(57)【要約】【課題】  光学特性劣化を抑えた、熱光学効果型の光回路の集積化を可能にする。【解決手段】  入力コア１２と出力コア１３間に一対の分岐コア１８，１９を接続して光回路１０ａを形成し、該光回路１０ａ，１０ｂ…を同一基板１１上に複数個並設し、それら複数の光回路１０ａ，１０ｂ…上を覆うクラッド２２を形成し、上記一対の分岐コア１８，１９上方のクラッド２２表面にそれぞれヒータ金属膜２３，２４を設け、各光回路１０ａにおいて同じ側のヒータ金属膜２３に接続する金属膜電極３１をクラッド２２表面に設け、通電されるヒータ金属膜２３側の分岐コア１８の屈折率を変化させて信号光の強度や位相を制御する光導波路素子において、金属膜電極３１を、入出力コア１２，１３及び分岐コア１８，１９上方を避けて形成した。【選択図】  図１
2005301033.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力コアと出力コア間に一対の分岐コアを接続して光回路を形成し、該光回路を同一基板上に複数個並設し、それら複数の光回路上を覆うクラッドを形成し、上記一対の分岐コア上方のクラッド表面にそれぞれヒータ金属膜を設け、各光回路において同じ側のヒータ金属膜に接続する金属膜電極をクラッド表面に設け、通電されるヒータ金属膜側の分岐コアの屈折率を変化させて信号光の強度や位相を制御する光導波路素子において、
上記金属膜電極を、入出力コア及び分岐コア上方を避けて形成したことを特徴とする光導波路素子。
【請求項２】
入力コアと出力コア間に一対の分岐コアを接続して光回路を形成し、該光回路を同一基板上に複数個並設し、それら複数の光回路上を覆うクラッドを形成し、上記一対の分岐コア上方のクラッド表面にそれぞれヒータ金属膜を設け、各光回路において同じ側のヒータ金属膜に接続する電極膜金属をクラッド表面に設け、通電されたヒータ金属膜側の分岐コアの屈折率を変化させて信号光の強度や位相を制御する光導波路素子において、
上記金属膜電極を、上記入出力コア及び分岐コアに沿って延出する本体部と、その本体部から突出し、上記ヒータ金属膜と接続される接続部とで構成し、上記本体部を、入出力コア及び分岐コア上方を避けて形成したことを特徴とする光導波路素子。
【請求項３】
上記各光回路ごとに形成される金属膜電極は、光回路の整列方向で順次短くなるように形成され、その金属膜電極の端部にリード線が接続され、上記光回路の整列方向に延出される請求項１または２記載の光導波路素子。
【請求項４】
上記リード線は、各光回路の金属膜電極の両側に配置され、かつ各光回路間に配置された一つまたは複数の中継用金属膜電極を介して、上記金属膜電極に接続される請求項３記載の光導波路素子。
【請求項５】
上記基板にＳｉ基板を用いて、該Ｓｉ基板上にバッファ層を設け、該バッファ層上に上記入出力コア及び分岐コアを設けた請求項１から４いずれかに記載の光導波路素子。
【請求項６】
上記基板に石英基板を用いて、該石英基板上に上記入出力コア及び分岐コアを設けた請求項１から４いずれかに記載の光導波路素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光通信の分野において使用される光導波路素子に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光通信の分野においては、複数の信号を別々の波長の光にのせ、１本の光ファイバで伝送し、情報容量を拡大する波長分割多重方式が実用化されている。波長分割多重方式で光信号を伝送する場合、特に、長距離伝送や波長のアドドロップを行うシステムでは、可変光アテネータ（可変光減衰器）や光スイッチ等の光部品が重要なキーデバイスである。
【０００３】
可変光アテネータや光スイッチ等においては、可動部分が無く高信頼性の期待できる熱光学効果を用いた導波路型光デバイスに注目が集まっている。これらの光デバイスは、光導波路上に金属膜を形成し、金属膜をヒータとして加熱駆動させることにより、導波路の屈折率を任意に変えるものである。金属膜とマッハツェンダ回路やＹ字分岐光回路を組み合わせることにより、可変光アテネータや光スイッチ等の実現が可能になる（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
図８に示す光導波路素子８は、マッハツェンダ型の光回路８０ａ〜ｄを４つ並列に集積し、各光回路８０ａ〜ｄ上にヒータ金属膜９３，９４と金属膜電極９５ａ〜ｄとを形成した可変光アテネータである。
【０００５】
光回路８０ａ〜ｄは各々、入出力コア８２，８３と、入出力コア８２，８３にＹ字型の分岐部８６，８７で各々分岐されて接続された分岐コア８８，８９とで構成されており、分岐コア８８，８９上方のクラッドにはヒータ金属膜９３，９４が形成され、各光回路８０ａ〜ｄにおいて図中上側の分岐コア８８側のヒータ金属膜９３には給電用の金属膜電極９５ａ〜ｄが接続され、その各金属膜電極９５ａ〜ｄの端部にリード線９９が接続されている。
【０００６】
図９（ａ），（ｂ）に示すように、光導波路素子８の断面構造は、基板８１上に形成された下部クラッド９１上にコア８３，８８，８９が形成され、コア８３，８８，８９を覆う上部クラッド９２が形成され、分岐コア８８，８９の上部クラッド表面にヒータ金属膜９３，９４と、ヒータ金属膜９３に接続される金属膜電極９５ａが形成されている。
【０００７】
入力コア８２に入力された信号光は、入力側の分岐部８６で３ｄＢ分岐されてそれぞれ分岐コア８８，８９を伝搬し、出力側の分岐部８７で合流して出力コア８３から出力される。このとき、ヒータ金属膜９３に給電されると熱を発生し、熱光学効果によってヒータ金属膜９３下方の分岐コア８８の屈折率が変化する。分岐コア８８上のヒータ金属膜９３にのみ金属膜電極９５ａ（９５ａ〜ｄ）が接続されているため、一対の分岐コア８８，８９間の温度、即ち光路長が異なる。よって、出力コア８３へ合流する光の位相の相違により出力される信号光は減衰される。
【０００８】
【特許文献１】特開２００２−２６８０２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上述の熱光学効果を用いた光可変減衰器や光スイッチは、高密度波長多重通信方式で使用されることが多く、そのため、それらを集積化やアレイ化して使用する要望がある。
【００１０】
しかしながら、熱光学効果を利用した光回路を集積化するためには、熱の付与に必要なヒータ金属膜９３をコア上方のクラッド上に配置し、金属膜電極９５ａ〜ｄを、光導波路素子８の側部のリード線９９を接続する位置まで引き延ばす必要があった。そのため、金属膜電極９５ａ〜ｄは入出力コア８２，８３や分岐コア８８，８９の上方にも位置してしまい、電力印加時の温度上昇や金属膜の応力により、信号光の特性が劣化するという問題点があった。
【００１１】
そこで、本発明の目的は、上記課題を解決し、光学特性劣化のない熱光学効果型の光回路の集積化を可能にする光導波路素子を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために、請求項１の発明は、入力コアと出力コア間に一対の分岐コアを接続して光回路を形成し、該光回路を同一基板上に複数個並設し、それら複数の光回路上を覆うクラッドを形成し、上記一対の分岐コア上方のクラッド表面にそれぞれヒータ金属膜を設け、各光回路において同じ側のヒータ金属膜に接続する金属膜電極をクラッド表面に設け、通電されるヒータ金属膜側の分岐コアの屈折率を変化させて信号光の強度や位相を制御する光導波路素子において、上記金属膜電極を、入出力コア及び分岐コア上方を避けて形成した光導波路素子である。
【００１３】
請求項２の発明は、入力コアと出力コア間に一対の分岐コアを接続して光回路を形成し、該光回路を同一基板上に複数個並設し、それら複数の光回路上を覆うクラッドを形成し、上記一対の分岐コア上方のクラッド表面にそれぞれヒータ金属膜を設け、各光回路において同じ側のヒータ金属膜に接続する電極膜金属をクラッド表面に設け、通電されたヒータ金属膜側の分岐コアの屈折率を変化させて信号光の強度や位相を制御する光導波路素子において、上記金属膜電極を、上記入出力コア及び分岐コアに沿って延出する本体部と、その本体部から突出し、上記ヒータ金属膜と接続される接続部とで構成し、上記本体部を、入出力コア及び分岐コア上方を避けて形成した光導波路素子である。
【００１４】
請求項３の発明は、上記各光回路ごとに形成される金属膜電極は、光回路の整列方向で順次短くなるように形成され、その金属膜電極の端部にリード線が接続され、上記光回路の整列方向に延出される光導波路素子である。
【００１５】
請求項４の発明は、上記リード線は、各光回路の金属膜電極の両側に配置され、かつ各光回路間に配置された一つまたは複数の中継用金属膜電極を介して、上記金属膜電極に接続される光導波路素子である。
【００１６】
請求項５の発明は、上記基板にＳｉ基板を用いて、該Ｓｉ基板上にバッファ層を設け、該バッファ層上に上記入出力コア及び分岐コアを設けた光導波路素子である。
【００１７】
請求項６の発明は、上記基板に石英基板を用いて、該石英基板上に上記入出力コア及び分岐コアを設けた光導波路素子である。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば光学特性の劣化を抑え、熱光学効果型の光回路を集積化できるといった優れた効果を発揮する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の好適な一実施形態を添付図面に基づいて詳述する。
【００２０】
図１は好適な第一の実施の形態の光導波路素子１の上面図、図２（ａ）は２Ａ−２Ａ線断面図、図２（ｂ）は２Ｂ−２Ｂ線断面図である。
【００２１】
図１、図２（ａ），（ｂ）に示すように、光導波路素子１は、マッハツェンダ型の光回路１０ａ〜ｄを４つ並列に集積し、各光回路１０ａ〜ｄ上にヒータ金属膜２３，２４と金属膜電極３１，３２，３３，３４とを形成した可変光アテネータ（可変光減衰器）である。
【００２２】
各光回路１０ａ〜ｄはそれぞれ同等の構成、作用示すので、先ず、一個の光回路１０ａについて説明する。
【００２３】
光回路１０ａを構成する光導波路は、基板１１上にバッファ層（下部クラッド）２１を介してコアが形成され、そのコアの上面及び側面を覆うクラッド（上部クラッド）２２が形成されている。より詳細には、入力コア１２と出力コア１３とがそれぞれ、入力端１４、出力端１５から延出形成される。その入出力コア１２，１３の端部には、一対の分岐コア１８、１９が、それぞれ入出力コア１２，１３からＹ字状に分岐するように分岐部１６，１７で接続されている。
【００２４】
これより光回路１０ａにおいて、２本分岐コア１８を区別するために、コアの屈折率を変化させる分岐コア１８（図面上側）を可変屈折率コア１８、コアの屈折率を変化させない分岐コア１９（図面下側）を固定屈折率コア１９と称する。
【００２５】
光回路１０ａの可変屈折率コア１８上方の上部クラッド２２表面にはコア温度を変化させるヒータ金属膜２３が形成され、可変屈折率コア１９上方の上部クラッド２２表面にもヒータ金属膜２３と同形状のヒータ金属膜２４が形成されている。これは、可変屈折率コア１８と固定屈折率コア１９に与えるヒータ金属膜１８，２４による応力の影響を略等しくするためである。これにより、光学特性、例えば偏光特性のばらつきを小さくすることができる。
【００２６】
さらに、可変屈折率コア１８上方に配置されるヒータ金属膜２３の両側には、給電用の金属膜電極３１，３１がそれぞれ接続形成されている。金属膜電極３１，３１は、可変屈折率コア１８と入出力コア１２，１３に沿って、それらコア１２，１３，１８の上方を避けて延出するようにクラッド表面に形成されている。金属膜電極３１の端部にはリード線２９がリード線接続部材２８により接続されている。一方、ヒータ金属膜２４には給電用の金属膜電極が接続されていないが、ヒータ金属膜２３と同一の金属膜を形成するのでヒータ金属膜２４と称する。
【００２７】
図２（ｃ）に示すように、金属膜電極３１（３２〜３４）は、入出力コア１２，１３と分岐コア１８に沿って長手方向とする長方形状の本体部２６と、その端部に接続される長方形状の接続部２７からなる。接続部２７は本体部２６の長手方向に突出形成され、接続部２７の幅が本体部２６の幅よりも小さい。リード線２９が接続される本体部２６は、接続部２７を介してヒータ金属膜２３に接続され、本体部２６、接続部２７共に、入出力コア１２，１３及び分岐コア１８，１９を避けたクラッド２２の表面に配置される。
【００２８】
各光回路１０ｂ〜ｄとそれに付随するヒータ金属膜２３，２４及び金属膜電極３２〜３４も同様の構成をしており、各光回路１０ａ〜ｄは基板１１上に並列して集積されている。その際、各光回路１０ａ〜ｄの可変屈折率コア１８と固定屈折率コア１９とが交互に隣接するように配置されている。各光回路１０ａ〜ｄの金属膜電極３１〜３４は可変屈折率コア１８及び入出力コア１２，１３と、隣接する光回路の固定屈折率コア１９及び入出力コア１２，１３との間に沿って、かつコア１２，１３，１８，１９上方を避けて配置されている。
【００２９】
さらに、各金属膜電極３１〜３４は、光回路１０ａ〜ｄの整列方向で順次短くなっている。詳細には、初段の（図面最上部の）光回路１０ａ上の金属膜電極３１が長手方向に最も長く形成され、光回路１０ａに隣接する次段の光回路１０ｂ上の金属膜電極３２が次に長く形成されている。さらに、順次光回路１０ｃ、１０ｄ上の各金属膜電極３３，３４が徐々に短く形成されている。各金属膜電極３１〜３４の端部にはそれぞれリード線接続部材２８により給電用のリード線２９が接続され、光導波路素子１の側部の方向（コアに対して垂直方向）に延出されている。
【００３０】
本実施の形態では、基板１１に石英基板を用い、バッファ層２１及び上部クラッド２２は、石英を含む石英系材料で形成した。また、光導波路素子１にバッファ層２１を設けず、上記コア１２，１３，１８，１９を直接石英基板上に形成してもよい。さらに、基板１１にＳｉ基板を用いてもよく、その際、コア１２，１３，１８，１９とＳｉ基板の間には、Ｓｉ基板の応力を緩衝させるためにバッファ層２１を設けるのがよい。
【００３１】
次に本実施の形態の作用について説明する。
【００３２】
入力端１４から入力コア１２に入射された光信号は分岐部１６で等分岐し、それぞれ可変屈折率コア１８及び固定屈折率コア１９を伝搬して、分岐部１７で合流し、出力コア１３の出力端１５から出力される。その際、ヒータ金属膜２３は、リード線２９、金属膜電極３１を介して給電されて熱を発生する。ヒータ金属膜２３からの熱により、可変屈折率コア１８は熱光学効果で屈折率が変化し、可変屈折率コア１８と固定屈折率コア１９との光路長差が異なる。すなわち、ヒータ金属膜２３がコアを伝搬する信号光の位相変調器の役割を果たし、それぞれ光路長差の異なるコアを伝搬した信号光は、分岐コア部１７で合流する際干渉して減衰する。
【００３３】
信号光を減衰させる光導波路素子１は、ヒータ金属膜２３の温度を変化させることで、熱光学効果により可変屈折率コア１８の屈折率（光路長）を変化させており、ヒータ温度を調整することにより信号光の減衰量を自在に設定することができる。
【００３４】
光導波路素子１に測定用の光回路を接続し、光導波路素子１の光学特性を調べ、従来の光導波路素子と比較した。
【００３５】
光導波路素子１の基板を石英基板とし、比屈折率差Δ＝０．３％（コアの屈折率１．４５８）とした。光回路１０ｂのアテネーション（減衰量）を１０ｄＢに設定し、光回路１０ａ、１０ｃ、１０ｄのアテネーションを０〜２０ｄＢの間で変化させ、光回路１０ｂのアテネーションの変動と偏光依存損失（ＰＤＬ）を測定した。
【００３６】
従来の光導波路素子８では、光回路のアテネーションを変化させると、金属膜電極９５ａ〜ｄの配置から、光回路８０ｂのアテネーションに最大１．２ｄＢの変動があった。本実施の形態の光導波路素子１では、光回路１０ｂのアテネーションの変動を０．１ｄＢに抑えることができた。また、ＰＤＬの変動も従来０．５ｄＢであったが、光導波路素子１では０．１ｄＢ以下へと改善することができた。これは、入出力コア１２，１３や分岐コア１８，１９の上方を避けて金属膜電極３１〜３４を形成することで、光回路１０ｂのコアが、給電による温度変化や金属膜の残留応力の影響を受けないためである。よって、熱光学効果型の光回路を集積しても減衰の安定した可変光アテネータとすることができる。
【００３７】
また、コア幅に対してリード線幅は十分に大きいため、光回路１０ａ〜ｄのコア方向にリード線２９を延ばすと互いに接続の際邪魔になるので、各光回路１０ａ〜ｄごとに形成される金属膜電極３１〜３４を光回路の整列方向で順次短くなるように形成し、金属膜電極３１〜３４の端部に接続することで、各リード線２９を、他の光回路や光伝送線等と接続する方向とは別の方向に、かつリード線同士が重畳しないように配列することができる。
【００３８】
固定屈折率コア１９上方のクラッド表面にも、ヒータ金属膜２３と同形状のヒータ金属膜２４を形成することで、金属膜によるコアまたはクラッドの残留応力を等しくして、温度変化による光路長差のみを考慮して信号光の減衰を設定することができる。
【００３９】
以上より、本実施の形態の光導波路素子１は、金属膜電極による応力、温度上昇の影響を小さく抑え、アテネーション、ＰＤＬといった光学特性を改善した、光学特性の劣化のない、可変光アテネータや光スイッチ等の熱光学効果型の光回路を集積化することができる。
【００４０】
本実施の形態の光導波路素子１は光回路を４つ並列（アレイ状）に集積されているが、アレイ数をより少数或いは多数にしてもよく、また、光回路をタンデム接続した光導波路素子としてもよい。
【００４１】
次に、第二の実施の形態の光導波路素子について説明する。
【００４２】
図３に示すように、本実施の形態の光導波路素子３は、図１の光導波路素子１と同構成の可変光アテネータであり、各金属膜電極とリード線の配置に関して構成を異にするものである。
【００４３】
光導波路素子３の最長の（初段の）金属膜電極３１に隣接する次段の金属膜電極３２の両側には、初段の金属膜電極３１にリード線３９を分割して中継するための中継用金属膜電極３２ａが金属膜電極３２と間隔を空けて形成されている。中継用金属膜膜電極３２ａにはリード線３９を固定して中継するためのリード線接続部材２８が２つ形成されており、それによりリード線３９を中継している。さらに三段目の光回路１０ｃの金属膜電極３３の両側にはそれぞれ中継用金属膜電極３３ａ，３３ｂが２つずつ形成され、外側の中継用金属膜電極３３ａは初段の金属膜電極３１に給電するよう中継金属膜電極３２ａとリード線３９を介して接続され、内側の中継用金属膜電極３３ｂは２段目の金属膜電極３２にリード線３９を介して接続されている。同様に、４段目の光回路の金属膜電極には各々３つの中継用金属膜電極３４ａ，３４ｂ，３４ｃが形成され、それぞれの中継用金属膜電極３４ａ〜ｃが各々上段の３つの光回路のヒータ金属膜２３，２３，２３に給電すべく金属膜電極３３または中継用金属膜電極３３ａ，３３ｂにリード線３９を介して接続されている。さらに、金属膜電極３４、中継用金属膜電極３４ａ〜ｃにリード線３９を介して接続された各中継用金属膜電極３５ａ〜ｄにはリード線３９が接続されている。
【００４４】
すなわち、本実施の形態の光導波路素子３は、各金属膜電極に接続されるリード線３９を金属膜電極の両側に配置し、かつ隣接する光回路間に配置された中継用金属膜電極３２ａ，３３ａ〜ｂ，３４ａ〜ｃを介して接続したものである。
【００４５】
本実施の形態の光導波路素子３は、図１の光導波路素子１と同等の作用効果を有する。さらに、中継用金属膜電極を介してリード線を金属膜電極２３に給電するため、総リード線長を短くでき、それによりリード線３９内の抵抗を含む配線抵抗を小さくすることができる。
【００４６】
次に、第三の実施の形態の光導波路素子について説明する。
【００４７】
図４（ａ）に示すように、本実施の形態の光導波路素子４は、図１の光導波路素子１と同構成の可変光アテネータであり、各金属膜電極に関して構造を異にするものである。
【００４８】
光導波路素子４のクラッド２２表面に設けられる各金属膜電極４１〜４４の接続部４７は、光導波路素子１の金属膜電極３１〜３４と同様に、本体部４６から突出するように形成されている。図４（ｂ）に示すように、金属膜電極４１は、入出力コア１２，１３、可変屈折率コア１８に沿って長手方向とする長方形状の本体部４６と、その端部に接続される長方形状の接続部４７とからなる。接続部４７は本体部４６の幅方向に突出形成され、その突出幅（接続部４７の幅）は、本体部４６の幅よりも小さく、金属膜電極４１に対して接続部４７の面積が５０％以下となる大きさに形成される。本体部４６は、コア１２，１３，１６の上方を避けたクラッド２２の表面に形成されるが、接続部４７は可変屈折率コア１８上方に形成されて、ヒータ金属膜２３に接続されている。また、図１の光導波路素子１に比べて、ヒータ金属膜２３と金属膜電極４１との接触面が大きい。
【００４９】
本実施の形態の光導波路素子４も、第一の実施の形態の光導波路素子１と同様な作用効果を有する。また、金属膜電極４１〜４４は、ヒータ金属膜２３に給電するにあたり、リード線２９より供給される電流の方向に対して、ヒータ金属膜２３と接触する断面積が最も小さくなる形状に接続部４７を形成することで、本体部４６での発熱を抑えている。
【００５０】
第一から第三実施の形態では、入出力コア１２、１３と分岐コア１８，１９とをＹ字型に分岐接続する分岐部１６，１７を形成したマッハツェンダ型の光導波路素子１，３，４について説明したが、図５に示すように、Ｙ字型の分岐部１６，１７の代わりにＭＭＩ（Multi-Mode Interference）カプラ７１，７１を形成し、各ＭＭＩカプラ７１，７１に入力コア７２，７２（出力コア７３，７３）してもよい。これは入力コア７２，７２の一方から入力された信号光をＭＭＩカプラ７１で等分岐させて分岐コア１８，１９へ伝搬させている。また、図６に示すように、ＭＭＩカプラ７１、７１の代わりに方向性結合器７５，７５を分岐部とする光回路を形成してもよい。図５の光回路と同様に、コア７２，７２の一方から入力された信号光を方向性結合器７５で分岐させている。さらに、図７に示すように、一本の入力コア７６に二本の出力コア７７，７７を接続した光回路において、出力コア１８，１９上方のクラッド表面に、ヒータ金属膜２３，２４を形成して光デジタルスイッチとしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明に係る第一の実施の形態の光導波路素子を示す上面図である。
【図２】（ａ）は図１の２Ａ−２Ａ線断面図、（ｂ）は図１の２Ｂ−２Ｂ線断面図、（ｃ）は金属膜電極の上面拡大図である。
【図３】第二の形態の光導波路素子を示す上面図である。
【図４】（ａ）は第三の形態の光導波路素子を示す上面図であり、（ｂ）は金属膜電極の上面拡大図である。
【図５】光導波路素子の変形例を示す概略図である。
【図６】光導波路素子の変形例を示す概略図である。
【図７】光導波路素子の変形例を示す概略図である。
【図８】従来の光導波路素子を示す上面図である。
【図９】（ａ）は図８の９Ａ−９Ａ線断面図であり、（ｂ）は図８の９Ｂ−９Ｂ線断面図である。
【符号の説明】
【００５２】
１  光導波路素子
１２  入力コア
１３  出力コア
１６，１７  分岐部
１８  分岐コア
１９  分岐コア
２１  バッファ層
２２  クラッド
２３，２４  ヒータ金属膜
２６  本体部
２７  接続部
３１〜３４  金属膜電極
【図１】
2005301033.tif 000003
【図２】
2005301033.tif 000004
【図３】
2005301033.tif 000005
【図４】
2005301033.tif 000006
【図５】
2005301033.tif 000007
【図６】
2005301033.tif 000008
【図７】
2005301033.tif 000009
【図８】
2005301033.tif 000010
【図９】
2005301033.tif 000011