(57)【要約】【課題】  複数の処理ユニットを備えた半導体処理装置において、処理ユニットのメンテナンス時に、特定人の操作端末からのみ被メンテナンスユニットを操作できる操作端末の排他管理方法を提供する。【解決手段】  複数の処理ユニット１−１〜１−４，２を有する半導体製造装置１０を構成する処理ユニットのメンテナンス時における操作端末３−１〜３−３の排他管理方法であって、メンテナンスを行う処理ユニットに対して操作を行うことができる占有者と、使用する操作端末を該当する処理ユニットで１つのみ登録可能である、管理表を持たせた。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の処理ユニットを有する半導体製造装置を構成する処理ユニットのメンテナンス時における操作端末の排他管理方法であって、
メンテナンスを行う処理ユニットに対して操作を行うことができる占有者と、使用する操作端末を該当する処理ユニットで１つのみ登録可能である、管理表を持つことを特徴とする
半導体製造装置のメンテナンス操作時における操作端末の排他管理方法。
【請求項２】
処理ユニットに対する占有を、操作端末単位で行うのではなく、操作する人（占有者）単位で登録することを特徴とする請求項１に記載の半導体製造装置のメンテナンス操作時における操作端末の排他管理方法。
【請求項３】
操作端末の変更時に、新たな操作端末を登録することによって、それまで登録されていた操作端末が自動的に削除されることを特徴とする請求項１に記載の半導体製造装置のメンテナンス操作時における操作端末の排他管理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の処理ユニットを有して構成される半導体製造装置の保守（メンテナンス）時における操作端末の排他的な管理方法に関する。すなわち、本発明は、半導体製造装置を構成する処理ユニットのメンテナンス時における操作端末の排他的な管理方法にかかり、特に半導体ウエハや液晶表示用基板等の被処理体に対してエッチングや成膜等の処理を施す処理ユニットの保守時における操作端末の排他的な管理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの処理工程においては、エッチング、アッシング、成膜処理等様々な処理があり、これらに対応した様々な半導体処理装置が広く用いられている。これらの半導体処理装置は、一定時間処理を行なうと処理室そのものをクリーニングしたり、さらには、検出器の交換などのメンテナンスを行うことが必要となる、このメンテナンスには、多大な時間が必要であり、その間製品の製造が停止する。したがって、製品製造工程そのものを停止させないためには、半導体処理装置を複数台設置することがあるが、設置面積、部品の共通化を考慮して、半導体処理装置内の処理部位をユニット化し、複数の処理ユニットを組み合せて１つの半導体製造装置とするケースが増えている。
【０００３】
図９は、このようなマルチチャンバシステムを採用した半導体製造装置の概要を説明する斜視図である。図９に示すように、半導体製造装置１０は、複数の処理ユニット（ＰＵ１）１−１〜（ＰＵ４）１−４と、搬送処理ユニット（ＴＵ）２とを１つのまとまりとして構成されている。複数の処理ユニット（ＰＵ１）１−１〜（ＰＵ４）１−４は、例えば、エッチング処理ユニット、アッシング処理ユニット、成膜処理ユニットであってよく、これらの処理ユニットの少なくとも２以上の組み合せであっても良い。
【０００４】
このような複数の処理ユニットを含む半導体製造装置においては、装置内のいずれかの処理ユニットをメンテナンスするときには、メンテナンスを行う処理ユニット（以下、被メンテナンスユニットという場合がある）単位に作業を行い、他の処理ユニットは製品製造を継続している。
【０００５】
すなわち、複数の処理ユニットを有する半導体処理装置において、処理ユニットのメンテナンスを行う場合、検出器の検出状況、ゲートバルブの作動状況等を確認するために、被メンテナンスユニット内の各機器を手動で操作することが必要となる。この手動操作は、半導体製造装置に接続された操作端末の画面から、必要な操作器具を操作することによって実現している。
【０００６】
１つの搬送処理ユニットＴＵと複数の処理ユニットＰＵからなる半導体製造装置においては、メンテナンスは、それぞれの処理ユニットごとに行うか、複数の処理ユニットに対して同時に並行して行っており、その他の処理ユニットは製品の製造を行っている。図１に示すように、ある処理ユニット（ＰＵ１）１−１をメンテナンスする際には、被メンテナンスユニット（ＰＵ１）１−１を手動操作モードとし、被メンテナンスユニットの近傍に設けた操作端末３−１から例えばバルブ開閉などの手動操作を行っている。このような状況において、半導体製造装置に設けた他の操作端末３−２から被メンテナンスユニット（ＰＵ１）１−１を手動操作することが可能なようにされていると、メンテナンス担当者の知らないところで被メンテナンスユニットが動作してしまい、危険である。
【０００７】
したがって、このようなメンテナンス方式を採用する半導体製造装置においては、装置に複数の操作端末を設けている場合、ある操作端末によって管理されている被メンテナンスユニットに対して他の管理端末からの操作を排除する操作端末排他機能を持つことが必要となる。一方、複数の処理ユニットに関連したメンテナンスを同時に行う場合等では、操作端末を複数台使用したい場合も生じる。これらに対して操作端末間の排他を適切に行える管理方法が必要となる。
【０００８】
また、半導体製造装置では、メンテナンスをする処理ユニットに近い位置に操作端末を置くことを可能とし、また複数の操作端末を設けることによって、複数の処理ユニットに対して並行して操作を行うことを可能としている。例えば、第１の処理ユニットに対してはメンテナンス操作を行い、第２の処理ユニットに対しては、サービスシーケンスを、各々並行して実行することも可能とされている。
【０００９】
ところが、複数の操作端末を配置した場合、メンテナンス中の処理ユニットに対して何ら関係のない操作端末から誤って操作した場合には、安全上問題となる。この問題は、操作する操作端末を特定するための切替スイッチを、ハードまたはソフト的に設け、操作可能な操作端末をどれか１つに特定することで、解決している（例えば、特許文献１または特許文献２参照）。
しかしながらこれらの解決方法では、複数のオペレータが各々異なる処理ユニットを並行してメンテナンスするような場合には、操作端末が１つに限定されてしまい、操作端末の取り合いになる等の問題が残っていた。
【特許文献１】特開平３−１３７７１４号公報
【特許文献２】特開平９−１７４１２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、上記問題を解決することを目的とし、具体的には、複数の処理ユニットを備えた半導体処理装置において、処理ユニットのメンテナンス時に、特定人の操作端末からのみ被メンテナンスユニットを操作できる、操作端末の排他管理方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記課題を解決するために、本発明は、複数の処理ユニットを有する半導体製造装置の処理ユニットのメンテナンス時における操作端末の占有方法であって、メンテナンスユニットに対する占有を、操作端末単位ではなく、操作する人単位に占有することにより達成される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施例を、図１から図８を用いて説明する。この実施例は、半導体製造工場におけるエッチング装置（半導体製造装置）に本発明を使用した場合の使用例である。
【００１３】
図１では、エッチング装置（半導体製造装置）１０は、複数の処理ユニット（ＰＵ１）１−１〜（ＰＵ４）１−４および搬送処理ユニット（ＴＵ）２で構成されており、それぞれのユニットは、装置全体を制御する制御ユニット４にバス４１を介して接続されて、この制御ユニット４によって制御される。さらにバス４１には、操作端末３が接続される端子４２−１〜４２−６が設けられている。製品製造工程であるエッチング処理は、これら各ユニットがエッチングに関する処理を行うことで実現する。
【００１４】
エッチング装置１０には、複数の操作端末（Ｔ１０１）３−１〜（Ｔ１０３）３−３が端子４２を介して接続されている。各ユニットをメンテナンスする際のバルブ等の手動操作、ユニットのリークを行うリークチェック等のサービスシーケンスの起動、或いは動作確認、またユニットの処理結果確認等のデータ表示、操作については、全てこれら操作端末に表示された画面に対し、操作を行うことで実現する。
【００１５】
図２に、処理ユニット毎の占有権を管理する管理表画面２００の構成を示す。この管理表画面２００内に示される管理表２０は、制御ユニット４１に格納されるとともに、操作端末３−１〜３−３に管理表画面２００として表示され、この管理表画面２００から設定操作を行う。
【００１６】
管理表２０には、エッチング装置１０を構成する処理ユニットの名称２１、現在処理ユニットおよび操作端末を占有している人の名前２２、操作している操作端末の名前２３を、管理データとして記述している。管理表画面２００には、管理表２０の他に、リサーブ（Ｒｅｓｅｒｖｅ）ボタン２５、リリース（Ｒｅｌｅａｓｅ）ボタン２６、端末交換（ＴＥＲＭＩＮＡＬ  ｃｈａｎｇｅ）ボタン２７、閉じ（Ｃｌｏｓｅ）ボタン２８が表示される。図２においては、搬送処理ユニット（ＴＵ）２は人Ｓｍｉｔｈが操作端末（Ｔ１０３）３−３にて占有し、処理ユニット（ＰＵ１）１−１は人Ｊｏｈｎが操作端末（Ｔ１０１）３−１にて占有し、処理ユニット（ＰＵ２）１―２、（ＰＵ３）１−３、（ＰＵ４）１−４は占有無しの状態を示す。
【００１７】
図３は、図２に示した管理表画面２００の場合に対応した、エッチング装置１０の占有状態を模式的に示す図である。搬送処理ユニット（ＴＵ）２は、人Ｓｍｉｔｈ３１が操作端末（Ｔ１０３）３−３を占有してメンテナンスしており、処理ユニット（ＰＵ１）１−１は、人Ｊｏｈｎ３２が操作端末（Ｔ１０１）３−１を占有してメンテナンスをしている。
【００１８】
図２内に示された管理表２０の場合、人Ｓｍｉｔｈ３１がメンテナンスしている搬送処理ユニット（ＴＵ）２については、操作できる端末は操作端末（Ｔ１０３）３−３のみであり、操作者はＳｍｉｔｈ３１のみとされ、他の端末からは操作できないようにされる。すなわち、Ｊｏｈｎが操作端末（Ｔ１０３）３―３から搬送処理ユニット（ＴＵ）２を操作しようとしても、制御ユニット４１は、管理表２０を参照して、Ｊｏｈｎが操作端末（Ｔ１０３）３−３の占有権を有していないことから、搬送処理ユニット（ＴＵ）２の操作を拒否する。また、Ｊｏｈｎが自己が占有権を有する操作端末（Ｔ１０１）３−１から搬送処理ユニット（ＴＵ）２を操作しようとしても、制御ユニット４１は、管理表２０を参照して、操作端末（Ｔ１０１）３−１が搬送処理ユニット（ＴＵ）２の占有権を有していないことから、搬送処理ユニット（ＴＵ）２の操作を拒否する。
【００１９】
しかし、人Ｓｍｉｔｈは、自己がメンテナンスしている搬送処理ユニット（ＴＵ）２については操作端末（Ｔ１０３）３−３から自由に操作することが可能であり、搬送処理ユニット（ＴＵ）２のメンテナンスを効率的に行うことが可能となる。
【００２０】
また、人Ｊｏｈｎは、自己がメンテナンスしている処理ユニット（ＰＵ１）１−１については操作端末（Ｔ１０１）３−１から自由に操作することが可能であり、処理ユニット（ＰＵ１）１−１のメンテナンスを効率的に行うことが可能となる。
【００２１】
このようにして、複数の処理ユニットに対するメンテナンスを、安全に、かつ並行して行うことが可能となる。
【００２２】
ここで、一人の人が複数の処理ユニットに対して操作を行うことが必要となった場合を考える。たとえば、人Ｓｍｉｔｈは搬送処理ユニット（ＴＵ）２のメンテナンスに併せて、処理ユニット（ＰＵ４）１−４のメンテナンスも行うことが必要となった場合を例とする。
【００２３】
この場合、人Ｓｍｉｔｈは、新たに占有するユニットを設定するため、図２に示す管理表画面２００のリザーブボタン２５を押す。
【００２４】
これにより、操作端末（Ｔ１０３）３−３上に、図４に示す、新たに追加する処理ユニットを設定する設定画面２５０を表示する。図４に示す設定画面２５０には、処理ユニット名称２１、占有者名２２、操作端末名２３からなる管理表２０の他に、登録用チェック欄２５１と、ＯＫボタン２５２と、キャンセル（Ｃａｎｃｅｌ）ボタン２５３が表示される。設定画面２５０で、登録用チェック欄２５１の追加する処理ユニット（ＰＵ４）１−４の箇所にマークを設定し、ＯＫボタン２５２を押す。これにより、人Ｓｍｉｔｈは、処理ユニット（ＰＵ４）１−４の占有権も獲得し、搬送処理ユニット（ＴＵ）２と処理ユニット（ＰＵ４）１−４の双方を操作することが可能となる。
【００２５】
。
ここで、処理ユニット（ＰＵ４）１−４の操作を行う操作端末については、人Ｓｍｉｔｈが既に搬送処理ユニット（ＴＵ）２の占有権を獲得しているところの操作端末（Ｔ１０３）３−３と同じ操作端末とする。
【００２６】
人Ｓｍｉｔｈが新たに処理ユニット（ＰＵ４）１−４を占有した後の管理表画面２００を、図５に示す。図５では、新たに処理ユニット（ＰＵ４）１−４に、占有者Ｓｍｉｔｈと、操作端末（Ｔ１０３）３−３が登録されていることを表している。
【００２７】
なお、図４では、搬送処理ユニット（ＴＵ）２、処理ユニット（ＰＵ１）１−１については既に占有されているため、新たな占有設定は不可であり、チェックできないようにしてある。
【００２８】
次に、処理ユニットを操作する操作端末を変更する場合について考える。この操作端末の変更は、例えば、前記した処理によって被メンテナンスユニットが追加となり、操作する場所が変わったため、操作端末を変更することが必要になった場合、或いはそれまで使用していた操作端末にトラブルが発生し、操作端末を変更する場合等の原因が考えられる。
【００２９】
例として、前記自己の管理下に置く処理ユニット（ＰＵ４）１−４が追加された状況下で、人Ｓｍｉｔｈが、新たに処理ユニット（ＰＵ４）１−４のメンテナンスを行うため、操作端末をそれまでの操作端末（Ｔ１０３）３−３から操作端末（Ｔ１０２）３−２に変更する場合を説明する。
【００３０】
操作端末の変更は、まず変更先となる操作端末（Ｔ１０２）３−２に電源を投入し、操作端末が立上ったら、操作端末（Ｔ１０２）３−２上に、図５に示す管理表画面２００を表示する。表示された管理表画面２００に表示された端末変更ボタン２７を操作して、図６に示す端末変更確認（ダイアログ）画面２７０を表示し、この端末変更画面２７０上で、ユーザ名称Ｓｍｉｔｈでログインする。なおログインに際してはパスワード２７１を設け、Ｓｍｉｔｈ以外の人がＳｍｉｔｈの名前でログインできないようにする。端末変更画面２７０には、現在占有しているユニット名および操作端末も合わせて表示する。
【００３１】
占有者（ＯＣＣＵＰＡＮＴ）については、操作している操作端末（Ｔ１０２）に対してログインした人、すなわちＳｍｉｔｈとする、変更前操作端末はＳｍｉｔｈがそれまで操作していた操作端末（Ｔ１０３）とする。変更後操作端末は、今操作している操作端末（Ｔ１０２）とする。
【００３２】
変更する人Ｓｍｉｔｈは、自分のパスワードを入力し、ＯＫボタン５５を押す。これにより、人Ｓｍｉｔｈが占有していた際の操作端末が、操作端末（Ｔ１０３）３−３から操作端末（Ｔ１０２）３−２に変更される。変更後の管理表画面２００は、図７のようになる。以降、人Ｓｍｉｔｈは、操作端末（Ｔ１０２）１−２から搬送処理ユニット（ＴＵ）２および処理ユニット（ＰＵ４）１−４の操作を行うことが可能となり、また、操作端末（Ｔ１０３）３−３からの操作は不可となる。
【００３３】
前述した操作端末の変更では、操作端末（Ｔ１０３）３−３に対して一度占有権の開放に関する設定は行わない。すなわち、人Ｓｍｉｔｈは占有権を操作端末（Ｔ１０３）３−３から操作端末（Ｔ１０２）３−２へシームレスに変更することが可能であり、変更中に他の人が割り込むことを防ぐことが可能である。
【００３４】
次に、占有権の開放について説明する。例として、人Ｓｍｉｔｈが処理ユニット（ＰＵ４）１−４の占有を開放する場合を示す。
【００３５】
Ｓｍｉｔｈは、図７に示す操作端末（Ｔ１０２）３−２上の占有権の管理表画面２００から開放ボタン２６を押す。これにより、図８に示す占有権の開放を行うダイアログ画面である開放画面２６０を表示する。この開放画面２６０には、Ｓｍｉｔｈが現在占有している処理ユニットが表示される。Ｓｍｉｔｈは、開放する処理ユニット（ＰＵ４）１−４のチェック欄２６１にマークを付ける。Ｓｍｉｔｈのパスワードを入力し、ＯＫボタン２６２を押すことにより、処理ユニット（ＰＵ４）１−４の占有が開放される。開放後の占有管理表画面２００は、図２と同様となる。
【００３６】
以上のように、本発明により、複数の人が、並行して各ユニットのメンテナンス等の操作を行うことが可能となり、また自分が占有している操作端末以外からは被メンテナンスユニットの操作ができないという、安全面の問題を解決することができた。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明が適用される複数の処理ユニットを有する半導体製造装置の構成の概要を説明する図。
【図２】本発明に用いる管理表画面（初期設定時）を説明する図。
【図３】半導体製造装置に本発明が適用された状況を説明する図。
【図４】本発明に用いる設定画面を説明する図
【図５】本発明に用いる管理表画面（処理ユニット追加時）を説明する図。
【図６】本発明に用いる操作端末交換画面を説明する図。
【図７】本発明に用いる管理表画面（端末変更時）を説明する図。
【図８】本発明に用いる開放画面を説明する図。
【図９】半導体製造装置の構造の概要を説明する斜視図。
【符号の説明】
【００３８】
１…処理ユニット（ＰＵ）、２…搬送処理ユニット（ＴＵ）、３…操作端末（Ｔ）、４…制御ユニット、１０…半導体製造装置、２０…管理表、２１…処理ユニット名、２２…占有者名、２３…操作端末名、２５…リザーブボタン、２６…リリースボタン、２７…ターミナルチェンジボタン、２８…クローズボタン、４１…バス、４２…端子、２００…管理表画面、２５０…設定画面、２５１…チェック欄、２５２…ＯＫボタン、２５３…キャンセルボタン、２６０…開放画面、２６１…チェック欄、２６２…ＯＫボタン、２６３…キャンセルボタン、２７０…端末変更確認画面、２７１…パスワード、２７２…ＯＫボタン、２７３…キャンセルボタン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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