(57)【要約】【課題】生産システムの構築において、オペレータの負荷を考慮したシミュレーション計算を行うこと。【解決手段】複数の搬送手段に自走式搬送装置とオペレータが含まれること、および自走式搬送装置が複数の小エリアのいずれかに対応して移動できること、ならびに複数の処理装置が自走可能であって複数の小エリアのいずれかに対応して移動できることを条件として、生産エリア内での移動における最適値をコンピュータで計算し、生産エリア内における複数の処理装置のレイアウトをコンピュータによってシミュレーション計算する工程（ステップＳ１０１〜１０３）と、複数の搬送手段のうちオペレータの数および複数の小エリアの各々への割り当てをパラメータとして設定し、小エリア毎のオペレータの移動に関わる負荷をコンピュータによって計算する工程（ステップＳ１０５〜１０６）とを備えている。【選択図】図２
2005100092.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
計算上の生産エリアに関する情報、前記生産エリアを区分けした複数の小エリアに関する情報、複数の処理装置に関する情報、複数の搬送手段に関する情報、半導体製品の製造工程に関する情報を用いて前記生産エリア内における複数の処理装置のレイアウトおよび前記複数の搬送手段の移動ならびにオペレータの人員配置による負荷をコンピュータでシミュレーション計算する半導体生産シミュレーション方法において、
前記複数の搬送手段に自走式搬送装置と前記オペレータが含まれること、および前記自走式搬送装置が前記複数の小エリアのうちいずれかに対応して移動できること、ならびに前記複数の処理装置が自走可能であって前記複数の小エリアのうちいずれかに対応して移動できることを条件とした上で、前記半導体製品の製造工程に関する情報から各製造工程での処理を順次進める間に前記複数の処理装置および前記複数の搬送手段の前記生産エリア内での移動における最適値を前記コンピュータで計算し、前記生産エリア内における前記複数の処理装置のレイアウトを前記コンピュータによってシミュレーション計算する工程と、
前記シミュレーション計算によって得た複数の処理装置のレイアウトにおいて、前記複数の搬送手段のうち前記オペレータの数および前記複数の小エリアの各々への人数の割り当てをパラメータとして設定し、前記小エリア毎の前記オペレータに関わる負荷を前記コンピュータによって計算する工程と
を備えることを特徴とする半導体生産シミュレーション方法。
【請求項２】
前記シミュレーション計算によって得た複数の処理装置のレイアウトを実際の制約条件を加味して修正する工程を含む
ことを特徴とする請求項１記載の半導体生産シミュレーション方法。
【請求項３】
前記オペレータに関わる負荷として、前記オペレータの総人数および前記複数の小エリアへの人数に割り当てにおける複数のパターンに対してＴＡＴ（Turn Around Time）、ＷＩＰ（Work In Process）、スループット、動線、稼働率を各々計算して出力する
ことを特徴とする請求項１記載の半導体生産シミュレーション方法。
【請求項４】
前記コンピュータは、前記レイアウトをシミュレーション計算するにあたり、
前記搬送手段が半導体製品を搬送している場合、その半導体製品の工程に関する情報から搬送先となり得る処理装置を特定し、その処理装置の位置情報および状態情報と、自身の位置情報および状態情報とに基づき移動方向および移動距離を示すベクトルを随時生成し、そのベクトルに応じた前記生産エリア内での移動を計算し、
前記搬送手段が半導体製品を搭載していない場合、前記処理装置からの搬送要求があるか否かを判断し、搬送要求のある処理装置の位置情報および状態情報と、自身の位置情報および状態情報とに基づき移動方向および移動距離を示すベクトルを随時生成し、そのベクトルに応じた前記生産エリア内での移動を計算する
ことを特徴とする請求項１記載の半導体生産シミュレーション方法。
【請求項５】
計算上の生産エリアに関する情報、前記生産エリアを区分けした複数の小エリアに関する情報、複数の処理装置に関する情報、複数の搬送手段に関する情報、半導体製品の製造工程に関する情報を用いて前記生産エリア内における複数の処理装置のレイアウトおよび前記複数の搬送手段の移動ならびにオペレータの人員配置による負荷をコンピュータでシミュレーション計算する半導体生産シミュレーションプログラムにおいて、
前記複数の搬送手段に自走式搬送装置と前記オペレータが含まれること、および前記自走式搬送装置が前記複数の小エリアのうちいずれかに対応して移動できること、ならびに前記複数の処理装置が自走可能であって前記複数の小エリアのうちいずれかに対応して移動できることを条件とした上で、前記半導体製品の製造工程に関する情報から各製造工程での処理を順次進める間に前記複数の処理装置および前記複数の搬送手段の前記生産エリア内での移動における最適値を前記コンピュータで計算し、前記生産エリア内における前記複数の処理装置のレイアウトを前記コンピュータによってシミュレーション計算する工程と、
前記シミュレーション計算によって得た複数の処理装置のレイアウトにおいて、前記複数の搬送手段のうち前記オペレータの数および前記複数の小エリアの各々への人数の割り当てをパラメータとして設定し、前記小エリア毎の前記オペレータに関わる負荷を前記コンピュータによって計算する工程と
を備えることを特徴とする半導体生産シミュレーションプログラム。
【請求項６】
前記シミュレーション計算によって得た複数の処理装置のレイアウトを実際の制約条件を加味して修正する工程を含む
ことを特徴とする請求項５記載の半導体生産シミュレーションプログラム。
【請求項７】
前記オペレータに関わる負荷として、前記オペレータの総人数および前記複数の小エリアへの人数に割り当てにおける複数のパターンに対してＴＡＴ（Turn Around Time）、ＷＩＰ（Work In Process）、スループット、動線、稼働率を各々計算して出力する
ことを特徴とする請求項５記載の半導体生産シミュレーションプログラム。
【請求項８】
前記コンピュータは、前記レイアウトをシミュレーション計算するにあたり、
前記搬送手段が半導体製品を搬送している場合、その半導体製品の工程に関する情報から搬送先となり得る処理装置を特定し、その処理装置の位置情報および状態情報と、自身の位置情報および状態情報とに基づき移動方向および移動距離を示すベクトルを随時生成し、そのベクトルに応じた前記生産エリア内での移動を計算し、
前記搬送手段が半導体製品を搭載していない場合、前記処理装置からの搬送要求があるか否かを判断し、搬送要求のある処理装置の位置情報および状態情報と、自身の位置情報および状態情報とに基づき移動方向および移動距離を示すベクトルを随時生成し、そのベクトルに応じた前記生産エリア内での移動を計算する
ことを特徴とする請求項５記載の半導体生産シミュレーションプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、生産エリア内における複数の処理装置および複数の搬送手段を用いた半導体生産システムにおいて、オペレータの人員配置等を加味した半導体生産シミュレーション方法および半導体生産シミュレーションプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体装置の生産ラインは、多品種少量生産への対応が強く要求されているのに加え、半導体製品のライフサイクル自体もますます短くなってきており、固定的な生産ラインよりも柔軟な生産ラインの構築が必要となってきている。
【０００３】
このような状況に対応して、生産ラインにおける生産効率を向上させるためには、一般に以下の手法が必要とされる。
（１）製品の品種数／生産量、設備の故障／メンテナンス／段取り替え等の生産における環境変動に柔軟に対応できる生産システム設計手法。
（２）製品の流れを制御し、リアルタイムにスケジューリングできる計画手法。
（３）上記（２）のスケジューリングを受けて、仕掛かり量を適正にコントロールするディスパッチ手法。
【０００４】
ここで、ユーザニーズの多様化に伴い、多品種少量生産システムへ柔軟に対応すべく本願出願人は特許文献１において半導体生産システムおよび半導体生産シミュレーション方法を開示している。
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−１１５４２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記（１）の生産システム設計の１つである装置レイアウトを策定する場合にオペレータ（作業者）の人数、配置などの戦略は事前に十分検討されておらず、実際に作業が始まってから人数、配置などを変更して様子を見ながら決定していくというのが実状である。
【０００７】
また、各工程間では自動搬送、工程内では人手搬送で対応するというように搬送方式が混在するようなライン形態においては、搬送装置の台数、負荷とオペレータの人数、負荷とを同時に考慮してレイアウトを設計する必要があるが、このような考慮が成されていないという問題もある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明はこのような課題を解決するために成されたものである。すなわち、本発明は、計算上の生産エリアに関する情報、生産エリアを区分けした複数の小エリアに関する情報、複数の処理装置に関する情報、複数の搬送手段に関する情報、半導体製品の製造工程に関する情報を用いて生産エリア内における複数の処理装置のレイアウトおよび複数の搬送手段の移動ならびにオペレータの人員配置による負荷をコンピュータでシミュレーション計算するものであり、複数の搬送手段に自走式搬送装置とオペレータが含まれること、および自走式搬送装置が複数の小エリアのうちいずれかに対応して移動できること、ならびに複数の処理装置が自走可能であって複数の小エリアのうちいずれかに対応して移動できることを条件とした上で、半導体製品の製造工程に関する情報から各製造工程での処理を順次進める間に複数の処理装置および複数の搬送手段における生産エリア内での移動における最適値をコンピュータで計算し、生産エリア内における複数の処理装置のレイアウトをコンピュータによってシミュレーション計算する工程と、このシミュレーション計算によって得た複数の処理装置のレイアウトにおいて、複数の搬送手段のうちオペレータの数および複数の小エリアの各々への人数の割り当てをパラメータとして設定し、小エリア毎のオペレータに関わる負荷をコンピュータによって計算する工程とを備えている。
【０００９】
このような本発明では、オペレータを搬送手段の一つとしてシミュレーション計算に反映させているため、半導体製品の搬送に関するオペレータの負荷を定量的に計算できるようになる。また、生産エリアを複数の小エリアに区分けしているため、小エリア毎のオペレータの負荷を定量的に算出できるようになる。
【発明の効果】
【００１０】
したがって、本発明では、半導体生産システムにおける装置レイアウトの策定において、オペレータの人数や配置を加味した設計ができ、実状に合ったレイアウト設計を行うことが可能となる。また、オペレータの負荷を参照しながら半導体生産システムの装置レイアウトやオペレータ配置を可変でき、最適な生産システム設計を短期間で行うことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態を図に基づき説明する。本実施形態に係る半導体生産シミュレーション方法は、ワークステーションやパーソナルコンピュータ等のコンピュータで実行されるもので、計算上の生産エリア内における複数の処理装置のレイアウトおよび複数の搬送手段の移動ならびにオペレータ（作業者）の人員配置による負荷をシミュレーション計算し、半導体生産システムを構築するためのツールとして用いられるものである。
【００１２】
図１は、本実施形態に係る半導体生産シミュレーション方法の概略を説明する模式図である。すなわち、この半導体生産シミュレーション方法は、主として＜Ｓｔｅｐ１＞〜＜Ｓｔｅｐ５＞の５つのステップから構成される。
【００１３】
先ず、＜Ｓｔｅｐ１＞では、１．プロセスフロー、２．装置台数、３．フロアエリア、４．投入数量、５．故障・メンテナンスデータ、６．装置エリア属性、７．各エリアの装置可動範囲といったシミュレーション計算に必要な各種の情報をコンピュータに入力する。
【００１４】
ここで、１．プロセスフローとは、生産対象の半導体装置における全製造工程を示すもので、処理装置との対応や処理条件が時系列で示されたものである。また、２．装置台数は処理装置の種類に応じた台数であり、どの処理装置が何台あるかを示すものである。また、３．フロアエリアは生産エリアであるフロアの縦、横の長さ、投入口、払出口の位置などを示す情報である。４．投入数量は生産ラインに流す製品の数量（例えば、ロット数）である。５．故障・メンテナンスデータとは、処理装置や搬送手段におけるメンテナンス時間や充電時間など、使用できない時間に関する情報である。６．装置エリア属性は、処理装置や搬送手段が属する小エリアの情報である。小エリアとは、生産エリア内を区分けしたものである。７．各エリアの装置可動範囲は、処理装置や搬送手段がその属する小エリア内で可動できる範囲を指定するための情報である。
【００１５】
次に、＜Ｓｔｅｐ２＞では、上記＜Ｓｔｅｐ１＞で入力した各種の情報を用いて生産エリア内での処理装置および搬送手段のレイアウトをコンピュータでシミュレーション計算する。このシミュレーション計算は特開２００３−１１５４２５号公報に示される技術を用いる。なお、本実施形態では、処理装置や搬送手段がその属する小エリア内で移動可能であるとして計算を行う。この計算によって処理装置や搬送手段のレイアウト、スループット、ＴＡＴ（Turn Around Time）、ＷＩＰ（Work In Process）、動線、装置稼働率が算出され、これらの算出結果（例えば、動線の平均値が最も小さくなる、装置稼働率の平均値が最も高くなるなど）によって処理装置や搬送手段の移動における最適値が求められる。
【００１６】
また、本実施形態では、＜Ｓｔｅｐ２＞で行うシミュレーション計算として、搬送手段の中にオペレータを含めるようにした計算を行う。つまり、搬送手段に自走式搬送装置とオペレータが含まれると仮定して、オペレータによる半導体製品の搬送を定量化した計算を行う。なお、処理装置等のレイアウト案が予め決まっている場合には＜Ｓｔｅｐ２＞でのシミュレーション計算を行うことなく次の＜Ｓｔｅｐ３＞へ進む。
【００１７】
＜Ｓｔｅｐ３＞では、得られたレイアウトを実際の制約条件を加味して修正する処理を行う。実際の制約条件とは、生産エリア内にある柱や壁、通路、クリーンルームのクリーン度の設定による区分け、ガスや液体、電気等の供給源の位置によるレイアウトの制限事項であり、これに合わせて処理装置のレイアウトを修正する。この際、処理装置の前面配置を隣りの装置と合わせるなどの修正も可能である。
【００１８】
次に、＜Ｓｔｅｐ４＞では、修正後のレイアウト情報を反映した状態でオペレータの人員配置を設定する処理を行う。すなわち、＜Ｓｔｅｐ２＞で行うシミュレーション計算では、オペレータを搬送手段と仮定して移動を行うようにしたが、この＜Ｓｔｅｐ４＞では、搬送手段の台数からオペレータの人数分を各小エリアに振り分けるようにする。例えば、小エリア（１）に３人、小エリア（２）に２人、小エリア（３）に４人、小エリア（４）に３人というように、小エリア毎のオペレータの配置を設定する。この設定はコンピュータに手動で入力したり、予め設定された条件（総人数や小エリア数）で全ての組み合わせを自動入力できるようにしてもよい。ここで入力される情報は、８．オペレータ配置となる。
【００１９】
次に、＜Ｓｔｅｐ５＞では、この入力されたオペレータの配置に関する情報を用いて各エリア毎のオペレータの負荷率をコンピュータでシミュレーション計算する。このシミュレーション計算では、オペレータの負荷率とともに、スループット、ＴＡＴ、装置稼働率、動線、ＷＩＰもオペレータの配置に対して計算される。
【００２０】
このようにオペレータの配置によるオペレータ負荷率、スループット、ＴＡＴ、装置稼働率、動線、ＷＩＰが出力されることで、生産ラインを構築する際の判断材料として用いることができる。また、必要に応じてデータ１〜８の変更を行い、再度シミュレーション計算を行って別な計算結果を得ることもできる。
【００２１】
次に、本実施形態に係る半導体生産シミュレーション方法の流れを図２のフローチャートに沿って説明する。先ず、ステップＳ１０１に示すように、入力データ１〜７の設定を行う。この処理は上記説明した＜Ｓｔｅｐ１＞に対応するものである。入力データは、１．プロセスフロー、２．装置台数、３．フロアエリア、４．投入数量、５．故障・メンテナンスデータ、６．装置エリア属性、７．各エリアの装置可動範囲である。
【００２２】
次に、ステップＳ１０２では、処理装置のレイアウト案があるか否かを判断し、ある場合にはステップＳ１０３〜ステップＳ１０４をスキップしてステップＳ１０５へ進み、ない場合にはステップＳ１０３へ進む。
【００２３】
ステップＳ１０３では、レイアウト作成のシミュレーション計算を実行する。この処理は上記説明した＜Ｓｔｅｐ２＞に対応するものである。すなわち、ステップＳ１０１の処理で設定した条件を用いてシミュレーションを実施し、処理装置等のレイアウト、スループット、ＴＡＴ、ＷＩＰ、動線、装置稼働率などを評価する。ここで入力データのうち６．装置エリア属性、７．各エリアの装置可動範囲を変更した場合にはステップＳ１０４からステップＳ１０１へ戻り、再度設定したシミュレーション計算を繰り返す。
【００２４】
ここまでの処理で計算上の生産エリアでのレイアウトが決まり、次のステップＳ１０５では実際の制約条件を加味したレイアウト作成を行う。この処理は上記説明した＜Ｓｔｅｐ３＞に対応するものである。このステップＳ１０５では、生産エリア内にある柱や壁、通路等の構造を加味して処理装置のレイアウトを微調整する。レイアウトの微調整はオペレータが画面を参照しながらマウス等の操作で手動で行っても、また所定の条件（例えば、通路から処理装置までの距離を一定にする）に基づきコンピュータが自動で修正するようにしてもよい。
【００２５】
次に、ステップＳ１０６へ進み、入力データとして８．オペレータ配置（オペレータの人数、配置条件）を設定し、シミュレーション計算を実行する。この処理は上記説明した＜Ｓｔｅｐ４＞に対応するものである。ここでは、搬送手段の一つと仮定して移動に関するシミュレーション計算を行ったオペレータについて、人数と小エリア毎の配置人数を種々設定し、各々の設定条件に対応したオペレータ負荷率を計算する。
【００２６】
つまり、各小エリアにオペレータを所定の人数割り当てて配置し、その配置でオペレータの移動を搬送手段とみなしてシミュレーション計算すると、各小エリア毎にオペレータ負荷率（稼働率）が計算される。このシミュレーション計算は特開２００３−１１５４２５号公報に記載の技術に基づくもので、プロセスフローに沿って処理が進むことでオペレータ（搬送手段）がどのように移動するかを計算し、総移動距離（動線）や稼働率（負荷率）等を算出する。この計算を、オペレータの配置の組み合わせ毎に行う。
【００２７】
ステップＳ１０７では、必要に応じて入力データ８．オペレータ配置を変更して再度シミュレーション計算を行う。また、ステップＳ１０８では、入力データ１〜７を必要に応じて変更し、再度レイアウトのシミュレーションからやり直すことができる。これらの処理は上記説明した＜Ｓｔｅｐ５＞に対応するものである。
【００２８】
このステップＳ１０７〜ステップＳ１０８は必要に応じて行われるもので、ステップＳ１０６でシミュレーション計算して得たオペレータの配置によるオペレータ負荷率を参照し、ここで計算された以外のオペレータ配置や装置レイアウトで再度計算したい場合に条件を変更できるようになっている。
【００２９】
このような半導体生産シミュレーション方法によって、オペレータの移動を定量化した状態でオペレータを含む最適な生産システムの構築を行うことが可能となる。
【００３０】
図３は、生産エリアおよび小エリアにおける処理装置のレイアウト表示説明する模式図である。この図はコンピュータの画面上に表示されるもので、生産エリアＳの大きさや小エリアの範囲、各エリアでの装置可動範囲（エリア寸法）を設定できるようになっている。
【００３１】
図３（ａ）は生産エリアＳ内の処理装置Ｍ等の配置を示す画面例である。また、図３（ｂ）は、生産エリアＳの中に小エリアを設定した際の画面例である。生産エリアや小エリアは例えばマウス操作によって大きさを可変でき、その大きさで決定することでエリアサイズが入力される。
【００３２】
また、小エリアの内側に配置される処理装置Ｍや搬送手段Ｔはその小エリアに属するものとして設定できる。エリアのほか、半導体製品の保管装置や検査のためのエリアを設定することもできる。なお、検査のためのエリアには、設定されたエリア属性とは無関係に出入りすることができる。
【００３３】
図４は、図３に示すレイアウト例を用いて行ったオペレータ配置に対するシミュレーション結果を示す図である。このシミュレーション結果はコンピュータの画面に表示される。ここでは、Ａ〜Ｗによるオペレータの総人数と配置との組み合わせに対して、ＴＡＴ、スループット、ＷＩＰの評価結果を表している。ここで、配置における４つの数値は、左から順に小エリア（１）〜（４）の各々の配置人数を示している。
【００３４】
この例では、Ｒ、Ｓ、Ｕで示す配置条件においてＴＡＴ、スループット、ＷＩＰの値が良好なパフォーマンスを示している。すなわち、Ｒ、Ｓ、Ｕで示す配置条件では、ＴＡＴが２９日以下、スループットが２．９ロット／日以上、ＷＩＰが８６ロット以下となっている。なお、いずれの配置条件が良好か否かはこれらの数値に関する閾値を予め設定しておき、自動的に抽出できるようにしてもよい。
【００３５】
図５は、上記３条件（Ｒ、Ｓ、Ｕ）でのオペレータの平均負荷率を示す図である。この図では、横軸の１〜４の数値が小エリアの番号、縦軸がオペレータの平均負荷率を示している。Ｒ、Ｓ、Ｕの各配置条件に対応したオペレータの平均負荷率を見ると、Ｒ、Ｓに比較してＵの場合が平準化されていることがわかる。
【００３６】
このような小エリア毎のオペレータ負荷率を参照し、例えば次のような人員配置を行うための目安にすることができる。つまり、配置条件Ｒでは、オペレータ１１人で担当できるが負荷率の平準化ができていない。そこで負荷率の高い小エリア（１）および（４）のには熟練のオペレータを配置するなどの戦略が考えられる。
【００３７】
また、配置条件Ｕではオペレータ人数が１２人と配置条件Ｒ、Ｓに比べて１人多くなるが、オペレータ負荷率は平準化されているので定期的にオペレータの配置換えを行うことが可能であるなどの戦略が考えられる。
【００３８】
次に、特開２００３−１１５４２５号公報に記載の技術を用いた処理装置等のレイアウトのシミュレーション計算について、本実施形態へ適用する場合の定義を説明する。
【００３９】
＜自走式搬送装置に関する情報＞
（１）自身の状態である製品搬送中、待機中、故障中、保守中などのステータス情報。
（２）生産エリア内における自身の位置情報。
これらの情報はホストコンピュータで集中管理するなどの方法が考えられる。
【００４０】
＜空の搬送装置が受信する情報＞
製品投入口および処理装置からの搬送要求信号。
【００４１】
＜製品を持った搬送装置が受信する情報＞
搬送している製品の工程情報から処理要求信号を読み取り、要求されている次工程を処理可能な処理装置が発信する処理可能信号。ただし、最終工程終了後は、製品払出口からの信号。
【００４２】
＜自走式搬送装置をオペレータに置き換えるモデル化＞
（ａ）オペレータの休憩時間を設定し、各勤務帯・各担当エリア内の複数名のオペレータが交代に休憩する。オペレータを搬送手段として計算する場合、この休憩時間を自走式搬送装置のメンテナンス時間や充電時間として使用できない時間と置き換えて設定することができる。
（ｂ）オペレータの移動速度は例えば2km/hとする（設定上は可変にできる。）。
（ｃ）オペレータは処理装置の有する付帯作業時間の情報を読み取り、各装置についてロットのセット＋レシピセット＋スタートの時間、および各装置についてロットの取出し時間、は拘束されるものとする。変形例として検査装置のマニュアル検査作業はオペレータが対応する場合はその検査時間分は検査装置に拘束されるものとする。
（ｄ）検査装置は全オペレータが共通で担当する。検査終了後、次装置までの搬送を担当する。
（ｅ）オペレータが自分の担当エリア（小エリア）内の装置間での搬送を行う以外に小エリア間をまたがって作業を行う場合については、隣接の小エリアへの搬送を行うことができる。例えば、小エリア（１）の装置で処理終了後、小エリア（２）の装置で処理する場合（代替機処理を含む）、小エリア（１）を担当するオペレータが小エリア（２）までの搬送を担当する。また、小エリア（２）を担当するオペレータはロットのセット＋レシピセット＋スタートの作業を担当する。あるいは、小エリア（１）を担当するオペレータがロットのセット＋レシピセット＋スタートの作業までを担当するなどのモデルが考えられる。
【００４３】
上記説明したような各種条件を適用し、特開２００３−１１５４２５号公報に記載の技術を用いてシミュレーション計算することで、オペレータ負荷率を算出することができる。
【００４４】
図６は、オペレータが行う処理について説明するフローチャートである。先ず、オペレータが待機している状態で、所定の処理装置での処理が終了したロット（搬送可能なロット）があるか否かを判断し（ステップＳ２０１）、ある場合にはそのロットを処理装置もしくはストッカから取り出す（ステップＳ２０２）。
【００４５】
次いで、次工程の処理装置が空いているか否かを判断し（ステップＳ２０３）、空いていない場合にはストッカへ搬送する（ステップＳ２０４）。一方、空いている場合にはその処理装置へロットを搬送する（ステップＳ２０５）
【００４６】
その後、処理装置へ搬送したロットを処理装置へセットし（ステップＳ２０６）、処理装置へレシピをセットして処理をスタートさせる（ステップＳ２０７）。次いで、マニュアル検査装置など、オペレータによるオペレーション（操作）が必要であるか否かを判断し（ステップＳ２０８）、必要な場合には待機状態に戻る。一方、オペレーションが必要な場合にはオペレーションを行い（ステップＳ２０９）、オペレーションが終了したら（ステップＳ２１０）、待機状態に戻る。
【００４７】
ここで、例えば、工程間では自動搬送、工程内では人手搬送で対応するというように搬送方式が混在するようなライン形態においては、搬送装置の台数、負荷とオペレータ（作業者）の人数、負荷を同時に考慮する必要がある。本実施形態では、搬送手段として自走式搬送装置とオペレータとを等価と仮定して計算を行うため、自走式搬送装置とオペレータ（作業者）の両方を同時に取り扱うことが可能となる。
【００４８】
また、処理装置で処理が終了した半導体製品を保持する処理装置内のバッファの他に属性エリア毎に一時的に製品を保管する保管装置を有することも考えられる。これは処理装置のバッファだけで処理済みの製品を保持しきれず、製品の流通に滞りが発生するのを防ぐためである。このような状況に対応するため、搬送手段による搬送先や受け取り先として処理装置以外にも保管装置を想定したシミュレーション計算を行うことで対処できるようになる。
【００４９】
また、本実施形態では、生産における環境の変動（製品の品種数／生産量／設備の故障、メンテナンス／段取替えなど）に柔軟に対応して、各装置の位置やステータス（プロセス処理中、待機中、故障中、保守中、段取り替え中など）を時系列で変化させ、さらにオペレータと自走式搬送車の作業や搬送ステータスを加味して処理装置レイアウト計画、オペレータ（作業者）および自走式搬送車の配置計画、生産設備計画に用いることができる。
【００５０】
また、全オペレータが共通で担当する検査装置のような特定の処理装置についてはエリア属性を付加しないで、生産エリア内での移動ができるようになっている。
【００５１】
このような本実施形態によって、レイアウト策定を容易に行うことが可能となるとともに、オペレータ（作業者）を考慮してその人数、負荷の平準化を図るレイアウトを策定し、同時にＴＡＴ、スループット、ＷＩＰなどの生産性評価を行うことが可能となる。
【００５２】
また、各小エリア毎にオペレータの負荷率を算出できるので、各小エリア毎の負荷率を平準化できる人数配置を選択したり、負荷率の高いエリアには熟練のオペレータを配置し、負荷率の低いエリアには新人のオペレータを配置するといった戦略立案が可能となる。
【００５３】
また、自走式搬送装置を考慮してその台数、負荷の平準化を図るレイアウトを策定し、同時にＴＡＴ、スループットなどの生産性評価を行うことが可能となる。さらに、自走式搬送装置の台数、負荷およびオペレータ（作業者）の人数、負荷の平準化を図るレイアウトを策定し、同時にＴＡＴ、スループットなどの生産性評価を行うことが可能となる。
【００５４】
また、オペレータの休憩時間、自走式搬送装置のメンテナンス時間や充電時間として使用できない時間をモデルに取入れることでオペレータの負荷率、自走式搬送装置の負荷率および生産性評価の精度を向上させることが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００５５】
本実施形態に係る半導体生産シミュレーション方法は、半導体生産シミュレーションプログラムとして実現することができる。したがって、このプログラムをＣＤ−ＲＯＭ等の記録媒体に記録してパッケージ化したり、ネットワークを介した配信の対象とすることが可能である。また、このプログラムをコンピュータにインストールして実行するほか、異なるコンピュータで分散処理させる構成であってもよい。例えば、ネットワークに接続されたホストコンピュータにこのプログラムをインストールし、同じネットワークに接続されたクライアントコンピュータからデータを入力し、ホストコンピュータで計算した結果をクライアントコンピュータで出力するといった構成であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本実施形態に係る半導体生産シミュレーション方法の概略を説明する模式図である。
【図２】本実施形態に係る半導体生産シミュレーション方法の流れを説明するフローチャートである。
【図３】生産エリアおよび小エリアにおける処理装置のレイアウト表示説明する模式図である。
【図４】図３に示すレイアウト例を用いて行ったオペレータ配置に対するシミュレーション結果を示す図である。
【図５】３条件（Ｒ、Ｓ、Ｕ）でのオペレータの平均負荷率を示す図である。
【図６】オペレータが行う処理について説明するフローチャートである。
【符号の説明】
【００５７】
Ｍ…処理装置、Ｓ…生産エリア、Ｔ…搬送手段
【図１】
2005100092.tif 000003
【図２】
2005100092.tif 000004
【図３】
2005100092.tif 000005
【図４】
2005100092.tif 000006
【図５】
2005100092.tif 000007
【図６】
2005100092.tif 000008