(57)【要約】【課題】これまで両立することが難しかった高性能フレキシブル金属積層体を効率よく製造し提供することができる。【解決手段】銅箔表面に予め接着剤層が形成された接着剤層付き銅箔と耐熱性フィルムとを、加熱加圧装置を用いて連続的に接着するフレキシブル金属積層体の製造方法。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
銅箔表面に予め接着剤層が形成された接着剤層付き銅箔と耐熱性フィルムを、加熱加圧装置を用いて連続的に接着するフレキシブル金属積層体の製造方法。
【請求項２】
耐熱性フィルムが、ポリイミドフィルムであり、接着剤層付き銅箔に形成された接着剤層が少なくとも芳香族ポリイミドを含むポリイミド系接着剤であることを特徴とする請求項１記載のフレキシブル金属積層体の製造方法。
【請求項３】
銅箔表面に予め形成された接着剤層が、溶剤可溶性のポリイミド系接着剤であることを特徴とする請求項１記載のフレキシブル金属積層体の製造方法。
【請求項４】
銅箔表面に予め形成された接着剤層が、少なくとも１層の熱圧着性ポリイミド層を含む多層ポリイミド層から構成されるポリイミド系接着剤層であることを特徴とする請求項１記載のフレキシブル金属積層体の製造方法。
【請求項５】
加熱加圧装置として、熱ロールラミネート装置又はダブルベルトプレス装置を用いたことを特徴とする請求項１記載のフレキシブル金属積層体の製造方法。
【請求項６】
加熱加圧装置の加圧面と銅箔表面に予め接着剤層が形成された接着剤層付き銅箔との間に保護層を介在させることを特徴とする請求項１記載のフレキシブル金属積層体の製造方法。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか記載のフレキシブル金属積層体の製造方法で作製されたフレキシブル金属積層体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フレキシブル金属積層体及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電子電気機器印刷回路基板に用いられる積層体の代表例として、フレキシブルプリント配線板（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｐｒｉｎｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔｓ、以下ＦＰＣと略す）が挙げられる。フレキシブルプリント配線板に使用されるフレキシブル金属積層体である銅張りポリイミドフィルム（以下ＣＣＬと略す）には、銅箔、ポリイミドベースフィルム、エポキシ系熱硬化型接着剤の３つの材料で構成される安価な３層タイプと、接着剤層を有しない２層タイプ、さらにはポリイミドベースフィルムと同質のポリイミド系接着剤を有した３層タイプ（以下擬似２層という）のものがある。
【０００３】
２層タイプ及び擬似２層タイプの製造は、接着剤を使用しないでポリイミドフィルムにほぼ直接銅をメッキしたり（メッキ２層ＣＣＬ）、銅箔にポリアミック酸を塗布乾燥し、イミド化することでポリイミドフィルムを用いることなくポリイミド層を形成したり（キャスト２層ＣＣＬ）、熱圧着性のポリイミド層を表面に形成したポリイミドフィルムを銅箔とラミネートする（ラミネート２層ＣＣＬ（疑似２層タイプ））等によって行われることが知られている。
【０００４】
ラミネート２層ＣＣＬのラミネート製造方法は、これまでいくつかの方法が提案されている。例えば、特許文献１に示された真空プレス機等を用いてポリイミドフィルムと金属箔との間にポリイミド接着剤をサンドイッチ状に接合する方法があるが、この方法では長尺品を得ることが不可能であり、ポリイミドフィルムの種類によっては、接着力が低く目標性能が得られないという問題がある。一方、熱ロールラミネート装置を用いて積層する特許文献２、特許文献３、特許文献４等に記載の方法や、ダブルベルトプレス装置を用いて積層する特許文献５、特許文献６等に記載の方法も開発されているが、０．５ｍ／分〜２ｍ／分ときわめて低速でしか製造できないという問題があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
よって、本発明の目的は、耐熱性フィルムの種類に依存せず、連続的に高速で積層するフレキシブル金属積層体の製造方法を提供することである。
【０００６】
【特許文献１】
米国特許第４５４３２９５号明細書
【０００７】
【特許文献２】
特開平４−３３９４７号公報
【０００８】
【特許文献３】
特開平４−３３８４８号公報
【０００９】
【特許文献４】
特開２００３−１７５３号公報
【００１０】
【特許文献５】
特開２００１−１２９９１９号公報
【００１１】
【特許文献６】
特開２０００−１０３０１０号公報
【００１２】
【課題を解決するための手段】
すなわち本発明は、銅箔表面に予め接着剤層が形成された接着剤層付き銅箔と耐熱性フィルムとを、加熱加圧装置を用いて連続的に接着するフレキシブル金属積層体の製造方法である。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明の製造方法とは、銅箔表面に予め接着剤層が形成された接着剤層付き銅箔と耐熱性フィルムとを、加熱加圧装置を用いて連続的に接着する方法である。
【００１４】
本発明に用いられる接着剤層付き銅箔に使用される銅箔とは、一般的に圧延銅箔、電解銅箔、特殊電解銅箔及び粗面のプロファイルが小さい種類の銅箔等を用いることができ、その厚みは５μｍ〜７０μｍのものを使用することができる。また、本発明の一つの目的である高温での高速ラミネートを達成するためには、１１μｍ〜７０μｍがより好ましい。１０μｍ以下だと２５０℃以上における高速ラミネートを行った場合、波打ち、しわ等の欠点が増大する。
接着剤層付き銅箔とは、銅箔のマット面（粗面化面）に、接着剤の種類としては特に限定されないが、溶剤可溶型ポリイミド系組成物、シリコーンジアミン含有ポリイミド系組成物、熱圧着性ポリイミド系組成物等のポリイミド系組成物、ポリアミドイミド系組成物、エポキシ系組成物あるいはそれらを混合させたハイブリッド系組成物などが流延・製膜成形法、コーティング法で予め層として形成され、一体化された銅箔のことをいう。銅箔のマット面（粗面化面）に形成する接着剤層は、少なくとも芳香族ポリイミドを含むポリイミド系接着剤層であることが、積層後の製品の耐熱性、寸法安定性の点から好ましい。
【００１５】
また、流延・製膜成形法とは、熱圧着性の芳香族ポリイミドまたはその前駆体溶液等をコーターにて塗布・乾燥し、必要に応じて高温で熱処理することでイミド化を進行させる等で例示することができる。また、接着剤層付き銅箔は、予め作製された接着剤シートを銅箔に張り合わせて作製しても良い。その接着剤シートとしては、例えば、熱圧着性の芳香族ポリイミドシートまたはその前駆体溶液をシート状に乾燥させたもの等が挙げられる。
【００１６】
また、少なくとも芳香族ポリイミドを含むポリイミド系接着剤層付き銅箔を作製する場合、特に溶剤可溶性のポリイミド系接着剤組成物が好ましい。溶剤可溶性ポリイミドとは、すでにイミド化反応が終了したポリイミドで、Ｎ−メチルピロリドン（ＮＭＰ）等の有機溶媒に可溶された状態のものをいう。溶剤可溶性ポリイミドを用いると、一般的なコンマコーター、リバースロールコーター、ナイフコーター、含浸コーター、やグラビアコーターさらにはスクリーン印刷法やスプレー法などを用いて銅箔にコーティングし、乾燥させるだけで、高温加熱による反応を必要とせず、容易に接着剤層付き銅箔を作製することができるという利点がある。また必要に応じて乾燥条件を変更するだけで、高耐熱フィルムとの張り合わせに適した残存溶剤量を設定することができ、また、必要に応じて作製するポリイミド層の厚みも自由に変更することが出来る。塗工面に凹凸のない均一な接着剤層を形成するためには、厚み０．５μｍ〜２０μｍが好ましい。溶剤可溶性のポリイミドとしては、例えば、Ｑ−ＡＤ−ＸＡ１００ＫＴ（（株）ＰＩ技術研究所製）、ポリイミドシリカハイブリットタイプ（荒川化学（株）製）、”リカコート”ＳＮ−２０、ＰＮ−２０、ＥＮ−２０（新日本理化（株）製）等が挙げられる。
【００１７】
本発明でいう耐熱性フィルムとは、２００℃以上のガラス転移温度または分解温度を有する厚さ５〜２００μｍのフィルムのことであり、芳香族ポリイミドフィルム、アラミドフィルム、液晶フィルム等が好ましい。また、これらの表面に接着剤が塗布されていてもかまわない。接着剤の種類としては特に限定されないが、溶剤可溶型ポリイミド系組成物、シリコーンジアミン含有ポリイミド系組成物、熱圧着性ポリイミド系組成物等のポリイミド系接着剤組成物や、ポリアミドイミド系組成物、エポキシ系組成物あるいはそれらを混合させたハイブリッド系組成物などが例示できる。また接着剤層は複数層から構成されていてもよく、少なくとも１層の熱圧着性ポリイミド層を含む多層ポリイミド層等が例示される。さらに、高耐熱性フィルムの表面には、加水分解、コロナ放電、低温プラズマ、物理的粗面化、易接着コーティング処理等の表面処理を施すことができる。
【００１８】
本発明の接着剤層付き銅箔と耐熱性フィルムを積層する加熱加圧装置とは、温度１５０℃〜４５０℃、圧力１０Ｎ／ｍｍ〜２００Ｎ／ｍｍ程度で連続ラミネートできれば特に限定されないが、ロールラミネートあるいはダブルベルトプレス等が好ましい。連続ラミネートとは、ラミネート速度０．１ｍ／分以上で材料を連続供給し積層する製法のことを指し、熱ロールやダブルベルトプレスの前後に、材料をロールで供給し  積層体をロールで巻き取る装置が付与された形式が好ましい。
【００１９】
ロールラミネートとは、少なくとも一対の高温加熱圧着可能なロールが保持された装置のことであり、ダブルベルトプレスとは、互いに対向する１対のエンドレスベルトの対向部分のベルト軌道内側に該ベルトを挟持加圧する加圧部が設けられ、装置の流れ方向に対して該加圧部が複数の異なる温度（加熱部及び冷却部）に領域を分割して調整可能な装置のことをいう。ダブルベルトプレス及びロールラミネート装置の加熱方法については、所定の温度で加熱することができるものであれば特に限定されないが、熱媒循環方式、誘導加熱方式、熱風加熱方式等が挙げられる。一方ダブルベルトプレス機の冷却装置は、所定の温度に冷却できれば特に限定されないが、冷媒循環方式、冷風冷却方式等が挙げられる。またダブルベルトプレス機の加圧方式としては、プレスロール加圧方式（線圧方式）、空気加圧方式（面圧方式）、オイル加圧方式（面圧方式）等が挙げられる。
【００２０】
加圧部での最高加熱温度は、接着剤層のガラス転移温度（Ｔｇ）以上にすれば良いが、Ｔｇ＋（２０〜１８０℃）の温度がラミネートを良好に行わせる上で好ましい。また加圧部出口では、被積層体のしわの発生を防ぐために除冷することが好ましくＴｇ−（５０〜１５０℃）がより好ましい。
【００２１】
また接着剤層付き銅箔は、少なくとも１層の熱圧着性ポリイミド層を含む多層ポリイミド層から構成されていてもかまわない。この発明における熱圧着性ポリイミドとは、２００℃〜４００℃程度の温度でラミネートできる熱可塑性ポリイミドであれば何でもよい。
【００２２】
多層ポリイミド層とは、それぞれ組成や性能の異なる複数層のポリイミドから構成されるものをいう。層と層の界面は明確であっても、薄い混合層があってもかまわないが、境界部分で簡単に剥離することなく、強固に結合したものである。多層ポリイミド層付き銅箔は、イミド化反応が完了した熱可塑性の芳香族ポリイミドまたはその溶液と、ポリアミドイミドを含む高耐熱性の熱可塑性芳香族ポリイミドまたはその溶液を、２層以上の押出成型用ダイスを有する押出成型機へ同時に供給して、前記ダイスの吐出口から両溶液を少なくとも２層の薄膜状体として、銅箔の粗面化面上に連続的に押出して多層ポリイミド付き銅箔を作製する。その後、乾燥し溶媒を充分除去した後、高耐熱性フィルムとの張り合わせに使用することができる。また、多層ポリイミド層を有するフレキシブル金属積層体を作成するには、例えば本発明の多層ポリイミド層付き銅箔を用いれば、ポリイミド系接着剤付き高耐熱性フィルムと加熱加圧装置を用いて連続的に積層することによっても、さらに容易に多層ポリイミド層を形成することができる。すなわち、銅箔に予め付与されたポリイミド層及び高耐熱製フィルム側に付与されたポリイミド系接着剤層をそれぞれ複数層とすることで、目的に応じた自由な層数の設計が可能である。
【００２３】
また、銅箔表面に予め接着剤層が形成された接着剤層付き銅箔と高耐熱性ポリイミドフィルムとを、加熱加圧装置を用いて連続的に積層する際に、該装置の加圧面と銅箔表面に予め接着剤層が形成された接着剤層付き銅箔との間に保護層を用いることが好ましい。すなわち、銅箔表面の酸化やしわの発生を防ぐことができる。保護層は特に限定されないが、ラミネート時の加工時の温度に耐えうる耐熱フィルム、金属箔などが好ましく、ラミネート時のしわ形成を抑制する目的から、厚み１０μｍ〜１５０μｍが好ましい。また、保護材料の表面には、被積層材料と軽く密着させたり、逆に剥離性を向上するような表面処理を施してもかまわない。
【００２４】
本発明の製造方法は、これまで両立することが難しかった高性能でかつ高速でフレキシブル金属積層体を製造し提供することができる。すなわち、これまでの積層方法である接着剤層付き高耐熱フィルムと銅箔を積層する方法によると、積層後の高密着力、高半田耐熱性を達成するために、銅箔のマット面に存在する凹凸に、高耐熱フィルム側の接着剤層を埋まり込ませる必要があるために、高温高圧条件でかつ１ｍ／分前後の低速でしかラミネートすることができなかった。すなわち、あえて２ｍ／分より高速でラミネートを行うと、高耐熱フィルム側の接着剤層の銅箔のマット面への埋まり込み不足から、内在する空気が原因となり半田耐熱性が低下したり、十分な接着力が得られなくなる。しかしながら、銅箔表面に予め接着剤層が形成された接着剤付き銅箔と高耐熱性フィルムとを、加熱加圧装置を用いて連続的に積層すれば、銅箔のマット面に存在する凹凸に、高温高圧・低速条件で接着剤層を埋まり込ませる必要がなくなるという利点がある。すなわち、溶剤可溶性ポリイミド等を、一般的なコンマコーター、リバースロールコーターなどを用いて銅箔にコーティングし、乾燥させるだけで、銅箔のマット面の凹凸に容易にポリイミド層を十分に埋まり込ませることができるため、ポリイミド層付き銅箔と高耐熱性フィルムのラミネートは、ポリイミド層付き高耐熱フィルムと銅箔の場合に比べてきわめて容易に積層することができる。その結果、〜２０ｍ／分までの増速ラミネートを達成することが可能となる。また、接着剤層付き銅箔と接着剤層付き高耐熱フィルムとを積層する場合には、より低温低圧・高速条件での積層が可能となり、製造効率をより高めることができ、好ましい。
【００２５】
接着剤層付き銅箔と接着剤層付き高耐熱フィルムの各接着剤層の厚みは、２〜２０ｍ／分程度の高速で積層が可能であれば、特に限定されないが、０．５μｍ〜２０μｍが好ましい。
【００２６】
次に、本発明のフレキシブル金属積層体構造の同定方法を例示して説明する。ポリイミドの層構成及び厚みの同定はＴＯＦ−ＳＩＭＳが好適であり、例えばＴＦＳ−２０００（Ｐｈｙｓｉｃａｌ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ製）により、６９Ｇａ＋  を一次イオンとして、正・負２次イオンの高分解能測定により明らかにすることができる。次にポリイミドの成分分析方法の例として、試料をアルカリ加水分解しクロロホルム抽出を行った後、ＧＣ測定、ＧＣ／ＭＳ測定、１Ｈ−ＮＭＲ等で分析する等が例示される。
【００２７】
本発明のフレキシブル金属積層体とは、片側のみに銅箔が存在する片面ＣＣＬ及び両側に銅箔が存在する両面ＣＣＬのことを指しており、例えば銅箔／少なくとも芳香族ポリイミドを含むポリイミド系接着剤層／ポリイミドフィルム、または銅箔／少なくとも芳香族ポリイミドを含むポリイミド系接着剤層／ポリイミドフィルム／少なくとも芳香族ポリイミドを含むポリイミド系接着剤層／銅箔等の構成のＣＣＬが挙げられる。また同構成のフレキシブル金属積層体または異なる構成のフレキシブル金属積層体を２つ以上同時に積層してもかまわない。
【００２８】
本発明のフレキシブル金属積層体の用途は、例えばカバーレイフィルムなどと合わせて使用されるＦＰＣだけでなく、それら複数のＦＰＣを接着剤シートを用いて重ね合わせた多層ＦＰＣや、リジッド積層板とＦＰＣを接着剤シート等を用いて積層し混合形態としたフレックスリジッド回路基板、さらにはＴＡＢ用基板、各種パーケージ用途（ＣＳＰ、ＢＧＡ）などに用いられる。
【００２９】
【実施例】
以下に実施例を挙げて本発明を説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。実施例の説明に入る前に各特性の評価方法及び接着剤層付き銅箔、接着剤層付きポリイミドフィルムの作成方法について述べる。
【００３０】
各特性の評価方法
Ａ．剥離強度（ピール）
エッチングにより２ｍｍ幅の銅箔パターンを作成し、テンシロン（オリエンテック（株）製、ＵＴＭ−１１−５ＨＲ型）を用いて２ｍｍ幅の銅箔を９０度方向に引き剥がした場合の強度を測定する（引張速度：５０ｍｍ／分）。
【００３１】
Ｂ．半田耐熱性
ＪＩＳ−Ｃ６４８１に準拠した方法で行なった。銅張ポリイミドフィルム評価サンプルを２０ｍｍ角にカットし、４０℃、９０％ＲＨの雰囲気下で２４時間調湿した後、すみやかに所定の温度の半田浴上に３０秒間浮かべ、ポリイミドフィルムの膨れおよび剥がれのない最高温度を測定した。
【００３２】
接着剤層付き銅箔及び接着剤層付きポリイミドフィルムの作成方法
作成方法１
圧延銅箔（ＢＨＹ−２２Ｂ−Ｔ、ジャパンエナジー（株）製）のマット面（粗面化面）に、溶剤可溶型ポリイミド系組成物（Ｑ−ＡＤ−ＸＡ１００ＫＴ、（株）ＰＩ技術研究所製）を乾燥後の厚みが３μｍになるように、コンマコーターを用いて銅箔にコーティングし、１５０℃×１分乾燥後、ロールとして巻き取った。その後、サンプルを軟巻きした後、オーブンに投入し、１８０℃×３時間乾燥し残存溶剤の調整を行った。
【００３３】
作成方法２
圧延銅箔（ＢＨＹ−２２Ｂ−Ｔ、ジャパンエナジー（株）製）のマット面（粗面化面）に、溶剤可溶型ポリイミド系組成物（リカコートＰＮ２０（商品名、新日本理化（株）製）を乾燥後の厚みが２μｍになるように、グラビアコーターを用いて銅箔にコーティングし、１５０℃×１分乾燥後、ロールとして巻き取った。その後、サンプルを軟巻きした後、オーブンに投入し、１８０℃×３時間乾燥し残存溶剤の調整を行った。
【００３４】
作成方法３
ポリイミドフィルム（カプトン１００ＶＰ、商品名、東レデュポン（株）製）のプラズマ処理面に、溶剤可溶性ポリイミド系組成物（Ｑ−ＡＤ−ＸＡ１００ＫＴ、（株）ＰＩ技術研究所製）を乾燥後の厚みが５μｍになるように、コンマコーターを用いてコーティングし、１５０℃×１分乾燥後、ロールとして巻き取った。その後、サンプルを軟巻きした後、オーブンに投入し、１８０℃×３時間乾燥し残存溶剤の調整を行った。
【００３５】
次に、本発明のフレキシブル金属積層体の製造方法を例示して説明する。
【００３６】
実施例１
作成方法１に基づいて作成した接着剤層付き銅箔及びポリイミドフィルム（カプトン１００ＶＰ、商品名、東レデュポン（株）製）を、ダブルベルトプレスの入口ドラムに沿わせて、２５０℃で３０秒間の予熱工程を経て、加熱ゾーン温度３５０℃、圧力１０ＭＰａ、冷却ゾーン温度１００℃、速度８ｍ／分で連続的に加圧熱圧着して積層し、両面フレキシブル金属積層体（両面ＣＣＬ）２５０ｍｍ幅×３００ｍを巻き取りロールに巻き取った。得られたＣＣＬの接着力は２０Ｎ／ｃｍ及び半田耐熱性は２７０℃と良好であった。
【００３７】
実施例２
作成方法２に基づいて作成した接着剤層付き銅箔及びポリイミドフィルム（カプトン１００ＶＰ、商品名、東レデュポン（株）製）を、一対の金属製圧着ロールからなる高温ラミネートロールを使用し、ラミネート温度３５０℃、ラミネート圧力５０Ｎ／ｍｍ、速度８ｍ／分で高温圧着し、両面フレキシブル金属積層体（両面ＣＣＬ）２５０ｍｍ幅×３００ｍを巻き取りロールに巻き取った。操作はすべて空気環境下で行い、冷却は自然冷却で行った。尚、加圧面と被積層材料との間には”カプトン”５００Ｖを保護層として介在させ、保護層が高温ラミネートロールに挿入する前に高温ラミネートロールに沿わせて予熱し、巻き取りはフレキシブル銅箔積層体といっしょに巻き取った。その結果、外観にしわ等のない良好なＣＣＬを得た。尚、各材料の張力は、保護層１００Ｎ／２５０ｍｍ幅、銅箔１６０Ｎ／２５０ｍｍ幅、ポリイミドフィルム２Ｎ／２５０ｍｍ幅で行った。得られたＣＣＬの接着力は１７Ｎ／ｃｍ及び半田耐熱性は２８０℃と良好であった。
【００３８】
実施例３
作成方法１に基づいて作成した接着剤層付き銅箔及び作成方法３に基づいて作成した接着剤層付きポリイミドフィルムを、ダブルベルトプレスの入口ドラムに沿わせて、２５０℃で３０秒間の予熱工程を経て、加熱ゾーン温度３５０℃、圧力１０ＭＰａ 、冷却ゾーン温度１２５℃、速度１２ｍ／分で連続的に加圧熱圧着して積層し、両面フレキシブル金属積層体（両面ＣＣＬ）２５０ｍｍ幅×３００ｍを巻き取りロールに巻き取った。得られたＣＣＬの接着力は１９Ｎ／ｃｍ及び半田耐熱性は２８０℃と良好であった。
【００３９】
実施例４
作成方法２に基づいて作成した接着剤層付き銅箔及び作成方法３に基づいて作成した接着剤層付きポリイミドフィルムを、一対の金属製圧着ロールからなる高温ラミネートロールを使用し、ラミネート温度３５０℃、ラミネート圧力５０Ｎ／ｍｍ、速度１０ｍ／分で高温圧着し、両面フレキシブル金属積層体（両面ＣＣＬ）２５０ｍｍ幅×３００ｍを巻き取りロールに巻き取った。操作はすべて空気環境下で行い、冷却は自然冷却で行った。尚、加圧面と被積層材料との間には”カプトン”５００Ｖを保護層として介在させ、保護層が高温ラミネートロールに挿入する前に高温ラミネートロールに沿わせて予熱し、巻き取りはフレキシブル銅箔積層体といっしょに巻き取った。その結果、外観にしわ等のない良好なＣＣＬを得た。尚、各材料の張力は保護層１００Ｎ／２５０ｍｍ幅、銅箔１６０Ｎ／２５０ｍｍ幅、接着剤層付きポリイミドフィルム２Ｎ／２５０ｍｍ幅で行った。得られたＣＣＬの接着力は１６Ｎ／ｃｍ及び半田耐熱性は２７０℃と良好であった。
【００４０】
実施例５
作成方法１に基づいて作成した接着剤層付き銅箔及びユーピレックスＶＴ２５（宇部興産（株）製）のそれぞれ接着剤面を向かい合わせて、ダブルベルトプレスの入口ドラムに沿わせて、２５０℃で３０秒間の予熱工程を経て、加熱ゾーン温度３５０℃、圧力１０ＭＰａ、冷却ゾーン温度１００℃、速度８ｍ／分で連続的に加圧熱圧着して積層し、両面フレキシブル金属積層体（両面ＣＣＬ）２５０ｍｍ幅×３００ｍを巻き取りロールに巻き取った。得られたＣＣＬの接着力は２０Ｎ／ｃｍ及び半田耐熱性は２８０℃と良好であった。
【００４１】
実施例６
作成方法２に基づいて作成した接着剤層付き銅箔及びユーピレックスＶＴ２５（宇部興産（株）製）のそれぞれ接着剤面を向かい合わせて、一対の金属製圧着ロールからなる高温ラミネートロールを使用し、ラミネート温度３５０℃、ラミネート圧力５０Ｎ／ｍｍ、速度８ｍ／分で高温圧着し、両面フレキシブル金属積層体（両面ＣＣＬ）２５０ｍｍ幅×３００ｍを巻き取りロールに巻き取った。操作はすべて空気環境下で行い、冷却は自然冷却で行った。尚、加圧面と被積層材料との間には”カプトン”５００Ｖを保護層として介在させ、保護層が高温ラミネートロールに挿入する前に高温ラミネートロールに沿わせて予熱し、巻き取りはフレキシブル銅箔積層体といっしょに巻き取った。その結果、外観にしわ等のない良好なＣＣＬを得た。尚、各材料の張力は、保護層１００Ｎ／２５０ｍｍ幅、銅箔１６０Ｎ／２５０ｍｍ幅、”ユーピレックス”ＶＴ２５、２Ｎ／２５０ｍｍ幅で行った。得られたＣＣＬの接着力は１７Ｎ／ｃｍ及び半田耐熱性は２８０℃と良好であった。
【００４２】
比較例１
圧延銅箔（ＢＨＹ−２２Ｂ−Ｔ、ジャパンエナジー（株）製）及び作成方法３に基づいて作成した接着剤層付きポリイミドフィルムを、ダブルベルトプレスの入口ドラムに沿わせて、２５０℃で３０秒間の予熱工程を経て、加熱ゾーン温度３５０℃、圧力１０ＭＰａ 、冷却ゾーンの温度１２５℃、速度３ｍ／分で連続的に加圧熱圧着して積層し、両面フレキシブル金属積層体（両面ＣＣＬ）２５０ｍｍ幅×３００ｍを巻き取りロールに巻き取った。得られたＣＣＬの接着力は３Ｎ／ｃｍ及び半田耐熱性は２３０℃ときわめて悪かった。
【００４３】
比較例２
圧延銅箔（ＢＨＹ−２２Ｂ−Ｔ、ジャパンエナジー（株）製）及び作成方法３に基づいて作成した接着剤層付きポリイミドフィルムを、一対の金属製圧着ロールからなる高温ラミネートロールを使用し、ラミネート温度３５０℃、ラミネート圧力５０Ｎ／ｍｍ、速度３ｍ／分で高温圧着し、両面フレキシブル金属積層体を巻き取りロールに巻き取った。操作はすべて空気環境下で行い、冷却は自然冷却で行った。尚、加圧面と被積層材料との間には”カプトン”５００Ｖを保護層として介在させ、保護層が高温ラミネートロールに挿入する前に高温ラミネートロールに沿わせて予熱し、巻き取りはフレキシブル銅箔積層体といっしょに巻き取った。その結果、各材料の張力は保護層１００Ｎ／２５０ｍｍ幅、銅箔１６０Ｎ／２５０ｍｍ幅、接着剤層付きポリイミドフィルム２Ｎ／２５０ｍｍ幅で行った。得られたＣＣＬの接着力は３Ｎ／ｃｍ及び半田耐熱性は２３０℃ときわめて悪かった。
【００４４】
比較例３
圧延銅箔（ＢＨＹ−２２Ｂ−Ｔ、ジャパンエナジー（株）製）及びユーピレックスＶＴ２５（宇部興産（株）製）のそれぞれ接着剤面を向かい合わせて、ダブルベルトプレスの入口ドラムに沿わせて、２５０℃で３０秒間の予熱工程を経て、加熱ゾーン温度３５０℃、圧力１０ＭＰａ、冷却ゾーン温度１００℃で、速度５ｍ／分で連続的に加圧熱圧着して積層し、両面フレキシブル金属積層体（両面ＣＣＬ）２５０ｍｍ幅×３００ｍを巻き取りロールに巻き取った。得られたＣＣＬの接着力は２Ｎ／ｃｍ未満及び半田耐熱性は２２０℃未満ときわめて悪かった。
【００４５】
比較例４
圧延銅箔（ＢＨＹ−２２Ｂ−Ｔ、ジャパンエナジー（株）製）及びユーピレックスＶＴ２５（宇部興産（株）製）のそれぞれ接着剤面を向かい合わせて、一対の金属製圧着ロールからなる高温ラミネートロールを使用し、ラミネート温度３５０℃、ラミネート圧力５０Ｎ／ｍｍ、速度５ｍ／分で高温圧着し、両面フレキシブル金属積層体（両面ＣＣＬ）２５０ｍｍ幅×３００ｍを巻き取りロールに巻き取った。操作はすべて空気環境下で行い、冷却は自然冷却で行った。尚、加圧面と被積層材料との間にはカプトン５００Ｖを保護層として介在させ、保護層が高温ラミネートロールに挿入する前に高温ラミネートロールに沿わせて予熱し、巻き取りはフレキシブル銅箔積層体といっしょに巻き取った。その結果、各材料の張力は、保護層１００Ｎ／２５０ｍｍ幅、銅箔１６０Ｎ／２５０ｍｍ幅、ユーピレックスＶＴ２５、２Ｎ／２５０ｍｍ幅で行った。得られたＣＣＬの接着力は２Ｎ／ｃｍ及び半田耐熱性は２２０℃未満ときわめて悪かった。
【００４６】
【発明の効果】
フレキシブル金属積層体を、加熱加圧装置を用いて連続的に高速で積層するフレキシブル金属積層体の製造方法であり、これまで両立することが難しかった高性能フレキシブル金属積層体を効率よく製造し提供できる。