(57)【要約】【課題】高速回転、高温の環境下で発生する潤滑流体の不足によるロックや焼き付けを防止できる流体軸受装置を提供することを目的とする。【解決手段】固定スラスト板９の下面と上面に形成された動圧発生用グルーブ１５，１６の最大圧力発生部位の位置２３を、スラスト側動圧発生部のラジアル方向の１／２よりも固定スラスト板９の外径側に設定したもので、ロックや焼き付けを防止できる。【選択図】図１
2005106292.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一方の端部が固定された固定軸とこの固定軸に回動自在に枢支された回転スリーブとの間に潤滑流体をポンピングして非接触回転する流体軸受装置であって、
基端がケーシングに取り付けられた固定軸と、
前記固定軸に回転自在に取り付けられ前記固定軸の先端に対応して前記固定軸よりも大径の開口部が端部に形成され外周部に負荷が取り付けられた回転スリーブと、
中央に貫通孔が穿設された円盤で前記固定軸の先端に取り付けられ下面が回転スリーブの前記開口部の底面に対向して外周面が前記開口部の内周面に対向する固定スラスト板と、
基端が前記固定軸の先端に螺合して固定スラスト板を前記固定軸に係止する延長軸と、
円盤で前記回転スリーブの開口部に取り付けられ中央に穿設された貫通孔に前記延長軸が挿通された回転スラスト板と
を設け、
前記固定軸の外周面と前記回転スリーブの中心孔の内周面とで形成されるラジアル側動圧発生部に動圧発生用グルーブを形成し、
前記固定スラスト板と回転スリーブの前記凹部の開口部の内周面と前記固定スラスト板との対向面で形成されるスラスト側動圧発生部には固定スラスト板の前記下面と上面に動圧発生用グルーブを形成し、
前記ラジアル側動圧発生部および前記スラスト側動圧発生部に潤滑流体を充填し、
固定スラスト板の前記下面と上面に形成された動圧発生用グルーブの最大圧力発生部位の位置を、スラスト側動圧発生部のラジアル方向の１／２よりも固定スラスト板の外径側で、この動圧発生用グルーブの最大圧力発生部位の位置で分けられる内周側と外周側とで潤滑流体の量が等しくなる位置に設定し、
スラスト側動圧発生部における回転スラスト側の有効内径をｄ１
固定スラスト板の外径をｄ２
スラスト側動圧発生部の固定スラスト板の前記下面と上面に形成された動圧発生用グルーブの最大圧力発生部位の径をｄ３
回転スリーブの前記開口部の内径をｄ４とした場合に、
ｄ２（ｄ４−ｄ２） ＞ ｄ１（（ｄ３−ｄ１）−（ｄ２−ｄ３））
に設定した流体軸受装置。
【請求項２】
スラスト側動圧発生部における動圧発生用グルーブを、円周方向のヘリングボーン溝で構成し、このヘリングボーンの頂点を結ぶ位置を、スラスト側動圧発生部のラジアル方向の１／２よりも固定スラスト板の外径側に設定した請求項１記載の流体軸受装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２の何れかに記載の流体軸受装置を使用したモータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＯＡ機器やＡＶ機器に使用される流体軸受装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
流体軸受装置は、テーブル型ＶＴＲやカメラ一体型ＶＴＲの回転ヘッドシリンダ，レーザー複写機のポリゴンスキャナーモータ、フロッピー（登録商標）ディスク装置やハードディスク装置の記録媒体の回転駆動部に採用されている。
【０００３】
具体的には、ハードディスク装置ではそのメモリー容量が増大し、またデータの転送速度が高速化しているため、この種の記録装置に用いられるディスク回転装置は高速、高精度回転が必要となっている。
【０００４】
その回転主軸部には、特許文献１に開示されるような流体軸受装置が用いられている。これは図６と図７に示すように構成されている。
固定軸１とこの固定軸１に枢支された回転スリーブ２を有している。固定軸１の基端は下ケース３に固定されている。回転スリーブ２の外周にはハードディスク４が取り付けられている。
【０００５】
固定軸１と回転スリーブ２との間に形成されたラジアル側動圧発生部５は、固定軸１の外周面に動圧発生溝６が形成されている。固定軸１の先端には、この固定軸１に螺合する雄ねじ部７が形成された延長軸８によって固定スラスト板９が取り付けられている。
【０００６】
回転スリーブ２の側には、固定スラスト板９に対応して凹部１０が形成されている。この凹部１０の開口部は、中心に前記延長軸８の外径より大径の中心孔１１が穿設された回転スラスト板１２によって閉塞してネジ１３で回転スリーブ２に係止されている。
【０００７】
このようにして、回転スリーブ２の側の前記凹部１０と固定スラスト板９と回転スラスト板１２との間に形成されたスラスト側動圧発生部１４は、固定スラスト板９の上面と下面に動圧発生溝１５，１６が形成されている。このスラスト側動圧発生部１４と前記ラジアル側動圧発生部５とには、潤滑流体が充填されている。
【０００８】
下ケース３には固定軸１の基端部の周囲にステータ巻線１７が配置され、回転スリーブ２の内周部には前記ステータ巻線１７に対向してマグネット１８が取り付けられている。また、延長軸８は上ケース１９にネジ２０で固定されている。
【０００９】
このように構成された流体軸受装置は、ステータ巻線１７を励磁すると、回転スリーブ２を介してハードディスク４が、下ケース３と上ケース１９との間に形成された密閉空間で高速回転する。
【００１０】
固定軸１に対して回転スリーブ２が回転することによって、潤滑流体をポンピングして回転スリーブ２が非接触回転している。スラスト側動圧発生部１４の動圧発生溝１５，１６についてはこの特許文献１については具体的に記載されていないが、一般的には特許文献２などに見られるように構成される。これは、図８に示すように動圧発生用グルーブを円周方向のヘリングボーン溝２２で構成し、このヘリングボーンの頂点を結ぶ位置２３を、スラスト側動圧発生部のラジアル方向の１／２の位置になるように設定されている。
【特許文献１】米国特許第５５０４６３７号公報
【特許文献２】特公昭５９−４５８４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら上記のような構成では、次の様な問題点がある。このタイプは極めて高速回転するとともに、スラスト動圧部の上部はオープンになっているため、潤滑流体の使用中の温度上昇や高温下環境での使用による潤滑流体膨張、潤滑流体に含まれる気泡（空気）が温度上昇や高温下環境での使用による温度膨張、潤滑流体の注入時のディスペンサーの注入量のバラツキにより多く注入される、などの諸要因によってスラスト動圧部分の潤滑流体が漏れやすい固有のデメリットを有している。
【００１２】
本発明は、高速回転、高温の環境下で発生する潤滑流体の不足による軸受のロックや焼き付けを防止できる流体軸受装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の請求項１記載の流体軸受装置は、少なくとも一方の端部が固定された固定軸とこの固定軸に回動自在に枢支された回転スリーブとの間に潤滑流体をポンピングして非接触回転する流体軸受装置であって、基端がケーシングに取り付けられた固定軸と、前記固定軸に回転自在に取り付けられ前記固定軸の先端に対応して前記固定軸よりも大径の開口部が端部に形成され外周部に負荷が取り付けられた回転スリーブと、中央に貫通孔が穿設された円盤で前記固定軸の先端に取り付けられ下面が回転スリーブの前記開口部の底面に対向して外周面が前記開口部の内周面に対向する固定スラスト板と、基端が前記固定軸の先端に螺合して固定スラスト板を前記固定軸に係止する延長軸と、円盤で前記回転スリーブの開口部に取り付けられ中央に穿設された貫通孔に前記延長軸が挿通された回転スラスト板とを設け、前記固定軸の外周面と前記回転スリーブの中心孔の内周面とで形成されるラジアル側動圧発生部に動圧発生用グルーブを形成し、前記固定スラスト板と回転スリーブの前記凹部の開口部の内周面と前記固定スラスト板との対向面で形成されるスラスト側動圧発生部には固定スラスト板の前記下面と上面に動圧発生用グルーブを形成し、前記ラジアル側動圧発生部および前記スラスト側動圧発生部に潤滑流体を充填し、固定スラスト板の前記下面と上面に形成された動圧発生用グルーブの最大圧力発生部位の位置を、スラスト側動圧発生部のラジアル方向の１／２よりも固定スラスト板の外径側で、この動圧発生用グルーブの最大圧力発生部位の位置で分けられる内周側と外周側とで潤滑流体の量が等しくなる位置に設定し、スラスト側動圧発生部における回転スラスト側の有効内径をｄ１、固定スラスト板の外径をｄ２、スラスト側動圧発生部の固定スラスト板の前記下面と上面に形成された動圧発生用グルーブの最大圧力発生部位の径をｄ３、回転スリーブの前記開口部の内径をｄ４とした場合に、ｄ２（ｄ４−ｄ２） ＞ ｄ１（（ｄ３−ｄ１）−（ｄ２−ｄ３））に設定したことを特徴とする。
【００１４】
本発明の請求項２記載の流体軸受装置は、請求項１において、スラスト側動圧発生部における動圧発生用グルーブを、円周方向のヘリングボーン溝で構成し、このヘリングボーンの頂点を結ぶ位置を、スラスト側動圧発生部のラジアル方向の１／２よりも固定スラスト板の外径側に設定したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
この構成によると、スラスト方向の浮上量の低下が無く、高速回転、高温の環境下で発生する潤滑流体の不足によるロックや焼き付けを防止でき、長期間にわたって安定に動作する信頼性の高い装置を実現できるものである。したがって、特にハードディスク装置に好適な流体軸受装置を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明の実施の形態を図１〜図５と図９に基づいて説明する。
図１はハードディスク装置に使用した流体軸受装置を示す。この流体軸受装置は固定軸両持ち構造で図示されているが、固定軸片持ち構造としても使用できる。
【００１７】
図１に示した全体的な構成は図６，図７に示した従来の構成と同一であるが、細部においては異なる。なお、従来例と同様の作用を成すものには同一の符号を付けて説明する。
図１において、固定軸１の基端はネジ２４で下ケース３に固定されている。回転スリーブ２の側には、固定軸１の先端に固定スラスト板９が延長軸８によって取り付けられている。
【００１８】
回転スリーブ２の側には、前記固定スラスト板９の下面と上面および前記下面と上面をつなぐ外周面に沿った対向面で構成される凹部１０を設け、固定軸１と回転スリーブ２との間に形成されたラジアル側動圧発生部５の一端部に、固定スラスト板９と凹部１０とで形成されたスラスト側動圧発生部１４が形成されている。ラジアル側動圧発生部５は固定軸１の外周面に動圧発生溝６が形成されている。スラスト側動圧発生部１４は固定スラスト板９の上面に動圧発生溝１５が形成され、固定スラスト板９の下面に動圧発生溝１６が形成されている。
【００１９】
図２に示すように、固定スラスト板９の厚さをｔとし、凹部１０の開口部の幅をΔＬとした場合に、スラスト側動圧発生部１４の開放端のラジアル方向の隙間Δｄ（図３を参照）を、 Δｄ ＞ ΔＬ − ｔ に設定した。
【００２０】
ラジアル側動圧発生部５からスラスト側動圧発生部１４にわたっては潤滑流体２１を充填した。使用した潤滑流体は、９５パーセント以上がエステル油を用い、残りの５パーセント以下は、鉱油、オレフィン、炭化水素などである。その表面張力は２５ｄｙｎ／ｃｍ（ａｔ２９℃）以上に調製した。
【００２１】
また、図１においてラジアル側動圧発生部５の下端に位置する前記回転スリーブ２と固定軸１との隙間は、固定軸１の径が基端部に向かって次第に細くなるテーパ部１ａを有しており、これに対応する回転スリーブ２の内径もラジアル側動圧発生部５の部分よりも大径に形成されており、表面張力によって潤滑流体が入り込まない区間がこの両者によって形成されている。
【００２２】
回転スリーブ２は材質が銅合金およびアルミ合金で作成されており、磁気の漏洩を低減するために磁性鋼板２５がマグネット１８との間に介装されている。このように構成したため、ステータ巻線１７を励磁すると、回転スリーブ２を介してハードディスク４が、下ケース３と上ケース１９との間に形成された密閉雰囲気Ｓで高速回転し、固定軸１に対して回転スリーブ２が回転することによって、潤滑流体をポンピングして回転スリーブ２が非接触回転する。
【００２３】
回転中のスラスト側動圧発生部１４における固定スラスト板９の上面と回転スラスト板１２の下面との隙間は５μｍ、固定スラスト板９の下面とこの下面と回転スリーブ２との対向面との隙間は１０μｍの場合に好適な性能が得られた。これは
ΔＬ ＝ ｔ ＋ １５μｍ
と表現できる。
【００２４】
スラスト方向の耐衝撃性能の向上の観点からは、この隙間は小さい方が好ましいが、現実的な加工精度の信頼性からは、下限は
ΔＬ ＝ ｔ ＋ １０μｍ
が限界であった。また、目標値となる５００Ｇ耐衝撃の許容範囲から上限は
ΔＬ ＝ ｔ ＋ ３０μｍ
が限界であった。したがって、許容範囲は、
ΔＬ ＝ ｔ ＋ １０μｍ〜３０μｍ
と表現できる。図４はこの隙間と耐衝撃の測定結果を示す。
【００２５】
加工精度を上げずに、しかも実用的な範囲で目標値となる耐衝撃値を下げた場合には、
ΔＬ ＝ ｔ ＋ ２０μｍ〜４０μｍ
が許容範囲であった。
【００２６】
さらに、図３に示すように、上記のように固定スラスト板９の上面と回転スラスト板１２の下面との隙間が５μｍで、ΔＬ ＝ ｔ ＋ １５μｍ の場合の開放端のラジアル方向の隙間Δｄを、使用している潤滑流体の表面張力によってこの潤滑流体が入り込まない隙間として１５μｍに設定して、運転中のスラスト側動圧発生部の開放端から外部への潤滑流体の飛散を検証すると、潤滑流体の飛散は確認できなかった。ラジアル方向の隙間Δｄの許容範囲は
Δｄ ＞ ΔＬ − ｔ
であった。
【００２７】
スラスト側動圧発生部１４における固定スラスト板９の上面に形成された動圧発生溝１５は、図５に示すように円周方向のヘリングボーン溝２２で構成し、このヘリングボーン溝２２の頂点を結ぶ位置２３を、スラスト側動圧発生部のラジアル方向の１／２よりも固定スラスト板９の外径側に設定されている。
【００２８】
ヘリングボーン溝２２の頂点を結ぶ位置２３は、スラスト側動圧発生部に形成された最大圧力発生部位であって、運転中のスラスト側動圧発生部１４において位置２３で分けられる内周側２６と外周側２７とで表面張力が等しく、潤滑流体の量もその両側で等しくなって、内周側２６から外周側２７へ流出する潤滑流体を無くして、回転スリーブ２の浮上量の低下が無く、高速回転、高温の環境下で発生する潤滑流体の不足によるモータのロックや焼き付けを防止できる。
【００２９】
この位置２３は下記のように表現できる。図２と図３に示すように、スラスト側動圧発生部における回転スラスト側の有効内径ｄ１は、固定スラスト板９の上面の上面に形成された動圧発生溝１５を考える場合には回転スラスト板１２の内径である。固定スラスト板９の外径をｄ２，スラスト側動圧発生部に形成された動圧発生用グルーブの最大圧力発生部位の径をｄ３とした場合に、
ｄ２2 − ｄ３2 ＝ ｄ３2 − ｄ１2
と内周側と外周側の面積をほぼ等しく設定することによって実現できる。
【００３０】
また、回転スリーブ２の凹部１０の開口部の内径をｄ４とした場合に、
ｄ２（ｄ４−ｄ２） ＞ ｄ１（（ｄ３−ｄ１）−（ｄ２−ｄ３））
に設定すると、長期運転でスラスト側動圧発生部に発生する気泡は、圧力均等の点から、
（ｄ１／ｄ２）＊（（ｄ３−ｄ１）−（ｄ２−ｄ３））
の幅で固定スラスト板９の外周部に溜まる。このとき、固定スラスト板９と回転スリーブ２の間の凹部１０の開口部内径の幅を、この気泡の幅より広くすることによって、固定スラスト板９の外周からの潤滑流体の供給が可能となり、長寿命の流体軸受装置を実現できる。
【００３１】
上記実施の形態の各部の具体的な数値は、
ｄ１ ＝ ２．７０ｍｍ
ｄ２ ＝ ６．５０ｍｍ
ｄ３ ＝ ４．９８ｍｍ
ｄ４ ＝ ６．９０ｍｍ
であった。
【００３２】
ここで、前記の不等式ｄ２（ｄ４―ｄ２）＞ｄ１（（ｄ３―ｄ１）―（ｄ２―ｄ３））の導き、ならびに前記（ｄ１／ｄ２）＊（（ｄ３−ｄ１）−（ｄ２−ｄ３））の導きを説明する。
ｄ２（ｄ４―ｄ２）＞ｄ１（（ｄ３―ｄ１）―（ｄ２―ｄ３））の導き
寿命が確保されるには最大圧力発生部位が変化しないことである。すなわち、この部分は、潤滑流体量が変化しないということであり、最大圧力発生部位の両側のトータル圧力は等しくなければならない。その条件として最大圧力発生部位の両側で潤滑流体量を等しくしている。また、このときに生じる径差に相当する十分大きい空間を固定スラスト板外径の外に設けることにより、固定スラスト板の動圧発生溝の影響で発生する気泡による固定スラスト板外径の潤滑流体の減少を防止する。また、この空間は潤滑流体量を供給する役目をもっている。つまり、潤滑流体が移動し、圧力均衡がとれる構成である。そのために潤滑流体を一時的に保持する部位が必要となり、これが固定スラスト板外周部の空間になる。
【００３３】
不等式は、スラスト軸受内に潤滑流体を十分確保するために固定スラスト板外周部の潤滑流体量（スペース）を十分に設けることから導いた。スラスト軸受で気泡が発生した場合、気泡はスラスト板内周部（ｄ１）とスラスト板外周部（ｄ２）に溜まり、スラスト軸受内には気泡が残留せず、潤滑流体が満たされている。
【００３４】
そのため、容積を求める時にｄ２及びｄ１を使用し近似的にｄ２（ｄ４―ｄ２）及びｄ１（（ｄ３―ｄ１）―（ｄ２―ｄ３））を求め、スラスト外周部に流体を十分に保持されるスペースを確保した。
【００３５】
以下、数式の導き方を説明する。
（１）最大圧力発生部の両側で潤滑流体量が同じ
（２）スラスト板での気泡発生量…最大圧力発生部の両側の容量差
ｄ１＊（（ｄ３−ｄ１）−（ｄ２−ｄ３））＊Ｂ
ここでＢはスラスト方向の潤滑流体厚である。
（３）スラスト板外周の容量
ｄ２＊（ｄ４−ｄ２）＊Ｂ
（４）スラスト板外周の容量＞スラスト板での気泡発生量
スラスト板外周の容量は、気泡発生量より大きいスペースを設定する
ｄ２＊（ｄ４−ｄ２）＊Ｂ＞ｄ１＊（（ｄ３−ｄ１）−（ｄ２−ｄ３））＊Ｂ
よって、
ｄ２（ｄ４−ｄ２）＞ｄ１（（ｄ３−ｄ１）−（ｄ２−ｄ３））
この式はスラスト板外周部の容量は、気泡Ｃの発生量より大きくなけらばならないことを示している。
（ｄ１／ｄ２）＊（（ｄ３−ｄ１）−（ｄ２−ｄ３））の導き
回転すると軸受内では、動圧により、圧力が高くなり、シャフトを支持している。長期運転するとスラスト動圧発生部より、気泡が発生する。一方、軸受内では、圧力の低い箇所も発生する。気泡は圧力の低い箇所に集まり、圧力が下がることで気泡の容積が増加する特徴を持っている。圧力均等とは、潤滑流体の圧力が釣り合っている状態のことで、圧力が釣り合うように潤滑流体の移動が生じる。この時、スラスト動圧発生部から発生した気泡は、圧力の低い固定スラスト板の外周に溜まる。この気泡の容積は下記のようになる。
（１）最大圧力発生部の両側で潤滑流体量が同じ
（２）スラスト板での気泡発生量…最大圧力発生部の両側の容量差
ｄ１＊（（ｄ３−ｄ１）−（ｄ２−ｄ３））＊Ｂ
（３）気泡はスラスト板の外周のできる（圧力が低い箇所）
ｄ２＊（ｄ４−ｄ２）＊Ｂ
（４）スラスト板での気泡発生量＝スラスト板の外周にできる気泡
ｄ２＊（ｄ４−ｄ２）＊Ｂ＝ｄ１＊（（ｄ３−ｄ１）−（ｄ２−ｄ３））＊Ｂ
（５）スラスト板外周での気泡の厚み
ｄ４−ｄ２＝（ｄ１／ｄ２）＊（（ｄ３−ｄ１）−（ｄ２−ｄ３））
この式はスラスト板外周部の気泡の厚みを表している。
【００３６】
よって、回転スリーブの凹部の開口部内径の幅は、ラジアル方向の片側の隙間（ｄ４−ｄ２）／２より大きくする。（ｄ４−ｄ２）／２が逆に小さくなるとスラスト板の動圧発生部に気泡が入りこんでしまい、安定した軸受にならず、信頼性も低下する。
【００３７】
−  検  証  −
図９（ａ）に示す透明な回転スリーブ２を形成し、実際に気泡の発生を確認したところ、前記凹部１０のうちの外周側の上部の矢視Ａに注目すると、ｄ２（ｄ４−ｄ２） ＜ ｄ１（（ｄ３−ｄ１）−（ｄ２−ｄ３））の場合には、図９（  ｂ）に示すように凹部１０の外周部の上部に溜まった気泡Ｃが動圧発生部に混入する。このように気泡Ｃが動圧発生部に混入した場合には、特性の劣化が見られ、特にハードディスク駆動装置の軸受装置としては好ましくない。一方、ｄ２（ｄ４−ｄ２）＞ｄ１（（ｄ３−ｄ１）−（ｄ２−ｄ３））設定した場合には、図９（ｃ）に示したように気泡Ｃが動圧発生部に混入しないことが確かめられ、良好な特性を得ることができ、特にハードディスク駆動装置の軸受装置として好ましい。
【００３８】
なお、上記の各実施の形態では固定スラスト板９の上面の動圧発生溝１５について説明したが、固定スラスト板９の下面の動圧発生溝１６についても同様であり、動圧発生溝１５，１６をプレス加工で作成する場合には、動圧発生溝１５，１６のｄ３の位置を同一に設定することが固定スラスト板９の加工性が良好である。
【００３９】
なお、上記の実施の形態では動圧発生溝１５，１６をヘリングボーン溝で構成したが、これに限定されるものではなく、その他の形状の溝で構成することもできる。したがって、本発明では、スラスト側動圧発生部に形成された動圧発生用グルーブの最大圧力発生部位の位置を基準に技術範囲を限定している。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
本発明は、ＯＡ機器やＡＶ機器に使用される各種駆動モータなどに使用されている回転駆動部を、長期間にわたって安定に動作させることができ、信頼性の高い装置の実現に寄与できる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の実施の形態の断面図
【図２】同実施の形態の要部の拡大図
【図３】同実施の形態の要部の拡大図
【図４】同実施の形態のスラストがたの隙間と耐衝撃の測定図
【図５】同実施の形態の固定スラスト板のヘリングボーン溝を示す平面図と断面図
【図６】従来の流体軸受装置の断面図
【図７】図６の要部の拡大図
【図８】一般的な固定スラスト板のヘリングボーン溝を示す平面図
【図９】本発明の実施の形態の具体的な設定状態を検証した説明図
【符号の説明】
【００４２】
１    固定軸
２    回転スリーブ
３    下ケース
４    ハードディスク
５    ラジアル側動圧発生部
６    動圧発生溝
７    雄ねじ部
８    延長軸
９固定スラスト板
１０    回転スリーブの側の凹部
１１    回転スラスト板の中心孔
１２    回転スラスト板
１３    ネジ
１４    スラスト側動圧発生部
１５，１６    固定スラスト板の動圧発生溝
１７    ステータ巻線
１８    マグネット
１９    上ケース
２０    ネジ
２１    潤滑流体
２４    ネジ
【図１】
2005106292.tif 000003
【図２】
2005106292.tif 000004
【図３】
2005106292.tif 000005
【図４】
2005106292.tif 000006
【図５】
2005106292.tif 000007
【図６】
2005106292.tif 000008
【図７】
2005106292.tif 000009
【図８】
2005106292.tif 000010
【図９】
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