(57)【要約】  【課題】光学分野において、異なる光学系の結合でビーム状態を変換する等のためのレンズとして用いられる、ポリマー製ＧＲＩＮレンズの低コスト化が望まれている。  【解決手段】少なくとも紫外線に対して透明で、筒形状をした筒状型部１と、筒状型部１の内部に充填され、筒状型部１の一方の開放端部と他方の開放端部を通る光軸に対して、光軸から垂直方向に離れるに従って屈折率が低下する部分を少なくとも有する、レンズ部２とを備えたＧＲＩＮレンズ４を用いる。【選択図】図１
2005331739.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも紫外線に対して透明で、筒形状をした筒状型部と、
前記筒状型部の内部に充填され、前記筒状型部の一方の開放端部と他方の開放端部を通る光軸に対して、前記光軸から垂直方向に離れるに従って屈折率が低下する部分を少なくとも有する、レンズ部とを備えたＧＲＩＮレンズ。
【請求項２】
前記レンズ部は、酸化反応により屈折率が変化する樹脂であり、
前記屈折率分布は、加熱しながら前記樹脂に紫外線を照射した際の酸素濃度分布により制御される、請求項１に記載のＧＲＩＮレンズ。
【請求項３】
前記樹脂は、ポリシラン構造を有する樹脂であり、
前記屈折率分布は、前記ポリシラン構造と、前記ポリシラン構造が化学変化して形成されたシロキサン構造との分布により形成されている、請求項２に記載のＧＲＩＮレンズ。
【請求項４】
前記レンズ部の屈折率分布は、前記光軸を中心とする同心円上で、屈折率極大部分（屈折率極大値：ｎ１）からの距離ｒに対する前記屈折率ｎ（ｒ）が、近似的に（数１）の２次関数に沿って低下する、請求項１乃至３のいずれかに記載のＧＲＩＮレンズ。
【数１】
2005331739.tif 000005
【請求項５】
少なくとも紫外線に対して透明で、筒形状をした筒状型部の内部に、酸素雰囲気中で加熱されながら紫外線が照射されることにより化学変化を生じて屈折率が変化する樹脂を充填する第１の工程と、
前記樹脂を充填した前記筒状型部の周囲から、酸素雰囲気中で加熱しながら紫外線を実質上均質に照射する第２の工程とを備えた、ＧＲＩＮレンズの製造方法。
【請求項６】
前記樹脂は、ポリシラン構造を有する樹脂であり、
前記第２工程で前記樹脂を硬化させる際に、前記樹脂の一部が、前記ポリシラン構造からシロキサン構造に変化する、請求項５に記載のＧＲＩＮレンズの製造方法。
【請求項７】
前記第２の工程は、前記筒状型部の一部に紫外線を照射する照射装置を、前記筒状型部に対して相対的に移動させることにより、前記筒状型部の２つの開放端面を結ぶ高さ方向について、紫外線を実質上均質に照射する、請求項５に記載のＧＲＩＮレンズの製造方法。
【請求項８】
前記第１の工程は、前記筒状型部の一方の開放端部を容器に溜めた前記樹脂内に挿入した後、毛細管現象を利用することにより、または筒状型部内の気圧を前記容器内の気圧よりも低くすることにより、前記樹脂を前記筒状型部の他方の開放端部まで誘導する、請求項５に記載のＧＲＩＮレンズの製造方法。
【請求項９】
前記第２の工程で前記筒状型部の内部に充填された前記樹脂を硬化させた後に、
さらに、切断した後の前記筒状型部の長さがπ／２ｇ（ｇは、屈折率分布定数）の整数倍になるように、前記筒状型を、内部に充填された前記樹脂とともに、前記筒状型部の開放端面と平行に切断する第３の工程を備えた、請求項５に記載のＧＲＩＮレンズの製造方法。
【請求項１０】
前記第２の工程の後、硬化後の樹脂が内在する前記筒状型部の、２つの開放端面を結ぶ高さ方向の長さを変化させることにより、前記筒状型部の太さを変化させた後、第３の工程を行う、請求項９に記載のＧＲＩＮレンズの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＧＲＩＮレンズおよびその製造方法に関する。例えば、光軸からの距離に従って放物線状に屈折率が低下する円柱形上のＧＲＩＮレンズおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
光学分野において、導波路間や光源−導波路間など、異なる光学系の結合にはビーム状態を変換するためにレンズが使用される。このレンズには、レンズの入射端と出射端の空気との界面での屈折を利用する凸（凹）レンズや、入出力端面の少なくとも一方が平坦な柱形状を有し、光軸からの距離に従って屈折率が放物線状に低下（または、上昇）するＧＲＩＮレンズなどが使用できるが、レンズ効果を屈折率分布形状で制御し、光軸調整をレンズ形状で制御できるＧＲＩＮレンズのほうが、アセンブリが容易でコストダウンができる。
【０００３】
従来のＧＲＩＮレンズは、合成樹脂の場合は共重合するモノマーを合成樹脂の表面から拡散させ、ガラスの場合はガラス修飾酸化物をガラスの表面からイオン交換拡散させることで、表面からの距離に従って屈折率が増加するようにされていた（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、不完全重合させた自己保形成を有する母材の表面から、その母材と異なる屈折率を有する重合体を生成する単量体を拡散させるとともに重合させ、この単量体の拡散速度と重合速度を制御することで、屈折率分布を高精度に制御するものもある（例えば、特許文献２参照）。
【０００５】
また、連続押出法により製造される熱可塑性樹脂の芯線の中心部に周囲からＹＡＧレーザーでレーザー光を集光させて、中心部で最大となる集光パワー分布に従って中心部から周囲に向かって屈折率が低下する屈折率分布を有する芯線（光ファイバー）を製造するものもある（例えば、特許文献３参照）。
【特許文献１】特開昭５７−５３７０２号公報（第１図）
【特許文献２】特開昭６０−７３５０２号公報（第１図）
【特許文献３】特開昭６３−３３７０５号公報（第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１および特許文献２の製造方法では、不完全ポリマー（重合体）の母材内を、その母材と異なる屈折率を有するポリマーを生成するモノマー（単量体）が物理的に表面から内部へ移動（拡散）し、拡散したモノマーが重合して母材を構成するポリマーと混合することによって屈折率分布を形成させるので、重合に高価な装置が必要であり、モノマーの移動に長時間を要するという課題があった。また、単に屈折率の異なるポリマーの混合対であるので、温度変化などにより経年変化が起こることなどの欠点もある。さらに、樹脂材料として全フッ素樹脂を使用するのが一般であるため、材料自身が高価になってしまう、という課題もある。
【０００７】
一方、特許文献３の製造方法は、熱可塑性樹脂内にレーザー照射によるパワー分布を設けることにより屈折率分布を形成させるので、高価な高パワーレーザーが必要であること、また、同一材料を変質させるだけなので大きな屈折率差が期待できないこと、などの課題がある。
【０００８】
本発明は、上記従来の課題を解決するもので、簡単なプロセスで安価に作製できる、
ＧＲＩＮレンズおよびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述した課題を解決するために、第１の本発明は、
少なくとも紫外線に対して透明で、筒形状をした筒状型部と、
前記筒状型部の内部に充填され、前記筒状型部の一方の開放端部と他方の開放端部を通る光軸に対して、前記光軸から垂直方向に離れるに従って屈折率が低下する部分を少なくとも有する、レンズ部とを備えたＧＲＩＮレンズである。
【００１０】
第２の本発明は、
前記レンズ部は、酸化反応により屈折率が変化する樹脂であり、
前記屈折率分布は、加熱しながら前記樹脂に紫外線を照射した際の酸素濃度分布により制御される、第１の本発明のＧＲＩＮレンズである。
【００１１】
第３の本発明は、
前記樹脂は、ポリシラン構造を有する樹脂であり、
前記屈折率分布は、前記ポリシラン構造と、前記ポリシラン構造が化学変化して形成されたシロキサン構造との分布により形成されている、第２の本発明のＧＲＩＮレンズである。
【００１２】
第４の本発明は、
前記レンズ部の屈折率分布は、前記光軸を中心とする同心円上で、屈折率極大部分（屈折率極大値：ｎ１）からの距離ｒに対する前記屈折率ｎ（ｒ）が、近似的に（数１）の２次関数に沿って低下する、第１乃至第３のいずれかの本発明のＧＲＩＮレンズである。
【００１３】
【数１】
2005331739.tif 000003
第５の本発明は、
少なくとも紫外線に対して透明で、筒形状をした筒状型部の内部に、酸素雰囲気中で加熱されながら紫外線が照射されることにより化学変化を生じて屈折率が変化する樹脂を充填する第１の工程と、
前記樹脂を充填した前記筒状型部の周囲から、酸素雰囲気中で加熱しながら紫外線を実質上均質に照射する第２の工程とを備えた、ＧＲＩＮレンズの製造方法である。
【００１４】
第６の本発明は、
前記樹脂は、ポリシラン構造を有する樹脂であり、
前記第２工程で前記樹脂を硬化させる際に、前記樹脂の一部が、前記ポリシラン構造からシロキサン構造に変化する、第５の本発明のＧＲＩＮレンズの製造方法である。
【００１５】
第７の本発明は、
前記第２の工程は、前記筒状型部の一部に紫外線を照射する照射装置を、前記筒状型部に対して相対的に移動させることにより、前記筒状型部の２つの開放端面を結ぶ高さ方向について、紫外線を実質上均質に照射する、第５の本発明のＧＲＩＮレンズの製造方法である。
【００１６】
第８の本発明は、
前記第１の工程は、前記筒状型部の一方の開放端部を容器に溜めた前記樹脂内に挿入した後、毛細管現象を利用することにより、または筒状型部内の気圧を前記容器内の気圧よりも低くすることにより、前記樹脂を前記筒状型部の他方の開放端部まで誘導する、第５の本発明のＧＲＩＮレンズの製造方法である。
【００１７】
第９の本発明は、
前記第２の工程で前記筒状型部の内部に充填された前記樹脂を硬化させた後に、
さらに、切断した後の前記筒状型部の長さがπ／２ｇ（ｇは、屈折率分布定数）の整数倍になるように、前記筒状型を、内部に充填された前記樹脂とともに、前記筒状型部の開放端面と平行に切断する第３の工程を備えた、第５の本発明のＧＲＩＮレンズの製造方法である。
【００１８】
第１０の本発明は、
前記第２の工程の後、硬化後の樹脂が内在する前記筒状型部の、２つの開放端面を結ぶ高さ方向の長さを変化させることにより、前記筒状型部の太さを変化させた後、第３の工程を行う、第９の本発明のＧＲＩＮレンズの製造方法である。
【発明の効果】
【００１９】
本発明により、簡単なプロセスで安価に作製できる、ＧＲＩＮレンズおよびその製造方法を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しながら説明する。
【００２１】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１のポリシラン製ＧＲＩＮレンズの構成概要図である。
【００２２】
本実施の形態１の円筒型付ＧＲＩＮレンズ４は、少なくとも紫外線に対して透明な円筒型部分１と、透明円筒型部分１の内部に充填されたＧＲＩＮレンズ部分２で構成されている。ＧＲＩＮレンズ部分２は、光軸に対して垂直方向に、光軸からの距離に従って屈折率がほぼ放物線状に低下する屈折率分布３を有するポリシラン構造を有している。
【００２３】
次に、本実施の形態１のポリシラン製の円筒型付ＧＲＩＮレンズ４の製造方法について、図２〜図４を使用して説明する。
【００２４】
図２は、本実施の形態１のポリシラン製の円筒型付ＧＲＩＮレンズ４の製造方法の工程概要図である。
【００２５】
円筒型付ＧＲＩＮレンズ４の製造方法は、まず、図２（ａ）に示すように、ガラス管や樹脂管などの少なくとも紫外線に対して透明で十分な長さがある透明円筒型５の一端を容器に溜めたポリシラン構造を有する樹脂（硬化前ポリシラン）６内に漬け、毛細管現象を使用して硬化前ポリシラン６を透明円筒型５の他端まで誘導し、透明円筒型５内に硬化前ポリシラン６を充填させる。なお、透明円筒型５は、本発明の筒状型部の一例である。
【００２６】
次に、図２（ｂ）に示すように、加熱しながら、リング状のリング型紫外線照射装置８を使用して硬化前ポリシラン６が充填された透明円筒型５の周囲から長手方向の長さに対して短い幅の帯状に紫外線を一様に照射する。それとともに、透明円筒型５の長手方向に透明円筒型５とリング型紫外線照射放置８の少なくとも一方を移動、すなわち透明円筒型５をリング型紫外線照射放置８に対して相対的移動方向９に相対的に移動させて、透明円筒型５の長手方向にも紫外線を一様に照射させる。ここで、リング型紫外線照射装置８は、透明円筒型５の長手方向の一部の幅の周囲に、一様に紫外線を照射できる紫外線照射装置であり、本発明の照射装置の一例である。
【００２７】
加熱しながら紫外線を照射することにより、透明円筒型５に充填されている硬化前ポリシラン６は酸化反応により硬化後ポリシラン７となり、中心から周囲に向かって屈折率が低下する屈折率分布が形成される。この紫外線照射を透明円筒型５の長手方向の全長に渡って行うことにより、円筒型付ＧＩ型導波路１０が作製される。
【００２８】
最後に、図２（ｃ）に示すように、この円筒型付ＧＩ型導波路１０を、レンズに必要な長さになるように、光軸に対して垂直に切断することにより、円筒型付ＧＲＩＮレンズ４が完成する。
【００２９】
なお、図２（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示す各工程が、それぞれ、本発明の、第１の工程、第２の工程、第３の工程の一例である。
【００３０】
図３は、本実施の形態１の円筒型付ＧＲＩＮレンズ４の、図２（ｂ）に示す製造工程における、ポリシラン製母材の化学反応による変化を示している。
【００３１】
図４は、本実施の形態１の円筒型付ＧＲＩＮレンズ４の、図２（ｂ）に示す製造工程において、ポリシラン製母材に屈折率分布が形成されるメカニズムを示している。なお、図２と同じ構成部分については、同じ符号を用いている。
【００３２】
一般に、酸素雰囲気中で加熱しながらポリシラン構造に紫外線を照射して硬化させると、図３に示すように、紫外線照射によってポリシラン構造１５が酸化反応を起こし、相対的に低屈折率のシロキサン構造１６に変化する。つまり、図２（ｂ）に示す硬化後ポリシラン７は、ポリシラン構造とシロキサン構造を有していることになる。
【００３３】
従って、図４に示すように、予め酸化物などを拡散させて酸素原子を含んだ状態のポリシラン構造を有する樹脂（硬化前ポリシラン）６を、透明円筒型５に充填させて円柱形状にしておき、円周方向から紫外線を均質に照射すると、周囲からの紫外線照射によりポリシラン構造の酸化反応が周囲ほど活発に起こる。その結果、酸素消費量は周囲から内部へ向かうほど少なくなるので、内部ほど相対的に屈折率が低いシロキサン構造が少ない分布となる。
【００３４】
図４は、上から順に、透明円筒型５の、紫外線１２を照射する前の状態、紫外線１２を照射中の状態、紫外線１２の照射後の状態を示している。透明円筒型５の周囲から紫外線１２を照射することにより、光軸１１付近はポリシラン構造が多く残るポリシラン構造多部分１３となり、光軸１１から遠ざかるにしたがって、ポリシラン構造から酸化反応によりシロキサン構造が多いシロキサン構造多部分１４となる。したがって、光軸１１部分の屈折率が最も大きく、光軸１１から遠ざかるにしたがって屈折率が低下していく屈折率分布が形成される。また、光軸１１から遠ざかるほどポリシラン構造の酸化反応が活発に起こるので、酸素消費量は、光軸１１から遠ざかるほど多くなる。
【００３５】
このようにして作製された円筒型付ＧＲＩＮレンズ４のＧＲＩＮレンズ部分２には、図１に示すように、光軸部分が極大で光軸から遠ざかるに従って屈折率が低下する放物線状屈折率分布３が形成される。
【００３６】
つまり、ＧＲＩＮレンズ部分２の屈折率分布は、光軸を中心とする同心円上で、屈折率極大部分（屈折率極大値：ｎ１）からの距離ｒに対する屈折率ｎ（ｒ）が、屈折率分布定数をｇとした場合、近似的に、下記の(１)式の２次関数に沿って低下する分布となる。
2005331739.tif 000004
【００３７】
なお、本実施の形態１では、硬化前ポリシラン６を透明円筒型５に充填させる方法を、毛細管現象を利用する方法としたが、それ以外の方法で充填させてもよい。例えば、透明円筒型５内の気圧を、硬化前ポリシラン６が溜められている容器内の気圧よりも低くすることにより、硬化前ポリシラン６を透明円筒型５の他端まで誘導する方法で充填させてもよい。
【００３８】
また、本実施の形態１の図２（ｂ）に示す工程で照射する紫外線の強度を、光軸周辺の特定範囲には到達しないように調整することで、その特定範囲を同じ屈折率の極大部分とすることができる。光軸周辺の特定範囲の硬化前ポリシランは、シロキサン構造に変化せずポリシラン構造のまま残るので、その特定範囲では、屈折率が同じである屈折率分布を有することになる。その特定範囲の周りの部分は、光軸から遠ざかるにしたがって、ポリシラン構造がより多く酸化反応によりシロキサン構造に変化するので、光軸から遠ざかるにしたがって屈折率が低下する屈折率分布が形成される。
【００３９】
図５は、このように紫外線の強度を調整して照射した場合に作製される円筒型付ＧＲＩＮレンズ２４の構成概要図である。このようにして作製された円筒型付ＧＲＩＮレンズ２４は、透明円筒型部分２１の内部に、図５に示すような屈折率分布を有するＧＲＩＮレンズ部分２２が形成される。ＧＲＩＮレンズ部分２２の屈折率分布は、光軸を中心とした紫外線が到達しなかった範囲は屈折率一定部分２５となり、その周りの屈折率分布は、光軸から遠ざかるにしたがって屈折率が低下する放物線状屈折率分布２３となる。ここで、屈折率一定部分２５は、酸化反応を起こさずにポリシラン構造のまま残っている部分なので、ＧＲＩＮレンズ部分２２の極大の屈折率部分となる。
【００４０】
（実施の形態２）
図６は、本発明の実施の形態２のポリシラン製ＧＲＩＮレンズの製造方法の工程概要図である。図２および図６を用いて、本実施の形態２のＧＲＩＮレンズの製造方法について説明する。なお、図６では、図２と同じ構成部分については、同じ符号を用いている。
【００４１】
実施の形態１のＧＲＩＮレンズの製造方法とは、紫外線の照射方法が異なっており、本実施の形態２のＧＲＩＮレンズの製造方法は、図２における（ｂ）の工程を、図６の工程とするものである。
【００４２】
実施の形態１では、図２（ｂ）に示すように、リング型紫外線照射装置８を用いて紫外線を帯状に照射させたが、本実施の形態２では、部分紫外線照射器１７を用いて紫外線を帯状に照射させる。
【００４３】
透明円筒型の周囲方向に分割した２つの紫外線照射領域に、２つの部分紫外線照射器１７が配置されている。そして、透明円筒型の光軸を中心にして、透明円筒型と２つの部分紫外線照射器１７の少なくとも一方を移動、すなわち透明円筒型に対して２つの部分紫外線照射器１７が相対的回転１８の方向に相対的に回転するように移動させて、透明円筒型の長手方向の一部の帯状部分の周囲に一様に紫外線を照射させる。
【００４４】
このように、透明円筒型の長手方向の一部の帯状部分に一様に紫外線を照射させながら、２つの部分紫外線照射器１７に対して透明円筒型を、相対的移動方向９に相対的に移動させることで、透明円筒型の長手方向にも一様に紫外線を照射させることができる。
【００４５】
なお、本実施の形態２では、透明円筒型の周囲方向の紫外線照射領域を２つに分割し、部分紫外線照射器１７を２つ設ける構成としたが、透明円筒型の周囲方向の紫外線照射領域の分割は２つに限らず、少なくとも１つ以上のいくつに分割してもよい。そして、部分紫外線照射器の数および配置される位置に特に制限はなく、分割された紫外線照射領域に合わせて設けられ、透明円筒型の長手方向の一部の周囲の帯状部分に一様に紫外線を照射できる構成であればよい。
【００４６】
（実施の形態３）
図７は、本発明の実施の形態３のポリシラン製ＧＲＩＮレンズおよびＧＩ型導波路の製造方法の工程概要図である。
【００４７】
本発明の実施の形態３のＧＲＩＮレンズおよびＧＩ型導波路は、実施の形態１で作製された図２（ｂ）に示す円筒型付ＧＩ型導波路１０を加工して作製される。
【００４８】
まず、実施の形態１の製造方法で、円筒型付ＧＩ型導波路３０を作製する。円筒型付ＧＩ型導波路３０は、図２（ｂ）の工程で作製された円筒型付ＧＩ型導波路１０である。
【００４９】
次に、ポリシラン構造を有する樹脂を硬化させて作製した円筒型付ＧＩ型導波路３０を、加熱しながら光軸方向に引っ張り力を加えると、円筒型付ＧＩ型導波路３０よりも直径の小さい円筒型付ＧＩ型導波路３１が得られる。
【００５０】
そして、この円筒型付ＧＩ型導波路３１を適当な長さに切断することで、円筒型付ＧＲＩＮレンズ３２を作製できる。円筒型付ＧＩ型導波路３１を作製する際の、円筒型付ＧＩ型導波路３０に加える引っ張り力を調整することで、任意の直径の円筒型付ＧＩ型導波路３１が得られるので、任意の直径の円筒型付ＧＲＩＮレンズ３２を作製できる。
【００５１】
また、円筒型付ＧＩ型導波路３１を適当な長さに切断しないで、そのままＧＩ型光ファイバーのように使用することも可能である。
【００５２】
また、複数の円筒型付ＧＩ型導波路３０を加熱しながら光軸方向に引っ張り力を加え、その際に、これらの複数本の円筒型付ＧＩ型導波路３０の側壁を融着させることで、長さの長い円筒型付導波路３３を作製することも可能である。
【００５３】
なお、各実施の形態でＧＲＩＮレンズやＧＩ型導波路を作製する際に、ポリシラン硬化後に透明円筒型を除去しても良い。
【００５４】
また、各実施の形態において、ＧＲＩＮレンズ長として、集光光と平行光を入出力端で自由に組合せできるπ／２ｇ（ｇは、屈折率分布定数）の整数倍の長さにすることが最も有効的である。
【００５５】
また、各実施の形態で説明したように、ポリシラン構造よりも屈折率の小さい材質の透明円筒型を使用することが望ましいが、紫外線ビームのパワー分布に比較して透明円筒型の径が十分に大きければ、ポリシラン構造よりも屈折率の大きい材質の透明円筒型を使用しても実質上問題はない。
【００５６】
以上に説明したように、加熱した状態で、透明円筒型で円柱形状に保持されたポリシラン構造を有するポリマー母材の表面から紫外線を照射することにより、ポリマー母材は、周囲から中心に向かってより少なくなるポリシラン構造の酸化反応に従って相対的に低屈折率のシロキサン構造へ変化するので、円柱形状のポリマー母材に、光軸から周囲に向かって屈折率が放物線上に低下する屈折率分布を形成させることが出来る。
【００５７】
本発明のＧＲＩＮレンズの製造方法を用いることにより、従来の高価な装置を必要としていたポリマー製ＧＲＩＮレンズを、安価なポリシラン系樹脂と市販の透明円筒パイプと紫外線照射器を使用することで、簡単なプロセスで安価に作製することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５８】
本発明のＧＲＩＮレンズの製造方法は、ＧＲＩＮレンズの低コスト化方法として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の実施の形態１のポリシラン製ＧＲＩＮレンズの構成概要図
【図２】（ａ）〜（ｃ）本発明の実施の形態１のポリシラン製ＧＲＩＮレンズの製造方法の工程概要図
【図３】本発明の実施の形態１のポリシラン製母材における化学反応を示す図
【図４】本発明の実施の形態１のポリシラン製母材が屈折率分布を形成するメカニズムを説明する図
【図５】本発明の実施の形態１の他の屈折率分布を有するポリシラン製ＧＲＩＮレンズの構成概要図
【図６】本発明の実施の形態２の部分照射する紫外線を回転方向と長手方向に走査する紫外線照射方法の概要図
【図７】本発明の実施の形態３の、ＧＲＩＮレンズおよびＧＩ型導波路の製造方法を示す工程概要図
【符号の説明】
【００６０】
１、２１  透明円筒型部分
２、２２  ＧＲＩＮレンズ部分
３、２３  放物線状屈折率分布
４、２４  円筒型付ＧＲＩＮレンズ
５  透明円筒型
６  硬化前ポリシラン（ポリシラン構造を有する樹脂）
７  硬化後ポリシラン（ポリシラン構造とシロキサン構造を有する樹脂）
８  リング型紫外線照射装置
９  相対的移動方向
１０  円筒型付ＧＩ型導波路
１１  光軸
１２  紫外線
１３  ポリシラン構造多部分
１４  シロキサン構造多部分
１５  ポリシラン構造
１６  シロキサン構造
１７  部分紫外線照射器
１８  相対的回転
２５  屈折率一定部分
３０、３１、３３  円筒型付ＧＩ型導派路
３２  円筒型付ＧＲＩＮレンズ
【図１】
2005331739.tif 000006
【図２】
2005331739.tif 000007
【図３】
2005331739.tif 000008
【図４】
2005331739.tif 000009
【図５】
2005331739.tif 000010
【図６】
2005331739.tif 000011
【図７】
2005331739.tif 000012