(57)【要約】【課題】  信頼性が高い圧電素子を備えると共にインク吐出特性及び安定性を向上したインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置を提供する。【解決手段】  ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２が画成されたシリコン単結晶基板からなる流路形成基板１０と、該流路形成基板１０の一方面側に振動板５０を介して下電極６０、圧電体層７０及び上電極８０からなる圧電素子３００とを具備するインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記圧力発生室１２の前記振動板側には、長手方向に亘って幅の広い幅広部１５が設けられており、前記流路形成基板１０の前記幅広部１５の幅方向両側に、当該幅広部１５の長手方向に亘って溝部１６を有すると共に該溝部１６内には前記幅広部１５の幅方向側面を画成して前記圧力発生室１２の幅方向のエッチングを規制するエッチングストップ層１１０を設ける。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル開口に連通する圧力発生室が画成されたシリコン単結晶基板からなる流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子とを具備するインクジェット式記録ヘッドにおいて、
前記流路形成基板には、前記圧力発生室の前記振動板側に、前記圧力発生室より幅が広く且つ深さ方向に同一幅の幅広部が前記圧力発生室の長手方向に亘って設けられており、
前記流路形成基板の前記幅広部の幅方向両側には幅方向側面を画成して前記圧力発生室の幅方向のエッチングを規制すると共に、前記幅広部の上面を画成する前記振動板の一部と同一の材料により当該振動板の一部と連続して形成されたエッチングストップ層が設けられていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【請求項２】
請求項１において、前記エッチングストップ層が、前記振動板の最下層と連続して形成されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【請求項３】
請求項１又は２において、前記エッチングストップ層が絶縁性を有することを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【請求項４】
請求項１〜３の何れかにおいて、前記エッチングストップ層が酸化シリコンからなることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【請求項５】
請求項１〜４の何れかにおいて、前記溝部の幅が前記エッチングストップ層の厚さの２倍よりも狭く形成されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【請求項６】
請求項１〜５の何れかにおいて、前記圧力発生室の少なくとも前記振動板側が異方性ドライエッチングにより形成されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【請求項７】
請求項１〜６の何れかのインクジェット式記録ヘッドを具備することを特徴とするインクジェット式記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を介して圧電素子を設けて、圧電素子の変位によりインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子により変形させて圧力発生室のインクを加圧してノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドには、圧電素子が軸方向に伸長、収縮する縦振動モードの圧電アクチュエータを使用したものと、たわみ振動モードの圧電アクチュエータを使用したものの２種類が実用化されている。
【０００３】
前者は圧電素子の端面を振動板に当接させることにより圧力発生室の容積を変化させることができて、高密度印刷に適したヘッドの製作が可能である反面、圧電素子をノズル開口の配列ピッチに一致させて櫛歯状に切り分けるという困難な工程や、切り分けられた圧電素子を圧力発生室に位置決めして固定する作業が必要となり、製造工程が複雑であるという問題がある。
【０００４】
これに対して後者は、圧電材料のグリーンシートを圧力発生室の形状に合わせて貼付し、これを焼成するという比較的簡単な工程で振動板に圧電素子を作り付けることができるものの、たわみ振動を利用する関係上、ある程度の面積が必要となり、高密度配列が困難であるという問題がある。
【０００５】
一方、後者の記録ヘッドの不都合を解消すべく、特開平５−２８６１３１号公報に見られるように、振動板の表面全体に亙って成膜技術により均一な圧電材料層を形成し、この圧電材料層をリソグラフィ法により圧力発生室に対応する形状に切り分けて各圧力発生室毎に独立するように圧電素子を形成したものが提案されている。
【０００６】
これによれば圧電素子を振動板に貼付ける作業が不要となって、リソグラフィ法という精密で、かつ簡便な手法で圧電素子を作り付けることができるばかりでなく、圧電素子の厚みを薄くできて高速駆動が可能になるという利点がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
このようなインクジェット式記録ヘッドの圧力発生室は、流路形成基板の圧電素子とは反対側の面から振動板に至るまで異方性エッチングを選択的に行うことにより流路形成基板を貫通して形成される。
【０００８】
この異方性エッチングをアルカリ水溶液を用いたウェットエッチングで行うと、エッチングの終点でこのアルカリ水溶液あるいはエッチング反応生成物が振動板を透過して圧電素子にダメージを与えてしまうという問題がある。
【０００９】
また、エッチングをドライエッチングで行うと、エッチングの終点が定まらず、圧力発生室の振動板側の幅の制御が難しく、圧力発生室を高精度で形成できないという問題がある。
【００１０】
さらに、このようなインクジェット式記録ヘッドでは、圧電素子を形成後に圧力発生室をエッチングにより形成するため、圧力発生室の垂直度のバラツキにより圧力発生室の振動板側の位置が安定しない。このため、圧電素子と圧力発生室との相対的な位置精度が低くなってしまい、インク吐出特性及び安定性が低いという問題がある。
【００１１】
本発明はこのような事情に鑑み、信頼性が高い圧電素子を備えると共にインク吐出特性及び安定性を向上したインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置を提供することを課題とする。
【発明の効果】
【００１２】
以上説明したように、本発明によると、圧力発生室の振動板側には、幅広部を設け、流路形成基板に幅広部の幅方向両側の広がりを規制するエッチングストップ層を設けることにより、圧力発生室の振動板側の幅方向の幅をエッチングストップ層によって規定して圧力発生室を高精度に形成することができ、インク吐出特性及び安定性を向上することができる。また、このような圧力発生室の製造方法では、圧力発生室の少なくとも振動板側を異方性ドライエッチングにより形成することで、圧電素子にダメージを与えることなく、信頼性の向上した圧電素子を形成することができる。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決する本発明の第１の態様は、ノズル開口に連通する圧力発生室が画成されたシリコン単結晶基板からなる流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子とを具備するインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記流路形成基板には、前記圧力発生室の前記振動板側に、前記圧力発生室より幅が広く且つ深さ方向に同一幅の幅広部が前記圧力発生室の長手方向に亘って設けられており、前記流路形成基板の前記幅広部の幅方向両側には幅方向側面を画成して前記圧力発生室の幅方向のエッチングを規制すると共に、前記幅広部の上面を画成する前記振動板の一部と同一の材料により当該振動板の一部と連続して形成されたエッチングストップ層が設けられていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。
【００１４】
かかる第１の態様では、エッチングストップ層により圧力発生室の幅広部の幅を容易に且つ確実に規定でき、圧力発生室を高精度に形成することができる。また、エッチングストップ層を振動板の一部で形成することにより、製造工程を簡略化することができる。
【００１５】
本発明の第２の態様は、第１の態様において、前記エッチングストップ層が、前記振動板の最下層と連続して形成されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。
【００１６】
かかる第２の態様では、エッチングストップ層により圧力発生室の幅広部の幅を容易に且つ確実に規定でき、圧力発生室を高精度に形成することができる。また、エッチングストップ層を振動板の一部で形成することにより、製造工程を簡略化することができる。
【００１７】
本発明の第３の態様は、第１又は２の態様において、前記エッチングストップ層が絶縁性を有することを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。
【００１８】
かかる第３の態様では、エッチングストップ層に絶縁性を有する部材を用いることで、圧力発生室内のインクへの漏電を防止することができる。
【００１９】
本発明の第４の態様は、第１〜３の何れかの態様において、前記エッチングストップ層が酸化シリコンからなることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。
【００２０】
かかる第４の態様では、エッチングストップ層を容易に且つ確実に形成することができる。
【００２１】
本発明の第５の態様は、第１〜４の何れかの態様において、前記溝部の幅が前記エッチングストップ層の厚さの２倍よりも狭く形成されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。
【００２２】
かかる第５の態様では、溝部内にエッチングストップ層を確実に形成することができる。
【００２３】
本発明の第６の態様は、第１〜５の何れかの態様において、前記圧力発生室の少なくとも前記振動板側が異方性ドライエッチングにより形成されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。
【００２４】
かかる第６の態様では、エッチング水溶液及びエッチング反応生成物による圧電素子へのダメージを確実に防止して圧力発生室を高精度に形成することができる。
【００２５】
本発明の第７の態様は、第１〜６の何れかの態様のインクジェット式記録ヘッドを具備することを特徴とするインクジェット式記録装置にある。
【００２６】
かかる第７の態様では、インク吐出特性を向上したインクジェット式記録装置を実現できる。
【００２７】
本発明の第８の態様は、ノズル開口に連通する圧力発生室が画成されるシリコン単結晶基板からなる流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して成膜及びリソグラフィ法により形成された薄膜からなる下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子を有するインクジェット式記録ヘッドの製造方法において、前記流路形成基板の一方面に、前記圧力発生室の形成される領域の幅方向両側に、長手方向に亘って溝部を形成する工程と、該溝部内に前記流路形成基板のエッチングを規制するエッチングストップ層を形成する工程と、前記流路形成基板の一方面に前記振動板を介して前記下電極、圧電体層及び上電極を順次積層及びパターニングして前記圧電素子を形成する工程と、前記流路形成基板の少なくとも前記振動板側を異方性ドライエッチングにより前記エッチングストップ層が露出するまで除去して前記圧力発生室を形成する工程とを有することを特徴とするインクジェット式記録ヘッドの製造方法にある。
【００２８】
かかる第８の態様では、圧力発生室の振動板側の幅方向のエッチングを容易に制御でき、圧力発生室を高精度に形成できる。
【００２９】
本発明の第９の態様は、第８の態様において、前記圧力発生室を形成する工程では、前記流路形成基板を異方性ウェットエッチングした後、異方性ドライエッチングを行うことによって前記圧力発生室を形成することを特徴とするインクジェット式記録ヘッドの製造方法にある。
【００３０】
かかる第９の態様では、圧力発生室を異方性ウェットエッチングと異方性ドライエッチングとで形成することによって、エッチング時間を短縮して製造コストを低減することができる。
【００３１】
本発明の第１０の態様は、第８又は９の態様において、前記エッチングストップ層が絶縁性を有することを特徴とするインクジェット式記録ヘッドの製造方法にある。
【００３２】
かかる第１０の態様では、エッチングストップ層に絶縁性を有する部材を用いることで、圧力発生室内のインクへの漏電を防止することができる。
【００３３】
本発明の第１１の態様は、第８〜１０の何れかの態様において、前記エッチングストップ層が前記振動板の一部と同一の材料で形成されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドの製造方法にある。
【００３４】
かかる第１１の態様では、エッチングストップ層を振動板の一部と同一の材料で形成することで、製造工程を簡略化することができる。
【００３５】
本発明の第１２の態様は、第８〜１１の何れかの態様において、前記エッチングストップ層が酸化シリコンからなることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドの製造方法にある。
【００３６】
かかる第１２の態様では、エッチングストップ層を容易に且つ確実に形成することができる。
【００３７】
本発明の第１３の態様は、第８〜１２の何れかの態様において、前記溝部を形成する工程では、当該溝部の幅を前記エッチングストップ層の厚さの２倍よりも狭く形成することを特徴とするインクジェット式記録ヘッドの製造方法にある。
【００３８】
かかる第１３の態様では、溝部内にエッチングストップ層を確実に形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３９】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００４０】
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドを示す分解斜視図であり、図２（ａ）は、インクジェット式記録ヘッドの圧力発生室の並設方向の断面図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ′断面図である。
【００４１】
図示するように、流路形成基板１０は、本実施形態では面方位（１１０）のシリコン単結晶基板からなる。流路形成基板１０の一方の面は開口面となり、他方の面には圧力発生室１２の一方面を構成する弾性膜５０が形成されている。
【００４２】
なお、弾性膜５０は、本実施形態では、流路形成基板１０上に形成されて二酸化シリコン（ＳｉＯ2）からなる第１の弾性膜５１と、この第１の弾性膜５１上に形成されて二酸化ジルコニウム（ＺｒＯ2）からなる第２の弾性膜５２とで構成されている。勿論、弾性膜５０は、複数層からなるものに限定されるわけではない。
【００４３】
この流路形成基板１０には、異方性エッチングにより形成され、複数の隔壁１１によって区画される圧力発生室１２がその幅方向に並設されている。また、各圧力発生室１２の弾性膜５０側には、異方性ドライエッチングを行うことにより、圧力発生室１２の幅方向に広がった幅広部１５が長手方向に沿って設けられている。
【００４４】
この幅広部１５の幅方向両側に対応する領域の流路形成基板１０には、圧力発生室１２の長手方向に亘って溝部１６が設けられており、この溝部１６内には、エッチングストップ層１１０が設けられている。そして、幅広部１５の幅方向側面はこのエッチングストップ層１１０により画成されている。
【００４５】
ここで、幅広部１５を有する圧力発生室１２は、流路形成基板１０の一方面から弾性膜５０近傍まで異方性ウェットエッチングすることによりその一部が形成され、その後、エッチングストップ層１１０が露出するまで異方性ドライエッチングをすることによって形成されている。
【００４６】
エッチングストップ層１１０は、流路形成基板１０に圧力発生室１２を異方性ドライエッチングにより形成した際に、圧力発生室１２の幅広部１５の幅方向のエッチングの広がりを規制するためのものである。すなわち、流路形成基板１０をエッチングストップ層１１０が露出されるまでエッチングすることにより実質的にエッチングが停止する。なお、エッチングストップ層１１０の材料は、絶縁性を有し且つ異方性ドライエッチングによりエッチングされない材料であれば、特に限定されず、例えば、本実施形態では、流路形成基板１０に設けられた二酸化シリコンからなる第１の弾性膜５１を溝部１６内に埋設することにより第１の弾性膜５１の一部をエッチングストップ層１１０とした。
【００４７】
このように流路形成基板１０にエッチングストップ層１１０を設け、このエッチングストップ層１１０により、圧力発生室１２の幅広部１５の幅を規定することで、圧力発生室１２の垂直度のバラツキにより圧力発生室１２の弾性膜５０側の位置が安定しなくても、圧電素子の相対的な位置のズレの許容量を大きくすることができる。
【００４８】
また、流路形成基板１０の開口面側の表面には流路形成基板１０の表面を熱酸化することにより二酸化シリコン層からなる保護膜５５が形成されている。また、この保護膜５５上には、ノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が接着剤や熱溶着フィルム等を介して接着されている。なお、ノズルプレート２０は、厚さが例えば、０．１〜１ｍｍで、線膨張係数が３００℃以下で、例えば２．５〜４．５［×１０−6／℃］であるガラス、単結晶シリコン、不錆鋼又はステンレス鋼（ＳＵＳ）などからなる。ノズルプレート２０は、一方の面で流路形成基板１０の一面を全面的に覆い、シリコン単結晶基板からなる流路形成基板１０を衝撃や外力から保護する補強板の役目も果たす。
【００４９】
さらに、圧力発生室１２と後述する共通インク室３１とは、ノズルプレート２０の各圧力発生室１２の一端部に対応する位置に形成されたインク供給口２２を介して連通されており、インクはこのインク供給口２２を介して共通インク室３１から各圧力発生室１２に供給される。
【００５０】
また、ノズルプレート２０の流路形成基板１０の端部から突出した領域には、共通インク室３１に外部からのインク供給を受けるインク導入口２３が厚さ方向に貫通して設けられている。
【００５１】
このようなノズルプレート２０上のインク供給口２２及びインク導入口２３に対応する領域には、共通インク室３１を形成するインク室形成基板３０及びインク室側板４０が接合されている。
【００５２】
インク室形成基板３０は、共通インク室３１の周壁を形成するものであり、ノズル開口数、インク滴吐出周波数に応じた適正な厚みのステンレス板を打ち抜いて作成されたものである。本実施形態では、インク室形成基板３０の厚さは０．２ｍｍとしている。
【００５３】
インク室側板４０は、ステンレス基板からなり、一方の面で共通インク室３１の一壁面を構成するものである。また、インク室側板４０には、他方の面の一部にハーフエッチングにより凹部４０ａを形成することにより薄肉壁４１が形成されている。この薄肉壁４１はインク滴吐出の際に発生するノズル開口２１と反対側へ向かう圧力を吸収するためのもので、他の圧力発生室１２に、共通インク室３１を経由して不要な正又は負の圧力が加わるのを防止する。
【００５４】
ここで、インク滴吐出圧力をインクに与える圧力発生室１２の大きさと、インク滴を吐出するノズル開口２１の大きさとは、吐出するインク滴の量、吐出スピード、吐出周波数に応じて最適化される。例えば、１インチ当たり３６０個のインク滴を記録する場合、ノズル開口２１は数十μｍの径で精度よく形成する必要がある。
【００５５】
一方、流路形成基板１０に設けられた弾性膜５０の上には、厚さが例えば、約０．２μｍの下電極膜６０と、厚さが例えば、約１μｍの圧電体層７０と、厚さが例えば、約０．１μｍの上電極膜８０とが、後述するプロセスで積層形成されて、圧電素子３００を構成している。ここで、圧電素子３００は、下電極膜６０、圧電体層７０、及び上電極膜８０を含む部分をいう。一般的には、圧電素子３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層７０から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。本実施形態では、下電極膜６０は圧電素子３００の共通電極とし、上電極膜８０を圧電素子３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。何れの場合においても、各圧力発生室毎に圧電体能動部が形成されていることになる。また、ここでは、圧電素子３００と当該圧電素子３００の駆動により変位が生じる振動板とを合わせて圧電アクチュエータと称する。なお、上述した例では、弾性膜５０及び下電極膜６０が振動板として作用するが、下電極膜が弾性膜を兼ねるようにしてもよい。
【００５６】
また、圧電素子３００の個別電極である上電極膜８０は、圧電素子３００の長手方向一端部近傍から弾性膜５０上に延設されたリード電極９０を介して図示しない外部配線と接続されている。
【００５７】
このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッドは、図示しない外部インク供給手段と接続したインク導入口２３からインクを取り込み、共通インク室３１からノズル開口２１に至るまで内部をインクで満たした後、図示しない外部の駆動回路からの記録信号に従い、圧力発生室１２に対応するそれぞれの下電極膜６０と上電極膜８０との間に電圧を印加し、弾性膜５０、下電極膜６０及び圧電体層７０をたわみ変形させることにより、各圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル開口２１からインク滴が吐出する。
【００５８】
ここで、このようなインクジェット式記録ヘッドの製造方法を詳細に説明する。なお、図３〜図５は、インクジェット式記録ヘッドの製造方法を示す圧力発生室の並設方向の断面図である。
【００５９】
まず、図３（ａ）に示すように、流路形成基板１０となるシリコン単結晶基板のウェハを約１１００℃の拡散炉で熱酸化して流路形成基板１０の一方面に二酸化シリコンからなるマスク５１Ａを形成すると共にパターニングして開口１６ａを形成する。また、同時に他方面には二酸化シリコンからなる保護膜５５を形成する。
【００６０】
次に、図３（ｂ）に示すように、開口１６ａの形成されたマスク５１Ａをマスクパターンとして流路形成基板１０に溝部１６を異方性エッチングにより形成する。
【００６１】
なお、異方性エッチングは、異方性ウェットエッチング及び異方性ドライエッチングの何れでもよく、また、異方性エッチングに限定されるものではない。
【００６２】
次に、図３（ｃ）に示すように、流路形成基板１０を再び熱酸化することにより、流路形成基板１０の一方面に二酸化シリコンからなる第１の弾性膜５１を形成する。このとき、第１の弾性膜５１は、溝部１６内の表面に亘って形成されることにより溝部１６内に二酸化シリコンからなるエッチングストップ層１１０が形成される。
【００６３】
なお、第１の弾性膜５１は、流路形成基板１０の表面に略均一な厚みで形成されるため、溝部１６内に第１の弾性膜５１を埋設するには、溝部１６の幅を第１の弾性膜５１の厚さの２倍よりも狭く形成することが好ましい。これにより、確実に第１の弾性膜５１を溝部１６内に埋設することができる。
【００６４】
また、本実施形態では、第１の弾性膜５１及び保護膜５５を熱酸化することにより形成したが、これに限定されず、例えば、ＴＥＯＳ−ＣＶＤ法により、３５０℃〜５００℃の比較的低温で形成するようにしてもよい。また、第１の弾性膜５１を溝部１６内の表面に亘って形成することにより、溝部１６内の第１の弾性膜５１をエッチングストップ層１１０としたが、これに限定されず、例えば、溝部１６内に第１の弾性膜５１とは別部材でエッチングストップ層を形成した後、流路形成基板１０の表面及びエッチングストップ層上に第１の弾性膜５１を設けるようにしてもよい。勿論、第１の弾性膜５１と同一材料のエッチングストップ層を第１の弾性膜５１とは別工程で設けるようにしてもよい。
【００６５】
次に、図３（ｄ）に示すように、第１の弾性膜５１上に亘って、第２の弾性膜５２を形成する。例えば、本実施形態では、第１の弾性膜５１上にジルコニウム層を形成後、５００〜１２００℃の拡散炉で熱酸化して二酸化ジルコニウムからなる第２の弾性膜５２を形成する。そして、これら第１の弾性膜５１と第２の弾性膜５２とが弾性膜５０となる。
【００６６】
なお、本実施形態では、エッチングストップ層１１０に第１の弾性膜５１の一部を用いて、溝部１６内に第１の弾性膜５１が流路形成基板１０の表面まで埋設するようにしたため、第２の弾性膜５２は、その表面が略平坦になる。
【００６７】
次に、図４（ａ）に示すように、スパッタリングで下電極膜６０を流路形成基板１０の弾性膜５０側に全面に亘って形成すると共に所定形状にパターニングする。この下電極膜６０の材料としては、白金、イリジウム等が好適である。これは、スパッタリング法やゾル−ゲル法で成膜する後述の圧電体層７０は、成膜後に大気雰囲気下又は酸素雰囲気下で６００〜１０００℃程度の温度で焼成して結晶化させる必要があるからである。すなわち、下電極膜６０の材料は、このような高温、酸化雰囲気下で導電性を保持できなければならず、殊に、圧電体層７０としてチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を用いた場合には、酸化鉛の拡散による導電性の変化が少ないことが望ましく、これらの理由から白金、イリジウムが好適である。
【００６８】
次に、図４（ｂ）に示すように、圧電体層７０及び上電極膜８０を形成すると共に圧電体層７０及び上電極膜８０のみをエッチングして圧電素子３００のパターニングを行う。
【００６９】
この圧電体層７０は、例えば、本実施形態では、金属有機物を触媒に溶解・分散したいわゆるゾルを塗布乾燥してゲル化し、さらに高温で焼成することで金属酸化物からなる圧電体層７０を得る、いわゆるゾル−ゲル法を用いて形成した。圧電体層７０の材料としては、ＰＺＴ系の材料がインクジェット式記録ヘッドに使用する場合には好適である。なお、この圧電体層７０の成膜方法は、特に限定されず、例えば、スパッタリング法又はＭＯＤ法（有機金属熱塗布分解法）等のスピンコート法により成膜してもよい。
【００７０】
また、ゾル−ゲル法又はスパッタリング法もしくはＭＯＤ法等によりチタン酸ジルコン酸鉛の前駆体膜を形成後、アルカリ水溶液中での高圧処理法にて低温で結晶化させる方法を用いてもよい。
【００７１】
さらに、上電極膜８０は、導電性の高い材料であればよく、アルミニウム、金、ニッケル、白金等の多くの金属や、導電性酸化物等を使用できる。本実施形態では、白金をスパッタリングにより成膜している。
【００７２】
次に、図４（ｃ）に示すように、リード電極９０を流路形成基板１０の全面に亘って形成すると共に、各圧電素子３００毎にパターニングする。
【００７３】
以上が膜形成プロセスである。このようにして膜形成を行った後、圧力発生室１２を異方性エッチングにより形成する。
【００７４】
まず、図５（ａ）に示すように、流路形成基板１０の圧電素子３００とは反対側に形成された保護膜５５の圧力発生室１２が形成される領域にパターニングにより開口５５ａを形成する。
【００７５】
次に、図５（ｂ）に示すように、開口５５ａの形成された保護膜５５をマスクパターンとして異方性ウェットエッチングにより圧力発生室１２の一部となる凹部１２ａを形成する。
【００７６】
この異方性ウェットエッチングでは、ハーフエッチングすることにより流路形成基板１０を貫通することなく所定深さの凹部１２ａを形成する。このため、異方性ウェットエッチングに使用されるアルカリ水溶液又はエッチング反応生成物が弾性膜５０を透過して圧電素子３００にダメージを与えることがない。
【００７７】
次に、図５（ｃ）に示すように、異方性ウェットエッチングで形成された凹部１２ａに連続して異方性ドライエッチングを行うことにより、圧力発生室１２を形成する。
【００７８】
この異方性ドライエッチングでは、第１の弾性膜５１に到達するまでエッチングを行うが、異方性ドライエッチングは終点が定まり難く、圧力発生室１２は第１の弾性膜５１に沿ってその幅が広がって幅広部１５が形成される。このとき、溝部１６内に設けられたエッチングストップ層１１０が露出された時点で幅方向のエッチングが実質的に停止する。これにより圧力発生室１２の弾性膜５０側に、圧力発生室１２の幅方向に広がった幅広部１５を所定の幅で形成することができる。
【００７９】
なお、溝部１６の深さは、圧力発生室１２を異方性ドライエッチングにより形成した際に、弾性膜５０側に設けられた幅広部１５が溝部１６内に設けられたエッチングストップ層１１０を越えて広がらない程度の深さ、０．５μｍ程度以上あれば良い。
【００８０】
これにより、圧力発生室１２の垂直度のバラツキにより圧力発生室１２の振動板側の位置が安定しなくても、エッチングストップ層１１０を設け、圧力発生室１２の幅広部１５の幅を規定することで、圧電素子３００と圧力発生室１２との相対的な位置のズレの許容量を大きくすることができる。
【００８１】
このように、本実施形態では、エッチングストップ層１１０に第１の弾性膜５１と同一の材料、すなわち、第１の弾性膜５１の一部を用いて、溝部１６内に第１の弾性膜５１が流路形成基板１０の表面まで埋設されて第２の弾性膜５２の表面が略平坦になるようにした。このため、圧電素子３００の変形によって応力が集中することなく、弾性膜５０が破壊されるのを防止することができる。
【００８２】
また、圧力発生室１２の弾性膜５０側を異方性ドライエッチングにより形成し、開口側を異方性ウェットエッチングにより形成することによって、圧電素子３００へのダメージを確実に防止できる。なお、圧力発生室１２は少なくとも弾性膜５０側が異方性ドライエッチングにより形成されていればよく、例えば、圧力発生室１２を異方性ドライエッチングのみで形成するようにしてもよい。
【００８３】
このような一連の膜形成及び異方性エッチングによって、一枚のウェハ上に多数のチップを同時に形成し、プロセス終了後、図１に示すような一つのチップサイズの流路形成基板１０毎に分割する。そして、分割した流路形成基板１０に、ノズルプレート２０、インク室形成基板３０及びインク室側板４０を順次接着して一体化し、インクジェット式記録ヘッドとする。
【００８４】
（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態を説明したが、インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。
【００８５】
上述した実施形態１のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図６は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【００８６】
図６に示すように、インクジェット式記録ヘッドを有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００８７】
そして、駆動モータ６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ３に沿ってプラテン８が設けられている。このプラテン８は図示しない紙送りモータの駆動力により回転できるようになっており、給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
【図面の簡単な説明】
【００８８】
【図１】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの斜視図である。
【図２】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの断面図であり、（ａ）は圧力発生室の長手方向の断面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ′断面図である。
【図３】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの製造方法を示す圧力発生室の並設方向の断面図である。
【図４】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの製造方法を示す圧力発生室の並設方向の断面図である。
【図５】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの製造方法を示す圧力発生室の並設方向の断面図である。
【図６】本発明の一実施形態に係るインクジェット式記録装置の概略図である。
【符号の説明】
【００８９】
１０  流路形成基板、  １１  隔壁、  １２  圧力発生室、  １５  幅広部、  １６  溝部、  ２０  ノズルプレート、  ２１  ノズル開口、  ２２  インク供給口、  ２３  インク導入口、  ３０  共通インク室形成基板、  ３１  共通インク室、  ４０  インク室側板、  ５０  弾性膜、  ５１  第１の弾性膜、  ５２  第２の弾性膜、  ５５  保護膜、  ６０  下電極膜、  ７０  圧電体層、  ８０  上電極膜、  ９０  リード電極、  １１０  エッチングストップ層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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