(57)【要約】【課題】  不要なバックアップ動作を低減して，蓄電手段の消耗や不具合を抑制することが可能な瞬停・瞬時電圧低下対策装置を提供すること。【解決手段】  負荷装置に対して，外部電源２００からの電力を供給するとともに，外部電源２００の電圧異常時には内部の蓄電手段１０８からの電力を供給する瞬停・瞬時電圧低下対策装置１００が提供される。この瞬停・瞬時電圧低下対策装置１００は，電圧異常の有無の判定基準に基づいて，外部電源に電圧異常が発生しているか否かを判定する判定手段１０２と；電圧異常が発生していると判定された場合に，負荷装置に対する電力源を外部電源から蓄電手段に切り換える切換手段１０４と；外部電源２００からの電力供給を受けて動作している負荷装置の負荷状態を検出する負荷検出手段１１２と；検出された負荷状態に基づいて判定基準を変更する判定基準変更手段１１４と；を備えることを特徴とする。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
負荷装置に対して，外部電源からの電力を供給するとともに，前記外部電源の電圧異常時には内部の蓄電手段からの電力を供給する，瞬停・瞬時電圧低下対策装置であって：
前記外部電源の電圧異常の有無に関する判定基準に基づいて，前記外部電源に電圧異常が発生しているか否かを判定する判定手段と；
前記判定手段によって前記外部電源に電圧異常が発生していると判定された場合に，前記負荷装置に対する電力源を，前記外部電源から前記蓄電手段に切り換える切換手段と；
前記外部電源からの電力供給を受けて動作している前記負荷装置の負荷状態を検出する負荷検出手段と；
前記検出された負荷状態に基づいて，前記判定基準を変更する判定基準変更手段と；
を備えることを特徴とする，瞬停・瞬時電圧低下対策装置。
【請求項２】
前記判定基準は，電圧閾値と時間閾値との組からなることを特徴とする，請求項１に記載の瞬停・瞬時電圧低下対策装置。
【請求項３】
前記判定基準変更手段は，
前記負荷装置の負荷レベルに応じて予め設定された複数の前記判定基準を有しており，
前記複数の判定基準の中から，前記検出された負荷状態に応じた１つの判定基準を選択することを特徴とする，請求項１または２のいずれかに記載の瞬停・瞬時電圧低下対策装置。
【請求項４】
前記負荷検出手段は，
前記外部電源から前記負荷装置に供給される電力の電流値を測定し，
前記測定した電流値と，前記外部電源の定格電力とに基づいて消費電力を算出し，
前記算出した消費電力に基づいて，前記負荷装置の負荷状態を検出することを特徴とする，請求項１，２または３のいずれかに記載の瞬停・瞬時電圧低下対策装置。
【請求項５】
請求項１，２，３または４のいずれかに記載の瞬停・瞬時電圧低下対策装置を備えることを特徴とする，加工装置。
【請求項６】
外部電源の電圧異常を検出する瞬停・瞬時電圧低下検出方法であって：
前記外部電源から電力供給を受けて動作している負荷装置の負荷状態を検出するステップと；
前記検出された負荷状態に基づいて，前記外部電源の電圧異常の有無に関する判定基準を変更するステップと；
前記変更された判定基準に基づいて，前記外部電源に電圧異常が発生しているか否かを判定するステップと；
を含むことを特徴とする，瞬停・瞬時電圧低下検出方法。
【請求項７】
前記負荷装置の負荷状態を検出するステップは，
前記外部電源から前記負荷装置に供給される電力の電流値を測定するステップと；
前記測定した電流値と，前記外部電源の定格電力とに基づいて消費電力を算出するステップと；
前記算出した消費電力に基づいて，前記負荷装置の負荷状態を検出するステップと；
を含むことを特徴とする，請求項６に記載の瞬停・瞬時電圧低下検出方法。
【請求項８】
前記判定基準は，電圧閾値と時間閾値との組からなることを特徴とする，請求項６または７のいずれかに記載の瞬停・瞬時電圧低下検出方法。
【請求項９】
前記判定基準を変更するステップでは，
前記負荷装置の負荷レベルに対応して予め設定されている複数の前記判定基準の中から，前記検出された負荷状態に応じた１つの判定基準を選択することを特徴とする，請求項６，７または８のいずれかに記載の瞬停・瞬時電圧低下検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は，瞬停・瞬時電圧低下対策装置等に関し，特に，外部電源に瞬間的な停電または瞬間的な電圧の低下が生じた時に，内蔵された蓄電手段からのバックアップ電力を供給する瞬停・瞬時電圧低下対策装置等に関する。
【背景技術】
【０００２】
各種の負荷装置は，商用電源等の外部電源から供給される電力により動作する。このため，落雷等により外部電源の供給が瞬間的に停止（瞬停）したり，瞬停には至らないが瞬間的に電圧が低下（瞬時電圧低下）したりすると，負荷装置への電力供給が停止或いは不十分となるため，負荷装置の動作が停止したり，所望の動作をしなくなったりしてしまう。
【０００３】
例えば，半導体ウェハをチップ状に分割するダイシング装置の例を挙げると，かかるダイシング装置では，スピンドルモータによって切削ブレードを回転させる切削ユニットや，半導体ウェハを保持するチャックテーブルを電動モータの駆動力によってＸ軸，Ｙ軸方向に移動させるチャックテーブル移動機構などの負荷装置が，上記外部電源からの電力供給を受けて駆動している。このようなダイシング装置において，上記のような外部電源の瞬停あるいは瞬時電圧低下により，スピンドルモータ等の駆動が停止してしまうと，回転が停止した状態の切削ブレードが，Ｘ軸方向に移動する半導体ウェハと衝突して，切削ブレードおよび半導体ウェハの双方を損傷させてしまうことになる。
【０００４】
そこで，上記のような外部電源の瞬停または瞬時電圧低下に対応するため，いわゆるバッテリバックアップ方式の瞬停・瞬時電圧低下対策装置（無停電電源装置）が用いられている。この瞬停・瞬時電圧低下対策装置は，外部電源の正常時には，外部電源からの電力をそのまま負荷装置に供給するとともに，内蔵するバッテリ等の蓄電手段を外部電源により充電しておく。一方，外部電源の瞬停または瞬時電圧低下等の異常時には，電力源を外部電源から蓄電手段に切り換え，この蓄電手段に蓄えられている電力を放電して，負荷装置に供給することができる。
【０００５】
このような瞬停・瞬時電圧低下対策装置では，入力された外部電源の電圧を測定し，この測定値と，予め設定された閾値とを比較することによって，入力された外部電源の電圧が正常であるか異常であるかを判定している。このような外部電源の電圧の正常／異常の判定基準となる閾値は，従来では固定値であることが一般的であった。このため，入力された外部電源の電圧が，当該固定閾値より大きければ正常と判定され，当該固定閾値より小さければ異常と判定されていた。
【０００６】
さらに，上記判定基準となる閾値を，外部電源の電圧波形の特性に応じて変更することが可能な瞬停・瞬時電圧低下対策装置も提案されている（例えば，特許文献１参照）。
【０００７】
【特許文献１】特開２００３−６１２６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記従来の瞬停・瞬時電圧低下対策装置では，上記のような外部電源の電圧の正常／異常の判定基準となる閾値は，電力の供給を受ける負荷装置の消費電力（負荷）が最大となるときを想定して予め設定されていた。
【０００９】
しかしながら，負荷装置の消費電力は，常に最大消費電力となるわけではない。例えば，負荷装置が，上記切削ブレードを回転させるスピンドルモータを有する切削ユニットである場合を考えると，このスピンドルモータの消費電力は，被加工物の種類や切削加工の方式などによって異なる。具体的には，被加工物が切削抵抗の大きいガラス基板であるときには，スピンドルモータの消費電力は大きくなり，一方，被加工物が切削抵抗の小さいシリコン基板であるときには，スピンドルモータの消費電力は小さくなる。このように，実際には負荷装置は常に最大消費電力を消費して動作しているわけではない。
【００１０】
ところが，上記のように最大消費電力（最大負荷）を想定した閾値によって電圧異常を検出する場合には，僅かな停電または電圧低下が生じた時であっても，即座に蓄電手段による電力のバックアップを行うような安全対策を講じる必要がある。
【００１１】
この理由は，瞬停・瞬時電圧低下対策装置と負荷装置との間に配設される整流器にある。この整流器は，瞬停・瞬時電圧低下対策装置からの交流電圧を直流電圧に変換して負荷装置に供給する機能を有しており，かかる変換のために通常はコンデンサが構成として含まれている。このコンデンサは，外部電源の正常時には電力を蓄電する一方，外部電源に異常が発生し整流器に電力が供給されなくなると，蓄電されている電力の放電を開始して，負荷装置に電力を供給することができる。このように，整流器内のコンデンサは，一時的にバッテリとしての役割を果たすことが可能である。かかる整流器内のコンデンサの放電状態を図８に示す。
【００１２】
図８に示すように，整流器は，外部電源の正常時には外部電源の供給を受けて所定の出力電圧（例えば２８０Ｖ）を維持するが，外部電源に異常が生じると，内部のコンデンサの放電により，負荷装置に対する電力供給を維持しようとする。このコンデンサの放電では，時間の経過とともにコンデンサの蓄電量が低減するため，整流器の出力電圧は徐々に低下する。かかる場合に，電力の受け側である負荷装置が所定の許容電圧（例えば２４０Ｖ）までの電圧低下を許容できるように構成されているとすれば，瞬停・瞬時電圧低下対策装置は，整流器の出力電圧が当該許容電圧に低下するまでの間に，バックアップを行えばよいことになる。
【００１３】
ここで問題となるのが，整流器の出力電圧が許容電圧に低下するまでの時間であるが，整流器の出力電流が大きいほど，整流器の出力電圧が短時間で低下するため，当該時間は短くなる。この整流器の出力電流の大きさは，電力の供給を受ける負荷装置の消費電力（負荷）に応じて増減するものである。
【００１４】
具体的に説明すると，図８の一点鎖線で示したように，負荷装置の消費電力が比較的小さい場合には，整流器の出力電流も小さくて済むため，整流器の出力電圧が許容電圧に低下するまでの時間は比較的長くなる。一方，図８の破線で示したように，負荷装置の消費電力が比較的大きい場合には，整流器の出力電流が大きくなるため，整流器の出力電圧が許容電圧に低下するまでの時間は比較的短くなる。従って，瞬停・瞬時電圧低下対策装置は，負荷装置の消費電力（負荷）が大きいほど，外部電源の異常時にバックアップを早期に行わなければならないといえる。
【００１５】
例えば，負荷装置が上記切削ユニットである場合において，切削抵抗の大きいガラス基板を切削加工するときには，切削ユニットの消費電力は，スペックにより定まる最大消費電力（１００％）に近くなる。このため，瞬停・瞬時電圧低下対策装置は，外部電源の異常発生後，早期にバックアップを行わなければならない。従って，電圧異常を検出する判定基準となる閾値のレベル（感度）を高く維持しなければならない。
【００１６】
一方，切削抵抗の小さいシリコン基板を切削加工するときには，切削ユニットの消費電力は，上記最大消費電力の例えば１９％以下であり，上記ガラス基板を切削加工する場合と比してかなり小さくなっている。このため，上記の理由により，外部電源に異常が発生してからバックアップを要する状態となるまでの時間に余裕があるので，ある程度の外部電源の電圧低下を許容することができる。従って，電圧異常を検出する判定基準となる閾値のレベル（感度）を下げることができる。
【００１７】
しかしながら，上記従来の瞬停・瞬時電圧低下対策装置では，上述したように，負荷装置の実際の負荷状態とは無関係に，常に，最大消費電力（最大負荷）を想定した閾値を判定基準として，外部電源の電圧の正常／異常を判定していた。このため，負荷装置の負荷が低い場合などには，外部電源の電圧異常を検出する感度が必要以上に高くなってしまうことがあった。この結果，外部電源にノイズが多く含まれている環境下などでは，蓄電手段による不要なバックアップ動作を頻繁に行ってしまうため，蓄電手段の消耗や不具合が増大してしまうという問題があった。
【００１８】
なお，外部電源は複数の装置に電力を供給しているため，どうしてもノイズが含まれてしまう。このノイズは，図９に示すように微小な電圧低下となって現れる。かかるノイズの原因は様々あるが，その大きな原因のひとつに，他の装置の電源回路に設けられた整流器とコンデンサの存在が考えられる。一般的に，外部電源からの電力を装置に供給する場合，整流器によって交流電圧を直流電圧に変換した後，コンデンサによって滑らかな直流電圧にする。この場合，整流器に入力された交流電圧がコンデンサ電圧より高いレベルの時だけ整流器に電流が流れ，整流器に入力された交流電圧がコンデンサ電圧より低いレベルの時には，整流器によって阻止されて電流が流れない。このため，電源ラインの配線抵抗，および電源トランスが設けられている場合にはそのコイル抵抗によって，外部電源に電圧降下が発生する。従って，上記のような整流器およびコンデンサが他の装置に搭載されている場合には，その影響を受けて外部電源に一時的な電圧低下（即ち，ノイズ）が発生してしまう。
【００１９】
本発明は，上記問題に鑑みてなされたものであり，本発明の目的とするところは，不要なバックアップ動作を低減して，蓄電手段の消耗や不具合を抑制することが可能な，新規かつ改良された瞬停・瞬時電圧低下対策装置等を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
上記課題を解決するために，本発明の第１の観点によれば，負荷装置に対して，外部電源からの電力を供給するとともに，外部電源の電圧異常時には内部の蓄電手段からの電力を供給する，瞬停・瞬時電圧低下対策装置が提供される。この瞬停・瞬時電圧低下対策装置は，外部電源の電圧異常の有無に関する判定基準に基づいて，外部電源に電圧異常が発生しているか否かを判定する判定手段と；判定手段によって外部電源に電圧異常が発生していると判定された場合に，負荷装置に対する電力源を，外部電源から蓄電手段に切り換える切換手段と；外部電源からの電力供給を受けて動作している負荷装置の負荷状態を検出する負荷検出手段と；検出された負荷状態に基づいて，判定基準を変更する判定基準変更手段と；を備えることを特徴とする。なお，瞬停とは，落雷等が原因で外部電源からの電力の供給が瞬間的に停止することをいい，瞬時電圧低下とは，瞬停にまでは至らないが外部電源の電圧が定格電圧よりも瞬間的に低下することをいう。
【００２１】
かかる構成により，外部電源の電圧低下が発生したときには，判定手段は，当該電圧低下が負荷装置の動作に支障が生じる程度の電圧異常（瞬停，瞬時電圧低下等）であるか否かを，判定基準変更手段によって設定されている判定基準に基づいて判定することができる。この結果，電圧異常であると判定された場合には，切換手段が電力源を外部電源から蓄電手段に切り換えることにより，負荷装置に対する電力をバックアップすることができる。このため，外部電源の電圧異常が発生しても，負荷装置に対する電力供給を確保することができるので，負荷装置の動作が停止したり，不具合が生じたりすることがない。
【００２２】
さらに，上記瞬停・瞬時電圧低下対策装置は，上記判定基準を，負荷装置の負荷状態に応じて変更できる点が特徴的である。つまり，負荷装置は，最大負荷に近い状態で動作している時と，負荷に余裕がある状態で動作している時とでは消費電力に差があるため，外部電源の電圧低下によって負荷装置の動作に支障を生ずるか否かは，当該負荷装置の負荷状態によって異なる。そこで，上記瞬停・瞬時電圧低下対策装置では，負荷検出手段が，外部電源の電力によって動作中の負荷装置の負荷状態を検出し，判定基準変更手段が，負荷検出手段によって検出された負荷状態に基づいて判定基準を動的に変更し，判定手段が，判定基準変更手段によって変更設定された判定基準に基づいて，入力されてくる外部電源の電圧異常の有無をリアルタイムで判定する構成を採用している。この構成において，判定基準変更手段は，負荷装置の負荷が大きいほど電圧異常を検出する感度が高くなるように，判定基準を変更する。これにより，判定手段は，負荷装置の負荷状態に応じた好適な判定基準で，外部電源の電圧異常の有無を検出することができる。このため，負荷装置の負荷が小さい時に，バックアップが不要な程度の軽微な電圧低下が発生しても，電力源のバックアップ動作を行わないようにできる。一方，同じ程度の軽微な電圧低下が発生しても，負荷装置の負荷が最大負荷に近い時には，バックアップ動作を行うことができる。この結果，瞬停・瞬時電圧低下対策装置は，負荷装置の負荷状態に応じて不要なバックアップ動作を回避して，内蔵するバッテリ等の蓄電手段の消耗や不具合を回避できる。
【００２３】
また，上記判定基準は，電圧閾値と時間閾値との組からなる，ように構成してもよい。かかる構成により，判定手段は，外部電源の電圧が電圧閾値を下回る時間が，時間閾値以上である場合には，外部電源に電圧異常が発生していると判定することができる。また，判定基準変更手段は，負荷装置の負荷が大きいほど，電圧閾値を大きくするように，あるいは時間閾値を小さくするように判定基準を変更することで，負荷状態に応じた好適な判定基準に変更できる。
【００２４】
また，上記判定基準変更手段は，負荷装置の負荷レベルに応じて予め設定された複数の判定基準を有しており，この複数の判定基準の中から，検出された負荷状態に応じた１つの判定基準を選択する，ように構成してもよい。かかる構成により，判定基準変更手段は，負荷装置の負荷をその大きさによって複数段階に区分した負荷レベルごとに，予め設定された複数の判定基準を有することができる。このため，判定基準変更手段は，負荷検出手段から負荷装置の負荷状態に関するデータが入力されると，かかる負荷状態が如何なる負荷レベルに属するかを判別し，判別された負荷レベルに対応して設定されている判定基準を選択することができる。これにより，判定基準変更手段は，負荷状態に応じた判定基準に容易かつ明確に変更することができる。
【００２５】
また，上記負荷検出手段は，外部電源から負荷装置に供給される電力の電流値を測定し，測定した電流値と，外部電源の定格電力とに基づいて消費電力を算出し，算出した消費電力に基づいて，負荷装置の負荷状態を検出する，ように構成してもよい。かかる構成により，負荷検出手段は，負荷装置の負荷状態を容易かつ迅速に検出することができる。
【００２６】
また，上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，上記のような瞬停・瞬時電圧低下対策装置を備えることを特徴とする，加工装置が提供される。かかる構成により，加工装置は，負荷装置の負荷状態に応じて電圧異常の判定基準を好適に変更し，不要なバックアックアップ動作を抑制できる瞬停・瞬時電圧低下対策装置を備えることができる。このため，加工装置は，内蔵する１又は２以上の負荷装置（電動モータ等の駆動装置など）に対して安定して電力を供給できる。
【００２７】
また，上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，外部電源の電圧異常を検出する瞬停・瞬時電圧低下検出方法が提供される。この瞬停・瞬時電圧低下検出方法は，外部電源からの電力供給を受けて動作している負荷装置の負荷状態を検出するステップと；検出された負荷状態に基づいて，外部電源の電圧異常の有無に関する判定基準を変更するステップと；変更された判定基準に基づいて，外部電源に電圧異常が発生しているか否かを判定するステップと；を含むことを特徴とする。
【００２８】
かかる構成により，外部電力の供給先である負荷装置の負荷状態に応じた好適な判定基準によって，外部電源の電圧異常の有無を判定できる。このため，当該負荷装置の動作に支障が生じる程度の電圧低下であれば電圧異常であると判定し，一方，当該負荷装置の動作に支障が生じない程度の電圧低下であれば電圧異常でないと判定することができる。従って，負荷装置の動作に支障が生ずるか否かを基準として，外部電源の電圧異常を的確に検出できる。
【００２９】
また，上記負荷装置の負荷状態を検出するステップは，外部電源から負荷装置に供給される電力の電流値を測定するステップと；測定した電流値と，外部電源の定格電力とに基づいて消費電力を算出するステップと；算出した消費電力に基づいて，負荷装置の負荷状態を検出するステップと；を含む，ように構成してもよい。かかる構成により，負荷装置の負荷状態を容易かつ迅速に検出することができる。
【００３０】
また，上記判定基準は，電圧閾値と時間閾値との組からなる，ように構成してもよい。かかる構成により，外部電源の電圧が電圧閾値を下回る時間が時間閾値異常である場合には，外部電源に電圧異常が発生していると判定することができる。また，負荷装置の負荷状態が大きいほど，電圧閾値を大きくするように，あるいは時間閾値を小さくするように判定基準を変更することで，負荷状態に応じた好適な判定基準に変更できる。
【００３１】
また，上記判定基準を変更するステップでは，負荷装置の負荷レベルに対応して予め設定されている複数の判定基準の中から，検出された負荷状態に応じた１つの判定基準を選択する，ように構成してもよい。かかる構成により，判定基準を負荷状態に応じて容易かつ明確に変更することができる。
【発明の効果】
【００３２】
以上説明したように本発明によれば，外部電源の電圧異常を判定するための判定基準を，負荷装置の負荷状態に応じた適正な判定基準に変更することができる。このため，負荷装置の負荷に余裕があるにもかかわらず，ノイズのような微小な瞬停または瞬時電圧低下にまで敏感に反応して，不要なバックアップを行うことを低減できる。従って，バッテリ等の蓄電手段の消耗や不具合を抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下に添付図面を参照しながら，本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお，本明細書及び図面において，実質的に同一の機能構成を有する構成要素については，同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
【００３４】
（第１の実施形態）
まず，図１に基づいて，本発明の第１の実施形態にかかる瞬停・瞬時電圧低下対策装置が適用されるダイシング装置１０の全体構成について説明する。なお，図１は，本実施形態にかかるダイシング装置１０を示す全体斜視図である。
【００３５】
図１に示すように，ダイシング装置１０は，例えば，半導体ウェハなどの被加工物１２を切削加工する切削ユニット２０と，切削ユニット２０を例えばＹ軸およびＺ軸方向に移動させる切削ユニット移動機構３０と，被加工物１２を保持するチャックテーブル４０と，チャックテーブル４０を例えばＸ軸およびＹ軸方向に移動させるチャックテーブル移動機構５０と，被加工物１２を洗浄する洗浄手段６０と，被加工物１２を搬送する搬送手段７０と，から構成される。
【００３６】
このうち，切削ユニット２０は，図２に示すように，例えば，略リング形状を有する極薄の切削砥石である切削ブレード２２と，切削ブレード２２を両側より挟持してスピンドル２４に装着するフランジ２３と，一端に切削ブレード２２が装着され，他端でスピンドルモータＭ１と連結されたスピンドル２４と，スピンドル２４を高速回転させる回転駆動力を発生する電動モータ（スピンドルモータ）Ｍ１と，スピンドル２４を回転可能に支持するスピンドルハウジング２６と，加工点に切削水を供給して冷却する切削水供給ノズル２７と，切削ブレード２２の外周を覆って切削水や切り屑などの飛散を防止するホイルカバー２８とを備える。かかる構成の切削ユニット２０は，切削ブレード２２を高速回転させながら被加工物１２に切り込ませることにより，被加工物１２の加工面を切削することができる。
【００３７】
図１に戻り，切削ユニット移動機構３０は，電動モータＭ２の回転駆動力により切削ユニット２０をＺ軸方向に移動させて，被加工物１２に対する切削ブレード２２の切り込み深さを調整することができる。また，この切削ユニット移動機構３０は，電動モータＭ３の駆動力により切削ユニット２０をＹ軸方向に移動させ，被加工物１２上の切削ラインに切削ブレード２２の刃先位置を合わせることができる。
【００３８】
チャックテーブル４０は，例えば，真空チャック等を備えた略円盤状のテーブルである。このチャックテーブル４０は，例えば，ウェハテープ１３を介してフレーム１４に支持された状態の被加工物１２を，真空吸着して保持することができる。
【００３９】
チャックテーブル移動機構５０は，電動モータＭ３，Ｍ４の回転駆動力により，チャックテーブル４０それぞれＸ軸およびＹ軸方向に移動させることができる。これにより，切削加工前には，チャックテーブル４０上に保持された被加工物１２を位置調整できるとともに，切削加工中には，被加工物１２を上記切削ユニット２０に対して切削ライン方向（例えばＸ軸方向）に相対移動させることができる。
【００４０】
洗浄手段６０は，例えばスピンナ洗浄装置等で構成されており，電動モータＭ６の回転駆動力によって被加工物１２を回転させながら洗浄水を噴射することで，切削加工された被加工物１２を洗浄することができる。
【００４１】
また，搬送手段７０は，被加工物１２をピックアップした搬送アームを電動モータＭ７の回転駆動力によって回動させ，チャックテーブル４０，洗浄手段６０および搬出入用カセット（図示せず。）の間で，被加工物１２を搬送することができる。
【００４２】
このような構成のダイシング装置１０は，高速回転させた切削ブレード２２を被加工物１２に所定の切り込み深さで切り込ませながら，切削ユニット２０とチャックテーブル４０とを例えばＸ軸方向に相対移動させることができる。これにより，被加工物１２の加工面を切削加工して，切削ラインに沿って極薄の切溝（カーフ）を形成することができる。かかる切削加工を複数の切削ラインについて繰り返すことにより，被加工物１２をダイシング加工して，複数のチップに分割することができる。
【００４３】
以上のように，ダイシング装置１０を構成する切削ユニット２０，切削ユニット移動機構３０，チャックテーブル移動機構５０，洗浄手段６０，搬送手段７０等は，本実施形態にかかる負荷装置として構成されている。このような負荷装置は，それぞれ，駆動源である電動モータＭ１〜７（以下では，「電動モータＭ」と総称する場合もある。）を備えており，かかる電動モータＭが電力の供給を受けて駆動することによって，上記各負荷装置の動作を行うことができる。
【００４４】
次に，図３に基づいて，上記ダイシング装置１０内の各負荷装置に電力を供給するための回路構成について説明する。なお，図３は，本実施形態にかかるダイシング装置１０が具備する負荷装置に電力を供給するための回路構成の概要を示すブロック図である。
【００４５】
図３に示すように，本実施形態では，商業電源２００からの電力は，瞬停・瞬時電圧低下対策装置１００−１，２，…，７，整流器９０−１，２，…，７，および駆動回路８０−１，２，…，７を介して，各負荷装置２０，３０，５０，６０，７０内の電動モータＭ１〜７に供給される。
【００４６】
商用電源２００は，例えば，ダイシング装置１０等の加工装置に対して，外部から電力を供給するために利用される一般的な交流電源であり，本実施形態にかかる外部電源として構成されている。
【００４７】
瞬停・瞬時電圧低下対策装置１００−１，２，…，７（以下，「瞬停・瞬時電圧低下対策装置１００」という。）は，例えば，バッテリバックアップ式の無停電電源装置である。この瞬停・瞬時電圧低下対策装置１００は，商用電源２００の電圧が正常である時には，当該商業電源２００からの電力をそのまま整流器９０に供給するが，商用電源２００に瞬停／瞬時電圧低下等の電圧異常が生じている時には，電力源を，商用電源２００から内蔵バッテリに切り換えて，このバッテリに蓄電されている電力を整流器９０に供給できる。このように，瞬停・瞬時電圧低下対策装置１００は，商用電源２００の異常時に電力をバックアップすることができるが，詳細については後述する。
【００４８】
なお，本実施形態では，瞬停・瞬時電圧低下対策装置１００は，ダイシング装置１０が具備する各電動モータＭ１〜７に対応してそれぞれ個別に設けられている。これにより，各電動モータＭ１〜７の特性（負荷，連続駆動時間等）に対応するように調整された瞬停・瞬時電圧低下対策装置１００を個別に配設して，各電動モータＭ１〜７に対して効率的に電力供給できるというメリットがある。しかし，かかる例に限定されず，例えば，全ての電動モータＭ１〜７（即ち，ダイシング装置１０内の負荷装置の全て）に対して１つの瞬停・瞬時電圧低下対策装置１００だけを設けるように構成してもよいし，或いは，電動モータＭ１〜７を複数のグループにグループ化（例えば負荷装置ごとにグループ化）し，かかるグループごとにそれぞれ１つの瞬停・瞬時電圧低下対策装置１００を割り当てるようにしてもよい。これにより，瞬停・瞬時電圧低下対策装置１００の設置数を低減できるので，設置コスト，設置スペースの面でメリットがある。
【００４９】
また，このような瞬時電圧低下対策装置１００は，例えば，ダイシング装置１０等の加工装置に内蔵されていてもよいし，或いは，当該加工装置とは別体に構成され，当該加工装置に外部接続（外付け）されてもよい。
【００５０】
整流器９０−１，２，…，７（以下「整流器９０」という。）は，例えば，半導体ダイオード，コンデンサなどで構成されており，入力された交流電圧を直流電圧に変換して出力することができる。また，この整流器９０は，上述したように，通常時には内部のコンデンサに電力を蓄電し，商用電源２００の電圧異常時には，コンデンサに蓄電した電力を放電して，一時的にバックアップ電力を供給することができる。なお，かかる整流器９０は，例えば，上記瞬停・瞬時電圧低下対策装置１００に含まれるように構成してもよいし，あるいは，切削ユニット２０等の負荷装置に含まれるように構成してもよい。
【００５１】
駆動回路８０−１，２，…，７（以下「駆動回路８０」という。）は，例えば，各負荷装置（切削ユニット２０，切削ユニット移動機構３０等）内に設けられる電動モータＭの駆動を制御するための回路である。この駆動回路８０は，整流器９０から入力された直流電力から，各電動モータＭを駆動させるための電気信号を生成して，各電動モータＭに供給する。この結果，各電動モータＭが回転駆動力を発生し，かかる回転駆動力によってダイシング装置１０の各負荷装置が上述のように動作する。
【００５２】
次に，図４に基づいて，本実施形態の特徴である瞬停・瞬時電圧低下対策装置１００の構成について説明する。なお，図４は，本実施形態にかかる瞬停・瞬時電圧低下対策装置１００の概略的な構成を示すブロック図である。
【００５３】
図４に示すように，瞬停・瞬時電圧低下対策装置１００は，例えば，判定手段１０２と，切換手段１０４と，充電回路１０６と，バッテリ１０８と，ＤＣ／ＡＣ変換回路１１０と，負荷検出手段１１２と，判定基準変更手段１１４と，を備える。この瞬停・瞬時電圧低下対策装置１００では，電源供給ラインとして，例えば，第１の経路１２０と第２の経路１３０とが分岐するように設けられている。第１の経路１２０上には，例えば切換回路１０４が配され，また，第２の経路１３０上には，例えば，充電回路１０６，バッテリ１０８およびＤＣ／ＡＣ変換回路１１０がこの順で直列に配されている。
【００５４】
判定手段１０２は，例えば，第１の経路１２０と第２の経路１３０の分岐部と，商用電源２００との間に設けられ，外部の交流電源である商用電源２００と直接的に接続されている。この判定手段１０２は，入力された商用電源２００の電圧を検出して，商用電源２００の電圧異常（瞬停，瞬時電圧低下）の有無を判定することができる。この判定手段１０２による電圧異常の判定は，例えば，電圧閾値と時間閾値との組み合わせからなる判定基準に基づいて行われるが，詳細は後述する。判定手段１０２の判定結果を表す信号は，切換手段１０４に出力される。
【００５５】
切換手段１０４は，例えば，各負荷装置の電動モータＭへの電力源として，商用電源２００とバッテリ１０８とを切り換える切換回路であり，この切換動作は，上記判定手段１０２の判定結果に基づいて行われる。具体的には，切換手段１０４は，判定手段１０２から商用電源２００に電圧異常が発生したとの判定結果を表す信号が入力されると，電力源を商用電源２００からバッテリ１０８に切り換えるよう制御する。具体的には，ＤＣ／ＡＣ変換回路１１０に対して切換信号を出力し，バッテリ４５に蓄電された電力を放電するように制御する。
【００５６】
一方，切換手段１０４は，判定手段１０２から商用電源２００の電圧異常が解消したとの判定結果を表す信号が入力されると，電力源をバッテリ１０８から商用電源２００に切り換えるよう制御する。具体的には，ＤＣ／ＡＣ変換回路１１０に対して切換信号を出力してバックアップを中止させるとともに，判定手段１０２から自身に入力されてくる商用電源２００の電力を負荷検出手段１１２に供給する。
【００５７】
充電回路１０６は，判定手段１０２から入力された商用電源２００の電力を，バッテリ１０８に蓄電するための制御回路である。
【００５８】
バッテリ１０８は，例えば，商用電源２００の電力によって充電される充電池等であり，本実施形態にかかる蓄電手段として構成されている。このバッテリ１０８は，入力側が上記充電回路１０６と接続され，出力側がＤＣ／ＡＣ変換回路１１０に接続されている。かかるバッテリ１０８は，商用電源２００の正常時には電力を蓄電し，異常時には蓄えた電力をバックアップ用電力として放電することができる。なお，このバッテリ１０８の代わりに，例えば，並列に配置された複数のコンデンサなどで蓄電手段を構成し，バックアップに必要な電力を蓄電／放電できるようにしてもよい。
【００５９】
ＤＣ／ＡＣ変換回路１１０は，バッテリ１０８から入力された直流電圧を交流電圧に変換して出力する変換手段である。このＤＣ／ＡＣ変換回路１１０は，切換回路１０４からの切換信号によって，バッテリ１０８に蓄電された電力を放電させ，交流に変換して負荷検出手段１１２に供給することができる。このＤＣ／ＡＣ変換回路１１０の出力側は，切換回路１０４と負荷検出手段１１２との間に接続されている。
【００６０】
このように，第１の経路１２０は，商用電源２００の正常時に商用電源２００からの電力を通すための経路であり，一方，第２の経路１３０は，瞬停等に備えて商用電源２００の電力をバッテリ１０８に蓄電しておくとともに，瞬停等の商用電源２００の電圧異常時にはバッテリ１０８に蓄電された電力を放電するための経路である。
【００６１】
従って，瞬停・瞬時電圧低下対策装置１００は，商用電源２００の正常時は，第１の経路１２０を介して商用電源２００の電力を整流器９０に出力し，一方，商用電源２００の電圧異常時は，第２の経路４２を介してバッテリ１０８の電力を整流器９０に出力することができる。このように，瞬停・瞬時電圧低下対策装置１００が出力した電力は，整流器９０によって直流に変化された上で駆動回路８０に供給され，駆動回路８０および電動モータＭの電力源となる。
【００６２】
さらに，例えば，第１の経路１２０と第２の経路１３０との合流部と，整流器９０との間には，負荷検出手段１１２が設けられている。この負荷検出手段１１２は，例えば，電流計および演算回路などで構成されており，負荷装置（即ち，駆動回路８０および電動モータＭ）の負荷状態を検出する機能を有する。
【００６３】
本実施形態では，この負荷検出手段１１２は，自身を流れる電流値を測定し，かかる測定電流値に基づいて消費電力を算出し，この算出した消費電力によって負荷装置の負荷状態を検出する構成を採用している。即ち，上記のような回路構成により，瞬停・瞬時電圧低下対策装置１００から負荷装置に供給される商用電源２００の電力は，負荷検出手段１１２を通って出力される。このとき，負荷検出手段１１２に流れる電流値は，負荷装置の負荷に応じて増減する。また，瞬停・瞬時電圧低下対策装置１００から供給される電力の電圧は，所定の振幅および周期を有する交流電圧（商用電源２００の定格電圧）であり，負荷装置の負荷にかかわらず一様に変化する。従って，負荷検出手段１１２は，上記のように，自身を流れる電流値を測定し，この測定電流値に定格電圧値を乗じることにより，消費電力を算出することができる。
【００６４】
このように交流電源の電流値と電圧値を乗じて算出した消費電力［ｋＶＡ］は，厳密な意味では，実際に負荷装置が仕事を行うため消費した電力（即ち，実際の負荷装置の負荷）［ｋＷ］とは異なり，「有効電力［ｋＷ］」と「無効電力」との和で表される表面上電力（皮相電力）である。これは，交流電源の場合には，電圧と電流の位相がずれるため，全ての電力が有効に消費されるわけではないので，上記算出した消費電力［ｋＶＡ］は，実際に負荷装置が仕事に消費した電力（有効電力）と，全く仕事をしない電力（無効電力）とを含むからである。
【００６５】
しかし，上記算出した消費電力［ｋＶＡ］は，実際の負荷装置の負荷［ｋＷ］と例えばリニアな相関を示すものである（例えば，［ｋＶＡ］に力率（例えば０．８）を乗じて［ｋＷ］に換算できる。）。よって，負荷検出手段１１２は，上記算出した消費電力［ｋＶＡ］の大きさによって，負荷装置の負荷状態を検出することが可能である。本実施形態にかかる負荷検出手段１１２は，このようにして検出した負荷状態を，例えば，最大負荷に対する割合（即ち，負荷率）で表す。
【００６６】
即ち，負荷検出手段１１２は，例えば，電力供給先の負荷装置の負荷が最大負荷となるときの最大消費電力［ｋＶＡ］を予め測定して，保有している。負荷検出手段１１２は，実際に商用電源２００の供給を受けて負荷装置が動作しているときの消費電力［ｋＶＡ］を上記のように算出し，上記「最大消費電力［ｋＶＡ］」に対する「算出した消費電力［ｋＶＡ］」の割合（例えば０〜１００％）である負荷率を算出し，この負荷率を当該負荷装置の現在の負荷状態として出力する。
【００６７】
例えば，負荷装置が上記切削ユニット２０である場合について具体的に説明する。切削ユニット２０が最大負荷となる状態（例えば，加工が予定されている被加工物１２の中で最大の切削抵抗を有する被加工物１２（例えば厚いガラス基板）を最大送り速度で切削加工している状態）において，上記負荷検出手段１１２によって消費電力［ｋＶＡ］を測定し，最大消費電力［ｋＶＡ］として記録しておく。例えば，この最大消費電力が４．０［ｋＶＡ］であったとする。この条件下で，切削ユニット２０が他の被加工物１２として例えばＣＳＰ（Ｃｈｉｐ  Ｓｉｚｅ  Ｐａｃｋａｇｅ）基板を切削加工している状態において，消費電力が例えば３．０［ｋＶＡ］と算出された場合には，上記負荷検出手段１１２は当該切削ユニット２０の負荷状態が負荷率７５％（３．０／４．０＝０．７５）であると検出する。また，比較的切削抵抗が低いシリコン基板などを切削加工している状態において，消費電力が０．８［ｋＶＡ］と算出された場合には，上記負荷検出手段１１２は当該切削ユニット２０の負荷状態が負荷率２０％（０．８／４．０＝０．２）であると検出する。
【００６８】
このようにして，負荷検出手段１１２は，商用電源２００の供給を受けて駆動している負荷装置の負荷状態を検出し，この負荷状態を例えば０〜１００％の範囲の負荷率として出力する。負荷検出手段１１２は，このように検出した負荷装置の負荷状態のデータ（例えば負荷率）を，判定基準変更手段１１４に出力する。
【００６９】
判定基準変更手段１１４は，上記負荷検出手段１１２によって検出された負荷装置の負荷状態に基づいて，上記判定手段１０２が商用電源２００の正常／異常を判定するための判定基準を変更する機能を有する。
【００７０】
この判定基準変更手段１１４は，例えば，負荷装置の負荷レベル毎に予め設定された複数の判定基準を，記録部（図示せず。）等に記録して保有している。この負荷レベルとは，負荷装置の負荷をその大きさに応じて複数のレベルに区分したものであり，本実施形態では，例えば，上記負荷率を基準として，第１レベル（例えば負荷率が０〜２０％），第２レベル（２０〜４０％），第３レベル（４０〜６０％），第４レベル（６０〜８０％）および第５レベル（８０〜１００％）からなる５つの負荷レベルに区分されている。
【００７１】
また，本実施形態にかかる判定基準は，例えば，商用電源２００の電圧に関する閾値である電圧閾値と，商用電源２００の電圧低下の継続時間に関する閾値である時間閾値との組み合わせからなり，この電圧閾値と時間閾値との組である判定基準が，上記負荷レベルごとにそれぞれ設定されている。このような負荷レベルに応じた複数の判定基準は，過去の実験や測定などにより蓄積されたデータに基づいて好適に設定されたものである。
【００７２】
より詳細には，かかる判定基準は，例えば，上記図８で説明したように，商用電源２００の異常発生後，整流器９０内のコンデンサの放電による一時的なバックアップでは対応不能となるまでの間（即ち，整流器９０の出力電圧が許容電圧（例えば２４０Ｖ）に低下するまでの間）に，瞬停・瞬時電圧低下対策装置１００による電力のバックアップが開始されるように設定される。具体的には，例えば，図５に示すように，整流器９０からの出力電圧が上記許容電圧（例えば２４０Ｖ）まで低下するまでの時間と，整流器９０からの出力電流の大きさ（負荷装置の負荷に対応する。）との関係を表したグラフを，実験データ等に基づいて作成する。次いで，図５のグラフ線と，縦軸及び横軸とで囲まれる領域（図５のハッチングを施した領域）内の条件のときに，瞬停・瞬時電圧低下対策装置１００によるバックアップがなされるように，上記判定基準の電圧閾値および時間閾値を負荷レベル毎に設定する。かかる手法により，整流器９０によるバックアップがオーバーフローしない範囲内で，負荷装置の負荷レベルが高いときには僅かな電圧低下でも電圧異常が発生したと判定し，一方，負荷レベルが低いときにはノイズのような微細な電圧低下では電圧異常とは判定しないように，電圧異常の判定基準を負荷レベル毎に設定できる。
【００７３】
判定基準変更手段１１４は，以上のようにして予め設定された複数の判定基準を保有しており，負荷検出手段１１２から負荷装置の負荷状態（負荷率）が入力されると，当該負荷状態が如何なる負荷レベルに属するかを判別し，保有している複数の判定基準の中から，判別された負荷レベルに対応する１つの判定基準を選択する。さらに，判定基準変更手段１１４は，選択した判定基準を判定手段１０２に出力し，判定基準の変更を設定する。判定手段１０２は，判定基準変更手段１１４によって判定基準の変更設定がなされると，その後は，変更された判定基準に基づいて，商用電源２００の電圧異常の有無，即ち，瞬停あるいは瞬時電圧低下が発生したか否かを判定する。
【００７４】
ここで，以下の表１に基づいて，負荷装置が切削ユニット２０である場合の判定基準の具体例について説明する。なお，表１は，切削ユニット２０の各負荷レベルに応じて設定された電圧閾値および時間閾値を示すテーブルである。
【００７５】
【表１】
2005065471.tif 000003
【００７６】
表１に示すように，切削ユニット２０に関しては，切削ユニット２０の負荷状態に応じて例えば５つの判定基準（判定基準Ａ〜Ｅ）が設定されている。この切削ユニット２０の負荷状態は，例えば，負荷率２０％ごとに５段階の負荷レベルにランク分けされている。また，各判定基準Ａ〜Ｅでは，電圧閾値および時間閾値がそれぞれ設定されている。電圧閾値は，例えば，全ての判定基準Ａ〜Ｅに共通して固定電圧閾値（例えば１７０Ｖ）に設定されている。一方，時間閾値は，例えば，負荷レベルが高いほど短時間となるように設定されており，負荷レベルが最も低いとき（負荷率０〜２０％）は１１．２ｍｓであり，負荷レベルが最も高いとき（負荷率８０〜１００％）は０．７ｍｓである。
【００７７】
このように，表１にかかる判定基準は，商用電源２００の電圧が固定電圧値（１７０Ｖ）以下に低下したときの継続時間が，時間閾値より大きいか否かに基づいて，商用電源２００の電圧の正常／異常を判定するように設定されている。
【００７８】
具体的には，切削ユニット２０がガラス基板を切削加工するときには，切削ユニット２０の負荷状態は負荷率が８０〜１００％の範囲の負荷レベルに該当するので，判定基準変更手段１１４は判定基準Ｅを選択する。この判定基準Ｅは，「商用電源２００の入力電圧として，１７０Ｖ以下の電圧が０．７ｍｓ以上継続した場合には，瞬停・瞬時電圧低下が発生したと判定する。」というものであり，電圧異常を検出する感度が最も高い判定基準が選択されることになる。
【００７９】
また，シリコン基板を切削加工するときには，切削ユニット２０の負荷状態は負荷率が０〜２０％の範囲の負荷レベルに該当するので，判定基準変更手段１１４は判定基準Ａを選択する。この判定基準Ａは，「商用電源２００の入力電圧として，１７０Ｖ以下の電圧が１１．２ｍｓ以上継続した場合には，瞬停・瞬時電圧低下が発生したと判定する。」というものであり，電圧異常を検出する感度が最も低い判定基準が選択されることになる。
【００８０】
このように判定基準変更手段１１４によって選択された判断基準を基準として，判定手段１０２は，商用電源２００の電圧異常の有無を判定する。具体的には，この判定手段１０２は，商用電源２００から入力された電圧値および時間を測定しており，この測定値と，上記判定基準の電圧閾値および時間閾値とを比較することによって，商用電源２００に瞬停あるいは瞬時電圧低下が発生しているか否かを判定する。この判定の結果，異常であると判定した場合には，判定手段１０２は切換回路１０４に対して電力源を商用電源２００からバッテリ１０８に切り換えるように命令し，この結果，バッテリ１０８に蓄電された電力が放電される。
【００８１】
ここで，図６および上記表１に基づいて，かかる判定手段１０２による商用電源２００の電圧異常の検出動作について，より詳細に説明する。なお，図６は，本実施形態にかかる商用電源２００において，複数種類の瞬時電圧低下が発生している電圧波形を示す説明図である。
【００８２】
図６の（１）に示すように，商用電源２００に電圧閾値（１７０Ｖ）以下の電圧低下が１ｍｓの間生じたケースにおいて，最も厳しい上記判定基準Ｅが選択されている場合には，判定手段１０２は，入力された商用電源２００の電圧（入力電圧）に異常があり，バッテリ１０８によるバックアップを行う必要があると判定する。これは，切削ユニット２０の負荷が高く消費電力が多いため，整流器９０の電圧降下時間が短くなるので，バッテリ１０８による早期のバックアップが必要だからである。一方，時間閾値が１ｍｓ以上である上記判定基準Ａ〜Ｄが選択されている場合には，判定手段１０２は，入力電圧が正常の範囲内であり，バッテリ１０８によるバックアップの必要がないと判定する。これは，切削ユニット２０の負荷および消費電力がさほど大きくなく，１ｍｓ程度の微小時間の電圧低下は，整流器９０によるバックアップにより対応でき，バッテリ１０８によるバックアップまでは必要ないからである。
【００８３】
また，図６の（２）に示すように，商用電源２００に電圧閾値（１７０Ｖ）以下の電圧低下が３ｍｓの間生じたケースにおいて，時間閾値が３ｍｓ未満である判定基準Ｃ〜Ｅが選択されている場合には，判定手段１０２は，入力電圧に異常があり，バッテリ１０８によるバックアップを行う必要があると判定する。一方，時間閾値が３ｍｓ以上である判定基準ＡおよびＢが選択されている場合には，判定手段１０２は，入力電圧が正常の範囲内であり，バッテリ１０８によるバックアップの必要がないと判定する。
【００８４】
さらに，図６の（３）に示すように，商用電源２００に電圧閾値（１７０Ｖ）以下の電圧低下が１０ｍｓ生じたケースにおいて，時間閾値が１０ｍｓ未満である判定基準Ｂ〜Ｅが選択されている場合には，判定手段１０２は，入力電圧に異常があり，バッテリ１０８によるバックアップを行う必要があると判定する。一方，時間閾値が１０ｍｓ以上である判定基準Ａが選択されている場合には，判定手段１０２は，入力電圧が正常の範囲内であり，バッテリ１０８によるバックアップの必要がないと判定する。
【００８５】
このように，本実施形態にかかる瞬停・瞬時電圧低下対策装置１００は，電力供給先である負荷装置の負荷状態に応じて，電力供給元である商用電源２００の電圧異常の有無についての判定基準を切り換えることができる。このため，入力された商用電源２００に同じ電圧低下が発生していたとしても，負荷状態によって異なる判断（負荷装置の動作に影響を及ぼす程度の重大な電圧低下であるとの判断，或いは，負荷装置の動作に影響を及ぼさない程度の微細な電圧低下（ノイズ）であるとの判断）を行うことができる。
【００８６】
次に，図７に基づいて，上記のような本実施形態にかかる瞬停・瞬時電圧低下対策装置１００を利用した瞬停・瞬時電圧低下検出方法について説明する。なお，図７は，本実施形態にかかる瞬停・瞬時電圧低下対策装置１００を利用した瞬停・瞬時電圧低下検出方法を示すフローチャートである。
【００８７】
図７に示すように，まず，ステップＳ１０では，負荷検出手段１１２によって，外部電源である商用電源２００からの電力の供給を受けて動作している負荷装置の負荷状態が検出される（ステップＳ１０）。
【００８８】
詳細には，まず，負荷検出手段１１２は，整流器９０に出力される電流値を測定し（ステップＳ１０２），次いで，かかる測定した電流値と，商用電源２００の定格電圧とを乗算して消費電力を算出し（ステップＳ１０４），その後，算出された消費電力を，最大負荷で動作している時の負荷装置の消費電力（最大消費電力）で除算することにより，負荷装置の最大負荷に対する実際の負荷の割合（即ち，上記負荷率）を算出する（ステップＳ１０６）。このようにして，瞬停・瞬時電圧低下対策装置１００の出力側に設けられた負荷検出手段１１２を流れる電圧値等に基づいて，動作中の負荷装置の負荷状態を推定することができる。
【００８９】
次いで，ステップＳ２０では，判定基準変更手段１１４によって判定基準が変更される（ステップＳ２０）。詳細には，判定基準変更手段１１４は，例えば，負荷レベル毎に予め設定されている複数の判断基準の中から，上記ステップＳ１０で検出された負荷装置の負荷状態に応じた１つの判定基準を選択する。この判定基準は，上記のように電圧閾値と時間閾値との組からなるものである。かかる選択された判定基準は，判定手段１０２に出力され，判定手段１０２による電圧異常検出の基準値として設定される。この結果，商用電源２００の電圧異常の判定基準が，動作中の負荷装置の負荷に応じた好適な判定基準に変更される。
【００９０】
その後，ステップＳ３０では，判定手段１０２によって，上記変更された判定基準に基づいて，商用電源２００に電圧異常が発生しているか否かが継続的に判定される（ステップＳ３０）。詳細には，例えば，判定手段１０２は，入力されてくる商用電源２００の電圧が，上記変更された判定基準の電圧閾値未満となる時間を計測し，この時間が上記変更された判定基準の時間閾値以上である場合には，電圧異常が発生したと判定する。この判定では，例えば，負荷装置の負荷が高い状態にある場合には，比較的微小な電圧低下が発生しても感度良く電圧異常と判定されるため，バッテリ１０８によるバックアップが早期に実行される。一方，例えば，負荷装置の負荷が低い状態にある場合には，比較的微小な電圧低下が発生してもノイズの範囲内であり電圧異常でないと判定されるため，不要なバックアップが実行されない。
【００９１】
以上のように，本実施形態にかかる瞬停・瞬時電圧低下対策装置１００は，電力の供給を受けて動作している負荷装置の負荷状態に応じて，商用電源２００の電圧異常の判定基準を動的に変更することができる。換言すると，瞬停・瞬時電圧低下対策装置１００は，電力供給先である負荷装置の負荷レベルに応じて，電圧異常を検出する基準である閾値のレベル（感度）をリアルタイムで上下させることができる。具体的には，負荷装置の負荷が高いときには電圧異常検出の感度が高い判定基準に変更し，一方，負荷が低いときには感度が低い判定基準に変更することができる。
【００９２】
これにより，負荷装置の負荷状態に応じた適正な判定基準で，商用電源２００に電圧異常（瞬停あるいは瞬時電圧低下等）が発生したか否かを判定できる。このため，整流器９０のコンデンサによる暫定的なバックアップと，瞬停・瞬時電圧低下対策装置１００のバッテリ１０８によるバックアップとを好適に使い分けることができるので，瞬停・瞬時電圧低下対策装置１００のバッテリ１０８による不必要なバックアップ動作を低減できる。従って，瞬停・瞬時電圧低下対策装置１００のバッテリ１０８の消耗を抑制できるとともに，電力源の切換が頻繁に起こることによる不都合を防止できる。よって，瞬停・瞬時電圧低下対策装置１００は，長期間にわたり安定して電力を供給することができる。
【００９３】
ところで，例えば，負荷装置が切削ユニット２０である場合，上記実施形態のように，検出手段１１２で検出した電流値等に基づく負荷状態に応じて，判定基準を切り換えるのではなく，被加工物１２の種類に応じて，操作者が上記判定基準（上記電圧閾値，時間閾値等）を手動で選択するという手法も考えられる。しかし，かかる手法では，切削ユニット２０の消費電力は必ずしも被加工物１２の種類だけで決定されるわけではないため，判定基準を正確に選択し得ないこともある。また，操作者による判定基準の選択作業は手間がかかる上，当該選択作業をし忘れる可能性もある。従って，かかる手法より，上記実施形態のような判定基準の変更手法の方がより好適であるといえる。
【００９４】
以上，添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが，本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば，特許請求の範囲に記載された範疇内において，各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり，それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【００９５】
例えば，上記実施形態では，瞬停・瞬時電圧低下対策装置１００が適用される加工装置として，ダイシング装置１０の例を挙げて説明したが，本発明はかかる例に限定されない。例えば，瞬停・瞬時電圧低下対策装置１００が適用される加工装置は，ダイシング装置以外の切削装置または切断装置，被加工物を研削加工する研削装置，研磨装置，被加工物にレーザ光を照射するレーザ加工装置など，各種の加工装置であってもよい。また，加工装置が備える負荷装置は，上記電動モータの例に限定されず，電力の供給を受けて所定の動作を行う装置（ｌｏａｄ）であれば，如何なる装置であっても良い。
【００９６】
また，瞬停・瞬時電圧低下対策装置１００が電力を供給する装置としては，上記のような加工装置に限定されず，電力の供給を受けて所定の動作を行う負荷装置を備え，かかる負荷装置の負荷をある程度予測可能な装置であれば，例えば，パーソナルコンピュータ等の情報処理装置，移動体端末装置，家庭電化製品，工業用製造装置，医療機器など，如何なる装置若しくはシステムであってもよい。
【００９７】
また，上記実施形態にかかる瞬停・瞬時電圧低下対策装置１００は，図４に示したような回路構成を採用したが，本発明はかかる例に限定されない。即ち，瞬停・瞬時電圧低下対策装置１００は，少なくとも，バッテリ１０８等の蓄電手段と，切換手段１０４と，判定手段１０２と，負荷検出手段１１２と，判定基準設定手段１１４とを具備しており，負荷装置の負荷状態を検出し，かかる負荷状態に応じて変更された判定基準に基づき外部電源の電圧異常を判定して，電力源を外部電源と蓄電手段との間で切り換えて電力を出力できる構成であれば，多様に設計変更可能である。例えば，切換手段１０４，判定手段１０２，負荷検出手段１１２及び／又は判定基準設定手段１１４を，１つの回路で構成しても良い。また，電力供給に直接携わる電力供給回路（蓄電手段，外部電源及び負荷装置との接続回路等）と，電力源の切換を制御する制御回路（切換手段１０４，判定手段１０２，負荷検出手段１１２および判定基準設定手段１１４）と，を分離して構成しても良い。また，整流器９０等の整流器（整流用の１または２以上のコンデンサを含む。），ＡＣ／ＤＣ変換回路（インバータ），ＤＣ／ＡＣ変換回路などを，必要に応じて瞬停・瞬時電圧低下対策装置１００の回路構成中に含めても良い。
【００９８】
また，上記実施形態にかかる判定基準は，上記表１に示したような固定電圧閾値を有する複数の判定基準が設定されていたが，本発明はかかる例に限定されない。例えば，時間閾値を固定時間閾値とし，負荷装置の負荷が大きいほど電圧閾値が高くなるような判定基準を採用してもよい。また，電圧閾値および時間閾値の双方が負荷装置の負荷レベルに応じて段階的に変化するような判定基準を採用してもよい。また，負荷装置の負荷レベルの数は，２つ以上で有れば負荷装置毎に異なる任意の数であってよく，判定基準もかかる負荷レベルの数に応じた任意の数を設定しておくことができる。
【００９９】
また，上記実施形態にかかる負荷検出手段１１２は，自身を流れる電流値等に基づいて負荷装置の負荷を検出したが，本発明はかかる例に限定されない。例えば，負荷検出手段１１２は，負荷装置に実装されている消費電力計などのセンサなどから，負荷装置の負荷に関する情報を取得してもよい。また，上記実施形態では，負荷状態として負荷率を算出したが，かかる例に限定されず，消費電力値等の生データを判定基準変更手段１１４に出力するようにし，判定基準変更手段１１４がこの生データと判定基準とをリンクできるように構成してもよい。
【産業上の利用可能性】
【０１００】
本発明は，各種の加工装置などに電力を供給する瞬停・瞬時電圧低下対策装置に適用可能であり，特に，内蔵された負荷装置の負荷が加工状態によって異なる加工装置などに電力を供給する瞬停・瞬時電圧低下対策装置に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１０１】
【図１】第１の実施形態にかかるダイシング装置を示す全体斜視図である。
【図２】第１の実施形態にかかる切削ユニットを示す斜視図である。
【図３】第１の実施形態にかかるダイシング装置が具備する各負荷装置に電力を供給するための回路構成の概要を示すブロック図である。
【図４】第１の実施形態にかかる瞬停・瞬時電圧低下対策装置の概略的な構成を示すブロック図である。
【図５】第１の実施形態にかかる整流器の出力電圧が許容電圧まで低下するまでの時間と，整流器の出力電流の大きさとの関係を表したグラフである。
【図６】第１の実施形態にかかる商用電源において，複数種類の瞬時電圧低下が発生している電圧波形を示す説明図である。
【図７】第１の実施形態にかかる瞬停・瞬時電圧低下対策装置を利用した瞬停・瞬時電圧低下検出方法を示すフローチャートである。
【図８】従来の整流器の出力電圧と時間との関係を表すグラフである。
【図９】従来の外部電源において電圧低下が発生している電圧波形を示す説明図である。
【符号の説明】
【０１０２】
１０  ：  ダイシング装置
２０  ：  切削ユニット
３０  ：  切削ユニット移動機構
８０  ：  駆動回路
９０  ：  整流器
１００  ：  瞬停・瞬時電圧低下対策装置
１０２  ：  判定手段
１０４  ：  切換手段
１０６  ：  充電手段
１０８  ：  バッテリ
１１０  ：  ＤＣ／ＡＣ変換回路
１１２  ：  負荷検出手段
１１４  ：  判定基準変更手段
２００  ：  商用電源
Ｍ１〜７  ：  電動モータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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