(57)【要約】【課題】ダイアフラムで形成された封液室へ圧力伝達用オイルを充填する際に、封液室に残留空気がのこらないような手法及び装置を提供する。【解決手段】  圧力伝達用オイル封入方法は、ダイアフラムで形成されている封液室に圧力伝達用オイルを封入するオイル封入方法において、圧力伝達用オイルを封入する第１の封入口と、少なくとも封液室上部位置に備えた圧力伝達用オイルを漏出させる第２の封入口とを備え、第１の封入口から圧力伝達用オイルを充填させると共に第２の封入口から該封液室に充填している圧力伝達用オイルをオーバーフローさせることで封液室内の残留気体を押し出すようにしたことであり、第１の封入口は前記封液室よりも鉛直下方位置に設け、第２の封入口は前記封液室よりも鉛直上方位置に設ける。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダイアフラムで形成されている封液室に圧力伝達用オイルを封入するオイル封入方法において、
圧力伝達用オイルを封入する第１の封入口と、少なくとも前記封液室上部位置に備えた圧力伝達用オイルを漏出させる第２の封入口とを備え、
前記第１の封入口から圧力伝達用オイルを充填させると共に前記第２の封入口から該封液室に充填している圧力伝達用オイルをオーバーフローさせることで前記封液室内の残留気体を押し出すようにしたことを特徴とする圧力伝達用オイル封入方法。
【請求項２】
前記第１の封入口は前記封液室よりも鉛直下方位置に設け、前記第２の封入口は前記封液室よりも鉛直上方位置に設けたことを特徴とする請求項１に記載の圧力伝達用オイル封入方法。
【請求項３】
ダイアフラムで形成された所定空間を有する封液室と、
前記封液室に圧力伝達用オイルを封入するための第１の封入口と、
前記封液室に充填された圧力伝達用オイルをオーバーフローさせる第２の封入口と、を備え、
前記第１の封入口から圧力伝達用オイルを封入して前記封液室に充填させ、前記第２の封入口から前記封液室に充填されている圧力伝達用オイルをオーバーフローさせて該封液室内の残留気体を押し出して封止したことを特徴とする圧力伝送器
【請求項４】
前記第１の封入口は前記封液室よりも鉛直下方位置に設け、前記第２の封入口は前記封液室よりも鉛直上方位置に設けたことを特徴とする請求項３に記載の圧力伝送器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力伝達用オイル封入方法及び圧力伝送器に関し、詳しくは高圧側封液室にオイルを封入する際に、封液室に残留気体（残留空気）が残らないいようにした圧力伝達用オイル封入方法及び圧力伝送器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来技術における圧力伝送器は、図６に示すように、伝送器本体１１１の側壁面にダイアフラム１１２が溶接などにより組み付けられている。ダイアフラム１１２と伝送器本体１１１の間には側壁面と一定の空間を持たせた封液室１１３が設けられ、通路１１４により感圧素子室１１５に通じている。感圧素子室１１５には感圧素子１１６が配置され、その感圧素子１１６の内部に真空室１１７が形成されている。感圧素子１１６の信号は気密端子１１８ａ、１１８ｂを経て電子回路１１９で処理され出力信号コネクタ１２０により外部へ出力される。封液室１１３、通路１１４、感圧素子室１１５には、ダイアフラム１１２が受けた圧力を感圧素子１１６に伝達するために圧力伝達用オイルが入っている。圧力伝達用オイルを注入するため感圧素子室１１５に通じた封入口１２１が設けられている。圧力伝達用オイルを封止するために封入口１２１に金属ボール１２２を押し込み、押しねじ１２３で固定する。
【０００３】
このような構成からなる圧力伝送器に圧力伝達用オイルを封入するための封入装置は、図７に示すように、封入口１２１を一箇所設けた構造の伝送器本体１１１とそれを支持する治具１２５、治具１２５を装着することで伝送器本体１１１を含めた空間を真空にすることができる真空室１２６、真空室１２６を真空にするための真空ポンプ１２７、拡散ポンプ１２８及び付帯する配管やバルブ、又、真空状態を確認するためのピラニ真空計１２９及び電離真空計１３０、圧力伝達用オイル１３１を伝送器本体１１１に封入するためのオイル注入ノズル１３２及びオイルポット１３３、圧力伝達用オイル１３１中の空気や水分を取り除く為の温度調節器１３４とロータリーポンプ１３５及び付帯する配管やバルブによって構成されている。オイル注入ノズル１３２の先端には伝送器本体１１１の封入口１２１に係合する注入端部１３６を備えた構成になっており、この注入端部１３６を封入口１２１に係合させることで圧力伝達用オイル１３１を封液室１１３に封入できる。
【０００４】
このような構成からなる封入装置において、伝送器本体１１１に圧力伝達用オイル１３１を封入するためには、先ず、治具１２５によって支持した伝送器本体１１１を真空にすることのできる真空室１２６の中に設置し、真空ポンプ１２７を駆動させて真空室１２６を真空にする。
【０００５】
そして、図８に示すように、真空室１２６の真空を確認後、オイル注入ノズル１３２の先端の注入端部１３６を伝送器本体１１１の封入口１２１に取り付け圧力伝達用オイル１３１を充填する。注入された圧力伝達用オイル１３１は、感圧素子室１１５に溜まり、その空間に残留していた残留空気１３７が通路１１４を通ってダイアフラム１１２で所定の空間を形成してある封液室１１３方向に押しやられる。
【０００６】
更に、図９に示すように、圧力伝達用オイル１３１の充填が進むと、感圧素子室１１５に充填されている圧力伝達用オイル１３１が通路１１４にまで充填され、その通路１１４に残留していた残留空気１３７が封液室１１３方向に更に押しやられる。
【０００７】
そして、図１０に示すように、更に圧力伝達用オイル１３１の充填が最終段階に到達すると、封入端部１３６から封入口１２１を経て感圧素子室１１５に充填された圧力伝達用オイル１３１は通路１１４を経由して封液室１１３に至り、当初に存在していた残留空気１３７は封液室１１３の上部一部にまとまることになる。
【０００８】
そして、この充填完了後、真空室１２６（図７参照）を大気圧にし、注入端部１３６を封入口１２１から外し金属ボール１２２と押しねじ１２３（図６参照）にて封入口１２１を封止する。  
【０００９】
【特許文献１】特開２００３−４２８５５号公報（第３頁〜４頁  第２図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかし、従来技術で説明した封液室へのオイル注入において、封液室の中に残留空気が残ってしまい、高真空使用では封液室内の残留空気が圧力伝達用オイル中に気化してしまい圧力伝達が不正確になるという問題がある。
【００１１】
従って、封液室内残留空気を少なくするか又はなくした状態にすることで、圧力伝達の正確さの向上を図ることができる封液室へのオイル注入手法に解決しなければならない課題を有する。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するために、本願発明の圧力伝達用オイル封入方法及び圧力伝送器は、次に示す構成にしたことである。
（１）圧力伝達用オイル封入方法は、ダイアフラムで形成されている封液室に圧力伝達用オイルを封入するオイル封入方法において、圧力伝達用オイルを封入する第１の封入口と、少なくとも前記封液室上部位置に備えた圧力伝達用オイルを漏出させる第２の封入口とを備え、前記第１の封入口から圧力伝達用オイルを充填させると共に前記第２の封入口から該封液室に充填している圧力伝達用オイルをオーバーフローさせることで前記封液室内の残留気体を押し出すようにしたことである。
（２）前記第１の封入口は前記封液室よりも鉛直下方位置に設け、前記第２の封入口は前記封液室よりも鉛直上方位置に設けたことを特徴とする（１）に記載の圧力伝達用オイル封入方法。
【００１３】
（３）圧力伝送器は、ダイアフラムで形成された所定空間を有する封液室と、前記封液室に圧力伝達用オイルを封入するための第１の封入口と、前記封液室に充填された圧力伝達用オイルをオーバーフローさせる第２の封入口と、を備え、前記第１の封入口から圧力伝達用オイルを封入して前記封液室に充填させ、前記第２の封入口から前記封液室に充填されている圧力伝達用オイルをオーバーフローさせて該封液室内の残留気体を押し出して封止したことである。
（４）前記第１の封入口は前記封液室よりも鉛直下方位置に設け、前記第２の封入口は前記封液室よりも鉛直上方位置に設けたことを特徴とする（３）に記載の圧力伝送器。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の圧力伝達用オイル封入方法及び圧力伝送器は、封液室の圧力が高くても、封液室に圧力伝達用オイルを注入しながら残留気体（空気）を押し出すことができるため、封液室に残留する空気を極めて少なく又はほとんどゼロに近くすることができ、圧力伝達の正確さをいっそう向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の圧力伝達用オイル封入方法及び圧力伝送器について、図面を用いて詳細に説明する。
【実施例１】
【００１６】
本発明の圧力伝達用オイル封入方法を具現化できるための圧力伝送器は、図１に示すように、伝送器本体１１の側壁面にダイアフラム１２が溶接などにより組み付けられている。ダイアフラム１２と伝送器本体１１の間には則壁面と一定の空間を持たせた封液室１３が設けられ、通路１４により感圧素子室１５に通じている。感圧素子１６は感圧素子室１５に配置され、その内部に真空室１７が形成されている。感圧素子１６の信号は気密端子１８ａ、１８ｂを経て電子回路１９で処理され出力信号コネクタ２０により外部へ出力される。封液室１３、通路１４、感圧素子室１５には、ダイアフラム１２が受けた圧力を感圧素子１６に伝達するために封入液（圧力伝達用オイル）が入っている。封入液を注入するため感圧素子室１５に通じており封液室１３より鉛直下方の位置に第１の封入口２１が設けられている。封入液である圧力伝達用オイルを封止するために第１の封入口２１に金属ボール２２を押し込み、押しねじ２３で固定する。
又、封液室１３の上部には通路４０に通じており封液室１３より鉛直上方の位置に第２の封入口４１が設けられている。この第２の封入口４１は圧力伝達用オイルを封止するために金属ボール４３を押し込み、押しねじ４２で固定する構造になっている。
【００１７】
このような構成からなる圧力計に圧力伝達用オイルを封入するための封入装置は、図２に示すように、鉛直方向に２箇所設けた第１及び第２の封入口２１、４１のうち、鉛直下方の第１の封入口２１から圧力伝達用オイル３１を充填、鉛直上方の第２の封入口４１から圧力伝達用オイル３１をオーバーフローさせ残留空気を排出させる構造の伝送器本体１１とそれを支持する治具２５、治具２５を装着することで真空にすることができる真空室２６、真空室２６を真空にするための真空ポンプ２７、拡散ポンプ２８及び付帯する配管やバルブ、又、真空状態を確認するためのピラニ真空計２９及び電離真空計３０、圧力伝達用オイル３１を伝送器本体１１に封入するためのノズル及びオイルポット３３、圧力伝達用オイル３１中の空気や水分を取り除く為の温度調節器３４とロータリーポンプ３５及び付帯する配管やバルブによって構成されている。
【００１８】
このような構成からなる封入装置において、伝送器本体１１に圧力伝達用オイル３１を封入するためには、先ず、治具２５によって支持した伝送器本体１１を真空にすることのできる真空室２６の中に設置すると共に、封入口４１にオーバーフロートポット４４を取り付け、真空室２６を真空ポンプ２７を駆動させて真空にする。
【００１９】
そして、図３に示すように、真空室２６の真空を確認後、オイル注入ノズル３２の先端の注入端部３６を伝送器本体１１の鉛直下方の第１の封入口２１に取り付け圧力伝達用オイル３１を充填する。注入された圧力伝達用オイル３１は、感圧素子室１５に溜まり、その空間に残留していた残留空気３７が通路１４を通ってダイアフラム１２で所定の空間を形成してある封液室１３方向に押しやられる。
【００２０】
更に、図４に示すように、圧力伝達用オイル３１の充填が進むと、感圧素子室１５に充填されている圧力伝達用オイル３１が通路１４にまで充填され、その通路１４に残留していた残留空気３７が封液室１３方向に更に押しやられる。
【００２１】
そして、図５に示すように、更に圧力伝達用オイル３１の充填が最終段階に到達すると、注入端部３６から第１の封入口２１を経て感圧素子室１５に充填された圧力伝達用オイル３１は通路１４を経由して封液室１３に至り、上方の通路４０を経由してオーバーフローポット４４内部に圧力伝達用オイル３１が上昇し、残留空気３７はそのオーバーフローポット４４内に押し出される。オーバーフローポット４４に残留空気が押し出されることで、封液室１３内には圧力伝達用オイル３１のみとなり、残留空気はなくなる。
【００２２】
そして、圧力伝達用オイル３１が鉛直上方の第２の封入口４１に取り付けられたオーバーフローポット４４に漏れ出たら、真空室２６（図２参照）を大気圧にし、オーバーフローポット４４を取り外して金属ボール４３と押しねじ４２（図１参照）にて封入口４１を封止する。
その後、鉛直下方の第１の封入口２１に取り付けられている封入端部３６を外し金属ボール２３と押しねじ２３（図１参照）にて封入口２１を封止する。  
このようにして、封液室１３には残留空気３７が留まることなく圧力伝達用オイル３１のみを充填することができるのである。
【産業上の利用可能性】
【００２３】
ダイアフラムで形成された封液室に圧力伝達用オイルを充填する際に、封液室上部位置に圧力伝達用オイルを排出する通路を設けることで封液室に残留気体（残留空気）を残留させないで圧力伝達用オイルのみを充填させることができる手法及び装置を提供する。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本願発明の伝送器本体の断面図である。
【図２】同、伝送器本体に圧力伝達用オイルを充填するための封入装置の構成を略示的に示した説明図である。
【図３】同、伝送器本体に圧力伝達用オイルを充填するときの様子を示した説明図である。
【図４】同、伝送器本体に圧力伝達用オイルを充填するときの様子を示した説明図である。
【図５】同、伝送器本体に圧力伝達用オイルを充填するときの様子を示した説明図である。
【図６】従来技術における伝送器本体の断面図である
【図７】従来技術における伝送器本体に圧力伝達用オイルを充填するための封入装置の構成を略示的に示した説明図である。
【図８】従来技術における伝送器本体に圧力伝達用オイルを充填するときの様子を示した説明図である。
【図９】従来技術における伝送器本体に圧力伝達用オイルを充填するときの様子を示した説明図である。
【図１０】従来技術における伝送器本体に圧力伝達用オイルを充填するときの様子を示した説明図である。
【符号の説明】
【００２５】
１１      伝送器本体
１２      ダイアフラム
１３      封液室
１４      通路
１５      感圧素子室
１６      感圧素子
１７      真空室
１８ａ    気密端子
１８ｂ    気密端子
１９      電子回路
２０      出力信号コネクタ
２１      第１の封入口
２２      金属ボール
２３      押しねじ
２５      治具
２６      真空室
２７      真空ポンプ
２８      拡散ポンプ
２９      ピラニ真空計
３０      電離真空計
３１      圧力伝達用オイル
３２      オイル封入ノズル
３３      オイルポット
４０      通路
４１      第２の封入口
４２      押しねじ
４３      金属ボール
４４      オーバーフローポット。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2005331385.tif 000010
【図９】
2005331385.tif 000011
【図１０】
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