(57)【要約】【課題】  推進力付与手段の構成を簡素なものとして推進力付与手段の重量を軽くすることのできる搬送装置を提供する。【解決手段】  搬送物２の下面に向けて清浄空気を供給して、搬送物２を水平姿勢又は略水平姿勢で非接触状態に支持する送風式支持手段３と、その送風式支持手段３にて支持される搬送物２に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段４とを備え、推進力付与手段４を、搬送物２における搬送方向と直交する横幅方向の一端側２ｂに対して推進力を付与する片側駆動式に構成する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送物の下面に向けて清浄空気を供給して、前記搬送物を水平姿勢又は略水平姿勢で非接触状態に支持する送風式支持手段と、その送風式支持手段にて支持される前記搬送物に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段とが備えられている搬送装置であって、
前記推進力付与手段が、前記搬送物における前記搬送方向と直交する横幅方向の一端側に対して推進力を付与する片側駆動式に構成されている搬送装置。
【請求項２】
前記搬送物における推進力が付与される一端側の側面に接当して、前記横幅方向に移動する搬送物を受け止める受け止め部が備えられ、
前記送風式支持手段が、前記搬送物を前記推進力付与手段にて推進力が付与される一端側よりも前記横幅方向の他端側が上方に位置するように傾けた姿勢で支持するように構成されている請求項１記載の搬送装置。
【請求項３】
前記送風式支持手段が、前記搬送方向視にて、前記横幅方向に沿って設けられる清浄空気供給部を前記推進力付与手段にて推進力が付与される一端側に対応する側ほど下方に位置させるように設けて、前記搬送物を前記傾けた姿勢で支持するように構成されている請求項２記載の搬送装置。
【請求項４】
前記送風式支持手段が、前記横幅方向に沿って設けられる清浄空気供給部を、前記推進力付与手段にて推進力が付与される一端側より前記横幅方向の他端側の方が清浄空気を多く供給するように設けて、前記搬送物を前記傾けた姿勢で支持するように構成されている請求項２記載の搬送装置。
【請求項５】
前記搬送物における前記推進力付与手段にて推進力が付与される一端側とは横幅方向において反対側の側面に接当して、前記搬送物の横幅方向への移動を規制する規制部が備えられている請求項１〜４のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項６】
前記規制部が、前記横幅方向に位置調節可能に構成されている請求項５記載の搬送装置。
【請求項７】
前記推進力付与手段が、前記搬送物の下面を接触支持して推進力を付与する接触式の駆動部を備えて構成されている請求項１〜６のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項８】
前記駆動部が、前記受け止め部を備えて構成されている請求項７記載の搬送装置。
【請求項９】
前記送風式支持手段が、塵埃を除去する除塵フィルタと、その除塵フィルタを通して前記搬送物の下面に向けて清浄空気を供給する送風手段とを一体的に組み付けた送風ユニットを、前記搬送方向に並べて構成されている請求項１〜８のいずれか１項に記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送物の下面に向けて清浄空気を供給して、前記搬送物を水平姿勢又は略水平姿勢で非接触状態に支持する送風式支持手段と、その送風式支持手段にて支持される前記搬送物に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段とが備えられている搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
かかる搬送装置は、搬送装置は、液晶用のガラス基板などの搬送物を搬送するためのものであり、送風式支持手段にて非接触状態で支持されている搬送物に対して、推進力付与手段にて推進力を付与することにより、搬送物を搬送するものである。
【０００３】
そして、従来の搬送装置では、推進力付与手段を、搬送物における搬送方向と直交する横幅方向の両端側に対して推進力を付与する両側駆動式に構成し、水平姿勢又は略水平姿勢で搬送物を搬送するように構成していた（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−３２１８２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記特許文献１における搬送装置では、推進力付与手段が、搬送物における搬送方向と直交する横幅方向の両端側に対して推進力を付与する両側駆動式に構成されており、搬送方向と直交する横幅方向の一端側と他端側との両側に対して推力を付与する構成であり、推進力付与手段に、搬送物の横幅方向での一端側に推進力を付与する機構と一端側の横幅方向での反対側の他端側に推進力を付与する機構との一対の機構を備える必要があったり、その一対の機構の一方から他方に動力を伝達する機構が必要であったりして、推進力付与手段の構成が複雑なものとなり、推進力付与手段の重量が重いものとなっていた。
【０００６】
本発明の目的は、推進力付与手段の構成を簡素なものとして推進力付与手段の重量を軽くすることのできる搬送装置を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本願発明の搬送装置は、搬送物の下面に向けて清浄空気を供給して、前記搬送物を水平姿勢又は略水平姿勢で非接触状態に支持する送風式支持手段と、その送風式支持手段にて支持される前記搬送物に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段とが備えられている搬送装置であって、
第１特徴構成は、前記推進力付与手段が、前記搬送物における前記搬送方向と直交する横幅方向の一端側に対して推進力を付与する片側駆動式に構成されている点を特徴とする。
【０００８】
すなわち、推進力付与手段が、送風式支持手段にて非接触状態で支持されている搬送物に対して、搬送物における搬送方向と直交する横幅方向の一端側に対して推進力を付与する片側駆動式に構成されているので、推進力付与手段としては、搬送物における横幅方向における一端側に対して推進力を付与する構成でよく、前記一端側の横幅方向での反対側の他端側に推進力を付与する必要がない。従って、前記一端側の横幅方向での反対側の他端側に推進力を付与する機構を備える必要があったり、その機構に対して動力を伝達する必要がなかったりするので、推進力付与手段の構成を簡素なものとして推進力付与手段の重量を軽くすることのできる搬送装置を提供できるに至った。
【０００９】
第２特徴構成は、上記第１特徴構成に加えて、前記搬送物における推進力が付与される一端側の側面に接当して、前記横幅方向に移動する搬送物を受け止める受け止め部が備えられ、前記送風式支持手段が、前記搬送物を前記推進力付与手段にて推進力が付与される一端側よりも前記横幅方向の他端側が上方に位置するように傾けた姿勢で支持するように構成されている点を特徴とする。
【００１０】
すなわち、送風式支持手段は、搬送物を前記推進力付与手段にて推進力が付与される一端側よりも横幅方向の他端側が上方に位置するように傾けた姿勢で支持するため、搬送物は、搬送物の自重によって斜め下方に推進力が付与されて搬送物の傾きに沿って移動しようとするが、その搬送物の斜め下方への移動を、受け止め部が搬送物の側面に接当することにより受け止めることができる。
【００１１】
従って、搬送物の横幅方向での一方側への移動を受け止め部にて規制することができ、搬送物の横幅方向の他端側への移動を搬送物の自重によって移動しにくくすることができるので、搬送物を搬送する際に搬送物が横幅方向にずれてしまったり、傾いたりする可能性が少なくなり、搬送物を円滑に搬送することができる。
【００１２】
第３特徴構成は、上記第２特徴構成に加えて、前記送風式支持手段が、前記搬送方向視にて、前記横幅方向に沿って設けられる清浄空気供給部を前記推進力付与手段にて推進力が付与される一端側に対応する側ほど下方に位置させるように設けて、前記搬送物を前記傾けた姿勢で支持するように構成されている点を特徴とする。
【００１３】
すなわち、送風式支持手段における横幅方向に沿って設けられる清浄空気供給部を、前記搬送方向視にて推進力付与手段にて推進力を付与される一端側に対応する側ほど下方に位置させるように設けて、搬送物を前記推進力付与手段にて推進力が付与される一端側よりも横幅方向の他端側が上方に位置するように傾けた姿勢で支持する構成であるので、送風式支持手段全体を前記搬送方向視にて前記推進力付与手段にて推進力を付与される一端側に対応する側ほど下方に位置させるように設けて、搬送物を傾けた姿勢で支持する等、送風式支持機構の構成を変更することなく搬送物を傾けた姿勢で支持することができるので、搬送物を傾けた姿勢に支持する構成としやすい搬送装置を提供できるに至った。
【００１４】
第４特徴構成は、上記第２特徴構成に加えて、前記送風式支持手段が、前記横幅方向に沿って設けられる清浄空気供給部を、前記推進力付与手段にて推進力が付与される一端側より前記横幅方向の他端側の方が清浄空気を多く供給するように設けて、前記搬送物を前記傾けた姿勢で支持するように構成されている点を特徴とする。
【００１５】
すなわち、送風式支持手段における送風式支持手段を、横幅方向に沿って設けられる清浄空気供給部を、推進力付与手段にて推進力が付与される一端側より前記横幅方向の他端側の方が清浄空気を多く供給するように設けて、搬送物を前記推進力付与手段にて推進力が付与される一端側よりも横幅方向の他端側が上方に位置するように傾けた姿勢で支持する構成であるので、横幅方向に並べて備えた送風ファンの推進力付与手段にて推進力が付与される一端側より前記横幅方向の他端側の方の回転数を高くする等により、送風式支持手段の姿勢を代えずに、また、送風式支持手段の構成を殆ど変えることなく、搬送物を傾けた姿勢に支持することができるので、送風装置を搬送物を傾けた姿勢に支持する構成に変更しやすい。
【００１６】
第５特徴構成は、上記第１〜４特徴構成のいずれか１つに加えて、前記搬送物における前記推進力付与手段にて推進力が付与される一端側とは横幅方向において反対側の側面に接当して、前記搬送物の横幅方向への移動を規制する規制部が備えられている点を特徴とする。
【００１７】
すなわち、規制部により、搬送物が横幅方向の推進力付与手段から離れる側に移動するのを規制することができるので、搬送物をより安定した状態で搬送することができる。
【００１８】
第６特徴構成は、上記第５特徴構成に加えて、前記規制部が、前記横幅方向に位置調節可能に構成されている点を特徴とする。
【００１９】
すなわち、搬送物の横幅方向の大きさに応じて、規制部を横幅方向に位置調節することによって、搬送物の横幅方向での大きさが大きくなると規制部が邪魔となって搬送物を搬送することができなくなったり、搬送物の横幅方向での大きさが小さくなると規制部と搬送物の側面との間隔が大きくなって搬送物の横幅方向への規制を十分に行えなかったりすることがなくなり、横幅方向の大きさが異なるさまざまなサイズの搬送物に対して円滑に搬送することができる。
【００２０】
第７特徴構成は、上記第１〜６特徴構成のいずれか１つに加えて、前記推進力付与手段が、前記搬送物の下面を接触支持して推進力を付与する接触式の駆動部を備えて構成されている点を特徴とする。
【００２１】
すなわち、推進力付与手段における接触式の駆動部にて、搬送物の下面を支持しながら推進力を付与するものであるため、送風式支持手段との協同によって搬送物を支持することによって搬送物をより安定した状態で支持することができ、また、搬送物の厚さ方向の自重により搬送物の裏面が駆動部に押し付けられるので摩擦力が高まり、搬送物に対する推進力の付与も確実に行うことができて、搬送物を円滑に搬送することができる。
【００２２】
第８特徴構成は、上記第７特徴構成に加えて、前記駆動部が、前記受け止め部を備えて構成されている点を特徴とする。
【００２３】
すなわち、受け止め部は駆動部に備えられているので、受け止め部を別途設ける必要がなくなり、それほど搬送装置の構成を複雑化させずに受け止め部を備えることができ、また、搬送物の厚さ方向の自重により搬送物の裏面が駆動部に押し付けられ、搬送物の横幅方向の自重により搬送物の側面が駆動部に押し付けられるので摩擦力がさらに高まり、搬送物に対する推進力の付与もより確実に行うことができて、搬送物を円滑に搬送することができる。
【００２４】
第９特徴構成は、上記第１〜８特徴構成に加えて、前記送風式支持手段が、塵埃を除去する除塵フィルタと、その除塵フィルタを通して前記搬送物の下面に向けて清浄空気を供給する送風手段とを一体的に組み付けた送風ユニットを、前記搬送方向に並べて構成されている点を特徴とする。
【００２５】
従って、送風装置と除塵フィルタとを一体的に組み付けた送風ユニットを搬送物の搬送方向に並べて備えるだけで、搬送される搬送物の下面に向けて清浄空気を供給して搬送物を非接触状態で支持する送風式支持手段を設置することができるので、送風式支持手段の設置が簡単なものとなり、もって、製作の容易化を図ることができる搬送装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
【００２７】
〔実施の形態１〕
図１に示すように、搬送装置Ｈは、上下２段の搬送ユニット１を、搬送物としてのガラス基板２の搬送方向に並べて使用するものであり、搬送上手側に位置する搬送ユニット１に移載されたガラス基板２を搬送下手側に位置する搬送ユニット１に搬送すべく、送風式支持手段３で支持しながら、推進力付与手段４にて推進力を付与して搬送上手側から搬送下手側に向けて搬送するものである。尚、他の箇所から搬送上手側に位置する搬送ユニット１へのガラス基板２の移載や搬送下手側に位置する搬送ユニット１から他の箇所への移載は、図示しない移載機にて行われる。また、上側の搬送ユニット１は、搬送方向に沿う横軸芯Ｐ周りに揺動自在に構成されている。
【００２８】
ちなみに、上側の搬送ユニット１と下側の搬送ユニット１とにおける搬送方向については、同方向でも逆方向でもよく、適宜変更が可能である。つまり、例えば、上側の搬送ユニット１と下側の搬送ユニット１との搬送方向を同方向として、上側の搬送ユニット１と下側の搬送ユニット１とで同じ工程を行ったり、下側の搬送ユニット１の搬送方向を上側の搬送ユニット１の搬送方向とは逆方向として、上側の搬送ユニット１にて搬送したガラス基板２が不良であった場合に、下側の搬送ユニット１にて搬送元に戻したりすることができる。
【００２９】
図２、図３に示すように、搬送ユニット１のそれぞれには、ガラス基板２の下面２ａに向けて清浄空気を供給して、ガラス基板２を略水平姿勢で非接触状態に支持する送風式支持手段３と、その送風式支持手段３にて支持されるガラス基板２に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段４と、これら送風式支持手段３並びに推進力付与手段４を収納するケース体７とを備えて構成されている。そして、推進力付与手段４は、ガラス基板２における搬送方向と直交する横幅方向の一端側に対して推進力を付与する片側駆動式に構成されている。以後、このガラス基板２における搬送方向と直交する横幅方向の一端側を推進一端側２ｂと称する。
【００３０】
図２に示すように、前記ケース体７は、送風式支持手段３を載置支持する平面視が略長方形のユニット用枠体９と、ユニット用枠体９の横幅方向の一端側に搬送方向に沿って備えた収納フレーム８と、その一端側とは反対側の他端側に連結して搬送方向に沿って備えたケース側壁１０と、収納フレーム８の上端部からケース側壁１０の上端部にわたって備えた搬送カバー２０とを備えて構成されている。図４に示すように、前記収納フレーム８は、搬送方向視で角筒状に構成されており、ユニット用枠体９と連結する内壁８ａ側とは反対側は開閉可能な収納カバー８ｃにて構成されている。そして、ユニット用枠体９と収納フレーム８とケース側壁１０と搬送カバー２０とによって搬送空間Ａが形成されており、収納フレーム８内に収納空間Ｂが形成されている。また、前記ユニット用枠体９は、フレーム部材を組み付けた支持枠部分９ａと、その支持枠部分９ａより下方に位置して、外部空気を搬送空間Ａ内に導入する空気導入口１１を備えた板状の板状枠部分９ｂとで構成されている。収納フレーム８の下壁８ｂには、収納空間Ｂの空気を外部に排出する外部排出口２１を備えるとともに、この外部排出口２１を閉塞するように、送風機能と除塵機能とを有するサブ送風ユニット２３が備えられており、このサブ送風ユニット２３にて収納空間Ｂ内の空気が外部に排出されるように構成されている。
【００３１】
図２に示すように、前記ケース体７は、搬送方向視にて収納フレーム８を備えている側ほど下方に位置するように、傾斜用支持部材１９にて傾斜状態に支持されている。そして、ケース体７が傾斜状態で支持されることにより、送風式支持手段３も傾斜姿勢でユニット用枠体９に支持されている。尚、図２では、搬送ユニット１の傾きをわかりやすくするために、送風式支持手段３を含めた搬送ユニット１全体を、搬送方向視で収納フレーム８を備えている側ほど下方に位置するように５°傾けて図示したが、本願発明を実施する際には、搬送ユニット１の傾きは０．５°程度のわずかな傾きで良い。
【００３２】
前記搬送空間Ａ及び前記収納空間Ｂは、搬送方向に並べて設けた搬送上手側の搬送ユニット１と搬送下手側の搬送ユニット１とで互いに連通しており、搬送装置Ｈにおける最も搬送上手側に位置する搬送ユニット１は、搬送空間Ａ及び収納空間Ｂの搬送上手側端部が図示しない閉塞部材にて閉塞され、最も搬送下手側に位置する搬送ユニット１は、搬送空間Ａ及び収納空間Ｂの搬送下手側端部が閉塞部材にて閉塞されている。従って、搬送空間Ａは、ユニット用枠体１５と前記収納フレーム８の内壁８ａと搬送カバー２０と閉塞部材とによって略密閉状態に形成され、収納空間Ｂは、収納フレーム８と閉塞部材とによって略密閉状態に形成されている。
【００３３】
図２に示すように、前記送風式支持手段３は、搬送空間Ａに設けられており、塵埃を除去する除塵フィルタ１２と、その除塵フィルタ１２を通してガラス基板２の下面に向けて清浄空気を供給する送風手段としての送風ファン１３とを一体的に組み付けたファンフィルタユニット１４を、搬送方向と搬送方向に直交する横幅方向とに並べて構成されている。そして、図６に示すように、横幅方向に２つ並べたファンフィルタユニット１４を搬送方向に３列並べられており、送風式支持手段３には計６つのファンフィルタユニット１４が備えられている。
【００３４】
前記送風式支持手段３について詳述すると、図３、図４に示すように、前記ファンフィルタユニット１４が、１つの送風ファン１３と、この１つの送風ファン１３の上方を覆う１つの除塵フィルタ１２とを一体的に組み付けて構成されており、そのファンフィルタユニット１４の上部側に位置されて前記ガラス基板２の下面２ａに供給される清浄空気の整風を行う清浄空気供給部としての整風板１５が、図１、図６に示すように、６つのファンフィルタユニット１４の上方を覆うように備えられている。つまり、送風式支持手段３は、６つのファンフィルタユニット１４と１つの整風板１５とで構成されている。尚、送風ファン１３は、この送風ファン１３に備えた電動モータによりファンが回転駆動する電動式に構成されており、整風板１５には、ファンフィルタユニットの真上に位置する箇所にパンチングにより形成された通気孔１５ａが備えられている。また、送風式支持手段３に備えられる６つの送風ファンが同等の回転速度で駆動するように構成されており、整風板１５を通過してガラス基板２の裏面２ａに供給される清浄空気の量が搬送方向においても横幅方向においても略同量の清浄空気を供給するように送風式支持手段３が構成されている。
【００３５】
そして、上記したように、前記搬送ユニット１を、搬送方向視で収納フレーム８を備えている側ほど下方に位置するような傾斜状態で支持することにより、その搬送ユニット１における送風式支持手段３は、搬送方向視にて、ガラス基板２の推進一端側２ｂに対応する側ほど下方に位置させるように設けられている。よって、図２〜図４に示すように、送風式支持手段３に横幅方向に沿って設けられる整風板１５も、搬送方向視にて、ガラス基板２の推進一端側２ｂに対応する側ほど下方に位置させるように設けられている。
【００３６】
次に、前記推進力付与手段４について説明する。図２に示すように、前記ガラス基板２に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段４は、ガラス基板２の推進一端側２ｂに対して推進力を付与する片側駆動式に構成されており、推進力付与手段４には、ガラス基板２の下面２ａを接触支持して推進力を付与する接触式の駆動部としての駆動ローラ２４が備えられている。そして、この駆動ローラ２４には、図４、図９に示すように、ガラス基板２の推進一端側２ｂの側面に接当して、横幅方向に移動するガラス基板２を受け止める受け止め部としての大径部２４ａが備えられている。
【００３７】
推進力付与機構４について詳述すると、図４、図８、図９、図１０に示すように、電動モータ２５と、この電動モータ２５の出力ギヤと噛み合う平歯車２８を備えた伝動軸２７と、伝動軸２７に備えられた出力ギヤ２９と噛み合う入力ギヤ３０を備えた多数の出力軸２６とを備えて構成されている。そして、伝動モータ２５及び伝動軸２７は前記搬送空間Ｂ内に配備されており、前記出力軸２６は、収納空間Ｂ側並びに搬送空間Ａ側にそれぞれ突出する状態で前記内壁８ａに回転自在に支持されている。出力軸２６の収納空間Ｂに突出する部分には前記入力ギヤ３０が備えられており、出力軸２６の搬送空間Ａに突出する部分には前記駆動ローラ２４が備えられている。
【００３８】
従って、送風式支持手段３にて、送風ファン１３の送風作用により、送風ファン１３の下方から吸引した空気を、除塵フィルタ１２を通り、整風板１６の通気孔１６ａを通って清浄空気としてガラス基板２の下面２ａに供給し、その供給した清浄空気にてガラス基板２の下面２ａの略全域が支持されている。また、推進力付与手段４にて、ガラス基板２の推進一端側２ｂの下面が駆動ローラ２４にて接触支持されている。そして、そのガラス基板２を接触支持している駆動ローラ２４が電動モータ２５にて駆動回転されることによって、推進一端側２ｂに対して搬送方向への推進力が付与されてガラス基板２が搬送される。
【００３９】
そして、搬送方向においても横幅方向においても整風板１５から略同量の清浄空気がガラス基板２の下面２ａに供給されて、ガラス基板２は整風板１５に対して略一定の間隔をもって支持されることとなる。よって、整風板１５がガラス基板２の推進一端側２ｂに対応する側ほど下方に位置させるように設けられているので、ガラス基板２も推進一端側２ｂよりも他端側２ｃが上方に位置するように傾けた姿勢で支持されている。尚、この傾けた姿勢のガラス基板２は、０．５°程度のわずかな傾きであり、略水平姿勢に含まれる。
従って、ガラス基板２は傾けた姿勢で支持することにより、ガラス基板２の自重により横幅方向における傾斜下方側となる推進力付与手段４を備えた側に移動しようとするが、そのガラス基板２の移動は駆動ローラ２４の大径部２４ａにて受け止められる。よって、ガラス基板２の横幅方向の一方側への移動は駆動ローラ２４の大径部２４ａにて規制され、ガラス基板２の横幅方向の他端側へはガラス基板２の自重によって移動しにくくなるので、搬送終了時にガラス基板を制動させる際等に、ガラス基板が横幅方向にずれてしまったり搬送方向に対して姿勢が斜めになってしまったりすることを防ぐことができる。また、ガラス基板２の自重によってガラス基板２が駆動ローラ２４に押し付けられるので、駆動ローラが空回りする可能性が少ない状態でガラス基板２を搬送することができる。
【００４０】
〔実施の形態２〕
上記実施の形態１では、送風式支持手段３にてガラス基板２を傾けた姿勢で支持し、駆動ローラ２４に大径部２４ａを備えることにより、ガラス基板２が横幅方向へ移動することを防止したが、次のように構成して、送風式支持手段３にて水平姿勢で支持したガラス基板２の横幅方向への移動を防止するように構成してもよい。尚、実施の形態１と同様に構成されるものについては、実施の形態１と同じ符号を付け、説明は省略する。
【００４１】
つまり、図１０に示すように、ケース体７が、搬送方向視で水平用支持部材３７にて水平状態に支持されおり、そのケース体７に支持される送風式支持手段３も水平姿勢で支持されている。よって、清浄空気供給部１５も水平姿勢で設けられている。
よって、搬送方向においても横幅方向においても整風板１５から略同量の清浄空気がガラス基板２の下面２ａに供給されて、ガラス基板２は整風板１５に対して略一定の間隔をもって支持されることとなる。よって、整風板１５が水平状態に設けられているので、ガラス基板２は水平姿勢で支持されている。
【００４２】
そして、搬送空間Ａに、ガラス基板２における推進一端側２ｂとは横幅方向において反対側の他端側２ｃの側面に接当して、ガラス基板２ｃの横幅方向への移動を規制する規制部としての多数の規制ローラ３３が備えられており、この規制ローラ３３のそれぞれは、前記横幅方向に位置調節可能に構成されている。
【００４３】
前記規制ローラ３３の位置調節構造について説明すると、図１１に示すように、前記規制ローラ３３がローラ支持枠３４に縦軸芯周りに回転自在に支持されており、そのローラ支持枠３４がユニット用枠体９に載置支持された電動式のモータ３５にて横幅方向にスライド移動自在に構成されている。従って、モータ３５にてローラ支持体３４を横幅方向にスライド移動させることによって、規制ローラ３３が横幅方向に位置調節されるように構成されている。そして、前記ローラ支持枠３４と送風式支持手段３とが干渉しないように、送風式支持手段３にはローラ支持枠３４の縦枠部３４ａに対応する箇所に凹入部３ａを形成してある。
【００４４】
従って、ガラス基板２の横幅方向の一方側への移動は駆動ローラ２４の大径部２４ａにて規制され、ガラス基板２の横幅方向の他端側への移動は規制ローラ３３にて規制されているので、搬送終了時にガラス基板２を制動させる際等に、ガラス基板２が横幅方向にずれてしまったり搬送方向に対して姿勢が斜めになってしまったりすることを防ぐことができる。
そして、図１２、図１３に示すように、規制ローラ３３の横幅方向での位置を調節して、駆動ローラ２４の大径部２４ａと規制ローラ３３との間隔をガラス基板２の横幅方向の大きさに合わせることによって、搬送されるガラス基板２が回転したり横幅方向にずれたりすることがなくなり、ガラス基板２の横幅方向の大きさに拘わらず円滑に搬送することができる。
【００４５】
〔実施の形態３〕
上記実施の形態１では、搬送方向視にて、送風式支持手段３を傾斜姿勢に支持して、清浄空気供給部５をガラス基板２の他端側２ｃに対応する側ほど下方に位置する傾斜姿勢に設けて、ガラス基板２を傾けた姿勢で支持するように構成したが、整風板１５を、前記推進力付与手段４にて推進力が付与される推進一端側２ｂより前記横幅方向の他端側２ｃの方が清浄空気を多く供給するように設けて、ガラス基板２を前記傾けた姿勢で支持するように構成してもよい。尚、実施の形態１と同様に構成されるものについては、実施の形態１と同じ符号を付け、説明は省略する。
【００４６】
つまり、図１４に示すように、前記ケース体７は、搬送方向視にて、水平用支持部材３７により水平状態に支持されており、ケース体７が水平状態で支持されることにより、送風式支持手段３も水平姿勢でユニット用枠体９に支持されている。よって、送風式支持手段３に横幅方向に沿って設けられる整風板１５も、搬送方向視にて、水平姿勢に設けられている。つまり、送風式支持手段３を含めた搬送ユニット１全体が水平状態に備えられている。
【００４７】
そして、送風式支持手段３に備えられる６つの送風ファン１３において、横幅方向で推進力付与手段４を備えている側に位置する３つの送風ファン１３より、反対側に位置する３つの送風ファン１３が速い回転速度で駆動して送風量が多くなるように構成されている。そして、整風板１５を、搬送方向視にて横幅方向に並ぶ２つの送風ファンに対して同じ間隔を隔てて設けられている。つまり、送風式支持手段４が、横幅方向に沿って設けられる整風板１５を、前記推進一端側２ｂより横幅方向の他端側２ｃの方が清浄空気を多く供給するように設けて、ガラス基板２を傾けた姿勢で支持するように構成されている。
要するに、図１５に示すように、ガラス基板２の推進一端側２ｂより他端側２ｃの方に多くの清浄空気を供給して、ガラス基板２の推進一端側２ｂより他端側２ｃを大きく浮き上がらせることによってガラス基板２を傾けた姿勢としている。
【００４８】
従って、実施の形態１と同様に、ガラス基板２の横幅方向の一方側への移動は駆動ローラ２４の大径部２４ａにて規制され、ガラス基板２の横幅方向の他端側へはガラス基板２の自重によって移動しにくくなるので、搬送終了時にガラス基板２を制動させる際等に、ガラス基板２が横幅方向にずれてしまったり搬送方向に対して姿勢が斜めになってしまったりすることを防ぐことができる。また、ガラス基板２の自重によってガラス基板２が駆動ローラ２４に押し付けられるので、駆動ローラ１７が空回りする可能性が少ない状態でガラス基板２を搬送することができる。
【００４９】
〔別実施の形態〕
（１）  上記実施の形態１では、搬送方向視にて、送風式支持手段を傾斜姿勢に支持するのに、搬送ユニット全体を傾斜姿勢としたが、図１６に示すように、ケース体７を水平式支持部材３７にて水平姿勢となるように支持し、そのケース体７におけるユニット用枠体９に送風式支持手段３を傾斜姿勢に支持させるように構成してもよい。
【００５０】
（２）  上記実施の形態１〜３では、駆動部を複数の駆動ローラで構成したが、タイミングベルト等の無端帯状体にて構成してもよい。尚、駆動部を、無端帯状体にて構成する場合には、無端帯状態の作用面に長手方向に沿って一連の突起部を形成し、その突起部を横幅方向に移動する搬送物を受け止める受け止め部としてもよい。
【００５１】
（３）  上記実施の形態２では、規制部を複数の規制ローラで構成したが、回転自在な無端帯状体にて構成してもよく、また、規制部を、ケース体に横幅方向へ位置変更可能に支持させてもよい。つまり、例えば、規制部を規制ローラで構成し、その規制ローラをケース体のケース側壁に支持させた場合では、図１８に示すように、ケース側壁１０に固定した支持枠３９に電動シリンダ４０を支持させ、その電動シリンダ４０の先端部に規制ローラ３３を回転自在に支持させてもよい。
【００５２】
（４）  上記実施の形態１〜３では、駆動ローラやタイミングベルト等の駆動部に、大径部や突起部を備えて受け止め体としたが、図１７に示すように、収納フレーム８の内壁８ａに縦軸芯周りに回転自在に支持させた受け止めローラ４１を別途設けて受け止め体を構成してもよい。
【００５３】
（５）  上記実施の形態では、除塵フィルタと送風手段とを一体的に組付けた送風ユニットを例示したが、必ずしも除塵フィルタと送風ファンとを一体的に取り付ける必要はなく、送風ファンにて送風される空気を除塵フィルタに案内する案内路などを設けて、除塵フィルタと送風ファンとを別体にて構成して実施することも可能である。
【００５４】
（６）  上記実施の形態１や３では、清浄空気供給部を０．５°傾けたが、対象となる搬送物等に応じて適宜変更して傾けてもよい。尚、図２、図３、図４、図８、図１６においては、清浄空気供給部１５の傾きをわかりやすくするために５°傾けて図示している。
【００５５】
（７）  上記実施の形態では、搬送物として、液晶用のガラス基板としたが、半導体のウェハ等でもよく、搬送物の形状や大きさは実施形態に限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】実施の形態１における板状体搬送装置の斜視図
【図２】実施の形態１における搬送ユニットの正面断面図
【図３】実施の形態１における搬送ユニットの正面断面の一部拡大図
【図４】実施の形態１における搬送ユニットの正面断面の一部拡大図
【図５】実施の形態１における搬送ユニットの側面断面図
【図６】実施の形態１における搬送ユニットの平面図
【図７】実施の形態１における収納フレームの側面断面図
【図８】実施の形態１における推進力付与手段の正面断面図
【図９】実施の形態１における推進力付与手段の側面断面図
【図１０】実施の形態２における搬送ユニットの正面断面図
【図１１】実施の形態２における搬送ユニットの正面断面の一部拡大図
【図１２】実施の形態２における搬送ユニットの平面図
【図１３】実施の形態２における搬送ユニットの平面図
【図１４】実施の形態３における搬送ユニットの正面断面図
【図１５】実施の形態３におけるガラス基板を傾けた姿勢で支持する作用図
【図１６】別実施の形態（１）における搬送ユニットの正面断面図
【図１７】別実施の形態（３）における搬送ユニットの正面断面の一部拡大図
【図１８】別実施の形態（４）における搬送ユニットの正面断面の一部拡大図
【符号の説明】
【００５７】
２    ガラス基板（搬送物）
２ｂ  推進一端側（一端側）
２ｃ  他端側
３    送風式支持手段
４    推進力付与手段
１２    除塵フィルタ
１３    送風ファン（送風手段）
１４    ファンフィルタユニット（送風ユニット）
１５    整風板（清浄空気供給部）
２４    駆動ローラ（駆動部）
２４ａ  大径部（受け止め部）
３３    規制ローラ（規制部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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