(57)【要約】 【構成】  ＦＦＵ１２からダクト１４を介してラック１０へクリーンエアを供給するクリーンルーム用の自動倉庫において、ＦＦＵ１２当たりに複数の吹き出し口を設ける。また吹き出し口は自動倉庫の支柱の付近に設ける。【効果】  吹き出し口からの気流が横方向に流れて互いに衝突し、吹き出し口と吹き出し口の間で静圧が増し、ラックからダクトへの逆流を防止できる。支柱の付近ではラックからダクトへの逆流が生じるが、支柱で逆流を妨げることができる。【選択図】    図１
2005231774.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ラックの背面にダクトを設けて、クリーンエアの供給源からダクトを介して前記ラック内へクリーンエアを供給するようにした自動倉庫において、
前記クリーンエアの供給源当たりで、複数のクリーンエアの吹き出し口を設けたことを特徴とする、クリーンルーム用の自動倉庫。
【請求項２】
前記クリーンエアの供給源としてフィルタファンユニットを複数設け、かつフィルタファンユニット間に、１フィルタファンユニット内での吹き出し口以上の間隔を空けて配置することを特徴とする、請求項１のクリーンルーム用の自動倉庫。
【請求項３】
前記クリーンエアの供給源を自動倉庫の支柱と支柱との間に配置し、かつ前記吹き出し口を前記支柱寄りに設けたことを特徴とする、請求項１または２のクリーンルーム用の自動倉庫。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明はダクトからラックへクリーンエアを供給するようにしたクリーンルーム用の自動倉庫に関し、特にラックからダクトへの逆流を防止することに関する。
【背景技術】
【０００２】
クリーンルーム用の自動倉庫として、ラックの背面にダクトを設け、ラックの下部に設けたＦＦＵ（フィルタファンユニット）から吹き出すクリーンエアをラック内へ供給するものが用いられている。特許文献１は、クリーンルーム用の自動倉庫ではクリーンエアの吹き出し口の近くでラックへのクリーンエアの供給量が不足することを開示し、その対策としてＦＦＵからの吹き出し口に整流部材を設けることを提案している。
【０００３】
発明者らは、ラックの底部にＦＦＵを設けたクリーンルーム用の自動倉庫について、ダクトからラックへ吹き込むクリーンエアの風速（図７）と、ダクトの上方への風速（図８）とを測定した。またＦＦＵの運転周波数は６０Ｈｚ，５０Ｈｚ，４０Ｈｚの３種類とした。ラックの最下段ではラックからダクトへの逆流が生じており、これ以外にラックの上部にクリーンエアの供給が集中している（図７）。一方ダクト内の風速は、予想通りに、高さが増すほど小さくなる（図８）。
【０００４】
発明者らはこれらのことから、ダクト内の風速が高い部分で静圧が低下し、ラックからダクトへの逆流が生じ、また風速が小さいラックの上部で静圧が増し、必要以上のクリーンエアが供給されていることを確認した。さらに発明者らは、自動倉庫の大型化に伴ってクリーンエアの風速を増すと、これらの現象がより顕著になることも確認した。
【特許文献１】特許第２５０５３９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
この発明の課題は、ラックからダクトへの逆流を防止することにある。
請求項２の発明での追加の課題は、クリーンエアをより均一に供給し、かつＦＦＵの数を少なくすることにある。
請求項３の発明での追加の課題は、支柱を利用して保管物品の汚染をより確実に防止することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明は、ラックの背面にダクトを設けて、クリーンエアの供給源からダクトを介して前記ラック内へクリーンエアを供給するようにしたクリーンルーム用の自動倉庫において、前記クリーンエアの供給源当たりで、複数のクリーンエアの吹き出し口を設けたことを特徴とする。
【０００７】
クリーンエアの供給源はフィルタ部とファンとを分離して設けても良いが、例えばＦＦＵ（フィルタファンユニット）を用い、好ましくは、前記クリーンエアの供給源としてフィルタファンユニットを複数設け、かつフィルタファンユニット間に、１フィルタファンユニット内での吹き出し口以上の間隔を空けて配置する。ＦＦＵの設置個所は、例えばラックの底部などとすると、自動倉庫の上部などに設けても良い。
【０００８】
また好ましくは、前記クリーンエアの供給源を自動倉庫の支柱と支柱との間に配置し、かつ前記吹き出し口を前記支柱寄りに設ける。
【発明の効果】
【０００９】
この発明では、クリーンエアの供給源当たりで複数の吹き出し口を設けるので、吹き出し口から横方向に流れる気流が生じる。このためラック背面の例えば鉛直視で吹き出し口と吹き出し口との間に対応する位置で、横方向の気流が衝突して静圧が増し、ラックからダクトへの逆流を防止できる。  
【００１０】
請求項２の発明では、ＦＦＵ間に隙間を設けるので、例えば鉛直視でこの隙間に重なる位置では左右のＦＦＵからの気流が衝突して静圧が増し、充分にダクトからラックへクリーンエアを供給できる。もちろん、ＦＦＵ内の吹き出し口と吹き出し口との間に例えば鉛直視で対応する位置でも、左右のＦＦＵからの気流が衝突して静圧が増し、ダクトからラックへ逆流せずにクリーンエアを供給できる。そしてラックのクリーン度を低下させずに、ＦＦＵの数を減らすことができる。
【００１１】
請求項３の発明では、ＦＦＵの自動倉庫の支柱寄りの位置でクリーンエアを吹き出す。このため静圧の低下する位置は支柱の付近となり、支柱で逆流を防止でき、また仮に逆流が生じてもその位置をラック内の物品から離れた支柱寄りの位置にでき、保管する物品の汚染をより確実に防止できる。  
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。
【実施例】
【００１３】
図１〜図６に、実施例のクリーンルーム用の自動倉庫２と、変形例のクリーンルーム用の自動倉庫４２，５２とを示す。なお変形例のクリーンルーム用の自動倉庫４２，５２は、特に指摘した点以外は、実施例のクリーンルーム用の自動倉庫２と同様である。これらの図において、４は走行スペースで、走行レール６を敷設し、スタッカークレーン８などの搬送装置を走行させる。走行スペース４の例えば左右両側に一対のラック１０，１０を設けて、その底部などにＦＦＵ（フィルタファンユニット）１２を配置する。ここではフィルタとファンとが一体のＦＦＵ１２とするが、フィルタとファンとは別体にしてもよい。
【００１４】
ラック１０，１０の背面、即ち走行スペース４とは反対側に、ダクト１４，１４を設け、その外側は通気性の無い外壁１６，１６で覆われている。またラック１０とダクト１４との間には、パンチングメタルなどの図示しない整流板が設けてある。１８は自動倉庫２の天井で、自動倉庫２はクリーンルーム内に設けても良く、クリーンルーム以外の建屋内に設けても良い。またスタッカークレーン８などの搬送装置を設ける代わりに、固定の移載装置を設けて、その後ろ側にラックを設けても良い。
【００１５】
ＦＦＵ１２の背面の支柱２２寄りの部分に、言い換えるとＦＦＵ１２の背面の水平方向で両端付近に、例えば一対の吹き出し口２０，２１を設ける。吹き出し口２０，２１の間には隙間を空けて、自動倉庫２の支柱２２寄りの部分で、クリーンエアがＦＦＵ１２から吹き出すようにする。各図の白抜き矢印でクリーンエアの流れを示し、ラック１０内を通過して走行スペース４からＦＦＵ１２へと回収される気流を黒抜きの矢印で示す。２３は走行スペース４寄りの支柱で、２４は棚受けである。また吹き出し口２０，２１からの気流の向きは、例えばＦＦＵ１２の背面に直角であるが、僅かに傾けても良い。
【００１６】
図３に、実施例の自動倉庫２の特性を模式的に示す。ＦＦＵ１２の１台当たり一対の吹き出し口２０，２１を設けたので、吹き出し口２０，２１から吹き出したクリーンエアは横方向に広がりながら、ラック１０の下部から上部へと流れる。なおこの明細書では、ＦＦＵ１２の上面の位置をダクト１４やラック１０の高さの原点（高さ０）とする。そこでＦＦＵ１２に近いラック１０の下部の棚で見ると、吹き出し口の付近では流速が大きく、吹き出し口と吹き出し口の間では、左右一対の吹き出し口からのクリーンエアが衝突して流速が小さくなる。
【００１７】
流速が小さくなると図３の下部の破線に示すように静圧が増し、これに伴ってダクトからラック内へクリーンエアが供給される。吹き出し口２０，２１の位置は支柱２２寄りに設けてあるので、物品２６の背面中央部付近では、吹き出し口２０，２１からの気流が衝突して静圧が増し、クリーンエアが供給される。また吹き出し口２０，２１の付近で逆流が発生したとしても、物品２６からやや離れた場所で、しかも支柱２２の側なので影響は少ない。高さ位置が増すと、吹き出し口２０，２１の上部でも、それ以外の位置でも、ダクト１４内の上方への気流がほぼ一定に近づき、それに伴って静圧もほぼ一定に近づいていく。
【００１８】
図４に、ＦＦＵ１２を間隔を空けて配置した変形例を示す。図１〜図３のクリーンルーム用の自動倉庫２では、ラック１０の連毎にＦＦＵ１２を設けたが、図４のクリーンルーム用の自動倉庫４２では例えば１連置きにＦＦＵ１２を設ける。他の点では図１〜図３の実施例と同様である。ＦＦＵ１２を設けていない連では、左右の連からのクリーンエアの流れが衝突し、これによって静圧が増し、十分にクリーンエアを供給することができる。ＦＦＵ１２を設けていない連の上部でも、例えばラック１０の高さが４ｍ程度であれば、高さによらずほぼ均一にクリーンエアを供給できる。ＦＦＵ１２を設けた連でも、一対の吹き出し口２０，２１からのクリーンエアが衝突することにより、連の中央部付近でクリーンエアが十分に供給される。
【００１９】
図５のクリーンルーム用の自動倉庫５２では、吹き出し口２０，２１の上部での逆流をさらに確実に防止する。この変形例では、吹き出し口２０，２１の上部に邪魔板５４を設ける。邪魔板はラック１０の背面からダクト１４へ例えば水平面内で突き出した板状の部材で、水平面内から傾けて配置したり、あるいはＬ字状の部材などとしても良い。邪魔板５４を設けると、その箇所でラック１０の背面に沿った流速が低下し、これに伴って静圧が増して、逆流を防止できる。図５の変形例では、ＦＦＵ１２の１台当たり一対の吹き出し口２０，２１を設けることと、吹き出し口２０，２１の上部に邪魔板５４を設けることとにより、ラックに対して均一にクリーンエアを供給する。
【００２０】
図７に示したように、従来例の自動倉庫では、ラックの上部に必要以上のクリーンエアが供給されている。そこで邪魔板５４を間隔を空けて複数枚配置し、ラック１０の下部では密に、上部では疎に配置すると、ラック全体に対してさらに均一にクリーンエアを供給できる。この場合、１番下の邪魔板、あるいは下から２枚目までの邪魔板などは、吹き出し口２０，２１の上部のみに設け、それよりも上の邪魔板は、吹き出し口２０，２１の上部に限らず、吹き出し口２０，２１の間のスペースの上部にも設けることが好ましい。言い換えると、ラックの下部１／４〜１／５程度の部分に設ける邪魔板で、吹き出し口２０，２１の上部での逆流を防止し、それより上に設ける邪魔板で、ラックの背面付近での流速を低下させて、クリーンエアの供給がラックの最上部に偏らないようにする。
【００２１】
実施例や変形例では以下の効果が得られる。
(1)  ラックからダクトへの逆流を防止できる。
(2)  ＦＦＵを間隔をおいて設けてＦＦＵの数を減らすことができ、しかもＦＦＵとＦＦＵとの間のスペースでは静圧を高めてクリーンエアを均一に供給できる。
(3)  吹き出し口を支柱に近づけると逆流を支柱で防止でき、支柱と支柱との間の物品の背面にクリーンエアを供給できる。
(4)  邪魔板を設けると吹き出し口の上方での逆流を防止でき、また邪魔板をラックの下部では密に、上部では疎に設けると、ラックの下部から上部まで均一にクリーンエアを供給できる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】実施例のクリーンルーム用の自動倉庫の、ＦＦＵの直上部での水平方向断面図
【図２】実施例のクリーンルーム用の自動倉庫を示す鉛直方向断面図
【図３】実施例の特性図で、支柱間の位置とクリーンエアの流速と静圧との関係を、吹き出し口の付近の高さと、自動倉庫の上部の位置の２つの高さについて示す。
【図４】ＦＦＵを１連おきに間隔を空けて配置した変形例のクリーンルーム用の自動倉庫の、ＦＦＵ直上部での要部水平方向断面図
【図５】ＦＦＵの付吹き出し口の上部に邪魔板を設けた変形例のクリーンルーム用の自動倉庫の、ＦＦＵ直上部での要部水平方向断面図
【図６】図５の変形例での、吹き出し口の上部でのクリーンエアの流速と静圧の分布を示す特性図
【図７】従来例での、ダクトからラックへの吹き出し口における、クリーンエアの流速分布を示す特性図
【図８】従来例での、ダクト内のラック寄りの部分における上方へのクリーンエアの流速分布を示す特性図
【符号の説明】
【００２３】
２，４２，５２    クリーンルーム用の自動倉庫
４                走行スペース
６                走行レール
８                スタッカークレーン
１０              ラック
１２              ＦＦＵ（フィルタファンユニット）
１４              ダクト
１６              外壁
１８              天井
２０，２１        吹き出し口
２２，２３        支柱
２４              棚受け
２６              物品
５４              邪魔板
【図１】
2005231774.tif 000003
【図２】
2005231774.tif 000004
【図３】
2005231774.tif 000005
【図４】
2005231774.tif 000006
【図５】
2005231774.tif 000007
【図６】
2005231774.tif 000008
【図７】
2005231774.tif 000009
【図８】
2005231774.tif 000010