(57)【要約】【課題】  連続炉の第１ゾーンから外部への排熱を抑止して環境負荷を低減させると同時に、連続炉の第１ゾーンでの昇温効率を高めてエネルギー消費を削減させることのできるカート式連続炉を提供する。【解決手段】  基板を搭載したカート３を加熱動作中の連続炉９中に搬送することにより、前記基板４１に熱処理を施すカート式連続炉２００において、カート３が搬入される連続炉９の入口に、カート３が加熱されない搬入ゾーン６１を設けると共に、搬入ゾーン６１には搬入されたカート３を覆う遮蔽部６３を設けて、連続炉９の第１ゾーン２１ａから外部への排熱を抑止する。【選択図】        図６
2005231936.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を搭載したカートを加熱動作中の連続炉中に搬送することにより、前記基板に熱処理を施すカート式連続炉であって、
前記カートが搬入される前記連続炉の入口に、搬入ゾーンを設けると共に、前記搬入ゾーンには搬入された前記カートを覆う遮蔽部を備えることを特徴とするカート式連続炉。
【請求項２】
前記遮蔽部は前記搬入ゾーン内に搬入されたカートの全体又は一部を覆うことを特徴とする請求項１に記載のカート式連続炉。
【請求項３】
前記連続炉はカート上の基板に対して所定の処理をする処理室となるゾーンを前記カートの搬送方向に沿って複数個連続配置すると共に、前記カートは搬送される各ゾーン毎に所定時間停止し、前記所定時間の経過後、搬送方向隣に存在する次のゾーンに搬送されることを特徴とする請求項１又は２のいずれかに記載のカート式連続炉。
【請求項４】
前記遮蔽部内の雰囲気を該遮蔽部の開口部におけるエアー噴射によって隔離するエアー噴射手段を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のカート式連続炉。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載のカート式連続炉を用いて、基板を熱処理する工程を含むことを特徴とする表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カート式連続炉及び表示装置の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと略記する）等の表示装置の構成基板を効率的に製造するために、カート式連続炉が開発されている（例えば、特許文献１参照）。
図１に従来のカート式連続炉の一例を示す。
図１に示すカート式連続炉１００は、互いに略並行に敷設された往路用レール１ａ及び復路用レール１ｂと、これらの各レール１ａ，１ｂ上を走行するカート３と、これらの各レール１ａ，１ｂの端部間を連絡するように配置されて一方のレールから他方のレールにカート３を移載するトラバーサ５，６と、往路用レール１ａが内部を通過するように構築された連続炉９とを基本構成としている。
なお、図示例のカート式連続炉１００では、復路用レール１ｂ上に、連続炉９内での処理を終えて戻って来るカート３から処理済みの基板を降ろす積み降ろし作業領域１１と、積み降ろしを終えたカート３にこれから処理すべき基板を積み込む積み込み作業領域１３とが装備されている。
【０００３】
図示例の連続炉９は、ＰＤＰの製造工程として、所定間隔で組み合わせた一対のガラス基板相互を所定の加熱により封着させる封着処理と、封着させたガラス基板間の空間を所定の真空状態にする排気処理と、排気処理を済ませた基板を所定温度に冷却する冷却処理とを実施して、ＰＤＰとなるガラスパネルを製造する。連続炉９による処理で形成されたガラスパネルは、連続炉９の後段において往路用レール１ａ上に装備された放電ガス封入作業領域１５において、規定の放電ガスが規定圧力まで封入され、更に、復路用レール１ｂ上に装備された封止作業領域１７において放電ガスの注入口であったチップ管の封止及び切断が実施されて、ＰＤＰとして完成させられる。
【０００４】
以上の連続炉９は、図１に示したカート式連続炉の入口側周辺の拡大平面図である図２に示すように、複数個のゾーン２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，…をカート３の搬送方向に沿って連続的に配置している。
各ゾーン２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，…は、搬入されて来たカート３上の基板に対して所定の処理をする最小単位の処理室となるものである。各ゾーン２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，…は、共通の大きさで、それぞれ、１台のカート３が入る広さを備えている。
【０００５】
また、各ゾーン２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，…のカート搬送方向の長さＬ１はカート３の搬送方向の長さＬ２に略等しく設定されており、炉体３１の横断面図である図３に示すように各ゾーン２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，…間を区分する仕切壁２３には、カート３の出入りを可能にする開口２３ａを装備している。
また、先頭の第１ゾーン２１ａのトラバーサ５側の端部、及び最後尾のゾーンのトラバーサ６側の端部には、ゾーン内と外部との間を仕切る仕切壁２５が装備されるが、図４に示すように、この仕切壁２５にも、前記仕切壁２３と同様に、カート３の出入りを可能にする開口２５ａを装備されている。
【０００６】
各ゾーン２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，…の両側面及び上面及び底面は、図３に示すように、炉体３１を構成する炉体上壁３２、炉体底壁３３、炉体側壁３４，３５によって覆われている。但し、炉体底壁３３には、図示のように、カート３の基板収容部３ａを挿通させる開口３３ａが装備されてる。
すなわち、各ゾーン２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，…は、上記の開口２３ａ，３３ａ以外は周囲が囲われた互いに独立の処理空間となっている。
そして、各炉体上壁３２、炉体底壁３３、炉体側壁３４，３５の内面には、断熱材３６が全面的に貼付されている。
【０００７】
各ゾーン２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，…内には、ゾーン内部を加熱するヒーター３７と、ゾーン内部の雰囲気を攪拌（対流）させる循環ファン３８とが装備されていて、ヒーター３７によって昇温した雰囲気をカート３の基板収容部３ａ内に循環させることで、基板収容部３ａ内に収容されている各基板４１を所定温度に加熱処理する。図３中の矢印Ｆは、昇温した雰囲気の循環流を示している。
【０００８】
カート３は、図３に示すように、炉体３１の炉体底壁３３の下を走行する台車部３ｂと、この台車部３ｂの上に立設されて各ゾーン内を搬送される前記基板収容部３ａとから構成されている。基板収容部３ａは、所定の製造工程を経ることによってＰＤＰとなる複数枚の基板（ガラスパネル組立体）４１を、ゾーン内の循環流が挿通可能な隙間をあけて多段に支持する構成である。
【０００９】
この基板収容部３ａの前後には、図２に示したように、一つのゾーンに進入した際に、各ゾーン間を区切っている仕切壁２３，２５の開口２３ａ，２５ａを小さな隙間Ｓ１（図３及び図４参照）を残して塞ぐ仕切板４３，４４が装備されている。また、台車部３ｂの上面には、炉体底壁３３の開口３３ａを僅かな隙間Ｓ２を残して塞ぐ断熱板４７が装備されている。
【００１０】
以上の連続炉９の先頭に位置する第１ゾーン２１ａとトラバーサ５との間の区間は、第１ゾーン２１ａに搬入されるカート３が待機するカート投入域（待機域）５１となる。
トラバーサ５からカート投入域５１に送り出されたカート３の前端の仕切板４３が、正確に第１ゾーン２１ａの入口側端面位置（すなわち、トラバーサ５側の端部に設けた仕切壁２５の位置）に位置決めされていれば、仕切壁２５の開口２５ａは、仕切板４３によって略塞がれた状態になる。
しかし、未だカート投入域５１にカート３が搬入されていない状況下、又は搬入途中の状況下では、第１ゾーン２１ａは、開口２５ａを介して、連続炉９が設置されている施設空間５３に開放された状態、又は十分に遮蔽されていない状態にあって、第１ゾーン２１ａ内の加熱された熱がカート投入域５１側に漏れて、カート投入域５１から施設空間５３内に拡散することで、施設空間５３内の温度を変動させるなど虞がある。
【００１１】
そこで、従来のカート式連続炉１００では、第１ゾーン２１ａのトラバーサ５側の端部に設けられた仕切壁２５に、図４に示すように、開口２５ａの周縁をトラバーサ５側に延出させた排気フード５５を装備している。そして、この排気フード５５には、その内部の雰囲気を施設空間５３の外部に強制排気する排気ダクト５７を装備して、第１ゾーン２１ａからカート投入域５１側に漏れた熱が施設空間５３内に拡散することを防止している。    
【特許文献１】特開２００２−１７３３３１（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
以上のカート式連続炉１００では、連続炉９の各ゾーン２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，…へカート３が搬入されて、それぞれのゾーン２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，…において所定の加熱処理等が実施されている状況下では、隣接するゾーン間は、仕切壁２３及びカート３上の仕切板４３，４４によって遮蔽されること、更に、隣接するゾーン相互間で風圧バランスが取れていることによって、ゾーン間の対流、熱交換が抑えられている。これにより、隣り合ったゾーンの温度差が１００℃以上でも問題なく稼動することが可能となっている。
【００１３】
ところが、第１ゾーン２１ａの入口側では、カート３の片側の仕切板４３又は仕切板４４のみで遮蔽しなければならないこと、施設空間５３側よりも第１ゾーン２１ａ内の方が風圧が高く、風圧バランスがとれていないこと等から、カート投入域５１に適正にカート３が待機していても、第１ゾーン２１ａからカート投入域５１側への放熱が避けられない。
更に、もしも運転開始時等で、カート投入域５１にカート３が待機していない状況等では、仕切壁２５による開口２５ａが開放状態となってしまうため、第１ゾーン２１ａからカート投入域５１側への放熱が著しくなってしまう。
そして、第１ゾーン２１ａからカート投入域５１側への放熱エネルギーは、排気ダクト５７を介して外部環境に排出されてしまうことになる。
【００１４】
すなわち、第１ゾーン２１ａの入口の開口２５ａに排気フード５５及び強制排気用の排気ダクト５７を設けただけの従来のカート式連続炉１００では、第１ゾーン２１ａではカート投入域５１側への放熱を防げず、熱効率が著しく悪化するだけでなく、温度設定を高くすることが困難になり、次の（１）〜（４）に示すような問題が生じた。
（１）排気ダクト５７による外部への排熱によって、環境負荷が増大すること。
（２）第１ゾーン２１ａ内の昇温効率が低いため、第１ゾーン２１ａ内を所定温度に維持するためにより多くの熱エネルギーの投入が必要になり、エネルギー消費が増大すること。
（３）上記のエネルギー消費の増大の結果、カート式連続炉の運転時のランニングコストが増大し、また、カート式連続炉によって処理する製品のコストアップを招くこと。
（４）第１ゾーン２１ａを所定の高温環境に維持することが困難になるために、第１ゾーン２１ａを正規の熱処理ゾーンとして機能させることが難しく、第１ゾーン２１ａを除いて、必要な処理ゾーンを連続配置しなければならず、連続炉が大型化したり、連続炉設置スペースが増大すること。
【００１５】
本発明が解決しようとする課題としては、上述した従来技術において生じる、第１ゾーンから外部への排熱によって環境負荷が増大すること、第１ゾーンでの昇温効率が低いためにエネルギー消費が増大すること、エネルギー消費の増大に伴いランニングコストや製品コストがアップすること、連続炉は第１ゾーンを除いて必要な処理ゾーンを連続配置しなければならないために大型化したり、連続炉設置スペースが増大するという問題がそれぞれ一例として挙げられる。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記課題を解決するために、請求項１に記載のカート式連続炉は、基板を搭載したカートを加熱動作中の連続炉中に搬送することにより、前記基板に熱処理を施すカート式連続炉であって、前記カートが前記連続炉内に搬入される前記連続炉の入口に、搬入ゾーンを設けると共に、前記搬入ゾーンには搬入された前記カートを覆う遮蔽部を設けたことを特徴とする。
【００１７】
請求項５に記載の表示装置の製造方法は、請求項１〜４のいずれかに記載のカート式連続炉を用いて、基板を熱処理する工程を含むことを特徴とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
図５は本発明に係るカート式連続炉の一実施の形態の概略平面図であり、図６は図５に示したカート式連続炉の入口側周辺の拡大平面図である。
この一実施の形態のカート式連続炉２００は、互いに略並行に敷設された往路用レール１ａ及び復路用レール１ｂと、これらの各レール１ａ，１ｂ上を走行するカート３と、これらの各レール１ａ，１ｂの端部間を連絡するように配置されて一方のレールから他方のレールにカート３を移載するトラバーサ５，６と、往路用レール１ａが内部を通過するように構築された連続炉９とを基本構成として、被処理物である基板を搭載したカート３を加熱動作中の連続炉９中に搬送することにより、前記基板に熱処理を施すもので、以上の基本構成は、従来と同様である。
【００１９】
すなわち、連続炉９は、図６にも示すように、複数個のゾーン２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，…をカート３の搬送方向に沿って連続的に配置した構成である。そして、各ゾーン２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，…は搬入されて来たカート３上の基板に対して所定の処理をする最小単位の処理室となる。各ゾーン２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，…は、共通の大きさで、それぞれ、１台のカート３が入る広さを備えている。
【００２０】
また、各ゾーン２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，…のカート搬送方向の長さＬ１はカート３の搬送方向の長さＬ２に略等しく設定されており、図３に示したように各ゾーン２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，…間を区分する仕切壁２３には、カート３の出入りを可能にする開口２３ａを装備している。
また、先頭の第１ゾーン２１ａのトラバーサ５側の端部、及び最後尾のゾーンのトラバーサ６側の端部には、ゾーン内と外部との間を仕切る仕切壁２５が装備されるが、図７に示すように、この仕切壁２５にも、前記仕切壁２３と同様に、カート３の出入りを可能にする開口２５ａを装備している。
【００２１】
各ゾーン２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，…の両側面及び上面及び底面は、図３に示すように、炉体３１を構成する炉体上壁３２、炉体底壁３３、炉体側壁３４，３５によって覆われている。但し、炉体底壁３３には、図示のように、カート３の基板収容部３ａを挿通させる開口３３ａが装備されてる。
すなわち、各ゾーン２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，…は、上記の開口２３ａ，３３ａ以外は周囲が囲われた互いに独立の処理空間となっている。
そして、各炉体上壁３２、炉体底壁３３、炉体側壁３４，３５の内面には、断熱材３６が全面的に貼付されている。
各ゾーン２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，…内では、ヒーター３７によって昇温した雰囲気が循環ファン３８によって循環させられ、その循環流Ｆが基板収容部３ａ内に収容されている各基板４１を所定温度に加熱処理する。
【００２２】
カート３は、図３に示すように、炉体３１の炉体底壁３３の下を走行する台車部３ｂと、この台車部３ｂの上に立設されて各ゾーン内を搬送される前記基板収容部３ａとから構成されている。基板収容部３ａは、所定の製造工程を経ることによってＰＤＰとなる複数枚の基板（ガラスパネル組立体）４１を、ゾーン内の循環流が挿通可能な隙間をあけて多段に支持する構成である。
【００２３】
この基板収容部３ａの前後には、図６に示したように、一つのゾーンに進入した際に、各ゾーン間を区切っている仕切壁２３，２５の開口２３ａ，２５ａを小さな隙間Ｓ１（図３参照）を残して塞ぐ仕切板４３，４４が装備されている。また、台車部３ｂの上面には、炉体底壁３３の開口３３ａを僅かな隙間Ｓ２を残して塞ぐ断熱板４７が装備されている。
【００２４】
なお、上記連続炉９は、ＰＤＰの製造工程として、所定間隔で組み合わせた一対のガラス基板相互を所定の加熱により封着させる封着処理と、封着させたガラス基板間の空間を所定の真空状態にする排気処理と、排気処理を済ませた基板を所定温度に冷却する冷却処理とを実施して、ＰＤＰとなるガラスパネルを製造する。連続炉９による処理で形成されたガラスパネルは、連続炉９の後段において往路用レール１ａ上に装備された放電ガス封入作業領域１５において、規定の放電ガスが規定圧力まで封入され、更に、復路用レール１ｂ上に装備された封止作業領域１７において放電ガスの注入口であったチップ管の封止及び切断が実施されて、ＰＤＰとして完成させられる。
復路用レール１ｂ上には、連続炉９内での処理を終えて戻って来るカート３から処理済みの基板を降ろす積み降ろし作業領域１１と、積み降ろしを終えたカート３にこれから処理すべき基板を積み込む積み込み作業領域１３とが装備されている。
【００２５】
本実施の形態において、各ゾーン２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，…内を搬送されるカート３は、各ゾーン毎に所定時間停止させ、前記所定時間の経過後、搬送方向隣に存在する次のゾーンに搬送する、所謂タクト送りを実施する。このタクト送りでは、各タクト毎に各ゾーンにおいて各カートが停止して加熱されるので、連続的にカートを搬送するのに比べて、基板が均等に加熱され易く、炉内の温度設定が各ゾーン毎で設定できるという、利点が得られる。
【００２６】
そして、本実施の形態の場合、カート３が搬入される前記連続炉９の入口（すなわち、続炉９の先頭に位置してトラバーサ５に対向する第１ゾーン２１ａの端部）には、図６に示すように搬入ゾーン６１を設けている。そして、この搬入ゾーン６１には、搬入されたカート３を覆う遮蔽部６３を設けている。なお、この搬入ゾーン６１にはヒーターは設けられていない。
【００２７】
搬入ゾーン６１は、第１ゾーン２１ａに搬入されるカート３が待機するカート投入域（待機域）となるもので、少なくとも１台の前記カート３が入る広さを備える。また、搬入ゾーン６１は、カート搬送方向の長さＬ３（図６参照）が、カート３の搬送方向の長さＬ２に対して正の略整数倍（図示例の場合は、１倍）に設定されている。
このような搬入ゾーン６１の寸法設定は、トラバーサ５上のカート３を、搬送機構によってカート一台分の長さずつ連続炉９側に送る単純なタクト送りによって、第１ゾーン２１ａの前に送り出されたカート３の前部の仕切板４３を、正確に第１ゾーン２１ａの端部の仕切壁２５の開口２５ａに位置決めでき、カート３の前後に装備された仕切板４３，４４による仕切壁２５の開口２５ａの遮蔽を確実にすることができる。
もしも、搬入ゾーン６１のカート搬送方向の長さＬ３を、カート３の搬送方向の長さＬ２の非整数倍（例えば、１．５倍）に設定すると、待機するカート３の端部の位置が、第１ゾーン２１ａの開口２５ａの位置に合わず、カート３上の仕切板４３，４４による遮蔽効果が望めない。
【００２８】
（他の実施例）
上述の図６に示す例では、各ゾーン２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，…のカート搬送方向の長さＬ１はカート３の搬送方向の長さＬ２に略等しく設定されている例を示した。ところで、このカートの搬送方向の長さは、各ゾーンのカート搬送方向の長さの略整数倍に設定してもよく、その一例として、カートの搬送方向の長さを各ゾーンのカート搬送方向の長さの２倍とした本実施の形態に係る他の実施例を挙げ、以下説明する。
図８は図５に示したカート式連続炉の他の実施例におけるカートの側面図であり、図９は  図５に示したカート式連続炉の他の実施例における入口側周辺の拡大平面図である。
【００２９】
カート式連続炉２００の基本構成は、前述の図６の例と同様であり、連続炉９は、図５に示すように、複数個のゾーン２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，…をカート３Ｅの搬送方向に沿って連続的に配置した構成である。そして、各ゾーン２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，…は搬入されて来たカート３Ｅ上の基板に対して所定の処理をする最小単位の処理室となる。各ゾーン２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，…は、共通の大きさである。
そして、図８に示すように、１台のカート３Ｅに上下方向に並んだ基板４１が、カート３Ｅの搬送方向に沿って２列分搭載可能に構成されている。
そして、このカート３Ｅの前後には、前述の図６の例と同様に仕切板４３，４４を装備している。さらに、カート搬送方向の中央部分に、２列に並んだ基板４１を前後に分けるように、仕切板４５が装備されている。
【００３０】
また、図９に示すように、カート３Ｅの搬送方向の長さＬ２Ｅは各ゾーン２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，…のカート搬送方向の長さＬ１の略整数倍（図９の例では、２倍）に設定されており、各ゾーン２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，…間を区分する仕切壁２３が装備される。さらに、前述の図３で示したように、この仕切壁２３もカート３Ｅの出入りを可能にする開口２３ａを備えている。
また、先頭の第１ゾーン２１ａのトラバーサ５側の端部、及び最後尾のゾーンのトラバーサ６側の端部には、ゾーン内と外部との間を仕切る仕切壁２５が装備される。さらに、トラバーサ側から見た連続炉の入口は前述の図６の例と同様であるので、前述の図７で示したように、この仕切壁２５もカート３Ｅの出入りを可能にする開口２５ａを備えている。
【００３１】
また、図６に示した例と同様に、搬入ゾーン６１Ｅは、第１ゾーン２１ａに搬入されるカート３Ｅが待機するカート投入域（待機域）となるもので、少なくとも１台の前記カート３Ｅが入る広さを備える。また、カート３Ｅの搬送方向の長さＬ２Ｅは、搬入ゾーン６１Ｅのカート搬送方向の長さＬ３Ｅに対して正の略整数倍に設定されている。
【００３２】
なお、タクト送りについては、カート３Ｅに搭載された各列の基板４１が、搬送機構によって連続炉９の１ゾーン毎にタクト送りにより搬送される。
すなわち、搬入ゾーン６１Ｅから１ゾーン送り出されたカート３Ｅは、その前部に装備された仕切板４３が第１ゾーン２１ａと第２ゾーン２１ｂとの仕切壁２３の開口２３ａに位置し、カート３Ｅの中央部の仕切板４５が搬入ゾーン６１ａと第１ゾーン２１ａとの仕切壁２５の開口２５ａに位置して遮蔽される。
さらに、２回タクト送りされると、図９の点線で示したカート３Ｅのように、仕切板４３が第３ゾーン２１ｃの前部の仕切壁２３の開口２３ａに、中央部の仕切板４５が第２ゾーン２１ｂと第３ゾーン２１ｃとの仕切壁２３の開口２３ａに、後部の仕切板４４が第１ゾーン２１ａと第２ゾーン２１ｂとの仕切壁２３の開口２３ａに位置して、それぞれ遮蔽される。
【００３３】
なお、カート３Ｅは、搭載する基板を３列として、それぞれの列の間に仕切板を設けるようにしてもよい。さらに、搬送が物理的に可能ならば、搭載する基板を４列以上として、カートの搬送方向の長さを、各ゾーンのカート搬送方向の長さの略整数倍に設定してもよい。
【００３４】
本発明に係る実施の形態のカート式連続炉２００は、カート３（または３Ｅ）が搬入される連続炉９の入口に、搬入ゾーン６１（または６１Ｅ）を設けると共に、搬入ゾーン６１（または６１Ｅ）には搬入されたカート３（または３Ｅ）を覆う遮蔽部６３を設けたものである。この遮蔽部６３は、従来の連続炉９の入口に装備されていた排気フード５５とは異なり、図６、図７及び図９に示すように、搬入ゾーン６１（または６１Ｅ）内に搬入されたカート３（または３Ｅ）の全体を断熱壁で覆う構造である。
この遮蔽部６３内の内部雰囲気の強制排気を行わなくても、一定の容積で空気を囲うこと、及び遮蔽部６３内に進入したカート３の仕切板４３，４４による開口２５ａの遮蔽効果によって、第１ゾーン２１ａからの熱風の漏れを防止する。
そして、第１ゾーン２１ａ内の熱の漏れが防止される結果、第１ゾーン２１ａ内は、温度分布（第２ゾーン２１ｂ側と遮蔽部６３側との温度差）が改善され、被処理基板に対して安定した加熱が可能になる。
【００３５】
以上のカート式連続炉２００では、遮蔽部６３の内部空気が淀むことで、第１ゾーン２１ａ内の熱風が開口２５ａから漏れることを防止する遮蔽効果や緩衝効果が得られる。更に、遮蔽部６３にカート３（または３Ｅ）が搬入されていれば、搬入されたカート３（または３Ｅ）の仕切板４３，４４，４５が、第１ゾーン２１ａの開口２５ａを塞ぐ蓋の役割を果たし、より高い遮蔽効果が発揮されるため、連続炉９の先頭に位置した第１ゾーン２１ａ内の熱が遮蔽部６３内を通って施設空間５３側に流出することはほとんどない。
【００３６】
従って、連続炉９の第１ゾーン２１ａから外部への排熱を抑止して環境負荷を低減させることができ、また、連続炉９の第１ゾーン２１ａでの昇温効率を高めてエネルギー消費を削減させることができ、このエネルギー消費の削減によってランニングコストや製品コストを低減させることができる。
更に、連続炉９は第１ゾーン２１ａを適正な熱処理ゾーンとして有用に機能させることで、連続炉９において連続配置する熱処理ゾーンの数量の増加を抑えて、連続炉９の小型化や連続炉９設置スペースの低減を実現することもできる。
【００３７】
また、製造工程で基板の熱処理が必要となるＰＤＰ等の表示装置では、その基板の熱処理を上記のカート式連続炉２００によって行うことで、製造工程のランニングコストを抑えて、製品コストの低減に反映させることができる。
【００３８】
なお、遮蔽部６３は上記のように断熱壁によって形成することで断熱特性を付与しておくことが望ましいが、断熱特性がそれほど無い壁材でカート３（または３Ｅ）を囲うだけでも効果はある。従って、遮蔽部６３を形成する壁材は、断熱壁材に限定するものではない。
【００３９】
なお、望ましくは、前記遮蔽部６３には、該遮蔽部６３の開口部６３ａにエアー噴射によってエアーカーテンを形成し、このエアーカーテンによって遮蔽部６３内の雰囲気を隔離するエアー噴射手段を設けた構成とするとよい。
これによって、施設空間５３側への熱風の漏れをより一層抑えることが可能となる。
【００４０】
また、遮蔽部６３の設置は、第１ゾーン２１ａを形成している炉体に直に連結設置するようにしても良く、また、連続炉９を設置している施設空間５３の床からのサポートにて独立設置するようにしても良い。
【００４１】
更に、遮蔽部６３の長さは、必ずしも第１ゾーン２１ａと同等の大きさに設定する必要はなく、第１ゾーン２１ａとトラバーサ５の間の空きスペース（すなわち、搬入ゾーン６１の長さＬ３に入る大きさで良い。
【００４２】
搬入ゾーン６１（または６１Ｅ）にカート３（または３Ｅ）が存在しない場合に第１ゾーン２１ａからの熱風漏れを防止する為、開口部２５に遮蔽する遮蔽機構を設け、カート３の存在有無を確認し、非存在時に、その遮蔽機構を閉じる構成を追加すれば、よりエネルギー消費を削減できる効果を得ることができる。また、同様に遮蔽部６３の底部に上記と同様の遮蔽機構を設け、カート３（または３Ｅ）の非存在時にその遮蔽機構を閉じる構成を追加すれば、よりエネルギー消費を削減できる効果を得ることができる。
【００４３】
本発明のカート式連続炉の用途は、上記実施の形態で説明したＰＤＰ製造工程における封着処理や排気に限らない。例えば、ＰＤＰを構成する基板を単独状態で電極形成する焼成処理等にも利用可能であり、更には、ＰＤＰ以外の熱処理が必要な表示装置（液晶、ＦＥＤ等）でも利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】従来のカート式連続炉の概略平面図である。
【図２】図１に示したカート式連続炉の入口側周辺の拡大平面図である。
【図３】カート式連続炉においてカートが搬入される炉体の横断面図である。
【図４】従来のカート式連続炉においてトラバーサ側から見た連続炉の入口側の構成図である。
【図５】本発明の実施の形態に係るカート式連続炉の概略平面図である。
【図６】図５に示したカート式連続炉の一実施例における入口側周辺の拡大平面図である。
【図７】図５に示したカート式連続炉においてトラバーサ側から見た連続炉の入口側の構成図である。
【図８】図５に示したカート式連続炉の他の実施例におけるカートの側面図である。
【図９】図５に示したカート式連続炉の他の実施例における入口側周辺の拡大平面図である。
【符号の説明】
【００４５】
１ａ  往路用レール
１ｂ  復路用レール
３，３Ｅ  カート
３ａ  基板収容部
３ｂ  台車部
５，６  トラバーサ
９  連続炉
２１ａ，２１ｂ，２１ｃ  熱処理ゾーン
６１，６１Ｅ  搬入ゾーン
６３  遮蔽部
【図１】
2005231936.tif 000003
【図２】
2005231936.tif 000004
【図３】
2005231936.tif 000005
【図４】
2005231936.tif 000006
【図５】
2005231936.tif 000007
【図６】
2005231936.tif 000008
【図７】
2005231936.tif 000009
【図８】
2005231936.tif 000010
【図９】
2005231936.tif 000011