(57)【要約】【課題】  液体を適切に吐出させる。【解決手段】  液体２を対象物に吐出する液体吐出ヘッド２４の液体２が収容された液室６４の壁面を形成し、液室６４側に位置する基材層７１と、基材層７１の液室６４側の主面とは反対側の主面に積層形成され、液体２に対して撥水性を示す撥水層７２とを有し、吐出口６６は、基材層７１と撥水層７２とを貫通して形成され、内側面６６ａが段差のない平滑な面になっている。【選択図】図１０
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を対象物に吐出する液体吐出ヘッドの液体が収容された液室の壁面を形成するノズルシートにおいて、
上記液室側に位置する基材層と、
上記基材層の上記液室側の主面とは反対側の主面に積層形成され、上記液体に対して撥水性を示す撥水層と、
上記基材層と上記撥水層とを貫通して形成され、内側面が段差のない平滑な面になっている吐出口とを有するノズルシート。
【請求項２】
上記基材層は、ニッケルを主成分とするめっきからなる請求項１記載のノズルシート。
【請求項３】
上記撥水層は、ニッケルとフッ素とを主成分とする複合めっきからなる請求項１記載のノズルシート。
【請求項４】
上記基材層と上記撥水層との間に、ニッケルを主成分とするストライクめっきからなる中間層を有する請求項１記載のノズルシート。
【請求項５】
上記基材層と上撥水層との間に、ニッケルを主成分とし、乾式法により成膜した中間層を有する請求項１記載のノズルシート。
【請求項６】
上記基材層と上記撥水層との間に、ニッケルを主成分とするストライクめっきからなる第１の中間層と、
上記第１の中間層と上記撥水層との間に、ニッケルを主成分とし、乾式法により成膜した第２の中間層とを有する請求項１記載のノズルシート。
【請求項７】
上記吐出口は、上記対象物の幅方向に略ライン状に並設されている請求項１記載のノズルシート。
【請求項８】
液体を対象物に吐出する液体吐出装置に着脱可能に装着される液体吐出カートリッジにおいて、
上記液体が収容された液室と、上記液室の壁面を形成するノズルシートとを有する液体吐出ヘッドを備え、
上記ノズルシートは、上記液室側に位置する基材層と、
上記基材層の上記液室側の主面とは反対側の主面に積層形成され、上記液体に対して撥水性を示す撥水層と、
上記基材層と上記撥水層とを貫通して形成され、内側面が段差のない平滑な面になっている吐出口とを有する液体吐出カートリッジ。
【請求項９】
上記基材層は、ニッケルを主成分とするめっきからなる請求項８記載の液体吐出カートリッジ。
【請求項１０】
上記撥水層は、ニッケルとフッ素とを主成分とする複合めっきからなる請求項８記載の液体吐出カートリッジ。
【請求項１１】
上記基材層と上記撥水層との間に、ニッケルを主成分とするストライクめっきからなる中間層を有する請求項８記載の液体吐出カートリッジ。
【請求項１２】
上記基材層と上撥水層との間に、ニッケルを主成分とし、乾式法により成膜した中間層を有する請求項８記載の液体吐出カートリッジ。
【請求項１３】
上記基材層と上記撥水層との間に、ニッケルを主成分とするストライクめっきからなる第１の中間層と、
上記第１の中間層と上記撥水層との間に、ニッケルを主成分とし、乾式法により成膜した第２の中間層とを有する請求項８記載の液体吐出カートリッジ。
【請求項１４】
上記吐出口が上記対象物の幅方向に亘って略ライン状に並設されている請求項８記載の液体吐出カートリッジ。
【請求項１５】
液体を対象物に吐出する液体吐出装置において、
上記液体が収容された液室と、上記液室の壁面を形成するノズルシートとを有する液体吐出ヘッドを備え、
上記ノズルシートは、上記液室側に位置する基材層と、
上記基材層の上記液室側の主面とは反対側の主面に積層形成され、上記液体に対して撥水性を示す撥水層と、
上記基材層と上記撥水層とを貫通して形成され、内側面が段差のない平滑な面になっている吐出口とを有する液体吐出装置。
【請求項１６】
上記基材層は、ニッケルを主成分とするめっきからなる請求項１５記載の液体吐出装置。
【請求項１７】
上記撥水層は、ニッケルとフッ素とを主成分とする複合めっきからなる請求項１５記載の液体吐出装置。
【請求項１８】
上記基材層と上記撥水層との間に、ニッケルを主成分とするストライクめっきからなる中間層を有する請求項１５記載の液体吐出装置。
【請求項１９】
上記基材層と上記撥水層との間に、ニッケルを主成分とし、乾式法により成膜した中間層を有する請求項１５記載の液体吐出装置。
【請求項２０】
上記基材層と上記撥水層との間に、ニッケルを主成分とするストライクめっきからなる第１の中間層と、
上記第１の中間層と上記撥水層との間に、ニッケルを主成分とし、乾式法により成膜した第２の中間層とを有する請求項１５記載の液体吐出装置。
【請求項２１】
上記吐出口は、上記対象物の幅方向に略ライン状に並設されている請求項１５記載の液体吐出装置。
【請求項２２】
液室に収容された液体を吐出する液体吐出ヘッドに設けられ、上記液室の壁面を形成するノズルシートの製造方法において、
母型の主面上に柱状のレジストを形成し、
上記レジストが形成された上記母型の主面上に、上記液体に対して撥水性を示す撥水層を形成し、
上記撥水層上に、上記液室側となる基材層を積層形成し、
上記レジストを除去することで、上記基材層と上記撥水層とを貫通し、内側面が段差のない平滑な面であり、上記液体を吐出させる上記吐出口を形成し、
上記母型を上記撥水層から剥離させ、上記母型を除去するノズルシートの製造方法。
【請求項２３】
上記基材層は、ニッケルを主成分とするめっきからなり、湿式法により形成する請求項２２記載のノズルシートの製造方法。
【請求項２４】
上記撥水層は、ニッケルとフッ素とを主成分とする複合めっきからなり、湿式法により形成する請求項２２記載のノズルシートの製造方法。
【請求項２５】
上記基材層を形成する前に、上記撥水層上にニッケルを主成分とするストライクめっきからなる中間層を湿式法により形成する請求項２２記載のノズルシートの製造方法。
【請求項２６】
上記基材層を形成する前に、上記撥水層上にニッケルを主成分とする中間層を乾式法により成膜する請求項２２記載のノズルシートの製造方法。
【請求項２７】
上記基材層を形成する前に、上記撥水層上にニッケルを主成分とするストライクめっきからなる第１の中間層を湿式法により形成し、
上記第１の中間層上に、ニッケルを主成分とする第２の中間層を乾式法により成膜する請求項２２記載のノズルシートの製造方法。
【請求項２８】
上記撥水層を形成した後、連続して上記基材層を形成する請求項２２記載のノズルシートの製造方法。
【請求項２９】
上記吐出口を上記対象物の幅方向に略ライン状に並設して形成する請求項２２記載のノズルシートの製造方法。
【請求項３０】
液体を対象物に吐出する液体吐出装置に着脱可能に装着され、上記液体が収容された液室と、上記液室の壁面を形成するノズルシートと、上記液室が挿入される開口部を有するフレームとを備える液体吐出ヘッドの製造方法において、
母型の主面上に柱状のレジストを形成し、
上記レジストが形成された上記母型の主面上に、上記液体に対して撥水性を示す撥水層を形成し、
上記撥水層上に、上記液室側となる基材層を積層形成し、
上記レジストを除去することで、上記基材層と上記撥水層とを貫通し、内側面が段差のない平滑な面であり、上記液体を吐出させる上記吐出口を形成し、
上記母型を上記撥水層から剥離し、上記母型を除去して上記吐出口を有する上記ノズルシートを形成し、
上記ノズルシートの上記基材層に上記フレームを貼り合わせる液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３１】
液体を対象物に吐出する液体吐出装置に着脱可能に装着され、上記液体が収容された液室と、上記液室の壁面を形成するノズルシートと、上記液室が挿入される開口部を有するフレームとを備える液体吐出ヘッドの製造方法において、
母型の主面上に柱状のレジストを形成し、
上記レジストが形成された上記母型の主面上に、上記液体に対して撥水性を示す撥水層を形成し、
上記撥水層上に、上記液室側となる基材層を積層形成し、
上記レジストを除去することで、上記基材層と上記撥水層とを貫通し、内側面が段差のない平滑な面であり、上記液体を吐出させる上記吐出口を形成し、
上記基材層に上記フレームを貼り合わせた後に、上記母型を上記撥水層から剥離させ、上記母型を除去する液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３２】
上記基材層は、ニッケルを主成分とし、湿式法により形成する請求項３０又は請求項３１記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３３】
上記撥水層は、ニッケルとフッ素とを主成分とする複合めっきからなり、湿式法により形成する請求項３０又は請求項３１記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３４】
上記基材層を形成する前に、上記撥水層上にニッケルを主成分とするストライクめっきからなる中間層を湿式法により形成する請求項３０記載又は請求項３１記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３５】
上記基材層を形成する前に、上記撥水層上にニッケルを主成分とする中間層を乾式法により成膜する請求項３０記載又は請求項３１記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３６】
上記基材層を形成する前に、上記撥水層上にニッケルを主成分とするストライクめっきからなる第１の中間層を湿式法により形成し、
上記第１の中間層上に、ニッケルを主成分とする第２の中間層を乾式法により成膜する請求項３０又は請求項３１記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３７】
上記撥水層を形成した後、連続して上記基材層を形成する請求項３０又は請求項３１記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３８】
上記吐出口を上記対象物の幅方向に略ライン状に並設して形成する請求項３０又は請求項３１記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を吐出するための吐出口を有するノズルシート、及びこのノズルシートを備えた液体吐出カートリッジ及び液体吐出装置、並びにノズルシートの製造方法及び液体吐出ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体を吐出する装置として、対象物となる記録紙に対してヘッドチップよりインクを吐出させて、画像や文字を記録するインクジェット方式のプリンタ装置（以下、プリンタ装置）がある。このプリンタ装置では、複数のインクがそれぞれ充填されたインクカートリッジからヘッドチップのインク液室等に供給される。
【０００３】
そして、プリンタ装置は、インク液室等に供給されたインクを、インク液室内に配置された発熱抵抗体等の圧力発生素子で加熱し、発熱抵抗体上に発生したインクの気泡が周囲のインクを押圧して、ヘッドチップのインクが吐出される側に設けられたノズルシートに形成された微小なノズルよりインクを吐出させる。これにより、プリンタ装置では、対象物となる記録紙等にインクを着弾させて画像や文字を印刷する。また、プリンタ装置では、インクを吐出しないときや印刷を停止している場合、インク液室やノズル内等にインクが充填されている状態である（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
プリンタ装置では、ノズルの内壁及びノズルシートのインクが吐出される側の面（以下、吐出面とする）のノズルの周辺の濡れ性が高いと、ノズル内を満たしているインクが内壁やノズルシートの吐出面側に引き寄せられ、ノズル内を満たしているインクのメニスカスが不安定となり、インクの吐出方向が変わってしまうため、ノズルの略中央から吐出されなくなってしまう。
【０００５】
このため、プリンタ装置では、ノズルの内壁やノズルシートの吐出面の濡れ性を低下させるため、ノズルの内壁やノズルシートの吐出面にインクを弾くような撥水性を示すように撥水処理を施している。プリンタ装置では、例えば形成されたノズルシートに対して吐出面側からインクに対して撥水性を示す材料を塗布して、ノズル及びノズルシートに撥水処理を施している。プリンタ装置では、ノズルに対して撥水処理を行う場合、ノズルの内壁の吐出面側を選択的に均一に撥水処理し、インク液室側の内壁に対しては濡れ性を必要とするため、撥水処理を施さないようにする。
【０００６】
しかしながら、ノズルシートは、吐出面の面積が例えば約５０mm×２４０mmであり大きく、厚さが約１３μm程度で薄いため、取り扱いが困難である。このため、ノズルシートでは、ノズルの内壁の吐出面側及び吐出面に対して十分な撥水処理が施されなかったりする。また、ノズルシートに設けられているノズルが微小な穴であるため、内壁の吐出面側を選択的に均一に撥水処理することが困難である。このため、ノズルシートでは、吐出面側から撥水性を示す材料を塗布して撥水処理を行うと、適切に撥水処理を施されなくなってしまう。
【０００７】
このようにプリンタ装置では、ノズルの内壁の吐出面側が均一に撥水処理されないと、ノズル内を満たしているインクが内壁側やノズルシートの吐出面側に引き寄せられ、ノズル内を満たしているインクのメニスカスが不安定となり、所定の方向に吐出されなくなってしまう。また、プリンタ装置では、ノズルの内壁の全体に撥水処理が施されてしまったり、ノズルの内壁の吐出面側が均一に撥水処理されないと、ノズル内を満たしているインクのメニスカスがインク液室側、即ち吐出方向と反対方向に後退してしまい、インクが適切に吐出されなくなってしまう。また、プリンタ装では、ノズル内を満たしているインクのメニスカスがインク液室側に後退してしまうと、印刷速度の向上を妨げてしまう。
【０００８】
【特許文献１】特開２００３−１３６７２８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
そこで、本発明は、液体を適切に吐出する吐出口を有するノズルシート、このノズルシートを備えた液体吐出カートリッジ及び液体吐出装置を提供することを目的とする。また、本発明は、液体を適切に吐出するノズルを有するノズルシートを容易に形成することが可能なノズルシートの製造方法及びこのノズルシートを備える液体吐出ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述した目的を達成する本発明に係るノズルシートは、液体を対象物に吐出する液体吐出ヘッドの液体が収容された液室の壁面を形成し、液室側に位置する基材層と、基材層の液室側の主面とは反対側の主面に積層形成され、液体に対して撥水性を示す撥水層と、基材層と撥水層とを貫通して形成され、内側面が段差のない平滑な面になっている吐出口とを有する。
【００１１】
また、上述した目的を達成する本発明に係る液体吐出カートリッジは、液体を対象物に吐出する液体吐出装置に着脱可能に装着され、液体が収容された液室と、液室の壁面を形成するノズルシートとを有する液体吐出ヘッドを備え、ノズルシートは、液室側に位置する基材層と、基材層の液室側の主面とは反対側の主面に積層形成され、液体に対して撥水性を示す撥水層と、基材層と撥水層とを貫通して形成され、内側面が段差のない平滑な面になっている吐出口とを有する。
【００１２】
また、上述した目的を達成する本発明に係る液体吐出装置は、液体を対象物に吐出し、液体が収容された液室と、液室の壁面を形成するノズルシートとを有する液体吐出ヘッドを備え、ノズルシートは、液室側に位置する基材層と、基材層の液室側の主面とは反対側の主面に積層形成され、液体に対して撥水性を示す撥水層と、基材層と撥水層とを貫通して形成され、内側面が段差のない平滑な面になっている吐出口とを有する。
【００１３】
また、上述した目的を達成する本発明に係るノズルシートの製造方法は、液室に収容された液体を吐出する液体吐出ヘッドに設けられ、液室の壁面を形成し、母型の主面上に柱状のレジストを形成し、レジストが形成された母型の主面上に、液体に対して撥水性を示す撥水層を形成し、撥水層上に、液室側となる基材層を積層形成し、レジストを除去することで、基材層と撥水層とを貫通し、内側面が段差のない平滑な面であり、液体を吐出させる吐出口を形成し、母型を撥水層から剥離させ、母型を除去する。
【００１４】
また、上述した目的を達成する本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法は、液体を対象物に吐出する液体吐出装置に着脱可能に装着され、液体が収容された液室と、液室の壁面を形成するノズルシートと、液室が挿入される開口部を有するフレームとを備え、母型の主面上に柱状のレジストを形成し、レジストが形成された母型の主面上に、液体に対して撥水性を示す撥水層を形成し、撥水層上に、液室側となる基材層を積層形成し、レジストを除去することで、基材層と撥水層とを貫通し、内側面が段差のない平滑な面であり、液体を吐出させる吐出口を形成し、母型を撥水層から剥離し、母型を除去して吐出口を有するノズルシートを形成し、ノズルシートの基材層にフレームを貼り合わせる。
【００１５】
また、上述した目的を達成する本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法は、液体を対象物に吐出する液体吐出装置に着脱可能に装着され、液体が収容された液室と、液室の壁面を形成するノズルシートと、液室が挿入される開口部を有するフレームとを備え、母型の主面上に柱状のレジストを形成し、レジストが形成された母型の主面上に、液体に対して撥水性を示す撥水層を形成し、撥水層上に、液室側となる基材層を積層形成し、レジストを除去することで、基材層と撥水層とを貫通し、内側面が段差のない平滑な面であり、液体を吐出させる吐出口を形成し、基材層にフレームを貼り合わせた後に、母型を撥水層から剥離させ、母型を除去する。
【発明の効果】
【００１６】
本発明では、液体を吐出させる吐出口を基材層と、この液体に対して撥水性を示す撥水層とを積層し、基材層と撥水層とを貫通させて形成することによって、吐出口の内側面の吐出面側及びノズルシートの吐出面は撥水層からなり濡れ性が低く、吐出口の内側面の液室側は基材層からなり濡れ性を有する。また、本発明では、基材層と撥水層とを積層形成し、この基材層と撥水層とを貫通させて吐出口を形成することによって、吐出口の内側面が段差のない平滑な面となっている。
【００１７】
これにより、本発明では、吐出口の内側面の吐出面側が撥水層により均一に濡れ性が低くなるため、吐出口の吐出面側では液体が弾かれるようになり、吐出口内を満たす液体のメニスカスが適切に形成され、安定に液体を吐出させることができる。また、本発明では、吐出口の内側面の吐出面側が均一に濡れ性が低く、吐出口の内側面の液室側が濡れ性を有するため、吐出口内を満たす液体のメニスカスが液室側に後退せず、安定に液体を吐出することができ、印刷速度を向上させた場合でも適切に液体を吐出させることができる。
【００１８】
また、本発明では、母型上に撥水層と基材層とを積層し、基材層と撥水層とを貫通させて吐出口を形成し、ノズルシートを形成することによって、母型上にノズルシートが形成された状態であるため、破れたり、折れてしまうことが防止され、取り扱いの際に不具合が生じるのを抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
本発明に係る液体吐出装置をプリンタ装置に適用した例について、図面を参照しながら詳細に説明する。図１に示すように、本発明が適用された液体吐出装置（以下、プリンタ装置と記す。）１は、所定の方向に走行する記録紙Ｐに対してインク２といった液体を吐出して画像や文字を印刷するものである。すなわち、インクジェットプリンタ装置である。また、このプリンタ装置１は、記録紙Ｐの印刷幅に合わせて、記録紙Ｐの幅方向、すなわち図１中矢印Ｗ方向にインクの吐出口（ノズル）を略ライン状に並設した、いわゆるライン型のプリンタ装置である。具体的に、図１に示すプリンタ装置１は、所定の方向に搬送される対象物である記録紙Ｐに対してインク２を吐出し、着弾させることによって、例えばパーソナルコンピュータ等の情報処理装置より入力された文字データや画像データ等に応じたインクドットからなる画像や文字等を記録する。
【００２０】
このプリンタ装置１は、インク２を吐出する液体吐出ヘッドなるヘッドカートリッジ３と、このヘッドカートリッジ３が装着される装置本体４とを備えている。また、このプリンタ装置１では、ヘッドカートリッジ３が消耗品として取り扱われており、装置本体４に対してヘッドカートリッジ３が着脱可能とされることによって、容易に交換が可能となっている。
【００２１】
先ず、このような装置本体４に対して着脱可能なヘッドカートリッジ３について説明する。このヘッドカートリッジ３は、インク２を吐出する後述するノズル６６を図１中矢印Ｗ方向に記録紙Ｐの幅に対応する長さで略直線状に複数並べて配置した、いわゆるライン型のプリンタヘッドである。
【００２２】
このヘッドカートリッジ３は、図１及び図２に示すように、インク２を収容するインクタンク１１が装着されるカートリッジ本体２１を備え、このカートリッジ本体２１には、カラー印刷に対応して、イエロー、シアン、マゼンダ、ブラックの４色からなるインクタンク１１ｙ，１１ｍ，１１ｃ，１１ｋが着脱可能となっている。
【００２３】
これら４つのインクタンク１１ｙ，１１ｍ，１１ｃ，１１ｋは、例えば樹脂材料等を射出成形することで、全体略直方体状に形成された容器であり、その内部に各色に対応したインク２を収容している。また、これら４つのインクタンク１１ｙ，１１ｍ，１１ｃ，１１ｋは、内部の洗浄を行った際に塵埃等の微少な異物が容易に除去されるように、インク２と接する内面が外面より表面粗さが小さくなっている。また、これら４つのインクタンク１１ｙ，１１ｍ，１１ｃ，１１ｋは、なるべく多くのインク２を収容するために、カートリッジ本体２１の長辺方向に対応した長尺形状とされている。そして、各インクタンク１１ｙ，１１ｍ，１１ｃ，１１ｋは、カートリッジ本体２１の短辺方向に並んで配置される。なお、これら４つのインクタンク１１ｙ，１１ｍ，１１ｃ，１１ｋは、インク２の消費量が最も多いブラックのインクタンク１１ｋが、他のインクタンク１１ｙ、１１ｍ、１１ｃより容量が大きく、他に比べて厚みを有する以外は同じ構造を有している。したがって、これらインクタンク１１ｙ，１１ｍ，１１ｃ，１１ｋの構成を、以下まとめてインクタンク１１として説明する。なお、インクタンク１１は、強度や耐インク性を有するポリプロピレン等の樹脂材料等を射出成形することにより成形される。
【００２４】
インクタンク１１は、インク２を収容するインク収容部１２と、インク収容部１２からヘッドカートリッジ３のカートリッジ本体２１にインク２を供給するインク供給部１３と、外部よりインク収容部１２内に空気を取り込む外部連通孔１４と、外部連通孔１４より取り込まれた空気をインク収容部１２内に導入する空気導入路１５と、外部連通孔１４と空気導入路１５との間でインク２を一時的に貯留する貯留部１６とを有している。
【００２５】
インク収容部１２は、気密性の高い材料によりインク２を収容するための空間を形成している。インク収容部１２は、略矩形に形成され、長手方向の寸法が使用する記録紙Ｐの幅方向、すなわち図２中矢印Ｗ方向で略同じ寸法となるように形成されている。
【００２６】
インク供給部１３は、インク収容部１２の下側略中央部に設けられている。このインク供給部１３は、インク収容部１２と連通した略突形状のノズルであり、このノズルの先端が後述するヘッドカートリッジ３の接続部２３に嵌合されることにより、インクタンク１１とヘッドカートリッジ３のカートリッジ本体２１とを接続する。そして、インク２は、インク供給部１４を介してインク収容部１２からインク２を吐出するカートリッジ本体２１に供給される。
【００２７】
外部連通孔１４は、インクタンク１１の外部からインク収容部１２に空気を取り込む通気口であり、ヘッドカートリッジ３のタンク装着部２２に装着されたときも、外部に臨み外気を取り込むことができるように、タンク装着部２２への装着時に外部に臨む位置であるインクタンク１１の上面の所定位置に、ここでは上面略中央に設けられている。外部連通孔１４は、インクタンク１１がカートリッジ本体２１に装着されてインク収容部１２からカートリッジ本体２１側にインク２が流下した際に、インク収容部１２内のインク２が減少した分に相当する分の空気を外部よりインクタンク１１内に取り込む。
【００２８】
空気導入路１５は、インク収容部１２と外部連通孔１４とを連通し、外部連通孔１４より取り込まれた空気をインク収容部１２内に導入する。これにより、このインクタンク１１がカートリッジ本体２１に装着された際に、ヘッドカートリッジ３のカートリッジ本体２１にインク２が供給されてインク収容部１２内のインク２が減少し内部が減圧状態となっても、インク収容部１２には、空気導入路１５によりインク収容部１２に空気が導入されることから、内部の圧力が平衡状態に保たれてインク２をカートリッジ本体２１に適切に供給することができる。
【００２９】
貯留部１６は、外部連通孔１４と空気導入路１５との間に設けられ、インク収容部１２に連通する空気導入路１５よりインク２が漏れ出た際に、外部に流出することがないようにインク２を一時的に貯留する。この貯留部１６は、長い方の対角線をインク収容部１２の長手方向とした略菱形に形成され、インク収容部１２の最も下側に位置する頂部に、すなわち短い方の対角線上の下側に空気導入路１５を設けるようにし、インク収容部１２より進入したインク２を再度インク収容部１２に戻すことができるようにされている。また、貯留部１６は、短い方の対角線上の最も下側の頂部に外部連通孔１４を設けるようにし、インク収容部１２より進入したインク２が外部連通孔１４より外部に漏れにくくする。
【００３０】
以上のような構成のインクタンク１１は、上述した構成の他に、例えばインク収容部１２内のインク２の残量を検出するための残量検出部や、インクタンク１１ｙ，１１ｍ，１１ｃ，１１ｋを識別するための識別部等を備えている。
【００３１】
次に、インクタンク１１ｙ，１１ｍ，１１ｃ，１１ｋが装着されるヘッドカートリッジ３について説明する。
【００３２】
ヘッドカートリッジ３は、図２及び図３に示すように、上述したインクタンク１１とカートリッジ本体２１とによって構成され、カートリッジ本体２１は、インクタンク１１が装着されるタンク装着部２２ｙ，２２ｍ，２２ｃ，２２ｋ（以下、全体を示すときには単にタンク装着部２２ともいう。）と、インク供給部１３と接続されてインク２が供給される接続部２３と、インク２を吐出するインク吐出ヘッド２４とを有している。
【００３３】
インクタンク１１が装着されるタンク装着部２２は、図２に示すように、インクタンク１１が装着されるように上面をインクタンク１１の挿脱口として略凹形状に形成され、ここでは４本のインクタンク１１が記録紙Ｐの幅方向と略直交方向、すなわち記録紙Ｐの走行方向に並んで収納されている。タンク装着部２２は、インクタンク１１が収納されることから、インクタンク１１と同様に印刷幅の方向に長く設けられている。カートリッジ本体２１には、インクタンク１１が収納装着される。
【００３４】
タンク装着部２２は、図２に示すように、インクタンク１１が装着される部分であり、イエロー用のインクタンク１１ｙが装着される部分をタンク装着部２２ｙとし、マゼンタ用のインクタンク１１ｍが装着される部分をタンク装着部２２ｍとし、シアン用のインクタンク１１ｃが装着される部分をタンク装着部２２ｃとし、ブラック用のインクタンク１１ｋが装着される部分をタンク装着部２２ｋとし、各タンク装着部２２ｙ，２２ｍ，２２ｃ，２２ｋは、隔壁２２ａによりそれぞれ区画されている。なお、上述したようにブラックのインクタンク１１ｋは、一般的に使用量が多いことから、インク２の内容量が大きくなるように厚く形成されているため、幅が他のインクタンク１１ｙ，１１ｍ，１１ｃよりも大きくなっている。このため、タンク装着部２２ｋは、インクタンク１１ｋの厚みに合わせて他のタンク装着部２２ｙ，２２ｍ，２２ｃよりも広くなっている。
【００３５】
各タンク装着部２２ｙ，２２ｍ，２２ｃ，２２ｋの長手方向略中央には、インクタンク１１ｙ，１１ｍ，１１ｃ，１１ｋがタンク装着部２２ｙ，２２ｍ，２２ｃ，２２ｋに装着されたとき、インクタンク１１ｙ，１１ｍ，１１ｃ，１１ｋのインク供給部１３が接続される接続部２３が設けられている。この接続部２３は、タンク装着部２２に装着されたインクタンク１１のインク供給部１３からカートリッジ本体２１の底面に設けられたインク２を吐出するインク吐出ヘッド２４にインク２を供給する供給路となる。
【００３６】
具体的に、接続部２３は、図４に示すように、インクタンク１１から供給されるインク２を溜めるインク溜め部３１と、接続部２３に連結されるインク供給部１３をシールするシール部材３２と、インク２内の不純物を除去するフィルタ３３と、インク吐出ヘッド２４側への供給路を開閉する弁機構３４とを有している。
【００３７】
インク溜め部３１は、インク供給部１３と接続されインクタンク１１から供給されるインク２を溜める空間部である。シール部材３２は、インク溜め部３１の上端に設けられた部材であり、インクタンク１１のインク供給部１３が接続部２３のインク溜め部３１に接続されるとき、インク２が外部に漏れないようインク溜め部３１とインク供給部１３との間を密閉する。具体的に、シール部材３２は、例えばゴム等からなるＯリング等である。フィルタ３３は、インクタンク１１の着脱時等にインク２に混入してしまった塵や埃等のごみを取り除くものであり、インク溜め部３１よりも下流に設けられている。
【００３８】
弁機構３４は、図５（Ａ）及び図５（Ｂ）に示すように、インク溜め部３１からインク２が供給されるインク流入路４１と、インク流入路４１からインク２が流入するインク室４２と、インク室４２からインク２を流出するインク流出路４３と、インク室４２をインク流入路４１側とインク流出路４３側との間に設けられた開口部４４と、開口部４４を開閉する弁４５と、弁４５を開口部４４の閉塞する方向に付勢する付勢部材４６と、付勢部材４６の強さを調節する負圧調整ネジ４７と、弁４５と接続される弁シャフト４８と、弁シャフト４８と接続されるダイアフラム４９とを有する。
【００３９】
インク流入路４１は、インク溜め部３１を介してインクタンク１１のインク収容部１２内のインク２をインク吐出ヘッド２４に供給可能にインク収容部１２と連結する供給路である。インク流入路４１は、インク溜め部３１の底面側からインク室４２まで設けられている。インク室４２は、インク流入路４１、インク流出路４３及び開口部４４と一体となって形成された略直方体をなす空間部であり、インク流入路４１からインク２が流入し、開口部４４を介してインク流出路４３からインク２を流出する。インク流出路４３は、インク室４２から開口部４４を介してインク２が供給されて、更にインク吐出ヘッド２４と連結された供給路である。インク流出路４３は、インク室４２の底面側からインク吐出ヘッド２４まで延在されている。
【００４０】
弁４５は、開口部４４を閉塞してインク流入路４１側とインク流出路４３側とを分割する弁であり、インク室４２内に配設される。弁４５は、付勢部材４６の付勢力と、弁シャフト４８を介して接続されたダイアフラム４９の復元力と、インク流出路４３側のインク２の負圧によって上下に移動する。弁４５は、下端に位置するとき、インク室４２をインク流入路４１側とインク流出路４３側とを分離するように開口部４４を閉塞し、インク流出路４３に対するインク２の供給を遮断する。弁４５は、付勢部材４６の付勢力に抗して上端に位置するとき、インク室４２をインク流入路４１側とインク流出路４３側とを遮断せずに、インク吐出ヘッド２４へインク２の供給を可能とする。なお、弁４５を構成する材質は、その種類を問わないが、高い閉塞性を確保するため例えばゴム弾性体、いわゆるエラストマー等により形成される。
【００４１】
付勢部材４６は、例えば圧縮コイルバネ等であり、弁４５の上面とインク室４２の上面との間で負圧調整ネジ４７と弁４５とを接続し、付勢力により弁４５を開口部４４の閉塞する方向に付勢する。負圧調整ネジ４７は、付勢部材４６の付勢力を調整するネジであり、負圧調整ネジ４７を調整することで付勢部材４６の付勢力を調整することができるようにしている。これにより、負圧調整ネジ４７は、詳細は後述するが開口部４４を開閉する弁４５を動作させるインク２の負圧を調整することができる。
【００４２】
弁シャフト４８は、一端に接続された弁４５と、他端に接続されたダイアフラム４９とを連結して運動するように設けられたシャフトである。ダイアフラム４９は、弁シャフト４８の他端に接続された薄い弾性板である。このダイアフラム４９は、インク室４２のインク流出路４３側の一主面と、外気と接する他主面とからなり、大気圧とインク２の負圧により外気側とインク流出路４３側とに弾性変位する。
【００４３】
以上のような弁機構３４では、図５（Ａ）に示すように、弁４５が付勢部材４６の付勢力とダイアフラム４９の付勢力とによってインク室４２の開口部４４を閉塞するように押圧されている。そして、インク吐出ヘッド２４からインク２が吐出された際には、開口部４４で分割されたインク流出路４３側のインク室４２のインク２の負圧が高まると、図５（Ｂ）に示すように、インク２の負圧によりダイアフラム４９が大気圧により押し上げられて、弁シャフト４８と共に弁４５を付勢部材４６の付勢力に抗して押し上げる。このとき、インク室４２のインク流入路４１側とインク流出路４３側と間の開口部４４が開放され、インク２がインク流入路４１側からインク流出路４３側に供給される。そして、インク２の負圧が低下してダイアフラム４９が復元力により元の形状に戻り、付勢部材４６の付勢力により弁シャフト４８と共に弁４５をインク室４２が閉塞するように引き下げる。以上のようにして弁機構３４では、インク２を吐出する度にインク２の負圧が高まると、上述の動作を繰り返す。
【００４４】
また、この接続部２３では、インク収容部１２内のインク２がインク室４２に供給されると、インク収容部１２内のインク２が減少するが、このとき、空気導入路１５から外気がインクタンク１１内に入り込む。インクタンク１１内に入り込んだ空気は、インクタンク１１の上方に送られる。これにより、後述するノズル６６からインク２が吐出される前の状態に戻り、平衡状態となる。このとき、空気導入路１５内にインク２がほとんどない状態で平衡状態となる。
【００４５】
インク吐出ヘッド２４は、カートリッジ本体２１の底面に沿って配設され、インクタンク１１と接続されている接続部２３から供給されるインク２をインク液滴ｉの状態にして吐出する後述するノズル６６が各色毎に記録紙Ｐの幅方向、すなわち図４中矢印Ｗ方向に略ライン状をなすように設けられている。
【００４６】
インク吐出ヘッド２４は、図６に示すように、上述した接続部２３からインク２が供給され、供給されたインク２を各ノズル６６へと導く流路板５１と、ノズル６６が設けられ、インク２を吐出するヘッドチップ５２と、インク流路板５１及びヘッドチップ５２とを囲むフレーム５３とを有する。
【００４７】
流路板５１は、色毎に設けられ、容易に変形しない剛性及び収容されるインク２に対して耐インク性を備えた材料で形成される。流路板５１は、図６及び図７に示すように、後述する各色ノズル６６にインク２が供給されるように、ノズル６６が並設されている記録紙Ｐの幅方向に、記録紙Ｐの幅に相当する長さに亘って略ライン状に形成されている。流路板５１は、記録紙Ｐの幅に相当する長さに形成されたインク流路５４が形成されたチャンバー部５５と、このチャンバー部５５の一方の面に連続したフランジ部５６とが一体に形成され、接続部２３からのインク２をインク流路５４に供給するインク供給管５７が流路板５１の上面略中央部に接続部２３側に向かって形成されている。チャンバー部５５には、フランジ部５６が設けられている面とは反対の面に、後述するヘッドチップ５２を配置するための切欠き５８が設けられている。このような構成からなる流路板５１は、チャンバー部５５が後述するフレーム５３の開口部８１に入り、フランジ部５６がフレーム５３に係止されることによって、ヘッドチップ５２と対向するように設けられる。
【００４８】
ヘッドチップ５２は、図６に示すように、後述するノズル６６を所定数で一組とし、インク２を吐出する吐出手段である。ヘッドチップ５２は、色毎に千鳥状に複数、記録紙Ｐの幅方向に配置されている。
【００４９】
ヘッドチップ５２は、図７に示すように、ベースとなる回路基板６１と、吐出面６２ａを形成するノズルシート６２と、回路基板６１とノズルシート６２との間をノズル６６毎に区画するフィルム６３と、インク流路４２を通して供給されたインク２を加圧するインク液室６４と、インク液室６４に供給されたインク２を加熱する発熱抵抗体６５とを有している。
【００５０】
回路基板６１は、例えばシリコンウエハ、ガラス基板等といったケイ素含有材料等からなる基板上に、ロジックＩＣ（Integrated Circuit）やドライバートランジスタ等からなる制御回路が形成されると共に、インク液室６４の壁面の上面部や、インク流路４２の一部等を形成している。すなわち、回路基板６１は、半導体回路基板である。この回路基板６１は、後述するフレーム５３の線膨張係数とほぼ同じ線膨張係数を有する材料から形成される。このような材料としては、シリコン、セラミック、ガラス、金属等である。
【００５１】
ノズルシート６２は、図７及び図８に示すように、貫通孔からなるノズル６６を複数有し、回路基板６１と対向する位置に配置されることで、インク液室６４の下面部を形成し、インク液室６４の壁面となっている。ノズルシート６２は、各色のヘッドチップ５２のノズル６６を１枚のシート状に一体に形成したものである。例えばノズルシート６２は、ライン型の場合、大さきは約５０ｍｍ×２４０ｍｍであり、厚さが約１３μｍである。ノズルシート６２は、インク液室６４の下面部を形成する基材層７１と、この基材層７１に積層形成される撥水層７２とを有し、積層された基材層７１と撥水層７２とを貫通して形成されるノズル６６が複数設けられている。また、ノズルシート６２は、後述するフレーム５３の線膨張係数より大きい線膨張係数を有するように形成される。
【００５２】
基材層７１は、ニッケル（Ｎｉ）を主成分とする電解めっきからなる電鋳層である。基材層７１は、厚さ約１１μmである。基材層７１は、ノズルシート６２をインク液室６４の下面側に配置した際に、インク液室６４側となり、インク液室６４の壁面を回路基板６１やフィルム６３と共に構成する。また、基材層７１は、Ｎｉの他にコバルト（Ｃｏ）が約１０〜２０％含有されたニッケル−コバルト合金から形成されていてもよく、用途や使用環境に応じて要求される物性を有する材料を用いることができる。基材層７１は、電解めっき法や無電解めっき法等の湿式法、又は乾式法を用いて形成することができる。
【００５３】
撥水層７２は、インク２を弾き、インク２に対して撥水性を示す基材層７１のインク２に対する濡れ性よりもインク２に対する濡れ性が低くなっている層である。撥水層７２は、ニッケルとポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）とを主成分とし、ＰＴＦＥはニッケル中に約２０％含有されており、ニッケル中にＰＴＦＥの粒子が分散された複合めっきからなる。撥水層７２は、基材層７１のインク液室６４の壁面を形成する主面とは反対側の主面に積層形成される。即ち、撥水層７２は、ノズルシート６２のインク２が吐出される側に配置される。また、撥水層７２は、ニッケルにＰＴＦＥを分散させたものに限らず、複合めっきを形成することが可能な他のフッ素樹脂をニッケル含有させたものでもよい。
【００５４】
ノズル６６は、積層された基材層７１と撥水層７２とを連続して貫通した貫通孔であり、記録紙Ｐの幅方向に略ライン状に複数形成されている。具体的に、ノズル６６は、孔径が約１７μｍであり、吐出面６２ａに向かって縮径した微小な貫通孔である。隣接する他のノズル６６との間隔は、約４２．３μｍである。ノズル６６の内側面６６ａは、基材層７１と撥水層７２とが連続した２層構造であり、凹凸等の段差のない平滑な面となっている。即ち、ノズル６６の内側面６６ａには、撥水処理が必要な吐出面側に、全周にわたって撥水層７２が形成され、均一に撥水処理が施されている。
【００５５】
このようなノズルシート６２は、次のようにして作製される。ノズルシート６２は、図９に示すように、ステンレス鋼、例えばＳＵＳ３０４からなり、平坦な面を有する母型７３上に形成される。先ず、図９（Ａ）に示すように、母型７３の平坦な主面７３ａ上のノズル６６を形成する位置と対応する位置にネガ型のレジスト７４をフォトリソグラフィによりパターン形成する。このレジスト７４は、母型７３側が縮径した柱状であり、高さが約１５μmである。
【００５６】
次に、図９（Ｂ）に示すように、レジストパターンが形成された母型７３をニッケル及びＰＴＦＥが含有されためっき液に浸し、例えば電解めっき法により、主面７３ａ上の母型７３が露出した部分にニッケル−ＰＴＦＥ系の複合めっきからなる撥水層７２を形成する。撥水層７２を形成する際は、図９（Ｂ）に示すように、高さ約１５μmのレジストパターンに対して、このレジストパターンの下端、即ち母型７３側に撥水層７２となる複合めっきを厚さ２μm程度で形成し、この複合めっきを形成後であってもレジストパターンが残るようする。なお、撥水層７２は、電解めっき法の他に無電解めっき方法等の湿式法により形成してもよい。
【００５７】
次に、図９（Ｃ）に示すように、撥水層７２が形成され、レジストパターンが残存している母型７３をニッケルが含有されためっき液に浸し、例えば電解めっき法等の湿式法によりニッケル系の電解めっきからなる基材層７１を形成する。基材層７１は、厚さ１１μm程度からなり、レジストパターンの上端まで形成し、基材層７１との総厚は約１３μmである。
【００５８】
また、基材層７１を形成する際は、撥水層７２を形成した後、速やかにニッケルのめっき液に浸し、基材層７１を形成するようにする。これは、撥水層７２を形成した後では、撥水層７２の外部に露出している表面が酸化して酸化皮膜が形成されてしまうため、酸化皮膜が形成された表面に基材層７１をめっきすると基材層７１の撥水層７２に対する密着性が低くなってしまう。また、撥水層７２上に埃等が付着した場合も、基材層７１のめっきを撥水層７２上に形成することが困難である。
【００５９】
そこで、基材層７１を形成する際は、撥水層７２を形成した直後に、極力大気にふれない状態を維持しながら、速やかに基材層７１を形成するニッケルのめっき液に投入し、基材層７１となるニッケルのめっきを撥水層７２上に行う。これにより、ノズルシート６２では、撥水層７２の表面に酸化皮膜が形成されることを最小限に抑えることができると共に、撥水層７２に基材層７１が密着するようになる。なお、撥水層７２の表面に酸化皮膜が形成された場合は、撥水層７２の表面に酸処理や脱脂等を行い、酸化皮膜を除去した後、基材層７１を形成するようにしてもよい。
【００６０】
次に、図９（Ｄ）に示すように、レジストパターンを母型７３の主面から除去して、基材層７１と撥水層７２とを連続して貫通したノズル６６を複数形成する。このように形成されたノズル６６は、内側面６６ａが濡れ性を有する基材層７１と、濡れ性が低く、インク２を弾く撥水層７２とが積層され、凹凸等の段差がない平滑な面となって形成される。
【００６１】
次に、図９（Ｅ）に示すように、撥水層７２から母型７３を剥離させ、母型７３と形成されたノズルシート６２を分け、シート状のノズルシート６２が形成される。
【００６２】
上述したノズルシート６２の製造方法では、同一の母型７３上に撥水層７２と基材層７１とがめっき方法等によって積層形成されることによって、基材層７１の一方の面に撥水層７２を所定の厚さで形成することができ、撥水処理が必要なノズル６６の吐出面６２ａ側の内側面６６ａ及ノズルシート６２の吐出面６２ａに対して選択的に撥水層７２よりなる撥水処理を均一に施すことができる。
【００６３】
これにより、この製造方法によって形成されたノズルシート６２では、ノズル６６の内側面６６ａのインク液室６４側は基材層７１によって形成され、濡れ性を有し、吐出面６２ａ及びノズル６６の内側面６６ａの吐出面６２ａ側は撥水層７２によって形成され、濡れ性が低くなっているので、ノズル６６の吐出面６２ａ側ではインク２が弾かれるようになる。また、この製造方法によって形成されたノズルシート６２では、基材層７１と撥水層７２とが積層形成され、レジストを除去することによって、ノズル６６の内側面６６ａが段差のない平滑な面で形成されるため、ノズル６６内を満たしているインク２が内側面６６ａに引き寄せられることがない。したがって、このノズルシート６２は、ノズル６６の内側面６６ａの吐出面６２ａ側及び吐出面６２ａが選択的に、均一に撥水処理が施されているので、ノズル６６内を満たしているインク２のメニスカスが安定し、所定の方向にインク２を吐出させることができる。
【００６４】
また、この製造方法で得られたノズルシート６２では、ノズル６６内に満たされているインク２のメニスカスが安定するため、液室側にメニスカスが後退することが防止され、インク２の吐出速度を上げた場合でも、所定の方向に安定に吐出させることができる。
【００６５】
なお、上述したノズルシート６２の製造方法において、ノズルシート６２を形成した後、撥水層７２の硬度や耐久性を向上されるために、撥水層７２を２００度以上の高温で熱処理してもよい。撥水層７２を熱処理することによって、ニッケル中に分散しているＰＴＦＥの粒子が溶けて、ニッケル中に溶け込み、ニッケルと更に混じり合うため、撥水層７２の硬度及び耐久性が向上する。
【００６６】
回路基板６１とノズルシート６２の間に設けられるフィルム６３は、例えば露光硬化型のドライフィルムレジスト７４からなり、上述したインク流路４２と連通される部分を除いて各ノズル６６の周囲を囲むように形成されている。また、このフィルム６３は、回路基板６１とノズルシート６２との間に介在されることによって、インク液室６４の側面部を形成している。
【００６７】
インク液室６４は、上述した回路基板６１、ノズルシート６２及びフィルム６３により囲まれることで、ノズル６６毎にインク流路４２から供給されたインク２を加圧する加圧空間を形成している。
【００６８】
発熱抵抗体６５は、インク液室６４に臨む回路基板６１上に配置されると共に、この回路基板６１の制御回路と電気的に接続されている。そして、この発熱抵抗体６５は、制御回路により制御されることでインク液室６４内のインク２を加熱する。発熱抵抗体６５は、回路基板６１の制御回路によって例えば１〜３マイクロ秒程度の間だけパルス電流を供給するように制御される。
【００６９】
また、ヘッドチップ５２には、図６に示すように、発熱抵抗体６５と電気的に接続されている回路基板６１をインク２の吐出を制御する外部の制御部と電気的に接続するためのフレキシブル基板６７が色毎に設けられている。このフレキシブル基板６７は、流路板５１とほぼ同じ形状の略矩形状からなり、短辺方向に両端に、回路基板６１と接続される接続片６８を複数有している。この接続片６８は、流路板５１とフレーム５３との間を通して回路基板６１まで延びており、回路基板６１に設けられた発熱抵抗体６５と電気的に接続されている。
【００７０】
上述した構成からなるヘッドチップ５２では、次のように、インク液室６４内に収容されたインク２をノズル６６から吐出させる。ヘッドチップ５２では、図１０に示すように、接続部２３を介してインクタンク１１から供給されたインク２がインク流路５４を通り、インク流路５４及びインク液室６４にインク２が充填されている。この状態では、ノズル６６内を満たしているインク２は、ノズル６６の吐出面６２ａ側の内側面６６ａに撥水層７２が所定の厚さで形成され、吐出面６２ａ側の内側面６６ａのみが選択的に、均一に撥水処理されているため、メニスカスが後退することなく安定した状態となっている。
【００７１】
次に、ヘッドチップ５２では、インク２がインク液室６４及びノズル６６の内部に充填されている状態で、インク２の吐出を制御する外部の制御部と電気的に接続するフレキシブル基板６７を介して発熱抵抗体６５を急速に加熱し、図１１（Ａ）に示すように、発熱抵抗体６５と接するインク液室６４内のインク２に気泡ｂを発生させる。そして、このインク液室６４内において、気泡ｂが膨張しながら気泡ｂの周囲のインク２を加圧し、図１１（Ｂ）に示すように、押し退けられたインク２がノズル６６からインク液滴ｉの状態で吐出される。インク液滴ｉが吐出されると、インク液室６４内のインク気泡ｂは、発熱抵抗体６５上で崩壊する。ヘッドチップ５２では、ノズル６６の内側面６６ａの吐出面６２ａ側及びノズルシート６２の吐出面６２ａに撥水層７２が形成され、ノズル６６の内側面６６ａが凹凸等の段差がない平滑な面で形成されているため、ノズル６６の内側面６６ａの吐出面６２ａ側が均一に撥水処理され、濡れ性が低くなっている。これにより、ヘッドチップ５２では、ノズル６６の内側面６６ａにインク２が引き寄せられることなく、ノズル６６内を満たすインク２のメニスカスが安定するため、所定の方向、即ち真下にインク液滴ｉを吐出することができる。
【００７２】
そして、ヘッドチップ５２では、インク液滴ｉが吐出されるとノズル６６内のインク２が元のメニスカスに戻ろうとするノズル６６の毛細管力によってノズル６６より吐出された量と同量のインク２が、インク流路４２から供給される。ヘッドチップ５２では、これを繰り返し行い、インク液滴ｉをノズル６６より吐出する。
【００７３】
ノズルシート６２が張り合わされるフレーム５３は、図６及び図７に示すように、ノズルシート６２と同様に各色のヘッドチップ５２及びインク流路５４が嵌め込まれる開口部８１がカートリッジ本体２１の短尺方向、即ち各色に対応するインク吐出ヘッド２４と同じように並設されている。プリンタ装置１では、上述したようにヘッドチップ５２において、発熱抵抗体６５を加熱し、発熱抵抗体６５上に形成された気泡ｂがインク液室６４内のインク２を押圧し、ノズル６６からインク液滴ｉを吐出するため、発熱抵抗体６５とノズル６６との位置が対向となるようにする必要がある。このため、プリンタ装置１では、フレーム５３の開口部８１にヘッドチップ５２及び流路板５１を挿入し、フレーム５３の表面にノズルシート６２を貼り合わせることで、発熱抵抗体６５とノズル６６との位置ずれを防止している。
【００７４】
このフレーム５３は、例えば５ｍｍ程度の厚さを有し、十分な剛性を有し、ノズルシート６２の線膨張係数より小さい線膨張係数を有し、回路基板６１の線膨張係数とほぼ同じ線膨張係数を有する材料から形成される。フレーム５３にノズルシート６２の線膨張係数よりも小さい線膨張係数を有する材料を用いることで、ノズルシート６２と高温で貼り合わせた後、貼り合わせ温度よりも低い温度、例えば室温ではノズルシート６２の方がフレーム５３よりも大きく収縮しようとする。これにより、フレーム５３に貼り合わされたノズルシート６２は、張った状態であり、フレーム５３の線膨張にしたがって収縮する、即ちフレーム５３の線膨張によってノズルシート６２の線膨張を制御することができるようになる。また、フレーム５３の線膨張係数が回路基板６１の線膨張係数とほぼ同じであることから、フレーム５３にノズルシート６２を貼り合わせることによって、同じ温度の下では、回路基板６１とノズルシート６２の線膨張はほぼ同じになる。ノズルシート６２の線膨張係数よりも小さい線膨張係数であり、回路基板６１とほぼ同じ線膨張係数を有する材料としては、窒化珪素、アルミナ、ムライト、窒化アルミ、炭化珪素、石英、インバー鋼等である。
【００７５】
上述した構成からなるインク吐出ヘッド２４は、次のように形成される。先ず、図１２（Ａ）に示すように、上述した方法により形成されたノズルシート６２を平坦な主面９１ａを有する支持治具９１上に載置する。ノズルシート６２を支持治具９１上に載置するのは、このノズルシート６２が極めて薄いため、それ自体では形状が保持できず、取り扱いが困難となるためである。
【００７６】
次に、図１２（Ｂ）に示すように、支持治具９１上に載置されたノズルシート６２上に、色毎に設けた略ライン状に並設された複数のノズル６６がフレーム５３の色毎に設けた開口部８１と対向するようにフレーム５３を載せ、ノズルシート６２とフレーム５３とを貼り合わせる。ノズルシート６２とフレーム５３を貼り合わせる際は、ノズルシート６２とフレーム５３との間に熱硬化型のシート接着剤９２、例えばエポキシ系のシート接着剤９２を介在させ、約２００度でシート接着剤９２を熱硬化させて貼り合わせる。
【００７７】
ノズルシート６２とフレーム５３とを貼り合わせた状態では、ノズルシート６２の線膨張係数がフレーム５３の線膨張係数よりも大きいため、高温で加熱し、シート接着剤９２を熱硬化させた後、貼り合わせの温度よりも低くなった際にはノズルシート６２はフレーム５３によって緊張した状態となる。したがって、ノズルシート６２は、フレーム５３と貼り合わされることによって、フレーム５３の線膨張にしたがって線膨張が推移するようになるため、ノズル６６の間隔もフレーム５３の線膨張によって推移するようになる。また、フレーム５３に貼り合わされたノズルシート６２は、緊張した状態であるため、しわ等の発生も抑えられている。
【００７８】
次に、図１２（Ｃ）に示すように、ノズルシート６２を支持治具９１から剥離し、フレーム５３の開口部８１に回路基板６１及びフィルム６３を配置し、フィルム６３を熱硬化させることによって、ノズルシート６２と、回路基板６１及びフィルム６３を接着し、インク液室６４が形成され、ヘッドチップ５２が形成される。フィルム６３を熱硬化させる温度としては、ノズルシート６２とフレーム５３との貼合わせ温度よりも低く、例えば約１０５度で熱硬化させる。
【００７９】
フィルム６３とノズルシート６２との接着において、ノズルシート６２とフレーム５３との貼り合わせ温度よりも低い温度の状態ではフレーム５３と貼り合わされているノズルシート６２は緊張した状態であり、回路基板６１の線膨張係数がフレーム５３の線膨張係数とほぼ同じであるため、ノズル６６の間隔と発熱抵抗体６５の間隔がほぼ同じにすることができる。したがって、発熱抵抗体６５とノズル６６とが対向するように、フィルム６３とノズルシート６２とを貼り合わせることができる。
【００８０】
次に、図６に示すように、別の工程で組み立てられた流路板５１の流路部を切欠き５８にヘッドチップ５２の回路基板６１が配置されるようにフレーム５３の開口部に嵌め込み、図示しない治具で流路板５１をフレーム５３に固定してインク吐出ヘッド２４を形成する。
【００８１】
以上のような構成のインク吐出ヘッド２４では、ノズルシート６６に形成されているノズル６６の内側面６６ａが濡れ性を有する基材層７１と、濡れ性が低く、インク２を弾く撥水層とが積層され、吐出面６６ａ側が均一に撥水処理され、且つ内側面が段差等のない平滑な面で形成されていることによって、ノズル６６内を満たしているインク２のメニスカスが安定し、インク液滴ｉを所定の方向に吐出させることができる。
【００８２】
また、上述したインク吐出ヘッド２４の製造方法では、フレーム５３の線膨張係数を回路基板６１の線膨張係数とほぼ同じにし、ノズルシート６２の線膨張係数よりも小さくすることによって、ノズルシート６２の張った状態に維持することができると共に、フレーム５３の線膨張によってノズルシート６２の線膨張を制御することができ、ノズル６６と、発熱抵抗体６５との位置ずれが防止され、インク２を適切に吐出することができる。
【００８３】
また、このインク吐出ヘッド２４の製造方法では、ノズルシート６２とフレーム５３との接着において、ノズルシート６２を母型７３から剥離させて、ノズルシート６２を支持治具９１上に載置し、フレーム５３と接着させたが、ノズルシート６２を母型７３上に形成した状態で母型７３と共に支持治具９１上に載置し、フレーム５３と接着するようにしてもよい。以下に示すインク吐出ヘッド２４の製造方法では、ノズルシート６２とフレーム５３との接着について説明し、他の工程については上述したインク吐出ヘッド２４の製造方法と同様であり、詳細を省略する。
【００８４】
具体的には、図１３（Ａ）に示すように、母型７３上にノズルシート６２を形成した状態で、母型７３と共にノズルシート６２を支持治具９１上に載置する。次に、図１３（Ｂ）に示すように、母型７３上に形成されたノズルシート６２にシート接着剤９２を介して温度約２００度でフレーム５３を上述したように貼り合わせる。
【００８５】
ノズルシート６２にフレーム５３を接着する際には、母型７３上にノズルシート６２が形成されているため、ノズルシート６２にフレーム５３に貼り合わせる際の熱によりノズルシート６２が反ってしまうことが抑えられ、精度良くノズルシート６２をフレーム５３に接着することができる。また、母型７３上にノズルシート６２を形成した状態でノズルシート６２を取り扱うことによって、撥水層７２と基材層７１との熱膨張係数の差や残留応力等によりノズルシート６２が反ってしまうことが抑えられ、取り扱いが容易になる。
【００８６】
次に、図１３（Ｃ）に示すように、除冷した後、ノズルシート６２とフレーム５３とが接着したものが形成された母型７３を支持治具９１から取り外す。次に、図１３（Ｄ）に示すように、母型７３をノズルシート６２から剥離し、ノズルシート６２にフレーム５３が接着されたものが形成される。次に、上述したインク吐出ヘッド２４の製造方法と同様の方法で、フレーム５３の開口部に流路板５１を嵌め込み、インク吐出ヘッド２４を形成する。
【００８７】
このインク吐出ヘッド２４の製造方法では、母型７３上にノズルシート６２を形成した状態で、ノズルシート６２を母型７３と共に支持治具９１上に載せることによって、大きく、厚さの薄いノズルシート６２を容易に取り扱うことができる。また、このように母型７３上に形成した状態でノズルシート６２を取り扱うことによって、特にライン型のプリンタ装置１に用いられるような大きなノズルシート６２でも破れたり、折れてしまうことが防止され、取り扱いが容易であり、ノズルシート６２の不良品の発生を抑えることができる。
【００８８】
また、このインク吐出ヘッド２４の製造方法では、母型７３上に形成した状態でノズルシート６２をフレーム５３に貼り合わせることによって、フレーム５３を貼り合わせる際の熱等によりノズルシート６２が反ってしまうことが抑えられ、ノズルシート６２をフレーム５３と平行な状態で貼り合わせることができる。したがって、このインク吐出ヘッド２４の製造方法では、フレーム５３にノズルシート６２を精度良く貼り合わせることができ、効率的にインク吐出ヘッド２４を組み立てることができる。
【００８９】
また、ノズルシート６２としては、撥水層７２と基材層７１との接着性を向上させた図１４に示すようなノズル１０１ａを有するノズルシート１０１を用いてもよい。このノズルシート１０１は、撥水層７２と基材層７１との間にニッケルを主成分とし、接着層となる第１の中間層１０２が形成されている。第１の中間層１０２は、撥水層７２上に電解めっき法によりニッケルを主成分としたストライクめっきであり、厚さが約０．１μｍの薄膜状の層である。ストライクめっきは、表面が活性化されているため、撥水層７２及び基材層７１に対して密着性が高く、撥水層７２と基材層７１との間に設けることによって、撥水層７２と基材層７１との積層状態を良好とする。第１の中間層１０２としては、基材層７１の材料によって、ニッケルの他に、コバルトやリン等を含有していてもよい。また、このストライクめっきは、母型７３と撥水層７２との間に形成し、撥水層７２の母型７３に対する密着性を向上させるようにしてもよい。
【００９０】
ノズルシート６２としては、図１５に示すように第１の中間層１０２の他にニッケルを主成分とし、乾式法により成膜される層を有し、ノズル１０３ａを有するノズルシート１０３を用いてもよい。このノズルシート１０３は、撥水層７２と基材層７１との間に、乾式法により第２の中間層１０４を形成したものである。乾式法としては、例えばスパッタリング、イオンプレーティング、真空蒸着、ＣＶＤ（chemical vapor deposition）法である。第２の中間層１０４は、撥水層７２の表面に成膜されることによって、撥水層７２の表面を平坦化させ、基材層７１との密着や積層状態を安定させる。具体的には、撥水層７２は、ニッケルにＰＴＦＥの粒子が分散された状態であり、ＰＴＦＥの粒子が導電性を有していないため、基材層７１を撥水層７１の表面に電気めっきすると、ＰＴＦＥの粒子上がめっきされなくなってしまう。これにより、基材層７１の撥水層７２とは反対側の面、即ちインク液室６４の壁面を形成する面に凹凸が形成されたり、小さな穴が空いてしまう。これは、基材層７１の厚さが薄いほど、基材層７１のインク液室６４を形成する面に生じる凹凸や小さな穴が目立つようになる。このため、撥水層７２の表面、即ちＰＴＦＥの粒子が露出している部分も含めて、全体にニッケルを主成分とし、乾式法により第２の中間層１０４を薄膜状に形成する。第２の中間層１０４を形成することによって、撥水層７２上が平坦化され、且つ第２の中間層１０４がニッケルを含有するため導電性を有していることから、平坦な第２の中間層１０４上に基材層７１を湿式法にめっきより形成することができる。これにより、ノズルシート６２では、表面に凹凸や小さな穴等が生じてしまうことが防止される。
【００９１】
また、ノズルシート６２では、図１６に示すように、第２の中間層１０４と基材層７１との間に、接着層となるストライクめっきの第１の中間層１０２を形成したノズル１０５ａを有するノズルシート１０５を用いてもよい。ノズルシート１０５では、第２の中間層１０４と基材層７１との間に第１の中間層１０２を形成することによって、ストライクめっきの表面が活性化されているので、第１の中間層１０２は第２の中間層１０２及び基材層７１と密着するようになる。これにより、ノズルシート６２では、第２の中間層１０２と基材層７１との積層状態が安定するため、撥水層７２と基材層７１との積層状態が良好となる。また、母型７３上に撥水層７２を形成する際に、母型７３の主面７３ａ上に第１の中間層１０２、即ちストライクめっきを形成し、このストライクめっき上に撥水層７２を形成し、撥水層７２の母型７３に対する密着性を向上させるようにしてもよい。
【００９２】
以上で説明したヘッドカートリッジ３は、上述した構成の他にインク収容部１２内のインク２の残量を検出する図示しない残量検出部や、インクタンク１１ｙ，１１ｍ，１１ｃ，１１ｋを識別する図示しないインクタンク識別部等を備えている。
【００９３】
また、ヘッドカートリッジ３におけるカートリッジ本体２１の底面部、すなわち吐出面６２ａには、図１及び図２に示すように、上述した吐出面６２ａを保護すると共に吐出面６２ａのノズル６６より露出するインク２の乾燥を防ぎ、且つ吐出面６２ａのノズル６６以外の領域に付着したインク２及びノズル６６内で増粘若しくは固化したインク２をクリーニングするヘッドキャップ１１１が設けられている。ヘッドキャップ１１１は、インク２を吐出する際には、図１７に示す装置本体４のヘッドキャップ開閉機構１２３により開閉される。ヘッドキャップ１１１は、図２に示すように、開閉方向に設けられた溝部１１２と、長手方向に設けられヘッドチップ５２の吐出面６２ａに付着した余分なインク２を吸い取る清掃ローラ１１３とを有している。
【００９４】
次に、以上のように構成されたヘッドカートリッジ３が装着されるプリンタ装置１を構成する装置本体４について図面を参照して説明する。
【００９５】
装置本体４は、図１及び図１３に示すように、ヘッドカートリッジ３が装着されるヘッドカートリッジ装着部１２１と、ヘッドカートリッジ３をヘッドカートリッジ装着部１２１に保持、固定するためのヘッドカートリッジ保持機構１２２と、ヘッドキャップを開閉するヘッドキャップ開閉機構１２３と、記録紙Ｐを給排紙する給排紙機構１２４と、給排紙機構１２４に記録紙Ｐを供給する給紙口１２５と、給排紙機構１２４から記録紙Ｐが出力される排紙口１２６とを有する。
【００９６】
ヘッドカートリッジ装着部１２１は、ヘッドカートリッジ３が装着される凹部であり、走行する記録紙Ｐにデータ通り印刷を行うため、ヘッドチップ５２の吐出面６２ａと走行する記録紙Ｐの紙面とが互いに略平行となるようにヘッドカートリッジ３が装着される。ヘッドカートリッジ３は、ヘッドチップ５２内のインク詰まり等で交換する必要が生じる場合等があり、インクカートリッジ１１程の頻度はないが消耗品であるため、ヘッドカートリッジ装着部１２１に対して着脱可能にヘッドカートリッジ保持機構１２２によって保持される。
【００９７】
ヘッドカートリッジ保持機構１２２は、ヘッドカートリッジ装着部１２１にヘッドカートリッジ３を着脱可能に保持するための機構であり、ヘッドカートリッジ３に設けられたつまみ１２２ａを装置本体４の係止孔１２２ｂ内に設けられた図示しないバネ等の付勢部材に係止することによって装置本体４に設けられた基準面４ａに圧着するようにしてヘッドカートリッジ３を位置決めして保持、固定できるようにする。
【００９８】
ヘッドキャップ開閉機構１２３は、ヘッドカートリッジ３のヘッドキャップ１１１を開閉する駆動部を有しており、印刷を行うときにヘッドキャップ１１１を開放してヘッドチップ５２が記録紙Ｐに対して露出するようにし、印刷が終了したときにヘッドキャップ１１１を吐出面６２ａ側に移動させ、ヘッドキャップ１１１を閉塞しヘッドチップ５２を保護する。
【００９９】
給排紙機構１２４は、記録紙Ｐを搬送する駆動部を有しており、給紙口１２５から供給される記録紙Ｐをヘッドカートリッジ３のヘッドチップ５２まで搬送し、ノズル６６より吐出されたインク液滴ｉが着弾し、印刷された記録紙Ｐを排紙口１２６に搬送して装置外部へ排出する。
【０１００】
給紙口１２５は、給排紙機構１２４に記録紙Ｐを供給する開口部であり、トレイ１２５ａ等に複数枚の記録紙Ｐを積層してストックすることができる。排紙口１２６は、インク液滴ｉが着弾し、印刷された記録紙Ｐを排出する開口部である。
【０１０１】
次に、以上のように構成されるプリンタ装置１の印刷動作について図１８に示すフローチャートを参照にして説明する。なお、本動作は、例えば装置内に備わる図示しないＲＯＭ（Read Only Memory）等といった記憶手段に格納された処理プログラムに基づいて図示しないＣＰＵ（Central Processing Unit）の演算処理等により実行されるものである。
【０１０２】
先ず、ユーザが、装置本体４に設けられている操作パネル４ａを操作して、プリンタ装置１が印刷動作を実行する旨の命令する。次に、ステップＳ１において、命令にしたがってヘッドキャップ開閉機構１２３によりヘッドキャップ１１１が移動され、給排紙機構１２４により記録紙Ｐが印刷可能な位置まで移動される。具体的に、図１７に示すように、ヘッドキャップ開閉機構１２３を構成する駆動モータを駆動させてヘッドキャップ１１１をヘッドカートリッジ３に対してトレイ１２５ａ側に移動させ、ヘッドチップ５２のノズル６６を露出させる。
【０１０３】
そして、給排紙機構１２４は、図示しない駆動モータを駆動させて、トレイ１２５ａから給紙ローラ１２７を図１７中矢印Ａ方向に回転させ、記録紙Ｐをトレイ１２５ａから引き出し、図１７中矢印Ｂ方向及び矢印Ｃ方向に、互いに反対方向に回転する一対の分離ローラ１２８ａ，１２８ｂによって引き出された記録紙Ｐの一枚を図１７中矢印Ｄ方向に回転する反転ローラ１２９に搬送して搬送方向を反転させた後に、搬送ベルト１３０に記録紙Ｐを搬送し、搬送ベルト１３０に搬送された記録紙Ｐをプランテン板１３１が吐出面６２ａと対向する位置で保持させる。このようにして、給排紙機構１２４は、インク２が着弾される位置まで記録紙Ｐを搬送させる。
【０１０４】
次に、ステップ２において、記録紙Ｐが印刷位置に保持されたことを確認すると、ヘッドチップ５２のノズル６６より記録紙Ｐに向かってインク液滴ｉを吐出して、印刷を行う。具体的に、ステップ２では、インク吐出ヘッド２４におけるヘッドチップ５２の発熱抵抗体６５に所定の周波数のパルス電流が供給され、印刷位置に搬送された記録紙Ｐに対して各ノズル６６よりインク液滴ｉを吐出し、吐出したインク液滴ｉが記録紙Ｐに着弾して、画像や文字等が印刷される。
【０１０５】
ステップ２では、インク吐出ヘッド２４のヘッドチップ５２に設けられたノズルシート６２は撥水層７２と基材層７１とが積層され、この撥水層７２と基材層７１とを貫通してノズル６６が形成されているので、ノズル６６の内側面６６ａの吐出面６２ａ側及び吐出面６２ａが基材層７２によって均一に撥水処理され、且つノズル６６の内側面６６ａの基材層７１と撥水層７２とが段差等のない平滑な面となっている。これにより、ステップ２では、このノズルシート６２を用いることによって、ノズル６６から吐出されるインク液滴ｉの吐出方向が偏ることなく、真下に吐出することができ、記録紙Ｐの所定の位置にインク液滴ｉが着弾される。このため、ステップ２では、白抜きや画質が乱れることなく、印刷を行うことができる。また、ステップ２では、ノズル６６内のインク２のメニスカスが安定していることから、発熱抵抗体６５に供給する電流の周波数を上げた場合でも、インク２を安定して吐出させることができる。
【０１０６】
次に、記録紙Ｐに対して印刷が終了すると、ステップ３において、給排紙機構１２４が印刷された記録紙Ｐを排紙口１２６より排出する。
【０１０７】
以上のようにこのプリンタ装置１では、ノズルシート６２の撥水処理が必要なノズル６６の吐出面６２ａ側の内側面６６ａ及び吐出面６２ａに適切な撥水処理が施されていることによって、インク液滴ｉの吐出方向が所定の方向に適切吐出され、インク液滴ｉの吐出が安定となるため、良好な画像を形成することができる。また、プリンタ装置１では、インク吐出ヘッド２４を形成する際に、母型７３上にノズルシート６２を形成するので、母型７３上にノズルシート６２を形成した状態でフレーム５３をノズルシート６２に接着することによって、接着の際の加熱等でノズルシート６２反ったりせず、インク吐出ヘッド２４の組み立てが容易である。
【０１０８】
以上は、本発明をプリンタ装置１に適用した例について説明したが、本発明は、以上の例に限定されるものではなく、液体を吐出する他の液体吐出装置に広く適用することが可能である。例えばファクシミリやコピー機、液体中のＤＮＡチップ用吐出装置、プリンタ配線基板の配線パターンを形成するための導電性粒子を含む液体を吐出したりする液体吐出装置等にも適用可能である。
【０１０９】
以上では、１つの発熱抵抗体６５がインク２を加熱して吐出するインク吐出ヘッド２４を例に挙げて説明したが、このような構造に限定されることはなく、複数の圧力発生素子を備え、各圧力発生素子に異なるエネルギー又は異なるタイミングでエネルギーを供給することで吐出方向を制御することが可能な吐出手段を備える液体吐出装置にも適用可能である。
【０１１０】
以上では、１つの発熱抵抗体６５によってインク２を加熱しながらノズル６６から吐出させる電気熱変換方式を採用しているが、このような方式に限定されず、例えばピエゾ素子といった圧電素子等の電気機械変換素子等によってインク２を電気機械的にノズル６６より吐出させる電気機械変換方式を採用したものであってもよい。
【０１１１】
以上では、ライン型のプリンタ装置１１を例に挙げて説明したが、このことに限定されることはなく、例えばインクヘッドが記録紙Ｐの走行方向と略直交する方向に移動するシリアル型の液体吐出装置にも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１１２】
【図１】本発明が適用されたプリンタ装置を示す斜視図である。
【図２】同プリンタ装置に備わるヘッドカートリッジを示す斜視図である。
【図３】同ヘッドカートリッジを示す断面図である。
【図４】同ヘッドカートリッジを模式的に示す図である。
【図５】同プリンタヘッドカートリッジの接続部における弁機構を示しており、同図（Ａ）は弁が閉じた状態を示す断面図であり、同図（Ｂ）は弁が開いた状態を示す断面図である。
【図６】インク吐出ヘッドを示す斜視図である。
【図７】同インク吐出ヘッドの断面図である。
【図８】ヘッドチップの斜視図である。
【図９】ノズルシートの製造工程を示す断面図であり、同図（Ａ）は母型上のレジストを形成した状態を示す断面図であり、同図（Ｂ）は母型上の撥水層を形成した状態を示す断面図であり、同図（Ｃ）は撥水層上に基材層を形成した状態を示す断面図であり、同図（Ｄ）は母型上からレジストを除去した状態を示す断面図であり、同図（Ｅ）はノズルシートの断面図である。
【図１０】ヘッドチップを模式的に示す断面図である。
【図１１】同ヘッドチップを模式的に示す断面図であり、同図（Ａ）は発熱抵抗体上に気泡が発生した状態を模式的に示す断面図であり、同図（Ｂ）はノズルよりインク液滴を吐出した状態を模式的に示す断面図である。
【図１２】ノズルシートとフレームとの貼り合わせる方法を説明する断面図であり、同図（Ａ）は支持治具上にノズルシートを載置した状態を示す断面図であり、同図（Ｂ）はノズルシートにシート接着剤を介してフレームを貼り合わせた状態を示す断面図であり、同図（Ｃ）はフレームにノズルシートを張り合わせた状態を示す断面図である。
【図１３】ノズルシートとフレームとの貼り合わせる他の方法を説明する断面図であり、同図（Ａ）は母型上に形成されたノズルシートを母型ごと支持治具上に載置した状態を示す断面図であり、同図（Ｂ）ノズルシートにシート接着剤を介してフレームを貼り合わせた状態を示す断面図であり、同図（Ｃ）は支持治具上から母型を剥離し、母型上にノズルシートとフレームが貼り合わされた状態を示す断面図であり、同図（Ｄ）はフレームにノズルシートを張り合わせた状態を示す断面図である。
【図１４】ノズルシートの他の例を示す断面図である。
【図１５】ノズルシートの他の例を示す断面図である。
【図１６】ノズルシートの他の例を示す断面図である。
【図１７】同プリンタ装置を一部透視して示す側面図である。
【図１８】同プリンタ装置の印刷動作を説明するフローチャートである。
【符号の説明】
【０１１３】
１  プリンタ装置、２  インク、３  ヘッドカートリッジ、４  装置本体、１１  インクタンク、２１  カートリッジ本体、２４  インク吐出ヘッド、５１  流路板  ヘッドチップ、５３  フレーム、６１  回路基板、６２  ノズルシート、６３  フィルム、６４  インク液室、６５  発熱抵抗体、６６  ノズル、６６ａ  ノズルの内側面、７１  基材層、７２  撥水層、７３  母型、７３ａ  主面、７４  レジスト、８１  開口部、９１  支持治具、１０１  ノズルシート、１０２  第１の中間層、１０３  ノズルシート、１０４  第２の中間層、１０５  ノズルシート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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