(57)【要約】【課題】薄膜化したテープ状のワークがステージとともに移動するときにワークに弛み及び過剰な張りが発生しない加工装置を提供する。【解決手段】ワーク送出リール１１と、ワーク収納リール２７と、ワーク送出リール１１方向及びワーク収納リール２７方向に移動可能であって、ワーク１０を処理するステージ２０と、ワーク１０を搬送する搬送ローラ１６，２４と、ステージ２０の前端に取り付けられ、ワーク１０に接触するシート３０ａと、ステージ２０の後端に取り付けられ、ワーク１０に接触するシート３０ｂと、シート３０ｂによりステージ２０を搬送ローラ１６を介してワーク送出リール１１方向に引っ張る錘３２ｂと、ワーク３０ａによりステージ２０を搬送ローラ２４を介してワーク収納リール２７方向に引っ張る錘３２ａとを有する。【選択図】  図１
2005053615.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
テープ状被加工体を送り出す送出部と、
加工済みの前記被加工体を収納する収納部と、
前記テープ状被加工体の送り出し方向又はその反対方向に移動可能であって、前記テープ状被加工体を載置するステージと、
前記送出部と前記加工ステージとの間に設けられ、前記テープ状被加工体を搬送する第１の搬送ローラと、
前記加工ステージと前記収納部との間に設けられ、前記テープ状被加工体を搬送する第２の搬送ローラと、
前記ステージの前端に取り付けられ、前記テープ状被加工体に接触する第１の帯状部材と、
前記ステージの後端に取り付けられ、前記テープ状被加工体に接触する第２の帯状部材と、
前記第２の帯状部材により前記ステージを前記第１の搬送ローラを介して前記送出部方向に引っ張る第１の牽引手段と、
前記第１の帯状部材により前記ステージを前記第２の搬送ローラを介して前記収納部方向に引っ張る第２の牽引手段と
を有することを特徴とする加工装置。
【請求項２】
前記第１の牽引手段は錘であり、前記第２の牽引手段は錘であることを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
【請求項３】
前記第１の牽引手段及び前記第２の牽引手段は、前記第１の帯状部材の他端と前記第２の帯状部材の他端とを牽引する弾性体であることを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
【請求項４】
前記送出部と前記第１の搬送ローラとの間に設けられ、前記テープ状被加工体の搬送方向を変える第３の搬送ローラと、前記第２の搬送ローラと前記収納部との間に設けられ、前記テープ状被加工体の搬送方向を変える第４の搬送ローラとを有することを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
【請求項５】
前記ステージを前記テープ状被加工体の送り出し方向又はその反対方向に移動させるステージ駆動部を有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の加工装置。
【請求項６】
前記第１及び第２の搬送ローラをそれぞれ順逆自在に回転させる搬送ローラ駆動部を有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の加工装置。
【請求項７】
前記帯状部材の材料は導電性材料であることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の加工装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、テープ状被加工体を加工する加工装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
テープ状被加工体（ワーク）を加工する加工装置として、レーザ光を照射してワークに微細なビアを形成するレーザドリル装置や、ワーク上に金属薄膜の配線パターンを形成する露光装置などがある。一般的に、これらの加工装置では、送出側リールから加工前のワークを送り出し、加工したワークを収納側リールに収納する、いわゆるリール・トゥー・リール方式でワークを搬送している。
【０００３】
図５は、従来のリール・トゥー・リール方式でワークを搬送する加工装置の構成を示す模式図である。
【０００４】
ワーク送出側（図５の左側）には、加工前のワーク１００が巻き付けられたワーク送出リール１１１が装填される。ワーク１００は、ワーク送出リール１１１からガイドローラ１１４の上、ダンサローラ１１５の下、及び、搬送ローラ１１６の上を経て送り出される。搬送ローラ１１６の上方には上下方向に移動可能なクランプローラ１１８が設けられている。ワーク１００はクランプローラ１１８と搬送ローラ１１６との間にセットされ、クランプローラ１１８が搬送ローラ１１６の上にあるワーク１００を適度に押圧する。
【０００５】
搬送ローラ１１６と後述するワーク収納側の搬送ローラ１２４との間にはステージ１２０が設けられている。搬送ローラ１１６から送り出されたワーク１００は、ステージ１２０上に載置され、ステージ１２０の真空チャックによりに固定される。このステージ１２０はリニアモータで駆動され、ワーク１００の送り出し方向及びその反対方向（図５では左右方向）に約６００ｍｍの範囲で移動可能になっている。ステージ１２０の上方には加工ヘッド１１９が設けられている。この加工ヘッド１１９は、例えば加工装置がレーザドリル装置である場合にはレーザビーム照射器である。ワーク１００の加工はステージ１２０上で行われ、その加工内容に応じてレーザの照射やステージ１２０の移動が制御されている。
【０００６】
加工が済んだワーク１００はワーク収納側（図５の右側）に送り出され、搬送ローラ１２４の上、ダンサローラ１２３の下、及び、ガイドローラ１２２の上を経てワーク収納リール１２７に収納される。ワーク収納側でも、搬送ローラ１２４の上方に上下方向に移動可能なクランプローラ１２６が設けられている。
【０００７】
この加工装置では、ワーク１００の厚さや材料に応じて重量が設定されたダンサローラ１１５，１２３により、搬送ローラ１１６と搬送ローラ１２４との間にあるワーク１００を両側から適度に引っ張って、ワーク１００を張った状態にする。これにより、ワーク１００に加工が行われるとき、ステージ１２０に固定されたワーク１００はステージ１２０の移動に追従して送り出し方向及びその反対方向に移動する。
【０００８】
特開２００１−１１００４７号公報には、２つのつば付きローラの間にあるテープの所定領域にレーザ照射を行う処理装置が示されている。この処理装置では、つば付きローラのレーザ照射する側の反対側でこのローラより下方にそれぞれ設けられたガイドローラによりテープを両側から引っ張り、つば付きローラ間にあるテープを張った状態にして弛みや過剰な張りが生じないようにしてテープを移動させている。
【０００９】
【特許文献１】
特開２００１−１１００４７号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、近年、ワーク１００の薄膜化が進んでいる。薄膜化したワーク１００では、ワーク１００の両側から強く引っ張るとワーク１００が伸びてしまう場合があるので、ダンサローラ１１５，１２３の重量を軽くしてワーク１００を引っ張る力を弱くする必要がある。
【００１１】
しかしながら、ワーク１００を引っ張る力を弱くするとワーク１００の張りが十分でなくなるので、搬送ローラ１１６と搬送ローラ１２４との間の領域全体にあるワーク１００の動きがステージ１２０の動きに追従することができなくなる。このため、図６に示すように、例えばステージ１２０が搬送ローラ１２４側（図６では右側）に移動した場合、ステージ１２０の搬送ローラ１２４側ではワーク１００が弛んでしまう。これにより、ワーク１００が折れ曲がってしまったり、ワーク１００がステージ１２０下方にある物体と接触してワーク１００の裏面を傷付けてしまうことがある。また、反対側のステージ１２０の搬送ローラ１１６側ではワーク１００が引っ張られるので、ワーク１００の加工位置がずれてしまうことがある。また、ステージ１２０が搬送ローラ１１６側（図６では左側）に移動した場合には、搬送ローラ１２４側に移動した場合とは逆の現象が発生する。
【００１２】
以上から、本発明の目的は、薄膜化したテープ状被加工体がステージとともに移動するときにテープ状被加工体に弛み及び過剰な張りが発生しない加工装置を提供することである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記した課題は、テープ状被加工体を送り出す送出部と、加工済みの前記被加工体を収納する収納部と、前記テープ状被加工体の送り出し方向又はその反対方向に移動可能であって、前記テープ状被加工体を載置するステージと、前記送出部と前記加工ステージとの間に設けられ、前記テープ状被加工体を搬送する第１の搬送ローラと、前記加工ステージと前記収納部との間に設けられ、前記テープ状被加工体を搬送する第２の搬送ローラと、前記ステージの前端に取り付けられ、前記テープ状被加工体に接触する第１の帯状部材と、前記ステージの後端に取り付けられ、前記テープ状被加工体に接触する第２の帯状部材と、前記第２の帯状部材により前記ステージを前記第１の搬送ローラを介して前記送出部方向に引っ張る第１の牽引手段と、前記第１の帯状部材により前記ステージを前記第２の搬送ローラを介して前記収納部方向に引っ張る第２の牽引手段とを有することを特徴とする加工装置により解決する。
【００１４】
なお、第１の牽引手段及び第２の牽引手段は、第１及び第２の帯状部材にそれぞれ取り付けられた錘であり、又は、第１の帯状部材の端と第２の帯状部材の端とを牽引する弾性体である。
【００１５】
本発明においては、ステージの前端（収納部側の端部）及び後端（送出部側の端部）にそれぞれテープ状被加工体と接触する第１及び第２の帯状部材を取り付けている。帯状部材は膜厚を厚くするなどして強度を上げることができるので、ステージの前端及び後端に取り付けられた第１及び第２の帯状部材をそれぞれ第２及び第１の牽引手段により収納部方向及び送出部方向に十分に引っ張ることができる。これにより、これらの帯状部材に十分な張りを発生させることができるので、第１の搬送ローラと第２の搬送ローラとの間の領域全体にある帯状部材の動きはステージの動きに追従することができる。
【００１６】
また、テープ状被加工体はステージの後端に取り付けられた第２の帯状部材、ステージ及びステージの前端に取り付けられた第１の帯状部材の上にセットされる。これにより、第１の搬送ローラと第２の搬送ローラとの間の全体領域にあるテープ状被加工体とステージ及び帯状部材とが接触して、この接触により摩擦力が生じてテープ状被加工体はステージ及び帯状部材の動きに対してずれなくなる。従って、テープ状被加工体はステージの動きに追従することができるので、テープ状被加工体に弛み及び過剰な張りが発生しない。
【００１７】
この場合、テープ状被加工体は両側から引っ張られるようにセットされるが、本発明ではテープ状被加工体とステージ及び帯状部材とが接触さえすれば、摩擦力によりテープ状被加工体はステージ及び帯状部材の動きに対してずれなくなるので、テープ状被加工体を引っ張る力は最小限で済む。このため、テープ状被加工体が薄膜化した場合でもこの引っ張る力に起因するテープ状被加工体の伸びが発生しない。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、添付の図面を参照して説明する。
【００１９】
図１は、本発明の実施の形態の加工装置の一例としてレーザドリル装置の構成を示す模式図である。
【００２０】
このレーザドリル装置には、テープ状のワーク（テープ状被加工体）１０を送り出す領域、送り出されたワーク１０を加工する領域、及び、加工したワーク１０を収納する領域があり、ワーク１０を加工する領域ではワーク１０表面にレーザ光が照射され回路パターンに応じたビアが形成される。このワーク１０には、上層側から順に銅及びポリミイドの薄膜からなる２層、又は、上層側から順に銅、ポリミイド及び銅の薄膜からなる３層の積層構造を有するものが使用される。
【００２１】
ワーク１０を送り出す領域（図１の左側の領域）には、ワーク送出リール１１、テンションローラ１２、スペーサテープリール１３、ガイドローラ１４、ダンサローラ１５、搬送ローラ（第１の搬送ローラ）１６、ループセンサ１７及びクランプローラ１８が設けられている。本実施の形態では、ワーク送出リール１１及びガイドローラ１４が送出部を構成している。
【００２２】
ワーク送出リール１１には加工前のワーク１０が収納され、このワーク１０の上にはワーク１０の表面を保護するスペーサテープ１０ａが重ねられる。ワーク送出リール１１はモータにより駆動され、ワーク送出リール１１が時計回りに回転することによりワーク１０が送り出される。ワーク１０が送り出されるときに、スペーサテープ１０ａはワーク１０から分離し、テンションローラ１２を介してスペーサテープリール１３に収納される。
【００２３】
ガイドローラ１４、ダンサローラ１５及び搬送ローラ１６は順逆回転自在なローラであり、ワーク１０の送り出し方向に対してこの順に配置されている。また、ダンサローラ１５は、ガイドローラ１４及び搬送ローラ１６よりも下方に配置されている。ワーク１０は、ガイドローラ１４の上から、ダンサローラ１５の下側を経て搬送ローラ１６の上を通るようにセットされている。ダンサローラ１５はワーク送出リール１１から送り出されたワーク１０の量あるいは搬送ローラ１６に送り込まれたワーク１０の量に応じて上下方向に移動する。ループセンサ１７はダンサローラ１５の上下方向の位置を検出し、この検出した位置の情報に基づいて送り出すべきワーク１０の量が決められる。更に、ダンサローラ１５は所定の重量に設定され、このダンサローラ１５と後述するワーク１０を収納する領域のダンサローラ２３とによりワーク１０を両側から引っ張ってワーク１０に適度な張りが生じる。搬送ローラ１６の上方には上下方向に移動可能なクランプローラ１８が配置されている。ワーク１０に加工が行われていないときには、クランプローラ１８は搬送ローラ１６から離れている。加工が行われているときには、クランプローラ１８は下に移動して搬送ローラ１６上のワーク１０を適度に押圧する。
【００２４】
ワーク１０を加工する領域（図１の中央の領域）には、ステージ２０、レーザ光照射器１９及び終点検出センサ２１が設けられている。ステージ２０は搬送ローラ１６と後述するワーク１０を収納する領域の搬送ローラ２４との間に配置されている。そして、ワーク１０は、ワーク１０の１被加工領域がステージ２０上にくるように載置される。ステージ２０には真空チャックが設けられ、ワーク１０が載置されるとワーク１０は真空チャックにより固定される。更に、ステージ２０はリニアモータで駆動され、少なくともワーク１０の送り出し方向又はその反対方向（図１では左右方向）に移動する。このステージ２０の移動範囲は加工領域の中心の両側、ワーク１０の長手方向に約６００ｍｍである。レーザ光照射器１９は加工領域の中心部、ステージ２０より上方に配置され、ステージ２０上に載置されたワーク１０に集束したレーザ光を照射する。終点検出センサ２１は、ステージ２０の移動可能領域外の搬送ローラ１６側に配置され、ワーク１０に付されたマーク（終点）を検出するとワーク１０上の全ての被加工領域での加工が終了したことを示す信号を出力する。
【００２５】
更に、ステージ２０のワーク１０の送出側及び収納側（図１では右側及び左側）にそれぞれシート（帯状部材）３０ａ，３０ｂ及びテンションローラ３１ａ，３１ｂが設けられている。シート３０ａ，３０ｂはワーク１０の幅よりも広い帯状の形状を有し、搬送ローラ１６と後述する搬送ローラ２４との間の領域全体ではワーク１０の下に配置されている。右側にあるシート３０ａは、その一方の端部が固定金具等でステージ２０の右側端部に取り付けられている。このシート３０ａはステージ２０から右側に延びて、搬送ローラ２４の上で巻回されて向きを下方に変え、更にテンションローラ３１ａの上で巻回されて他方の端部に至る。この他方の端部には錘（牽引手段）３２ａが取り付けられる。また、左側にあるシート３０ｂは、その一方の端部が固定金具等でステージ２０の左側端部に取り付けられている。このシート３０ｂはステージ２０から左側に延びて、搬送ローラ１６の上で巻回されて向きを下方に変え、更にテンションローラ３１ｂの上で巻回されて他方の端部に至る。この他方の端部には錘（牽引手段）３２ｂが取り付けられる。シート３０ａ，３０ｂは錘３２ａ，３２ｂを吊り下げても伸びたりしない強度をもつ材料や厚さで形成されている。また、シート３０ａ，３０ｂは導電性の材料により形成され、レーザドリル装置の搬送ローラ１６，２４など及び筐体を介して接地された状態になっている。
【００２６】
加工したワーク１０を収納する領域（図１の右側の領域）には、ワーク収納リール２７、テンションローラ２８、スペーサテープリール２９、ガイドローラ２２、ダンサローラ２３、搬送ローラ（第２の搬送ローラ）２４、ループセンサ２５及びクランプローラ２６が設けられている。本実施の形態では、ワーク収納リール２７及びガイドローラ２２が収納部を構成する。
【００２７】
搬送ローラ２４、ダンサローラ２３及びガイドローラ２２は順逆回転自在なローラであり、ワーク１０の送り出し方向に対してこの順に配置されている。また、ダンサローラ２３は、搬送ローラ２４及びガイドローラ２２よりも下方に配置されている。ワーク１０は、搬送ローラ２４の上から、ダンサローラ２３の下側を経てガイドローラ２２の上を通るようにセットされている。ダンサローラ２３はワーク収納リール２７に収納されたワーク１０の量あるいは搬送ローラ２４から送り出されたワーク１０の量に応じて上下方向に移動する。ループセンサ２５はダンサローラ２３の上下方向の位置を検出し、この検出した位置の情報に基づいて収納されるワーク１０の量が決められる。更に、ダンサローラ２３は所定の重量に設定されている。搬送ローラ２４の上方には上下方向に移動可能なクランプローラ２６が配置され、このクランプローラ２６はワーク１０の送出側のクランプローラ１８と同様の動作をする。
【００２８】
ワーク収納リール２７には加工したワーク１０が収納される。ワーク収納リール２７はモータにより駆動され、ワーク収納リール２７が時計回りに回転することによりガイドローラ２２から送り出されたワーク１０が収納される。ワーク１０が収納されるときに、テンションローラ２８を介してスペーサテープリール２９から送り出されたスペーサテープ１０ｂがワーク１０の上に重ねられる。
【００２９】
上述のように構成されたレーザドリル装置でワーク１０が加工されるときの動作を説明する。
【００３０】
まず、ワーク送出リール１１からワーク１０を引き出して、ガイドローラ１４上、ダンサローラ１５下、搬送ローラ１６上、送出側シート３０ｂ上、ステージ２０上、収納側シート３０ａ上、搬送ローラ２４上、ダンサローラ２３下及びガイドローラ２２下を通るようにセットし、ワーク１０を所定の長さだけワーク収納リール２７に巻きつけておく。また、ワーク１０の加工が開始する前には、ステージ２０を搬送ローラ１６側のステージ２０の移動可能領域の終端に配置しておく。また、クランプローラ１８，２６を上方に移動させて、搬送ローラ１６，２４から離しておく。
【００３１】
この状態で、ワーク送出リール１１を時計回りに回転させてワーク送出リール１１から、ワーク１０を送り出し、ダンサローラ１５を十分に下方に下げておく。そして、ステージ２０の真空チャックをオンしてワーク１０をステージ２０に固定する。このとき、ワーク１０はダンサローラ１５，２３により両側から若干引っ張られているので、搬送ローラ１６，２４の間の領域全体でワーク１０とシート３０ｂ、ステージ２０及びシート３０ａとが接触する。その後、クランプローラ１８，２６を下方に移動させて、搬送ローラ１６，２４の上のワーク１０を押圧する。
【００３２】
ワーク１０を加工するためステージ２０の移動を開始し、ワーク１０の加工内容に応じて、ステージ２０をワーク１０の送り出し方向及びその反対方向に移動させるとともに、レーザビーム照射装置１９からレーザ光をワーク１０の１被加工領域に照射する。これにより、ステージ２０上に載置されたワーク１０の１被加工領域にはビアが形成される。このステージ２０の移動の際に、シート３０ａ，３０ｂには錘３２ａ，３２ｂにより十分な張りが発生しているので、搬送ローラ１６，２４の間の領域全体にあるシート３０ａ，３０ｂの動きがステージ２０の動きに追従する。また、ワーク１０とシート３０ｂ、ステージ２０及びシート３０ａとの接触による摩擦力により、ワーク１０がステージ２０及びシート３０ａ，３０ｂの動きに対してずれない。従って、搬送ローラ１６，２４の間の領域全体にあるワーク１０がステージ２０の動きに追従して移動する。この結果、図２に示すように、例えばステージ２０がワーク１０の収納側（図２では右側）に移動した場合に、シート３０ａ上のワーク１０に弛みは発生せず、また、シート３０ｂ上のワーク１０に過剰な張りも発生しない。また、ステージ２０がワーク１０の送出側（図２では左側）に移動した場合も、ワーク１０に弛みや過剰な張りが発生しない。なお、ワーク１０は樹脂材料により形成されているため、ワーク１０が移動するときにはワーク１０表面に静電気が発生しやすい。これに対して、シート３０ａ，３０ｂは搬送ローラ１６，２４など及びレーザドリル装置筐体を介して接地された状態になっているので、ワーク１０の静電気が除去され、ワーク１０にゴミが付着することや、レーザドリル装置に誤動作を引き起こす原因となるノイズの発生を防止する。
【００３３】
ワーク１０の１被加工領域での加工が終了すると、ステージ２０を搬送ローラ２４側のステージ２０の移動可能領域の終端に移動させる。それに伴い、ワーク１０が収納側に送られて、ワーク１０を収納する領域ではダンサローラ２３が下方に移動する。ループセンサ２５はダンサローラ２３が所定の位置まで下降したことを検出すると、この検出信号をワーク収納リール２７を駆動するモータの制御部に出力する。モータの制御部はこの検出信号に応じてモータを駆動し、ワーク収納リール２７を時計回りに回転させる。これにより、ワーク１０がワーク収納リール２７に収納されて、ダンサローラ２３は上方に移動する。そして、ループセンサ２５はダンサローラ２３が所定の位置まで上昇したことを検出すると、この検出信号をモータの制御部に出力する。モータの制御部はこの検出信号に応じてモータの駆動を停止して、ワーク１０の収納が終了する。
【００３４】
一方、ワーク１０が収納側に送られるため、ワーク１０を送り出す領域ではダンサローラ１５は上方に移動する。ループセンサ１７はダンサローラ１５が所定の位置まで上昇したことを検出すると、この検出信号をワーク送出リール２７を駆動するモータの制御部に出力する。モータの制御部はこの検出信号に応じてモータを駆動し、ワーク送出リール１１を時計回りに回転させる。これにより、ワーク１０がワーク送出リール１１から送り出されて、ダンサローラ１５は下方に移動する。そして、ループセンサ１７はダンサローラ１５が所定の位置まで下降したことを検出すると、この検出信号をモータの制御部に出力する。モータの制御部はこの検出信号に応じてモーターの駆動を停止して、ワーク１０の送出が終了する。ワーク１０の収納及び送出が終了したとき、ダンサローラ１５とダンサローラ２３とは同じ高さになっている。
【００３５】
ワーク１０の収納及び送出が終了すると、ステージ２０の真空チャックがオフし、クランプローラ１８，２６を上方に移動させる。このとき、ワーク１０の押圧が解除され、ワーク１０が若干弛んでワーク１０とステージ２０及びシート３０ａ，３０ｂとの間が離れる。そして、ステージ２０は送出側搬送ローラ１６側のステージ２０の移動可能領域の終端に移動して、次のワーク加工を開始する状態に移行する。なお、ワーク１０の収納及び送出が終了したときに終点検出センサ２１がワーク１０に付された終点を検出すると、レーザドリル装置は全てのワーク１０の被加工領域を加工したと判断してワーク１０の加工を終了する。
【００３６】
このように、このレーザドリル装置では、ステージ２０の前端及び後端にワーク１０と接触するシート３０ａ，３０ｂを取り付けている。シート３０ａ，３０ｂは十分な強度をもっているので、錘３２ａ，３２ｂによりシート３０ａ，３０ｂを十分に引っ張ることができる。これにより、シート３０ａ，３０ｂに十分な張りを発生させることができるので、搬送ローラ１６と搬送ローラ２４との間の領域全体にあるシート３０ａ，３０ｂの動きはステージ２０の動きに追従することができる。
【００３７】
また、ワーク１０はダンサローラ１５，２３により両側から若干引っ張られた状態でシート３０ｂ、ステージ２０及びシート３０ａの上にセットされる。これにより、搬送ローラ１６と搬送ローラ２４との間の全体領域にあるワーク１０とシート３０ｂ、ステージ２０及びシート３０ａとが接触するので、この接触により摩擦力が生じてワーク１０はステージ２０及びシート３０ａ，３０ｂの動きに対してずれなくなる。従って、ワーク１０はステージ２０の動きに追従することができるので、ワーク１０に弛み及び過剰な張りが発生しない。
【００３８】
この場合、ワーク１０とステージ２０及びシート３０ａ，３０ｂとが接触さえすれば、摩擦力によりワーク１０がステージ２０及びシート３０ａ，３０ｂの動きに対してずれなくなるので、ワーク１０を引っ張る力を最小限に抑えることができる。
（変形例）
図３は、本発明の実施の形態の変形例の加工装置の一例としてレーザドリル装置の構成を示す模式図である。このレーザドリル装置と図１に示すレーザドリル装置とは、シート３０ａ，３０ｂを引っ張るための構成が異なるだけでその他の構成は同じなので、同一物には同じ符号を付してその詳細な説明は省略する。
【００３９】
このレーザドリル装置では、図３に示すように、シート３０ａ，３０ｂに十分な張りを発生させるために弾性体４１（牽引手段）が設けられている。この弾性体４１は、スプリングや弾性ゴム等からなり、シート３０ａ，３０ｂの厚さや材料に応じたばね定数等に設定されている。右側にある収納側シート３０ａは、その一方の端部が固定金具等でステージ２０の右側端部に取り付けられている。この収納側シート３０ａはステージ２０から右側に延びて、搬送ローラ２４の上で巻回されて向きを下方に変え、テンションローラ３１ａの上で巻回され、更に搬送ローラ４２ａの下で巻回されて向きを左側に変え、他方の端部に至る。この他方の端部に弾性体４１の一方の端部が接続される。また、左側にある送出側シート３０ｂは、その一方の端部が固定金具等でステージ２０の左側端部に取り付けられている。この送出側シート３０ｂはステージ２０から左側に延びて、搬送ローラ１６の上で巻回されて向きを下方に変え、テンションローラ３１ｂの上で巻回され、更に搬送ローラ４２ｂの下で巻回されて向きを右側に変え、他方の端部に至る。この他方の端部に弾性体４１のもう一方の端部が接続される。
【００４０】
以上のように、ステージ２０にそれぞれ取り付けられたシート３０ａ，３０ｂの端部同士を弾性体４１を介して接続しているので、シート３０ａ，３０ｂがお互いに引っ張り合い、シート３０ａ，３０ｂに十分な張りを発生させることができる。これにより、搬送ローラ１６，２４の間の領域全体にあるシート３０ａ，３０ｂの動きがステージ２０の動きに追従することができる。
【００４１】
また、シート３０ａ，３０ｂ及びステージ２０上にセットされるワーク１０は、摩擦力によりステージ２０の動きに対してずれない。従って、ワーク１０はステージ２０の動きに追従することができるので、ワーク１０に弛み及び過剰な張りが発生しない。
【００４２】
以上、実施の形態により本発明を説明したが、本発明の範囲は上記実施の形態に限られない。
【００４３】
例えば、本実施の形態の加工装置では、ワーク１０の加工が行われている間、ステージ２０をリニアモータで駆動してステージ２０をワーク１０の送り出し方向及びその反対方向に移動させているが、搬送ローラ１６，２４をステップモータで駆動して順逆自在に回転させてシート３０ａ，３０ｂを介してステージ２０をワーク１０の送り出し方向及びその反対方向に移動させるようにしてもよい。
【００４４】
また、本実施の形態の加工装置では、ワーク１０の加工が終了すると、次の加工を行うためにステージ２０はワーク送出側のステージ２０の移動可能領域の終端に移動する。この移動の前にクランプローラ１８，２６を上方に移動させることにより、この移動の際にワーク１０の裏面とステージ２０とが擦れ合わないようにしているが、この構成に限定されない。例えば、図４に示す加工装置では、ダンサローラ１５と搬送ローラ１６との間、及び、搬送ローラ２４とダンサローラ２３との間に上下移動が可能な搬送ローラ（第３及び第４の搬送ローラ）４５，４６がそれぞれ設けられている。そして、搬送ローラ１６，２４の上ではシート３０ａ，３０ｂのみが巻回され、シート３０ａ，３０ｂの上にあるワーク１０は支持されるだけになっている。また、搬送ローラ４５，４６の上ではワーク１０のみが巻回されている。このような加工装置において、ワーク１０の加工が終了してステージ２０が移動する前に、クランプローラ１８，２６と、搬送ローラ４５，４６とが上方に移動すると、ワーク１０をステージ２０及びシート３０ａ，３０ｂから確実に離れさせることができるので、この移動の際にワーク１０の裏面とステージ２０とが擦れ合うことがなくなる。
【００４５】
更に、本実施の形態では、本発明の加工装置をレーザドリル装置に適用した場合について説明したが、これに限定されない。例えば、本発明の加工装置をワーク表面に配線パターンを形成する露光装置に適用してもよい。この場合、ステージ上方には、レーザ光照射器の替わりに紫外線等を照射する光源とマスクパターン（レチクル）とが配置される。
【００４６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の加工装置は、ステージの前端及び後端にそれぞれテープ状被加工体と接触する第１及び第２の帯状部材を取り付けている。帯状部材は膜厚を厚くするなどして強度を上げることができるので、ステージの前端及び後端に取り付けられた第１及び第２の帯状部材をそれぞれ引っ張る第２及び第１の牽引手段により収納部方向及び送出部方向に十分に引っ張ることができる。これにより、これらの帯状部材に十分な張りを発生させることができるので、第１の搬送ローラと第２の搬送ローラとの間の領域全体にある帯状部材の動きはステージの動きに追従することができる。
【００４７】
また、テープ状被加工体はステージの後端に取り付けられた第２の帯状部材、ステージ及びステージの前端に取り付けられた第１の帯状部材の上にセットされる。これにより、第１の搬送ローラと第２の搬送ローラとの間の全体領域にあるテープ状被加工体とステージ及び帯状部材とが接触して、この接触により摩擦力が生じてテープ状被加工体はステージ及び帯状部材の動きに対してずれなくなる。従って、テープ状被加工体はステージの動きに追従することができるので、テープ状被加工体に弛み及び過剰な張りが発生しない。この結果、テープ状被加工体が折れ曲がったり、テープ状被加工体の裏面が傷ついたり、及び、テープ状被加工体の加工位置がずれてしまうことを防止することができる。
【００４８】
この場合、テープ状被加工体は両側から引っ張られるようにセットされるが、本発明ではテープ状被加工体とステージ及び帯状部材とが接触さえすれば、摩擦力によりテープ状被加工体はステージ及び帯状部材の動きに対してずれなくなるので、テープ状被加工体を引っ張る力は最小限で済む。このため、テープ状被加工体が薄膜化した場合でもこの引っ張る力に起因するテープ状被加工体の伸びを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の実施の形態の加工装置（レーザドリル装置）の構成を示す模式図である。
【図２】図２は、ステージがワークの送り出し方向に移動したときのステージ、シート及びワークの状態を示す模式図である。
【図３】図３は、本発明の実施の形態の変形例の加工装置（レーザドリル装置）の構成を示す模式図である。
【図４】図４は、ワークが巻回される搬送ローラとシートが巻回される搬送ローラとを別々にした加工装置（レーザドリル装置）の構成を示す模式図である。
【図５】図５は、従来の加工装置（レーザドリル装置）の構成を示す模式図である。
【図６】図６は、図５の加工装置において、ステージがワークの送り出し方向に移動したときのステージ及びワークの状態を示す模式図である。
【符号の説明】
１０、１１０…ワーク（テープ状被加工体）、
１０ａ、１０ｂ…スペーサテープ、
１１、１１１…ワーク送出リール、
１２、２８、３１ａ、３１ｂ…テンションローラ、
１３、２９…スペーサテープリール、
１４、２２、１１４、１２２…ガイドローラ、
１５、２３、１１５、１２３…ダンサローラ、
１６、２４、４２ａ、４２ｂ、４５、４６、１１６、１２４…搬送ローラ、
１７、２５…ループセンサ、
１８、２６、１１８、１２６…クランプローラ、
１９、１１９…レーザ光照射器（加工ヘッド）、
２０、１２０…ステージ、
２１…終点検出センサ、
２７、１２７…ワーク収納リール、
３０ａ、３０ｂ…シート（帯状部材）、
３２ａ、３２ｂ…錘、
４１…弾性体。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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