(57)【要約】【課題】  平板状ディスプレイパネルの洗浄などに利用され、洗浄構造が簡単であるだけでなく、異物を効果的に除去することができる、平板ディスプレイ用洗浄装置を提供する。【解決手段】  このような洗浄装置は、ロールブラシを利用して基板を洗浄する洗浄装置において、基板の上部または下部の表面に対応して接触可能に位置するロールブラシと、前記ロールブラシを基板の表面に対応して上下方向に移動可能に固定するギャップ調節手段と、前記ロールブラシを回転させる駆動部とを有し、前記ギャップ調節手段は、前記ロールブラシが結合される駆動軸と、前記駆動軸の両端部に位置する固定ブラケットと、前記固定ブラケットに回転可能に固定されるとともに前記駆動軸を上下方向に移動可能に固定する回転プレートと、前記回転プレートが回転するように動力を発生させる駆動源と、前記駆動源の動力を前記回転プレートに伝達する動力伝達部材とを有する。【選択図】    図１
2005052834.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロールブラシを利用して基板を洗浄する洗浄装置であって、
前記洗浄装置は、
基板の上部または下部の表面に対応して接触可能に位置するロールブラシと、前記ロールブラシを基板の表面に対応して上下方向に移動可能に固定するギャップ調節手段と、前記ロールブラシを回転させる駆動部とを有し、
前記ギャップ調節手段は、前記ロールブラシが結合される駆動軸と、前記駆動軸の両端部に位置する固定ブラケットと、前記固定ブラケットに回転可能に固定されるとともに前記駆動軸を上下方向に移動可能に固定する回転プレートと、前記回転プレートが回転するように動力を発生させる駆動源と、前記駆動源の動力を前記回転プレートに伝達する動力伝達部材とを有する、平板状ディスプレイ用洗浄装置。
【請求項２】
前記動力伝達部材は、前記駆動源の直線動力または回転動力を転換して前記回転プレートを回転させる、請求項１に記載の平板状ディスプレイ用洗浄装置。
【請求項３】
前記動力伝達部材は、一対のラックギヤとピニオンギヤ、一対のウォーム軸とウォーム歯車、及び一対のスパーギヤのうちのいずれか一対からなる、請求項２に記載の平板状ディスプレイ用洗浄装置。
【請求項４】
前記回転プレートは、前記駆動軸が貫通及び支持されるホールが形成され、前記ホールは、前記回転プレートの回転中心部から外れた位置に形成される、請求項１に記載の平板状ディスプレイ用洗浄装置。
【請求項５】
前記固定ブラケットは、前記駆動軸の両端部に対応して各々位置し、前記駆動軸が支持される回転プレートを回転可能に固定するためのガイド溝が形成される、請求項１に記載の平板状ディスプレイ用洗浄装置。
【請求項６】
前記駆動源は、モーターまたはシリンダーのうちのいずれか一つからなる、請求項１に記載の平板状ディスプレイ用洗浄装置。
【請求項７】
前記駆動部は、前記駆動軸と接触継手部材または非接触継手部材によって動力を伝達することができるように連結される、請求項１に記載の平板状ディスプレイ用洗浄装置。
【請求項８】
前記接触継手部材は、ボールジョイントまたはユニバーサルジョイントのうちのいずれか一つからなる、請求項７に記載の平板状ディスプレイ用洗浄装置。
【請求項９】
前記非接触継手部材は、非接触区間を磁力によって動力が伝達されるようにする磁力発生部材からなる、請求項７に記載の平板状ディスプレイ用洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は平板状ディスプレイ用洗浄装置に係り、より詳しくは、平板状ディスプレイパネルの洗浄などに利用され、洗浄構造が簡単であるだけでなく、異物を効果的に除去することができる、平板状ディスプレイ用洗浄装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、ロールブラシ関連の洗浄装置は、平板状ディスプレイパネル、つまり基板の表面に付着した異物をロールブラシを利用して除去するものである。基板の洗浄のための洗浄装備、つまりバスの内部において、前記洗浄装置は、基板が移送される区間に対応して、例えば乾燥装置などと共に一定の区間に分けられてセッティングされる。
【０００３】
前記ロールブラシは、洗浄区間で所定量の洗浄液と共に基板の表面をブラッシングして異物を除去するものである。洗浄装備、つまりバスの内部において、前記ロールブラシは、基板の移送方向に対応して一つが水平に設置されて基板の一面を洗浄したり、基板が通過できる程度に離隔した所定の位置に二つが設置されて基板の両面を洗浄するために用いられる。前記ロールブラシは、前記バスの内部において、モーター等の駆動源によって回転する駆動軸に嵌合されてローリングする構造である。
【０００４】
前記駆動軸は、前記ロールブラシが基板の移送方向に対応して水平な状態で回転することができるように、ギャップ調整装置のブラケットなどに支持されて前記バスの内部に設置される。一般に前記バスの外部に設置される前記ギャップ調節装置は、シリンダーやモーター等の駆動源を駆動させることにより、前記ブラケットを上下方向にガイドして、前記駆動軸の位置を移動させることで、前記駆動軸に嵌合されている前記ロールブラシを移動させる構造である。前記ギャップ調節装置は、前記ロールブラシの位置を移動させることで、基板上に形成された微細パターンに対応して基板と前記ロールブラシとの間のギャップを調節することができる。
【０００５】
このような洗浄装置は、基板の処理、つまり基板上に付いている異物を除去する作業（洗浄・乾燥・圧縮空気の吹き出し等）の工程間に設置されたり、別途の洗浄工程に独立した装置として設置される。
【特許文献１】特開平０８−２４３５１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、このような従来の洗浄装置では、前記ロールブラシを上下方向に移動させるギャップ調節装置が、基板が移送されるバスの外部で動力伝達されるように設置されているので、動力伝達構造及び移送構造が複雑であった。また、その構造が前記バスの内部又は外部で大きなスペースを必要とするため、空間効率が悪いという問題点があった。
【０００７】
また、前記ロールブラシが基板の両面を洗浄するように二つで１組として構成された場合には、前記動力伝達構造及び移送構造は一層複雑になるため、製作はもちろん、維持補修時にも過剰な時間と費用がかかる。
【０００８】
モーター等の駆動源が前記バスの外部に設置されることで、駆動源が発生させる動力を伝達させるため、前記バスの側面に貫通孔を開けなければならない。これにより、洗浄空間に外部から異物が流入し易くなる。また、前記ロールブラシが、物理的な衝撃及び振動などにより、その状態を変化し易く、前記ギャップ調節装置が、その構造上、前記ロールブラシの洗浄位置を上下方向に微細に調節することが難しいため、前記ロールブラシと基板との接触が円滑に行われなくなることがある。
以上のことは、洗浄装置の洗浄効果を低下させる要因となる。
【０００９】
本発明は、前記のような従来の問題点を解決するために発明されたものであり、簡単な構造でロールブラシの洗浄位置を移動させて洗浄効果を向上させ、バスの内部において、洗浄領域を容易に確保することができる、平板状ディスプレイパネル用洗浄装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記問題点を解決するために、本発明の平板状ディスプレイパネル用洗浄装置は、ロールブラシを利用して基板を洗浄する洗浄装置であって、基板の上部又は下部の表面に対応して接触可能に位置するロールブラシと、前記ロールブラシを基板の表面に対応して上下方向に移動可能に固定するギャップ調節手段と、前記ロールブラシを回転させる駆動部とを有し、前記ギャップ調節手段は、前記ロールブラシが結合される駆動軸と、前記駆動軸の両端部に位置する固定ブラケットと、前記固定ブラケットに回転可能に固定されるとともに前記駆動軸を上下方向に移動可能に固定する回転プレートと、前記回転プレートが回転するように動力を発生させる駆動源と、前記駆動源の動力を前記回転プレートに伝達する動力伝達部材とを有する。
【００１１】
本発明に係る平板状ディスプレイ用洗浄装置は、ロールブラシを利用して基板（ディスプレイパネル）を洗浄する洗浄装置であって、前記洗浄装置は、基板の上部及び下部の表面のいずれかに接触可能に位置するロールブラシと、前記ロールブラシを基板の表面へ又は表面から上下方向に移動可能に固定しかつ調節するギャップ調節手段と、前記ロールブラシを回転させる駆動部とを有し、前記ギャップ調節手段は、前記ロールブラシを固定する駆動軸と、前記駆動軸のそれぞれ両端部を支持する第１及び第２の固定ブラケットと、前記固定ブラケットにそれぞれ回転可能に固定されるとともに前記駆動軸を上下方向に移動可能に支持する第１及び第２の回転プレートと、前記第１及び第２の回転プレートが回転するように動力を発生させる駆動源と、前記駆動源の動力を前記回転プレートに伝達する動力伝達部材とを有する構成としてもよい。
【００１２】
本発明に係る平板状ディスプレイ用洗浄装置において、前記動力伝達部材は、前記駆動源の直線動力または回転動力を変換して前記回転プレートを回転させるよう構成してもよい。
本発明に係る平板状ディスプレイ用洗浄装置において、前記動力伝達部材は、ラックギヤとピニオンギヤの組合せ、ウォーム軸とウォーム歯車の組合せ、及びスパーギヤの組合せ、からなる群から選んでなる構成でもよい。
本発明に係る平板状ディスプレイ用洗浄装置において、前記回転プレートには、前記駆動軸が貫通して支持するホール（孔）が形成され、前記ホールの中心軸は、前記回転プレートの回転中心から外れているよう構成してもよい。
本発明に係る平板状ディスプレイ用洗浄装置において、前記第１及び第２の固定ブラケットは、それぞれ前記駆動軸の両端部に対応して位置し、前記駆動軸が支持される回転プレートを回転可能に支承するためのガイド溝が形成された構成としてもよい。
【００１３】
本発明に係る平板状ディスプレイ用洗浄装置において、前記駆動源は、モーターまたはシリンダーのうちのいずれか一つであるよう構成してもよい。
本発明に係る平板状ディスプレイ用洗浄装置において、前記駆動部は、接触継手部材または非接触継手部材によって前記駆動軸と連結されるよう構成してもよい。
本発明に係る平板状ディスプレイ用洗浄装置において、前記接触継手部材は、ボールジョイントまたはユニバーサルジョイントのうちのいずれか一つである構成でもよい。
本発明に係る平板状ディスプレイ用洗浄装置において、前記非接触継手部材は、非接触区間で磁力によって動力が伝達できる磁力発生部材からなる構成でもよい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の平板状ディスプレイパネル用洗浄装置は、基板をブラッシングして洗浄するロールブラシが、ギャップ調節手段によって洗浄領域内で基板上に形成された微細なパターンに対応して最適な洗浄姿勢に変化する構造である。このため、基板の連続洗浄が可能であるだけでなく、洗浄効果を大幅に向上させることができる。また、前記ギャップ調節手段は、駆動源の回転動力又は直線動力を動力伝達部材によって変換しながらロールブラシの間隔を調節する構造である。このため、動力伝達構造が簡単であって、洗浄装置の小型化を実現することができ、バスの内部において容易に洗浄空間を確保することができ、製作及び維持補修にかかる費用も大幅に節減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の好ましい実施例を、添付した図１から図１０を参照してより詳細に説明する。
《実施例》  
本発明の実施例における平板状ディスプレイパネル用洗浄装置は、図１に示すように、基板（パネル）Ｐの上部又は下部の表面に対応して接触可能に位置するロールブラシ２と、ロールブラシ２を基板Ｐの表面に対するギャップを調整するため上下方向に移動可能に固定するギャップ調節手段４と、ロールブラシ２を回転させる駆動部６とを有し、その洗浄装置はバスＢの内部で一方向に移送され（動く）基板Ｐに対応するように位置している。
【００１６】
基板Ｐは、図１から図３には示していないが既によく知られている移送ローラーやベルト等の移送装置により、バスＢ内で水平な状態で移送される。
ロールブラシ２は、内部が中空である円筒パイプの外周面に複数の洗浄毛２ａを有する構造で、図１及び図２に示すような状態で固定されて基板Ｐの表面を洗浄する。各ロールブラシ２の洗浄毛２ａは、移送される基板Ｐの表面全体をブラッシングできる長さに製作されている。
【００１７】
ギャップ調節手段４は、ロールブラシ２が結合されている駆動軸８と、駆動軸８を支持する固定ブラケット１０ａ及び１０ｂと、固定ブラケット１０ａ及び１０ｂに回転可能に固定され、駆動軸８を上下方向に移動可能に固定する回転プレート１２と、回転プレート１２を回転させるように動力を発生する駆動源１４と、駆動源１４より発生する動力を回転プレート１２に伝達する動力伝達部材１６とを有する。
【００１８】
駆動軸８は、図２に示すように、ロールブラシ２の中空部を貫通し、ロールブラシ２と共に回転するようにセッティングされている。駆動軸８は、例えば金属や合成樹脂材質で製作される。駆動軸８は、図１に示すように、ロールブラシ２の両端部からそれぞれ所定の長さ突出している。ロールブラシ２の両端部からそれぞれ突出した部分は後述する固定ブラケット１０ａ及び１０ｂに支持されている。さらに、固定ブラケット１０ａに支持される側の駆動軸８の突出した部分は、その端部を後述する軸継手部材を介して動力を発生する駆動部６に連結されている。
【００１９】
本実施例では、図１から図３に示すように、上記のようにロールブラシ２が結合されている駆動軸８を二つ設置し、ロールブラシが、基板Ｐの移送方向に対応して基板Ｐの上部及び下部の表面を洗浄することができるようにしている。
【００２０】
固定ブラケット１０ａ及び１０ｂは、図１に示すように、所定の厚さの四角形の板形状に製作されている。固定ブラケット１０ａ及び１０ｂには、後述する回転プレート１２が回転可能に嵌合されている。固定ブラケット１０ａ及び１０ｂは、回転プレート１２に駆動軸８のロールブラシ２の両端部から所定の長さ突出した部分を、それぞれ貫通させることで、駆動軸８を支持している。固定ブラケット１０ａ及び１０ｂは、図面に示してはいないが、基板移送装置やバスＢの内部の底面において、ボルト等の締結部材によって堅固に固定されている。なお、本実施例では固定ブラケット１０ａ及び１０ｂは、図１に示すように、所定の厚さの四角形の板形状に製作しているが、前記の駆動軸８を支持する機能を果たすことができれば、この形状には限られない。
【００２１】
固定ブラケット１０ａには、図２及び図３に示すように、基板Ｐの移送区間に対応して基板Ｐの位置を感知するためのセンサー１８が基板Ｐの進入側と排出側に２ヶ所設置されている。
センサー１８は、後で説明する駆動源１４を制御することができるように電気的に連結されている。センサー１８には、例えば光センサーを用いることができる。図示してはいないが、センサー１８を設置していない固定ブラケット１０ｂには受光部が設置されている。センサー１８は、その受光部に光を照射して、洗浄領域に進入する基板Ｐの位置を検出する機能を有する。
【００２２】
センサー１８が基板Ｐの位置を検出したときのロールブラシ２の動作を簡略に説明する。基板Ｐの前端部が洗浄領域に進入した時、進入側のセンサー１８は駆動源１４に制御信号を送り、二つのロールブラシ２の間隔を基板Ｐの上部及び下部の表面をブラッシング可能な所定の位置に移動させる。基板Ｐの後端部が通過した時、排出側のセンサー１８は駆動源１４に制御信号を送り、二つのロールブラシ２を互いに接触しない所定の位置に移動させる。
センサー１８と駆動源１４とを電気的に連結する構造は、当該技術分野における通常の知識を有する者であれば容易に実施することができるので、より詳細な説明は省略する。
【００２３】
回転プレート１２は、所定の直径の円形の板形状に製作されている。回転プレート１２は、図２及び図３に示すように、固定ブラケット１０ａに形成されたガイド溝２０に回転可能に嵌合されている。図示してはいないが、回転プレート１２は、同様に固定ブラケット１０ｂのガイド溝２０にも回転可能に嵌合されている。
【００２４】
図９に示すように、ガイド溝２０のロールブラシ２が設置されている側には、回転プレート１２がガイド溝２０から外れないようにするために、フランジ形状のカバーＣが設置されている。ガイド溝２０のロールブラシ２が設置されていない側には、ガイド溝２０より小さい直径の貫通ホール２２が形成され、駆動軸８の両端部が貫通している。
【００２５】
回転プレート１２には、図２及び図６に示すように、段差のある固定ホール２４が形成されている。この固定ホール２４の段差には、駆動軸８を回転可能に固定する軸支持部材２６が嵌合され、堅固に固定されている。
【００２６】
固定ホール２４は、図３に示すように、固定ブラケット１０ａのガイド溝２０に回転可能に嵌合された回転プレート１２の中心部から、外れた位置に形成されている。図示してはいないが、固定ホール２４は、同様に固定ブラケット１０ｂのガイド溝２０にも回転可能に嵌合された回転プレート１２の中心部から、外れた位置に形成されている。
【００２７】
回転プレート１２の材質には、固定ブラケット１０ａ及び１０ｂの材質にもよるが、嵌合されているガイド溝２０内で円滑に回転させるために、摩擦が小さい合成樹脂や金属材質を選定するのが好ましい。軸支持部材２６には、本実施例では、ボールベアリングを用いて図示しているが、例えば滑りベアリング（sliding  bearing）、転がりベアリング（rolling  bearing）及びブッシュ（Bush）なども用いることができる。
【００２８】
固定ブラケット１０ａには、図２及び図４に示すように、二つの回転プレート１２に対応する位置に、駆動源１４及び動力伝達部材１６が各々設置されている。
駆動源１４は、減速機が一体に付着された歯車付きモーター（Geared  Motor）であり、回転動力を発生させる装置である。駆動源１４は、図４に示すように固定ブラケット１２に設置されている。後述するように駆動源１４には、前記のような回転動力を発生させる装置の他、直線動力を発生させる装置を用いることもできる。
【００２９】
動力伝達部材１６は、ウォーム軸１６ａとウォームホイール１６ｂとから構成されるウォームギヤ（Worm  Gear）である。動力伝達部材１６は、駆動源１４の動力により回転プレート１２が回転するように動力を伝達している。このようなウォームギヤは、一般に、互いに直交する状態に位置する二つの軸間の動力を伝達するために用いられる。
【００３０】
ウォーム軸１６ａは、駆動源１４、つまりモーター軸に水平に連結されて、図４に示すような状態で固定ブラケット１０ａ及び１０ｂに設置されている。ウォーム軸１６ａの両端部は、固定ブラケット１０ａ及び１０ｂ内で円滑に回転することができるようにベアリング又はブッシュ等によって回転可能に支持されている。
【００３１】
ウォームホイール１６ｂは、図４及び図６に示すように、回転プレート１２の外周面に嵌合結合により固定され、固定ブラケット１０ａ及び１０ｂのガイド溝２０に嵌合されて、ウォーム軸１６ａと噛合するようにセッティングされている。
【００３２】
本実施例では、ウォームホイール１６ｂが別途に製作されて回転プレート１２の外周面に嵌合結合によって固定されていることを説明したが、本発明は、これに限定されず、例えば回転プレート１２の外周面にウォームホイール１６ｂのようなギヤ部を一体に製作してもよい。
【００３３】
また、図３に示すように、回転プレート１２の中心部から外れた位置に形成されている固定ホール２４に嵌合される二つの駆動軸８は、ギャップ調整手段４の中心に対して、互いに対称になるようにセッティングされている。つまり、図５に示すように、駆動源１４及び動力伝達部材１６により回転プレート１２を回転させると、二つの駆動軸８に結合されているロールブラシ２の間隔が狭まったり広がったりするようにセッティングされている。
【００３４】
駆動源１４及び動力伝達部材１６は、二つのロールブラシ２の間隔が図５に示すように最大限に狭まったり広がったりするように、回転プレート１２が固定ブラケット１０ａ及び１０ｂのガイド溝２０においておおよそ１８０゜の範囲内で回転するようにセッティングされている。
【００３５】
次に、本実施例の平板状ディスプレイ用洗浄装置の洗浄動作について図１、図３、図５及び図７を参照して詳細に説明する。
図３に示すように、基板Ｐを洗浄装置のロールブラシ２の間に向けて水平に移動させる。基板Ｐの前端部を進入側のセンサー１８が感知した時、進入側のセンサー１８はギャップ調整手段４に制御信号を送る。制御信号に受けたギャップ調整手段４の駆動源１４が駆動し、動力伝達部材１６によって回転プレート１２を図５に示すような方向に回転させる。
【００３６】
そうすると、図７に示すように、二つの回転プレート１２を貫通している二つの駆動軸８の間隔が狭くなり、ロールブラシ２は、基板Ｐの上部及び下部の表面を洗浄可能な位置に移動する。ロールブラシ２は、後述する駆動部６（図１参照）が発生する動力によって回転して、基板の上部及び下部の表面のブラッシングを行う。基板Ｐの後端部が洗浄領域を通過したとき、固定ブラケット１０ａの排出側のセンサー１８がこれを感知し、ギャップ調整手段４に制御信号を送る。制御信号に受けたギャップ調整手段４の駆動源１４及び動力伝達部材１６は、前記と反対に作動して回転プレート１２を元来の位置まで回転させて、図３に示すように、二つのロールブラシ２を互いに接触しない所定の位置まで離隔さ
せる。
【００３７】
本実施例のギャップ調節手段４は、上記動作により、二つのロールブラシ２を、洗浄する基板Ｐの上部及び下部の表面に形成された微細なパターンに対応する洗浄姿勢になるように位置を調節することができる。
【００３８】
上記では、駆動源１４が回転動力を発生させる歯車付きモーターからなり、動力伝達部材１６が駆動源１４の回転動力に対応するウォームギヤ構造からなることを説明したが、これに限られるわけではない。
【００３９】
図８を用いて、回転動力を発生させる駆動源１４に代えて、直線動力を発生させる駆動源１５を用いた場合のギャップ調整手段４の上半分の構成について説明する。図８において、駆動源１５はシリンダーからなり、動力伝達部材１７は、一対のラックギヤ１７ａとピニオンギヤ１７ｂとからなる。動力伝達部材１７は、駆動源１５が発生させる直線動力を回転動力に転換し、回転プレート１２をガイド溝２０で回転することができるようする構造である。
【００４０】
ラックギヤ１７ａは、駆動源１５、つまりシリンダーのピストンロッドに連結されている。ピニオンギヤ１７ｂは、外接ギヤ（External  Gear）形状で回転プレート１２の外周面に嵌合、又は一体に製作されている。これ以外の構成においては同様の構成を有するので、重複する説明は省略する。
【００４１】
また、本実施例では、二つの回転プレート１２が、二つの駆動源１４又は１５によって、各々独立して動作することを説明したが、本発明は、これに限られるわけではない。
【００４２】
例えば、図示してはいないが、固定ブラケット１０ａ及び１０ｂによって互いに隣接して固定されている二つの回転プレート１２が、互いに動力伝達することができるようにする。つまり、回転プレート１２にウォームホイール１６ｂ又はピニオンギヤ１７ｂを互いに噛合可能となる位置にセッティングする。もしくは、回転プレート１２の外周面に動力伝達のためにスパーギヤ（Spur  Gear）を設置又は一体に製作して、二つの駆動軸８の両端部で一つの駆動源１４によって連動して作動するように構成することもできる。
【００４３】
動力伝達部材１６の動力伝達構造は、本実施例以外にも本発明の目的を満たす動力伝達構造であれば多様に適用することができる。
【００４４】
次に、駆動部６について、図１、図３及び図９を用いて説明する。
図１に示すように駆動部６は、回転動力を発生させる二つのモーターＭと減速機Ｍ１を有している。二つのモーターＭは、二つの駆動軸８の一端部に動力伝達が可能な位置で、それぞれ減速機Ｍ１と連結されている。減速機Ｍ１は、図示してはいないが、バスＢの外部で、別途に設けられた固定口等に堅固に固定されている。減速機Ｍ１は、二つのモーターＭの回転動力を所定の減速比率で減速して出力する装置である。
【００４５】
図９に示すように、二つの駆動軸８の一端部と減速機Ｍ１の出力軸との間には、軸継手部材２８が連結されている。軸継手部材２８には、ギャップ調節手段４によって、二つの駆動軸８が上下方向に位置が移動しても動力が伝達できるように、例えばボールジョイントやユニバーサルジョイント等を用いることができる。
【００４６】
軸継手部材２８、つまりボールジョイントやユニバーサルジョイントは、駆動軸８の一端部と減速機Ｍ１の出力軸の先端部との連結部をボールやヒンジで結合し、リンク運動を可能にした構造からなっている。つまり、軸継手部材２８は、駆動軸８の一端部と減速機Ｍ１の出力軸の先端部が互いに異なる角度になっても、連結部がこれに対応する角度に変化することで、動力を伝達させるようにした軸継手構造である。
【００４７】
図３に示すように、モーターＭは、駆動軸８に結合されたロールブラシ２を、基板Ｐの移送方向に対応して回転することができるようにセッティングされている。モーターＭの回転数は、減速機Ｍ１によって減速されて、ロールブラシ２が通常の基板の洗浄工程に適用される所定の回転数の範囲内で回転するように、セッティングされている。
【００４８】
本実施例では、駆動軸８の一端部が軸継手部材２８によって減速機Ｍ１と物理的に連結して動力を伝達する構造を説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、駆動軸８の一端部と減速機Ｍ１の出力軸の先端部を所定の距離離隔して、磁力を利用して動力を伝達させるように構成することもできる。
【００４９】
図１０を用いて、前記磁力によって駆動軸８に動力を伝達させる例を説明する。減速機Ｍ１の出力軸の先端部と駆動軸８の一端部とを所定の距離離隔して、各々その端部に二つの連結板３０ａ及び３０ｂを設置する。連結板３０ａ及び３０ｂは、電気を印加することにより磁力を発生させることができるもの、例えば電磁石である。
【００５０】
減速機Ｍ１の出力軸の先端部に設けた連結板３０ａは、駆動軸８の一端部に設けた連結板３０ｂより大きな直径を有する。例えば連結板３０ａの大きさは、洗浄装置の作動時に、回転プレート１２により駆動軸８の位置が移動しても、その駆動軸８の一端部に設けた連結板３０ｂの移動範囲を受容することができる大きさである。連結板３０ａ及び３０ｂには、駆動部６のモーターＭの駆動時に電気が印加されるようにセッティングされている。
【００５１】
以上の構成をしている洗浄装置において、駆動部６のモーターＭが回転すると、所定の距離離隔した二つの連結板３０ａ及び３０ｂに電気が印加されて、これらの間に磁力が生成される。この磁力がモーターＭの駆動力を駆動軸８に伝達することにより、ロールブラシ２を回転させることができるので、基板Ｐを洗浄することができる。
【００５２】
上記のような磁力を利用した動力伝達構造は、図１０に示すように、二つの連結板３０ａ及び３０ｂをバスＢの側壁を貫通しないで、側壁を隔てて設置することができる。これにより、バスＢの内部に外部から異物が流入するのを根本的に遮断することができ、バスＢの内部の洗浄環境をさらに向上させるのはもちろん、動力伝達構造が簡単であるので、装置の小型化に適しており、維持補修も容易にすることができる。
【００５３】
次に、本発明の平板状ディスプレイ用洗浄装置の好ましい洗浄動作を図１、図３、図５及び図７を参照して詳細に説明する。
【００５４】
本発明による洗浄装置が設置されるバスＢの内部には、図示してはいないが、基板Ｐが移送される区間に対応して、洗浄水供給装置と、洗浄前又は洗浄後に基板Ｐに残存する水気を噴射空気で除去するために、例えばエアーナイフ（Air  Knife）などが設置されている。
【００５５】
図１に示すように、バスＢの内部において、基板Ｐは、移送区間に対応してロールブラシ２の洗浄領域に移送される。移送される基板Ｐの前端部が進入側のセンサー１８に感知されると、駆動源１４の動力が動力伝達部材１６によって回転プレート１２に伝達される。回転プレート１２は固定ブラケット１０ａ及び１０ｂのガイド溝２０で、図５に示した方向に回転する。
【００５６】
そうすると、図７に示すように、回転プレート１２の回転中心部から外れた位置に形成された、固定ホール２４に嵌合されている二つの駆動軸８の距離が狭まり、駆動軸８に結合された二つのロールブラシ２が、基板Ｐの上部及び下部の表面に対応した洗浄可能な所定の位置に移動する。
【００５７】
ロールブラシ２は、ギャップ調節手段４によって洗浄可能な位置に移動すると同時に、駆動部６のモーターＭにより、図７に示すような方向に回転しながら、洗浄毛２ａで基板Ｐの上部及び下部の表面をブラッシングして、表面に付着した異物を除去する。図示してはいないが、基板Ｐの上部及び下部の表面と洗浄毛２ａの先端部には、所定の量の洗浄水が供給されている。
【００５８】
基板Ｐは、一方向に移送されながら表面が洗浄され、二つのロールブラシ２の間を通過する。固定ブラケット１０ａの排出側のセンサー１８が基板Ｐの後端部を感知すると、ギャップ調節手段４が上記と反対に作動して、図３に示すように、二つのロールブラシ２を互いに接触しないように元来の位置に移動させる。
【００５９】
したがって、ギャップ調節手段４により、洗浄領域を通過する基板Ｐに対応してロールブラシ２が最適な洗浄姿勢に変化しながら基板Ｐの上部及び下部の表面のブラッシングを行うことができるので、基板Ｐの連続洗浄はもちろん、洗浄効果も向上させることができる。
【００６０】
前記では、本発明による平板状ディスプレイ用洗浄装置の好ましい実施例について説明したが、本発明はこれに限定されず、特許請求の範囲、発明の詳細な説明、及び添付した図面の範囲内で多様に変形して実施することが可能であり、これも本発明の範囲に属する。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明の実施例における平板状ディスプレイ用洗浄装置の全体斜視図
【図２】本発明の実施例における平板状ディスプレイ用洗浄装置のギャップ調節手段の構造を示す部分拡大斜視図
【図３】本発明の実施例における平板状ディスプレイ用洗浄装置のギャップ調節手段の断面図
【図４】本発明の実施例における平板状ディスプレイ用洗浄装置の動力伝達部材の構造を示す部分拡大断面図
【図５】本発明の実施例における平板状ディスプレイ用洗浄装置の動力伝達部材の動作によってロールブラシの洗浄位置が移動する過程を示す部分拡大断面図
【図６】本発明の実施例における平板状ディスプレイ用洗浄装置の動力伝達構造を示す部分拡大斜視図
【図７】本発明の実施例における平板状ディスプレイ用洗浄装置のギャップ調節手段により、基板がロールブラシで洗浄される状態を示す断面図
【図８】本発明の実施例における平板状ディスプレイ用洗浄装置の動力伝達部材の他の構造を示す部分拡大断面図
【図９】本発明の実施例における平板状ディスプレイ用洗浄装置の動力伝達構造を示す部分拡大断面図
【図１０】本発明の実施例における平板状ディスプレイ用洗浄装置の他の動力伝達構造を示す部分拡大斜視図
【符号の説明】
【００６２】
２  ロールブラシ
２ａ  洗浄毛
４  ギャップ調節手段
６  駆動部
８  駆動軸
１０ａ、１０ｂ  固定ブラケット
１２  回転プレート
１４  駆動源
１５  シリンダー
１６、１７  動力伝達部材
１６ａ  ウォーム軸
１６ｂ  ウォームホイール
１７ａ  ラックギヤ
１７ｂ  ピニオンギヤ
１８  センサー
２０  ガイド溝
２２  貫通ホール
２４  固定ホール
２６  軸支持部材
２８  継手部材
３０ａ、３０ｂ  連結板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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