(57)【要約】【課題】  小型の基板であっても安定して精度良く製造でき、内孔及び外周の切断の際のチッピングを最小限に抑えることができ、しかも効率よく情報記録媒体用ガラス基板を製造できるようにする。【解決手段】  成形した１枚の板状ガラスから複数枚のガラス基板を切り出すようにすることで、小型のガラス基板を容易に製造できる。また、ガラス基板を切り出す際に、複数枚のガラス基板を接着物質を介して重ね合わせた積層体を形成し、該積層体からガラス基板を切り出すようにすることで、製造効率を向上させ、チッピングの欠陥を最小限にすることができる。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状ガラスを成形するステップと、該板状ガラスからコアドリルで複数の基板の内孔を切断するステップと、該板状ガラスからコアドリルで複数の基板の外周を切断するステップを有することを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板の製造方法
【請求項２】
板状ガラスを成形するステップと、該板状ガラス複数枚を接着物質を介して重ね合わせた積層体を形成するステップと、該積層体からコアドリルで基板の内孔を切断するステップと、該積層体から基板の外周を切断するステップと、切断後の基板積層体から各基板を分離するステップとを有することを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板の製造方法
【請求項３】
請求項２の製造方法において、前記内孔及び外周を切断するステップが、１個の前記積層体から複数の前記基板積層体を切断するものであることを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板の製造方法
【請求項４】
請求項２又は３の製造方法において、前記接着物質が接着剤であることを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板の製造方法
【請求項５】
請求項２又は３の製造方法において、前記接着物質が氷であり、前記積層体を形成するステップが前記各板状体を間に水を介して重ね合わせた後これを冷却して水を凍らせるものであることを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板の製造方法
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかの製造方法において、前記板状ガラスを成形するステップがプレス成形によるものであることを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板の製造方法
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかの製造方法によって製造したことを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板
【請求項８】
請求項１〜６のいずれかの製造方法によって製造した情報記録媒体用ガラス基板の表面に磁性膜を形成するステップを有することを特徴とする情報記録媒体の製造方法
【請求項９】
請求項１〜６のいずれかの製造方法によって製造した情報記録媒体用ガラス基板の表面に磁性膜を形成したことを特徴とする情報記録媒体
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、主にハードディスクに組み込まれる情報記録媒体、該媒体に用いる情報記録媒体用ガラス基板及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から円板状ガラスをプレス成形により成形し、徐冷後に外周加工、内孔加工、研磨加工などを行ってガラス基板とし、その後基板表面にスパッタリングによって磁性膜を形成して情報記録媒体を得ることが行われている（特許文献１）。外周加工は、やや大きめに成形した板状ガラスの外周部をダイヤモンドカッターで円形に傷を付け、余剰外周部を割って取り除いた後、外周に研磨加工を行うか、板状ガラスの外周形状を精度良く成形しておいて直接外周に研磨加工を行う。内孔加工は通常コアドリルで内孔を切断後に内孔周囲に研磨加工を行う。
【０００３】
また、中心に軸方向の孔を形成した円柱状ガラス塊を成形した後に、これをスライス切断して円板状ガラスを切り出し、これに外周研磨加工、内孔研磨加工、両面研磨加工などを行って情報記録媒体用ガラス基板とする技術も開示されている（特許文献２）。
【特許文献１】特開平１０−２３６８３１号公報
【特許文献２】特開昭６１−１７２２２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記の円板状ガラスをプレス成形により成形する方法（特許文献１）は最も一般的であるが、２インチ以下の小型の基板の場合、径の小さな円板状ガラスをプレス成形により成形するのが困難で、これに対応できない。また、内孔及び外周を切断する場合、チッピングと呼ばれる欠陥が生じやすく、歩留まりが悪いという問題もある。
【０００５】
上記の円柱状ガラス塊を成形する方法（特許文献２）は、中心に軸方向の孔を形成するのが困難である（心棒を入れて円柱状ガラス塊を成形後、心棒を抜き取るのが困難）、均質な円柱状ガラス塊を成形するのが困難である（気泡が残存するなど）、スライス切断に時間とコストがかかる等の問題があり、実用化は困難である。
【０００６】
本発明は、小型の基板であっても安定して精度良く製造でき、内孔及び外周の切断の際のチッピングを最小限に抑えることができ、しかも効率よく情報記録媒体用ガラス基板を製造できるようにすることを課題としてなされたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本願の請求項１の発明は、板状ガラスを成形するステップと、該板状ガラスからコアドリルで複数の基板の内孔を切断するステップと、該板状ガラスからコアドリルで複数の基板の外周を切断するステップを有することを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板の製造方法である。
【０００８】
本願の請求項２の発明は、板状ガラスを成形するステップと、該板状ガラス複数枚を接着物質を介して重ね合わせた積層体を形成するステップと、該積層体からコアドリルで基板の内孔を切断するステップと、該積層体から基板の外周を切断するステップと、切断後の基板積層体から各基板を分離するステップとを有することを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板の製造方法である。
【０００９】
本願の請求項３の発明は、請求項２の製造方法において、前記内孔及び外周を切断するステップが、１個の前記積層体から複数の前記基板積層体を切断するものであることを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板の製造方法である。
【００１０】
本願の請求項４の発明は、請求項２又は３の製造方法において、前記接着物質が接着剤であることを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板の製造方法である。
【００１１】
本願の請求項５の発明は、請求項２又は３の製造方法において、前記接着物質が氷であり、前記積層体を形成するステップが前記各板状体を間に水を介して重ね合わせた後これを冷却して水を凍らせるものであることを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板の製造方法である。
【００１２】
本願の請求項６の発明は、請求項１〜５のいずれかの製造方法において、前記板状ガラスを成形するステップがプレス成形によるものであることを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板の製造方法である。
【００１３】
本願の請求項７の発明は、請求項１〜６のいずれかの製造方法によって製造したことを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板である。
【００１４】
本願の請求項８の発明は、請求項１〜６のいずれかの製造方法によって製造した情報記録媒体用ガラス基板の表面に磁性膜を形成するステップを有することを特徴とする情報記録媒体の製造方法である。
【００１５】
本願の請求項９の発明は、請求項１〜６のいずれかの製造方法によって製造した情報記録媒体用ガラス基板の表面に磁性膜を形成したことを特徴とする情報記録媒体である。
【発明の効果】
【００１６】
１枚の板状ガラス又は１つの積層体から複数の基板又は基板積層体を切断することで、小型の基板を製造する場合でも、十分に大きな板状ガラスを成形すればよいから、プレス成形によって板状ガラスを成形することが可能となり、通常の大きさの基板を製造する設備を利用して容易かつ低コストで基板を製造することが可能となる。
【００１７】
積層体から基板積層体を切断する場合、１回の切断動作で複数枚の基板が切断され、しかも１枚の基板を単独で切断するよりも切断スピードを上げることができるので（積層体とすることで全体の厚さ及び強度が増すため）、製造効率が向上する。さらに、内孔又は外周を切断する場合、チッピングの欠陥が生じる可能性があるのは最下段の１枚の基板のみとなる（チッピングが生じるのはコアドリルで切断完了寸前である）から、チッピングの欠陥が著しく減少し、歩留まり及び製造効率が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
板状ガラスの成形方法は特に限定されないが、プレス成形により成形することが高品質の板状ガラスを安定して容易に成形できるので望ましい。本発明のガラス基板に用いられるガラスの種類としては、特に限定されるものではないが、例えば、アルカリ・アルミノ・シリケート系ガラス（Ｒ２Ｏ・Ａｌ２Ｏ３・ＳｉＯ２）を用いることができる。
【００１９】
１枚の板状ガラス又はその積層体から複数の基板又は基板積層体を切断する場合、積層するステップ及び内孔、外周を切断するステップに先立って表面の研磨を行うことが望ましい。切断後に研磨する場合に比べて研磨する枚数を減らすことができ、製造効率を向上できるからである。
【００２０】
１枚の板状ガラス又は１つの積層体から複数の基板又は基板積層体を切断する場合、１枚の板状ガラス又は１つの積層体から幾つの基板又は基板積層体を切断するかは限定されない。また、板状ガラスの平面形状は円形、四辺形など適宜形状とすることができる。
【００２１】
積層体を形成する板状ガラスの枚数は任意であるが、例えば１０〜２０枚とすることができる。
【００２２】
積層体において各板状ガラスを接着する接着物質は、デンプン糊、合成糊などの接着剤、パラフィン、氷などを用いることができる。切断後の基板積層体から各基板を分離する場合、デンプン糊の場合は基板積層体を水に漬ける、合成糊及びパラフィンの場合は基板積層体を加熱するか溶剤に漬けるなどすればよい。特に、接着物質として氷を用いた場合は、常温で放置（加熱しても良い）すれば分離でき、接着物質による汚れもなく、さらに内孔、外周の切断時にはコアドリル先端の冷却作用もあり、きわめて好適である。
【００２３】
情報記録媒体用ガラス基板は、例えば下から順次、Ｃｒ層からなる下地層、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ等からなる記録層である磁性膜、保護層、潤滑層を形成して、情報記録媒体とする。このような磁性膜の形成方法は周知であるので説明を省略する。
【実施例】
【００２４】
図１は積層体２の説明図で、上段が平面図、下段が側面図である。板状ガラス１は、直径８５〜９０ｍｍ、厚さ１．３ｍｍの円板状にプレス成形したものを両面研磨して厚さ０．６ｍｍに加工したもので、これを水に濡らして１０枚重ね合わせ、外面の水を拭き取った後冷凍庫に入れ、各板状ガラスの間の水を凍らせて積層体２を形成する。同図に点線で示すように、内孔切断及び外周切断を４カ所行い、積層体２から４個の基板積層体３（直径３０ｍｍ）を切り出す。
【００２５】
図２は基板積層体３の説明図で、上段が平面図、下段が側面図である。基板積層体３は１０枚の情報記録媒体用ガラス基板４が積層した状態となっている。図中符号５は内孔、６は外周である。この基板積層体３を常温で放置しておくと、各基板４の間の氷が溶け、各基板が分離される。
【００２６】
図３は積層体２から基板積層体３を切り出す装置の平面説明図、図４は内孔切断の説明図、図５は外周切断の説明図である。この装置はターンテーブル１０、載置台１１、内孔切断用コアドリル１２、外周切断用コアドリル１３を有する。ターンテーブル１０は円板状をなし、矢印Ｅ方向に間欠的に回転する。ターンテーブル１０には４個の載置台１１が自転可能に９０°間隔で取り付けられ、各載置台１１はターンテーブル１０が回転することによって、順次図３のＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ位置に移動していく。
【００２７】
載置台１１がＡ位置に来たときに、載置台１１上に冷凍庫から取り出した積層体２が供給される。載置台１１がＢ位置に来たときに内孔切断（内径５ｍｍ）が行われる。Ｂ位置の上部には１個の内孔切断用コアドリル１２が設けられており、切断時にはこれが回転しながら下降して内孔切断を行う（図４）。１個の内孔を切断すると、載置台１１が矢印Ｆ方向に９０°回転し、その後２個目の内孔切断を行う。このようにして、順次４個の内孔切断が行われる。載置台１１がＣ位置に来たときに外周切断（外径３０ｍｍ）が行われる。Ｃ位置の上部には１個の外周切断用コアドリル１３が設けられており、切断時にはこれが回転しながら下降して外周切断を行う（図５）。１個の外周を切断すると、載置台１１が矢印Ｇ方向に９０°回転し、その後２個目の外周切断を行う。このようにして、順次４個の外周切断が行われる。内孔及び外周の切削速度は例えば０．３ｍｍ／秒とすることができる。載置台１１がＤ位置に来たとき、切り出した基板積層体３及びその他の残部が取り出される。
【００２８】
取り出した基板積層体３は、常温で放置しておくと、各基板の間の氷が溶け、各基板が分離する。この情報記録媒体用ガラス基板に対しては、さらに内孔研磨、外周研磨などの精密加工を行い、さらに表面に磁性膜を積層し、情報記録媒体とする。このような情報記録媒体は、主にハードディスクに組み込まれる。
【００２９】
前記の装置は、積層体から基板積層体を切り出す場合について説明したが、１枚の板状ガラスから４枚のガラス基板を切り出す場合にも使用することができる。また、内孔切断用コアドリル及び外周切断用コアドリルを複数個設け、複数の内孔又は外周を同時に切断するように構成することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】積層体２の説明図である。
【図２】基板積層体３の説明図である。
【図３】積層体２から基板積層体３を切り出す装置の平面説明図である。
【図４】内孔切断の説明図である。
【図５】外周切断の説明図である。
【符号の説明】
【００３１】
１  板状ガラス
２  積層体
３  基板積層体
４  情報記録媒体用ガラス基板
５  内孔
６  外周
１０  ターンテーブル
１１  載置台
１２  内孔切断用コアドリル
１３  外周切断用コアドリル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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