(57)【要約】【課題】  簡単な構成でクリーンカプセルのクリーンスペース内における清浄な空気の流通経路を制御することにより、清浄な空気のショートサーキット現象の発生を防止することができ、清浄な環境を保持しつつ、また、クリーンスペース内に配設された装置が稼働中であっても、給気口および排気口の配設位置を調整可能なクリーンカプセルを提供する。【解決手段】  清浄な状態に保たれる小空間とされたクリーンスペース２とその側方空間部３との隔壁６に形成された排気口８の遮蔽領域を変化させうる遮蔽部材２１ｂを備える。【選択図】      図１
2005106343.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カプセルケース内に、清浄な状態に保たれる小空間とされたクリーンスペースと、前記クリーンスペースの少なくとも一側方に隣設された側方空間部と前記クリーンスペースおよび前記側方空間部の上方に形成された上方空間部とが連通してなる空気循環経路とを有し、
前記上方空間部には、前記クリーンスペースと当該上方空間部との隔壁に開口する開口部を前記クリーンスペース内への空気の供給口として作用させる空気清浄ユニットが配設され、
前記クリーンスペースと前記側方空間部との隔壁には、前記クリーンスペース内の空気を前記空気循環経路へ排気する排気口が形成されたクリーンカプセルであって、
前記クリーンスペースと前記側方空間部との隔壁に形成された排気口の遮蔽領域を変化させうる遮蔽部材を備えたことを特徴とするクリーンカプセル。
【請求項２】
前記クリーンスペースと前記上方空間部との隔壁には、少なくとも一部に開口が形成されており、
前記開口は、前記開口内を移動自在に支持された前記空気清浄ユニットと、前記開口の前記空気清浄ユニットに隣接する開放部分を覆い、前記空気清浄ユニットの配設位置に応じて被覆領域を変化させうる被覆部材とにより遮蔽されていることを特徴とする請求項１に記載のクリーンカプセル。
【請求項３】
前記被覆部材は、前記空気清浄ユニットに基端部を連接されて前記空気清浄ユニットの移動と連動するように構成されており、前記遮蔽部材は、前記空気清浄ユニットの前記クリーンスペースと前記側方空間部との隔壁側に連設された前記被覆部材の先端側により構成されていることを特徴とする請求項２に記載のクリーンカプセル。
【請求項４】
前記遮蔽部材は、前記クリーンスペースと前記側方空間部との隔壁に沿わせて配設可能とされたシート状の部材で構成され、当該隔壁に対向して位置する前記側方空間部の外壁を構成する前記カプセルケースの外壁の一部が、前記遮蔽部材を所望の位置に配設可能に開閉自在に形成されていることを特徴とする請求項２に記載のクリーンカプセル。
【請求項５】
前記クリーンスペースと前記上方空間部との隔壁は、清浄な空気を供給する目標点となる前記クリーンスペース内の特定位置を中心点とする断面円弧状に形成されていることを特徴とする請求項２乃至請求項４のいずれか１項に記載のクリーンカプセル。
【請求項６】
前記上方空間部を構成する前記カプセルケースの少なくとも一部が、前記空気清浄ユニットおよび被覆部材を前記開口に沿って移動操作可能に開閉自在とされていることを特徴とする請求項２乃至請求項５のいずれか１項に記載のクリーンカプセル。
【請求項７】
前記空気循環経路を構成する前記側方空間部における前記排気口の下流側には、当該空気循環経路内に排気された空気を冷却する空気冷却装置が配設されていることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載のクリーンカプセル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンスペース内を清浄な環境に保つ空気清浄ユニットを備えたクリーンカプセルに関し、特に、前記クリーンスペース内における清浄な空気の流通経路（気流）を制御可能とするクリーンカプセルに関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルや半導体などを製造する環境は、塵埃のない、清浄な環境が特に求められている。前記清浄な環境を保つ手段としては、従来より、ＨＥＰＡ（High Efficiency Particulate Air）等を備えた空気清浄ユニットを通して除塵済みとされた空気を特定空間（以下、クリーンスペースという）へ給気口から送り込み、当該クリーンスペース内の空気を排気口から回収して換気する手段が採られている。
【０００３】
例えば、作業員を含んだ作業環境全体を前記クリーンスペース内に配置させる場合、屋舎全体や仕切られたフロアに空気清浄ユニットやダクトを配置した大がかりなクリーンカプセルが用意されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、小型の製造装置のみを前記クリーンスペース内に配置させる場合、前記製造装置が配置されるクリーンスペース（小空間）を空気膜で覆い、この空気膜の内部のみを清浄な環境下とするクリーンカプセルが用意されている（例えば、特許文献２参照）。
【０００５】
そして、近年では、これらのクリーンカプセルにおいて、前記クリーンスペース内に供給される清浄な空気を前記クリーンスペース内に配置された製造装置の作業ステージ上などの当該クリーンスペース内の特定位置（以下、ターゲットという）に向けて供給すべく、前記給気口の配設位置を、その状況に応じて移動可能とされた構成が採用されている。
【０００６】
具体的には、クリーンスペース内の作業用ステージの上方に配設されたカメラで視認しつつ、前記の作業ステージ上に供給された２つの部材を高温で熱溶着させる場合において、前記クリーンスペース内には熱上昇気流が発生し、前記カメラに映る画像にゆらぎが映り込むような場合に使用されるクリーンカプセルを例示することができる。
【０００７】
すなわち、この具体例の場合、前記作業用ステージの上方には前記カメラが配設されているため、前記作業用ステージの上方に配設された給気口からは当該クリーンスペースに供給される清浄な空気の気流を前記２つの部材の熱溶着位置となる前記作業用ステージ上に当てることができない。よって、前記給気口を前記２つの部材の熱溶着位置となる前記作業用ステージ上の斜め上方に移動させて配設し、当該クリーンスペースに供給される清浄な空気の気流を前記２つの部材の熱溶着位置となる前記作業用ステージ上へ向けて供給するように構成する。このように構成することで、前記熱上昇気流を当該清浄な空気の気流に載せて流すことができ、前記カメラに映る画像にゆらぎが映り込んで当該カメラの視認性を阻害する不具合を解消し、さらには、前記熱溶着位置において熱溶着された部材を冷却させるための冷却風として前記清浄な空気の気流を用いることができる。
【０００８】
【特許文献１】特開２０００−１６１７３６号公報
【特許文献２】特許２５４９９１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、前記クリーンスペース内における清浄な空気の流路を考えた場合、前記給気口を移動可能としても、前記排気口の位置が固定されていると、前記清浄な空気の流路が短絡してしまう、いわゆるショートサーキット現象が発生することがあった。
【００１０】
図１０は、前述の具体例に示した小型のクリーンカプセルの要部構成を示す模式図（要部断面図）であり、ショートサーキット現象が発生している状態を示している。
【００１１】
このクリーンカプセルは、清浄な状態に保たれる略直方体状の空間部とされたクリーンスペース２と、当該クリーンスペース２の背面（図中左に示す）側に隣設された側方空間部３と前記クリーンスペースの上面に形成された上方空間部４とを連通させて構成された空気循環経路５とを有している。
【００１２】
前記クリーンスペース２とその背面側に形成された前記空気循環経路５を構成する側方空間部３との間に配設された隔壁６は、パンチングメタルやグレーチング等の板材により形成されており、パンチングメタルの各孔やグレーチングの格子部が排気口８として作用するように構成されている。
【００１３】
また、前記クリーンスペース２の上面に形成された前記空気循環経路５を構成する上方空間部４内には、当該上方空間部４内においてスライド移動（図において左右）可能とされた空気清浄ユニット２０が配設されており、前記空気清浄ユニット２０は、前記空気循環経路５に回収された空気を当該空気清浄ユニット２０内において浄化し、その清浄された空気を前記クリーンスペース２内に給気するように構成されている。すなわち、前記空気清浄ユニット２０の前記クリーンスペース２と上方空間部４との隔壁９に開口する開口部２４が、前記クリーンスペース２の給気口１６として作用するように構成されている。
【００１４】
前記クリーンスペース２内の下方には作業装置（全体の図示は省略）の前記作業用ステージ５０が配設されており、その中央部（図中、黒三角で示したポイント）が前述の２つの部材の熱溶着位置であり、前記清浄な空気の気流を当てるターゲットとされている。そして、クリーンスペース２内における前記熱溶着位置の上方には、熱溶着作業を目視可能とするカメラ５１が図示しない支承手段により支承されて配設されている。
【００１５】
このように構成されたクリーンカプセルにおいては、前記清浄な空気は、前記空気清浄ユニット２０の前記隔壁９に開口する開口部２４、つまり、クリーンスペース２における給気口１６からクリーンスペース２内に供給されたあと、最寄りの排気口８から排気される気流を形成することとなる。
【００１６】
例えば、前記空気清浄ユニット２０を前記隔壁６に最も近接させて配置させた場合、図中に実線の白抜き矢印に示すように、前記供給口１６から前記クリーンスペース２内に供給された前記清浄な空気は、すぐに前記隔壁６の上方に開口する排気口８から排気されるような気流を形成する。よって、前記部材の熱溶着時に発生する熱上昇気流をカメラ５１の視界から除去することや前記部材を空冷するという効果を得ることはできない。また、図中に破線に示すように、前記空気清浄ユニット２０を前記隔壁６から最も離隔させて配置させた場合には、図中に破線の白抜き矢印に示すように、前記供給口１６からクリーンスペース２内に供給された前記清浄な空気は、前記クリーンスペース２内の中央部付近を通過し、前記隔壁６の中央部付近に開口する排気口８から排気されるような気流を形成するため、前述した熱上昇気流をカメラ５１の視界から除去することはできるものの、やはり、作業用ステージ５０上に載置された前記部材を効果的に空冷することは期待できない。
【００１７】
そして、前述の具体例の場合のように、前記ターゲットが常にクリーンスペース２内の下方に配置される場合には、前記排気口８を前記隔壁６の下方に形成すれば、前述のショートサーキットの問題は改善できるとも考えられるが、前記ターゲットの位置はその作業内容等によって一定ではないため、前記排気口８についても、前記給気口１６と同様に、その配設位置を状況に応じて移動させるようにできることが望ましい。
【００１８】
そこで、本発明は、簡単な構成でクリーンカプセルのクリーンスペース内における清浄な空気の流通経路を制御することにより清浄な空気のショートサーキット現象の発生を防止することができ、清浄な環境を保持しつつ、また、クリーンスペース内に配設された装置が稼働中であっても、給気口および排気口の配設位置を調整可能なクリーンカプセルを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
前述した目的を達成するため、本発明のクリーンカプセルは、カプセルケース内に、清浄な状態に保たれる小空間とされたクリーンスペースと、前記クリーンスペースの少なくとも一側方に隣設された側方空間部と前記クリーンスペースおよび前記空間部の上方に形成された上方空間部とが連通してなる空気循環経路とを有し、前記上方空間部には、前記クリーンスペースと当該上方空間部との隔壁に開口する開口部を前記クリーンスペース内への空気の供給口として作用させる空気清浄ユニットが配設され、前記クリーンスペースと前記側方空間部との隔壁には、前記クリーンスペース内の空気を前記空気循環経路へ排気する排気口が形成されたクリーンカプセルであって、前記クリーンスペースと前記側方空間部との隔壁に形成された排気口の遮蔽領域を変化させうる遮蔽部材を備えたことを特徴とする。
【００２０】
このような特徴を有するクリーンカプセルによれば、前記遮蔽部材を前記クリーンスペースと前記側方空間部との隔壁に形成された排気口部分に配設して、その排気口の遮蔽領域、換言すれば、前記排気口の開口位置を変化させることができる。
【００２１】
また、本発明のクリーンカプセルは、前記クリーンスペースと前記上方空間部との隔壁には、少なくとも一部に開口が形成されており、前記開口は、前記開口内を移動自在に支持された前記空気清浄ユニットと、前記開口の前記空気清浄ユニットに隣接する開放部分を覆い、前記空気清浄ユニットの配設位置に応じて被覆領域を変化させうる被覆部材とにより遮蔽されていることを特徴とする。
【００２２】
このような特徴を有するクリーンカプセルによれば、前記空気清浄ユニットを移動させることにより、前記開口内における最も適切な位置に前記クリーンスペースの給気口を配置することができる。
【００２３】
さらに、前記被覆部材は、前記空気清浄ユニットに基端部を連接されて前記空気清浄ユニットの移動と連動するように構成されており、前記遮蔽部材は、前記空気清浄ユニットの前記クリーンスペースと前記側方空間部との隔壁側に連設された前記被覆部材の先端側により構成されていることを特徴とする。
【００２４】
このような特徴を有するクリーンカプセルによれば、前記空気清浄ユニットを前記開口内において移動させ、前記開口内における最も適切な位置に前記クリーンスペースの給気口を配置すると、前記空気清浄ユニットの移動に伴って、前記被覆部材も前記開口部に展張され、しかも、前記被覆部材の開放端と先端側を併用した前記遮蔽部材も、前記空気清浄ユニットの移動に連動し、前記空気清浄ユニットが前記クリーンスペースと前記側方空間部との隔壁から離間する方向に移動されるにしたがって、前記クリーンスペースと前記側方空間部との隔壁に形成された排気口の遮蔽領域を小さくし、前記排気口を大きく開口させるように、その配置位置を変化させることができる。
【００２５】
また、前記遮蔽部材は、前記クリーンスペースと前記側方空間部との隔壁に沿わせて配設可能とされたシート状の部材で構成され、当該隔壁に対向して位置する前記側方空間部の外壁を構成する前記カプセルケースの外壁の一部が、前記遮蔽部材を所望の位置に配設可能に開閉自在に形成されていることを特徴とする。
【００２６】
このような特徴を有するクリーンカプセルによれば、当該隔壁に対向して前記側方空間部を構成する前記カプセルケースの外壁の少なくとも一部を開閉させて、前記遮蔽部材を所望の位置に配設することができる。
【００２７】
またさらに、前記クリーンスペースと前記上方空間部との隔壁は、清浄な空気を供給する目標点となる前記クリーンスペース内の特定位置を中心点とする断面円弧状に形成されていることを特徴とする。
【００２８】
このように、前記クリーンスペースと前記上方空間部との隔壁を断面円弧状に形成することにより、前記クリーンスペースと前記上方空間部との隔壁に形成される前記クリーンスペース内への清浄な空気の給気口を、前記ターゲット方向へ指向することができる。
【００２９】
そして、前記上方空間部を構成する前記カプセルケースの少なくとも一部が、前記空気清浄ユニットおよび被覆部材を前記開口に沿って移動操作可能に開閉自在とされていることを特徴とし、さらには、前記空気循環経路を構成する前記側方空間部における前記排気口の下流側には、当該空気循環経路内に排気された空気を冷却する空気冷却装置が配設されていることを特徴とする。
【００３０】
このように前記カプセルケースの一部を開閉自在に形成することで、前記カプセルケースの一部を開状態にするだけで、前記空気清浄ユニットおよび遮蔽部材を前記開口に沿って移動操作することができる。
【００３１】
また、該空気循環経路内に排気された空気を冷却する空気冷却装置を配設することで、前記クリーンスペースに再供給する空気を冷却することができる。
【００３２】
よって、前記クリーンスペース内のターゲットに冷却空気を当てることも可能となる。
【発明の効果】
【００３３】
本実施形態のクリーンカプセルによれば、前記遮蔽部材を前記クリーンスペースと前記側方空間部との隔壁に形成された排気口部分に配設して、その排気口の遮蔽領域、換言すれば、前記排気口の開口位置を変化させることができるので、前記空気清浄ユニットの配設位置が固定されており、前記クリーンスペースの給気口の位置が固定されていたとしても、前記クリーンスペース内の空気の流通経路を制御することが可能となる。
【００３４】
また、前記空気清浄ユニットを移動させ、前記クリーンスペース内への給気口を前記開口内における最も適切な位置に移動させて配置することができるので、前記クリーンスペース内の空気の流通経路を、より多様かつ正確に制御することが可能となる。
【００３５】
このように、本発明のクリーンカプセルによれば、クリーンスペース内における清浄な空気の流通経路を制御して清浄な空気のショートサーキット現象の発生を防止することができる。
【００３６】
さらに、前記クリーンスペースの給気口と排気口の位置を連動させて配置する構成を採用すれば、前記クリーンスペース内の給気口の配設位置を調整する際に、その調整作業員が前記クリーンスペースに手を差し入れるようなこともなく、前記クリーンスペースを清浄な環境を保持したままで前記排気口の開口位置を調整することができるし、前記クリーンスペース内に配設された装置が稼働中であっても調整することができる。
【００３７】
また、前記クリーンスペースと前記側方空間部との隔壁に対向して前記側方空間部を構成する前記カプセルケースの外壁の少なくとも一部を開閉させて、前記遮蔽部材を所望の位置に配設することができる構成のクリーンカプセルにあっては、前記クリーンスペース内のターゲットの位置に応じて、前記クリーンスペースの排気口の配設位置（排気口の遮蔽量）をよりフレキシブルに調整することができる。
【００３８】
またさらに、前記クリーンスペースと前記上方空間部との隔壁を、前記開口の延在方向における前記クリーンスペースの排気口が形成された隔壁側に指向するように傾斜させることにより、前記クリーンスペースと前記上方空間部との隔壁に形成される前記クリーンスペース内への清浄な空気の給気口を、前記ターゲット方向へ指向することができ、前記クリーンスペース内における気流をより好ましいものに制御することができる。
【００３９】
そして、前記上方空間部を構成するカプセルケースの一部を開閉自在に形成することで、前記カプセルケースの一部を開状態にするだけで、前記空気清浄ユニットおよび遮蔽部材を前記開口に沿って移動操作することができ、よって、本実施形態のクリーンカプセルは、前記クリーンスペース内の給気口としての空気洗浄ユニットの配設位置を調整する際に、その調整作業員が前記クリーンスペースに手を差し入れたり、前記クリーンスペース内を開放するようなこともないので、前記クリーンスペースを清浄な環境を保持したままで調整することができるし、前記クリーンスペース内に配設された装置が稼働中であっても調整することができる。
【００４０】
また、該空気循環経路内に排気された空気を冷却する空気冷却装置を配設することで、前記クリーンスペースに再供給する空気を冷却することができ、前記クリーンスペース内のターゲットに冷却空気を当てることも可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４１】
図１乃至図５は本実施形態のクリーンカプセルの第１実施形態を示している。
【００４２】
本実施形態のクリーンカプセルは、透明な樹脂製の板材からなる外形略直方体状とされたカプセルケース１を有している。当該カプセルケース１内は、清浄な状態に保たれる略直方体状の小空間とされたクリーンスペース２と、前記クリーンスペース２の背面側（図中左に示す）に形成される空間部（以下、側方空間部３という）と、前記クリーンスペース２および前記側方空間部３の上方に形成される空間部（以下、上方空間部４という）とに区画されており、前記側方空間部３と上方空間部４は連通して空気循環経路５を形成するように構成されている。
【００４３】
本実施形態において、前記クリーンスペース２と前記側方空間部３とを区画する隔壁（以下、後方隔壁６という）には、当該クリーンスペース２の排気口８として作用する領域に複数の小孔７が隣位の２列において千鳥状に穿設されている。
【００４４】
また、図１および図２に示すように、前記クリーンスペース２と前記上方空間部４とを区画する隔壁（以下、上方隔壁９という）には、前記後方隔壁６と前記後方隔壁６に対向して当該クリーンスペース２を構成する壁（端壁１０）との間、つまり、当該クリーンスペース２を構成する背面側の側壁と正面側の側壁との間を開放させる略矩形の開口１１が形成されている。そして、前記開口１１は、当該開口１１に沿って移動自在に支持された外形略直方体の空気清浄ユニット２０と、前記空気清浄ユニット２０に隣接する前記開口１１の開放部分を覆い、前記空気清浄ユニット２０の配設位置に応じて被覆領域を変化させうる被覆部材２１とにより遮蔽されている。
【００４５】
詳しくは、図２に示すように、前記開口１１の前記空気清浄ユニット２０のスライド方向における両側部には、断面コ字状の第１スライドレール１２が配設されている。前記第１スライドレール１２は、レール溝を互いに対向させ、かつ、当該カプセルケース１の正面側に配置される端部（以下、正面側端部という）が当該カプセルケース１の背面側に配置される端部（以下、背面側端部という）よりも低位置に位置するように、弧状にカーブを描くように傾斜して形成されている。
【００４６】
また、本実施形態においては、同じく断面コ字状の第２スライドレール１３が、前記第１スライドレール１２の下側に隣接させて配設されており、当該第２スライドレール１３の前記空気清浄ユニット２０のスライド方向における両端部下面には、後述する被覆部材２１を前記クリーンスペース内に垂下させるための切り欠き開口部１４が形成されている。
なお、前記第１スライドレール１２および第２スライドレール１３のカーブの形状は、例えば、前記クリーンスペース２内に配置されるターゲットを中心点として描いた円弧状とすると、当該ターゲットに対し前記清浄な空気の気流を導くことが比較的容易になり、しかも、その気流の当たる方向も多方向から選択することが可能となる。
前記空気清浄ユニット２０は、空気を清浄するためのフィルタ（図示せず）やファン（図示せず）を備えた外形略直方体の本体ケース２２を有しており、前記本体ケース２２の上面には当該空気清浄ユニット２０に空気を取り入れる取入口２３が形成され、下面には清浄した空気をクリーンスペース２内に吹き出す排気口として作用する開口部２４が形成されている。この開口部２４は、前記クリーンスペース２と当該上方空間部４との隔壁９に開口するように臨み、前記クリーンスペース２の給気口１６として作用することとなる。そして、前記本体ケース２２の両側壁下端部近傍には外向きフランジ２５が形成されており、当該外向きフランジ２５を対向させて配設された前記第１スライドレール１２のレール溝に遊嵌させて前記第１スライドレール１２に支持させることで当該開口１１に沿ってスライド移動自在とされている。なお、この空気清浄ユニット２０には固定手段を配設し、前記第１スライドレール１２の中間部などの傾斜勾配が大きい部分に配設される場合であっても、その自重で前記空気清浄ユニット２０が滑ってしまい、その配設位置がずれることを防止するように構成するとよい。
【００４７】
また、前記本体ケース２２の正面側端壁の下端部および背面側端壁の下端部には、それぞれ矩形状で可撓性を有する樹脂製のフィルムシートからなる前記被覆部材２１の一端辺が連設されている。前記被覆部材２１としてのフィルムシートは、その幅寸法を、対向させて配設された前記第２スライドレール１３のレール溝を構成する底壁間寸法より若干狭めの幅寸法に形成されている。そして、被覆部材２１の側辺部分を第２スライドレール１３の前記レール溝に遊嵌させ、前記第２スライドレール１３に支持させることで、前記空気清浄ユニット２０のスライド移動に伴って、当該開口１１における被覆領域を変化させるように展張自在とされている。
【００４８】
そして、前記本体ケース２２の正面側端壁下端辺部分に連設された被覆部材２１（以下、前方被覆シート２１ａという）は、図１に示すように、前記空気清浄ユニット２０が前記第１スライドレール１２の背面側端部に位置したときには、前記空気清浄ユニット２０とともに前記クリーンスペース２の上面を覆って前記クリーンスペース２と上方空間部４の前記上方隔壁９として作用し、前記空気清浄ユニット２０が前記第１スライドレール１２の正面側端部に位置したときには、図３に示すように、前記クリーンスペース２の正面側に開口する前記第２スライドレール１３の切り欠き開口部１４から前記クリーンスペース２内に、当該クリーンスペース２を構成する前記カプセルケース１の前端壁に沿ってその下端部近傍まで自重により垂下するように構成されている。
【００４９】
また、前記本体ケース２２の背面側端壁下端辺に連設された被覆部材２１（以下、後方被覆シート２１ｂという）は、図１および図２に示すように、前記空気清浄ユニット２０が前記第１スライドレール１２の背面側端部に位置したときには、前記クリーンスペース２の背面側に開口する前記第２スライドレール１３の切り欠き開口部１４から前記クリーンスペース２内に、前記後方隔壁６に沿って当該後方隔壁６の下端部近傍まで自重により垂下して、前記後方隔壁６に穿設された複数の小孔７のうち、垂下する後方被覆シート２１ｂに覆われていない、当該後方隔壁６の下端部近傍に穿設された複数の小孔７のみを当該クリーンスペース２の排気口８として作用させるように構成されている。そして、前記空気清浄ユニット２０が前記第１スライドレール１２の正面側端部に位置したときには、図４に示すように、前記空気清浄ユニット２０とともに前記クリーンスペース２の上面を覆って前記上方隔壁９として作用するように構成されている。つまり、後方被覆シート２１ｂは、前記空気清浄ユニット２０の移動と連動し、前記後方隔壁６に形成された排気口８の遮蔽領域を変化させうる遮蔽部材として作用すると同時に、前記空気清浄ユニット２０に隣接する前記開口１１の開放部分を覆い、前記空気清浄ユニット２０の配設位置に応じて被覆領域を変化させうる被覆部材２１としても作用するように構成されている。
【００５０】
なお、前記空気清浄ユニット２０に接続される各種ケーブル（図示せず）は、当該本体ケース２２のスライド移動に支障ないように十分な長さで前記本体ケース２２の後方端面から導出されている。
【００５１】
また、本実施形態において、前記空気循環経路５を構成する前記側方空間部３における前記排気口８の下流側には、当該空気循環経路５内に排気された空気を冷却する空気冷却装置１５が配設されており、前記クリーンスペース２から排気された空気を冷却可能とされている。
【００５２】
そして、前記上方空間部４は、下面に開口部を配設した凹状の蓋体３０を、前記クリーンスペース２および前記側方空間部３の上方に覆い被せるようにして配置させることにより形成されており、本実施形態においては、前記上方空間部４の高さ方向寸法は、前記空気清浄ユニット２０の上方に清浄化する空気の吸い込みに必要十分な空間（該空気清浄ユニット２０に搭載されるファンの直径寸法以上）を確保した寸法とされている。
【００５３】
前記蓋体３０の背面側の端壁の下端辺と、前記側方空間部３を構成する当該カプセルケース１の背面側の端壁の上端辺とが枢着されている。そして、図４に示すように、この枢着された辺を当該蓋体３０の開閉の回動軸として開閉自在とされており、当該蓋体３０の正面側を回動させつつ持ち上げて、前記上方空間部４を開状態とし、前記空気清浄ユニット２０および被覆部材２１を前記開口１１に沿って移動操作可能とされている。
【００５４】
次に、このように構成された本実施形態のクリーンカプセルの作用について説明する。
【００５５】
基本的には、前記クリーンスペース２内から排気されて前記空気循環経路５の側方空間部３に回収された空気を前記空気冷却装置１５を通過させることにより冷却し、前記空気循環経路５の前記上方空間部４へ流通させる。そして、前記空気清浄ユニット２０において、上面に形成された取入口から吸い込んだ空気を当該空気清浄ユニット２０内において浄化し、その清浄された空気を下面に形成された前記開口部２４から前記クリーンスペース２内に給気することを繰り返し行なう。
【００５６】
そのとき、本実施形態のクリーンカプセルにおいては、前記クリーンスペース２内における清浄な空気の流通経路を制御することができる。
【００５７】
すなわち、本実施形態のクリーンカプセルにおいて、前記蓋体３０を開けて、前記空気清浄ユニット２０を前記第１スライドレール１２の背面側端部に位置させた場合（第１ケース）、前記前方被覆シート２１ａは前記第２スライドレール１３内に配置され、前記空気清浄ユニット２０とともに前記クリーンスペース２の上面を覆うように展張されて、前記上方隔壁９として作用することとなる。
【００５８】
また、前記後方被覆シート２１ｂは、図２に示すように、前記カプセルケース１の背面側に形成された前記第２スライドレール１３の切り欠き開口部１４から前記クリーンスペース２内に、当該後方隔壁６に沿って当該隔壁の下端部近傍まで垂下される。これにより、前記後方隔壁６に穿設された複数の小孔７のうち、垂下する後方被覆シート２１ｂに覆われない当該後方隔壁６の下端部近傍に穿設された複数の小孔７のみを、当該クリーンスペース２の排気口８として作用させることとなる。
【００５９】
このように前記空気清浄ユニット２０の配置位置が固定され、クリーンスペース２における給気口１６と排気口８の配置位置が調整されたクリーンカプセルにおいては、前記の給気口１６から前記クリーンスペース２内に供給された清浄な空気は、前記後方隔壁６の下端部近傍に開口する排気口８を目指して最短距離を採るように、前記後方隔壁６に沿って流れる気流を形成することができる（図１参照）。
【００６０】
また、図５に示すように、前記空気清浄ユニット２０を前記第１スライドレール１２の中間部付近に位置させた場合（第２ケース）、前記前方被覆シート２１ａおよび前記後方被覆シート２１ｂの基端部側は、それぞれ前記第２スライドレール１３内に配置され、前記空気清浄ユニット２０とともに前記クリーンスペース２の上面を覆うように展張され、前記上方隔壁９として作用することとなる。
【００６１】
そして、前記前方被覆シート２１ａの先端部部分は、前記カプセルケース１の正面側に形成された前記第２スライドレール１３の切り欠き開口部１４から前記クリーンスペース２内に、当該クリーンスペース２を構成する前記カプセルケース１の前端壁に沿って当該前端壁の中間部まで垂下され、前記後方被覆シート２１ｂの先端部部分は、前記カプセルケース１の背面側に形成された前記第２スライドレール１３の切り欠き開口部１４から前記クリーンスペース２内に、当該後方隔壁６に沿って当該隔壁の中間部まで垂下される。これにより、前記後方隔壁６に穿設された複数の小孔７のうち、垂下する後方被覆シート２１ｂに覆われない当該後方隔壁の下端部から中間部にまで穿設された複数の小孔７を、当該クリーンスペース２の排気口８として作用させることとなる。
【００６２】
このように前記空気清浄ユニット２０の配置位置が固定され、クリーンスペース２における給気口１６と排気口８の配置位置が調整されたクリーンカプセルにおいては、前記給気口１６から前記クリーンスペース２内に供給された清浄な空気は、前記後方隔壁６の下方に開口する、やや広い面積の排気口８を目指して、当該クリーンスペース２内を斜めに流れるような気流を形成することができる。
【００６３】
さらに、図３に示すように、前記空気清浄ユニット２０を前記第１スライドレール１２の正面側端部に位置させた場合（第３ケース）には、前記後方被覆シート２１ｂは前記第２スライドレール１３内に配置され、前記空気清浄ユニット２０とともに前記クリーンスペース２の上面を覆うように展張され、前記クリーンスペース２と上方空間部４との上方隔壁９として作用する。そして、前記後方隔壁６に穿設された複数の小孔７はすべて前記後方被覆シート２１ｂに覆われることなく、当該クリーンスペース２の排気口８として作用することとなる。そして、前記前方被覆シート２１ａは、前記クリーンスペース２の正面側に形成された前記第２スライドレール１３の切り欠き開口部１４から前記クリーンスペース２内に当該クリーンスペース２を構成する前記カプセルケース１の前端壁に沿って、当該前端壁の下端部近傍まで垂下される。
【００６４】
このように前記空気清浄ユニット２０の配置位置が固定され、クリーンスペース２における給気口１６と排気口８の配置位置が調整されたクリーンカプセルにおいては、前記空気清浄ユニット２０の給気口１６から前記クリーンスペース２内に供給された清浄な空気は、前記後方隔壁６に全開状態で開口された排気口８を目指して、当該クリーンスペース２内の略全空間に行き亘るような気流を形成することができる。
【００６５】
以上のように、本実施形態のクリーンカプセルによれば、クリーンスペース２内における清浄な空気の流通経路を制御して清浄な空気のショートサーキット現象の発生を防止することができる。
【００６６】
また、その操作についても、前述のように、前記空気清浄ユニット２０は、そのフランジを前記第１スライドレール１２の溝部に遊嵌させた状態で支持されており、簡単にスライド移動させることができる。
【００６７】
また、前記後方被覆シート２１ｂは前記空気清浄ユニット２０と連動するように構成されているので、開口部２４を給気口１６として作用させる空気清浄ユニット２０の配設位置を、その状況に応じて移動させることで、排気口８の配設位置を簡単に変えることができる。
【００６８】
しかも、本実施形態のクリーンカプセルは、前記クリーンスペース２の給気口１６や排気口８の配設位置を調整する際に、その調整作業員が前記クリーンスペース２に手を差し入れたり、前記クリーンスペース２内を開放するようなこともないので、前記クリーンスペース２を清浄な環境を保持したままで調整することができるし、前記クリーンスペース２内に配設された装置が稼働中であっても調整することができる。
【００６９】
また、前記空気冷却装置１５を配設し、前記クリーンスペース２に再供給する空気を冷却することにより、前記クリーンスペース２内のターゲットに冷却空気を当てることも可能となる。
【００７０】
また、図６乃至図９は本実施形態のクリーンカプセルの第２実施形態を示している。
【００７１】
以下では、前述の第１実施形態に示すクリーンカプセルとの差異点となる、前記クリーンスペースの給気口１６および排気口８の配設位置の調整機構について説明し、共通する部分についてはその説明を適宜省略する。
本実施形態において、前記クリーンスペース２と前記側方空間部３との間に配設された後方隔壁６は、当該クリーンスペース２の排気口８として作用する領域に複数の小孔７が千鳥状に穿設されている。
そして、図６および図７に示すように、クリーンスペース２の両側壁の背面側側辺にはそれぞれ、前記後方隔壁６に穿設された小孔７からなる排気口８の遮蔽領域を変化させうる遮蔽部材としてのスライド遮蔽板３５を前記後方隔壁６と略平行にスライド移動自在に案内し、さらに、前記スライド遮蔽板３５を所望の位置に固定させる断面コ字状のスライドレール（以下、第３スライドレール３６という）が配設されている。前記第３スライドレース３６はそのレール溝を互いに対向させるようにして、クリーンスペース２の両側壁の背面側側辺にそれぞれの一壁面を前記隔壁に隣接させるようにして配設されている。
【００７２】
前記スライド遮蔽板３５は樹脂製の略矩形状の薄板であり、その幅寸法は、対向させて配設された前記第３スライドレールのレール溝を構成する底壁間寸法より若干狭めの幅寸法とされ、前記レール溝内に遊嵌されてスライド移動自在とされている。なお、前記スライド遮蔽板３５の高さ寸法は任意であるが、前記第３スライドレールに沿って移動可能とされた最上位において、前記小孔７から構成される排気口８の遮蔽領域を最小面積（ゼロ）として前記排気口８を全開させた状態となり、また、最下位において、前記排気口８の遮蔽領域を最大面積として前記排気口８を前記クリーンスペース２の下方にのみ狭く開口させた状態となるように規制できる高さ寸法とする。そして、前記スライド遮蔽板３５には、それぞれ当該スライド遮蔽板３５を前記第３スライドレール３６内の所望の位置で固定させるためのピン部材３７が挿入される係止用小孔３８が形成されている。
【００７３】
そして、クリーンスペース２の後方隔壁６および第３スライドレール３６にも、前記スライド遮蔽板３５を前記第３スライドレース３６内の所望の位置で固定させるための係止用小孔３８が複数段の高さで形成されており、前記スライド遮蔽板３５を所望の位置にスライドさせ、当該スライド遮蔽板３５に形成された係止用小孔３８と、前記隔壁および第３スライドレース３６に形成された係止用小孔３８との位置を合わせた状態で、前記側方空間部３側から、前記ピン部材３７をこれらの係止用小孔３８を貫通させるように挿入して前記スライド遮蔽板３５を所望の位置に固定可能に構成されている。
【００７４】
そして、本実施形態においては、前述のスライド遮蔽板３５の配置調整を可能とすべく、前記側方空間部３を構成するカプセルケース１の後方端壁に開閉自在な扉３９が形成されている。
【００７５】
また、図６および図７に示すように、本実施形態においては、前記開口１１の前記空気清浄ユニット２０のスライド方向における両側部には、断面コ字状の第１スライドレール１２が配設されている。前記第１スライドレール１２は、レール溝を互いに対向させ、かつ、当該カプセルケース１の正面側に配置される端部（以下、正面側端部という）が当該カプセルケース１の背面側に配置される端部（以下、背面側端部という）よりも低位置に位置するように、弧状にカーブを描くように傾斜して形成されており、さらに、同じく断面コ字状の第２スライドレール１３が、前記第１スライドレール１２の下側に隣接させて形成されている。
【００７６】
また、前記空気清浄ユニット２０の前記本体ケース２２の両側壁下端部近傍には外向きフランジ２５が形成されており、当該外向きフランジ２５を対向させて配設された前記第１スライドレール１２のレール溝に遊嵌させて支持させることで当該開口１１の延在方向に沿ってスライド移動自在とされており、前記空気清浄ユニット２０の本体ケース２２の正面側端壁下端部および背面側端壁下端部にはそれぞれ、蛇腹状に形成され、前記空気清浄ユニット２０に隣接する前記開口１１の開放部分を覆って前記空気清浄ユニット２０の配設位置に応じて被覆領域を変化させうる被覆部材２１の一端辺が連設されている。
【００７７】
前記被覆部材２１は、その幅寸法を、前記第２スライドレール１３のレール溝を構成する底壁間寸法より若干狭めの幅寸法に形成されている。そして、前記本体ケース２２の正面側端壁下端部に配設された被覆部材２１（以下、前方遮蔽幕４０ａという）の他端辺は前記第２スライドレール１３の正面側における前記レール溝内に固定させ、前記本体ケース２２の背面側端壁下端部に配設された被覆部材２１（以下、後方遮蔽幕４０ｂという）の他端辺は前記第２スライドレール１３の背面側における前記レール溝内に固定させ、両被覆部材２１の側辺部分を第２スライドレール１３の前記レール溝に遊嵌させて支持させることで、前記空気清浄ユニット２０のスライド移動に伴って、当該開口１１の延在方向に沿って前記蛇腹を伸縮自在とされている。
【００７８】
そして、本実施形態においては、前記前方遮蔽幕は、図6に示すように、前記空気清浄ユニット２０が前記第１スライドレール１２の背面側端部に位置したときには、前記蛇腹を伸張させて前記空気清浄ユニット２０とともに前記クリーンスペース２の上面を覆い、前記クリーンスペース２と上方空間部４の隔壁として作用するように構成されている。そして、図8に示すように、前記空気清浄ユニット２０が前記第２スライドレール１３の正面側端部に位置したときには、前記蛇腹を折り畳んで前記第２スライドレール１３の正面側に保持される。
【００７９】
また、前記後方遮蔽幕４０ｂは、前記空気清浄ユニット２０が前記スライドレールの背面側端部に位置したときには、前記後方遮蔽幕４０ｂの蛇腹を折り畳んで前記第２スライドレール１３の背面側に保持され、前記空気清浄ユニット２０が前記スライドレールの正面側端部に位置したときには、図8に示すように、前記蛇腹を伸張させて前記空気清浄ユニット２０とともに前記クリーンスペース２の上面を覆い、前記クリーンスペース２と上方空間部４の隔壁として作用するように構成されている。
【００８０】
次に、このように構成された本実施形態のクリーンカプセルの作用について説明する。
【００８１】
本実施形態のクリーンカプセルにおいては、前記クリーンスペース２の給気口１６と排気口８の配設位置を個別に調整可能とされており、前記第１実施形態のクリーンカプセルに比べて、前記給気口１６と排気口８との位置関係を多様に調整可能とされている。そして、本実施形態のクリーンカプセルにおいては、前記クリーンスペース２内における清浄な空気の流通経路を制御することができる。
【００８２】
すなわち、本実施形態のクリーンカプセルにおいて、前記蓋体３０を開けて、前記空気清浄ユニット２０を前記第１スライドレール１２の背面側端部に位置させ、前記前方遮蔽幕４０ａを前記空気清浄ユニット２０とともに前記クリーンスペース２の上面を覆うように展張させた場合（第4ケース）、前記空気清浄ユニット２０と前方遮蔽幕４０ａが前記上方隔壁９として作用することとなる。
【００８３】
また、前記カプセルケース１の後方端壁に配設された扉３９を開けて、前記スライド遮蔽板３５を前記小孔７から構成される排気口８が前記隔壁の下方にのみ、狭く開口した状態となる位置にスライドさせ、当該スライド遮蔽板３５に形成された係止用小孔３８と、前記後方隔壁６および第３スライドレール３６に形成された係止用小孔３８との位置を合わせた状態で、前記側方空間部３側から、前記ピン部材３７を、これらの小孔７を貫通させるように挿入し、前記スライド遮蔽板３５を所望の位置に固定する。これにより、前記隔壁に穿設された複数の小孔７のうち、前記スライド遮蔽板３５に塞がれない当該隔壁の下端部近傍に穿設された複数の小孔７のみを、当該クリーンスペース２の排気口８として作用させることとなる。
【００８４】
このようにクリーンスペース２における給気口１６と排気口８の配置位置が調整されたクリーンカプセルにおいては、前記空気清浄ユニット２０の給気口１６から前記クリーンスペース２内に供給された清浄な空気は、前記後方隔壁６の下端部近傍に開口する排気口８を目指して最短距離を採るように、前記隔壁に沿って流れる気流を形成することができる（図6参照）。
【００８５】
また、図9に示すように、前記空気清浄ユニット２０を前記第１スライドレール１２の中間部付近に位置させた場合（第5ケース）、前記前方遮蔽幕４０ａおよび前記後方遮蔽幕４０ｂはそれぞれ、前記空気清浄ユニット２０とともに前記クリーンスペース２の上面を覆うように展張され、前記クリーンスペース２と上方空間部４との上方隔壁９として作用することとなる。
【００８６】
また、前記カプセルケース１の後方端壁に配設された扉３９を開けて、前記スライド遮蔽板３５を前記小孔７から構成される排気口８が前記隔壁の下端部から中間部分に開口１１した状態となる位置にスライドさせ、当該スライド遮蔽板３５に形成された係止用小孔３８と、前記後方隔壁６および第３スライドレール３６の両壁に形成された係止用小孔３８との位置を合わせた状態で、前記側方空間部３側から、前記ピン部材をこれらの小孔７を貫通させるように挿入し、前記スライド遮蔽板３５を所望の位置に固定する。これにより、前記隔壁に穿設された複数の小孔７のうち、前記スライド遮蔽板３５に塞がれない当該隔壁の下端部から中間部にかけて穿設された複数の小孔７を、当該クリーンスペース２の排気口８として作用させることとなる。
【００８７】
このようにクリーンスペース２における給気口１６と排気口８の配置位置が調整されたクリーンカプセルにいては、前記空気清浄ユニット２０の給気口１６から前記クリーンスペース２内に供給された清浄な空気は、前記後方隔壁６の下方に開口する、やや広い面積の排気口８を目指して、当該クリーンスペース２内を斜めに流れるような気流を形成することができる。
【００８８】
さらに、図8に示すように、前記空気清浄ユニット２０を前記第１スライドレール１２の正面側端部に位置させた場合（第３ケース）には、前記後方遮蔽幕４０ｂは、前記空気清浄ユニット２０とともに前記クリーンスペース２の上面を覆うように展張され、前記クリーンスペース２と上方空間部４の上方隔壁９として作用することとなる。
【００８９】
また、前記カプセルケース１の後方端壁に配設された扉を開けて、前記スライド遮蔽板３５を前記小孔７から構成される排気口８が全開した状態となる位置にスライドさせ、当該スライド遮蔽板３５に形成された係止用小孔３８と、前記後方隔壁６および第３スライドレール３６に形成された係止用小孔３８との位置を合わせた状態で、前記側方空間部３側から、前記ピン部材をこれらの小孔７を貫通させるように挿入し、前記スライド遮蔽板３５を所望の位置に固定する。これにより、前記隔壁に穿設された複数の小孔７のすべてを当該クリーンスペース２の排気口８として作用させることとなる。
【００９０】
このようにクリーンスペース２における給気口１６と排気口８の配置位置が調整されたクリーンカプセルにいては、前記空気清浄ユニット２０の給気口１６から前記クリーンスペース２内に供給された清浄な空気は、前記後方隔壁６に全開状態で開口１１された排気口８を目指して、当該クリーンスペース２内の略全空間に行き亘るような気流を形成することができる。
【００９１】
このように、本実施形態のクリーンカプセルによれば、クリーンカプセルのクリーンスペース２内における清浄な空気の流通経路を制御して清浄な空気のショートサーキット現象の発生を防止することができる。また、その操作についても、前述のように、前記空気清浄ユニット２０は、そのフランジを前記スライドレールの溝部に嵌合させた状態で保持されているので、簡単にスライド移動させることができる。また、前記スライド遮蔽板３５をスライドさせる機構や固定手段も簡単な構成とされており、給気口１６としての空気清浄ユニット２０の配設位置や、ターゲットの位置に応じて、排気口８の配設位置（排気口８の遮蔽量）を調整することで、より多様な気流の制御が可能となる。しかも、本実施形態のクリーンカプセルは、給気口１６や排気口８の配設位置を調整する際に、その調整作業員が前記クリーンスペース２に手を差し入れたり、前記クリーンスペース２内を開放するようなこともないので、前記クリーンスペース２を清浄な環境を保持したままで調整することができるし、前記クリーンスペース２内に配設された装置が稼働中であっても調整することができる。
【００９２】
なお、本発明は、前述した実施の形態に限定されるものではなく、必要に応じて種々の変更が可能である。
【００９３】
例えば、前記クリーンスペースの一側面側に形成される第１空間部と、前記一側面に対向する他側面側に形成される第２空間部を配設し、前記第１空間部、第２空間部と前記実施形態のように構成される上方空間部を連通させて空気循環経路を形成するように構成し、前記クリーンスペースと前記第１空間部および第２空間部との間に配設された隔壁に、当該クリーンスペースの排気口として作用する領域に複数の小孔を穿設し、前記空気清浄ユニットを前記第１空間部と第２空間部との間をスライド移動可能に配設するとともに、当該空気清浄ユニットに連設させた被覆部材を前記隔壁に沿わせて垂下させる構成とし、前述のような方法で排気口の遮蔽領域を変化させる構成とすることも可能である。
【００９４】
また、スライドレールは、被覆部材を展張させるためのものと、空気清浄ユニットの本体をスライドさせるためのものとを併用する構成とすることも可能である。
【００９５】
また、前記第１実施形態の場合、前記隔壁を省略し、後方被覆シートのみで前記クリーンスペースと側方空間部とを区画したり前記排気口を形成する構成とすることも可能である。
【００９６】
さらに、クリーンスペースの両側壁の正面側側辺および背面側側辺に、それぞれ当該クリーンスペース内に垂下する前方被覆シートおよび後方被覆シートの位置を規制するための案内部材を配設することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００９７】
【図１】本発明のクリーンカプセルの第１実施形態における一使用態様を示す要部断面図
【図２】図１のII−II断面図
【図３】本発明のクリーンカプセルの第１実施形態における別の使用態様を示す要部断面図
【図４】本発明のクリーンカプセルの第１実施形態における蓋体の開状態を示す要部断面図
【図５】本発明のクリーンカプセルの第１実施形態におけるさらに別の使用態様を示す要部断面図
【図６】本発明のクリーンカプセルの第２実施形態における一使用態様を示す要部断面図
【図７】図６のVII−VII断面図
【図８】本発明のクリーンカプセルの第２実施形態における別の使用態様を示す要部断面図
【図９】本発明のクリーンカプセルの第２実施形態におけるさらに別の使用態様を示す要部断面図
【図１０】従来のクリーンカプセルの使用態様とその問題点を示す要部断面図
【符号の説明】
【００９８】
１  カプセルケース
２  クリーンスペース
３  側方空間部
４  上方空間部
５  空気循環経路
６  後方隔壁
７  小孔
８  排気口
９  上方隔壁
１１  開口
１２  第１スライドレール
１３  第２スライドレール
１４  切欠き開口部
１５  空気冷却装置
１６  給気口
２０  空気清浄ユニット
２１  被覆部材
２１ａ  前方遮蔽シート
２１ｂ  後方遮蔽シート
２２  本体ケース
２３  取入口
２４  開口部
２５  外向きフランジ
３０  蓋体
３５  スライド遮蔽板
３６  第３スライドレール
３７  ピン部材
３８  係止用小孔
３９  扉
４０ａ  前方遮蔽幕
４０ｂ  後方遮蔽幕
【図１】
2005106343.tif 000003
【図２】
2005106343.tif 000004
【図３】
2005106343.tif 000005
【図４】
2005106343.tif 000006
【図５】
2005106343.tif 000007
【図６】
2005106343.tif 000008
【図７】
2005106343.tif 000009
【図８】
2005106343.tif 000010
【図９】
2005106343.tif 000011
【図１０】
2005106343.tif 000012