(57)【要約】【課題】磁気転写を受けるスレーブ媒体を初期磁化した後、転写パターンを有するマスター担体と密着させて転写用磁界を印加して磁気転写を行う磁気転写装置で、各種要求に対応できるように自由度が高く、効率よく初期磁化、磁気転写が高精度に確実に実施できるようにする。【解決手段】スレーブ媒体の供給排出ユニットＡと、スレーブ媒体を初期磁化する初期化ユニットＢと、磁気転写を行う磁気転写ユニットＣと、スレーブ媒体を各ユニットに搬送する搬送ユニットＤとを、それぞれ独立に有してなる。搬送ユニットＤはスレーブ媒体を収容したケース１１を搭載したパレット１２を各ユニットに対して搬送する。【選択図】          図１
2005044404.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気転写を受けるスレーブ媒体の磁性層に直流磁界を印加し予め該スレーブ媒体を初期磁化した後、転写パターンを有するマスター担体と前記初期磁化したスレーブ媒体とを密着させ、前記初期磁化の直流磁界方向と略反対方向に転写用磁界を印加して磁気転写を行う磁気転写装置において、
前記スレーブ媒体の供給排出ユニットと、前記スレーブ媒体を初期磁化する初期化ユニットと、磁気転写を行う磁気転写ユニットと、前記スレーブ媒体を各ユニットに搬送する搬送ユニットとを、それぞれ独立に有することを特徴とする磁気転写装置。
【請求項２】
前記搬送ユニットはスレーブ媒体を搭載するパレットを備え、該パレットを各ユニットに対して搬送することを特徴とする請求項１に記載の磁気転写装置。
【請求項３】
前記パレットは、スレーブ媒体の搬送移動時には該スレーブ媒体を傾斜状態で保持することを特徴とする請求項２に記載の磁気転写装置。
【請求項４】
前記パレットは、スレーブ媒体を収容したケースを搭載してなることを特徴とする請求項２または３に記載の磁気転写装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、情報が担持されたマスター担体を用いてスレーブ媒体へ磁化パターンを磁気転写する磁気転写装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
本発明の対象とする磁気転写は、少なくとも表層に磁性層を有するサーボ信号等の転写パターンが凹凸形状あるいは埋め込み構造で形成されたマスター担体（パターンドマスター）を、磁気記録部を有するスレーブ媒体と密着させた状態で、転写用磁界を印加してマスター担体に担持した情報に対応する磁化パターンをスレーブ媒体に転写記録するものである。
【０００３】
さらに本発明の磁気転写は、最初にワークとしてのスレーブ媒体（ハードディスク、フレキシブルディスク等）をトラック方向（または垂直方向）に直流磁化する初期磁化を施し、このスレーブ媒体の片面または両面に上記転写パターンを有するマスター担体を密着させた状態で、その片側または両側に電磁石装置、永久磁石装置による磁界印加装置を配設して、スレーブ媒体の初期直流磁化方向と略逆向きの方向に転写用磁界を印加して磁気転写を行い、転写特性を高めるものである（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
上記のような一連の磁気転写を行う従来提案されている磁気転写装置は、連続して設置された各処理ユニットを備え、搬入部へスレーブ媒体を搬入して順に各処理工程を経て、磁気転写が行われたスレーブ媒体を搬出するように設置されている（例えば、特許文献２参照）。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００１−２５６６４４号公報
【０００６】
【特許文献２】
特開２００１−２５０２２７号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、磁気転写装置においては、供給されるスレーブ媒体にサイズ変更等があっても磁気転写が実施できることが要求され、それらの変更に応じて初期磁化時、磁気転写時の磁界強度、処理時間等が変更され、また、スレーブ媒体によってはクリーニング処理が必要となったり、検査工程が必要となったりするもので、これらの変更に対応して効率よく磁気転写を行わなければならない。また、上記のような各工程では、処理能力が異なり、処理時間にばらつきがあり、搬送工程でスレーブ媒体が停滞したり、最も効率が低く時間のかかる処理工程によって全体の処理能力が決まり、自由度が低く、適応性の点で問題を有する。
【０００８】
一方、磁気転写工程においては、スレーブ媒体とマスター担体との密着面へ塵埃が付着すると、転写不良が発生する要因となり、スレーブ媒体への塵埃の付着は極力低減する必要があるが、スレーブ媒体の搬送においては振動が発生して保持部分との間にコスレが生じて、発塵する恐れがある。
【０００９】
さらに、スレーブ媒体の品種違い、枚数違い、条件違い等によりワークの搬送形態が変化すると、それに対応して変更が必要となるもので、その都度設備変更を行うことは、処理効率の低下を招くことになる。
【００１０】
本発明はこのような点に鑑みなされたもので、各種要求に対応できるようにし、効率よく初期磁化、磁気転写が高精度に確実に実施できるようにした磁気転写装置を提供することを目的とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の磁気転写装置は、磁気転写を受けるスレーブ媒体の磁性層に直流磁界を印加し予め該スレーブ媒体を初期磁化した後、転写パターンを有するマスター担体と前記初期磁化したスレーブ媒体とを密着させ、前記初期磁化の直流磁界方向と略反対方向に転写用磁界を印加して磁気転写を行う磁気転写装置において、前記スレーブ媒体の供給排出ユニットと、前記スレーブ媒体を初期磁化する初期化ユニットと、磁気転写を行う磁気転写ユニットと、前記スレーブ媒体を各ユニットに搬送する搬送ユニットとを、それぞれ独立に有することを特徴とするものである。
【００１２】
前記搬送ユニットはスレーブ媒体を搭載するパレットを備え、該パレットを各ユニットに対して搬送するのが好適である。その際、前記パレットは、スレーブ媒体の搬送移動時には該スレーブ媒体を傾斜状態で保持するのが好ましい。また、前記パレットは、スレーブ媒体を収容したケースを搭載するのが好ましい。
【００１３】
【発明の効果】
上記のような本発明によれば、供給排出ユニットと初期化ユニットと磁気転写ユニットと搬送ユニットとをそれぞれ独立に有することにより、工程時間等に応じた工程数調整等の変更、または、クリーニング工程、検査工程の追加設置等が簡易に行え、自由度が高く、効率的に磁気転写を行ってコスト低減を図ることができる。
【００１４】
搬送ユニットがパレットを使用してスレーブ媒体を搬送するものでは、スレーブ媒体の品種違い、枚数違い、条件違い等によりワーク形態が変化してもそれに容易に対応することができる。また、レーブ媒体を傾斜状態に保持して搬送するものでは、振動による発塵を防止することができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を詳細に説明する。図１は本発明の一つの実施形態に係る磁気転写装置の平面配置図、図２は磁気転写装置の概略正面図である。
【００１６】
この実施形態の磁気転写装置１０は、基本的に、磁気転写を受けるワークとしてのハードディスク、高密度フレキシブルディスク等のスレーブ媒体の磁性層に直流磁界を印加し予め該スレーブ媒体を初期磁化した後、転写パターンを有するマスター担体と前記初期磁化したスレーブ媒体とを密着させ、前記初期磁化の直流磁界方向と略反対方向に転写用磁界を印加して磁気転写を行うものであり、前記スレーブ媒体の供給と排出を行う供給排出ユニットＡと、スレーブ媒体を初期磁化する初期化ユニットＢと、磁気転写を行う磁気転写ユニットＣと、前記スレーブ媒体を各ユニットＡ〜Ｃに搬送する搬送ユニットＤとを、それぞれ独立に備えている。
【００１７】
供給排出ユニットＡは、搬送ユニットＤの一端部に設置されて、この供給排出ユニットＡでのみスレーブ媒体（以下ワーク）の供給（搬入）と排出（搬出）が行われる。搬送ユニットＤは、ワークを収容したケース１１をパレット１２に搭載して搬送するものであり、供給排出ユニットＡより供給されたワークを直線的に搬送する往路と、他端部で折り返して供給排出ユニットＡに向けてパレット１２を直線的に搬送する復路とを備え、ローラコンベア等によって構成される。この搬送ユニットＤの往路に臨んで初期化ユニットＢおよび磁気転写ユニットＣが設置されてなる。初期化ユニットＢおよび磁気転写ユニットＣに対して搬送ユニットＤのパレット１２よりワークがマニピュレーターロボット等によって搬入され、処理後のワークが戻されて順次工程を移動して磁気転写の各処理工程が実行される。
【００１８】
前記供給排出ユニットＡ、初期化ユニットＢ、磁気転写ユニットＣ、搬送ユニットＤの上部には、図２に示すように、クリーンエアユニット１５が設置され、常時クリーンエアーがダウンフローに吹き付けられる。つまり、磁気転写装置１０は内部が周壁によって処理室に形成され、各ユニットＡ〜Ｄには上部のクリーンエアユニット１５よりクリーンエアが下方に向けて吹き出され、底面の開口より排出され、各ユニットＡ〜Ｄにおけるクリーン度を装置周辺よりさらに高める。また、磁気転写装置１０全体を設置した部屋と、磁気転写の前後の処理を行う他工程の部屋とは壁１６（仕切り）によって分離され、磁気転写装置１０の設備環境を他工程の部屋よりクリーン度が高い雰囲気とする。供給排出ユニットＡに対するワークを収容したケース１１の搬入出は不図示のドアの開閉により行い、制御システムの操作盤１７の操作も外部から行うようになっている。
【００１９】
また、供給排出ユニットＡと搬送ユニットＤとの間には不図示の開閉扉が設置され、この開閉扉をケース１１の受け渡しのために開ける場合には、供給排出ユニットＡの内圧を搬送ユニットＤより下げて、供給排出ユニットＡから搬送ユニットＤ側への塵埃の侵入を阻止する。
【００２０】
次に、上記磁気転写装置１０の概略動作説明を行う。
【００２１】
（１）  全体装置
前記供給排出ユニットＡ、初期化ユニットＢ、磁気転写ユニットＣ、搬送ユニットＤを独立に備えることで、工程能力差に合わせてユニットの工程数を調整可能とし、必要な工程能力に対するコストを最低とすることができる。
【００２２】
つまり、磁気転写工程の基本形は、ワーク供給→初期化→磁気転写→集積排出であるが、通常、ワークの初期磁化を行う初期化工程に対して、磁気転写を行う磁気転写工程はおよそ２倍の処理時間を要する。そのため、例えば、１つの初期化工程に対して２つの磁気転写工程を設置し、初期化後のワークを２つの磁気転写工程で同時に磁気転写処理することにより、効率的に磁気転写を行ってコスト低減を図る。
【００２３】
また、独立ユニット形式であるため、各工程の前後に一時的もしくは恒久的に、検査ユニット、クリーニングユニット等の付加機能の設置を容易とし、問題発生時、生産条件変更時等の対応が容易な装置が構成できる。
【００２４】
例えば、ワーク供給→初期化→クリーニング→磁気転写→検査→集積排出の工程を順に行うように設置する。これにより、初期化後にワークに付着する塵埃等を除去して転写品位を向上すると共にマスター担体の劣化を防止して耐久性を高めることができる。また、クリーニング工程を初期化の前、つまり、ワーク供給→クリーニング→初期化→磁気転写→検査→集積排出の工程順としてもよい。また、磁気転写工程の前にワークの検査工程を設置し、ワーク供給→初期化→クリーニング→検査→磁気転写→集積排出の工程順とし、不良品への磁気転写を排除してマスター担体の有効磁気転写回数を増やして耐久性を高めるようにしてもよい。これらの工程においても、クリーニング処理および検査処理に時間がかかる場合には、それらの工程数を増やしてもよい。例えば、２つの磁気転写工程後に、３つの検査工程を設置して、処理能力を一致させるようにしてもよい。
【００２５】
磁気転写においては、塵埃の介在が転写品位に影響するので、磁気転写装置１０を所定のクリーン度に保つが、この設備環境用とは別に、前述のように各ユニットＡ〜ＤにＵＬＰＡフィルターもしくはＨＥＰＡフィルターを有する専用のクリーンエアユニット１５を備え、各ユニットＡ〜Ｄでのワーク位置では全てダウンフローの中にあり、かつ、滞留が起こらないエアフロー構造とする。これにより、ワークは常時クリーン度がクラス１０以下（１立方フィート当たり０．３μｍ以上のパーティクルが１０個以下）、望ましくはクラス１以下（同１個以下）の環境において処理される。このエアブローは基本的に常時運転される。
【００２６】
また、同様に塵埃対策の点から、磁気転写装置１０の各ユニットＡ〜Ｄにおける駆動部・シリンダー等には個別排気を設け、発生塵埃を排出する。排気手段はブロワー、個別エジェクターを設置して行う。
【００２７】
運転毎に品種条件および運転条件を設定してそれらに対応した運転制御を行う。「品種条件」としては、メディア種、外径（サイズ）、内径、厚さ、保磁力Ｈｃ、弾性率、内外周面の角部面取り長さ（Ｃ値）、面取り角度等がある。「運転条件」としては、処理枚数（または連続運転）、初期化条件（後述する）、磁気転写条件（後述する）、パレット条件（パレット種・角度）、搬送速度、生産運転（またはテスト運転）、使用工程指示等がある。これらの条件を制御システムに対し操作盤１７で事前に設定し、搬送・初期化・磁気転写等の運転条件を自動的に変更し、それに対応した制御を行う。例えば、初期設定によって初期化時および磁気転写時の磁場強度を自動的に変更できる。
【００２８】
上記制御システムによる情報管理は、ケース毎、ワーク毎に情報を記録し、状態・結果を管理する。「ケース情報」としては、ワーク収納枚数、異常発生状況、製造品（またはテスト品）、全品正常（または不良品混入）等がある。「ワーク情報」としては、製造品（またはテスト品）、正常品（または不良品）、設備異常発生（設備異常発生ユニット）、検査異常発生（検査異常発生ユニット）等がある。上記のような情報を、装置全体の作動を制御する制御システムが、ケース毎、ワーク毎に個別の情報を時系列的に保持して管理する。これにより、工程異常発生時の工程内の残留品の無駄をなくす。また、ユニットＡ〜Ｄ毎に異常判別機能を有し、異常発生ユニット以降での異常品の不要な処理をなくし、稼働効率の向上を図る。つまり、異常発生時には、装置の作動を停止するか、異常品の排出を行うか、異常品に不良データを付して以後非処理で工程を経過して供給排出ユニットＡへ搬送する。
【００２９】
その他、磁気転写装置１０においては、安全のため、非常停止のときには動力電源は全て遮断する。マスター担体、ワーク吸着用などのための真空源にはバッファータンクを設ける。各ユニットは単独でオフラインとすることができ、他のユニットへ影響を与えずに、メンテナンス等が行えるようになっている。
【００３０】
（２）  供給排出ユニット
ワークとしてのスレーブ媒体の供給および排出を同一のユニットで行うもので、ワークの搬入出はこの供給排出ユニットＡだけで行う。これにより磁気転写装置１０の設備環境と他工程を分離でき、設置環境のクリーン度の向上を効率的かつ安価に実現できる。例えば、磁気転写装置１０と他工程との間に前述の壁１６（または仕切り）を設け、転写装置１０の全体の設置環境のクリーン度をクラス１０雰囲気（各ユニットＡ〜Ｄではクラス１雰囲気）とし、人または機械でケース１１を扱う他工程のクリーン度をクラス１００雰囲気と異ならせる。
【００３１】
ワークを収容するケース１１は、詳細は図示しないが、着脱自在な上蓋と下蓋を有する専用ケースとし、このケース１１に縦向きで円盤状ワークを並列収容し、上蓋および下蓋を取り付けた状態で供給排出ユニットＡに供給・排出する。このケース１１の上蓋および下蓋の両方を供給排出ユニットＡで自動的に取り外して搬送ユニットＤに供給し、処理後に両蓋を装着する。各ユニットＡ〜Ｄでの処理中は前述のダウンフローがケース１１内を上下に流通して除塵し、内部に滞留しないようになっている。
【００３２】
供給排出ユニットＡとこれに続く搬送ユニットＤとは、前述のように開閉作動する扉で分離されており、ケース１１の受け渡し時は供給排出ユニットＡ側の内圧を搬送ユニットＤ側の内圧よりも下げた後に、扉を開けて受け渡し、扉を閉める。その後に供給排出ユニットＡの内圧を高め、他工程に対する受け渡しを行う。これにより、磁気転写装置１０内への塵埃の侵入を極力阻止する。
【００３３】
また、前記ケース１１を搬送ユニットＤへ移載機構等によって受け渡すときは、ケース１１を５゜〜２０゜傾けて行い、その後の搬送時においても同様に傾斜状態とする。これにより、搬送時等の揺れによりケース１１内でワークが振動するのを防止し、振動に伴うコスレに起因する発塵を阻止する。
【００３４】
（３）  搬送ユニット
搬送ユニットＤは、設定条件に従いケース１１を搭載したパレット１２を順次、初期化ユニットＢ、磁気転写ユニットＣ等に搬送する。搬送中はケース１１を専用のパレット１２に乗せて搬送する。パレット１２は、ワークの品種変更、枚数変更、条件変更等に対し、パレット全体またはパレットの一部の部品（治具）を交換することで対応可能であり、搬送系を品種切り替え等に応じて変更する必要がない。搬送中はケース１１を５゜〜２０゜傾けるもので、傾斜作動機構を備える。同一のケース１１が、連続的に複数回工程内を流れることはなく、ケース１１への塵埃の蓄積を防止する。搬送機構としては、ローラコンベア（クリーンコンベア）を使用するほか、スライドテーブル、ＡＧＶ（コンピュータ制御の無人搬送車）、ロボット等で構成してもよい。
【００３５】
（４）  初期化ユニット
初期化ユニットＢでは、搬送ユニットＤよりケース１１を受け取り、そのケース１１よりワークを１枚ずつ取り出し、順次直流磁界を印加して初期磁化する。ケース１１と初期化装置間のワークの供給と排出は、ロボットもしくは自動移載装置等を用いて自動で行う。ロボットもしくは自動移載装置等は１台とは限らず、機能別に分けて設置してもよい。
【００３６】
例えば、図３（ａ）に示すように、搬送ユニットＤより受けた供給側ケース１１ｓからワークを取り出して初期化装置２０に供給するロボット２１と、初期化装置２０からワークを受けて排出側ケース１１ｄに入れる排出側のロボット２２を設置する。または、図３（ｂ）に示すように、供給側ケース１１ｓからのワークの取り出しと排出側ケース１１ｄへのワークの挿入を行う前段ロボット２３と、この前段ロボット２３とでワークを受け渡し、初期化装置２０へのワークの供給と初期化後のワークを受け取る後段ロボット２４を設置するものである。
【００３７】
初期化用の磁界を印加する機構には、電磁石または永久磁石を使用する。初期磁化処理は、ワークと磁石を近接させ、ワークもしくは磁石を、設定された一定方向へ回転させてワーク全面に初期磁化を施す。初期磁界強度の条件は、電磁石使用の場合は、電磁石に印加する電流値、磁石とワーク間の距離などで調整し、永久磁石の場合は、磁石とワーク間の距離を調整して設定する。これらの初期化条件である、磁石の電流値、電流の上昇レート・下降レート・ＯＮタイミング・ＯＦＦタイミング、近接時の近接距離・近接速度・離脱速度、ワーク回転の回転速度・回転加速レート・回転減速レート・回転開始タイミング・回転停止タイミング・回転方向等の条件は、初期設定に従う。
【００３８】
初期化処理が終了したワークは同一または別のケース１１へ順次収納する。ワークのチャック部位は内径部のみとし、チャックは１本〜３本の爪を用いて行う。ケース１１から取り出した後のワークの初期化処理においては、そのワークの記録再生面は基本的に垂直±１０゜とする。
【００３９】
（５）  磁気転写ユニット
磁気転写ユニットＣでは搬送ユニットＤよりケース１１を受け取り、そのケース１１よりワークを１枚ずつ取り出し、順次磁気転写を行う。この磁気転写ユニットＣは、例えば図４（ａ）に示すように、回転テーブル式のインデックスユニット３１を有する。このインデックスユニット３１は、４つ（またはそれ以上）のステーションを備え、例えば第１ステーションＳ１では、ワークをホルダーに供給し、マスター担体と位置決めしてから、内部空間の吸引によりマスター担体との１次密着を行うもので、第２ステーションＳ２では、さらに外部から機械式加圧により２次密着を行って、接近移動した磁界印加装置３０により転写用磁界を印加して磁気転写を行うもので、第３ステーションＳ３では、ワークをマスター担体より剥離して取り出すもので、第４ステーションＳ４は予備ステーションに設定してなる。上記インデックスユニット３１には、１個もしくはステーション毎のホルダーとその開閉機構を有する。この開閉機構の駆動部はインデックスユニット３１の外部に設置される。
【００４０】
ケース１１とインデックスユニット３１間のワークの供給と排出はロボットで行う。ロボットは１台とは限らず、機能別に分けて設置してもよい。例えば、図４（ａ）に示すように、供給側ケース１１ｓからワークを取り出して第１ステーションＳ１に供給するロボット３２と、第３ステーションＳ３からワークを受けて排出側ケース１１ｄに入れる排出側のロボット３３とに設置する。
【００４１】
また、図４（ｂ）に示すように、インデックスユニット３１の第４ステーションＳ４をワークの交換ステーションに設定し、第１ステーションＳ１でマスター担体との１次密着を行い、第２ステーションＳ２で２次密着とともに磁界印加装置３０により転写用磁界を印加して磁気転写を行い、第３ステーションＳ３でワークをマスター担体より剥離するように設定してもよい。そして、供給側ケース１１ｓからのワークの取り出し、インデックスユニット３１の第４ステーションＳ４へのワークの受け渡し、および排出側ケース１１ｄへのワークの挿入を行うロボット３４を設置してもよい。
【００４２】
ワークをホルダーへ供給する際の高精度位置決め手段は、画像処理と高精度ロボットを備え、ワーク位置を微調整して基準マークとの位置合わせを行うか、もしくはコンプライアンスヘッドを備え、ホルダーに設置した位置合わせピンにワークを装着して位置決めする。
【００４３】
転写用の磁界を印加する機構には、電磁石または永久磁石を使用する。転写磁界強度の条件は、電磁石使用の場合は、電磁石に印加する電流値、磁石とワーク間の距離などで調整し、永久磁石の場合は、磁石とワーク間の距離を調整して設定する。
【００４４】
磁気転写処理は、詳細は図示してないが、ワークをマスター担体で挟み、周辺をホルダーで囲み、ホルダーに力を加えることにより、ワークとマスター担体間を密着させ、この状態で磁石を両側から近接させ、ホルダーを設定の方向へ回転させてワーク全面の磁気転写を行う。
【００４５】
密着圧は、ホルダー内部空間を減圧すること、これに加えてまたはこれに代えて、両側のホルダーをシリンダーにより加圧することにより得る。密着圧は、まず、ホルダー内減圧により加圧して１次密着を行い、さらにシリンダーにより加圧する２次密着を行う。もしくはシリンダー加圧を先に行ってから内部空間を減圧してもよく、両方同時でもよい。密着時の面圧は０〜３０００Ｎ（約０〜３００ｋｇｆ）の範囲で変更可能とする。ホルダーの回転は、磁気転写位置で、駆動源を回転中心へ回転軸を接触または係合させて行う。シリンダー加圧は、磁気転写位置で、回転中心へ加圧軸を押し当てて加圧する。加圧軸と回転軸が同一であってもよい。
【００４６】
磁気転写条件である、磁石の電流値、電流の上昇レート・下降レート・ＯＮタイミング・ＯＦＦタイミング、近接時の近接距離・近接速度・離脱速度、ワーク回転の回転速度・回転加速レート・回転減速レート・回転開始タイミング・回転停止タイミング・回転方向、密着時の１次密着圧・２次密着圧等の条件は、初期設定に従う。
【００４７】
密着中以外はホルダーを開状態で維持する機構を有し、ダウンフロー内に放置し、マスター担体への塵埃付着を防止する。磁気転写処理が終了したワークは同一または別のケース１１へ順次収納する。ワークのチャック部位は内径部のみとし、チャックは１本〜３本の爪を用いて行う。ケース１１から取り出した後のワークの磁気転写処理においては、そのワークの記録再生面は基本的に垂直±１０゜とする。マスター担体はホルダーに吸着等により保持させた状態でホルダーごと交換する。ホルダーの交換はワンタッチで行える構造とする。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一つの実施形態の磁気転写装置の平面配置図
【図２】図１の磁気転写装置の概略正面図
【図３】初期化ユニットにおけるワーク搬入出のロボット設置例を示す配置図
【図４】磁気転写ユニットにおけるインデックスユニットへのワーク搬入出のロボット設置例を示す配置図
【符号の説明】
１０    磁気転写装置
Ａ    供給排出ユニット
Ｂ    初期化ユニット
Ｃ    磁気転写ユニット
Ｄ    搬送ユニット
１１    ケース
１２    パレット
１５    クリーンエアユニット
１６    壁
１７    操作盤
２０    初期化装置
２１〜２４    ロボット
３０    磁界印加装置
３１    インデックスユニット
３２〜３４    ロボット
【図１】
2005044404.tif 000003
【図２】
2005044404.tif 000004
【図３】
2005044404.tif 000005
【図４】
2005044404.tif 000006