(57)【要約】  【課題】ヒートスポットを抑制したはんだ付け装置を提供する。  【解決手段】シーズヒータ46を収容し、はんだ槽22に収容したはんだ21を溶解させるブロック状のヒータユニット23を設ける。ブロック状のヒータユニット23ではんだ槽22に収容したはんだ21を溶解させることで、ヒータを個別に用いる場合と比較してヒータユニット23のはんだ接触面積を大きくして表面温度を均一化するとともに、表面形状を簡素化してはんだ21がはんだ槽22内を円滑に流れるようにし、ヒートスポットを抑制できる。  【選択図】図１
2005052857.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
はんだを収容したはんだ槽と、
ヒータを収容し、上記はんだ槽に収容されたはんだを溶解させるブロック状のヒータユニットと、
このヒータユニットで溶解された上記はんだ槽内のはんだを上側で移動するワークに対して供給するノズルと
を具備したことを特徴とするはんだ付け装置。
【請求項２】
上記ヒータは、直線状に設けられ、
上記ヒータユニットは、上記ヒータを複数備えている
ことを特徴とする請求項１記載のはんだ付け装置。
【請求項３】
上記ヒータユニットは、上記ヒータを収容し互いに対向して係合される複数のブロック体を備え、
これらブロック体は、
互いに対向する部分にそれぞれ設けられた複数の係合凹部と、
これら係合凹部と互い違いに設けられ、他のブロック体の上記係合凹部に係合可能な複数の突出部とをそれぞれ有している
ことを特徴とする請求項１または２記載のはんだ付け装置。
【請求項４】
複数の上記ブロック体を互いに係合させた状態で、一の上記ブロック体の突出部と他の上記ブロック体の係合凹部との間に形成される対向方向の隙間を具備した
ことを特徴とする請求項３記載のはんだ付け装置。
【請求項５】
上記ヒータユニットの少なくともいずれか１つは、上記ブロック体の上部が上記はんだ槽内のはんだ面より上方に突出した安全ヒータユニットである
ことを特徴とする請求項３または４記載のはんだ付け装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークに対してはんだを供給してはんだ付けするはんだ付け装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のはんだ付け装置としては、はんだを収容したはんだ槽内に、はんだを溶解させるシーズヒータが上下方向に互いに離間されて複数配置された構成が知られている。これらシーズヒータは、はんだ槽に溶接された略円筒状の保護管に収容されている。
【０００３】
そして、このはんだ付け装置は、シーズヒータで溶解させたはんだを電磁誘導ポンプで加圧してノズルに供給し、このノズルからワークへとはんだを供給してはんだ付けする（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
より具体的には、図７に示されるように、はんだ１を収容したはんだ槽２内に、円筒状の保護管３が上下方向に互いに離間されて複数溶接され、これら保護管３内には、それぞれ断面円形状のシーズヒータ４が収容されている。また、はんだ槽２内には、溶解されたはんだ１を加圧する電磁誘導ポンプ５と、この電磁誘導ポンプ５により加圧されたはんだ１をワーク６に対して供給するノズル７，８とがそれぞれ設けられている。
【特許文献１】特開平１１−１０４８１７号公報（第３頁、図３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述のはんだ付け装置では、溶解されたはんだ１が電磁誘導ポンプ５により加圧されてはんだ槽２内を循環する際に、図７に示される矢印のようにシーズヒータ４の保護管３の表面に沿って蛇行しながら流れるため、保護管３のはんだ１の流れ方向の裏側にはんだ酸化物すなわちドロスの停留場所Ｄが形成されて、局部的な高熱部分すなわちヒートスポットが生じるおそれがあるとともに、対流によるはんだ１の摩擦損失が比較的大きくなるという問題点を有している。
【０００６】
また、保護管３が熱変形などした場合に、点接触部分でヒートスポットが生じるおそれがあるとともに、熱変形の力により保護管３の溶接部に割れが生じるおそれがあるという問題点を有している。
【０００７】
本発明は、このような点に鑑みなされたもので、ヒートスポットを抑制したはんだ付け装置を提供することを目的とするものであり、また、本発明は、ヒータユニットの変形を抑制できるはんだ付け装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１記載の発明は、はんだを収容したはんだ槽と、ヒータを収容し、上記はんだ槽に収容されたはんだを溶解させるブロック状のヒータユニットと、このヒータユニットで溶解された上記はんだ槽内のはんだを上側で移動するワークに対して供給するノズルとを具備したはんだ付け装置であり、ブロック状のヒータユニットではんだ槽に収容されたはんだを溶解させることで、例えばヒータを個別に用いる場合と比較してヒータユニットのはんだ接触面積を大きくして表面温度を均一化するとともに、表面形状を簡素化してはんだがはんだ槽内を円滑に流れるように案内し、ヒートスポットを抑制できる。
【０００９】
請求項２記載の発明は、請求項１記載のはんだ付け装置において、上記ヒータは、直線状に設けられ、上記ヒータユニットは、上記ヒータを複数備えているはんだ付け装置であり、直線状のヒータをヒータユニットに複数設けることで、ヒータをヒータユニットから容易に取り外すことが可能になり、メンテナンスが容易になる。
【００１０】
請求項３記載の発明は、請求項１または２記載のはんだ付け装置において、上記ヒータユニットが、上記ヒータを収容し互いに対向して係合される複数のブロック体を備え、これらブロック体が、互いに対向する部分にそれぞれ設けられた複数の係合凹部と、これら係合凹部と互い違いに設けられ、他のブロック体の上記係合凹部に係合可能な複数の突出部とをそれぞれ有しているはんだ付け装置であり、ヒータを収容する複数のブロック体に複数の係合凹部と他のブロック体の係合凹部に係合する複数の突出部とをそれぞれ互い違いに設けることで、ブロック体同士のずれを防止してヒータユニットの変形を抑制できる。
【００１１】
請求項４記載の発明は、請求項３記載のはんだ付け装置において、複数の上記ブロック体を互いに係合させた状態で、一の上記ブロック体の突出部と他の上記ブロック体の係合凹部との間に形成される対向方向の隙間を具備したはんだ付け装置であり、複数のブロック体を互いに係合させた状態で、一のブロック体の突出部と他のブロック体の係合凹部との間に形成される対向方向の隙間により、例えばブロック体の熱膨張などによる伸縮を吸収し、ヒータユニットの変形をより確実に抑制できる。
【００１２】
請求項５記載の発明は、請求項３または４記載のはんだ付け装置において、上記ヒータユニットの少なくともいずれか１つは、上記ブロック体の上部が上記はんだ槽内のはんだ面より上方に突出した安全ヒータユニットであるはんだ付け装置であり、ヒータユニットの少なくともいずれか一つのブロック体の上部をはんだ槽のはんだ面より上方に突出させて安全ヒータユニットとすることで、安全ヒータユニットを別個に設ける場合と比較して構造が簡略化され製造コストを抑制できる。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１記載の発明によれば、ブロック状のヒータユニットではんだ槽に収容されたはんだを溶解させることで、例えばヒータを個別に用いる場合と比較してヒータユニットのはんだ接触面積を大きくして表面温度を均一化するとともに、表面形状を簡素化してはんだがはんだ槽内を円滑に流れるように案内して、ヒートスポットを抑制できる。
【００１４】
請求項２記載の発明によれば、直線状のヒータをヒータユニットに複数設けることで、ヒータをヒータユニットから容易に取り外しでき、容易にメンテナンスできる。
【００１５】
請求項３記載の発明によれば、ヒータを収容する複数のブロック体に複数の係合凹部とこれら係合凹部に係合する複数の突出部とをそれぞれ互い違いに設けることで、ブロック体同士のずれを防止してヒータユニットの変形を抑制できる。
【００１６】
請求項４記載の発明によれば、複数のブロック体を互いに係合させた状態で、一のブロック体の突出部と他のブロック体の係合凹部との間に形成される対向方向の隙間により、例えばブロック体の熱膨張などによる伸縮を吸収し、ヒータユニットの変形をより確実に抑制できる。
【００１７】
請求項５記載の発明によれば、ヒータユニットの少なくともいずれか一つのブロック体の上部をはんだ槽のはんだ面より上方に突出させて安全ヒータユニットとすることで、安全ヒータユニットを別個に設ける場合と比較して構造が簡略化され製造コストを抑制できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明を図１乃至図６に示された実施の形態を参照しながら詳細に説明する。
【００１９】
図６にはんだ付けシステムを示し、このはんだ付けシステムは、図示されない換気ダクトが接続された装置カバー11の内部に、はんだ付けされるワークＷを１対のエンドレスチェン間に載せて搬送する搬送手段としての搬送コンベヤ12を備えている。この搬送コンベヤ12は、ワーク進行方向に向って上昇するように傾斜状に配設されている。また、装置カバー11内には、この搬送コンベヤ12に沿って、フラックス塗布装置としてのスプレーフラクサ13、予加熱装置としての複数のプリヒータ14、噴流式のはんだ付け装置15、および冷却装置16がワーク搬送方向に順次配設されている。
【００２０】
スプレーフラクサ13は、ワークＷのはんだ付け面である下面にフラックスを噴霧して塗布するものである。
【００２１】
プリヒータ14は、少なくとも搬送コンベヤ12の下側に設けられ、ワークＷをはんだ付けする前に所定の温度に予加熱するものである。
【００２２】
冷却装置16は、はんだ付け装置15にてはんだ付けされたワークＷに冷風を吹き付けるなどしてこのワークＷを強制的に冷却するものである。
【００２３】
そして、はんだ付け装置15は、図１に示されるように、ワークＷにはんだ付けされるはんだ21を収容したはんだ槽22を備え、このはんだ槽22には、はんだ21を溶解させるブロック状の複数のヒータユニット23が設けられているとともに、これらヒータユニット23にて溶解されたはんだ21を加圧する電磁誘導ポンプ24が、はんだ付け装置15のワーク搬送方向の一側および他側にそれぞれ設けられている。
【００２４】
また、電磁誘導ポンプ24は、はんだ槽22の外部に、誘導コイル25を巻線した１次鉄心が配置され、はんだ槽22の内部に、はんだ上昇通路26を介して２次鉄心27が上下方向に配置されている。さらに、はんだ上昇通路26の下端部には、吸込口28が、上端部には吐出口29がそれぞれ開口されている。
【００２５】
そして、各電磁誘導ポンプ24は、誘導コイル25に３相交流などの位相のずれた電流を供給することにより、はんだ上昇通路26内に移動磁界を生じさせ、はんだ上昇通路26内にある導電性のはんだ21に電磁誘導による起電力を生じさせ、この起電力による電流が移動磁界の磁束中で流れることにより、はんだ上昇通路26内のはんだ21に上方への推力を発生させ、吐出口29よりはんだ21を吐出させる。これら電磁誘導ポンプ24は、誘導コイル25に供給される電流を、図示されない制御手段としてのコントローラにより制御することで吐出圧力を調整可能である。
【００２６】
各電磁誘導ポンプ24のはんだ上昇通路26の上端部には、ノズル嵌着座部31がそれぞれ設けられ、これらのノズル嵌着座部31にノズルとしての１次ノズル32および２次ノズル33がそれぞれ嵌着されている。
【００２７】
各電磁誘導ポンプ24のポンプ作用により加圧されてはんだ上昇通路26内を上昇したはんだ21は、１次ノズル32および２次ノズル33により上方に案内され、これらノズル32，33の上端に開口された噴流口35，36からそれぞれ噴流され、上側で移動するワークＷに供給される。
【００２８】
１次ノズル32は、噴流口35から噴流された乱流状の１次噴流波32aにより、ヒータユニット23にて溶解されたはんだ21をワークＷの基板搭載部品の隅々まで供給するものである。
【００２９】
２次ノズル33は、噴流口36から噴流された静的な平面状の２次噴流波33aにより、ワークＷのはんだ付け部を整形するものである。
【００３０】
そして、ヒータユニット23は、はんだ槽22内の上側の各ノズル32，33の両側に配置された複数の上側ヒータユニット23aと、はんだ槽22内の下側の２次鉄心27の間に配置された下側ヒータユニット23bとを備えている。
【００３１】
上側ヒータユニット23aは、図１および図２に示されるように、細長略直方体状のブロック体としての複数、例えば１対の上側ブロック体41を有している。これら上側ブロック体41は、例えば熱容量が比較的大きいステンレスなどで設けられ、ワーク進行方向に交差する方向である直交方向に長手方向を向けた状態ではんだ槽22内に溶接されている。
【００３２】
また、各上側ブロック体41は、長手方向の一端部に、１対の係合凹部42と、他の上側ブロック体41の係合凹部42に係合可能な１対の突出部43とがそれぞれ設けられている。そして、１対の上側ブロック体41は、互いの係合凹部42と突出部43とを対向させて互いに係合されている。
【００３３】
１対の係合凹部42は、上側ブロック体41の幅方向の一側部の上側と他側部の下側とに略矩形状に切り欠き形成され、上側ブロック体41の長手方向の一端部の残りの部分が１対の突出部43となっている。このため、１対の係合凹部42と１対の突出部43とは、互い違いに設けられている。
【００３４】
また、係合凹部42は、円弧状に形成された突当たり部42aを、他の上側ブロック体41の突出部43の先端が対向する部分に備えている。このため、１対の上側ブロック体41を互いに係合させた状態で、一の上側ブロック体41の突出部43の先端が他の上側ブロック体41の係合凹部42の突当たり部42aに接触することで、突出部43全体が完全には係合凹部42に嵌合せず、係合凹部42と突出部43との間に、対向方向である上側ブロック体41の長手方向、すなわちワーク進行方向に直交する方向の隙間としてのクリアランス44が形成される。
【００３５】
さらに、はんだ槽22のワーク進行方向の最後部と最前部とに位置した上側ヒータユニット23aは、それぞれ上側ブロック体41の上部がはんだ面から上方に突出した安全ヒータユニット45となっている。これら安全ヒータユニット45は、はんだ付けシステムを準備している際に、はんだ槽22の表面に位置したはんだ21を溶解させるものである。
【００３６】
そして、各上側ブロック体41の内部には、ヒータとしての直線円柱状のシーズヒータ46を内部に収容した断面円形状のヒータ収容凹部47が複数設けられている。これらヒータ収容凹部47は、上側ブロック体41の長手方向の他端部から一端部の近傍に亘って直線状にそれぞれ設けられ、上下方向に互いに平行になるように離間されている。
【００３７】
一方、下側ヒータユニット23bは、図３乃至図５に示されるように、例えば４つの略直方体状のブロック体としての下側ブロック体51を有している。これら下側ブロック体51は、例えば熱容量が比較的大きいステンレスなどで設けられ、ワーク進行方向に交差する方向である直交方向に長手方向を向けた状態ではんだ槽22内に溶接されている。
【００３８】
また、各下側ブロック体51は、長手方向の一端部、および、この一端部に隣接する上部あるいは下部に、係合凹部52とこの係合凹部52に係合する突出部53とがそれぞれ設けられている。そして、４つの下側ブロック体51は、互いの係合凹部52と突出部53とを対向させて互いに係合されている。この結果、互いに係合された下側ブロック体51は、側面部51aが互いに略面一となっている。
【００３９】
ここで、各係合凹部52は、下側ブロック体51の長手方向の一端部に、幅方向の一側部を上下方向全体に切り欠いて形成されているとともに、下側ブロック体51の上部、あるいは下部に、幅方向の他側部に、幅方向の他側部を長手方向全体に切り欠いて形成されている。そして、下側ブロック体51の長手方向の一端部、および、上部あるいは下部の残りの部分がそれぞれ突出部53となっている。このため、係合凹部52と突出部53とは、下側ブロック体51の幅方向に互い違いに設けられている。
【００４０】
また、一の下側ブロック体51の長手方向の端部に位置した係合凹部52と他の下側ブロック体51の長手方向の端部に位置した突出部53との間には、下側ブロック体51を互いに係合させた状態で、対向方向である下側ブロック体51の長手方向、すなわちワーク進行方向に直交する方向の隙間としてのクリアランス54が形成される。なお、下側ブロック体51の上下方向には熱による伸びが大きくないと考えられ、また、溶解されたはんだ21が上下方向に流れる際にドロスの停滞場所が生じないようにするために、クリアランスを形成しない。
【００４１】
さらに、下側ブロック体51の内部には、シーズヒータ46を内部に収容した断面円形状のヒータ収容凹部57が、例えば４つ設けられている。これらヒータ収容凹部57は、下側ブロック体51の長手方向の他端部から一端部の近傍に亘って直線状に設けられ、上下方向にそれぞれ離間されている。
【００４２】
そして、はんだ槽22内の底部には、下側ブロック体51の下部を支持する支持板58が設けられている。
【００４３】
次に、上記一実施の形態の作用を説明する。
【００４４】
まず、上側ヒータユニット23aおよび安全ヒータユニット45を組み立てる際には、１対の上側ブロック体41の一端部を互いに対向させ、これら上側ブロック体41の長手方向にこれら上側ブロック体41を突合わせることで、係合凹部42に突出部43を係合させて、一対の上側ブロック体41を一体的に形成する。
【００４５】
また、下側ヒータユニット23bを組み立てる際には、一の下側ブロック体51の長手方向の一端部および上部にそれぞれ他の下側ブロック体51の一端部および下部を対向させるとともに、これら他の下側ブロック体51の長手方向の一端部および上部にさらに他の下側ブロック体51の一端部および下部を対向させ、これら下側ブロック体51を長手方向および上下方向に突合わせることで、係合凹部52に突出部53を係合させて、４つの下側ブロック体51を一体的に形成する。
【００４６】
そして、はんだ槽22に溶接したブロック体41，51のヒータ収容凹部47，57にシーズヒータ46を収容してヒータユニット23とする。
【００４７】
このヒータユニット23を駆動させると、シーズヒータ46の発熱が各ブロック体41，51に伝わって各ヒータユニット23a，23bの表面全体で温度が均一化され、はんだ槽22内のはんだ21全体が均一に溶解される。このとき、安全ヒータユニット45により、はんだ槽22の表面のはんだ21も溶解される。
【００４８】
ヒータユニット23により溶解されたはんだ21は、電磁誘導ポンプ24により上向きの推力を与えられ、各はんだ上昇通路26および吐出口29を経由した後、１次ノズル32および２次ノズル33の噴流口35，36からからそれぞれ噴流される。
【００４９】
これらノズル32，33からオーバーフローしたはんだ21は再びはんだ槽22内に戻り、ヒータユニット23の表面を図１に示されるように上側から下側に向けて円滑に流れながら吸込口28から吸い込まれて循環する。
【００５０】
そして、搬送コンベヤ12により搬送されているワークＷは、はんだ付け装置15の前段に配設されたスプレーフラクサ13によりフラックスを塗布され、プリヒータ14により所定の温度まで予加熱すなわちプリヒートされ、このプリヒートされたワークＷに対して、１次ノズル32にて形成した１次噴流波32aをワークＷの隅々まで供給して確実にはんだ付けをした後、搬送コンベヤ12によりさらに搬送されたワークＷに対して、１次ノズル32によるはんだを２次ノズル33にて形成した２次噴流波33aで整形してはんだ付けする。
【００５１】
はんだ付けされたワークＷは、冷却装置16にて冷風を吹き付けられて所定の温度にまで冷却される。
【００５２】
次に、上記一実施の形態の効果を列記する。
【００５３】
上記一実施の形態では、ブロック状のヒータユニット23ではんだ槽22に収容されたはんだ21を溶解させる構成とした。
【００５４】
この結果、例えばシーズヒータを円筒状の保護管などに収容して個別に用いる従来の場合と比較して、ヒータユニット23のはんだ接触面積が大きくなって表面温度が均一化されるとともに、ヒータユニット23の表面形状が簡素化されてはんだ21がはんだ槽22内を円滑に流れるように案内され、はんだ21のヒータユニット23に対する摩擦損失を抑制でき、かつはんだ21の澱み点がなくなってはんだ酸化物すなわちドロスが停滞することなどを防止でき、局所的な高熱部分すなわちヒートスポットが形成されることを抑制できる。
【００５５】
また、直線状のシーズヒータ46を各ヒータユニット23に複数設けることで、これらシーズヒータ46をブロック体41，51のヒータ収容凹部47，57から容易に取り外しでき、容易にメンテナンスできる。
【００５６】
さらに、ヒータユニット23のはんだ接触面積である表面積を大きくすることで、ヒータユニット23全体の温度がシーズヒータ46単独の温度と比較して低くなるので、シーズヒータ46の高温によりブロック体41，51の溶接部に割れなどが生じることをも防止できる。
【００５７】
またさらに、ブロック体41，51は、熱容量すなわちヒートマスが比較的大きいため、ヒータユニット23の温度の安定性を向上でき、はんだ温度を一定に保つことができる。
【００５８】
そして、上側ヒータユニット23aでは、上側ブロック体41の長手方向の一端部に１対の係合凹部42と他の上側ブロック体41の係合凹部42に係合する１対の突出部43とをそれぞれ互い違いに設けることで、上側ブロック体41同士の上下方向および幅方向のずれを防止して上側ヒータユニット23aの熱などによる変形を抑制できる。
【００５９】
また、下側ヒータユニット23bでは、下側ブロック体51の長手方向の一端部および上部あるいは下部にそれぞれ係合凹部52を設け、これら係合凹部52と互い違いに突出部53を設けることで、４つの下側ブロック体51を互いに対向させた状態で係合凹部52とこの係合凹部52に係合する突出部53とが全て同一方向にずれるので、下側ブロック体51同士のずれを防止でき、下側ヒータユニット23bの熱などによる変形を抑制できる。
【００６０】
さらに、これら係合凹部42，52と突出部43，53とをそれぞれ矩形状の簡易な形状に形成することにより、ブロック体41，51の加工を比較的容易にし、製造性を向上できる。
【００６１】
複数のブロック体41，51を互いに係合させた状態で、一のブロック体41，51の突出部43，53と他のブロック体41，51の係合凹部42，52との間に形成される対向方向のクリアランス44，54により、例えばブロック体41，51の熱膨張などによる伸縮を吸収し、ヒータユニット23の熱変形をより確実に抑制できる。
【００６２】
また、下側ブロック体51を互いに係合させた状態で、側面部51aが互いに略面一となることにより、はんだ21が下側ブロック体51の側面部51aを円滑に流れ、ドロスが停滞する部分をより低減できる。
【００６３】
上側ヒータユニット23aの上側ブロック体41の上部をはんだ槽22のはんだ面より上方に突出させて安全ヒータユニット45とすることで、例えば安全ヒータユニットを別個に設ける従来の場合と比較して構造が簡略化され製造コストを抑制できるとともに、保護管内にシーズヒータを収容した従来の場合のように保護管がはんだにより侵食される、いわゆるはんだ食われをも防止できる。
【００６４】
なお、上記一実施の形態において、はんだ付け装置15は、局所はんだ付け装置などでもよい。
【００６５】
また、係合凹部42，52および突出部43，53の形状は、他の様々な形状が可能であるとともに、それぞれブロック体41，51に３個以上設けることも可能である。
【００６６】
さらに、ブロック体41，51は３つ以上組み合わせてヒータユニット23を構成することも可能である。
【００６７】
そして、ヒータユニット23のヒータとしては、互いに平行な部分を有する蛇行した１本の形状のもの、あるいは互いに平行な直線状のヒータの端部を互いに並列になるように連結したものなど、他のいずれの構成も可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明に係るはんだ付け装置の一実施の形態を示す縦断面図である。
【図２】同上はんだ付け装置のヒータユニットを示す分解斜視図である。
【図３】同上はんだ付け装置のヒータユニットを示す分解斜視図である。
【図４】同上ヒータユニットを示す平面図である。
【図５】同上ヒータユニットを示す側面図である。
【図６】同上はんだ付け装置を備えたはんだ付けシステムを示す説明図である。
【図７】従来例のはんだ付け装置を示す縦断面図である。
【符号の説明】
【００６９】
Ｗ    ワーク
15    はんだ付け装置
21    はんだ
22    はんだ槽
23    ヒータユニット
32    ノズルとしての１次ノズル
33    ノズルとしての２次ノズル
41    ブロック体としての上側ブロック体
42，52    係合凹部
43，53    突出部
44，54    隙間としてのクリアランス
45    ヒータユニットとしての安全ヒータユニット
46    ヒータとしてのシーズヒータ
51    ブロック体としての下側ブロック体
【図１】
2005052857.tif 000003
【図２】
2005052857.tif 000004
【図３】
2005052857.tif 000005
【図４】
2005052857.tif 000006
【図５】
2005052857.tif 000007
【図６】
2005052857.tif 000008
【図７】
2005052857.tif 000009