(57)【要約】【課題】副走査方向に配列された発光部の間隔を狭めても混色を防止することができる露光装置を提供する。【解決手段】有機ＥＬ素子２０の発光光は、カラーフィルタにより混色成分が除去され、ＳＬＡ３０により集光されて、感光材料に照射される。感光材料の同一位置を露光する発光部２０Ｒ、２０Ｇ、及び２０Ｂについて、発光光に混色成分を含まない発光部２０Ｒを真中に配置し、この発光部２０Ｒの両側に発光部２０Ｇと発光部２０Ｂとを配置したので、Ｇ光用のカラーフィルタ１００Ｇに発光部２０ＢからのＢ光が入射することがなく、Ｂ光用のカラーフィルタ１００Ｂに発光部２０ＧからのＧ光が入射することがない。従って、発光部２０Ｒ、２０Ｇ、及び２０Ｂを各々の有効成分の光路がフィルタ面上で重なり合うように配置しても、発光部２０Ｇ及び２０Ｂに対応して混色成分を除去するカラーフィルタを配置するだけで、混色を防止することができる。【選択図】図５
2005067026.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基板の一方の面上に、感光材料に対して混色を引き起こす混色成分を含まない発光スペクトルで発光する第１発光部と、混色成分を含み且つ前記第１発光部と異なる発光スペクトルで発光する第２発光部とが、前記第２発光部同士が副走査方向において隣り合わないように形成された有機EL素子と、
前記透明基板を介して取り出された光を感光材料に結像させる結像光学素子と、
前記第２発光部から前記結像光学素子に入射する光が通過するように前記透明基板の他方の面上に設けられ、前記第２発光部の発光光から少なくとも混色成分を除去するフィルタと、
を備えた露光装置。
【請求項２】
前記第１発光部から前記結像光学素子に入射する光の光路と、前記第１発光部に隣接する第２発光部から前記結像光学素子に入射する光の光路とが、前記透明基板の他方の面上で部分的に重なり合うように、前記第１発光部及び前記第２発光部を透明基板の一方の面上に形成した請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記フィルタは、前記第２発光部の発光光から混色成分を除去すると共に前記第１発光部の発光光を透過する請求項１又は２に記載の露光装置。
【請求項４】
透明基板の一方の面上に、カラー感光材料の青感光層及び緑感光層に対して混色を引き起こす混色成分を含まない発光スペクトルで発光する赤色発光部と、青感光層及び赤感光層に対して混色を引き起こす混色成分を含む発光スペクトルで発光する緑色発光部と、緑感光層及び赤感光層に対して混色を引き起こす混色成分を含む発光スペクトルで発光する青色発光部とが、前記緑色発光部と前記青色発光部とが副走査方向において隣り合わないように前記赤色発光部を間に配置して形成された有機EL素子と、
前記透明基板を介して取り出された光をカラー感光材料に結像させる結像光学素子と、
前記緑色発光部から前記結像光学素子に入射する光が通過するように前記透明基板の他方の面上に設けられ、前記緑色発光部の発光光から少なくとも混色成分を除去する緑色光用フィルタと、
前記青色発光部から前記結像光学素子に入射する光が通過するように前記透明基板の他方の面上に設けられ、前記青色発光部の発光光から少なくとも混色成分を除去する青色光用フィルタと、
を備えた露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、露光装置に係り、特に、光源に有機エレクトロ・ルミネッセンス（ＥＬ）素子を用いて感光材料を露光する露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
蛍光性の有機物質を発光層に用いた有機ＥＬ素子は、他の発光素子に比べて製造が容易であり、薄型かつ軽量の発光素子が構成できる等の利点により、従来、薄型ディスプレイ用素子として研究開発が進められてきた。近年では、発光輝度、発光効率、耐久性等の点でも発光ダイオード（ＬＥＤ）に匹敵する高性能の有機ＥＬ素子が得られていることから、ハロゲン化銀感光材料等の感光材料を露光する露光装置への応用が検討されている。
【０００３】
有機ＥＬ素子を光源に用いた露光装置としては、例えば、図１８に示すように、赤色（Ｒ）緑色（Ｇ）青色（Ｂ）各色に発光する発光部を備えた有機ＥＬ素子を用いたものが提案されている（特許文献１）。この露光装置では、有機ＥＬ素子の透明基板４の光取出し側の面に、ＲＧＢ各色に発光する発光部の形成パターンに応じてＲＧＢ各色のカラーフィルタ３が形成されており、カラーフィルタ３で混色を防止して色再現性の良好なカラー画像を得ている。
【特許文献１】特開２００１−１６７８７４号公報、図３、段落００３２等
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、ＲＧＢ各色の発光部からの光を、対応するカラーフィルタ３を通過させて等倍結像素子（セルフォックレンズアレイ）１５に入射させるためには、ＲＧＢ各色の発光部を相互に離間して配置しなければならず、一部の発光部について等倍結像素子１５を透過する光量が低下したり、光量分布にムラが発生するという問題があった。
【０００５】
一方、セルフォックレンズアレイのレンズ列数を増やすことで透過光量の低下を防止することができるが、レンズ列数を増やしたのではコストアップを招いてしまう。また、透明基板を薄くすればＲＧＢ各色の発光部の離間距離を狭めることができるが、透明基板を薄くしたのでは有機ＥＬ素子の強度が低下し、反り等が発生してしまう。
【０００６】
本発明は、上記問題を解決すべく成されたものであり、本発明の目的は、副走査方向に配列された発光部の間隔を狭めても混色を防止することができる露光装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために本発明の露光装置は、透明基板の一方の面上に、感光材料に対して混色を引き起こす混色成分を含まない発光スペクトルで発光する第１発光部と、混色成分を含み且つ前記第１発光部と異なる発光スペクトルで発光する第２発光部とが、前記第２発光部同士が副走査方向において隣り合わないように形成された有機EL素子と、前記透明基板を介して取り出された光を感光材料に結像させる結像光学素子と、前記第２発光部から前記結像光学素子に入射する光が通過するように前記透明基板の他方の面上に設けられ、前記第２発光部の発光光から少なくとも混色成分を除去するフィルタと、を備えたことを特徴としている。
【０００８】
本発明の露光装置では、有機EL素子の第１発光部は混色成分を含まない発光スペクトルで発光し、第２発光部は混色成分を含み且つ第１発光部と異なる発光スペクトルで発光する。そして、第１発光部の発光光は、透明基板を介して取り出され、結像光学素子により感光材料に結像される。一方、第２発光部の発光光は、透明基板を介して取り出され、透明基板の有機EL素子が形成された面とは異なる面（フィルタ面）上に設けられたフィルタを通過して少なくとも混色成分が除去された後、結像光学素子により感光材料に結像される。
【０００９】
ここで、第２発光部同士は、副走査方向において隣り合わないように形成されている。即ち、混色成分を含む第２発光部の隣には、混色成分を含まない第１発光部が形成されている。従って、副走査方向に配列された第１発光部と第２発光部とを近付けても、第１発光部に由来した混色成分がフィルタを透過することがなく、フィルタにより第２発光部の発光光から混色成分を除去することで、混色を防止することができる。
【００１０】
例えば、第１発光部から結像光学素子に入射する光の光路と、第１発光部に隣接する第２発光部から結像光学素子に入射する光の光路とが、透明基板のフィルタ面上で部分的に重なり合うように、第１発光部と第２発光部とを近付けても、フィルタにより第２発光部の発光光から混色成分を除去することで、混色を防止することができる。
【００１１】
上記の露光装置において、第２発光部の発光光から混色成分を除去すると共に第１発光部の発光光を透過するフィルタを用いることができる。第１発光部は混色成分を含まない発光スペクトルで発光するので、第１発光部の発光光を透過するフィルタを用いても混色を防止することができる。
【００１２】
本発明をRGB３色の発光光で青感光層、緑感光層、及び赤感光層を備えたカラー感光材料を露光する露光装置に適用することができる。例えば、透明基板の一方の面上に、カラー感光材料の青感光層及び緑感光層に対して混色を引き起こす混色成分を含まない発光スペクトルで発光する赤色発光部と、青感光層及び赤感光層に対して混色を引き起こす混色成分を含む発光スペクトルで発光する緑色発光部と、緑感光層及び赤感光層に対して混色を引き起こす混色成分を含む発光スペクトルで発光する青色発光部とが、前記緑色発光部と前記青色発光部とが副走査方向において隣り合わないように前記赤色発光部を間に配置して形成された有機EL素子と、前記透明基板を介して取り出された光をカラー感光材料に結像させる結像光学素子と、前記緑色発光部から前記結像光学素子に入射する光が通過するように前記透明基板の他方の面上に設けられ、前記緑色発光部の発光光から少なくとも混色成分を除去する緑色光用フィルタと、前記青色発光部から前記結像光学素子に入射する光が通過するように前記透明基板の他方の面上に設けられ、前記青色発光部の発光光から少なくとも混色成分を除去する青色光用フィルタと、を備えた露光装置として構成することができる。
【発明の効果】
【００１３】
以上説明したように本発明によれば、副走査方向に配列された発光部の間隔を狭めても混色を防止することができる、という効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
（第１の実施の形態）
図１に示すように、本発明の第１の実施の形態に係る露光装置は、透明基板１０と、透明基板１０上に蒸着により形成された有機ＥＬ素子２０と、有機ＥＬ素子２０の発光光を集光して感光材料４０に照射するセルフォックレンズアレイ（以下、「ＳＬＡ」という）３０と、透明基板１０やＳＬＡ３０を支持する支持体５０とを備えている。また、透明基板１０の裏面には、混色成分を除去するカラーフィルタ１００が、有機ＥＬ素子２０の発光部の形成パターンに応じて形成されている。
【００１５】
有機ＥＬ素子２０は、透明基板１０上に、透明陽極２１、発光層を含む有機化合物層２２、金属陰極２３が順次積層されて形成されている。発光層を含む有機化合物層２２の材料を適宜選択することで所望の色の発光光を得ることができ、透明基板１０上には、赤色（Ｒ）光を発光する発光部２０Ｒ、緑色（Ｇ）光を発光する発光部２０Ｇ、及び青色（Ｂ）光を発光する発光部２０Ｂが、後述する所定のパターンで形成されている。
【００１６】
この有機ＥＬ素子２０は、例えば、図１に示すステンレス製缶等の封止部材６０により覆われている。封止部材６０の縁部と透明基板１０とは接着されて、乾燥窒素ガスで置換された封止部材６０内に有機ＥＬ素子２０が封止されている。この有機ＥＬ素子２０の透明陽極２１と金属陰極２３との間に所定電圧が印加されると、有機化合物層２２に含まれる発光層が発光し、発光光が透明陽極２１及び透明基板１０を介して取り出される。なお、有機ＥＬ素子２０は、波長安定性に優れる特性がある。
【００１７】
透明基板１０は、発光光に対して透明な基板であり、ガラス基板、プラスチック基板等を用いることができる。また、透明基板１０には、一般的な基板特性として、耐熱性、寸法安定性、耐溶剤性、電気絶縁性、加工性、低通気性、低吸湿性等が要求される。
【００１８】
透明陽極２１は、４００ｎｍ〜７００ｎｍの可視光の波長領域において、少なくとも５０パーセント以上、好ましくは７０パーセント以上の光透過率を有するものが好ましい。透明陽極２１を構成するための材料としては、酸化錫、酸化錫インジウム（ＩＴＯ）、酸化亜鉛インジウムなどの透明電極材料として公知の化合物のほか、金や白金など仕事関数が大きい金属からなる薄膜を用いてもよい。また、ポリアニリン、ポリチオフェン、ポリピロールまたはこれらの誘導体などの有機化合物でもよい。透明導電膜については、沢田豊監修「透明導電膜の新展開」シーエムシー刊（１９９９年）に詳細に記載されており、本発明に適用することができる。また、透明陽極２１は、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法などにより、透明基板１０上に形成することができる。
【００１９】
有機化合物層２２は、発光層のみからなる単層構造であってもよいし、発光層の外に、ホール注入層、ホール輸送層、電子注入層、電子輸送層等のその他の層を適宜有する積層構造であってもよい。有機化合物層２２の具体的な構成（電極を含む）としては、陽極／ホール注入層／ホール輸送層／発光層／電子輸送層／陰極、陽極／発光層／電子輸送層／陰極、陽極／ホール輸送層／発光層／電子輸送層／陰極などが挙げられる。また、発光層、ホール輸送層、ホール注入層、電子注入層を複数設けてもよい。
【００２０】
有機化合物層２２の各層は、透明電極２１側の層から低分子系の各有機材料を蒸着によって順次薄膜形成して積層させることで形成することができる。この際、蒸着マスクを用いることで、簡単にパターンニングすることができる。
【００２１】
金属陰極２３は、仕事関数の低いＬｉ、Ｋなどのアルカリ金属、Ｍｇ、Ｃａなどのアルカリ土類金属、及びこれらの金属とＡｇやＡｌなどとの合金や混合物等の金属材料から形成されるのが好ましい。陰極における保存安定性と電子注入性とを両立させるために、上記材料で形成した電極を仕事関数が大きく導電性の高いＡｇ、Ａｌ、Ａｕなどで更に被覆してもよい。なお、金属陰極２３も透明陽極２１と同様に、真空蒸着法、スパッタ法、イオンプレーティング法などの公知の方法で形成することができる。
【００２２】
ＳＬＡ３０は、複数のセルフォックレンズ３１で構成されている。セルフォックレンズ３１は、断面の半径方向に屈折率分布をもつ棒状の厚肉レンズである。セルフォックレンズ３１に入射された光は、光軸に対して正弦波状に蛇行しながら進行し、感光材料４０表面上で結像して露光スポット７０を結ぶように感光材料４０に向けて出力される。
【００２３】
また、露光スポットを絞り、光学的クロストークを抑制するために、このセルフォックレンズ３１の開口部は有機ＥＬ素子２０の各発光部の発光領域よりも大きく形成され、且つ隣り合うセルフォックレンズ３１同士は互いに接するように配列されてされている。なお、セルフォックレンズ３１は発光部と１対１で対応するように設けてもよいし、副走査方向に並んだ１組の発光部２０Ｒ、２０Ｇ、２０Ｂに１つ又は２つというように、個々のセルフォックレンズ３１が複数の発光部に対応するように設けてもよい。
【００２４】
カラーフィルタ１００は、顔料を分散させた樹脂、染料を染着させた樹脂で構成され、これらの着色樹脂液を、スピンコート等によりガラス基板上に塗布して着色レジスト層を形成する、フォトリソグラフィーによるパターニングを行ってカラーフィルター画素を形成する、着色画素を基板に直接印刷する等の方法で形成される。
【００２５】
次に、有機ＥＬ素子２０の発光部の配置について説明する。
【００２６】
図２に示すように、透明基板１０上には、発光部２０Ｒ、２０Ｇ、２０Ｂが形成されている。より詳しくは、複数の発光部２０Ｒを主走査方向に所定間隔ずつ隔てて配列した発光部列Ｒ、複数の発光部２０Ｇを主走査方向に所定間隔ずつ隔てて配列した発光部列Ｇ、複数の発光部２０Ｂを主走査方向に所定間隔ずつ隔てて配列した発光部列Ｂが、発光部列Ｒを真中にして、副走査方向に所定間隔ずつ隔ててＧ、Ｒ、Ｂの順で配置されている。また、各発光部列Ｒ、Ｇ、Ｂを構成する発光部２０Ｒ、２０Ｇ、２０Ｂの主走査方向の配置位置は同一とされている。これにより、副走査方向に配列されたＲ、Ｇ、Ｂ３色１組の発光部により感光材料４０の同一位置が露光され、露光スポット７０が形成される。
【００２７】
図３に、本実施の形態で使用する感光材料４０の分光感度特性を示す。この感光材料はインスタントカラーフィルムであり、Ｒ光で感光する赤感光層、Ｇ光で感光する緑感光層、及びＢ光で感光する青感光層を備え、ＲＧＢ各色について略等しい感度分布を有している。一方、本実施の形態で使用する有機ＥＬ素子２０は、ＲＧＢ各色について、図４に示す発光スペクトル特性を有している。図から分かるように、発光部２０Ｒから発光されるＲ光の発光スペクトルは他色の分光感度分布と殆ど重ならないが、発光部２０Ｇから発光されるＧ光の発光スペクトルは青色及び赤色の分光感度分布と重なり、発光部２０Ｂから発光されるＢ光の発光スペクトルは緑色及び赤色の分光感度分布と重なっている。従って、この発光スペクトル特性を有する有機ＥＬ素子２０を用いて、図３に示す感光材料４０をそのまま露光すると、発光部２０ＧからのＧ光及び発光部２０ＢからのＢ光により混色が発生する。
【００２８】
次に、カラーフィルタの配置について説明する。
【００２９】
図５（Ａ）は、カラーフィルタの周辺構造を示す、露光装置の副走査方向に沿った部分断面図である。図５（Ｂ）に示すように、ＳＬＡ３０には、セルフォックレンズ３１が中心線（一点鎖線で示す）に沿って２列に配列されている。
【００３０】
既に説明したように、透明基板１０上には、発光部列Ｒ、発光部列Ｇ、及び発光部列Ｂが、発光部列Ｒを真中にして、副走査方向にＧ、Ｒ、Ｂの順で配置されている。換言すれば、発光部列Ｒを構成する発光部２０Ｒは、副走査方向においてその中心線とＳＬＡ３０の中心線とが略一致するように配置され、この発光部２０Ｒの両側（中心線に対し外側）に発光部２０Ｇと発光部２０Ｂとが配置されている。
【００３１】
また、発光部２０Ｒ、２０Ｇ、及び２０Ｂの各々から発光された光は、透明基板１０を介して取り出され、ＳＬＡ３０を通過して感光材料４０に照射される。図５では、発光部２０Ｒ、２０Ｇ、２０Ｂの発光光の内、ＳＬＡ３０により感光材料４０に結像され露光に寄与する有効成分の光路だけを図示した。図から分かるように、発光部２０Ｒ、２０Ｇ、及び２０Ｂの副走査方向の配置間隔が狭く、隣り合う発光部から発光される有効成分の光路は、透明基板１０の裏面（以下、「フィルタ面」という）で相互に重なり合っている。このように、発光部の副走査方向の配置間隔を狭めることで、外側に配置された発光部２０Ｇ及び２０ＢからＳＬＡ３０に入射する光量が増加してカラーバランスが改善され、ＳＬＡ３０のレンズ配列に起因する光量分布のムラも解消される。
【００３２】
透明基板１０のフィルタ面には、発光部２０ＧからＳＬＡ３０に入射する光の光路上に、この光が必ずフィルタを通過するように、Ｇ光用のカラーフィルタ１００Ｇが配置される。カラーフィルタ１００Ｇは、発光部２０Ｇから発光されるＧ光から青色及び赤色の分光感度分布と重なりがある混色成分を除去して混色を防止する。同様に、発光部２０ＢからＳＬＡ３０に入射する光の光路上には、Ｂ光用のカラーフィルタ１００Ｂが配置され、発光部２０Ｂから発光されるＢ光から緑色及び赤色の分光感度分布と重なりがある混色成分を除去して混色を防止する。一方、発光部２０Ｒから発光されるＲ光の発光スペクトルは、他色の分光感度分布と殆ど重ならず混色を生じないため、Ｒ光用のカラーフィルタは設けられていない。
【００３３】
以上の通り構成された露光装置では、有機ＥＬ素子２０の発光光は、カラーフィルタにより混色成分が除去され、ＳＬＡ３０により集光されて、感光材料４０に照射される。本実施の形態では、感光材料４０の同一位置を露光する発光部２０Ｒ、２０Ｇ、及び２０Ｂについて、発光光に混色成分を含まない発光部２０Ｒを真中に配置し、この発光部２０Ｒの両側に発光部２０Ｇと発光部２０Ｂとを配置したので、発光部２０Ｇ及び発光部２０Ｂに対応して混色成分を除去するカラーフィルタを配置するだけで、混色を防止することができる。
【００３４】
これに対し、図６に示すように、発光部２０Ｇと発光部２０Ｂとが隣り合うように配置されている場合には、発光部２０Ｇから発光される有効成分の光路と、発光部２０Ｂから発光される有効成分の光路とはフィルタ面上で相互に重なり合う。このため、同様のフィルタ配置では混色を防止することができない。例えば、発光部２０ＢからＳＬＡ３０に入射する光の光路上に、この光が必ずフィルタを通過するように、Ｂ光用のカラーフィルタ１００Ｂを配置すると、重なり部分にもカラーフィルタ１００Ｂが配置されることになる。従って、発光部２０ＧからＳＬＡ３０に入射するＧ光の一部（斜線部分）は、カラーフィルタ１００Ｂに入射し、Ｂ光にとっての混色成分（Ｇ光、Ｒ光）が除去され、Ｇ光にとっての混色成分（Ｂ光）は除去されずに透過する。この結果、混色が発生する。
【００３５】
これと比較すれば明らかなように、本実施の形態では、発光光に混色成分を含む発光部２０Ｇと発光部２０Ｂとが隣り合わないように配置されているので、Ｇ光用のカラーフィルタ１００Ｇに発光部２０ＢからのＢ光が入射することがなく、Ｂ光用のカラーフィルタ１００Ｂに発光部２０ＧからのＧ光が入射することがない。従って、上述した通り、発光部２０Ｒ、２０Ｇ、及び２０Ｂを各々の有効成分の光路がフィルタ面上で重なり合うように配置しても、発光部２０Ｇ及び２０Ｂに対応して混色成分を除去するカラーフィルタを配置するだけで、混色を防止することができる。
【００３６】
また、発光部２０ＲからＳＬＡ３０に入射するＲ光の一部は、カラーフィルタ１００Ｇ及びカラーフィルタ１００Ｂにより遮断され、Ｒ光の透過光量が低下する。発光部２０Ｒ、２０Ｇ、及び２０Ｂの発光輝度を同一にした場合、ＳＬＡ３０に対し中心に配置される発光部２０Ｒからの透過光量は、外側に配置される発光部２０Ｇ及び２０Ｂからの透過光量よりも多くなるため、Ｒ光の透過光量が低下することで、露光光量のバランスが却って改善される場合もある。一方、Ｒ光の透過光量が不足するのを防止するため、Ｒ光の光路が確保されるようにカラーフィルタ１００Ｇ及び１００Ｂを配置する必要がある。
【００３７】
（第２の実施の形態）
第２の実施の形態に係る露光装置は、図７に示すように、透明基板１０上に、Ｒ光を発光する発光部２０Ｒと、Ｇ光及びＢ光を発光する発光部２０ＧＢとが形成された有機ＥＬ素子２０を用いた以外は、第１の実施の形態に係る露光装置と同じ構成であるため、同一部分には同じ符号を付して説明を省略する。
【００３８】
図８に、発光部２０Ｒと発光部２０ＧＢとが形成された有機ＥＬ素子２０の発光スペクトル特性を示す。この有機ＥＬ素子２０を用いて、図３に示す感光材料４０を露光する場合を考える。図３及び図８から分かるように、発光部２０Ｒから発光されるＲ光の発光スペクトルは他色の分光感度分布と殆ど重ならないが、発光部２０ＧＢから発光されるＧＢ光の発光スペクトルは青色、緑色及び赤色の分光感度分布と重なっている。従って、この発光スペクトル特性を有する有機ＥＬ素子２０を用いて、図３に示す感光材料４０をそのまま露光すると、発光部２０ＧＢからのＧＢ光により混色が発生する。
【００３９】
本実施の形態では、有機ＥＬ素子２０の透明基板１０上に、Ｇ光を発光する発光部２０ＧとＢ光を発光する発光部２０Ｂとを別々に形成する代わりに、Ｇ光及びＢ光を発光する発光部２０ＧＢが形成されている。第１の実施の形態と同様に、発光部２０Ｒは、副走査方向においてその中心線とＳＬＡ３０の中心線とが略一致するように配置され、この発光部２０Ｒの両側に発光部２０ＧＢが配置される。また、透明基板１０のフィルタ面には、一方の発光部２０ＧＢからＳＬＡ３０に入射する光の光路上に、Ｇ光用のカラーフィルタ１００Ｇが配置され、他方の発光部２０ＧＢからＳＬＡ３０に入射する光の光路上に、Ｂ光用のカラーフィルタ１００Ｂが配置される。
【００４０】
以上の通り構成された露光装置では、カラーフィルタ１００Ｇにより、発光部２０ＧＢから発光されるＧＢ光から青色及び赤色の分光感度分布と重なりがある混色成分が除去され、混色が防止される。同様に、Ｂ光用のカラーフィルタ１００Ｂにより、発光部２０ＧＢから発光されるＧＢ光から緑色及び赤色の分光感度分布と重なりがある混色成分が除去され、混色が防止される。
【００４１】
即ち、本実施の形態でも、第１の実施の形態に係る露光装置と同様に、感光材料４０の同一位置を露光する発光部２０Ｒ及び２０ＧＢについて、発光光に混色成分を含まない発光部２０Ｒを真中に配置し、この発光部２０Ｒの両側に発光部２０ＧＢを配置したので、発光部２０Ｒ及び２０ＧＢを各々の有効成分の光路がフィルタ面上で重なり合うように配置しても、発光部２０ＧＢに対応して混色成分を除去するカラーフィルタを配置するだけで、混色を防止することができる。
【００４２】
また、２種類の発光部でＲＧＢ３色の光を得ることができ、有機ＥＬ素子ひいては露光装置の製造コストを低減することができる。
【００４３】
（第３の実施の形態）
第３の実施の形態に係る露光装置は、発光部２０Ｒ、２０Ｇ、及び２０Ｂを備え且つ図９に示す発光スペクトル特性を有する有機ＥＬ素子２０を用い、Ｒ光を透過するカラーフィルタを配置した以外は、第１の実施の形態に係る露光装置と同じ構成であるため、同一部分には同じ符号を付して説明を省略する。
【００４４】
本実施の形態では、上述した通り、図９に示す発光スペクトル特性を有する有機ＥＬ素子２０が用いられる。この有機ＥＬ素子２０を用いて、図３に示す感光材料４０を露光する場合を考える。図３及び図９から分かるように、発光部２０Ｇから発光されるＧ光の発光スペクトルは、青色の分光感度分布とは大きく重なるが、赤色の分光感度分布とは殆ど重ならない。また、発光部２０Ｂから発光されるＢ光の発光スペクトルも、緑色の分光感度分布とは重なるが、赤色の分光感度分布とは殆ど重ならない。このような特性は、発光部２０Ｇ及び２０Ｂの発光スペクトルの狭帯域化、短波長化により実現することができる。更に、発光部２０Ｒから発光されるＲ光の発光スペクトルは、他色の分光感度分布と殆ど重ならない。
【００４５】
図１０に示すように、上記の有機ＥＬ素子２０では、第１の実施の形態と同様に、発光部２０Ｒは、副走査方向においてその中心線とＳＬＡ３０の中心線とが略一致するように配置され、この発光部２０Ｒの両側に発光部２０Ｇと発光部２０Ｂとが配置されている。また、透明基板１０のフィルタ面において、発光部２０ＧからＳＬＡ３０に入射する光の光路上には、Ｒ光を透過するＧ光用のカラーフィルタ１００ＧＲが配置され、発光部２０ＢからＳＬＡ３０に入射する光の光路上には、Ｒ光を透過するＢ光用のカラーフィルタ１００ＢＲが配置される。
【００４６】
カラーフィルタ１００ＧＲとしては、例えば、図１１に示すように、５００ｎｍ以下の波長の光だけを遮断するものを用いることができる。また、カラーフィルタ１００ＢＲとしては、例えば、図１２に示すように、５００ｎｍ〜６００ｎｍの波長の光だけを遮断するものを用いることができる。
【００４７】
以上の通り構成された露光装置では、カラーフィルタ１００ＧＲにより、発光部２０Ｇから発光されるＧ光から青色の分光感度分布と重なりがある混色成分が除去され、混色が防止される。カラーフィルタ１００ＧＲはＲ光を透過するが、Ｇ光の発光スペクトルは赤色の分光感度分布とは殆ど重ならないので、Ｒ光成分を透過しても混色は発生しない。同様に、カラーフィルタ１００Ｂにより、発光部２０Ｂから発光されるＢ光から緑色の分光感度分布と重なりがある混色成分が除去され、混色が防止される。カラーフィルタ１００ＢＲもＲ光を透過するが、Ｂ光の発光スペクトルは赤色の分光感度分布とは殆ど重ならないので、Ｒ光成分を透過しても混色は発生しない。
【００４８】
従って、本実施の形態でも、第１の実施の形態に係る露光装置と同様に、感光材料４０の同一位置を露光する発光部２０Ｒ、２０Ｇ、及び２０Ｂについて、発光光に混色成分を含まない発光部２０Ｒを真中に配置し、この発光部２０Ｒの両側に発光部２０Ｇと発光部２０Ｂとを配置したので、発光部２０Ｒ、２０Ｇ、及び２０Ｂを各々の有効成分の光路がフィルタ面上で重なり合うように配置しても、発光部２０Ｇ及び２０Ｂに対応して混色成分を除去するカラーフィルタを配置するだけで、混色を防止することができる。
【００４９】
また、カラーフィルタ１００ＧＲ及び１００ＢＲはＲ光を透過するので、以下の３つの利点が有る。（１）Ｒ光の透過光量の変動や、発光部２０Ｒの発光プロファイルの変化が発生しない。（２）フィルタをＲ光の光路上にも広げて配置できるので、フィルタ形成時の配置位置ずれによる混色の発生を防止できる。即ち、フィルタ形成の位置精度が緩和される。（３）発光部の副走査方向の配置間隔を更に狭めることができ、外側に配置された発光部２０Ｇ及び２０ＢからＳＬＡ３０に入射する光量が増加してカラーバランスが改善され、ＳＬＡ３０のレンズ配列に起因する光量分布のムラが解消される。
【００５０】
（第４の実施の形態）
第４の実施の形態に係る露光装置は、発光部２０Ｒ、２０Ｇ、及び２０Ｂを備え且つ図１３に示す発光スペクトル特性を有する有機ＥＬ素子２０を用い、発光部２０Ｇに対応するカラーフィルタのみを配置した以外は、第１の実施の形態に係る露光装置と同じ構成であるため、同一部分には同じ符号を付して説明を省略する。
【００５１】
本実施の形態では、上述した通り、図１３に示す発光スペクトル特性を有する有機ＥＬ素子２０が用いられる。この有機ＥＬ素子２０を用いて、図３に示す感光材料４０を露光する場合を考える。図３及び図１３から分かるように、発光部２０Ｇから発光されるＧ光の発光スペクトルは、青色の分光感度分布とは大きく重なるが、赤色の分光感度分布とは殆ど重ならない。また、発光部２０Ｂから発光されるＢ光の発光スペクトルは、他色の分光感度分布とは殆ど重ならない。このような特性は、発光部２０Ｂの発光スペクトルの狭帯域化、短波長化により実現することができる。更に、発光部２０Ｒから発光されるＲ光の発光スペクトルは、他色の分光感度分布と殆ど重ならない。
【００５２】
図１４に示すように、上記の有機ＥＬ素子２０では、第１の実施の形態と同様に、発光部２０Ｒは、副走査方向においてその中心線とＳＬＡ３０の中心線とが略一致するように配置され、この発光部２０Ｒの両側に発光部２０Ｇと発光部２０Ｂとが配置されている。また、透明基板１０のフィルタ面において、発光部２０ＧからＳＬＡ３０に入射する光の光路上には、Ｒ光を透過するＧ光用のカラーフィルタ１００ＧＲが配置される。カラーフィルタ１００ＧＲとしては、例えば、図１１に示すように、５００ｎｍ以下の波長の光だけを遮断するものを用いることができる。一方、発光部２０Ｂから発光されるＢ光及び発光部２０Ｒから発光されるＲ光の発光スペクトルは、他色の分光感度分布と殆ど重ならず混色を生じないため、Ｂ光用やＲ光用のカラーフィルタは設けられていない。
【００５３】
以上の通り構成された露光装置では、カラーフィルタ１００ＧＲにより、発光部２０Ｇから発光されるＧ光から青色の分光感度分布と重なりがある混色成分が除去され、混色が防止される。また、カラーフィルタ１００ＧＲはＲ光を透過するが、Ｇ光の発光スペクトルは赤色の分光感度分布とは殆ど重ならないので、Ｒ光成分を透過しても混色は発生しない。
【００５４】
本実施の形態では、発光光に混色成分を含むのは発光部２０Ｇだけであるため、発光光に混色成分を含む発光部が隣り合うことがなく、発光部２０Ｒ、２０Ｇ、及び２０Ｂを各々の有効成分の光路がフィルタ面上で重なり合うように配置しても、発光部２０Ｇに対応して混色成分を除去するカラーフィルタ１００ＧＲを配置するだけで、混色を防止することができる。また、発光部２０Ｂに対応するカラーフィルタを配置する必要がなく、Ｂ光の透過光量が増加すると共に、製造コストが低減される。更に、カラーフィルタ１００ＧＲはＲ光を透過するので、第３の実施の形態で示した３つの利点が有る。
（第５の実施の形態）
第５の実施の形態に係る露光装置は、発光部２０Ｒ、２０Ｇ、及び２０Ｂを備え且つ図１５に示す発光スペクトル特性を有する有機ＥＬ素子２０を用い、発光部２０Ｇに対応するカラーフィルタのみを配置した以外は、第１の実施の形態に係る露光装置と同じ構成であるため、同一部分には同じ符号を付して説明を省略する。
【００５５】
本実施の形態では、上述した通り、図１５に示す発光スペクトル特性を有する有機ＥＬ素子２０が用いられる。この有機ＥＬ素子２０を用いて、図３に示す感光材料４０を露光する場合を考える。図３及び図１５から分かるように、発光部２０Ｇから発光されるＧ光の発光スペクトルは、赤色の分光感度分布とは重なるが、青色の分光感度分布とは殆ど重ならない。また、発光部２０Ｂから発光されるＢ光の発光スペクトルは、他色の分光感度分布とは殆ど重ならない。このような特性は、発光部２０Ｂの発光スペクトルの狭帯域化、短波長化により実現することができる。更に、発光部２０Ｒから発光されるＲ光の発光スペクトルは、他色の分光感度分布と殆ど重ならない。
【００５６】
図１６に示すように、上記の有機ＥＬ素子２０では、発光部２０Ｂが副走査方向においてその中心線とＳＬＡ３０の中心線とが一致するように配置され、この発光部２０Ｂの両側に発光部２０Ｇと発光部２０Ｒとが配置されている。また、透明基板１０のフィルタ面において、発光部２０ＧからＳＬＡ３０に入射する光の光路上には、Ｂ光を透過するＧ光用のカラーフィルタ１００ＧＢが配置される。カラーフィルタ１００ＧＢとしては、例えば、図１７に示すように、６００ｎｍ以上の波長の光を遮断するものを用いることができる。一方、発光部２０Ｂから発光されるＢ光及び発光部２０Ｒから発光されるＲ光の発光スペクトルは、他色の分光感度分布と殆ど重ならず混色を生じないため、Ｂ光用やＲ光用のカラーフィルタは設けられていない。
【００５７】
以上の通り構成された露光装置では、カラーフィルタ１００ＧＢにより、発光部２０Ｇから発光されるＧ光から赤色の分光感度分布と重なりがある混色成分が除去され、混色が防止される。また、カラーフィルタ１００ＧＢはＢ光を透過するが、Ｇ光の発光スペクトルは青色の分光感度分布とは殆ど重ならないので、Ｂ光成分を透過しても混色は発生しない。
【００５８】
本実施の形態では、発光光に混色成分を含むのは発光部２０Ｇだけであるため、発光光に混色成分を含む発光部が隣り合うことがない。このため、発光部２０Ｒ、２０Ｇ、及び２０Ｂを各々の有効成分の光路がフィルタ面上で重なり合うように配置しても、発光部２０Ｇに対応して混色成分を除去するカラーフィルタを配置するだけで、混色を防止することができる。
【００５９】
また、発光部２０Ｂに対応するカラーフィルタを配置する必要がなく、Ｂ光の透過光量が増加すると共に、製造コストが低減される。
【００６０】
また、カラーフィルタ１００ＧＢはＢ光を透過するので、以下の３つの利点が有る。（１）Ｂ光の透過光量の変動や、発光部２０Ｂの発光プロファイルの変化が発生しない。（２）フィルタをＢ光の光路上にも広げて配置できるので、フィルタ形成時の配置位置ずれによる混色の発生が防止できる。即ち、フィルタ形成の位置精度が緩和される。（３）発光部の副走査方向の配置間隔を更に狭めることができ、外側に配置された発光部２０Ｇ及び２０ＲからＳＬＡ３０に入射する光量が増加してカラーバランスが改善され、ＳＬＡ３０のレンズ配列に起因する光量分布のムラが解消される。
【００６１】
更に、発光部２０Ｂを真中に配置し、この発光部２０Ｂの両側に発光部２０Ｇと発光部２０Ｒとを配置したので、カラーフィルタ１００ＧＢを発光部２０Ｒの有効成分の光路に掛からないように配置することで、Ｒ光が遮断されるのを防止することができる。
【００６２】
なお、上記の第１乃至第５の実施の形態では、感光材料として、ＲＧＢ各色について略等しい感度分布を有するインスタントカラーフィルムを用いる例について説明したが、カラーペーパ（ＣＬＰ）等、他の感光材料を用いることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】第１の実施の形態に係る露光装置の構成を示す断面図である。
【図２】有機ＥＬ素子の発光部の形成パターンを示す平面図である。
【図３】感光材料の分光感度特性を示す線図である。
【図４】第１の実施の形態の有機ＥＬ素子の発光スペクトル特性を示す線図である。
【図５】（Ａ）は露光装置の副走査方向に沿った部分断面図であり、（Ｂ）はＳＬＡのセルフォックレンズの配列を示す平面図である。
【図６】混色が発生する発光部の配置を説明する図である。
【図７】第２の実施の形態に係る露光装置の副走査方向に沿った部分断面図である。
【図８】第２の実施の形態の有機ＥＬ素子の発光スペクトル特性を示す線図である。
【図９】第３の実施の形態の有機ＥＬ素子の発光スペクトル特性を示す線図である。
【図１０】第３の実施の形態に係る露光装置の副走査方向に沿った部分断面図である。
【図１１】Ｇ光用のカラーフィルタの透過スペクトル特性を示す線図である。
【図１２】Ｂ光用のカラーフィルタの透過スペクトル特性を示す線図である。
【図１３】第４の実施の形態の有機ＥＬ素子の発光スペクトル特性を示す線図である。
【図１４】第４の実施の形態に係る露光装置の副走査方向に沿った部分断面図である。
【図１５】第５の実施の形態の有機ＥＬ素子の発光スペクトル特性を示す線図である。
【図１６】第５の実施の形態に係る露光装置の副走査方向に沿った部分断面図である。
【図１７】Ｇ光用のカラーフィルタの透過スペクトル特性を示す線図である。
【図１８】従来の露光装置の有機ＥＬ素子のフィルタ配置を示す図である。
【符号の説明】
【００６４】
１０ 透明基板
２０  有機ＥＬ素子
２０Ｒ、２０Ｇ、２０Ｂ 発光部
２１ 透明陽極
２２ 有機化合物層
２３ 金属陰極
２４ 変移領域
３０ ＳＬＡ
３１ セルフォックレンズ
４０ 感光材料
１００  カラーフィルタ
１００Ｇ、１００ＧＲ、１００ＧＢ  Ｇ光用のカラーフィルタ
１００Ｂ、１００ＢＲ  Ｂ光用のカラーフィルタ
【図１】
2005067026.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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