(57)【要約】【課題】  回転テーブルあるいはＸ線源とＸ線検出器の対の回転中心軸がずれても、断層像の画質を損なうことのないＸ線ＣＴ装置を提供する。【解決手段】  回転テーブル３０を所定角度回転させるごとに、その規定の回転中心軸Ｒのずれを検出する回転中心軸ずれ検出手段（画像処理部５２）と、回転テーブル３０を回転中心軸に直交する平面上で移動させる移動機構３２を設けるとともに、回転中心軸のずれの検出結果に基づいて、規定の回転中心軸Ｒのずれをなくすべく移動機構３２を駆動制御するテーブル位置補正手段５３を設けることによって、回転テーブル３０の回転中心軸がずれても、そのずれに対応して回転テーブル３０が自動的に移動し、回転中心軸のずれがない場合と同等のＸ線透過データを取り込むことを可能とする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線源とＸ線検出器の間に回転テーブルを配置し、その回転テーブル上に試料を搭載した状態で規定の回転中心軸の回りに回転を与えつつＸ線を照射し、所定の回転角度ごとに取り込んだＸ線透過データを用いて、上記回転中心軸に直交する平面でスライスした試料の断層像を再構成するＸ線ＣＴ装置において、
上記回転テーブルを所定の回転角度だけ回転させるごとに、上記規定の回転中心軸のずれを検出する回転中心軸ずれ検出手段と、上記回転テーブルをその回転中心軸に直交する平面上で移動させる移動機構と、上記回転中心ずれ検出手段による検出結果に基づいて、上記規定の回転中心軸のずれをなくすべく上記移動機構を駆動制御するテーブル位置補正手段を備え、そのテーブル位置補正手段による回転テーブルの移動後に、断層像再構成演算のためのＸ線透過データを採取するように構成されていることを特徴とするＸ線ＣＴ装置。
【請求項２】
Ｘ線源とＸ線検出器の間に試料を配置し、そのＸ線源とＸ線検出器の対を規定の回転中心軸の回りに回転させつつ試料にＸ線を照射し、所定の回転角度ごとに取り込んだＸ線透過データを用いて、上記回転中心軸に直交する平面でスライスした試料の断層像を再構成するＸ線ＣＴ装置において、
上記Ｘ線源とＸ線検出器の対を上記所定の回転角度だけ回転させるごとに、上記規定の回転中心軸のずれを検出する回転中心軸ずれ検出手段と、上記Ｘ線源とＸ線検出器の対をその回転中心軸に直交する平面上で移動させる移動機構と、上記回転中心ずれ検出手段による検出結果に基づいて、上記規定の回転中心軸のずれをなくすべく上記移動機構を駆動制御するＸ線源・Ｘ線検出器位置補正手段を備え、そのＸ線源・Ｘ線検出器位置補正手段によるＸ線源およびＸ線検出器の移動後に、断層像再構成演算のためのＸ線透過データを採取するように構成されていることを特徴とするＸ線ＣＴ装置。
【請求項３】
上記回転中心ずれ検出手段が、回転テーブルもしくはＸ線源とＸ線検出器の対の回転中心を検出する接触式もしくは非接触式のセンサであることを特徴とする請求項１または２に記載のＸ線ＣＴ装置。
【請求項４】
上記回転中心ずれ検出手段が、各回転角度ごとに取り込まれるＸ線検出器の出力に基づく試料のＸ線透視画像を用いた画像処理により回転中心のずれを検出する手段であることを特徴とする請求項１または２に記載のＸ線ＣＴ装置。
【請求項５】
上記回転テーブルもしくはＸ線源とＸ線検出器の対の移動機構に代えて、上記回転中心ずれ検出手段による検出結果に基づいて、画像処理によって上記Ｘ線検出器によるＸ線透視画像の各画素位置を、上記規定の回転中心軸の回りに試料を回転させた場合と等しくなるように補正する補正手段を備え、その補正後のデータを断層像再構成演算に用いるように構成されていることを特徴とする請求項１、２、３または４に記載のＸ線ＣＴ装置。
【請求項６】
請求項１、２、３、４または５に記載のＸ線ＣＴ装置において、上記回転テーブルもしくはＸ線源とＸ線検出器の対を上記所定の回転角度だけ回転させたときの実際の回転角度との差を検出する回転角度差検出手段を備え、その回転角度差検出手段による検出結果に基づいて、画像処理によって上記Ｘ線検出器によるＸ線透視画像の各画素位置を、上記所定の回転角度で回転テーブルもしくはＸ線源とＸ線検出器の対を回転させた場合と等しくなるように補正する回転角度補正手段を備え、その補正後のデータを断層像再構成演算に用いるように構成されていることを特徴とするＸ線ＣＴ装置。
【請求項７】
上記回転角度差検出手段が、回転テーブルもしくはＸ線源とＸ線検出器の対の回転角度を検出する接触式もしくは非接触式のセンサであることを特徴とする請求項６に記載のＸ線ＣＴ装置。
【請求項８】
上記回転角度差検出手段が、各回転角度ごとに取り込まれるＸ線検出器の出力に基づく試料のＸ線透視画像を用いた画像処理により実際の回転角度と所定の回転角度との不一致を検出する手段であることを特徴とする請求項６に記載のＸ線ＣＴ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線源とＸ線検出器の対と試料とを相対的に回転させ、所定の回転角度ごとにＸ線検出器からのＸ線透過データを取り込んで、その各Ｘ線透過データを用いて試料の断層像を再構成するＸ線ＣＴ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
Ｘ線ＣＴ装置においては、一般に、互いに対向配置されたＸ線源とＸ線検出器の間に、測定に供すべき試料を配置し、その試料を回転テーブルによって回転を与えるか、あるいはＸ線源とＸ線検出器の対を試料の回りに回転させつつ試料にＸ線を照射し、所定の回転角度ごとに試料のＸ線透過データを取り込む。そして、そのＸ線透過データを用いた断層像再構成演算によって、回転中心軸に直交する面でスライスした試料の断層像を構築する（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
ところで、このようなＸ線ＣＴ装置においては、回転テーブルあるいはＸ線源とＸ線検出器の対は、設計上定められた規定の回転中心軸の回りに正しく回転し、かつ、Ｘ線透過データを採取するための回転角度についても正しく定められた角度だけ回転することを前提として、採取したＸ線透過データを再構成演算して試料の断層像を構築している。
【０００４】
このようなことから、この種のＸ線ＣＴ装置による断層像の画質は、回転テーブルもしくはＸ線源とＸ線検出器の対の回転精度によって大きく左右される。しかしながら、例えばこの種の回転テーブルは、その上に試料を載せてＸ線を透過させる関係上、テーブルの中心に回転軸を設けることはできず、その周囲に環状の軸受などを配置して回転支持する等の構造を採るため、回転精度を高くすることは容易ではなく、回転時に移動しないはずの回転中心軸がブレるなどの不具合が発生する場合がある。また、Ｘ線透過データを採取すべく所定の回転角度だけ回転させた場合においても、実際の回転角度がその角度に対して誤差が生じる場合もある。
【０００５】
以上のような回転中心軸のブレや回転角度の誤差等が発生しない高精度の回転機構を構築するためには、高価なメカニズムが必要となるという問題がある。
【特許文献１】特開２００２−３５７５６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は以上のような実情に鑑みてなされたもので、第１の目的は、回転テーブルないしはＸ線源とＸ線検出器の対の回転中心軸がずれても、断層像の画質を損なうことのないＸ線ＣＴ装置を提供することにある。
【０００７】
また、本発明の第２の目的は、回転角度の誤差があっても断層像の画質を損なうことのないＸ線ＣＴ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記した第１の目的を達成するため、本発明のＸ線ＣＴ装置は、Ｘ線源とＸ線検出器の間に回転テーブルを配置し、その回転テーブル上に試料を搭載した状態で規定の回転中心軸の回りに回転を与えつつＸ線を照射し、所定の回転角度ごとに取り込んだＸ線透過データを用いて、上記回転中心軸に直交する平面でスライスした試料の断層像を再構成するＸ線ＣＴ装置において、上記回転テーブルを所定の回転角度だけ回転させるごとに、上記規定の回転中心軸のずれを検出する回転中心軸ずれ検出手段と、上記回転テーブルをその回転中心軸に直交する平面上で移動させる移動機構と、上記回転中心ずれ検出手段による検出結果に基づいて、上記規定の回転中心軸のずれをなくすべく上記移動機構を駆動制御するテーブル位置補正手段を備え、そのテーブル位置補正手段による回転テーブルの移動後に、断層像再構成演算のためのＸ線透過データを採取するように構成されていることによって特徴づけられる（請求項１）。
【０００９】
また、同じ目的を達成するため、請求項２に係る発明のＸ線ＣＴ装置は、Ｘ線源とＸ線検出器の間に試料を配置し、そのＸ線源とＸ線検出器の対を規定の回転中心軸の回りに回転させつつ試料にＸ線を照射し、所定の回転角度ごとに取り込んだＸ線透過データを用いて、上記回転中心軸に直交する平面でスライスした試料の断層像を再構成するＸ線ＣＴ装置において、上記Ｘ線源とＸ線検出器の対を上記所定の回転角度だけ回転させるごとに、上記規定の回転中心軸のずれを検出する回転中心軸ずれ検出手段と、上記Ｘ線源とＸ線検出器の対をその回転中心軸に直交する平面上で移動させる移動機構と、上記回転中心ずれ検出手段による検出結果に基づいて、上記規定の回転中心軸のずれをなくすべく上記移動機構を駆動制御するＸ線源・Ｘ線検出器位置補正手段を備え、そのＸ線源・Ｘ線検出器位置補正手段によるＸ線源およびＸ線検出器の移動後に、断層像再構成演算のためのＸ線透過データを採取するように構成されていることによって特徴づけられる。
【００１０】
ここで、請求項１および２に係る発明における回転中心ずれ検出手段として、回転テーブルもしくはＸ線源とＸ線検出器の対の回転中心を検出する接触式もしくは非接触式のセンサを用いる構成（請求項３）、あるいは、各回転角度ごとに取り込まれるＸ線検出器の出力に基づく試料のＸ線透視画像を用いた画像処理により回転中心のずれを検出する手段を用いる構成（請求項４）のいずれをも採用することができる。
【００１１】
また、請求項１、２、３、または４に係る発明における回転テーブルもしくはＸ線源とＸ線検出器の対の移動機構に代えて、上記回転中心ずれ検出手段による検出結果に基づいて、画像処理によって上記Ｘ線検出器によるＸ線透視画像の各画素位置を、上記規定の回転中心軸の回りに試料を回転させた場合と等しくなるように補正する補正手段を備え、その補正後のデータを断層像再構成演算に用いるように構成すること（請求項５）もできる。
【００１２】
一方、前記した第２の目的を達成するため、請求項６に係る発明は、請求項１、２、３、４または５に記載のＸ線ＣＴ装置において、上記回転テーブルもしくはＸ線源とＸ線検出器の対を上記所定の回転角度だけ回転させたときの実際の回転角度との差を検出する回転角度差検出手段を備え、その回転角度差検出手段による検出結果に基づいて、画像処理によって上記Ｘ線検出器によるＸ線透視画像の各画素位置を、上記所定の回転角度で回転テーブルもしくはＸ線源とＸ線検出器の対を回転させた場合と等しくなるように補正する回転角度補正手段を備え、その補正後のデータを断層像再構成演算に用いるように構成されていることによって特徴づけられる。
【００１３】
以上の請求項６に係る発明における回転角度差検出手段として、回転テーブルもしくはＸ線源とＸ線検出器の対の回転角度を検出する接触式もしくは非接触式のセンサとする構成（請求項７）、あるいは、各回転角度ごとに取り込まれるＸ線検出器の出力に基づく試料のＸ線透視画像を用いた画像処理により実際の回転角度と所定の回転角度との不一致を検出する手段とする構成（請求項８）のいずれをも採用することができる。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１〜請求項４に係る発明によれば、回転テーブルもしくはＸ線源とＸ線検出器の対の回転中心軸がブレる等によってずれても、その回転中心軸のずれが検出され、回転テーブルもしくはＸ線源とＸ線検出器の対がその検出結果に応じた方向並びに量だけ当該回転中心軸に直交する平面上で自動的に移動し、その移動後に断層像再構成演算のためのＸ線透過データを採取するので、回転テーブルもしくはＸ線源とＸ線検出器の対が規定の回転中心軸の回りに回転したときと同等のＸ線透過データを得ることができ、画質の低下を防止することができる。
【００１５】
また、請求項５に係る発明によると、上記と同様にして回転テーブルもしくはＸ線源とＸ線検出器の対の回転中心軸がずれても、その回転中心軸のずれが検出され、その検出結果に基づいて、画像処理によってＸ線検出器からの画素位置が補正されたうえで断層像の再構成演算に供されるので、回転テーブルもしくはＸ線源とＸ線検出器の対が規定の回転中心軸の回りに回転したときと同等のＸ線透過データを得ることができ、画質の低下を防止することができる。
【００１６】
また、請求項６〜８に係る発明によると、回転テーブルもしくはＸ線源とＸ線検出器の対の回転角度が定められた角度に対して誤差があっても、その回転角度の誤差が検出され、その検出結果に基づいて、画像処理によりＸ線検出器からの画素位置が補正されたうえで断層像の再構成演算に供されるので、回転テーブルもしくはＸ線源とＸ線検出器の対が定められた回転角度で回転した場合と同等のＸ線透過データを得ることができ、画質の低下を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。
図１は本発明の実施の形態の構成図で、機械的構成を表す模式図と機能的構成を表すブロック図とを併記して示す図である。
【００１８】
Ｘ線源１はそのＸ線光軸が斜め上方に向かうように配置されており、そのＸ線源１に対向してＸ線検出器２が配置されている。そして、これらのＸ線源１とＸ線検出器の間に、試料Ｗを搭載するための試料ステージ３が配置されている。
【００１９】
試料ステージ３は、回転機構３１によって回転が与えられる回転テーブル３０を備え、その回転テーブル３０は回転機構３１ごと移動機構３２によって水平面上で互いに直交するｘ，ｙ軸方向に移動させることができる。回転テーブル３０の回転中心軸Ｒは、設計上は、例えば移動機構３２がｘ，ｙ軸方向に原点に位置している状態でＸ線検出器２の視野中心に一致するように設定されている。この設計上の回転中心軸Ｒを、以後、規定の回転中心軸Ｒと称する。
【００２０】
Ｘ線検出器２は、例えばイメージインテンシファイアとＣＣＤを組み合わせた公知のものであり、その各画素出力は、回転機構３１により回転テーブル３０をあらかじめ設定されている角度θだけ回転させるごとに、試料ＷのＸ線透過データとして画像取り込み回路４を介して演算装置５に取り込まれる。この演算装置５は、実際にはコンピュータとその周辺機器によって構成され、インストールされているプログラムに従った機能を実現するのであるが、この図１では、説明の便宜上、機能ごとのブロック図で示している。
【００２１】
演算装置５は、画像取り込み回路４を介して取り込んだＸ線検出器２からの各画素出力を試料ＷのＸ線透視画像として一旦記憶する画像メモリ５１、その画像メモリ５１に記憶したＸ線透視画像を用いた画像処理により、規定の回転中心軸Ｒの画像上での当初位置からのずれの向きと量を検出する画像処理部５２、その画像処理部５２による検出結果に基づいて試料ステージ３の移動機構３２に駆動制御信号を供給して回転テーブル３０をｘ，ｙ平面上で移動させる回転テーブル位置補正部５３、試料Ｗの断層像を構築するためのＸ線透過データを蓄積していくＸ線透過データ記憶部５４、そのＸ線透過データ記憶部５４の内容を用いて試料Ｗの断層像を再構成する断層像再構成演算部５５、およびこれら全体を制御するとともに、ある回転角度においてＸ線透過データ記憶部５４にＸ線透過データを記憶するごとに、次の角度のデータを採取すべく回転機構３１に対して所定の角度θだけ回転するように駆動制御信号を供給する制御部５６を主体として構成されている。
【００２２】
なお、この演算装置５にはマウスやキーボード，あるいはジョイスティック等からなる操作部６が接続されており、この操作部６の手動操作によって回転テーブル３０を任意のｘ，ｙ位置に移動させ、あるいは回転させることができる。また、同じくこの演算装置５には表示器７が接続されており、断層像再構成演算部５５により再構成された試料Ｗの断層像等を表示することができる。
【００２３】
次に、以上の実施の形態の動作について説明する。図２にその動作手順を表すフローチャートを示す。
【００２４】
回転テーブル３上に試料Ｗを載せてＸ線源１からのＸ線を照射してデータ採取指令を与えると、まず、１回目のデータ（ｉ＝１）としてＸ線検出器２の出力を画像メモリ５１に取り込むと同時に、その出力をＸ線透過データとしてそのままＸ線透過データ記憶部５４に記憶する。このとき、回転テーブル３０の規定の回転中心軸Ｒ上に位置している画像を記憶する。なお、回転テーブル３０の規定の回転中心軸Ｒは、前記したように移動機構３２による回転テーブル３０の原点位置においてＸ線検出器２の視野中心に位置するように設定されており、操作部６の操作により回転テーブル３０を移動機構３２によってｘ，ｙ方向に移動させていたとしても、その移動方向と量からＸ線検出器２の視野上で規定の回転中心Ｒがどこに位置しているかを認識することができる。
【００２５】
次に回転テーブル３０をあらかじめ設定されているθだけ回転させた後、２回目のデータ（ｉ＝２）としてＸ線検出器の出力を画像メモリ５１に取り込む。そして、その画像データを画像処理部５２に取り込んで、先に認識している規定の回転中心軸Ｒ上の画像が移動していないか否かを判別し、移動していない場合には回転中心軸Ｒのずれがなく、移動している場合には回転中心軸Ｒがずれていると判別する。
【００２６】
すなわち、試料Ｗが規定の回転中心軸Ｒの回りに回転したときには、図３（Ａ）に模式的に示すように、θの回転前後におけるＸ線透視画像において、規定の回転中心軸Ｒ上の画像Ｐは移動しない。これに対し、試料Ｗの実際の回転中心軸Ｒ′が規定の回転中心軸Ｒに対して一致していない場合には、図３（Ｂ）に模式的に示すように、規定の回転中心軸Ｒ上の画像Ｐが移動する。画像処理部５２ではこの画像Ｐのｘ，ｙ方向への移動量ｘｍ，ｙｍを検出し、その検出結果に応じて回転テーブル位置補正部５３により試料ステージ３の移動機構３２を自動的に駆動制御し、画像Ｐが当初の位置に戻るように回転テーブル３０を移動させる。そして、その移動後のＸ線検出器２の出力を、Ｘ線透過データとして格納する。このようにして格納されたＸ線透過データは、実際の回転中心軸Ｒ′が規定の回転中心軸Ｒと一致していなくとも、試料Ｗが規定の回転中心軸Ｒの回りに回転した場合と同等となる。
【００２７】
以上の動作を全ての回転角度ごとに実行した後（ｉ＝ｎ）、Ｘ線透過データ記憶部５４に記憶されている各回転角度ごとのＸ線透過データを用いて、断層像再構成演算部５５によって試料Ｗの断層像を構築し、表示器７に表示する。
【００２８】
このようにして得られた断層像は、常に試料Ｗが規定の回転中心軸Ｒの回りに回転した場合と同等の画像となり、実際の回転中心軸が規定の回転中心軸と一致していなくても、画質が低下することを防止することができる。
【００２９】
ここで、以上の実施の形態においては、回転中心軸のずれを各回転角度ごとに取り込んだ試料のＸ線透視画像から画像処理によって検出した例を示したが、接触式もしくは非接触式のセンサを用いて回転中心軸のずれを検出してもよい。
【００３０】
すなわち、例えば回転テーブル３０の外周面を真円に仕上げるとともに、その外周面を１箇所において接触式もしくは非接触式のセンサで位置を検知すれば、回転テーブル３０が規定の回転中心軸Ｒの回りに回転している場合には、センサ出力の変動がないのに対し、規定の回転中心軸Ｒと実際の回転中心軸が一致していない場合には、その不一致量と向きに応じてセンサ出力が変動する。従って、そのセンサ出力から回転中心軸のずれの量と向きを知ることができる。
【００３１】
また、以上の実施の形態においては、回転中心軸Ｒのずれに係るデータｘｍ，ｙｍに基づいて回転テーブル３０を移動させたが、回転テーブル３０を移動させることなく、Ｘ線検出器２からの画素出力をｘｍ，ｙｍに従って演算により補正してもよい。すなわち、実際のＸ線検出器２の各画素出力を、ｘｍ，ｙｍに応じた量だけ平行移動させるように各画素出力のアドレスを変更することにより、回転中心軸Ｒの回りに試料Ｗが回転した場合と同等のＸ線透過データが得られる。
【００３２】
更に、以上の実施の形態においては、対向配置されたＸ線源１とＸ線検出器２の対の間に回転テーブル３０を配置した構成のＸ線ＣＴ装置に本発明を適用したが、本発明は、試料ステージの回りにＸ線源とＸ線検出器の対が回転するタイプのＸ線ＣＴ装置にも適用することができる。
【００３３】
すなわち、図４に機械的構成を表す模式図を示すように、Ｘ線源１とＸ線検出器２を共通の支持体１００によって支持するとともに、その支持体１００を回転機構１０１によって規定の回転軸中心軸Ｒの回りに回転させ、これらの間に試料ステージ３を配置する。そして、Ｘ線源１とＸ線検出器２を支持する支持体１００は、その回転機構１０１ごと移動機構１０２によって回転中心軸Ｒに直交するｘ，ｙ軸方向に移動可能とし、その移動機構１０２を、先の実施の形態と同様に、Ｘ線源１とＸ線検出器２の対をθだけ回転させるごとに検出される回転中心軸のずれに応じて自動的に駆動制御することによって、規定の回転中心軸Ｒの回りに回転した場合と同等のＸ線透過データを取り込むことができる。
【００３４】
このタイプのＸ線ＣＴ装置においても、実際に支持体１００を移動させるほか、Ｘ線検出器２の画素出力の位置を補正してＸ線透過データとしてもよいことは勿論であり、回転中心軸のずれを画像処理によって求めるほか、接触式もしくは非接触式のセンサを用いて、支持体１００の回転中心軸のずれを検出してもよい。この場合、支持体１００の回転機構１０１に対する支持部分の外周面を真円に仕上げ、その外周面を上記した例と同様に１箇所において位置検出すればよい。
【００３５】
更に、以上の各実施の形態においては、回転中心軸のずれのみを検出して回転テーブル３０ないしは支持体１００の位置を補正するか、あるいはＸ線検出器２の画素出力を補正した例を示したが、回転中心軸のずれの補正後、実際の回転角度が定められた角度θと一致しているか否かを検出して、不一致の場合には補正を行うこともできる。
【００３６】
回転角度の不一致の検出は、画像処理および機械的検出のいずれでも可能である。画像処理で行う場合は、当初のＸ線透視画像において、前記したように規定の回転中心軸Ｒ上の画像Ｐのほか、その画像Ｐから所定の距離だけ所定方向に離れた点の画像Ｑを認識しておく。そして、図５に模式的に示すように、試料にθの回転を与えた後、前記した手法によって回転中心軸のずれの補正を行い、その補正後のＸ線透視画像上でＰとＱを結ぶ線Ｌと、回転前の同じ線Ｌ′とのなす角度θ′を検出すればよい。このθ′とθとの差分だけ、Ｘ線検出器からの各画素出力の位置情報を回転させる補正を行い、その補正後の出力を断層像再構成用のＸ線透過データとして記憶すればよい。
【００３７】
また、回転角度の不一致の検出を機械的に行う場合には、回転テーブルないしはＸ線源とＸ線検出器の対を支持して回転が与えられる支持体の外周面を前記した各例と同様に真円に仕上げるとともに、その外周面に微小角度ごとの線等を付しておき、回転を与えるごとに、その線の移動量を接触式もしくは非接触式のセンサで検出すればよい。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の実施の形態の構成図で、機械的構成を表す模式図と機能的構成表すブロック図とを併記して示す図である。
【図２】図１の実施の形態におけるＸ線透過データを採取する際の動作手順を表すフローチャートである。
【図３】図１の実施の形態における画像処理による回転中心軸のずれの検出方法の例の説明図である。
【図４】Ｘ線源とＸ線検出器の対を回転させるＸ線ＣＴに本発明を適用した実施の形態の要部の機械的構成を示す模式図である。
【図５】本発明において回転角度の不一致の画像処理による検出方法の例の説明図である。
【符号の説明】
【００３９】
１  Ｘ線源
２  Ｘ線検出器
３  試料ステージ
３０  回転テーブル
３１  回転機構
３２  移動機構
４  画像取り込み回路
５  演算装置
５１  画像メモリ
５２  画像処理部
５３  回転テーブル位置補正部
５４  Ｘ線透過データ記憶部
５５  断層像再構成演算部
５６  制御部
６  操作部
７  表示器
１００  支持体
１０１  回転機構
１０２  移動機構
Ｗ  試料
【図１】
2005106515.tif 000003
【図２】
2005106515.tif 000004
【図３】
2005106515.tif 000005
【図４】
2005106515.tif 000006
【図５】
2005106515.tif 000007