(57)【要約】 【課題】搬送部材と搬送システムとが接触せず搬送部材を移送させることにより実現する搬送速度の向上【解決手段】搬送システムに支持板、前記支持板上に複数個のエアーノズルを設置し、エアーを噴射または吸収させて、搬送部材が搬送システムと非接触で搬送部材を移送させることにより、搬送システムと搬送部材との間に摩擦が生じず、移送速度が向上する。【選択図】      図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持板と、
前記支持板上に設置され、エアーを噴射または吸入して搬送部材を移送する複数個のエアーノズルと、
を含む、搬送システム。
【請求項２】
前記複数個のエアーノズルは、前記搬送部材の移送方向に沿って設置され、前記搬送部材の下部に位置する、請求項１に記載の搬送システム。
【請求項３】
前記エアーノズルの内部が真空になるように、前記エアーノズルの内部にエアー移動溝が形成されている、請求項２に記載の搬送システム。
【請求項４】
前記複数個のエアーノズルは、前記搬送部材の移送方向と所定の角度をなすように傾斜調節が可能である、請求項３に記載の搬送システム。
【請求項５】
前記複数のエアーノズルは、前記搬送部材の移送方向を含み前記移送部材に垂直な面内において、前記搬送部材の移送方向と所定の角度をなす、請求項４に記載の搬送システム。
【請求項６】
前記複数個のエアーノズルは、前記搬送部材と垂直な面のうち前記搬送部材の移送方向と直角に交わる面において前記搬送部材と所定の角度をなす、請求項４に記載の搬送システム。
【請求項７】
前記複数個のエアーノズル及び前記搬送部材は、所定の間隔隔離されて位置している、請求項４に記載の搬送システム。
【請求項８】
前記複数個のエアーノズルと前記搬送部材との間隔は１０〜３０μmである、請求項７に記載の搬送システム。
【請求項９】
搬送部材が前記搬送部材の移送方向にスライドするように、前記搬送部材の移送方向を含み前記搬送部材に垂直な面内において、前記搬送部材の移送方向と複数個のエアーノズルとがなす所定の角度で前記複数個のエアーノズルがエアーを噴射する段階と、
前記搬送部材が分岐点に到着した場合、前記搬送部材が前記搬送部材の分岐方向にスライドするように、前記複数個のエアーノズルが前記搬送部材の分岐方向に方向を切り換えてエアーを噴射する段階と、
を含む、搬送方法。
【請求項１０】
前記搬送部材が分岐方向にスライドする前に、前記複数個のエアーノズルがエアーを吸入することによって前記搬送部材を停止する段階をさらに含む、請求項９に記載の搬送方法。
【請求項１１】
支持板と、
前記支持板を移送する移送手段と、
前記支持板上に設置され、搬送部材にエアーを噴射または吸入する複数個のエアーノズルと、
を含む、搬送システム。
【請求項１２】
前記移送手段は、
前記支持板に連結されている連結部材と、
前記連結部材がスライド移動するガイドラインと、
を含む、請求項１１に記載の搬送システム。
【請求項１３】
前記エアーノズルの内部が真空になるように前記エアーノズルの内部にエアー移動溝が形成されている、請求項１１に記載の搬送システム。
【請求項１４】
支持板と、
前記支持板を移送する移送手段と、
前記支持板下に設置され、搬送部材にエアーを噴射または吸入する複数個のエアーノズルと、
を含む搬送システム。
【請求項１５】
前記移送手段は、
前記支持板に連結されている連結部材と、
前記連結部材がスライド移動するガイドラインと、
を含む、請求項１４に記載の搬送システム。
【請求項１６】
前記エアーノズルの内部が真空になるように前記エアーノズルの内部にエアー移動溝が形成されている、請求項１４に記載の搬送システム。
【請求項１７】
支持板上に位置した複数個のエアーノズル及び搬送部材を所定の間隔隔離させる段階と、
前記支持板に連結されている移送手段で前記搬送部材を移送する段階と、  
前記搬送部材を回転させる場合には、前記移送手段を回転させる段階と、
を含む、搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は搬送システムに関し、特に大型ガラス基板の搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、搬送システムとは、コンベア（Conveyor）上に搬送部材を載せて駆動モータに連結された駆動ローラを利用してコンベアをスリップさせ搬送部材を移動させるコンベアシステムである。
既存のコンベアシステムは、物品の移送のための動力としてモータを使用し、この動力を伝達すべくモータ１つに複数個の駆動軸をかけて動力を全て与える必要があるため、動力伝達用としてチェーンやギヤ及びベルトなどを使用しているシステムである。しかしながらこのような方法では、チェーンやベルトの切断や磨耗による残滓および粉塵を生じて清潔を要する半導体及び液晶表示装置に悪影響を及ぼすなどの問題点がある。そのためモータを外部に取り出して動力を伝達しているが、ガラス基板が搬送される所とモータが離れているため、作業が難しいほか、装備の構造も複雑になりコストも上がる。
なお、モータ及びコンベアベルトの駆動時に発生する騷音の問題もある。騷音によって作業者や管理者の集中力が低下し、作業効率が低下する。
液晶表示装置の製造過程において、搬送システムを利用して大型ガラス基板を搬送する必要がある。液晶表示装置は、現在最も広く用いられている平板表示装置の１つであって、電界生成電極が形成されている２枚の表示板とその間に注入されている液晶層からなり、電極に電圧を印加し液晶層の液晶分子を再配列させることによって液晶層を通過する光の透過率を調節する表示装置である。
このような液晶表示装置の２枚の表示板は、搬送システムを通じて各製造工程に搬送され、液晶表示装置を完成する。
従来、複数個のガラス基板をカセット（Cassette）、ストーカ（stoker）、及びインデクサ（indexer）を利用して搬送したが、ガラス基板の大型化に伴い、このような搬送手段でガラス基板を移動させるのに問題が発生する。
これを解決するために、各種のコンベア及びロボット、ストーカ（stoker）、ＡＧＶ（Automatic guided vehicles）などの既存の搬送設備を拡大したり、新たな方法としてエアー（Air）及びローラ（Roller）を利用したエアークッション（Air Cushion）コンベアなどが検討、開発されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来の移送方法では、ガラス基盤の大型化に伴う静電気の発生、ガラス基盤とコンベヤーベルトの接触による汚染およびクラック(Crack)等による収率減少が問題となっている。そこで、本発明の目的は、ガラス基板の収率を高めることができる搬送システムの提供にある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
このような目的を達成するために本発明は、支持板と、前記支持板上に設置され、エアーを噴射または吸入して搬送部材を移送する複数個のエアーノズルとを含む搬送システムを用意する。
前記複数個のエアーノズルは、前記搬送部材の移送方向に沿って設置され、前記搬送部材の下部に位置する。また、前記エアーノズルの内部が真空になるように、前記エアーノズルの内部にエアー移動溝が形成されている。
前記複数個のエアーノズルは、前記搬送部材の移送方向と所定の角度をなすように、傾斜の調節が可能である。前記複数個のエアーノズルは、搬送部材の移送方向を含み前記搬送部材に垂直な面内において、前記搬送部材の方向と所定の角度をなす。また、前記複数個のエアーノズルは、前記搬送部材と垂直な面のうち前記搬送部材の移送方向と直角に交わる面において前記搬送部材と所定の角度をなす。
前記複数個のエアーノズル及び前記搬送部材は、所定の間隔隔離されて位置する。また、前記複数個のエアーノズルと前記搬送部材との間隔は、１０乃至３０μmであるのが好ましい。これらにより、搬送部材と搬送システムとの接触がないために摩擦が生じず、移送時間短縮が可能である。
搬送部材が前記搬送部材の移送方向にスライドするように、前記搬送部材の移送方向を含み前記搬送部材に垂直な面内において、前記搬送部材の移送方向と複数個のエアーノズルとがなす所定の角度で前記複数個のエアーノズルがエアーを噴射する段階と、前記搬送部材が分岐点に到着した場合、前記搬送部材が前記搬送部材の分岐方向にスライドするように、前記複数個のエアーノズルが前記搬送部材の分岐方向に方向を切り換えてエアーを噴射する段階とを含む。
また、前記搬送部材が分岐方向にスライドする前に、前記複数個のエアーノズルがエアーを吸入することによって前記搬送部材を停止する段階をさらに含む。
支持板と、前記支持板を移送する移送手段と、前記支持板上に設置され、搬送部材にエアーを噴射または吸入する複数個のエアーノズルとを含む。また、前記移送手段は、前記支持板に連結されている連結部材と、前記連結部材がスライド移動するガイドラインとを含む。さらに、前記エアーノズルの内部が真空になるように前記エアーノズルの内部にエアー移動溝が形成されている。
支持板と、前記支持板を移送する移送手段と、前記支持板下に設置され、搬送部材にエアーを噴射または吸入する複数個のエアーノズルを含む。また、前記移送手段は、前記支持板に連結されている連結部材と、前記連結部材がスライド移動するガイドラインとを含む。さらに、前記エアーノズルの内部が真空になるように前記エアーノズルの内部にエアー移動溝が形成されている。
支持板上に位置した複数個のエアーノズル及び搬送部材を所定の間隔隔離させる段階と、前記支持板に連結されている移送手段へ前記搬送部材を移送する段階と、前記搬送部材を回転させる必要のある場合には、前記移送手段を回転させる段階を含む。これらにより、ガラス基板の回転、分岐、合流がスムーズに行われるため、遅延が緩和される。
【発明の効果】
【０００５】
本発明による搬送システムは、エアーだけを利用してガラス基板を移送するものである。
従ってガラス基板とエアーノズルが非接触でガラス基板を搬送することにより、接触によるクラックの発生やパーティクルおよび化学的汚染などの防止ができ収率の向上が実現する。またガラス基板移送の際に摩擦は生じないため、搬送速度が向上して搬送時間短縮ができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者が容易に実施できるように、本発明の実施例に対して添付した図面を参考にして詳細に説明する。
以下、本発明の実施例による搬送システムについて図面を参照して詳細に説明する。
まず、図１乃至図８を参考にして本発明の好ましい第１実施例による搬送システムについて詳細に説明する。
第１実施例による搬送システムの構成について説明する。
図１は本発明の第１実施例による搬送システムの斜視図であって、ガラス基板が停止した状態を示した図面である。図２は図１に示す搬送システムのII-II´線による断面図である。図３は本発明の第１実施例による搬送システムの斜視図であって、ガラス基板が移送される状態を示した図面である。図４は図３に示す搬送システムのIV-IV´線による断面図である。図５は本発明の第１実施例による搬送システムの斜視図であって、ガラス基板が分岐点で停止した状態を示した図面である。図６a及び図６bは図５に示す搬送システムのVIa-VIa´線及びVIb-VIb´線による断面図である。図７は本発明の第１実施例による搬送システムの斜視図であって、ガラス基板が分岐点から分岐方向に移送される状態を示した図面である。図８は図７に示す搬送システムのVIII-VIII´線による断面図である。
図１乃至図８を参照すれば、本発明の第１実施例による搬送システムは、支持板１０と複数個のエアーノズルを含む。複数個のエアーノズルは、支持板１０上に設置され、エアーを噴射または吸入して搬送部材を移送させる。
支持板１０は搬送部材、即ちガラス基板３０の移送方向に沿って設置されている。要するに、支持板１０は、ガラス基板３０の直進移送方向（A）に沿って設置されており、ガラス基板３０が分岐点で分岐され移送される分岐方向（B）に沿っても設置されている。そして、支持板１０上に設置された複数個のエアーノズル２０は、ガラス基板３０の直進移送方向（A）及び分岐方向（B）に沿って設置されている。そして、ガラス基板３０が移送される時にエアーノズル２０はガラス基板３０の下部に位置する。
複数個のエアーノズル２０及びガラス基板３０は接触せず所定の間隔を維持して位置している。エアーノズル２０はエアーを噴射し、ガラス基板３０がエアーの噴射によって設定された位置から離れることを防止するために、エアーノズル２０の内部を真空にしてガラス基板３０の位置を固定する。
エアーノズル２０の内部を真空にするために、エアーノズル２０の内部にはエアー移動溝２１が形成されている。このようなエアー移動溝２１は所定の形態に形成される。即ち、図１３に示したように、エアー移動溝２１は傾斜していたり螺旋状に形成される。
エアーがエアーノズル２０を通過する場合、エアーはエアーノズル２０内部の壁側に形成された螺旋の溝に沿って急速に流動する。このとき、エアーはエアーノズル２０内部の壁側のみにしか存在しないため、エアーノズル２０内部の中心に近い部分はエアーが流れていない空間となる。つまり、エアーノズル２０内部の溝以外の空間では瞬間的に真空状態となり、エアーを吸入する。
そして、エアーノズル２０を通じて噴射されたエアーは、エアーノズル２０の噴射方向に沿って直線状に噴射されるのではなく、エアーノズル２０の噴射方向に沿って螺旋状に噴射される。つまり、エアーノズル２０内部の溝では、エアーを噴射する。
このように、エアー移動溝２１が内部に形成されているエアーノズル２０は、エアーを噴射および吸入しながらエアーノズル２０とガラス基板３０との所定の間隔を維持し続ける。
また、複数個のエアーノズル２０は、ガラス基板３０を移送するためにガラス基板３０の移送方向と所定の角度をなすように傾斜調節が可能に製作されている。即ち、図３及び図４に示したように、複数個のエアーノズル２０は、ガラス基板３０の移送方向とを含み、ガラス基板３０に垂直な面内において、ガラス基板３０の移動方向と所定の角度θ1をなすことが可能に製作されている。
要するに、ガラス基板３０の前進方向（A）とエアーノズル２０とのなす角θ1が０度〜９０度の範囲の場合には、ガラス基板３０は前に移動する。即ち、エアーノズルはガラス基板３０の前進方向（A）に沿うように、ガラス基板３０に概ね平行な支持板１０と０〜９０度の傾斜角度をなして傾斜している。ガラス基板３０の前進方向（A）とエアーノズル２０とのなす角θ1が９０度〜１８０度の範囲の場合には、ガラス基板３０は後ろに移動する。即ち、エアーノズルはガラス基板３０の前進方向（A）に沿うように、ガラス基板３０に概ね平行な支持板１０と９０〜１８０度の傾斜角度をなして傾斜している。
また、エアーノズル２０を通じて噴射されるエアーの圧力及び方向を調節することによってガラス基板３０の移送速度を調節することができる。この場合にも、複数個のエアーノズル２０とガラス基板３０とは接触しないので、搬送速度が向上し騷音などの問題が発生しない。このようなエアーノズル２０とガラス基板３０との間隔は１０〜３０μmであるのが好ましい。
複数個のエアーノズル２０は、ガラス基板３０に垂直な面のうちガラス基板３０の移送方向と直角に交わる面においてガラス基板３０と所定の角度θ２をなすことが可能に製作されている。即ち、図７及び図８に示したように、ガラス基板３０が分岐点に到達した場合には、分岐方向（B）にガラス基板３０を移送するために複数個のエアーノズル２０の方向を分岐方向（B）へ切り換える。ガラス基板３０の分岐方向（B）とのなす角度θ２が０度〜９０度の傾斜をなすようにエアーノズル２０の方向を切り換えることによってガラス基板３０が分岐方向（B）へ移送される。つまり、エアーノズル２０は分岐方向（B）に沿うように０〜９０度の傾斜角度をなして傾斜する。
前記のような構成の本発明の第一実施例による搬送システムの動作について説明する。まず、図１及び図２に示したように、複数個のエアーノズル２０はエアーを噴射することによってガラス基板３０をエアーノズル２０と接触させず停止させる。
次に、図３及び図４に示したように、複数個のエアーノズル２０はガラス基板３０の前進方向（A）と所定の角度θ1をなしてエアーを噴射する。したがって、ガラス基板３０は直進方向（A）にスライドしながら移送される。
本発明の第１実施例では、別途の駆動モータ及び駆動ローラが要らない。よって、動力軸間の連結の役目を担うギヤ、動力伝達の媒体であるチェーン及びベルトなどを使用しないため、装備の構造が簡単であり搬送設備に対するコストが削減でき、かつモータの回転および動力伝達を行っているギヤ等からの騒音も減少する。また、ガラス基板３０とエアーノズル２０とが非接触でガラス基板３０を搬送することにより、接触によるクラックの発生やパーティクルおよび化学的汚染などの防止ができ収率の向上が実現する。
次に、図５、図６a及び図６bに示したように、ガラス基板３０が分岐点に到着した場合、複数のエアーノズル２０はエアーを吸入してガラス基板３０を停止させる。この時、別途の停止ピン４０を同時に利用してガラス基板３０を停止させるのが好ましい。
次に、図７及び図８に示したように、ガラス基板３０が分岐点に到着し停止した後、複数個のエアーノズル２０はガラス基板３０の分岐方向（B）へと方向を切り換えてエアーを噴射する。その結果、ガラス基板３０は分岐方向（B）にスライドして移送される。エアーノズル２０の方向を変えることだけでガラス基板３０を分岐できるので、分岐のための特別なフィーダーを必要とせず、分岐点で搬送速度が遅くなる問題を解決することができる。
よって、エアーだけでガラス基板３０を移送し、ガラス基板３０を回転させて移送方向を切り替える場合、ガラス基板３０の回転、分岐、合流およびバッファーリングの際に生じる搬送時間の遅延が緩和できる。
次に、本発明の第２実施例による搬送システムについて説明する。
まず、本発明の第２実施例による搬送システムの構成について詳細に説明する。
図９に、本発明の第２実施例による搬送システムの斜視図を示す。図１０に、図９の搬送システムの側面図を示す。ここで、既に示した図面と同一参照符号は同じ機能をもつ同一部材を指す。
図９及び図１０に示したように、本発明の第２実施例による搬送システムは、支持板１０と、支持板１０とを移送する移送手段５０を含む。移送手段５０は、支持板１０の下部と連結されている連結部材５１と、連結部材５１がスライド移動するガイドライン５２とを含む。
そして、支持板１０上には複数個のエアーノズル２０が設置されており、このような複数個のエアーノズル２０はガラス基板３０にエアーを噴射または吸入し、エアーノズル２０がガラス基板３０と所定間隔を維持している。即ち、複数のエアーノズル２０及びガラス基板３０は接触せず所定の間隔を維持して位置している。このため、エアーノズル２０はエアーを噴射し、ガラス基板３０がエアーの噴射によって所定間隔を維持している位置から離れることを防止するために、エアーノズル２０の内部を真空にしてガラス基板３０の位置を固定する。
また、エアーノズル２０の内部を真空にするために、エアーノズル２０の内部にはエアー移動溝２１が形成されている。このようなエアー移動溝２１は所定の形態に形成される。即ち、図１３に示したように、エアー移動溝は傾斜していたり螺旋状に形成される。
エアーがエアーノズル２０内部を通過する場合、エアーはエアーノズル２０内部の壁側に形成された螺旋の溝に沿って急速に流動する。このとき、エアーはエアーノズル２０内部の壁側のみにしか存在しないため、エアーノズル２０内部の中心に近い部分はエアーが流れていない空間となる。つまり、エアーノズル２０内部の溝以外の空間では瞬間的に真空状態となり、エアーを吸入する。
そして、エアーノズル２０内部を通じて噴射されたエアーは、エアーノズル２０の噴射方向に沿って直線状に噴射されるのではなく、エアーノズル２０の噴射方向に沿って螺旋状に噴射される。つまり、エアーノズル２０内部の溝では、エアーを噴射する。
このように、エアー移動溝２１が内部に形成されているエアーノズル２０は、エアーを噴射および吸入しながらエアーノズル２０とガラス基板３０との所定の間隔を維持し続ける。このとき、支持板１０がガイドライン５２に沿って移動すると、支持板１０上に設置されたエアーノズル２０と所定の間隔を保っているガラス基板３０も共に動く。
前記のような構成の本発明の第２実施例による搬送システムの動作について説明する。まず、支持板１０上に位置した複数個のエアーノズル２０及びガラス基板３０を所定の間隔隔離させる。
次に、支持板１０に連結されている移送手段５０によってガラス基板３０を移送する。したがって、ガラス基板３０上に形成される液晶表示装置のパターン部と接触せずガラス基板３０を搬送することが可能であり、摩擦力による力の損失がなく、搬送速度が向上して搬送時間短縮ができ、騒音も発生しない。また、クラックなども発生しないため化学的汚染の防止ができ、結果収率につながる。
また、ガラス基板３０を回転させて他の方向に移送する場合には、移送手段５０を回転させガラス基板３０を回転させることで他の方向に移送する。したがってガラス基板３０の回転による搬送時間が短縮できる。
次に、本発明の第３実施例による搬送システムについて説明する。ガラス基板３０を上方から持ち上げて搬送する方法である。
先ずは、本発明の第３実施例による搬送システムの構成について詳細に説明する。
図１１に本発明の第３実施例による搬送システムの斜視図を示す。図１２は、図１１に示す搬送システムの側面図を示す。ここで、既に示した図面と同一参照符号は同じ機能をもつ同一部材を指す。
図１１及び図１２に示したように、本発明の第３実施例による搬送システムは、支持板１０と、支持板１０を移送させる移送手段５０とを含む。移送手段５０は、支持板１０の下部と連結されている連結部材５１と、連結部材５１がスリップ移動するガイドライン５２とを含む。
そして、支持板１０下には複数個のエアーノズル２０が設置されている。この複数個のエアーノズル２０は、ガラス基板３０にエアーを噴射または吸入してガラス基板３０と所定の間隔を維持している。即ち、複数個のエアーノズル２０及びガラス基板３０は接触せず所定の間隔を維持して位置している。このためエアーノズル２０はエアーを噴射し、ガラス基板３０がエアーの噴射によって所定間隔を維持している位置から離れることを防止するために、エアーノズル２０の内部を真空にしてガラス基板３０の位置を固定する。
エアーノズル２０の内部を真空にするために、エアーノズル２０の内部にはエアー移動溝２１が形成されている。このようなエアー移動溝２１は所定の形態に形成される。即ち、図１３に示したように、エアー移動溝は傾斜していたり螺旋状に形成することができる。
エアーがエアーノズル２０内部を通過する場合、エアーはエアーノズル２０内部の壁側に形成された螺旋の溝に沿って急速に流動する。このとき、エアーはエアーノズル２０内部の壁側のみにしか存在しないため、エアーノズル２０内部の中心に近い部分はエアーが流れていない空間となる。つまり、エアーノズル２０内部の溝以外の空間では瞬間的に真空状態となり、エアーを吸入する。
そして、エアーノズル２０を通じて噴射されたエアーは、エアーノズル２０の噴射方向に沿って直線状に噴射されるのではなく、エアーノズル２０の噴射方向に沿って螺旋状に噴射される。つまり、エアーノズル２０内部の溝では、エアーを噴射する。
このように、エアー移動溝２１が内部に形成されているエアーノズル２０は、エアーを噴射および吸入しながらエアーノズル２０とガラス基板３０との所定の間隔を維持し続ける。このとき、支持板１０がガイドライン５２に沿って移動すると、支持板１０上に設置されたエアーノズル２０に固定されているガラス基板３０も共に動く。
前記した構成の本発明の第３実施例による搬送システムの動作を説明する。まず、支持板１０下に位置した複数個のエアーノズル２０及びガラス基板３０を所定の間隔隔離させる。
次に、支持板１０に連結されている移送手段５０によってガラス基板３０を移送する。また、ガラス基板３０を回転させて他の方向に移送する場合には、移送手段５０を回転させることによりガラス基板３０も回転させて他の方向に移送する。
本発明の搬送システムは、モータやギヤ、チェーン等を使用しないためローコスト化が実現でき、騒音も発生しない。また、ガラス基板３０は非接触で搬送されるため、クラックやパーティクル、化学的汚染を防止できる。さらには移送方向を切り替える場合もスムーズであり、回転、分岐、合流に生じる移送時間の遅延がなく、かつ搬送時間短縮が可能である。
以上、添付した図面に示された一実施例を参考にして説明したが、これは例示的なものに過ぎず、該当技術分野における通常の知識を有する者であれば本発明に基づいて様々な変形及び均等な他の実施例が可能であることを理解することができる。したがって、本発明の真の技術的保護範囲は添付された特許請求の範囲によって決められなければならない。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の第１実施例による搬送システムの斜視図であって、ガラス基板が停止した状態を示した図面
【図２】図１に示す搬送システムのII-II´線による断面図
【図３】本発明の第１実施例による搬送システムの斜視図であって、ガラス基板が移送される状態を示した図面
【図４】図３に示す搬送システムのIV-IV´線による断面図
【図５】本発明の第１実施例による搬送システムの斜視図であって、ガラス基板が分岐点で停止した状態を示した図面
【図６ａ】図５に示す搬送システムのVIa-VIa´線による断面図
【図６ｂ】図５に示す搬送システムのVIb-VIb´線による断面図
【図７】本発明の第１実施例による搬送システムの斜視図であって、ガラス基板が分岐点から分岐方向に移送される状態を示した図面
【図８】図７に示す搬送システムのVIII-VIII´線による断面図
【図９】本発明の第２実施例による搬送システムの斜視図
【図１０】図９に示す搬送システムの側面図
【図１１】本発明の第３実施例による搬送システムの斜視図
【図１２】図１１に示す搬送システムの側面図
【図１３】エアーノズルの内部のエアー移動溝の一実施例
【符号の説明】
【０００８】
１０  支持板
２０  エアーノズル
３０  ガラス基板
４０  停止ピン
５０  移送手段
【図１】
2005067899.tif 000003
【図２】
2005067899.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６ａ】
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【図６ｂ】
2005067899.tif 000009
【図７】
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【図８】
2005067899.tif 000011
【図９】
2005067899.tif 000012
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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