(57)【要約】【課題】優れたインク吐出性能および信頼性を有するインクジェット記録ヘッドを提供することである。【解決手段】圧電セラミック層２２の表面に複数の個別電極２３を配列した圧電アクチュエータ２１が、インク吐出口３２を有する複数のインク流路３３が配列された流路部材３１上に、インク流路３３と個別電極２３のランド部２３ｂとの位置を揃えて取り付けられ、駆動用ＩＣ４１が圧電アクチュエータ２１上に実装され、ランド部２３ｂが、異方性導電樹脂膜で形成された給電用電極５１を介して駆動用ＩＣ４１と接合されているインクジェットヘッドである。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電セラミック層の表面に複数の個別電極を配列した圧電アクチュエータが、インク吐出口を有する複数のインク流路を配列した流路部材上に、前記インク流路と前記個別電極との位置を揃えて取り付けられ、駆動用ＩＣが前記圧電アクチュエータ上に実装されたインクジェット記録ヘッドであって、
前記個別電極が導電性樹脂を介して前記駆動用ＩＣと接合されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記導電性樹脂が異方性導電樹脂である請求項１記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
前記圧電アクチュエータの表面に異方性導電樹脂膜が積層され、この異方性導電樹脂膜を介して前記個別電極が前記駆動用ＩＣに接合されている請求項２記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
前記異方性導電樹脂膜が、複数の前記個別電極にまたがる領域に積層されている請求項３記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】
前記領域が、少なくとも一列に配列された複数の前記個別電極にまたがっている請求項４記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】
前記領域が、すべての前記個別電極にまたがっている請求項４記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項７】
前記個別電極が、圧電駆動に寄与する駆動部と、この駆動部の一端から延設された駆動電圧印加用のランド部とを備え、前記異方性導電樹脂膜は、前記駆動部に対応する部分に孔を有する請求項６記載のインクジェット記録ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット方式の記録装置に用いられるインクジェット記録ヘッドに関し、より詳しくは優れたインク吐出性能および信頼性を有するインクジェット記録ヘッドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、パーソナルコンピュータの普及やマルチメディアの発達に伴って、情報を記録媒体に出力する記録装置として、多階調化やカラー化が容易で、ランニングコストを低く抑えることのできる圧電アクチュエータを備えたインクジェット方式の記録装置の利用が急速に拡大している。
【０００３】
かかる記録装置には、インクジェット記録ヘッドが搭載されている。このインクジェット記録ヘッドとしては、例えば図７に示すように、インク吐出口８２を有する複数のインク流路８３が配列された流路部材８１上に、圧電アクチュエータ９１を積層接着したものが挙げられる。圧電アクチュエータ９１は、例えば積層された圧電セラミック層９２，９２と、これらの圧電セラミック層９２の間に配置された共通電極９４と、圧電セラミック層９２の最表面に複数配列された個別電極９３とにより構成されており、個別電極９３と、該個別電極９３直下の圧電セラミック層９２と、共通電極９４とにより複数の圧電素子が形成されたものである。
【０００４】
そして、圧電アクチュエータ９１の上部には、各個別電極９３に対応する配線パターン（図示せず）を有するフレキシブル回路基板（ＦＰＣ）９５が配設され、このＦＰＣ９５を介して駆動用ＩＣ９６の各出力ピンと各個別電極９３とがそれぞれ接続されている。ＦＰＣ９５の配線と各個別電極９３とははんだ９７等により接続されている。このような構成のインクジェット記録ヘッドにおいて、所望の個別電極９３と共通電極９４間に電圧を印加すると、電圧が印加された個別電極９３直下の圧電セラミック層９２が所定の変位量で変位し、インク吐出口８２から所定量のインクが吐出される。
【０００５】
しかしながら、インクジェット記録ヘッドに用いる圧電アクチュエータには、通常、圧電セラミック層の表面に複数の個別電極が配列されているため、ＦＰＣの配線パターンを各個別電極に対して個別に接合する際に、ＦＰＣの配線を圧電アクチュエータ上に高密度に配設しなければならない。特に、個別電極の集積度が高くなるにつれて、個別電極の面積も小さくしなくてはならないため、ＦＰＣの配線を各個別電極に対して個別に接合するのが困難になるので、圧電アクチュエータを高集積化できないという問題がある。
【０００６】
特許文献１，２には、駆動用ＩＣが圧電アクチュエータ上に実装されたインクジェット記録ヘッドが提案されている。このインクジェット記録ヘッドでは、駆動用ＩＣが圧電アクチュエータ上に実装されることにより、駆動用ＩＣの各出力ピンがＦＰＣを介することなく各個別電極に接合されている。これにより、ＦＰＣの配線が圧電アクチュエータ上に高密度で配設されることがなく、個別電極が高集積化された圧電アクチュエータにも容易に対応することができるので、上記問題の対策となりうる。
【０００７】
しかしながら、特許文献１，２に記載のインクジェット記録ヘッドでは、一般に、ＢＧＡ型半導体パッケージ（ＢＧＡ：ボール・グリッド・アレイ）またはＬＧＡ型半導体パッケージ（ＬＧＡ：ランド・グリッド・アレイ）が用いられ、駆動用ＩＣと個別電極は、はんだ等により接合されるため、接合時に圧電アクチュエータが高温に曝されることになる。これにより、圧電セラミック層に熱的ストレスが加わり、圧電セラミック層内に残留応力が生じて、圧電アクチュエータの圧電特性および信頼性が低下し、インクジェット記録ヘッドのインク吐出性能および信頼性が低下するという問題がある。
【特許文献１】特開２００２−１０３６０２号公報
【特許文献２】特開２００２−１０３６０９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の課題は、優れたインク吐出性能および信頼性を有するインクジェット記録ヘッドを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するための本発明のインクジェット記録ヘッドは、以下の構成からなる。
(1)  圧電セラミック層の表面に複数の個別電極を配列した圧電アクチュエータが、インク吐出口を有する複数のインク流路を配列した流路部材上に、前記インク流路と前記個別電極との位置を揃えて取り付けられ、駆動用ＩＣが前記圧電アクチュエータ上に実装されたインクジェット記録ヘッドであって、前記個別電極が導電性樹脂を介して前記駆動用ＩＣと接合されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
(2)  前記導電性樹脂が異方性導電樹脂である(1)記載のインクジェット記録ヘッド。
(3)  前記圧電アクチュエータの表面に異方性導電樹脂膜が積層され、この異方性導電樹脂膜を介して前記個別電極が前記駆動用ＩＣに接合されている(2)記載のインクジェット記録ヘッド。
(4)  前記異方性導電樹脂膜が、複数の前記個別電極にまたがる領域に積層されている(3)記載のインクジェット記録ヘッド。
(5)  前記領域が、少なくとも一列に配列された複数の前記個別電極にまたがっている(4)記載のインクジェット記録ヘッド。
(6)  前記領域が、すべての前記個別電極にまたがっている(4)記載のインクジェット記録ヘッド。
(7)  前記個別電極が、圧電駆動に寄与する駆動部と、この駆動部の一端から延設された駆動電圧印加用のランド部とを備え、前記異方性導電樹脂膜は、前記駆動部に対応する部分に孔を有する(6)記載のインクジェット記録ヘッド。
【発明の効果】
【００１０】
前記(1)記載のインクジェット記録ヘッドによれば、個別電極が導電性樹脂を介して駆動用ＩＣと接合されているので、個別電極と駆動用ＩＣとを接合する際に、はんだ接合時のように圧電アクチュエータが高温に曝されることがない。これにより、圧電セラミック層に残留応力が生じるのを抑制することができ、圧電アクチュエータの圧電特性および信頼性が低下するのを防止できるので、優れたインク吐出性能および信頼性を有したインクジェット記録ヘッドを得ることができる。しかも、このインクジェット記録ヘッドでは、駆動用ＩＣが圧電アクチュエータ上に実装されているので、容易に高集積化することができる。
【００１１】
前記(2)記載のように、導電性樹脂が、厚み方向に高い導電性を有し平面方向では高い絶縁性を示す異方性導電樹脂であるときには、該異方性導電樹脂が隣接する複数の個別電極にまたがって配設されていても、隣接する個別電極間では導通せず、厚み方向の対向部分、すなわち個別電極と、該個別電極に対向する駆動用ＩＣの出力ピンとの間においてのみ導通が達成される。
【００１２】
前記(3)記載のインクジェット記録ヘッドでは、圧電アクチュエータの表面に積層された異方性導電樹脂膜を介して個別電極が駆動用ＩＣに接合されている。この異方性導電樹脂膜は、上記したように厚み方向にのみ導通するので、前記(4)，(5)に記載のように複数の個別電極にまたがる領域に積層されていてもよい。これにより、給電用電極を各個別電極に対して個別に接合する必要がなく、しかも簡便な印刷技術で電気的に接続することができるので、低コスト化を図りかつ容易に接合することができる。
【００１３】
また、前記(6)記載のように、異方性導電樹脂膜が、すべての個別電極にまたがっているときには、異方性導電樹脂膜が個別電極に大面積で接合されるため、圧電アクチュエータと駆動用ＩＣとを強固に接合することができる。また、異方性導電樹脂膜が圧電セラミック層の表面を覆うように配設されるので、振動しない方が好ましい部分、すなわち個別電極が形成されていない圧電セラミック層が振動するのを抑制することができる。これにより、隣接する圧電素子間の干渉を低減することができる。
【００１４】
さらに、前記(7)記載のように、異方性導電樹脂膜において、駆動部に対応する部分に孔を設けることで、異方性導電樹脂膜が駆動部の圧電駆動を妨げるのを防止することができる。これにより、優れたインク吐出性能を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明のインクジェット記録ヘッドについて、図面を参照して詳細に説明する。図１は、本発明の一実施形態にかかるインクジェット記録ヘッド１１を示す概略断面図であり、図２は、インクジェット記録ヘッド１１における圧電アクチュエータ２１上の給電用電極５１を示す平面図である。
【００１６】
図１および図２に示すように、このインクジェット記録ヘッド１１は、圧電セラミック層２２の表面に複数の個別電極２３を配列した圧電アクチュエータ２１が、インク吐出口３２を有する複数のインク流路３３が配列された流路部材３１上に、インク流路３３と個別電極２３との位置を揃えて取り付けられ、駆動用ＩＣ４１が圧電アクチュエータ２１上に実装されている。
【００１７】
圧電アクチュエータ２１は、積層された圧電セラミック層２２，２２と、これらの圧電セラミック層２２，２２の間に配置された共通電極２４と、圧電セラミック層２２の表面に複数配列された個別電極２３とにより構成されている。個別電極２３は、圧電駆動に寄与する駆動部２３ａとこの駆動部２３ａの一端から延設された駆動電圧印加用のランド部２３ｂとを備えている。これにより、圧電アクチュエータ２１には、個別電極２３の駆動部２３ａと、該駆動部２３ａ直下の圧電セラミック層２２と、共通電極２４とにより複数の圧電素子２７が形成されている。
【００１８】
個別電極２３のランド部２３ｂは、給電用電極５１により駆動用ＩＣ４１と接続されている。共通電極２４は、圧電セラミック層２２内の厚み方向に形成されたビア電極２６および圧電セラミック層２２の表面に形成された引出電極２５を介して異方性導電樹脂膜で形成された給電用電極５１に接続され、グランド電位に接続されている。
【００１９】
駆動用ＩＣ４１の上面には、フレキシブル回路基板（ＦＰＣ）６１がはんだ７１により接続されており、このＦＰＣ６１を通じて駆動用ＩＣ４１に電力が供給される。
【００２０】
給電用電極５１は、駆動部２３ａに対応する部分に孔を有し、圧電セラミック層２２およびランド部２３ｂの表面を覆うように配設されている。すなわち、給電用電極５１は、駆動部２３ａを除く圧電アクチュエータの表面に積層され、すべてのランド部２３ｂにまたがる領域に配設されている。この給電用電極５１は、厚み方向に高い導電性を有し平面方向では高い絶縁性を示す異方性導電樹脂膜で形成されている。
【００２１】
給電用電極５１を構成する異方性導電樹脂は、例えば酸無水物硬化型、フェノール硬化型、アミン硬化型などのエポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂中に導電性粒子が分散したものである。導電性粒子としては、例えば金、銀、ニッケル等の金属粒子や表面に金めっき等が施された樹脂粒子等が用いられる。
【００２２】
導電性粒子の粒径は、一般に、３〜１５μｍ程度、好ましくは５〜１０μｍ程度であるのがよい。熱硬化性樹脂中における導電性粒子の配合量は、１〜２５質量％程度であるのがよい。
【００２３】
給電用電極５１の厚みは、３〜２０μｍ程度、好ましくは５〜１５μｍ程度であるのがよい。
【００２４】
このような給電用電極５１が個別電極２３のランド部２３ｂと駆動用ＩＣ４１の出力ピン（図示せず）との間に配設されることにより、ランド部２３ｂとこのランド部２３ｂに対向する駆動用ＩＣ４１の出力ピンとの間を導通させることができる。
【００２５】
圧電アクチュエータ２１を構成する圧電セラミック層２２としては、圧電性セラミックスを用いることができ、具体的には、例えばＢｉ層状化合物（層状ペロブスカイト型化合物）、タングステンブロンズ型化合物、Ｎｂ系ペロブスカイト型化合物（Ｎｂ酸ナトリウムなどのＮｂ酸アルカリ化合物（ＮＡＣ）、Ｎｂ酸バリウムなどのＮｂ酸アルカリ土類化合物（ＮＡＥＣ））、マグネシウムニオブ酸鉛（ＰＭＮ系）、ニッケルニオブ酸鉛（ＰＮＮ系）、Ｐｂを含有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、チタン酸鉛等のペロブスカイト型化合物を含有する物質を例示できる。
【００２６】
上記のうち、特に、少なくともＰｂを含むペロブスカイト型化合物であるのがよい。例えば、マグネシウムニオブ酸鉛（ＰＭＮ系）、ニッケルニオブ酸鉛（ＰＮＮ系）、Ｐｂを含有するジルコン酸チタン酸鉛（ＰＺＴ）やチタン酸鉛等を含有する物質が好ましい。特に、Ａサイト構成元素としてＰｂを含有し、かつＢサイト構成元素としてＺｒおよびＴｉを含有する結晶であるのがよい。このような組成にすることで、高い圧電定数を有する圧電セラミック層が得られる。これら中でもチタン酸ジルコン酸鉛やチタン酸鉛が、大きな変位を付加する上で好適である。ペロブスカイト型結晶の一例として、ＰｂＺｒＴｉＯ3を好適に使用できる。
【００２７】
また、圧電性セラミックスには、他の酸化物を混合してもよく、さらに、特性に悪影響がない範囲であれば、副成分としてＡサイトおよび／またはＢサイトに他元素が置換していてもよい。例えば、副成分としてＺｎ、Ｓｂ、ＮｉおよびＴｅを添加したＰｂ（Ｚｎ1/3Ｓｂ2/3）Ｏ3およびＰｂ（Ｎｉ1/2Ｔｅ1/2）Ｏ3の固溶体であってもよい。
【００２８】
共通電極２４としては、導電性を有するものならばいずれでもよく、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｃｕ、Ａｌやそれらの合金などを用いることができ、具体的には、例えばＡｇ−Ｐｄ合金を例示できる。共通電極２４の厚みは、導電性を有しかつ変位を妨げない程度である必要があり、一般に、０．５〜５μｍ程度、好ましくは１〜４μｍであるのがよい。
【００２９】
個別電極２３としては、導電性を有するものならば何れでもよく、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｃｕ、Ａｌやそれらの合金などを用いることができる。個別電極２３の厚みは、導電性を有しかつ変位を妨げない程度である必要があり、一般に、０．１〜２μｍ程度、好ましくは０．１〜０．５μｍであるのがよい。
【００３０】
次に、インクジェット記録ヘッド１１の製造方法について説明する。まず、前記した圧電性セラミックスの原料粉末を主成分とするグリーンシートを必要枚数作製する。ついで、これらのグリーンシートのうち、一部のグリーンシートに貫通孔を形成する。貫通孔が形成されたグリーンシートにスクリーン印刷によりビア電極２６となる導体を充填する。また、共通電極を形成するグリーンシートの略全面にはスクリーン印刷により共通電極パターンを形成する。ついで、各グリーンシートを、図１に示す構成となるように積層して積層体を形成する。
【００３１】
ついで、この積層体を所定の形状に切断した後、９００〜１１００℃程度で焼成して圧電アクチュエータ本体を形成する。この圧電アクチュエータ本体の表面に導電ペーストを印刷して所定の位置に、駆動部２３ａおよびランド部２３ｂとなる個別電極パターンを形成し、６００〜８５０℃程度で熱処理する。これにより圧電アクチュエータ２１を得ることができる。
【００３２】
流路部材３１は圧延法等によって得られ、インク吐出孔３２およびインク流路３３はエッチングにより所定の形状に加工されて設けられる。この流路部材３１は、Ｆｅ−Ｃｒ系またはＦｅ−Ｃｒ−Ｎｉ系のステンレス鋼、Ｆｅ−Ｎｉ系、ＷＣ−ＴｉＣ系などにより形成されており、特にインクに対する耐食性の優れたＦｅ−Ｃｒ系が好ましい。
【００３３】
圧電アクチュエータ２１と流路部材３１とは、例えば接着層を介して積層接着することができる。接着層としては、周知のものを使用することができるが、圧電アクチュエータ２１や流路部材３１への影響を及ぼさないために、熱硬化温度が１３０〜２５０℃のエポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂の群から選ばれる少なくとも１種の熱硬化性樹脂系の接着剤を用いるのがよい。このような接着層を用いて熱硬化温度にまで加熱することによって、圧電アクチュエータ２１と流路部材３１とを加熱接合することができる。
【００３４】
次に、ランド部２３ｂと駆動用ＩＣ４１の出力ピンとの接合方法について説明する。まず、上記の熱硬化性樹脂および導電性粒子を主成分とする異方性導電樹脂ペースト（Anisotropic Conductive Paste :ACP）を、スクリーン印刷などの手段により、個別電極２３が配列された圧電セラミック層２２の表面に塗布する。このとき、駆動部２３ａの表面には異方性導電樹脂ペーストを塗布しない。また、異方性導電樹脂ペーストに代えて、駆動部２３ａに対応する部分が切り抜かれた異方性導電樹脂フィルム（Anisotropic Conductive Film :ACF）を用いてもよい。この異方性導電樹脂フィルムは、熱硬化性樹脂および導電性粒子を主成分とし、予めフィルム状に成形されたものである。
【００３５】
ついで、駆動用ＩＣ４１の各出力ピンが対応するランド部２３ｂに対向するように、駆動用ＩＣ４１の出力ピンを異方性導電樹脂ペーストまたは異方性導電樹脂フィルムに当接させる。そして、駆動用ＩＣ４１を圧電セラミック層２２側に加圧ツールにより加圧しながら、使用する異方性導電樹脂に応じた硬化温度で加熱し、樹脂を硬化させる。
【００３６】
具体的には、例えば異方性導電樹脂材料としてエポキシ樹脂を用いた場合には、硬化温度を８０〜１５０℃程度の低温で加熱硬化すればよい。これにより、はんだ接合する場合のように圧電アクチュエータ２１が高温に曝されることがないので、圧電セラミック層２２に残留応力が生じるのを抑制することができ、圧電アクチュエータ２１の圧電特性および信頼性が低下するのを防止できる。
【００３７】
また、上記のように、異方性導電樹脂ペーストまたは異方性導電樹脂フィルムの厚み方向に加圧しながら加熱硬化させることにより、厚み方向に導電性粒子が高密度に存在する給電用電極５１を得ることができる。これにより得られる給電用電極５１は、厚み方向に高い導電性を有し平面方向では高い絶縁性を示す。
【００３８】
最後に、駆動用ＩＣ４１の上面にはんだ７１によりＦＰＣ６１を接続することにより、優れたインク吐出性能および信頼性を有したインクジェット記録ヘッド１１を得ることができる。
【００３９】
このような構成のインクジェット記録ヘッド１１では、複数の個別電極２３が駆動用ＩＣ４１の各出力ピンに独立して接続されており、共通電極２４がグランド電位に接続されている。そして、共通電極２４と所望の個別電極２３との間に電圧が印加されると、電圧が印加された個別電極２３の駆動部２３ａ直下の圧電セラミック層２２が変位してインク流路３３内のインクが加圧され、インク吐出孔３２からインク滴が吐出される。
【００４０】
＜他の実施形態＞
図３は、本発明の他の実施形態にかかるインクジェット記録ヘッド１２を示す概略断面図である。図３に示すインクジェット記録ヘッド１２のように、本発明では、駆動用ＩＣ４１に電力を供給するＦＰＣ６１は、流路部材３１上に固定され、駆動用ＩＣ４１の下面にはんだ７１により接続されていてもよい。その他は、図１，図２に示すインクジェット記録ヘッドと同じであるので、同一符号を付して説明を省略する。
【００４１】
図４および図５は、本発明のさらに他の実施形態にかかるインクジェット記録ヘッド１３，１４を示す概略断面図である。図４および図５に示すように、これらのインクジェット記録ヘッド１３，１４では、駆動用ＩＣ４２が回路基板４３に搭載され、この回路基板４３の各端子（図示せず）が給電用電極５１を介して個別電極２３のランド部２３ｂに接合されている。駆動用ＩＣ４２の出力ピン（図示せず）と回路基板の端子は、回路基板４３内部の電気配線で接続されている。また、図４に示すインクジェット記録ヘッド１３における回路基板４３には、該回路基板４３の各端子を接続したランド電極４４が設けられており、このランド電極４４を介して各端子が給電用電極５１に接続されている。
【００４２】
回路基板４３は、個別電極２３のランド部２３ｂと、駆動用ＩＣ４２の出力ピンとのピッチを調節する機能を有する。すなわち、ランド部２３ｂのピッチが変わった場合であっても、これに対応させるために駆動用ＩＣ４２のピッチを変更しなくても回路基板４３の端子のピッチを変更するだけでよい。これにより、生産性が向上し、低コスト化を図ることができる。その他は、図１，図２に示すインクジェット記録ヘッドと同じであるので、同一符号を付して説明を省略する。
【００４３】
図６は、本発明のさらに他の実施形態にかかるインクジェット記録ヘッド１５における給電用電極５２の配置状態を示す概略断面図である。この図では、説明の便宜上、駆動用ＩＣおよびＦＰＣの記載を省略している。図６に示すように、インクジェット記録ヘッド１５では、長尺状の給電用電極５２が、同列に配列された複数の個別電極２３のランド部２３ｂに線状にまたがる領域に積層されている。その他は、図１，図２に示すインクジェット記録ヘッドと同じであるので、同一符号を付して説明を省略する。
【００４４】
以上のような本発明のインクジェット記録ヘッドによれば、駆動用ＩＣが圧電アクチュエータ上に実装されているので、ＦＰＣの配線パターンを各個別電極に接合する必要がなく、ＦＰＣの配線が圧電アクチュエータ上に高密度で配設されるようなことがない。これにより、高集積化された圧電アクチュエータを搭載したインクジェット記録ヘッドを容易に得ることができる。また、駆動用ＩＣと個別電極との接続にＦＰＣを用いずに駆動用ＩＣを直接個別電極に接合するので、駆動の信頼性を高めることができる。
【００４５】
しかも、個別電極が導電性樹脂を介して駆動用ＩＣと接合されているので、個別電極と駆動用ＩＣとを接合する際に、はんだ接合時のように圧電アクチュエータが高温に曝されることがない。これにより、圧電セラミック層に残留応力が生じるのを抑制することができ、圧電アクチュエータの圧電特性および信頼性が低下するのを防止できるので、優れたインク吐出性能および信頼性を有したインクジェット記録ヘッドを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の一実施形態にかかるインクジェット記録ヘッドを示す概略断面図である。
【図２】本発明の一実施形態にかかるインクジェット記録ヘッドにおける圧電アクチュエータ上の給電用電極を示す平面図である。
【図３】本発明の他の実施形態にかかるインクジェット記録ヘッドを示す概略断面図である。
【図４】本発明のさらに他の実施形態にかかるインクジェット記録ヘッドを示す概略断面図である。
【図５】本発明のさらに他の実施形態にかかるインクジェット記録ヘッドを示す概略断面図である。
【図６】本発明のさらに他の実施形態にかかるインクジェット記録ヘッドを示す概略断面図である。
【図７】従来のインクジェット記録ヘッドを示す概略断面図である。
【符号の説明】
【００４７】
１１，１２，１３，１４，１５  インクジェット記録ヘッド
２１  圧電アクチュエータ
２２  圧電セラミック層
２３  個別電極
２３ａ  駆動部
２３ｂ  ランド部
２４  共通電極
３１  流路部材
３２  インク吐出口
３３  インク流路
４１  駆動用ＩＣ
５１，５２  給電用電極（異方性導電樹脂膜）
【図１】
2005074722.tif 000003
【図２】
2005074722.tif 000004
【図３】
2005074722.tif 000005
【図４】
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【図５】
2005074722.tif 000007
【図６】
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【図７】
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