(57)【要約】【課題】圧縮気体の噴射圧だけで物体を浮揚する装置に比較して少ないエネルギー消費で浮揚力を高めることができ、静電浮上搬送装置に比較して構造が簡単で製造コストを少なくできる物体浮揚搬送装置を提供する。【解決手段】物体浮揚搬送装置10は、複数の音波浮揚装置11を備え、音波浮揚装置11が直列に配置されることにより、物体12を浮揚状態で搬送する搬送経路が構成されている。各音波浮揚装置11は、励振手段で励振される振動板14を備え、振動板14は、支持プレート13に対して一組のホーン15ａ，15ｂ及び振動子16を介して水平に支持されている。少なくとも前記搬送経路の一部に物体12の浮揚を補助する圧縮気体噴射手段26が設けられている。圧縮気体噴射手段26は隣接する音波浮揚装置11間の物体12の移載箇所と対応する位置に設けられている。【選択図】      図１
2005239392.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動板を励振手段で励振させて、振動板からの音波の放射圧により物体を浮揚させる音波浮揚装置を直列に複数設けて搬送経路を構成し、少なくとも前記搬送経路の一部に前記物体の浮揚を補助する浮揚補助手段が設けられている物体浮揚搬送装置。
【請求項２】
前記浮揚補助手段は、前記物体に対して前記振動板と反対側から静電気による吸引作用で浮揚を補助する静電浮上手段である請求項１に記載の物体浮揚搬送装置。
【請求項３】
前記浮揚補助手段は、前記物体に対して前記振動板と反対側から大気圧より低い圧力を作用させる吸引手段である請求項１に記載の物体浮揚搬送装置。
【請求項４】
前記浮揚補助手段は、前記物体に対して圧縮気体を噴射する圧縮気体噴射手段である請求項１に記載の物体浮揚搬送装置。
【請求項５】
前記圧縮気体噴射手段は、前記振動板に形成された孔から圧縮気体を噴射するノズルを備えている請求項４に記載の物体浮揚搬送装置。
【請求項６】
前記浮揚補助手段は、隣接する前記音波浮揚装置間の前記物体の移載箇所と対応する位置に設けられている請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の物体浮揚搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物体浮揚搬送装置に係り、詳しくは振動板からの音波の放射圧により物体を浮揚させる音波浮揚装置を備えた物体浮揚搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラスパネル（ガラス基板）や半導体ウエハー等の薄くて傷つき易い板状部材（物体）に汚れや傷が付くのを避けるため、浮揚状態で搬送することが考えられている。物体を空中に浮揚させる物体浮揚装置として、振動板を励振させて振動板から放射される音波の放射圧を用いる装置が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。特許文献１には、音波の放射圧で浮揚された物体を走行させる走行手段を設けた物体浮揚搬送装置も開示されている。
【０００３】
また、カラーフィルタの基板を搬送する搬送装置として、基板の両端を支持するローラと、基板の中央部付近を空気又は水の噴出で支持する装置が提案されている（例えば、特許文献２参照。）。特許文献２に開示された装置では、図６に示すように、基板５１を搬送方向の左右両端においてローラ５２で支持し、左右のローラ５２の中央部付近に配管５３を設置し、配管５３に形成された孔から空気や水を噴出させて基板５１の中央部近辺を支え、ローラ５２の回転により基板５１を搬送するようになっている。
【０００４】
また、ガラス基板を静電力により非接触で保持し、搬送するための静電浮上搬送装置に、被搬送物としてのガラス基板を静電浮上用電極による吸引力と空気吐出板による空気の噴出圧力で保持するものや、空気吐出板の代わりに振動板を設けた装置も提案されている（例えば、特許文献３参照。）。静電浮上用電極は、絶縁基板上に分離帯を挟んで複数に分割されて配置され、正電圧と負電圧とが交互に印可されるようになっている。特許文献３には、静電浮上用電極を移動させることによりガラス基板を移動させる構成の静電浮上搬送装置が提案されている。また、ガラス基板の移動方向に沿って所定のピッチで配置された複数の電極を有するとともに、静電力により前記ガラス基板を搬送する搬送用電極を備えた静電式のリニア駆動モータの搬送用電極に、前記静電浮上用電極を一体化させたものも提案されている。
【特許文献１】特許第２８０２８８３号公報（明細書の段落［００１３］〜［００３３］、図１，７）
【特許文献２】特開２０００−５３２４７号公報（明細書の段落［０００６］、図１）
【特許文献３】特開２０００−２５９４８号公報（明細書の段落［０００７］，［０００８］、図５，７）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
物体を浮揚させる場合、励振される振動板から放射される音波の放射圧を利用する方法に必要なエネルギーと、圧縮空気の噴射により物体を浮揚させる方法に必要なエネルギーとを比較すると、音波の放射圧を利用する方法（音波浮揚）では、圧縮空気の噴射による方法の１／３以下のエネルギーで可能となる。しかし、音波浮揚では振動板からの浮揚距離を大きくするのが難しい。
【０００６】
静電浮上搬送装置の場合、浮揚に必要なエネルギーは音波浮揚に比較して少ない。しかし、静電浮上搬送装置の場合、物体の搬送経路に沿って静電浮上用電極を配置して搬送する構成の場合、装置の製造コストが音波浮揚装置に比較して高くなる。
【０００７】
また、近年、液晶やＰＤＰ（プラズマディスプレイ）などのガラス基板が大型化しており、１５００×１８００ｍｍ以上の基板サイズのものもある。そして、基板の厚さが１ｍｍ以下と薄いため、基板の一部に浮揚力を与えた場合には基板の撓みが大きくなり、搬送に支障をきたす。従って、基板の広い面積に浮揚力を与える必要がある。特に、物体の搬送距離を長くするため、複数の物体浮揚装置を直列に配置して目的地まで搬送する場合、物体浮揚装置間での物体の移載（乗り継ぎ）を円滑に行うためには、振動板からの浮揚距離を大きくするのが好ましい。しかし、音波浮揚だけでこれらを満足させるのは難しい。
【０００８】
本発明は前記の問題に鑑みてなされたものであって、その目的は圧縮気体の噴射圧だけで物体を浮揚する装置に比較して少ないエネルギー消費で浮揚力を高めることができ、静電浮上搬送装置に比較して構造が簡単で製造コストを少なくできる物体浮揚搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記の目的を達成するため、請求項１に記載の発明は、振動板を励振手段で励振させて、振動板からの音波の放射圧により物体を浮揚させる音波浮揚装置を複数設けて搬送経路を構成し、少なくとも前記搬送経路の一部に前記物体の浮揚を補助する浮揚補助手段が設けられている。
【００１０】
この発明では、振動板の振動により振動板から放射された音波の放射圧によって物体が振動板から浮揚する。また、浮揚補助手段の作動により、物体に作用する浮揚力が高められる。従って、圧縮気体の噴射圧だけで物体を浮揚する装置に比較して少ないエネルギー消費で浮揚力を高めることができ、静電浮上搬送装置に比較して構造が簡単で製造コストを少なくできる。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記浮揚補助手段は、前記物体に対して前記振動板と反対側から静電気による吸引作用で浮揚を補助する静電浮上手段である。この発明では、静電浮上手段の作動により物体に吸引力が作用して物体の浮揚力が高められる。
【００１２】
請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記浮揚補助手段は、前記物体に対して前記振動板と反対側から大気圧より低い圧力を作用させる吸引手段である。この発明では、吸引手段の作動により物体に吸引力が作用して物体の浮揚力が高められる。物体に大気圧より低い圧力を作用させる吸引手段としては、例えば、減圧タンクに接続されて直接大気圧より低い圧力を作用させる吸引手段と、物体に向けて気体を噴出することによりベルヌーイ効果で大気圧より低い圧力を発生させる手段（ベルヌーイチャック）がある。
【００１３】
請求項４に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記浮揚補助手段は、前記物体に対して圧縮気体を噴射する圧縮気体噴射手段である。この発明では、圧縮気体噴射手段が作動されると、物体に対して振動板の放射圧と同じ側から気体の正圧が作用して、
物体の浮揚力が高められる。  
【００１４】
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の発明において、前記圧縮気体噴射手段は、前記振動板に形成された孔から圧縮気体を噴射するノズルを備えている。この発明では、圧縮気体は孔に挿入されたノズルから物体に対して噴射されるため、圧縮気体は振動板の振動に殆ど影響を及ぼさず、物体に効率良く作用する。
【００１５】
請求項６に記載の発明は、請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の発明において、
前記浮揚補助手段は、隣接する前記音波浮揚装置間の前記物体の移載箇所と対応する位置に設けられている。複数の音波浮揚搬送装置を直列に配置して、音波の放射圧による浮揚力のみで物体を浮揚状態で搬送する場合は、浮揚状態の物体が一方の音波浮揚搬送装置の振動板上から他方の音波浮揚搬送装置の振動板上へ乗り移るのを（移載するのを）円滑に行うためには、両音波浮揚搬送装置のアライメントの調整を精度良く行う必要がある。この発明では、前記両音波浮揚搬送装置間の乗り継ぎ部となる箇所（移載箇所）に対応する位置に浮揚補助手段が設けられているため、移載箇所における物体の振動板からの浮揚距離が、音波浮揚のみによる場合に比較して大きくなる。従って、隣接する音波浮揚搬送装置のアライメント調整の精度を厳しくしなくても、物体の移載を円滑に行うことができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、圧縮気体の噴射圧だけで物体を浮揚する装置に比較して少ないエネルギー消費で浮揚力を高めることができ、静電浮上搬送装置に比較して構造が簡単で製造コストを少なくできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
（第１の実施形態）
以下、本発明を物体浮揚搬送装置に具体化した第１の実施形態を図１（ａ），（ｂ）に従って説明する。図１（ａ）は物体浮揚搬送装置の模式側面図、（ｂ）は作用を説明する模式図である。
【００１８】
図１（ａ）に示すように、物体浮揚搬送装置１０は、複数（この実施の形態では２基）の音波浮揚装置１１を備え、音波浮揚装置１１が直列（直線状）に配置されることにより、物体１２を浮揚状態で搬送する搬送経路が構成されている。各音波浮揚装置１１は、図示しない支柱に支持された支持プレート１３上に設けられている。音波浮揚装置１１は、励振手段で励振される振動板１４を備えている。振動板１４は、矩形平板状に形成されるとともに、支持プレート１３に対してホーン１５ａ，１５ｂ及び振動子１６を介して水平に支持されている。
【００１９】
ホーン１５ａ，１５ｂは振動板１４が締結される面の反対側の面において振動子１６に固定されている。ホーン１５ａ，１５ｂの先端面は振動子１６の軸方向と直交する平面に形成され、ホーン１５ａ，１５ｂ及び振動子１６の中心軸が鉛直方向に延びる状態で配置されている。ホーン１５ａ，１５ｂはその先端においてねじ（図示せず）により振動板１４の長手方向両端部に締結されている。各ホーン１５ａ，１５ｂは偏平なほぼ直方体状に形成され、振動板１４に対して長手方向と直交する状態で取付けられている。
【００２０】
振動子１６には所謂ランジュバン形振動子が使用され、一対のリング状のピエゾ素子１７ａ，１７ｂを備えている。両ピエゾ素子１７ａ，１７ｂ間にリング状の電極板１８が配置され、ピエゾ素子１７ａ，１７ｂの電極板１８と当接する側と反対側の面に当接する金属ブロック１９ａ，１９ｂを、図示しないボルトによって締め付け固定することにより振動子１６が構成されている。ボルトは金属ブロック１９ａに形成された図示しないネジ穴に、金属ブロック１９ｂ側から螺合されている。両金属ブロック１９ａ，１９ｂはボルトを介して互いに導通された状態となっている。
【００２１】
金属ブロック１９ａの上端にはフランジ２０が形成され、金属ブロック１９ａは支持プレート１３に形成された孔に嵌合された状態でボルト（図示せず）により該支持プレート１３に固定されている。
【００２２】
振動板１４の第１端部に締結されたホーン１５ａを励振させる振動子１６は発振器２１に接続されている。電極板１８は配線２２ａを介して発振器２１と接続され、発振器２１の接地端子が配線２２ｂを介して金属ブロック１９ｂに接続されている。振動板１４の第２端部に締結されたホーン１５ｂを励振させる振動子１６は発振器２１に接続されず、抵抗Ｒ及びコイルＬからなるエネルギー変換手段としての負荷回路２３に接続されている。振動子１６と負荷回路２３とを接続する配線２４の途中にスイッチ２５が設けられている。
【００２３】
ホーン１５ａ，１５ｂ、振動子１６、発振器２１により、振動板１４を該振動板１４から放射される音波の放射圧により物体１２を浮揚可能な状態に励振させる励振手段が構成されている。発振器２１及びスイッチ２５は、図示しない制御装置からの制御信号により駆動される。この実施形態では、スイッチ２５のオン状態で振動板１４が進行波を発生するように励振され、スイッチ２５のオフ状態で振動板１４が定在波を発生するように励振される。従って、励振手段は、浮揚状態の物体１２に推力を付与する推進力付与手段を兼ねている。
【００２４】
物体１２の搬送経路の一部には、物体１２の浮揚を補助する浮揚補助手段としての圧縮気体噴射手段２６が設けられている。圧縮気体噴射手段２６は隣接する音波浮揚装置１１間の物体１２の移載箇所と対応する位置に設けられている。圧縮気体噴射手段２６は、圧縮気体としての圧縮空気を噴射するノズル２７を備えており、ノズル２７は先端が隣接する音波浮揚装置１１の振動板１４の隙間と対応する位置に配置されている。ノズル２７は、図示しない配管及び電磁弁を介して圧縮空気タンク（図示せず）に接続されている。圧縮空気タンクはコンプレッサの作用により、タンク内に圧縮空気が貯蔵されるようになっている。そして、物体１２が移載箇所に近づいたときに圧縮空気タンクから所定の圧力の圧縮空気がノズル２７へ供給されるように電磁弁が開閉制御されるようになっている。物体１２の位置は、例えば物体１２検知用のセンサを設けることで確認できる。
【００２５】
次に前記のように構成された物体浮揚搬送装置１０の作用を説明する。
図示しない制御装置からの指令信号により発振器２１が駆動されて、振動子１６が所定の共振周波数（例えば、２０ｋＨｚ前後）で励振される。振動子１６が励振されるとホーン１５ａ，１５ｂが縦振動され、ホーン１５ａ，１５ｂを介して振動板１４が励振されて撓み振動を行う。振動板１４の振動は負荷回路２３が接続された振動子１６に伝達され、振動子１６を構成するピエゾ素子１７ａ，１７ｂにより機械エネルギーである振動のエネルギーが電気エネルギーに変換される。スイッチ２５がオン状態の時に振動板１４を励振すると、前記電気エネルギーが負荷回路２３の抵抗Ｒでジュール熱に変換されて放散される。そのため、振動板１４に生じる振動の波が一方向へ進む進行波となる。また、スイッチ２５がオフ状態の時に振動板１４を励振すると、振動板１４に定在波が発生する。
【００２６】
従って、物体１２を搬送する際は、スイッチ２５をオンにした状態で発振器２１が駆動され、物体１２は進行波の作用により浮揚状態で搬送される。物体１２を停止させる場合は、スイッチ２５をオフにする。スイッチ２５がオフになると、物体１２は振動板１４から発生する定在波によって一定位置で浮揚状態に保持される。
【００２７】
隣接する音波浮揚装置１１間を物体１２が移動する際、即ち一方の音波浮揚装置１１の振動板１４上から他方の音波浮揚装置１１の振動板１４上に物体１２が移載する際、物体１２に作用する浮揚力が振動板１４からの音波の放射圧のみの場合、物体１２の浮揚距離は、例えば１ｍｍ以下である。そのため、移載を円滑に行うためには、隣接する音波浮揚装置１１間におけるアライメント調整を精度良く行う必要がある。しかし、この実施形態では、隣接する音波浮揚装置１１間に配置されたノズル２７から圧縮空気が噴射されるため、物体１２には振動板１４から放射される音波の放射圧と圧縮空気の噴射圧とが作用する。従って、物体１２に対して大きな浮揚力が作用する状態となり、隣接する音波浮揚装置１１間におけるアライメント調整を精度良く行わなくても、物体１２の移載が円滑に行われる。
【００２８】
この実施の形態では以下の効果を有する。
（１）振動板１４を励振手段で励振させて、振動板１４からの音波の放射圧により物体１２を浮揚させる音波浮揚装置１１を複数設けて搬送経路を構成し、隣接する音波浮揚装置１１間の物体１２の移載箇所と対応する位置に物体１２の浮揚を補助する浮揚補助手段が設けられている。従って、圧縮気体の噴射圧だけで物体１２を浮揚する装置に比較して少ないエネルギー消費で浮揚力を高めることができ、静電浮上搬送装置に比較して構造が簡単で製造コストを少なくできる。
【００２９】
（２）前記浮揚補助手段は、物体１２に対して圧縮気体を噴射する圧縮気体噴射手段２６である。従って、吸引作用で物体１２に浮揚力を作用させる構成に比較して構成が簡単になる。
【００３０】
（３）圧縮気体噴射手段２６は、隣接する振動板１４の隙間と対応する位置に配置されたノズル２７で構成されている。従って、物体１２が隣接する一方の振動板１４から他方の振動板１４へ移載される際に、ノズル２７から噴射される圧縮空気が物体１２に対して効率良く作用し、振動板１４から離れた位置から圧縮空気を噴射する場合に比較して、同じ浮揚距離を確保するのに必要なエネルギー消費が少なくなる。
【００３１】
（４）励振手段が推進力付与手段を兼ねているため、物体浮揚搬送装置１０の構成が簡単になる。
（第２の実施形態）
次に、第２の実施形態を図２に従って説明する。この実施形態は、物体浮揚搬送装置１０がローラコンベア装置２８と、音波浮揚装置１１とから構成されており、物体１２は音波浮揚装置１１により音波の作用で浮揚されるが、物体１２を移動（搬送）させる力（推進力）はローラコンベア装置２８で与える点が前記実施形態と大きく異なっている。前記実施形態と同一部分に関しては同一符号を付して詳しい説明を省略し、異なる部分について説明する。なお、図２は物体浮揚搬送装置１０の１ユニットを示す模式斜視図であり、このユニットが複数直列に、即ち隣接するユニットの振動板１４間を物体１２が移載可能な状態に配置されて物体浮揚搬送装置１０が構成される。
【００３２】
支柱２９に支持された支持プレート１３は一対の側壁１３ａを備えている。両側壁１３ａ間には複数本の回転軸３０が所定間隔をおいて互いに平行に支持されている。回転軸３０の両端、側壁１３ａの内側には、音波浮揚装置１１の作用により浮揚状態で中央の撓みが抑制された状態の物体１２の両端部と係合して、物体１２を移動させるローラ３１が一体回転可能に固定されている。ローラ３１は段差部３１ａを有し、段差部３１ａで物体１２の端部と当接して物体１２の幅方向への移動を規制するようになっている。
【００３３】
回転軸３０の一端にはプーリ３２が一体回転可能に固定されている。各回転軸３０は、各プーリ３２と、モータ３３により駆動される駆動プーリ３４との間に巻き掛けられたベルト３５を介してモータ３３により一定方向に回転される。
【００３４】
支持プレート１３の幅方向中央には、回転軸３０の上方において回転軸３０と直交する方向に延びるように振動板１４が配設されている。振動板１４は物体１２の幅より狭い矩形平板状に形成され、物体１２をその中央部で浮揚保持可能になっている。
【００３５】
振動板１４の一端に締結されたホーン１５ａが固定された振動子１６は、発振器２１に接続されているが、振動板１４の他端に締結されたホーン１５ｂが固定された振動子１６は、発振器２１にも負荷回路２３にも接続されていない。この実施形態では振動板１４は定在波が発生するように励振される。
【００３６】
振動板１４の長手方向の端部下方には、第１の実施形態と同様に、圧縮気体噴射手段２６を構成するノズル２７が配置されている。ノズル２７は振動板１４の幅方向に延びるように配置されたパイプ３６に、基端が連結された状態で複数設けられている。パイプ３６は、図示しない配管及び電磁弁を介して圧縮空気タンクに接続されている。各パイプ３６は、図示しないブラケットを介して支持プレート１３に支持されている。
【００３７】
この実施形態においては、振動板１４から放射される音波の放射圧によって、物体１２の中央部は振動板１４の表面から浮揚する。しかし、物体１２の両端部はローラ３１の段差部３１ａに接触した状態に保持される。振動板１４からは定在波が発生するため、振動板１４の振動だけでは物体１２は浮揚状態に保持されるだけで搬送されない。そして、ローラ３１の回転により物体１２に推力が付与され、物体１２は側壁１３ａに沿って搬送される。
【００３８】
なお、物体１２として、例えば、薄いガラス板（厚さ１ｍｍ以下）の搬送に適用した場合、物体１２の端部はローラ３１と常に当接した状態となるため、汚れや傷が付く可能性があるが、ガラス板の端部は最終的には製品とならない不用部となるので支障はない。
【００３９】
この実施形態においては、前記第１の実施形態の（１）〜（３）と同様な効果が得られる他に、次の効果が得られる。
（５）物体浮揚搬送装置１０は、物体１２をその幅方向の両端部で支持して搬送するローラコンベア装置２８（搬送手段）と、ローラコンベア装置２８で支持された物体１２に浮揚力を付与する音波浮揚装置１１とを備えている。従って、物体１２は幅方向両端が常にローラ３１と接触した状態となるため、物体１２が幅広の場合でも、安定した状態で搬送することができる。
【００４０】
（６）モータ３３の駆動が停止されると、物体１２の搬送が停止され、物体１２は浮揚状態で一定位置に保持される。従って、進行波によって物体１２を浮揚状態で搬送する構成に比較して、物体１２を所望の位置で停止させるのが容易になる。
【００４１】
（第３の実施形態）
次に第３の実施形態を図３に従って説明する。この実施形態は、圧縮気体噴射手段２６が、振動板１４に形成された孔１４ａから圧縮気体を噴射するノズル２７を備えている点が前記両実施形態と異なっており、他の基本的な構成はそれぞれ各実施形態と同じである。前記実施形態と同一部分に関しては同一符号を付して詳しい説明を省略し、異なる部分について説明する。図３は振動板１４とノズル２７の配置を示す模式側面図である。
【００４２】
図３に示すように、各振動板１４の長手方向の端部には孔１４ａが形成されている。孔１４ａは、振動板１４のホーン１５ａ，１５ｂとの締結位置より外側（隣接する振動板１４寄り）に形成されている。孔１４ａは幅方向に複数列（この実施形態では３列）形成されている。各孔１４ａに対応して、ノズル２７が設けられ、ノズル２７は基端がパイプ３６に接続され、先端が孔１４ａに非接触状態で挿入されている。各パイプ３６は、図示しない配管及び電磁弁を介して圧縮空気タンクに接続されている。各パイプ３６は、図示しないブラケットを介して支持プレート１３に支持されている。
【００４３】
この実施形態においても隣接する振動板１４間を物体１２が浮揚状態で移載される際、ノズル２７から圧縮空気が噴射されて物体１２の浮揚力が高められ、移載が円滑に行われる。
【００４４】
この実施形態では前記各実施形態に対応した効果の他に次の効果を有する。
（７）圧縮気体噴射手段２６を構成するノズル２７は、振動板１４に形成された孔１４ａに先端が非接触状態で挿入されている。従って、ノズル２７から噴射される圧縮空気は振動板１４の振動に殆ど影響を及ぼさず、物体１２に効率良く作用する。また、ノズル２７が隣接する振動板１４の隙間から圧縮空気を物体１２に向けて噴射する構成の前記両実施形態と異なり、物体１２に対して広い範囲で同時に圧縮空気を噴射する（作用させる）ことが可能になる。また、隣接する振動板１４の隙間の大きさに関係なく、物体１２に向けて圧縮空気を効率良く作用させることができる。
【００４５】
（第４の実施形態）
次に第４の実施形態を図４に従って説明する。この実施形態は、浮揚補助手段の構成が前記各実施形態と異なっており、他の基本的な構成はそれぞれ各実施形態と同じである。前記実施形態と同一部分に関しては同一符号を付して詳しい説明を省略し、異なる部分について説明する。図４は振動板１４と浮揚補助手段の配置を示す模式側面図である。
【００４６】
この実施形態では、浮揚補助手段として物体１２に対して振動板１４と反対側から静電気による吸引作用で浮揚を補助する静電浮上手段３７が設けられている。静電浮上手段３７としては、例えば特許文献３に記載されている装置と同様に構成され、電極プレート３８に複数の静電浮上用電極３８ａを備えている。静電浮上用電極３８ａは電極プレート３８の振動板１４と対向するように設けられている。そして、静電浮上用電極３８ａに印加する電圧を調整することにより、物体１２に作用する静電気による吸引力が調整されるようになっている。電極プレート３８は隣接する音波浮揚装置１１の物体１２の移載箇所と対応する位置に設けられている。この実施形態では、電極プレート３８は隣接する音波浮揚装置１１の振動板１４の隙間と対応する位置に、振動板１４の幅方向（図における紙面と垂直方向）に沿って延びるように配置されている。
【００４７】
この実施形態では、隣接する振動板１４間を物体１２が浮揚状態で移載される際、静電浮上手段３７の作動により物体１２に吸引力が作用して物体１２の浮揚力が高められ、移載が円滑に行われる。
【００４８】
この実施形態では前記第１及び第２の実施形態において圧縮気体噴射手段２６を設けることに対応した効果以外の効果の他に次の効果を有する。
（８）一般に、物体浮揚搬送装置１０はクリーンルーム内で使用され、クリーンルーム内では清浄な空気が上から下に向かって緩やかに流れるようになっているため、その気流に逆らって圧縮気体を噴射するのはあまり好ましくない。しかし、この実施形態ではそのような圧縮気体を噴射することがない。  
【００４９】
（９）前記各実施形態のように浮揚力を高めるのに圧縮気体の噴射圧を利用する構成では、物体１２に水平方向の力が作用すると容易にその方向へ移動するため、物体１２と係合してその幅方向への移動を規制する機能がない場合、物体１２が幅方向へずれ易い。従って、物体１２に対して幅方向への分力が偏って作用しないように、圧縮気体を噴射する必要がある。しかし、吸引作用で物体１２の浮揚力を高める構成では、吸引力が物体１２の水平方向への移動を抑制する。
【００５０】
（１０）本実施形態では浮揚補助手段が物体１２に対して振動板１４と反対側に設けられている。したがって浮揚補助手段の設置面積が少なくて済む。つまり隣接する音波浮揚装置１１の振動板１４の隙間、またはホーン１５ａ，１５ｂの間隔が狭い場合でも設置が可能である。
【００５１】
実施形態は前記に限定されるものではなく、例えば次のように構成してもよい。
○  第４の実施形態のように浮揚補助手段として静電浮上手段３７を使用する場合、静電浮上用電極３８ａと物体１２とのギャップが小さい場合、隣接する振動板１４の隙間と対応する位置に配置された電極プレート３８を１個だけ配置した構成では、物体１２を必要な高さに浮揚できない虞がある。図５に示すように、複数の電極プレート３８を平行に、かつ各電極プレート３８の振動板１４からの距離は同じではなく、隣接する振動板１４の隙間と対応する位置に配置された電極プレート３８と振動板１４との距離が最も大きく、該電極プレート３８から離れた位置に配置される電極プレート３８ほど振動板１４との距離が小さくなるように配置する。この場合、物体１２と各静電浮上用電極３８ａとのギャップが小さくても、複数の電極プレート３８を階段状に配置することにより、隣接する振動板１４の隙間と対応する位置に配置された静電浮上用電極３８ａと振動板１４との距離を大きくできる。その結果、物体１２の移載が円滑に行われる。また電極プレート３８は階段状で振動板１４に平行でなくても、隣接する振動板１４の隙間と対応する位置に配置された電極プレート３８と振動板１４との距離が最も大きくなるように配置されれば良い。
【００５２】
○  浮揚補助手段として、物体１２に対して振動板１４と反対側から大気圧より低い圧力を作用させる吸引手段を設けてもよい。吸引手段の配置位置は、浮揚補助手段として静電浮上手段３７を使用する場合の電極プレート３８の配置位置と同様な位置に配置される。吸引手段としては、減圧タンクに接続されて直接大気圧より低い圧力を作用させる構成の吸引手段と、物体１２に向けて気体を噴出することによりベルヌーイ効果で大気圧より低い圧力を発生させる手段（ベルヌーイチャック）とがある。この場合、吸引手段の作動により物体１２に吸引力が作用して物体１２の浮揚力が高められ、物体１２の移載が円滑に行われる。減圧タンクに接続されて物体１２に直接大気圧より低い圧力を作用させる構成の吸引手段と、ベルヌーイチャックとを比較した場合、クリーンルーム内の清浄な気流の流れに対しては、ベルヌーイチャックの方が好ましい。
【００５３】
○  圧縮気体噴射手段２６はノズル２７が各孔１４ａに非接触で挿入された構成に限らず、ノズル２７が各孔１４ａと対向する位置に配置された構成としてもよい。また、振動板１４の複数の孔１４ａが設けられた領域を覆うノズルを設けてもよい。
【００５４】
○  浮揚補助手段を設ける位置は、隣接する音波浮揚装置１１間の物体１２の移載箇所と対応する位置に限らない。例えば、搬送経路の途中の所定位置で物体１２の検査を行うために、物体１２の浮揚高さを搬送時より高くした状態で保持する場合は、浮揚補助手段は前記所定位置と対応するように設けられる。
【００５５】
○  物体浮揚搬送装置１０として、振動板１４で定在波を発生させ、振動板１４から浮揚した状態の物体１２に対して振動板１４の長手方向へ移動させる推力を付与する推力付与手段として、例えば、物体１２に進行方向後方から圧縮気体を噴射するノズルを設けた構成としてもよい。
【００５６】
○  物体浮揚搬送装置１０の搬送経路を構成するため直列に配置される各物体浮揚搬送ユニットは、振動板１４を複数備えていてもよい。例えば、２個の振動板１４を平行に設け、各振動板１４に対応して浮揚補助手段を設ける。この場合、幅広の物体１２をより安定して搬送することができる。
【００５７】
○  圧縮気体は圧縮空気に限らず、例えば、圧縮窒素を使用してもよい。
○  振動板１４から定在波を発生する構成として、両方のホーン１５ａ，１５ｂの振動子１６を発振器２１に接続してもよい。また、振動板１４の中央をホーンに連結して振動子１６で励振する構成としてもよい。
【００５８】
○  ホーン１５ａ，１５ｂの形状は扁平な直方体状に限らず、円柱状やほぼ円錐台状等先端側が細くなった形状としてもよい。
○  浮揚保持する物体１２の形状は四角形に限らず、三角形や他の多角形あるいは円形等任意の形状としてよい。
【００５９】
○  振動板１４の形状は長方形状に限らず、例えば、長円状であってもよい。
○  振動板１４のホーン１５ａ，１５ｂへの固定はねじによる締結に限らず、接着剤を使用したり、ロウ付けや溶接で固着したりしてもよい。
【００６０】
○  振動子１６はランジュバン形振動子に限らず他の振動子を使用してもよい。
〇  音波浮揚装置は、物体１２を水平状態で浮揚保持する構成に限らず、板状の物体１２の下端をローラ等の支承部材で支承した状態で斜めに保持する構成であってもよい。この場合、下端が支承部材に支承されているため、厳密には浮揚状態ではないが、振動板に対しては物体は浮揚状態に保持されている。
【００６１】
以下の技術的思想（発明）は前記実施形態から把握できる。
（１）請求項１〜請求項６のいずれか一項に記載の発明において、前記物体浮揚装置は振動板から進行波を発生するように励振され、振動板の励振手段が前記物体に対する推力付与手段を兼ねている。
【００６２】
（２）請求項１〜請求項６のいずれか一項に記載の発明において、前記音波浮揚装置は前記振動板から定在波を発生するように構成され、前記物体に対する推進力付与手段として前記物体の幅方向両端部に係合した状態で回転駆動されるローラを備えている。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】（ａ）は第１の実施形態の物体浮揚搬送装置の模式側面図、（ｂ）は作用を説明する模式図。
【図２】第２の実施形態の物体浮揚搬送装置の模式斜視図。
【図３】第３の実施形態の物体浮揚搬送装置の部分模式側面図。
【図４】第４の実施形態の物体浮揚搬送装置の部分模式側面図。
【図５】別の実施形態の物体浮揚搬送装置の部分模式側面図。
【図６】従来技術の模式斜視図。
【符号の説明】
【００６４】
１０…物体浮揚搬送装置、１１…音波浮揚装置、１２…物体、１４…振動板、１４ａ…孔、１５ａ，１５ｂ…励振手段を構成するホーン、１６…同じく振動子、２１…同じく発振器、２６…浮揚補助手段としての圧縮気体噴射手段、２７…ノズル、３７…浮揚補助手段としての静電浮上手段。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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