(57)【要約】【課題】  清浄度センサにより検出した作業空間内の清浄度が規定値以下に低下した場合、制御装置にて警報動作を実行して異常を迅速に報知することができるクリーンベンチを提供する。【解決手段】  クリーンベンチ１は、前面に手指挿入用の開口部４Ａを有した作業空間６と、この作業空間６に給気用の高性能フィルタ９を介して清浄空気を供給する送風機１１と、作業空間６から流出した空気を送風機１１により吸引する連通路７と、送風機１１の風下側に配置され、排気用の高性能フィルタ１９を介して外部に空気を排出する排出路１４とを備える。送風機１１の運転を制御する制御装置２４と、作業空間６内の空気の清浄度を測定する清浄度センサ３０を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
前面に手指挿入用の開口部を有した作業空間と、該作業空間に給気用の高性能フィルタを介して清浄空気を供給する送風機と、前記作業空間から流出した空気を前記送風機により吸引する連通路と、前記送風機の風下側に配置され、排気用の高性能フィルタを介して外部に空気を排出する排出路とを備えたクリーンベンチにおいて、
前記送風機の運転を制御する制御装置と、前記作業空間内の空気の清浄度を測定する清浄度センサを備えたことを特徴とするクリーンベンチ。
【請求項２】
前記制御装置は、前記清浄度センサにより検出された前記作業空間内の清浄度が規定値以下に低下した場合、所定の警報動作を実行することを特徴とする請求項１のクリーンベンチ。
【請求項３】
前記制御装置は、前記清浄度センサにより検出された前記作業空間内の清浄度に基づいて前記送風機の回転数を制御することを特徴とする請求項１又は請求項２のクリーンベンチ。
【請求項４】
前記制御装置は、前記清浄度センサにより検出される前記作業空間内の清浄度が所定の値となるように前記送風機の回転数を制御することを特徴とする請求項３のクリーンベンチ。
【請求項５】
表示装置を備え、前記制御装置は前記清浄度センサにより検出された前記作業空間内の清浄度を前記表示装置にて表示し、及び／又は、当該清浄度に関するデータを外部に出力することを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３又は請求項４のクリーンベンチ。
【請求項６】
前記作業空間内の温度を検出する温度センサを備え、前記制御装置は前記温度センサにより検出された前記作業空間内の温度を前記表示装置にて表示し、及び／又は、当該温度に関するデータを外部に出力することを特徴とする請求項５のクリーンベンチ。
【請求項７】
前記作業空間内の複数カ所に設けた吸引部から択一的に空気を吸引し、前記清浄度センサに供給する測定用流路切替装置を備え、前記制御装置は、該測定用流路切替装置の流路を切り換えることにより、前記清浄度センサによって前記作業空間内の複数カ所の清浄度を測定することを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３、請求項４、請求項５又は請求項６のクリーンベンチ。
【請求項８】
前記制御装置は、前記作業空間内の複数カ所の清浄度の平均値を算出し、該平均値が規定値以下に低下した場合に、所定の警報動作を実行することを特徴とする請求項７のクリーンベンチ。
【請求項９】
前記測定用流路切替装置は、前記清浄度センサを経た空気を、前記吸引部よりも空気下流側の位置に排出することを特徴とする請求項７又は請求項８のクリーンベンチ。
【請求項１０】
前記作業空間内と前記排気用の高性能フィルタを経た位置に設けた吸引部から択一的に空気を吸引し、前記清浄度センサに供給する測定用流路切替装置を備え、前記制御装置は、該測定用流路切替装置の流路を切り換えることにより、前記清浄度センサによって前記作業空間内と前記排気用の高性能フィルタを経た空気の清浄度を測定することを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３、請求項４、請求項５、請求項６、請求項７、請求項８又は請求項９のクリーンベンチ。
【請求項１１】
前記制御装置は、前記清浄度センサにより検出された前記作業空間内の清浄度が規定値以下に低下した場合、所定の警報動作を実行すると共に、前記清浄度センサにより検出された前記排気用の高性能フィルタを経た空気の清浄度が規定値以下に低下した場合、前記作業空間内の清浄度に関する警報とは区別した所定の警報動作を実行することを特徴とする請求項１０のクリーンベンチ。
【請求項１２】
前記作業空間内の空気を吸引して前記清浄度センサに供給するための吸引部を有し、該吸引部には延長用の空気吸引パイプを接続可能としたことを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３、請求項４、請求項５、請求項６、請求項７、請求項８、請求項９、請求項１０又は請求項１１のクリーンベンチ。
【請求項１３】
前記清浄度センサには、前記手指挿入用の開口部近傍の空気を供給しないことを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３、請求項４、請求項５、請求項６、請求項７、請求項８、請求項９、請求項１０、請求項１１又は請求項１２のクリーンベンチ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、作業空間外部に危険な薬品或いは微生物や細菌等が漏れ出てしまうのを防止するクリーンベンチに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より薬品或いは微生物や細菌等の危険な試料を取り扱うために筺体内に作業空間を形成したクリーンベンチやバイオセーフティキャビネットなどが知られている（特許文献１参照）。このようなクリーンベンチなどは、危険な試料に接触した空気の大部分を給気用の高性能フィルタを通過させることにより清浄して作業空間に吹き出し、一部を排気用の高性能フィルタを介してキャビネット外に排出していた。そして、常に作業空間内の圧力を外部より低くして外部の空気を作業空間内に導き、それによって、作業空間内の試料と接触した空気が前記排気用の高性能フィルタを通らずに外部に排出されることがないように構成していた。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−３２１１７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、作業空間内の空気を清浄するための高性能フィルタと作業空間を形成する本体とのシールが不完全の場合、或いは、高性能フィルタに孔が開いてしまっている場合などは作業空間内の清浄度を規定値以内に確保できない。また、高性能フィルタと本体とのシールの不完全や、高性能フィルタに孔が開いていなくても、作業空間内に発埃物や層流を妨げるものがあると、作業空間の清浄度が確保できない。この清浄度は目に見えないためコンタミネーションを起こしてからでないと清浄度の低下に気が付かなかった。このため、作業空間内の清浄度の低下の原因が、クリーンベンチの装置によるものか、或いは、操作上のものか分からないという問題があった。
【０００５】
また、クリーンベンチの運転開始後数分間は、作業空間内の空気が充分入れ替わらず、その間は規定の清浄度に達していないことがあった。このため、クリーンベンチの運転開始後どの位の時間経過してから作業空間内が規定の清浄度に達するのか分からないという問題があった。
【０００６】
また、クリーンベンチの作業空間内の空気の清浄化を行うためには充分な風量を確保する必要があるため、作業空間内の風速は通常速めに設定されていた。このため、作業空間内で粉末の医薬品などを扱う場合では、風によって粉末が飛散し作業性が悪化してしまうという問題もあった。
【０００７】
本発明は、係る従来技術の課題を解決するために成されたものであり、清浄度センサにより検出した作業空間内の清浄度が規定値以下に低下した場合、制御装置にて警報動作を実行して異常を迅速に報知することができるクリーンベンチを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
即ち、本発明のクリーンベンチは、前面に手指挿入用の開口部を有した作業空間と、この作業空間に給気用の高性能フィルタを介して清浄空気を供給する送風機と、作業空間から流出した空気を送風機により吸引する連通路と、送風機の風下側に配置され、排気用の高性能フィルタを介して外部に空気を排出する排出路とを備えたものであって、送風機の運転を制御する制御装置と、作業空間内の空気の清浄度を測定する清浄度センサを備えたことを特徴とする。
【０００９】
また、請求項２の発明のクリーンベンチは、上記において、制御装置は、清浄度センサにより検出された作業空間内の清浄度が規定値以下に低下した場合、所定の警報動作を実行することを特徴とする。
【００１０】
また、請求項３の発明のクリーンベンチは、上記各発明において、制御装置は、清浄度センサにより検出された作業空間内の清浄度に基づいて送風機の回転数を制御することを特徴とする。
【００１１】
また、請求項４の発明のクリーンベンチは、請求項３において、制御装置は、清浄度センサにより検出される作業空間内の清浄度が所定の値となるように送風機の回転数を制御することを特徴とする。
【００１２】
また、請求項５の発明のクリーンベンチは、上記各発明に加えて、表示装置を備え、制御装置は清浄度センサにより検出された作業空間内の清浄度を表示装置にて表示し、及び／又は、当該清浄度に関するデータを外部に出力することを特徴とする。
【００１３】
また、請求項６の発明のクリーンベンチは、請求項５に加えて、作業空間内の温度を検出する温度センサを備え、制御装置は温度センサにより検出された作業空間内の温度を表示装置にて表示し、及び／又は、当該温度に関するデータを外部に出力することを特徴とする。
【００１４】
また、請求項７の発明のクリーンベンチ、上記各発明に加えて、作業空間内の複数カ所に設けた吸引部から択一的に空気を吸引し、清浄度センサに供給する測定用流路切替装置を備え、制御装置は、この測定用流路切替装置の流路を切り換えることにより、清浄度センサによって作業空間内の複数カ所の清浄度を測定することを特徴とする。
【００１５】
また、請求項８の発明のクリーンベンチは、請求項７において、制御装置は、作業空間内の複数カ所の清浄度の平均値を算出し、この平均値が規定値以下に低下した場合に、所定の警報動作を実行することを特徴とする。
【００１６】
また、請求項９の発明のクリーンベンチは、請求項７又は請求項８において、測定用流路切替装置は、清浄度センサを経た空気を、吸引部よりも空気下流側の位置に排出することを特徴とする。
【００１７】
また、請求項１０の発明のクリーンベンチは、上記各発明に加えて、作業空間内と排気用の高性能フィルタを経た位置に設けた吸引部から択一的に空気を吸引し、清浄度センサに供給する測定用流路切替装置を備え、制御装置は、この測定用流路切替装置の流路を切り換えることにより、清浄度センサによって作業空間内と排気用の高性能フィルタを経た空気の清浄度を測定することを特徴とする。
【００１８】
また、請求項１１の発明のクリーンベンチは、請求項１０において、制御装置は、清浄度センサにより検出された作業空間内の清浄度が規定値以下に低下した場合、所定の警報動作を実行すると共に、清浄度センサにより検出された排気用の高性能フィルタを経た空気の清浄度が規定値以下に低下した場合、作業空間内の清浄度に関する警報とは区別した所定の警報動作を実行することを特徴とする。
【００１９】
また、請求項１２の発明のクリーンベンチは、上記各発明に加えて、作業空間内の空気を吸引して清浄度センサに供給するための吸引部を有し、この吸引部には延長用の空気吸引パイプを接続可能としたことを特徴とする。
【００２０】
また、請求項１３の発明のクリーンベンチは、上記各発明において、清浄度センサには、手指挿入用の開口部近傍の空気を供給しないことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
以上詳述した如く本発明によれば、前面に手指挿入用の開口部を有した作業空間と、この作業空間に給気用の高性能フィルタを介して清浄空気を供給する送風機と、作業空間から流出した空気を送風機により吸引する連通路と、送風機の風下側に配置され、排気用の高性能フィルタを介して外部に空気を排出する排出路とを備えたクリーンベンチにおいて、送風機の運転を制御する制御装置と、作業空間内の空気の清浄度を測定する清浄度センサを備えているので、例えば、給気用の高性能フィルタの破損などで作業空間内の清浄度が低下した場合に、清浄度センサにより、作業空間内の清浄度を検出できることに加え、請求項２のように、制御装置は、所定の警報動作を実行することで異常を迅速に報知することができる。
【００２２】
また、請求項３の発明によれば、上記各発明において、制御装置は、清浄度センサにより検出された作業空間内の清浄度に基づいて送風機の回転数を制御することにより、例えば作業空間内で粉末の医薬品などを扱っても作業空間内を規定の清浄度に維持しながら、送風機の回転数を最低限に抑えて風速を下げ、粉末の飛散を低減することができる。また、例えば給気用の高性能フィルタが空気中の塵や試料などを除去して行くのに伴って徐々に目詰まりして行くのに合わせて、例えば請求項４のように制御装置は送風機の回転数を制御し、作業空間内の清浄度を規定値に制御することが可能となる。
【００２３】
また、請求項５の発明によれば、上記各発明に加えて、表示装置を備え、制御装置は清浄度センサにより検出された作業空間内の清浄度を表示装置にて表示し、及び／又は、当該清浄度に関するデータを外部に出力すれば、制御装置による制御が正常に機能しているか、或いは、作業を安全に行えるかを直接認識することが可能となる。
【００２４】
また、請求項６の発明によれば、作業空間内の温度を検出する温度センサを備え、制御装置は温度センサにより検出された作業空間内の温度を表示装置にて表示し、及び／又は、当該温度に関するデータを外部に出力すれば、作業空間内の温度環境も直接認識することができ、作業環境の記録の作成が容易になる。
【００２５】
また、請求項７の発明によれば、上記各発明に加えて、作業空間内の複数カ所に設けた吸引部から択一的に空気を吸引し、清浄度センサに供給する測定用流路切替装置を備え、制御装置は、この測定用流路切替装置の流路を切り換えることにより、清浄度センサによって作業空間内の複数カ所の清浄度を測定するので、単一の清浄度センサで、作業空間内の複数箇所の清浄度を測定することが可能となる。これにより、作業空間内全域における清浄度を認識することができるようになる。従って、作業空間内が例えば薬品或いは微生物や細菌等の危険な試料によって汚染されてしまう危険性を迅速に対処することができるようになる。
【００２６】
また、請求項８の発明によれば、制御装置は、作業空間内の複数カ所の清浄度の平均値を算出し、この平均値が規定値以下に低下した場合に、所定の警報動作を実行するので、作業空間内全域における異常に迅速に対処することができる。
【００２７】
また、請求項９の発明によれば、測定用流路切替装置は、清浄度センサを経た空気を、吸引部よりも空気下流側の位置に排出するので、清浄度センサを経た空気が再び直接清浄度センサに戻ってしまうような不都合を防止することができる。これにより、作業空間内の空気だけを清浄度センサで測定することが可能となる。従って、現時間の作業空間内の空気の清浄度を確実に把握することができるようになるものである。
【００２８】
また、請求項１０の発明によれば、上記各発明に加えて、作業空間内と排気用の高性能フィルタを経た位置に設けた吸引部から択一的に空気を吸引し、清浄度センサに供給する測定用流路切替装置を備え、制御装置は、この測定用流路切替装置の流路を切り換えることにより、清浄度センサによって作業空間内と排気用の高性能フィルタを経た空気の清浄度を測定することができるので、複数の清浄度センサを用いなくても単一の清浄度センサで作業空間内の清浄度の他に、排気用の高性能フィルタの破損による外部の汚染も認識することができる。これにより、外部の安全性を確保しクリーンベンチのコストアップを抑えることが可能となる。
【００２９】
また、請求項１１の発明によれば、制御装置は、清浄度センサにより検出された作業空間内の清浄度が規定値以下に低下した場合、所定の警報動作を実行すると共に、清浄度センサにより検出された排気用の高性能フィルタを経た空気の清浄度が規定値以下に低下した場合、作業空間内の清浄度に関する警報とは区別した所定の警報動作を実行するので、警報が排気用の高性能フィルタの異常か、給気用の高性能フィルタの異常かを区別することができる。これにより、排気用の高性能フィルタの異常と給気用の高性能フィルタの異常を確実に区別することができクリーンベンチの修理やメンテナンスを容易に行うことができるようになるものである。
【００３０】
また、請求項１２の発明によれば、作業空間内の空気を吸引して清浄度センサに供給するための吸引部を有し、この吸引部には延長用の空気吸引パイプを接続可能としたので、吸引部に接続した空気吸引パイプの端部を作業空間内の任意の箇所に移動させれば、作業空間内の所定箇所の清浄度を容易に認識することが可能となる。これにより、給気用の高性能フィルタの破損箇所も探し出すことができクリーンベンチの修理やメンテナンスを容易に行うことができるようになるものである。
【００３１】
また、請求項１３の発明によれば、清浄度センサには、手指挿入用の開口部近傍の空気を供給しないので、手指挿入用の開口部から連通路を介して吸入した空気中の塵埃を直接清浄度センサで測定してしまうのを防止することができる。これにより、作業空間内だけの清浄度を測定することができ、作業空間内の清浄度を極めて正確に測定することができるようになるものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
本発明は、作業空間内の清浄度が規定値以下に低下するのを防止するため、清浄度センサによって作業空間内の空気の清浄度を測定することを最も主要な特徴とする。空気の清浄度が規定値以下に低下したのを報知するという目的を、作業空間内の複数カ所に清浄度センサに吸引する空気の吸引部を設けることにより実現した。
【００３３】
次に、図面に基づき本発明の実施例を詳述する。図１は本発明のクリーンベンチ１の側面概念図、図２は本発明のクリーンベンチ１の制御回路のブロック図をそれぞれ示している。クリーンベンチ１は、図１に示すように筺体からなる本体５内部に、下部の下壁５Ａより所定の間隔を存して上方に設けた作業台３と、後部の後壁５Ｂより所定の間隔を存して前方に設けた仕切板２と、上部に設けた給気用の高性能フィルタ９とにより作業空間６を形成し、この作業空間６の前面開口４に上下移動自在の開閉扉８を備えている。
【００３４】
また、作業空間６の下方から後方及び後方下方から上方に渡って一連の連通路７が形成されており、この連通路７は下壁５Ａと作業台３、後壁５Ｂと背面仕切板２、及び本体５上部に設けられた上壁５Ｃと所定の間隔を存して下方に設けられた給気用の高性能フィルタ９との間に形成されている。該給気用の高性能フィルタ９は、通過する空気に含まれる薬品或いは微生物や細菌等の危険な試料などを除去して略１００％の清浄度を得ることができるＨＥＰＡフィルタからなり、作業空間６の天面を開口する開口部（図示せず）を閉塞する形で取り付けられている。
【００３５】
また、本体５上部に設けられた上壁５Ｃには、図示しない開口部を閉塞する形で給気用の高性能フィルタ９同様空気に含まれる薬品或いは微生物や細菌等の危険な試料などを除去して略１００％の清浄度を得ることができるＨＥＰＡフィルタからなる排気用の高性能フィルタ１９が取り付けられている。排気用の高性能フィルタ１９にはダクト２０が接続されており、このダクト２０内には排出路１４が形成されている。
【００３６】
また、本体５前面の開口４上部には液晶、或いは、７セグメントのＬＥＤなどにて構成された表示装置２８が設けられると共に、赤色ランプやオレンジランプ或いはブザーなどにて構成された警報装置４０が設けられている。該表示装置２８は、清浄度センサ３０が検出した作業空間６内の清浄度或いは排出路１４内の清浄度を表示するように構成されると共に、警報装置４０は、作業空間６内の清浄度が予め設定された規定値以下の場合、或いは、排気用の高性能フィルタ１９を通過し清浄された空気の清浄度が予め設定された規定値以下の場合、所定の警報動作を実行（この場合、ブザーを鳴らす、或いは、ランプの点滅や点灯など）するように構成されている。
【００３７】
一方、前記後壁５Ｂと仕切板２間の連通路７上部には、当該連通路７を仕切る形でシロッコファンから成る送風機１１が配設されている。また、作業台３の前後端双方には排気孔１２、１３が形成されており、この排気孔１２、１３は作業空間６下部と連通路７とを連通している。該送風機１１は連通路７から吸引した空気を圧送するものであるが、この送風機１１の風下側は、前記給気用の高性能フィルタ９を介して作業空間６内に連通すると共に、前記排気用の高性能フィルタ１９及びダクト２０内の排出路１４を介して外部に連通している。
【００３８】
また、ダクト２０内には開平板２１が設けられている。この開閉板２１は送風機１１が運転され連通路７内の空気を吸引した際、作業空間６内の清浄度を規定値以内に維持しつつ連通路７内が所定の低圧になるように排出路１４内を通過する空気の風量の調整をするためのものである。また、開閉扉８が上方に押し上げられた状態で開閉扉８の下部には開口部４Ａが形成され、この開口部４Ａから作業空間６内に手指を挿入できるように構成されている。
【００３９】
このように構成されたクリーンベンチ１の送風機１１が運転されると、送風機１１から圧送された空気の大部分は給気用の高性能フィルタ９を通過する過程で清浄された後、図中矢印で示すように上方から作業空間６内に吹き出される。上方から作業空間６内に吹き出された空気の一部は略真っ直ぐに下流して開口部４Ａから流入する外気と共に排気口１２から連通路７内に吸引される。上方から作業空間６内に吹き出された残りの空気は排気孔１３より連通路７に吸引される。また、送風機１１から圧送された空気の一部は給気用の高性能フィルタ９を通過せず、排気用の高性能フィルタ１９を通過し、そのとき清浄されてダクト２０から外部に排出される。
【００４０】
この場合、排気孔１２、１３から作業空間６内の空気を送風機１１にて吸引し、その空気の一部を排出路１４から排出した風量の分だけ作業空間６内の圧力は外部より低くなる。そのため、開口部４Ａからは排出路１４から排出された風量と同量の外気が吸引され、作業空間６内に流入するが、給気用の高性能フィルタ９から略真っ直ぐ作業空間６開口部４Ａに下流した殆どの空気は作業空間６内奥には流入せず、排気孔１２から連通路７内に流出して行く。これにより、作業空間６内部に外気が入ってしまうのを抑えて作業空間６内の清浄度を規定値以内に保ち維持し、作業空間６内にて試料に接触した空気が開口４から直接外部に漏れ出てしまうのを防止すると共に、作業空間６内の空気は必ず高性能フィルタ１９にて清浄してから外部に排出される。従って、作業空間６内では安全に作業を行え、また、外部の安全も確保できる。
【００４１】
また、クリーンベンチ１には、送風機１１の運転を制御すると共に測定用流路切替装置１８を制御する制御装置２４（図２に図示）と、作業空間６内の空気の清浄度を測定する清浄度センサ３０とが設けられている。該清浄度センサ３０は、例えばこの清浄度センサ３０内を通過する空気に含まれる単位体積あたりの薬品或いは微生物や細菌等の粒子数をミクロン単位或いはそれ以下の単位で測定するもので有る。該清浄度センサ３０の入口側に接続されたパイプ３４は、測定用流路切替装置１８を介して端部に吸引部１６が設けられている。
【００４２】
該測定用流路切替装置１８は、複数の電磁弁（第１電磁弁１８Ａ、第２電磁弁１８Ｂ、第３電磁弁１８Ｃ、第４電磁弁１８Ｄ）にて構成されており、吸引部１６は複数の吸引部（第１吸引部１６Ａ、第２吸引部１６Ｂ、第３吸引部１６Ｃ、第４吸引部１６Ｄ）にて構成されている。また、パイプ３４は複数のパイプ（第１パイプ３４Ａ、第２パイプ３４Ｂ、第３パイプ３４Ｃ、第４パイプ３４Ｄ）にて構成されており、第１パイプ３４Ａの端部に第１吸引部１６Ａ、第２パイプ３４Ｂの端部に第２吸引部１６Ｂ、第３パイプ３４Ｃの端部に第３吸引部１６Ｃ、第４パイプ３４Ｄの端部に第４吸引部１６Ｄが設けられている。
【００４３】
そして、第１吸引部１６Ａは本体５下部に設けられた下壁５Ａと作業台３との間の連通路７、第２吸引部１６Ｂは作業空間６内の下部近傍、第３吸引部１６Ｃは作業空間６内の上下方向の略中央、第４吸引部１６Ｄは、前記外部と連通するダクト２０内の排出路１４内にそれぞれ開口している。また、清浄度センサ３０の出口側に接続された排出パイプ３７はエアーポンプ３８を介して後壁５Ｂと背面仕切板２間の連通路７上部（送風機１１の下側近傍）に開口している。このエアーポンプ３８にて複数のパイプ３４の吸引部１６から空気を吸引し、清浄度センサ３０を経た空気を吸引部１６よりも空気下流側（送風機１１の下側近傍）に排出する。この場合、清浄度センサ３０を経た空気が再び直接清浄度センサ３０に戻ってしまうのを防止することができるので、現時間の作業空間６内の空気の清浄度を確実に把握することができる。
【００４４】
前記作業空間６内には作業空間６内の温度を検出する温度センサ３２が設けられると共に、作業空間６内には前記第２吸引部１６Ｂ或いは第３吸引部１６Ｃに接続可能に構成され作業空間６内の空気を吸引して清浄度センサ３０に供給するための空気吸引パイプ３９が設けられている。この空気吸引パイプ３９はゴムホース、或いは、合成樹脂などの柔軟性を有し湾曲自在なホースにて構成されており、一端部が第２吸引部１６Ｂ或いは第３吸引部１６Ｃに接続された状態で、他端部が作業空間６内隅々まで届く長さにて構成されている。尚、空気吸引パイプ３９の不使用時は作業空間６内に突出して設けられた、吊し具３９Ａに吊り下げられる。
【００４５】
他方、クリーンベンチ１には図２に示すように制御装置２４が設けられている。この制御装置２４には、前述の送風機１１と表示装置２８及び警報装置４０が接続されると共に、清浄度センサ３０及び複数の電磁弁（第１電磁弁１８Ａ、第２電磁弁１８Ｂ、第３電磁弁１８Ｃ、第４電磁弁１８Ｄ）がそれぞれ接続されている。これらの電磁弁１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃ、１８Ｄが開放するとパイプ３４（パイプ３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃ、３４Ｄ）内に空気が流れ、閉じると流れる空気を停止する。
【００４６】
そして制御装置２４は、通常各電磁弁１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃ、１８Ｄを順次開放し、それぞれの吸引部１６Ａ、１６Ｂ、１６Ｃ、１６Ｄから例えば１５秒〜３０秒間隔に順番に空気を吸引してそれらの吸引部１６Ａ、１６Ｂ、１６Ｃ、１６Ｄが開放する個所の清浄度を測定する。これによって、吸引部１６Ａ、１６Ｂ、１６Ｃ、１６Ｄが開口する個所の予め設定された清浄度を測定する。また、制御装置２４は各第１電磁弁１８Ａ、第２電磁弁１８Ｂ、第３電磁弁１８Ｃ、第４電磁弁１８Ｄの開閉制御によって各吸引部１６Ａ、１６Ｂ、１６Ｃ、１６Ｄから択一的に空気を吸引して清浄度センサ３０に供給する。
【００４７】
即ち、制御装置２４は、第１電磁弁１８Ａと第４電磁弁１８Ｄを閉じて（この場合、手指挿入用の開口部４Ａ近傍の空気及び、排出路１４内の空気を吸引できない状態）、第２吸引部１６Ｂと、第３吸引部１６Ｃから時間を別々に吸引して清浄度センサ３０にて測定した空気の清浄度の平均値を算出する。そして、算出した空気の平均値の清浄度が予め設定された規定値以下の場合に、警報装置４０にて所定の警報動作を実行する。この場合、制御装置２４は第２第３吸引部１６Ｂ、１６Ｃから同時に吸引した空気を清浄度センサ３０にて測定して清浄度を算出し、算出した空気の清浄度が予め設定された規定値以下の場合に、即ち、清浄度センサ３０に入力される空気中の単位体積当たりの粒子数が多くなった場合に警報装置４０にて所定の警報動作を実行する。これによって、作業空間６内の異常を迅速に報知することができると共に作業空間６内全域の異常を迅速に対処することができる。
【００４８】
また、第２吸引部１６Ｂと、第３吸引部１６Ｃとから時間を別々に吸引して清浄度センサ３０にて測定し、それぞれの空気のどちらか一方の清浄度が予め設定された規定値以下の場合に、即ち、清浄度センサ３０に入力される空気中の単位体積当たりの粒子数が多くなった場合に警報装置４０にて所定の警報動作を実行する。この場合、第２吸引部１６Ｂ或いは第３吸引部１６Ｃのどちらから吸引された空気かを判別することができるので、作業空間６内の何処の空気の清浄度が予め設定された規定値以下かを認識することができる。これにより、作業空間６内の異常を迅速に対処することができる。
【００４９】
また、制御装置２４は第１電磁弁１８Ａと第２電磁弁１８Ｂと第３電磁弁１８Ｃを閉じて、第４吸引部１６Ｄから排出路１４内だけの空気の清浄度を測定する。そして、測定した排出路１４内の空気の清浄度が予め設定された規定値以下の場合に、作業空間６内の清浄度に関する警報とは区別した所定の警報動作を実行し警報装置４０を動作させる。この場合、作業空間６内の清浄度の異常時にランプの点滅や点灯などの警報を行なったとすると、作業空間６内の清浄度の異常時にブザーを鳴らすなどの警報を行う。また、作業空間６内の清浄度の異常時にブザーを鳴らすなどの警報を行なったとすると、作業空間６内の清浄度の異常時にランプの点滅や点灯などの警報を行う。これによって、警報装置４０からの警報が排気用の高性能フィルタ１９の異常か、給気用の高性能フィルタ９の異常かを区別することができるので、クリーンベンチ１のメンテナンスも容易に行うことができるようになる。
【００５０】
また、制御装置２４は清浄度センサ３０により検出された作業空間６内の清浄度に基づいて、作業空間６内の清浄度が規定値以上の場合は送風機１１の回転数を遅くして風速を弱める。これにより、作業空間６内で例えば粉末の医薬品などを扱っている場合でも作業空間６内を規定の清浄度に維持しながら、送風機１１の回転数を最低限に調整して風速を弱めることができるので粉末の飛散を低減することができる。また、制御装置２４は給気用の高性能フィルタ９が空気中の塵や試料などを除去して行くのに伴って徐々に目詰まりして行き作業空間６内の清浄度が規定値以下になった場合、清浄度に合わせて送風機１１の回転数を制御し風速を速くするので、作業空間６内の清浄度を迅速に規定値以内に制御することができる。
【００５１】
また、制御装置２４は第２電磁弁１８Ｂと第３電磁弁１８Ｃと第４電磁弁１８Ｄを閉じて、第１吸引部１６Ａから連通路７内の空気の清浄度を測定する。そして、測定した連通路７内の空気の清浄度が予め設定された規定値以下の場合に、作業空間６内の清浄度に関する警報とは区別した別の警報動作（断続的にブザーを鳴らす、或いは、ランプの色を変える、ランプ点滅状態を変える等）で警報装置４０を動作させる。この場合、清浄度センサ３０は、開口部４Ａから連通路７内に流入した空気の清浄度を測定するので、連通路７内の清浄度が異常に高い場合に外気が開口部４Ａから排気孔１２に入らず作業空間６内に入ってしまう危険性を防止することができる。
【００５２】
また、制御装置２４は、清浄度センサ３０により検出された作業空間６内の清浄度を表示装置２８にて表示し、及び／又は、当該清浄度に関するデータを外部（表示装置２８）に出力するようにしているので、制御装置２４による制御が正常に機能しているか、或いは、作業を安全に行えるかを直接認識することが可能となる。
【００５３】
また、制御装置２４は前記温度センサ３２により検出された作業空間６内の温度を表示装置２８に表示し、温度センサ３２により検出された作業空間６内の温度に関するデータを外部の表示装置２８に出力する。これにより、作業空間６内の温度環境を外部から直接認識することができる。
【００５４】
このように、クリーンベンチ１には送風機１１の運転を制御する制御装置２４と、作業空間６内の空気の清浄度を測定する清浄度センサ３０を備えているので、作業空間６内の空気を清浄するための給気用の高性能フィルタ９と作業空間６を形成する本体５とのシールが不完全の場合や給気用の高性能フィルタ９に孔が開いてしまっている場合、或いは、作業空間６内に発填物や層流を妨げるものがあり作業空間６内の清浄度が規定値以下に確保できない場合、制御装置２４は清浄度センサ３０により検出された作業空間６内の清浄度が規定値以下に低下したのを検出し、所定の警報動作を実行して異常を迅速に報知する。これにより、作業空間６内の清浄度の低下の原因が、クリーンベンチ１の装置によるものか、操作上のものかを確実に判断することができるので、修理やメンテナンスを容易に行うことができる。
【００５５】
また、クリーンベンチ１の運転開始後も、表示装置２８にて外部に出力した清浄度を視認するだけで、作業空間６内が規定の清浄度に達したことを把握することができる。これにより、作業空間６内の清浄度が規定値に達したのを確認してから作業を行えるので、クリーンベンチ１の運転開始後に作業空間６内の清浄度が規定値に達するまで長い時間がかかってしまう場合などでも、作業空間６内の清浄度が規定値以下になる以前に作業を開始してしまうなどの不都合を防止することができる。
【００５６】
また、クリーンベンチ１には作業空間６内の複数カ所に設けた吸引部１６（吸引部１６Ａ、１６Ｂ、１６Ｃ、１６Ｄ）から択一的に空気を吸引し、清浄度センサ３０に供給する測定用流路切替装置１８（電磁弁１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃ、１８Ｄ）を備えているので、制御装置２４にてそれらの電磁弁１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃ、１８Ｄを制御してパイプ３４（パイプ３４Ｂ、３４Ｃ）の流路を切り換えることにより、清浄度センサ３０によって作業空間６内の複数カ所の清浄度を測定することができる。これにより、単一の清浄度センサ３０で、作業空間６内の複数箇所の清浄度を測定することができ、作業空間６内全域における清浄度を部分的に認識することができる。
【００５７】
また、クリーンベンチ１には作業空間６内の複数カ所に設けた吸引部１６（吸引部１６Ａ、１６Ｂ、１６Ｃ、１６Ｄ）から択一的に空気を吸引し、清浄度センサ３０に供給する測定用流路切替装置１８（電磁弁１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃ、１８Ｄ）を備えているので、制御装置２４にてそれらの電磁弁１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃ、１８Ｄを制御してパイプ３４（パイプ３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃ）内の空気流通を停止し、第４パイプ３４Ｄ内に空気を流通させ、若しくは、パイプ３４（パイプ３４Ｂ、３４Ｃ）内に空気を流通させ、第４パイプ３４Ａ、３４Ｄ内の空気流通を停止するように切り換えることにより、清浄度センサ３０によって作業空間６内と排気用の高性能フィルタ１９を経た空気の清浄度を測定することができるので、複数の清浄度センサ３０を用いなくても単一の清浄度センサ３０で作業空間６内の清浄度の他に、排気用の高性能フィルタ１９の破損による外部の汚染も認識することができる。これにより、クリーンベンチ１のコストアップを抑えることが可能となる。
【００５８】
また、作業空間６内に設けた吸引部１６（第２吸引部１６Ｂ或いは第３吸引部１６Ｃ）に延長用の空気吸引パイプ３９を接続できるようにしているので、吸引部１６に接続した空気吸引パイプ３９の端部を作業空間６内の任意の箇所に移動させれば、作業空間６内の所定箇所の清浄度を容易に測定することが可能となる。これにより、給気用の高性能フィルタ９の破損箇所も探し出すことができるので、クリーンベンチ１の修理やメンテナンスを容易に行うことができるようになる。
【００５９】
また、制御装置２４は第１電磁弁１８Ａを閉じれば清浄度センサ３０に手指挿入用の開口部４Ａ近傍の空気を供給しないので、外部から連通路７を介して侵入する空気中の塵埃を直接清浄度センサ３０で測定してしまうのを防止することができる。これにより、作業空間６内だけの清浄度を測定することができ、作業空間６内の清浄度を極めて正確に測定することができる。
【００６０】
尚、実施例では、第１吸引部１６Ａを本体５下部に設けた下壁５Ａと作業台３との間の連通路７、第２吸引部１６Ｂは作業空間６内の下部近傍、第３吸引部１６Ｃは作業空間６内の上下方向の略中央、第４吸引部１６Ｄは、前記外部と連通するダクト２０内の排出路１４内にそれぞれ開口させたが、各吸引部１６の開口個所は上記に限らず、作業空間６内の何れかの場所であっても差し支えない。また、吸引部１６を４個所（吸引部１６Ａ、１６Ｂ、１６Ｃ、１６Ｄ）設けたが、吸引部の数はこれに限らず、もっと数多く設けて作業空間６内の清浄度を細かく測定しても良い。この場合、作業空間６内のどの部分の清浄度が規定置以下になっているかを詳細に把握することができ、一層安定した清浄度を実現することができるようになる。
【００６１】
また、表示装置２８と警報装置４０とを本体５前面の開口４上部に設けたが、表示装置２８と警報装置４０との取り付け個所は本体５前面の開口４上部に限らず、作業空間６内、特に背面仕切板２の面に設けても差し支えない。この場合、作業空間６内で作業をしながらでも表示装置２８と警報装置４０を視認することができるので、作業空間６内の清浄度が規定値以下になり警報装置４０が警報動作を実行する以前に、清浄度を悪化させる試料の取り扱い対策ができて便利である。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明のクリーンベンチの側面概念図である。
【図２】本発明のクリーンベンチの制御回路のブロック図である。
【符号の説明】
【００６３】
１  クリーンベンチ
２  背面仕切板
３  作業台
４Ａ  開口部
５  本体
６  作業空間
７  連通路
８  開閉扉
９  高性能フィルタ
１１  送風機
１２  排気孔
１３  排気孔
１４  排出路
１６  吸引部
１８  測定用流路切替装置
１９  高性能フィルタ
２０  ダクト
２４  制御装置
２８  表示装置
３０  清浄度センサ
３２  温度センサ
３４  パイプ
３７  排出パイプ
３８  エアーポンプ
３９  空気吸引パイプ
４０  警報装置
【図１】
2005279575.tif 000003
【図２】
2005279575.tif 000004