(57)【要約】【課題】  処理品の種類に応じて最適に整流された冷却風を供給することができる。【解決手段】  処理品Ｍ１，Ｍ２が装入されるヒータ３２を備えたインナチャンバ３を炉体１内に設ける。インナチャンバ３の頂壁と底壁に設けた開口３３，３４を経てインナチャンバ３内へ冷却風を供給する。開口３３，３４内周に、受け壁７２を形成した枠体７１を設けて、枠体７１内に挿置した整流板７５，７６の外周縁下面を受け壁７２によって支持することにより、開口３３，３４内に整流板７５，７６を着脱可能に設置する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理品が装入されるヒータを備えたインナチャンバを炉体内に設けるとともに、インナチャンバの室壁に設けた開口を経て前記インナチャンバ内へ冷却風を供給するようにした熱処理炉において、前記開口内に整流板を着脱可能に設置したことを特徴とする熱処理炉の冷却風整流装置。
【請求項２】
前記開口内を複数領域に区画して、各区画に互いに異なる仕様の整流板を着脱可能に設置した請求項１に記載の熱処理炉の冷却風整流装置。
【請求項３】
前記開口内周に、受け壁を形成した枠体を設けて、前記枠体内に挿置した前記整流板の外周縁下面を前記受け壁によって支持するようにした請求項１又は２に記載の熱処理炉の冷却風整流装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は熱処理炉の冷却風整流装置に関し、特に、冷却風を整流するための整流板を設けた冷却風整流装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図４には冷却風整流装置を設けた熱処理炉の一例を示す。熱処理炉の炉体１は水平方向の一方へ開放する容器状となっており、炉体１の開口１１は水平旋回する蓋体２によって開閉される。炉体１内には同方向へ開放するインナチャンバ３が設けてあり、その開口３１は蓋体２に一体に設けた内蓋２１によって閉鎖される。インナチャンバ３の内周側壁にはヒータ３２が設けられている。インナチャンバ３の頂壁と底壁にはそれぞれ開口３３，３４が設けられて、炉体１の頂壁と底壁に設けたシリンダ４１，４２で昇降される蓋体４３，４４によって開閉される。なお、各開口３３，３４内には、一定径の桝目を形成した格子状整流板８が嵌着固定されている。
【０００３】
インナチャンバ３内の炉床３５上に装入された処理品Ｍを加熱する場合には、炉体１およびインナチャンバ３の開口１１，３１を蓋体２と内蓋２１で閉鎖するとともに、インナチャンバ３の開口３３，３４を蓋体４３，４４で閉鎖し、ヒータ３２に通電しつつ、内蓋２１から突出する循環ファン５２によって熱風をインナチャンバ３内で循環させる。処理品Ｍを冷却する場合には、図に示すように、蓋体４３，４４をそれぞれ上昇ないし下降させて開口３３，３４を開き、循環ファン６１からの送風をクーラ６に通し、炉体１内に形成された気体流路Ｒ１，Ｒ２を経て図の矢印で示すように、冷却風を開口３４からインナチャンバ３内へ導入して処理品Ｍを通過させ開口３３から循環ファン６１へ戻す。冷却風は、上下の開口３３，３４に設けられた整流板８によって整流されて処理品Ｍを均一に通過し、これによって処理品Ｍにおける歪みの発生が防止される。なお、以上の構成の熱処理炉が特許文献１に示されている。
【特許文献１】特開２００２−３３３２７７号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、処理品Ｍの大きさや形状、炉床上での処理品Ｍの配置によって、最適な整流の状態は異なり、これに対して、気体流通孔の形状や配置が予め定められた整流板８を開口３３，３４に固定した構造の上記従来の冷却風整流装置では、処理品Ｍの種類に応じて最適に整流された冷却風を供給することは困難であった。
【０００５】
そこで本発明はこのような課題を解決するもので、処理品の種類に応じて最適に整流された冷却風を供給することができる熱処理炉の冷却風整流装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本第１発明では、処理品（Ｍ１，Ｍ２）が装入されるヒータ（３２）を備えたインナチャンバ（３）を炉体（１）内に設けるとともに、インナチャンバ（３）の室壁に設けた開口（３３，３４）を経てインナチャンバ（３）内へ冷却風を供給するようにした熱処理炉において、開口（３３，３４）内に整流板（７５，７６）を着脱可能に設置する。
【０００７】
本第１発明においては、処理品の種類が変更された場合には整流板を開口から取り外し、変更された処理品に対して冷却風を最適に整流して供給できる新たな整流板を、上記開口に設置することができる。
【０００８】
本第２発明では、上記開口（３３，３４）内を複数領域に区画して、各区画に互いに異なる仕様の整流板（７５，７６）を着脱可能に設置する。本第２発明においては、インナチャンバ内に複数種の処理品が同時に装入された場合にも、各処理品に対して最適な仕様の整流板を通して冷却風を供給することができる。
【０００９】
本第１発明および本第２発明における整流板の設置構造は、上記開口（３３，３４）内周に、受け壁（７２）を形成した枠体（７１）を設けて、枠体（７１）内に挿置した整流板（７５，７６）の外周縁下面を受け壁（７２）によって支持する構造とすることができる。
【００１０】
なお、上記カッコ内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【発明の効果】
【００１１】
以上のように、本発明の熱処理炉の冷却風整流装置によれば、処理品の種類に応じて最適に整流された冷却風を供給することができる
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
図１には冷却風整流装置を設けた真空熱処理炉の一例を示す。図１において、熱処理炉の炉体１は水平方向の一方へ開放する容器状となっており、炉体１の開口１１は水平旋回する蓋体２によって開閉される。炉体１内には同方向へ開放する、断熱材よりなるインナチャンバ３が設けてあり、その開口３１は蓋体２に一体に設けた断熱材製の内蓋２１によって閉鎖される。内蓋２１から突出する回転軸５１に循環ファン５２が設けてあり、回転軸５１の基端は蓋体２外へ延びて、ベルト５２懸けによって駆動モータ５３に連結されている。インナチャンバ３の内周壁にはヒータ３２が設けられており、また、インナチャンバ３の頂壁と底壁にはそれぞれ開口３３，３４が設けられている。これら開口３３，３４は、炉体１の頂壁と底壁に設けたシリンダ４１，４２で昇降される蓋体４３，４４によって開閉される。各開口３３，３４内には、詳細構造を後述する冷却風整流装置７が設けられている。なお、インナチャンバ３内の炉床３５上には左右位置に処理品Ｍ１、Ｍ２が置かれている。この処理品Ｍ１、Ｍ２は図に示すような一体のブロック状のものではなく、実際には処理品Ｍ１，Ｍ２毎に異なる大きさ・形状等の小物部品を適当に配置したものである。
【００１３】
インナチャンバ３に隣接して矩形体のクーラ６が設けてあり、クーラ６を挟んでインナチャンバ３と反対側に循環ファン６１が配設されている。そして、循環ファン６１に対してクーラ６の気体流出口６２が開口している。クーラ６の頂面と底面には気体流入口６３，６４が形成されて、それぞれ上方ないし下方へ開放可能なダンパ６５，６６によって閉じられている。また、インナチャンバ３の上方と下方の炉体１内空間は気体流路Ｒ１，Ｒ２となっている。
【００１４】
図２にはインナチャンバ３の上下の開口３３，３４に設けられた冷却風整流装置７の外観を示し、図３にはその分解斜視図を示す。上下の冷却風整流装置７は同形で、耐熱性のある例えばＣ／Ｃコンポジット製の枠体７１を備えている。当該枠体７１は、開口３３，３４の内周縁上面に載置される（図１参照）四角形の外枠７１１と、外枠７１１の内空間を左右に区画する仕切枠７１２とから構成されており、外枠７１１の内周下縁と仕切枠７１２の両側下縁には、水平に一定幅で突出する受け壁７２が形成されている。また、外枠７１１と仕切枠７１２の上縁には長手方向の複数位置に取付孔７３が形成されて、これら取付孔７３内に丸棒状の例えばカーボン製の止め部材７４を着脱可能に挿入設置できるようになっている。
【００１５】
仕切枠７１２によって左右に区画された外枠７１１の内空間Ｓ１，Ｓ２には、さらにこれらを前後に二分する大きさの、略正方形の例えばカーボン製の整流板７５，７６が挿置されて、各整流板７５，７６の下面外周縁が受け壁７２によって支持される。整流板７５，７６にはその板面に矩形の気体流通孔７５１，７６１（図３）が多数形成されており、本実施形態では左右の整流板７５，７６で気体流通孔７５１，７６１の大きさや形成間隔が異なっている。この気体流通孔７５１，７６１の大きさ、形状等は、炉床３５上の左右位置に置かれた処理品Ｍ１，Ｍ２の大きさ・形状や間隔等に合わせて冷却風が最適な整流状態になるように設定される。外枠７１１の内空間Ｓ１，Ｓ２に整流板７５，７６を挿置した後は、取付孔７３内に止め部材７４を装着して整流板７５，７６の上方への移動を規制する。
【００１６】
このような真空熱処理炉で、インナチャンバ３内の炉床３５上に装入された処理品Ｍを加熱する場合には、炉体１およびインナチャンバ３の開口１１，３１を蓋体２と内蓋２１で閉鎖するとともに、インナチャンバ３の上下の開口３３，３４を蓋体４３，４４で閉鎖し、ヒータ３２に通電しつつ、循環ファン５２によって熱風をインナチャンバ３内で循環させる。
【００１７】
処理品Ｍを冷却する場合には、図１の鎖線で示すように、蓋体４３，４４をそれぞれ上昇ないし下降させて開口３３，３４を開くとともにダンパ６５を上方へ開放させる。循環ファン６１を回転させると、図の矢印で示すようにインナチャンバ３内から開口３３を経て気流流路Ｒ１に至り、クーラ６から循環ファン６１を経、気流流路Ｒ２から開口３４を経てインナチャンバ３内に戻る経路で冷却風が供給される。この際に、インナチャンバ３内を下方から上方へ向かう冷却風は上下の開口３３，３４に設けた冷却風整流装置７の整流板７５，７６で整流される。この整流状態は、整流板７５，７６の気体流通孔７５１，７６１が既述のように設定されていることにより、炉床３５上に置かれた処理品Ｍ１，Ｍ２の大きさや間隔等に応じた最適なものになる。
【００１８】
ダンパ６５を閉じ、ダンパ６６を下方へ開放させると、今度はインナチャンバ３内から開口３４を経て気流流路Ｒ２に至り、循環ファン６１からクーラ６を経、気流流路Ｒ１から開口３３を経てインナチャンバ３内に戻る経路で冷却風が供給されて、冷却風はインナチャンバ３内を上方から下方へ向かう。この際にも、上下の冷却風整流装置７の整流板７５，７６によって冷却風の整流状態は最適なものとなる。なお、ダンパ６５，６６の開閉は交互に一定周期で繰り返される。ここで、炉床３５上へ装入される処理物の形状や配置等が変更される場合には、止め部材７４を取付孔７３から抜いて整流板７５，７６を取り出し、新たな処理物に応じた気体流通孔の形状・配置とした他の整流板に取り替える。
【００１９】
上記実施形態において、炉床上の処理物の形状や配置等に応じて、４枚の各整流板の気体流通孔の径や配置を互いに全て異なるものとしても良く、気体流通孔の形状も矩形に限られるものではない。また、仕切枠７１２を設けず、外枠７１１内に一枚の整流板を設置するような構造、あるいは外枠７１１内に複数の仕切枠７１２を設けてこれら仕切枠７１２で区画された空間にそれぞれ整流板を設置する構造とすることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の一実施形態を示す、冷却風整流装置を設けた真空熱処理炉の垂直断面図である。
【図２】冷却風整流装置の斜視図である。
【図３】冷却風整流装置の分解斜視図である。
【図４】従来の熱処理炉の垂直断面図である。
【符号の説明】
【００２１】
３…インナチャンバ、３２…ヒータ、３３，３４…開口、７…整粒装置、７１…枠体、７２…受け壁、７５，７６…整流板、Ｍ１，Ｍ２…処理品。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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