(57)【要約】【課題】簡単な構成で装置をコンパクトにでき、かつ試料に対するレーザ光の走査軌跡の収差を小さくすること。【解決手段】走査顕微鏡に、ミラー２１の略ミラー平面上に第１の回転軸２８を有する共振型ガルバノスキャナ２２を、その第１の回転軸２８と略垂直かつ交差する第２の回転軸２５を有する第２のガルバノスキャナ２３によって保持し、走査中心において、ミラー２１のミラー平面を、共振型ガルバノスキャナ２２の第１の回転軸２８及び第２のガルバノスキャナ２３の第２の回転軸２５からなる平面に対して、共振型ガルバノスキャナ２２の回転軸回りに略４５°回転した平面上に設けた２次元走査機構２０を用いた。【選択図】図１
2005156756.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
照明光を出力する光源と、
前記光源から出力された前記照明光を、当該照明光の入射光軸に対して少なくとも２方向に偏向して走査させる２次元走査機構と、
前記２次元走査機構により走査された前記照明光を試料に照射し、かつ前記試料からの測定光を検出する観察光学系と、
前記観察光学系により検出された前記測定光を受光する受光素子と、
前記受光素子の出力信号に基づいて前記試料の観察像を取得する画像処理部と、
を具備し、
前記２次元走査機構は、前記光源から出力された前記照明光及び前記試料からの前記測定光を反射するミラーと、
前記ミラーのミラー平面に対して略平行方向に設けられた第１の回転軸を有し、前記第１の回転軸を中心に前記ミラーを回転させる第１の走査機構と、
前記第1の走査機構の前記第１の回転軸に対して略垂直方向に設けられた第２の回転軸を有し、前記第１の走査機構を前記第２の回転軸を中心に回転させる第２の走査機構と、
を有し、
前記ミラーの前記ミラー平面は、前記第２の走査機構の前記第２の回転軸に対して略４５°を成し、かつ前記第１の回転軸と前記第１の走査機構の回転中心とが交わるように面上に配置される、
ことを特徴とする走査型顕微鏡。
【請求項２】
レーザ光源から出力されたレーザ光を試料上に２次元走査し、前記試料からの測定光をピンホールを通して検出することにより前記試料の共焦点像を取得する走査型顕微鏡において、
前記レーザ光源から出力された前記レーザ光及び前記試料からの前記測定光を反射するミラーと、
前記ミラーのミラー平面に対して略平行方向に設けられた第１の回転軸を有し、前記第１の回転軸を中心に前記ミラーを回転させる第１の走査機構と、
前記第1の走査機構の前記第１の回転軸に対して略垂直方向に設けられた第２の回転軸を有し、前記第１の走査機構を前記第２の回転軸を中心に回転させる第２の走査機構と、
を有し、
前記ミラーの前記ミラー平面を、前記第２の走査機構の前記第２の回転軸に対して略４５°を成し、かつ前記第１の回転軸と前記第１の走査機構の回転中心とが交わるように面上に配置し、前記第１の走査機構による前記ミラーの回転と前記第２の走査機構による前記第１の走査機構の回転とにより前記レーザ光を前記２次元走査させる２次元走査機構、
を具備したことを特徴とする走査型顕微鏡。
【請求項３】
レーザ光を出力するレーザ光源と、
前記レーザ光源から出力された前記レーザ光を２次元走査する２次元走査機構と、
前記２次元走査機構により２次元走査された前記レーザ光を少なくとも波長板及び対物レンズを通して試料に照射し、かつ前記試料からの測定光を少なくとも前記対物レンズ及び前記波長板を通して検出する観察光学系と、
前記観察光学系により検出された前記測定光を偏向する偏光ビームスプリッタと、
前記偏光ビームスプリッタにより偏向された前記測定光を通すピンホールと、
前記ピンホールを通過した前記測定光を受光する受光素子と、
前記受光素子の出力信号に基づいて前記試料の観察像を取得する画像処理部と、
を具備し、
前記２次元走査機構は、前記レーザ光源から出力された前記レーザ光及び前記試料からの前記測定光を反射するミラーと、
前記ミラーのミラー平面に対して略平行方向に設けられた第１の回転軸を有し、前記第１の回転軸を中心に前記ミラーを回転させる第１の走査機構と、
前記第1の走査機構の前記第１の回転軸に対して略垂直方向に設けられた第２の回転軸を有し、前記第１の走査機構を前記第２の回転軸を中心に回転させる第２の走査機構と、
を有し、
前記ミラーの前記ミラー平面を、前記第２の走査機構の前記第２の回転軸に対して略４５°を成し、かつ前記第１の回転軸と前記第１の走査機構の回転中心とが交わるように面上に配置し、前記第１の走査機構による前記ミラーの回転と前記第２の走査機構による前記第１の走査機構の回転とにより前記レーザ光を前記２次元走査させる、
ことを特徴とする走査型顕微鏡。
【請求項４】
前記第２の走査機構の前記第２の回転軸は、前記照明光の入射光軸に略一致するように配置されたことを特徴とする請求項１乃至３のうち少なくとも１項記載の走査型顕微鏡。
【請求項５】
前記第１又は前記第２の走査機構は、少なくとも一方が共振型ガルバノスキャナであることを特徴とする請求項１乃至３のうち少なくとも１項記載の走査型顕微鏡。
【請求項６】
前記第１の走査機構は、一方面に前記ミラーを設けた可動板と、
前記可動板に設けられたトーションバーと、
前記可動板の他方面に形成され、少なくとも前記可動板を前記トーションバーの反力との関係で揺動させる可動コイルと、
前記可動コイルの周囲に磁界を発生する磁気回路と、
を有することを特徴とする請求項１乃至３のうち少なくとも１項記載の走査型顕微鏡。
【請求項７】
前記第１の走査機構の走査周波数に同期させて前記第２の走査機構を走査動作させることを特徴とする請求項１乃至３のうち少なくとも１項記載の走査型顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばレーザ光などの照明光を試料上に２次元走査し、試料からの測定光を検出して試料の像を取得する走査型顕微鏡に関する。
【背景技術】
【０００２】
図８は一般に知られている走査型顕微鏡の構成図である。レーザ光源１は、単一波長のレーザ光Ｄを出力する。このレーザ光Ｄは、偏光ビームスプリッタ２を透過して第１のガルバノスキャナ３に入射する。この第１のガルバノスキャナ３は、矢印ａ方向に揺動してレーザ光Ｄを試料Ｓ上のＹ方向に走査する。この走査されたレーザ光Ｄは、各リレーレンズ４、５を通って第２のガルバノスキャナ６に入射する。この第２のガルバノスキャナ６は、矢印ｂ方向に揺動してレーザ光Ｄを試料Ｓ上のＸ方向に走査する。このＸＹ方向に走査されたレーザ光Ｄは、観察光学系を構成する各レンズ７、８、１／４波長板９、対物レンズ１０を通して試料Ｓの表面上に照射される。
【０００３】
なお、第１と第２のガルバノスキャナ３、６は、それぞれ各レンズ７、８及び各リレーレンズ４、５によってリレーされた対物レンズ１０の各瞳位置に配置される。詳しく説明すれば、第１と第２のガルバノスキャナ３、６の各傾きの支点を各瞳位置に配置している。第１と第２のガルバノスキャナ３、６を各瞳位置に配置しなければ、レーザ光Ｄ及び測定光の走査方向にずれが生じる。
【０００４】
試料Ｓの表面上からの測定光は、試料Ｓにレーザ光を照射した光路と逆方向の光路、すなわち対物レンズ１０、１／４波長板９、各レンズ８、７、第２のガルバノスキャナ６、各リレーレンズ５、４、第１のガルバノスキャナ３を通って偏光ビームスプリッタ２に入射して偏向される。この偏向された測定光は、集光レンズ１１により集光され、ピンホール１２を通過して受光素子１３で受光される。この受光素子１３の出力信号を処理することにより試料Ｓの観察像が取得される。
【０００５】
しかしながら、上記走査型顕微鏡は、２台の第１及び第２のガルバノスキャナ３、６を用いなければならず、このため各瞳位置にスキャナを配置するための各リレーレンズ４、５が必要となり、これらガルバノスキャナ３、６によって大きな空間を占領し、顕微鏡全体が大型化する。このため、１台のガルバノスキャナによってレーザ光を２次元走査すれば、リレーレンズを配置する必要もなく顕微鏡全体をコンパクト化できる。１台のガルバノスキャナによってレーザ光を２次元走査する技術が例えば特許文献１に開示されている。
【０００６】
この特許文献１の１台のガルバノスキャナによってレーザ光を２次元走査する技術を走査顕微鏡に適用すると、例えば図９及び図１０に示すように試料Ｓに対するレーザ光の走査軌跡に収差が生じてしまい、測定精度が低下する問題を有する。
【０００７】
このような特許文献１の技術を利用したもので、試料Ｓに対するレーザ光Ｄの走査軌跡の収差を修正する技術を開示したものと例えば特許文献２がある。この特許文献２には、試料に沿って照射光ビーム（レーザ光Ｄに相応）を走査するための走査装置を有する走査型顕微鏡が記載されている。この走査装置は、少なくとも２つの方向に移動することができる少なくとも１つのマイクロミラーを有する。この走査装置により照射光ビームを走査すると、試料に対する照射光ビームの走査軌跡に収差が生じる。そこで、特許文献２は、試料に照射する照射光ビームを例えばハルトマン・シャック検出器により検出し、この検出結果に応じて適用レンズのミラー面を静電アクチュエータなどの複数の能動光学素子によって変形し、ミラー面の欠陥又は変形を補正している。
【特許文献１】特開平６−３３７９５２号公報
【特許文献２】特開２００２−１３１６４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献２は、照射光ビームを検出するハルトマン・シャック検出器、ミラー面を有する適用レンズ、このミラー面を変形するための静電アクチュエータなどの複数の能動光学素子、ハルトマン・シャック検出器の検出結果に応じて静電アクチュエータなどの複数の能動光学素子を駆動制御するパーソナルコンピュータなどの各種部品を必要とする。これら各種部品は、走査型顕微鏡の光学系とは別途設けなければならない。このため、特許文献２では、構成が複雑化し、装置全体が大型化する。又、装置全体のコストも高くなってしまう。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、照明光を出力する光源と、光源から出力された照明光を、当該照明光の入射光軸に対して少なくとも２方向に偏向して走査させる２次元走査機構と、２次元走査機構により走査された照明光を試料に照射し、かつ試料からの測定光を検出する観察光学系と、観察光学系により検出された測定光を受光する受光素子と、受光素子の出力信号に基づいて試料の観察像を取得する画像処理部とを具備し、２次元走査機構は、光源から出力された照明光及び試料からの測定光を反射するミラーと、ミラーのミラー平面に対して略平行方向に設けられた第１の回転軸を有し、第１の回転軸を中心にミラーを回転させる第１の走査機構と、第1の走査機構の第１の回転軸に対して略垂直方向に設けられた第２の回転軸を有し、第１の走査機構を第２の回転軸を中心に回転させる第２の走査機構とを有し、ミラーのミラー平面は、第２の走査機構の第２の回転軸に対して略４５°を成し、かつ第１の回転軸と第１の走査機構の回転中心とが交わるように面上に配置した走査型顕微鏡である。
【００１０】
本発明は、レーザ光源から出力されたレーザ光を試料上に２次元走査し、試料からの測定光をピンホールを通して検出することにより試料の共焦点像を取得する走査型顕微鏡において、レーザ光源から出力されたレーザ光及び試料からの測定光を反射するミラーと、ミラーのミラー平面に対して略平行方向に設けられた第１の回転軸を有し、第１の回転軸を中心にミラーを回転させる第１の走査機構と、第1の走査機構の第１の回転軸に対して略垂直方向に設けられた第２の回転軸を有し、第１の走査機構を第２の回転軸を中心に回転させる第２の走査機構とを有し、ミラーのミラー平面を、第２の走査機構の第２の回転軸に対して略４５°を成し、かつ第１の回転軸と第１の走査機構の回転中心とが交わるように面上に配置し、第１の走査機構によるミラーの回転と第２の走査機構による第１の走査機構の回転とによりレーザ光を２次元走査させる２次元走査機構を具備した走査型顕微鏡である。
【発明の効果】
【００１１】
本発明は、簡単な構成で装置をコンパクトにでき、かつ試料に対するレーザ光の走査軌跡の収差を小さくできる走査型顕微鏡を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図８と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【００１３】
図１は走査型顕微鏡、詳しくはレーザ走査型共焦点顕微鏡の構成図である。レーザ光源１から出力される単一波長のレーザ光Ｄの光軸上には、偏光ビームスプリッタ２を介して２次元走査機構２０が設けられている。この２次元走査機構２０は、レーザ光源１から出力される単一波長のレーザ光Ｄを、当該レーザ光の入射光軸に対して少なくとも２方向に偏向して２次元走査する。この２次元走査機構２０により２次元走査されたレーザ光Ｄの光路上には、各レンズ７、８、１／４波長板９、対物レンズ１０が設けられている。
【００１４】
図２は２次元走査機構２０をＹ軸方向から見た構成図であり、図３は２次元走査機構２０をＺ軸方向から見た構成図である。２次元走査機構２０は、レーザ光源１から出力されたレーザ光Ｄ及び試料Ｓからの測定光を反射するミラー２１と、このミラー２１を回転させる第１の走査機構としての第１のガルバノスキャナ（以下、共振型ガルバノスキャナと称する）２２と、この第１のガルバノスキャナ２２を回転させる第２の走査機構としての第２のガルバノスキャナ２３とを有する。
【００１５】
第２のガルバノスキャナ２３は、例えばＸ軸周りの走査用として用いられる。この第２のガルバノスキャナ２３は、駆動部２４を有する。この駆動部２４の回転軸（以下、第２の回転軸と称する）２５は、Ｘ軸方向に配置されている。この第２の回転軸２５の先端部には、保持部２６が設けられている。この保持部２６は、例えば傾斜角４５°に形成された傾斜保持面２７を有し、この傾斜保持面２７上に共振型ガルバノスキャナ２２を組み付けている。これにより、共振型ガルバノスキャナ２２は、ミラー２１を回転させるための第１の回転軸２８をＸ軸方向と略直交で、かつ交差するＹ軸方向に対応するものとなる。
【００１６】
ミラー２１は、そのミラー平面を図４に示すように第２のガルバノスキャナ２３の第２の回転軸２５に対して例えば傾斜角４５°を成し、しかも共振ガルバノスキャナ２２の回転中心と、第２のガルバノスキャナ２３の回転中心とが交わるように面上に組付け配置されている。言い換えると、ミラー２１のミラー平面は、Ｘ軸及びＹ軸からなる平面に対し、共振型ガルバノスキャナ２２の回転軸周りに略４５°回転した平面上に設定される。
【００１７】
レーザ光Ｄの光軸は、第２のガルバノスキヤナ２３の第２の回転軸２５上を通るように調整されている。これにより、レーザ光Ｄは、先ず、ミラー２１で反射する。そして、第２のガルバノスキャナ２３の第２の回転軸２５をＸ軸周りに回転させると、ミラー２１で反射した出射光は、図３中に示す矢印方向に走査される。又、共振型ガルバノスキャナ２２の第１の回転軸２８をＹ軸周りに回転させると、ミラー２１で反射された出射光は、図２中に示す矢印Ｅ方向に走査される。
【００１８】
図５は共振型ガルバノスキャナ２２の外観構成図である。この共振型ガルバノスキャナ２２は、Ｙ軸周りの走査用として用いられる。共振型ガルバノスキャナ２２は、単結晶シリコン基板に対してエッチング処理を施すことによって一体加工された可動板３０と、この可動板３０に一体的に設けられたトーションバー３１と、可動板３０及びトーションバー３１を支持する支持枠３２とをそれぞれ金属ベース３３に接着して組付けて製造されている。
【００１９】
可動板３０の一方面上には、ミラー２１が設けられている。可動板３０の他方面には、スキャナ駆動するための駆動コイル３４と振動状態をモニタする検出コイル３５との二つからなる可動コイルが形成されている。又、支持枠３２における可動板３０を介して互いに対向する位置には、それぞれ磁気回路を形成する永久磁石３６と磁気ヨーク３７とが設けられている。これら永久磁石３６及び磁気ヨーク３７は、可動板３０に形成された駆動コイル３４に対して磁界を加えるもので、可動板３０に対して略平行で、かつトーションバー３１の延伸方向に略垂直な方向（Ｘ軸方向）に磁界を発生する。
【００２０】
従って、駆動コイル３４に電流を流すと、トーションバー３１に平行な二辺においてフレミングの左手の法則によりＺ軸方向で互いに向きが異なる駆動力が発生する。この駆動力により可動板３０には、トルクが加わる。このトルクとトーションバー３１の反力との関係により可動板３０は、トーションバー３１を揺動軸として図中矢印方向に揺動する。これにより、ミラー２１に入射したレーザ光Ｄは、反射して出射光ＥとしてＸ軸方向に走査される。
【００２１】
以上のような共振型ガルバノスキャナ２２及び第２のガルバノスキヤナ２３の構成において、共振型ガルバノスキャナ２２の走査周波数に同期させて第２のガルバノスキャナ２３をＸ軸周りに回転駆動されると、図４に示すようにミラー２１に入射したレーザ光Ｄは、反射して偏向されると共に、ＬＭ平面に対して出射される。このミラー２１からの出射光は、ミラー２１が走査中心にあるときの出射光Ｅの光軸方向をＮ軸とし、それに対して略垂直な面をＬＭ平面とし、且つ、Ｎ軸とＹ軸とを略平行に設定する。
【００２２】
ここで、ミラー２１のＸ軸周り、Ｙ軸周りの角回転角をそれぞれφ、θとすると、ＬＭＮ空間上の方向を単位ベクトルで表すと、
(L、M、N)=(sin(2θ)、sin(φ)・cos(2θ)、cos(φ)・cos(2θ))        …（１）
となる。
【００２３】
この式（１）に基づいて出射光は、所定の回転角θ、φをミラー２１に与えると、ＬＭ平面上に走査範囲の軌跡が投影される。そこで、共振型ガルバノスキャナ２３の走査周波数に同期させて第２のガルバノスキャナ２３を、図６に示す走査軌跡に沿って走査することにより、レーザ光Ｄは、例えば図７に示すようにラスタスキャンされる。これにより、走査軌跡の収差が殆どない２次元の光走査構成が構築されて、高精度な測定精度で測定することが可能になる。
【００２４】
図１に戻り画像処理部３８は、受光素子１３の出力信号を画像処理することにより試料Ｓの共焦点観察像の画像データを取得して保存し、かつこの観察像をモニタ３９に表示する。
【００２５】
次に、上記の如く構成された走査型顕微鏡の動作について説明する。
【００２６】
レーザ光源１は、単一波長のレーザ光Ｄを出力する。このレーザ光Ｄは、偏光ビームスプリッタ２を透過して２次元走査機構２０のミラー２１に入射する。
【００２７】
この２次元走査機構２０における共振型ガルバノスキャナ２２では、図５に示すように駆動コイル３４に電流が流れると、上記の如くトーションバー３１に平行な二辺においてフレミングの左手の法則によりＺ軸方向で互いに向きが異なる駆動力が発生する。この駆動力により可動板３０にトルクが加わるので、このトルクとトーションバー３１の反力との関係により可動板３０は、トーションバー３１をＹ軸周りに揺動軸として図中矢印方向に揺動する。これにより、ミラー２１に入射したレーザ光Ｄは、反射して出射光ＥとしてＸ軸方向に走査される。
【００２８】
これと共に第２のガルバノスキャナ２３は、図２に示すように駆動部２４によって共振型ガルバノスキャナ２２を保持する保持部２６をＸ軸周りに揺動させる。
【００２９】
このように共振型ガルバノスキャナ２２においてミラー２１をＹ軸周りに揺動させ、かつこの共振型ガルバノスキャナ２２の走査周波数に同期させて第２のガルバノスキャナ２３をＸ軸周りに回転駆動すると、ミラー２１に入射したレーザ光Ｄは、例えば図７に示すようにＸＹ軸方向にラスタスキャンされる。
【００３０】
ＸＹ軸方向にラスタスキャンされたレーザ光Ｄは、各レンズ７、８、１／４波長板９、対物レンズ１０を通して試料Ｓの表面上に照射される。
【００３１】
試料Ｓの表面上からの測定光は、試料Ｓにレーザ光を照射した光路と逆方向の光路、すなわち対物レンズ１０、１／４波長板９、各レンズ８、７、２次元走査機構２０を通って偏光ビームスプリッタ２に入射して偏向される。この偏向された測定光は、集光レンズ１１により集光され、ピンホール１２を通過して受光素子１３で受光される。この受光素子１３の受光面上に現れる観察像は、試料Ｓの表面上の共焦点像となる。この受光素子１３は、受光量に応じた信号を出力する。画像処理部３８は、受光素子１３の出力信号を画像処理することにより試料Ｓの共焦点観察像の画像データを取得して保存し、かつこの観察像をモニタ３９に表示する。
【００３２】
このように上記一実施の形態によれば、走査顕微鏡に、ミラー２１の略ミラー平面上に第１の回転軸２８を有する共振型ガルバノスキャナ２２を、その第１の回転軸２８と略垂直かつ交差する第２の回転軸２５を有する第２のガルバノスキャナ２３によって保持し、走査中心において、ミラー２１のミラー平面を、共振型ガルバノスキャナ２２の第１の回転軸２８及び第２のガルバノスキャナ２３の第２の回転軸２５からなる平面に対して、共振型ガルバノスキャナ２２の第１の回転軸２８の軸回りに略４５°回転した平面上に設けるように構成した２次元走査機構２０を用いた。
【００３３】
この２次元走査機構２０によれば、共振型ガルバノスキャナ２２の第１の回転軸２８及び第２のガルバノスキャナ２３の第２の回転軸２５に回転角θ、φを与えたときのＬＭ平面上に投影される走査範囲の軌跡は、上記図６に示すように従来の光走査装置の走査軌跡の収差に比べて収差を小さくできる。従って、第２のガルバノスキャナ２３の第２の回転軸２５の先端部に共振型ガルバノスキャナ２２を設ける簡便にして簡単な構成で、レーザ光Ｄの走査軌跡の収差を小さくできる。その上、２次元走査機構２０が簡単な構成であることから走査顕微鏡に占める２次元走査機構２０の空間領域を小さくでき、走査顕微鏡全体をコンパクト化できる。
【００３４】
この結果、コンパクト化した走査顕微鏡において、簡便にして容易に高精度な２次元走査を実現できる。このような高精度な２次元走査されたレーザ光Ｄを試料Ｓに照射して取得された試料Ｓく共焦点像は、試料Ｓの表面を高分解能で捕らえたものにできる。
【００３５】
又、このように２次元走査機構２０を用いることにより図８に示す一般に知られる走査型顕微鏡に用いた各リレーレンズ４、５を省略でき、これらリレーレンズ４、５を用いた光路長分だけ偏光ビームスプリッタ２と２次元走査機構２０との間隔を狭くすることができ、これによりさらに走査顕微鏡全体をコンパクト化できる。
【００３６】
なお、共振型ガルバノスキャナ２２は、単結晶シリコン基板に対してエッチング処理を施すことによって一体加工された可動板３０と、この可動板３０に一体的に設けられたトーションバー３１と、可動板３０及びトーションバー３１を支持する支持枠３２とをそれぞれ金属ベース３３に接着して組付けて製造するので、設計製作が容易である。
【００３７】
なお、この発明は、上記一実施の形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施形態に亘る構成要素を適宜組み合せてもよい。
【００３８】
例えば、２次元走査機構２０は、ミラー２１を共振型ガルバノスキャナ２２に配し、この共振型ガルバノスキャナ２２を第１のガルバノスキャナ２３に組付け配置するように構成したが、これに限ることなく、双方を共振型ガルバノスキャナで構成することも可能である。
【００３９】
又、上記一実施の形態では、共焦点画像を取得するレーザ走査型共焦点顕微鏡に２次元走査機構２０を用いた一例について説明したが、これに限らず、各種観察法、例えば微分干渉観察法、簡易偏向観察法、明視野観察法、暗視野観察法などにより試料Ｓを観察する走査型顕微鏡に適用できる。微分干渉観察法は、レンズ７、８、１／４波長板９、対物レンズ１０からなる観察光学系の光軸上にアナライザ、ＤＩＣ（微分干渉）プリズム、ポラライザを配置してなる。簡易偏向観察法は、同観察光学系の光軸上にクロスニコルの関係にあるアナライザ、ポラライザを配置してなる。
【００４０】
さらに、応用例として２次元走査機構２０は、走査型顕微鏡に限らず、レーザビームプリンタ、バーコードスキャナ等において光ビームを偏向走査するために用いることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明に係る走査型顕微鏡の一実施の形態を示す構成図。
【図２】同走査型顕微鏡における２次元走査機構をＹ軸方向から見た構成図。
【図３】同走査型顕微鏡における２次元走査機構をＺ軸方向から見た構成図。
【図４】同走査型顕微鏡における共振型ガルバノスキャナのミラーの作用を示す図。
【図５】同走査型顕微鏡における共振型ガルバノスキャナの外観構成図。
【図６】同走査型顕微鏡における第２のガルバノスキャナにより走査する走査軌跡の一例を示す図。
【図７】同走査型顕微鏡におけるレーザ光のラスタスキャンを示す図。
【図８】一般に知られる走査型顕微鏡の構成図。
【図９】試料に対するレーザ光の走査軌跡に生じる収差を示す図。
【図１０】試料に対するレーザ光の走査軌跡に生じる収差を示す図。
【符号の説明】
【００４２】
１：レーザ光源、２：偏光ビームスプリッタ、７，８：レンズ、９：１／４波長板、１０：対物レンズ、１１：集光レンズ、１２：ピンホール、１３：受光素子、２０：２次元走査機構、２１：ミラー、２２：第１のガルバノスキャナ（共振型ガルバノスキャナ）、２３：第２のガルバノスキャナ、２４：駆動部、２５：第２の回転軸、２６：保持部、２７：傾斜保持面、２８：回転軸、３０：可動板、３１：トーションバー、３２：支持枠、３３：金属ベース、３４：駆動コイル、３５：検出コイル、３６：永久磁石、３７：磁気ヨーク、３８：画像処理部、３９：モニタ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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