(57)【要約】 【課題】  形状測定機の傾斜が変わったときでも、また個々の被測定物に応じた接触力が必要なときでも、その必要な接触力を容易に設定することができる形状測定機を提供すること。【解決手段】  移動可能に支持されたプローブ２３を被測定物Ｗの深さ方向に変化のある表面にならって追従させ、前記プローブ２３と被測定物Ｗとの接触点の空間位置座標を検出することにより、前記被測定物Ｗの表面形状を測定する形状測定機１であって、前記プローブ２３の傾斜を調整するための傾斜調整手段４３と、この傾斜調整手段４３により調整される前記プローブ２３の傾斜を確認するための傾斜確認手段４２とを備えることを特徴とする。【選択図】    図１
2005249710.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動可能に支持されたプローブを被測定物の深さ方向に変化のある表面にならって追従させ、前記プローブと被測定物との接触点の空間位置座標を検出することにより、前記被測定物の表面形状を測定する形状測定機であって、
前記プローブの傾斜を調整するための傾斜調整手段と、
この傾斜調整手段により調整される前記プローブの傾斜を確認するための傾斜確認手段とを備えることを特徴とする形状測定機。
【請求項２】
前記プローブが設けられた作動軸と、この作動軸を軸方向に移動可能に支持する軸受とを有する駆動部を備え、
前記プローブが、このプローブを含む部材の自重の軸方向成分により、軸方向先端に向けて付勢されていることを特徴とする請求項１に記載の形状測定機。
【請求項３】
前記傾斜確認手段は、水準器を備えることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の形状測定機。
【請求項４】
前記傾斜調整手段は、前記プローブに傾斜を生じさせる除振装置と、この傾斜に沿って移動可能に支持される錘とを備えることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一つに記載の形状測定機。
【請求項５】
前記傾斜調整手段はネジを備え、前記傾斜確認手段は前記ネジに設けられた目盛りを備えることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の形状測定機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接触式プローブを有する形状測定機に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、作動軸の先端に設けられた接触式プローブを用いて被測定物の形状を測定する形状測定機が多く知られている。これらの形状測定機について、小型化、精密化が進む被測定物の損傷を防ぐために、プローブの被測定物に対する接触力は非常に小さく設定されることが要請される。
そこで、プローブの取り付けられた作動軸と、加圧気体（例えば、圧縮空気）により作動軸を非接触で軸方向に移動可能に支持する軸受とを備え、プローブを含む部材に加わる重力の作動軸方向の成分を利用することにより微小な接触力を得るような形状測定機が紹介されている（特許文献１参照。）。
このような形状測定機によると、上記接触力を小さく設定できるものの、接触力が小さいがために、かえって外部振動の影響を受け易くなり充分な測定精度が得られなくなるおそれがある。そこで、外部振動を遮断するために上記形状測定機を除振装置に載せて使用することが考えられる。
【特許文献１】国際公開第０３／０２３３６９号パンフレット
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、形状測定機を除振装置に載せて使用した場合、被測定物が変わってその重量が変化すると、除振台上での重量バランスの変化により形状測定機が傾いてしまうことになる。形状測定機が傾くと、プローブに加わる重力の軸方向が変化するため、接触力が変化してしまい、被測定物を傷つけたり、測定結果にばらつきが生じたりしてしまう。そのため、常に同一の接触力を設定する必要があり、形状測定機の傾斜後に同一の接触力を得るためには、変化後の接触力を測りながらその力を改めて調整しなければならないという問題がある。
また、被測定物に応じてその最適な接触力も異なり、個々の被測定物に応じた任意の接触力を得るためには、接触力を測りながらその力を調整しなければならないため、上記と同様の問題が生じる。
【０００４】
なお、これらの問題は、現在広く使われている他の構成の形状測定機においても同様である。すなわち、より小さな接触力によって測定するために測定速度が上げられなかったり、形状測定機の傾斜による接触力の変化を軽減するために、プローブ質量を小さくしたり、傾斜による重力方向の変化を受け難いような配置にするなどして対処する必要があった。
【０００５】
本発明は、このような問題を解決するためになされたもので、形状測定機の傾斜が変わったときでも、また個々の被測定物に応じた接触力が必要なときでも、その必要な接触力を容易に設定することができる形状測定機を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明は以下の手段を提供する。
請求項１に係る発明は、移動可能に支持されたプローブを被測定物の深さ方向に変化のある表面にならって追従させ、前記プローブと被測定物との接触点の空間位置座標を検出することにより、前記被測定物の表面形状を測定する形状測定機であって、前記プローブの傾斜を調整するための傾斜調整手段と、この傾斜調整手段により調整される前記プローブの傾斜を確認するための傾斜確認手段とを備えることを特徴とする。
【０００７】
この発明に係る形状測定機によれば、傾斜確認手段によりプローブの傾斜を確認しながら、傾斜調整手段によりプローブの傾斜が調整される。
これにより、形状測定機の傾斜が変わったときでも、プローブの一定の傾斜を容易に設定することができる。また、被測定物に応じてプローブの傾斜を調整することにより、任意の接触力を容易に得ることができる。
【０００８】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載の形状測定機において、前記プローブが設けられた作動軸と、この作動軸を軸方向に移動可能に支持する軸受とを有する駆動部を備え、前記プローブが、このプローブを含む部材の自重の軸方向成分により、軸方向先端に向けて付勢されていることを特徴とする。
【０００９】
この発明に係る形状測定機によれば、プローブを含む部材の自重の軸方向成分により、作動軸が先端方向に向けて付勢され、これによりプローブが軸方向に沿って付勢される。この状態で、プローブを被測定物に接触させると、プローブが被測定物の深さ方向に変化のある表面にならって追従する。
これにより、プローブは、このプローブを含む部材の自重という微小な接触力で被測定物に接触するので、被測定物の損傷を防止することが可能になるとともに、正確な測定を行うことができる。
【００１０】
請求項３に係る発明は、請求項１または請求項２に記載の形状測定機において、前記傾斜確認手段は、水準器を備えることを特徴とする。
この発明に係る形状測定機によれば、水準器によってプローブの傾斜が確認される。
これにより、プローブの傾斜をより確実かつ容易に確認することができる。
【００１１】
請求項４に係る発明は、請求項１から請求項３のいずれか一つに記載の形状測定機において、前記傾斜調整手段は、前記プローブに傾斜を生じさせる除振装置と、この傾斜に沿って移動可能に支持される錘とを備えることを特徴とする。
この発明に係る形状測定機によれば、プローブが除振台の上に設置され、除振台により傾斜が作られる。このとき、錘を傾斜に沿って移動させることにより、バランスを調整し、プローブの傾斜が設定される。
これにより、前記傾斜に応じて、プローブの接触力をより簡易かつ確実に設定することができる。
【００１２】
請求項５に係る発明は、請求項１または請求項２に記載の形状測定機において、前記傾斜調整手段はネジを備え、前記傾斜確認手段は前記ネジに設けられた目盛りを備えることを特徴とする。
この発明に係る形状測定機によれば、ネジによりプローブの傾斜が調整され、ネジに設けられた目盛りによりプローブの傾斜が確認される。
これにより、部品点数を減少させ、簡易かつ安価に製造することができるとともに、測定機自体の小型化を図ることができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、形状測定機の傾斜が変わることによりプローブの傾斜が変わってしまったときや、個々の被測定物に応じて接触力を調整する必要があるときでも、所望の接触力を容易に設定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
（実施例１）
以下、本発明の第１の実施例に係る形状測定機について、図面を参照して説明する。
図１は、本発明の第１の実施例としての形状測定機に、被測定物であるワークを取り付けた様子を示したものである。
図１において、符号１は形状測定機、符号Wはワークを示している。
形状測定機１は、被測定物の測定を行う測定部２と、被測定物を支持する支持部３とを備えており、両者が測定機ベース４の上に対向して配置されている。
測定部２は、基台としてのＸ軸ステージ７と、ワークWを実際に測定する測定ユニット５とを備えている。
【００１５】
Ｘ軸ステージ７は、測定機ベース４の一端に設けられており、Ｘ駆動軸８を介して、後述するエアスライド軸（作動軸）２０の軸線Ｌに直交する方向、すなわち図に示すＸ軸方向に往復移動可能になっている。このＸ軸ステージ７の動きを、Ｘ軸ステージ７の近傍に設けられた位置検出素子９が検出し、この検出結果を不図示の演算部に向けて逐一出力するようになっている。そして、このＸ軸ステージ７の上には測定機板６が固定されており、さらに測定機板６の上に測定ユニット５が固定されている。
【００１６】
測定ユニット５は、柱状に形成されたエアスライド軸２０と、略直方体形状のエアスライド軸受（軸受）２１とを有するエアスライド（駆動部）２２を備えている。
エアスライド軸受２１は、その長さ方向に貫通する貫通孔（不図示）が形成されており、その貫通孔が支持部３に向けられた状態で、測定機板６の上に固定されている。そして、この貫通孔の中をエアスライド軸２０が通された状態になっている。貫通孔内の内壁面には、複数の吹出孔（不図示）が形成され、エアスライド軸２０と上記内壁面との間には、圧縮したクリーンでドライな圧縮空気を吹出孔から噴出させることにより、数μｍの微小な隙間を生じさせるようになっている。すなわち、これら空気の噴出により、エアスライド軸２０は、エアスライド軸受２１の内壁面とは接触していない、浮いた状態になっている。これにより、エアスライド軸２０は、支持部３に対して接近離間する方向に、すなわち軸線Ｌ方向に往復移動可能に支持されている。
【００１７】
また、エアスライド軸２０の先端部には、取付部２４を介して例えば精密ルビーからなる球状のプローブ２３が取り付けられている。一方、エアスライド軸２０の後端部には、段差部２５が形成され、この段差部２５を介して、プローブ軸測長器２８が設けられている。
プローブ軸測長器２８は、棒状部材からなるガラススケール２６と、測定機板６に固定されたガラススケールヘッド２７とを備えている。ガラススケール２６は、その一端が段差部２５にネジ止めされることにより、軸線Ｌ方向に向けて取り付けられている。ガラススケールヘッド２７には、ガラススケール２６が往復移動可能に挿通され、ガラススケール２６の移動を逐次検出し、演算部に出力するようになっている。
そして、この演算部は、ガラススケールヘッド２７および上述の位置検出素子９からの出力情報に基づいて所定の演算を行い、ワークＷの表面形状を算出するようになっている。
【００１８】
また、上述の支持部３は、支持部本体としてのワーク治具４０を備えており、このワーク治具４０は、測定機ベース４の他端近傍に固定されている。そしてワーク治具４０の上部には、直方体形状の保持壁部４１が立てられて固定されている。保持壁部４１の外壁面のうち、測定部２側に向けられる前面４１ａには、不図示のワークホルダを介してワークＷが取り付けられるようになっている。これにより、保持壁部４１にワークＷが取り付けられると、このワークＷと、測定部２側に設けられたプローブ２３とが対向して配されるようになっている。
【００１９】
さらに、本実施例における形状測定機１は、外部からの振動を遮断するための除振装置（傾斜調整手段）３９と、気泡式の水準器（傾斜確認手段）４２と、傾斜を調整するための錘（傾斜調整手段）４３とを備えている。
除振装置３９は、基台としての除振台４６を備えており、この除振台４６の上に、除振台４６とは独立して動作可能な除振台テーブル４７が設置されている。すなわち、除振台４６が振動しても、除振台テーブル４７にその振動が伝わらないようになっている。そのため、除振台テーブル４７上での重量バランスが変わると、除振台テーブル４７は、除振台４６に対する傾斜角が変化するようになっている。この除振台テーブル４７の上に、足部４８を介して上述の測定機ベース４が固定された状態になっている。
【００２０】
また、水準器４２は、この水準器４２と測定機ベース４との間にスペーサ４４が設けられることにより、測定機ベース４に対して、所定の角度αだけ傾斜させられて、測定機ベース４上の他端に取り付けられている。なお、水準器４２は、特に気泡式のものでなくても構わない。
さらに、測定機ベース４上の長さ方向の中央部近傍には、同長さ方向に沿って、すなわち矢印ＡおよびＢ方向に移動可能な状態で錘４３が設けられている。つまり、測定機ベース４上に矢印ＡＢ方向に沿って端部４４が所定の間隔を空けて２つ設置されるとともに、この端部４４の間に棒状部材４５が矢印ＡＢ方向に向けて固定され、この棒状部材４５が錘４３の不図示の貫通孔に通されることにより、錘４３が２つの端部４４の間を移動するようになっている。
【００２１】
このような構成のもと、錘４３を矢印ＡまたはＢ方向に移動させると、これに応じて、測定機ベース４上の重量バランスが変化し、この測定機ベース４のバランスを取るために、除振台４６に対する除振台テーブル４７の傾斜角度が連続的に変化するようになっている。さらに、水準器４２はあらかじめ角度αだけ傾斜させられて取り付けられているので、水準器４２が水平状態を指し示したところで、測定機ベース４のバランスが取れた状態になると、除振台４６に対する除振台テーブル４７の傾斜が角度αに設定されるようになっている。
【００２２】
次に、このように構成された本実施例における形状測定機１の作用について説明する。
最初に、測定しようとする１つ目のワークＷを保持壁部４１に取り付ける。するとワークＷとプローブ２３とは、両者が対向した状態になる。そして、後述するように測定機ベース４を所定の角度α傾けると、図２に示すように、エアスライド２２も角度αだけ傾けられる。すると、エアスライド軸２０に、その自重の軸線Ｌ方向の成分により、先端に向けて移動しようとする力が働く。そのため、プローブ２３にはワークＷの方向に対する付勢力が加わった状態になる。そして、その力でワークＷに接触する。例えば、プローブ２３、エアスライド軸２０およびガラススケール２６の合計重量が４８ｇｆ、角度αが０．０６度である場合、接触力Ｆは、
Ｆ＝４８［ｇｆ］×ｓｉｎ（０．０６［度］）＝０．０５［ｇｆ］
となり、５０ｍｇｆという微小な接触力を得ることができる。
【００２３】
このようにしてプローブ２３がワークＷに接触した状態で、Ｘ軸ステージ７を移動させることにより、プローブ２３をＸ軸方向に沿って移動させると、それと同時に、プローブ２３はワークＷの表面形状に追従して軸線Ｌ方向に移動する。そして、測定開始地点から終了地点までの間のプローブ２３の軸線Ｌ方向の移動量と、Ｘ軸ステージ７のＸ軸方向の移動量とが、それぞれガラススケールヘッド２７および上述の位置検出素子９により検出される。そしてこれらの出力に基づいて、演算部が所定の演算を行い、ワークＷの表面形状が算出されて、１つ目のワークＷの測定が終了する。このように１つ目のワークＷの測定が終了すると、このワークＷを取り外し、２つ目の新たなワークＷを設置して、上記と同様に測定を行い、さらに必要に応じて３つ目のワークＷ、４つ目のワークＷへと繰り返し測定を行う。
【００２４】
ここで、本実施例における形状測定機１においては、１つ目のワークＷの測定におけるプローブ２３の所望の接触力が以下のようにして設定される。
ワークＷを取り付ける前は、測定部２や支持部３などを含めた測定機ベース４上における各部品がバランスをとるように、除振台テーブル４７に除振台４６に対する一定の傾斜が生じた状態になっている。ここから測定しようとする１つ目のワークＷを保持壁部４１に取り付けると、図３に示すように、ワークＷの重量に応じて、測定機ベース４上の重量バランスが変わることになり、そのバランスを取るために、除振台テーブル４７が矢印Ｃで示す方向に傾き、除振台テーブル４７の除振台４６に対する傾斜角が拡大する。
【００２５】
ここで、１つ目のワークＷに必要な接触力をＦとすると、この接触力Ｆを得るためには、上記式から角度αの傾斜が必要であるものとする。
上記のようにワークＷを取り付けた後、錘４３を矢印Ａ方向に移動させると、図４に示すように、重量バランスの変化により、除振台テーブル４７が矢印Ｄで示す方向に傾き、除振台テーブル４７の除振台４６に対する傾斜角が縮小する。そして、水準器４２が水平状態を示すようになるまで、錘４３を矢印Ａ方向に動かしながら、バランスを調整する。水準器４２はあらかじめ測定機ベース４に対して角度αの傾斜が生じるように傾けられて設置されているため、水準器４２が水平状態を示したところで、測定機ベース４をバランスの取れた状態にすると、除振台４６に対する除振台テーブル４７の傾斜が角度αに設定される。
そのため、測定機ベース４も角度αだけ傾斜し、これにより、図２に示すように、エアスライド２２も傾けられ、プローブ２３に角度αに応じた付勢力が、すなわちワークＷに所望の接触力Ｆが与えられる。
【００２６】
また、上記とは別に、以下のようにして任意の接触力を設定することもできる。すなわち、スペーサ４４の厚さを変更することによって、水準器４２の測定機ベース４に対する角度αを変えた状態で、錘４３を移動させる等して水準器４２が水平状態を指し示すようにし、このときのプローブ２３の接触力を求める。これにより、スペーサ４４の厚さごとのプローブ２３の接触力をあらかじめ把握しておく。そして、設置されているスペーサ４４を、任意の所望の接触力を得るために設定された厚さの他のスペーサ４４に変更し、この変更した状態で水準器４２により水平状態を合わせることによって、測定機ベース４およびエアスライド２２に所定の傾斜角を与え、これによりその傾斜角に応じた任意の接触力が得られる。
【００２７】
さらに、以下のように設定することもできる。すなわち、水準器４２の１目盛り当たりのプローブ２３の接触力をあらかじめ把握しておく。そして、水準器４２の目盛りを確認しながら、必要な接触力に応じた所定の目盛りに合わせるように、すなわち目盛りの中において水平からずれた状態になるように除振台テーブル４７の傾きを調整する。これにより、プローブ２３の接触力を任意に設定することができる。例えば、プローブ２３、エアスライド軸２０およびプローブ軸測長器２８の重量の合計が４８ｇｆであり、接触力５０ｍｇｆを得るためのエアスライド軸２０の傾斜を角度αとし、このとき水準器４２が水平状態を示すようにスペーサ４４の厚さが設定してあるとする。水準器４２の１目盛り当りの傾きが２０秒、目盛りが±５目盛りあったとすると、水準器４２の１目盛り当りの接触力の変化量は約５ｍｇｆとなり、接触力を５０±２５ｍｇｆの範囲で設定することが可能となる。
なお、ここに挙げた数値は一例であり、より強い、あるいはより弱い接触力を設定してもよい。また、水準器４２の感度、目盛り数も、測定に必要な接触力の設定分解能、接触力の設定範囲に合わせて決めることができる。
【００２８】
続いて、１つ目のワークＷの測定が終了し、２つ目のワークＷを測定する際には、以下のようにして接触力が設定される。
１つ目のワークＷを取り外し、２つ目のワークＷを保持壁部４１に新たに取り付けた場合、１つ目と２つ目のワークＷの重量が同じであれば、元の傾斜を持ってバランスされるが、その重量が異なる場合には、傾斜が変化することになる。そこで、２つ目のワークＷを取り付けた状態で、錘４３を移動させることにより、水準器４２が水平状態を示すところでバランスを取る。これにより、上記と同様に、除振台テーブル４７の傾斜が角度αに設定され、エアスライド２２も角度αだけ傾斜することにより、プローブ２３に前回と同様の接触力Ｆが設定される。
【００２９】
また、２つ目のワークＷに最適な、前回と異なる接触力を設定したいときは、上述のように、所望の接触力に応じたスペーサ４４に変更するか、または、水準器４２が所定の目盛りを示すように、除振台テーブル４７の傾きを調整する。これにより、所望の接触力が得られる。
【００３０】
以上より、本実施例における形状測定機１によれば、除振台テーブル４７の傾斜が変わったときでも、水準器４２を確認しながら錘４３を移動させることによって、傾斜角を一定にすることができ、これにより、ワークＷに対するプローブ２３の一定の接触力を容易かつ確実に設定することができる。
また、ワークＷに応じてスペーサ４４を変更したり、水準器の目盛りを合わせることにより、ワークＷに応じた適切な接触力を容易に設定することができる。
また、プローブ２３は、このプローブ２３を含む部材の自重という微小な接触力でワークＷに接触するので、ワークＷへの損傷を防止することができるとともに、正確な測定を行うことができる。
【００３１】
（実施例２）
図５および図６は、本発明の第２の実施例を示したものである。
図５および図６において、図１に記載の構成要素と同一部分については同一符号を付し、その説明を省略する。
この実施例と上記第１の実施例とは基本的構成は同一であり、以下の点においてのみ相違したものとなっている。すなわち、本実施例における形状測定機１は、プローブ支持板５２と、支点支持板５１とを備えるものである。これらプローブ支持板５２と支点支持板５１とは、支点（傾斜調整手段）４９を介して回転可能に連結されており、両者を相互に折り畳んだときには、両支持板５１，５２は互いに平行になるようになっている。そして、Ｘ軸ステージ７の上に支点支持板５１が固定され、両支持板５１，５２を相互に折り畳んだ状態におけるプローブ支持板５２の上面に、測定ユニット２２が設置されている。また、プローブ支持板５２には、その厚さ方向に貫通するネジ孔５３が形成されており、このネジ孔５３に傾斜調整ネジ（傾斜調整手段）５０が螺合されている。さらに、形状測定機１は、測定機ベース４の両端部近傍に設置された足部４８の長さをそれぞれ調整することで、全体が角度αだけ傾けられている。なお、本実施例において、水準器４２は、プローブ支持板５２上のネジ孔５３の近傍に設置されている。
【００３２】
このような構成のもと、除振台テーブル４７の傾斜角の変化により、図６に示すように、例えば、角度βの分だけ支持部３側が持ち上がったとすると、傾斜調整ネジ５０を回すことにより、プローブ支持板５２を、支点支持板５１に対して離れる方向、すなわち矢印Ｆ方向に、支点４９を中心として回転させる。そして、水準器４２を見ながら、その目盛りが水平状態を示すところに合わせる。ここで、スペーサ４４により、水準器４２は、あらかじめ角度αだけ傾けられていることから、水準器４２の目盛りが水平状態を示すところで、プローブ支持板５２は水平面に対して角度αだけ傾斜させられる。これにより、プローブ２３における接触力が一定に維持される。
【００３３】
また、任意の接触力に設定するには、上記と同様に、スペーサ４４を変更するか、または水準器４２が所定の目盛りを示すように除振台テーブル４７またはプローブ支持板５２の傾きを調整する。これにより、所望の接触力が得られる。
なお、傾斜調整ネジ５０を用いて角度の調整を行うと、ワークＷの表面と軸線Ｌ方向との直角がわずかにずれるため、ワークＷの形状を求める際には、その分の補正を行うようになっている。
【００３４】
以上より、本実施例における形状測定機１においては、傾斜調整手段として傾斜調整ネジ５０を用いているため、より狭いスペースで接触力の設定が可能となる。そのため、全体を小型化することができる。
【００３５】
（実施例３）
図７は、本発明の第３の実施例を示したものである。
図７において、図５に記載の構成要素と同一部分については同一符号を付し、その説明を省略する。
この実施例と上記第２の実施例とは基本的構成は同一であり、以下の点においてのみ相違したものとなっている。すなわち、本実施例における形状測定機１は、水準器４２に代わるものとして、傾斜調整ネジ５０に設けられた目盛り（傾斜確認手段）５４と、プローブ支持板５２の側面部に設けられ、目盛り５４に対応する指標５５とを備えるものである。そして、傾斜調整ネジ５０を回転させると、指標５５によって目盛り５４を確認することにより、何目盛り分回転させたか分かるようになっている。
そのため、１目盛り当たりの傾斜角を把握しておくことにより、水準器４２無くして、任意の接触力を容易に設定することができる。
以上より、構成を単純化でき、さらに小型化、軽量化を図ることができる。
【００３６】
（実施例４）
図８は、本発明の第４の実施例を示したものである。
図８において、図７に記載の構成要素と同一部分については同一符号を付し、その説明を省略する。
この実施例と上記第３の実施例とは基本的構成は同一であり、以下の点においてのみ相違したものとなっている。すなわち、本実施例における形状測定機１は、ネジ孔５３が測定機ベース４の支持部３側の端部近傍に設けられ、このネジ孔５３に傾斜調整ネジ５０が螺合されることにより、足部４８としても機能させたものである。さらに、測定部５とＸ軸ステージ７とは、上記第１の実施例と同様に、測定機板６のみを介して固定されている。
このような構成のもと、指標５５と目盛り５４とを確認しながら、傾斜調整ネジ５０を回転させることにより、測定機ベース４の傾斜角を直接設定することができる。
以上より、上記第３の実施例と同様の効果を奏することができるだけでなく、接触力を調整しても、ワークＷと軸線Ｌ方向との直角は保たれるため、補正を不要とし、正確かつ容易に測定することができる。
【００３７】
（実施例５）
図９は、本発明の第５の実施例を示したものである。
図９において、図８に記載の構成要素と同一部分については同一符号を付し、その説明を省略する。
この実施例と上記第４の実施例とは基本的構成は同一であり、以下の点においてのみ相違したものとなっている。すなわち、本実施例における形状測定機１は、傾斜調整ネジ５０の目盛り５４および指標５５の代わりに、水準器４２を備えるものである。
これにより、傾斜調整ネジ５０を回転させて、傾きを調整するとともに、その傾き量が水準器４２の目盛りから読み取られる。
以上より、構成を簡易にでき、小型化、軽量化を図ることができる。
【００３８】
なお、上記実施例においては、プローブ２３を球状としたが、これに限らず、例えば、先端が微小な曲率半径を有する形状のものを用いてもよい。
また、プローブ２３の材質をルビーとしたが、これに限らず、ダイヤモンド、ガラス、サファイヤ、セラミクス等であってもよい。
また、エアスライド軸受２１内壁面に複数の吹出孔を形成するとしたが、これに代えて、多孔材質のものを用いてもよい。
さらに、プローブ軸測長器２８は、ガラススケール２６とガラススケールヘッド２７とを有するとしたが、これに限らず、レーザ測長器を用いたものであってもよい。
なお、本発明の技術範囲は上記の実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の変更を加えることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明に係る形状測定機の第１の実施例を示す側面図である。
【図２】第１の実施例におけるプローブの傾きを示す説明図である。
【図３】第１の実施例において、傾きが変化した様子を示す側面図である。
【図４】第１の実施例において、元の傾斜に戻ったときの様子を示す側面図である。
【図５】本発明に係る形状測定機の第２の実施例示す側面図である。
【図６】第２の実施例において、傾きが変化した様子を示す側面図である。
【図７】本発明に係る形状測定機の第３の実施例示す側面図である。
【図８】本発明に係る形状測定機の第４の実施例示す側面図である。
【図９】本発明に係る形状測定機の第５の実施例示す側面図である。
【符号の説明】
【００４０】
１    形状測定機
２０  エアスライド軸（作動軸）
２１  エアスライド軸受（軸受）
２２  エアスライド（駆動部）
２３  プローブ
４２  水準器（傾斜確認手段）
４３  錘（傾斜調整手段）
３９  除振装置（傾斜調整手段）
４９  支点（傾斜調整手段）
５０  傾斜調整ネジ（傾斜調整手段）
５４  目盛り（傾斜確認手段）
Ｗ    ワーク（被測定物）
【図１】
2005249710.tif 000003
【図２】
2005249710.tif 000004
【図３】
2005249710.tif 000005
【図４】
2005249710.tif 000006
【図５】
2005249710.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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