(57)【要約】【課題】  外部からの振動や衝撃等に強い静電アクチュエータ及びこの静電アクチュエータを適用した光学装置を提供する。【解決手段】  対向した対の固定子の間に可動子を配置し前記可動子を振動させつつ所定方向に移動させる静電アクチュエータにおいて、前記可動子を永久磁石を用いて吸着保持する吸着保持部を有し、前記吸着保持部により前記可動子を吸着して前記可動子の前記移動を阻止することを特徴とする静電アクチュエータ。【選択図】        図１
2005341636.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向した対の固定子の間に可動子を配置し前記可動子を振動させつつ所定方向に移動させる静電アクチュエータにおいて、
前記可動子を永久磁石を用いて吸着保持する吸着保持部を有し、前記吸着保持部により前記可動子を吸着して前記可動子の前記移動を阻止することを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項２】
可動子を振動方向に吸着して前記可動子の移動を阻止することを特徴とする請求項１に記載の静電アクチュエータ。
【請求項３】
可動子を振動方向と直交する方向に吸着して前記可動子の移動を阻止することを特徴とする請求項１に記載の静電アクチュエータ。
【請求項４】
前記吸着保持部は前記永久磁石の磁力を消磁させる機能を有し、前記可動子の所定方向の移動中は前記磁力を消磁させることを特徴とする請求項１、２または３に記載の静電アクチュエータ。
【請求項５】
前記永久磁石を前記固定子の側に配置し、前記永久磁石に吸着する磁性体を前記可動子の側に配置することを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の静電アクチュエータ。
【請求項６】
対向した第１の固定子と第２の固定子を有する固定子の間に可動子を配置し、前記可動子を振動させつつ所定方向に移動させる静電アクチュエータにおいて、
前記第１の固定子は前記可動子を静電力の有無により吸着および吸着解除し、前記第２の固定子は可動子を磁力の有無により吸着および吸着解除して前記可動子を振動させつつ所定方向に移動させると共に、前記磁力により前記可動子を吸着保持し前記可動子の所定方向の移動を阻止することを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか１項に記載の静電アクチュエータの可動子に光学系を有し、前記可動子の移動により前記光学系を前記所定方向へ移動するように構成したことを特徴とする光学装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対向した固定子の間に可動子を配置し可動子を振動させつつ移動させる静電アクチュエータ及び静電アクチュエータを適用した光学装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、対向した固定子の間に可動子を配置し、可動子を振動させつつ所定方向に移動させる静電アクチュエータ及びこの静電アクチュエータを適用した光学装置が種々提案されている。例えば、起動時に可動子を強制的に振動させることにより、固定子と可動子との配置を平行に修正し、以降の駆動を円滑にしようとするものが開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００３−１１１４４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
静電アクチュエータは、例えば、携帯電話等の小型の機器に内蔵する場合、手に持って移動あるいは操作されるため、無通電状態で固定子と可動子とが非吸着状態となっているときも、外部より振動、衝撃があっても可動子が移動しないようにすることが要求される。
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されているような静電アクチュエータ及び光学装置においては、固定子と可動子が電源を切って携帯している場合など非吸着状態で可動子に振動や衝撃があると可動子が位置ずれを起こし、また、可動子が動いてしまうと可動子が内部部品と衝突して破損する恐れがあるといった問題がある。
【０００５】
本発明の目的は、外部からの振動や衝撃等に強い静電アクチュエータ及びこの静電アクチュエータを適用した光学装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的は、下記の手段のいずれかにより達成される。
【０００７】
（１）対向した対の固定子の間に可動子を配置し前記可動子を振動させつつ所定方向に移動させる静電アクチュエータにおいて、前記可動子を永久磁石を用いて吸着保持する吸着保持部を有し、前記吸着保持部により前記可動子を吸着して前記可動子の前記移動を阻止することを特徴とする静電アクチュエータ。
【０００８】
（２）可動子を振動方向に吸着して前記可動子の移動を阻止することを特徴とする（１）に記載の静電アクチュエータ。
【０００９】
（３）可動子を振動方向と直交する方向に吸着して前記可動子の移動を阻止することを特徴とする（１）に記載の静電アクチュエータ。
【００１０】
（４）前記吸着保持部は前記永久磁石の磁力を消磁させる機能を有し、前記可動子の所定方向の移動中は前記磁力を消磁させることを特徴とする（１）、（２）または（３）に記載の静電アクチュエータ。
【００１１】
（５）前記永久磁石を前記固定子の側に配置し、前記永久磁石に吸着する磁性体を前記可動子の側に配置することを特徴とする（１）から（４）のいずれか１項に記載の静電アクチュエータ。
【００１２】
（６）対向した第１の固定子と第２の固定子を有する固定子の間に可動子を配置し、前記可動子を振動させつつ所定方向に移動させる静電アクチュエータにおいて、前記第１の固定子は前記可動子を静電力の有無により吸着および吸着解除し、前記第２の固定子は可動子を磁力の有無により吸着および吸着解除して前記可動子を振動させつつ所定方向に移動させると共に、前記磁力により前記可動子を吸着保持し前記可動子の所定方向の移動を阻止することを特徴とする静電アクチュエータ。
【００１３】
（７）（１）から（６）のいずれか１項に記載の静電アクチュエータの可動子に光学系を有し、前記可動子の移動により前記光学系を前記所定方向へ移動するように構成したことを特徴とする光学装置。
【発明の効果】
【００１４】
以上のように構成したので下記のような効果を奏する。
【００１５】
請求項１、２、３に記載の発明によれば、無通電状態で可動子に振動や衝撃等があっても可動子の移動を阻止できるようなった。
【００１６】
請求項４に記載の発明によれば、可動子を円滑に振動させつつ所定方向に移動できるようになった。
【００１７】
請求項５に記載の発明によれば、永久磁石より一般的に小型で軽量な磁性体を可動子側に設けたので、可動子の駆動が円滑になった。
【００１８】
請求項６に記載の発明によれば、可動子の振動と可動子の無通電保持に永久磁石を併用して利用し、無通電状態で可動子に振動や衝撃等があっても可動子の移動を阻止できるようなった。
【００１９】
請求項７に記載の発明によれば、前述の効果を有する静電アクチュエータにより光学系を移動できる光学装置となった。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、実施の形態により本発明の静電アクチュエータ及び光学装置について詳しく説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。なお、各図において静電アクチュエータ及び光学装置は、正面より見て前後方向をＺ方向（前方向を＋Ｚ、後方向を−Ｚ）とし、左右方向をＸ方向（左方向を＋Ｘ、右方向を−Ｘ）、さらに、上下方向をＹ方向（上方向を＋Ｙ、下方向を−Ｙ）とする。
【００２１】
（実施の形態１）
図１は実施の形態１に係わる静電アクチュエータを適用した光学装置の概略構成を示す斜視図である。図１において、光学装置１０Ａは、第１の固定子４１ａ、第２の固定子４１ｂよりなる固定子４０Ａの間に可動子３０Ａを配置し、可動子３０Ａを固定子４０Ａ間で振動させつつＺ方向に移動させる静電アクチュエータ１００Ａを有している。また、無通電時に可動子３０ＡがＺ方向に移動するのを阻止する吸着保持部７０Ａを有しているが詳しくは後述する。
【００２２】
次に、光学装置１０Ａについて図２を参照して説明する。図２は実施の形態１に係わる光学装置の図１の矢印Ａより見た側面断面図（ａ）、矢印Ｂより見た正面断面図（ｂ）、および矢印Ｃより見た光軸より下部の側面断面図（ｃ）であり、詳しくは、図２は可動子３０Ａが−Ｙ方向に固定子４０Ａに吸着している状態を示している。
【００２３】
図２（ａ）に示すように、光学装置１０Ａは、筐体２１Ａ、蓋２２、静電アクチュエータ１００Ａ等で構成され、また、静電アクチュエータ１００Ａは固定子４０Ａ、可動子３０Ａ、吸着保持部７０Ａ（図２（ｃ）参照）等で構成されている。
【００２４】
筐体２１Ａは、上部が開放された箱状となっており、筐体２１Ａの上部には蓋２２、前面には開口部２４、背面には撮像素子６０がそれぞれ設けられている。固定子４０Ａは第１の固定子４１ａと第２の固定子４１ｂを有し、第１の固定子４１ａは筐体２１Ａの上部に、第２の固定子４１ｂは下部にそれぞれ配置されている。また、可動子３０Ａは、可動子電極３１ａ、可動子電極３１ｂ、枠部３４および撮影レンズ５０等を有している。第１の固定子４１ａに対向して可動子電極３１ａ、第２の固定子４１ｂに対向して可動子電極３１ｂがそれぞれ形成されている。可動子３０Ａは、導電性を有する材料で形成され、例えば、特開２００３−２８４３５９号公報に記載の気相成長炭素繊維（ＶＧＣＳ）とＰＰＳ（ポリフェニレンスルフィド）等の熱可塑性樹脂と溶融混練してなる樹脂組成物で成形した導電性樹脂等で形成される。なお、第１の固定子４１ａと第２の固定子４１ｂの間隔は、可動子３０Ａに設けられた可動子電極３１ａと可動子電極３１ｂとがこの間隔内で双方から吸引され吸着可能な隙間ｄ（図２（ｂ）参照）を有するよう設定されている。
【００２５】
図２（ｂ、ｃ）に示すように、吸着保持部７０Ａは、永久磁石７１ａ、永久磁石７１ａに吸着する磁性体７１ｂ、及び永久磁石７１ａの磁力を消磁させるための消磁コイル７１ｃより構成されている。第２の固定子４１ｂ側に永久磁石７１ａと消磁コイル７１ｃを配置し、一方、可動子電極３１ｂ側に磁性体７１ｂを配置している。消磁コイル７１ｃに非通電状態では永久磁石７１ａと磁性体７１ｂとが吸着状態となり、可動子３０ＡがＺ方向に移動するのを阻止する。また、消磁コイル７１ｃに通電状態では永久磁石の磁力が消磁され永久磁石７１ａと磁性体７１ｂとが非吸着状態となり、可動子３０ＡがＺ方向に移動するのを妨げない構造になっている。なお、実施の形態１では、吸着保持部７０Ａを第２の固定子の側に配置した例について説明したが、これに限定されるものではなく、例えば、吸着保持部７０Ａを第１の固定子の側に配置することもできる。
【００２６】
次に、固定子４０Ａに形成される電極パターンについて図３により説明する。図３は実施の形態１に係わる固定子に形成される電極パターンを示す概略図であり、図３（ａ）は第１の固定子４１ａの可動子電極３１ａ（図２（ａ）参照）に相対する面に形成された電極パターンを示し、図３（ｂ）は第２の固定子４１ｂの可動子電極３１ｂ（図２（ａ）参照）に相対する面に形成された電極パターンをそれぞれ示している。
【００２７】
図３に示すように、第１の固定子４１ａには４系統の電極Ａ〜Ｄが形成され、この電極Ａ〜Ｄは、ストライプ状の電極として配列され、可動子電極３１ａの進行方向（Ｚ方向）に沿って見たとき順番に現れるように配置されている。この４系統の電極Ａ〜Ｄ（駆動電極ともいう）は、後述するように、順次切り替えて電圧を印加することにより可動子３０Ａ（図２（ａ））をＺ方向に移動させるために用いられる。
【００２８】
ストライプ状の駆動電極Ａ〜Ｄの配列ピッチと、可動子電極３１ａに形成された凸部のピッチとの関係は、可動子電極３１ａの凸部の幅をＬ、この凸部の配列ピッチを２Ｌ（図２（ａ）参照）とすると、駆動電極Ａ〜Ｄの配列ピッチはＬ／２となるよう形成されている。
【００２９】
一方、第２の固定子４１ｂには、１系統の電極Ｅ（保持電極Ｅともいう）が、可動子電極３１ｂ（図２（ａ）参照）に対応した位置に形成されている。
【００３０】
この第１の固定子４１ａと第２の固定子４１ｂは、ガラスまたはセラミックス等の絶縁体からなる基板上にスパッタリング等の手法により導電体被膜を形成することで作成される。また、形成された導電体被膜上には絶縁体被膜を設けることが好ましい。更に、駆動電極Ａ〜Ｄ及び保持電極Ｅには、配線パッドを介して各電極に選択的に電圧を印加する不図示のスイッチング回路が接続され、スイッチング回路には電源が接続される。
【００３１】
次に、可動子３０ＡのＺ方向の移動方法について図４及び図５を参照して説明する。図４は実施の形態１に係わる可動子３０Ａを駆動させる場合のシーケンスを示すタイムチャートであり、図５は図４のタイムチャートに対応した可動子の作動状態を示す図である。
【００３２】
ストライプ状の駆動電極Ａ〜Ｄの配列ピッチは、可動子電極３１ａに形成された凸部のピッチの１／４となるよう形成されている。また、凸部は、駆動電極Ａ及びＢに対応した位置にあり、保持電極Ｅに電圧が印加され、可動子３０Ａが第２の固定子３１ｂ側に吸引された図示しない状態では図４に示すタイムチャートの時間軸ｔ０の状態となる。
【００３３】
図４において、ｔ１で保持電極Ｅへの電圧印加を停止し、駆動電極Ｂ、Ｃに電圧を印加する。これにより、可動子電極３１ａの凸部が固定子４１ａの駆動電極Ｂ、Ｃに吸引され、図５（ａ）に示すように第１の固定子４１ａに形成された駆動電極１ピッチ分だけ図の紙面左斜め上方向に移動する。
【００３４】
次いで、図４のｔ２で駆動電極Ｂ、Ｃへの電圧印加を停止し、保持電極Ｅに電圧を印加する。可動子３０Ａは第１の固定子３１ａとの吸引力を失い、可動子３０Ａは第２の固定子３１ｂの保持電極Ｅとの吸引力により、紙面下方（矢印方向）に移動する。これにより、可動子３０Ａは、第１の固定子４１ａに形成された駆動電極１ピッチ分だけ、＋Ｚ方向に移動した状態となる。
【００３５】
次いで、図４のｔ３で保持電極Ｅへの電圧印加を停止し、駆動電極Ａ、Ｂに電圧を印加する。可動子電極３１ａの凸部は第１の固定子４１ａの駆動電極Ａ、Ｂに吸引され、図５（ｃ）に示すように第１の固定子４１ａに形成された駆動電極１ピッチ分だけ更に、図の紙面左斜め上方向に移動する。即ち、可動子３０Ａは、更に左斜め上方（図５（ｃ）矢印方向）に移動する。
【００３６】
次いで、図４のｔ４で駆動電極Ａ、Ｂへの電圧印加を停止し、保持電極Ｅに電圧を印加する。可動子電極３１ａは第１の固定子４１ａとの吸引力を失い、可動子電極３１ｂは第２の固定子４１ｂの保持電極Ｅとの吸引力により、図５（ｄ）に示すように紙面下方（矢印方向）に移動する。これにより、第１の固定子４１ａに形成された駆動電極２ピッチ分だけ、光軸方向の紙面左側に移動した状態となる。
【００３７】
以降、同様に、ｔ５で保持電極Ｅへの電圧印加を停止し、駆動電極Ｄ、Ａに電圧印加、ｔ６で駆動電極Ｄ、Ａへの電圧印加を停止し、保持電極Ｅに電圧印加、ｔ７で保持電極Ｅへの電圧印加を停止し、駆動電極Ｃ、Ｄに電圧印加、ｔ８で駆動電極Ｃ、Ｄへの電圧印加を停止し、保持電極Ｅに電圧印加、ｔ９で保持電極Ｅへの電圧印加を停止し、駆動電極Ｂ、Ｃに電圧印加、ｔ１０で駆動電極Ｂ、Ｃへの電圧印加を停止し、保持電極Ｅに電圧を印加することで、可動子３０Ａは図５に示した状態から、第１の固定子４１ａに形成された駆動電極５ピッチ分だけ、光軸方向の紙面左側に移動した状態となる。以上が、駆動電極Ａ〜Ｄ及び保持電極Ｅへの電圧印加の順序である。この動作を繰り返すことで、可動子電極３１ａを任意の量だけ光軸方向の紙面左側（＋Ｚ方向）に移動させることができる。また、可動子電極３１ａを−Ｚ方向に移動させるには、駆動電極Ａ〜Ｄへの電圧印加を逆の順序で行うことで移動させることができる。また、少なくともこの可動子３０Ａの第１の固定子４１ａへの吸着時には、図４に示すように、消磁コイル７１ｃは通電状態とされ、永久磁石７１ａは磁力を失った状態となる。
【００３８】
次に、可動子の移動を阻止する作用について図面を参照して説明する。図２（ａ、ｃ）に示すように、第１の固定子４１ａ、第２の固定子４１ｂおよび消磁コイルへの通電を停止したときは、永久磁石７１ａと磁性体７１ｂとが吸着し、その結果、磁性体７１ｂと一体の可動子３０Ａの移動が阻止される。なお、可動子の移動阻止の解除は、先ず、図２（ａ）に示すように、光学装置１０Ａの図示しない操作釦より、無通電状態を解除する指示を入力する。消磁コイル７２ｃに通電すると永久磁石７１ａの磁力が消磁された状態に戻り解除されることになる。
【００３９】
以上のように、永久磁石を用いた吸着保持部の作用により、固定子と可動子が電源を切っている場合など無通電状態で、可動子に振動や衝撃が加わっても位置ずれせず、また、可動子が動いて内部部品と衝突とが破損する恐れがなくなる。
【００４０】
（実施の形態２）
本発明に係わる実施の形態２の静電アクチュエータ及び光学装置について説明する。実施の形態２は前述の吸着保持部が異なる以外は機能的に実施の形態１と同じであるので、実施の形態１と機構的に同じ部分は同一符号を付け説明を省略し、異なる構成を中心に説明する。図６は実施の形態２に係る光学装置の側面断面図（ａ）、図６（ａ）に示す矢印Ａより見た正面断面図（ｂ）であり、詳しくは、可動子３０Ｂが吸着保持部７０Ｂにより移動が阻止されている状態を示している。
【００４１】
図６（ａ）に示すように、光学装置１０Ｂは、筐体２１Ｂ、蓋２２、静電アクチュエータ１００Ｂ等で構成され、また、静電アクチュエータ１００Ｂは、第１の固定子４２ａ、第２の固定子４２ｂよりなる固定子４０Ｂの間に可動子３０Ｂを配置し、可動子３０Ｂを固定子４０Ｂの間で振動させつつＺ方向に移動させる。また、無通電時に可動子３０ＢがＺ方向に移動するのを阻止する吸着保持部７０Ｂを有しているが詳しくは後述する。
【００４２】
図６（ｂ）に示すように、吸着保持部７０Ｂは、永久磁石７２ａ、永久磁石７２ａに吸着する磁性体７２ｂ、及び永久磁石７２ａの磁力を消磁させるための消磁コイル７２ｃより構成されている。光学装置１０Ｂの左壁側に永久磁石７２ａと消磁コイル７２ｃを配置し、一方、可動子３０Ｂの左壁側に磁性体７２ｂを配置している。消磁コイル７２ｃが非通電状態では永久磁石７２ａと磁性体７２ｂとが吸着状態となり、消磁コイル７２ｃが通電状態では永久磁石７２ａと磁性体７２ｂとが非吸着状態となる。この実施の形態２では、第１の固定子４２ａ、第２の固定子４２ｂによる可動子３０Ｂの振動および移動時には、消磁コイル７２ｃは通電状態とされる。なお、実施の形態２では、光学装置を正面より見て吸着保持部を左壁側に配置したが右壁側にあっても同様である。
【００４３】
次に、可動子の移動を阻止する作用について図面を参照して説明する。図６（ａ）（ｂ）に示すように、消磁コイル７２ｃの通電が遮断され、永久磁石７２ａと磁性体７２ｂが吸着し、磁性体７２ｂと一体の可動子３０Ｂも移動が阻止される。したがって、光学装置の外部より振動や衝撃があっても、位置ずれ等を起こさなくなる。なお、可動子の移動阻止の解除は、光学装置１０Ｂの図示しない操作釦より、無通電状態を解除する指示を入力する。すると、消磁コイル７２ｃが通電され、永久磁石７２ａの磁力が消磁された状態に戻り解除される。
【００４４】
以上のように、永久磁石を用いた可動子の吸着保持作用により、固定子と可動子が電源を切って携帯している場合などの無通電状態で、可動子に振動や衝撃が加わっても可動子が位置ずれするのを防止し、また、可動子が動いて内部部品と衝突して破損する恐れがなくなる。
【００４５】
（実施の形態３）
本発明に係わる実施の形態３の静電アクチュエータ及び光学装置について説明する。図７は実施の形態３に係わる光学装置の側面断面図（ａ）および図７（ａ）に示す矢印Ａより見た正面断面図（ｂ）、図８は実施の形態３に係わる可動子を駆動させる場合のシーケンスを示すタイムチャート、図９は図８のタイムチャートに対応した可動子の作動状態を示す図である。
【００４６】
図７（ａ）に示すように、光学装置１０Ｃは、筐体２１Ｃ、蓋２２、静電アクチュエータ１００Ｃ等で構成されている。筐体２１Ｃは上部が開放された箱状となっており、筐体２１Ｃの上部には蓋２２が設けられ、また筐体２１Ｃは前面に開口部２４が背面に撮像素子６０が設けられている。
【００４７】
静電アクチュエータ１００Ｃは、実施の形態１及び２と同様の第１の固定子４３ａと、永久磁石とこの永久磁石の磁力を消磁する消磁コイルで構成された第２の固定子４３ｂよりなる固定子４０Ｃの間に可動子３０Ｃを配置し、可動子３０Ｃを固定子４０Ｃ間で振動させつつＺ方向に移動させる。また、無通電時に可動子３０ＣがＺ方向に移動を阻止する機能を有しているが詳しくは後述する。
【００４８】
第１の固定子４３ａは筐体２１Ｃの上部に配置され、第１の固定子４３ａに対向して可動子電極３３ａが形成されている。第１の固定子４３ａには４系統の電極ＡからＤが設けられ、４系統の電極ＡからＤは、ストライプ状に配列され、可動子３０Ｃの進行方向に沿って見ると順番にあらわれるように配置されている。
【００４９】
第２の固定子４３ｂは筐体２１Ｃの下部に配置され、第２の固定子４３ｂに対向して可動子３０ｃには磁性体３３ｂが形成されている。第２の固定子４３ｂには、永久磁石４３１ｂとこの永久磁石４３１ｂの磁力を消磁させるための消磁コイル４３２ｂが設けられている。消磁コイル４３２ｂに通電しない時、可動子３０ｃに形成された磁性体３３ｂと永久磁石４３１ｂとは吸着し、逆に消磁コイル４３２ｂに通電している時、永久磁石４３１ｂの磁力を消磁して磁性体３３ｂと永久磁石４３１ｂは非吸着となる。
【００５０】
第１の固定子４３ａと第２の固定子４３ｂの間には、可動子電極３３ａと磁性体３３ｂを有する可動子３０ｃがこの間隔内で双方から吸引され吸着可能な隙間ｄ（図７（ｂ）参照）を有している。
【００５１】
次に、可動子３０ＣのＺ方向の移動方法について図８及び図９を参照して説明する。図８は駆動電極Ａ〜Ｄ、消磁コイル４３２ｂにより、可動子３０Ｃを駆動させる場合のシーケンスを示すタイムチャートであり、図９は図８のタイムチャートに対応した可動子の作動状態を示す図である。
【００５２】
ストライプ状の駆動電極Ａ〜Ｄの配列ピッチは、実施の形態１、２と同様に、可動子電極３３ａに形成された凸部のピッチの１／４となるよう形成されている。また凸部は、駆動電極Ａ及びＢに対応した位置にあり、消磁コイル４３２ｂに通電されず、可動子３０Ｃが第２の固定子４３ｂ側に吸引された状態である。この状態は、図４に示すタイムチャートの時間軸ｔ０の状態を示している。
【００５３】
図８において、ｔ１で消磁コイル４３２ｂに通電し、さらに駆動電極Ｂ、Ｃに電圧を印加する。これにより、可動子電極３３ａの凸部が第１の固定子４３ａの駆動電極Ｂ、Ｃに吸引され、図９（ａ）に示すように第１の固定子４３ａに形成された駆動電極１ピッチ分だけ図７（ａ）の紙面左斜め上方向に移動する。
【００５４】
次いで、図８のｔ２で駆動電極Ｂ、Ｃへの電圧印加を停止し、さらに消磁コイル４３２ｂの通電を遮断する。可動子３０Ｃは第１の固定子３３ａとの吸引力を失い、可動子３０Ｃは第２の固定子４３ｂの永久磁石４３１ｂ（図７（ａ））との吸引力により、紙面下方（矢印方向）に移動する。これにより、可動子３０Ｃは、第１の固定子４３ａに形成された駆動電極１ピッチ分だけ、＋Ｚ方向に移動した状態となる。
【００５５】
次いで、図８のｔ３で消磁コイル４３２ｂへ通電し、駆動電極Ａ、Ｂに電圧を印加する。可動子電極３３ａの凸部は第１の固定子４３ａの駆動電極Ａ、Ｂに吸引され、図９（ｃ）に示すように第１の固定子４３ａに形成された駆動電極１ピッチ分だけ更に、図の紙面左斜め上方向に移動する。即ち、可動子３０Ｃは、更に左斜め上方（図９（ｃ）矢印方向）に移動する。
【００５６】
次いで、図８のｔ４で駆動電極Ａ、Ｂへの電圧印加を停止し、消磁コイルの通電を遮断する。可動子電極３３ａは第１の固定子４３ａとの吸引力を失い、磁性体３３ｂは第２の固定子４３ｂに設けた永久磁石４３１ｂ（図７）との吸引力により、図９（ｄ）に示すように紙面下方（矢印方向）に移動する。これにより、可動子３０Ｃは図９に示す状態から、第１の固定子４３ａに形成された駆動電極２ピッチ分だけ、光軸方向の紙面左側に移動した状態となる。
【００５７】
次に、無通電状態で可動子の移動を阻止する作用について図面を参照して説明する。図７（ａ）（ｂ）に示すように、消磁コイル４３２ｂの通電が遮断されたときは、第２の固定子４３ｂに配置した永久磁石４３１ｂと磁性体３２ｂが吸着状態となり、磁性体３３ｂと一体の可動子３０ＣがＺ方向に移動するのを阻止する。
【００５８】
以上のように、静電アクチュエータにおいて一部に永久磁石を用い、この永久磁石を用いて無通電時に可動子を吸着するようにしたので、簡単な構成で、固定子と可動子が電源を切っている場合などの無通電状態中に、外部より振動や衝撃が加わっても、可動子３０Ｃの位置ずれが確実に防止でき、可動子が動いて内部部品と衝突して破損する恐れがなくなる。この実施の形態においては、可動子の振動と可動子の無通電保持に永久磁石を併用して利用し、無通電状態で可動子に振動や衝撃等があっても可動子の移動を阻止できる。さらに、本例においては、複数の永久磁石と消磁コイルを用いたが、少なくとも１つあればよい。
【００５９】
なお、各実施の形態においては、固定子を断面形状が略正方形に配置した例で説明したが、これに限らず、菱形、平行四辺形及び長方形等の変形でもよい。また、実施の形態１、２では、静電アクチュエータの固定子と可動子の配置として、複数電極を上部に、単電極を下部に設けたが、複数電極を下部に、単電極を上部に設けてもよい。また、各実施の形態では、静電アクチュエータの固定子と可動子の振動方向をＹ方向としたが、Ｘ方向であっても同様である。さらに、各実施の形態では、可動子に設けた光学系として、単焦点レンズを例にとり説明したが、これに限るものでなく、例えばズームレンズ、光学系の一部としても適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】実施の形態１に係わる静電アクチュエータを適用した光学装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】実施の形態１に係わる光学装置の図１の矢印Ａより見た側面断面図（ａ）、矢印Ｂより見た正面断面図（ｂ）、及び矢印Ｃより見た光軸より下部の側面断面図（ｃ）である。
【図３】実施の形態１に係わる固定子に形成される電極パターンを示す概略図である。
【図４】実施の形態１に係わる可動子を駆動させる場合のシーケンスを示すタイムチャートである。
【図５】図４のタイムチャートに対応した可動子の作動状態を示す図である。
【図６】実施の形態２に係わる光学装置の側面断面図（ａ）、図６（ａ）の矢印Ａより見た正面断面図（ｂ）である。
【図７】実施の形態３に係わる光学装置の側面断面図（ａ）、図７（ａ）に示す矢印Ａより見た側面断面図（ｂ）である。
【図８】実施の形態３に係わる可動子を駆動させる場合のシーケンスを示すタイムチャートである。
【図９】図８のタイムチャートに対応した可動子の作動状態を示す図である。
【符号の説明】
【００６１】
１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ  光学装置
１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ  静電アクチュエータ
３０Ａ、３０Ｂ、３０Ｃ  可動子
３１ａ、３２ａ、３３ａ、３１ｂ、３２ｂ  可動子電極
３３ｂ、７１ｂ、７２ｂ  磁性体
４０Ａ、４０Ｂ、４０Ｃ  固定子
４１ａ、４２ａ、４３ａ  第１の固定子
４１ｂ、４２ｂ、４３ｂ  第２の固定子
７１ａ、７２ａ、４３１ｂ  永久磁石
７１ｃ、７２ｃ、４３２ｂ  消磁コイル
７０Ａ、７０Ｂ  吸着保持部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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