(57)【要約】【課題】  窓箔に発生する酸性水分を排出し、酸性水分の滞留を防ぎ、窓箔の酸化侵食を抑制する。【解決手段】  走査管１の下部フランジ２に、窓箔４の周縁部を環状のシール３を介して重ねるとともに、窓箔４の周縁部に枠状の押え板５を重ね、押え板５をフランジ２にねじ止めし、押え板５両端部のシール３より内側位置に、窓箔４に開口した吐出口１４を形成し、吐出口１４に押え板５の周縁部より乾燥気体を供給路を通して供給するようにする。【選択図】        図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
走査管の下部フランジに、窓箔の周縁部を環状のシールを介して重ねるとともに、
前記窓箔の周縁部に枠状の押え板を重ね、
前記押え板を前記フランジにねじ止めし、
前記押え板両端部の前記シールより内側位置に、前記窓箔に開口した吐出口を形成し、
前記吐出口に前記押え板の周縁部より乾燥気体を供給路を通して供給するようにした
ことを特徴とする電子線照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空中の走査管より電子線を大気中に取り出す照射窓部分において、照射窓の窓箔の酸化侵食を抑制するようにした電子線照射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の電子線照射装置を図５を参照して説明する。同図は電子線の取出し部である照射窓部分の断面図であり、１は走査管であり、電子銃からの電子が加速管で加速され、加速された電子を走査管１により被照射物の寸法に合わせて適切な幅に走査する。２は走査管１の矩形状下部フランジ、３はフランジ２の下面に設けられた環状の金属シール、４はシール３を介してフランジ２に重ねられたＴｉ製，Ｔｉ合金製等の薄い矩形状窓箔、５は窓箔４の周縁部に重ねられた矩形枠状の押え板であり、押え板５に挿通された複数個のボルト等のねじ（図示せず)がフランジ２に螺合し、窓箔４が押え板５によりシール３を介してフランジ２に取り付けられ、走査管１の照射窓６が窓箔４により閉塞され、走査管１内が真空シールされている。
【０００３】
７は押え板５の長手部側部に沿って設けられた冷却風ダクトであり、電子線が窓箔４を貫通する時、電子線の一部のエネルギが熱として窓箔４に与えられるため、ダクト７からの冷却風を、押え板５の長手方向に対し垂直方向に、窓箔４の箔面に吹き付け、窓箔４を冷却するようにしている。
【０００４】
８は照射窓６の中間部に長手方向に設けられた補強桟であり、電子線密度を上げるべく、照射窓６を２連の照射窓としている。９は補強桟８の上端に設けられた水冷パイプであり、電子線が一方の照射窓から他方の照射窓へ移行する際に、補強桟８が発熱するため、水冷パイプ９により補強桟８を冷却している。
【０００５】
１０は窓箔４を介して補強桟８の下面に設けられた水冷桟であり、窓箔４及び補強桟８を冷却しており、また、フランジ２の上面に水冷構造（図示せず）を有し、かつ、走査管１が電子線の一部の跳ね返りにより加熱されるため、走査管１の外面に水冷構造（図示せず）を備えている。（例えば非特許文献１参照。）。
【非特許文献１】日新電機株式会社発行  日新電機技報Ｖｏｌ．３５，Ｎｏ．３（第２５頁、左欄、図５）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来の前記電子線照射装置の場合、走査管１及びフランジ２に水冷構造が設けられているため、走査管１、窓箔４、押え板５が周囲温度に比し低いため、それらに結露を生じる。
【０００７】
そして、電子線により照射窓６の近傍では、結露の水分が加熱により蒸発し、多湿状態になり、水分が電子線を受けて分解し、オゾン、亜硝酸などの酸化物になる。
【０００８】
しかし、冷却風ダクト７からの冷却風が、押え板５の長手方向に対して垂直方向に、窓箔４の箔面に吹き付けられているため、窓箔４及び押え板５の長手方向両端部に冷却風が行き渡らず、かつ、窓箔４と押え板５がねじ止めされているため、窓箔４と押え板５との隙間が非常に狭く、その隙間に外部から空気が入りにくく、窓箔４及び押え板５の長手方向両端部では、吹き付ける風もなく、窓箔４と押え板５との非常に狭い隙間に、発生した酸化物の酸性水分が滞留する。
【０００９】
そのため、滞留した酸性水分により、窓箔４が徐々に酸化侵食されて劣化し、表面が荒れ、厚みが減少し、遂には真空耐力がなくなり破損に至る。
【００１０】
本発明は、前記の点に留意し、窓箔に発生する酸性水分を排出し、酸性水分の滞留を防ぎ、窓箔の酸化侵食を抑制する電子線照射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記目的を達成するために、本発明の電子線照射装置は、走査管の下部フランジに、窓箔の周縁部を環状のシールを介して重ねるとともに、前記窓箔の周縁部に枠状の押え板を重ね、前記押え板を前記フランジにねじ止めし、前記押え板両端部の前記シールより内側位置に、前記窓箔に開口した吐出口を形成し、前記吐出口に前記押え板の周縁部より乾燥気体を供給路を通して供給するようにしたものである。
【発明の効果】
【００１２】
前記のように構成された本発明の電子線照射装置は、走査管の下部フランジに、シールを介して重ねられた窓箔が、押え板によりフランジにねじ止めされ、押え板両端部のシールより内側位置に、窓箔に開口した吐出口が形成され、吐出口に押え板の周縁部より乾燥気体を供給路を通して供給するようにしたため、窓箔及び押え板の長手方向両端部の非常に狭い隙間に発生する酸性水分が、吐出口からの乾燥気体により押え板の中央部方向に排出され、前記隙間に酸性水分の滞留が防がれ、窓箔の酸化侵食が抑制され、窓箔の破損が防止される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明を実施するための最良の形態を、図１ないし図４を参照して説明する。それらの図において、図５と同一符号は同一もしくは相当するものを示す。
図１は電子線照射装置の照射窓部分の断面図、図２は図１の一部の斜視図、図３は図１の押え板の長手方向を左右方向に図示した一部の拡大下面図、図４Ａは図３のＳ−Ｓ線拡大断面図、同Ｂは作用説明用の同Ａの一部の拡大断面図である。
【００１４】
図１，図２において、１１は走査管１の外面に設けられたＵ字状の走査管１冷却用水冷パイプ、１２は走査管１の下部フランジ２の上面に環状に設けられたフランジ２冷却用水冷パイプであり、図１、図３及び図４に示すように、下部フランジ２の下面に環状の金属シール３が設けられ、矩形状窓箔４がシール３を介してフランジ２に重ねられ、矩形枠状の押え板５が窓箔４の周縁部に重ねられ、複数個のボルト等ねじ１３が、押え板５に挿通されてフランジ２に螺合し、窓箔４が押え板５によりシール３を介してフランジ２に取り付けられている。
【００１５】
そして、押え板５の長手部側部に沿って設けられた冷却風ダクト７から、押え板５の長手方向に対し垂直方向に、冷却風を窓箔４の箔面に吹き付け、窓箔４を冷却するようになっている。
【００１６】
１４は押え板５の長手方向両端部上面、即ち窓箔４側に形成された１個ないしは複数個の吐出口であり、環状のシール３より内側位置に設けられ、窓箔４の下面に開口している。１５は押え板５の側面から形成された乾燥気体の供給路であり、吐出口１４に連通し、供給路１５を通して吐出口１４に、不活性ガス、水分、紛塵、油等が混入していない清浄な乾燥気体が供給される。
【００１７】
従って、押え板５の長手方向両端部において、窓箔４と押え板５との非常に狭い隙間に発生する結露による水分が、電子線により分解してオゾン、亜硝酸などの酸化物になり、酸性水分が前記隙間に滞留しようとしても、吐出口１４からの乾燥気体により、酸性水分が図３の矢印方向、即ち押え板５の中央部方向に吐き出され、前記隙間に酸性水分が滞留せず、窓箔４の酸化侵食が抑制され、窓箔４の真空耐力が維持される。
なお、本発明は、図示の形態に限定されるものでないことは当然である。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明を実施するための最良の形態の断面図である。
【図２】図１の一部の斜視図である。
【図３】図１の押え板の長手方向を左右方向にした一部の拡大下面図である。
【図４】Ａは図３のＳ−Ｓ線拡大断面図、同Ｂは作用説明用の同Ａの一部の拡大断面図である。
【図５】従来例の断面図である。
【符号の説明】
【００１９】
１    走査管
２    下部フランジ
３    シール
４    窓箔
５    押え板
１４  吐出口
１５  供給路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2005156285.tif 000006
【図５】
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