(57)【要約】【課題】計測流路における流体が流れる通路の断面の面積の精度、及び超音波流量計測手段にて計測した流体の速度の精度を確保するとともにコストをより低減することができるガスメータを提供する。【解決手段】ガスの流量を計測するための計測流路に１対の超音波送受信手段を対向させて設けたガスメータであって、計測流路を、本体ケースと、当該本体ケース内に収容した流量測定用のストレート形状を有する測定管とで構成する。また、測定管を、ガスの流れる方向に対して垂直な断面がＬ字状となる２つのＬ形部材（５２ａ、５２ｂ）にて、断面が矩形の筒状となるように接合して構成する。また、測定管における超音波送受信手段が臨む場所には開口部（５２ｃ）を設け、当該開口部には超音波を通過させる微細孔を備えた乱流抑制部材（５４）を設ける。更に、線膨張係数が所定値以下の部材で測定管を形成する。【選択図】        図５
2005106726.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガスの流量を計測するための計測流路に１対の超音波送受信手段を対向させて設けたガスメータであって、
計測流路を、本体ケースと、当該本体ケース内に収容した流量測定用のストレート形状を有する測定管とで構成する、
ことを特徴とするガスメータ。
【請求項２】
請求項１に記載のガスメータであって、
測定管を、ガスの流れる方向に対して垂直な断面がＬ字状となる２つのＬ形部材にて、断面が矩形の筒状となるように接合して構成する、
ことを特徴とするガスメータ。
【請求項３】
請求項１または２に記載のガスメータであって、
測定管における超音波送受信手段が臨む場所には開口部を設け、当該開口部には超音波を通過させる微細孔を備えた乱流抑制部材を設ける、
ことを特徴とするガスメータ。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載のガスメータであって、
線膨張係数が第１所定値以下の部材で測定管を形成する、
ことを特徴とするガスメータ。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載のガスメータであって、
ガスの流量を計測するための計測流路に１対の超音波送受信手段を備え、１対の超音波送受信手段が送受信する超音波の進行方向がガスの流れる方向に対して所定の角度を有するように、且つ当該超音波がガスの流れを横切るように１対の超音波送受信手段が配置されたガスメータであって、
計測流路内における一方の超音波送受信手段から他方の超音波送受信手段までの間に、ガスの流れる方向に平行、且つ超音波送受信手段から送信する超音波の方向に平行な整流板を設ける、
ことを特徴とするガスメータ。
【請求項６】
請求項５に記載のガスメータであって、
整流板の厚さを第２所定値以下とする、
ことを特徴とするガスメータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガスの流量を計測するガスメータに関し、特に超音波式ガスメータの構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、超音波送受信手段を用いて気体や液体等、流体の流量の計測を行う種々の超音波流量計測装置が提案されている（例えば特許文献１参照）。
特許文献１の例では、計測精度を向上させるために、計測流路に超音波送受信手段用の開口窓を設け、更に開口窓には微細孔を備えた流入抑制体を設けたり、計測流路の流入側に流れ安定手段を設けたりして、渦及び乱流等を抑制して計測精度を向上させようとしている。
なお、超音波流量計測装置では超音波流量計測手段にて流体の速度を計測し、計測した速度と計測流路内部の断面積（流体の流れる通路の面積）に基づいて流量（体積）を算出する。従って流量の精度は、検出した速度の精度及び計測流路の面積の精度に大きく影響される。
【特許文献１】特開２００３−２０２２５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来の超音波流量計測装置は、計測流路をダイキャスト等で形成しており、計測流路における流体が流れる通路の断面の面積の精度を確保するためには、通路内壁の寸法精度及び通路内壁の表面仕上げ精度等、ダイキャストで形成した後に高精度な切削加工及び表面仕上げ加工が必要であり、多大なコストを要していた。
また、流体の速度を超音波流量計測手段にて計測する際、計測部において微妙な乱流が発生すると、速度の精度に影響を及ぼす可能性がある。
本発明は、このような点に鑑みて創案されたものであり、計測流路における流体が流れる通路の断面の面積の精度、及び超音波流量計測手段にて計測した流体の速度の精度を確保するとともにコストをより低減することができるガスメータを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記課題を解決するための手段として、本発明の第１発明は、請求項１に記載されたとおりのガスメータである。
請求項１に記載のガスメータは、ガスの流量を計測するための計測流路に１対の超音波送受信手段を対向させて設けたガスメータであって、計測流路を、本体ケースと、当該本体ケース内に収容した流量測定用のストレート形状を有する測定管とで構成する（本体ケースと測定管による二重構造とする）。
【０００５】
また、本発明の第２発明は、請求項２に記載されたとおりのガスメータである。
請求項２に記載のガスメータは、請求項１に記載のガスメータであって、測定管を、ガスの流れる方向に対して垂直な断面がＬ字状となる２つのＬ形部材にて、断面が矩形の筒状となるように接合して構成する。
【０００６】
また、本発明の第３発明は、請求項３に記載されたとおりのガスメータである。
請求項３に記載のガスメータは、請求項１または２に記載のガスメータであって、測定管における超音波送受信手段が臨む場所には開口部を設け、当該開口部には超音波を通過させる微細孔を備えた乱流抑制部材を設ける。
【０００７】
また、本発明の第４発明は、請求項４に記載されたとおりのガスメータである。
請求項４に記載のガスメータは、請求項１〜３のいずれかに記載のガスメータであって、線膨張係数が第１所定値以下の部材で測定管を形成する。
【０００８】
また、本発明の第５発明は、請求項５に記載されたとおりのガスメータである。
請求項５に記載のガスメータは、請求項１〜４のいずれかに記載のガスメータであって、ガスの流量を計測するための計測流路に１対の超音波送受信手段を備え、１対の超音波送受信手段が送受信する超音波の進行方向がガスの流れる方向に対して所定の角度を有するように、且つ当該超音波がガスの流れを横切るように１対の超音波送受信手段が配置されたガスメータであって、計測流路内における一方の超音波送受信手段から他方の超音波送受信手段までの間に、ガスの流れる方向に平行、且つ超音波送受信手段から送信する超音波の方向に平行な整流板を設ける。
【０００９】
また、本発明の第６発明は、請求項６に記載されたとおりのガスメータである。
請求項６に記載のガスメータは、請求項５に記載のガスメータであって、整流板の厚さを第２所定値以下とする。
【発明の効果】
【００１０】
請求項１に記載のガスメータを用いれば、例えば本体ケースをダイキャストで形成し、測定管を樹脂で形成する。この場合、計測流路における流体が流れる通路の断面の面積の精度は本体ケースでなく測定管にて確保すればよい（測定管内に流体を流すため）。従ってダイキャスト（本体ケース）の内壁を切削加工及び表面仕上げ加工して精度を出す必要がなく、樹脂（測定管）の形成にて精度を出せばよい。
これにより、流体が流れる通路の断面の面積において必要な精度を容易に確保できるとともにコストをより低減することができる。
【００１１】
また、請求項２に記載のガスメータによれば、流体が流れる通路の断面の面積の精度を確保することが更に容易である。例えば測定管を樹脂で形成した場合、「コ」の字形では抜き勾配が必要になり、勾配による断面の面積の精度の低下が発生するが、「Ｌ」字形では抜き勾配を設けることなく成形が可能であるため、勾配による断面の面積の精度の低下を抑制することができる。
これにより、流体が流れる通路の断面の面積において必要な精度を確保できるとともにコストをより低減することができる。
【００１２】
また、請求項３に記載のガスメータによれば、超音波が行き交う部分のガスの乱流を、乱流抑制部材にて抑制することができるので、超音波流量計測手段にて計測した流体の速度の精度をより向上させることができる。
【００１３】
また、請求項４に記載のガスメータによれば、温度変化に伴う測定管の寸法変化を抑制し、流体が流れる通路の断面の面積の変動を抑制することができる。
これにより、流体が流れる通路の断面の面積において必要な精度を確保できるとともにコストをより低減することができる。
【００１４】
また、請求項５に記載のガスメータによれば、流体が流れる通路内において、一方の超音波送受信手段から他方の超音波送受信手段に向けて超音波を送信した際、送信された超音波は整流板に沿って進行し、他方の超音波送受信手段に到達する。
このように、整流板はガスの流れを整えるとともに、超音波を適切に誘導するため、超音波流量計測手段にて計測した流体の速度の精度を確保するために有効である。
【００１５】
また、請求項６に記載のガスメータによれば、測定管における流体が流れる通路の断面の面積への影響を抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に本発明を実施するための最良の形態を図面を用いて説明する。図１は、本発明のガスメータ１の概略外観図である。
●［ガスメータの外観（図１）］
図１を用いて、本実施の形態のガスメータ１の外観を説明する。図１（Ａ）は正面を含む斜視図を示しており、図１（Ｂ）は背面を含む斜視図を示している。なお、各図のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、Ｘ軸及びＹ軸が水平方向を示す軸であり、Ｚ軸が垂直方向を示す軸である。また、表示手段１ｃを含む面が正面である。
ガスメータ１の上部には、ガスの供給元（ガス会社等）から供給されるガスが流入する供給元流入口１ａと、ガスを使用する設備等にガスを流出する設備流出口１ｂを備えている。また、ガスメータ１の内部には、ガスの流量を計測するための計測流路５０を備えており（図２を参照）、供給元流入口１ａから流入して設備流出口１ｂから流出されるガスの流量を計測する。
【００１７】
ガスメータ１の正面には表示手段１ｃが設けられており、ガスの積算値等を表示させることが可能である。なお、表示手段１ｃの近傍に表示内容を切替えるための表示操作部（表示切替えスイッチ等）を設け、表示操作部を操作することで、表示手段１ｃへの表示内容を切替え可能とすることもできる。
また、端子カバー１ｅを取り外すと、通信装置を接続可能な通信端子（図示せず）が現れる。この通信端子に通信回線及び通信装置を接続すれば、ガスメータ１と通信装置との間で通信を行うことが可能になる。
【００１８】
●［内部構造（図２）］
次に、図２を用いて、ガスメータ１の内部構造について説明する。供給元流入口１ａから流入するガスは、例えば供給元流入口１ａ−第１流路形成部材４０（遮断弁６０を含む）−計測流路５０−第２流路形成部材４８（圧力センサ６２を含む）−設備流出口１ｂ、の経路を通過する。
計測流路５０には、１対の超音波送受信センサ（超音波送受信手段）が設けられており、計測流路５０内を通過するガスの流量は、当該超音波送受信センサの信号に基づいて検出される。なお、計測流路５０内のガスの流路ＧＲは、ガスの流れる方向（図２中では左から右の方向）に対して垂直な断面Ｓ（図３参照）が矩形に形成されており、当該断面Ｓの面積の誤差が非常に小さくなるように高精度に形成されている。これは、ガスの流量は超音波送受信センサによって計測されたガスの速度と当該断面Ｓの面積に基づいて算出されるためである。
また、圧力センサ６２は、第２流路形成部材４８を通過するガスの圧力を検出する。例えば、検出した圧力が所定圧力範囲から逸脱した場合、制御手段（ＣＰＵ等を備えた制御手段であり、図示せず）は、遮断弁６０を駆動して、第１流路形成部材４０の内部を閉鎖し、供給元流入口１ａから流入するガスを遮断する。
【００１９】
第１流路形成部材４０は供給元流入口１ａと計測流入口５０ａとを連通しており、第２流路形成部材４８は設備流出口１ｂと計測流出口５０ｂとを連通している。
また、計測流路５０はほぼ水平に配置され、第１流路形成部材４０と第２流路形成部材４８はほぼ垂直に配置されている。そして、第１流路形成部材４０と計測流路５０と第２流路形成部材４８にて略Ｕ字型に構成されている。
【００２０】
●［計測流路の構造（図２、図３、図４）］
図２に示すように計測流路５０は、外側の本体ケース５１と、当該本体ケース５１内に収容された流量測定用のストレート形状を有する測定管５２との二重構造にて構成されており、本体ケース５１は例えばダイキャスト等の高い剛性を有する部材で形成されている。なお本体ケース５１には１対の超音波送受信センサが、ガスの流れる方向に対して所定の角度θをもって対向するように組み付けられる（図４中のセンサ孔５１ｃに組み付けられる）。
測定管５２は、少なくとも一部が本体ケース５１の内壁に密着するように本体ケース５１内に組み付けられる。これにより、流量を計測すべき全てのガスが、測定管５２の計測流入口５０ａから流入して測定管５２の内部を通過し、計測流出口５０ｂから流出する。なお測定管５２の内部には、ガスの流れる方向（図２中の左から右に向かう方向）に平行、且つ超音波送受信センサから送信する超音波の方向（図２中の紙面表（あるいは裏）から紙面裏（あるいは表）に向かう方向）に平行な、整流板５３が設けられている。
【００２１】
次に、図３に計測流路５０の構造の例を示す。計測流路５０は、本体ケース部材５１ａ及び５１ｂにて構成される本体ケース５１の内部に略直方体の測定管５２が収容されている。
また、図４に計測流路５０を水平面（ＸＹ平面）で切断した面を下側から見た場合の断面図を示す。本体ケース部材５１ａの側面には、超音波送受信センサを挿入するセンサ孔５１ｃが設けられている。更に、測定管５２において、対向する超音波送受信センサが臨む場所には、超音波を通過させるための開口部５２ｃが設けられている。
また、図４に示すように、測定管５２の開口部５２ｃには、測定管５２の内壁とほぼ面一となり、且つ超音波を通過させる微細孔が設けられた乱流抑制部材５４が設けられている。
【００２２】
●［測定管の構造（図５）］
次に、図５に測定管５２の構造の例を示す。測定管５２は、ガスの流れる方向に対して垂直な断面が「Ｌ」字状となる２つの測定管部材５２ａ及び５２ｂ（Ｌ形部材）にて、断面が矩形の筒状となるように接合されて構成されている。なお、接合の際、内部に整流板５３が収容される。測定管部材５２ａ及び５２ｂの内壁における整流板５３との当接部には、整流板５３を支持するための溝５２ｚが設けられており、当該溝５２ｚにて整流板５３が位置決めされる。
また、測定管部材５２ａ及び５２ｂにおいて、矩形の筒状に接合した際の当接部には、凸部５２ｘあるいは凹部５２ｙが各々に設けられており、当該凸部５２ｘ及び凹部５２ｙにて位置決めされる。
【００２３】
ここで、測定管部材５２ａ及び５２ｂを「コ」の字形に形成した場合は抜き勾配が必須となるため、測定管５２においてガスの流れる方向と垂直な面による断面Ｓ（図３参照）の各角が直角でなくなり、断面Ｓの精度にばらつきが発生する可能性がある。また、整流板５３を測定管５２にインサート成形する場合も、抜き勾配が必要なため、断面Ｓの精度に問題が発生する（要求精度を満足できない）可能性がある。
しかし、本実施の形態では、測定管部材５２ａ及び５２ｂを「Ｌ」字状に形成しているため、抜き勾配は必要でない。このため、断面Ｓの各角を直角とすることが可能であり、例えば樹脂を用いて測定管部材５２ａ及び５２ｂを形成しても、面積Ｓの精度を充分確保することができる。また、樹脂で形成する場合、コストを低減できるだけでなく、内壁の平面度を確保し易く、より乱流を抑制することができる。
また、開口部５２ｃには、内壁側に乱流抑制部材５４が設けられる。
【００２４】
なお、一般的な樹脂は熱変形が大きいが、断面Ｓの面積の温度による変動を抑制するために、測定管部材５２ａ及び５２ｂは、線膨張係数が第１所定値以下（例えば１０＊１０-5［ｃｍ／ｃｍ・℃］以下）の材質の部材を用いる。例えばＡＢＳ樹脂（約１０＊１０-5［ｃｍ／ｃｍ・℃］）や、ＡＢＳ樹脂にグラスファイバを３０％程度混入させた部材（約２．８＊１０-5［ｃｍ／ｃｍ・℃］）や、フェノール樹脂（約５＊１０-5［ｃｍ／ｃｍ・℃］）や、ステンレス（約１．７＊１０-5［ｃｍ／ｃｍ・℃］）や、アルミ（約２．４＊１０-5［ｃｍ／ｃｍ・℃］）等を用いる。
【００２５】
また、線膨張係数が第１所定値以下となり得る他の材質及び当該材質の線膨張係数としては、ポリカーポネード（グラスファイバ３０％混入）：約７．０＊１０-5［ｃｍ／ｃｍ・℃］（約３．５＊１０-5［ｃｍ／ｃｍ・℃］）、ポリアセタール（グラスファイバ２０％混入）：８．１〜９．０＊１０-5［ｃｍ／ｃｍ・℃］（４〜７．０＊１０-5［ｃｍ／ｃｍ・℃］）、ポリアミド（グラスファイバ３０％混入）：８．０〜１０＊１０-5［ｃｍ／ｃｍ・℃］（２〜４＊１０-5［ｃｍ／ｃｍ・℃］）、ポリブチレンテレフタレート：７．０〜９．５＊１０-5［ｃｍ／ｃｍ・℃］、ポリスチレン（グラスファイバ３０％混入）：７．０〜１０．０＊１０-5［ｃｍ／ｃｍ・℃］（２〜７＊１０-5［ｃｍ／ｃｍ・℃］）、高密度ポリエチレン：１０〜１５＊１０-5［ｃｍ／ｃｍ・℃］、ポリプロピレン：６〜１１＊１０-5［ｃｍ／ｃｍ・℃］、ジアリルフタレートにグラスファイバ３０％混入：1〜３．５＊１０-5［ｃｍ／ｃｍ・℃］等があげられる。
【００２６】
●［乱流抑制部材の構造（図６）］
次に、図６を用いて乱流抑制部材５４について説明する。乱流抑制部材５４には、幅ＥＨｈ、高さＥＨｖの範囲において、微細孔ＥＨが略２次元状に設けられている。なお、幅ＥＨｈ及び高さＥＨｖは、測定管５２の開口部５２ｃとほぼ同じ寸法である。
本実施の形態に示す乱流抑制部材５４は、磁石につくステンレスを用いており、厚さ（Ｙ軸方向の幅）は約０．１［ｍｍ］である。例えば乱流抑制部材５４の微細孔ＥＨは、フォトエッチングにて形成する。そして、磁石に乱流抑制部材５４をつけて金型に樹脂を流し込み、測定管部材５２ａまたは５２ｂと乱流抑制部材５４とを一体成形する。
微細孔ＥＨの形状及び径、そして微細孔ＥＨの水平方向のピッチＰｈ、及び垂直方向のピッチＰｖは、種々の実験により、最適な形状及び寸法が求められる。発明者は種々の実験により、微細孔ＥＨの形状を「円形状」、微細孔ＥＨの直径を「約０．１６［ｍｍ］」、水平方向のピッチＰｈを「約０．２４８［ｍｍ］」、垂直方向のピッチを「約０．２１２［ｍｍ］」と設定した。しかし、これらの値は、計測する流体の種類、流量のダイナミックレンジ、使用環境等、種々の要因で各々適切な値が異なる可能性がある。
【００２７】
ここで、乱流抑制部材５４を金属の繊維を編み込んだメッシュを用いた場合、微視的に見ると各繊維が表と裏に交互に編み込まれているため表面に凹凸があり、ガスの流れによる微細な乱流が発生し易く、超音波送受信センサの検出精度への影響が比較的大きい。しかし、微細孔ＥＨを有する本実施の形態に示す乱流抑制部材５４の場合、微視的に見ても表面の凹凸がほとんどなく、ガスの流れによる乱流の発生が抑制され、超音波送受信センサの検出精度への影響が比較的小さい。
また、メッシュの場合は各繊維と繊維による隙間において、超音波を通過させたい方向以外にも種々の方向に不要な隙間ができてしまい、微細なダスト等が付着し易い。しかし、微細孔ＥＨを有する本実施の形態に示す乱流抑制部材５４の場合、超音波を通過させたい方向以外には隙間がないため、ダスト等の付着を抑制でき、より安定した精度を維持することができる。
【００２８】
●［整流板の配置と効果（図７）］
次に、図７を用いて整流板５３について説明する。図５及び図７に示すように、測定管５２の内部には整流板５３がガスの流れる方向に対して平行に配置され、ガスを整流して（乱流を抑制して）超音波送受信センサの検出精度を向上させている。
また、整流板５３はガスを整流するだけでなく、一方の超音波送受信センサから送信された超音波を、他方の超音波送受信センサに適切に誘導する効果も有している。図７に示すように、超音波は測定管５２における一方の開口部５２ｃから対向する開口部５２ｃに向けて送信される。ここで、整流板５３を、ガスの流れる方向に対して平行、且つ超音波送受信センサから送信する超音波の方向に対して平行となるように配置する。なお、整流板５３の長さ（ガスの流れる方向に対する長さ）は、１対の開口部５２ｃを含む長さ以上であればよく、少なくとも一方の超音波送受信センサから他方の超音波送受信センサまでの間に配置されていればよい。
これにより、一方の超音波送受信センサから送信された超音波を、他方の超音波送受信センサに適切に誘導することができ、超音波送受信センサのＳ／Ｎを向上させ、検出精度を向上させている。
【００２９】
次に、整流板５３の厚さ（図７におけるＺ軸方向の厚さ）について説明する。整流板５３が必要以上に厚いと、超音波送受信センサによる超音波信号の受信レベルに影響する（整流板５３が厚いほど、受信レベルが小さくなる傾向がある）ため、薄いほうが好ましい。受信レベルが所定値よりも小さい場合、電子回路で増幅するが、受信レベルが小さいほど増幅度が大きくなり、ノイズ成分も大きくなり、計測精度が悪くなる（Ｓ／Ｎが低下する）。しかし、組み付け強度、耐振動性等より薄さにも限界がある。発明者は種々の実験の結果、厚さ０．３［ｍｍ］以下（第２所定値以下）のステンレス板を用いることが良好な計測精度を得られることを確認した。なお、強度及び耐振動性及び受信レベルの観点から０．２［ｍｍ］程度が望ましいことを実験的に確認し、より好ましい計測精度を得ることができた。なお、材質はステンレスに限定されず、種々のものを用いることができる。また、ステンレス板以上の強度があれば０．２［ｍｍ］以下にしても良いことは言うまでもない。
【００３０】
●［本実施の形態の効果（図８、図９）］
図８に、本実施の形態に示すガスメータ１にて計測した流量の精度について実験結果の例を示す。
図８に示す例は、乱流抑制部材５４の構造において、メッシュタイプ５４ｚ（改良前）とフォトエッチングによる微細孔タイプ５４ａ（改良後）について比較したものである（図８（Ａ）参照）。乱流抑制部材５４の構造以外の部分（計測流路５０の構造、超音波送受信センサ特性等）は同じである（どちらも雰囲気温度２３［℃］）。なお、図８に示す実験では、本実施の形態にて説明した内容を採用しており、測定管５２の断面Ｓ（図３参照）の面積の精度、整流板５３による超音波送受信センサの検出精度等が従来より向上されている。
【００３１】
図８（Ｂ）は、メッシュタイプ５４ｚ（改良前）を用いた場合の、空気及び１３Ａ（計測用代替ガス）の各流量（横軸方向）において、器差（縦軸方向）を示している。また、図８（Ｃ）は、フォトエッチングによる微細孔タイプ５４ａ（改良後）を用いた場合の、空気及び１３Ａ（計測用代替ガス）の各流量（横軸方向）において、器差（縦軸方向）を示している。
なお「器差」とは、「測定器が示した値」から「示すべき値」を差し引いて、その割合に換算したものである。
メッシュタイプ５４ｚ（改良前）の場合（図８（Ｂ））、空気では器差がプラス側に偏り、１３Ａではマイナス側に偏る傾向にある。また、同じ流量でも空気と１３Ａでは器差の差がやや大きい。また、同じ空気であっても流量の違いによる器差の変動が比較的大きい。通常では「空気」の流量を計測して精度等を検査し、実際には「１３Ａ」と特性的に近いガスの流量を計測するため、同じ流量でも空気と１３Ａで器差の差があるのは好ましくない。
これに対しフォトエッチングによる微細孔タイプ５４ａ（改良後）の場合（図８（Ｃ））、空気及び１３Ａともに偏りなく「器差０［％］」の近傍に収まっている。また、空気と１３Ａでの器差の差がほとんど生じておらず（特に流量Ｌ１以上の場合には差が非常に小さい）、非常に良好な特性を示している。
【００３２】
また、図９はフォトエッチングによる微細孔タイプ５４ａであって、測定管部材５２ａ及び５２ｂの材質を変えた場合のグラフである。（改良前）は線膨張係数が約１０＊１０-5［ｃｍ／ｃｍ・℃］の材料であり、（改良後）は約２．８＊１０-5［ｃｍ／ｃｍ・℃］の材料を使用したときの試験結果である。
図９に示すグラフを見ればわかるように、（改良前）と（改良後）のどちらも器差枠内に収まっているが、（改良後）のほうが器差０％からのずれが小さく、且つ器差枠までのマージンが広い。このため、（改良後）のほうが流量測定の精度がより高く、且つ温度変化に伴う器差変動が小さく、より好ましい特性を実現できていることが確認できた。
【００３３】
本発明のガスメータ１は、本実施の形態で説明した構成、構造、外観、形状、材質等に限定されず、本発明の要旨を変更しない範囲で種々の変更、追加、削除が可能である。
本実施の形態では整流板５３を３枚用いたが、計測する流体の種類、断面Ｓの大きさ、流量のダイナミックレンジ等に応じて適切な数の整流板を用いるようにしてもよい。
また、以上（≧）、以下（≦）、より大きいまたは越える（＞）、未満または下回る（＜）等は、等号を含んでも含まなくてもよい。
また、本実施の形態の説明に用いた数値は一例であり、この数値に限定されるものではない。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
本発明のガスメータ１は、業務用ガスメータ及び一般家庭用ガスメータの他にも、種々の流体の流量を計測する流量計測装置に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明のガスメータ１の一実施の形態の概略外観図である。
【図２】ガスメータ１の内部構造を説明する図である。
【図３】計測流路５０の構造を説明する図である。
【図４】計測流路５０の断面（水平方向の断面）を示す図である。
【図５】測定管５２の構造を説明する図である。
【図６】乱流抑制部材５４の構造を説明する図である。
【図７】整流板５３の配置位置と効果を説明する図である。
【図８】実際に流体の流量を計測した実験結果を示す図である。
【図９】各温度にて流体の流量を計測した実験結果を示す図である。
【符号の説明】
【００３６】
１        ガスメータ
１ａ      供給元流入口
１ｂ      設備流出口
４０      第１流路形成部材
４８      第２流路形成部材
５０      計測流路
５１      本体ケース
５１ａ、５１ｂ    本体ケース部材
５１ｃ    センサ孔
５２      測定管
５２ａ、５２ｂ    測定管部材
５２ｃ    開口部
５３      整流板
５４      乱流抑制部材
【図１】
2005106726.tif 000003
【図２】
2005106726.tif 000004
【図３】
2005106726.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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