(57)【要約】【課題】バラツキの無い、高精度な研磨特性を有し、かつ、シート間及びシート内で厚みや研磨特性が均質なかつ良好であり、良好な性状を有するシート状研磨材料を安定して得る。【解決手段】モノマーを樹脂板に含ませた後、該モノマーを重合して得られた複合材をスライスしてシート状研磨材料を得るに際して、モノマーを含ませる前に前記樹脂板のスキン層を除去する工程を有する。【選択図】    なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
モノマーを樹脂板に含ませた後、該モノマーを重合して得られた複合材をスライスしてシート状研磨材料を得る方法であって、モノマーを含ませる前に前記樹脂板のスキン層を除去する工程を有することを特徴とするシート状研磨材料の製造方法。
【請求項２】
スキン層の除去工程は、スキン層を除去した後の樹脂板の厚みムラを±０．５ｍｍ以内に調整可能である請求項１記載のシート状研磨材料の製造方法。
【請求項３】
樹脂板がポリウレタン系発泡体である請求項１記載のシート状研磨材料の製造方法。
【請求項４】
含ませるモノマーがビニル系モノマーである請求項１記載のシート状研磨材料の製造方法。
【請求項５】
含ませるモノマーがアクリル系モノマーである請求項４記載のシート状研磨材料の製造方法。
【請求項６】
スキン層除去工程をバンドナイフ式スライサーを用いて行う請求項１記載のシート状研磨材料の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体の研磨に特に好適に用いられるシート状研磨材料に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体メモリに代表される大規模集積回路（ＬＳＩ）は、年々集積化が進んでおり、それに伴い大規模集積回路の製造技術も高密度化が進んでいる。さらに、この高密度化に伴い、半導体デバイス製造時の各要素の積層数も増加している。その積層数の増加により、従来は問題とならなかった積層で生ずる半導体ウェーハ主面の凹凸が問題となっている。その結果、例えば日経マイクロデバイス１９９４年７月号５０〜５７頁記載のように、積層によって生じる凹凸に起因する露光時の焦点深度不足を補う目的で、あるいはスルーホール部の平坦化による配線密度を向上させる目的で、化学的機械研磨（ＣＭＰ：Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ）技術を用いた半導体ウェーハの平坦化が検討されている。
【０００３】
一般にＣＭＰ装置は、被研磨物である半導体ウェーハを保持する研磨ヘッド、被研磨物の研磨処理をおこなうための研磨パッド、前記研磨パッドを保持する研磨定盤から構成されている。そして、半導体ウェーハの研磨処理は研磨剤と薬液からなる研磨スラリーを用いて、半導体ウェーハと研磨パッドを相対運動させることにより、半導体ウェーハ表面の層の突出した部分を除去し、ウェーハ表面の層を滑らかにするものである。
【０００４】
ＣＭＰの研磨特性については、高い研磨レートの確保、スクラッチの防止、ウェーハの局所平坦性，グローバル平坦性，ユニフォーミティの確保等に代表される様々な要求がある。研磨パッドに関する従来技術としては、特許文献１に開示されているように、ポリエーテル系ウレタンプレポリマに硬化剤として４，４’−メチレン−ビス（２−クロロアニリン）（略称名：ＭＯＣＡ）と、さらに独立気泡を有する構造とするためにマイクロバルーンを混合し硬化させて得られる、硬質発泡ポリウレタンが挙げられる。このタイプの研磨パッドは独立気泡を有するため研磨パッドの弾性特性が向上し、その結果、半導体基板表面の局所的な凹凸の平坦性が実用上耐えうるレベルのものが得られ、さらに研磨層表面に開口した気泡には研磨スラリーが蓄えられ、半導体基板研磨点への研磨スラリーの効果的な供給がなされるため、比較的高い研磨レートが得られ、またスクラッチが入りにくい等の特徴を有する。
【０００５】
しかしながら、このタイプの研磨パッドは製品ロット間で研磨レート等の研磨特性が安定しないことが指摘される。我々が検討を行ったところでは、このタイプの研磨パッドは、製法上特に硬化反応（架橋反応）の制御が難しいため、得られる研磨パッドの品質再現性が十分ではなく、研磨特性が安定しないものと推察している。
【０００６】
この課題を解決する方法として、発泡構造を有する軟質の樹脂板にモノマーを含ませ、重合硬化させる方法が知られている（特許文献２）。この方法によれば、研磨パッドに必要とされる特性である独立気泡を、製造時に気泡のコントロールが比較的容易な軟質の樹脂板の特性から、また、硬度をモノマーの重合硬化物の特性から得ることができ、上述の方法と比較して、独立気泡が均一に存在するような硬質の樹脂板からなる研磨パッドを、比較的簡便に、かつ品質再現性良く製造することができる。
【０００７】
【特許文献１】
特表平８−５００６２２号公報
【０００８】
【特許文献２】
特開２０００−２１８５５１号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
上述の方法を用いて硬質の樹脂板を作製し、該樹脂板を所定厚みのシート状研磨材料に加工する場合、厚みのある硬質の樹脂板を作製し、これをスライス加工してシート状研磨材料を得る方法が生産性の観点から有用である。しかし、この方法においても、モノマーの含ませた状態の不均一性や重合反応時の反応状態の不均一化が生じてしまい、スライス加工して得られるシート状研磨層の厚みムラが非常に大きくなることが判った。
【００１０】
そこで、本発明は高精度な研磨特性を有し、かつ、シート間及びシート内で均質な品質を有するシート状研磨材料を得ることを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは上記課題に対して鋭意検討を重ね、その品質バラツキの問題がモノマー含ませる前の樹脂板に存在するスキン層に起因していることを解明し、本発明に到った。
【００１２】
すなわち本発明の本旨とするところは、「モノマーを樹脂板に含ませた後、該モノマーを重合して得られた複合材をスライスしてシート状研磨材料を得る方法であって、モノマーを含ませる前に前記樹脂板のスキン層を除去する工程を有することを特徴とするシート状研磨材料の製造方法」である。また、種々の改良された発明を提案する。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明について例を挙げつつ詳細に説明する。
【００１４】
本発明のシート状研磨材料の製造方法においては、樹脂板にモノマーを含ませ、該モノマーを重合し、こうして得られた複合材をスライスする、という３つの基本要素を含んでいる。
【００１５】
本発明において用いるモノマーは後述する樹脂板に含ませることができ、重合可能なものが用いられる。係るモノマーとしては、樹脂板へ含ませ、重合が容易である点でビニル化合物を用いることが好ましい。具体的にはメチルアクリレート、メチルメタクリレート、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、ｎ−ブチルアクリレート、ｎ−ブチルメタクリレート、２−エチルヘキシルメタクリレート、イソデシルメタクリレート、ｎ−ラウリルメタクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、２−ヒドロキシブチルメタクリレート、ジメチルアミノエチルメタクリレート、ジエチルアミノエチルメタクリレート、グリシジルメタクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、アクリル酸、メタクリル酸、フマル酸、フマル酸ジメチル、フマル酸ジエチル、フマル酸ジプロピル、マレイン酸、マレイン酸ジメチル、マレイン酸ジエチル、マレイン酸ジプロピル、フェニルマレイミド、シクロヘキシルマレイミド、イソプロピルマレイミド、アクリロニトリル、アクリルアミド、塩化ビニル、塩化ビニリデン、スチレン、α−メチルスチレン、ジビニルベンゼン、エチレングリコールジメタクリレート、ジエチレングリコールジメタクリレート等が挙げられる。中ではアクリル酸あるいはメタクリル酸の誘導体であるアクリル系モノマーを用いることが好ましい。また、これらのモノマーは単独であっても２種以上を混合しても使用できる。また、モノマーには、製造される研磨パッドの特性改良を目的として、研磨剤、帯電防止剤、潤滑剤、安定剤、染料等の各種添加剤が添加されていても良い。
【００１６】
これらのモノマーを重合する際に用いる重合開始剤としては、アゾビスイソブチロニトリル、アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）、アゾビスシクロヘキサンカルボニトリル、ベンゾイルパーオキサイド、ラウロイルパーオキサイド、イソプロピルパーオキシジカーボネート等のラジカル開始剤を使用することができる。また、酸化還元系の重合開始剤、例えばパーオキサイドとアミン類の組合せを使用することもできる。これらの重合開始剤は、単独のみならず、２種以上を混合しても使用できる。この重合開始剤は含ませた時にモノマーに添加して用いたりモノマーを含ませる前に樹脂板に含有せしめたりすることが可能であるが、製品の均一性からはモノマーに添加して含ませることが望ましい。
【００１７】
本発明に用いる樹脂板はモノマーが含ませることが可能な樹脂製の板状物であり、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエステル、ポリウレタン、ポリウレア、ポリアミド、ポリ塩化ビニル、ポリアセタール、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート、ポリテトラフルオロエチレン、エポキシ樹脂、ＡＢＳ樹脂、ＡＳ樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ネオプレンゴム、ブタジエンゴム、スチレンブタジエンゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコンゴム、フッ素ゴムおよびこれらを主成分とした樹脂板等が挙げられる。また、これらの樹脂板には、製造される研磨パッドの特性改良を目的として、研磨剤、帯電防止剤、潤滑剤、安定剤、染料等の各種添加剤が含有されていても良い。なお、主成分とは概ね６０重量％以上のことを言う。
【００１８】
これらの樹脂板は、研磨特性に優れることから、独立気泡を有したものであることが好ましい。独立気泡を有した樹脂板を得る方法としては、樹脂板製造時における樹脂中への各種発泡剤の配合による化学発泡法が一般的であるが、機械的な撹拌により樹脂を発泡させたのち硬化させる方法、樹脂中に中空のマイクロビーズを分散後、硬化させマイクロビーズ部分を独立気泡とする方法等、を挙げることができる。
【００１９】
独立気泡の平均気泡径は５００μｍ以下であることが半導体基板の研磨に用いた時に局所的凹凸の平坦性が極めて良好となるので好ましい。より好ましくは３００μｍ以下、さらには１００μｍ以下である。下限としては特に制限はないが、研磨特性の観点から１０μｍ程度である。なお、平均気泡径は樹脂板断面を倍率２００倍の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察し、ＳＥＭ写真を画像処理装置で処理した後、求められた各々の気泡の直径の平均値をいう。
【００２０】
本発明においては、研磨特性に優れた研磨材料が得られ、また、独立気泡径が比較的容易にコントールできて、均質性にも優れるのでポリウレタンを主成分とする樹脂板（ポリウレタン系発泡体）を用いることが好ましい。ポリウレタンとは、ポリイソシアネートの重付加反応または重合反応に基づき合成される高分子である。ポリイソシアネートと組み合わせて用いられる化合物としては、含活性水素化合物、すなわち、二つ以上のポリヒドロキシ基、あるいはアミノ基含有化合物である。ポリイソシアネートとして、トリレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、ナフタレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネートなど挙げることができる。ポリヒドロキシ基含有化合物としてはポリオールが代表的であり、ポリエーテルポリオール、ポリテトラメチレンエーテルグリコール、エポキシ樹脂変性ポリオール、ポリエステルポリオール、アクリルポリオール、ポリブタジエンポリオール、シリコーンポリオール等が挙げられる。硬度，気泡径および発泡倍率によって、ポリイソシアネートとポリオール、および触媒、発泡剤、整泡剤の組み合わせや最適量を決めることができる。
【００２１】
本発明においては、先述の３つの基本要素に加えて、その樹脂板にモノマーを含ませる前に樹脂板からスキン層を除去する工程を有している。
【００２２】
モノマーを樹脂板に含ませて重合を行い、それをスライスしてシート状研磨材料を得ようとしても通常の方法ではモノマーの含ませた状態の不均一化や重合反応時の反応状態の不均一化が生じてしまい、厚み精度や品質にバラツキが多く出、また、要求特性を満たさない物も生じる虞があった。本発明者らは、その原因が樹脂板に存在するスキン層であることを究明し、そのスキン層をあらかじめ除去しておくことで、最終的に得られるシート状研磨層の厚み精度を向上させられることを見いだした。
【００２３】
本発明におけるスキン層とは、樹脂板において製造直後に存在する最表面層のことで、このスキン層は製造時の種々の要因により、化学組成が樹脂板内部層と異なるものである。たとえばポリウレタン系発泡体の場合では、製造直後の最表面層（スキン層）は内部層と比較して、単位体積あたりの気泡数や吸水率、密度などの物性が有為に異なる。
【００２４】
このスキン層を除去する方法としてはダイヤモンドディスク，ベルトサンダー等の装置による研削加工、またはバンドナイフ，かんな板等によるスライス加工等、特に限定されるものではなくスキン層が除去可能であれば公知の装置を使用することができる。特に好ましい方法としてはバンドナイフ式スライサーによるスライス加工である。
【００２５】
除去する量については樹脂板の厚みによりスキン層厚みが変化するため、一概に規定することはできないが、全厚みに対して５％以上の厚みを除去することが好ましい。より好ましくは１０％以上である。なお、スキン層は断面観察によりその厚みが測定可能である場合が多い。もちろんスキン層の全てを除去することが好ましいが、一部が除去された場合であっても良く、除去しない場合よりは、本発明の効果は期待できる。
【００２６】
また、樹脂板に厚み斑があると均質性が損なわれることがあるので、スキン層が除去された後の樹脂板の厚みムラが±０．５ｍｍ以内にあるように調整可能な手段を用いることが好ましい。より好ましくは±０．３ｍｍ以内であり、さらに好ましくは±０．１ｍｍ以内である。係る手段としては、バンドナイフ，かんな板等が挙げられる。
【００２７】
上述したモノマー，樹脂板の中で、モノマーとしてメチルメタクリレート，エチルメタクリレート，ｎ−ブチルメタクリレート，イソブチルメタクリレート、樹脂板としてポリウレタンの組み合わせが、樹脂板への独立気泡の形成が容易な点、モノマーの含ませ易い点、重合硬化が容易な点、重合硬化された樹脂板の硬度が高く、また、ＣＭＰ用途で研磨を行った時の平坦化特性が良好であるので好ましい。
【００２８】
モノマーを樹脂板に含ませる方法としては、モノマーが入った容器中にスキン層を除去した樹脂板を浸漬し、含ませる方法が挙げられる。なお、その際、含ませる速度を速める目的で、加熱、加圧、減圧、攪拌、振盪、超音波振動等の処理を施すことも好ましい。
【００２９】
樹脂板中に含ませるモノマーの量は、使用するモノマーおよび樹脂板の種類や、製造される研磨パッドの特性により定められるべきものであり、一概にはいえないが、例えばモノマーとしてビニル化合物、樹脂板としてポリウレタンを使用した場合においては、重合硬化した樹脂板中に含まれたモノマー、好ましくビニル系モノマー、から得られる重合体とポリウレタンの含有比率が重量比で３０／７０〜９０／１０であることが好ましい。該モノマーから得られる重合体の含有比率が重量比で３０に満たない場合は、シート状研磨材料としての硬度が低くなるため好ましくない。また、含有比率が９０を越える場合は、シート状研磨材料の有している弾力性が損なわれるため好ましくない。
【００３０】
モノマーを含ませた樹脂板の重合硬化方法としては、係る樹脂板をガスバリア性材料からなるモールド内に挿入し、加熱する方法が挙げられる。しかし、この方法に限定されるものではない。
【００３１】
ガスバリア性の材料としては、無機ガラス，アルミニウム，銅，鉄，ＳＵＳ等の金属、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ），エチレン−酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）等のガスバリア性を有する樹脂との多層押出成型により製造されるポリオレフィン系樹脂，フィルム、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ），エチレン−酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）等のガスバリア性を有する樹脂により表面が被覆されたポリオレフィン系樹脂，フィルム等が挙げられる。この中でも耐熱性があり、製造されるシート状研磨材料の表面性が良好な点で、無機ガラス，金属が好ましい。
【００３２】
モノマーを含ませた樹脂板のガスバリア性材料からなるモールド内への挿入方法は、特に限定されるものではない。具体的には、係る樹脂板の周囲に軟質塩化ビニル，ネオプレンゴム，ブタジエンゴム，スチレンブタジエンゴム，エチレンプロピレンゴム等のガスバリア性を有する弾性体からなるガスケットを配し、そのガスケットを介して２枚のガスバリア性材料からなる板で該樹脂板を挟み込む方法、ガスバリア性材料からなる筐体中に該樹脂板を挿入し密閉する方法、ガスバリア性フィルムからなる袋中に樹脂板を挿入し密閉する方法等が挙げられる。
【００３３】
なお、モノマーを含ませた樹脂板をガスバリア性材料からなるモールド内に挿入せずに重合硬化した場合には、該樹脂板からモノマーが揮発することにより、製造されるシート状研磨材料の品質再現性が不十分で研磨特性が不安定になる傾向があるため好ましくない。
【００３４】
加熱による重合硬化方法としては、具体的には熱風オーブン等の空気浴での加熱、水浴，油浴での加熱、ジャケット，ホットプレスによる加熱等が挙げられる。中でも熱媒体の熱容量が大きく、重合硬化時の重合発熱の速やかな放散が可能な点で、水浴，油浴，ジャケットでの加熱が好ましい。
【００３５】
加熱温度，時間は、モノマー，重合開始剤の種類，量、樹脂板の厚み等により定められるべきものであるが、７０℃，１０時間程度加熱後、１２０℃，３時間程度加熱することにより、モノマーを含ませた樹脂板を重合硬化することができる。
【００３６】
なお、加熱以外のモノマーを含ませた樹脂板の重合硬化方法としては光，電子線，放射線照射による重合硬化を挙げることができる。なお、その際、モノマー中には必要に応じて重合開始剤，増感剤等を配合することが好ましい。
【００３７】
重合硬化した複合材は、必要な厚みに研削加工するか、必要な厚みにスライス加工することでシート状研磨材料を得ることができる。研削加工としてはダイヤモンドディスク，ベルトサンダー等が、スライス加工としてはバンドナイフ，かんな板等が使用できる。
【００３８】
こうして得られたシート状研磨材料の厚みは０．１〜１０ｍｍであることが好ましい。０．１ｍｍより薄いと該研磨材料と好ましく組み合わせて用いるクッション層またはその下層の研磨定盤の堅さや形状の影響が被研磨物に顕著に反映されるようになり、研磨特性を損ねる虞がある。一方、１０ｍｍより厚いと、好ましくクッション層を用いたとしても半導体基板のうねりに対する追随性が低下し、基板全体の平坦性が十分でないものが得られる虞がある。厚みとしては、さらには０．５〜２ｍｍであることがより好ましい。シート状研磨材料一枚の中での厚みムラとしては±０．２５ｍｍ以内にあることが好ましい。より好ましくは±０．１ｍｍ以内であり、さらに好ましくは±０．０５ｍｍ以内である。
【００３９】
本発明のシート状研磨材料を用いて研磨する研磨対象は特に限定されるものではないが、半導体基板の研磨、とりわけ平坦化工程、具体的には好ましくＣＭＰ法による平坦化工程に好ましく使用することができる。具体的には、半導体ウェーハ上に形成された絶縁層または金属配線の表面の研磨に用いることが好適である。絶縁層としては金属配線の層間絶縁膜や下層絶縁膜、素子分離に使用されるシャロートレンチアイソレーション（ＳＴＩ）等を、また金属配線としてはアルミ、タングステン、銅等を挙げることができ、構造的にはダマシン、デュアルダマシン、プラグ等がある。絶縁膜は現在酸化シリコンが主流であるが、遅延時間の問題で低誘電率絶縁膜の使用が検討されつつあり、本発明の研磨パッドにおいてはそのいずれとも研磨対象となり得る。また金属配線に銅を使用した場合には、窒化珪素等のバリアメタルも研磨対象となる。また、半導体基板以外に、磁気ヘッド、ハードディスク、液晶ディスプレイ用カラーフィルター、プラズマディスプレイ用背面板等の光学部材、サファイア等の研磨にも好ましく使用することができる。
【００４０】
【実施例】
以下に本発明を具体的に説明するために実施例を挙げて説明するが、これらの例は本発明をよりよく理解するためのものであり、これによって本発明の範囲を限定するものではない。
【００４１】
基本操作
（１）発泡ポリウレタンの製造
液温を４０℃に保った、ポリエーテルポリオール：”サンニックス（登録商標）ＦＡ−９０９”（三洋化成工業（株）製）１００重量部、鎖伸長剤：モノエチレングリコール８重量部、アミン触媒：”Ｄａｂｃｏ（登録商標）３３ＬＶ”（エアープロダクツジャパン（株）製）１．９５重量部、アミン触媒：”Ｔｏｙｏｃａｔ（登録商標）ＥＴ”（東ソー（株）製）０．１４重量部、シリコーン整泡剤：”ＴＥＧＯＳＴＡＢ（登録商標）Ｂ８４６２”（Ｔｈ．ＧｏｌｄｓｃｈｍｉｄｔＡＧ社製）１重量部、発泡剤：水０．５５重量部を混合してなるＡ液と、液温を４０℃に保ったイソシアネート：”サンフォーム（登録商標）ＮＣ−７０３”（三洋化成工業（株）製）９６．２重量部からなるＢ液を、ＲＩＭ成型機により、吐出圧１６ＭＰａで衝突混合した後、４０℃に保った金型内に吐出量８００ｇ／ｓｅｃで吐出し、１０分間放置することで、平均厚み１０．０ｍｍの発泡ポリウレタンブロック（密度：０．７５ｇ／ｃｍ３、平均気泡径：３５μｍ、大きさ：３００×３００ｍｍ）を作製した。
【００４２】
（２）発泡ポリウレタンブロックからのスキン層の除去
得られた発泡ポリウレタンブロックの室田製作所製バンドナイフ式スライサーを用い、スライス厚み設定１．５ｍｍで表裏スキン層を除去した。スキン層が除去されたことは表面の赤外分光分析（ＩＲ）により確認した。
【００４３】
（３）モノマーを樹脂板に含ましめての重合
スキン層を除去した発泡ポリウレタンブロックを、アゾビスイソブチロニトリル０．２重量部を添加したメチルメタクリレート（ＭＭＡ）に３日間含ませたしたのち、塩化ビニル製ガスケットを介して２枚のガラス板間に挟み込み、７０℃で１０時間、１２０℃で３時間加熱することにより重合硬化させた。
【００４４】
（４）シート状研磨材料の製造
前記（３）により得られたブロックを室田製作所製バンドナイフ式スライサーでスライスし、シート状研磨材料を得た。
【００４５】
また、物性の測定は以下の方法によって行った。
【００４６】
（１）発泡ポリウレタンの厚み測定方法
厚み計（Ｍｉｔｓｕｔｏｙｏ社製  Ｍｏｄｅｌ  ＩＤ−Ｃ１１２）を用い、任意の９点を測定し厚み平均値を求めた。また、厚みムラの指標は厚みの最大値と最小値の差の２分の１の値の絶対値を求め、この値を厚みムラとした（表１参照）。
【００４７】
（２）シート状研磨材料の厚み測定方法
厚み計（Ｍｉｔｓｕｔｏｙｏ社製  Ｍｏｄｅｌ  ＩＤ−Ｃ１１２）を用い、任意の９点を測定し平均値を求めた。また、厚みムラの指標は厚みの最大値と最小値の差の２分の１の値の絶対値を求め、この値を厚みムラとした（表１参照）。
【００４８】
（３）シート状研磨材料の研磨評価方法
試験すべき材料を直径３８０ｍｍの円に切り取り、その表面に幅２ｍｍ、深さ０．５ｍｍ、ピッチ幅１５ｍｍの格子状の溝加工を施したものに、接着層として（株）寺岡製作所製無支持体（基材レス）両面テープ”７０２２”、クッション層としてタイガースポリマー（株）製ＮＢＲゴム”ＴＮＫＬ７００７”を用いて３層構造の研磨材料とした。クッション層側に住友スリーエム（株）製両面接着テープ”４４２ＪＳ”を貼り付け、研磨パッドを研磨機ラップマスターＳＦＴ（株）製”ＬＭ−１５Ｅ”の定盤上に貼り付けた。その後、旭ダイヤモンド工業（株）製ダイヤモンドコンディショナー”ＣＭＰ−Ｍ”（直径１４２ｍｍ）を用い、押し付け圧０．０４ＭＰａ、研磨定盤回転数２５ｒｐｍ、コンディショナー回転数２５ｒｐｍで研磨定盤と同方向に回転させ、純水を１０ｍｌ／分で研磨パッド上に供給しながら５分間、研磨パッドのコンディショニングを行った。純水を１００ｍｌ／分で研磨パッド上に供給しながら研磨パッド上を２分間洗浄したのちに、グローバル平坦性評価用テストウェーハを研磨ヘッドに取り付け、取扱説明書に記載された使用濃度の研磨スラリー（キャボット・マイクロエレクトロニクス社製研磨スラリー”Ｓｅｍｉ−Ｓｐｅｒｓｅ  １２”）を３５ｍｌ／分で研磨パッド上に供給しながら、研磨圧力０．０４ＭＰａ、研磨定盤回転数４５ｒｐｍ、研磨ヘッド回転数４５ｒｐｍで研磨定盤と同方向に回転させ、所定時間研磨を行った。ウェーハ表面を乾燥させないようにし、直ちに純水をかけながらポリビニルアルコールスポンジでウェーハ表面を洗浄し、乾燥圧縮空気を吹き付けて乾燥した。グローバル平坦性評価用テストウェーハのセンタ１０ｍｍダイ中の２０μｍラインと２３０μｍラインの酸化層厚みを大日本スクリーン製造（株）製”ラムダエース”ＶＭ−２０００を使用して測定し、それぞれの厚みの差をグローバル段差として評価した。
【００４９】
また上記と同じコンディショニングを行い、表面の酸化厚みをあらかじめ大日本スクリーン製造（株）製”ラムダエース”ＶＭ−２０００を使用して決められた１９８点につき測定した、ユニフォーミティ評価用テストウェーハを研磨ヘッドに取り付け、取扱説明書に記載された使用濃度の研磨スラリー（キャボット・マイクロエレクトロニクス社製研磨スラリー”Ｓｅｍｉ−Ｓｐｅｒｓｅ  １２”）を３５ｍｌ／分で研磨パッド上に供給しながら、研磨圧力０．０４ＭＰａ、研磨定盤回転数４５ｒｐｍ、研磨ヘッド回転数４５ｒｐｍで研磨定盤と同方向に回転させ、所定時間、研磨を行った。ウェーハ表面を乾燥させないようにし、直ちに純水をかけながらポリビニルアルコールスポンジでウェーハ表面を洗浄し、自然状態に放置して乾燥を行った後、研磨後の酸化膜の厚みを大日本スクリーン製造（株）製”ラムダエース”ＶＭ−２０００を使用して決められた１９８点につき測定して下記式（１）により各々の点での研磨速度を算出し、下記式（２）によりユニフォーミティを算出した。
【００５０】
式（１）：研磨速度＝（研磨前の酸化膜の厚み−研磨後の酸化膜の厚み）／研磨時間
式（２）：ユニフォーミティ（％）＝（最大研磨速度−最小研磨速度）／（最大研磨速度＋最小研磨速度）×１００
実施例１
前記の方法で得たスキン層が除去された発泡ポリウレタンブロックを用い、該発泡ポリウレタンブロック１００重量部に対しメチルメタクリレート１１０重量部を用いてモノマーを樹脂板へ含ましめて重合を行った。得られたブロックをスライス厚み設定１．３ｍｍでスライスし、シート状研磨材料を得た。得られた研磨材料の研磨特性はグローバル段差が０．２μｍとなった研磨時間は４分であった。ユニフォーミティは９．０％であった。
【００５１】
実施例２
スキン層が除去された発泡ポリウレタンブロック１００重量部に対し、メチルメタクリレート１３０重量部を用いた以外は実施例１記載の方法と同様に樹脂板にモノマーを含ましめ、重合、スライスを行い、研磨層シートを得た。得られた研磨材料の研磨特性はグローバル段差が０．２μｍとなった研磨時間は３分であった。ユニフォーミティは８．６％であった。
【００５２】
実施例３
発泡ポリウレタンブロック１００重量部に対しメチルメタクリレート１５０重量部を用いた以外は実施例１記載の方法と同様に樹脂板にモノマーを含ましめ、重合、スライスを行い、研磨層シートを得た。得られた研磨材料の研磨特性はグローバル段差が０．２μｍとなった研磨時間は３分であった。ユニフォーミティは８．８％であった。
【００５３】
比較例１
発泡ポリウレタンブロックとして表裏スキン層を除去しないものを用いた以外は実施例１記載の方法と同様に樹脂板にモノマーを含ましめ、重合、スライスを行い、シート状研磨材料を得た。得られた研磨材料の研磨特性はグローバル段差が０．２μｍとなった研磨時間は２分であった。ユニフォーミティは１５．８％であった。
比較例２
発泡ポリウレタンブロックとして表裏スキン層を除去しないものを用いた以外は実施例２記載の方法と同様に樹脂板にモノマーを含ましめ、重合、スライスを行い、シート状研磨材料を得た。得られた研磨材料の研磨特性はグローバル段差が０．２μｍとなった研磨時間は２分であった。ユニフォーミティは１９．６％であった。
【００５４】
比較例３
発泡ポリウレタンブロックとして表裏スキン層を除去しないものを用いた以外は実施例３記載の方法と同様に樹脂板にモノマーを含ましめ、重合、スライスを行い、シート状研磨材料を得た。得られた研磨材料の研磨特性はグローバル段差が０．２μｍとなった研磨時間は２分であった。ユニフォーミティは２４．８％であった。
【００５５】
以上の実施例および比較例の結果について表にまとめた。
【００５６】
表から明らかなように、発泡ポリウレタンブロックのスキン層を除去することで、厚み精度の安定したシート状研磨材料を得ることができた。また得られたシート状研磨材料の研磨特性も良好であった。
【００５７】
【表１】
2005052901.tif 000002
【００５８】
【発明の効果】
本発明によって、バラツキの無い、高精度な研磨特性を有し、かつ、シート間及びシート内で厚みや研磨特性が均質かつ良好であり、良好な性状を有するシート状研磨材料を安定して得ることができる。