(57)【要約】【課題】  厚肉部材の製造が可能な多孔質ガラス状炭素と、その欠点を解消すべく多孔質ガラス状炭素よりもガス不透過性、表面高硬度及び防止発塵性などに優れた緻密質ガラス状炭素とを用いて、５ｍｍを超えるような肉厚が可能で、また、複雑な形状が可能な二相型ガラス状炭素部材を提供すること。また、その製造方法を提供すること。【解決手段】  多孔質ガラス状炭素からなる基体１ａ上に緻密質ガラス状炭素からなる表面層１ｂを有することを特徴とする二相型ガラス状炭素部材１である。【選択図】  図１
2005231982.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
多孔質ガラス状炭素からなる基体上に緻密質ガラス状炭素からなる表面層を有することを特徴とする二相型ガラス状炭素部材。
【請求項２】
前記表面層の厚みが０．２ｍｍ以上５ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１記載の二相型ガラス状炭素部材。
【請求項３】
シリコンウェハ熱処理用サセプターとして用いられるものであることを特徴とする請求項１又は２記載の二相型ガラス状炭素部材。
【請求項４】
多孔質ガラス状炭素からなる基体上に緻密質ガラス状炭素からなる表面層を有する二相型ガラス状炭素部材を製造する方法であって、固体熱硬化性樹脂を加熱加圧して成形硬化し、多孔質の熱硬化性樹脂基体を得る工程と、得られた前記多孔質の熱硬化性樹脂基体上に緻密質の熱硬化性樹脂表面層を形成する工程と、前記多孔質の熱硬化性樹脂基体上に前記緻密質の熱硬化性樹脂表面層を形成したものを焼成して炭素化する工程とを含むことを特徴とする二相型ガラス状炭素部材の製造方法。
【請求項５】
前記緻密質の熱硬化性樹脂表面層を形成するに先立ち、前記多孔質の熱硬化性樹脂基体を２００〜３００℃で１０〜１００時間の条件にて後硬化処理する工程を備えていることを特徴とする請求項４記載の二相型ガラス状炭素部材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリコンウェハを載置するためのシリコンウェハ熱処理用サセプターなどをはじめとして、５ｍｍを超える厚みが求められるガラス状炭素部材として好適な二相型ガラス状炭素部材と、その製造方法とに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ガラス状炭素は、その構造上、また物性上においても高度に等方的な性質を有する炭素材料であり、その硬さが黒鉛に比べて極めて高く、破面がガラスのそれのように貝殻状破面線を示すものであり、気体に対する透過性が極めて低く、炭素微粒子の散逸が少ないことなどの特徴を有している。このガラス状炭素は、フラン樹脂，フェノール樹脂などの熱硬化性樹脂を加熱し硬化した後、極めて注意深く炭素化して得られる難黒鉛化製炭素である。
【０００３】
ガラス状炭素は、不活性雰囲気では２０００℃以上の耐熱性を有し、フッ化水素やフッ素に対しても優れた耐食性を示し、しかも、ガスの吸着や透過性がないものである。そのため、ガラス状炭素部材は、半導体製造装置、なかでも化学気相堆積法（ＣＶＤ法：Chemical Vapor Deposition Method）による成膜を行う装置であって腐食性ガスを扱い、しかも不純物の発生の少ないことが要求されるＣＶＤ装置用の部品への適用が進んでいる。
【０００４】
ところで、ガラス状炭素部材を製造する場合、大きくは２つの解消すべき制約がある。第１の制約は、ガラス状炭素部材の肉厚が３〜５ｍｍ程度を限界とすることである。その理由は、熱硬化性樹脂成形体を焼成して炭素化する炭素化工程において、ガス発生による熱硬化性樹脂成形体の破損が発生するためである。すなわち、炭素化工程では、原料樹脂の熱分解反応により水や炭酸ガスなどの揮発分が生成するが、原料樹脂あるいはそれがガラス状炭素へ転化する過程にある物質のガス透過性が必ずしも大きくないため、熱硬化性樹脂成形体の肉厚が大きいと、ガス発生による応力で該成形体の破損に至ることになる。これを避けるため、一般に、ガラス状炭素部材は肉厚が３〜５ｍｍ程度以下と小さく、円板状や管状のものに限られてきた。
【０００５】
また、第２の制約は、ガラス状炭素は表面硬度が高く、また、靭性の小さい材料であるため研削加工が容易でないことと、原料である熱硬化性樹脂も成形性や加工性に乏しいことである。このため、複雑な形状のガラス状炭素部材を安価で容易に製造することが難しかった。
【０００６】
そのため、前記の制約を解消すべく、第１の従来技術として、固体熱硬化性樹脂を加熱加圧して成形硬化し、得られた多孔質の熱硬化性樹脂成形体を炭素化して製造される多孔質ガラス状炭素部材が知られている。この多孔質ガラス状炭素部材によると、多孔質の熱硬化性樹脂成形体を炭素化するようにしたものであるから、５ｍｍ程度を超える厚肉のものであっても、ガス発生による破損を生じることなく炭素化を行うことができる。また、多孔質の熱硬化性樹脂成形体は研削加工性に優れ、形状の微調整を容易に行うことが可能であることから、複雑な形状の多孔質ガラス状炭素部材を得ることが可能である。
【０００７】
しかし、この多孔質ガラス状炭素部材では、気体の非吸着性や不透過性がガラス状炭素部材に比べて劣り、また、表面硬度が高くないため炭素粒子を発生させやすいなど、ガス非吸着性、ガス不透過性、表面高硬度及び防発塵性などの点においてガラス状炭素部材に要求される特性を十分満たさないという問題点があった。
【０００８】
また、第２の従来技術として、基体表面がガラス状炭素で覆われ、基体がそれ以外の炭素材、例えば黒鉛からなるガラス状炭素被覆炭素材が知られている（特開昭６４−４７０１９号公報、特開平１０−９５６６８号公報など）。このガラス状炭素被覆炭素材は、黒鉛基体の表面に熱硬化性樹脂を塗布するなどして付与し、熱硬化性樹脂を炭素化して黒鉛基体表面にガラス状炭素層を形成することにより製造されている。このガラス状炭素被覆炭素材によると、基体として黒鉛を用いたものであるから５ｍｍ程度を超える厚肉のものも製造可能である。また、黒鉛が加工性に優れることから、複雑な形状のガラス状炭素被覆炭素材を得ることが可能である。
【０００９】
しかし、このガラス状炭素被覆炭素材では、炭素化に際し、表面の熱硬化性樹脂層のみが収縮する一方、黒鉛基体は収縮しないため、基体と表面層の間に寸法変化の差による応力が発生し、基体から表面層が剥離することがある。また、炭素化の際の熱硬化性樹脂層の収縮に起因してガラス状炭素層と基体間の密着力が十分でなく、ガラス状炭素層が使用時にしばしば剥れることがあった。さらに、基体が黒鉛であるために、ガラス状炭素層の被覆が完全でない場合には、内部の黒鉛から炭素粉末や不純物が発生するという問題があった。
【特許文献１】特開昭６４−４７０１９号公報（第１−３頁）
【特許文献２】特開平１０−９５６６８号公報（段落［０００６］〜［００１５］）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
そこで、本発明の課題は、厚肉部材の製造が可能な多孔質ガラス状炭素と、その欠点を解消すべく多孔質ガラス状炭素よりもガス不透過性、表面高硬度及び防発塵性などに優れた緻密質ガラス状炭素とを用いて、５ｍｍを超えるような肉厚が可能で、また、複雑な形状が可能な二相型ガラス状炭素部材を提供することにある。また、本発明の他の課題は、緻密質ガラス状炭素からなる表面層が剥がれたり破損したりすることのない二相型ガラス状炭素部材を製造することができる二相型ガラス状炭素部材の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記課題を解決するために、本願発明は次のような技術的手段を講じている。
【００１２】
請求項１の発明は、多孔質ガラス状炭素からなる基体上に緻密質ガラス状炭素からなる表面層を有することを特徴とする二相型ガラス状炭素部材である。
【００１３】
請求項２の発明は、請求項１記載の二相型ガラス状炭素部材において、前記表面層の厚みが０．２ｍｍ以上５ｍｍ以下であることを特徴とするものである。
【００１４】
請求項３の発明は、請求項１又は２記載の二相型ガラス状炭素部材において、シリコンウェハ熱処理用サセプターとして用いられるものであることを特徴とするものである。
【００１５】
請求項４の発明は、多孔質ガラス状炭素からなる基体上に緻密質ガラス状炭素からなる表面層を有する二相型ガラス状炭素部材を製造する方法であって、固体熱硬化性樹脂を加熱加圧して成形硬化し、多孔質の熱硬化性樹脂基体を得る工程と、得られた前記多孔質の熱硬化性樹脂基体上に緻密質の熱硬化性樹脂表面層を形成する工程と、前記多孔質の熱硬化性樹脂基体上に前記緻密質の熱硬化性樹脂表面層を形成したものを焼成して炭素化する工程とを含むことを特徴とする二相型ガラス状炭素部材の製造方法である。
【００１６】
請求項５の発明は、請求項４記載の二相型ガラス状炭素部材の製造方法において、前記緻密質の熱硬化性樹脂表面層を形成するに先立ち、前記多孔質の熱硬化性樹脂基体を２００〜３００℃で１０〜１００時間の条件にて後硬化処理する工程を備えていることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１７】
請求項１又は２の発明による二相型ガラス状炭素部材は、基体が多孔質ガラス状炭素から構成されているので、基体が厚肉であってもガス発生による破損を起こすことなく炭素化できること、また、基体の前駆体である多孔質の熱硬化性樹脂基体が研削加工性に優れていることから、５ｍｍを超えるような肉厚が可能であるとともに、ウェハボードなどのような複雑な形状が可能である。また、この二相型ガラス状炭素部材は、シリコンウェハなど被処理物が載置される表面層が緻密質ガラス状炭素から構成されているので、耐熱性、耐食性、ガス不透過性、耐摩耗性、化学的安定性、表面高硬度及び防発塵性などのガラス状炭素に要求される特性を発揮することができる。よって、請求項１又は２の発明によれば、多孔質ガラス状炭素からなる基体上に緻密質ガラス状炭素からなる表面層を有する二相型のガラス状炭素部材であって、ＣＶＤなどシリコンウェハ熱処理用のサセプターなどにも使用できる５ｍｍを超えるような肉厚が可能で、また、シリコンウェハ熱処理用のウェハボードなどのような複雑な形状が可能な二相型ガラス状炭素部材を提供することができる。
【００１８】
請求項の３の発明によれば、多孔質ガラス状炭素からなる基体上に緻密質ガラス状炭素からなる表面層を有する二相型のガラス状炭素部材であって、シリコンウェハ熱処理用サセプターとして用いられるものを提供することができる。
【００１９】
請求項４又は５の発明による二相型ガラス状炭素部材の製造方法は、多孔質の熱硬化性樹脂基体上に緻密質の熱硬化性樹脂表面層を形成したものを、炭素化するように構成されている。これにより、炭素化に際し、ともに熱硬化性樹脂から構成される基体と表面層とには熱収縮によるほぼ同一の寸法変化が生じて発生する応力が小さいので、緻密質ガラス状炭素からなる表面層が剥がれたり破損したりすることのない二相型ガラス状炭素部材を製造することができる。また、ともに熱硬化性樹脂から構成される基体と表面層とを炭素化することで、強い密着強度が得られて使用中に表面層が剥離することがなく、かつ、万一表面層に欠陥が生じても基体から炭素粉末や不純物が外部へ漏洩することのない二相型ガラス状炭素部材を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
本発明による二相型ガラス状炭素部材は、多孔質ガラス状炭素からなる基体上に緻密質ガラス状炭素からなる表面層を有することを特徴とする。ここで、緻密質ガラス状炭素とは、ガス透過性がほとんどない従来よりの典型的なガラス状炭素を指すものであり、本発明の他の構成要素である多孔質ガラス状炭素と区別するために、緻密質ガラス状炭素と称している。より具体的には、本発明において緻密質ガラス状炭素とは、試料の断面を研磨して、倍率１００の光学顕微鏡で１００μｍ四方の領域を観察したときに、平均直径１０μｍ以上の気孔（空隙）が１０個以下であるときに、その部分を緻密質ガラス状炭素と定義する。なお、この観察はランダムに選んだ３つの視野について行い、その平均値を採用する。
【００２１】
また、本発明において多孔質ガラス状炭素とは、前記と同じ方法で観察を行ったときに、平均直径１０μｍを超える気孔（空隙）の占める割合が面積割合で１％以上であるときに、その部分を多孔質ガラス状炭素と定義する。なお、多孔質ガラス状炭素部分の厚みは、試料の断面を前記と同様に顕微鏡観察して当該部分を特定し、その大きさを測定することにより計測する。気孔は連通さえしていれば、できるだけ小さく且つトータル体積はできるだけ小さい方が望ましい。しかし、つぶさずに残すには、１％の気孔は必要となる。強度低下の観点から、前記定義における面積割合で２５％程度が上限となる。
【００２２】
また、本発明において緻密質の熱硬化性樹脂表面層とは、前述した緻密質ガラス状炭素と全く同様に定義される。また、本発明において多孔質の熱硬化性樹脂基体（成形体）とは、「連続気孔」を有するものである。この連続気孔とは、気孔（空隙）の大部分が連通していることを指し、材料特性としてガスや液体の透過性を有することにより認識される。具体的には、エチルアルコール１ｃｃを５０〜１００ｍｍφ程度の試料表面に滴下した時に、１０秒以内にほぼ全量が内部へ浸透した時に「連続気孔」を有すると定義する。
【００２３】
本発明による二相型ガラス状炭素部材の製造方法は、以下に説明する工程により構成されている。
【００２４】
［熱硬化性樹脂製多孔質基体の成形硬化工程］：まず、固体熱硬化性樹脂を圧縮成形により加熱加圧して成形硬化し、多孔質の熱硬化性樹脂基体を得る。多孔質の熱硬化性樹脂基体（熱硬化性樹脂成形体）は、粒状又は粉末状の固体熱硬化性樹脂を、それが完全に溶融しない条件下で圧縮成形することにより容易に製造することができる。その条件は、原料樹脂の性状や部材の形や大きさを勘案して適宜設定されるものであり、一般には、緻密な熱硬化性樹脂成形体が得られる圧縮成形の条件に比較して、金型温度を１０℃前後低くしたり、圧力を１／３〜１／５前後に減じたり、あるいはその両方をこのように変更することで、多孔質の熱硬化性樹脂基体（熱硬化性樹脂成形体）を得ることができる。
【００２５】
この多孔質の熱硬化性樹脂基体（熱硬化性樹脂成形体）は、一般に研削加工が容易なので、穴開けや溝加工してあらかたの形や寸法に仕上げた後に研削加工して最終的な仕上げを施すなどのことを、必要に応じて容易に行うことができる。
【００２６】
［後硬化工程］：前記の多孔質の熱硬化性樹脂基体を空気中、あるいは窒素など不活性ガス中において２００〜３００℃で１０〜１００時間の条件にて後硬化処理する。後硬化処理を行う意義を説明すると、次工程において多孔質の熱硬化性樹脂基体上に緻密質の熱硬化性樹脂表面層を形成するに際し、多孔質の熱硬化性樹脂基体に液状熱硬化性樹脂を塗布及び／又は含浸する場合、この液状熱硬化性樹脂によって多孔質の熱硬化性樹脂基体がわずかに溶解されることがあるため、これを防止するためである。後硬化処理により、多孔質の熱硬化性樹脂基体中を完全に硬化させる。
【００２７】
［熱硬化性樹脂製緻密質表面層の形成工程］：多孔質の熱硬化性樹脂基体上に緻密質の熱硬化性樹脂表面層を形成する。この形成にあたり、研削など機械加工と後硬化処理がなされた多孔質の熱硬化性樹脂基体に液状熱硬化性樹脂（熱硬化性樹脂液）を塗布及び／又は含浸する。液状熱硬化性樹脂は、多孔質の熱硬化性樹脂基体の所定面にハケ、スプレーなどにより塗布することができる。また、多孔質の熱硬化性樹脂基体の所定面を液状熱硬化性樹脂中に浸漬することにより、多孔質の熱硬化性樹脂基体の所定面に液状熱硬化性樹脂を含浸することができる。このようにして、多孔質の熱硬化性樹脂基体に液状熱硬化性樹脂を塗布及び／又は含浸する。
【００２８】
そして、前記液状熱硬化樹脂を乾燥後、空気中で加熱し硬化して、多孔質の熱硬化性樹脂基体上に緻密質の熱硬化性樹脂表面層を形成する。この緻密質の熱硬化性樹脂表面層は、緻密質ガラス状炭素からなる表面層の前駆体となるものである。この場合、緻密質の熱硬化性樹脂表面層の厚みは、０．２ｍｍ以上とすることがよい。これは、炭素化処理の後に、厚み０．２ｍｍ以上の緻密質ガラス状炭素表面層を形成するために必要である。なお、緻密質の熱硬化性樹脂表面層には、炭素化処理前に必要に応じて研削などの機械加工を施すことができる。
【００２９】
［炭素化工程］：多孔質の熱硬化性樹脂基体上に緻密質の熱硬化性樹脂表面層を形成したものを、窒素などの不活性ガス中にて焼成して炭素化する。これにより、多孔質ガラス状炭素基体上に緻密質ガラス状炭素表面層を有する二相型ガラス状炭素部材が得られる。
【００３０】
緻密質ガラス状炭素表面層は、前述したように炭素化の際におけるガス発生による緻密質の熱硬化性樹脂表面層の破損の点から、厚み５ｍｍを超えるものを得ることが難しい。一方、緻密質ガラス状炭素表面層の厚みが０．２ｍｍを下回ると、表面層自体にガラス状炭素として十分な機能（ガス不透過性や耐食性など）を付与することができないこと、炭素化の際に欠陥が発生しやすくなること、下地となる多孔質ガラス状炭素基体の表面凹凸の影響を受けること、等の不具合がある。したがって、緻密質ガラス状炭素表面層の厚みは、０．２ｍｍ以上５ｍｍ以下が適切である。なお、多孔質の熱硬化性樹脂基体は、最大でほぼ０．１ｍｍ程度の表面粗さを有するため、その表面の凹部を封じるために、緻密質ガラス状炭素表面層の前駆体である緻密質の熱硬化性樹脂表面層の厚みは、０．２ｍｍ以上、好ましくは０．４ｍｍ以上がよい。
【００３１】
ここで、前記緻密質ガラス状炭素表面層の厚みの制御は、前駆体である緻密質の熱硬化性樹脂表面層の厚みを公知の手段にて加減することで行うことができる。例えば、多孔質の熱硬化性樹脂基体を熱硬化性樹脂液に浸漬する場合や、多孔質の熱硬化性樹脂基体に熱硬化性樹脂液を塗布する場合には、該樹脂液中の樹脂成分の濃度を加減したり、浸漬あるいは塗布の回数を加減したりする手段を採用することができる。また、多孔質の熱硬化性樹脂基体に熱硬化性樹脂液をハケなどで直接塗布する場合には、該樹脂液の粘度を調節する手段を採用することができる。また、多孔質の熱硬化性樹脂基体に、緻密質の熱硬化性樹脂表面層としての緻密質の熱硬化性樹脂板を貼付する場合には、該樹脂板の厚みを加減するようにすればよい。
【００３２】
本発明の二相型ガラス状炭素部材は、緻密質と多孔質との二相のガラス状炭素で構成されており、緻密質ガラス状炭素表面層がガラス状炭素としてのガス不透過性や化学的安定性などを担う役割を果たし、多孔質ガラス状炭素基体が基体としての構造的役割を果たす。したがって、本発明の二相型ガラス状炭素部材は、部品設計上、被処理物と接触する部分及び／又は被処理物と同一の雰囲気に曝露される部分が緻密質ガラス状炭素表面層となるようにし、その他の部分が多孔質ガラス状炭素基体となるようにしたときに最もよい性能を発揮することになる。
【００３３】
例えば、シリコンウェハを載置するための円板状サセプターとして用いるものでは、シリコンウェハと接触する上面側が緻密質ガラス状炭素表面層となるようにし、その下側が多孔質ガラス状炭素基体となるように構成する。また、シリコンウェハを熱処理するためのチャンバーでは、耐食性などを要求されるチャンバー内部壁が緻密質ガラス状炭素表面層となるようにし、構造的強度を負担するチャンバー外部壁が多孔質ガラス状炭素基体となるように構成することが好適である。さらには、ウェハボードなどのように複雑な形状を有する部材としても製造可能なものである。
【実施例】
【００３４】
以下、本発明の実施例について説明する。
【００３５】
まず、理解を容易にするために、先に比較例１と比較例２について説明する。
【００３６】
［比較例１］：市販の粉末フェノール樹脂(鐘紡製Ｓ８９０)を、金型温度２００℃、面圧１００ｋｇ／ｃｍ2の条件による圧縮成形により、加熱加圧して成形硬化し、厚み１０ｍｍ、長さ１００ｍｍ、幅１００ｍｍの正方形の板状をなし、褐色透明で気孔を含まない緻密質の熱硬化性樹脂成形体を得た。次に、これを空気中で２００℃にて１００時間加熱して後硬化させた後、窒素雰囲気中で２０００℃まで加熱し、炭素化処理したところ、細片状に破損してしまい、ガラス状炭素成形体は得られなかった。このように、緻密質の熱硬化性樹脂成形体を炭素化処理することによっては、厚みが５ｍｍを超える厚肉のガラス状炭素成形体を得ることはできなかった。
【００３７】
［比較例２］：比較例１と同じ粉末フェノール樹脂を圧縮成形した。ただし、金型温度は比較例１より低い１７０℃としたところ、厚み１２ｍｍ、長さ１００ｍｍ、幅１００ｍｍの正方形の板状をなし、気孔率１７％の、連続気孔を有する多孔質の熱硬化性樹脂成形体が得られた。これを比較例１と同じ条件で後硬化処理と炭素化処理したところ、厚み９．４ｍｍ、長さ７８ｍｍ、幅７８ｍｍの多孔質ガラス状炭素成形体を得ることができた。このように、多孔質の熱硬化性樹脂成形体を炭素化することで、厚みが５ｍｍを超える厚肉のガラス状炭素成形体を容易に製造することができる。
【００３８】
なお、前記比較例２における多孔質の熱硬化性樹脂成形体の気孔率ｖは、次のようにして求めた。
【００３９】
【数１】
2005231982.tif 000003
【００４０】
以下の実施例１〜３においては、液状フェノール樹脂として、市販の群栄化学製ＰＬ４８０４を減圧下にて１００℃で１時間熱処理して水分率を調整し、水分率が５ｗｔ％以下にしたものを用いた。
【００４１】
［実施例１］：市販の粉末フェノール樹脂(鐘紡製Ｓ８９０)を、金型温度１７０℃、面圧１００ｋｇ／ｃｍ2の条件による圧縮成形により、加熱加圧して成形硬化し、厚み１２ｍｍ、長さ１００ｍｍ、幅１００ｍｍの正方形の板状をなし、気孔率１７％の、連続気孔を有する多孔質の熱硬化性樹脂基体を得た（比較例２と同じものである）。これを空気中で２００℃にて１００時間加熱して後硬化させた。次に、６０℃に加熱した前記の液状フェノール樹脂に、この多孔質の熱硬化性樹脂基体の片面及び４つの側面を浸漬し、該熱硬化性樹脂基体をすみやかに引き上げて、乾燥機にて７０℃で１０時間加熱した。これにより、多孔質の熱硬化性樹脂基体の片面及び４つの側面には、厚み０．４ｍｍの緻密質の熱硬化性樹脂表面層が形成された。
【００４２】
次に、この緻密質の熱硬化性樹脂表面層が形成された多孔質の熱硬化性樹脂基体を、窒素雰囲気中で２０００℃まで加熱し（比較例１と同じ条件）、炭素化処理した。その結果、厚み９．７ｍｍ、長さ７８ｍｍ、幅７８ｍｍの正方形の板状をなし、多孔質ガラス状炭素基体の前記片面及び４つの側面が厚み０．３ｍｍの緻密質ガラス状炭素表面層で被覆された二相型ガラス状炭素部材を得ることができた。
【００４３】
［実施例２］：市販の粉末フェノール樹脂(鐘紡製Ｓ８９０)を、金型温度２００℃、面圧１００ｋｇ／ｃｍ2の条件による圧縮成形により、加熱加圧して成形硬化し、厚み３ｍｍ、長さ１００ｍｍ、幅１００ｍｍの正方形の板状をなし、褐色透明で気孔を含まない緻密質の熱硬化性樹脂成形体を２枚得た。次に、実施例１，比較例２と同じやり方による多孔質の熱硬化性樹脂基体を得、これを空気中で２００℃にて１００時間加熱して後硬化させた。
【００４４】
次に、前記多孔質の熱硬化性樹脂基体の両面に前記の液状フェノール樹脂を接着剤として塗布した後、緻密質の熱硬化性樹脂表面層としての前記した緻密質の熱硬化性樹脂成形体（厚み３ｍｍ、長さ１００ｍｍ、幅１００ｍｍ）を各面に貼り合せて、乾燥機にて７０℃で１０時間加熱した。しかる後、このものを窒素雰囲気中で２０００℃まで加熱し（比較例１，実施例１と同じ条件）、炭素化処理した。その結果、厚み９．７ｍｍの多孔質ガラス状炭素基体の両面が厚み２．３ｍｍの緻密質ガラス状炭素表面層で被覆され、長さ７８ｍｍで幅７８ｍｍの正方形の板状をなす二相型ガラス状炭素部材を得ることができた。
【００４５】
［実施例３］：市販の粉末フェノール樹脂(鐘紡製Ｓ８９０)を、金型温度１７０℃、面圧１００ｋｇ／ｃｍ2の条件による圧縮成形により、加熱加圧して成形硬化し、厚み１０ｍｍ、直径４５０ｍｍの円板状（円盤状）をなし、気孔率１７％の、連続気孔を有する多孔質の熱硬化性樹脂基体を得た。これを空気中で２００℃にて１００時間加熱して後硬化させた。次に、５０℃に加熱した前記の液状フェノール樹脂に、この多孔質の熱硬化性樹脂基体の片面を浸漬し、該熱硬化性樹脂基体をすみやかに引き上げて、乾燥機にて７０℃で１０時間加熱した。これにより、多孔質の熱硬化性樹脂基体の片面には、厚み１．０ｍｍの緻密質の熱硬化性樹脂表面層が形成された。
【００４６】
次に、この緻密質の熱硬化性樹脂表面層が形成された多孔質の熱硬化性樹脂基体を、窒素雰囲気中で２０００℃まで加熱し（比較例１、実施例１，２と同じ条件）、炭素化処理した。その結果、厚み１０ｍｍ、直径３６０ｍｍの円板状をなし、多孔質ガラス状炭素基体１ａの片面が厚み０．８ｍｍの緻密質ガラス状炭素表面層１ｂで被覆された二相型ガラス状炭素部材１を得ることができた。図１は実施例３の二相型ガラス状炭素部材を概念的に示す断面図である。この二相型ガラス状炭素部材１は、緻密質ガラス状炭素表面層１ｂが形成された面にシリコンウェハを載置して使用されるサセプターとして好適であった。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】実施例３の二相型ガラス状炭素部材を概念的に示す断面図である。
【符号の説明】
【００４８】
１…二相型ガラス状炭素部材
１ａ…多孔質ガラス状炭素基体
１ｂ…緻密質ガラス状炭素表面層
【図１】
2005231982.tif 000004