(57)【要約】【課題】圧力室に対する圧電振動子の変位伝達が効率的でクロストーク等の発生をできる限り防止した液体吐出ヘッドを製造する。【解決手段】櫛歯状の複数の圧電振動子１１を有する振動子ユニット１０をヘッド函体２０に収容し、複数の圧電振動子１１の櫛歯溝および収容部２１、液供給口２２に充填材である樹脂を充填する。ついで、複数の圧電振動子１１の端面を含む平面上に液流路パターンを形成し、その上に被覆樹脂層１を設けたのち前記液流路パターンを除去することによって複数の圧力室４等を形成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の液吐出口と、該複数の液吐出口にそれぞれ連通する複数の圧力室を有する液流路と、前記複数の圧力室にそれぞれ対応する櫛歯状の複数の圧電振動子と、を備えた液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記複数の圧電振動子の間の櫛歯溝に充填材を充填する工程と、
充填材が充填された前記複数の圧電振動子の端面を含む平面上に液流路パターンを形成する工程と、
該液流路パターンの上に被覆層を設ける工程と、
前記液流路パターンを除去することによって前記複数の圧力室を形成する工程と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記被覆層は樹脂からなり、該被覆層に前記複数の液吐出口をプラズマエッチングまたはフォトリソグラフィーによって形成することを特徴とする請求項１記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
充填材が溶解可能な樹脂であることを特徴とする請求項１記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
充填材が充填された前記複数の圧電振動子の端面を研磨して平滑な平面を形成することを特徴とする請求項１記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
充填材が充填された前記複数の圧電振動子の端面を含む平面上に振動板を形成し、その上に前記液流路パターンを形成することを特徴とする請求項１記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記液流路パターンが光透過性を有し、該液流路パターンを形成する際に、前記圧電振動子の位置合わせのためのアライメント手段を透視することで、前記液流路パターンの位置決めを行うことを特徴とする請求項１記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記複数の圧力室を形成する工程の後、前記充填材を除去する工程を更に含むことを特徴とする請求項１記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項８】
充填材を充填する工程において前記液流路へ液体を供給する液供給口にまで充填材を充填し、前記充填材を除去する工程において前記液供給口からも充填材を除去することを特徴とする請求項７記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項９】
複数の液吐出口と、該複数の液吐出口にそれぞれ連通する複数の圧力室を有する液流路と、前記複数の圧力室にそれぞれ対応する並列した複数の圧電振動子と、を備えた液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記複数の圧電振動子同士の隙間に充填材を充填する工程と、
充填材が充填された前記複数の圧電振動子の端面を含む平面上に液流路パターンを形成する工程と、
該液流路パターンの上に被覆層を設ける工程と、
前記液流路パターンを除去することによって前記複数の圧力室を形成する工程と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット（液体噴射）方式等によって液滴を発生するためのヘッドカートリッジや液体吐出装置等に用いられる液体吐出ヘッドの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
複数のノズル開口が形成されたノズルプレートと、圧電振動子（圧電素子）により部分的に弾性変形可能な振動板とを対向させて圧力室を形成し、圧電振動子の収縮、伸長により圧力室にインク等液体を吸引後、圧電振動子を伸長させて液滴をノズル開口から噴射させるオンデマンド形式の液体噴射式記録装置等の液体吐出ヘッドは、圧電振動子と振動板との接合状態を改善するために例えば特許文献１に示されるように、圧電振動子と振動板との間に結合部材を介し、もって圧電振動子の変位を効率的に圧力室に伝達するように構成されている。また、特許文献２に記載された脚部などが知られているが、いずれの場合においても、圧力室形成部材等と圧電振動子とは別部材として作製した後に互いに接合しているので、この接合工程に高い位置合わせ精度が要求され、製造コストが上昇する傾向がある。
【０００３】
また、上記の接合工程で高い位置合わせ精度を達成することができずに、圧電振動子の変位を効率的に圧力室に伝送できなかったり、本来変形させてはならない部分にまで圧電振動子の変位が伝達されてしまい、ノズルメニスカスが不安定な挙動を示すいわゆるクロストークの一因となる等の未解決の課題がある。
【特許文献１】米国特許第４４１８３５５号明細書
【特許文献２】特公昭６３−２５９４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、圧電振動子と振動板等との結合工程を不要とするため、圧電振動子上に圧力室等を構成する構造体である液流路形成部を一体的に作り付ける液体吐出ヘッドの製造方法を提供することを目的とするものである。
【０００５】
また、本発明の第２の目的は、圧力室に対する圧電振動子の変位伝達が効率的でクロストーク等の発生をできるかぎり防止した液体吐出ヘッドの製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第一の液体吐出ヘッドの製造方法は、複数の液吐出口と、該複数の液吐出口にそれぞれ連通する複数の圧力室を有する液流路と、前記複数の圧力室にそれぞれ対応する櫛歯状の複数の圧電振動子と、を備えた液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記複数の圧電振動子の間の櫛歯溝に充填材を充填する工程と、充填材が充填された前記複数の圧電振動子の端面を含む平面上に液流路パターンを形成する工程と、該液流路パターンの上に被覆層を設ける工程と、前記液流路パターンを除去することによって前記複数の圧力室を形成する工程と、を有することを特徴とする。
【０００７】
本発明の第二の液体吐出ヘッドの製造方法は、複数の液吐出口と、該複数の液吐出口にそれぞれ連通する複数の圧力室を有する液流路と、前記複数の圧力室にそれぞれ対応する並列した複数の圧電振動子と、を備えた液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記複数の圧電振動子同士の隙間に充填材を充填する工程と、充填材が充填された前記複数の圧電振動子の端面を含む平面上に液流路パターンを形成する工程と、該液流路パターンの上に被覆層を設ける工程と、前記液流路パターンを除去することによって前記複数の圧力室を形成する工程と、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
櫛歯溝の充填材と各圧電振動子の端面によって形成された平坦な平面上に被覆樹脂層による液流路形成部を一体的に作り付けることで、圧電振動子と圧力室との間の接合誤差を排除し、両者の高精度な位置合わせを確実に実現できるため、駆動された圧電振動子の振動が隣接する他の圧力室に影響することがなくなり、また、駆動対象となった圧電振動子が属する圧力室に対してはノズル開口列と直行する方向の広い範囲にわたって圧力を均等に伝搬させることができる。
【０００９】
その結果、圧電振動子の変位を効率的に伝達するとともに、隣接する圧力室への変位の伝搬を抑えて、ノズルメニスカスを安定的に維持する精密で高性能な液体吐出ヘッドを低コストで簡易に製造することができる。
【００１０】
このように本発明によれば、液吐出口や圧力室等の液流路を形成する構造体であるノズル形成部を圧電振動子上に一体的に作り付けるものであるため、高い位置合わせ精度を確実にしかも安価に実現することができる。
【００１１】
また、液体吐出ヘッドの液体吐出特性に影響を及ぼす最も重要な因子のひとつである、圧電振動子と液吐出口間の距離や、液吐出口中心との高い位置精度の設定が極めて容易である。加えて、液供給口の位置精度も高く圧力室との距離を短くできるため、動作周波数の高い液体吐出ヘッドを実現できる。
【００１２】
その結果、駆動された圧電振動子の振動が隣接する他の圧力室に伝搬することがなくなり、また駆動対象となった圧電振動子が属する圧力室に対してはノズル開口列と直行する方向の広い範囲にわたって圧力を均等に伝搬させることができる。このように、圧電振動子の変位を効率的に伝達するとともに、隣接する圧力室への変位の伝搬を抑えてノズルメニスカスを安定的に維持することが可能となる。
【００１３】
これによって、安定した吐出による超高画質印字に対応した液体吐出ヘッドを安価に作成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１５】
図１は一実施の形態による液体吐出ヘッドの概略構成を説明するもので、ヘッド完成直前のものを構造がわかりやすいように、上層のノズル形成部（液流路形成部）等と、下層の圧電素子部に分割して示すものである。
【００１６】
ノズル形成部を構成する被覆樹脂層１は、複数の液吐出口（ノズル開口）２を備えたノズル列を２列備えており、後述するように、溶解可能な樹脂をパターニングし、樹脂パターンを溶出する工程を経て、液流路である液体供給室３および圧力室４を形成する。
【００１７】
中層は振動板５であり、２つの開口５ａはそれぞれ被覆樹脂層１の２つの液体供給室３に連通しており、一方の表面が圧力室４を介して液吐出口２に対向し、他方の表面に圧電素子部の２つの振動子ユニット１０の各圧電振動子１１の先端が当接して、圧電振動子１１の伸長、収縮を圧力室４内の液体に伝達する。
【００１８】
２つの振動子ユニット１０はヘッド函体２０に担持されており、ヘッド函体２０は、各振動子ユニット１０を収容する収容部２１と、振動板５の開口５ａに連通する液供給口２２を備えている。
【００１９】
各振動子ユニット１０においては、圧電振動子１１によって記録液等の液小滴を吐出させるための吐出エネルギーが振動板５を介して圧力室４内の液体に与えられ、記録等が行われる。すなわち、インク等液体吐出エネルギー発生素子として圧電振動子１１が用いられており、この素子の機械的振動によって、吐出エネルギーが発生される。なお、各振動子ユニット１０には、これら各圧電振動子１１を動作させるための制御部が配設されている。
【００２０】
図２は、各振動子ユニット１０の詳細を説明するもので、振動子ユニット１０は、圧力室４の配列ピッチに合わせて圧電体材料１０ａを一端から他端に裁断して複数の圧電振動子１１に切分けることにより形成されている。そしてこの裁断の際に支持部材１２上の薄膜電極１２ａを透過する程度の深さにダイシングソウなどの切削深さを設定しておくことにより、駆動信号を供給するためのリード１３を同時に形成することができる。また、圧電振動子１１は支持部材１２に支持され、表面には導電板を導電性接着剤により固定して共通電極１４が形成されている。そして、制御部から、リード１３と共通電極１４に駆動信号を印加すると、これを受けて、各圧電振動子１１がその長手方向に伸長、収縮することになる。
【００２１】
図３に示すように、各振動子ユニット１０は、櫛歯状の圧電振動子１１の端面が、外壁面とほぼ同一平面に並ぶようにヘッド函体２０にセットされる。この平面上に振動板５を介してノズル形成部である被覆樹脂層１を積層する。
【００２２】
図４ないし図１０は、ノズル形成部等の形成工程を説明するもので、まず、振動子ユニット１０の櫛歯状の圧電振動子１１の櫛歯溝（隙間）やヘッド函体２０の各振動子ユニット１０の収容部２１、および液供給口２２等の空間部に充填材である溶解可能な樹脂３１、３２を充填する。ただし、後述するように、振動子ユニット１０の櫛歯溝や振動子ユニット１０の収容部２１に充填する樹脂３１は、最終工程で溶出をしない場合は溶解可能でなくてもかまわない。
【００２３】
次に、圧電振動子１１の櫛歯溝に充填された樹脂３１および各圧電振動子１１の端面によって形成された面２０ａを研磨し平滑な平面を形成する。このように平滑な面にすることで、スピンコートあるいはロールコート等の塗布手段を用いて、およそ５０μｍ以下の膜厚であれば任意の膜厚で振動板５や被覆樹脂層１を高精度に成膜することが可能となる。また、ドライフィルム化できない材料（被覆性に乏しい材料）も被覆樹脂層１や振動板５として使用可能となる等多くの利点を生じる。
【００２４】
この面２０ａの上に樹脂を積層しノズル形成部等を形成するが、このとき、振動子ユニット１０の各圧電振動子１１と圧力室４および液吐出口２とのアライメントを正確に行う必要がある。そこで以下のパターニング工程では、パターニングする樹脂を透視し、直接的に圧電振動子１１あるいは振動子ユニット１０に設けたアライメントマーク等のアライメント手段を基準にアライメントを行いパターニングをするとよい。
【００２５】
まず、図５に示すように、スピンコートあるいはロールコートで感光性樹脂層を成膜して、パターニングし、液供給口２２に対応した開口５ａを有する振動板５を形成する。
【００２６】
振動板５に用いる樹脂は、液体吐出ヘッドの構造材料となるため、高い機械的強度、耐熱性、基板に対する密着性およびインク等液体に対する耐性や該液体を変質せしめない等の特性が要求される。
【００２７】
次いで、図６に示すように、スピンコートあるいはロールコートで溶解可能な樹脂を成膜し、パターニングして、液体供給室３および圧力室４等の形状を有する液流路パターンである樹脂パターン３３を形成する。
【００２８】
次に図７に示すように、樹脂パターン３３上に被覆樹脂層１となる樹脂層３４を形成する。この樹脂層３４も液体吐出ヘッドの構造材料となるため、高い機械的強度、耐熱性、基板に対する密着性およびインク等液体に対する耐性や該液体を変質せしめない等の特性が要求される。
【００２９】
そして被覆樹脂層１となる樹脂層３４は光または熱エネルギーの付与により重合、硬化し基体に対して強く密着するものが好適に用いられる。
【００３０】
次いで、樹脂層３４をパターニングして液吐出口２を形成するためにレジスト３５を塗布して開口３５ａを形成し、図８に示すように、被覆樹脂層１となる樹脂層３４が感光性の場合は、フォトリソ技術によって液吐出口２をパターニングする。
【００３１】
硬化した樹脂層を穴加工する場合は、エキシマレーザーによる加工や、酸素プラズマによるエッチング等の手法を用いてもよい（図８参照）。
【００３２】
次に、図９に示すように、液供給口２２に充填された樹脂３２と樹脂パターン３３およびレジスト３５等を溶剤によって溶出し、さらに、図１０に示すように、振動子ユニット１０の圧電振動子１１の櫛歯溝の隙間や、振動子ユニット１０を収容するヘッド函体２０の収容部２１に充填した樹脂３１を溶出する。なお、前述のように、この最終工程を省略し、収容部２１等の樹脂３１を充填したまま残してもかまわない。
【００３３】
このようにして形成した圧力室４等を有する被覆樹脂層１上に液体供給のための部材を接合し、圧電振動子１１を駆動するための電気的接続を行って液体吐出ヘッドが完成する。
【実施例１】
【００３４】
図４から図１０に示す工程に従って液体吐出ヘッドを作成する液体吐出ヘッドの製造方法の具体例を説明する。
【００３５】
まず、吐出エネルギー発生素子として圧電振動子１１を有する振動子ユニット１０を製作した。この振動子ユニット１０は、図２に示したように圧電材料と電極材料とを交互に２０層サンドイッチ状に積層して２４Ｖ程度の低電圧駆動が可能に構成された積層型の圧電体材料１０ａの一部を、表面に薄膜電極１２ａが形成された支持部材１２に導電接着剤ＫＥ３４９２（信越化学）により固定して、支持部材１２の切り欠きに対向する自由端部を、圧力室４の配列ピッチに合わせて一端から他端に裁断して複数の圧電振動子１１に切分けられて構成されている。そしてこの裁断の際に薄膜電極１２ａを透過する程度の深さにダイシングソウなどの切削深さを設定しておくことにより、駆動信号を供給するためのリード１３を同時に形成することができる。本実施例では、ダイシング切削幅を９０μｍとし、厚さ５００μｍの積層型の圧電体材料１０ａに対し、５５０μｍの切削深さでダイシングを行った。また、圧電振動子１１の他方の表面には導電板を導電性接着剤により固定して共通電極１４が形成されている。従って、リード１３と共通電極１４に駆動信号を印加すると、これを受けて、各圧電振動子１１がその長手方向に伸長、収縮することになる。
【００３６】
図３に示すように、各振動子ユニット１０は、圧電振動子１１の先端が、外壁面とほぼ同一平面に並ぶようにヘッド函体２０にセットされる。この面の上に振動板５等を積層形成していく。
【００３７】
まず、ノズル形成部等を積層形成していくために、各圧電振動子１１の櫛歯溝および振動子ユニット１０を収容するヘッド函体２０の収容部２１や、液供給口２２等の空間部に溶解可能な樹脂３１、３２を充填する。これらの樹脂としてＰＭＥＲ  Ａ−９００（東京応化工業（株）社製）を用いた。さらにノズル形成部等を積層形成する面２０ａを研磨し平滑な面を形成した。
【００３８】
次に、感光性樹脂層をスピンコートで成膜し、さらに液供給口２２に対応した開口５ａとをパターニングして振動板５を形成した。本実施例においては、エポキシ樹脂としてＥＨＰＥ−３１５０（ダイセル化学工業（株）社製）  脂環式エポキシ樹脂）、熱硬化性のカチオン重合触媒として４、４’−ジ−ｔ−ブチルジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート／銅トリフラートからなる混合触媒を用いた。
【００３９】
さらに、図６に示すように、溶解可能な樹脂層としてＰＭＥＲ  Ａ−９００（東京応化工業（株）社製）をスピンコートで形成し、キヤノン製マスクアライナーＭＰＡ−６００にてパターニング、現像することで液流路である液体供給室３および圧力室４の樹脂パターン３３を形成した。
【００４０】
前記ＰＭＥＲ  Ａ−９００はノボラック型レジストであり、高い解像性、安定したパターニング特性を有するものであるが、被膜性に乏しくドライフィルム化は困難である。ここで本発明においては、振動板５の表面は平面に保たれているためノボラック系のレジストもスピンコートで正確な膜厚で形成することができる。
【００４１】
次に、図７に示すように、樹脂パターン３３上に被覆樹脂層１となる樹脂層３４をスピンコートで形成した。
【００４２】
この樹脂層３４は、液体吐出ヘッドの構造材料となるため高い機械的強度、基板に対する密着性、耐インク性等が要求され、エポキシ樹脂の熱あるいは光反応によるカチオン重合硬化物が最適に用いられる。本実施例においては、エポキシ樹脂としてＥＨＰＥ−３１５０（ダイセル化学工業（株）社製）  脂環式エポキシ樹脂）、熱硬化性のカチオン重合触媒として４、４’−ジ−ｔ−ブチルジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート／銅トリフラートからなる混合触媒を用いた。
【００４３】
次に樹脂層３４上に液吐出口２を形成するが、本実施例においては酸素プラズマエッチングにより液吐出口２を形成する。被覆樹脂層１となる樹脂層３４上にレジスト３５としてシリコン含有ポジ型レジストＦＨ−ＳＰ（富士ハント（株）社製）を塗布し、液吐出口２に対応する部分をパターニングして開口３５ａを形成する。
【００４４】
次に、図８に示すように、酸素プラズマエッチングにより液吐出口２をエッチングする。前記レジストＦＨ−ＳＰは耐酸素プラズマ膜として作用し、液吐出口部のみが溶解可能な樹脂パターン３３中の任意の点で終了させればよい。従って、振動板５の面に何らダメージを与えることはない。
【００４５】
次に、図８および図９に示すように、液供給口２２に充填された樹脂３２、樹脂パターン３３およびＦＨ−ＳＰ膜であるレジスト３５を洗い出す。そして、図１０に示すように、樹脂３１を除去する。この工程において、樹脂３２、樹脂パターン３３、レジスト３５および樹脂３１を一括して除去することは、製造上簡易なので好ましいものである。
【００４６】
最後に液体供給部材の接合、信号入力のための電気的接続を行って液体吐出ヘッドが完成する。
【００４７】
このようにして作成した液体吐出ヘッドを記録装置に装着し、純水／ジエチレングリコール／イソプロピルアルコール／酢酸リチウム／黒色染料フードブラック２＝７９．４／１５／３／０．１／２．５（重量％）からなるインクを用いて記録を行ったところ安定な印字が可能であり、得られた印字物は高品位なものであった。
【実施例２】
【００４８】
本実施の形態による液体吐出ヘッドの製造方法の別の具体例を説明する。
【００４９】
本実施例では、図４ないし図６に示すノズル形成部等の形成工程において実施例１と同様に溶解可能な樹脂材料としてＰＭＥＲ  Ａ−９００を用いて樹脂パターン３３を形成し、同様に被覆樹脂層１となる樹脂層３４を形成した。樹脂層３４の材料は実施例１と同様の組成物を用いた。ここで前記組成物は、４、４’−ジ−ｔ−ブチルジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート／銅トリフラートからなる混合触媒は感光性を有しているため、図１１に示すように、フォトリソグラフィーにより液吐出口４２を形成した。すなわち、樹脂層３４の形成後にマスクを介してキヤノン製マスクアライナーＰＬＡ５２０（コールドミラー２５０）で露光し、現像することで液吐出口４２を形成した。
【００５０】
この後は、樹脂パターン３３と、液供給口２２の樹脂３２を除去することで液体吐出ヘッドが完成する。
【００５１】
最後に実施例１と同様に液体供給部材、信号入力のための電気的接続を行ったところ、良好な印字が可能であった。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
本発明は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の被記録媒体に対し記録を行う、プリンタ、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサ等の装置、さらには各種処理装置と複合的に組み合わせた産業用記録装置に適用できる液体吐出ヘッドの製造方法として利用することができる。ここで「記録」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を被記録媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を付与することをも意味するものである。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】一実施の形態による液体吐出ヘッドを分解して示す模式分解斜視図である。
【図２】振動子ユニットの製造工程を説明するものである。
【図３】液体吐出ヘッドの下層を示すもので、（ａ）は圧電振動子の長手方向に沿ってとった模式断面図、（ｂ）は幅方向の模式断面図である。
【図４】液体吐出ヘッドを形成する第１の工程を示すもので、（ａ）は圧電振動子の長手方向に沿ってとった模式断面図、（ｂ）は幅方向の模式断面図である。
【図５】液体吐出ヘッドを形成する第２の工程を示すもので、（ａ）は圧電振動子の長手方向に沿ってとった模式断面図、（ｂ）は幅方向の模式断面図である。
【図６】液体吐出ヘッドを形成する第３の工程を示すもので、（ａ）は圧電振動子の長手方向に沿ってとった模式断面図、（ｂ）は幅方向の模式断面図である。
【図７】液体吐出ヘッドを形成する第４の工程を示すもので、（ａ）は圧電振動子の長手方向に沿ってとった模式断面図、（ｂ）は幅方向の模式断面図である。
【図８】液体吐出ヘッドを形成する第５の工程を示すもので、（ａ）は圧電振動子の長手方向に沿ってとった模式断面図、（ｂ）は幅方向の模式断面図である。
【図９】液体吐出ヘッドを形成する第６の工程を示すもので、（ａ）は圧電振動子の長手方向に沿ってとった模式断面図、（ｂ）は幅方向の模式断面図である。
【図１０】液体吐出ヘッドを形成する第７の工程を示すもので、（ａ）は圧電振動子の長手方向に沿ってとった模式断面図、（ｂ）は幅方向の模式断面図である。
【図１１】液吐出口を酸素プラズマエッチングにより形成する工程を説明するもので、（ａ）は圧電振動子の長手方向に沿ってとった模式断面図、（ｂ）は幅方向の模式断面図である。
【符号の説明】
【００５４】
１    被覆樹脂層（ノズル形成部）
２、４２    液吐出口
３    液体供給室
４    圧力室
５    振動板
１０    振動子ユニット
１１    圧電振動子
１２    支持部材
２０    ヘッド函体
２１    収容部
２２    液供給口
３１、３２    樹脂
３３    樹脂パターン
３４    樹脂層
３５    レジスト
【図１】
2005053224.tif 000003
【図２】
2005053224.tif 000004
【図３】
2005053224.tif 000005
【図４】
2005053224.tif 000006
【図５】
2005053224.tif 000007
【図６】
2005053224.tif 000008
【図７】
2005053224.tif 000009
【図８】
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【図９】
2005053224.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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