(57)【要約】【課題】  噴霧した洗浄液の装置外への浮遊・飛散を有効に防止することができるワイピング装置、これを備えた描画装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することを課題とする。【解決手段】  本発明のワイピング装置１０３は、少なくとも、繰出しリール１３１、巻取りリール１３２、払拭部材１５１および噴霧ヘッド２０２と、払拭部材１５１を経由して繰出しリール１３１から巻取りリール１３２に至るワイピングシート１１１のシート送り経路と、を覆うカバーボックス１１７を備え、カバーボックス１１７には、払拭部材１５１が突出する部材開口２６１が形成されていることを特徴とする。【選択図】  図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能液滴吐出ヘッドのノズル面を、機能液を溶解する洗浄液を塗着させたワイピングシートにより払拭するワイピング装置において、
ワイピングシートを繰り出す繰出しリールと、
前記繰出しリールから繰り出された前記ワイピングシートに洗浄液を噴霧・塗着させる噴霧ヘッドと、
洗浄液が塗着した前記ワイピングシートを、機能液滴吐出ヘッドのノズル面に押し付けて払拭動作させる払拭部材と、
払拭部材を経由した前記ワイピングシートを巻き取る巻取りリールと、
少なくとも、前記繰出しリール、前記巻取りリール、前記払拭部材および前記噴霧ヘッドと、前記払拭部材を経由して前記繰出しリールから前記巻取りリールに至る前記ワイピングシートのシート送り経路とを覆うカバーボックスと、
これら構成部品を支持する装置フレームと、を備え、
前記カバーボックスには、前記払拭部材が突出する部材開口が形成されていることを特徴とするワイピング装置。
【請求項２】
前記部材開口の開口縁部には、前記部材開口と前記払拭部材との間隙を封止するエアータイト材が配設されていることを特徴とする請求項１に記載のワイピング装置。
【請求項３】
前記払拭部材を支持すると共に前記部材開口から出没させる出没動機構と、
前記部材開口を開閉する開閉蓋と、
前記出没動機構による前記払拭部材の没入動作に連動して前記開閉蓋を閉塞する蓋連動機構と、を更に備えたことを特徴とする請求項１に記載のワイピング装置。
【請求項４】
前記払拭部材は上端部に、前記噴霧ヘッドは上部に、前記繰出しリールおよび前記巻取りリールは下部にそれぞれ配設されており、
前記カバーボックスは、上部を覆う上覆装部と、下部を覆う下覆装部とから成り、
前記上覆装部および前記下覆装部は、前記装置フレームに対し個々に着脱自在に取り付けられていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のワイピング装置。
【請求項５】
前記上覆装部は、前記部材開口を分断する半割り構造に構成され、
前記装置フレームに対し個々に着脱自在に取り付けられていることを特徴とする請求項４に記載のワイピング装置。
【請求項６】
前記噴霧ヘッドを支持するキャリアアームと、前記キャリアアームを介して前記噴霧ヘッドを前記ワイピングシートの幅方向に噴霧走査させるヘッド走査機構と、を更に備え、
前記上覆装部には、前記キャリアアームが臨むスリット開口が形成されていることを特徴とする請求項４または５に記載のワイピング装置。
【請求項７】
前記カバーボックスは、相互平行に対峙する一対の側板を有し、
前記一対の側板の少なくとも一方は、前記装置フレームを兼ねていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のワイピング装置。
【請求項８】
前記カバーボックスには、排気設備に連なる排気管路が接続されていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載のワイピング装置。
【請求項９】
前記カバーボックス内に配設した加湿装置を、更に備えたことを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載のワイピング装置。
【請求項１０】
前記カバーボックスの底面に洗浄液を受ける前記防液パンを、更に備えたことを特徴とする請求項１ないし９のいずれかに記載のワイピング装置。
【請求項１１】
請求項１ないし１０のいずれかに記載のワイピング装置と、
前記機能液滴吐出ヘッドと、を備え、
ワークに対して、機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、当該機能液滴吐出ヘッドを吐出駆動することにより、前記ワークに機能液滴による描画を行うことを特徴とする描画装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の描画装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１３】
請求項１１に記載の描画装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１４】
請求項１２に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置、または請求項１３に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄液を散布したワイピングシートにより、機能液滴を吐出する機能液滴吐出ヘッドのノズル面を払拭するワイピング装置、これを備えた描画装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ワイピング装置は、ワイピングシートを繰り出す繰出しリールと、繰出されたワイピングシートを巻き取る巻取りリールと、繰出されたワイピングシートを周回させたワイピングローラと、巻取りリールを巻取り回転させる巻取りモータと、を有している。そして、巻取りモータを駆動し、ワイピングシートを送りながらワイピングローラによりこれを機能液滴吐出ヘッドのノズル面に押し付けることにより、ワイピングシートがノズル面に摺接して払拭（ワイピング）動作が行われる。
【０００３】
また、ワイピングシートのシート送り経路には、ワイピングローラの近傍に位置して洗浄液供給ヘッドが臨んでいる。ワイピングシートには、ノズル面を払拭する直前に洗浄液が散布され、機能液滴吐出ヘッドのノズル面のワイピングは、洗浄液を含浸したワイピングシートで行われるようになっている。
【特許文献１】特開２００３−１２７４０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、洗浄液は、ワイピングによるノズル面の拭き取り効率を向上させるものの、ワイピングシートに過剰な洗浄液が散布されると、洗浄液がノズル面に開口する吐出ノズル内に浸入してしまい、機能液滴吐出ヘッドを適切に保守することができない。そこで、微少な洗浄液滴を噴霧可能な噴霧ノズルで洗浄液供給ヘッドを構成し、ワイピングシートに均一かつ適量の洗浄液を供給することが考えられる。しかしながら、噴霧ノズルでワイピングシートに洗浄液を供給すると、洗浄液滴の一部は、霧状となり、ワイピングシートから外れて浮遊・飛散するため、洗浄液によっては、周辺装置等に付着して腐食の原因となる。
【０００５】
そこで本発明は、噴霧した洗浄液の装置外への浮遊・飛散を有効に防止することができるワイピング装置、これを備えた描画装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のワイピング装置は、機能液滴吐出ヘッドのノズル面を、機能液を溶解する洗浄液を塗着させたワイピングシートにより払拭するワイピング装置において、ワイピングシートを繰り出す繰出しリールと、繰出しリールから繰り出されたワイピングシートに洗浄液を噴霧・塗着させる噴霧ヘッドと、洗浄液が塗着したワイピングシートを、機能液滴吐出ヘッドのノズル面に押し付けて払拭動作させる払拭部材と、払拭部材を経由したワイピングシートを巻き取る巻取りリールと、少なくとも、繰出しリール、巻取りリール、払拭部材および噴霧ヘッドと、払拭部材を経由して繰出しリールから巻取りリールに至るワイピングシートのシート送り経路と、を覆うカバーボックスと、これら構成部品を支持する装置フレームと、を備え、カバーボックスには、払拭部材が突出する部材開口が形成されていることを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、洗浄液を噴霧する噴霧ヘッドと、洗浄液が噴霧されるワイピングシート廻りがカバーボックスで覆われるので、カバーボックス外に洗浄液が浮遊・飛散することを防止することができる。また、カバーボックスには、払拭部材を突出する部材開口が形成されており、カバーボックスを外すことなくワイピングを行うことができる。
【０００８】
この場合、部材開口の開口縁部には、部材開口と払拭部材との間隙を封止するエアータイト材が配設されていることが好ましい。
【０００９】
この構成によれば、エアータイト材により、部材開口と払拭部材との間隙から、噴霧した洗浄液が外部に飛散することを防止できる。
【００１０】
この場合、払拭部材を支持すると共に部材開口から出没させる出没動機構と、部材開口を開閉する開閉蓋と、出没動機構による払拭部材の没入動作に連動して開閉蓋を閉塞する蓋連動機構と、を更に備えることが好ましい。
【００１１】
この構成によれば、払拭部材の没入動作に連動して部材開口を開閉する開閉蓋が設けられているので、ワイピング動作のときのみ部材開口が開放され、部材開口から外部に飛散する洗浄液を削減することが可能である。なお、この場合、洗浄液の噴霧を部材開口の閉塞時に行うことが好ましい。
【００１２】
この場合、払拭部材は上端部に、噴霧ヘッドは上部に、繰出しリールおよび巻取りリールは下部にそれぞれ配設されており、カバーボックスは、上部を覆う上覆装部と、下部を覆う下覆装部とから成り、上覆装部および下覆装部は、装置フレームに対し個々に着脱自在に取り付けられていることが好ましい。また、この場合、上覆装部は、部材開口を分断する半割り構造に構成され、装置フレームに対し個々に着脱自在に取り付けられていることが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、カバーボックスは、複数パーツから構成され、これらは個々に着脱自在に取り付けられているので、メンテナンス時には、必要な箇所のみを外して作業することができる。例えば、噴霧ヘッド廻りのメンテナンスを行うときには、上覆装部（の一部）のみを外せばよい。
【００１４】
この場合、噴霧ヘッドを支持するキャリアアームと、キャリアアームを介して噴霧ヘッドをワイピングシートの幅方向に噴霧走査させるヘッド走査機構と、を更に備え、上覆装部には、キャリアアームが臨むスリット開口が形成されていることが好ましい。
【００１５】
この構成によれば、スリット開口により、キャリアアームの移動が許容されるため、カバーボックス内で噴霧ヘッドをワイピングシートの幅方向に噴霧走査させることができる。したがって、噴霧ヘッドをワイピングシートの幅に合わせて設ける必要がない。
【００１６】
この場合、カバーボックスは、相互平行に対峙する一対の側板を有し、一対の側板の少なくとも一方は、装置フレームを兼ねていることが好ましい。
【００１７】
この構成によれば、カバーボックスの側板の少なくとも一方が装置フレームを兼ねているので、部品点数を削減することが可能である。
【００１８】
この場合、カバーボックスには、排気設備に連なる排気管路が接続されていることが好ましい。
【００１９】
この構成によれば、カバーボックス内の洗浄液混じりのエアーは、排気管路を介して排気されるので、カバーボックスの気密性が不十分であっても洗浄液が外部に漏出するのを防止することができる。
【００２０】
この場合、カバーボックス内に配設した加湿装置を、更に備えることが好ましい。
【００２１】
この構成によれば、加湿装置によりカバーボックス内の湿度をコントロールすることができる。したがって、揮発性の洗浄液を散布したワイピングシートが、機能液滴吐出ヘッドに達するまでの間における洗浄液の気化を抑制することができる。
【００２２】
この場合、カバーボックスの底面に洗浄液を受ける防液パンを、更に備えることが好ましい。
【００２３】
この構成によれば、カバーボックスの底面に設けた防液パンにより、ワイピングシートから外れて噴霧された洗浄液や、ワイピングシートから滴る洗浄液を受けることができる。
【００２４】
本発明の描画装置は、上記のいずれかに記載のワイピング装置と、機能液滴吐出ヘッドと、を備え、ワークに対して、機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、当該機能液滴吐出ヘッドを吐出駆動することにより、ワークに機能液滴による描画を行うことを特徴とする。
【００２５】
この構成によれば、この描画装置は、洗浄液の浮遊・飛散を防止可能なワイピング装置を備えているため、カバーボックス外の装置を損傷させることなく、ワイピングシートに対して、適量の洗浄液を噴霧ノズルにより供給可能である。したがって、機能液滴吐出ヘッドのノズル面を、適量の洗浄液が供給されたワイピングシートでワイピングすることができ、機能液滴吐出ヘッドを適切に保守することができる。
【００２６】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記に記載の描画装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。また、本発明の電気光学装置は、上記に記載の描画装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００２７】
これらの構成によれば、洗浄液の飛散を防止可能であると共に、機能液滴吐出ヘッドを適切に保守できる描画装置を用いて電気光学装置の製造が行われるため、効率的な製造が可能となる。なお、電気光学装置（デバイス）としては、液晶表示装置、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）装置またはＳＥＤ（Surface-Conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００２８】
本発明の電子機器は、上記に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００２９】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【発明の効果】
【００３０】
以上のように、本発明のワイピング装置は、カバーボックスにより洗浄液の浮遊・飛散が防止されるので、カバーボックス外の装置に洗浄液が付着することがなく、機能液の付着が原因となって生じる装置の損傷を防止することができる。
【００３１】
また、本発明の描画装置では、ワイピング装置から飛散した洗浄液による腐食等を防止しつつ、機能液滴吐出ヘッドがワイピング装置によって適切に保守されるため、メンテナンス効率が高いと共に、その描画精度を高めることができる。そして、本発明の電気光学装置の製造方法および製造装置は、上記の描画装置を用いているため、これらを効率的に製造可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、添付の図面を参照して、本発明を適用した描画装置について説明する。この描画装置は、いわゆるフラットディスプレイの製造ラインに組み込まれるものであり、機能液滴吐出ヘッドを用いた液滴吐出法により、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。
【００３３】
図１および図２に示すように、描画装置１は、機台２と、機能液滴吐出ヘッド３１を有し、機台２上の全域に広く載置された液滴吐出装置３と、液滴吐出装置３に接続した機能液供給装置４と、液滴吐出装置３に添設するように機台２上に載置したヘッド保守装置５と、を備えている。また、描画装置１には、図外の制御装置６が設けられており、描画装置１では、機能液供給装置４により液滴吐出装置３が機能液の供給を受けながら、制御装置６による制御に基づいて、液滴吐出装置３がワークＷに対する描画動作を行うと共に、機能液滴吐出ヘッド３１に対して、ヘッド保守装置５が適宜保守動作（メンテナンス）を行うようになっている。
【００３４】
両図に示すように、液滴吐出装置３は、ワークＷを主走査（Ｘ軸方向に移動）させるＸ軸テーブル１２およびＸ軸テーブル１２に直交するＹ軸テーブル１３から成るＸ・Ｙ移動機構１１と、Ｙ軸テーブル１３に移動自在に取り付けられたメインキャリッジ１４と、メインキャリッジ１４に垂設され、機能液滴吐出ヘッド３１を搭載したヘッドユニット１５と、を有している。
【００３５】
Ｘ軸テーブル１２は、Ｘ軸方向の駆動系を構成するＸ軸モータ（図示省略）駆動のＸ軸スライダ２１を有し、これに吸着テーブル２２およびθテーブル２３等から成るセットテーブル２４を移動自在に搭載して構成されている。同様に、Ｙ軸テーブル１３は、Ｙ軸方向の駆動系を構成するＹ軸モータ（図示省略）駆動のＹ軸スライダ２５を有し、これにヘッドユニット１５を支持する上記のメインキャリッジ１４をＹ軸方向に移動自在に搭載して構成されている。なお、Ｘ軸テーブル１２は、Ｘ軸方向に平行に配設されており、機台２上に直接支持されている。一方、Ｙ軸テーブル１３は、機台２上に立設した左右の支柱２６に支持されており、Ｘ軸テーブル１２およびヘッド保守装置５を跨ぐようにＹ軸方向に延在している（図１参照）。
【００３６】
本実施形態における描画装置１では、Ｘ軸テーブル１２およびＹ軸テーブル１３が交わるエリアがワークＷの描画を行う描画エリア２７、Ｙ軸テーブル１３およびヘッド保守装置５が交わるエリアが機能液滴吐出ヘッド３１に対する機能回復処理を行う保守エリア２８となっており、ワークＷに描画を行う場合には描画エリア２７に、機能回復処理を行う場合には保守エリア２８に、ヘッドユニット１５を臨ませるようになっている。
【００３７】
ヘッドユニット１５は、複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド３１と、ヘッド保持部材（図示省略）を介して機能液滴吐出ヘッド３１を搭載するヘッドプレート３２と、を備えている。ヘッドプレート３２は、支持フレーム３３に着脱自在に支持されており、ヘッドユニット１５は、支持フレーム３３を介してメインキャリッジ１４に位置決め状態で搭載される。なお、詳細は後述するが、支持フレーム３３には、ヘッドユニット１５に並んで、機能液供給装置４のバルブユニット３４およびタンクユニット３５が支持されている（図２および図３参照）。
【００３８】
図４に示すように、機能液滴吐出ヘッド３１は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針４１を有する機能液導入部４２と、機能液導入部４２に連なる２連のヘッド基板４３と、機能液導入部４２の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体４４と、を備えている。接続針４１は、図外の機能液供給装置４に接続され、機能液滴吐出ヘッド３１のヘッド内流路に機能液を供給する。ヘッド本体４４は、キャビティ４５（ピエゾ圧電素子）と、吐出ノズル４６が開口したノズル面４７を有するノズルプレート４８と、で構成されている。ノズル面４７には、多数（１８０個）の吐出ノズル４６から成るノズル列が２列形成されている。図示省略したが、ノズル面４７には、ノズル列を囲繞するように、浅い溝が形成されており、この浅溝にノズルが開口している。機能液滴吐出ヘッド３１を吐出駆動すると、キャビティ４５のポンプ作用により、吐出ノズル４６から機能液滴を吐出する。
【００３９】
ヘッドプレート３２は、機能液耐食性を有するステンレス等からなる方形の厚板で構成されている。ヘッドプレート３２には、１２個の機能液滴吐出ヘッド３１を位置決めし、これを、裏面側からヘッド保持部材を介して固定するための１２個の装着開口（図示省略）が形成されている。１２個の装着開口は、２個ずつ６組に分けられており、各組の装着開口は、一部が重複するように、機能液滴吐出ヘッド３１のノズル列と直交する方向に（ヘッドプレート３２の長手方向）に位置ずれして形成されている。すなわち、１２個の機能液滴吐出ヘッド３１は、２個ずつ６組に分けられ、ノズル列と直交する方向において、各組の機能液滴吐出ヘッド３１のノズル列が１の描画ラインを構成すべく（一部重複）、階段状に配置されている（図３参照）。
【００４０】
なお、各機能液滴吐出ヘッド３１に形成された２列のノズル列は、４ドット分のピッチを有して配設された多数（１８０個）の吐出ノズル４６によってそれぞれ構成されており、両ノズル列は、列方向に２ドット分位置ずれして配設されている。すなわち、各機能液滴吐出ヘッド３１には、２列のノズル列により、２ドットピッチの描画ラインが形成されている。一方、同１組の隣接する２個の機能液滴吐出ヘッド３１は、それぞれの（２ドットピッチの）描画ラインが列方向に１ドット分位置ずれするように配設され、１組の機能液滴吐出ヘッド３１により、１ドットピッチの描画ラインが形成される。すなわち、同１組２個の機能液滴吐出ヘッド３１は、１／４解像度の各ノズル列が相互位置ずれするように配置され、他の５組１０個の機能液滴吐出ヘッド３１と合わせて、１描画ラインの高解像度のノズル列が構成されるようになっている。
【００４１】
メインキャリッジ１４は、Ｙ軸テーブル１３に下側から固定される外観「Ｉ」形の吊設部材５１と、吊設部材５１の下面に取り付けられ、（ヘッドユニット１５の）θ方向に対する位置補正を行うためのθ回転機構５２と、θ回転機構５２の下方に吊設するよう取り付けたキャリッジ本体５３と、で構成されており、キャリッジ本体５３が、支持フレーム３３を介してヘッドユニット１５を支持するようになっている（図２参照）。図示省略したが、キャリッジ本体５３には、支持フレーム３３を遊嵌するための方形の開口が形成されていると共に、支持フレーム３３を位置決めするための位置決め機構が設けられており、ヘッドユニット１５を位置決めした状態で固定できるようになっている。
【００４２】
図１ないし図３に示すように、機能液供給装置４は、上記の支持フレーム３３にヘッドユニット１５と共に搭載されており、機能液を貯留する複数（１２個）の機能液タンク６１から成るタンクユニット３５と、各機能液タンク６１および各機能液滴吐出ヘッド３１を接続する複数（１２本）の機能液供給チューブ６２と、複数の機能液供給チューブ６２に介設した複数（１２個）の圧力調整弁６３から成るバルブユニット３４と、を有している。
【００４３】
図３に示すように、支持フレーム３３は、略方形の枠状に形成されており、その長手方向に対し、ヘッドユニット１５、バルブユニット３４、タンクユニット３５の順でこれらを搭載している。図示省略したが、支持フレーム３３には、下側から取り付けられるヘッドユニット１５（ヘッドプレート３２）を位置決めするためのヘッド位置決め機構が設けられている。ヘッド位置決め機構は、支持フレーム３３から下方に突出する３本の位置決めピン（図示省略）を有し、この３本の位置決めピンをヘッドプレート３２の端面に当接させることにより、ヘッドユニット１５を、精度良く位置決めして搭載可能となっている。なお、図２および図３に示すように、支持フレーム３３には、その長辺部分に、一対のハンドル６４が取り付けられており、この一対のハンドル６４を手持ち部位として、支持フレーム３３をメインキャリッジ１４に着脱可能に投入できるようになっている。
【００４４】
図３に示すように、タンクユニット３５は、１２個の機能液タンク６１と、これらを位置決めする１２個のセット部７６を有し、１２個の機能液タンク６１を支持するタンクプレート７２と、各機能液タンク６１を各セット部７６に装着（セット）するためのタンクセット治具７３と、で構成されている。機能液タンク６１は、樹脂製のカートリッジケース７４に、機能液を真空パックした機能液パック７５を収容したカートリッジ形式のものである。なお、機能液パック７５に貯留される機能液は、予め脱気されており、その溶存気体量は略ゼロとなっている。
【００４５】
タンクプレート７２は、ステンレス等の厚板で略平行四辺形に形成されている。タンクプレート７２には、ヘッドプレート３２に搭載した１２個の機能液滴吐出ヘッド３１の配置と同一配置の１２個のセット部７１が設けられている。そして、各セット部７１には、各機能液タンク６１が縦置きで着脱自在にセットされ、１２個の機能液タンク６１を機能液滴吐出ヘッド３１の配置に倣って設置するようになっている（図３参照）。タンクセット治具７３は、機能液タンク６１の後面を前方（バルブユニット側）に押し込むことにより、機能液タンク６１を前方にスライドさせてセット部７１にセットするものであり、機能液タンク６１を押し出す押圧レバー７６と、押圧レバー７６を支持する支持部材７７と、を有している。
【００４６】
機能液供給チューブ６２は、各機能液タンク６１および各圧力調整弁６３を接続するタンク側チューブ８１と、各圧力調整弁６３および各機能液滴吐出ヘッド各圧力調整弁６３を接続するヘッド側チューブ８２と、を有している。なお、図示省略したが、本実施形態の機能液供給装置４には、機能液供給チューブ６２を接続するための接続具が設けられており、接続具を介して、これらを確実に接続できるようになっている。
【００４７】
バルブユニット３４は、１２個の圧力調整弁６３と、１２個の圧力調整弁６３を支持する１２個のバルブ支持部材８３と、バルブ支持部材を介して１２個の圧力調整弁６３を支持するバルブプレート８４と、で構成されている（図３参照）。
【００４８】
図５に示すように、圧力調整弁６３は、バルブハウジング９１内に、機能液タンク６１に連なる１次室９２と、機能液滴吐出ヘッド３１に連なる２次室９３と、１次室９２および２次室９３を連通する連通流路９４とを形成したものであり、２次室９３の１の面には外部に面してダイヤフラム９５が設けられ、連通流路９４にはダイヤフラム９５により開閉動作する弁体９６が設けられている。機能液タンク６１から１次室９２に導入された機能液は、２次室９３を介して機能液滴吐出ヘッド３１に供給されるが、その際、ダイヤフラム９５により大気圧を調整基準圧力として、連通流路９４に設けた弁体９６を開閉動作させることで２次室９３の圧力調整を行い、２次室９３内の機能液圧力を僅かに負圧に保持するものである。なお、図５（ａ）に示す符号９７は、圧力調整弁６３を、ダイヤフラム９５が垂直となる縦置き状態でフレーム等（本実施形態ではバルブ支持部材８３）に取り付けるための取付プレートである。
【００４９】
このような圧力調整弁６３を機能液タンク６１と機能液滴吐出ヘッド３１との間に介設することにより、機能液タンク６１の水頭に影響されることなく、機能液滴吐出ヘッド３１に機能液を安定して供給することが可能となる。すなわち、機能液滴吐出ヘッド３１（ノズル面４７）の位置と、圧力調整弁６３（ダイヤフラム９５の中心）の位置との高低差により、機能液の供給圧が決定され、この高低差を所定の値（本実施形態では９５ｍｍ）とすることで、機能液の供給圧を所定圧に保つことができるようになっている。なお、弁体９６の閉弁時において１次室９２および２次室９３は縁切りされており、圧力調整弁６３は、機能液タンク側（１次側）で発生した脈動等を吸収するダンパー機能を有している。
【００５０】
バルブプレート８４は、ステンレス等の厚板で形成されている。バルブプレート８４には、機能液滴吐出ヘッド３１の配置に倣って、１２個のバルブ支持部材８３が立設しており、１２個の圧力調整弁６３を支持フレーム３３の短辺方向に位置ずれした状態で支持している（図３参照）。
【００５１】
図１に示すように、ヘッド保守装置５は、機台２上に載置され、Ｘ軸方向に延在する移動テーブル１０１と、移動テーブル１０１上に載置した吸引ユニット１０２と、吸引ユニット１０２に並んで移動テーブル１０１上に配設されたワイピングユニット１０３（ワイピング装置）と、を備えている。移動テーブル１０１は、Ｘ軸方向に移動可能に構成されており、機能液滴吐出ヘッド３１の保守時には、吸引ユニット１０２およびワイピングユニット１０３を適宜保守エリア２８に移動させる構成となっている。なお、上記の各ユニットに加え、機能液滴吐出ヘッド３１から吐出された機能液滴の飛行状態を検査する吐出検査ユニットや、機能液滴吐出ヘッド３１から吐出された機能液滴の重量を測定する重量測定ユニット等を、ヘッド保守装置５に搭載することが好ましい。
【００５２】
図１に示すように、吸引ユニット１０２は、キャップスタンド１０４と、キャップスタンド１０４に支持され、機能液滴吐出ヘッド３１のノズル面４７に密着させる（機能液滴吐出ヘッド３１の配置に対応した１２個の）キャップ１０５と、各キャップ１０５を介して（１２個の）機能液滴吐出ヘッド３１を吸引可能な単一の吸引ポンプ１０６（図示省略）と、各キャップ１０５と吸引ポンプ１０６とを接続する吸引チューブ（図示省略）と、を有している。なお、図示省略したが、キャップスタンド１０４には、モータ駆動により、各キャップ１０５を昇降させるキャップ昇降機構１０８が組み込まれており、保守エリア２８に臨んだヘッドユニット１５の各機能液滴吐出ヘッド３１に対して、対応するキャップ１０５を離接できるようになっている。
【００５３】
そして、機能液滴吐出ヘッド３１の吸引を行う場合には、キャップ昇降機構１０８を駆動して、機能液滴吐出ヘッド３１のノズル面４７にキャップ１０５を密着させると共に、吸引ポンプ１０６を駆動する。これにより、キャップ１０５を介して機能液滴吐出ヘッド３１に吸引力を作用させることができ、機能液滴吐出ヘッド３１から機能液が強制的に排出される。この機能液の吸引は、機能液滴吐出ヘッド３１の目詰まりを解消／防止するために行われる他、描画装置１を新設した場合や、機能液滴吐出ヘッド３１のヘッド交換場合などに、機能液タンク６１から機能液滴吐出ヘッド３１に至る機能液流路に機能液を充填するために行われる。
【００５４】
なお、キャップ１０５は、機能液滴吐出ヘッド３１の捨て吐出（予備吐出）により吐出された機能液を受けるフラッシングボックスの機能を有しており、ワークＷの交換時のように、ワークＷに対する描画を一時的に停止するときに行う定期フラッシングの機能液を受けるようになっている。この捨て吐出（フラッシング動作）では、キャップ昇降機構１０８は、機能液滴吐出ヘッド３１のノズル面４７からキャップ１０５（の上面）を僅かに離間する位置に移動させる。
【００５５】
また、吸引ユニット１０２は、描画装置１の非稼動時に、機能液滴吐出ヘッド３１を保管するためにも用いられる。この場合、保守エリア２８にヘッドユニット１５を臨ませ、機能液滴吐出ヘッド３１のノズル面４７にキャップ１０５を密着させる。これにより、ノズル面４７が封止され、機能液滴吐出ヘッド３１（吐出ノズル４６）の乾燥を防いで、吐出ノズル４６のノズル詰まりを防止できるようになっている。
【００５６】
ワイピングユニット１０３は、機能液滴吐出ヘッド３１の吸引（クリーニング）等により機能液が付着して汚れた各機能液滴吐出ヘッド３１のノズル面４７を、ロール状のワイピングシート１１１を繰り出しながら、これを用いて拭き取る（ワイピングする）ものである。
【００５７】
図６ないし図９に示すように、ワイピングユニット１０３は、略方形の厚板で構成された装置ベース１１２と、装置ベース１１２上に立設され、主構成装置を支持するテーブル様の装置フレーム１１３と、装置フレーム１１３と左右（Ｙ軸方向）に並んで装置ベース１１２上に立設され、後述する洗浄液噴霧ユニット１１８を支持するユニットスタンド１１４と、を備えている。装置フレーム１１３には、その内側に位置して、ワイピングシート１１１を供給するシート供給ユニット１１５が支持され、その上側に位置してワイピングシート１１１を介して機能液滴吐出ヘッド３１のノズル面４７を払拭する拭取りユニット１１６が支持されている。また、主構成装置であるこれらのユニット１１５、１１６は、箱状のカバーボックス１１７で覆われている（詳細は後述する）。ユニットスタンド１１４には、洗浄液の噴霧ヘッド２０２を有し、ノズル面４７を払拭する前のワイピングシート１１１に洗浄液を噴霧・塗着させる洗浄液噴霧ユニット１１８が支持されている。また、これらの図では省略したが、ワイピングユニット１０３には、拭取りユニット１１６や洗浄液噴霧ユニット１１８に圧縮エアーを供給するエアー供給設備（図１２参照）１１９が並設されている。
【００５８】
図７および図８に示すように、装置フレーム１１３は、装置ベース１１２上に直接固定され、シート供給ユニット１１５を支持する下部ワイピングフレーム１２１と、下部ワイピングフレーム１２１上に載置され、拭取りユニット１１６を支持する上部ワイピングフレーム１２２と、で構成されている。下部ワイピングフレーム１２１は、装置ベース１１２に立設され、円柱状に形成した左右一対の支柱フレーム１２３と、左右一対の支柱フレーム１２３の上端間に架け渡した連結支持フレーム１２４と、シート供給ユニット１１５を挟んで、左右一対の支柱フレーム１２３に対峙する厚板状の背面支持フレーム１２５（側板）と、連結支持フレーム１２４の内側面および背面支持フレーム１２５の右上端部間にそれぞれ支持された前後一対のピースフレーム１２６と、を有している。なお、詳細は後述するが、背面支持フレーム１２５は、カバーボックス１１７の一部（側板）を兼ねている。上部ワイピングフレーム１２２は、連結支持フレーム１２４および背面支持フレーム１２５の上端間に架け渡した水平支持フレーム１２７と、水平支持フレーム１２７上に立設された前後一対のＬ字フレーム１２８と、を有している。なお、説明の便宜のため、ここでは、Ｘ軸方向を前後方向、Ｙ軸方向を左右方向としている。
【００５９】
図８および図９に示すように、シート供給ユニット１１５は、ロール状のワイピングシート１１１を装填し、ワイピングシート１１１を繰り出す図示右側の繰出しリール１３１と、繰り出されたワイピングシート１１１を巻き取る図示左側の巻取りリール１３２と、巻取りリール１３２を巻取り回転させる巻取りモータ１３３と、巻取りモータ１３３の動力を巻取りリール１３２に伝達する動力伝達機構（図示省略）と、ワイピングシート１１１の巻取り速度（送り速度）を検出する速度検出ローラ１３５と、繰出しリール１３１からのワイピングシート１１１を速度検出ローラ１３５に送る第１中間ローラ１３６と、速度検出ローラ１３５からのワイピングシート１１１を拭取りユニット１１６に送る第２中間ローラ１３７と、を有している。なお、詳細は後述するが、繰出しリール１３１および巻取りリール１３２と巻取りモータ１３３との間を水平に仕切るように、カバーボックス１１７を構成する下カバー２６３の一部（底面カバー２９１：後述する）が設けられていると共に、底面カバー２９１の上面には、洗浄液パン２９４が配設されている。
【００６０】
図８に示すように、繰出しリール１３１および巻取りリール１３２は、背面支持フレーム１２５に片持ちで、回転自在に軸支されている。また、繰出しリール１３１および巻取りリール１３２は、軸方向に着脱自在に構成されており、ワイピングシート１１１の交換時には、両リール１３１、１３２を離脱させるようになっている。背面支持フレーム１２５の外側に位置して、繰出しリール１３１の軸端には、巻取りモータ１３３に抗するように制動回転するトルクリミッタ（図示省略）が設けられており、繰出されたワイピングシート１１１に一定の張力を付与できるようになっている。巻取りモータ１３３は、ギヤードモータで構成され、背面支持フレーム１２５の下部に固定されている。動力伝達機構は、背面支持フレーム１２５の外側に固定したベルトボックス１４２内に組み込まれており、巻取りモータ１３３の出力端に固定した駆動プーリおよび巻取りリール１３２の軸端に固定した従動プーリ（いずれも図示省略）と、両プーリ間に架け渡したタイミングベルト（図示省略）と、を有しており、巻取りモータ１３３が駆動すると、自身の減速ギア列を介してタイミングベルトが走行し、巻取りリール１３２に動力が伝達される。
【００６１】
速度検出ローラ１３５は、上記した一対のピースフレーム１２６により両持ちで軸支され、自由回転するローラ本体１３５ａと、ローラ本体１３５ａの軸端に設けた図外の速度検出器（エンコーダ：図１２参照）１４３と、で構成されている。速度検出器１４３によりワイピングシート１１１の送り速度が検出され、この検出結果に基づいて巻取りモータ１３３の駆動が制御される。図７および図９に示すように、第１中間ローラ１３６および第２中間ローラ１３７も自由回転ローラであり、一対のピースフレーム１２６の上下に、それぞれ両持ちで回転自在に軸支されている。そして、第１中間ローラ１３６は、ワイピングシート１１１の送り経路が速度検出ローラ１３５の位置で略直角になるように、速度検出ローラ１３５の略直下に配設され、第２中間ローラ１３７は、拭取りユニット１１６に向かうワイピングシート１１１の送り経路が鉛直方向となるように、速度検出ローラ１３５の斜め上側に配設されている。すなわち、第１中間ローラ１３６は、速度検出ローラ１３５に対するワイピングシート１１１のスリップを抑制（転接面積大）するように、また第２中間ローラ１３７は、噴霧ヘッド２０２に対し、ワイピングシート１１１が鉛直に対峙するように、ワイピングシート１１１の送り経路を変更している。なお、第１中間ローラ１３６および速度検出ローラ１３５の間には、これらの間を送られるワイピングシート１１１の有無を検出するシート検出センサ１４４が設けられている（図７参照）。
【００６２】
図８に示すように、拭取りユニット１１６は、自由回転ローラで構成され、機能液滴吐出ヘッド３１のノズル面４７にワイピングシート１１１を当接させる拭取りローラ１５１（払拭部材：図９参照）と、拭取りローラ１５１を支持するローラ支持フレーム１５２と、上部ワイピングフレーム１２２に固定され、ローラ支持フレーム１５２を介して拭取りローラ１５１を昇降（出没動）させるローラ昇降機構１５３（出没動機構）と、ローラ支持フレーム１５２およびローラ昇降機構１５３の間に介設され、ノズル面４７に対する拭取りローラ１５１の拭取り圧力（押圧力）を一定に維持する緩衝機構１５４と、を備えている。この場合の拭取りローラ１５１は、ワイピングシート１１１の幅に対応した軸方向の長さを有すると共に、機能液滴吐出ヘッド３１のノズル面４７の損傷を防止するため、柔軟性と弾力性を有するゴム等で構成することが好ましい。なお、図中の符号２０４は、洗浄液噴霧ユニット１１８のシート受け部材（後述する）である。
【００６３】
図８ないし図１０ローラ支持フレーム１５２は、拭取りローラ１５１を両持ちで、回転自在に軸支する前後一対の軸受スタンド１６１と、前後一対の軸受スタンド１６１を支持する逆「Ｕ」字状の門形フレーム１６２と、を有している。軸受スタンド１６１は、その上端面から拭取りローラ１５１の上端が僅かに突出するよう拭取りローラ１５１を支持しており、ワイピング動作時に軸受スタンド１６１が機能液滴吐出ヘッド３１のノズル面４７を損傷しないように配慮されている。
【００６４】
図１０に示すように、門形フレーム１６２は、ワイピングシート１１１のシート送り経路を逃げるように、長辺部分の一部を切り欠いた略方形の厚板状の水平フレーム１６３と、水平フレーム１６３の両端から下垂した一対の鉛直フレーム１６４と、で構成されている。門形フレーム１６２には、その長手方向（前後方向）と拭取りローラ１５１の軸線とが一致するように、一対の軸受スタンド１６１がねじ止めされ、拭取りローラ１５１を経たワイピングシート１１１が切欠部に臨むように構成されている（図８等参照）。一方、各鉛直フレーム１６４は、上記した背面支持フレーム１２５の内側に設けた昇降ガイド１６６に昇降自在に係合している。すなわち、拭取りローラ１５１は、一対の昇降ガイド１６６に案内されたローラ支持フレーム１５２を介して昇降自在に構成されている。
【００６５】
また、図８ないし図１０に示すように、門形フレーム１６２の左端面には、前後一対の固定支持ブロック１６７が固定されており、一対の固定支持ブロック１６７には、上記したカバーボックス１１７（左上カバー２７１：後述する）を取り付けるための２組４本のスペーサロッド１６８が取り付けられている。また、門形フレーム１６２には、後述する一対のガイドシャフト１７８が遊挿される前後一対の遊挿孔１６９が形成されている。
【００６６】
図１０に示すように、ローラ昇降機構１５３は、上記一対の鉛直フレーム１６４間に配設されており、緩衝機構１５４を介してローラ支持フレーム１５２を支持するローラ昇降プレート１７１と、ローラ昇降プレート１７１を支持すると共に、これを昇降させるローラ昇降シリンダ１７２（復動シリンダ）と、ローラ昇降プレート１７１の昇降を案内するローラ昇降ガイド１７３と、ローラ昇降プレート１７１の昇降端位置を規制する昇降位置規制機構１７４と、を有している。ローラ昇降プレート１７１も、上記の水平フレーム１６３と同様に、シート送り経路に合わせて切り欠き部が形成されている。なお、ローラ昇降プレート１７１には、後述するローラ昇降シリンダ１７２のジョイント片１７６が正面から嵌合するＵ字状切欠部１７５が形成されている。
【００６７】
ローラ昇降シリンダ１７２は、上記の水平支持フレーム１２７上に上向きに固定され、そのピストンロッド１７２ａの先端部は、ジョイント片１７６を介してローラ昇降プレート１７１に固定されている。そして、ローラ昇降シリンダ１７２のシリンダ本体１７２ｂには、エアーチューブ（図示省略）を介してエアー供給設備１１９が接続されている。ローラ昇降ガイド１７３は、ローラ昇降シリンダ１７２を挟むように、水平支持フレーム１２７に立設された一対のガイドシャフト１７８と、ローラ昇降プレート１７１に固定され、各ガイドシャフト１７８に摺動自在に係合するためのフランジ付きの一対のリニアブッシュ１７９と、で構成されている。これにより、ローラ昇降シリンダ１７２が駆動すると、一対のガイドシャフト１７８に案内されて、ローラ昇降プレート１７１が水平姿勢を維持しつつ昇降する。なお、ガイドシャフト１７８の上端部は、上記した水平フレーム１６３の遊挿孔１６９に遊挿されている（図８参照）。
【００６８】
昇降位置規制機構１７４は、ローラ昇降プレート１７１を位置規制するための側面視略「Ｌ」字状の一対の規制板１８１と、一対の規制板１８１を介して、ローラ昇降プレート１７１の上昇端位置を規制する一対の上昇端規制部材１８２と、一対の規制板１８１を介して、ローラ昇降プレート１７１に下側から当接（度当たり）して、下降端位置を規制する一対の下降端規制部材１８３と、を有している。
【００６９】
規制板１８１は、ローラ昇降プレート１７１の両端部に垂設されており、その下部には、外側に水平に延びる規制部１８１ａが形成されている。なお、一対の規制板１８１間には、一対の軸受ブラケット１８４を介して第３中間ローラ１８５が回転自在に軸支されている。この第３中間ローラ１８５は、シート送り経路が水平支持フレーム１２７の左側部から外れるようにし、拭取りローラ１５１からのワイピングシート１１１を巻取りリール１３２に送り込むようにしている（図９および図１０参照）。
【００７０】
各上昇端規制部材１８２は、規制板１８１の規制部１８１ａに臨むように、Ｌ字フレーム１２８に固定されたマイクロメータヘッドで構成されており、規制部１８１ａの上端面にスピンドル１８２ａが度当たりして、ローラ昇降プレート１７１の上昇端位置を規制する。各下降端規制部材１８３も規制部１８１ａの下端面に度当たりすることにより、ローラ昇降プレート１７１の下降端位置を規制するものであり、水平支持フレーム１２７に支持され、上昇端規制部材１８２に対峙する調整ねじ１８６と、調整ねじの上端に螺設され、規制部１８１ａに度当たりする度当たり部材１８７と、で構成されている。なお、拭取りローラ１５１の上昇端位置は、機能液滴吐出ヘッド３１のノズル面４７の高さ位置を基準にして（ノズル面よりも僅かに高い位置に）予め設定されており、マイクロメータヘッドにより、拭取りローラ１５１の上昇端が所定の高さとなるように調整される。
【００７１】
ローラ昇降シリンダ１７２を駆動し、ピストンロッド１７２ａを往動させると、ローラ昇降ガイド１７３に案内されながら、ローラ昇降プレート１７１が上昇してゆく。これにより、緩衝機構１５４およびローラ支持フレーム１５２を介して、拭取りローラ１５１が機能液滴吐出ヘッド３１のノズル面４７に向かって上昇する。そして、ローラ昇降プレート１７１が上昇端位置に達すると、上昇端規制部材１８２によりローラ昇降プレート１７１の移動が規制され、拭取りローラ１５１の上昇が停止する。同様に、ピストンロッド１７２ａを復動させると、ローラ昇降プレート１７１は、下降端規制部材１８３に規制されるまでローラ昇降ガイド１７３に案内されながら下降してゆき、これに伴って拭取りローラ１５１が下降する。
【００７２】
図１０に示すように、緩衝機構１５４は、サスペンションシリンダ１９１と、ピストンロッド１９１ａと、から成るエアーサスペンションであり、上記のエアー供給設備に接続されている。サスペンションシリンダ１９１は、ローラ昇降プレート１７１の下面に固定され、ピストンロッド１９１ａはローラ昇降プレート１７１に形成した開口から突出し、取付部材１９３を介して、その先端部で水平フレーム１６３の下面に固定されている。機能液滴吐出ヘッド３１のワイピング動作において、拭取りローラ１５１に加わる微少な衝撃は、ローラ支持フレーム１５２を介して緩衝機構１５４に伝達し、この緩衝機構１５４により吸収される。このため、機能液滴吐出ヘッド３１のノズル面４７に押し付けられるワイピングシート１１１は、ノズル面４７に対して均一かつソフトに押圧される。したがって、適度な押圧力でもって、メニスカスを破壊することなく、ノズル面４７のワイピング動作を行うことができる。
【００７３】
このような緩衝機構１５４を設けることにより、ノズル面４７への押圧力を一定の圧力とすることができ、拭取りローラ１５１の上昇端位置を厳密に位置合わせする必要がなく、ワイピングユニット１０３組立て時の作業性を向上させることができる。また、緩衝機構１５４により、拭取りローラ１５１の取付誤差や機械的な公差を相殺することができるため、適切なワイピング動作を行うことが可能である。
【００７４】
図７、図９、および図１１に示すように、洗浄液噴霧ユニット１１８は、洗浄液を供給する洗浄液タンク２０１と、ワイピングシート１１１に洗浄液タンク２０１からの洗浄液を供給する単一の噴霧ヘッド２０２と、噴霧ヘッド２０２および洗浄液タンク２０１を接続する洗浄液供給チューブ２０３（洗浄液管路）と、ワイピングシート１１１の送りを鉛直方向にガイドすると共に、噴霧ヘッド２０２とワイピングシート１１１との距離を一定に保つシート受け部材２０４と、噴霧ヘッド２０２を支持するヘッドキャリッジ２０５（キャリアアーム）と、ヘッドキャリッジ２０５を介して、噴霧ヘッド２０２をワイピングシート１１１の幅方向に水平に移動させるヘッド移動機構２０６（ヘッド走査機構）と、を備えている。そして、ヘッド移動機構２０６は、上記のユニットスタンド１１４上に載置されている。
【００７５】
図９に示すように、ワイピングシート１１１は、繰出しリール１３１から、第１中間ローラ１３６、速度検出ローラ１３５を経て、第２中間ローラ１３７に送られる。そして、第２中間ローラ１３７から鉛直方向上方に送られ、拭取りローラ１５１を周回した後、第３中間ローラ１８５を経て、巻取りリール１３２に巻き取られる。これに対し、洗浄液噴霧ユニット１１８は、第２中間ローラ１３７から鉛直に送られるワイピングシート１１１に噴霧ヘッド２０２を臨ませ、これに洗浄液を散布する。
【００７６】
洗浄液タンク２０１は、密閉タンク（加圧タンク）で構成されている。洗浄液タンク２０１は、エアー供給設備１１９から一定圧の圧縮エアーが導入され、タンク内の洗浄液が加圧送液されるようになっている。なお、洗浄液は、機能液を溶解するもの、例えば機能液の溶剤が用いられ、機能液汚れを効率的に除去可能である。洗浄液タンク２０１に接続した洗浄液供給チューブ２０３には、流量調整弁２０７が介設されており、噴霧ヘッド２０２に供給する洗浄液量をコントロール可能に構成されている。
【００７７】
図９および図１１に示すように、噴霧ヘッド２０２は、先端側に組み込んだ噴霧ノズル２１１と、これを保持するノズルホルダ２１２と、尾端側に設けた継手２１３と、で構成されており、この継手２１３に洗浄液供給チューブ２０３が接続されている。そして、噴霧ヘッド２０２に洗浄液が圧送されることにより、ワイピングシート１１１には微細な洗浄液滴が噴霧・塗着される。噴霧ヘッド２０２に適用する噴霧ノズル２１１の噴霧形態は、実情に応じ任意に設定可能であるが、上方に送られるワイピングシート１１１に効率よく洗浄液を散布するため、本実施形態では、縦長の長円形（楕円形）に洗浄液を噴霧する噴霧ノズルを用いている。
【００７８】
シート受け部材２０４は、第２中間ローラ１３７の直上部に位置して、門形フレーム１６２に鉛直姿勢でねじ止めされており、前後一対のガイド部２２１と、一対のガイド部２２１の右面上部に架け渡した上プレート２２２と、一対のガイド部２２１の左面下部に架け渡した下プレート２２３と、を有している。上プレート２２２および下プレート２２３は、上下方向に離間して設けられ、スリット２２４が形成されている。第２中間ローラ１３７から上方へ送られるワイピングシート１１１は、一対のガイド部２２１および下プレート２２３によりガイドされると共に、ここで洗浄液の散布を受けた後、拭取りローラ１５１に送られる。なお、シート受け部材２０４の上端位置は、軸受スタンド１６１の上端位置と略同一の高さであり、拭取りローラ１５１の上端位置よりも僅かに低くなっている。
【００７９】
ヘッドキャリッジ２０５は、ヘッド移動機構２０６のスライダ２５１（後述する）に固定されたベース部２３１と、ベース部２３１からＹ軸方向の拭取りユニット１１６側に「Ｌ」字状に延在するアーム部２３２と、（拭取りユニット１１６側の）アーム部２３２の先端に固定され、ワイピングシート１１１に噴霧ヘッド２０２が臨む位置でこれを水平に支持するヘッド支持部２３３と、を有している。ヘッド支持部２３３には、ノズルホルダ２１２を高さ調節可能に固定するための長孔２３３ａが形成されている。ヘッド支持部２３３は、噴霧ヘッド２０２を水平に支持しており、噴霧ヘッド２０２は、鉛直方向に送られるワイピングシート１１１に対し、水平方向から洗浄液を噴霧する（図９参照）。
【００８０】
なお、ヘッド支持部２３３とノズルホルダ２１２との間に、噴霧ノズル２１１の噴霧角度を調整可能なノズル角度調整機構（図示省略）を介設し、噴霧ノズル２１１の噴霧方向を調整可能とすることが好ましい。
【００８１】
ベース部２３１は、アーム部２３２を支持する上ベース部２３４と、上ベース部２３４を支持する下ベース部２３５と、から成り、上ベース部２３４と下ベース部２３５との間には、Ｙ軸方向における噴霧ヘッド２０２の前後位置、すなわち、ワイピングシート１１１に対する噴霧ヘッド２０２の離間距離を調整する離間距離調整機構２４１が介設されている。離間距離調整機構２４１は、アーム部２３２を介して、噴霧ノズル２１１を前後方向に進退移動させるラック・ピニオン（図示省略）と、ピニオンに固定された離間距離調整ねじ２４２と、を有しており、離間距離調整ねじ２４２を回転させると、ピニオンがラック上を相対的に移動して、噴霧ヘッド２０２が前後に移動する（噴霧ヘッド２０２がワイピングシート１１１に対して離接する）。
【００８２】
このように、ヘッドキャリッジ２０５は、噴霧ヘッド２０２の高さ位置および離間距離を調整可能に支持しており、ワイピングシート１１１に対し、噴霧ヘッド２０２から適切に洗浄液が散布されるように、ワイピングシート１１１に対する噴霧ヘッド２０２の位置を調整できるようになっている。
【００８３】
図７および図１１に示すように、ヘッド移動機構２０６は、ヘッドキャリッジ２０５のベース部２３１が固定され、ヘッドキャリッジ２０５をＸ軸方向（すなわち、ワイピングシート１１１の幅方向）にスライド自在に支持するスライダ２５１と、Ｘ軸方向に延在し、スライダ２５１を移動させるためのボールねじ（図示省略）と、ボールねじと平行に延在し、スライダ２５１の移動をガイドするスライドガイド（図示省略）と、ボールねじを正逆回転させる移動モータ２５３と、を備えている。移動モータ２５３が駆動すると、ボールねじが正逆回転し、スライダ２５１を介してヘッドキャリッジ２０５（噴霧ヘッド２０２）がＸ軸方向に移動する。なお、図示後ろ側が噴霧ヘッド２０２のホーム位置となっている。図中の符号２５４は、ヘッド移動機構２０６のケーシングであり、符号２５５は、ケーシング２５４内に生じる塵埃を排気するための排気管である。
【００８４】
以上のように、本実施形態の洗浄液噴霧ユニット１１８では、噴霧ヘッド２０２をワイピングシート１１１の幅方向に移動（走査）させながら、ワイピングシート１１１上に洗浄液を噴霧するようにしているため、ワイピングシート１１１の一定の領域（払拭領域）に洗浄液を均一に塗着させることができる。この洗浄液の噴霧は、ワイピングシート１１１の送りを停止した状態で行うことが好ましく、噴霧後に、ワイピングシート１１１の払拭領域を拭取りローラ１５１の位置まで送って、機能液滴吐出ヘッド３１のノズル面を拭取る。なお、モータ駆動のヘッド移動機構２０６に代えて、エアー駆動のロッドレスシリンダ等を用いても良い。
【００８５】
本実施形態のヘッド移動機構２０６はモータ駆動であるが、モータに代えてエアーシリンダ（復動シリンダ）を用いてもよい。図示省略したが、この場合、エアーシリンダに平行して、スライドガイドが設けられると共に、エアーシリンダのピストンロッドは、スライダに固定される。
【００８６】
次にカバーボックス１１７について説明する。カバーボックス１１７は、噴霧ヘッド２０２により散布された洗浄液が外部に飛散することを防止するためのものであり、図６に示すように、拭取りユニット１１６の主要部を覆うと共に、軸受スタンド１６１に支持された拭取りローラ１５１を外部に臨ませるローラ開口２６１（部材開口）が形成された上カバー２６２（上覆装部）と、シート供給ユニット１１５の主要部を覆う下カバー２６３（下覆装部）と、で構成されている。上カバー２６２および下カバー２６３には、図外の排気処理設備に接続された排気管路（図示省略）を接続する排気口２６４ａ、２６４ｂがそれぞれ設けられ、洗浄液混じりの内部のエアーを排気するようになっている。なお、上記した排気管２５５も、この排気管路に接続されている。
【００８７】
図６等に示すように、上カバー２６２は、ローラ開口２６１を分断するように半割り構造に構成され、拭取りローラ１５１の中心軸から左側を覆う左上カバー２７１と、拭取りローラ１５１の中心軸から右側を覆う右上カバー２７２と、で構成されている。そして、拭取りユニット１１６の主要部は、左上カバー２７１に収容されている。左上カバー２７１の上面は、その右端中央が方形に切り欠かれており、ローラ開口２６１の左開口部２７３が形成されている。左上カバー２７１は、その上面が一対の軸受スタンド１６１の上端面よりも僅かに低くなるように、上記した２組４本のスペーサロッド１６８に支持されている。２組のうち一方のスペーサロッド１６８ａは、一対の固定支持ブロック１６７の上面に固定されて上方に延在し、他方のスペーサロッド１６８ｂは、固定支持ブロック１６７の左側面に固定されて左方に延在しており、図８および図９に示すように、左上カバー２７１は、上面を１組のスペーサロッド１６８ａの先端に、左側面を１組のスペーサロッド１６８ｂの先端に当接させた状態で、１組のスペーサロッド１６８ｂにユリアねじ２７４で着脱自在にねじ止めされる。すなわち、左上カバー２７１は上方に離脱される。
【００８８】
図６ないし図９に示すように、右上カバー２７２は、シート供給ユニット１１５から送られた拭取り前のワイピングシート１１１と、洗浄液噴霧ユニット１１８の噴霧ヘッド２０２、ヘッド支持部２３３およびアーム部２３２の一部が収容されている。同図に示すように、右上カバー２７２の上面左側には、左上カバー２７１の左開口部２７３と合わさってローラ開口２６１を構成する右開口部２７５が形成されている。また、上記したように、噴霧ヘッド２０２は、ヘッドキャリッジ２０５を介して、ワイピングシート１１１の幅方向に走査される構成であるため、右上カバー２７２の右側面には、アーム部２３２の移動を許容するよう、アーム部２３２の移動範囲に合わせてスリット開口２７６が形成されている（図６および図１１参照）。
【００８９】
なお、ローラ開口２６１およびスリット開口２７６には、それぞれ、拭取りローラ１５１との間隙およびアーム部２３２との間隙を封止するエアータイト材を設けることが好ましい。エアータイト材としては、例えばブラシタイプ（モヘア）のものを用いる。
【００９０】
右上カバー２７２は、装置の右上部を前方から広く覆う右上前カバー２８１と、その後方部を覆う右上後カバー２８２と、で構成されている。図１１に示すように、右上後カバー２８２は、前面部が開口するボックス状に形成されており、左側面部は、手前側に延在すると共に、その先端を後面部に対面するよう折り曲げた折曲げ部２８２ａが形成されている。右上後カバー２８２の左側面部には、上記の右開口部２７５が形成されていると共に、上記したシート受け部材２０４を挿通して、ワイピングシート１１１を拭取りローラ１５１に周回させるための２８４が形成されている。また、右上後カバー２８２の右側面部には、後開口溝２８５が形成されている。右上後カバー２８２は、複数（５個）のカバー固定片２８６を介して、上部ワイピングフレーム１２２にねじ止めされている。なお、右上後カバー２８２の底面部には、送られるワイピングシート１１１を介して、上記した第２中間ローラ１３７に下方から対峙する舌状の洗浄液受け２８７が設けられている。洗浄液受け２８７は、断面形状略「Ｌ」字に形成され、ワイピングシート１１１から外れて散布された洗浄液を受けるようになっている。
【００９１】
右上前カバー２８１は、ワイピングシート１１１の送り経路に臨むように、右上カバー２７２の前方部を広く覆っている。右上前カバー２８１の右側面部には、前開口溝２８９が形成されている。右上前カバー２８１は、右上後カバー２８２に着脱自在に固定されている。具体的には、右上前カバー２８１は、ユリアねじ２９０により、右上後カバー２８２の折曲げ部２８２ａで１ヶ所、右上後カバー２８２の後開口溝２８５を上下に挟んで２ヶ所、計３ヶ所でねじ止めされている。右上前カバー２８１を右上後カバー２８２に固定すると、前開口溝２８９および右上後カバー２８２の後開口溝２８４により、スリット開口２７６が形成される（図１１参照）。これにより、右上前カバー２８１は、前後方向に離脱される。
【００９２】
図６ないし図９に示すように、下カバー２６３は、シート供給ユニット１１５の両リール１３１、１３２と、ローラ類を収容しており、その底面部を構成する底面カバー２９１と、前面部および左側面部を構成する左側面カバー２９２と、主に右側面部を構成する右側面カバー２９３と、後面部を構成する上記した下部ワイピングフレーム１２１の背面支持フレーム１２５と、で構成されている。これらの図に示すように、底面カバー２９１は、略逆横「Ｌ」字状に折り曲げたプレートで構成されており、一端は背面支持フレーム１２５に、他端は装置ベース１１２に固定されている。底面カバー２９１の水平面部２９１ａは、シート供給ユニット１１５の両リール１３１、１３２を収容する上側のリール収容空間と、巻取りモータ１３３を収容する下側のモータ収容空間と、を仕切っている。また、水平面部２９１ａ上には、両リール１３１、１３２の直下に臨むよう洗浄液パン２９４が広く配設されており、ワイピングシート１１１から外れた洗浄液や、ワイピングシート１１１から滴る洗浄液を受けるようになっている。これにより、巻取りモータ１３３に対して、散布した洗浄液が付着することを防止している。
【００９３】
左側面カバー２９２も、「Ｌ」字状に折り曲げたプレートで構成されている。図６等に示すように、左側面カバー２９２は、背面支持フレーム１２５の左端面に１ヶ所、上記した連結支持フレーム１２４に左右２ヶ所、ねじ止めされている。右側面カバー２９３は、下カバー２６３の右側面部と、背面支持フレーム１２５から上方の後面部の一部を覆っており、連結支持フレーム１２４の右端面に前後２ヶ所でねじ止めされている。左側面カバー２９２および右側面カバー２９３は、ユリアねじ２９５によりねじ止めされており、着脱自在に取り付けられている。なお、ワイピングシート１１１を交換する場合には、左側面カバー２９２を外して作業を行う。
【００９４】
このように、カバーボックス１１７は、複数ピースから構成されていると共に、その大部分はユリアねじにより着脱自在に固定されている。したがって、ワイピングシート１１１の着脱時等には、必要な部分のみを容易に取り外すことができ、メンテナンス時の操作性を確保できるようになっている。
【００９５】
ここで、一連のワイピング動作について説明する。先ず、移動テーブル１０１を駆動して、ワイピングユニット１０３を保守エリア２８に臨ませる。次に、洗浄液タンク２０１から洗浄液の供給を開始し、噴霧ヘッド２０２から洗浄液を噴霧させる。これと同時に、ヘッド移動機構２０６を駆動し、ホーム位置の噴霧ヘッド２０２をワイピングシート１１１の幅に合わせて往動させる（噴霧走査）。これにより、１回のワイピング動作に必要な洗浄液がワイピングシート１１１の払拭領域に供給される。そして、噴霧ヘッド２０２の往動が終了すると同時に、噴霧ヘッド２０２からの洗浄液の噴霧を停止させる。なお、移動テーブル１０１によるワイピングユニット１０３の移動と、ワイピングシート１１１に対する洗浄液の噴霧走査と、をオーバーラップさせて行っても良い。
【００９６】
次に、ローラ昇降シリンダ１７２およびサスペンションシリンダ１９１に圧縮エアーを供給する。これにより、ローラ昇降プレート１７１およびローラ支持フレーム１５２が上昇し、拭取りローラ１５１が所定の高さまで上昇する。続いて、巻取りモータ１３３が駆動され、洗浄液を供給した（洗浄液を含浸した）ワイピングシート１１１が拭取りローラ１５１に送られる。そして、巻取りモータ１３３の駆動と同期して、Ｘ・Ｙ移動機構１１（Ｙ軸テーブル１３）が駆動される。すなわち、ワイピングシート１１１を送りながら、これと同期してヘッドユニット１５を移動させることにより、洗浄液を含浸したワイピングシート１１１に機能液滴吐出ヘッド３１のノズル面４７が当接した状態で、ヘッドユニット１５が保守エリア２８に臨むよう移動してゆく、すなわち、ワイピングシート１１１に対して、機能液滴吐出ヘッド３１のノズル面が摺動してゆくため、機能液滴吐出ヘッド３１のノズル面４７がワイピングシート１１１で払拭される。なお、ワイピングシート１１１の送り速度およびヘッドユニット１５の移動速度は、機能液の種類や洗浄液の種類等を考慮して任意に設定可能となっている。
【００９７】
ワイピング動作が終了すると、Ｘ・Ｙ移動機構１１および巻取りモータ１３３の駆動が停止され、保守エリア２８に完全に臨んだ状態でヘッドユニット１５の移動が停止されると共に、ワイピングシート１１１の送りが停止される。そして、ローラ昇降シリンダ１７２およびサスペンションシリンダ１９１の復動側に圧縮エアーを供給して拭取りローラ１５１を下降させ、ワイピング動作を終了させる。
【００９８】
制御装置６は、パソコン等で構成されている。図示省略したが、装置本体には、キーボードやマウス等の入力装置、ＦＤドライブやＣＤ−ＲＯＭドライブ等の各種ドライブ、モニタディスプレイ等の周辺機器が接続されている。
【００９９】
次に、図１２を参照しながら描画装置１の主制御系について説明する。描画装置１は、液滴吐出装置３を有する液滴吐出部３０１と、ヘッド保守装置５を有するヘッド保守部３０２と、液滴吐出装置３やヘッド保守装置５の各種センサを有し、各種検出を行う検出部３０３と、各部を駆動する駆動部３０４と、各部に接続され、描画装置１全体の制御を行う制御部３０５（制御装置６）と、を備えている。
【０１００】
制御部３０５には、液滴吐出装置３およびヘッド保守装置５を接続するためのインタフェース３１１、一時的に記憶可能な記憶領域を有し、制御処理のための作業領域として使用されるＲＡＭ３１２、各種記憶領域を有し、制御プログラムや制御データを記憶するＲＯＭ３１３、ワークＷに描画を行うための描画データや、液滴吐出装置３およびヘッド保守装置５からの各種データ等を記憶すると共に、各種データを処理するためのプログラム等を記憶するハードディスク３１４、ＲＯＭ３１３やハードディスク３１４に記憶されたプログラム等に従い、各種データを演算処理するＣＰＵ３１５、これらを互いに接続するバス３１６、が備えられている。
【０１０１】
そして、制御部３０５は、液滴吐出装置３、ヘッド保守装置５等からの各種データを、インタフェース３１１を介して入力すると共に、ハードディスク３１４に記憶された（または、ＣＤ−ＲＯＭドライブ等により順次読み出される）プログラムに従ってＣＰＵ３１５に演算処理させ、その処理結果を、インタフェースを介して液滴吐出装置３やヘッド保守装置５等に出力することにより、各手段を制御している。例えば、上記した一連のワイピング動作も制御部３０５からの制御に従って行われている。
【０１０２】
次に、ワイピングユニットの第２実施形態について説明する。本実施形態のワイピングユニットも、第１実施形態のワイピングユニット１０３と略同様の構成であるため、ここでは異なる部分のみを説明する。図１３に示すように、本実施形態のワイピングユニット４００は、カバーボックス４０１で全体を覆われている。そして、カバーボックス４０１には、その左上面にローラ開口４０２が形成されていると共に、右側面から右上面にかけて開閉カバー４０３が設けられている。
【０１０３】
図１４示すように、装置ベース４０４には、一対のサイドフレーム４０５が立設しており、サイドフレーム４０５（側板）の右下部には、開閉カバー４０３に臨むようにシート供給ユニット４１１が支持されている。これにより、開閉カバー４０３を開放すると、ワイピングシート４１２の脱着を行えるようになっている。また、図１５に示すように、両サイドフレーム４０５の左上部には、拭取りローラ４１３をローラ開口４０２から僅かに突出させるように、拭取りユニット４１４が支持されている。ローラ昇降機構４１５は、一対のサイドフレーム４０５の上部外面に添設した一対のローラ昇降シリンダ４１６を有し、拭取りローラ４１３を、両持ちで軸支する軸受４２１を介してこれを昇降させる。本実施形態では、シート受け部材は設けられず、繰出しローラ４２２に装着されたワイピングシート４１２は、中間ローラ４２３を経て、拭取りローラ４１３を斜めに向かい、これを周回して巻取りローラ４２４に巻き取られる。
【０１０４】
図１４および図１５に示すように、サイドフレーム４０５の右上部は、一部が切り欠かれて一段低くなっており、一対のサイドフレーム４０５の切欠部間に架け渡すように、洗浄液噴霧ユニット４３１の主要部が配設されている。ヘッドキャリッジ４３２は、第１実施形態と略同様であるが、噴霧ヘッド４３３の噴霧ノズル４３４が、斜めに走行するワイピングシート４１２と略直角に臨むように、すなわち、洗浄液の噴霧方向とワイピングシート４１２の送り方向が直交するように、噴霧ヘッド４３３を支持している。但し、アーム部４４１には、ヘッド支持部４４２を介して、ノズルホルダ４４３の支持角度を調整できるノズル角度調整機構４５１が組み込まれており、状況（洗浄液の種別等）に応じて、噴霧ヘッド４３３の噴霧方向を調整可能となっている。
【０１０５】
ノズル角度調整機構４５１について具体的に説明する。図１５および図１６に示すように、アーム部４４１は、ベース部４４０に固定した第１アームブロック４５２と、ヘッド支持部４４２を固定し、ワイピングシート４１２の幅方向において第１アームブロック４５２と隣接する第２アームブロック４５３と、第１アームブロック４５２と第２アームブロック４５３とを回動可能に連結する連結軸４５４と、を有している。第１アームブロック４５２および第２アームブロック４５３には、連結軸４５４を挿通させる挿通孔４５５が形成されていると共に、側面から挿通孔に連なる溝部４５６が形成されている。そして、両ブロック４５２、４５３には、溝部４５６を上下に貫通する一対のねじ４５７が設けられている。一方のブロックのねじ４５７を緩めると、その溝部４５６の間隙が広がり、連結軸４５４を中心に第２アームブロック４５３が回動可能となり、ヘッド支持部４４２の角度を調節できるようになっている。そして、緩めたねじ４５７を締めると、溝部４５６の間隙が狭まり、調節した角度にヘッド支持部４４２を固定できるようになっている。
【０１０６】
洗浄液噴霧ユニット４３１のヘッド移動機構４６０は、一対のサイドフレーム４０５に架け渡した洗浄液フレーム４６１と、洗浄液フレーム４６１上に配設され、ヘッドキャリッジ４３２をスライド自在に支持するスライダ４６２と、スライダ４６２を移動させるロッドレスのエアーシリンダ４６３（復動シリンダ）と、エアーシリンダ４６３と平行に配設され、スライダ４６２の移動を案内するスライドガイド４６４と、を有している。スライダ４６２には、エアーシリンダ４６３のガイドロッド４６３ａが固定されており、エアーシリンダ４６３にエアーを供給すると、スライダ４６２が往復動し、スライダ４６２を介してヘッドキャリッジ４３２がワイピングシート４１２の幅方向を往復動する。なお、洗噴霧ヘッド４３３の移動に追従するように洗浄液供給チューブ（図示省略）を収容したケーブルベア（登録商標）４６６がヘッド移動機構４６０と並んで配設されている。
【０１０７】
カバーボックス４０１は、サイドフレーム４０５に着脱自在に固定されている。本実施形態では、一対のサイドフレーム４０５も含め、カバーボックス４０１でワイピングユニット４００全体を覆うようにしているが、一対のワイピングフレームの少なくとも一方をカバーボックス４０１の一部として兼用する構成としても良い。図１３に示すように、ローラ開口４０２の縁部には、エアータイト材（モヘア）４６７が配設されており、ローラ開口４０２から僅かに突出する拭取りローラ４１３とローラ開口４０２との間隙を封止して、ローラ開口４０２から洗浄液が外部に飛散することを防止している。
【０１０８】
なお、通常は拭取りローラ４１３をカバーボックス４０１内に収容しておき、ワイピング時にのみ拭取りローラ４１３を上昇させて、ローラ開口４０２から突出させるような場合には、エアータイト材に代えて、ローラ開口４０２を開閉する開閉蓋４７１を設けることが好ましい。より好ましくは、拭取りローラ４１３の昇降と連動して、開閉蓋４７１を開閉させる開閉機構４７２（蓋連動機構）を設け、拭取りローラ４１３の昇降に合わせて自動的に開閉蓋４７１を開閉させる。
【０１０９】
例えば、図１７に示すように、開閉機構４７２は、一端を開閉蓋４７１に固定され、他端をカバーボックス４０１の裏面に固定された一対のコイルばね４８１と、拭取りローラ４１３のローラ部４１３ａを挟むようにして、その軸部に固定した一対のプッシャ４８２と、一対のプッシャ４８２に係合し、その昇降に合わせて回動する一対のリンク部材４８３と、カバーボックス４０１の裏面に固定した一対の滑車４８４と、一端を開閉蓋に固定され、他端を、一対の滑車４８４を介してリンク部材４８３の端部に固定した一対のワイヤ４８５と、を備えている。一対のコイルばね４８１は、開閉蓋４７１の幅方向に離間して配設され、開閉蓋４７１を閉蓋方向に付勢している。一方、開閉蓋４７１は、ローラ開口４０２の両短辺側の縁部に設けた一対の蓋ガイド４８６により、拭取りローラ４１３と直交する方向にスライド自在に支持されている。
【０１１０】
ローラ昇降機構４１５により、拭取りローラ４１３が上昇し、一対のプッシャ４８２が上昇すると、ワイヤ４８５を固定した端部４８３ａを押し下げるようにリンク部材４８３が回動する。これにより、ワイヤ４８５が下方に引っ張られ、一対のコイルばね４８１に抗して開閉蓋４７１が開蓋する。一方、ローラ昇降機構４１５により拭取りローラ４１３が下降すると、一対のコイルばね４８１が作用し、端部４８３ａを持ち上げるようにリンク部材４８３が回動して、開閉蓋４７１が閉蓋する。
【０１１１】
そして、この場合も、カバーボックス４０１の一部に、排気処理設備に連なる排気孔４９１を設けることが好ましい。また、カバーボックス４０１内に、加湿装置４９２を内蔵し、カバーボックス４０１内の湿度をコントロール可能とすることが好ましい（図１３参照）。
【０１１２】
次に、本実施形態の描画装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、更にこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、及び薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板を言う。
【０１１３】
先ず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１８は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１９は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ６００（フィルタ基体６００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図１９（ａ）に示すように、基板（Ｗ）６０１上にブラックマトリクス６０２を形成する。ブラックマトリクス６０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス６０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス６０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【０１１４】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス６０２上に重畳する状態でバンク６０３を形成する。即ち、まず図１９（ｂ）に示すように、基板６０１及びブラックマトリクス６０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層６０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム６０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１９（ｃ）に示すように、レジスト層６０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層６０４をパターニングして、バンク６０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク６０３とその下のブラックマトリクス６０２は、各画素領域６０７ａを区画する区画壁部６０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド３１により着色層（成膜部）６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【０１１５】
以上のブラックマトリクス形成工程及びバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体６００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク６０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）６０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク６０３（区画壁部６０７ｂ）に囲まれた各画素領域６０７ａ内への液滴の着弾位置精度が向上する。
【０１１６】
次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図１９（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド３１によって機能液滴を吐出して区画壁部６０７ｂで囲まれた各画素領域６０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド３１を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１１７】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂを形成する。着色層６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図１９（ｅ）に示すように、基板６０１、区画壁部６０７ｂ、および着色層６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂの上面を覆うように保護膜６０９を形成する。
即ち、基板６０１の着色層６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜６０９が形成される。
そして、保護膜６０９を形成した後、カラーフィルタ６００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【０１１８】
図２０は、上記のカラーフィルタ６００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置６２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ６００は図１９に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【０１１９】
この液晶装置６２０は、カラーフィルタ６００、ガラス基板等からなる対向基板６２１、及び、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層６２２により概略構成されており、カラーフィルタ６００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板６２１およびカラーフィルタ６００の外面（液晶層６２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板６２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【０１２０】
カラーフィルタ６００の保護膜６０９上（液晶層側）には、図２０において左右方向に長尺な短冊状の第１電極６２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極６２３のカラーフィルタ６００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜６２４が形成されている。
一方、対向基板６２１におけるカラーフィルタ６００と対向する面には、カラーフィルタ６００の第１電極６２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極６２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極６２６の液晶層６２２側の面を覆うように第２配向膜６２７が形成されている。これらの第１電極６２３および第２電極６２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【０１２１】
液晶層６２２内に設けられたスペーサ６２８は、液晶層６２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材６２９は液晶層６２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極６２３の一端部は引き回し配線６２３ａとしてシール材６２９の外側まで延在している。
そして、第１電極６２３と第２電極６２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ６００の着色層６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂが位置するように構成されている。
【０１２２】
通常の製造工程では、カラーフィルタ６００に、第１電極６２３のパターニングおよび第１配向膜６２４の塗布を行ってカラーフィルタ６００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板６２１に、第２電極６２６のパターニングおよび第２配向膜６２７の塗布を行って対向基板６２１側の部分を作成する。その後、対向基板６２１側の部分にスペーサ６２８およびシール材６２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ６００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材６２９の注入口から液晶層６２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【０１２３】
実施形態の描画装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板６２１側の部分にカラーフィルタ６００側の部分を貼り合わせる前に、シール材６２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材６２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド３１で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜６２４，６２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド３１で行うことも可能である。
【０１２４】
図２１は、本実施形態において製造したカラーフィルタ６００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置６３０が上記液晶装置６２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ６００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置６３０は、カラーフィルタ６００とガラス基板等からなる対向基板６３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層６３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板６３１およびカラーフィルタ６００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【０１２５】
カラーフィルタ６００の保護膜６０９上（液晶層６３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極６３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極６３３の液晶層６３２側の面を覆うように第１配向膜６３４が形成されている。
対向基板６３１のカラーフィルタ６００と対向する面上には、カラーフィルタ６００側の第１電極６３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極６３６が所定の間隔で形成され、この第２電極６３６の液晶層６３２側の面を覆うように第２配向膜６３７が形成されている。
【０１２６】
液晶層６３２には、この液晶層６３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ６３８と、液晶層６３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材６３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置６２０と同様に、第１電極６３３と第２電極６３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ６００の着色層６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂが位置するように構成されている。
【０１２７】
図２２は、本発明を適用したカラーフィルタ６００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置６５０は、カラーフィルタ６００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【０１２８】
この液晶装置６５０は、カラーフィルタ６００と、これに対向するように配置された対向基板６５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ６００の上面側（観測者側）に配置された偏光板６５５と、対向基板６５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ６００の保護膜６０９の表面（対向基板６５１側の面）には液晶駆動用の電極６５６が形成されている。この電極６５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極６６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極６５６の画素電極６６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜６５７が設けられている。
【０１２９】
対向基板６５１のカラーフィルタ６００と対向する面には絶縁層６５８が形成されており、この絶縁層６５８上には、走査線６６１及び信号線６６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線６６１と信号線６６２とに囲まれた領域内には画素電極６６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極６６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【０１３０】
また、画素電極６６０の切欠部と走査線６６１と信号線６６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ６６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線６６１と信号線６６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ６６３をオン・オフして画素電極６６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【０１３１】
なお、上記の各例の液晶装置６２０，６３０，６５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【０１３２】
次に、図２３は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置７００と称する）の要部断面図である。
【０１３３】
この表示装置７００は、基板（Ｗ）７０１上に、回路素子部７０２、発光素子部７０３及び陰極７０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置７００においては、発光素子部７０３から基板７０１側に発した光が、回路素子部７０２及び基板７０１を透過して観測者側に出射されるとともに、発光素子部７０３から基板７０１の反対側に発した光が陰極７０４により反射された後、回路素子部７０２及び基板７０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【０１３４】
回路素子部７０２と基板７０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜７０６が形成され、この下地保護膜７０６上（発光素子部７０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜７０７が形成されている。この半導体膜７０７の左右の領域には、ソース領域７０７ａ及びドレイン領域７０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域７０７ｃとなっている。
【０１３５】
また、回路素子部７０２には、下地保護膜７０６及び半導体膜７０７を覆う透明なゲート絶縁膜７０８が形成され、このゲート絶縁膜７０８上の半導体膜７０７のチャネル領域７０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極７０９が形成されている。このゲート電極７０９及びゲート絶縁膜７０８上には、透明な第１層間絶縁膜７１１ａと第２層間絶縁膜７１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜７１１ａ、７１１ｂを貫通して、半導体膜７０７のソース領域７０７ａ、ドレイン領域７０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール７１２ａ，７１２ｂが形成されている。
【０１３６】
そして、第２層間絶縁膜７１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極７１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極７１３は、コンタクトホール７１２ａを通じてソース領域７０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜７１１ａ上には電源線７１４が配設されており、この電源線７１４は、コンタクトホール７１２ｂを通じてドレイン領域７０７ｂに接続されている。
【０１３７】
このように、回路素子部７０２には、各画素電極７１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ７１５がそれぞれ形成されている。
【０１３８】
上記発光素子部７０３は、複数の画素電極７１３上の各々に積層された機能層７１７と、各画素電極７１３及び機能層７１７の間に備えられて各機能層７１７を区画するバンク部７１８とにより概略構成されている。
これら画素電極７１３、機能層７１７、及び、機能層７１７上に配設された陰極７０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極７１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極７１３の間にバンク部７１８が形成されている。
【０１３９】
バンク部７１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層７１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層７１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層７１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部７１８の一部は、画素電極７１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部７１８の間には、画素電極７１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部７１９が形成されている。
【０１４０】
上記機能層７１７は、開口部７１９内において画素電極７１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層７１７ａと、この正孔注入／輸送層７１７ａ上に形成された発光層７１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層７１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層を更に形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成する事も可能である。
正孔注入／輸送層７１７ａは、画素電極７１３側から正孔を輸送して発光層７１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層７１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【０１４１】
発光層７１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、又は青色（Ｂ）の何れかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層７１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層７１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層７１７ａを再溶解させることなく発光層７１７ｂを形成することができる。
【０１４２】
そして、発光層７１７ｂでは、正孔注入／輸送層７１７ａから注入された正孔と、陰極７０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【０１４３】
陰極７０４は、発光素子部７０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極７１３と対になって機能層７１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極７０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【０１４４】
次に、上記の表示装置７００の製造工程を図２４〜図３２を参照して説明する。
この表示装置７００は、図２４に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、及び対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【０１４５】
まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図２５に示すように、第２層間絶縁膜７１１ｂ上に無機物バンク層７１８ａを形成する。この無機物バンク層７１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層７１８ａの一部は画素電極７１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層７１８ａを形成したならば、図２６に示すように、無機物バンク層７１８ａ上に有機物バンク層７１８ｂを形成する。この有機物バンク層７１８ｂも無機物バンク層７１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部７１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部７１８間には、画素電極７１３に対して上方に開口した開口部７１９が形成される。この開口部７１９は、画素領域を規定する。
【０１４６】
表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理及び撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層７１８ａの第１積層部７１８ａａ及び画素電極７１３の電極面７１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極７１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層７１８ｂの壁面７１８ｓ及び有機物バンク層７１８ｂの上面７１８ｔに施され、例えば４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド３１を用いて機能層７１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部７１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【０１４７】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体７００Ａが得られる。この表示装置基体７００Ａは、図１に示した描画装置１のセットテーブル２４に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）及び発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。
【０１４８】
図２７に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド３１から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部７１９内に吐出する。その後、図２８に示すように、乾燥処理及び熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面７１３ａ）７１３上に正孔注入／輸送層７１７ａを形成する。
【０１４９】
次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層７１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層７１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層７１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層７１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層７１７ａと発光層７１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層７１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層７１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層７１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層７１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層７１７ａに均一に塗布することができる。
【０１５０】
そして次に、図２９に示すように、各色のうちの何れか（図２９の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部７１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層７１７ａ上に広がって開口部７１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部７１８の上面７１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面７１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部７１９内に転がり込み易くなっている。
【０１５１】
その後、乾燥工程等を行う事により、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図３０に示すように、正孔注入／輸送層７１７ａ上に発光層７１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層７１７ｂが形成されている。
【０１５２】
同様に、機能液滴吐出ヘッド３１を用い、図３１に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層７１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）及び緑色（Ｇ））に対応する発光層７１７ｂを形成する。なお、発光層７１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決める事も可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１５３】
以上のようにして、画素電極７１３上に機能層７１７、即ち、正孔注入／輸送層７１７ａ及び発光層７１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。
【０１５４】
対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図３２に示すように、発光層７１７ｂ及び有機物バンク層７１８ｂの全面に陰極７０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極７０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極７０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１５５】
このようにして陰極７０４を形成した後、この陰極７０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置７００が得られる。
【０１５６】
次に、図３３は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置８００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、及びこれらの間に形成される放電表示部８０３を含んで概略構成される。放電表示部８０３は、複数の放電室８０５により構成されている。これらの複数の放電室８０５のうち、赤色放電室８０５Ｒ、緑色放電室８０５Ｇ、青色放電室８０５Ｂの３つの放電室８０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１５７】
第１基板８０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極８０６が形成され、このアドレス電極８０６と第１基板８０１の上面とを覆うように誘電体層８０７が形成されている。誘電体層８０７上には、各アドレス電極８０６の間に位置し、且つ各アドレス電極８０６に沿うように隔壁８０８が立設されている。この隔壁８０８は、図示するようにアドレス電極８０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極８０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁８０８によって仕切られた領域が放電室８０５となっている。
【０１５８】
放電室８０５内には蛍光体８０９が配置されている。蛍光体８０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室８０５Ｒの底部には赤色蛍光体８０９Ｒが、緑色放電室８０５Ｇの底部には緑色蛍光体８０９Ｇが、青色放電室８０５Ｂの底部には青色蛍光体８０９Ｂが各々配置されている。
【０１５９】
第２基板８０２の図中下側の面には、上記アドレス電極８０６と直交する方向に複数の表示電極８１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層８１２、及びＭｇＯなどからなる保護膜８１３が形成されている。
第１基板８０１と第２基板８０２とは、アドレス電極８０６と表示電極８１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極８０６と表示電極８１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極８０６，８１１に通電することにより、放電表示部８０３において蛍光体８０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１６０】
本実施形態においては、上記アドレス電極８０６、表示電極８１１、及び蛍光体８０９を、図１に示した描画装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板８０１におけるアドレス電極８０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板８０１を描画装置１のセットテーブル２４に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド３１により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、又はニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１６１】
補充対象となる全てのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極８０６が形成される。
【０１６２】
ところで、上記においてはアドレス電極８０６の形成を例示したが、上記表示電極８１１及び蛍光体８０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極８１１の形成の場合、アドレス電極８０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体８０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド３１から液滴として吐出し、対応する色の放電室８０５内に着弾させる。
【０１６３】
次に、図３４は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置９００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置９００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置９００は、互いに対向して配置された第１基板９０１、第２基板９０２、及びこれらの間に形成される電界放出表示部９０３を含んで概略構成される。電界放出表示部９０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部９０５により構成されている。
【０１６４】
第１基板９０１の上面には、カソード電極９０６を構成する第１素子電極９０６ａおよび第２素子電極９０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極９０６ａおよび第２素子電極９０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ９０８を形成した導電性膜９０７が形成されている。すなわち、第１素子電極９０６ａ、第２素子電極９０６ｂおよび導電性膜９０７により複数の電子放出部９０５が構成されている。導電性膜９０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ９０８は、導電性膜９０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１６５】
第２基板９０２の下面には、カソード電極９０６に対峙するアノード電極９０９が形成されている。アノード電極９０９の下面には、格子状のバンク部９１１が形成され、このバンク部９１１で囲まれた下向きの各開口部９１２に、電子放出部９０５に対応するように蛍光体９１３が配置されている。蛍光体９１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、各開口部９１２には、赤色蛍光体９１３Ｒ、緑色蛍光体９１３Ｇおよび青色蛍光体９１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１６６】
そして、このように構成した第１基板９０１と第２基板９０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置９００では、導電性膜（ギャップ９０８）９０７を介して、陰極である第１素子電極９０６ａまたは第２素子電極９０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極９０９に形成した蛍光体９１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１６７】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極９０６ａ、第２素子電極９０６ｂ、導電性膜９０７およびアノード電極９０９を、描画装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体９１３Ｒ，９１３Ｇ，９１３Ｂを、描画装置１を用いて形成することができる。
【０１６８】
第１素子電極９０６ａ、第２素子電極９０６ｂおよび導電性膜９０７は、図３５（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図３５（ｂ）に示すように、予め第１素子電極９０６ａ、第２素子電極９０６ｂおよび導電性膜９０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極９０６ａおよび第２素子電極９０６ｂを形成（描画装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜９０７を形成（描画装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜９０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板９０１および第２基板９０２に対する親液化処理や、バンク部９１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１６９】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した描画装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１７０】
【図１】本発明の実施形態に係る描画装置の平面模式図である。
【図２】本発明の実施形態に係る描画装置の正面模式図である。
【図３】支持フレーム廻りの平面模式図である。
【図４】機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。
【図５】圧力調整弁の説明図であり、（ａ）は、圧力調整弁の外観斜視図であり、（ｂ）は、圧力調整弁の縦断面図である。
【図６】ワイピングユニットの外観斜視図である。
【図７】ワイピングユニットの説明図であり、カバーボックスの一部を外したときの外観斜視図である。
【図８】ワイピングユニットの説明図であり、カバーボックスの一部を外したときに、左側からみた外観斜視図である。
【図９】ワイピングユニットの正面図である。
【図１０】拭取りユニット廻りの左側面図である。
【図１１】右上カバーおよび洗浄液噴霧ユニット廻りの外観斜視図である。
【図１２】描画装置の主制御系について説明したブロック図である。
【図１３】第２実施形態のワイピングユニットを示す外観斜視図である。
【図１４】カバーボックスを外した第２実施形態のワイピングユニットを示す外観斜視図である。
【図１５】第２実施形態のワイピングユニットを示す断面図である。
【図１６】ヘッド移動機構廻りの平面図である。
【図１７】開閉機構の説明図であり、（ａ）は、開閉蓋の閉蓋時を示した図であり、（ｂ）は、開閉蓋の開放時を示した図である。
【図１８】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図１９】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図２０】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図２１】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図２２】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図２３】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図２４】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図２５】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図２６】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図２７】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２８】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２９】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図３０】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図３１】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図３２】陰極の形成を説明する工程図である。
【図３３】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図３４】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図３５】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【０１７１】
１  描画装置                    ３  液滴吐出装置
５  ヘッド保守装置            ３１  機能液滴吐出ヘッド
４７  ノズル面                １０３  ワイピングユニット
１１１  ワイピングシート        １１３  装置フレーム
１１７  カバーボックス          １３１  繰出しリール
１３２  巻取りリール            １５１  拭取りローラ
２０２  噴霧ヘッド              ２０６  ヘッド移動機構
２３２  アーム部                ２６１  ローラ開口
２６２  上カバー                ２６３  下カバー
２７６  スリット開口            ４０５  サイドフレーム
４１５  ローラ昇降機構          ４６７  エアータイト材
４７１  開閉蓋                  ４７２  開閉機構
４９２  加湿装置                    Ｗ  ワーク
【図１】
2005231343.tif 000003
【図２】
2005231343.tif 000004
【図３】
2005231343.tif 000005
【図４】
2005231343.tif 000006
【図５】
2005231343.tif 000007
【図６】
2005231343.tif 000008
【図７】
2005231343.tif 000009
【図８】
2005231343.tif 000010
【図９】
2005231343.tif 000011
【図１０】
2005231343.tif 000012
【図１１】
2005231343.tif 000013
【図１２】
2005231343.tif 000014
【図１３】
2005231343.tif 000015
【図１４】
2005231343.tif 000016
【図１５】
2005231343.tif 000017
【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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