(57)【要約】【課題】  小型化を図れるバルブを提供する。【解決手段】  流体が流れる流路２を有するバルブ本体３と、バルブ本体２に流路３を閉塞すべくに固定され、固定開口部４を有する固定体５と、固定体５に重なり合わされた状態で移動され、移動開口部７を有する移動体６と、を備える。固定開口部４が移動体６によって閉塞されると共に移動開口部７が固定体５によって閉塞された閉状態と、固定開口部４と移動開口部７とが重なり合った開状態と、を移動体６の移動により行うことにより、前記課題を解決した。【選択図】        図１      
2005180535.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体が流れる流路を有するバルブ本体と、該バルブ本体に前記流路を閉塞すべく固定され、固定開口部を有する固定体と、該固定体に重なり合わされた状態で移動され、移動開口部を有する移動体と、を備えたバルブであって、
前記固定開口部が前記移動体によって閉塞されると共に前記移動開口部が前記固定体によって閉塞された閉状態と、
前記固定開口部と前記移動開口部とが重なり合った開状態と、を前記移動体の移動により行うことを特徴とするバルブ。
【請求項２】
前記移動体を移動させる駆動手段を備え、該駆動手段により前記移動体が移動されて前記流体のコンダクタンスが調節されることを特徴とする請求項１に記載のバルブ。
【請求項３】
前記バルブ本体が円筒状に形成され、前記固定体が円盤状に形成され、前記移動体が前記バルブ本体の内周の径より外径が小さいカップ状に形成され、前記駆動手段が、前記カップ状の移動体の外周に設けられた第１磁力発生要素と、前記バルブ本体の外周に設けられ、前記第１磁力発生要素と共に磁力を発生させて該磁力により前記移動体を回転させる第２磁力発生要素とを有することを特徴とする請求項２に記載のバルブ。
【請求項４】
前記第１磁力発生要素が、前記カップ状の移動体の外周に所定の間隔で設けられた複数の第１磁石であり、前記第２磁力発生要素が、前記バルブ本体の外周に回転可能に設けられたリング状の駆動体の内周面であって前記第１磁石にそれぞれ対向する内周面に設けられた第２磁石であることを特徴とする請求項３に記載のバルブ。
【請求項５】
前記駆動体には、該駆動体を前記バルブ本体の外周面に沿って案内移動する案内車輪が設けられていることを特徴とする請求項４に記載のバルブ。
【請求項６】
前記第１磁力発生要素が、前記カップ状の移動体の外周に所定の間隔でＮ極とＳ極とが交互に配置された複数の第１磁石であり、前記第２磁力発生要素が、前記バルブ本体の外周に設けられた電磁石であることを特徴とする請求項３に記載のバルブ。
【請求項７】
前記請求項１乃至６のいずれか１項に記載のバルブが、真空容器内を排気する排気系路に設けられていることを特徴とする真空用バルブ。
【請求項８】
前記請求項１乃至６のいずれか１項に記載のバルブが、ゲートバルブとして備えられていることを特徴とする真空容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空容器内を排気手段により排気する際等に用いられるバルブ、真空用バルブ及びそのバルブを備えた真空容器に関し、特に排気コンダクタンスの調節を行えるバルブ、真空用バルブ及び真空容器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の製造等においては、減圧又は真空下で処理を行う工程が複数あり、これらの複数の工程においては排気コンダクタンス（流力：真空系のある部分に対して流れる排気流の量を圧力差で割ったもの）が異なる工程がある。例えば、ウェハを真空容器内に収納してその真空容器内を排気する場合、真空容器内に残留する塵が舞い上がってウェハに塵が付着しないように排気を徐々に行う初期工程と、半導体基板であるウェハ上に化学気相成長法により窒化膜を形成する薄膜形成工程とで、通常排気コンダクタンスが異なっている。真空容器内は真空ポンプを用いて排気されるが、真空ポンプは通常ほぼ一定の吸引力（すなわち一定の排気能力）で真空容器内を排気するので、排気コンダクタンスの調節は通常真空用バルブを用いて行なわれている。こうした真空用バルブとしては、例えば特許文献１に記載されたものが知られている。
【０００３】
特許文献１に記載の真空用バルブは、図１２に示すように、真空容器内に通じる（すなわち、連通する）吸引口１０１及び真空ポンプに連通する排気口１０２を有し、Ｌ字状に屈曲した排気流路１０４を有する筒状のバルブ本体１０３と、このバルブ本体１０３の吸引口１０１と排気口１０２との間の排気流路１０４内の角部近傍に設けられ、排気流路１０４の一部である連通孔１０５を有するテーパー状の弁座１０６と、この弁座１０６の形状に対応するテーパー状に形成され、弁座１０６と密着して連通孔１０５を閉塞する弁体１０７と、この弁体１０７にバルブ本体１０３を貫通した弁体軸１０８を介して連結され、弁体１０７を排気流路１０４内で往復移動させる弁体駆動手段１０９と、を備えたものである。弁体駆動手段１０９は、弁体１０７を弁座１０６から離れる方向及び弁座１０６に密着する方向に往復移動させると共に弁体１０７の弁座１０６に対する位置を調節するものである。弁体１０７の位置が調節されることにより弁体１０７と弁座１０６との間隔（開度）が調節されて排気コンダクタンスが調節される。
【特許文献１】特開平５−２３７３６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、前述のバルブは、弁体をバルブ本体の排気流路内で弁座から離れる方向及び弁座に密着する方向に往復移動させるために、弁体を移動させる移動スペースがバルブ本体の排気流路内に必要になり、バルブが大型になる。また、バルブを全開にする場合、弁体はバルブ本体の排気流路内に位置されているため、例えＬ字状の排気流路の角部近傍に位置されていたとしても、弁体自体が排気を妨げる抵抗となるので、できる限り弁体の移動スペースを大きくして排気コンダクタンスの減少を避ける必要があり、小型化の妨げとなる。
【０００５】
本発明は、前述した問題を解決するためになされたものであって、その目的は、小型化を図れるバルブ、真空用バルブ及びそのバルブを備えた真空容器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記の目的を達成する本発明のバルブは、流体が流れる流路を有するバルブ本体と、該バルブ本体に前記流路を閉塞すべく固定され、固定開口部を有する固定体と、該固定体に重なり合わされた状態で移動され、移動開口部を有する移動体と、を備えたバルブであって、前記固定開口部が前記移動体によって閉塞されると共に前記移動開口部が前記固定体によって閉塞された閉状態と、前記固定開口部と前記移動開口部とが重なり合った開状態と、を前記移動体の移動により行うことを特徴とする。
【０００７】
この発明によれば、バルブの開閉は移動体の移動により行われ、この移動体は固定体に重なり合わされた状態のまま移動するので、移動体を移動させるための移動スペースが小さくなり、小型化を図ることができる。
【０００８】
本発明のバルブにおいて、前記移動体を移動させる駆動手段を備え、該駆動手段により前記移動体が移動されて前記流体のコンダクタンスが調節されることが好ましい。この発明によれば、駆動手段により移動体が移動されることで流体のコンダクタンスの調節を行うことができる。
【０００９】
本発明のバルブにおいて、前記バルブ本体が円筒状に形成され、前記固定体が円盤状に形成され、前記移動体が前記バルブ本体の内周の径より外径が小さいカップ状に形成され、前記駆動手段が、前記カップ状の移動体の外周に設けられた第１磁力発生要素と、前記バルブ本体の外周に設けられ、前記第１磁力発生要素と共に磁力を発生させて該磁力により前記移動体を回転させる第２磁力発生要素とを有することが好ましい。
【００１０】
本発明のバルブにおいて、前記第１磁力発生要素が、前記カップ状の移動体の外周に所定の間隔で設けられた複数の第１磁石であり、前記第２磁力発生要素が、前記バルブ本体の外周に回転可能に設けられたリング状の駆動体の内周面であって前記第１磁石にそれぞれ対向する内周面に設けられた第２磁石であることが好ましい。また、前記駆動体には、該駆動体を前記バルブ本体の外周面に沿って案内移動する案内車輪が設けられていることが好ましい。
【００１１】
本発明のバルブにおいて、前記第１磁力発生要素が、前記カップ状の移動体の外周に所定の間隔でＮ極とＳ極とが交互に配置された複数の第１磁石であり、前記第２磁力発生要素が、前記バルブ本体の外周に設けられた電磁石であることが好ましい。
【００１２】
また、本発明の真空用バルブは、前記の本発明のバルブが真空容器内を排気する排気系路に設けられてなることを特徴とする。この発明の真空用バルブは、前記の本発明のバルブを用いているので、小型化を図ることができる。
【００１３】
また、本発明の真空容器は、前記の本発明のバルブがゲートバルブとして備えられていることを特徴とする。この発明の真空容器バルブは、本発明のバルブをゲートバルブとして備えているため、真空用のバルブを新たに接続する必要がないので、真空容器の小型化を図ることができる。
【発明の効果】
【００１４】
以上説明したように、本発明のバルブによれば、固定体に気密状態で積層された状態のまま移動体が移動して固定体の固定開口部の開閉が行われるので、移動体を移動させるための移動スペースが小さくなり、小型化を図ることができる。また、駆動手段により移動体の固定体に対する位置が調節されて流体のコンダクタンスの調節を行うことができる。また、本発明の真空用バルブは、前記の本発明のバルブが真空容器内を排気する排気系路に設けられているので、小型化を図ることができる。また、本発明の真空容器は、前記の本発明のバルブがゲートバルブとして備えられているので、真空容器の小型化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明のバルブ、真空バルブ及び真空容器を添付図面に基づいて詳述する。図１乃至図３は本発明のバルブの一例が示されている図である。図４は本発明のバルブ本体の一例を示した図である。図５及び図６は本発明の固定体の一例を示した図である。図７及び図８は本発明の移動体の一例を示した図である。
【００１６】
本発明のバルブは、例えば、真空容器内を排気する排気系路に真空用バルブとして設けられるものである。このバルブは、図１及び図２に示すように、流体が流れる流路２を有するバルブ本体３と、該バルブ本体３に前記流路２を閉塞すべく固定され、固定開口部４を有する固定体５と、固定体５に重なり合わされた状態で移動され、移動開口部７を有する移動体６と、を備えたバルブであって、固定開口部４が移動体６によって閉塞されると共に移動開口部７が固定体５によって閉塞された閉状態と、固定開口部４と移動開口部７とが重なり合った開状態と、を移動体６の移動により行うことを特徴とする。
【００１７】
バルブ本体３は、図１及び図４に示すように、例えば円筒状に形成されており、このバルブ本体３の両端部には、径方向外方に延びるフランジ１１、１２がそれぞれ設けられている。バルブ本体３は、非磁性材料で形成されることが好ましく、バルブ本体３の肉厚は、移動体６を磁力により移動させ得る任意の寸法に形成されている。バルブ本体３は、他の部材（例えば真空容器の排気口を形成する壁部の全部又は一部）を兼用して形成するようにしてもよい。
【００１８】
バルブ本体３の内周面（流路２を形成する内壁）であって一方の開口部（例えば流体が流入する側の開口部（吸引口））１３の近傍の内周面には、径方向内方に延びるリング状の固定部１４が設けられている。固定部１４の側面（内周面ではない面）には、その軸方向に延びるネジ孔１５が等間隔例えば９０°間隔で４つ設けられている。固定部１４の内周面は、吸引口１３側が径方向内方に突出してほぼＬ字状に形成されている。
【００１９】
固定体５は、図１、図５及び図６に示すように、例えば円盤状に形成されており、一方の周端部にはフランジ部２１が一体的に設けられている。フランジ部２１の径は、バルブ本体３の内径と同じか又は略同じ寸法で形成されている。前記固定部１４のネジ孔１５と対向するフランジ部２１には、ほぼＵ字状の切欠２２が形成されており、切欠２２がネジ孔１５に位置決めされる（対向する）ように固定体５のフランジ部２１を固定部１４に当接させてネジ等の螺合部材によって固定体５を固定部１４に固定することができるようになっている。固定体５は、固定部１４（バルブ本体３）に一体的に設けられていてもよいし、図１に示すように、バルブ本体３と個別に形成されていてもよい。固定体５は例えば金属で形成されている。
【００２０】
固定体５の本体部径は、前記の固定部１４の突部１６の先端部の径と同じか又は略同じ寸法で形成されている。固定体５の肉厚（軸方向の長さ）は、突部１６の軸方向の長さと同じか又は略同じ長さで形成されている。これにより、固定体５は、図１に示すように、吸引口１３からバルブ本体３内の固定部１４に嵌合されるようになっている。なお、固定体５を固定部１４（バルブ本体３）にネジ等により固定した場合にはフランジ部２１と固定部１４との間にシール部材（図示せず）を設けてシールするようにしてもよい。
【００２１】
固定体５には、流体を通過させる開口部（固定開口部）４が設けられている。固定開口部４の形状は特に限定されないが、例えば、中心部が略半円状に突出し、かつ、固定体５の径より小さな径の略半円状に形成されている。略半円状の固定開口部４は、固定体５と同軸上に形成されている。
【００２２】
移動体６は、図１、図２、図３、図７及び図８に示すように、例えば、略カップ状（略有底円筒体状）に、すなわち円盤状の底部３１と円筒部３２とから形成されている。底部３１は、前記の固定部１４の突部１６の先端部の内径より小さな寸法の径で形成されており、固定体５に面接触される（固定体５と重なり合う）ようになっている。
【００２３】
円筒部３２の内径は、前記の固定開口部４の径と同じか又は略同じ寸法で形成されている。移動体６（円筒部３２）の外形は２段の階段状（底部側から第１面（第１周面）３３、第２面３４、第３面３５の３面からなる階段状）に形成されており、第１面３３の径が一番小さくなるように形成されている。第１面３３の径は、例えば、前記の固定部１４の突部１６の先端部の内径より小さな寸法で形成されている。第１面３３の幅（軸方向の長さ）は、突部１６を除いた固定部１４の軸方向の長さと同じか又は略同じ寸法で形成されている。第２面３４の径は、例えば、第１面３３の径より大きな寸法であって突部１６の先端部の内径より小さな寸法に形成されている。第２面３４の幅（軸方向の長さ）は、第３面３５を形成する壁部３６が固定部１４に接触しない寸法で形成されている。第３面３５の径は、固定部１４以外のバルブ本体３の内周の径より小さな寸法であって突部１６を除いた固定部１４の内径より大きな寸法で形成されている。第３面３５の幅（軸方向の長さ）は、移動体６を回転させ得る寸法で形成されており、この第３面３５が実質的に移動体６を構成する部分である。
【００２４】
この移動体６は、図１に示すように、底部３１が固定体５に面接触して（移動体６の底部３１と固定体５とが重なり合って）これらの間が気密状態になるようにバルブ本体３に設けられていることが好ましい。すなわち、移動体６の底部３１の外面及びフランジ部２１とは反対側の固定体５の表面は、これら表面が互いに面接触している状態では移動体６が回転しても気密状態が保持されるように形成されている。なお、固定体５と移動体６との気密状態をさらに確実にするために、例えば、図９に示すように、Ｏリング４５を用いてもよい。すなわち、移動体６の底部３１で閉塞され得る固定体５の箇所には、円形状の固定開口部４６が設けられている。この固定開口部４６の外周の固定体５と移動体６の底部３１との間にＯリングを設けて、それらの間をＯリングによってシールするようにしてもよい。
【００２５】
移動体６の第１面３３と突部１６を除いた固定部１４の周面とその突部１６を形成する面との間には、軸受部材４０が設けられている。軸受部材４０は、例えば、移動体６を回転可能に支持するボールベアリング等である。これにより、移動体６は、バルブ本体３の内部でほぼ同軸上に回転可能に支持されている。
【００２６】
底部３１には、移動開口部７が設けれている。移動開口部７は、底部３１（移動体６）が固定体５に面接触した状態で回転した時、固定開口部４と重なり合ってバルブを開状態にする（固定開口部４を開放させる）ためのものである。移動開口部７の形状は、特に限定されず固定開口部４の開口面積より大きくても小さくてもどちらでもよいが、例えば、底部３１の回転により固定開口部４の開放面積が除々に大きくなるように形成することが好ましい。具体的に例えば、移動開口部７の形状は、固定開口部４の径と同じか又は略同じ径の略１５０°の円弧状に形成されている。この円弧状の固定開口部の一方の辺が、その径方向と直交す方向に例えば三角状に突出して形成されており、底部３１が回転することにより図３（ｂ）に示すようにこの突出部７１の先端がまず固定開口部４と重なり合って微小開放が行われるようになっている。
【００２７】
本発明のバルブ１は、移動体６を回転させる駆動手段８を備えることが好ましい。駆動手段８は、移動体６の位置を制御すると共に移動体６を回転させるように構成することが好ましい。駆動手段８は、例えば、移動体６の外周に設けられた第１磁力発生要素５１と、第１磁力発生要素５１と共に磁力を発生させて該磁力により移動体６の位置を制御すると共に移動体６を回転させる第２磁力発生要素５２とから構成されている。
【００２８】
第１磁力発生要素５１は、例えば磁石特に第１永久磁石５３であることが好ましい。第１永久磁石５３は、移動体６の外周面（第３面３５）に設けられるが、図２及び図３に示すように、複数例えば６個の第１永久磁石５３をその周方向に等間隔例えば６０°間隔で配設されている。すなわち、移動体６の外周面（第３面３５）には、径方向外方に突出した磁石取付部３７がその周方向に６０°の等間隔で６個の配設されており、これらの各磁石取付部３７の先端部に第１永久磁石５３がそれぞれ設けられている。これら第１永久磁石５３の表面の極性は、第２磁力発生要素５２に応じて決められるが、例えば、Ｎ極とＳ極とが交互に配置されている。第１永久磁石５３及び磁石取付部３７は、第１永久磁石５３を各磁石取付部３７に設けた場合に各第１永久磁石５３がバルブ本体３の内周面に非接触になる寸法でそれぞれ形成されている。
【００２９】
第２磁力発生要素５２は、バルブ本体３の外側に設けられて第１磁力発生要素５１（第１永久磁石５３）と共に磁力を発生させて該磁力により移動体６の位置を制御すると共に移動体６を回転させるものであり、その構成は特に限定されない。第２磁力発生要素５２としては、例えば、図１及び図２に示すように、磁石例えば第２永久磁石５４でもよいし、図１０に示すように、電磁石６０でもよい。
【００３０】
第２磁力発生要素５２として第２永久磁石５４を用いた場合には、図１及び図２に示すように、バルブ本体３の外周にその外周を覆うようにリング状の駆動体５５が設けられ、この駆動体５５の内周面に第２永久磁石５４が配設されている。
【００３１】
駆動体５５は、バルブ本体３の外径より内周の径が大きい寸法であって内周面に配設された永久磁石５４がバルブ本体３に接触しない寸法で形成されている。駆動体５５は、例えば、半円弧状の第１駆動体５６と半円弧状の第２駆動体５７とを互いの各両端部を結合させてリング状に形成されていることが好ましい。駆動体５５の内周面には、６個の第１永久磁石５３と対向するように６０°の等間隔で６個の第２永久磁石５４が配設されている。これら第２永久磁石５４の内表面の極性は、例えば、Ｎ極とＳ極とが交互に配置されており、各６個の第１永久磁石５３と第２磁石５４とがＮ極及びＳ極が対向するように配置されて各第１永久磁石５３と第２磁石５４との間に磁力が発生し、該磁力により移動体６の位置が制御されると共に移動体６が回転可能になっている。なお、第２磁力発生要素５２が永久磁石５４である場合には、第１永久磁石５３の表面の極性は、全て同じ極性（Ｎ極又はＳ極）にしてもよい。この場合、第２永久磁石５４の表面の極性は、第１永久磁石５３の極性と全て反対の極性にする。このように、駆動体５５の内周面に第２永久磁石５４を配設することによって、第２永久磁石５４と第１永久磁石５３とが吸引しあって移動体６の動きが制御される。すなわち、移動体６は駆動体５５と共に移動するようになっている。
【００３２】
駆動体５５の一側面には、バルブ本体３の外周面に沿って（バルブ本体３の軸を中心として）駆動体５５を回転させる案内車輪５８が設けられていることが好ましい。案内車輪５８は、駆動体５５の周方向に等間隔例えば６０°の間隔で６個設けられている。６個の案内車輪５８は、第２永久磁石５４が配置されている駆動体の６箇所にそれぞれ設けられていることが好ましい。これら案内車輪５８によって、駆動体５５が、バルブ本体３（及び移動体６）の略同軸上に配置されていると共にその軸を中心として回転可能にバルブ本体３の外周面に設けられている。なお、案内車輪５８に限定されず、他の手段によって駆動体５５をバルブ本体３の略同軸上に配置及び回転可能に支持するようにしてもよい。また、第２永久磁石５４が配置されている駆動体５５の６箇所にそれぞれ案内車輪５８が設けられていることにより、第１永久磁石５３と第２永久磁石５４とが吸引しあっている状態でも容易に駆動体５５を回転させることができる。
【００３３】
また、駆動体５５の配置箇所は、移動体６の底部３１が固定体５と面接触し得るバルブ本体３の外周上であり、その配置箇所から駆動体５５が軸方向に移動しないように駆動体５５又は案内車輪５８あるいはその両方を保持することが好ましい。
【００３４】
また、駆動体５５の外周面には、その周方向に延びる略Ｖ字状の溝５９が設けられていることが好ましい。このように溝５９を設けて駆動体５５をプーリとして形成して溝５９に例えばベルト等を掛けることにより、容易に駆動体５５を回転させることができ、また、モータ等を用いれば自動で駆動体５５を回転させることができる。
【００３５】
第２磁力発生要素５２として電磁石６０を用いた場合には、図１０に示すように、バルブ本体３の外側にリング状の電磁石６０が設けられている。電磁石６０は、第１永久磁石とにより移動体６の位置を制御すると共に移動体６を回転させることができればよい。電磁石６０としては、例えば、内周面に磁極突起６１が等間隔で複数設けられたコア６２と、それら磁極突起６１に巻回された駆動コイル６３とから構成されているもの等が挙げられる。その駆動コイル６３が通電されることにより第１永久磁石５３との間に磁力が発生して移動体６の位置が制御されると共に移動体６が回転されるようになっている。
【００３６】
次に、前述した構成の本発明のバルブ１の動作を説明する。このバルブ１を、例えば、真空容器内を排気する排気系路に設けた場合について説明する。すなわち、バルブ１の吸引口１３が真空容器に連通されると共に、残りの開口部（排気口）１７が排気手段である例えば真空ポンプに連通される。このバルブ１を閉状態にするには、図１、図２、図３（ａ）、図９及び図１０に示すように、固定開口部４と移動開口部７とが重ならないにようにする。すなわち、固定体５と移動体６の底部３１とが面接触して（移動体６の底部３１と固定体５とが重なり合わされて）これらの間が気密状態になっているために、固定開口部４と移動開口部７とが重ならない状態では固定開口部４が底部３１によって閉塞されていると共に、移動開口部７が固定体５によって閉塞されているので、流体が流れることがない。つまり、排気が行われない。
【００３７】
次に、真空容器の排気を行う場合であって排気コンダクタンスが小さくなるようにバルブ１を開状態にするには、例えば、駆動体５５を移動開口部７の三角状の突出部７１の先端部が最初に固定開口部４に重なり合う方向に所定の角度回転（回動）させる。このとき、例えば、図１に示すように、移動体６の第１永久磁石５３と駆動体５５の第２永久磁石５４とが互いに極性が異なるように駆動体５５が配置されているので、第１永久磁石５３と第２永久磁石５４との間には磁力が発生して第１永久磁石５３と第２永久磁石５４とが吸引しあっている。このため、駆動体５５が回転（回動）すると、図３（ｂ）に示すように、底部３１が固定体５と面接触した状態のまま磁力により移動体６が回転（回動）して移動開口部７の三角状の突出部７１の先端のみが固定開口部４とかさなりあって微小開放が行われる。これにより、排気コンダクタンスが小さく、真空容器内の気流の乱れもなく真空容器の排気を行える。
【００３８】
そして、駆動体５５をさらに所定の角度同じ方向に回転（回動）させると、図３（ｃ）に示すように、移動体６がさらに回転（回動）して移動開口部７の全域が固定開口部４と重なりあってバルブ１が全開となり、真空容器内の真空度を上げることができる。このようにバルブ１の全開は、移動開口部７の開口面積によって決められている（移動体６がバルブ１の開度に寄与している）ので、移動体６が排気を妨げる原因となることがない。
【００３９】
バルブ１を開状態から閉状態にするには、固定開口部４と移動開口部７とが重ならないように駆動体５５を所定の角度回転（回動）させる。このときの回転方向はどちらでもよい。
【００４０】
したがって、本発明のバルブ１は、移動体６を回転させて開閉を行うので、小型化を図ることができる。すなわち、移動体６の底部３１が固定体５に面接触した状態（気密状態）のまま移動体６が回転するので、移動体６を移動させるための移動スペースが小さくなる。特に流体の流れる方向、例えばバルブ本体３の軸方向の長さが移動体６を収容する寸法に形成することができるので、小型化を図ることができる。また、移動体６をカップ状（有底円筒状）に形成してその軸を中心として移動体６を回転させることにより、移動体６を移動させるための移動スペースが不要となり、一層の小型化を図れる。
【００４１】
また、バルブ本体３の外部に設けた駆動体５５や電磁石６０によって任意の角度だけ移動体６を回転（回動）させて例えば微小開放と全開との２つの開状態を行えるので、流体のコンダクタンス（排気コンダクタンス）を調節することができる。
【００４２】
また、本発明のバルブ１は、バルブ本体３の外側に設けた駆動体５５又は電磁石６０を用いて移動体６の回転（移動）を非接触で行うので、バルブ本体３を貫通させる必要がない。このため、ベローズ機構や磁気シール等のシール手段を設ける必要がないので、低コスト化も図ることができる。
【００４３】
また、本発明のバルブ１を真空容器のゲートバルブとして例えば排気口に設けることにより、配管による排気コンダクタンスの減少を少なくすることができる。すなわち、従来は、真空容器と真空バルブとの間を配管を用いて接続していたので、配管による排気コンダクタンスが減少していた。この配管による排気コンダクタンスの減少を少なくするには、配管をできるかぎり径が大きくて長さが短いものを用いればよいが、真空容器及び真空バルブは大型であり、設置スペースを考慮すると短い配管で接続することができず、配管が長くなってしまう。
【００４４】
これに対して、本発明のバルブ１は、小型であるので真空容器のゲートバルブとして例えば排気口に設けることができるので、配管による排気コンダクタンスの減少を少なくすることができる。例えば、図１１を用いて、本発明のバルブ１をゲートバルブとして排気口に設けた場合を説明する。
【００４５】
真空容器は、図１１に示すように、有底円筒状の容器本体８１と、その容器本体８１の開口部を開閉する蓋８２とから構成されている。容器本体８１の底部には、排気口８３が設けられており、この排気口８３に本発明のバルブ９０がゲートバルブとして設けられている。バルブ本体９１は、真空容器８０の排気口８３を形成する壁部８４の一部と、この壁部８４に気密に固定された円筒状の第２バルブ本体９２とから構成されている。その他の構成は、前述と略同じであるので同一符号を用いると共に、その説明を省略する。なお、図１１に示す例では、駆動体５５を用いて移動体６を回転させるようにしているが、電磁石６０を用いて移動体６を回転させるようにしてもよい。また、駆動体５５をバルブ本体９１の外周面に沿って案内する案内車輪９３の位置が前述と異なるが、案内車輪９３の位置は用途や周辺機器等の配置状態に応じて駆動体５５の側面のどちら側に配置してもよい。
【００４６】
このように、本発明のバルブ９０をゲートバルブとして真空容器８０の排気口８３に設けることにより、真空用のバルブを新たに接続する必要がないので、真空容器８０の小型化を図ることができる。また、バルブを接続する配管が不要であるので、配管による排気コンダクタンスの減少を少なくすることができ、かつ、排気経路が短くなるので排気時間の短縮等を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明のバルブの一例を示す断面図である。
【図２】図１中のＡ−Ａ線矢視断面図である。
【図３】本発明のバルブの開閉状態を示す図であり、（ａ）は全閉状態を示す図、（ｂ）は微小開放状態を示す図、（ｃ）は全開状態を示す図である。
【図４】本発明のバルブ本体の一例を示す断面図である。
【図５】本発明の固定体の一例を示す正面図である。
【図６】図５中のＢ−Ｂ線矢視断面図である。
【図７】本発明の移動体の一例を示す正面図である。
【図８】図７中のＣ−Ｃ線矢視断面図である。
【図９】本発明のバルブの他の例を示す図であり、（ａ）は断面図、（ｂ）はその（ａ）図中Ｄ−Ｄ線矢視断面図である。
【図１０】本発明のバルブの他の例を示す断面図である。
【図１１】本発明の真空容器の一例を示す断面図である。
【図１２】従来のバルブを示す断面図である。
【符号の説明】
【００４８】
１  バルブ
２  流路
３  バルブ本体
４  固定開口部
５  固定体
６  移動体
７  移動開口部
８  駆動手段
５１  第１磁力発生要素
５２  第２磁力発生要素
５３  第１永久磁石
５４  第２永久磁石
５５  駆動体
５８  案内車輪
６０  電磁石
８０  真空容器
９０  バルブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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