(57)【要約】【課題】  複数のヘッド部材から構成された溝状のスロット内を塗布液が流通して塗布ヘッドの先端から吐出される塗布工具において、段取り替え作業、洗浄作業が容易でかつ生産性が高く、長寿命な塗布工具を提供すること。【解決手段】  複数のヘッド部材１６、１８から構成された塗布ヘッド１０を有し、前記複数のヘッド部材１６、１８における互いに対向する側面同士の間に、前記塗布ヘッド１０の先端に開口する溝状のスロット１４が画成され、塗布液が前記スロット１４内を流通して前記塗布ヘッド１０の先端から吐出される塗布工具であって、前記ヘッド部材１６、１８の材質が、チタン合金であることを特徴とする。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のヘッド部材から構成された塗布ヘッドを有し、前記複数のヘッド部材における互いに対向する側面同士の間に、前記塗布ヘッドの先端に開口する溝状のスロットが画成され、塗布液が前記スロット内を流通して前記塗布ヘッドの先端から吐出される塗布工具であって、
前記ヘッド部材の材質が、チタン合金であることを特徴とする塗布工具。
【請求項２】
請求項１に記載の塗布工具であって、
前記チタン合金は、
密度；４．３ｇ／ｃｍ３から４．７ｇ／ｃｍ３
線膨張係数；８．５から９．０μｍ／ｍ・Ｋ
全領域の硬度分布；ＨＲＣ３以下の特性を有し、
かつ、前記スロットの表面全領域において、長さ１００ｍｍの線分上を通過する深さ０．２μｍから１．０μｍの傷が５０本以下であることを特徴とする塗布工具。
【請求項３】
請求項２に記載の塗布工具であって、
前記スロットの表面全領域において、長さ１００ｍｍの線分上を通過する深さ０．２μｍから１．０μｍの傷が１０本以下であることを特徴とする塗布工具。
【請求項４】
請求項１記載の塗布工具であって、
少なくとも、前記スロットを画成するスロット面が、チタン合金よりも硬質の材質で形成されていることを特徴とする塗布工具。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載の塗布工具であって、
前記ヘッド部材の前記スロットを画成するスロット面および前記開口する側の端面に、耐摩耗性および／または耐蝕性を有する層を備えることを特徴とする塗布工具。
【請求項６】
請求項４記載の塗布工具であって、
前記スロット面を形成する前記材質が、超硬合金であることを特徴とする塗布工具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、シート状部材またはパネル状部材などの被塗布部材の表面に塗布液を塗布する塗布工具に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、シート状部材の表面に塗布液を薄く均一に塗布して、塗膜層を形成するような塗布作業を行う塗布装置に装着される塗布工具として、塗布液を通過させるスロットを有する塗布工具が用いられている。このような塗布工具として、図６に示すような塗布ヘッド（工具本体）１を備えた塗布工具があり、塗布ヘッド１は、図中に矢線Ａで示す走行方向に走行するシート状部材Ｓに対して、このシート状部材Ｓの幅方向に延びる長尺に形成されており、その先端部を上向きにしてシート状部材Ｓに摺接可能に、このシート状部材Ｓの下に配置されている。（例えば、特許文献１参照。）
【特許文献１】特開昭６２−２４１５７４号公報（第１図）
【０００３】
また、図７に示すように、塗布ヘッド１の先端部を下向きにし、パネル状部材Ｐの上方に位置させて塗布ヘッド１をパネル状部材Ｐに摺接させ、図中の矢線Ｂで示す方向に移動させるものも使用されている。
これら塗布ヘッド１は、一対のヘッド部材２，３の側面２ａ，３ａが一定の間隙を有して配設されることでスロット４を画成しており、側面２ａ，３ａの長手方向に向けて形成された凹溝５，６がポケット７を画成している。スロット４は、塗布ヘッド１の先端面に開口しており、塗布液を供給する供給口（図示せず）がポケット７の中央に連通して設けられている。そして、スロット４の間隔を高精度に形成するために、側面２ａ，３ａは研磨加工によって仕上げ加工が施されている。また、図においてはスロット４およびポケット７が塗布ヘッド１の側方に開口しているが、スロット４およびポケット７の端部は封止される構成となっている。塗布作業において供給口から供給された塗布液は、ポケット７に充満することで塗布ヘッド１の長手方向に広がり、スロット４を通過して塗布ヘッド１の先端から吐出される。吐出された塗布液は、塗布ヘッド１に対して相対的に移動するシート状部材Ｓの表面（下面）または、パネル状部材Ｐに塗布され、塗膜層が形成される。
【０００４】
このような塗布ヘッド１を備えた塗布工具で使用される塗布液として、液晶ディスプレイ用のカラーペーストやカラーフィルタ用のレジスト剤などが使用されており、これらの塗布液にはカーボン繊維やガラス繊維などの硬質の含有物が含まれている。また、塗布液の目詰まりを防止するためや、種類の異なる塗布液を使用する際には、塗布工具を分解してスロット４やポケット７を洗浄する必要があった。この洗浄作業は、たとえばスロット４を画成している側面２ａ，３ａに付着している塗布液を、溶剤を含ませた布などでこすって行われている。また、このような塗布工具がディスプレイ基板にカラーフィルタ用レジスト剤を塗布する塗布作業に用いられる場合、塗布工具を上部、基板を下部に配置したうえで、塗布工具が基板に対して相対的に動き、ディスプレイの大型化に伴って塗布幅の広い塗布工具が求められている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記塗布工具において、塗布液の含有物がスロットを画成している側面よりも硬い場合には、含有物によって側面に筋状の傷が付いたり、含有物が側面に突き刺さったりしてしまうという問題があった。また、塗布工具の洗浄作業においても含有物によって側面を損傷させてしまうおそれがあり、このように損傷した箇所に塗布液が入り込んでしまうことによって洗浄作業が困難になり、さらに、側面の損傷によって、塗膜層の表面に微細な筋が形成されてしまうという問題があった。また、従来よりステンレス製のヘッド部材の先端部分に超硬合金製のエッジ部材を装着して、先端部分の耐摩耗性を向上させることが行われているが、この場合においてもエッジ部材とポケットとの間の部分が損傷し、洗浄作業や塗膜層の形成に悪影響を与えていた。また、塗布工具の塗布幅を広げるためには塗布工具を大型化しなければならず、大型化に伴う重量増加に対応するために、塗布装置を大型化しなければならないという問題があった。
また、塗布工具が移動して塗布する方式では、塗布工具の大型化は、重量増加による撓み等、塗布工具の動的、静的精度の低下に大きく影響し、作業性が悪化するため、最適な塗布を行うためにも、塗布工具の軽量化は不可欠である。
【０００６】
本発明は、このような事情を考慮してなされたもので、複数のヘッド部材から構成された溝状のスロット内を塗布液が流通して塗布ヘッドの先端から吐出される塗布工具において、段取り替え作業、洗浄作業が容易でかつ生産性が高く、長寿命な塗布工具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提案している。
請求項１記載の発明は、複数のヘッド部材から構成された塗布ヘッドを有し、前記複数のヘッド部材における互いに対向する側面同士の間に、前記塗布ヘッドの先端に開口する溝状のスロットが画成され、塗布液が前記スロット内を流通して前記塗布ヘッドの先端から吐出される塗布工具であって、前記ヘッド部材の材質が、チタン合金であることを特徴とする。
【０００８】
この発明に係る塗布工具は、ヘッド部材がチタン合金で形成されているので、軽量であり、段取り替え作業における塗布工具の取扱いが容易である。
また、スロット面を含め塗布ヘッド全体がチタン合金で形成され、耐摩耗性、耐蝕性に優れているため、塗布液に含まれている含有物によってスロット面に筋状の傷付きや、含有物がスロット面に突き刺さることが防止される。また、スロット面に傷付きが生じた場合であってもチタンが化学的に活性であるため、発生した傷部分に安定な酸化皮膜が形成されて腐食が進行し難くいため、スロット面の寿命延長が実現できる。
【０００９】
このように、耐摩耗性等が向上することで、洗浄作業におけるスロット面の損傷が防止されるとともに損傷箇所への塗布液が入り込みも減少し、洗浄作業を容易に行うことができる。
また、ヘッド部材を一体的に形成することにより、スロット面を複数の部材で構成する場合のような部材間隙間がないため、塗布液の流動がスムースとなり隙間に塗布液が入り込むことがない。
以上のように、塗布工具の性能維持が容易で、段取り替え作業、洗浄作業等を容易に行い、時間短縮（分解、組立作業を含めて約１０％の低減）ことができる。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の塗布工具において、前記チタン合金は、
密度；４．３ｇ／ｃｍ３から４．７ｇ／ｃｍ３
線膨張係数；８．５から９．０μｍ／ｍ・Ｋ
全領域の硬度分布；ＨＲＣ３以下の特性を有し、
かつ、前記スロットの表面全領域において、長さ１００ｍｍの線分上を通過する深さ０．２μｍから１．０μｍの傷が５０本以下であることを特徴とする。
【００１１】
チタン合金は、α相は最密六方格子であるためクリープ性等、機械的特性が良好であり、一方、β相は熱処理性等の加工性が良好である。そのため、この発明に係る塗布工具の材料としては、双方の特徴を併せ持つα＋β型チタン合金が好適であり、精度の高いヘッド部材を容易に製作することができる。
そして、ヘッド部材全体にわたり硬度分布をＨＲＣ３以下に抑えて、内部残留応力の偏りがほとんどない熱処理ムラの少ないものを使用しているため、液溜まりとなる凹溝の切削を安定して行うことができ、切削による内部応力の発生を抑制するとともに、研磨加工における応力解放を小さく抑えることができる。その結果、真直度５μｍ以下／ｍを達成することができ、さらに使用時の応力解放も小さいため、経年変化による精度劣化を防止することができる。
また、線膨張係数が、８．５から９．０μｍ／ｍ・Ｋと小さいので、加工時に発生する熱による寸法への影響も小さく、精度が高いヘッド部材を製作することができる。
【００１２】
また、線膨張係数が小さいため、塗布工具として使用する場合の温度変化の影響を受け難い。例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ４２０Ｊ２  線膨張係数；１１．５μｍ／ｍ・Ｋ）と比較すると約２２％から２５％小さいため、塗布工具の精度を大幅に向上させることができる。
また、スロット面を最大高さＲＺ（ＪＩＳ  Ｂ０６０１）０．２μｍ以下の面粗度の鏡面仕上げを施し、塗布液に対する適度な撥水性を備えさせることによって、塗布液の塗布に関して好適な塗布性能を得ることができる。
また、スロット面に傷が存在する場合、塗布に際して、塗布液に部分的な流速差や乱流が発生することにより、塗布膜に微小な凹凸が生じて品質が低下するが、深さ０．２μｍから１．０μｍの傷を、線分の長さ１００ｍｍあたり５０本以下とすることによって、凹凸の発生を大幅に削減することができる。また、塗布液の入り込みに大きく影響する深さ０．２μｍから１．０μｍの傷が、線分の長さ１００ｍｍあたり５０本以下と少ないため、洗浄作業を容易に行うことができる。
【００１３】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の塗布工具において、前記スロットの表面全領域において、長さ１００ｍｍの線分上を通過する深さ０．２μｍから１．０μｍの傷が５０本以下であることを特徴とする。
【００１４】
この発明に係る塗布工具は、請求項２に係る発明の作用に加え、前記傷が線分の長さ１００ｍｍあたり１０本以下と少ないため、洗浄作業をより容易に行うことができるとともに、塗布液のロット替等における塗布液の傷への入り込みによる影響を、非常に小さくすることができる。特に、液晶ディスプレイ等におけるレジスト材等の塗布に関しては、塗布膜の凹凸が微小であっても、製品の輝度に大きなバラツキ等を生じるため、塗布工具の傷を少なくすることが重要であるが、線分の長さ１００ｍｍあたり１０本以下にすることにより、塗布膜の凹凸をほとんどなくすことができる。
【００１５】
請求項４に記載の発明は、請求項１記載の塗布工具であって、
少なくとも、前記スロットを画成するスロット面が、チタン合金よりも硬質の材質で形成されていることを特徴とする。
【００１６】
この発明の塗布工具では、少なくともスロット面となる全面が、チタン合金よりも硬質な材質で形成されているので、塗布液に含まれている硬質の含有物によってスロット面に筋状の傷が付きや、含有物がスロット面に突き刺さることが抑制される。
【００１７】
請求項５に記載の発明は、請求項１から３のいずれかに記載の塗布工具であって、前記ヘッド部材の前記スロットを画成するスロット面および前記開口する側の端面に、耐摩耗性および／または耐蝕性を有する層を備えることを特徴とする。
【００１８】
この発明に係る塗布工具は、スロット面およびスロット面が開口する側の端面に耐摩耗性および／または耐蝕性を有する層を有しているため、耐摩耗性および／または耐蝕性がさらに向上し、洗浄作業や塗布工具の性能維持が行い易いため生産性向上、工具寿命の延長を達成することができる。
【００１９】
請求項６に記載の発明は、請求項４記載の塗布工具であって、
前記スロット面を形成する前記材質が、超硬合金であることを特徴とする。
【００２０】
この発明の塗布工具では、少なくともスロット面となる全面が、超硬合金で形成されているので、ＲＺ  ０．２μｍ以下の面粗度の鏡面仕上げを容易に実現することができる。
また、硬さがＨＲＡ９１前後と、チタン合金や塗布液の含有物よりも硬いので、塗布液に含まれている硬質の含有物によるスロット面への筋状の傷が付きや、含有物のスロット面への突き刺さりが抑制される。その結果、損傷箇所に塗布液が入り込むこともなくなり、塗膜層の表面に微細な筋が形成されない。
【発明の効果】
【００２１】
この発明に係る塗布工具及び塗布装置によれば、段取り替え作業、洗浄作業を容易に行うことができるとともに、生産性を向上し、塗布工具の寿命を延長することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、図面を参照し、この発明の実施の形態について説明する。
図１は、塗布工具に使用される第１の実施形態の塗布ヘッド（工具本体）１０を長手方向から見た図で、図２は図１の右側面図、図３は図２のＢ−Ｂ断面図である。
【００２３】
この塗布ヘッド１０は、一対のヘッド部材１６，１８の対向する側面（以下、スロット面という）１７、１９が一定の間隙を有して配設されることでスロット１４を画成しており、スロット１４は、塗布ヘッド１０の先端で開口している。ヘッド部材１６、１８は、スロット１４が開口する部分で突出して、先端面１７ｅ、１９ｅが形成され、その先端面１７ｅ、１９ｅで塗布剤を塗布するようになっている。
【００２４】
塗布ヘッド１０を構成するヘッド部材１６は、スロット面１７に、長手方向に向けて半円形状に形成された凹溝１１が設けられ、凹溝を有さないヘッド部材１８とによってポケット１５が画成されている。
また、ポケット１５には、塗布液を供給する供給口（図示せず）が連通して設けられており、図１においてはスロット１４およびポケット１５が塗布ヘッド１０の側方に開口しているが、スロット１４およびポケット１５の端部は封止される構成となっている。
図３に示すように、ヘッド部材１６、１８は、凹溝１１より基端側に位置する内側面１６ｃ、１８ｃが互いに密着するように、結合ボルト２０によって結合されている。
【００２５】
ヘッド部材１６，１８は、α＋β型チタン合金の一種であるＴｉ−６Ａｌ−４Ｖ（チタン合金）で、密度４．４３ｇ／ｃｍ３、線膨張係数８．６μｍ／ｍ・Ｋ、ヘッド部材の全領域の硬度分布がＨＲＣ３以下のもので製作されている。
そして、スロット面１７，１９および先端面１７ｅ、１９ｅは研磨加工によって鏡面（ＲＺ０．２μｍ以下）仕上げが施されている。また、スロット面１７、１９は、その表面全領域において、実体顕微鏡（６０倍）により、長さ１００ｍｍの線分上を通過する傷が１０本以下になるように鏡面仕上げされている。ここで、傷とは、面粗さ計（ＪＩＳ  Ｂ０６０１）によって検出される深さ０．２μｍから１．０μｍの凹をいう。傷の深さを、０．２μｍから１．０μｍのものとしたのは、この範囲の傷への塗布液の入り込みが塗布性能または洗浄に大きく影響するからである。
【００２６】
上述したように形成された塗布ヘッド１０を備えた塗布工具の使用方法について説明する。
塗布ヘッド１０を備えた塗布工具は、塗布装置に装着されて塗布作業に用いられる。塗布作業において、塗布装置から塗布液が供給され、塗布液はポケット１５に充満することで塗布ヘッド１０の長手方向に広がり、スロット１４を通過して塗布ヘッド１０の先端、つまりスロット１４の開口端から吐出され、この塗布ヘッド１０のスロット先端面１７ｅ、１９ｅに対して相対的に移動するシート状部材Ｓ（図５参照）または、パネル状部材Ｐ（図６参照）に塗布される。
【００２７】
このような塗布作業において、スロット面１７、１９は上述の特性を有したチタン合金で形成されているので、塗布液に硬い含有物が含まれていたとしても、スロット面１７、１９に損傷が生じることを抑制することができ、損傷が生じた場合であっても、チタンの化学的活性により、発生した傷部分に安定な酸化皮膜が形成されるため、腐食が進行し難く傷に対しての寿命延長が実現できる。
表１に示したのは、水酸化ナトリウムの５％水溶液に、常温（２０℃〜２５℃）にて、チタン合金（Ｔｉ６Ａｌ４Ｖ）、ステンレス（ＳＵＳ６３０）、ＷＣ−Ｃｏ−Ｃｒ系超硬合金を浸漬させて、腐食の程度を中央線平均粗さ（Ｒａ）を代用特性として比較したものである。この、比較実験によると、チタン合金、超硬合金はステンレスの約半分の腐食しか発生しないことがわかる。
【００２８】
【表１】
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【００２９】
損傷箇所に塗布液が入り込まないので洗浄作業を容易に行うことができる。
また、このように耐久性が向上して損傷が生じないので、塗布された塗布液によって形成される塗膜層の表面に微細な筋が形成されるのが防止される。
また、ヘッド部材１６、１８が一体的に形成されていて、部材間の隙間がないため塗布液の流動抵抗が少なく、塗布液の入り込みがないので、洗浄作業が容易になる。
また、スロット面１７、１９およびスロット先端面１７ｅ、１９ｅ等、塗布液の流通部が適度な撥水性を有しているため、塗布性能が好適となり塗布作業の生産性を向上することができる。
【００３０】
以上説明したように、この実施の形態に係る塗布工具によれば、ヘッド部材１６、１８が、機械的性質が優れ密度が小さいチタン合金で一体的に形成されて、軽量であるので、段取り替え作業、洗浄作業にともなう作業を容易に行うことができる。
また、最密六方格子で機械的特性が良好なα相と、熱処理性等の加工性が良好なβ相との、双方の特徴を併せ持つα＋β型チタン合金を材料としているため、精度の高いヘッド部材を容易に製作することができる。
また、線膨張係数が小さいので、高精度な加工を容易に行い、使用時の温度による影響を受け難く塗布性能を向上することができる。さらに、ヘッド部材１６，１８が軽量なので、長手方向に長く形成されて塗布幅の広い場合、自重によるスロット１４の撓み変形が抑制され、塗布液を均一に塗布できる。
【００３１】
また、ヘッド部材１６、１８全体にわたり硬度分布をＨＲＣ３以下に抑えているため、切削による内部応力発生の抑制とともに、研磨加工における応力解放を抑制し、真直度５μｍ以下／ｍ、例えば真直度４μｍ／ｍを達成することができ、さらに使用する際の経年変化による精度劣化を防止することができる。
また、真直度５μｍ以下／ｍという高精度のヘッド部材を形成できるため、今後の塗布工具の大型化に際してヘッド部材１６、１８の長さが１メートル以上になった場合にも、精度の高いヘッド部材１６、１８を低コストにて製作することができる。
また、スロット面１７、１９が鏡面仕上げしたチタン合金で形成されているので、適度な撥水性を有し、洗浄作業の容易化に加えて、好適な塗布性能を有するので塗布作業の生産性を向上することができる。
また、ヘッド部材１６、１８の耐摩耗性および耐蝕性が高く、スロット面１７、１９が損傷され難いので保守作業、洗浄作業を容易に行うことができ、性能が維持し易いので工具寿命を延長することができる。
【００３２】
また、このような塗布ヘッド１０が装着される塗布装置の剛性を低く設計することができ、塗布ヘッド１０を駆動させるための駆動手段としても小型のモータを使用することができる。つまり、塗布ヘッド１０を大型化しても塗布装置の大型化を抑制することができ、コストダウンを図ることができる。また、塗布工具１０が軽量化されることによって、塗布工具を取り扱うハンドリング装置などが不要となり、洗浄作業に伴う分解作業や、洗浄作業を短時間に容易に行うことができる。
【００３３】
図４は、本発明の第２の実施形態に係る塗布ヘッド１０の要部を示す図である。この第２の実施形態において、第１の実施形態と同様の部分については、同一の符合を用いてその説明を省略する。
第２の実施形態が、上述した第１の実施形態と異なるのは、スロット面１７、１９およびスロット先端面１７ｅ、１９ｅにＴｉＣ（チタンカーバイト）を表面処理により、耐摩耗性および耐蝕性を有する層（以下、表面処理層という）１７ｆ、１９ｆとして形成し、鏡面仕上げをしている点である。
【００３４】
この第２の実施形態においても、上述した第１の実施形態と同様の効果を得ることができ、さらに、スロット面１７、１９およびスロット先端面１７ｅ、１９ｅに、表面処理層１７ｆ、１９ｆを形成することにより、スロット面１７、１９およびスロット先端面１７ｅ、１９ｅの傷付きや摩耗が減少し、ヘッド部材の製作当初の性能を維持することが容易となり、塗布工具としての寿命延長や保守、分解整備に要する手間およびコストが削減できる。
【００３５】
なお、本実施の形態においては、塗布ヘッド１０のポケット１５が、半円形状の場合について説明したが、ポケット１５の形状については、円形状、水滴形状または、スロットに接しない角部分にＲ等の緩やかな形状を設けた矩形形状など、半円形状以外の形状を用いてもよい。
また、スロット面１７，１９に形成する表面処理層の材料として、ＴｉＣを使用した場合について説明したが、材料としてＴｉＮ（窒化チタン）を使用してもよいし、ヘッド部材を構成するチタン合金の表面を電解インプロセスドレッシング研削等によって、ヘッド部材１６、１８の表面に安定な酸化皮膜層を形成させることにより表面処理層を形成させてもよい。ここで、電解インプロセスドレッシング研削とは、鋳鉄、コバルトを主成分としたボンド材と砥粒を焼結したメタルボンド砥石を陽極とし、これに対向して設けた陰極との間に直流パルス電流を供給して、電解作用により砥石の金属ボンド部のみを選択的に除去し、目詰まり等による砥石の切れ味低下を抑制して、高効率な鏡面研削作業を行う研削をいい、その副次的作用として被研磨材表面に安定した酸化皮膜を得ることができる。
また、被塗布部材はシート状部材Ｓに限られずに、たとえば電子基板などのパネル状部材に塗布液を塗布する塗布工具に本発明を用いてもよい。
【００３６】
図５は、本発明の第３の実施形態に係る塗布ヘッド１０の要部を示す図である。この第２の実施形態において、第１の実施形態と同様の部分については、同一の符合を用いてその説明を省略する。
スロット部材２１，２３は、超硬合金製の断面略長方形の板状部材で、スロット部材２３の基端側部分が凹溝１１に対向するように形成されており、スロット部材２３はスロット部材２１より基端方向に長く形成されている。また、スロット部材２１，２３は、互いに対向する側面がスロット１４を画成するスロット面１７，１９とされ、スロット面１７，１９は一定の間隔を有するように配設されている。
また、ポケット１５は対向する凹溝１１とスロット部材２３の基端側部分によって画成されている。
【００３７】
この実施の形態の塗布工具によれば、スロット面１７，１９がチタン合金よりも硬質な材質で形成されているので、塗布液にカーボン繊維やガラス繊維などの硬質な含有物が含まれて、チタン合金の部位に損傷が生じるような事態が発生しても、超硬合金で形成されたスロット面に傷付き等が発生するのを抑制することができる。また、スロット面１７，１９の洗浄作業においても含有物による損傷を抑制することができ、損傷箇所に塗布液が入り込むことがないので容易に洗浄作業を行うことができる。
【００３８】
また、チタン合金製のヘッド部材１６，１８に超硬合金製のスロット部材２１，２３が装着されて構成されているので、上述したような効果を得られるとともに塗布ヘッド１０全体として軽量化を図ることができる。つまり、上述したような効果を得るためにヘッド部構成体１２，１３全体を超硬合金で形成した場合より、軽量な塗布ヘッド１０を構成することができる。
【００３９】
また、３つ以上のヘッド部構成体を用いて２つ以上のスロットを有した塗布ヘッドを構成することにより、シート状部材Ｓの表面に複数の塗膜層を同時に形成可能とした塗布工具に本発明を用いてもよい。
また、被塗布部材はシート状部材Ｓに限られずに、たとえば電子基板などのパネル状部材に塗布液を塗布する塗布工具に本発明を用いてもよく、また、固定された状態のシート状部材やパネル状部材に対して塗布工具が移動する構成としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の第１の実施形態における塗布工具に使用される工具本体の側面図である。
【図２】図１に示す工具本体の右側面図である。
【図３】図２のＢ−Ｂ断面図である。
【図４】本発明の第２の実施形態における塗布工具に使用される工具本体側面の要部を示す図である。
【図５】本発明の第３の実施形態における塗布工具に使用される工具本体側面の要部を示す図である。
【図６】従来の工具本体を示す斜視図である。
【図７】従来の工具本体を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００４１】
１０  工具本体（塗布ヘッド）
１１  凹溝
１４  スロット
１５  ポケット
１６、１８  ヘッド部材
１７、１９  スロット面
１７ｅ、１９ｅ  スロット先端面（開口する側の端面）
１７ｆ、１９ｆ  表面処理層（耐摩耗性および／または耐蝕性を有する層）
２１、２３  スロット部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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