(57)【要約】      （修正有）【課題】高さをできるだけ小さくして薄型化が可能な搬送装置を提供する。【解決手段】被処理体Ｗを保持して搬送するための搬送装置において、所定の幅と所定の直径とを有して軸受を介してベースプレートに回転自在に支持された円形の回転基台７６と、回転基台の周辺部に起立された第１及び第２固定軸と、アーム部４Ｂ、６Ｂと被処理体を保持するピック部４Ｃ、６Ｃとをこの順序で屈伸可能に連結すると共に、その基端部が第１、或いは第２固定軸にそれぞれ回転自在に支持された第１及び第２アーム機構７２、７４と、回転基台の側面に巻回して掛け渡された動力伝達用部材１８Ａと、動力伝達用部材を正逆方向へ走行させる主駆動源１４Ａと、第１アーム機構を屈伸させるための第１アーム機構用駆動源１４Ｂと、第２アーム機構を屈伸させるための第２アーム機構用駆動源１４Ｃと、を備える。【選択図】  図１
2005044981.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理体を保持して搬送するための搬送装置において、
所定の幅と所定の直径とを有して軸受を介してベースプレートに回転自在に支持された円形の回転基台と、
前記回転基台の周辺部に起立された第１固定軸と、
アーム部と前記被処理体を保持するピック部とをこの順序で屈伸可能に連結すると共に、その基端部が前記第１固定軸に回転自在に支持された第１アーム機構と、
前記回転基台の周辺部に起立された第２固定軸と、
アーム部と前記被処理体を保持するピック部とをこの順序で屈伸可能に連結すると共に、その基端部が前記第２固定軸に回転自在に支持された第２アーム機構と、
前記回転基台の側面に巻回して掛け渡された動力伝達用部材と、
前記動力伝達用部材を正逆方向へ走行させる主駆動源と、
前記第１アーム機構を屈伸させるための第１アーム機構用駆動源と、
前記第２アーム機構を屈伸させるための第２アーム機構用駆動源と、
を備えたことを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
被処理体を保持して搬送するための搬送装置において、
所定の幅と所定の直径とを有して軸受を介してベースプレートに回転自在に支持された円形の回転基台と、
前記回転基台の周辺部に起立された固定軸と、
アーム部と前記被処理体を保持するピック部とをこの順序で屈伸可能に連結すると共に、その基端部が前記固定軸に回転自在に支持されたアーム機構と、
前記回転基台の側面に巻回して掛け渡された動力伝達用部材と、
前記動力伝達用部材を正逆方向へ走行させる主駆動源と、
前記アーム機構を屈伸させるためのアーム機構用駆動源と、
を備えたことを特徴とする搬送装置。
【請求項３】
前記回転基台は、その側面に軸受を介して前記ベースプレートに回転自在に支持されることを特徴とする請求項１または２記載の搬送装置。
【請求項４】
前記動力伝達用部材は、連結ベルトよりなり、該連結ベルトは前記主駆動源の回転軸に固定して設けた主プーリに掛け渡されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項５】
前記アーム機構用駆動源からの駆動力は、前記回転基台の中心部に回転自在に設けた回転軸に伝達され、該駆動力は動力伝達用部材を介して前記アーム機構の基端部に伝達されるように構成したことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項６】
前記動力伝達用部材は連結ベルトよりなり、該連結ベルトを前記アーム機構の基端部と一体化するように接続されて前記固定軸に回転自在に設けたプーリに掛け渡すように構成されることを特徴とする請求項５記載の搬送装置。
【請求項７】
前記アーム機構用駆動源と前記回転軸との間の駆動力の伝達は動力伝達用部材を用いて行うことを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項８】
前記動力伝達用部材は連結ベルトよりなり、該連結ベルトを前記アーム機構用駆動源の回転軸に設けたプーリと前記回転軸に設けたプーリとの間に掛け渡すように構成されていることを特徴とする請求項７記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハ等の被処理体を保持して搬送するための搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、半導体デバイス等を製造する半導体処理システム内ではその製造工程において、被処理体である半導体ウエハをクリーンな状態で大気圧雰囲気中、或いは真空雰囲気中を搬送して、処理室内へ搬入したり、或いは逆に処理室中から取り出して所定の場所まで搬出したりする。この場合、半導体ウエハを搬送するために、例えば特許文献１、特許文献２等に示すような搬送装置が用いられる。図７は従来の搬送装置の一例を示す斜視図、図８は従来の搬送装置を示す断面図、図９は従来の搬送装置の動作を示す動作説明図である。
この従来の搬送装置２は、第１アーム機構４と第２アーム機構６の２本のアーム機構を有している。第１及び第２アーム機構４、６は、第１アーム部４Ａ、６Ａと、第２アーム部４Ｂ、６Ｂと、被処理体である半導体ウエハを保持するピック部４Ｃ、６Ｃとを、それぞれこの順序で屈伸可能に連結して構成されている。上記第１及び第２アーム機構４、６の第１アーム部４Ａ、６Ａはその基端部同士が一体的に連結されて全体としての”く”の字状に成形されている。
【０００３】
そして、この第１及び第２アーム部４Ａ、６Ａの連結部である中心部が、３軸同軸構造８の外側回転軸８Ａに連結されており、この３軸同軸構造８は軸受１０を介してベースプレートＢＳに回転自在に支持されている。
上記３軸同軸構造８は、その外側より外側回転軸８Ａと、内側回転軸８Ｂと、中心回転軸８Ｃとを同軸状に配置してなり、各回転軸８Ａ、８Ｂ、８Ｃ間には、軸受１１、１３がそれぞれ介在されており、互いに自由回転可能に支持されている。上記各回転軸８Ａ、８Ｂ、８Ｃは、下方向への長さがそれぞれ異ならせており、各回転軸８Ａ、８Ｂ、８Ｃの下端部にはそれぞれプーリ１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃが取り付け固定されており、全体で上下に３段の構造になっている。
【０００４】
そして、この搬送装置２を駆動させるために、例えばステップモータ等よりなる３個の駆動源１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃを有しており、上記各駆動源１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃの各駆動軸に設けたプーリ１６Ａ、１６Ｂ、１６Ｃと上記各プーリ１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃとの間にそれぞれ連結ベルト１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃが掛け渡されており、上記各回転軸８Ａ、８Ｂ、８Ｃを個別に正逆回転し得るようになっている。
【０００５】
一方、第１アーム機構４の第１アーム部４Ａの先端部には、上方に突き出して固定軸２０が設けられており、この固定軸２０に回転軸２４とプーリ２６との一体物が軸受２８を介して回転自在に設けられる。そして、上記プーリ２６と中心回転軸８Ｃの上端部に設けたプーリ３０との間に連結ベルト３２を掛け渡して動力を伝達するようになっている。
また上記回転軸２４は第２アーム部４Ｂの基端部に連結されると共に、上記固定軸２０の上端部には小プーリ３４が固定されている。この第２アーム部４Ｂの先端部には、固定軸３６が固定的に設けられており、この固定軸３６には軸受３８を介して大プーリ４０が回転自在に設けられている。この大プーリ４０と小プーリ３４との直径比は２対１に設定されている。そして、この大プーリ４０と小プーリ３４との間に連結ベルト４１を掛け渡して動力を伝達するようになっている。そして、上記大プーリ４０の上端部に、上記ピック部４Ｃの基端部を固定的に取り付けている。これにより、上記駆動源１４Ｃを駆動することにより、この第１アーム機構４は、このピック部４Ｃが一定の方向を向いた状態で屈伸するようになっている。
【０００６】
また、第２アーム機構６の第１アーム部６Ａの先端部には、上方に突き出して固定軸４２が設けられており、この固定軸４２に回転軸４４とプーリ４６との一体物が軸受４８を介して回転自在に設けられる。そして、上記プーリ４６と内側回転軸８Ｂの上端部に設けたプーリ５０との間に連結ベルト５２を掛け渡して動力を伝達するようになっている。
また上記回転軸４４は第２アーム部６Ｂの基端部に連結されると共に、上記固定軸４２の上端部には小プーリ５４が固定されている。この第２アーム部６Ｂの先端部には、固定軸５６が固定的に設けられており、この固定軸５６には軸受５８を介して大プーリ６０が回転自在に設けられている。この大プーリ６０と小プーリ５４との直径比は２対１に設定されている。この大プーリ６０と小プーリ５４との間に連結ベルト６１を掛け渡して動力を伝達するようになっている。そして、上記大プーリ６０の上端部に、上記ピック部６Ｃの基端部を固定的に取り付けている。これにより、上記駆動源１４Ｂを駆動することにより、この第１アーム機構４は、このピック部６Ｃが一定の方向を向いた状態で屈伸するようになっている。
【０００７】
このように形成された搬送装置２の一連の動作は図９に示されており、各駆動源１４Ａ〜１４Ｃを同期させて同一方向にそれぞれ回転すると、第１及び第２アーム機構４、６はその屈伸状態を保持したまま全体が回転して特定の方向に向けられる。そして、駆動源１４Ｃ、１４Ｂを選択的に正逆回転駆動することにより、第１アーム機構４及び第２アーム機構６はピック部４Ｃ、６Ｃで被処理体としての半導体ウエハＷを保持した状態でそれぞれ図９（Ａ）〜図９（Ｅ）に示すように屈伸するようになっている。尚、図９（Ａ）は第２アーム機構６が伸長し、第１アーム機構４が縮退している状態を示し、図９（Ｅ）は第１及び第２アーム機構４、６が共に縮退している状態を示す。
【０００８】
【特許文献１】
特開平１０−１６３２９６号公報
【特許文献２】
特開２０００−０７２２４８号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した搬送装置にあっては、第１アーム部４Ａ、４Ｂの下方に、上下方向に沿って３段に亘ってプーリ１２Ａ〜１２Ｃを設け、これらにそれぞれ連結ベルト１８Ａ〜１８Ｃや駆動源１４Ａ〜１４Ｃを連結させる構造となっているために、この搬送装置全体の高さが大きくなってしまうのみならず、特にベースプレートＢＳよりも上方における装置の高さが大きくなってしまう、という問題があった。
【００１０】
特に、半導体ウエハＷのサイズが２００ｍｍから３００ｍｍへ大型化するに従って、半導体ウエハの処理システム全体の大型化も余儀なくされる現状において、装置自体の大型化をできるだけ抑制するためにも、上記した問題点の解決が望まれている。
本発明は、以上のような問題点に着目し、これを有効に解決すべく創案されたものである。本発明の目的は、高さをできるだけ小さくして薄型化が可能な搬送装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る発明は、被処理体を保持して搬送するための搬送装置において、所定の幅と所定の直径とを有して軸受を介してベースプレートに回転自在に支持された円形の回転基台と、前記回転基台の周辺部に起立された第１固定軸と、アーム部と前記被処理体を保持するピック部とをこの順序で屈伸可能に連結すると共に、その基端部が前記第１固定軸に回転自在に支持された第１アーム機構と、前記回転基台の周辺部に起立された第２固定軸と、アーム部と前記被処理体を保持するピック部とをこの順序で屈伸可能に連結すると共に、その基端部が前記第２固定軸に回転自在に支持された第２アーム機構と、前記回転基台の側面に巻回して掛け渡された動力伝達用部材と、前記動力伝達用部材を正逆方向へ走行させる主駆動源と、前記第１アーム機構を屈伸させるための第１アーム機構用駆動源と、前記第２アーム機構を屈伸させるための第２アーム機構用駆動源と、を備えたことを特徴とする搬送装置である。
【００１２】
このように、所定の直径を有する円形の回転基台上にアーム機構を設けると共に、この回転基台の側面に、例えば連結ベルトなどの動力伝達用部材を巻回して掛け渡し、この動力伝達用部材を例えばステップモータ等よりなる主駆動源により正逆走行させて上記回転基台を正逆回転させてアーム機構の方向付けを行うようにしたので、上記回転基台の幅内、すなわち水平レベル内に上記動力伝達用部材や主駆動源の一部、或いは全部を収めることができ、従って、その分、搬送装置全体の高さを小さくすることが可能となる。
【００１３】
請求項２に係る発明は、被処理体を保持して搬送するための搬送装置において、所定の幅と所定の直径とを有して軸受を介してベースプレートに回転自在に支持された円形の回転基台と、前記回転基台の周辺部に起立された固定軸と、アーム部と前記被処理体を保持するピック部とをこの順序で屈伸可能に連結すると共に、その基端部が前記固定軸に回転自在に支持されたアーム機構と、前記回転基台の側面に巻回して掛け渡された動力伝達用部材と、前記動力伝達用部材を正逆方向へ走行させる主駆動源と、前記アーム機構を屈伸させるためのアーム機構用駆動源と、を備えたことを特徴とする搬送装置である。
【００１４】
この場合、例えば請求項３に規定するように、前記回転基台は、その側面に軸受を介して前記ベースプレートに回転自在に支持される。
このように、回転基台を、その側面に軸受を介してベースプレートに回転自在に支持させるようにしているので、回転基台自体の回転軸が不要となり、その分、この搬送装置全体の高さを更に小さくすることが可能となる。
また例えば請求項４に規定するように、前記動力伝達用部材は、連結ベルトよりなり、該連結ベルトは前記主駆動源の回転軸に固定して設けた主プーリに掛け渡されている。
【００１５】
また例えば請求項５に規定するように、前記アーム機構用駆動源からの駆動力は前記回転基台の中心部に回転自在に設けた回転軸に伝達され、該駆動力は動力伝達用部材を介して前記アーム機構の基端部に伝達されるように構成される。
また例えば請求項６に規定するように、前記動力伝達用部材は連結ベルトよりなり、該連結ベルトを前記アーム機構の基端部と一体化するように接続されて前記固定軸に回転自在に設けたプーリに掛け渡すように構成される。
また例えば請求項７に規定するように、前記アーム機構用駆動源と前記回転軸との間の駆動力の伝達は動力伝達用部材を用いて行う。
また例えば請求項８に規定するように、前記動力伝達用部材は連結ベルトよりなり、該連結ベルトを前記アーム機構用駆動源の回転軸に設けたプーリと前記回転軸に設けたプーリとの間に掛け渡すように構成されている。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明に係る搬送装置の一実施例を添付図面に基づいて詳述する。
＜第１実施例＞
まず、本発明の第１実施例について説明する。
図１は本発明に係る搬送装置の第１実施例を示す斜視図、図２は第１実施例を示す断面図、図３は第１実施例の動作を説明するための動作説明図である。尚、図７〜図９に示した構成部分と同一構成部分についていは同一符号を付して説明する。
この第１実施例の特徴は、従来の搬送装置の第１アーム部の部分を円形の回転基台とし、この回転基台の側面に軸受を介在させベースプレートに回転自在に支持させると共に、この側面にプーリを設けて連結ベルトにより駆動力を伝達するようにした点である。
【００１７】
図示するように、この搬送装置７０は、それぞれ屈伸可能になされた第１アーム機構７２と第２アーム機構７４とを有しており、これらの第１２及び第２アーム機構７２、７４は所定の幅と所定の直径とを有する円形の回転基台７６に回転自在に支持されている。具体的には、上記回転基台７６は、内部が中空になされた円板状に形成されており、この幅（厚さ）Ｌ１及び直径Ｄ１は、搬送装置７０のストローク長に依存する。この回転基台７６の円形リング状の側面の下部は、大口径の軸受７８を介してベースプレートＢＳに回転自在に支持されている。すなわち、この回転基台７６は、先に説明した従来の搬送装置の第１アーム部４Ａ、６Ａ（図７参照）の機能を持つことになる。
【００１８】
また、この回転基台７６の側面の上部にはプーリ８０が設けられており、この回転基台７６の側方には、例えばステップモータよりなる主駆動源１４Ａが設けられている。そして、この主駆動源１４Ａの回転軸に設けた主プーリ１６Ａと上記プーリ８０との間には、動力伝達用部材として例えば連結ベルト１８Ａが掛け渡されており、この連結ベルト１８Ａを正逆方向に走行移動させることにより上記回転基台７６を正逆方向へ任意の角度だけ回転し得るようになっている。
そして、上記回転基台７６の底部の中心部には、２軸同軸構造８２が設けられている。この２軸同軸構造８２は、中心回転軸８Ｃと、この外側に同軸状に配置される中空状の回転軸８Ｂとよりなり、上記両回転軸８Ｂ、８Ｃ間には軸受１３が介設されると共に、上記外側の回転軸８Ｂと上記回転基台７６の底部７６Ａとの間には軸受１１が介設されて、各回転軸８Ｂ、８Ｃがそれぞれ自由回転可能になされている。上記両回転軸８Ｂ、８Ｃは下方向への長さがそれぞれ異ならせており、各回転軸８Ｂ、８Ｃの下端部にはそれぞれプーリ１２Ｂ、１２Ｃが取り付け固定されており、全体で上下に２段の構造となっている。
【００１９】
そして、上記プーリ１２Ｂ、１２Ｃと略同じ水平レベルに上記第１及び第２アーム機構７２、７４を屈伸駆動させるために、例えばステップモータよりなる２個の駆動源、すなわち第１アーム機構用駆動源１４Ｃと第２アーム機構用駆動源１４Ｂがそれぞれ設けられている。これらの駆動源１４Ｂ、１４Ｃの各駆動軸に設けたプーリ１６Ｂ、１６Ｃと上記回転軸８Ｂ、８Ｃの各プーリ１２Ｂ、１２Ｃとの間にそれぞれ連結ベルト１８Ｂ、１８Ｃが掛け渡されており、上記各回転軸８Ｂ、８Ｃを個別に正逆回転し得るようになっている。
【００２０】
一方、上記第１及び第２アーム機構７２、７４は、アーム部４Ｂ、６Ｂと、被処理体としての半導体ウエハＷを保持するピック部４Ｃ、６Ｃとをそれぞれこの順序で屈伸可能に連結して構成されている。そして、上記回転基台７６には、その周辺部の底部より上方に向けて起立させて第１固定軸２０が設けられている。この第１固定軸２０には、回転軸２４とプーリ２６との一体物が軸受２８を介して回転自在に設けられている。そして、上記プーリ２６と中心回転軸８Ｃの上端部に設けたプーリ３０との間に連結ベルト３２を掛け渡して動力を伝達するようになっている。
【００２１】
また回転軸２４は、アーム部４Ｂの外側筐体８４の基端部に連結されると共に、上記第１固定軸２０の上端部には小プーリ３４が固定されている。このアーム部４Ｂの先端部には、固定軸３６が固定的に設けられており、この固定軸３６には軸受３８を介して大プーリ４０が回転自在に設けられている。この大プーリ４０と小プーリ３４との直径比は２対１に設定されている。そして、上記大プーリ４０の上端部に、上記ピック部４Ｃの基端部を固定時に取り付けている。そして、上記大プーリ４０と小プーリ３４との間に連結ベルト４１を掛け渡して動力を伝達するようになっている。これにより、上記第１アーム機構用駆動源１４Ｃを駆動することにより、この第１アーム機構７２は、屈伸するようになっている。ここで中心回転軸８Ｃと上記第１固定軸２０との間の距離は、図８に示した従来の搬送装置の中心回転軸８Ｃと第１固定軸２０との間の距離と等しくなるように設定されている。
【００２２】
また上記回転基台７６には、上記第１固定軸２０に対して例えば１２０度程度の開き角になされたその周辺部の底部より上方に向けて起立させて第２固定軸４２が設けられている。この第２固定軸４２には、回転軸４４とプーリ４６との一体物が軸受４８を介して回転自在に設けられている。そして、上記プーリ４６と外側の回転軸８Ｂの上端部に設けたプーリ５０との間に連結ベルト５２を掛け渡して動力を伝達するようになっている。
【００２３】
また回転軸４４は、アーム部６Ｂの外側筐体８６の基端部に連結されると共に、上記第２固定軸４２の上端部には小プーリ５４が固定されている。このアーム部６Ｂの先端部には、固定軸５６が固定的に設けられており、この固定軸５６には軸受５８を介して大プーリ６０が回転自在に設けられている。この大プーリ６０と小プーリ５４との直径比は２対１に設定されている。そして、上記大プーリ６０の上端部に、上記ピック部６Ｃの基端部を固定時に取り付けている。そして、上記大プーリ６０と小プーリ５４との間に連結ベルト６１を掛け渡して動力を伝達するようになっている。これにより、上記第２アーム機構用駆動源１４Ｂを駆動することにより、この第２アーム機構７４は、屈伸するようになっている。ここで中心回転軸８Ｃと上記第２固定軸４２との間の距離は、図８に示した従来の搬送装置の中心回転軸８Ｃと固定軸４２との間の距離と等しくなるように設定されている。図２においては、両ピック部４Ｃ、６Ｃが共に同一方向に向いて上下に重なっている状態を示している。
【００２４】
次に、以上のように構成された第１実施例の動作について説明する。
まず、主駆動源１４Ａを正逆回転させることにより、この駆動力は主プーリ１６Ａ、連結ベルト１８Ａ及びプーリ８０を介して回転基台７６へ伝達され、ベースプレートＢＳに軸受７８を介して支持されたこの大直径の基台７６は正逆回転することになる。
また、第１アーム機構用駆動源１４Ｃを正逆回転させることにより、この駆動力はプーリ１６Ｃ、連結ベルト１８Ｃ及びプーリ１２Ｃを介して中心軸８Ｃへ伝達されてこれを回転し、更にこの駆動力は上端部のプーリ３０、連結ベルト３２及びプーリ２６を介して回転軸２４へ伝達されてアーム部４Ｂの外側筐体８４を正逆回転させる。この時、第１固定軸２０の上端部に固定して設けた小プーリ３４には連結ベルト４１が掛け渡されているので、上記外側筐体８４が旋回することでこの連結ベルト４１が走行し、これによって外側筐体８４の先端部に回転自在に設けた大プーリ４０が回転するので、この大プーリ４０に一体的に設けたピック部４Ｃが固定軸３６を中心として旋回する。この場合、上記大プーリ４０と小プーリ３４との直径比は２対１になっているので、外側筐体８４の旋回速度に対してピック部４Ｃは２倍の旋回速度で旋回し、結果的に、ピック部４Ｃが前進及び後退するようにこの第１アーム機構７２は屈伸することになる。尚、この場合、ピック部４Ｃが一定の方向を向いた状態を維持するためには、後述するように回転基台７６も僅かに同期させて回転する。
【００２５】
また、第２アーム機構用駆動源１４Ｂを正逆回転させることにより、この駆動力はプーリ１６Ｂ、連結ベルト１８Ｂ及びプーリ１２Ｂを介して外側の回転軸８Ｂへ伝達されてこれを回転し、更にこの駆動力は上端部のプーリ５０、連結ベルト５２及びプーリ４６を介して回転軸４４へ伝達されてアーム部６Ｂの外側筐体８６を正逆回転させる。この時、第２固定軸４２の上端部に固定して設けた小プーリ５４には連結ベルト６１が掛け渡されているので、上記外側筐体８６が旋回することでこの連結ベルト６１が走行し、これによって外側筐体８６の先端部に回転自在に設けた大プーリ６０が回転するので、この大プーリ６０に一体的に設けたピック部６Ｃが固定軸５６を中心として旋回する。この場合、上記大プーリ６０と小プーリ５４との直径比は２対１になっているので、外側筐体８６の旋回速度に対してピック部６Ｃは２倍の旋回速度で旋回し、結果的に、ピック部６Ｃが前進及び後退するようにこの第２アーム機構７４は屈伸することになる。尚、この場合、ピック部６Ｃが一定の方向を向いた状態を維持するためには、後述するように回転基台７６も僅かに同期させて回転する。
【００２６】
また第１及び第２アーム機構７２、７４の屈伸状態を維持したまま、これらの方向を変えるには、上記主駆動源１４Ａ、第１及び第２アーム機構用駆動源１４Ｃ、１４Ｂを全て同期させて同一方向へ回転させればよい。
図３は上記第１及び第２アーム機構７２、７４の一連の動作の一例を示しており、図３（Ａ）では、第１アーム機構７２が最も伸長しており、第２アーム機構７４が折り畳まれて最も縮退している状態が示されている。そして図３（Ｂ）〜図３（Ｅ）に示すように、第１アーム機構７２を折り曲げつつ、これと同期させて回転基台７６を旋回することにより、ピック部４Ｃは一定の方向を向いた状態で後退することになる。図３（Ｅ）では第１及び第２アーム機構７２、７４が共に最も縮退している状態を示しており、ピック部４Ｃ、６Ｃが上下に重なり合っている。この時、回転基台７６は図３（Ａ）に対して略１００度程度回転している。
【００２７】
また、第１アーム機構７２を伸長する時は、上記とは逆方向へ回転すればよく、更に第２アーム機構７４を屈伸させるためには、第２アーム機構７４に対して上記と同様な操作を行えばよい。
このように、本発明の第１実施例では、大口径の回転基台７６の側面にプーリ８０及び連結ベルト１８Ａを掛け渡してこれを回転させることによって、この回転基台７６に従来の搬送装置の第１アーム部の機能を持たせているので、アーム部の一段分の高さを抑制でき、従ってこの搬送装置全体の高さ（厚さ）を小さくすることができる。
【００２８】
また更に、上記回転基台７６の側面に軸受７８を介在させてこれをベースプレートＢＳに回転自在に支持させるようにしているので、従来の搬送装置で必要とされた回転軸の本数に対して１本省略することができ、従って、その分、更に搬送装置全体の高さを抑制してこれを小さくすることができる。
また上述のように、ベースプレートＢＳにより回転基台７６の側面を回転自在に支持するようにしたので、上記ベースプレートＢＳより上方における搬送装置の高さも小さくすることができる。
【００２９】
＜第２実施例＞
次に、本発明の第２実施例について説明する。
図４は本発明の第２実施例を示す断面図である。尚、図１〜図３に示す構成部分と同一構成部分については同一符号を付してその説明を省略する。
図２において説明した第１実施例では回転基台７６の側面の上部にプーリ８０を設け、この下側に軸受７８を設けて、この回転基台７６をベースプレートＢＳに回転自在に支持させていたが、この第２実施例では、プーリ８０と軸受７８の取り付け位置を上下逆にしている。すなわち、図４に示すように回転基台７６の側面の上部に軸受７８を設けて、ここでベースプレートＢＳに回転自在に支持させている。そして、この軸受７８の下方にプーリ８０を位置させており、このプーリ８０に連結ベルト１８Ａを掛け渡すようにしている。
この場合には、搬送装置全体の高さは第１実施例の場合と同じであるが、ベースプレートＢＳよりも上方における搬送装置の高さをより小さくすることができる。
【００３０】
＜第３実施例＞
次に、本発明の第３実施例について説明する。
図５は本発明の第３実施例を示す断面図である。尚、図１〜図３に示す構成部分と同一構成部分については同一符号を付してその説明を省略する。
図２において説明した第１実施例では回転基台７６の側面の上部にプーリ８０を設け、この下側に軸受７８を設けて、この回転基台７６をベースプレートＢＳに回転自在に支持させていたが、この第３実施例では、図５に示すように、プーリ８０は、第１実施例の場合と同様に回転基台７６の側面に設けてこれに連結ベルト１８Ａを掛け渡している。回転基台７６の回転を支持するために、回転基台７６の底部７６Ａの中心部に、図８に示す従来の搬送装置と同様に、外側回転軸８Ａを取り付け固定し、この外側回転軸８Ａの外周に小口径の軸受１０を介在させてこの回転基台７６の全体をベースプレートＢＳに回転自在に支持するようになっている。従って、この軸受構造は従来の搬送装置と同様に３軸同軸構造になされている。ただし、回転基台７６の側面にプーリ８０を設けるようにしたので、上記外側回転軸８Ａの下端部には、図８に示す従来の搬送装置とは異なってプーリ１２Ａを設ける必要がなくなり、この結果、この外側回転軸８Ａの長さを短くできる。すなわち、回転基台７６の中心部に設ける回転軸に対するプーリ構造は、プーリ１２Ｂ、１２Ｃの２段構造で済み、従って、その分、この搬送装置全体の高さを小さくすることができる。
【００３１】
＜第４実施例＞
次に、本発明の第４実施例について説明する。
図６は本発明の第４実施例を示す断面図である。尚、図１〜図３に示す構成部分と同一構成部分については同一符号を付してその説明を省略する。
上記第１〜第３実施例にあっては、第１及び第２アーム機構７２、７４の２本のアーム機構を設けたが、これに限定されず、この第４実施例のように１本のアーム機構のみ設けるようにしてもよい。
図６に示す場合には、第１実施例から第１アーム機構７２及びこれに関連する部材を省略して設けないようにした装置例を示している。すなわち、図６に示すように、ここでは第１アーム機構７２（図２参照）の全体を設けないで、第２アーム機構７４及びこれに関連する部材のみを設けている。従って、第１アーム機構用駆動源１４Ｃ、プーリ１６Ｃ、連結ベルト１８Ｃ、プーリ１２Ｃ、中心回転軸８Ｃ及びプーリ３０（以上、図２参照）を設けていない。そして、中心回転軸８Ｃが省略されたので、この外側に位置していた回転軸８Ｂを１本のみ設ける構造となり、この回転軸８Ｂを、軸受１１を介して回転基台７６の底部の中心部へ回転自在に取り付けて支持させている。尚、回転基台７６の側面の上部にプーリ８０を設け、この下側に軸受７８を設けて、この回転基台７６をベースプレートＢＳに回転自在に支持させている点は、第１実施例の場合と同じである。
【００３２】
この第４実施例の場合にも、先の第１実施例で説明したと同様に、この搬送装置全体の高さ及びベースプレートＢＳより上方における搬送装置の高さを共に小さくすることができる。このように１本のみのアーム機構を設ける構成は、第２〜第３実施例においても適用することができる。
尚、上記各実施例においては、動力伝達用部材として連結ベルトを用い、これを両プーリ間に掛け渡すようにしたが、これに限定されず、例えば動力伝達用部材としてチェーンを用い、これをプーリの代わりに設けたスプロケット間に掛け渡して動力を伝達するようにしてもよい。
【００３３】
また本発明の搬送機構は、大気圧雰囲気で用いてもよいし、また真空雰囲気中に設けて用いるようにしてもよい。
更に被処理体としては半導体ウエハに限定されず、ＬＣＤ基板、ガラス基板等の他の被処理体にも適用することができる。
【００３４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の搬送装置によれば、次のように優れた作用効果を発揮することができる。
請求項１、２、４〜８に係る発明によれば、所定の直径を有する円形の回転基台上にアーム機構を設けると共に、この回転基台の側面に、例えば連結ベルトなどの動力伝達用部材を巻回して掛け渡し、この動力伝達用部材を例えばステップモータ等よりなる主駆動源により正逆走行させて上記回転基台を正逆回転させてアーム機構の方向付けを行うようにしたので、上記回転基台の幅内、すなわち水平レベル内に上記動力伝達用部材や主駆動源の一部、或いは全部を収めることができ、従って、その分、搬送装置全体の高さを小さくすることができる。
請求項３に係る発明によれば、回転基台を、その側面に軸受を介してベースプレートに回転自在に支持させるようにしているので、回転基台自体の回転軸が不要となり、その分、この搬送装置全体の高さを更に小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る搬送装置の第１実施例を示す斜視図である。
【図２】第１実施例を示す断面図である。
【図３】第１実施例の動作を説明するための動作説明図である。
【図４】本発明の第２実施例を示す断面図である。
【図５】本発明の第３実施例を示す断面図である。
【図６】本発明の第４実施例を示す断面図である。
【図７】従来の搬送装置の一例を示す斜視図である。
【図８】従来の搬送装置を示す断面図である。
【図９】従来の搬送装置の動作を示す動作説明図である。
【符号の説明】
１４Ａ  駆動源（主駆動源）
１４Ｂ  駆動源（第２アーム機構用駆動源）
１４Ｃ  駆動源（第３アーム機構用駆動源）
１６Ａ  プーリ（主プーリ）
１６Ｂ，１６Ｃ  プーリ
１８Ａ  動力伝達用部材（連結ベルト）
２０  固定軸（第１固定軸）
４２  固定軸（第２固定軸）
７０  搬送装置
７２  第１アーム機構
７４  第２アーム機構
７６  回転基台
ＢＳ  ベースプレート
Ｗ  半導体ウエハ（被処理体）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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