(57)【要約】【課題】測定対象物が回転するものであっても、この回転する側に電源を設ける必要がなく、しかも、測定のためのスペースや位置の制約のない、温度もしくは応力の測定方法を提供することである。【解決手段】  オーステナイト相からマルテンサイト相に変態する際、常磁性体から強磁性体に変化する強磁性型形状記憶合金に、所定の電磁波を放射しバルクハウゼン効果によって二次放射する電磁ノイズを測定し、  その測定結果から、強磁性型形状記憶合金の温度もしくは強磁性型形状記憶合金にかかる応力に応じて変化するオーステナイト相とマルテンサイト相との割合の変化を強磁性体成分の変化として求め、その変化から、強磁性型形状記憶合金を支持する測定対象物の温度もしくは応力を逆算する。【選択図】図５
2005106628.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
オーステナイト相からマルテンサイト相に変態する際、常磁性体から強磁性体に変化する強磁性型形状記憶合金に、所定の電磁波を放射し、強磁性体の成分からバルクハウゼン効果によって二次放射する電磁ノイズを測定し、
その測定結果から、強磁性型形状記憶合金の温度もしくは応力に応じて変化するマルテンサイト相の割合を強磁性体成分の割合として求め、その割合から、強磁性型形状記憶合金に接触してこれを支持する測定対象物の温度もしくは応力を逆算する温度もしくは応力の測定方法。
【請求項２】
前記強磁性型形状記憶合金を、Ni2MnGa、Ni2MnAl、Fe-Pd系、Fe3Pt、Fe-Ni-Ga系、Ni-Co-Al系、Ni-Ti-Fe系、Co-Mn-Ga系、Ti-Ni-Pt系から選ばれた合金とする請求項１に記載の温度もしくは応力の測定方法。
【請求項３】
前記強磁性型形状記憶合金を、Ni-Co-Al系とし、その組成をNi：30〜45at%、Co：27〜32at%、残部：Alとする請求項２に記載の温度もしくは応力の測定方法。
【請求項４】
車体側に配設された発信装置から前記所定の電磁波を放射し、回転するタイヤに取り付けられた強磁性型形状記憶合金からバルクハウゼン効果によって二次放射する電磁ノイズを、車体側に配設されたノイズ検知器で検知してタイヤの温度もしくは応力を測定する請求項１〜３のいずれかに記載の温度もしくは応力の測定方法。
【請求項５】
前記測定対象物の温度を測定するに際し、マルテンサイト変態点が測定対象温度範囲内の温度である強磁性型形状記憶合金を用いる請求項１〜４のいずれかに記載の温度もしくは応力の測定方法。
【請求項６】
強磁性型形状記憶合金の形状を球状もしくは棒状とする請求項５に記載の温度もしくは応力の測定方法。
【請求項７】
前記測定対象物の応力を測定するに際し、マルテンサイト変態点が応力測定時の測定対象物の温度よりも低い温度である強磁性型形状記憶合金を用いる請求項１〜４のいずれかに記載の温度もしくは応力の測定方法。
【請求項８】
短冊状箔片もしくはフィラメントの形状にした前記強磁性型形状記憶合金の両端を測定対象物で接触支持して測定対象物の応力を測定する請求項７に記載の温度もしくは応力の測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、応力もしくは温度を測定する方法に関し、特に、対象物が回転する物体であっても、回転体に電源を供給することなくその応力もしくは温度を測定することのできる方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
車両の安全走行を目的として、タイヤ内圧だけでなく、回転中のタイヤの温度を監視したり、所要の部分の応力を測定することにより路面からタイヤに作用する力を求め、路面摩擦係数を正確に推定してブレーキを安全に制御したりする試みが行われている。
【０００３】
例えば、リムに取り付けられたタイヤ内圧警報装置に取り付けられた温度センサを用いて、タイヤの温度を測定する方法が知られているが（例えば、特許文献１参照。）、この方法は、半導体センサで測定したデータを車体側に送信することによりタイヤの温度を監視するように構成されており、温度検出やデータ送信のための電源が必要であり、しかも、この温度センサは回転するリムに取り付けられていて車体側から電源を供給することが難しいため電池が設けられているが、この電池の早期消耗が問題となっている。
【０００４】
また他の例として、タイヤに作用する力から直接路面摩擦係数を推定する方法として、タイヤに電源を設置することなく、タイヤの応力を測定する方法が知られている（例えば、特許文献２参照。）。この方法は、タイヤの一方のサイドウォール部の、同一半径上で半径方向位置の異なる二つの基準点のそれぞれに磁石を配置した磁石対を、複数対、タイヤの中心軸の周りに互いに離隔して配設するとともに、それぞれの基準点に対応する半径方向位置に、磁気センサを車両に固定して設けておき、タイヤの回転に従い相対変位するそれぞれの基準点とこれらに対応する磁気センサとが真正面に対向して位置するタイミングを、磁気センサで検出される磁束密度のピークが現れるタイミングとして捉え、このタイミングの各基準点に対する相互の時間ずれから、磁石対内の基準点の相対位置ずれ、および、磁石対間の基準点の相対位置ずれを算出し、これらの相対位置ずれをもとにタイヤの周方向および垂直方向のひずみを計算し、計算されたひずみと既知のタイヤ剛性とから周方向および垂直方向の応力を求めるものである。
【０００５】
しかしながら、この方法は、回転体に電源を設ける必要のない点では有利なものではあるが、磁石対からの磁気を検出する磁気センサをタイヤの極めて近傍にしかも決まった位置に配置する必要があり、レイアウト上の制約が大きく実用化が難しかった。
【特許文献１】特開２００３−１８２３２８号公報
【特許文献２】特表平１０−５０６３４６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、測定対象物が回転するものであっても、この回転する側に電源を設ける必要がなく、しかも、測定のためのスペースや位置の制約のない、温度もしくは応力の測定方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
＜１＞は、オーステナイト相からマルテンサイト相に変態する際、常磁性体から強磁性体に変化する強磁性型形状記憶合金に、所定の電磁波を放射し、強磁性体の成分からバルクハウゼン効果によって二次放射する電磁ノイズを測定し、
その測定結果から、強磁性型形状記憶合金の温度もしくは応力に応じて変化するマルテンサイト相の割合を強磁性体成分の割合として求め、その割合から、強磁性型形状記憶合金に接触してこれを支持する測定対象物の温度もしくは応力を逆算する温度もしくは応力の測定方法である。
【０００８】
＜２＞は、＜１＞において、前記強磁性型形状記憶合金を、Ni2MnGa、Ni2MnAl、Fe-Pd系、Fe3Pt、Fe-Ni-Ga系、Ni-Co-Al系、Ni-Ti-Fe系、Co-Mn-Ga系、Ti-Ni-Pt系から選ばれた合金とする温度もしくは応力の測定方法である。
【０００９】
＜３＞は、＜２＞において、前記強磁性型形状記憶合金を、Ni-Co-Al系とし、その組成をNi：30〜45at%、Co：27〜32at%、残部：Alとする温度もしくは応力の測定方法である。
【００１０】
＜４＞は、＜１＞〜＜３＞のいずれかにおいて、車体側に配設された発信装置から前記所定の電磁波を放射し、回転するタイヤに取り付けられた強磁性型形状記憶合金からバルクハウゼン効果によって二次放射する電磁ノイズを、車体側に配設されたノイズ検知器で検知してタイヤの温度もしくは応力を測定する温度もしくは応力の測定方法である。
【００１１】
＜５＞は、＜１＞〜＜４＞のいずれかにおいて、前記測定対象物の温度を測定するに際し、マルテンサイト変態点が測定対象温度範囲内の温度である強磁性型形状記憶合金を用いる温度もしくは応力の測定方法である。
【００１２】
＜６＞は、＜５＞において、強磁性型形状記憶合金の形状を球状もしくは棒状とする温度もしくは応力の測定方法である。
【００１３】
＜７＞は、＜１＞〜＜４＞のいずれかにおいて、前記測定対象物の応力を測定するに際し、マルテンサイト変態点が応力測定時の測定対象物の温度よりも低い温度である強磁性型形状記憶合金を用いる温度もしくは応力の測定方法である。
【００１４】
＜８＞は、＜７＞において、短冊状箔片もしくはフィラメントの形状にした前記強磁性型形状記憶合金の両端を測定対象物で接触支持して測定対象物の応力を測定する温度もしくは応力の測定方法である。
【発明の効果】
【００１５】
＜１＞によれば、詳細を後に説明するように、温度もしく応力の測定対象物に支持される強磁性型形状記憶合金は電源を必要とするものではなく、また、電源を必要とする、電磁波を放射するための発振装置や、バルクハウゼン効果によって二次放射する電磁ノイズを検出するノイズ検波器は、測定対象物から離れた位置に自由に設けることができ、したがって、測定対象物が回転するものであっても回転側に電源を設ける必要がなく、しかも、測定のためのスペースや位置の制約のない測定方法を提供することができる。
【００１６】
＜２＞によれば、前記強磁性型形状記憶合金を、Ni2MnGa、Ni2MnAl、Fe-Pd系、Fe3Pt、Fe-Ni-Ga系、Ni-Co-Al系、Ni-Ti-Fe系、Co-Mn-Ga系、Ti-Ni-Pt系から選ばれた合金としたので、これらの合金は、オーステナイト相からマルテンサイト相に変態する際、常磁性体から強磁性体に変化する特性を有し、＜１＞の発明に有利に用いることができる。
【００１７】
＜３＞によれば、Ni-Co-Al系合金の組成をNi：30〜45at%、Co：27〜32at%、残部：Alとしたので、この組成の合金は、相変態に際し磁化特性が大きく変化し、磁化特性の変化から、温度もしくは応力を精度よく求めることができる。もし、組成が上記の範囲から外れた場合には、相変態が生じても、磁化特性の変化が小さく、温度もしくは応力を求める際十分な精度が得られない。
【００１８】
＜４＞によれば、測定対象物を回転するタイヤとしてので、従来から懸案となっている、電池寿命の問題や測定センサのレイアウトの制約の問題を解決することができる。
【００１９】
＜５＞によれば、マルテンサイト変態点が、測定対象温度範囲内の温度である強磁性型形状記憶合金を用いるので、測定対象温度範囲内で変化するマルテンサイト相の割合から温度を逆算して求めることができる。
【００２０】
＜６＞によれば、強磁性型形状記憶合金の形状を球状もしくは棒状としたので、応力の影響をさらに減じることができ、温度測定の精度を高めることができる。
【００２１】
＜７＞によれば、マルテンサイト変態点が、応力測定時の測定対象物の温度より低い温度である強磁性型形状記憶合金を用いるので、温度の影響を抑えて、測定対象物の応力を精度よく測定することができる。
【００２２】
＜８＞によれば、短冊状箔片もしくはフィラメントの形状にした前記強磁性型形状記憶合金の両端を測定対象物で支持したので、測定対象物にかかる応力により支持するそれらの両端間の相対位置が変化したとき、その変化を、強磁性型形状記憶合金の応力に感度よく変換することができ、温度変化の影響をさらに抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
まず、本発明の、温度もしくは応力を測定する際の測定原理について説明する。オーステナイト相からマルテンサイト相に変態する際、常磁性体から強磁性体に変化する強磁性型形状記憶合金が知られていて、例えば、Ni2MnGa、Ni2MnAl、Fe-Pd系、Fe3Pt、Fe-Ni-Ga系、Ni-Co-Al系、Ni-Ti-Fe系、Co-Mn-Ga系、Ti-Ni-Pt系の合金がこれに該当する。
【００２４】
このような合金において、相変態は一気におこるのではなく、マルテンサイト変態開始点Ｍｓからマルテンサイト変態終了点Ｍｆまでの温度範囲において、温度の変化とともにマルテンサイト相の割合は徐々に変化する。図１は、マルテンサイト相の割合の温度依存性を、横軸に温度、縦軸にマルテンサイト相の割合をとって模式的に示すグラフであり、全量がオーステナイト相よりなる強磁性型形状記憶合金の温度を下降させてゆくと、マルテンサイト変態開始点Ｍｓで、マルテンサイト相が形成されはじめ、マルテンサイト変態終了点Ｍｆで、全量がマルテンサイト相となる。このことにより、マルテンサイト相の割合を知ることができれば、図１のグラフより、強磁性型形状記憶合金の温度を逆算して求めることができる。
【００２５】
また、オーステナイト相とマルテンサイト相の間の変態は、温度だけでなく強磁性型形状記憶合金の応力状態によっても変化する。図２は、マルテンサイト変態終了点Ｍｆより十分高い温度において強磁性型形状記憶合金に応力を加えたときの、マルテンサイト相の割合の変化を、横軸に応力、縦軸にマルテンサイト相の割合をとって模式的に示すグラフであり、強磁性型形状記憶合金の応力を加えてゆくと、応力Ｓａでマルテンサイト相への相態が開始され、応力Ｓｂで全量マルテンサイト相に変態する。応力を加える際の環境温度が、マルテンサイト変態点より十分高ければ、図２に示す曲線への温度の影響は少なく、このことにより、マルテンサイト相の割合を知ることができれば、図２のグラフより、強磁性型形状記憶合金の応力を逆算して求めることができる。
【００２６】
なお、図１および図２において、マルテンサイト相の割合とは、全量すなわちマルテンサイト相とオーステナイト相との合計質量に占めるマルテンサイト相の質量の割合をいう。
【００２７】
次にマルテンサイト相の割合を求める方法について説明する。本発明は、マルテンサイト相とオーステナイト相とで異なる磁化特性を有する、いわゆる、強磁性型形状記憶合金と呼ばれる合金を用いて、これが、マルテンサイト相の割合に応じて磁化特性を変化させることを利用する。
【００２８】
図３は、このような合金の磁化の温度依存性を模式的に示すグラフであり、図３（ａ）はオーステナイト相の磁化の温度依存性、図３（ｂ）はマルテンサイト相の磁化の温度依存性を示し、これらのグラフにおいて、縦軸は磁化の大きさＭを、横軸は温度Ｔを表わし、縦軸、横軸の目盛りは、両方のグラフで同じものを用いた。図３において、マルテンサイト相のキュリー点Ｔｃｍはオーステナイト相のキュリー点Ｔｃａより高く、応力もしくは温度を測定する際の温度環境を、Ｔｃａ〜Ｔｃｍより狭いＴ１〜Ｔ２の温度範囲内に設定したとき、この温度環境下で、オーステナイト相からマルテンサイト相への変態が起きると、変態した部分の磁化はゼロからＭ２へと上昇する。そして、磁化した部分の割合は、マルテンサイト相の割合となるので、磁化した部分の割合を、何らかの磁化特性測定手段により求めることができれば、マルテンサイト相の割合を求めることができる。
【００２９】
本発明では、磁化特性測定手段として、バルクハウゼン効果を利用する。軟質磁性材料よりなる磁性体は、バルクハウゼン効果を有することが知られていて、磁性体に所定の電磁波を放射したとき、交番する電磁場の向きの変化は、磁性体のそれぞれの磁区を区画する磁壁を移動させて、磁性体の極性を変えようとするが、磁壁の移動を開始させるには、所定のエネルギーが必要なため、磁壁が移動し始めるとき、磁壁が移動し始めるまでに貯めていたエネルギーが磁性体から一挙に放出され、この放出されるエネルギーを、二次放射されるパルス状の電磁ノイズ、いわゆる、バルクハウゼンノイズとして測定することができる。
【００３０】
バルクハウゼンノイズの大きさは、磁性体の量に依存することが知られていて、軟質磁性を示す強磁性型形状記憶合金からのバルクハウゼンノイズの大きさを測定することにより、軟質磁性の元となるマルテンサイト相の割合を知ることができる。
【００３１】
図４は、縦軸にマルテンサイト相の割合、横軸にバルクハウゼンノイズの大きさをとってこれらの関係を示すグラフであり、本発明の原理は、結局、バルクハウゼンノイズの大きさを測定し、その測定結果から、図４のグラフを用いてマルテンサイト相の割合を算出し、算出されたマルテンサイト相の割合から、図１を用いて強磁性型形状記憶合金の温度を求め、あるいは、図２を用いて強磁性型形状記憶合金の応力を求め、最終的には、このようにして求められた強磁性型形状記憶合金の温度もしくは応力から、強磁性型形状記憶合金を接触支持する測定対象物の温度もしくは応力を、個別の取り付け態様によって定まる関係式に基づいて計算し求めるものである。
【００３２】
そして、本発明に用いられる、バルクハウゼン効果に基づく磁化の測定では、対象物に電磁波を照射して返ってくる電磁波を測定するので、一次放射する電磁波の発振装置や、二次放射された電磁波を検出するノイズ検出器の設置場所が大きく制約されることはなく、測定装置の配置のフレキシビリティを高めて、実現性を高めることができる。
【００３３】
以下に、本発明の実施形態について説明する。第一の実施形態は、タイヤの温度を測定する方法に関するものであり、図５は、タイヤの概略断面図であり、図６はタイヤの概略斜視図である。タイヤ１の発熱部位、図示の例ではショルダ部に、周上の一カ所もしくは複数カ所に強磁性型形状記憶合金２を埋設しておく。一方、タイヤから離れた車体側、例えばフェンダに、バルクハウゼンノイズ計測装置３を取り付け、バルクハウゼンノイズ計測装置３に、交番磁界となる電磁波を発生する発信装置５、発信装置５からの電磁波を放射する放射アンテナ６、強磁性型形状記憶合金２からバルクハウゼン効果により二次放射される電磁波を検出するノイズ検出器７、および、二次放射電磁波を捉える検出アンテナ８を設ける。
【００３４】
図７（ａ）は、発振装置５より放射される電磁波の波形を示すチャートであり、図７（ｂ）は、電磁波を受けた強磁性型形状記憶合金２から二次放射されるバルクハウゼンノイズの波形を示すチャートである。これらのチャートにおいて、横軸は時間、縦軸は電磁波の強さをそれぞれ示している。正弦波よりなる電磁波は、正負逆転するとき、強磁性型形状記憶合金２の磁壁を移動させて、強磁性型形状記憶合金２の磁化を逆転させようとするが、磁壁には摩擦抵抗があるため、磁壁は時間ｔだけ遅れて移動し始める。そして、移動し始めると一気に貯めていたエネルギーを放出し、これが、ピーク値Ｐをもつバルクハウゼンノイズとなって二次放射され、ピーク値Ｐを測定することができる。
【００３５】
バルクハウゼンノイズの大きさ、すなわちピーク値Ｐは、先述の通り、強磁性型形状記憶合金２の中のマルテンサイト相の割合に依存するので、ピーク値Ｐからマルテンサイト相の割合を求め、この割合から、図１に示したグラフに基づいて強磁性型形状記憶合金２の温度を逆算することができる。そして、このようにして求まった強磁性型形状記憶合金２の温度は、周囲のタイヤのショルダ部の温度を代表するものであるので、タイヤのショルダ部の温度を検知できたことになる。
【００３６】
ここで、発振装置５より発振する電磁波は、連続して発振する必要はなく、所定時間持続する波形を所定間隔で発振すると効率的であるが、そのときノイズ検知器７も発振装置５と同期させて作動させることにより、効率をさらにあげることができる。
【００３７】
このタイヤの温度の測定方法に用いる強磁性型形状記憶合金２は、測定対象温度範囲内に、例えばタイヤのショルダ部の温度を測定する場合には、１００〜２００℃を測定対象温度範囲としてこの温度範囲内に、マルテンサイト変態点を有する、例えば、Ni-Mn-Ga系、Ti-Ni-Pt系、Fe-Pd系、Fe-Ni-Ga系、Ni-Co-Al系、等の合金を用いるのがよい。
【００３８】
この実施形態において、温度測定対象部位をタイヤのショルダ部とする例を示したが、本発明の測定原理を用いて、種々の回転物の温度を有利に測定することができ、他の応用例として、強磁性型形状記憶合金２をタイヤトレッド部の接地面の近くに埋設し、路面の温度の影響を受けて変化するタイヤトレッド部の温度を測定することにより、走行中の路面の温度を推定することができる。
【００３９】
また、温度の測定に用いる強磁性型形状記憶合金２は、応力の影響を抑えるべく、球状もしくは棒状とするのがよい。
【００４０】
第二の実施形態は、タイヤの応力を測定する方法に関するものである。図８は、タイヤの概略断面図、図９はタイヤの概略斜視図であり、例えば、タイヤ１１に作用するトルクを求めるため、タイヤ１１のサイドウォール部Ｓの周方向剪断応力を測定する場合、サイドウォール部Ｓ内面の周上の1カ所もしくは複数カ所に、長手方向をタイヤ半径方向に対して所定角度、例えば４５度傾斜させて配置された短冊状薄片をなす強磁性型形状記憶合金１２を貼り付けておく。そして、車体側には、第二の実施形態と同じく、発信装置５、放射アンテナ６、ノイズ検出器７、および、検出アンテナ８を有するバルクハウゼンノイズ計測装置３を取り付ける。
【００４１】
この実施形態においても、第一の実施形態と同様にして、発信装置５から図７（ａ）に示す電磁波を放射し、強磁性型形状記憶合金１２から二次放射されるバルクハウゼンノイズをノイズ検出器７で検出する。そして、このときのバルクハウゼンノイズは、図７（ｂ）に示されるものとなるから、前述の説明にしたがってマルテンサイト相の割合を求めることができ、このマルテンサイト相の割合から、図２に示したグラフに基づいて強磁性型形状記憶合金１２の応力を逆算することができる。そして、このようにして求まった強磁性型形状記憶合金１２の応力を生じさせる、タイヤ１１のサイドウォール部Ｓの応力を、強磁性型形状記憶合金１２の取り付け態様から定まる別途の関係式から求めることができる。
【００４２】
この例の場合、タイヤにかかるトルクが大きくなると、サイドウォール部上でタイヤ半径方向に対して傾斜して配置された強磁性型形状記憶合金１２には大きな応力が生じるので、強磁性型形状記憶合金１２に生じる応力によりタイヤに作用するトルクを知ることができ、このトルクと、タイヤが負担する荷重とを測定することにより、タイヤと路面との摩擦係数をリアルタイムに計測することができ、車両の正確な制動制御等に資することができる。
【００４３】
ここで、このタイヤ１１の応力の測定方法に用いる強磁性型形状記憶合金１２は、測定対象物、この場合はサイドウォール部Ｓ、の応力測定時の環境温度範囲、例えば、１００〜２００℃より低い温度のマルテンサイト変態点を有するものを用いるのがよく、前述の
Ni-Mn-Ga系、Ti-Ni-Pt系、Fe-Pd系、Fe-Ni-Ga系、Ni-Co-Al系、等の合金を好適に用いることができる。
【００４４】
また、温度測定において用いる強磁性型形状記憶合金１２は、温度の影響を抑えるべく、応力に対する感度をあげるため、短冊状薄片、もしくはフィラメントの形状とするのがよく、なかでもスプリング状やクリンプト状とするのが好ましい。
【００４５】
以上の説明においては、マルテンサイトの割合に影響を与える温度と応力のうちいずれか一方が支配的な場合についてこの一方の物理量を測定する方法について説明したが、これらの両方の影響が交絡する場合には、他の測定手段を用いて他方の物理量を測定することにより、一方の物理量の影響だけを抽出して求めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】強磁性型形状記憶合金におけるマルテンサイト相の割合の温度依存性を示すグラフである。
【図２】強磁性型形状記憶合金に応力を加えたときのマルテンサイト相の割合の変化を示すグラフである。
【図３】オーステナイト相およびマルテンサイト相の磁化の温度依存性を示すグラフである。
【図４】バルクハウゼンノイズの大きさとマルテンサイト相の割合との関係を示すグラフである。
【図５】第一の実施形態の測定方法を説明するタイヤの概略断面図である。
【図６】第一の実施形態の測定方法を説明するタイヤの概略斜視図である。
【図７】発振装置より放射する電磁波の波形およびバルクハウゼンノイズの波形を示すグラフである。
【図８】第二の実施形態の測定方法を説明するタイヤの概略断面図である。
【図９】第二の実施形態の測定方法を説明するタイヤの概略斜視図である。
【符号の説明】
【００４７】
１    タイヤ
２    強磁性型形状記憶合金
３    バルクハウゼンノイズ計測装置
５    発信装置
６    放射アンテナ
７    ノイズ検出器
８    検出アンテナ
１１    タイヤ
１２    強磁性型形状記憶合金
【図１】
2005106628.tif 000003
【図２】
2005106628.tif 000004
【図３】
2005106628.tif 000005
【図４】
2005106628.tif 000006
【図５】
2005106628.tif 000007
【図６】
2005106628.tif 000008
【図７】
2005106628.tif 000009
【図８】
2005106628.tif 000010
【図９】
2005106628.tif 000011