(57)【要約】    【課題】  一の方向からすべて組み付けが可能であり、しかも市場に提供されている既存の各種の材料を利用して容易に生産することが可能な軽量、小型のスイベルジョイントを提供する。    【解決手段】  センターシャフト２０の外周面にスパナ等の締付具によって締め付け可能な少なくとも一対の互いに平行な面２７、２７を形成し、それによって取付部材をセンターシャフト２０のハウジング１０への挿入方向と同じ方向から挿入してセンターシャフト２０を回動可能に取り付け可能とした。    【選択図】  図１
2005180565.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に流体流通路が形成されたセンターシャフトをハウジング内に挿入し、取付部材によって前記センターシャフトを回動可能に保持して形成されたスイベルジョイントであって、
前記センターシャフトの外周面にスパナ等の締付具によって締め付け可能な少なくとも一対の互いに平行な面を形成し、それによって前記取付部材をセンターシャフトのハウジングへの挿入方向と同じ方向から挿入して前記センターシャフトを回動可能に取り付け可能としたことを特徴とするスイベルジョイント。
【請求項２】
内部に流体流通路が形成され、その外周面にはストップリング部が設けられると共に、当該ストップリング部から軸方向に突出するようにして形成された流体案内部を有するセンターシャフトと、
前記センターシャフトのストップリング部が回動可能に当接する遮蔽部を備え、前記遮蔽部には前記センターシャフトの先端側に形成された前記流体案内部が挿入される挿入口が設けられ、当該センターシャフトが挿入される側の内壁部にはネジ溝が形成されたハウジングと、そして、
前記センターシャフトを挿通し且つセンターシャフトのストップリング部に当接させた状態で前記ハウジングの内壁部に形成されたネジ溝と螺合可能なネジ部を備え、それによって前記センターシャフトを回動可能に保持する取付部材と、
を備えて構成されてなるスイベルジョイント。
【請求項３】
請求項２に記載のスイベルジョイントにおいて、
前記ハウジングは、円柱状の部材を加工することにより形成され、その外周面にはスパナ等の締付具によって締め付け可能な少なくとも一対の互いに平行な面が形成されたことを特徴とするスイベルジョイント。
【請求項４】
請求項１又は２に記載のスイベルジョイントにおいて、
前記取付部材の周囲にはフランジ部が設けられ、当該フランジ部にはスパナ等の締付具によって締め付け可能な少なくとも一対の互いに平行な面が形成されていることを特徴とするスイベルジョイント。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載のスイベルジョイントの前記ハウジングの側面に連結孔を穿設し、前記センターシャフトの前記流体案内部とは反対側の外周面にネジ部を形成した第一のスイベルジョイントを複数組み合わせることにより、又は第一のスイベルジョイントにおける前記連通孔の代わりにハウジングの軸方向に流体流通路を形成した第二のスイベルジョイントを含めて組み合わせることにより２方向又は３方向に回動可能としたことを特徴とするスイベルジョイント。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載のスイベルジョイントにおいて、
摺動部分には平面潤滑リングを配してなることを特徴とするスイベルジョイント。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スイベルジョイントに関し、さらに詳しくは、ジョイント部が可動可能に形成された液体配管用のスイベルジョイントに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、作業のロボット化や無人化が進んでおり、液体に関する機器類も半導体、自動車産業、建設業界などにおいて幅広く機械化され使用されてきている。例えば、加工が終了した機械部品を洗浄液を用いて洗浄する際に、所定の位置で洗浄液を吐出するようにプログラムされた多関節型ロボットに洗浄装置を把持させて当該部品を洗浄することが行なわれている。この場合、洗浄装置を把持した多関節型ロボットのアームの移動によって吐出位置が常に変化するので洗浄液を供給するためのホースはその移動に対応するために長くしておく必要があった。また、製造する品目に応じて適宜生産ラインの組替え移動を行なうことによって一台の設備を多方面の作業に使用して設備の有効利用を図ることも行なわれている。かかる場合に、ホースや配管のジョイント部は３６０°の回転に対応する必要が生じてきている。また、使用する物体も気体や低粘度の純粋から高粘度の接着剤と１〜１００万ＣＰと幅広くなり、耐薬品性や耐熱性等も要求され、圧力も０．２ＭＰａ〜１００ＭＰａと市場の要求は大きくなってきている。
【０００３】
このような要望に対応したものとして、例えば、二液混合型の噴霧ガンに接続されるスイベルジョイント（特開２００１−２００９６９）や回転するテーブル上に戴置されたシリコンウエハを洗浄する洗浄器に利用される回転継手装置（特開平１１−３３６９７１）等がある。
【０００４】
そのような回転継手装置の一つとして、潤滑グリース用に開発された３方向に回転可能な回転継手が知られている。この回転継手の構造を図８、９に示す。この回転継ぎ手１００は、概略として、一軸３６０°回転可能なジョイント１０１、１０２、１０３をそれぞれ９０°の異相で３個連結して形成されている。その中の一つであるジョイント１０１は、断面が六角形をしたハウジング１１０と、内部に流体流通路が形成されたセンターシャフト１２０と、センターシャフト１２０をハウジング１１０に回動可能に取付保持するための取付部材１３０を備えて構成されている。
【０００５】
センターシャフト１２０は、図９に示すように、その内部に液体等の流体が流通する流体流通路１２９が形成された中空状の部材であり、ハウジング１１０に挿入される側の先端部は軸方向に突出するようにして流体案内部１２１が形成されている。流体案内部１２１の隣には軸方向に対して直角方向に拡がった断面円形のフランジ部１２３が形成されている。そして、フランジ部１２３の隣は流体案内部１２１とほぼ同じ径サイズの小径部とされると共に、小径部のさらに隣はフランジ部１２３と略同径サイズの大径部１２６が形成されている。これによってフランジ部１２４と大径部１２６の間には凹部１２４が形成されている。流体案内部１２１には、流体案内部１２１の外径サイズと略同サイズの口径を有するＯリング１５１とパッキン１５３が配設されている。
【０００６】
一方、センターシャフト１２０の流体案内部１２１側とは反対側の端部の外側面にはジョイント１０２に穿設された後述する連結孔１１７と螺合するためのネジ溝１２５が螺刻されている。そして、ネジ溝１２５の隣にはスパナや六角レンチ等の締め付け具により締め付け可能なように外形が六角形をした六角ナット部１２７とされている。
また、センターシャフト１２０の凹部１２４にはドーナッツ形状を半割にしたような略Ｃ字形状の２つの抜止部材１４０、１４０が配置されるようになっている。抜止部材１４０、１４０はセンターシャフト１２０の凹部１２４にはめ込まれる凸状部１４１ａとフランジ部１２３に密接する内壁面１４１ｂを備えて形成されている。後述するように、取付部材１３０をセンターシャフト１２０の流体案内部１２１側から装着したのち抜止部材１４０、１４０を凹部１２４に取り付けることによってセンターシャフト１２０がハウジング１１０から抜け落ちることを防止している。
【０００７】
次に、ハウジング１１０は、スパナや六角レンチ等の締め付け具により締め付けが可能なようにその断面は六角形状とされ、その内部には、図９に示すように、液体等の流体が流通する流体流通路１１９が形成されている。また、ハウジング１１０の一方端はセンターシャフト１２０を受け入れ可能に開口しており、その内壁面には後述する取付部材１３０と螺合するネジ溝１１８が螺刻されている。ハウジング１１０の内部にはセンターシャフト１２０のフランジ部１２３が当接する遮蔽部１１３が形成されており、遮蔽部１１３の略中央にはセンターシャフト１２０の流体案内部１２１が挿入される挿入孔１１３ａが穿設されており、これによって流体の流通経路が確保されている。また、遮蔽部１１３の奥には段部１１４が形成されここにＯリング１５１及びパッキン１５３が当接するようになっている。一方、ハウジング１１０の側面には別のジョイント１０２のセンターシャフト１２０に形成されたネジ溝１２５と螺合して液体の流通経路を形成するための連結孔１１７が設けられている。
【０００８】
次に、取付部材１３０は、センターシャフト１２０の大径部１２６と略同じサイズの挿通孔１３７を有して形成されたネジ部材であり、その外周部にはハウジング１１０の内壁面に形成されたネジ溝１１８と螺合するネジ部１３３が形成されている。そして、ネジ部１３３に隣接してスパナや六角レンチ等の締め付け具により締め付けが可能な外形が六角形状の六角ナット部１３１が形成されている。六角ナット部１３１は組み立て容易の観点からハウジング１１０の六角形状と一致するサイズとされている。
【０００９】
かかる構成を備えた従来の回転継ぎ手１００の組み立て手順を説明する。初めに、ジョイント１０１の組み立てを行なう。まず、センターシャフト１２０の流体案内部１２１にパッキン１５３及びＯリング１５１を装着する。次に、取付部材１３０を流体案内部１２１側から（図８における左側から）センターシャフト１２０に装着する。そして、取付部材１３０をセンターシャフト１２０の大径部１２６上で且つ六角ナット部１２７に当接又は近接させた状態でセンターシャフト１２０の凹部１２４に抜止部材１４０、１４０を２つ配置する。この状態でセンターシャフト１２０を流体案内部１２１側からハウジング１１０の開口部に挿入する（図８における右側から）。尚、抜止部材１４０、１４０には特に脱落防止等の機構は設けられていないのでハウジング１１０に挿入する際には抜止部材１４０、１４０を手で押さえながら挿入することが必要となる。そして、スパナや六角レンチ等の締め付け具により取付部材１３０の六角ナット部１３１とハウジング１１０とを相対的に回転させて締め付け固定する。これにより、フランジ部１２３が抜止部材１４０、１４０に当接するのでセンターシャフト１２０はハウジング１１０から抜け落ちることなく自由に回動可能に取着される。
【００１０】
そして、このジョイント１０１と同様に組み立てられた別のジョイント１０２、１０３を組み合わせて回転継手１００を形成する。すなわち、ジョイント１０１のハウジング１１０に形成された連通孔１１７にジョイント１０２のセンターシャフト１２０に形成されたネジ溝１２５を螺合させ、センターシャフト２０の六角ナット部１２７と六角形状のハウジング１０をスパナや六角レンチ等の締め付け具によって締め付け螺着する。同様にして、ジョイント１０２のハウジング１１０に形成された連通孔１１７にジョイント１０３のセンターシャフト１２０に形成されたネジ溝１２５を螺着するこれによって３方向に回転可能な回転継手１００が形成される。
【００１１】
一方、センターシャフト１２０がハウジング１１０から抜け落ちるのを防止するための他の機構としては、抜止部材１４０、１４０の代わりにスチールボール１４１、１４１を用いるものもある。すなわち、図１０に示すように、前述したセンターシャフト１２０の凹部１２４をスチールボール１４１、１４１の曲率と一致する球面状とすると共に、後述する取付部材１３０の凹部１２４に隣接する部分も同様に球面状とする。これにより、センターシャフト１２０の凹部１２４と取付部１３０によってスチールボール１４１、１４１を受入可能な球状凹部１４３、１４３を形成する。そして、この球状凹部１４３、１４３にスチールボール１４１、１４１を配設することによりセンターシャフト１２０がハウジング１１０から脱落するのが防止される。
【００１２】
上述した３方向に回転可能な回転継手１００は、金属で加工をすることを原則に作られている。しかも、素材には締め付け操作が可能なように六角材を使い普及している。
【特許文献１】特開２００１−２００９６９
【特許文献２】特開平１１−３３６９７１
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかしながら、３方向に回転可能な上述の回転継手にあっては、金属イオンを嫌う半導体や食品、薬品等の製造に使用されず、それらの分野では回転継手は普及していない。これらの要求を満足させるためには、例えば、セラミック、ポリ４フッ化エチレン、ＳＵＳ等の耐食性や耐熱性の素材で作ることが必要となるがこれらの素材は加工が難しいという問題がある。また、安定性の確保の面からも単一の素材で構成することが要求されている。
また、従来の回転継手にあっては、抜止部材のような部材を使用していたためその隙間にゴミ等が詰まりやすく、しかも洗浄が難しいという問題もあった。
さらに、ハウジング、センターシャフト、取付部材の各部材にはスパナや六角レンチ等の締め付け具により締め付けが可能なようにそれぞれ六角面を備えていたことから組み立てに際しての制約、例えば、部材を左右の両方向から組み付ける必要が生じる等により分解、組み立て作業が面倒であるという問題があった。
【００１４】
そこで、本発明は、それらの問題点を解決し、一の方向からすべて組み付けが可能で、容易に補修可能なスイベルジョイントを提供することを目的とする。
また、市場に提供されている既存の各種の材料を利用して容易に生産することが可能なスイベルジョイントを提供することを目的とする。
さらに、従来のジョイントと比較して軽量化、小型化が可能なスイベルジョイントを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記課題を解決するために請求項１記載の発明は、内部に流体流通路が形成されたセンターシャフトをハウジング内に挿入し、取付部材によってセンターシャフトを回動可能に保持して形成されたスイベルジョイントであって、センターシャフトの外周面にスパナ等の締付具によって締め付け可能な少なくとも一対の互いに平行な面を形成し、それによって取付部材をセンターシャフトのハウジングへの挿入方向と同じ方向から挿入してセンターシャフトを回動可能に取り付け可能としたことを特徴とする。
【００１６】
上記課題を解決するために請求項２記載の発明は、内部に流体流通路が形成され、その外周面にはストップリング部が設けられると共に、当該ストップリング部から軸方向に突出するようにして形成された流体案内部を有するセンターシャフトと、センターシャフトのストップリング部が回動可能に当接する遮蔽部を備え、遮蔽部にはセンターシャフトの先端側に形成された流体案内部が挿入される挿入口が設けられ、当該センターシャフトが挿入される側の内壁部にはネジ溝が形成されたハウジングと、そして、センターシャフトを挿通し且つセンターシャフトのストップリング部に当接させた状態でハウジングの内壁部に形成されたネジ溝と螺合可能なネジ部を備え、それによってセンターシャフトを回動可能に保持する取付部材とを備えて構成されてなるスイベルジョイントを提供する。
【００１７】
上記課題を解決するために請求項３記載の発明は、請求項２に記載のスイベルジョイントにおいて，ハウジングは、円柱状の部材を加工することにより形成され、その外周面にはスパナ等の締付具によって締め付け可能な少なくとも一対の互いに平行な面が形成されたことを特徴とする。
【００１８】
上記課題を解決するために請求項４記載の発明は、請求項１又は２に記載のスイベルジョイントにおいて、取付部材の周囲にはフランジ部が設けられ、当該フランジ部にはスパナ等の締付具によって締め付け可能な少なくとも一対の互いに平行な面が形成されていることを特徴とする。
【００１９】
上記課題を解決するために請求項５記載の発明は、請求項１〜４のいずれか１項に記載のスイベルジョイントのハウジングの側面に連結孔を穿設し、センターシャフトの流体案内部とは反対側の外周面にネジ部を形成した第一のスイベルジョイントを複数組み合わせることにより、又は第一のスイベルジョイントにおける連通孔の代わりにハウジングの軸方向に流体流通路を形成した第二のスイベルジョイントを含めて組み合わせることにより２方向又は３方向に回動可能としたことを特徴とする。
【００２０】
上記課題を解決するために請求項６記載の発明は、請求項１〜５のいずれか１項に記載のスイベルジョイントにおいて、摺動部分には平面潤滑リングを配してなることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
本発明に係るスイベルジョイントによれば、センターシャフトの外周面にスパナ等の締付具によって締め付け可能な少なくとも一対の互いに平行な面を形成し、それによって取付部材をセンターシャフトのハウジングへの挿入方向と同じ方向から挿入してセンターシャフトを回動可能に取り付け可能としたので同一方向から組み立ることができるので容易に分解・組み立てができるという効果がある。
【００２２】
また、本発明に係るスイベルジョイントによれば、円柱状の部材を加工することにより形成され、その外周面にはスパナ等の締付具によって締め付け可能な少なくとも一対の互いに平行な面を形成することにより構成されているので通常提供されている形状の材料をそのまま使用できるので、例えば、丸棒を回転切削することによって簡単に製造することが可能となるという効果がある。また、使用する材料は金属材料の他にも、ポリ４フッ化エチレン等の薬品等の耐性がある特殊プラスチックの丸棒やセラミック系材料等も利用でき、しかも材料は通常一般に提供されているものをそのまま利用できるので製造コストのみならず製造期間も大幅に削減することが可能となるという効果がある。
【００２３】
さらに、本発明に係るスイベルジョイントによれば、摺動部分には平面潤滑リングを配設していることからスムーズな回動が得られるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明に係るスイベルジョイントについて図示された好ましい一実施形態に基づいて、更に詳しく説明する。図１は本発明に係るスイベルジョイントの一実施形態における一部分解斜視図、図２は図１のスイベルジョイントの断面図、図３（ａ）は図１に示すスイベルジョイントを構成するジョイントの分解断面図、図３（ｂ）はそのジョイントを組み立てた状態の断面図である。
【００２５】
図示されたスイベルジョイントＡは、一軸３６０°回転可能なジョイント１、２、３をそれぞれ９０°の異相で３個連結して形成されている（図２参照）。そして、各ジョイント１、２、３は、概略として、略円筒状のハウジング１０と、内部に流体流通路が形成されたセンターシャフト２０と、センターシャフト２０をハウジング１０に回動可能に取付保持するための取付部材３０を有して構成されている。
【００２６】
ジョイント１、２、３はほぼ同様な構成を備えているのでジョイント１に基づいて説明する（図１〜３参照）。すなわち、ジョイント１のセンターシャフト２０は、図３（ａ）に示すように、その内部に液体等の流体が流通する流体流通路２９が形成された中空状の部材であり、ハウジング１０に挿入される側の先端部は軸方向に突出するようにして流体案内部２１が形成されている。流体案内部２１の隣には軸方向に対して直角方向に拡がった断面円形のフランジ部２３が形成されている。そして、フランジ部２３の隣は流体案内部２１よりやや太い径サイズを有する本体部２６となっている。流体案内部２１とは反対側の本体部２６の端部側の外側面にはネジ溝２５が螺刻されており、他のジョイント２、３に穿設された後述する連結孔１７と螺合可能になっている。また、本体部２６の側面にはネジ溝２５に隣接してスパナやレンチ等の締め付け具により締め付けが可能な一対の互いに平行な面２７、２７が形成されている。この面２７、２７は少なくとも本体部２６の直径を超える大きさとならないように例えば切削により形成されている。このように、従来のセンターシャフト１２０に設けられていた六角ナット部１２７のような部材が存在しないので後述する取付部材３０の挿通孔３７への挿入が阻害されないようになっている。面２７、２７は少なくとも一対形成されていればスパナやレンチ等の締め付け具により締め付けが可能となるが二つ若しくはそれ以上設けてもよい。そして、本体部２６にはドーナッツ状の平面潤滑リング５５が装着され、これにより取付部材３０の端部との摩擦を軽減してスムーズな回動を実現させるようになっている。
【００２７】
次に、図１、２、３、５を参照ながらハウジング１０について説明する。ハウジング１０は、一方側の端面が閉塞した円筒状の部材であり、その内部には、図３（ａ）に示すように、液体等の流体が流通する流体流通路１９が形成されている。また、ハウジング１０の他方端はセンターシャフト２０を受け入れ可能に開口する開口部１１となっており、その内壁面には後述する取付部材３０と螺合するためのネジ溝１８が螺刻されている。ハウジング１０の内部にはセンターシャフト２０のフランジ部２３が当接する遮蔽部１３が形成されており、遮蔽部１３の略中央にはセンターシャフト２０の流体案内部２１が挿入される挿入孔１３ａが穿設されており、これによって流体の流通経路が確保されている。また、遮蔽部１３の奥には段部１４が形成され、ここにＯリング５１及びパッキン５３が当接するようになっている。一方、ハウジング１０の外周面には、スパナ等の締付具によって締め付け可能な少なくとも一対の互いに平行な面１６、１６が形成されており、この面１６の所定部分に別のジョイント２のセンターシャフト２０に形成されたネジ溝２５と螺合して液体の流通経路を形成するための連結孔１７が設けられている。面１６、１６は少なくとも一対形成されていればよいが二つ若しくはそれ以上設けてもよい。
【００２８】
次に、図１、２、３、６を参照ながら取付部材３０について説明する。取付部材３０は、センターシャフト２０の本体部２６と略同じサイズの挿通孔３７を有して形成されたネジ部材であり、その外周部にはハウジング１０の開口部１１側の内壁面に形成されたネジ溝１８と螺合するネジ部３３が形成されている。そして、ネジ部３３に隣接してスパナやレンチ等の締め付け具により締め付けが可能な一対の互いに平行な面３１、３１が形成されている。このように、センターシャフト２０の本体部２６には従来のものと異なり六角ナット部１２７のような部材が存在しないので取付部材３０はセンターシャフト２０をハウジング１０に装着した状態でセンターシャフト２０に取りつけることができるので組み立てが極めて容易になる。尚、ジョイント３は、図７に示すように、ハウジング１０の側面に連結孔１７は設けられてはおらず軸方向の両端面が開口して形成され、直線状の流体流通路１９が形成されている。ジョイント３のセンターシャフト２０が挿入される側とは反対側の図示しない開口部には例えば液体搬送用のホースや配管が取着される。
【００２９】
上述したハウジング１０、センターシャフト２０、取付部材３０の各部材はスパナやレンチ等の締め付け具により締め付けるための六角形の六角ナット部を有しないことから一般的に提供されている材料、例えば、金属丸棒を回転切削することによって簡単に製造することができる。また、金属材料の他にも、ポリ４フッ化エチレン等の薬品等の耐性がある特殊プラスチックの丸棒やセラミック系材料等からも容易に製造することができる。しかも通常一般に提供されている円柱状の材料を用いることができるので製造コストのみならず製造期間も大幅に削減することが可能となる。
【００３０】
次に、上述したスイベルジョイントＡの組み立て手順を説明する。初めに、ジョイント１の組み立てを行なう。まず、センターシャフト２０の流体案内部２１にパッキン５３及びＯリング５１を装着すると共に、センターシャフト２０のネジ溝２５の方向から平面潤滑リング５５を装着する。次に、センターシャフト２０を流体案内部２１側からハウジング１０の開口部に挿入する（図３（ａ）における右側から左側へ）。そして、センターシャフト１２０をハウジング１０に装着した状態で取付部材３０を流体案内部２１側から（図３（ａ）における右側から左側へ）装着し、取付部材３０の面３１、３１とハウジング１０の面１６、１６をスパナや六角レンチ等の締め付け具により相対的に回転させて締め付け固定する。これにより、フランジ部２３が取付部材３０に当接するのでセンターシャフト２０はハウジング１０から抜け落ちることなく自由に回動可能に取着される。
【００３１】
次に、このようにして組み立てられたジョイント１０と同様に組み立てられた別のジョイント２、３を組み合わせてスイベルジョイントＡを形成する。すなわち、ジョイント１のハウジング１０に形成された連通孔１７にジョイント２のセンターシャフト２０に形成されたネジ溝２５を螺着し、さらに、ジョイント２のハウジング１０に形成された連通孔１７にジョイント３のセンターシャフト２０に形成されたネジ溝２５を螺着する。これによって３方向に回転可能なスイベルジョイントＡが形成される。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明に係るスイベルジョイントの一実施形態における一部分解斜視図である。
【図２】図１のスイベルジョイントの断面図である。
【図３】（ａ）は図１に示すスイベルジョイントを構成するジョイントの分解断面図、（ｂ）はそのジョイントを組み立てた状態の断面図である。
【図４】センターシャフトの側面図である。
【図５】（ａ）はハウジングの側面図、（ｂ）はハウジングの右側面図、（ｃ）はハウジングの左側面図である。
【図６】（ａ）は取付部材の側面図、（ｂ）は取付部材の左側面図である。
【図７】図１に示すジョイントと異なる構造のジョイントの断面図である。
【図８】従来の回転継手の一部分解斜視図である。
【図９】（ａ）は図８に示す従来の回転継手を構成するジョイントの分解断面図、（ｂ）はそれを組み立てた状態の断面図である。
【図１０】図９示す従来のジョイントとは異なるジョイントの分解断面図、（ｂ）はそれを組み立てた状態の断面図である。
【符号の説明】
【００３３】
Ａ      スイベルジョイント
１、２、３      ジョイント
１０      ハウジング
１１      開口部
１３      遮蔽部
１３ａ      挿入孔
１６      面
１７      連通孔
１９      流体流通路
２０      センターシャフト
２１      流体案内部
２３      フランジ部
２５      ネジ溝
２６      本体部
２７      面
３０      取付部材
３１      面
３３      ネジ部
３７      挿通孔
５１      Ｏリング
５３      パッキン
５５      平面潤滑リング
【図１】
2005180565.tif 000003
【図２】
2005180565.tif 000004
【図３】
2005180565.tif 000005
【図４】
2005180565.tif 000006
【図５】
2005180565.tif 000007
【図６】
2005180565.tif 000008
【図７】
2005180565.tif 000009
【図８】
2005180565.tif 000010
【図９】
2005180565.tif 000011
【図１０】
2005180565.tif 000012