(57)【要約】【課題】  基板のような対象物の被処理面を上側に向けた状態で、液材を液相状態で成膜することができる成膜装置を提供すること。【解決手段】液体Ｍを液相状態で対象物２０の被処理面２５に成膜するための成膜装置１０であり、対象物２０の被処理面２５を上側に向けた状態で対象物２０を支持する支持部１１と、液体Ｍを収容しており、圧力を与えることにより液体Ｍを吐き出するためのノズル開口５３を有する本体１３と、対象物２０の被処理面２５に対面する状態で、本体１３を対象物２０の被処理面２５に沿って直線移動させてノズル開口５３から吐き出される液体Ｍを対象物２０の被処理面２５に成膜するための移動案内部１５とを備える。  【選択図】  図１
2005052796.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を液相状態で対象物の被処理面に成膜するための成膜装置であり、
前記対象物の前記被処理面に前記液体を成膜するために前記対象物を支持する支持部と、
液体を収容しており、圧力を与えることにより前記液体を吐き出するためのノズル開口を有する本体と、
前記対象物の前記被処理面に対面する状態で、前記本体を前記対象物の前記被処理面に対して相対的に直線移動させるように案内して前記ノズル開口から吐き出される前記液体を前記対象物の前記被処理面に成膜するための移動案内部と、を備えることを特徴とする成膜装置。
【請求項２】
前記本体は、
前記液体を収容して弾性変形可能な液体収容部と、
前記ノズル開口と、前記液体収容部から前記ノズル開口に前記液体を導く液体経路を有しており、前記液体収容部内の前記液体が前記液体経路を通じて案内されて前記ノズル開口から吐き出される液体案内部と、を有することを特徴とする請求項１に記載の成膜装置。
【請求項３】
前記液体案内部の前記対象物の前記被処理面に面する部分には、前記ノズル開口が配置され、撥液処理が施されていることを特徴とする請求項２に記載の成膜装置。
【請求項４】
前記移動案内部は、
前記本体に設けられた案内用の部分と、
前記支持部に設けられ、前記案内用の部分を前記対象物の前記被処理面に沿って直線的に案内する案内レール部と、を有することを特徴とする請求項３に記載の成膜装置。
【請求項５】
前記対象物には、撥液部と親液部を有するパターンが形成されており、前記液体は、前記親液部に配置されることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の成膜装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を液相状態で対象物の被処理面に成膜するための成膜装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
たとえば表示装置の一例として、液晶表示装置を例に挙げると、液晶表示装置の基板には透明導電膜の電極を形成する場合がある。このように基板の表面に電極を形成する場合には、この種の装置では、毛細管現象を利用して塗工液を基板上に薄く形成する構造のものが提案されている（たとえば特許文献１。）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００３―１１７１号公報（第２頁ないし第４頁、図１、図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来提案されているこの塗工装置は、基板を保持するテーブルを有しているが、このテーブルは、基板の被処理面を下向きにして保持している。したがって、ノズルは、下向きに配置された基板の被処理面に対して液体を接するようにして被処理面に液体を塗るようにしている。
このことから、液晶表示装置を製造する工程において、基材の被処理面が上向き方式で搬送されてきた後に、基板の上下面の位置を反転して液体を塗る工程では被処理面を下向きに保持しなければならない。すなわち、基材の被処理面が上向き状態から下向き状態になるような反転機構装置が必要となってしまう。その後、再び被処理面が下向きになっている基板は、被処理面が上向きになるように反転させて、次の処理工程に移ることになる。
【０００５】
このように、基板の被処理面は、液晶表示装置の製造工程において、反転機構装置を用いて搬送工程間において上向き状態から下向き状態にし、そして下向き状態から上向き状態に変更する工程が必要となってしまう。
また、このような従来の塗工装置は、基板の被処理面の全面にわたって液体を塗布して形成するベタ膜を成膜する用途に用いられている。
そこで本発明は上記課題を解消し、基板のような対象物の被処理面を上側に向けた状態で、液材を液相状態で成膜することができる成膜装置を提供することを目的としている
【課題を解決するための手段】
【０００６】
第１の発明は、液体を液相状態で対象物の被処理面に成膜するための成膜装置であり、前記対象物の前記被処理面に前記液体を成膜するために前記対象物を支持する支持部と、液体を収容しており、圧力を与えることにより前記液体を吐き出するためのノズル開口を有する本体と、前記対象物の前記被処理面に対面する状態で、前記本体を前記対象物の前記被処理面に対して相対的に直線移動させるように案内して前記ノズル開口から吐き出される前記液体を前記対象物の前記被処理面に成膜するための移動案内部と、を備えることを特徴とする成膜装置である。
【０００７】
上記構成によれば、支持部は対象物を支持する。
本体は、液体を収容している。この本体は、圧力を加えることにより液体を吐き出すためのノズル開口を有している。
移動案内部は、対象物の被処理面に対面した状態で、本体を被処理面に沿って直線移動させてノズル開口から吐き出される液体を被処理面に成膜させるものである。
【０００８】
これにより、本体は移動案内部により対象物の被処理面に沿って相対的に直線移動する際に、圧力を与えることにより、本体のノズル開口からは被処理面に対して液体を液相状態で成膜していくことができる。
したがって、対象物の被処理面は、液体を液相状態で簡単かつ確実な構造でありながら成膜することができる。
【０００９】
第２の発明は、第１の発明の構成において、前記本体は、前記液体を収容して弾性変形可能な液体収容部と、前記ノズル開口と、前記液体収容部から前記ノズル開口に前記液体を導く液体経路を有しており、前記液体収容部内の前記液体が前記液体経路を通じて前記ノズル開口から吐き出される液体案内部と、を有することを特徴とする。
【００１０】
上記構成によれば、本体の液体収容部は、液体を収容して弾性変形可能である。
液体案内部は、ノズル開口と液体経路を有している。この液体経路は、液体収容部から液体をノズル開口に導くための経路である。液体案内部では、液体収容部内の液体が液体経路を通じて案内されてノズル開口から吐き出されるようになっている。
これにより、液体収容部に対してたとえば手動により圧力を与えて弾性変形させることにより、液体収容部内の液体は、液体案内部の液体経路を通じてノズル開口側に確実に導くことができる。これによって、液体はノズル開口から吐き出されて液相状態で対象物の被処理面に成膜できる。
【００１１】
第３の発明は、第２の発明の構成において、前記液体案内部の前記対象物の前記被処理面に面する部分には、前記ノズル開口が配置され、撥液処理が施されていることを特徴とする。
上記構成によれば、液体案内部の対象物の被処理面に面する部分には、撥液処理が施されている。
これにより、ノズル開口から吐き出される液体が、液体案内部の対象物の被処理面に面する部分に配置されたノズル開口およびその周辺部分には液体が付着しないようにすることができる。これによって、ノズル開口およびその付近には液体やほこりのような不純物が付着するのを防げる。
【００１２】
第４の発明は、第３の発明の構成において、前記移動案内部は、前記本体に設けられた案内用の部分と、前記支持部に設けられ、前記案内用の部分を前記対象物の前記被処理面に沿って直線的に案内する案内レール部と、を有することを特徴とする。
上記構成によれば、移動案内部の案内用の部分は、本体に設けられている。案内レール部は、案内用の部分を対象物に沿って直線的に案内するものである。
これによって、本体は案内レール部に沿って直線的に確実に案内することができ、被処理面の全面に対して液体の塗布が均一に行いやすい。
【００１３】
第５の発明は、第１の発明ないし第４の発明のいずれかの構成において、前記対象物には、撥液部と親液部を有するパターンが形成されており、前記液体は、前記親液部に配置されることを特徴とする。
上記構成によれば、対象物の被処理面には、撥液部と親液部を有するパターン部が形成されている。液体は、親液部に対して液相状態で配置されることになる。
これにより、液体が親液部のみに配置されるので、液体をパターン部全体に成膜するのに比べて、液体の使用量を減らすことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の好適な実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本発明の成膜装置の好ましい実施形態を示している。図１に示す成膜装置１０は、支持部１１、本体１３および移動案内部１５を有している。
支持部１１は、図１の例では平板状の部材である。支持部１１の上面は搭載面１７であり、この搭載面１７の上には、対象物の一例である基板２０が着脱可能に搭載することができる。基板２０が搭載面１７に搭載された状態では、基板２０の裏面２１が搭載面１７により着脱可能に直接載せられる。基板２０の表面は被処理面２５である。この被処理面２５は、一例として好ましくはＺ２方向である上側に向いている。
【００１５】
基板２０は、たとえば透明のガラス基板である。図２は、基板２０の裏面２１が支持部１１の搭載面１７の上に搭載されている様子を示している。
基板２０の被処理面２５の上には、図１に示すように撥液部３０と親液部３１を有する形成パターン３３が形成されている。
図示例では、親液部３１は、たとえば正方形状の部分であり、撥液部３０と親液部３１から成る形成パターン３３は、基板２０の被処理面２５の全面にわたって形成されている。
【００１６】
このようなパターン３３は基板２０の被処理面２５に形成される場合には、たとえば大気圧プラズマ処理装置を用いることができる。この大気圧プラズマ装置は、大気圧または大気圧近傍の圧力下でプラズマ放電領域を形成して、キャリアガスおよび反応ガスを供給することにより、たとえば撥水性を有するフッ素樹脂重合膜を形成する。このフッ素樹脂重合膜は、後で説明する液体Ｍに対して撥液性を有している。
【００１７】
親液部３１は、基板２０の被処理面２５の露出した部分であるが、この親液部３１は、被処理面２５の露出した部分２５Ａであってもよいし、あるいは別にこの露出した部分２５Ａに親液処理を行ってもよい。この親液部３１は、液体Ｍに対して親液性を有する。
この基板２０は、たとえば液晶表示装置の基板として用いることができる。
【００１８】
次に、図１に示す本体１３について説明する。
本体１３は、図２と図３および図４に示している。
図２では、本体１３は図１のＡ−Ａ線における断面構造例を示している。図３では、本体１３は図１のＸ１方向から見た形状例を示している。図４は、やはり図１におけるＸ１方向から見た外観の形状例を示している。
図１ないし図３に示す本体１３は、液体収容部４０と液体案内部４１を有している。
【００１９】
液体収容部４０は、図２に示すように液体Ｍを収容するためのコンテナである。この液体収容部４０は、たとえばプラスチックにより作られており、ジャバラ部分４４および押圧用の部分４５を有している。押圧用の部分４５は、たとえば使用者が指で移動操作することによりＰ方向に押し下げることで、ジャバラ部分４４が弾性変形することから、液体収容部４０内の液体Ｍは、液体案内部４１側に供給することができる。
液体収容部４０は、プラスチックやゴムあるいは金属などの弾性変形可能な材料により作られている。
【００２０】
液体案内部４１は、液体収容部４０を支えるための基部の役割も果たしているが、この液体案内部４１は液体収容部４０の液体Ｍを、基板２０の被処理面２５側に案内して吐き出して供給するためのものである。
液体案内部４１は、部材４６とケース４７を有している。部材４６はブロック状の部材であり、ケース４７の中に収容されている。
ケース４７の底面部４８は撥液処理が施されており、この撥液処理により撥液膜４９が形成されている。この底面部４８は、基板２０の被処理面２５に対して平行に対面する位置である。
【００２１】
図２に示す部材４６は、液体経路５０を有している。この液体経路５０の上端開口５１は液体収容部４０の内部空間Ｓに接続されている。液体経路５０の下部開口は、ノズル開口５３である。この液体経路５０は、図２の紙面垂直方向に沿って部材４６の中央部においてＺ方向、すなわち上下方向に沿って形成されている。
【００２２】
ノズル開口５３は、底面部４８において、図２の紙面垂直方向に沿って形成されている。ノズル開口５３の例は、図５に示している。図５では、底面部４８を示しており、この底面部４８の外周部分には撥液膜４９が形成されている。撥液膜４９は、上述した基板２０のパターン３３の撥液部３０と同様の材質のものを使うことができる。
しかも、底面部４８のノズル開口５３の周囲であって撥液膜４９の領域の内側には、親液部５３Ｒが形成されている。この親液部５３Ｒが形成されていることにより、図２の液体Ｍが基板２０の親液部３１に付着して保持しやすくなる。このため、もし底面部４８を上向きにして、下向きに保持されている基板の被処理面に対して液体Ｍを成膜する際に成膜しやすくなる。
【００２３】
図５に示す複数のノズル開口５３は、底面部４８に設けられている。複数のノズル開口５３は、図５のＹ方向、すなわち図２の紙面垂直方向に間隔をおいて直列に形成されている。各ノズル開口５３は図５の例では円形状である。
図６は、他のノズル開口の例を示している。図６のノズル開口５３は、それぞれ円形状であるが、２列平行に形成されている。図７のノズル開口５３の例では、Ｙ方向に沿って長溝状の開口になっている。図６と図７の例においても底面部４８のノズル開口５３の周囲であって撥液膜４９の領域の内側には、親液部５３Ｒが形成されている。
図２に示す本体１３の中に収容されている液体Ｍは、透明導電膜であるＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）の原料として、たとえばジブチルスズジアセテート（ＤＢＴＤＡ）およびインジウムアセチルアセトナート（ＩｎＡＡ）の混合材料を使用することができる。
【００２４】
次に、図１に示す移動案内部１５の構造について説明する。
移動案内部１５は、本体１３をＸ１方向とＸ２方向に直線移動させて、図２に示すようにノズル開口５３から吐き出される液体Ｍを、被処理面２５に対して成膜するためのものである。
移動案内部１５は、案内用の部分６０，６１と、案内レール部７０，７１を有している。
案内用の部分６０は、本体１３の液体案内部４１の側面７３に対してＹ１方向に突出して設けられている。もう１つの案内用の部分６１は、本体１３のもう１つの側面７４においてＹ２方向に突出して設けられている。
【００２５】
案内レール部７０は、支持部１１の搭載面１７に対してサポート７７を用いて間隔をおいて、しかも搭載面１７に対して平行に設けられている。同様にして案内レール部７１は、支持部１１の搭載面１７に対してサポート７８を用いて搭載面１７に平行に設けられている。
これらの案内レール部７０，７１は平行であり、間隔をおいて配置されている。
本体１３は、案内レール部７０，７１の間において、Ｘ１方向およびＸ２方向に沿って直線移動可能である。
【００２６】
図４では、この案内用の部分６０，６１と、案内レール部７０，７１の機械的なかみ合い状態の例を示している。
図４に示すように、案内用の部分６０は、案内レール部７０の凹部８１にはまっている。同様にして案内用の部分６１は、案内レール部７１の凹部８２にはまっている。
【００２７】
案内レール部７０の凹部８１は、図１のＸ１方向に沿ってほぼ全長にわたって形成されている。同様にして凹部８２は、案内レール部７１のＸ１方向に沿ってほぼ全長にわたって形成されている。
このことから、本体１３は、案内用の部分６０，６１を用いて、案内レール部７０，７１に対して手動により図１に示すＸ１方向もしくはＸ２方向に直線移動させることができる。これにより、図２に示す底面部４８と被処理面２５のギャップは一定にできる。
上述したＸ１方向、Ｘ２方向は、Ｘ方向を構成していて、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向は互いに直交する方向である。Ｘ方向とＹ方向が、搭載面１７を形成し、Ｚ方向は上下方向である。
【００２８】
次に、図８を参照して、図１に示す成膜装置１０を用いて成膜する方法について説明する。
図８のステップＳＴ１では、たとえば基板２０の被処理面２５側に、図１に示すような形成パターン３３が形成される。この形成パターン３３は、たとえば大気圧プラズマ処理装置を用いて形成される。
次に、必要に応じて、図８に示すステップＳＴ２のように、親液部３１の被処理面に直接親液膜を形成する。
しかし、この親液処理が不要である場合には、親液部３１には親液膜を形成せずに、親液部３１には被処理面２５が露出したままの状態である。
【００２９】
次に、図８のステップＳＴ３では、成膜処理を行う。
使用者が、図８（Ｃ）に示すように、使用者が本体１３を手で持って本体１３をＸ方向に沿って最初の位置ＰＳから最後の位置ＰＦまで移動させる。この本体１３の移動に伴い、使用者は図１の液体収容部４０をＰ方向に押すことにより、図２に示す液体収容部４０内の液体Ｍは、液体経路５０を通じてノズル開口５３から被処理面２５に吐き出される。吐き出された液体Ｍは、本体１３がＸ１方向に移動するとともに、被処理面２５の全面にわたって塗布される。
【００３０】
しかし、図９（Ａ）に示すように、液体Ｍは形成パターンの撥液部３０により撥液されることにより、液体Ｍは親液部３１のみに確実にかつ選択的に成膜されることになる。このように、図９（Ａ）に成膜された状態では、凹形状の親液部３１の中でやや撥液部３０の表面よりは盛り上がった形状になっている。
図２に示すような要領で液体Ｍが被処理面２５にノズル開口５３を通じて吐き出されて塗布されるのであるが、塗布された液体Ｍは撥液部３０の上で撥液されて、親液部３１のみに成膜されることになる。このことから、液体Ｍの使用量は親液部３１を満たす量で済む。つまり、液体Ｍにより被処理面２５を全面的に成膜するのに比べて、液体Ｍは親液部３１の中のみに成膜すればよいので、液体Ｍの使用量を大幅に減らすことができる。
次に図８の乾燥および焼成処理ステップＳＴ４では、図９（Ｂ）に示すようにたとえば加熱炉の中で乾燥して焼成されることにより、液体Ｍは固化して平坦化される。
【００３１】
図１０は、このように液体Ｍが成膜された場合の応用例について示している。
図１０は、液晶表示装置の１画素分の構造例を示している。液晶表示装置１３５は、第１部材３００と第２部材３３４を有している。第１部材３００の内側には、表示電極１５２が形成されている。同様にして第２部材３３４の内側には共通電極１４８が形成されている。共通電極１４８は保護膜１４６とカラーフィルタ１４４の上に形成されている。
【００３２】
表示電極１５２と共通電極１４８の間には、液晶層１５０が注入されている構造である。
表示電極１５２と共通電極１４８は、液体Ｍを焼成して得られるＩＴＯの一例である。
このように本発明の成膜装置１０を用いると、図１０に示すような液晶表示装置１３５の第１部材３００の表示電極１５２や第２部材３３４の共通電極１４８を形成することができる。
【００３３】
図１１は、本発明の成膜装置の別の実施形態を示している。
図１１に示す成膜装置１０は、所謂手動により本体１３をＸ１あるいはＸ２方向に直線移動可能になっている。
これに対して、図１１に示す成膜装置１０では、本体１３は、モータ５００，５０１を用いて自動的にＸ１もしくはＸ２方向に直線移動できる構造である。
図１１に示す成膜装置１０の支持部１１、本体１３および移動案内部１５の構造は、図１に示す成膜装置１０の対応する部分と対応する構成要素と同じである。
【００３４】
図１１の成膜装置１０では、上述したモータ５００，５０１と、送りネジ５２１，５２２およびナット５３１，５３２がさらに追加されている。
ナット５３１は案内用の部分６０に固定されている。ナット５３２は、案内用の部分６１に固定されている。
送りネジ５２１は、ナット５３１にかみ合っている。送りネジ５２２はナット５３２にかみ合っている。
【００３５】
モータ５００，５０１が同期して動作することにより、送りネジ５２１，５２２は正回転と逆回転が可能である。送りネジ５２１，５２２が正回転することにより、ナット５３１，５３２とともに本体１３がＸ１方向に自動的に直線移動できる。送りネジ５２１，５２２が逆回転することにより、本体１３はＸ２方向に自動的に直線移動できる。
このように、モータ５００，５０１は、制御部１００により制御されることにより、本体１３がＸ１方向とＸ２方向に自動的に直線移動可能である。
【００３６】
本発明の実施形態では、成膜装置１０の本体１３が、撥液部３０と親液部３１から成る任意の形状のパターン３３に対して液体を供給して塗布することができる。この場合に、液体Ｍは撥液部３０では撥液されて親液部３１のみに選択的に液相状態で成膜することができる。このような塗布ユニットなどとも呼んでいる成膜装置１０は、本体１３から吐き出された液体と基板２０の親液部３１との付着力だけで液体Ｍを成膜するのである。
【００３７】
本発明の成膜装置１０を用いると、基板の被処理面２５のパターン３３に対して親液部３１の部分のみに選択的に成膜することができる。このために、パターン３３に対して全面的に成膜する装置に比べて、製造工程を大幅に削減することができる。成膜装置１０は簡単な構造でありながら、使用する液体Ｍの使用量をできる限り削減しながら、実際の製造工程においても、あるいは実験工程においても使用することができる。
図２に示すように、本体１３の底面部４８には撥液膜４９が形成されていることにより、底面部４８およびノズル開口５３の付近には、液体Ｍが付着するのを確実に防ぐことができる。このことから、ノズル開口５３を含む底面部４８に対する液体Ｍおよびその他のほこりなどの不純物の付着を防止することができる。
【００３８】
上述した本発明の実施形態では、対象物である基板２０の被処理面２５が上側に向くように搭載面１７に搭載されている。しかし、これに限らず、基板２０の被処理面２５が縦方向や斜め方向、あるいは下向き方向に向いた状態で搭載面に保持して、被処理面２５に液体Ｍが塗布して成膜されるようにしてもよい。いずれにしても、被処理面２５の向きに限定されない。
本発明の実施形態において、液体収容部４０はたとえば図２に示すようにＰ方向に沿って手動により押圧することで、液体収容部４０内の液体Ｍを吐き出させるようにしている。
これに限らず、図２の押圧用の部分４５に対してアクチュエータを取り付けることにより、自動的に液体収容部４０内の液体Ｍを液体案内部４１側に送って吐き出させるような構造を採用してもよい。
図２において示すように、底面部４８と被処理面２５のパターン３３の間のギャップＤは、被処理面２５の表面状態や、液体Ｍの液滴量によって異なるが、液体Ｍが親液部３１に付着力だけで成膜できるようにするために、たとえば５０μｍないし５ｍｍ、特に好ましくは１００μｍないし２ｍｍであるのがよい。
図５〜図７の底面部４８には、親液部５３Ｒとその外周部分の撥液膜４９が形成されている。
しかし、これに限らず、撥液膜４９が底面部４８の全面に形成されていてもよい。また、撥液膜が全く形成されていないようにして親液部のみが形成されていてもよい。
撥液膜が全く形成されていなければ、使用者が最後に図１の液体収容部４０から手を離してジャバラ部分４４を伸ばした状態にした時に、ノズル開口５３から出ている余分な液体Ｍをノズル開口５３を通じて液体収容部４０側へ吸引させることができるメリットがある。
【００３９】
本発明の実施形態では、ノズル開口５３から吐き出される液体Ｍの形状を維持しながらたとえば図２に示すような形状にしながら本体１３をＸ１方向に移動する。この時に、密閉形状の液体収容部４０は、上述したように手動もしくは自動的に圧力を加えることで、液体収容部４０内の液体Ｍが液体案内部４１側に送られる。
【００４０】
また本発明の実施形態では、液材Ｍの粘弾性によって、本体１３が直線移動する適切な速度が変わるが、液体Ｍがノズル開口５３から離れないことが必要である。
本発明の成膜装置１０は、従来のフォトリソグラフィーやフォトエッチングなどを用いたパターニングのプロセスに比べて、装置構造が簡単であり、大幅に省エネルギー化ができ、低コスト化が図れる。成膜装置１０は、簡便な構造であり小型であるので、成膜装置のコストダウンが図れる。
【００４１】
上述した実施形態では、対象物である基板が使用される例として、液晶表示装置を例に挙げている。しかしこれに限らず、液晶表示装置以外の表示体、たとえばエレクトロルミネッセンス（ＥＬ）表示装置や、半導体装置などの電子デバイスの製造において、液体を液相状態で成膜する分野の全般に適用することができる。半導体を製造する場合に成膜装置１０を用いる例としては、半導体装置の配線部を成膜するような場合である。
【００４２】
この他に、たとえば液晶表示装置の基板に液材を塗布してカラーフィルタを形成する場合にも、本発明の成膜装置は適用することができ、電気回路の導体部分を形成することもできる。
また、本体を被処理面に対して直線移動するのではなく、逆に本体を固定し、基板が直線移動できるようにしてもよい。
本発明は、上記実施形態に限定されず、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことができる。
上記実施形態の各構成は、その一部を省略したり、上記とは異なるように任意に組み合わせることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の成膜装置の好ましい実施形態を示す斜視図。
【図２】図１の成膜装置の本体の断面構造および基板の構造例を示す図。
【図３】図１のＸ１方向から見た本体などを示す図。
【図４】移動案内部および本体を示す図。
【図５】ノズル開口の形状例を示す図。
【図６】ノズル開口の他の形状例を示す図。
【図７】ノズル開口のさらに他の形状を示す図。
【図８】本発明の成膜装置を用いて液体を成膜する例を示す図。
【図９】本発明の成膜装置により親液部のみに液体が成膜された状態を示し、そして焼成された状態を示す図。
【図１０】本発明の成膜装置により作られた基板が液晶表示装置に適用された例を示す図。
【図１１】本発明の成膜装置の別の実施形態を示す斜視図。
【符号の説明】
【００４４】
１０・・・成膜装置、１１・・・支持部、１３・・・本体、１５・・・移動案内部、１７・・・支持部の搭載面、２０・・・基板（対象物の一例）、２５・・・基板の被処理面、３０・・・撥液部、３１・・・親液部、３３・・・パターン、４０・・・液体収容部、４１・・・液体案内部、５０・・・液体経路、５３・・・ノズル開口、Ｍ・・・液体
【図１】
2005052796.tif 000003
【図２】
2005052796.tif 000004
【図３】
2005052796.tif 000005
【図４】
2005052796.tif 000006
【図５】
2005052796.tif 000007
【図６】
2005052796.tif 000008
【図７】
2005052796.tif 000009
【図８】
2005052796.tif 000010
【図９】
2005052796.tif 000011
【図１０】
2005052796.tif 000012
【図１１】
2005052796.tif 000013