(57)【要約】【課題】下方の段の座具も真上から目視可能なロードロック装置を実現する。【解決手段】真空チャンバの内底３１にウエハ１２支承用の支柱６２を立設したロードロック６０において、ウエハ１２の縁を支承する座具６２ｂ，６２ｄを支柱６２に対して２段以上の多段に付設し、それらの段間を貫き更に上段の座具６２ｂを割く縦スリット６２ｆを支柱６２に形成する。また、チャンバ蓋６１を透明にする。このように基板支承の多段化に際して縦細隙を形成したことにより、座具を利用した基板乗載位置調整が容易に行えることとなる。【選択図】        図１
2005044939.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空チャンバ内に基板支承用の支柱が立設されたロードロック装置において、基板の縁を支承する座具が前記支柱に対して２段以上の多段に付設され、それらの段間を貫き更に前記座具のうち上段のものを割く縦細隙が前記支柱に形成されていることを特徴とするロードロック装置。
【請求項２】
真空チャンバ内に基板支承用の支柱が立設され前記真空チャンバ外に大気側基板移載装置と真空側基板移載装置とが付設されたロードロック装置において、基板の縁を支承する座具が前記支柱に対して２段以上の多段に付設され、それらの段間を貫き更に前記座具のうち上段のものを割く縦細隙が前記支柱に形成されていることを特徴とするロードロック装置。
【請求項３】
前記真空チャンバの蓋は総てが又は前記支柱の上方のところが透明なものであることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載されたロードロック装置。
【請求項４】
前記座具が３段以上の多段に付設され、前記縦細隙が下段側で狭く上段側で広く形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに記載されたロードロック装置。
【請求項５】
前記座具が前記縁方向へ下段側では長く上段側では短く形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れかに記載されたロードロック装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、大気側から真空側へ或いは逆向きに基板を一枚ずつ移載するためのロードロック装置に関し、詳しくは、大気圧になったり真空になったりする真空チャンバを主体に構成され、そのチャンバ外で常時大気個所と常時真空個所とに設けられた基板移載装置に介在して、両基板移載装置間での基板の遣り取りを仲介するロードロック装置に関する。
枚様式での基板移載を仲介するロードロック装置の真空チャンバには、大気開放手段や真空排気手段が組み付けられている他、基板を支承して一時的に保持するため、支柱（支持ピン）が内底等に立設されている。
【０００２】
支柱には、可動式のものや，固定式のもの，基板の中央部を支承するもの，基板の縁を支承するもの等があるが、この発明のロードロック装置の支柱は、複数本で基板の縁を支承する固定式のものである。
移載（移送、搬送）の対象となる基板としては、半導体装置形成用のシリコンウエハが典型的であるが、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用のパネル等も挙げられる。典型例のシリコンウエハは、円板状のものであり、厚さが１ｍｍ程度かそれより薄く、最近は直径３００ｍｍのウエハが増えているが、他のサイズのものも使用されている。
【０００３】
【従来の技術】
図４は、ロードロック装置を組み込んだシステム例を示し、（ａ）が全体の平面図、（ｂ）が要部の側面図、（ｃ）が要部の平面図である。ここで、要部は、ロードロック３０（ロードロック装置）と、その外部に付設された大気側基板移載装置２２及び真空側基板移載装置４１であるが、内部構造が分かり易いよう、図４（ｂ）では、ロードロック３０のうちチャンバ底３１と支柱３２だけを示し、図４（ｃ）では、ロードロック３０からチャンバ蓋を省略している。
【０００４】
このシステムは、半導体製造工程中の前工程でシリコンウエハ等の処理対象基板に施す幾つかのプロセスを真空中で継続して行うためのものであり、順に（図では左から右に）連結されたローダアンローダ１０と大気内搬送装置２０とロードロック３０とクラスタツール４０とプロセス装置５０とを具えている。
プロセス装置５０は、１台でも良いが図示の例では４台設けられ、それぞれが真空チャンバを主体にして構成された枚様式の又はバッチ式の基板処理装置であり、例えばプラズマエッチャーやプラズマＣＶＤである。
【０００５】
ロードロック３０は、１台でも良いが図示の例ではウエハ搬入用と搬出用とに分けて２台設けられ、それぞれが真空チャンバを主体にして構成され、図示は割愛したが、吸気管や流量調整弁などを含む大気開放手段と、排気管や真空ポンプ等を含む真空排気手段とを装備して、大気圧と真空圧との気圧変換を頻繁に行えるようになっている。
クラスタツール４０もやはり真空チャンバを主体にして構成され、これにはウエハ搬送用の真空側基板移載装置４１が内蔵されている。図示の例では、フロッグレッグ機構の先端にウエハハンドを装着した基板移載装置が真空チャンバ内に設置されて、そのチャンバに周囲から放射状に連結された各ロードロック３０およびプロセス装置５０間で真空を破ることなくウエハ搬送を行えるようになっている（例えば特許文献１参照）。
【０００６】
ローダアンローダ１０は、１台でも多数台でも良いが図示の例ではウエハ搬入用のローダ１台と搬出用のアンローダ１台とで合計２台設けられ、それぞれが、ウエハ１２を多段に収容したウエハキャリア１１を乗せて置けるようになっている。
大気内搬送装置２０は、これらのローダアンローダ１０と上述のロードロック３０とに介在して設けられ、ウエハ１２の受け渡しを行う大気側基板移載装置２２と、ウエハ１２の位置決めを行うアライナ２１とを具えている。
【０００７】
そして、このシステムでは、ウエハ１２が、大気中で、大気側基板移載装置２２にてウエハキャリア１１からアライナ２１に移載され、アライナ２１にて位置決めされ、大気側基板移載装置２２にてアライナ２１から搬入用ロードロック３０に移載される。それから、ロードロック３０内が真空にされて、ウエハ１２が、真空側基板移載装置４１にてクラスタツール４０経由でロードロック３０からプロセス装置５０へ移送され、そのプロセス装置５０から他のプロセス装置５０へ移送され、各プロセス装置５０で所望の処理を施された後に搬出用ロードロック３０へ移送される。そのロードロック３０内が真空から大気に開放されると、ウエハ１２が、再び大気側基板移載装置２２にてロードロック３０からウエハキャリア１１に移載される。こうして、次々に、真空を破ることなくウエハ１２に一連のプロセスが施される。
【０００８】
また、このシステムでは、コンパクトな大気内搬送装置２０の中で多点（図示の例では２台のローダアンローダ１０と１台のアライナ２１と２台のロードロック３０とで５ヶ所）間の移載を行うため、ウエハ１２を保持するウエハハンド２４を立てたり回したりしながら移動させるのに適した多軸ロボット２３がアーム部に採用されている。図４（ｂ），（ｃ）に示した多軸ロボット２３は、基台部からウエハハンド２４までに回転関節，曲折関節，曲折関節，回転関節，曲折関節，回転関節の６関節を具備している。これより単純であっても、ウエハハンド２４をロードロック３０の真空チャンバ内に伸ばして上下動できれば、ウエハ移載には十分である。
【０００９】
次に、ロードロック３０の内部構造を説明する。図５は、（ａ）がロードロック３０の縦断面図、（ｂ）が支柱３２頭部の側面図、（ｃ）が支柱３２の平面図、（ｄ）がウエハ１２乗載時の支柱３２の平面図である。なお、ロードロック３０の平面図や支柱３２の平面配置は、図４中に示されている。何れの図でも、吸気口や排気口は省略されている。Ｏリング等のシール部材やボルト等の締結部材も省略されている。
【００１０】
このロードロック３０は、出願人が幾つかの製品に採用しているものであり、真空チャンバの内底３１に３本の支柱３２が植設（立設）されている。真空チャンバは、大抵アルミニウムのブロックを刳り抜いて一体形成されたチャンバ底３１及びチャンバ壁３３と、やはりアルミニウム等の板材から形成され上部へ着脱可能に装着されたチャンバ蓋３６とからなる。チャンバ壁３３には、大気側と真空側それぞれに、ウエハ１２通過可能な搬入出口３４が貫通形成されるとともにその開閉を行うゲートバルブ３５が装着されている。
【００１１】
支柱３２は、例えば金属やエンジニアリングプラスチック等の部材を加工して作られ、その頭頂面（上面）のうちチャンバ中央側の部分が、僅かに例えば１ｍｍ強ほど低い平坦面に形成されている。この座面３２ａには座具３２ｂが貼付される。座面３２ａと残部とがなす段差は真っ直ぐになっており、その段差に沿って延びる細長い座具３２ｂは、例えば厚さが１ｍｍ弱で幅が２〜４ｍｍ程度のリボン状部材を支柱３２の幅に合わせて切断したものであり、支柱３２とは異なる部材であっても同質の部材であっても色が異なっていれば良い。
【００１２】
このような支柱３２は、図示しない位置決め穴やピン等を利用してチャンバ底３１の所定位置に立てられて、ウエハ１２が移載のため乗せ置かれる。その時、ウエハ１２の縁が、座具３２ｂを縦割りにする即ち長手方向に割れ目を入れて２分割するような状態で（図５（ｄ）参照）、座具３２ｂに乗る。そのように、多軸ロボット２３の動作条件がパラメータ設定やティーチング等にて予め選定・確定されている。
そして、そのような基板乗載位置調整は、ロードロック３０からチャンバ蓋３６を外しておき、真空チャンバ内を上から覗き込んで、座具３２ｂのうちウエハ１２の縁から出ている部分を測ったり見比べたりしながら、行われていた。
【００１３】
【特許文献１】
特開平１０−３２９０６１号公報  （図３、図４）
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、ウエハ１２に対する真空処理の多様化等に起因して、ウエハ１２を出し入れするタイミングが複雑になったり変動しやすくなると、大気側基板移載装置２２と真空側基板移載装置４１との間でロードロック３０へのアクセスタイミングが不所望にずれることも増えてしまう。そのような場合、枚様処理を基本とするシステムであっても、ロードロック３０にバッファリング機能を付加することが望ましい。
【００１５】
図６に縦断面図を示したロードロック３０は、そのような要請に応えるべく、ウエハ１２を多段に支承しうるようにしたものである。具体的には、支柱３２の中間に横スリット３２ｃ（横細隙）を形成することで、簡便に、２枚のウエハ１２を上下位置に保持することができるようになっている。
しかしながら、このような多段化を図った場合、従来の基板乗載位置調整の手法が使い難い。最上段の基板については座具３２ｂの目視確認が可能であるが、その下の基板については、上方の座具３２ｂや座面３２ａが邪魔をして、下方の座具３２ｂを真上から見ることができないためである。
【００１６】
そこで、ロードロック装置に基板バッファリング機能を付与すべく基板支承部を多段化しても、座具を利用した従来の基板乗載位置調整が行えるように、支柱の構造等に工夫を凝らすことが技術的な課題となる。
この発明は、このような課題を解決するためになされたものであり、下方の段の座具も真上から目視可能なロードロック装置を実現することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
このような課題を解決するために発明された第１乃至第４の解決手段について、その構成および作用効果を以下に説明する。
【００１８】
［第１の解決手段］
第１の解決手段のロードロック装置は、出願当初の請求項１，２に記載の如く、真空チャンバ内に基板支承用の支柱が立設されたロードロック装置において、基板の縁を支承する座具が前記支柱に対して２段以上の多段に付設され、それらの段間を貫き更に前記座具のうち上段のものを割く縦細隙が前記支柱に形成されている、というものである。なお、前記真空チャンバの外に大気側基板移載装置と真空側基板移載装置とが付設されていても良い。また、上記の「座具…を割く縦細隙」は、「座具が縦細隙を挟むようにその両側に分かれている」という座具と縦細隙との配置状態を示している。
【００１９】
このような第１の解決手段のロードロック装置にあっては、基板のバッファリング機能を付加するために、座具が多段に付設されるが、それに加えて縦細隙も形成される。縦細隙は上段の座具を割き段間を貫いているので、それを通して覗き込むことにより、下方の段の座具とそれに支承されている基板の縁を真上から見ることが可能である。
これにより、ロードロック装置の基板支承部を多段化しても、最上段ばかりか下方の段についても、座具を利用した従来の基板乗載位置調整が行えることとなる。
したがって、この発明によれば、下方の段の座具も真上から目視可能で基板乗載位置調整が容易に行えるロードロック装置を実現することができる。
【００２０】
［第２の解決手段］
第２の解決手段のロードロック装置は、出願当初の請求項３に記載の如く、上記の第１の解決手段のロードロック装置であって、前記真空チャンバの蓋が総て又は前記真空チャンバのうち少なくとも蓋前記支柱の上方のところが透明になっている、というものである。
【００２１】
このような第２の解決手段のロードロック装置にあっては、蓋が透明になっているので、蓋を開けなくても真上から座具および基板縁を目視することができる。
これにより、縦細隙の形成と相まって、座具を利用した基板乗載位置調整が、一層容易になる。
したがって、この発明によれば、蓋を開けなくても下方の段の座具まで真上から目視可能で基板乗載位置調整が一層容易に行えるロードロック装置を実現することができる。
【００２２】
［第３の解決手段］
第３の解決手段のロードロック装置は、出願当初の請求項４に記載の如く、上記の解決手段のロードロック装置であって、前記座具が３段以上の多段に付設され、前記縦細隙が下段側で狭く上段側で広く形成されている、というものである。
あるいは、出願当初の請求項５に記載の如く、上記の解決手段のロードロック装置であって、前記座具が前記縁方向へ下段側では長く上段側では短く形成されている、というものである。なお、上記の「前記縁方向へ」は、「座具に基板を乗せて支承しているときにその基板の縁の延在方向に測ってみると」といった意味である。
【００２３】
このような第３の解決手段のロードロック装置にあっては、真上から見たとき、何れの段間でも、上方の段の座具から下方の段の座具がはみ出す。
これにより、ロードロック装置の基板支承部を３段以上に多段化しても、何れの段についても、座具を利用した従来の基板乗載位置調整が行えることとなる。
したがって、この発明によれば、上方から下方まで何れの段の座具も真上から目視可能で基板乗載位置調整が容易に行えるロードロック装置を実現することができる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
このような解決手段で達成された本発明のロードロック装置について、これを実施するための具体的な形態を、以下の第１，第２実施例により説明する。
図１，図２に示した第１実施例は、上述した第１〜第２の解決手段（当初請求項１〜３）を具現化したものであり、図３に示した第２実施例は、上述した第３の解決手段（当初請求項４〜５）を具現化したものである。
なお、それらの図示に際し従来と同様の構成要素には同一の符号を付して示したので、重複する再度の説明は割愛し、以下、従来との相違点を中心に説明する。
【００２５】
【第１実施例】
本発明のロードロック装置の第１実施例について、その具体的な構成を、図面を引用して説明する。図１は、（ａ）がロードロックの縦断面図、（ｂ）が支柱頭部の側面図、（ｃ）が支柱頭部の縦断側面図、（ｄ）が支柱の平面図、（ｅ）が支柱のＡ部矢視の端面図、（ｆ）が支柱のＢ部横断の平面図である。ここでも、吸気口等の大気開放手段や、排気口等の真空排気手段、Ｏリング等のシール部材、ボルト等の締結部材は、図示を割愛した。外部には従来例と同じく大気側基板移載装置２２や真空側基板移載装置４１が協動可能に付設されているが、その図示も省略されている。
【００２６】
このロードロック６０（ロードロック装置）が既述した従来のロードロック３０と相違するのは、支柱３２が２段支承の可能な支柱６２になった点と、チャンバ蓋３６が透視可能なチャンバ蓋６１になった点である。
チャンバ蓋６１は（図１（ａ）参照）、アクリル等の透明な板から加工して作られ、真空チャンバの上面開口の総てを透視可能にする。なお、図示は割愛したが、ガラス等の小窓をチャンバ蓋における支柱６２上方部位に配設するのも良い。
【００２７】
支柱６２が従来の支柱３２と相違するのは（図１（ａ）〜（ｃ）参照）、座面３２ａ及び座具３２ｂに対応して頭頂面に設けられた座面６２ａ（第１座面）及び座具６２ｂ（第１座具）が縦スリット６２ｆ（第１縦細隙）によって２分割されている点と、それらの下方に位置する支柱６２の中間部位に横スリット６２ｅ（第１横細隙）が形成され、そこに座面３２ａ及び座具３２ｂと同様の座面６２ｃ（第２座面）及び座具６２ｄ（第２座具）が設けられた点である。
【００２８】
座面６２ａと座面６２ｃは、高低差こそあれ、側面視形状も平面視形状も座面３２ａと同じに形成されている。座具６２ｂは、長さと本数が異なるが、材質や断面形状は座具３２ｂと同じである。座具６２ｄは、長さも含めて座具３２ｂと同じである。もっとも、これらが従来と同じ又は同様なのは必須では無く、例えばウエハ１２や支柱６２の変更等が有ればそれに合させて適宜変形等される。
横スリット６２ｅは、ウエハ１２が通過可能なように、それより厚い例えば４〜６ｍｍ程度の幅（図１（ｂ），（ｃ）では上下方向の距離）で、支柱６２を水平に（図１（ｂ），（ｃ）では紙面に垂直な方向に）貫いて形成され、真空チャンバの中央に向けて口を開けている（図１（ｂ），（ｃ）では右方向）。
【００２９】
縦スリット６２ｆは（図１（ｄ）〜（ｆ）参照）、１段目（最上段）の座面６２ａから下方の２段目（中段）の横スリット６２ｅに及んでいて、それらの段間を真っ直ぐ上下に貫いている。縦スリット６２ｆの幅は見通し容易な例えば３〜５ｍｍ程度であり、１段目の座具６２ｂは、ほぼ同じ幅だけから縦スリット６２ｆ該当個所（直上部分）が切り取られて、短い２本に分割された状態になっている（図１（ｅ）参照）。２段目の座具６２ｄは、１本に繋がっていて、縦スリット６２ｆの真下にも存在している（図１（ｄ），（ｆ）参照）。
【００３０】
この第１実施例のロードロック６０について、その使用態様及び動作を、図面を引用して説明する。図２は、ウエハ１２乗載時の支柱６２の平面図であり、（ａ）が中段への基板搬入状態、（ｂ）が上段への基板搬入状態を示している。
【００３１】
ロードロック６０は、既述した図４のシステムに、ロードロック３０を置き換えることで組み込まれる。そして、一方の搬入出口３４及びゲートバルブ３５の外に大気側基板移載装置２２が付設され、他方の搬入出口３４及びゲートバルブ３５の外に真空側基板移載装置４１が付設された状態となる。また、ロードロック６０のバッファリング（一時蓄積）機能を有効利用するために、図示しないメインコントローラ又は搬送コントローラのプログラムが一部改造されて、ロードロック６０にウエハ１２を搬入するとき、支柱６２の座具６２ｂ及び座具６２ｄすなわち上下２段の支承部位のうち何れかが空いていれば搬入を実行する。
【００３２】
こうして、このロードロック６０にあっては、ウエハ１２が最大２枚まで支承されるので、大気側基板移載装置２２と真空側基板移載装置４１との間でロードロック３０へのアクセスタイミングが多少ずれたり変動したりしても、待ち合わせのために時間をロスするという事態はあまり生じないので、枚様処理を基本とする真空処理システムであっても、大気側と真空側とに亘る搬入出が円滑に行われる。
【００３３】
また、ロードロック６０について基板乗載位置調整を行うときは、ロードロック６０からチャンバ蓋６１を外す必要が無く、チャンバ蓋６１を閉めたまま、上から真空チャンバ内を覗き込む。
そして、１段目（最上段）の座具６２ｄ（第１支承部位）と、その下方の２段目（中段）の座具６２ｄ（第２支承部位）とに分けて、２回、従来同様の基板乗載位置調整を行う。
【００３４】
順序は任意なので、例えば２段目を先にすると（図２（ａ）参照）、大気側基板移載装置２２又は真空側基板移載装置４１にてウエハ１２を座具６２ｄ上に移載させてから、座具６２ｄにおけるウエハ１２の縁の位置を目視で確認する。その目視確認は、縦スリット６２ｆを通して、ウエハ１２の縁と座具６２ｄとを真上から見ることで行う。そして、基板移載と目視確認とを繰り返しながら、ウエハ１２の縁が座具６２ｄを縦に２分割するよう、多軸ロボット２３等に対して２段目用のパラメータ設定やティーチングなど適宜な調整処理を施す。
【００３５】
次に、１段目にも基板乗載位置調整を行う（図２（ｂ）参照）。やはり大気側基板移載装置２２又は真空側基板移載装置４１にてウエハ１２を座具６２ｂ上に移載させてから、座具６２ｂにおけるウエハ１２の縁の位置を目視で確認する。その目視確認は、ウエハ１２の縁と座具６２ｂとを真上から見ることで行うが、座具６２ｂが支柱６２の頭頂面に有って視線が遮られることがないので、容易である。そして、やはり基板移載と目視確認とを繰り返しながら、ウエハ１２の縁が座具６２ｂを縦に２分割するよう、多軸ロボット２３等に対して１段目用のパラメータ設定やティーチングなど適宜な調整処理を施す。
【００３６】
こうして、このロードロック６０にあっては、１段目の支承部位についても、その下方の２段目の支承部位についても、座具を利用して目視確認するという従来の基板乗載位置調整を行うことができるので、多段化しても、調整は容易である。しかも、チャンバ蓋６１を外さなくても目視確認できるので、調整が一層容易である。
【００３７】
【第２実施例】
本発明のロードロック装置の第２実施例について、その具体的な構成を、図面を引用して説明する。図３は、（ａ）が支柱６２頭部の側面図、（ｂ）が支柱６２の平面図、（ｃ）が支柱６２のＡ部矢視の端面図、（ｄ）が支柱６２のＢ部横断の端面図、（ｅ）が支柱６２のＣ部横断の平面図である。
【００３８】
このロードロック装置が上述した第１実施例のものと相違するのは、支承部位が２段から３段に増えたことである。
具体的には、支柱６２の中間部位であって横スリット６２ｅの更に下のところにそれと同様の横スリット６２ｉ（第２横細隙）が形成され、そこに座面３２ａ及び座具３２ｂと同様の座面６２ｇ（第３座面）及び座具６２ｈ（第３座具）が設けられている。
【００３９】
また、横スリット６２ｅと横スリット６２ｉとに亘って縦スリット６２ｊが彫り込み形成されている。縦スリット６２ｊは、縦スリット６２ｆの真下に位置して、縦スリット６２ｆ同様に座具６２ｄを割いて上下に真っ直ぐ延びているが、その幅（図３（ｄ）では上下方向の距離）は、縦スリット６２ｆのそれ（図３（ｃ）では上下方向の距離）より狭い。言い換えれば、縦スリット６２ｆは縦スリット６２ｊより広く形成されている。このような縦スリット６２ｆ，６２ｊは、下段側で狭く上段側で広いものとなっている。
【００４０】
さらに、座面６２ｃとその下方の両側面（図３（ｄ）では右半分の上端と下端）とが少し削られるとともに、それに対応して座具６２ｄは座具６２ｈより短くなっている（図３（ｄ），（ｅ）参照）。また、座面６２ａとその下方の両側面（図３（ｃ）では右半分の上端と下端）とがもっと削られるとともに、それに対応して座具６２ｂは座具６２ｄより短くなっている（図３（ｃ），（ｄ）参照）。これにより、３段の座具６２ｂ，６２ｄ，６２ｈは、ウエハ１２の縁方向へ（図３（ｂ）〜（ｅ）では上下方向に測ってみたとき）下段側では長く上段側では短いものとなっている。
【００４１】
この場合、ウエハ１２の支承部位が２段から３段になって、ロードロック６０のバッファリング（一時蓄積）機能が２枚から３枚に強化される。
しかも、支承部位の段数が３段になっても、最上の１段目の基板乗載位置調整は、視線を遮るものが無いので座具６２ｂ及びウエハ１２を真上から目視して行われ、中間の２段目の基板乗載位置調整は、縦スリット６２ｆを通して座具６２ｄ及びウエハ１２を真上から目視して行われ、最下の３段目の基板乗載位置調整は、縦スリット６２ｆと縦スリット６２ｊとを通して座具６２ｈ及びウエハ１２を真上から目視して行われる。
【００４２】
こうして、この場合も、基板移載と目視確認とを繰り返しながら、ウエハ１２の縁が座具６２ｂ，６２ｄ，６２ｈを縦に２分割するよう、多軸ロボット２３等に対して１〜３段目それぞれのパラメータ設定やティーチングなど適宜な調整処理を施すことで、容易かつ適切に、座具利用の基板乗載位置調整を遂行することができる。
【００４３】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明の第１の解決手段のロードロック装置にあっては、基板支承の多段化に際して、上段の座具を割き段間も貫く縦細隙を形成したことにより、下方の段の座具も真上から目視可能で基板乗載位置調整が容易に行えるロードロック装置を実現することができたという有利な効果が有る。
【００４４】
また、本発明の第２の解決手段のロードロック装置にあっては、チャンバ蓋を透明にしたことにより、蓋を開けなくても下方の段の座具まで真上から目視可能となって、基板乗載位置調整が一層容易に行えるロードロック装置を実現することができたという有利な効果を奏する。
【００４５】
さらに、本発明の第３の解決手段のロードロック装置にあっては、何れの段間でも上方の段の座具から下方の段の座具がはみ出すようにしたことにより、上方から下方まで何れの段の座具も真上から目視可能で基板乗載位置調整が容易に行えるロードロック装置を実現することができたという有利な効果が有る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のロードロック装置の第１実施例について、（ａ）がロードロックの縦断面図、（ｂ）が支柱頭部の側面図、（ｃ）が支柱頭部の縦断側面図、（ｄ）が支柱の平面図、（ｅ）が支柱のＡ部矢視の端面図、（ｆ）が支柱のＢ部横断の平面図である。
【図２】基板乗載時の支柱の平面図であり、（ａ）が中段への基板搬入状態、（ｂ）が上段への基板搬入状態を示している。
【図３】本発明のロードロック装置の第２実施例について、（ａ）が支柱頭部の側面図、（ｂ）が支柱の平面図、（ｃ）が支柱のＡ部矢視の端面図、（ｄ）が支柱のＢ部横断の端面図、（ｅ）が支柱のＣ部横断の平面図である。
【図４】ロードロック装置を組み込んだシステム例を示し、（ａ）が全体の平面図、（ｂ）が要部の側面図、（ｃ）が要部の平面図である。
【図５】従来のロードロック装置について、（ａ）がロードロックの縦断面図、（ｂ）が支柱頭部の側面図、（ｃ）が支柱の平面図、（ｄ）が基板乗載時の支柱の平面図である。
【図６】その改造案を示し、ロードロックの縦断面図である。
【符号の説明】
１０  ローダアンローダ
１１      ウエハキャリア
１２      ウエハ（基板）
２０  大気内搬送装置
２１      アライナ
２２      大気側基板移載装置
２３      多軸ロボット（多関節ロボ）
２４      ウエハハンド
３０  ロードロック（ロードロック装置、気圧変換室）
３１      チャンバ底（真空チャンバ）
３２      支柱（支承部材、移載台）
３２ａ        座面
３２ｂ        座具
３２ｃ        横スリット
３３      チャンバ壁（真空チャンバ）
３４      搬入出口（側壁開口）
３５      ゲートバルブ
３６      チャンバ蓋（真空チャンバ）
４０  クラスタツール（真空内搬送装置）
４１      真空側基板移載装置（フロッグレッグ＋ウエハハンド）
５０  プロセス装置（真空処理装置）
６０  ロードロック（ロードロック装置、気圧変換室）
６１      チャンバ蓋（透明部材、覗窓形成部）
６２      支柱（支承部材、移載台）
６２ａ        座面（上段の座面、第１座面）
６２ｂ        座具（上段の座具、第１座具）
６２ｃ        座面（中段の座面、第２座面）
６２ｄ        座具（中段の座具、第２座具）
６２ｅ        横スリット（第２座面形成用の第１横細隙）
６２ｆ        縦スリット（第２座面目視用の第１縦細隙）
６２ｇ        座面（下段の座面、第３座面）
６２ｈ        座具（下段の座具、第３座具）
６２ｉ        横スリット（第３座面形成用の第２横細隙）
６２ｊ        縦スリット（第３座面目視用の第２縦細隙）
【図１】
2005044939.tif 000003
【図２】
2005044939.tif 000004
【図３】
2005044939.tif 000005
【図４】
2005044939.tif 000006
【図５】
2005044939.tif 000007
【図６】
2005044939.tif 000008