(57)【要約】【課題】電極の厚さを計測する電極厚さ計測手段を設け、電極の厚さ測定値と放電加工装置の電極送り込み量とから放電加工深さを演算して求めることにより、放電加工装置の一時撤去作業をせずに形彫り放電加工を行う。【解決手段】形彫り放電加工装置において、電極の背面部側の適宜部位に取り付けた距離測定用検出ヘッドと、この距離測定用検出ヘッドからの送波信号およびこの信号が電極で反射されて戻ってきた時点の受波信号を入力して当該電極の厚さを計測する信号処理装置とからなる電極厚さ計測手段を設けたことを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
非導電溶液中で電極と工作物とを対峙させ、両者間にパルス状電圧を印加してアーク放電を生じさせ、その放電エネルギーにより加工物の加工を行うようにした形彫り放電加工装置の電極厚さを計測する方法において、
前記電極の背面部側の適宜部位に取り付けた距離測定用検出ヘッドからの送波信号およびこの信号が電極で反射されて戻ってきた時点の受波信号を入力して電極の厚さを計測することを特徴とする形彫り放電加工装置の電極厚さ計測方法。
【請求項２】
非導電溶液中で電極と工作物とを対峙させ、両者間にパルス状電圧を印加してアーク放電を生じさせ、その放電エネルギーにより加工物の加工を行うようにした形彫り放電加工装置において、
前記電極の背面部側の適宜部位に取り付けた距離測定用検出ヘッドと、この距離測定用検出ヘッドからの送波信号およびこの信号が電極で反射されて戻ってきた時点の受波信号を入力して当該電極の厚さを計測する信号処理装置とからなる電極厚さ計測手段を設けたことを特徴とする形彫り放電加工装置。
【請求項３】
前記電極厚さ計測手段として超音波センサーを適用し、この超音波センサーを構成する超音波振動子を電極の背面部側の適宜な位置に取り付け、この超音波振動子の送受波を前記信号処理装置に入力して電極の厚さを計測することを特徴とする請求項２記載の形彫り放電加工装置。
【請求項４】
前記電極の送り量と前記電極厚さ計測手段による電極の厚さ測定値とを演算して放電加工深さを求めることを特徴とする請求項２記載の形彫り放電加工装置。
【請求項５】
前記距離測定用検出ヘッドは電極の形彫り加工動作中、電極の駆動系とは分離した部位に固定したことを特徴とする請求項２記載の形彫り放電加工装置。
【請求項６】
前記距離測定用検出ヘッドは電極の形彫り加工動作中、電極の背面部との相対距離が変化しない電極の駆動系に固定されたことを特徴とする請求項２記載の形彫り放電加工装置。
【請求項７】
前記電極の背面部に底面を平坦にした凹部を形成し、電極の計測箇所が凹部の底部となるように前記距離測定用検出ヘッドを配置したことを特徴とする請求項２記載の形彫り放電加工装置。
【請求項８】
目標とする加工深さおよび電極消耗率から電極送り込み量を演算し、放電加工装置の切込み量の設定値とすることを特徴とする請求項２記載の形彫り放電加工装置。
【請求項９】
非導電溶液中で電極と工作物とを対峙させ、両者間にパルス状電圧を印加してアーク放電を生じさせ、その放電エネルギーにより加工物の加工を行うようにした形彫り放電加工装置において、
前記電極の背面部側の適宜部位に取り付けた距離測定用検出ヘッドと、この距離測定用検出ヘッドからの送波信号およびこの信号が電極で反射されて戻ってきた時点の受波信号を入力して当該電極の厚さを計測する信号処理装置とからなる電極厚さ計測手段により電極の残存厚さを計測し、電極の形彫り加工動作中、電極の駆動系とは分離した部位に固定され放電加工装置から工作物までの距離を計測する計測手段を備えたことを特徴とする形彫り放電加工装置。
【請求項１０】
放電加工装置から工作物までの距離を計測する計測手段は超音波センサーであることを特徴とする請求項９記載の形彫り放電加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は形彫り放電加工装置および形彫り放電加工装置の電極厚さ計測方法に係り、特に放電加工装置の一時撤去をすることなしに、加工深さを精度良く計測することのできる形彫り放電加工装置および形彫り放電加工装置の電極厚さ計測方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
形彫り放電加工とは、非導電溶液中（通常は油中あるいは純水中）で電極と工作物との間にパルス状電圧をかけることによりアーク放電を生じさせ、その放電エネルギーにより工作物を電極の反転形状に成形する金属加工法のことである。
【０００３】
この形彫り放電加工による加工深さは電極の送り量で管理されるが、電極自体も消耗するため加工を中断しノギスその他の計測器具により工作物を測定することにより管理している。形彫り放電加工における電極消耗率は経験的に求められ、あらかじめ電極の消耗量を見積り、計画する加工深さに電極消耗量を加えた電極送り量を指定することで加工深さを制御し計測の頻度を少なくすることができるが、正確な加工を行う際にはやはり作業を中断して実際の工作物に加工された深さを頻繁に実測する必要がある（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平８−２５１４９号公報（第３−４頁、図１８）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この形彫り放電加工は、例えば原子炉内の構造物の欠陥除去方法として従来から使用されている。加工深さの精度が要求される場合、装置を一旦撤去した後に別の計測装置で加工部の深さ測定を行う必要がある。測定後に再度放電加工装置を元の位置に合わせるのであるが、人が近づけない放射線環境下でしかも水深１５(ｍ)から２５(ｍ)にある原子炉内構造物に遠隔で正確に同じ位置に装置の位置決めを行う作業は非常に困難である。
【０００５】
本発明は上記の課題に鑑みて、電極の厚さを計測する電極厚さ計測手段を設け、電極の厚さ測定値と放電加工装置の電極送り込み量とから放電加工深さを演算して求めることにより、放電加工装置の一時撤去作業をせずに形彫り放電加工を行うことのできる形彫り放電加工装置および形彫り放電加工装置の電極厚さ計測方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するために、請求項１に係る放電加工装置の電極厚さ計測方法の発明は、非導電溶液中で電極と工作物とを対峙させ、両者間にパルス状電圧を印加してアーク放電を生じさせ、その放電エネルギーにより加工物の加工を行うようにした形彫り放電加工装置の電極厚さを計測する方法において、前記電極の背面部側の適宜部位に取り付けた距離測定用検出ヘッドからの送波信号およびこの信号が電極で反射されて戻ってきた時点の受波信号を入力して電極の厚さを計測することを特徴とする。
【０００７】
また、請求項２に係る形彫り放電加工装置の発明は、非導電溶液中で電極と工作物とを対峙させ、両者間にパルス状電圧を印加してアーク放電を生じさせ、その放電エネルギーにより加工物の加工を行うようにした形彫り放電加工装置において、前記電極の背面部側の適宜部位に取り付けた距離測定用検出ヘッドと、この距離測定用検出ヘッドからの送波信号およびこの信号が電極で反射されて戻ってきた時点の受波信号を入力して当該電極の厚さを計測する信号処理装置とからなる電極厚さ計測手段を設けたことを特徴とする。
【０００８】
さらに、請求項９に係る形彫り放電加工装置の発明は、非導電溶液中で電極と工作物とを対峙させ、両者間にパルス状電圧を印加してアーク放電を生じさせ、その放電エネルギーにより加工物の加工を行うようにした形彫り放電加工装置において、前記電極の背面部側の適宜部位に取り付けた距離測定用検出ヘッドと、この距離測定用検出ヘッドからの送波信号およびこの信号が電極で反射されて戻ってきた時点の受波信号を入力して当該電極の厚さを計測する信号処理装置とからなる電極厚さ計測手段を設けて電極の残存厚さを計測し、電極の形彫り加工動作中、電極の駆動系とは分離した部位に固定され放電加工装置から工作物までの距離を計測する計測手段を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、電極厚さ計測手段を設けて電極の厚さを計測し、電極の厚さ測定値と放電加工装置の電極送り込み量とから放電加工深さを演算によって求めるように構成したので、放電加工装置の一時撤去作業をせずに工作物の放電加工の深さを検出することができる。
【００１０】
また、前記電極厚さ計測手段の他に放電加工装置から工作物までの距離を計測するための計測手段を付加すれば、施工前の電極の厚さを計測することなく、より簡便に工作物の放電加工の深さを検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する。なお、各図を通して同一部分には同一符号を付けて、重複を避けて説明する。  
（実施例１）
図１は本発明による形彫り放電加工装置の実施例１を概念的に示す説明図である。本実施例は非導電溶液中で電極および工作物間にパルス電圧を印加してアーク放電を生じさせ、その放電エネルギーにより工作物の加工を行うように構成した形彫り放電加工装置において、電極の背面部側の適宜部位に取り付けた距離測定用検出ヘッドと、この距離測定用検出ヘッドからの信号を入力して電極の厚さを計測する信号処理装置とからなる電極厚さ計測手段を設けたことを特長とするものである。
【００１２】
以下図１に基づいて説明する。本実施例の形彫り放電加工装置は、非導電溶液９中で電極１と工作物１０とを対峙させた状態で電極線８ａ、８ｂを介して放電加工電源７から電極１および工作物１０間にパルス電圧を印加してアーク放電を生じさせ、その放電エネルギーにより工作物１０の加工を行うように構成されており、そして放電加工電源７と数値制御盤６により放電加工条件が制御されるようになっている。
【００１３】
前記数値制御盤６は非電導液９内に設置された電極駆動用サーボモータ４に対してサーボモータ動力・信号線５から動力を与え、この電極駆動用サーボモータ４は電極駆動機構３によって電極１を駆動するように構成されている。そしてこの電極駆動機構３は、前記電極駆動用サーボモータ４を取り付けるＬ字形の固定部材３ａと、電極駆動用サーボモータ４によって回転可能に設けられたねじ棒３ｂと、このねじ棒３ｂに螺合して直線方向にのみ移動が許容された移動子３ｃとから構成されており、この移動子３ｃに非導電体２を介して電極１が取り付けられている。この結果、電極１は電極駆動機構３を介して電極駆動用サーボモータ４によって工作物１０に接近または離反するように駆動される。
【００１４】
前述したように、本実施例による形彫り放電加工装置は、放電加工の途中においても一時撤去せずに電極の厚さを計測することができるように電極厚さ計測手段を備えたものであり、この電極厚さ計測手段を構成する距離測定用検出ヘッド１１を電極１の背面部側に位置する前記Ｌ字形の固定部材３ａに取り付けている。
【００１５】
なお、本実施の形態ではこの電極厚さ計測手段として超音波を送受波して距離を測定する超音波センサーを適用する。この超音波センサーの場合、前記距離測定用検出ヘッド１１として超音波振動子を用い、非導電溶液９中で超音波の送受波が可能なように例えば防液型のセラミックス製圧電素子１１を採用する。
【００１６】
そして、この超音波センサーのもう一つの構成要素である信号処理装置１２（通常、送波増幅回路、送波周期決定回路、受波増幅回路、検波回路、時間ゲート、出力回路等から構成されている）を非電導溶液９外に設置し、この信号処理装置１２に前記圧電素子１１からの送受波を信号線１２ａにより入力し、送受波の時間差を計測することにより、電極１の厚さを求める。
【００１７】
なお、前記圧電素子１１で電極１の背面部側１ａおよび前面部側１ｂからの反射波を受波する際は、電極背面部１ａと圧電素子１１とは離れた状態あるいは接触した状態のどちらでも適用可能であるが、電極背面部１ａと圧電素子１１とを完全に接触させた場合には電極背面部１ａからの反射波の影響がないため、電極前面部１ｂからの反射波を検知し易くすることができる。
【００１８】
図２は、中心帯域２MHzの圧電素子１１を電極背面部１ａに接触させた場合の超音波波形例を示す。電極前面部１ｂからの１回目の反射波のピークは７．８４(μs)、２回目の反射波のピークは１３．９７(μs) としてそれぞれ観測される。電極の音速をＶｓ（m/s）とすると、電極の厚さは次式（１）で求めることができる。  
（１３．９７−７．８４）×１０００×Ｖｓ／２  ……  （１）
【００１９】
ここで、電極材料としてカーボンを用いた場合は、カーボン中の音速（Ｖｓ）が約２６３０(m/s)であるので、この場合の電極の厚さは８．０６(mm)として算出される。  図３は放電加工装置の電極１の位置関係を示す図であり、電極１の最も後退した位置を１ｃ、電極１と工作物１０とが接触し放電開始した位置を１ｄ、そして放電加工の完了した電極１位置を１ｅとして示す。
【００２０】
放電加工深さ１４Ｅは、放電開始時の電極の送り量１４Ｄと、電極駆動機構３による最大送り量１４Ａとの差分（１４Ａ−１４Ｄ）で予測されるが、電極１自体も消耗するためこの差分による予測式だけでは正確な放電加工深さ１４Ｅを検出することができない。
【００２１】
しかしながら、本実施例による放電加工装置は、電極厚さ計測手段により、施工前での電極の厚さ１４Ｃおよび施工後での電極の厚さ１４Ｂを計測し、以下の演算式（２）に入力することにより正確に放電加工深さ１４Ｅを検出することができる。すなわち、
１４Ｅ＝１４Ａ＋１４Ｂ−１４Ｃ−１４Ｄ        ……  （２）
ただし、１４Ｅ；加工深さ、
１４Ａ；電極駆動機構の最大送り量、
１４Ｂ；施工後の電極厚さ、
１４Ｃ；施工前での電極の厚さ、
１４Ｄ；放電開始時の電極の送り量
この結果、本実施例では放電加工装置を撤去して電極の厚さを実測しなくても、精度良く加工深さを検出することができる。
【００２２】
なお、上記演算式（２）で求めた加工深さ１４Ｅが目標とする値よりも少なく不足分の追い込み加工が必要となった場合、次の演算式（３）により、
電極消耗率＝（１４Ｂ−１４Ｃ）÷加工深さ１４Ｅ          …  （３）
電極消耗率を求め、この求めた電極消耗率をさらに以下の演算式（４）に入力して
追い込み量の設定値＝不足分の追い込み量×（１＋電極消耗率）…（４）
電極駆動機構３の追い込み量の設定値を求め、この追い込み量の設定値を前記数値制御装置７に新たな追い込み量として設定することにより、正確な加工深さ１４Ｅを実現することができる。
【００２３】
（実施例２）
図４は本発明による形彫り放電加工装置の実施例２を概念的に示す説明図である。図４において、本実施例による形彫り放電加工装置は、前記非電導体２を環状に形成し、前記圧電素子１１をＬ字形の固定部材３ａに固定する替わりに、非電導体２の中央空間部に臨むように固定することで、電極１と圧電素子１１との相対位置が変化しないようにしたことを特長とするもので、その他の構成については図１に示した実施例１の場合と同じである。
【００２４】
図１の実施例の場合、電極の送り出しによって電極背面部１ａと圧電素子１１との距離は変化するが、この実施例２の場合圧電素子１１が非電導体２に直接固定されているため、電極背面部１ａと圧電素子１１との距離が変化せず、放電加工中においても電極背面部および電極前面部から反射して戻ってくる超音波は超音波送波時点から常に同じ時間間隔を経て得られる。この結果、信号処理装置１２に内蔵されている時間ゲート等も容易に設定可能であり、電極厚さの常時監視が可能となる。
【００２５】
さらに、この実施例２は電極１と圧電素子１１とを一体的にすることで装置の寸法を薄く設計することができ、放電加工装置を狭隘な部位に取り付けることが容易となるため、原子炉内の放電加工においては非常に有利である。
【００２６】
（実施例３）
図５は本発明による形彫り放電加工装置の実施例３を概念的に示す説明図である。図５において、本実施例３による形彫り放電加工装置は、前記実施例２を改良したもので、電極１の背面部に底面を平坦に加工したザグリ穴あるいは溝部等の凹部１３を形成し、この凹部１３の底部が電極の厚さ計測箇所となるように圧電素子１１を配置し、圧電素子１１から電極背面１ａまでの距離を電極背面部１ａからの２回目の反射波と電極前面部１ｂからの反射波とが干渉しない距離に設定するようにしたものである。
【００２７】
図６に超音波センサーの圧電素子１１から電極背面部までの距離が10（mm）、電極の厚さが20(mm)の場合の超音波波形例を示す（なお、この波形は実波形ではない）。  
圧電素子１１から電極１の背面１ａ部間は非電導溶液で満たされているとし、この溶液中での音速を1500(m/s)であるとすると、電極背面部１ａからのエコー信号は
10(mm)×２（往復）÷1500（m/s）×1000＝13.3（μs）
となり、13.3（μs）毎にエコー信号が繰り返される。
【００２８】
一方、電極１内を伝播するエコーは電極１をカーボンとし、カーボン中の音速を2630(m/s)とすると、電極１背面部１ａからのエコーの後、
20(mm)×２（往復）÷2630（m/s）×1000＝15.2（μs）
毎に繰り返し得られることになる。
【００２９】
従って、電極前面１ｂからのエコーは圧電素子１１と電極１背面１ａ部との間を２往復した波形の後に得られることになる。さらに、電極１の厚さが17.5(mm)となった時には電極前面１ａからのエコーは電極背面１ｂ部からのエコーの後、
17.5(mm)×２（往復）÷2630（m/s）×1000＝13.3（μs）
13.3(μs)で得られることになるが、これは電極背面部１ｂで２回反射したエコーと同じ時間に重なって表われ、電極表面からのエコーを検知することができなくなる。
【００３０】
このように圧電素子１１から電極背面部１ｂまでの距離と電極１厚さの関係を適切に設定できない場合には電極背面部１ａからの反射波と電極前面部１ｂからの反射波が干渉して電極厚さを計測できない場合がある。
【００３１】
特に狭隘な部位に設置する場合には放電加工装置の寸法を薄くする必要があるが、圧電素子１１から電極背面部１ｂ間の距離を十分に取れない場合は、上記のように電極背面部１ａからの反射波と電極前面部１ｂからの反射波とが干渉して電極厚さを計測できなくなる。
【００３２】
そのため、上記電極厚さ20(mm)の電極に対して電極の厚さを計測する必要部分にのみ深さ10(mm)の凹部１３を設けて測定した場合には水中の伝播時間が26.7(μs)、電極の厚さは10(mm)となることにより7.6(μs)であることから、電極背面部１ａからの反射波と電極前面部１ｂからの反射波との干渉がなく、電極１の厚さの測定が可能となる。
【００３３】
適切な凹部１３を設けて圧電素子１１を設置した場合の波形例を図７に示す。図７の上部図が波形全体を示しており、各ピークはそれぞれ下部図に示した経路を経た超音波信号である。図７で示すように、電極背面部１ｂからの１回目、２回目のエコーの間に電極前面部１ａからのエコーを得ることができ、エコーの干渉を避け電極の厚さを計測することができる。
【００３４】
図８は図７の波形図の一部を拡大して示す図である。電極１の厚さを計測する際に注意しなければならない点は、圧電素子１１および電極１間に介在する媒体と電極との音響インピーダンスの違いにより、電極背面部１ａからのエコーと、電極前面部１ｂからのエコーの位相が反転することである。従って、正のピーク時間同士を比較すると、半波長分のずれを生ずることになる。
【００３５】
電極背面部１ａからのエコーは３６．７２(μs)、電極前面部１ｂからの１回目のエコーは４２．６８(μs)、２回目のエコーは４８．９６(μs)としてそれぞれ観測される。上記した圧電素子１１を電極背面部１ａに接触させた場合と同様に、電極背面部１ａからのエコーと電極前面部１ｂからの１回目のエコーとの時間差により電極１の厚さは次の演算式（５）で求めることができる。  
（４２．６８−３６．７２）×１０００×Ｖｓ／２    ……  （５）
【００３６】
電極の材料としてカーボン用いた、カーボン中の音速（実測値；約2630(m/s)）を上記の演算式（５）に代入することにより、電極厚さ7.84(mm)を算出した。この計算値はノギスで計測した実測値7.80（mm）と比べ遜色ない数値であり、本実施例によって精度良く電極の厚さを測定することが確認できた。
【００３７】
なお、電極前面部からの２回目の超音波信号のＳＮ比が良ければ、電極背面部１ａと電極前面部１ｂから２回目のエコーまでの時間を求めてその１／２を伝播時間とすることでより、精度良く電極の厚さを測定することも可能となる。
【００３８】
（実施例４）
図９は本発明による形彫り放電加工装置の実施例４を概念的に示す説明図である。図９において、本実施例が図１で示した実施例１と異なる点は、電極駆動機構３に工作物１０までの距離を計測するための圧電素子１５を新たに取り付けると共に、この圧電素子１５の送受波を入力処理して放電加工装置から工作物までの距離を求める信号処理装置１６を新たに設けるようにした点にあり、その他は図１の実施例１と同じである。
【００３９】
図１０は本実施例による放電加工装置の電極１の位置関係を電極駆動機構３の最も後退した状態の位置１ｃから加工完了時の電極位置１ｅまでの位置関係を説明する図である。本実施例のように、工作物１０までの距離を計測するための圧電素子１５を取り付けた放電加工装置の場合には、実施例１の演算式（２）すなわち図３で説明した施工前の電極厚さ１４Ｃおよび放電開始時の電極位置１４Ｄの計測は不要となり、より簡便に加工深さ１４Ｅを算出できる。
【００４０】
すなわち、図３で説明した加工深さ１４Ｅを求める演算式とは異なり、本実施例の放電加工装置は次の演算式（６）で示すように、加工深さ１４Ｅを求める機能を付加したとなる。  
１４Ｅ＝１４Ａ＋１４Ｂ−１４Ｇ−１４Ｆ        ……  （６）
ただし、１４Ｅ；加工深さ、
１４Ａ；電極駆動機構の最大送り量、
１４Ｂ；施工後の電極厚さ、
１４Ｇ；圧電素子１５で計測した工作物までの距離、
１４Ｆ；圧電素子１５と電極背面部１１ａまでの距離、
【００４１】
さらに、工作物１０の表面に凹凸があった場合でも工作物１０に対し平行に動作する駆動系を設け（図９、１０には図示せず）、この駆動系を駆使するようにすれば適切な部位からの距離を求め、正確に加工深さを制御することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の実施例１に係わる形彫り放電加工装置の説明図。
【図２】圧電素子と電極背面部を接触させた場合の超音波波形例を示す図。
【図３】本発明の実施例１施工時の電極の位置および加工深さを求める演算式の説明図。
【図４】本発明の実施例２に係わる形彫り放電加工装置の説明図。
【図５】本発明の実施例３に係わる形彫り放電加工装置の説明図。
【図６】圧電素子と電極背面部が適切でない場合の超音波波形例を示す図。
【図７】圧電素子と電極背面部が適切に設定した場合の超音波波形例を示す図。
【図８】図７の一部を拡大して示す部分拡大図。
【図９】本発明の実施例４に係わる形彫り放電加工装置の説明図。
【図１０】本発明の実施例４施工時の電極の位置および加工深さを求める演算式の説明図。
【符号の説明】
【００４３】
１…電極、１ａ…電極の背面部、１ｂ…電極の前面部、１ｃ…電極駆動機構最後退時の電極位置、１ｄ…放電開始時の電極位置、１ｅ…加工完了時の電極位置、１ｆ…電極の消耗部分、２…非導電体、３…電極駆動機構、３ａ…固定部、３ｂ…ねじ棒、３ｃ…移動子、４…電極駆動用サーボモータ、５…サーボモータ動力・信号線、６…数値制御盤、７…放電加工電源、８…電極線、９…非導電溶液、１０…工作物、１１…距離測定用検出ヘッド（超音波センサーの圧電素子）、１２…電極厚さ測定手段の信号処理装置、１２ａ…信号線、１３…電極の背面部の凹部、１４Ａ…電極駆動機構による最大送り量、１４Ｂ…施工後の電極厚さ、１４Ｃ…施工前の電極厚さ、１４Ｄ…放電開始時での電極駆動機構の送り量、１４Ｅ…放電加工深さ、１４Ｆ…工作物までの距離計測用の超音波距離計の圧電素子から電極背面部までの距離、１４Ｇ…工作物までの距離計測用超音波距離計の圧電素子から工作物までの距離、１５…放電加工装置から工作物までの距離を計測する超音波距離計の圧電素子、１６…放電加工装置から工作物までの距離を計測する超音波距離計の信号処理装置、１６ａ…工作物までの距離計測用超音波距離計の信号線。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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