(57)【要約】【課題】  リード線の断線の恐れのない、したがって高タクト（頻度）駆動ができ、機械の生産性を向上するとともに、リニアモータの走り精度を向させ、速度リプルも小さくすることができるムービングマグネット形リニアスライダを提供する。【解決手段】  ムービングマグネット型リニアスライダの２本のリニアガイドのスパンの中心軸と、電機子の推力中心軸とが同一軸線上になるように配置固定され、電機子の進行方向全長Ｌａからマグネットの進行方向全長Ｌｍｇを差し引いた差をリニアモータストロークＬｓｔとしたとき、Ｌｓｔ≧Ｌｍｇ、の関係になるムービングマグネット型リニアスライダにおいて、可動テーブル１５には、少なくともその一部に前記リニアモータストロークＬｓｔとほぼ等しい長さが進行方向に形成されている長尺部分１０を形成され、長尺部分１０にリニアスケールのスケール部１７を固定した。【選択図】  図１
2005341632.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コイルを複数個備えて成る電機子と、該電機子を挟み平行に進行方向に延びる２本のリニアガイドと、前記電機子と前記リニアガイドのガイドレールを固定する固定ベースと、前記電機子とギャップを介して対向配置されると共に前記電機子のスラスト長より短い寸法となる複数個のマグネットと、前記リニアガイドのガイドブロック上に固定されると共に該複数個のマグネットを互いに間隔をあけて進行方向に敷設する可動テーブルと、を備えたムービングマグネット型リニアスライダであって、前記２本のリニアガイドのスパンの中心軸と、前記電機子の推力中心軸とが同一軸線上になるように配置固定され、前記電機子の進行方向全長Ｌａから前記マグネットの進行方向全長Ｌｍｇを差し引いた差をリニアモータストロークＬｓｔとしたとき、Ｌｓｔ≧Ｌｍｇ、の関係になるムービングマグネット型リニアスライダにおいて、
前記可動テーブルには、少なくともその一部に前記リニアモータストロークＬｓｔとほぼ等しい長さが進行方向に形成されている長尺部分を形成され、該長尺部分にリニアスケールのスケール部を固定していることを特徴とするムービングマグネット型リニアスライダ。
【請求項２】
コイルを複数個備えて成る電機子と、該電機子を挟み平行に進行方向に延びる２本のリニアガイドと、前記電機子と前記リニアガイドのガイドレールを固定する固定ベースと、前記電機子とギャップを介して対向配置されると共に前記電機子のスラスト長より短い寸法となる複数個のマグネットと、前記リニアガイドのガイドブロック上に固定されると共に該複数個のマグネットを互いに間隔をあけて進行方向に敷設する可動テーブルと、を備えたムービングマグネット型リニアスライダであって、前記２本のリニアガイドのスパンの中心軸と、前記電機子の推力中心軸とが同一軸線上になるように配置固定され、前記電機子の進行方向全長Ｌａから前記マグネットの進行方向全長Ｌｍｇを差し引いた差をリニアモータストロークＬｓｔとしたとき、Ｌｓｔ≧Ｌｍｇ、の関係になるムービングマグネット型リニアスライダにおいて、
前記可動テーブルには、少なくともその一部に前記リニアモータストロークＬｓｔとほぼ等しい長さが進行方向に形成されている長尺部分を形成され、該長尺部分に、前記電機子と前記マグネットの相対位置を検出する磁極検出器の磁極検出器用マグネットを前記マグネットと同一ピッチで固定したことを特徴とするムービングマグネット型リニアスライダ。
【請求項３】
複数個備えて成る電機子と、該電機子を挟み平行に進行方向に延びる２本のリニアガイドと、前記電機子と前記リニアガイドのガイドレールを固定する固定ベースと、前記電機子とギャップを介して対向配置されると共に前記電機子のスラスト長より短い寸法となる複数個のマグネットと、前記リニアガイドのガイドブロック上に固定されると共に該複数個のマグネットを互いに間隔をあけて進行方向に敷設する可動テーブルと、を備えたムービングマグネット型リニアスライダであって、前記２本のリニアガイドのスパンの中心軸と、前記電機子の推力中心軸とが同一軸線上になるように配置固定され、前記電機子の進行方向全長Ｌａから前記マグネットの進行方向全長Ｌｍｇを差し引いた差をリニアモータストロークＬｓｔとしたとき、Ｌｓｔ≧Ｌｍｇ、の関係になるムービングマグネット型リニアスライダにおいて、
前記可動テーブルには、前記リニアモータストロークＬｓｔとほぼ等しい長さが進行方向に形成されている長尺部分を２カ所該可動テーブルを挟んで両側に平面図で「エ」字状に形成し、一方の長尺部分にはリニアスケールのスケール部を固定し、他方の長尺部分には前記電機子と前記マグネットの相対位置を検出する磁極検出器の磁極検出器用マグネットを前記マグネットと同一ピッチで固定したことを特徴とするムービングマグネット型リニアスライダ。
【請求項４】
前記リニアガイドのレールの進行方向長さＬｌｇは、可動子テーブルの進行方向長さをＬｔ、リニアモータのストロークをＬｓｔとすると、
Ｌｌｇ＞Ｌｔ＋Ｌｓｔ
になっていることを特徴とする請求項３記載のムービングマグネット型リニアスライダ。
【請求項５】
前記「エ」字状構造のその両凹部にそれぞれ突き当たるストッパを進行方向の最先端および最後端において前記固定ベースに固定したことを特徴とする請求項３記載のムービングマグネット型リニアスライダ。
【請求項６】
前記スケール部と対をなすリニアスケールヘッドを前記固定ベース側にギャップを介して固定したことを特徴とする請求項５記載のムービングマグネット形リニアスライダ。
【請求項７】
前記界磁マグネットと対をなすホール素子を前記固定ベース側にギャップを介して固定したことを特徴とする請求項６記載のムービングマグネット形リニアスライダ。
【請求項８】
前記ホール素子の検出する磁極検出信号と前記リニアスケールヘッドの検出するリニアスケール信号とを同じシリアル変換器に接続して、共にシリアル信号に変換して駆動ドライバに接続伝送することを特徴とする請求項７記載のムービングマグネット形リニアスライダ。
【請求項９】
前記シリアル変換器を前記リニアスケールヘッドに組み込んだことを特徴とする請求項８記載のムービングマグネット形リニアスライダ。
【請求項１０】
前記リニアスケールヘッド又は前記シリアル変換機にメモリを設け、該メモリにリニアモータのモータパラメータを入力し、このリニアスライダと駆動ドライバとを接続させた場合、このモータパラメータも前記シリアル信号変換回路で、シリアル信号化し、駆動ドライバに信号伝送する仕組みにしたことを特徴とする請求項８又は９記載のムービングマグネット形リニアスライダ。
【請求項１１】
前記リニアスケールには前記リニアモータ可動側の絶対位置信号を検出するアブソリュート形システムのものを搭載したことを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項記載のムービングマグネット形リニアスライダ。
【請求項１２】
前記電機子が磁気回路となるコアと該コアを巻回するコイルから成るものであることを特徴とする請求項１〜１１のいずれか１項記載のムービングマグネット形リニアスライダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、通電することで界磁磁石（以後、マグネットという。）側が駆動するムービングマグネット形のリニアモータを搭載したリニアスライダに関し、特に、リニアストロークＬｓｔ＞界磁マグネットＬｍｇ、の条件下において、センサリード、モータリードを固定側に配置するための可動テーブル形状およびリニアガイドレール寸法、ストッパ固定位置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のムービングマグネット形リニアスライダで、リニアストロークＬｓｔ＞界磁マグネットＬｍｇの関係にあるものは、リニアスケールのスケールヘッド部を可動テーブル側に、スケール部を固定ベース側に固定していた（例えば、特許文献１参照）。
図６は特許文献１に記載のムービングマグネット形リニアスライダを示す図で、（ａ）は側面図、（ｂ）は平面図である。
図において、３１は固定ベースであり、これにはリニア電機子３２と、これを挟むようにしてリニアガイド３３のガイドレール３３ａが平行に配置固定されている。
また、リニアガイド３３のガイドブロック３３ｂには、可動テーブル３５が固定されており、これには、リニア電機子３２とはギャップを介して固定されている。
また、この可動テーブル３５には、リニアスケールのヘッド部３６が固定されており、これと対をなすスケール部３７は固定ベース３１に固定されている。
このように、従来のムービングマグネット形リニアスライダは、リニアスケールのヘッド３６側が可動テーブル３５に固定されているので、可動テーブル３５の駆動時にこれに追従してリードが動く構造となっている。
また、駆動ドライバ４４と組み合わせた場合、モータパラメータは駆動ドライバ４４の内部メモリに記録されている。
【０００３】
また、従来のムービングマグネット形リニアスイライダで、固定ベースにコアレスコイルを配設するタイプのものにあっては、コアレスコイルを固定する結線基板にホール素子を埋め込み、これの処理回路も結線基板内に配置したことで磁極検出を行う構造としていた（例えば、特許文献２参照）。
図７は特許文献２に記載のムービングマグネット形リニアスライダを示す図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は基板部分の平面図、（ｃ）は可動子に固定された永久磁石ユニット側の平面図である。
図において、１０１は固定子ベース、１０２は可動子、１０３はリニアガイド、１１２はコアレスコイル、１１３は電機子ユニット、１１４はキバン（基板）である。
固定子１０１には電機子ユニット１１３が、図（ｂ）に示すようにコアレスコイル１１２を固定した状態で、取り付け固定されている。可動子１０２には永久磁石ユニット１２１が組み込まれており、これはリニアガイド１０３で摺動自在に支持されている。
また、基板１１４には磁極検出機能が内蔵されたものになっている。
【特許文献１】特開平０６−０５４５１６号公報（図１）
【特許文献２】特開２００２−１０６１７（図１と図６）
【０００４】
このように、特許文献１に記載のムービングマグネット形リニアスライダにあっては、リニアスケールのヘッド側が可動テーブルに固定されているので、可動テーブルの駆動時にこれに追従してリードが動く構造となっており、したがって、テーブル駆動時に、リード線の断線の恐れがあり、高タクト（頻度）駆動することができないので、機械の生産性を落としてしまうという問題があった。
また、リニアガイドの前後間ブロックスパンが狭くなるので、リニアモータの走り精度が劣化し、速度リプルも大きくなるというような問題もあった。
また、特許文献２に記載のムービングマグネット形リニアスライダにあっては、基板に磁極検出機能が内蔵された構造となっているので、その信号処理部がコイルの無い基板上に構成されることになり、コイルの配列方向にこの信号処理部が存在するため、リニアスライダの全長を大きくすることになった。このような短ストロークの小形アクチュエータでは、ユーザからは小形化の要求が強く、推力に関しては無駄寸法があることは、商品価値を下げるものとなった。
また、磁極検出部の信号線とモータパワー線を同軸ケーブルから取り出す方法を取っているので、パワーノイズの影響を受ける危険性が高いなどの問題もあった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、本発明の第１の目的は、リード線の断線の恐れのない、したがって高タクト（頻度）駆動ができ、機械の生産性を向上するとともに、リニアモータの走り精度を向させ、速度リプルも小さくすることができるムービングマグネット形リニアスライダを提供することにある。
また、本発明の第２の目的は、ストローク方向寸法を短く、かつモータパワー線と磁極検出器のリードを独立にすることで、耐ノイズ性を向上させたムービングマグネット形リニアスライダを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記問題を解決するため、本発明は、次のように構成したのである。
請求項１記載のムービングマグネット型リニアスライダ発明は、コイルを複数個備えて成る電機子と、該電機子を挟み平行に進行方向に延びる２本のリニアガイドと、前記電機子と前記リニアガイドのガイドレールを固定する固定ベースと、前記電機子とギャップを介して対向配置されると共に前記電機子のスラスト長より短い寸法となる複数個のマグネットと、前記リニアガイドのガイドブロック上に固定されると共に該複数個のマグネットを互いに間隔をあけて進行方向に敷設する可動テーブルと、を備えたムービングマグネット型リニアスライダであって、前記２本のリニアガイドのスパンの中心軸と、前記電機子の推力中心軸とが同一軸線上になるように配置固定され、前記電機子の進行方向全長Ｌａから前記マグネットの進行方向全長Ｌｍｇを差し引いた差をリニアモータストロークＬｓｔとしたとき、Ｌｓｔ≧Ｌｍｇ、の関係になるムービングマグネット型リニアスライダにおいて、前記可動テーブルには、少なくともその一部に前記リニアモータストロークＬｓｔとほぼ等しい長さが進行方向に形成されている長尺部分を形成され、該長尺部分にリニアスケールのスケール部を固定していることを特徴とする。
請求項２記載のムービングマグネット型リニアスライダ発明は、コイルを複数個備えて成る電機子と、該電機子を挟み平行に進行方向に延びる２本のリニアガイドと、前記電機子と前記リニアガイドのガイドレールを固定する固定ベースと、前記電機子とギャップを介して対向配置されると共に前記電機子のスラスト長より短い寸法となる複数個のマグネットと、前記リニアガイドのガイドブロック上に固定されると共に該複数個のマグネットを互いに間隔をあけて進行方向に敷設する可動テーブルと、を備えたムービングマグネット型リニアスライダであって、前記２本のリニアガイドのスパンの中心軸と、前記電機子の推力中心軸とが同一軸線上になるように配置固定され、前記電機子の進行方向全長Ｌａから前記マグネットの進行方向全長Ｌｍｇを差し引いた差をリニアモータストロークＬｓｔとしたとき、Ｌｓｔ≧Ｌｍｇ、の関係になるムービングマグネット型リニアスライダにおいて、前記可動テーブルには、少なくともその一部に前記リニアモータストロークＬｓｔとほぼ等しい長さが進行方向に形成されている長尺部分を形成され、該長尺部分に、前記電機子と前記マグネットの相対位置を検出する磁極検出器の磁極検出器用マグネットを前記マグネットと同一ピッチで固定したことを特徴とする。
請求項３記載のムービングマグネット型リニアスライダ発明は、複数個備えて成る電機子と、該電機子を挟み平行に進行方向に延びる２本のリニアガイドと、前記電機子と前記リニアガイドのガイドレールを固定する固定ベースと、前記電機子とギャップを介して対向配置されると共に前記電機子のスラスト長より短い寸法となる複数個のマグネットと、前記リニアガイドのガイドブロック上に固定されると共に該複数個のマグネットを互いに間隔をあけて進行方向に敷設する可動テーブルと、を備えたムービングマグネット型リニアスライダであって、前記２本のリニアガイドのスパンの中心軸と、前記電機子の推力中心軸とが同一軸線上になるように配置固定され、前記電機子の進行方向全長Ｌａから前記マグネットの進行方向全長Ｌｍｇを差し引いた差をリニアモータストロークＬｓｔとしたとき、Ｌｓｔ≧Ｌｍｇ、の関係になるムービングマグネット型リニアスライダにおいて、前記可動テーブルには、前記リニアモータストロークＬｓｔとほぼ等しい長さが進行方向に形成されている長尺部分を２カ所該可動テーブルを挟んで両側に平面図で「エ」字状に形成し、一方の長尺部分にはリニアスケールのスケール部を固定し、他方の長尺部分には前記電機子と前記マグネットの相対位置を検出する磁極検出器の磁極検出器用マグネットを前記マグネットと同一ピッチで固定したことを特徴とする。
請求項４記載の発明は、請求項３記載のムービングマグネット型リニアスライダにおいて、前記リニアガイドのレールの進行方向長さＬｌｇが、可動子テーブルの進行方向長さをＬｔ、リニアモータのストロークをＬｓｔとすると、Ｌｌｇ＞Ｌｔ＋Ｌｓｔ、になっていることを特徴とする。
請求項５記載の発明は、請求項３記載のムービングマグネット型リニアスライダにおいて、前記「エ」字状構造のその両凹部にそれぞれ突き当たるストッパを進行方向の最先端および最後端において前記固定ベースに固定したことを特徴とする。
請求項６記載の発明は、請求項５記載のムービングマグネット型リニアスライダにおいて、前記スケール部と対をなすリニアスケールヘッドを前記固定ベース側にギャップを介して固定したことを特徴とする。
請求項７記載の発明は、請求項６記載のムービングマグネット型リニアスライダにおいて、前記界磁マグネットと対をなすホール素子を前記固定ベース側にギャップを介して固定したことを特徴とする。
請求項８記載の発明は、請求項７記載のムービングマグネット型リニアスライダにおいて、前記ホール素子の検出する磁極検出信号と前記リニアスケールヘッドの検出するリニアスケール信号とを同じシリアル変換器に接続して、共にシリアル信号に変換して駆動ドライバに接続伝送することを特徴とする。
請求項９記載の発明は、請求項８記載のムービングマグネット型リニアスライダにおいて、前記シリアル変換器を前記リニアスケールヘッドに組み込んだことを特徴とする。
請求項１０記載の発明は、請求項８又は９記載のムービングマグネット形リニアスライダにおいて、前記リニアスケールヘッド又は前記シリアル変換機にメモリを設け、該メモリにリニアモータのモータパラメータを入力し、このリニアスライダと駆動ドライバとを接続させた場合、このモータパラメータも前記シリアル信号変換回路で、シリアル信号化し、駆動ドライバに信号伝送する仕組みにしたことを特徴とする。
請求項１１記載の発明は、請求項１〜１０のいずれか１項記載のムービングマグネット形リニアスライダにおいて、前記リニアスケールには前記リニアモータ可動側の絶対位置信号を検出するアブソリュート形システムのものを搭載したことを特徴とする。
請求項１２記載の発明は、請求項１〜１１のいずれか１項記載のムービングマグネット形リニアスライダにおいて、前記電機子が磁気回路となるコアと該コアを巻回するコイルから成るものであることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
上記構成により、リニアストロークＬｓｔ≧界磁マグネットＬｍｇの条件においても、可動テーブルの駆動タクト（頻度）を向上させることができ、またリニアモータの走り精度を向上させることができるので、これを搭載した機器の生産性を向上させることができる。
また、リニアスケールとは反対側に、電機子と界磁マグネットの相対位置を検出する磁極検出器を配置する構造とし、ホール素子側を固定ベース側に、界磁マグネットと同一ピッチの磁極検出器用マグネットを可動テーブル側に配置固定したことで、ストローク方向寸法を短く、かつモータパワー線と磁極検出器のリードを独立にすることで、耐ノイズ性を向上させることができる。
また、磁極検出器をつけたことで、サーボＯＮ時、即座にリニア電機子と界磁マグネットの相対位置を検出でき、セットアップを簡略化することができる。
さらに、モータパラメータもシリアル伝送化することで、モータ定数情報等を予め、リニアスライダに記憶させ、駆動ドライバに接続した際にドライバ側にモータパラメータ情報を入力させることで、将来仮に駆動ドライバ破損交換の際、別の駆動ドライバに交換しても、即座に従来と同一の状態に復帰させることができる。
そして、リニアスケールの信号出力形態をアブソリュート信号とすることで、電源投入時に原点復帰動作を必要とせず、工作機など加工の面から原点復帰動作が加工精度に影響する用途に好適となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
【実施例１】
【０００９】
図１は、本発明に係るムービングマグネット形リニアスライダを示す図で、（ａ）は側面図、（ｂ）は平面図である。
図において、1１は固定ベース、1２はリニア電機子、1３はリニアガイドとなっている。リニア電機子1２を、そのコアギャップ面が上向きとなるように、固定ベース1１に配置し、これを挟み込むように平行するリニアガイド1３のガイドレール１３ａに固定する際、リニアガイドスパンの中心軸と、前記リニア電機子の推力中心軸とが同一軸線上になるように配置固定させている。
また、界磁マグネット1４は、リニアガイド1３のガイドブロック１３ｂに固定された可動テーブル1５に配置固定されている。
このとき、前記リニア電機子１２の全長Ｌａから、界磁マグネット１４の進行方向全長を差し引いた長さＬｍｇをリニアモータのストロークＬｓｔとしたとき、
Ｌｓｔ≧Ｌｍｇ
の関係になる場合、前記テーブル形状はその長さを前記リニアストロークＬｓｔとほぼ等しい長さとし、その中心軸近傍前後部を、リニアガイドブロック固定部スペースと界磁マグネット１４取り付けスペースを除いた部分を削除加工した「エ」字形状になっている。  すなわち、可動テーブル１５には、少なくともその一部（図１（ｂ）の場合、波動テーブル１５の上下端部）に前記リニアモータストロークＬｓｔとほぼ等しい長さが進行方向に形成されている長尺部分（図１（ｂ）の場合、「エ」字形状の上下の横棒部分）１０を形成され、この長尺部分１０にリニアスケールのスケール部１７を固定した。
また、リニアガイド１３のレール長さＬｌｇは、可動子の進行方向のテーブル長をＬｔ、リニアモータのストロークをＬｓｔとしたとき、
Ｌｌｇ＞Ｌｔ＋Ｌｓｔ
になっている。
そして、この凹部に突き当たるストッパを前後に配置し、固定ベース１１に固定させ、エ字形状の片側面にはリニアスケールのスケール部が固定されている。
また、これと対をなすリニアスケールヘッド１６は、固定ベース１１側にギャップを介し固定されていることで、
リニアストロークＬｓｔ≧界磁マグネットＬｍｇ
の条件下においても、リニアスケールリード１９、モータリード２０が固定側に配置される。
ストッパ機能と搬送ハンドルの機能を合わせたストロークエンドストッパ１８をリニア電機子１２の前後端の固定子ベース１１に、前記「エ」字形状になっている可動テーブル１５の凹部にはまり込むように固定されている。
本発明の第１実施例に係るムービングマグネット型リニアスライダが特許文献１記載のそれと異なる部分は、このように
リニアストロークＬｓｔ≧界磁マグネットＬｍｇ
の関係になる場合でも、リニアスケールのスケール部をこの可動テーブル側に固定し、スケールヘッド側を固定ベース側に固定させる構造にすることで、リニアスケールリード線を固定側に、かつリニアガイドの前後間ブロックスパンを広くした構造にしている点である。
【００１０】
そして、本発明の第１実施例に係るムービングマグネット型リニアスライダの信号検出動作は、図２に示すように、リニアスケールヘッド１６の内部にあるシリアル変換回路２２でリニアスケール信号、磁極信号および、メモリＩＣ２３に記憶されたモータパラメータをシリアル変換し、駆動ドライバ側へ通信伝送する仕組みとなっており、従来のパルス伝送に比べて大容量伝送が可能となるので、高速かつ高分解能のリニア駆動システムが可能となり、従来のパルス列伝送に比べて最少位置決め分解能を１０倍に性能向上することができる。
【実施例２】
【００１１】
図３は本発明の第２実施例に係るムービングマグネット型リニアスライダを示す図で、（ａ）は側面図、（ｂ）は平面図である。
図において、図１と同じ符号は同じ部品を指すので、重複説明は省略する。
２６は磁極検出器用マグネット、２７は磁極検出器ヘッド、２８は磁極検出器リードである。このように、スライダのリニアスケール１７とは反対側に、リニア電機子１２と界磁マグネット１４の相対位置を検出する磁極検出器系を配置する構造とし、ホール素子が配備される磁極検出ヘッド２７側を固定ベース１１側に配置し、界磁マグネット１４と同一ピッチの磁極検出器用マグネット２６を可動テーブル１５側に配置した構造にし、この磁極検出信号を磁極検出器リード２８を介してリニアスケール信号と同じシリアル変換器２２に接続して、共にシリアル信号に変換して駆動ドライバ４４に接続伝送するシステムとなっている。
【００１２】
このように、「エ」字形状の可動テーブル形状と、これにはまり込むストッパ形状となっており、このオーバラップ部分がリニアスケールのスケール部の固定スペースを確保できることになっているので、リニアスケールのヘッド部および磁極検出ヘッドを固定ベース側、スケール部および磁極検出器用マグネットを可動テーブル側に配置固定することができる。
また、「エ」字形状の可動テーブルの４隅部にリニアガイドブロックを配置固定することが可能になるので、リニアガイドの前後間ブロックスパンを広くした構造にできる。
【実施例３】
【００１３】
図４は、本発明の第３の実施例に係るムービングコイル形リニアスライダを示す図で、（ａ）はその平面図と三面図、（ｂ）は可動子に固定された永久磁石ユニット側の平面図である。
図において、１１は固定ベース、１２はコアレス電機子、１３はリニアガイドとなっている。図３との相違点はこのように電機子が図３ではコア付き電機子であるのに対して、コアレス電機子である点が異なっている。
このように、コアレス電機子１２を図示のごとく固定ベース１１に配置し、これを挟み込むように平行するリニアガイド１３のガイドレール１３ａが固定ベース１１に固定する際、リニアガイドスパンの中心軸と、前記リニア電機子の推力中心軸とが同一軸線上になるように配置固定させている。また、界磁マグネット１４は、リニアガイド１３のガイドブロック１３ｂに固定された可動テーブル１５に配置固定されている。
リニアスケールの取り付けは、スケール（検出）ヘッド１６側を固定ベース１１に、スケール１７側を可動テーブル１５側に固定させた構造となっている。加えてストロークエンドストッパ１８を、リニア電機子１１の前後端の固定子ベース１１に固定させている。
このリニアスケールとは反対側に、リニア電機子１２と界磁マグネット１４の相対位置を検出する磁極検出器を配置する構造とし、ホール素子が配備されている磁極検出器ヘッド２７を固定ベース１１側、界磁マグネットと同一ピッチの磁極検出器用マグネット２６を可動テーブル１５側に配置固定した構造で、この磁極検出信号は、リニアスケールヘッドから出力されるスケール信号と共に、シリアル変換器２２でシリアル信号化され、駆動ドライバ２４に接続、通信伝送される。
このように磁極検出器をリニアスライダ側部に配備することで従来技術のようにストロークを犠牲にすることはなく、コンパクトで、ストロークを最大限長くすることができることを特徴とするムービングマグネット形リニアスライダとなっている。
本発明の第３の実施例に係るムービングコイル形リニアスライダが特許文献２記載のものと異なる部分は、磁極検出器をこのように別置きにしたことである。
【００１４】
シリアル変換器２２の動作は図２で説明したので、重複説明は省略するが、結論は、リニアスケールヘッドもしくは別置きのシリアル変換機の内部にあるシリアル変換回路２２でリニアスケール信号、磁極信号およびメモリＩＣ２３に記憶されたモータパラメータをシリアル変換し、駆動ドライバ側へ通信伝送するようにしており、従来のパルス伝送に比べて大容量伝送が可能となるので、高速かつ高分解能のリニア駆動システムが可能となり、従来のパルス列伝送に比べて最少位置決め分解能を１０倍に性能向上することができる。
【実施例４】
【００１５】
図５は、本発明の第４の実施例に係るムービングコイル形リニアスライダを示す図である。これは、重力軸に使用される際のオプション仕様であるが、重力補償用バネ３０を配備し、電源Ｏｆｆ時の落下防止が可能となっている。
このように、空きスペースを重力補償バネの配置に用いることでコンパクトな重力軸用スライダを実現している。
また、リニアスケールヘッドに、モータパラメータ記憶用メモリＩＣおよびシリアル変換回路を持たせることで、高速且つ高分解能のリニア駆動システムが可能となり、さらには将来仮に駆動ドライバ破損交換の際、別の駆動ドライバに交換しても、即座に従来と同一の状態に復帰させることができる。
【００１６】
可動側にリード線を持つ部材を使用しない構造にすることによって高タクト（頻度）動作が可能になるので、高速応答性が要求され駆動Ｄｕｔｙの高い半導体部品製造機器の一つボンダという用途にも適用できる。
また、このようにストロークを犠牲にせず、磁極検出器を配備した構造にしたことで、リニアスライダの全長に対するストローク長の割合を従来技術に２０％〜３０％おおきくすることが可能となり、また重力補償バネ配備も可能な構造にすることで、本リニアスライダを重力軸駆動用途にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明に係るムービングマグネット形リニアスライダを示す図で、（ａ）は側面図、（ｂ）は平面図である。
【図２】本発明が採用するリニアスケールヘッドもしくはシリアル変換器の構成を示す図である。
【図３】本発明の第２実施例に係るムービングマグネット型リニアスライダを示す図で、（ａ）は側面図、（ｂ）は平面図である。
【図４】本発明の第３の実施例に係るムービングコイル形リニアスライダを示す図で、（ａ）はその平面図と三面図、（ｂ）は可動子に固定された永久磁石ユニット側の平面図である。
【図５】本発明の第４の実施例に係るムービングコイル形リニアスライダを示す図である。
【図６】特許文献１に記載のムービングマグネット形リニアスライダを示す図で、（ａ）は側面図、（ｂ）は平面図である。
【図７】特許文献２に記載のムービングマグネット形リニアスライダを示す図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は基板部分の平面図、（ｃ）は可動子に固定された永久磁石ユニット側の平面図である。
【符号の説明】
【００１８】
１１：固定ベース
１２：リニア電機子
１３：リニアガイド
１３ａ：ガイドレール
１３ｂ：ガイドブロック
１４：界磁マグネット
１５：可動テーブル
１６：リニアスケールヘッド部
１７：スケール部
１８：ストッパ
１９：モータリード
２０：リニアスケールケーブルリード
２２：シリアル変換回路
２３：メモリＩＣ
２４：駆動ドライバ
２５：スケールホルダ
２６：磁極検出器用マグネット
２７：磁極検出器ヘッド
２８：磁極検出器リード
３０：重力補償用バネ
３１：固定ベース
３２：リニア電機子
３３：リニアガイド
３３ａ：ガイドレール
３３ｂ：ガイドブロック
３４：界磁マグネット
３５：可動テーブル
３６：リニアスケールヘッド部
３７：スケール部
３８：ストッパ
３９：モータリード
４０：リニアスケールケーブルリード
４４：駆動ドライバ
４５：スケールホルダ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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