(57)【要約】【課題】  誤操作を生じても排気ガスが大気中に放出されたり、排気ガス経路に大気が流入したり、セル窓が破損したりすることを防止できる安全策を講じた排気ガス測定装置を提供する。【解決手段】  排気ガス経路から排気ガスを抜き出して試料セルに導入する排気ガス導入経路と、試料セルから流出したガスを排気ガス経路に戻す排気ガス導出経路と、試料セルを収納した筐体内にパージガスを流通させるパージガス導入経路及びパージガス導出経路と、パージガス導入経路から分岐して排気ガス導入経路に流路切替弁を介して接続した試料セル側パージガス導入経路とを備え、流路切替弁の流路切替操作で試料セルへの導入ガスを排気ガスとパージガスとに切替可能とした排気ガス測定装置において、試料セル側パージガス導入経路２５の分岐位置より下流側のパージガス導入経路２３と、試料セル側パージガス導入経路２５とに圧力調整器２８，３１をそれぞれ設ける。【選択図】  図１
2005331309.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象となる排気ガスが流れる排気ガス経路から排気ガスの一部を抜き出して赤外分光装置の試料セルに導入する排気ガス導入経路と、前記試料セルから流出した測定後の排気ガスを前記排気ガス経路における前記排気ガス導入経路の接続位置より下流側に戻す排気ガス導出経路と、前記試料セルを収納した赤外分光装置の筐体内にパージガスを導入するパージガス導入経路と、筐体内からパージガスを導出するパージガス導出経路と、前記パージガス導入経路から分岐して前記排気ガス導入経路に流路切替弁を介して接続した試料セル側パージガス導入経路とを備え、前記流路切替弁の流路切替操作によって前記試料セルに導入するガスを前記排気ガスと前記パージガスとに切替可能に形成した排気ガス測定装置において、前記試料セル側パージガス導入経路の分岐位置より下流側の前記パージガス導入経路と、前記試料セル側パージガス導入経路とに圧力調整器をそれぞれ設けたことを特徴とする排気ガス測定装置。
【請求項２】
測定対象となる排気ガスが流れる排気ガス経路から排気ガスの一部を抜き出して赤外分光装置の試料セルに導入する排気ガス導入経路と、前記試料セルから流出した測定後の排気ガスを前記排気ガス経路における前記排気ガス導入経路の接続位置より下流側に戻す排気ガス導出経路と、前記試料セルを収納した赤外分光装置の筐体内にパージガスを導入するパージガス導入経路と、筐体内からパージガスを導出するパージガス導出経路と、前記パージガス導入経路から分岐して前記排気ガス導入経路に流路切替弁を介して接続した試料セル側パージガス導入経路とを備え、前記流路切替弁の流路切替操作によって前記試料セルに導入するガスを前記排気ガスと前記パージガスとに切替可能に形成した排気ガス測定装置において、前記流路切替弁と前記試料セルとの間の排気ガス導入経路に遮断弁を設けるとともに、前記排気ガス導出経路の圧力を検出し、検出した圧力があらかじめ設定された設定圧力値以上になったときに前記遮断弁の遮断操作を行う圧力検出器を設けたことを特徴とする排気ガス測定装置。
【請求項３】
測定対象となる排気ガスが流れる排気ガス経路から排気ガスの一部を抜き出して赤外分光装置の試料セルに導入する排気ガス導入経路と、前記試料セルから流出した測定後の排気ガスを前記排気ガス経路における前記排気ガス導入経路の接続位置より下流側に戻す排気ガス導出経路と、前記試料セルを収納した赤外分光装置の筐体内にパージガスを導入するパージガス導入経路と、筐体内からパージガスを導出するパージガス導出経路と、前記パージガス導入経路から分岐して前記排気ガス導入経路に流路切替弁を介して接続した試料セル側パージガス導入経路とを備え、前記流路切替弁の流路切替操作によって前記試料セルに導入するガスを前記排気ガスと前記パージガスとに切替可能に形成した排気ガス測定装置において、前記排気ガス導出経路に、測定後の排気ガスを吸引して排気ガス経路に戻すための吸引ポンプを備えるとともに、前記排気ガス導出経路における前記吸引ポンプの吐出側の圧力を検出し、検出した圧力があらかじめ設定された設定圧力値以上になったときに前記吸引ポンプの停止操作を行う圧力検出器を設けたことを特徴とする排気ガス測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、排気ガス測定装置に関し、詳しくは、半導体製造装置から排出されるガスやその後段に設置された除害装置から排出されるガスの成分を測定するための排気ガス測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
エレクトロニクス産業の分野で行われている半導体の製造においては、薄膜形成工程、不純物拡散層の形成、パターン形成、エッチング等の様々な工程に多くの半導体製造装置が使用されている。これらの装置では、装置内のパージや雰囲気用あるいは材料として各種の工業ガスが使用される場合も多く、その流量の正確な制御と共に工業ガス使用時における半導体製造装置側の各種パラメータの最適化が必要となる。
【０００３】
最適化の指標としては、製品であるウエハーを対象とした成膜厚の均一性測定試験、ウエハー上に付着したパーティクル数の測定試験、装置内部のダメージ等の目視試験等も用いられているが、ガス使用時における半導体製造装置からの排気ガス組成の測定も活用されている。その理由は、排気ガス組成は、半導体製造装置内でのガスの消費状況、つまり、装置内でのガスの反応により消費された材料ガス（供給ガス）の量やその反応の結果、生成された副産物の量を正確に反映しているからである。
【０００４】
また、これら半導体製造装置からの排気ガスは、有害物質を含むことがしばしばである。したがって、多くの場合、その有害物質除去を目的に、半導体装置の後段には除害装置が設置されている。この除害装置の設計に当っても、無害化の対象である半導体製造装置からの排気ガスの組成を把握することは重要であり、このためにも、その測定が活用されている。さらに、設計した除害装置の性能確認のためには、除害装置からの排気ガスの測定が活用されている。このような半導体の製造における排気ガスの測定には、ＦＴＩＲ等の赤外分光装置が多用されている（例えば、非特許文献１参照。）。
【０００５】
図５は、測定器として赤外分光装置（ＦＴＩＲ）を使用した従来の排気ガス測定装置の一例を示す系統図である。この従来の排気ガス測定装置は、半導体製造装置や除害装置１１から排気ガス経路１２に排出された排気ガスの成分分析を、前記排気ガスの一部が導入される試料セル１３を備えた赤外分光装置１４で行うものであって、排気ガス経路１２とは、排気ガス導入弁１５を有する排気ガス導入経路１６と、排気ガス導入経路１６の接続位置より下流側に接続した排気ガス導出弁１７を有する排気ガス導出経路１８とにより接続されている。
【０００６】
排気ガス導出経路１８には、分析用の排気ガスをあらかじめ設定した流量で試料セル１３に流通させるため、流量調節弁１９，流量計２０及び吸引ポンプ２１が設けられている。なお、排気ガス経路１２内の排気ガスの圧力は、ほとんどの場合が大気圧付近の圧力となっている。
【０００７】
また、赤外分光装置１４には、筐体２２内にパージガスを流通させて筐体２２内から水分や二酸化炭素をパージするためのパージガス導入経路２３及びパージガス導出経路２４が設けられている。さらに、パージガス導入経路２３からは試料セル１３にパージガスを導入するための試料セル側パージガス導入経路２５が分岐しており、前記排気ガス導入経路１６の途中に設けられた三方弁（流路切替弁）２６を介して排気ガス導入経路１６に接続している。パージガス導入経路２３には、一定圧力、一定流量で筐体２２内にパージガスを導入するため、パージガス導入弁２７，圧力調節器２８，流量調節弁２９及び流量計３０が設けられている。
【０００８】
前記パージガスとして、試料セル１３に導入するパージガスは、排気ガス中の成分との反応を回避するため、窒素ガス等の不活性ガスを使用する必要があるが、筐体２２内に導入するパージガスは、赤外光の光路上から水分や二酸化炭素を排除できればよく、これらを除去した精製空気を使用することも可能である。しかし、多くの半導体工場では、精製空気よりも高純度窒素ガスの方が入手が容易であるから、本例に示すように、一つの供給源からパージガス導入経路２３に高純度窒素ガスを供給し、圧力調節器２８であらかじめ設定された圧力に調節してから経路を分岐し、試料セル１３及び筐体２２の両方にパージガスをそれぞれ導入するようにしている。
【０００９】
なお、試料セル１３におけるパージガスの流量は、排気ガス導出経路１８の流量調節弁１９によって調節され、筐体２２におけるパージガスの流量は、パージガス導入経路２３の流量調節弁２９によって調節される。また、筐体２２に導入されたパージガスは、パージガス導出経路２４から放出される。
【００１０】
このように形成した排気ガス測定装置による排気ガスの測定は、まず、測定に先立ってパージガス導入弁２７を開き、圧力調節器２８によって設定圧力（通常は大気圧より若干陽圧）に調節し、流量調節弁２９で設定流量に調節して筐体２２にパージガスを流通させてパージガス導出経路２４から導出する状態にしておく。次に、排気ガス導出弁１７を開き、三方弁２６を試料セル側パージガス導入経路２５側の待機位置に切り替えた状態とし、試料セル１３にもパージガスを流通させる。このパージガスは、流量調節弁１９で流量調節され、流量計２０、吸引ポンプ２１、排気ガス導出弁１７を通って排気ガス経路１２に排出される。
【００１１】
なお、通常は、吸引ポンプ２１を作動させなくても、吸引ポンプ２１の前後の圧力差（試料セル１３側が大気圧より若干陽圧、排気ガス経路１２側が略大気圧）により、パージガスは、自身の圧力で試料セル１３から排気ガス導出経路１８を通って排気ガス経路１２に流れる。なお、吸引ポンプ２１の構造上、圧力差でパージガスを流すことができない場合には、吸引ポンプ２１を作動させてもよい。
【００１２】
排気ガスの測定を行うときには、排気ガス導入弁１５を開くとともに、三方弁２６を排気ガス導入経路１６側の測定位置に切り替え、さらに、吸引ポンプ２１を作動させる。これにより、排気ガス経路１２を流れる測定対象の排気ガスの一部が、吸引ポンプ２１の吸引作用により排気ガス導入経路１６に抜き出され、三方弁２６を通って試料セル１３に導入され、赤外分光装置１４での所定の測定操作が行われる。排気ガス経路１２を流れるガスが測定対象以外のガスのときには、排気ガス導入弁１５を閉じて吸引ポンプ２１を停止し、三方弁２６を待機位置に切り替えてパージガスを試料セル１３に流通させ、赤外分光装置１４を待機状態とする。
【００１３】
このように、排気ガス導入弁１５、吸引ポンプ２１、三方弁２６を操作することにより、測定対象となる排気ガスの測定操作と、待機状態とを繰り返して排気ガスの測定を行う。
【非特許文献１】新田  哲士、"Perfluorocompounds(PFCs)計測技術（半導体業界のPFCs削減活動における評価方法）”、真空、日本真空協会、Vol.46,No.9,2003、（図３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
上述のように、排気ガスの測定を行っている場合、供給源からのパージガスの供給圧力及び圧力調節器２８の設定圧力がそれぞれ適切であり、かつ、弁の開閉操作が正しく行われている限りは何ら問題はないが、誤操作に対する配慮は十分なものとはいえなかった。
【００１５】
例えば、誤操作によって圧力調節器２８の押ネジが完全に緩んでしまってパージガスが圧力調節器２８から下流側に供給されなくなってしまった場合で、かつ、待機状態（吸引ポンプ２１停止、三方弁２６待機位置）になっていたときに、排気ガス経路１２の圧力が大気圧以上だと、排気ガス経路１２内の排気ガスが、排気ガス導出経路１８の排気ガス導出弁１７、吸引ポンプ２１、流量計２０、流量調節弁１９を逆流し、試料セル１３を通過して三方弁２６を通り、試料セル側パージガス導入経路２５からパージガス導入経路２３に流れ、さらに、流量調節弁２９、流量計３０、筐体２２を通ってパージガス導出経路２４から大気中に放出されるおそれがある。一般的に、排気ガスは有害成分を含むことが多いので、排気ガスがそのまま大気中に放出されることは好ましくない。
【００１６】
逆に、排気ガス経路１２に排気ポンプが設けられていて排気ガス経路１２内の圧力が大気圧以下だったり、吸引ポンプ２１が作動していたりしたときには、パージガス導出経路２４、筐体２２、流量計３０、流量調節弁２９、試料セル側パージガス導入経路２５、三方弁２６、試料セル１３、流量調節弁１９、流量計２０、吸引ポンプ２１、排気ガス導出弁１７を通って排気ガス導出経路１８から排気ガス経路１２に大気が流入するおそれがある。このとき、排気ガス中に大気成分と反応する物質が含まれていると、設計時に予測していなかった反応が排気ガス経路１２内で発生することがあり、配管系統を損傷するおそれがある。
【００１７】
また、試料セル１３のセル窓として、耐圧が０．１〜０．２ＭＰａ（ゲージ圧）程度といった耐圧の低い材料が使用されている場合、通常時には、供給源から０．５〜０．８ＭＰａで供給される高純度窒素ガスの圧力を、圧力調節器２８によってパージガス導入圧力をセル窓の耐圧以下になるように設定しているが、誤操作によって圧力調節器２８の設定圧力がセル窓の耐圧を上回り、しかも、排気ガス導出弁１７を閉じてしまったときに、三方弁２６が待機位置になっていると、試料セル１３に耐圧以上の圧力が作用し、セル窓が破損してしまうことになる。
【００１８】
さらに、三方弁２６が待機位置で、吸引ポンプ２１が作動している状態で排気ガス導出弁１７を誤操作で閉じてしまうと、吸引ポンプ２１の吐出側が閉塞された状態になるので、圧力調節器２８の設定圧力がセル窓の耐圧以下になっていたとしても、圧力調節器２８より下流側の経路、三方弁２６、試料セル１３、流量調節弁１９、流量計２０、吸引ポンプ２１、排気ガス導出弁１７の経路がセル窓の耐圧以上となり、セル窓が破損してしまうことになる。
【００１９】
そこで本発明は、誤操作を生じても排気ガスが大気中に放出されたり、排気ガス経路に大気が流入したり、セル窓が破損したりすることを防止できる安全策を講じた排気ガス測定装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
上記目的を達成するため、本発明の排気ガス測定装置における第１の構成は、測定対象となる排気ガスが流れる排気ガス経路から排気ガスの一部を抜き出して赤外分光装置の試料セルに導入する排気ガス導入経路と、前記試料セルから流出した測定後の排気ガスを前記排気ガス経路における前記排気ガス導入経路の接続位置より下流側に戻す排気ガス導出経路と、前記試料セルを収納した赤外分光装置の筐体内にパージガスを導入するパージガス導入経路と、筐体内からパージガスを導出するパージガス導出経路と、前記パージガス導入経路から分岐して前記排気ガス導入経路に流路切替弁を介して接続した試料セル側パージガス導入経路とを備え、前記流路切替弁の流路切替操作によって前記試料セルに導入するガスを前記排気ガスと前記パージガスとに切替可能に形成した排気ガス測定装置において、前記試料セル側パージガス導入経路の分岐位置より下流側の前記パージガス導入経路と、前記試料セル側パージガス導入経路とに圧力調整器をそれぞれ設けたことを特徴としている。
【００２１】
また、本発明の排気ガス測定装置における第２の構成は、測定対象となる排気ガスが流れる排気ガス経路から排気ガスの一部を抜き出して赤外分光装置の試料セルに導入する排気ガス導入経路と、前記試料セルから流出した測定後の排気ガスを前記排気ガス経路における前記排気ガス導入経路の接続位置より下流側に戻す排気ガス導出経路と、前記試料セルを収納した赤外分光装置の筐体内にパージガスを導入するパージガス導入経路と、筐体内からパージガスを導出するパージガス導出経路と、前記パージガス導入経路から分岐して前記排気ガス導入経路に流路切替弁を介して接続した試料セル側パージガス導入経路とを備え、前記流路切替弁の流路切替操作によって前記試料セルに導入するガスを前記排気ガスと前記パージガスとに切替可能に形成した排気ガス測定装置において、前記流路切替弁と前記試料セルとの間の排気ガス導入経路に遮断弁を設けるとともに、前記排気ガス導出経路の圧力を検出し、検出した圧力があらかじめ設定された設定圧力値以上になったときに前記遮断弁の遮断操作を行う圧力検出器を設けたことを特徴としている。
【００２２】
さらに、本発明の排気ガス測定装置における第３の構成は、測定対象となる排気ガスが流れる排気ガス経路から排気ガスの一部を抜き出して赤外分光装置の試料セルに導入する排気ガス導入経路と、前記試料セルから流出した測定後の排気ガスを前記排気ガス経路における前記排気ガス導入経路の接続位置より下流側に戻す排気ガス導出経路と、前記試料セルを収納した赤外分光装置の筐体内にパージガスを導入するパージガス導入経路と、筐体内からパージガスを導出するパージガス導出経路と、前記パージガス導入経路から分岐して前記排気ガス導入経路に流路切替弁を介して接続した試料セル側パージガス導入経路とを備え、前記流路切替弁の流路切替操作によって前記試料セルに導入するガスを前記排気ガスと前記パージガスとに切替可能に形成した排気ガス測定装置において、前記排気ガス導出経路に、測定後の排気ガスを吸引して排気ガス経路に戻すための吸引ポンプを備えるとともに、前記排気ガス導出経路における前記吸引ポンプの吐出側の圧力を検出し、検出した圧力があらかじめ設定された設定圧力値以上になったときに前記吸引ポンプの停止操作を行う圧力検出器を設けたことを特徴としている。
【発明の効果】
【００２３】
本発明の排気ガス測定装置の第１の構成によれば、試料セル側パージガス導入経路に設けた圧力調整器から下流側にパージガスが供給されなくなってしまった場合でも、この圧力調整器によって排気ガス経路側とパージガス導出経路側とが遮断された状態になるため、排気ガスが筐体を通ってパージガス導出経路から大気中に放出されることはない。同様に、大気が逆流して排気ガス経路に流入することもない。
【００２４】
また、本発明の第２の構成によれば、排気ガス導出経路の圧力が設定圧力値以上になったときに遮断弁を遮断して試料セルにパージガスが導入されるのを中断するので、試料セルの圧力が上昇してセル窓が破損することを防止できる。さらに、本発明の第３の構成によれば、排気ガス導出経路の圧力が設定圧力値以上になったときに吸引ポンプを停止して排気ガス導出経路の圧力が過度に上昇することを防止するので、試料セルの圧力が上昇してセル窓が破損することを防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
図１は本発明の排気ガス測定装置の第１形態例を示す系統図である。なお、以下の説明において、前記図５に示した従来の排気ガス測定装置における構成要素と同一の構成要素には、それぞれ同一符号を付して説明する。
【００２６】
本形態例に示す排気ガス測定装置は、パージガス導入経路２３における圧力調節器（以下、本形態例では第１圧力調節器という）２８を、試料セル側パージガス導入経路２５の分岐位置よりも下流の筐体２２側に設けるとともに、試料セル側パージガス導入経路２５における三方弁（流路切替弁）２６の上流側にも、圧力調節器（以下、第２圧力調節器という）３１を設けている。
【００２７】
パージガス導入経路２３から導入されるパージガスは、パージガス導入弁２７を通った後に筐体２２に向かう流れと、試料セル側パージガス導入経路２５に分岐して試料セル１３に向かう流れとに分岐する。パージガス導入経路２３を流れるパージガスは、第１圧力調節器２８で圧力調節され、流量調節弁２９で流量調節された後、流量計３０を経て筐体２２に導入される。また、パージガス導入経路２３から試料セル側パージガス導入経路２５に分岐したパージガスは、第２圧力調節器３１で圧力調節された後、三方弁２６を経て試料セル１３に導入される。
【００２８】
この排気ガス測定装置は、排気ガスの測定に先立ち、パージガス導入弁２７を開いて装置内にパージガスを導入し、第１圧力調節器２８で設定圧力に、流量調節弁２９で設定流量にそれぞれ調節して筐体２２にパージガスを流通させ、パージガス導出経路２４から導出するとともに、第２圧力調節器３１で設定圧力に調節したパージガスを、待機位置に切り替えられている状態の三方弁２６を通して試料セル１３にも導入し、流量調節弁１９で流量調節し、流量計２０、吸引ポンプ２１、排気ガス導出弁１７を通して排気ガス経路１２に排出させておく。このとき、排気ガス導入弁１５は閉じ状態であり、赤外分光装置１４は待機状態となっている。
【００２９】
排気ガスの測定は、排気ガス導入弁１５を開き、三方弁２６を測定位置に切り替えるとともに、吸引ポンプ２１を作動させることにより行う。これにより、排気ガス経路１２を流れる測定対象の排気ガスの一部が、吸引ポンプ２１の吸引作用により排気ガス導入経路１６に抜き出され、三方弁２６を通って試料セル１３に導入され、赤外分光装置１４での所定の測定操作が行われる。
【００３０】
排気ガス経路１２を流れるガスが測定対象以外のガスのときには、排気ガス導入弁１５を閉じて吸引ポンプ２１を停止し、三方弁２６を待機位置に切り替え、第２圧力調節器３１で設定圧力に調節したパージガスを試料セル１３に流通させて赤外分光装置１４を待機状態とする。
【００３１】
この待機状態において、前述のように第１圧力調節器２８の押ネジが完全に緩んでしまってパージガスが第１圧力調節器２８から下流側に供給されなくなってしまった場合は、筐体２２内へのパージガスの導入が中断されるだけであり、排気ガスがパージガス導出経路２４から大気中に放出されることはない。この場合、流量計３０の測定値がゼロになることから、異常発生を容易に確認することができ、第１圧力調節器２８等を点検することによって容易に修復することができる。
【００３２】
また、第２圧力調節器３１の押ネジが完全に緩んでしまってパージガスが第２圧力調節器３１から下流側に供給されなくなってしまった場合でも、排気ガス導出経路１８から試料セル１３、三方弁２６を通って試料セル側パージガス導入経路２５に排気ガスが流入してきても、第２圧力調節器３１で遮断されることになるので、第２圧力調節器３１の上流側に排気ガスが逆流することはない。したがって、この場合も、排気ガスが試料セル側パージガス導入経路２５からパージガス導入経路２３等を通って大気中に放出されることはない。
【００３３】
さらに、吸引ポンプ２１が作動していても、第２圧力調節器３１が遮断状態となっているので、パージガス導出経路２４から大気を吸引することもなく、大気が排気ガス経路１２に流入することもない。この場合も、流量計２０の測定値によって異常発生を確認することができる。
【００３４】
前述のように、従来装置では、圧力調節器２８の不具合によって排気ガスが大気中に放出されたり、大気が排気ガス経路１２に流入したりするおそれがあったが、試料セル側パージガス導入経路２５の分岐位置より下流側のパージガス導入経路２３と、試料セル側パージガス導入経路２５とに圧力調整器２８，３１をそれぞれ配置することにより、圧力調整器２８，３１の一方又は双方に不具合が生じても、排気ガスが大気中に放出されたり、大気が排気ガス経路１２に流入したりすることを確実に防止でき、安全性を高めることができる。
【００３５】
図２は本発明の排気ガス測定装置の第２形態例を示す系統図であって、流路切替弁である前記三方弁２６と前記試料セル１３との間の排気ガス導入経路１６に遮断弁３２を設けるとともに、排気ガス導出経路１８の圧力を検出し、検出した圧力があらかじめ設定された設定圧力値以上になったときに前記遮断弁３２の遮断操作を行う圧力検出器３３を設けた例を示している。
【００３６】
赤外分光装置１４の待機状態において、誤操作によって圧力調節器２８の設定圧力がセル窓の耐圧を上回り、しかも、排気ガス導出弁１７を閉じてしまったときでも、排気ガス導出経路１８の圧力が試料セル１３の耐圧以上の圧力に上昇する前に、圧力検出器３３が作動して遮断弁３２を遮断するので、遮断弁３２より下流側にパージガスが流入して試料セル１３内の圧力が過度に上昇することを防止する。これにより、誤操作等によって試料セル１３のセル窓を破損させる事故を未然に防止することができる。
【００３７】
なお、圧力検出器３３に設定する圧力値は、試料セル１３の耐圧と、通常時における排気ガスやパージガスの圧力とを考慮し、両者の中間の圧力範囲で、試料セル１３の耐圧より十分に低い適当な圧力値に設定すればよい。
【００３８】
図３は本発明の排気ガス測定装置の第３形態例を示す系統図であって、排気ガス導出経路１６における吸引ポンプ２１の吐出側の圧力を検出し、検出した圧力があらかじめ設定された設定圧力値以上になったときに吸引ポンプ２１の停止操作を行う圧力検出器３４を設けた例を示している。
【００３９】
赤外分光装置１４が待機状態で、かつ、吸引ポンプ２１が作動している状態で、排気ガス導出弁１７を誤操作で閉じてしまっても、排気ガス導出経路１８の圧力が試料セル１３の耐圧以上の圧力に上昇する前に、圧力検出器３４が作動して吸引ポンプ２１を停止させるので、排気ガス導出経路１８にパージガスが吸引蓄積されて試料セル１３内の圧力が過度に上昇し、セル窓が破損することを防止できる。さらに、吸引ポンプ２１も過負荷状態での運転を継続することがないので、吸引ポンプ２１への悪影響も低減することができる。なお、この場合の圧力検出器３４に設定する圧力値も、前記同様に、試料セル１３の耐圧と、通常時における排気ガスやパージガスの圧力とを考慮して設定すればよい。
【００４０】
図４は本発明の排気ガス測定装置の第４形態例を示す系統図であって、前記各形態例に示した第１圧力調節器２８、第２圧力調節器３１、遮断弁３２、圧力検出器３３（圧力検出器３４を兼ねる）の全てを設置した例を示している。
【００４１】
このように、前述の安全対策を全て施すことにより、誤操作等によって第１圧力調節器２８、第２圧力調節器３１から下流側にパージガスが導入されなくなっても、前述のようにして排気ガスが筐体２２を通ってパージガス導出経路２４から大気中に放出されることを防止できるとともに、大気が逆流して排気ガス経路１２に流入することも防止できる。また、排気ガス導出弁１７を誤操作で閉じてしまっても、排気ガス導出経路１６の圧力上昇によって圧力検出器３３が作動し、遮断弁３２を閉じたり、吸引ポンプ２１を停止させたりするので、試料セル１３のセル窓が破損することを防止できる。これにより、赤外分光装置１４における安全性や安定性を更に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の排気ガス測定装置の第１形態例を示す系統図である。
【図２】本発明の排気ガス測定装置の第２形態例を示す系統図である。
【図３】本発明の排気ガス測定装置の第３形態例を示す系統図である。
【図４】本発明の排気ガス測定装置の第４形態例を示す系統図である。
【図５】従来の排気ガス測定装置の一例を示す系統図である。
【符号の説明】
【００４３】
１１…半導体製造装置や除害装置、１２…排気ガス経路、１３…試料セル、１４…赤外分光装置、１５…排気ガス導入弁、１６…排気ガス導入経路、１７…排気ガス導出弁、１８…排気ガス導出経路、１９…流量調節弁、２０…流量計、２１…吸引ポンプ、２２…筐体、２３…パージガス導入経路、２４…パージガス導出経路、２５…試料セル側パージガス導入経路、２６…三方弁（流路切替弁）、２７…パージガス導入弁、２８…圧力調節器、２９…流量調節弁、３０…流量計、３１…第２圧力調節器、３２…遮断弁、３３…圧力検出器、３４…圧力検出器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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