(57)【要約】      （修正有）【課題】静電気によって、電気光学装置に備えられたスイッチング素子が破壊されることを低減した、電気光学装置の検査装置、検査方法及び製造方法を提供する。【解決手段】液晶表示装置１０の耐電圧が高い第２回路に導通接続された第２電極端子部と、給電端子４６の第２給電端子４６ｂが先に接触する。そして、導電ゴムからなる第２給電端子４６ｂを押圧することによって、第２電極端子部１５ｂと導通する。すると、液晶表示装置１０に帯電している電荷は、第２給電端子４６ｂから第２信号線Ｖcomを通って電源装置内に放電される。【選択図】図５
2005106743.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向する一対の基板を備え、
一方の前記基板は、第１の端子と、前記第１の端子に電気的に接続されてなる第１の電極と、前記第１の電極に電気的に接続されてなるスイッチング素子と、前記スイッチング素子に対応して設けられてなる画素電極と、第２の端子と、
他方の前記基板は、導通部を介して前記第２の端子に電気的に接続されてなる第２の電極と
を有する電気光学装置の検査装置であって、
前記第１の端子に接触させる第１の検査部と、前記第２の端子に接触させる第２の検査部とを含む検査部材と、
前記検査部材と前記他方の基板の一方に対して、前記検査部材と前記他方の基板の他方が前記第２の検査部側に傾斜して、前記第２の検査部と前記第２の端子が接触した後に、前記第１の検査部と前記第１の端子が接触するように、前記検査部材と前記他方の基板の相対的な間隔を制御する制御手段と
を備えることを特徴とする電気光学装置の検査装置。
【請求項２】
対向する一対の基板を備え、
一方の前記基板は、画素電極と、前記画素電極に対応して設けられてなるスイッチング素子と、スイッチング素子に電気的に接続されてなる第１の電極と、
他方の前記基板は、導通部を介して前記第１の電極と電気的に接続されてなる第１の端子と、第２の電極と、前記第２の電極と電気的に接続されてなる第２の端子と
を有する電気光学装置の検査装置であって、
前記第１の端子に接触させる第１の検査部と、前記第２の端子に接触させる第２の検査部とを含む検査部材と、
前記検査部材と前記他方の基板の一方に対して、前記検査部材と前記他方の基板の他方が前記第２の検査部側に傾斜して、前記第２の検査部と前記第２の端子が接触した後に、前記第１の検査部と前記第１の端子が接触するように、前記検査部材と前記他方の基板の相対的な間隔を制御する制御手段と
を備えることを特徴とする電気光学装置の検査装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の電気光学装置の検査装置であって、
前記制御手段は、前記検査部材に対して、前記他方の基板を傾けて接触させることを特徴とする電気光学装置の検査装置。
【請求項４】
請求項１又は２に記載の電気光学装置の検査装置において、
前記制御手段は、前記他方の基板に対して、前記検査部材を傾けて接触させることを特徴とする電気光学装置の検査装置。
【請求項５】
請求項３に記載の電気光学装置の検査装置において、
前記制御手段は、前記一対の基板を支持する支持部と、前記支持部を付勢する弾性部材とを備え、前記支持部は、前記一対の基板が前記検査部材に対して傾斜する第１の姿勢と、前記一対の基板が前記検査部材に対して平行となる第２の姿勢とに変位可能に設けられ、前記弾性部材は、前記一対の基板を前記第２の姿勢から前記第１の姿勢に変位させるように前記支持部を付勢していることを特徴とする電気光学装置の検査装置。
【請求項６】
請求項４に記載の電気光学装置の検査装置において、
前記制御手段は、前記検査部材を支持する支持部と、前記支持部を付勢する弾性部材とを備え、前記支持部は、前記検査部材が前記一対の基板に対して傾斜する第１の姿勢と、前記検査部材が前記一対の基板に対して平行となる第２の姿勢とに変位可能に設けられ、前記弾性部材は、前記検査部材を前記第２の姿勢から前記第１の姿勢に変位させるように前記支持部を付勢していることを特徴とする電気光学装置の検査装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項に記載の電気光学装置の検査装置において、
前記スイッチング素子は、薄膜ダイオードであることを特徴とする電気光学装置の検査装置。
【請求項８】
対向する一対の基板を備え、
一方の前記基板は、第１の端子と、前記第１の端子に電気的に接続されてなる第１の電極と、前記第１の電極に電気的に接続されてなるスイッチング素子と、前記スイッチング素子に対応して設けられてなる画素電極と、第２の端子と、
他方の前記基板は、導通部を介して前記第２の端子に電気的に接続されてなる第２の電極と
を有する電気光学装置に対し、
前記第１の端子に接触させる第１の検査部と、前記第２の端子に接触させる第２の検査部を含む検査部材を備えた検査装置を用いて検査を行う電気光学装置の検査方法であって、
前記他方の基板と前記検査部材とが前記第２の検査部側に傾斜した状態で、前記第２の検査部と前記第２の端子を接触させる工程と、
前記第１の検査部と前記第１の端子が接触するように、前記他方の基板と前記検査部材とを相対的に移動させる工程と
を有することを特徴とする電気光学装置の検査方法。
【請求項９】
対向する一対の基板を備え、
一方の前記基板は、画素電極と、前記画素電極に対応して設けられてなるスイッチング素子と、スイッチング素子に電気的に接続されてなる第１の電極と、
他方の前記基板は、導通部を介して前記第１の電極と電気的に接続されてなる第１の端子と、第２の電極と、前記第２の電極と電気的に接続されてなる第２の端子と
を有する電気光学装置の検査装置に対し、
前記第１の端子に接触させる第１の検査部と、前記第２の端子に接触させる第２の検査部を含む検査部材を備えた検査装置を用いて検査を行う電気光学装置の検査方法であって、
前記他方の基板と前記検査部材とが前記第２の検査部側に傾斜した状態で、前記第２の検査部と前記第２の端子を接触させる工程と、
前記第１の検査部と前記第１の端子が接触するように、前記他方の基板と前記検査部材とを相対的に移動させる工程と
を有することを特徴とする電気光学装置の検査方法。
【請求項１０】
電気光学装置の製造方法であって、請求項８又は９に記載の電気光学装置の検査方法を含むことを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気光学装置の検査装置、検査方法及び製造方法に係り、静電気による表示品位の劣化の低減に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、軽量、薄型、低消費電力を特徴とした電気光学装置としての液晶表示装置（液晶表示パネル）は、携帯端末用、あるいはモバイルコンピュータの表示ディスプレイとして多用されている。今後、液晶表示パネルはさらなる高品質と低コスト化が望まれており、製造工程における歩留まりの低下や完成製品の品質の確保についても重要な課題となっている。
【０００３】
従来から、液晶表示パネルの完成品検査においては、液晶表示パネルに実際に駆動信号を投入して、液晶表示パネルを点灯表示させることで品質の検査を行っている。
【０００４】
しかしながら検査工程において、静電気による品質不良という問題が発生している。一般的に静電気が発生する原因として、物体間の接触や剥離（摩擦）等によるものが知られている。この場合、例えば、検査までの製造過程の中で帯電するものや、パネル運搬時のトレーラやキャスターに帯電していたものによって、液晶表示パネルに帯電すること等が考えられる。
【０００５】
従来、例えば、図１０に示すような検査装置が提案されている（例えば、特許文献１）。
【０００６】
この検査では、複数の画素に接続されている検査入力電極１０１を備えた液晶表示パネル１０２の画像表示検査を行っている。この検査装置は、検査入力電極１０１に液晶駆動信号を印加させるための接触電極プローブ１０３と、接触電極プローブ１０３に導通接続するための中間電極１０４、１０５とを備えている。中間電極１０４、１０５はそれぞれガイド１０６に案内されて上下に移動する。そして、アース接地と液晶駆動信号の接続を切り替える切替スイッチ１０７と、液晶駆動信号を供給する液晶駆動信号源１０８とを備えている。
【０００７】
この検査装置は、先に切替スイッチ１０７をアース接地側に接続させておき、ガイド１０６を上から押して、中間電極１０４と接触電極プローブ１０３を導通接触させる。すると、液晶表示パネル１０２に帯電した電荷は、切替スイッチ１０７を介してアース接地に放電される。その後、切替スイッチ１０７を液晶駆動信号源側に切り替えて接続し、ガイド１０４を上から押して、中間電極１０４と接触電極プローブ１０３を導通接続させる。すると、検査入力電極１０１は液晶駆動信号が印加されて、液晶表示パネル１０２には、印加された信号に基づいて画像が表示される。そして、表示された画像を判断して検査を行っている。この検査装置によれば、液晶表示パネル１０２に帯電した電荷を放電するときの電圧増加分が液晶駆動信号に加わった電圧が、液晶表示パネル１０２に形成されたスイッチング素子に印加されることによって起きる、電気特性に悪影響を及ぼすという問題を解決することができる。
【０００８】
【特許文献１】特開２０００−１５５２９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、近年の高画質および高解像度化に伴って素子や配線が微細化したものについては、静電気で帯電した電荷を放電するだけでも、スイッチング素子や配線を破壊するという問題が生じてきた。更に、スイッチング素子の破壊により、検査工程における製造歩留まりが悪いという問題が起きていることから、静電気は深刻な問題となっていた。
【００１０】
図１０に示す従来の検査では、プローブ部の構造から採用可能なピッチに制約があり、微細ピッチの電極端子を有する電気光学装置の検査用として採用できず、上記問題を解決するものではなかった。
【００１１】
本発明は、電気光学装置の検査時に、電気光学装置に静電気によって帯電した電荷の放電により、電気特性に影響が及ぶことを低減できる電気光学装置の検査装置、検査方法及び製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の電気光学装置の検査装置は、対向する一対の基板を備え、一方の前記基板は、第１の端子と、前記第１の端子に電気的に接続されてなる第１の電極と、前記第１の電極に電気的に接続されてなるスイッチング素子と、前記スイッチング素子に対応して設けられてなる画素電極と、第２の端子と、他方の前記基板は、導通部を介して前記第２の端子に電気的に接続されてなる第２の電極とを有する電気光学装置の検査装置であって、前記第１の端子に接触させる第１の検査部と、前記第２の端子に接触させる第２の検査部とを含む検査部材と、前記検査部材と前記他方の基板の一方に対して、前記検査部材と前記他方の基板の他方が前記第２の検査部側に傾斜して、前記第２の検査部と前記第２の端子が接触した後に、前記第１の検査部と前記第１の端子が接触するように、前記検査部材と前記他方の基板の相対的な間隔を制御する制御手段とを備えることを要旨としている。
【００１３】
これによれば、一対の基板と検査部材とが相対的に制御手段により傾斜されるため、第２の検査部と第２の端子が先に接触し、その後に第１の検査部と第１の端子が接触する。よって、電気光学装置に帯電した電荷は、第２の電極を通って放電される。従って、帯電した電荷の放電によってスイッチング素子の破壊を低減することが可能になる。
【００１４】
本発明の電気光学装置の検査装置は、対向する一対の基板を備え、一方の前記基板は、画素電極と、前記画素電極に対応して設けられてなるスイッチング素子と、スイッチング素子に電気的に接続されてなる第１の電極と、他方の前記基板は、導通部を介して前記第１の電極と電気的に接続されてなる第１の端子と、第２の電極と、前記第２の電極と電気的に接続されてなる第２の端子とを有する電気光学装置の検査装置であって、前記第１の端子に接触させる第１の検査部と、前記第２の端子に接触させる第２の検査部とを含む検査部材と、前記検査部材と前記他方の基板の一方に対して、前記検査部材と前記他方の基板の他方が前記第２の検査部側に傾斜して、前記第２の検査部と前記第２の端子が接触した後に、前記第１の検査部と前記第１の端子が接触するように、前記検査部材と前記他方の基板の相対的な間隔を制御する制御手段とを備えることを要旨としている。
【００１５】
これによれば、一対の基板と検査部材とが相対的に制御手段により傾斜されるため、第２の検査部と第２の端子が先に接触し、その後に第１の検査部と第１の端子が接触する。よって、電気光学装置に帯電した電荷は、第２の電極を通って放電される。従って、帯電した電荷の放電によってスイッチング素子の破壊を低減することが可能になる。
【００１６】
この電気光学装置の検査装置は、前記制御手段は、前記検査部材に対して、前記他方の基板を傾けて接触させることを要旨としている。
【００１７】
これによれば、検査部材に対して他方の基板を傾けたことにより、第２の検査部と第２の端子が先に接触し、その後に第１の検査部と第１の端子が接触する。よって、電気光学装置に帯電した電荷は、先に第２の電極を通って放電される。従って、帯電した電荷の放電によって電気光学装置の電気特性に影響が及ぶことを低減することが可能になる。
【００１８】
この電気光学装置の検査装置は、前記制御手段は、前記他方の基板に対して、前記検査部材を傾けて接触させることを要旨としている。
【００１９】
これによれば、一対の基板に対して検査部材を傾けたことにより、第２の検査部と第２の端子が先に接触し、その後に第１の検査部と第１の端子が接触する。よって、電気光学装置に帯電した電荷は、先に第２の電極を通って放電される。従って、帯電した電荷の放電によって電気光学装置の電気特性に影響が及ぶことを低減することが可能になる。
【００２０】
この電気光学装置の検査装置は、前記制御手段は、前記一対の基板を支持する支持部と、前記支持部を付勢する弾性部材とを備え、前記支持部は、前記一対の基板が前記検査部材に対して傾斜する第１の姿勢と、前記一対の基板が前記検査部材に対して平行となる第２の姿勢とに変位可能に設けられ、前記弾性部材は、前記一対の基板を前記第２の姿勢から前記第１の姿勢に変位させるように前記支持部を付勢していることを要旨としている。
【００２１】
これによれば、支持部に支持された一対の基板は、弾性部材の付勢により検査部材に対し傾斜する第１の姿勢に保持されることから、一対の基板は先に第２の検査部に接触し、その後、接触圧を受けることによって弾性部材の付勢力に抗して検査部材に対し平行となる第２の姿勢に変位し、後から第１の検査部に接触する。よって、電気光学装置に帯電した電荷は、先に第２の電極を通って放電され、その後、両方の端子が検査部材と導通されて画素に駆動電圧が印加されることにより画素の点灯検査が行われる。従って、帯電した電荷の放電によって電気光学装置の電気特性に影響が及ぶことを低減することが可能になる。
【００２２】
この電気光学装置の検査装置は、前記制御手段は、前記検査部材を支持する支持部と、前記支持部を付勢する弾性部材とを備え、前記支持部は、前記検査部材が前記一対の基板に対して傾斜する第１の姿勢と、前記検査部材が前記一対の基板に対して平行となる第２の姿勢とに変位可能に設けられ、前記弾性部材は、前記検査部材を前記第２の姿勢から前記第１の姿勢に変位させるように前記支持部を付勢していることを要旨としている。
【００２３】
これによれば、支持部に支持された検査部材は、弾性部材の付勢により一対の基板に対し傾斜する第１の姿勢に保持されることから、検査部材は先に第２の端子に接触し、その後、接触圧を受けることによって弾性部材の付勢力に抗して一対の基板に対し平行となる第２の姿勢に変位し、後から第１の端子に接触する。よって、電気光学装置に帯電した電荷は、先に第２の電極を通って放電され、その後、両方の端子が検査部材と導通されて画素に駆動電圧が印加されることにより画素の点灯検査が行われる。従って、帯電した電荷の放電によって電気光学装置の電気特性に影響が及ぶことを低減することが可能になる。
【００２４】
この電気光学装置の検査装置は、前記スイッチング素子は、薄膜ダイオードであることを要旨としている。
【００２５】
これによれば、スイッチング素子は薄膜ダイオードを用いたことにより、一方の基板には配線が設けられている。よって、先に薄膜ダイオードが形成されてない基板側の配線を通って電荷が放電されることにより、薄膜ダイオードの破壊を低減することが可能になる。
【００２６】
本発明の電気光学装置の検査方法は、対向する一対の基板を備え、一方の前記基板は、第１の端子と、前記第１の端子に電気的に接続されてなる第１の電極と、前記第１の電極に電気的に接続されてなるスイッチング素子と、前記スイッチング素子に対応して設けられてなる画素電極と、第２の端子と、他方の前記基板は、導通部を介して前記第２の端子に電気的に接続されてなる第２の電極とを有する電気光学装置に対し、前記第１の端子に接触させる第１の検査部と、前記第２の端子に接触させる第２の検査部を含む検査部材を備えた検査装置を用いて検査を行う電気光学装置の検査方法であって、前記他方の基板と前記検査部材とが前記第２の検査部側に傾斜した状態で、前記第２の検査部と前記第２の端子を接触させる工程と、前記第１の検査部と前記第１の端子が接触するように、前記他方の基板と前記検査部材とを相対的に移動させる工程とを有することを要旨としている。
【００２７】
これによれば、一対の基板と検査部材とが相対的に傾斜させるようにし、先に第２の検査部と第２の端子を接触させ、その後に第１の検査部と第１の端子を接触させる。よって、電気光学装置に帯電した電荷は、第２の電極を通って放電される。従って、帯電した電荷の放電によってスイッチング素子の破壊を低減することが可能になる。
【００２８】
本発明の電気光学装置の検査方法は、対向する一対の基板を備え、一方の前記基板は、画素電極と、前記画素電極に対応して設けられてなるスイッチング素子と、スイッチング素子に電気的に接続されてなる第１の電極と、他方の前記基板は、導通部を介して前記第１の電極と電気的に接続されてなる第１の端子と、第２の電極と、前記第２の電極と電気的に接続されてなる第２の端子とを有する電気光学装置の検査装置に対し、前記第１の端子に接触させる第１の検査部と、前記第２の端子に接触させる第２の検査部を含む検査部材を備えた検査装置を用いて検査を行う電気光学装置の検査方法であって、前記他方の基板と前記検査部材とが前記第２の検査部側に傾斜した状態で、前記第２の検査部と前記第２の端子を接触させる工程と、前記第１の検査部と前記第１の端子が接触するように、前記他方の基板と前記検査部材とを相対的に移動させる工程とを有することを要旨としている。
【００２９】
これによれば、一対の基板と検査部材とが相対的に傾斜させるようにし、先に第２の検査部と第２の端子を接触させ、その後に第１の検査部と第１の端子を接触させる。よって、電気光学装置に帯電した電荷は、第２の電極を通って放電される。従って、帯電した電荷の放電によってスイッチング素子の破壊を低減することが可能になる。
【００３０】
この電気光学装置の製造方法は、電気光学装置の検査方法を含むことを要旨としている。
【００３１】
これによれば、一対の基板と検査部材とが相対的に傾斜させるようにし、先に第２の検査部と第２の端子を接触させ、その後に第１の検査部と第１の端子を接触させる。よって、電気光学装置に帯電した電荷は、第２の電極を通って放電される。従って、帯電した電荷の放電によってスイッチング素子の破壊を低減することが可能になり、製造効率を高め、製造歩留まりを向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
（第１実施形態）
以下、本発明を具体化した第１実施形態を図面を参照しつつ説明する。
【００３３】
図１は電気光学装置としての液晶表示装置１０の分解斜視図であり、液晶表示装置１０の製造方法の概略手順を説明するための図である。液晶表示装置１０は、一対の基板である第１基板１１と第２基板１２とを、シール材１３によって貼り合せ、第１基板１１、第２基板１２及びシール材１３によって囲まれた空間内に図示しない電気光学物質である液晶を封入したものである。
【００３４】
第１基板１１は、第２基板１２の外形よりも張り出した基板張出部１４を有している。第１基板１１の完成品は、この基板張出部１４の表面上に駆動回路などを内蔵した図示しない電子部品（半導体ＩＣチップ）が、１組の端子である第１電極端子部１５ａ（セグメント電極端子部）、第２電極端子部１５ｂ（コモン電極端子部）にそれぞれ実装される。
【００３５】
なお、本実施形態では、第１の端子を第１電極端子部という。又、第２の端子を第２電極端子部という。
【００３６】
又、本実施形態では、完成前の液晶表示装置１０を検査するため、電子部品（半導体ＩＣチップ）は実装されていない。第１基板１１においては、ガラスやプラスチックなどの透明材料で構成される第１基板１１の表面上に、Ｃｒなどで構成された第１の電極であるデータ線１６と、配線１７が形成されている。データ線１６は、スイッチング素子、例えば薄膜ダイオード（以下、ＴＦＤという）３３（図２参照）に接続され、第１電極端子部１５ａに引き出されている（１６ａ）。配線１７は、第１基板１１に形成された導通部である第１接続パッド部１８に接続され、第１接続パッド部１８とは反対側の端部の第２電極端子部１５ｂに引き出されている（１９ａ）。
【００３７】
一方、第２基板１２には、ガラスやプラスチックなどで構成された第２基板１２の表面（第１基板１１と対向する内面）上に、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などで構成される複数の第２の電極である走査線１９がストライプ状に形成されている。これらの走査線１９の端部には、それぞれ導通部である第２接続パッド部２０が形成されている。これらの走査線１９は、第１基板１１のデータ線１６の配線方向と直交する方向に伸びている。
【００３８】
走査線１９の第２接続パッド部２０は、シール材１３を介して配線１７の第１接続パッド部１８に接続されている。シール材１３には、樹脂基材中に多数の微小な導電粒子が分散配置されている。これらの導電粒子は、第１基板１１と第２基板１２とがシール材１３を介して貼り合わされ、加圧された状態でシール材１３が硬化されたとき、第１接続パッド部１８と第２接続パッド部２０とを導通接続するように構成されている。より具体的には、前記構成によりシール材１３は導電異方性を有するので、複数の第１接続パッド部１８と第２接続パッド部２０とは、このシール材１３を介して相互に対応するもの同士のみが導通接続される。
【００３９】
そして、後述する液晶表示装置１０の点灯検査を行い、正常であれば省略する次の製造工程に移る。
【００４０】
図２は、液晶表示装置１０の電気的等価回路を示す。
【００４１】
図２に示されるように、液晶表示装置１０の一点鎖線で囲まれた表示部３０には、基板上に複数の走査線１９が行（Ｘ）方向に延在して形成されている。また、基板上に複数のデータ線１６が列（Ｙ）方向に延在して形成されている。走査線１９とデータ線１６との各交差部には、画素３１が形成されている。さらに、それぞれの画素３１は、液晶層３２と、ＴＦＤ３３が直列に接続されている。液晶層３２は、対向電極として機能する走査線１９と画素電極との間に、液晶を挟持した構成となっている。液晶層３２は走査線１９に接続され、その画素電極はＴＦＤ３３に接続されている。ＴＦＤ３３はデータ線１６に接続されている。
【００４２】
本実施形態では、基板張出部１４において、複数のデータ線１６が引き出された端部集合範囲（１６ａ、同図二点鎖線で示す範囲）を、第１電極端子部１５ａと呼んでいる。
【００４３】
本実施形態では、基板張出部１４において、複数の走査線１９及び配線１７が引き出された端部集合範囲（１９ａ、同図二点鎖線で示す範囲）を、第２電極端子部１５ｂと呼んでいる。
【００４４】
また本実施形態では、第１電極端子部１５ａに導通接続されているデータ線１６と、ＴＦＤ３３と画素電極を含めて第１回路と呼んでいる。又、第２電極端子部１５ｂに導通接続されている配線１７と、第１接続パッド部１８、走査線１９、及び第２接続パッド部２０とを含めて第２回路と呼んでいる。又、第１回路と第２回路、及び液晶層３２を合わせて、１組の回路と呼んでいる。第２電極端子部１５ｂに導通接続された第２回路の耐電圧は、例えば１ＫＶである。第１電極端子部１５ａに導通接続された第１回路の耐電圧は、例えば１００Ｖである。
【００４５】
ここで液晶表示装置１０は、第１基板１１と、これに対向して配置される第２基板１２とが、互いに一定の間隔を保った状態で貼り付けられる。そして、第１基板１１と第２基板１２との間に液晶が充填、封止されて液晶層３２を形成した構成となっている。
【００４６】
図３は、液晶表示装置１０の検査に使用される検査装置の電気的構成を示す。
【００４７】
液晶表示装置１０の点灯検査は、液晶表示装置１０のデータ線１６と走査線１９に電圧を印加することによって行われる。検査装置４０は、電源装置４１と、後述する検査台５０（図４参照）を備えている。電源装置４１は、電源をＯＮ、ＯＦＦするための電源スイッチ４２と、電圧を可変させるためのボリューム４４と、接地端子４５とを備えている。そして電源装置４１は、第１信号線Ｖsegと第２信号線Ｖcomとを介して検査部材を構成する給電端子４６に接続される。
【００４８】
給電端子４６は、液晶表示装置１０に形成された第１電極端子部１５ａに導通接続される第１の検査部である第１給電端子４６ａと、第２電極端子部１５ｂに導通接続される第２の検査部である第２給電端子４６ｂとを備えている。そして電源装置４１によって、液晶表示装置１０の点灯検査のとき、給電端子４６を介して液晶表示装置１０の第１電極端子部１５ａと第２電極端子部１５ｂに導通接続され、二点鎖線で囲まれた表示部３０の各画素３１を点灯させる。
【００４９】
次に、図４を参照して、検査装置４０の構成について説明する。
【００５０】
図４は、液晶表示装置１０の検査装置を示す概略構成図である。図４（ａ）は検査台５０の模式正面図、図４（ｂ）は、Ａ−Ａ線における断面図を示す。
【００５１】
検査装置４０は、液晶表示装置１０を点灯検査するためにセットする検査台５０と、液晶表示装置１０に電圧を供給するための電源装置４１とを備えている。
【００５２】
検査台５０の基台５１には、適当な高さの４本のポスト５２が基台５１の各コーナーにそれぞれ配設されている。４本のポスト５２の上部には、着脱可能な基盤プレート５３が支持されている。基台５１と基盤プレート５３との間には、バックライト５４が基台５１上面中央に備えられている。このバックライト５４は、液晶表示装置１０の点灯検査において、液晶表示の輝度ムラ観察用の光源として設けられている。なお、透過型液晶表示装置においてはバックライト５４を使用するが、反射型液晶表示装置においてバックライト５４は使用せず、例えば外光によって点灯検査をおこなっている。又、基板プレート５３の中央には、バックライト５４の光を液晶表示装置１０に照射する窓（開口部）が設けられている。
【００５３】
基盤プレート５３の上面ほぼ中央には、液晶表示装置１０に電圧を供給するための給電端子４６が配設されている。給電端子４６は、第１信号線Ｖsegと、第２信号線Ｖcomとを介して電源装置４１に接続されている。第１信号線Ｖsegは第１給電端子４６ａに接続され、第２信号線Ｖcomは第２給電端子４６ｂに接続されている。
【００５４】
基台５１後方の底面には、基盤プレート５３上面までの高さより高い位置までの長さを有する３本のガイド軸５５が、幅方向に均等な間隔で垂直に配設されている。ガイド軸５５には、ガイド軸５５に沿って上下方向に摺動可能なガイドポスト５６が嵌着されている。ガイドポスト５６の上面には、基盤プレート５３に対向する範囲までの大きさを有した上ホルダ５７が取着されている。上ホルダ５７の底面（基盤プレート側）には、基盤プレート５３と同じ大きさを有した上ホルダプレート５８が基盤プレート５３と対向するように密着固定されている。上ホルダ５７、上ホルダプレート５８には、検査用窓５９（図５参照）が形成され、この検査用窓５９を通じて目視で検査を行う。
【００５５】
レバー６０は、レバー軸６１を中心に回動し、第１〜３連結部材６２〜６４を介して上ホルダ５７に取着されたガイドポスト５６に連結されている。なお、図４（ａ）では、第１〜３連結部材６２〜６４の図示を省略している。詳述すると、レバー６０は、図示しないバネによって上方へ付勢されており、レバー６０を手前に引くことにより、バネの付勢力に抗してレバー軸６１を中心に回動する。そして、この回動する運動が、第１〜３連結部材６２〜６４を介して、第３連結部材６４が連結軸６５を中心に回動することで、ガイドポスト５６、上ホルダ５７及び上ホルダプレート５８は上下方向に移動を行う直線の運動に変換される。
【００５６】
図５（ａ）は検査装置全体の斜視図であり、図５（ｂ）は検査装置４０にセットされる際の液晶表示装置１０付近の拡大斜視図を示している。
【００５７】
検査装置４０は、検査台５０の側方に配置される搬送装置７０を備えている。搬送装置７０は、エアピンセット７１の上下移動、基盤プレート５３の中央付近と元の位置までの伸縮移動等の動作を行う。この動作は、例えばエアシリンダや油圧シリンダ等のアクチュエータ７２によって行われる。エアピンセット７１は、アクチュエータ７２のロッド７３の先端に固着されている。そして、搬送装置７０の本体７０ａには、アクチュエータ７２をガイド孔７４に沿って昇降させる昇降用アクチュエータ７５が内蔵されている。エアピンセット７１は、液晶表示装置１０を所定の位置から搬送するときや戻す場合に、搬送装置７０の下降位置に配置される。一方、エアピンセット７１は、液晶表示装置１０を検査台５０にセットするときや所定の位置に戻す場合に、搬送装置７０の上昇位置に配置される。更に、エアピンセット７１は、ロッド７３がアクチュエータ７２によって押し出されたときに、基盤プレート５３の中央付近まで達する。一方、エアピンセット７１は、ロッド７３がアクチュエータ７２によって引き戻されたときに、基盤プレート５３に干渉しない位置まで戻される。
【００５８】
エアピンセット７１によって液晶表示装置１０を吸引させるには、例えば真空吸引によって行われ、吸引する必要のないときは真空吸引をストップさせる。エアピンセット７１の先端には、液晶表示装置１０を支持するための支持部としての吸引パッド７６が設けられている。更に、エアピンセット７１の先端には、液晶表示装置１０を傾かせて吸引するために弾性部材７７が設けられている。弾性部材７７は、例えばゴムである。
【００５９】
ここで、給電端子４６と一対の基板（第１基板１１、第２基板１２）との位置関係において、給電端子４６に対して一対の基板１１，１２が傾斜する姿勢を第１の姿勢とする。又、給電端子４６に対して一対の基板１１、１２が平行となる姿勢を第２の姿勢とする。
【００６０】
液晶表示装置１０は、弾性部材７７を介して吸引パッド７６は、基盤プレート５３に対して傾くように支持されている。吸引パッド７６によって吸引された液晶表示装置１０は、第１の姿勢に保持される。又、液晶表示装置１０は、弾性部材７７が撓むことによって、第１の姿勢から給電端子４６に対して平行となる第２の姿勢に変位する。
【００６１】
又、第１給電端子４６ａと第２給電端子４６ｂは、例えば、導電ゴムを使用しており、圧縮されることによって導電ゴムの上面と下面が導通する特性をもっている。一方、導電ゴムに力を加えなければ導電ゴムの上面と下面は導通されていない。本実施形態の導電ゴムは、上下の圧縮動作によって上面と下面の複数の配線がそれぞれ導通可能になるように構成されている。
【００６２】
給電端子４６の周囲には、液晶表示装置１０をセットしたときに、給電端子４６と高さを合わせるための支え部材７８が、液晶表示装置１０の給電端子４６と対応する辺を除く残り３辺に対応する部位を指示可能に設けられている。
【００６３】
次に、図５〜図６を参照して、液晶表示装置１０の検査方法について説明する。
【００６４】
この液晶表示装置１０の点灯検査は、各画素及び画面の輝度ムラの状態を検査するものである。本実施形態では、液晶表示装置１０の表示部３０の画素３１（図２参照）を全点灯させて、画素及び配線の状態を検査する全点灯検査を行っている。
【００６５】
液晶表示装置１０の点灯検査は、液晶表示装置１０を駆動させるためのドライバ（ＩＣチップ）を、第１電極端子部１５ａ、第２電極端子部１５ｂに実装する前の状態で行われる。
【００６６】
図５に示すように、エアピンセット７１は、所定の位置において液晶表示装置１０の表示面を吸引する。液晶表示装置１０は、アクチュエータ７２によってエアピンセット７１が伸ばされ、基盤プレート５３の中央付近まで搬送される。このとき、液晶表示装置１０は、弾性部材７７によって第２電極端子部１５ｂが下がった第１の姿勢に保たれて吸引されている。そして、液晶表示装置１０の耐電圧が高い第２回路に導通接続された第２電極端子部１５ｂと、給電端子４６の第２給電端子４６ｂが先に接触する。そして、導電ゴムからなる第２給電端子４６ｂを押圧することによって、第２電極端子部１５ｂと導通する。すると、液晶表示装置１０に帯電している電荷は、第２回路を通って第２給電端子４６ｂから、第２信号線Ｖcomを通って電源装置内に放電される。
【００６７】
液晶表示装置１０は、耐電圧の高い第２回路に導通された第２電極端子部１５ｂ（第２給電端子４６ｂ）側から電荷を放電させることによって、第１回路に接続されたＴＦＤ３３に影響を与えることなく電荷を逃がすことが可能になる。
【００６８】
一方、第１電極端子部１５ａと第１給電端子４６ａが先に接触した場合、第１電極端子部１５ａに導通接続されている第１回路を通って電荷が放電される。この場合、第１回路の耐電圧は１００Ｖのため、静電気の電荷が１００Ｖ以上ある場合は、第１回路中のＴＦＤ３３が破壊される可能性がある。
【００６９】
多少時間をおいた後、液晶表示装置１０は、搬送装置７０によって下降し、エアピンセット７１の先端に設けられた弾性部材７７が撓むことによって、給電端子４６に対して水平な第２の姿勢に移行する。このとき、液晶表示装置１０は、図示しない製品ガイドに沿って第２の姿勢のままセットされる。この第２の姿勢でエアピンセット７１の吸引が停止し、エアピンセット７１から液晶表示装置１０は離脱される。そして液晶表示装置１０は給電端子４６と支え部材７８の上面にセットされる。エアピンセット７１は、搬送装置７０によって検査台から離れた位置まで戻される。
【００７０】
続いて、図６を参照しながら説明する。図６（ａ）は、レバー６０を倒して上ホルダプレート５８を下降させた状態を示す図であり、図６（ｂ）は、液晶表示装置１０のセットされた周辺の拡大図を示している。
【００７１】
レバー６０を手前に引き、上ホルダプレート５８を液晶表示装置１０に密着させるように下げていく（図６（ａ）参照）。今、液晶表示装置１０は、給電端子４６に対して平行な第２の姿勢となっている。そして、液晶表示装置１０の第１電極端子部１５ａと第１給電端子４６ａ、第２電極端子部１５ｂと第２給電端子４６ｂがそれぞれ密着する。
【００７２】
このとき、給電端子４６ａ、４６ｂが下方向に圧接されて導電ゴムの上面、下面がそれぞれ導通されると、第１電極端子部１５ａには第１信号線Ｖsegを介し、第２電極端子１５ｂには第２信号線Ｖcomを介し、信号が印加される。そして、第２電極端子部１５ｂに印加された信号は、すべての走査線１９に対して一括で供給される。又、第１電極端子部１５ａに印加された信号は、すべてのデータ線１６に対して一括で供給され、液晶表示装置１０の表示部３０の画素３１（図２参照）が全点灯される。
【００７３】
又、電源装置４１のボリューム４４を回転させて、印加される電圧を可変しながら点灯状態を確認する。画素３１は、正常である場合、液晶層３２に印加される電圧によって同一輝度となる。ただし、ＴＦＤ３３やデータ線１６、走査線１９等が破壊や溶断等が発生していると、その欠陥に係る画素３１は正常部とは異なる輝度を呈することになり、欠陥を発見することができる。
【００７４】
液晶表示装置１０の点灯検査を終了するとレバー６０を戻し、上ホルダプレート５８を上昇させる。そして、基盤プレート５３にセットされた液晶表示装置１０は、エアピンセット７１によって吸引される。このとき液晶表示装置１０は、弾性部材７７が第２の姿勢に変位することによってフラットの状態で吸引される。その後、液晶表示装置１０は、搬送装置７０によって所定の位置に戻される。
【００７５】
以上詳述したように本実施形態によれば、以下の効果が得られる。
【００７６】
（１）液晶表示装置１０の検査を行う際に、液晶表示装置１０に帯電した電荷は、先に耐電圧の高い第２回路側から放電されるので、ＴＦＤ３３が形成された第１回路側に悪影響を及ぼさないようにした。従って、ＴＦＤ３３の静電破壊を低減することができるとともに製品の歩留まりも向上させることができる。
【００７７】
（２）液晶表示装置１０の姿勢を変位させるため、弾性部材７７を使用している。よって、液晶表示装置１０の点灯検査は、所定の順序に従い、エアピンセット７１を下げれば第２の姿勢に変位し、上げれば元の姿勢である第１の姿勢に変位される。従って、スムーズに液晶表示装置１０の点灯検査を行うことができる。
【００７８】
（第２実施形態）
次に、本発明を具体化した第２実施形態を図７〜９を参照して説明する。
【００７９】
図７〜９は、第２実施形態の検査装置の主要な構成を示す概略斜視図であるとともに、検査状態を順に説明した図である。
【００８０】
本実施形態の液晶表示装置１０の検査装置４０においては、図７に示すように、給電端子８１は傾斜装置８０を介して上ホルダプレート５８（図４、図５参照）に取り付けられている。更に、上ホルダプレート５８の上下動作に伴って、給電端子８１を上下に作動させることが可能になっている。そして、検査するとき液晶表示装置１０は、検査台５０の基盤プレート５３（図４、図５参照）にセットされる。従って、給電端子８１を液晶表示装置１０に対して傾斜させるとともに、液晶表示装置１０に接近させる方向に移動させて、給電端子８１を液晶表示装置１０の電極端子部１５ａ、１５ｂに接触させることで電荷を放電させる点が第１実施形態と異なっている。
【００８１】
又、本実施形態による検査装置は、第１実施形態で説明した全点灯検査に対して、隣接間の接触状態を確認する検査（以下、パネルショート検査という）に適用している点も、第１実施形態とは異なっている。
【００８２】
ここで、一対の基板１１、１２と給電端子８１との位置関係において、一対の基板１１、１２に対して給電端子８１が傾斜する姿勢を第１の姿勢とする。又、一対の基板１１、１２に対して給電端子８１が平行となる姿勢を第２の姿勢とする。
【００８３】
制御手段としての傾斜装置８０は、固定部材８３と、傾動部材８４と、バネ８５とを備えている。固定部材８３には、板状のプレート８３ａと、プレート８３ａの一側面に固着された適度な厚みをもった半円状の部材８３ｂが備えられている。プレート８３ａの中央には、検査用窓８３ｃが形成され、この検査用窓８３ｃを通じて目視で検査を行う。更に、部材８３ｂの下面には直方体の部材８３ｅが固着されている。本実施形態のショートパネル検査を行う場合、上ホルダプレート５８に対して部材８３ｂは第１の孔８３ｆを介してネジ固定される。そして、部材８３ｅには、第２の孔８４ａを有する上面が開放された箱状の傾動部材８４が軸８３ｄを中心にして傾動可能に設けられている。部材８３ｂの下面一側には、傾動部材８４との間にバネ８５が介装されている。そして、傾動部材８４は、バネ８５によって付勢され、固定部材８３に対し傾斜した第１の姿勢が保持されている。
【００８４】
傾動部材８４の下面からは、ポリイミドからなるテープ状の基材８２と、この基材８２に形成された多数の配線を有し、これら複数の配線の先端が基材８２から露出して、給電端子８１ａ，８１ｂが形成されている。
【００８５】
本実施形態では、基材８２の長手方向の所定領域に、第１電極端子部１５ａと接触する第１給電端子８１ａと、第２電極端子部１５ｂと接触する第２給電端子８１ｂが形成されている。
【００８６】
そして、液晶表示装置１０は、第１給電端子８１ａと第１電極端子部１５ａが接触することによって、第１信号線Ｖsegを介して電圧が供給される。一方、第２給電端子８１ｂと第２電極端子部１５ｂが接触することによって、第２信号線Ｖcomを介して電圧が供給される。このとき、第１電極端子部１５ａと第２電極端子部１５ｂには、各引出された線（走査線１９ａ、データ線１６ａ）の１本毎に電圧が給電される。
【００８７】
液晶表示装置１０は、例えば、作業者がエアピンセット７１によって吸引して、図４に示す検査台５０（図４参照）に設けられた基盤プレート５３の中央付近の所定の位置にセットされる。
【００８８】
次に、第２実施形態の液晶表示装置１０の検査方法について、図７〜９を参照しながら説明する。
【００８９】
今、液晶表示装置１０は、検査台５０に配設された基盤プレート５３にセットされている。図７に示すように、傾動部材８４に取着された給電端子８１は、液晶表示装置１０に対して傾斜した第１の姿勢にあり、第２給電端子８１ｂ側が下がるように付勢されている。
【００９０】
図８に示すように、レバー６０を手前に引くと、上ホルダプレート５８に取り付けられた固定部材８３とともに、給電端子８１が下降する。給電端子８１は、傾動部材８４とともに第１の姿勢に傾斜しているので、先に第２給電端子８１ｂが、液晶表示装置１０の第２電極端子部１５ｂに接触する。このとき、液晶表示装置１０に帯電した電荷は、第２回路（１７，１８，１９，２０）を通って第２電極端子部１５ｂから第２信号線Ｖcomを介して、電源装置４１に備えられた接地端子４５から放電される。
【００９１】
続けて、図９に示すようにレバー６０をさらに下げると、電極端子部１５ａ，１５ｂからの反力を受けて、給電端子８１は、基盤プレート５３に対し平行となる第２の姿勢に移行する。その結果、第１給電端子８１ａと第２給電端子８１ｂは、液晶表示装置１０の第１電極端子部１５ａと第２電極端子部１５ｂとにそれぞれ接触する。このとき、固定部材８３の部材８３ｂと傾動部材８４との間に設けられたバネ８５は圧縮される。
【００９２】
電極端子部１５ａ，１５ｂに形成された複数の端子と、給電端子８１ａ，８１ｂに形成された複数の端子（配線１本毎の露出部分）とは、相互に対応するもの同士のみが導通接続される。そして、データ線１６、配線１７、及び走査線１９のショート不良を画素の点灯を通じてチェックするパネルショート検査を行う。
【００９３】
液晶表示装置１０のパネルショート検査を終了するとレバー６０を戻し、上ホルダプレート５８を上昇させる。このとき給電端子８１は、バネ８５の付勢によって再び第２給電端子８１ｂ側が下がる第１の姿勢に変位される。基盤プレート５３と上ホルダプレート５８との間が広げられると、次に作業者は、液晶表示装置１０をエアピンセット７１によって吸引し、その後、検査後の所定の位置に戻す。
【００９４】
以上詳述したように本実施形態によれば、前記第１実施形態における効果（１）が同様に得られる他、以下の効果を得ることができる。
【００９５】
（３）給電端子８１の姿勢を変位させるため、傾斜装置８０を使用している。よって、液晶表示装置１０の点灯検査は、所定の順序に従い、上ホルダプレート５８を下げれば第２の姿勢に変位し、上げれば元の姿勢である第１の姿勢に変位される。従って、スムーズに液晶表示装置１０の点灯検査を行うことができる。
【００９６】
（４）電極端子部１５ａ，１５ｂに形成された複数の端子と、給電端子８１ａ，８１ｂに形成された複数の端子とは、相互に対応するもの同士のみが導通接続される。よって、隣接間のショート状態（パネルショート検査）の検査をすることができる。
【００９７】
なお、本実施形態は上記に限定されず、以下のような形態で実施することもできる。
【００９８】
（変形例１）前記第１実施形態では、弾性部材７７としてゴムを例に挙げた。これをゴムに限らず、吸引できる状態であればバネを使用してもよい。又、第２実施形態では、バネに例に挙げて傾動部材８４を第１の姿勢と第２の姿勢に変位させていた。これを、バネでなくゴムによって変位させてもよい。
【００９９】
（変形例２）前記実施形態では、液晶表示装置１０の検査台５０へのセットは、昇降装置を使って第１の姿勢で耐電圧の高い第２電極端子部から接触させている例を説明した。これを、昇降装置ではなく手作業によって検査台５０へセットしてもよい。但し、この場合も、弾性部材７７によって液晶表示装置１０は第１の姿勢となり、耐電圧の高い第２電極端子部から接触させる。
【０１００】
（変形例３）前記実施形態では、液晶表示装置１０はスイッチング素子としてＴＦＤ３３を例にして説明した。これを、スイッチング素子としてＴＦＴ素子を用いた装置に適用してもよい。
【０１０１】
（変形例４）前記第１実施形態では、給電端子４６に対して液晶表示装置１０を傾斜させて、第２電極端子１５ｂと第２給電端子４６ｂとを接触させていた。そして、電荷を放電させた後、各端子を接触させたまま（１５ｂと４６ｂ）、第１電極端子１５ａと第１給電端子４６ａとを接触させて点灯検査をする例を説明した。これを、第２電極端子１５ｂと第２給電端子４６ｂとが接触した後、一旦お互いの端子（１５ｂと４６ｂ）を離し、液晶表示装置１０を平行にしてから両方接触（第２電極端子１５ｂと第２給電端子４６ｂとが接触、第１電極端子１５ａと第１給電端子４６ａとが接触）させるようにしてもよい。又、第２実施形態においても同様である。
【０１０２】
（変形例５）前記実施形態では、給電端子（４６、８１）と液晶表示装置１０を接触させるとき、弾性部材の付勢力に抗して液晶表示装置１０及び給電端子（４６、８１）を平行に変位させて接触させていた。これをアクチュエータを用いることによって機械的に傾斜又は平行に変位させて接触するようにしてもよい。
【０１０３】
（変形例６）前記各実施形態では、制御手段によって液晶表示装置１０や給電端子８１を傾斜させる例を説明した。これを、液晶表示装置１０が平行で給電端子（４６又は８１）の形状を、その接触面又は接触辺が傾斜した形状にしてもよい。この場合、制御手段のような複雑な機構を用いなくても、点灯検査を行う際に素子の破壊を低減することができる。
【０１０４】
（変形例７）前記実施形態では、液晶表示装置１０と給電端子４６，８１とのどちらか一方を傾斜させた例を説明した。これを、耐電圧の高い方が先に接触するものであれば、両方を傾斜させてもよい。
【０１０５】
（変形例８）前記実施形態は、２チップ（ＩＣチップ）タイプの液晶表示装置を説明したが、３チップタイプの液晶表示装置に適用してもよい。
【０１０６】
（変形例９）前記実施形態では、ＴＦＤ３３が設けられた基板側には、画素電極と第１電極端子部１５ａと第２電極端子部１５ｂとデータ線が形成され、ＴＦＤ３３が形成された基板とは反対の基板側に、走査線１９が形成されている例を説明した。これを、図２を用いて説明すると、ＴＦＤ３３が設けられた基板側には、画素電極とデータ線１６が形成され、他方の基板側には、走査線１９と第１電極端子部１５ａと第２電極端子部１５ｂが形成された液晶表示装置の構成としてもよい。
【０１０７】
（変形例１０）前記実施形態では、液晶表示装置を例に説明したが、これを有機エレクトルミネッセンス装置や、プラズマディスプレイ装置、フィールドエミッション表示装置、など種々のものに適用可能である。すなわち、本発明では、走査線およびデータ線との交差に対応して画素が設けられる表示装置をすべて検査対象とするものである。この場合、耐電圧の高い方から接触することによって、素子の破壊を低減できるとともに、製品の歩留まりを向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１０８】
【図１】第１実施形態における液晶表示装置の分解斜視図。
【図２】電気的な構成を示す説明図。
【図３】検査における電気的な構成を示す説明図。
【図４】点灯検査に用いる検査装置の概略斜視図。（ａ）は検査台の模式正面図、（ｂ）はＡ−Ａ線における断面図。
【図５】検査装置の主要な構成を示す概略斜視図。（ａ）は検査装置全体の斜視図。（ｂ）は液晶表示装置付近の拡大斜視図。
【図６】検査装置の主要な構成を示す概略斜視図。（ａ）は上ホルダプレートを下降させた状態を示す図、（ｂ）は液晶表示装置付近の拡大斜視図。
【図７】第２実施形態における検査装置の主要な構成を示す概略斜視図。
【図８】検査装置の主要な構成を示す概略斜視図。
【図９】検査装置の主要な構成を示す概略斜視図。
【図１０】従来技術の検査装置の構成を示す概略斜視図。
【符号の説明】
【０１０９】
１０・・・電気光学装置としての液晶表示装置、１１・・・第１基板、１２・・・第２基板、１５ａ・・・第１の端子としての第１電極端子部、１５ｂ・・・第２の端子としての第２電極端子部、１６・・・第１の電極としてのデータ線、１７・・・走査線としての配線、１８・・・第１接続パッド部、１９・・・第２の電極としての走査線、２０・・・第２接続パッド部、３１・・・画素、３２・・・画素を構成する液晶層、３３・・・スイッチング素子としてのＴＦＤ、４０・・・検査装置、４１・・・検査装置を構成する電源装置、４５・・・検査装置を構成する接地端子、４６・・・検査部材を構成する給電端子、４６ａ・・・検査部材を構成する第１の検査部としての第１給電端子、４６ｂ・・・検査部材を構成する第２の検査部としての第２給電端子、５０・・・検査装置を構成する検査台、５３・・・基盤プレート、５８・・・上ホルダプレート、６０・・・レバー、７０・・・搬送装置、７１・・・エアピンセット、７２・・・アクチュエータ、７５・・・昇降用アクチュエータ、７６・・・制御手段としての支持部である吸引パッド、７７・・・制御手段としての弾性部材、８０・・・傾斜装置、８１・・・検査部材を構成する給電端子、８１ａ・・・検査部材を構成する第１の検査部としての第１給電端子、８１ｂ・・・検査部材を構成する第２の検査部としての第２給電端子、８２・・・基材、８３・・・固定部材、８４・・・傾動部材、８５・・・弾性部材としてのバネ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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