(57)【要約】【課題】  ＩＣチップを迅速にアンテナの所定箇所に取り付けることができるＩＣチップの実装装置の提供。【解決手段】  ＩＣチップの実装装置は、シートガイド２２の突出部２２ａに設けられ、このシートガイド２２の突出部２２ａに支持されたＩＣチップ付シート４０をアンテナ形成済シート１ａ側に押圧する押圧手段３５と、押圧手段３５に接続された超音波発生装置３６とを備えている。超音波発生装置３６は押圧手段３５に対して超音波による水平方向の振動を与えるものである。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材シートと、この基材シート上に設けられたアンテナとを有するアンテナ形成済シートを載置するアンテナ形成済シート受台と、
アンテナ形成済シート受台の上方に設置され、下方に向かって湾曲して突出する突出部を有し、支持シートと、この支持シート上に直線状に設けられるとともに予め分離され、各々が電極を有する多数のＩＣチップとからなるＩＣチップ付シートを案内するシートガイドと、
シートガイドの突出部に設けられ、このシートガイドの突出部に支持されたＩＣチップ付シートをアンテナ形成済シート側に押圧する押圧手段と、
押圧手段に接続され、この押圧手段に対して超音波による水平方向の振動を与える超音波発生装置とを備えたことを特徴とするＩＣチップの実装装置。
【請求項２】
押圧手段がシートガイドの突出部にあるＩＣチップ付シートのＩＣチップを振動させて、ＩＣチップの電極をアンテナ形成済シートのアンテナに擦り付けてＩＣチップをアンテナ上に実装することを特徴とする請求項１記載のＩＣチップの実装装置。
【請求項３】
押圧手段がＩＣチップ付シートを保持する凹部を有することを特徴とする請求項１または請求項２記載のＩＣチップの実装装置。
【請求項４】
シートガイドの突出部の上流側近傍に設けられ、ＩＣチップ付シートのＩＣチップを撮像するＣＣＤカメラと、
ＣＣＤカメラからの撮像信号に基づいてシートガイドの突出部におけるＩＣチップ付シートの位置合わせを行う制御部とを備えたことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のＩＣチップの実装装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＩＣチップの実装装置に係わり、とりわけＩＣチップをアンテナ側に迅速に取り付けることができるＩＣチップの実装装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＩＣチップをアンテナの所定の箇所に取り付ける実装方法において、ウエハを反パターン面上で一枚のダイシングテープ上に貼り付けてＸＹ軸方向にダイシングし、ダイシングテープに紫外線を照射する等して粘着力を低下させている。次に細い吸引管でＩＣチップをパターン面側から吸引してダイシングテープから剥がし取り、このＩＣチップを他の吸引管で反パターン面側から吸引して受け取り、この吸引管でＩＣチップを所定の箇所へと搬送し、そのパターン面側をあらかじめ導電性接着剤を塗布したアンテナの所定の箇所に押し付けている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来のＩＣチップの実装装置によれば、二種類の吸引管を用意し、各吸引管に複雑な運動をさせなければならないので、ＩＣチップを取り付けるための装置構造が複雑化し、生産効率も低下するという問題がある。また、ＩＣチップは近年ますます小型化の傾向にあり、例えば一辺が０．１ｍｍ〜０．２ｍｍ程度の大きさのものも生産されるが、このように小さくなると吸引管による搬送が困難となる。
【０００４】
また、ＩＣチップの実装装置においては、生産効率を向上させるために、ＩＣチップ付シートのＩＣチップをアンテナ形成済シート受台のアンテナに迅速に実装することが求められている。
【０００５】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、ＩＣチップを迅速にアンテナの所定箇所に取り付けることができるＩＣチップの実装装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、基材シートと、この基材シート上に設けられたアンテナとを有するアンテナ形成済シートを載置するアンテナ形成済シート受台と、アンテナ形成済シート受台の上方に設置され、下方に向かって湾曲して突出する突出部を有し、支持シートと、この支持シート上に直線状に設けられるとともに予め分離され、各々が電極を有する多数のＩＣチップとからなるＩＣチップ付シートを案内するシートガイドと、シートガイドの突出部に設けられ、このシートガイドの突出部に支持されたＩＣチップ付シートをアンテナ形成済シート側に押圧する押圧手段と、押圧手段に接続され、この押圧手段に対して超音波による水平方向の振動を与える超音波発生装置とを備えたことを特徴とするＩＣチップの実装装置である。
【０００７】
本発明のＩＣチップの実装装置によれば、ＩＣチップ付シートがシートガイドの突出部にきたときに、この突出部によりＩＣチップ付シートを湾曲させることができ、支持シートからＩＣチップが剥離し易い状態となる。この状態で押圧手段によりＩＣチップ付シートを押圧するとともに、超音波発生装置による振動を押圧手段からＩＣチップ付シートに伝達することにより、ＩＣチップが支持シートからより確実に剥離される。同時に、ＩＣチップ付シートに伝達された振動により、ＩＣチップの電極がアンテナに擦り付けられて金属結合を行う。このため、ＩＣチップを迅速にアンテナの所定箇所に確実に取り付けることができる。
【０００８】
本発明のＩＣチップの実装装置においては、押圧手段がシートガイドの突出部にあるＩＣチップ付シートのＩＣチップを振動させて、ＩＣチップの電極をアンテナ形成済シートのアンテナに擦り付けてＩＣチップをアンテナ上に実装することが好ましい。
【０００９】
本発明のＩＣチップの実装装置においては、押圧手段がＩＣチップ付シートを保持する凹部を有することが好ましい。
これにより、シートガイドの突出部において、ＩＣチップ付シートを押圧手段の凹部に確実に保持することができ、このシートガイドの突出部においてＩＣチップ付シートの位置が幅方向にずれることを抑止することができる。
【００１０】
本発明のＩＣチップの実装装置においては、シートガイドの突出部の上流側近傍に設けられ、ＩＣチップ付シートのＩＣチップを撮像するＣＣＤカメラと、ＣＣＤカメラからの撮像信号に基づいてシートガイドの突出部におけるＩＣチップ付シートの位置合わせを行う制御部とを備えたことが好ましい。
これにより、ＣＣＤカメラによってＩＣチップ付シートのＩＣチップの位置が確認され、この情報に基づいて制御部がシートガイドの突出部におけるＩＣチップ付シートの位置合わせを行う。このため、ＩＣチップ付シートのＩＣチップをアンテナの所定箇所に的確に実装することができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、ＩＣチップの実装装置において、ＩＣチップ付シートがシートガイドの突出部にきたときに、この突出部によりＩＣチップ付シートを湾曲させることができ、支持シートからＩＣチップが剥離し易い状態となる。この状態で押圧手段によりＩＣチップ付シートを押圧するとともに、超音波発生装置による振動を押圧手段からＩＣチップ付シートに伝達することにより、ＩＣチップが支持シートからより確実に剥離される。同時に、ＩＣチップ付シートに伝達された振動により、ＩＣチップの電極がアンテナに擦り付けられて金属結合を行う。このため、ＩＣチップを迅速にアンテナの所定箇所に確実に取り付けることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
図１乃至図８を参照して本発明の実施の形態について説明する。
【００１３】
まず、本発明によるＩＣチップの実装装置により得られた非接触ＩＣタグについて図５乃至図７を用いて説明する。
図５は、非接触ＩＣタグを示す斜視図であり、図６は、図５の非接触ＩＣタグの製造工程を段階的に示す説明図であり、図７は、図５の非接触ＩＣタグのＩＣチップの実装工程を示す説明図である。
【００１４】
図５に示すように、この非接触ＩＣタグは、基材シート１と、基材シート１上に渦巻状に形成されたアンテナ２と、アンテナ２の端部間を連結する連結片３と、アンテナ２に接合されたＩＣチップ４とを備えている。
【００１５】
アンテナ２は、例えばアルミニウム、銅等の金属よりなり、紙、樹脂等を材料とする基材シート１上に、エッチング、シルクスクリーン印刷等により形成される。連結片３は、金属箔等の導電性シートによって短冊状に形成され、その両端がアンテナ２の端部に導電性接着剤により接着される。ＩＣチップ４は下面がパターン面となっており、このパターン面にアンテナ２に接続するための電極４ａ、４ｂが形成されている（図７参照）。これらの電極４ａ、４ｂは例えばアルミニウム、銅等の金属よりなる。
【００１６】
この非接触ＩＣタグの表面は、例えば樹脂フィルム等の図示しない保護層により覆われて完成品となる。この非接触ＩＣタグのＩＣチップ４に対し、図示しない読取書込器により磁界内において種々の情報読み取りまたは書き込みが行われる。
【００１７】
次に本発明によるＩＣチップの実装装置２０の製造工程において用いられるＩＣチップ付シート４０の製造方法について図８を用いて説明する。
図８は、ＩＣチップ付シート４０の製造工程を示す説明図である。
【００１８】
ＩＣチップの実装装置２０においては、支持シート６ａと、支持シート６ａ上に直線状に設けられるとともに予め分離された多数のＩＣチップ４とからなるＩＣチップ付シート４０が用いられる。
【００１９】
このＩＣチップ付シート４０の製造方法としては、まず、図８（Ａ）に示す完成したウエハ５を、図８（Ｂ）に示すように、そのパターン面が露出するよう複数枚のダイシングテープ６、７と重ね合わせてダイシング用定盤８上に固定する。
【００２０】
ダイシングテープ６、７は、加熱または所定波長の光照射により粘着力が低下する粘着剤層（図示せず）が形成されたシートであり、この粘着剤層を介して複数枚のダイシングテープ６、７が貼り合わされ、最上層のダイシングテープ６の粘着剤層にウエハ５が貼り付けられる。ダイシングテープ６、７としては市販品を用いることができる。
【００２１】
貼り付ける順序は、先にダイシングテープ６、７同士を貼り合わせた後にウエハ５を貼り付けてもよいし、ウエハ５をダイシングテープ６に貼り付けた後、このダイシングテープ６に他のダイシングテープ７を貼り付けるようにしてもよい。
【００２２】
次に図８（Ｃ）に示すように、上層のダイシングテープ６の肉厚の中程まで至る切込み深さでウエハ５をＸ軸方向にダイシングする。
【００２３】
ウエハ５とダイシングテープ６、７の積層体はダイシング用定盤８上に固定され、図示しないダイアモンドカッターによりＸ軸方向に上層のダイシングテープ７の肉厚の中程まで多数本の切込み９が入れられる。
【００２４】
その後、図８（Ｄ）に示すように、下層のダイシングテープ７の肉厚の中程まで至る切込み深さでウエハ５をＹ軸方向にダイシングする。
【００２５】
この切込み１０は、上記ダイアモンドカッターにより、平滑なダイシング用定盤８の表面を傷つけないように、Ｙ軸方向に下層のダイシングテープ７の肉厚の中程まで多数本入れられる。
【００２６】
図８（Ｄ）に示す工程は図８（Ｃ）に示す工程よりも先に行うこともできる。
【００２７】
次に、図８（Ｅ）に示すように、ダイシングテープ６、７を上下層間で剥離してＹ軸方向に伸びる帯状のテープ片の支持シート６ａに分割して取り出す。
【００２８】
テープ片の支持シート６ａの分割に先立ち、図８（Ｄ）に示すウエハ５とダイシングテープ６、７の積層体に対して加熱しまたは所定波長の光である紫外光を照射し、ダイシングテープ６、７の粘着剤層の粘着力を低下させる。加熱または紫外光照射の後、上層のダイシングテープ６を下層のダイシングテープ７から剥離することにより、図８（Ｅ）に示すように多数のＩＣチップ４を担持した多数本のテープ片の支持シート６ａが取り出される。
【００２９】
なお、加熱または紫外光照射によりＩＣチップ４を保持する上層のダイシングテープ６の粘着力も低下するが、あらかじめダイシングテープ６、７間の粘着力よりもウエハ５とダイシングテープ６との間の粘着力を強くしておくことにより、また、加熱または紫外光照射はダイシング用定盤８の下方から行われることにより、この剥離工程においてＩＣチップ４が上層のダイシングテープ６から剥落することはない。
【００３０】
また、例えば、ウエハ５と上層のダイシングテープ６との粘着を加熱により粘着力が低下する粘着剤層で行い、ダイシングテープ６、７同士の粘着を紫外光照射により粘着力が低下する粘着剤層で行うようにするといったように、ダイシングテープ６、７同士の剥離とＩＣチップ４の剥離とを相互に異なる粘着力低下手段により行うようにしてもよい。このようにしてより確実にＩＣチップ４の剥落が防止される。
【００３１】
上述のようにして、テープ片の支持シート６ａと、この支持シート６ａ上に一列に直線状に並んで配置された多数のＩＣチップ４とからなるＩＣチップ付シート４０が得られる。この場合、支持シート６ａを複数縦方向に直列に連結することにより、細長いＩＣチップ付シート４０を得ることができる。
【００３２】
以下、本発明によるＩＣチップの実装装置について、図１乃至図４を用いて説明する。
図１は、本発明によるＩＣチップの実装装置を示す概略断面図であり、図２は、図１のＩＣチップの実装装置のＡ−Ａ矢視断面図であり、図３は、図２のＩＣチップの実装装置の押圧手段の下部の拡大断面図であり、図４は、図１のＩＣチップの実装装置の全体図である。
【００３３】
図１に示すように、ＩＣチップの実装装置２０は、基材シート１と、この基材シート１上に設けられたアンテナ２とを有するアンテナ形成済シート１ａを載置するアンテナ形成済シート受台２１と、アンテナ形成済シート受台２１の上方に設置され、下方に向かって湾曲して突出する突出部２２ａを有するシートガイド２２とを備えている。このシートガイド２２は、支持シート６ａと、この支持シート６ａ上に直線状に設けられるとともに予め分離された多数のＩＣチップ４とからなるＩＣチップ付シート４０を案内するものである。
【００３４】
シートガイド２２の突出部２２ａ内には、このシートガイド２２の突出部２２ａに支持されたＩＣチップ付シート４０をアンテナ形成済シート１ａに押圧する押圧手段３５が設けられ、押圧手段３５に超音波発生装置３６が接続されている。超音波発生装置３６は、押圧手段３５に対して超音波による水平方向の振動を与えるものである。
【００３５】
ＩＣチップ付シート４０は、上述した図８（Ａ）〜（Ｅ）に示す工程により製造され、ロール状に巻付けられた後、図４に示すように、巻出部３０から案内ローラ３２を経てシートガイド２２側へ供給される。シートガイド２２側へ供給されたＩＣチップ付シート４０のＩＣチップ４は、このシートガイド２２において支持シート６ａから剥離されてアンテナ形成済シート１ａのアンテナ２に接着するようになっている（図６参照）。また、ＩＣチップ付シート４０はシートガイド２２においてＩＣチップ４が剥離された後、案内ローラ３３を経て巻取部３１に送られる。
【００３６】
次にシートガイド２２について詳述する。
図１に示すように、シートガイド２２は、下方に向かって凸となる断面略二等辺三角形状をなし、アンテナ形成済シート受台２１側に近接する突出部２２ａを有している。この突出部２２ａは、略二等辺三角形の頂角に対応するとともに、アンテナ形成済シート受台２１側に向かって湾曲して突出している。
【００３７】
このため、このシートガイド２２の突出部２２ａに支持されたＩＣチップ付シート４０もアンテナ形成済シート受台２１側に向かって湾曲し、Ｒ形状を形成する。
【００３８】
この場合、シートガイド２２の突出部２２ａにおいて、ＩＣチップ付シート４０のＩＣチップ４はアンテナ形成済シート受台２１側を向き、支持シート６ａはアンテナ形成済シート受台２１と反対側の上方を向く。このため、ＩＣチップ付シート４０を湾曲させることにより、ＩＣチップ４と支持シート６ａとの接触面積が小さくなるため、ＩＣチップ４を支持シート６ａから容易に剥離することができる（図７参照）。
【００３９】
次に押圧手段３５および超音波発生装置３６について詳述する。
押圧手段３５は、図１および図２に示すように、シートガイド２２内において垂直方向に延びるよう設けられており、その下端部がシートガイド２２の突出部２２ａから下方に突出している。
この押圧手段３５としては、例えばコレットを用いることができる。
シートガイド２２の突出部２２ａにおいて、押圧手段３５はＩＣチップ付シート４０をアンテナ形成済シート１ａに押圧するようになっている。
また、シートガイド２２内に、ＩＣチップ付シート４０を押圧するよう押圧手段３５を駆動する駆動部３５ｂが設置されている。
【００４０】
図３に示すように、この押圧手段３５はその下端部にＩＣチップ付シート４０を保持する凹部３５ａを有している。このように、押圧手段３５が凹部３５ａを有するため、シートガイド２２の突出部２２ａにおいて、ＩＣチップ付シート４０を押圧手段３５の凹部３５ａに確実に保持することができる。
【００４１】
超音波発生装置３６は、図２に示すように、水平方向に配置され、シートガイド２２に対して直交して設けられており、この超音波発生装置３６の先端部は押圧手段３５に取り付けられている。前述のように、超音波発生装置３６は、水平方向の超音波振動を生じさせ、この振動を押圧手段３５に伝達するものである。
この超音波発生装置３６としては、例えば超音波ホーンを用いることができる。
【００４２】
また、シートガイド２２の突出部２２ａの上流側近傍にＩＣチップ付シート４０のＩＣチップ４を撮像するＣＣＤカメラ４１が設けられ、ＣＣＤカメラ４１からの撮像信号が制御部４２に入力される。制御部４２はＣＣＤカメラ４１からの撮像信号に基づいて、巻出部３０および巻取部３１を制御駆動してＩＣチップ付シート４０の位置合わせを行った後、超音波発生装置３６を作動させて押圧手段３５を水平方向に振動させるようになっている。
【００４３】
次にこのような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。
【００４４】
まず、図６に示すように、基材シート１上にアンテナ２を設けるとともに、アンテナ２の端部を連結片３によって連結されたアンテナ形成済シート１ａが、シートガイド２２の下方に設置されたアンテナ形成済シート受台２１上へ送られる。このとき、アンテナ形成済シート１ａのアンテナ２のうち、ＩＣチップ４が実装される部分に、予め導電性接着剤１１がディスペンサまたはシルクスクリーン印刷等により塗布される。導電性接着剤１１としては、異方性導電フィルムまたはペーストが用いられる。
【００４５】
アンテナ形成済シート受台２１上にアンテナ形成済シート１ａが送られると、アンテナ形成済シート１ａが停止する。
【００４６】
この間、巻出部３０から、支持シート６ａとＩＣチップ４とを有するＩＣチップ付シート４０が巻出され、このＩＣチップ付シート４０はシートガイド２２側へ供給される。ＩＣチップ付シート４０は図１の矢印Ｌ方向に送られ、シートガイド２２の下端に形成された突出部２２ａに到る。
【００４７】
この際、シートガイド２２に沿って案内されるＩＣチップ付シート４０のＩＣチップ４がＣＣＤカメラ４１により撮像され、ＣＣＤカメラ４１からの撮像信号に基づいて制御部４２により巻出部３０および巻取部３１が駆動制御される。このようにしてシートガイド２２の突出部２２ａにおいて、ＩＣチップ付シート４０の位置合わせが行われてＩＣチップ付シート４０が停止される。このときにＩＣチップ付シート４０のＩＣチップ４が突出部２２ａの下端に位置決めされる。
【００４８】
次に、ＩＣチップ付シート４０がシートガイド２２の突出部２２ａにきたときに、この突出部２２ａによりＩＣチップ付シート４０を図７に示すようにＲ状に湾曲させることができ、ＩＣチップ４と支持シート６ａとの接触面積を小さくすることができるので、支持シート６ａからＩＣチップ４が剥離し易い状態となる。
この状態で、制御部４２から駆動部３５ｂに制御信号が送られることにより、駆動部３５ｂが押圧手段３５を駆動させてこの押圧手段３５がＩＣチップ付シート４０をアンテナ形成済シート１ａ側に押圧する。同時に、制御部４２からの制御信号により、超音波発生装置３６による水平方向の振動が押圧手段３５に伝達される。このとき、超音波発生装置３６から押圧手段３５に伝わる振動が押圧手段３５を介してＩＣチップ付シート４０に伝達される。このことにより、ＩＣチップ４と支持シート６ａとの間の粘着力が弱められ、ＩＣチップ４が支持シート６ａからより確実に剥離される。
【００４９】
同時に、ＩＣチップ付シート４０に伝達された振動により、ＩＣチップ４の電極４ａ、４ｂがアンテナ２に擦り付けられて金属結合を行う。具体的には、電極４ａ、４ｂおよびアンテナ２はそれぞれアルミニウム、銅等の金属よりなるので、これらの金属が互いに擦り合わせされて結合される。このため、ＩＣチップ４を迅速にアンテナ２の所定箇所に確実に取り付けることができる。
【００５０】
アンテナ２上にＩＣチップ４が接着された後、アンテナ形成済シート１ａはアンテナ形成済シート受台２１から更に下流側へ送られる（図６参照）。
【００５１】
一方、ＩＣチップ付シート４０は、ＩＣチップ４が支持シート６ａから剥離された後、支持シート６ａのみとなって巻取部３１側へ送られる（図４参照）。
【００５２】
以上のように、本実施の形態によれば、ＩＣチップの実装装置２０において、ＩＣチップ付シート４０がシートガイド２２の突出部２２ａにきたときに、この突出部２２ａによりＩＣチップ付シート４０を湾曲させることができ、支持シート６ａからＩＣチップ４が剥離し易い状態となる。この状態で押圧手段３５によりＩＣチップ付シート４０を押圧するとともに、超音波発生装置３６による振動を押圧手段３５からＩＣチップ付シート４０に伝達することにより、ＩＣチップ４が支持シート６ａからより確実に剥離される。同時に、ＩＣチップ付シート４０に伝達された振動により、ＩＣチップ４の電極４ａ、４ｂがアンテナ２に擦り付けられて金属結合を行う。このため、ＩＣチップ４を迅速にアンテナ２の所定箇所に確実に取り付けることができる。
【００５３】
具体的には、本願発明者により行われた試験によれば、押圧手段３５および超音波発生装置３６を有するＩＣチップの実装装置２０において、ＩＣチップ４がアンテナ２に係合してから実装されるまでのＩＣチップ実装時間は０．３秒〜０．５秒の範囲内であった。
一方、本発明によるＩＣチップの実装装置２０を用いる代わりに、熱接合によりＩＣチップをアンテナに実装させるＩＣチップの実装装置を用いた比較例においては、ＩＣチップ実装時間は１０秒を超えた。
【００５４】
このように、熱接合によりＩＣチップをアンテナに実装させるＩＣチップの実装装置においては、上述のようにＩＣチップ実装時間が長くなるという問題があり、このＩＣチップ実装時間の短縮化を図るために更にシートガイド２２の突出部２２ａにおけるＩＣチップ付シート４０に紫外線を照射する紫外線照射装置を設置する必要が生じることがある。
他方、本発明によるＩＣチップの実装装置２０においてはこのような紫外線照射装置を設置する必要がなく、設置コストおよびランニングコストを低減することができる。
【００５５】
また、押圧手段３５がＩＣチップ付シート４０を保持する凹部３５ａを有しているため、シートガイド２２の突出部２２ａにおいて、ＩＣチップ付シート４０を押圧手段３５の凹部３５ａに確実に保持することができ、このシートガイド２２の突出部２２ａにおいてＩＣチップ付シート４０の位置が幅方向にずれることを抑止することができる。
【００５６】
また、シートガイド２２の突出部２２ａの上流側近傍に設けられ、ＩＣチップ付シート４０のＩＣチップ４を撮像するＣＣＤカメラ４１と、ＣＣＤカメラ４１からの撮像信号に基づいてシートガイド２２の突出部２２ａにおけるＩＣチップ付シート４０の位置合わせを行う制御部４２とを備えている。このため、ＣＣＤカメラ４１によってＩＣチップ付シート４０のＩＣチップ４の位置が確認され、この情報に基づいて制御部４２がシートガイド２２の突出部２２ａにおけるＩＣチップ付シート４０の位置合わせを行うので、ＩＣチップ付シート４０のＩＣチップ４をアンテナ２の所定箇所に的確に実装することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明によるＩＣチップの実装装置を示す概略断面図。
【図２】図１のＩＣチップの実装装置のＡ−Ａ矢視断面図。
【図３】図２のＩＣチップの実装装置の押圧手段の下部の拡大断面図。
【図４】図１のＩＣチップの実装装置の全体図。
【図５】非接触ＩＣタグを示す斜視図。
【図６】図５の非接触ＩＣタグの製造工程を段階的に示す説明図。
【図７】図５の非接触ＩＣタグのＩＣチップの実装工程を示す説明図。
【図８】ＩＣチップ付シートの製造工程を示す説明図。
【符号の説明】
【００５８】
１  基材シート
１ａ  アンテナ形成済シート
２  アンテナ
３  連結片
４  ＩＣチップ
４ａ、４ｂ  電極
５  ウエハ
６、７  ダイシングテープ
６ａ  支持シート
８  ダイシング用定盤
９、１０  切込み
１１  導電性接着剤
２０  ＩＣチップの実装装置
２１  アンテナ形成済シート受台
２２  シートガイド
２２ａ  突出部
３０  巻出部
３１  巻取部
３２、３３  案内ローラ
３５  押圧手段
３５ａ  凹部
３５ｂ  駆動部
３６  超音波発生装置
４０  ＩＣチップ付シート
４１  ＣＣＤカメラ
４２  制御部
【図１】
2005301725.tif 000003
【図２】
2005301725.tif 000004
【図３】
2005301725.tif 000005
【図４】
2005301725.tif 000006
【図５】
2005301725.tif 000007
【図６】
2005301725.tif 000008
【図７】
2005301725.tif 000009
【図８】
2005301725.tif 000010