(57)【要約】【課題】静電容量測定による良否選別を効率良く行うことができる積層コンデンサの製造方法を提供する。【解決手段】各事前測定用積層コンデンサ１４ａ〜１４ｄの外部電極用ビアホール１３ａと１３ｂに、測定端子を当てて静電容量を測定する。そして、各事前測定用積層コンデンサ１４ａ〜１４ｄの静電容量とマザーセラミック積層ブロック９における配置関係から、マザーセラミック積層ブロック９における積層コンデンサ１５の静電容量分布を推定し、決定する。次に、得られた静電容量分布に基づいて、マザーセラミック積層ブロック９の各積層コンデンサ１５を良否判定する。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の絶縁層と複数のコンデンサ電極とを積み重ねて、所定の分割線に沿って分割することにより複数の積層コンデンサを取り出すことができるマザー積層ブロックを形成する工程と、
前記複数の積層コンデンサのうち二つ以上の積層コンデンサの静電容量を測定し、この静電容量の測定値に基づいて、該二つの積層コンデンサの間に配置されている積層コンデンサの静電容量を求め、前記マザー積層ブロックの積層コンデンサの静電容量分布を決定する工程と、
前記静電容量分布に基づいて前記マザー積層ブロックの各積層コンデンサを分別する工程と、を備えたことを特徴とする積層コンデンサの製造方法。
【請求項２】
前記二つ以上の積層コンデンサの静電容量の測定は、前記マザー積層ブロックを所定の分割線に沿って分割する前に行われることを特徴とする請求項１に記載の積層コンデンサの製造方法。
【請求項３】
前記マザー積層ブロックを所定の分割線に沿って分割することにより複数の積層コンデンサを個別に取り出す際は、積層コンデンサ毎に前記マザー積層ブロックにおける配置位置が特定できるように取り出され、
前記二つ以上の積層コンデンサの静電容量の測定は、前記マザー積層ブロックを所定の分割線に沿って分割した後に行われること、を特徴とする請求項１に記載の積層コンデンサの製造方法。
【請求項４】
前記マザー積層ブロックを所定の分割線に沿って分割することにより短冊状に繋がった複数の積層コンデンサを取り出す際は、積層コンデンサ毎に前記マザー積層ブロックにおける配置位置が特定できるように取り出され、前記二つ以上の積層コンデンサの静電容量の測定は、前記マザー積層ブロックを所定の分割線に沿って分割して、該短冊状に繋がった複数の積層コンデンサをマザー積層ブロックから取り出した後に行われること、を特徴とする請求項１に記載の積層コンデンサの製造方法。
【請求項５】
前記マザー積層ブロックに二つ以上の静電容量測定用積層コンデンサを設け、この静電容量測定用積層コンデンサの静電容量を測定し、この静電容量の測定値に基づいて該静電容量測定用積層コンデンサの間に配置されている積層コンデンサの静電容量を算出して、前記マザー積層ブロックの積層コンデンサの静電容量分布を決定することを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれかに記載の積層コンデンサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は積層コンデンサの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
積層セラミックコンデンサの製造は、例えば、複数のコンデンサ電極をマザーのセラミックグリーンシートの表面に印刷する工程と、このマザーのセラミックグリーンシートを複数枚積層し、これを加圧密着させて未焼成のマザーセラミック積層ブロックを形成するプレス成形工程と、マザーセラミック積層ブロックをコンデンサ電極の配置に合わせてカットし、個々の積層セラミックコンデンサを切り出すカット工程と、カットした積層セラミックコンデンサを焼成する工程と、焼成した積層セラミックコンデンサに外部電極を形成する工程とを順次経て行われる。
【０００３】
そして、こうして製造された積層セラミックコンデンサは、全数または抜き取りにより静電容量が測定され、良品および不良品の選別が行われる。
【０００４】
なお、静電容量測定による選別方法ではないが、積層セラミックコンデンサの外観や切断面に露出した積層ずれ検出マークなどを観察して良品および不良品の選別を行う方法が、特許文献１〜特許文献３に記載されている。
【０００５】
【特許文献１】
特許第２６７８３９３号公報
【特許文献２】
特開平７−２０１６４１号公報
【特許文献３】
特開平８−５６０６２号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、全ての積層セラミックコンデンサに対して静電容量を測定することは非常に煩雑な作業である。特に、サイズの小さい積層セラミックコンデンサの場合には、取り扱いにくいことに加え、高精度の測定が要求されるため、より一層煩雑であった。さらに、測定の際に、測定端子を積層セラミックコンデンサの外部電極に当てるため、外部電極が測定端子で傷つけられるという問題があった。
【０００７】
一方、積層セラミックコンデンサの母集団から所定の数だけ抜き取って静電容量を測定する場合には、統計的な取り扱いとなる。従って、測定の信頼性を高めるために抜き取り数を十分多くする必要があり、全数測定と比べると少ないものの、やはり測定に長時間を要していた。
【０００８】
そこで、本発明の目的は、静電容量測定による良否選別を効率良く行うことができる積層コンデンサの製造方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段および作用】
前記目的を達成するため、本発明に係る積層コンデンサの製造方法は、
（ａ）複数の絶縁層と複数のコンデンサ電極とを積み重ねて、所定の分割線に沿って分割することにより複数の積層コンデンサを取り出すことができるマザー積層ブロックを形成する工程と、
（ｂ）複数の積層コンデンサのうち二つ以上の積層コンデンサの静電容量を測定し、この静電容量の測定値に基づいて、該二つの積層コンデンサの間に配置されている積層コンデンサの静電容量を求め、マザー積層ブロックの積層コンデンサの静電容量分布を決定する工程と、
（ｃ）静電容量分布に基づいてマザー積層ブロックの各積層コンデンサを分別する工程と、を備えたことを特徴とする。
【００１０】
以上の方法により、少数の積層コンデンサに対して静電容量を測定するだけで、そのマザー積層ブロックの積層コンデンサ全ての良否選別が可能となる。
【００１１】
ここに、二つ以上の積層コンデンサの静電容量の測定は、マザー積層ブロックを所定の分割線に沿って分割する前に行ってもよい。これにより、マザー積層ブロックの状態で静電容量の測定が行われるため、積層コンデンサ相互の位置関係を保持した状態で選別を行うことができ、積層コンデンサの取り扱いが極めて容易になる。
【００１２】
また、二つ以上の積層コンデンサの静電容量の測定は、マザー積層ブロックを所定の分割線に沿って分割した後に行ってもよい。あるいは、マザー積層ブロックを所定の分割線に沿って分割して、短冊状に繋がった複数の積層コンデンサをマザー積層ブロックから取り出した後に行ってもよい。これらの場合には、積層コンデンサはそれぞれ、マザー積層ブロックにおける配置位置が特定できるように、マザー積層ブロックから取り出される。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る積層コンデンサの製造方法の実施の形態について添付図面を参照して説明する。
【００１４】
［第１実施形態、図１〜図５］
図１は、積層コンデンサ製造用のマザーセラミックグリーンシート１０の一例を示す平面図である。このマザーセラミックグリーンシート１０には、後の工程で切り出される多数のコンデンサ電極１１と四つの事前測定用コンデンサ電極１２ａ〜１２ｄが印刷されている。コンデンサ電極１１は格子状に配置されている。マザーセラミックグリーンシート１０はセラミック粉末に溶媒や結合剤を加えて混練し、ドクターブレード法などの方法でシート状にして製作される。
【００１５】
矩形のマザーセラミックグリーンシート１０の外周部（４辺の各中央部付近）には、事前測定用コンデンサ電極１２ａ〜１２ｄが配置されている。事前測定用コンデンサ電極１２ａ〜１２ｄは、製品より先行して静電容量を測定するためのものであり、コンデンサ電極１１が配置されている領域の外に、コンデンサ電極と同一面積で、かつ、同一塗布厚で形成されている。
【００１６】
なお、シート１０の４辺の各中央部付近のコンデンサ電極１１ａ〜１１ｄを事前測定用コンデンサ電極として使用してもよい。しかし、事前測定用コンデンサ電極１２ａ〜１２ｄをコンデンサ電極１１の外側に形成する方が、事前測定用コンデンサ電極間の距離が長くなり、後工程で決定する積層コンデンサの静電容量分布がより正確になる。
【００１７】
図２に示すように、このマザーセラミックグリーンシート１０をＸ方向に交互にずらしながら複数枚積み重ね、さらに、その上下にコンデンサ電極の形成されていない保護用マザーセラミックグリーンシートを積み重ねる。この後、圧着してマザーセラミック積層ブロック９を形成する。ただし、図２においては、上下に配置されている保護用マザーセラミックグリーンシートは省略されている。以下、図３〜図５も同様である。
【００１８】
次に、マザーセラミック積層ブロック９を焼成した後、事前測定用コンデンサ電極１２ａ〜１２ｄの引出し部に、レーザビームなどを用いてビアホールの孔をあける。この孔にＡｇ，Ｐｄ，Ｃｕ，Ａｕやこれらの合金などの導電性ペーストを充填することによって、図３に示すように外部電極用ビアホール１３ａ，１３ｂが形成される。なお、外部電極用ビアホール１３ａ，１３ｂを形成した後に、マザーセラミック積層ブロック９を焼成するようにしてもよい。
【００１９】
事前測定用コンデンサ電極１２ａはシート１０を間に挟んで対向し、外部電極用ビアホール１３ａと１３ｂの間に事前測定用積層コンデンサ１４ａを形成している。同様に、事前測定用コンデンサ電極１２ｂ，１２ｃ，１２ｄもそれぞれ外部電極用ビアホール１３ａと１３ｂの間に事前測定用積層コンデンサ１４ｂ，１４ｃ，１４ｄを形成している。一方、コンデンサ電極１１は、シート１０を間に挟んで対向し、それぞれ積層コンデンサ（製品）１５を形成している。
【００２０】
次に、これらの各事前測定用積層コンデンサ１４ａ〜１４ｄの外部電極用ビアホール１３ａと１３ｂに、測定端子を当てて静電容量を測定する。そして、各事前測定用積層コンデンサ１４ａ〜１４ｄの静電容量とマザーセラミック積層ブロック９における配置関係から、マザーセラミック積層ブロック９における積層コンデンサ１５の静電容量分布を推定し、決定する。
【００２１】
例えば、図４に示すように、事前測定用積層コンデンサ１４ａ〜１４ｄの静電容量がそれぞれｘ１ｐＦ、ｘ２ｐＦ、ｙ１ｐＦ、ｙ２ｐＦであったとする。すると、マザーセラミック積層ブロック９の中央に位置する積層コンデンサ１５ａの静電容量ｚｐＦは、ｘ１ｐＦとｘ２ｐＦから推定されるＸ方向の静電容量ｘｐＦと、ｙ１ｐＦとｙ２ｐＦから推定されるＹ方向の静電容量ｙｐＦとの平均値とされる。そして、この積層コンデンサ１５ａの静電容量（ｘ＋ｙ）／２ｐＦと、四つの事前測定用積層コンデンサ１４ａ〜１４ｄの静電容量ｘ１ｐＦ、ｘ２ｐＦ、ｙ１ｐＦ、ｙ２ｐＦとに基づいて、等静電容量線（等しい静電容量位置を結んだ線）Ａ１〜Ａ５を引き、各列毎または各領域毎に静電容量分布を推定する。
【００２２】
次に、得られた静電容量分布に基づいて、マザーセラミック積層ブロック９の各積層コンデンサ１５を良否判定する。そして、良品と判定された積層コンデンサ１５は、図５に示すように、分割線Ｃに沿って分割することにより、マザーセラミック積層ブロック９から取り出される。より具体的には、事前測定用積層コンデンサ１４ａ〜１４ｄの静電容量がそれぞれｘ１＝１ｐＦ、ｘ２＝５ｐＦ、ｙ１＝３ｐＦ、ｙ２＝３ｐＦで、４〜５ｐＦが良品範囲である場合、ｘ１，ｘ２，ｙ１，ｙ２の静電容量の傾き（分布）から図４の右側の２列が良品と判定される。取り出された積層コンデンサ１５の左右の端面には、外部電極２１，２２が形成される。
【００２３】
以上の方法によれば、四つの事前測定用積層コンデンサ１４ａ〜１４ｄに対して静電容量を測定するだけで、マザー積層ブロック９の積層コンデンサ１５全ての良否選別が可能となる。従って選別処理時間が短くてすむ。
【００２４】
また、静電容量を測定するための端子を製品である積層コンデンサ１５の外部電極２１，２２に当てる必要がないため、外部電極２１，２２が測定端子で傷つけられる心配がない。
【００２５】
さらに、マザー積層ブロック９の状態で静電容量の測定が行われるため、取り扱い易くなる。そして、良品にのみ外部電極２１，２２を形成するので製造コストを低減することができる。なお、事前測定用積層コンデンサの数が多いほど、静電容量分布の推定確度は高くなる。
【００２６】
［第２実施形態、図６］
積層コンデンサの製造方法の別の実施形態を説明する。図６に示すように、図１に示したマザーセラミックグリーンシート１０を交互にずらしながら複数枚積み重ね、さらに、その上下に保護用マザーセラミックグリーンシートを積み重ねる。ただし、図６においては、上下に配置されている保護用マザーセラミックグリーンシートは省略されている。この後、圧着してマザーセラミック積層ブロック９を形成する。
【００２７】
マザーセラミック積層ブロック９は粘着シートに仮固定された後、所定の分割線Ｃに沿って切断されることにより、個々の積層コンデンサ１４ａ〜１４ｄ，１５に分割される。分割後も個々の積層コンデンサ１４ａ〜１４ｄ，１５は粘着シートに仮固定されており、積層コンデンサ１４ａ〜１４ｄ，１５毎にマザー積層ブロック９における配置位置が特定できる。この後、事前測定用積層コンデンサ１４ａ〜１４ｄのみを取り出し、先行して焼成し、外部電極２１，２２を形成して事前測定用積層コンデンサ１４ａ〜１４ｄとして完成させる。
【００２８】
次に、これらの各事前測定用積層コンデンサ１４ａ〜１４ｄの外部電極２１，２２に、測定端子を当てて静電容量を測定する。そして、各事前測定用積層コンデンサ１４ａ〜１４ｄの静電容量とマザーセラミック積層ブロック９における配置関係から、マザーセラミック積層ブロック９における積層コンデンサ１５の静電容量分布を推定し、決定する。
【００２９】
次に、得られた静電容量分布に基づいて、マザーセラミック積層ブロック９の各積層コンデンサ１５を良否判定する。そして、良品と判定された積層コンデンサ１５のみを粘着シートから取り出し、焼成し、外部電極２１，２２を形成して積層コンデンサ（製品）１５を完成させる。
【００３０】
以上の積層コンデンサ１５の製造方法は、前記第１実施形態と同様の作用効果を奏する。
【００３１】
［第３実施形態、図７および図８］
積層コンデンサの製造方法のさらに別の実施形態を説明する。図７に示すように、図１に示したマザーセラミックグリーンシート（ただし、事前測定用コンデンサ電極１２ａ〜１２ｄは設けないもの）１０を交互にずらしながら複数枚積み重ね、さらに、その上下に保護用マザーセラミックグリーンシートを積み重ねる。図７においては、上下に配置されている保護用マザーセラミックグリーンシートは省略されている。この後、圧着してマザーセラミック積層ブロック９を形成する。
【００３２】
次に、コンデンサ電極１１の引出し部に、レーザビームなどを用いてビアホールの孔をあける。この孔にＡｇ，Ｐｄ，Ｃｕ，Ａｕやこれらの合金などの導電性ペーストを充填することによって、外部電極用ビアホール１６が形成される。
【００３３】
次に、マザーセラミック積層ブロック９における配置位置がわかるように、マザーセラミック積層ブロック９をカットテーブル上で吸引チャックなど保持しながら、分割線Ｃに沿って切断して、図８に示すように複数の積層コンデンサ１５が繋がった短冊状の積層ブロック１７に分割する。外部電極用ビアホール１６は２分割され、外部電極とされる。
【００３４】
そして、この状態で別の吸引チャックに持ち替えて焼成用プレート上に移す。マザーセラミック積層ブロック９における配置位置がわかる状態で焼成した後、所定の積層ブロック１７のみを取り出し、前述の方法で静電容量分布を推定し、決定する。得られた静電容量分布に基づいて、マザーセラミック積層ブロック９の各積層コンデンサ１５を良否判定する。そして、良品と判定された積層コンデンサ１５のみを分割線Ｃに沿って分割することにより積層ブロック１７から切り出し積層コンデンサ（製品）１５を完成させる。
【００３５】
この製造方法は、事前測定用として使用される積層コンデンサ１５と製品となる積層コンデンサ１５とが、同一条件で焼成されるので、焼成ロットによる静電容量のばらつきが排除され好ましい。
【００３６】
［他の実施形態］
なお、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々に変更することができる。積層コンデンサは、積層ＬＣフィルタや高周波モジュールなどの複合部品に内蔵されているものであってもよい。
【００３７】
また、図９に示すように、比較的大きなコンデンサ電極１１の場合には、事前測定用コンデンサ電極１２ａ〜１２ｄをコンデンサ電極１１より小さいサイズに設定するとよい。この場合、予めコンデンサ電極１１と事前測定用コンデンサ電極１２ａ〜１２ｄでそれぞれ作製した積層コンデンサ１５と事前測定用積層コンデンサ１４ａ〜１４ｄとの静電容量比を確認しておく必要がある。その比率に基づいて、前記実施形態の方法で静電容量分布を推定し、決定する。これにより、積層精度の影響を増幅して事前測定用積層コンデンサ１４ａ〜１４ｄで確認できるため、高精度な静電容量推定が可能となる。
【００３８】
さらに、前記実施形態では静電容量の分布を測定して良否判定を行っているが、良品、不良品に分ける場合に限らず、得られた静電容量分布に基づいて、各列毎または各領域毎に積層コンデンサを特性毎に分別してもよい。
【００３９】
また、コンデンサ電極１１は格子状でなく千鳥状に配置されていてもよく、マザーセラミックグリーンシート１０はＸ方向ではなく、Ｙ方向や斜め方向に交互にずらしながら積層してもよい。
【００４０】
また、積層コンデンサを製造する場合、導体パターンを設けたセラミックシートを積み重ねた後、一体的に焼成する工法に必ずしも限定されない。セラミックシートは予め焼成されたものを用いてもよい。また、以下に説明する工法によって積層コンデンサを製造してもよい。すなわち、印刷などの手法によりペースト状のセラミック材料を塗布してセラミック層を形成した後、そのセラミック層の上からペースト状の導電性材料を塗布して導体パターンを形成する。さらにペースト状のセラミック材料を上から塗布してセラミック層とする。こうして順に重ね塗りをすることにより、積層構造を有するコンデンサが得られる。
【００４１】
【発明の効果】
以上の説明からも明らかなように、本発明によれば、複数の積層コンデンサのうち二つ以上の積層コンデンサの静電容量を測定し、この静電容量の測定値に基づいて該二つの積層コンデンサの間に配置されている積層コンデンサの静電容量を求め、マザー積層ブロックにおける積層コンデンサの静電容量分布を推定し、決定するので、少数の積層コンデンサに対して静電容量を測定するだけで、そのマザー積層ブロックの積層コンデンサ全ての分別が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る積層コンデンサの製造方法の第１実施形態を示す平面図。
【図２】図１に続く製造手順を示す平面図。
【図３】図２に続く製造手順を示す平面図。
【図４】図３に続く製造手順を示す平面図。
【図５】図４に続く製造手順を示す平面図。
【図６】本発明に係る積層コンデンサの製造方法の第２実施形態を示す平面図。
【図７】本発明に係る積層コンデンサの製造方法の第３実施形態を示す平面図。
【図８】図７に続く製造手順を示す斜視図。
【図９】他の実施形態を示す平面図。
【符号の説明】
９…マザーセラミック積層ブロック
１０…マザーセラミックグリーンシート
１１…コンデンサ電極
１２ａ〜１２ｄ…事前測定用コンデンサ電極
１４ａ〜１４ｄ…事前測定用積層コンデンサ
１５…積層コンデンサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2005044960.tif 000009
【図８】
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【図９】
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