(57)【要約】【課題】  成形品として必要な特性を確保でき、生産性を向上できる光学素子の製造方法の提供する。【解決手段】  本発明にかかる光学素子の製造方法は、一方の型２が透光性材質で構成され、他方の型１が該型材よりも光吸収率の大きな光吸収層３ｂを表面に備えた型から構成され、前記型部に、熱硬化性樹脂液を流し込む樹脂液供給工程と、透過性材質で構成された一方の前記型の側より可視または近赤外光を照射して熱硬化性樹脂液を硬化させる樹脂液硬化工程と、を備えたものである。【選択図】  図１
2005153276.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
型表面に形成された微細な凹凸面を、透光性の熱硬化性樹脂からなる基材に転写してなる光学素子の製造方法であって、
一方の型が透光性材質で構成され、他方の型が該型材よりも光吸収率の大きな光吸収層を表面に備えた型から構成され、前記型部に、熱硬化性樹脂液を流し込む樹脂液供給工程と、
透光性材質で構成された一方の前記型の側より可視または近赤外光を照射して熱硬化性樹脂液を硬化させる樹脂液硬化工程と、
を備えたことを特徴とする光学素子の製造方法。
【請求項２】
前記光吸収層を備えた前記他方の型に微細な凹凸面がある請求項１記載の光学素子の製造方法。
【請求項３】
前記光吸収層の層厚が１０μｍ〜０．０５μｍである請求項１記載の光学素子の製造方法。
【請求項４】
前記光吸収層がチタン、クロムの炭化物である請求項１記載の光学素子の製造方法。
【請求項５】
前記光吸収層の裏面に断熱層を備えている請求項１ないし４記載の光学素子の製造方法。
【請求項６】
透光性材質で構成された一方の前記型の表面にフッ化マグネシウムの単層膜、シリカ膜、ジルコニア膜、またはアルミナ膜等の反射防止膜を備えている請求項１記載の光学素子の製造方法。
【請求項７】
前記透光性材質の屈折率が前記熱硬化性樹脂液と略同一である請求項１記載の光学素子の製造方法。
【請求項８】
前記凹凸部の周囲に配された前記光吸収層に光照射した後、前記凹凸部に配された前記光吸収層に光照射する請求項２記載の光学素子の製造方法。
【請求項９】
前記凹凸部の周囲に配された前記光吸収層の光吸収率が該凹凸部の光吸収率より高い光吸収層を用いる請求項２記載の光学素子の製造方法。
【請求項１０】
前記分離型の温度を前記熱硬化性樹脂液の硬化温度以下に制御する機構を備えている請求項１記載の光学素子の製造方法。
【請求項１１】
前記樹脂液供給工程と前記樹脂液硬化工程の間に、少なくとも一方の前記型に圧力を負荷することにより、該型内の熱硬化性樹脂液に圧縮力を負荷する樹脂液圧縮工程を備えている請求項１記載の光学素子の製造方法。
【請求項１２】
前記請求項１〜請求項１１記載の光学素子の製造方法により製造された光学素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学素子の製造方法および光学素子にかかり、さらに詳しくは、型表面の凹凸形状を樹脂に転写してなる光学素子の製造方法および光学素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、分離型表面に形成された微細な凹凸面を透光性の熱硬化性樹脂からなる基材に転写してなる光学素子がある。また、機能素子を樹脂封止する技術として、注型型の凹所の空間内に、モールド部材となる溶融したエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂が注入され、その注入された熱硬化性樹脂が硬化してから、熱硬化性樹脂がモールド部材となりこれと機能素子が一体化されるものがある。
【０００３】
この機能素子の製造方法は、機能素子を必要に応じて基板に実装して、注型型に挿入する。次いで、基板と注型型の空所に、モールド部材となる溶融した熱硬化性樹脂を注入し、この注入された熱硬化性樹脂を金型周囲から加熱して硬化する。その後、熱硬化性樹脂が硬化してなるモールド部材と一体化された機能素子等を、注型型から取り出す。これにより、モールド部材と機能素子が一体化された光学素子が形成される。
【０００４】
上記のような素子の製造方法において、モールド部材の硬化方法としては、外部からの熱伝導により樹脂に熱エネルギを与え、ラジカル反応を誘起させ硬化成形する方法が一般的である。しかし、その方法では、樹脂を加熱するのに、注型型（金型）全体を加熱する必要があり、多くのエネルギを必要とするだけでなく、金型の耐久性や環境上・安全上の問題をかかえている。
【０００５】
そこで、例えば、特開昭６２−５８１９のように高エネルギ線を透過する材質からなる金型に光硬化性樹脂組成物を射出し、次に高エネルギ線を照射し、樹脂を硬化させる方法で硬化する方法も行われている。
【特許文献１】特開昭６２−５８１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、高エネルギ線を照射して樹脂を硬化させる場合も、樹脂組成物はエネルギ線を吸収することを目的に選定されていないため、樹脂組成物に応じたエネルギ線を用意する必要がある。また、吸収発熱効率も高くないので、大型の設備が必要になる。また、ポリマを分解させることなく硬化反応を開始させることが可能なエネルギ範囲は非常に狭い。
【０００７】
一方、光硬化性樹脂の場合は、エネルギ線が固定されるため樹脂の種類や特性が限定され、成形品として必要な特性を確保できないという問題がある。
【０００８】
本発明はこれらの問題点に鑑みて創案されたものであって、成形品として必要な特性を確保でき、生産性を向上できる光学素子の製造方法の提供を目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の請求項１記載に係る光学素子の製造方法は、型表面に形成された微細な凹凸面を、透光性の熱硬化性樹脂からなる基材に転写してなる光学素子の製造方法であって、一方の型が透光性材質で構成され、他方の型が該型材よりも光吸収率の大きな光吸収層を表面に備えた型から構成され、前記型部に、熱硬化性樹脂液を流し込む樹脂液供給工程と、透光性材質で構成された一方の前記型の側より可視または近赤外光を照射して熱硬化性樹脂液を硬化させる樹脂液硬化工程と、を備えたことを特徴とする。
【００１０】
請求項２記載の本発明に係る光学素子の製造方法は請求項１に記載の光学素子の製造方法において、前記光吸収層を備えた前記他方の型に微細な凹凸面があることを特徴とする。
【００１１】
請求項３記載の本発明に係る光学素子の製造方法は請求項１に記載の光学素子の製造方法において、前記光吸収層の層厚が１０μｍ〜０．０５μｍである。
【００１２】
請求項４記載の本発明に係る光学素子の製造方法は請求項１に記載の光学素子の製造方法において、前記光吸収層がチタン、クロムの炭化物である。
【００１３】
請求項５記載の本発明に係る光学素子の製造方法は請求項１ないし４に記載の光学素子の製造方法において、前記光吸収層の裏面に断熱層を備えている。
【００１４】
請求項６記載の本発明に係る光学素子の製造方法は請求項１に記載の光学素子の製造方法において、透光性材質で構成された一方の前記型の表面にフッ化マグネシウムの単層膜、シリカ膜、ジルコニア膜、またはアルミナ膜等の反射防止膜を備えている。
【００１５】
請求項７記載の本発明に係る光学素子の製造方法は請求項１に記載の光学素子の製造方法において、前記透光性材質の屈折率が前記熱硬化性樹脂液と略同一である。
【００１６】
請求項８記載の本発明に係る光学素子の製造方法は請求項２に記載の光学素子の製造方法において、前記凹凸部の周囲に配された前記光吸収層に光照射した後、前記凹凸部に配された前記光吸収層に光照射する。
【００１７】
請求項９記載の本発明に係る光学素子の製造方法は請求項２に記載の光学素子の製造方法において、前記凹凸部の周囲に配された前記光吸収層の光吸収率が該凹凸部の光吸収率より高い光吸収層を用いる。
【００１８】
請求項１０記載の本発明に係る光学素子の製造方法は請求項２に記載の光学素子の製造方法において、前記分離型の温度が前記熱硬化性樹脂液の硬化温度以下に制御する機構を備えている。
【００１９】
請求項１１記載の本発明に係る光学素子の製造方法は請求項１に記載の光学素子の製造方法において、前記樹脂液供給工程と前記樹脂液硬化工程の間に、少なくとも一方の前記型に圧力を負荷することにより、該型内の熱硬化性樹脂液に圧縮力を負荷する樹脂液圧縮工程を備えている。
【００２０】
請求項１２記載の本発明に係る光学素子は、前記請求項１〜請求項１１記載の光学素子の製造方法により製造されたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
請求項１の光学素子の製造方法によれば、光エネルギーを光吸収層で熱に変換することにより、型全体を加熱することなく局所的な加熱が可能となる。そのため、樹脂の硬化速度を加速でき、生産性に優れている。また、従来の硬化方法と比較すると、成形する樹脂の種類と使用する光の波長との組み合わせを考慮する必要がないので、材料選定の自由度が拡大する。
【００２２】
本発明の請求項２記載の光学素子の製造方法によれば、請求項１の効果に加えて、型材の性質に制約がないので、凹凸面を形成する型材として高精度加工が可能な材質を選択できる。
【００２３】
本発明の請求項３に記載の光学素子の製造方法によれば、光吸収層の厚さが１０μｍを超えると型の形状精度が低下し、光学素子として使用できない。また、光吸収層の厚さが０．０５μｍ未満であると光吸収層の熱容量が小さくなるため発熱量が小さくなり、樹脂が硬化しない部位が発生する。
【００２４】
本発明の請求項４に記載の光学素子の製造方法によれば、請求項１の効果に加えて、硬度が高いため、金型の長寿命化が図れる。
【００２５】
本発明の請求項５に記載の光学素子の製造方法によれば、請求項１の効果に加えて、断熱層が光吸収層からの熱の流出を防止するので、光吸収層の吸収熱量が型側に流出するのを防ぐことができ、加熱効率が向上する。
【００２６】
本発明の請求項６に記載の光学素子の製造方法によれば、請求項１の効果に加えて、透光性材質で構成された型から光が出射する際の反射による減衰を防止でき、光エネルギーを効率的に使用可能となる。
【００２７】
本発明の請求項７に記載の光学素子の製造方法によれば、請求項１の効果に加えて、光を照射した際に、透光性材質で構成された型と熱硬化性樹脂液との界面での光屈折による照射位置精度のずれを防止できるので、光を精度良く照射できる。
【００２８】
本発明の請求項８に記載の光学素子の製造方法によれば、請求項２の効果に加えて、外周より硬化させると外形の位置精度が確保でき、かつ外周の内側数ｍｍの所に極小変形位置を集中させることになり、凹凸部の内部歪を改善することができる。
【００２９】
本発明の請求項９に記載の光学素子の製造方法によれば、請求項２の効果に加えて、非形状部における硬化収縮によって、微細形状が変形することを防止
することができる。
【００３０】
本発明の請求項１０に記載の光学素子の製造方法によれば、請求項１の効果に加えて、必要以上に型内での熱伝播による硬化部位が広がらないので、所望の部位を所望のタイミングで硬化させることが可能となる。また、熱硬化性樹脂液の熱特性を安定させることができるので、取出し時の成形不良の防止および品質を安定化させることが可能となる。
【００３１】
本発明の請求項１１に記載の光学素子の製造方法によれば、請求項１の効果に加えて、硬化収縮による比容積減少分を加圧補償することにより、ひけなどの不良発生を抑制できる。
【００３２】
本発明の請求項１２に記載の光学素子によれば、微細形状の変形のない、成形不良のない良好な光学素子を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
光学素子の製造方法は、分離型表面に形成された微細な凹凸面を、透光性の熱硬化性樹脂からなる基材に転写してなる光学素子の製造方法であって、一方の型が透光性材質で構成され、他方の型が該型材よりも光吸収率の大きな光吸収層を表面に備えた型から構成され、該型部に、熱硬化性樹脂液を流し込む樹脂液供給工程と、透光性材質で構成された一方の前記型の側より可視または近赤外光を照射して熱硬化性樹脂液を硬化させる樹脂液硬化工程とを備えた。これによって、型全体を加熱することなく局所的な加熱を可能とし、樹脂の硬化速度を加速でき、生産性に優れていて、しかも成形する樹脂の種類と使用する光の波長との組み合わせを考慮する必要がないという効果を得ることができた。
【００３４】
図１は本発明の光学素子の製造方法の一工程を説明する第１実施例の注型型を示す図で、同図（ａ）は水平線に沿う断面図、図（ｂ）は図（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図ある。図２は製造方法の工程中の樹脂硬化工程を説明する図である。
【００３５】
本発明にかかる光学素子を製造するのに使用する注型型は、箱形の一面が開口して凹所が形成された下型（他方の型）１と、下型１の開口を覆う上型（一方の型）２と、から分離可能に構成されている。
【００３６】
下型１の底部には微細な凹凸形状３ａを有すると共に、０．０５〜１０μｍの光を吸収する光吸収性層３ｂが形成され、これにより光吸収性を有している。分離型３の光吸収層３ｂの厚さが１０μｍを超えると型の形状精度が低下し、光学素子として使用できない。また、０．０５μｍ未満であると光吸収層３ｂの熱容量が小さくなるため発熱量が小さくなり、樹脂が硬化しない部位が発生する。
【００３７】
また、光吸収層３ｂの材料としては、黒ニッケルめっき、チタン、クロムの炭化物等が用いられる。チタン、クロムの炭化物とすると、硬度が高いため、金型の長寿命化が図れる。
上型２は石英ガラス等の透光性部材から構成されている。また、透光性材質で構成された上型２の表面にフッ化マグネシウムの単層膜、シリカ膜、ジルコニア膜、アルミナ膜等の反射防止膜２ａを備えてもよい。そうすると、透光性材質で構成された型から光が出射する際の反射による減衰を防止でき、光エネルギーを効率的に使用することが可能となる。
【００３８】
この注型型を用いて光学素子を製造する方法を図２により説明する。先ず、上型２で下型１の開口を覆い密閉し、熱硬化性樹脂４を脱気しながら注入する（図２（ａ））。
【００３９】
次に、可視光線または近赤外線Ｌを上型２を通過させて熱硬化性樹脂液に照射し、光吸収層を昇温して熱硬化性樹脂を加熱し、硬化させる（図２（ｂ））。可視光線または近赤外線Ｌの照射を光学素子全面にわたって行う（図２（ｃ））。その後、離型して所要の加工を施して光学素子を得る。
【実施例】
【００４０】
（実施例１）
製造方法を実施する型は図１に示すように、次のように構成し、下記に示したような条件により光学素子を製造した。
型：
その外幅Ｗを４０ｍｍ、奥行き外寸法Ｄを７０ｍｍ、高さＨを３０ｍｍとした。
下型（非透光性）の材質：ニッケル
光吸収層：黒ニッケルめっき（黒色の亜鉛一ニッケルの合金めっき）
光吸収層の膜厚：０．５μｍ
微細形状：高さ１０μｍ、幅１０μｍの断面を有する凸形状
上型（透光性）の材質：石英ガラス
樹脂：
主剤：ウレタンアクリレート樹脂（プラグラス＃８０００、大日本塗料社製）
硬化剤：ビスパーオキシジカーネートおよびジブチルフタレートの混合物
充填方法：注入
レーザ条件：
レーザ種類：半導体レーザ（スペクトラフィジックス製）波長：７９５ｎｍ
スポット径：直径１．５ｍｍ
エネルギ密度：２．５Ｗ
スキャン速度：２．５ｍ／ｓｅｃ
発振方法：連続発振
とした。
【００４１】
上記の条件により図２に示すように、光吸収層３上に配設された微細な凹凸形面を有する型部に熱硬化性樹脂４を注入する。光透過性の上型２からレーザ光Ｌを照射して、注入樹脂を硬化させる。その結果、スポット径とほぼ等しい幅の硬化物が形成された。この結果から、局所的な加熱が可能なことが分かった。また、この結果から、樹脂の硬化速度を加速でき、生産性を向上できる。
【００４２】
また、光吸収層を備えた型側に微細な凹凸面を有している。このように構成することで、型材の性質に制約がないので、凹凸面を形成する型材として高精度加工が可能な材質を選択できる。
（実施例２）
光吸収層の厚さを０．０５〜１０μｍに変えた以外は、実施例１と同様にして光学素子を製造した。
【００４３】
比較例として、光吸収層の厚さを０．０５μｍ未満とした場合と１０μｍを超えた場合について、型精度と硬化の良否を調べた。そして、その結果を下記の表１に示した。
【００４４】
【表１】
2005153276.tif 000003
【００４５】
この表１からも明らかなように、光吸収層の厚さが１０μｍを超えると樹脂の硬化は良好であったが、型の形状精度が低下した。また、光吸収層の厚さが０．０５μｍ未満であると樹脂の硬化は不良であったが、型の形状精度は良好であった。これは、光吸収層の熱容量が小さくなるため発熱量が小さくなり、樹脂が硬化しない部位が発生するためであると考えられる。
（実施例３）
光吸収層に黒ニッケルめっきの代わりに、クロム炭化物及びチタン炭化物とした以外は、実施例１と同様にして光学素子を製造した。
【００４６】
そして、光吸収層の高度と寿命に至るショット数を測定した。また、その結果を下記の表２に示した。
【００４７】
【表２】
2005153276.tif 000004
【００４８】
この表２からも明らかなように、クロム炭化物の光吸収層とした場合では、黒ニッケルめっき光吸収層の約２倍の寿命が得られる。チタン炭化物の光吸収層では、黒ニッケルめっき光吸収層の約３倍の寿命が得られる。
（実施例４）
下型１の内部に、図３に示すように、厚さ５ｍｍのセラミックスの断熱層５を設けたことと、レーザスキャン速度：３．１ｍ／ｓｅｃとした以外は、実施例１と同様にして光学素子を製造した。
【００４９】
そして、良好な樹脂硬化が得られるレーザスキャン速度を調べて下記の表３に示した。
【００５０】
【表３】
2005153276.tif 000005
【００５１】
表３に示すように、レーザスキャン速度を３．１ｍ／ｓｅｃとしても樹脂は、むらなく良好に硬化した。これにより、光吸収層の吸収熱量が型側に流出するのを防ぐことができ、加熱効率が向上した。
（実施例５）
上型に、図４に示すように、反射防止膜２ａを設けたことと、レーザスキャン速度を２．８〜３．１ｍ／ｓｅｃとした以外は、実施例１と同様にして光学素子を製造した。
透光性材質で構成された型の表面の反射防止膜は、フッ化マグネシウムの単層膜、シリカ膜、ジルコニア膜、アルミナ膜等で形成した。
【００５２】
そして、各反射防止膜について、良好な樹脂硬化の得られるレーザスキャン速度を調べて下記の表４に示した。
【００５３】
【表４】
2005153276.tif 000006
【００５４】
この表４から明らかなように、透光性材質で構成された型から光が出射する際の反射による減衰を防止できるので、光吸収層の吸収熱量が型側に流出するのを防ぐことができる。これにより、光エネルギを効率的に使用することが可能となり、加熱効率が向上した。その結果、反射防止膜がない場合は、２．５ｍ／ｓｅｃと遅かったのを２．８〜３．１ｍ／ｓｅｃと早くすることができた。
（実施例６）
上型の透光性材質の屈折率が石英ガラスの１．４５を熱硬化性樹脂液（アクリル樹脂（屈折率＝１．６））と略同一のゲルマニウムガラス；ＣＯＲＮＩＮＧ９７５４（屈折率＝１．６）にしたことと、レーザスキャン速度：３．１ｍ／ｓｅｃとした以外は、実施例１と同様にして光学素子を製造した。
【００５５】
そして、この場合において、良好な樹脂硬化の得られるレーザスキャン速度を調べて下記の表５に示した。
【００５６】
【表５】
2005153276.tif 000007
【００５７】
これにより、光を照射した際に、透光性材質で構成された型と熱硬化性樹脂液との界面での光屈折を防止できるので、光を精度良く照射できた。
（実施例７）
下型に、図５に示すように、端から順次レーザスキャンする実施例１とは、凹凸部の周囲からレーザスキャンするように変えた以外は実施例１と同様にして光学素子を製造した。
そして、この場合の樹脂硬化の状態を調べた結果を下記の表６に示した。
【００５８】
【表６】
2005153276.tif 000008
【００５９】
この端部の微細形状の転写状態を観察した結果、凹凸部から周辺にスキャンした場合は、不良の発生があった。周辺から凹凸部にスキャンした場合は、不良の発生がなかった。
外周より硬化させると外形の位置精度が確保でき、かつ外周の内側数ｍｍの所に極小変形位置を集中させることになり、凹凸部の内部歪を改善することができた。
（実施例８）
図６に示すように、凹凸部の周囲に配された光吸収層３ｃの光吸収率が凹凸部に配された光吸収層３ｂより高い光吸収率のものとした以外は実施例１と同様にして光学素子を製造した。
【００６０】
そして、この場合の樹脂硬化の状態を調べた結果を下記の表７に示した。
【００６１】
【表７】
2005153276.tif 000009
【００６２】
この観察の結果、形状部の周囲の非形状部における硬化収縮によって、形状部の微細形状が変形することを防止できた。
（実施例９）
図７に示すように、下型２の光吸収層の裏側に冷却機構６として冷却水を流す配管を設置し、分離型の温度が熱硬化性樹脂液の硬化温度以下に冷却機構により制御する以外は、実施例１と同様にして光学素子を製造した。型を冷却することで樹脂温度を硬化温度以下に制御し、熱伝導によるレーザ照射部周辺の硬化部を小さくすることがでる。
その結果、必要以上に型内での熱伝播による硬化部位が広がらないので、所望の部位を所望のタイミングで硬化させることが可能となる。また、熱硬化性樹脂液の熱特性を安定させることができるので、取出し時の成形不良の防止および品質を安定化させることが可能となる。
（実施例１０）
図８に示すように、樹脂液供給工程と樹脂液硬化工程の間に、少なくとも一方の型に圧力を負荷するように、荷重負荷機構７を設けて負荷する以外は実施例１と同様にして光学素子を製造した。
【００６３】
そして、この場合の樹脂硬化の表面形状と収縮の状態を調べた結果を下記の表８に示した。
【００６４】
【表８】
2005153276.tif 000010
【００６５】
その結果、硬化収縮による比容積減少分を加圧補償することにより、ひけなどの不良発生を抑制できる。
【００６６】
なお、上記において、凹凸形状を転写してなる光学素子について説明したが、本発明はこれに限定されることはない。例えば、型材よりも光吸収率の大きな光吸収層を表面に備えるようにしたＣＣＤリニアセンサーやＣＣＤエリアセンサー用のチップや、ＬＥＤチップや半導体レーザチップ等を封止する場合であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明の光学素子の第１実施例の注型型を説明する図で、図（ａ）は水平線（図（ｂ）のＡ−Ａ線）に沿う断面図、図（ｂ）は図（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図ある。
【図２】本発明に係る製造方法中の樹脂硬化工程を説明する図であり、図（ａ）は熱硬化性樹脂を注入した状態を示す断面図で、図（ｂ）はレーザ光の照射を開始した状態を示す断面図で、図（ｃ）はさらにレーザ光の照射をしている状態を示す断面図である。
【図３】本発明の光学素子に係る第４実施例の光吸収層の構成を説明する断面図である。
【図４】本発明の光学素子に係る第６実施例の光吸収層の構成を説明する断面図である。
【図５】本発明の光学素子に係る第７実施例の製造工程を説明する断面図で、図（ａ）は照射初期の工程での水平線に沿う断面図、図（ｂ）は図（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図、図（ｃ）は照射終期の工程での水平線に沿う断面図、図（ｄ）は図（ｃ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図６】本発明の光学素子に係る第８実施例の光吸収層の構成を説明する断面図で、図（ａ）は水平線に沿う断面図、図（ｂ）は図（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図７】本発明の光学素子に係る第９実施例の下型の構成を説明する断面図で、図（ａ）は水平線に沿う断面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図ある。
【図８】本発明の光学素子に係る第１０実施例の熱硬化性樹脂樹脂を負荷する工程を説明する図である。
【符号の説明】
【００６８】
１    下型（他方の型）
２    上型（一方の型）
２ａ  反射防止層
３ａ  凹凸形状
３ｂ  光吸収層
３ｃ  高い光吸収率の光吸収層
４    熱硬化性樹脂
４ａ  硬化した熱硬化性樹脂
５    断熱層
６    冷却機構
７    荷重付加機構
Ｌ    レーザ光
【図１】
2005153276.tif 000011
【図２】
2005153276.tif 000012
【図３】
2005153276.tif 000013
【図４】
2005153276.tif 000014
【図５】
2005153276.tif 000015
【図６】
2005153276.tif 000016
【図７】
2005153276.tif 000017
【図８】
2005153276.tif 000018