(57)【要約】【課題】  インク吐出圧力発生素子が形成された基板と液路形成部材との密着力を高め、信頼性の高いインクジェットヘッドを提供する。【解決手段】  本発明のインクジェットヘッドは、インクを吐出するための吐出口と、該吐出口に連通するとともに前記インクを吐出するための圧力発生素子を内包するインク流路と、前記圧力発生素子が形成された基板と、前記基板と接合して前記インク流路を形成するインク流路形成部材とを有し、前記インク流路形成部材が構造中にメルカプト基を有するエポキシ樹脂のカチオン重合物により形成される。【選択図】  図３
2005161595.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを吐出するための吐出口と、該吐出口に連通するとともに前記インクを吐出するための圧力発生素子を内包するインク流路と、前記圧力発生素子が形成された基板と、前記基板と接合して前記インク流路を形成するインク流路形成部材とを有するインクジェットヘッドであって、前記インク流路形成部材が、構造中にメルカプト基を有するエポキシ樹脂のカチオン重合物により形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
インクを吐出するための吐出口が、圧力発生素子の対向する側に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
吐出圧力発生素子が、電気熱変換体であることを特徴とする請求項１〜２に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
インクを吐出するための吐出口と、該吐出口に連通するとともに前記インクを吐出するための圧力発生素子を内包するインク流路と、前記圧力発生素子が形成された基板と、前記基板と接合して前記インク流路を形成するインク流路形成部材とを有するインクジェットヘッドの製造方法において、
圧力発生素子が形成された基板上に、溶解可能な樹脂にてインク液路パターンを形成する工程と、
該インク流路パターン上に、少なくとも、構造中にメルカプト基を有するエポキシ樹脂と、カチオン重合開始剤、から成る感光性樹脂組成物層を形成する工程と、
基板上に形成された圧力発生素子上に位置する該感光性樹脂組成物層に、インク吐出口を形成する工程と、
インク流路パターンを溶解除去する工程と、
を有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項５】
構造中にメルカプト基を有するエポキシ樹脂が、１分子中に２個以上のエポキシ基を有することを特徴とする請求項４に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項６】
構造中にメルカプト基を有するエポキシ樹脂が、少なくとも下記一般式１または一般式２で示される構造単位を有することを特徴とする請求項４〜５に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【化１】
2005161595.tif 000005
［式中、Ｒ１およびＲ２は炭素数１〜４アルキル基、アルケニル基、アルコキシ基を示し、互いに同一でも異なっていても良い。ｍは１〜１００の整数、ｎは０〜４の整数を示す。］
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットヘッドおよびその製造方法に関し、特に、インクを吐出するための圧力発生素子が形成された基板に対する密着力に優れた感光性樹脂組成物を用いたインクジェットヘッドおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、インクジェットヘッドの製造方法及びインク吐出圧力発生素子が形成された基板と接合して液路を形成する液路形成部材についてはさまざまな提案がなされており、例えば、特開昭５７−２０８２５５、５６号明細書には、インク吐出圧力発生素子が形成された基板上に感光性樹脂にて液路パターンを形成しガラス等の天板を接合、切断することでインクジェットヘッドを作成する方法が開示されている。
【０００３】
また、Ｈｅｗｌｌｅｔｔ  Ｐａｃｋａｒｄ  Ｊｏｕｒｎａｌ  ３６，５（１９８５）では、インク吐出圧力発生素子が形成された基板上に感光性樹脂にて液路パターンを形成し、Ｎｉ電鋳により作成したオリフィスプレートを貼り合わせることでインクジェットヘッドを作成する方法が開示されている。
【０００４】
また、特開昭６１−１５４９４７号明細書には、インク吐出圧力発生素子が形成された基板のインク吐出圧力発生素子上に溶解可能な樹脂にて液路パターンを形成し、該パターンをエポキシ樹脂等で被覆、硬化し、基板切断後に溶解可能な樹脂層を溶出しインクジェットヘッドを作成する方法が開示されている。
【０００５】
さらに、特開平３−１８４８６８号明細書には、前記特開昭６１−１５４９４７号明細書に記載のインクジェットヘッドの製造に最適な被覆樹脂組成物として芳香族エポキシ化合物のカチオン重合硬化物が有用であることが開示されている。
【０００６】
上述したいずれの方法においても、インク吐出圧力発生素子が形成された基板と液路形成部材の接合強度は、基本的に液路形成部材となる樹脂材料（感光性樹脂層、被覆樹脂層）の密着力に依存している。
【０００７】
以下に、図面を参照してサイドシュータータイプのインクジェットヘッドの製造方法の一例を説明する。図１及び図２は、サイドシュータータイプのインクジェットヘッドの構成およびその製造方法の断面図を模式的に示したものである。
【０００８】
まず図１（ａ）に示されるような、ガラス、セラミックス、プラスチックあるいは金属等からなる基板１１が用いられる。このような基板１１は、液流路構成部材の一部として機能し、また、後述のインク流路およびインク吐出口を形成する材料層の支持体として機能するものである。
【０００９】
上記基板１１上には、必要に応じて絶縁膜（不図示）が形成され、電気熱変換素子あるいは圧電素子等のインク吐出圧力発生素子１２が所望の個数配置される図１（ｂ）。このようなインク吐出圧力発生素子１２によって、記録液滴を吐出させるための吐出エネルギーがインク液に与えられ、記録が行われる。なお、これらの吐出圧力発生素子１２には、素子を動作させるための制御信号入力用電極（不図示）が接続されている。また、これら吐出圧力発生素子１２の耐用性の向上を目的として、保護層等（不図示）の各種機能層が設けられる場合もある。
【００１０】
次いで、図１（ｃ）に示すように、上記インク吐出圧力発生素子１２を含む基板１１上に、溶解可能な樹脂にてインク流路パターン１３を形成する。最も一般的な手段としては感光性材料にて形成する手段が挙げられるが、該流路パターン１３は、後工程において溶解除去する必要があるため、ポジ型レジストが用いられる。
【００１１】
このように、流路パターン１３を形成した基板１１上に、図１（ｄ）に示すように、ノズル構成部材１４を形成する。ノズル構成部材１４としては、後述するインク吐出口１６をフォトリソグラフィーで容易にかつ精度よく形成できることから、感光性のものを用いる。
【００１２】
次いで、図１（ｅ）に示すようにノズル構成部材１４上に、感光性を有する撥インク剤層１５を形成し、マスク（不図示）を介してパターン露光を行い、ノズル構成部材１４および撥インク剤層１５を、適当な溶剤を用いて現像することにより、図２（ａ）に示すように、インク吐出口１６を形成することができる。
【００１３】
次いで、図２（ｂ）に示すように基板１１にインク供給口１７となる貫通孔を形成し、適当な溶剤で流路パターン１３を溶解除去することで、インク流路１８を形成し、図２（ｃ）に示すようにインクジェットヘッドが完成する。
【特許文献１】特開昭５７−２０８２５５号公報
【特許文献２】特開昭５７−２０８２５６号公報
【特許文献３】特開昭６０−１６１９７３号公報
【特許文献４】特開昭６１−１５４９４７号公報
【特許文献５】特開昭６３−２２１１２１号公報
【特許文献６】特開昭６４−９２１６号公報
【特許文献７】特開平２−１４０２１９号
【特許文献８】特開平３−１８４８６８号公報
【特許文献９】特開平１１−３４８２９０号公報
【特許文献１０】特開第２００１−１００７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
インク吐出圧力発生素子として発熱抵抗体を用い、インクの膜沸騰によるバブル形成を利用してインクを吐出させる所謂バブルジェット（登録商標）ヘッドの場合、インクによる電蝕やバブル消泡の際のキャビテーションによるダメージを低減するために、発熱抵抗体上にはＳｉＮやＳｉＯ2といった無機絶縁層とＴａ等の耐キャビテーション層とを設けることが一般的である。しかしながら、Ｔａ膜は前述の液路形成部材となる樹脂材料との密着力が極めて低いために、液路形成部材がＴａ膜から剥離するという問題が発生する場合がある。
【００１５】
この問題を回避するために、液路形成部材の密着力を向上させる目的で、液路形成部材が設けられる部分のＴａ膜を除去することも考えられるが、この場合、基板上の電気熱変換体は前述の無機絶縁層のみを介して液路形成部材を構成する樹脂材料が積層されることになる。無機絶縁層は通常膜質がポーラスであるため、樹脂中に含まれるイオンが無機絶縁層を透過し、このイオンによって電気熱変換体が腐食してしまう可能性がある。
【００１６】
また、インク吐出圧力発生素子が形成された基板と液路形成部材の密着力向上のために、基板にシランカップリング処理を施したり、ポリイミド（例えば、東レ製フォトニース）等からなる下びき層（密着力向上及びパッシベーション層）を用いる例が知られている。
【００１７】
ここで、インクジェットヘッドは、通常その使用環境下においてインクと常時接触しているが、インクの影響で吐出圧力発生素子が形成された基板と液路形成部材が剥離するようなことは避けなければならない。しかしながら、近年のインクジェット記録方式に対しては、用紙選択性、耐水性等の要求が高まっており、これらの要望に対応するためにインクをアルカリ性側にすることが検討されている。こうしたアルカリ性のインクに対しては、インク吐出圧力発生素子が形成された基板と液路形成部材の密着力を長期にわたり維持することが困難な場合があった。
【００１８】
そこで特開平１１−３４８２９０号明細書では、ポリエーテルアミド樹脂からなる密着層を介して、インク吐出圧力発生素子が形成された基板と液路形成部材を接合する手法を提案している。これにより、アルカリ性のインクに対しても、長期にわたり優れた密着力を維持することができ、さらに、接着面にＴａ等の金属面が露出している場合でも、長期にわたり優れた密着力を維持することができる信頼性の高いインクジェットヘッドを提供することができる。
【００１９】
しかしながら、ここで用いられるポリエーテルアミド樹脂は、それ自体感光性を有していないため、ポリエーテルアミド樹脂をパターニングする場合には、フォトレジストをパターニングしてマスク材を形成し、エッチングによりパターニングを行う必要がある。また、ポリエーテルアミド樹脂はウエットエッチングが困難であるため、ドライエッチングを行う必要があり、工程が長くなるとともに、大規模な設備が必要となる。
【００２０】
本発明は、上記諸点に鑑みてなされたものであり、上述したような密着層を介さずに、Ｔａに対して優れた密着性を有する感光性脂組成物を用いた、信頼性の高いインクジェットヘッドを提供するものである。さらには、簡便な方法で信頼性の高いインクジェットヘッドを提供することができる製造方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
すなわち本発明の第一は、インクを吐出するための吐出口と、該吐出口に連通するとともに前記インクを吐出するための圧力発生素子を内包するインク流路と、前記圧力発生素子が形成された基板と、前記基板と接合して前記インク流路を形成するインク流路形成部材とを有するインクジェットヘッドであって、前記インク流路形成部材が、構造中にメルカプト基を有するエポキシ樹脂のカチオン重合物により形成されていることを特徴とするインクジェットヘッドである。
【００２２】
さらに本発明の第一は、インクを吐出するための吐出口が、圧力発生素子の対向する側に設けられていることを特徴とする上記に記載のインクジェットヘッド、吐出圧力発生素子が、電気熱変換体であることを特徴とする請求項上記に記載のインクジェットヘッド、を好ましい形態として含むものである。
【００２３】
また本発明の第二は、インクを吐出するための吐出口と、該吐出口に連通するとともに前記インクを吐出するための圧力発生素子を内包するインク流路と、前記圧力発生素子が形成された基板と、前記基板と接合して前記インク流路を形成するインク流路形成部材とを有するインクジェットヘッドの製造方法において、圧力発生素子が形成された基板上に、溶解可能な樹脂にてインク液路パターンを形成する工程と、該インク流路パターン上に、少なくとも、構造中にメルカプト基を有するエポキシ樹脂と、カチオン重合開始剤、から成る感光性樹脂組成物層を形成する工程と、基板上に形成された圧力発生素子上に位置する該感光性樹脂組成物層に、インク吐出口を形成する工程と、インク流路パターンを溶解除去する工程と、を有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法である。
【００２４】
さらに本発明の第二は、構造中にメルカプト基を有するエポキシ樹脂が、１分子中に２個以上のエポキシ基を有することを特徴とする上記に記載のインクジェットヘッドの製造方法、構造中にメルカプト基を有するエポキシ樹脂が、少なくとも下記一般式１または一般式２で示される構造単位を有することを特徴とする上記に記載のインクジェットヘッドの製造方法を好ましい形態として含むものである。
【００２５】
【化１】
2005161595.tif 000003
【００２６】
【化２】
2005161595.tif 000004
［式中、Ｒ１およびＲ２は炭素数１〜４アルキル基、アルケニル基、アルコキシ基を示し、互いに同一でも異なっていても良い。ｍは１〜１００の整数、ｎは０〜４の整数を示す。］
本発明によれば、簡便な方法で信頼性の高いインクジェットヘッドを製造することが可能となる。
【発明の効果】
【００２７】
以上説明したように、本発明によれば、インク吐出圧力発生素子が形成された基板と液路形成部材との密着力を高め、信頼性の高いインクジェットヘッドを提供することができる。さらには、簡便な方法で信頼性の高いインクジェットヘッドを作成することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下に図３、４及び５に示した製造方法に従って、本発明を更に詳細に説明する。まず本発明においては、図３（ａ）に示すように、基板として、シリコン基板２１を準備する。このような基板は、液流路構成部材の一部として機能し、また、後述のインク流路３０およびインク吐出口２６を形成する材料層の支持体として機能し得るものであれば、その形状、材質等に特に限定されることなく使用することができるが、本例においては、後述する異方性エッチングにより基板を貫通するインク供給口２９を形成するため、シリコン基板を用いる。
【００２９】
上記シリコン基板２１上には、電気熱変換素子あるいは圧電素子等のインク吐出圧力発生素子２２が所望の個数配置される（図３（ｂ））。このようなインク吐出圧力発生素子２２によって、記録液滴を吐出させるための吐出エネルギーがインク液に与えられ、記録が行われる。例えば、上記インク吐出圧力発生素子２２として電気熱変換素子が用いられる時には、この素子が近傍の記録液を加熱することにより、記録液に状態変化を生起させ吐出エネルギーを発生する。また、例えば、圧電素子が用いられる時は、この素子の機械的振動によって、吐出エネルギーが発生される。
【００３０】
なお、これらの吐出圧力発生素子２２には、素子を動作させるための制御信号入力用電極（不図示）が接続されている。また、一般にはこれら吐出圧力発生素子２２の耐用性の向上を目的として、保護層等（不図示）の各種機能層が設けられるが、もちろん本発明においてもこのような機能層を設けることは一向に差し支えない。
【００３１】
次いで、図３（ｃ）に示すように、上記インク吐出圧力発生素子２２を含むシリコン基板２１上に、溶解可能な樹脂にてインク流路パターン２３を形成する。最も一般的な手段としては感光性材料にて形成する手段が挙げられる。該流路パターン２３は、後工程において溶解除去する必要があるため、ポジ型レジストを使用することが好ましく、特にポリメチルイソプロペニルケトン、ポリビニルケトン等のビニルケトン系あるいはアクリル系の光崩壊型高分子化合物を好適に用いることができる。
【００３２】
このように、流路パターン２３を形成したシリコン基板２１上に、図３（ｄ）に示すように、ノズル構成部材２４を通常のスピンコート法、ロールコート法、スリットコート法等の方法で形成する。ここで、ノズル構成部材２４を形成するにおいては、流路パターン２３を変形せしめない等の特性が必要となる。すなわち、ノズル構成部材２４を溶剤に溶解し、これをスピンコート、ロールコート等で流路パターン２３上に形成する場合、溶解可能な流路パターン２３を溶解しないように溶剤を選択する必要がある。
【００３３】
また、ノズル構成部材２４としては、後述するインク吐出口２６をフォトリソグラフィーで容易にかつ精度よく形成できることから、感光性のものが好ましい。このような感光性被覆樹脂には、構造材料としての高い機械的強度、下地との密着性、耐インク性と同時にインク吐出口の微細なパターンをパターニングするための解像性が要求される。本発明者は鋭意検討の結果、これらの要求を満足するには、構造中にメルカプト基を有するエポキシ樹脂を用いることが有効であることを見出した。メルカプト基は、Ｔａ等の貴金属面と水素結合に近い結合を形成するため、強固な密着性を得ることができるものと推測される。
【００３４】
本発明に用いられる、構造中にメルカプト基を有するエポキシ樹脂としては、１分子中に２個以上のエポキシ基を有するものが好適に用いられ、特に、特開昭６０−１６１９７３号明細書、特開昭６３−２２１１２１号明細書、特開昭６４−９２１６号明細書、特開平２−１４０２１９号明細書に記載の、活性水素を有するオキシシクロヘキサン骨格やノルボルネン骨格の多官能エポキシ樹脂と、メルカプトメチルジアルキルアルコキシシラン、メルカプトメチルジアルコキシシラン、メルカプトメチルトリアルコキシシラン、３−メルカプトプロピルジアルキルアルコキシシラン、３−メルカプトプロピルアルキルジアルコキシシラン、３−メルカプトプロピルトリアルコキシシラン等のメルカプト化合物との反応物が好適に用いられる。
【００３５】
ノズル構成部材２４中にメルカプト基を導入する手法としては、例えば上述したオキシシクロヘキサン骨格やノルボルネン骨格の多官能エポキシ樹脂を基材とする感光性樹脂組成物に、メルカプトメチルジアルキルアルコキシシラン、メルカプトメチルジアルコキシシラン、メルカプトメチルトリアルコキシシラン、３−メルカプトプロピルジアルキルアルコキシシラン、３−メルカプトプロピルアルキルジアルコキシシラン、３−メルカプトプロピルトリアルコキシシラン等を添加して用いることも考えられるが、この場合上記メルカプト化合物中のアルコキシ部分（加水分解されて水酸基となる場合もある）が優先的にＴａ表面と反応するため、十分な密着性を得ることができない。
【００３６】
また、上述のエポキシ化合物においては、好ましくはエポキシ当量が２０００以下、さらに好ましくはエポキシ当量が１０００以下の化合物が好適に用いられる。これは、エポキシ当量が２０００を越えると、硬化反応の際に架橋密度が低下し、密着性、耐インク性に問題が生じる場合があるからである。
【００３７】
さらに、上記エポキシ樹脂を硬化させるための光カチオン重合開始剤としては、光照射により酸を発生する化合物を用いることができ、例えば旭電化工業株式会社より上市されているＳＰ−１５０、ＳＰ−１７０、ＳＰ−１７２等を好適に用いることができる。
【００３８】
また、上記組成物に対して必要に応じて添加剤など適宜添加することが可能である。例えば、エポキシ樹脂の弾性率を下げる目的で可撓性付与剤を添加したり、あるいは下地との更なる密着力を得るためにシランカップリング剤を添加したり、耐水性の向上を目的としてフッ素化合物を添加することなどが挙げられる。
【００３９】
次いで、図４（ａ）に示すように、ノズル構成部材２４上に、感光性を有する撥インク剤層２５を形成する。撥インク剤層２５は、スピンコート法、ロールコート法、スリットコート法等の塗布方法により形成可能であるが、未硬化のノズル形成部材２４上に形成されるため、両者が必要以上に相溶しないことが必要である。また、上述したように、ノズル構成部材２４としてカチオン重合性組成物が用いられる場合には、感光性を有する撥インク剤層２５にもカチオン重合可能な官能基を含有させておくことが好ましい。 ノズル構成部材２４には、光重合開始剤を必須成分として含むが、撥インク剤層２５には必ずしも光重合開始剤を含む必要はなく、ノズル材料硬化に発生する重合開始剤で反応、硬化させても良い。
【００４０】
次いで、マスク（不図示）を介してパターン露光を行い、現像処理を施してインク吐出口２６を形成する（図４（ｂ））。パターン露光されたノズル構成部材２４および撥インク剤層２５を、適当な溶剤を用いて現像することにより、図４（ｂ）に示すように、インク吐出口２６を形成することができる。この際、現像と同時に流路パターン２３を溶解除去することも可能であるが、一般的に、シリコン基板２１上には複数のヘッドが配置され、切断工程を経てインクジェットヘッドとして使用されるため、切断時のごみ対策として、図４（ｂ）に示すように流路パターン２３を残し（流路パターン２３が残存するため、切断時に発生するゴミが流路内に入り込むことを防止できる）、切断工程後に流路パターン２３を溶解除去することが好ましい。
【００４１】
次いで、シリコン基板２１を貫通するインク供給口を形成する。インク供給口の形成方法としては、異方性エッチングにより行うことが好ましい。結晶方位として、＜１００＞、＜１１０＞の方位を持つシリコン基板は、アルカリ系の化学エッチングを行うことにより、エッチングの進行方向に関して、深さ方向と幅方向の選択性ができ、これによりエッチングの異方性を得ることができる。特に、＜１００＞の結晶方位を持つシリコン基板は、エッチングを行う幅によってエッチングされる深さが幾何学的に決定されるため、エッチング深さを制御することができ、例えば、エッチングの開始面から深さ方向に５４．７°の傾斜を持って狭くなる孔を形成することができる。
【００４２】
まず、図４（ｃ）に示すように、シリコン基板２２の裏面に、エッチング液に耐性を有する樹脂層２７を形成し、次いで、図５（ａ）に示すように、フォトリソグラフィープロセスによりパターニングを行い、これをマスク２８として、アルカリ系のエッチング液である水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド等の水溶液に浸漬してエッチングを行い、図５（ｂ）に示すようにインク供給口２９を形成する。この際、例えば特開第２００１−１００７０号公報に記載されているように、ピンホール等の欠陥を防止する目的で、酸化シリコン、窒化シリコン等の誘電体膜との二層構成のマスクとしても、何ら問題はない。
【００４３】
次いで、切断分離工程を経た後（不図示）、流路パターン２３を溶解除去してインク流路３０を形成し、必要に応じてエッチングマスク２９として用いた樹脂層を除去する。さらに、必要に応じて加熱処理を施すことにより、ノズル構成部材２４および撥インク剤層２５を完全に硬化させた後、インク供給のための部材（不図示）の接合、インク吐出圧力発生素子を駆動するための電気的接合（不図示）を行って、図５（ｃ）に示すようにインクジェットヘッドを完成させる。
【００４４】
以下に、本発明の実施例を示す。
【実施例１】
【００４５】
（１）インクジェットヘッドの作成
本実施例では、前述の図２に示す手順に従って、インクジェットヘッドを作製し評価を行った。
【００４６】
まず、インク吐出圧力発生素子２２としての電気熱変換素子（材質ＨｆＢ2 からなるヒーター）と、インク流路およびノズル形成部位にＳｉＮ＋Ｔａの積層膜（不図示）を有するシリコン基板２１を準備した（図３（ｂ））。
【００４７】
次いで、被処理基板上に、ポリメチルイソプロペニルケトン（東京応化工業製ＯＤＵＲ−１０１０）を１０μmとなるよう塗布し、所定の露光、現像処理を行って流路パターン２３を形成した（図３（ｃ））。
【００４８】
次いで、被処理基板上に以下の組成からなる感光性樹脂組成物−１を用いてスピンコートを行い（平板上膜厚２０μm）、１００℃で２分間（ホットプレート）のベークを行い、ノズル構成部材２４を形成した（図３（ｄ））。
『感光性樹脂組成物−１』
ＥＨＰＥ（ダイセル化学工業製）と
メルカプトメチルジメチルメトキシシランの反応物        １００重量部
１、４ＨＦＡＢ（セントラル硝子製）                        ２０重量部
ＳＰ−１７０（旭電化工業製）                                ２重量部
メチルイソブチルケトン                                  １００重量部
ジグライム                                              １００重量部
引き続き、被処理基板上に以下の組成からなる感光性樹脂組成物−２を用いて、スピンコートにより１μｍの膜厚となるように塗布し、８０℃で３分間（ホットプレート）のベークを行い、撥インク剤層２５を形成した（図４（ａ））。
『感光性樹脂組成物−２』
ＥＨＰＥ（ダイセル化学工業製）                            ３５重量部
２、２―ビス（４―グリシジルオキシフェニル）
ヘキサフロロプロパン            ２５重量部
１、４―ビス（２―ヒドロキシヘキサフロロ
イソプロピル）ベンゼン          ２５重量部
３―（２―パーフルオロヘキシル）
エトキシ―１、２―エポキシプロパン        １６重量部
Ａ−１８７（日本ユニカー製）                                ４重量部
ＳＰ―１７０（旭電化工業製）                                ２重量部
ジエチレングリコールモノエチルエーテル                  １００重量部
次いで、露光（キヤノン製ＭＰＡ−６００使用、２０００ｍＪ／ｃｍ２）、ＰＥＢ（ホットプレート上１２０℃−１８０秒）、現像（メチルイソブチルケトン−９０秒）、リンス（ＩＰＡ−３０秒）、乾燥（オーブン中１００℃−２０分）を行ってノズル構成部材２４および撥インク剤層２５のパターニングを行い、インク吐出口２６を形成した（図４（ｂ））。なお、本実施例ではφ１５μmの吐出口パターンを形成した。
【００４９】
次に、被処理基板の裏面にエッチングマスクの形成を行った。シリコン基板２１の裏面に、ポリエーテルアミド樹脂（日立化成工業製ＨＩＭＡＬ−１２００）層を形成し（図４（ｃ））、ポジ型レジスト（東京応化製ＯＦＰＲ８００、不図示）を用いて所定のパターニング条件によりポジ型レジストパターニングした後、酸素プラズマによるドライエッチングを行ってポリエーテルアミド樹脂をパターニングし、引き続きポジ型レジストを溶解除去して、ポリエーテルアミド樹脂から成る幅１ｍｍ、長さ１０ｍｍの開口部形状を有するマスク２８を作成した（図５（ａ））。
【００５０】
次いで、８０℃に保持した２２ｗｔ％のＴＭＡＨ水溶液中に被処理基板を浸漬してシリコン基板２１の異方性エッチングを行い、インク供給口２９を形成した（図５（ｂ））。なお、この際エッチング液から撥インク剤層２５を保護する目的で、保護膜（東京応化工業製ＯＢＣ：不図示）を撥インク剤層２５上に塗布して異方性エッチングを行った。
【００５１】
次に、保護膜として用いたＯＢＣを、キシレンを用いて溶解除去し、さらにエッチングマスクとして用いたポリエーテルアミド樹脂を、酸素プラズマを用いたドライエッチングにより除去した。
【００５２】
引き続き、各ヘッド毎に切断分離した後、ＰＬＡ−６２０（キヤノン製）にて３０００ｍＪ／ｃｍ２の全面露光を行い、流路パターン２３を可溶化した。引き続きメチルイソブチルケトン中に超音波を付与しつつ浸漬し、流路パターン２３を溶解除去することによりインクジェットヘッドを作成した（図５（ｃ））。
【００５３】
（２）密着性の評価
得られたインクジェットヘッドを、以下に示す組成からなるアルカリインク（ｐＨ＝１０．５）中に浸漬し、プレッシャークッカー（ＰＣＴ）試験（１２１℃飽和条件−１００時間）を行い、ノズル構成部材の密着状況を観察したところ、変化は観察されなかった。
『アルカリインク』
黒色染料                                                    ３重量部
エチレングリコール                                          ５重量部
尿素                                                        ３重量部
イソプロピルアルコール                                      ２重量部
イオン交換水                                              ８７重量部
【実施例２】
【００５４】
ノズル構成部材２４として、以下の組成の感光性樹脂組成物−３を用いた以外は実施例１と同様にしてインクジェットヘッドを作成し、実施例１と同様の方法で密着性の評価を行ったところ、変化は観察されなかった。
『感光性樹脂組成物−３』
ＥＨＰＥ（ダイセル化学工業製）と
メルカプトプロピルトリアルコキシシランの反応物      １００重量部
１、４ＨＦＡＢ（セントラル硝子製）                        ２０重量部
ＳＰ−１７０（旭電化工業製）                                ２重量部
メチルイソブチルケトン                                  １００重量部
ジグライム                                              １００重量部
（比較例１）
ノズル構成部材２４として、以下の組成からなる感光性樹脂組成物−４を用いてスピンコートして用いた以外は実施例１と同様にしてインクジェットヘッドを作成し、ＰＣＴ試験を行った。
『感光性樹脂組成物−４』
ＥＨＰＥ（ダイセル化学工業製）                          １００重量部
１、４ＨＦＡＢ（セントラル硝子製）                        ２０重量部
ＳＰ−１７０（旭電化工業製）                                ２重量部
メチルイソブチルケトン                                  １００重量部
ジグライム                                              １００重量部
その結果、ノズル構成部材２４とシリコン基板２１間に剥離が確認された。これはシリコン基板２１上に形成されたＳｉＮ＋Ｔａ層と、ノズル構成材料２４との密着性が十分でないために生じたものと考えられる。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】従来のインクジェットヘッドの製造方法を説明するための断面模式図である。
【図２】図１に引き続き、従来のインクジェットヘッドの製造方法を説明するための断面模式図である。
【図３】本発明によるインクジェットヘッドの製造方法を説明するための断面模式図である。
【図４】図３に引き続き、本発明によるインクジェットヘッドの製造方法を説明するための断面模式図である。
【図５】図４に引き続き、本発明によるインクジェットヘッドの製造方法を説明するための断面模式図である。
【符号の説明】
【００５６】
１１  基板
１２  吐出圧力発生素子
１３  流路パターン
１４  ノズル構成部材
１５  撥インク剤層
１６  インク吐出口
１７  インク供給口
１８  インク流路
２１  シリコン基板
２２  吐出圧力発生素子
２３  流路パターン
２４  ノズル構成部材
２５  撥インク剤層
２６  インク吐出口
２７  エッチング液に耐性を有する樹脂層
２８  マスク
２９  インク供給口
３０  インク流路
【図１】
2005161595.tif 000006
【図２】
2005161595.tif 000007
【図３】
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【図４】
2005161595.tif 000009
【図５】
2005161595.tif 000010