(57)【要約】【課題】微細なフィルタ孔径を備えて分離精度が高く、長寿命で、安価かつ短時間で製造することができる金属フィルタを提供すること。【解決手段】金属線材１の集合体を焼結した金属フィルタシート２の表面に、フィルタ孔３ｂが残存するように金属蒸着材４を蒸着する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属線材の集合体を焼結した金属フィルタシートの表面に、フィルタ孔が残存するように金属蒸着材を蒸着してなることを特徴とする金属フィルタ。
【請求項２】
金属線材の集合体を焼結した金属フィルタシートの表面に金属蒸着材を蒸着し、該金属蒸着材の蒸着量を制御することによりフィルタ孔径を調整することを特徴とする金属フィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属フィルタ及びその製造方法に関し、特に、微細なフィルタ孔径を備えて分離精度が高く、長寿命で、安価かつ短時間で製造することができる金属フィルタ及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液体又は気体から固形物を分離するフィルタは、精密ろ過フィルタが用いられており、およそ１μｍ乃至それ以下の孔径を有している。
フィルタの種類としては、有機性のものと無機性のものがあり、前者は、酢酸セルロースやポリプロピレン、ポリオレフィンなどを原材料としている。一方、後者には、セラミックや金属のフィルタがある。
【０００３】
ところで、上述した精密ろ過フィルタには種々の問題がある。先ず、有機性フィルタは、一般的に紙の様に薄く衝撃力や物理的な接触作用に弱く、フィルタが破損しやすく、また、フィルタの目詰りが進行した時に行う薬品洗浄を繰返して行ったり、廃水中に浸漬せしめるなど過酷な条件で使用すると、フィルタの寿命が短くなるという欠点があった。
【０００４】
このような有機性フィルタの欠点を補うために、無機性フィルタが開発された。
無機性フィルタは基本的に粉体を焼結して製造するが、粉体がアルミナ等のセラミックの場合、セラミックフィルタと、また、ステンレス等の金属の場合、金属フィルタと呼ばれている（例えば、特許文献１参照）。
いずれの無機性フィルタも、１μｍ以下の微細な孔径を有する精度の高いフィルタとすることができるが、セラミックフィルタは、粒度が均一で微細な粉体を数種類用いて、多層構造にして製造するため、製造時間が長く、さらには、製造コストが高くなって特殊な用途にしか利用されていなかった。
【特許文献１】特開平６−２４０３０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記従来の無機性フィルタが有する問題に鑑み、微細なフィルタ孔径を備えて分離精度が高く、長寿命で、安価かつ短時間で製造することができる金属フィルタ及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明の金属フィルタは、金属線材の集合体を焼結した金属フィルタシートの表面に、フィルタ孔が残存するように金属蒸着材を蒸着してなることを特徴とする。
【０００７】
また、本発明の金属フィルタの製造方法は、金属線材の集合体を焼結した金属フィルタシートの表面に金属蒸着材を蒸着し、該金属蒸着材の蒸着量を制御することによりフィルタ孔径を調整することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の金属フィルタ及びその製造方法によれば、金属線材の集合体を焼結した金属フィルタシートの表面に金属蒸着材を蒸着することから、該金属蒸着材の蒸着量を制御することによりフィルタ孔径を調整することができ、これにより、０．１〜１μｍ程度の微細な孔径の金属製精密ろ過フィルタを、短時間でかつ安価に製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の金属フィルタ及びその製造方法の実施の形態を、図面に基づいて説明する。
【実施例１】
【００１０】
図１に、本発明の金属フィルタ及びその製造方法の一実施例を示す。
この金属フィルタは、金属線材１の集合体を焼結した金属フィルタシート２の表面に、フィルタ孔３ｂが残存するように金属蒸着材４を蒸着している。
また、その製造方法は、金属線材１の集合体を焼結した金属フィルタシート２の表面に金属蒸着材４を蒸着し、該金属蒸着材４の蒸着量を制御することによりフィルタ孔径を調整し、最終的なフィルタ孔３ｂの径を元の金属フィルタシート２のフィルタ孔３ａより小さくするようにしている。
【００１１】
具体的には、太さが１〜数μｍのステンレス鋼線を原材料にして不織布、織物、編物等の集合体とした後、該集合体を、ステンレスの融点付近の温度で加熱処理（焼結）して金属フィルタシート２を得る。
このように、鋼線を材料として金属フィルタシート２を得る方法は、従来から行われているが、金属粉体を焼結してフィルタを製造する場合より孔径が大きいものの安価に製造できる方法として知られている。
【００１２】
図１（ａ）に示す金属フィルタシート２は、μｍ単位の鋼線材を使用して製造するため、フィルタ孔３ａの孔径は数μｍが製作の限度とされている。
しかるに、汎用の精密ろ過フィルタは０．１〜１μｍの孔径であり、例えば、下水等の排水処理に用いられる場合には、１μｍ程度の大きさをもつ大腸菌の分離が要求されている。
【００１３】
そこで、本実施例では、図１のようにして製造した金属フィルタシート２を、さらに微細な孔径の金属フィルタに仕上げるために、金属フィルタシート２の表面に、金属蒸着材４を真空蒸着により付着させるようにしている。
金属の上に金属を貼り付けるためには、通常、電解メッキ法が行われるが、金属フィルタ、特に金属不織布の場合は電流がショートカットして流れやすいため、全体的に均質にメッキを仕上げることがきわめて難しい。また、無電解メッキにおいても線径を均一に増加させる様に制御するのは難しい。
真空蒸着を用いる場合は、蒸着時間のコントロールにより、金属蒸着材４の付着量を精密に制御することができる。また、金属フィルタシート２を一定温度まで加熱することにより、鋼線の絡み合った内側までコーティングすることも可能である。
【００１４】
ところで、上記のような金属フィルタ及びその製造方法においては、例えば、最終的に０．５μｍの孔径に仕上げる場合、元の金属フィルタシート２の孔径が５μｍと２μｍとでは、自ずと制御因子の操作条件が異なることは言うまでもない。
さらには、各制御因子を単独で操作する場合と複合的に操作する場合とでも操作条件が異なり、種々のケースが考えられることになる。
したがって、本発明においては、金属蒸着材４により微細な孔径の金属フィルタを製造するという趣旨を逸脱しない限り、各制御因子の操作条件はもとより、蒸着操作の方法を規定するものでない。
【００１５】
かくして、本実施例の金属フィルタ及びその製造方法は、金属線材１の集合体を焼結した金属フィルタシート２の表面に金属蒸着材４を蒸着することから、該金属蒸着材の蒸着量を制御することによりフィルタ孔径を調整することができ、これにより、０．１〜１μｍ程度の微細な孔径の金属製精密ろ過フィルタを、短時間でかつ安価に製造することができる。
このように、金属フィルタシート２を構成する鋼線に対し金属蒸着材４を蒸着し、該金属蒸着材４の付着量を制御することにより、さらに微細な孔径の金属フィルタに仕上げることができる。
【００１６】
以上、本発明の金属フィルタ及びその製造方法について、その実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、実施例に記載した構成を適宜組み合わせる等、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができる。
【産業上の利用可能性】
【００１７】
本発明の金属フィルタ及びその製造方法は、０．１〜１μｍ程度の微細な孔径の金属製精密ろ過フィルタを、短い製作時間でかつ安価に製造するという特性を有していることから、個体と液体の分離、又は個体と気体の分離などに用いられる金属フィルタの用途に好適に用いることができる。
前者では、例えば廃水処理があり、汚泥微生物と被処理水との分離に用いることができ、また、後者では、半導体製造ラインのクリーンルームに用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の金属フィルタ及びその製造方法の実施例を示し、（ａ）は金属線材の集合体を焼結した金属フィルタシートを示す拡大図、（ｂ）は該金属フィルタシートの表面に金属蒸着材を蒸着した本発明の金属フィルタを示す拡大図である。
【符号の説明】
【００１９】
１    金属線材
２    金属フィルタシート
３ａ  フィルタ孔
３ｂ  フィルタ孔
４    金属蒸着材
【図１】
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