(57)【要約】【課題】  製造コストの増大を避けながらも過剰損失を低減することができる光導波路装置を提供する。【解決手段】  温度によって屈折率が変化する透光性材料からなり光信号が入力される入力端と入力端から入力されて内部を伝わった光信号が出力される出力端１２とを有するコア１と、コア１よりも屈折率が小さい透光性材料からなり入力端と出力端１２とを露出させてコア１を囲むクラッド２とを有する。クラッド２の出力端１２の近傍には、コア１の光軸に交差する方向の熱勾配をコア１内部に発生させるヒータ部３１が設けられている。ヒータ部３１の熱での熱光学効果によって発生する屈折率勾配で光信号が曲げられるから、他の光学素子に対して光学的且つ機械的に結合させた後にヒータ部３１の出力を調整することによって容易に光軸を調芯し、過剰損失を低減することができる。【選択図】図１
2005099522.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透光性材料からなり光信号が入力される入力端と入力端から入力されて内部を伝わった光信号が出力される出力端とを有するコアと、コアよりも屈折率が小さい透光性材料からなり入力端と出力端とを露出させてコアを囲むクラッドと、入力端と出力端との少なくとも一方の近傍に設けられコアの光軸に交差する方向の熱勾配をコア内部に発生させる調芯用ヒータと、調芯用ヒータの出力を調整する出力調整手段とを備え、コアの少なくとも調芯用ヒータの近傍を温度によって屈折率が変化する材料で形成したことを特徴とする光導波路装置。
【請求項２】
調芯用ヒータを複数個備え、出力調整手段は各ヒータの出力を個別に調整することを特徴とする請求項１記載の光導波路装置。
【請求項３】
コアの光軸に交差する面内でコアを全周に亙って囲む形状の調芯用ヒータを備え、コアの少なくとも調芯用ヒータの近傍は屈折率が温度に対して負の相関を有する材料からなることを特徴とする請求項１記載の光導波路装置。
【請求項４】
コアの光軸に直交する断面での断面積を他の部位よりも大きくした拡径部を設け、調芯用ヒータを、拡径部の光軸方向での中間部に配置したことを特徴とする請求項３記載の光導波路装置。
【請求項５】
コアの光軸に沿って入力側から出力側に向かってコアの光軸に近付く形状に調芯用ヒータを形成したことを特徴とする請求項１記載の光導波路装置。
【請求項６】
コアの調芯用ヒータの近傍に、コアの光軸に直交する断面での断面積を他の部位よりも大きくした拡径部を設けたことを特徴とする請求項１記載の光導波路装置。
【請求項７】
コアは複数の出力端を有し、出力端のうちの１個ずつに対応して設けられた複数個の分岐用ヒータを有し分岐用ヒータのうちの１個に通電されたときに熱光学効果によって入力端から入力された光信号を該分岐用ヒータに対応した出力端に出力する光スイッチ部を備え、調芯用ヒータはコアの出力端の近傍にそれぞれ設けられ、分岐用ヒータと該分岐用ヒータに対応した出力端の近傍の調芯用ヒータとを電気的に接続したことを特徴とする請求項１記載の光導波路装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の光学素子を互いに光学的に接続する際に用いられる光導波路装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、発光素子、受光素子、光ファイバー、光導波路などの光学素子を備え光信号を利用する装置が提供されている。
【０００３】
この種の装置において、光学素子同士を互いに接続する際に、互いの光軸にずれがあると、光学素子間に伝送される光信号にいわゆる過剰損失が生じてしまう。
【０００４】
従来は、精度の高い組立装置を用いたり、熟練した技術者が作業を行って、光学素子の相互の位置合わせの精度を向上することによって過剰損失を低減していた。また、精度の高い組立装置や熟練した技術によらずに位置合わせの精度を向上する方法として、台座や溝のような位置決めのための構造を設けることが提案されていた（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。
【特許文献１】特開平８−３６１１８号公報（第３頁、第１図）
【特許文献２】特開平６−３５４５号公報（第５−６頁、第２図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、位置合わせの精度を向上するためには、精度の高い組立装置や熟練した技術者が必要となり、または位置決めのための構造を設ける工程を追加する必要があったので、製造コストが増大していた。
【０００６】
本発明は上記事由に鑑みて為されたものであり、その目的は、製造コストの増大を避けながらも過剰損失を低減することができる光導波路装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１の発明は、透光性材料からなり光信号が入力される入力端と入力端から入力されて内部を伝わった光信号が出力される出力端とを有するコアと、コアよりも屈折率が小さい透光性材料からなり入力端と出力端とを露出させてコアを囲むクラッドと、入力端と出力端との少なくとも一方の近傍に設けられコアの光軸に交差する方向の熱勾配をコア内部に発生させる調芯用ヒータと、調芯用ヒータの出力を調整する出力調整手段とを備え、コアの少なくとも調芯用ヒータの近傍を温度によって屈折率が変化する材料で形成したことを特徴とする。
【０００８】
上記構成によれば、調芯用ヒータの出力に応じて熱光学効果でコア内部に生じる屈折率勾配によって光信号が曲げられるので、他の光学素子に対して固定した後に調芯用ヒータの出力を調整することによって光軸の位置や向きの微調整が可能となるから、光軸の調芯が容易となる。従って、精度の高い組立装置や熟練した技術を不要として製造コストの増大を避けながらも過剰損失を低減することができる。
【０００９】
請求項２の発明は、請求項１の発明において、調芯用ヒータを複数個備え、出力調整手段は各ヒータの出力を個別に調整することを特徴とする。
【００１０】
上記構成によれば、光軸調芯の方向や程度の自由度が向上するから、光軸の調芯が容易になる。
【００１１】
請求項３の発明は、請求項１の発明において、コアの光軸に交差する面内でコアを全周に亙って囲む形状の調芯用ヒータを備え、コアの少なくとも調芯用ヒータの近傍は屈折率が温度に対して負の相関を有する材料からなることを特徴とする。
【００１２】
上記構成によれば、調芯用ヒータでの加熱による熱光学効果で、コア内部に凸レンズ状の屈折率分布が生じて光信号が収束するから、光軸調芯が容易になる。
【００１３】
請求項４の発明は、請求項３の発明において、コアの光軸に直交する断面での断面積を他の部位よりも大きくした拡径部を設け、調芯用ヒータを、拡径部の光軸方向での中間部に配置したことを特徴とする。
【００１４】
上記構成によれば、拡径部を設けない場合に比べ、光信号の入力位置又は出力位置の自由度が向上するから、光軸調芯がさらに容易になる。また、コアの光軸方向での調芯用ヒータの両側に、それぞれ凸レンズ状の屈折率分布が生じることになるから、調芯用ヒータを拡径部の光軸方向での端に設ける場合に比べ、光信号をより小さく収束させることができるので、光軸調芯がより容易になる。
【００１５】
請求項５の発明は、請求項１の発明において、コアの光軸に沿って入力側から出力側に向かってコアの光軸に近付く形状に調芯用ヒータを形成したことを特徴とする。
【００１６】
上記構成によれば、コアにおいて調芯用ヒータによって高温になった領域すなわち屈折率が大きく変化した領域がコアの光軸に沿って入力側から出力側に向かってコアの光軸に近付く形状に形成されるから、調芯用ヒータをコアの光軸に平行に形成する場合に比べて光軸調芯がさらに容易になる。
【００１７】
請求項６の発明は、請求項１の発明において、コアの調芯用ヒータの近傍に、コアの光軸に直交する断面での断面積を他の部位よりも大きくした拡径部を設けたことを特徴とする。
【００１８】
上記構成によれば、拡径部を設けない場合に比べて光軸調芯の自由度が向上するから、光軸調芯がさらに容易になる。
【００１９】
請求項７の発明は、請求項１の発明において、コアは複数の出力端を有し、出力端のうちの１個ずつに対応して設けられた複数個の分岐用ヒータを有し分岐用ヒータのうちの１個に通電されたときに熱光学効果によって入力端から入力された光信号を該分岐用ヒータに対応した出力端に出力する光スイッチ部を備え、調芯用ヒータはコアの出力端の近傍にそれぞれ設けられ、分岐用ヒータと該分岐用ヒータに対応した出力端の近傍の調芯用ヒータとを電気的に接続したことを特徴とする。
【００２０】
上記構成によれば、分岐用ヒータと該分岐用ヒータに対応した出力端の近傍の調芯用ヒータとを同時に動作させることができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、コアの光軸に交差する方向の熱勾配をコア内部に発生させる調芯用ヒータを備えるので、調芯用ヒータの出力に応じて熱光学効果でコア内部に生じる屈折率勾配によって光信号を曲げることができ、他の光学素子に対して光学的且つ機械的に結合した後に調芯用ヒータの出力を調整することによって光軸の位置や向きの微調整が可能となるから、光軸の調芯が容易となる。従って、精度の高い組立装置や熟練した技術を不要として製造コストの増大を避けながらも過剰損失を低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００２３】
（実施形態１）
本実施形態は、図１に示すように、温度によって屈折率が変化する透光性材料からなり光信号が入力される入力端（図示せず）と入力端から入力された光信号が出力される出力端１２とを有するコア１と、コア１よりも屈折率が大きい透光性材料からなりコア１の入力端と出力端１２とを露出させてコア１の全周を囲むクラッド２とを備えるものであって、コア１の入力端と出力端１２とがそれぞれ互いに異なる光学素子に光学的且つ機械的に結合されることにより、入力端に結合した光学素子と出力端１２に結合した光学素子とを光学的に結合する。クラッド２には、通電されることにより発熱するヒータ部３１を有する導電パターン３が設けられており、ヒータ部３１の熱によってコア１内部にコア１の光軸に交差する方向の熱勾配が生じるようになっている。この熱勾配に伴う屈折率勾配によって、他の光学素子との結合後であっても光軸の調芯が可能となっている。つまり、ヒータ部３１が調芯用ヒータである。以下、上下は図１を基準として説明する。
【００２４】
具体的に説明すると、クラッド２は、クラッド２よりも熱伝導率の高い材料からなる基板４上に直方体形状に形成されており、導電パターン３は、クラッド２の上面で入力端の近傍と出力端１２の近傍とにそれぞれ設けられている。
【００２５】
コア１は、光軸に直交する断面での断面形状が正方形状に形成されている。具体的な寸法の例を挙げると、コア１の伝送する光信号がシングルモードであってコア１とクラッド２との屈折率差が０．３％である場合、コア１の断面形状の一辺の長さは５〜１０μｍが望ましい。
【００２６】
導電パターン３は、図２に示すようにそれぞれクラッド２の上面へのコア１の射影を挟む線状に形成された２個のヒータ部３１と、各ヒータ部３１の後端部（図２の右端部）の間に連結された連結部３３と、各ヒータ部３１の前端部からそれぞれ延設され図示しない可変電圧電源に接続される２個の端子部３２とを備える。ヒータ部３１は導電パターン３の他の部位よりも幅狭に形成され、端子部３２間に通電されることにより発熱する。ヒータ部３１の出力は、可変電圧電源の電圧を調整することによって調整することができる。つまり、可変電圧電源が出力調整手段である。導電パターン３の材料としては、例えば、チタン、金、アルミニウム、ニッケル、クロム、ニッケルクロム合金などを用いることができる。導電パターン３の材料として金を用いた場合、ヒータ部３１の幅を１０μｍとし、厚さを０．２μmとすれば、数１０ｍＷ程度の出力で用いることができる。
【００２７】
導電パターン３の端子部３２間に通電すれば、ヒータ部３１が発熱することにより、コア１内部に上下方向の屈折率勾配が発生するから、コア１の屈折率の温度に対する相関が正であれば上方向、負であれば下方向に光信号が曲げられる。ヒータ部３１への通電量を調整することによって、上下方向の光軸の調芯が可能である。
【００２８】
また、クラッド２の上面には、コア１に沿った線状の減衰用ヒータ部５１と減衰用ヒータ部５１の両端に設けられた端子部５２とを有する減衰用導電パターン５が設けられており、端子部５２間に通電することにより熱光学効果を利用して光信号を減衰させることができる。つまり、本実施形態の光導波路装置は可変光減衰器としての機能を有している。
【００２９】
上記の光導波路装置を製造する方法としては、例えば、クラッド２のコア１よりも下側の部分となる透光性材料の層をゾルゲル法やスピンコーティングによって基板４上に形成する。次に、この層の上にコア１となる層を設けフォトリソグラフィー技術を用いた反応性イオンエッチングを施して不要部位を除去するか、コア１を設けるべき部位にフォトリソグラフィー技術を用いた反応性イオンエッチングや型転写などを用いて溝を形成しこの溝の内部に熱可塑性樹脂を充填した後に固化させることによってコア１を形成する。次に、クラッド２のコア１よりも上側の部分となる層をゾルゲル法やスピンコーティング法によって形成する。次に、クラッド２の上面に、例えば金属薄膜の蒸着によって導電パターン３及び減衰用導電パターン５を形成する。なお、ゾルゲル法、スピンコーティング、フォトリソグラフィー技術、反応性イオンエッチング、並びに型転写については従来周知の技術であるので説明を省略する。
【００３０】
ここで、コア１に用いる材料としては、具体的には例えば石英、サファイア、ＬｉＴａＯ３、ＬｉＮｂＯ３などの無機材料や、例えばアクリル系、エポキシ系、シリコーン系、ポリイミド系などの高分子材料を用いることができる。コア１の材料として、石英のように屈折率が温度に対して正の相関を有する材料を用いた場合には、例えばヒータ部３１をコア１の光軸に交差する方向に長い紡錘形状に形成したり、図３に示すようにクラッド２の上面へのコア１の射影上の狭い範囲に形成することにより、凸レンズ状の屈折率分布をコア１の内部に形成し、光信号を収束する効果を得ることができる。一方、高分子材料は無機材料に比して屈折率の温度依存性が高い（熱光学定数の絶対値が大きい）ため、コア１の材料として高分子材料を用いた場合には、無機材料を用いた場合に比べてヒータ部３１の出力が小さくて済み、消費電力を低減することができる。
【００３１】
上記構成によれば、コア１の入力端又は出力端１２を他の光学素子に対して光学的且つ機械的に結合した後にヒータ部３１の出力を調整することによって、入力端及び出力端１２での光信号の向き、並びに出力端１２での光信号が出力される位置の微調整が可能となるから、光軸の調芯が容易となる。また、導電パターン３は、減衰用導電パターン５と同時に形成することができるから、導電パターン３を有さないものに比べて工程は増加せず、従って製造コストの増大が抑えられている。従って、精度の高い組立装置や熟練した技術や新たな工程の追加を不要として製造コストの増大を避けながらも、光軸の調芯によって過剰損失を低減することができる。
【００３２】
なお、図４に示すように、コア１の出力端１２や入力端の近傍に、他の部位よりも断面形状を大きくした拡径部１３を設けてもよい。図４の拡径部１３は、コア１の光軸方向から見てコア１の他の部位とクラッド２とに重なる形状に形成されており、拡径部１３の周囲にはクラッド２は設けられていない。拡径部１３の材料としては、クラッド２よりも屈折率が高くかつ屈折率が温度に依存する材料であればコア１の他の部位と異なる材料を用いてもよいが、拡径部１３とコア１の他の部位との間での反射等による損失を防ぐためには、拡径部１３をコア１の他の部位と同じ材料で形成することが望ましい。この構成によれば、出力端１２や入力端の面積が広くなることにより、コア１の他の部位の断面よりも広い範囲で光信号を入出力することができるから、光軸の調芯がさらに容易になる。
【００３３】
（実施形態２）
本実施形態の基本構成は実施形態１と同様であるので、共通する部分については同じ符号を付して説明を省略し、異なる部分についてのみ説明する。
【００３４】
本実施形態は、図５に示すように各ヒータ部３１に対してそれぞれ端子部３２を設け、図６に示すようにヒータ部３１を互いに並列に接続するとともに、各ヒータ部３１にそれぞれ可変抵抗ＶＲを直列に接続している。可変電圧電源ＶＥの電圧を調整することにより各ヒータ部３１の出力を同時に調整することができるほか、各可変抵抗ＶＲの抵抗値を個別に調整することにより、各ヒータ部３１への通電量すなわち出力を個別に調整することができるようになっている。つまり、本実施形態では可変電圧電源ＶＥと可変抵抗ＶＲとが出力調整手段である。
【００３５】
上記構成によれば、例えば一方のヒータ部３１の出力を他方のヒータ部３１の出力よりも高くすることによって左右方向（図５の左上―右下方向）の熱勾配及び屈折率勾配をコア１内部に発生させ、光信号を曲げる向きや出力端１２での光信号の出力位置を左右方向にも調整することができるから、実施形態１に比べて更に光軸の調芯が用意となる。
【００３６】
なお、図７に示すようにヒータ部３１をコア１の光軸に沿って入力端１１から出力端１２へ向かってコア１に近付く形状に形成すれば、コア１においてヒータ部３１によって高温になった領域すなわち屈折率が変化した領域がコア１の光軸に沿って入力端１１から出力端１２に向かってコア１の光軸に近付く形状に形成されるから、ヒータ部３１をコア１の光軸に平行に形成する場合に比べて光軸の調芯がさらに容易になる。ここで、図７では減衰用導電パターン５の図示を省略している。
【００３７】
また、図８に示すように、例えばクラッド２の形成前に基板４に金属薄膜を蒸着することにより、クラッド２の上面と同様の導電パターン３をクラッド２の下面に設けてもよい。この構成を採用すれば、上下両方向に光信号を曲げることができるから、光軸の調芯がさらに容易になる。
【００３８】
さらに、図９及び図１０に示すように、ヒータ部３１をコア１の左右に設ければ、左右方向に光信号を曲げやすくなるから、左右方向での光軸のずれを補正しやすくなる。なお、図９及び図１０では左側のヒータ部３１は図示されていないが、ヒータ部３１は左右に対称に設けられている。クラッド２の左右に位置する導電パターン３を形成するには、例えばクラッド２の導電パターン３を設ける部位付近の全面に金属薄膜を形成した後、不要部位をレーザで除去する。
【００３９】
また、図９及び図１０に示す例では、ヒータ部３１近傍においてコア１の左右のクラッド２の肉厚Ｔを小さくすることにより、ヒータ部３１の発熱からコア１内部の屈折率勾配の発生までの時間を短縮し、応答性を向上している。ここで、コア１からの光信号の漏出を防ぐため、コア１とクラッド２との屈折率差並びにコア１内を伝送される光信号の波長及びモードに応じて、クラッド２には一定の肉厚を確保する必要がある。例えば、光信号がシングルモードであって波長が１．５５μｍ、且つクラッド２とコア１との屈折率差が０．３％の場合、クラッド２の肉厚Ｔには５〜１０μｍを確保することが望ましい。
【００４０】
（実施形態３）
本実施形態の基本構成は実施形態１と共通であるので、共通する部分については同じ符号を付して説明を省略し、異なる部分についてのみ説明する。
【００４１】
本実施形態の調芯用の導電パターン６のヒータ部６１は、図１１に示すように、コア１の出力端１２が露出したクラッド２の端面上に設けられ、コア１の出力端１２上に中心を有して出力端１２の全周を囲む円環形状に形成されている。また、導電パターン６の端子部６２は、クラッド１の上面に延設されている。さらに、コア１は、例えば実施形態１で挙げた高分子材料のように、屈折率と温度との相関が負である材料で形成されている。
【００４２】
上記構成によれば、ヒータ部３１への通電時にはコア１内部に凸レンズ状の屈折率分布が生じるから、光信号が収束され、コア１の出力端１２において光信号が出力される範囲の面積が狭くなることにより、光信号が出力される範囲が、光ファイバＦなどの他の光学素子の入力端Ｆ１の範囲内に収まるような位置合わせが容易になる。また、屈折率分布が軸対称となるから、光信号の偏波方向に依存しない安定した効果が得られる。
【００４３】
なお、本実施形態の光導波路装置を例えば光ファイバＦに結合する際に、用いられる接着剤Ｂや光ファイバＦの端部に、屈折率と温度との相関が負である材料を用いれば、接着剤Ｂや光ファイバＦの端部にも凸レンズ状の屈折率分布が生じるから、同じヒータ部６１の出力で光信号をより細く収束して光軸の調芯をより容易とすることができる。又は、同程度の効果を得ながらもヒータ部６１の出力を小さくして消費電力を低減することができる。
【００４４】
（実施形態４）
本実施形態の基本構成は実施形態１と共通であるので、共通する部分については同じ符号を付して説明を省略し、異なる部分についてのみ説明する。
【００４５】
本実施形態は、図１２に示すように、コア１の光軸に直交する断面での断面積を他の部位よりも大きくした拡径部１４をコアの出力端１２の近傍に設け、ヒータ部６１を、拡径部１４の光軸方向での中間部の全周に亙って設けたことを特徴とする。コア１の光軸に直交する断面での拡径部１４の断面形状は、コアの１光軸を中心とする正方形状に形成されている。また、導電パターン６の端子部６２は拡径部１４の左右で露出した基板４の上面に形成されている。ここで、コア１の少なくとも拡径部１４は、屈折率が温度に対して負の相関を有する材料で形成してある。
【００４６】
上記構成によれば、コア１の光軸に沿った方向でのヒータ部６１の両側で、コア１内部に凸レンズ状の屈折率分布が生じ、コア１内部で光信号が収束され、出力端１２で光信号が出力される範囲が狭くなることにより、光軸の調芯が容易になる。
【００４７】
（実施形態５）
本実施形態の基本構成は実施形態１と共通であるので、共通する部分については同じ符号を付して説明を省略し、異なる部分についてのみ説明する。
【００４８】
本実施形態のコア１は、図１３に示すように、屈折率が温度に対して負の相関を有する材料からなり図１３の上下方向にＹ字形に分岐して２個の出力端１２ａ，１２ｂを有し、コア１の入力端１１から入力された光信号を一方の出力端１２ａ，１２ｂに出力する光スイッチ部を備える。光スイッチ部は、熱光学効果によって光信号を一方の出力端に出力するための分岐用導電パターン７ａ，７ｂを備える。分岐用導電パターン７ａ，７ｂは、クラッド２の上面へのコア１の分岐した位置の射影を挟む両側にそれぞれ設けられコア１に沿った線状の分岐用ヒータ部７１ａ，７１ｂと分岐用ヒータ部７１ａ，７１ｂの両端にそれぞれ設けられた端子部７２ａ，７２ｂとを有する。分岐用導電パターン７ａ，ｂのうちの１個の端子部７２ａ，７２ｂ間に通電されたときに熱光学効果によって入力端１１から入力された光信号を一方の出力端１２ａ，１２ｂに出力するようになっている。例えば、図１３の下側の分岐用ヒータ部７１ａに通電された場合、入力端１１から入力された光信号は図１３の上側の出力端１２ａから出力される。また、調芯用の導電パターン３ａ，３ｂのヒータ部３１ａ，３１ｂはコア１の各出力端１２ａ，１２ｂの近傍にそれぞれ設けられている。
【００４９】
図１４に示すように、１個の出力端１２ａ，１２ｂに対応する２個のヒータ部３１ａ，３１ｂは互いに並列に接続され、互いに同じ出力端１２ａ，１２ｂに対応する分岐用ヒータ部７１ａ，７１ｂとヒータ部３１ａ，３１ｂとは互いに直列に接続されている。可変電圧電源ＶＥには、一方の分岐用ヒータ部７１ａ，７１ｂを選択するための切り換えスイッチＳＷの共通端子が接続されている。
【００５０】
上記構成によれば、出力端１２ａ，１２ｂを他の光学素子に光学的且つ機械的に結合した後に、可変電圧電源ＶＥの出力を調節することによって、容易に光軸を調芯することができる。また、導電パターン３ａ，３ｂは分岐用導電パターン７ａ，７ｂと同時に形成することができ、新たに工程を追加する必要がないから、製造コストの増大が抑えられる。つまり、高精度な組立装置や高度な技術や新たな工程の追加を不用として製造コストの増大を避けながらも、光軸の調芯によって過剰損失を低減することができる。
【００５１】
また、互いに同じ出力端１２ａ，１２ｂに対応する分岐用ヒータ部７１ａ，７１ｂとヒータ部３１ａ，３１ｂとが電気的に接続されているから、互いに同じ出力端１２ａ，１２ｂに対応する分岐用ヒータ部７１ａ，７１ｂとヒータ部３１ａ，３１ｂとを同時に動作させることができる。
【００５２】
なお、図１５に示すように、調芯用の導電パターン３ｃを入力端１１側に追加し、図１６に示すように入力端１１側のヒータ部３１ｃと可変電圧電源ＶＲと切り換えスイッチＳＷとを互いに直列に接続し、切り換えスイッチＳＷの一方の接点が閉じたときに入力端１１側のヒータ部３１ｃが動作するようにしてもよい。この構成によれば、光信号をどちらの出力端１２ａ，１２ｂに出力する場合であっても、同時に入力端１１側のヒータ部３１ｃを動作させることができる。
【００５３】
なお、実施形態１〜４は導電パターン３を減衰用導電パターン５又は分岐用導電パターン７ａ，７ｂを形成する時に容易に同じ工程内で形成でき、本発明の効果が大きいが、本発明は実施形態１〜４に記載した可変光減衰器や光スイッチのようにもともとヒータ部を備える光導波路装置だけでなく、光合分波器のようにヒータ部を通常は備えていない光導波路装置にも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の実施形態１を示す斜視図である。
【図２】同上の要部を示す平面図である。
【図３】同上の別の形態の要部を示す平面図である。
【図４】同上の更に別の形態を示す斜視図である。
【図５】本発明の実施形態２を示す斜視図である。
【図６】同上を示す回路図である。
【図７】同上の別の形態を示す平面図である。
【図８】同上の更に別の形態を示す斜視図である。
【図９】同上の別の形態を示す斜視図である。
【図１０】同上を示す右側面図である。
【図１１】本発明の実施形態３を示す斜視図である。
【図１２】本発明の実施形態４を示す斜視図である。
【図１３】本発明の実施形態５を示す平面図である。
【図１４】同上を示す回路図である。
【図１５】同上の別の形態を示す平面図である。
【図１６】同上を示す回路図である。
【符号の説明】
【００５５】
１  コア
２  クラッド
１１  入力端
１２  出力端
３１  ヒータ部
ＶＥ  可変電圧電源
ＶＲ  可変抵抗
【図１】
2005099522.tif 000003
【図２】
2005099522.tif 000004
【図３】
2005099522.tif 000005
【図４】
2005099522.tif 000006
【図５】
2005099522.tif 000007
【図６】
2005099522.tif 000008
【図７】
2005099522.tif 000009
【図８】
2005099522.tif 000010
【図９】
2005099522.tif 000011
【図１０】
2005099522.tif 000012
【図１１】
2005099522.tif 000013
【図１２】
2005099522.tif 000014
【図１３】
2005099522.tif 000015
【図１４】
2005099522.tif 000016
【図１５】
2005099522.tif 000017
【図１６】
2005099522.tif 000018