(57)【要約】【課題】超純水等の配管に使用される樹脂系配管を熱溶着によって接合した場合、接合部分の樹脂の分解、解離等が生じ、超純水へ溶出してしまうと云う現象が見出された。【解決手段】接合部分を接合部カバーによって覆うと共に、接合部カバー内部の酸素、水分の濃度を大気中の酸素、水分の濃度より低くした状態で、熱溶着を行なうことにより、接合した樹脂系配管からの溶出を低減できる。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂材同士を接合する装置において、接合部を覆った状態で接合することを特徴とする、接合装置。
【請求項２】
請求項１に記載の接合装置において、接合部を昇温する手段を有する、接合装置。
【請求項３】
請求項２に記載の接合装置において、接合部を昇温する手段がヒーター、レーザーのうち、少なくとも一つを具備することを特徴とする、接合装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載の接合装置において、接合部を覆った内部雰囲気の酸素濃度が体積１％以下であることを特徴とする、接合装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかに記載の接合装置において、接合部を覆った内部雰囲気の水分濃度が体積0.１％以下であることを特徴とする、接合装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかに記載の接合装置において、接合部を覆う容器には不活性ガスを供給する供給口と排気する排気口を有することを特徴とする、接合装置。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかに記載の接合装置において、接合部を覆った内部へは、不活性ガスが流通されていることを特徴とする、接合装置。
【請求項８】
請求項７に記載の接合装置において、不活性ガスは窒素、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノンの少なくとも一つを含むガスであることを特徴とする接合装置。
【請求項９】
請求項７に記載の接合装置に置いて、水素ガスが流通されていることを特徴とする、接合装置。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれかに記載の接合装置において、ガス中に含まれる酸素濃度が体積100ppm以下であることを特徴とする、接合装置。
【請求項１１】
請求項１乃至１０のいずれかに記載の接合装置において、ガス中に含まれる水分濃度が体積100ppm以下であることを特徴とする、接合装置。
【請求項１２】
請求項１乃至１１のいずれかに記載の接合装置において、接合部を覆う部材の酸素ガス透過率が体積１％以下であることを特徴とする、接合装置。
【請求項１３】
請求項１２記載の接合装置において、接合部を覆う部材の水分透過率が体積0.1%以下であることを特徴とする、接合装置。
【請求項１４】
請求項１乃至１３のいずれかに記載の接合装置において、接合部を覆った内部雰囲気の酸素濃度、水分濃度の少なくとも一つを測定できる計測機器を具備することを特徴とする、接合装置。
【請求項１５】
請求項１乃至１４のいずれかに記載の接合装置において、接合する樹脂部材がハイドロカーボンを含む樹脂部材、またはフロロカーボンを含む樹脂部材であることを特徴とする、接合装置。
【請求項１６】
請求項１乃至１５のいずれかに記載の接合装置において、接合部を覆った内部は、減圧にすることが出来ることを特徴とする接合装置。
【請求項１７】
請求項１乃至１６のいずれかに記載の接合装置において、接合部を覆った内部は、ガスの流入と、減圧とを繰り返すことが出来ることを特徴とする、接合装置。
【請求項１８】
樹脂材同士を接合する方法において、接合部を覆った状態で接合することを特徴とする、接合方法。
【請求項１９】
請求項１８に記載の接合方法において、接合部を昇温する手段を有する、接合方法。
【請求項２０】
請求項１９に記載の接合方法において、接合部を昇温する手段がヒーター、レーザーのうち、少なくとも一つ用いることを特徴とする、接合方法。
【請求項２１】
請求項１８乃至２０のいずれかに記載の接合方法において、接合部を覆った内部雰囲気の酸素濃度が体積１％以下であることを特徴とする、接合方法。
【請求項２２】
請求項１８乃至２１のいずれかに記載の接合方法において、接合部を覆った内部雰囲気の水分濃度が体積0.１％以下であることを特徴とする、接合方法。
【請求項２３】
請求項１８乃至２２のいずれかに記載の接合方法において、接合部を覆う容器にはガスを供給する供給口と排気する排気口を有することを特徴とする、接合方法。
【請求項２４】
請求項１８乃至２３のいずれかに記載の接合方法において、接合部を覆った内部へは、ガスが流通されていることを特徴とする、接合方法。
【請求項２５】
請求項２４に記載の接合方法において、不活性ガスは窒素、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノンの少なくとも一つを含む不活性ガスであることを特徴とする、接合方法。
【請求項２６】
請求項２４に記載の接合方法において、水素ガスを流通することを特徴とする、接合方法。
【請求項２７】
請求項１８乃至２６のいずれかに記載の接合方法において、不活性ガス中に含まれる酸素濃度が体積100ppm以下であることを特徴とする、接合方法。
【請求項２８】
請求項１８乃至２７のいずれかに記載の接合方法において、不活性ガス中に含まれる水分濃度が体積100ppm以下であることを特徴とする、接合方法。
【請求項２９】
請求項１８乃至２８のいずれかに記載の接合方法において、接合部を覆う部材の酸素ガス透過率が体積１％以下であることを特徴とする、接合方法。
【請求項３０】
請求項１８乃至２９のいずれかに記載の接合方法において、接合部を覆う部材の水分透過率が体積0.1%以下であることを特徴とする、接合方法。
【請求項３１】
請求項１８乃至３０のいずれかに記載の接合方法において、接合部を覆った内部雰囲気の酸素濃度、水分濃度の少なくとも一つを測定できる計測機器を具備することを特徴とする、接合方法。
【請求項３２】
請求項１８乃至３１のいずれかに記載の接合方法において、接合する樹脂部材がハイドロカーボンを含む樹脂部材、またはフロロカーボンを含む樹脂部材であることを特徴とする、接合方法。
【請求項３３】
請求項１８乃至３２のいずれかに記載の接合方法において、接合部を覆った内部は、減圧にすることが出来ることを特徴とする、接合方法。
【請求項３４】
請求項１８乃至３３のいずれかに記載の接合方法において、接合部を覆った内部は、ガスの流入と、減圧とを繰り返すことが出来ることを特徴とする、接合方法。
【請求項３５】
請求項１乃至１７のいずれかに記載の装置を用いた、接合する樹脂部材を接合機にセットする第一の工程と、接合部を覆った内部に不活性ガスを流通させ酸素濃度を１％以下、水分濃度を0.１％以下に下げる第二の工程と、接合部を加熱し溶融接合する第三の工程と、接合部が冷却される第四の工程からなる、接合方法。
【請求項３６】
請求項１乃至１７のいずれかに記載の装置を用い、請求項１８乃至３５のいずれかに記載の方法で製造されたことを特徴とする、接合樹脂部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、製造の際高清浄な環境や材料を要求する電子部品製造分野において、プラスチック部材などの接合装置に関する。さらに詳しくは、純水、超純水送水配管施工時に用いられる、熱をかけて部材を溶融し接合する熱溶着装置、溶着方法および溶着した樹脂部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体や液晶ディスプレイ製造分野において製品の微細化、高機能化、高性能化が進むにつれ、製造で使用されるユーティリティー関連についても極めて高清浄化されたものが要求されるようになってきている。例えば、超純水の水質などは極めて高清浄なものが要求されるようになってきており、水中に存在が許される不純物の総量はppb（１００万分の１）〜ppt（１兆分の１）のオーダーに突入している。特に、水中の金属不純物の許容量はpptのオーダーからppq（１０００兆分の１）のオーダーに移行しはじめた。これに対し、水中の有機物（TOC：全有機炭素）の許容量はまだppbのオーダーであり、他の不純物よりも許容値が高い。こういった状況の中、水中のTOC量を減らす試みとして、使用する部材の高純度化が進められている。汎用の塩ビ（PVC：ポリ塩化ビニル）配管よりも高清浄であり、超純水配管などで使用されるクリーン塩ビ（クリーンポリ塩化ビニル）やフッ素樹脂系のPVDF（ポリフッ化ビニリデン）などが良い例である。
【０００３】
配管の施工をする際、従来は接着剤などで接合していたが、接着剤からの有機物溶出が問題となり、熱溶着機が多く用いられるようになってきた。熱溶着機は接合する部分を溶着機で接合部材の融点付近まで加温し、部材を溶融して接合する方法である。
【０００４】
このように樹脂部材の接合の際に融点付近まで温度を上げて溶着する方法においては、大気中の酸素や水分と、配管を構成している樹脂が反応してしまい、溶融接合部分の樹脂材料の酸化劣化や分解・解離などが生じてしまっている。この接合部が超純水中へTOC成分が溶出してくる原因の一つとなっている。
【０００５】
特開平８−２８５１６６号公報（特許文献１）には、超純水をも輸送できる配管として使用できる管ヘッダーを提案しており、この管ヘッダーは熱可塑性樹脂管によって形成された主管と、当該主管に接続された分岐管とによって構成されている。分岐管は湾曲フランジ付き短管によって構成されており、湾曲フランジは熱可塑性樹脂管の外周面に沿って融着されている。
【０００６】
【特許文献１】特開平８−２８５１６６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
前述のように、大気開放状態での熱溶着方法では、溶着部分の劣化により水中にTOC成分として溶出してしまうことが避けられない状況であった。そのため、配管施工直後の超純水中のTOC量がなかなか下がらず、水質を保証するために何日も通水して溶出してくる有機物（TOC成分）が枯れるまで通水し続けるという問題が生じていた。
【０００８】
一方で、本発明の発明者らが鋭意研究を重ねた結果、熱融着をする際に起こる、配管を構成する樹脂の劣化が、大気中の酸素および水分に起因することを突き止めた。
【０００９】
溶着部からの低溶出化、接合強度の強化を行うためには、接合環境の酸素濃度を制御し、接合直前の接合部表面の吸着水分を十分に除去してから実施する必要があることが明らかになった。さらに、低酸素濃度環境および低水分濃度環境を実現するためには、ガスおよび水分の透過性の少ない部材で溶着装置を覆い外部環境と遮断し、そこにガスを流通し、かつ、流通する供給ガスに含まれる酸素、水分量を削減することはもちろんのこと、該ガスの流路となる装置内表面を水分吸着しにくい不活性な表面とする必要があることが明らかになった。
【００１０】
一方、特許文献１は、超純水輸送用配管を接合する場合に生じる問題点については何等指摘していない。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、上述の問題に鑑みてなされたものであり、上記の熱をかけて樹脂部材を溶融し接合した接合部が酸化劣化等で変質することなく、部材が持つ本来の特性を維持したまま接合が行える雰囲気制御された熱溶着装置と、これを用いた溶着方法および溶着部材を提供することを目的とする。
【００１２】
本発明により提供される接合装置は、接合樹脂部材同士に熱をかけて溶融し接合する接合装置において、接合部が覆われており、接合雰囲気の酸素濃度および水分濃度が装置外部雰囲気の酸素および水分濃度に比べて低いことを特徴とし、前記接合部における接合環境中の酸素濃度が体積1%以下、水分濃度が体積0.１%以下であることを特徴とする。より好ましくは接合環境中の酸素濃度が体積100ppm以下、水分濃度が体積１00ppm以下、さらに好ましくは、酸素濃度が体積1ppm以下、水分濃度が体積１ppm以下であることが好ましい。
【００１３】
本発明により提供される接合装置の接合部の加熱方法は特に手段を選ばないが、ヒーター、レーザーのうちいずれか一つであることが好ましい。
【００１４】
本発明の接合装置は少なくとも接合部には低露点ガスが流通されていることを特徴とし、該接合装置には装置外部より前記低露点ガスを供給する供給と排気口を有し、該供給口における前記低露点ガスの酸素含有量は100体積ppm以下、水分含有量は100体積ppm以下であることが好ましい。
【００１５】
低露点ガスを供給する配管も手段を選ばないが、接合部に酸素含有量100体積ppm以下、水分含有量100体積ppm以下のガスを供給するために、電解研磨ステンレス表面、電解複合研磨ステンレス表面、酸化クロムを主成分とする電解研磨もしくは電解複合研磨表面、酸化アルミニウムを主成分とする電解研磨もしくは電解複合研磨表面の少なくとも一つであることが好ましい。
【００１６】
本発明の接合装置において、前記低露点ガスは、窒素、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン、水素の少なくともいずれか一つを含むことを特徴とする。前期ガスは、窒素、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン、水素などが例示されるが、これらを混合して用いても良い。接合部の酸化を抑制する観点から、体積0.1％以上の水素を混合することがより好ましい。
【００１７】
本発明の接合装置の接合部を覆う材質は、酸素濃度を体積1%以下に、水分濃度を体積0.１%以下の環境を保持できれば特に限定するものではない。電解研磨ステンレス表面、電解複合研磨ステンレス表面、酸化クロムを主成分とする電解研磨もしくは電解複合研磨表面、酸化アルミニウムを主成分とする電解研磨もしくは電解複合研磨表面の少なくとも一つであることが好ましい。
【００１８】
さらに本発明の接合装置は、前記接合部から酸素濃度を体積1%以下に、水分濃度を体積0.１%以下に減少させる機構を有することを特徴とする。接合部の酸素濃度、水分濃度を体積１％以下に減少させる手段としては、低酸素濃度、低露点ガスを流通する方法が挙げられる。また、接合部へのガス流通、減圧を繰り返すことで、より早く酸素濃度を体積1%以下、水分濃度を体積0.1%以下にすることができ、より好ましい。接合中は前記ガスを流通させたまま実施しても良いし、流通を止めた状態で実施しても良い。
【００１９】
本発明の接合装置は、装置内部の酸素濃度、水分濃度を計測する計器が具備されていることを特徴とする。酸素濃度を計測する手段としては、酸素濃度計、ガスクロマトグラフのいずれか一つを用いることが好ましい。水分濃度を計測する手段としては、露点計、赤外分光計、大気圧イオン化質量分析機（API-MS）のいずれか一つを用いることが好ましい。
【００２０】
本発明の樹脂部材の接合方法は、樹脂部材に熱をかけて溶融し接合する方法であって、該接合樹脂部材は特に限定しないが、ハイドロカーボン系部材、例えば塩化ビニル（PVC）、シクロオレフィンポリマー（COP）、ポリプロピレン（PP）、ポリエチレン（PE）、ポリエーテルエーテルケトン（PEEK)の樹脂のうち、少なくとも一つを含むことが好ましい。また、フロロカーボン系部材、例えばポリフッ化ビニリデン（PVDF）、テトラフルオロエチレン（PTFE）、パーフロロアルコキシビニルエーテル（PFA）、四フッ化エチレン・六フッ化プロピレン共重合体（FEP）、四フッ化エチレン・エチレン共重合体（ETFE）、ビニルフルオライド（PVF）、の樹脂のうち、少なくとも一つを含むことが好ましい。
【００２１】
樹脂部材の接合は、本発明で提供する装置を用い、接合部において接合を実施する環境中の酸素濃度を体積1%以下、水分濃度を体積0.1%以下に減少させた後に熱を加え、樹脂を溶融して接合を実施することが好ましい。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の接合装置は、接合部雰囲気の酸素濃度、水分濃度が装置外部雰囲気と比較して低く制御でき、接合樹脂部材を劣化することなく熱溶着を実施することが可能となる。これにより、接合した樹脂部材からの溶出が低減可能となり、さらには超純水供給配管の施工に本装置、本方法を適用した樹脂部材を用いることで、従来よりも格段に短い時間で超純水のTOC水質を立ち上げることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下に本発明の実施例を説明する。なお、当然のことであるが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
【００２４】
また、以下の実施例および比較例における分析条件は下記の通りである。
【００２５】
（分析条件１）フーリエ変換赤外分光分析（以下、「FT-IR分析」と略す。）
装置：バイオラット社製、FTS-50A
（分析条件２）大気圧イオン化質量分析（以下「API-MS分析」と略す。）
装置：ルネサステクノロジー社製、UG-400
（分析条件３）全有機炭素分析（以下「TOC分析」と略す。）
装置：O・Iコーポレーション社製、O・I−1010（湿式酸化法）
【実施例１】
【００２６】
実施例１における評価装置について図１を用いて説明する。図１は樹脂の熱分解特性を評価できる装置の概略図であり、接合配管７と接合配管８とを接合部５で接合しようとするものである。本評価装置は、接合部５を加熱するヒーター４および接合部５を含め接合部を気密に覆う接合部カバー３、ヒーター電源６を備える。接合部雰囲気の酸素濃度低減化および水分濃度の低減化を行う機構（１〜１０）と接合部雰囲気の酸素濃度および水分濃度を調整する機構（１１〜１４）、接合部雰囲気の酸素濃度および水分濃度を計測する機構（１５〜１８）を具備している。
【００２７】
本実施例では雰囲気制御するための不活性ガスには高純度Arを用い、1L/minで流通させた。不活性ガスを供給するガス供給配管２は、内面を電解複合研磨した後、酸化クロム処理を実施したものを用いた。
【００２８】
接合部５を覆い、接合部５を低酸素雰囲気、低水分濃度雰囲気に制御するためのカバー３は、炭素、水素からなるハイドロカーボン系樹脂であるシクロオレフィンポリマー（COP）（日本ゼオン株式会社製のゼオノア1060）で作成した容器を用いた。
【００２９】
接合部５に流通されたガスの排気路の途中に、API-MS１８を設置し水分濃度（ppmオーダー）、酸素濃度を管理した。またFT-IR１７を設置し、水分濃度（%オーダー）、接合樹脂部材の熱分解特性を調査した。
【００３０】
本実施例で行った接合する配管７、８は、前記のCOPであるゼオノア1060を主成分とする1mの長さのもので実施した。配管７、８の接合部５の反対側には、外部からの逆拡散を防止するために、オリフィスを接続した配管密閉用カバー９、１０を取り付けた。
【００３１】
接合部カバー３内の雰囲気はArとしたが、接合部カバー３内部の酸素濃度を体積1%に制御した系で熱溶着を実施した場合には、COPの熱分解温度は220〜230℃であった。
【００３２】
結果を図２に示す。
【実施例２】
【００３３】
実施例１の評価機で、接合部カバー３内部の酸素濃度を100体積ppmに制御した系で熱溶着を実施した場合には、COPの熱分解温度は260〜270℃であった。結果を図２に示す。
【実施例３】
【００３４】
実施例１の評価機で、接合部カバー３内部の酸素濃度を1体積ppmに制御した系で熱溶着を実施した場合には、COPの熱分解温度は300〜310℃であった。結果を図２に示す。
【実施例４】
【００３５】
実施例１の評価機で、あらかじめ接合部カバー３内部に不活性ガスを流通し酸素フリー（<1体積ppb）に制御した系で熱溶着を実施した場合には、COPの熱分解温度は300〜310℃であった。結果を図３に示す。
【実施例５】
【００３６】
実施例１の評価機で、あらかじめ接合部カバー３内部に不活性ガスを流通し酸素フリー（<1体積ppb）に制御した系で、接合部カバー３内部の水分濃度を体積0.1％に制御して熱溶着を実施した場合には、COPの熱分解温度は200〜210℃であった。結果を図３に示す。
【実施例６】
【００３７】
実施例１の評価機で、あらかじめ接合部カバー３内部に不活性ガスを流通し酸素フリー（<1体積ppb）に制御した系で、接合部カバー３内部の水分濃度を１体積ppmに制御して熱溶着を実施した場合には、COPの熱分解温度は300〜310℃であった。結果を図３に示す。
【００３８】
［比較例１］
実施例１の評価機で、接合部５を大気開放にした状態で熱溶着を実施した場合には、COPの熱分解温度は150〜160℃であった。結果を図２に示す。
【００３９】
［比較例２］
実施例１の評価機で、あらかじめ接合部カバー３内部に不活性ガスを流通し酸素フリー（<1体積ppb）にし、接合部カバー３内部の水分濃度を体積1.5％に制御した系で接合を実施した場合には、COPの熱分解温度は120〜130℃であった。結果を図３に示す。
【００４０】
本比較例では水分濃度だけが樹脂分解特性に与える影響を確認するために、接合部カバー３内部の酸素濃度を<1体積ppbに制御した上で、接合部カバー３内部の水分濃度を体積1.5%で評価を行った。この水分濃度体積1.5％は大気開放と同等の水分濃度である。
【００４１】
図２、図３より接合部カバー３内部の酸素濃度、水分濃度により熱分解温度がシフトしていることが確認できる。すなわち、接合部カバー３内部の酸素濃度、水分濃度を制御することにより接合樹脂配管７、８の熱分解を抑制できることを示している。接合部カバー３内部の酸素濃度が体積１％を越えると低温領域においてCOP樹脂部材が著しく劣化していることがわかる。低温領域において熱分解するということは、樹脂部材の劣化が溶融接合中（熱溶着中）に起きてしまうということであり、熱分解された樹脂部材は有機物を放出しやすくなる。したがって、接合部カバー３内部の酸素濃度は体積1%以下であることが好ましく、100体積ppm以下であることがより好ましい。1体積ppm以下であればさらに好ましい。
【００４２】
また、水分濃度が体積0.1％を越えると低温領域において著しく劣化していることがわかる。酸素濃度と同様に水分濃度も制御する必要がある。したがって接合部カバー３内部の水分濃度は体積0.1%以下であることが好ましく、1体積ppm以下であればさらに好ましい。
【実施例７】
【００４３】
図４に示した接合装置を用いて熱溶着したクリーン塩ビ配管の溶出量評価を実施した。図１と同じ構成部分には同じ番号を添付した（１〜１０）。装置化するにあたり新たに加えたものを１９〜２６として示した。
【００４４】
接合配管７、８には積水化学株式会社製エスロンスーパークリーンパイプ（クリーン塩化ビニル母材）（Φ1インチ、2m）を用いた。接合部カバー３内部雰囲気の酸素濃度、水分濃度をともに1体積ppmに制御した雰囲気で熱溶着を10箇所実施した。
【００４５】
図５に示すように、熱溶着した配管に超純水を封入密閉し、3日間放置後内部の水を取り出しTOC分析を実施した。評価で使用した水は、東北大学未来情報産業研究館で製造されているTOC濃度＜0.5μg/Lの超純水を使用した。
【００４６】
O・Iコーポレーション社製、O・I−1010（湿式酸化法）により分析した結果、TOC濃度は0.7μg/Lであった。
【００４７】
分析結果を表１に示す。
【００４８】
【表１】
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【００４９】
［比較例３］
接合部カバー３を開け、大気開放条件（酸素濃度体積20%、水分濃度体積1.5％）で実施した以外は実施例６と同様に熱溶着を行った。実施例７で示した分析装置を用い同様の分析を行った結果、TOC濃度は6.9μg/Lであった。分析結果を表に示す。
【００５０】
表からも確認できるとおり、本実施例において接合部カバー３を開け、大気開放雰囲気で熱溶着した樹脂配管からの溶出量は6.9μg/L、接合部カバー３内部雰囲気の酸素濃度、水分濃度をともに1体積ppmに制御して熱溶着した樹脂配管からの溶出量は0.7μg/Lと約10倍もの差があることが確認された。すなわち、本発明に係る樹脂の接合装置，接合方法により熱溶着した樹脂部材からは、TOC成分の溶出の少ない新しい樹脂接合部材を供給可能となることが実証された。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
本発明の接合装置および接合方法は、半導体や液晶ディスプレイ工場など超高清浄な水やガス、薬液等を要求する電子産業分野において、超純水供給配管やその他の液体または気体用樹脂製配管、あるいは液体または気体に接する樹脂製部材を施工する際の接合機または接合方法として用いられる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】接合装置および該接合装置による接合を評価する評価装置を示す概略図である。
【図２】図1に示された評価装置を用いて接合を評価した結果を示し、ここでは、接合部カバー内の酸素濃度の変化によるＣＯＰの熱分解温度の変化を示すグラフである。
【図３】図1に示された評価装置を用いて接合を評価した結果を示し、ここでは、接合部カバー内の水分濃度の変化によるＣＯＰの熱分解温度の変化を示すグラフである。
【図４】接合装置および該接合装置により熱溶着された配管における溶出量を測定する評価装置を示す概略図である。
【図５】溶出量評価状態を示す図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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