(57)【要約】      （修正有）【課題】従来にない作用効果を発揮する画期的な薄型フィルムの処理装置及び薄型フィルムの処理方法を提供する。【解決手段】薄型フィルム１にウエットブラスト処理をする処理装置であって、前記薄型フィルム１は該薄型フィルム１の表裏面が側方を向く立てた状態で搬送されるように構成され、この立てた状態での搬送途時にウエットブラスト処理をするウエットブラスト処理部２Ｂが設けられたものである。【選択図】図４
2005053217.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄型フィルムにウエットブラスト処理をする処理装置であって、前記薄型フィルムは該薄型フィルムの表裏面が側方を向く立てた状態で搬送されるように構成され、この立てた状態での搬送途時にウエットブラスト処理をするウエットブラスト処理部が設けられていることを特徴とする薄型フィルムの処理装置。
【請求項２】
請求項１記載の薄型フィルムの処理装置において、前記ウエットブラスト処理部は第一処理部と該第一処理部に並設される第二処理部とで構成され、第一処理部は、薄型フィルムの表面側に設けられる第一ノズルと、薄型フィルムの裏面を支持する第一面材とで構成され、第二処理部は、薄型フィルムの裏面側に設けられる第二ノズルと、薄型フィルムの表面を支持する第二面材とで構成されていることを特徴とする薄型フィルムの処理装置。
【請求項３】
請求項２記載の薄型フィルムの処理装置において、前記第一面材と第二面材とは、第一面材の先端側寄りと第二面材の後端側寄りにおいて薄型フィルムの所定位置の表裏面を同時に支持するように構成されていることを特徴とする薄型フィルムの処理装置。
【請求項４】
請求項２，３いずれか１項に記載の薄型フィルムの処理装置において、前記第一面材及び第二面材は左右の回転体間に懸環される帯状体であり、薄型フィルムに面当接して支持するように構成されていることを特徴とする薄型フィルムの処理装置。
【請求項５】
請求項１記載の薄型フィルムの処理装置において、前記ウエットブラスト処理部は第一処理部と該第一処理部に並設される第二処理部とで構成され、第一処理部は、薄型フィルムの表面側に設けられる第一ノズルと、薄型フィルムの裏面を支持する第一駆動ローラーとで構成され、第二処理部は、薄型フィルムの裏面側に設けられる第二ノズルと、薄型フィルムの表面を支持する第二駆動ローラーとで構成されていることを特徴とする薄型フィルムの処理装置。
【請求項６】
請求項１〜５いずれか１項に記載の薄型フィルムの処理装置において、前記薄型フィルムは連続的にウエットブラスト処理部に供給されるものであることを特徴とする薄型フィルムの処理装置。
【請求項７】
請求項２〜６いずれか１項に記載の薄型フィルムの処理装置において、前記第一ノズル及び第二ノズルは、搬送される薄型フィルムの高さとほぼ同じ高さのノズル開口部からスラリを噴出することを特徴とする薄型フィルムの処理装置。
【請求項８】
ＦＰＣ用の薄型フィルムにウエットブラスト処理をすることを特徴とする薄型フィルムの処理方法。
【請求項９】
請求項８記載の薄型フィルムの処理方法において、前記薄型フィルムを該薄型フィルムの表裏面が側方を向く立てた状態での搬送途時にウエットブラスト処理をすることを特徴とする薄型フィルムの処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄型フィルムの処理装置及び薄型フィルムの処理方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯式電話、ＶＴＲカメラ、液晶テレビなどの電子機器の小型化が進む中、これらの小型電子機器の内部に配設されるプリント配線板として、フレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ）が提案されており、このフレキシブルプリント配線板は、基板が柔らかく、自由に曲げたり伸ばしたりすることができる構造の為、特に配設スペースが規制される小型電子機器用のプリント配線板として最適とされており、今後益々需要が増えるものと予想される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、このフレキシブルプリント配線板は、ベースフィルム（例えばポリイミドフィルム）の表裏面に銅箔層を形成した構造が一般的であるが、このベースフィルムの表裏面に形成される銅箔層同士は、予めベースフィルムに形成される貫通孔（ビアホール）を介して電気的に接続される。
【０００４】
このベースフィルムへのビアホールの形成は、例えばレーザーを照射することで形成しているが、このビアホールの付近には残渣物（スミア）が残ってしまう為、従来においてはこのスミアを薬品により溶解除去している。
【０００５】
しかしながら、この薬品を使用しての溶解除去処理は、薬品が高価であるとともに、処理速度が遅い故に非常にコスト高であり（大量生産には不向きである。）、しかも、この使用済み薬品の処理が厄介であるなどの種々の問題点が生じている。
【０００６】
本発明は、上述の問題点に着目し、従来にない画期的な薄型フィルムの処理装置及び薄型フィルムの処理方法を開発した。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
添付図面を参照して本発明の要旨を説明する。
【０００８】
薄型フィルム１，51にウエットブラスト処理をする処理装置であって、前記薄型フィルム１，51は該薄型フィルム１，51の表裏面が側方を向く立てた状態で搬送されるように構成され、この立てた状態での搬送途時にウエットブラスト処理をするウエットブラスト処理部２，52が設けられていることを特徴とする薄型フィルムの処理装置に係るものである。
【０００９】
また、請求項１記載の薄型フィルムの処理装置において、前記ウエットブラスト処理部２は第一処理部２Ａと該第一処理部２Ａに並設される第二処理部２Ｂとで構成され、第一処理部２Ａは、薄型フィルム１の表面側に設けられる第一ノズル３と、薄型フィルム１の裏面を支持する第一面材４とで構成され、第二処理部２Ｂは、薄型フィルム１の裏面側に設けられる第二ノズル５と、薄型フィルム１の表面を支持する第二面材６とで構成されていることを特徴とする薄型フィルムの処理装置に係るものである。
【００１０】
また、請求項２記載の薄型フィルムの処理装置において、前記第一面材４と第二面材６とは、第一面材４の先端側寄りと第二面材６の後端側寄りにおいて薄型フィルム１の所定位置の表裏面を同時に支持するように構成されていることを特徴とする薄型フィルムの処理装置に係るものである。
【００１１】
また、請求項２，３いずれか１項に記載の薄型フィルムの処理装置において、前記第一面材４及び第二面材６は左右の回転体７，８間に懸環される帯状体であり、薄型フィルム１に面当接して支持するように構成されていることを特徴とする薄型フィルムの処理装置に係るものである。
【００１２】
また、請求項１記載の薄型フィルムの処理装置において、前記ウエットブラスト処理部52は第一処理部52Ａと該第一処理部52Ａに並設される第二処理部52Ｂとで構成され、第一処理部52Ａは、薄型フィルム51の表面側に設けられる第一ノズル53と、薄型フィルム51の裏面を支持する第一駆動ローラー54とで構成され、第二処理部52Ｂは、薄型フィルム51の裏面側に設けられる第二ノズル55と、薄型フィルム51の表面を支持する第二駆動ローラー56とで構成されていることを特徴とする薄型フィルムの処理装置に係るものである。
【００１３】
また、請求項１〜５いずれか１項に記載の薄型フィルムの処理装置において、前記薄型フィルム１，51は連続的にウエットブラスト処理部２，52に供給されるものであることを特徴とする薄型フィルムの処理装置に係るものである。
【００１４】
また、請求項２〜６いずれか１項に記載の薄型フィルムの処理装置において、前記第一ノズル３，53及び第二ノズル５，55は、搬送される薄型フィルム１，51の高さとほぼ同じ高さのノズル開口部３ａ，53ａ，５ａ，55ａからスラリを噴出することを特徴とする薄型フィルムの処理装置に係るものである。
【００１５】
また、ＦＰＣ用の薄型フィルム１にウエットブラスト処理をすることを特徴とする薄型フィルムの処理方法に係るものである。
【００１６】
また、請求項８記載の薄型フィルムの処理方法において、前記薄型フィルム１を該薄型フィルム１の表裏面が側方を向く立てた状態での搬送途時にウエットブラスト処理をすることを特徴とする薄型フィルムの処理方法に係るものである。
【発明の効果】
【００１７】
本発明は上述のように構成したから、処理ムラが生じることのない良好な処理が行われることになるなど従来にない作用効果を発揮する画期的な薄型フィルムの処理装置及び薄型フィルムの処理方法となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
好適と考える本発明の実施形態を、図面に基づいて本発明の作用を示して簡単に説明する。
【００１９】
薄型フィルム１，51は該薄型フィルム１，51の表裏面が側方を向く立てた状態で搬送され、この立てた状態での搬送途時にウエットブラスト処理部２，52でウエットブラスト処理が行われる。このウエットブラスト処理により、例えば薄型フィルム１，51にビアホールを形成することで生じるスミアを綺麗に除去することができ、その他にも、例えば薄型フィルム１，51の表面に付着した異物を除去する表面洗浄効果や、薄型フィルム１，51の粗面処理ともなり、例えば薄型フィルム１，51の表裏面に銅箔層を形成した際の該銅箔層と薄型フィルム１，51との一体化が良好になるなどのメリットが得られる。
【００２０】
従って、薄型フィルム１，51をウエットブラスト処理することで該薄型フィルム１，51の表面（処理された面）の状態が極めて良好となり、しかも、薄型フィルム１，51は搬送されながらウエットブラスト処理部２，52でウエットブラスト処理が行われるから非常に効率の良い処理が可能となり、しかも、この薄型フィルム１，51を立てた状態での搬送途時にウエットブラスト処理を行う構成とすることで非常に良好な処理が行われることになる。
【００２１】
具体的には、仮に薄型フィルム１，51を横にした状態でウエットブラスト処理を行う構成であった場合、噴出されるスラリが薄型フィルム１，51の上面に残り、この重みで薄型フィルム１，51が撓んで波を打った状態となり、よって、処理ムラが生じてしまう（本出願人はこの点について実験により確認している。）。
【００２２】
この点、本発明は、薄型フィルム１，51を立てた状態での搬送途時にウエットブラスト処理を行う構成とすることにより、前述したような問題が生じることは無く、薄型フィルム１，51に噴出されたスラリは流れ落ちることになり、薄型フィルム１，51に噴出されたスラリが原因して薄型フィルム１，51が波打つようなことは無い為、処理ムラが生じることのない良好な処理が行われることになる。
【００２３】
以上のように、本発明は、従来にない画期的な作用効果を発揮し、極めて商品価値の高いものになる。
【実施例１】
【００２４】
本発明の具体的な実施例１について図面に基づいて説明する。
【００２５】
本実施例は、薄型フィルム１にウエットブラスト処理をするものである。
【００２６】
本実施例では、ウエットブラスト処理を行う薄型フィルム１は、ＦＰＣ用のベースフィルム（ポリイミドフィルム）であるが、この他にも本実施例の特性を発揮し得る薄型フィルム１であれば実施可能である。尚、これまでウエットブラスト処理したＦＰＣ用の薄型フィルム１はなく、薬品を使用してスミアを溶解除去していた為、これも原因となってＦＰＣ用の薄型フィルム１は極めて高価であった。
【００２７】
具体的には、本装置は、ボックス状の基体９内にフィルム搬送機構とフィルム処理機構とを設けて構成されている。
【００２８】
フィルム搬送機構は、基体９の一側（上流側）に配設されるフィルム供給部10から、基体９の他側（下流側）に配設されるフィルム収納部11へ薄型フィルム１を連続的に搬送するものであり（薄型フィルム１は一枚の長尺物であり枚葉タイプではない。）、また、フィルム処理機構は、このフィルム搬送機構により搬送される薄型フィルム１にウエットブラスト処理及びその他の処理を行うものである。
【００２９】
このフィルム供給部10及びフィルム収納部11は、図１，２に図示したように薄型フィルム１が巻回されるフィルム巻き体12と、複数のテンションローラー13とで構成され、フィルム供給部10に配設されるフィルム巻き体12には処理前フィルム１が巻回され、このフィルム供給部10のフィルム巻き体12から引き出され、フィルム処理機構を通過してウエットブラスト処理及びその他の処理された処理済フィルム１は、フィルム収納部11に配設されるフィルム巻き体12に巻回される。
【００３０】
このフィルム供給部10及びフィルム収納部11に配設されるフィルム巻き体12は、夫々横設状態で回動自在に配設され、フィルム収納部11に配設されるフィルム巻き体12は図示省略の駆動源により回動自在に設けられている。
【００３１】
従って、フィルム供給部10及びフィルム収納部11のフィルム巻き体12間に架設状態となる薄型フィルム１はフィルム収納部11のフィルム巻き体12を回動させることに起因して搬送されることになり、この際、薄型フィルム１は該薄型フィルム１の表裏面１ａ，１ｂが側方を向く立てた状態で搬送されることになる。
【００３２】
このフィルム搬送機構で立てた状態で搬送される薄型フィルム１はその搬送途時にフィルム処理機構でウエットブラスト処理及びその他の処理がなされる。
【００３３】
フィルム処理機構は、ウエットブラスト処理部２と、洗浄部14と、洗浄液除去部15と、仕上げ乾燥部16とで構成されている。
【００３４】
ウエットブラスト処理部２は、図２，３に図示したように薄型フィルム１を通過せしめる構成のボックス体17内に配設され、第一処理部２Ａと該第一処理部２Ａに並設される第二処理部２Ｂとで構成され、第一処理部２Ａは、薄型フィルム１の表面１ａの側に設けられる第一ノズル３と、薄型フィルム１の裏面１ｂを支持する第一面材４とで構成され、第二処理部２Ｂは、薄側フィルム１の裏面１ｂの側に設けられる第二ノズル５と、薄型フィルム１の表面１ａを支持する第二面材６とで構成されている。
【００３５】
第一ノズル３及び第二ノズル５は、夫々図３〜５に図示したようにスラリ噴出装置３Ａ，５Ａから突設され、夫々搬送される薄型フィルム１の高さとほぼ同じ高さのノズル開口部３ａ，５ａを有して、このノズル開口部３ａ，５ａからスラリ18を噴出する所謂巾広ガンタイプに構成されている。
【００３６】
従って、この構成によっても薄型フィルム１に対する均一なスラリ18の噴出が行われ処理ムラが生じることを防止することができる。
【００３７】
第一面材４及び第二面材６は、夫々図３〜５に図示したように３本の回転体７，８間に懸環される帯状体であり、この第一面材４及び第二面材６によりスラリ18が噴出されて処理される薄型フィルム１の処理面と反対の面を面当接して支持するように構成されている。
【００３８】
従って、第一ノズル３及び第二ノズル５から噴出されるスラリ18の勢いによっても薄型フィルム１は安定的に支持されることになり、波打つことがなく良好な処理（処理ムラの生じない処理）が行われることになり、しかも、後述するように単にローラーを並設しただけの場合には、該ローラー間位置において薄型フィルム１が入り込み波打つことになってムラが生じることが懸念されるが、この点、帯状体である第一面材４及び第二面材６が面当接して支持する構成の為、この点においても薄型フィルム１の波立ちを防止して良好な処理が行われることになる。
【００３９】
また、第一面材４と第二面材６とは、図３に図示したように平面方向から見て一部が重なり支持状態、即ち、第一面材４の先端側寄りと第二面材６の後端側寄りにおいて薄型フィルム１の所定位置の表裏面を同時に支持するように構成されている。
【００４０】
また、第一ノズル３及び第二ノズル５夫々の近傍位置には、該第一ノズル３及び第二ノズル５からスラリ18が噴出されて処理される薄型フィルム１の処理面を支持する支持ローラー19，20が設けられている。
【００４１】
従って、前述した第一面材４及び第二面材６とこの支持ローラー19，20とにより薄型フィルム１を挟持して安定的に支持した状態でスラリ18を噴出させて処理することができる。
【００４２】
また、ウエットブラスト処理部２は、図２に図示したように第二処理部２Ｂによって処理された直後の薄型フィルム１に洗浄液（洗浄水）をかけて荒洗浄する荒洗浄部21が設けられている。
【００４３】
洗浄部14は、図１，２に図示したように薄型フィルム１を通過せしめる構成の３つのボックス体22を配設し、この各ボックス体22内に洗浄液（洗浄水）を噴出する洗浄ノズル23を配設して構成されている。
【００４４】
従って、この洗浄部14によりウエットブラスト処理部２で薄型フィルム１に噴出されたスラリ18を落とす三段階洗浄処理が行われる。
【００４５】
洗浄液除去部15は、図１，２に図示したように薄型フィルム１を通過せしめる間隔を介してエアーを噴出するエアーノズル24を配設して構成されている。
【００４６】
従って、この洗浄液除去部15により洗浄部14で薄型フィルム１に噴出された洗浄液が吹き飛ばされることになる。
【００４７】
乾燥仕上げ部16は、図１，２に図示したように薄型フィルム１を通過せしめる構成のボックス体25を配設し、このボックス体25内にヒーター26を配設して構成されている。
【００４８】
従って、この仕上げ乾燥部16により洗浄液除去部15での処理によっても未だ薄型フィルム１に付着している不要な水分を完全に取り除くことができることになる。
【００４９】
本実施例は上述のように構成したから、薄型フィルム１は該薄型フィルム１の表裏面が側方を向く立てた状態で搬送され、この立てた状態での搬送途時にウエットブラスト処理部２でウエットブラスト処理が行われる。
【００５０】
よって、本実施例によれば、薄型フィルム１をウエットブラスト処理することで該薄型フィルム１の表面（処理された面）の状態が極めて良好となり、しかも、薄型フィルム１は搬送されながらウエットブラスト処理部２で連続的にウエットブラスト処理が行われるから非常に効率の良い処理が可能となり、しかも、この薄型フィルム１を立てた状態での搬送途時にウエットブラスト処理を行う構成とすることで非常に良好な処理が行われることになる。
【００５１】
また、本実施例は、第一面材４及び第二面材６によって薄型フィルム１を面当接で支持する構成であるから、薄型フィルム１を安定的に支持することができ良好な処理が行えることになる。
【００５２】
また、本実施例は、第一面材４と第二面材６とは、第一面材４の先端側寄りと第二面材６の後端側寄りにおいて薄型フィルム１の所定位置の表裏面を同時に支持するように構成されているから、立てた状態で搬送される薄型フィルム１を該薄型フィルム１の表裏面のいずれの方向からも支持することができ、よって、より一層良好なウエットブラスト処理が可能となる。
【００５３】
また、本実施例は、第一ノズル３及び第二ノズル５は、搬送される薄型フィルム１の高さとほぼ同じ高さのノズル開口部３ａ，５ａからスラリを噴出する構成であるから、薄型フィルム１に対する均一なスラリ18の噴出が行われることになり、しかも、この薄型フィルム１の高さよりもノズル開口部３ａ，５ａが大巾に大きい場合に生じ得る噴出ロスも確実に防止されることになる。更に、本実施例によれば、極めて安価なＦＰＣ用の薄型フィルム１を提供することができる。
【実施例２】
【００５４】
本発明の具体的な実施例２について図面に基づいて説明する。
【００５５】
本実施例は、前述した実施例１と別タイプのウエットブラスト処理部52を設けた場合である。
【００５６】
具体的には、ウエットブラスト処理部52は、図６に図示したように薄型フィルム51を通過せしめる構成のボックス体57内に配設され、第一処理部52Ａと該第一処理部52Ａに並設される第二処理部52Ｂとで構成され、第一処理部52Ａは、薄型フィルム51の表面51ａの側に設けられる第一ノズル53と、薄型フィルム51の裏面51bを支持する第一駆動ローラー54とで構成され、第二処理部52Ｂは、薄型フィルム51の裏面51bの側に設けられる第二ノズル55と、薄型フィルム51の表面51ａを支持する第二駆動ローラー56とで構成されている。
【００５７】
第一ノズル53及び第二ノズル55は、図６に図示したようにスラリ噴出装置53Ａ，55Ａから突設され、夫々搬送される薄型フィルム51の高さとほぼ同じ高さのノズル開口部53ａ，55ａを有して、このノズル開口部53ａ，55ａからスラリを噴出する所謂巾広ガンタイプに構成されている。
【００５８】
従って、この構成によっても薄型フィルム51に対する均一なスラリの噴出が行われ処理ムラが生じることを防止することができる。
【００５９】
第一駆動ローラー54及び第二駆動ローラー56は、夫々図６〜８に図示したように第一ノズル53及び第二ノズル55夫々の対向位置に回動自在に配設される円柱状体であり、この第一駆動ローラー54及び第二駆動ローラー56によりスラリが噴出されて処理される薄型フィルム51の処理面と反対の面を面当接して支持するように構成されている。
【００６０】
また、第一駆動ローラー54及び第二駆動ローラー56は、夫々その下部に設けた駆動装置54Ａ，56Ａによりフィルム搬送方向（図６中矢印ａ方向）に駆動回動するように設けられている。
【００６１】
本出願人は、この構成から、第一ノズル53及び第二ノズル55から噴出されるスラリの勢いによっても薄型フィルム51は安定的に支持されることになり、波打つことが無く良好な処理（処理ムラの生じない処理）が行われることを実験により確認している。
【００６２】
具体的には、駆動源を有しないフリーに回動するローラーで薄型フィルム51を支持する構成として試してみたところ、ノズルからスラリを噴出した際、薄型フィルム51に処理ムラが生じてしまった。
【００６３】
これは、ノズルからスラリを噴出することで薄型フィルム51に弛みや張りが生じてしまう。ローラーは、薄型フィルム51との摩擦により薄型フィルム51の搬送方向に回動することになるが、ローラー自体がフリーに回動することから、薄型フィルム51の弛みや張りに影響されてローラー回動が不安定になるからと推測される。
【００６４】
そこで、このローラーを駆動させてみたところ、薄型フィルム51の弛みや張りが生じても、ローラーの回動が不安定になることが解消され良好な処理（処理ムラの生じない処理）が行われた。
【００６５】
従って、第一ノズル53及び第二ノズル55夫々の対向位置に配置され、各ノズルから噴出されたスラリの圧力を受けるローラーを駆動ローラーとすることで、薄型フィルム51に処理ムラが生じない良好な処理が行えることになる。
【００６６】
また、本実施例は、第一駆動ローラー54の近傍位置にしてフィルム送入側位置に一本のテンションローラー58（フリーローラー）が回動自在に配設され、第二駆動ローラー56の近傍位置にしてフィルム送出側位置にもテンションローラー59（フリーローラー）が回動自在に配設されており、第一駆動ローラー54，第二駆動ローラー56，及びテンションローラー58，59は、平面方向から見て各ローラーの軸心を結ぶ線が一直線状でなく屈曲状となり、且つ、交互に薄型フィルム51の表面51ａ及び裏面51ｂに当接する位置関係に配置され、この各ローラー54，56，58，59の外側面を薄型フィルム51が張設された状態で通過するように構成されている。
【００６７】
よって、本実施例によれば、前述した実施例１と同様、薄型フィルム51の良好な処理が行えることになり、しかも、前述した実施例１に比して簡易構造故に量産性に秀れ且つ製造コストも抑えることができることになる。
【００６８】
その余は実施例１と同様である。
【００６９】
尚、本発明は、実施例１，２に限られるものではなく、各構成要件の具体的構成は適宜設計し得るものである。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】実施例１を示す正面図である。
【図２】実施例１を示す平面図である。
【図３】実施例１に係る要部を示す平面図である。
【図４】実施例１に係る要部を示す斜視図である。
【図５】実施例１に係る要部の動作説明図である。
【図６】実施例２に係る要部を示す平面図である。
【図７】実施例２に係る要部を示す正面図である。
【図８】実施例２に係る要部を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００７１】
１  薄型フィルム
２  ウエットブラスト処理部
２Ａ  第一処理部
２Ｂ  第二処理部
３  第一ノズル
３ａ  ノズル開口部
４  第一面材
５  第二ノズル
５ａ  ノズル開口部
６  第二面材
７  回転体
８  回転体
51  薄型フィルム
52  ウエットブラスト処理部
52Ａ  第一処理部
52Ｂ  第二処理部
53  第一ノズル
53ａ  ノズル開口部
54  第一駆動ローラー
55  第二ノズル
55ａ  ノズル開口部
56  第二駆動ローラー
【図１】
2005053217.tif 000003
【図２】
2005053217.tif 000004
【図３】
2005053217.tif 000005
【図４】
2005053217.tif 000006
【図５】
2005053217.tif 000007
【図６】
2005053217.tif 000008
【図７】
2005053217.tif 000009
【図８】
2005053217.tif 000010