(57)【要約】【課題】半導体装置等を製造する室内環境であるクリーンルーム室内において、グレーチングパネルの着脱を簡易にすることができるグレーチングユニットを提供することにより、グレーチングユニット下の建築構造の床面の清掃時、作業者への作業負担の軽減と、作業時間を短縮することである。【解決手段】クリーンルーム内の床面に排気口として設置され、該排気口が多数の開口部からなるグレーチングユニットにおいて、床全面に敷き詰めた構造であるグレーチングユニットが、クリーンルームの床面のグレーチングパネル部と、建築構造の床面の支持床の４隅に固着した支持脚部と、該支持脚部の片側方向の２隅の各々の支持脚部の側端部と、該支持脚部の先端部に接するグレーチングパネルの側端部とを各々シリンダーアクチュエータの両端で固着したシリンダー部から構成したことを特徴とするグレーチングユニット。【選択図】図１
2005179956.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体装置等を製造する室内環境であるクリーンルーム内の床面に排気口として設置され、該排気口が多数の開口部からなるグレーチングユニットにおいて、床全面に敷き詰めた構造であるグレーチングユニットが、クリーンルームの床面のグレーチングパネル部と、建築構造の床面の支持床の４隅に固着した支持脚部と、該支持脚部の片側方向の２隅の各々の支持脚部の側端部と、該支持脚部の先端部に接するグレーチングパネルの側端部とを各々シリンダーアクチュエータの両端で固着したシリンダー部から構成したことを特徴とするグレーチングユニット。
【請求項２】
前記グレーチングパネル部が、四方形状の床材であって、パネル表面に多数の排気用の開口部を配置形成したことを特徴とする請求項１記載のグレーチングユニット。
【請求項３】
前記支持脚部が、グレーチングパネルと同一の四方形状の支持床の４隅に柱形状で所定の床荷重に耐えるように固着した構造であり、該支持脚部の片側方向の２隅と、前記グレーチングパネルとを蝶番を介して固着した一体構造にしたことにより、グレーチングパネルが前記蝶番を中心にして開くことができることを特徴とする請求項１、又は２記載のグレーチングユニット。
【請求項４】
前記シリンダー部が、伸縮する機能を備えたシリンダーアクチュエータからなり、蝶番を有する２隅の支持脚部のうち少なくとも１隅で、支持脚部とグレーチングパネルとを連結した構造にしたことにより、グレーチングパネルが前記蝶番を中心にして上部方向に押し上げることができることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載のグレーチングユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置関連の部品や配線基板等を製造する製造装置及び処理工程を配置するクリーンルーム室内の床面に用いるグレーチングユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置関連の部品や配線基板等を製造する製造装置及び処理工程では、室内に浮遊する微細な粒子が製造中の製品に付着して、品質不良、又は品質劣化が発生する問題がある。そのため、製造装置及び処理工程は、クリーンルーム内の環境下に配置されているのが一般的である。特に微細化の進んだフォトマスクでは、清浄度の高い超清浄な環境の中で製造されている。前記クリーンルームでは、外気を取り込み、異物除去及びケミカル物質除去処理と、水分除去処理等のクリーニング処理後、湿度、温度を最適化した空気をチャンバー等の空間に押し込み、該空気をＨＥＰＡフィルタに透過させてクリーンルーム内へ一定流量を供給するシステムである。前記ＨＥＰＡフィルタは通過するエアの浮遊塵を除去するものである。更に、クリーンルームの室内には、製造装置及び薬品処理工程、又は工程内の作業員等の発塵源があり、時間の経過に比例し、浮遊塵の数の増加、ケミカル汚染、温度湿度の変化等により環境が劣化するため、一定量のエアを室外に排気する方法で清浄な環境を維持するシステムである。排気方法については、室内の床面に排気口を設け、その排気口より再び外部へ排気するものである。排気口は、多数の格子状の開口部を持つパネル部品で、一般にグレーチングユニットと呼ばれ、該グレーチングユニットを床全面に敷き詰めた排気口の床構造である。グレーチングユニットより排気されたエアは、一部再利用するため再び最初の外気取り込み部へ戻し、新たな外気と混ぜて利用するシステムである。上述のシステムにより、常時クリーンルームの室内では、所定数以下の浮遊塵に制御された、温湿度を一定に制御された環境を維持管理することができる。
【０００３】
クリーンルームの構成を以下に、説明する。外気を外気取り入れ口より導入し、空調機により、外気を適正な温湿度に制御した後、クリーンルーム室内の空気を循環する循環ファンにより循環された空気と合流した後、クリーンルームの室内の天井裏のチャンバーに設けられた吹き出し口から吹き出され、該チャンバーとクリーンルーム室内空気圧力差により、クリーンルーム室内の天井部のＨＥＰＡフィルタを透過時、浮遊塵を除去されクリーンルーム室内に吹き出される。クリーンルーム室内の床には、グレーチングユニットが敷き詰められ、該グレーチングユニット上に製造装置が設置されている。また、グレーチングユニット上が作業員の通路となっている。製造中では、装置から発生する塵及び作業員からの発塵は、空気中に含まれ、浮遊塵や、落下塵となり、クリーンルーム室内や、グレーチングユニット下の建築構造の床面に集積される。浮遊塵は、排気口、すなわちグレーチングユニットから排気され建築構造の床面に沿って集められ、循環ファン、空調機を経由し、再び混合されてクリーンルーム内にもどされる。この様なクリーンルームにおいて、クリーンルームのグレーチングユニット下の建築構造の床面に集積される粒子径の大きい落下塵は、建築構造の床面上に堆積するため、定期清掃により清掃除去する必要がある。その清掃では、クリーンルーム室内よりグレーチングを１枚１枚を手で取り除き、建築構造の床面を露出させてから、落下塵の除去、床面の清掃を行っていた。
【０００４】
この際、グレーチングのパネルは材質が金属製なので重量が重いため、人手による取り除き作業は、作業者に対して大きな負担となり、作業時間が長くなる問題がある。また、作業中の不注意でパネルの落下等により作業者が怪我をする危険性もある。前記問題に対して、軽量化等の工夫が提案されている（特許文献１参照）。
【０００５】
以下に公知文献を記す。
【特許文献１】特開平１１−１２４９８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の課題は、クリーンルーム室内よりグレーチングパネルの着脱を簡易にすることができるグレーチングユニットを提供することにより、グレーチングユニット下の建築構造の床面の清掃時、作業者への作業負担の軽減と、作業時間を短縮することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の請求項１に係る発明は、半導体装置等を製造する室内環境であるクリーンルーム内の床面に排気口として設置され、該排気口が多数の開口部からなるグレーチングユニットにおいて、床全面に敷き詰めた構造であるグレーチングユニットが、クリーンルームの床面のグレーチングパネル部と、建築構造の床面の支持床の４隅に固着した支持脚部と、該支持脚部の片側方向の２隅の各々の支持脚部の側端部と、該支持脚部の先端部に接するグレーチングパネルの側端部とを各々シリンダーアクチュエータの両端で固着したシリンダー部から構成したことを特徴とするグレーチングユニットである。
【０００８】
次に、本発明の請求項２に係る発明は、前記グレーチングパネル部が、四方形状の床材であって、パネル表面に多数の排気用の開口部を配置形成したことを特徴とする請求項１記載のグレーチングユニットである。
【０００９】
本発明の請求項３に係る発明は、前記支持脚部が、グレーチングパネルと同一の四方形状の支持床の４隅に柱形状で所定の床荷重に耐えるように固着した構造であり、該支持脚部の片側方向の２隅と、前記グレーチングパネルとを蝶番を介して固着した一体構造にしたことにより、グレーチングパネルが前記蝶番を中心にして開くことができることを特徴とする請求項１、又は２記載のグレーチングユニットである。
【００１０】
本発明の請求項４に係る発明は、前記シリンダー部が、伸縮する機能を備えたシリンダーアクチュエータからなり、蝶番を有する２隅の支持脚部のうち少なくとも１隅で、支持脚部とグレーチングパネルとを連結した構造にしたことにより、グレーチングパネルが前記蝶番を中心にして上部方向に押し上げることができることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載のグレーチングユニットである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のグレーチングユニットを提供したことにより、作業者の人手によりグレーチングパネルの脱着を行うことを省略することが可能となり、建築構造の床面や支持床上の落下塵の除去、床面の清掃等をする際の、作業者への負担が軽減され、その作業時間の短縮のもなる。さらに、怪我等の危険性も軽減され、安全作業を損なう問題を解消できる効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明の具体的な形態を一実施形態に基づいて以下に説明する。図１は、本発明のグレーチングユニットの一実施例の斜視図で（ａ）は、閉鎖時であり、（ｂ）は、開放時のものである。
【００１３】
図１（ａ）は、連続運転中のクリーンルームにおいて使用される時の状態であり、常時、室内の天井部のＨＥＰＡフィルタを透過して、清浄な空気がクリーンルーム室内に吹き出され、常時、室内の床部のグレーチングパネルの開口部から室内の空気が排気されている。グレーチングユニットは室内の床全面に敷き詰められ、グレーチングパネルで床全面
が覆われている。該グレーチングパネル上に各種製造設備と、製品等を搬送する搬送ラインと、作業員の作業スペースがレイアウトされている。定期清掃時、作業員の作業スペース近傍のグレーチングユニットで、そのグレーチングパネルを開放して、グレーチングパネル下の建築構造の床面や支持床上を清掃作業を行う。
【００１４】
図１（ｂ）は、グレーチングパネルを開放した時の状態であり、この状態にして清掃作業を行っている。グレーチングパネルは、シリンダー部によって、容易に開閉可能である。
【００１５】
図２（ａ）〜（ｃ）は、本発明の一実施例のグレーチングユニットを構成する部品の斜視図で、（ａ）は、グレーチングパネルであり、（ｂ）は、支持脚部、（ｃ）は、シリンダー部である。
【００１６】
図２（ａ）は、グレーチングパネル（１０）は、排気用の開口部（１１）が所定の距離のピッチで整列配置されている。すなわち、グレーチングパネルの基材を貫通する開口部（１１）と開口部（１１）との間の非開口部（１２）があり、開口部、非開口部、開口部と配置形成されている。排気量は開口率に左右されている。開口率は、前記開口部の全面積と、グレーチングパネルの面積との比率で表し、その単位は％で記述する。一般に超清浄なクリーンルームの場合、開口率は高くなる。従って非開口部は減少し、グレーチングパネルの耐床荷重が低下する傾向となる。耐床荷重の増加方法は、グレーチングパネルの厚さ、高耐性の材料及び複層構造等により適宜最適化する。グレーチングパネルの材料は、セラミック材、金属材等から選択する。材料選択時では、金属錆が発生しない、耐薬品性がある、揮発性ガスが発生しない、発塵性が少ない材料から適宜選び出すことが重要である。
【００１７】
図２（ｂ）の支持脚部（２０）は、下部に、グレーチングパネルと同一の形状の支持床（２１）があり、該支持床の４隅には、支持脚部（２０）の下部底面が強固に固着されている。該支持脚部（２０）の上部には、グレーチングパネル組み立て時、該グレーチングパネルを位置決めする位置決め部（２２）と、グレーチングパネルを受ける受け部（２３）が形成されている。耐床荷重は、グレーチングパネルを介して、前記４隅の受け部（２３）で支える構造である。支持脚部（２０）の材料は、金属材料が主流である。材料選択時では、金属錆が発生しない、耐薬品性がある、発塵性が少ない材料から適宜選び出すことが重要である。金属材料の場合は、防錆塗料等を塗布して使用する場合があり、該塗料の材質についても十分注意する必要がある。
【００１８】
図２（ｃ）のシリンダー部は、グレーチングパネルを一方開き方式とする構造であり、支持脚部（２０）の上部近傍とグレーチングパネル底部、又は側端部とを固着する部品である。単純に連結するための蝶番等と、グレーチングパネルの開閉を容易にする油圧シリンダ等のシリンダーアクチュエータ等が含まれるものである。蝶番（３１）として丈夫な粘着状テープ等で両方を固着した場合は、人手で開く必要がある。更に、シリンダーアクチュエータ（３２）等をその部位に連結することにより、前記蝶番等固着点を中心に軽い力により開閉することができる。また、この方法では、半自動、又は自動開閉につなぐ可能性を備えている。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明のグレーチングユニットの一実施例の斜視図で（ａ）は、閉鎖時であり、（ｂ）は、開放時のものである。
【図２】本発明の一実施例のグレーチングユニットを構成する部品の斜視図で、（ａ）は、グレーチングパネルであり、（ｂ）は、支持脚部、（ｃ）は、シリンダー部である。
【符号の説明】
【００２０】
１…グレーチングユニット
１０…グレーチングパネル
１１…（基板を貫通した）開口部
１２…非開口部
２０…支持脚部
２１…支持床
２２…位置決め部
２３…受け部
３０…シリンダー部
３１…蝶番
３２…シリンダーアクチュエータ
【図１】
2005179956.tif 000003
【図２】
2005179956.tif 000004