(57)【要約】【課題】耐薬品性に優れたフッ素系ポリマーにより構成されたマイクロリアクタで、可視域での透過・吸収・発光・燐光・蛍光などの光学的な計測ができるようにする。【解決手段】ガラス基板１０１の上に、例えば膜厚３０μｍ程度の非晶質フッ素樹脂層１０２が形成された状態とし、次に、非晶質フッ素樹脂層１０２の上に下層に貫通する溝部１０３ａを備えたレジストパターン１０３が形成された状態とし、レジストパターン１０３をマスクとして非晶質フッ素樹脂層１０２を選択的にエッチングし、非晶質フッ素樹脂層１０２に溝１０２ａが形成された状態とする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
非晶質フッ素樹脂からなる第１フッ素樹脂層と、
この第２のフッ素樹脂層に接合して形成された非晶質フッ素樹脂からなる第２フッ素樹脂層と、
前記第１フッ素樹脂層の前記第２フッ素樹脂層との接合面側に形成された凹部よりなる流路と、
前記第２フッ素樹脂層に形成されて前記流路に連通する貫通孔と
を少なくとも備えることを特徴とするマイクロリアクタ。
【請求項２】
請求項１記載のマイクロリアクタにおいて、
前記第１フッ素樹脂層が形成された透明材料からなる第１基板と、
前記第２フッ素樹脂層が形成された透明材料からなる第２基板と、
前記第２基板に形成された前記貫通孔に連通する開口部と
を備えることを特徴とするマイクロリアクタ。
【請求項３】
請求項２記載のマイクロリアクタにおいて、
前記第１フッ素樹脂層の凹部は、前記第１基板に設けられた溝に沿って形成されたものである
ことを特徴とするマイクロリアクタ。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載のマイクロリアクタにおいて、
前記非晶質フッ素樹脂は、フッ素化ポリシロキサンポリマーから構成されたものである
ことを特徴とするマイクロリアクタ。
【請求項５】
請求項４記載のマイクロリアクタにおいて、
前記フッ素化ポリシロキサンポリマーは、サイトップである
ことをマイクロリアクタ。
【請求項６】
透明材料からなる第１基板の上に非晶質フッ素樹脂からなる第１フッ素樹脂層を形成する工程と、
前記第１フッ素樹脂層に凹部からなる流路を形成する工程と、
透明材料からなる第２基板の上に非晶質フッ素樹脂からなる第２フッ素樹脂層を形成する工程と、
第２フッ素樹脂層の所定箇所に貫通孔を形成する工程と、
前記第２基板に前記貫通孔に連通する開口部を形成する工程と、
前記流路が形成された前記第１フッ素樹脂層の表面と前記貫通孔が形成された前記第２フッ素樹脂層の表面とを接合する工程と
を少なくとも備えることを特徴とするマイクロリアクタの製造方法。
【請求項７】
請求項６記載のマイクロリアクタの製造方法において、
前記第１基板に溝を形成する工程と、
前記溝が形成された前記第１基板の上に非晶質フッ素樹脂の膜を形成することで、前記溝に沿った凹部による前記流路が形成された前記第１フッ素樹脂層を形成する工程と
を備えることを特徴とするマイクロリアクタの製造方法。
【請求項８】
請求項６又は７記載のマイクロリアクタの製造方法において、
前記第１基板の少なくとも一部を除去する工程を備えることを特徴とするマイクロリアクタの製造方法。
【請求項９】
請求項６〜８のいずれか１項に記載のマイクロリアクタの製造方法において、
前記第２基板の少なくとも一部を除去する工程を備えることを特徴とするマイクロリアクタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ミクロンオーダーの寸法の流路から構成された微細な反応器であるマイクロリアクタ及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、医療用薬品あるいは化学薬品の製造、あるいは薬品製造のための材料の製造に際し、副生成物の生成を抑制した効率の良い製造手段としてマイクロリアクタを用いる方法が注目されている（非特許文献１参照）。
マイクロリアクタは、管径（幅・高さ）が数ミクロンから数百ミクロン程度の流路を備えた微細な反応器であり、流路の一方に設けられている投入口より原材料・試料・試薬などを導入し、流路の他方に設けられている排出口より、生成した物質あるいは副生成物を取り出すようにしたものである。
【０００３】
マイクロリアクタは、反応が行われる領域の容積に対する表面積の割合が、通常の反応器に比較して大きいので、反応が行われる領域と外部との間に高い熱伝導性が得られる。従って、マイクロリアクタ内で発生した反応熱は周囲に拡散しやすく、また、外部から冷却しやすいため、マイクロリアクタ内の温度制御が容易である。この特性により、マイクロリアクタを用いた合成や分析では、反応熱による二次生成物の影響を除外し、目的とした化学反応をより選択的に起こさせる。
【０００４】
現在製造されている医療用薬あるいは化学薬品の中には、複雑で多段の化学反応を必要とし、非常に大きなプラントを使用して製造しているものもある。マイクロリアクタは、意図した化学反応のみを起こさせることが可能であるため、上述したような複雑な製造工程を経る薬品であっても、効率よく製造することを可能としている。
また、薬品の研究開発段階からマイクロリアクタを用いて製造していると、一度決定した各種条件を、量産時に大きく変更する必要がなくなるという特徴がある。
【０００５】
また、マイクロリアクタを用いた分析システムであるマイクロトータルアナリシスシステムは、反応容積を微小にすることにより反応速度を向上させ、多くの分析をより短時間に実施することを可能としている。また、このシステムでは、化学反応の効率を上げることにより、微量の試料でも様々な分析を一度に実行することも可能としている。
【０００６】
化学反応の分析では、より正確で多くの情報を得るために、反応熱の計測，生成物の分析，光吸収あるいは発光強度の計測，電気特性などの計測など、多くの計測手段が用いられる。反応熱の小さなマイクロリアクタを用いることで、測定対象における余分な反応の影響を最小限にし、注目する反応のみを感度良く測定することが可能となる。このため、マイクロリアクタを用いた分析システムでは、少量の試料で分析することが可能となっている。
【０００７】
マイクロリアクタを構成する流路や反応空間が形成には、現在、リソグラフィー技術とエッチング技術などＬＳＩの製造技術が主に用いられている。マイクロリアクタの流路には、流れる試料に対して化学反応しない材料として、ガラス，石英に加え、耐腐食性金属，チタン，セラミックス、テフロン（登録商標）などの材料が用いられている。
【０００８】
特に、耐薬品性に優れるといった点では、テフロン（登録商標）に代表されるフッ化物ポリマーにより流路を形成することで、酸・アルカリ・有機溶剤に対する耐久性が高く、マイクロリアクタで取り扱うことのできる薬品が多品種になるといった利点がある。
【０００９】
なお、出願人は、本明細書に記載した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を出願時までに発見するには至らなかった。
【非特許文献１】Kiichi Sato, et.al.,"Integuretion of Chemical and Biochemical Analysis System into a Glass Microchip", Analytical Science, vol.19, pp.15-22, (2003).
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、一般的によく用いられているテフロン（登録商標）は、光に対して透過率が低く、透過率測定、発光・燐光・蛍光特性を測定することができないという問題があった。
可視光領域の現象を観測することにより、マイクリアクタにおける化学反応を評価・制御するための情報を得ることが可能となるが、上述した従来のフッ化物ポリマーでは、光の透過性が低く、光学的な観測に適していない。
【００１１】
本発明は、以上のような問題点を解消するためになされたものであり、耐薬品性に優れたフッ素系ポリマーにより構成されたマイクロリアクタで、紫外域から赤外域までの光の透過・吸収・発光・燐光・蛍光などの光学的な計測ができるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明に係るマイクロリアクタは、非晶質フッ素樹脂からなる第１フッ素樹脂層と、この第２のフッ素樹脂層に接合して形成された非晶質フッ素樹脂からなる第２フッ素樹脂層と、第１フッ素樹脂層の第２フッ素樹脂層との接合面側に形成された凹部よりなる流路と、第２フッ素樹脂層に形成されて流路に連通する貫通孔とを少なくとも備えるものである。
このマイクロリアクタによれば、第１及び第２フッ素樹脂層は、紫外域から赤外域までの広い波長帯の光を透過する透明部材である。
【００１３】
上記マイクロリアクタにおいて、第１フッ素樹脂層が形成された透明材料からなる第１基板と、第２フッ素樹脂層が形成された透明材料からなる第２基板と、第２基板に形成された貫通孔に連通する開口部とを備えるようにしてもよい。
また、第１フッ素樹脂層の凹部は、第１基板に設けられた溝に沿って形成されたものであってもよい。
【００１４】
また、上記マイクロリアクタにおいて、非晶質フッ素樹脂は、フッ素化ポリシロキサンポリマーから構成されたものであればよく、例えば、フッ素化ポリシロキサンポリマーは、サイトップ（旭硝子株式会社製）を用いることができる。
【００１５】
本発明のマイクロリアクタの製造方法は、まず、透明材料からなる第１基板の上に非晶質フッ素樹脂からなる第１フッ素樹脂層を形成し、第１フッ素樹脂層に凹部からなる流路を形成する。一方で、透明材料からなる第２基板の上に非晶質フッ素樹脂からなる第２フッ素樹脂層を形成し、第２フッ素樹脂層の所定箇所に貫通孔を形成し、第２基板に貫通孔に連通する開口部を形成する。これらの後、流路が形成された第１フッ素樹脂層の表面と貫通孔が形成された第２フッ素樹脂層の表面とを接合するようにしたものである。
【００１６】
上記マイクロリアクタの製造方法において、第１基板に溝を形成し、溝が形成された第１基板の上に非晶質フッ素樹脂の膜を形成することで、溝に沿った凹部による流路が形成された第１フッ素樹脂層を形成するようにしてもよい。
また、第１基板の少なくとも一部を除去するようにしてもよく、第２基板の少なくとも一部を除去するようにしてもよい。
【発明の効果】
【００１７】
以上説明したように、本発明によれば、マイクロリアクタの流路形成部を非晶質フッ素樹脂から構成したので、反応が起こる領域が外部より光学的に観察可能となり、耐薬品性に優れたフッ素系ポリマーにより構成されたマイクロリアクタで、紫外域から赤外域までの広い波長帯での光の透過・吸収・発光・燐光・蛍光などの光学的な計測ができるようになるという優れた効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
図１は、本発明の実施の形態におけるマイクロリアクタの製造方法例を示す工程図である。まず、図１（ａ）に示すように、ガラス基板１０１の上に、例えば膜厚３０μｍ程度の非晶質フッ素樹脂層１０２が形成された状態とする。非晶質フッ素樹脂層１０２は、例えば、フッ素化ポリシロキサンポリマーを含フッ素溶媒に溶解した塗布液をガラス基板１０１の上に塗布して塗布膜を形成し、風乾などにより塗布膜中の溶媒を除去したあと、硬化させることで形成できる。溶媒としては、例えば、フロリナートＦＣ７２（住友スリーエム株式会社製）を用いることができる。
【００１９】
硬化は、光照射による光硬化でもよく、加熱による熱硬化であってもよい。
光硬化による膜は、例えばベンジルジメチルケタール，１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン，ベンゾフェノン，アセトフェノンのような光重合開始剤を塗布液に適量配合し、この塗布液を塗布した塗布膜に紫外線を照射することで得られる。熱硬化による膜は、例えば塩化白金のような白金触媒を塗布液に添加し、この塗布液を塗布した塗布膜を１００〜２００℃程度の温度で加熱することで得られる。
従って、非晶質フッ素樹脂層１０２は、フッ素化ポリシロキサンポリマーから構成されたものである。フッ素化ポリシロキサンポリマーとしては、例えば、旭硝子株式会社製のサイトップ（ＣＹＴＯＰ）を用いればよい。
【００２０】
次に、図１（ｂ）に示すように、非晶質フッ素樹脂層１０２の上に下層に貫通する溝部１０３ａを備えたレジストパターン１０３が形成された状態とする。レジストパターン１０３は、図１（ｂ’）の平面図に例示するように、２つの流路が１つに結合されるものである。なお、図１（ｂ）は、図１（ｂ’）のＢＢ’線の断面を模式的に示している。
【００２１】
レジストパターン１０３は、光源に紫外線もしくは電子線などを用いた公知のリソグラフィー技術により形成できる。溝の幅は、例えば３０μｍ程度とすればよい。マイクロリアクタの流路は、管径が数μｍから数百μｍ程度に形成するので、紫外線を光源としたフォトリソグラフィー技術により、レジストパターン１０３を形成すればよい。
【００２２】
次に、レジストパターン１０３をマスクとして非晶質フッ素樹脂層１０２を選択的にエッチングし、図１（ｃ）に示すように、非晶質フッ素樹脂層１０２に溝１０２ａが形成された状態とする。例えば、フッ素系のガスやこれに酸素を加えた混合ガスなどを用いたドライエッチング法により、溝１０２ａを形成することができる。溝１０２ａは、例えば深さ２０μｍ程度と、非晶質フッ素樹脂層１０２を貫通することなく形成された凹部である。
【００２３】
非晶質フッ素樹脂層１０２に溝１０２ａを形成した後、レジストパターン１０３を除去し、図１（ｅ）に示すように、ガラス基板１０１の上に、流路となる溝１０２ａを備えた非晶質フッ素樹脂層１０２が形成された状態とする。例えば、有機溶剤にレジストパターン１０３を溶解させることで、レジストパターン１０３は除去できる。
【００２４】
なお、二酸化珪素からなるマスクパターンにより、非晶質フッ素樹脂層１０２に溝（凹部よりなる流路）を形成するようにしてもよい。まず、非晶質フッ素樹脂層１０２の上に二酸化珪素膜を形成し、二酸化珪素膜の上にレジストパターンを形成し、レジストパターンをマスクとして二酸化珪素膜をエッチング加工してマスクパターンを形成する。ついで、マスクパターンをマスクとして非晶質フッ素樹脂層１０２に溝を形成する。この後、二酸化珪素からなるマスクパターンを例えばフッ酸などを用いて除去すればよい。マスクパターンの除去とともにレジストパターンも除去できる。
【００２５】
一方、図１（ｆ）に示すように、他のガラス基板１１１を用意し、ガラス基板１１１の上に上述と同様に、膜厚２０μｍ程度の非晶質フッ素樹脂層１１２が形成された状態とする。次に、図１（ｆ）に示すように、ガラス基板１１１及び非晶質フッ素樹脂層１１２を貫通するように、開口部１１１ａ及び貫通孔１１２ａが形成された状態とする。開口部１１１ａは、貫通孔１１２ａより広く形成された状態とする。なお、開口部１１１ａ，１１２ａは、マイクロリアクタの流路端部に配置される。
【００２６】
次に、図１（ｇ）に示すように、ガラス基板１０１とガラス基板１１１とを、非晶質フッ素樹脂の層が形成された面を対向させて貼り合わせて接着し、マイクロリアクタ１２１が形成された状態とする。なお、図１（ｇ）は、図１（ｇ’）のＧＧ’線の断面を模式的に示している。例えば、２００〜３００℃程度の温度による熱圧着により、非晶質フッ素樹脂層１０２と非晶質フッ素樹脂層１１２との表面同士を接着できる。
【００２７】
図１（ｇ’）の平面図に示すように、溝１０２ａで構成される流路の端部に、開口部１１１ａ，１１２ａが配置されるように、ガラス基板１０１とガラス基板１１１とが貼り合わされた状態とする。マイクロリアクタ１２１は、例えば、試料が導入される試料導入口１０４と、試薬が導入される試薬導入口１０５とを備え、試料導入口１０４は、試料流路１１４に連通し、試薬導入口１０５は試薬流路１１５に連通する。
【００２８】
また、試料流路１１４と試薬流路１１５は、マイクロリアクタ１２１の中央部付近で合流し、１つの反応流路１１６に統合される。また、反応流路１１６は、排出口１０６に連通している。
マイクロリアクタ１２１においては、例えば、試料導入口１０４より試料液が導入され、試薬導入口１０５より試薬液が導入され、試料流路１１４を流れる試料液と試薬流路１１５を流れる試薬液が、反応流路１１６で混合され、排出口１０６より排出される。
【００２９】
マイクロリアクタ１２１によれば、反応流路１１６で混合された試料液と試薬液との化学反応の光学的な状態が、非晶質フッ素樹脂層１０２，ガラス基板１０１を透して観察することが可能である。非晶質フッ素樹脂層は、波長約２００〜２０００ｎｍと紫外域から赤外域までの広い波長帯で光を透過する透明材料であり、光学的な測定を行うマイクロリアクタに好適である。なお、上記光学的な状態を、非晶質フッ素樹脂層１１２，ガラス基板１１１を透して観察することも可能である。
【００３０】
また、開口部１１１ａを貫通孔１１２ａより大きく形成することで、試料導入口１０４や試薬導入口１０５などに接続する配管を、非晶質フッ素樹脂層１１２に直接接触させて接続させることが可能となる。各配管が非晶質フッ素樹脂層１１２に直接接続されていれば、試料溶液などをガラス基板１１１に接触させることなくマイクロリアクタ１２１に流すことが可能となる。
【００３１】
なお、非晶質フッ素樹脂層１０２，１１２により十分な強度が得られれば、ガラス基板１０１，１１１を除去し、図１（ｈ）に示すように、非晶質フッ素樹脂層１０２，１１２のみからマイクロリアクタ１２２を構成するようにしてもよい。また、ガラス基板の反応流路１１６に対応する領域を除去するようにしてもよい。
【００３２】
上述の構成とすることで、マイクロリアクタ１２２の反応流路１１６の部分は、ガラスが無い状態となり、光学的な特性（光透過特性）をより向上させることが可能となる。例えば、フッ素化ポリシロキサンポリマーとしてサイトップを用いる場合、サイトップは、紫外光領域から赤外光領域まで９５％（膜厚２００μｍの場合）の透過率を備えているので、より広い波長域にわたって光透過特性をより向上させることができる。なお、ガラス基板の換わりに、石英基板を用いてもよい。
【００３３】
次に、マイクロリアクタ１２２を用いたマイクロトータルアナリシスシステム（μ−ＴＡＳ）の構成例について、図２の斜視図を用いて説明する。
図２に示すシステムでは、まず、試料が試料導入配管２０１により試料導入口１０４に導入され、試薬が試薬導入配管２０２により試薬導入口１０５に導入され、反応流路１１６で混合され、排出口１０６から排出配管２０３へ排出される。
【００３４】
また、アパーチャ２０４により成形された光源２０５からの光が、レンズ２０６により集光され、非晶質フッ素樹脂層１１２を介して反応流路１１６を透過し、反応流路１１６を透過した光は、非晶質フッ素樹脂層１０２を透過してレンズ２０６に集光されて光検出部２０７に入射する。入射した光は、光検出部２０７の検出面で所定の電気信号に光電変換され、変換された信号が分析処理部２０８により処理される。
【００３５】
例えば、試薬液が反応流路１１６で混合された試料液の分光特性が、図２に示すシステムで測定可能である。なお、光源としては、赤外域から紫外域の波長を用いることができる。また、透過、吸収に限らず、燐光や蛍光などの発光を測定するようにしてもよい。前述したように、マイクロリアクタ１２２を構成している非晶質フッ素樹脂層１０２，１１２は、紫外域から赤外域までの広い波長帯の光を透過する透明材料であるため、上述した反応流路１１６における光学的な測定が行える。
【００３６】
次に、本発明の実施の形態における他のマイクロリアクタの製造方法例について説明する。
例えばガラスや石英などの基板の上に、膜厚３０μｍ程度の非晶質フッ素樹脂層が形成された状態とする。フッ素化ポリシロキサンポリマーを含フッ素溶媒に溶解した塗布液を基板に塗布し、溶媒を除去することで非晶質フッ素樹脂層が形成できる。ついで、非晶質フッ素樹脂層に、公知のレーザ加工により所望の溝を形成する。形成した溝が、マイクロリアクタの流路となる。
【００３７】
また、フッ素化ポリシロキサンポリマーを含フッ素溶媒に溶解した塗布液を塗布して塗布膜を形成した後、流路となる凸パターンを備えたモールドを加熱し、凸パターンの部分を塗布膜に当接させ、塗布膜の溶媒を揮発除去させながら、所望の形状の流路が刻まれた非晶質フッ素樹脂層を形成するようにしてもよい。
流路となる溝は、図１に示した実施の形態と同様であり、非晶質フッ素樹脂層を貫通することなく形成する。
【００３８】
この後、図１（ｅ）〜図１（ｇ）により説明した工程と同様にすることで、マイクロリアクタ１２１（図１）を得ることができる形成された流路あるいは貫通孔は、貼り合わせの際の位置ずれを考慮して大きさと位置が決定されていることが望ましい。ガラスあるいは石英と化学反応する性質の液体をマイクロリアクタに流すにあたって、この液体が基板に接触する環境である場合、基板は除去しておいた方がよい。
【００３９】
次に、本発明の実施の形態における他のマイクロリアクタの製造方法例について説明する。まず、図３（ａ）に示すように、ガラス基板３０１の上に下層に貫通する溝部３０２ａを備えたレジストパターン３０２が形成された状態とする。レジストパターン３０２は、光源に紫外線もしくは電子線などを用いた公知のリソグラフィー技術により形成できる。溝の幅は、例えば３０μｍ程度とすればよい。マイクロリアクタの流路は、管径が数μｍから数百μｍ程度に形成するので、紫外線を光源としたフォトリソグラフィー技術により、レジストパターン３０２を形成すればよい。
【００４０】
次に、レジストパターン３０２をマスクとしてガラス基板３０１を選択的にエッチングし、図３（ｂ）に示すように、ガラス基板３０１に溝３０１ａが形成された状態とする。例えば、フッ素系のガスやこれに酸素を加えた混合ガスなどを用いたドライエッチング法により、溝３０１ａを形成することができる。
【００４１】
ガラス基板３０１に溝３０１ａを形成した後、レジストパターン３０２を除去し、ガラス基板３０１の上に、流路となる溝３０１ａが形成された状態とする。例えば、有機溶剤にレジストパターン３０２を溶解させることで、レジストパターン３０２は除去できる。
なお、ガラス基板３０１は、フッ素系のエッチング液を用いたウエットエッチングにより加工してもよい。また、レーザ加工法により、ガラス基板３０１に直接溝３０２ａを形成するようにしてもよい。同様に、高圧水により、ガラス基板３０１に直接溝３０２ａを形成するようにしてもよい。
【００４２】
次に、ガラス基板３０１の上に、例えば膜厚２μｍ程度の非晶質フッ素樹脂層３０３が形成された状態とする。非晶質フッ素樹脂層３０３は、例えば、フッ素化ポリシロキサンポリマーを含フッ素溶媒に溶解した塗布液をガラス基板３０１の上に塗布して塗布膜を形成し、風乾などにより塗布膜中の溶媒を除去した後、硬化させることで形成できる。非晶質フッ素樹脂層３０３の形成は、図１に示す実施の形態とほぼ同様である。
【００４３】
また、非晶質フッ素樹脂材料をガラス基板３０１に対向して配置し、レーザアブレーション法により非晶質フッ素樹脂材料の蒸気を生成し、生成した蒸気をガラス基板３０１に接触させることで、非晶質フッ素樹脂層３０３が形成された状態としてもよい。
以上に説明したことにより、図３（ｃ）に示すように、非晶質フッ素樹脂層３０３には、ガラス基板３０２に設けられた溝３０１ａに沿うように、凹部３０３ａが形成された状態となる。
【００４４】
一方、図３（ｄ）に示すように、他のガラス基板３１１を用意し、ガラス基板３１１の上に上述と同様に、膜厚２μｍ程度の非晶質フッ素樹脂層３１２が形成された状態とする。非晶質フッ素樹脂層３１２の形成は、前述したように、レーザアブレーション法により形成してもよい。
次に、図３（ｅ）に示すように、ガラス基板３１１及び非晶質フッ素樹脂層３１２を貫通するように、開口部３１１ａ及び貫通孔３１２ａが形成された状態とする。開口部３１１ａは、貫通孔３１２ａより広く形成された状態とする。なお、開口部３１１ａ及び貫通孔３１２ａは、マイクロリアクタの流路端部に配置される。
【００４５】
次に、図３（ｆ）に示すように、ガラス基板３０１とガラス基板３１１とを、非晶質フッ素樹脂の層が形成された面を対向させて貼り合わせて接着し、マイクロリアクタ３２１が形成された状態とする。例えば、２００〜３００℃程度の温度による熱圧着により、非晶質フッ素樹脂層３０３と非晶質フッ素樹脂層３１２との表面同士を接着できる。この結果、非晶質フッ素樹脂層３０３の凹部３０３ａによりマイクロリアクタの流路が形成された状態となる。
上述したように製造されたマイクロリアクタ３２１も、マイクロリアクタ１２２と同様に用いることができる。
【００４６】
なお、上述では、試料流路と試薬流路とが反応流路に合流する例を示したが、これに限るものではないことは、いうまでもない。３つ以上の流路が１つの流路に合流するマイクロリアクタであってもよい。また、２つの流路が一度合流して異なる２つの流路に分岐するマイクロリアクタであってもよい。前述した本発明は、様々な形態のマイクロリアクタに適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の実施の形態におけるマイクロリアクタの製造方法例を示す工程図である。
【図２】マイクロリアクタ１２２を用いたマイクロトータルアナリシスシステム（μ−ＴＡＳ）の構成例を示す斜視図である。
【図３】本発明の実施の形態における他のマイクロリアクタの製造方法例を示す工程図である。
【符号の説明】
【００４８】
１０１…ガラス基板、１０２…非晶質フッ素樹脂層、１０２ａ…溝、１０３…レジストパターン、１０３ａ…溝部、１０４…試料導入口、１０５…試薬導入口、１０６…排出口、１１１…ガラス基板、１１１ａ…開口部、１１２…非晶質フッ素樹脂層、１１２ａ…貫通孔、１１４…試料流路、１１５…試薬流路、１１６…反応流路、１２１，１２２…マイクロリアクタ。
【図１】
2005279493.tif 000003
【図２】
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【図３】
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