(57)【要約】【課題】          高周波信号の漏洩低減を図ることができる、簡便でコンパクトな電子銃用高周波信号伝送装置を実現する。【解決手段】      高周波電源からのカソード高周波電圧と、直流電源からのグリッドバイアス電圧と、カソードヒータ電流とを、３重同軸部を有する同軸伝送路を介して電子銃に供給する電子銃用高周波信号伝送装置において、前記グリッドバイアス電圧および前記カソードヒータ電流の前記同軸伝送路内への供給路を、前記同軸伝送路の３重同軸部に形成された直流入力部、および、この直流入力部に直接接続された空芯コイルとこの空芯コイルに直接接続されたフェライトコア付きコイルとからなるインダクタンスを含む伝送路とする。【選択図】        図１ 
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
高周波電源からのカソード高周波電圧と、直流電源からのグリッドバイアス電圧と、カソードヒータ電流とを、３重同軸部を有する同軸伝送路を介して電子銃に供給する電子銃用高周波信号伝送装置において、前記グリッドバイアス電圧および前記カソードヒータ電流の前記同軸伝送路内への供給路を、前記同軸伝送路の３重同軸部に形成された直流入力部、および、この直流入力部に直接接続された空芯コイルとこの空芯コイルに直接接続されたフェライトコア付きコイルとからなるインダクタンスを含む伝送路であることを特徴とする電子銃用高周波信号伝送装置。
【請求項２】
前記直流入力部は、前記同軸伝送路の３重同軸部を構成する中心導体と、内導体と、外導体とを、前記同軸伝送路の外導体近傍にまで引き出して構成された３重同軸入力部であることを特徴とする請求項１に記載の電子銃用高周波信号伝送装置。
【請求項３】
前記電子銃に接続される前記同軸伝送路の端部を、テーパ形状を有する同軸構造としたことを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の電子銃用高周波信号伝送装置。
【請求項４】
前記同軸伝送路と前記電子銃とを、インピーダンス変換器を介して接続したことを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の電子銃用高周波信号伝送装置。
【請求項５】
前記同軸伝送路の２重同軸部を構成する内導体の外径に略等しい径の円周上に配置された複数のバイアス絶縁用コンデンサを、前記同軸伝送路の２重同軸部の構成要素である内導体を２分割して形成される分割内導体間に配置し、この２個の分割内導体と並列接続したことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の電子銃用高周波信号伝送装置。
【請求項６】
前記高周波電圧と前記グリッドバイアス電圧と、前記カソードヒータ電流とを入力する３個の入力端子と複数の穴とを設けた金属製のフランジ蓋部と併せて、前記電子銃の前記同軸伝送路接続部と、前記直流入力部を含む前記同軸伝送路と、前記インダクタンスとを金属材料で囲むことにより形成される金属シールドを備えた請求項１乃至５のいずれかに記載の電子銃用高周波信号伝送装置。
【請求項７】
前記フランジ蓋部に設けられた前記複数の穴は冷却用気体の入排気用とし、且つ、そのうち、少なくとも一つは前記フェライトコア付きコイルの近傍にあることを特徴とする請求項６に記載の電子銃用高周波信号伝送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子線加速器、電子線またはＸ線照射装置などに電子を供給する電子線発生装置の基本構成要素の一つである電子銃用高周波信号伝送装置に関するものである。    なお、電子銃用高周波信号伝送装置とは、高周波電源からの高周波電圧信号と、直流電源からのグリッドバイアス電圧及びカソードヒータ電流とを電子銃に供給するための装置のことを言う。また、電子銃とはカソードと、カソードヒータと、グリッドと、アノードとを構成要素として含み、電子発生とその取り出しを行う部分を言う。
【背景技術】
【０００２】
電子線加速器等では、加速用の電子を供給するための電子線発生装置が必要である。電子の加速には、通常高周波加速空洞を使用するため、電子線発生装置では、この高周波加速空洞の加速周波数と同期して、パルス的に電子の発生・取り出しを行い、電子線加速器等へ供給する必要がある。この電子線発生装置での電子の発生・取出しには、通常、所謂電子銃を使用している。即ち、電子銃のカソード近傍に設置したヒータに直流のカソードヒータ電流を供給することによりヒータを加熱し、このヒータの熱でカソードを間接的に加熱することによりカソード面で熱電子を発生させうる状態にする。さらに、カソードに高周波電圧信号を印加すると共に、カソード前面に設置されたグリッドとカソード間に、前記高周波電圧信号とは逆極性の直流のグリッドバイアス電圧を印加することにより、高周波電圧値がこのグリッドバイアス電圧値を超える部分に相当する時間幅に対応して熱電子を発生させ取り出す。これにより、取り出した電子の前記高周波周期との同期性とパルス性とを担保している。このように、電子銃には、高周波電圧信号と共に、グリッドバイアス電圧及びカソードヒータ電流が伝送路を介して供給されるが、これを適切に行うための伝送路で構成される装置が電子銃用高周波信号伝送装置である。
【０００３】
電子銃への上記高周波電圧信号、および、直流であるグリッドバイアス電圧とカソードヒータ電流の供給に際して重要なことは、伝送路からの高周波電圧信号の漏洩を低減し、高周波電圧信号の減衰を抑えることと、インピーダンス不整合をなくし、不整合に起因する伝送路内での高周波電圧信号の反射による信号波形の歪、低減を防止することである。これは、高周波電圧信号の減衰、低減があると、電子の発生量が減少してしまうためである。このうち高周波電圧信号の漏洩低減が大きな問題となっている。
【０００４】
電子銃の場合は、上述した様に、２種類の直流と高周波電圧信号を供給する必要があることから、高周波供給用の伝送路を介しての高周波電圧信号の漏洩と、回路構成や伝送路の構成上、直流を供給する伝送路を介しての高周波電圧信号の漏洩とがあるが、高周波供給用の伝送路を介しての漏洩はこの伝送路を同軸構造にすることにより解決できるため、直流を供給する伝送路を介しての漏洩が問題となる。
直流供給用の伝送路を介しての、高周波電圧信号の漏洩低減には次のような方法が提案されている。第一の方法は、電子銃近傍の直流供給用伝送路にインダクタンスを導入する方法である。このインダクタンスとしてフェライトコア付コイルを使用した例が特許文献１の図１３に示されている。フェライトコア付コイルとは円環状のフェライトをコアとして、これに被覆されたコイルを巻きつけたものをいう。「円」は楕円状や矩形状であってもよい。なお、この例では同軸伝送路は採用されていない。
第二の方法は直流供給用の伝送路も同軸伝送路とする方法である。この例が特許文献１の図１に示されている。この例の場合は、グリッドバイアス電圧とカソードヒータ電流の電子銃までの伝送路を同軸伝送路にするために、高周波電圧信号用の同軸伝送路の途中に逆Ｔ字型の３重同軸伝送路(Ｔ字型３重同軸伝送路と呼ぶ)を接続し、このＴ字型３重同軸伝送路の中心導体にカソードヒータ電流を、また同内導体にグリッドバイアス電圧を入力する構造とし、更に、この内導体外周を軸方向に積層したフェライトコアで囲み、その外側を同外導体で囲む構造としている。このように構成することで、Ｔ字型３重同軸伝送路にグリッドバイアス電圧およびカソードヒータ電流を入力するために接続される線ケーブルを介しての高周波電圧信号の漏洩を低減している。
【０００５】
【特許文献１】特開平７−１６１３３０号公報（図１、図１３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１の図１３に記載された例の場合、フェライトコア付きコイルは、グリッドバイアス電圧とカソードヒータ電流とを電子銃に供給する伝送路のそれぞれに必要となることから、設置するに当たり、互いに物理的に干渉してしまうこと、さらに高周波電圧信号供給用の伝送路を同軸伝送路とする場合には、これとも物理的に干渉することとなる。そのため、電子銃の近傍にフェライトコア付きコイルを設置することが難しく、この電子銃とフェライトコア付きコイルとの間の伝送路からの高周波信号の漏洩が問題となる。
【０００７】
特許文献１の図１に記載された例は、特許文献１の図１３の例についての上記問題点を改善することを目的としたものあるが、Ｔ字型３重同軸伝送路の内部に積層フェライトコアを設置する構造としたために、構造が複雑となり、コストアップの要因になると共に、必要な積層フェライトコアの長さが数十ｃｍと大きなものとなることから、Ｔ字型３重同軸伝送路が大きくなってしまうという問題があった。電子銃からみて、このＴ字型３重同軸伝送路とその下流側は高電圧部の電界緩和を図り放電を防止するため、通常金属シールドで覆うが、その金属シールドも大きな容積のものが必要となるため、簡便、コンパクトな構造で高周波信号の漏洩を低減できる電子銃用高周波信号伝送装置が求められていた。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明では、高周波電源からのカソード高周波電圧と、直流電源からのグリッドバイアス電圧と、カソードヒータ電流とを、３重同軸部を有する同軸伝送路を介して電子銃に供給する電子銃用高周波信号伝送装置において、前記グリッドバイアス電圧および前記カソードヒータ電流の前記同軸伝送路内への供給路を、前記同軸伝送路の３重同軸部に形成された直流入力部、および、この直流入力部に直接接続された空芯コイルとこの空芯コイルに直接接続されたフェライトコア付きコイルとからなるインダクタンスを含む伝送路とした。
【発明の効果】
【０００９】
本発明では、高周波電源からのカソード高周波電圧と、直流電源からのグリッドバイアス電圧と、カソードヒータ電流とを、３重同軸部を有する同軸伝送路を介して電子銃に供給する電子銃用高周波信号伝送装置において、前記グリッドバイアス電圧および前記カソードヒータ電流の前記同軸伝送路内への供給路を、前記同軸伝送路の３重同軸部に形成された直流入力部、および、この直流入力部に直接接続された空芯コイルとこの空芯コイルに直接接続されたフェライトコア付きコイルとからなるインダクタンスを含む伝送路としたため、簡便でコンパクトな電子銃用高周波信号伝送装置により漏洩高周波信号の低減を図ることができるようになった。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
実施の形態１
図１は本発明の実施の形態１による電子銃用高周波信号伝送装置の概略図を示す。    電子源１は、いわゆる電子銃のうち、カソードとグリッドとカソードヒータとで構成される部分であり、カソードアセンブリとも呼ばれる。同軸伝送路２は、高周波電源(図示せず)から出力される高周波電圧信号と、直流電源(図示せず)から出力されるグリッドバイアス電圧、およびカソードヒータ電流とを電子源１に供給するための伝送路で、途中にグリッドバイアス電圧とカソードヒータ電流とを同軸伝送路２に入力するための直流入力部３を有している。高周波電圧信号は、高周波信号入力端子４を介して同軸伝送路２に入力され、同軸伝送路２を経由して電子銃に供給される。また、グリッドバイアス電圧は、バイアス入力端子５とインダクタンス要素を経由して直流入力部３に入力され、また、カソードヒータ電流は、ヒータ電流入力端子６とインダクタンス要素を経由して直流入力部３に入力された後、高周波電圧信号と共に同軸伝送路を経由して電子銃に供給される。ここでインダクタンス要素とは、直列接続されたフェライトコア付コイルと空芯コイルのことを言うものとする。
高周波信号入力端子４とバイアス入力端子５とヒータ電流入力端子６とはフランジ蓋部７に固定設置されている。  金属シールド８には電子放出面であるカソード、グリッド面が露出するように電子源１が取り付けられ、フランジ蓋部７と併せて、電子源１に高周波電圧信号、グリッドバイアス電圧、カソードヒータ電流を入力する電子源１の入力部と、直流入力部３を含む同軸伝送路２と、前記インダクタンス要素とを内蔵する。電子源１の電子放出面に対向する位置にはアノード９が設置されている。両端に真空フランジ１０、１１を取り付けた高電圧絶縁ダクト１２の所定の位置には、アノード９、フランジ蓋部７、金属シールド８が取り付けられ固定されている。
【００１１】
同軸伝送路２について説明する。
高周波信号入力端子４近傍では、高周波信号入力端子４と接続される同軸伝送路２は２重同軸構造となっており、外導体２１と内導体２２aとで構成される。一方、電子源１との接続部近傍では３重同軸構造となっており、外導体２１と内導体２２ｂと中心導体２３とで構成される。この３重同軸構造の外導体２１と内導体２２ｂと中心導体２３とは、同軸伝送路２に直交して同軸伝送路２の外に引き出され、直流入力部３を形成する。このときの直流入力部３は３重同軸構造を有しており、これを構成する外導体引出部３１、内導体引出部３２、中心導体引出部３３は、それぞれ外導体２１と内導体２２ｂと中心導体２３と接続されている。そして、この直流入力部３の位置を境にして、同軸伝送路２の高周波電圧信号入力端子４の側は２重同軸構造、電子源１の側は３重同軸構造となっている。この直流入力部３は同軸伝送路２の外径近傍まで引き出すのがよい。引き出し長を大きくすると金属シールド８を大きくしなければならなくなるので、得策ではないからである。なお、この実施の形態では同軸伝送路２の両端は、テーパ形状となっているテーパ同軸部を有する構造になっている。
【００１２】
インダクタンス要素を介してのバイアス入力端子５、ヒータ電流入力端子６と直流入力部３との接続について説明する。グリッドバイアス電圧の伝送路は、バイアス入力端子５と、これに接続される空芯コイル１３aと、これに直接接続されるフェライトコア付きコイル１４aと、これに直接接続され、かつ、内導体引出部３２に直接接続される空芯コイル１５aとで構成される。カソードヒータ電流の伝送路は、ヒータ電流入力端子６と、これに接続される空芯コイル１３ｂと、これに直接接続されるフェライトコア付きコイル１４ｂと、これに直接接続され、かつ、中心導体引出部３３に直接接続される空芯コイル１５ｂとで構成される。
なお、直流入力部３の内導体引出部３２を経由して内導体２２aに入力されているグリッドバイアス電圧から、これに接続されている高周波電源を保護するために、内導体２２aはバイアス絶縁用コンデンサ１６を介して分割されている。
【００１３】
次に、この実施の形態にかかる電子銃用高周波信号伝送装置の機能について説明する。
すでに説明した接続関係により、高周波信号入力端子４に入力された高周波電圧信号は、同軸伝送路２の内導体２２a、バイアス絶縁用コンデンサ１６、内導体２２ｂを介して電子銃に供給され、バイアス入力端子５に入力されたグリッドバイアス電圧は、空芯コイル１３a、フェライトコア付きコイル１４a、空芯コイル１５aを経由して同軸伝送路２の直流入力部３を構成する内導体引出部３２に入力され、内導体引出部３２から同軸伝送路２の内導体２２ｂを介して電子銃に入力される。また、ヒータ電流入力端子６に入力されたカソードヒータ電流は空芯コイル１３ｂ、フェライトコア付コイル１４ｂ、空芯コイル１５ｂを経由して同軸伝送路２の直流入力部３を構成する中心導体引出部３３に入力され、中心導体引出部３３から同軸伝送路２の中心導体２３を介して電子銃に入力される。          
【００１４】
このように、まず高周波電圧信号の伝送路を同軸構造にしたことにより、高周波電圧信号の漏洩を低減することができる。また、同軸伝送路２の直流入力部３は同軸構造となっており、その出口には空芯コイルが直接接続され、それに続きフェライトコア付きコイルも直接接続されているので、この直流入力部を経由して漏洩してくる高周波電圧信号を効果的に低減することができる。この直流入力部３にはフェライトコア付きコイル１４aと１４ｂの２台を設置する必要があるため、フェライトコア付きコイル同士が互いに邪魔になり直流入力部３にフェライトコア付きコイル１４aと１４ｂを直接接続することができず、従来は、特許文献１の図１３に示されているようにこの間を通常の線ケーブルでつないでいた。このような方法では高周波電圧信号の漏洩を防止する機能を有するフェライトコア付きコイルまでの通常の線ケーブルからの放射による漏洩が避けられない。本発明のポイントは、小さなスペースにも設置できる空芯コイルで、フェライトコア付きコイルと直流入力部３の対応する導体引出部との間を接続することによりインダクタンスを導入し、このような漏洩を低減したことにある。
【００１５】
フェライトコア付きコイルには直流入力部３に直結させる空芯コイルのほか、他端にも同じく空芯コイルを取り付けてもよい。これは、先の空芯コイル＋フェライトコア付きコイルで十分に漏洩を抑えられなかった場合に採用する手段であり必須のものではない。この場合も、先の議論と同様、２台のフェライトコア付きコイルが互いに邪魔になり、これ以上インダクタンスを強化することが困難で、かつ、バイアス入力端子５やヒータ入力端子６に直結させることも困難、かつ、これまでに導入したインダクタンスでは高周波電圧信号の漏洩を十分には低減することができない場合に、サイズの小さな空芯コイルを設置するものである。このようにフェライトコア付きコイルの両端に空芯コイルを直列接続したインダクタンスを採用することは空間的な制約が大きい場合には特に、高周波電圧信号の漏洩低減に効果的である。
【００１６】
尚、直流入力部３は、図１では３重同軸構造のものを示したが、同軸構造でなくとも、図２に示すように同軸伝送路２の一部に空芯コイル導入用の穴をあけ、空芯コイル１５ａを、直接、同軸伝送路２の内導体２２aもしくは２２ｂに、また、空芯コイル１５ｂを、直接、同軸伝送路２の中心導体２３に接続してもよい。この方法では、同軸構造の直流入力部３の場合に比べると、高周波電圧信号の漏洩低減効果は低下し、インピーダンスマッチングの点からも問題は残るが、直流入力部３の構造が簡単になるため、より簡便でコンパクトな電子銃用高周波信号伝送装置を提供することができるようになる。個々の適用条件に応じて選択すれば良いであろう。
【００１７】
更に、高周波電圧信号の漏洩は電子源１の入力部と同軸伝送路２との接続部、及び高周波信号入力端子４と同軸伝送路２との接続部においても生じうる。したがって通常、同軸構造を維持しつつ両者の接続が行われるが、それぞれの接続部のサイズに相違があり同軸伝送路の各導体をそのまま直接接続することができず、同軸性も保持できない場合は、漏洩とともにインピーダンス不整合の問題も生じることになる。
同軸伝送路の端部を、テーパ形状を有するテーパ同軸部にするのは、このような場合に対応させるためである。このようなケースは、後述するように同軸伝送路２を何らかの理由により大きくしなければならないときに生じる。電子源１の入力部近傍端部での同軸伝送路２を例に取り、このときの留意事項について説明する（図３参照）。インピーダンス整合の観点からは、例えば、同軸伝送路２の外導体２１の内径Ｄ１と内導体２２ｂの外径Ｄ２との比が、これらと接続される電子源１の入力部の対応する径ｄ１，ｄ２の比と等しいことが理想であり、この場合は、テーパ同軸部はその任意の断面における外導体２１の内径Ｄ１'と内導体２２ｂの外径Ｄ２'との比も同一の値になるように直線状のテーパ構造とするのが良い。しかし、Ｄ１，Ｄ２の比がｄ１，ｄ２の比と異なる場合でも、テーパ同軸部の前後での、接続対象の径の違いをなめらかに接続すればインピーダンスの不整合の影響は低減される。従ってテーパ同軸部は上述のいずれの場合においても有意義となる。このことは高周波信号入力端子４と同軸伝送路２との接続部においても同様である。
【００１８】
金属シールド８は金属製のフランジ蓋部７と併せて、電子源１の入力部、直流入力部３を含む同軸伝送路２、空芯コイル１３ａ、１３ｂ、１５ａ、１５ｂ、フェライトコア付きコイル１４ａ、１４ｂを収納し、電界を緩和する機能を有すると共に、フランジ蓋部７には高周波信号入力端子４、バイアス入力端子５、ヒータ電流入力端子６を取り付け、固定する機能も有する。真空フランジ１０，１１は高電圧絶縁ダクト１２の両端に取り付けられ、金属シールド８と高電圧絶縁ダクト１２とで囲まれる部分、即ち、図１に示すように、電子源１のカソード面からグリッドを通過して出てくる電子（図１では矢印と「ｅ」の表示で示した）の通路の真空を保持する機能を有する。
【００１９】
以上の様に伝送路を構成したので、各伝送路は基本的には同軸伝送路となっており、インピーダンス不整合を防止できる。また、直流入力部３を経由して漏洩してくる高周波電圧信号についてはフェライトコア付きコイルと空芯コイルを直列接続して形成したインダクタンスを介して効果的に低減することができる。特許文献１の図１に示す装置のように同軸伝送路内導体外周にフェライトコアを積層する必要がなく、同軸伝送路の直流入力部も小さなものでよいため、簡便で、コンパクトな高周波信号伝送装置で高周波電圧信号の漏洩低減を図ることができる。
【００２０】
実施の形態２
図４は本発明の実施の形態２を示す図である。ここでは同軸伝送路２の端部をテーパ同軸部にするのではなく、これに替えてインピーダンス変換器１９を採用することとした。この方法によっても、テーパ同軸部の場合と同様に、同軸伝送路２の両端部での接続の際のサイズの違いに起因するインピーダンス不整合を解消できる。これにより、両端の接続径を考慮することなく、同軸伝送路２の各導体の径を自由に設計することができるようになる。このことは、実施の形態３で説明するバイアス絶縁用コンデンサを設置する場合に重要となる。以上、本発明により、伝送路での信号の反射を防止することができ、前記高周波電圧信号の漏洩低減効果と併せて簡便でコンパクトな電子銃用高周波信号伝送装置を提供できる。
【００２１】
実施の形態３
図５は、本発明の実施の形態３を示す図である。バイアス絶縁用コンデンサ１６の設置近傍の内導体２２aの軸方向に沿った断面を示している。  バイアス絶縁用コンデンサ１６の設置状態の一例を示すものである。通常、同軸伝送路２の内導体２２aにコンデンサを接続する場合、内導体２２aの同軸性はコンデンサの部分で崩れてしまい、インピーダンス整合の観点からは好ましくない状況となる。図５では、内導体２２aの外径にほぼ等しい径の円周上に複数のバイアス絶縁用コンデンサ１６を配置し、これらを、図示するようにコンデンサ毎に２個の導電板１７を介して分割された内導体２２aに並列接続した。このようにバイアス絶縁用コンデンサ１６を複数個、円周上に配置することにより、バイアス絶縁用コンデンサ１６の設置部においても同軸性が保持でき、高周波電圧信号の反射を防止できる。
【００２２】
なお、バイアス絶縁用コンデンサ１６の容量は、高周波信号に対するコンデンサ部のインピーダンスを小さくするために、大きい方が良いが、複数のコンデンサを並列接続するという本発明により、合成容量を容易に増大させることができるという効果もある。ちなみに、コンデンサの合成容量を２ｎＦとすれば、高周波信号が５００ＭＨｚの時に、当該高周波信号に対するこのコンデンサによる抵抗は１Ω以下となり、無視できる値となる。なお、上記の例では複数のコンデンサを並列接続する手段として導電板２８を使用したが、導電板１７に替えて２個のリング状の導電環を使い、この内円周若しくは外円周上にコンデンサを複数個取り付け、それを分割された内導体２２aに並列接続しても同等の効果を得ることが出来る。なお、この様に複数のコンデンサを円周上に配置するにはその個数によっては、円周は長いほうが良く、従って内導体２２aの外径Ｄ２は大きい方がよいことがある。実施の形態１ではテーパ同軸部について、実施の形態２ではインピーダンス変換器について言及したが、これは上記のようなコンデンサの配置を採用した場合には、同軸伝送路２の径が大きくなることがあるからである。なお、分割された各内導体２２aを相互に固定するためには、例えば絶縁材料で作られたボルトなどの絶縁止め具１８を使用すれば良い。
【００２３】
実施の形態４
図６は本発明の実施の形態４を示す図である。フェライトコア付きコイル１４ａ、１４ｂのフェライトコアは漏洩高周波電圧信号がコイルに流れると発熱する。これらは、フランジ蓋部７を含む金属シールド８と電子源１の入力部とで囲まれる密閉空間内に収納されているので温度が上昇し、コイル被覆の損傷が生じるという問題が発生することがある。そのため、フェライトコアを冷却する手段を講じておくことは重要である。本実施の形態はその冷却手段をサポートするためのものである。具体的にはフランジ蓋部７に複数の空気の流通できる冷却用穴を設置し、その内の少なくとも１つはフェライトコア付きコイル１４ａ、１４ｂの近傍に配置することとしたものである。
【００２４】
図６はこの冷却用穴が２個の場合を例示したもので、外部から冷却用気体として空気を強制的に供給する場合を示している。空気は冷却用穴４０を通り金属シールド内の空間に供給される。供給された空気はフェライトコア付きコイル１４ａ、１４ｂを冷却しながら、冷却用穴４１を通り排気される。このとき冷却用穴４１には冷却用延長管４２を設置するのが望ましい。これがないと冷却用穴４０から入った空気がフェライトコア付きコイルを冷却する前に、すぐに冷却用穴４１から排気されてしまうことが心配されるためである。尚、図６の冷却用穴４０、４１の吸気/排気は逆にしても良い。この冷却効果により、金属シールドの大きさを熱の心配をすることなく縮小することが出来るのでよりコンパクトな電子銃用高周波信号伝送装置を提供することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の実施の形態１による電子銃用高周波信号伝送装置。
【図２】本発明の実施の形態１の他の例による直流入力部の拡大図。
【図３】本発明の実施の形態１による同軸伝送路のテーパ同軸部近傍の拡大図。
【図４】本発明の実施の形態２によるインピーダンス変換器部近傍の拡大図。
【図５】本発明の実施の形態３によるバイアス絶縁用コンデンサ取り付け部近傍の拡大図。
【図６】本発明の実施の形態４による電子銃用高周波信号伝送装置。
【符号の説明】
【００２６】
１  電子源、  ２  同軸伝送路、  ３  直流入力部、  ４  高周波信号入力端子、  ５  バイアス入力端子、  ６  ヒータ電流入力端子、  ７  フランジ蓋部、  ８  金属シールド、  ９  アノード、  １０  真空フランジ、  １１  真空フランジ、  １２  高電圧絶縁ダクト、  １３ａ  空芯コイル、  １３ｂ  空芯コイル、    １４ａ  フェライトコア付きコイル、  １４ｂ  フェライトコア付きコイル、  １５ａ  空芯コイル、  １５ｂ  空芯コイル、  １６  バイアス絶縁用コンデンサ、  １７  導電板、  １８  絶縁止め具  、  １９  インピーダンス変換器、  ２１  外導体、  ２２  内導体、  ２３  中心導体、  ３１  外導体引出部、  ３２  内導体引出部、  ３３  中心導体引出部、  ４０  冷却用穴、  ４１  冷却用穴、  ４２  冷却用延長管
【図１】
2005044720.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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