(57)【要約】【課題】  簡単な構造で搬出箇所における物品の姿勢や搬送台車に対する位置を搬出に適した状態にする。【解決手段】  搬送台車１１に、物品載置台１２を旋回軸心Ｘ周りに旋回自在に設け、且つ、その物品載置台１２における物品載置範囲Ｓと旋回軸心Ｘとを偏心させた状態に設けて、搬入箇所８において物品載置範囲Ｓに載置した物品を、物品載置台１２の旋回により搬送台車１１に対する位置を変更させて搬出箇所９にて搬出できるように構成する。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品が搬入される搬入箇所と物品を搬出する搬出箇所とに亘って設定移動経路に沿って走行可能な搬送台車が設けられた物品搬送装置であって、
前記搬送台車に、物品載置台が旋回軸心周りに旋回自在に設けられ、且つ、その物品載置台における物品載置範囲と前記旋回軸心とを偏心させた状態で設けられて、前記搬入箇所において前記物品載置範囲に載置した物品を、前記物品載置台の旋回により前記搬送台車に対する位置を変更させて前記搬出箇所にて搬出できるように構成されている物品搬送装置。
【請求項２】
前記物品載置台が、その物品載置範囲を前記搬送台車の横幅方向に偏らせた状態で且つ前記旋回軸心を前記搬送台車の横幅方向の中央側に位置させた状態で前記搬送台車に設けられて、前記物品載置台の旋回により前記物品載置範囲を前記搬送台車の横幅方向に位置変更するように構成されている請求項１記載の物品搬送装置。
【請求項３】
前記物品載置台がその全面又は略全面を前記物品載置範囲とするように構成されている請求項１又は２記載の物品搬送装置。
【請求項４】
前記物品が平面視形状四角状であり、前記搬入箇所及び前記搬出箇所の夫々に、前記物品の四つの角部を受ける受け部を備えた物品支持枠が設けられ、
前記物品載置台が前記搬送台車に昇降自在に設けられて、前記搬入箇所において前記物品載置台を上昇させて前記物品を前記物品支持枠から浮上状態に載置支持し、且つ、前記搬出箇所において前記物品載置台を下降させて前記物品を前記物品支持枠に卸すことができるように構成されている請求項１〜３のいずれか１項に記載の物品搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物品が搬入される搬入箇所と物品を搬出する搬出箇所とに亘って設定移動経路に沿って走行可能な搬送台車が設けられた物品搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
かかる物品搬送装置において、従来では、搬送台車を設定移動経路に沿って走行させて、搬入箇所に搬入された物品を搬出箇所に搬送するように構成されているものがあった（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−１４２９１１号公報
【０００４】
物品搬送装置の搬送台車に物品載置台を旋回軸芯周りに旋回自在に設け、物品搬送装置の搬入箇所が位置する側に設定移動経路と直交する方向に走行移動する無人搬送車を設け、物品搬送装置の横側方に設定移動経路に沿って走行移動するスタッカークレーンを設けて、上記従来の物品搬送装置を用いた物品収納設備を構成し、無人搬送車にて物品を設定移動経路に沿う方向から搬入箇所に搬入し、物品載置台の旋回軸芯周りの旋回により搬入された物品の向きを搬出し易い向きに変更し且つ搬入箇所に物品搬送装置にて搬出箇所に移送し、その搬出箇所に移送された物品をスタッカークレーンにて搬出箇所から設定移動経路と直交する方向に搬送するように構成することが考えられる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記のような物品収納設備において、スタッカークレーンの両側に物品搬送装置を備えると、この一対の物品搬送装置の搬入箇所が位置する側のそれぞれに無人搬送車が停止できるように、一対の物品搬送装置における搬入箇所を互いに横幅方向に離間させる必要があり、また、スタッカークレーンのフォークの長さの関係上、搬出箇所の物品を搬出できるように、一対の物品搬送装置における搬出箇所を互いに横幅方向に近接させる必要があるため、搬入箇所と搬出箇所とが設定移動経路と直交する横幅方向にずれて位置する場合がある。
そこで、搬送台車を横幅方向にずれた搬入箇所と搬出箇所とに移動できるように搬送台車を横幅方向に移動可能に構成することが考えられるが、搬送台車を横幅方向に移動可能に構成することにより物品搬送装置の構造が複雑なものとなる。
【０００６】
本発明は、上記実状に鑑みて為されたものであって、その目的は、簡単な構造で搬出箇所における物品の向きや搬送台車に対する位置を搬出に適した状態にすることができる物品搬送装置を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本願発明の物品搬送装置は、物品が搬入される搬入箇所と物品を搬出する搬出箇所とに亘って設定移動経路に沿って走行可能な搬送台車が設けられた物品搬送装置であって、
第１特徴構成は、前記搬送台車に、物品載置台が旋回軸心周りに旋回自在に設けられ、且つ、その物品載置台における物品載置範囲と前記旋回軸心とを偏心させた状態で設けられて、前記搬入箇所において前記物品載置範囲に載置した物品を、前記物品載置台の旋回により前記搬送台車に対する位置を変更させて前記搬出箇所にて搬出できるように構成されている点を特徴とする。
【０００８】
すなわち、搬送台車に設けられた物品載置台が、その物品載置台の物品載置範囲と旋回軸心とを偏心させた状態で設けられているので、物品載置台を旋回軸芯周りに旋回させることにより物品の向きを搬出に適した向きに変更することができ、また、このように物品の向きを搬出に適した向きに変更すべく物品載置台を旋回軸芯周りに旋回させることにより、物品載置範囲に載置された物品は旋回軸芯周りに旋回移動して搬送台車に対する位置も変更することができる。従って、搬送台車に旋回軸心周りに旋回自在に設けるだけで、その物品載置台に載置された物品の向きや搬送台車に対する物品の位置を搬出に適した状態に変更させることができ、もって、簡単な構造で搬出箇所における物品の姿勢や搬送台車に対する位置を搬出に適した状態にすることができる物品搬送装置を提供することができるに至った。
【０００９】
第２特徴構成は、前記物品載置台が、その物品載置範囲を前記搬送台車の横幅方向に偏らせた状態で且つ前記旋回軸心を前記搬送台車の横幅方向の中央側に位置させた状態で前記搬送台車に設けられて、前記物品載置台の旋回により前記物品載置範囲を前記搬送台車の横幅方向に位置変更するように構成されている点を特徴とする。
【００１０】
すなわち、物品載置台がその物品載置範囲を搬送台車の横幅方向に偏らせた状態で搬送台車に設けられ、その物品載置台を搬送台車の横幅方向の中心側に位置させた旋回軸芯周りに旋回させることにより、物品載置範囲を搬送台車の横幅方向に位置変更させることができる。従って、搬入箇所における物品載置範囲の横幅方向の位置を物品の搬入を行い易い位置に変更でき、また、搬出箇所における物品載置範囲の横幅方向の位置を物品の搬出を行い易い位置に変更できるので、物品の搬入作業や物品の搬出作業を行ないやすくすることができる。
【００１１】
第３特徴構成は、前記物品載置台がその全面又は略全面を前記物品載置範囲とするように構成されている点を特徴とする。
【００１２】
すなわち、物品載置台の全面又は略全面を物品載置台とすることにより、物品載置台としては物品載置範囲を備える程度の大きさでよく、搬送台車の走行や旋回の際に邪魔になりにくい小型な物品載置台を構成することができる。
【００１３】
第４特徴構成は、前記物品が平面視形状四角状であり、前記搬入箇所及び前記搬出箇所の夫々に、前記物品の四つの角部を受ける受け部を備えた物品支持枠が設けられ、前記物品載置台が前記搬送台車に昇降自在に設けられて、前記搬入箇所において前記物品載置台を上昇させて前記物品を前記物品支持枠から浮上状態に載置支持し、且つ、前記搬出箇所において前記物品載置台を下降させて前記物品を前記物品支持枠に卸すことができるように構成されている点を特徴とする。
【００１４】
すなわち、搬出箇所及び搬入箇所の夫々に、フォーク等で搬出や搬出ができるように物品の４つの角部を受ける受け部を備えた物品支持枠が設けられているので、搬送台車が搬入箇所に走行移動する前に物品を搬入箇所に搬入することができ、また、物品が搬出箇所から搬出される前に搬送台車を搬入箇所側へ向けて走行移動させることができるので、物品の搬入箇所から搬出箇所への移送を円滑に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明による物品搬送装置をクリーンルーム用の物品保管設備に適用した場合の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１に示すように、物品保管設備は、平面視形状が長方形状であり内部に半導体のウェハを複数枚収納するように構成されたカセット（物品に相当）Ａを保管するために塵埃の少ない清浄化された室内空間に設置されており、外気遮蔽状態に設置空間を形成する防塵用ケース１７内に配設されている。
【００１６】
そして、物品保管設備は、カセットＡを載置保持する収納部を複数備えた収納棚１が相対向する一対を一組として配設されており、図示しないが、各収納棚１は収納部を上下方向と横方向に複数個並べて構成されている。相対向する収納棚１の間にはスタッカークレーン２がレール３に沿って移動可能に設けられており、収納棚１の入口側には、一対の物品搬送装置６が設けられている。スタッカークレーン２には、上下方向に昇降可能な昇降台４が設けられ、この昇降台にはレール３と直交する方向に伸縮するフォーク式の移載装置５が設けられている。
【００１７】
図１、図２に示すように、物品搬送装置６には、誘導ライン７ａに沿って走行する無人搬送車７にて搬入出口Ｋを通してカセットＡが搬出入される搬送車側搬出入箇所（搬入箇所並びに搬出箇所に相当）８とスタッカークレーン２にてカセットＡが搬出入されるクレーン側搬出入箇所（搬入箇所並びに搬出箇所に相当）９とに亘って設定移動経路に沿って走行可能な搬送台車１１が設けられている。
つまり、物品搬送装置６は、無人搬送車７にて搬出入口Ｋを通してカセットＡが搬送車側搬出入箇所８に搬入されると、そのカセットＡをクレーン側搬出入箇所９まで搬送するように構成されている。そのクレーン側搬出入箇所９に搬送されたカセットＡはスタッカークレーン２にて搬送して収納棚１に収納される。また、収納棚１に収納されているカセットＡがスタッカークレーン２にてクレーン側搬出入箇所９に搬入されると、そのカセットＡを搬送車側搬入出箇所８に搬送するように構成されている。その搬送車側搬出入箇所８に搬送されたカセットＡは搬出入口Ｋを通して無人搬送車７にて搬出される。
尚、搬出入口Ｋは、無人搬送車７にて搬出入口Ｋを通してカセットＡを搬入や搬出する際は開けられているが、搬入や搬出が行われない際には開閉扉Ｄにて閉じられている。
【００１８】
図３に示すように、基枠１３に搬送台車１１の設定移動経路に沿って左右一対の案内フレーム部分１３ａが備えられており、その案内フレーム部分１３ａに搬送台車１１が設定移動経路に沿って走行自在に支持されている。そして、搬送台車１１に設けられて電動モータ１６にて駆動されるピニオンギヤ１４が、案内フレーム部分１３ａの下面に備えられたラック１５に噛み合わされている。従って、電動モータ１６にてピニオンギヤ１４が駆動回転することによって、搬送台車１１が案内フレーム部分１３ａに案内されて設定移動経路に沿って走行することにより、搬送車側搬出入箇所８とクレーン側搬出入箇所９とに亘って走行移動するように構成されている。
【００１９】
図２、図３に示すように、搬送台車１１には、上面の全面がカセットＡを載置支持する物品載置範囲Ｓに構成された物品載置台１２が旋回軸芯Ｘ周りに旋回自在に且つ昇降自在に設けられている。具体的に説明すると、搬送台車１１の横幅方向の中央側には、上下方向に伸縮自在なシリンダ装置１８が上下軸心周りに回転自在に支持されており、そのシリンダ装置１８のロッド部の上端に物品載置台１２が支持されている。従って、図示しない回転操作手段にてシリンダ装置１８を回転させることにより物品載置台１２が旋回軸芯Ｘ周りに旋回し、シリンダ装置１８を伸縮させることにより物品載置台１２が昇降するように構成されている。
そして、シリンダ装置１８が搬送台車１１の横幅方向の中央側に位置することにより物品載置台１２の旋回軸芯Ｘは搬送台車１１の横幅方向の中央側に位置しており、その旋回軸芯Ｘと物品載置範囲Ｓの中心Ｙとが横幅方向にずれるように物品載置台１２がシリンダ装置１８に支持されている。よって、物品載置台１２は搬送台車１１の横幅方向に偏らせた状態で搬送台車１１に設けられており、物品載置台１２の旋回により物品載置台１１をつまりは物品載置範囲Ｓを搬送台車１１の横幅方向に位置変更するように構成されている。
【００２０】
従って、搬送台車１１の横幅方向に偏らせた状態の物品載置台１２を旋回軸芯Ｘ周りに９０°旋回させると、物品搬送台１２は旋回軸芯Ｘに対して、搬送台車１１の横幅方向に偏らない状態となるように構成されている。具体的に説明すると、図４（ハ）示すように、物品載置台１２を旋回軸芯Ｘに対して、搬送台車１１の横幅方向のスタッカークレーン２側に偏らせた状態から、物品載置台１２を反時計回りに９０°旋回させると、図４（イ）に示すように、物品搬送台１２は旋回軸芯Ｘに対して、搬送台車１１の横幅方向に偏らない状態とすることができるように構成されている。
【００２１】
図２、図３に示すように、搬送車側搬入出箇所８及びクレーン側搬出入箇所９の夫々に物品支持枠２０が設けられており、この物品支持枠２０は、基枠１３に立設された４本のフレーム部２２と夫々のフレーム部２２の頂部にカセットＡの４つの角部を受ける板状の受け部２１とで構成されている。そして、受け部２１の上面にはカセットＡの角部に対応した突起部２１ａが形成されており、この突起部２１ａがカセットＡの側面に接当することによりカセットＡの位置ずれが規制されている。
【００２２】
次に、物品搬送装置６にてカセットＡを搬送車側搬出入箇所８からクレーン側搬出入箇所９に搬送する場合について説明する。無人搬送車７にて搬送車側搬出入箇所８の物品支持枠２０に支持される状態に搬入された状態において、図５（イ）に示すように、搬送車側搬出入箇所８において物品載置台１２を上昇させてカセットＡを物品支持枠２０から浮上状態に載置支持し、搬送台車１１を搬送車側搬出入箇所８からクレーン側搬出入箇所９に走行させ、図５（ロ）に示すように、クレーン側搬出入箇所９において物品載置台１２を下降させてカセットＡを物品支持枠２０に卸すことで、カセットＡがクレーン側搬出入箇所９に搬送される。この物品支持枠２０上に搬送されたカセットＡは、スタッカークレーン２にて搬出されて収納棚１に収納される。
そして、図４に示すように、シリンダ装置１８の時計回りの回転操作にて物品載置台１２を旋回軸心Ｘ周りに９０°旋回させることにより、長手方向が搬送台車１１の走行方向に沿う姿勢から走行方向に交差する姿勢にカセットＡの姿勢が姿勢変更されるとともに、カセットＡの位置が搬送台車１１の横幅方向ではスタッカークレーン２側に位置変更され、走行方向では搬出入口Ｋから離れる側に位置変更される。つまり、搬送台車１１の搬送車側搬出入箇所８からクレーン側搬出入箇所９への走行途中で物品載置台１２を旋回させることにより、カセットＡの姿勢をスタッカークレーン２のフォーク挿入方向に合わせるように姿勢変更させながらカセットＡをスタッカークレーン２に近づくように位置変更させることができる。
【００２３】
また、物品搬送装置６にてカセットＡをクレーン側搬出入箇所９から搬送車側搬出入箇所８へ搬送する場合について説明すると、スタッカークレーン２にてクレーン側搬出入箇所９の物品支持枠２０に支持される状態に搬入された状態において、図５（ロ）に示すように、クレーン側搬出入箇所９において物品載置台１２を上昇させてカセットＡを物品支持枠２０から浮上状態に載置支持し、搬送台車１１をクレーン側搬出入箇所９から搬送車側搬出入箇所８に走行させ、図５（イ）に示すように、搬送車側搬出入箇所８において物品載置台１２を下降させてカセットＡを物品支持枠２０に卸すことで、カセットＡが搬送車側搬出入箇所９に搬送される。この物品支持枠２０上に搬送されたカセットＡは、無人搬送車７にて搬出入口Ｋを通して搬出される。
そして、図４に示すように、シリンダ装置１８の反時計回りの回転操作にて物品載置台１２を旋回軸心Ｘ周りに９０°旋回させることにより、長手方向が搬送台車１１の走行方向と直交する姿勢から走行方向に沿う姿勢にカセットＡの姿勢が姿勢変更されるとともに、カセットＡの位置が搬送台車１１の横幅方向ではスタッカークレーン２から離れる側に位置変更され、走行方向では搬出入口Ｋ側に位置変更される。つまり、搬送台車１１のクレーン側搬出入箇所９から搬送車側搬出入箇所８への走行途中で物品載置台１２を反時計回りに旋回させることにより、カセットＡの姿勢を無人搬送車７のフォーク挿入方向に合わせるように姿勢変更させながらカセットＡを無人搬送車７に近づくように位置変更させることができる。
【００２４】
〔別実施の形態〕
（１）  上記実施の形態では、搬送台車１１の走行方向に沿う方向に無人搬送車７にてカセットＡを搬出入し、搬送台車１１の走行方向と直交する方向にスタッカークレーン２にて搬出入するように構成したが、図６に示すように、無人搬送車７による搬出入並びにスタッカークレーン２による搬出入の両方を、搬送台車１１の走行方向と直交する方向に行うように構成してもよく、また、無人搬送車７による搬出入並びにスタッカークレーン２による搬出入の両方を、搬送台車１１の走行方向に沿う方向に行うように構成してもよい。
【００２５】
（２）  上記各実施の形態では、物品載置台１２の上面の全面を物品載置範囲Ｓに設定し、物品載置台１２を搬送台車１１の横幅方向に偏らせた状態となるように旋回軸芯Ｘから横幅方向に偏心させた状態に設けたが、物品載置台１２の上面の横幅方向の一方側に偏らせて物品載置範囲Ｓを設定し、物品載置台１２を旋回軸芯Ｘから偏心させない状態に設けてもよい。
【００２６】
（３）  上記各実施の形態では、搬出箇所に搬送されたカセットＡを搬出するように構成したが、搬出箇所に搬送されたカセットＡに収納されているウェハを取り出して搬出し、ウェハに対して後処理を行った後そのウェハを搬出箇所のカセットＡ内に戻すように構成してもよい。
【００２７】
（４）  上記各実施の形態では、収納棚１の入口側に一対の物品搬送装置６を設けるように構成したが、収納棚１の入口側の一側方にだけ物品搬送装置６設ける、又は、スタッカークレーン２の走行経路の一側方に物品搬送装置６を複数台備える、或いは、物品保管設備にカセットＡを収納する際に使用する搬入用の物品搬送装置６と物品保管設備からカセットＡを取り出す際に使用する搬出用の物品搬送装置６とを別々に備える等、物品保管設備のレイアウトは適宜変更可能である。また、物品として、カセットＡの他にパレットやコンテナでもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】物品保管設備の平面図
【図２】物品搬送装置の平面図
【図３】物品搬送装置の側面図
【図４】物品搬送装置の平面作用図
【図５】物品搬送装置の側面作用図
【図６】別実施の形態（１）における物品搬送装置の平面図
【符号の説明】
【００２９】
８、９  搬入箇所
８、９  搬出箇所
１１    搬送台車
１２    物品載置台
２０    物品支持枠
２１    受け部
Ａ    物品
Ｓ    物品載置範囲
Ｘ    旋回軸芯
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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