(57)【要約】  【課題】  ダストがガス内に均一に分散したダストガスの供給を確実かつ容易に行うことができるダスト分散装置を提供する。  【解決手段】  チャンバ１６内を流れるダストおよびガスの一部を、ガス中にダストがほぼ均一に分散した標準ダストガスとして、チャンバ１６に設けた導出口１７から導出するように構成されたダスト分散装置１５において、チャンバ１６の底部２２から立ち上がり、チャンバの天壁部２３との間に隙間ｓが形成される仕切壁２４を設けて、チャンバ１６内を、ダストおよびガスの流入口２５が含まれる上流側の第一エリア２６と、ダストおよびガスの排気口２７および前記導出口１７が含まれる下流側の第二エリア２８とに区画するとともに、前記第一エリア２６の側壁部の下部における仕切壁２４と対向する位置に、仕切壁２４に向けて送風する第一送風手段４１を設け、前記第二エリア２８の底部２２ｂに、天壁部２３に向けて送風する第二送風手段４２を設け、第二エリア２８の側壁部の仕切壁２４と対向する位置に、下側から順に前記排気口２７および導出口１７を設けた。  【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャンバ内を流れるダストおよびガスの一部を、ガス中にダストがほぼ均一に分散した標準ダストガスとして、チャンバに設けた導出口から導出するように構成されたダスト分散装置において、チャンバの底部から立ち上がり、チャンバの天壁部との間に隙間が形成される仕切壁を設けて、チャンバ内を、ダストおよびガスの流入口が含まれる上流側の第一エリアと、ダストおよびガスの排気口および前記導出口が含まれる下流側の第二エリアとに区画するとともに、前記第一エリアの側壁部の下部における仕切壁と対向する位置に、仕切壁に向けて送風する第一送風手段を設け、前記第二エリアの底部に、天壁部に向けて送風する第二送風手段を設け、第二エリアの側壁部の仕切壁と対向する位置に、下側から順に前記排気口および導出口を設けたことを特徴とするダスト分散装置。
【請求項２】
仕切壁を、第一送風手段に対して近接・離間自在にしてある請求項１に記載のダスト分散装置。
【請求項３】
仕切壁の高さを調整できるようにしてある請求項１または２に記載のダスト分散装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ダストおよびガスを攪拌することにより、ダストをガス中に均一に分散させたダストガスを得るためのダスト分散装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、大気中の浮遊粒子状物質（Ｓｕｓｐｅｎｄｅｄ  Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ  Ｍａｔｔｅｒ：以下、ＳＰＭという）を測定するための測定装置として、大気をフィルタに所定流量で通過させ、捕集したＳＰＭの質量と、フィルタに通過させた大気の流量とから、大気中に含まれるＳＰＭの濃度を求めるように構成されたものがある。
【０００３】
そして、前記測定装置についての研究・開発や出荷検査のために、その性能を評価する必要があり、従来より、ダスト発生器を用いて所定濃度のダストを含むガス（以下、ダストガスという）を形成し、このダストガスを、前記測定装置に供給してダストの質量を測定した結果と、前記測定装置とは別に用意したフィルタに前記ダストガスを通し、このフィルタに捕集されたダストを天秤などによって測定した結果とを比較することにより、測定装置の性能を評価することが行われている。
【特許文献１】特開平９−２１８１５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、測定装置の性能評価を正確に行うには、ダストがガス中に均一に分散し、所定濃度となったダストガスを用いる必要があるが、実際に用いられていたダストガス中のダストの分散状態は不均一であり、ダストの濃度にもばらつきがあった。そのため、ダストガスを用いる測定装置の性能評価の信頼性が不充分となるだけでなく、出荷検査時などには、万全を期すために、性能評価のための試験を何度も繰り返さなければならず、その評価に費やされる時間や労力が多大なものになるという問題があった。
【０００５】
この発明は、上述の事柄に留意してなされたもので、その目的は、ダストがガス内に均一に分散したダストガスの供給を確実かつ容易に行うことができるダスト分散装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、この発明のダスト分散装置は、チャンバ内を流れるダストおよびガスの一部を、ガス中にダストがほぼ均一に分散した標準ダストガスとして、チャンバに設けた導出口から導出するように構成されたダスト分散装置において、チャンバの底部から立ち上がり、チャンバの天壁部との間に隙間が形成される仕切壁を設けて、チャンバ内を、ダストおよびガスの流入口が含まれる上流側の第一エリアと、ダストおよびガスの排気口および前記導出口が含まれる下流側の第二エリアとに区画するとともに、前記第一エリアの側壁部の下部における仕切壁と対向する位置に、仕切壁に向けて送風する第一送風手段を設け、前記第二エリアの底部に、天壁部に向けて送風する第二送風手段を設け、第二エリアの側壁部の仕切壁と対向する位置に、下側から順に前記排気口および導出口を設けた（請求項１）。
【０００７】
仕切壁を、第一送風手段に対して近接・離間自在にしてあってもよい（請求項２）。
【０００８】
また、仕切壁の高さを調整できるようにしてあることが望ましい（請求項３）。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１の発明によれば、チャンバ内においてダストおよびガスを循環させ、ダストがガス中に均一に分散する箇所をチャンバ内に形成し、その箇所からダストおよびガスをチャンバ外へと導出することができるので、ダストがガス内に均一に分散したダストガスを、供給対象としてのＳＰＭ測定装置などへ確実かつ容易に供給することができる。従って、上記ＳＰＭ測定装置などの性能評価を非常に正確に行え、この性能評価の信頼性を大いに向上させることができる。また、これに伴って、例えば、出荷検査時などに行う性能評価のための試験回数を減らすことができ、ひいてはそのような試験にかかる時間や労力も最小限に抑えることができる。
【００１０】
請求項２および３の発明によれば、さらに、以下のような効果が得られる。すなわち、ダストの粒子径などが異なると、それに伴って、チャンバ内におけるダストおよびガスの循環状態が微妙に変化することが考えられるが、請求項２および３の発明では、仕切壁を移動させたりその高さを変更することができるので、チャンバ内におけるダストおよびガスの循環状態を簡単に調節することができ、これによって、チャンバの導出口から導出されるダストガスを常に、ダストがガス中に均一に分散した理想的な標準ダストガスとすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
図１〜図３は、この発明の一実施例を示す。まず、図１は、この発明のダスト分散装置を用いたダストガス発生システムの構成の一例を示すもので、この図において、１はダスト発生器で、ガスとしてのクリーンエアを供給するガス供給ライン２およびダスト原料３を供給するダスト供給ライン４がその上流側に接続され、さらに、このダスト発生器１は、ダストおよびガスをその下流側に設けられた混合ガスライン５に導出するよう構成されている。
【００１２】
前記ガス供給ライン２は、送風機（この実施例ではブロワ）６、この送風機６によって送られてきた空気中の不純物を除去し、前記空気をクリーンエアにするフィルタ（この実施例ではＨＥＰＡフィルタ）７、前記空気の流量を調整するためのマスフローコントローラ８を上流側からこの順に備え、所定流量のクリーンエアをダスト発生器１に供給するよう構成されている。
【００１３】
そして、前記混合ガスライン５の下流側に、ガス中のダストを捕集するサイクロン９を介してガス導出ライン１０が接続されている。このガス導出ライン１０は、サイクロン９において捕集されなかったダストを除去するためのフィルタ１１と、サイクロン９を経て送られてきたガスの質量流量を測定するためのマスフローメータ１２と、吸引ポンプ１３とを上流側からこの順に備えている。
【００１４】
そして、前記混合ガスライン５には、混合ガスライン５内を流れるダストおよびガスの一部を採取する採取ライン１４が接続され、この採取ライン１４の下流側にダスト分散装置１５が設けられている。
【００１５】
ダスト分散装置１５は、図１に示すように、採取ライン１４を介して混合ガスライン５から採取したダストおよびガスをチャンバ１６内に流し、このチャンバ１６内を流れるダストおよびガスの一部を、ガス中にダストがほぼ均一に分散した標準ダストガスとして、チャンバ１６に設けた導出口１７から導出ライン１８へと導出するように構成されている。
【００１６】
詳しくは、チャンバ１６は、例えば、ステンレスやアルミニウムなどの金属を用いて形成され、図２、図３に示すように、縦断面および横断面がともにほぼコの字形状である２つのチャンバ構成体１６ａ，１６ｂからなり、チャンバ構成体１６ａ，１６ｂの開口縁１９ａ，１９ｂどうしがシールパッキン（図示していない）を挟んで着脱自在に接続されるように構成されている。より具体的には、チャンバ構成体１６ａ，１６ｂはともに、縦、横、高さがいずれも約１０００ｍｍである中空のほぼ立方体形状をし、その一側面側（突き合わせ面側）が壁で覆われることなく開放されている。
【００１７】
また、２つのチャンバ構成体１６ａ，１６ｂはそれぞれ、架台２０ａ，２０ｂによって支持され、２つの架台２０ａ，２０ｂは、２つのチャンバ構成体１６ａ，１６ｂを接続する際に、適宜の手段により接続される。また、架台２０ａ，２０ｂの下部には、それぞれ複数（図示例では４つ）のキャスタ２１ａ，２１ｂが設けられており、移動自在となっている。
【００１８】
そして、２つのチャンバ構成体１６ａ，１６ｂを接続することによって形成されるチャンバ１６は、中空の直方体形状をしており、この実施例では、チャンバ１６の縦方向（図２に示すＸ方向）の長さが１０００ｍｍ、横方向（図２に示すＹ方向）の長さが約２０００ｍｍ、上下方向（図２に示すＺ方向）の長さ（高さ）が約１０００ｍｍとなっている。
【００１９】
また、チャンバ１６は、その内部をＹ方向に移動することができる可動の仕切壁２４によって二つのエリア２６，２８に区画されている。すなわち、仕切壁２４は、底壁部（底部）２２からほぼ鉛直方向に立ち上がり、天壁部２３との間に隙間ｓが形成されるようにスライド自在に設けられている。そして、上流側の第一エリア２６には、ダストおよびガスの流入口２５が含まれ、下流側の第二エリア２８には、ダストおよびガスの排気口２７および前記導出口１７が含まれている。この実施例では、二つのエリア２６，２８が仕切壁２４を挟んでチャンバ１６の長手方向（図２において符号Ｙで示す方向）に並ぶように構成されている。
【００２０】
仕切壁２４は、例えば、板状であり、チャンバ１６の長手方向に適宜の間隔（この実施例では２０００ｍｍ）をおいて対向する一端側壁２９および他端側壁３０と平行に、かつチャンバ１６内において他端側壁３０よりも一端側壁２９に近い位置（この実施例では一端側壁２９から約６００ｍｍの位置）に配置される。また、仕切壁２４は、その周縁部のうち、上縁部を除く部分は、チャンバ１６の内壁面に密着するようにチャンバ１６内に設置され、第一エリア２６と第二エリア２８とは、仕切壁２４の上方に形成される隙間ｓのみを介して連通するように構成されている。
【００２１】
そして、仕切壁２４の下端部には、図２および図３中の部分拡大図に示すように、底壁部２２に沿い、仕切壁２４を底壁部２２に固定するための板状の固定部材３１が設けられており、この固定部材３１には、チャンバ１６の長手方向の延びる長孔３２が形成されている。そして、この長孔３２を挿通するねじ部材３３を用いて固定部材３１を底壁部２２にねじ止めすることができ、また、ねじ部材３３が長孔３２を挿通する位置は自在に変更することができるので、仕切壁２４を、長孔３２の長さの分だけチャンバ１６の長手方向に移動させることができる。この実施例では、仕切壁２４は、チャンバ１６内において、一端側壁２９からＹ方向に約６００ｍｍ離れた位置から、後述する第一送風手段４１に近接する方向（すなわちＹ方向と逆方向）に約３０ｍｍの距離まで移動可能であり、また第一送風手段４１から離間する方向（すなわちＹ方向）に約３０ｍｍの距離まで移動できるようにしてある。
【００２２】
また、仕切壁２４の上部は、その高さを調整することができるように構成されている。すなわち、仕切壁２４の上部に、複数（図示例では２つ）の高さ調整部材３４をそれぞれ着脱自在に積み重ねて固定することができ、これによって、仕切壁２４の高さを調整することができる。詳しくは、各高さ調整部材３４は、直方体形状をしており、その横断面の形状および大きさが仕切壁２４の横断面の形状および大きさと同一となるように構成されている。また、仕切壁２４の上面の両端部付近および高さ調整部材３４の上面の両端部付近にはそれぞれ凹入部３５が形成されている一方、高さ調整部材３４の下面の両端部には、前記凹入部３５に嵌め込まれる突起部３６が設けられている。
【００２３】
従って、高さ調整部材３４の二つの突起部３６を仕切壁２４の二つの凹入部３５にそれぞれ嵌め込むことにより、仕切壁２４の上部に高さ調整部材３４を着脱自在に固定することができる。また、仕切壁２４の上部に固定された高さ調整部材３４の二つの凹入部３５に、さらにその上に積み重ねようとする高さ調整部材３４の二つの突起部３６を嵌め込めば、仕切壁２４の上部に高さ調整部材３４を二段に積み重ねた状態で固定することができる。
【００２４】
この実施例では、高さ調整部材３４を全く取り付けていない状態の仕切壁２４の高さ（Ｚ方向の長さ）は約７５０ｍｍ、ブロック体３４の高さ（Ｚ方向の長さ）は約１００ｍｍであり、高さ調整部材３４を一つ取り付けた状態の仕切壁２４の高さは８５０ｍｍ、二つ積み重ねて取り付けた状態の仕切壁２４の高さは９５０ｍｍとなり、このように高さを三段階に変更することができるように構成されている。
【００２５】
そして、第一エリア２６の上部には、ダストおよびガスの流入口２５を複数有する筒体３７が配置される。詳しくは、筒体３７は、天壁部２３の下面に沿って、チャンバ１６の一端側壁２９および仕切壁２４と平行（図２においてＸで示す方向）に、かつチャンバ１６の長手方向において第一エリア２６のほぼ中央に配置される。この実施例の筒体３７は、チャンバ１６内において一端側壁２９からＹ方向に例えば約３００ｍｍ離れた位置に設置されている。
【００２６】
また、筒体３７は、ほぼ円筒形状であって、天壁部２３の下面に沿う上部３８のみが平面状となっており、筒体３７の前記上部３８を除いた部分３９に前記流入口２５としての多数の貫通孔が形成されている。なお、各流入口２５はほぼ円形状をしている。そして、この筒体３７の上流端に、図１に示すように、採取ライン１４が接続される。
【００２７】
さらに、第一エリア２６の側壁部（一端側壁２９）の下部における前記仕切壁２４と対向する位置に、仕切壁２４に向けて横向き（水平）に送風する第一送風手段４１が設けられている。この第一送風手段４１は、例えば、約０．５ｍ／ｓ程度で送風するファンからなり、一端側壁２９の下部のほぼ中央に配置されている。具体的には、第一送風手段４１の中心位置は、一端側壁２９からＹ方向に約８０ｍｍ、底壁部２２からＺ方向に約２００ｍｍ離れている。
【００２８】
一方、第二エリア２８の底壁部２２ｂには、天壁部２３に向けて上向きに送風する第二送風手段４２が設けられている。この第二送風手段４２は、例えば、約０．５ｍ／ｓ程度で送風するファンからなり、前記底壁部２２ｂのほぼ中央に位置している。具体的には、第二送風手段４２の中心位置は、一端側壁２９からＹ方向に約１４００ｍｍ、底壁部２２ｂからＺ方向に約１００ｍｍ離れている。なお、この第二送風手段４２と前記第一送風手段４１とは、送風する向きが異なるだけであり、他の点では同様に構成することができる。
【００２９】
また、第二エリア２８の側壁部（他端側壁３０）における仕切壁２４と対向する位置に、下側から順に前記排気口２７および導出口１７が設けられている。詳しくは、排気口２７は、他端側壁３０の下部において水平方向に２つ並べて設けられており、導出口１７は、他端側壁３０の上部から中央部にかけて複数（図示例では９個）形成されている。
【００３０】
なお、９つの導出口１７は、行列状（３行×３列）に等間隔に配置され、具体的には、一つの導出口１７が、他端側壁３０における上辺３０ａおよび右辺３０ｂからそれぞれ約２００ｍｍ離れた位置に設けられ、この導出口１７から約２００ｍｍ下方に他の導出口１７が、また、この導出口１７のさらに約２００ｍｍ下方に別の導出口１７が設けられており、これら３つの導出口１７からそれぞれ左辺３０ｃ側へと約２００ｍｍおよび約４００ｍｍ離れた位置に導出口１７が設けられている。
【００３１】
そして、チャンバ１６内で形成された標準ダストガスは、図１に示すように、各導出口１７から導出され、導出ライン１８を経て、ＳＰＭ測定装置などの供給対象４３へと供給される。なお、導出ライン１８中またはその下流側には、チャンバ１６内の標準ダストガスを供給対象４３へと導くためのサンプリングポンプ（図示していない）が設けられている。
【００３２】
また、図２に示すように、他端側壁３０の下部に、外方に突出するテーパ壁部分４４が水平方向に２つ並べて設けられており、各テーパ壁部分４４の先端に前記排気口２７が形成されている。さらに、各排気口２７には、図１に示すように、排気ライン４５が接続されており、流入口２５からチャンバ１６内に流入したダストおよびガスの大部分は、排気口２７から排気ライン４５へと送出され、この排気ライン４５中に設けられたフィルタ４６によってダストが取り除かれ、ガスのみが外部（大気中）へと排出される。なお、排気ライン４５中には、チャンバ１６内のダストおよびガスを排気ライン４５へと送出させるためのサンプリングポンプ（図示していない）が設けられている。
【００３３】
さらに、チャンバ１６には、その内圧を計測するための圧力計などの内圧測定手段４６が取り付けられている。
【００３４】
加えて、チャンバ１６の側壁部の適宜の位置には、開閉自在な扉（例えば観音開きタイプの扉、図示していない）が設けられており、チャンバ１６の内部の掃除などを容易に行えるように構成してある。
【００３５】
また、チャンバ１６の側壁部の適宜の位置には、チャンバ１６内の様子を見るための窓（図示していない）が設けられている。この窓は、例えば、チャンバ１６の側壁部の一部を透明または半透明のガラスや樹脂などで形成することによって構成される。
【００３６】
次に、上記の構成からなるダストガス発生システムの作動について説明する。
まず、送風機６および吸引ポンプ１３を駆動させ、ダスト発生器１から連続的に送出されるダストおよびガスの混合物が、混合ガスライン５、サイクロン９をこの順に経て、ガス導出ライン１０へと送られる状態にする。
【００３７】
続いて、排気ライン４５中に設けられたサンプリングポンプを駆動させ、混合ガスライン５を流れるダストおよびガスの混合物の一部が、採取ライン１４およびチャンバ１６内を連続的に通過し、排気ライン４５から外部に排出される状態とする。
【００３８】
以下、上記操作により、混合ガスライン５内から採取ライン１４内に至った一部のダストおよびガスの混合物の主たる流れについて説明する。
【００３９】
まず、前記混合物は、図３に示すように、筒体３７に設けられた流入口２５から例えば１２０Ｌ／ｍｉｎの流量でチャンバ１６内へと流入する。そして、このようにチャンバ１６内に流入した混合物中のダストは、第一エリア２６内を落下するが、第一送風手段４１の送風により吹き付けられ、仕切壁２４に衝突した後、仕切壁２４に沿って上昇し、やがて天壁部２３に衝突する。そして、このとき、天壁部２３に衝突したダストの一部は、一端側壁２９側へと流れ、この一端側壁２９に沿って下方に進み、第一送風手段４１の送風によって、再び仕切壁２４に衝突した後、仕切壁２４に沿って上方に進み、やがて天壁部２３に衝突する。
【００４０】
また、天壁部２３に衝突したダストの他の一部は、仕切壁２４と天壁部２３との間の隙間ｓを通って第二エリア２８内へと流入する。このように第二エリア２８内に流入したダストは落下するが、第二エリア２８の底部に沈降した状態では安定せず、第二送風手段４２によって吹き上げられることになる。そして、ダストは、天壁部２３に衝突した後、天壁部２３に沿って四方に分散して流れ、やがて第二エリア２８内を落下する。続いて、第二エリア２８の下方に至ると、第二送風手段４２によって再び吹き上げられることになる。また、第二エリア２８の下方に至ったダストの一部は、ガスとともに排気口２７から排気ライン４５へと送りだされ、大気中へと放出される。
【００４１】
そして、上記のようにダストがガスとともに内部を循環するチャンバ１６内において、第二エリア２８の他端側壁３０の上部付近では、ダストがガス内にほぼ均一に混合・分散しており、標準ダストガスになる。
【００４２】
そこで、標準ダストガスを供給しようとする供給対象４３に対応するサンプリングポンプを駆動させれば、前記供給対象４３に対応する導出口１７からチャンバ１６内の標準ダストガスが導出され、導出ライン１８を経て供給対象４３へと供給されることとなる。
【００４３】
前記標準ダストガスの導出を所定時間行い、供給対象４３への標準ダストガスの供給が完了すれば、供給対象４３に対応するサンプリングポンプの駆動を停止するとともに、送風機６、吸引ポンプ１３および排気ライン４５中に設けられたサンプリングポンプの駆動を停止すればよい。
【００４４】
上記のように作動するダストガス発生システムでは、ダスト発生器１において発生させるダストの粒子径の大きさやダスト濃度などに応じて、チャンバ１６内に設けた仕切壁２４の高さと位置とを調整することにより、常にチャンバ１６内における他端側壁３０の上部付近にてダストがガス中に均一に分散し、導出口１７から理想的な標準ダストガスを得ることができる。
【００４５】
また、チャンバ１６内で形成された標準ダストガスを複数の導出口１７から導出することができるように構成してあるが、チャンバ１６内の標準ダストガスをいずれの導出口１７から導出しても、その濃度はほぼ同じとなる。
【００４６】
上記ダスト分散装置１５では、チャンバ１６を二つのチャンバ構成体１６ａ，１６ｂに分離自在とし、かつ各チャンバ構成体１６ａ，１６ｂを架台２０ａ，２０ｂによって移動自在に支持してあるので、この実施例のようにチャンバ１６が比較的に大きなものであっても、その搬送を容易に行うことができ、また、チャンバ１６内の点検等も簡単に行うことができる。
【００４７】
なお、この発明は、上述の実施の形態に限られるものではなく、種々に変形して実施することができる。例えば、チャンバ１６の形状は、直方体形状に限られず、球形状や円柱形状、多角柱形状などであってもよい。
【００４８】
また、仕切壁２４に取り付ける高さ調整部材３４として、高さが全て均一（例えば１００ｍｍ）であるものばかりを用いる必要はなく、異なる高さの高さ調整部材３４を単独または積み重ねて仕切壁２４に取り付けてもよく、さらに、高さ調整部材３４を用いずに、高さが異なる複数の仕切壁２４を用意し、適宜の高さの仕切壁２４を選んでチャンバ１１に取り付けるようにしてもよい。
【００４９】
また、チャンバ構成体１６ａ，１６ｂのいずれか一方または両方に、図２に示すＹ方向の長さが異なるものを複数用意して、適宜の長さのチャンバ構成体１６ａ，１６ｂを選択して組み合わせるように構成してもよい。この場合には、チャンバ１６の大きさ（長さ）の変更が容易となり、ダスト分散装置１５の対応可能とするダストの粒子径の大きさやダスト濃度などの範囲がより広がり、その汎用性を大いに向上させることができる。
【００５０】
しかし、もちろんのことながら、チャンバ１６をチャンバ構成体１６ａ，１６ｂに分割可能とはせずに一体としてもよく、この場合には、構成がシンプルとなり、その製造コストが低減する。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の一実施例に係るダストガス発生システムの構成を概略的に示す説明図である。
【図２】ダスト分散装置の構成を概略的に示す透視斜視図である。
【図３】上記ダスト分散装置の構成を概略的に示す説明図である。
【符号の説明】
【００５２】
１５  ダスト分散装置
１６  チャンバ
１７  導出口
２２  底壁部
２３  天壁部
２４  仕切壁
２５  流入口
２６  第一エリア
２７  排気口
２８  第二エリア
４０  側壁部
４１  第一送風手段
４２  第二送風手段
【図１】
2005156222.tif 000003
【図２】
2005156222.tif 000004
【図３】
2005156222.tif 000005