(57)【要約】      （修正有）【課題】構造体の剛性を確保しながらも、コンパクト化を図れるガイド装置を提供する。【解決手段】例えばメンテナンス時など、固定ブロック１０３を分離する必要が生じた場合には、まず頭付きボルト１０４を緩めて取り外し、スペーサ１０５を取り除いた上で、再度頭付きボルト１０４により固定ブロック１０２を締め付ける。続いて、別の頭付きボルト１０４を緩めて取り外す。更に、スペーサ１０５を取り除いた上で、緩めた頭付きボルト１０４により固定ブロック１０２を締め付ける。このようにして、全てのスペーサ１０５を取り除いたとき、頭付きボルト１０４の頭部１０４ａは、段付き孔１０３ａを通過できるようになるため、固定ブロック１０１、１０２を頭付きボルト１０４により固定した状態のまま、固定ブロック１０３を上方に抜き取ることで、独立した分離が可能となる。【選択図】  図１
2005331003.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動部材と、
前記可動部材を支持する軸受面を備えた第１〜第３の固定部と、
前記第１の固定部及び前記第２の固定部に形成された貫通孔もしくは切欠に挿通され、前記第３の固定部に螺合取り付けされる複数本の頭付きボルトと、
前記頭付きボルトが挿通される開口を有し、前記第１の固定部に形成された貫通孔もしくは切欠の座面と、前記頭付きボルトの頭部との間に介在するスペーサと、を有し、
少なくとも一本の前記頭付きボルトの頭部は、前記第１の固定部に形成された貫通孔もしくは切欠を通過可能であるが、前記第２の固定部に形成された貫通孔もしくは切欠、及び前記スペーサの開口は通過不能な寸法を有し、
前記スペーサは、前記第１の固定部又は前記第２の固定部に形成された貫通孔もしくは切欠を通過不能な寸法を有していることを特徴とするガイド装置。
【請求項２】
前記第３の固定部の軸受面は、前記可動部材の下面を支持し、前記第２の固定部の軸受面は、前記可動部材の側面を支持し、前記第１の固定部の軸受面は、前記可動部材の上面を支持することを特徴とする請求項１に記載のガイド装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、たとえば半導体製造装置などに用いられると好適なガイド装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置などにおいては、ステージ上に保持したワークを移動させながら、所定雰囲気中で加工処理を行っている。しかるに、加工処理時におけるワークの移動を高精度に行う必要があることから、空気などの気体を用いて、ステージを非接触状態で移動自在に保持するガイド装置が開発されている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００３−１７５４６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、例えば特許文献１に記載のガイド装置においては、可動部の下面と側面と上面を支持するために、３つのブロックを設けている。このブロックは、ボルトなどで相互に連結されている。しかるに、半導体製造装置のメンテナンス時など、各ブロックを分解する必要がある。ここで、各ブロック分解時における問題点がある。かかる問題点について説明する。
【０００４】
図７、８は、従来技術におけるガイド装置の概略断面図である。図７において、定盤Ｇ上に、固定ブロックＢ１が固定載置され、その上に可動部材Ｍが移動可能に配置されている。可動部材Ｍの両側面は、一対の固定ブロックＢ２により支持され、可動部材Ｍの上面は、一対の固定ブロックＢ２に架橋された固定ブロック３により覆われている。上方から、固定ブロックＢ３の貫通孔と固定ブロックＢ２、Ｂ２の貫通孔を介してボルトＳが挿通され、固定ブロックＢ１のねじ孔に螺合しており、それにより固定ブロックＢ１〜Ｂ３は、互いに結合されるようになっている。尚、可動部材Ｍの各面に対向する固定ブロックＢ１〜Ｂ３の面には静圧軸受が設けられており、従って両面間の距離は、規定される範囲（例えば数μｍ）内に厳格に調整される必要がある。
【０００５】
ここで、メンテナンスのために、固定ブロックＢ３を取り外す必要が生じたものとする。かかる場合、ボルトＳを取り外すことによって、固定ブロックＢ１とＢ２の間の締結が失われるため、その位置関係が崩れることから、再組み立て時に再度アライメント調整を行わなくてはならず、メンテナンスのたびに、最初の組立時と同じ手間が必要となる。
【０００６】
このような問題を回避するために、図８に示す固定手法も考えられる。かかる固定手法は、固定ブロックＢ１、Ｂ２を締結するボルトＳ１と、固定ブロックＢ２、Ｂ３を締結するボルトＳ２とを別個なものとするものである。しかしながら、かかる固定手法によれば、ボルトＳ１，Ｓ２を挿通する貫通孔やねじ孔を多数設ける必要があり、製作に手間がかかると共に、固定ブロックの剛性低下を防ぐために厚さを厚くするなどの対策が必要である。特に、可動部材Ｍの上面を覆う固定ブロックＢ３の剛性は重要であり、例えば変形を２μｍ以下に抑えることが要求されている。従って、ボルトＳ２の数を極力増やす必要があるが、ボルトＳ１の上方にはボルトＳ２を設けることはできないことから、固定ブロックＢ２，Ｂ３をより大型化して、十分な数のねじ孔を確保する必要が生じる。このような固定ブロックの大型化は、ガイド装置の大型化を招くこととなる。
【０００７】
本発明は、かかる従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、構造体の剛性を確保しながらも、コンパクト化を図れるガイド装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のガイド装置は、
可動部材と、
前記可動部材を支持する軸受面を備えた第１〜第３の固定部と、
前記第１の固定部及び前記第２の固定部に形成された貫通孔もしくは切欠に挿通され、前記第３の固定部に螺合取り付けされる複数本の頭付きボルトと、
前記頭付きボルトが挿通される開口を有し、前記第１の固定部に形成された貫通孔もしくは切欠の座面と、前記頭付きボルトの頭部との間に介在するスペーサと、を有し、
少なくとも一本の前記頭付きボルトの頭部は、前記第１の固定部に形成された貫通孔もしくは切欠を通過可能であるが、前記第２の固定部に形成された貫通孔もしくは切欠き、及び前記スペーサの開口は通過不能な寸法を有し、
前記スペーサは、前記第１の固定部又は前記第２の固定部に形成された貫通孔もしくは切欠を通過不能な寸法を有していることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明のガイド装置は、上述の構成を有するので、以下の作用効果を発揮できる。まず、少なくとも一本の前記頭付きボルトの頭部は、前記スペーサの開口を通過不能な寸法であり、且つ前記スペーサは、前記第１の固定部又は前記第２の固定部に形成された貫通孔もしくは切欠を通過不能な寸法を有しているので、前記スペーサの開口を通した前記頭付きボルトを、前記第１の固定部及び前記第２の固定部に形成された貫通孔もしくは切欠に挿通することで、前記第１の固定部及び前記第２の固定部を前記第３の固定部に固定することができる。
【００１０】
一方、例えばメンテナンス時など、前記第１の固定部と前記第２の固定部とを分離する必要が生じた場合には、まず前記少なくとも１本の頭付きボルトを前記第３の固定部より緩めて取り外し、前記スペーサを取り除いた上で、再度前記第３の固定部に螺合させる。このとき、この頭付きボルトの頭部が前記第１の固定部の貫通孔もしくは切欠を通過可能なため、この頭付きボルトは、前記第２の固定部と第３の固定部とを締結し、第１の固定部とは分離された状態となる。この状態で他の頭付きボルトをすべて取り外した時、前記第２の固定部と第３の固定部との締結状態を維持したまま、前記第１の固定部を取り外すことが可能となる。尚、「第３の固定部に螺合取り付けされる」とは、第３の固定部にねじ孔を設けてそこに螺合すること、及び第３の固定部に形成された孔に係合した雌ねじ部を有する部材に螺合することなどを含む。
【００１１】
前記第３の固定部の軸受面は、前記可動部材の下面を支持し、前記第２の固定部の軸受面は、前記可動部材の側面を支持し、前記第１の固定部の軸受面は、前記可動部材の上面を支持すると好ましい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１は、第１の実施の形態にかかるガイド装置１００の正面断面図であり、図２は、図２のガイド装置１００を分解した状態で示す図である。
【００１３】
図１において、定盤Ｇ上に、第３の固定部である固定ブロック１０１が固定載置され、その上に可動部材１１０が移動可能に配置されている。可動部材１１０の両側面は、第２の固定部である一対の固定ブロック１０２により支持され、可動部材１１０の上面は、一対の固定ブロック１０２に架橋された第１の固定部である固定ブロック１０３により覆われている。
【００１４】
固定ブロック１０１の上面には、ねじ孔１０１ａと、可動部材１１０の下面に対向する静圧パッド１０１ｂとが形成されており、固定ブロック１０２には、貫通孔１０２ａと、可動部材１１０の側面に対向する静圧パッド１０２ｂとが形成されており、固定ブロック１０３には、貫通孔である段付き孔１０３ａと、可動部材１１０の上面に対向する静圧パッド１０３ｂとが形成されている。各静圧パッド１０１ｂ〜１０３ｂには図示しない気体供給手段により、空気が供給される。可動部材１１０は、表面が軸受面となる静圧パッド１０１ｂ〜１０３ｂから噴出される空気により、固定ブロック１０１〜１０３に対して非接触で支持されるようになっている。
【００１５】
上方から、固定ブロック１０３の段付き孔１０３ａと、固定ブロック１０２の貫通孔１０２ａを介して、頭付きボルト１０４（例えば六角穴付きボルト）の軸部１０４ｂが挿通され、固定ブロック１０１のねじ孔１０１ａに螺合している。頭付きボルト１０４は、軸部１０４ｂと、軸部１０４ｂより大径の頭部１０４ａとを有している。ねじ孔１０１ａの深さは、そのねじ部の長さと固定ブロック１０２の高さとの和が、少なくとも頭付きボルト１０４の軸部１０４ｂの長さより長く設定されている。
【００１６】
円盤状のスペーサ１０５は、その開口１０５ａを頭付きボルト１０４の軸部１０４ｂに挿通された状態で、固定ブロック１０３の段付き孔１０３ａの座面と、頭付きボルト１０４の頭部１０４ａとの間に位置している。スペーサ１０５の外径の大きさ及び軸線方向厚さは、剛性を確保するため大きくするのが好ましい。
【００１７】
図２に示すように、頭付きボルト１０４の頭部１０４ａの外径（多角形の場合は最大寸法）をＡとし、段付き孔１０３ａの最小径をＢとし、スペーサ１０５の外径をＣとし、スペーサ１０５の開口径をＤとしたときに、
Ｃ＞Ｂ＞Ａ＞Ｄ          （１）
の関係が成立するようになっている。さらに、固定ブロック１０２の貫通孔１０２ａの直径は、頭付きボルト１０４の軸部１０４ｂの外径より大きく、かつ、頭部１０４ａの外径Ａより小さく設定されている。
【００１８】
本実施の形態においては、スペーサ１０５の開口に軸部１０４ｂを通した頭付きボルト１０４を、固定ブロック１０３の段付き孔１０３ａに挿通し、固定ブロック１０２の貫通孔１０２ａを介して、固定ブロック１０１のねじ孔１０１ａに螺合させている。このとき、（１）式が成立しているので、スペーサ１０５が段付き孔１０３ａの座面に引っかかり、頭付きボルト１０４の固定力を、固定ブロック１０２を介して固定ブロック１０１へと伝達でき、それにより固定ブロック１０１〜１０３を一度に締結固定できることとなるので、ボルト本数が少なくてすむ。なお、図示を省略するが、可動部材１１０の移動方向に沿って、複数ヶ所にて図１で示すのと同様に、スペーサ１０５、頭付きボルト１０４により固定ブロック１０１〜１０３が締結されている。
【００１９】
一方、例えばメンテナンス時など、固定ブロック１０３を分離する必要が生じた場合には、まず頭付きボルト１０４を緩めて取り外し、スペーサ１０５を取り除いた上で、再度段付き孔１０３ａから固定ブロック１０２の貫通孔１０２ａを介して、固定ブロック１０１のねじ孔１０１ａに螺合させる（ねじ込み量は増大する）。このとき、（１）式が成立し、Ｂ＞Ａであるので、ボルト頭部１０４ａは段付き孔１０３ａの小径部を通り抜け、底面が固定ブロック１０２の上面に密着し、所定の締結力で固定ブロック１０２と固定ブロック１０１とがこのボルト１０４により締結された状態となる。続いて、別の頭付きボルト１０４を緩めて取り外す。更に、スペーサ１０５を取り除いた上で、取り外した頭付きボルト１０４を、固定ブロック１０２の貫通孔１０２ａを介して、固定ブロック１０１のねじ孔１０１ａに螺合させる。このようにして、全てのスペーサ１０５を取り除いたとき、図２に示すように、固定ブロック１０１、１０２を頭付きボルト１０４により固定した状態のまま、固定ブロック１０３を上方に抜き取ることで、独立した分離が可能となる。尚、固定ブロック１０２の上面は、頭付きボルト１０４締結時のカエリなどの平面度を損なう不具合を回避するために、浅座繰りを設けると好ましい。
【００２０】
次に再組立の手順の一例を示す。まず、２つの固定ブロック１０２のそれぞれに対応するいくつかずつの頭付きボルト１０４を取り外す。次に、固定ブロック１０３を固定ブロック１０２の上に架橋し、頭付きボルト１０４を取り外した箇所にスペーサ１０５を軸部に挿通させた頭付きボルト１０４を固定ブロック１０３の段付き孔１０３ａから固定ブロック１０２の貫通孔１０２ａを介して固定ブロック１０１のねじ孔１０１ａに螺合させる。これにより、これらの箇所では元通り、固定ブロック１０３，１０２及び１０１がスペーサ１０５を介して頭付きボルト１０４により締結固定された状態となる。最後に、残りの箇所の頭付きボルト１０４を取り外し、スペーサ１０５を軸部に挿通させ、再度段付き孔１０３ａから貫通孔１０２ａを介してねじ孔１０１ａに螺合させる。このように本実施の形態によれば、固定ブロック１０２を取り外さずにすむので、再組立の際に１０２の厳密な位置決め等の手間が省ける。
【００２１】
なお、上記実施の形態では、ねじ孔１０１ａを深めに設けることにより、組立状態の時と、固定ブロック１０３のみを分離し、固定ブロック１０１及び１０２を締結状態にするときとで、同じ頭付きボルト１０４を用いるようにしたが、後者のときに使用する頭付きボルトを軸部の短いものに変更することにより、ねじ孔１０１ａの深さを必要最小限に限定するようにしてもよい。また、上記実施の形態では、すべての頭付きボルト１０４の締結箇所について（１）式を満たすようにし、スペーサ１０５を介して固定ブロック１０１〜１０３を締結するようにしたが、必ずしもすべての箇所をこのようにしなくてもよい。むしろ、固定ブロック１０３の剛性を大きくするなどの観点からは、このような締結方法による箇所は分解、再組立時に固定ブロック１０２の位置ずれの発生が防げれば、必要最低限にとどめるのが好ましい。
【００２２】
次に示す本実施の形態の変形例は、そのような、より好ましい一例を示すもので、片側５列ずつある締結箇所のうち、両端及び中央の３ヶ所ずつ（計６ヶ所）は従来と同様の締結方法とし、残りの２ヶ所ずつを上記実施の形態と同様にしたものである。
【００２３】
図３は、第１の実施の形態の変形例を示す図１と同様な断面図であり、図４は、図３の構成をVI-VI線で切断して矢印方向に見た図である。本変形例にかかるガイド装置１００’においては、固定ブロック１０１，１０２、可動部材１１０，頭付きボルト１０４，スペーサ１０５の構成は、上述の実施の形態の場合と実質的に同一である。しかしながら、固定ブロック１０３’の形状が、上述した実施の形態と異なっている。
【００２４】
より具体的には、固定ブロック１０３’は、第１の段付き孔１０３ａと、第２の段付き孔１０３ｃとを有している。貫通孔である第１の段付き孔１０３ａは、図１、２に示す段付き孔１０３ａと同じ寸法である。これに対し、第２の段付き孔１０３ｃは、頭付きボルト１０４の頭部１０４ａが通過できない最小径を有するもので、従来の図７の場合と同様のものである。従って、第２の段付き孔１０３ｃの座面と、対応する頭付きボルト１０４の頭部１０４ａとの間には、スペーサ１０５が介在していない。
【００２５】
固定ブロック１０３’を取り外す必要が生じた場合には、まず第１の段付き孔１０３ａに挿通された頭付きボルト１０４を緩めて取り外し、スペーサ１０５を取り除いた上で、軸部の長さがボルト１０４の軸部１０４ｂより短く、かつ、固定ブロック１０２の高さより長く、固定ブロック１０２の高さにねじ孔１０１ａの長さを加えた長さより短い頭付きボルト１０４’（軸部の長さ以外はすべて１０４と同じもの）を段付き孔１０３ａから固定ブロック１０２の貫通孔１０２ａを介して、固定ブロック１０１のねじ孔１０１ａに螺合させる。このとき、これらの箇所では（１）式が成立し、Ｂ＞Ａなので、頭部１０４ａが段付き孔１０３ａを通過し、固定ブロック１０１と固定ブロック１０２とを締結させた状態となり、固定ブロック１０３のみ段付きボルト１０４’と分離された状態となる。その後、第２の段付き孔１０３ｃに挿通された頭付きボルト１０４を全て緩めて取り外す。このとき、残った頭付きボルト１０４’により、固定ブロック１０１と、１０２とを固定された状態に保つことができるとともに、固定ブロック１０３’のみを分離することが可能となる。再組立の際は、固定ブロック１０３’の取り外し時と逆の順序で元に戻せばよい。なお、段付き孔１０３ａの箇所の、固定ブロック１０３’分離時の頭付きボルト１０４’として、軸部が頭付きボルト１０４の軸部より長い頭付きボルト１０４’を用いたが、ねじ孔１０１ａの長さが足りれば、ボルト１０４’は不要で全て頭付きボルト１０４を用いるようにしてもよい。本変形例はガイド装置としての剛性を高める上で好ましく、また、固定ブロック１０３’の分離及び再組をより迅速に行うことができる。
【００２６】
図５は、第２の実施の形態にかかるガイド装置２００を含む位置決め装置２１０の正面断面図であり、密閉されている筐体の上部を省略している。図６は、位置決め装置の上部を分解して示す断面図である。
【００２７】
図５に示すように、本実施の形態の位置決め装置２１０は、プロセス室Ｐを含む且つ開口２２０ａを有する第１の筐体２２０と、第１の筐体２２０の開口２２０ａに対向して配置された可動部材２３０と、第１の筐体２２０と可動部材２３０との間に挟まれた第１の固定部である上部ブロック２０３と、可動部材２３０を挟んで第１の筐体２２０（或いは上部ブロック２０３）の反対側に配置され定盤Ｇに固定された第３の固定部である第２の筐体２０１と可動部材２３０の図で左右方向両側に配される、第２の固定部である中間ブロック２０２、２０２を備えて構成されている。プロセス室Ｐは、不図示のポンプにより吸引され負圧となっている。尚、第１の筐体２２０は、脚部２２１を介して定盤Ｇに支持されている。
【００２８】
図５で、可動部材２３０の両側の上面は、上部ブロック２０３に対して所定の隙間を介して、静圧軸受２８１で支持され、可動部材２３０の両側の下面は、第２の筐体２０１に対して所定の隙間を介して、静圧軸受２８２で支持され、可動部材２３０の両側面は、所定の隙間を介して、中間ブロック２０２に設けられた静圧軸受２８５で支持されている。従って、可動部材２３０は、図５において紙面に垂直方向に移動可能となっている。尚、本実施の形態では、静圧軸受２８１，２８２，２８５は、それぞれ略円筒形の多孔質グラファイトでなるもので、それぞれ適宜の数ずつ配され、可動部材２３０に対向するその軸受面が、上部ブロック２０３、筐体２０１、或いは中間ブロック２０２と面一となるように固定されており、不図示のエア供給路を介してエアが供給されるようになっている。静圧軸受２８１に隣接し且つその内側における可動部材２３０の上面と、上部ブロック２０３との間は、第１の差動排気シール２５０で密封され、静圧軸受２８２に隣接し且つその内側における可動部材２３０の下面と、第２の筐体２０１との間は、第２の差動排気シール２６０により密封されている。静圧軸受２８１，２８２，２８５は、不図示の正圧ポンプから圧送された空気により、対向する面を非接触に支持することができる。一方、差動排気シール２５０，２６０は、不図示の負圧ポンプに吸引されることで負圧となっている。
【００２９】
定盤Ｇ上に脚部２２１を介して支持された筐体２２０は、その下壁２２０ｃに、長孔状の開口２２０ａを形成している。開口２２０ａの上部にボルトで取り付けられた長孔状の開口２２２ａを有する板部材２２２と、上部ブロック２０３の上面にボルトで取り付けられた長孔状の開口２０３ｘを有する板部材２０３ｄとの間を、開口が略長孔状のベローズ２２３が連結している。板部材２２２及び２０３ｄは、それぞれ筐体２２０及び上部ブロック２０３にＯリングを介して気密に固定されるとともに、ベローズ２２３とは例えば溶接により、やはり気密に連結されている。
【００３０】
上部ブロック２０３の中央には長円の開口２０３ｆが形成されている。かかる開口２０３ｆ及び第１の筐体２２０の開口２２０ａを貫通するようにして、テーブル２３１の軸２３１ａが上下に延在している。軸２３１ａは、可動部材２３０の上面に嵌合されて一体的に移動するようになっている。
【００３１】
尚、可動部材２３０は、不図示の駆動部に連結されている。駆動部としては、例えばモータとボールねじ等の送りねじとの組み合わせ、モータとベルト及びプーリとの組み合わせ、或いはリニアモータ等を用いることができる。又、第２の筐体２０１に対して可動部材２３０を駆動することができる超音波モータ（不図示）を設けることで、駆動部を構成することもできる。
【００３２】
差動排気シール２６０は、２本の溝と連通孔と排気孔とを有する。その溝は、第２の筐体２０１の上面に形成された長円状の減圧室Ｒの周囲に沿ってトラック状に延在している。そのうち外側の浅い一本の溝は、接線方向両側にも分岐して延び第２の筐体２０１の両端面で大気に開放している。残りの溝は、連通孔及び排気孔を介して不図示の負圧ポンプに接続されている。
【００３３】
差動排気シール２５０は、４本の溝と連通孔と排気孔とを有する。その溝は、上部ブロック２０３の長孔２０３ｆの周囲に沿ってトラック状に延在している。そのうち最も外側の浅い一本の溝は、接線方向両側にも分岐して延び第２の筐体２０１の両端面で大気に開放している。残りの溝は、連通孔及び排気孔を介して不図示の負圧ポンプに接続されている。
【００３４】
第２の筐体２０１には、段付き孔２０１ａが形成されており、中間ブロック２０２には、貫通孔２０２ａが形成されており、上部ブロック２０３には、貫通孔である第１の段付き孔２０３ａ及び第２の段付き孔２０３ｃが、前記第１の実施形態の変形例の場合と同様（図４参照）の配置で形成されている。第１の段付き孔２０３ａが図５，図６にも示すものである。一方、第２の段付き孔２０３ｃは従来と同様のもので、図７に示すように、その小径部の内径が頭付きボルト２０４の頭部の外径より小さい。
【００３５】
第１の段付き孔２０３ａを含む箇所では、上方から、上部ブロック２０３の段付き孔２０３ａと、中間ブロック２０２の貫通孔２０２ａを介して、スペーサ２０５を挿通された頭付きボルト２０４が挿通され、第２の筐体２０１のねじ孔２０１ａに螺合している。頭付きボルト２０４は、軸部２０４ｂと、軸部２０４ｂより大径の頭部２０４ａとを有している。
【００３６】
円盤状のスペーサ２０５は、その開口を頭付きボルト２０４の軸部２０４ｂに挿通された状態で、上部ブロック２０３の段付き孔１０３ａの座面と、頭付きボルト２０４の頭部２０４ａとの間に位置している。一方、第２の段付き孔２０３ｃを含む箇所では、スペーサ２０５を介さず、頭付きボルト２０４が段付き孔２０３ｃと中間ブロック２０２の貫通孔２０２ａに挿通された後、ねじ孔２０１ａに螺合している。
【００３７】
本実施の形態においても、頭付きボルト２０４の頭部２０４ａの外径と、第１の段付き孔２０３ａの最小径と、スペーサ２０５の外径と、スペーサ２０５の開口径は、上記（１）式をみたす。さらに、貫通孔２０２ａの直径は頭付きボルト２０４の軸部２０４ｂの外径より大きく、かつ、頭部２０４ａの外径より小さく設定されている。
【００３８】
次に、本実施の形態に係る位置決め装置２１０の動作について説明する。不図示の駆動源の駆動力は、可動部材２３０に伝達され、それにより軸２３１ａも一体で移動するので、軸２３１ａの上端に取り付けられたテーブル２３１に載置されたワーク（不図示）を、第１の筐体２２０内で板材２２２の開口、ベローズ２２３の開口、板材２０３ｄの開口、及び上部ブロック２０３の開口２０３ｆにより定まる移動可能な範囲内で任意の位置に位置決めできる。
【００３９】
ここで、第１の筐体２２０の内部が真空であった場合、第１の筐体２２０の内外の気圧差が大きくなり、それに応じて第１の筐体２２０が微小変形する。より具体的には、開口２２０ａの付近が最も剛性が低いので、図５で開口２２０ａを上方に押し上げるように変形する。本実施の形態においては、第１の筐体２２０の下壁２２０ｃの中央部が変形により上方に移動しても、ベローズ２２３の伸縮により、上部ブロック２０３，中間ブロック２０２，及び第２の筐体２０１で構成される可動部材２３０のガイド部は、その変形の影響はほとんど及ばない。また、ベローズ２２３の伸縮により、第１の筐体２２０と上部ブロック２０３との間の密閉性は維持される。
【００４０】
又、本実施の形態では、第２の筐体２０１の減圧室Ｒ内は、不図示のポンプにより排気されることにより大気圧と比べて十分に低い圧力に減圧されているので、可動部材２３０の上下面の気圧の差は十分小さく、可動部材２３０の中央の変形を抑制できる。
【００４１】
本実施の形態においては、スペーサ２０５の開口に軸部２０４ｂを通した頭付きボルト２０４を、上部ブロック２０３の第１の段付き孔２０３ａに挿通し、中間ブロック２０２の貫通孔２０２ａを介して、第２の筐体２０１のねじ孔２０１ａに螺合させる。このとき、（１）式が成立しているので、スペーサ２０５が段付き孔２０３ａの座面に引っかかり、頭付きボルト２０４の固定力を、中間ブロック２０２を介して第２の筐体２０１へと伝達でき、それにより第２の筐体２０１、中間ブロック２０２，上部ブロック２０３を一度に締結固定できることとなる。第２の段付き孔２０３ｃに対応する箇所では、頭付きボルト２０４をスペーサ２０５を介さず、上部ブロック２０３の第２の段付き孔２０３ｃに挿通し、中間ブロック２０２の貫通孔２０２ａを介して、第２の筐体２０１のねじ孔２０１ａに螺合させることにより、第２の筐体２０１、中間ブロック２０２、上部ブロック２０３を一度に締結固定している。
【００４２】
一方、例えばメンテナンス時など、上部ブロック２０３を分離する必要が生じた場合には、図６に示すようにまずテーブル２３１を取り外し、続いて板材２２２及び２０３ｄをはずすことによりベローズ２２３を取り外し、さらに第１の筐体２２０と上部ブロック２０３とを分離した後、段付き孔２０３ａの箇所の頭付きボルト２０４を緩めて取り外し、スペーサ２０５を取り除いた上で、軸部の長さがボルト２０４の軸部２０４ｂの長さより短く、かつ、中間ブロック２０２の高さより長く、中間ブロック２０２の高さにねじ孔２０１ａの長さを加えた長さより短い頭付きボルト２０４’を、段付き孔２０３ａから中間ブロック２０２の貫通孔２０２ａを介して、第２の筐体２０１のねじ孔２０１ａに螺合させる。このとき、これらの箇所では（１）式が成立するので頭部２０４ａが段付き孔２０３ａを通過し、第２の筐体２０１と中間ブロック２０２とを締結させた状態となり、上部ブロック２０３のみ段付きボルト２０４’から分離された状態となる。その後、第２の段付き孔２０３ｃに挿通された頭付きボルト２０４を全て緩めて取り外す。このとき図６（ｂ）に示すように、第２の筐体２０１と中間ブロック２０２を、残っている頭付きボルト２０４’により固定した状態のまま、上部ブロック２０３を独立して分離させることが可能となる。特に、本実施の形態では、接触式シールを用いていないため、プロセス室Ｐに対して開口したスリット孔から微小な異物が落下しやすくなっており、かかる異物を迅速に除去できるという点で大きなメリットがある。
【００４３】
以上、本発明を実施の形態を参照して説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定して解釈されるべきではなく、適宜変更・改良が可能であることはもちろんである。第１の固定部には、段付き孔を内径が同一の貫通孔としても良く、第１，第２の固定部の貫通孔を切欠としてもよい。また、第３の固定部に直接ねじ孔を設ける例を示したが、これに限らず、例えば、第３の固定部に貫通孔を設け、これに係合する部材にねじ孔を設け、この部材に頭付きボルトを螺合させるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】第１の実施の形態にかかるガイド装置１００の正面断面図である。
【図２】図２のガイド装置１００を分解した状態で示す図である。
【図３】第１の実施の形態の変形例を示す図１と同様な断面図である。
【図４】図３の構成をVI-VI線で切断して矢印方向に見た図である。
【図５】第２の実施の形態にかかるガイド装置２００を含む位置決め装置２１０の正面断面図であ。
【図６】位置決め装置２１０の上部を分解して示す断面図である。
【図７】従来技術におけるガイド装置の概略断面図である。
【図８】従来技術におけるガイド装置の概略断面図である。
【符号の説明】
【００４５】
１００，１００’、２００  ガイド装置
１０１〜１０３  固定ブロック
１１０，２３０  可動部材
１０４，２０４  頭付きボルト
１０５，２０５  スペーサ  
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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