(57)【要約】      （修正有）【課題】スピンドルの大型化にともなって熱膨張による変位および自重による傾きや撓み変形で切削部位の位置精度が低下しない切削装置を提供する。【解決手段】取付固定部材５０と支持部材６０とでＺ軸移動体３にスピンドル８を吊下げ支持する。取付固定部材５０と支持部材６０は、スピンドル８の前端側と後端側の２点でスピンドルハウジング４０を支持し、スピンドル８が径方向に変位しないように維持する。取付固定部材５０は、スピンドル８の前端側の可能な限り回転ブレード７０に近い位置でスピンドル８を取付固定する。支持部材６０は、スピンドル８の長手方向（Ｙ軸方向）における変位を許容する状態でスピンドル８の後端側のモータ３０に近い位置でスピンドル８を支持する。【選択図】図１
2005279857.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｚ軸方向に往復移動するＺ軸移動体に水平方向に取り付けられ先端に回転ブレードが取り付けられるスピンドルを備えた切削装置において、前記スピンドルを前記スピンドルの前端側の可能な限り前記回転ブレードに近い位置で前記Ｚ軸移動体に取付固定する取付固定部材と、前記スピンドルを前記スピンドルの長手方向における変位を許容する状態で前記スピンドルの後端側の位置で前記Ｚ軸移動体に支持させる支持部材を設けたことを特徴とする切削装置。
【請求項２】
前記支持部材が前記スピンドルの後端側の水平位置を調整する位置調整手段を含んでなる請求項１に記載の切削装置。
【請求項３】
前記位置調整手段が前記スピンドルを上下方向に微小移動させる回動可能な一対の偏心ピンと、前記スピンドルの上部を弾性支持する弾性部材および押圧ピンと、を含んでなる請求項２に記載の切削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品材料をスピンドルによって回転されるブレードによって格子状に切断加工する切削装置に関する。特に、スピンドルの変位による切削部位における位置誤差を極力小さくするための構成を有する切削装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般にダイシングと称される、半導体ウェハを切削装置によって格子状に切断する加工方法が広く知られている。ダイシング装置の構成は、例えば、特許文献１が参照される。このようなダイシング装置で切断されたウェハは、ガラスエポキシのような樹脂製の基板上に取り付けられて電子部品が製造される。基板には、ウェハを取り付ける前にウェハに対応する複数の穴が形成され、各穴にボールが挿入されている。ウェハは、基板に合うように取り付けられる。
【０００３】
近年、集積回路の小型化が一段と進んでおり、チップサイズの表面実装型パッケージ（ＣＳＰ，Ｃｈｉｐ  Ｓｉｚｅ  Ｐａｃｋａｇｅ）のような“超小型”の電子部品が開発され、携帯機器を中心に利用され始めている。このようなウェハレベルのＩＣパッケージを製造する場合、作業効率の改善などの理由で、半導体ウェハを切断加工するダイシング装置を応用して、ハンダボールを配設したガラスエポキシ基板や薄膜フィルムの絶縁基材に銅配線層を形成したテープ基板などのインターポーザにチップを積層し、樹脂でモールドしてパッケージングした後に格子状に切削して分割するパッケージシンギュレーションの方法が用いられつつある（以下、複数のパッケージが一体でパッケージングされた被切削物をパッケージモジュールという）。
【０００４】
このようなダイシングやソーイングを行なう切削装置は、Ｚ軸方向（鉛直方向）に往復移動（昇降）するＺ軸移動体に水平方向に取り付けられ先端に回転ブレードが取り付けられるスピンドルを備える構成であるので、構成上有利な形態として、モータとスピンドル本体と軸受とを一体的にスピンドルハウジング内に収納した、いわゆるビルトインモータが採用されている。特許文献１に開示されているように、典型的な構成のダイシング装置では、スピンドルは、スピンドルハウジングをブラケットで支持することによってＺ軸移動体に取り付けられる。また、デュアルヘッドあるいはツインヘッドなどと呼ばれる２基のスピンドルを設けたダイシング装置の場合、Ｙ軸方向（水平１軸方向）に往復移動するＹ軸移動体が２基設けられ、それぞれのＹ軸移動体に上記Ｚ軸移動体が取り付けられている。
【０００５】
水平方向に設置されるスピンドルは、スピンドルが確実に支持されるべく、一般に、スピンドルの重心で支持されるようにブラケットの取付位置が決められていた。しかしながら、この構造は、スピンドルの重量を支えるには十分であるが、モータの発熱になどによるスピンドルの熱変位に対しては不十分である。半導体ウェハを切断するなど、精密な切削加工が要求される切削装置で使用されるスピンドルでは、たとえ強制的に冷却したり、制御によって位置を補正するなどしても切削精度に看過できない影響を与える。そこで、例えば、特許文献２に開示されるように、スピンドルハウジングを支持するブラケットの取付位置を回転ブレードに極めて近い位置とし、スピンドルの後端自由端の方向により大きく熱膨張させる構成として切断位置における熱変位の影響を小さくすることが考えられている。
【０００６】
ところで、段取り作業を含む電子部品を製造する加工効率に対する要求は、年々高まってきている。近年、単位時間当たりの製造個数を多くし加工効率を向上させる対策の１つとして、出力がより高出力のモータを使用しかつ高剛性の軸受を有するスピンドルを採用して回転数とトルクをより高くすることによって、切削速度と切断力を大きくするようにされている。モータの出力をより大きくしようとするとモータのサイズがより大きくなり、スピンドルは大型化する。特に、パッケージモジュールのような電子部品材料を切断するための切削装置のように、異なる材質の素材を同時に切断することが要求される切削装置では、切断能力に優れるより高出力のスピンドルが要求される。そのため、一般的なダイシング装置に比べてスピンドルが大型化する傾向にある。
【０００７】
水平方向に設けられたスピンドルによって回転されるブレードによって被切削物を格子状に切削して分割する切削装置では、工具として、半導体チップやチップサイズのパッケージのような精密な電子部品を得る目的に適するサイズ、例えば、外径２インチ〜５インチ（φ５０ｍｍ〜φ１３０ｍｍ）程度の回転ブレードが使用されている。そのため、スピンドル径に制約がある。したがって、より高出力のモータを採用しようとすると、スピンドルは、長手方向に大きくせざる得ず、言い換えれば、かなり細長くなる。サイズは、設計上の幅があるが、例えば、回転数が４０，０００ｍｉｎ−１で出力２．２ｋｗのインダクションモータを備えたスピンドルの場合、全長５００ｍｍ弱、スピンドル本体長２５０ｍｍ前後、回転ブレードを取り付けるスピンドルヘッドの長さが４０ｍｍ程度と、これまで一般的なダイシング装置で使用されてきたスピンドルに対して１．５倍〜３倍近く長尺になる。
【０００８】
従前の比較的小さな出力のスピンドルの場合は、スピンドルの重量が比較的軽量でかつ長さがそれほど長くないから、片持ち支持の構成であっても十分であった。しかしながら、スピンドルの高出力化によって、全長が従前よりも大きくなって大型で細長いスピンドルになると、片持ち支持のように長手方向の一端で支持する構成ではスピンドルの重量を支えきれなくなり、傾きや撓み変形を生じる虞れがある。また、高速回転によってより大きくなるスピンドルの振動は切削部位に伝わりやすくなり、回転ブレードが振動する虞れがある。この点につき、例えば、特許文献３のように回転ブレード端とハウジング全体を支持する構成、特許文献４のようにハウジング全体の殆ど全部を支持する構成、特許文献５のようにスピンドルのほぼ全体を吊持支持する構造などが知られている。
【０００９】
【特許文献１】特許第３２９４２５４号公報
【特許文献２】実用新案登録第２５４０７４５号公報
【特許文献３】特許第２９７８７４１号公報
【特許文献４】特許第３２２３４２１号公報
【特許文献５】特開平１１−７６４６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、大型化したスピンドルを支持するためにスピンドルを強固に支持する構成とすることによって、自重が増してＺ軸移動体やＹ軸移動体の加減速度や応答性能が低下する。また、スピンドルを強固に支持することによって、かえって、避けられない熱膨張による回転ブレード側への変位を低減させることができないか、あるいはむしろ複雑な変形を生じさせる虞れがある。モータの出力が大きくなると発熱量もより大きくなる傾向にあり、一方で切削精度に対する要求はより厳しくなっているので、熱膨張による変位のより効果的な対策が望まれている。
【００１１】
本発明は、このような要求に答えるべく、熱膨張を原因とする変位が切削部位に影響することを可能な限り小さくし、重量による傾きや撓み変形を防止し、かつ振動の発生を極力抑制することを満足するスピンドルを備えた切削装置を提供することを目的とする。その他、本発明によって得られる利点は、発明の実施の形態の説明において詳述される。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の切削装置は、Ｚ軸方向に往復移動するＺ軸移動体（３）に水平方向に取り付けられ先端に回転ブレード（７０）が取り付けられるスピンドル（８）を備えた切削装置において、スピンドル（８）をスピンドル（８）の前端側（８Ｆ）の可能な限り回転ブレード（７０）に近い位置でＺ軸移動体（３）に取付固定する取付固定部材（５０）と、スピンドル（８）をスピンドル（８）の長手方向における変位を許容する状態でスピンドル（８）の後端側（８Ｒ）の位置でＺ軸移動体（３）に支持させる支持部材（６０）を設けたことを特徴とする。
【００１３】
好ましくは、支持部材（６０）がスピンドル（８）の後端側（８Ｒ）の水平位置を調整する位置調整手段（８０）を含んでなる。より好ましくは、位置調整手段（８０）がスピンドル（８）を上下方向に微小移動させる回動可能な一対の偏心ピン（８３）と、スピンドル（８）の上部を弾性支持する弾性部材（８１）および押圧ピン（８２）と、を含んでなる。なお、符号は説明の便宜上付したものであり、発明を実施の形態に限定するものではない。
【発明の効果】
【００１４】
本発明のスピンドルを備えた切削装置は、回転ブレードに可能な限り近い位置でスピンドルを固定支持するとともに、スピンドルの後端側で熱膨張による長手方向の変位を許容する構成としたので、熱膨張による変位は主にスピンドルの後端側に発生し回転ブレード側にはほとんど発生しない。そのため、切削部位の位置誤差を極めて小さく抑えることができる。また、スピンドルの前端側と後端側の両端で支持する構成としたので、重量バランスが維持され重量による傾きや撓み変形が防止され、切削部位の位置誤差を極めて小さく抑えることができる。また、モータの高速回転による振動が抑制され、要求される切削精度を満足させることができる。そして、その結果、より高出力のモータを採用することができ、要求される切削精度を満たしつつ加工効率をより向上させる効果を奏する。
【００１５】
支持部材がスピンドルの後端側の水平位置を調整する位置調整手段を含んでなるとき、熱膨張による変位および重量による傾きや撓み変形による位置誤差を小さく抑えることができるとともに、このような変位や変形によって生じるスピンドルの水平位置の僅かな変化に対応して水平位置をより容易かつ正確に調整することができる。したがって、作業効率を低下させることなく、より一層誤差の小さい切削精度で切削加工を行なうことができる。そして、より高出力のモータを採用することができ、要求される切削精度を満たしつつ加工効率をより向上させる効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明の切削装置の全体構成が図１に示される。図１は、切削装置の本機の右側面を示す。なお、スピンドルを除く各軸の移動体を駆動するモータは、図示省略される。切削装置１の本機正面に対して左右方向の水平１軸をＸ軸とする。図１に示されるように、Ｘ軸に直交する水平１軸をＹ軸、Ｘ軸とＹ軸に直交する鉛直１軸をＺ軸、Ｚ軸と平行な軸線廻りの回転１軸をθ軸とする。切削装置の本機は、Ｘ軸移動体（テーブル）１と、Ｙ軸移動体（キャリッジ）２と、Ｚ軸移動体（スライダ）３と、θ軸移動体（回転テーブル）４と、を含む。
【００１７】
テーブル１は、基台５上に載置され、ＡＣシンクロナスリニアモータのようなサーボモータによってＸ軸方向に往復移動する。回転テーブル４は、回転テーブル４の回転軸に直結するダイレクトドライブ方式のＤＣブラシレスモータによって、Ｚ軸と平行な１軸を中心として角度割出し可能に往復転回する。回転テーブル４は、テーブル１上に、少なくとも１００度の範囲、好ましくは３６０度の範囲内で回転可能に載置される。回転テーブル４は、上面に真空チャック６を具備し、真空チャック６で、例えばパッケージモジュールのような図示しない被切削物を取り付ける。キャリッジ２は、サーボモータ、例えばＡＣシンクロナスリニアモータによって、テーブル１を跨ぐように基台５上に設けられたビーム７上をＹ軸方向に往復移動する。実施の形態の切削装置は、第１キャリッジ２Ａと第２キャリッジ２Ｂとの２基のキャリッジ２を備える。
【００１８】
スライダ３は、例えば、ステッピングモータによってＺ軸方向に往復移動可能にキャリッジ２に取り付けられる。スライダ３は、２基のキャリッジ２Ａ、２Ｂのそれぞれに設けられる。第１スライダ３Ａは、第１キャリッジ２Ａに取り付けられ、第２スライダ３Ｂは、第２キャリッジ２Ｂに取り付けられる。スライダ３に、スピンドル８が水平に取付固定される。第１スピンドル８Ａは、第１スライダ３Ａに取り付けられ、第２スピンドル８Ｂは、そのスピンドルの先端が第１スピンドル８Ａのスピンドルの先端と対向するように水平に配置される。
【００１９】
図２に、本発明のスピンドルの具体的な構成が示されている。スピンドル８は、スピンドル本体１０と、軸受２０と、インダクションモータあるいはＤＣブラシレスモータのような回転数３０，０００ｍｉｍ−１以上の能力を有する高速回転モータ３０と、スピンドルハウジング４０と、取付固定部材５０と、支持部材６０を含む。スピンドル８の先端に回転ブレード７０が取り付けられる。スピンドルハウジング４０は、少なくとも、スピンドル本体１０と軸受２０を収納する。スピンドル８のモータ３０には、回転速度検出のためのパルスジェネレータ３１が設けられる。図示しないモータ３０およびパルスジェネレータ３１への配線は、スライダ３側を通して引き回される。
【００２０】
取付固定部材５０は、スライダ３に取り付けられ、スピンドル８をスピンドル８の前端側８Ｆの可能な限り回転ブレード７０に近い位置でスライダ３に取付固定する。例えば、実施の形態に示されるビルトインモータの場合は、スピンドルハウジング４０から突出して設けられ回転するスピンドルヘッドを直接支持させる構成は耐久性や振動防止の点などで不利な要素が多いので、好ましい回転ブレード７０に最も近い位置として、スピンドルハウジング４０における先端位置でスピンドルハウジング２０を支持する構成としている。したがって、スピンドル８が熱膨張によって変位するとき、切削部位における変位は最小限であり、変位による切削部位への影響を比較的小さくしている。
【００２１】
支持部材６０は、スライダ３に取り付けられ、スピンドル８をスピンドル８の長手方向（前後方向）における変位を許容する状態でスピンドル８の後端側８Ｒのモータ３０に近い位置でスライダ３に支持させる。支持部材６０は、スピンドル８の前端側８Ｆで取付固定部材５０を介してスライダ３に支持されているスピンドルハウジング４０をスピンドル８の後端側８Ｒで吊下げ支持するので、スピンドル８がスピンドル８の前端側８Ｆと後端側８Ｒの長手方向２点で支持される構成であり、重量バランスが維持される。その結果、重量による撓みや傾きが発生しにくく、切削精度の低下が抑えられる。また、振動が抑制されるとともに、切削部位に伝わりにくく、切削精度の低下が防止される。
【００２２】
具体的には、取付固定部材５０は、スピンドル８が変形しようとするときに、スピンドル８の長手方向（Ｙ軸方向）と、上下方向（Ｚ軸方向）および断面横方向（Ｘ軸方向）、言い換えれば径方向と、の何れにおいても変形しないように、スピンドルハウジング４０を強固に取付固定してスライダ３に支持させる。一方、支持部材６０は、スピンドル８の径方向（Ｚ軸方向およびＸ軸方向）に変形しないようにするとともに長手方向（Ｙ軸方向）における変位を許容する状態でスピンドルハウジング４０をスライダ３に支持させる。したがって、スピンドル８の熱膨張による変位はスピンドル８の後端側８Ｒの方向のみに逃れて、取付固定部材５０で強固に支持されているスピンドル８の前端側８Ｆには変位が伝わりにくくなる。そのため、切削部位における誤差の発生がより小さく抑えられるとともに、スピンドル８が複雑に変形することが避けられ、切削精度の低下が防止される。
【００２３】
図３に、取付固定部材５０のより具体的な構成が示されている。断面で示されている。取付固定部材５０は、吊下腕ブロック５１、中間ブロック５２、取付ブロック５３とを一体化して構成される。取付ブロック５３の下側面は、スピンドルハウジング４０の外径とほぼ同径の内径を有する円弧状に刳り抜かれている。スピンドルハウジング４０は、取付ブロック５３の円弧状の刳抜き部分に直接または図示しない樹脂などの弾性体をクッションとして介装して嵌装され、スピンドルハウジング４０の外周面と円弧状の刳抜き部分の内面が密着するように、２本以上のボルトで長手方向と径方向の何れにも移動しないように強固に押圧固定される。
【００２４】
図４に、支持部材６０のより具体的な構成が示されている。支持部材６０は、吊下腕ブロック６１、中間ブロック６２、取付ブロック６３、螺子ブロック６４とを一体化して構成される。支持部材６０は、断面３点以上でスピンドルハウジング４０をスピンドル８の径方向に変位しないように支持する構成にされる。取付ブロック６３の下側面は、スピンドルハウジング４０の外径より１ｍｍ〜２ｍｍ程度僅かに大きい内径を有する円弧状に刳り抜かれて、スピンドルハウジング４０が取付ブロック６３の円弧状の刳抜き部分に合うように装着される。螺子ブロック６４は、スピンドルハウジング４０の外側面に沿って両側から挟み込むように、取付ブロック６３の側面に突出して取り付けられる。図２に示されるように、中間ブロック６２と螺子ブロック６４とは、スピンドルハウジング４０を挟んで対向配置される。
【００２５】
支持部材６０は、具体的には、例えばボルトのような３つの支持体を含んでなる。そして、１つの支持体を上側から中間ブロック６２に貫入させてスピンドルハウジング４０の上面に接触させるとともに、同じような２つの支持体を下側から螺子ブロック６４に貫入させて、支持体の頭部を点的にスピンドルハウジング４０の外周面に接触させる。したがって、３つの支持体は、スピンドルハウジング４０をその断面方向に上側１カ所、下側２カ所の３点で均等に接触して支持する。スピンドルハウジング４０は、このように３つの支持体で断面方向から点的に支持されるので、径方向には変位しないが、長手方向には変位する。
【００２６】
その結果、取付固定部材５０と支持部材６０は、協同でスピンドルハウジング４０を吊下げ支持する強度を確保してスピンドル８の自重による傾きや撓み変形を阻止するとともに、振動の増大を防止する。また、支持部材６０が長手方向の変位のみを許容することによって、熱膨張によるスピンドル８、言い換えればスピンドルハウジング４０の変位が、切削部位に影響することをより小さく抑える。
【００２７】
支持部材６０は、スピンドル８の後端側８Ｒの水平位置を調整する位置調整手段８０を含んでなる。実施の形態の切削装置は、位置調整手段８０が２種類の調整支持体６５、６６で構成される。第１の調整支持体６５は、取付ブロック６３に装着されるスピンドルハウジング４０の上部に上側から弾性接触する。第２の調整支持体６６は、スピンドルハウジング４０に対して下側から上側に向けて接触しスピンドルハウジング４０を下側から支持するとともに手動で押圧支持する位置を上下方向に調整可能とする２つの支持体でなる。第１の調整支持体６５と２つの第２の調整支持体６６、６６との３つの支持体は、既に説明された３本のボルト状の支持体に置き換えられ、スピンドルハウジングを断面方向に３点で均等に支持する。
【００２８】
第２の調整支持体６６は、支持する位置を変化させることによって、スピンドルハウジング４０を上下方向に微小移動させる。ただし、この移動は、第１の調整支持体６５が弾性接触するときの押圧力に抗して行なわれるものであり、第１の調整支持体６５がスピンドルハウジング４０の上下方向の微小な移動で弾性変形しても、第１の支持体６５の押圧力の範囲内でスピンドルハウジング４０に対する径方向の変位は生じない。位置調整手段８０によって、実施の形態の切削装置は、実際の機械の設置環境や使用状況によって生じる微小な水平位置における変位を調整可能とし、切削装置の本機の設計製作および製作後の設置環境に対して柔軟性をもたせることができる。そして、作業効率を低下させることなく、より一層誤差の小さい切削精度で切削加工を行なうことができる。
【００２９】
第１の調整支持体６５は、より具体的には、スピンドル８の上部を上側から弾性支持するサラバネ、板バネ、ゴムのような弾性部材８１と押圧ピン８２とで構成される。弾性部材８１は、押圧ピン８２を押し出して、取付ブロック６３に嵌装されたスピンドルハウジング４０の上部に上側から弾性部材の復元力で圧接する。第２の調整支持体６６、６６は、スピンドル８を上下方向に微小移動させる回動可能な一対の偏心ピン８３、８３である。偏心ピン８３は、軸芯部に螺子溝が形成され頭部が偏心して形成されている、ボルト状の部材である。一対の偏心ピン８３、８３は、螺子ブロック６４に形成された孔を貫通してそれぞれナット８４と螺合する。
【００３０】
一対の偏心ピン８３、８３は、回動されることによって軸に対して偏心している頭部がスピンドルハウジング４０と接触する位置を変化させる。偏心ピン８３がスピンドルハウジング４０を支持する位置が上側に変化すると、スピンドルハウジング４０は偏心ピン８３の頭部によって上側に僅かに押し上げられる。一方、偏心ピン８３がスピンドルハウジング４０を支持する位置が下側に変化すると、スピンドルハウジング４０は下側に僅かに下がる。このとき、押圧ピン８２は、弾性部材８１によってスピンドルハウジング４０を所要の押圧力で弾性支持しているため、数ｍｍ以下の範囲内でスピンドルハウジング４０の上下方向への移動が可能であり、かつスピンドル８を吊下げ支持する力は維持されている。なお、ナット８４に代えて螺子ブロック６４に設けられる孔自体に螺子溝を切っておき、偏心ピン８３の軸芯部を螺合させるように構成させるなどの変形が可能である。
【００３１】
以上に説明される本発明の切断装置は、実施の形態の具体的な切断装置に限定されるものではなく、本発明の技術思想を逸脱しない範囲内で部材の置換、変更、変形、組合せなどが可能である。例えば、位置調整手段の偏心ピンに変えてピエゾ素子などのアクチュエータに置き換えることができる。また、実施の形態の切断装置は、２つのスピンドルを有する切削装置が示されているが、１つのスピンドルを有する切削装置に適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３２】
本発明は、半導体ウェハやパッケージモジュールのような電子部品材料をスピンドルによって回転されるブレードによって格子状に切断加工する切削装置に適用される。また、本発明は、同じような方法で回転ブレードによって材料を格子状に切削して分割することができる切削装置に利用することができる。特に、本発明は、スピンドルが大型化しても、回転ブレードへの変位を最小限に抑えることができ、重量による傾きや撓み変形が防止され、振動を抑制することができるので、高出力のスピンドルが要求される切削装置に極めて有益である。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の切削装置の本機の概容を示す側面図である。
【図２】本発明の切削装置のスピンドルの構成を示す側面図である。
【図３】本発明の切削装置の取付固定部材の構成を示す正面図である。
【図４】本発明の切削装置の支持部材の構成を示す正面図である。
【符号の説明】
【００３４】
１  Ｘ軸移動体（テーブル）
２  Ｙ軸移動体（キャリッジ）
２Ａ  第１キャリッジ
２Ｂ  第２キャリッジ
３  Ｚ軸移動体（スライダ）
３Ａ  第１スライダ
３Ｂ  第２スライダ
４  θ軸移動体（回転テーブル）
５  基台
６  真空チャック
７  ビーム
８  スピンドル
８Ａ  第１スピンドル
８Ｂ  第２スピンドル
３０  モータ
４０  スピンドルハウジング
５０  取付固定部材
６０  支持部材
７０  回転ブレード
【図１】
2005279857.tif 000003
【図２】
2005279857.tif 000004
【図３】
2005279857.tif 000005
【図４】
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