(57)【要約】【課題】  オゾン発生装置で原料ガスに添加する触媒ガス等の微小流量添加において、運転開始直後や触媒ガスの添加開始時のオゾン濃度が低下することなく立ち上がり、速やかに所定のオゾン濃度が得られる微小流量添加方法の提供。【解決手段】  酸素ガスに混合する窒素ガス配管の配管長を極端に短くすることに着目し、例えば通常はメインの直線状配管に流量が多い酸素ガスを流して添加側の窒素ガスをバイパス配管から供給するが、これを逆に使用することで窒素ガス添加開始時のオゾン濃度の立ち上がりに要する時間を短くすることができ、窒素ガス配管の流量調整器(MFC)の下流にストップ弁を設けると、ガス供給開始時に瞬間的に大量の窒素ガスを供給して窒素ガスを供給しないときもMFCを制御状態に保つことでも達成できる。【選択図】        図2
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
作動流ガスに所定の微小流量の添加ガスを添加して主配管又は作用室あるいはその両方に作動流ガスと添加ガスとの混合ガスを流す微小流量添加方法であり、混合ガス用主配管(作用室)の上流側に添加ガス用配管を直線状に接続し、前記添加ガス用配管の終端と主配管との間に基本ガス用配管をバイパス接続し、前記バイパス接続点から添加ガス用配管に設ける流量調整器又はストップ弁までの配管長さを、基本ガス用配管に設ける流量調整器又はストップ弁までの該配管長さより短くして、添加ガスを添加した際の混合比率の変動を防止する微小流量添加方法。
【請求項２】
主配管又は作用室の下流側にオートプレッシャレギュレータと主ストップ弁を順に配置して、該レギュレータの下流が滅圧あるいは該レギュレータで調整される圧力が低い場合にガス供給側のストップ弁とともに同期して主ストップ弁を閉鎖し、経路内ガス圧を一定に保持する請求項1に記載の微小流量添加方法。
【請求項３】
主配管又は作用室の下流側にオートプレッシャレギュレータが配置され、添加ガス用配管に流量調整器とその下流にストップ弁が設けられ、添加ガス供給開始時に必要量以上の添加ガスを供給し、添加ガスを供給しない際もその流量調整器を制御状態に保持して、流量調整器の二次側圧力を一次側圧力まで高めて経路内ガス圧を運転時の設定圧力よりも高く保持する請求項1に記載の微小流量添加方法。
【請求項４】
主配管又は作用室の下流側にオートプレッシャレギュレータが配置され、添加ガス用配管に流量調整器が設けられ、作動流ガスの停止時にも添加ガスが供給されて、その流量調整器の一次側圧力又は運転時の設定圧力よりも高い圧力で保持して経路内ガス圧を一定に保持する請求項1に記載の微小流量添加方法。
【請求項５】
作動流ガスに所定の微小流量の添加ガスを添加して主配管又は作用室あるいはその両方に作動流ガスと添加ガスとの混合ガスを流す微小流量添加方法に使用する装置であり、混合ガス用主配管(作用室)の上流側に添加ガス用配管を直線状に接続し、前記添加ガス用配管の終端と主配管との間に基本ガス用配管をバイパス接続し、前記バイパス接続点から添加ガス用配管に設ける流量調整器又はストップ弁までの配管長さを、基本ガス用配管に設ける流量調整器又はストップ弁までの該配管長さより短くした微小流量添加装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、オゾン発生装置で原料となる酸素ガスに微小量添加する触媒ガス等の微小流量添加に関し、触媒ガスの添加時のオゾン濃度の立ち上がりをリニアできかつ触媒ガスを極微小量添加でも安定的に添加可能な微小流量添加方法とその装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
オゾン発生装置は、オゾンが持つ殺菌、脱色、脱臭力を利用して上下水処理施設、パルプ漂白処理施設などに利用される他、半導体デバイスの製造においては、半導体ウェーハや液晶用ガラス基板などの各種基板上への酸化膜の形成、基板上のレジストのアッシング、基板洗浄等にオゾンガスが用いられている。
【０００３】
半導体デバイスの製造に使用されるオゾンガスとしては、低不純物であることが必須で、高純度の酸素ガスを原料ガスとして放電式のオゾン発生装置に供給して生成したものが、通常使用されている。
【０００４】
原料ガスとして高純度の酸素ガスのみを使用した場合、オゾンガスのオゾン濃度がオゾン発生開始から経時的に低下し、安定オゾン濃度が初期オゾン濃度に比べて非常に低くなり、またその安定オゾン濃度も不安定になるという問題がある。
【０００５】
このオゾン濃度の変動対策として、高純度の酸素ガスに微量の触媒ガス、例えば高純度の窒素ガスを添加することが行われている。また、オゾン発生装置の放電セル自体を改良することが提案されている。
【特許文献１】特開平11-278809
【特許文献２】特開2001-172005
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
オゾンガスを生成する場合、原料となる酸素ガスに窒素ガスを添加することで発生効率が向上し、オゾン濃度の安定に寄与することは上述のとおりである。しかし、オゾンガス生成時には同時に窒素酸化物が副生成物として発生し、この窒素酸化物はコンタミネーションの発生やプロセスヘの悪影響の要因となる。また窒素酸化物の中でもN2Oは熱分解やウォータートラップなどでは除去できず、そのまま環境へ排出されるため、排出基準を超えるという問題を生じる。
【０００７】
この窒素酸化物の生成量は同じオゾン濃度である場合、窒素添加率に相関があることが判明している。従って、悪影響を及ばす窒素酸化物の生成量を低減させるためには窒素添加率を極限まで低下させる必要がある。
【０００８】
そこで、窒素添加率を極限まで低減した状態で運転を行うと、一度極端にオゾン濃度が低下する症状が発生し、その後、ある一定の時間を経たあとに徐々にオゾン濃度が本来発生する濃度にまで回復するという新たなオゾン濃度の変動の問題が生じることが分かった。
【０００９】
この発明は、オゾン発生装置で原料ガスに微小量添加する触媒ガス等の微小流量添加において、運転開始直後や触媒ガスの添加開始時のオゾン濃度が低下することなく立ち上がり、速やかに所定のオゾン濃度が得られ、触媒ガスを極微小量添加する場合でも安定的に添加可能な微小流量添加方法とその装置の提供を目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
発明者らは、オゾン発生装置で運転開始直後や触媒ガスの添加開始時の発生させたオゾン濃度の立ち上がりを向上させることを目的に、ガスフロー回路について種々検討した結果、酸素ガスに混合する窒素ガス配管の配管長を極端に短くすることに着目し、例えば通常はメインの直線状配管に流量が多い酸素ガスを流して添加側の窒素ガスをバイパス配管を使用するが、これを逆に使用することで前記目的を達成できることを知見した。
【００１１】
また、発明者らは、オートプレッシャレギュレータ(APR)をオゾン発生装置の下流に設置し、ガス圧力を一定に制御することに着目し、
(1)例えば、APRの下流が滅圧あるいは設定圧力よりも低い場合は、出流れが発生して圧力が低下するためAPRのすぐ下流にストップ弁を設置し、供給側のストップ弁の制御と同期させるか、
(2)あるいは、窒素ガス配管の流量調整器(MFC)の下流にストップ弁を設け、ガス供給開始時に瞬間的に大量の窒素ガスを供給し、窒素ガスを供給しないときもMFCを制御状態に保ち、MFC二次側の圧力をMFC一次側の圧力まで高めるか、
(3)さらには、窒素ガス用MFCの下流にストップ弁を設けずに運転停止時にも窒素ガスを供給し続け、窒素ガスMFCの一次側のガス圧力、あるいは運転時の設定圧力よりも高い圧力で保持することにより、前記目的を達成できることを知見し、この発明を完成した。
【００１２】
すなわち、この発明は、流量の大半を占める作動流ガスに所定の微小流量の添加ガスを添加して主配管又は作用室あるいはその両方に作動流ガスと添加ガスとの混合ガスを流す微小流量添加方法であり、混合ガス用主配管(作用室)の上流側に添加ガス用配管を直線状に接続し、前記添加ガス用配管の終端と主配管との間に基本ガス用配管をバイパス接続し、前記バイパス接続点から添加ガス用配管に設ける流量調整器又はストップ弁までの配管長さを、基本ガス用配管に設ける流量調整器又はストップ弁までの該配管長さより短くして、添加ガスを添加した際の混合比率の変動を防止することを特徴とする微小流量添加方法と装置である。
【００１３】
また、この発明は、上記構成の微小流量添加方法において、
主配管又は作用室の下流側にオートプレッシャレギュレータと主ストップ弁を順に配置して、該レギュレータの下流が滅圧あるいは該レギュレータで調整される圧力が低い場合にガス供給側のストップ弁とともに同期して主ストップ弁を閉鎖し、経路内ガス圧を一定に保持する方法、
主配管又は作用室の下流側にオートプレッシャレギュレータが配置され、添加ガス用配管に流量調整器とその下流にストップ弁が設けられ、添加ガス供給開始時に必要量以上の添加ガスを供給し、添加ガスを供給しない際もその流量調整器を制御状態に保持して、流量調整器の二次側圧力を一次側圧力まで高めて経路内ガス圧を運転時の設定圧力よりも高く保持する方法、
主配管又は作用室の下流側にオートプレッシャレギュレータが配置され、添加ガス用配管に流量調整器が設けられ、作動流ガスの停止時にも添加ガスが供給されて、その流量調整器の一次側圧力又は運転時の設定圧力よりも高い圧力で保持して経路内ガス圧を一定に保持する方法、
を併せて提案する。
【発明の効果】
【００１４】
この発明によると、オゾン発生装置の場合、原料となる酸素ガスに触媒ガスを微小量添加する際、触媒ガスの添加時の発生オゾン濃度が低下することなく早い立ち上がりを得ることが可能であり、かつ触媒ガスを極微小量添加する運転でも安定的に添加することが可能となる。
【００１５】
また、この発明によると、オゾン発生装置の場合、従来は酸素ガス及び触媒ガス供給、放電開始の順に行うため、大気圧状態から所要のオゾン濃度出力までに十数分以上を要していたが、これが1分程度で安定作動でき、さらに配管長さを短くできる集合配管を併用した場合は数秒で安定作動する作用効果が得られる。
【００１６】
この発明は、実施例のオゾン発生装置の原料ガス供給配管のみならず、他のガス種や各種の流体制御装置の場合であっても同様に適用でき、主作動ガスに対して種々のガスを安定的に微小流量添加することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
一般的な配管系統図は、図1に示すとおり、酸素ガス用の直線配管1が放電セル10に対して直線的に接続され、酸素ガス供給元にガス流量を制御するMFC(流量調整器)2が設置され、その後に供給停止制御および逆流防止のためストップ弁3が設置される。また、窒素ガス用の添加配管4は、供給元側にガス流量を制御するMFC5が設置され、その後にストップ弁6が設置され、屈曲配管7が前記直線配管1のストップ弁3と放電セル10の間の接続部8に接続されている。
【００１８】
ストップ弁3,6を出た後の接続部8より下流部9で酸素ガスと窒素ガスは混合され、放電セル10に供給される。放電セル10の後には同部のガス圧力を調整するためのオートプレッシャレギュレータ(APR)11が設置され、最終出口にはストップ弁12が設置される。
【００１９】
なお、一般的な配管系統図において、APRに換えて手動で調整を行うニードル弁あるいはCv値が固定のオリフィスが用いられ、出口のストップ弁は、生成されたオゾンガスの消費装置の入口のエアオペ弁で代用されることもある。
【００２０】
上記の放電式オゾン発生装置の場合、オゾンガスの生成に窒素ガスが添加されない場合は極端にオゾン濃度が低下する。微量の窒素ガスを添加する場合、その量が微量であるが故にガスの圧力の挙動や配管長の影響が大きくなり問題となる。
【００２１】
オゾンガスを効率よく生成する場合、放電部のガス圧力を加圧状態にする必要があり、ガスの供給ラインは当然その上流にあり、加圧状態になる。過剰な供給圧力に対して対策として、運転停止時の弁の操作は供給側を先に閉し、出力側を後で閉めることが通常である。
【００２２】
従って、運転停止中のガス圧力は運転時よりも低い状態になり、極端な場合では大気圧や減圧状態になる。この状態でガスの供給を開始すると同時にガス圧力が上昇し始める。このときの圧力上昇に寄与するのは酸素ガスであり、窒素ガスは微量であるため無視できる量である。そこで、窒素ガスの流量制御を行うMFC5から酸素ガス配管1に合流する間のストップ弁6や屈曲配管7部内は逆流する酸素ガスで満たされることになる。
【００２３】
この状態で窒素ガスを供給すると、放電セル10に流れるガスは当初の間は逆流した酸素ガスが供給されるために100%酸素ガスであり、窒素ガスのストップ弁6から酸素ガスと合流するまでの屈曲配管7が窒素で満たされたときに初めて設定した窒素添加率の混合ガスになる。
【００２４】
従って、設定した窒素添加率の混合ガスになるまでの間に放電を開始すると、最初は低いオゾン濃度しか出力することができず、窒素添加率が徐々に上昇するに従いオゾン濃度も上昇する。窒素添加率が設定された値まで上昇したときに初めてオゾン濃度が高い値で安定することになる。
【００２５】
一方、一度減圧された状態からガスを供給した場合、ガス圧力は一定の時間をかけて設定値にまで上昇する。この時間は管内容積とガス流量および設定するガス圧力によって異なる。また、オートプレッシャレギュレータを使用した場合はガス圧力が設定値に至るまでフルクローズの状態になるため、圧力の上昇は早いが、ニードル弁あるいはオリフィスを使用した場合には、圧力に依存した流量が排出されるため圧力の上昇は遅くなる。
【００２６】
一般に圧力が設定値に到達するまでの時間は、オートプレッシャレギュレータを使用した場合は数秒であるが、ニードル弁あるいはオリフィスを使用した場合には数十秒、管内容積が大きくまたガス流量が少ない場合は数百秒程度必要になることが知られている。
【００２７】
かかる配管系統図で、窒素添加率が極端に少ない場合、ガス圧力の上昇に寄与するのは酸素ガスである。従って図1のストップ弁6から酸素ガスと合流するまでの屈曲配管7には本来窒素ガスで満たされている状態であるはずが、酸素ガスが逆流するために該当する配管内のほとんどが酸素ガスに置き換わることになる。
【００２８】
従って、窒素ガスの供給当初は、窒素ガスの代わりに酸素ガスを供給していることになり、実際の窒素添加率は設定した添加率をはるかに下回り、目的のオゾン濃度が得られない状況になる。
【００２９】
この現象は、屈曲配管7の配管長が長い場合にはより顕者に表れる。配管が太い場合も管内容積が増えるため同じである。また、装置停止時間が長いと、同部に充満していた窒素ガスは拡散してほとんどが酸素ガスになってしまう。
【００３０】
そこで、配管を短くすることを考え、例えば配管にφ6.35×φ4.35mm径のものを用いた場合、図1の構成で極力短く配管施工を行うと、ストップ弁6と接続部8までの屈曲配管7が約15cm程度となる。弁と配管を一体化したモジュール型の集合配管(IGS)を採用すると、同部長さは約5cm程度に短縮できる。
【００３１】
この発明では、図2に示すごとく、図1とは逆に、放電セル10に接続するメインの直線状配管に添加側である、窒素ガス導入用の直線配管20を設けて、供給元側にガス流量を制御するMFC21が設置され、その後にストップ弁22が設置され、流量が多い酸素ガスはバイパス配管24を使用し、供給元側にガス流量を制御するMFC25が設置され、その後にストップ弁26が設置され、屈曲配管27が前記直線配管20のストップ弁22と放電セル10の間の接続部23に接続されている。
【００３２】
図2に示すこの発明の配管構成では、屈曲配管27は酸素ガス供給用であり、その窒素ガス導入用の直線配管20のストップ弁22と接続部23との間の配管は、通常ユニットを用いても最小限の4cm程度にすることができ、さらに先の集合配管(IGS)を採用すると、同部長さは約1cm程度となる。従って、配管長は、通常ユニット比で1/3に、また、集合配管(IGS)比で1/5に短縮することが可能になる。
【００３３】
ここで、窒素ガス導入用の集合配管(IGS)の流路の内径をφ4からφ2mmに変更することで、前記ストップ弁22と接続部23との間の配管の管内容積をさらに1/4にすることができる。
【００３４】
従って、同じ流量で窒素ガスを供給した場合、窒素添加率が設定値になるまでの時間は、ストップ弁の容量を含め拡散を無視すると約1/12.7に改善される。設定圧力が0.2MPaの場合は大気圧換算すると体積は3倍になるため、より顕著に短縮することが可能になる。ガスの供給開始と放電開始の間に一定時間の間隔をとることで、放電後のオゾン濃度の低下を防ぐことができるが、管内容積を縮小すれば間隔を短くすることが可能になる。
【００３５】
図2の配管構成で、MFC21下流のストップ弁22からAPR11までの管内容積が300cm3程度、酸素ガス流量が10 l/min、放電セル10の設定圧力を0.2MPaとした場合、ストップ弁22から接続部23間に酸蒸ガスが逆流する時間は大気圧状態からでは3.6秒、0 1MPa封入されている状態からでは1.8秒が必要になる。
【００３６】
オートプレッシャレギュレータAPRを使用せずにニードル弁あるいはオリフィスを使用した場合、大気圧状態からは約60秒必要である。この間は窒素ガス用ストップ弁22は閉じておく必要がある。このストップ弁22が開いていると、さらにMFC21二次側まで酸素ガスが逆流するためである。ただし、この場合でも窒素ガス用のMFC21一次側の圧力は高いため、MFC21一次側まで酸素ガスが逆流することはない。
【００３７】
ガス圧力が0.2MPaになってから窒素ガス用ストップ弁22を開放し、0.8m l/minの流量で窒素ガスの供給を開始するとした場合、設定した窒素添加率になるまでには、図1の従来の配管では684秒が必要であったが、図2の構成では54.3秒で済む。
【００３８】
さらに、時間を短縮するためには放電を開始するまでの間の窒素ガスの流量を増大させるとよい。例えば、一般的な微小流量のMFCのフルスケールは5ml/minであるためこの最大流量に設定する。なおかつ放電を開始していないため窒素酸化物を生成しない。このことにより前記の54.3秒から8.7秒に短縮することが可能になる。
【００３９】
一方、ノーマルクローズのMFCを使用する場合、MFCのアクチュエーターの負担を減らすためにガスを供給しない間は、MFCの設定をゼロにすることが一般的である。
【００４０】
これに対して、ガス供給停止時にMFCの設定をゼロにせず、制御状態を保つことで、MFC21二次側からストップ弁22までの間の圧力がMFC一次側圧力まで上昇する。ガス供給開始時にストップ弁22が開いた瞬間に設定圧との差圧に相当する量が排出される。MFC21二次側からストップ弁22の一次側までの管内容積が約1.5cm3であるとすると、MFC21一次側の圧力を0.35MPaに設定した場合、差圧分に相当する約1.5cm3が一瞬にして排出されることになる。
【００４１】
すなわち、ガス供給停止時にMFCの設定をゼロにせず、制御状態を保つことで、ストップ弁22から接続部23間部の管内容積0.24cm3を満たすに必要な0.72cm3を十分に上回っており、複雑な制御を行わず遅らせる必要時間をゼロにすることが可能になる。
【００４２】
従って、オゾン濃度が低下することがないよう運転を行うためには、酸素ガス供給→窒素ガス供給→放電開始の順に行い、大気圧状態からでは従来は60+684=744秒必要であったが、APR11と集合配管(IGS)を採用し、そして図2の配管構成を採用すること、さらにMFC21の制御方法を改善するこの発明の方法では、3.6+0=3.6秒になり、オゾン濃度が低下せず安定して高濃度を出力するために必要な間隔を大幅に短縮することが可能になる。
【００４３】
この発明において、ガス配管経路に使用する配管、ストップ弁などの各種制御弁、流量調整器、オートプレッシャレギュレータ、さらには必要に応じて採用する各種ガスフィルターには、公知のいずれの構成も採用することが可能である。
【実施例】
【００４４】
実施例1
オゾン発生装置を図1及び図2の構成となるように市販のパーツを使用して組み立てた。運転条件は、酸素ガス10 l/min、窒素ガス 0.8ml/min、流量調整器(MFC)一次側の圧力を0.35MPa、同二次側の圧力を0.20MPaとした。
【００４５】
図3Aは、図1の従来構成であり、酸素供給管は、減圧弁PR1、流量調整器MFC1、ストップ弁AV1の順に直線状に接続されて、さらに直線状にガスフィルターGF1に接続してある。一方、窒素ガス供給管は、減圧弁PR2、流量調整器MFC2、ストップ弁AV2の順に直線状に接続し、さらに上記のストップ弁AV1とガスフィルターGF1間にL型配管を介してバイパス接続してある。
【００４６】
図3Bは、この発明の構成で、窒素ガス供給管は、減圧弁PR2、流量調整器MFC2、ストップ弁AV2、ガスフィルターGF1の順に直線状に接続してあり、酸素供給管は、減圧弁PR1、流量調整器MFC1、ストップ弁AV1の順に直線状に接続されて、さらにL型配管を介して窒素ガスのストップ弁AV2とガスフィルターGF1間にLバイパス接続してある。
【００４７】
従って、図3Aの従来の窒素ガスのストップ弁AV2から合流箇所までの窒素ガス配管長さは15cmであった。また、前記ストップ弁AV2の容積と窒素ガス配管容積の総量は、3.04cm3であった。これに対して、図3Bのこの発明の構成は、窒素ガスのストップ弁AV2から合流箇所までの窒素ガス配管長さは5cmであった。また、前記ストップ弁AV2の容積と窒素ガス配管容積の総量は、1.55cm3であった。
【００４８】
図3Aの従来及び図3Bのこの発明からなる配管構成において、上記運転条件でオゾン発生を行い、経過時間と発生したオゾン濃度を測定した結果を、図5Aに従来、図5Bのこの発明の場合を示す。この発明の場合は、従来に比較して約半分の時間で所定のオゾン濃度に達していることが明らかである。
【００４９】
実施例2
実施例1の配管構成を、市販の集合配管ユニットを使用して組み立てた。図4Aに従来構成、図4Bにこの発明の配管構成を示す。
【００５０】
図4Aの従来の窒素ガスのストップ弁AV2から合流箇所までの窒素ガス配管長さは5cmであった。また、前記ストップ弁AV2の容積と窒素ガス配管容積の総量は、0.84cm3であった。これに対して、図4Bのこの発明の構成は、窒素ガスのストップ弁AV2から合流箇所までの窒素ガス配管長さは1cmであった。また、前記ストップ弁AV2の容積と窒素ガス配管容積の総量は、0.34cm3であった。
【００５１】
実施例1と同運転条件でオゾン発生を行い、経過時間と発生したオゾン濃度を測定した結果を、図6Aに従来、図6Bのこの発明の場合を示す。この発明の場合は、従来に比較して約半分の時間で所定のオゾン濃度に達していることが明らかである。
【００５２】
実施例3
集合配管を用いた実施例2の図4Bに示すこの発明の配管構成において、窒素ガス配管の内径を4mmから2mmに変更した結果、窒素ガスのストップ弁AV2から合流箇所までの窒素ガス配管長さは1cmで、前記ストップ弁AV2の容積と窒素ガス配管容積の総量は、0.24cm3であった。
【００５３】
実施例1と同運転条件でオゾン発生を行い、経過時間と発生したオゾン濃度を測定した結果を図7Aに示す。運転開始後、40秒ほどで所定濃度に達していることが分かる。
【００５４】
実施例4
実施例3のオゾン発生運転において、窒素ガス供給開始直後に窒素ガスを一気に放出する制御を加えたところ、図7Bに示すように、オゾン濃度は低下することなく、開始後数秒でオゾン濃度が急上昇して20秒後には所定濃度に達して安定運転していることが分かる。
【産業上の利用可能性】
【００５５】
この発明は、実施例に明らかなように、オゾン発生装置の運転に際して窒素ガスの微小量供給を急速に立ち上げて直ちに所定量にすることが可能で、これによりオゾン濃度が低下せず安定して高濃度を出力するために必要な間隔を大幅に短縮することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】従来のオゾン発生装置のガス供給経路を示す説明図である。
【図２】この発明によるオゾン発生装置のガス供給経路を示す説明図である。
【図３】実施例におけるオゾン発生装置のガス供給経路の詳細を示す説明図であり、Aは従来構成、Bはこの発明による構成を示す。
【図４】集合配管(IGS)を採用した実施例におけるオゾン発生装置のガス供給経路の詳細を示す説明図であり、Aは従来構成、Bはこの発明による配管構成を示す。
【図５】オゾン発生装置の運転開始時における経過時間と発生オゾン濃度との関係を示すグラフであり、Aは従来構成、Bはこの発明による配管構成を使用した場合を示す。
【図６】オゾン発生装置の運転開始時における経過時間と発生オゾン濃度との関係を示すグラフであり、Aは従来構成、Bはこの発明による配管構成を使用した場合を示す。
【図７】A、Bはこの発明による配管構成を使用したオゾン発生装置の運転開始時における経過時間と発生オゾン濃度との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
【００５７】
1,20  直線配管
2,5,21,25,MFC1,MFC2  流量調整器(MFC)
3,6,12,22,26,AV1,AV2  ストップ弁
4  添加配管
7,27  屈曲配管
8,23  接続部
9  下流部
10  放電セル
11  APR
GF1  ガスフィルター
PR1,PR2  減圧弁
24  バイパス配管
【図１】
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【図２】
2005179107.tif 000004
【図３】
2005179107.tif 000005
【図４】
2005179107.tif 000006
【図５】
2005179107.tif 000007
【図６】
2005179107.tif 000008
【図７】
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