(57)【要約】【課題】  構造を簡略化して製造コストを低減でき、且つコンプライアンス部を構成する膜の破壊を防止した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】  ノズル開口に連通する圧力発生室１２が形成される流路形成基板１０と、流路形成基板１０の一方面側に振動板を介して設けられた下電極６０、圧電体層７０及び上電極８０からなる圧電素子３００を具備する液体噴射ヘッドにおいて、流路形成基板１０に設けられると共に各圧力発生室１２に連通するリザーバ部１３によって少なくとも一部が構成されるリザーバ１００を有すると共に、リザーバ１００が形成された基板の一方の開口をコンプライアンス部材４０で封止したコンプライアンス部４１を形成し、コンプライアンス部４１のリザーバ１００の開口縁部近傍に、コンプライアンス部材４０の厚さがリザーバ１００の中央部よりも薄い薄膜部４２を設ける。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル開口に連通する圧力発生室が形成される流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して設けられた下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子を具備する液体噴射ヘッドにおいて、
前記流路形成基板に設けられると共に各圧力発生室に連通するリザーバ部によって少なくとも一部が構成されるリザーバを有すると共に、該リザーバが形成された基板の一方の開口にコンプライアンス部材で封止されたコンプライアンス部が形成され、該コンプライアンス部の前記リザーバの開口縁部近傍に、前記コンプライアンス部材の厚さが当該リザーバの中央部よりも薄い薄膜部が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
請求項１において、前記薄膜部が所定幅で前記リザーバの周縁に沿って全周に亘って設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項３】
請求項２において、前記薄膜部の外側に少なくとも当該薄膜部よりも膜厚の厚い厚膜部を有し、当該厚膜部が前記リザーバの開口縁部外側の領域から当該リザーバ部の開口領域に臨むように設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項１〜３の何れかにおいて、前記リザーバが、少なくとも前記流路形成基板に形成されるリザーバ部で構成され、前記コンプライアンス部が前記流路形成基板の前記圧電素子側の面に設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項５】
請求項４において、前記リザーバが、前記リザーバ部と前記流路形成基板の前記圧電素子とは反対側の面に接合される連通板に設けられた連通部とで構成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項６】
請求項１〜５の何れかにおいて、前記コンプライアンス部材が、前記振動板及び前記圧電素子を構成する層からなることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項７】
請求項６において、前記薄膜部が少なくとも前記振動板を構成する層で形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項８】
請求項１〜３の何れかにおいて、前記流路形成基板の前記圧電素子側の面に当該圧電素子を封止する圧電素子保持部を有する封止基板が接合され、前記リザーバが、前記リザーバ部と前記封止基板を貫通して設けられた連通部とで構成されていると共に、前記コンプライアンス部が前記封止基板の表面に設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項９】
請求項８において、前記封止基板上には絶縁膜を介して配線パターンが設けられており、前記コンプライアンス部材が、前記絶縁膜と前記配線パターンを構成する配線膜とからなることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項１０】
請求項１〜９の何れかの液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に、インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板の表面に圧電素子を形成して、圧電素子の変位によりインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子により変形させて圧力発生室のインクを加圧してノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドには、圧電素子の軸方向に伸長、収縮する縦振動モードの圧電アクチュエータを使用したものと、たわみ振動モードの圧電アクチュエータを使用したものの２種類が実用化されている。
【０００３】
前者は圧電素子の端面を振動板に当接させることにより圧力発生室の容積を変化させることができて、高密度印刷に適したヘッドの製作が可能である反面、圧電素子をノズル開口の配列ピッチに一致させて櫛歯状に切り分けるという困難な工程や、切り分けられた圧電素子を圧力発生室に位置決めして固定する作業が必要となり、製造工程が複雑であるという問題がある。
【０００４】
これに対して後者は、圧電材料のグリーンシートを圧力発生室の形状に合わせて貼付し、これを焼成するという比較的簡単な工程で振動板に圧電素子を作り付けることができるものの、たわみ振動を利用する関係上、ある程度の面積が必要となり、高密度配列が困難であるという問題がある。
【０００５】
一方、後者の記録ヘッドの不都合を解消すべく、振動板の表面全体に亙って成膜技術により均一な圧電材料層を形成し、この圧電材料層をリソグラフィ法により圧力発生室に対応する形状に切り分けて各圧力発生室毎に独立するように圧電素子を形成したものがある。
【０００６】
このようなインクジェット式記録ヘッドは、一般に、各圧力発生室の共通のインク室となるリザーバを有し、このリザーバから各圧力発生室にインクが供給される。そして、このリザーバにはリザーバの内部圧力を一定に保つために、例えば、樹脂材料からなるシート部材（フィルム）あるいは薄膜によって形成され、圧電素子の駆動時の圧力変化を吸収するコンプライアンス部が設けられたものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００７】
しかしながら、シート部材でコンプライアンス部を形成する場合、部品点数が増加し、コストが高くなってしまうという問題がある。また、コンプライアンス部を形成するシート部材として用いられる、例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）等の樹脂フィルムは、水分透過性が高いため、リザーバ内のインクの水分がコンプライアンス部から外部に排出されインクの粘度が増加してしまうという問題もある。
【０００８】
また、コンプライアンス部を薄膜で形成したものもあるが、薄膜の支持部近傍、すなわち、コンプライアンス部の周縁部近傍で、応力集中による薄膜の破壊が発生する虞がある。なお、このような問題は、インクを吐出するインクジェット式記録ヘッドだけではなく、勿論、インク以外の液滴を吐出する他の液体噴射ヘッドにおいても、同様に存在する。
【０００９】
【特許文献１】特開２０００−２９６６１６号公報（第２図、第７図、第８頁右欄、第１０頁左欄）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明はこのような事情に鑑み、構造を簡略化して製造コストを低減でき、且つコンプライアンス部を構成する膜の破壊を防止した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決する本発明の第１の態様は、ノズル開口に連通する圧力発生室が形成される流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して設けられた下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子を具備する液体噴射ヘッドにおいて、前記流路形成基板に設けられると共に各圧力発生室に連通するリザーバ部によって少なくとも一部が構成されるリザーバを有すると共に、該リザーバが形成された基板の一方の開口にコンプライアンス部材で封止されたコンプライアンス部が形成され、該コンプライアンス部の前記リザーバの開口縁部近傍に、前記コンプライアンス部材の厚さが当該リザーバの中央部よりも薄い薄膜部が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第１の態様では、薄膜部を設けることで、コンプライアンス部が変形した際の応力集中を抑えられ、応力集中に伴うコンプライアンス部材の破壊が防止される。
【００１２】
本発明の第２の態様は、第１の態様において、前記薄膜部が所定幅で前記リザーバの周縁に沿って全周に亘って設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第２の態様では、コンプライアンス部が変形する際の応力集中をより確実に抑えることができる。
【００１３】
本発明の第３の態様は、第２の態様において、前記薄膜部の外側に少なくとも当該薄膜部よりも膜厚の厚い厚膜部を有し、当該厚膜部が前記リザーバの開口縁部外側の領域から当該リザーバ部の開口領域に臨むように設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第３の態様では、最も応力が集中しやすいリザーバの開口縁部上に厚膜部が設けられてコンプライアンス部材の剛性が確保されているため、コンプライアンス部材の破壊がより確実に防止される。
【００１４】
本発明の第４の態様は、第１〜３の何れかの態様において、前記リザーバが、少なくとも前記流路形成基板に形成されるリザーバ部で構成され、前記コンプライアンス部が前記流路形成基板の前記圧電素子側の面に設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第４の態様では、薄膜で構成されるコンプライアンス部を比較的容易に形成することができる。
【００１５】
本発明の第５の態様は、第４の態様において、前記リザーバが、前記リザーバ部と前記流路形成基板の前記圧電素子とは反対側の面に接合される連通板に設けられた連通部とで構成されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第５の態様では、リザーバの容積が広がることで各圧力発生室に良好に液体が供給されるため、吐出特性が向上する。
【００１６】
本発明の第６の態様は、第１〜５の何れかの態様において、前記コンプライアンス部材が、前記振動板及び前記圧電素子を構成する層からなることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第６の態様では、別途、膜を設けることなく薄膜で構成されるコンプライアンス部を容易に形成することができる。
【００１７】
本発明の第７の態様は、第６の態様において、前記薄膜部が少なくとも前記振動板を構成する層で形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第７の態様では、薄膜部の強度を確保しつつ応力集中を防止することができる。
【００１８】
本発明の第８の態様は、第１〜３の何れかの態様において、前記流路形成基板の前記圧電素子側の面に当該圧電素子を封止する圧電素子保持部を有する封止基板が接合され、前記リザーバが、前記リザーバ部と前記封止基板を貫通して設けられた連通部とで構成されていると共に、前記コンプライアンス部が前記封止基板の表面に設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第８の態様では、容積の広いリザーバを形成でき、且つ薄膜で構成されるコンプライアンス部を容易に形成することができる。
【００１９】
本発明の第９の態様は、第８の態様において、前記封止基板上には絶縁膜を介して配線パターンが設けられており、前記コンプライアンス部材が、前記絶縁膜と前記配線パターンを構成する配線膜とからなることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第９の態様では、封止基板上に別途、膜を設けることなく薄膜で構成されるコンプライアンス部を形成できる。
【００２０】
本発明の第１０の態様は、第１〜９の何れかの態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる第１０の態様では、ヘッドの破壊が防止され、耐久性及び信頼性が向上した液体噴射装置を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドを示す分解斜視図であり、図２は、図１の平面図及び断面図である。図示するように、流路形成基板１０は、本実施形態では面方位（１１０）のシリコン単結晶基板からなり、その一方の面には予め熱酸化により形成した二酸化シリコンからなる、厚さ１〜２μｍの弾性膜５０が形成されている。流路形成基板１０には、複数の圧力発生室１２がその幅方向に並設されている。また、流路形成基板１０の圧力発生室１２の長手方向外側の領域にはリザーバ部１３が形成され、リザーバ部１３と各圧力発生室１２とが、各圧力発生室１２毎に設けられたインク供給路１４を介して連通されている。なお、圧力発生室１２、リザーバ部１３及びインク供給路１４は、流路形成基板１０を厚さ方向に貫通して設けられている。また、インク供給路１４は、圧力発生室１２よりも狭い幅で形成されており、リザーバ部１３から圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。
【００２２】
流路形成基板１０の開口面側には、各圧力発生室１２のインク供給路１４とは反対側の端部近傍と後述するノズル開口とを連通するノズル連通孔２１を有する連通板２０が接合されている。また、連通板２０には、流路形成基板１０のリザーバ部１３に対向する領域に、厚さ方向に貫通する連通部２２が形成され、この連通部２２は流路形成基板１０のリザーバ部１３と連通している。そして、これらリザーバ部１３と連通部２２とが、各圧力発生室１２の共通のインク室であるリザーバ１００を構成している。なお、この連通板２０の材料は、特に限定されないが、本実施形態では、シリコン単結晶基板を用いた。
【００２３】
さらに、この連通板２０上には、各圧力発生室１２に対応するノズル開口２６が穿設されたノズルプレート２５が接着剤や熱溶着フィルム等を介して固着されている。なお、ノズルプレート２５は、厚さが例えば、０．０５〜１ｍｍで、線膨張係数が３００℃以下で、例えば２．５〜４．５［×１０-6／℃］であるガラスセラミックス、シリコン単結晶基板又は不錆鋼などからなる。
【００２４】
一方、このような流路形成基板１０の開口面とは反対側には、上述したように、厚さが例えば約１．０μｍの弾性膜５０が形成され、この弾性膜５０上には、厚さが例えば、約０．４μｍの絶縁体膜５５が形成されている。さらに、この絶縁体膜５５上には、厚さが例えば、約０．２μｍの下電極膜６０と、厚さが例えば、約１．０μｍの圧電体層７０と、厚さが例えば、約０．０５μｍの上電極膜８０とが、後述するプロセスで積層形成されて、圧電素子３００を構成している。ここで、圧電素子３００は、下電極膜６０、圧電体層７０及び上電極膜８０を含む部分をいう。一般的には、圧電素子３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層７０から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。本実施形態では、下電極膜６０は圧電素子３００の共通電極とし、上電極膜８０を圧電素子３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。何れの場合においても、各圧力発生室毎に圧電体能動部が形成されていることになる。また、ここでは、圧電素子３００と当該圧電素子３００の駆動により変位が生じる振動板とを合わせて圧電アクチュエータと称する。
【００２５】
また、このような各圧電素子３００を構成する上電極膜８０には、例えば、金（Ａｕ）等からなるリード電極９０が接続されており、このリード電極９０は、圧力発生室１２に対向する領域からその外側の領域まで延設され、その先端部が後述する封止基板の貫通孔内に露出されている。
また、流路形成基板１０のリザーバ部１３に対応する領域には、薄膜からなるコンプライアンス部材４０が設けられて、リザーバ部１３の一方の開口はこのコンプライアンス部材４０によって封止されている。そして、このコンプライアンス部材４０のリザーバ部１３に対向する領域がコンプライアンス部４１となっている。なお、コンプライアンス部４１は、圧電素子３００の駆動等によってリザーバ１００内で圧力変化が生じた際に弾性変形することで圧力変化を吸収する。
【００２６】
コンプライアンス部材４０は、例えば、本実施形態では、振動板及び圧電素子３００を構成する層からなる。すなわち、流路形成基板１０のリザーバ部１３に対向する領域上には、弾性膜５０、絶縁体膜５５、下電極膜６０、圧電体層７０及び上電極膜８０が設けられ、これらの各層でリザーバ部１３の開口が封止されてコンプライアンス部４１が形成されている。なお、リザーバ部１３に対向する領域の下電極膜６０、圧電体層７０及び上電極膜８０は、圧電素子３００とは不連続となっている。
【００２７】
また、リザーバ部１３の開口縁部内側のコンプライアンス部材４０には、リザーバ部１３の中央部よりも膜厚の薄い薄膜部４２が所定幅で設けられている。例えば、本実施形態では、コンプライアンス部４１の中央部は、上記の５層で構成され、薄膜部４２は、振動板となる弾性膜５０、絶縁体膜５５及び下電極膜６０で構成されている。また、薄膜部４２は、リザーバ部１３の開口縁部に沿って全周に亘って連続的に設けられている。この薄膜部４２は、連続的に形成されていることが好ましいが、間欠的に設けられていてもよい。
【００２８】
また、薄膜部４２の外側には、少なくとも薄膜部４２よりも膜厚の厚い厚膜部４３が設けられている。そして、この厚膜部４３はリザーバ部１３の開口縁部の外側からリザーバ部１３の開口領域に臨むように張り出して設けられていることが好ましい。例えば、本実施形態では、薄膜部４２の外側に、コンプライアンス部４１の中央部と同様に上記５層からなる厚膜部４３を設け、その端面はリザーバ部１３の開口領域に位置するようにした。
【００２９】
なお、流路形成基板１０の圧電素子３００側の面には、圧電素子３００に対向する領域に、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を確保した状態で、その空間を密封可能な圧電素子保持部３１を有する封止基板３０が、例えば、エポキシ系の接着剤等からなる接着層１１０を介して接合されている。また、この封止基板３０には、リザーバ部１３に対向する領域に、コンプライアンス部４１の変形を妨げない程度の深さを有する凹部３２が設けられている。このような封止基板３０の材料としては、例えば、ガラス、セラミック材料、金属、プラスチック等で形成されていることが好ましく、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料、例えば、シリコン単結晶基板を用いて形成することがより好ましい。
【００３０】
封止基板３０上には、例えば、二酸化シリコンからなる絶縁膜３５を介して例えば、金（Ａｕ）の配線膜３６からなる配線パターン３７が形成され、この配線パターン３７上に圧電素子３００を駆動するための駆動ＩＣ１２０が実装されている。なお、封止基板３０の圧電素子保持部３１と凹部３２との間の領域には、封止基板３０を厚さ方向に貫通する貫通孔３３が設けられており、各圧電素子３００から引き出されたリード電極９０の先端部はこの貫通孔３３内に露出されている。そして、この貫通孔３３内に延設される接続配線１３０によって各リード電極９０と駆動ＩＣ１２０とが接続されている。
【００３１】
このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッドでは、図示しない外部インク供給手段からインクを取り込み、リザーバ１００から ノズル開口２６に至るまで内部をインクで満たした後、駆動ＩＣ１２０からの記録信号に従い、圧力発生室１２に対応するそれぞれの下電極膜６０と上電極膜８０との間に電圧を印加し、弾性膜５０、絶縁体膜５５、下電極膜６０及び圧電体層７０をたわみ変形させることにより、各圧力発生室１２内の圧力が高まり ノズル開口２６からインク滴が吐出する。
【００３２】
以上説明したように、本実施形態では、リザーバ１００が形成された基板の一方の開口、すなわち、流路形成基板１０に形成されたリザーバ部１３の一方の開口を薄膜からなるコンプライアンス部材４０で封止してコンプライアンス部４１を設けるようにした。これにより、コンプライアンス部４１を形成するために別部材を必要とせず部品点数を削減できると共に、製造工程を簡略化でき製造コストを削減することができる。
【００３３】
また、リザーバ１００の開口縁部近傍、すなわち、流路形成基板１０によって支持されているコンプライアンス部材４０の端部近傍は、コンプライアンス部４１の変形時に応力が集中して破壊が生じやすい。しかしながら、本実施形態では、コンプライアンス部４１の周縁部に薄膜部４２を設けるようにしたので、変形時の応力集中に伴うコンプライアンス部材４０の破壊を防止することができる。特に、本実施形態では、薄膜部４２の外側にリザーバ１００の開口領域に臨むように厚膜部４３を設け、最も応力が集中しやすい部分の剛性を確保しているため、コンプライアンス部材４０の破壊をより確実に防止することができる。さらに、薄膜部４２を設けることにより、コンプライアンス部４１が変形しやすくなるため、リザーバ１００の開口面積を小さくしても十分な変形量を確保できる。したがって、良好なインク吐出特性を確保しつつヘッドの小型化を図ることができる。
【００３４】
（実施形態２）
図３は、実施形態２に係るインクジェット式記録ヘッドの断面図である。なお、実施形態１で説明した部材と同一部材には同一符号を付し、重複する説明は省略する。図３に示すように、本実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドは、連通部を有する連通板が設けられておらず、リザーバ１００Ａが、流路形成基板１０のリザーバ部１３と、封止基板３０を貫通して設けられた連通部２２Ａとで構成されている。そして、この封止基板３０の連通部２２Ａの流路形成基板１０とは反対側の開口がコンプライアンス部材４０Ａによって封止されてコンプライアンス部４１Ａが形成されている。また、封止基板３０に設けられた連通部２２Ａの開口縁部近傍には、実施形態１と同様に、薄膜部４２Ａ及び厚膜部４３Ａが設けられている。
【００３５】
ここで、本実施形態のコンプライアンス部４１Ａを構成するコンプライアンス部材４０Ａは、封止基板３０上に設けられている絶縁膜３５及び配線パターン３７を構成する配線膜３６からなる。このようなコンプライアンス部４１Ａは、例えば、封止基板３０を、圧電素子保持部３１側の面から絶縁膜３５に達するまでエッチングして連通部２２Ａを形成し、その後配線パターン３７を形成する際、連通部２２Ａに対向する領域に所定形状で配線膜３６を残すことで容易に形成できる。なお、このような絶縁膜３５は、例えば、１．５μｍ程度の厚さで形成され、配線膜３６は、例えば、２〜３μｍ程度の厚さで形成される。
このような本実施形態の構成としても、実施形態１と同様、製造コストを削減することができる。また、薄膜部４２Ａ及び厚膜部４３Ａによってコンプライアンス部材４０Ａの破壊を防止することができる。さらには、ヘッドの小型化も可能となる。
【００３６】
（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態を説明したが、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、上述の実施形態では、薄膜部の外側に厚膜部を設けるようにしたが、これに限定されず、厚膜部は設けずに、薄膜部がリザーバの開口領域の外側まで連続して設けられていてもよい。このような構成としても、勿論、応力集中によるコンプライアンス部材の破壊を防止することはできる。また、上述の各実施形態では、成膜及びリソグラフィプロセスを応用して製造される薄膜型のインクジェット式記録ヘッドを例にしたが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型のインクジェット式記録ヘッドにも本発明を採用することができる。
【００３７】
また、これら各実施形態のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図４は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。図４に示すように、インクジェット式記録ヘッドを有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。そして、駆動モータ６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
【００３８】
なお、上述した実施形態においては、本発明の液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを説明したが、液体噴射ヘッドの基本的構成は上述したものに限定されるものではない。本発明は、広く液体噴射ヘッドの全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射するものにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】実施形態１に係る記録ヘッドの平面図及び断面図である。
【図３】実施形態２に係る記録ヘッドの断面図である。
【図４】一実施形態に係る記録装置の概略図である。
【符号の説明】
【００４０】
１０  流路形成基板、  １２  圧力発生室、  １３  リザーバ部、  １４  インク供給路、  ２０  連通板、  ２１  ノズル連通孔、  ２２，２２Ａ  連通部、  ２５  ノズルプレート、  ２６  ノズル開口、  ３０  封止基板、  ３１  圧電素子保持部、  ３５  絶縁膜、  ３６  配線膜、  ４０，４０Ａ  コンプライアンス部材、  ４１，４１Ａ  コンプライアンス部、  ４２，４２Ａ  薄膜部、  ４３，４３Ａ  厚膜部、  ５０  弾性膜、  ５５  絶縁体膜、    ６０  下電極膜、  ７０  圧電体膜、  ８０  上電極膜、  １００  リザーバ、  ３００  圧電素子
【図１】
2005053080.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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