(57)【要約】  【課題】  試料の特定の微小部分について、透過および／または反射スペクトルと、ラマンおよび／または蛍光スペクトルとを簡単かつ位置精度よく測定することができる顕微分光測定装置を提供する。  【解決手段】  第１の光学系と第２の光学系とを含み、第１の光学系は、第１の光を測定部分に入射させて、測定部分の透過スペクトルおよび反射スペクトルから選ばれる少なくとも１つのスペクトル（Ａ）を測定するための光学系であり、第２の光学系は、第２の光を測定部分に入射させて、測定部分のラマンスペクトルおよび蛍光スペクトルから選ばれる少なくとも１つのスペクトル（Ｂ）を測定するための光学系である。第１および第２の光学系は、複数の光学素子を共有しており、第１の光学系の光路と第２の光学系の光路とは、重なっている部分であって且つ第１の光と第２の光とが互いに逆方向に進行する部分を含む。第１の光学系と第２の光学系とは切り替え可能である。【選択図】  図１
2005331419.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料の一部を測定部分として前記測定部分の分光測定を行う顕微分光測定装置であって、
第１の光学系と第２の光学系とを含み、
前記第１の光学系は、第１の光を前記測定部分に入射させて、前記測定部分の透過スペクトルおよび前記測定部分の反射スペクトルから選ばれる少なくとも１つのスペクトル（Ａ）を測定するための光学系であり、
前記第２の光学系は、第２の光を前記測定部分に入射させて、前記測定部分のラマンスペクトルおよび前記測定部分の蛍光スペクトルから選ばれる少なくとも１つのスペクトル（Ｂ）を測定するための光学系であり、
前記第１および第２の光学系は、複数の光学素子を共有しており、
前記第１の光学系の光路と前記第２の光学系の光路とは、重なっている部分であって且つ前記第１の光と前記第２の光とが互いに逆方向に進行する部分を含み、
前記第１の光学系と前記第２の光学系とが切り替え可能である顕微分光測定装置。
【請求項２】
前記試料の一方から前記測定部分に前記第１の光を入射させて前記測定部分の透過スペクトルを測定し、前記一方とは反対側の他方から前記測定部分に前記第２の光を入射させて前記スペクトル（Ｂ）を測定する請求項１に記載の顕微分光測定装置。
【請求項３】
前記第１の光学系は、前記第１の光を前記他方から前記測定部分に入射させて前記測定部分の反射スペクトルを測定するための光学素子を含む請求項２に記載の顕微分光測定装置。
【請求項４】
前記第１および第２の光学系が第１および第２のミラーを共有しており、
前記第１の光学系において、前記第１のミラーは前記第１の光を前記試料の方向に反射し、前記第２のミラーは前記試料を透過した前記第１の光を第１の光検出器の方向に反射し、
前記第２の光学系において、前記第２のミラーは前記第２の光を前記試料の方向に反射し、前記第１のミラーは前記試料から発せられる光を第２の光検出器の方向に反射する請求項１に記載の顕微分光測定装置。
【請求項５】
前記スペクトル（Ａ）の測定と前記スペクトル（Ｂ）の測定とを切り替えるために前記第２のミラーを回転させるモータをさらに備える請求項４に記載の顕微分光測定装置。
【請求項６】
前記第１および第２の光学系が１つの分光器を共有しており、
前記分光器は、前記第１の光を分光する分光器、および、前記第２の光を前記測定部分に入射させたときに生じるラマン散乱光および蛍光から選ばれる少なくとも１つの光を分光する分光器として機能する請求項１〜５のいずれか１項に記載の顕微分光測定装置。
【請求項７】
前記分光器が差分散型２重分光器である請求項６に記載の顕微分光測定装置。
【請求項８】
前記分光器は前記第１の光が出射する出射スリットを備え、前記第１の光学系が視野絞りを備え、前記出射スリットと前記視野絞りとを用いて前記測定部分の位置を調整する請求項６に記載の顕微分光測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、顕微分光測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、試料の特定の微小領域について透過および反射スペクトルを測定する装置が提案されている（たとえば特許文献１）。また、試料の特定の微小領域について、ラマンスペクトルを測定する装置も提案されている（たとえば特許文献２）。
【特許文献１】特開２０００−３５６５８８号公報
【特許文献２】特開２００１−２１５１９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来の装置を用いて、透過・反射スペクトルとラマンスペクトルとを測定する場合、それぞれを別の装置で測定する必要があった。しかし、微小な領域ごとに組成や結晶性が異なるような物体を測定する場合には、透過・反射スペクトルを測定した部分と、ラマンスペクトルを測定した部分とが異なってしまうと、両者のスペクトルの相関が不明になるという問題があった。一方、１つの装置で透過・反射スペクトルおよびラマンスペクトルを測定しようとすると、多数の光学素子を用いることが必要となり、装置が複雑で高額なものになるという問題が生じる。
【０００４】
このような状況に鑑み、本発明は、試料の特定の微小部分について、透過スペクトルおよび／または反射スペクトルと、ラマンスペクトルおよび／または蛍光スペクトルとを簡単かつ位置精度よく測定できる顕微分光測定装置を提供することを目的の１つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために検討した結果、本発明者らは、透過スペクトルを測定するための光学系と、ラマン・蛍光スペクトルを測定するための光学系とを、それらの光路が実質的に逆方向となるように構成することによって、上記目的を達成できることを見出した。本発明は、この新しい知見に基づくものである。
【０００６】
すなわち、本発明の顕微分光測定装置は、試料の一部を測定部分として前記測定部分の分光測定を行う顕微分光測定装置であって、第１の光学系と第２の光学系とを含み、前記第１の光学系は、第１の光を前記測定部分に入射させて、前記測定部分の透過スペクトルおよび前記測定部分の反射スペクトルから選ばれる少なくとも１つのスペクトル（Ａ）を測定するための光学系であり、前記第２の光学系は、第２の光を前記測定部分に入射させて、前記測定部分のラマンスペクトルおよび前記測定部分の蛍光スペクトルから選ばれる少なくとも１つのスペクトル（Ｂ）を測定するための光学系であり、前記第１および第２の光学系は、複数の光学素子を共有しており、前記第１の光学系の光路と前記第２の光学系の光路とは、重なっている部分であって且つ前記第１の光と前記第２の光とが互いに逆方向に進行する部分を含む。そして、前記第１の光学系と前記第２の光学系とが切り替え可能である。すなわち、測定するスペクトルに応じて、使用する光学系を簡単に切り替えることができる。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の装置によれば、試料の特定の一部について、透過スペクトルおよび／または反射スペクトルと、ラマンスペクトルおよび／または蛍光スペクトルとを、簡単かつ位置精度よく測定することができる。本発明の装置によれば、直径５μｍ以下の微小領域の評価が可能である。これによって、微小な領域ごとに組成や結晶性が異なるような試料についても、物性の正確な評価が可能となる。また、本発明の装置によれば、試料の一部の透過スペクトルを測定して吸収ピークに関する情報を得たのち、その吸収ピークに応じた光を照射してラマンスペクトルおよび／または蛍光スペクトルを測定することができる。そのため、効率的にラマンスペクトルおよび／または蛍光スペクトルの測定ができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下に、本発明の実施の形態について説明する。本発明の顕微分光測定装置は、試料の一部を測定部分としてその測定部分の分光測定を行うための装置である。
【０００９】
本発明の装置は、第１の光学系と第２の光学系とを含む。第１の光学系は、第１の光を測定部分に入射させて、測定部分の透過スペクトルおよび測定部分の反射スペクトルから選ばれる少なくとも１つのスペクトル（Ａ）を測定するための光学系である。第２の光学系は、第２の光を測定部分に入射させて、測定部分のラマンスペクトルおよび測定部分の蛍光スペクトルから選ばれる少なくとも１つのスペクトル（Ｂ）を測定するための光学系である。第１および第２の光学系は、複数の光学素子を共有しており、第１の光学系の光路と第２の光学系の光路とは、重なっている部分であって且つ第１の光と第２の光とが互いに逆方向に進行する部分を含む。そして、第１の光学系と第２の光学系とは切り替え可能である。すなわち、第１の光学系を進行する第１の光と第２の光学系を進行する第２の光とは、光路の一部において同じ光路を互いに逆方向に進行する。
【００１０】
本発明の装置では、試料の一方から測定部分に第１の光を入射させて測定部分の透過スペクトルを測定し、上記一方とは反対側の他方から測定部分に第２の光を入射させてスペクトル（Ｂ）を測定することが好ましい。
【００１１】
また、本発明の装置では、第１の光学系は、第１の光を上記他方から測定部分に入射させて測定部分の反射スペクトルを測定するための光学素子をさらに含むことが好ましい。この構成によれば、測定部分の透過スペクトルと反射スペクトルとを容易に測定できる。
【００１２】
また、本発明の装置では、第１および第２の光学系は第１および第２のミラーを共有することが好ましい。この場合、第１の光学系において、第１のミラーは第１の光を試料の方向に反射し、第２のミラーは試料を透過した第１の光を第１の光検出器の方向に反射することが好ましく、第２の光学系において、第２のミラーは第２の光を試料の方向に反射し、第１のミラーは試料から発せられる光（蛍光またはラマン光）を第２の光検出器の方向に反射することが好ましい。この構成によれば、少ない光学素子でスペクトル（Ａ）および（Ｂ）を測定できる。さらにこの場合、スペクトル（Ａ）の測定とスペクトル（Ｂ）の測定とを切り替えるために第２のミラーを回転させるモータをさらに備えることが好ましい。これによって、スペクトル（Ａ）の測定とスペクトル（Ｂ）の測定とを、測定箇所を変えることなく簡単に切り替えることができる。
【００１３】
また、本発明の装置では、第１および第２の光学系が１つの分光器を共有してもよい。この分光器は、第１の光を分光する分光器、および、第２の光を測定部分に入射させたときに生じるラマン散乱光および蛍光から選ばれる少なくとも１つの光を分光する分光器として機能する。このような分光器を用いることによって装置を簡略化できる。
【００１４】
上記の共有される分光器は、差分散型２重分光器であることが好ましい。差分散型２重分光器は、２つの分光器を直列に配置・接続したものである。単分光器を用いた場合には波長分散によって第１の光の色むらが生じるが、差分散型２重分光器を用いることによってそのような色むらを抑制できる。そのため、スペクトル（Ａ）とスペクトル（Ｂ）とを測定する本発明の装置では、差分散型２重分光器を用いることが好ましい。
【００１５】
また、上記の共有される分光器は第１の光が出射する出射スリットを備え、第１の光学系が視野絞りを備え、出射スリットと視野絞りとを用いて測定部分の位置を調整してもよい。視野絞りは、第１の光が試料を透過または反射したあとの光路に配置される。出射スリットを、試料に入射する前の光に対する視野絞りとして機能させることによって、測定領域以外からの光の入射を抑制でき、高い吸光度の試料に対する透過スペクトルを精度良く測定することが可能となる。
【００１６】
以下に、本発明の装置の一例について説明する。本発明の顕微分光測定装置の一例（以下、装置１００という）を図１〜図５に示す。図１は透過スペクトルを測定する場合の光路を示しており、図３は反射スペクトルを測定する場合の光路を示しており、図４および図５はラマンスペクトルまたは蛍光スペクトルを測定する場合の光路を示している。なお、図１および図３〜図５では、一部の上面図もあわせて示している。
【００１７】
（透過スペクトルの測定）
図１の装置１００では、光源から第１の光１１が出射される。第１の光１１は、紫外領域から近赤外領域までの範囲の少なくとも一部の波長域を有する光である。光源は、そのような波長域の光を発する光源であればよく、特に限定されない。装置１００では、光源として、ハロゲンランプ１２および重水素ランプ１３を用いている。ハロゲンランプ１２を用いる場合には、ミラー１４を光路上から排除する。重水素ランプ１３を用いる場合には、光路上にミラー１４を配置する。重水素ランプ１３から出射された光は、ミラー１４を介して凹面鏡１５に入射される。
【００１８】
第１の光１１は、凹面鏡１５で反射されたのち、チョッパー１６を通過し、分光器１７に導入される。チョッパー１６は、第１の光１１のみに変調を加えるためのものであり、第１の光１１以外の光や電気的ノイズ等の影響を除去することが可能となる。装置１００が十分に遮光された環境で用いられる場合には、通常、チョッパー１６は不要である。ただし、ＰｂＳなどを用いた赤外検出器を用いる場合には、熱雑音を除去するためにチョッパー１６を用いることが好ましい。
【００１９】
分光器１７は、第１の光学系および第２の光学系に共有される分光器である。分光器１７は差分散型２重分光器である。上記の共有される分光器において、単色化される第１の光に含まれる迷光は強い光吸収を有する試料に対する透過スペクトル測定の精度を下げる原因となるので、上記の共有される分光器には、迷光除去率の高い差分散型２重分光器を用いることが望ましい。なお、分光器１７として、高分散型分光器などの分光器を用いることも可能である。分光器１７が差分散型２重分光器である場合の構成の一例を図２に示す。図２の分光器１７は、入射スリット１７ａ、球面鏡１７ｂ、平面鏡１７ｃ、グレーティング１７ｄ、収差補正鏡１７ｅ、球面鏡１７ｆ、グレーティング１７ｇ、平面鏡１７ｈ、収差補正鏡１７ｉ、および出射スリット１７ｊを備える。図２に示すように、分光器１７は、２つの分光器が線対称に配置されたような構造を有する。このような差分散型の２重分光器を用いることによって、迷光や色むらを低減できる。
【００２０】
分光器１７の出射スリット１７ｊからは、単色光となった第１の光１１が出射される。この第１の光１１は偏光子１８を通過してミラー（第１のミラー）１９に入射される。
【００２１】
ミラー１９は、第１の光１１を、試料ステージ３０上に配置された試料１０１の方向に反射する。第１の光１１は、カセグレイン鏡２０によって試料１０１の一部である測定部分に集光・結像される。測定部分を透過した第１の光１１は、カセグレイン鏡２１によって視野絞り２２の位置で結像されねばならない。測定する視野の位置、サイズ、及び結像が適切かどうかについては、三眼鏡筒２３の肉眼観察用の接眼レンズから目視で確認・調節する。なお、このときの第１の光１１は可視光とする。視野の位置および結像が適切でない場合には、試料が置かれている試料ステージ３０の位置およびカセグレイン鏡２０の位置を３次元方向で調節する。視野サイズは視野絞り２２と出射スリット１７ｊの開度によって決定する。視野の位置およびサイズが適切である場合には、三眼鏡筒２３内のプリズムを除去して、第１の光１１を上方へ導く。第１の光１１はフィルター２４を透過したのち、ミラー（第２のミラー）２５によって、光検出器に集光される。フィルター２４は、分光器１７で除去できなかった２次回折光を除去するために配置される。ミラー２５は、凹面鏡または放物面鏡である。ミラー２５は、モータ（図示せず）で回転され、その回転は通常コンピュータで制御される。なお、以下で説明する光学素子のうち可動の光学素子は、ミラー２５と同様にモータおよびコンピュータなどで制御される。
【００２２】
光検出器は、第１の光１１の光量を検出できるものであればよく、たとえば、光電子増倍管、フォトダイオード、赤外検出器などを用いることができる。これらは測定する光の波長および強度に応じて選択される。図１の例では、光検出器として、光検出器２６と光検出器２７とを用いている。具体的には、光検出器２６は光電子増倍管であり、光検出器２７はＰｂＳ光伝導素子である。
【００２３】
装置１００では、分光器１７から出射される単色光の波長を変化させることによって、広い波長域の透過スペクトルを精度よく測定できる。また、装置１００では、カセグレイン鏡を除き、分光器１７と光検出器との間の光路にはミラーが２枚しか使用されていない。そのため、ミラーにおける反射による光量の低減が少なく、ミラーの表面粗さや凹面鏡の収差による視野のゆがみを極力抑えることができる。重水素ランプ１３の光量は一般に低いため、光量の低減を抑制することは特に重要である。また、一般に透過スペクトルは以下に述べる反射スペクトルと比較してスペクトルの解析・解釈がしやすく、一般に好まれる測定法である。しかし、透過スペクトルの測定では、高い吸光度まで正確に測定する必要がある。そのため、光路設計において、透過スペクトルの測定を優先させた光学素子等の配置、及びその調整が容易になるようにミラーの数を減らすといった光路設計の工夫が重要である。
【００２４】
（反射スペクトルの測定）
反射スペクトルの測定方法の一例を図３に示す。反射スペクトルを測定する場合には、図１に示した光路上に、ミラー３１およびミラー３２を配置する。なお、ミラー３２は全反射タイプであるものの、顕微鏡筒内の半分のみ覆うようにサイズ及び位置が設定されている。分光器１７から出射されて偏光子１８を透過した第１の光１１は、ミラー３１によって反射されたのち、凹面鏡３３によって反射され、視野絞り３４の位置に集光される。凹面鏡３３によって生じた球面収差は、視野絞り３４によって解消できる。なお、視野絞り３４は、視野絞り２２と共役（等しい鏡筒長）な位置に存在する。視野絞り３４を透過した第１の光１１は、ミラー３２によって試料１０１の方向に反射され、カセグレイン鏡２１によって試料１０１の測定箇所に集光される。
【００２５】
試料１０１で反射された第１の光１１は、カセグレイン鏡２１を経てミラー３２の位置に到達するが、ミラー３２は鏡筒内を全て覆っていないので、このミラーの存在しない鏡筒内の空間を経て視野絞り２２に入射し、透過スペクトルの測定と同様に光量が測定される。このようにして、反射スペクトルが測定される。装置１００では、透過スペクトルを測定する際の光路に２つのミラー３１および３２を挿入するだけで光路が切り替えられ、簡単に反射スペクトルを測定できる。なお、透過スペクトルの測定の場合と同様に、視野サイズ・位置・結像は、視野絞り２２および３４、ならびに試料ステージ３０を調整することによって最適化される。
【００２６】
（蛍光スペクトルの測定）
蛍光スペクトルの測定方法の一例を図４に示す。なお、ラマンスペクトルも蛍光スペクトルと同様の方法で測定できる。
【００２７】
光源から出射された第２の光４１は、凹面鏡４２で反射され、チョッパー４３を介して分光器４４に入射する。第２の光４１は、蛍光（またはラマン散乱光）を励起できる波長域を含む光であればよい。光源は、そのような光を出射する光源であればよく、たとえば、高輝度キセノンランプやレーザ装置などを用いることができる。レーザ装置を用いる場合には、分光器４４は省略できる。装置１００では、光源としてキセノンランプ４５を用いている。キセノンランプなどのランプと分光器とを組み合わせることによって、任意の波長で試料を励起できる。チョッパー４３は、チョッパー１６と同様に、光源からの光以外の光の影響を除去するために配置されており、測定条件によっては省略してもよい。分光器４４に特に限定はなく、さまざまな分光器を用いることができるが、低分散型の分光器は、輝度が高い単色光を得ることができるという点で好ましい。
【００２８】
分光器４４で単色光となった第２の光４１は、偏光子４６を透過したのちミラー２５で反射され、視野絞り２２の部分で集光される。視野絞り２２を通過した第２の光４１は、カセグレイン鏡２１を介して試料１０１の所定の測定部分、すなわち、透過・反射スペクトルが測定された部分に入射される。第２の光４１が照射された試料１０１は、蛍光（またはラマン散乱光）を生じる。なお、キセノンランプ４５、凹面鏡４２、分光器４４、ミラー２５は、第２の光４１が、透過・反射スペクトルを測定した部分に入射するように配置される必要があるが、この配置は、既に透過または反射スペクトル測定のモードによって測定視野の位置、サイズおよび結像が調整されているので、実質的にはミラー２５を所定の位置に移動するだけで足りる。本発明の装置によれば、透過・反射スペクトルを測定した測定部分と、蛍光（またはラマン散乱光）を測定した測定部分との位置のずれを、数ミクロン以下とすることも可能である。
【００２９】
図４では、試料１０１で発生した蛍光（またはラマン散乱光）は、反射スペクトル測定時の光路と同じ光路を逆方向に進行して分光器１７に入射する。なお、透過スペクトルの測定時と同じ光路を用いて蛍光を測定してもよい。一般にこのような光学系で得られるのは非共鳴ラマン散乱光であることが多い。その場合の光路を図５に示す。図５では、試料１０１で発生した蛍光（またはラマン散乱光）は、透過スペクトル測定時の光路と同じ光路を逆方向に進行して分光器１７に入射する。いずれの光路を用いるかは、ミラー３１およびミラー３２によって切り替えることができる。分光器１７の一方のスリットから入射した蛍光（またはラマン散乱光）は、分光されて分光器１７の他方のスリットから出射する。蛍光スペクトル測定時には、分光器１７の出射スリット１７ｊが光入射側のスリットとなる。
【００３０】
分光器１７の光出射側には光検出器４７が配置されており、分光器１７から出射した蛍光は光検出器４７に入射する。このようにして、蛍光スペクトルまたはラマンスペクトルを測定できる。感度の点を考慮すると光検出器４７として光電子増倍管を用いることが好ましいが、試料の励起波長や蛍光が出現する波長域を考慮すると、他の原理に基づく検出器、例えばフォトダイオード等を用いてもよい。なお、蛍光およびラマン散乱光は、一般に励起光とは異なる波長となるため、分光器で励起光と蛍光（およびラマン散乱光）とを分離することができる。このため、これらのスペクトルを測定する場合には、出射スリット１７ｊや視野絞り３４を、透過・反射スペクトルを測定する場合よりも広げ、できるだけ多くの蛍光もしくはラマン光が分光器１７、更には光検出器４７に入射するようにしてもよい。
【００３１】
以上のように、装置１００は、透過スペクトルを測定するための第１の光学系として、凹面鏡１５、分光器１７、ミラー１９、カセグレイン鏡２０および２１、視野絞り２２、ミラー２５といった光学素子を含む。また、反射スペクトルを測定する場合、第１の光学系は、上記光学素子に加えて、ミラー３１、ミラー３２、凹面鏡３３、視野絞り３４といった光学素子を含む。また、装置１００は、蛍光スペクトルまたはラマンスペクトルを測定するための第２の光学系として、凹面鏡４２、分光器４４、ミラー２５、視野絞り２２、カセグレイン鏡２０および２１、ミラー１９、分光器１７などを備える。なお、反射スペクトルを測定するときの光路を用いる場合には、カセグレイン鏡２０およびミラー１９に代えて、ミラー３１、ミラー３２、凹面鏡３３、視野絞り３４が用いられる。このように、第１の光学系と第２の光学系とは、少なくとも、分光器１７、カセグレイン鏡２１、視野絞り２２、ミラー２５を共有する。
【００３２】
第１の光学系の光路と第２の光学系の光路とは、一部において逆方向に重なっている。たとえば、図１の光路を進む光と図５の光路を進む光とは、分光器１７〜ミラー２５までの光路を互いに逆方向に進行している。同様に、図３の光路を進む光と図４の光路を進む光とは、分光器１７〜ミラー２５までの光路を互いに逆方向に進行している。この構成では、スペクトル（Ａ）を測定するための光学系とスペクトル（Ｂ）を測定するための光学系とが、分光器やミラーなどの光学素子を共有するため、光学素子の数を減らすことができる。また、第１の光学系と第２の光学系とは、同じ位置（視野絞り２２の位置および測定部分）で結像するように設定されている。この構成では、ミラー２５および３１とミラー３２と光検出器４７とを移動させるだけで、スペクトル（Ａ）の測定とスペクトル（Ｂ）の測定とを簡単に切り替えることができるとともに、同じ部分のスペクトル（Ａ）およびスペクトル（Ｂ）を簡単に測定できる。
【００３３】
なお、図１〜図５に示した装置は一例であり、本発明はこれに限定されない。装置に用いられている光学素子は、本発明の効果が得られる範囲内で省略・追加・変更してもよい。たとえば、カセグレイン鏡の代わりにレンズを用いてもよい。また、偏光子１８および４６は省略してもよい。ただし、これらの偏光子を用いることによって偏光モードで測定できるため、異方的な物質の配向度の評価などが可能となる。たとえば、カーボンナノチューブやなどの異方的な形状を有するナノ物質がミクロンオーダーで凝集しているような物質やポリマー膜について、カーボンナノチューブやポリマーの配向度などを評価できる。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
本発明の顕微分光測定装置は、さまざまな物質の分析に有効であり、特に、微小領域ごとに組成や結晶性などの物性が異なる物質の分析や微小な物質の分析に有効である。たとえば、多結晶や微結晶などの分析や、ミクロンオーダーのサイズを有する半導体デバイスの物性の評価に有用である。また、本発明の装置によれば、被測定物の透過スペクトルを測定してその物質の吸収ピークについての情報を得たのち、その吸収ピークを励起して蛍光スペクトルを測定することが可能である。そのため、本発明の装置によれば、物質の蛍光特性を効率的に評価できる。また、ラマン散乱を測定することによって、微小領域の化学組成、結晶構造、配向方向に関する評価が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の顕微分光測定装置の一例において、透過スペクトルを測定する方法を模式的に示す図である。
【図２】差分散型２重分光器の一例の構成を模式的に示す図である。
【図３】本発明の顕微分光測定装置の一例において、反射スペクトルを測定する方法を模式的に示す図である。
【図４】本発明の顕微分光測定装置の一例において、蛍光スペクトルを測定する方法を模式的に示す図である。
【図５】本発明の顕微分光測定装置の一例において、蛍光スペクトルを測定する他の方法を模式的に示す図である。
【符号の説明】
【００３６】
１１  第１の光
１２  ハロゲンランプ
１３  重水素ランプ
１４、３１、３２  ミラー
１５、３３、４２  凹面鏡
１６、４３  チョッパー
１７  分光器（共有される分光器）
１８、４６  偏光子
１９  ミラー（第１のミラー）
２０、２１  カセグレイン鏡
２２、３４  視野絞り
２３  三眼鏡筒
２４  フィルター
２５  ミラー（第２のミラー）
２６、２７  光検出器（第１の光検出器）
３０  試料ステージ
４１  第２の光
４４  分光器
４５  キセノンランプ
４７  光検出器（第２の光検出器）
１００  装置（顕微分光測定装置）
１０１  試料
【図１】
2005331419.tif 000003
【図２】
2005331419.tif 000004
【図３】
2005331419.tif 000005
【図４】
2005331419.tif 000006
【図５】
2005331419.tif 000007