(57)【要約】【課題】  チャンバルーム内を適切な負圧状態を維持しつつ、アクセス作業においてチャンバルーム内の雰囲気が漏れ出ることのないドラフトチャンバ、ヘッド洗浄設備、ヘッド保管設備などを提供することを課題とする。【解決手段】  チャンバルーム２０１内に、気化性の溶剤を扱う対象装置Ｃを収容すると共に対象装置Ｃに外部からアクセスするための作業開口部２３１を形成したドラフトチャンバＤにおいて、チャンバルーム２０１内の雰囲気を外部に排気してチャンバルーム２０１内を負圧に維持する強制排気手段と、作業開口部２３１をエアー封止する第１エアーカーテン２４１と、対象装置Ｃと第１エアーカーテン２４１との間に配設され、封止エアーＳ２が第１エアーカーテン２４１の封止エアーＳ１の流れ方向と異なる方向に流れる第２エアーカーテン２４２と、を備えたものである。【選択図】  図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャンバルーム内に、気化性の溶剤を扱う対象装置を収容すると共に前記対象装置に外部からアクセスするための作業開口部を形成したドラフトチャンバにおいて、
前記チャンバルーム内の雰囲気を外部に排気して前記チャンバルーム内を負圧に維持する強制排気手段と、
前記作業開口部をエアー封止する第１エアーカーテンと、
前記対象装置と前記第１エアーカーテンとの間に配設され、封止エアーが前記第１エアーカーテンの封止エアーの流れ方向と異なる方向に流れる第２エアーカーテンと、を備えたことを特徴とするドラフトチャンバ。
【請求項２】
前記対象装置は、気化性の溶剤を扱う構成装置と、前記構成装置を収容するキャビネットとから成り、
前記強制排気手段の上流端は、前記キャビネットに形成したキャビネット排気口に接続されていることを特徴とする請求項１に記載のドラフトチャンバ。
【請求項３】
前記キャビネットは、前記構成装置を前記チャンバルーム内に開放するキャビネット開口部を有し、
前記第２エアーカーテンは、前記キャビネット開口部をエアー封止することを特徴とする請求項２に記載のドラフトチャンバ。
【請求項４】
前記作業開口部は鉛直面内に設けられ、且つ前記キャビネット開口部は水平面内に設けられており、
前記第１エアーカーテンは、前記鉛直面に沿って上下方向に流れる封止エアーを形成し、
前記第２エアーカーテンは、前記水平面に沿って左右方向に流れる封止エアーを形成することを特徴とする請求項３に記載のドラフトチャンバ。
【請求項５】
前記作業開口部を開閉する作業用開閉扉と、前記第１エアーカーテンおよび前記第２エアーカーテンの駆動を制御する制御手段と、をさらに備え、
前記制御手段は、前記作業用開閉扉の開放に同期して前記第１エアーカーテンおよび前記第２エアーカーテンを駆動することを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のドラフトチャンバ。
【請求項６】
前記作業用開閉扉はスライド扉で構成されており、
前記制御手段は、前記作業用開閉扉の開放面積に応じて、前記第１エアーカーテンおよび前記第２エアーカーテンのうち、少なくとも前記第１エアーカーテンの封止エアーの風量を制御することを特徴とする請求項５に記載のドラフトチャンバ。
【請求項７】
前記作業用開閉扉は、前記チャンバルームの１つの壁面に略横並びに２つ設けられ、且つ２つの前記作業用開閉扉に対し前記第１エアーカーテンおよび前記第２エアーカーテンがそれぞれ設けられており、
前記第２エアーカーテン同士は、その封止エアーの吹出し方向が対向または離反していることを特徴とする請求項５または６に記載のドラフトチャンバ。
【請求項８】
２つの前記作業用開閉扉には、いずれか一方の開放時に他方の開放を阻止する扉ロック機構が設けられていることを特徴とする請求項７に記載のドラフトチャンバ。
【請求項９】
前記第１エアーカーテンは、相互に対面して封止エアーを形成する第１吹出し口および第１吸込み口と、前記第１吹出し口に接続した第１給気ダクトと、前記第１吸込み口に接続した第１排気ダクトと、前記第１給気ダクトに介設した第１給気ファンと、前記第１排気ダクトに介設した第１排気ファンとを有し、
前記第２エアーカーテンは、相互に対面して封止エアーを形成する第２吹出し口および第２吸込み口と、前記第２吹出し口に接続した第２給気ダクトと、前記第２吸込み口に接続した第２排気ダクトと、前記第２給気ダクトに介設した第２給気ファンと、前記第２排気ダクトに介設した第２排気ファンとを有し、
前記第１給気ファン、前記第１排気ファン、前記第２給気ファンおよび前記第２排気ファンは、前記チャンバルームの上部空間に配設されていることを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載のドラフトチャンバ。
【請求項１０】
前記第１給気ファンおよび前記第２給気ファンは、前記チャンバルームの平面視一方の半部に配設され、
前記第１排気ファンおよび前記第２排気ファンは、前記チャンバルームの平面視他方の半部に配設されていることを特徴とする請求項９に記載のドラフトチャンバ。
【請求項１１】
チャンバルーム内に、気化性の溶剤を扱う構成装置と前記構成装置を収容するキャビネットとから成る対象装置を収容したドラフトチャンバにおいて、
前記チャンバルーム内の雰囲気を外部に排気して前記チャンバルーム内を負圧に維持する強制排気手段を備え、
前記強制排気手段の上流端は、前記キャビネットに形成したキャビネット排気口に接続されていることを特徴とするドラフトチャンバ。
【請求項１２】
前記対象装置が、機能液滴吐出ヘッドの機能液導入側から吐出ノズルに至るヘッド内流路に洗浄液を通液して、前記機能液滴吐出ヘッドを洗浄する洗浄装置であることを特徴とする請求項１ないし１１のいずれかに記載のドラフトチャンバ。
【請求項１３】
前記対象装置が、機能液滴吐出ヘッドの機能液導入側から吐出ノズルに至るヘッド内流路に保管液を充填して、前記機能液滴吐出ヘッドを保管する保管装置であることを特徴とする請求項１ないし１１のいずれかに記載のドラフトチャンバ。
【請求項１４】
請求項１２に記載のドラフトチャンバと、前記洗浄装置と、を備えたことを特徴とするヘッド洗浄設備。
【請求項１５】
請求項１３に記載のドラフトチャンバと、前記保管装置と、を備えたことを特徴とするヘッド保管設備。
【請求項１６】
ワークに対して、機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、前記ワーク上に機能液を吐出する液滴吐出装置において、
前記機能液滴吐出ヘッドは、請求項１４に記載のヘッド洗浄設備で洗浄されたものであることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１７】
ワークに対して、機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、前記ワーク上に機能液を吐出する液滴吐出装置において、
前記機能液滴吐出ヘッドは、請求項１５に記載のヘッド保管設備で保管されたものであることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１８】
請求項１６または１７に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１９】
請求項１６または１７に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項２０】
請求項１８に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項１９に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、主として機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置および保管装置を収容するドラフトチャンバ、ヘッド洗浄設備、ヘッド保管設備および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の技術として、処理室内に発生した臭気、侵食性の酸性ガス、有毒ガス等を外部に排出するためのドラフトチャンバが知られている（例えば、特許文献１参照。）。このドラフトチャンバは、処理室の前面に設けた開口部にエアーカーテンを形成し、且つこのエアーカーテンの封止エアーを、この開口部を開閉する扉体の中空部から吹き出すようにしている。すなわち、上下方向にスライドする扉体の中空内部にエアーの流路を形成すると共に、扉体の下端部にエアーの吹出し口を形成している。これにより、チャンバ内部のスペース効率を向上させることができるようになっている。
【特許文献１】特開平７−２７５７１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような従来のドラフトチャンバでは、作業者が扉体を開放して処理室にアクセスする場合、人間の腕に当たったエアーカーテンの封止エアーが腕の下流側で乱流となり、この部分から内部の雰囲気が外部に漏れ出るおそれがあった。特に、腕を動かしての作業では封止エアーが乱れ易く、雰囲気が外部に漏れ出る可能性が高くなる。もっとも、ドラフトチャンバ内の負圧を維持するための排気量を多くして、チャンバ内をより減圧すれば、雰囲気が外部に漏れ難くなる。しかし、このようにすると、封止エアーが強く引かれ封止エアー自体が乱れ、かえって雰囲気が漏れ易くなる。
【０００４】
本発明は、チャンバルーム内を適切な負圧状態を維持しつつ、アクセス作業においてチャンバルーム内の雰囲気が漏れ出ることのないドラフトチャンバ、ヘッド洗浄設備、ヘッド保管設備および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のドラフトチャンバは、チャンバルーム内に、気化性の溶剤を扱う対象装置を収容すると共に対象装置に外部からアクセスするための作業開口部を形成したドラフトチャンバにおいて、チャンバルーム内の雰囲気を外部に排気してチャンバルーム内を負圧に維持する強制排気手段と、作業開口部をエアー封止する第１エアーカーテンと、対象装置と第１エアーカーテンとの間に配設され、封止エアーが第１エアーカーテンの封止エアーの流れ方向と異なる方向に流れる第２エアーカーテンと、を備えたことを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、強制排気手段により、チャンバルーム内の雰囲気が負圧に維持される一方、作業開口部を介して対象装置に外部からアクセスする場合に、第１エアーカーテンおよび第２エアーカーテンにより、気化した溶剤を含む内部雰囲気が外部に漏れ出るのを防止することができる。この場合、第２エアーカーテンの封止エアーが、第１エアーカーテンの封止エアーの流れ方向と異なる方向に流れるため、すなわち、第１エアーカーテンの封止エアーと第２エアーカーテンの封止エアーとは、相互に異なる方向に流れるため、作業者がその腕でこれら封止エアーの流れを遮っても、両エアーカーテンの乱流が生ずる部分が位置的に異なることとなる。
【０００７】
この場合、対象装置は、気化性の溶剤を扱う構成装置と、構成装置を収容するキャビネットとから成り、強制排気手段の上流端は、キャビネットに形成したキャビネット排気口に接続されていることが、好ましい。
【０００８】
この構成によれば、強制排気手段により、気化性の溶剤を扱う構成装置のキャビネットから負圧維持のための排気を行うことができるため、気化した溶剤を効率良く排気することができる。なお、チャンバルーム内であって且つキャビネット外部の雰囲気は、キャビネットの各部の隙間からキャビネット内に取り込まれ、その後、キャビネット排気口から排気される。すなわち、キャビネット（キャビネット排気口）を介して排気を行うことにより、実質的に２重構造のドラフトチャンバを構成することができる。
【０００９】
この場合、キャビネットは、構成装置をチャンバルーム内に開放するキャビネット開口部を有し、第２エアーカーテンは、キャビネット開口部をエアー封止することが、好ましい。
【００１０】
この構成によれば、気化した溶剤の濃度が最も高い構成装置において、そのキャビネット開口部を第２エアーカーテンによりエアー封止するようにしているため、構成装置へのアクセス作業に影響を与えることなく、気化した溶剤のチャンバルーム外への漏洩を効率良く防止することができる。
【００１１】
この場合、作業開口部は鉛直面内に設けられ、且つキャビネット開口部は水平面内に設けられており、第１エアーカーテンは、鉛直面に沿って上下方向に流れる封止エアーを形成し、第２エアーカーテンは、水平面に沿って左右方向に流れる封止エアーを形成することが、好ましい。
【００１２】
この構成によれば、第１エアーカーテンおよび第２エアーカーテンの相互の位置および封止エアーの流れが３次元的に大きく異なるため、より一層、内部雰囲気の漏洩を確実に防止することができる。また、第１エアーカーテンおよび第２エアーカーテンの設置スペースにおいて、その吹出し口および吸込み口が、相互に干渉するのを防止することができる。
【００１３】
これらの場合、作業開口部を開閉する作業用開閉扉と、第１エアーカーテンおよび第２エアーカーテンの駆動を制御する制御手段と、をさらに備え、制御手段は、作業用開閉扉の開放に同期して第１エアーカーテンおよび第２エアーカーテンを駆動することが、好ましい。
【００１４】
この構成によれば、第１エアーカーテンおよび第２エアーカーテンを、効率良く駆動することができる。
【００１５】
この場合、作業用開閉扉はスライド扉で構成されており、制御手段は、作業用開閉扉の開放面積に応じて、第１エアーカーテンおよび第２エアーカーテンのうち、少なくとも第１エアーカーテンの封止エアーの風量を制御することが、好ましい。
【００１６】
この構成によれば、第１エアーカーテンおよび第２エアーカーテンを、より一層効率良く駆動させることができる。なお、作業用開閉扉の開放面積、すなわち開口幅は、位置センサやラインスイッチ等で検出することが、好ましい。
【００１７】
これらの場合、作業用開閉扉は、チャンバルームの１つの壁面に略横並びに２つ設けられ、且つ２つの作業用開閉扉に対し第１エアーカーテンおよび第２エアーカーテンがそれぞれ設けられており、第２エアーカーテン同士は、その封止エアーの吹出し方向が対向または離反していることが、好ましい。
【００１８】
この構成によれば、２つの第２エアーカーテンにおける吹出し口同士が背合わせに配設される場合と、および吸込み口同士が背合わせに配設される場合とが考えられる。吹出し口同士が背合わせとして場合には、これらに接続させる給気ダクトの取り回しが容易になり、吸込み口同士が背合わせとした場合には、これらに接続させる排気ダクトの取り回しが容易になる。また、２つの第２エアーカーテンが近接して設けられる場合に、これら相互間で封止エアーがショートサーキットするのを、有効に防止することができる。なお、２つの第２エアーカーテンにおける封止エアーの風量が同一である場合には、上記の給気ダクトまたは排気ダクトを一体の共有ダクトとすることも可能である。
【００１９】
この場合、２つの作業用開閉扉には、いずれか一方の開放時に他方の開放を阻止する扉ロック機構が設けられていることが、好ましい。
【００２０】
この構成によれば、２組の第１・第２両エアーカーテンが同時に駆動することがなく、電力消費のピークを低く抑えることができる。
【００２１】
これらの場合、第１エアーカーテンは、相互に対面して封止エアーを形成する第１吹出し口および第１吸込み口と、第１吹出し口に接続した第１給気ダクトと、第１吸込み口に接続した第１排気ダクトと、第１給気ダクトに介設した第１給気ファンと、第１排気ダクトに介設した第１排気ファンとを有し、第２エアーカーテンは、相互に対面して封止エアーを形成する第２吹出し口および第２吸込み口と、第２吹出し口に接続した第２給気ダクトと、第２吸込み口に接続した第２排気ダクトと、第２給気ダクトに介設した第２給気ファンと、第２排気ダクトに介設した第２排気ファンとを有し、第１給気ファン、第１排気ファン、第２給気ファンおよび第２排気ファンは、チャンバルームの上部空間に配設されていることが、好ましい。
【００２２】
この構成によれば、チャンバルームの内部において、対象装置の上側に複数の給気ファンおよび複数の排気ファンを収容しておくことができ、チャンバルームの床占有面積を小さくすることができる。
【００２３】
この場合、第１給気ファンおよび第２給気ファンは、チャンバルームの平面視一方の半部に配設され、第１排気ファンおよび第２排気ファンは、チャンバルームの平面視他方の半部に配設されていることが、好ましい。
【００２４】
この構成によれば、第１・第２両エアーカーテンにおける給気系を（チャンバルームの）上部空間の一方の半部に集約的に配置できると共に、排気系を上部空間の他方の半部に集約的に配置できる。これにより、給気系の給気ダクトおよび排気系の排気ダクトの取り回しが容易になると共に、これらをスペース効率良くは配置することができる。
【００２５】
本発明の他のドラフトチャンバは、チャンバルーム内に、気化性の溶剤を扱う構成装置と構成装置を収容するキャビネットとから成る対象装置を収容したドラフトチャンバにおいて、チャンバルーム内の雰囲気を外部に排気してチャンバルーム内を負圧に維持する強制排気手段を備え、強制排気手段の上流端は、キャビネットに形成したキャビネット排気口に接続されていることを特徴とする。
【００２６】
この構成によれば、強制排気手段により、気化性の溶剤を扱う構成装置のキャビネットから負圧維持のための排気を行うことができるため、気化した溶剤を効率良く排気することができる。また、チャンバルーム内であって且つキャビネット外部の雰囲気は、キャビネットの各部の隙間からキャビネット内に取り込まれ、その後、キャビネット排気口から排気される。すなわち、キャビネット（キャビネット排気口）を介して排気を行うことにより、実質的に２重構造のドラフトチャンバを構成することができる。チャンバルーム内の雰囲気の外部への漏洩を確実に防止することができる。
【００２７】
これらの場合、対象装置が、機能液滴吐出ヘッドの機能液導入側から吐出ノズルに至るヘッド内流路に洗浄液を通液して、機能液滴吐出ヘッドを洗浄する洗浄装置であることが、好ましい。
【００２８】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドの洗浄液として考え得るアルコールや機能液の溶剤の雰囲気を、装置外部に効率良く排気することができると共に、作業時等において、これら雰囲気が装置外部に漏れ出るのを確実に防止することができる。
【００２９】
同様に、対象装置が、機能液滴吐出ヘッドの機能液導入側から吐出ノズルに至るヘッド内流路に保管液を充填して、機能液滴吐出ヘッドを保管する保管装置であることが、好ましい。
【００３０】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドの保管液として考え得る機能液の溶剤の雰囲気を、装置外部に効率良く排気することができると共に、作業時等において、これら雰囲気が装置外部に漏れ出るのを確実に防止することができる。
【００３１】
本発明のヘッド洗浄設備は、上記したドラフトチャンバと、洗浄装置と、を備えたことを特徴とする。
【００３２】
同様に、本発明のヘッド保管設備は、上記したドラフトチャンバと、保管装置と、を備えたことを特徴とする。
【００３３】
これらの構成によれば、機能液滴吐出ヘッドの洗浄や保管を適切に行うことができると共に、これに用いる洗浄液や保管液を適切に処理することができ、環境汚染を有効に防止することができる。
【００３４】
本発明の液滴吐出装置は、ワークに対して、機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、ワーク上に機能液を吐出する液滴吐出装置において、機能液滴吐出ヘッドは、上記したヘッド洗浄設備で洗浄されたものであることを特徴とする。
【００３５】
同様に、本発明の他の液滴吐出装置は、ワークに対して、機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、ワーク上に機能液を吐出する液滴吐出装置において、機能液滴吐出ヘッドは、上記したヘッド保管設備で保管されたものであることを特徴とする。
【００３６】
これらの構成によれば、ノズルから機能液を確実且つ精度良く吐出できる機能液滴吐出ヘッドにより、ワーク上に機能液による所望の描画を行うことができる。
【００３７】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。
【００３８】
また、本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００３９】
これらの構成によれば、ノズルから機能液を確実且つ精度良く吐出できる液滴吐出装置を用いて製造されるため、信頼性の高い電気光学装置を製造することが可能となる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００４０】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００４１】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【発明の効果】
【００４２】
本発明のドラフトチャンバによれば、作業者がその腕により、第１エアーカーテンの封止エアーと第２エアーカーテンの封止エアーを遮っても、両エアーカーテンの乱流が生ずる部分が位置的に異なることになるため、チャンバルーム内の雰囲気の外部への漏洩を確実に防止することができる。
【００４３】
本発明の他のドラフトチャンバによれば、キャビネットを介して負圧維持のための排気を行うことにより、実質的に２重構造のドラフトチャンバを構成することができ、チャンバルーム内の雰囲気の外部への漏洩を確実に防止することができる。
【００４４】
本発明の洗浄設備、保管設備および液滴吐出装置によれば、ノズルから機能液を確実且つ精度良く吐出できる機能液滴吐出ヘッドにより、ワーク上に機能液による所望の描画を行うことができ、装置の信頼性を高めることができる。
【００４５】
本発明の電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器によれば、信頼性の高い電気光学装置を製造することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４６】
以下、添付の図面を参照して、本発明の一実施形態に係るドラフトチャンバを適用したヘッド洗浄設備について説明する。本実施形態のヘッド洗浄設備は、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液などの機能液を導入する機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に、アルコールや導入される機能液の溶剤などの洗浄液を通液してヘッド内流路を洗浄する洗浄装置と、洗浄装置で用いる洗浄液が蒸散して外部に漏れ出ないようにこれを収容するドラフトチャンバとを備えたものである。この機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置は、機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用いて有機ＥＬ装置などのフラットパネルディスプレイ（電気光学装置）の製造に供される液滴吐出装置に併設される。そこで、まず、液滴吐出装置および洗浄装置について簡単に説明した後、ドラフトチャンバについて説明する。
【００４７】
図１に示すように、液滴吐出装置Ａは、単一のサブキャリッジ２に複数の機能液滴吐出ヘッド３を搭載したヘッドユニット１をメインキャリッジ４にセットし、これをＹ軸方向およびθ軸方向に移動させるヘッド移動部１１と、ヘッド移動部１１に対峙し、基板などのワークＷをＸ軸方向に移動させるワーク移動部１２と、ヘッドユニット１の機能液滴吐出ヘッド３を保全するメンテナンス部１３とを備えており、例えば、発光材料（機能液）を導入した機能液滴吐出ヘッド３により、基板（ワークＷ）上に発光材料を吐出して有機ＥＬ装置６００の正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂを形成する（詳細は後述する）。
【００４８】
ヘッド移動部１１は、これに搭載したヘッドユニット１を、ワーク移動部１２、メンテナンス部１３およびユニット投入部１４の相互間で移動させる。なお、ヘッドユニット１を投入セットする場合や載せ替える場合には、ヘッド移動部１１がヘッドユニット１をユニット投入部１４側に移動させ、メインキャリッジ４のベースプレート（図示省略）から側方に突出するように設けた仮置き部材５がユニット投入部１４に臨む。液滴吐出装置Ａに運び込まれたヘッドユニット１は、この仮置き部材５上に仮置きされ配管および配線を繋ぎ込んだ後、ヘッド移動部１１（メインキャリッジ４）に送り込むようにしてセットされる。
【００４９】
図２に示すように、ヘッドユニット１は、サブキャリッジ２と、サブキャリッジ２に搭載した１２個の機能液滴吐出ヘッド３と、各機能液滴吐出ヘッド３をサブキャリッジ２に個々に取り付けるための複数のヘッド保持部材６（図３（ｂ）参照）とを備えている。１２個の機能液滴吐出ヘッド３は、６個ずつに二分され、ワークＷに対して機能液の十分な塗布密度を確保するために所定角度傾けてサブキャリッジ２に配設されている。
【００５０】
サブキャリッジ２は、一部が切り欠かれた略方形のヘッドプレート２１と、ヘッドプレート２１の両長辺部分に取り付けた左右一対の支持部材２２，２２と、両支持部材２２，２２の端部に設けた左右一対のハンドル２３，２３とを有している。左右のハンドル２３，２３は、例えば組み立てたヘッドユニット１を上記のメインキャリッジ４のベースプレートに載せ込む場合に、ヘッドユニット１を手持ちするための部位となる。また、各支持部材２２には、ベースプレートにねじ止め固定するための一対の貫通孔２４，２４および位置決め孔２５が形成されている。なお、後述する洗浄装置Ｃのヘッドセット部１０２（後述する）にヘッドユニット１をセットする場合も、この貫通孔２４および位置決め孔２５を利用する（図５参照）。さらに、サブキャリッジ２には、ハンドル２３側の端部に位置させて、各機能液滴吐出ヘッド３に配管アダプタ２６を介して接続されるヘッド側配管部材２７と、液滴吐出装置Ａの機能液供給系に連なる装置側配管部材とを接続するソケット２９を有する導入口接続アタッチメント２８が設けられている。
【００５１】
図３に示すように、機能液滴吐出ヘッド３は、いわゆる２連のものであり、２連の針状の機能液導入口３２を有する液体導入部３１と、液体導入部３１の側方に連なる２連のヘッド基板３３と、液体導入部３１の下方（図３（ａ）では上方）に連なる２連のポンプ部３４（圧電素子）と、ノズル面３６を有するノズルプレート３５とを備えている。このポンプ部３４とノズルプレート３５とにより、ヘッドプレート２１に形成したヘッド装着開口３０を通してその裏面側に突出する方形のヘッド本体３７が構成されている。また、ノズルプレート３５には、多数のノズル３８が形成されている。
【００５２】
液滴吐出装置Ａにより描画動作を行う場合には、ヘッドユニット１をメインキャリッジに搭載した後、メインキャリッジ４のθ回転機構（図示省略）によりヘッドユニット１をθ軸方向へ微小移動（角度補正）し、ヘッドユニット１の初期位置決めを行う。そして、ワークＷがＸ軸方向にかつヘッドユニット１がＹ軸方向に移動して、機能液滴吐出ヘッド３の主走査および副走査が行われると共に、これに同期して複数の機能液滴吐出ヘッド３を選択的に駆動させてワークＷに機能液滴を吐出して描画動作が行われる。
【００５３】
続いて、ヘッド洗浄設備１００について説明する。図４に示すように、ヘッド洗浄設備１００は、洗浄装置Ｃと、洗浄装置Ｃを収容するドラフトチャンバＤとを備えている。洗浄装置Ｃは、そのヘッドセット部１２１にセットしたヘッドユニット１に対し、その機能液滴吐出ヘッド３のヘッド内流路に洗浄液タンク１５１からの洗浄液を通液して、ヘッド内流路を洗浄する。この洗浄液には、親水性の汚れを溶解させる純水、および疎水性の汚れを溶解させるアルコールや機能液の溶剤など、気化性の溶剤が用いられ、これらを順に通液することにより洗浄動作が行われる。
なお、ヘッドユニット１は、洗浄装置Ｃで洗浄された後、後述するヘッド保管設備３００の保管庫Ｂに運び込まれる。したがって、ヘッド洗浄設備１００は、ヘッド保管設備３００と共に上記の液滴吐出装置Ａの近傍に配置しておくことが、好ましい。
【００５４】
洗浄装置Ｃは、内部を相互に連通させた幅広なタンク部キャビネット１０１ａおよび幅狭な洗浄部キャビネット１０１ｂとからなる洗浄装置キャビネット１０１を備えており、洗浄装置キャビネット１０１は、洗浄液の蒸気が室内（外部）に漏れ出すことを防止するため、その内部装置（構成装置）と共に、一体としてドラフトチャンバＤのチャンバルーム２０１（後述する）に収容されている。
【００５５】
タンク部キャビネット１０１ａは、背の低い前部収容部１０６と背の高い後部収容部１０７とからなり、各収容部１０６，１０７には、後述する洗浄液供給回収系１２３のタンク類およびポンプ類がそれぞれ収容されている。前部収容部１０６は、その上面全域にタンク側キャビネット開口部１１１ａを有し、その内部にはタンク類を収容するタンク収容部１１２が設けられている。このタンク側キャビネット開口部１１１ａには、これを開閉する開閉蓋１１３が設けられており、開閉蓋１１３は、その後部に設けた左右一対のヒンジ部（図示省略）を中心に、上側に向かって回動して開放され、この開閉蓋１１３を開放することで、タンク類がチャンバルーム２０１内に開放されるようになっている。なお、後部収容部１０７の上部には、前方から引き出し可能なスライドテーブル１１４が組み込まれており、このスライドテーブル１１４内に収容されたポンプ類などの補修、交換などを行う場合に、スライドテーブル１１４を介して各構成部品を引き出すことによって、容易に作業することができる。
【００５６】
一方、洗浄部キャビネット１０１ｂは、その上面前半部に洗浄側キャビネット開口部１１１ｂを有し、その内部にはヘッドセット部１２１を収容するセット用収容部１１５が設けられている。洗浄側キャビネット開口部１１１ｂには、前後方向にスライドするスライド形式のスライド蓋１１６が設けられており、このスライド蓋１１６を後方にスライドすることで、ヘッドセット部１２１がチャンバルーム２０１内に開放されるようになっている。
【００５７】
一方、タンク部キャビネット１０１ａ（の後部収容部１０７）および洗浄部キャビネット１０１ｂの上面には、それぞれキャビネット排気口１１７，１１７が設けられている。詳細は後述するが、各キャビネット排気口１１７は、ドラフトチャンバＤのドラフト排気口２２１に連通しており、チャンバルーム２０１内の雰囲気が、いずれかのキャビネット排気口１１７からドラフト排気口２２１を通過して、工場排気設備へ排気されるようになっている。
【００５８】
上記の開閉蓋１１３およびスライド蓋１１６は、通常は閉じられているが、洗浄液タンク１５１の交換作業やヘッドユニット１のセット作業などの作業を行う（アクセスする）場合にそれぞれ開放される。その場合、洗浄装置Ｃに収容された洗浄液が、前部収容部１０６に収容された洗浄液タンク１５１や廃液タンク１６１にそれぞれ差し込まれた残圧開放チューブ１５６，１６６、およびセット用収容部１１５に収容された導入口接続アタッチメント２８のソケット２９やノズル接続アタッチメント１２２のキャップ１２６などの構成装置から蒸散し、その一部は、キャビネット排気口１１７から工場排気設備へ排気されずに、キャビネット開口部１１１からチャンバルーム２０１内に拡散する。
【００５９】
なお、両キャビネット開口部１１１ａ，１１１ｂは、両キャビネット１０１ａ，１０１ｂの上面にそれぞれ形成されているため、水平面内に位置している。また、洗浄側キャビネット開口部１１１ｂは、タンク側キャビネット開口部１１１ａに比べて、やや高い場所に位置している。
【００６０】
また、洗浄装置Ｃには、ヘッド内流路に洗浄液タンク１５１からの洗浄液を通液するために、ヘッドユニット１をノズル接続アタッチメント１２２に対応させて洗浄装置Ｃにセットするためのヘッドセット部１２１と、機能液導入口３２に接続する上記の導入口接続アタッチメント２８およびノズル面に接続するノズル接続アタッチメント１２２を介して、ヘッド内流路に洗浄液を供給する洗浄液供給回収系１２３とが設けられている（図５ないし図７参照）。さらに、洗浄装置Ｃは、図示は省略するが、装置全体を統括制御する制御装置を有しており、この制御装置はドラフトチャンバＤの電装ラック（後述する）に配設されている。
【００６１】
図５に示すように、ノズル接続アタッチメント１２２は、ヘッドユニット１に搭載された１２個の機能液滴吐出ヘッド３の配置に対応させて、１２個のキャップ１２６をキャップベース１２７に配設したものであり、対応する各機能液滴吐出ヘッド３に各キャップ１２６を密着可能に構成されている。キャップベース１２７の前後には、それぞれ左右一対の取付穴１２８が形成されており、ノズル接続アタッチメント１２２はこの計４つの取付穴１２８を介して、後述するアタッチメント支持部材１３２に固定される。
【００６２】
ヘッドセット部１２１は、セット用収容部１１５を上げ底とするオイルパン１３１を有すると共に、このオイルパン１３１上に立設された断面Ｉ字状のアタッチメント支持部材１３２と、アタッチメント支持部材１３２の左右に離間して立設された一対のヘッド支持部材１３３，１３３とを有している。アタッチメント支持部材１３２の上面には、上記したノズル接続アタッチメント１２２の取付穴１２８に対応する計４つのねじ孔１３４が形成されており、ノズル接続アタッチメント１２２は、アタッチメント支持部材１３２の上面に載置した状態で、上側から各取付穴１２８を貫通して各ねじ孔１３４に螺合するユリアねじ等により、アタッチメント支持部材１３２に位置決め固定されるようになっている。
【００６３】
一方、ヘッドユニット１は、サブキャリッジ２の左右の各支持部材２２に形成した２つの貫通孔２４，２４と１つの位置決め孔２５とを、ヘッド支持部材１３３の上面に形成したねじ孔１３５，１３５と１つの位置決めピン１３６とに位置合わせした後、上側から各貫通孔２４を貫通して各ねじ孔１３５に螺合したユリアねじ等により、両ヘッド支持部材１３３，１３３に位置決め固定される。この状態では１２個の機能液滴吐出ヘッド３が対応する１２個のキャップ１２６にそれぞれ密着する。
なお、オイルパン１３１には、漏液センサ１３７が設けられており、漏液により溶剤が大量に気化することを防止できるようになっている。
【００６４】
図６は洗浄液供給回収系１２３の系統図である。洗浄液供給回収系１２３は、上記した導入口接続アタッチメント２８を介して、機能液滴吐出ヘッド３に洗浄液を供給する洗浄液供給ユニット１４１と、キャップ１２６を介して、ヘッド内流路に通液した洗浄液を回収する洗浄液回収ユニット１４２と、洗浄液供給ユニット１４１および洗浄液回収ユニット１４２を機能液滴吐出ヘッド３に接続することにより形成される洗浄液流路に洗浄液を通液させる吸引ポンプ１４３とを備えている。
【００６５】
洗浄液供給ユニット１４１は、洗浄液を貯留する５個の洗浄液タンク１５１と、導入口接続アタッチメント２８の各ソケット２９に連なる１２本の個別流入チューブ１５３を含むチューブ類およびマニホールド類で構成され、洗浄液タンク１５１および導入口接続アタッチメント２８を接続する供給チューブユニット１５２とを備えている。５個の洗浄液タンク１５１は、図７に示すように、タンク部キャビネット１０１ａのタンク収容部１１２に載置された防液パン１５４上に収容されており、図示右側から純水を貯留する純水タンク１５１ａ、エタノール等のアルコールを貯留するアルコールタンク１５１ｂ、機能液滴吐出ヘッド３から吐出させる機能液の溶剤を貯留する３つの溶剤タンク１５１ｃ、１５１ｄ、１５１ｅ、の順に配置されている。なお、防液パン１５４には、上記のオイルパン１３１と同様に、漏液センサ（図示省略）が設けられており、洗浄液漏れや廃液漏れを検出できるようになっている。
【００６６】
また、洗浄液回収ユニット１４２は、廃棄する洗浄液を貯留する５つの廃液タンク１６１と、ノズル接続アタッチメント１２２の各キャップに連なる１２本の個別流出チューブ１６３を含むチューブ類およびマニホールド類で構成され、廃液タンク１６１およびキャップ１２６を接続する回収チューブユニット１６２と、を備えている。５つの廃液タンク１６１は、上記の防液パン上に位置させて、上記の５つの洗浄液タンク１５１に対応するように、図示右側から純水を回収する純水廃液タンク１６１ａ、アルコールを回収するアルコール廃液タンク１６１ｂ、３つの溶剤タンク１５１ｃの溶剤をそれぞれ回収する溶剤廃液タンク１６１ｃ、１６１ｄ、１６１ｅ、の順に配置されている。
【００６７】
吸引ポンプ１４３は、空気圧で駆動されるダイヤフラム式ポンプで構成されている。そして、吸引ポンプ１４３は、ノズル接続アタッチメント１２２の下流側に接続されており、キャップ１２６を介して機能液滴吐出ヘッド３を吸引することにより、ヘッド内流路に洗浄液を通液させている。
【００６８】
なお、上記の供給チューブユニット１５２および回収チューブユニット１６２のチューブ類の一部およびマニホールド類は、上記のオイルパン１３１上にヘッドセット部１２１を囲むようにして配設されている（図４参照）。また、上記の供給チューブユニット１５２および回収チューブユニット１６２の各チューブに介設された複数のバルブは、洗浄液に引火することを防ぐため、空気圧で開閉制御される構成となっている。そして、上記の系統図に示す各種の装置、部品およびタンク類等が請求項にいう構成装置（内部装置）を構成している。
【００６９】
洗浄装置Ｃによるヘッドユニット１の洗浄時における一連の動作について簡単に説明する。まず、スライド蓋１１６をスライドして洗浄側キャビネット開口部１１１ｂを開放し、導入口接続アタッチメント２８の各ソケット２９に個別流入チューブ１５３を接続して、さらにヘッドセット部１２１にヘッドユニット１をセットしておく。続いて、洗浄側キャビネット開口部１１１ｂを閉じた上で、制御装置により洗浄液流路に介設されたバルブの開閉の制御を行いつつ、吸引ポンプ１４３を駆動して純水の通液を開始する。このとき、吸引ポンプ１４３に吸引された洗浄液は、バルブの開閉制御により、当初廃液タンク１６１に回収され、純水の通液を開始してから所定時間が経過した後は純水タンク１５１ａに回収されて循環使用されるようになっており、純水タンク１５１ａには純度の高い純水のみを戻すことができるようにしている。純水による洗浄が終了すると、バルブ（大気開放弁）を開弁して洗浄液流路内にエアーを入れ、純水をすべて純水タンク１５１ａに回収する。以下、同様にして、アルコールによる通液・洗浄、および機能液の溶剤による通液・洗浄を順に行い、機能液滴吐出ヘッド３の洗浄が完了する。
【００７０】
次に、図８ないし図１４を参照して、ドラフトチャンバＤについて詳細に説明する。なお、以降のドラフトチャンバＤの説明では、図１０における紙面の下側を「前」、上側「後」、左側を「左」、右側を「右」として説明を進める。
【００７１】
ドラフトチャンバＤは、上記の洗浄装置Ｃを収容するチャンバルーム２０１と、チャンバルーム２０１の右側部に配置した電装ラック（図示省略）とで構成されている。また、電装ラックには、図示は省略するが、ドラフトチャンバＤの機械装置を制御する制御盤やチャンバルーム２０１内の溶剤蒸気濃度を検出するガス検知センサが組み込まれていると共に、洗浄装置Ｃの制御装置も配設されている。
【００７２】
チャンバルーム２０１は、アングル材により直方体のフレームを構成し、これにステンレス板で構成される正面壁２１１、背面壁２１２、左側壁２１３、右側壁２１４、床壁２１５および天壁２１６を、エアータイト材で相互にシールして組み上げたものであり、下部に分散配置したアジャストボルト付きの６個の支持脚２１７を有している。また、チャンバルーム２０１内には、その上部に天壁２１６に平行な隔壁（図示省略）が設けられており、この隔壁により、後述する第１・第２エアーカーテン２４１，２４２のファン類などを配設する上部空間２１８（機械室空間）が形成されている。なお、正面壁２１１の右上部には、異常時に点滅して警報を発する警報ライト２１９が取り付けられている。
【００７３】
チャンバルーム２０１の天壁２１６の右後部には、図外の工場排気設備（強制排気手段）に連なるドラフト排気口２２１が設けられている。工場排気設備は、エアー吸引装置（ブロワ−等）および排気処理装置を有し、ドラフト排気口に接続したメイン排気ダクト２２２を介して、チャンバルーム２０１内の雰囲気を外部に排気してチャンバルーム２０１内を負圧に維持している（詳細は後述する）。また、天壁２１６には、横並びに４個の給気口２２３（不織布で構成された簡易なフィルタ２２３ａで覆われている）が設けられており、後述する封止エアーＳ１，Ｓ２を形成するためのエアー取入れ口となっている。
【００７４】
一方、正面壁２１１は左右２分割された扉体となっており、洗浄装置Ｃの搬入・搬出などの際に、観音開き式に開放できるようになっている。この正面壁２１１には、収容された洗浄装置Ｃのタンク部キャビネット１０１ａに面して幅広な矩形のタンク側作業開口部２３１ａが形成されると共に、洗浄部キャビネット１０１ｂに面して幅狭な矩形の洗浄側作業開口部２３１ｂが形成されており、作業者は、室内（チャンバルーム２０１の外部）からこの各作業開口部２３１を介して、各キャビネット１０１に対し、ヘッドユニット１のセット作業や洗浄液タンク１５１の交換作業などのアクセス作業を行うことが可能となっている。このタンク側作業開口部２３１および洗浄側作業開口部２３１は、正面壁２１１に略横並びに設けられ、それぞれタンク部キャビネット１０１ａの開閉蓋１１３の高さ、洗浄部キャビネット１０１ｂのスライド蓋１１６の高さに対応させて位置しているため、洗浄側作業開口部２３１ｂの方がやや高い位置にある。また、両作業開口部２３１ａ，２３１ｂは、正面壁２１１に形成されているため、鉛直面内に位置している。
【００７５】
さらに、両作業開口部２３１ａ，２３１ｂには、上下方向にスライド可能なスライド扉２３５，２３５がそれぞれ設けられている（図８参照）。図示は省略するが、各スライド扉２３５は、外部からチャンバルーム２０１内が見えるように全面に渡って強化ガラスで構成されており、下端部は手動操作用の取っ手が設けられている。スライド扉２３５の上端部の両側部には滑車に掛け回されたワイヤの一端が結合されると共に、ワイヤの他端にはスライド扉２３５とバランスされるバランスウエイトが装着されている。また、スライド扉２３５の左右の縦枠２３４，２３４には、スライド扉２３５の上下方向のスライドを案内するガイドレールが設けられている。これにより、スライド扉２３５は、取っ手を保持して軽い操作力により上昇または下降させる、あるいは中途位置で停止（半開放）させることが可能となっている。したがって、このスライド扉２３５により、チャンバルーム２０１内の雰囲気を外部に漏れ出し難くさせると共に、作業者は、このスライド扉２３５を上下方向にスライドさせて作業開口部２３１を開放させ（衛生上、開口幅は極力小さいことが好ましい）、その開放された作業開口部２３１から腕を入れることで、スライド扉２３５越しにヘッドユニット１のセット作業などの作業を行うことができる。
なお、両作業開口部２３１ａ，２３１ｂには、スライド形式以外の作業用開閉扉、例えば、左右２分割された観音開き式の開閉扉、を設けてもよいが、洗浄装置Ｃへのアクセスのしやすさを考慮すると、スライド扉２３５とすることが好ましい。
【００７６】
チャンバルーム２０１の上部空間２１８には、ルーム内排気の最終合流部となると共に工場排気設備に連なるドラフト排気口２２１に直接接続するチャンバボックス２３６が配設されており、このチャンバボックス２３６には、洗浄装置Ｃの両キャビネット排気口１１７，１１７にそれぞれ連なるキャビネット接続ダクト（図示省略）が接続されている。これによれば、工場排気設備により、気化性の溶剤を扱う洗浄装置Ｃの各キャビネット１０１から、キャビネット排気口１１７、キャビネット接続ダクト、チャンバボックス２３６およびドラフト排気口２２１を介して、負圧維持のための排気を行うことができるため、溶剤蒸気を効率良く排気することができる。また、チャンバルーム２０１内であって且つ洗浄装置キャビネット１０１の外部の雰囲気は、いずれかのキャビネット１０１ａ，１０１ｂの各部の隙間からキャビネット１０１内に取り込まれ、キャビネット排気口１１７から排気される。すなわち、各キャビネット１０１を介して排気を行うことにより、実質的に２重構造のドラフトチャンバを構成することができる。そのため、洗浄装置Ｃの構成装置から蒸散した溶剤蒸気が、チャンバルーム２０１外に漏れ出ることがほとんどなく、キャビネット排気口１１７から工場排気設備へ排気される。
なお、工場排気設備に代えて、チャンバルーム２０１の近傍あるいは内部に位置させて、ドラフト排気口２２１に接続する排気ブロワーを配設することで、チャンバルーム２０１内の雰囲気を外部に排気してチャンバルーム２０１内を負圧に維持するようにしてもよい。
【００７７】
また、正面壁２１１には、チャンバルーム２０１内とチャンバルーム２０１外（室内）との気圧差を測定表示する差圧ゲージ２３７が取り付けられている。一方、チャンバボックス２３６には、上記のガス検知センサに連なるサンプリングダクト（図示省略）が接続されている。これらの差圧ゲージ２３７やガス検知センサにより異常が検出された場合には、上記の警報ライト２１９が点滅する。
【００７８】
さらに、ドラフトチャンバＤは、いわゆるエアーカーテン式のものであって、２つのスライド扉２３５，２３５に対して、各作業開口部２３１を封止する封止エアーＳ１を形成する第１エアーカーテン２４１（図１１および図１２参照）と、洗浄装置Ｃと各第１エアーカーテン２４１との間に位置して、各キャビネット開口部１１１を封止する封止エアーＳ２を形成する第２エアーカーテン２４２（図９および図１３参照）とがそれぞれ設けられており、洗浄装置Ｃの各キャビネット開口部１１１から拡散した溶剤蒸気が、「開」状態となった作業開口部２３１から漏れ出だすことを確実に防止している。
【００７９】
各第１エアーカーテン２４１は、上下に対面して、プッシュプル式の鉛直な封止エアーＳ１を形成する第１吹出し口２５１および第１吸込み口２５２と、第１吹出し口２５１に接続した第１給気ダクト２５３と、第１吸込み口２５２に接続した第１排気ダクト２５４と、第１給気ダクトに介設した第１給気ファン２５５と、第１排気ダクトに介設した第１排気ファンとを有している。なお、各第１吹出し口２５１および第１吸込み口２５２の口端には、メッシュフィルタ（図示省略）が設けられている。
【００８０】
各第１給気ダクト２５３は、上記の４個の給気口２２３のうち中央の２個の第１給気口２２３，２２３にそれぞれ接続されている。２個の第１給気ファン２５５，２５５は、これら２個の第１給気口２２３の直下部に、すなわち、チャンバルーム２０１の上部空間２１８の上半部且つ平面視前半部において、左右方向の中央部に横並びに位置させて、各第１給気ダクト２５３に介設されている。そして、各第１給気ダクト２５３は、上部空間２１８において第１給気ファン２５５から前方に延設された後、下方に延びて、作業開口部２３１を形成する上枠２３２のチャンバルーム２０１側に設けられた各第１吹出し口２５１に接続している。各第１吹出し口２５１は、作業開口部２３１の左右方向全長に渡って形成され、その吹出し方向を第１吸込み口２５２側（下方）に向けている。さらに、第１給気ダクト２５３には、第１給気ファン２５５の下流側（前方）に位置させて、ＵＬＰＡフィルタ２５７（ＨＥＰＡフィルタ）が介設されている（図１０参照）。
【００８１】
各第１吸込み口２５２は、各作業開口部２３１を形成する下枠２３３のチャンバルーム２０１側に、すなわち各作業開口部２３１を挟んで各第１吹出し口２５１に対向するように設けられており、各作業開口部２３１の左右方向全長に渡って形成されている。なお、洗浄側キャビネット開口部１１１ａに設けられた第１吹出し口２５１および第１吸込み口２５２の方が、タンク側キャビネット開口部１１１ｂに設けられた第１吹出し口２５１および第１吸込み口２５２に比べて、やや高い位置にある。
また、２個の第１排気ファン２５６，２５６は、チャンバルーム２０１の上部空間２１８の下半部において、平面視後半部の左右方向の中央部に横並びに配設されている。そして、第１排気ダクト２５４は、第２吸込み口２６２から各キャビネット１０１の左側面を通って後方に延設された後、上部空間２１８に取り入れられ、第１排気ファン２５６に接続している。さらに、２本の第１排気ダクト２５４，２５４は、上部空間の後部に設けられた共通排気ダクト２５８に合流して接続している。この共通排気ダクト２５８は、上記のチャンバボックス２３６を介してドラフト排気口２２１に連結している。
【００８２】
第１給気ファン２５５の駆動が開始されると、給気口２２３から強制的に取り込まれたエアー（外気）がＵＬＰＡフィルタ２５７を通過して、第１吹出し口２５１から作業開口部２３１の左右方向全長に渡って吹き出される。第１吹出し口２５１から吹き出されたエアーは、第１排気ファン２５６の駆動により、第１吸込み口２５２に強制的に吸い込まれるため、作業開口部２３１を封止するようにして、鉛直面に沿って上から下に流れる封止エアーＳ１が形成される。第１吸込み口２５２に吸い込まれた封止エアーＳ１は、第１排気ダクト２５４を通って共通排気ダクト２５８に送られ、ドラフト排気口２２１から最終的に工場排気設備に排気される。この場合、封止エアーＳ１が層流となって円滑に流れるように、第１吹出し口２５１による吹出し風量に比して、第１吸込み口２５２による吸込み風量を若干多くすることが好ましい。このようにして、第１エアーカーテン２４１により作業開口部２３１に封止エアーＳ１を形成するため、作業開口部２３１から溶剤蒸気が漏れ出すことを確実に防止できる。
なお、第１エアーカーテン２４１による封止エアーＳ１は、第１吹出し口２５１を作業開口部２３１の下枠２３３に設け、且つ第１吸込み口を作業開口部２３１の上枠２３２に設けることで、下から上に流れるようにしてもよく、第１吹出し口２５１および第１吸込み口２５２を作業開口部２３１の左右の縦枠２３４，２３４にそれぞれ設けて、鉛直面に沿って左右方向に流れるようにしてもよい。
【００８３】
一方、各第２エアーカーテン２４２は、左右に対面して、プッシュプル式の水平な封止エアーＳ２を形成する第２吹出し口２６１および第２吸込み口２６２と、第２吹出し口２６１に接続した第２給気ダクト２６３と、第２吸込み口２６２に接続した第２排気ダクト２６４と、第２給気ダクトに介設した第２給気ファン２６５と、第２排気ダクトに介設した第２排気ファンとを有している。なお、各第２吹出し口２６１および第２吸込み口２６２の口端には、メッシュフィルタ（図示省略）が設けられている。
【００８４】
各第２給気ダクト２６３は、上記の４個の給気口２２３のうち左右両サイドの２個の第２給気口２２３，２２３にそれぞれ接続している。２個の第２給気ファン２６５，２６５は、これら２個の第２給気口２２３の直下部に、すなわち、チャンバルーム２０１の上部空間２１８の上半部且つ平面視前半部において、上記２個の第１給気ファン２５５，２５５を挟むように左右に離間して各第２給気ダクト２６３に介設されている。そして、各第２給気ダクト２６３は、上部空間２１８において第２給気ファン２６５から前方に延設された後、下方に延びて、各キャビネット開口部１１１のやや上方の壁側に設けられた各第２吹出し口２６１に接続している。各第２吹出し口２６１は、キャビネット開口部１１１の左右方向全長に渡って形成され、２つの第２エアーカーテン２４２，２４２同士はその封止エアーＳ２の吹出し方向が対向するようになっている。さらに、第２給気ダクト２６３には、第２給気ファン２６５の前方に位置させて、ＵＬＰＡフィルタ２６７が介設されている（図１０参照）。
【００８５】
また、各第２吸込み口２６２は、両キャビネット開口部１１１ａ，１１１ｂ間のやや上方に、すなわち各キャビネット開口部１１１を挟んで各第２吹出し口２６１に対向するように設けられており、且つ各キャビネット開口部１１１の前後方向全長に渡って形成されている。これによれば、２つの第２吸込み口２６２，２６２同士が背合わせに配設されるため、これらに接続される第２排気ダクト２６４，２６４の取り回しが容易になる。さらに、２つの第２エアーカーテン２４２，２４２は、洗浄側キャビネット開口部１１１ｂに設けられた第２吹出し口２６１および第２吸込み口２６２の方が、タンク側キャビネット開口部１１１ａに設けられた第２吹出し口２６１および第２吸込み口２６２に比べて、やや高い位置にあるものの、近接して設けられているところ、一方のキャビネット開口部１１１の第２吹出し口２６１と他方のキャビネット開口部１１１の第２吸込み口２６２とが離間しているため、一方のキャビネット開口部１１１の第２吹出し口２６１から吹き出した封止エアーＳ２が、そのキャビネット開口部１１１の第２吸込み口２６２に吸い込まれずに即座に他方のキャビネット開口部１１１の第２吸込み口２６２に吸い込まれること（ショートサーキット）を有効に防止することができる。
なお、各第２エアーカーテンは、第２吹出し口２６１を両キャビネット開口部１１１，１１１間のやや上方に、第２吸込み口２６２をキャビネット開口部１１１のやや上方の壁側に、すなわち、２つの第２エアーカーテン２４２，２４２同士はその封止エアーＳ２の吹出し方向が離反するように、設けてもよく、この場合も、２つの第２吹出し口２６１，２６１同士が背合わせに配設されるため、これらに接続される第２給気ダクト２６３，２６３の取り回しが容易になり、さらに、２つの第２エアーカーテン２４２，２４２相互間で封止エアーＳ２がショートサーキットするのを有効に防止できる。また、２つの第２エアーカーテン２４２における封止エアーの風量が同一である場合には、背合わせに配設された第２吸込み口２６２，２６２または第２吹出し口２６１，２６１に接続する第２給気ダクト２６３，２６３または第２排気ダクト２６４，２６４を一体の共有ダクトとすることも可能である。
【００８６】
２個の第２排気ファン２６６，２６６は、チャンバルーム２０１の上部空間２１８の下半部において、平面視後半部の左右方向の両端部に横並びに配設されている。そして、第２排気ダクト２６４は、第２吸込み口２６２から各キャビネット１０１の右側面を通って後方に延設された後、上部空間２１８に取り入れられ、第２排気ファン２６６に接続している。さらに、２本の第２排気ダクト２６４，２６４は、上記の２本の第１排気ダクト２５４と共に、上部空間の後部に設けられた共通排気ダクト２５８に合流して接続している。
【００８７】
第２給気ファン２６５の駆動が開始されると、給気口２２３から強制的に取り込まれたエアーがＵＬＰＡフィルタ２６７を通過して、第２吹出し口２６１からキャビネット開口部１１１の前後方向全長に渡って吹き出される。第２吹出し口２６１から吹き出されたエアーは、第２排気ファン２６６の駆動により、第２吸込み口２６２に強制的に吸い込まれるため、キャビネット開口部１１１を封止するようにして、水平面に沿って左右方向に流れる封止エアーＳ２が形成される。第２吸込み口２６２に吸い込まれた封止エアーＳ２は、第２排気ダクト２６４を通って共通排気ダクト２５８に送られ、ドラフト排気口２２１から最終的に工場排気設備に排気される。この場合も、第１エアーカーテン２４１と同様に、第２吹出し口２６１による吹出し風量に比して、第２吸込み口２６２による吸込み風量を若干多くすることが好ましい。このようにして、第２エアーカーテン２４２により、キャビネット開口部１１１に平行な水平面に沿って封止エアーＳ２が形成されるため、キャビネット開口部１１１から漏れ出した溶剤蒸気がチャンバルーム２０１内に拡散することなく、第２吸込み口２６２から排気される。したがって、溶媒蒸気の濃度が最も高い洗浄装置Ｃにおいて、そのキャビネット開口部１１１を第２エアーカーテン２４２により封止するようにしているため、洗浄装置Ｃへのアクセス作業に影響を与えることなく、蒸散した溶剤のチャンバルーム２０１外への漏洩を効率良く防止することができる。
【００８８】
以上のように、第１エアーカーテン２４１による封止エアーＳ１の流れ方向（鉛直面に沿って上から下）は、第２エアーカーテン２４２による封止エアーＳ２の流れ方向（水平面に沿って左から右または右から左）と異なっている。これによれば、作業者が、作業開口部２３１から腕を入れて洗浄装置Ｃに作業を行う場合に、作業者の腕が封止エアーＳの流れを横切ることで、封止エアーＳに乱流が発生したとしても、その乱流は、腕に対し封止エアーＳの吹出し口側とは反対側に、すなわち、第１エアーカーテン２４１に対しては腕の下方に、第２エアーカーテンに対しては腕の左方または右方に発生することから、乱流が腕に対して同一位置に発生せず、洗浄装置Ｃから生じた溶剤蒸気が乱流の発生した部分を通って作業開口部２３１から漏れ出ることがない。
【００８９】
さらに、第１エアーカーテン２４１は、作業開口部２３１、すなわち鉛直面に沿って上下方向に流れる封止エアーＳ１を形成し、第２エアーカーテン２４２は、キャビネット開口部１１１、すなわち水平面に沿って左右方向に流れる封止エアーＳ２を形成する。これによれば、第１エアーカーテン２４１および第２エアーカーテン２４２の相互の位置および封止エアーＳ１，Ｓ２の流れが３次元的に大きく異なるため、より一層、内部雰囲気の漏洩を確実に防止することができる。また、第１エアーカーテン２４１および第２エアーカーテン２４２の設置スペースにおいて、その吹出し口２５１，２６１および吸込み口２５２，２６２が、相互に干渉するのを防止することができる。
【００９０】
また、第１給気ファン２５５、第１排気ファン２５６、第２給気ファン２６５および第２排気ファン２６６は、チャンバルーム２０１の上部空間２１８に配設されている。これによれば、チャンバルーム２０１の内部において、洗浄装置Ｃの上側に複数の給気ファン２５５，２６５および複数の排気ファン２５６，２６６を収容しておくことができ、チャンバルーム２０１の床占有面積を小さくすることができる。なお、チャンバルーム２０１に下部空間を設け、これらのファン２５５，２６５，２５６，２６６を下部空間に配設するようにしてもよい。
【００９１】
さらに、第１給気ファン２５５および第２給気ファン２６５は、上部空間２１８の上半部且つ平面視前半部に配設され、第１排気ファン２５６および第２排気ファン２６６は、上部空間２１８の下半部且つ平面視後半部に配設されていることから、第１・第２エアーカーテン２４１，２４２における給気系をチャンバルーム２０１（の上部空間２１８）の前半部に集約的に配置できると共に、排気系をチャンバルーム２０１の後半部に集約的に配置できる。したがって、給気系の第１・第２給気ダクト２５３，２６３および排気系の第１・第２排気ダクト２５４，２６４の取り回しが容易になると共に、これらをスペース効率良く配置することができる。
なお、第１給気ファン２５５および第２給気ファン２６５と、第１排気ファン２５６および第２排気ファン２６６とを、上部空間２１８の同じ高さ位置に配設してもよいが、両者を上下方向に段違いに、すなわち第１給気ファン２５５および第２給気ファン２６５を上部空間２１８の上下方向の一方の半部に、第１排気ファン２５６および第２排気ファン２６６を上部空間２１８の上下方向の他方の半部に配設することで、相互のダクトが干渉するのを防止できるため、一層スペース効率良く配置することができる。また、第１給気ファン２５５および第２給気ファン２６５を、チャンバルーム２０１の平面視後半部に配設し、第１排気ファン２５６および第２排気ファン２６６を、チャンバルーム２０１の平面視前半部に配設する構成としてもよい。
【００９２】
図１４のダクト系統図に示すように、上記の第１給気ファン２５５、第１排気ファン２５６、第２給気ファン２６５および第２排気ファン２６６は、それぞれインバータ２７２を介して、制御盤に配設されたコントローラ２７１（ＰＬＣ、制御手段）に接続されている。コントローラ２７１は、各インバータ２７２を介してこれらのファン２５５，２５６，２６５，２６６を個別に制御している。
【００９３】
また、各スライド扉２３５に対しては、作業開口部２３１の下枠２３３に位置させて、スライド扉２３５の開閉を検出する扉開閉検出スイッチ２７３が設けられている。各扉開閉検出スイッチ２７３により、スライド扉２３５の「開」の状態が検出され、その信号がコントローラ２７１に送られると、コントローラ２７１は、４個のファン２５５，２５６，２６５，２６６の駆動を開始し、第１・第２吹出し口２５１，２６１からそれぞれ第１・第２吸込み口２５２，２６２へ向かって、封止エアーＳが形成されるようにする。一方、扉開閉検出スイッチ２７３により、スライド扉２３５の「閉」の状態が検出され、その信号がコントローラ２７１に送られると、コントローラ２７１は、４個のファン２５５，２５６，２６５，２６６の駆動を停止する。すなわち、コントローラ２７１は、スライド扉２３５の開放に同期して第１・第２エアーカーテン２４１，２４２を駆動する。これによれば、開放されたスライド扉２３５についてのみ第１・第２エアーカーテン２４１，２４２が駆動するため、効率が良く、ドラフトチャンバＤの消費電力量を削減することができる。
【００９４】
さらに、各作業開口部２３１の下枠２３３には、スライド扉２３５の開閉をロックする電磁ロック２７４が設けられている。一方のスライド扉２３５に設けられた扉開閉検出スイッチ２７３が、そのスライド扉２３５の「開」を検出すると（図１４では２７３ａで示す）、コントローラ２７１が他方のスライド扉２３５の電磁ロック２７４を励磁して他方のスライド扉２３５がロックされ、「閉」を検出すると（図１４では２７３ｂで示す）、コントローラ２７１が他方のスライド扉２３５の電磁ロックへの励磁を停止して他方のスライド扉２３５がアンロックされる。すなわち、電磁ロック２７４、扉開閉検出スイッチ２７３およびコントローラ２７１は、請求項にいう扉ロック機構を構成しており、いずれか一方のスライド扉２３５の開放時に他方のスライド扉２３５の開放を阻止する。これによれば、タンク側作業開口部２３１および洗浄側作業開口部２３１のいずれか一方しか第１・第２エアーカーテン２４１，２４２が駆動しないため、ドラフトチャンバＤの電力消費のピークを低く押えることができると共に、工場排気設備の排気処理負荷を軽減することができる。
【００９５】
なお、本実施形態では、第１・第２エアーカーテン２４１，２４２の封止エアーＳの風量は、インバータ制御により一定に保たれているが、例えば、スライド扉２３５のバランスウエイトの上下動に連動してスライド扉２３５の開口幅を検出する位置センサやラインセンサを設け、検出された開口幅データに基づいてコントローラ２７１がインバータ２７２による風量可変制御を行うことで、スライド扉２３５の開口幅（開放面積）に応じて、少なくともその作業開口部２３１を封止する封止エアーＳ１の風量を制御することが好ましい。これによれば、開口幅を少なくすることで、ファンの回転数を少なくすることが可能となるため、第１・第２エアーカーテン２４１，２４２を、より一層効率良く駆動させることができる。また、第１・第２給気ダクト２５３，２６３や第１・第２排気ダクト２５４，２６４に風量調整ダンパをさらに介設し、開口幅データに基づいて風量調整ダンパの開閉を制御することで、スライド扉２３５の開口幅（開放面積）に応じて、封止エアーＳの風量を制御するようにしてもよい。
【００９６】
なお、第１エアーカーテン２４１の形成する封止エアーＳ１により、作業開口部２３１が充分に封止されており、洗浄液の蒸気が作業開口部２３１から漏れ出すおそれがない場合には、上記のスライド扉２３５を作業開口部２３１に設けない構成としてもよい。その場合は、常時、第１・第２エアーカーテン２４１，２４２を駆動して封止エアーＳ１，Ｓ２を形成することが好ましい。
【００９７】
次に、第２実施形態のドラフトチャンバＧを適用したヘッド保管設備３００について説明する。ヘッド保管設備３００は、保管庫Ｂと、保管庫Ｂを収容するドラフトチャンバＧとを備えている。そこで、保管庫Ｂについて簡単に説明した後、ドラフトチャンバＧについて説明する。
【００９８】
保管庫Ｂは、液滴吐出装置Ａにおいて、機能液滴吐出ヘッド３の供給、交換に備えて機能液滴吐出ヘッド３を保管する際、機能液滴吐出ヘッド３のヘッド内流路に保管液を充填して保管するためのものである。なお、この保管液には、機能液滴吐出ヘッド３に導入する機能液の溶剤など、気化性の溶剤が用いられる。
【００９９】
図１５に示すように、保管庫Ｂは、同一の２台の保管装置Ｂａ，Ｂａを備えており、ヘッドセット部３２３（後述する）にセットしたヘッドユニット１に対し、その機能液滴吐出ヘッド３のヘッド内流路に、保管液タンク３３４（後述する）からの保管液を通液する。両保管装置Ｂａ，Ｂａは、保管液の蒸気が漏れ出すことを防止するため、その内部装置（構成装置）と共に、一体としてドラフトチャンバＧのチャンバルーム４０１（後述する）の内部に収容されている。
【０１００】
各保管装置Ｂａは、保管装置キャビネット３０１を備えており、この保管装置キャビネット３０１は、洗浄装置Ｃのタンク部キャビネット１０１ａと同様の構成であって、背の低い前部収容部３０６と背の高い後部収容部３０７とを有している。各収容部３０６，３０７には、後述する保管液充填手段３２１のタンク類およびポンプ類がそれぞれ収容されている。前部収容部３０６の上面全域には、キャビネット開口部３１１が設けられ、その左側内部には後述する３個の保管液タンク３３４等を収容するタンク収容部３１２が設けられ、右側内部にはヘッドセット部３２３を収容するセット用収容部３１３が設けられている。このキャビネット開口部３１１には、洗浄装置Ｃのタンク側キャビネット１０１ａと同様の構成の開閉蓋３１４が設けられており、この開閉蓋３１４を開放することで、タンク類やヘッドセット部３２３がチャンバルーム４０１内に開放されるようになっている。
【０１０１】
また、洗浄装置Ｃのタンク側キャビネット１０１ａと同様に、後部収容部３０７の上面後部には、キャビネット排気口３１７が設けられている。このキャビネット排気口３１７は、ドラフトチャンバＧのドラフト排気口４２１に連通しており、チャンバルーム４０１内の雰囲気が、キャビネット排気口３１７からドラフト排気口４２１を通過して、工場排気設備へ排気されるようになっている。
【０１０２】
上記の開閉蓋３１４は、洗浄装置Ｃのタンク側キャビネット１０１ａと同様に、通常は閉じられているが、保管液タンク３３４の交換作業やヘッドユニット１のセット作業を行う場合などに開放される。その場合、保管装置Ｂａに収容された保管液が、保管装置Ｂａの構成装置から蒸散し、その一部は、キャビネット排気口３１７から工場排気設備へ排気されずに、キャビネット開口部３１１からチャンバルーム４０１内に拡散する。
【０１０３】
なお、両キャビネット開口部３１１，３１１は、両キャビネット３０１，３０１の上面にそれぞれ形成されているため、水平面内に位置している。また、両キャビネット開口部３１１，３１１は、同じ高さに位置し、横並びに設けられている。
【０１０４】
また、保管装置Ｂａには、機能液滴吐出ヘッド３の機能液導入口３２に接続される導入口接続アタッチメント２８およびノズル面３６に接続するノズル接続アタッチメント３２２を介して、ヘッド内流路に保管液を充填する保管液充填手段３２１と、ヘッドユニット１をノズル接続アタッチメント３２２に対応させて保管装置Ｂａにセットするためのヘッドセット部３２３とが設けられている。このノズル接続アタッチメント３２２およびヘッドセット部３２３は、洗浄装置Ｃと略同様に構成されている。さらに、保管装置Ｂａは、装置全体を統括制御する制御装置３２４を有しており、この制御装置３２４はチャンバルーム４０１の上部空間の背面部に配設されている。
【０１０５】
図１６は保管液充填手段３２１の系統図である。上記の導入口接続アタッチメント２８、ノズル接続アタッチメント３２２および３個の保管液タンク３３４を結ぶ保管液流路３３１は、３系統で構成されている。そのため、導入する３種類の機能液（例えば、Ｒ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青））に基づいて３系統に分けられた機能液滴吐出ヘッド３に対しても、相互に異なる保管液を１種類ずつ同時に充填することが可能である。
【０１０６】
各保管液流路３３１は、保管液タンク３３４に接続し、導入口接続アタッチメント２８の各ソケット２９に連なる４本の個別流入チューブ３３２と、吸引ポンプ３３７に接続し、ノズル接続アタッチメント３２２の各キャップ（図示省略）に連なる４本の個別流出チューブ３３３とを含むチューブ類およびマニホールド類で構成されている。図示は省略するが、３個の保管液タンク３３４は、タンク収容部３１２の防液パン上に収容されている。また、ヘッドユニット１の機能液滴吐出ヘッド３が６個ずつ２列に配設されているため、各保管液流路３３１はマニホールドで左右に２分岐した後、導入口接続アタッチメント２８に接続しており（図１６参照）、上記のチューブ類の一部およびマニホールド類はセット用収容部３１３のオイルパン上にヘッドセット部３２３を囲むようにして配設されている。そして、上記の系統図に示す各種の装置、部品およびタンク類等が請求項にいう構成装置（内部装置）を構成している。
【０１０７】
保管液充填手段３２１には、さらに、各保管液流路３３１に単一の吸引ポンプ３３７が設けられている。この吸引ポンプ３３７はノズル接続アタッチメント３２２に接続しており、キャップを介して機能液滴吐出ヘッド３を吸引することにより、ヘッド内流路に保管液を通液させる。
【０１０８】
保管装置Ｂａによる機能液滴吐出ヘッド３の保管液充填時における一連の動作について簡単に説明する。まず、洗浄装置Ｃにおける洗浄時と同様に、開閉蓋３１４を開けてキャビネット開口部３１１を開放して、導入口接続アタッチメント２８の各ソケット２９に、個別流入チューブ３３２を接続し、さらにヘッドセット部３２３にヘッドユニット１をセットしておく。次に、キャビネット開口部３１１を閉じた上で、保管液流路３３１に介設されたバルブの開閉を調整し、吸引ポンプ３３７を駆動して保管液の通液を開始する。所定時間の通液後、各機能液滴吐出ヘッド３のヘッド内流路に保管液が充填された状態になると、吸引ポンプ３３７を停止する。
【０１０９】
次に、図１７ないし図１９を参照して、第２実施形態のドラフトチャンバＧについて説明する。基本的な構造は第１実施形態のドラフトチャンバＤと略同一に構成されているが、正面壁４１１に設けられた２つの作業開口部４３１，４３１の大きさが等しく且つ同じ高さに位置している点で第１実施形態のドラフトチャンバＤと異なっている。そこで、第１実施形態のドラフトチャンバＤと異なる部分を中心に説明する。
【０１１０】
ドラフトチャンバＧは、ドラフトチャンバＤが相互に幅の異なるタンク側キャビネット１０１ａおよび洗浄側キャビネット１０１ｂからなる洗浄装置キャビネット１０１（洗浄装置Ｃ）を収容するのに対し、同一の２台の保管装置Ｂａ，Ｂａからなる保管庫Ｂをそのチャンバルーム４０１に収容する。そのため、正面壁４１１は左右同一の大きさに２分割された観音開き式の扉体となっていると共に、この正面壁４１１には、各保管装置Ｂａの正面に位置して、同一の大きさで矩形の作業開口部４３１，４３１が横並びに形成されている。そして、ドラフトチャンバＧもエアーカーテン式のものであって、２つの作業開口部４３１，４３１をそれぞれ開閉する２つのスライド扉４３５，４３５に対して、各作業開口部４３１を封止する封止エアーＳ１を形成する第１エアーカーテン４４１（図１８参照）と、保管装置Ｂａと各第１エアーカーテン４４１との間に位置して、各キャビネット開口部３１１を封止する封止エアーＳ２を形成する第２エアーカーテン４４２（図１９参照）とがそれぞれ設けられている。
【０１１１】
したがって、２つの第１エアーカーテン４４１，４４１の第１吹出し口４５１，４５１および第１吸込み口４５２，４５２は、それぞれ互いに同じ高さに位置している。また、両キャビネット開口部３１１，３１１は、同じ高さに横並びに設けられているため、２つの第２エアーカーテン４４２，４４２の第２吹出し口４６１，４６１および第２吸込み口４６２，４６２も、それぞれ互いに同じ高さに位置している。
【０１１２】
このように、ドラフトチャンバＧでは、作業開口部４３１、作業開口部４３１を封止する封止エアーＳ１を形成する第１エアーカーテン４４１、およびキャビネット開口部３１１を封止する封止エアーＳ２を形成する第２エアーカーテン４４２については、ドラフトチャンバＤとは異なった位置に配設されているが、他は同様の構成であり、ドラフトチャンバＧにおいても、第１エアーカーテン４４１による封止エアーＳ１の流れ方向（鉛直面に沿って上から下）は、第２エアーカーテン４４２による封止エアーＳ２の流れ方向（水平面に沿って左から右または右から左）と異なっている。これによれば、作業者が、作業開口部４３１から腕を入れて保管装置Ｂａに作業を行う場合に、作業者の腕が封止エアーＳの流れを横切ることで、封止エアーＳに乱流が発生したとしても、その乱流は、腕に対し封止エアーＳの吹出し口側とは反対側に、すなわち、第１エアーカーテン４４１に対しては腕の下方に、第２エアーカーテン４４２に対しては腕の左方または右方に発生することから、乱流が腕に対して同一側には発生せず、保管装置Ｂａから生じた溶剤蒸気が乱流の発生した部分を通って作業開口部４３１から漏れ出ることがない。
また、チャンバルーム４０１内であって且つ保管装置キャビネット３０１の外部の雰囲気は、保管装置キャビネット３０１の各部の隙間から保管装置キャビネット３０１内に取り込まれ、キャビネット排気口３１７から排気される（図１５参照）。すなわち、保管装置キャビネット３０１を介して排気を行うことにより、実質的に２重構造のドラフトチャンバを構成することができる。そのため、保管装置Ｂａの構成装置から蒸散した溶剤蒸気が、チャンバルーム４０１外に漏れ出ることがほとんどなく、キャビネット排気口３１７から工場排気設備へ排気される。
【０１１３】
次に、本実施形態の液滴吐出装置を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。
【０１１４】
はじめに、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図２０は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図２１は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１１）では、図２１（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【０１１５】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図２１（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図２１（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド３により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【０１１６】
以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置精度が向上する。
【０１１７】
次に、着色層形成工程（Ｓ１３）では、図２１（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド３によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド３を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１１８】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１４）に移り、図２１（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【０１１９】
図２２は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図２１に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【０１２０】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【０１２１】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図２２において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【０１２２】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【０１２３】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【０１２４】
実施形態の液滴吐出装置Ａは、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド３で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド３で行うことも可能である。
【０１２５】
図２３は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【０１２６】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【０１２７】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【０１２８】
図２４は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【０１２９】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【０１３０】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【０１３１】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【０１３２】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【０１３３】
次に、図２５は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【０１３４】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【０１３５】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【０１３６】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【０１３７】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【０１３８】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【０１３９】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【０１４０】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ２、ＴｉＯ２等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【０１４１】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【０１４２】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。発光層形成材料としては、公知の材料を用いることができる。
また、第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【０１４３】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【０１４４】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【０１４５】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図２６〜図３４を参照して説明する。
この表示装置６００は、図２６に示すように、バンク部形成工程（Ｓ２１）、表面処理工程（Ｓ２２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）、発光層形成工程（Ｓ２４）、および対向電極形成工程（Ｓ２５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【０１４６】
まず、バンク部形成工程（Ｓ２１）では、図２７に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図２８に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【０１４７】
表面処理工程（Ｓ２２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド３を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【０１４８】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図２０に示した液滴吐出装置Ａのセットテーブル（図示省略）に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）および発光層形成工程（Ｓ２４）が行われる。
【０１４９】
図２９に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）では、機能液滴吐出ヘッド３から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図３０に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【０１５０】
次に発光層形成工程（Ｓ２４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【０１５１】
そして次に、図３１に示すように、各色のうちのいずれか（図３１の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【０１５２】
その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図３２に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【０１５３】
同様に、機能液滴吐出ヘッド３を用い、図３３に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１５４】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ２５）に移行する。
【０１５５】
対向電極形成工程（Ｓ２５）では、図３４に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ２、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１５６】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【０１５７】
次に、図３５は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１５８】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１５９】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１６０】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１６１】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図２０に示した液滴吐出装置Ａを用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板１２６を液滴吐出装置Ａのセットテーブルに載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド３により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１６２】
補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１６３】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド３から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１６４】
次に、図３６は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１６５】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１６６】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１６７】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１６８】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置Ａを用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置Ａを用いて形成することができる。
【０１６９】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図３７（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図３７（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置Ａによるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置Ａによるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１７０】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置Ａを各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１７１】
【図１】ヘッドユニットを用いて有機ＥＬ装置等の製品を製造する液滴吐出装置の模式図である。
【図２】ヘッドユニットの斜視図である。
【図３】（ａ）機能液滴吐出ヘッドの斜視図、（ｂ）機能液滴吐出ヘッドの要部の断面図である。
【図４】ヘッド洗浄設備の斜視図である。
【図５】洗浄装置のヘッドセット部にヘッドユニットをセットする状態を示す分解斜視図である。
【図６】洗浄装置の洗浄液供給回収系の系統図である。
【図７】洗浄装置のタンク部キャビネットの正面図である。
【図８】第１実施形態のドラフトチャンバの斜視図である。
【図９】第１実施形態のドラフトチャンバの正面図である。
【図１０】第１実施形態のドラフトチャンバの平面図である。
【図１１】第１実施形態のドラフトチャンバの左側面図である。
【図１２】第１実施形態のドラフトチャンバの右側面図である。
【図１３】第１実施形態のドラフトチャンバの背面図である。
【図１４】第１実施形態のドラフトチャンバの第１エアーカーテンおよび第２エアーカーテンの構成を示すダクト系統図である。
【図１５】ヘッド保管設備の斜視図である。
【図１６】保管装置の保管液充填手段の構成を示す回路図である。
【図１７】第２実施形態のドラフトチャンバの斜視図である。
【図１８】第２実施形態のドラフトチャンバの左側面図である。
【図１９】第２実施形態のドラフトチャンバの背面図である。
【図２０】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図２１】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図２２】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図２３】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図２４】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図２５】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図２６】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図２７】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図２８】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図２９】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図３０】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図３１】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図３２】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図３３】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図３４】陰極の形成を説明する工程図である。
【図３５】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図３６】電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図３７】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【０１７２】
３…機能液滴吐出ヘッド  １００…ヘッド洗浄設備  １０１…洗浄装置キャビネット  １１１…キャビネット開口部  １１７…キャビネット排気口  ２０１…チャンバルーム  ２１８…上部空間  ２３１…作業開口部  ２３５…スライド扉  ２４１…第１エアーカーテン  ２４２…第２エアーカーテン  ２５１…第１吹出し口  ２５２…第１吸込み口  ２５３…第１給気ダクト  ２５４…第１排気ダクト  ２５５…第１給気ファン  ２５６…第１排気ファン  ２６１…第２吹出し口  ２６２…第２吸込み口  ２６３…第２給気ダクト  ２６４…第２排気ダクト  ２６５…第２給気ダクト  ２６６…第２排気ファン  ３００…ヘッド保管設備  Ａ…液滴吐出装置  Ｂａ…保管装置  Ｃ…洗浄装置  Ｄ…ドラフトチャンバ  Ｓ…封止エアー  Ｗ…ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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