(57)【要約】【課題】  第１の情報処理装置やネットワークにて障害等が発生した場合であっても、取得した処理状況データをデータベースに容易に登録することができるデータ管理システムおよびその方法を提供する。【解決手段】  装置インターフェース２００とデータベースサーバ３００との間でデータの送受信ができない場合、ファイル作成部２６０によって処理状況データ２０６ａをファイル変換し、処理状況ファイル２０８ａとして大容量記憶ユニット２０８のフォルダ２０８ｂに保存する。オペレータは、適宜、処理状況ファイル２０８ａをデータベースサーバ３００のフォルダ３０８ｂにコピーするデータベースサーバ３００ではフォルダ３０８ｂに処理状況ファイル３０８ａが存在する場合、第２登録部３３０によってデータベース３０８ｃにデータを追加登録する。【選択図】図３
2005301870.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板処理装置において所定の処理が施される基板につき、当該基板の処理状況データを管理するシステムであって、
(a)  前記基板処理装置とネットワークを介して接続された第１の情報処理装置と、
(b)  前記基板処理装置および前記第１の情報処理装置と前記ネットワークを介して接続されており、
(b-1)  前記処理状況データを前記基板処理装置から取得する取得手段と、
(b-2)  前記取得手段によって取得された前記処理状況データを前記第１の情報処理装置に送信する送信手段と、
(b-3)  前記第１の情報処理装置が前記処理状況データを受信することについて不能状態にある場合に、前記処理状況データをファイル化して処理状況ファイルとして第１のフォルダに一時的に保存するデータバッファ手段と、
を有する第２の情報処理装置と、
を備え、
前記第１の情報処理装置は、
(a-1)  データベースと、
(a-2)  前記第２の情報処理装置から送信される前記処理状況データを前記データベースに追加登録する第１の登録手段と、
(a-3)  前記処理状況ファイルから抽出された前記処理状況データを前記データベースに追加登録する第２の登録手段と、
を有することを特徴とするデータ管理システム。
【請求項２】
請求項１に記載のデータ管理システムにおいて、
前記第１の情報処理装置は、
(a-4)  前記第１の情報処理装置内の第２のフォルダ内に前記処理状況ファイルが存在するか否かを監視する第１の監視手段、
を有し、
前記第１の監視手段によって前記第２のフォルダ内に前記処理状況ファイルが存在すると判断される場合には、前記第２の登録手段によって前記処理状況データを前記データベースに登録することを特徴とするデータ管理システム。
【請求項３】
請求項２に記載のデータ管理システムにおいて、
前記第２のフォルダは、前記第２の情報処理装置からネットワークを介してアクセス可能な共有フォルダであることを特徴とするデータ管理システム。
【請求項４】
請求項３に記載のデータ管理システムにおいて、
前記第２の情報処理装置は、
指定された時期に、前記処理状況ファイルを前記第１のフォルダから前記第２のフォルダにコピーするとともに、前記第１のフォルダ内の前記処理状況ファイルを削除する動作を実行する第１の転送手段、
をさらに備えることを特徴とするデータ管理システム。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のデータ管理システムにおいて
前記第２の情報処理装置は、
前記第１のフォルダ内に前記処理状況ファイルが存在するか否かを監視する第２の監視手段と、
前記第２の監視手段によって前記第１のフォルダ内に前記処理状況ファイルが存在すると判断される場合に、オペレータに対して前記処理状況ファイルが作成された旨を通知する通知手段と、
をさらに備えることを特徴とするデータ管理システム。
【請求項６】
請求項５に記載のデータ管理システムにおいて、
前記通知手段は、前記ネットワークが障害から復旧した際に、前記オペレータに対して通知することを特徴とするデータ管理システム。
【請求項７】
請求項５に記載のデータ管理システムにおいて、
前記通知手段は、前記第１の情報処理装置が動作停止状態から動作可能状態に遷移した際に、前記オペレータに通知することを特徴とするデータ管理システム。
【請求項８】
基板処理装置において所定の処理が施される基板の処理状況データを管理するデータ管理方法であって、
(a)  前記基板処理装置から前記処理状況データを取得する工程と、
(b)  第１の情報処理装置が前記処理状況データを受信することについて可能状態にある場合に、前記第１の情報処理装置に前記処理状況データを送信する工程と、
(c)  第１の情報処理装置が前記処理状況データを受信することについて不能状態にある場合に、前記処理状況データをファイル化し、処理状況ファイルとして第２の情報処理装置内の第１のフォルダに一時的に保存する工程と、
(d)  前記第１の情報処理装置が前記処理状況データを受信した場合に、前記第１の情報処理装置が有するデータベースに前記処理状況データを追加登録する工程と、
(e)  前記第１の情報処理装置の第２のフォルダに前記処理状況ファイルが存在する場合に、前記処理状況ファイルから前記処理状況データを抽出して追加登録する工程と、
を備えることを特徴とするデータ管理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体基板、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等（以下、単に「基板」と称する）を製造する基板処理装置において、所定の処理を施す際に取得される基板の処理状況データを管理するデータ管理システムおよびデータ管理方法に関するもので、特に、処理状況データを第１の情報処理装置に登録する手順の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、基板処理装置の各処理ユニットから得られる全プロセスデータを集中モニタリングし、基板処理システム全体を一元管理する技術が知られている（例えば、特許文献１）。
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−０７４１７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１の基板処理システムでは、システム内で障害が発生してプロセスデータの転送ができずにスプーリング処理を実行した後に障害から復旧した場合に、スプーリング処理されたプロセスデータをどのように基板処理システムに反映させるかについては、開示されていない。
【０００５】
そこで、本発明では、第１の情報処理装置やネットワークにて障害等が発生した場合であっても、取得した処理状況データをデータベースに容易に登録することができるデータ管理システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため、請求項１の発明は、基板処理装置において所定の処理が施される基板につき、当該基板の処理状況データを管理するシステムであって、(a)前記基板処理装置とネットワークを介して接続された第１の情報処理装置と、(b)前記基板処理装置および前記第１の情報処理装置と前記ネットワークを介して接続されており、(b-1)前記処理状況データを前記基板処理装置から取得する取得手段と、(b-2)前記取得手段によって取得された前記処理状況データを前記第１の情報処理装置に送信する送信手段と、(b-3)前記第１の情報処理装置が前記処理状況データを受信することについて不能状態にある場合に、前記処理状況データをファイル化して処理状況ファイルとして第１のフォルダに一時的に保存するデータバッファ手段とを有する第２の情報処理装置とを備え、前記第１の情報処理装置は、(a-1)データベースと、(a-2)前記第２の情報処理装置から送信される前記処理状況データを前記データベースに追加登録する第１の登録手段と、(a-3)前記処理状況ファイルから抽出された前記処理状況データを前記データベースに追加登録する第２の登録手段とを有することを特徴とする。
【０００７】
また、請求項２の発明は、請求項１の発明に係るデータ管理システムにおいて、前記第１の情報処理装置は、(a-4)前記第１の情報処理装置内の第２のフォルダ内に前記処理状況ファイルが存在するか否かを監視する第１の監視手段、を有し、前記第１の監視手段によって前記第２のフォルダ内に前記処理状況ファイルが存在すると判断される場合には、前記第２の登録手段によって前記処理状況データを前記データベースに登録することを特徴とする。
【０００８】
また、請求項３の発明は、請求項２の発明に係るデータ管理システムにおいて、前記第２のフォルダは、前記第２の情報処理装置からネットワークを介してアクセス可能な共有フォルダであることを特徴とする。
【０００９】
また、請求項４の発明は、請求項３の発明に係るデータ管理システムにおいて、前記第２の情報処理装置は、指定された時期に、前記処理状況ファイルを前記第１のフォルダから前記第２のフォルダにコピーするとともに、前記第１のフォルダ内の前記処理状況ファイルを削除する動作を実行する第１の転送手段、をさらに備えることを特徴とする。
【００１０】
また、請求項５の発明は、請求項１ないし請求項４のいずれかの発明に係るデータ管理システムにおいて前記第２の情報処理装置は、前記第１のフォルダ内に前記処理状況ファイルが存在するか否かを監視する第２の監視手段と、前記第２の監視手段によって前記第１のフォルダ内に前記処理状況ファイルが存在すると判断される場合に、オペレータに対して前記処理状況ファイルが作成された旨を通知する通知手段とをさらに備えることを特徴とする。
【００１１】
また、請求項６の発明は、請求項５の発明に係るデータ管理システムにおいて、前記通知手段は、前記ネットワークが障害から復旧した際に、前記オペレータに対して通知することを特徴とする。
【００１２】
また、請求項７の発明は、請求項５の発明に係るデータ管理システムにおいて、前記通知手段は、前記第１の情報処理装置が動作停止状態から動作可能状態に遷移した際に、前記オペレータに通知することを特徴とする。
【００１３】
また、請求項８の発明は、基板処理装置において所定の処理が施される基板の処理状況データを管理するデータ管理方法であって、(a)前記基板処理装置から前記処理状況データを取得する工程と、(b)第１の情報処理装置が前記処理状況データを受信することについて可能状態にある場合に、前記第１の情報処理装置に前記処理状況データを送信する工程と、(c)第１の情報処理装置が前記処理状況データを受信することについて不能状態にある場合に、前記処理状況データをファイル化し、処理状況ファイルとして第２の情報処理装置内の第１のフォルダに一時的に保存する工程と、(d)前記第１の情報処理装置が前記処理状況データを受信した場合に、前記第１の情報処理装置が有するデータベースに前記処理状況データを追加登録する工程と、(e)前記第１の情報処理装置の第２のフォルダに前記処理状況ファイルが存在する場合に、前記処理状況ファイルから前記処理状況データを抽出して追加登録する工程とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１から請求項８に記載の発明によれば、ネットワークを介して第２の情報処理装置から第１の情報処理装置に処理状況データを送信し、第１の登録手段によって処理状況データを追加登録することができる。
【００１５】
また、ネットワークや第１の情報処理装置で障害が発生した等の理由により、第１の情報処理装置にて処理状況データを受信できない場合であっても、
（１）第２の情報処理装置において処理状況データをファイル化して処理状況ファイルとして第１のフォルダに一時的に保存し、その後、
（２）第２の登録手段によって処理状況ファイルから抽出された処理状況データをデータベースに登録することができる。
【００１６】
これにより、ネットワークや第１の情報処理装置に障害が発生してから復旧するまでの間に基板処理装置から取得した処理状況データについても、処理状況ファイルを使用することによって第１の情報処理装置のデータベースに登録することができる。そのため、登録すべき処理状況データがデータベースから欠落することを防止でき、この処理状況データに基づくデータ解析を良好に実行することができる。
【００１７】
特に、請求項２に記載の発明によれば、第１の情報処理装置の第２のフォルダに処理状況ファイルが存在すると判断される場合には、この処理状況ファイルから抽出した処理状況データをデータベースに追加登録する処理を実行することができる。そのため、処理状況ファイルから抽出した処理状況データを容易にデータベースに追加登録することができ、オペレータの負担を軽減することができる。
【００１８】
特に、請求項３に記載の発明によれば、処理状況ファイルを第２の情報処理装置から前記第１の情報処理装置にコピーする際、第１のフォルダからネットワークを介してアクセス可能な第２のフォルダにコピーすることができる。そのため、離れた場所に設置された２つの情報処理装置の間でも、この処理状況ファイルを容易にコピーすることができる。
【００１９】
特に、請求項４に記載の発明によれば、第１のフォルダから第２のフォルダに処理状況ファイルをコピーするとともに、コピー後に第１のフォルダ内に残る処理状況ファイルを削除することができる。そのため、オペレータが同一の処理状況ファイルに基づき、同一の処理状況データをデータベースに２重登録することを防止できる。
【００２０】
また、請求項４に記載の発明によれば、第１のフォルダからネットワークを介してアクセス可能な第２のフォルダに処理状況ファイルをコピーする時期を、（１）ネットワークのトラフィックが小さいときや、（２）第１および第２の情報処理装置の負荷が小さいときに設定することができる。そのため、データ管理システム全体の負荷を考慮に入れて、処理状況ファイルの転送処理を実行することができる。
【００２１】
特に、請求項５に記載の発明によれば、オペレータは、第１の情報処理装置が処理状況データファイルを受信することができず、第２の情報処理装置によって処理状況ファイルが作成されたことを通知手段の通知によって知ることができる。そのため、オペレータは、状況に応じて種々の措置を取ることが可能となる。
【００２２】
特に、請求項６および請求項７に記載の発明によれば、ネットワークが障害から復旧した際、または、第１の情報処理装置が動作可能状態に遷移した際に、処理状況ファイルが作成されたことをオペレータに通知する。すなわち、オペレータは、第１の情報処理装置のデータベースに処理状況データを登録可能となった時点で、処理状況ファイルが作成されたことの通知を受けることができる。そのため、通知に必要となるデータ管理システムの負担（ネットワークのトラフィックや第２の情報処理装置の負荷）を軽減することができる。
【００２３】
また、オペレータが当該通知を受け取る際、第１の情報処理装置は処理状況ファイルを受信することが可能な状態となっている。そのため、オペレータは、状況に応じた登録方法を選択することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【００２５】
＜１．データ管理システムの構成＞
図１は、本発明の実施の形態におけるデータ管理システム１の構成の一例を示す図である。データ管理システム１は、基板処理装置１００にて基板に対して所定の処理が施される場合に、当該基板の処理状況を示すデータをデータベースサーバ３００に登録するとともに、この登録されたデータを解析することにより、各基板の処理状況や基板処理装置１００の稼動状況を管理するシステムである。図１に示すように、データ管理システム１は、主として、（１）基板処理装置１００と、（２）基板処理装置１００全体の動作状況を制御する装置ＰＬＣ１０５と、（３）装置インターフェース２００と、（４）データベースサーバ３００とを備える。
【００２６】
図２は、本発明の実施の形態における基板処理装置１００のハードウェア構成の一例を示す図である。基板処理装置１００は、液晶表示装置用またはプラズマ表示装置用のガラス基板に対して所定の処理を施す枚葉式の装置である。図２に示すように、基板処理装置１００は、主として、インデクサ１０１、洗浄ユニット１１０、脱水ベークユニット１２０、レジスト塗布ユニット１３０、プリベークユニット１４０、エッジ露光ユニット１７０、露光ユニット１５０、タイトラー１６０、現像ユニット１８０、ポストベークユニット１９０、および装置ＰＬＣ１０５を備える。
【００２７】
インデクサ１０１は、基板処理装置１００の外部から搬入されるカセット（図示省略）をその内部に配置する。またインデクサ１０１では、当該カセットから取り出された基板を洗浄ユニット１１０に受け渡すとともに、所定の処理が完了した基板をカセットに格納する。
【００２８】
洗浄ユニット１１０は、インデクサ１０１から受け渡された基板に対して純水等を吐出することにより、基板上に付着した汚れを除去する。また、洗浄ユニット１１０は、ポストベークユニット１９０にて熱処理が完了した基板を受け取るとともに、インデクサ１０１に受け渡す。
【００２９】
ポストベークユニット１９０は、複数の加熱部および冷却部（いずれも図示省略）から構成される熱処理ユニットである。現像ユニット１８０にて現像処理が施された基板は、ポストベークユニット１９０において所定の熱処理が施される。また、ポストベークユニット１９０は洗浄ユニット１１０で洗浄処理が完了した基板を受け取るとともに、脱水ベークユニット１２０に受け渡す。
【００３０】
脱水ベークユニット１２０は、複数の加熱部と、冷却部と、レジスト膜と基板との密着性を向上させるためにＨＭＤＳ（ヘキサメチルジシラザン）の蒸気雰囲気で基板Ｗに対して熱処理を施す密着強化処理部と、を備える熱処理ユニットである。洗浄ユニット１１０にて洗浄処理が施された基板は、脱水ベークユニット１２０にて所定の熱処理および密着強化処理が施される。また、脱水ベークユニット１２０は、現像ユニット１８０から基板を受け取るとともに、当該基板をポストベークユニット１９０に受け渡す。
【００３１】
レジスト塗布ユニット１３０は、脱水ベークユニットにて所定の熱処理および密着強化処理が施された基板にレジストを塗布し、基板上にレジスト膜を形成するユニットである。そして、レジスト塗布ユニット１３０にてレジスト塗布処理が完了すると、レジスト膜の形成された基板は、レジスト塗布ユニット１３０からプリベークユニット１４０に受け渡される。
【００３２】
プリベークユニット１４０は、複数の加熱部と冷却部とを備える熱処理ユニットである。プリベークユニット１４０は、レジスト塗布ユニット１３０から受け渡される基板について、レジスト膜と基板との密着性を強固にするために、プリベークと呼ばれる加熱処理（露光前の焼きしめ処理）が施される。ここで、プリベークによりレジスト膜中の余分な溶媒成分が蒸発される。したがって、基板に対してプリベーク処理が施されると、当該基板上に形成されたレジスト膜の膜厚は変化することとなる。またプリベークユニット１４０は、タイトラー１６０から受け渡される基板を現像ユニット１８０に受け渡す。
【００３３】
エッジ露光ユニット１７０は、プリベークユニット１４０から受け渡された基板の周縁部に余分に付着した余分なレジストに対して露光処理を施すユニットである。現像処理に先だってこの露光処理を施すことにより、基板の周縁部に付着する余分なレジストは、現像処理によって除去されることとなる。また、エッジ露光ユニット１７０は、エッジ露光処理が完了した基板を露光ユニット１５０に受け渡す。
【００３４】
露光ユニット１５０は、エッジ露光ユニット１７０から受け渡される基板に対して所定のパターン露光を行うユニットである。また、パターン露光が完了した基板は、タイトラー１６０に受け渡される。
【００３５】
タイトラー１６０は、露光ユニット１５０から受け渡される基板の周辺部分に印字焼き付けを行うユニットである。また、タイトラー１６０は、基板をプリベークユニット１４０に受け渡す。
【００３６】
現像ユニット１８０は、主として、現像部、水洗部、および乾燥部（いずれも図示省略）を備える。現像部では、プリベークユニット１４０から受け渡された基板に対して現像液を供給することにより、例えば、ポジ型レジストの場合、基板上に塗布されたレジストのうち露光ユニット１５０によって感光した部分を除去する処理を行う。また、水洗部では、現像液の付着した基板に純水を供給することにより洗浄し、乾燥部にて基板に付着した純水を乾燥させる。そして、現像ユニット１８０は、現像処理が完了した基板を脱水ベークユニット１２０に受け渡す。
【００３７】
ポストベークユニット１９０は、複数の加熱部と冷却部とを備える、ポストベークユニット１９０では、脱水ベークユニット１２０から受け渡される基板に熱処理を施すことにより、基板上に形成されたレジスト膜を硬化させる処理を行う。また、ポストベークユニット１９０は、洗浄ユニット１１０から受け渡された基板を脱水ベークユニット１２０に受け渡す。
【００３８】
装置ＰＬＣ１０５は、信号線１０９を介してネットワーク４００と接続されており、主として、プログラムや変数等を格納するメモリ１０６と、メモリ１０６に格納されるプログラムに従った制御を実行するＣＰＵ１０７とを備える。ＣＰＵ１０７は、メモリ１０６に格納されるプログラムに従って、基板処理装置１００の各ユニット１０１、１１０、１２０、１３０、１４０、１５０、１６０、１７０、１８０、１９０の処理状況を制御する。
【００３９】
また、装置ＰＬＣ１０５では、動作各ユニット１０１、１１０、１２０、１３０、１４０、１５０、１６０、１７０、１８０、１９０の処理状況を示すデータ、例えば、現像ユニット１８０の現像液の液温、流量、濃度等の処理に関するデータ、現像ユニット１８０等の各ユニットを識別するためのデータ、および、基板を識別するためのデータ、（以下、これらのデータを総称して「処理状況データ」と称する）をメモリ１０６に格納する。
【００４０】
装置インターフェース２００は、図１に示すように、ネットワーク４００を介してデータベースサーバ３００および装置ＰＬＣ１０５と接続されている。装置インターフェース２００は、装置ＰＬＣ１０５のメモリ１０６から基板処理装置１００の処理状況データを取得するとともに、この取得したデータをデータベースサーバ３００に送信する処理を行う。すなわち、装置インターフェース２００は、データベースサーバ３００から処理状況データを取得する処理を分離することにより、データベースサーバ３００の負荷の軽減を図っている。
【００４１】
この装置インターフェース２００は、いわゆるパーソナルコンピュータやワークステーションによって構成される制御装置であり、図１に示すように、主として、プログラムや変数等を格納するメモリ２０６と、メモリ２０６に格納されるプログラムに従った制御を実行するＣＰＵ２０７と、大容量記憶ユニット２０８とを備える。
【００４２】
ＣＰＵ２０７は、メモリ２０６に格納されるプログラムに従って、後述する処理状況データの取得や処理状況ファイルの作成等の処理を所定のタイミングで実行する。
【００４３】
また、大容量記憶ユニット２０８は、シリコンディスクドライブやハードディスクドライブ等のメモリ２０６と比較して記憶容量の大きな素子によって構成された記憶部である。したがって、大容量記憶ユニット２０８は、後述する処理状況ファイル等のようなサイズの大きなデータを保存することができる。そして、必要に応じてメモリ２０６との間でデータの授受を行う。
【００４４】
データベースサーバ３００は、装置インターフェース２００と同様に、いわゆるパーソナルコンピュータやワークステーションによって構成される制御装置であり、基板処理装置１００の処理状況データを登録するデータベースを有する（データベースについては後述する）。図１に示すように、データベースサーバ３００は、主として、プログラムや変数等を格納するメモリ３０６と、メモリ３０６に格納されるプログラムに従った制御を実行するＣＰＵ３０７と、大容量記憶ユニット３０８とを備える。
【００４５】
ＣＰＵ３０７は、メモリ３０６に格納されるプログラムに従って、後述する処理状況データの登録処理等を所定のタイミングで実行する。
【００４６】
また、大容量記憶ユニット３０８は、シリコンディスクドライブやハードディスクドライブ等によって構成された記憶部であり、大容量記憶ユニット２０８と同様にサイズの大きなデータを保存することができる。そして、必要に応じてメモリ３０６との間でデータの授受を行う。
【００４７】
＜２．装置インターフェースおよびデータベースサーバの機能的な構成＞
図３は、本実施の形態における装置インターフェース２００およびデータベースサーバ３００の機能構成の一例を示す図である。
【００４８】
まず、装置インターフェース２００の機能構成について説明する。データ取得部２１０は、信号線２０９、ネットワーク４００、および信号線１０９（図１参照）を介して接続される装置ＰＬＣ１０５のメモリ１０６から、所定の間隔（例えば、０．１秒〜２．０秒の範囲内の特定値）にて処理状況データを取得する。そして、取得された処理状況データは、一時的に装置インターフェース２００のメモリ２０６に格納される。
【００４９】
ここで、基板処理装置１００の各ユニットにおいて基板に処理が施される場合、例えば、現像ユニット１８０の現像部（図示省略）にて基板に対して処理が施される場合、装置ＰＬＣ１０５のメモリ１０６には、後述するデータベース３０８ｃのフィールドに対応する値、すなわち、「基板ＩＤ」、「スロットＮＯ」、および、「ロットＮＯ」等の基板に関する情報と、「基板処理装置１００を特定するためのデータ」、「現像ユニット１８０を特定するためのデータ」、および、「現像部（図示省略）を特定するためのデータ」等のハードウェアに関する情報と、「現像液の濃度」、「現像液の流量」、および「現像液の温度」等の処理に関する情報とが処理状況データとして格納される。
【００５０】
データ取得部２１０では、処理の対象となる基板が対象ユニットに搬入されてから、所定の処理が完了して搬出されるまでの間、所定の間隔で装置ＰＬＣ１０５のメモリ１０６から処理状況データを取得しつつ、装置インターフェース２００のメモリ２０６に追加的に格納し続ける。
【００５１】
そして、対象ユニットから所定の処理の完了した基板が搬出された段階で、対象ユニットに関する複数の処理状況データ（すなわち、基板、ハードウェア、および基板処理に関するデータ）を一組の処理状況データ２０６ａとし、データ送信部２２０によってメモリ２０６から信号線２０９、ネットワーク４００および信号線３０９を介してデータベースサーバ３００に送信する。すなわち、本実施の形態では、各処理状況データが取得される毎に、送信処理を実行しない。そのため、ネットワーク４００のトラフィックの増加および装置インターフェース２００およびデータベースサーバ３００の処理負担を軽減することができ、データ管理システム１全体としての負担を軽減することができる。
【００５２】
ここで、この一組の処理状況データ２０６ａは、データ送信部２２０によって、装置ＰＬＣ１０５のメモリ１０６に格納される各処理状況データをデータベースサーバ３００のデータベース３０８ｃに対して追加格納可能な形式に変換したものである。したがって、一組の処理状況データ２０６ａを受信したデータベースサーバ３００は、この一組の処理状況データ２０６ａをデータベース３０８ｃに追加格納することができる。
【００５３】
ただし、データ送信部２２０によって一組の処理状況データをデータベースサーバ３００に送信する場合、ネットワーク４００の途中経路に障害が発生したり、データベースサーバ３００がメンテナンスやトラブルのため当該データベースサーバ３００の動作が停止状態となると、メモリ２０６に格納される一組の処理状況データ２０６ａを装置インターフェース２００からデータベースサーバ３００に向けて送信することができない。
【００５４】
そこで、本実施の形態では、このように一組の処理状況データ２０６ａをデータ送信部２２０によって送信できない場合には、メモリ２０６内の処理状況データ２０６ａを一時的に大容量記憶ユニット２０８のフォルダ２０８ｂ内にバッファリングしている。
【００５５】
監視部２５０は、図３に示すように、信号線２０９、ネットワーク４００、および信号線３０９を介してデータベースサーバ３００と接続されており、データ送信部２２０によって一組の処理状況データ２０６ａを送信可能か否かについて監視する動作を実行する。すなわち、監視部２５０は、装置インターフェース２００からデータベースサーバ３００に至る送信路の状況（例えば、ネットワーク４００、信号線２０９、および信号線３０９に異常が発生していないかどうか）や、データベースサーバ３００の稼動状況（一組の処理状況データ２０６ａを受信可能な状態にあるかどうか）の監視を所定の間隔（例えば、０．１秒から２．０秒の範囲内の特定値）で実行する。
【００５６】
そして、監視部２５０により、一組の処理状況データ２０６ａを送信できないと判断された場合、監視部２５０は、ファイル作成部２６０に対してメモリ２０６に一時的に格納される一組の処理状況データ２０６ａを大容量記憶ユニット２０８に格納するように指示する。指示を受けたファイル作成部２６０では、一組の処理状況データ２０６ａを１つのファイルに変換する。変換によってファイル化されたデータは、処理状況ファイル２０８ａとして大容量記憶ユニット２０８のフォルダ２０８ｂに一時的に保存される。
【００５７】
なお、ファイル作成部２６０によって大容量記憶ユニット２０８に保存される処理状況ファイル２０８ａは、バイナリ形式であってもよいし、テキストエディタソフト等で閲覧可能なテキスト形式であってもよい。
【００５８】
このファイル作成部２６０によるファイル化処理は、装置インターフェース２００からデータベースサーバ３００へのデータ送信が可能となるまで引き続き実行される。したがって、データ送信可能な状態となるまでに大容量記憶ユニット２０８のフォルダ２０８ｂには複数の処理状況ファイル２０８ａが保存される場合も生ずる。
【００５９】
そして、ネットワーク４００が障害から復旧し、または、データベースサーバ３００が動作停止状態から動作可能状態に遷移し、監視部２５０によってデータ送信が可能となったと判断されると、監視部２５０は、オペレータに対して処理状況ファイル２０８ａが作成された旨を通知するよう通知部２７０に指示する。指示を受けた通知部２７０は、処理状況ファイル２０８ａが作成されて大容量記憶ユニット２０８に保存された旨を、電子メールにて送信したり電話することによってオペレータに通知する。
【００６０】
これにより、オペレータは自己の使用するクライアントコンピュータ５００や携帯電話にて電子メールを受信したり、固定電話や携帯電話にて処理状況ファイル２０８ａが作成された旨の固定メッセージを聞くことにより、何らかのトラブルが発生して大容量記憶ユニット２０８のフォルダ２０８ｂに処理状況ファイル２０８ａが保存されたことを知ることができる。そのため、オペレータは、状況に応じて処理状況ファイル２０８ａをデータベースサーバ３００のデータベース３０８ｃに追加格納するための種々の措置を取ることができる。
【００６１】
ファイル転送部２３０は、ファイル作成部２６０によって作成された処理状況ファイル２０８ａをオペレータの指示にしたがってデータベースサーバ３００の大容量記憶ユニット３０８上に確保されたフォルダ３０８ｂ内に転送するとともに、転送処理が完了した後にフォルダ２０８ｂ内の処理状況ファイル２０８ａを削除する処理を行う。
【００６２】
なお、データベースサーバ３００のフォルダ３０８ｂは、ネットワークを介してデータベースサーバ３００と接続される装置からアクセス可能な、いわゆる共有フォルダとして設けられている。
【００６３】
したがって、装置インターフェース２００から見た場合、ファイル転送部２３０による処理状況ファイル２０８ａの転送処理は、装置インターフェース２００内においてファイルを移動することと同様な処理で行うことができる。すなわち、装置インターフェース２００から見た場合、データベースサーバ３００は離れた場所に設置されているか否かは転送処理において問題とならない。そのため、装置インターフェース２００とデータベースサーバ３００との間で転送する場合であっても、容易にファイルの転送および削除（すなわち、ファイルの移動）処理をすることができる。
【００６４】
図４は、処理状況ファイル２０８ａをデータベースサーバ３００に転送し、データベース３０８ｃに追加登録する際に、オペレータの指示を受け付けるためのダイアログ２３５の一例を示す図である。図４に示すように、ダイアログ２３５は、主として、１組のラジオボタン２３６ａ、２３６ｂと、日時指定に使用される複数のコンボボックス２３７ａ〜２３７ｅと、処理状況ファイル２０８ａの転送動作の開始または取りやめを指示する２つのコマンドボタン２３９ａ、２３９ｂとを備える。
【００６５】
１組のラジオボタン２３６ａ、２３６ｂは、処理状況ファイル２０８ａの転送時期を選択するためのボタンである。オペレータは、ラジオボタン２３６ａ、２３６ｂのいずれか一方を排他的に選択できる。そのため、オペレータは、処理状況ファイル２０８ａを転送してデータベース３０８ｃに登録する時期を、（１）「今すぐに登録」（ラジオボタン２３６ａを選択した場合）と、（２）「日時を指定して登録」（ラジオボタン２３６ｂを選択した場合）と、のうちから排他的に選択することができる。
【００６６】
コンボボックス２３７ａ〜２３７ｅは、ラジオボタン２３６ｂが選択された場合に、処理状況ファイル２０８ａを転送して登録する日時を指定するために使用されるコントロールである。ここで、コンボボックス２３７ａ〜２３７ｅのそれぞれは、転送・登録日時のうち「年」、「月」、「日」、「時」、「分」を指定するために使用される。
【００６７】
各コンボボックス２３７ａ〜２３７ｅによる日時の指定は、次のように行われる。例えば、「年」を指定する場合、コンボボックス２３７ａの右側に配置されるボタン２３８ａをマウス（図示省略）によってクリックする。これにより、ダイアログ２３５内には、選択部２３８ｂが表示され、「年」として選択可能な値（図４では、「２００４」、「２００５」、「２００６」）が表示される。そのため、オペレータは、選択部２３８ｂから必要な値を選択することにより容易に転送・登録日時の「年」を選択することができる。また、コンボボックス２３７ｂ〜２３７ｅについても、同様な方法によって入力することができる。
【００６８】
そして、ラジオボタン２３６ａ、２３６ｂによる転送・登録時期、およびコンボボックス２３７ａ〜２３７ｅによる転送・登録日時の指定が完了すると、オペレータはコマンドボタン２３９ａ、２３９ｂによって以後の処理を選択する。
【００６９】
すなわち、実際に処理状況ファイル２０８ａをデータベースサーバ３００に転送・登録する場合は、コマンドボタン２３９ａをクリックする。コマンドボタン２３９ａがクリックされると、フォルダ２０８ｂ内に存在するすべての処理状況ファイル２０８ａはデータベースサーバ３００内のフォルダ３０８ｂに転送された後、削除される。そして、データベースサーバ３００のフォルダ３０８ｂに転送された処理状況ファイル３０８ａは、後述する第２登録部３３０によってデータベース３０８ｃに追加登録される。
【００７０】
このように、処理状況ファイル２０８ａは転送後にフォルダ２０８ｂから削除されるため、２重にデータベース３０８ｃに追加登録されることはない。その結果、データベース３０８ｃ内のデータが冗長になることを防止できる。
【００７１】
一方、転送・登録処理を実行せずに中止する場合には、コマンドボタン２３９ｂをクリックして処理を中途終了する。
【００７２】
次に、データベースサーバ３００の機能構成について説明する。ここで、データベースサーバ３００では、２通りの方法でデータベース３０８ｃにデータを追加格納する。すなわち、データベースサーバ３００では、（１）装置インターフェース２００から送信される一組の処理状況データ２０６ａを受信した場合には第１登録部３１０により、（２）データベースサーバ３００の大容量記憶ユニット３０８に処理状況ファイル３０８ａが格納された場合には第２登録部３３０により、それぞれデータベース３０８ｃにデータを追加格納する。
【００７３】
まず、第１登録部３１０によってデータベース３０８ｃにデータを追加格納する場合について説明する。図５は、大容量記憶ユニット３０８に保存されるデータベース３０８ｃのデータ構造の一例を示す図である。図５の各レコード（各行）は、「基板ＩＤ」によって識別される基板の処理状況データであり、上述の一組の処理状況データに対応する。
【００７４】
ここで、各フィールド（各列）に格納される値について説明する。「基板ＩＤ」には、各基板を一意に識別するための値が格納される。また、「スロットＮＯ」、および「ロットＮＯ」には、「基板ＩＤ」によって識別される基板のスロットおよびロットを特定するための値が格納される。
【００７５】
「装置ＮＯ」には、「基板ＩＤ」によって特定される基板に対して処理を施した装置（例えば、基板処理装置１００）を特定するための値が格納される。また、「ユニットＮＯ」には、「装置ＮＯ」によって特定される装置に含まれる各ユニット（例えば、現像ユニット１８０やレジスト塗布ユニット１３０等（図２参照））を一意に特定するための値が格納される。さらに、「モジュールＮＯ」には、「ユニットＮＯ」によって特定されるユニットに含まれる各処理部（例えば、現像ユニット１８０の場合、現像部、水洗部、および乾燥部等（図示省略））を一意に特定するための値が格納される。
【００７６】
「日付」および「時刻」のそれぞれには、各レコードに対応する一組の処理状況データが装置ＰＬＣ１０５のメモリ１０６から取得された日付および時刻が格納される。また、「流量」、「液温」および「濃度」のそれぞれには、「ユニットＮＯ」によって特定される処理ユニットにおいて、「基板ＩＤ」によって特定される基板に対して供給される薬液（例えば、現像液）や純水（以下、薬液や純水等を総称して「処理液」とも呼ぶ）の流量値、処理液の温度、および処理液の濃度が格納される。
【００７７】
「エラー情報」には、「ユニットＮＯ」によって特定されるユニットにおいて、「基板ＩＤ」によって特定される基板に処理不良が発生した場合、その不良状況を一意に特定することができる「０」以外の値が格納される。一方、正常に処理が施された場合、「エラー情報」には「０」が格納される。
【００７８】
なお、一組の処理状況データのデータ構造によっては、データベース３０８ｃのフィールドのうち一部のデータしか有しない場合もあり得る。この場合、各レコードには、対応するフィールドのデータのみが格納される。例えば、露光ユニット１５０において処理液が使用されない場合、「流量」、「液温」および「濃度」の各フィールドには値が格納されない。また、必要に応じてデータベース３０８ｃのフィールドを追加してもよい。
【００７９】
第１登録部３１０では、受信した一組の処理状況データ２０６ａをデータベース３０８ｃに追加登録する。すなわち、第１登録部３１０が一組の処理状況データ２０６ａを受信すると、第１登録部３１０はデータベース３０８ｃに新しいレコード（行）を追加する。そして、一組の処理状況データ２０６ａを構成する各データを対応するフィールドに格納する。
【００８０】
監視部３２０は、大容量記憶ユニット３０８のフォルダ３０８ｂに処理状況ファイル３０８ａが存在するか否かを監視する。そして、監視部３２０によってフォルダ３０８ｂ内に処理状況ファイル３０８ａが存在すると判断された場合、監視部３２０は第２登録部３３０に対して処理状況ファイル３０８ａに格納された処理状況データをデータベース３０８ｃに追加格納するように指示する。
【００８１】
ここで、大容量記憶ユニット３０８のフォルダ３０８ｂ内に処理状況ファイル３０８ａが検出される場合として、例えば、次のような場合が考えられる。
【００８２】
（１）オペレータが装置インターフェース２００のフォルダ２０８ｂ内に格納される処理状況ファイル２０８ａをフロッピーディスケットやＭＯディスク等の移動メディアに保存した後、データベースサーバ３００の有する大容量記憶ユニット３０８のフォルダ３０８ｂにコピーした。
【００８３】
（２）図４に示すダイアログにより、装置インターフェース２００の大容量記憶ユニット２０８に保存された処理状況ファイル２０８ａが、即時にまたは指定された日時に、装置インターフェース２００のフォルダ２０８ｂからデータベースサーバ３００のフォルダ３０８ｂに転送された。
【００８４】
このような場合、フォルダ３０８ｂ内に一または複数の処理状況ファイル３０８ａがコピーされると、監視部３２０は第２登録部３３０に対して処理状況ファイル３０８ａに格納された処理状況データをデータベース３０８ｃに追加格納するように指示する。
【００８５】
監視部３２０から指示を受けた第２登録部３３０では、まず、大容量記憶ユニット３０８のフォルダ３０８ｂに格納された処理状況ファイル３０８ａを、一組の処理状況データに変換する。すなわち、第２登録部３３０では、まず、ファイル作成部２６０で実行される変換（一組の処理状況データから処理状況ファイルへ変換）と逆の変換を実行する。
【００８６】
そして、逆変換された一組の処理状況データを、第１登録部３１０と同様な方法により、データベース３０８ｃに追加登録する。すなわち、第２登録部３３０は、データベース３０８ｃに新しいレコード（行）を追加するとともに、逆変換された一組の処理状況データから抽出されたデータを対応するフィールドに格納する。
【００８７】
＜３．装置インターフェース２００による処理状況データの取り扱い＞
図６は、装置インターフェース２００において処理状況データを取得する手順を説明するためのフローチャートである。また、図７は、処理状況データの送信手順および処理状況ファイルの作成手順を説明するためのフローチャートである。本実施の形態の装置インターフェース２００では、図６および図７に示すように、装置ＰＬＣ１０５のメモリ１０６から処理状況データを取得しつつ（図６のステップＳ１０２、Ｓ１０３）、必要に応じて図７に示す処理手順を呼び出す（図６のステップＳ１０４）。
【００８８】
具体的に説明すると、本実施の形態では、まず、ステップＳ１０１において、メモリ２０６に変数「ＦＬＡＧ」を確保するとともに、この変数「ＦＬＡＧ」に「Ｔｒｕｅ」値を格納する。ここで、「ＦＬＡＧ」は、装置インターフェース２００とデータベースサーバ３００との間のデータ送受信状況を示す変数である。装置インターフェース２００とデータベースサーバ３００との間でデータの送受信が可能な場合には、変数「ＦＬＡＧ」に「Ｔｒｕｅ」値が格納される。一方、ネットワーク４００やデータベースサーバ３００の障害等により、装置インターフェース２００とデータベースサーバ３００との間でデータの送受信ができない場合、変数「ＦＬＡＧ」には、「Ｆａｌｓｅ」値が格納される。
【００８９】
装置インターフェース２００のデータ取得部２１０は、装置ＰＬＣ１０５のメモリ１０６から処理状況データの取得を行うとともに、装置インターフェース２００のメモリ２０６に当該処理状況データを格納する（Ｓ１０２）。ここで、基板処理装置１００内では、各ユニット１０１、１１０、１２０、１３０、１４０、１５０、１６０、１７０、１８０、１９０において処理が並行して実行される。そのため、装置インターフェース２００のメモリ２０６には、さまざまなユニットに関する処理状況データが格納される。
【００９０】
そして、特定のユニットに関する処理状況データをすべて取得すると、すなわち、特定のユニットに搬入された基板に対して所定の処理が施され、当該特定のユニットから基板が搬出されるまでの処理状況データ（一組の処理状況データ）を取得すると（Ｓ１０３）、処理状況データの送信手順（および処理状況ファイルの作成手順）が呼び出される（Ｓ１０４）。なお、ステップＳ１０４において処理状況データの送信手順が呼び出されると、すぐにステップＳ１０２の処理が実行される。そのため、処理状況データの送信手順を実行しつつ、引き続き装置ＰＬＣ１０５から処理状況データを取得する処理が実行される。
【００９１】
図７に示すように、ステップＳ１０４によって呼び出される処理状況データの送信手順および処理状況ファイルの作成手順では、まず、装置インターフェース２００の監視部２５０（図３参照）によって、メモリ２０６に格納された一組の処理状況データ２０６ａをデータベースサーバ３００に送信可能か否かについてチェックする（Ｓ２０１）。
【００９２】
そして、監視部２５０によって送信可能と判断された場合であって、メモリ２０６の変数「ＦＬＡＧ」に格納された値が「Ｔｒｕｅ」の場合（Ｓ２０２）、メモリ２０６に格納された当該一組の処理状況データ２０６ａはデータベースサーバ３００に送信される（Ｓ２０３）。これにより、受信したデータベースサーバ３００の第１登録部３１０によって処理状況データ２０６ａはデータベース３０８ｃに追加格納される。
【００９３】
これに対して、監視部２５０によってデータベースサーバ３００への送信ができないと判断された場合であって（Ｓ２０１）、変数「ＦＬＡＧ」に「Ｔｒｕｅ」値が格納されている場合には（Ｓ２０６）、現在、装置インターフェース２００とデータベースサーバ３００との間でデータの送受信ができない状態である旨を登録するため、変数「ＦＬＡＧ」に「Ｆａｌｓｅ」値が格納される（Ｓ２０７）。そして、ファイル作成部２６０によって一組の処理状況データ２０６ａを処理状況ファイル２０８ａに変換し、フォルダ２０８ｂ内に一時的に保存する（Ｓ２０８）。
【００９４】
また、すでに変数「ＦＬＡＧ」に「Ｆａｌｓｅ」値が格納されている場合には（Ｓ２０６）、同様に、処理状況データ２０６ａをファイル変換し、処理状況ファイル２０８ａとしてフォルダ２０８ｂに保存する（Ｓ２０８）。
【００９５】
すなわち、変数「ＦＬＡＧ」に「Ｆａｌｓｅ」値が格納された後であって（Ｓ２０７）、装置インターフェース２００とデータベースサーバ３００との間でデータ送受信ができない期間において、図６のステップＳ１０４によって処理状況データの送信手順が呼び出されると、処理状況データの送信手順では、ステップＳ２０１，Ｓ２０６、およびＳ２０８を繰り返すことにより、一組の処理状況データ２０６ａを処理状況ファイル２０８ａに変換し、この処理状況ファイル２０８ａをフォルダ２０８ｂに保存し続ける。その結果、フォルダ２０８ｂには複数の処理状況ファイル２０８ａが保存される場合もある。
【００９６】
また、装置インターフェース２００とデータベースサーバ３００との間のデータ送受信が不能状態から可能状態に遷移した後に処理状況データの送信手順が呼び出されると、当該送信手順では、ステップＳ２０１、Ｓ２０２、Ｓ２０４およびＳ２０５の各処理が実行される。すなわち、変数「ＦＬＡＧ」に「Ｔｒｕｅ」値が格納される（Ｓ２０４）。続いて、通知部２７０により、オペレータに対して処理状況ファイル２０８ａが作成された旨の通知がなされる（Ｓ２０５）。そして、ステップＳ２０３により一組の処理状況データ２０６ａがデータベースサーバ３００に送信される。
【００９７】
このようにステップＳ２０５では処理状況ファイル２０８ａが作成された旨をオペレータに通知することができるため、通知を受けたオペレータは、データ送信ができなかった期間に取得された処理状況データを処理状況ファイル２０８ａに基づき、データベースサーバ３００のデータベース３０８ｃに追加登録するための適切な措置をとることができる。すなわち、オペレータは、（１）処理状況ファイル２０８ａを移動メディアにコピーし、データベースサーバ３００まで移動メディアを持って行き、データベースサーバ３００をオペレータが直接操作することによって、処理状況ファイル２０８ａをフォルダ３０８ｂ内にコピーすることができる。また、（２）図４に示すダイアログ２３５によって、今すぐ、または、指定した日時に処理状況ファイル２０８ａをデータベースサーバ３００のフォルダ３０８ｂにコピーすることができる。
【００９８】
＜４．本実施の形態のデータ管理システムの利点＞
以上のように、本実施の形態のデータ管理システム１では、例えば、ネットワーク４００やデータベースサーバ３００にて障害等が発生することにより、メモリ２０６に格納された一組の処理状況データ２０６ａをデータベースサーバ３００のデータベース３０８ｃに追加登録できない場合であっても、以下の手順によって障害等が発生した際に取得した一組の処理状況データ２０６ａをデータベースサーバ３００のデータベース３０８ｃに追加登録することができる。
【００９９】
すなわち、（１）ファイル作成部２６０によって一組の処理状況データ２０６ａをファイル化して処理状況ファイル２０８ａとして一時的に保存し、その後、処理状況ファイル２０８ａを大容量記憶ユニット３０８のフォルダ３０８ｂにコピーすることによって、対応する一組の処理状況データ２０６ａをデータベース３０８ｃに追加登録することができる。そのため、登録すべき処理状況データがデータベース３０８ｃから欠落することを防止でき、この処理状況データに基づくデータ解析を良好に実行することができる。
【０１００】
また、オペレータは、装置インターフェース２００とデータベースサーバ３００との間でデータ送受信が不能状態から可能状態に遷移した段階で、通知部２７０によって処理状況ファイル２０８ａが作成された旨の通知を受けることができる。そのため、通知を受けたオペレータは、データベース３０８ｃに追加格納されず処理状況ファイル２０８ａとしてファイル化された一組の処理状況データ２０６ａを、適切な方法によって追加登録することができる。
【０１０１】
また、処理状況ファイル２０８ａが作成された場合、オペレータはダイアログ２３５（図４参照）によって、処理状況ファイル２０８ａをデータベースサーバ３００に転送する日時を指定することができる。これにより、ネットワークのトラフィックが減少する日時を選択して処理状況ファイル２０８ａの転送処理を実行することができる。そのため、ネットワークを介したデータの送受信をともなう処理（例えば、データ取得部２１０による処理状況データの取得処理）に影響を及ぼすことなく、データ管理システム１の安定性を維持した状態で、処理状況ファイル２０８ａの転送処理を実行することができる。すなわち、データ管理システム１全体の負荷を考慮に入れて処理状況ファイル２０８ａの転送処理を実行することができる。
【０１０２】
また、ダイアログ２３５（図４参照）による処理状況ファイル２０８ａの転送処理では、データベースサーバ３００のフォルダ３０８ｂ内にファイルを転送後、装置インターフェース２００のフォルダ２０８ｂ内に保存される処理状況ファイル２０８ａを削除する処理も併せて実行される。そのため、すでにデータベース３０８ｃに追加登録されたデータが誤って２重登録（複数回登録）されることを防止することができる。
【０１０３】
さらに、本実施の形態のデータ管理システム１では、移動メディアに処理状況ファイル２０８ａを一時的に格納した後、当該処理状況ファイル２０８ａをデータベースサーバ３００のフォルダ３０８ｂに格納することができる。すなわち、ネットワーク４００を介することなく処理状況ファイル２０８ａの転送処理を実行することができる。そのため、ネットワークのトラフィックの増加を防止してデータ管理システム１の安定性を維持しつつ、処理状況ファイル２０８ａに基づきデータベース３０８ｃへ処理状況データを追加格納することができる。
【０１０４】
＜５．変形例＞
以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明は上記の例に限定されるものではない。
【０１０５】
（１）本実施の形態において、ファイル作成部２６０は、一組の処理状況データ２０６ａを１つの処理状況ファイル２０８ａに変換しているがこれに限定されるものでなく、各処理状況データ２０６ａに対応する処理状況ファイル２０８ａを作成してもよい。また、本実施の形態では、各ユニット毎のデータをひとまとまりにした一組の処理状況データ２０６ａを変換しているが、これに限定されるものでなく、複数のユニットのデータをひとまとまりとしても良い。
【０１０６】
（２）また、本実施の形態において、装置インターフェース２００とデータベースサーバ３００との間のデータの送信状況が不能状態から可能状態になった時点で、オペレータに処理状況ファイル２０８ａが作成された旨を通知し、処理状況ファイル２０８ａをデータベースサーバ３００のデータベース３０８ｃに追加登録するための措置とるように促しているが、これに限定されるものでない。例えば、データ送信状況が不能状態から可能状態となった時点で、処理状況ファイル２０８ａをデータベースサーバ３００のフォルダ３０８ｂ内に転送してもよい。これにより、オペレータの転送作業を削減することができる。
【０１０７】
（３）また、本実施の形態において、装置インターフェース２００とデータベースサーバ３００との間のデータの送信状況が不能状態から可能状態になった時点で、オペレータに処理状況ファイル２０８ａが作成された旨を通知しているが、これに限定されるものでなく、例えば、監視部２５０によってデータ送受信が不能状態であることを検出した時点で、オペレータに通知してもよい。これにより、オペレータは、ネットワーク４００またはデータベースサーバ３００にて何らかの障害が発生していることを認識することができ、障害から復旧するための措置を迅速に行うことができる。
【０１０８】
（４）さらに、本実施の形態において、通知部２７０によるオペレータへの通知は、フォルダ２０８ｂに保存された処理状況ファイル２０８ａの数が所定値以上となった時点であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１０９】
【図１】本発明の実施の形態におけるデータ管理システムの構成の一例を示す図である。
【図２】本発明の実施の形態における基板処理装置のハードウェア構成の一例を示す図である。
【図３】本発明の実施の形態における装置インターフェースおよびデータベースサーバの機能構成の一例を説明するための図である。
【図４】「処理状況ファイルの登録」ダイアログの一例を示す図である
【図５】データベースの構造の一例を示す図である。
【図６】装置インターフェースにおける処理状況データの取得手順を説明するためのフローチャートである。
【図７】装置インターフェースにおける処理状況データの送信手順および処理状況ファイルの作成手順を説明するためのフローチャートである。
【符号の説明】
【０１１０】
１  データ管理システム
１００  基板処理装置
２００  装置インターフェース
２０６ａ  処理状況データ
２０８ａ、３０８ａ  処理状況ファイル
２０８ｂ、３０８ｂ  フォルダ
２１０  データ取得部
２２０  データ送信部
２３０  ファイル転送部
２５０  監視部
２６０  ファイル作成部
２７０  通知部
３００  データベースサーバ
３０８ｃ  データベース
３１０  第１登録部
３２０  監視部
３３０  第２登録部
４００  ネットワーク
【図１】
2005301870.tif 000003
【図２】
2005301870.tif 000004
【図３】
2005301870.tif 000005
【図４】
2005301870.tif 000006
【図５】
2005301870.tif 000007
【図６】
2005301870.tif 000008
【図７】
2005301870.tif 000009