(57)【要約】【課題】  逆位相の共振周波数を把握することができ、検出した逆位相の共振周波数を表示、警告する電動機制御装置を提供する。【解決手段】  機械４に搭載されて移動可能に支持された可動部５と、可動部５を駆動する電動機３と、可動部５の動作量を検出する検出器６ａと、制御指令Ｃを受けて電動機３を駆動する制御器２と、を備えた電動機制御装置において、制御器２に動作指令信号を入力して電動機３を駆動させたとき、検出器２が検出した動作量Ｓｂと動作指令信号Ｃを演算し周波数特性ｆを得る周波数特性演算装置７と、周波数特性演算装置７により得られた周波数特性ｆから位相が反転している共振周波数があるかどうかを検出する逆位相判定器９と、から構成される周波数応答判定装置を備えた。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
機械に搭載されて移動可能に支持された可動部と、該可動部を駆動する電動機と、前記可動部の動作量を検出する検出器と、制御指令を受けて前記電動機を駆動する制御器と、を備えた電動機制御装置において、
前記制御器に動作指令信号を入力して前記電動機を駆動させたとき、前記検出器が検出した動作量と前記動作指令信号を演算し周波数特性を得る周波数特性演算装置と、前記周波数特性演算装置により得られた周波数特性から位相が反転している共振周波数があるかどうかを検出する逆位相判定器と、を有する周波数応答判定装置を備えたことを特徴とする電動機制御装置。
【請求項２】
前記逆位相判定器が、前記共振周波数に代えて、共振周波数でない低周波数領域の逆位相を判定することを特徴とする請求項１に記載の電動機制御装置。
【請求項３】
前記検出器は前記電動機の位置、速度、若しくは加速度、又は前記機械の可動部の位置、速度、若しくは加速度を検出して前記動作量とすることを特徴とする請求項１又は２に記載の電動機制御装置。
【請求項４】
前記逆位相判定器は、前記周波数特性の複数の共振周波数を抽出し、前記共振周波数の位相情報を検出し、あらかじめ決められている電動機制御系の極性と位相値又は他の位相値との比較により、共振周波数の位相の反転を検出することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の電動機制御装置。
【請求項５】
前記周波数応答判定装置が、さらに、表示器または警告を発するアラーム表示器とを備え、前記逆位相判定器が前記位相の反転を検出したとき、前記表示器に逆位相判定結果を表示させ、または前記アラーム表示器で警告を発せしめることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の電動機制御装置。
【請求項６】
前記アラーム表示器は、警告を発する他に、逆位相判定を文字または図で表示することを特徴とする請求項５に記載の電動機制御装置。
【請求項７】
前記アラーム表示器は、音発生手段を有し、逆位相判定を音で警告することを特徴とする請求項５又は６に記載の電動機制御装置。
【請求項８】
前記アラーム表示器は、逆位相判定を触覚刺激手段を用いて警告することを特徴とする請求項５〜７のいずれか１項に記載の電動機制御装置。
【請求項９】
前記アラーム表示器は、有線又は無線形式の通信機能を有し、遠隔地の前記表示手段、前記音発生手段、又は前記触覚刺激手段に通信にて逆位相判定を伝えることを特徴とする請求項５〜８のいずれか１項に記載の電動機制御装置。
【請求項１０】
機械に搭載されて移動可能に支持された可動部と、該可動部を駆動する電動機と、前記可動部の動作量を検出する検出器と、制御指令を受けて前記電動機を駆動する制御器と、を備えて成る電動機制御方法において、
前記電動機を駆動する前記制御器に動作指令信号を入力して前記電動機を駆動させたとき、該電動機によって駆動される前記可動部の動作量を検出し、検出した動作量と前記動作指令信号を演算して周波数特性を得、得られた周波数特性から位相が反転している共振周波数があるかどうかを検出する周波数応答判定方法を採用し、周波数応答判定方法の結果位相が反転している共振周波数が検出されたとき、この旨を警告または表示することを特徴とする電動機制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体製造装置や工作機械などの位置決め装置あるいは産業用ロボットに用いられる機械系と電動機制御系の設計やセットアップに関し、特にサーボ調整を最適に行なうため周波数応答判定を行う電動機制御装置および電動機制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置や工作機械、産業用ロボット等では機械先端の位置決めを重要視することが多い。位置決め精度には機械先端の共振周波数が大きく影響するため、前もって正確な共振周波数を把握することが望ましい。この必要性から、従来はコンピュータシミュレーションから事前に機械の共振周波数を割り出すという方法（例えば、特許文献１参照）がある。
【特許文献１】特開２０００−１７１２９０号公報
【０００３】
従来の機械の共振周波数を事前に得る技術としては、有限要素法によるコンピュータシミュレーションがある。シミュレーションにも多くの種類があるが、複雑な三次元形状をした構成部品における周波数特性をシミュレーションできるのは有限要素法だけである。有限要素法も解析すべき物理現象により幾つかの手法に細分化されるが、機械の運動機構をシミュレーションするには固有値解析と周波数応答解析を実施していた。
特許文献１記載の発明では、まずＣＡＤで機械の三次元形状を入力し、物性値（密度とヤング率）を定義し要素分割した後、機械の可動方向以外は全て拘束した解析モデルを固有値解析することで共振周波数を求め、この解析モデルのテーブル中心に実動作と同じ方向に、固有値解析で求めた共振周波数で調和振動する推力を加えて周波数解析することにより、センサヘッドの位置に対応した解析モデルの部位に関して周波数特性を求めていた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、有限要素法シミュレーションにより、事前に機械の共振周波数およびゲインを求めることは出来るが、有限要素法から求めた共振周波数と実測から求めた共振周波数は一致しないことが多い。
こういった課題が発生する原因は、作成した機械モデルが有限要素法シミュレーションの基本原則に対応していないところにある。有限要素法では有限個の要素が接点を介して連続的に結合するため、二個以上の構成部品から構成される解析モデルにおいて各機構部品は節点を介して他の機構部品と完全結合していなければならないが、実際の機械では隣接する部品は完全結合していない。
有限要素法でねじ等による部品間の固定状態を再現することは難しく、ほとんどの場合、隣接する部品は完全結合でモデル化するため剛性が上がり、共振周波数が実測よりも高めに出てしまう。これは有限要素法シミュレーションの弱点となっている。そのため、最終的には実機を使って判断せざるをえず、実機でのテスト項目が増える場合があった。特に、フルクローズド制御やリニアモータにおいて、駆動点とセンサが逆位相関係となるポイントを見逃す場合があった。
共振周波数に逆位相が含まれている場合、閉ループ間に共振成分が入り込み動作が不安定になる。そのためゲインが上げられない、つまり性能が出せなくなる問題がある。
更に、実機の電動機の極性を誤って動作すると電動機が暴走する危険もある。
【０００５】
図９は従来の共振周波数検出装置の動作を説明する模式図である。
図において、１は指令発生器、２は制御器、３は回転型電動機、４は機械、５は可動部、６ａ、６ｂは検出器、７は周波数特性演算装置、８ａ、８ｂは表示器である。
指令発生器１は指令信号Ｃを出力し、制御器２に入力する。指令発生器１から出力された指令信号Ｃに従って回転型電動機３を駆動する。
回転型電動機３に連結された検出器６ａ、６ｂの出力を動作量Ｓａ、Ｓｂとして周波数特性演算装置７に送る。動作量Ｓａ、Ｓｂとしては、電動機３の位置、速度、若しくは加速度、又は機械４の可動部５の位置、速度、若しくは加速度を検出して動作量Ｓａ、Ｓｂとすることができる。
周波数特性演算装置７は得られた動作量ＳａもしくはＳｂと、前記指令発生器が出力した指令信号Ｃを入力すると、周波数特性演算を実施し共振周波数検出結果ｆを算出して表示器８に送る。
表示器８は共振周波数検出結果ｆを表示する。
このようにこの電動機制御装置は共振周波数検出結果ｆを表示器８で表示することはできるが、共振周波数に逆位相が含まれている場合の判定が行えず、放置しておくと、閉ループ間に共振成分が入り込み動作が不安定になり、そのためゲインが上げられなくなり、性能が十分に出せなくなるという問題があった。
更に、実機の電動機の極性を誤って動作すると電動機が暴走する危険もあった。
そこで本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、高度な技術者でなくとも機械共振に基づいて現れる共振周波数と位相によって、センサ取り付け位置や方法の問題をチェックする電動機制御装置を提供し、電動機制御装置の配線ミス等を事前に知ることができ、したがって暴走の危険を防止することができる電動機制御装置および電動機制御方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記問題を解決するため、本発明は次のように構成して成る。
請求項１に記載の電動機制御装置の発明は、機械に搭載されて移動可能に支持された可動部と、該可動部を駆動する電動機と、前記可動部の動作量を検出する検出器と、制御指令を受けて前記電動機を駆動する制御器と、を備えた電動機制御装置において、前記制御器に動作指令信号を入力して前記電動機を駆動させたとき、前記検出器が検出した動作量と前記動作指令信号を演算し周波数特性を得る周波数特性演算装置と、前記周波数特性演算装置により得られた周波数特性から位相が反転している共振周波数があるかどうかを検出する逆位相判定器と、を有する周波数応答判定装置を備えたことを特徴とする。
このような周波数応答判定装置があるため、逆位相の共振周波数を検出することによって、電動機制御装置の配線ミスを事前に把握することができる。したがって暴走の危険を防止することができる。
請求項２に記載の発明は、請求項１記載の電動機制御装置において、前記逆位相判定器が、前記共振周波数に代えて、共振周波数でない低周波数領域の逆位相を判定することを特徴とする。
このようになっているため、共振周波数ではない低周波数領域の逆位相を判定することができる。したがって事前に警告でき電動機の暴走を防ぐことができる。
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の電動機制御装置において、  前記検出器が前記電動機の位置、速度、若しくは加速度、又は前記機械の可動部の位置、速度、若しくは加速度を検出して前記動作量とすることを特徴とする。
このようになっているため、電動機の位置、速度若しくは加速度、あるいは可動部の位置、速度若しくは加速度を動作量として検出して共振周波数を計測することができる。
請求項４に記載の発明は、請求項１〜３のいずれか１項に記載の電動機制御装置において、前記逆位相判定器が、前記周波数特性の複数の共振周波数を抽出し、前記共振周波数の位相情報を検出し、あらかじめ決められている電動機制御系の極性と位相値又は他の位相値との比較により、共振周波数の位相の反転を検出することを特徴とする。
このようになっているため、位相の反転を検出し警告することができる。
請求項５に記載の発明は、請求項１〜４のいずれか１項に記載の電動機制御装置において、前記周波数応答判定装置が、さらに、前記表示器または警告を発するアラーム表示器とを備え、前記逆位相判定器が前記位相の反転を検出したとき、前記表示器に逆位相判定結果を表示させ、または前記アラーム表示器で警告を発せしめることを特徴とする。
このようになっているため、逆位相の共振周波数を文字で表示し警告することができる。
【０００７】
請求項６に記載の発明は、請求項５記載の電動機制御装置において、前記アラーム表示器が、警告を発する他に、逆位相判定を文字または図で表示することを特徴とする。
このようになっているため、逆位相の共振周波数を図示で表示し警告することができる。
請求項７に記載の発明は、請求項５又は６記載の電動機制御装置において、前記アラーム表示器が、音発生手段を有し、逆位相判定を音で警告することを特徴とする。
このようになっているため、逆位相の共振周波数を音で認識し警告することができる。
請求項８に記載の発明は、請求項５〜７のいずれか１項に記載の電動機制御装置において、前記アラーム表示器が、逆位相判定を触覚刺激手段を用いて警告することを特徴とする。
このようになっているため、逆位相の共振周波数を触角で体感し警告することができる。
請求項９に記載の発明は、請求項５〜８のいずれか１項に記載の電動機制御装置において、前記アラーム表示器が、有線又は無線形式の通信機能を有し、遠隔地の前記表示手段、前記音発生手段、又は前記触覚刺激手段に通信にて逆位相判定を伝えることを特徴とする。
このようになっているため、逆位相判定を遠隔地の表示手段などに警告することができるようになる。
請求項１０に記載の電動機制御方法の発明は、機械に搭載されて移動可能に支持された可動部と、該可動部を駆動する電動機と、前記可動部の動作量を検出する検出器と、制御指令を受けて前記電動機を駆動する制御器と、を備えて成る電動機制御方法において、前記電動機を駆動する前記制御器に動作指令信号を入力して前記電動機を駆動させたとき、該電動機によって駆動される前記可動部の動作量を検出し、検出した動作量と前記動作指令信号を演算して周波数特性を得、得られた周波数特性から位相が反転している共振周波数があるかどうかを検出し、位相が反転している共振周波数が検出されたとき、この旨を警告または表示することを特徴とする
【発明の効果】
【０００８】
以上述べたように、本発明の装置および方法によれば、検出器信号の周波数特性から位相の反転を検出することによって、逆位相の共振周波数を把握することができ、表示器とアラーム表示器により検出した逆位相の共振周波数を表示、警告することができるという効果がある。
また、低周波数領域の逆位相を判定することによって、電動機制御装置の配線ミスを把握することができるという効果がある。
また、アラーム表示器が逆位相の共振周波数を文字若しくは図示または音発生手段、あるいは触角刺激手段を用いて警告することができ、更に遠隔地での逆位相の共振周波数においても伝えることができるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の具体的例を図に基づいて説明する。
【実施例１】
【００１０】
図１は本発明の電動機制御装置の構成を示す図である。
図において、１は指令発生器、２は制御器、３は回転型電動機、４は機械、５は可動部、６ａ、６ｂは検出器、７は周波数特性演算装置、８ａ、８ｂは表示器、９は逆位相判定器、１０ａ、１０ｂアラーム表示器である。
指令発生器１は指令信号Ｃを出力し、制御器２に入力する。指令発生器１から出力された指令信号Ｃに従って回転型電動機３を駆動する。
回転型電動機３に連結された検出器６ａ、６ｂの出力を動作量Ｓａ、Ｓｂとして周波数特性演算装置７に送る。動作量Ｓａ、Ｓｂとしては、電動機３の位置、速度、若しくは加速度、又は機械４の可動部５の位置、速度、若しくは加速度を検出して動作量Ｓａ、Ｓｂとすることができる。
周波数応答判定装置は周波数特性演算装置７と逆位相判定器９と表示器８ａ、８ｂとアラーム表示器１０ａ、１０ｂで構成される。
周波数特性演算装置７は得られた動作量ＳａもしくはＳｂと、前記指令発生器が出力した指令信号Ｃを入力すると、周波数特性演算を実施し共振周波数検出結果ｆを算出して表示器８および逆位相判定器９に送る。
【００１１】
逆位相判定器９は、周波数特性の複数の共振周波数を抽出して、共振周波数の位相情報を検出し、あらかじめ決められている電動機制御系の極性と位相値又は他の位相値との比較により、共振周波数の位相の反転を検出することができる。
具体的には、逆位相判定器９は、次の（１）〜（６）のいずれか１つ以上の方法を用いて逆位相判定を行う。
（１）共振周波数よりも低い低周波数領域の場合：
共振周波数よりも低い低周波数領域の場合には、あらかじめ決められている極性を見ることにより電動機制御装置の配線ミスを把握することができる。
図２はボード線図で、（ａ）は逆位相、（ｂ）は同位相の場合を示している。各図において、それぞれ横軸は周波数（Ｈｚ）の対数メモリ、縦軸は上図が位相（ｄｅｇｒｅｅ）、下図が振幅（ｍａｇｎｉｔｕｄｅ）［変位／力］対数メモリの１組となっている。
このため、図２（ａ）では、Ｌｏｇ１０近辺の位相Ａの極性が負であり、基準となる正極性Ｂと異なっているため、暴走の危険があることがわかる。
これに対して、図２（ｂ）では、Ｌｏｇ１０近辺の位相Ｃの極性が正であり、基準となる正極性Ｄと同一なので暴走の危険は無いことがわかる。
なお、ここで説明した周波数特性は変位応答の例を示したが、速度応答や加速度応答でもよい。
【００１２】
（２）周波数特性をボード線図で示した場合：
図３はボード線図で、（ａ）は逆位相、（ｂ）は同位相の場合を示している。各図において、それぞれ横軸は周波数（Ｈｚ）の対数メモリ、縦軸は上図が位相（ｄｅｇｒｅｅ）、下図が振幅［変位／力］対数メモリの１組となっている。
周波数特性をボード線図で示した場合には、共振周波数の位相角を見ることにより位相が判定できる。
このため、図３（ａ）ではある共振周波数Ａの位相角が他の共振周波数Ｂとは１８０度ずれて逆位相となっていることがわかる。したがって、この場合は暴走の危険があることがわかる。
これに対して、図３（ｂ）では位相角がずれている共振周波数が無い（共振周波数Ｃの位相角が他の共振周波数Ｄ同位相）ので、逆位相の共振周波数は無いことがわかる。したがって、この場合は暴走の危険は無い。
なお、ここで説明した周波数特性は変位応答の例を示したが、速度応答や加速度応答でもよい。
【００１３】
（３）変位応答または加速度応答の周波数特性をコクアド線図で示した場合：
図４は変位応答のコクアド線図で、（ａ）は逆位相、（ｂ）は同位相の場合を示している。各図において、それぞれ横軸は周波数（Ｈｚ）の対数メモリ、縦軸は上図が周波数応答関数の実数部［変位／力］、下図が虚数部［変位／力］の１組となっている。
変位応答（または加速度応答の場合も）の周波数特性をコクアド線図で示した場合には、虚数部の山側と谷側のピークが共振周波数となり、山側（正）と谷側（負）より位相の反転が判定できる。
このため、変位応答のコクアド線図の図４（ａ）では、共振周波数の中に逆位相Ａが含まれている周波数Ａがあることがわかる。
これに対して、図４（ｂ）では共振周波数の中に逆位相が含まれていないことがわかる。
【００１４】
（４）速度応答の周波数特性をコクアド線図で示した場合：
図５は速度応答のコクアド線図で、（ａ）は逆位相、（ｂ）は同位相の場合を示している。各図において、それぞれ横軸は周波数（Ｈｚ）、縦軸は上図が周波数応答関数の実数部［速度／力］、下図が虚数部［速度／力］の１組となっている。
速度応答の周波数特性をコクアド線図で示した場合には、実数部のピークが共振周波数となり、山側（正）と谷側（負）より位相が判定できる。
このため、図５（ａ）では、共振周波数のうち同位相の共振周波数Ｂ群に対して逆位相の周波数Ａが含まれていることがわかる。
図５（ｂ）では共振周波数の中に逆位相が含まれていないことがわかる。
【００１５】
（５）変位応答または加速度応答の周波数特性をナイキスト線図で示した場合：
変位応答または加速度応答の周波数特性をナイキスト線図で示した場合には、虚数部の正側と負側に書かれた円の上下の向きにより位相の反転が判定できる。
図６は変位応答（または加速度応答の場合も）周波数特性のナイキスト線図で、（ａ）は逆位相、（ｂ）は同位相の場合を示している。各図において、それぞれ横軸は実数部［変位／力］、縦軸は虚数部［変位／力］となっている。
このため、図６（ａ）では、共振周波数の中に逆位相Ａが含まれていることが判る（他の共振周波数Ｂは同位相）。
図６（ｂ）では、共振周波数の中に逆位相が含まれていないことがわかる（すべての共振周波数ＣもＤも同位相）。
【００１６】
（６）速度応答の周波数特性をナイキスト線図で示した場合：
速度応答の周波数特性をナイキスト線図で示した場合には、実数部の正側と負側に書かれた円の左右の向きにより位相の反転が判定できる。
図７は速度応答の周波数特性のナイキスト線図で、（ａ）は逆位相、（ｂ）は同位相の場合を示している。各図において、それぞれ横軸は実数部［速度／力］、縦軸は虚数部［速度／力］となっている。
このため、図７（ａ）では、共振周波数の中に逆位相のものＡが含まれていることがわかる（他の共振周波数Ｂは同位相）。
図７（ｂ）では、共振周波数の中に逆位相のものが含まれていないことがわかる（すべての共振周波数ＣもＤも同位相）。
【００１７】
従って、逆位相判定器９では、以下のことを行うことで逆位相の判定を行うことが可能となる。
（１）ボード線図の場合には、（イ）共振周波数よりも低い低周波数領域の極性が共振周波数の極性と同じかを見る。極性が同じであれば問題なし。極性が異なれば逆位相と判定し、次の表示器にその旨を知らせる。又は（ロ）すべての共振周波数の位相が同位相かを見る。同位相であれば問題ないが、異なる位相があれば逆位相と判定し、逆位相検出結果Ｐを表示器８に送る。
（２）コクアド線図の場合には、（イ）変位応答または加速度応答の場合には、虚数部のすべての共振周波数のピークが山側か谷側かで位相が同位相かを見る。又は（ロ）速度応答の場合には、実数部のすべての共振周波数のピークが山側か谷側かで位相が同位相かを見る。同位相であれば問題ないが、異なる位相があれば逆位相と判定し、逆位相検出結果Ｐを表示器８に送る。
（３）ナイキスト線図の場合には、（イ）変位応答または加速度応答の場合には、虚数部の正側と負側に書かれた円の上下の向きが同じ向きかを見る。又は（ロ）速度応答の場合には、実数部の正側と負側に書かれた円の左右の向きが同じ向きかを見る。同じ向きであれば問題ないが、異なる向きのループがあれば逆位相と判定し、逆位相検出結果Ｐを表示器８に送る。
【００１８】
共振周波数に逆位相が含まれている場合、ゲインの上限が制限されるので、性能を出せない傾向にある。ところが同位相の場合には、逆位相よりも共振の影響は小さいと判断できる。
表示器８は逆位相検出結果Ｐが送られて来た場合、アラーム表示器１０ａは、文字若しくは図示または音発生手段、あるいは触角刺激により逆位相の共振周波数を出力することができる。
更に、周波数応答判定装置は、有線もしくは無線形式の通信機能を用いることで、遠隔地で行なった測定の周波数特性検出結果ｆ、位相反転結果Ｐを表示器８ｂやアラーム表示器１０ｂで出力することが出来る。
アラーム表示器１０ａが逆位相判定を触覚刺激手段を用いて警告する場合、触覚刺激手段としては、例えば、上下移動可能な多数の接触手段を上下動させることで警告の内容を伝えたり、接触手段を変調振動させることで警告の内容を伝えたり、接触手段を温冷により警告の内容を伝えたりすることができる。
【００１９】
図８は本発明の第２実施例を示す図で、（ａ）は電動機制御装置の全体を示す模式図、（ｂ）はリニアモータと位置検出器との位置関係を示す概念斜視図である。
図において、１は指令発生器、２は制御器、３’は並進型電動機（リニアモータ）、４は機械、５は可動部、６は検出器、７は周波数特性演算装置、８ａ、８ｂは表示器、９は逆位相判定器、１０ａ、１０ｂアラーム表示器である。
リニアモータ３’で機械４を駆動している点と、リニアモータ３’の位置検出は図（ｂ）で示すように検出器６のみが検出する（すなわち、図１の回転電動機３の位置検出をする検出器（エンコーダ）６ａのようなものは無い）ので、周波数特性演算装置７が検出器６の動作量Ｓを入力すると周波数特性演算を行なう点が図１と異なっている。
その他の構成は全く同じであるので、説明は省略する。
また、周波数特性の計測と逆位相判定は第１実施例と同様にして検出できるので、この説明も省略する。
したがって、リニアモータ３’の制御装置の場合にも、本発明の装置および方法によれば、検出器信号の周波数特性から位相の反転を検出することによって、逆位相の共振周波数を把握することができ、表示器とアラーム表示器により検出した逆位相の共振周波数を表示、警告することができる。
また、アラーム表示器が逆位相の共振周波数を文字若しくは図示または音発生手段、あるいは触角刺激手段を用いて警告することができ、更に遠隔地での逆位相の共振周波数においても伝えることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の第１の実施例に係る電動機制御装置の模式図
【図２】周波数特性演算装置が生成する低周波数領域のボード線図
【図３】周波数特性演算装置が生成するボード線図
【図４】周波数特性演算装置が生成する、変位応答または加速度応答のコクアド線図
【図５】周波数特性演算装置が生成する、速度応答のコクアド線図
【図６】周波数特性演算装置が生成する、変位応答または加速度応答のナイキスト線図
【図７】周波数特性演算装置が生成する、速度応答のナイキスト線図
【図８】本発明の第２実施例に係る電動機制御装置を示す図で、（ａ）は電動機制御装置の全体を示す模式図、（ｂ）はリニアモータと位置検出器との位置関係を示す概念斜視図である。
【図９】従来の共振周波数検出装置の動作を説明する模式図
【符号の説明】
【００２１】
１：指令発生器
２：制御器
３：電動機
４：機械
５：可動部
６ａ、６ｂ：検出器
７：周波数特性演算装置
８：表示器
９：逆位相判定器
１０：アラーム表示器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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