(57)【要約】【課題】  従来のレーザ発振装置に使用されている連結棒は、熱膨張係数が小さいといえども熱により膨張しミラーの平行度およびミラー間距離が変化することに代わりがないという課題を有していた。【解決手段】  相対向する一対のミラー保持部材７、８の一方８に軸方向に摺動可能なベアリング９を設置し、支持手段である連結棒９の一端を保持部材７に固定し、他端を固定せずにベアリング９に支持させ、ミラー保持部材７、８をユニット取付板１３で基台１４に固定することにより、連結棒９の伸縮に関係なくミラーの平行度およびミラー間距離を維持することが可能となる。【選択図】  図1
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ媒質を励起する手段と、相対向する複数のミラーを有して前記 レーザ媒質から発生する光を増幅する共振手段と、前記複数のミラーをそれぞれ保持する複数の保持手段と、これらの保持手段間に橋渡しされて前記保持手段を相互に支持する支持手段とを備え、前記保持手段は前記支持手段の熱膨張または熱収縮による移動によって動かないように、前記支持手段は少なくとも１つの前記保持手段に対して相対移動可能に構成しているレーザ発振装置。
【請求項２】
支持手段は連結棒である請求項１記載のレーザ発振装置。
【請求項３】
支持手段は軸方向に摺動可能なベアリングを介して前記保持手段に連結されている請求項１または請求項２記載のレーザ発振装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ媒質を励起し、光増幅用ミラーで光増幅してレーザビームを出力するレーザ発振装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、金属加工などにレーザ発振装置が用いられる。
【０００３】
従来のレーザ発振装置は、レーザ媒質と、レーザ媒質を励起する電源と、平行に設置された光増幅ミラーで構成されているが、光増幅ミラーの平行度およびミラー間距離を維持し安定なレーザビーム出力を得るために、一対のミラー保持部材を連結支持している支持手段である連結棒は材質を熱膨張係数1×10-7（１／℃）以下であるカーボンファイバー製にしている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
図２は上記従来のレーザ発振装置を示しており、電極4を取り付けたガラス製のレーザ管２の中にレーザ媒質1となるガスを封入循環させ、励起手段である電源3を起動させ電極4に電圧をかけることにより、レーザ媒質1にエネルギが与えられ、また、発生した光を反射ミラー5と出力ミラー6により光が増幅され、その一部が出力ミラー6を透過し、レーザが発振される。
【０００５】
ここで、一対のミラー保持部材７にそれぞれ共振手段の反射ミラー5と出力ミラー6が取り付けられ、これらは連結棒9で相互に連結され支持されている。ミラー保持部材７と連結棒9は、ボルト10等の締結材で固定されている。
【０００６】
また、連結管11はレーザ管2とミラー保持部材7との間を連結し、レーザ管2を保持するレーザ管取付部材12と、ミラー保持部材7を基台14に取り付けるユニット取付板13で各々固定している。
【特許文献１】特開平０９−１１６２１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、従来のレーザ発振装置に使用されている連結棒９は、熱膨張係数が小さいといえども熱により膨張し、ミラーの平行度およびミラー間距離が変化することに代わりがないという課題を有していた。
【０００８】
本発明は、連結棒の熱的環境変化に伴う熱膨張に関係なく、ミラーの平行度およびミラー間距離を維持し、常に安定なレーザビーム出力を得ることができるレーザ発振装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のレーザ発振装置は、上記課題を解決するために、レーザ媒質を励起する手段と、相対向する複数のミラーを有してレーザ媒質から発生する光を増幅する共振手段と、複数のミラーをそれぞれ保持する複数の保持手段と、これらの保持手段間に橋渡しされて保持手段を相互に支持する支持手段とを備え、保持手段は支持手段の熱膨張または熱収縮による移動によって動かないように、支持手段は少なくとも１つの保持手段に対して相対移動可能に構成している。
【００１０】
上記構成において、支持手段は連結棒としている。
【００１１】
また、上記構成において、支持手段は軸方向に摺動可能なベアリングを介して保持手段に連結されている。
【００１２】
例えば、相対向する一対のミラー保持部材の少なくとも一方に支持手段である軸方向に摺動可能なベアリングを設置し、支持手段である連結棒を固定せず、ミラー保持部材をユニット取付板で基台に固定することにより、連結棒の伸縮に関係なくミラーの平行度およびミラー間距離を維持することが可能となる。
【発明の効果】
【００１３】
以上のように本発明は、相対向するミラー保持部材を連結する支持手段の一方を光軸方向に位置規制することをやめ、ミラー保持部材の独立性を得ることにより、支持手段の熱影響変化すなわち熱膨張変化に左右されず、温度変化があっても光増幅用のミラーの平行度およびミラー間距離を維持することが可能となり、その結果として安定したレーザビーム出力が得られるレーザ発振装置を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態について、図１を用いて説明する。
【００１５】
（実施の形態１）
図１において、電極4を取り付けたガラス製のレーザ管2の中にレーザ媒質1となるガスを封入循環させ、励起手段である電源3を起動させ電極4に電圧をかけることにより、レーザ媒質1にエネルギが与えられ、また、発生した光を反射ミラー5と出力ミラー6により光が増幅され、その一部が出力ミラー6を透過し、レーザが発振される。
【００１６】
ここで、相対向するミラー保持手段のミラー保持部材7とミラー保持部材8にそれぞれ共振手段の反射ミラー5と出力ミラー6が取り付けられ、ミラー保持部材7と支持部材である連結棒9の後端は固定ボルト10で締結され、対向するミラー保持部材8には軸方向に摺動可能なベアリング15が設けられ、連結棒9の先端が軸としてベアリング１５に配置され支持されている。
【００１７】
つまり、連結棒9はベアリング15の取付部において例えば軸方向に固定されておらず、ミラー保持部材8はユニット取付板13により基台14に固定された構成となっている。その他図２と共通する部分に同一符号を付している。
【００１８】
以上のように構成されたレーザ発振装置は、温度変化により連結棒9が軸方向に伸縮しても連結棒９の一端が固定され他端は固定されてなく、連結棒９の先端は保持部材８に対して相対移動可能になっているため、ミラー保持部材8は連結棒９の膨張収縮に追従して移動せず、ミラー５、６の平行度およびミラー５、６間距離を維持することができ、その結果として安定したレーザ出力を得ることができる。
【００１９】
なお、反射ミラー5と出力ミラー6が平行に維持できるようにガイド上に独立して相対向するミラー保持部材を構成しても同様である。
【００２０】
また、ベアリング15をボールベアリングにすれば、軸方向に直角に膨張してもボールベアリングのボールが均等に変化して軸心を合わせ、ミラー保持部材の位置ずれをなくす作用がある。
【産業上の利用可能性】
【００２１】
本発明にかかるレーザ発振装置は、相対向するミラー保持部材を連結する支持手段の一方を光軸方向に位置規制することをやめ、ミラー保持部材の独立性を得ることにより、支持手段の熱影響変化すなわち熱膨張変化に左右されず、温度変化があっても光増幅用のミラーの平行度およびミラー間距離を維持することが可能となり、その結果として安定したレーザビーム出力が得られるという効果を有し、レーザ媒質を励起し、光増幅用ミラーで光増幅してレーザビームを出力するレーザ発振装置等として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明のレーザ発振装置の一実施の形態を示す構成図である。
【図２】従来のレーザ発振装置を示す構成図である。
【符号の説明】
【００２３】
1  レーザ媒質
2  レーザ管
3  電源
4  電極
5  反射ミラー
6  出力ミラー
7  ミラー保持部材
8  ミラー保持部材
9  連結棒
10  固定ボルト
11  連結管
12  レーザ管取付部材
13  ユニット取付板
14  基台
15  ベアリング
【図１】
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【図２】
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