(57)【要約】 【課題】  生産ラインの生産能力を低下させることなく、装置全体の設置面積の低減を図ることができる搬送システムを提供する。【解決手段】  各処理装置２の故障または保守点検によって、各処理工程間の処理能力に違いが生じたときのために設置する棚Ｔであって、ガラス基板１２の一時保管用の棚Ｔおよびクレーン１３を複数の処理工程で共用して使用する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理装置によって処理され得る被処理物を搬送し得る搬送システムであって、
処理に供されるべき処理装置間で被処理物を搬送可能な第１の搬送手段と、
被処理物を処理されるべき処理装置によって処理可能か否かを判定する判定手段と、
被処理物を処理装置によって処理する前に待機させる待機所を含む保管手段であって、判定手段による判定結果に基づいて、これら待機所と第１の搬送手段とにわたって被処理物を搬送し得る第２の搬送手段を備える保管手段とを有することを特徴とする搬送システム。
【請求項２】
第２の搬送手段は、第１の搬送手段における複数箇所で被処理物を受け渡し可能とすることを特徴とする請求項１記載の搬送システム。
【請求項３】
第２の搬送手段は、第１の搬送手段における搬送路に略平行に搬送可能に構成されることを特徴とする請求項１または２記載の搬送システム。
【請求項４】
第１の搬送手段と処理装置との間で被処理物を受け渡し可能な第３の搬送手段を、さらに有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、たとえば液晶表示装置の製造工程に適用される搬送システムに関する。
【０００２】
本発明において、「略平行」は平行を含む。
【背景技術】
【０００３】
従来、液晶基板の生産ラインは、同一種類の処理装置をまとめて配置するジョブショップ方式が主流である。基板を各処理装置間で搬送する際には、複数の基板を収容したカセット単位で行われている。
【０００４】
また生産性の向上を目的とする枚葉搬送システムが提案されている（たとえば特許文献１参照）。この枚葉搬送システムにおいては、ガラス基板を１枚毎に、かつ水平に搬送する搬送装置によって搬送ラインを構築する。さらに各種処理装置を処理工程順に搬送ラインの搬送途中に配置する技術が開示されている。また各種処理装置の前つまり搬送方向上流側に緊急ガラス基板待機ステーションを設け、処理装置の故障または保守点検による装置停止に備えている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−１９２１２７号公報（第２−８頁、第１図、第６図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
基板をカセット単位で搬送する従来の技術では、次のような問題がある。つまり各工程の処理がカセット単位で行われるので、ガラス基板の大形化に伴い、ガラス基板を収容したカセットの重量の増大につながる。また１工程の処理を完了するまでに、カセットに収容された基板の枚数分の処理時間が必要となる。それ故、基板１枚の生産完了までに多大な時間を要する。
【０００７】
特許文献１の技術では、緊急ガラス基板待機ステーションのガラス基板の収容可能枚数が少ないと次のような問題がある。つまり停止した処理装置前の緊急ガラス基板待機ステーションに、ガラス基板を収容することができないおそれがあるうえ、その前工程の処理装置にも悪影響がおよぶ。これによって生産ライン全体の生産能力の低下につながる。これを防止するためには、各種処理装置前に十分な収容可能枚数を備える緊急ガラス基板待機ステーションが必要となる。これは生産ラインの設置面積の増大を招き、設備コスト的に不利となる。
【０００８】
本発明の目的は、生産ラインの生産能力を低下させることなく、装置全体の設置面積の低減を図ることができる搬送システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、処理装置によって処理され得る被処理物を搬送し得る搬送システムであって、
処理に供されるべき処理装置間で被処理物を搬送可能な第１の搬送手段と、
被処理物を処理されるべき処理装置によって処理可能か否かを判定する判定手段と、
被処理物を処理装置によって処理する前に待機させる待機所を含む保管手段であって、判定手段による判定結果に基づいて、これら待機所と第１の搬送手段とにわたって被処理物を搬送し得る第２の搬送手段を備える保管手段とを有することを特徴とする搬送システムである。
【００１０】
本発明に従えば、搬送システムは、処理装置によって処理され得る被処理物を搬送し得る。第１の搬送手段は、処理に供されるべき処理装置間で被処理物を搬送可能である。判定手段は、被処理物を処理されるべき処理装置によって処理可能か否かを判定する。保管手段は、被処理物を処理装置によって処理する前に待機させる待機所を含む。また保管手段は第２の搬送手段を備え、この第２の搬送手段は、判定手段による判定結果に基づいて、これら待機所と第１の搬送手段とにわたって被処理物を搬送し得る。
【００１１】
また本発明は、第２の搬送手段は、第１の搬送手段における複数箇所で被処理物を受け渡し可能とすることを特徴とする。
【００１２】
本発明に従えば、第２の搬送手段は、第１の搬送手段における複数箇所で被処理物を受け渡し可能になっている。このように待機所と第１の搬送手段とにわたって被処理物を搬送し得る第２の搬送手段を、第１の搬送手段の搬送路上の複数箇所で被処理物の受け渡しに適用することができる。
【００１３】
また本発明は、第２の搬送手段は、第１の搬送手段における搬送路に略平行に搬送可能に構成されることを特徴とする。
【００１４】
本発明に従えば、第２の搬送手段は、前記搬送路に略平行に搬送可能に構成されるので、次のような作用を奏する。つまり第１の搬送手段における複数箇所で被処理物を受け渡し可能な第２の搬送手段を実現することができる。
【００１５】
また本発明は、第１の搬送手段と処理装置との間で被処理物を受け渡し可能な第３の搬送手段を、さらに有することを特徴とする。
【００１６】
本発明に従えば、第３の搬送手段によって、第１の搬送手段から処理装置に被処理物を受ける。これによって被処理物を処理装置によって処理することができる。前記処理装置によって被処理物を処理した後、第３の搬送手段によって、被処理物を第１の搬送手段に渡すことができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、判定手段は、被処理物を処理されるべき処理装置によって処理可能か否かを判定する。第２の搬送手段は、この判定手段による判定結果に基づいて、待機所と第１の搬送手段とにわたって被処理物を搬送することができる。したがって第１の搬送手段の搬送路外に配設される待機所と、搬送路との間で被処理物を搬送するための第２の搬送手段を、複数工程において共用することが可能となる。仮に、稼動停止状態にある処理装置が一時的に存在する場合にも、従来技術のように一時保管用の待機ステーションなどを増設することなく、装置全体の処理能力の低下を防止することができる。それ故、生産ラインの生産能力を低下させることなく、装置全体の設置面積の低減を図ることが可能となる。
【００１８】
また本発明によれば、第２の搬送手段は、第１の搬送手段における複数箇所で被処理物を受け渡し可能になっている。このように待機所と第１の搬送手段とにわたって被処理物を搬送し得る第２の搬送手段を、第１の搬送手段の搬送路上の複数箇所で被処理物の受け渡しに適用することができる。
【００１９】
また本発明によれば、第２の搬送手段は、前記搬送路に略平行に搬送可能に構成されるので、次のような効果を奏する。つまり第１の搬送手段における複数箇所で被処理物を受け渡し可能な第２の搬送手段を実現することができる。
【００２０】
また本発明によれば、第３の搬送手段によって、第１の搬送手段から処理装置に被処理物を受ける。これによって被処理物を処理装置によって処理することができる。前記処理装置によって被処理物を処理した後、第３の搬送手段によって、被処理物を第１の搬送手段に渡すことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
図１は、本発明の実施形態に係る搬送システム１の構成を概略示す図である。以下、本発明の搬送システムを液晶表示装置の製造工程に適用した場合について説明する。液晶表示装置の薄膜トランジスタ回路（略称、ＴＦＴ回路）を、ガラス基板上に形成する製造装置１Ａは、主に、処理装置２と搬送路３と保管機構４と制御装置５とを有する。本製造装置１Ａによって、ＴＦＴ回路を構成する複数のパターン形成工程のうちの一つを実現することができる。
【００２２】
処理装置２は、洗浄装置６Ａ、３台の成膜装置７Ａ，７Ｂ，７Ｃ、フォト装置８Ａ、２台のエッチング装置９Ａ，９Ｂ、剥離装置１０Ａおよび検査装置１１Ａを備えている。洗浄装置６Ａ、３台の成膜装置７Ａ，７Ｂ，７Ｃ、フォト装置８Ａ、２台のエッチング装置９Ａ，９Ｂ、剥離装置１０Ａおよび検査装置１１Ａのうちのいずれか１つを、各処理装置２という場合がある。本製造装置１Ａは、後述する搬送路３および保管機構４と協働して、順次、洗浄装置６Ａによって洗浄工程を実施し、成膜装置７Ａ（７Ｂ，７Ｃ）によって成膜工程を実施し、フォト装置８Ａによってフォト工程を実施し得る構成になっている。その後エッチング装置９Ａ（９Ｂ）によってエッチング工程を実施し、剥離装置１０Ａによって剥離工程を実施し、検査装置１１Ａによって検査工程を実施し得る構成になっている。つまり製造装置１Ａの生産ラインは、各処理工程順に各処理装置を配置したフローショップ方式が適用される。各処理装置２は、搬送路３によって連結されている。被処理物としてのガラス基板１２（図２参照）は、処理に供されるべき各処理装置２付近まで搬送路３によって搬送可能に構成されている。各処理装置は、ガラス基板１２を順次受け入れて枚葉処理を行うように構成されている。
【００２３】
図２は、搬送システム１の要部を拡大して示す図である。図１も参照しつつ説明する。搬送システム１は、第１の搬送手段としての搬送路３、第２の搬送手段としてのクレーン１３、第３の搬送手段としての受け渡しアーム１４および制御装置５を有する。搬送路３は、搬送装置１５と読取り装置１６とを備える。搬送装置１５は、搬送フレーム１５ａと、搬送用駆動源と、ベルトまたはローラなどの搬送体とを有する。搬送フレーム１５ａは搬送方向に沿って配設され、この搬送フレーム１５ａに図示外の搬送用駆動源が支持されている。搬送体は、搬送用駆動源からの駆動力でもって回動可能に搬送フレーム１５ａに支持されている。搬送体にはガラス基板１２の裏面が支持され、搬送方向に沿ってこのガラス基板１２を搬送可能になっている。なお搬送フレーム１５ａの搬送面から上方にたとえば圧縮空気を噴出することにより、ガラス基板１２を非接触で支持し、ガラス基板１２の端面をローラなどによって搬送方向に搬送する構造にすることも可能である。搬送フレーム１５ａにおける搬送室内は、大気圧以上の圧力の清浄な空気によって満たされている。このため生産ライン全体のクリーン度を上げる必要がなくなり、その分ランニングコストを削減することができる。
【００２４】
搬送フレーム１５ａの各処理装置２前つまり各処理装置２付近部には、搬送中のガラス基板１２を一旦停止させる待機ポイントが設けられる。搬送フレーム１５ａにおける各待機ポイントに近接して、前記読取り装置１６が設けられている。読取り装置１６は、制御装置５に電気的に接続されている。読取り装置１６は、ガラス基板１２固有の基板番号を読み取り、制御装置５へその基板番号を送信する機能を有する。
【００２５】
保管手段である保管機構４は、棚Ｔおよびクレーン１３を備えている。搬送フレーム１５ａの上方には、ガラス基板１２を一時的に保管（待機）するための棚Ｔが配設されている。この棚Ｔが待機所に相当する。ガラス基板１２は、制御装置５による判定結果に基づいて、クレーン１３を用いて棚Ｔと搬送路３とにわたって搬送可能になっている。このクレーン１３は、搬送路３の搬送方向に略平行に搬送可能に構成されている。つまりクレーン１３は、前記搬送方向に沿って配設されるレール１３ａに移動駆動可能に支持され、制御装置５による指令によって規定される搬送方向位置に位置決め可能に構成されている。クレーン１３のクレーン本体に受渡しアーム１３ｂが付設され、当該受渡しアーム１３ｂによってガラス基板１２を把持したうえでこのガラス基板１２を棚Ｔと搬送路３とにわたって搬送するようになっている。本実施形態においては、１台のクレーン１３が適用されているが、クレーン１３の台数は必ずしも１台に限定されるものではない。たとえば複数台のクレーン１３を適用することも可能である。
【００２６】
各処理装置２には、一対のロードロック室１７が付設されている。つまり各処理装置２のうち搬送フレーム１５ａに臨む側面部に、一対のロードロック室１７が設けられている。各処理装置２の搬送方向上流側には、一方のロードロック室１７が配設されている。前記ロードロック室１７は、搬送方向の所定位置にあるガラス基板１２を各処理装置２へ搬入するためのものである。各処理装置２の搬送方向下流側には、他方のロードロック室１７が配設されている。前記ロードロック室１７は、搬送方向の予め定める位置へガラス基板１２を搬出するためのものである。
【００２７】
各ロードロック室１７には、受渡しアーム１４と、第１および第２のゲートバルブ１８，１９とが設けられている。前記受渡しアーム１４によって、ガラス基板１２を把持したうえでこのガラス基板１２を搬送路３と各処理装置２とにわたって搬送するようになっている。各ロードロック室１７の搬送路３側に第１のゲートバルブ１８が設けられ、各ロードロック室１７の各処理装置２側に第２のゲートバルブ１９が設けられている。これら第１および第２のゲートバルブ１８，１９は、各処理装置２が真空雰囲気で使用される場合に配設される。各処理装置２を大気雰囲気つまり常圧で使用する場合には、第１および第２のゲートバルブ１８，１９の少なくともいずれか一方を省略することも可能である。本実施形態においては、各処理装置２に対して搬入用と搬出用の２つのロードロック室１７を設けているが、これら搬入用および搬出用のロードロック室１７を共用化して、１つのロードロック室とすることも可能である。この場合には装置構造を簡単化し、その製作コストの低減を図ることができる。
【００２８】
判定手段としての制御装置５は、各処理装置２、搬送装置１５、読取り装置１６および保管機構４に電気的に接続されている。制御装置５は、生産コントローラ２０、搬送コントローラ２１およびデータベース２２を備え、これらは互いに電気的に接続されている。これによって制御装置５は、製造工程内のガラス基板１２の管理（後述する）と、各処理装置２、搬送装置１５、読取り装置１６およびクレーン１３の動作制御と、棚Ｔの使用状況の管理とを一元的に行う。
【００２９】
生産コントローラ２０は、各処理装置２に対して処理命令を出したり、各処理装置２の稼動状況を収集する。生産コントローラ２０は、搬送コントローラ２１に対してガラス基板１２の搬送指示を出す。搬送コントローラ２１は、生産コントローラ２０からの指示に基づいて、ガラス基板１２の保管先の決定、搬送装置１５、読取り装置１６およびクレーン１６の動作制御を行う。データベース２２には、生産コントローラ２０および搬送コントローラ２１の処理に必要なデータとして処理工程テーブル、基板管理テーブル、装置管理テーブルおよび棚管理テーブルを記憶している。
【００３０】
処理工程テーブルには、処理工程毎に使用可能な各処理装置２、そのときに必要な処理条件、次の処理工程および次の待機ポイントなどが定義されている。基板管理テーブルは、製造工程内に存在するガラス基板１２に関して、基板番号、機種、現在の処理工程、現在位置および処理履歴などの情報を記憶している。基板管理テーブルは、生産コントローラ２０または搬送コントローラ２１によって更新される。装置管理テーブルは、各処理装置２毎に処理可能な最大基板枚数、現在の稼動状況、処理状況および保守点検の開始予定時刻などの情報を記憶している。ここで処理状況とは、各処理装置２内で処理可能な最大基板枚数に対する、現在処理中の基板枚数の割合を表す。装置管理テーブルは、生産コントローラ２０によって更新される。棚管理テーブルは、棚Ｔ毎に各待機ポイントからの搬送距離データが定義されている。棚管理テーブルには、棚Ｔ毎に予約もしくは保管している基板番号が記憶される。この棚管理テーブルは、搬送コントローラ２１によって更新される。
【００３１】
図３は、洗浄工程を１台の洗浄装置６Ａを用いて制御する制御装置５の動作を示すフローチャートである。この制御主体は制御装置５である。たとえば本製造装置１Ａの主電源が投入される条件で、本フローを開始する。ステップＳ１において、搬送路３を通って前工程より搬送されてきたガラス基板１２が、洗浄装置６Ａ前の待機ポイントで一旦停止する。ここで読取り装置１６は、ガラス基板１２固有の基板番号を読み取り、その基板番号を生産コントローラ２０へ送信する。
【００３２】
次にステップＳ２に移行し、生産コントローラ２０が処理工程テーブルと基板管理テーブルとを参照して、洗浄工程での処理が必要であるか否かを判定する。ここで洗浄工程での処理が必要であると判定されると、ステップＳ３に移行する。ステップＳ３においては、生産コントローラ２０が、処理工程テーブルと装置管理テーブルとから処理可能な処理装置２毎に稼動状況および処理状況を参照する。ここでは洗浄工程であるから、生産コントローラ２０は、処理可能な洗浄装置６Ａの稼動状況および処理状況を調査する。次にステップＳ４に移行し、生産コントローラ２０は、洗浄装置６Ａでの洗浄処理が可能か否か判定し、その判定結果を基板管理テーブルへ反映する。
【００３３】
このステップＳ４において、洗浄装置６Ａが稼動中であり、かつ処理状況に余裕があると判定されると、ステップＳ５に移行する。このステップＳ５において、生産コントローラ２０から洗浄装置６Ａに対し、ガラス基板１２の洗浄処理開始が指示される。これとともにガラス基板１２に対応した処理条件が洗浄装置６Ａに送信される。次にステップＳ６に移行し、洗浄装置６Ａは、搬入用のロードロック室１７のゲートバルブ１８を開く。このゲートバルブ１８を開いた状態で、受渡しアーム１４は、ガラス基板１２を搬送路３から搬入用のロードロック室１７へ搬入する。次に搬送路３に臨むゲートバルブ１８を閉じた後、洗浄装置本体に臨むゲートバルブ１９を開く。このゲートバルブ１９を開いた状態で、ガラス基板１２を受渡しアーム１４によって洗浄装置６Ａに搬入する。搬入されたガラス基板１２は、処理条件に従って洗浄処理が行われる。
【００３４】
このガラス基板１２を洗浄処理した後、洗浄装置６Ａは、搬出用のロードロック室１７のゲートバルブ１９を開く。次に受渡しアーム１４は、ガラス基板１２を洗浄装置６Ａから搬出用のロードロック室１７へ搬出する。次に前記ゲートバルブ１９を閉じた後、搬送路３に臨むゲートバルブ１８を開く。このゲートバルブ１８を開いた状態で、ガラス基板１２を受渡しアーム１４によって搬送路３へ搬出する。その後、ガラス基板１２の洗浄処理が完了したことを表す信号を、生産コントローラ２０へ送信する。
【００３５】
次にステップＳ７に移行し、生産コントローラ２０が処理工程テーブルから次の処理工程と次の待機ポイントとを読み出し、基板管理テーブルを更新する。次にステップＳ８において、生産コントローラ２０から搬送コントローラ２１へガラス基板１２の搬送を要求する。これとともに生産コントローラ２０から搬送コントローラ２１へ搬送対象のガラス基板１２の基板番号、そのガラス基板１２の現在位置および搬送目的位置を送信する。搬送コントローラ２１は、これらの情報から適切な搬送装置１５に搬送指示を出す。指示を受けた搬送装置１５は、ガラス基板１２を次の待機ポイントまで搬送する。前述のステップＳ２において、洗浄工程での処理が不要であると判定されると、ステップＳ８に移行する。ステップＳ４において洗浄処理不可能であると判定される、つまり洗浄装置６Ａが故障または保守点検のために稼動停止状態にある場合、もしくは処理状況に余裕が無い場合に洗浄処理不可能であると判定され、ステップＳ１１に移行する。
【００３６】
ステップＳ１１では、生産コントローラ２０から搬送コントローラ２１へガラス基板１２の保管を要求する。これとともに生産コントローラ２０から搬送コントローラ２１へ保管対象のガラス基板１２の基板番号およびそのガラス基板１２の現在位置を送信する。搬送コントローラ２１は、棚管理テーブルを参照して保管する棚Ｔを決定し、この結果を棚管理テーブルへ反映する。保管する棚Ｔを決定する際、搬送コントローラ２１は、棚管理テーブルに定義されている各待機ポイントからの搬送距離を参照して、ガラス基板１２の現在位置である待機ポイントからの搬送距離が最も短くなる空き棚Ｔを選択する。
【００３７】
続いて搬送コントローラ２１は、クレーン１３に、ガラス基板１２の現在位置と保管先の棚番号とを送信してこのガラス基板１２の搬送を指示する。このときクレーン１３が稼動中または他の搬送指示がある場合、この搬送指示は搬送待ち行列に保管される。クレーン１３は、搬送待ち行列内に保管された搬送指示のうち、最も時間的に古い搬送指示から順に搬送を実行する。本実施形態においては、搬送指示が出た順に搬送処理を実行するよう制御しているが、必ずしもこれに限定されるものではない。たとえば入庫のための搬送指示を優先する制御、出庫のための搬送指示を優先する制御、搬送先または搬送元となる待機ポイント毎の搬送待ち行列の個数が多い順に搬送処理を実行するような制御としてもよい。またクレーン１３の稼働率によって、これらの制御を選択的に切替えて使用することも可能である。ガラス基板１２の搬送が完了すると、クレーン１３から搬送コントローラ２１に搬送完了信号が出力され、搬送コントローラ２１は基板管理テーブルを更新する。
【００３８】
次にステップＳ１２に移行し、生産コントローラ２０は、次のタイミングで各処理装置２の稼動状況と処理状況とを装置管理テーブルから調査する。前記タイミングは、一定周期毎、処理装置からの処理完了報告があったタイミング、および故障や保守点検による稼動停止状態から復帰したタイミングの少なくともいずれか一つのタイミングである。続いてステップＳ１３では、ステップＳ１２の調査結果を元に、生産コントローラ２０は、処理状況に余裕がある処理装置で処理可能なガラス基板１２でかつ棚Ｔで保管中のガラス基板１２のうち、最も時間的に古いガラス基板１２を、基板管理テーブルから選択する。このとき洗浄工程の洗浄装置６Ａが故障や保守点検による稼動停止状態から復帰していた場合、または処理状況に余裕が生じていた場合に、棚Ｔに保管中のガラス基板１２が存在すれば、ステップＳ１４に移行する。
【００３９】
ステップＳ１４では、生産コントローラ２０から搬送コントローラ２１へ、ステップＳ１３で選択されたガラス基板１２の搬送を要求する。これとともに生産コントローラ２０から搬送コントローラ２１へ搬送対象のガラス基板１２の基板番号および搬送目的位置を送信する。搬送コントローラ２１は、棚管理テーブルからガラス基板１２の保管先の棚番号を読み出す。さらに搬送コントローラ２１は、クレーン１３に、ガラス基板１２の現在位置である保管先の棚番号と、搬送目的位置である洗浄装置６Ａ前の待機ポイントを送信してガラス基板１２の搬送を指示する。このときクレーン１３が稼動中または他の搬送指示がある場合には、この搬送指示は搬送待ち行列に保管される。クレーン１３は、搬送待ち行列に保管された搬送指示のうち、時間的に最も古い搬送指示から順にガラス基板１２の搬送を実行する。ガラス基板１２の搬送が完了すると、クレーン１３から搬送コントローラ２１に搬送完了が報告され、搬送コントローラ２１は、基板管理テーブルと棚管理テーブルとを更新する。その後ステップＳ５に戻る。つまり洗浄装置６Ａ前の待機ポイントに到着したガラス基板１２に対し、洗浄処理を再開する。
【００４０】
図４は、成膜工程を３台の成膜装置７Ａ，７Ｂ，７Ｃを用いて制御する制御装置５の動作を示すフローチャートである。この制御主体は制御装置５である。たとえば本製造装置１Ａの主電源が投入される条件で、本フローを開始する。ステップＳ２１において、搬送路３を通って前工程より搬送されてきたガラス基板１２が、搬送方向上流側の成膜装置７Ａ前の待機ポイントで一旦停止する。ここで読取り装置１６は、ガラス基板１２固有の基板番号を読み取り、その基板番号を生産コントローラ２０へ送信する。
【００４１】
次にステップＳ２２に移行し、生産コントローラ２０が処理工程テーブルと基板管理テーブルとを参照して、成膜工程での処理が必要であるか否かを判定する。ここで成膜工程での処理が必要であると判定されると、ステップＳ２３に移行する。ステップＳ２３においては、生産コントローラ２０が、処理工程テーブルと装置管理テーブルとから処理可能な処理装置毎に成膜装置の稼動状況および処理状況を参照する。ここでは成膜工程であるから、生産コントローラ２０は、処理可能な成膜装置７Ａ，７Ｂ，７Ｃの稼動状況および処理状況を調査する。次にステップＳ２４に移行し、生産コントローラ２０は、成膜装置での成膜処理が可能か否か判定し、その判定結果を基板管理テーブルへ反映する。
【００４２】
このステップＳ２４において、３台の成膜装置７Ａ，７Ｂ，７Ｃのうち稼動中の装置があり、かつ処理状況に余裕があると判定されると、ステップＳ２５に移行する。このステップＳ２５において、生産コントローラ２０は、稼動中の成膜装置のなかで処理状況に最も余裕のある成膜装置を選択する。ここでは３台の成膜装置７Ａ，７Ｂ，７Ｃのうちたとえば成膜装置７Ｃを選択する。次にステップＳ２６に移行し、生産コントローラ２０は、搬送コントローラ２１へガラス基板１２の搬送要求を行う。つまりステップＳ２５の段階でガラス基板１２の現在位置は、搬送方向最上流側の成膜装置７Ａ前であるので、ステップＳ２６では、生産コントローラ２０から搬送コントローラ２１へガラス基板１２の搬送が要求される。これとともに生産コントローラ２０から搬送コントローラ２１へ搬送対象のガラス基板１２の基板番号、ガラス基板１２の現在位置および搬送目的位置を送信する。搬送コントローラ２１は、これらの情報から適切な搬送装置１５に搬送指示を出す。指示を受けた搬送装置１５は、ガラス基板１２を搬送方向最上流側の成膜装置７Ａ前から搬送方向最下流側の成膜装置７Ｃ前の待機ポイントまで搬送する。
【００４３】
次にステップＳ２７において、読取り装置１６は、ガラス基板１２が搬送方向最下流側の成膜装置７Ｃ前の待機ポイントに到着したことを、生産コントローラ２０に送信する。生産コントローラ２０は、搬送方向最下流側の成膜装置７Ｃの稼動状況を再度調査する。次にステップＳ２８に移行し、生産コントローラ２０は、搬送方向最下流側の成膜装置７Ｃでの成膜処理が可能か否かを判定する。ここで搬送方向最下流側の成膜装置７Ｃが稼動中であり、成膜処理が可能であると判定されると、ステップＳ２９に移行する。このステップＳ２９において、生産コントローラ２０から搬送方向最下流側の成膜装置７Ｃに対し、ガラス基板１２の成膜処理開始が指示される。これとともにガラス基板１２に対応した処理条件が前記成膜装置７Ｃに送信される。
【００４４】
次にステップＳ３０に移行し、搬送方向最下流側の成膜装置７Ｃは、搬入用のロードロック室１７のゲートバルブ１８を開く。このゲートバルブ１８を開いた状態で、受渡しアーム１４は、ガラス基板２１を搬送路３から搬入用のロードロック室１７へ搬入する。次に搬送路３に臨むゲートバルブ１８を閉じた後、成膜装置本体に臨むゲートバルブ１９を開く。このゲートバルブ１９を開いた状態で、ガラス基板１２を受渡しアーム１４によって前記成膜装置７Ｃに搬入する。搬入されたガラス基板１２は、処理条件に従って成膜処理が行われる。
【００４５】
このガラス基板１２を成膜処理した後、前記成膜装置７Ｃは、搬出用のロードロック室１７のゲートバルブ１９を開く。次に受渡しアーム１４は、ガラス基板１２をこの成膜装置７Ｃから搬出用のロードロック室１７へ搬出する。次に前記ゲートバルブ１９を閉じた後、搬送路３に臨むゲートバルブ１８を開く。このゲートバルブ１８を開いた状態で、ガラス基板１２を受渡しアーム１４によって搬送路３へ搬出する。その後、ガラス基板１２の成膜処理が完了したことを表す信号を、生産コントローラ２０へ送信する。
【００４６】
次にステップＳ３１に移行し、生産コントローラ２０が処理工程テーブルから次の処理工程と次の待機ポイントとを読み出し、基板管理テーブルを更新する。次にステップＳ３２において、生産コントローラ２０から搬送コントローラ２１へガラス基板１２の搬送を要求する。これとともに生産コントローラ２０から搬送コントローラ２１へ搬送対象のガラス基板１２の基板番号、そのガラス基板１２の現在位置および搬送目的位置を送信する。搬送コントローラ２１は、これらの情報から適切な搬送装置１５に搬送指示を出す。指示を受けた搬送装置１５は、ガラス基板１２を次の待機ポイントまで搬送する。前述のステップＳ２２において、成膜工程での処理が不要であると判定されると、ステップＳ３２に移行する。ステップＳ２４において成膜処理不可能であると判定される、つまり成膜装置が故障または保守点検のために稼動停止状態にある場合、もしくは処理状況に余裕がない場合に成膜処理不可能であると判定され、ステップＳ４１に移行する。
【００４７】
ステップＳ４１では、生産コントローラ２０から搬送コントローラ２１へガラス基板１２の保管を要求する。これとともに生産コントローラ２０から搬送コントローラ２１へ保管対象のガラス基板１２の基板番号およびそのガラス基板１２の現在位置を送信する。搬送コントローラ２１は、ガラス基板１２の現在位置と棚管理テーブルとを参照して保管する棚Ｔを決定し、この結果を棚管理テーブルに反映する。続いて搬送コントローラ２１は、ガラス基板１２の現在位置と保管先の棚番号とをクレーン１３に送信して当該ガラス基板２１の搬送を指示する。このときクレーン１３が稼動中または他の搬送指示がある場合、この搬送指示は搬送待ち行列に保管される。クレーン１３は、搬送待ち行列内に保管された搬送指示のうち、最も時間的に古い搬送指示から順に搬送を実行する。ガラス基板１２の搬送が完了すると、クレーン１３から搬送コントローラ２１に搬送完了信号が出力され、搬送コントローラ２１は基板管理テーブルを更新する。
【００４８】
次に、ステップＳ４２に移行し、生産コントローラ２０は、次のタイミングで各処理装置２の稼動状況と処理状況とを装置管理テーブルから調査する。前記タイミングは、一定周期毎、処理装置からの処理完了報告があったタイミング、および故障や保守点検による稼動停止状態から復帰したタイミングの少なくともいずれか一つのタイミングである。続いてステップＳ４３では、ステップＳ４２の調査結果を元に、生産コントローラ２０は、処理状況に余裕がある処理装置で処理可能なガラス基板１２でかつ棚Ｔで保管中のガラス基板１２のうち、最も時間的に古いガラス基板１２を、基板管理テーブルから選択する。このとき成膜工程の成膜装置が故障や保守点検による稼動停止状態から復帰していた場合、または処理状況に余裕が生じていた場合に、棚Ｔに保管中のガラス基板１２が存在すれば、ステップＳ４４に移行する。
【００４９】
ステップＳ４４では、生産コントローラ２０から搬送コントローラ２１へ、ステップＳ４３で選択されたガラス基板１２の搬送を要求する。これとともに生産コントローラ２０から搬送コントローラ２１へ搬送対象のガラス基板１２の基板番号および搬送目的位置を送信する。搬送コントローラ２１は、棚管理テーブルからガラス基板１２の保管先の棚番号を読み出す。さらに搬送コントローラ２１は、クレーン１３に、ガラス基板１２の現在位置である保管先の棚番号と、搬送目的位置である成膜装置７Ｂ前の待機ポイントを送信してガラス基板１２の搬送を指示する。このときクレーン１３が稼動中または他の搬送指示がある場合には、この搬送指示は搬送待ち行列に保管される。クレーン１３は、搬送待ち行列に保管された搬送指示のうち、時間的に最も古い搬送指示から順にガラス基板１２の搬送を実行する。ガラス基板１２の搬送が完了すると、クレーン１３から搬送コントローラ２１に搬送完了が報告され、搬送コントローラ２１は、基板管理テーブルと棚管理テーブルとを更新する。その後ステップＳ２９に戻る。つまり成膜装置７Ｂ前の待機ポイントに到着したガラス基板１２に対し、成膜処理を再開する。
【００５０】
前記ステップＳ２８において、搬送方向最下流側の成膜装置７Ｃによる成膜処理が不可能であると判定されると、ステップＳ４５に移行する。このステップＳ４５において、生産コントローラ２０は、処理工程テーブルおよび装置管理テーブルを参照して、残りの成膜装置７Ａ，７Ｂの稼動状況と処理状況とを調査する。次にステップＳ４６に移行し、生産コントローラ２０は、成膜装置７Ａ，７Ｂでの成膜処理が可能か否かを判定し、この判定結果を基板管理テーブルに反映する。ここで成膜装置７Ａ，７Ｂが稼動中であり、かつ処理状況に余裕がある場合はステップＳ４７に移行する。成膜装置７Ａ，７Ｂが故障または保守点検のために稼動停止状態になっている場合、もしくは処理状況に余裕がなく、成膜装置７Ａ，７Ｂによる成膜処理が不可能であると判定されると、ステップＳ４１に戻る。
【００５１】
ステップＳ４７では、生産コントローラ２０によって、成膜装置７Ａ，７Ｂのうち稼動中でかつ処理状況に余裕がある装置を選択する。ここではたとえば成膜装置７Ａを選択する。続いて生産コントローラ２０は、搬送コントローラ２１へガラス基板１２の搬送を要求する。これとともに生産コントローラ２０は、搬送コントローラ２１へ搬送対象のガラス基板１２の基板番号、そのガラス基板１２の現在位置および搬送目的位置を送信する。このときクレーン１３が稼動中または他の搬送指示がある場合には、この搬送指示は搬送待ち行列に保管される。クレーン１３は、搬送待ち行列に保管された搬送指示のうち、時間的に最も古い搬送指示から順にガラス基板１２の搬送を実行する。ガラス基板１２の搬送が完了すると、クレーン１３から搬送コントローラ２１へ搬送完了が報告され、搬送コントローラ２１は基板管理テーブルを更新する。その後ステップＳ２９に戻る。以上の動作を検査工程まで繰り返すことによって、ガラス基板１２上に構成されるべきＴＦＴ回路の一つのパターン形成工程を完了する。
【００５２】
以上説明した搬送システム１によれば、各処理装置２の故障または保守点検によって、各処理工程間の処理能力に違いが生じたときのために設置する棚Ｔであって、ガラス基板１２の一時保管用の棚Ｔおよびクレーン１３を複数の処理工程で共用して使用することができる。換言すれば、搬送路３と、搬送路外に配設される棚Ｔとの間でガラス基板１２を搬送するためのクレーン１３を、複数工程において共用することが可能となる。このため製造工程全体においては、工程単位で一時保管用の棚Ｔおよびクレーン１３を設置する場合に比べて、棚Ｔおよびクレーン１３の台数を低減することができる。仮に、稼動停止状態にある処理装置が一時的に存在する場合にも、従来技術のように一時保管用の待機ステーションなどを増設することなく、装置全体の処理能力の低下を防止することができる。それ故、生産ラインの生産能力を低下させることなく、装置全体の設置面積の低減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の実施形態に係る搬送システム１の構成を概略示す図である。
【図２】搬送システム１の要部を拡大して示す図である。
【図３】洗浄工程を１台の洗浄装置６Ａを用いて制御する制御装置５の動作を示すフローチャートである。
【図４】成膜工程を３台の成膜装置７Ａ，７Ｂ，７Ｃを用いて制御する制御装置５の動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００５４】
１  搬送システム
２  処理装置
３  搬送路
１２  ガラス基板
１３  クレーン
１４  受渡しアーム
１５  制御装置
２０  生産コントローラ
Ｔ  棚
【図１】
2005228814.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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