(57)【要約】【課題】バリを効果的に除去可能とする。【解決手段】延性を有する第１の層と、第２の層とが周辺側で積層される半導体装置が複数配列されて成る半導体装置群の境界部を切削して個々の半導体装置を分離するための切削方法であって、第１の回転体を、前記半導体装置群の境界部から前記第１及び前記第２の層の積層方向へ移動せしめて、前記第１及び前記第２の層を切削する切削工程と、前記第１の回転体よりも軟質であり且つ幅が同等以上の第２の回転体を、前記半導体装置群の切削された境界部から前記積層方向へ移動せしめて、前記第１の層におけるバリを除去するためのバリ除去工程と、を有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
延性を有する第１の層と、第２の層とが周辺側で積層される半導体装置が複数配列されて成る半導体装置群の境界部を切削して個々の半導体装置を分離するための切削方法であって、
第１の回転体を、前記半導体装置群の境界部から前記第１及び前記第２の層の積層方向へ移動せしめて、前記第１及び前記第２の層を切削する切削工程と、
前記第１の回転体よりも軟質であり且つ回転軸方向の幅が前記第１の回転体の回転軸方向の幅以上の第２の回転体を、前記半導体装置群の切削された境界部から前記第１及び前記第２の層の積層方向へ移動せしめて、前記第１の層におけるバリを除去するためのバリ除去工程と、
を有することを特徴とする切削方法。
【請求項２】
前記第２の回転体は、前記第１の層の硬度に応じた前記バリを除去可能な硬度を有することを特徴とする請求項１に記載の切削方法。
【請求項３】
前記切削工程又は前記バリ除去工程の少なくとも一方において、
除去されたバリを前記半導体装置群の外周側に流出させるべく、前記境界部に水を射出することを特徴とする請求項１又は２に記載の切削方法。
【請求項４】
前記切削工程の前工程において、
基材上に粘着材層が形成された粘着シートにおける前記粘着材層の上に、前記半導体装置群を貼り付けることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の切削方法。
【請求項５】
前記粘着シートは、紫外線照射により硬化して粘着力が低減する紫外線硬化型粘着シートであり、
前記バリ除去工程の後工程において、
前記粘着シートにおける前記基材の面側から、前記半導体装置群が貼り付けられた領域のみに対して紫外線を照射することを特徴とする請求項４に記載の切削方法。
【請求項６】
延性を有する第１の層と、第２の層とが周辺側で積層される半導体装置が複数配列されてなる半導体装置群の境界部を切削して個々の半導体装置を分離するための切削方法であって、
第１の回転体を、前記第１の層側となる前記半導体装置群の境界部から前記第１及び前記第２の層の積層方向に移動せしめて、前記第１の層を切削するとともに前記第１の層におけるバリを除去するための第１の切削工程と、
前記第１の回転体よりも硬質であり且つ回転軸方向の幅が前記第１の回転体の回転軸方向の幅未満となる第２の回転体を、前記第１の層が切削された前記境界部から前記第１及び前記第２の層の積層方向に移動せしめて、前記第２の層を切削する第２の切削工程と、
を有することを特徴とする切削方法。
【請求項７】
前記第１の回転体は、前記第１の層の硬度に応じた前記バリを除去可能な硬度を有することを特徴とする請求項６に記載の切削方法。
【請求項８】
前記第１又は前記第２の切削工程の少なくとも一方において、
除去されたバリを前記半導体装置群の外周側へ流出させるべく、前記境界部に水を射出することを特徴とする請求項６又は７に記載の切削方法。
【請求項９】
前記第１の切削工程の前工程において、
基材上に粘着材層が形成された粘着シートにおける前記粘着材層の上に、前記半導体装置群を貼り付けることを特徴とする請求項６乃至８のいずれかに記載の切削方法。
【請求項１０】
前記粘着シートは、紫外線照射により硬化して粘着力が低減する紫外線硬化型粘着シートであり、
前記バリ除去工程の後工程において、
前記粘着シートにおける前記基材の面側から、前記半導体装置群が貼り付けられたとは真逆となる他方の面の側から、前記半導体装置群が貼り付けられた領域のみに対して紫外線を照射することを特徴とする請求項９に記載の切削方法。
【請求項１１】
前記半導体装置群は、実装基板と接合材を介して接合される実装面の周囲に前記第１の層としての電極を露出すべく、導電箔の各区画領域において電気的に接続された当該電極と半導体素子とを前記第２の層としての絶縁性を有する封止材によって封止させて形成されることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれかに記載の切削方法。
【請求項１２】
前記半導体装置群は、前記第２の層としての半導体基板における各区画領域上に、前記第１の層としてのメタル配線層が積層されて形成されることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれかに記載の切削方法。
【請求項１３】
延性を有する第１の層と、第２の層とが周辺側で積層される半導体装置が複数配列されて成る半導体装置群の境界部を切削して個々の半導体装置を分離するための切削装置であって、
第１の回転体を、前記半導体装置群の境界部から前記第１及び前記第２の層の積層方向へ移動せしめて、前記第１及び前記第２の層を切削する切削手段と、
前記第１の回転体よりも軟質であり且つ回転軸方向の幅が前記第１の回転体の回転軸方向の幅以上の第２の回転体を、前記半導体装置群の切削された境界部から前記第１及び前記第２の層の積層方向へ移動せしめて、前記第１の層におけるバリを除去するためのバリ除去手段と、
を有することを特徴とする切削装置。
【請求項１４】
延性を有する第１の層と、第２の層とが周辺側で積層される半導体装置が複数配列されてなる半導体装置群の境界部を切削して個々の半導体装置を分離するための切削装置であって、
第１の回転体を、前記第１の層側となる前記半導体装置群の境界部から前記第１及び前記第２の層の積層方向に移動せしめて、前記第１の層を切削するとともに前記第１の層におけるバリを除去するための第１の切削手段と、
前記第１の回転体よりも硬質であり且つ回転軸方向の幅が前記第１の回転体の回転軸方向の幅未満となる第２の回転体を、前記第１の層が切削された前記境界部から前記第１及び前記第２の層の積層方向に移動せしめて、前記第２の層を切削する第２の切削手段と、
を有することを特徴とする切削装置。
【請求項１５】
延性を有する第１の層と、第２の層とが周辺側で積層される半導体装置が複数配列されて成る半導体装置群の境界部を切削して個々の半導体装置を分離するための半導体装置の製造方法であって、
第１の回転体を、前記半導体装置群の境界部から前記第１及び前記第２の層の積層方向へ移動せしめて、前記第１及び前記第２の層を切削する切削工程と、
前記第１の回転体よりも軟質であり且つ回転軸方向の幅が前記第１の回転体の回転軸方向の幅以上の第２の回転体を、前記半導体装置群の切削された境界部から前記第１及び前記第２の層の積層方向へ移動せしめて、前記第１の層におけるバリを除去するためのバリ除去工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項１６】
延性を有する第１の層と、第２の層とが周辺側で積層される半導体装置が複数配列されてなる半導体装置群の境界部を切削して個々の半導体装置を分離するための半導体装置の製造方法であって、
第１の回転体を、前記第１の層側となる前記半導体装置群の境界部から前記第１及び前記第２の層の積層方向に移動せしめて、前記第１の層を切削するとともに前記第１の層におけるバリを除去するための第１の切削工程と、
前記第１の回転体よりも硬質であり且つ回転軸方向の幅が前記第１の回転体の回転軸方向の幅未満となる第２の回転体を、前記第１の層が切削された前記境界部から前記第１及び前記第２の層の積層方向に移動せしめて、前記第２の層を切削する第２の切削工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、バリを効果的に除去可能な切削方法、切削装置及び半導体装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の製造工程では、ダイサーやダイシングソー等と呼ばれる切削装置（以下に示す特許文献１参照）を利用して、半導体ウエハー（『半導体装置群』）上に所定の回路パターンが形成された各区画領域（チップ：『半導体装置』）を分離するための切削工程や、チップの搭載ならびにワイヤボンディングが施されており且つ絶縁性を有する封止材によって封止された状態にある板状のリードフレーム（『半導体装置群』）から各区画領域（パッケージ：『半導体装置』）を分離するための切削工程が行われる。
【０００３】
ここで、半導体ウエハーの切削工程は、回転駆動された環状の切削ブレードに対して、当該半導体ウエハーを切削ラインに沿う方向へ移動させることで行われる。なお、半導体ウエハーでは、硬くて脆い性質を示すシリコン基板（『第２の層』）の上にアルミニウムや銅等の軟らかくて延性を示す金属を材料としたメタル配線層（『第１の層』）が積層されており、各チップの境界に積層されたメタル配線層及びシリコン基板が当該切削工程によって切削される。
【０００４】
一方、封止後のリードフレームの切削工程もまた同様に、回転駆動された切削ブレードに対して、当該リードフレームを切削ラインに沿う方向へ移動させることで行われる。なお、封止後のリードフレームにおける各パッケージの少なくとも側面の側には、実装面の側にある銅、アルミニウム又は鉄・ニッケルの合金等を材料とした電極（『第１の層』）上に、熱硬化性樹脂や熱可塑性樹脂等の硬くて脆い封止材層（『第２の層』）が積層されており、各チップの境界に積層された電極及び封止材層が当該切削工程によって切削される。
【特許文献１】特開２００１−７７０５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、前述した切削工程では、銅やアルミニウムなど軟らかくて延性を示す金属材料を切削することになるが、この種の金属材料を切削した場合、その切削断面にバリ（余分な材料、屑）が発生することが知られている。
【０００６】
ここで、この発生したバリを介して、チップの表面周辺部に配置された電極（ボンディングパッド）間やパッケージの実装面周辺部に配置された電極（外部端子）間が短絡してしまい、半導体装置の製造不良を増発する恐れがある。
【０００７】
さらに、近年の半導体装置に対する小型化・薄型化の流れに伴ってファインピッチ技術が採用されてきており、狭小化されたピッチ間隔でバリが発生してしまうと、前述した課題が顕在化することになりかねない。
【０００８】
本発明は、前述した課題に鑑みてなされたものであり、バリを効果的に除去可能な切削方法ならびに切削装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するための主たる本発明は、延性を有する第１の層と、第２の層とが周辺側で積層される半導体装置が複数配列されて成る半導体装置群の境界部を切削して個々の半導体装置を分離するための切削方法であって、第１の回転体を、前記半導体装置群の境界部から前記第１及び前記第２の層の積層方向へ移動せしめて、前記第１及び前記第２の層を切削する切削工程と、前記第１の回転体よりも軟質であり且つ回転軸方向の幅が前記第１の回転体の回転軸方向の幅以上の第２の回転体を、前記半導体装置群の切削された境界部から前記第１及び前記第２の層の積層方向へ移動せしめて、前記第１の層におけるバリを除去するためのバリ除去工程と、を有することとする。
【００１０】
また、本発明は、前述した個々の半導体装置を分離するための切削方法であって、延性を有する第１の層と、第２の層とが周辺側で積層される半導体装置が複数配列されてなる半導体装置群の境界部を切削して個々の半導体装置を分離するための切削方法であって、第１の回転体を、前記第１の層側となる前記半導体装置群の境界部から前記第１及び前記第２の層の積層方向に移動せしめて、前記第１の層を切削するとともに前記第１の層におけるバリを除去するための第１の切削工程と、前記第１の回転体よりも硬質であり且つ回転軸方向の幅が前記第１の回転体の回転軸方向の幅未満となる第２の回転体を、前記第１の層が切削された前記境界部から前記第１及び前記第２の層の積層方向に移動せしめて、前記第２の層を切削する第２の切削工程と、を有することとする。
【００１１】
本発明によれば、第１及び第２の層を切削する場合に、延性を有する第１の層におけるバリを効果的に除去することができる。
【００１２】
本発明の他の特徴については、添付図面及び本明細書の記載により明らかにする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、バリを効果的に除去可能な切削方法及び切削装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
＝＝＝  実施例  ＝＝＝
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて具体的に説明する。
【００１５】
＜半導体装置の構成＞
図１は、本発明に係る切削方法を踏まえて製造される半導体装置１００の一実施形態を示す斜視図である。
【００１６】
本発明に係る半導体装置１００は、同図に示すようにＶＱＦＮ（Very Quad Flat Nonleaded Package）やＶＳＯＮ(Very Thin Small Outline Nonleaded Package)など、プリント基板と接合材を介して接合される側の実装面（底面）から外部端子１０６を露出させたノンリード型半導体装置とすることができる。なお、本発明に係る半導体装置１００は、ノンリード型に限定されないのは言うまでもなく、ＢＧＡ（Ball Grid Array）などその他のＣＳＰ（Chip Size Package）としてもよい。また、ＦＢＧＡ(Fine-Pitch BGA)やＦＬＧＡ(Fine-Pitch Land Grid Array)などのプリント基板又はフレキシブル基板を採用したパッケージとしてもよい。以下では、ノンリード型を例に挙げて説明する。
【００１７】
図２は、半導体装置１００の断面図である。同図に示すように、銅等で構成されるダイパッド１０１上には、銀ペーストなどのダイボンディング用の接合材１０２を介して半導体素子１０３が固着（ダイボンディング）されている。半導体素子１０３の表面には電極パッド（不図示）が形成されており、当該電極パッドと銅等で構成されるボンディングパッド１０４とが金属細線１０５を介して電気的に接続（ワイヤボンディング）される。なお、ボンディングパッド１０４は、封止材１０７との密着性（アンカー効果）を向上させるべく、当該半導体装置１００の上面側に突起部を有した形状を採用しているが、勿論当該突起部を除去した形状としてもよい。
【００１８】
ダイパッド１０１、半導体素子１０３及びボンディングパッド１０４がそれぞれ電気的に接続された状態で、絶縁性を有する封止材１０７によって封止されて封止体１１０を形成する。なお、封止材１０７としては、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂（トランスファーモールド法の場合）や、ポリイミド樹脂、ポリフェニレンサルファイド等の熱可塑性樹脂（インジェクションモールド法の場合）を採用することができる。
【００１９】
封止後のダイパッド１０１については、その底面を封止体１１０の実装面に露出させなくてもよいし、露出させてもよい。ダイパッド１０１の底面を露出させない場合は、ダイパッド１０１及び半導体素子１０３の絶縁性が確実に保護されることになる。ダイパッド１０１の底面を露出させた場合には、当該底面を封止しない分当該半導体装置１００の厚さを薄くすることができる。また、当該半導体装置１００から発生する熱を当該ダイパッド１０１の底面から放出することも可能となる。
【００２０】
封止後のボンディングパッド１０４については、その底面を封止体１１０の実装面に露出させてある。ここで、封止体１１０の実装面に露出したボンディングパッド１０４の部位が、接合材を介して当該半導体装置１００をプリント基板に接合（実装）するための外部端子１０６を形成することになる。なお、外部端子１０６の上では、半田めっきや金属めっき（ニッケル、金、銀など）といっためっき層１０８が形成される。
【００２１】
以上、半導体装置１００の概要説明である。図２に示すとおり、この半導体装置１００の側面の側では、銅やアルミニウムなど軟らかくて（軟質で）延性を示す材料で構成されるボンディングパッド（『第１の層』）１０４上に、熱硬化性樹脂や熱可塑性樹脂などボンディングパッド１０４より硬くて（硬質で）脆い性質を示す封止材１０７の層（以下、封止材層１０７と称する。『第２の層』）が積層されることになる。
【００２２】
＜切削装置の構成＞
図１及び図２に示した半導体装置１００を製造する工程の中で、半導体装置１００を複数配列して成る後述の導電箔７００から個々の半導体装置１００を分離するための工程を有する。ここで、導電箔７００の各半導体装置１００の境界部を切削する場合、ボンディングパッド１０４と封止材層１０７を併せて切削することになるが、ボンディングパッド１０４は前述したとおり軟質且つ延性を示す材料で構成されるため、当該ボンディングパッド１０４の切削断面にはバリが発生しやすくなる。
【００２３】
そこで、本発明に係る切削方法では、こうしたバリの発生を抑制すべく、図３に示すように、環状のブレードが先端に取り付けられたモーター内蔵スピンドルを２軸分備えており且つ当該２軸分のスピンドルを平行に配置した平行２軸型切削装置（平行２軸型ダイサー又はダイシング装置：『第１の切削装置』）１０００を採用する。なお、以下では、平行２軸型切削装置１０００の場合を説明するが、図４に示すように２軸分のスピンドルを対向して配置した対向２軸型切削装置（対向２軸型ダイサー又はダイシング装置：『第１の切削装置』）を採用してもよい。
【００２４】
平行２軸型切削装置１０００は、切削ブレード（請求項１及び１３に記載の『第１の回転体』）４００を先端に取り付けたスピンドル４１０、バリ除去ブレード（請求項１及び１３に記載の『第２の回転体』）５００を先端に取り付けたスピンドル５１０、ダイシング用粘着シート６００が貼り付けられた当該導電箔７００を吸着保持するためのワークテーブル８００、バリ除去後の導電箔７００をスピン洗浄部（不図示）へ搬送する前にプリ洗浄するためのプリ洗浄ノズル９００等で構成される。
【００２５】
切削ブレード４００は、後述のフルカット工程で使用し、導電箔７００の境界部に形成されたボンディングパッド１０４と封止材層１０７を併せて切削可能な硬度を呈するブレードとする。切削ブレード４００としては、円形基板の周縁にダイヤモンド砥石を備えたダイヤモンドブレードなどが採用できる。
【００２６】
バリ除去ブレード５００は、後述のバリ除去工程で使用し、導電箔７００切削後の切削断面に発生したバリを除去するためのブレードとする。なお、バリ除去ブレード５００は、切削ブレード４００よりも軟質な素材によって構成される。また、バリ除去ブレード５００は、ボンディングパッド１０４の切削断面に発生したバリを除去しやすくするために、ボンディングパッド１０４を構成する材料の軟質且つ延性に応じた軟らかな硬度を呈するブレードを採用することが好ましい。また、バリ除去ブレード５００の回転軸方向の幅は、切削ブレード４００の回転軸方向の幅以上とすることで、切削ブレード４００を一回切削送りした場合に、両側の切削断面を同時になぞってバリを除去することができる。
【００２７】
スピンドル５１０の先端には、前述したバリ除去ブレード５００以外にも研磨加工に用いられるバフ（請求項１及び１３に記載の『第２の回転体』）を取り付けてもよい。なお、バフとは、布を円形に切り抜いて一定の厚みに縫いあわせたものや、布の外周面に研磨剤を塗ったもの等である。バフの素材としては、例えば、前述した布以外にも、鉄、銅や 亜鉛等の合金、プラスティックなどを採用できる。
【００２８】
スピンドル４１０及び５１０は、導電箔７００の切削ラインに沿ったＸ軸方向（図３参照）に並列に配置される。また、スピンドル４１０及び５１０は、夫々不図示の駆動手段によって切削ラインに対して垂直なＹ軸方向（図３参照）にインデックス送りされるとともに、ボンディングパッド１０４と封止材層１０７が積層された方向となるＺ軸方向（図３参照）に切り込み送りされる。そして、ワークテーブル８００は、導電箔７００の切削ラインに沿ったＸ軸方向（図３参照）へ切削送りされる。こうしたスピンドル４１０及び５１０、ワークテーブル８００の一連の動作によって、導電箔７００の一切削ラインに対する切削が行われる。なお、ワークテーブル８００は、切削ブレード４００及びバリ除去ブレード５００が導電箔７００の切削ライン上に位置するようにθ方向へ回転駆動可能である。
【００２９】
ところで、平行２軸型切削装置１０００における切削ブレード４００及びバリ除去ブレード５００の周辺部は、図５に示すような構成となる。ここで、切削ブレード４００の周辺部の構成についてのみ説明する。
【００３０】
まず、切削ブレード４００は、その下部に開口部を有するフランジカバー４２０によって覆われている（図３参照）。フランジカバー４２０には、ワークテーブル８００切削送り側に設置される切削水ノズル４３０と、切削ブレード４００を仕切りとした場合の手前側と奥側（スピンドル４１０側）とで切削ブレード４００を挟み込むように設置された一対の冷却水ノズル４４０ａ及び４４０ｂと、ワークテーブル８００切削送り側に設置される一対の洗浄水ノズル４５０ａ及び４５０ｂが備えられている。
【００３１】
ここで、後述するフルカット工程（Ｓ６０７）及び／又はバリ除去工程（Ｓ６０８）の過程で発生した切削屑（除去された『バリ』）が導電箔７００の実装面上に残存していると、当該導電箔７００を後に乾燥させた場合に当該切削屑を除去しづらくなる。そこで、後述するフルカット工程（Ｓ６０７）又はバリ除去工程（Ｓ６０８）の少なくともいずれか一方の過程で、各ノズル（４３０,４４０,４５０）から射出される水の流れで当該切削屑を導電箔７００の実装面の外周側へ流出するように、各ノズル（４３０,４４０,４５０）における各水の射出方向を設定しておく。このことによって、当該切削屑が、導電箔７００の実装面上に残存しにくくなり、当該切削屑に起因した電極間の短絡などの製造不良を回避することが可能となる。
【００３２】
なお、本発明に係る切削装置、例えば、ドライ方式の切削を採用する場合には、切削水、冷却水及び洗浄水を使用する必要がないために、各ノズル（４３０,４４０,４５０）を備えずに構成されていてもよい。
【００３３】
＜半導体装置の製造工程＞
つぎに、図１及び図２に示した半導体装置１００の製造工程について、図７乃至図１３を適宜参照しつつ、図６のフローチャートに基づいて説明する。
【００３４】
＝＝＝  ダイボンディング〜めっき層形成  ＝＝＝
まず、銅、アルミニウム又は、鉄・ニッケルの合金などを材料とした導電性を有する板状の導電箔（リードフレーム）を用意する。図７に示すように、導電箔７００の上下周縁にはインデックス孔７３０が設定されており、各工程での位置決めに利用される。また、導電箔７００には、多数の搭載部（『区画領域』）７５０を有するブロック７１０が、導電箔７００の応力を吸収する役割を果たすスリット７２０を介して配置されている。なお、ブロック７１０の周縁の内側には、切削時の位置合わせマーク７４０が設定される。
【００３５】
当該導電箔７００上にレジストパターンを形成した後に、当該レジストパターンをマスクにしてエッチングを施すことで、当該導電箔７００における各搭載部７５０にダイパッド１０１及びボンディングパッド１０４が形成される。なお、ボンディングパッド１０４は、搭載部７５０の周囲に配置されており、また、隣接する搭載部７５０の互いのボンディングパッド１０４は、連結された状態にある。
【００３６】
この状態の導電箔７００に対して、半導体ウエハーから予めダイシングしておいた半導体素子１０３を、搭載部７５０に形成されたダイパッド１０１上に接合材１０２を介して固着（ダイボンディング）する（Ｓ６００）。そして、キュア工程によって接合材１０２を硬化させた後（Ｓ６０１）、半導体素子１０３の表面周辺部に配置された電極パッド（不図示）と搭載部７５０の周囲に形成されたボンディングパッド１０４とを金属細線１０５を介して電気的に接続（ワイヤボンディング）する（Ｓ６０２）。なお、ここでは、半導体素子１０３の実装方式として、ワイヤボンディングによるフェイスアップ実装の場合を示しているが、半導体素子１０３の電極パッド（不図示）に金属パッドを形成してフェイスダウン実装を行うようにしてもよい。
【００３７】
そして、ボンディングパッド１０４を外部端子１０６として露出させるべく、導電箔７００について一括した封止を実施する（Ｓ６０３）。この結果、ボンディングパッド１０４を実装面側に露出させた封止体１１０が搭載部７５０に形成されることになる。
【００３８】
ところで、導電箔７００の実装面側にポリミドテープ等の樹脂シート（不図示）を貼り付けた状態で封止を行うようにすれば、当該樹脂シートによってボンディングパッド１０４の実装面側が封止材１０７によって封止されることを防止できる。さらに、プランジャー（不図示）などによる加圧によって、封止材１０７を被覆している樹脂シートの部位が封止体１１０の内側に若干食い込むことになる。
【００３９】
すなわち、樹脂シートを採用することで外部端子１０６が封止体１１０の実装面に露出しやすくなるため、封止工程（Ｓ６０３）の前には導電箔７００に樹脂シートを予め貼り付けておくことが好ましい。なお、樹脂シートを採用する場合には、封止工程（Ｓ６０３）後の導電箔７００から樹脂シートを除去する工程（Ｓ６０４）が必要となる。
【００４０】
ここで、樹脂シート除去後の導電箔７００では、隣接する封止体１１０の互いの外部端子１０６が連結した状態で実装面側に露出している。このため、電解めっき法に基づいて、所定の外部端子１０６をカソード電極端子に接続させた上で、外部端子１０６上へ一括してめっき層１０８を形成できる（Ｓ６０５）。なお、電解めっき法とは、銅めっき浴などの電解溶液中にアノード及びカソード電極を設けておき、被めっき物をカソード電極として配置して電極間に電圧を印加することで、被めっき物の表面に電子を析出させてめっき層を形成するものである。
【００４１】
＝＝＝  ＵＶシート貼り付け〜パッケージ分離  ＝＝＝
つぎに、図８に示すように、封止後の導電箔７００における実装面に対して真逆となる上面にダイシング用粘着シート６００を貼り付けた状態で（Ｓ６０６）、当該導電箔７００が平行２軸型切削装置１０００のワークテーブル８００上に真空吸着によって保持される。
【００４２】
ここで、ダイシング用粘着シート６００としては、ポレオレフィンなどを素材とする紫外線透過可能な基材フィルムの表面に対して紫外線硬化型粘着材が形成された紫外線硬化型粘着シート（ＵＶシート）を採用する。なお、紫外線硬化型粘着材とは、紫外線を所定時間照射することによって硬化して、その粘着力が低減される粘着材（例えばアクリル系粘着材）のことである。
【００４３】
導電箔７００が、ダイシング用粘着シート６００とともにワークテーブル８００上に吸着保持されると、平行２軸型切削装置１０００は、導電箔７００の実装面側に形成された各半導体装置１００の境界部（切削ライン）を検出する。そして、スピンドル４１０がＹ軸方向（図８参照）にインデックス送りされるとともにＺ軸方向（図８参照）に切り込み送りされる際に、当該検出された切削ライン上への切削ブレード４００の位置合わせなどが実施される。
【００４４】
なお、図９に示すように、スピンドル４１０をＺ軸方向（図８参照）に切り込み送りさせる時には、ボンディングパッド１０４及び封止材層１０７を貫通してダイシング用粘着シート６００に至るまで移動させることで、フルカットが実施される。
【００４５】
また、前述した位置合わせの後、スピンドル４１０とともに切削ブレード４００を回転駆動させる時に、切削水ノズル４３０から切削水が切削ブレード４００の刃先へ射出されるとともに、一対の冷却水ノズル４４０ａ及び４４０ｂから冷却水が切削ブレード４００の側面に射出される。さらに、一対の洗浄水ノズル４５０ａ及び４５０ｂから洗浄水が切削ブレード４００を仕切りとした導電箔７００上の手前側と奥側に対して射出される。なお、ここでは、ウェット方式の切削の場合として、切削水、冷却水及び洗浄水を切削の際に使用しているが、切削水、冷却水又は洗浄水のいずれかが使用されるようにしてもよい。また、ドライ方式の切削を行う場合には、切削水、冷却水及び洗浄水を切削の際に使用しなくてもよい。
【００４６】
この状態で、導電箔７００が吸着保持されたワークテーブル８００をＸ軸方向（図８参照）に切削送りさせることで、当該検出された一切削ラインへの切削が実施される。そして、スピンドル４１０とともに切削ブレード４００が１ピッチ分インデックス送りされて、以降の切削ラインが切削されていくことで、フルカット工程（Ｓ６０７）が実施される。
【００４７】
ところで、従来のドライ方式で切削を行った場合、フルカット工程の過程で発生した切削屑１１１０が、封止後の導電箔７００にトラップされて電極間短絡等の問題を発生させる原因となる。また、ダイシング用粘着シート６００は、ある面積以上を有する物（チップ、パッケージ）に対しては固着性に優れるが、当該切削屑１１１０のような微小な物に対しては固着性が悪くなる。すなわち、切削屑１１１０は、ダイシング用粘着シート６００に固着（トラップ）される物と、すぐ離れてしまう物に区分されることになる。
【００４８】
よって、本発明に係る切削装置は、ウェット方式の切削を採用するとともに、切削水、冷却水又は洗浄水の少なくともいずれかによって、ダイシング領域（導電箔７００の実装面）からその周囲となるダイシング用粘着シート６００の側に向かって水の流れを形成するようにしてもよい。このことによって、フルカット工程の過程で発生した切削屑１１１０は、ダイシング領域上に残存しにくくなり、当該ダイシング領域の周囲にあるダイシング用粘着シート６００にトラップされやすくなる（図８参照）。
【００４９】
ところで、図１０に示すように、フルカット工程（Ｓ６０７）後に形成された切削断面、特に、ボンディングパッド１０６の切削断面にはバリ１１００が発生しやすくなる。そこで、前述した切削ブレード４００の位置合わせと同様に、当該切削された切削ライン上へのバリ除去ブレード５００の位置合わせが行われ、以下のバリ除去工程（Ｓ６０８）が実施される。
【００５０】
バリ除去工程（Ｓ６０８）は、フルカット工程（Ｓ６０７）と同様に、各ノズル（４３０,４４０,４５０）から各水を射出した状態で、ワークテーブル８００をＸ軸方向（図８参照）に切削送りさせることで行われる。なお、バリ除去工程（Ｓ６０８）においても、各ノズル（４３０,４４０,４５０）から射出される各水のいずれかが使用されるようにしてもよいし、また、ドライ方式の切削を採用する場合には、切削水、冷却水及び洗浄水を使用しなくてもよい。ここで、図１１に示すように、スピンドル５１０とともに回転駆動されたバリ除去ブレード５００の側面の側が、バリ１１００の発生した切削断面をなぞるため、図１２に示すようにバリ１１００が除去されることになる。
【００５１】
つぎに、バリ除去工程（Ｓ６０８）後の導電箔７００が、プリ洗浄ノズル９００を介してプリ洗浄されて、そしてスピン洗浄部（不図示）へ搬送されてスピン洗浄される。ところで、プリ洗浄及びスピン洗浄を行うことで、前述した切削工程の過程でダイシング用粘着シート６００上にせっかくトラップしておいた切削屑１１１０が、プリ洗浄水又はスピン洗浄水の流れによって導電箔７００上に再びトラップしてしまう恐れがある。このため、本発明に係る切削装置は、プリ洗浄及びスピン洗浄を行う場合、プリ洗浄水又はスピン洗浄水によって、ダイシング領域（導電箔７００の実装面）からその周囲となるダイシング用粘着シート６００の側に向かって水の流れを必ず形成する必要がある。
【００５２】
前述のバリ除去工程（Ｓ６０８）又はスピン洗浄工程の後、ワークテーブル８００に対する吸着保持が解除されて、ダイシング用粘着シート６００上に貼り付けられた導電箔７００が、紫外線照射を行うための所定位置へ搬送される。そして、図１３に示すように、ダイシング用粘着シート６００の裏面に対して、紫外線ランプ１２１０を介して紫外線が照射される（Ｓ６０９）。このことによって、ダイシング用粘着シート６００における紫外線の照射部が硬化して粘着力が低減し、ダイシング用粘着シート６００から導電箔７００が乖離する。
【００５３】
このとき、紫外線カットの素材で構成される紫外線フィルター１２００を介して、導電箔７００が貼り付けられたダイシング領域のみに対して紫外線を照射すれば、切削屑１１１０がトラップされているその他の領域の粘着力は維持される。このことによって、後の工程でダイシング用粘着シート６００上に貼り付けられた導電箔７００を搬送する際の振動などで、導電箔７００の実装面上に切削屑１１１０がトラップしにくくなるため、紫外線照射時には紫外線フィルター１２００を使用することが好ましい。
【００５４】
つぎに、ダイシング用粘着シート６００上に貼り付けられた導電箔７００が、分離工程を行うための所定位置に搬送される。そして、ダイシング用粘着シート６００がエキスパンダー冶具（不図示）によって引き伸ばされることで、導電箔７００から各封止体１１０、すなわち各半導体装置１００が分離される（Ｓ６１０）。この分離された個々の半導体装置１００に対して、外観検査、プロセス検査、電気的特性検査などの各種検査工程（Ｓ６１１）が実施され、良品として選別された半導体装置１００のみが最終的に出荷されることになる。
【００５５】
以上、本発明によれば、前述したフルカット工程とバリ除去工程の２回の切削工程によって、導電箔７００から各半導体装置１００を切削分離していくことになる。なお、バリ除去工程では、フルカット工程で使用する切削ブレード４００よりも軟質であり且つ回転軸方向の幅が切削ブレード４００の回転軸方向の幅以上となるバリ除去ブレード５００を用いて行う。このため、ボンディングパッド１０４の切削断面におけるバリを効果的に除去することが可能となり、バリが除去された半導体装置１００を提供することができる。
【００５６】
＜その他の実施形態＞
本発明の実施形態について、その実施形態に基づき具体的に説明したが、これに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。  
＝＝＝  半導体装置のその他の製造工程  ＝＝＝
本発明に係るその他の切削方法に使用する切削装置（『第２の切削装置』）としては、前述した平行２軸型切削装置１０００や対向２軸型切削装置（図４参照）において、スピンドル４１０の先端に取り付ける切削ブレード４００をハーフカット用ブレード（請求項６及び１４に記載の『第１の回転体』）４６０に変更し、またスピンドル５１０の先端に取り付けるバリ除去ブレード５００をフルカット用ブレード（請求項６及び１４に記載の『第２の回転体』）５６０に変更したものを採用する。
【００５７】
ハーフカット用ブレード４６０は、導電箔７００の各封止体１１０の境界部に積層する少なくともボンディングパッド１０４を切削するためのブレードであり、ボンディングパッド１０４を構成する材料の軟質且つ延性に応じた軟らかな硬度を呈するブレードを採用することができる。
【００５８】
フルカット用ブレード５６０は、ハーフカット用ブレード４６０によって切削された後に残存する封止材層１０７を完全に切削するためのブレードであり、ハーフカット用ブレード４６０よりも硬質な素材で構成される。なお、フルカット用ブレード５６０としては、例えば、ダイヤモンドブレードなどを採用することができる。また、フルカット用ブレード５６０の回転軸方向の幅は、ボンディングパッド１０４の切削断面に改めてバリが生じないように、ハーフカット用ブレード４６０の回転軸方向の幅未満とする。
【００５９】
つぎに、図１４のフローチャートを用いて、本発明に係るその他の切削方法をふまえた半導体装置の製造工程について説明する。ここで、前述した実施形態の製造工程（図６参照）との相違点について説明すると、まず、ダイシング用粘着シート６００が封止後の導電箔７００の実装面に対して真逆の面に貼り付けられた後に（Ｓ１４０６）、ハーフカット工程（Ｓ１４０７）が実施される。
【００６０】
ハーフカット工程（Ｓ１４０７）は、図１５に示すように、スピンドル４１０の先端に取り付けられたハーフカット用ブレード４６０を回転駆動した状態で、導電箔７００の実装面に垂直なボンディングパッド１０４の厚さ方向（『第１及び第２の層の積層方向』）に移動せしめて、ボンディングパッド１０４を切削する。この際のハーフカット用ブレード４６０を使用した切削では、ボンディングパッド１０４の切削断面にバリが発生しにくくなる。
【００６１】
この状態で、図１６に示すように、スピンドル５１０の先端に取り付けられたフルカット用ブレード５６０を回転駆動した状態で、ハーフカット後に残存する封止材層１０７の厚さ方向（『第１及び第２の層の積層方向』）へダイシング用粘着シート６００に至るまで移動せしめて、当該封止材層１０７を完全に切削するフルカット工程（Ｓ１４０８）が実施される。そして、フルカット工程以降の後工程が実施されて、導電箔７００から個々の半導体装置１００が製造されることになる。
【００６２】
＝＝＝  半導体ウエハー  ＝＝＝
また、前述した実施形態において、半導体装置群として半導体装置１００が複数配列させて成る導電箔７００の例を示したが、本発明に係る切削方法は、シリコンなど硬くて脆い性質を示す半導体基板（『第２の層』）における各区画領域上に、銅やアルミニウムなどの軟質且つ延性を示す材料で構成されたメタル配線層（『第１の層』）が積層された、半導体ウエハーにも適用可能である。すなわち、本発明に係る切削方法及び切削装置によって、半導体ウエハーから各半導体チップを分離した際、メタル配線層におけるバリを効果的に除去することが可能となり、バリが除去された半導体チップを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の一実施形態に係る半導体装置の実装面を示す斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る半導体装置の断面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る平行２軸型切削装置を説明する図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る対向２軸型切削装置を説明する図である。
【図５】本発明の一実施形態に係るブレード周辺部の構成を説明する図である。
【図６】本発明の一実施形態に係る半導体装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図７】本発明の一実施形態に係る半導体装置の製造工程を説明する図である。
【図８】本発明の一実施形態に係る半導体装置の製造工程を説明する図である。
【図９】本発明の一実施形態に係る半導体装置の製造工程を説明する図である。
【図１０】本発明の一実施形態に係る半導体装置の製造工程を説明する図である。
【図１１】本発明の一実施形態に係る半導体装置の製造工程を説明する図である。
【図１２】本発明の一実施形態に係る半導体装置の製造工程を説明する図である。
【図１３】本発明の一実施形態に係る半導体装置の製造工程を説明する図である。
【図１４】本発明のその他の実施形態に係る半導体装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図１５】本発明のその他の実施形態に係る半導体装置の製造工程を説明する図である。
【図１６】本発明のその他の実施形態に係る半導体装置の製造工程を説明する図である。
【符号の説明】
【００６４】
１００  半導体装置                    １０１  ダイパッド
１０２  接合材                        １０３  半導体素子
１０４  ボンディングパッド            １０５  金属細線
１０６  外部端子                      １０７  封止材
１０８  めっき層                      １１０  封止体
４００  切削ブレード                  ４１０  スピンドル
４２０  フランジカバー                ４３０  切削水ノズル
４４０  冷却水ノズル                  ４５０  洗浄水ノズル
４６０  ハーフカット用ブレード        ５００  バリ除去ブレード
５１０  スピンドル                    ５２０  フランジカバー
５３０  切削水ノズル                  ５４０  冷却水ノズル
５５０  洗浄水ノズル                  ５６０  フルカット用ブレード
６００  ダイシング用粘着シート        ７００  導電箔
７１０  ブロック                      ７２０  スリット
７３０  インデックス孔                ７４０  位置合わせマーク
７５０  搭載部                        ８００  ワークテーブル
９００  プリ洗浄ノズル              １０００  平行２軸型切削装置
１１００  バリ                        １１１０  切削屑
１２００  紫外線フィルター
【図１】
2005039088.tif 000003
【図２】
2005039088.tif 000004
【図３】
2005039088.tif 000005
【図４】
2005039088.tif 000006
【図５】
2005039088.tif 000007
【図６】
2005039088.tif 000008
【図７】
2005039088.tif 000009
【図８】
2005039088.tif 000010
【図９】
2005039088.tif 000011
【図１０】
2005039088.tif 000012
【図１１】
2005039088.tif 000013
【図１２】
2005039088.tif 000014
【図１３】
2005039088.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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