(57)【要約】【課題】  サーボ信号の読取信号のＳＮ比を向上可能とする複合型磁気ヘッド及びその製造方法を提供する。【解決手段】  走行する磁気テープＭＴ１に摺接し、磁気テープＭＴ１のサーボバンドを磁気テープＭＴ１の長手方向の一方向に磁化するＤＣ消去ヘッド１０と、磁気テープＭＴ１に摺接しサーボバンドに一方向と逆向きに磁化してサーボ信号を書き込むサーボ信号書込ヘッド２０とが、非磁性体５０を介し一体に構成してなる複合型磁気ヘッドＨ１であって、ＤＣ消去ヘッド１０のＤＣ消去ヘッドギャップ１０Ｇと、サーボ信号書込ヘッド２０のサーボ信号書き込みヘッドギャップ２０Ｇとは、長手方向に並んでおり、且つ、フォトリソグラフィ法により１つのマスクで同時に形成された複合型磁気ヘッドＨ１である。【選択図】      図１
2005085390.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
走行する磁気テープに摺接し当該磁気テープのサーボバンドを前記磁気テープの長手方向の一方向に磁化するＤＣ消去ヘッドと、前記磁気テープに摺接し前記サーボバンドに前記一方向と逆向きに磁化してサーボ信号を書き込むサーボ信号書込ヘッドとが、非磁性体を介し一体に構成してなる複合型磁気ヘッドであって、
前記ＤＣ消去ヘッドのＤＣ消去ヘッドギャップと、前記サーボ信号書込ヘッドのサーボ信号書込ヘッドギャップとは、前記長手方向に並んでおり、且つ、フォトリソグラフィ法により１つのマスクで同時に形成されたことを特徴とする複合型磁気ヘッド。
【請求項２】
磁気テープに摺接して当該磁気テープのサーボバンドを前記磁気テープの長手方向の一方向に磁化すると共に、前記サーボバンドに前記一方向と逆向きに磁化してサーボ信号を書き込む複合型磁気ヘッドの製造方法であって、
ＤＣ消去ヘッドコア本体とサーボ信号書込ヘッドコア本体とを、非磁性体を介し一体に構成する第１工程と、
前記ＤＣ消去ヘッドコア本体に形成するＤＣ消去ヘッドギャップ膜と、前記サーボ信号書込ヘッドコア本体に形成するサーボ信号書込ヘッドギャップ膜とを、前記長手方向に並べた配置で、１つのマスクを使用したフォトリソグラフィ法により同時に形成する第２工程と、
を有することを特徴とする複合型磁気ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、サーボ信号の読取信号のＳＮ比（Signal Noise Ratio）を向上可能とする複合型磁気ヘッド及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、磁気テープは、高密度記録化が進んでおり、コンピュータのバックアップ用では１００ギガバイト程度の記憶容量を有するものがある。そのために、磁気テープには幅方向に数百本のデータトラックが形成されている。したがって、データトラックの幅は非常に狭くなっており、隣接するデータトラック間も非常に狭くなっている。そのため、磁気ヘッドの記録／再生素子をデータトラックにトレースさせるため、予め磁気テープにサーボ信号を書き込んでおき、磁気ヘッドでこのサーボ信号を読み取りつつ、磁気ヘッドの位置（磁気テープの幅方向の位置）をサーボ制御している（特許文献１参照）。
【０００３】
そして、前記したサーボ信号は、磁化されていない磁気テープ上のサーボバンドに、一方向に磁化するように、サーボ信号書込ヘッドに記録電流を付与することで記録されていた。
つまり、図５（ａ）に示すように、従来のサーボ信号ＳＳ"では、サーボ信号読取素子（ＭＲ素子）の飽和現象を回避するために、磁化されていないサーボバンドＳＢ"上に、記録電流としてゼロ電流とプラスパルス電流とからなるパルス電流ＰＣ"（以下「パルス電流」と略称する）を流して形成していた。このようなパルス電流ＰＣ"を用いると、図５（ｂ）に示すように、磁気テープＭＴ"には、パルス電流ＰＣ"のゼロ電流の時にはサーボパターンＳＰ"以外の領域が磁化されず、パルス電流ＰＣ"のプラスパルス電流が流れた時にはサーボギャップからの漏れ磁束によってサーボパターンＳＰ"が一方向に磁化され、結果としてサーボ信号ＳＳ"が書き込まれる。一方、磁気テープ記録再生装置では、サーボ信号読取素子によってサーボ信号ＳＳ"における磁化の変化点を電気抵抗の変化で検出しており、読取信号として磁化の変化点を微分波形（電圧値）で出力している。そのため、サーボ信号読取素子の電気抵抗の変化が大きくなるほど、サーボ信号ＳＳ"の読り取り信号のピーク電圧値が大きくなり、読み取り信号のＳＮ比が向上する。したがって、サーボ信号ＳＳ"自体の磁気の変化が大きい場合やサーボ信号読取素子の幅が広いために読み取る領域が大きい場合、図５（ｃ）に示すように、サーボ信号ＳＳ"の読取信号ＲＳＬ"のピーク電圧値は大きくなる。
【０００４】
ところが、今後、磁気テープは、数十テラバイト程度まで高密度記録化が進むことが予測される。そのため、磁気テープは、データトラック数が増え、データトラックの幅および隣接するデータトラック間は一層狭くなるとともに、磁気テープ自体も薄層化する。これに伴い、サーボ信号ＳＳ"を読み取るときに検出できる磁気の量は減少し、サーボ信号読取素子で検出できるサーボ信号ＳＳ"の磁化量の変化も小さくなる。したがって、図５（ｄ）に示すように、サーボ信号ＳＳ"の読取信号ＲＳＳ"のピーク電圧値は小さくなり、読取信号ＲＳＳ"のＳＮ比が劣化する。その結果、磁気テープ記録再生装置において、サーボ信号ＳＳ"を正確に読み取ることができなくなり、高精度な磁気ヘッドの位置制御を行えなくなる。
【０００５】
そこで、本願出願人が、先に出願した未公開の発明（特願２００３−１１０３９６）では、磁気テープの長手方向の何れか一方向に磁化されたサーボバンド上に、サーボ信号を前記一方向とは逆向きに磁化して書き込み、このサーボ信号をサーボ信号読取素子で読み取る際の磁界の変化率及び変化量を大きくした。また、本願出願人が、先に出願した未公開の発明（特願２００３−１１６６６７）は、磁気テープのサーボバンドを長手方向の何れか一方向に磁化するＤＣ消去ヘッドと、この一方向と逆向きにサーボ信号を書き込むサーボ信号書込ヘッドとを一体に構成した複合型磁気ヘッド（サーボヘッドライトアセンブリ）である。
【特許文献１】特開平８−３０９４２号公報（段落００２１、図３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、前記した未公開の発明においても、図４（ａ）に示すように、複合型磁気ヘッドＨ１’は、ＤＣ消去ヘッドギャップ１０Ｇ’を有するＤＣ消去ヘッド１０’と、サーボ信号書込ヘッドギャップ２０Ｇ’（以下「サーボヘッドギャップ」と略称する）を有するサーボ信号書込ヘッド２０’（以下「サーボヘッド」と略称する）とを、非磁性体５０’を介して接合し製造すると、製造誤差により、ＤＣ消去ヘッドギャップ１０’とサーボヘッドギャップ２０’とが、磁気テープＭＴ１’の幅方向でΔＤずれるおそれがあった。
【０００７】
そして、図４（ｂ）に示すように、このような複合型磁気ヘッドＨ１’で、磁気テープＭＴ１’にサーボ信号ＳＳ’を書き込むと、ＤＣ消去ヘッドギャップ１０’により磁気テープＭＴ１’に直流磁化された直流磁化信号ＤＳ’の帯状部分と、サーボヘッドギャップ２０’により書き込まれたサーボ信号ＳＳ’の帯状部分とが、幅方向にΔＤずれてしまうという問題があった。
【０００８】
また、複合型磁気ヘッドＨ１'で磁化された磁気テープＭＴ１'では、サーボ信号ＳＳ’が書き込まれた帯状部分であって、直流磁化されていない部分（直流磁化信号ＤＳ’が書き込まれていない部分）では、サーボ信号読取素子により、サーボ信号ＳＳ’を読み取るとき、直流磁化信号ＤＳ’が無いため磁界の変化率及び変化量が小さくなり、その結果サーボ信号ＳＳ’の出力が小さくなって、高精度で磁気ヘッドの位置を制御しにくいという問題があった。
【０００９】
さらに、複合型磁気ヘッドＨ１'で磁化された磁気テープＭＴ１’では、直流磁化された帯状部分（直流磁化信号ＤＳ’が書き込まれた部分）であって、サーボ信号ＳＳが書き込まれていない部分に、データ信号を書き込んでしまうことになり、直流磁化信号ＤＳ’が部分的にデータ信号に重畳し、ノイズを与えてしまうという問題があった。
【００１０】
そこで、本発明は、サーボ信号の読取信号のＳＮ比を向上可能とする複合型磁気ヘッド及びその製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記課題を解決するための手段として第１の発明は、走行する磁気テープに摺接し当該磁気テープのサーボバンドを前記磁気テープの長手方向の一方向に磁化するＤＣ消去ヘッドと、前記磁気テープに摺接し前記サーボバンドに前記一方向と逆向きにサーボ信号を書き込むサーボ信号書込ヘッドとが、非磁性体を介し一体に構成してなる複合型磁気ヘッドであって、前記ＤＣ消去ヘッドのＤＣ消去ヘッドギャップと、前記サーボ信号書込ヘッドのサーボ信号書込ヘッドギャップとは、前記長手方向に並んでおり、且つ、フォトリソグラフィ法により１つのマスクで同時に形成されたことを特徴とする複合型磁気ヘッドである。
【００１２】
このような複合型磁気ヘッドによれば、全面が消磁された走行する磁気テープに、ＤＣ消去ヘッドギャップを上流側に、サーボ信号書込ヘッドギャップを下流側として、磁気テープの幅方向（以下、幅方向と略称する）の所定位置で摺接することで、磁気テープのサーボバンドに相当する部分を、磁気テープの長手方向の一方向、例えば磁気テープの走行方向（この方向を「順方向」とする）に向けて磁化し、この順方向に磁化されたサーボバンドにずれることなく、サーボ信号書込ヘッドにより逆方向（前記一方向と逆向き）にサーボ信号を書き込み、サーボパターンを形成することができる。
【００１３】
したがって、このような複合型磁気ヘッドにより磁化された磁気テープについて、サーボ信号を、例えば、記録磁気ヘッドのサーボ信号読取素子で読み取ったとき、順方向に磁化された部分と、逆方向に磁化されたサーボパターンの部分で、磁界の変化率及び変化量が大きくなるため、サーボ信号の出力が大きくなる。また、順方向に磁化された帯状部分と、逆方向のサーボ信号か書き込まれた帯状部分は、幅方向で一致しているため、サーボ信号の出力が部分的に低下することもない。すなわち、サーボ信号の読取信号のＳＮ比を向上させることができる。よって、この読取信号に基づいて、幅方向における記録磁気ヘッドの位置を好適に制御可能となり、順方向に磁化されていないデータバンドにデータ信号を書き込むことができる。
【００１４】
第２の発明は、磁気テープに摺接して当該磁気テープのサーボバンドを前記磁気テープの長手方向の一方向に磁化すると共に、前記サーボバンドに前記一方向と逆向きに磁化してサーボ信号を書き込む複合型磁気ヘッドの製造方法であって、ＤＣ消去ヘッドコア本体とサーボ信号書込ヘッドコア本体とを、非磁性体を介し一体に構成する第１工程と、前記ＤＣ消去ヘッドコア本体に形成するＤＣ消去ヘッドギャップ膜と、前記サーボ信号書込ヘッドコア本体に形成するサーボ信号書込ヘッドギャップ膜とを、前記長手方向に並べた配置で、１つのマスクを使用したフォトリソグラフィ法により同時に形成する第２工程と、を有することを特徴とする複合型磁気ヘッドの製造方法である。
【００１５】
このような複合型磁気ヘッドの製造方法によれば、ＤＣ消去ヘッドコア本体とサーボ信号書込ヘッドコア本体とを、非磁性体を介し一体に構成した後（第１工程）、ＤＣ消去ヘッドコア本体に形成するＤＣ消去ヘッドギャップ膜と、サーボ信号書込ヘッドコア本体に形成するサーボ信号書込ヘッドギャップ膜とを、磁気テープの長手方向に並べた配置で、１つのマスクを使用したフォトリソグラフィ法により同時に形成して（第２工程）、これらギャップ膜を覆うようにスパッタリング法等で表面磁性膜を形成した後、適宜研磨することで、磁気テープの長手方向に並んだ、ＤＣ消去ヘッドギャップとサーボ信号書込ヘッドギャップとを有する複合型磁気ヘッドを製造することができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、サーボ信号の読取信号のＳＮ比を向上可能とする複合型磁気ヘッド及びその製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、添付図面を参照して、本発明の一実施形態に係る複合型磁気ヘッドについて、図１から図３を適宜参照して説明する。
参照する図面において、図１は、本実施形態に係る複合型磁気ヘッドの全体斜視図である。図２（ａ）から図２（ｆ）は、本実施形態に係る複合型磁気ヘッドの製造方法を示す図である。図３（ａ）は、本実施形態に係る複合型磁気ヘッドの上面図であり、図３（ｂ）は同複合型磁気ヘッドによる磁気テープの磁化状況を示す図である。
なお、本実施形態に係る複合型磁気ヘッドＨ１は、例えば交流消磁により全面が消磁された磁気テープＭＴ１（図３（ｂ）参照）のサーボバンドＳＢを長手方向の一方向に磁化すると共に、この一方向と逆向きに磁化してサーボ信号ＳＳを書き込むヘッドである。
【００１８】
［複合型磁気ヘッドの構成］
図１に示すように、複合型磁気ヘッドＨ１は、走行する磁気テープＭＴ１に摺接し、この磁気テープＭＴ１のサーボバンドＳＢ（図３（ｂ）参照）を磁気テープＭＴ１の走行方向（以下、順方向という）に直流磁化するＤＣ（Direct Current）消去ヘッド１０と、磁気テープＭＴ１に摺接しサーボバンドＳＢに前記順方向と逆向きである方向（以下、逆方向という）に磁化してサーボ信号ＳＳ（図３（ｂ）参照）を書き込むサーボ信号書込ヘッド２０（以下「サーボヘッド」と略称する）とが、非磁性体５０を介し一体に構成されている。そして、複合型磁気ヘッドＨ１は、ＤＣ消去ヘッド１０から、非磁性体５０、サーボヘッド２０にかけて、磁気テープ摺動面ＭＳ１を有している。
このような複合型磁気ヘッドＨ１は、送りリール、巻き取りリール及びガイドローラ等のテープ走行系（図示しない）、複合型磁気ヘッドＨ１に直流電流及びパルス電流を付与する電流発生回路（図示しない）、電流の発生を制御する電流発生制御装置等と共に、磁気テープＭＴ１のサーボバンドＳＢにサーボ信号ＳＳを書き込むサーボライタ（図示しない）を構成している。
【００１９】
（ＤＣ消去ヘッド）
ＤＣ消去ヘッド１０は、磁気テープＭＴ１のサーボバンドＳＢに相当する部分を順方向に直流磁化するヘッドであり、幅方向断面視で略Ｃ形を呈する第１ベース部材１１と、非磁性体５０側の磁性膜１２と、表面磁性層１３と、電流発生装置（図示しない）が付与する直流電流により磁束を発生するコイル１０Ｂとから構成されており、磁気テープ摺接面ＭＳ１側にＤＣ消去ヘッドギャップ１０Ｇを有している。
【００２０】
第１ベース部材１１は、コイル１０Ｂが巻回されるコイル溝１１ａを有しており、その内周面には、スパッタリング法、めっき法等により磁性層１１ｂが形成されている。そして、ＤＣ消去ヘッドコア１０Ａは、磁性層１１ｂと、磁性膜１２と、表面磁性層１３とで構成されており、コイル１０Ｂに直流電流が付与されたとき生起する磁束流が、ＤＣ消去ヘッドコア１０Ａ内部を伝達可能となっている。
【００２１】
磁性層１１ｂ、磁性膜１２及び表面磁性層１３は、磁性を有する磁性材料から形成されている。磁性材料の種類は、本発明では特に限定はないが、例えば、パーマロイと称される軟磁性のＮｉ−Ｆｅ（ニッケル−鉄）合金、センダスト、アルパーム、アモルファス（非晶質）合金等の金属合金系磁性材料から適宜選択して形成可能である。
一方、第１ベース１１自体は、非磁性を有する非磁性材料から形成されており、このような非磁性材料としては、例えばアルミナチタンカーバイド（Ａｌ2Ｏ3・ＴｉＣ）、非磁性のフェライト、チタン酸カルシウム（ＣａＯ・ｎＴｉＯ2）等が挙げられる。
【００２２】
ＤＣ消去ヘッドギャップ１０Ｇは、シリカ（ＳｉＯ2）等の非磁性材料から形成されている。そして、ＤＣ消去ヘッドギャップ１０Ｇは、磁気テープＭＴ１のサーボバンドＳＢ（図３（ｂ）参照）部分に対応した位置で、その表面を露出するように表面磁性層１３に配設されている。ここで、本実施形態ではわかりやすく説明するため、磁気テープＭＴ１は２本のサーボバンドＳＢ、ＳＢ部分を有しているとする（図３（ｂ）参照）。よって、ＤＣ消去ヘッドギャップ１０Ｇにより、後記するようにコイル１０Ｂに直流電流が付与されたとき、漏れ磁束ＭＦDC（Magnetic Flux）を生起し、サーボバンドＳＢを順方向に直流磁化可能となっている。
【００２３】
（サーボヘッド）
サーボヘッド２０は、磁気テープＭＴ１のサーボバンドＳＢに相当する部分に、逆方向のサーボ信号ＳＳ（図３（ｂ）参照）を書き込むヘッドであり、サーボ信号書込ヘッドコア２０Ａと、電流発生装置（図示しない）が付与するパルス電流により磁束を発生するコイル２０Ｂとから構成されており、磁気テープ摺接面ＭＳ１側に、サーボ信号書込ヘッドギャップ２０Ｇ（以下「サーボヘッドギャップ」と略称する）を有している。
【００２４】
サーボ信号書込ヘッドコア２０Ａは、コイル溝２１ａを有し、幅方向断面視で略逆Ｃ形を呈する第２ベース部材２１と、同じく幅方向断面視でＩ型を呈する第３ベース部材２２と、表面磁性層２３とから構成されている。第２ベース部材２１、第３ベース部材２２及び表面磁性層２３は、磁性を有する磁性材料から形成されている。
【００２５】
サーボヘッドギャップ２０Ｇは、シリカ（ＳｉＯ2）等の非磁性材料から形成されている。そして、サーボヘッドギャップ２０Ｇは、前記したＤＣ消去ヘッドギャップ１０Ｇと同様、磁気テープＭＴ１のサーボバンドＳＢ（図３（ｂ）参照）部分に対応した位置で、その表面を露出するように表面磁性層２３に配設されている。よって、サーボヘッドギャップ２０Ｇにより、後記するようにコイル２０Ｂにパルス電流が付与されたとき、漏れ磁束ＭＦSを生起し、サーボ信号ＳＳを書き込み可能となっている。
さらに、サーボヘッドギャップ２０Ｇは、平面視で略「ハ」の字形を呈し、漏れ磁束ＭＦSにより書き込まれたサーボ信号ＳＳで、磁気テープＭＴ１の走行方向に対し正の傾斜角をなす磁化部分であるバーストＢａ（図３（ｂ）参照）と、走行方向に対し負の傾斜角をなす磁化部分であるバーストＢｂとをそれぞれ形成し、バーストＢａとバーストＢｂからなるサーボパターンＳＰを書き込み可能となっている。
【００２６】
したがって、同一のサーボバンドに対応するＤＣ消去ヘッドギャップ１０Ｇとサーボヘッドギャップ２０Ｇは、磁気テープＭＴ１の長手方向に並んで配設されている。
【００２７】
（非磁性体）
非磁性体５０は、非磁性を有する非磁性材料から形成されており、ＤＣ消去ヘッド１０とサーボヘッド２０とを磁気的に絶縁させる役割を果たす。非磁性体５０を形成する非磁性材料の種類としては、本発明では特に限定はないが、例えば、ＡｌＴｉＣ（アルチック）と称されるアルミニウム（Ａｌ）とチタン（Ｔｉ）と炭素（Ｃ）とのセラミックや、チタン酸カルシウム（ＣａＯ・ｎＴｉＯ2）、非磁性のフェライト等が挙げられる。
【００２８】
［複合型磁気ヘッドの製造方法］
次に、複合型磁気ヘッドＨ１の製造方法について、図２を参照して説明する。
まず、図２（ａ）に示すように、第１ベース部材１１と、スパッタリング法等により形成された磁性膜１２を有する非磁性体５０とをガラスＧで接合する。ここで、非磁性体５０で、後記する表面磁性層１３と表面磁性層２３とを磁気的に絶縁可能（図２（ｆ）参照）となるように、第１ベース部材１１の磁気テープＭＴ１の摺接側から非磁性体５０を突出させて接合する。
これに並行して図２（ｂ）に示すように、第２ベース部材２１と第３ベース部材２２とをガラスＧで接合する。
【００２９】
そして、図２（ｃ）に示すように、これらを中央のガラスＧでさらに接合する。
ここで、磁性層１１ｂと磁性膜１２とが合わせて特許請求の範囲の「ＤＣ消去ヘッドコア本体」に、第２ベース部材２１と第３ベース部材２２とが合わせて特許請求の範囲の「サーボ信号書込ヘッドコア本体」にそれぞれ相当する。すなわち、前記接合により、ＤＣ消去ヘッドコア本体とサーボ信号書込ヘッドコア本体とが、非磁性体５０を介し一体に構成されたことになり、この工程が特許請求の範囲の「第１工程」に相当する。
【００３０】
そして、図２（ｄ）に示すように、ＤＣ消去ヘッドコア本体に形成するＤＣ消去ヘッドギャップ膜１０ＧＭと、サーボ信号書込ヘッドコア本体に形成するサーボ信号書込ヘッドギャップ膜２０ＧＭとを、磁気テープＭＴ１の長手方向に並べた配置で、１つのマスクを使用したフォトリソグラフィ法により同時に形成する。そして、この工程が、特許請求の範囲の「第２工程」に相当する。
【００３１】
第２工程について、さらに詳細に説明すると、まず、ＤＣ消去ヘッドコア本体とサーボ信号書込ヘッドコア本体の上面（磁気テープＭＴ１側）を覆うように、酸化ケイ素膜（以下、ＳｉＯ2膜とする）を形成する。そして、このＳｉＯ2膜上に、薄膜状でフォトレジスト（感光性樹脂）を塗布する。その後、所定のフォトマスクパターンが象られた１つのフォトマスクと、水銀ランプ等の光源を使用して、ＤＣ消去ヘッドコア本体とサーボ信号書込ヘッドコア本体の上面に薄膜状で形成したフォトレジストに、同時に露光させる。その後、現像液により現像し、不要なフォトレジストの除去した後、薬液（リンス液）で洗浄する。そして、ＨＦ（フッ酸）等でフォトレジストの付着していないＳｉＯ2膜の部分を除去した（エッチング）後、純水で洗浄する。最後に、Ｈ2ＳＯ4／Ｈ2Ｏ2等によりフォトレジストのみを除去することで、シリカ（ＳｉＯ2）からなるＤＣ消去ヘッドギャップ膜１０ＧＭ及びサーボヘッドギャップ膜２０ＧＭを形成することができる。
ここで、フォトマスクには、磁気テープＭＴ１の同一のサーボバンドＳＢに対応するＤＣ消去ヘッドギャップ膜１０ＧＭとサーボヘッドギャップ膜２０ＧＭが、長手方向に並んで形成されるようにフォトマスクパターンを象る。また、フォトマスクパターンは、磁気テープＭＴ１のサーボバンドＳＢの間隔に対応させて幅方向にも象る。さらに、フォトマスクパターンは、使用するフォトレジスト（感光性樹脂）の種類、つまり、ポジ型またはネガ型に対応させて、白黒反転させる。
【００３２】
そして、図２（ｅ）に示すように、ＤＣ消去ヘッドギャップ膜１０ＧＭとサーボヘッドギャップ膜２０ＧＭとの間を充填すると共に、ＤＣ消去ヘッドギャップ膜１０ＧＭ及びサーボヘッドギャップ膜２０ＧＭを覆うように、スパッタリング法等で磁性材料からなる磁性膜４０を形成する。
【００３３】
そして、図２（ｆ）に示すように、磁性膜４０を研磨テープ等で研磨して、磁気テープ摺動面ＭＳ１を形成する。この研磨と共に、ＤＣ消去ヘッドギャップ膜１０ＧＭはＤＣ消去ヘッドギャップ１０Ｇに、サーボヘッドギャップ膜２０ＧＭはサーボヘッドギャップ２０Ｇに成形される。また、磁性膜４０は、研磨されることにより非磁性体５０で分割されると共に、磁気的に絶縁され、表面磁性層１３と表面磁性層２３になる。
その後、コイル溝１１ａ、２１ａにそれぞれコイル１０Ｂ、２０Ｂを巻回させることで、複合型磁気ヘッドＨ１は製造される。
【００３４】
このような複合型磁気ヘッドの製造方法によれば、複合型磁気ヘッド母体に、フォトリソグラフィ法により同一のマスクで同時に、ＤＣ消去ヘッドギャップ膜１０ＧＭと、サーボヘッドギャップ膜２０ＧＭとを形成した後、研磨等を行うのみで、ＤＣ消去ヘッドギャップ１０Ｇとサーボヘッドギャップ２０Ｇとが形成される。すなわち、従来ＤＣ消去ヘッド１０とサーボヘッド２０とをアセンブルする（組み合わせる）際、製造誤差になり得るＤＣ消去ヘッドギャップ１０Ｇとサーボヘッドギャップ２０Ｇとの幅方向のずれを、確実に回避可能である。
したがって、このような複合型磁気ヘッドの製造方法によれば、同一のサーボバンドＳＢに対応するＤＣ消去ヘッドギャップ１０Ｇとサーボ信号書込ギャップ２０Ｇとを、長手方向に並べて形成することができる。
【００３５】
［複合型磁気ヘッドの動作］
続いて、複合型磁気ヘッドＨ１の動作について、図３（ａ）、図３（ｂ）を参照して説明する。
図３（ａ）に示すように、上流側にＤＣ消去ヘッド１０、下流側にサーボヘッド２０となるように、複合型磁気ヘッドＨ１を配置する。そして、磁気テープ摺動面ＭＳ１（図１参照）に摺動するように磁気テープＭＴ１を走行させる。
【００３６】
まず、上流側のＤＣ消去ヘッド１０が、サーボバンドＳＢを順方向に直流磁化する工程について説明する。
電流発生装置（図示しない）からコイル１０Ｂ（図１参照）に、直流電流を付与する。直流電流が付与されると、コイル１０Ｂは、ＤＣ消去ヘッドコア１０Ａを、詳細には磁性層１１ｂ、磁性膜１２及び表面磁性層１３を伝わる磁束流を誘起する。この磁束流は、表面磁性層１３に部分的に形成されたＤＣ消去ヘッドギャップ１０Ｇを迂回し、磁気テープ摺動面ＭＳ上に漏れ磁束ＭＦDCを生起する。この漏れ磁束ＭＦDCの向きは、コイル１０Ｂに流れる直流電流の極性に応じて反転するが、本実施形態では漏れ磁束ＭＦDCが順方向となるように直流電流を付与する。
そして、この漏れ磁束ＭＦDCによって、磁気テープＭＴ１のサーボバンドＳＢは順方向に直流磁化され、順方向の直流磁化信号ＤＳが書き込まれる。
【００３７】
次に、下流側のサーボヘッド２０が、逆方向のサーボ信号ＳＳを書き込む工程について説明する。
電流発生装置（図示しない）からコイル２０Ｂ（図１参照）に、パルス電流を付与する。そうするとコイル２０Ｂは、サーボヘッドコア２０Ａを、詳細には第２ベース部材２１、第３ベース部材２２及び表面磁性層２３を伝わる磁束流を誘起する。この磁束流は、表面磁性層２３に部分的に形成されたサーボギャップ２０Ｇを迂回し、磁気テープ摺動面ＭＳ１上に漏れ磁束ＭＦSを生起する。漏れ磁束ＭＦSは、コイル２０Ｂに流れるパルス電流の向きに応じて反転するが、本実施形態では、漏れ磁束ＭＦSが逆方向となるようにパルス電流を付与する。
そして、この漏れ磁束ＭＦSによって、磁気テープＭＴ１のサーボバンドＳＢに、逆方向のサーボ信号ＳＳが書き込まれる。
【００３８】
ここで、前記したように、同一のサーボバンドに対応するＤＣ消去ヘッドギャップ１０Ｇとサーボヘッドギャップ２０Ｇは、長手方向に並んでいるため、ＤＣ消去ヘッドギャップ１０Ｇにより直流磁化信号ＤＳが書き込まれた帯状部分にずれることなく、サーボヘッドギャップ２０Ｇによりサーボ信号ＳＳが書き込まれる。すなわち、磁気テープＭＴのサーボバンドＳＢ部分をずれることなく順方向に直流磁化し、逆方向にサーボ信号ＳＳを書き込むことができる。
【００３９】
サーボ信号ＳＳは、前記した略「ハ」の字形を呈するサーボヘッドギャップ２０Ｇにより、磁気テープＭＴ１の走行方向に対し正の傾斜角をなす磁化部分であるバーストＢａと、走行方向に対し負の傾斜角をなす磁化部分であるバーストＢｂとを形成する。そして、１つのバーストＢａと１つのバーストＢｂとで、１つのサーボパターンＳＰを構成される。さらに、所定間隔でパルス電流を付与することで、サーボパターンＳＰは、磁気テープＭＴ１の長手方向に繰り返される。
なお、本実施形態では、１本のバーストＢａと１本のバーストＢｂとでサーボパターンＳＰを構成しているが、その他に例えば、コイル２０Ｂに付与するパルス電流の間隔を変更し、５本のバーストＢａと５本のバーストＢｂとでサーボパターンＳＰを構成したり、さらにバーストＢａとＢｂを交互に配置する等、適宜変更自由である。
【００４０】
したがって、複合型磁気ヘッドＨ１で磁化された磁気テープＭＴ１によれば、例えば記録磁気ヘッドに付帯するサーボ信号読取素子でサーボ信号ＳＳを読み取るとき、サーボ信号ＳＳによる磁界の変化率及び変化量は大きくなる。
すなわち、順方向に磁化された地のサーボバンドＳＢの部分から逆方向に磁化されたサーボパターンＳＰへの切り替わり部分で、順方向から逆方向に大きく磁気の向きが変わる。また、逆方向に磁化されたサーボパターンＳＰの部分から順方向に磁化された地のサーボバンドＳＢの部分に切り替わるところでも、逆方向から順方向へ大きく磁気の向きが変わる。つまり、切り替わり部分において、このような大きな磁気変化が生じることとなり、サーボ信号読取素子で、サーボ信号ＳＳを大きな出力で読み取り可能となる。
よって、サーボ信号読取素子によるサーボ信号ＳＳの読取信号のＳＮ比が向上する。そして、このＳＮ比が向上したサーボ信号ＳＳの読取信号に基づいて、記録磁気ヘッドの幅方向位置を高精度で制御可能となり、データバンドにずれることなくデータ信号を書き込むことができる。
【００４１】
また、このような複合型磁気ヘッドＨ１で磁化された磁気テープＭＴ１は、磁性層が薄い磁気テープや、データトラックの幅が狭いため、サーボ信号ＳＳを読み取るサーボ信号読取素子の幅が小さい場合に、特に有効に使用可能である。
すなわち、従来はサーボ信号読取素子（ＭＲ素子）の飽和現象に気を配らねばならず、直流磁化した部分に逆方向に磁化してサーボ信号を書き込むことは避けられていたが、磁気テープの体積当りの記憶容量を大きくするため、磁性層を薄く、データトラックの幅を狭くする場合には、複合型磁気ヘッドＨ１を使用することで、サーボ信号の読取信号の出力を大きくできる。
【００４２】
また、複合型磁気ヘッドＨ１で磁化された磁気テープＭＴ１は、データバンドＤＢが消磁されたままである。したがって、記録磁気ヘッド（図示しない）でデータバンドＤＢに記録されるデータ信号が劣化せずに、確実に記録することができる。
【００４３】
以上、本発明の好適な実施形態について一例を説明したが、本発明は前記実施形態に限定されず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、各実施形態で説明した各構成要素を適宜組み合わせてもよいし、その他に例えば以下のような適宜な変更が可能である。
【００４４】
前記した実施形態では、サーボバンドＳＢの地の部分を順方向に磁化し、サーボ信号ＳＳの部分を逆方向に磁化したが、これとは逆に、サーボバンドの地の部分を逆方向に磁化し、サーボ信号の部分を順方向に磁化してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本実施形態に係る複合型磁気ヘッドの全体斜視図である。
【図２】（ａ）から（ｆ）は、本実施形態に係る複合型磁気ヘッドの製造方法を示す図である。
【図３】（ａ）は本実施形態に係る複合型磁気ヘッドの上面図であり、（ｂ）は同複合型磁気ヘッドによる磁気テープの磁化状況を示す図である。
【図４】（ａ）は従来の複合型磁気ヘッドの上面図であり、（ｂ）は同複合型磁気ヘッドによる磁気テープへのサーボ信号の書き込み状況を示す図である。
【図５】従来のサーボ信号が書き込まれた磁気テープを説明する図であり、（ａ）は、サーボ信号を書き込むときの記録電流を示す図であり、（ｂ）は、磁気テープの平面図であり、（ｃ）は、記録素子の幅が広いときのサーボ信号の読取信号を示す図であり、（ｄ）は、記録素子の幅が狭いときのサーボ信号の読取信号である。
【符号の説明】
【００４６】
Ｈ１、Ｈ２  複合型磁気ヘッド
１０    ＤＣ消去ヘッド
１０Ｇ  ＤＣ消去ヘッドギャップ
１０ＧＭ  ＤＣ消去ヘッドギャップ膜
２０    サーボヘッド
２０Ｇ  サーボヘッドギャップ
２０ＧＭ  サーボヘッドギャップ膜
５０    非磁性体
ＭＳ１  磁気テープ摺動面
ＭＴ１  磁気テープ
【図１】
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【図２】
2005085390.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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