(57)【要約】【課題】  流路の閉止とサックバック動作のタイミングの調整を不要にし且つ流路が単純で気泡が溜まりにくいバルブを提供する。【解決手段】  バルブは、バルブ本体１及び２と、バルブ本体内を通り弾性体からなるチューブ３と、チューブ３を挟んでチューブ３の半径方向両側に配置されたローラー２３と押圧面１４とを備える。ローラー２３を押圧面１４と接近させることによりローラー２３と押圧面１４との間でチューブ３を押圧してチューブ３内の流路を閉じ、ローラー２３をチューブ３に沿って移動させることにより、流路を閉じた状態を保ったまま、ローラー２３及び押圧面１４によってチューブ３を押圧する押圧位置をチューブ３の流路軸線に沿って移動させることができる。【選択図】      図１
2005180509.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
バルブ本体と、該バルブ本体内を通り弾性体からなるチューブとを備え、前記チューブ内の流体の流れを閉止するバルブであって、
前記チューブを挟んで前記チューブの半径方向両側に挟圧手段を有し、前記挟圧手段を接近させることにより前記チューブを押圧して前記チューブ内の流路を閉じ、前記挟圧手段を前記チューブに沿って移動させることにより、前記流路を閉じた状態を保ったまま、前記挟圧手段によって前記チューブが押圧されている押圧位置を移動させることを特徴とするバルブ。
【請求項２】
前記挟圧手段は、移動可能なローラーと、前記バルブ本体に設けられた押圧面とからなり、前記チューブの一部は前記押圧面に沿って配置されており、前記ローラーは、前記押圧面と対向する位置に移動して前記チューブを押圧し、前記押圧面と平行に移動する、請求項１に記載のバルブ。
【請求項３】
前記ローラーは前記バルブ本体に対して回転軸線周りに回転する回転体に支持されており、前記押圧面は前記バルブ本体に設けられ前記回転軸線を中心として延びる円弧状表面である、請求項２に記載のバルブ。
【請求項４】
前記バルブ本体内に、ピストンを収容するシリンダ室が設けられており、作動流体によって前記ピストンを前記シリンダ室の軸線方向に駆動することにより、前記ピストンに連動して前記回転体が前記回転軸線周りに回転する、請求項３に記載のバルブ。
【請求項５】
前記ピストンは、前記シリンダ室内に設けられたバネによって前記シリンダ室の軸線方向一端に向かって付勢されている、請求項４に記載のバルブ。
【請求項６】
前記ピストンは前記バネによって中立位置に位置し、前記中立位置では、前記ピストンと連動する前記回転体に支持された前記ローラーが前記押圧面との間で前記チューブを押圧して前記チューブ内の流路を閉じるようになっており、前記チューブ内の流路を開くとき及び前記押圧面との間で前記チューブを押圧しながら前記チューブの流路軸線に沿って前記ローラーを移動させるとき、作動流体の圧力を利用してバルブ全閉位置及び前記中立位置から前記ピストンを移動させる、請求項４に記載のバルブ。
【請求項７】
前記回転体は、その回転軸線を挟んで前記ローラーと反対側に位置し且つ回転軸線と平行に延びる係合軸部をさらに備え、前記ピストンに該ピストンの移動方向と垂直な方向に延びる切欠部が形成されており、前記係合軸部が前記切欠部に係合し、前記ピストンの移動に伴って前記係合軸部が前記回転体の回転軸線周りを回転することにより、前記回転体を前記回転軸線周りに回転させる、請求項４から請求項６の何れか一項に記載のバルブ。
【請求項８】
前記回転体は円筒面を有し、前記ピストンの側面にラックが形成されると共に、該ラックと係合する歯車が前記回転体の円筒面に形成されており、前記ピストンの移動に伴って前記回転体が回転軸線周りに回転する、請求項４から請求項６の何れか一項に記載のバルブ。
【請求項９】
前記回転体が電動モータによって駆動される、請求項３に記載のバルブ。
【請求項１０】
前記電動モータがステッピングモータである、請求項９に記載のバルブ。
【請求項１１】
前記バルブ本体内には前記チューブと平行に延びるシリンダ室が形成されており、前記挟圧手段は、前記シリンダ室内に収容されているピストンから該ピストンの移動軸線と垂直に延びる凸部の先端に設置されたローラーと、前記バルブ本体に設けられた階段状表面とからなる、請求項２に記載のバルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、半導体の製造装置において半導体ウエハに薬液等の液体を供給する回路に使用されるオンオフ弁とサックバックバルブに関する。更に詳しくは、本発明は、オンオフ弁とサックバックバルブが一体的に形成されたバルブであって、流路形状が単純で気泡が溜まりにくく、且つサックバック量の調整が容易なバルブに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、流体を閉止した後に配管内の流体が末端から垂れ落ちるのを防止することを目的としてサックバックバルブが用いられている。サックバックバルブとしては、ダイヤフラムを変位させることによってバルブ内の容積を変化させて流体を吸い上げる機構をもつものが一般的であり、更には上流側に流体の流れを閉止するためのダイヤフラム式のオンオフ弁を一体化したものが一般的である。このようなバルブの動作においては、まず上流側に配置されたオンオフ弁を閉止し、その後連続してサックバックバルブを作動させる（例えば、特許文献１参照）。また、ダイヤフラムを用いたもので、オンオフ弁とサックバックバルブの動作を同時に行うものもある（例えば、特許文献２参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−２５４４５９号公報（第１〜９頁、第１図）
【特許文献２】特開２００３−２７８９２７号公報（第１〜９頁、第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来のオンオフ弁一体型のサックバックバルブでは、オンオフ弁とサックバックバルブとを個別に制御しているため、オンオフ弁を閉止するタイミングとサックバック動作を行うタイミングを合わせるのが困難であり、所定のサックバック量が得られず、液だれが起こり得るという問題がある。また、タイミングの調整に手間がかかるだけでなく、一旦調整を行った後でもバルブを動作させる空気圧が変動した場合にはオンオフ弁の閉止とサックバック動作のタイミングが狂い、頻繁に調整が必要となる問題がある。更に、半導体製造におけるフォトレジスト液の塗布の用途では、ダイヤフラムを用いたオンオフ弁では弁室内部に気泡が溜まり易い構造となり、溜まった気泡が流出してウエハ上に広がるなどして塗布むらが発生して歩留まりが悪化するという問題もあった。また、ダイヤフラムを用いたサックバックバルブについても同様の問題があった。
【０００５】
本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みなされたもので、流路の閉止とサックバック動作のタイミングの調整を不要にし且つ流路が単純で気泡が溜まりにくいバルブを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のバルブは、バルブ本体と、該バルブ本体内を通り弾性体からなるチューブとを備え、前記チューブ内の流体の流れを閉止するバルブであって、前記チューブを挟んで前記チューブの半径方向両側に挟圧手段を有し、前記挟圧手段を接近させることにより前記チューブを押圧して前記チューブ内の流路を閉じ、前記挟圧手段を前記チューブに沿って移動させることにより、前記流路を閉じた状態を保ったまま、前記挟圧手段によって前記チューブが押圧されている押圧位置を移動させることを特徴とする。
【０００７】
上記バルブにおいて、前記挟圧手段は、移動可能なローラーと、前記バルブ本体に設けられた押圧面とからなり、前記チューブの一部は前記押圧面に沿って配置されており、前記ローラーは、前記押圧面と対向する位置に移動して前記チューブを押圧し、前記押圧面と平行に移動することが好ましい。
【０００８】
前記ローラーは前記バルブ本体に対して回転軸線周りに回転する回転体に支持されており、前記押圧面は前記バルブ本体に設けられ前記回転軸線を中心として延びる円弧状表面であることがさらに好ましい。この場合、例えば、前記バルブ本体内に、ピストンを収容するシリンダ室が設けられており、作動流体によって前記ピストンを前記シリンダ室の軸線方向に駆動することにより、前記ピストンに連動して前記回転体が前記回転軸線周りに回転する。
【０００９】
前記ピストンは、前記シリンダ室内に設けられたバネによって前記シリンダ室の軸線方向一端に向かって付勢されていることが好ましい。
【００１０】
また、前記ピストンは前記バネによって中立位置に位置し、前記中立位置では、前記ピストンと連動する前記回転体に支持された前記ローラーが前記押圧面との間で前記チューブを押圧して前記チューブ内の流路を閉じるようになっており、前記チューブ内の流路を開くとき及び前記押圧面との間で前記チューブを押圧しながら前記チューブの流路軸線に沿って前記ローラーを移動させるとき、作動流体の圧力を利用してバルブ全閉位置及び前記中立位置から前記ピストンを移動させることが好ましい。
【００１１】
好ましい実施形態として、前記回転体は、その回転軸線を挟んで前記ローラーと反対側に位置し且つ回転軸線と平行に延びる係合軸部をさらに備え、前記ピストンに該ピストンの移動方向と垂直な方向に延びる切欠部が形成されており、前記係合軸部が前記切欠部に係合し、前記ピストンの移動に伴って前記係合軸部が前記回転体の回転軸線周りを回転することにより、前記回転体を前記回転軸線周りに回転させる。
【００１２】
また、他の好ましい実施形態として、前記回転体は円筒面を有し、前記ピストンの側面にラックが形成されると共に、該ラックと係合する歯車が前記回転体の円筒面に形成されており、前記ピストンの移動に伴って前記回転体が回転軸線周りに回転する。
【００１３】
前記回転体は電動モータによって駆動されてもよい。また、電動モータはステッピングモータであることが好ましい。
【００１４】
好ましくは、前記バルブ本体内には前記チューブと平行に延びるシリンダ室が形成されており、前記挟圧手段は、前記シリンダ室内に収容されているピストンから該ピストンの移動軸線と垂直に延びる凸部の先端に設置されたローラーと、前記バルブ本体に設けられた階段状表面とからなる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のバルブは以上のような構造をしており、以下の優れた効果が得られる。
【００１６】
本発明のバルブは一対の挟圧子を備え、該一対の挟圧子によってチューブが押圧されている押圧位置をチューブの流路軸線に沿って移動させることができるので、一連の動作でチューブ内の流路の閉止とサックバック動作とを行うことができ、流路の閉止とサックバック動作のタイミングを調整する必要がなく、また、バルブの設置後に狂うこともない。更に流路がチューブ形状となっており流体の流れがスムーズで気泡が溜まりにくいので、気泡が原因となる半導体製造のフォトレジスト塗布工程における歩留まりの悪化を減少させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明するが、本発明が本実施の形態に限定されないことは言うまでもない。
【００１８】
本発明の第１の実施例について図１から図７に示す。図１は本発明のバルブの開状態を示す縦断面図である。図２は上側バルブハウジングを下方向から見た斜視図である。図３は下側バルブハウジングの斜視図である。図４はピストンの斜視図である。図５はロータの斜視図である。図６は本発明のバルブの閉状態を示す縦断面図である。図７は本発明のバルブがサックバック動作を行った状態を示す縦断面図である。図８は本発明のバルブの第２の実施例を示す縦断面図である。図９は第２の実施例のバルブがサックバック動作を行った状態を示す縦断面図である。図１０は第３の実施例のバルブの開状態を示す縦断面図である。図１１は本発明のバルブの第４の実施例を示す分解斜視図である。図１２は第５の実施例のバルブの開状態を示す縦断面図である。図１３は第５の実施例のバルブの閉状態を示す縦断面図である。図１４は第５の実施例のバルブがサックバック動作を行った状態を示す縦断面図である。
【実施例１】
【００１９】
図１において１は上側バルブハウジングであり、上側バルブハウジング１は、内部にシリンダ室６と該シリンダ室６に連通した一対の作動流体供給口７、８とを有し、下方の中央部には断面矩形状の凹部９が形成されている。凹部９の上面にはシリンダ室６と連通した長方形の開口部１０が形成されており、また軸線方向と垂直な方向における凹部９の上面の両外側には断面半円形の溝状軸受け部１１が形成されている。また、上側バルブハウジング１の底面には、軸線方向において凹部９を挟んで両側に、それぞれシリンダ室６の軸線方向と平行に断面半円形の溝部１２が設けられている（図２参照）。
【００２０】
２は下側バルブハウジングであり、下側バルブハウジング２は、略逆Ｔ字状の形状を有しており、その下部の上面の両側部にはそれぞれ上側バルブハウジング１の溝部１２と相対応する断面半円形の溝部１３が設けられている。溝部１３は、内部が流体の流路となる弾性体からなるチューブ３を上側バルブハウジング１の溝部１２と共に挟持固定しており、該溝部１３の中央には、チューブ３と垂直な方向に延び且つチューブ３に水平な方向に断面円弧状に窪んだ押圧面１４が形成されている。さらに、溝部１３の軸線方向と垂直な方向における押圧面１４の両側には、上側バルブハウジング１の凹部９と嵌合する一対の凸部１５が設けられており、該凸部１５の上面の中央には上側バルブハウジング１の軸受け部１１と相対応する断面半円形の軸受け部１６が押圧面１４とほぼ同軸になるように形成されている（図３参照）。このように上側バルブハウジング１と下側バルブハウジング２とは嵌合して、内部をチューブ３が通るバルブ本体をなす。
【００２１】
４は円柱状のピストンであり、ピストン４は、両端部に、Ｏリング１７、１８が装着される溝を有しており、上側バルブハウジング１のシリンダ室６に摺動自在に嵌挿されている。上側バルブハウジング１の開口部１０から露出するピストン４の中央部には、シリンダ室６の軸線方向に垂直な方向に延びる溝状の切欠部１９が設けられている（図４参照）。
【００２２】
５は回転体として機能するロータであり、ロータ５は、中央に円柱部２０が形成されていると共に、その両側に円盤部２１と軸部２２が連続的に形成されている。軸部２２は、上側バルブハウジング１の軸受け部１１と下側バルブハウジング２の軸受け部１６とに回転可能な状態で支承されている。円盤部２１にはロータ５の回転によりロータ５の回転軸線を中心として公転する二つのローラー２３、２４が、ロータ５の回転軸線を挟んでほぼ相対向する位置に回転自在に設置されている。一方のローラー２３は、ロータ５の回転に伴ってチューブ３を下側バルブハウジング２の押圧面１４に押しつける挟圧子となっており、他方のローラー２４はピストン４の切欠部１９に係合する係合軸部となっている（図５参照）。
【００２３】
尚、チューブ３と外部の配管とを接続する方法は特に限定されない。
【００２４】
次に、上記の構成からなる本実施例のバルブの動作は以下の通りである。
【００２５】
図１は弁の開状態を示している。尚、流体はチューブ３の内部を図中左側から右側へ向かって流れているものとする。上側バルブハウジング１に設けられた作動流体供給口７から外部より作動流体（例えば圧縮された空気等）が注入されると、該作動流体の圧力でピストン４が右側へ移動する。このとき切欠部１９に係合されているローラー２４も同様に切欠部１９内を上下方向に移動しつつ右側へと移動し、同時にローラー２４が設置されているロータ５が時計回りに回転することとなるため、他方のローラー２３が下側バルブハウジング２の押圧面１４との間でチューブ３を押しつぶし、チューブ３の内部の流体が閉止される（図６の状態）。
【００２６】
更にピストン４が右側へ移動すれば、それに伴ってロータ５も時計回りに回転し、ローラー２３によってチューブ３が押圧されている押圧位置は流体を閉止させた状態を保ったまま左側へ移動し、このとき、押圧位置より下流側のチューブ３の内部の容積は最初に流体を閉止した瞬間における押圧位置より下流側のチューブ３の内部の容積より増加することとなる（図７の状態）。これにより、下流側の流体が吸い戻されるサックバック動作が行われる。
【００２７】
一方、作動流体供給口８から作動流体が注入されると、ピストン４が左側に移動し、それに伴ってロータ５が反時計回りに回転してバルブは開状態となる（図１の状態）。
【実施例２】
【００２８】
図８に本発明のバルブの第２の実施例を示す。
【００２９】
第２の実施例において上側バルブハウジング２５や下側バルブハウジング２６及びロータ２９の構造は、ピストン２８の一方の軸線方向端面に形成された凹部内にバネ３６が収納されており、該ピストン２８がバネ３６によって右方向、即ちバルブの閉方向に付勢されている点を除いて、第１の実施例と同様である。
【００３０】
図８では、ピストン２８は、作動流体供給口３１より導入された圧縮空気によって左方向、即ちバルブの開方向に移動している。このときピストン２８の左側に配置されたバネ３６は圧縮されている。
【００３１】
この状態から、作動流体供給口３１を通して圧縮空気を抜くと、ピストン２８はバネ３８の推力によって右方向に移動していく。このとき切欠部３３に係合されている係合軸部として機能するローラー３５も切欠部３３内を上下方向に移動しつつ同様に右側へと移動し、同時にローラー３５が設置されているロータ２９は時計回りに回転することとなるため、他方のローラー３４は下側バルブハウジング２６の押圧面３２との間でチューブ２７を押しつぶし、チューブ２７の内部の流体が閉止される。
【００３２】
更にバネ３６の推力によってピストン２８が右側へ移動すれば、それに伴ってロータ２９も時計回りに回転し、チューブ２７が押圧されている押圧位置は流体の閉止状態を保ったまま左側へ移動し、押圧位置より下流側のチューブ２７の内部の容積は最初に流体を閉止した瞬間における押圧位置より下流側のチューブ２７の内部の容積より増加することとなる（図９の状態）。これにより下流側の流体が吸い戻されるサックバック動作が行われる。
【００３３】
尚、本実施例においては、バルブが全開状態から全閉状態になるまで（すなわち、ローラー３４と押圧面３２との間でチューブ２７を押圧していない状態からローラー３４が押圧面３２と対向する位置に移動してローラー３４と押圧面３２との間でチューブ２７を押圧した状態になるまで）のピストン２８の動作のみをバネ３６の推力によって行い、その後のサックバック動作（すなわち、ローラー３４と押圧面３２との間でチューブ２７を押圧して流路を閉止した状態を保ったままチューブ２７及び押圧面３２に沿ってローラー３４を移動させる動作）を作動流体供給口３０より導入された圧縮空気の力によって行うこともできる。
【００３４】
上記のように少なくともバルブが全開状態から全閉状態になるまでの動作をバネの推力によって行うことにより、何らかのトラブルで作動流体の供給が停止した場合にはバルブが自動的に全閉状態になり、薬液が流出するのを防ぐことができる。
【実施例３】
【００３５】
図１０に本発明のバルブの第３の実施例を示す。
【００３６】
図１０において上側バルブハウジング３７、下側バルブハウジング３８の構造は前記実施例１と同様であるので説明は省略する。
【００３７】
４０は円柱状のピストンであり、ピストン４０は、両端部に、Ｏリング４７、４８が装着される溝を有しており、上側バルブハウジング３７のシリンダ室４２に摺動自在に嵌挿されている。上側バルブハウジング３７の開口部４５から露出するピストン４０の中央部の下面にはラック４９が設けられている。
【００３８】
４１は、略円形で一部が凸状に形成されたロータであり、該ロータ４１の上方の略円形部の外周円筒面にはピストン４０のラック４９と係合する歯車部５０が形成されており、下方の凸形状部にはロータ４１の回転によりロータ４１の回転軸線を中心として公転するローラー５１が回転自在に設置されている。ローラー５１はロータ４１の回転に伴ってチューブ３９を下側バルブハウジング３８の押圧面４６に押しつける挟圧子の役割をはたしている。ロータ４１の中央両側には軸部が設けられており、上側バルブハウジング３７の軸受け部と下側バルブハウジング３８の軸受け部とに回転可能な状態で支承されている（図示せず）。
【００３９】
次に、上記の構成からなる本実施の形態のバルブの動作は以下のようになる。
【００４０】
図１０は弁の開状態を示している。尚、流体はチューブ３９の内部を図中左側から右側へ向かって流れているものとする。上側バルブハウジング３７に設けられた作動流体供給口４３から外部より作動流体（例えば圧縮された空気等）が注入されると、該作動流体の圧力でピストン４０が右側へ移動する。このときラック４９と歯車部５０において係合するロータ４１は時計回りに回転することとなるため、ローラー５１は下側バルブハウジング３８の押圧面４６との間でチューブ３９を押しつぶし、チューブ３９の内部の流体が閉止される。更にピストン４０が右側へ移動すれば、それに伴ってロータ４１も時計回りに回転し、ローラー５１によってチューブ３９が押圧されている押圧位置は流体の閉止状態を保ったまま左側へ移動し、押圧位置より下流側のチューブ３９の内部の容積は最初に流体を閉止した瞬間における押圧位置より下流側のチューブ３９の内部の容積より増加することとなる。これにより下流側の流体が吸い戻されるサックバック動作が行われる。
【００４１】
一方、作動流体供給口４４から作動流体が注入されると、ピストン４０が左側に移動し、それに伴ってロータ４１が反時計回りに回転してバルブは開状態となる（図１０の状態）。
【実施例４】
【００４２】
図１１に本発明のバルブの第４の実施例を示す。
【００４３】
図１１において５２は上側バルブハウジングであり、上側バルブハウジング５２の下部には断面矩形状の凹部５６が形成されており、凹部５６の上面には、ロータ５５が収納される長方形の開口部（図示せず）と、流体の流れ方向と垂直な方向に延びる断面半円形の軸受け部５８が形成されている。また、上側バルブハウジング５２の底面には、流れ方向において凹部５６を挟んで両側に、それぞれの中央に流体の流れ方向と平行にチューブを収納するための断面半円形の溝部５７が設けられている。
【００４４】
下側バルブハウジング５３の構造は前記実施例１と同様であるので説明は省略する。
【００４５】
５５はロータであり、ロータ５５は、中央に円柱部６３が形成されていると共に、その両端に円盤部６４と軸部６５が連続的に形成されている。軸部６５は、上側バルブハウジングの軸受け部５８と下側バルブハウジングの軸受け部６１とによって回転可能な状態で支承されており、軸部６５の一方は後述するステッピングモータ６７の軸部６８の先端と結合される。円盤部６４の下方にはロータ５５の回転によりロータ５５の回転軸線を中心として公転するローラー６６が回転自在に設置されている。ローラー６６は、ロータ５５の回転に伴ってチューブ５４を下側バルブハウジング５３の押圧面６２に押しつける挟圧子の役割をはたしている。
【００４６】
６７はステッピングモータであり、ステッピングモータ６７の軸部６８の先端がロータ５５の軸部６５に結合固定されており、ステッピングモータ６７の回転に合わせてロータ５５が回転するようになっている。
【００４７】
本実施例のバルブの動作は前記第１の実施例と同様であるので詳細は省略するが、ロータ５５の回転をステッピングモータ６７で制御するため、サックバック動作の速度及びサックバック量の調整が容易である。
【実施例５】
【００４８】
図１２に本発明のバルブの第５の実施例を示す。
【００４９】
図１２において６９は上側バルブハウジングであり、上側バルブハウジング６９は、内部にシリンダ室７３と、該シリンダ室７３に連通した一対の作動流体供給口７４、７５とを有し、下部中央にはシリンダ室７３と連通した断面長方形の開口部７６が形成されており、上側バルブハウジング６９の底面には、軸線方向における開口部７６の両側の中央にそれぞれシリンダ室７３の軸線方向と平行に延びる断面半円形の溝部が７７設けられている。
【００５０】
７０は下側バルブハウジングであり、略逆Ｔ字状の形状を有しており、その下部の上面の両側部にはそれぞれ上側バルブハウジング６９の溝部７７と相対応する断面半円形の溝部７８が設けられており、該溝部７８は、内部が流体の流路となる弾性体からなるチューブ７１を上側バルブハウジング６９の溝部７７と共に挟持固定している。下側バルブハウジング７０の上面には段差が設けられており、その上段側が押圧面７９となっている。
【００５１】
７２は円柱状のピストンであり、ピストン７２は、両端部に、Ｏリング８０、８１が装着される溝を有しており、上側バルブハウジング６９のシリンダ室７３に摺動自在に嵌挿されている。ピストン７２の中央部には、シリンダ室７３の軸方向と垂直な方向に上側バルブハウジング６９の開口部７６から突出するように凸部８２が設けられている。凸部８２の先端にはチューブ７１と直交するローラー８３が回転可能な状態で設置されている。
【００５２】
上記の構成からなる本実施例のバルブの動作は以下のようになる。
【００５３】
図１２は弁の開状態を示している。尚、流体はチューブ７１内部を図中左側から右側へ向かって流れているものとする。上側バルブハウジング６９に設けられた作動流体供給口７５から外部より作動流体（例えば圧縮された空気等）が注入されると、該作動流体の圧力でピストン７２が左側へ移動する。このとき凸部８２の先端のローラー８３が左側に移動して、押圧面７９との間でチューブ７１を押しつぶし、チューブ７１内部の流体が閉止される（図１３の状態）。
【００５４】
更にピストン７２が左側へ移動すれば、ローラー８３によってチューブ７１が押圧されている押圧位置は流体の閉止状態を保ったまま左側へ移動し、押圧位置より下流側のチューブ７１の内部の容積は最初に流体を閉止した瞬間における押圧位置より下流側のチューブ７１の内部の容積より増加することとなる（図１４の状態）。これにより下流側の流体が吸い戻されるサックバック動作が行われる。
【００５５】
一方、作動流体供給口７４から作動流体が注入されると、ピストン７２が右側に移動し、それに伴ってローラー８３もチューブ７１を押しつぶさない位置まで移動してバルブは開状態となる（図１２の状態）。
【産業上の利用可能性】
【００５６】
半導体製造におけるフォトレジストの塗布工程や各種産業における塗料や接着剤等の高粘度の薬液をノズルから塗布する工程において、バルブ閉止後にノズル先端から液だれが発生して製品歩留まりの悪化等の問題が生じる恐れのあるところ。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明のバルブの開状態を示す縦断面図である。
【図２】本発明の上側バルブハウジングを下方向から見た斜視図である。
【図３】本発明の下側バルブハウジングの斜視図である。
【図４】本発明のピストンの斜視図である。
【図５】本発明のロータの斜視図である。
【図６】図１のバルブの閉状態を示す縦断面図である。
【図７】図１のバルブがサックバック動作を行った状態を示す縦断面図である。
【図８】本発明の他の実施例を示す縦断面図である。
【図９】図８のバルブがサックバック動作を行った状態を示す縦断面図である。
【図１０】本発明の他の実施例のバルブの開状態を示す縦断面図である。
【図１１】本発明の他の実施例を示す分解斜視図である。
【図１２】本発明の他の実施例のバルブの開状態を示す縦断面図である。
【図１３】図１２のバルブの閉状態を示す縦断面図である。
【図１４】図１２のバルブがサックバック動作を行った状態を示す縦断面図である。
【符号の説明】
【００５８】
１…上側バルブハウジング
２…下側バルブハウジング
３…チューブ
４…ピストン
５…ロータ
６…シリンダ室
７…作動流体供給口
８…作動流体供給口
９…凹部
１０…開口部
１１…軸受け部
１２…溝部
１３…溝部
１４…押圧面
１５…凸部
１６…軸受け部
１７…Ｏ−リング
１８…Ｏ−リング
１９…切欠部
２０…円柱部
２１…円盤部
２２…軸部
２３…ローラー
２４…ローラー
２５…上側バルブハウジング
２６…下側バルブハウジング
２７…チューブ
２８…ピストン
２９…ロータ
３０…作動流体供給口
３１…作動流体供給口
３２…押圧面
３３…切欠部
３４…ローラー
３５…ローラー
３６…バネ
３７…上側バルブハウジング
３８…下側バルブハウジング
３９…チューブ
４０…ピストン
４１…ロータ
４２…シリンダ室
４３…作動流体供給口
４４…作動流体供給口
４５…開口部
４６…押圧面
４７…Ｏ−リング
４８…Ｏ−リング
４９…ラック
５０…歯車
５１…ローラー
５２…上側バルブハウジング
５３…下側バルブハウジング
５４…チューブ
５５…ロータ
５６…凹部
５７…溝部
５８…軸受け部
５９…凸部
６０…溝部
６１…軸受け部
６２…押圧面
６３…円柱部
６４…円盤部
６５…軸部
６６…ローラー
６７…ステッピングモータ
６８…軸部
６９…上側バルブハウジング
７０…下側バルブハウジング
７１…チューブ
７２…ピストン
７３…シリンダ室
７４…作動流体供給口
７５…作動流体供給口
７６…開口部
７７…溝部
７８…溝部
７９…押圧面
８０…Ｏ−リング
８１…Ｏ−リング
８２…凸部
８３…ローラー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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