(57)【要約】【課題】クリーニング条件の設定を簡便に行うことができるスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。【解決手段】マスクプレートを基板に当接させてスキージによりパターン孔を介して基板にクリーム半田を印刷するスクリーン印刷において、マスクプレートを下面側からクリーニングするクリーニング機構によるクリーニング動作の条件を規定するクリーニング条件を、マスクプレートの開口データ４２ａや部品データ４２ｂなどのクリーニング必要度判定データと関連づけてクリーニング条件データベース４１ｂに複数記憶させておき、スクリーン印刷作業の開始の際には、開口データ４２ａや部品データ４２ｂに基づいてクリーニング必要度を判定し、この判定結果に基づいてクリーニング条件データベース４１ｂから推奨クリーニング条件を抽出する。これにより、クリーニング条件の設定を簡便に行うことができる。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
パターン孔が設けられたマスクプレートを基板に当接させ、マスクプレート上でスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置であって、前記マスクプレートの下面にクリーニングヘッドを当接させて摺動させることによりマスクプレートを下面側からクリーニングするクリーニング機構と、印刷動作におけるマスクプレートのクリーニング必要度を前記パターン孔の形状・サイズまたは前記ペーストの性状に基づいて判定するクリーニング必要度判定手段と、前記クリーニング機構によるクリーニング動作の条件を規定するクリーニング条件を前記クリーニング必要度と関連づけて複数記憶するクリーニング条件データベースと、前記クリーニング必要度判定手段の判定結果に従って前記クリーニング条件データベースから抽出された推奨クリーニング条件に基づき前記クリーニング機構を制御するクリーニング制御手段とを備えたことを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項２】
前記クリーニング条件は、摺動状態における前記クリーニングヘッドの摺動面の乾湿、摺動面からの吸引の有無、クリーニングヘッドの摺動速度およびクリーニング実行頻度の各項目に基づいて設定されることを特徴とする請求項１記載のスクリーン印刷装置。
【請求項３】
パターン孔が設けられたマスクプレートを基板に当接させ、マスクプレート上でスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷方法であって、前記マスクプレートの下面にクリーニングヘッドを当接させて摺動させることによりマスクプレートを下面側からクリーニングするクリーニング機構によるクリーニング動作の条件を規定するクリーニング条件を、印刷動作におけるマスクプレートのクリーニング必要度と関連づけてクリーニング条件データベースに複数記憶させるクリーニング条件記憶工程と、前記パターン孔の形状・サイズまたは前記ペーストの性状に基づいてクリーニング必要度を判定するクリーニング必要度判定工程と、前記クリーニング必要度判定工程の判定結果に基づき前記クリーニング条件データベースから推奨クリーニング条件を抽出する条件抽出工程と、抽出された推奨クリーニング条件に従って前記クリーニング機構を制御することにより前記マスクプレートのクリーニングを実行するクリーニング実行工程とを含むことを特徴とするスクリーン印刷方法。
【請求項４】
前記クリーニング条件は、前記クリーニングヘッドの摺動面の乾湿、摺動面からの吸引の有無、クリーニングヘッドの摺動速度およびクリーニング実行頻度の各項目に基づいて設定されることを特徴とする請求項３記載のスクリーン印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板にクリーム半田や導電性ペーストなどのペーストを印刷するスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子部品実装工程において、基板上にクリーム半田や導電性ペーストなどのペーストを印刷する方法としてスクリーン印刷が用いられている。この方法は、印刷対象部位に応じてパターン孔が設けられたマスクプレートを基板に当接させ、マスクプレート上にペーストを供給してスキージを摺動させることにより、パターン孔を介して基板上にペーストを印刷するものである。
【０００３】
印刷作業中には、マスクプレートの下面側には基板上で印刷部位からはみ出したクリーム半田が付着したり、基板上に完全に転写されなかったクリーム半田がマスクプレートの開口部に残留するなどの汚損が発生する。このようなクリーム半田による汚損は後続の基板への正常な印刷を妨げるため、これらのクリーム半田を除去するためのクリーニングを行う必要がある。
【０００４】
このため従来よりスクリーン印刷装置に、マスクプレートを下面側からクリーニングして残余のクリーム半田を掻き取ったり拭き取ることによって除去するクリーニング装置を備えたものが知られている（例えば特許文献１参照）。そしてこのようなスクリーン印刷装置では、印刷動作毎にカウントした連続印刷枚数が予め設定されたクルーニングのインターバル回数に到達すると、自動的にクリーニング装置によるマスクプレート下面のクリーニングが実行されるようになっている。
【特許文献１】特開平２−８０２５０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、印刷動作によるマスクプレートの汚損度合いは必ずしも一定ではなく、印刷対象の基板等によって異なる汚損度合いを示す。このため上述の先行技術例にように、同一インターバルでクリーニングを実行すると、印刷対象によってはマスクプレートの汚損が進行した状態のまま印刷を反復実行することによる印刷品質の低下や、または不必要にクリーニングを高頻度で行うことによる生産性の低下を招く結果となっていた。
【０００６】
このような不都合を避けるためには、基板品種が切り換えられる度に適切なクリーニングの実行インターバルを設定するなど、クリーニング条件を適切に設定する必要がある。しかしながら、このような作業は従来より専ら作業経験豊富な熟練者のみによって実行可能であった。そしてやむを得ず作業を被熟練者に委ねる場合には、実際の印刷作業時にマスクプレートの汚損状態を観察しながら試行錯誤的にクリーニング条件を設定する以外に方法はなく、クリーニング条件の設定に多大な手間と時間を要していた。
【０００７】
そこで本発明は、クリーニング条件の設定を簡便に行うことができるスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のスクリーン印刷装置は、パターン孔が設けられたマスクプレートを基板に当接させ、マスクプレート上でスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置であって、前記マスクプレートの下面にクリ
ーニングヘッドを当接させて摺動させることによりマスクプレートを下面側からクリーニングするクリーニング機構と、印刷動作におけるマスクプレートのクリーニング必要度を前記パターン孔の形状・サイズまたは前記ペーストの性状に基づいて判定するクリーニング必要度判定手段と、前記クリーニング機構によるクリーニング動作の条件を規定するクリーニング条件を前記クリーニング必要度と関連づけて複数記憶するクリーニング条件データベースと、前記クリーニング必要度判定手段の判定結果に従って前記クリーニング条件データベースから抽出された推奨クリーニング条件に基づき前記クリーニング機構を制御するクリーニング制御手段とを備えた。
【０００９】
本発明のスクリーン印刷方法は、パターン孔が設けられたマスクプレートを基板に当接させ、マスクプレート上でスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷方法であって、前記マスクプレートの下面にクリーニングヘッドを当接させて摺動させることによりマスクプレートを下面側からクリーニングするクリーニング機構によるクリーニング動作の条件を規定するクリーニング条件を、印刷動作におけるマスクプレートのクリーニング必要度と関連づけてクリーニング条件データベースに複数記憶させるクリーニング条件記憶工程と、前記パターン孔の形状・サイズまたは前記ペーストの性状に基づいてクリーニング必要度を判定するクリーニング必要度判定工程と、前記クリーニング必要度判定工程の判定結果に基づき前記クリーニング条件データベースから推奨クリーニング条件を抽出する条件抽出工程と、抽出された推奨クリーニング条件に従って前記クリーニング機構を制御することにより前記マスクプレートのクリーニングを実行するクリーニング実行工程とを含む。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、クリーニング条件を印刷動作によるマスクプレートの下面側のクリーニング必要度と関連づけてクリーニング条件データベースに複数記憶させておき、パターン孔の形状・サイズ等に基づいてクリーニング必要度を判定した結果に従ってクリーニング条件データベースから推奨クリーニング条件を抽出し、抽出された推奨クリーニング条件に従ってマスクプレートのクリーニングを実行することにより、クリーニング条件の設定を簡便に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の側面図、図２は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のクリーニングユニットの構造説明図、図３、図４は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の動作説明図、図５は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の制御系の構成を示すブロック図、図６，図７は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のクリーニング条件データベースのデータ内容を示す図、図８は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷方法のフロー図である。
【００１２】
まず図１を参照してスクリーン印刷装置の構造を説明する。図１において、スクリーン印刷装置は、基板位置決め部１の上方にスクリーン印刷部１０を配設して構成されている。基板位置決め部１は、Ｙ軸テーブル２、Ｘ軸テーブル３およびθ軸テーブル４を段積みし、更にその上にＺ軸テーブル５を載置して構成されている。Ｚ軸テーブル５上には基板８を保持する基板保持部６が設けられている。基板８は図示しない搬入コンベアによって基板保持部６上に搬入され、クランパ７によって両側から挟み込まれて位置が固定される。
【００１３】
基板位置決め部１の上方に配設されたスクリーン印刷部１０は、ホルダ枠１１に展張されたマスクプレート１２を備えている。マスクプレート１２には、印刷対象に応じたパターン孔が設けられている。マスクプレート１２上にはスキージヘッド１３が配設されてお
り、スキージヘッド１３は水平なプレート１４にスキージ１６を昇降させるスキージ昇降機構１５を配設した構成となっており、図示しない移動手段により水平方向に移動する。スキージ昇降機構１５を駆動することによりスキージ１６は昇降してマスクプレート１２の上面に当接する。
【００１４】
図３に示すように、Ｚ軸テーブル６を上昇させてマスクプレート１２の下面を基板８に当接させた状態で、ペーストであるクリーム半田が供給されたマスクプレート１２上でスキージ１６を摺動させることにより、図示しないパターン孔を介して基板８にはクリーム半田が印刷される。
【００１５】
Ｙ軸テーブル２上の基板位置決め部１の側方には、クリーニングユニット２０が配設されている。Ｙ軸テーブル２を駆動することにより、クリーニングユニット２０は基板保持部６とともにＹ方向に移動する。図２を参照してクリーニングユニット２０について説明する。クリーニングユニット２０の本体部２０ａの上面には、クリーニングヘッド２１がシリンダ２３によって昇降自在に配設されている。シリンダ２３はシリンダ駆動部３２によって駆動される。
【００１６】
本体部２０ａにはクリーニングテープ２２の供給リール２４および巻き取りリール２５が設けられている。巻き取りリール２５はモータ２６によって駆動され、モータ２６を駆動することにより、クリーニングテープ２２が供給リール２４から引き出される。引き出されたクリーニングテープ２２は、クリーニングヘッド２１の上面に設けられた摺動面２１ａを周回して巻き取りリール２５によって巻き取られる。モータ２６はモータ駆動部３１によって駆動される。
【００１７】
クリーニングヘッド２１を上昇させて摺動面２１ａ上のクリーニングテープ２２をマスクプレート１２の下面に押し当てた状態で、図４に示すように、クリーニングユニット２０を水平移動させることにより、マスクプレート１２は下面側からクリーニングされる。クリーニングユニット２０は、マスクプレート１２の下面にクリーニングヘッド２１を当接させて摺動させることによりマスクプレート１２を下面側からクリーニングするクリーニング機構となっている。
【００１８】
クリーニングヘッド２１には摺動面２１ａに開口した吸引孔２１ｂが設けられており、吸引孔２１ｂは真空ポンプ３３に接続されている。真空ポンプ３３を駆動することにより、クリーム半田が吸引孔２１ｂから吸引され、これにより単に拭き取りによるクリーニングのみでは除去が困難なマスクプレート１２のパターン孔１２ａ内に残留したクリーム半田を吸引によって取り除くことができる。
【００１９】
供給リール２４から引き出されたクリーニングテープ２２がクリーニングヘッド２１の上面に至る送給経路には、ガイド部２７、２８が配置されている。クリーニングテープ２２はガイド部２８の下面側およびガイド部２７の上面側を周回して摺動面２１ａの上面に送られる。ガイド部２７は中空管状の部材であり、ガイド部２７の上面側には複数の吐出孔２７ａが設けられている。ガイド部２７の内部はディスペンサ２９に接続されており、ディスペンサ２９を駆動することにより、吐出孔２７ａから洗浄用のエタノールやイソプロパノールなどの洗浄液３０が吐出される。
【００２０】
ガイド部２７の上面側をクリーニングテープ２２が周回した状態でディスペンサ２９を駆動することにより、吐出孔２７ａから吐出された洗浄液３０はクリーニングテープ２２に吸収される。これにより、クリーニングテープ２２によってマスクプレート１２の下面側をクリーニングする際に、マスク下面に固着状態で付着したクリーム半田を洗浄液３０によって軟化させながら良好に拭き取ることができる。
【００２１】
すなわち本実施の形態のスクリーン印刷装置においては、クリーニングヘッドの摺動面に洗浄液を供給しない乾式モード、摺動面に洗浄液を供給する湿式モード、湿式モードおよび乾式モードのクリーニングを併せて行う湿乾併用モードの３つのモードを、クリーニングの動作モードとして使い分け出来るようになっている。湿乾併用モードは、クリーニングユニット２１をマスクプレート１２の下面で往復動させる同一のクリーニング動作において、往動時には湿式モード、復動時には乾式モードを行う動作モードである。
【００２２】
次に、スクリーン印刷装置の制御系の構成を、図５を参照して説明する。図５において、制御部４０は入力制御部４０ａ、クリーニング制御部４０ｂ、クリーニング条件設定部４０ｃ、印刷制御部４０ｄを備えている。制御部４０の制御処理は、記憶部４１の制御プログラム記憶部４１ｄに記憶された制御プログラムを実行することにより行われる。
【００２３】
入力制御部４０ａは、キーボードやタッチパネルなどの入力手段３４から入力されるデータ入力を制御し、以下に説明するクリーニング制御部４０ｂにデータを伝達するとともに、記憶部４１へのデータ書き込みを行う。クリーニング制御部４０ｂは、クリーニングユニット２０を構成するモータ駆動部３１，シリンダ駆動部３２，真空ポンプ３３，ディスペンサ２９の動作を制御することにより、クリーニングユニット２０によるマスクプレート１２のクリーニング動作を制御する。
【００２４】
クリーニング条件設定部４０ｃは、クリーニング必要度判定データ記憶部４１ａに記憶されたクリーニング必要度判定データおよびクリーニング条件データベース４１ｂに記憶されたライブラリデータに基づいて、クリーニング動作の条件を規定するクリーニング条件を設定する。印刷制御部４０ｄは、基板位置決め部１、スクリーン印刷部１０を制御することにより、スクリーン印刷動作を制御する。
【００２５】
次に記憶部４１に記憶されているデータについて説明する。クリーニング必要度判定データ記憶部４１ａには、マスクプレート１２のクリーニングを行う必要度合いを判定するためのデータを記憶する。クリーニング必要度は、スクリーン印刷を反復して実行する過程において、クリーム半田がマスクプレート１２に残留する度合いを示すものである。
【００２６】
一般にパターン孔１２ａのサイズが小さほど、版離れの際にクリーム半田がパターン孔１２ａ内に残留する度合いが高くなることから、クリーニング必要度は大きい。したがって、実行しようとするスクリーン印刷作業についてこのようなクリーニング必要度データは、スクリーン印刷においてクリーニングを実行する頻度やクリーニング動作モードを選択する際の指標となる。
【００２７】
このため本実施の形態においては、クリーニング必要度判定データとして、マスクプレート１２のパターン孔１２ａの開口サイズを示す開口データ４２ａおよびこの開口データ４２ａと関連づけられた部品データ４２ｂ、すなわち半田接合される端子部分や電極部分のサイズに関するデータを、パターン孔１２ａ内に残留したクリーム半田を除去するためのクリーニング必要度データとして用いる。
【００２８】
そして上述のデータに加えて、本実施の形態では印刷されるクリーム半田の粘度や半田粒径などのデータを示す半田物性データ４２ｃを、クリーニング必要度判定データに含めるようにしている。スクリーン印刷用のクリーム半田の選択においては、パターン孔サイズが小さいほど半田粒径が小さいものが選択され、また半田粒径が小さいほどクリーム半田の粘度は小さくなり、データの相関関係が存在するからである。
【００２９】
これにより、  開口データ４２ａ、部品データ４２ｂがデータとして与えられていない
場合には、半田物性データ４２ｃを用いてクリーニング必要度を判定することができる。なお、  開口データ４２ａ、部品データ４２ｂ、半田物性データ４２ｃ以外にも、クリーニングの必要度と相関関係にあるデータであれば、クリーニング必要度判定データとして選択可能である。
【００３０】
クリーニング条件データベース４１ｂについて図６，図７を参照して説明する。クリーニング条件データベース４１ｂは、上述の開口データ４２ａ、部品データ４２ｂ、半田物性データ４２ｃが与えられた場合、すなわち上述のクリーニング必要度が判定された場合に、クリーニング必要度と対応する推奨クリーニング条件をデータベースの形でまとめたものであり、クリーニングユニット２０によるクリーニング動作の条件を規定するクリーニング条件を、前述のクリーニング必要度と関連づけて複数記憶する。
【００３１】
ここでは図７に示すように、まずクリーニング動作の実行パターンを規定するクリーニング条件を、前述の乾式モード、湿式モード、湿乾併用モードの３つのモードを、クリーニングヘッドからの吸引の有無と組み合わせた動作モードと、クリーニング速度（クリーニング動作においてクリーニングユニット２０をマスクプレート１２に対して相対移動させる速度）およびクリーニングのインターバル（何枚連続して印刷する毎にクリーニングを実行するかを枚数で示す）とを組み合わせて構成されたクリーニング条件を複数種類設定し、既設定条件として記憶する。
【００３２】
すなわち、本実施の形態においては、クリーニング条件は、マスクプレート１２との摺動状態におけるクリーニングヘッド２１の摺動面２１ａの乾湿、摺動面２１ａからの吸引の有無、クリーニングヘッド２１の摺動速度およびクリーニング実行頻度の各項目に基づいて設定される。
【００３３】
そして図７に示すように、上述のクリーニング条件を、開口データ４２ａ、部品データ４２ｂ、半田物性データ４２ｃ、すなわちクリーニング必要度判定データと対応させる。開口データ４２ａによって与えられる開口サイズについては、図７（ａ）に示すように印刷に使用されるマスクプレート１２の最小開口サイズがａ未満であればクリーニング条件５が対応し、以下、ａ以上ｂ未満、ｂ以上ｃ未満、ｃ以上の区分で、それぞれ図７（ａ）に示すクリーニング条件が対応する。
【００３４】
そして部品データ４２ｂによって与えられる最小チップサイズについても、同様にｄ未満、ｄ以上ｅ未満、ｅ以上ｆ未満、ｆ以上の区分で図７（ｂ）に示すクリーニング条件が対応する。また半田物性データ４２ｃについても、平均粒径、粘度のデータ区別ごとに、それぞれ図７（ｃ）、（ｄ）に示すデータ数値の区分で、クリーニング条件と対応している。
【００３５】
すなわち、新たに生産対象となる基板について、開口データ４２ａ、部品データ４２ｂ、半田物性データ４２ｃのうちいずれかが示されれば、クリーニング必要度が判定され、当該基板を対象としたスクリーン印刷作業において最良であると推定される推奨クリーニング条件が、上述のクリーニング条件データベース４１ｂに記憶されたライブラリデータに基づいて抽出される。
【００３６】
この推奨クリーニング条件の抽出処理は、クリーニング条件設定部４０ｃがクリーニング必要度判定データ記憶部４１ａからクリーニング必要度判定データを読み込み、このクリーニング必要度判定データをクリーニング条件データベース４１ｂと対照することによって行われる。クリーニング条件設定部４０ｃは、抽出された推奨クリーニング条件を、クリーニング制御部４０ｂに伝達するとともに、クリーニング条件記憶部４１ｃにクリーニング条件を記憶させる。
【００３７】
そしてクリーニング制御部４０ｂは、クリーニング条件記憶部４１ｃに記憶されたクリーニング条件に従ってクリーニングユニット２０の動作を制御する。なお、クリーニング条件設定部４０ｃによって抽出されたクリーニング条件を直接クリーニング制御部４０ｂに伝達するようにしてもよい。
【００３８】
上記構成において、クリーニング条件設定部４０ｃは、印刷動作におけるマスクプレートのクリーニング必要度を前記パターン孔の形状・サイズおよびまたはクリーム半田の性状に基づいて判定するクリーニング必要度判定手段となっている。またクリーニング制御部４０ｂは、クリーニング必要度判定手段の判定結果に従ってクリーニング条件データベースから抽出された推奨クリーニング条件に基づき、クリーニングユニット２０を制御するクリーニング制御手段となっている。
【００３９】
このスクリーン印刷装置は上記のように構成されており、以下マスクプレートクリーニング処理について説明する。この処理は、パターン孔が設けられたマスクプレートを基板に当接させ、マスクプレート上でスキージを摺動させることにより、パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷方法において実行されるものである。
【００４０】
まず前提作業として、クリーニングユニット２０によるクリーニング動作の条件を規定するクリーニング条件を、印刷動作におけるマスクプレートのクリーニング必要度と関連づけてクリーニング条件データベース４１ｂに複数記憶させておく（クリーニング条件記憶工程）（ＳＴ１）。
【００４１】
そしてスクリーン印刷作業の開始に際しては、パターン孔の形状・サイズおよびまたはクリーム半田の性状データをクリーニング必要度判定データ記憶部４１ａから読み取る（ＳＴ２）。次いで読み取られたデータに基づいて、クリーニング条件設定部４０ｃによりクリーニング必要度を判定する（クリーニング必要度判定工程）（ＳＴ３）。
【００４２】
次いでクリーニング必要度判定工程の判定結果に基づき、クリーニング条件データベース４１ｂから推奨クリーニング条件を抽出する（条件抽出工程）（ＳＴ４）。そして抽出された推奨クリーニング条件に従ってクリーニング機構を制御することによりマスクプレートのクリーニングを実行する（クリーニング実行工程）（ＳＴ４）。
【００４３】
上記説明したように、本実施の形態に示すスクリーン印刷方法においては、クリーニング条件を印刷動作によるマスクプレートの下面側のクリーニング必要度と関連づけてクリーニング条件データベースに複数記憶させておき、パターン孔の形状・サイズ等に基づいてクリーニング必要度を判定した結果に従ってクリーニング条件データベースから推奨クリーニング条件を抽出し、抽出された推奨クリーニング条件に従ってマスクプレートのクリーニングを実行するようにしている。
【００４４】
これにより、あらかじめ固定的に設定されたクリーニング条件にしたがって同一インターバルでクリーニングを実行する場合に生じる不具合、すなわちマスクプレートの汚損が進行した状態のまま印刷を反復実行することによる印刷品質の低下や、または不必要にクリーニングを高頻度で行うことによる生産性の低下を生じることなく、クリーニング作業を適切な動作モードを用いて適切なインターバルで実行することができる。
【００４５】
しかも従来は専ら作業経験豊富な熟練者のみに依存していたクリーニング条件の設定作業を、容易に行うことができ、従来必要とされた実際の印刷作業時にマスクプレートの汚損状態を観察しながら試行錯誤的なクリーニング条件の設定作業を必要とせず、クリーニング条件の設定を簡便に行うことができる。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明のスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法は、スクリーン印刷作業中において実行されるマスクプレートのクリーニング条件の設定を簡便に行うことができるという利点を有し、基板にクリーム半田や導電性ペーストなどのペーストを印刷するスクリーン印刷の分野に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の側面図
【図２】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のクリーニングユニットの構造説明図
【図３】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の動作説明図
【図４】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の動作説明図
【図５】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の制御系の構成を示すブロック図
【図６】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のクリーニング条件データベースのデータ内容を示す図
【図７】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のクリーニング条件データベースのデータ内容を示す図
【図８】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷方法のフロー図
【符号の説明】
【００４８】
１  基板位置決め部
８  基板
１０  スクリーン印刷部
１２  マスクプレート
１２ａ  パターン孔
１３  スキージヘッド
２０  クリーニングユニット
２１  クリーニングヘッド
２１ａ  摺動面
４０ｂ  クリーニング制御部
４０ｃ  クリーニング条件設定部
４１ａ  クリーニング必要度判定データ記憶部
４１ｂ  クリーニング条件データベース
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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