(57)【要約】【課題】  製造装置の稼動性、歩留まりを改善する管理制御システムの提供。【解決手段】  品種パラメーターに基づいて製造する製造装置３の管理制御システムであって、製造装置３の稼動情報ａからエラー情報ｂを抽出するジャッジ回路５と、抽出されたエラー情報ｂに対応するエラー回避のためのパラメーター情報ｄを抽出して製造装置３の品種パラメーターを可変制御するエラー抑止回路６を備え、製造装置３で製造される多種多様のワーク製品の各種データとエラー回避のためのデータを格納する製品レシピデータベース部１１から製造装置３で製造されるワーク製品に対応したデータを製品検索エンジン部１２で検索して製造装置３をセットアップする。【選択図】図１
2005039096.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワーク製品を品種毎に設定された品種パラメーターに基づいて製造する製造装置の稼動情報から製造上のエラー情報を抽出し、このエラー情報からオペレーターに調整を促すか製造装置がエラーの自動回避を試みるかを判断するジャッジ回路と、
このジャッジ回路で抽出されたエラー情報に対応する、予め登録設定されたエラー回避のためのパラメーター情報を抽出し、前記品種パラメーターを可変制御して製造装置の稼動を継続させるエラー抑止回路と、
を具備したことを特徴とする製造装置の管理制御システム。
【請求項２】
前記製造装置で製造される複数品種のパラメーター情報の中のワーク条件により変化するプロセス条件のパラメーターを格納する製品レシピデータベース部と、
この製品レシピデータベース部から製造装置で製造されるワーク製品に合致又は最も近似するデータを検索して抽出し、製造装置の品種パラメーター設定の情報とする製品検索エンジン部と、
を具備したことを特徴とする請求項１に記載の製造装置の管理制御システム。
【請求項３】
前記製造装置が半導体装置の製造装置であることを特徴とする請求項１又は２に記載の製造装置の管理制御システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置やプリント基板などのワーク製品を製造する製造装置の管理制御システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
多品種の半導体装置を製造する製造装置の管理システムとして、製造装置で製造されたワーク製品の欠陥数から製造装置の稼動状況を管理し制御するシステムがある（例えば、特許文献１参照）。また、製造装置における各製造プロセスでの異常発生を検知して異常情報を蓄積すると共に異常発生を作業員に警告し、作業員に蓄積した異常情報に基づいて異常回避の作業をさせて製造装置の稼動状況を管理し制御するシステムがある（例えば、特許文献２参照）。
【０００３】
このような製造装置の管理システムは、製造装置が欠陥品を量産するのを抑制するのを防止するなどの機能を有して、半導体装置以外のプリント基板製品などの製造装置にも有効に適用されている。
【特許文献１】特開平１１−１２６７３６号公報
【特許文献２】特開２００２−２５８９３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のような製造装置の管理システムは、製造装置側にハード的な、或いは、ソフト的な異常、エラーが発生した場合に、作業員による早急な対応ができるが、作業員が対応している間は製造装置の稼動が停止するといった不具合があり、この不具合発生を回避することが難しい。また、製造装置をいかなる品種のワーク製品の製造であっても、稼動をさせるまでに品種毎の品種パラメーター設定（セットアップ）に時間を要し、かつ、異常発生などがあって連続稼動させることが難しい。
【０００５】
本発明の目的は、いかなる品種の製造であっても製造装置をエラー少なくして連続稼動させるに有効な管理制御システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、ワーク製品を品種毎に設定された品種パラメーターに基づいて製造する製造装置の管理制御システムであって、製造装置の稼動情報から製造上のエラー情報を抽出し、このエラー情報からオペレーターに調整を促すか製造装置がエラーの自動回避を試みるかを判断するジャッジ回路と、このジャッジ回路で抽出されたエラー情報に対応する、予め登録設定されたエラー回避のためのパラメーター情報を抽出して製造装置の品種パラメーターを可変制御し、製造装置の稼動を継続させるエラー抑止回路とを備えたシステム構成にすることで、上記目的を達成するものである。
【０００７】
ここで、製造装置は半導体装置、プリント基板などの電気回路製品や、精密機械製品を製造する自動化された製造設備で、製造する製品の品種が変更される毎に品種パラメーターが変更される。このような製造装置は、設定された品種パラメーターに基づいて複数の製造プロセスで連続的に稼動し、この稼動時にいずれかのプロセスでエラーが発生することがある。本発明は、このエラー発生を検知してどのようなエラーなのかを判定するジャッジ回路と、製造装置の稼動を継続させてエラーを抑止するための動作をするエラー抑止回路とを製造装置に組み込む。ジャッジ回路は、製造装置からの稼動情報を逐一に読み込んでエラー情報の有無、程度、種類などを判断する機能を持つ。エラー抑止回路は、ジャッジ回路からのエラー情報を読み込み、その種類を判読して、予め登録設定されたエラー回避のためのパラメーター情報をメモリーなどから抽出して、稼動している製造装置の品種パラメーターの内のエラー情報に対応するパラメーターだけを変更させて、エラー発生を低減させ、回避させる。このエラー回避の動作中、製造装置からジャッジ回路に稼動情報が継続して送出され、やがて稼動情報からエラー情報が消失する。このようなエラー抑止が製造装置の複数の製造プロセスで行われて、歩留まりが向上し、エラー発生で製造装置の稼動が停止せずに稼働率が上がる。
【０００８】
また、本発明においては、製造装置にジャッジ回路とエラー抑止回路を組込むと共に、製造装置で製造される複数品種のワーク製品のユーザ情報、パラメーター情報、製造条件情報を含むデータを格納する製品レシピデータベース部と、この製品レシピデータベース部から製造装置で製造されるワーク製品に合致又は最も近似するデータを検索抽出して、製造装置の品種パラメーター設定の情報とする製品検索エンジン部を組込むことができる。
【０００９】
この場合の製品レシピデータベース部は、全製品のユーザ情報などのレシピデータを１つのコンピュータのメモリに登録してデータベース化した端末機器で、ジャッジ回路から製品毎のエラー情報も登録され、蓄積される。また、この製品レシピデータ−ベース部のメモリには、全製品のエラー情報に対応するエラー回避のための情報が登録され、この情報が製品検索エンジン部を介するなどしてエラー抑止回路に読み出される。製品検索エンジン部は、製造装置で製造されるワーク製品の品種、ユーザなどの情報であるワーク情報を得て製品レシピデータベースから特定のデータ（これから製造されるワーク製品の蓄積データ、このデータが無い場合は最も近似するデータ）を検索して抽出し、製造装置の品種パラメーター設定を補助して、製造装置のセットアップを正確で円滑なものにし、短時間でのセットアップを可能にする。
【００１０】
以上の製造装置は、半導体装置を製造するダイボンダ−などに有効に適用できる。例えば、リードフレームに半導体チップをボンディングするダイボンダーにおいては、マガジンから半導体ウェーハを出し入れするプロセス、ウェーハからチップを分割するプロセス、リードフレームに銀ペーストを塗布するプロセスなどの多くの製造プロセスがあり、各プロセスにおいて異なる種類のエラーが発生する可能性があり、このような各プロセスにおける各種のエラーの回避、抑止が本発明の管理制御システムで効果的にできる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、製造装置が各製造プロセスで稼動を継続しながらエラー抑止動作を併行して行うため、製造装置がエラー情報から学習して自己発展を繰り返すように駆動して、自己の稼働率を上げ、製造される製品の歩留まりを改善する効果を奏する。また、製品レシピデータベースの蓄積データで製造装置の品種パラメーターの設定をすることで、製造装置のセットアップが短時間で正確に行えるという効果が期待できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明システムの実施の形態を、図１と図２を参照して説明する。
【００１３】
同図は、半導体装置の製造装置であるダイボンダーに適用したもので、図１はシステム全体の概要を示すブロック図、図２は各ブロックの動作内容文を付けたブロック図である。図１で示されるワーク製品１はリードフレームで、このリードフレームに（半導体）チップをボンディングして製品が製造される。リードフレームは多品種あり、その内の一品種が図示しないマガジンから１枚ずつ切り出されて製造装置３に搬送されて、半導体装置の製造に供される。製造装置３は、多数のチップを有する（半導体）ウェーハの切り出し装置、ウェーハを貼り付けたシートをリングを使って拡張して複数のチップに分割する装置、リードフレームにチップマウント用銀ペーストを塗布する装置、塗布された銀ペースト上にチップをマウントする自動機を有し、これら各自動機が各々に設定された品種パラメーターに基づいて稼動する。
【００１４】
図２に示すように、製造装置３には稼動させるための品種パラメーターの他、オフセット情報や固定パラメーター情報、スピード情報などの各種情報が装備され、製造装置稼動前にセットアップされる。この製造装置３を稼動させるシステムに、本発明は、次のジャッジ回路５、エラー抑止回路６を加え、製品レシピデータベース部１１と製品検索エンジン部１２を適用する。
【００１５】
ジャッジ回路５は、稼動中の製造装置３の各製造プロセスでの稼動情報ａから製造上のエラー情報ｂを抽出する。稼動情報ａには、速度情報や温度情報、時間情報、パラメーター情報などが混在しており、製造装置３のいずれかの製造プロセスに非正常な状況が発生するとエラー情報が発生し、これがジャッジ回路５で判読されて抽出される。ジャッジ回路５で抽出されたエラー情報ｂはエラー抑止回路６に送出され、別のルートで製品レシピデータベース１１と各種ウィザート部１３に送出される。
【００１６】
エラー抑止回路６は、入力されたエラー情報ｂに対応する動作をする。入力されるエラー情報ｂの内容は、チップボンディング時の吸着ミス、各製造プロセス間のリードフレーム搬送ミス、マガジンへの収納ミスなど多種多様である。エラー抑止回路６は、エラー情報ｂが入力されると、製品レシピデータベース部１１などに予め登録設定されたエラー回避のためのパラメーター情報ｄを抽出して、エラー情報ｂを発生した製造装置３にパラメーター変更の指令信号ｃを送出する。このパラメーター変更の制御は、製造装置３の稼動中に行われて、エラー情報を発生した製造プロセスでのエラーの発生が抑止され、低減する。このエラー抑止動作と併行して製造装置３の稼動が継続し、稼動情報ａがジャッジ回路５に送出される。ジャッジ回路５は、エラー抑止が正しく行われているかどうかを判断し、その情報を製品レシピデータベース部１１に送出する。ジャッジ回路５のエラー抑止の監視で、製造装置３におけるエラー発生が遂には無くなる。
【００１７】
上記エラー情報ｂに対応するエラー抑止のためのパラメーター情報ｄは、製造装置３の過去の稼動において「どのようなエラーが発生すれば、どのようにパラメーター変更すればエラーが回避されるか」が経験上に分かり、この経験上の情報に基づいて予め設定される。このようなエラー抑止のためのパラメーター情報ｄは、専用のメモリに登録することも可能であるが、製品レシピデータベース部１１のメモリに他の製品毎のデータと共に登録しておくことが望ましい。
【００１８】
各種ウィザード部１３は、多種多様なエラー情報ｂに基づいてツール交換などして製造装置３のパラメーター変更動作を迅速かつ円滑に行わせるソフト部である。
【００１９】
製品レシピデータベース部１１は、製造装置３で製造される複数品種のワーク製品のユーザ情報、パラメーター情報、製造条件情報を含む多種多様なデータを統括して格納するメモリ部である。製品検索エンジン部１２は、製品レシピデータベース部１１から製造装置３で製造されるワーク製品に合致するデータ、或いは、合致しない場合は最も近似するデータを検索抽出して、製造装置３の品種パラメーター設定（セットアップ）をする。
【００２０】
製造装置３を稼動させる前に、特定のワーク情報がセットアップされる。このワーク情報は、リードフレーム情報やチップ情報、ペースト情報、リードフレーム出し入れの際のマガジン情報、ウェーハ分割の際のウェーハを貼り付けたウェーハリング情報などである。このワーク情報が製造装置３と共に製品検索エンジン部１２に送出されて、製品検索エンジン部１２が製品レシピデータベース部１１からワーク情報に対応するデータを検索して抽出し、このデータに基づいて製造装置３のパラメーター設定が行われる。したがって、製品レシピデータベース部１１から製造装置３で製造されるワーク製品に合致するデータが抽出されると、そのデータがそのまま製造装置３のパラメーターデータとなって、セットアップが簡単迅速かつ正確に行われる。また、製品レシピデータベース部１１から製造装置３で製造されるワーク製品に最も近似するデータが抽出されると、この近似したデータに基づいて製造装置３の品種パラメーター設定が行われるので、この場合もセットアップが簡単迅速に行われる。
【００２１】
なお、本発明の製造装置の管理制御システムは、上記した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
【産業上の利用可能性】
【００２２】
本発明の製造装置の管理制御システムは、プリント基板に半導体装置やコンデンサチップなどの複数種類の部品を実装する製造装置にも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明に係る管理制御システムの概要を示すブロック図である。
【図２】図１のブロック図を具体的にした動作内容説明文付きのブロック図である。
【符号の説明】
【００２４】
１    ワーク製品
３    製造装置
５    ジャッジ回路
６    エラー抑止回路
１１    製品レシピデータベース部
１２    製品検索エンジン部
ａ    稼動情報
ｂ    エラー情報
【図１】
2005039096.tif 000003
【図２】
2005039096.tif 000004