(57)【要約】【課題】  ２つの接続対象物の間を接続する電気接続部材を薄型に、しかも、その製造方法の工程を簡素に構成する。【解決手段】  （Ａ）．仮基材２を用意する。（Ｂ）．仮基材上にメカニカルマスク３を装着する。（Ｃ）．仮基材とメカニカルマスク上に所定パターンの金属薄膜４（第１端子）を成膜する。（Ｄ）．仮基材からメカニカルマスクとメカニカルマスク上に成膜された金属薄膜を取り外す。（Ｅ）．（Ｄ）の状態における金属薄膜の中央以外の部分の上と仮基材上に、エラストマー５を印刷して硬化させる。硬化後のエラストマーは、弾性を有する粘着部材である。（Ｆ）．（Ｅ）の状態におけるエラストマー上にメカニカルマスク６を装着する。（Ｇ）．金属薄膜４上とエラストマー上とメカニカルマスク６上に所定パターンの金属薄膜７（第２端子）を成膜する。（Ｈ）．仮基材を剥離する。（Ｉ）．不要物を剥離すると、電気接続部材１が完成する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
２つの接続対象物の間を接続する電気接続部材の製造方法において、
平板状の基材上の一面に、所定パターンの金属薄膜を成膜して複数の第１端子を製造する工程と、
前記各第１端子を製造後、前記各第１端子の一部を被覆するように、かつ、前記各第１端子の間に粘着部材を印刷して硬化させる工程と、
前記粘着部材の一部を被覆するように、かつ、前記各第１端子と接続するように、所定パターンの金属薄膜を成膜して複数の第２端子を製造する工程と、
前記各第２端子を製造後、前記基材を前記各第１端子と前記粘着部材から剥離する工程とから構成されることを特徴とする電気接続部材の製造方法。
【請求項２】
２つの接続対象物の間を接続する電気接続部材において、
前記電気接続部材は、前記各接続対象物の一方と接続する複数の第１端子と、前記各接続対象物の他方と接続する複数の第２端子と、前記各第１端子及び前記各第２端子を保持固定し、かつ、弾性を有する粘着部材とから構成され、
前記各第１端子又は前記各第２端子の少なくとも一方は、略Ｖ字状に形成され、前記略Ｖ字の底部が他方の前記各端子にそれぞれ接続し、前記略Ｖ字の開放部が前記各接続対象物の一方、他方又は双方と接続し、
前記粘着部材は、隣接する前記各第１端子及び前記各第２端子の間に配設されることを特徴とする電気接続部材。
【請求項３】
前記各第１端子及び前記各第２端子は、成膜によって形成され、前記粘着部材は、印刷によって形成されることを特徴とする請求項２記載の電気接続部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、２つの接続対象物（基板等）の間を接続する電気接続部材及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
第１の従来の技術として、ＬＧＡ（Ｌａｎｄ  Ｇｒｉｄ  Ａｒｒａｙ）等のＩＣパッケージを基板に実装する場合等に使用される電気接続部材について説明する（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
図４（Ａ），（Ｂ）に示されるように、電気接続部材２１における両面粘着シート２２は、絶縁シート２２ａの表裏両面に粘着剤２２ｂが配設されることによって構成される。両面粘着シート２２の縦横方向に導電性繊維２３が一定のピッチで縫い込まれる。各導電性繊維２３は、両面粘着シート２２を貫通し、各導電性繊維２３の両端面は、電極を形成する。各導電性繊維２３の両端面に、それぞれ蓋をするように金属薄膜２４を粘着する。
【０００４】
ＩＣパッケージを基板に実装する場合、両者の間に電気接続部材２１を介在させると、各金属薄膜２４による電気的接続と表裏両面の粘着剤２２ｂによる機械的接続を行うことができる。
【０００５】
第２の従来の技術として、金属薄膜を粘着剤上に転写することによって粘着剤上に導体パターンを形成する配線部材の製造方法について説明する（例えば、特許文献２参照。）。
【０００６】
図５を参照して導体パターンの形成方法の工程を説明する。
【０００７】
（Ａ）．金型３１を用意する。金型３１は、その表面に形成されるべき導体パターンと対応する複数本の凸部３２を有する。
【０００８】
（Ｂ）．金型３１上に、金型３１に対して付着力（密着力）が弱い金属膜を蒸着又はスパッタによって成膜すると、下地層３３が形成される。
【０００９】
（Ｃ）．下地層３３上に導体パターンを構成するための主導体層３４を所要の厚さ成膜する。成膜は蒸着又はスパッタによって行われ、この結果、下地層３３と主導体層３４との２層から構成される金属薄膜３５が、金型３１上に構成される。
【００１０】
（Ｄ）．一面に粘着剤３６を塗布された基材３７を用意する。基材３７の一面側を金型３１側に向け、粘着剤３６を凸部３２上の金属薄膜３５に密着させる。
【００１１】
（Ｅ）．基材３７と共に粘着剤３６を引き上げ、金型３１から離隔する。粘着剤３６に粘着されている凸部３２上の金属薄膜３５は、金型３１との界面で金型３１から剥離する。
【００１２】
（Ｆ）．凸部３２上の金属薄膜３５は、粘着剤３６上に粘着転写される。この結果、粘着剤３６上に導体パターン３８が形成され、配線部材３９が完成する。
【特許文献１】特開２００２−５６９０７号公報（第３頁第３欄第２７行−第４欄第２行、図１）
【特許文献２】特開２００１−２１０９３３号公報（第４頁第５欄第３７行−第６欄第１４行）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
第１の従来の技術の電気接続部材では、絶縁シート２２ａの表裏両面に粘着剤２２ｂが配設され、各粘着剤２２ｂに金属薄膜２４が粘着される。したがって、この電気接続部材は、薄型化を制約され、また、個別に各導電性繊維２３を形成して整列させるため、工程が繁雑である。
【００１４】
第２の従来の技術の配線部材は、粘着剤３６の一面上に導体パターン３８が形成されるものであるが、２つの接続対象物（基板等）の間を接続する電気接続部材ではない。
【００１５】
そこで、本発明は、前記両従来の技術の欠点を改良し、２つの接続対象物の間を接続する電気接続部材を薄型に、しかも、その製造方法の工程を簡素に構成しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明は、前記課題を解決するため、次の手段を採用する。
【００１７】
１．２つの接続対象物の間を接続する電気接続部材の製造方法において、平板状の基材上の一面に、所定パターンの金属薄膜を成膜して複数の第１端子を製造する工程と、前記各第１端子を製造後、前記各第１端子の一部を被覆するように、かつ、前記各第１端子の間に粘着部材を印刷して硬化させる工程と、前記粘着部材の一部を被覆するように、かつ、前記各第１端子と接続するように、所定パターンの金属薄膜を成膜して複数の第２端子を製造する工程と、前記各第２端子を製造後、前記基材を前記各第１端子と前記粘着部材から剥離する工程とから構成される電気接続部材の製造方法。
【００１８】
２．２つの接続対象物の間を接続する電気接続部材において、前記電気接続部材は、前記各接続対象物の一方と接続する複数の第１端子と、前記各接続対象物の他方と接続する複数の第２端子と、前記各第１端子及び前記各第２端子を保持固定し、かつ、弾性を有する粘着部材とから構成され、前記各第１端子又は前記各第２端子の少なくとも一方は、略Ｖ字状に形成され、前記略Ｖ字の底部が他方の前記各端子にそれぞれ接続し、前記略Ｖ字の開放部が前記各接続対象物の一方、他方又は双方と接続し、前記粘着部材は、隣接する前記各第１端子及び前記各第２端子の間に配設される電気接続部材。
【００１９】
３．前記各第１端子及び前記各第２端子は、成膜によって形成され、前記粘着部材は、印刷によって形成される前記２記載の電気接続部材。
【発明の効果】
【００２０】
明細書の説明から明らかなように、本発明によれば、次の効果が奏される。
【００２１】
１．２つの接続対象物の間を接続する電気接続部材を薄型に、しかも、簡単な構造に構成することができる。
【００２２】
２．同電気接続部材の製造方法の工程を簡素化することができる。
【００２３】
３．一方の各端子の略Ｖ字の底部が他方の各端子に接続し、略Ｖ字の開放部が接続対象物と接続するので、接続が安定して確実に行われる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
本発明の電気接続部材及びその製造方法の２つの実施例について以下に説明する。
【実施例１】
【００２５】
本発明の実施例１の製造方法の工程について図１（Ａ）〜（Ｉ）を参照して説明する。
【００２６】
（Ａ）．平板状の仮基材２を用意する。
【００２７】
（Ｂ）．仮基材２上にメカニカルマスク３を装着する。
【００２８】
（Ｃ）．仮基材２上とメカニカルマスク３上に所定パターンの金属薄膜４をスパッタ又は蒸着等の手段によって成膜する。仮基材２上に成膜された金属薄膜４は、第１端子となる。
【００２９】
（Ｄ）．仮基材２からメカニカルマスク３とメカニカルマスク３上に成膜された金属薄膜４を取り外す。
【００３０】
（Ｅ）．（Ｄ）の状態における金属薄膜４の中央以外の部分の上と仮基材２上に、エラストマー５を印刷して硬化させる。硬化後のエラストマー５は、弾性を有する粘着部材である。
【００３１】
（Ｆ）．（Ｅ）の状態におけるエラストマー５上にメカニカルマスク６を装着する。
【００３２】
（Ｇ）．金属薄膜４上とエラストマー５上とメカニカルマスク６上に所定パターンの金属薄膜７をスパッタ又は蒸着等の手段によって成膜する。金属薄膜４（第１端子）上に成膜された金属薄膜７は、第２端子となる。金属薄膜７（第２端子）の略Ｖ字の底部は、金属薄膜４（第１端子）の表面と接続する。
【００３３】
（Ｈ）．（Ｇ）の状態における金属薄膜４（第１端子）とエラストマー５から仮基材２を剥離する。
【００３４】
（Ｉ）．（Ｈ）の状態におけるエラストマー５と金属薄膜４（第１端子）からメカニカルマスク６とメカニカルマスク６上に成膜された金属薄膜７（第２端子）を剥離する。
【００３５】
上述した工程を経て、電気接続部材１が完成する。電気接続部材１において、下面の各金属薄膜４（第１端子）は一方の基板の各端子と接続し、上面の略Ｖ字状の開放部を有する各金属薄膜７（第２端子）は他方の基板の各端子と接続する。
【００３６】
本発明の実施例１の金属薄膜４（第１端子）の諸設計変更例について図２を参照して説明する。
【００３７】
図２（Ａ）は、湾曲溝２ａが形成された仮基材２の断面図である。
【００３８】
図２（Ｂ）は、長方形溝２ｂが形成された仮基材２の断面図である。
【００３９】
図２（Ｃ）は、図２（Ａ）の仮基材を用いて形成された金属薄膜４（第１端子）の下面に突出部４ａが形成された電気接続部材１の要部の断面図である。
【００４０】
図２（Ｄ）は、図２（Ｂ）の仮基材を用いて形成された金属薄膜４（第１端子）の一部がエラストマー５から突出した電気接続部材１の要部の断面図である。
【００４１】
実施例１では、金属薄膜７（第２端子）のみを略Ｖ字状に形成したが、金属薄膜４（第１端子）も略Ｖ字状に形成し、両略Ｖ字の底部同士を接続することもできる。
【実施例２】
【００４２】
本発明の実施例２の製造方法の工程について図３（Ａ）〜（Ｉ）を参照して説明する。ただし、実施例２については、実施例１と同様な点の説明を省略し、相違する点のみの説明を行う。
【００４３】
仮基材２の上面には、複数の台形状の突出部２ｃを形成する。すると、金属薄膜４（第１端子）と金属薄膜７（第２端子）の両方が略Ｖ字状に形成された電気接続部材１が、完成する。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の実施例１の電気接続部材の製造方法の工程の断面図であり、順次（Ａ）〜（Ｉ）に示す。
【図２】同製造方法の諸設計変更例の断面図であり、順次（Ａ）〜（Ｄ）に示す。
【図３】本発明の実施例２の電気接続部材の製造方法の工程の断面図であり、順次（Ａ）〜（Ｉ）に示す。
【図４】第１の従来の技術の電気接続部材であり、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）は断面図を、それぞれ示す。
【図５】第２の従来の技術の配線部材の製造方法の工程の断面図であり、順次（Ａ）〜（Ｆ）に示す。
【符号の説明】
【００４５】
１    電気接続部材
２    仮基材
２ａ    湾曲溝
２ｂ    長方形溝
２ｃ    突出部
３    メカニカルマスク
４    金属薄膜（第１端子）
４ａ    突出部
５    エラストマー
６    メカニカルマスク
７    金属薄膜（第２端子）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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