(57)【要約】  【目的】  対象物の位置に対して光源および撮像装置の位置を固定しておいて，光源から対象物に投射される照明光の対象物への入射角度，撮像装置に入射する対象物からの反射光の角度を自由に変更できるようにする。  【構成】  光源２と搬送路との間に光路変更ユニット10が設けられている。光路変更ユニット10は２本のボールねじ11Ｌ，11Ｒに沿って（照明光の光軸に沿って）上下移動可能で，かつ搬送路の幅方向にのび，照明光の光軸が通る箇所を中心に回転する回転軸を持つ反射鏡面を含む反射板15を備えている。また撮像装置１と搬送路との間に光路変更ユニット20が設けられている。光路変更ユニット20は２本のボールねじ21Ｌ，21Ｒに沿って（撮像装置１の光軸に沿って）上下動可能で，かつ搬送路の幅方向にのび，撮像装置の光軸が通る箇所を中心に回転する回転軸を持つ反射鏡面を含む反射板25を備えている。  【選択図】    図２
2005099560.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源から投射される照明光を対象物を照明するように偏向する偏向装置と，
上記偏向装置を，光源から投射される照明光の光軸に沿って移動自在に支持する移動機構とを備え，
上記偏向装置は，上記照明光を対象物に向けて反射する反射鏡と，上記反射鏡を上記照明光の光軸が通る箇所を中心に回転自在に支持する回転機構とを備えている，
光路変更装置。
【請求項２】
対象物からの反射光をセンサ装置に導く偏向装置と，
上記偏向装置を，センサ装置の光軸に沿って移動自在に支持する移動機構とを備え，
上記偏向装置は，対象物からの反射光をセンサ装置に向けて反射する反射鏡と，上記反射鏡をセンサ装置の光軸が通る箇所を中心に回転自在に支持する回転機構とを備えている，
光路変更装置。
【請求項３】
光源から投射される照明光を対象物を照明するように偏向する第１の偏向装置と，上記第１の偏向装置を，光源から投射される照明光の光軸に沿って移動自在に支持する第１の移動機構とを備え，上記第１の偏向装置は，上記照明光を対象物に向けて反射する第１の反射鏡と，上記第１の反射鏡を上記照明光の光軸が通る箇所を中心に回転自在に支持する第１の回転機構とを備えている第１の光路変更装置，および
対象物からの反射光をセンサ装置に導く第２の偏向装置と，上記第２の偏向装置を，センサ装置の光軸に沿って移動自在に支持する第２の移動機構とを備え，上記第２の偏向装置は，対象物からの反射光をセンサ装置に向けて反射する第２の反射鏡と，上記第２の反射鏡をセンサ装置の光軸が通る箇所を中心に回転自在に支持する第２の回転機構とを備えている第２の光路変更装置，
からなる光路変更システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は，光路変更装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
対象物の表面を撮像する撮像システムでは，対象物の表面が，センサ（たとえば，ＣＣＤラインセンサ）を含む撮像装置により撮像される。対象物の表面は，照明装置から投射される照明光によって照明される。
【０００３】
図７および図８は，従来の撮像システムの例を示している。
【０００４】
撮像システムは，対象物Ｓを搬送するベルトコンベア44と，このベルトコンベア44の搬送路の上方に配置された撮像装置41および線状照明光源42を備えている。撮像装置41および光源42は，撮像位置を中心にして搬送路上を旋回移動するように設けられている。
【０００５】
対象物Ｓの撮像の目的（検査項目）に応じて，撮像装置41および光源42が位置決めされる。たとえば，対象物Ｓの形状，寸法等の検査（計測）にある場合には，撮像装置41および光源42はいずれも高い位置（搬送面から離れた位置）に位置決めされる（図７）。照明光の対象物Ｓへの入射角度α，および撮像装置41に向かう対象物Ｓからの反射光の反射角度βはいずれも大きい。対象物Ｓがほぼ正面から照明され，かつ対象物Ｓがほぼ正面から撮像されるので，撮像によって得られる画像データが表す対象物Ｓの画像は対象物Ｓの形状，寸法等を比較的正確に表すものになる。
【０００６】
対象物Ｓの撮像の目的（検査項目）が，対象物Ｓの表面に形成された凹凸等の状態にある場合，光源42および撮像装置41を高い位置に位置させて対象物Ｓを撮像すると，その表面の凹凸等の状態を分かりやすく撮像することができない。この場合には，撮像装置41および光源42は低い位置（搬送路に近い位置）にそれぞれ位置決めされる（図８）。照明光の対象物Ｓへの入射角度α，および撮像装置41に向かう対象物Ｓからの反射光の反射角度βはいずれも小さくなる。対象物Ｓの表面に形成された凹凸等が強調して撮像されるので，対象物Ｓの表面の凹凸等の状態が分かりやすい画像を得ることができる。
【０００７】
図７および図８に示す機構において，入射角度αおよび反射角度βを変えるためには，撮像装置41および光源42をそれぞれを旋回移動させる必要がある。旋回移動が可能な程度の広いスペースが必要とされるので撮像システムが大型化してしまう。また，撮像装置41自体および光源42自体を移動させるから大きい駆動力を要する。さらに，撮像装置41および光源42からのびるケーブル（電源供給ケーブル，信号出力ケーブル等）のとり回しも複雑になる。
【０００８】
特許文献１には，光源54，傾斜角度が一定の固定ミラー56および可動ミラー57を含む照明手段50を備えた画像処理型測定器10が記載されている。照明手段50が被測定物25に近づく，または遠ざかる方向に移動すると，可動ミラー57の傾斜角度が変わり可動ミラー57から被測定物25に入射する照射光の入射角度が変わる（ＣＣＤカメラ36を含む光学系手段37は固定されている）。光源54を含む照明手段50自体を被測定物25に近づける，または遠ざける方向に移動させているので，被対象物25への照射光の照度が大きく変わってしまう。
【０００９】
特許文献２には，観察窓14から入射する光を反射鏡13によってテレビジョンカメラ11に向けて偏向する観察装置が記載されている。テレビジョンカメラ11は固定されており，反射鏡13は回転するまたは起伏する。これは，対象物を広い範囲にわたって観察するためである。
【特許文献１】特公平７−３１０４８号公報
【特許文献２】特許第２８３４９１８号公報
【発明の開示】
【００１０】
この発明は，対象物の位置（撮像位置，検査位置，測定位置等）に対して光源の位置を固定しておいて，光源から投射される照明光の対象物への入射角度を，自由に変更できるようにすることを目的とする。
【００１１】
またこの発明は，対象物の位置（撮像位置，検査位置，計測位置等）に対してセンサ装置の位置を固定しておいて，センサ装置に入射する対象物からの反射光の角度（撮像角度，検査角度，計測角度）を自由に変更できるようにすることを目的とする。
【００１２】
第１の発明による光路変更装置は，光源から投射される照明光を対象物を照明するように偏向する偏向装置と，上記偏向装置を，光源から投射される照明光の光軸に沿って移動自在に支持する移動機構とを備え，上記偏向装置は，上記照明光を対象物に向けて反射する反射鏡と，上記反射鏡を上記照明光の光軸が通る箇所を中心に回転自在に支持する回転機構とを備えている。
【００１３】
光源から投射された照明光が，偏向装置の反射鏡によって反射（偏向）される。偏向された照明光によって対象物が照明される。
【００１４】
光源と照明位置（照明される対象物の位置）との相対的位置関係は不変に保たれる。一般的には光源は固定的に設けられ，固定的に設けられた光源から投射される照明光によって所定の位置（照明位置）が照明される。照明位置に対象物を位置させることによって，固定的に設けられた光源から投射される照明光によって対象物が照明される。
【００１５】
この発明によると，移動機構によって反射鏡の位置（光源からの位置または対象物からの位置）を変えることができ，かつ回転機構によって反射鏡の角度を変えることができる。移動機構による偏向装置の移動は照明光の光軸に沿い，かつ回転機構による反射鏡の回転は照明光の光軸が通る箇所を中心とするので，対象物の位置に対して光源の位置を固定しておいて，対象物の所定の位置を照明する照明光の対象物への入射角度を自由に変更することができる。すなわち，対象物を水平に近い（浅い）角度（対象物への入射角度が小さい）からも，垂直に近い角度（対象物への入射角度が大きい）からも照明することができる。移動，回転させるのは反射鏡であり，反射鏡は軽く，小型であるから，機構を簡素化でき，広いスペースも必要とされない。
【００１６】
照明光を投射する光源は，点光源，線光源のいずれであってもよく，照明すべき箇所の大きさ，範囲等に応じて選定される。光源がたとえば線光源の場合には，上記反射鏡は線光源の長手方向と平行な回転中心を中心に回転自在に支持される。また，対象物を照明する照明光は，光源から投射される照明光をコリメート・レンズ等の光学部材によって平行光，その他の状態にした光であってもよい。光路変更装置に光源を加えることにより，光路変更可能な照明装置が構成される。
【００１７】
第２の発明による光路変更装置は，対象物からの反射光をセンサ装置に導く偏向装置と，上記偏向装置を，センサ装置の光軸に沿って移動自在に支持する移動機構とを備え，上記偏向装置は，対象物からの反射光をセンサ装置に向けて反射する反射鏡と，上記反射鏡をセンサ装置の光軸が通る箇所を中心に回転自在に支持する回転機構とを備えている。
【００１８】
対象物からの反射光は，偏向装置の反射鏡によって反射（偏向）されてセンサ装置に導かれる。
【００１９】
センサ装置とセンシング位置（反射光が反射する対象物の位置）との相対的位置関係は不変に保たれる。一般的にはセンサ装置は固定的に設けられ，固定的に設けられたセンサ装置に所定の位置（反射位置）からの反射光が入射する。反射位置に対象物を位置させることによって，対象物からの反射光が固定的に設けられたセンサ装置に導かれる。
【００２０】
この発明によると，移動機構によって反射鏡の位置（センサ装置からの位置または対象物からの位置）を変えることができ，かつ回転機構によって反射鏡の角度を変えることができる。移動機構による偏向装置の移動はセンサ装置の光軸に沿い，かつ回転機構による反射鏡の回転はセンサ装置の光軸が通る箇所を中心とするので，対象物に対してセンサ装置を固定しておいて，センサ装置に入射する対象物からの反射光の角度を自由に変更することができる。対象物からの反射光のうち特定の角度を持つもののみをセンサ装置に導くことができるので，センサ装置では種々の角度から対象物をみた光像を得ることができる。第２の光路変更装置においても，移動，回転させるのは反射鏡であり，反射鏡は軽く，小型であるから，機構を簡素化でき，広いスペースも必要とされない。
【００２１】
この発明は，照明とセンシングための光路変更システムも提供している。この発明による光路変更システムは，光源から投射される照明光を対象物を照明するように偏向する第１の偏向装置と，上記第１の偏向装置を，光源から投射される照明光の光軸に沿って移動自在に支持する第１の移動機構とを備え，上記第１の偏向装置は，上記照明光を対象物に向けて反射する第１の反射鏡と，上記第１の反射鏡を上記照明光の光軸が通る箇所を中心に回転自在に支持する第１の回転機構とを備えている第１の光路変更装置，および対象物からの反射光をセンサ装置に導く第２の偏向装置と，上記第２の偏向装置を，センサ装置の光軸に沿って移動自在に支持する第２の移動機構とを備え，上記第２の偏向装置は，対象物からの反射光をセンサ装置に向けて反射する第２の反射鏡と，上記第２の反射鏡をセンサ装置の光軸が通る箇所を中心に回転自在に支持する第２の回転機構とを備えている第２の光路変更装置からなるものである。
【００２２】
第１の光路変更装置によって，対象物の位置に対して光源の位置を固定しておいて，光源から投射される照明光の対象物への入射角度を自由に変更することができる。また，第２の光路変更装置によって，対象物の位置に対してセンサ装置の位置を固定しておいて，センサ装置に入射する対象物からの反射光の角度を自由に変更することができる。さまざまな角度から照明された対象物の所定の位置を，さまざまな角度から見た画像を，得ることができる。
【００２３】
光路変更システムに光源およびセンサ装置を加えることによって，対象物への照明光の入射角度，および対象物からの反射光の反射角度が変更可能な検査システム（計測システム，認識システムを含む）を構成することができる。
【実施例】
【００２４】
図１は，撮像システム（検査システム，計測システム）を外観を示す斜視図である。図２は，２つの光路変更ユニットの斜視図である。図２に示す２つの光路変更ユニット10，20は，図１に示す撮像システムのカバー３，４内にそれぞれ収められている。
【００２５】
撮像システムは，対象物の表面をＣＣＤラインセンサを含む撮像装置によって撮像し，対象物の表面を表す画像データを得るためのシステムである。撮像装置によって撮像された対象物の表面の画像データは，たとえば，対象物の表面の検査（計測）に利用される。対象物表面における，加工箇所の位置検査，加工寸法の検査，表面検査（傷または凹凸がないかどうか），貫通部の有無の検査（貫通していなければならない部分が貫通しているか，貫通してはいけない部分に貫通がないかどうか），均一性検査（膜厚や表面状態が均一かどうか）等が，撮像システムによって得られた画像データに基づいて行われる。
【００２６】
撮像システムにおいて，対象物Ｓは搬送装置によって搬送される。搬送装置はベルトコンベアであり，搬送路に沿って水平面上に一定間隔で平行に配列されている多数のローラ５に，ベルトＢが掛けられている。ローラ５の両端は搬送装置のフレーム（鎖線で示す）により回転自在に支持され，かつ搬送駆動装置（図示略）により同期して回転駆動される。上流の対象物供給装置（図示略）から供給される対象物Ｓは，ベルトＢ上（搬送路上）を下流（搬送方向）に向けて搬送される。
【００２７】
搬送装置の搬送路上に定められた撮像位置（検査位置，計測位置）の上方において，撮像位置よりもやや上流側に線状照明光源２が，やや下流側にＣＣＤラインセンサを含む撮像装置１がそれぞれ固定的に設けられている。
【００２８】
線状照明光源２は，搬送路の幅方向（搬送方向と直交する方向）にのび，検査範囲の全体（搬送路の幅方向のほぼ全体）にわたってほぼ均一に上方から照明する位置に配置されている。後述するように，光源２から真下に向かって投射される照明光は，光路変更ユニット10の反射板15の反射鏡面によって反射（偏向）され，偏向された照明光によって搬送路上の撮像位置が照明される。光源２からの照明光は放射状に広がるが，垂直下方に最も高い強度分布をもつので，照明光の光軸は光源２から垂直下方の方向である。
【００２９】
撮像装置１のＣＣＤラインセンサは搬送路の幅方向を走査方向とするように配置されている。後述するように，対象物Ｓの撮像位置からの反射光は，光路変更ユニット20の反射板25の反射鏡面によって反射（偏向）され，撮像装置１に導かれる。撮像装置１によって，光源２により照明された照明位置がその幅方向の全体にわたって撮像される。撮像装置１の光学系（図示略）は，その光軸が垂直下方に向かうように設定されている。
【００３０】
光源２と搬送路との間の空間において，搬送路の上方に，光路変更ユニット10が収められたカバー３が配置されている。撮像装置１と搬送路との間の空間において，搬送路の上方に，光路変更ユニット20が収められたカバー４が配置されている。カバー３，４は，その両側面に取付けられた支持脚によって，搬送路の上方に支持されている。
【００３１】
カバー３は，基本的に光路変更ユニット10を，その前後の側面，左右の端面および上面を覆う。カバー３の上面には光源２からの照明光をカバー３内に入射させるための開口３ａがあけられている。この開口３ａにより，光源２からのほぼ直下に向かう照明光のみがカバー３内に入射する。
【００３２】
カバー４は，基本的に光路変更ユニット20を，その前後の側面，左右の端面および上面を覆う。カバー４の上面には，光路変更ユニット20から上方に向かう光の通過を許す開口４ａがあけられている。これにより，ほぼ垂直上方に向かう光が撮像装置１によって撮像される。
【００３３】
カバー３のカバー４に対向する側面および底面に，側面から底面にかけて連続して開口３ｂがあけられている。カバー４のカバー３に対向する側面および底面にも，側面から底面にかけて連続して開口４ｂがあけられている。照明光は，カバー３の開口３ｂからカバー３の外に出射し，対象物Ｓを照明する。対象物Ｓからの反射光がカバー４の開口４ｂからカバー４内に入射する。
【００３４】
カバー３内に収められた光路変更ユニット10は，光源２から投射される照明光を偏向する（対象物Ｓへの照明光の入射角度を変更する）ためのものである。
【００３５】
カバー４内に収められた光路変更ユニット20は，対象物Ｓからの反射光のうち特定の角度を持つもののみを垂直上方（撮像装置１の光軸方向）に偏向する（対象物Ｓからの反射光の反射角度を変更する）ものである。
【００３６】
光路変更ユニット10は，搬送路の両側側方の位置に立設された１対のボールねじ11Ｌ，11Ｒを備えている。ボールねじ11Ｌ，11Ｒはそれぞれ，それらの上端および下端において，カバー３に固定された軸受16によって回転自在に支持されている。
【００３７】
カバー３の上方には上下動用のモータ13Ｌ，13Ｒがそれぞれ固定され，これらのモータの出力軸はボールねじ11Ｌ，11Ｒにそれぞれ連結されている。モータ13Ｌ，13Ｒを同期させて駆動することにより，ボールねじ11Ｌ，11Ｒは同期して同方向に回転する。２つのモータ13Ｌ，13Ｒを設けずに，１つのモータと，このモータの回転によってボールねじ11Ｌ，11Ｒを同方向に同期して回転させる連動機構を設けてもよい。
【００３８】
ボールねじ11Ｌ，11Ｒには，移動体12Ｌ，12Ｒがそれぞれねじ嵌められている。移動体12Ｌ，12Ｒの内側面（搬送路を向く面）には回転用モータ14Ｌ，14Ｒがそれぞれ固定されている。一方，反射鏡面が形成された反射板15にはその両端に回転軸が設けられ，これらの回転軸が回転用モータ14Ｌ，14Ｒの出力軸にそれぞれ連結されている。これによって反射板15が水平にかつ回転自在に支持されている。反射板15の回転軸（回転中心）は，光源２の光軸（垂直下方）上にある。２つのモータ14Ｌ，14Ｒを設けずに，１つのモータと，このモータの回転によって反射板15を回転させる機構を設けてもよい。
【００３９】
ボールねじ11Ｌ，11Ｒを同期して正回転させると，ボールねじ11Ｌ，11Ｒにねじ嵌められた移動体12Ｌ，12Ｒと，これらの移動体12Ｌ，12Ｒに設けられた回転用モータ14Ｌ，14Ｒおよび反射板15は，ボールねじ11Ｌ，11Ｒに沿って搬送路に近づく向きに（下方に向けて）移動する。ボールねじ11Ｌ，11Ｒを同期して逆回転させると，移動体12Ｌ，12Ｒ，回転用モータ14Ｌ，14Ｒおよび反射板15は，ボールねじ11Ｌ，11Ｒに沿って搬送路から離れる向きに（上方に向けて）移動する。いずれにしても，反射板15は線状照明光源２から投射される照明光の光軸に沿って上下移動する。
【００４０】
回転用モータ14Ｌ，14Ｒが同期して駆動すると，反射板15は回転軸を中心に回転する。反射板15の反射鏡面の回転角度位置が変わる。
【００４１】
このように，光路変更ユニット10において，反射板15は光源２から投射される照明光の光軸に沿って上下に移動可能であるとともに，反射板15の回転軸（回転中心）を光源２の光軸（垂直下方）上にした状態で，その反射鏡面の回転角度位置を変更可能である。
【００４２】
光路変更ユニット20も，光路変更ユニット10と同じ機構を有している。すなわち，光路変更ユニット20は，搬送路の両側側方の位置において軸受26により回転自在に立設された１対のボールねじ21Ｌ，21Ｒを備え，ボールねじ21Ｌ，21Ｒに上下動用モータ23Ｌ，23Ｒの出力軸がそれぞれ連結されている。上下動用モータ23Ｌ，23の同期駆動により，ボールねじ21Ｌ，21Ｒは同期して同方向に回転する。また，ボールねじ21Ｌ，21Ｒには移動体22Ｌ，22Ｒがそれぞれねじ嵌められている。移動体22Ｌ，22Ｒの内側面に固定された回転用モータ24Ｌ，24Ｒの出力軸に，反射鏡面が形成された反射板25の回転軸が連結されている。回転用モータ24Ｌ，24Ｒが同期して駆動すると，反射板25の反射鏡面の回転角度位置が変わる。光路変更ユニット20において，反射板25は撮像装置１の光軸に沿って上下に移動可能であるとともに，反射板25の回転軸（回転中心）を撮像装置１の光軸（垂直下方）上にした状態で，その反射鏡面の回転角度位置を変更可能である。
【００４３】
図３は，撮像システムをその側方から見たものである。図３に示す撮像システムにおいて，カバー３，４は鎖線で示されている。また，搬送路の片側に位置するボールねじ11Ｒ，21Ｒ，移動体12Ｒ，22Ｒ，上下動用モータ13Ｒ，23Ｒ，回転用モータ14Ｒ，24Ｒ，軸受16，26および反射板15，25の側面から突出する回転軸の図示，ならびに搬送装置の図示は省略されている。このことは図４〜図６においても同じである。
【００４４】
図３に示す撮像システムは，照明光の対象物Ｓへの入射角度α，および撮像装置１に向かう反射光の対象物Ｓからの反射角度β（撮像角度β）を最も大きくするために，反射板15，25が最上方に位置決めされている。
【００４５】
光源２から出射された照明光はカバー３の開口３ａからカバー３内に入る。カバー３内に入った照明光は，光源２の直下に位置する光路変更ユニット10の反射板15の反射鏡面に入射して反射（偏向）される。反射板15はその反射鏡面によって偏向された照明光が，対象物Ｓの表面に定められた撮像位置に向かうように，その回転角度位置が位置決めされている。反射鏡面によって偏向された照明光は，カバー３の開口３ｂからカバー３の外に出て，対象物Ｓの表面の撮像位置に入射する（入射角度α）。
【００４６】
照明光は検査対象物Ｓの表面の撮像位置において反射される。反射光は，カバー４の開口４ｂからカバー４内に入る。カバー４内に入った反射光の一部（反射角度βの角度をもつもの）は，撮像装置１の直下に位置する光路変更ユニット20の反射鏡25の反射鏡面において反射（偏向）される。反射板25は，その反射鏡面によって偏向された反射光が撮像装置１に向かうように，その回転角度位置が位置決めされている。偏向後の反射光はカバー４の開口４ａからカバー４の外に出て撮像装置１に入射する。対象物Ｓの表面の撮像位置における反射光うち反射角度βをもつものが撮像装置１に入射するので，反射角度βから見た対象物Ｓの表面の光像が撮像装置１によって撮像される。
【００４７】
図４〜図６は，図３に対応するもので，光路変更ユニット10および光路変更ユニット20を利用して，対象物Ｓの撮像位置に入射する照明光の入射角度α，および対象物Ｓから撮像装置１に向かう反射光の反射角度βを変更させた様子を示している。
【００４８】
対象物Ｓの表面を，水平に近い（浅い）角度（入射角度αが小さい）から照明し，かつ水平に近い（浅い）角度（反射角度βが小さい）から見た光像を撮像装置１において撮像する場合には，図４に示すように，光路変更ユニット10において，反射板15をボールねじ11Ｌ，11Ｒに沿って対象物Ｓに近い位置にまで下方に移動させ，かつ反射板15の反射鏡面によって偏向される照明光が対象物Ｓの表面の撮像位置を照明するように反射板15をその回転軸を中心にして回転させる。光路変更ユニット20においても反射板25をボールねじ21Ｌ，21Ｒに沿って対象物Ｓに近い位置にまで移動させ，かつ反射板25の反射鏡面によって偏向される対象物Ｓからの反射光が撮像装置１に入射するように反射板25をその回転軸を中心にして回転させる。
【００４９】
反射板15を，照明光の光軸に沿って上下に移動可能とし，かつ照明光の光軸が通る箇所を中心に回転可能とすることによって，対象物Ｓの位置に対する光源２の位置を固定しておいて，対象物Ｓの表面の所定の位置を，水平に近い（浅い）角度からも垂直に近い角度からも照明することができる。また，反射板25を撮像装置１の光軸に沿って上下に移動可能とし，かつ反射板25を撮像装置１の光軸が通る箇所を中心に回転可能とすることによって，対象物Ｓの位置に対する撮像装置１の位置を固定しておいて，対象物Ｓの表面の所定の位置を，水平に近い（浅い）角度から見た光像も，垂直に近い角度から見た光像も撮像することができる。
【００５０】
反射板15の上下動および回転，ならびに反射板25の上下動および回転は，互いに独立して制御することができる。このため，図５に示すように，対象物Ｓの表面の撮像位置を水平に近い（浅い）角度（入射角度αが小さい）から照明するとともに，対象物Ｓの表面の撮像位置を垂直に近い角度（反射角度βが大きい）から見た光像を撮像することも可能である。逆に，図６に示すように，対象物Ｓの表面の撮像位置を垂直に近い角度（入射角度αが大きい）から照明するとともに，対象物Ｓの表面の撮像位置を水平に近い（浅い）角度（反射角度βが小さい）から見た光像を撮像することも可能である。さまざまな角度から対象物を照明することができるとともに，対象物をさまざまな角度から見た光像を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】撮像システムの斜視図である。
【図２】２つの光路変更ユニットの斜視図である。
【図３】撮像システムをその側方から見た概略図である。
【図４】撮像システムをその側方から見た概略図である。
【図５】撮像システムをその側方から見た概略図である。
【図６】撮像システムをその側方から見た概略図である。
【図７】従来の撮像システムを側方から見た概略図である。
【図８】従来の撮像システムを側方から見た概略図である。
【符号の説明】
【００５２】
１  撮像装置
２  線状照明光源
10，20  光路変更ユニット
15，25  反射板
11Ｌ，11Ｒ，21Ｌ，21Ｒ  ボールねじ
12Ｌ，12Ｒ，22Ｌ，22Ｒ  移動体
13Ｌ，13Ｒ，23Ｌ，23Ｒ  上下動用モータ
14Ｌ，14Ｒ，24Ｌ，24Ｒ  回転用モータ
Ｓ  対象物
【図１】
2005099560.tif 000003
【図２】
2005099560.tif 000004
【図３】
2005099560.tif 000005
【図４】
2005099560.tif 000006
【図５】
2005099560.tif 000007
【図６】
2005099560.tif 000008
【図７】
2005099560.tif 000009
【図８】
2005099560.tif 000010