(57)【要約】【課題】ヒータのような熱発生部が発生する熱を、油拡散部側に確実にかつ効率よく伝導することができ、熱発生部に与える電力の削減が図れる油拡散部および真空排気装置を提供すること。【解決手段】真空チャンバー１１に接続されて、真空チャンバー１１内を真空引きする油拡散ポンプ３１であって、通電することにより熱を発生する熱発生部５１と、熱発生部５１による加熱により作動油が蒸発して作動油の蒸気を加速することにより負圧を形成して真空チャンバー１１内の空気を排気して真空チャンバー１１内を真空にする油拡散部３２とを備え、熱発生部５１と油拡散部３２の間には、熱伝導部材１００が配置されている。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空チャンバーに接続されて、前記真空チャンバー内を真空引きする油拡散ポンプであって、
通電することにより熱を発生する熱発生部と、
前記熱発生部による加熱により作動油が蒸発して前記作動油の蒸気を加速することにより負圧を形成して前記真空チャンバー内の空気を排気して前記真空チャンバー内を真空にする油拡散部と、を備え、
前記熱発生部と前記油拡散部の間には、熱伝導部材が配置されていることを特徴とする油拡散ポンプ。
【請求項２】
前記熱伝導部材は、粉末状熱伝導材料であることを特徴とする請求項１に記載の油拡散ポンプ。
【請求項３】
前記熱伝導部材は、粒状熱伝導材料であることを特徴とする請求項１に記載の油拡散ポンプ。
【請求項４】
前記熱伝導部材は、粉末状熱伝導材料としての金属粉またはカーボン粉であり、前記熱伝導部材はその周囲をシールしていることを特徴とする請求項２に記載の油拡散ポンプ。
【請求項５】
前記粉末状熱伝導材料は、無機系バインダーで固めてあることを特徴とする請求項２または請求項４に記載の油拡散ポンプ。
【請求項６】
前記無機系バインダーは、ケイ酸ナトリウムであることを特徴とする請求項５に記載の油拡散ポンプ。
【請求項７】
前記熱伝導部材は、加圧変形する熱伝導材料により形成されていることを特徴とする請求項１に記載の油拡散ポンプ。
【請求項８】
前記熱伝導部材は、シート状部材であることを特徴とする請求項７に記載の油拡散ポンプ。
【請求項９】
前記熱伝導部材は、パイプ状部材であることを特徴とする請求項７に記載の油拡散ポンプ。
【請求項１０】
前記熱発生部と前記熱伝導部材を、前記油拡散部の底部に着脱可能に固定する固定手段を有することを特徴とする請求項１に記載の油拡散ポンプ。
【請求項１１】
前記固定手段は、
前記熱発生部と前記熱伝導部材を収容する収容部材と、
前記収容部材を前記油拡散部の底部に着脱可能に支える支持具と、を有することを特徴とする請求項１０に記載の油拡散ポンプ。
【請求項１２】
前記支持具は、
前記油拡散部の底部から突出して設けられた第１部材と、
前記熱発生部と前記熱伝導部材を収容した前記収容部材を、前記第１部材に対して着脱可能に固定する第２部材と、を有することを特徴とする請求項１１に記載の油拡散ポンプ。
【請求項１３】
前記第１部材はボルトであり前記第２部材はナットであり、前記熱発生部と前記熱伝導部材には前記第１部材を通すための孔がそれぞれ形成されており、前記収容部材にも前記第１部材を通して前記第１部材に前記第２部材を取り付けるための孔が形成されていることを特徴とする請求項１２に記載の油拡散ポンプ。
【請求項１４】
前記熱発生部と前記熱伝導部材および前記油拡散部には、断熱手段が配置されていることを特徴とする請求項１に記載の油拡散ポンプ。
【請求項１５】
真空チャンバーに接続されて、前記真空チャンバー内を真空引きする油拡散ポンプを備える真空排気装置であって、
前記油拡散ポンプは、
通電することにより熱を発生する熱発生部と、
前記熱発生部による加熱により作動油が蒸発して前記作動油の蒸気を加速することにより負圧を形成して前記真空チャンバー内の空気を排気して前記真空チャンバー内を真空にする油拡散部と、を備え、
前記熱発生部と前記油拡散部の間には、熱伝導部材が配置されていることを特徴とする真空排気装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空チャンバーに接続されているチャンバー内を真空引きするための油拡散ポンプおよび油拡散ポンプを備える真空排気装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体プロセス装置等において、真空チャンバー内を真空引きする真空ポンプとして、油拡散ポンプが利用されている。
この油拡散ポンプは、作動油を収容したボイラ内にヒータを備えている。このヒータにより加熱された作動油は、ボイラ内で、排気方向に沿って斜めに配置されたノズルから、蒸気となって噴出される。この蒸気に対して、空気等の気体分子が衝突すると、蒸気の流れの方向に運動量が与えられて、排気側へ流れるようになっている。これにより、油拡散ポンプと接続されたチャンバー内の空気は、排気されて、チャンバー内に真空が作られる。
また、蒸気となった作動油は、ボイラ壁面で凝縮し、収容部に回収されて、ふたたびヒータで加熱されるようになっている。
このような油拡散ポンプは、真空排気装置に使われているものがある（例えば特許文献１）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−９７５００号公報（第５頁ないし第６頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この種の油拡散ポンプは、油拡散用の本体とこの本体に取り付けられたヒータを有している。ヒータは油拡散用の本体に対して固定されていることにより、ヒータが発生する熱は油拡散用の本体の底部に対して加わるようになっている。
しかしながら、油拡散用の本体とヒータの接触状態によっては、ヒータが発生する熱が本体の底部に対して伝えられる熱伝導状態に差が出てしまう。例えばヒータはアルミニウムの鋳物により作られているが、ヒータ自体の形状の反りや、汚れ或いはサビが発生したりヒータを底部に対して締め付けて取り付ける際の締め付けトルク値の変動といった各種の条件により、ヒータから本体の底部への熱伝導状態に大きな差が出てしまう。
【０００５】
また、このようなヒータを用いて油拡散部の本体に対して熱を供給する場合に、ヒータには電力供給されることにより、ヒータが熱を発生するようになっているが、ヒータに対する電力の供給量を削減することが望まれている。
そこで本発明は上記課題を解消し、ヒータのような熱発生部が発生する熱を、油拡散部側に確実にかつ効率よく伝導することができ、熱発生部に与える電力の削減が図れる油拡散部および真空排気装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述の目的は、第１の発明によれば、真空チャンバーに接続されて、前記真空チャンバー内を真空引きする油拡散ポンプであって、通電することにより熱を発生する熱発生部と、前記熱発生部による加熱により作動油が蒸発して前記作動油の蒸気を加速することにより負圧を形成して前記真空チャンバー内の空気を排気して前記真空チャンバー内を真空にする油拡散部と、を備え、前記熱発生部と前記油拡散部の間には、熱伝導部材が配置されていることを特徴とする油拡散ポンプにより、達成される。
【０００７】
第１の発明の構成によれば、熱発生部は、通電することにより熱を発生する。油拡散部は、熱発生部による加熱により作動油が蒸発して作動油の蒸気を加速することにより負圧を形成して、チャンバー内の空気を排気して真空チャンバーを真空にする。
この熱発生部と油拡散部の間には、熱伝導部材が配置されている。
これにより、熱発生部が発生する熱は、熱伝導部材を介して、油拡散部に対して確実にかつ効率よく伝導することができる。しかも、このように熱伝導部材は熱発生部の熱を油拡散部側に確実に伝導できるので、真空チャンバー内を真空引きする際に、熱伝導部材が配置されていない場合に比べて、熱発生部に対して通電する際の電力を削減することができる。
熱発生部の形状の反りや、汚れ或いはサビが発生したり、熱発生部を油拡散部側に取り付ける際のトルク値が変動しても、熱伝導部材は、熱発生部材と油拡散部の間の密着性を確保できるので、熱発生部の熱は油拡散部側に確実にかつ効率良く伝導できる。
【０００８】
第２の発明は、第１の発明の構成において、前記熱伝導部材は、粉末状熱伝導材料であることを特徴とする。
これにより、粉末状の熱伝導材料により熱伝導部材を作ることにより、安価で簡単に熱伝導部材を作ることができる。
第３の発明は、第１の発明の構成において、前記熱伝導部材は、粒状熱伝導材料であることを特徴とする。
これにより、安価で簡単に熱伝導部材を作ることができる。
【０００９】
第４の発明は、第２の発明の構成において、前記熱伝導部材は、粉末状熱伝導材料としての金属粉またはカーボン粉であり、前記熱伝導部材はその周囲をシールしていることを特徴とする。
これにより、粉末状熱伝導部材としての金属粉やカーボン粉により熱伝導部材を作る際に、熱伝導部材の周囲はシールすることにより、粉末状の熱伝導部材の飛散を確実に防ぐことができる。
【００１０】
第５の発明は、第２の発明または第４の発明の構成において、前記粉末状熱伝導材料は、無機系バインダーで固めてあることを特徴とする。
これにより、粉末状熱伝導部材は無機系バインダーで固めることにより、簡単で確実に熱伝導部材を形成することができる。
【００１１】
第６の発明は、第５の発明の構成において、前記無機系バインダーは、ケイ酸ナトリウムであることを特徴とする。
これにより、無機系のバインダーとしてはケイ酸ナトリウムを使用するのが好ましい。
【００１２】
第７の発明は、第１の発明の構成において、前記熱伝導部材は、加圧変形する熱伝導材料により形成されていることを特徴とする。
第７の発明では、熱伝導部材は加圧変形することができる熱伝導材料により形成する。
これにより、熱発生部の形状の反りや汚れ或いはサビが発生したり、取り付け時のトルク値の変動があったとしても、熱発生部と油拡散部の間は熱伝導部材の加圧変形により、確実に密着させることができ、熱発生部が発生する熱は油拡散部内に確実にかつより効率良く伝えることができる。
【００１３】
第８の発明は、第７の発明の構成において、前記熱伝導部材は、シート状部材であることを特徴とする。
これにより、熱伝導部材はシート状部材にすることで、熱発生部と油拡散部の間を均一に熱伝導させることができる。
【００１４】
第９の発明は、第７の発明の構成によれば、前記熱伝導部材は、パイプ状部材であることを特徴とする。
第９の発明では、熱伝導部材はパイプ状部材である。
これにより、パイプ状部材である熱伝導部材は、加圧変形することにより、熱発生部と油拡散部の間をほぼ均一に熱伝導することができる。
【００１５】
第１０の発明は、第１の発明の構成において、前記熱発生部と前記熱伝導部材を、前記油拡散部の底部に着脱可能に固定する固定手段を有することを特徴とする。
第１０の発明では、固定手段は、熱発生部と熱伝導部材を、油拡散部の底部に対して着脱可能に固定するものである。
これにより、必要に応じて熱発生部と熱伝導部材は、油拡散部の底部から簡単に取り外すことができる。
【００１６】
第１１の発明は、第１０の発明の構成において、前記固定手段は、前記熱発生部と前記熱伝導部材を収容する収容部材と、前記収容部材を前記油拡散部の底部に着脱可能に支える支持具と、を有することを特徴とする。
第１１の発明では、固定手段の収容部材は、熱発生部材と熱伝導部材を収容する。固定手段の支持具は、収容部材を油拡散部の底部に着脱可能に支える。
これにより、収容部材は熱発生部と熱伝導部材を収容した状態で、収容部材は支持具により油拡散部の底部に対して着脱可能に確実に固定することができる。
【００１７】
第１２の発明は、第１１の発明の構成において、前記支持具は、前記油拡散部の底部から突出して設けられた第１部材と、前記熱発生部と前記熱伝導部材を収容した前記収容部材を、前記第１部材に対して着脱可能に固定する第２部材と、を有することを特徴とする。
第１２の発明では、支持具の第１部材は、油拡散部の底部から突出して設けられている。支持具の第２部材は、熱発生部と熱伝導部材を収容した収容部材を、第１部材に対して着脱可能に固定する。
これにより、第２部材は第１部材に対して着脱可能に取り付けるだけで、熱発生部と熱伝導部材を収容した収容部材を、油拡散部の底部に対して簡単に固定することができるとともに、簡単に外すこともできる。
【００１８】
第１３の発明は、第１２の発明の構成において、前記第１部材はボルトであり前記第２部材はナットであり、前記熱発生部と前記熱伝導部材には前記第１部材を通すための孔がそれぞれ形成されており、前記収容部材にも前記第１部材を通して前記第１部材に前記第２部材を取り付けるための孔が形成されていることを特徴とする。
第１３の発明では、第１部材はボルトであり第２部材はナットである。熱発生部と熱伝導部材には第１部材を通すための孔がそれぞれ形成されている。収容部材には、第１部材を通して第１部材に第２部材を取り付けるための孔がやはり形成されている。
これにより、ボルトである第１部材は、熱発生部の孔と第１伝導部材の孔にそれぞれ通しながら、収容部材の孔にも通すことにより、第２部材であるナットは、第１部材であるボルトに対して着脱可能に取り付けることができる。
【００１９】
第１４の発明は、第１の発明の構成において、前記熱発生部と前記熱伝導部材および前記油拡散部には、断熱手段が配置されていることを特徴とする。
第１４の発明では、熱発生部と熱伝導部材および油拡散部には、断熱手段が配置されている。
これにより、熱伝導部材が熱発生部の熱を油拡散部に対して確実にかつ効率良く熱を伝導できる。そして断熱部材は、その熱を外部に逃げてしまうのを極力防ぐことができる。
このことから、熱発生部に対して通電する際の電力供給量の削減をさらに図ることができる。
【００２０】
上記目的は、第１５の発明にあっては、真空チャンバーに接続されて、前記真空チャンバー内を真空引きする油拡散ポンプを備える真空排気装置であって、前記油拡散ポンプは、通電することにより熱を発生する熱発生部と、前記熱発生部による加熱により作動油が蒸発して前記作動油の蒸気を加速することにより負圧を形成して前記真空チャンバー内の空気を排気して前記真空チャンバー内を真空にする油拡散部と、を備え、前記熱発生部と前記油拡散部の間には、熱伝導部材が配置されていることを特徴とする真空排気装置により、達成される。
【００２１】
第１５の発明の構成によれば、熱発生部は、通電することにより熱を発生する。油拡散部は、熱発生部による加熱により作動油が蒸発して作動油の蒸気を加速することにより負圧を形成して、チャンバー内の空気を排気して真空チャンバーを真空にする。
この熱発生部と油拡散部の間には、熱伝導部材が配置されている。
これにより、熱発生部が発生する熱は、熱伝導部材を介して、油拡散部に対して確実にかつ効率よく伝導することができる。しかも、このように熱伝導部材は熱発生部の熱を油拡散部側に確実に伝導できるので、真空チャンバー内を真空引きする際に、熱伝導部材が配置されていない場合に比べて、熱発生部に対して通電する際の電力を削減することができる。
熱発生部の形状の反りや、汚れ或いはサビが発生したり熱発生部を油拡散部側に取り付ける際のトルク値が変動しても、熱伝導部材は、熱発生部材と油拡散部の間の密着性を確保できるので、熱発生部の熱は油拡散部側に確実にかつ効率良く伝導できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の好適な実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本発明の真空排気装置の実施形態の概略構成を示す系統図である。
図１において、真空排気装置１０の真空チャンバー１１は、例えば圧電デバイス（図示せず）の製造工程の一部として、パッケージ内に圧電振動片をマウントして、真空雰囲気中で蓋体を接合封止する工程や、透明な蓋体を接合した後で、真空雰囲気中で、蓋体を透過させて、圧電振動片にレーザを照射し、質量削減方式により周波数調整する工程等の他、真空雰囲気中で行われる半導体プロセス等に広く利用することができる。
【００２３】
真空チャンバー１１に接続される管路１２内には、例えば、半導体を利用した圧力センサ等でなる高真空センサ３９が接続されており、真空チャンバー１１内の気圧が高真空となったか否かを検出できるようになっている。この高真空センサ３９は、後述するように、油拡散ポンプ３１の背圧検出手段を兼ねることができる。
管路１２は、本引き弁（ＭＶ）１６を介して、吸引管路１４が接続され、吸引管路１４は、油拡散ポンプ（ＤＰ）３１の吸気部３７に接続されている。また、真空チャンバー１１に接続される管路１２は、本引き弁（ＭＶ）１６よりも真空チャンバー１１側で分岐部１３を介して分岐管路１５に接続されている。分岐管路１５は、分岐部１７を介して、管路１８に接続されており、管路１８には、リーク弁（ＶＶ）１９が設定されている。
【００２４】
また、分岐管路１５は、分岐部１３よりも先で、粗引き弁（ＲＶ）２２を介して管路２１と接続されている。この管路２１は、分岐部２３を介して、ロータリポンプである油回転ポンプ（油回転真空ポンプ）（ＲＰ）４１と接続されている。また、管路２１は、油拡散ポンプ３１の排気部３３と接続された管路２４と分岐部２３にて接続されている。この管路２４には、分岐部２３よりも油拡散ポンプ３１側に拡散補助弁（ＦＶ）２５と、分岐部２３を挟んで油拡散ポンプ３１から遠い側に、タイミングリーク弁２６とが設定されている。
【００２５】
真空排気装置１０は、その動作を制御するための制御手段としての制御装置６０を備えている。制御装置６０は、ＣＰＵ（中央処理装置）等の処理回路を含む制御回路６１と、この制御回路６１に内蔵もしくは接続される記憶手段としてのメモリ６２と、ロータリポンプ４１を運転制御する手段としてのロータリポンプ制御回路６４と、油拡散ポンプ３１を運転制御する手段としての油拡散ポンプ制御装置６３とを含んでいる。さらに、制御装置６０の制御回路６１には、上述した高真空センサ３９と接続された高真空センサ駆動回路５３が接続されている。
【００２６】
また、制御装置６０の制御回路６１には、本引き弁１６、リーク弁１９、粗引き弁２２、拡散補助弁２５、タイミングリーク弁２６の各弁が接続されており、これらの弁は、制御回路６１の所定のシーケンスに従って開閉されるようになっている。
また、制御装置６０の制御回路６１には、油拡散ポンプ３１の排気部３３の圧力を検出するための背圧検出手段として、高真空センサ３９とは別に圧力センサ３８が接続されていてもよい。
さらに、油拡散ポンプ３１には、補助ポンプとしてロータリポンプ４１が接続されており、油拡散ポンプ３１が排気した気体は、ロータリポンプ４１が吸引して、図示しない経路により排出するようになっている。
【００２７】
ここで、ロータリポンプ４１は、例えば、公知の油回転ポンプが使用されており、例えば、回転翼型のものが好適に使用される。すなわち、ロータリポンプ４１のシリンダー内には、回転するロータがあり、シリンダーには吸気口と排気口がそれぞれ独立して開口している。シリンダー内で回転するロータには、可動するベーンが取り付けられ、ロータの遠心力によりベーンの外縁がシリンダー内壁に押しつけられるようになっている。これにより、ロータが回転すると、ロータ、ベーン、シリンダー内壁で区画される容積が変化することで、気体を送り出すようになっている。
【００２８】
この実施形態では、ロータリポンプ４１の制御回路６４は、制御回路６１の指示により、ロータリポンプ４１の駆動周波数を変化させるように制御する。すなわち、ロータリポンプ４１は、その駆動電流が印加されるタイミングを一定周波数の駆動信号で指示されている。そして、駆動信号の周波数が高い程、ロータリポンプ４１の回転数が高く、排気速度が早くなるが、その分消費電力は大きくなる。このため、ロータリポンプ４１の制御回路６４は、駆動信号の周波数を変化させて、排気効率を損なうことなく、消費電力を節約するようにしている。
【００２９】
図２は、真空排気装置１０の油拡散ポンプ（油拡散真空ポンプ）３１の好ましい構成例を示す概略断面図である。
図２において、油拡散ポンプ３１は、底部３１ｄが塞がれて作動油３４を貯留できる貯留部５５を備えるようにされた筒状の油拡散部３２と、油拡散部３２内に配置されて、加熱された作動油３４が蒸発して上昇した蒸気を図２において斜め下方の排気方向に沿って噴射するための複数のノズル３５ａ，３５ｂ，３５ｃを備えている。
複数のノズル３５ａ，３５ｂ，３５ｃは、それぞれ、油拡散部３２の内壁との間隔が、図２において下方にいくに従って、次第に狭くなるようにされている。
この油拡散部３２は、さらに熱発生部の一例である電気ヒータ（以降、単にヒータと呼ぶ）５１を備えている。
【００３０】
図２に示す油拡散ポンプ３１の油拡散部３２は、上端部３１ｅが吸気部３７であり、排気部３３には排気口３３ｆが設けられている。吸気部３７の付近にはフランジ部３７ｆが形成されており、排気口３３ｆの付近には、フランジ部３３ｇが形成されている。
図２に示すヒータ５１は、油拡散部３２の底部３１ｄ側に着脱可能に配置されている。このヒータ５１の内部は、ヒータ線５１Ａを有している。
【００３１】
ヒータ線５１Ａには、油拡散ポンプ制御装置６３の温度制御回路が設けられている。油拡散ポンプ制御装置６３には、ヒータ５１の温度を検出するための熱電対等で構成した温度センサ５２からの信号が入力され、図１の制御回路６１から指示された温度になるように、ヒータ５１に対する駆動電流（駆動電力）である入力パワーを自動制御するようになっている。例えば、油拡散ポンプ制御装置６３である温度制御回路は、ＰＤＩ（比例、微分、積分制御）回路により構成され、図１の制御回路６１から指示された温度に対して、温度センサ５２からの現在温度と比較して、フィードバック制御をおこない、迅速に、指示された温度となるようにヒータ５１への入力パワーを決定するようになっている。
【００３２】
油拡散ポンプ３１の図２において上端部３１ｅの開口は、図１の吸引管路１４が接続された吸気部３７となっている。これにより、図１の真空チャンバー１１内の気体が油拡散部３２内に導入されるようになっている。油拡散部３２の作動油３４の貯留部（ボイラ）５５の上方には、斜めに延びる管路としての排気部３３が形成されている。この排気部３３は、図１の管路２４と接続されている。また、この排気部３３には、排気部３３側の圧力を検出する圧力センサ３８が設定されていてもよい。
【００３３】
また、筒状の油拡散部３２の外周には、冷却管路３６が螺旋状に取り巻いて当接されており、冷却管路３６内を冷媒が通されることで、油拡散部３２の壁面と熱交換されるようになっている。この冷却管路３６の巻数は、必要に応じて選択される。
尚、作動油３４としては、例えば、シリコーン油系のものが使用でき、例えば、東レダウコーニングＳＨ７０５を使用することができる。
以上の構成において、油拡散ポンプ３１は、油拡散ポンプ制御装置６３の制御に基づいて、ヒータ５１が発熱されることにより、油拡散部３２の底部に貯留された作動油３４が加熱されて蒸発する。作動油３４の蒸気は油拡散部３２の中心部を矢印方向に上昇し、排気方向、すなわち図２において下方に向けて、各ノズル３５ａ，３５ｂ，３５ｃより噴出される。
【００３４】
そして、ほぼ音速程度まで加速された蒸気に対して、吸気部３７から導入される空気の分子が衝突すると、蒸気の流れの方向に運動量が与えられて、空気は排気側へ流れ、排気部３３の排気口３３ｆから排出される。この過程で、各ノズル３５ａ，３５ｂ，３５ｃと油拡散部３２の壁面との間は次第に狭くされているので、ポンプ作用が働き、吸気部３７では、負圧がつくられて、吸気部３７と管路１４及び管路１２で接続された真空チャンバー１１内の空気が排気されることで、真空チャンバー１１内に真空が作られる。
また、作動油３４の蒸気は、油拡散部３２の壁面に当接し、冷却管路３６との間で熱交換されて冷やされることで壁面の内側に結露する。結露した作動油は次第に落下して、油拡散部３２の下部の貯留部５５に液体の作動油３４として回収される。
【００３５】
次に、図３〜図５を参照しながら、上述した熱発生部としてのヒータ５１および熱伝導部材１００、そして固定手段２００について説明する。
図３は、固定手段２００が、熱伝導部材１００とヒータ５１を、油拡散部３２の底部３１ｄに対して着脱可能に固定した状態を示している。図４は、固定手段２００、ヒータ５１および熱伝導部材１００を示す分解図である。図５は、固定手段２００、ヒータ５１および熱伝導部材１００を示す分解斜視図である。
図３に示すように、ヒータ５１は、熱伝導部材１００を介して底部３１ｄに対して密着した状態で固定されている。固定手段２００は、このヒータ５１と熱伝導部材１００を積層した状態で、熱伝導部材１００を底部３１ｄに対して密着して固定するための装置である。
【００３６】
まずヒータ５１について説明する。
ヒータ５１は、図４と図５に示すように、例えば円盤状のヒータである。このヒータ５１は、内部には図２に示すようにヒータ線５１Ａを内蔵している。ヒータ線５１Ａの端部５１Ｂ，５１Ｂは、図２に示すように油拡散ポンプ制御装置６３に対して電気的に接続されている。
図４と図５に示すように、ヒータ５１の中央には、円形状の孔５１Ｃが形成されている。ヒータ５１が円盤状に形成されているのは、油拡散部３２の本体３２Ａが円筒状の部材であり、底部３１ｄが円形状になっていることに合わせてあるためである。ヒータ５１の直径は、例えば本体３２Ａの底部３１ｄの直径とほぼ同じであるかやや小さくなっている。
【００３７】
図６（Ａ）は、ヒータ５１の形状例を示している。ヒータ５１は、例えばアルミニウムの鋳造物であり一方の面５１ｊと他方の面５１ｋを有している。一方の面５１ｊには、図６（Ｂ）に示すように、熱伝導部材１００が密着して配置されるようになっている。
この熱伝導部材１００は、円盤状の部材である。この熱伝導部材１００の中央には図６（Ｂ）と図４に示すように、孔１０１が形成されている。この孔１０１は、ヒータ５１の孔５１Ｃと同じかやや大きいものである。
【００３８】
熱伝導部材１００は、上述したように円盤状の薄い部材であるが、この熱伝導部材１００を構成するための材質としては、例えば次のようなものを採用することができる。
熱伝導部材１００は、粉末状熱伝導材料あるいは粒状熱伝導材料により作るのが好ましい。この粉末状熱伝導部材は、無機系バインダーで固めることにより、図４および図６（Ｂ）に示すような円盤状の薄い熱伝導部材１００を形成することができる。
【００３９】
粉末状熱伝導材料としてはカーボン粉や金属粉を用いることができる。
粉末状熱伝導材料としてカーボン粉を用いる場合には、無機系バインダーとして例えばケイ酸ナトリウムを用いることができる。例えば、この熱伝導部材１００は、高純度のカーボンの一種であるグラファイトを主体として無機系バインダーであるケイ酸ナトリウムを用いて固めて形成されたペースト状の非金属性で無機質の水性セメントである。
この熱伝導部材１００は、高熱伝導率を持った水性セメントである。この熱伝導部材１００は、施行し易いパテ状物であり、塗布作業性もよく、高い効率で熱の伝導が可能である。したがって、図６（Ｂ）と図４に示すように、ヒータ５１の一方の面５１ｊに対して例えば円盤状になるように塗布して形成する。これによって、図３に示すようにヒータ５１の一方の面５１ｊと底部３１ｄの間には、熱伝導部材１００は継ぎ目の無い完全な熱伝導通路を形成することができる。そして、ヒータ５１が発生する熱は、熱伝導部材１００を通じて底部３１ｄの全面にわたって平均的に効率良く熱を伝えることができる。
【００４０】
この熱伝導部材１００をヒータ５１の一方の面５１ｊに対して塗布して薄い円盤状に形成する場合には、次の要領で行うことができる。
ヒータ５１の一方の面５１ｊには、油分などが無いことを確認し、油分などが付着している場合にはその油分などを取り除く。
ヒータ５１の一方の面５１ｊに対して熱伝導部材１００を塗布する。
その後、ヒータ５１は熱伝導部材１００を介して底部３１ｄ側に押し付けることにより、ヒータ５１の一方の面５１ｊが、底部３１ｄに対して熱伝導部材１００を介して密着させる。この時、もし熱伝導部材１００が圧力により外にはみ出した場合には、熱伝導部材１００のはみ出した部分はふき取ればよい。
【００４１】
このようにヒータ５１の一方の面５１ｊが底部３１ｄに対して熱伝導部材１００を介して密着された後に、例えば摂氏３５度で必要な時間放置して乾燥させる。このような密着作業は、熱伝導部材１００が乾燥する前に速やかに行い、熱伝導部材１００内に気泡が発生しないようにするのが望ましい。熱伝導材料により熱伝導部材１００を形成する場合に、熱伝導材料が一度硬化してしまうと所望の形状になるように熱伝導部材１００を形成することができなくなる。
【００４２】
熱伝導部材１００は、ヒータ５１の一方の面５１ｊに対してできるだけ薄く均一に塗布するのが望ましい。もし、熱伝導部材１００を形成した後に、ヒータ５１を底部３１ｄから外した場合には、一度形成した熱伝導部材１００をヒータ５１の一方の面５１ｊから除去した後に、もう一度熱伝導部材１００を塗布して形成するのが望ましい。
この理由としては、ヒータ５１が底部３１ｄ側から一端外されてしまうと、底部３１ｄ側に残ってはみ出した熱伝導材料が盛り上がってしまい、再度ヒータ５１を新たに塗布した熱伝導部材１００を介して底部３１ｄ側に締め付けようとする際に、位置がずれて締め付けられてしまうおそれがある。しかも、ヒータ５１の一方の面５１ｊが、熱伝導部材１００を介して底部３１ｄに対して熱的な接触をするための接触性が悪くなる可能性があるためである。
上述した粉末状熱伝導材料を無機系バインダーで固めるようにした熱伝導部材１００は、熱伝セメント材料と呼ぶこともできる。
【００４３】
次に、図３ないし図５を参照しながら、固定手段２００の構造例について説明する。
固定手段２００は、ヒータカバー２０３、支持部材２０４、ヒータ固定用のナット２０５、ワッシャー２０６、ボルト２０７を有している。
ヒータ５１は、容器５１ｍを有しているが、この容器５１ｍは、例えばアルミニウムの鋳造物により作られており、容器５１ｍの中には上述したようなヒータ線が使用されている。
【００４４】
これに対してヒータカバー２０３は、耐熱性に優れた金属により作られており、ヒータカバー２０３はヒータ５１と熱伝導部材１００を収容する収容部材である。この収容部材であるヒータカバー２０３は、ボルト２０７とワッシャー２０６およびナット２０５により、油拡散部の底部３１ｄに対応して着脱可能に支えるようになっている。
ボルト２０７は、底部３１ｄの中心から下方に沿って突出して設けられている。このボルト２０７は、支持具の第１部材に相当する。ナット２０５とワッシャー２０６は、支持具の第２部材に相当する。ナット２０５はボルト２０７に対して着脱可能にねじ込むことにより、ヒータカバー２０３を底部３１ｄに対して着脱可能に固定することができる。ワッシャー２０６は、ナット２０５の緩み止めの役割を果たす。
【００４５】
ヒータカバー２０３の中央には、図４と図５に示すように凹部２１０が形成されている。この凹部２１０の中には、ワッシャー２０６とナット２０５が収容される。これによって、ワッシャー２０６とナット２０５が、ヒータカバー２０３の下面２１１から突出することが無くなるので、固定手段２００の小型化を図ることができる。
図４と図５に示すように、ボルト２０７は、熱伝導部材１００の中央の孔１０１とヒータ５１の中央の孔５１Ｃを通り、ヒータカバー２０３の孔２１３を通ることにより、ナットを取り付けることができる。孔２１３は凹部２１０の中央に形成されている。孔１０１、孔５１Ｃ、孔２１３は、図４の例では本体３２Ａの中心軸ＣＬに沿って同軸上に形成されている。
図５に示すようにヒータカバー２０３は、下面２１１と周囲面２１６を有している。この周囲面２１６の一部分は、切り欠き部２１７になっている。この切り欠き部２１７は、ヒータ５１の端部５１Ｂ，５１Ｂを外部に導き出すための部分である。
【００４６】
次に、ヒータ５１および熱伝導部材１００を底部３１ｄ側に固定する方法について、簡単に説明する。
図４と図５に示すようにヒータ５１の一方の面５１ｊには、既に熱伝導部材１００が形成されている。
この熱伝導部材１００が底部３１ｄに対面するように、ヒータ５１と熱伝導部材１００がヒータカバー２０３の中に収容される。ヒータ５１の中央部分は、ヒータカバー２０３の凹部２１０の内面側３９９に支持されるとともに、ヒータ５１の容器５１ｍの周囲面５１Ｒは、ヒータカバー２０３の周囲面２１６の内面により位置が固定される。これによって、ヒータ５１はヒータカバー２０３の内部において確実に位置決めされる。
【００４７】
図４に示すボルト２０７が熱伝導部材１００の孔１０１とヒータ５１の孔５１Ｃを通り、ヒータカバー２０３の孔２１３を通る。そしてワッシャー２０６がボルト２０７に取り付けられ、そしてナット２０５がボルト２０７にねじ込まれる。
これによって、ヒータカバー２０３の周囲面２１６の上端部２１９は、支持部材２０４と本体３２Ａの外周面との間の空間に対して図３に示すように挿入して固定される。この支持部材２０４は、本体３２Ａの底部３１ｄの付近において、本体３２Ａの外周面に対して全周にわたって形成されているスカート部分である。この支持部材２０４がヒータカバー２０３の上端部２１９を挿入した状態で固定することにより、ヒータカバー２０３と本体３２Ａの連結の際に、中心軸ＣＬを中心とする位置決めを確実に行うことができる。
【００４８】
以上のようにして、図３と図７に示すように、ヒータ５１と熱伝導部材１００は、本体３２Ａの底部３１ｄに対して確実に密着して固定することができる。つまり熱伝導部材１００は、底部３１ｄとヒータ５１の一方の面５１ｊを密着した状態で確実に位置ずれの無い完全な熱伝導通路を形成することができる。
これにより、熱発生部であるヒータ５１が発生する熱は、熱伝導部材１００を介して、油拡散部３２に対して確実にかつ効率よく伝導することができる。しかも、このように熱伝導部材１００はヒータ５１の熱を油拡散部３２側に確実に伝導できるので、図１に示す真空チャンバー１１内を真空引きする際に、熱伝導部材１００が配置されていない場合に比べて、ヒータ５１に対して通電する際の使用電力を削減することができる。
ヒータ５１の形状の反りや、汚れ或いはサビが発生していたり、ヒータ５１を油拡散部３２側に取り付ける際のトルク値が変動しても、熱伝導部材１００は、ヒータ５１と油拡散部３２の間の密着性を確保できるので、ヒータ５１の熱は油拡散部３２側に確実にかつ効率良く伝導できる。
【００４９】
粉末状の熱伝導材料により熱伝導部材を作ることにより、安価で簡単に熱伝導部材を作ることができる。
粉末状熱伝導部材は無機系バインダーで固めることにより、簡単で確実に熱伝導部材を形成することができる。
【００５０】
図７は本発明の実施形態であり、上述したような熱伝導部材１００がヒータ５１の一方の面５１ｊと底部３１ｄの間に介在されている。
これに対して、図８は、本発明の実施形態に対する比較例であり、ヒータ５１の一方の面５１ｊと底部３１ｄの間には熱伝導部材１００が介在されていない本発明の範囲外の比較例を示している。
【００５１】
図９は、図２のヒータ５１の付近と油拡散部３２の部分に対して着脱されるように構成した断熱手段７０を示している。
本実施形態では、油拡散ポンプ３１に、このような断熱手段７０を付加することで、熱損失を低減するようにしている。
断熱手段７０は、全体が断熱材により形成された断熱ジャケットとして形成されている。断熱手段７０は、筒状をした上部ジャケット７１と、所定の厚みを有する下部ジャケット７７とを備えている。
ここで、この断熱手段７０は、その全体が、例えば、ガラスクロスをフッ素コートガラスクロス生地で内包することにより形成することができる。
【００５２】
上部ジャケット７１は、分離部７２で開くようにされた筒体であり、その内周が、図３に示す油拡散ポンプ３１のヒータカバー２０３及び貯留部５５の外周とほぼ一致するように形成されている。上部ジャケット７１の分離部７２に沿って、カバー７４が設けられており、カバー７４の内面には、面ファスナー等で形成した着脱部７４ａが設けられている。この着脱部７４ａは、上部ジャケット７１の外周の分離部７２に沿った箇所に設けられた面ファスナー等でなる着脱部７５に対して着脱されることで、固定できるようになっている。
【００５３】
また、上部ジャケット７１の下端には、切り欠き７９が設けられており、油拡散ポンプ３１のヒータカバー２０３及び貯留部５５の周囲に上部ジャケット７１を取り付けた場合に、ヒータ５１の配線を引き出す部分である。
下部ジャケット７７は、ヒータカバー２０３の下端に当接される。この下部ジャケット７７の上端には、周方向に沿って複数のカバー７８が設けられており、各カバーの内面には、面ファスナー等でなる着脱部７８ａがそれぞれ設けられている。そして、上部ジャケット７１の下端外周には、面ファスナー等でなる着脱部７６が設けられている。
【００５４】
これにより、油拡散ポンプ３１のヒータカバー２０３及び貯留部５５の周囲に上部ジャケット７１を取り付けた状態で、下部ジャケット７７を、油拡散ポンプ３１のヒータカバー２０３の下端に当接させる。そして、上部ジャケット７１と下部ジャケット７７との境界をカバー７８で覆って、下部ジャケット７７の着脱部７８ａと上部ジャケット７１の下端外周の着脱部７６を固定する。これにより、断熱手段７０は、油拡散ポンプ３１の油拡散部３２の下部とヒータカバー２０３をほぼ完全に覆うことができる。このため、ヒータ５１の熱や加熱された作動油３４の熱が外部に逃げないようにすることができる。
【００５５】
本実施形態の真空排気装置１０は、以上のように構成されており、次に、図１０のフローチャートと、図１１のタイムチャートを参照しながら、その概略動作について説明する。
図１の真空排気装置１０の動作は、制御装置６０により制御されるようになっている。真空排気装置１０を立ち上げた直後は、真空チャンバー１１内が、真空であるかどうかに関わらず、真空チャンバー１１と油拡散ポンプ３１とをつなぐ本引き弁１６と、粗引き弁２２は閉じられている。拡散補助弁２５は開かれており、ロータリポンプ４１は、油拡散ポンプ３１の排気側の背圧が臨界背圧を超えないようにするために、既に回転しているが、真空排気装置１０の運転開始時（ＳＴ１）においては、油拡散ポンプ３１と本引き弁１６の配管内は、既に、真空となっており、排出気体量が少ないため、例えば、３０ないし４０ヘルツで駆動されている。
このような状態から、先ず、粗引き弁２２を開く（ＳＴ２）、これと同時に、制御装置６０においては、ロータリポンプの制御回路６４は、ロータリポンプ４１の駆動周波数を高い周波数に変更し、排気速度を高くする（ＳＴ３）。
【００５６】
ロータリポンプ４１を高回転としたら、粗引き弁２２を閉じ（ＳＴ４）、拡散補助弁２５を開いて（ＳＴ５）、油拡散ポンプ３１とロータリポンプ４１とを接続する。次に、本引き弁１６を開いて、真空チャンバー１１と油拡散ポンプ３１を接続する（ＳＴ６）。次いで、制御装置６０は、油拡散ポンプ制御装置６３に指示を出して、油拡散ポンプ３１を駆動する（ＳＴ７）。
【００５７】
これにより、真空チャンバー１１と、油拡散ポンプ３１と、ロータリポンプ４１とが接続され、真空チャンバー１１内の気体は、油拡散ポンプ３１により真空引きされ、さらに、油拡散ポンプ３１の排気は、ロータリポンプ４１により吸引されて、ロータリポンプ４１から外部へ排気される。
これにより、高真空センサ３９が所定の真空度を検出したら（ＳＴ８）、ロータリポンプの制御回路６４は、駆動信号を、例えば３０ヘルツないし４０ヘルツという、より低い周波数に変更して、ロータリポンプ４１の駆動周波数を低い周波数に変更する（ＳＴ９）。
すなわち、ロータリポンプの制御回路６４は、ロータリポンプ４１をインバータ制御することで、真空チャンバー１１内を所望とされる真空度に維持しつつ、真空チャンバー１１内で必要な作業時間を提供し、この間ロータリポンプ４１の消費電力を抑制して、省エネルギーを実現することができる。
そして、真空チャンバー１１内で、所定の作業が終了したら、本引き弁１６を閉め（ＳＴ１０）、次いで、リーク弁１９を開いて真空引き作業を終了する（ＳＴ１１）。
【００５８】
ところで、本発明の実施形態の油拡散ポンプ３１を使用することにより、本発明者は次のような利点を見出した。
図１２（Ａ）は、図１に示す真空チャンバー１１内の圧力と真空引きの時間の関係例を示している。
本発明の実施形態のように熱伝導部材を用いる場合には、真空引きを始めてから所望の到達真空圧に達するまでの時間が実線の曲線Ｌで示すように比較的早くなる。これに対して、熱伝導部材が設けられていない比較例では、破線の曲線Ｌ１で示すように真空引きを始めてからの到達真空圧に達するまでの時間が比較的長くなってしまう。到達真空圧の例としては、例えば１．０Ｅ−３ないし１．５Ｅ−４Ｐａである。
【００５９】
図１２（Ｂ）は、本発明の実施形態および比較例におけるヒータの設定温度と使用電力の例を示している。
本発明の実施形態の熱伝導部材が設けられている場合には、ヒータの設定温度は摂氏２４０度ないし摂氏２５０度であり、この場合のヒータに供給される使用電力は、０．９ｋＷであった。
これに対して、比較例では熱伝導部材が設けられておらず、ヒータの設定温度が摂氏３１０度である場合には、ヒータに供給される使用電力は１．４ｋＷであった。
本発明においてヒータの設定温度が摂氏２４０度ないし摂氏２５０度であっても、必要な到達真空圧を得ることができる。これに対して、比較例では摂氏３１０度にまで上げないと到達真空度に達することができない。図１２（Ｂ）において使用電力を比較してみると、本発明の実施形態の使用電力と比較例の使用電力とを比べてみると、例えば電力削減率が３５．７％であった。これにより、本発明の実施形態を使用することにより、ヒータに対する使用電力の削減を図ることができる。
【００６０】
図１３は、本発明の実施形態においてヒータの設定温度が摂氏２４０度と摂氏２５０度の場合と、比較例におけるヒータの設定温度が摂氏３１０度の場合における使用電力の実例を示している。
図１４は、本発明の実施形態と比較例における到達真空圧曲線の例を示している。図１４のグラフでは、縦軸が圧力（Ｐａ）であり、横軸が時間（分）である。本発明の実施形態においてはヒータの設定温度が摂氏２４０度と摂氏２５０度である。比較例は熱伝導部材が無いものであってヒータの設定温度は摂氏３１０度である。
本発明の実施形態において熱伝導部材が設けられているものでは、ヒータの設定温度が摂氏２４０度または摂氏２５０度のように低い温度であっても、比較例に比べて比較的早い時間で希望する到達真空圧にすることができる。
【００６１】
また、既に述べたように図９に示すような断熱手段７０を熱伝導部材１００と共に用いることにより、図３に示す熱伝導部材１００が熱発生部であるヒータ５１の熱を油拡散部３２に対して確実にかつ効率良く熱を伝導できる。そして断熱部材は、その熱を外部に逃げてしまうのを極力防ぐことができる。
このことから、熱発生部に対して通電する際の電力供給量の削減をさらに図ることができる。
【００６２】
次に、本発明の別の実施形態について説明する。
図１５は、本発明の油拡散ポンプおよび油拡散ポンプを備える真空排気装置に適用される熱伝導部材の別の実施形態を示している。
図１５（Ａ）には、円盤状のヒータ５１と円盤状の熱伝導部材１００を示している。
図１５（Ｂ）は図１５（Ａ）の熱伝導部材１００のＡ−Ａ線における断面構造例を示している。
【００６３】
図１５に示す熱伝導部材１００は、リング状のシール材３００，３００Ａとこのシール材３００，３００Ａの中に入っている粉末状の熱伝導材料３１０から形成されている。外側のシール材３００と内側のシール材３００Ａは、外内リング固定棒３００Ｂにより連結されている。このシール材３００，３００Ａは、耐熱性を有する金属である例えばアルミ、銅、鉄等により作られている。シール材３００の中央には孔１０１Ａが形成されている。
粉末状の熱伝導材料３１０は、例えば金属粉やカーボン粉である。金属粉としては、例えば黄銅、銅、アルミニウム、鉄等を採用することができる。
また、熱伝導材料３１０としては、例えば粒状金属を使用することができる。粒状金属の粒径は、Φ０．５〜２ｍｍ程度の鉛、黄銅、銅、アルミニウム、鉄等である。
【００６４】
シール材３００が粉末状の熱伝導材料３１０を封入しているので、粉末状熱伝導部材としての金属粉やカーボン粉により熱伝導部材を作る際に、熱伝導部材の周囲はシールすることにより、粉末状の熱伝導部材の飛散を確実に防ぐことができる。
図１５に示す熱伝導部材１００の形状は円盤状もしくはリング状であるが、これはヒータ５１および図３に示す油拡散部３２の底部３１ｄの形状に合わせてある。
【００６５】
図１６は、本発明の熱伝導部材の別の実施形態を示している。
図１６では熱伝導部材１００とヒータ５１を示しているが、熱伝導部材１００は、例えば加圧することにより変形可能な熱伝導性材料によりリング状もしくは円盤状に作られている。熱伝導部材の中央には、孔１０１Ｂが形成されている。熱伝導部材１００は熱伝導性を有し、加圧変形可能な例えばＰｂ，ＩｎあるいはＣｕなどの材料を使用することができる。
このようなシート状の熱伝導部材１００を使用することにより、熱伝導部材はシート状部材にすることで、熱発生部と油拡散部の間を均一に熱伝導させることができる。
【００６６】
図１７は、本発明の熱伝導部材１００のさらに別の実施形態を示している。
図１７に示す熱伝導部材１００は、パイプ状の部材であり、このパイプ状の部材は熱伝導性を有し、加圧変形可能なものである。熱伝導部材１００のパイプ状の材料としては、Ｐｂ，Ｉｎ，Ｃｕなどを採用することができる。
熱伝導部材１００の中央は、孔１０１Ｄを有している。この孔１０１Ｄは、ヒータ５１の孔５１Ｃと同心円上に形成されている。これにより、パイプ状部材である熱伝導部材は、加圧変形することにより、熱発生部と油拡散部の間をほぼ均一に熱伝導することができる。
【００６７】
以上説明したように本発明の実施形態によれば、熱発生部が発生する熱は、熱伝導部材を介して、油拡散部に対して確実にかつ効率よく伝導することができる。しかも、このように熱伝導部材は熱発生部の熱を油拡散部側に確実に伝導できるので、真空チャンバー内を真空引きする際に、熱伝導部材が配置されていない場合に比べて、熱発生部に対して通電する際の電力を削減することができる。
熱発生部の形状の反りや、汚れ或いはサビが発生したり、熱発生部を油拡散部側に取り付ける際のトルク値が変動しても、熱伝導部材は、熱発生部材と油拡散部の間の密着性を確保できるので、熱発生部の熱は油拡散部側に確実にかつ効率良く伝導できる。
【００６８】
例えばヒータ５１がアルミの鋳物により作られている場合に、このヒータ５１自体の形状の反りや、汚れ或いはサビ或いはナットを締め付ける時のトルクの値が変わってしまった状態であっても、熱伝導部材は、図４に示すようにヒータ５１の一方の面５１ｊと油拡散部３２の本体３２Ａの底部３１ｄとの間の密着性を高めて、高い熱伝導効率により確実に熱を伝えることができる。つまり、ヒータ５１と底部３１ｄの熱的な接触状態に差が出ることが無く、ヒータ５１の発生する熱が、底部３１ｄ側に伝導する状態に差が出るのを防ぐことができる。
また、熱伝導部材と断熱手段を併用および適切な温度制御を行うことにより、ヒータの消費電力をさらに削減することができる。
この結果、油拡散ポンプおよび油拡散ポンプを備えた真空排気装置の環境対策および省エネルギー化を図ることができる。
【００６９】
図示した本発明の実施形態における熱伝導部材の形状は円盤状或いはリング状もしくはパイプをスパイラル状に形成した例を示している。しかしこれに限らず、油拡散部の本体の底部の形状が円形ではなく他の形状であれば、それに合わせて熱伝導部材およびヒータの形状を変更することは勿論可能である。
本発明は、上記実施形態に限定されず、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことができる。
上記実施形態の各構成は、その一部を省略したり、上記とは異なるように任意に組み合わせることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】本発明の実施形態に係る油拡散ポンプおよび油拡散ポンプを備えた真空排気装置の構成を示す系統図。
【図２】図１に示す油拡散ポンプの構造例を示す概略断面図。
【図３】図２に示す油拡散ポンプの構造をさらに詳細に示す一部断面を有する側面図。
【図４】図３に示す油拡散ポンプの固定手段、ヒータカバー、ヒータおよび熱伝導部材を分解して示す図。
【図５】図４の固定手段、ヒータカバー、ヒータ、熱伝導部材などを示す分解斜視図。
【図６】熱伝導部材が形成されていないヒータと熱伝導部材が形成されたヒータの例を示す斜視図。
【図７】本発明の実施形態において熱伝導部材が形成された例を示すヒータと熱伝導部材の付近を示す断面を有する側面図。
【図８】本発明の範囲内である比較例を示しており、熱伝導部材が形成されていない例を示す断面を有する側面図。
【図９】断熱手段の例を示す斜視図。
【図１０】本発明における図１の真空排気装置の動作の概略を示すフロー図。
【図１１】図１０のフロー図に対応したタイミング図。
【図１２】本発明の実施形態と比較例における到達真空圧を得るための曲線の例および本発明の実施形態と比較例における電力削減率の例を示す図。
【図１３】本発明の実施形態と比較例における使用電力の例を示す図。
【図１４】本発明の実施形態と比較例における到達真空圧に達する例を示す図。
【図１５】本発明における熱伝導部材の別の実施形態を示す図。
【図１６】本発明の熱伝導部材のさらに別の実施形態を示す斜視図。
【図１７】本発明の熱伝導部材のさらに別の実施形態を示す斜視図。
【符号の説明】
【００７１】
１０・・・真空排気装置、１１・・・真空チャンバー（真空吸引対象物の一例）、３１・・・油拡散ポンプ、３１ｄ・・・底部、３２・・・油拡散部、３２Ａ・・・油拡散部の本体、５１・・・ヒータ（熱発生部の一例）、５１Ｃ，１０１，２１３・・・孔、１００・・・熱伝導部材、２００・・・固定手段、２０７・・・ボルト（支持具）、２０５・・・支持具の第２部材、２０６・・・ワッシャー（支持具の第２部材）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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