(57)【要約】【課題】高精細電子機器の高密度に配列された多数の接続端子に対しても、常に正確且つ容易に導通接触させることができる信頼性及び検査作業性に優れた通電検査用プローブ装置を提供する。【解決手段】四角棒状の基体４の側周面に、被検査対象物である液晶表示パネルＬｐにおける接続端子３ａの並設ピッチｐと同じピッチで、複数の溝４ａが形成され、これら溝４ａ内に、それぞれ、接触子として銅線からなるワイヤ５を表面に保護被膜を設けずに剥き出しのまま嵌入されている。基体４の接続端子３ａに接触させる側のコンタクト面には、ウレタンフォームシートからなるクッションシート６が貼着され、この上からワイヤ５が嵌入されている。【選択図】図２
2005106517.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査対象機器の所定のピッチで並設された複数の接続端子に導通接触させるための複数の接触子を備えた通電検査用プローブ装置であって、
絶縁材からなる基体の表面に、接触子として複数の導電性の線材を、前記接続端子のピッチと実質的に同一ピッチで、対応する各接続端子の長手方向にそれぞれ延在させて並設したことを特徴とする通電検査用プローブ装置。
【請求項２】
前記基体の表面に複数の溝を刻設し、前記複数の導電性の線材が前記複数の溝のそれぞれに表面の少なくとも一部を各溝から突出させてそれぞれ嵌入されていることを特徴とする請求項１に記載の通電検査用プローブ装置。
【請求項３】
前記線材は、断面が円形をなし、その直径が嵌入される溝の深さの１．５倍以上で且つ前記溝の幅以上であることを特徴とする請求項２に記載の通電検査用プローブ装置。
【請求項４】
前記基体は、断面が矩形をなす角棒材であることを特徴とする請求項１乃至請求項３のうちの何れかに記載の通電検査用プローブ装置
【請求項５】
前記基体の少なくとも前記接続端子が設けられている面に対向させる側面部分に可撓性のシート材を被覆し、該シート材を介して前記線材を対応する溝にそれぞれ嵌入したことを特徴とする請求項２乃至請求項４の何れかに記載の通電検査用プローブ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の接続端子に対し同時に導通接触させて通電可能な通電検査用プローブ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、複数の画素がマトリクス配置された液晶表示素子は、各画素を駆動するための多数の電極配線の接続端子が配置された接続端子部を備えている。このような接続端子部を備えた電子機器に対する通電検査においては、従来、特許文献１にも示されるように、多数のプローブ針が検査対象機器の多数の接続端子に対応させて設けられている検査装置が使用されている。
【０００３】
しかし、プローブ針は、針を支持する基体部の幅により最小ピッチが制限されてしまうため、近年のＳ−ＶＧＡ、ＸＧＡ対応の液晶表示パネルのように多数の接続端子が高密度に配列された高精細電子機器の通電検査には適していない。また、導通接触させる相手の接続端子とは点接触となるため、接触ポイントに製造工程で発生した異物等が付着していた場合に接触不良となることが多く、接触信頼性に難点がある。さらに、プローブ針の支持基体部が障害となり針先端位置を針の支持基体側つまり接触しようとする側から認識できないため、プローブ針先端と対応する接続端子とを正確且つ容易に位置合せすることが難しい。
【特許文献１】特開平１０−１４２５７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の課題は、高精細電子機器の高密度に配列された多数の接続端子に対しても、常に正確且つ容易に導通接触させることができる信頼性及び検査作業性に優れた通電検査用プローブ装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するため、本発明の通電検査用プローブ装置は、被検査対象機器の所定のピッチで並設された複数の接続端子に導通接触させるための複数の接触子を備えた通電検査用プローブ装置であって、絶縁材からなる基体の表面に、接触子として複数の導電性の線材を、前記接続端子のピッチと実質的に同一ピッチで、対応する各接続端子の長手方向にそれぞれ延在させて並設したことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００６】
本発明の通電検査用プローブ装置によれば、接続端子に対して導通接触させる接触子を導電性線材を用いて接続端子に沿って延在する線状に形成したから、対応する接続端子に対して接触子を常に確実に線接触させることができる。また、この線接触子は、プローブ針のような支持基体部を必要としないため、絶縁が確保される最小限度のピッチで配列できて接続端子が高精細ピッチで配列されている高精細電子機器の検査用プローブ装置として好適であり、且つ、導通接触位置を容易に認識でき位置合せ作業が簡単になる。その結果、高精細電子機器の高密度に配列された多数の接続端子に対しても、接触子を常に正確且つ容易に導通接触させることができる信頼性及び検査作業性に優れた通電検査用プローブ装置を提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
本発明の通電検査用プローブ装置においては、絶縁材からなる基体の表面に複数の溝を刻設し、複数の導電性の線材を前記複数の溝に表面の少なくとも一部を各溝から突出させてそれぞれ嵌入することが好ましく、これにより、線接触子の並設ピッチがより微細化された本発明の通電検査用プローブ装置も容易に製造することができる。
【０００８】
また、前記線材は、断面が円形をなし、その直径が嵌入される溝の深さの１．５倍以上で且つその幅以上であることが好ましく、これにより、各接触子を対応する接続端子に対して確実に線接触状態で導通接触させることができる適正位置に正確に配設することができる。
【０００９】
さらに、前記基体は、断面が矩形をなす角棒材であることが好ましく、これにより、各接触子を対応する接続端子に対して充分に長い距離にわたり確実に線接触状態で導通接触させることができる。
【００１０】
加えて、前記基体の少なくとも接続端子が設けられている面に対向させる側面部分に可撓性のシート材を被覆し、該シート材を介して線材を対応する溝にそれぞれ嵌入することが好ましく、これにより、被検査対象機器自体の位置や対応する接続端子の表面状態に拘わらず、各接触子を常に安定して所望の線接触状態で対応する接続端子に導通接触させることができる。
【００１１】
以下、本発明の好適な実施形態について説明する。
図１は、本発明の一実施形態としての通電検査用プローブ装置を用いて液晶表示パネルに対し点灯検査を行う状態を示した斜視図で、図２はそのII−II線断面図である。
【００１２】
図１において、図示しない検査ステージ上に載置された検査対象の液晶表示パネルＬｐは、所謂単純マトリクス型の液晶表示パネルＬｐであって、一対のガラス基板１、２が、一方のガラス基板２の一端部２ａを他方のガラス基板１の対応する端面から突出させ、対向部において液晶を挟持し、接合されている。この突出部２ａには、両基板１、２の各対向面に配設され対向部において画素を形成する複数の駆動電極（不図示）からそれぞれ引き出された配線３の接続端子３ａ（図２参照）が、所定のピッチで並設され、接続端子列が形成されている。
【００１３】
上記突出部２ａの接続端子列には、本発明のプローブ装置Ｐｒが載置されている。このプローブ装置Ｐｒは、液晶表示パネルＬｐに対して点灯、ショート、断線の各通電検査を行うための検査プローブである。
【００１４】
本実施形態のプローブ装置Ｐｒでは、図２に示すように、木材やセラミックス或いは樹脂等の絶縁材を用いて四角棒状に形成された基体４の側周面に、所定の深さと幅を備えた複数の溝４ａが基体４の長手方向へ所定のピッチｐで並設されている。これらの溝４ａの並設ピッチｐは、検査対象である液晶表示パネルＬｐ側の接続端子３ａの並設ピッチと同一に設定されている。
【００１５】
上述の複数の溝４ａには、それぞれ、銅等の導電性材料からなる断面が円形のワイヤ５が保護膜を被覆せずに剥き出しのままで嵌入されている。これらワイヤ５は、本プローブ装置Ｐｒの接触子となるものであり、その直径φは、溝４ａの深さをｄ、幅をｗとすると、
φ≧１．５×ｄ・・・・（１）
で、且つ、
φ≧ｗ・・・・（２）
を満たすように設定することが好ましい。
【００１６】
より具体的には、ワイヤ５の直径φが１０〜２５μｍ、溝の幅ｗが１０〜２０μｍで深さｄが５〜１５μｍの範囲内において、上記（１）式を満たすように各値を設定することが好ましい。因みに、本実施形態においては、ワイヤ５の直径φを１５μｍ、溝の幅ｗを１５μｍ、深さｄを１０μｍに設定してある。
【００１７】
ここで、本実施形態においては、基体４の一側面に例えばゴムやウレタンフォーム等の可撓性シート材からなるクッションシート６を装着し、この上からワイヤ５が溝４ａに嵌入されている。このワイヤ５と溝４ａ間にクッションシート６が介装された側面が、本プローブ装置Ｐｒの被検査対象機器の接続端子部に対するコンタクト面となる。
【００１８】
上述のように、プローブ装置Ｐｒのコンタクト面にクッションシート６を介装することにより、被接触対象の接続端子３ａ表面に異物が付着していたり凹凸が形成されていても、その表面ギャップをクッションシート６が吸収し、接続端子３ａの表面状態に拘わらず常に充分な範囲にわたって線接触状態が得られる。また、クッションシート６の吸収能力限度内の程度であれば、検査テーブルの高さずれやガラス基板２の厚さのバラツキをも吸収して所望の線接触状態を得ることができる。
【００１９】
本実施形態のプローブ装置Ｐｒの製造に際しては、図３に示すように、まず溝４ａが刻設された基体４のコンタクト面とする側面にクッションシート６を貼着し、その上からワイヤ５を適度な張力で引っ張ったまま溝４ａに沿わせて巻着する。このとき、ワイヤ５を溝４ａ内に向けて押圧すれば容易に嵌入させることができる。コンタクト面のクッションシート６を介した部分もある程度強い圧力で押圧すれば、本実施形態ではワイヤ５が硬度の小さい銅からなるため、圧縮されたクッションシート６を介したままワイヤ５が変形して溝４ｃ内に嵌入する。これにより、ワイヤ５の装着が完了する。なお、ワイヤ５を脱落しないようにより確実に装着するには、図４に示すように抑え板７を設けてもよい。
【００２０】
図１に戻って、上述のように構成されたプローブ装置Ｐｒは、検査信号の出力配線回路（不図示）が形成されているプロービングプレート８に装着されている。この場合、プローブ装置Ｐｒの各ワイヤ５は、プロービングプレート８側の対応する配線の接続パッドに半田接続されている。
【００２１】
プロービングプレート８とプローブ装置ＰｒからなるプロービングヘッドＨｐは、図示しない昇降機構により矢印Ａ方向に昇降移動可能に、且つ、図示しない水平移動機構により矢印Ｂ方向に往復移動可能に、支持されている。そして、プロービングプレート８は、ケーブル９を介し、検査信号発生装置１０に電気接続されている。
【００２２】
次に、上記プローブ装置Ｐｒが装備された通電検査装置による液晶表示パネルＬｐの点灯検査手順について説明する。
【００２３】
まず、被検査対象の液晶表示パネルＬｐを検査ステージ（不図示）上の所定位置に載置し、ヘッド昇降機構（不図示）によりプロービングヘッドＨｐを降下させてプローブ装置Ｐｒのコンタクト面を液晶表示パネルＬｐの接続端子部に当接させる。この際のヘッド降下量は、図示しない制御機構により、検査ステージの高さとガラス基板２の厚さ等の入力情報から算出され、この算出値に基づき制御される。ここで、それら入力情報の真の値に対する誤差や接続端子表面の凹凸或いはヘッド降下量の算出値に対する誤差等は、クッションシート６により吸収されるから、各ワイヤ５の線接触子部分と対応する接続端子とが必要且つ充分な距離にわたり適正に線接触する。
【００２４】
次に、図示しないＣＣＤカメラにより、図４に示すように、プローブ装置Ｐｒの上方から液晶表示パネルＬｐの接続端子部とプローブ装置Ｐｒとの当接部を観察し、各ワイヤ５が対応する接続端子３の幅中央部に位置しているか否かを確認する。このとき、両者の位置がずれていた場合は、水平移動機構（不図示）によりその位置ズレを修正する。このように、本発明のプローブ装置Ｐｒを用いる場合、プローブ装置Ｐｒ側の各ワイヤ５の線接触子部分と液晶表示パネルＬｐ側の対応する接続端子との接触位置をガラス基板２の裏面（非対向側表面）からではなくプローブ装置Ｐｒの上方から略正確に認識できるから、カメラによる認識機構が簡単なものとなり、プローブヘッドＨｐの水平方向における位置合せ操作が極めて容易になる。
【００２５】
プローブヘッドＨｐの位置合せが終ったら、信号発生装置１０から検査信号電圧をケーブル９、プローブプレート８及び各線接触子としてのワイヤ５を介して対応する接続端子３ａから各電極配線３に出力し、液晶表示パネルＬｐを全点灯して、欠陥画素の有無を検査する。
【００２６】
以上のように、本実施形態の通電検査用プローブ装置によれば、接続端子３ａに対して導通接触させる接触子をワイヤ５を絶縁基体４に巻着して接続端子３ａに沿って延在する線接触子としたから、対応する接続端子３ａに対して接触子としてのワイヤ５を常に確実に線接触させることができる。また、このワイヤ５の接触子は、プローブ針のような支持基体部を必要としないため、絶縁が確保される最小限度のピッチで配列でき、接続端子３ａが高精細ピッチで配列されている液晶表示パネルＬｐに対する通電検査用プローブ装置として好適であり、且つ、導通接触位置を容易に認識でき位置合せ作業が簡単になる。その結果、高密度に配列された液晶表示パネルＬｐの接続端子３ａに対しても、常に正確且つ容易に導通接触させることができる。
【００２７】
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、基体は四角棒に限らず、３角柱や５角柱の角棒或いは丸棒でも良い。
【００２８】
また、導電性線材を基体表面に保持する手段としては、上記実施形態のような溝に限らず、線材を保持する突起を基体表面の適所に設けて支持してもよく、溝は、基体の側面全周に設ける必要はなく、コンタクト面等のより必要な部分に設ければよい。
【００２９】
さらに、導電性線材は断面が円形のワイヤに限らず、断面が四角以上の多角形ワイヤでもよい。
【００３０】
加えて、本発明のプローブ装置の被検査対象機器は、液晶表示パネルに限らないことは、勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の一実施形態としての通電検査用プローブ装置を用いて液晶表示パネルに対し点灯検査を行う状態を示した斜視図である。
【図２】図１においてII−II線で切断し導通接触部示す部分断面図である。
【図３】上記通電検査用プローブ装置を製造する手順を示す斜視図である。
【図４】図１におけるＱ部を示す部分平面図である。
【符号の説明】
【００３２】
１、２    ガラス基板
３      電極配線
３ａ    接続端子
４      基体
４ａ    溝
５      ワイヤ
６      クッションシート
７      抑え板
８      プローブプレート
９      ケーブル
１０    検査信号発生装置
Ｐｒ    プローブ装置
Ｈｐ    プローブヘッド
Ｌｐ    液晶表示パネル
【図１】
2005106517.tif 000003
【図２】
2005106517.tif 000004
【図３】
2005106517.tif 000005
【図４】
2005106517.tif 000006