(57)【要約】【課題】ノズル間液滴吐出速度ばらつきの少ない液滴吐出ヘッド製造装置を提供する。【解決手段】液滴加圧室１４０の一部を形成するダイヤフラム１２０に、圧電素子１１０の端部を取り付け、圧電素子１１０の変位でダイヤフラム１２０を変形させる液滴吐出ヘッド１００の製造装置において、圧電素子１１０がダイヤフラム１２０に取り付けられる前後の、圧電素子１１０の共振周波数が高周波数側にシフトする割合を計測する共振周波数高周波化率計測手段２３０、共振周波数高周波化率計測手段２３０による計測結果を基に圧電素子１１０がダイヤフラム１２０に与える荷重を調整する荷重調整手段３００を備える。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴加圧室の一部を形成するダイヤフラムに圧電素子の端部を取り付け、その圧電素子の変位でダイヤフラムを変形させる構造の液滴吐出ヘッドを製造する液滴吐出ヘッド製造装置において、
前記圧電素子がダイヤフラムに取り付けられる前後における、圧電素子の共振周波数が高周波数側にシフトする割合を計測する共振周波数高周波化率計測手段と、
その共振周波数高周波化率計測手段による計測結果に基づいて、圧電素子がダイヤフラムに与える荷重を調整する荷重調整手段を備えることを特徴とする液滴吐出ヘッド製造装置。
【請求項２】
請求項１記載の液滴吐出ヘッド製造装置において、前記共振周波数高周波化率計測手段は、
前記圧電素子の共振周波数を測定する共振周波数測定装置と、
その共振周波数の測定結果を記憶する共振周波数記憶装置と、
その共振周波数記憶装置のデータを読み出し、圧電素子がダイヤフラムに取り付けられる前後における圧電素子の共振周波数が高周波数側にシフトする割合を計算する共振周波数高周波化率計算装置を備えることを特徴とする液滴吐出ヘッド製造装置。
【請求項３】
請求項１記載の液滴吐出ヘッド製造装置において、前記荷重調整手段は、
前記共振周波数高周波化率計算装置からの結果を受けて、所定高周波化率と比較することで荷重調整用の信号を作成する荷重調整信号作成装置と、
その荷重調整信号作成装置からの信号を受けて、圧電素子がダイヤフラムに与える荷重を調整するアクチュエータを備えることを特徴とする液滴吐出ヘッド製造装置。
【請求項４】
請求項３記載の液滴吐出ヘッド製造装置において、前記アクチュエータは、前記荷重調整信号作成装置からの信号を受けて作動する調圧器で調圧された流体で動作するシリンダであることを特徴とする液滴吐出ヘッド製造装置。
【請求項５】
液滴加圧室の一部を形成するダイヤフラムに、圧電素子の端部を取り付け、その圧電素子の変位でダイヤフラムを変形させる構造の液滴吐出ヘッドを検査する液滴吐出ヘッド検査装置において、
前記液滴吐出ヘッド完成品の圧電素子共振周波数に対する、前記圧電素子がダイヤフラムに取り付ける前の共振周波数高周波化率を計測する共振周波数高周波化率計測手段と、
その共振周波数高周波化率計測手段の出力を受けて良品不良品を判定する判定手段を備えることを特徴とする液滴吐出ヘッド検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばインクジェット記録ヘッドなどの液滴吐出ヘッド製造装置及び液滴吐出ヘッド検査装置に係り、特に液滴吐出ヘッドにばらつきのない製造装置及び検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
多数のノズルを集積したオンデマンド型インクジェット記録ヘッドで高品質な記録を行うためには、インク滴の吐出速度を大きくすることと、該インク滴の吐出速度におけるノズル間のばらつきを少なくすることが特に重要である。
【０００３】
インク滴の吐出速度を大きくするノズル構造としては、ノズル孔を開口とするインク室の壁をダイヤフラムで構成し、該ダイヤフラムを棒状の圧電素子で押し、インク室の体積を減少させてインク滴を吐出させる,所謂、プッシュ型圧電素子方式が参考文献１等で開示されている。
【０００４】
このプッシュ型圧電素子方式で、インク滴吐出速度のノズル間のばらつきを少なくするには、前記ダイヤフラムと棒状圧電素子端部の接合部の均一化が重要である。この接合部を均一にする方法としては、棒状圧電素子の端部表面に一定量の接着剤を塗布し、該棒状圧電素子の端部をダイヤフラムに突き当てて接着する方法が採られていた。
【０００５】
更に改善された方法としては、参考文献１に開示されているように、棒状圧電素子の端面に塗布する接着剤中に所定寸法の球状物を混入させ、該球状物により突き当て時の圧電素子の端面とダイヤフラム面の間隔を規定し、接着層の厚みを均一に保つ方法が取られていた。
【０００６】
一方、前記の棒状圧電素子の端部とダイヤフラムの接着不良は、ノズル性能不良をもたらすため、インク滴を吐出させる検査工程で不良記録ヘッドとして排除していた。しかしインクを実際に吐出する検査には作業時間がかかる問題がある。この問題を改善する従来の方法として、インク吐出検査前に圧電素子の共振周波数を電気的に測定し、基本波共振によるインピーダンス変化の明瞭性や高調波共振周波数の低下の状況を測定して、効率的に不良品を排除する検査方法が参考文献２に開示されている。
【特許文献１】特開平６−２７０４０３号公報
【特許文献２】特開平１１−６４１７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら上記従来の接着方法で棒状圧電素子の端部とダイヤフラムの間の接着層がノズル間で均一になっても、インク滴吐出速度のノズル間ばらつきが小さくならないことがあった。
【０００８】
一方、上記従来の共振インピーダンス変化の明瞭度合いや高調波共振周波数の低下の測定では、前記のノズル間インク吐出特性ばらつきの検査については、検査できなかった。
【０００９】
本発明の目的は、液滴吐出ヘッド製作冶具や部品の精度だけに頼らず、ノズル間液滴吐出速度ばらつきの少ない液滴吐出ヘッドの製造を可能にする液滴吐出ヘッド製造装置及び検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記従来の接着層厚みばらつきの低減対策だけでは不十分である原因は、棒状圧電素子端部のダイヤフラムへの突き当ての際に、ダイヤフラムへの押し付け状態にばらつきが存在し、該押し付け力のばらつきが、棒状圧電素子の負荷ばらつきになり、該負荷ばらつきがダイヤフラム変位のばらつきを生じさせるためであることが分かった。
【００１１】
更に、該押し付け力のばらつきは、棒状圧電素子の端部の拘束力を変化させるため、棒状圧電素子の共振周波数が高い周波数側に高周波化し、各ノズルについての該高周波化の割合とインク（液滴）吐出速度との間に所定の関係があり、この圧電素子共振周波数高周波化率を計測すればインク（液滴）吐出速度が推定可能なことが分かった。
【００１２】
本発明の具体的な第１の手段は、液滴加圧室の一部を形成するダイヤフラムに圧電素子の端部を取り付け、その圧電素子の変位でダイヤフラムを変形させる構造の液滴吐出ヘッドを製造する液滴吐出ヘッド製造装置において、前記圧電素子がダイヤフラムに取り付けられる前後における、圧電素子の共振周波数が高周波数側にシフトする割合を計測する共振周波数高周波化率計測手段と、その共振周波数高周波化率計測手段による計測結果に基づいて、圧電素子がダイヤフラムに与える荷重を調整する荷重調整手段を備えることを特徴とするものである。
【００１３】
本発明の第２の手段は前記第１の手段において、前記共振周波数高周波化率計測手段は、前記圧電素子の共振周波数を測定する共振周波数測定装置と、その共振周波数の測定結果を記憶する共振周波数記憶装置と、その共振周波数記憶装置のデータを読み出し、圧電素子がダイヤフラムに取り付けられる前後における圧電素子の共振周波数が高周波数側にシフトする割合を計算する共振周波数高周波化率計算装置を備えることを特徴とするものである。
【００１４】
本発明の第３の手段は前記第１の手段において、前記荷重調整手段は、前記共振周波数高周波化率計算装置からの結果を受けて、所定高周波化率と比較することで荷重調整用の信号を作成する荷重調整信号作成装置と、その荷重調整信号作成装置からの信号を受けて、圧電素子がダイヤフラムに与える荷重を調整するアクチュエータを備えることを特徴とするとするものである。
【００１５】
本発明の第４の手段は前記第３の手段において、前記アクチュエータは、前記荷重調整信号作成装置からの信号を受けて作動する調圧器で調圧された流体で動作するシリンダであることを特徴とするものである。
【００１６】
本発明の第５の手段は、液滴加圧室の一部を形成するダイヤフラムに、圧電素子の端部を取り付け、その圧電素子の変位でダイヤフラムを変形させる構造の液滴吐出ヘッドを検査する液滴吐出ヘッド検査装置において、前記液滴吐出ヘッド完成品の圧電素子共振周波数に対する、前記圧電素子がダイヤフラムに取り付ける前の共振周波数高周波化率を計測する共振周波数高周波化率計測手段と、その共振周波数高周波化率計測手段の出力を受けて良品不良品を判定する判定手段を備えることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の液滴吐出ヘッド製造装置によれば、圧電素子共振周波数の高周波化率を計測しながら、圧電素子共振周波数高周波化率が所定の範囲に収まるように、圧電素子がダイヤフラムに与える荷重を調整するため、ノズル間液滴吐出速度ばらつきが所望の範囲に収まるように液滴吐出ヘッドの組み立て製造が可能である。これにより液滴吐出ヘッド製作冶具や部品の精度だけに頼らず、ノズル間液滴吐出速度ばらつきの少ない高品位画像記録用の液滴吐出ヘッドの製造が可能になり、製造歩留りも向上するので液滴吐出ヘッドのコストアップを抑えることができる。
【００１８】
また本発明の液滴吐出ヘッド検査装置によれば、実際に液滴を吐出しなくてもノズル間液と期吐出特性ばらつきの大きい不良ヘッドを短時間で判別できるため、検査コストの低減が可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態を図面に基いて説明する。図１は記録ヘッド製造装置の全体構成図、図２はその図１のＸ部の拡大図、図３は製造対象の記録ヘッドの拡大斜視図である。
【００２０】
本発明による記録ヘッド製造装置の構成は、図１で点線の枠線で囲んでいる圧電素子共振周波数高周波化率計測装置２００と、荷重調整装置３００を備えている。
【００２１】
前記圧電素子共振周波数高周波化率計測装置２００は、製造対象である記録ヘッド１００の棒状ＰＺＴ圧電素子１１０がダイヤフラム１２０（共に図２参照）に突き当てて取り付けられる前後における、圧電素子共振周波数の高周波化率を計測する機能を有している。
【００２２】
前記荷重調整装置３００は、前記圧電素子共振周波数高周波化率計測装置２００による計測結果をもとに、圧電素子１１０がダイヤフラム１２０に与える荷重を調整する機能を有している。
【００２３】
各装置の構成詳細とその動作を説明する前に、本発明の製造対象である記録ヘッド１００の構造と動作及び本発明で活用する現象について説明する。
【００２４】
前記記録ヘッド１００はプッシュ型圧電素子方式のオンデマンド液滴吐出ヘッドであり、ｎ個のノズル素子を有している。各ノズル素子は、図２と図３に示すように、オリフィス板１３０に所定ピッチで列状に配置したｎ個のノズル孔１３１を有している。オリフィス板１３０にはインク流路を形成するインク室形成板１４２が貼り付けられ、各ノズル素子は、ノズル孔１３１を開口端とするインク加圧室１４０、このインク加圧室１４０にインクを導くインク流入孔１４５、このインク流入孔１４５にインクを供給する共通インク室１５０を備えている。
【００２５】
また、インク室形成板１４２のオリフィス板１３０の貼り付け面と反対側の面にはダイヤフラム形成板１２２が貼り付けられ、この構造によりインク加圧室１４０と対応する部分にダイヤフラム１２０が形成される。ダイヤフラム１２０のインク加圧室１４０と反対面には、該インク加圧室１４０の体積を記録信号に応じて変化させる棒状のＰＺＴ圧電素子１１０が取り付けられている。即ち棒状圧電素子１１０の先端部がダイヤフラム１２０面に突き当てられ、接着剤層１１５（図２参照）を介してダイヤフラム１２０に取り付けられている。
【００２６】
前記棒状ＰＺＴ圧電素子１１０は、圧電素子保持基板１１３に接着等で取り付けられている。圧電素子保持基板１１３は図１に示すように、ハウジング１６０やインク室形成板１４２に接着材等で固定されている。
【００２７】
各圧電素子１１０に記録信号に応じた駆動信号電圧が印加されると、圧電素子１１０は伸び、ダイヤフラム１２０をインク加圧室１４０側に押す、これによりインク加圧室１４０の体積が減少し、ノズル孔１３１からインク滴が吐出される。
【００２８】
本発明の適用対象となる記録ヘッド１００は、棒状圧電素子１１０の端部をダイヤフラム１２０に押し付け、この状態で接着固定されるが、その押し付け荷重にばらつきがあると、棒状圧電素子１１０の負荷がばらつくことになる。このため各ノズルに同一の駆動電圧を印加しても、ダイヤフラム１２０の変位のばらつきを生じさせ、この変位ばらつきはノズル間のインク滴吐出速度のばらつきとなって現れる。
【００２９】
この現象と同時に、前記棒状圧電素子１１０の押し付け力のばらつきは、棒状圧電素子１１０の端部の拘束力を変化させるため、棒状圧電素子１１０の共振周波数は高い周波数側にシフトし高周波化する。高周波化する理由は、棒状圧電素子１１０の端部の拘束力が強いほど、棒状圧電素子１１０に生じた共振定在波の振動最大部が、棒状圧電素子１１０の先端部から内側に移動するためと考えられる。
【００３０】
発明者らの実験によれば、圧電素子１１０の１／４λ共振の基本波共振周波数は約３００ｋHｚであるが、その圧電素子１１０をダイヤフラム１２０に強く押し付けると、〜１０％程度の基本波共振周波数高周波化が見られた。以上の特性をまとめて示したのが図４である。
【００３１】
同図（ａ）は、棒状圧電素子１１０の端部がダイヤフラム１２０に押し付けられる荷重を横軸に、インク滴吐出速度を縦軸にとった荷重−吐出速度特性である。この図から明らかなように、棒状圧電素子１１０をダイヤフラム１２０に押し付ける荷重が増加するとともにインク滴の吐出速度が減少している。
【００３２】
また同図（ｂ）は、棒状圧電素子１１０の端部がダイヤフラム１２０に押し付けられる荷重を横軸に、縦軸に圧電素子１１０の共振周波数高周波化率をとった荷重−共振周波数高周波化率特性である。この図から明らかなように、棒状圧電素子１１０をダイヤフラム１２０に押し付ける荷重が増加するとともに共振周波数高周波化率が増加している。
【００３３】
従って、共振周波数高周波化率がΔｆの範囲になるように荷重を調整すれば、荷重はΔｗの範囲に抑えられることになり、インク滴吐出速度をΔｖの範囲に設定できることになる。本発明ではこの特性を活用するものである。
【００３４】
次に各部の構成とその動作について詳細に説明する。  
図１に示すように前記圧電素子共振周波数高周波化率計測装置２００は、各ノズルの圧電素子１１０の電極に接続された共振周波数測定装置２１０と、その共振周波数測定装置２１０の測定結果を記憶する共振周波数記憶装置２２０と、その共振周波数記憶装置２２０のデータから共振周波数高周波化率を計算する共振周波数高周波化率計算装置２３０を備えている。
【００３５】
前記荷重調整装置３００は、共振周波数高周波化率計算装置２３０の信号を受けて、所定範囲の高周波化率と比較することで荷重調整用の信号を作成する荷重調整信号作成装置３１０と、その荷重調整信号作成装置３１０からの信号を受けて、加圧源３２０からの圧搾空気等の加圧流体の圧力を調整する調圧器３３０と、その調圧器３３０からの調圧流体により作動する加圧シリンダ３４０と、その加圧シリンダ３４０を治具ベース３５０に設置された記録ヘッド１００に対して固定するシリンダ固定ベース３６０を備えている。
【００３６】
本実施形態の場合、図２に示す圧電素子１１０とダイヤフラム１２０とインク加圧室１４０とノズル孔１３１とのセットが２００個横一列に設けられ、それらのセットが図１に示すように４０個ずつ５つのグループ（Ａ〜Ｅ）に分けられ、そのグループに対応して調圧器３３０、加圧シリンダ３４０がそれぞれ５個ずつ設けられている。従って１グループの圧電素子保持基板１１３上に４０個の圧電素子１１０が接着固定され、個々のグループの圧電素子保持基板１１３に加圧シリンダ３４０がそれぞれ連結されている。なお、Ａ〜Ｅの各グループの圧電素子保持基板は、独立分離しておらず一体物である。詳細には、同一素材の一体物、或いは複数の基板が接着剤で接着して一体化された構造をしている。
【００３７】
次に図１と図４を用いて、インク滴吐出速度ｖをΔｖの範囲の値に調整する動作を説明する。ダイヤフラム１２０に圧電素子１１０の端部を突き当てる前に、各圧電素子１１０の共振周波数を共振周波数測定装置２１０で測定し、共振周波数記憶装置２２０に記憶しておく。次にダイヤフラム１２０に圧電素子１１０の端部を突き当てて仮荷重をかけ共振周波数を測定し、共振周波数記憶装置２２０に記憶する。その組み込み前後の共振周波数から、共振周波数高周波化率計算装置２３０により共振周波数高周波化率ｆを演算する。
【００３８】
前述のようにインク滴吐出速度ｖをΔｖの範囲の値に設定するためには、共振周波数高周波化率ｆをΔｆの範囲内に設定する必要がある。記録ヘッドの各ノズルを、各加圧シリンダ３４０の位置に対応して左端からノズル列の方向に、順次Ａ〜Ｅの５つのグループに分割している図１の構成で、各ノズルについての共振周波数高周波化率ｆの演算結果が、例えば図５（ａ）のようにであったとする。
【００３９】
この場合、ＡとＢの領域のノズルでは共振周波数高周波化率ｆがΔｆの範囲の値より大きく、Ａの領域の方がｆは大きい。ＣとＤの領域のノズルでは、Δｆの中に入っている。一方、Ｅの領域のノズルでは、Δｆの範囲の値より小さい。
【００４０】
そこで、各ノズル領域に対応する夫々の加圧シリンダ３４０が図５（ｂ）においてFA〜 FＥで示すような力で圧電素子保持基板１１３に荷重をかけるように荷重調整装置３００が作動する。
【００４１】
即ち、CとD領域では荷重を仮荷重のままにし、Ａ、Ｂ領域ではFA、FBのように仮荷重より軽い荷重が作用するようにし、E領域に対応するFEでは仮荷重より重い荷重が作用するようにし、この状態を保つように、圧電素子保持基板１１３がハウジング１６０やインク室形成板１４２に接着材等で固定される。
【００４２】
これにより、図５（ｃ）のように全てのノズルのインク滴吐出速度ｖをΔｖの範囲の値に設定することができ、ノズル間インク吐出速度ばらつきの少ない高品位画像記録用の記録ヘッドが製造できる。
【００４３】
また、記録ヘッドの組み立て時に、所望の速度ばらつき性能が得られるように調整して組み上げるので、記録ヘッド製作冶具や部品の精度だけに頼らず、ノズル間インク吐出速度ばらつきの少ない高品位画像記録用の記録ヘッドが製造可能になり、製造歩留りも向上するので記録ヘッドのコストアップも抑えることができる。
【００４４】
前記実施形態では、圧電素子保持基板１１３を５個に分割し、それらを５個の加圧シリンダ３４０でそれぞれ調整する例を述べたが、該個数を増やすことで、調整制度を上げることができる。また、圧電素子保持基板１１３への荷重を与える位置については、組み立て調整対象の記録ヘッドの特性や構造に応じて適正に配置することが好ましい。個数や荷重を与える位置に付いては本発明に制限を与えるものではない。
【００４５】
また、圧電素子保持基板１１３と加圧シリンダ３４０の当接部を嵌合構造にすることにより、荷重を与える位置の精度を上げることができる。図６は、その例を示す一部拡大断面図である。同図に示すように、圧電素子保持基板１１３の加圧シリンダ３４０と当接する位置にテ−パを有する窪み１１４を設け、一方、加圧シリンダ３４０の加圧軸３４１の先端部形状をその窪み１１４に合う形状にして、加圧軸３４１の先端部を窪み１１４に嵌合することで、荷重を与える位置を定めることができる。
【００４６】
図７は、本発明による記録ヘッド検査装置の構成図である。この記録ヘッド検査装置は同図に示すように、共振周波数高周波化率計測装置２００と良品不良品判定装置４００を備えている。
【００４７】
共振周波数高周波化率計測装置２００は前述のように、 各ノズルの圧電素子１１０の電極に接続された共振周波数測定装置２１０と、その共振周波数測定装置２１０の測定結果を記憶する共振周波数記憶装置２２０と、その共振周波数記憶装置２２０のデータから共振周波数高周波化率を計算する共振周波数高周波化率計算装置２３０を備えている。
【００４８】
前記良品不良品判定装置４００は、良品ヘッドの共振周波数高周波化率を設定する共振周波数高周波化率基準値設定装置４１０と、その基準値と検査対象記録ヘッド１００の各のノズルについての共振周波数高周波化率の測定結果とを比較する共振周波数高周波化率比較判定装置４３０を備える。
【００４９】
本発明の対象記録ヘッドでは図３で説明したように、インク滴吐出速度ばらつきを所望の範囲Δｖに抑えるための共振周波数高周波化率ばらつき許容範囲Δｆが分かっている。従って、その共振周波数高周波化率ばらつき許容範囲Δｆを共振周波数高周波化率基準値設定装置４１０に設定しておく。
【００５０】
そして製造を完了した記録ヘッド１００はインク吐出検査の前に、共振周波数高周波化率計測装置２００により、各ノズルの共振周波数高周波化率を測定する。この測定結果がΔｆの範囲内の値であるかどうかを、共振周波数高周波化率比較判定装置４２０で判定する。全てのノズルの測定値がΔｆの範囲内の値であれば良品記録ヘッド、所定数以上のノズルについての測定結果がΔｆの範囲外の値である場合には不良品ヘッドとして判定する。
【００５１】
このように本発明の検査装置によれば、実際にインクを吐出しなくてもノズル間インク吐出特性ばらつきの大きい不良ヘッドを短時間で判別できるため、検査時間とコストの低減が図れる。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
本発明は、記録用紙にインクで情報を記録するプリンタ用の記録ヘッドの製造装置及び検査装置だけでなく、例えば生産物へのマーキング装置や塗膜装置等の工業用液滴吐出ヘッドの製造装置及び検査装置などにも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の実施形態に係る記録ヘッド製造装置の構成図である。
【図２】図１のＸ部の拡大図である。
【図３】本発明の適用対象となる記録ヘッドの外観斜視図である。
【図４】本発明の記録ヘッド製造装置における動作説明図である。
【図５】本発明の記録ヘッド製造装置における動作説明図である。
【図６】本発明の実施形態に係る記録ヘッド製造装置の圧電素子保持基板と加圧シリンダの当接部を嵌合構造を示す一部拡大断面図である。
【図７】本発明の実施形態に係る記録ヘッド検査装置の構成図である。
【符号の説明】
【００５４】
１００：記録ヘッド、１１０：圧電素子、１１３：圧電素子保持基板、１１４：窪み、１１５：接着層、１２０：ダイヤフラム、１２２：ダイヤフラム形成板、１３０：オリフィス板、１３１：ノズル孔、１４０：インク加圧室、１４２：インク室形成板、１４５：インク流入孔、１５０：共通インク室、１６０：ハウジング、２００：圧電素子共振周波数高周波化率計測装置、２１０：共振周波数測定装置、２２０：共振周波数記憶装置、２３０：共振周波数高周波化率計算装置、３００：荷重調整装置、３１０：荷重調整信号作成装置、３２０：加圧源、３３０：調圧器、３４０：加圧シリンダ、３４１：加圧軸、３５０：治具ベース、３６０：シリンダ固定ベース、４００：良品不良品判定装置、４１０：共振周波数高周波化率基準値設定装置、４２０：共振周波数高周波化率比較判定装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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