(57)【要約】【課題】簡易な操作でレベリング調整を容易にすることができ、かつ一箇所での集中操作により、簡易にレベリング調整を可能とすることができるレベリング装置を提供する。【解決手段】テーブルの下部の所定位置にテーブルを支持するように複数配置されるレベリング装置であって、該装置は、実質的な台座となる固定ピストン部と、前記固定ピストン部を覆うように配置され上下動可能な移動シリンダ部と、前記固定ピストン部と前記移動シリンダ部との間の実質的な摺動位置に介在されたダイヤフラムと、前記固定ピストン部と前記移動シリンダ部と前記ダイヤフラムとにより形成された密封空間に作動流体を送り込むために形成された流体導入口と、前記移動シリンダ部の略中央から上部に延びるように組み込まれ、実質的にテーブルに固着される棒状の脚部と、前記移動シリンダ部の外周に配置された位置固定部材と、を有してなるように構成される。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
テーブルの下部の所定位置にテーブルを支持するように複数配置されるレベリング装置であって、該装置は、
実質的な台座となる固定ピストン部と、
前記固定ピストン部を覆うように配置され上下動可能な移動シリンダ部と、
前記固定ピストン部と前記移動シリンダ部との間の実質的な摺動位置に介在されたダイヤフラムと、
前記固定ピストン部と前記移動シリンダ部と前記ダイヤフラムとにより形成された密封空間に作動流体を送り込むために形成された流体導入口と、
前記移動シリンダ部の略中央から上部に延びるように組み込まれ、実質的にテーブルに固着される棒状の脚部と、
前記移動シリンダ部の外周に配置された位置固定部材と、を有してなることを特徴とするレベリング装置。
【請求項２】
前記ダイヤフラムは、布入りのゴム製で構成されるとともに折り返し部を有し、移動シリンダ部の移動につれてローリング移動できるようになっている請求項１に記載のレベリング装置。
【請求項３】
前記ダイヤフラムは、その外周の一端部が前記移動シリンダ部に固定され、前記ダイヤフラムは、その内周の一端部が前記固定ピストン部に固定されてなる請求項２に記載のレベリング装置。
【請求項４】
前記固定ピストン部の略中央部は凹部形状をなし、前記移動シリンダ部の略中央部は凸部形状をなし、レベリング操作前の状態において、凸部形状の先端部が前記凹部形状の最深平面に当接してなる請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のレベリング装置。
【請求項５】
前記移動シリンダ部の外周に配置された位置固定部材は、筒状形態をなすとともに、その内面にネジ部を有し、前記移動シリンダ部の外周に形成されたネジ部と螺合しており、レベリング調整が終了した時点で位置固定部材を床面まで回動させつつ降下させて高さ固定がなされるようになっている請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のレベリング装置。
【請求項６】
前記位置固定部材は、そのものの回動が容易となるように、回動補助具との係合口を備えるとともに、降下させて高さ固定を確実なものとするための固定押しネジを有している請求項５に記載のレベリング装置。
【請求項７】
前記固定ピストン部と前記移動シリンダ部を一体的に固定しておくための固定ボルトを備え、設置時までの搬送を容易にしてなる請求項１ないし請求項６のいずれかに記載のレベリング装置。
【請求項８】
請求項１ないし請求項７のいずれかに記載のレベリング装置をテーブルの下部の所定位置にテーブルを支持するように複数配置し、これら各レベリング装置に対してそれぞれ個別に作動流体を送り込むためのチューブ配管を配設し、各レベリング装置に対して送り込む作動流体の圧力を調整する調整装置により個別にレベリング調整を行なうことを特徴とするレベリングシステム。
【請求項９】
請求項１ないし請求項７のいずれかに記載のレベリング装置をテーブルの下部の所定位置にテーブルを支持するように複数配置し、これら各レベリング装置に対してそれぞれ個別に作動流体を送り込むためのチューブ配管を配設し、各レベリング装置に対して送り込む作動流体の圧力を調整する調整装置を一箇所に集中させ、その一箇所から個別にレベリング調整を行なうことを特徴とするレベリングシステム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、テーブルの下部の所定位置にテーブルを支持するように複数配置されるレベリング装置に関し、特に、テーブルの傾き量の調整を容易にすることができ、かつ一箇所での集中操作を可能とすることができるレベリング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、半導体製造装置においてメモリ、ＩＣを作る場合、ウエハ基板の上に写真技術を応用して回路を焼き付ける装置を備えるステッパーが用いられる。実際のステッパーの使用に際しては、生産効率を上げるためにウエハ基板や焼き付け装置を所定位置に俊敏かつ精度よく動かして位置決めする必要がある。
【０００３】
特に、ＩＣの高い集積度が求められている今日の仕様では、装置を設置するテーブルのレベリング調整は必須であるともいえる。
【０００４】
また、焼き付け装置を備えるステッパー工程に至る手前の工程や後の工程においても、水平に調整されたテーブルを用いた連続的な作業が行なわれることがある。
【０００５】
さらに、一般的な組み立て工程等においても設置されるテーブルの水平度が問題となることが多く、何らかの手法でテーブルの水平度の調整が行なわれている。
【０００６】
テーブルの水平度の調整として、例えば、図４に示されるようなフットジャッキと呼ばれるレベリング装置が挙げられる。このものは、床と接して踏ん張る円錐状の支持固定部１１０と、この支持固定部１１０の上方に連接して延びる棒状の脚部１２０とを備えている。そして、テーブル２００の下部に固着して設置された円筒状の脚装着部２１０の内側雌ネジ部２１２と、フットジャッキの脚部１２０の先端の雄ネジ部１２２とが螺合する仕様となっており、この螺合する長さを調整することによって、実質的にフットジャッキの長さ（高さ）を変えることができ、レベリングが調整可能となっている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、通常、一台のテープルを略均等に支えるために一台のテープルにつき、４箇所ないし６箇所、大型テーブルとなるとそれ以上のレベリング装置機能を備えた脚部が必要である。上記のフットジャッキと呼ばれるレベリング装置を用いた場合では、テーブルの水平度をチェックしながら例えば４箇所ないし６箇所のフットジャッキが設置してある場所に行き、個々の設置場所における移動を繰り返しながら何度も微調整する作業は容易な作業ではなく、多大な時間と労力を要する。
【０００８】
このような実状のもとに本発明は創案されたものであって、その目的は簡易な操作でレベリング調整を容易にすることができ、かつ一箇所での集中操作により、簡易にレベリング調整を可能とすることができるレベリング装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明のレベリング装置は、テーブルの下部の所定位置にテーブルを支持するように複数配置され、該装置は、実質的な台座となる固定ピストン部と、前記固定ピストン部を覆うように配置され上下動可能な移動シリンダ部と、前記固定ピストン部と前記移動シリンダ部との間の実質的な摺動位置に介在されたダイヤフラムと、前記固定ピストン部と前記移動シリンダ部と前記ダイヤフラムとにより形成された密封空間に作動流体を送り込むために形成された流体導入口と、前記移動シリンダ部の略中央から上部に延びるように組み込まれ、実質的にテーブルに固着される棒状の脚部と、前記移動シリンダ部の外周に配置された位置固定部材と、を有してなるように構成される。
【００１０】
また、本発明の好ましい態様として、前記ダイヤフラムは、布入りのゴム製で構成されるとともに折り返し部を有し、移動シリンダ部の移動につれてローリング移動できるように構成される。
【００１１】
また、本発明の好ましい態様として、前記ダイヤフラムは、その外周の一端部が前記移動シリンダ部に固定され、前記ダイヤフラムは、その内周の一端部が前記固定ピストン部に固定されてなるように構成される。
【００１２】
また、本発明の好ましい態様として、前記固定ピストン部の略中央部は凹部形状をなし、前記移動シリンダ部の略中央部は凸部形状をなし、レベリング操作前の状態において、凸部形状の先端部が前記凹部形状の最深平面に当接してなるように構成される。
【００１３】
また、本発明の好ましい態様として、前記移動シリンダ部の外周に配置された位置固定部材は、筒状形態をなすとともに、その内面にネジ部を有し、前記移動シリンダ部の外周に形成されたネジ部と螺合しており、レベリング調整が終了した時点で位置固定部材を床面まで回動させつつ降下させて高さ固定がなされるように構成される。
【００１４】
また、本発明の好ましい態様として、前記位置固定部材は、そのものの回動が容易となるように、回動補助具との係合口を備えるとともに、降下させて高さ固定を確実なものとするための固定押しネジを有するように構成される。
【００１５】
また、本発明の好ましい態様として、前記固定ピストン部と前記移動シリンダ部を一体的に固定しておくための固定ボルトを備え、設置時までの搬送を容易にしてなるように構成される。
【００１６】
また、本発明のレベリングシステムは、上記記載のレベリング装置をテーブルの下部の所定位置にテーブルを支持するように複数配置し、これら各レベリング装置に対してそれぞれ個別に作動流体を送り込むためのチューブ配管を配設し、各レベリング装置に対して送り込む作動流体の圧力を調整する調整装置により個別にレベリング調整を行なうように構成される。
【００１７】
また、本発明のレベリングシステムは、上記記載のレベリング装置をテーブルの下部の所定位置にテーブルを支持するように複数配置し、これら各レベリング装置に対してそれぞれ個別に作動流体を送り込むためのチューブ配管を配設し、各レベリング装置に対して送り込む作動流体の圧力を調整する調整装置を一箇所に集中させ、その一箇所から個別にレベリング調整を行なうように構成される。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【００１９】
図１には、テーブルとともに本発明のレベリング装置１の好適な実施の形態を説明するための断面図が示される。図２には、本発明のレベリング装置１の好適な実施の形態を説明するための断面図が示される。特に、図２に示される中心線から左側の半片断面図が設置時の状態、すなわち、レベリング操作を行う前の状態を示す断面図であり、図２に示される中心線から右側の半片断面図が上昇時の状態、すなわち、レベリング操作が完了した状態を示す断面図である。図３はテーブルに６個のレベリング装置１を配置した状態、すなわち、レベリング装置１の配置の一例を示す平面図である。
【００２０】
本発明のレベリング装置１は、図１や図３に示されるようにテーブル９０の下部の所定位置にテーブルを支持するように複数配置されて使用される。
【００２１】
このような本発明のレベリング装置１は、図１や図２に示されるように実質的な台座となる略円盤状の固定ピストン部２０と、この固定ピストン部２０を覆うように配置され上下動可能な略蓋状の移動シリンダ部３０とを有している。そして、このような固定ピストン部２０と移動シリンダ部３０との間の実質的な摺動位置にはダイヤフラム４０が介在されている。
【００２２】
さらに、固定ピストン部２０と移動シリンダ部３０とダイヤフラム４０とにより形成された密封空間Ｓに、移動シリンダ部３０を上下動させるための作動流体を送り込むための流体導入口３３が形成される。本実施の形態において流体導入口３３は、図示のごとく移動シリンダ部３０側に形成されているが、特に、その設置位置は限定されるものではなく、固定ピストン部２０側に形成してもよい。
【００２３】
さらに、移動シリンダ部３０の略中央には、実質的にテーブルに固着される棒状の脚部５０が上部に延びるように組み込まれており、脚部５０の上端部がテーブル９０に固着されている。本実施の形態において、図示のごとく脚部５０の外周にはネジ部が形成されており、このネジ部を利用してネジ嵌合固定が行なわれている。
【００２４】
さらに、移動シリンダ部３０の側面部の筒状の外周３７には、レベリング後の位置を固定するためのリング状の位置固定部材６０が備えられている。これについては、後に詳述する。
【００２５】
本発明で用いられるダイヤフラム４０は、布入りのゴム製で構成されるとともに、図２に示されるように折り返し部４１を有し、移動シリンダ部３０の上下移動につれてローリング移動できるようになっている。つまり、ダイヤフラム４０は、その外周の一端部４８が固定リング３８によって移動シリンダ部３０に固定され、この一方で、ダイヤフラム４０の内周の一端部４９は固定ピストン部２０の内面に固定リング３９によって固定され、移動シリンダ部３０の上下移動に伴い、折り返し部４１の位置がずれていきローリング移動を起こすようになっている。なお、一般に、ダイヤフラム４０は、極めて薄く設計され（例えば、０．２５〜０．９ｍｍ程度の厚さ）構成的には、例えば、強力なポリエステル布等の上にゴムを被覆したものが好適に使用される。
【００２６】
本実施の形態において、固定ピストン部２０の略中央部２５は凹部形状をなし、これと略対向する移動シリンダ部３０の略中央部３５は凸部形状をなし、レベリング操作前の状態において、凸部形状の先端部が前記凹部形状の最深平面に当接するような構造とすることが望ましい（図２の設置時の状態参照）。
【００２７】
このような構造とすることにより、固定ピストン部２０と移動シリンダ部３０との組み合わせ状態は安定した状態となり、設置時あるいは設置時までの搬送時に、その他の部材、例えばダイヤフラム４０等の不要な動きを極力防止することができる。さらに、図２に示されるように固定ピストン部２０と前記移動シリンダ部３０とを機械的に一体化させて固定しておくための固定ボルト７を設けることにより、上記のダイヤフラム４０等の不要な動きの防止はより一層確実に行なえる。これにより、例えば、設置時までの搬送はより安全に行なえる。
【００２８】
また、本発明のレベリング装置１の好ましい態様として、上述した移動シリンダ部３０の側面部の筒状の外周３７に形成される位置固定部材６０は、筒状形態をなすとともに、その内面にネジ部６０ａを有し、かつ移動シリンダ部３０の外周３７に形成されたネジ部３７ａと螺合するように形成することが望ましく、レベリング調整が終了した時点で位置固定部材６０自身を回動させて床面まで降下させ、その底部６０ｂを床と接触させて高さ固定を行なうような構造とされる。
【００２９】
また、本発明のレベリング装置における位置固定部材６０は、そのものの回動が容易となるように、回動補助具との係合口６６を備えるようにすることが望ましい。これにより、図示していない回動補助具を利用して簡単に位置固定部材６０を回動させて床面まで降下させることができるようになる。さらに、位置固定部材６０を降下させた後の高さ固定をより確実なものとするための固定押しネジ６９を付着させておくことも好ましい態様である。
【００３０】
次に、上述してきたレベリング装置の動作について説明する。
まず、図２の設置時の状態（図面の左側）でレベリング装置がテーブル下に複数配置される。次いで、固定ボルト７を外す。これにより機械的に一体化固定されていた固定ピストン部２０と移動シリンダ部３０は、相対的に上下方向に自由に分離移動できるようになる。次いで、流体導入口３３から移動シリンダ部３０を上昇させるために所定圧の作動流体（一般には圧縮空気）が送り込まれる。すると、ダイヤフラム４０の折り返し部４１の位置がずれていきローリング移動するとともに、移動シリンダ部３０が上昇する。
【００３１】
この上昇距離（変位量）は一般に、作動流体の圧力設定によって決まるので、レギュレータ等による圧力調整が必要となる。そして、上昇距離（変位量）が目標値と一致し、レベリング調整が終了した時点で位置固定部材６０自身を回動させて床面まで降下させ、その底部６０ｂを床と接触させて高さ固定を行なう。この状態が図２の右側の図面である。なお、位置固定部材６０を床面まで降下させる前の位置固定部材６０の占有位置を図面の記号Ｌで表示してある。位置固定部材６０を床面まで降下させた後は、所定圧の作動流体は不要となるので、例えば、作動流体の供給に係る配管系の各部材は取り外して一時的に他の場所に保管しておけばよい。
【００３２】
また、複数のレベリング装置１をシステム的に効率良く調整するには、以下の手法が好都合である。すなわち、レベリング装置をテーブルの下部の所定位置にテーブルを支持するように複数配置し、これら各レベリング装置に対してそれぞれ個別に作動流体を送り込むためのチューブ配管を配設し、各レベリング装置に対して送り込む作動流体の圧力を調整する調整装置を好ましくは一箇所に集中させ、その一箇所から個別にレベリング調整を行なうようにするのがよい。これにより、オペレータは、一箇所から複数のレベリング装置を調整することができ、従来のように、各配置場所を何度も動き回ってレベリング調整するといった煩わしさがなくなるとともに、多大な時間と労力の軽減を図ることできる。
【００３３】
【発明の効果】
本発明は、テーブルの下部の所定位置にテーブルを支持するように複数配置されるレベリング装置であって、該装置は、実質的な台座となる固定ピストン部と、前記固定ピストン部を覆うように配置され上下動可能な移動シリンダ部と、前記固定ピストン部と前記移動シリンダ部との間の実質的な摺動位置に介在されたダイヤフラムと、前記固定ピストン部と前記移動シリンダ部と前記ダイヤフラムとにより形成された密封空間に作動流体を送り込むために形成された流体導入口と、前記移動シリンダ部の略中央から上部に延びるように組み込まれ、実質的にテーブルに固着される棒状の脚部と、前記移動シリンダ部の外周に配置された位置固定部材と、を有してなるように構成されているので、簡易な操作でレベリング調整を容易にすることができ、かつ一箇所での集中操作により、簡易にレベリング調整を可能とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、テーブルとともに本発明のレベリング装置の好適な実施の形態を説明するための概略断面図である。
【図２】図２は、本発明のレベリング装置の好適な実施の形態を説明するための断面図であり、特に、図２に示される中心線から左側の半片断面図が設置時の状態、すなわち、レベリング操作を行う前の状態を示す断面図であり、図２に示される中心線から右側の半片断面図が上昇時の状態、すなわち、レベリング操作が完了した状態を示す断面図である。
【図３】図３は、テーブルに６個のレベリング装置１を配置した状態を示す平面図である。
【図４】図４は、従来例であり、フットジャッキと呼ばれるレベリング装置を説明するための図面である。
【符号の説明】
１…レベリング装置
２０…固定ピストン部
３０…移動シリンダ部
３３…流体導入口
４０…ダイヤフラム
５０…棒状の脚部
６０…位置固定部材
９０…テーブル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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