(57)【要約】【課題】低電圧駆動が可能で、かつ、振れ角（振幅）の大きい安価なアクチュエータの製造方法およびアクチュエータを提供すること。【解決手段】シリコンを主材料として構成された基体２の一方の面をエッチングすることにより、凹部２８、２９を形成する第１の工程と、基体２における凹部２８、２９に対応する部分をエッチングすることにより、第１の質量部２１、２２、第２の質量部２３、支持部２４、第１の弾性連結部２５、第２の弾性連結部２６を形成する第２の工程とを有する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の質量部と、第２の質量部と、支持部と、前記第１の質量部を前記支持部に対して回動可能とするように前記第１の質量部と前記支持部とを連結する少なくとも一対の第１の弾性連結部と、前記第２の質量部を前記第１の質量部に対して回動可能とするように前記第１の質量部と前記第２の質量部とを連結する少なくとも一対の第２の弾性連結部とを有し、交流電圧の印加により、前記第１の質量部が回動駆動され、この回動駆動に伴い前記第２の質量部が回動される２自由度振動系のアクチュエータの製造方法であって、
シリコンを主材料として構成された第１の基板の一方の面をエッチングすることにより、凹部を形成する第１の工程と、
前記第１の基板における前記凹部に対応する部分をエッチングすることにより、前記第１の質量部、前記第２の質量部、前記支持部、前記第１の弾性連結部、前記第２の弾性連結部を形成する第２の工程とを有することを特徴とするアクチュエータの製造方法。
【請求項２】
前記第２の工程の後に、前記第１の基板の前記凹部を覆うように、前記第１の基板に第２の基板を接合する第３の工程を有する請求項１に記載のアクチュエータの製造方法。
【請求項３】
前記第１の工程では、前記凹部を、前記第１の質量部および前記第２の質量部の回動を前記第２の基板が妨げない深さで形成する請求項２に記載のアクチュエータの製造方法。
【請求項４】
前記第３の工程に先立ち、前記第２の基板における、前記第１の質量部に対応する部位に、電極を設ける請求項２または３に記載のアクチュエータの製造方法。
【請求項５】
前記第２の工程に先立ち、前記第１の基板の他方の面に、他の凹部をエッチングにより形成する請求項２ないし４のいずれかに記載のアクチュエータの製造方法。
【請求項６】
前記他の凹部を覆うように、前記第１の基板に第３の基板を接合し、前記第１の基板と前記第２の基板および前記第３の基板との接合により、前記第１の質量部、前記第２の質量部、前記第１の弾性連結部、前記第２の弾性連結部を収容する気密空間を形成する請求項５に記載のアクチュエータの製造方法。
【請求項７】
前記第３の基板は、ガラスを主材料として構成されている請求項６に記載のアクチュエータの製造方法。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれかに記載の製造方法を用いて製造されたことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項９】
第１の質量部と、第２の質量部と、支持部と、前記第１の質量部が前記支持部に対して回動可能となるように前記第１の質量部と前記支持部とを連結する少なくとも一対の第１の弾性連結部と、前記第２の質量部が前記第１の質量部に対して回動可能となるように前記第１の質量部と前記第２の質量部とを連結する少なくとも一対の第２の弾性連結部とを有し、交流電圧の印加により、前記第１の質量部が回動駆動され、この回動駆動に伴い前記第２の質量部が回動される２自由度振動系のアクチュエータであって、
前記第１の質量部、前記第２の質量部、前記支持部、前記第１の弾性連結部、前記第２の弾性連結部は、シリコンを主材料として構成された基体に設けられており、
前記基体の少なくとも一方の面には、凹部が形成され、
前記基体における前記凹部に対応する部分に、前記第１の質量部、前記第２の質量部、前記第１の弾性連結部、前記第２の弾性連結部が設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項１０】
前記２自由度振動系は、前記第１の質量部を一対備え、
前記一対の第１の質量部の一方は、前記第２の質量部の一端側に設けられ、他方は、前記第２の質量部の他端側に設けられている請求項８または９に記載のアクチュエータ。
【請求項１１】
前記一方の第１の質量部の回動中心軸と、該一方の第１の質量部の前記回動中心軸に対して、ほぼ垂直な方向の端部との間の距離をＬ１とし、前記他方の第１の質量部の回動中心軸と、該他方の第１の質量部の前記回動中心軸に対して、ほぼ垂直な方向の端部との間の距離をＬ２とし、前記第２の質量部の回動中心軸と、該第２の質量部の前記回動中心軸に対して、ほぼ垂直な方向の端部との間の距離をＬ３としたとき、Ｌ１とＬ３とが、Ｌ１＜Ｌ３なる関係を満足し、かつ、Ｌ２とＬ３とが、Ｌ２＜Ｌ３なる関係を満足する請求項１０に記載のアクチュエータ。
【請求項１２】
前記距離Ｌ１と、前記距離Ｌ２とがほぼ等しい請求項１１に記載のアクチュエータ。
【請求項１３】
前記交流電圧の周波数が、前記第１の質量部と前記第２の質量部とが共振する２自由度振動系の共振周波数のうち低いものとほぼ等しくなるように設定されている請求項８なしし１２のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項１４】
前記第１の弾性連結部のばね定数をｋ１とし、前記第２の弾性連結部のばね定数をｋ２としたとき、ｋ１とｋ２とが、ｋ１＞ｋ２なる関係を満足する請求項８ないし１３のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項１５】
前記２自由度振動系は、前記第１の弾性連結部および前記第２の弾性連結部のうちの少なくとも一方が、その内部にピエゾ抵抗素子を備えている請求項８ないし１４のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項１６】
前記第１の質量部の慣性モーメントをＪ１とし、前記第２の質量部の慣性モーメントをＪ２としたとき、Ｊ１とＪ２とがＪ１≦Ｊ２なる関係を満足する請求項８ないし１５のいずれかに記載のアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクチュエータの製造方法およびアクチュエータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、レーザープリンタ等に用いられるアクチュエータとしてポリゴンミラー（回転多面体）が知られている。
しかし、このようなポリゴンミラーにおいて、より高解像度で品質のよい印字と高速印刷を達成するには、ポリゴンミラーの回転をさらに高速にしなければならない。
現在のポリゴンミラーには高速安定回転を維持するためにエアーベアリングが使用されているが、今以上の高速回転を得るのは困難となっている。また、高速にするためには、大型のモーターが必要であり、機器の小型化の面で不利であるという問題がある。
【０００３】
このようなポリゴンミラーを用いると、構造が複雑となり、コストが高くなるといった問題も生じる。
また、図１４に示すような、平行平板状に電極を配置した１自由度のねじり振動子は、その構造が簡単なことから、アクチュエータの研究初期から提案されている（例えば、非特許文献１参照）。また、前記ねじり振動子をカンチレバー方式とした１自由度静電駆動型振動子も提案されている（例えば、非特許文献２参照）。
【０００４】
図１４の１自由度静電駆動型ねじり振動子は、ガラス基板１０００上の両端部にスぺーサ１２００を介してシリコンの単結晶板からなる可動電極板１３００の両端固定部１３００ａを固定し、この可動電極板１３００の両端固定部１３００ａ間に、細巾のトーションバー１３００ｂを介して可動電極部１３００ｃを支持させ、また、その可動電極部１３００ｃに電極間隔を置いて対向させる固定電極１４００を、ガラス基板１０００上において前記可動電極部１３００ｃに対し平行配置している。可動電極板１３００と固定電極１４００との間にはスイッチ１６００を介して電源１５００が接続される。
【０００５】
前記構成を有するねじり振動子は、可動電極部１３００ｃと固定電極１４００との間に電圧を印加すると、静電引力によりトーションバー１３００ｂを軸として可動電極部１３００ｃが回転するものである。しかるに、静電引力は電極間隔の二乗に反比例するため、この種の静電アクチュエータにおいては電極間隔を小さくすることが望まれる。しかし、上述した１自由度の構造では、可動電極部１３００ｃが電極と可動部を兼ねるため、電極間隔を狭くすると変位（回転角）に制約が生じ、また可動範囲を大きくとるためには電極間隔を大きくする必要がある。このため、低電圧駆動と大振幅の両立が困難であるという問題がある。
【０００６】
【非特許文献１】K.E.Petersen:“Silicon Torsional Scanning Mirror”,IBMJ.Res.Develop.,vol.24(1980)、P.631
【非特許文献２】河村他：“Ｓｉを用いたマイクロメカニクスの研究”、昭和６１年度精密工学会秋季大会学術講演会論文集、P.753
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、低電圧駆動が可能で、かつ、振れ角（振幅）の大きい安価なアクチュエータの製造方法およびアクチュエータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明のアクチュエータの製造方法は、第１の質量部と、第２の質量部と、支持部と、前記第１の質量部を前記支持部に対して回動可能とするように前記第１の質量部と前記支持部とを連結する少なくとも一対の第１の弾性連結部と、前記第２の質量部を前記第１の質量部に対して回動可能とするように前記第１の質量部と前記第２の質量部とを連結する少なくとも一対の第２の弾性連結部とを有し、交流電圧の印加により、前記第１の質量部が回動駆動され、この回動駆動に伴い前記第２の質量部が回動される２自由度振動系のアクチュエータの製造方法であって、
シリコンを主材料として構成された第１の基板の一方の面をエッチングすることにより、凹部を形成する第１の工程と、
前記第１の基板における前記凹部に対応する部分をエッチングすることにより、前記第１の質量部、前記第２の質量部、前記支持部、前記第１の弾性連結部、前記第２の弾性連結部を形成する第２の工程とを有することを特徴とする。
【０００９】
これにより、第１の基板に形成された凹部により、第１の質量部および第２の質量部が振動（回動）し得る十分なスペースを確保することができる。また、前記凹部の形成により、第１の質量部および第２の質量部の低質量化が図られる。
このようなことから、得られるアクチュエータを、低電圧駆動が可能で、かつ、振れ角（振幅）が大きいものとすることができる。
さらには、シリコンを主材料として構成されている第１の基板は比較的安価であるので、製造コストの低減化を図ることもできる。
【００１０】
本発明のアクチュエータの製造方法では、前記第２の工程の後に、前記第１の基板の前記凹部を覆うように、前記第１の基板に第２の基板を接合する第３の工程を有することが好ましい。
これにより、第２の基板上に、第１の質量部および第２の質量部が振動（回動）し得るスペースが形成されることとなる。
【００１１】
本発明のアクチュエータの製造方法では、前記第１の工程では、前記凹部を、前記第１の質量部および前記第２の質量部の回動を前記第２の基板が妨げない深さで形成することが好ましい。
これにより、第２の基板が単なる板状であっても、第１の質量部および第２の質量部が振動（回動）し得るスペースを第２の基板上に形成することができる。
【００１２】
本発明のアクチュエータの製造方法では、前記第３の工程に先立ち、前記第２の基板における、前記第１の質量部に対応する部位に、電極を設けることが好ましい。
これにより、第２の基板に設けられた電極に交流電圧を印加することにより、第１の質量部を回動駆動させることができる。
本発明のアクチュエータの製造方法では、前記第２の工程に先立ち、前記第１の基板の他方の面に、他の凹部をエッチングにより形成することが好ましい。
これにより、第１の基板の両面に形成された凹部により、第１の基板の両側で、第１の質量部および第２の質量部が振動（回動）し得る十分なスペースを確保することができる。
【００１３】
本発明のアクチュエータの製造方法では、前記他の凹部を覆うように、前記第１の基板に第３の基板を接合し、前記第１の基板と前記第２の基板および前記第３の基板との接合により、前記第１の質量部、前記第２の質量部、前記第１の弾性連結部、前記第２の弾性連結部を収容する気密空間を形成することが好ましい。
これにより、アクチュエータの内部（凹部内）へゴミ等の異物が侵入するのを防止することができる。また、アクチュエータの内部（凹部内）を減圧状態とすることや、不活性ガス等を充填することにより、第１の質量部および第２の質量部が振動（回動）する際に生じる空気抵抗を低減して、より大きな触れ角が実現可能となる。
【００１４】
本発明のアクチュエータの製造方法では、前記第３の基板は、ガラスを主材料として構成されていることが好ましい。
これにより、第２の質量部の第３の基板側の面に反射鏡を設けることにより、アクチュエータを光スキャナとすることができる。
本発明のアクチュエータは、本発明の製造方法を用いて製造されたことを特徴とする。
これにより、低電圧駆動が可能で、かつ、振れ角（振幅）の大きい安価なアクチュエータを得ることができる。
【００１５】
本発明のアクチュエータは、第１の質量部と、第２の質量部と、支持部と、前記第１の質量部が前記支持部に対して回動可能となるように前記第１の質量部と前記支持部とを連結する少なくとも一対の第１の弾性連結部と、前記第２の質量部が前記第１の質量部に対して回動可能となるように前記第１の質量部と前記第２の質量部とを連結する少なくとも一対の第２の弾性連結部とを有し、交流電圧の印加により、前記第１の質量部が回動駆動され、この回動駆動に伴い前記第２の質量部が回動される２自由度振動系のアクチュエータであって、
前記第１の質量部、前記第２の質量部、前記支持部、前記第１の弾性連結部、前記第２の弾性連結部は、シリコンを主材料として構成された基体に設けられており、
前記基体の少なくとも一方の面には、凹部が形成され、
前記基体における前記凹部に対応する部分に、前記第１の質量部、前記第２の質量部、前記第１の弾性連結部、前記第２の弾性連結部が設けられていることを特徴とする。
これにより、低電圧駆動が可能で、かつ、振れ角（振幅）の大きい安価なアクチュエータを得ることができる。
【００１６】
本発明のアクチュエータでは、前記２自由度振動系は、前記第１の質量部を一対備え、
前記一対の第１の質量部の一方は、前記第２の質量部の一端側に設けられ、他方は、前記第２の質量部の他端側に設けられていることが好ましい。
これにより、より確実に、低電圧で駆動が可能で、かつ、振れ角（振幅）が大きいものとすることができる。
【００１７】
本発明のアクチュエータでは、前記一方の第１の質量部の回動中心軸と、該一方の第１の質量部の前記回動中心軸に対して、ほぼ垂直な方向の端部との間の距離をＬ１とし、前記他方の第１の質量部の回動中心軸と、該他方の第１の質量部の前記回動中心軸に対して、ほぼ垂直な方向の端部との間の距離をＬ２とし、前記第２の質量部の回動中心軸と、該第２の質量部の前記回動中心軸に対して、ほぼ垂直な方向の端部との間の距離をＬ３としたとき、Ｌ１とＬ３とが、Ｌ１＜Ｌ３なる関係を満足し、かつ、Ｌ２とＬ３とが、Ｌ２＜Ｌ３なる関係を満足することが好ましい。
これにより、より容易かつ確実に、低電圧駆動が可能で、かつ、振れ角（振幅）が大きいものとすることができる。
【００１８】
本発明のアクチュエータでは、前記距離Ｌ１と、前記距離Ｌ２とがほぼ等しいことが好ましい。
これにより、アクチュエータの制御が容易となり、さらに容易かつ確実に、低電圧駆動が可能で、かつ、振れ角（振幅）が大きいものとすることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記交流電圧の周波数が、前記第１の質量部と前記第２の質量部とが共振する２自由度振動系の共振周波数のうち低いものとほぼ等しくなるように設定されていることが好ましい。
これにより、低電圧で高速動作が可能で、かつ、振れ角（振幅）が大きいものとすることができる。また、このような構成とすることにより、第１の質量部の振幅を抑制しつつ、第２の質量部の回転角度（振れ角）を大きくすることができる。
【００１９】
本発明のアクチュエータでは、前記第１の弾性連結部のばね定数をｋ１とし、前記第２の弾性連結部のばね定数をｋ２としたとき、ｋ１とｋ２とが、ｋ１＞ｋ２なる関係を満足することが好ましい。
これにより、第１の質量部の振れ角（振幅）を抑制しつつ、第２の質量部の回転角度（振れ角）を大きくすることができる。
【００２０】
本発明のアクチュエータでは、前記２自由度振動系は、前記第１の弾性連結部および前記第２の弾性連結部のうちの少なくとも一方が、その内部にピエゾ抵抗素子を備えていることが好ましい。
これにより、例えば、回転角度および回転周波数を検出したりすることができ、また、その検出結果を、第２の質量部の姿勢の制御に利用することができる。
【００２１】
本発明のアクチュエータでは、前記第１の質量部の慣性モーメントをＪ１とし、前記第２の質量部の慣性モーメントをＪ２としたとき、Ｊ１とＪ２とがＪ１≦Ｊ２なる関係を満足することが好ましい。
これにより、第１の質量部の振幅を抑制しつつ、第２の質量部の回転角度（振れ角）を大きくすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明のアクチュエータの好適な実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
＜第１実施形態＞
まず、本発明のアクチュエータおよびその製造方法の第１実施形態について説明する。
図１は、本発明のアクチュエータの第１実施形態を示す平面図（内部透視図）、図２は、図１中のＡ−Ａ線断面図、図３は、図１に示すアクチュエータの電極の配置を示す平面図、図４は、印加する交流電圧の一例を示す図、図５は、印加した交流電圧の周波数と、第１の質量部および第２の質量部の共振曲線を示すグラフである。なお、以下では、説明の便宜上、図１および図３中の紙面手前側を「上」、紙面奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言い、図２中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
【００２３】
アクチュエータ１は、図１に示すような２自由度振動系を有する基体２を有しており、図２に示すように、この基体２の下部には、底部材３が接合され、また、基体２の上部には、光透過性の蓋部材４が接合されている。
すなわち、本実施形態のアクチュエータ１は、底部材３と蓋部材４との間で、後述する基体２の２自由度振動系が駆動されるようになっている。
【００２４】
基体２は、一対の第１の質量部（駆動部）２１、２２と、上面（後述する蓋部材４側の面）に光反射部２３１が設けられた第２の質量部（可動部）２３と、これらを囲む枠状の支持部２４とを備えている。
具体的には、基体２は、第２の質量部２３を中心として、その一端側（図１および図２中、左側）に第１の質量部２１が設けられ、他端側（図１および図２中、右側）に第１の質量部２２が設けられて構成されている。
【００２５】
また、本実施形態では、第１の質量部２１、２２は、互いにほぼ同一形状かつほぼ同一寸法をなし、第２の質量部２３を介して、ほぼ対称に設けられている。
さらに、基体２は、図１および図２に示すように、第１の質量部２１、２２と支持部２４とを連結する一対の第１の弾性連結部２５、２５と、第１の質量部２１、２２と第２の質量部２３とを連結する一対の第２の弾性連結部２６、２６とを備えている。
【００２６】
各第１の弾性連結部２５、２５および各第２の弾性連結部２６、２６は、同軸的に設けられており、これらを回動中心軸（回転軸）２７として、第１の質量部２１、２２が支持部２４に対して、また、第２の質量部２３が第１の質量部２１、２２に対して回動可能となっている。
このように、基体２は、第１の質量部２１、２２と第１の弾性連結部２５、２５とからなる第１の振動系と、第２の質量部２３と第２の弾性連結部２６、２６とからなる第２の振動系とを有する２自由度振動系を構成する。
【００２７】
このような２自由度振動系は、基体２の全体の厚さよりも薄く形成されているとともに、図２にて上下方向で基体２の中心に位置している。換言すれば、基体２には、基体２の全体の厚さよりも薄い部分（以下、薄肉部という）が形成されており、この薄肉部に異形孔が形成されることにより、第１の質量部２１、２２と第２の質量部２３と第１の弾性連結部２５、２５と第２の弾性連結部２６、２６とが形成されている。
【００２８】
前記薄肉部は、上方に開口せる凹部２８と、下方に開口せる凹部２９とが基体２に設けられることによって、基体２に形成されている。本実施形態では、凹部２８の深さと凹部２９の深さは、ほぼ同じになっている。
このような基体２は、シリコンを主材料として構成されていて、第１の質量部２１、２２と、第２の質量部２３と、支持部２４と、第１の弾性連結部２５、２５と、第２の弾性連結部２６、２６とが一体的に形成されている。これにより、（１）製作工程が少なくてすむので安価となる。（２）一体型なので亀裂などの故障を回避できる。（３）弾性体としての設計が容易となる。
【００２９】
底部材３は、例えば、各種ガラスやシリコン等を主材料として構成されている。
底部材３の上面には、図２および図３に示すように、第２の質量部２３に対応する部分に凹部３１が形成されている。
この凹部３１は、第２の質量部２３が回動（振動）する際に、底部材３に接触するのを防止する逃げ部を構成する。凹部（逃げ部）３１を設けることにより、アクチュエータ１全体の大型化を防止しつつ、第２の質量部２３の振れ角（振幅）をより大きく設定することができる。なお、凹部２９の深さが第２の質量部２３の振れ角（振幅）に対し大きい場合などには、凹部３１を設けなくともよい。
【００３０】
また、底部材３の上面には、図３に示すように、第１の質量部２１に対応する部分に、一対の電極３２が回動中心軸２７を中心にほぼ対称となるように設けられ、また、第１の質量部２２に対応する部分に、一対の電極３２が回動中心軸２７を中心にほぼ対称となるように設けられている。すなわち、本実施形態では、一対の電極３２が２組（合計４個）、設けられている。
【００３１】
第１の質量部２１、２２と各電極３２とは、図示しない電源に接続されており、第１の質量部２１、２２と各電極３２との間に交流電圧（駆動電圧）を印加できるよう構成されている。
なお、第１の質量部２１、２２は、各電極３２と対向する面に、それぞれ、絶縁膜（図示せず）が設けられている。これにより、第１の質量部２１、２２と各電極３２との間での短絡が発生するのが好適に防止される。
【００３２】
蓋部材４は、外部光を光反射部２３１に入射させ、光反射部２３１による反射光を外部に導出させる機能を有する。このため、蓋部材４は、平坦性に優れ、かつ、光透過性に優れた基板、例えば各種ガラス基板等で構成されている。
本実施形態のアクチュエータ１にあっては、基体２、底部材３、蓋部材４が気密空間を形成している。具体的には、凹部３１、凹部２８、２９が互いに連通しているとともに、これらが気密空間をなしている。このような気密空間内に、前述の第１の質量部２１、２２、第２の質量部２３、支持部２４、第１の弾性連結部２５、２５、第２の弾性連結部２６、２６が配されている。
【００３３】
このような構成により、Ｉ：第１の質量部２１、２２や第２の質量部２３の振動し得るスペースの確保が容易となる。
また、II：アクチュエータ１の内部（前記気密空間内）へゴミ等の異物が侵入するのを防止することができる。III：アクチュエータ１の内部（前記気密空間内）を減圧状態とすることや、不活性ガス等を充填することにより、第１の質量部２１、２２や第２の質量部２３が振動（回動）する際に生じる空気抵抗を低減して、より大きな角度での振動（回動）が可能となる。これらにより、アクチュエータ１を信頼性の高いものとすることができる。
【００３４】
さらに、IV：蓋部材４をエッチング等により加工して、第１の質量部２１、２２や第２の質量部２３が振動し得るスペースを確保することを要しないので、蓋部材４の表面（特に、凹部２８側の面）の平坦性が確保される（すなわち、表面の荒れが防止される）。これにより、蓋部材４において、入射光や反射光が散乱すること等により、損失するのが防止または低減され、その結果、アクチュエータ１では、高い反射率を得ることができる。
【００３５】
ここで、蓋部材４の表面の平坦性を示す指標には、各種のものがあるが、例えば、表面粗さ（ＪＩＳ  Ｂ  ０６０１に規定の中心線平均粗さ）Ｒａが好適に用いられる。
具体的には、蓋部材４の表面粗さＲａは、１μｍ以下であるのが好ましく、１００ｎｍ以下であるのがより好ましく、１ｎｍ〜１００ｎｍ程度であるのがさらに好ましい。表面粗さが前記上限値を超えて大きくなると、蓋部材４の構成材料や厚さ等によっては、入射光や反射光の損失が大きくなり、十分な反射率が得られないおそれがある。
【００３６】
また、凹部２８、２９の平均深さは、第１の質量部２１、２２や第２の質量部２３（アクチュエータ１）の寸法等に応じて適宜設定され、特に限定されないが、１〜２０００μｍ程度であるのが好ましく、５〜１０μｍ程度であるのがより好ましい。前記平均深さが薄過ぎると、各質量部２１、２２、２３と底部材３や蓋部材４との間隔を十分に確保することができず、各質量部２１、２２、２３の触れ角（変位角）を大きく設定するのが困難となる場合がある。一方、前記平均深さが厚過ぎると、各質量部２１、２２、２３と底部材３や蓋部材４との間隔が不必要に大きくなり、アクチュエータ１の大型化を招き好ましくない。
【００３７】
以上のような構成のアクチュエータ１は、次のようにして駆動する。
すなわち、第１の質量部２１、２２と各電極３２との間に、例えば、正弦波（交流電圧）等を印加する。具体的には、例えば、第１の質量部２１、２２をアースしておき、図３中上側の２つの電極３２に、図４（ａ）に示すような波形の電圧を印加し、図３中下側の２つの電極３２に、図４（ｂ）に示すような波形の電圧を印加する。すると、第１の質量部２１、２２と各電極３２との間に静電気力（クーロン力）が生じる。
【００３８】
この静電気力により、第１の質量部２１、２２が、各電極３２の方へ引きつけられる力が正弦波の位相により変化し、回動中心軸２７（第１の弾性連結部２５）を軸に、基体２の板面（図１における紙面）に対して傾斜するように振動（回動）する。
そして、この第１の質量部２１、２２の振動（駆動）に伴って、第２の弾性連結部２６を介して連結されている第２の質量部２３も、回動中心軸２７（第２の弾性連結部２６）を軸に、基体２の板面（図１における紙面）に対して傾斜するように振動（回動）する。
【００３９】
ここで、このアクチュエータ１では、前述したように、底部材３における、第２の質量部２３に対応する部分に、凹部３１が形成され、また、図２にて基体２の下面に凹部２９、上面に凹部２８が形成され、かつ、平面視で第１の質量部２１、２２が凹部２８、２９内に位置するように設けられている。
このような構成により、第２の質量部２３が振動し得るスペース、および、第１の質量部２１、２２が振動し得るスペースとして、大きなスペースが確保されている。したがって、第１の質量部２１、２２の質量を比較的小さく設定すること等により、第１の質量部２１、２２を大きな振れ角で振動させた場合や、さらに第２の質量部２３が共振によって大きな振れ角で振動した場合でも、各質量部２１、２２、２３（２自由度振動系）が底部材３および蓋部材４に接触することを好適に防止することができる。
【００４０】
このため、このようなアクチュエータ１を、例えば光スキャナに適用した場合には、より解像度の高いスキャニングを行うことが可能となる。
ここで、第１の質量部２１の回動中心軸２７に対して、ほぼ垂直な方向（長手方向）の端部２１１との間の距離（長さ）をＬ１とし、第１の質量部２２の回動中心軸２７に対して、ほぼ垂直な方向（長手方向）の端部２２１との間の距離（長さ）をＬ２とし、第２の質量部２３の回動中心軸２７に対して、ほぼ垂直な方向の端部２３２との間の距離（長さ）をＬ３としたとき、本実施形態では、第１の質量部２１、２２が、それぞれ独立して設けられているため、第１の質量部２１、２２と、第２の質量部２３とが干渉せず、第２の質量部２３の大きさ（長さＬ３）にかかわらず、Ｌ１およびＬ２を小さくすることができる。これにより、第１の質量部２１、２２の回転角度（振れ角）を大きくすることができ、第２の質量部２３の回転角度を大きくすることができる。
【００４１】
また、Ｌ１およびＬ２を小さくすることにより、第１の質量部２１、２２と各電極３２との間の距離を小さくすることができ、これにより、静電気力が大きくなり、第１の質量部２１、２２と各電極３２に印加する交流電圧を小さくすることができる。
ここで、第１の質量部２１、２２および第２の質量部２３の寸法は、それぞれ、Ｌ１＜Ｌ３かつＬ２＜Ｌ３なる関係を満足するよう設定されるのが好ましい。
【００４２】
前記関係を満たすことにより、Ｌ１およびＬ２をより小さくすることができ、第１の質量部２１、２２の回転角度をより大きくすることができ、第２の質量部２３の回転角度をさらに大きくすることができる。
この場合、第２の質量部２３の最大回転角度が、２０°以上となるように構成されるのが好ましい。
【００４３】
また、このように、Ｌ１およびＬ２を小さくすることにより、第１の質量部２１、２２と各電極３２との間の距離をより小さくすることができ、第１の質量部２１、２２と各電極３２に印加する交流電圧をさらに小さくすることができる。
これらによって、第１の質量部２１、２２の低電圧駆動と、第２の質量部２３の大回転角度での振動（回動）とを実現することができる。
【００４４】
このため、このようなアクチュエータ１を、例えばレーザープリンタや、走査型共焦点レーザー顕微鏡等の装置に用いられる光スキャナに適用した場合には、より容易に装置を小型化することができる。
なお、前述したように、本実施形態では、Ｌ１とＬ２とはほぼ等しく設定されているが、Ｌ１とＬ２とが異なっていてもよいことは言うまでもない。
【００４５】
ところで、このような質量部２１、２２、２３よりなる振動系（２自由度振動系）では、第１の質量部２１、２２および第２の質量部２３の振幅（振れ角）と、印加する交流電圧の周波数との間に、図５に示すような周波数特性が存在している。
すなわち、かかる振動系は、第１の質量部２１、２２の振幅と、第２の質量部２３の振幅とが大きくなる２つの共振周波数ｆｍ１［ｋＨｚ］、ｆｍ３［ｋＨｚ］（ただし、ｆｍ１＜ｆｍ３）と、第１の質量部２１、２２の振幅がほぼ０となる、１つの反共振周波数ｆｍ２［ｋＨｚ］とを有している。
【００４６】
この振動系では、第１の質量部２１、２２と電極３２との間に印加する交流電圧の周波数Ｆが、２つの共振周波数のうち低いもの、すなわち、ｆｍ１とほぼ等しくなるように設定するのが好ましい。これにより、第１の質量部２１、２２の振幅を抑制しつつ、第２の質量部２３の振れ角（回転角度）を大きくすることができる。
なお、本明細書中では、Ｆ［ｋＨｚ］とｆｍ１［ｋＨｚ］とがほぼ等しいとは、（ｆｍ１−１）≦Ｆ≦（ｆｍ１＋１）の条件を満足することを意味する。
【００４７】
第１の質量部２１、２２の平均厚さは、それぞれ、１〜１５００μｍであるのが好ましく、１０〜３００μｍであるのがより好ましい。
第２の質量部２３の平均厚さは、１〜１５００μｍであるのが好ましく、１０〜３００μｍであるのがより好ましい。
第１の弾性連結部２５のばね定数ｋ１は、１×１０−４〜１×１０４Ｎｍ/ｒａｄであるのが好ましく、１×１０−２〜１×１０３Ｎｍ/ｒａｄであるのがより好ましく、１×１０−１〜１×１０２Ｎｍ/ｒａｄであるのがさらに好ましい。これにより、第２の質量部２３の回転角度（振れ角）をより大きくすることができる。
【００４８】
一方、第２の弾性連結部２６のばね定数ｋ２は、１×１０−４〜１×１０４Ｎｍ/ｒａｄであるのが好ましく、１×１０−２〜１×１０３Ｎｍ/ｒａｄであるのがより好ましく、１×１０−１〜１×１０２Ｎｍ/ｒａｄであるのがさらに好ましい。これにより、第１の質量部２１、２２の振れ角を抑制しつつ、第２の質量部２３の振れ角をより大きくすることができる。
【００４９】
また、第１の弾性連結部２５のばね定数ｋ１と第２の弾性連結部２６のばね定数をｋ２とは、ｋ１＞ｋ２なる関係を満足するのが好ましい。これにより、第１の質量部２１、２２の振れ角を抑制しつつ、第２の質量部２３の回転角度（振れ角）をより大きくすることができる。
さらに、第１の質量部２１、２２の慣性モーメントをＪ１とし、第２の質量部２３の慣性モーメントをＪ２としたとき、Ｊ１とＪ２とは、Ｊ１≦Ｊ２なる関係を満足することが好ましく、Ｊ１＜Ｊ２なる関係を満足することがより好ましい。これにより、第１の質量部２１、２２の振れ角を抑制しつつ、第２の質量部２３の回転角度（振れ角）をより大きくすることができる。
【００５０】
ところで、第１の質量部２１、２２と第１の弾性連結部２５、２５とからなる第１の振動系の固有振動数ω１は、第１の質量部２１、２２の慣性モーメントＪ１と、第１の弾性連結部２５のばね定数ｋ１とにより、ω１＝（ｋ１／Ｊ１）１／２によって与えられる。一方、第２の質量部２３と第２の弾性連結部２６、２６とからなる第２の振動系の固有振動数ω２は、第２の質量部２３の慣性モーメントＪ２と、第２の弾性連結部２６のばね定数ｋ２とにより、ω２＝（ｋ２／Ｊ２）１／２によって与えられる。
【００５１】
このようにして求められる第１の振動系の固有振動数ω１と第２の振動系の固有振動数ω２とは、ω１＞ω２なる関係を満足するのが好ましい。これにより、第１の質量部２１、２２の振れ角を抑制しつつ、第２の質量部２３の回転角度（振れ角）をより大きくすることができる。
なお、本実施形態の振動系は、一対の第１の弾性連結部２５および一対の第２の弾性連結部２６のうち少なくとも１つが、その内部にピエゾ抵抗素子を備えたものであるのが好ましい。これにより、例えば、回転角度および回転周波数を検出したりすることができ、また、その検出結果を、第２の質量部２３の姿勢の制御に利用することができる。
このようなアクチュエータ１は、例えば、次のようにして製造することができる。
図６〜図９は、それぞれ、第１実施形態のアクチュエータの製造方法を説明するための図（縦断面図）である。なお、以下では、説明の便宜上、図６〜図９中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
【００５２】
［Ａ１］  まず、図６（ａ）に示すように、第１の基板たるシリコン基板５を用意する。
そして、図６（ｂ）に示すように、シリコン基板５の両方の面に、フォトレジストを塗布し、露光、現像を行う。これにより、図６（ｂ）に示すように、支持部２４の形状に対応するように、レジストマスク６を形成する。
次に、このレジストマスク６を介して、シリコン基板５の両方の面をエッチングした後、レジストマスク６を除去する。これにより、図６（ｃ）に示すように、支持部２４に対応する部分以外の領域に凹部５１が形成される（第１の工程）。なお、その際、エッチングは、シリコン基板５の両面に対して、同時に行ってもよいし、片面ずつ行ってもよい。シリコン基板５に対し片面ずつエッチングを行う場合には、後述の金属マスク７を形成する側の一方の面のエッチングと、他方の面のエッチングとの先後はどちらでも構わない。
【００５３】
エッチング方法としては、例えば、プラズマエッチング、リアクティブイオンエッチング、ビームエッチング、光アシストエッチング等の物理的エッチング法、ウェットエッチング等の化学的エッチング法等のうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。なお、以下の各工程におけるエッチングにおいても、同様の方法を用いることができる。
【００５４】
次に、シリコン基板５の一方の面に、図７（ｄ）に示すように、支持部２４と各質量部２１、２２、２３との形状に対応するように、例えば、アルミニウム等により金属マスク７を形成する。
次に、金属マスク７を介して、シリコン基板５の一方の面側を、前記凹部５１に対応する部分が貫通するまでエッチングする（第２の工程）。
【００５５】
そして、金属マスク７を除去した場合、この後、第２の質量部２３上に金属膜を成膜し、光反射部２３１を形成する。
なお、ここで、シリコン基板５をエッチングを行った後、金属マスク７は除去してもよく、除去せずに残存させてもよい。金属マスク７を除去しない場合、第２の質量部２３上に残存した金属マスク７は光反射部２３１として用いることができる。
【００５６】
金属膜の成膜方法としては、真空蒸着、スパッタリング（低温スパッタリング）、イオンプレーティング等の乾式メッキ法、電解メッキ、無電解メッキ等の湿式メッキ法、溶射法、金属箔の接合等が挙げられる。なお、以下の各工程における金属膜の成膜においても、同様の方法を用いることができる。
以上の工程により、図７（ｅ）に示すように、各質量部２１、２２、２３および支持部２４が一体的に形成された構造体、すなわち基体２が得られる。
【００５７】
［Ａ２］  次に、図８（ｆ）に示すように、底部材３を形成するための第２の基板たるシリコン基板９を用意する。なお、シリコン基板９に代えて、ガラス基板等でもよい。
そして、シリコン基板９の一方の面に、凹部３１を形成する領域を除いた部分に対応するように、例えば、アルミニウム等により金属マスクを形成する。
次に、この金属マスクを介して、シリコン基板９の一方の面側をエッチングした後、金属マスクを除去する。これにより、図８（ｇ）に示すように、凹部３１が形成された底部材３が得られる。
【００５８】
次に、底部材３上に、図８（ｈ）に示すように、電極３２を形成する。
電極３２は、底部材３の凹部３１が形成された面に金属膜を成膜し、電極３２の形状に対応するマスクを介して金属膜をエッチングを行った後、マスクを除去することにより形成することができる。
次に、図９（ｉ）に示すように、前記工程［Ａ１］で得られた構造体の基体２と底部材３とを、例えば直接接合等により接合して接合体を得る（第３の工程）。なお、シリコン基板９に代えて、ガラス基板を用いた場合には、基体２と底部材３とを陽極接合により接合する。
【００５９】
［Ａ３］  次に、図９（ｊ）に示すように、前記工程［Ａ２］で得られた接合体と第３の基板たる蓋部材４（好ましくはガラス基板）とを、例えば陽極接合等により接合する。
以上のようにして、第１実施形態のアクチュエータ１が製造される。
このような製造方法では、基体２が、高価なＳＯＩ基板を用いることなく、シリコンを主材料とする安価なシリコン基板５のみから製造されるので、安価にアクチュエータ１を得ることができる。
【００６０】
また、第１の基板５（基体２）に凹部５１（凹部２９）を形成することで、各質量部２１、２２、２３と底部材３との接触を防止するとともに、各質量部２１、２２、２３の低質量化が図られるので、駆動電圧の低電圧化、および、各質量部２１、２２、２３の高周波数化を図ることができる。
また、第１の基板５（基体２）に凹部５１（凹部２８）を形成することで、蓋部材４を加工することなく基体２に接合するので、蓋部材４の表面の平坦性を確保することができる。これにより、蓋部材４において、入射光や反射光が散乱すること等により、損失するのが防止または低減され、その結果、アクチュエータ１では、高い反射率を得ることができる。
【００６１】
また、凹部２８の形成工程や、基体２と蓋部材４との接合工程は、蓋部材４をエッチング等より加工する工程よりも簡易に行うことができる工程である。また、凹部２８の深さを設定することにより、第１の質量部２１、２２および第２の質量部２３と蓋部材４との間隔を所望のものに容易に設定することができる。したがって、前述したような製造方法によれば、アクチュエータ１の製造工程の簡易化を図ることができる。
【００６２】
＜第２実施形態＞
次に、本発明のアクチュエータの第２実施形態について説明する。
図１０は、第２実施形態のアクチュエータを示す縦断面図である。なお、以下では、説明の便宜上、図１０中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
【００６３】
以下、第２実施形態のアクチュエータについて、前記第１実施形態のアクチュエータとの相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第２実施形態のアクチュエータ１は、凹部２８を基体２’とスペーサ２４１とで形成している以外は、前記第１実施形態のアクチュエータ１と同様である。
すなわち、図１０に示す基体２’は、各質量部２１、２２、２３の上面と支持部２４’の上面とが同一面上に位置し、支持部２４’の形状に対応する枠状のスペーサ２４１が支持部２４の上面に接合されることにより、凹部２８が形成されている。
【００６４】
このような第２実施形態のアクチュエータ１によっても、前記第１実施形態のアクチュエータと同様の作用・効果が得られる。
また、このようなアクチュエータ１は、基体２の上面の凹部形成のための工程を省略し、スペーサ２４１の形成、スペーサ２４１と基体２との接合のための工程を行う以外は、前述の第１実施形態と同様の方法によって、製造することができる。
【００６５】
＜第３実施形態＞
次に、本発明のアクチュエータの第３実施形態について説明する。
図１１は、本発明のアクチュエータの第３実施形態を示す平面図（内部透視図）である。なお、以下では、説明の便宜上、図１１中の紙面手前側を「上」、紙面奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
【００６６】
以下、第３実施形態のアクチュエータについて、前記第１実施形態のアクチュエータとの相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第３実施形態のアクチュエータ１は、支持部２４と、第１の質量部２１、２２と、第２の質量部２３との連結構造が異なり、それ以外は、前記第１実施形態のアクチュエータ１と同様である。
【００６７】
すなわち、図１１に示すように、第１の質量部２１、２２が支持部２４に二対の第１の弾性連結部２５’を介して連結され、また、第２の質量部２３が第１の質量部２１、２２に二対の第２の弾性連結部２６’を介して連結されている。
このような第３実施形態のアクチュエータ１によっても、前記第１実施形態のアクチュエータと同様の作用・効果が得られる。
【００６８】
特に、本実施形態においては、第１の質量部２１、２２および第２の質量部２３を、それぞれ、二対の弾性連結部を介して連結することにより、より確実に第２の質量部２３の振幅（回転）を制御することができる。
なお、本実施形態のように、二対の第１の弾性連結部２５’と二対の第２の弾性連結部２６’を有する場合、前記実施形態で説明したばね定数ｋ１、ｋ２は、ほぼ同じ位置で連結している２つの弾性連結部を一体的なものとみなして求められるものである。
また、このようなアクチュエータ１は、基体２’’の製造工程において、第１の弾性連結部２５’と第２の弾性連結部２６’の形状が前述したような形状をなしている以外は、前述の第１実施形態と同様の方法によって、製造することができる。
【００６９】
＜第４実施形態＞
次に、本発明のアクチュエータの第４実施形態について説明する。
図１２は、本発明のアクチュエータの第４実施形態を示す平面図（内部透視図）である。なお、以下では、説明の便宜上、図１２中の紙面手前側を「上」、紙面奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
【００７０】
以下、第４実施形態のアクチュエータについて、前記第１実施形態のアクチュエータとの相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第４実施形態のアクチュエータ１は、電磁力（ローレンツ力）により駆動するように構成され、それ以外は、前記第１実施形態のアクチュエータ１と同様である。
すなわち、図１２に示すアクチュエータ１は、支持部２４に絶縁膜（図示せず）を介して設けられた４つの端子１０と、第１の質量部２１、２２の上面（蓋部材４側の面）に設けられたコイル２０と、第１の質量部２１、２２を介して弾性連結部（回動中心軸２７）を中心に対向（ほぼ対称に）配置された一対の永久磁石４０とを有している。
【００７１】
一対の永久磁石４０は、Ｓ極とＮ極とが互いに向かい合うように、底部材３の上面に取り付けられている。
また、コイル２０の端部は、端子１０と接続されている。
端子１０は、図示せぬ電源に接続されており、コイル２０に交流電圧を印加できるようになっている。
【００７２】
このアクチュエータ１では、コイル２０に交流電圧を印加すると、コイル２０（第１の質量部２１、２２）と永久磁石４０との間で電磁力が生じ、その電磁力によって、第１の質量部２１、２２が回動（駆動）し、この第１の質量部２１、２２の駆動に伴って、第２の質量部２３が回動（駆動）する。
このような第４実施形態のアクチュエータ１によっても、前記第１実施形態のアクチュエータと同様の作用・効果が得られる。
【００７３】
＜第５実施形態＞
次に、本発明のアクチュエータの第５実施形態について説明する。
図１３は、本発明のアクチュエータの第５実施形態を示す平面図（内部透視図）である。なお、以下では、説明の便宜上、図１３中の紙面手前側を「上」、紙面奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
【００７４】
以下、第５実施形態のアクチュエータについて、前記第１実施形態のアクチュエータとの相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第５実施形態のアクチュエータ１は、ピエゾアクチュエータにより駆動するように構成され、それ以外は、前記第１実施形態のアクチュエータ１と同様である。
すなわち、図１３に示すアクチュエータ１は、第１の質量部２１、２２の上面（蓋部材４側の面）の端部に、それぞれ、１つのピエゾアクチュエータ（圧電素子を備えたアクチュエータ）４００が設けられている。
【００７５】
このアクチュエータ１では、ピエゾアクチュエータ４００の駆動により、第１の質量部２１、２２にひずみ（伸縮）が生じ、そのひずみによって、第２の質量部２３を回動（駆動）する。
このような第５実施形態のアクチュエータ１によっても、前記第１実施形態のアクチュエータと同様の作用・効果が得られる。
【００７６】
特に、本実施形態においては、ピエゾアクチュエータ４００を第１の質量部２１、２２に設けたことにより、電極３２が不要になり、生産コストを下げることができる。また、電極３２を不要とすることにより、凹部３１の左右方向での寸法を、第１の質量部２１、２２に対応する位置にまで大きくすることができる。これにより、第１の質量部２１、２２の回転角度をより大きくすることができる。
【００７７】
また、本実施形態では、第１の質量部２１、２２に、１つの（１層の）ピエゾアクチュエータ４００を設けたが、これに限らず、例えば、バイモルフ型ピエゾアクチュエータ（２層構造のピエゾアクチュエータのうち、一方のピエゾアクチュエータを圧縮方向に振動させ、他方のピエゾアクチュエータを伸長方向に振動させる撓み振動を生じさせるアクチュエータ）等の２つ（２層）以上のピエゾアクチュエータを設けてもよい。
【００７８】
なお、本実施形態では、ピエゾアクチュエータ４００を第１の質量部２１、２２の上面の端部にそれぞれ設けたが、これに限らず、例えば、第１の質量部２１、２２の上面の全面に設けてもよいし、第１の質量部２１、２２の下面（底部材３２側の面）の端部または全面に設けてもよい。
以上説明したようなアクチュエータ１は、例えば、レーザープリンタ、バーコードリーダー、走査型共焦点レーザー顕微鏡等の光スキャナ、イメージング用ディスプレイ等に好適に適用することができる。
【００７９】
以上、本発明のアクチュエータについて、図示の各実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。
例えば、本発明のアクチュエータは、前記第１〜第５実施形態のうちの任意の２以上の構成を組み合わせるようにしてもよい。
また、本発明のアクチュエータでは、各部の構成は、同様の機能を発揮する任意の構成のものに置換することができ、また、任意の構成を付加することもできる。
【００８０】
また、前述した実施形態では、第１の弾性連結部を一対または二対有するものとして説明したが、これに限定されず、例えば、三対以上であってもよい。
また、前述した実施形態では、第２の弾性連結部を一対または二対有するものとして説明したが、これに限定されず、例えば、三対以上であってもよい。
また、前述した実施形態では、光反射部２３１が第２の質量部２３の蓋部材３３側の面に設けられている構成について説明したが、例えば、その逆の面に設けられている構成であってもよいし、両方の面に設けられている構成であってもよい。
【００８１】
また、前述した第１〜第３実施形態では、底部材３上に電極３２が設けられている構成について説明したが、底部材３と第１の質量部２１、２２の両方に設けられていてもよい。
また、前述した第１〜第３実施形態では、第１の質量部２１、２２に対応する位置に、それぞれ一対の電極３２を設けたが、これに限らず、それぞれ、電極３２を１つ、もしくは３つ以上設けてもよい。
【００８２】
なお、第１の質量部２１、２２に対応する位置に、それぞれ１つの電極３２を設けた場合は、例えば、オフセット電圧を加えた、最小電位がグランド電位である正弦波（交流電圧）等を印加するのが好ましい。
また、前述した実施形態では、第１の弾性連結部および第２の弾性連結部の形状として図示の構成のものについて説明したが、これに限定されず、例えば、その形状が、クランク形状等であってもよいし、分岐した構造を有するものであってもよい。
【００８３】
また、前述した第１〜第３実施形態では、第１の質量部２１、２２の電極３２と対向する面に、短絡防止用の絶縁膜が設けられている構成について説明したが、例えば、このような絶縁膜は、電極３２の表面に設けられていてもよいし、両方に設けられていてもよい。
また、前述した第４実施形態では、コイル２０が第１の質量部２１、２２の蓋部材４側の面に設けられている構成について説明したが、例えば、その逆の面に設けられていてもよいし、第１の質量部２１、２２の内部に設けられているものであってもよい。
また、前述した実施形態では、第１の質量部が一対で設けられる構成のものであったが、第１の質量部は、第２の質量部を囲むように設けられる構成のものであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８４】
【図１】本発明のアクチュエータの第１実施形態を示す平面図である。
【図２】図１中のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】図１に示すアクチュエータの電極の配置を示す平面図である。
【図４】印加する交流電圧の一例を示す図である。
【図５】印加した交流電圧の周波数と、第１の質量部および第２の質量部の共振曲線を示すグラフである。
【図６】第１実施形態のアクチュエータの製造方法を説明するための図である。
【図７】第１実施形態のアクチュエータの製造方法を説明するための図である。
【図８】第１実施形態のアクチュエータの製造方法を説明するための図である。
【図９】第１実施形態のアクチュエータの製造方法を説明するための図である。
【図１０】本発明のアクチュエータの第２実施形態を示す縦断面図である。
【図１１】本発明のアクチュエータの第３実施形態を示す平面図である。
【図１２】本発明のアクチュエータの第４実施形態を示す平面図である。
【図１３】本発明のアクチュエータの第５実施形態を示す平面図である。
【図１４】従来のアクチュエータを説明するための図である。
【符号の説明】
【００８５】
１……アクチュエータ  ２……基体  ２１、２２……第１の質量部  ２１１、２２１……端部  ２３……第２の質量部  ２３１……光反射部  ２３２……端部  ２４……支持部  ２４１……スペーサ  ２５、２５’……第１の弾性連結部  ２６、２６’……第２の弾性連結部  ２７……回動中心軸  ２８、２９……凹部  ３……底部材  ３１……凹部  ３２……電極  ４……蓋部材  ５……シリコン基板  ５１……凹部  ６……レジストマスク  ７……金属マスク  ９……シリコン基板  １０……端子  ２０……コイル  ４０……永久磁石  ４００……ピエゾアクチュエータ  １２００……スペーサ  １３００……可動電極板  １３００ａ……両端固定部  １３００ｂ……トーションバー  １３００ｃ……可動電極部  １４００……固定電極  １５００……電源  １６００……スイッチ  Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３……距離
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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