(57)【要約】【課題】  レンズ単体の性能評価だけでなく、最終製品である撮像装置として組み上げた状態の性能を評価するレンズ検査装置及びレンズ検査方法を得る。【解決手段】  撮像部７に、レンズが使用される撮像装置に備えられる撮像素子と同様な受光量のスケーリングがなされた撮像素子６を備え、中心点から同等な角度で放射状に広がる白領域と黒領域とを交互に隣り合わせたチャート４を撮像させ、評価部１０が画像に含まれるグレー領域の割合を求めて被検査対象のレンズの良否を判定する。【選択図】        図１
2005331345.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査対象のレンズの評価に用いるチャートと、前記被検査対象のレンズを用いて前記チャートを撮像する撮像手段と、前記撮像手段から出力される画像データに基づき前記被検査対象のレンズの性能を評価する評価手段とを備えたレンズ検査装置において、
前記撮像手段に、前記レンズが使用される撮像装置に備えられる撮像素子と同様な受光量のスケーリングがなされた撮像素子を備えたことを特徴とするレンズ検査装置。
【請求項２】
被検査対象のレンズの評価に用いるチャートと、前記被検査対象のレンズを用いて前記チャートを撮像する撮像手段と、前記撮像手段から出力される画像データに基づき前記被検査対象のレンズの性能を評価する評価手段とを備えたレンズ検査装置において、
前記チャートに、中心点から同等な角度で放射状に広がる白領域と黒領域とを交互に隣り合わせたチャート像を備え、
前記評価手段は、前記撮像手段が前記チャートを撮像したとき画像に含まれるグレー領域の割合を求め、当該グレー領域の割合に基づいて前記被検査対象のレンズの良否を判定することを特徴とするレンズ検査装置。
【請求項３】
評価手段は、撮像した画像の中で近隣の白領域と黒領域とを組として設定し当該組に含まれるグレー領域の比率を各領域幅から求めて被検査対象のレンズの解像度を評価することを特徴とする請求項２記載のレンズ検査装置。
【請求項４】
評価手段は、撮像した画像の中に複数の組を設定し各組のグレー領域の比率を求め、その中で最も大きな値を被検査対象のレンズの解像度として評価することを特徴とする請求項３記載のレンズ検査装置。
【請求項５】
中心点から同等な角度で放射状に広がる白領域と黒領域とを交互に隣り合わせたチャート像を撮像手段が被検査対象のレンズを用いて撮像する過程と、
評価手段が前記撮像手段から出力された画像データを入力し前記チャート像の中心点から一定の距離を有する円周を前記画像データが示す画像に設定し、当該円周上の画素の明るさを数値化し前記画像の白領域、黒領域及びグレー領域を設定する過程と、
前記評価手段が前記画像の中で近隣の白領域と黒領域とを各々組として設定し、当該各組に含まれるグレー領域の比率を算出して評価値を求める過程と、
前記評価手段が前記各組の評価値の中で最も大きな値を前記被検査対象のレンズの判定値とし当該被検査対象のレンズの良否を判定する過程とを備えたレンズ検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、カメラ等に用いられるレンズ検査装置及びレンズ検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、カメラの撮影レンズの性能評価や検査を行う場合には、検査対象のレンズを用いて解像力評価用のチャート図が記されたチャート板を撮像し、このチャート図の画像の解像力を視覚的に判断する方法や、例えば特許文献１に開示されているＭＴＦ（Modulation Transfer Function）法を用いて性能を評価する方法が用いられている。また、例えばファイバーオプティックプレート（以下ＦＯＰと称する）等の光学繊維束やＣＣＤ等の固体撮像素子を用いたＭＴＦ検査装置が、特許文献２に開示されている。
【０００３】
例えば、従来のレンズ検査装置として、検査対象の撮像レンズを保持具によって位置決めし、その状態で搬送装置の可動部に取り付け、この撮影レンズの前方に所定の距離をおいて評価用チャート板を移動可能に配置させるものがある。評価用チャート板は、望遠状態での描写性能評価用のチャート板と、広角状態での描写性能評価用のチャート板とから構成され、駆動手段によって撮影レンズの光軸方向（Ｚ方向）及び光軸方向と直交する方向（Ｘ方向）に移動可能に配置される。この評価用チャート板には解像力評価用のチャート図が描かれている。
【０００４】
一方、撮影レンズの後方には、フラットファイバー・オプティック・プレート（Ｆ−ＦＯＰ）と称される光学繊維束が配置される。この光学繊維束の一端は、撮影レンズを通過してきたチャート画像の入射面となっている。一方、この光学繊維束の他端は、チャート画像の出射面となる。この光学繊維束の後方には、光学繊維束から出射されるチャート画像を拡大する光学系（拡大光学系）が配置される。光学系の後方には光学系からの画像を受光するように、例えばＣＣＤカメラ等の撮像手段が取り付けられ、ＣＣＤカメラを構成する撮像素子、即ちＣＣＤ素子の前面にはカバーガラスが配置される。これら光学繊維束、光学系、およびＣＣＤカメラにて撮影ブロックが構成されている。
【０００５】
この撮像ブロックは、ＸＹＺ各方向の３次元に移動可能に構成され、更に、Ｚ軸中心のθ方向にも回転可能な移動回転手段であるＸＹＺθステージによって保持される。このＸＹＺθステージは、搬送装置上に保持されている。更にＣＣＤカメラは、適宜の手段（例えばケーブル接続）により制御手段、判定手段として機能する演算処理装置に接続される。演算処理装置は、ＣＣＤカメラにて撮像したチャート画像の情報を基に、光学繊維束の入射面の３次元位置を演算し、一定のＣＣＤ素子とチャートの模様の位置や角度を合わせるように、ＸＹＺθステージの位置制御を行う。また、演算処理装置は、表示装置へ接続されている。更に、演算処理装置は、ＣＣＤカメラにて撮像したチャートの画像情報を基に撮影レンズの描写性能の演算値をデジタル的な値として出力する。表示装置は、演算処理装置の出力結果を表示するＣＲＴディスプレイ又は液晶ディスプレイ等により構成される。
【０００６】
このように構成された装置は、まず、撮影レンズを保持具に保持させ、レンズ焦点距離を望遠状態若しくは広角状態の焦点距離に設定し、これに合わせて望遠状態での描写性能評価用のチャート板、又は広角状態での描写性能評価用のチャート板のいずれかが前記撮影レンズに対峙し、かつその焦点面に位置するように当該評価用チャート板を移動する。次に、光学繊維束の入射面を、ＸＹＺθステージにより初期作動させ、解析すべきチャート図に対応する位置へ移動させる。この時、光学繊維束の入射面にはチャート図の実像が形成され、さらに出射面を経てＣＣＤカメラに実像の光束が入射して撮像される。
【０００７】
演算処理装置は、ＣＣＤカメラにて撮像した評価用チャートの画像情報から、光学繊維束の入射面の３次元位置を演算し、一定のＣＣＤ素子と、チャートの模様の位置、角度とを合わせるように、ＸＹＺθステージの位置制御を行う。このようにして、光学繊維束の入射面の位置及びＣＣＤカメラの位置を決定した後、ＣＣＤカメラによる撮像画像の情報を更に演算処理装置にて演算し、撮像レンズの描写性能を評価する各値を求め、またこの値をデジタル値として出力し、これを表示装置に表示させる（例えば、特許文献３参照）。
【０００８】
【特許文献１】特開平９−２４３５１５号公報
【特許文献２】特開平１０−２０６９９３号公報
【特許文献３】特開２００２−３１５８５号公報（第４頁〜第５頁、図１，図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
従来のレンズ検査装置は以上のように構成されているので、レンズ単体において性能評価を行うことから、例えばＣＣＤカメラモジュール用レンズのようなものを評価した場合、最終製品として撮像装置に組み上げた状態の性能数値との比較が難しく、また、撮像装置にレンズを組み込んだ後に評価すると、レンズ単体の不良であっても撮像装置の不良と見なされ、当該撮像装置の生産性が悪化するという課題があった。
【００１０】
この発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、レンズ単体の性能評価だけでなく、最終製品である撮像装置として組み上げた状態の性能を評価するレンズ検査装置及びレンズ検査方法を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
この発明に係るレンズ検査装置は、撮像手段にレンズが使用される撮像装置に備えられる撮像素子と同様な受光量のスケーリングがなされた撮像素子を備えたものである。
【発明の効果】
【００１２】
この発明によれば、撮像手段にレンズが使用される撮像装置に備えられる撮像素子と同様な受光量のスケーリングがなされた撮像素子を備えたので、レンズ単体の光学的検査では判定できない不具合を最終製品である撮像装置を組み立てる前に判定することができ、撮像装置の生産性を向上させることができるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、この発明の実施の一形態を説明する。
実施の形態１．
図１は、この発明の実施の形態１によるレンズ検査装置の構成を示す説明図である。図示したレンズ検査装置１１は、その内部にレンズ保持機構部１、ライト等の照明３、撮像対象のチャート像が描かれたパネル等のチャート４、チャート４を保持するチャート保持機構部５、被検査対象のレンズを用いてチャート４を撮像する撮像部（撮像手段）７、及び撮像部７を可動させて被検査対象のレンズと撮像部７に備えられた撮像素子６との距離を調整する焦点調整部８を備える。撮像部７は、撮像素子６の出力信号が画像処理部９へ出力されるように、例えばケーブル７ａなどの接続手段により画像処理部９に接続される。画像処理部９は、撮像した画像等を表示する表示手段を有すると共にデータ処理において演算・判定機能を有する例えばパソコンあるいはパソコンと同等の機能を備えた評価部（評価手段）１０に接続される。なお、上述の被検査対象のレンズは、レンズ単体のものや複数のレンズを組み合わせたレンズユニット等を指すもので、以下、このように様々な被検査対象のレンズ等を被検レンズと記載する。
【００１４】
レンズ検査装置１１の内部は、次のように構成される。レンズ保持機構部１とチャート保持機構部５が対向して設置される。詳しくはレンズ保持機構部１のレンズ挿入部２に保持される被検レンズと、チャート保持機構部５に保持されるチャート４が対向するように設置される。チャート保持機構部５は、例えばレンズ検査装置１１の内壁面１１ａに固定され、内壁面１１ａに対向する内壁面１１ｂ側にレンズ保持機構部１、撮像部７、及び焦点調整部８が備えられる。内壁面１１ｂ側には、例えば当該内壁面１１ｂに焦点調整部８が固定される。焦点調整部８は、図１に矢印ａを用いて示したように撮像部７を被検レンズに向って遠ざけたり近づけたりする方向に可動させる、即ち被検レンズと撮像素子６との距離を調整する機構を有する。
【００１５】
レンズ検査装置１１の内部において、撮像部７の前方、即ち撮像部７とチャート４との間には、例えば内壁面１１ｂに柱状部材を用いて固定されたレンズ保持機構部１が設置される。レンズ保持機構部１は、チャート４に対向する部位に、被検レンズを着脱可能にしながら当該被検レンズを固定するレンズ挿入部２が設けられている。このレンズ挿入部２が設けられたレンズ保持機構部１の部位には、レンズ挿入部２に被検レンズを保持させた状態で当該被検レンズを透過した撮像光が撮像素子６に達するように、図示されない透過孔が設けられている。即ち、撮像素子６がレンズ挿入部２に固定された被検レンズの透過光を受光することができるように、撮像部７が焦点調整部８に搭載される。このように被検レンズの出射面側には、チャート４を撮像する撮像部７が配置される。このときの配置は、被検レンズと撮像素子６との位置関係が、例えばカメラモジュール等の最終製品と同様なものである。照明３は、例えば図示したようにレンズ保持機構部５の両側方近傍に配置され、チャート４を照らす明るさにむらが生じないように光の照射方向や設置台数等を調整して備えられる。
【００１６】
撮像部７は、例えば、撮像素子６として受光した光を電荷に変換するＣＣＤ素子を備え、また、撮像素子６の受光・出力動作を垂直方向に駆動するＶドライバと、撮像素子６の受光・出力動作を水平方向に駆動するタイミングジェネレータと、ＣＣＤ素子の出力信号をデジタル信号に変換するアナログフロントエンドとを備える。このようなＣＣＤ素子などの撮像素子には、光源中心から均一な光量が受光されるようにマイクロレンズが備えられ、当該マイクロレンズにより受光量のスケーリングが施されている。撮像素子は、機種毎にマイクロレンズによるスケーリングの最適化がなされており、機種が異なる撮像素子ではスケーリングが異なるため、撮像装置のレンズとの適合性が好ましくない場合は、撮像した画像に、例えば画像の周辺部分が暗くなる等の影響が生じる。そのため、この発明によるレンズ検査装置は、被検レンズの性能を正確に評価できるように撮像素子６を含む光学系を最終製品と同等に構成したものである。
【００１７】
画像処理部９は、前述のようにケーブル７ａなどの接続手段によって撮像部７に接続されるもので、最終製品の撮像装置と同等の画像処理機能及び処理特性を備える。当該画像処理部９は、例えばデジタルシグナルプロセッサ（ＤＳＰ）等の制御手段を備え、撮像部７が撮像した画像信号を入力し、自動露光調整、自動ホワイトバランス調整、出力画像サイズ調整、色補間・階調補正、色差マトリクス変換等のデータ処理を行い、画像データを生成して出力するものである。
【００１８】
評価部１０は、ケーブルなどの接続手段によって画像処理部９に接続され、当該画像処理部９から入力した画像データの演算処理や判定処理等を行い、また、後述するように焦点調整部８の動作制御を行うものである。なお、図１では評価部１０と焦点調整部８との接続の図示を省略している。
【００１９】
次に動作について説明する。
図２は、実施の形態１によるレンズ検査装置の動作を示すフローチャートである。初めに被検レンズを挿入部２へ挿入させ、レンズ保持機構部１に保持してレンズ検査装置１１の内部に固定する（ステップＳＴ１０１）。画像処理部９は、照明３により照らし出されたチャート４を撮像部７を用いて撮像する。評価部１０は、このとき画像処理部９から出力された画像データに基づいて、焦点調整部８を制御してチャート４の画像が明瞭に撮像されるように焦点調整を行う（ステップＳＴ１０２）。この焦点調整は、例えば、焦点調整部８に撮像部７を摺動させる駆動手段を備え、評価部１０が画像処理部９から取得した画像データの焦点に関するデータについて演算処理を行い、その演算結果に基づくフィードバック制御を焦点調整部８に行って撮像部７の位置を摺動させる。また、焦点調整部８にリューズ等のような操作手段と、この操作手段の操作に応じて搭載している撮像部７が摺動する機構を備え、ユーザに操作手段を手動で操作させて撮像部７と被検レンズの距離を調整させるようにしてもよく、このとき撮像部７が撮像した画像データを評価部１０の表示手段に再現表示させてユーザに調整させるようにしてもよい。撮像部７の位置を移動させて焦点調整を行うことにより、当該レンズ検査装置内部に配置された被検レンズと撮像部７との距離は、最終製品を組み立てた場合の距離と同様になる。
【００２０】
画像処理部９は、このように焦点が調整された状態で、撮像部７を用いてチャート４を撮像し、前述のような自動露光調整、自動ホワイトバランス調整、出力画像サイズ調整、色補間・階調補正、色差マトリクス変換等の処理を行って画像データを生成し、評価部１０へ出力する。評価部１０は、このように処理された画像データを取得する（ステップＳＴ１０３）。このとき取得した画像データは、最終製品である撮像装置と同等の撮像素子６及び画像処理部９を用いて撮像及びデータ処理が行われたもので、最終製品の撮像装置によって取得される画像データと同等なデータである。評価部１０は、取得した画像データに所定の演算及び判定処理を行い、また当該画像データを画像に再現して自ら備える表示手段に表示し、ユーザに確認させる（ステップＳＴ１０４）。画像処理部９から画像データを入力した評価部１０は、前述のように所定の処理及び判定処理を行う。このとき、入力した画像データの、例えば画像データに含まれている焦点に関するデータを用いて演算を行い、焦点に関する性能を示す数値を求める。このように焦点に関する性能を数値化した後、予め設定されている規格値と焦点に関する性能を示す数値とを比較し、被検レンズの良否を判定し、その判定結果を評価部１０の表示手段に表示させる。ここでは焦点に関する性能を例示して説明したが、被検レンズの他の性能についても同様に数値化、判定を行い、被検レンズが最終製品に使用可能なものか否かを判定する。
【００２１】
実施の形態１によるレンズ検査装置１１は、このようにして最終製品である撮像装置として組み上げた場合と同様な条件下の検査結果を取得し、この検査結果を用いた判定を行うことにより、レンズ単体の光学性能評価だけでは判定が難しかった、例えば撮像素子のスケーリングとの適合性に関するレンズ性能などを評価することが可能になり、最終製品である撮像装置に組み込んで検査しなくても、レンズ検査の段階で被検レンズの良否を判定して選別することが可能となる。
【００２２】
以上のように実施の形態１によれば、最終製品の撮像装置と同等な光学系を備えて被検レンズの検査を行うようにしたので、撮像装置を組み立てなければ分からなかった被検レンズの不良を組み立て前に判定することができ、撮像装置の不良品発生を抑制することができ、生産性を向上させることができるという効果がある。
【００２３】
実施の形態２．
実施の形態２によるレンズ検査装置は、前述の実施の形態１において図１を用いて説明したレンズ検査装置１１と同様に構成されるものである。ここでは実施の形態１によるレンズ検査装置１１と同様に構成される部分の説明を省略し、実施の形態２によるレンズ検査装置の特徴となる部分について説明する。
【００２４】
図３−１は、この発明の実施の形態２によるレンズ検査装置に使用されるチャート像を示す概念図である。図示したチャート像１２は、当該チャート像１２の中心点２０から同等な角度で放射状に広がる白領域と黒領域とを隣り合わせて配置したもので、図示したペア２２のような隣接している白領域と黒領域とのペアを例えば１２組有するもので、白領域と黒領域が交互に配置されたものである。このチャート像１２は、図１に示したチャート４に描かれ、実施の形態２によるレンズ検査装置に備えられる。なお、白領域と黒領域のペア数は１２組に限定されない。
【００２５】
図３−２は、実施の形態２によるレンズ検査装置により撮像されたチャートの画像の一部分を拡大した説明図である。この図は、図３−１のチャート像１２を撮像した画像のうち、図３−１に示したチャート像１２の部分１３に該当する部分を拡大して示したもので、撮像された画像では白領域と黒領域のペア２２の部分に、白領域１４、グレー領域１６、黒領域１５、及びグレー領域１７を有することを示している。即ち、撮像されたペア２２の画像領域には、近隣の白領域１４と黒領域１５に加えて、黒領域１５の両側方にグレー領域１６，１７が含まれる。また、ペア２２の他の白領域と黒領域のペアでも、撮像した画像には白領域と黒領域の境界部分に図示したようなグレー領域が含まれる。
【００２６】
次に動作について説明する。
図４は、実施の形態２によるレンズ検査装置により撮像されたチャートの画像を数値化した説明図である。この図は、図３に示したチャート像１２の中心点２０から距離ｒの一点破線で描いた円周２１上に存在する隣り合う白領域と黒領域とを１ペアとして、この１ペア分の画像領域の明るさを数値化してグラフに表したものである。図４のグラフの縦軸は、図１に示した画像処理部９から出力される画像データのうち、画素の明るさを表す数値を示すものである。ここで例示する画像データは２５６階調を有するもので、図４の縦軸に示される出力数値は０〜２５５の値になる。また、図４のグラフの横軸は、図３に示した円周２１上の任意の場所を始点とし、当該円周２１上に存在する２πｒ個の画素に順番に付けたピクセル番号を示すものである。図４では、横軸は白領域と黒領域のペア２２上に設けられた円周２１の一部分に係る画素に付けられたピクセル番号２２７〜２５７を表し、縦軸は後述するように定めた数値によりピクセル番号２２７〜２５７の画素の明るさを表している。
【００２７】
図４は、例えば次のような明るさを有する画像を表したものである。図中左端側のピクセル番号２２７からピクセル番号２３９までの画素は、明るさが白色を示す階調を有するもので、グレーを示す上限の数値から白を示す上限の数値（白レベル）までの範囲の数値を有する。このピクセル番号の範囲が示す画素範囲を白領域とし、その領域幅をＡとする。ピクセル番号２４０からピクセル番号２４３までの画素は、明るさがグレーを示す階調を有するもので、グレーを示す上限の数値からグレーを示す下限の数値までの範囲の数値を有する。このピクセル番号の範囲が示す画素範囲をグレー領域とし、その領域幅をＢ１とする。ピクセル番号２４４からピクセル番号２５３までの画素は、明るさが黒色を示す階調を有するもので、グレーを示す下限の数値から黒を示す下限の数値（黒レベル）までの範囲の数値を有する。このピクセル番号の範囲が示す画素範囲を黒領域とし、その領域幅をＣとする。ピクセル番号２５４とピクセル番号２５５の画素は、明るさがグレーを示す階調を有するもので、グレーを示す下限の数値からグレーを示す上限の数値までの範囲の数値を有する。このピクセル番号の範囲が示す画素範囲をグレー領域とし、その領域幅をＢ２とする。
【００２８】
図５は、実施の形態２によるレンズ検査装置の動作の示すフローチャートである。このフローチャートは、実施の形態２によるレンズ検査方法を示すものである。初めに被検レンズを挿入部２へ挿入させ、レンズ保持機構部１に保持してレンズ検査装置１１の内部に固定する（ステップＳＴ１０１）。起動した画像処理部９は、実施の形態１で説明したものと同様にステップＳＴ１０２の過程を処理し、また評価部１０は撮像部７がチャート像１２を撮像した画像データを取得する（ステップＳＴ１０３）。画像処理部９から画像データを入力した評価部１０は、得られた画像データのチャート像１２について、中心点２０から任意の距離ｒの円周２１上のペア２２の部分の明るさを示すデータを、画素毎に図４を用いて説明したように数値化する（ステップＳＴ２０１）。数値化されたデータから、各ペアについて白領域の幅Ａ、黒領域の幅Ｃ、グレー領域の幅Ｂ１，Ｂ２を求める（ステップＳＴ２０２）。求めた各領域の幅Ａ，Ｂ１，Ｂ２，Ｃを用いて、以下の式（１）を用いて評価値を算出する（ステップＳＴ２０３）。この評価値はペア２２の中に占める全グレー領域の割合である。
評価値＝（｜Ｂ１−Ｂ２｜×２／（Ａ＋Ｂ１＋Ｂ２＋Ｃ））…（１）
【００２９】
円周２１上の全ての白領域と黒領域の各ペアについて、図３−１に例示したチャート増１２の画像では１２組の白領域と黒領域のペアについてそれぞれ評価値を算出する。このように円周２１上の画素を所定の範囲に分けて、例えば前述の白領域と黒領域のペアのように分け、それぞれのペアの評価値を算出することにより、レンズ本体を円周方向に分割したとき特定の部分で解像度が劣化する被検レンズを検出することができる。被検レンズの全円周方向について、即ち円周２１上の全てのペアについて評価値を求め、その中の最大値を当該被検レンズの判定値とし（ステップＳＴ２０４）、この判定値を予め設定されている規定値と比較して被検レンズの良否を判定する。評価値あるいは判定値が大きい場合ほど解像度の劣化が大きいことを表している。このように、例えばペア２２のように被検レンズの円周方向に分割された各領域について、それぞれ評価値を求めることにより、被検レンズの不等方向性解像度を定量化して表すことが可能になる。また、中心点２０からの距離ｒを適当に設定することにより、被検レンズの所望の部分について検査することができる。なお、前述の規定値は、被検レンズに求められる性能に応じて設定される値である。
【００３０】
以上のように実施の形態２によれば、中心点２０から放射状に広がる白領域と黒領域とを有するチャート像１２を被検レンズを用いて撮像し、その画像データを評価部１０へ入力して画像データが示す画像の白領域、黒領域、及びグレー領域の幅を、近隣の白領域と黒領域をペアとした領域毎に求め、当該ペアに含まれるグレー領域の比率を求めて評価値とし、各ペアの評価値の中で最も大きな値を判定値として被検レンズの良否を判定するようにしたので、被検レンズの光軸がずれている場合や、被検レンズが形成される際に生じた残留応力の影響がある場合に生じる不等方向性解像度劣化を評価することができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】この発明の実施の形態１によるレンズ検査装置の構成を示す説明図である。
【図２】実施の形態１によるレンズ検査装置の動作を示すフローチャートである。
【図３−１】この発明の実施の形態２によるレンズ検査装置に使用されるチャート像を示す概念図である。
【図３−２】実施の形態２によるレンズ検査装置により撮像されたチャートの画像の一部分を拡大した説明図である。
【図４】実施の形態２によるレンズ検査装置により撮像されたチャートの画像を数値化した説明図である。
【図５】実施の形態２によるレンズ検査装置の動作の示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００３２】
１  レンズ保持機構部、２  レンズ挿入部、３  照明、４  チャート、５  チャート保持機構部、６  撮像素子、７  撮像部（撮像手段）、８  焦点調整部、９  画像処理部、１０  評価部（評価手段）、１１  レンズ検査装置、１２  チャート像、１３  拡大部、１４  白領域、１５  黒領域、１６，１７  グレー領域、２０  中心点、２１  円周、２２  ペア。
【図１】
2005331345.tif 000003
【図２】
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【図３−１】
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【図３−２】
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【図４】
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【図５】
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