(57)【要約】【課題】ＩＣ検査において、適正な電圧条件下での、正確かつ効率的な測定（ならびに評価、解析）を可能とする。【解決手段】ＩＣテスタの電源供給部１００からＤＵＴ１２０に供給する電源電圧のレベルが、上限値および下限値で規定される許容範囲内にあるか否かを、制御信号生成回路１１２にて判定し、その判定結果を示す信号Ｃ２を生成する。測定ユニット（電気試験回路３００，機能試験回路４００，試験用テストパターン発生回路５００）は、信号Ｃ２によって電源電圧の変動を監視し、電源電圧が不安定な状態では、測定の中断、クロックの供給停止、テストパターンの発生停止等の対策を実行し、電源電圧が安定した状態でのみ、検査を行う。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電源電圧をテスト対象のＩＣに供給しつつ、前記ＩＣの電気的試験を実施するＩＣテスタであって、
前記テスト対象のＩＣの電気的試験を実施するための少なくとも一つの測定部と、
前記少なくとも一つの測定部の動作を制御する制御部と、
前記電源電圧を前記テスト対象のＩＣに供給し、前記電源電圧のレベルを負帰還制御により安定化させ、かつ、前記電源電圧のレベルについての情報を、前記少なくとも一つの測定部または前記制御部に与える電源供給部と、を備え、
前記電源供給部から与えられる前記電源電圧のレベルについての情報により、前記少なくとも一つの測定部または前記制御部の動作が制御されるＩＣテスタ。
【請求項２】
請求項１記載のＩＣテスタであって、
前記電源電圧のレベルについての情報は前記制御部に与えられ、前記制御部は、与えられた前記情報に基づいて、前記少なくとも一つの測定部の動作を制御するＩＣテスタ。
【請求項３】
請求項１記載のＩＣテスタであって、
前記電源供給部は、前記電源電圧のレベルが許容範囲内にあるか否かを判定し、その判定結果を示す信号を、前記少なくとも一つの測定部に与えるＩＣテスタ。
【請求項４】
請求項２または請求項３記載のＩＣテスタであって、
前記電源電圧が前記許容範囲内にあるときのみ、前記少なくとも一つの測定部による測定が有効化されるＩＣテスタ。
【請求項５】
請求項３または請求項４記載のＩＣテスタであって、
前記電源電圧が許容範囲内にあるか否かを判断するための上限値および下限値を、前記電源供給部内で決定するＩＣテスタ。
【請求項６】
請求項５記載のＩＣテスタであって、
前記上限値および下限値は、前記負帰還制御による前記電源電圧の制御目標値を中心として、その上下に固定比率あるいは定数値による電圧幅を設定することにより、自動的に決定されるＩＣテスタ。
【請求項７】
請求項５記載のＩＣテスタであって、
前記上限値および下限値を、前記制御部が決定するＩＣテスタ。
【請求項８】
請求項１から請求項７のいずれかに記載のＩＣテスタであって、
前記少なくとも一つの測定部は、前記テスト対象のＩＣの電気試験用の測定部または機能試験用の測定部を含むＩＣテスタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電源電圧をテスト対象のＩＣに供給しつつ、ＩＣの電気的試験を実施するＩＣテスタに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣテスタ（半導体検査装置）は、電源ユニットと測定ユニットを備え、ＩＣに電源電圧を供給しつつ、そのＩＣの電気的特性の試験を実行することができる。高精度のＩＣテストを実行する上で、電源ユニットから出力される電源電圧の安定化が重要である。この電源電圧を安定化する手法として、ＩＣに供給される電源電圧のレベルを検出し、負帰還制御によって電源電圧を安定化させる手法がある。また、特許文献１には、負帰還制御に加えて、条件が異なる複数の帰還ループを設けて、電源電圧の変動状況に応じて使用する帰還ループを切り換え、電源電圧の変動をより効果的に抑制する技術が開示されている。
【特許文献１】特開２０００−３０４８１５
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、負帰還制御を利用して、テスト対象のＩＣに供給する電源電圧の安定化を図ったとしても、電圧変動の十分な抑制ができない場合がある。例えば、負帰還制御では負帰還ループを経由して信号が伝達されるため、その経路長（ＩＣテスタにおける電源ユニットの出力端から、測定対象のＩＣまでの距離）が長いと、電圧変動が生じてから、その電圧変動を抑制するように制御がなされるまでに遅延が生じる。したがって、瞬時に、大きな電圧の揺れが生じた場合には、その電圧の揺れを迅速に吸収できないときがある。
【０００４】
また、特許文献１に記載される、複数の負帰還ループを切り換えて使用する場合においても、瞬時的な大きな電源電圧変動が生じた場合には、程度の差はあっても、同様の状況が生じ得る。瞬時的な大きな電源電圧変動は、例えば、電源ユニットの電圧レンジの切り換え（あるいは、電源投入）直後に生じる。この場合、電源ユニットから供給する電源電圧が所定の電圧値に達するまでの間、測定を待つ必要がある。すなわち、その待ち時間を考慮してＩＣのテストを開始しないと、電圧変動の影響によって、ＩＣの適正な性能評価ができない。ただし、その待ち時間を正確に予測するのは困難である。したがって、待ち時間が不足していれば、安定した測定ができない。逆に、待ち時間が過剰に長すぎると、テスト時間のロスになり、生産性の低下や検査コストの増加となる。
【０００５】
また、瞬時的な大きな電圧変動は、ＩＣの電気的特性の測定中（検査の途中）においても生じることがある。すなわち、ＩＣの内部回路において、瞬時的に消費電流が増大する場合には、電源ラインを流れる電流によって大きな電圧降下が引き起こされ、大きな電圧の揺れが生じる。ＩＣ内の被測定回路に流れる電流の電流量が非常に少ない場合には、発生する電圧降下は小さく、供給電圧の変動は微小で問題視されない。
【０００６】
しかし、被測定回路の高速化、ロジック回路の高トグル化（例えば、トランジスタのスイッチング周波数が高くなること）が進展すると、被測定回路の消費電流が増大し、電源ラインの電圧降下が増大し、大きな電圧変動が生じる。このような大きな電圧変動が生じている状況下でＩＣのテストを続行するということは、すなわち、所望の電圧条件が満たされない環境の下で、不正確なＩＣの検査（さらに評価、解析）が実施されることを意味する。
【０００７】
近年、ＩＣの大規模化、高速化、電源電圧の低レベル化はますます進展し、わずかな電源電圧の変動が、回路動作に深刻な影響を及ぼす場合も増えている。したがって、電源電圧の変動に対する、さらなる対策が求められている。
【０００８】
本発明は、このような考察に基づいてなされたものであり、ＩＣ検査において、適正な電圧条件下での、より正確かつ効率的な測定（ならびに評価、解析）を可能とすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のＩＣテスタは、電源電圧をテスト対象のＩＣに供給しつつ、前記ＩＣの電気的試験を実施するＩＣテスタであって、前記テスト対象のＩＣの電気的試験を実施するための少なくとも一つの測定部と、前記少なくとも一つの測定部の動作を制御する制御部と、前記電源電圧を前記テスト対象のＩＣに供給し、前記電源電圧のレベルを負帰還制御により安定化させ、かつ、前記電源電圧のレベルについての情報を、前記少なくとも一つの測定部または前記制御部に与える電源供給部と、を備え、前記電源供給部から与えられる前記電源電圧のレベルについての情報により、前記少なくとも一つの測定部または前記制御部の動作が制御される。
【００１０】
本発明では、電源電圧の変動情報を、電源電圧の安定化のみならず、測定部の動作制御のためにも使用する。すなわち、負帰還制御による電源電圧自体の安定化と、電源電圧が不安定な状況下では測定を有効化させない制御方式と、を併用すること（つまり、電源供給部と測定部との協働によるＩＣ検査の実施）によって、正確かつ効率的なＩＣ検査が実現される。
【００１１】
また、本発明のＩＣテスタの一態様では、前記電源電圧のレベルについての情報は前記制御部に与えられ、この制御部は、与えられた前記情報に基づいて、前記少なくとも一つの測定部の動作を制御する。
【００１２】
制御部が、電源電圧のレベル変動を監視し、適応的に測定部の動作を制御するものである。制御部による制御であることから、電源電圧の変動に適応した、複雑かつ高度な制御もリアルタイムで実施できるメリットがある。
【００１３】
また、本発明のＩＣテスタの他の態様では、前記電源供給部は、前記電源電圧のレベルが許容範囲内にあるか否かを判定し、その判定結果を示す信号を、前記少なくとも一つの測定部に与える。
【００１４】
本態様では、電源供給部内で、電源電圧のレベルが許容範囲内にあるか否かを検出し、その検出結果を示す信号（これが電源電圧のレベルについての情報となる）を、測定部に与える。この信号は一種の制御信号の役目を果たし、この信号により、測定部が直接的に制御される。
【００１５】
また、本発明のＩＣテスタの他の態様では、前記電源電圧のレベルが前記許容範囲内にあるときのみ、前記少なくとも一つの測定部による測定が有効化される。
【００１６】
電源電圧のレベルが許容範囲に収まっているときのみ、測定部による測定が有効化されるものである。例えば、測定の続行、クロックやテストパターンの供給の続行、取得した測定データの採用等がなされる。逆に、電源電圧のレベルが許容範囲外となるときは、精度の高いデータの取得が期待できないため、測定を中断する等の対策が採られる。
【００１７】
また、本発明のＩＣテスタの他の態様では、前記電源電圧が許容範囲内にあるか否かを判断するための上限値および下限値を、前記電源供給部内で決定する。
【００１８】
電源電圧のレベルが許容範囲内にあるか否かを判断するための基準となる、上限値および下限値の設定機能を、電源供給部自体に持たせるものである。構成がシンプルであり、実現し易いというメリットがある。
【００１９】
また、本発明のＩＣテスタの他の態様では、前記上限値および下限値は、前記負帰還制御による前記電源電圧の制御目標電圧値を中心として、その上下に固定比率あるいは定数値による電圧幅を設定することにより、自動的に決定される。
【００２０】
電源供給部内で、固定された方法により、上限値および下限値を自動的に設定するものである。電源供給部自体が、上限値および下限値の自動設定機能をもつことにより、電圧変動幅が許容範囲内にあるか否かの判断を行うための構成が簡素化される。
【００２１】
また、本発明のＩＣテスタの他の態様では、前記上限値および下限値を、前記制御部が決定する。
【００２２】
これにより、上限値および下限値を、より自由に設定すること（すなわち、プログラマブルな上限値および下限値の設定）が可能となる。これにより、電源電圧の許容範囲の幅を変化させることができる。種々の条件を考慮して、測定部の制御の感度を適正化するのに都合のよい構成である。
【００２３】
また、本発明のＩＣテスタの他の態様では、前記少なくとも一つの測定部には、前記テスト対象のＩＣの電気試験用の測定部または機能試験用の測定部が含まれる。本態様では、測定部が、電気試験機能や機能試験機能を有している。
【発明の効果】
【００２４】
本発明のＩＣテスタは、電源供給部と測定部との協働によるＩＣ検査を実施し、これによって、正確かつ効率的なＩＣ検査を実現することができる。具体的には、電源ユニットの電圧レンジの切り換え（あるいは、電源投入）直後に、電源電圧の大きな変動が生じた場合でも、その電圧変動状況を監視して測定を行うため、電圧が不安定な状態での測定を防止できる。また、所定の待ち時間を設ける場合でも、過剰な待ち時間が設定されることがない。これにより、検査時間の最適化と、正確な条件での測定が可能となる。
【００２５】
また、実際の測定中に、瞬時的な大電流によって大きな電圧降下が生じ、電圧が大きく揺らぐ事態が生じても、その電圧の揺らぎを検知し、例えば、測定を中断し、以前の測定データを保持するというような、適切な制御を実行することができる。したがって、不正確な測定が防止され、正確な検査（評価および解析）を実施することができる。
【００２６】
また、電源電圧の変動情報をそのまま制御部に与え、制御部が測定部の動作を自由に制御する形態を採用することにより、新たな回路の付加が必要なく、より複雑で高度な制御を実現できる。
【００２７】
また、電源供給部の内部にて、電源電圧が許容範囲内か否かの判断を実施し、その結果を示す信号（これが一種の制御信号として機能する）を生成し、その信号で測定部を直接的に制御する形態を採用することにより、制御部の判断が不要となり、よって、制御部の負担を軽減することができる。また、構成がシンプルであり、実現が容易である。
【００２８】
また、電源供給部内において、電源電圧のレベルが許容範囲内にあるか否かを判断する態様を採用する場合に、その判断の基準となる上限値および下限値を、電源供給部内で自動設定する構成を採用することにより、簡単な構成でもって、適正かつ効率的なＩＣ検査を実施することができる。
【００２９】
また、制御部が、電源電圧が許容範囲内にあるか否かを判断するための上限値および下限値の設定を行う構成を採用することにより、上限値および下限値を自在に設定すること（すなわち、プログラマブルな上限値および下限値の設定）が可能となり、高精度な制御を実施することができる。
【００３０】
また、ＩＣテスタの形態としては、一つの装置内に必要な機能が集約される形態と、複数の装置の集合体としてＩＣテスタが構築される形態とがあるが、本発明は、電源ユニットの負帰還制御系から得られる電圧変動情報を、測定ユニットにも供給することができればよいため、いずれの形態のＩＣテスタにも適用が可能である。
【００３１】
本発明により、適正な電圧条件下での、正確かつ効率的なＩＣ特性の検査（測定、評価および解析）が可能となる。したがって、ＩＣの大規模化、高速化、電源電圧の低レベル化が進展する状況下でも、電源電圧（基準電圧）の変動による悪影響を排して、正確なＩＣ検査を行うことができる。また、本発明のＩＣテスタは構成がシンプルであり、実現が容易であり、装置のコスト面でも有利である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
（第１の実施形態）
図１は、本発明のＩＣテスタの一例（電源供給部の内部で、電源電圧が許容範囲内であるか否かを判断する例）の構成を示すブロック図である。図示されるように、このＩＣテスタは、電源供給部１００と、検査対象のＩＣ（ＤＵＴ：Device Under Test）１２０と、測定ユニット（電気試験回路３００，機能試験回路４００，試験用テストパターン発生回路５００，スイッチＳＷ１，スイッチＳＷ２を含む）と、これらの各部の動作を統括的に制御する制御部（例えば、コンピュータ）と、を備える。
【００３３】
電源供給部１００は、電圧発生器（可変電圧源）１０２と、電圧比較器１０４と、基準電圧発生器１０６と、この基準電圧発生器１０６から出力される基準電圧Ｖ１を参照して上限値、下限値を自動的に設定する、上限値および下限値設定回路１０８と、制御信号生成回路（電源電圧の変動情報をもつ信号の生成回路とみることもできる）１１２と、を備える。
【００３４】
このような構成をもつＩＣテスタにおいて、測定ユニット（電気試験回路３００，機能試験回路４００，試験用テストパターン発生回路５００，スイッチＳＷ１，スイッチＳＷ２）は、電源供給部１００からフォース線（ＦＬ）を介してＤＵＴ１２０に所定の電源電圧が供給されている状況下で、スイッチＳＷ１を介してテスト信号（Ｓ１）をＤＵＴ１２０に与え、その結果として、ＤＵＴ１２０から出力される信号（Ｓ２）を、スイッチＳＷ２を介して受信して、測定データを取得し、検査、評価、解析を実行する。
【００３５】
ここで、電気試験回路３００は、例えば、回路のＤＣ特性やＡＣ特性の試験、あるいは、デバイスの耐量評価試験（例えば、ＣＭＯＳのラッチアップ耐量試験）等を行うものであり、電気試験回路３００によるＩＣのテストが行われる場合には、スイッチＳＷ１，ＳＷ２は、共に、ａ端子側に切り換えられる。
【００３６】
また、機能試験回路４００は、ロジック回路やメモリ回路等が所定の機能を発揮するかをテストする回路である。機能試験回路４００による機能試験が実施される場合には、スイッチＳＷ１，ＳＷ２は、原則として、ｂ端子側に切り換えられる。ただし、試験用テストパターン発生回路５００から出力される、試験用テストパターン（テストベクトル）を用いた試験を行う場合には、スイッチＳＷ１は、ｃ端子側に切り換えられる。
【００３７】
なお、測定ユニット（電気試験回路３００，機能試験回路４００，試験用テストパターン発生回路５００，スイッチＳＷ１，スイッチＳＷ２）の動作は、制御部（コンピュータ等）２００から出力される制御信号Ｃ１等により、統括的に制御される。
【００３８】
次に、図１に示されるＩＣテスタの動作について説明する。電圧発生器１０２は、電源電圧を発生させ、その電源電圧をフォース線（ＦＬ）を介してＤＵＴ１２０に供給する。また、フォース線（ＦＬ）の、ＤＵＴ１２０への電圧印加ポイント（ＰＴ）において、センス線（ＳＬ）が接続され、このセンス線（ＳＬ）を介して、ＤＵＴ１２０に印加される電源電圧のレベルを検出する。
【００３９】
すなわち、センス線（ＳＬ）を介して検出される、ＤＵＴ１２０に印加される電源電圧の電圧レベル（電圧印加ポイントＰＴにおける電圧レベル）は、比較器１０４にて、基準電圧発生器１０６から出力される基準電圧（Ｖ１）と比較される。なお、基準電圧発生器１０６は、制御部（コンピュータ）２００から出力される制御信号Ｃ３に従って、基準電圧（Ｖ１）を発生させる。
【００４０】
そして、比較器１０４から、比較結果（基準電圧Ｖ１との差を示す信号）Ｐ１が出力される。この信号Ｐ１は、電圧発生器（可変電圧源）１０２から発生する電源電圧のレベルを制御するための制御信号として機能する。すなわち、比較器１０４から出力される比較結果を示す信号Ｐ１によって、ＤＵＴ１２０に印加される電源電圧の電圧レベル（電圧印加ポイントＰＴにおける電圧レベル）が、基準電圧発生器１０６から出力される基準電圧（Ｖ１）と等しくなるように、電圧発生器（可変電圧源）１０２から発生する電源電圧のレベルが調整される。
【００４１】
このように、負帰還制御によって、ＤＵＴ１２０に供給される電源電圧のレベルが安定化される。さらに、本実施形態では、ＤＵＴ１２０に供給される電源電圧の変動状況を示す情報を、測定ユニット（電気試験回路３００，機能試験回路４００，試験用テストパターン発生回路５００）に与える。すなわち、大きな電源電圧の変動が生じている状況下において取得した測定データは、大きな誤差を含み、正確性を欠く。
【００４２】
よって、本実施形態では、そのような状況下では、測定ユニット（電気試験回路３００，機能試験回路４００，試験用テストパターン発生回路５００）による測定を中断する等の措置を採る。つまり、電源電圧が許容範囲に収まっているときのみ、測定が有効となり、測定の続行、取得した測定データの採用等がなされる。逆に、電源電圧が許容範囲外となるときは、測定が無効となり、測定の中断、測定データの破棄等が行われる。
【００４３】
以下、具体的に説明する。電源供給部１００内の上限値および下限値設定回路１０８は、負帰還制御による電源電圧の安定化目標値である基準電圧Ｖ１を中心としてその上下に、固定比率あるいは定数値による電圧幅を設定し、上限値および下限値を自動的に生成する。この場合、固定比率または定数値により、制御感度が決定される。この上限値、下限値は、ＤＵＴ１２０に実際に供給される電源電圧が、許容範囲に収まっているか否かを判定するための基準となる。
【００４４】
このように、電源供給部１００自体が、上限値および下限値の自動設定機能をもつことにより、ＩＣテスタの構成が簡素化される。また、制御部２００の負担も軽減される。生成された上限値および下限値の情報は、電源供給部１００内の制御信号生成回路（電源電圧の変動情報をもつ信号の生成回路とみることもできる）１１２に与えられる。制御信号生成回路１１２は、センス線（ＳＬ）を介して得られる電源電圧のレベルが、上限値および下限値で規定される許容範囲に収まっているか否かを判定する。そして、その判定結果を、制御信号Ｃ２として出力する。制御信号Ｃ２は、電気試験回路３００，機能試験回路４００，試験用テストパターン発生回路５００の各々に与えられる。
【００４５】
制御信号Ｃ２は、電源電圧のレベルが許容範囲内に収まっている場合にのみ、アクティブとなり、これにより、測定ユニット（電気試験回路３００，機能試験回路４００，試験用テストパターン発生回路５００，スイッチＳＷ１，スイッチＳＷ２）による測定が有効となる。また、制御信号Ｃ２がアクティブでないとき、電気試験回路３００は、測定の中断、以前の測定データの保持、測定ユニットの状態を初期化する、といった対策を実行する。
【００４６】
結果的に、制御信号Ｃ２がアクティブとなったときのみ（つまり、電源電圧が安定した状態にあるときのみ）、電気試験回路３００による測定がなされる。したがって、信頼性の高い測定データのみを取得することができる。また、制御信号Ｃ２を制御部（コンピュータ等）２００にも入力することで、電源電圧の変動状況を、制御部２００が監視することができ、電源電圧の変動状況に応じて、電気試験回路３００による測定条件を適応的に変化させる、といった処理を行うこともできる（この構成は、図１中では示されていない）。
【００４７】
また、機能試験回路４００および試験用テストパターン発生回路５００では、制御信号Ｃ２のアクティブ／ノンアクティブに応じて、クロック等やテストパターンの供給の継続／停止を行ったり、あるいは、測定タイミングや生成するパターン等を適応的に制御し、試験シーケンスを変化させる、といった対策が採られる。例えば、制御信号Ｃ２がアクティブではない状態（ノンアクティブ状態）では、論理回路の機能試験実行のためのタイミング（すなわちクロック）を発生させずに停止させておく。そして、制御信号Ｃ２がアクティブになった場合にのみ、論理回路の機能試験実行のためのタイミング（クロック）を発生させ、試験を開始する。
【００４８】
また、テストの途中において、制御信号Ｃ２がアクティブからノンアクティブに変化した場合には、それまでの測定結果や回路状態を一旦、保持し、電源電圧が安定化されるのを待つ。そして、制御信号Ｃ２がアクティブとなると、保持されている回路状態から、テストを再開する。
【００４９】
このように、本実施形態のＩＣテスタは、電源供給部１００と、測定ユニット（電気試験回路３００，機能試験回路４００，試験用テストパターン発生回路５００，スイッチＳＷ１，スイッチＳＷ２）との協働によるＩＣ検査を実施する。すなわち、負帰還制御による電源電圧自体の安定化に加え、電源電圧の変動状況を考慮した、測定動作の適応制御を実施し、これによって、正確かつ効率的なＩＣ検査が実現される。例えば、電源ユニットの電圧レンジの切り換え（あるいは、電源投入）直後に、電源電圧の大きな変動が生じた場合でも、その電圧変動状況を監視して測定を行うため、電圧が不安定な状態での測定を防止できる。
【００５０】
また、所定の待ち時間を設ける場合でも、過剰な待ち時間が設定されることがない。これにより、検査時間の最適化と、正確な条件での測定が可能となる。また、実際の測定中に、瞬時的な大電流によって大きな電圧降下が生じ、電圧が大きく揺らぐ事態が生じても、その電圧の揺らぎを検知し、例えば、測定を中断し、以前の測定データを保持するというような、適切な制御をリアルタイムで実行することができる。したがって、不正確な測定が防止され、正確な検査（評価および解析）を実施することができる。
【００５１】
（第２の実施形態）
図２は、本発明のＩＣテスタの構成の他の例（電源電圧の変動情報を直接、制御部に与える例）の構成を示すブロック図である。図２において、図１と同じ部分には同じ参照符号が付されている。図２のＩＣテスタの基本的構成は、図１と同じである。ただし、図２の場合、電源供給部１００内には、電圧測定器１３０が設けられており、この電圧測定器１３０にて、センス線（ＳＬ）を介して与えられる電源電圧のレベルを測定し、その測定結果（電源電圧の変動情報）を、直接、制御部（コンピュータ等）２００に与える構成となっている点で、図１とは異なる。
【００５２】
図１では、電源供給部１００の内部にて、電源電圧が許容範囲内にあるか否かを判定し、測定ユニットが、その判定結果（制御信号Ｃ２）により、不安定な電圧状態を避けて検査を実行している。これに対して、図２の本実施形態のＩＣテスタでは、電源電圧の変動状況を、制御部（コンピュータ等）２００が直接に監視し、電源電圧の変動に適応した制御を、適宜、実行する。したがって、電源電圧の変動状況に応じて、より複雑で高度な対策をとることが可能である。よって、制御感度の向上を図ることができる。
【００５３】
（第３の実施形態）
図３は、本発明のＩＣテスタの他の例（電源電圧が許容範囲内にあるかを判定する基準となる上限値および下限値を、制御部が設定する例）の構成を示すブロック図である。図３において、図１と同じ部分には同じ参照符号が付されている。図３のＩＣテスタの基本的構成は、図１と同じである。ただし、図３の場合、電源電圧が許容範囲内であるか否かを判定するための上限値および下限値（参照符号１４２，１４４）を、制御部（コンピュータ等）２００が自在に設定する構成となっている点で異なる。
【００５４】
図１では、電源供給部１０２が自動的に上限値および下限値を設定していた（この設定は固定的である）。これに対し、図３では、上限値および下限値（参照符号１４２，１４４）を、制御部（コンピュータ等）２００が自由に設定する。この上限値および下限値によって、制御感度（制御信号Ｃ２の精度）が決まる。したがって、制御部（コンピュータ等）２００が、電源電圧の変動状況に応じて、上限値および下限値（参照符号１４２，１４４）を自在にプログラムすることにより、制御感度（制御信号Ｃ２の精度）を細かく調整することが可能となる。
【００５５】
（第４の実施形態）
図４は、本発明のＩＣテスタの他の例（電圧印加による電流測定を行うＩＣテスタの例）の構成示すブロック図である。図４において、図１と同じ部分には同じ参照符号が付されている。本実施形態では、電源供給部１００内の比較器１０４から、電源電圧の変動状況を示す信号Ｃ５を得て、この信号Ｃ５を、電圧印加による電流測定を行う測定ユニット６００に与える構成が採用されている。すなわち、電源電圧の負帰還制御を実施するための比較器１０４から、測定ユニットの動作の制御に使用される情報も得る構成となっている。既存の回路要素を活用しているため、回路構成がシンプルであり、回路の専有面積の増大防止の面でも効果的である。
【００５６】
また、測定ユニット６００は、ＤＵＴ（検査対象のＩＣ）１２０の特定のピン（図４中の参照符号ＰＮ１）について、所定の電圧を印加し、同時に、そのピン（ＰＮ１）に流れる電流を測定する。測定ユニット６００は、比較器６０２と、基準電圧発生器６０４と、電圧印加電流測定器６０６と、電圧発生器６０８と、を備える。電圧印加電流測定器６０６は、電圧発生器６０８が発生する電圧を、信号線Ｌ１を介してＤＵＴ１２０のピン（ＰＮ１）に与え、同時に、その信号線Ｌ１を流れる電流を測定し、測定結果Ｍ１を出力する。
【００５７】
信号線Ｌ１を介して印加する電圧は、種々の要因により変動する。したがって、信号線Ｌ２を介してその電圧を帰還させる。そして、比較器６０２が、基準電圧発生器６０４が発生する基準電圧と比較し、その比較結果を電圧発生器６０８に戻し、これにより、電圧発生器が発生する電圧が調整される。
【００５８】
前掲の実施形態と同様に、ＤＵＴ１２０に与えられる電源電圧の変動が大きい場合、測定される電流値は正確性を欠くことになる。そこで、電圧印加電流測定器６０６は、電源供給部１００内の比較器１０４から与えられる制御信号Ｃ５に基づき、電源電圧の変動を監視し、電源電圧が不安定な状態では、測定を中止する等の対策を実行する。これにより、信頼性の高い測定データのみを得ることができる。
【００５９】
以上、本発明の実施形態に説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、種々、変形が可能である。また、ＩＣテスタの形態（全体構成）としては、電源供給部と測定部が、共に一つの装置内に設けられる形態と、電源供給部と、測定部の一部または全部が、別の装置内に設けられる形態が想定されるが、本発明は、電源ユニットの負帰還制御系から得られる電圧変動情報を、測定ユニットにも供給することができればよいため、いずれの形態のＩＣテスタにも適用が可能である。
【産業上の利用可能性】
【００６０】
本発明のＩＣテスタは、電源供給部と測定部との協働によるＩＣ検査を実施し、これによって、正確かつ効率的なＩＣ検査を実現できるという効果を有し、電源電圧をテスト対象のＩＣに供給しつつ、ＩＣの電気的試験を実施するＩＣテスタ等として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明のＩＣテスタの一例（電源供給部の内部で、電源電圧が許容範囲内であるか否かを判断する例）の構成を示すブロック図
【図２】本発明のＩＣテスタの他の例（電源電圧のレベル情報を直接、制御部に与える例）の構成を示すブロック図
【図３】本発明のＩＣテスタの他の例（電源電圧が許容範囲内にあるかを判定する基準となる上限値および下限値を、制御部が設定する例）の構成を示すブロック図
【図４】本発明のＩＣテスタの他の例（電圧印加による電流測定を行うＩＣテスタの例）の構成示すブロック図
【符号の説明】
【００６２】
１００  電源供給部
１０２  電圧発生器（可変電圧源）
１０４  電圧比較器
１０６  基準電圧発生器
１０８  上限値および下限値設定回路
１１２  制御信号生成回路
１２０  検査対象のＩＣ（ＤＵＴ：Device Under Test）
２００  制御部（コンピュータ等）
３００  電気試験回路
４００  機能試験回路
５００  試験用テストパターン発生回路
ＦＬ  フォース線
ＳＬ  センス線
ＳＷ１，ＳＷ２  測定時に使用されるスイッチ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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