(57)【要約】【課題】  基板上に一層の感光性樹脂層を形成して露光現像着色をするだけでカラーフィルターを製造する方法の提供。【解決手段】  （ａ）基板上にポジ型感光性樹脂層を形成する工程、（ｂ）該感光性樹脂層を所定の着色パターンに応じて選択的に露光して潜像を形成する工程、（ｃ）該成光性樹脂層を着色溶液と接触することにより着色パターンを顕在化する工程および（ｄ）必要に応じて（ｂ）と（ｃ）の工程を繰り返して複数色の着色パターンを形成する工程を含むカラーフィルターの製造方法。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）基板上にポジ型感光性樹脂層を形成する工程、（ｂ）該感光性樹脂層を所定のパターンに応じて選択的に露光して潜像を形成する工程、（ｃ）該感光性樹脂層を着色溶液と接触することにより着色パターンを顕在化する工程および（ｄ）必要に応じて（ｂ）と（ｃ）の工程を繰り返して複数色の着色パターンを形成する工程を含むカラーフィルターの製造方法。
【請求項２】
感光性樹脂層が露光によりガスが発生して空隙が多数発生する請求項１記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項３】
ポジ型感光性樹脂層が（ａ）α，β−エチレン性不飽和カルボン酸のｔ−ブチルエステル基を有する重合体、またはフェノールのｔ−ブチルカルボナート基を有する重合体、および（ｂ）露光により酸を生じる光活性剤、を含有する組成物である請求項１記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項４】
ポジ型感光性樹脂層がキノンジアジド化合物を感光剤として高分子樹脂に組合わせたものであることを特徴とする請求項１記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項５】
選択的露光が所定のパターンを持つマスクを用いて行う請求項１記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項６】
マスクのパターンの一部が光の透過率の異なる部分を有する請求項５記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項７】
着色溶液と接触することが、インクジェットノズルによるインクの吐出により行われる請求項１記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項８】
得られた着色パターンの中に着色されていない領域が存在する請求項１記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項９】
着色されていない領域が各画素の一部を構成する請求項８記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか記載の製造方法により得られたカラーフィルターを、液晶層を挟む基板の少なくとも一方に設けた液晶表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液晶表示装置などのカラー表示装置に用いるカラーフィルターの製造方法およびそれを用いた液晶表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置用のカラーフィルターは透明基板上に着色層を形成したものであり、現在種々の方法により製造されている。例えばカラーレジストのフォトリソグラフィー法、印刷法や電着法等を用いて基板上にカラー着色層が形成されている。
【０００３】
それらの方法の中で、ポリシランを用いた層を基材上に形成し、そのポリシラン層を露光した後、着色することによるカラーフィルターの製造方法が提案されている（特開平５−１８８２１５号公報；特許文献１）。この方法は、樹脂層を一回形成した後、その樹脂層を直接着色していく方法であって、樹脂層の剥離・除去や別の樹脂層の形成などの処理が少なく、製造方法としては優れたものである。また着色する方法も染料のみならず顔料も利用でき、耐候性のよいカラーフィルターが製造できる。しかしながら、この方法の欠点は、露光することによりポリシラン自体の骨格を切断することになり、主鎖自体の分子を切断することにより寸法安定性がよくなく、カラーフィルターの画素が動くことがある。
【０００４】
一方、特公平２−２７６６０号公報（特許文献２）には、カルボン酸のｔ−ブチルエステルまたはフェノールのｔ−ブチルカルボナートよりなる、酸に対して不安定な反復的に存在する枝分かれした基を有する重合体と、光照射されると酸を生じる光重合開始剤とを含むレジスト組成物が開示されている。このレジスト組成物は、光が当った部分が酸性に変化して、アルカリ性の溶液でその露光部分を除去することにより、露光部分の樹脂が除かれる役目を果たすポジ型レジスト組成物として用いられている。
【０００５】
また、米国特許５，０５５，３７４号公報（特許文献３）には、キノンジアジド化合物を感光剤として用い、酸基または塩基性基を有する樹脂と組合わせたポジ型感光性組成物が記載されている。この特許文献３の組成物もポジ型感光性樹脂組成物であって、露光した部分を除去することによりレジストとしての働きを有する。
【特許文献１】特開平５−１８８２１５号公報
【特許文献２】特公平２−２７６６０号公報
【特許文献３】米国特許５，０５５，３７４号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明者らは、特許文献１のような樹脂層を形成したまま、その層に簡単に着色していく方法を完成することを目標に検討してきた。この目標に対し、特許文献２あるいは３に記載のポジ型感光性樹脂組成物が、露光部分にガスが発生して微細な空隙が多数形成されることにより、顔料や染料による着色が容易になる事実を発見した。このポジ型感光性組成物を用いた場合には、特許文献１のポリシラン樹脂のように樹脂骨格そのものを切断するようなものではなく、樹脂の側鎖が化学的反応により変化するものであり、寸法安定性などの物理的性能は極めてよい。特に、ポジ型感光性組成物は露光により小さな空隙がたくさん形成されるということは、本発明により初めて認識され、その有効利用を確立したものであり、従来それらの認識はなかった。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
即ち、本発明は（ａ）基板上にポジ型感光性樹脂層を形成する工程、（ｂ）該感光性樹脂層を所定の着色パターンに応じて選択的に露光して潜像を形成する工程、（ｃ）該感光性樹脂層を着色溶液と接触することにより着色パターンを顕在化する工程および（ｄ）必要に応じて（ｂ）と（ｃ）の工程を繰り返して複数色の着色パターンを形成する工程を含むカラーフィルターの製造方法を提供する。
【０００８】
前述のように、上記カラーフィルターの製造方法は、感光性樹脂層に露光によりガスが発生し、微細な空隙がたくさん形成されることにより着色が可能となる。
【０００９】
感光性樹脂層は、上記特許文献２のような、化学増幅型のポジ型レジストであってもよい。
【００１０】
また、ポジ型感光性樹脂層は、特許文献３のような、キノンジアジドを含有する樹脂組成物であってもよい。
【００１１】
選択的な露光はパターンを有するマスクにより行い得るが、このマスクは光の透過率が異なる部分を有していてもよい。光を多く透過する部分はガスがたくさん発生して、着色度が高くなる。透光性が弱い部分には、そのような空隙が少なくなり、着色の度合いが低くなる。
【００１２】
本発明はまた、上記のようにして得られたカラーフィルターを組込んだ液晶表示装置をも提供する。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の構成によれば、基材上に一層の樹脂層を形成し露光するだけで、その部分を着色しうる非常に簡単なカラーフィルターの製造方法を提供するものである。しかも、このフィルタの製造方法によれば、寸法安定性などの物理的特性もよく、品質の高いカラーフィルターが製造することができる。また、本発明の方法によれば、露光フィルターの露光部分の光の透過率を変更させることにより、若干着色度が異なった部分を形成することができ、透過型液晶表示装置や反射型液晶表示装置向けカラーフィルターの製造を極めて効率良く行うことができるため、これらのカラーフィルターの生産性を大きく高めることができるようになる。本発明のカラーフィルターは、液晶層を挟む少なくとも一方に用いて、液晶表示装置として利用する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明のカラーフィルターの製造方法ではまずポジ型感光性樹脂層が基板上に形成される。基板は基本的には透明であって、着色工程後も透明性が阻害されない耐溶剤性を有するものであれば特に限定されない。具体的には、ポリエステルフィルム、ポリエーテルスルホンフィルムおよびガラス板などが有効である。ガラス板を基板として用いることが特に好ましい。基板の厚さは用いる材質の強度に依存して変化する。例えば、ガラス板を用いる場合は、カラーフィルタ材料としての強度の観点から０．２〜１．２ｍｍの範囲の厚さのものが好ましい。このような基板上にポジ型感光性樹脂層が形成される。均一な厚さの樹脂層を形成可能であれば、形成方法は特に限定されない。一般にスピンコート法を用いるのが好ましい。
【００１５】
ポジ型感光性樹脂層は、露光した部分が化学的に変化をして染料や顔料により着色することができるものであれば特に限定的ではない。前述のように、ポジ型感光性樹脂層が露光によりガスを発生し、肉眼では認識できないような微細な空隙が多数形成されるものが好ましい。そのようなものの例としては、特公平２−２７６６０号公報（特許文献２）に記載のカルボン酸のｔ−ブチルエステル基またはフェノールのｔ−ブチルカルボナート基を有するポリマーと光照射により酸を発生する化合物との組合わせが挙げられる（化学増幅型のポジ型レジスト）。また米国特許第５０５５３７４号（特許文献３）に記載のキノンジアジド化合物を感光剤として用いてまたは塩基性基を有する樹脂と組合わせた系を用いることができる。露光によりガスを発生するメカニズムは、必ずしも限定的ではないが、化学増幅型のｔ−ブチルエステル基を有するポリマーの場合、以下の化学反応式が考えられている。
【化１】
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【００１６】
化学増幅型のポジ型レジストは、カルボン酸のｔ−ブチルエステルまたはフェノールのｔ−ブチルカルボナートを含む基を有する重合体を形成する必要があり、特にα，β−エチレン性不飽和カルボン酸のｔ−ブチルエステルを用いてそれらを他のα，β−エチレン性不飽和化合物と重合させることにより得られるポリマーが好適に用いられる。ｔ−ブチルエステルを形成するα，β−エチレン性不飽和カルボン酸の例としては、アクリル酸、メタクリル酸、プロトン酸などのモノカルボン酸；マレイン酸、フマル酸、シタラコン酸、メサコン酸、イタコン酸などのジカルボン酸；無水マレイン酸、無水イタコン酸などの酸無水物；マレイン酸モノエチル、フマル酸モノエチル、イタコン酸モノエチルなどのジカルボン酸のモノエステル類などが挙げられる。ｔ−ブチル基を有する他の重合性化合物の例としては、ｐ−ｔ−ブトキシカルボニルオキシ−α−メチルスチレン、ｐ−ｔ−ブトキシカルボニルオキシスチレン、ｔ−ブチル−ｐ−ビニルベンゾエート、ｔ−ブチル−ｐ−イソプロペニルフェニルオキシアセテート等が利用できる。また、それらのｔ−ブチル基を有するモノマーと反応しうる他のエチレン性不飽和化合物としては、例えばメタクリル酸アルキルエステル（例えば、メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、ｎ−ブチルメタクリレートなど）、アクリル酸アルキルエステル（例えば、イソブチルアクリレート、メチルアクリレートなど）、メタクリル酸環状アルキルエステル（例えば、シクロヘキシルメタクリレート、２−メチルシクロヘキシルメタクリレートなど）、アクリル酸環状アルキルエステル（例えば、シクロヘキシルアクリレート、２−メチルシクロヘキシルアクリレートなど）、メタクリル酸アリールエステル（例えば、フェニルメタクリレート、ベンジルメタクリレートなど）、アクリル酸のアリールエステル（フェニルアクリレート、ベンジルアクリレートなど）、ジカルボン酸のジエステル（例えば、マレイン酸ジエチル、フマル酸ジエチル、イタコン酸ジエチルなど）、メタクリル酸ヒドロキシアルキルエステル（例えば、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシブチルメタクリレートなど）、スチレン、α−メチルスチレン、ｏ−メチルスチレン、ｎ−メチルスチレン、ｐ−メチルスチレン、ビニルトルエン、ｐ−メトキシスチレン、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、塩化ビニル、塩化ビニリデン、アクリルアミド、メタクリルアミド、酢酸ビニル、エチレン、プロピレン、ブタジエン、ビニルアルコールなどが挙げられる。上記二種類の不飽和化合物は、ｔ−ブチルエステル基を有するモノマー２０〜９０重量％とその他のエチレン性不飽和化合物８０〜１０重量％の量で重合してよい。得られたポリマーは数平均分子量５００〜３００００の範囲である。重合反応は通常の方法が用いられ、溶液重合、懸濁重合、乳化重合などの方法が一般的である。
【００１７】
化学増幅型のポジ型レジスト組成物では、光に曝された時に強い酸を生じるすべての物質が光重合開始剤として用いられる。もっとも好ましい光重合開始剤はアリールヨードニウム塩またはポリアリールスルホニウム塩である。ポリアリールセレニウム塩も有効である。置換されたアリールジアゾニウム塩も同様に用いられる。本発明における塩のもっとも好ましい対アニオンは、テトラフルオロホウ素酸塩、ヘキサフルオロアンチモン酸塩、ヘキサフルオロヒ素酸塩およびヘキサフルオロリン酸塩のごとき錯体金属ハロゲン化物である。光照射時に酸を発生する光重合開始剤の使用量は、重合体に対し１〜１００重量％の範囲である。好ましくは５〜５０重量％である。
【００１８】
キノンジアジド型のポジ型レジスト組成物は前述のようにキノンジアジド化合物を感光剤として酸基または塩基性基を有する樹脂と組合わせた系が好適である。感光基であるキノンジアジドを樹脂骨格に導入される相手となる樹脂としては変性のノボラック樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル、エポキシ、ジエン系樹脂、マレイン酸変性樹脂、変性アルキド樹脂などが挙げられる。導入法はキノンジアジドユニットを含む化合物の酸クロライドを樹脂中に導入されたフェノール性水酸基またはアミノ基に反応せしめることにより容易に製造される。
【００１９】
本発明の感光性樹脂層を形成した後、その感光性樹脂層を所定の着色パターンを有するマスクを用いて選択的に露光して潜像を形成する必要がある。このマスクは、前述ように光透過率の異なる部分を有していてもよく、また光透過率が同一であってもよい。光透過率の異なる部分を有する場合には、光がよく透過する部分には着色が多くなり、光があまり透過しない部分には着色が薄くなるように着色パターンを形成することができる。
【００２０】
露光し潜像を形成した後、着色溶液と接触することにより着色パターンを顕在化することが必要である。着色溶液は、染料や顔料の水または有機溶媒の溶液や分散液であってもよい。本発明に用い得る染料・顔料は、アルコールや水に溶解もしくは分散できる染料または顔料である。このような染料・顔料はポジ型感光性樹脂層の露光部分に吸着されると考えられる。その結果、フィルタ材料が露光パターンに応じて着色される。
【００２１】
このような染料には、塩基性染料、油溶性染料および、分散染料が含まれる。本発明に好適に使用し得る染料のＣ．Ｉ．Ｎｏ．の例を以下に示す。
【００２２】
塩基性染料としては、ベーシック・レッド（Basic Red）１２、ベーシック・レッド２７、ベーシック・バイオレット（Basic Violet）７、ベーシック・バイオレット１０、ベーシック・バイオレット４０、ベーシック・ブルー（Basic Blue）１、ベーシック・ブルー７、ベーシック・ブルー２６、ベーシック・ブルー７７、ベーシック・グリーン（Basic Green）１およびベーシック・イエロー（Basic Yellow）２１が挙げられる。
【００２３】
油溶性染料としては、ソルベント・レッド（Solvent Red）１２５、ソルベント・レッド１３２、ソルベント・レッド８３、ソルベント・レッド１０９、ソルベント・ブルー（Solvent Blue）６７、ソルベント・ブルー２５、ソルベント・イエロー（Solvent Yellow）２５、ソルベント・イエロー８９、ソルベント・イエロー１４６が挙げられる。
【００２４】
分散染料としては、ディスパース・レッド（Disperse Red）６０、ディスパース・レッド７２、ディスパース・ブルー（Disperse Blue）５６、ディスパース・ブルー６０、ディスパース・イエロー（Disperse Yellow）６０が挙げられる。
【００２５】
これらの中で特に耐熱性、耐光性に優れる含金属系の油溶性染料がカラーフィルター材料として適する。
【００２６】
顔料はアルコールや水に分散させても良い。カラーフィルター材料に使用する場合は可視光波長より小さな粒子径まで分散させることが望ましい。着色溶液の生成方法はゾルーゲル法（特開平５−２７３４１０号）、染色法（特開平５−１８８２１４号）、電着法（特開平６−４７７７８２号）およびシランカップリング法（特開平８−２６２７２７号）で用いられている着色溶液が作用できる。本発明に好適に使用し得る顔料のＣ．Ｉ．Ｎｏ．の例を以下に示す。
【００２７】
ピグメント・レッド（Pigment Red）２２０、ピグメント・レッド２２１、ピグメント・レッド５：３：１、ピグメント・ブルー（Pigment Blue）１５：３、ピグメント・ブルー６０、ピグメント・グリーン（Pigment Green）７、ピグメント・バイオレット（Pigment Violet）３７が挙げられる。
【００２８】
本発明において、着色溶液との接触とは、着色溶液中に浸漬するようなことで行ってもよいが、例えばインクジェットノズルからインクを吐出するような方法で接触を行ってもよい。本発明によれば、露光された部分には染料や顔料が吸着もしくは化学的な反応により付着し、露光されていない部分にはそのようなインクは付着せず取除かれる。
【００２９】
本発明によれば、上述のようにまず一色のパターンを形成した後、上記工程の（ｂ）と（ｃ）の工程を所定の色で繰り返してフルカラーの着色カラーフィルターを得てもよい。具体的には、青、赤、緑と黒の四色で着色するのが一般的である。黒は一般的にブラックストライプと呼ばれる線を形成するものである。カラーフィルターは必ずしも全ての部分が着色される必要はなく、一部分に着色されてない部分を有してもよい。着色されない部分は、各画素の一部であってもよい。着色されない部分を設けるためには、マスク中に一度も露光されない部分を形成するようにパターンを設ける必要がある。
【００３０】
全ての着色が終った最後に、着色基板全体を加熱することにより、架橋反応を引き起こし着色フィルター部分を固定化する。架橋反応は、露光によって生じた酸基が縮合反応することによって起こると考えられる。加熱温度は１５０〜２６０℃で５〜３００分間が一般的であるが、この範囲に拘らない。
【００３１】
本発明のカラーフィルターの製造方法を図面を用いてさらに詳細に説明する。図１は本発明のカラーフィルターの製造方法を上から順に示す製造工程を示す工程図である。図２は、本発明のカラーフィルターの製造方法を示す工程であるが、各画素の中心部に着色されていない部分を形成する場合を特に示している。
【００３２】
図１（Ａ）は基板１が示されており、図１（Ｂ）では基板上にポジ型感光性樹脂組成物層が形成されている。図１（Ｃ）では感光性樹脂組成物上にマスク３が載せられ、露光される。図１（Ｄ）では露光部分に潜像が形成されているのを示し、図１（Ｅ）はその露光部分にブラック（黒）の着色を施された状態を示す。図１（Ｆ）にはその露光が施されていないポジ型感光性樹脂の一部を露光するためのマスク３’が載せられ、露光が施されて潜像が図１（Ｇ）の状態に形成される。図１（Ｈ）ではその露光部分に赤（Ｒ）の着色が施されいる状態を示している。さらに、図１（Ｉ）ではマスク３”が載置され、図１（Ｊ）では露光により潜像が形成され、図１（Ｋ）ではその部分に緑（Ｇ）の着色が施されている。図１（Ｌ）では別のマスク３'''が載せられ、同じく露光着色が行われ、青（Ｂ）の着色が施されて最終的に図１（Ｎ）に示すようなカラーフィルターが形成される。図２も図１と全く同様に形成されるが、青、赤および緑の画素を形成するマスク３’、３”および３'''中の画素中央部に未露光部分（着色されない部分）を形成するパターンマスク１０、１１および１２が存在している。
【実施例】
【００３３】
本発明を実施例によりさらに詳細に説明する。本発明はこれら実施例に限定されるものと解してはならない。
【００３４】
ポジ型感光性樹脂組成物の調製１
２．０ｇのアゾビスイソブチロニトリルを含む５０ｇのトルエン中にｔ−ブチルメタクリレート６５．０ｇ、ブチルアクリレート２０．０ｇおよびメチルメタクリレート２０．０ｇを加え、窒素気流中で６０℃で１０時間加熱撹拌を行った。冷却後反応生成物をテトラヒドロフランで希釈し、石油エーテル／メタノールで洗浄した。重合体は９３．０ｇ（収率９３％）および数平均分子量（ＧＰＣ）２２０００であった。この重合体をプロピレングリコールメチルエーテルアセテー中に固形物が２０重量％になる様に溶解し、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネートを重合体に対して２０重量％加えて、ポジ型感光性樹脂組成物を得た。
【００３５】
ポジ型感光性樹脂組成物の調製２
遮光下に撹拌機，滴下ロート，温度計を装着した３つ口フラスコにノボラック樹脂（ＯＨ当量：１２５）１２５ｇ（１モル）、１，２−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸クロライド６７ｇ（０．２５モル）、１，４−ジオキサン３００ｇ、メタノール１００ｇを仕込み、１時間撹拌しながら溶解させた。フラスコを２５℃に調整したウォーターバス中に浸し、トルエチルアミン２６．５ｇ（０．２６３モル）を内温が３０℃を超えないように滴下した。その後、１時間熟成させ、０．１規定の塩酸水１５００ｃｃに注ぎ込んで、上澄み液をデカンテーションで取り除き、析出物を８００ｇの酢酸エチルに抽出し、水洗、分液した後に、４０℃で減圧ストリップを行い、１，２−ナフトキノンジアジドスルホニル基導入ノボラック樹脂１９１ｇを得た。
【００３６】
実施例１
調製１で得られたポジ型感光性樹脂組成物をコーニング社製厚みが０．７ｍｍのガラス基板（＃１７３７）上にスピンコーターを用いて８００ｒｐｍで１０秒にて塗布し、熱風循環式クリーンオーブンにて１６０℃で１０分間加熱乾燥して膜厚２．０μｍを形成した。
【００３７】
得られた感光性樹脂膜上に、カラーフィルタのブラック用パターンマスクを載置し、露光ギャップ１００μｍにて超高圧水銀ランプの露光機にて２０ｍＪ／ｃｍ２の露光量の紫外線を照射した。パターンマスクを除去して、１３０℃で１０分間後加熱を行った。こうして得られた潜像パターンの膜が形成されたガラス基板を、以下の着色溶液に浸漬した。
【００３８】
ピグメント・ブラック（Pigment Black）７が水溶液中に分散された黒色溶液に２３℃に２分間浸漬した。次いで、着色溶液中からガラス基板を取り出し、水洗し、１６０℃で１０分間乾燥させることにより黒色に着色されたフィルタ材料を得た。（第１パターン着色工程。）
【００３９】
次いで、カラーフィルタの赤用パターンマスクをブラック膜が形成されたガラス基板上に載置し、露光量を１００ｍＪ／ｃｍ２とピグメントレッド（Pigment Red）１７７を用いること以外は第１パターン着色工程と同様にして、赤色にパターン着色されたフィルタ材料を得た。（第２パターン着色工程）
【００４０】
次いで、カラーフィルタ緑用パターンマスクを用いて、ピグメント・グリーン（Pigment Green）７を用いる以外は第２パターン着色工程と同様にして、緑色にパターン着色されたフィルタ材料を得た。（第３パターン着色工程）
【００４１】
次いで、カラーフィルタの青用パターンマスクを用いて、ピグメントブルー（Pigment  Blue）１５を用いる以外は第２パターン着色工程と同様にして、青色にパターン着色されたフィルタ材料を得た。
【００４２】
最後に、ブラック、赤、緑，青色にパターン着色されたフィルタ材料の全面に紫外線を５００ｍＪ／ｃｍ２照射した後に、２５０℃で２時間加熱焼成した。
【００４３】
実施例２
実施例１で用いた赤，緑、青パターンマスクが各画素ごとに透過部と反透過部の光透過率が夫々異なり、１００％透過部と５０％透過部からなるパターンマスクを用いる以外実施例１と同様にして着色することにより、各画素毎に透過部と半透過部の着色濃度が異なるパターンが形成された。
実施例３
調整２で得られたポジ型感光性樹脂組成物を実施例１と同様なるガラス基板上にスピコーターを用いて１０００ｒｐｍで１０秒にて塗布し、熱風循環式クリーンオープンにて１３０℃で１０分間加熱乾燥して膜厚２．０μｍを形成した。
実施例１と同様にブラック用パターンマスクを載置して、超高圧水銀ランプにて１００ｍＪ／ｃｍ２の露光量の紫外線を照射した。こうして得られた潜像パターンの膜が形成されたガラス基板を以下の着色溶液に浸漬した。
以下は実施例１と同様なる着色溶液を用いて同様なる方法で黒色に着色されたフィルタ材料を得た。
赤用の場合は、露光量は２００ｍＪ／ｃｍ２で、緑用の場合は露光量は２５０ｍＪ／ｃｍ２、青用は３００ｍＪ／ｃｍ２以外は実施例１と同様に実施して赤、緑、青色に着色されたフィルタ材料を得た。
最後にブラック、赤、緑、青色に着色されたフィルタ材料の全面に紫外線を５００ｍＪ／ｃｍ２照射した後に、２５０℃で２時間加熱焼成した。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明のカラーフィルターの製造方法の工程図であり、図１（Ａ）〜（Ｎ）はカラーフィルターの断面から見た図である。
【図２】本発明のカラーフィルターの製造方法の工程であって、各画素中に着色されない部分を形成する方法を示しており、図２（Ａ）〜（Ｎ）はカラーフィルターの断面から見た図である。
【符号の説明】
【００４５】
図中、１…ガラス基板、２…感光性樹脂、３、３’、３”、および３'''…フォトマスク、４…ブラックマトリックス、５…１色目着色層、６…２色目着色層、７…３色目着色層、１０、１１および１２…マスク３’、３”および３'''中の画素中央部の未露光部分形成用パターンマスク。
【図１】
2005099253.tif 000004
【図２】
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