(57)【要約】【課題】放電部を効率よく発光させる。【解決手段】電磁波を伝送する導波部と、導波部から離間して設けられており、表面波プラズマにより放電発光する放電部と、導波部と放電部との間に設けられ、導波部から受け取る電磁波を、導波部が端部から電磁波を照射する場合よりも高い利得で、放電部に照射する電磁波照射部とを備え、導波部は、中空の筒形状の第１導体と、第１導体の内部に設けられた線形状の第２導体とを有し、電磁波照射部は、第１導体と電気的に接続され、第１導体から放電部に向かって、筒形状に延伸する外部導体と、第２導体と電気的に接続され、外部導体の内部において、第２導体から放電部に向かって延伸する内部導体と、外部導体及び内部導体のいずれよりも熱伝導率が小さな断熱部とを有する。【選択図】図１
2005228520.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電発光により光を出射する無電極放電灯であって、
電磁波を伝送する導波部と、
前記導波部から離間して設けられており、照射される電磁波に応じて生成される表面波プラズマにより放電発光する放電部と、
前記導波部と前記放電部との間に設けられ、前記導波部から受け取る電磁波を、前記導波部が端部から電磁波を照射する場合よりも高い利得で、前記放電部に照射する電磁波照射部と
を備え、
前記導波部は、
中空の筒形状の第１導体と、
前記第１導体の内部に設けられた線形状の第２導体と
を有し、
前記電磁波照射部は、
前記第１導体と電気的に接続され、前記第１導体から前記放電部に向かって、筒形状に延伸する外部導体と、
前記第２導体と電気的に接続され、前記外部導体の内部において、前記第２導体から前記放電部に向かって延伸する内部導体と、
少なくとも前記外部導体と前記内部導体との隙間に形成された、前記外部導体及び前記内部導体のいずれよりも熱伝導率が小さな断熱部と
を有する無電極放電灯。
【請求項２】
前記外部導体は、前記電磁波照射部における前記放電部と対向する上面において、外周部分に円環状に形成された周辺導体部を有し、
前記内部導体は、前記電磁波照射部の前記上面において、中心部分に円状に形成された中心導体部を有する請求項１に記載の無電極放電灯。
【請求項３】
前記内部導体は、前記第２導体から前記放電部に向かって、中空の筒形状に延伸し、
前記電磁波照射部は、前記外部導体と前記内部導体との隙間、及び前記内部導体の内部の中空部に、前記断熱部を有する請求項１に記載の無電極放電灯。
【請求項４】
放電発光により光を出射する無電極放電灯であって、
電磁波を伝送する導波部と、
前記導波部の上端よりも上方に設けられ、前記導波部の端部と対向する下面の径よりも大きな高さを有し、前記下面に照射される電磁波に応じて生成される表面波プラズマにより放電発光する放電部と
を備え、
前記導波部は、前記放電部の前記下面の全体が、高密度プラズマを発生させ、前記放電部内の発光物質を励起させる温度となるような強度の電磁波を発振部から受け取り、前記放電部の前記下面に向かって伝送する無電極放電灯。
【請求項５】
前記放電部が発光した場合、前記下面の温度は、前記下面の融解温度以下であり、前記放電部における前記下面と対向する上面の温度は、前記表面波プラズマが前記上面に達するのに十分な温度となる請求項４に記載の無電極放電灯。
【請求項６】
前記放電部が発光した場合、前記下面の温度は、１２００℃以下であり、前記上面の温度は、８００℃以上である請求項５に記載の無電極放電灯。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、無電極放電灯に関する。特に、本発明は、放電発光により光を出射する無電極放電灯に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、放電発光により光を出射する無電極放電灯が知られている（例えば、特許文献１参照。）。この無電極放電灯においては、同軸ケーブルにより伝送した電磁波を、放電部に照射する。放電部は、照射された電磁波により生成される表面波プラズマに基づいて放電発光する。
【特許文献１】特開２００３−１９７１５６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
無電極放電灯においては、光源として十分に放電発光するために、高密度のプラズマを生成させ、放電部内の発光物質を蒸発、励起させることが望まれている。高密度のプラズマを生成させるためには、放電部に効率よく電磁波を照射することが望ましい。また、放電部内の発光物質を蒸発、励起させるためには、電磁波の照射により、放電部を十分に加熱し、かつ保温することが望ましい。
【０００４】
そこで本発明は、上記の課題を解決することができる無電極放電灯を提供することを目的とする。この目的は特許請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本発明の第１の形態においては、放電発光により光を出射する無電極放電灯であって、電磁波を伝送する導波部と、導波部から離間して設けられており、照射される電磁波に応じて生成される表面波プラズマにより放電発光する放電部と、導波部と放電部との間に設けられ、導波部から受け取る電磁波を、導波部が端部から電磁波を照射する場合よりも高い利得で、放電部に照射する電磁波照射部とを備え、導波部は、中空の筒形状の第１導体と、第１導体の内部に設けられた線形状の第２導体とを有し、電磁波照射部は、第１導体と電気的に接続され、第１導体から放電部に向かって、筒形状に延伸する外部導体と、第２導体と電気的に接続され、外部導体の内部において、第２導体から放電部に向かって延伸する内部導体と、少なくとも外部導体と内部導体との隙間に形成された、外部導体及び内部導体のいずれよりも熱伝導率が小さな断熱部とを有する。
【０００６】
また、外部導体は、電磁波照射部における放電部と対向する上面において、外周部分に円環状に形成された周辺導体部を有し、内部導体は、電磁波照射部の上面において、中心部分に円状に形成された中心導体部を有してもよい。
【０００７】
また、内部導体は、第２導体から放電部に向かって、直線状または中空の筒形状に延伸し、また、電磁波照射部は、外部導体と内部導体との隙間、及び内部導体の内部の中空部に、断熱部を有してもよい。
【０００８】
本発明の第２の形態においては、放電発光により光を出射する無電極放電灯であって、電磁波を伝送する導波部と、導波部の上端よりも上方に設けられ、導波部の端部と対向する下面の径よりも大きな高さを有し、下面に照射される電磁波に応じて生成される表面波プラズマにより放電発光する放電部とを備え、導波部は、放電部の下面の全体が、高密度プラズマを発生させ、放電部内の発光物質を励起させる温度となるような強度の電磁波を発振部から受け取り、放電部の下面に向かって伝送する。
【０００９】
また、放電部が発光した場合、下面の温度は、下面の融解温度以下であり、放電部における下面と対向する上面の温度は、表面波プラズマが上面に達するのに十分な温度となってもよい。また、放電部が発光した場合、下面の温度は、１２００℃以下であり、上面の温度は、８００℃以上であってもよい。
【００１０】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００１２】
図１は、本発明の一実施形態に係る灯具１０の構成の一例を示す。本例は、灯具１０に用いられている無電極放電灯２０を、効率よく発光させることを目的とする。灯具１０は、例えば車両用の灯具であって、電磁波を発振する発振部１０２と、放電発光により光を出射する無電極放電灯２０とを備える。
【００１３】
発振部１０２は、無電極放電灯２０に表面波プラズマを発生させるための電磁波を発生する。本例において、発振部１０２は、例えば車載のバッテリから受け取る電力に応じて、１００Ｗ以下程度の電力で、１０ＭＨｚ〜１０ＧＨｚ程度の電磁波を発生する。この場合、発振部１０２は、無電極放電灯２０における放電部１０８の下面の全体が、高密度プラズマを発生させ、放電部１０８内の発光物質を励起させる温度となるような強度の電磁波を発振するのが好ましい。高密度プラズマとは、例えば、このプラズマに応じた表面波プラズマを発生させるのに十分な密度のプラズマである。発振部１０２は、例えばマグネトロン、又はＦＥＴやトランジスタ等を利用した高周波アンプであってよい。また、発振部１０２は、例えば−２０°〜１２０°程度の、屋外で使用される車両用の灯具内の温度範囲で、電磁波を発振できるのが好ましい。
【００１４】
無電極放電灯２０は、導波部１０４、電磁波照射部１０６、及び放電部１０８を有する。導波部１０４は、例えば同軸ケーブルであり、拡大断面図２００に示すように、シールド用導体２０４、誘電体２０６、及び芯線用導体２０２を含む。シールド用導体２０４及び芯線用導体２０２は第１導体及び第２導体の一例である。シールド用導体２０４は、中空の筒形状の導体であり、接地されている。誘電体２０６は、芯線用導体２０２とシールド用導体２０４との間に設けられており、芯線用導体２０２を、シールド用導体２０４から絶縁する。尚、誘電体２０６の素材は特に限定されず、例えば空気であってもよい。
【００１５】
芯線用導体２０２は、線形状の導体であり、シールド用導体２０４の内部に設けられている。また、芯線用導体２０２の一端及び他端は、発振部１０２及び電磁波照射部１０６にそれぞれ接続されている。これにより、導波部１０４は、発振部１０２が発生する電磁波を、電磁波照射部１０６に向かって伝送する。また、これにより、導波部１０４は、この電磁波を、電磁波照射部１０６を介して、放電部１０８の下面に向かって伝送する。尚、芯線用導体２０２は、中実の線形状に限定されず、中空の線形状（筒形状）であってもよい。
【００１６】
尚、導波部１０４は、可とう性を有するのが好ましい。この場合、発振部１０２、電磁波照射部１０６、及び放電部１０８の配置の自由度が向上するため、灯具１０のデザイン性を向上させることができる。また、発振部１０２には整合器が含まれており、伝送する電磁波の波長の整合を取ることで効率を良くする。この場合、導波部１０４は、電磁波を、高い効率で、電磁波照射部１０６に供給することができる。
【００１７】
電磁波照射部１０６は、導波部１０４と放電部１０８との間に設けられており、拡大斜視図３００に示すように、外部導体３０４、内部導体３０２、及びスロット３１０を含む。外部導体３０４は、シールド用導体２０４と電気的に接続されており、シールド用導体２０４から放電部１０８に向かって、筒形状に延伸する。また、本例において、外部導体３０４は、周辺導体部３１４を有する。周辺導体部３１４は、電磁波照射部１０６の上面における、円環状の外周部分である。尚、電磁波照射部１０６の上面とは、電磁波照射部１０６における放電部１０８と対向する面である。
【００１８】
内部導体３０２は、外部導体３０４と電気的に絶縁、かつ芯線用導体２０２と電気的に接続されており、外部導体３０４の内部において、芯線用導体２０２から放電部１０８に向かって延伸する。また、本例において、内部導体３０２は、中心導体部３１２を有する。中心導体部３１２は、電磁波照射部１０６の上面における、円状の中心部分であり、周辺導体部３１４との間に隙間を挟んで設けられる。スロット３１０は、周辺導体部３１４と中心導体部３１２とに挟まれた円環状の隙間である。尚、内部導体３０２は中空の筒形状であってもよい。
【００１９】
ここで、外部導体３０４は、シールド用導体２０４と電気的に接続されることにより接地される。内部導体３０２は、芯線用導体２０２と電気的に接続されることにより、発振部１０２が発生する電磁波に応じた電位に駆動される。また、外部導体３０４と内部導体３０２とは、スロット３１０を挟んで対向している。そのため、電磁波照射部１０６は、スロットアンテナとして機能し、導波部１０４から受け取る電磁波を、放電部１０８の下面に照射する。これにより、導波部１０４が端部から直接に電磁波を照射する場合よりも高い利得で、電磁波照射部１０６は、電磁波を照射する。
【００２０】
放電部１０８は、照射される電磁波に応じて生成される表面波プラズマにより放電発光する放電管であり、電磁波照射部１０６を挟んで、導波部１０４の上端よりも上方に、導波部１０４から離間して設けられている。本例によれば、電磁波照射部１０６を、放電部１０８の放電を励起する励起子として機能させることができる。また、これにより、放電部１０８を、効率よく発光させることができる。
【００２１】
図２は、放電部１０８の詳細な構成の一例を示す。放電部１０８は、管壁４０２と、中空部４０４を有する。管壁４０２は、石英ガラス又は透光性セラミックス等の誘電体材料で形成された、中空の円柱状体である。中空部４０４は、管壁４０２により密閉された空間であり、例えばキセノン又はアルゴン等の不活性ガスと、例えば沃化ナトリウム又は沃化スカンジウム等の発光金属が封入されている。この不活性ガスは、点灯時における中空部４０４内の圧力を１気圧以下にするため、３００Ｔｏｒｒ以下の封入圧力で封入されている。この場合、パッシェンの法則で示されるように、放電部１０８を、起動性よく点灯し、かつ安定して継続的に点灯させることができる。他の例において、中空部４０４には、例えば硫黄等の発光物質が封入されてもよい。
【００２２】
放電部１０８は、電磁波照射部１０６（図１参照）が照射する電磁波を、下面４０６のほぼ全体に受ける。そして、この電磁波が放電部１０８内に入ると、高密度のプラズマが生成され、放電部１０８内の発光金属が蒸発、励起されるとともに表面波プラズマを発生する。この表面波プラズマは、励起部である放電部１０８の下面４０６から、放電部１０８の形状に沿って、上面４０８に向かって伸びていく。これにより、放電部１０８は、下面４０６に照射される電磁波に応じて生成される表面波プラズマにより放電発光する。
【００２３】
また、この場合、必要な光源形状に応じて、放電部１０８の形状を、自由に設計することができる。これにより、例えばハロゲン電球のフィラメントと同様の形状の放電部１０８を提供することができる。この場合、ハロゲン電球を用いて従来行われていた配光設計と同一又は同様の方法により、無電極放電灯２０（図１参照）を用いた配光設計を行うことができる。また、これにより、灯具１０（図１参照）を、例えば自動車のヘッドランプとして、適切に利用することができる。放電部１０８の内径Ｌは、例えば５ｍｍ以下であってよい。また、放電部１０８の高さＨは、例えば１０ｍｍ以下であってよい。
【００２４】
本例において、放電部１０８は、導波部１０４の端部と対向する下面４０６の径Ｌよりも大きな高さＨを有する。これにより、放電部１０８は、縦長の線形状を有する。また、この場合、小さな面積の下面４０６上に発生した表面波プラズマを、上面４０８に至る長い距離に渡って成長させることにより、放電部１０８を効率よく発光させることができる。ここで、下面４０６の径Ｌとは、例えば、下面４０６上における中空部４０４の内径である。また、放電部１０８の高さＨとは、例えば、中空部４０４の高さであり、下面４０６と上面４０８との距離である。上面４０８は、放電部１０８において、中空部４０４を挟んで下面４０６と対向する面である。
【００２５】
尚、放電部１０８を発光させるためには、例えば放電部１０８の全体に一様に電磁波を照射する方法も考えられる。しかし、この場合、放電部１０８内に生じる対流により、上面４０８は高温に熱せられ、下面４０６の温度はあまり上昇しないこととなる。また、放電部１０８の発光の効率は、最冷点の温度に依存する。そのため、この場合、放電部１０８の効率を適切に高められない場合がある。また、下面４０６の温度を上昇させようとして、電磁波の強度を高めた場合、上面４０８の温度が過度に上昇し、放電部１０８の破損、失透、又は黒化等を生じる場合がある。
【００２６】
しかし、本例によれば、放電部１０８の下面４０６に電磁波を照射することにより、下面４０６を適切に加熱することができる。また、この場合、放電部１０８内に生じる対流により、放電部１０８の全体を、適切に加熱することができる。そのため、本例によれば、放電部１０８を効率よく発光させることができる。
【００２７】
また、本例において、放電部１０８は、電極を有していない。そのため、中空部４０４に封入される微量添加物として、様々な物質を用いることができる。この場合、例えば水銀等の有害物質を用いない場合であっても、高演色性の光を発生することができる。また、放電部１０８は、フィラメントのような消耗性な部分を有さないため、長い寿命を有することができる。更には、フィラメントや電極からの熱損失を生じないため、放電部１０８は、高い効率で光を発生することができる。
【００２８】
図３は、電磁波照射部１０６の詳細な構成の一例を、ＢＢ垂直断面図及びＡＡ水平断面図により示す。本例において、電磁波照射部１０６は、中空部３１６及び断熱部３０８を更に有する。中空部３１６は、電磁波照射部１０６における、外部導体３０４及び内部導体３０２のいずれも形成されていない領域である。断熱部３０８は、中空部３１６内の全体に渡って、外部導体３０４及び内部導体３０２のいずれよりも熱伝導率が小さな耐熱性部材３１８により形成される。これにより、断熱部３０８は、放電部１０８から導波部１０４への熱伝導を低減する。耐熱性部材３１８は、例えばガラス、又はセラミック等の、放電部１０８（図１参照）の発光に伴う温度上昇に耐えうる絶縁体素材で形成される。そのため、耐熱性部材３１８は、放電部１０８が発光する場合にも融解しない。断熱部３０８は、導波部１０４における誘電体２０６よりも熱伝導率が低いのが好ましい。また、他の例においては、中空部３１６内の空気を、断熱部３０８として用いてもよい。
【００２９】
ここで、例えば、電磁波照射部１０６を用いずに、導波部１０４（図１参照）と放電部１０８とを直接に接続することも考えられる。しかし、この場合、発光時において、放電部１０８から導波部１０４へ、多量の熱が流出することとなる。この場合、放電部１０８を適切に効率よく加熱できないこととなり、放電部１０８の発光効率が低下する場合がある。また、放電部１０８から流入する熱により、導波部１０４が破損してしまう場合も考えられる。
【００３０】
しかし、本例によれば、導波部１０４と別体の電磁波照射部１０６に断熱部３０８を形成することにより、放電部１０８から導波部１０４への熱流出を、低減することができる。また、これにより、放電部１０８を十分に加熱し、効率よく発光させることができる。また、電磁波照射部１０６の水平断面において導体が占める面積は、導波部１０４の水平断面において導体が占める面積よりも小さいのが好ましい。この場合、放電部１０８から導波部１０４への熱流出を、更に適切に低減することができる。
【００３１】
尚、周辺導体部３１４の内径は、放電部１０８の大きさにあわせるために、５〜１０ｍｍ程度であってよい。中心導体部３１２の直径は、周辺導体部３１４の内径の５〜７０％であるのが好ましく、３０％程度（例えば２５％〜３５％）であるのが更に好ましい。この場合、放電部１０８の下面４０６（図２参照）の全体を、適切に加熱することができる。
【００３２】
また、他の例において、断熱部３０８は、放電部１０８内に設けられてもよい。例えば、放電部１０８が２重管により形成されている場合、断熱部３０８は、外側の管と内側の管の間に形成されてよい。また、この場合、外側の管と内側の管の間の隙間を、断熱部３０８として用いてもよい。
【００３３】
図４及び図５は、灯具１０の動作の一例を説明する図である。図４は、電磁波照射部１０６が放電部１０８に電磁波を照射する初期の過程を示す。電磁波照射部１０６は、導波部１０４（図１参照）が伝送する電磁波を、拡大図５００ａ、ｂに示すように、スロット３１０の外側に放出する。これにより、電磁波照射部１０６は、放電部１０８に、電磁波を照射して、放電部１０８の下面４０６の全体の温度を上昇させる。そして、この電磁波を照射された場合、放電部１０８の下面４０６のほぼ全体は、高密度プラズマを発生させ、放電部１０８内の発光物質を励起させる温度となる。
【００３４】
図５は、図４に続き、電磁波が表面波プラズマを生成する過程を示す。下面４０６の温度が十分に上昇し、図５（ａ）に示すように、スロット３１０から照射される電磁波によって、中空部４０４内におけるスロット３１０の近傍部分に、高密度プラズマが生成されるとともに表面波プラズマ６０２が発生する。そして、放電部１０８内の発光物質が蒸発、励起されることにより発光が開始されるとともに、表面波プラズマ６０２が、図５（ｂ）に示すように、管壁４０２の内面の沿って、上面４０８に向かって伸びていく。そのため、本例によれば、表面波プラズマ６０２により、放電部１０８を適切に発光させることができる。
【００３５】
また、表面波プラズマは、電磁波吸収効率が極めて高い為、本例によれば、電磁波シールドを別途用意することなく、電磁波のノイズを遮断することができる。
【００３６】
ここで、表面波プラズマ６０２を十分に成長させるためには、放電部１０８が発光した場合において、下面４０６の温度が、下面４０６の融解温度以下であり、かつ上面４０８の温度が、表面波プラズマが上面４０８に達するのに十分な温度となるのが好ましい。この場合、下面４０６の温度は、例えば、１２００℃以下であり、上面４０８の温度は、８００℃以上である。電磁波照射部１０６は、下面４０６が融解しない範囲で、表面波プラズマ６０２が上面４０８にちょうど達する程度の温度に、下面４０６を加熱するのが好ましい。この場合、放電部１０８の全体を、効率よく発光させることができる。
【００３７】
図６は、電磁波照射部１０６の構成の他の例を示す。図６（ａ）は、電磁波照射部１０６の斜視図である。図６（ｂ）は、電磁波照射部１０６のＢＢ垂直断面図である。図６（ｃ）は、電磁波照射部１０６のＡＡ水平断面図である。図６において、図３と同じ符号を付した構成は、図３における構成と同一又は同様の機能を有するため説明を省略する。本例において、電磁波照射部１０６は、外部導体３０４、内部導体３０２、複数の断熱部３０６、３０８、及びスロット３１０を有する。
【００３８】
外部導体３０４は、中空の円筒状体であり、内部に断熱部３０８、内部導体３０２、及び断熱部３０６を収容する。断熱部３０８は、外部導体３０４と内部導体３０２との間の隙間である中空部３１６ａに、耐熱性部材３１８ａにより形成される。また、断熱部３０８は、内側に、内部導体３０２及び断熱部３０６を収容する。
【００３９】
内部導体３０２は、中空の円筒状体であり、内部に断熱部３０６を収容する。断熱部３０６は、内部導体３０２の内側の中空部３１６ｂに収容された円柱状体であり、耐熱性部材３１８ｂにより形成されている。また、スロット３１０は、電磁波照射部１０６の上面における、外部導体３０４と内部導体３０２との間の隙間である。本例によれば、電磁波照射部１０６の上面において放電部１０８と対向する導体の割合を少なくすることにより、放電部１０８から電磁波照射部１０６へ流失する熱量を、更に低減できる。
【００４０】
また、本例においても、電磁波照射部１０６は、スロットアンテナの機能を有する。これにより、電磁波照射部１０６は、導波部１０４（図１参照）から受け取る電磁波を、放電部１０８（図１参照）に、高い利得で照射することができる。また、本例において、電磁波照射部１０６は、外部導体３０４と内部導体３０２との隙間、及び内部導体３０２の内部の中空部に、断熱部３０８及び断熱部３０６を有する。そのため、本例においても、放電部１０８から導波部１０４への熱伝導を低減することができる。尚、断熱部３０８及び断熱部３０６の一方又は両方は、中空部３１６内の空気により形成されてもよい。
【００４１】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の一実施形態に係る灯具１０の構成の一例を示す図である。
【図２】放電部１０８の詳細な構成の一例を示す図である。
【図３】電磁波照射部１０６の詳細な構成の一例を示す図である。
【図４】灯具１０の動作の一例を説明する図である。
【図５】灯具１０の動作の一例を説明する図である。
【図６】電磁波照射部１０６の構成の他の例を示す図である。  図６（ａ）は、電磁波照射部１０６の斜視図である。  図６（ｂ）は、電磁波照射部１０６のＢＢ垂直断面図である。  図６（ｃ）は、電磁波照射部１０６のＡＡ水平断面図である。
【符号の説明】
【００４３】
１０・・・灯具、２０・・・無電極放電灯、１０２・・・発振部、１０４・・・導波部、１０６・・・電磁波照射部、１０８・・・放電部、２００・・・拡大断面図、２０２・・・芯線用導体、２０４・・・シールド用導体、２０６・・・誘電体、３００・・・拡大斜視図、３０２・・・内部導体、３０４・・・外部導体、３０６・・・断熱部、３０８・・・断熱部、３１０・・・スロット、３１２・・・中心導体部、３１４・・・周辺導体部、３１６・・・中空部、３１８・・・耐熱性部材、４０２・・・管壁、４０４・・・中空部、４０６・・・下面、４０８・・・上面、５００・・・拡大図、６０２・・・表面波プラズマ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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