(57)【要約】【課題】Ａｓ２Ｏ３使用量の削減又は全廃が可能であり、しかも従来以上に優れた泡品位を有する無アルカリガラスを提供する。【解決手段】質量百分率でＳｉＯ２  ４０〜７０％、Ａｌ２  Ｏ３  ６〜２５％、Ｂ２Ｏ３  ５〜２０％、ＭｇＯ  ０〜１０％、ＣａＯ  ０〜１５％、ＢａＯ    ０〜３０％、ＳｒＯ  ０〜１０％、ＺｎＯ  ０〜１０％、ヘリウム及び／またはネオンを０．０００１〜２μｌ／ｇ（０℃、１ａｔｍ）含有することを特徴とする。なお本発明において、「無アルカリ」とは、アルカリ金属酸化物（Ｌｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏ、Ｋ２Ｏ）が０．２質量％以下であることを意味している。【選択図】        なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
質量百分率でＳｉＯ２  ４０〜７０％、Ａｌ２  Ｏ３  ６〜２５％、Ｂ２Ｏ３  ５〜２０％、ＭｇＯ  ０〜１０％、ＣａＯ  ０〜１５％、ＢａＯ    ０〜３０％、ＳｒＯ  ０〜１０％、ＺｎＯ  ０〜１０％、ヘリウム及び／またはネオンを０．０００１〜２μｌ／ｇ（０℃、１ａｔｍ）含有することを特徴とする無アルカリガラス。
【請求項２】
さらに清澄剤成分を含有することを特徴とする請求項１の無アルカリガラス。
【請求項３】
清澄剤成分が、ＳＯ３、Ｓｂ２Ｏ３、ＳｎＯ２、及びＣｌ２から選ばれる１種以上であることを特徴とする請求項２の無アルカリガラス。
【請求項４】
ＳＯ３の含有量が０．０００１〜０．０３％であることを特徴とする請求項３の無アルカリガラス。
【請求項５】
Ｓｂ２Ｏ３の含有量が０．０５〜３％であることを特徴とする請求項３の無アルカリガラス。
【請求項６】
ＳｎＯ２の含有量が０．０５〜１％であることを特徴とする請求項３の無アルカリガラス。
【請求項７】
Ｃｌ２の含有量が０．００５〜１％であることを特徴とする請求項３の無アルカリガラス。
【請求項８】
請求項１〜７の何れかに記載の無アルカリガラスからなることを特徴とする液晶ディスプレイ用透明ガラス基板。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、無アルカリガラス、特に液晶ディスプレイ用透明ガラス基板として使用される無アルカリガラスに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
液晶ディスプレイ等の透明ガラス基板として、無アルカリガラスが使用されている。この種の無アルカリガラスには、表示欠陥となる泡を含まないことが要求される。
【０００３】
無アルカリガラスは、ガラス融液の粘度が高いため、アルカリ金属成分を含有するガラスに比べてより高温で溶融が行われる。無アルカリガラスの溶融では、通常１２００〜１４００℃でガラス化反応が起こり、１５００℃以上の高温で脱泡、均質化が行われる。このため少なくとも脱泡、均質化が行われる高温域で清澄ガスを放出することができる清澄剤を使用する必要がある。このような事情から、従来、無アルカリガラスでは、幅広い温度域で清澄ガスを発生させることができるＡｓ２Ｏ３が清澄剤として広く用いられている。ところがＡｓ２Ｏ３は有害物質であり、その削減或いは全廃が望まれている。
【０００４】
そこでＡｓ２Ｏ３の代替清澄剤として、ＳＯ３、Ｓｂ２Ｏ３、ＳｎＯ２、Ｃｌ２等を使用する方法が提案されている。（例えば特許文献１、２）
【特許文献１】
特開平１１−４３３５０号公報
【特許文献２】
特開２０００−１５９５４１号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記代替清澄剤を用いることで、ガラスの泡品位を実用上使用可能なレベルにすることが可能になったが、近年の液晶画面の大型化に伴い、より高い泡品位が必要となってきている。
【０００６】
本発明の目的は、Ａｓ２Ｏ３使用量の削減又は全廃が可能であり、しかも従来以上に優れた泡品位を有する無アルカリガラスを提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明者等は、無アルカリガラスに清澄効果をもたらす成分として、不活性ガス成分であるヘリウムやネオンを溶融ガラス中に所定量含有させることによって、溶融ガラス中の気泡を完全に除去し、或いは著しく減少させることが可能であることを見いだし、本発明として提案するものである。
【０００８】
即ち、本発明の無アルカリガラスは、質量百分率でＳｉＯ２  ４０〜７０％、Ａｌ２  Ｏ３  ６〜２５％、Ｂ２Ｏ３  ５〜２０％、ＭｇＯ  ０〜１０％、ＣａＯ  ０〜１５％、ＢａＯ    ０〜３０％、ＳｒＯ  ０〜１０％、ＺｎＯ  ０〜１０％、ヘリウム及び／またはネオンを０．０００１〜２μｌ／ｇ（０℃、１ａｔｍ）含有することを特徴とする。なお本発明において、「無アルカリ」とは、アルカリ金属酸化物（Ｌｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏ、Ｋ２Ｏ）が０．２質量％以下であることを意味している。
【０００９】
また本発明の無アルカリガラスは、さらに清澄剤成分を含有することを特徴とする。
【００１０】
また本発明の無アルカリガラスは、清澄剤成分が、ＳＯ３、Ｓｂ２Ｏ３、ＳｎＯ２、及びＣｌ２から選ばれる１種以上であることを特徴とする。
【００１１】
また本発明の無アルカリガラスは、ＳＯ３の含有量が０．０００１〜０．０３％であることを特徴とする。
【００１２】
また本発明の無アルカリガラスは、Ｓｂ２Ｏ３の含有量が０．０５〜３％であることを特徴とする。
【００１３】
また本発明の無アルカリガラスは、ＳｎＯ２の含有量が０．０５〜１％であることを特徴とする。
【００１４】
また本発明の無アルカリガラスは、Ｃｌ２の含有量が０．００５〜１％であることを特徴とする。
【００１５】
本発明の液晶ディスプレイ用透明ガラス基板は、上記した無アルカリガラスからなることを特徴とする。
【００１６】
【発明の実施の形態】
溶融ガラス中で、一般に各元素は弱い結合力をもつ網目状態となり、高温であるほど、それぞれの元素位置は相対的に高速に伸縮振動、回転振動、偏角振動をともなった不規則な位置変動を激しくおこなっている。しかしながら後述するように、ヘリウムやネオンは原子構造における電子配列が閉殻構造のため非常に反応性が低く、かつその大きさが小さい。従って、ヘリウムやネオンは溶融ガラスを構成する各種元素と結合し難く、また上記の振動する網目の空隙を経路として通過していくに充分な小ささであることから、溶融ガラス中に欠陥として存在する泡内へも、周囲の元素に影響されることなく容易に拡散していくことが可能である。
【００１７】
このため、微細な泡欠陥を多数内在する溶融ガラスにヘリウムまたはネオンを接触させることで、溶融ガラス中に内在する微細な泡の泡径を急速に膨張させることができる。その結果、泡径の大きくなった泡は、浮力が大きくなり高速に浮上することで速やかに溶融ガラスが清澄されることになる。このようにして、ヘリウムやネオンは溶融ガラスの清澄効果をもたらすが、その効果は後述する各種の清澄剤成分が、溶融ガラス中に含有される環境であるほど強力になる。これは、上述したヘリウムやネオンそのものの清澄効果や各種清澄剤成分そのものによる清澄効果に加えて、各種清澄剤成分によって発生した微細な泡にヘリウムやネオンが拡散することによる相乗効果が加わるためである。
【００１８】
本発明で使用するヘリウム、ネオンについては、いずれも不活性ガス、希ガスと称する分類がなされることもあり、安定な閉殻構造をなすため、単原子分子として存在する。ヘリウムについては、希ガス元素の中でも最も軽い元素であり、構造的にも大きさが非常に小さく、Ｖａｎ  ｄｅｒ  Ｗａａｌｓ力による引力が非常に小さく、絶対零度でも常圧では固体化することがなく液体を呈する成分である。またネオンは、希ガス中ではヘリウムに次いでその大きさが小さいガスで、ヘリウム同様単原子分子で安定構造をとる。このため、ヘリウム、ネオンとも高温溶融して製造し、冷却されたガラス組成物中では、他の構成成分によって構築されたガラス網目構造の空孔に捕捉された状態で存在している。
【００１９】
ヘリウム及び／またはネオンは、いずれもガラス構造の網目形成には関与しないが、単独あるいは合量でガラス中に０．０００１μｌ／ｇ以上含有することで清澄効果を与える。０．０００１μｌ／ｇより少ないと充分な清澄効果を与えることが不可能である。さらに０．０６μｌ／ｇ以上の含有は、確実な清澄効果を発揮することを可能にする。そしてガラス中に含有するガス化可能な成分の含有量が多い様な過酷な条件下でも清澄効果を実現するためには、より好ましくは０．１μｌ／ｇ以上含有することで充分な清澄効果を溶融ガラスに付与することが可能である。一方、２μｌ／ｇを越える含有量では、ガラス組成物を再加熱すると、いわゆるリボイルと呼ばれる再発泡が生じるため好ましくない。またガラス組成物、加熱条件によっても違いはあるものの、よりリボイルしにくい含有上限値は１．５μｌ／ｇ以下である。そしてこの１．５μｌ／ｇという上限値は、ヘリウム及び／またはネオン以外の清澄剤が共存するガラス組成物の場合は、リボイルがより発生しやすくなるため、下方へシフトし１．０μｌ／ｇとなる。
【００２０】
よってヘリウム及びネオンの合量は以下の範囲が好適である。まずヘリウム、ネオン以外の清澄剤が溶融ガラス中に共存しない場合には、より厳しい条件下でも清澄効果があり、かつリボイルしにくい含有範囲は０．１μｌ／ｇ〜１．５μｌ／ｇとなる。またヘリウム、ネオン以外の清澄剤が溶融ガラス中に共存する場合には０．１μｌ／ｇ〜１．０μｌ／ｇとなる。
【００２１】
また、本発明のガラス組成物にヘリウムやネオンを添加する方法については、ヘリウムやネオンを高濃度に含有する物質や、ヘリウムやネオンを含むガラスカレットを原料として利用する方法、ヘリウムやネオン雰囲気で原料を溶融する方法、溶融状態のガラスにヘリウムやネオン雰囲気を接触させる方法等が挙げられる。
【００２２】
溶融状態のガラスにヘリウムやネオン雰囲気を接触させる方法としては、ガラス溶融容器内にヘリウムやネオンを導入する方法、ガス透過性のある容器でガラスを溶融し、容器周囲をヘリウムやネオン雰囲気にする方法、耐火性ノズルによってヘリウムやネオンをバブリングする方法等がある。バブリングする場合、ノズル先端に多孔性耐火物を用いると、ガラス中にヘリウムやネオンを拡散させやすく、効率がよい。
【００２３】
また、本発明の無アルカリガラスは、上記のヘリウム及び／またはネオンの範囲に加えて、清澄剤成分としてＳＯ３（硫酸塩）、Ｓｂ２Ｏ３、ＳｎＯ２、Ｃｌ２（塩化物）から選ばれる少なくとも１種を含有させることが望ましい。上記清澄剤の含有量は、ガラス中の残存量として、それぞれＳＯ３  ０．０００１〜０．０３％、Ｓｂ２Ｏ３  ０．０５〜３％、ＳｎＯ２  ０．０５〜１％、Ｃｌ２  ０．００５〜１％であることが好ましい。
【００２４】
上記各清澄剤は単独で用いてもよいが、より高い清澄効果を得るためには２種以上を組み合わせて使用することが好ましい。清澄剤を組み合わせて使用する場合、例えば下記の組み合わせが挙げられる。
【００２５】
▲１▼ＳＯ３  ０．０００１〜０．０３％及びＳｎＯ２  ０．０５〜１％
▲２▼Ｓｂ２Ｏ３  ０．０５〜３％及びＳｎＯ２  ０．０５〜１％
▲３▼Ｓｂ２Ｏ３  ０．０５〜３％及びＣｌ２  ０．００５〜１％
▲４▼Ｓｂ２Ｏ３  ０．０５〜３％、ＳｎＯ２  ０．０５〜１％、及びＣｌ２  ０．００５〜１％
▲５▼ＳＯ３  ０．０００１〜０．０３％及びＣｌ２  ０．００５〜１％
▲６▼ＳｎＯ２  ０．０５〜１％及びＣｌ２  ０．００５〜１％
【００２６】
上記各清澄剤成分は、ヘリウム及び／またはネオンと共存することで、高い清澄効果を発揮するものであり、高温溶融によって熱分解、酸化還元反応などによって変成してもその一部が冷却後のガラス組成物中に残留する成分である。
【００２７】
硫酸塩は、１２００〜１５００℃程度の温度域で分解し、分解により多量の清澄ガス（二酸化硫黄、酸素ガス）を発生する。ＳＯ３は１４００℃の高温でも分解するため、無アルカリガラスのようなガラス化反応過程が高温となるガラスには最適である。つまりＳＯ３は１０２．５ｄＰａ・ｓの粘度に相当する温度が１５００℃以上のガラスを溶融する時に、清澄剤として有効に作用する。しかしながら、一般にＳＯ３のガラスへの溶解度はアルカリ含有量が少なくなるほど低くなるので、無アルカリガラスの場合、ＳＯ３の溶解度は非常に低い。つまりＳＯ３は、ガラス化反応過程において大量のガスを放出するが、ガラス化した後の清澄過程においては、残存するＳＯ３が少ないために、その清澄効果は小さくなる。
【００２８】
Ｓｂ２Ｏ３とＳｎＯ２は、ＳｂイオンとＳｎイオンの価数変化による化学反応により多量の清澄ガス（酸素ガス）を発生する。即ち、Ｓｂ２Ｏ３（３価）は、数百℃の低温域で一旦Ｓｂ２Ｏ５（５価）に変化した後、１２００〜１３００℃付近で再びＳｂ２Ｏ３（３価）に戻る際に多量の清澄ガスを放出する。このため、無アルカリガラスのガラス化反応過程で発生したガスが融液中から追い出すことができる。またＳｎＯ２（４価）は、１４００℃以上でＳｎＯ（２価）に変化する際に多量の清澄ガスを放出し、より高温の均質化溶融時において効果を発揮する。
【００２９】
塩化物は、１２００℃以上の温度域で分解、揮発して清澄ガス（塩素ガス等）を発生するが、特に１４００℃以上の高温域で分解、揮発が激しくなり、多量の清澄ガスを発生するため、均質化溶融の清澄に効果的である。
【００３０】
従って清澄ガス発生温度域の異なる清澄剤を併用することにより、比較的低温で起こるガラス化反応時から高温の均質化溶融時にかけての広い温度域で清澄ガスを発生させることが可能となり、ヘリウム及び／またはネオンと共存することで、より高い清澄効果を発揮する。
【００３１】
また、清澄剤の添加方法については、特に限定されるものではなく、溶融原料成分として添加してもよいし、溶融したガラスに後から添加してもよい。またヘリウムやネオンの添加時に同時に添加することも可能である。さらに溶融時の容器や溶融ガラス中に浸漬する耐熱性材料からの溶出成分として上記成分を意図的にガラス中に添加することも可能である。また清澄剤をヘリウムやネオンと交互に添加したり、清澄効果を確認しながら添加量を徐々に増減することで最適な添加量に調整することも可能である。
【００３２】
次に、本発明の無アルカリガラスにおける清澄成分以外の成分について説明する。
【００３３】
ＳｉＯ２はガラスのネットワークとなる成分であり、その含有量は４０〜７０％、好ましくは４５〜６５％である。ＳｉＯ２が４０％より少ないと耐薬品性が悪化すると共に、歪点が低くなって耐熱性が悪くなり、７０％より多いと高温粘度が大きくなって溶融性が悪くなるとともに、クリストバライトの失透物が析出しやすくなる。
【００３４】
Ａｌ２Ｏ３はガラスの耐熱性、耐失透性を高める成分であり、その含有量は６〜２５％、好ましくは１０〜２０％である。Ａｌ２Ｏ３が６％より少ないと失透温度が著しく上昇してガラス中に失透物が生じ易くなり、２５％より多いと耐酸性、特に耐バッファードフッ酸性が低下してガラス表面に白濁が生じ易くなる。
【００３５】
Ｂ２Ｏ３は融剤として働き、粘性を下げて溶融を容易にする成分であり、その含有量は５〜２０％、好ましくは６〜１５％である。Ｂ２Ｏ３が５％より少ないと融剤としての効果が不十分となり、２０％より多いと耐塩酸性が低下するとともに、歪点が低下して耐熱性が悪化する。
【００３６】
ＭｇＯは歪点を下げずに高温粘度を下げてガラスの溶融を容易にする成分であり、その含有量は０〜１０％、好ましくは０〜７％である。ＭｇＯが１０％より多いとガラスの耐バッファードフッ酸性が著しく低下する。
【００３７】
ＣａＯもＭｇＯと同様の働きをし、その含有量は０〜１５％、好ましくは０〜１０％である。ＣａＯが１５％より多いとガラスの耐バッファードフッ酸性が著しく低下する。
【００３８】
ＢａＯはガラスの耐薬品性を向上させるとともに失透性を改善する成分であり、その含有量は０〜３０％、好ましくは０〜２０％である。ＢａＯが３０％より多いと歪点が低下して耐熱性が悪くなる。
【００３９】
ＳｒＯはＢａＯと同様の効果があり、その含有量は０〜１０％、好ましくは０〜７％である。ＳｒＯが１０％より多いと失透性が増すため好ましくない。
【００４０】
ＺｎＯは耐バッファードフッ酸性を改善するとともに失透性を改善する成分であり、その含有量は０〜１０％、好ましくは０〜７％である。ＺｎＯが１０％より多いと逆にガラスが失透し易くなり、また歪点が低下して耐熱性が得られなくなる。
【００４１】
なおＭｇＯ、ＣａＯ、ＢａＯ、ＳｒＯ及びＺｎＯの合量が５％より少ないと高温粘性が高くなって溶融性が悪化するとともに、ガラスが失透し易くなり、３０％より多いと耐熱性及び耐酸性が悪くなり好ましくない。
【００４２】
また、上記成分の他に、ＺｒＯ２、ＴｉＯ２、Ｆｅ２Ｏ３等を合量で５％まで添加することができる。
【００４３】
次に本発明の無アルカリガラスを製造する方法を述べる。
【００４４】
まず、上記の組成を有するガラスとなるようにガラス原料調合物を用意する。なお原料等からヘリウムやネオンを導入する場合は、予めそのように処理した原料等を使用する。またＳＯ３、Ｓｂ２Ｏ３、ＳｎＯ２、Ｃｌ２等の清澄剤を併用する場合には、ガラス原料調合物に、硫酸塩、Ｓｂ２Ｏ３、ＳｎＯ２、塩化物等を添加すればよい。硫酸塩としては、ＢａＳＯ４、ＣａＳＯ４等が使用できる。塩化物としてはＢａＣｌ２、ＳｒＣｌ２、ＣａＣｌ２等が使用できる。
【００４５】
硫酸塩の添加量は、ガラス原料調合物１００質量％に対し、ＳＯ３換算で０．００５〜１質量％であり、この添加量でガラス中のＳＯ３は０．０００１〜０．０３％となる。硫酸塩が０．００５％より少ないとガラス化過程で発生したガスを追い出し難くなり、１％より多いと再発泡しやすくなり、却ってガラス中に泡が残存しやすくなる。硫酸塩の好ましい添加量は、ＳＯ３換算で０．０１〜１％、より好ましくは０．０５〜１％、さらに好ましくは、０．０５〜０．５％である。ＳＯ３の好ましい含有量は、０．０００１〜０．０３％、より好ましくは０．０００５〜０．０３％、さらに好ましくは、０．０００５〜０．０１％である。
【００４６】
Ｓｂ２Ｏ３の添加量はガラス原料調合物１００質量％に対して０．０１〜３質量％である。Ｓｂ２Ｏ３が０．０１％より少ないとガラス化反応時に発生したガスを追い出し難くなり、３％より多いとガラスが失透し易くなる。Ｓｂ２Ｏ３のより好ましい添加量は、０．０５〜２％である。
【００４７】
ＳｎＯ２の添加量は、ガラス原料調合物１００質量％に対し、０．０５〜１質量％である。ＳｎＯ２が０．０５％より少ないと清澄過程でガラス融液中に残った泡を除去し難くなり、１％より多いとガラスが失透しやすくなる。ＳｎＯ２の好ましい添加量は０．１〜０．５％である。
【００４８】
塩化物の添加量は、ガラス原料調合物１００質量％に対し、Ｃｌ２換算で０．０１〜２質量％であり、この添加量でガラス中のＣｌ２は０．００５〜１％となる。塩化物が０．０１％より少ない場合は均質化溶融時にガラス融液中に残った泡を除去し難くなる。一方、塩化物が２％より多いと揮発量が多くなりすぎてガラスが変質し易くなる。塩化物の好ましい添加量は、Ｃｌ２換算で０．０５〜１％であり、より好ましくは０．０５〜０．５％である。Ｃｌ２の好ましい含有量は、０．０１〜０．５％であり、より好ましくは０．０１〜０．３％である。
【００４９】
また本発明では、上記以外の清澄剤、例えばフッ化物等を使用することも可能である。Ｆｅ２Ｏ３も清澄作用を有する成分であるが、多量に含有させると、ガラスの可視光透過率が低下し、ディスプレイ用途には不向きとなるため、８００ｐｐｍ以下、好ましくは５００ｐｐｍ以下に抑えることが好ましい。
【００５０】
続いて調合したガラス原料を溶融する。なおガラス溶融時にヘリウムやネオンを導入する場合は、上記したような種々の手法から適切な方法を選択して実施する。
【００５１】
その後、溶融ガラスを所望の形状に成形する。ディスプレイ用途に使用する場合、フュージョン法、ダウンドロー法、フロート法、ロールアウト法等の方法を用いて薄板状に成形する。
【００５２】
このようにして、質量百分率でＳｉＯ２      ４０〜７０％、Ａｌ２  Ｏ３      ６〜２５％、Ｂ２  Ｏ３      ５〜２０％、ＭｇＯ  ０〜１０％、ＣａＯ  ０〜１５％、ＢａＯ    ０〜３０％、ＳｒＯ  ０〜１０％、ＺｎＯ  ０〜１０％、ヘリウム及び／またはネオンを０．０００１〜２μｌ／ｇ（０℃、１ａｔｍ）含有する本発明の無アルカリガラスを得ることができる。なおガラス中のヘリウムやネオンの含有量は、１０〜５００ｍｇの試料を１６００℃に加熱した炉内のＭｏルツボ内に移動（落下）させ、２０分間保持した後、１０−９Ｔｏｒｒの真空状態にして放出されたガスを高感度希ガス質量分析計で測定した値を採用している。
【００５３】
【実施例】
以下、本発明の無アルカリガラスを実施例及び比較例に基づいて詳細に説明する。
【００５４】
（実施例１）
表１は本発明の実施例（試料Ｎｏ．１〜６）を、表２は比較例（試料Ｎｏ．７〜１２）をそれぞれ示している。
【００５５】
【表１】
2005053712.tif 000002
【００５６】
【表２】
2005053712.tif 000003
【００５７】
各試料は次のようにして調製した。まず予め、所定の組成となるように調整したガラス５００ｇ相当のバッチを白金製ルツボ中に入れ、そのルツボを予め１６００℃、４時間、気密構造とした雰囲気炉中に設置した。そして４時間後に、炉内にＨｅあるいはＮｅが９５％以上の雰囲気ガスを導入し、さらに所定温度で３０分間保持した。その後、ガラスを取り出し、ガラス状カーボン型で作成した型に流し出して成型し冷却した。なお比較例である試料Ｎｏ．７〜１２は、溶融雰囲気を大気中とした以外は、上記と同じ条件下で作製した。
【００５８】
次に、ガラスと同じ屈折率を持つ浸液中に試料を保持しながら、試料中の残存泡の泡数を２０倍から１００倍の倍率の実体顕微鏡によって計測した。
【００５９】
なおＨｅ、Ｎｅのガラス含有量については、試料を１６００℃に加熱した炉内のＭｏルツボ内に移動（落下）させ、２０分間保持した後、１０−９Ｔｏｒｒの真空状態にして放出されたガスをダブルコレクター型希ガス質量分析計（ＶＧ５４００）で測定した。
【００６０】
なお表中で、ＮＡと表示したものは、未分析であることを表している。
【００６１】
（実施例２）
表３〜８は本発明の実施例（試料Ｎｏ．１３〜４３）を示している。
【００６２】
【表３】
2005053712.tif 000004
【００６３】
【表４】
2005053712.tif 000005
【００６４】
【表５】
2005053712.tif 000006
【００６５】
【表６】
2005053712.tif 000007
【００６６】
【表７】
2005053712.tif 000008
【００６７】
【表８】
2005053712.tif 000009
【００６８】
各試料は、実施例１と同様にして作製し、評価した。
【００６９】
その結果、ヘリウム、ネオンを含有した実施例の各試料は、泡数４．６個／１００ｇ以下であり、十分な清澄効果を確認できた。
【００７０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の無アルカリガラスは、表示欠陥となる泡が存在しないため、ディスプレイ用透明ガラス基板、特に液晶ディスプレイ用透明ガラス基板として好適である。
【００７１】
また液晶ディスプレイ用途以外にも、エレクトロルミネッセンスディスプレイ等のその他の平面ディスプレイのガラス基板、電荷結合素子、等倍近接型固体撮像素子、ＣＭＯＳイメージセンサ等の各種イメージセンサのカバーガラス、及びハードディスクやフィルタのガラス基板等として使用可能である。