルダには、カッターが一部を外部に突出させて収納されるスリットと、カッターを回転自在に支持する支持軸を両端支持する一対の軸受部と、一端がスリットに開口された吹き出し口と、を設け、支持軸の軸方向と略直交する方向に延在された吹き出し口からエアーを吹き出してカッターに吹き付けるようにしたことを特徴とする。
【００１４】
本出願の請求項３及び６記載のスクライブ装置は、吹き出し口は、前記カッターと前記スリットの側壁面との間に対向するように設けたことを特徴とする。
【００１５】
本出願の請求項４記載のスクライブ装置は、ガラス基板の表面に溝を刻設するカッターと、このカッターを支持するカッターホルダと、カッターに向けて吹き付けられるエアーが流通するエアー流路と、カッターホルダを、カッターの移動方向に回動自在に支持する回動支持手段と、を備え、エアー流路は、カッターホルダに設けられると共にカッターに対向される吹き出し口を有することを特徴とする。
【００１６】
本出願の請求項７記載のスクライブ装置は、回動支持手段は、カッターホルダが固定されると共にカッターホルダの吹き出し口に連通される通路を有するホルダベースと、本体側部材に回動自在に支持されると共にエアー発生源に連通される軸方向孔を有する回動軸と、ホルダベースに回動軸を着脱可能に連結すると共に通路と軸方向孔とに連通する連通孔を有する連結部材と、を備え、エアー流路は、通路と軸方向孔と連通孔と吹き出し口とを含むことを特徴とする。
【００１７】
本出願の請求項８記載のスクライブ装置は、ホルダベースに対して連結部材を、軸方向への移動を阻止しつつ回動自在に支持し、連結部材にネジ軸部を設けると共に、このネジ軸部が螺合されるネジ穴を回動軸に設け、連結部材と回動軸をネジ結合により着脱可能としたことを特徴とする。
【００１８】
本出願の請求項９記載のスクライブ装置は、回動軸には、回動中心を同一にする操作ツマミを一体的に設けると共に、この操作ツマミの一部が突出される開口部をホルダベースに設けたことを特徴とする。
【００１９】
本出願の請求項１０記載のスクライブ装置は、本体側部材には、回動支持手段の回動量を制限するストッパピンを設けたことを特徴とする。
【００２０】
本出願の請求項１１記載のスクライブ装置は、回動軸は、２個以上の玉軸受によって本体側部材に回転自在に支持すると共に、２個以上の玉軸受のうち少なくとも１個を、回動軸に接触するゴムシールを有する軸封装置付き単列深溝玉軸受としたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
本出願の請求項１記載のスクライブ装置によれば、カッターとカッターホルダとエアー流路とを備え、カッターホルダに吹き出し口を設けてエアー流路を構成したため、勢いの強いエアーをカッターに吹き付けることができると共に、吹き出されたエアーを必要な部位に効果的に吹き付けることができる。
【００２２】
本出願の請求項２及び５記載のスクライブ装置によれば、カッターホルダにスリットと一対の軸受部と吹き出し口とを設け、支持軸の軸方向と略直交する方向に延在された吹き出し口からエアーを吹き出してカッターに吹き付けるようにしたため、比較的簡単な構成でありながら、勢いの強いエアーをカッターに吹き付けることができると共に、吹き出されたエアーを必要な部位に効果的に吹き付けることができるスクライブ装置を提供することができる。
【００２３】
本出願の請求項３及び６記載のスクライブ装置によれば、吹き出し口をカッターとスリットの側壁面との間に対向させることにより、その隙間内にガラス切粉が入り込まないようにできると共に、入り込んだガラス切粉を容易に吹き出すことができる。
【００２４】
本出願の請求項４記載のスクライブ装置によれば、カッターとカッターホルダとエアー流路と回動支持手段とを備え、カッターホルダに吹き出し口を設けてエアー流路を構成したため、勢いの強いエアーをカッターに吹き付けることができ、吹き出されたエアーを必要な部位に効果的に吹き付けることができると共に、カッターにキャスタ機能を持たせて走行方向にカッターを自動的に追従させることができる。
【００２５】
本出願の請求項７記載のスクライブ装置によれば、回動支持手段がホルダベースと回動軸と連通孔とを有し、これらと吹き出し口とを含んでエアー流路を構成することにより、カッターから極めて近い位置に吹き出し口を設定することができ、勢いの強いエアーをカッターに吹き付けることができる。
【００２６】
本出願の請求項８記載のスクライブ装置によれば、ホルダベースに連結部材を回動のみ自在に支持すると共に、連結部材と回動軸をネジ結合により連結する構成としたため、連結部材の回転操作によってホルダベースと回動軸を簡単に着脱することができる。
【００２７】
本出願の請求項９記載のスクライブ装置によれば、回動軸に操作ツマミを設けると共にホルダベースに開口部を設ける構成としたため、開口部から一部が突出した操作ツマミを回動操作することにより、連結部材の回転操作のみでホルダベースと回動軸との着脱作業を簡単に行うことができる。
【００２８】
本出願の請求項１０記載のスクライブ装置によれば、本体側部材にストッパピンを設ける構成としたため、回動支持手段の回動量を制限してカッターホルダが必要以上に回動するのを防止することができる。
【００２９】
また、本出願の請求項１１記載のスクライブ装置によれば、回動軸を２個以上の玉軸受で回転自在に支持すると共に、少なくとも１個を軸封装置付き単列深溝玉軸受とすることにより、構造が簡単であって比較的安価な玉軸受を用いてエアー漏れのないエアー吹き付け機構を構成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
勢いの強いエアーをカッターに吹き付けることができると共に、吹き出されたエアーを必要な部位に効果的に吹き付けることができるスクライブ装置を、簡単な構造によって実現した。
【実施例１】
【００３１】
図１〜図３は、本発明の実施の形態の一例を示すものである。即ち、図１は本発明のスクライブ装置の要部を断面して示す説明図、図２は図１の要部を断面して拡大して示す説明図、図３は図１のＸ−Ｘ線拡大断面図である。
【００３２】
図１は、スクライブ装置の要部であるカッタースライドユニットを断面して示すものであり、スクライブ装置の全体構成については図示していないが、その全体構成は図４に示した従来例と略同様であるため、その全体構成については、その概略を簡単に説明する。図示しないが、スクライブ装置は、加工対象物であるガラス基板が載置されるスクライブテーブルを有するベッドと、このベッドの両サイドに立設されたコラム間に掛け渡されたオーバアームと、このオーバアームに摺動可能に支持されたサドルとを備えている。サドルは横方向（Ｘ軸方向）へ移動可能とされていて、このサドルには上下方向（Ｚ軸方向）へ移動可能とされたカッターヘッドが取り付けられている。
【００３３】
カッターヘッドは、ガラス基板に対するカッターの押圧力を一定に保持するためのエアシリンダと、このエアシリンダによって昇降動作されるヘッドベースを備えており、そのヘッドベースにカッタースライドユニット４０が取り付けられている。そして、カッタースライドユニット４０の下端に、ガラス基板の表面に傷を入れて（スクライブ）、割る（ブレーク）ためのカッター４１が取り付けられている。
【００３４】
カッタースライドユニット４０は、図１〜図３に示すような構成を有している。即ち、カッタースライドユニット４０は、カッター４１とカッターホルダ４２とホルダベース４３と連結部材４４と操作ツマミ４５と回動軸４６と一対のアンギュラ玉軸受４７，４８とベアリングナット５０と単列深溝玉軸受５１とハウジング５２と上蓋５５等を備えて構成されている。
【００３５】
図１及び図２に示すように、カッター４１は、断面形状が略菱形をなすそろばん玉のような形状をなしており、その穴に支持軸５７が回転自在に挿通されている。この支持軸５７を介してカッター４１が、カッターホルダ４２の下部に回転自在に取り付けられている。カッター４１は、電着ダイヤモンドや焼結ダイヤモンド等のダイヤモンドカッターが好適であり、刃先稜線を形成する２つの円錐面の表面粗さを粗くして、刃先部に凹凸を形成することにより、ガラス基板に対する刃先の食い込み能力を高めることができる。
【００３６】
カッターホルダ４２は、直方体の下部に一対の軸受部４２ａ，４２ａが設けられたブロック状の部材からなる。一対の軸受部４２ａ，４２ａは、下方に突出した先細の互いに平行をなす凸部からなり、両軸受部４２ａ，４２ａの間に、カッター４１を収納するためのスリット５８が形成されている。この一対の軸受部４２ａ，４２ａによって支持軸５７が両端支持されていて、これによりカッター４１が、その下部を軸受部４２ａ，４２ａの下端から下方へ突出させた状態でスリット５８内に回転自在に収納されている。
【００３７】
更に、カッターホルダ４２には、上下方向に延在されて一端がスリット５８内に開口され、且つ他端が上面に開口された貫通孔からなる吹き出し口５９が設けられている。この吹き出し口５９の中心線は、支持軸５７の軸心線と交わらないよう少々オフセットされているが、その中心線と軸心線が互いに交わるように構成してもよい。このカッターホルダ４２は、固定ネジ６１からなる固着手段によってホルダベース４３の下部に着脱可能に締付固定されている。
【００３８】
ホルダベース４３には、図１〜図３に示すように、連結部材４４が回動可能に収納される収納穴６２と、操作ツマミ４５が回動可能に収納される収納室６３とが設けられている。収納穴６２はホルダベース４３の上面に開口されており、下面側に延在された収納穴６２の底面に連通孔６４が設けられている。連通孔６４の下端はホルダベース４３の下面に開口されていて、その下端開口部は、その下面に接触したカッターホルダ４２の吹き出し口５９の上端開口部と重なり合うように設けられている。
【００３９】
このカッターホルダ４２とホルダベース４３との接触面は、平面度や面粗度等を高めて形成し、シール部材を用いることなく接触面を単に重ねるだけで密着できて、高い気密性が得られるようにする。しかしながら、カッターホルダ４２とホルダベース４３との接触面にシール部材を介在させ、そのシール部材で気密性を高める構成にしてもよい。更に、ホルダベース４３には、図１に示すように、カッターホルダ４２を位置決めするための位置決め凸部４３ａと、ホルダベース４３自体の回動量を制限するための切欠き部６５とが設けられている。
【００４０】
また、ホルダベース４３の収納室６３は、収納穴６２と同一の軸心線上において、その直径よりも大きな直径で形成されていて、図４に示すように、一部がホルダベース４３の側面に開口するようになされている。この収納室６３に収納される操作ツマミ４５はリング状をなしており、その中央穴に連結部材４４が嵌合されている。この嵌合状態において側方から挿入されるピン６６により、操作ツマミ４５が連結部材４４と結合されて一体的に構成されている。操作ツマミ４５の外周面には、その回動操作を容易にするためにローレットを設けることが好ましい。
【００４１】
連結部材４４は、収納穴６２に回動自在に嵌合される円筒状の部材からなり、中央部には軸方向に貫通する貫通孔６７が設けられている。連結部材４４の軸方向の一端には、外周面にネジが刻設されたネジ軸部４４ａが設けられ、このネジ軸部４４ａと反対側には環状溝４４ｂが設けられている。環状溝４４ｂは周方向に連続しており、密封装置の一具体例を示すＯ−リング６８がエアー漏れ防止のために装着されている。連結部材４４のネジ軸部４４ａを除いた部分の軸方向長さは収納穴６２の深さよりも短くしており、これにより連結部材４４の下方に適当の大きさの隙間からなる室が形成されている。
【００４２】
また、連結部材４４のネジ軸部４４ａには、回動軸４６の下端がネジ手段により結合されて相対的に移動可能とされている。回動軸４６は、軸心部に軸方向孔７０が貫通されたパイプ状の軸部材からなり、外径を４段階とすることによって大径部４６ａと中径部４６ｂとネジ部４６ｃと小径部４６ｄとが設けられている。そして、回動軸４６の大径部４６ａ側の端部には、連結部材４４のネジ軸部４４ａと螺合されるネジ穴４６ｅが設けられている。この回動軸４６の中径部４６ｂには、軸受部材の一具体例を示す一対のアンギュラ玉軸受４７，４８が装着されている。そして、両アンギュラ玉軸受４７，４８の間には、内輪に対応した内スリーブ７４と外輪に対応した外スリーブ７５とがそれぞれ介在されている。
【００４３】
回動軸４６のネジ部４６ｃにはベアリングナット５０が螺合されており、このベアリングナット５０によって両アンギュラ玉軸受４７，４８の内輪と内スリーブ７４が締め付けられている。このようにアンギュラ玉軸受４７，４８と内外スリーブ７４，７５とが組み付けられた回動軸４６が、ハウジング５２によって回動自在に支持されている。ハウジング５２は、回動軸４６等が装着される軸受筒体７１と、この軸受筒体７１の開口側に装着されて開口側に位置するアンギュラ玉軸受４７を奥行き方向に押圧する軸受蓋体７２とから構成されている。
【００４４】
軸受筒体７１は、両アンギュラ玉軸受４７，４８の外輪と外スリーブ７５が嵌合される大径穴７１ａと、底部の略中央に開口された小径穴７１ｂを有している。軸受筒体７１の小径穴７１ｂには、軸受部材の具体例を示す単列深溝玉軸受５１の外輪が嵌合されている。単列深溝玉軸受５１の内輪は回動軸４６の小径部４６ｄに嵌合されていて、２個のアンギュラ玉軸受４７，４８を含む合計３個の玉軸受によって回動軸４６が、カッタースライドユニット４０のハウジング５２に回動自在に支持されている。そのため、軸受蓋体７２には、開口側に位置するアンギュラ玉軸受４７の外輪を押圧する押圧部７２ａが設けられている。これに対応して軸受筒体７１には、奥側に位置するアンギュラ玉軸受４８の外輪を受ける受圧部７１ｃが設けられている。
【００４５】
このように回動軸４６はハウジング５２に対して回動自在とされているが、その回動量はストッパピン７６によって所定範囲内に制限されている。ストッパピン７６は、軸受蓋体７２の下面において下方へ突出するように設けられており、図３に示すように、ホルダベース４３の切欠き部６５内に挿入されている。このとき、ホルダベース４３が回動軸４６を中心に回動自在とされているため、ホルダベース４３は、切欠き部６５の両側面とストッパピン７６との間の隙間分だけ、図１において紙面と垂直方向に回動可能とされている。
【００４６】
その結果、回動軸４６の回動中心に対してカッター４１の中心が距離Ｅだけオフセットしているため、ホルダベース４３にキャスタ効果を持たせることができる。これにより、カッター４１がガラス基板上を走行するに当たり、ホルダベース４３が回動可能な範囲内において、カッター４１が回動方向の規制を受けることなくその走行方向に当該カッター４１を追従させることができる。また、操作ツマミ４５を操作して連結部材４４を回動することにより、操作ツマミ４５の回動方向に応じて連結部材４４とホルダベース４３を回動軸４６の軸方向へ相対的に移動させて、回動軸４６に対して連結部材４４を着脱させることができる。
【００４７】
また、一般的なアンギュラ玉軸受４７，４８にはシールがされていないため、ハウジング５２内に圧力を掛けてエアーを流すと、ボール間の隙間からエアー漏れが生じる。そのため、エアーの供給側に位置する単列深溝玉軸受５１として接触ゴムシール形の単列深溝玉軸受を用いることが好ましい。これにより、回動軸４６の回転に大きな抵抗を与えることなく、アンギュラ玉軸受４７，４８側に流れるエアー漏れを防止し又は効果的に抑制することができる。
【００４８】
ハウジング５２の軸受筒体７１の小径部７１ｂは、上蓋５５によって閉鎖されている。上蓋５５には、一端が小径部７１ｂに臨むエアー供給口７７が設けられている。エアー供給口７７の他端は上蓋５５の側面に開口されており、その開口部には、図示しないエアー供給装置が接続される。エアー供給口７７を有する上蓋５５は、図示しないが、固定ネジによる固着手段によって軸受筒体７１の上面に着脱可能に取り付けられている。上蓋５５及び軸受筒体７１の互いの合わせ面は、接合するだけで所定の気密性が得られるように、一般的に用いられる以上の形状精度（平面度など）や面粗度を満たすように形成する。しかしながら、上蓋５５と軸受筒体７１の接合面にＯ−リング等のシール部材を介在させ、そのシール部材で気密性を確保する構造としてもよい。
【００４９】
上記ハウジング５２のエアー供給口７７と、回動軸４６の軸方向孔７０と、連結部材４４の貫通孔６７と、収納穴６２の隙間と、ホルダベース４３の連通孔６４と、カッターホルダ４２の吹き出し口５９とで、エアー供給装置から供給される所定圧力のエアーを、カッター４１とスリット５８の両面に形成された壁面に吹き付けるためのエアー流路が構成されている。
【００５０】
このような構成を有するカッタースライドユニット４０を備えたスクライブ装置によれば、カッター４１及びこれを支持するカッターホルダ４２のスリット５８両側の壁面に対してエアーを至近距離から吹き付ける（エアーブロー）ことができ、カッター４１及びスリット５８の壁面に付着するガラス切粉を確実に除去することができると共に、カッター４１等にガラス切粉が付着するのを防ぐことができる。
【００５１】
次に、上述したガラス切粉を除去する作用を説明する。加工対象物である図示しないガラス基板は、スクライブテーブルに載置されてカッタースライドユニット４０の下方に供給される。そして、Ｘ軸方向の移動機構（本実施例ではサドル）とＹ軸方向の移動機構（例えば、Ｘ軸方向と交差するＹ軸方向にスクライブテーブルを移動させる機構など）によってカッタースライドユニット４０を所定位置にセットする。
【００５２】
次に、カッタースライドユニット４０をＺ軸方向に移動させて所定の高さ位置に調整する。その後、カッタースライドユニット４０を、ガラス基板側に水平移動させてカッター４１の切刃をガラス基板の表面に食い込ませ、そのまま所定方向に移動し（刻設）、ガラス基板の所定部位を切断（割断）する。この場合、カッター４１の切断（割断）作用により、その切断部には、ガラス切粉が発生する。
【００５３】
この切断（割断）時、エアー供給装置から送られてきた高圧のエアーがエアー供給口７７からカッタースライドユニット４０に供給され、エアー流路を経て吹き出し口５９から吐出され、その下方に位置するカッター４１の外周面と、これを支持する軸受部４２ａ，４２ａの内面であるスリット５８の壁面に吹き付けられる。このように吹き付けられるエアーは、その吹き出し口５９がカッター４１及びスリット５８壁面から極めて近い位置に設定されているため、エアーの勢いを弱めることなく、圧力の強い状態のままカッター４１等に吹き付けることができる。
【００５４】
そのため、カッター４１及びスリット５８壁面に付着するガラス切粉を確実に吹き飛ばして除去することができると共に、カッター４１等にガラス切粉が付着するのを防ぐことができる。この点、図４に示したような従来の装置では、カッターの至近距離にエアーノズルを設定できなかったことからガラス切粉に衝突するエアーの力が弱くなり、ガラス切粉を除去するための効率が悪かった。
【００５５】
しかも、本実施例では、カッターホルダ４２にエアーの吹き出し口５９を直接設ける構造としたため、エアーを目的の位置に集中させて所定位置に確実に吹き付けることができる。その結果、図４に示した従来の装置では、カッターの走行方向の前後にエアーノズルを配置してカッター周辺を狙ってエアーブローしていたため、ガラス基板上のガラス切粉を広範囲に撒き散らすという不具合が生じていたが、本実施例のようにカッターホルダ４２を介してカッター４１の上方からエアーブローすることにより、ガラス切粉を撒き散らす量を少なくできると共に、その撒き散らす範囲も小さくすることができる。
【００５６】
更に、本実施例では、一対のアンギュラ玉軸受４７，４８とは別に回動軸４６を回動自在に支持する単列深溝玉軸受５１を設け、その単列深溝玉軸受を接触ゴムシール形の単列深溝玉軸受５１としたため、回動軸４６の回動運動に大きな抵抗力を発生させることなく、エアー流路のエアー漏れを効果的に防止することができる。この際、単列深溝玉軸受５１の接触ゴムシールはエアー供給口７７側に配置するようにする。これにより、エアーがエアー流路から漏れてアンギュラ玉軸受４７，４８を通過する不具合の発生を防止することができる。
【００５７】
また、本実施例では、カッター４１を支持するカッターホルダ４２を、ホルダベース４３を介して回動軸４６に支持すると共に、カッター４１の回転中心を回動軸４６の回動中心からオフセットさせて設け、ホルダベース４３にキャスタ機能を付与する構成としたため、カッター４１がガラス基板上を走行するに当たり、その走行方向にカッター４１を追従させて円滑且つ正確に切断（割断）作業を行うことができる。また、操作ツマミ４５の回動操作により、その回動方向に応じて、ホルダベース４３を回動軸４６に取り付けたり、その回動軸４６からホルダベース４３を取り外すことができ、回動軸４６に対するホルダベース４３の着脱作業を容易に行うことができる。
【００５８】
なお、前記実施例においては、吹き出し口５９の位置を、カッター４１の走行方向前側に設けた例について説明したが、これはガラス基板上に発生するガラス切粉の除去と、カッター４１に付着したガラス切粉の除去を主に狙ったものである。このような関係に吹き出し口５９等を構成することにより、カッター４１に付着したガラス切粉及びガラス基板上のガラス切粉の除去を共に効率よく行うことができる。これに対して、吹き出し口５９の位置を、カッター４１の真上に設定することにより、カッターホルダ４２の軸受部４２ａの壁面に付着したガラス切粉の除去及び、その壁面にガラス切粉が付着するのを効果的に防止することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５９】
本発明は、前述しかつ図面に示した実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内で種々の変形実施が可能である。例えば、前記実施例では、加工対象物としてガラス基板を適用した例について説明したが、ガラスや石英だけでなく、シリコンやガリウム砒素等の半導体材料、窒化ケイ素やルカロックス等のセラミックス、その他のスクライブ加工が可能な各種材料に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明のスクライブ装置に係るカッタースライドユニットの一実施例の要部を断面して示す説明図である。
【図２】図１に示すカッタースライドユニットの要部を拡大すると共に断面して側方から見た説明図である。
【図３】図１のＸ−Ｘ線部分を拡大した断面図である。
【図４】従来のスクライブ装置を示す説明図である。
【符号の説明】
【００６１】
４０…カッタースライドユニット、  ４１…カッター、  ４２…カッターホルダ、  ４３…ホルダベース、  ４４…連結部材、  ４５…操作ツマミ、  ４６…回動軸、  ４７，４８…アンギュラ玉軸受、  ５０…ベアリングナット、  ５１…単列深溝玉軸受、  ５２…ハウジング、  ５５…上蓋、  ５８…スリット、  ５９…吹き出し口、  ６２…収納穴、  ６４…連通孔、  ６８…Ｏ−リング（シール部材）、  ７０…軸方向孔、  ７７…エアー供給口
【図１】
2005213116.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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