(57)【要約】【課題】  負圧の安定化、負圧の定流量化、消費エネルギー量の管理、等を行うことのできる真空発生装置を提供することである。【解決手段】    ノズル、ディフューザ、拡散室及び消音器よりなるエジェクタ方式の真空発生器、真空発生用ポペット弁、フィルタ装置並びに複数のセンサ素子を接続してなるセンサ装置よりなり、また、複数のセンサ素子が圧力センサ素子、流量センサ素子及び／または温度センサ素子よりなることであり、負圧の定圧化、負圧の定流量化、消費エネルギー量の管理、をすることのできる真空発生装置を提供することができる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル、ディフューザ、拡散室及び消音器よりなるエジェクタ方式の真空発生器、真空発生用ポペット弁、フィルタ装置並びに複数のセンサ素子を接続してなるセンサ装置よりなることを特徴とする真空発生装置。
【請求項２】
複数のセンサ素子が圧力センサ素子、流量センサ素子及び／または温度センサ素子よりなることを特徴とする請求項１に記載の真空発生装置。
【請求項３】
圧力センサ素子及び／または流量センサ素子が流体の供給源経路及び／または吸入経路に配置されていることを特徴とする請求項１または２に記載の真空発生装置。
【請求項４】
真空破壊用の流量調節装置及び真空破壊用ポペット弁を装着したことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の真空発生装置。
【請求項５】
シリンダ用ポペット弁及びシリンダ継手を装着したことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の真空発生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空発生装置に関するものであり、真空発生装置に圧力センサ・流量センサを配置したものである。
【背景技術】
【０００２】
従来技術において、真空発生装置に圧力センサを配置して真空による吸着ミスを検出することがなされている。
【特許文献１】特開平０８−６８４００号には、ワークを負圧吸着した後、この真空スイッチによって一定の真空度に達したことが確認されると、発生電磁弁をＯＦＦにして負圧維持を図り、高圧空気の量を節約するものである。またこのように発生電磁弁をＯＦＦにして負圧維持を図っている時に、徐々に負圧空気が抜けることによってあらかじめ設定した真空度以下となってしまったことを、真空スイッチが検出した時には、再び発生電磁弁をＯＮにして、負圧発生を行うものである。ことが開示されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来の真空発生装置においては、高圧空気を開閉制御してノズルよりディフューザに放出して拡散室に負圧を発生させるエジェクタ方式が提案されている。更に、負圧を圧力センサーで検出して発生電磁弁をＯＮ−ＯＦＦして高圧空気の節約をしている。負圧を検出する圧力センサーによる節約ではＯＮ−ＯＦＦ制御をすることであり定圧、定流量、消費エネルギー量、等を制御することができない問題がある。負圧の定圧化、負圧の定流量化、消費エネルギー量の管理、をして問題を解決した真空発生装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
ノズル、ディフューザ、拡散室及び消音器よりなるエジェクタ方式の真空発生器、真空発生用ポペット弁、フィルタ装置並びに複数のセンサ素子を接続してなるセンサ装置よりなり、また、複数のセンサ素子が圧力センサ素子、流量センサ素子及び／または温度センサ素子よりなることであり、負圧の定圧化、負圧の定流量化、消費エネルギー量の管理、をして問題を解決した真空発生装置を提供することができる。また、圧力センサ素子及び／または流量センサ素子が流体の供給源経路及び／または吸入経路に配置されていることにより一層問題を解決した真空発生装置を提供することができる。更に、真空破壊用の流量調節装置及び真空破壊用ポペット弁を装着し、シリンダ用ポペット弁及びシリンダ継手を装着したことにより多機能を備えた真空発生装置を提供することができる。
【０００５】
以下、本発明に係る真空発生装置に関して詳細を説明する。尚、本発明に係る真空発生装置は、以下の記載に限定されるものでなくまた図面は、説明のための概念を表しているものであり配置、寸法、縮尺、等を限定するものでない。
【０００６】
本発明に係る真空発生装置は、ノズル１８、ディフューザ２０、拡散室１９及び消音器２１よりなるエジェクタ方式の真空発生器、真空発生用ポペット弁１６、フィルタ装置２５並びに複数のセンサ素子を接続してなるセンサ装置５０よりなり、また、複数のセンサ素子が圧力センサ素子、流量センサ素子及び／または温度センサ素子よりなることであり、また、圧力センサ素子及び／または流量センサ素子が流体の供給源経路５８及び／または吸入経路５７に配置されていることである。
【０００７】
真空発生器は、高圧圧縮空気が供給源経路５８より供給され、電磁弁ｂ１２により作動する真空発生用ポペット弁１６により高圧圧縮空気がｏｎ−ｏｆｆされてノズル１８からディフューザ２０へ放出される。高圧圧縮空気がノズルからディフューザに放出される時に拡散室１９の空気が拡散されて該拡散室が負圧状態となる。（エジェクタ方式による真空発生原理であり詳細な説明を省略する。）該拡散室１９が負圧状態になるとフィルタ装置２５を介して吸入経路５７が負圧状態となる。該吸入経路の先には吸入継手２４が形成されている。該吸入継手とフィルター装置の間の吸入経路にはセンサ素子（圧力センサ素子ｂ５４及び／または流量センサ素子ｂ５５）が配置されてセンサ装置５０の入力端子に入力されている。供給源経路５８にセンサ素子（圧力センサ素子ａ５３及び／または流量センサ素子ａ５２）を配置してセンサ装置５０の入力端子に入力されている。また、温度センサ素子５６がセンサ装置５０の入力端子に入力されている。センサ素子は２個以上の複数個が必要に応じて配置されていればよく配置数を限定するものでない。
【０００８】
センサ装置５０に接続される複数のセンサ素子により真空発生・シリンダ駆動装置１０をコントロールすることができる。圧力センサ素子ｂ５４及び圧力センサ素子ａ５３を配置接続することにより該圧力センサ素子ｂにより吸入経路５７の真空圧を測定して該真空圧が所定の真空圧になるように供給源経路５８の供給圧力を圧力センサ素子ａ５３で測定して調整することができる（調整装置を図示せず）。エジェクタ方式の真空発生原理が供給圧力により発生真空圧が変化することを利用して調整することができるのである。また、流量センサ素子ｂ５５及び流量センサ素子ａ５２により発生真空流量を同様に調整することができる。
【０００９】
更に、流量センサ素子ｂ５５、圧力センサ素子ｂ５４、流量センサ素子ａ５２及び圧力センサ素子ａ５３を吸入経路５７及び供給源経路５８に各々配置接続することにより圧力及び流量から消費エネルギー量を計算して求めることができて真空発生装置の良好なコントロールをすることができる。吸入経路側、供給源経路側のいずれか一方にのみ配置接続しても好い。更に、温度センサ素子５６を配置接続することにより温度変化に対する補正をしてより正確にコントロールすることができる。
【００１０】
本発明に係る真空発生装置は、更に、真空破壊用の流量調節装置１４及び真空破壊用ポペット弁１７を装着し、更に、シリンダ用ポペット弁１５及び／またはシリンダ継手２２を装着した多機能を備えたものである。
【００１１】
流量調節装置１４により減圧調整される圧縮空気が電磁弁ｃ１３によりｏｎ−ｏｆｆされる真空破壊用ポペット弁１７により吸入経路５７へ供給されて、該吸入経路５７の負圧状態を大気圧力若しくはやや高い圧力に素早く戻す働きをする。この働きにより吸入継手２４の先に取り付けられている吸着パッドから被吸着物を素早く開放することができる。圧縮空気が低圧・小流量の空気であるために該真空破壊用ポペット弁１７を配置することなく電磁弁ｃ１３のみでｏｎ−ｏｆｆを行うこともできる。
【００１２】
電磁弁ａ１１によりｏｎ−ｏｆｆされるシリンダ用ポペット弁１５が、供給源経路５８に供給されている高圧圧縮空気を切り換えてシリンダ継手２２からシリンダに供給してシリンダを駆動することができる。シリンダの大きさによりシリンダ用ポペット弁を使用することなく電磁弁ａ１１により直接シリンダを駆動することもできる。該シリンダ継手２２は、単数経路の継手でもよく、複数経路を形成した継手でも好い。二経路を有する継手を使用することにより一本のチューブ（一本のチューブの内部に二経路の管が形成されている。ツインチューブ。）によりシリンダを往復させる空気を交互に供給してシリンダ動作をさせることができる。吸入経路５７を更に同一の継手に配管することによりシリンダ駆動用の配管及び吸入経路の配管を同一の継手にして一本のチューブ（一本のチューブの内部に三経路の管が形成されている。多管チューブ。）によりシリンダの駆動及び真空駆動による被吸着物の吸着・脱着をすることができる。
【００１３】
このような真空発生装置は、複数のセンサ素子を配置・接続することにより発生する負圧力を定圧に保持することができ、負圧の流量を定流量に保持することができ、消費エネルギー量を管理することができる。
【産業上の利用可能性】
【００１４】
本発明に係る真空発生装置は、ノズル、ディフューザ、拡散室及び消音器よりなるエジェクタ方式の真空発生器、真空発生用ポペット弁、フィルタ装置並びに複数のセンサ素子を接続してなるセンサ装置よりなり、また、複数のセンサ素子が圧力センサ素子、流量センサ素子及び／または温度センサ素子よりなることであり、また、シリンダ用ポペット弁を装着していてシリンダを駆動することができ、負圧の定圧化、負圧の定流量化、消費エネルギー量の管理、等をすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明に係る真空発生装置の一実施態様を示す断面図である。
【図２】本発明に係る真空発生装置の一実施態様を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００１６】
１０  真空発生装置
１１  電磁弁ａ
１２  電磁弁ｂ
１３  電磁弁ｃ
１４  流量調節装置
１５  シリンダ用ポペット弁
１６  真空発生用ポペット弁
１７  真空破壊用ポペット弁
１８  ノズル
１９  拡散室
２０  ディフューザ
２１  消音器
２２  シリンダ継手
２３  供給源継手
２４  吸入継手
２５  フィルタ装置
５０  センサ装置
５１  表示部
５２  流量センサ素子ａ
５３  圧力センサ素子ａ
５４  圧力センサ素子ｂ
５５  流量センサ素子ｂ
５６  温度センサ素子
５７  吸入経路
５８  供給源経路
【図１】
2005180326.tif 000003
【図２】
2005180326.tif 000004