(57)【要約】      （修正有）【課題】単体としての各種操作や制御が可能な、準安定金属酸化物よりなるナノボール構造体及びナノ複合構造体を提供すること。【解決手段】ナノボール構造体にあっては、準安定金属酸化物よりなる粒子本体と、該粒子本体の外周面から突出した形態において一体的に形成された、該粒子本体と同質の準安定金属酸化物からなるナノボール部とを含んで、構成される。また、ナノ複合構造体は、準安定金属酸化物よりなり、所定長さのナノワイヤ部と、該ナノワイヤ部の先端に一体的に形成されたナノボール部とから構成される。【選択図】図２
2005104739.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
準安定金属酸化物よりなる粒子本体と、該粒子本体の外周面から突出した形態において一体的に形成された、該粒子本体と同質の準安定金属酸化物からなるナノボール部とを含んで、構成されていることを特徴とするナノボール構造体。
【請求項２】
前記ナノボール部が、５〜５０ｎｍの大きさを有している請求項１に記載のナノボール構造体。
【請求項３】
前記準安定金属酸化物が、準安定アルミナである請求項１又は請求項２に記載のナノボール構造体。
【請求項４】
準安定金属酸化物よりなるナノ複合構造体であって、所定長さのナノワイヤ部と、該ナノワイヤ部の先端に一体的に形成されたナノボール部とを含んで、構成されていることを特徴とするナノ複合構造体。
【請求項５】
前記ナノ複合構造体を構成するナノワイヤ部が、準安定金属酸化物からなる粒子本体の外周面から突出した形態において一体的に形成されていることを特徴とする請求項４に記載のナノ複合構造体。
【請求項６】
前記ナノワイヤ部が１０〜１００ｎｍの長さを有していると共に、前記ナノボール部が５〜５０ｎｍの大きさを有している請求項４又は請求項５に記載のナノ複合構造体。
【請求項７】
前記準安定金属酸化物が、準安定アルミナである請求項４乃至請求項６の何れかに記載のナノ複合構造体。
【請求項８】
真空下において、準安定金属酸化物からなる粒子に対して、１．０×１０21ｅ／ｃｍ2 ・ｓｅｃを超え、７．０×１０21ｅ／ｃｍ2・ｓｅｃ 未満の強度の電子ビームを、少なくとも１回以上フラッシュ照射せしめることにより、準安定金属酸化物からなる粒子本体と、該粒子本体の外周面から突出した形態において一体的に形成された、該粒子本体と同質の準安定金属酸化物からなるナノボール部とから構成されるナノボール構造体を形成することを特徴とするナノボール構造体の製造方法。
【請求項９】
真空下において、準安定金属酸化物からなる粒子に対して、７．０×１０21ｅ／ｃｍ2 ・ｓｅｃ以上の強度の電子ビームを、少なくとも１回以上フラッシュ照射せしめることにより、所定長さのナノワイヤ部と、該ナノワイヤ部の先端に一体的に形成されたナノボール部とから構成され、前記準安定金属酸化物と同質の準安定金属酸化物よりなるナノ複合構造体を形成することを特徴とするナノ複合構造体の製造方法。
【請求項１０】
前記ナノ複合構造体を構成するナノワイヤ部が、準安定金属酸化物からなる粒子本体の外周面から一体的に突出した形態において形成されることを特徴とする請求項９に記載のナノ複合構造体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ナノボール構造体、ナノ複合構造体及びそれらの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
金属酸化物粒子には、その粒径を１００ｎｍ以下というように超微粒子化すると、通常の粒子（例えば、１μｍ以上）とは異なる特性が出現する。要するに、物質のサイズが小さくなり、ナノスケールサイズの超微粒子になると、バルクの時とは全く違った新しい性質が現れるようになるのである。これは、例えば超微粒子では、全原子数に対して表面に存在する原子数が増加するために、粒子の特性に対して表面エネルギーの影響が無視できなくなったり、また、通常のバルク材で問題となる残留歪みの影響を免れることができる等に基づくものとされている。
【０００３】
そして、そのような超微粒子の優れた特性を利用して、各種デバイスや機能材料等に利用することが試みられている。また、超微粒子の種類によっては、高い触媒特性が得られる等、各種材料の高機能化の可能性をも有しているのである。
【０００４】
ところで、かかる超微粒子の製造方法としては、従来から物理的方法や化学的方法が知られている。具体的には、物理的な超微粒子の製造方法としては、ガス中蒸発法、スパッタリング法、金属蒸気合成法、流動湯上真空蒸発法等があり、また、液相を利用した化学的な超微粒子の製造方法としては、コロイド法、アルコキシド法、共沈法等があり、更に気相を利用した超微粒子の製造方法としては、有機金属化合物の熱分解法、金属塩化物の還元・酸化・窒化法、水素中還元法、溶媒蒸発法等が知られている。
【０００５】
しかしながら、上述した従来の超微粒子の製造方法の多くは、超微粒子を集合体として製造することを、その趣旨とするものであって、また、そのようにして得られた超微粒子は、集合体としての用途に用いることが意図されているに過ぎず、単体としての利用に適するものではなかった。
【０００６】
一方、本発明者等は、先に、特開平８−２１７４１９号公報（特許文献１）において、θ−アルミナ粒子の如き準安定金属酸化物粒子に対して、高真空雰囲気中で１０20ｅ／ｃｍ2・ｓｅｃ オーダーの強度を有する電子線を照射することにより、α−アルミナ超微粒子の如き安定金属酸化物超微粒子や、アルミニウム超微粒子の如き金属超微粒子を生成する方法を提案している。この、先に提案の方法によれば、安定金属酸化物超微粒子や金属超微粒子を粒子単体として得ることが出来、また、その形状や結晶方位等を制御することが出来るとされており、特許文献１においては、かかる方法に従って製造された超微粒子として、θ−アルミナ粒子の外周面に、ボール状のα−アルミナ超微粒子が形成せしめられたナノボール構造体や、α−アルミナ超微粒子配向成長体が形成せしめられたナノ複合構造体等が、示されている。
【０００７】
しかしながら、かかる本発明者等が先に提案した手法にあっては、安定金属酸化物超微粒子や金属超微粒子を製造することは可能であるものの、それら以外の物質よりなる超微粒子、例えば、準安定金属酸化物よりなる超微粒子を得ることは出来なかったのであり、超微粒子単体の性質やその応用に関する研究の観点からは、未だ改良の余地が残されていたのである。
【０００８】
【特許文献１】特開平８−２１７４１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ここにおいて、本発明は、かかる事情を背景にして為されたものであって、その解決課題とするところは、単体としての各種操作や制御が可能な、準安定金属酸化物よりなるナノボール構造体、及びナノ複合構造体を提供することにあり、また、そのようなナノボール構造体及びナノ複合構造体を有利に製造し得る方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
そして、本発明は、上述の如き課題を解決するために、準安定金属酸化物よりなる粒子本体と、該粒子本体の外周面から突出した形態において一体的に形成された、該粒子本体と同質の準安定金属酸化物からなるナノボール部とを含んで、構成されていることを特徴とするナノボール構造体を、その要旨とするものである。
【００１１】
なお、かかるナノボール構造体において、前記ナノボール部は、一般に、５〜５０ｎｍの大きさのものであり、また、前記準安定金属酸化物としては、準安定アルミナが有利に採用されることとなる。
【００１２】
また、本発明は、準安定金属酸化物よりなるナノ複合構造体であって、所定長さのナノワイヤ部と、該ナノワイヤ部の先端に一体的に形成されたナノボール部とを含んで、構成されていることを特徴とするナノ複合構造体をも、その要旨とするものである。
【００１３】
ここにおいて、そのようなナノ複合構造体にあっては、かかるナノ複合構造体を構成するナノワイヤ部が、準安定金属酸化物からなる粒子本体の外周面から突出した形態において一体的に形成されているのであり、また、有利には、前記ナノワイヤ部は、１０〜１００ｎｍの長さを有していると共に、前記ナノボール部は、５〜５０ｎｍの大きさを有している。そして、前記準安定金属酸化物としては、準安定アルミナが有利に用いられ得るのである。
【００１４】
さらに、本発明にあっては、上記のナノボール構造体を有利に得るために、真空下において、準安定金属酸化物からなる粒子に対して、１．０×１０21ｅ／ｃｍ2 ・ｓｅｃを超え、７．０×１０21ｅ／ｃｍ2・ｓｅｃ 未満の強度の電子ビームを、少なくとも１回以上フラッシュ照射せしめることにより、準安定金属酸化物からなる粒子本体と、該粒子本体の外周面から突出した形態において一体的に形成された、該粒子本体と同質の準安定金属酸化物からなるナノボール部とから構成されるナノボール構造体を形成することを特徴とするナノボール構造体の製造方法が、好適に採用されることとなる。
【００１５】
更にまた、本発明にあっては、上述せる如きナノ複合構造体を有利に得るべく、真空下において、準安定金属酸化物からなる粒子に対して、７．０×１０21ｅ／ｃｍ2 ・ｓｅｃ以上の強度の電子ビームを、少なくとも１回以上フラッシュ照射せしめることにより、所定長さのナノワイヤ部と、該ナノワイヤ部の先端に一体的に形成されたナノボール部とから構成され、前記準安定金属酸化物と同質の準安定金属酸化物よりなるナノ複合構造体を形成することを特徴とするナノ複合構造体の製造方法をも、その要旨としている。
【００１６】
なお、そのようなナノ複合構造体の製造方法においては、前記ナノ複合構造体を構成するナノワイヤ部が、準安定金属酸化物からなる粒子本体の外周面から一体的に突出した形態において形成されることとなる。
【発明の効果】
【００１７】
上述の如き本発明に従うナノボール構造体及びナノ複合構造体にあっては、準安定金属酸化物よりなり、また、個々に分離した状態において利用可能なものであるところから、単体としての物性研究や、各種デバイスや機能材料等への応用に大きく寄与し得ることとなるのである。
【００１８】
また、本発明に従う上記したナノボール複合体の製造方法やナノ複合構造体の製造方法によれば、得られるナノボール構造体（ナノ複合構造体）の生成過程を制御することが可能ならしめられるところから、目的の形状、大きさを有するナノボール複合体（ナノ複合構造体）であって、準安定金属酸化物よりなるものを、有利に製造することが出来るのである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
ところで、本発明に従うナノボール構造体及びナノ複合構造体は、何れも、準安定金属酸化物よりなる粒子（原料粒子）に対して、電子ビームを照射することにより、製造され得るものであるが、ここにおいて、そのような準安定金属酸化物としては、従来より公知のものであれば、如何なるものであっても、用いることが出来る。具体的には、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）、チタニア（ＴｉＯ2 ）等の金属酸化物において広く知られている、準安定な結晶相のものを例示することが出来るが、それらの中でも、特に、アルミナの準安定相（準安定アルミナ）のものとなるδ−Ａｌ2Ｏ3（斜方晶系）やθ−Ａｌ2Ｏ3（単斜晶系）が、好適に用いられることとなる。
【００２０】
なお、上述の如き準安定金属酸化物よりなる粒子（原料粒子）にあっては、その大きさ（粒子径）は、特に限定されるものではないが、例えば、０．０５〜１０μｍ程度であることが好ましい。かかる粒子径があまりにも小さいと、目的とするナノボール構造体やナノ複合構造体を十分に形成し得ない恐れがあり、一方、あまりにも大きくなっても、本発明の目的とするナノボール構造体等を有効に形成することが困難となる恐れがある。
【００２１】
そして、そのような大きさの原料粒子に対して、特定の強度の電子ビームを少なくとも１回以上フラッシュ照射せしめることにより、本発明に従うナノボール構造体又はナノ複合構造体が形成されることとなるのである。
【００２２】
すなわち、準安定金属酸化物よりなる原料粒子に対して、１．０×１０21ｅ／ｃｍ2 ・ｓｅｃを超え、７．０×１０21ｅ／ｃｍ2・ｓｅｃ 未満の強度の電子ビームを照射せしめると、かかる原料粒子から生じ、それよりも小さな直径の、準安定金属酸化物からなる粒子本体と、該粒子本体の外周面から突出した形態において一体的に形成された、該粒子本体と同質の準安定金属酸化物からなるナノボール部とから構成されるナノボール構造体が形成される。
【００２３】
また、原料粒子に対して、７．０×１０21ｅ／ｃｍ2・ｓｅｃ 以上の強度の電子ビームを照射せしめると、原料粒子から生じた、準安定金属酸化物からなる粒子本体の外周面から突出した形態において、所定長さのナノワイヤ部が形成されると共に、該ナノワイヤ部の先端には、ナノボール部が一体的に形成され、以て、ナノワイヤ部と、その先端に一体的に形成されたナノボール部とから構成される、原料粒子と同質の準安定金属酸化物よりなるナノ複合構造体が、形成されるのである。なお、５．０×１０22ｅ／ｃｍ2・ｓｅｃ を超える強度の電子ビームを用いると、生成したナノ複合構造体が、ナノワイヤ部とナノボール部に分離する恐れがあるところから、好ましくは、７．０×１０21〜５．０×１０22ｅ／ｃｍ2・ｓｅｃ の強度の電子ビームが、有利に用いられることとなる。
【００２４】
ここで、かかる原料粒子に対する電子ビームの照射操作は、一般に、短時間に、例えば２秒以内で、好ましくは１秒以内で、目的とする照射強度までの上昇・下降を行ない、瞬間的に、該目的とする強度の電子ビームが原料粒子に照射されるようにするフラッシュ照射手法にて、実施されるものである。そして、電子ビームの強度を目的とする強度まで上昇、下降せしめるに際しては、従来より公知の各種手法が採用され得るのであり、具体的には、コンデンサーレンズで照射面積を絞る等の方法により、有利に行なわれることとなる。
【００２５】
また、本発明における、原料粒子に対する電子ビームのフラッシュ照射は、１回でも、目的とするナノボール構造体又はナノ複合構造体を形成することが可能であるが、更に必要に応じて複数回、連続して繰り返し行なうことも可能である。
【００２６】
なお、本発明に従うナノボール構造体及びナノ構造複合体を製造する際には、上述の如き、電子ビームのフラッシュ照射操作における１回当たりの時間は、電子ビームの照射条件や、目的とするナノボール構造体又はナノ複合構造体の形状等に応じて、適宜に設定されることとなるが、一般に、ナノワイヤ部とナノボール部とを有するナノ複合構造体を製造する場合にあっては、この照射時間が長くなると、ナノワイヤ部が効果的に生成し得ない恐れがあるところから、本発明に従うナノ複合構造体を製造するに際しては、前記１回当たりの時間が、一般に２秒以内、特に１秒を超えないように設定することが好ましい。
【００２７】
また、得られるナノボール構造体又はナノ複合構造体の大きさや形態は、電子ビームの照射強度、時間、面積等の照射条件等に影響される一方、ナノボール構造体におけるナノボール部や、ナノ複合構造体における、先端にナノボール部を有するナノワイヤ部の成長方向は、主として、原料粒子と電子ビームの照射中心との相対的な位置関係に左右されるものであるところから、これらの条件を適宜に調整することによって、目的とするナノボール部の大きさ、ナノワイヤ部の成長方向等を実現することが可能である。
【００２８】
ところで、本発明において用いられる電子ビームは、例えば、通常のＬａＢ6 線源ＴＥＭ装置やＦＥ−ＴＥＭ（Field Emission - Transmission Electron Microscope ）装置を利用することで、得ることが出来る。そして、この電子ビームの照射は、よく知られているように、高真空下において行なわれるものであって、具体的には、１０-5Ｐａ程度以下の真空下において、電子ビームが照射せしめられることが望ましい。また、そのような電子ビームの照射に際しては、一般に、原料粒子は、適当な基板、例えば非晶質炭素膜（アモルファスカーボン支持膜）上に載置されることとなるが、その際、基板の加熱等を行なう必要がなく、常温下において、原料粒子に対して、電子ビームが照射せしめられることとなる。さらに、このようなＴＥＭ装置においては、一般に、光源部から発生した電子ビームを、コンデンサーレンズによって照射面積を変化させることにより、電子ビームの強度（ｅ／ｃｍ2 ・ｓｅｃ）を変化させることが可能である。
【００２９】
本発明において、電子ビームの照射装置として、上述のごときＴＥＭ装置を用いた場合にあっては、電子ビームの照射中心が、原料粒子の中心に近すぎると、原料粒子から生じた粒子本体の外周面において、ナノワイヤ部が効果的に形成され得ない恐れがあるところから、ナノワイヤ部とナノボール部とを有するナノ複合構造体を製造する際には、一般に、原料粒子から１００ｎｍ以上離れた位置に、電子ビームの照射中心を設定することが好ましい。
【００３０】
また、このようなＴＥＭ装置においては、電子ビームの照射面積（照射域）を絞る、即ち、電子ビームを絞ることにより、その強度を上昇せしめることが可能であるが、電子ビームの照射面積が広すぎると、十分な電子ビームの強度が得られない恐れがあるところから、特にナノ複合構造体を製造するに際しては、一般に、電子ビームの最小照射域の直径が２００ｎｍ以下となるまで、電子ビームの照射面積が絞られることとなる。
【００３１】
そして、上述の如き本発明に従うナノボール構造体の製造方法によれば、原料粒子から生じ、それよりも小さな直径の、準安定金属酸化物よりなる粒子本体の外周面に、実質的に球形状を呈していたり、八面体や二十面体等の多面体形状を呈するナノボール部が、一般に、５〜５０ｎｍ程度の大きさにおいて一体的に形成されて、構成されるナノボール構造体が、有利に製造されるのである。また、本発明のナノ複合構造体の製造方法に従えば、原料粒子から生じ、それよりも小さな直径の、準安定金属酸化物よりなる粒子本体の外周面から突出した形態において、１０〜１００ｎｍ程度の長さを有し、且つ５〜２５ｎｍ程度の幅を有するナノワイヤ部と、かかるナノワイヤ部の先端において、５〜５０ｎｍ程度の大きさを有するナノボール部が一体的に形成されて、構成されるナノ複合体が、有利に製造されるのである。
【００３２】
このようにして得られたナノボール構造体及びナノ複合構造体にあっては、準安定金属酸化物よりなり、また、個々に分離した状態において利用可能なものであるところから、単体としての物性研究や、各種デバイスや機能材料等への応用に大きく寄与し得ることとなるのである。
【実施例】
【００３３】
以下に、本発明の実施例を示し、本発明を更に具体的に明らかにすることとするが、本発明が、そのような実施例の記載によって、何等の制約をも受けるものでないことは、言うまでもないところである。また、本発明には、以下の実施例の他にも、更には上記の具体的記述以外にも、本発明の趣旨を逸脱しない限りにおいて、当業者の知識に基づいて、種々なる変更、修正、改良等を加え得るものであることが、理解されるべきである。
【００３４】
先ず、市販のアルミニウム粒子に対して蒸発金属燃焼法を施すことにより、粒子径が５０〜３００ｎｍ程度のアルミナ粒子を得た。得られたアルミナ粒子の結晶相をＸ線回折法（コーエン法）によって調べたところ、その大部分が、δ−アルミナよりなる粒子又はθ−アルミナよりなる粒子であった。次いで、かかるδ−アルミナ粒子とθ−アルミナ粒子の混合物をアルコールに分散させた後、かかる分散液を、３枚のＣｕ製メッシュ上に載置されたアモルファスカーボン支持膜上に塗布し、乾燥させた。そして、これらのアモルファスカーボン支持膜を用いて、以下の実験を行なった。
【００３５】
実験例  １
得られたアモルファスカーボン支持膜を、ＴＥＭ装置（２００ｋＶ：日本電子株式会社製、ＪＥＭ−２０１０）の真空室（真空度：１０-5Ｐａ程度）内に配置された室温ステージ上にセットした。その後、アモルファスカーボン支持膜上のθ−アルミナ粒子（粒子径：約１６０ｎｍ）に対して、このθ−アルミナ粒子の中心から約４２０ｎｍ離れた位置（図１の（ａ）中のＸ）を照射中心として、強度：２．０×１０22ｅ／ｃｍ2・ｓｅｃ の電子ビームを、照射時間：１秒、照射回数：１回の条件にて、フラッシュ照射し、原料粒子たるθ−アルミナ粒子の周囲におけるナノスケール構造の変化を、その場（in situ ）観察した。なお、かかるフラッシュ照射の際には、円形状の照射域の半径を、最大：１μｍから最小：５０ｎｍまで変化せしめることにより、電子ビームの強度を上昇・下降させた。電子ビームの照射前のＴＥＭ写真を図１（ａ）として、また、電子ビームの照射後のＴＥＭ写真を図１（ｂ）として、それぞれ示す。
【００３６】
実験例  ２
アモルファスカーボン支持膜上のδ−アルミナ粒子（粒子径：約２００ｎｍ）に対して、かかるδ−アルミナ粒子の中心から約１５０ｎｍ離れた位置（図２の（ｂ）のＸ）を照射中心として、強度：５．５×１０22ｅ／ｃｍ2・ｓｅｃ の電子ビームをフラッシュ照射し、実験例１と同様に、δ−アルミナ粒子の周囲における変化を、その場（in situ ）観察した。なお、かかるフラッシュ照射の際の条件は、照射時間：１秒、照射回数：２回とした以外は、実験例１と同様の条件にて行なった。電子ビーム照射前のＴＥＭ写真を図２の（ａ）として、また、電子ビーム照射後のＴＥＭ写真を図２の（ｂ）として、それぞれ示す。
【００３７】
かかる図１の（ｂ）、及び図２の（ｂ）からも明らかなように、いずれの電子ビームの照射条件下においても、ナノワイヤ部の先端にナノボール部が一体的に形成されてなるナノ複合構造体が、電子ビームの照射中心に向かう方向に、粒子本体から突出した形態において、一体的に形成されるいることが認められるのであり、また、このようにして形成されたナノ複合構造体にあっては、粒子本体と共に、原料粒子と同質のθ−アルミナ又はδ−アルミナであることが、制限視野電子線回折図形によって、確認された。
【００３８】
実験例  ３
アモルファスカーボン支持膜上のδ−アルミナ粒子（粒子径：約１５０ｎｍ）に対して、かかるδ−アルミナ粒子の中心から約６００ｎｍ離れた位置を照射中心として、強度：１．４×１０22ｅ／ｃｍ2・ｓｅｃ の電子ビームをフラッシュ照射し、実験例１及び２と同様に、δ−アルミナ粒子の周囲における変化を、その場（in situ ）観察した。ここで、かかるフラッシュ照射の条件は、照射時間：１秒、照射回数：４回とすると共に、円形状の照射域の半径を、最大：１μｍから最小：１００ｎｍまで変化せしめることにより、電子ビームの強度を上昇・下降させた。これら以外の条件は、実験例１と同様とした。
【００３９】
その結果、かかる照射条件下においても、ナノワイヤ部の先端にナノボール部が一体的に形成されてなるナノ複合構造体が、粒子本体から突出した形態において、一体的に形成されることが認められたのであり、また、このようにして形成されたナノ複合構造体にあっては、粒子本体と共に、原料粒子と同質のδ−アルミナであることが、制限視野回折図形によって、確認されたのである。
【００４０】
以上の各実験例における観察結果より、ナノボール構造体及びナノ複合構造体の成長乃至は形成に関しては、先ず、電子ビームが照射された原料粒子が、スパッタリング効果によって微細化されて、粒子本体に固着した安定なナノボール部に変化し、次いで、粒子表面の金属酸化物分子が照射によって励起され、そして、粒子からナノボール部の安定な界面に分子の拡散を誘引して、最終的に、そこにナノワイヤ部をエピタキシャル成長せしめていることが認められた。また、ナノボール部は、ナノワイヤ部の先端に固着しているため、ナノワイヤ部の成長に関連しているものと考えられ、従って、ナノボール部が粒子本体に固着している時、その界面は原子配列が類似しているならば、安定であるものと考えられるのである。そして、そのようなナノボール部を形成せしめる電子ビームの強度の閾値は、１．０×１０21ｅ／ｃｍ2・ｓｅｃ と認められ、また、ナノワイヤ部発生の閾値は、７．０×１０21ｅ／ｃｍ2・ｓｅｃ であると認められたのである。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】実験例１において得られたＴＥＭ写真であって、（ａ）は電子ビーム照射前の原料粒子の状態を示し、（ｂ）は電子ビーム照射後における粒子本体からナノ複合構造体が照射中心に向かって成長している形態を示すものである。
【図２】実験例２において得られたＴＥＭ写真であって、（ａ）は電子ビーム照射前の原料粒子の状態を示し、（ｂ）は電子ビーム照射後における粒子本体からナノ複合構造体が照射中心に向かって成長している形態を示すものである。
【図１】
2005104739.tif 000003
【図２】
2005104739.tif 000004