(57)【要約】【課題】  駆動電流を最小限に抑え、高効率かつ低騒音を実現するステッピングモータ駆動方法および制御装置を提供する。【解決手段】  ステッピングモータを駆動する装置において、定電流制御電圧指令を生成する定電流制御部１０と、ベクトル制御電圧指令を生成するベクトル制御部１１と、駆動速度を判別する速度判別部８と、駆動切替え部９で構成され、駆動切替え部９が定電流制御部１０とベクトル制御部１１を速度判別部８の判別結果より切り替えることを特徴とするステッピングモータの制御装置。【選択図】    図１
2005039955.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステッピングモータの駆動方法において、
エンコーダで磁極位置検出を行い該磁極位置を記憶し、ステッピングモータの駆動指令としてパルス指令が、速度判別部に入力され、ステッピングモータ駆動速度を判別し、前記速度判別部における速度判別結果を速度判別信号として駆動切替え部に渡し、駆動判別結果の駆動判別信号により、駆動速度が設定値以下の場合、定電流制御選択信号を出力し、
駆動速度が所定値以上の場合、ベクトル制御選択信号を出力し、駆動切替え部の出力信号が定電流制御選択信号である場合、電流フィードバックより算出したモータ巻線電圧を基準電圧と比較し、モータ巻線電圧が基準電圧より低いときは、電圧アンプのスイッチングトランジスタを引き続きＯＮする定電流制御電圧指令を出力し、基準電圧より高いときは、電圧アンプのスイッチングトランジスタをＯＦＦする定電流制御電圧指令を出力し、常に定格電流が流れるように電流制御し、
前記駆動切替え部の出力信号がベクトル制御選択信号である場合、パルス指令より生成された速度指令とエンコーダ信号より検出した速度よりトルク電流指令を生成し、励磁電流指令を零として、その結果三相の電圧指令であるベクトル制御電圧指令を出力する電圧アンプによりステッピングモータに電圧を与えることでステッピングモータを駆動するステッピングモータの駆動方法。
【請求項２】
ステッピングモータを駆動する装置において、
定電流制御電圧指令を生成する定電流制御部と、ベクトル制御電圧指令を生成するベクトル制御部と、駆動速度を判別する速度判別部と、駆動切替え部で構成され、前記駆動切替え部が前記定電流制御部と前記ベクトル制御部を前記速度判別部の判別結果より切り替えることを特徴とするステッピングモータの制御装置。
【請求項３】
前記ベクトル制御電圧指令は、エンコーダ信号を用いず、オブザーバを用いたセンサレス制御で実現することを特徴とする請求項１記載のステッピングモータの駆動方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高タクトかつ高精度位置決めが要求される半導体製造装置のステッピングモータを駆動する駆動方法および制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のステッピングモータ駆動装置は、ドライブ部に流す電流を一定に保つ定電流制御手段と、ドライブ部にかける電圧を一定に保つ定電圧手段とを設け、モータの回転速度に応じて電流制御手段と定電圧手段とを切り替えてステッピングモータを駆動している（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
従来技術を図５に基づいて説明する。図５は、従来技術のステッピングモータ駆動装置の回路ブロック図例を示している。図５において、１０１は外部からの指示によりステッピングモータを駆動するために必要な励磁パターンを発生させるとともに従来方式の各部を制御する制御部を示し、１０２は入力信号Spwmのデューティ比に従って駆動電源V1をモータ電圧Vmに変換するDC/DC変換器を示す。１０３はモータに流れる電流を検出する抵抗器R1の両端によって発生される入力電圧と制御部１０１のVref信号の差によりデューティ比を変化してSpwm信号を発生するPWM部を示し、１０４は制御部１０１からの励磁信号をプルアップするためのプルアップA部を示す。
１０５は入力された励磁パターン信号より５相ステッピングモータを実際に駆動するためのFETで構成されたドライブ部を示し、１０６は５相ステッピングモータを示し、１０７は制御部１０１に動作条件を指示するためのコントロール信号入力端子を示す。１２０は制御部１０１からの励磁信号をプルアップするためのプルアップB部を示し、R1はモータに流れる電流を検出して電圧として取り出すための抵抗器を示す。R4,R5はモータ電圧Vmを分圧する抵抗器を示し、R6は、抵抗器R1と直列に接続された抵抗器を示し、１１０は、制御部１０１からの定電圧／定電流切替信号S1（以下、単に、切替信号S1という）の指示により、PWM部のVaへの入力を抵抗器R1とR6の接続点または抵抗器R4とR5の接続点のいずれかに切り替えて、定電流制御／定電圧制御を切り替える切替SW（スイッチ）を示す。１１１は、制御部１０１からの電流制限信号S1の指示により、抵抗器R6をショートしまたはショートしない状態のいずれかに切り替えて電流を制限する（ショートしない状態のとき）切替SWを示す。
【０００４】
次に動作について説明する。最初に定電流制御について説明する。コントロール信号入力端子１０７より制御部１０１に定電流時のVrefを与え、制御部１０１からの切替信号S1の指示により、SW１１０をR1側からの信号ラインに切り替え、また制御部１０１からの電流制限信号S2の指示により、SW１１１をショート状態になるように切り替える。そして、モータ１０６の回転速度を設定してモータスタートを指示する。制御部１０１は指示に従いモータを駆動させるための励磁パターン信号を発生して出力する。それぞれの励磁パターン信号はプルアップA部、プルアップB部１２０に入り、適当な電圧になるように電位が与えられ、ドライブ部１０５のそれぞれのFET１〜１０に入力される励磁パターンに従ってモータ１０６のコイルに電流を流し、モータ１０６は回転する。
ドライブ部１０５の−側からのモータ１０６に流れた総電流ImはSW１１１がショートなのでこのSW１１１と抵抗器R1を通ってグランドに落ちる。その時、抵抗器R1の両端にかかる電圧はImR1（抵抗値をR1とする）となり、SW１１０を通ってPWM部１０３に入る。PWM部１０３ではその電圧を検知して制御部１０１からのVrefとの差をとり、それに基づいてPWM発生器はPWM信号Spwmを出力する。SpwmによりDC/DC変換部１０２で電圧変換され、Vmが設定されドライブ部１０５の＋に入力される。そしてモータ１０６に電流が流れ、前と同じような動作を繰り返す。このようにしてR1で検出された電圧Vrefに合わせるようにしてVmを変化させることで常にR1に一定の電流が流れ定電流制御が行われる。
【０００５】
次に、定電圧制御について説明する。
コントロール信号入力端子１０７より制御部１０１に定電圧時のVrefを与え、SW１１０をR4、5側からの信号ラインに切替え、SW１１１をオープン状態になるように切り替えるように切替信号S1、電流制限信号S2によって指示し、モータ１０６の回転速度を設定してモータスタートを指示する。モータ電圧Vmを抵抗器R4、5による分圧により降下させ、その電圧をSW１１０を通してPWM部に入れ、その電位とVrefとの差によりPWM信号Spwmを発生させ、DC/DC変換部１０２により電圧変換させてドライブ部１０５にモータ電圧Vmを与える。このようにしてモータ電圧Vmの値が一定になるように定電圧制御が行われる。
定電流制御と定電圧制御について前述したが、従来技術では、特に、モータの回転情報（回転速度、即ち、回転数）に応じて、これらの制御は切り替えられえるように構成されている。
このように、従来のステッピングモータ駆動装置は、定電流制御と定電圧制御を切り替えてステッピングモータを駆動するのである。
【特許文献１】特開平１１−８９２９０号公報（第４−７頁、第１図）
【特許文献２】特開平１０−１７４４９９号公報（第３−５頁）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来のステッピングモータ駆動装置は、一定速度駆動時でも定格電流が通電される定電流制御となっているため、効率が悪いという問題があった。
そこで、本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、駆動電流を最小限に抑え、高効率かつ低騒音を実現するステッピングモータ駆動方法および制御装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記問題を解決するため、本発明は、次のように構成したのである。
請求項１に記載の発明は、ステッピングモータの駆動方法において、エンコーダで磁極位置検出を行い該磁極位置を記憶し、ステッピングモータの駆動指令としてパルス指令が、速度判別部に入力され、ステッピングモータ駆動速度を判別し、前記速度判別部における速度判別結果を速度判別信号として駆動切替え部に渡し、駆動判別結果の駆動判別信号により、駆動速度が設定値以下の場合、定電流制御選択信号を出力し、
駆動速度が所定値以上の場合、ベクトル制御選択信号を出力し、駆動切替え部の出力信号が定電流制御選択信号である場合、電流フィードバックより算出したモータ巻線電圧を基準電圧と比較し、モータ巻線電圧が基準電圧より低いときは、電圧アンプのスイッチングトランジスタを引き続きＯＮする定電流制御電圧指令を出力し、基準電圧より高いときは、電圧アンプのスイッチングトランジスタをＯＦＦする定電流制御電圧指令を出力し、常に定格電流が流れるように電流制御し、
前記駆動切替え部の出力信号がベクトル制御選択信号である場合、パルス指令より生成された速度指令とエンコーダ信号より検出した速度よりトルク電流指令を生成し、励磁電流指令を零として、その結果三相の電圧指令であるベクトル制御電圧指令を出力する電圧アンプによりステッピングモータに電圧を与えることでステッピングモータを駆動することを特徴とするものである。
このようになっているため、駆動電流を最小限に抑え、高効率かつ低騒音でステッピングモータを駆動することができる。また、停止時には、定電流制御を行うことで、従来方式と同様の位置決めが実現でき、高精度位置決めが要求される半導体製造装置にも適用できる。
また、請求項２に記載の発明は、ステッピングモータを駆動する装置において、
定電流制御電圧指令を生成する定電流制御部とベクトル制御電圧指令を生成するベクトル制御部と駆動速度を判別する速度判別部と駆動切替え部で構成され、
前記駆動切替え部が前記定電流制御部と前記ベクトル制御部を前記速度判別部の判別結果より切り替えることを特徴とするものである。
このようになっているため、駆動電流を最小限に抑え、高効率かつ低騒音でステッピングモータを駆動することができる。また、停止時には、定電流制御を行うことで、従来方式と同様の位置決めが実現でき、高精度位置決めが要求される半導体製造装置にも適用できる。
また、請求項３に記載の発明は、請求項１記載のステッピングモータ駆動方法において、ベクトル制御電圧指令は、エンコーダ信号を用いず、オブザーバを用いたセンサレス制御で実現することを特徴とするものである。
このようになっているため、エンコーダ信号なしで請求項１のステッピングモータ駆動方法を実現することができ、安価でかつ駆動電流を最小限に抑え、高効率かつ低騒音でステッピングモータを駆動することができる。また、停止時には、定電流制御を行うことで、従来方式と同様の位置決めが実現でき、高精度位置決めが要求される半導体製造装置にも適用できる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明のステッピングモータ駆動方法によれば、駆動速度により駆動方式を切り替えることによって、駆動電流を最小限に抑え、高効率かつ低騒音でステッピングモータを駆動することができる。また、停止時には、定電流制御を行うことで、従来方式と同様の位置決めが実現でき、高精度位置決めが要求される半導体製造装置にも適用できる。
また、請求項２に記載のステッピングモータ駆動装置によれば、駆動速度により駆動方式を切り替えることによって、駆動電流を最小限に抑え、高効率かつ低騒音でステッピングモータを駆動することができる。また、停止時には、定電流制御を行うことで、従来方式と同様の位置決めが実現でき、高精度位置決めが要求される半導体製造装置にも適用できる。
また、請求項３記載のステッピングモータ駆動方法によれば、ベクトル制御方式において、エンコーダ信号を用いず、オブザーバを用いたセンサレス制御で実現することによって、エンコーダ信号なしで請求項１のステッピングモータ駆動方法を実現することができ、安価でかつ駆動電流を最小限に抑え、高効率かつ低騒音でステッピングモータを駆動することができる。また、停止時には、定電流制御を行うことで、従来方式と同様の位置決めが実現でき、高精度位置決めが要求される半導体製造装置にも適用できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の具体的実施例を図に基づいて説明する。
【実施例１】
【００１０】
図１は、本発明の第１実施例を示すステッピングモータ駆動方法の速度パターン例である。図１において、１は定電流制御駆動領域、２はベクトル制御駆動領域である。図２は、本発明の第１実施例を示すフローチャートである。図２において、３は磁極検出ステップ、４は速度判別ステップ、５は速度判別結果を判別するステップ、６は定電流制御方式のステップ、７はベクトル制御方式のステップである。
図１における、本発明のステッピングモータ駆動方法の速度パターン例でステッピングモータ（今回の例では三相のステッピングモータとする、以下ステッピングモータと記述する）を駆動する場合、まず、磁極検出ステップ３において、磁極検出を行い、磁極位置を記憶する。この磁極検出はベクトル制御駆動を行う場合の磁極位置に使用し、電流を効率よく流すために必要である。次に速度判別ステップ４で、ステッピングモータの駆動速度を判別する。速度判別ステップ４の速度判別結果を判別するステップ５において、ステッピングモータの駆動速度判別結果が例えば１０[min-1]（この速度は任意の設定値であり、パラメータなどにより設定可能とする。以下同じ）
以下の場合、すなわち、図１における定電流制御駆動領域１である場合、ステッピングモータが図１に示した速度パターン例のように駆動するために、モータ巻線電圧を基準電圧と比較し、モータ巻線電圧が基準電圧より低いとき（定格電流に達してないとき）は、スイッチングトランジスタを引き続きＯＮし、基準電圧より高いとき（定格電流を超えたとき）は、スイッチングトランジスタをＯＦＦし、常に定格電流が流れるように電流制御する、定電流制御方式による駆動を行う定電流制御方式のステップ６を実行する。
速度判別ステップ４の速度判別結果を判別するステップ５において、ステッピングモータの駆動速度判別結果が１０[min-1] （この速度は任意であり、パラメータなどにより設定可能とする。）
以上の場合、すなわち、図１におけるベクトル制御駆動領域２である場合、ステッピングモータが速度パターン例のように駆動するために、電流フィードバックをエンコーダ信号を用いて三相二相変換、ｄ−ｑ変換を行い、励磁電流（d軸電流）およびトルク電流（q軸電流）を生成する。また、ステッピングモータ速度指令とエンコーダ信号より検出した速度よりトルク電流指令を生成し、励磁電流指令を０（任意の値であり、パラメータにより設定可能）として、励磁電流およびトルク電流の制御、すなわちベクトル制御方式を行い、その結果三相の電圧指令を電圧アンプにより与えることでステッピングモータを駆動するベクトル制御方式のステップ７を実行する。
この実施形態のステッピングモータ駆動装置によれば、駆動速度により駆動方式を切り替えることによって、駆動電流を最小限に抑え、高効率かつ低騒音でステッピングモータを駆動することができる。また、停止時には、定電流制御を行うことで、従来方式と同様の位置決めが実現でき、高精度位置決めが要求される半導体製造装置の露光装置にも適用できる。
【実施例２】
【００１１】
図３は、本発明の第２実施例を示すステッピングモータ駆動装置の回路ブロック図例である。図３において、８は速度判別部、９は速度判別部８の判別結果により駆動方法を切り替える駆動切替え部、１０は定電流制御電圧指令を生成する定電流制御部、１１はベクトル制御電圧指令を生成するベクトル制御部、１２は定電流制御部とベクトル制御部において生成された電圧指令によりステッピングモータを駆動する電圧アンプ、１３はステッピングモータ、１４は位置決め制御装置から出力されるパルス指令、１５は速度判別信号、１６は定電流制御選択信号、１７はベクトル制御選択信号、１８は定電流制御電圧指令、１９はベクトル制御電圧指令、２０は電流フィードバック、２１はエンコーダ、２２はエンコーダ信号である。
図１における、本発明のステッピングモータ駆動方法の速度パターン例でステッピングモータ（今回の例では三相のステッピングモータとする、以下ステッピングモータと記述する）を駆動する場合、まず、磁極検出を行い、エンコーダ２１で磁極位置を記憶する。この磁極検出はベクトル制御駆動を行う場合の磁極位置に使用し、電流を効率よく流すために必要である。次に、ステッピングモータの駆動指令としてパルス指令１４が、速度判別部８に入力されると速度判別部８において、ステッピングモータ駆動速度を判別する。判別方法としては、パルス指令１４をカウントする機能を持ち、カウントしたパルス数をNとすると、例えば、ステッピングモータのステップ角θ[°]、速度判別部８のサンプリング時間ts[s]とした場合、N/ts×６０×θ/３６０[min-1]より速度がわかる。この速度判別部８における速度判別結果N/ts×６０×θ/３６０[min-1]を速度判別信号１５として駆動切替え部９に渡す。駆動切替え部９において、駆動判別結果の駆動判別信号１５により、駆動速度N/ts×６０×θ/３６０[min-1]が１０[min-1]（この速度は任意であり、パラメータなどにより設定可能とする。）
以下の場合、すなわち、図１における定電流制御駆動領域１である場合、定電流制御選択信号１６を出力し、駆動速度N/ts×６０×θ/３６０[min-1]が１０[min-1] （この速度は任意であり、パラメータなどにより設定可能とする。）
以上の場合、すなわち、図１におけるベクトル制御駆動領域２である場合、ベクトル制御選択信号１７を出力する。駆動切替え部９の出力信号が定電流制御選択信号１６である場合、定電流制御部１０において、パルス指令１４の速度でステッピングモータが駆動するために、電流フィードバック２０より算出したモータ巻線電圧を基準電圧と比較し、モータ巻線電圧が基準電圧より低いとき（定格電流に達してないとき）は、電圧アンプ１２のスイッチングトランジスタを引き続きＯＮする定電流制御電圧指令１８を出力し、基準電圧より高いとき（定格電流を超えたとき）は、電圧アンプ１２のスイッチングトランジスタをＯＦＦする定電流制御電圧指令１８を出力し、常に定格電流が流れるように電流制御する。駆動切替え部９の出力信号がベクトル制御選択信号１７である場合、ベクトル制御部１１において、電流フィードバック２０をエンコーダ２１より検出したエンコーダ信号２２を用いて三相二相変換、ｄ−ｑ変換を行い、励磁電流（d軸電流）およびトルク電流（q軸電流）を生成する。また、パルス指令１４より生成された速度指令とエンコーダ信号２２より検出した速度よりトルク電流指令を生成し、励磁電流指令を０（任意の値であり、パラメータにより設定可能）として、励磁電流およびトルク電流の制御、すなわちベクトル制御を行い、その結果三相の電圧指令である、ベクトル制御電圧指令１９を出力し、電圧アンプ１２によりステッピングモータ１３に電圧を与えることでステッピングモータ１３を駆動する。
この実施形態のステッピングモータ駆動装置によれば、駆動速度により駆動方式を切り替えることによって、駆動電流を最小限に抑え、高効率かつ低騒音でステッピングモータを駆動することができる。また、停止時には、定電流制御を行うことで、従来方式と同様の位置決めが実現でき、高精度位置決めが要求される半導体製造装置にも適用できる。
【実施例３】
【００１２】
図４は本発明の第３実施例を示すステッピングモータ駆動装置の回路ブロック図例である。図４において、符号は前述に同じである。
図１における、本発明のステッピングモータ駆動方法の速度パターン例でステッピングモータ（今回の例では三相のステッピングモータとする、以下ステッピングモータと記述する）を駆動する場合、まず、磁極検出を行い、エンコーダ２１で磁極位置を記憶する。この磁極検出はベクトル制御駆動を行う場合の磁極位置に使用し、電流を効率よく流すために必要である。次に、ステッピングモータの駆動指令としてパルス指令１４が、速度判別部８に入力されると速度判別部８において、ステッピングモータ駆動速度を判別する。判別方法としては、パルス指令１４をカウントする機能を持ち、カウントしたパルス数をNとすると、例えば、ステッピングモータのステップ角θ[°]、速度判別部８のサンプリング時間ts[s]とした場合、N/ts×６０×θ/３６０[min-1]より速度がわかる。この速度判別部８における速度判別結果N/ts×６０×θ/３６０[min-1]を速度判別信号１５として駆動切替え部９に渡す。駆動切替え部９において、駆動判別結果の駆動判別信号１５により、駆動速度N/ts×６０×θ/３６０[min-1]が１０[min-1]（この速度は任意であり、パラメータなどにより設定可能とする。）
以下の場合、すなわち、図１における定電流制御駆動領域１である場合、定電流制御選択信号１６を出力し、駆動速度N/ts×６０×θ/３６０[min-1]が１０[min-1] （この速度は任意であり、パラメータなどにより設定可能とする。）
以上の場合、すなわち、図１におけるベクトル制御駆動領域２である場合、ベクトル制御選択信号１７を出力する。駆動切替え部９の出力信号が定電流制御選択信号１６である場合、定電流制御駆動部１０において、パルス指令１４の速度でステッピングモータが駆動するために、電流フィードバック２０より算出したモータ巻線電圧を基準電圧と比較し、モータ巻線電圧が基準電圧より低いとき（定格電流に達してないとき）は、電圧アンプ１２のスイッチングトランジスタを引き続きＯＮする定電流制御電圧指令１８を出力し、基準電圧より高いとき（定格電流を超えたとき）は、電圧アンプ１２のスイッチングトランジスタをＯＦＦする定電流制御電圧指令１８を出力し、常に定格電流が流れるように電流制御する。駆動切替え部９の出力信号がベクトル制御選択信号１７である場合、ベクトル制御駆動部１１において、例えば、特許文献２（発明実施形態）の永久磁石型同期電動機のセンサレス制御装置を用い、電流フィードバック２０を三相二相変換、ｄ−ｑ変換を行い、励磁電流（d軸電流）およびトルク電流（q軸電流）を作成する。また、パルス指令１４より生成された速度指令と特許文献２（発明実施形態）の永久磁石型同期電動機のセンサレス制御装置より生成した速度よりトルク電流指令を生成し、励磁電流指令を０（任意の値であり、パラメータにより設定可能）として、励磁電流およびトルク電流の制御、すなわちベクトル制御を行い、その結果三相の電圧指令である、ベクトル制御電圧指令１９を出力し、電圧アンプ１２によりステッピングモータ１３に電圧を与えることでステッピングモータ１３を駆動する。このとき、特許文献２（発明実施形態）の永久磁石型同期電動機のセンサレス制御装置は、磁極位置を把握しておくため、駆動状態にかかわらず、常に計算しておくものとする。
この実施形態のステッピングモータ駆動方法によれば、ベクトル制御方式において、エンコーダ信号を用いず、オブザーバを用いたセンサレス制御で実現することによって、エンコーダ信号なしで請求項１のステッピングモータ駆動方法を実現することができ、安価でかつ駆動電流を最小限に抑え、高効率かつ低騒音でステッピングモータを駆動することができる。また、停止時には、定電流制御を行うことで、従来方式と同様の位置決めが実現でき、高精度位置決めが要求される半導体製造装置にも適用できる。
【産業上の利用可能性】
【００１３】
本発明は、停止時には、定電流制御を行うことで、従来方式と同様の位置決めが実現でき、高精度位置決めが要求される半導体製造装置の露光装置にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第１実施例を示すステッピングモータ駆動方法の速度パターン例
【図２】本発明の第１実施例を示すフローチャート
【図３】本発明の第２実施例を示すステッピングモータ駆動装置の回路ブロック図例
【図４】本発明の第３実施例を示すステッピングモータ駆動装置の回路ブロック図例
【図５】従来のステッピングモータ駆動装置の回路ブロック図例
【符号の説明】
【００１５】
１  定電流制御駆動領域
２  ベクトル制御駆動領域
３  磁極検出ステップ
４  速度判別ステップ
５  速度判別結果を判別するステップ
６  定電流制御方式のステップ
７  ベクトル制御方式のステップ
８  速度判別部
９  駆動切替え部
１０  定電流制御部
１１  ベクトル制御部
１２  電圧アンプ
１３  ステッピングモータ
１４  パルス指令
１５  速度判別信号
１６  定電流制御選択信号
１７  ベクトル制御選択信号
１８  定電流制御電圧指令
１９  ベクトル制御電圧指令
２０  電流フィードバック
２１  エンコーダ
２２  エンコーダ信号
１０１  制御部
１０２  DC/DC変換器
１０３  PWM部
１０４  プルアップA部
１０５  ドライブ部
１０６  モータ
１０７  コントロール信号入力端子
１１０、１１１  SW
１２０  プルアップB部
【図１】
2005039955.tif 000003
【図２】
2005039955.tif 000004
【図３】
2005039955.tif 000005
【図４】
2005039955.tif 000006
【図５】
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