(57)【要約】      （修正有）【課題】フラットパネルディスプレー装置ガラス基板のエッジ部分において発生しやすい破損を、ガラス基板が移動する状態で最小限の光センサーを用いて検出すること。【解決手段】この破損検出装置はガラス基板が通過する間ガラス基板を認識して信号を発生する二つのセンサーと二つのセンサーと電気的に連結され二つのそれぞれのセンサーから信号を受信しガラス基板が二つのセンサーの上部または下部を通過する間二つのそれぞれのセンサーから受信される信号を読み出してガラス基板がそれぞれのセンサーを完全に通過するのに所要する時間を決定しまたはガラス基板が二つのセンサーの上部または下部を通過する間二つのそれぞれのセンサーから受信される信号からパルスの個数を計数し決定された時間またはそれぞれの計数されたパルスの個数を予め決定された基準値と比較してガラス基板の破損の有無を判定する制御器とを備える。【選択図】図２
2005156539.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板が移動すべき位置の下部または上部に設けられ、前記ガラス基板が通過する間、該ガラス基板を認識して信号を発生する少なくとも二つのセンサーと、
前記少なくとも二つのセンサーと電気的に連結され、前記少なくとも二つのそれぞれのセンサーから信号を受信し、前記ガラス基板が前記少なくとも二つのセンサーの上部または下部を通過する間、前記少なくとも二つのそれぞれのセンサーから受信される信号を読み出して、前記ガラス基板がそれぞれのセンサーを完全に通過するのに所要するそれぞれの時間を決定し、または前記ガラス基板が前記少なくとも二つのセンサーの上部または下部を通過する間、前記少なくとも二つのそれぞれのセンサーから受信される信号からそれぞれのパルスの個数を計数し、このようなそれぞれの決定された時間またはそれぞれの計数されたパルスの個数を予め決定された基準値と比較して、前記ガラス基板の破損の有無を判定する制御器とを備えることを特徴とするガラス基板のエッジ部分の破損検出装置。
【請求項２】
前記制御器が、前記それぞれの決定された時間またはそれぞれの計数されたパルスの個数を予め決定された基準値と比較して、その時間またはパルスの個数が予め決定された基準値よりも小さい場合は、前記ガラス基板の破損があるものと判定し、同一の場合は、前記ガラス基板の破損がないものと判定することを特徴とする請求項１に記載のガラス基板のエッジ部分の破損検出装置。
【請求項３】
前記少なくとも二つのセンサーが、前記ガラス基板の左右エッジ部分が移動すべき位置の下部または上部に左右一対が設けられ、前記ガラス基板が通過する間、該ガラス基板を認識して信号を発生するエッジセンサーを備えることを特徴とする請求項１または２に記載のガラス基板のエッジ部分の破損検出装置。
【請求項４】
前記少なくとも二つのセンサーが、前記エッジセンサーの間に位置して、それぞれのエッジセンサーから発生する信号に対する同期信号を発生させる基準センサーをさらに備えることを特徴とする請求項３に記載のガラス基板のエッジ部分の破損検出装置。
【請求項５】
前記少なくとも二つのセンサーが、透過型センサーであることを特徴とする請求項１または２に記載のガラス基板のエッジ部分の破損検出装置。
【請求項６】
前記制御器と電気的に連結されたメーンコントローラーをさらに備えることを特徴とする請求項１または２に記載のガラス基板のエッジ部分の破損検出装置。
【請求項７】
前記メーンコントローラーが、前記制御器で前記ガラス基板の破損を判定する場合、警報装置を制御して警報信号を発生させ、またはガラス基板を移送する移送装置を制御してガラス基板の移動を停止させることを特徴とする請求項６に記載のガラス基板のエッジ部分の破損検出装置。
【請求項８】
ガラス基板が移動すべき位置の下部または上部に設けられた少なくとも二つのセンサーで、前記ガラス基板が通過する間、該ガラス基板を認識して信号を発生させるステップと、
前記少なくとも二つのセンサーと電気的に連結され、前記少なくとも二つのそれぞれのセンサーから信号を受信する制御器で、前記ガラス基板が前記少なくとも二つのセンサーの上部または下部を通過する間、前記少なくとも二つのそれぞれのセンサーから受信される信号を読み出して、前記ガラス基板がそれぞれのセンサーを完全に通過するのに所要するそれぞれの時間を決定し、または前記ガラス基板が前記少なくとも二つのセンサーの上部または下部を通過する間、前記少なくとも二つのそれぞれのセンサーから受信される信号からそれぞれのパルスの個数を計数するステップと、
前記制御器で前記それぞれの決定された時間またはそれぞれの計数されたパルスの個数を予め決定された基準値と比較して、前記ガラス基板の破損の有無を判定するステップとを含むことを特徴とするガラス基板のエッジ部分の破損検出方法。
【請求項９】
前記ガラス基板の破損の有無を判定するステップが、前記それぞれの決定された時間またはそれぞれの計数されたパルスの個数を予め決定された基準値と比較して、その時間またはパルスの個数が予め決定された基準値よりも小さい場合は、前記ガラス基板の破損があるものと判定し、同一の場合は、前記ガラス基板の破損がないものと判定することを特徴とする請求項８に記載のガラス基板のエッジ部分の破損検出方法。
【請求項１０】
前記少なくとも二つのセンサーのうち、前記ガラス基板の左右エッジ部分が移動すべき位置の下部または上部に設けられた左右一対のセンサーで、前記ガラス基板が通過する間、該ガラス基板を認識して信号を発生することを特徴とする請求項８または９に記載のガラス基板のエッジ部分の破損検出方法。
【請求項１１】
前記少なくとも二つのセンサーのうち、前記左右一対のセンサーの間に位置するセンサーで、前記左右一対のそれぞれのセンサーから発生する信号に対する同期信号を発生させることを特徴とする請求項１０に記載のガラス基板のエッジ部分の破損検出方法。
【請求項１２】
前記制御器で前記ガラス基板の破損を判定する場合、前記制御器と電気的に連結されたメーンコントローラーが警報装置を制御して警報信号を発生させ、または前記ガラス基板を移送する移送装置を制御してガラス基板の移動を停止させるステップをさらに含むことを特徴とする請求項８または９に記載のガラス基板のエッジ部分の破損検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板のエッジ部分の破損検出装置及びその方法に関し、より詳しくは、フラットパネルディスプレー装置の生産ラインを移動するガラス基板のエッジ部分で発生しやすい破損を、ガラス基板が移動する状態で最小限の光センサーを用いて検出する装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、ガラス基板は、液晶表示装置（ＬＣＤ）やプラズマパネルディスプレー（ＰＤＰ）のようなフラットパネルディスプレー装置の製造にあたって、必須不可欠な構成部品である。液晶表示装置などのフラットパネルディスプレー装置を製造するためには、ガラス基板に洗浄工程、膜塗布工程、現像工程などの処理工程を繰り返して行うが、液晶表示装置などの生産ラインは、このような処理工程を行うために複雑な装置からなっている。最近、ガラス基板にこれらの処理工程を自動に行うための自動化生産システムとしてインライン (ｉｎ−ｌｉｎｅ) 生産システムとクラスター（ｃｌｕｓｔｅｒ）生産システムが開発されて用いられているが、これらの生産システムの各処理段階においてガラス基板の移送と処理は極めて重要である。
【０００３】
液晶表示装置やプラズマパネルディスプレーの生産システムは、前記のような繰り返される様々な処理工程を行うために、複雑な複数の装置からなっているが、ガラス基板は、このような複数の装置間を移動しなければならず、複数の繰返し処理過程に露出するため、破損に弱く、特にガラス基板のエッジ部分は破損にさらに弱い。このため、フラットパネルディスプレー装置の生産ラインにおいて、一つの工程が完了した後、ガラス基板を次の工程に投入する前には、工程失敗により発生するまたは移送中に発生するガラス基板の破損、特に四つのエッジ部分の破損を必ず検出してガラス基板の異常の有無を確認する必要がある。若し、このようなガラス基板の破損を確認せず、破損したガラス基板がクラスター生産システムのような自動化システムの工程モジュールに投入される場合、工程不良のみならず、予測しなかったシステムの誤動作と故障を生じる。
【０００４】
従って、本発明の属する技術の分野においては、通常、円滑な工程流れと破損したガラス基板のガラス片によるシステム装備の損失を最小化するために、ガラス基板の破損の有無を工程モジュールへの投入前に行って、異常があれば、警報を発するなどの措置を取っている。すなわち、フラットパネルディスプレー装置の生産システムのように長時間の工程処理を行う装備では、ガラス基板が移送過程やそれぞれの複雑な処理工程において破損するおそれがあり、このようなガラス基板の破損時は、微細なガラス粉により工程不良及びシステム装備の損失が生じるおそれがあるため、ガラス基板の破損の有無の確認過程は、各工程モジュールへの投入前に必ず実施しなければならない。
【０００５】
しかし、従来、フラットパネルディスプレー装置の生産システムにおいて、ガラス基板の破損を検出する方法は、ガラス基板を各処理工程に投入する前にガラス基板を停止させた状態で、破損の有無を検出する方式であるため、別途の測定時間が必要とされ、これにより各工程間の流れが円滑でなくなる問題点があった。また、従来の方法は、ガラス基板が各工程モジュールへの投入前に停止した状態で破損の有無が確認されなければならないという問題点のほか、ガラス基板の各エッジに対応するセンサーが要求されるため、多くのセンサーを必要とし、制限された範囲内でのみ測定が可能であるという問題点があった。特に、フラットパネルディスプレー装置のクラスター生産システムは、ガラス基板を積載するロードロック(load lock)と、複数の工程モジュール（例えば、第１の工程モジュールから第６の工程モジュール）を支援可能なファセット(facet)を有するトランスポートチェンバーで構成され、このようなクラスター生産システムでは、ガラス基板の各工程モジュールへの投入前に、ガラス基板のそれぞれのエッジの破損の有無が、ガラス基板が積載される支持台の下部に設けられた光センサーにより検出されている。しかし、このような従来の検出方式は、図７に示すように、ガラス基板のエッジ部分の破損を検出するために、ガラス基板がトランスポートチェンバー内に停止されなければならず、検出のための光センサーの数が工程モジュールの数に比例して増加するため（例えば、六つの工程モジュールを支援するクラスター生産システムの場合、１４個のセンサーが必要である）、光センサーが多く必要となるという問題点があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上記問題点に鑑みなされたものであり、フラットパネルディスプレー装置の生産ラインを移動するガラス基板のエッジ部分において発生しやすい破損を、ガラス基板が移動する状態で最小限の光センサーを用いて検出する装置及び方法を提供することを目的とする。
【０００７】
また、ガラス基板が各工程モジュール間を移動するとき、ガラス基板の破損の有無を検出可能であるので、別途の測定時間が必要なく、２〜３個のセンサーだけでガラス基板の全てのエッジの破損を検出することができる装置及び方法を提供することを他の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を達成するため、本発明に係るガラス基板のエッジ部分の破損検出装置は、ガラス基板が移動すべき位置の下部または上部に設けられ、ガラス基板が通過する間、ガラス基板を認識して信号を発生する少なくとも二つのセンサーと、前記少なくとも二つのセンサーと電気的に連結され、前記少なくとも二つのそれぞれのセンサーから信号を受信し、ガラス基板が前記少なくとも二つのセンサーの上部または下部を通過する間、前記少なくとも二つのそれぞれのセンサーから受信される信号を読み出して、ガラス基板がそれぞれのセンサーを完全に通過するのに所要するそれぞれの時間を決定し、またはガラス基板が前記少なくとも二つのセンサーの上部または下部を通過する間、前記少なくとも二つのそれぞれのセンサーから受信される信号からそれぞれのパルスの個数を計数し、このようなそれぞれの決定された時間またはそれぞれの計数されたパルスの個数を予め決定された基準値と比較して、ガラス基板の破損の有無を判定する制御器とを備えることを特徴とする。
【０００９】
また、前記制御器は、前記それぞれの決定された時間またはそれぞれの計数されたパルスの個数を予め決定された基準値と比較して、その時間またはパルスの個数が予め決定された基準値よりも小さい場合は、ガラス基板の破損があるものと判定し、同一の場合は、ガラス基板の破損がないものと判定することを特徴とする。
【００１０】
また、前記少なくとも二つのセンサーは、ガラス基板の左右エッジ部分が移動すべき位置の下部または上部に左右一対が設けられ、ガラス基板が通過する間、ガラス基板を認識して信号を発生するエッジセンサー、及び/またはこれらのエッジセンサーの間に位置した基準センサーを備えることを特徴とする。このような基準センサーは、それぞれのエッジセンサーから発生する信号に対する同期信号を発生させるものである。
【００１１】
前記センサーは光センサーであって、反射型センサーより透過型センサーを用いることが好ましい。通常、反射型センサーは、反射角度に応じて敏感に反応し、ガラス基板のたわみによって感度の差が大きく発生するようになる。従って、センサーは、周縁部が大きく撓むガラス基板の特性を勘案して、検出が容易な透過型を用いることが好ましい。
【００１２】
前記光センサーとしては、応答特性に優れたものが用いられ、特にセンサー応答時間が２００μｓ以下であるものが好ましい。
【００１３】
また、前記制御器としては、専用マイクロプロセッサーが用いられ、移動するガラス基板のエッジ部分の破損を検出するためには、そのスキャン時間が短いものが好ましい。
【００１４】
前記制御器は、上述したように、エッジセンサーまたは基準センサーのような光センサーがオンした間、そのオンされる間の時間またはパルスの個数を決定した後、予め決定された基準値と比較してガラス基板の破損の有無を判定する。
【００１５】
また、移動するガラス基板の破損の有無を検出する分解能は、センサー応答時間、制御器スキャン時間、ガラス基板移動速度により決定され、ガラス基板移動速度を１０００ｍｍ/ｓｅｃとし、センサー応答時間と制御器演算時間を合わせて考慮した制御サンプリング時間を５００μｓとするとき、最小の分解能は０．５ｍｍ／パルスとなる。この場合、移動するガラス基板は、０．５ｍｍの精度として破損の有無が測定される。また、最小検出間隔を短くするほど小さい破損部位を検出することができるので、センサーと器具構造が許容する限り、小さくセットすることが好ましい。
【００１６】
また、本発明に係るガラス基板のエッジ部分の破損検出装置は、入出力インターフェースにより制御器と電気的に連結されたメーンコントローラー（ｍａｉｎ ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）がさらに備えられ、このメーンコントローラーは、フラットパネルディスプレー装置のインライン生産システムまたはクラスター生産システムの全体を制御する装置であって、本発明の制御器でガラス基板の破損を判定する場合、警報装置を制御して警報信号を発生させ、またはガラス基板を移送する移送装置を制御してガラス基板の移動を停止させる。
【００１７】
なお、本発明に係るガラス基板のエッジ部分の破損検出方法は、ガラス基板が移動すべき位置の下部または上部に設けられた少なくても二つのセンサーで、ガラス基板が通過する間、ガラス基板を認識して信号を発生させるステップと、前記少なくとも二つのセンサーと電気的に連結され、前記少なくとも二つのそれぞれのセンサーから信号を受信する制御器で、ガラス基板が前記少なくとも二つのセンサーの上部または下部を通過する間、前記少なくとも二つのそれぞれのセンサーから受信される信号を読み出して、ガラス基板がそれぞれのセンサーを完全に通過するのに所要するそれぞれの時間を決定し、またはガラス基板が前記少なくとも二つのセンサーの上部または下部を通過する間、前記少なくとも二つのそれぞれのセンサーから受信される信号からそれぞれのパルスの個数を計数するステップと、前記制御器で前記それぞれの決定された時間またはそれぞれの計数されたパルスの個数を予め決定された基準値と比較して、ガラス基板の破損の有無を判定するステップとを含むことを特徴とする。
【００１８】
前記ガラス基板の破損の有無を判定するステップは、前記それぞれの決定された時間またはそれぞれの計数されたパルスの個数を予め決定された基準値と比較して、その時間またはパルスの個数が予め決定された基準値よりも小さい場合は、ガラス基板の破損があるものと判定し、同一の場合は、ガラス基板の破損がないものと判定することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によると、フラットパネルディスプレー装置の生産ラインを移動するガラス基板のエッジ部分において発生しやすい破損を、ガラス基板が移動する状態で最小限の光センサーを用いて検出することができ、特に、ガラス基板が各工程間を移動するとき、ガラス基板の破損の有無を検出することができるので、別途の測定時間が必要なく、２〜３個のセンサーだけでガラス基板の全てのエッジの破損を検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の好ましい実施の形態を、添付図面に基づいて詳しく説明する。
【００２１】
図１は、本発明によるガラス基板のエッジ部分の破損検出装置を示す概略構成図である。この装置は、ガラス基板１０の左右エッジ部分が移動すべき位置の下部に設けられ、ガラス基板が通過する間、ガラス基板を認識して信号を発生するセンサー２０と、ガラス基板１０を挟んで前記センサー２０と対向して位置する反射板２２と、前記センサー２０と電気的に連結され、それぞれのセンサー２０から信号を受信する制御器３０とで構成されている。
【００２２】
前記制御器３０は、ガラス基板１０がセンサー２０の上部を通過する間、それぞれのセンサー２０から受信される信号を読み出して、ガラス基板１０がそれぞれのセンサー２０を完全に通過するのに所要されるそれぞれの時間を決定し、またはガラス基板１０がセンサー２０の上部を通過する間、それぞれのセンサー２０から受信される信号からそれぞれのパルスの個数を計数する。
【００２３】
前記制御器３０は、それぞれの決定された時間またはそれぞれの計数されたパルスの個数を予め決定された基準値と比較して、ガラス基板１０の破損の有無を判定する。制御器３０でガラス基板１０の破損の有無を判定する具体的な過程については、図２乃至図４を参照して後述する。
【００２４】
さらに、前記検出装置は、外部装置入出力インターフェースにより制御器３０と電気的に連結されたメーンコントローラー４０を有していてもよく、このメーンコントローラー４０は、制御器３０でガラス基板１０の破損を判定するとき、警報装置（図示せず）を制御して警報信号を発生させ、またはガラス基板１０を移送する移送装置（図示せず）を制御してガラス基板１０の移動を停止させる。
【００２５】
図２は、前記検出装置において、正常のガラス基板１０が、下部に位置したエッジセンサー２０ａ、２０ｂと基準センサー２０ｃを通過する場合の、正常のガラス基板とこれらのセンサーの位置関係を示す平面図である。
【００２６】
また、図２の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）には、正常のガラス基板が移動するとき、下部に位置するエッジセンサー２０ａ、２０ｂと基準センサー２０ｃからそれぞれ検出される信号の波形が時間軸に対し示されている。図２における（ａ）のグラフからみると、正常のガラス基板１０の先端部がエッジセンサー２０ａを通過した時点ｔ０からガラス基板１０の後端部がエッジセンサー２０ａを通過する時点ｔ３まで、エッジセンサー２０ａは、ガラス基板１０を認識して一定の大きさの信号を発生させ、この信号波形は、二つのエッジセンサー２０ａ、２０ｂ間に位置した基準センサー２０ｃで発生した図２の（ｃ）に示すような同期信号波形と同一の波形である。また、図２における（ｂ）のグラフからみると、正常のガラス基板１０の先端部がエッジセンサー２０ｂを通過した時点ｔ０からガラス基板１０の後端部がエッジセンサー２０ｂを通過する時点ｔ３まで、エッジセンサー２０ｂは、ガラス基板１０を認識して一定の大きさの信号を発生させ、この信号波形は、二つのエッジセンサー２０ａ、２０ｂ間に位置した基準センサー２０ｃで発生した図２の（ｃ）に示した同期信号波形と同一の波形である。このような二つのエッジセンサー２０ａ、２０ｂからの信号波形が基準センサー２０ｃで発生した同期信号波形と同一の場合は、ガラス基板１０が二つのエッジセンサー２０ａ、２０ｂを完全に通過する間、所要する時間または発生したパルスの個数が予め決定された基準値と一致するようになり、結果的に制御器はガラス基板の破損がないものと判定する。
【００２７】
図３は、前記検出装置において、破損したガラス基板１０が、下部に位置したエッジセンサー２０ａ、２０ｂと基準センサー２０ｃを通過する場合の、破損したガラス基板とこれらのセンサーの位置関係を示す平面図である。
【００２８】
また、図３の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）には、破損したガラス基板が移動するとき、下部に位置するエッジセンサー２０ａ、２０ｂと基準センサー２０ｃからそれぞれ検出される信号の波形が時間軸に対し示されている。図３における（ａ）のグラフをみると、破損したガラス基板１０の先端部がエッジセンサー２０ａを通過した時点ｔ１から破損したガラス基板１０の後端部がエッジセンサー２０ａを通過する時点ｔ３まで、エッジセンサー２０ａは、ガラス基板１０を認識して一定の大きさの信号を発生させ、この信号波形は、二つのエッジセンサー２０ａ、２０ｂ間に位置した基準センサー２０ｃで発生した図３の（ｃ）に示すような同期信号波形とは異なり、ｔ０〜ｔ１区間は信号が発生されない。このようなｔ０〜ｔ１区間は、エッジセンサー２０ａを通過するガラス基板の先端部のエッジが破損したことが検出される区間であって、破損したガラス基板１０がエッジセンサー２０ａを完全に通過する間、所要する時間または発生したパルスの個数が予め決定された基準値よりも小さくなり、結果的に制御器はガラス基板の破損があるものと判定する。
【００２９】
また、図３における（ｂ）のグラフをみると、破損したガラス基板１０の先端部がエッジセンサー２０ｂを通過した時点ｔ０から破損したガラス基板１０の後端部がエッジセンサー２０ｂを通過する時点ｔ２まで、エッジセンサー２０ｂは、ガラス基板１０を認識して一定の大きさの信号を発生させ、この信号波形は、二つのエッジセンサー２０ａ、２０ｂ間に位置した基準センサー２０ｃで発生した図３の（ｃ）に示した同期信号波形とは異なり、ｔ２〜ｔ３区間は信号が発生されない。このようなｔ２〜ｔ３区間は、エッジセンサー２０ｂを通過するガラス基板の後端部のエッジが破損したことが検出される区間であって、破損したガラス基板１０がエッジセンサー２０ｂを完全に通過する間、所要する時間または発生したパルスの個数が予め決定された基準値よりも小さくなり、結果的に制御器はガラス基板の破損があるものと判定する。
【００３０】
以下、図４を参照して、本発明によるガラス基板のエッジ部分の破損を検出する方法について説明する。
【００３１】
まず、ガラス基板を、フラットパネルディスプレー製造工程の各処工程に投入した後、移動させる（Ｓ４００）。次に、ガラス基板が下部に設けられたセンサー（例えば、エッジセンサー）を通過する間、これらのセンサーから信号を検出する（Ｓ４１０）。
【００３２】
その後、制御器では、この検出された信号を読み出すことにより、ガラス基板がそれぞれのセンサーを完全に通過するのに所要されるそれぞれの時間を決定し、またはこの検出された信号からそれぞれのパルスの個数を計数し（Ｓ４２０）、前記それぞれの時間またはそれぞれの計数されたパルスの個数を予め決定された基準値と比較する（Ｓ４３０）。比較の結果、それぞれのセンサーから読み出されたそれぞれの時間またはパルスの個数が予め決定された基準値よりも小さい場合は、ガラス基板の破損があるものと判定し、同一の場合は、ガラス基板の破損がないものと判定する（Ｓ４４０）。さらに、制御器は、外部装置入出力インターフェースを介してメーンコントローラーと電気的に連結されていてもよく、この場合、メーンコントローラーは、制御器でガラス基板の破損を判定すると、警報装置を制御して警報信号を発生させ、またはガラス基板を移送する移送装置を制御することにより、ガラス基板の移動を停止させることができる。
【００３３】
図５は、本発明による検出装置がフラットパネルディスプレー装置のインライン生産システムに適用された実施の形態を示す平面図である。図５に示すのは、第１の工程モジュール（ＰＭ１）には、第１のガラス基板１０ａが位置して工程処理され、この第１の工程モジュール（ＰＭ１）での処理が完了した第２のガラス基板１０ｂが、移送されて第２の工程モジュール（ＰＭ２）への投入を待機している状態である。また、第２の工程モジュール（ＰＭ２）では、第３のガラス基板１０ｃが位置して第２の工程処理中である。このとき、第1の工程モジュール（ＰＭ１）で処理が完了し、第２の工程モジュール（ＰＭ２）へ移送中である第２のガラス基板１０ｂは、移送通路の下部に位置する前記エッジセンサー２０ａ、２０ｂ及び基準センサー２０ｃと制御器（図５では図示せず）によりガラス基板の破損の有無が判定される。ガラス基板の破損が検出された場合、制御器と電気的に連結されているメーンコントローラーの制御により、移送装置を停止したり警報装置で警報を発生し、第２のガラス基板１０ｂの第２の工程モジュール（ＰＭ２）への投入を前以って遮断している。
【００３４】
また、第１の工程モジュール（ＰＭ１）で処理が完了し、移送中である第２のガラス基板１０ｂが、移送通路の下部に位置するエッジセンサー２０ａ、２０ｂ及び基準センサー２０ｃを通過するとき、これらのセンサーで検出される信号波形については、正常のガラス基板の場合は図２に示すとおりであり、破損されたガラス基板の場合は図３に示すとおりである。
【００３５】
また、図４に示す流れに従って、制御器でこのような信号波形を読み出すことにより、ガラス基板の破損の有無を判定する過程が行われる。図５の実施の形態では、第１の工程モジュール（ＰＭ１）と第２の工程モジュール（ＰＭ２）のみが開示されているが、本発明による破損検出装置は、このような二つの工程モジュールに限られて適用されるのではなく、追加して複数の工程モジュール間にも適用することができ、センサーの位置もまたガラス基板の各モジュールでの処理前後の移送過程によって変形可能なことは、当業者であれば理解されるだろう。
【００３６】
図６は、本発明による検出装置がフラットパネルディスプレー装置のクラスター生産システムに適用された実施の形態を示す平面図である。図６に示すのは、第１の工程モジュール（ＰＭ１）、第２の工程モジュール（ＰＭ２）及び第３の工程モジュール（ＰＭ３）には、それぞれ第１ガラス基板１０ａ、第２ガラス基板１０ｂ、第３ガラス基板１０ｃが位置してそれぞれ工程処理中であり、これらの工程モジュールで処理が完了した後、トランスポートチェンバー５０へ移送された第４のガラス基板１０ｄが、ロードロックＬＬへの投入を待機している状態である。また、ロードロックＬＬの下部には、工程モジュールでの処理が完了し、トランスポートチェンバー５０から移送された第５のガラス基板１０ｅが積載されて位置し、ロードロックＬＬの上部には、各工程モジュールへの投入のために、トランスポートチェンバー５０への投入を待機するガラス基板（図示せず）が位置している。
【００３７】
第１の工程モジュール（ＰＭ１）で処理が完了した第１のガラス基板１０ａは、トランスポートチェンバー５０へ移送される過程中、トランスポートチェンバー５０の入口付近の下部に位置する前記エッジセンサー２０ａ、２０ｂと制御器（図６では図示せず）によってガラス基板の破損の有無が判定される。また、それぞれの工程モジュールで処理が完了した後、トランスポートチェンバー５０へ移送された第４のガラス基板１０ｄは、ロードロックＬＬの下部へ移送されるとともに、ロードロックの入口付近の下部に位置する前記エッジセンサー２０ａ、２０ｂ及び基準センサー２０ｃと制御器（図６では図示せず）によって、ガラス基板の破損の有無が判定される。若し、第１のガラス基板１０ａまたは第４のガラス基板１０ｄの破損が検出されると、制御器と電気的に連結されているメーンコントローラーの制御により、トランスポートチェンバー５０から追加の工程モジュールまたはロードロックＬＬへの移送が遮断され、または警報装置で警報を発生させることにより、ガラス基板の追加の工程モジュールまたはロードロックＬＬへの投入を前以って遮断することができる。
【００３８】
また、図示していないが、第１の工程モジュール（ＰＭ１）からトランスポートチェンバー５０の入口付近の下部には、前記エッジセンサー２０ａ、２０ｂ以外に、基準センサー２０ｃがさらに設けられてもよく、第２の工程モジュール（ＰＭ２）からトランスポートチェンバー５０の入口付近と、第３の工程モジュール（ＰＭ３）からトランスポートチェンバー５０への入口付近にも、エッジセンサー２０ａ、２０ｂと基準センサー２０ｃが設けられてもよい。
【００３９】
第１の工程モジュール（ＰＭ１）で処理が完了した第１のガラス基板１０ａがトランスポートチェンバー５０の入口付近の下部に位置するエッジセンサー２０ａ、２０ｂを通過するとき、これらのセンサーで検出される信号波形については、正常のガラス基板の場合は図２の（ａ）と（ｂ）に示すとおりであり、破損したガラス基板の場合は図３の（ａ）と（ｂ）に示すとおりである。また、それぞれの工程モジュールで処理が完了した後、トランスポートチェンバー５０へ移送された第４ガラス基板１０ｄが、ロードロックＬＬの入口付近の下部に位置するエッジセンサー２０ａ、２０ｂと基準センサー２０ｃを通過するとき、これらのセンサーで検出される信号波形については、正常のガラス基板の場合は図２に示すとおりであり、破損したガラス基板の場合は図３に示すとおりである。
【００４０】
また、図４に示す流れに従って、制御器でこのような信号波形を読み出すことにより、ガラス基板の破損の有無を判定する過程が行われる。本発明による破損検出装置は、このような三つの工程モジュールを支援するクラスター生産システムに限って適用されるのではなく、追加して複数の工程モジュールを支援するクラスター生産システムにも適用可能であり、センサーの位置もまたガラス基板の各工程モジュールでの処理前後の移送過程に応じて変形可能なことは、当業者であれば理解されるだろう。
【００４１】
図７は、クラスター生産システムにおいて、ガラス基板のエッジ部分の破損を検出するための従来の方式の光センサーの配置を示している。このような従来の方式は、ガラス基板の各工程モジュールへの投入前に、ガラス基板のそれぞれのエッジの破損の有無が、ガラス基板が積載される支持台の下部に設けられた光センサー（ａ〜ｎ）により検出される方式である。しかし、このような従来の検出方式は、ガラス基板のエッジ部分の破損を検出するために、ガラス基板がトランスポートチェンバー内で停止されていなければならず、六つの工程モジュール（ＰＭ１〜ＰＭ６）を支援するクラスター生産システムの場合、検出のための光センサーを全て１４個（ａ〜ｎ）も必要とするという問題があった。
【００４２】
以上、本発明について添付の図面に基づいて説明したが、本発明は前記図面に開示された実施の形態に限定されず、当業者であれば、本発明の趣旨により修正及び変更が可能であり、このような修正と変形も本発明の範囲に属することが理解されるだろう。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明によるガラス基板のエッジ部分の破損検出装置を示す概略構成図である。
【図２】本発明による検出装置の光センサーを正常のガラス基板が通過するとき、光センサーと正常のガラス基板の位置関係を示す平面図、及び正常のガラス基板の下部に位置するそれぞれの光センサーから検出される信号の波形を時間軸に対して示したグラフである。
【図３】本発明による検出装置の光センサーを破損したガラス基板が通過するとき、光センサーと破損したガラス基板の位置関係を示す平面図、及び破損したガラス基板の下部に位置するそれぞれの光センサーから検出される信号の波形を時間軸に対して示したグラフである。
【図４】本発明によるガラス基板のエッジ部分の破損検出方法を詳しく説明するフローチャートである。
【図５】本発明による検出装置がフラットパネルディスプレー装置のインライン生産システムに適用された実施の形態を示す平面図である。
【図６】本発明による検出装置がフラットパネルディスプレー装置のクラスター生産システムに適用された他の実施の形態を示す平面図である。
【図７】クラスター生産システムにおいて、ガラス基板のエッジ部分の破損を検出するための従来の方式の光センサーの配置を示す図である。
【符号の説明】
【００４４】
１０…ガラス基板、１０ａ〜１０ｅ…第１のガラス基板〜第５のガラス基板、２０…センサー、２２…反射板、２０ａ、２０ｂ…エッジセンサー、２０ｃ…基準センサー、３０…制御器、４０…メーンコントローラー、５０…トランスポートチェンバー、ＬＬ…ロードロック、ＰＭ１〜ＰＭ６…第１の工程モジュール〜第６の工程モジュール。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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