(57)【要約】      （修正有）【課題】ガラスパネルの製造コストを低減することができると共にガラスパネルの品質を向上させることができるガラスパネルの製造方法、及びその製造方法により製造されたガラスパネルを提供する。【解決手段】ガラスパネルの製造方法において、同一形状且つ同一サイズである板ガラス１１，１２を準備し、例えば酸化セリウムを主成分とする微粒子から成る研磨材が含有された洗浄液を用いて一対の板ガラス１１,１２を洗浄し、次いで、ほぼ水平に支持した板ガラス１２上に、スペーサ１５を所定の間隔で配設し、板ガラス１２にその上方から板ガラス１１を載置して板ガラス１１，１２のペアリングを行い、さらに、ペアリングされた一対の板ガラス１１，１２の外周縁部を封止し、中空層１３の圧力を減圧するべく中空層１３の気体分子を外部へ排出する真空引きを行う。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
スペーサを介して互いに対向する一対の板ガラスの外周縁部を封止し、当該外周縁部が封止された一対の板ガラスの中空層を減圧するガラスパネルの製造方法において、
前記一対の板ガラスの主面の少なくとも一方を洗浄する洗浄ステップと、前記一対の板ガラスの外周縁部において溶解温度が２５０℃以下である封着材を用いて前記一対の板ガラスを封止する封止ステップとを有することを特徴とするガラスパネルの製造方法。
【請求項２】
前記洗浄ステップは、液体洗浄法、超音波洗浄法、ＵＶ洗浄法、オゾン洗浄法、及びプラズマ洗浄法の少なくとも１つを用いて前記一対の板ガラスを洗浄することを特徴とする請求項１記載のガラスパネルの製造方法。
【請求項３】
前記液体洗浄法で用いられる洗浄液は、アルカリ洗剤又はオゾン水を含有することを特徴とする請求項２記載のガラスパネルの製造方法。
【請求項４】
前記洗浄液は研磨材を含有することを特徴とする請求項２又は３記載のガラスパネルの製造方法。
【請求項５】
前記研磨材は、酸化セリウムを主成分とする微粒子であることを特徴とする請求項４記載のガラスパネルの製造方法。
【請求項６】
前記封着材はハンダ又は樹脂から成ることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のガラスパネルの製造方法。
【請求項７】
前記封止ステップの前に、前記中空層内の気体分子を吸着する吸着材を収容する吸着材収容孔を穿設する穿設ステップと、前記吸着材を前記吸着材収容孔に収容する収容ステップとを更に備えることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか1項に記載のガラスパネルの製造方法。
【請求項８】
前記封止ステップの後に前記中空層の圧力を減圧する減圧ステップを更に有し、前記洗浄ステップ、前記封止ステップ、及び前記減圧ステップは、夫々、空気の汚染状態を化学的又は物理的に制御可能な空間内で実施されることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載のガラスパネルの製造方法。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか１項に記載のガラスパネルの製造方法により製造されることを特徴とするガラスパネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラスパネルの製造方法、及びその製造方法により製造されたガラスパネルに関し、特に、一対の板ガラス間にスペーサを介在させることにより形成される中空層を有するガラスパネルの製造方法、及びその製造方法により製造されたガラスパネルに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、対向する一対の板ガラスと、一対の板ガラス間に複数の柱状のスペーサを介在させることにより形成される中空層と、該中空層の周縁をシールする周縁シール材と、一対の板ガラスの一方を貫通する孔に一端が埋め込まれ、他端が封止されている排気管と、中空層に配設され、中空層の各種気体分子を吸着するゲッタ材を収容する収容孔とを備えるガラスパネルが知られている。このガラスパネルは、中空層がほぼ真空まで減圧されることにより断熱性等の機能を有する。
【０００３】
ここで、ガラスパネルを構成する一対の板ガラスは、ガラスパネルを構成する前に、その中空層と接する内側の主面において各種気体分子を吸着することがある。この吸着された各種気体分子は、一対の板ガラスがガラスパネルを構成した後に外部から受ける熱エネルギー等によって励起されて中空層に飛散するため、中空層の減圧度を悪化させ、ガラスパネルの断熱性を低下させる場合がある。加えて、このガラスパネルは、長時間の使用によって、微量の気体分子が周縁シール材を透過し、中空層内に気体分子が混入することにより断熱性が低下する場合がある。このような問題を解消するべく、以下のようなガラスパネルの製造方法が行われている。
【０００４】
図６は、従来のガラスパネルの製造方法を示すフローチャートである。
【０００５】
図６において、まず、同一形状且つ同一サイズである一対の板ガラスを準備し（ステップＳ６１）、一対の板ガラスの一方に、その四隅のうちいずれか１つの近傍において貫通孔を穿設し（ステップＳ６２）、一対の板ガラスの他方に、貫通孔に対向する位置において溝状の収容孔を穿設する（ステップＳ６３）。
【０００６】
次に、収容孔を穿設した板ガラスをほぼ水平に支持し、スペーサを所定の間隔で配設して、収容孔に蒸発型ゲッタを収容した（ステップＳ６４）後、該板ガラスにその上方から貫通孔を穿設した板ガラスを載置して、一対の板ガラスのペアリングを行い（ステップＳ６５）、さらに、貫通孔において排気管を形成するべく管状の連通管を差し込む。
【０００７】
次いで、ペアリングされた一対の板ガラス１１，１２を加熱炉内に収納して一対の板ガラス全体を加熱し（ステップＳ６６）、温風循環等による焼成によって周縁シール材を溶融し、該溶融した周縁シール材によって一対の板ガラスの外周縁部を封止する（ステップＳ６７）。
【０００８】
続くステップＳ３８において、中空層の圧力を減圧するべく、約１５０℃に加熱した状態で、中空層の気体分子を外部へ排出するベーキングを行う（ステップＳ６８）。次いで、連通管の外気側端部を高温に加熱し、連通管の外気側端部を溶解して封じ切ることにより排気管を形成する（ステップＳ６９）。
【０００９】
さらに、収容孔に収容された蒸発型ゲッタを加熱することによってゲッタ材をフラッシュし（ステップＳ７０）、貫通孔を穿設した板ガラスの内側の主面にゲッタ材を蒸着させて、本処理を終了する。
【００１０】
このガラスパネルの製造方法によれば、一対の板ガラス全体を加熱し、中空層の圧力を減圧するべく中空層の気体分子を外部へ排出するベーキングを行うことにより、一対の板ガラスに吸着した各種気体分子や有機成分等の汚れを積極的に分解又は飛散させて中空層の空気と共に排出することができ、更に、高温の加熱処理により溶融した周縁シール材によって一対の板ガラスの外周縁部を封止することにより、中空層を外部からの水分や酸素等の気体分子から遮断することができる（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００２−１８７７４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、中空層を減圧する際に一対の板ガラス全体を加熱する加熱装置が必要となるので、加熱装置を配置するためのスペースを要すると共に、設備費が増大し、ひいてはガラスパネルの製造コストが増大するという問題がある。加えて、一対の板ガラス全体を加熱する際に、加熱装置の内部空間全体を均一な温度分布とすることが困難であることによる一対の板ガラスの熱変形や、一対の板ガラスの熱膨張の違いによるガラスパネルの反り等によって、該ガラスパネルの品質が低下するという問題がある。さらには、熱線反射、熱線吸収、低放射率等の性能を有する膜が貼付された高性能ガラスを用いた場合、加熱により膜性能が劣化するという問題がある。
【００１２】
本発明の目的は、ガラスパネルの製造コストを低減することができると共にガラスパネルの品質を向上させることができるガラスパネルの製造方法、及びその製造方法により製造されたガラスパネルを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するために、請求項１記載のガラスパネルの製造方法は、スペーサを介して互いに対向する一対の板ガラスの外周縁部を封止し、当該外周縁部が封止された一対の板ガラスの中空層を減圧するガラスパネルの製造方法において、前記一対の板ガラスの主面の少なくとも一方を洗浄する洗浄ステップと、前記一対の板ガラスの外周縁部において溶解温度が２５０℃以下である封着材を用いて前記一対の板ガラスを封止する封止ステップとを有することを特徴とする。
【００１４】
請求項２記載のガラスパネルの製造方法は、請求項１記載のガラスパネルの製造方法において、前記洗浄ステップは、液体洗浄法、超音波洗浄法、ＵＶ洗浄法、オゾン洗浄法、及びプラズマ洗浄法の少なくとも１つを用いて前記一対の板ガラスを洗浄することを特徴とする。
【００１５】
請求項３記載のガラスパネルの製造方法は、請求項２記載のガラスパネルの製造方法において、前記液体洗浄法で用いられる洗浄液は、アルカリ洗剤又はオゾン水を含有することを特徴とする。
【００１６】
請求項４記載のガラスパネルの製造方法は、請求項２又は３記載のガラスパネルの製造方法において、前記洗浄液は研磨材を含有することを特徴とする。
【００１７】
請求項５記載のガラスパネルの製造方法は、請求項４記載のガラスパネルの製造方法において、前記研磨材は酸化セリウムを主成分とする微粒子であることを特徴とする。
【００１８】
請求項６記載のガラスパネルの製造方法は、請求項１乃至５のいずれか１項に記載のガラスパネルの製造方法において、前記封着材はハンダ又は樹脂から成ることを特徴とする。
【００１９】
請求項７記載のガラスパネルの製造方法は、請求項１乃至６のいずれか1項に記載のガラスパネルの製造方法において、前記封止ステップの前に、前記中空層内の気体分子を吸着する吸着材を収容する吸着材収容孔を穿設する穿設ステップと、前記吸着材を前記吸着材収容孔に収容する収容ステップとを更に備えることを特徴とする。
【００２０】
請求項８記載のガラスパネルの製造方法は、請求項項１乃至７のいずれか１項に記載のガラスパネルの製造方法において、前記封止ステップの後に前記中空層の圧力を減圧する減圧ステップを更に有し、前記洗浄ステップ、前記封止ステップ、及び前記減圧ステップは、夫々、空気の汚染状態を化学的又は物理的に制御可能な空間内で実施されることを特徴とする。
【００２１】
請求項９記載のガラスパネルは、請求項１乃至８のいずれか１項に記載のガラスパネルの製造方法により製造されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
請求項１記載のガラスパネルの製造方法によれば、一対の板ガラスの主面の少なくとも一方を洗浄し、一対の板ガラスの外周縁部において溶解温度が２５０℃以下である封着材を用いて一対の板ガラスを封止するので、一対の板ガラス全体を加熱装置等によって加熱する必要がなく、また、一対の板ガラスを加熱しないことによって一対の板ガラスが変形するのを抑制することができ、もってガラスパネルの製造コストを低減することができると共にガラスパネルの品質を向上させることができる。
【００２３】
請求項２記載のガラスパネルの製造方法によれば、液体洗浄法、超音波洗浄法、ＵＶ洗浄法、オゾン洗浄法、及びプラズマ洗浄法の少なくとも１つを用いて一対の板ガラスを洗浄するので、一対の板ガラスの主面から分解又は飛散し得る気体分子の発生を抑制することができ、もってガラスパネルの初期性能を長時間に亘って発揮することができる。
【００２４】
請求項３記載のガラスパネルの製造方法によれば、液体洗浄法で用いられる洗浄液は、アルカリ洗剤又はオゾン水を含有するので、ガラスパネルの初期性能を更に長時間に亘って発揮することができる。
【００２５】
請求項４記載のガラスパネルの製造方法によれば、洗浄液は研磨材を含有するので、一対の板ガラスの主面を物理研磨することができ、もってガラスパネルの初期性能を更に長時間に亘って発揮することができる。
【００２６】
請求項５記載のガラスパネルの製造方法によれば、研磨材は酸化セリウムを主成分とする微粒子であるので、一対の板ガラスの主面を化学研磨且つ物理研磨することができ、もってガラスパネルの初期性能を更に長時間に亘って発揮することができる。
【００２７】
請求項７記載のガラスパネルの製造方法によれば、封止ステップの前に、中空層の気体分子を吸着する吸着材を収容する吸着材収容孔を穿設し、吸着材を吸着材収容孔に収容するので、中空層に飛散した気体分子を吸着することができ、中空層の減圧度を長時間に亘って維持することができる。
【００２８】
請求項８記載のガラスパネルの製造方法によれば、封止ステップの後に中空層の圧力を減圧する減圧ステップを更に有し、洗浄ステップ、封止ステップ、及び減圧ステップは、夫々、空気の汚染状態を化学的又は物理的に制御可能な空間内で実施されるので、洗浄された一対の板ガラスが再汚染されるのを防止することができ、もってガラスパネルの寿命を延ばすことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。
【００３０】
図１は、本発明の実施の形態に係るガラスパネルの概略構成を示す斜視図である。
【００３１】
図１において、ガラスパネル１０は、対向する一対の板ガラス１１，１２と、一対の板ガラス１１，１２間に複数の柱状のスペーサ１５を介在させることにより形成される中空層１３と、中空層１３の周縁をシールする周縁シール材１４（封着材）と、板ガラス１１を貫通する貫通孔１６に一端が埋め込まれ、他端が封止されている排気管１７と、中空層に配設され、中空層内の気体分子を吸着する蒸発型ゲッタ７０（吸着材）を収容する吸着材収容孔１８とを備える。
【００３２】
２枚の板ガラス１１，１２はその厚みが２．６５〜３．２ｍｍ程度の透明なフロートガラスであり、中空層１３が１．３３Ｐａ（１．０×１０−２Ｔｏｒｒ）以下に減圧されている。また、中空層１３はその内部の空気を貫通孔１６及び排気管１７を介して排出することによって減圧され、排気管１７が中空層１３の減圧状態を維持するためにその他端において溶融等によって封止される。
【００３３】
スペーサ１５は円柱状であり、その直径が０．３〜１．０ｍｍ程度、高さが０．１５〜１．０ｍｍ程度であり、板ガラス１１，１２に作用する大気圧に起因する圧縮応力を負荷されても坐屈しない材料、例えば、圧縮強度が４．９×１０８Ｐａ（５×１０３ｋｇｆ／ｃｍ２）以上の材料、好ましくは、ステンレス鋼（ＳＵＳ３０４）等により形成されている。
【００３４】
図２は、図１のガラスパネル１０における収容孔１８の近傍の概略構成を示す部分断面図である。
【００３５】
図２において、収容孔１８は、板ガラス１２に貫通孔１６に対向する位置において環状の溝として穿設される。収容孔１８に収容される蒸発型ゲッタ７０は、その厚みが０．１ｍｍであるステンレス製の環状容器７２と、環状容器７２に内包され、その厚みが０．４５ｍｍであるゲッタ材７１を有する。
【００３６】
図３は、図１のガラスパネル１０の製造方法を示すフローチャートである。
【００３７】
まず、フロートガラスから成る所定の厚さの２枚のガラス素板（不図示）を所定の寸法、例えば、１２００ｍｍ×９００ｍｍに夫々切断し、同一形状且つ同一サイズである板ガラス１１，１２を準備し（ステップＳ３１）、板ガラス１１に、その四隅のうちいずれか１つの近傍において貫通孔１６をドリル等によって穿設し（ステップＳ３２）（穿設ステップ）、板ガラス１２に、貫通孔１６に対向する位置において溝状の収容孔１８をドリル等によって穿設する（ステップＳ３３）。
【００３８】
次に、クリーンルームやケミカルクリーンルーム等の空気の汚染状態を化学的又は物理的に制御可能な空間内において、液体洗浄法を用いて一対の板ガラス１１,１２を洗浄する（ステップＳ３４）（洗浄ステップ）。この液体洗浄法で用いられる洗浄液は、例えば、アルカリ洗剤又はオゾン水を含有する。また、該洗浄液には、研磨材が含有されている。研磨材としては、例えば酸化セリウムを主成分とする微粒子が用いられる。
【００３９】
次いで、板ガラス１２をほぼ水平に支持し、スペーサ１５を所定の間隔で配設して、収容孔１８に蒸発型ゲッタ７０を収容した（ステップＳ３５）（収容ステップ）後、板ガラス１２にその上方から板ガラス１１を載置して、板ガラス１１，１２のペアリングを行い（ステップＳ３６）、貫通孔１６において排気管１７を形成するべく管状の連通管１７ａを差し込む。
【００４０】
さらに、ペアリングされた一対の板ガラス１１，１２をほぼ水平に保ち、溶解温度が２５０℃以下であるハンダを用いて、一対の板ガラス１１，１２の外周縁部を封止する（ステップＳ３７）（封止ステップ）。上記ハンダとしては、例えば９１．２Ｓｎ−８．８Ｚｎ（共晶点温度：１９８℃）の組成を有するハンダａが用いられる。
【００４１】
図４は、図３のステップＳ３７における封止ステップを説明するのに用いられる図である。
【００４２】
図４において、封止装置Ａは、高部と、高部より低い低部とを有して段差状に形成された段差状定盤５２を有し、高部において載置台５０を介して一対の板ガラス１１,１２を保持すると共に、低部において一対の板ガラス１１,１２にハンダａを供給する供給塔５１を保持する。段差状定盤５２の底部には、上記一対の板ガラス１１,１２に沿って２本のレール部材５３が配され、上記供給塔５１はレール部材５３上を走行する移動機構５４の上に載置されている。
【００４３】
供給塔５１は、液相又は固相のハンダａを貯留する横断面長方形のるつぼ部５５と、るつぼ部５５の側壁部に内蔵されると共にるつぼ部５５内に貯留されたハンダａを加熱する電熱ヒータ５６と、るつぼ部５５の底部に連通すると共に一対の板ガラス１１,１２の外周縁部に向かって開口する断面長尺状の導入部５８と、導入部５８の中位に水平に配された導入板５９とを備える。導入板５９は、導入部５８から延伸して一対の板ガラス１１,１２の外周縁部に嵌入しており、これにより、ハンダａは、その表面張力と相俟って間隙部５７に侵入する。加えて、るつぼ部５５内で液位ΔＨにあるハンダａの重力が導入板５９の部位においてハンダａに印加され、これにより、一対の板ガラス１１,１２の外周縁部へのハンダａの侵入を促進する。
【００４４】
一方、移動機構５４は、一対の板ガラス１１,１２の外周縁部に沿ってレール部材５３上を一定速度で移動することにより、ハンダａが導入板５９を介して一対の板ガラス１１,１２の外周縁部全体に亘って侵入する。これにより、一対の板ガラス１１，１２間に形成された中空層１３の周縁をシールする周縁シール材１４が形成される。
【００４５】
続くステップＳ３８において、図５（ａ）に示すように、連通管１７ａの近傍において排気カップ６１を連通管１７ａを覆うように板ガラス１１の外側の主面に取付け、この排気カップ６１に接続された不図示のロータリーポンプやターボ分子ポンプによる吸引により、中空層１３の圧力を１．３３Ｐａ以下にまで減圧するべく中空層１３の気体分子を外部へ排出する真空引きを行う（ステップＳ３８）（減圧ステップ）。次いで、排気カップ６１に取付けられたヒータ等の熱源６２に電圧を印加して連通管１７ａの外気側端部を高温に加熱し、連通管１７ａの外気側端部を溶解して封じ切ることにより排気管１７を形成する（ステップＳ３９）（図５（ｂ））。これにより、一対の板ガラス１１，１２間に形成された中空層１３が密閉される。尚、上述した各行程のうち、一対の板ガラス１１,１２の主面を洗浄して（ステップＳ３４）から中空層１３の気体分子を外部へ排出する真空引きを行う（ステップＳ３８）までの各行程は、夫々、空気の汚染状態を化学的又は物理的に制御可能な空間内で実施される。
【００４６】
次いで、収容孔１８に収容された蒸発型ゲッタ７０を、不図示の高周波装置を用いて局部的に加熱し、約１０００℃の状態をほぼ１５秒維持することによってゲッタ材７１をフラッシュし（ステップＳ４０）、板ガラス１１の内側の主面にゲッタ材７１を蒸着させる。板ガラス１１の内面側の主面に付着したゲッタ材７１は、飛散した各種気体分子と接触して、その気体分子からなる水、ＣＯ、ＣＯ２、Ｎ２、Ｈ２、Ｏ２等のガスを吸着して除去し、本処理を終了する。
【００４７】
本実施の形態によれば、一対の板ガラス１１,１２の主面を洗浄し、一対の板ガラス１１,１２の外周縁部において溶解温度が２５０℃以下であるハンダを用いて一対の板ガラス１１,１２を封止するので、一対の板ガラス１１,１２全体を加熱装置等によって加熱する必要がなく、また、一対の板ガラス１１,１２を加熱しないことによって一対の板ガラス１１,１２が変形するのを抑制することができ、もってガラスパネル１０の製造コストを低減することができると共にガラスパネル１０の品質を向上させることができる。また、一対の板ガラス１１,１２を加熱しないので、一対の板ガラス１１,１２のうち少なくとも一方に、例えば熱線反射、熱線吸収、低放射率等の性能を有する膜が貼付された高性能ガラスを用いた場合でも、これらの性能を劣化させることなくガラスパネル１０を製造することができる。
【００４８】
本実施の形態によれば、液体洗浄法を用いて一対の板ガラス１１,１２を洗浄するので、一対の板ガラス１１,１２の主面から分解又は飛散し得る気体分子の発生を抑制することができ、もってガラスパネル１０の初期性能を長時間に亘って発揮することができる。
【００４９】
本実施の形態によれば、液体洗浄法で用いられる洗浄液は、アルカリ洗剤又はオゾン水を含有するので、ガラスパネル１０の初期性能を更に長時間に亘って発揮することができる。
【００５０】
本実施の形態によれば、洗浄液は研磨材を含有するので、一対の板ガラス１１,１２の主面を物理研磨することができ、もってガラスパネル１０の初期性能を更に長時間に亘って発揮することができる。
【００５１】
本実施の形態によれば、研磨材は酸化セリウムを主成分とする微粒子であるので、一対の板ガラス１１,１２の主面を化学研磨且つ物理研磨することができ、もってガラスパネル１０の初期性能を更に長時間に亘って発揮することができる。
【００５２】
本実施の形態によれば、一対の板ガラス１１，１２の外周縁部を封止する（ステップＳ３７）前に、中空層１３の気体分子を吸着する蒸発型ゲッタ７０を収容する吸着材収容孔１８を穿設し（ステップＳ３３）、蒸発型ゲッタ７０を吸着材収容孔１８に収容する（ステップＳ３５）ので、中空層１３に飛散した気体分子を吸着することができ、中空層１３の減圧度を長時間に亘って維持することができる。また、仮に一対の板ガラス１１,１２の洗浄が不十分である場合でも、気体分子を吸着することができ、中空層１３の減圧度を長時間に亘って維持することができる。
【００５３】
本実施の形態によれば、一対の板ガラス１１,１２の主面を洗浄し（ステップＳ３４）、収容孔１８に蒸発型ゲッタ７０を収容し（ステップＳ３５）、一対の板ガラス１１，１２のペアリングを行い、一対の板ガラス１１，１２の外周縁部を封止し（ステップＳ３７）、中空層１３の気体分子を外部へ排出する真空引きを行い（ステップＳ３８）、これらの各行程は、夫々、空気の汚染状態を化学的又は物理的に制御可能な空間内で実施されるので、洗浄された一対の板ガラス１１,１２が再汚染されるのを防止することができ、もってガラスパネル１０の寿命を延ばすことができる。
【００５４】
本実施の形態では、液体洗浄法を用いて一対の板ガラス１１,１２を洗浄するが、これに限るものではなく、超音波洗浄法、ＵＶ洗浄法、オゾン洗浄法、及びプラズマ洗浄法の少なくとも１つを用いて一対の板ガラスを洗浄してもよい。これにより、一対の板ガラス１１,１２の主面から分解又は飛散し得る気体分子の発生を抑制することができ、もってガラスパネル１０の初期性能を長時間に亘って発揮することができる。
【００５５】
本実施の形態では、溶解温度が２５０℃以下であるハンダ、例えば９１．２Ｓｎ−８．８Ｚｎ（共晶点温度：１９８℃）の組成を有するハンダａを用いて一対の板ガラス１１，１２の外周縁部を封止するが、これに限るものではなく、Ｓｎ、Ｃｕ、Ｉｎ、Ｂｉ、Ｚｎ、Ｐｂ、Ｓｂ、Ｇａ、及びＡｇから成る群から選択された少なくとも１つの材料を含む金属材料であって溶解温度が２５０℃以下となる封着材、又は常温で固化する樹脂から成る封着材を用いて一対の板ガラス１１，１２の外周縁部を封止してもよい。
【００５６】
また、上記金属材料は、Ｔｉ、Ａｌ、及びＣｒから成る群から選択された少なくとも１つの材料を含んでいてもよい。これにより、周縁シール材１４と一対の板ガラス１１,１２のガラス成分との接着性を向上させることができる。
【００５７】
また、上記金属材料は、実質的にＩｎとＳｎから成り、液相線温度が１５０℃以下であるのが好ましい。これにより、基板１０と金属材料との接着性が更に向上し、且つ低い温度での封止接合を実現することができる。
【００５８】
さらに、上記金属材料は、実質的にＩｎとＳｎから成り、Ｉｎ／（Ｉｎ＋Ｓｎ）が５０〜６５％の範囲であり、且つ液相線温度が１２５℃以下であるのがより好ましい。これにより、基板１０と金属材料との接着性が更に向上すると共に凝固後の組織が微細で柔軟性に富み、機械的特性に優れ、且つ更に低い温度での封止接合を実現することができる。
【００５９】
上記金属材料は、実質的にＩｎ、Ｓｎ、Ｚｎ、Ｔｉから成り、Ｉｎ／（Ｉｎ＋Ｓｎ）の重量配分率が５０〜６５％の範囲であり、Ｚｎが０．１〜７．０％、Ｔｉが０．０００１〜０．１％、かつ液相線温度が１５０℃以下であるのが好ましく、さらに、Ｚｎが０．１〜５．０％、Ｔｉが０．０００１〜０．０５％であり、かつ液相線温度が１２５℃以下であるのがより好ましい。これにより、基板１０と金属材料との接着性が更に向上すると共に、ＴｉとＺｎとを共存させることによりＴｉをより均質に含有させることができ、もって基板１０と金属材料との界面における耐候性を向上させることができる。
【００６０】
本実施の形態では、中空層１３の気体分子を外部へ排出する真空引きを行い、連通管１７ａの外気側端部を溶解して溶解して封じ切ることにより排気管１７を形成するが、これに限るものではなく、真空引きを行った後、中空層１３に所定の気体を封入し、その後連通管１７ａの外気側端部を溶解して封じ切ることにより排気管１７を形成してもよい。
【００６１】
本実施の形態では、中空層１３の圧力を１．３３Ｐａ以下にまで減圧するが、これに限るものではなく、ほぼ真空になるまで中空層１３の圧力を減圧してもよい。これにより、ガラスパネル１０の断熱性能を更に高めることができる。
【００６２】
本実施の形態では、一対の板ガラス１１,１２の主面を洗浄し、収容孔１８に蒸発型ゲッタ７０を収容し、一対の板ガラス１１，１２のペアリングを行い、一対の板ガラス１１，１２の外周縁部を封止し、中空層１３の気体分子を外部へ排出する真空引きを行い、これらの各行程は、夫々、空気の汚染状態を化学的又は物理的に制御可能な空間内で実施されるが、これに限るものではなく、少なくとも一対の板ガラス１１,１２の主面を洗浄してから中空層１３の気体分子を外部へ排出する真空引きを行うまでの各行程が、空気の汚染状態を化学的又は物理的に制御可能な空間内で実施されればよい。これにより、洗浄された一対の板ガラス１１,１２が再汚染されるのを更に防止することができる。
【００６３】
また、ガラスパネル１０は、建築物、自動車、船舶等の窓ガラス、又は冷蔵庫や保温装置等の各種装置の扉や壁部等、種々の用途で使用することができる。
【００６４】
本実施の形態では、一対の板ガラス１１,１２はフロートガラスであるが、これに限るものではなく、上記のような用途に応じて、例えば、型板ガラス、表面処理により光拡散機能を備えたすりガラス、網入りガラス、線入板ガラス、強化ガラス、倍強化ガラス、低反射ガラス、高透過板ガラス、セラミック板ガラス、熱線や紫外線吸収機能を備えた特殊ガラス、又は、これらの組み合わせ等、種々のガラスを適宜選択して使用することができる。
【００６５】
さらに、一対の板ガラス１１,１２の組成についても、ソーダ珪酸ガラス、ソーダ石灰ガラス、ホウ珪酸ガラス、アルミノ珪酸ガラス、各種結晶化ガラス等を使用することができる。また、一対の板ガラス１１,１２の厚みについても適宜選択自由である。
【００６６】
本実施の形態では、スペーサ１５はステンレス鋼により形成されているが、これに限るものではなく、例えば、インコネル、鉄、アルミニウム、タングステン、ニッケル、クロム、チタン等の金属、炭素鋼、クロム鋼、ニッケル鋼、ニッケルクロム鋼、マンガン鋼、クロムマンガン鋼、クロムモリブデン鋼、珪素鋼、真鍮、ハンダ、ジュラルミン等の合金、又は、セラミックやガラス等、高剛性を有するもので形成されてもよい。また、スペーサ１５も、円柱状に限らず、角形状や球状等の各種形状であってもよい。
【００６７】
本実施の形態では、中空層１３内の気体分子を吸着するべく蒸発型ゲッタ７０を用いているが、これに限るものではなく、加熱されて活性化することにより気体分子を吸着して除去する非蒸発型ゲッタを用いてもよく、また、非蒸発型ゲッタと蒸発型ゲッタとを併用してもよく、また、ゲッタ（吸着剤）及び吸着剤収容孔は２ヶ所以上でもよく、さらには、ゲッタ（吸着剤）を用いなくてもよい。
【００６８】
本実施の形態では、周縁シール材１４は、溶着装置Ａを用いて形成されたが、これに限定されるものではなく、摩擦接合法、陽極接合法、超音波接合法、多段接合法、及び圧着接合法のいずれか１つの接合方法を用いて形成されてもよい。これにより、周縁シール材１４の一対の板ガラス１１,１２への付着性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明の実施の形態に係るガラスパネルの概略構成を示す斜視図である。
【図２】図１のガラスパネル１０における収容孔１８の近傍の概略構成を示す部分断面図である。
【図３】図１のガラスパネル１０の製造方法を示すフローチャートである。
【図４】図３のステップＳ３７における封止ステップを説明するのに用いられる図である。
【図５】図３のステップＳ３８における真空引きステップ及び図３のステップＳ３９における排気管形成ステップを説明するのに用いられる図であり、（ａ）は、真空引き時及び排気管形成時の一対の板ガラス１１,１２の部分断面図であり、（ｂ）は、排気管形成後の一対の板ガラス１１,１２の部分断面図である。
【図６】従来のガラスパネルの製造方法を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００７０】
１０  ガラスパネル
１１，１２  一対の板ガラス
１３  中空層
１４  周縁シール材
１５  スペーサ
１６  貫通孔
１７ａ  連通管
１７  排気管
１８  収容孔
７０  蒸発型ゲッタ
【図１】
2005231930.tif 000003
【図２】
2005231930.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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