(57)【要約】【課題】工具の加工面形状を、加工対象の被加工面形状を転写した形状に正確に倣わせながら、工具や加工対象に付着したスラッジを除去することで、加工対象の研削または研磨加工を良好な状態で持続すること。【解決手段】１個のレンズ１を研磨する際、初めの揺動回数１０回程度の揺動動作において加工液１７に振動を付与せず、残りの揺動動作において加工液１７に振動を付与するので、初めに工具１３の加工面形状を、レンズ１の被加工面の形状を転写した形状に正確に倣わせ、その後、工具１３の加工面を良好な状態で安定させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工対象を加工するときに加工液を前記加工対象の研削・研磨部分に供給する供給工程と、
前記研削・研磨部分に供給する前記加工液の状態を制御する制御工程と、
を有することを特徴とする研削・研磨加工方法。
【請求項２】
加工対象を加工するときに加工液を前記加工対象の研削・研磨部分に供給する供給工程と、
前記研削・研磨部分に供給する前記加工液に付与する振動の有無を制御する制御工程と、
を有することを特徴とする研削・研磨加工方法。
【請求項３】
前記研削・研磨部分に前記加工液を供給するときに、前記加工液を所定の状態になるように前記振動の強弱を調整する調整工程、
を有することを特徴とする請求項２記載の研削・研磨加工方法。
【請求項４】
前記制御工程は、先ず前記加工液に対して前記振動を付与せず、次に前記加工液に対して前記振動を付与することを特徴とする請求項２記載の研削・研磨加工方法。
【請求項５】
前記制御工程は、前記加工液に対する前記振動の付与無しと付与有りとを繰り返すことを特徴とする請求項２記載の研削・研磨加工方法。
【請求項６】
前記調整工程は、先ず前記加工液に対して所定の振動よりも弱い前記振動を付与し、次に前記加工液に対して所定の振動よりも強い前記振動を付与することを特徴とする請求項３記載の研削・研磨加工方法。
【請求項７】
前記加工対象と当該加工対象を研削・研磨する工具とを相対的に揺動させて前記加工対象を研削・研磨する場合、前記揺動の回数に応じて前記加工液に対する前記振動の付与と前記加工液に対する前記振動の付与の停止とを制御することを特徴とする請求項４、５又は６のうちいずれか１項記載の研削・研磨加工方法。
【請求項８】
複数個の加工対象を加工する場合、前記制御工程は、第１の所定個数までの前記各加工対象の加工では、先ず前記加工液に対して前記振動を付与せず、次に前記加工液に対して前記振動を付与して加工を行い、前記第１の所定個数の次の個数から第２の所定個数までの前記各加工対象の加工では、前記加工液に対して前記振動を付与して加工を行い、前記第２の所定個数の次の個数以降の前記各加工対象の加工では、先ず前記加工液に対して前記振動を付与せず、次に前記加工液に対して前記振動を付与して加工を行う、
ことを特徴とする請求項２記載の研削・研磨加工方法。
【請求項９】
前記制御工程は、前記加工液に振動を付与しないことにより、前記加工対象を研削・研磨する工具にスラッジを付着させて前記工具の形状を前記加工対象の被加工面の形状に倣わさせ、前記加工液に振動を付与することにより前記加工液内に生じるキャビテーションの衝撃作用によってスラッジを取り除くことを特徴とする請求項２記載の研削・研磨加工方法。
【請求項１０】
加工対象を加工するときに加工液を前記加工対象の研削・研磨部分に供給する供給手段と、
前記研削・研磨部分に供給する前記加工液の状態を制御する制御手段と、
を具備したことを特徴とする研削・研磨加工装置。
【請求項１１】
加工対象を加工するときに加工液を前記加工対象の研削・研磨部分に供給する供給手段と、
前記研削・研磨部分に供給する前記加工液に付与する振動の有無を制御する制御手段と、
を具備したことを特徴とする研削・研磨加工装置。
【請求項１２】
前記研削・研磨部分に前記加工液を供給するときに、前記加工液を所定の状態になるように前記振動の強弱を調整する調整手段、
を有することを特徴とする請求項１１記載の研削・研磨加工装置。
【請求項１３】
前記制御手段は、先ず前記加工液に対して前記振動を付与せず、次に前記加工液に対して前記振動を付与することを特徴とする請求項１１記載の研削・研磨加工装置。
【請求項１４】
前記制御手段は、前記加工液に対する前記振動の付与無しと付与有りとを繰り返すことを特徴とする請求項１１記載の研削・研磨加工装置。
【請求項１５】
前記調整手段は、先ず前記加工液に対して所定の振動よりも弱い前記振動を付与し、次に前記加工液に対して所定の振動よりも強い前記振動を付与することを特徴とする請求項１２記載の研削・研磨加工装置。
【請求項１６】
複数個の加工対象を加工する場合、前記制御手段は、第１の所定個数までの前記各加工対象の加工では、先ず前記加工液に対して前記振動を付与せず、次に前記加工液に対して前記振動を付与して加工を行い、前記第１の所定個数の次の個数から第２の所定個数までの前記各加工対象の加工では、前記加工液に対して前記振動を付与して加工を行い、前記第２の所定個数の次の個数以降の前記各加工対象の加工では、先ず前記加工液に対して前記振動を付与せず、次に前記加工液に対して前記振動を付与して加工を行う、
ことを特徴とする請求項１１記載の研削・研磨加工装置。
【請求項１７】
前記制御手段は、前記加工液に振動を付与しないことにより、前記加工対象を研削・研磨する工具にスラッジを付着させて前記工具の形状を前記加工対象の被加工面の形状に倣わさせ、前記加工液に振動を付与することにより前記加工液内に生じるキャビテーションの衝撃作用によってスラッジを取り除くことを特徴とする請求項１１記載の研削・研磨加工装置。
【請求項１８】
前記供給手段は、発振子の振動動作により前記加工液に前記振動を付与して前記加工液を出射する超音波ノズルと、前記加工液を貯留するタンクと、前記タンクに貯留されている前記加工液を前記超音波ノズルに供給するポンプとを有し、
前記制御手段は、前記超音波ノズルの前記発振子の振動動作を制御する、
ことを特徴とする請求項１１記載の研削・研磨加工装置。
【請求項１９】
前記制御手段は、先ず前記発振子の振動動作を停止し、次に前記発振子の振動動作を実行させる、
ことを特徴とする請求項１８記載の研削・研磨加工装置。
【請求項２０】
前記制御手段は、前記発振子の前記振動動作の停止と振動動作の実行とを繰り返し制御することを特徴とする請求項１８記載の研削・研磨加工装置。
【請求項２１】
前記加工対象と当該加工対象を研削・研磨する工具とを相対的に揺動させて前記加工対象を研削・研磨する場合、前記制御手段は、前記揺動の回数に応じて前記発振子の振動動作の停止と、前記発振子の振動動作の実行とを制御することを特徴とする請求項１９又は２０項記載の研削・研磨加工装置。
【請求項２２】
前記供給手段は、発振子の振動動作により前記加工液に前記振動を付与して前記加工液を出射する超音波ノズルと、前記加工液を貯留するタンクと、前記タンクに貯留されている前記加工液を前記超音波ノズルに供給するポンプとを有し、
前記調整手段は、先ず前記発振子を所定の振動よりも弱い前記振動で振動動作させ、次に前記発振子を所定の振動よりも強い前記振動で振動動作させることを特徴とする請求項１５記載の研削・研磨加工装置。
【請求項２３】
前記加工対象と当該加工対象を研削・研磨する工具とを相対的に揺動させて前記加工対象を研削・研磨する場合、前記調整手段は、前記揺動の回数に応じて前記発振子を所定の振動よりも弱い前記振動での振動動作と、前記発振子を所定の振動よりも強い前記振動での振動動作とを調整することを特徴とする請求項２２項記載の研削・研磨加工装置。
【請求項２４】
複数個の加工対象を加工する場合、前記制御手段は、第１の所定個数までの前記各加工対象の加工では、先ず前記発振子の振動動作を停止し、次に前記発振子の振動動作を実行させ、前記第１の所定個数の次の個数から第２の所定個数までの前記各加工対象の加工では、前記発振子の振動動作を実行させ、前記第２の所定個数の次の個数以降の前記各加工対象の加工では、先ず前記発振子の振動動作を停止し、次に前記発振子の振動動作を実行させる、
ことを特徴とする請求項１８記載の研削・研磨加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばレンズ等の加工対象を研削、研磨する研削・研磨加工方法及びその装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
振動を付与した加工液を工具と光学素子との当接部に供給しながら、光学素子に研削・研磨加工を施す加工方法について技術は、例えば特許文献１に開示されている。
【０００３】
図１１は特許文献１に開示されている光学素子研磨装置の構成図であって、加工対象の光学素子であるレンズ１の凹球面に研磨加工を施す状態を示す。光学素子研磨装置は、上軸部２と、下軸部３と、加工液供給部４とを備えている。
【０００４】
上軸部２は、レンズ１の平面側を保持して固定するホルダ５と、このホルダ５を傾斜自在かつ回転自在に保持する軸体６とを備えている。軸体６は、下端部に球体７を備えている。この球体７がホルダ５の上面に形成された半球状凹部に挿入されることによって、ホルダ５は、軸体６に傾斜自在かつ回転自在に保持されている。
【０００５】
又、上軸部２は、揺動機構８と加圧機構９とを備えている。揺動機構８は、軸体６の上方側を保持し、この軸体６をレンズ１の被加工面である凹球面の曲率中心Ｏを振動中心位置として矢印Ａ方向に円弧状に揺動させる。加圧機構９は、軸体６の上方側からレンズ１に対して加工圧Ｗを付与する。
【０００６】
下軸部３は、台金１０と、この台金１０を回転させるモータ１１とを備えている。台金１０上端には、軸部１２が上方に伸びている。この軸部１２には、工具１３が固定されている。この工具１３は、レンズ１の凹球面に研磨加工を行う。この工具１３は、酸化セリウム（平均砥粒１μｍ）を樹脂で結合した固定砥粒砥石である。そして、この工具１３は、その加工面の形状を所望の曲率半径の凸球面となるように成形している。台金１０は、その下端部に軸部１４が設けられている。この軸部１４とモータ１１との間にプーリ１５が掛け渡されている。これにより、モータ１１の回転がプーリ１５を介して軸部１４に伝達され、台金１０は、矢印Ｂ方向に回転する。
【０００７】
工具１３の凸球面の加工面には、図１２（ａ）（ｂ）に示すように溝１６が形成されている。この溝１６は、凸球面の頂部に形成されており、工具１３の回転軸線上を通り、かつ凸球面上で台金１０との接触部にまで達している。この場合、台金１０の上端の軸部１２の直径は、工具１３の直径より小さく形成されている。これによって、溝１６内から後述する加工液１７やスラッジ（レンズ１のガラス屑や工具１３の屑の２種類の屑をスラッジと総称する）の排出を良好に行うことができる。
【０００８】
加工液供給部４は、レンズ１の凹球面を工具１３によって研磨加工する際、加工液１７を供給することによって、工具１３とレンズ１との摺接などによって発生する熱を除去する冷却作用と、工具１３とレンズ１との接触界面に発生するスラッジを流出させる作用とを有する。
【０００９】
この加工液供給部４は、加工液１７を貯留するタンク１８と、タンク１８から加工液１７を接触界面へ供給するためのポンプ１９と、先端に向けて細くなる略円筒形状の超音波ノズル２０とを備えている。超音波ノズル２０の内部には、当該超音波ノズル２０の先端の開口部に発振部を向けるように発振子２１が設けられている。この発振子２１は、超音波制御器２２により動作制御される。
【００１０】
次に、上記装置の研磨加工の動作について説明する。
【００１１】
先ず、所望の曲率半径を有する工具１３の凸球面状加工面に、ホルダ５に保持されたレンズ１が載置される。この後、加圧機構９は、軸体６に荷重Ｗを付与する。
【００１２】
次に、揺動機構８は、上軸部２の矢印Ａ方向への揺動を開始する。これと共にモータ１１が回転し、この回転がプーリ１５を介して軸部１４に伝達され、台金１０が矢印Ｂ方向に回転開始する。
【００１３】
さらに、加工液供給部４は、加工液１７の供給を開始する。この加工液１７は、タンク１８からポンプ１９によって汲み上げられ、超音波ノズル２０の吐出口からレンズ１と工具１３との接触界面に供給される。
【００１４】
このとき、超音波制御器２２は、発振子２１を振動制御する。これにより、発振子２１は、振動することで超音波を発生する。これにより、超音波ノズル２０内で重畳した振動が加工液１７に付与される。
【００１５】
振動が付与された加工液１７が工具１３の加工面の露出部分に当たるとき、加工液１７内に生じているキャビテーションの衝撃作用によって、工具１３の加工面に付着したレンズ１のガラス屑や工具１３の屑のスラッジが取り除かれる。
【００１６】
又、工具１３の加工面のうちレンズ１と接触している部分には、加工液１７が直接供給されてはいない。ところが、工具１３の加工面には溝１６が形成されている。これにより、振動が付与された加工液１７は、溝１６を伝わってレンズ１と工具１３との接触界面に供給される。又、工具１３は、モータ１１の駆動によって回転しているので、溝１６もその溝の長さ方向の中心位置を中心に回転する。これにより、溝１６の位置は、レンズ１の凹球面に対して連続的に変化する。これによって、溝１６内を流動する加工液１７によってレンズ１の凹球面にも振動が伝わり、レンズ１の被加工面に付着したスラッジを流出させることができる。さらに、振動が付与された加工液１７は、工具１３の加工面のうちレンズ１と接触している部分にも浸透していくので、この部分に付着したスラッジも流出させることができる。
【００１７】
このようにレンズ１と工具１３とが接触し相対運動し、その接触界面に向けて超音波による振動が付与された加工液１７を供給することによって、レンズ１と工具１３のうち加工液１７が直接かかる部分のみならず、工具１３の加工面のうちレンズ１と接触している部分にも振動による力で加工液１７が浸透する。
【００１８】
しかるに、研磨加工で発生したスラッジがレンズ１や工具１３の表面に付着しづらく、かつ付着しても直ちに除去される。この除去作用は研磨加工中にインプロセスで作用するので、研磨加工を行ってないときに改めてスラッジ除去作業を行う必要がない。
【００１９】
又、スラッジの除去作用により工具１３の加工面が常に良好な状態に保たれ、安定した加工能力が得られる。工具１３の加工面では、常に砥粒が発刃した状態となるので、加工能力が向上する。スラッジが流出しやすいので、スラッジに起因してレンズ１に外観不良が生ずるのを防止することができる。
【特許文献１】特開２００１−３８５９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２０】
複数個のレンズ１を１個の工具１３によって連続的に加工する場合、個々のレンズ１によって曲率半径などの形状が僅かに異なることがある。その一方で、上記装置では、スラッジの除去作用により工具１３の加工面が良好な状態で安定し、かつその形状が変化しにくいという特性を有している。
【００２１】
しかるに、上記装置によって複数個のレンズ１を連続加工する場合、工具１３の加工面の形状が変化せず、個々のレンズ１の形状差に工具１３の形状が対応できなくなる。このため、レンズ１の凹球面全面が適正に研磨されないことがあるという問題がある。
【００２２】
工具１３では、目つぶれした砥粒と周囲の樹脂ボンドが脱落し、新たな砥粒が発刃すること、すなわち砥石の自生作用が期待される。一方、上記装置では、スラッジの除去作用により工具１３の加工面が良好な状態で安定しやすく、かつ工具１３の加工面の摩耗量が少ないので、複数個数のレンズ１を連続加工していると、砥石の自生作用が所望より遅れ、レンズ１が適正に研磨されないことがある問題がある。
【００２３】
以上のように加工液１７に振動を付与することで新たな問題が発生するために、加工液１７への振動の付与自体を止めることも考えられる。その場合、スラッジが除去されないので、短時間で工具１３の加工面が目詰まりしやすくなり、さらに加工液１７による潤滑、冷却作用が充分に得られなくなる。これによって工具１３の摩耗が極端に速く進む。かくして、レンズ１の凹球面の被加工面が粗くなる不良が発生したり、短寿命になった工具１３を頻繁に交換する必要が出るという問題がある。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
本発明は、加工対象を加工するときに加工液を加工対象の研削・研磨部分に供給する供給工程と、研削・研磨部分に供給する加工液の状態を制御する制御工程とを有する研削・研磨加工方法である。
【００２５】
本発明は、加工対象を加工するときに加工液を加工対象の研削・研磨部分に供給する供給工程と、研削・研磨部分に供給する加工液に付与する振動の有無を制御する制御工程とを有する研削・研磨加工方法である。
【００２６】
本発明は、加工対象を加工するときに加工液を加工対象の研削・研磨部分に供給する供給手段と、研削・研磨部分に供給する加工液の状態を制御する制御手段とを具備した研削・研磨加工装置である。
【００２７】
本発明は、加工対象を加工するときに加工液を加工対象の研削・研磨部分に供給する供給手段と、研削・研磨部分に供給する加工液に付与する振動の有無を制御する制御手段とを具備した研削・研磨加工装置である。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によれば、工具の加工面形状を、加工対象の被加工面形状を転写した形状に正確に倣わせながら、工具や加工対象に付着したスラッジを除去することで、加工対象の研削または研磨加工を良好な状態で持続できる研削・研磨加工方法及びその装置を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明の第１の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図１１及び図１２と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【００３０】
図１は研削・研磨加工装置の構成図であり、図２は同装置による研削・研磨時の工具及びレンズ部分の拡大略断面図である。
【００３１】
超音波制御器（制御手段）３０は、レンズ１と工具１３との接触界面すなわち研削・研磨部分に供給する加工液１７の状態を制御するもので、例えば加工液１７に付与する振動の有無を制御する。この超音波制御器３０は、揺動機構８によりレンズ１を矢印Ａ方向に揺動させて当該レンズ１を研削・研磨するとき、揺動機構８による揺動回数に応じて発振子２１の振動動作の停止と、発振子２１の振動動作の実行とを制御する。
【００３２】
具体的に超音波制御器３０は、図３に示すように揺動回数ｎのうち揺動開始から例えば揺動回数１０回分まで発振子２１に対する電流の供給を停止して発振子２１の振動動作を停止し、揺動回数１１回目以降から発振子２１に対して電流（例えば５００ｍＡ）を供給して発振子２１を振動動作させる。なお、図３において横軸の揺動開始から揺動回数ｎまでは、１個のレンズ１を研磨する全研磨工程を表わすものとなる。
【００３３】
次に、上記の如く構成された装置による研磨加工の動作について説明する。
【００３４】
先ず、所望の曲率半径を有する工具１３の凸球面状加工面に、ホルダ５に保持されたレンズ１が載置される。この後、加圧機構９は、軸体６に荷重Ｗを付与する。
【００３５】
次に、揺動機構８は、上軸部２の矢印Ａ方向への揺動を開始する。これと共にモータ１１が回転し、この回転がプーリ１５を介して軸部１４に伝達され、台金１０が矢印Ｂ方向に回転開始する。
【００３６】
さらに、加工液供給部４は、加工液１７の供給を開始する。この加工液１７は、タンク１８からポンプ１９によって汲み上げられ、超音波ノズル２０の吐出口からレンズ１と工具１３との接触界面に供給される。
【００３７】
１個のレンズ１を加工するとき、揺動機構８は、上軸部２をｎ回（数十回）矢印Ａ方向に揺動する。
【００３８】
先ず、超音波制御器３０は、図３に示すように揺動回数ｎのうち揺動開始から例えば揺動回数１０回分まで発振子２１に対する電流の供給を停止して発振子２１の振動動作を停止する。これにより、初めの揺動回数１０回分では、超音波制御器３０から出力が発生されず、加工液１７に揺動が付与されない。
【００３９】
このように加工液１７に振動が付与されない場合、レンズ１及び工具１３には、レンズ１のガラス屑や工具１３自体の屑などのスラッジが付着し、除去されにくい。工具１３は、研磨剤を樹脂で結合しており、レンズ１との接触を繰り返すことで、樹脂の一部が少しずつ脱落される。ここでは、工具１３にスラッジが付着していることによって、レンズ１との摩擦力が大きくなり、樹脂の脱落が多くなる。このとき、レンズ１の被加工面の除去量は微小であり、形状が大きく変化することはない。これにより、工具１３の形状は、樹脂の脱落によってレンズ１の被加工面の形状に倣い、レンズ１の凹面を転写した凸面になっていく。
【００４０】
次に、超音波制御器３０は、揺動回数１１回目以降から発振子２１に対して電流（例えば５００ｍＡ）を供給して発振子２１を振動動作させる。これにより、発振子２１から超音波が発振され、ノズル１２２内で重畳した振動が加工液１７に付与される。
【００４１】
このように振動が付与された加工液１７が工具１３の加工面の露出部分に当たるとき、加工液１７内に生じているキャビテーションの衝撃作用によって、工具１３の加工面に付着したレンズ１のガラス屑や工具１３の屑のスラッジが取り除かれる。
【００４２】
又、工具１３の加工面のうちレンズ１と接触している部分には、加工液１７が直接供給されてはいない。ところが、工具１３の加工面には溝１６が形成されている。これにより、振動が付与された加工液１７は、溝１６を伝わってレンズ１と工具１３との接触界面に供給される。又、工具１３は、モータ１１の駆動によって矢印Ｂ方向に回転しているので、溝１６もその溝の長さ方向の中心位置を中心に回転する。これにより、溝１６の位置は、レンズ１の凹球面に対して連続的に変化する。これによって、溝１６内を流動する加工液１７によってレンズ１の凹球面にも振動が伝わり、レンズ１の被加工面に付着したスラッジを流出させることができる。さらに、振動が付与された加工液１７は、工具１３の加工面のうちレンズ１と接触している部分にも浸透していくので、この部分に付着したスラッジも流出させることができる。
【００４３】
このように加工液１７に振動を付与しているときは、レンズ１と工具１３とのうち加工液１７が直接かかる部分のみならず、工具１３の加工面のうちレンズ１と接触している部分にも振動による力で加工液１７が浸透し、付着したスラッジを除去する。これによって、レンズ１と工具１３との摩擦が低減され、工具１３の加工面の樹脂の脱落は相対的に少なくなり、その形状変化はあまり起こらない。
【００４４】
従って、工具１３の加工面の形状は、レンズ１の被加工面を転写した形状に倣った後、変化しない。これらよって工具１３とレンズ１とは全面的に密着し、レンズ１の精密な研磨加工が進行する。
【００４５】
このように上記第１の実施の形態によれば、１個のレンズ１を研磨する際、初めの揺動回数１０回程度の揺動動作において加工液１７に振動を付与せず、残りの揺動動作において加工液１７に振動を付与するので、初めに工具１３の加工面形状を、レンズ１の被加工面の形状を転写した形状に正確に倣わせることができ、その後、工具１３の加工面を良好な状態で安定させることができる。これによって、レンズ１の一部分が研磨されずに残ることがなく、かつ工具１３の加工面で常に砥粒が発刃して加工能力を向上でき、さらに付着したスラッジによるレンズ１の外観不良の発生を防止できる。
【００４６】
又、レンズ１を複数個加工する際、個々のレンズ１の曲率が微妙に異なる場合でも、工具１３が個々のレンズ１の形状に倣うので、全てレンズ１について良好な研磨加工を行うことができる。
【００４７】
又、レンズ１の加工工程内で工具１３の形状が調整されるので、工具１３を加工装置から外して、外部で形状を成形し直す必要がなく、作業の簡素化や作業時間を削減できる。
【００４８】
次に、本発明の第２の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図１及び図２と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【００４９】
研削・研磨加工装置の構成は、上記第１の実施の形態で説明した図１及び図２に示す構成と同様である。上記第１の実施の形態と相違するところは、超音波制御器３０の制御動作である。
【００５０】
この超音波制御器３０は、レンズ１と工具１３との接触界面すなわち研削・研磨部分に供給する加工液１７の状態を制御するもので、例えば加工液１７に付与する振動の有無を制御する。この超音波制御器３０は、揺動機構８によりレンズ１を矢印Ａ方向に揺動させて当該レンズ１を研削・研磨するとき、揺動機構８による揺動回数に応じて発振子２１の振動動作の停止と振動動作の実行とを繰り返し制御する。
【００５１】
具体的に超音波制御器３０は、例えば図４に示すように揺動回数ｎのうち揺動開始から揺動回数１０回分まで発振子２１に対する電流の供給を停止して発振子２１の振動動作を停止し、次の揺動回数１１回から揺動回数３０回まで発振子２１に対して電流（例えば５００ｍＡ）を供給して発振子２１を振動動作させ、次の揺動回数３１回から揺動回数４０回まで発振子２１に対する電流の供給を停止して発振子２１の振動動作を停止し、次の揺動回数４１回から揺動回数６０回まで発振子２１に対して電流（例えば５００ｍＡ）を供給して発振子２１を振動動作させる。
【００５２】
次に、上記の如く構成された装置による研磨加工の動作について説明する。
【００５３】
上記同様に、所望の曲率半径を有する工具１３の凸球面状加工面に、ホルダ５に保持されたレンズ１が載置され、この後、加圧機構９は、軸体６に荷重Ｗを付与する。次に、揺動機構８は、上軸部６の揺動を開始する。これと共にモータ１１が回転し、この回転がプーリ１５を介して軸部１４に伝達され、台金１０が矢印Ｂ方向に回転開始する。さらに、加工液供給部４は、加工液１７の供給を開始する。この加工液１７は、タンク１８からポンプ１９によって汲み上げられ、超音波ノズル２０の吐出口からレンズ１と工具１３との接触界面に供給される。
【００５４】
１個のレンズ１を加工するとき、揺動機構８は、上軸部２をｎ回（数十回）矢印Ａ方向に揺動する。
【００５５】
超音波制御器３０は、図４に示すように揺動開始から揺動回数１０回分まで発振子２１に対する電流の供給を停止する。これにより、最初の揺動回数１０回までは、加工液１７に振動が付与されない。
【００５６】
次に、超音波制御器３０は、揺動回数１１回から揺動回数３０回まで発振子２１に対して電流（例えば５００ｍＡ）を供給する。これにより、揺動回数１１回から揺動回数３０回までは、加工液１７に振動が付与される。
【００５７】
次に、超音波制御器３０は、揺動回数３１回から揺動回数４０回まで発振子２１に対する電流の供給を停止する。これにより、揺動回数３１回から揺動回数４０回までは、加工液１７に振動が付与されない。
【００５８】
次に、超音波制御器３０は、揺動回数４１回から揺動回数６０回まで発振子２１に対して電流（例えば５００ｍＡ）を供給する。揺動回数４１回から揺動回数６０回までの最後の揺動回数２０回は、加工液１７に振動が付与される。
【００５９】
しかるに、上記加工液１７に振動が付与されない場合、レンズ１及び工具１３には、スラッジが付着し、除去されにくい。工具１３は、研磨剤を樹脂で結合しており、レンズ１との接触を繰り返すことで、樹脂の一部が少しずつ脱落される。ここでは、工具１３にスラッジが付着していることによって、レンズ１との摩擦力が大きくなり、樹脂の脱落が多くなる。このとき、レンズ１の被加工面の除去量は微小であり、形状が大きく変化することはない。これにより、工具１３の形状は、樹脂の脱落によってレンズ１の被加工面の形状に倣い、レンズ１の凹面を転写した凸面になっていく。
【００６０】
一方、加工液１７に振動が付与しているときは、加工液１７内に生じているキャビテーションの衝撃作用によってレンズ１や工具１３の表面に付着したスラッジが取り除かれる。なお、レンズ１と工具１３とが接触し相対運動し、その接触界面に向けて振動を付与した加工液１７が供給される。これによってレンズ１と工具１３のうち加工液１７が直接かかる部分のみならず、工具１３の加工面のうちレンズ１と接触している部分にも振動による力で加工液１７が浸透し、スラッジが流出する。かくして、工具１３の加工面の樹脂の脱落は相対的に少なくなり、その形状変化はあまり起こらない。従って、工具１３の加工面の形状は、レンズ１の被加工面を転写した形状に倣った後、変化しない。これによって工具１３とレンズ１とは全面的に密着し、レンズ１の精密な研磨加工が進行する。
【００６１】
このように研磨加工の最初に、加工液１７に振動を付与しない状態とすることで、工具１３の加工面の形状を、レンズ１の被加工面を転写した形状に正確に倣わせることができる。そして、加工液１７に振動を付与した状態でレンズ１の研磨加工を行い、レンズ１の被加工面の除去量と工具１３の加工面の摩耗量との差によって、レンズ１の被加工面と工具１３の加工面との各形状に差が生じた後に、再び加工液１７に振動を付与しない状態とすることで、工具１３の加工面の形状を調整し直す。この後、加工液１７に振動を付与した状態に戻し、研磨加工の仕上げを行う。
【００６２】
このように上記第２の実施の形態によれば、１個のレンズ１を研磨加工するとき、揺動機構８による上軸部２の揺動回数に応じ、先ず、加工液１７に振動を付与しない状態とし、次に加工液１７に振動を付与する状態とし、これら加工液１７に振動を付与しない状態と付与する状態とを繰り返し、最終の揺動回数において加工液１７に振動を付与する状態とする。これにより、上記第１の実施の形態と同様の効果を奏することができる他に、次の効果を奏することができる。
【００６３】
１個のレンズ１を研磨加工する際、仕上げ段階の前で、加工液１７に振動を付与しない状態とすることで、工具１３の加工面形状を、レンズ１の被加工面形状を転写した形状により正確に倣わせ、仕上げ段階でも、工具１３の加工面を良好な状態で安定させることができる。これによって、仕上げ段階後に、レンズ１の一部分が研磨されずに残ることがなく、かつ工具１３の加工面で常に砥粒が発刃して加工能力が向上し、さらに付着したスラッジによるレンズ１の外観不良の発生を防止できる。
【００６４】
又、１個のレンズ１の研磨加工に多くの時間を要し、加工中にレンズ１の曲率が微妙に変化する場合でも、仕上げ段階の前に工具１３をレンズ１の形状に倣わせるので、仕上げ段階で良好な研磨加工ができる。
【００６５】
次に、本発明の第３の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図１及び図２と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【００６６】
図５は研削・研磨加工装置の構成図である。この研削・研磨加工装置は、超音波制御器３０に調整部３１を有する。この調整部３１は、レンズ１と工具１３との接触界面すなわち研削・研磨部分に供給する加工液１７の状態を制御するもので、先ず発振子２１に電流（例えば２００ｍＡ）を供給して所定の振動よりも弱い振動で振動動作させ、次に発振子２１に電流（例えば５００ｍＡ）を供給して所定の振動よりも強い振動で振動動作させる。
【００６７】
具体的に調整部３１は、揺動機構８による揺動回数に応じて、例えば図６に示すように揺動開始から揺動回数１０回分まで発振子２１に対して例えば２００ｍＡの電流を供給し、次に揺動回数１１から揺動回数ｎ（数十回）で発振子２１に対して例えば５０ｍＡの電流を供給する。
【００６８】
次に、上記の如く構成された装置による研磨加工の動作について説明する。
【００６９】
上記同様に、１個のレンズ１を加工するとき、揺動機構８は、上軸部２をｎ回（数十回）矢印Ａ方向に揺動する。
【００７０】
先ず、超音波制御器３０の調整部３１は、図６に示すように揺動開始から揺動回数１０回分まで発振子２１に対して例えば２００ｍＡの電流を供給する。これにより、最初の揺動回数１０回までは、超音波ノズル２０から吐き出される加工液１７に弱い振動が付与される。
【００７１】
このように加工液１７に弱めの振動が付与されているときは、レンズ１及び工具１３に付着したスラッジを除去する作用が弱まる。工具１３に少量だけスラッジが付着していることによって、レンズ１との摩擦力が比較的大きくなり、工具１３の樹脂の脱落が比較的多くなる。このとき、レンズ１の被加工面の除去量は微小であり、形状が大きく変化することはない。これにより、工具１３の加工面の形状は、樹脂の脱落によって、レンズ１の被加工面の形状に倣う。これによってレンズ１の凹面は、正確に転写した凸面となっていく。但し、振動によるスラッジ除去作用が完全になくなってはないので、工具１３の樹脂の脱落は極端に多くなく、工具１３の形状が大幅に変わってしまうことはない。又、付着したスラッジが多すぎて、レンズ１の面粗さが極端に悪くなってしまうこともない。
【００７２】
次に、超音波制御器３０の調整部３１は、図６に示すように揺動回数１１から揺動回数ｎ（数十回）で発振子２１に対して例えば５０ｍＡの電流を供給する。これにより、残りの揺動回数ｎ回までは、超音波ノズル２０から吐き出される加工液１７に強い振動が付与される。
【００７３】
このように加工液１７に強めの振動を付与しているときは、加工液１７内に生じているキャビテーションの衝撃作用によって、レンズ１や工具１３の表面に付着したスラッジの殆どが取り除かれる。なお、レンズ１と工具１３とが接触し相対運動し、その接触界面に向けて振動が付与された加工液１７を供給することによって、レンズ１と工具１３のうち加工液１７が直接かかる部分のみならず、工具１３の加工面のうちレンズ１と接触している部分にも振動による力で加工液１７が浸透し、大部分のスラッジが流出する。これによって、工具１３の加工面の樹脂の脱落は相対的に少なくなり、その形状変化はほとんど起こらない。
【００７４】
以上のように研磨加工の最初に、加工液１７に弱めの振動を付与する状態とすることで、レンズ１の面精度を悪化させることなく、工具１３の加工面の形状を、レンズ１の被加工面を転写した形状に緩やかに倣わせる。
【００７５】
この後、加工液１７に強め振動を付与した状態とすると、工具１３の加工面の形状は、レンズ１の被加工面を転写した形状に倣った後、変化せずにいるので、工具１３とレンズ１とが全面的に密着し、レンズ１の精密な研磨加工が進行する。
【００７６】
このように上記第３の実施の形態によれば、１個のレンズ１を研磨加工するとき、例えば初めの揺動回数１０回程度の揺動では加工液１７に弱めの振動を付与し、残りの揺動では加工液１７に強めの振動を付与するので、初めに工具１３の加工面形状を、レンズ１の被加工面形状を転写した形状に正確にかつ緩やかに倣わせることができ、この後、工具１３の加工面を良好な状態で安定させることができる。これによって、工具１３の形状を修正しているとき、その形状が極端に速く変化し、所望の形状から離れてしまうことを防止でき、かつ付着したスラッジが多すぎて、レンズ１の面精度が悪化することを防止できる。
【００７７】
次に、本発明の第４の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図１及び図２と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【００７８】
研削・研磨加工装置の構成は、上記第１の実施の形態で説明した図１及び図２に示す構成と同様である。上記第１の実施の形態と相違するところは、研削・研磨加工装置を用いて複数個のレンズ１に対して研磨加工するところである。
【００７９】
以下、複数個のレンズ１に対する研磨加工の流れについて説明する。
【００８０】
１個目のレンズ１の研磨加工では、先ず、所望の曲率半径を有する工具１３の凸球面状加工面に、ホルダ５に保持されたレンズ１を載置する。この後、加圧機構９は、軸体６を介して荷重Ｗをホルダ５に付与する。次に、揺動機構８は、上軸部１０５の揺動を開始する。これと共にモータ１１が回転し、この回転がプーリ１５を介して軸部１４に伝達され、台金１０が矢印Ｂ方向に回転開始する。さらに、加工液供給部４は、加工液１７の供給を開始する。この加工液１７は、タンク１８からポンプ１９によって汲み上げられ、超音波ノズル２０の吐出口からレンズ１と工具１３との接触界面に供給される。
【００８１】
レンズ１を研磨加工する際、揺動機構８は、上軸部６をｎ回（数十回）矢印Ａ方向に揺動する。超音波制御器３０は、例えば図３に示すように初めの揺動回数１０回分において電流を出力せず、加工液１７に振動を付与しない。
【００８２】
このように加工液１７に振動が付与していないときは、レンズ１及び工具１３にスラッジが付着し、除去されにくい。工具１３は、研磨剤を樹脂で結合しており、レンズ１との接触を繰り返すことで、樹脂の一部が少しずつ脱落していく。ここでは、工具１３にスラッジが付着していることによって、レンズ１との摩擦力が大きくなり、樹脂の脱落が多くなる。このとき、レンズ１の被加工面の除去量は微小であり、形状が大きく変化することはないので、工具１３の形状は、樹脂の脱落によって、レンズ１の被加工面の形状に倣い、レンズ１の凹面を転写した凸面となっていく。
【００８３】
次に、超音波制御器３０は、図３に示すように揺動回数１１回からｎ回までの残りの揺動回数において、発振子２１に電流（例えば５００ｍＡ）を供給する。これにより、発振子２１から超音波が発振され、超音波ノズル２０内で重畳した振動が加工液１７に付与される。
【００８４】
このように加工液１７に振動が付与しているときは、加工液１７が工具１３の加工面の露出部分に当たるとき、加工液１７１内に生じているキャビテーションの衝撃作用によって、工具１３の加工面に付着したスラッジが取り除かれる。工具１３の加工面のうちレンズ１と接触している部分には、加工液１７が直接供給されてはいない。しかし、工具１３の加工面には溝１６が形成されているので、振動が付与された加工液１７は、当該溝１６を伝わってレンズ１と工具１３との接触界面に供給される。
【００８５】
又、工具１３はモータ１１によって回転しているので、溝１６の位置は、上記の如くレンズ１の凹球面に対して連続的に変化する。これにより、溝１６内を流動する加工液１７によってレンズ１の凹球面にも振動が伝わり、レンズ１の被加工面に付着したスラッジを流出させることができる。
【００８６】
さらに、振動が付与された加工液１７は、工具１３の加工面のうちレンズ１と接触している部分にも浸透していくので、この部分に付着したスラッジも流出させることができる。
【００８７】
このようにレンズ１と工具１３とが接触し相対運動し、その接触界面に向けて振動が付与された加工液１７を供給することによって、レンズ１と工具１３のうち加工液１７が直接かかる部分のみならず、工具１３の加工面のうちレンズ１と接触している部分にも振動による力で加工液１７が浸透する。これによって、工具１３の加工面の樹脂の脱落は相対的に少なくなり、その形状変化はあまり起こらない。
【００８８】
工具１３の加工面の形状は、レンズ１の被加工面を転写した形状に倣った後、変化せずにいるので、工具１３とレンズ１とが全面的に密着し、レンズ１の精密な研磨加工が進行する。
【００８９】
次に、レンズ１の研磨個数が例えば２個目から９個目の加工では、１個目のレンズ１とほぼ同様の加工が行われる。但し、図７に示すように揺動回数ｎまでの全研磨工程にわたって加工液１７に振動を付与する。これにより、工具１３の加工面の形状は安定し、工具１３とレンズ１とが全面的に密着し、レンズ１の精密な研磨加工が進行する。
【００９０】
次に、レンズ１の研磨個数が１０個目のレンズ１の研磨加工では、１個目のレンズ１と同様に、図３に示すように研磨工程の一部で加工液１７への振動の付与を停止する。レンズ１の前工程の影響で、レンズ１の形状が個数を経るごとに少しずつ変化している場合があるので、ここで加工液１７へ振動を付与しないことで、工具１３の形状を調節する。
【００９１】
これ以降、図７に示すように全研磨工程に亘って加工液１７に振動を付与する場合と、図３に示すように研磨工程の一部で加工液１７への振動の付与を止める場合とを繰り返す。
【００９２】
このように上記第４の実施の形態によれば、複数個のレンズ１の研磨加工において、全研磨工程に亘って加工液１７に振動を付与する場合と、全研磨工程の一部で加工液１７への振動の付与を停止する場合とを繰り返すので、前工程の影響によって、レンズ１の形状がレンズ１の研磨個数を経るごとに変化していく場合に、変化したレンズ１の形状に工具１３の形状を対応させることができる。
【００９３】
次に、本発明の第５の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００９４】
図８は研削・研磨加工装置の構成図である。上軸部４０は、工作物であるレンズ１の貼付面（被加工面の反対側）を貼り付けて固定する磁性金属製のレンズ貼付皿４１と、このレンズ貼付皿４１を上下動自在かつ回転自在に保持する軸体４２と、この軸体４２を駆動回転させるモータ４３を備えている。軸体４２は、その下端部にカップ状保持部４４が設けられている。
【００９５】
このカップ状保持部４４は、開口部を下側に設けている。このカップ状保持部４４の底面（図では上部になっている）には、磁石４５が内挿されている。レンズ貼付皿４１は、磁石４５から発っせられる磁力により吸引されて、カップ状保持部４４の開口部に対して上下動自在かつ回転自在に保持される。
【００９６】
軸体４９の上側は、モータ４３に接続され、矢印Ｃ方向に駆動回転する。又、上軸部４０は、軸体４９の上方側からレンズ１に加工圧Ｗを付与する加圧機構４６を備えている。
【００９７】
下軸部４７は、工具４８を揺動可能かつ回転可能にに保持する軸体４９と、この軸体４９を回転させるモータ５０とを備えている。軸体４９の上側には、把持部５１が設けられている。この把持部５１に工具４８の台皿部５２が把持されている。軸体４９は、その下端部にモータ５０が接続されている。この軸体４９は、モータ５０の駆動により矢印Ｄ方向に回転する。
【００９８】
又、下軸部４７には、軸体４９の下側を保持する揺動機構５４が設けられている。この揺動機構５４は、レンズ１の被加工面である凸球面の曲率中心Ｏを揺動中心として、軸体４９を円弧状に矢印Ｅ方向に揺動させる。
【００９９】
工具４８は、金属製の台皿部５２と、この台皿部５２に貼り付けられた加工部５３とを備えている。加工部５３は、レンズ１の凸球面に対して研磨加工を行う。この加工部５３は、ダイヤモンド粒子を樹脂で結合した固定砥粒砥石であり、その加工面の形状が所望の曲率半径の凹球面となるように成形されている。
【０１００】
工具４８の加工部５３の凹球面には、図９及び図１０に示すように溝５５が形成されている。この溝５５は、凹球面の底部に形成されている。この溝５５は、工具４８の回転軸線上を通って交差し、かつ凹球面の縁部を超えて加工部５３の外周面にまで達している。これによって、溝５５内から加工液５６やスラッジの排出を良好に行うことができる。
【０１０１】
加工液供給部５７は、レンズ１の凸球面を工具４８によって研削加工する際、工具４８とレンズ１との間に加工液５６を供給する。これにより、加工液供給部５７は、工具４８とレンズ１との摺接などによって発生する熱を除去させる冷却作用と、レンズ１の凸球面と工具４８との接触界面に発生するスラッジを流出させる作用とを有する。
【０１０２】
加工液５６は、水よりも潤滑作用や冷却作用を高めた水溶性研削油の水溶液とする。加工液供給部５７は、加工液５６を貯留するタンク５８と、このタンク５８から加工液５６をレンズ１の凸球面と工具４８との接触界面へ供給するためのポンプ５９と、先端に向けて細くなる略円筒形状の超音波ノズル６０とを備えている。
【０１０３】
超音波ノズル６０の内部には、当該超音波ノズル６０の先端の開口部に発振部を向けるように発振子６１が設けられている。この発振子６１は、超音波制御器６２によって動作制御される。
【０１０４】
超音波制御器６２は、例えば図３に示すように揺動回数ｎのうち揺動開始から例えば揺動回数１０回分まで発振子６１に対する電流の供給を停止して発振子６１の振動動作を停止し、次の揺動回数１１回目以降から発振子６１に対して電流（例えば５００ｍＡ）を供給して発振子６１を振動動作させる。
【０１０５】
次に、上記の如く構成された装置による研磨加工の動作について説明する。
【０１０６】
レンズ１の研削加工では、先ず、レンズ１を貼り付けて固定したレンズ貼付皿４１を軸体４２に取り付ける。次に、軸体４２を下降させることで、所望の曲率半径を有する工具４８の凹球面状加工面にレンズ１を載置する。この後、加圧機構４６は、軸体４２を介して荷重Ｗを付与する。
【０１０７】
次に、揺動機構５４は、下軸部４７を矢印Ｄ方向に揺動させる。これと共にモータ５０が回転することにより工具４８が矢印Ｃ方向に回転し、加工液供給部５７では、超音波ノズル６０への加工液５６の供給を開始する。この加工液５６は、ポンプ５９によってタンク５８から汲み上げられ、超音波ノズル６０の吐出口からレンズ１と工具４８との接触界面に供給される。
【０１０８】
１個のレンズ１を加工するとき、揺動機構５４は、下軸部４７をｎ回（数十回）揺動する。超音波制御器６２は、例えば図３に示すように揺動回数ｎのうち揺動開始から例えば揺動回数１０回分まで発振子６１に対する電流の供給を停止して発振子６１の振動動作を停止する。これにより、加工液５６には振動が付与されない。
【０１０９】
このように加工液５６に振動が付与されないときは、レンズ１及び工具４８には、レンズ１のガラス屑や工具４８の屑などのスラッジが付着し、除去されにくい。工具４８は、ダイヤモンド砥粒を樹脂で結合したものであり、レンズ１との接触を繰り返すことで、樹脂の一部が少しずつ脱落していく。ここでは、工具４８にスラッジが付着していることによって、レンズ１との摩擦力が大きくなり、樹脂の脱落が多くなる。このとき、レンズ１の被加工面の除去量は微小であり、形状が大きく変化することはないので、工具４８の加工面の形状は、樹脂の脱落によって、レンズ１被加工面の形状に倣い、レンズ１の凸面を転写した凹面となっていく。
【０１１０】
次に、超音波制御器６２は、図３に示すように揺動回数１１回目以降から発振子６１に対して電流（例えば５００ｍＡ）を供給して発振子６１を振動動作させる。これにより、加工液５６に振動が付与される。
【０１１１】
このように加工液５６に振動が付与しているときは、加工液５６が工具４８加工面の露出部分に当たるとき、加工液５１内に生じているキャビテーションの衝撃作用によって、工具４８の加工面に付着したスラッジが取り除かれる。工具４８の加工面のうちレンズ１と接触している部分には、加工液５６が直接供給されてはいない。ところが、工具４８の加工面には溝５５が形成されているので、振動が付与された加工液５６は当該溝５５内を伝わってレンズ１と工具４８との接触界面に供給される。
【０１１２】
又、工具４８はモータ４３によって回転し、レンズ１はモータ５０によって回転するので、溝５５の位置はレンズ１の凸球面に対して連続的に変化する。これにより、溝５５内を流動する加工液５６によってレンズ１の凸球面にも振動が伝わる。しかして、レンズ１の被加工面に付着したスラッジを流出させることができる。
【０１１３】
さらに、振動が付与された加工液５６は、工具４８の加工面のうちレンズ１と接触している部分にも浸透していくので、当該部分に付着したスラッジも流出させることができる。
【０１１４】
このように加工液５６に振動が付与しているときは、レンズ１と工具４８とが接触し相対運動し、これらレンズ１と工具４８との接触界面に向けて振動が付与された加工液５６を供給することによって、レンズ１と工具４８のうち加工液５６が直接かかる部分のみならず、工具４８の加工面のうちレンズ１と接触している部分にも振動による力で加工液５６が浸透する。これによって、工具４８の加工面の樹脂の脱落は相対的に少なくなり、かつ工具４８の加工面の形状変化はあまり起こらない。
【０１１５】
工具４８の加工面の形状は、レンズ１の被加工面を転写した形状に倣った後、変化しないので、工具４８とレンズ１とが全面的に密着し、レンズ１の精密な研削加工が進行する。
【０１１６】
このように上記第５の実施の形態によれば、１個のレンズ１を研削する際、初めの１０回程度の揺動では加工液５６に振動を付与せず、残りの揺動回数で加工液５６に振動を付与するので、初めに工具４８の加工面形状を、レンズ１の被加工面形状を転写した形状に正確に倣わせることができ、その後、工具４８の加工面を良好な状態で安定させることができる。これによって、レンズ１の一部分が研削されずに残ることがなく、かつ工具４８の加工面で常に砥粒が発刃して加工能力が向上する。
【０１１７】
又、レンズ１を複数個加工する際、個々のレンズ１の曲率が微妙に異なる場合でも、工具４８が個々のレンズ１の形状に倣うので、全てのレンズ１について良好な研削加工を行うことができる。
【０１１８】
又、レンズ１の加工工程内で工具４８の形状が調整されるので、工具４８を研削・研磨加工装置から外して、外部で形状を成形し直す必要がなく、作業の簡素化や作業時間の削減の効果がある。
【０１１９】
なお、本発明は、上記第１乃至第５の実施の形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。
【０１２０】
例えば、第１乃至第５の実施の形態では、図３及び図４、図６及び図７に示すようにそれぞれ各加工液１７、５６へ付与する振動の強弱、有無を変化させるパターンの例を示したが、これらのパターンに制限するものではない。
【０１２１】
第１乃至第５の実施の形態では、それぞれ各加工液１７、５６に付与する振動するため各超音波ノズル２０、６０への出力する電流値（例えば２００ｍＡ、５００ｍＡ）の例を示したが、これらの電流値に制限するものではない。
【０１２２】
第１乃至第５の実施の形態では、各超音波ノズル２０、６０によって各加工液１７、５６に振動を付与したが、加工液１７、５６に振動を付与する手段を制限するものではない。
【０１２３】
第１乃至第５の実施の形態では、加工対象をガラス製のレンズとしたが、少なくとも研削又は研磨加工を施す対象であれば、例えばセラミックス、結晶材、非晶材などの材料からなる他の物を加工対象としても構わない。
【０１２４】
第１乃至第５の実施の形態では、粒子を結合材中に分散して固定した固定砥粒工具を工具１３、４８として用い、加工液１７、５６を工具１３、４８とレンズ１等の加工対象とに間に供給する。このように固定砥粒加工としたが、工具１３、４８の加工面がピッチやフェルト・シートからなるポリシャを工具として用い、研磨剤などの遊離を含む加工液を加工部に供給する遊離砥粒加工としても構わない。その場合、加工液への振動付与の制御によって工具１３、４８の加工面での砥粒の突き出し状態を変える作用はなくなるが、加工液の浸透状態を変化させるので、スラッジの除去状態や工具の形状変化を制御する作用は依然としてある。
【０１２５】
第１乃至第５の実施の形態では、加工対象であるレンズ１の裏面（被加工面の反対側）は平面としたが、凹面、凸面など他の形状としても構わない。なお、加工対象を台皿に貼り付ける場合、台皿の貼付面は工作物は裏面を転写した形状とする。
【０１２６】
第１乃至第４の実施の形態では、加工対象であるレンズ１の形状を凹面としたが、凸面や平面や非球面など、他の形状としても構わない。
【０１２７】
第１乃至第４の実施の形態では、酸化セリウム粒子を樹脂結合材に分散し固化した固定砥粒工具を用いてレンズ１の研磨加工を行うとしたが、固定砥粒工具の粒子や結合材の材質を制限するものではない。又、ダイヤモンドやｃＢＮ等の砥粒を結合材に分散し固化した固定砥粒工具を用いて研削加工を行っても構わない。
【０１２８】
第１乃至第４の実施の形態では、加工液１７、５６として水を用いたが、潤滑や冷却の効果を有し、振動を伝達する他の液体を用いても構わない。
【０１２９】
第１乃至第４の実施の形態では、上軸部２でレンズ１等の加工対象を保持して揺動し、下軸部３で工具１３を保持して揺動しない構成としたが、工具１３とレンズ１等の加工対象とを接触させながら相対運動させることで、レンズ１等の加工対象に研削又は研磨加工を施すものであれば、装置の構成を制限するものではない。
【０１３０】
第５の実施の形態では、加工対象であるレンズ１の形状を凸面としたが、凹面や平面や非球面などの他の形状としても構わない。
【０１３１】
第５の実施の形態では、ダイヤモンド砥粒を樹脂結合材に分散し固化した固定砥粒工具４８を用いてレンズ１の研削加工を行うとしたが、固定砥粒工具の粒子や結合材の材質を制限するものではない。又、酸化セリウムなど粒子を結合材に分散し固化した固定砥粒工具を用いて研磨加工を行っても構わない。
【０１３２】
第５の実施の形態では、加工液５６として水溶性研削油の水溶液を用いたが、潤滑や冷却の効果を有し、振動を伝達する他の液体を用いても構わない。
【０１３３】
第５の実施の形態では、上軸部４０でレンズ１等の加工対象を保持して揺動せず、下軸部４７で工具４８を保持して揺動する構成としたが、工具４８と加工対象とを接触させながら相対運動させることで、加工対象を研削又は研磨加工を施すものであれば、装置の構成を制限するものではない。
【０１３４】
第５の実施の形態では、加工液５６への振動付与を変化させるパターンは、第１の実施の形態と同様としたが、第２乃至第４の実施の形態のうちいずれかの実施の形態の加工液５６への振動付与パターンにしてもよい。すなわち、超音波制御器６２は、例えば図４に示すように揺動回数ｎのうち揺動開始から揺動回数１０回分まで発振子６１に対する電流の供給を停止して発振子６１の振動動作を停止し、次の揺動回数１１回から揺動回数３０回まで発振子６１に対して電流（例えば５００ｍＡ）を供給して発振子６１を振動動作させ、次の揺動回数３１回から揺動回数４０回まで発振子６１に対する電流の供給を停止して発振子６１の振動動作を停止し、次の揺動回数４１回から揺動回数６０回まで発振子６１に対して電流（例えば５００ｍＡ）を供給して発振子６１を振動動作させる。
【０１３５】
又は、超音波制御器６２に調整部３１を有し、この調整部３１は、揺動機構５４による揺動回数に応じて、例えば図６に示すように揺動開始から揺動回数１０回分まで発振子６１に対して例えば２００ｍＡの電流を供給し、次に揺動回数１１から揺動回数ｎ（数十回）で発振子６１に対して例えば５０ｍＡの電流を供給する。
【０１３６】
又は、複数個のレンズ１の研磨加工において、全研磨工程に亘って加工液５６に振動を付与する場合と、全研磨工程の一部で加工液５６への振動の付与を停止する場合とを繰り返す。
【０１３７】
次に、本発明の他の特徴とするところについて説明する。
【０１３８】
第１の発明は、振動を付与した加工液を工具と光学素子との当接部分に供給しながら、光学素子に研削・研磨加工を施す加工方法において、加工液に付与する振動の有無およびその出力を多段階に変化させることを特徴とする光学素子の研削・研磨加工方法である。
【０１３９】
第２の発明は、ある１個の光学素子を加工中に、加工液に付与する振動の出力を多段階に変化させることを特徴とする第１の発明に記載の光学素子の研削・研磨加工方法である。
【０１４０】
第３の発明は、ある１個の光学素子を加工中に、加工液に付与する振動の有無を多段階に変化させることを特徴とする第１の発明に記載の光学素子の研削・研磨加工方法である。
【０１４１】
第４の発明は、複数個の光学素子を加工する際、一部の光学素子の加工で振動の付与を制限することを特徴とする第１の発明に記載の光学素子の研削・研磨加工方法である。
【０１４２】
第５の発明は、光学素子はガラス材からなるレンズであることを特徴とする第１乃至第４の発明のいずれかに記載の光学素子の研削・研磨加工方法である。
【０１４３】
第６の発明は、加工液内で超音波を発振することによって、加工液に振動を付与することを特徴とする第１乃至第５の発明のいずれかに記載の光学素子の研削・研磨加工方法である。
【図面の簡単な説明】
【０１４４】
【図１】本発明に係る研削・研磨加工装置の第１の実施の形態を示す構成図。
【図２】同装置における工具及びレンズ部分の拡大略断面図。
【図３】同装置における揺動回数に対する超音波制御器による振動動作を示す図。
【図４】本発明に係る研削・研磨加工装置の第２の実施の形態における揺動回数に対する超音波制御器による振動動作を示す図。
【図５】本発明に係る研削・研磨加工装置の第３の実施の形態を示す構成図。
【図６】同装置における揺動回数に対する超音波制御器による振動動作を示す図。
【図７】本発明に係る研削・研磨加工装置の第４の実施の形態における所定個数目のレンズ研磨で用いる振動動作を示す図。
【図８】本発明に係る研削・研磨加工装置の第５の実施の形態を示す構成図。
【図９】同装置における工具及びレンズ部分の拡大略断面図。
【図１０】同装置における工具の拡大略断面図。
【図１１】従来技術における研削・研磨加工の状態を示す略断面図。
【図１２】従来技術における工具及び加工対象部分の拡大略断面図。
【符号の説明】
【０１４５】
１：レンズ、２：上軸部、３：下軸部、４：加工液供給部、５：ホルダ、６：軸体、７：球体、８：揺動機構、９：加圧機構、１０：台金、１１：モータ、１２：軸部、１３：工具、１４：軸部、１５：プーリ、１６：溝、１７：加工液、１８：タンク、１９：ポンプ、２０：超音波ノズル、２１：発振子、３０：超音波制御器、３１：調整部、４０：上軸部、４１：レンズ貼付皿、４２：軸体、４３：モータ、４４：カップ状保持部、４５：磁石、４６：加圧機構、４７：下軸部、４８：工具、４９：軸体、５０：モータ、５１：把持部、５２：台皿部、５３：加工部、５４：揺動機構、５５：溝、５６：加工液、５７：加工液供給部、５８：タンク、５９：ポンプ、６０：超音波ノズル、６１：発振子。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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