(57)【要約】【課題】対象物に関する製造形状の良否検査を均一な精度で、かつ効率的に行う。【解決手段】まず、対象物Ｏに関する設計上の設計形状を用いた構造解析を行うことによって、対象物Ｏの表面に予め設定された一つ以上の特徴点Ｐnの座標が解析座標として算出される。つぎに、検査用治具３０により支持された対象物Ｏを実測することにより得られる特徴点Ｐnの測定座標を解析座標とを比較することによって、対象物Ｏに関する製造形状の良否が判定される。構造解析では、その境界条件として、対象物Ｏの実測時における検査用治具３０を用いた対象物Ｏの支持状態が反映されている。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物の製造形状の検査方法において、
前記対象物に関する設計上の設計形状を用いた構造解析を行うことによって、前記対象物の表面に予め設定された一つ以上の特徴点の座標を解析座標として算出する第１のステップと、
検査用治具により支持された前記対象物を実測することにより得られる前記特徴点の測定座標を前記解析座標と比較することによって、前記対象物に関する製造形状の良否を判定する第２のステップとを有し、
前記第１のステップにおいて、前記構造解析の境界条件として、前記対象物の実測時における前記検査用治具を用いた前記対象物の支持状態が反映されていることを特徴とする対象物の製造形状の検査方法。
【請求項２】
前記検査用治具は、それぞれが前記対象物を点支持する複数の支持部を有することを特徴とする請求項１に記載された対象物の製造形状の検査方法。
【請求項３】
前記第２のステップは、前記測定座標と前記解析座標との誤差が、予め設定された判定値をよりも大きい場合に、前記製造形状が不良であると判定するステップを含むことを特徴とする請求項１または２に記載された対象物の製造形状の検査方法。
【請求項４】
所定のテストピースを処理対象として測定された前記測定座標と、当該テストピースを処理対象として算出された前記解析座標とに関する誤差を統計的に処理することによって、補正式を算出する第３のステップと、
前記算出された補正式に基づいて、前記対象物を処理対象として算出された前記誤差を補正する第４のステップとをさらに有し、
前記第２のステップは、前記補正された誤差に基づいて、前記対象物に関する製造形状の良否を判定するステップであることを特徴とする請求項３に記載された対象物の製造形状の検査方法。
【請求項５】
対象物の製造形状の検査方法をコンピュータに実行させるためのコンピュータ・プログラムにおいて、
前記対象物に関する設計上の設計形状を用いた構造解析を行うことによって、前記対象物の表面に予め設定された一つ以上の特徴点の座標を解析座標として算出する第１のステップと、
検査用治具により支持された前記対象物を実測することにより得られる前記特徴点の測定座標を前記解析座標と比較することによって、前記対象物に関する製造形状の良否を判定する第２のステップとを有し、
前記第１のステップにおいて、前記構造解析の境界条件として、前記対象物の実測時における前記検査用治具を用いた前記対象物の支持状態が反映されていることを特徴とする検査方法をコンピュータに実行させるためのコンピュータ・プログラム。
【請求項６】
所定のテストピースを処理対象として測定された前記測定座標と、当該テストピースを処理対象として算出された前記解析座標とに関する誤差を統計的に処理することによって、補正式を算出する第３のステップと、
前記算出された補正式に基づいて、前記対象物を処理対象として算出された前記誤差を補正する第４のステップとをさらに有し、
前記第２のステップは、前記補正された誤差に基づいて、前記対象物に関する製造形状の良否を判定するステップであることを特徴とする請求項５に記載されたコンピュータ・プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対象物に関する製造形状の良否を検査する検査方法、および、この検査方法をコンピュータに実行させるためのコンピュータ・プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、自動車の製造ラインでは、バンパー等に用いられる樹脂部品に対して、塗装工程の一処理として、熱硬化処理が施される。その際、樹脂部品の熱変形に起因して、実際の製造形状が設計上の設計形状と相違してしまうことがある。そこで、従来より、所定の工程が終了した段階で、対象物（例えば、樹脂部品）の製造形状に関する良否検査が行われる。この検査工程では、実際の取付位置と形状的に対応した治具を対象物に組付けた上で、作業者による手作業（マニュアル作業）で、その組付け誤差が測定される。そして、測定された組付け誤差が所定の判定値を超えている場合には、形状不良と判定され、この誤差が許容範囲内に収まるように、製造プロセスの見直しが行われる。なお、本発明に関連する技術として、例えば、特許文献１，２には、被測定物の三次元形状を非接触で測定する手法が開示されている。
【特許文献１】特開２０００−２０５８２１号公報
【特許文献２】特開２００１−３５６０１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、従来のマニュアル的な検査手法では、個々の作業者によって検査結果にばらつきが生じ易く、検査精度の均一化を図り難いという問題がある他、検査作業の効率化にも限界があった。また、この検査手法に代えて、上記特許文献に開示されているように、三次元的な形状測定から製造形状の良否を検査する手法も考えられるが、この場合には、測定誤差が生じ易いという問題が生じる。なぜなら、測定状況によっては、重力や残留応力等が対象物に作用して、本来の誤差以上の変形が生じ得るからである。
【０００４】
本発明は、かかる事情に鑑みなされたものであり、その目的は、対象物に関する製造形状の良否検査を均一な精度で、かつ効率的に行うことである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
かかる課題を解決するために、第１の発明は、対象物の製造形状の良否をコンピュータを用いて行う検査方法を提供する。この検査方法は、対象物に関する設計上の設計形状を用いた構造解析を行うことによって、対象物の表面に予め設定された一つ以上の特徴点の座標を解析座標として算出する第１のステップと、検査用治具により支持された対象物を実測することにより得られる特徴点の測定座標を解析座標とを比較することによって、対象物に関する製造形状の良否を判定する第２のステップとを有する。第１のステップにおいて、構造解析の境界条件として、対象物の実測時における検査用治具を用いた対象物の支持状態が反映されている。
【０００６】
ここで、第１の発明において、検査用治具は、それぞれが対象物を点支持する複数の支持部を有するが好ましい。
【０００７】
また、第１の発明において、第２のステップは、測定座標と解析座標との誤差が、予め設定された判定値をよりも大きい場合に、製造形状が不良であると判定するステップを含むことが好ましい。
【０００８】
さらに、第１の発明において、所定のテストピースを処理対象として測定された測定座標と、テストピースを処理対象として算出された解析座標とに関する誤差を統計的に処理することによって、補正式を算出する第３のステップと、算出された補正式に基づいて、対象物を処理対象として算出された誤差を補正する第４のステップとをさらに有することが好ましい。この場合、第２のステップは、補正された誤差に基づいて、製造形状の良否を判定するステップであることが望ましい。
【０００９】
一方、第２の発明は、上述した第１の発明にかかる検査方法をコンピュータに実行させるためのコンピュータ・プログラムを提供する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、対象物の設計形状をベースに、検査用治具による対象物の支持状態を反映した上で、構造解析が行われる。これにより、この構造解析では、検査用治具により支持された状態において、対象物に作用する重力、残量応力等の影響が考慮される。解析により特定される対象物の形状的な変形は、原則として、検査用治具の支持状態に起因した変形となる。そのため、検査用治具により支持された対象物の特徴点の測定座標と、解析座標とを比較することにより、製造形状の良否を判定することが可能となる。この検査手法によれば、作業者によるマニュアル的な測定処理を行う必要がないので、検査精度の均一化と検査作業の効率化とを図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
図１は、本実施形態にかかる検査システムのブロック構成図である。この検査システム１は、コンピュータ１０、キーボードやマウス等の入力装置１１、ＣＲＴや液晶ディスプレイ等の表示装置１２および磁気ディスク等の記憶装置１３で構成されている。コンピュータ１０は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、入出力インターフェースを主体に構成されている。コンピュータ１０は、実際に製造された対象物Ｏの製造形状を、設計上の設計形状に基づいて検査する。
【００１２】
図２は、コンピュータ１０の機能的な構成を示すブロック図である。コンピュータ１０を機能的に捉えた場合、このコンピュータ１０は、解析部１０ａと、判定部１０ｂとを有する。解析部１０ａは、構造解析の境界条件として、対象物Ｏの製造形状を実測する際に用いられる治具の支持状態を反映した上で、対象物の設計形状を用いた構造解析を行う。この解析により、対象物Ｏの表面において予め設定された一つ以上の特徴点Ｐnにおける三次元座標の解析値（以下「解析座標」という）が算出される。判定部１１ｂは、治具により支持された対象物Ｏを実測することにより得られる特徴点Ｐnにおける三次元座標の実測値（以下「測定座標」という）を、構造解析によって算出された解析座標と比較する。そして、この比較結果に基づいて、対象物Ｏに関する製造形状の良否が判定される。
【００１３】
オペレータは、表示装置１２に表示された情報に基づき、入力装置１１を操作して、解析対象となる対象物Ｏの形状や数値の入力などを行う。記憶装置１３には、対象物Ｏの製造形状を検査するために必要な各種のデータベースが格納されているが、本実施形態では、測定座標データベース１３ａが重要になる。測定座標データベース１３ａは、対象物Ｏにおける特徴点Ｐnの測定座標が格納されており、解析対象となる対象物Ｏ毎に、個別の識別番号ｘが付された測定レコード群で構成されている。個々の測定レコードには、特徴点Ｐnを識別するための識別番号ｎと、該当する特徴点Ｐnにおける測定座標とが対応付けて記述されている。測定レコードに記述される各特徴点Ｐnの測定座標は、実際に製造ラインにより製造された対象物Ｏを対象として、三次元形状測定システム２０により予め測定されている。
【００１４】
三次元形状測定システム２０は、被測定物の測定点における三次元座標を非接触で検出することにより、対象物Ｏの形状を測定する。周知のように、三次元形状測定システム２０には、その測定原理により種々の手法が存在するが、本実施形態では、その一手法であるステレオ画像処理を用いている。ステレオ方式の三次元形状測定システム２０は、カメラ２１と、コンピュータ２２とを主体に構成されている。カメラ２１は、単眼式のカメラであり、このカメラ２１には、イメージセンサ（例えば、ＣＣＤまたはＣＭＯＳセンサ等）が内蔵されている。カメラ２１によって対象物Ｏを複数方向から撮像することにより得られる撮像画像は、コンピュータ２２に順次出力される。撮像対象となる対象物Ｏには、三次元座標の測定点（すなわち、特徴点Ｐn）に所定のマーキングが予め施されており、コンピュータ２２は、各撮像画像において特徴点Ｐnを抽出し、特徴点Ｐnが各撮像画像のどの位置に写っているかを特定する。この特徴点Ｐnは、例えば、バンパー（対象物Ｏ）のウィンカー周辺に設定するといったように、その位置を任意に決定することができる。つぎに、互いに対応する特徴点Ｐnが写し出された２枚の撮像画像を用いて、この特徴点Ｐnの測定座標が三角測量の原理に基づいて算出される。なお、三次元形状測定システム２０に関する詳細については、例えば、特開２０００−２０５８２１号公報に開示されているの必要ならば参照されたい。
【００１５】
図３は、検査用治具の概略斜視図である。この検査用治具３０は、三次元形状測定システム２０による測定座標の測定に際して対象物Ｏを支持する治具であり、台座部３１と、この台座部３１に設けられた一つ以上の支持部３２とを主体に構成されている。台座部３１は、個々の部材がスタンド状に組付けられており、対象物Ｏが実際に載置される支持部３２の基部となる。支持部３２は、ネジやボルト等によって台座部３１に摺動可能に取付けられており、上下方向（Ｚ軸方向）への変位が所定の摺動範囲内で許容されている。これにより、個々の支持部３２の上下方向変位、すなわち、高さ調節を行うことが可能になる。
【００１６】
台座部３１は、上板３３ａ、中板３３ｂ、下板３３ｃおよび支柱３４ａ，３４ｂで構成されている。天板に相当する上板３３ａは、所定の間隔だけ離間された一対の支柱３４ａによって支持されており、これらの支柱３４ａは、中板３３ｂの長手方向の端部近傍に固定的に取付けられている。支柱３４ａが取付けられた中板３３ｂは、その中心位置を支柱３４ｂによって支持されており、この支柱３４ｂは、中板３３ｂと長手方向が直交するように配置された下板３３ｃの中心位置に固定的に取付けられている。上板３３ａの四隅には、支持部３２が挿入される貫通孔３５がそれぞれ設けられている。
【００１７】
図４は、支持部３２の概略斜視図である。支持部３２は、支持パッド３６と、回転体３７と、支持ポール３８とで構成されている。支持パッド３６は、対象物Ｏと直接的に接触する部材であり、対象物Ｏの保護という観点から、ゴム等の弾性材料で形成されている。この支持パッド３６は、その上面（対象物Ｏとの接触面）が上方にラウンドした半球形状を有しており、その頂部が対象物Ｏと点接触する。また、支持パッド３６には、その下面に回転体３７が接合されており、支持パッド３６と回転体３７とが一体的に動作する。回転体３７の下面の中心には、半球状のディンプル３７ａが形成されている。支持ポール３８は、スプリング３８ａと、このスプリング３８ａの両端にそれぞれ接続される一対のパイプ３８ｂとで構成されている。このパイプ３８ｂは、その外径が上板３３ａの貫通孔３５の内径に対応しており、これにより、支持ポール３８が貫通孔３５に挿入可能で、かつ摺動可能になっている。一方、回転体３７側（図中上側）に位置するパイプ３８ｂには、その先端に、ディンプル３７ａに挿入可能な程度の大きさの球状部３８ｂ’が形成されている。この球状部３８ａ’は、ディンプル３７ａ内に挿入されており、回転体３７（およびこの回転体３７と一体の支持パッド３６）を支持する。このような、点接触型の支持構造によって、回転体３７は、ピッチ方向、ロール方向およびヨー方向の全方向へ回動可能となる。
【００１８】
検査用治具３０は、その構造上の特性により、以下に示すような長所を有する。第１に、この検査用治具３０は、対象物Ｏを、各支持部３２によって多点支持する。対象物Ｏに作用する重力や残留応力によって生じる対象物の変形を軽減するといった観点では、対象物Ｏの形状に応じて対象物Ｏを面的に（すなわち、その接触面積が大きくなるように）支持するように、検査用治具３０を構成することが有効となる。しかしながら、このケースでは、対象物Ｏの形状を考慮した構造とならざるを得ないので、検査用治具３０を様々な形状の対象物Ｏに対して汎用的に使用することが困難となる。この点、多点支持の検査用治具３０は、面的に支持する治具よりも対象物Ｏに対する形状的な制約が少ないので、様々な形状の対象物Ｏに汎用的に使用することができる。第２に、各支持部３２の上下方向の変位を相対的に調整することができるので、対象物Ｏの形状に応じて、各々の高さを独立して調整することができる。第３に、回転体３７を点支持構造とすることにより、回転体３７の自由な回動を許容することとなるので、支持パッド３６の上面角度が対象物Ｏの形状に応じて自動的に調整される。これにより、対象物Ｏの形状に拘わらず、各支持部３２による対象物Ｏの点支持が可能となる。第４に、支持ポール３８の中間に設けられたスプリング３８ａが上下方向に伸縮することにより、支持パッド３６の高さが、その伸縮範囲内において微調整可能となる。また、このスプリング３８ａは、上下方向のみならず、その弾性範囲において、左右方向（Ｙ方向）および前後方向（Ｘ方向）への支持パッド３６の変位も許容する。これにより、多様な形状の対象物Ｏに対する適応性が更に向上する。第５に、このスプリング３８ａにより、各支持部３２に対して荷重が分散される。そのため、対象物Ｏの特定位置に応力が集中し、対象物Ｏが破損するといった事態の発生を抑制することができるので、様々な形状の対象物Ｏに汎用的に使用することができる。
【００１９】
図５は、コンピュータを用いた検査方法の処理手順を示すフローチャートである。まず、ステップ１において、オペレータによる入力装置１１の操作に従い、検査対象となる対象物Ｏに関する情報が設定される。このステップ１において設定される情報としては、対象物Ｏの形状、対象物Ｏの材質等が挙げられる。
【００２０】
ステップ２において、対象物Ｏの設計上の設計形状に基づいて、構造解析が行われる。構造解析としては、例えば、有限要素法解析を用いることができる。有限要素法解析では、まず、対象物Ｏが、多数の「要素」と呼ばれる微小領域、例えば、多角形または多面体に分割される。そして、個々の微少領域に関して等価な数式モデルが作成され、これらのモデル群から全体の方程式を組み立てることにより、対象物Ｏに生じる物理量（例えば、変位など）が計算される。具体的には、第１のステップとして、対象物Ｏの形状を表す形状モデルが作成され、この形状モデルが有限要素モデルに変換される。この変換によって得られる有限要素モデルの各々には、三次元測定における検査用治具３０の支持状態が境界条件として反映された解析属性データが入力される。第２のステップとして、境界条件が反映された有限要素モデルを対象として、有限要素法による数値解析が行われ、各特徴点Ｐnの変位量が算出される。そして、この変位量と、特徴点Ｐnの初期座標位置とに基づいて、変位後の特徴点Ｐnの座標が解析座標として算出される。算出された解析座標は、特徴点Ｐnを識別するための識別番号ｎと対応付けられる。
【００２１】
ステップ３において、特徴点Ｐnに関する測定座標が読み込まれる。具体的には、測定座標データベース１３ａにおいて、検査対象となる対象物Ｏに付された識別番号ｘに関連付けられた測定レコードが検索され、抽出された測定レコードに記述された各特徴点Ｐnに関する測定座標が読み込まれる。そして、解析座標と測定座標とを比較すべく、各特徴点Ｐnを対象として、識別番号ｎによって関連付けられた両座標の位置的な誤差（すなわち距離）Ｄcalが算出される（ステップ４）。この距離Ｄcalを算出する場合、解析座標と測定座標との三次元座標系を一致させた上で距離Ｄcalを算出することが重要である。そのため、この距離Ｄcalは、解析座標と測定座標とにおける互いの座標系の原点位置を一致させた上で、或いは、原点座標の位置的なずれを考慮した上で、算出される。
【００２２】
ステップ４に続くステップ５において、三次元形状測定システム２０の測定時、或いは、解析時に生じる誤差等の影響を考慮し、距離Ｄcalの値が補正される。距離Ｄcalの補正値Ｄcal’は、以下に示す補正式に基づいて、一義的に算出される。
(数式１)
Ｄcal’＝Ｋ1×Ｄcal2＋Ｋ2×Ｄcal＋Ｋ3
【００２３】
同数式において、Ｋ1〜Ｋ3は、実験やシミュレーションを通じて得られる補正係数であり、具体的には、以下の手順に従って算出される。まず、変形が生じていない四角形（好ましくは、正方形）のテストピースを用いて、三次元形状測定システム２０により、基準点（例えば、テストピースの中心または角）の測定座標を取得する。同様に、上述した構造解析に基づいて、基準点の解析座標を取得する。つぎに、基準点の位置を変更しつつ、このような処理を繰返し行い、三点以上の基準点に関する測定座標および解析座標が取得される。そして、これらの基準点について、解析座標と測定座標との距離Ｄcal”が算出される。通常、三次元形状測定システム２０による測定誤差や構造解析による解析誤差が存在しない限り、測定座標と解析座標との位置は一致する（すなわち、距離Ｄcal”はその値が「０」となる）。そこで、基準点に関する距離Ｄcal”に基づいて、この距離Ｄcal”が「０」に補正されるような補正式（本実施形態では、二次式）の係数Ｋ1〜Ｋ3が算出される。換言すれば、テストピースを対象とした各測定座標と、テストピースを対象とした各解析座標とに関する誤差を統計的に処理することにより、補正式（数式１）が算出される。
【００２４】
ステップ６において、補正値Ｄcal’と判定値Ｄthとを比較することにより、両者の座標が位置的に対応しているか否か、すなわち、製造形状と設計形状とが対応しているか否かが判断される。この判定値Ｄthは、解析座標と測定座標とが実質的に同一と見なせる程度の距離Ｄcalの最大値として、予め実験やシミュレーションを通じて決定されている。両者Ｄcal’，Ｄthの比較において、特徴点Ｐnが複数箇所に設定されている場合には、各補正値Ｄcal’の平均値Ｄaveと、判定値Ｄthとを比較すればよい。なお、平均値Ｄaveを算出する以外にも、それぞれの特徴点Ｐnについて補正値Ｄcal’と判定値Ｄthとを比較し、判定値Ｄth以下となる補正値Ｄcal’の数が、例えば全特徴点Ｐnの過半数となった場合に、両者の座標が対応すると判断してもよい。
【００２５】
このステップ６において否定判定された場合、すなわち、補正値Ｄcal’が判定値Ｄthよりも大きい場合には、ステップ７に進む。そして、ステップ７において、製造形状が不良である旨の判定をオペレータに対して提示した後に、本ルーチンを抜ける。この場合、コンピュータ１０は、解析座標と測定座標とのずれの程度、すなわち、距離Ｄを表示装置１２に表示させる等の処理を行ってもよい。一方、このステップ６において肯定判定された場合、すなわち、距離Ｄが判定値Ｄth以下である場合には、上述したステップ７をスキップし、本ルーチンを抜ける。なお、この場合、製造形状が良好である旨の判定をオペレータに対して提示するなどの処理を行ってもよい。
【００２６】
このように本実施形態によれば、汎用性という観点から、対象物Ｏの三次元形状測定において、対象物Ｏを多点支持（本実施形態では、４点支持）する検査用治具３０が使用される。これにより、検査用治具３０を種々の対象物Ｏに対して共用化することができるので、対象物Ｏの形状に応じて個別の治具を用いる必要がなく、作業的・経済的な負担を軽減することができる。なお、共用化された検査用治具３０を用いた場合には、点支持という検査用治具３０の構造に起因して、重力等の影響により、対象物Ｏの形状が製造誤差以上に変形してしまう虞がある。この場合、単に、三次元形状測定システム２０により、その形状を測定したのみでは、その製造形状が設計形状からずれているか否かを判断することが困難となる。
【００２７】
これに対して、本実施形態では、設計形状をベースに検査用治具３０による支持状態を反映した上で、構造解析が行われる。すなわち、この構造解析には、検査用治具３０により支持された対象物Ｏ内の残量応力等の影響が考慮されており、その形状変形は、検査用治具３０の多点支持に起因した変形となる。そのため、特徴点Ｐnに関する測定座標と解析座標とを比較し、両者の座標が位置的な対応するか否かを判断することにより、対象物Ｏの製造形状の良否判定を有効に行うことができる。この検査手法によれば、マニュアル的な測定処理を行う必要がないので、検査精度の均一化と検査の効率化とを図ることができる。
【００２８】
また、本実施形態では、歪の生じていないテストピースを用いて、測定座標と解析座標とを算出し、これらを統計処理することにより、三次元形状測定システム２０（或いは、構造解析）において発生する誤差を補正する補正式が算出される。この補正式を用いて解析座標と測定座標との位置的な比較を行えば、両者の対応関係をより正確に行うことが可能となる。
【００２９】
なお、本実施形態では、解析座標と測定座標とを比較する際に、複数の特徴点Ｐnを用いて行ったが、両者の対比は少なくとも一点のみで行ってもよい。しかしながら、複数の特徴点に関する座標の比較を行うことで、特徴点Ｐnに多様性が確保されるので、より精度よく製造形状の良否を判定することができる。
【００３０】
また、本実施形態では、ステレオ画像処理を用いた三次元形状測定システム２０について説明したが、これ以外にも、レーザ光投影、スリット光投影、パターン光投影等の光学式の三次元形状測定システムを使用してもよい。この類のシステムでは、投影光によって対象物面上に特徴点が生成され、投影装置と観測装置との間で三角測量を行うことによって特徴点の三次元座標が算出される。なお、これらの手法の詳細については、特開２００１−３５６０１０号公報等に開示されているので、必要ならば参照されたい。
【００３１】
また、本実施形態では、三次元形状測定システム２０を検査システム１と別体構造としたが、本発明はこれに限定されるものではなく、三次元形状測定システム２０における測定座標算出処理をリアルタイムで実行してもよい。すなわち、検査システム１には、三次元形状測定システム２０がその構成要素として含まれることとなる。この場合、三次元形状測定システム２０のコンピュータ２２で担った処理を、カメラ２１によって撮像された情報に基づいて、コンピュータ１０で実行してもよい。
【００３２】
さらに、上述した実施形態の検査方法を実行するコンピュータが実行可能なプログラム自体も本発明の一部として機能する。当然ながらこのコンピュータ・プログラムを記録した記録媒体を、図１のような構成を有するシステムに対して供給してもよい。この場合、このシステム中のコンピュータ１０が、記録媒体に格納されたコンピュータ・プログラムを読み取り実行することによって、本発明の目的を達成することができる。コンピュータ・プログラム自体が本発明の新規な機能を実現するため、そのプログラムを記録した記録媒体も本発明を構成する。コンピュータ・プログラムを記録した記録媒体としては、例えば、ＣＤ−ＲＯＭ、フレキシブルディスク、ハードディスク、メモリカード、光ディスク、ＤＶＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＡＭ等が挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本実施形態にかかる検査システムのブロック構成図
【図２】コンピュータの機能的な構成を示すブロック図
【図３】検査用治具の概略斜視図
【図４】支持部の概略斜視図
【図５】コンピュータを用いた検査方法の処理手順を示すフローチャート
【符号の説明】
【００３４】
１  検査システム
１０  コンピュータ
１１  入力装置
１２  表示装置
１３  記憶装置
１３ａ  測定座標データベース
２０  三次元形状測定システム
２１  カメラ
２２  コンピュータ
３０  検査用治具
３１  台座部
３２  支持部
３３ａ  上板
３３ｂ  中板
３３ｃ  下板
３４ａ，３４ｂ  支柱
３５  貫通孔
３６  支持パッド
３７  回転体
３７ａ  ディンプル
３８  支持ポール
３８ａ  スプリング
３８ｂ  パイプ
【図１】
2005331452.tif 000003
【図２】
2005331452.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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