(57)【要約】 【課題】乾燥ムラがなく、かつ乾燥効率の良い蒸気乾燥機を提供することにある。【解決手段】有機溶剤Ｙを貯留する蒸気乾燥槽５２の側壁外側に取り付けられた加熱器５８によって有機溶剤Ｙを加熱蒸発させ、その蒸気を被洗浄物Ｗの表面に凝縮させて、被洗浄物表面から水分・塵等とともに滴下させ被洗浄物Ｗの表面乾燥を行うとともに、滴下した凝縮液を蒸気乾燥槽５２内下方に設けられた凝縮液受け皿１０に受けて排液するようにした蒸気乾燥機５０において、前記凝縮液受け皿１０の側壁１２を前記蒸気乾燥槽５２の上部近傍まで延ばすとともに、該側壁１２に蒸気流入用の窓１６を形成した。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機溶剤を貯留する蒸気乾燥槽の側壁外側に取り付けられた加熱器によって有機溶剤を加熱蒸発させ、その蒸気を被洗浄物の表面に凝縮させて、被洗浄物表面から水分・塵等とともに滴下させ被洗浄物の表面乾燥を行うとともに、滴下した凝縮液を蒸気乾燥槽内下方に設けられた凝縮液受け皿に受けて排液するようにした蒸気乾燥機において、
前記凝縮液受け皿の側壁が前記蒸気乾燥槽の上部近傍まで延ばされているとともに、該側壁に蒸気流入用の窓が形成されていることを特徴とする蒸気乾燥機。
【請求項２】
前記窓は、凝縮液受け皿の側壁の上部近傍に設けられ、かつ側壁の全周又は両側面あるいは一面の何れかに設けられていることを特徴とする請求項１記載の蒸気乾燥機。
【請求項３】
前記窓には、蒸気の流入方向を制御する制御機構が設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載の蒸気乾燥機。
【請求項４】
前記凝縮液受け皿は、その上端部周縁に四方へ張り出したＬ字状部を有し、該Ｌ字状部を前記蒸気乾燥槽の上部近傍に引っ掛けることにより凝縮液受け皿が蒸気乾燥槽内に設置されるように構成されていることを特徴とする請求項１記載の蒸気乾燥機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機溶剤を蒸発させ、これをウエハや液晶ガラス基板等の被洗浄物の表面で凝縮させことで、ウエット洗浄が行われた後の被洗浄物の表面の乾燥を行う蒸気乾燥機に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体製造工程や液晶表示素子の製造工程においては、ウエハや液晶ガラス基板等は純水、酸性水溶液、アルカリ性水溶液にて表面のウエット洗浄が行われている。そして、このウエット洗浄の後には、これらウエハやガラス基板の表面に残留した水分を除去するための乾燥処理が行われている。
乾燥処理方法として、有機溶剤例えばＩＰＡ（イソプロピルアルコール）の蒸気を利用するものがある。この方法は、ＩＰＡが水と任意の割合で混ざる性質を利用したもので、ウエット洗浄後のウエハ等をＩＰＡの蒸気雰囲気に曝して、その表面にＩＰＡを凝縮させて水分と置換する方法である。
【０００３】
このような有機溶剤（ＩＰＡ）を用いたものとして、従来から図３に示す蒸気乾燥機が知られている。
この蒸気乾燥機５０は、内部に有機溶剤Ｙを貯留するための蒸気乾燥槽５２を有しており、該蒸気乾燥槽５２の上部には冷却ゾーン５４が形成されていて、該冷却ゾーン５４には水冷パイプ５６が巻き回された状態で配置されている。また、蒸気乾燥槽５２の側面下部及び底面外側にはそれぞれ加熱器５８が取り付けられていて、乾燥槽５２内部に貯留されている有機溶剤Ｙを加熱し蒸気として蒸発させる働きをする。
【０００４】
また、蒸気乾燥槽５２の内部には、凝縮液受け皿６０が設置されている。凝縮液受け皿６０は、底の浅い皿状に形成されており、中心部にはドレイン用の穴６２が設けられている。この凝縮液受け皿６０は、被洗浄物を有機溶剤Ｙの蒸気に曝した時に、有機溶剤Ｙが被洗浄物の表面で凝縮し、表面に付いている水分、塵等と混ざって液滴として滴下したものを受け排出するためのものである。このため、中心部に穴６２が設けられていて、そこからパイプ６４等によって蒸気乾燥槽５２外に排出するようにしている。
なお、図中では凝縮液受け皿６０を蒸気乾燥槽５２内において支持する機構は図示が省略されている。
【０００５】
凝縮液受け皿６０については、特許文献１に記載が有り、また蒸気乾燥槽５２については、同じく特許文献１及び特許文献２に記載がある。
【０００６】
【特許文献１】特開平６−２０４２０２号公報（図１，要約書）
【特許文献２】実用新案登録第２５９４８６６号公報（図１、請求項１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、図３に示す従来の蒸気乾燥機５０の場合、被洗浄物を蒸気乾燥槽５２内に投入しない状態では、加熱蒸発した蒸気は上昇して冷却ゾーン５４の位置まで来ると冷却されて凝縮するため、蒸気（ベーパー）上面ＶＴは、図のように冷却ゾーン５４のところに位置し、その下側はベーパーゾーンＶ／Ｐとなっている。
この状態で、ウエット洗浄が行われた後の被洗浄物Ｗを蒸気乾燥槽５２内に投入すると、その周囲の温度が下がるなどの影響により蒸気上面ＶＴが、図４に示すように下降する。
このため、蒸気上面ＶＴがもとの位置の近傍まで上昇するのに時間が掛かり効率の良い乾燥が行えないばかりか、被洗浄物Ｗの下方から蒸気が上がってくるので乾燥ムラが生じ、ウォーターマークなどの不都合な状況を招くことがある。
【０００８】
本発明の課題は、乾燥ムラがなく、かつ乾燥効率の良い蒸気乾燥機を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために請求項１記載の発明は、有機溶剤を貯留する蒸気乾燥槽の側壁外側に取り付けられた加熱器によって有機溶剤を加熱蒸発させ、その蒸気を被洗浄物の表面に凝縮させて、被洗浄物表面から水分・塵等とともに滴下させ被洗浄物の表面乾燥を行うとともに、滴下した凝縮液を蒸気乾燥槽内下方に設けられた凝縮液受け皿に受けて排液するようにした蒸気乾燥機において、前記凝縮液受け皿の側壁が前記蒸気乾燥槽の上部近傍まで延ばされているとともに、該側壁に蒸気流入用の窓が形成されていることを特徴としている。
【００１０】
また、請求項２記載の発明は、請求項１記載の蒸気乾燥機において、前記窓は、凝縮液受け皿の側壁の上部近傍に設けられ、かつ側壁の全周又は両側面あるいは一面の何れかに設けられていることを特徴としている。
【００１１】
さらに、請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載の蒸気乾燥機において、前記窓には、蒸気の流入方向を制御する制御機構が設けられていることを特徴としている。
【００１２】
また、請求項４記載の発明は、請求項１記載の蒸気乾燥機において、凝縮液受け皿は、その上端部周縁に四方へ張り出したＬ字状部を有し、該Ｌ字状部を前記蒸気乾燥槽の上部近傍に引っ掛けることにより凝縮液受け皿が蒸気乾燥槽内に設置されるように構成されていることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、蒸気乾燥槽に貯留され加熱されて蒸気となった有機溶剤は、蒸気乾燥槽内を上昇して凝縮液受け皿の窓から凝縮液受け皿内に入り、蒸気乾燥槽の冷却ゾーンの位置に蒸気上面ができる。そして、被洗浄物が蒸気乾燥槽内に設置された凝縮液受け皿の中に投入されると、一旦凝縮液受け皿内の蒸気上面は下降するが、凝縮液受け皿の側壁外側の蒸気が凝縮液受け皿の窓から流入して上方から被洗浄物へと降り注ぎ、被洗浄物Ｗの表面で結露凝縮する。また、連続して蒸発してくる蒸気も同様には凝縮液受け皿の窓から流入し、被洗浄物Ｗの表面で結露凝縮する。
このため、従来のものと比べ蒸気崩壊もおこさず、乾燥処理時間が短縮し乾燥効率を向上させることができる。
また、被洗浄物Ｗの上部から有機溶剤Ｙが凝縮結露して重力落下するので、被洗浄物表面は常に溶剤で覆われていて、自然乾燥が行われないため、ウォーターマーク等の発生しない乾燥が行える。また、前工程から持ち込まれたゴミも溶剤で洗い流され洗浄されるので、高清浄度の表面が得られ、洗浄機能の向上も図れる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明に係る蒸気乾燥機の実施の形態を図１、図２に基づいて説明する。なお、背景技術の項で説明した部材と同一又は相当する部分には同一符号を付して説明する。
本実施の形態による蒸気乾燥機５０は、内部に有機溶剤Ｙを貯留するための蒸気乾燥槽５２を有しており、該蒸気乾燥槽５２の上部には冷却ゾーン５４が形成されていて、該冷却ゾーン５４には水冷パイプ５６が巻き回された状態で配置されている。また、蒸気乾燥槽５２の側面下部及び底面外側にはそれぞれ加熱器５８が取り付けられていて、乾燥槽５２内部に貯留されている有機溶剤Ｙを加熱し蒸気として蒸発させる働きをする。
【００１５】
また、蒸気乾燥槽５２の内部には、凝縮液受け皿１０が設置されている。凝縮液受け皿１０は、図２の斜視図で示すような、上部が開放された底の深い矩形状の容器として形成されており、その側壁１２は蒸気乾燥槽５２の上部近傍まで延ばされているとともに中心部にはドレイン用の穴１４が設けられている。
この凝縮液受け皿１０は、被洗浄物を有機溶剤Ｙの蒸気に曝した時に、有機溶剤Ｙが被洗浄物の表面で凝縮し、表面に付いている水分、塵等と混ざって液滴として滴下したものを受けて排出するためのものである。このため、中心部に穴１４が設けられていて、排液はそこからパイプ６４等によって蒸気乾燥槽５２外に排出するようにしている。
【００１６】
また、凝縮液受け皿１０の四面の側壁１２にはそれぞれ蒸気流入用の長四角の窓１６が形成されているとともに、その側壁１２上端部周縁には四方へ張り出したＬ字状部（引っ掛け部）１２ａが設けられていて、該Ｌ字状部１２ａを前記蒸気乾燥槽５２の上部周縁部５２ａに引っ掛けることにより凝縮液受け皿１０を蒸気乾燥槽５２内に設置するように構成されている。
【００１７】
次ぎに、この蒸気乾燥機５０の働きを説明すると、先ず蒸気乾燥槽５２内に貯留され加熱されて蒸気となった有機溶剤Ｙは、蒸気乾燥槽５２内を上昇して凝縮液受け皿１０の窓１６から凝縮液受け皿１０内に入り、蒸気乾燥槽５２の冷却ゾーン５４の位置に蒸気上面ＶＴができる。
【００１８】
被洗浄物Ｗが蒸気乾燥槽５２内に設置された凝縮液受け皿１０の中に投入されると、凝縮液受け皿１０の中の蒸気上面は一旦下降するが、凝縮液受け皿１０の外側の蒸気上面は被洗浄物の投入の影響をほとんど受けないので下降せず、かつ連続して下方から蒸気が上昇してくるので、蒸気は凝縮液受け皿１０中の蒸気上面ＶＴの下降に連動するように凝縮液受け皿１０の窓１６から流入し、上方から被洗浄物Ｗへと降り注ぎ、被洗浄物Ｗの表面で結露凝縮する。
【００１９】
従って、被洗浄物表面への蒸気の接触が途切れるような蒸気崩壊もおこさず、乾燥処理時間が短縮され乾燥効率を向上させることができる。
また、被洗浄物Ｗの上部から有機溶剤Ｙが結露凝縮して重力落下するので、被洗浄物表面は常に溶剤で覆われていて、自然乾燥が行われないので、被洗浄物の乾燥ムラが生じない。また、前工程から持ち込まれたコンタミも溶剤で洗い流され洗浄されるので、高清浄度の表面が得られ、洗浄機能の向上も図れる。
【００２０】
上記実施の形態では、凝縮液受け皿１０の窓１６は、単に長四角の開口部となっているが、この窓にベンチレート加工やルーバー構造のような制御機構を設けて、内部に流入する蒸気の方向を制御するようにしてもよい。流入した蒸気が被洗浄物Ｗの上部表面に効率よく接触するようにルーバーの角度を調整することにより乾燥効率をさらに高めることが可能となる。
また、凝縮液受け皿１０の窓１６は、上記の例では、各側壁にそれぞれ各１個ずつが設けられているが、対向する２面にそれぞれ設けてもよく、また１面にのみ設けてもよい。あるいは、各側壁に複数の窓を設けるようにしてもよい。蒸気の流れや、被洗浄物の大きさや量などに応じて適応するものを用いることが好ましい。
【産業上の利用可能性】
【００２１】
本発明は、半導体ウエハや液晶ガラス基板のウエット洗浄後に、その表面を蒸気で乾燥させるための蒸気乾燥機として半導体製造工程等で利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明に係る蒸気乾燥機の実施の形態を断面図で示したものである。
【図２】図１に示す蒸気乾燥機の凝縮液受け皿の斜視図である。
【図３】従来の蒸気乾燥機の被洗浄物投入前の蒸気の状態を示すための断面図である。
【図４】従来の蒸気乾燥機の被洗浄物投入直後の蒸気の状態を説明するための断面図である。
【符号の説明】
【００２３】
１０    凝縮液受け皿
１２    凝縮液受け皿の側壁
１４    ドレーン用の穴
１６    窓
５０    蒸気乾燥機
５２    蒸気乾燥槽
５４    冷却ゾーン
５６    水冷パイプ
５８    加熱器
６０    凝縮液受け皿
６２    ドレーン用の穴
６４    パイプ
Ｖ／Ｐ  蒸気ゾーン
ＶＴ    蒸気上面
【図１】
2005158837.tif 000003
【図２】
2005158837.tif 000004
【図３】
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【図４】
2005158837.tif 000006