(57)【要約】【課題】高い突起形成効率により、表面に微細なテクスチャーが付与され、かつ耐酸性に優れたガラス基材を提供する。【解決手段】ＳｉＯ2、Ｂ2Ｏ3、Ｐ2Ｏ5、ＧｅＯ2、Ａｓ2Ｏ5、ＺｒＯ2、ＴｉＯ2、ＳｎＯ2，Ａｌ2Ｏ3、ＭｇＯおよびＢｅＯから選ばれる少なくとも１種の酸化物を含み、この少なくとも１種の酸化物の含有率が９０モル％を超える組成を有するガラス基材の表面の所定領域を押圧し、次いでこの所定領域を含む領域をエッチングすることにより上記表面に凹凸を形成する。このガラス基材の組成では、網目形成体または中間体の酸化物の比率が高くなるため、ガラス基材が圧縮されやすくなる。このため、エッチャントに溶出しやすい成分の選択的溶出を利用しなくても高い突起形成効率を得ることができるようになり、耐酸性との両立も容易となる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＳｉＯ2，Ｂ2Ｏ3，Ｐ2Ｏ5，ＧｅＯ2，Ａｓ2Ｏ5，ＺｒＯ2，ＴｉＯ2，ＳｎＯ2，Ａｌ2Ｏ3，ＭｇＯおよびＢｅＯから選ばれる少なくとも１種の酸化物を含み、前記少なくとも１種の酸化物の含有率が９０モル％を超える組成を有するガラス基材の表面の所定領域を押圧し、次いで前記所定領域を含む領域をエッチングすることにより前記表面に凹凸を形成する、凹凸のある表面を有するガラス基材の製造方法。
【請求項２】
前記組成が、ＳｉＯ2を必須成分として含有する請求項１に記載のガラス基材の製造方法。
【請求項３】
前記組成において、ＳｉＯ2の含有率が７４モル％以上である請求項２に記載のガラス基材の製造方法。
【請求項４】
前記組成において、ＳｉＯ2の含有率とＡｌ2Ｏ3の含有率との差が７０モル％以上である請求項２または３に記載のガラス基材の製造方法。
【請求項５】
前記組成が、Ａｌ2Ｏ3およびＢ2Ｏ3から選ばれる少なくとも一方を必須成分として含有する請求項２〜４のいずれか１項に記載のガラス基材の製造方法。
【請求項６】
前記組成において、Ａｌ2Ｏ3およびＢ2Ｏ3から選ばれる少なくとも一方の含有率が５〜２０モル％である請求項５に記載のガラス基材の製造方法。
【請求項７】
前記少なくとも１種の酸化物の含有率が９３〜９５モル％である請求項１〜６のいずれか１項に記載のガラス基材の製造方法。
【請求項８】
前記組成が、２価金属の酸化物およびＫ2Ｏから選ばれる少なくとも一方を０．１モル％以上含有する請求項１〜７のいずれか１項に記載のガラス基材の製造方法。
【請求項９】
前記組成が、Ｌｉ2Ｏを実質的に含まない請求項１〜８のいずれか１項に記載のガラス基材の製造方法。
【請求項１０】
前記ガラス基材が石英ガラスである請求項２に記載のガラス基材の製造方法。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか１項に記載の製造方法により得た、凹凸のある表面を有するガラス基材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、凹凸のある表面を有するガラス基材を製造する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気記録媒体用基板、光学素子等の用途では、ガラス基材の表面に形成した微小な凹凸を求められることがある。ガラス基材の表面に微細なテクスチャーを付与するには、典型的な脆性材料であるガラスに適した方法を用いる必要がある。
【０００３】
ガラス基材の表面に密度差を与え、この密度差により生じるエッチングレートの相違を利用して表面に凹凸を形成する加工方法が提案されている（特許文献１、２）。この加工方法では、まず、ガラス基材の表面に、例えばダイヤモンド製の圧子を押し当てることにより部分的に圧縮層を形成し、次いでこの表面を、例えばフッ化水素酸（フッ酸）を用いてエッチングする。圧縮層ではエッチングレートが相対的に低下するため、エッチング後、圧縮層を形成した領域に凸部が形成される。
【０００４】
特許文献１は、この加工方法にＳｉＯ2およびＡｌ2Ｏ3を含むガラスが適していることを開示している。ガラス中のＡｌ2Ｏ3は酸性のエッチャントに溶出しやすい。しかし、高密度化した部分ではＳｉＯ2の網目構造が緻密化されているため、Ａｌ2Ｏ3の溶出が抑制される。こうして生じるエッチングレートの相違により微小な凹凸が形成される。
【０００５】
特許文献２は、上記加工方法にはＳｉＯ2の含有率とＡｌ2Ｏ3の含有率との差（ＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3）が４０〜６７モル％、特に４７〜５７モル％であるガラスが適していることを開示している。この条件を満たすガラスを用いれば、突起形成効率が向上し、エッチング後に高い凸部を得ることができる。特許文献２の図５によれば、突起形成効率は、ガラス組成における（ＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3）が４７〜５７モル％の範囲でピークを示す。
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−１６０９４３号公報
【特許文献２】特開２００３−７３１４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記特許文献の記載に従い、突起形成効率が高くなる組成を有するガラスを用いると、その結果得られるガラス基材の化学的耐久性、特に耐酸性は十分ではない。このように、従来の加工方法は、ガラス表面に微細なテクスチャーを付与するには適しているが、耐酸性の維持と高い突起形成効率との両立に困難があり、ここに改善の余地を残していた。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明では、押圧に伴うガラスの密度変化を大きくすることにより突起形成効率を向上させ、突起形成効率と耐酸性との両立を図ることとした。各種ガラス組成を用いた検討の結果、Ａｌ2Ｏ3の選択的溶出ではなく、ガラスの局所的な密度変化を大きくとることによっても突起形成効率が向上することが見出され、本発明はこの知見に基づいて完成された。
【０００９】
即ち、本発明は、ＳｉＯ2，Ｂ2Ｏ3，Ｐ2Ｏ5，ＧｅＯ2，Ａｓ2Ｏ5，ＺｒＯ2，ＴｉＯ2，ＳｎＯ2，Ａｌ2Ｏ3，ＭｇＯおよびＢｅＯから選ばれる少なくとも１種の酸化物を含み、上記少なくとも１種の酸化物の含有率が９０モル％を超える組成を有するガラス基材の表面の所定領域を押圧し、次いでこの所定領域を含む領域をエッチングすることにより上記表面に凹凸を形成する、凹凸のある表面を有するガラス基材の製造方法を提供する。上記に列挙した酸化物を２種以上含む場合、酸化物の含有率の合計が９０モル％を超えればよい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、部分的な押圧工程とエッチング工程とを含むガラス基材の加工方法において、突起形成効率と耐酸性との両立を容易に実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、成分の含有率を示す％表示はすべてモル％である。
【００１２】
一般に、ガラスの構造は、不規則網目モデルにより説明されている。このモデルに従うと、酸化物ガラスでは、Ｓｉ4+に代表される網目形成体が酸素（Ｏ2-）とともに不規則な網目構造（ガラス骨格）を形成し、この網目中にＮａ+に代表される網目修飾体が局色的な電気的中性を保持するように分布している。陽イオンの役割（網目形成体となるか網目修飾体となるか）は、当該陽イオンの酸素の配位数、酸素との結合の強さ等に依存する。網目形成体は酸素との単結合の強さが相対的に高く、網目修飾体はこの値が相対的に低い。網目形成体として機能する代表的な元素はＳｉ，Ｐ，Ｇｅ，Ａｓであり、典型的な網目修飾体はＬｉ，Ｎａ，Ｋ，Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａである。網目修飾体は、網目構造の隙間に入り込み、網目構造の圧縮を阻害する。
【００１３】
ガラスの表面の一部に圧子等の部材が押し込まれると、ガラスの網目構造には高密度部分と低密度部分が生じる。高密度部分では、Ａｌ2Ｏ3の溶出が阻害されるためエッチングレートが遅くなる。また、エッチングレートの変化は、密度の変化量が大きいほど大きくなる。しかし、従来のガラスでは、密度の変化量が小さかったため、密度の変化に伴うエッチングレートの相違も小さい範囲にとどまっていた。これは、従来の加工方法に用いられていたガラスが、原料の熔融性等を改善するために、アルカリ金属酸化物およびアルカリ土類金属酸化物を相当量（少なくとも１０％以上）含み、これら酸化物から供給される網目修飾体が網目構造の部分的な圧縮を阻害していたためである。このため、従来の突起形成機構は、僅かな密度変化で大きなエッチングレートの変化を引き起こすＡｌ2Ｏ3の選択的溶出の補助を必要とするものとなり、ガラス組成においてもＳｉＯ2の含有率とＡｌ2Ｏ3の含有率との差が所定範囲にあることが重要とされてきた。
【００１４】
しかし、上記に開示したように、ＳｉＯ2，Ｂ2Ｏ3，Ｐ2Ｏ5，ＧｅＯ2，Ａｓ2Ｏ5，ＺｒＯ2，ＴｉＯ2，ＳｎＯ2，Ａｌ2Ｏ3，ＭｇＯおよびＢｅＯの含有率の合計を９０％を超える範囲として網目修飾体の含有率を制限すれば、ガラスは十分に圧縮されやすくなり、その結果、耐酸性の向上を図りつつ、高い突起形成効率を得ることが可能となる。
【００１５】
網目修飾体を供給する典型的な酸化物は、Ｌｉ2Ｏ，Ｎａ2Ｏ，Ｋ2Ｏ，ＣａＯ，ＳｒＯ，ＢａＯである。本発明では、これらの酸化物の合計量は１０％未満に制限される。上記に列挙した酸化物（Ｌｉ2Ｏ〜ＢａＯ）を構成する陽イオンとは異なり、Ｍｇ2+，Ｂｅ2+は、２族に属するが、おそらくはイオン半径がやや小さいために、突起形成効率を顕著には低下させない。Ｍｇ2+は、網目修飾体として分類されることもあるが、本明細書では、Ｚｒ4+，Ｔｉ4+，Ｓｎ4+，Ｂｅ2+等とともに、網目形成体と網目修飾体の中間の機能を有する中間体に分類する。
【００１６】
Ｂ3+およびＡｌ3+は、上記に列挙した酸化物（Ｌｉ2Ｏ〜ＢａＯ）の量以下の範囲では網目形成体としてふるまう。この量を超えるＢ3+およびＡｌ3+については、Ｍｇ2+等と同様、イオン半径が小さいため、本明細書では中間体として分類する。
【００１７】
本発明では、ガラス基材の組成が、ＳｉＯ2を、好ましくはその含有率が７４％以上となるように、必須成分として含有することが好ましい。また、網目修飾体の含有率が低い組成では、上記特許文献の教示とは逆に、ＳｉＯ2の含有率とＡｌ2Ｏ3の含有率との差が７０％以上であるほうが突起形成効率と耐酸性との両立を図りやすい。
【００１８】
ガラス基材の組成は、ＳｉＯ2等とともに、Ａｌ2Ｏ3およびＢ2Ｏ3から選ばれる少なくとも一方を必須成分としてさらに含むことが好ましい。これらの酸化物は、酸性エッチャントに選択的に溶解するため、突起形成効率の向上に寄与しうる。Ａｌ2Ｏ3およびＢ2Ｏ3から選ばれる少なくとも一方の含有率は５〜２０％、特に１０〜２０％、が好ましい。これら成分の量が合計で２０％を超えると、耐酸性が低下し、ガラスが分相しやすくなる。分相したガラスでは、相によってエッチングレートが異なるため、微小な凹凸を形成した平滑な表面を得ることが困難となる。
【００１９】
Ｂ2Ｏ3は、網目形成体を供給するとともにガラスを柔らかくする効果を奏する好ましい成分である。Ｂ2Ｏ3の好ましい添加量は、０％を超え２０％以下、さらには５〜２０％、特に８〜２０％、である。
【００２０】
ガラス網目構造の大きな圧縮が大きなエッチングレート差を生み出す。これを考慮すると、網目形成体の酸化物の含有率は高いほうがよく、例えばＳｉＯ2の含有率と、Ａｌ2Ｏ3およびＢ2Ｏ3から選ばれる少なくとも一方の含有率の合計は、９０％以上が好ましい。
【００２１】
一方、多成分系のガラスにおいて、網目形成体の酸化物（網目形成酸化物）または中間体の酸化物（中間酸化物）の含有率の合計が高すぎると、ガラスの耐酸性は却って劣化することがある。このため、上記に列挙した酸化物（ＳｉＯ2〜ＢｅＯ）の含有率の合計は、９５％以下、例えば９３〜９５％が好適である。
【００２２】
ガラスの分相を防ぐためには、２価金属の酸化物およびＫ2Ｏから選ばれる少なくとも一方を、０．１％以上添加するとよい。ここで、２価金属には、Ｍｇ，Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａ，Ｚｎ等が含まれる。同様の観点からＬｉ2Ｏを実質的に含まないガラスを用いることが好ましい。ここで、実質的に含まないとはその含有率が０．１％未満であることをいう。
【００２３】
本発明に適したＳｉＯ2を主成分とする多成分系のガラス組成を以下に例示する。
【００２４】
ＳｉＯ2：７４〜８４％、特に８０〜８４％、
Ａｌ2Ｏ3：０〜５％、特に０．５〜３％、
Ｂ2Ｏ3：５〜２０％、特に８〜２０％、
Ａｌ2Ｏ3＋Ｂ2Ｏ3：５〜２０％、特に１０〜２０％、
ＳｉＯ2＋Ａｌ2Ｏ3＋Ｂ2Ｏ3：９０〜９６％、特に９３〜９５％、
Ｌｉ2Ｏ：０〜０．１％、
Ｎａ2Ｏ：２％以上１０％未満、特に４〜６％、
Ｋ2Ｏ：０〜２％、
Ｎａ2Ｏ＋Ｋ2Ｏ：４％以上１０％未満、
ＣａＯ：０〜３％、
ＳｒＯ：０〜３％、
ＢａＯ：０〜３％、
Ｌｉ2Ｏ＋Ｎａ2Ｏ＋Ｋ2Ｏ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ：４％以上１０％未満
ＭｇＯ：０〜３％、
【００２５】
この好ましいガラス組成は、さらに、ＺｒＯ2、ＴｉＯ2、ＳｎＯ2およびＺｎＯから選ばれる少なくとも１種を合計で５％を超えない範囲でさらに含んでいてもよい（ＺｒＯ2＋ＴｉＯ2＋ＳｎＯ2＋ＺｎＯ：０〜５％）。また、Ｆｅ2Ｏ3、ＭｎＯ、ＮｉＯ、Ｃｒ2Ｏ3、ＣｏＯ等の着色成分を合計で１％を超えない範囲でさらに含んでいてもよい（Ｆｅ2Ｏ3＋ＭｎＯ＋ＮｉＯ＋Ｃｒ2Ｏ3＋ＣｏＯ：０〜１％）。また、上記に列挙しない成分が不純物として１％を超えない範囲で混入していても構わない（その他成分：０〜１％）。
【００２６】
本発明に適した別のガラスは石英ガラスである。ＳｉＯ2からなる石英ガラスは、熱膨張係数が低く、化学的耐久性が高く、紫外線透過性にも優れている。上記特許文献が開示する突起形成機構（Ａｌ2Ｏ3の選択的溶出）からは想定できないが、石英ガラスを用いることによっても突起形成効率と耐酸性の両立は可能である。石英ガラスをエッチングする際には、例えばフッ酸の濃度を上げ、Ａｌ2Ｏ3が選択的に溶出するガラス組成に適用するよりもガラスがエッチングされやすい条件を適用するとよい。エッチング条件を適切に調整すれば、石英ガラスからも十分に実用的な突起形成効率が得られる。このように、本発明は、実質的に網目形成体のみを含む（例えば網目形成酸化物が９９％以上である）ガラス基材にも適用できる。
【００２７】
ガラス表面の所定領域に密度差を導入する工程、この所定領域を含む範囲においてガラス表面をエッチングする工程は、それぞれ特許文献１，２に開示されている方法に従って行えばよい。
【００２８】
ガラス表面の密度差は、例えば、ガラス基材１よりも硬度が高い圧子２を、クラックが生じることなく圧縮層が形成される圧力でガラス表面に押し当てることにより導入できる（図１）。この圧力は、ダイヤモンド圧子の場合は０．３〜４ＧＰａ程度、例えば０．３〜２ＧＰａ、が好ましい。平坦な表面（図１（ａ））への圧子２の押入により、ガラス基材１の表面には凹部３が形成され、凹部３の下にはガラスが高密度化した圧縮層４が生成する（図１（ｂ））。凹部３とその周辺部を酸性エッチャントに接触させると、エッチングレートの相違により、圧縮層４が形成された領域が凸部５となる（図１（ｃ））。酸性エッチャントとしては、フッ酸が好適である。非圧縮領域６ではガラス成分の選択的溶出が相対的に大きく進行するため、ＳｉＯ2の比率が相対的に高くなった変質層（多孔質層）７が形成されることがある。この層７は、必要に応じ、アルカリ性エッチャントを用いて除去すればよい（図１（ｄ））。アルカリ性エッチャントとしては、例えば水酸化カリウム水溶液が好適である。
【００２９】
島状にではなく、尾根状（リッジ状）の凸部を形成するには、圧子８をガラス表面に押し当てながらこの表面に対して相対的に移動させればよい（図２）。ガラス基材１の表面に、圧子８の軌跡に沿って形成された圧縮層９（図２（ａ））は、非圧縮領域１１よりも酸性エッチャントに対するエッチングレートが相対的に小さくなるため、エッチング後には凸部１０が現れる（図２（ｂ））。この形態でも、変質層１２は、必要に応じてアルカリ性エッチャントにより適宜除去すればよい（図２（ｃ））。
【００３０】
ガラス表面に密度差を導入できる限り、圧子の形状、材質等に制限はない。例えば、走査型プローブ顕微鏡のプローブを圧子として用いれば、精密に凸部を形成できる。
【００３１】
押圧によりガラスに密度差を導入するのであれば圧子を用いなくてもよく、ガラス表面への微小粒子の吹きつけはその一例である。凸部を形成した金型を用いれば、ガラス表面に効率よく密度差を導入できる。形成すべき所定のパターンに対応する島状または線状の凸部をガラス表面に押圧する工程を導入すれば、同一パターンの微小凸部を形成したガラス基材を効率よく量産できる。
【００３２】
以下、本発明を実施例により、さらに詳細に説明する。
【００３３】
表１に示す組成となるように、サンプル２〜１７のバッチを、一般的なガラス原料（酸化珪素、酸化硼素、酸化アルミニウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸ストロンチウム、炭酸バリウム、酸化ジルコニウム）を用いて調合した。これらのバッチは、１３５０℃に保持した電気炉中で熔融し、さらに１６００℃に昇温して清澄し、鉄板上に流し出してガラスサンプルとした。各ガラスサンプルは、６５０℃の電気炉中で３０分間保持し、電源を切って自然冷却することにより内部応力を緩和した。これらのガラスサンプルを板状に加工し、さらに表面を平滑に研磨した。
【００３４】
サンプル１については、市販の石英基板を用いた。この基板は、表面を研磨した後に、１１９０℃に２時間保持した後に電気炉の電源を切って自然冷却して内部応力を緩和した。
【００３５】
上記のように、内部応力の緩和のため、ガラス基材は熱により変形しない温度、例えば徐冷点以下の温度で予め熱処理することが好ましい。この熱処理は、ガラスの徐冷点よりも低い温度、例えば絶対温度で表示したガラスの歪点に０．７を乗じた温度で行うことも可能である。
【００３６】
次いで、各ガラスサンプルの表面上で市販のステンレス製カッターナイフを掃引し、２００μｍ間隔で長さ１０ｍｍの２本の線状圧痕を形成した。触針式の表面凹凸計により測定したところ、圧痕の深さはサンプル１では約５０ｎｍ、その他のガラスサンプルでは約１００ｎｍであった。
【００３７】
引き続き、ガラスサンプルの表面の一部を、市販のシリコンウェハ用マスク材を用いてマスキングした。さらに、この表面を、６０℃に加熱した濃度０．２％のフッ酸に３０分間浸漬した。ただし、サンプル１については、５０℃に加熱した濃度１．０％のフッ酸に１０分間浸漬した。エッチング後に形成された表面の微小凸部の高さを、表面凹凸計を用いて測定し、マスク部分と非マスク部分の段差から、エッチングレートを算出した。また、エッチング量ｅ、初期の圧痕深さｄ、凸部の高さｈから、突起形成効率（（ｈ＋ｄ）／ｅ）を算出した（図５参照）。これらの結果を表１に併せて示す。
【００３８】
【表１】
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【００３９】
典型的な網目修飾酸化物（Ｌｉ2Ｏ，Ｎａ2Ｏ，Ｋ2Ｏ，ＣａＯ，ＳｒＯ，ＢａＯ）の合計量が１０％未満であり、網目形成酸化物と中間酸化物の含有率の合計が９０％を超えるサンプル１〜１２では、突起形成効率が０．５以上となった。これに対し、サンプル１３〜１７では、突起形成効率は０．３未満であった。
【００４０】
これらガラスサンプルについて、エッチングレートおよび突起形成効率と、ガラス組成における網目形成酸化物と中間酸化物の合計量との関係を、図３、図４に示す。この酸化物の合計量が９０％を超えると、突起形成効率が急激に向上した（図３）。理由の詳細は明らかではないが、網目構造の圧縮を阻害する網目修飾体の比率が酸化物換算で１０％を下回ると、網目構造の圧縮自体が突起形成効率に寄与する効果が顕著となる。一方、エッチングレートは、上記酸化物の合計量が９３〜９５％で極小となっており（図４）、この範囲の組成でより高い耐酸性が得られることが確認できる。
【００４１】
さらに、サンプル２，３の組成となるように、上記の方法により各２枚のガラスサンプルを作製した。内各１枚は、再び５８０℃に加熱し、毎分５℃の速度で降温する熱処理を行った。こうして得た各ガラスサンプルについて、上記と同様にして、微小凸部を形成した。ただし、エッチングは、７０℃に加熱した１％のフッ酸に１５分間浸漬することにより行った。熱処理により、サンプル２のエッチングレートは２１２ｎｍ／分から５４２ｎｍ／分へ、サンプル３のエッチングレートは１７２ｎｍ／分から３１２ｎｍ／分へと増加した。この増加はガラスの分相によるものである。ただし、突起形成効率はともに０．６７であり、特にＫ2Ｏを含有するサンプル３では分相の程度は低かった。サンプル２〜１２の組成でも容易に分相は回避できる。しかし、分相の危険がある熱処理を伴う用途では、分相後のエッチングに伴う不規則な表面凹凸を防ぐために、Ｋ2Ｏを２％程度を超えない範囲（０％を超え２％以下の範囲）で添加することが好ましい。
【００４２】
上記と同様の実験から、上記に列挙した２価金属の酸化物を０．１％以上添加しても、分相は回避またはその程度が緩和できることが確認できた。ただし、２価金属の酸化物は、フッ酸に溶解した後に難溶性のフッ化物塩を形成し、基板表面に沈着することがある。この沈着物は均質なエッチングを妨げる。このため、２価金属の酸化物の含有率の合計は２％以下にとどめるとよい。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
本発明によれば、微細なテクスチャーを表面に有し、耐酸性に優れたガラス基材を効率よく製造できる。このガラス基材は、従来からの用途とともに、特に高い化学的耐久性が要求される用途、例えばマイクロ化された化学分析システム（Micro Total Analysis Systems；μＴＡＳ）等の用途において、高い利用価値を有する。石英ガラスを用いる場合、本発明により得たガラス基材は、アサーマルな光学用の微小レンズ、回折格子等において特に高い利用価値を有する。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の製造方法の一例を示す図である。
【図２】本発明の製造方法の別の一例を示す図である。
【図３】突起形成効率とガラス組成との関係を示す図である。
【図４】エッチングレートとガラス組成との関係を示す図である。
【図５】突起形成効率の算出方法を説明するための図である。
【符号の説明】
【００４５】
１  ガラス基材
２，８  圧子
３  凹部
４，９  圧縮層
５，１０  凸部
６，１１  非圧縮領域
７，１２  変質層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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