(57)【要約】【課題】  を提供することにある。【解決手段】本発明の可変形ミラーは、基板１と、相互に分離された状態で基板１に支持される複数の微少鏡１５と、微少鏡１５の各々を独立に駆動して微少鏡１５に対する基板１の配置関係を制御する複数の駆動部とを備えた可変形ミラーである。複数の駆動部の各々は、ｙ方向に平行な回動軸を中心に回動する可動電極７〜９と、可動電極７〜９を回動可能に支持する支持部材（１０、１１）と、可動電極７〜９に対向する少なくとも１つの固定電極４〜６と、可動電極７〜９の回転動作時に微少鏡１５の特定部位と基板１との距離を変化させる作用部材（１２、１３ａ〜１３ｃ）とを備えている。複数の駆動部は、基板１上において、ｙ方向およびｘ方向に所定のピッチで配列されており、かつ、ｙ方向に沿って隣接している２つの駆動部の一方の位置が他方の位置に対してｘ方向にシフトしている。【選択図】図１
2005099357.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
相互に分離された状態で前記基板に支持される複数の微少鏡と、
前記微少鏡の各々を独立に駆動して、前記基板に対する前記微少鏡の配置関係を制御する複数の駆動部と、
を備えた可変形ミラーであって、
前記複数の駆動部の各々は、
第１の方向に平行な回動軸を中心に回動する可動電極と、
前記可動電極を回動可能に支持する支持部材と、
前記可動電極に対向する少なくとも１つの固定電極と、
前記可動電極の回転動作時に、前記微少鏡の特定部位と前記基板との距離を変化さ    せる作用部材とを備え、
前記複数の駆動部は、前記基板上において、前記第１の方向および前記第１の方向に垂直な第２の方向に所定のピッチで配列されており、かつ、前記第１の方向に沿って隣接している２つの駆動部の一方の位置は、他方の位置に対して前記第２の方向にシフトしており、
前記可動電極は、前記第１の方向のサイズが前記第２の方向に沿って略一定となる部分を有している可変形ミラー。
【請求項２】
前記第１の方向に沿って隣接している２つの駆動部の一方の位置は、他方の位置に対して、前記第２の方向における前記ピッチの約半分の距離だけ前記第２の方向にシフトしている請求項１に記載の可変形ミラー。
【請求項３】
前記可動電極の前記第２の方向におけるサイズは、前記可動電極の前記第１の方向におけるサイズよりも大きい請求項１または２に記載の可変形ミラー。
【請求項４】
前記可動電極は、略長方形の平面形状を有しており、その長辺方向は前記第２の方向に平行である請求項３に記載の可変形ミラー。
【請求項５】
前記支持部材は、前記回動軸と略同軸のヒンジ部材と、前記ヒンジ部材を前記基板に固定する柱部材を備え、
前記柱部材は、前記第１の方向に隣接している２つの駆動部の間の間隙に配置されている請求項１から４のいずれかに記載の可変形ミラー。
【請求項６】
前記柱部材の各々は、対応する一つの駆動部のみを支持し、隣接する他の駆動部を支持しない請求項５に記載の可変形ミラー。
【請求項７】
前記可動電極の回動動作に対する前記ヒンジ部材の剛性と前記柱部材の剛性は概等しい請求項５に記載の可変形ミラー。
【請求項８】
前記複数の微小鏡の各々は、前記作用部材を介して、前記微小鏡の各々に関連付けられた少なくとも２つの可動電極と連結されており、
前記少なくとも２つの可動電極と、前記可動電極に対応する前記固定電極との間の電位差によって発生する静電力により、前記微小鏡の前記基板に対する垂直な方向への変位および／または前記基板に対する傾斜を行うことができる請求項１から７のいずれかに記載の可変形ミラー。
【請求項９】
基板と、
相互に分離された状態で前記基板に支持される複数の微少鏡と、
前記微少鏡の各々を独立に駆動して、前記基板に対する前記微少鏡の配置関係を制御する複数の駆動部と、
を備えた可変形ミラーであって、
前記複数の駆動部の各々は、
回動軸を中心に回動する可動電極と、
前記可動電極を回動可能に支持する支持部材と、
前記可動電極に対向する少なくとも１つの固定電極と、
前記可動電極の回転動作時に、前記微少鏡の特定部位と前記基板との距離を変化さ    せる作用部材とを備え、
前記複数の微小鏡の各々は、前記作用部材を介して、前記微小鏡の各々に関連付けられた少なくとも２つの可動電極と連結されており、
前記少なくとも２つの可動電極と、前記可動電極に対応する前記固定電極との間の電位差によって発生する静電力により、前記微小鏡の前記基板に対する垂直な方向への変位および／または前記基板に対する傾斜を行うことができ、
前記作用部材の少なくとも一部は、前記支持部材が有する剛性よりも低い剛性を有している可変形ミラー。
【請求項１０】
前記作用部材の少なくとも一部は、前記支持部材の材料が有する弾性率よりも低い弾性率を有する材料から形成されている、請求項９に記載の可変形ミラー。
【請求項１１】
前記作用部材は、平板状の中間連結部材と、前記可動電極を前記中間連結部材に結合する突起部材とを備え、
前記中間連結部材の概中心部において、前記中間連結部材と前記微小鏡が連結されている請求項１から１０のいずれかに記載の可変形ミラー。
【請求項１２】
前記中間連結部材は、前記微少鏡と一体に形成されている請求項１１に記載の可変形ミラー。
【請求項１３】
前記可動電極は、片持ちまたは両持ちの梁部を備え、
前記突起部材と前記可動電極とは前記梁部で結合されている請求項１１または１２に記載の可変形ミラー。
【請求項１４】
前記中間連結部材は、前記可動電極の回転軸に平行な方向および前記回転軸に垂直な方向の両方向に所定の長さを有する片持ちまたは両持ちの梁部を備え、
前記突起部材と前記中間連結部材は前記梁部で結合されている請求項１１または１２に記載の可変形ミラー。
【請求項１５】
前記突起部材は樹脂から形成されている請求項１１から１４のいずれかに記載の可変形ミラー。
【請求項１６】
前記樹脂は、ポリイミド、ポリアリルエーテル系高分子材料、ベンゾシクロブテン系高分子材料、フッ素化炭化水素系高分子材料、およびフッ素化パレリン系高分子材料からなる群から選択された少なくとも１種の材料から形成されている請求項１５に記載の可変形ミラー。
【請求項１７】
前記突起部材は、パターニングされた金属薄膜から形成されている請求項１１から１６のいずれかに記載の可変形ミラー。
【請求項１８】
前記微小鏡は、第２の基板と、前記第２の基板上に堆積された金属薄膜とを有し、
前記金属薄膜の一部は、前記作用部材として機能し、前記可動電極に接合されている請求項１１に記載の可変形ミラー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静電力によって変位可能な複数の微小鏡を備えた可変形ミラー（deformable mirror）に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、可変形ミラーは、光の波面収差をアクティブに補正する補償光学装置や、ディスプレイや光通信などの光スイッチ等に応用されつつある。特にマイクロマシン技術を用いて多数の微小ミラーを一括的に形成し、低コスト化に適した可変形ミラーが報告されている。
【０００３】
このような微小ミラーの駆動には、静電力がよく利用される。静電力を利用して微小ミラーを駆動するタイプの可変形ミラーは、平面的で簡易な構造を有しているため、半導体プロセスとの整合性が高いという利点がある。このような可変形ミラーとして例えば特許文献１に示す様な可変形ミラーが提案されている。
【０００４】
図７を参照して、特許文献１に開示されている可変形ミラーの従来例を説明する。
【０００５】
図７に示す可変形ミラーは、基板６１０上に配列された複数の可動電極６０４のアレイを有している。可動電極６０４は、角部を丸められた正方形に近い形状でミラーを兼ねている。可動電極６０４の対角線上には、アルミニウム合金からなるヒンジ６０６が２つ、可動電極６０４を狭持するようにして接続されている。可動電極６０４は、ヒンジ６０６を回転軸として回動動作する。この際の回動抵抗を少なくするため、ヒンジ６０６は薄板状の形状をなしている。
【０００６】
ヒンジ６０４は、可動電極６０４からの突出を無くするため、可動電極６０４を切り欠いてその中に格納されている。ヒンジ６０４の他端は、ヒンジ支持ピラー６０２の上端に結合されている。ヒンジ支持ピラー６０２は、ヒンジ６０６および可動電極６０４を基板６１０上に支持している。ヒンジ支持ピラー６０２は、フォトレジストとその周囲を覆うアルミニウム合金とから構成され、破損を防止するために十分に大きな剛性を有している。
【０００７】
可動電極６０４は、対向する２つのアドレス電極６０８との間に選択的に電圧を印加して静電力を発生させることで回動動作する。電圧を印加するアドレス電極６０８を切り替えることにより異なる方向への回動を行う。また、可動電極６０４は、その対角線上に回動軸が設定されているので、電極の幅が回動軸から離れる外周側ほど小さくなる構成となっている。また、ヒンジ支持ピラー６０２は、可動電極６０４の対角線方向に隣り合う可動電極６０４間で共用されている。
【特許文献１】特開平８-２２７０４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記構成を有する従来の可変形ミラーには、以下に述べる問題がある。
【０００９】
第１に、回動軸が可動電極６０４の対角線と一致しているため、可動電極６０４の幅（回動軸方向のサイズ）が回動軸から離れるほど小さくなる。このため、回動動作に高電圧が必要である。一般に、静電力は電極の面積および電圧の自乗に比例するが、回動動作時にアドレス電極に近づく外周側の可動電極６０４の幅が小さく電極面積が小さいと、大きな静電力を発生することができず、大電圧が必要となり低電圧駆動が実現できない。
【００１０】
第２に、可動電極６０４の回転剛性の低減と、隣接する可動電極６０４間の干渉防止とが両立できないという課題がある。ヒンジ６０２を支持するヒンジ支持ピラー６０２は、可動電極６０４間のスペースの殆どの領域を占め高剛性を有して殆ど変形しない。このため、可動電極６０４の回転剛性はヒンジ６０６に依存し、かつヒンジ６０６の長さをを大きく取ることができないので可動電極６０４の回転剛性を低減することができない。一方、ヒンジ支持ピラー６０２を細くすれば、ヒンジ６０６の長さを大きく取ることができ、またヒンジ支持ピラー６０２自身もたわみ変形して剛性低減に寄与して回転剛性低減が可能である。しかしながら、ヒンジ支持ピラー６０２およびヒンジ６０６を介して連結されている２つの可動電極６０４の間に干渉が発生する。例えば、２つの可動電極６０４A、６０４Ｂは、一方の可動電極６０４Ａが回動すると、それに応じてヒンジ６０６がねじれ変形、ヒンジ支持ミラー６０２がたわみ変形し、他方の可動電極６０４を同方向に回動させる干渉が発生する。可動電極６０４Ａ、６０４Ｂの回転角度を多段階で制御する必要がある場合には、この干渉が回動角度制御精度を悪化させ大きな問題となる。このように可動電極６０４Ａ、６０４Ｂ間の干渉防止と、可動電極６０４の低電圧駆動を両立することができない。
【００１１】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、低電圧駆動可能な可変形ミラーを提供することにある。また、可動電極に破損や変形の生じない信頼性の高い可変形ミラーを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の可変形ミラーは、基板と、相互に分離された状態で前記基板に支持される複数の微少鏡と、前記微少鏡の各々を独立に駆動して、前記微少鏡と前記基板の配置関係を制御する複数の駆動部とを備えた可変形ミラーであって、前記複数の駆動部の各々は、第１の方向に平行な回動軸を中心に回動する可動電極と、前記可動電極を回動可能に支持する支持部材と、前記可動電極に対向する少なくとも１つの固定電極と、前記可動電極の回転動作時に、前記微少鏡の特定部位と前記基板との距離を変化させる作用部材とを備え、  前記複数の駆動部は、前記基板上において、前記第１の方向におよび前記第１の方向に垂直な第２の方向に所定のピッチで配列されており、かつ、前記第１の方向に沿って隣接している２つの駆動部の一方の位置は、他方の位置に対して前記第２の方向にシフトしており、前記可動電極は、前記第１の方向のサイズが前記第２の方向に沿って略一定となる部分を有している。
【００１３】
好ましい実施形態において、前記第１の方向に沿って隣接している２つの駆動部の一方の位置は、他方の位置に対して、前記第２の方向における前記ピッチの約半分の距離だけ前記第２の方向にシフトしている。
【００１４】
好ましい実施形態において、前記可動電極の前記第２の方向におけるサイズは、前記可動電極の前記第１の方向におけるサイズよりも大きい。
【００１５】
好ましい実施形態において、前記可動電極は、略長方形の平面形状を有しており、その長辺方向は前記第２の方向に平行である。
【００１６】
好ましい実施形態において、前記支持部材は、前記回動軸と略同軸のヒンジ部材と、前記ヒンジ部材を前記基板に固定する柱部材を備え、前記柱部材は、前記第１の方向に隣接している２つの駆動部の間の間隙に配置されている。
【００１７】
好ましい実施形態において、前記柱部材の各々は、対応する一つの駆動部のみを支持し、隣接する他の駆動部を支持しない。
【００１８】
好ましい実施形態において、前記可動電極の回動動作に対する前記ヒンジ部材の剛性と前記柱部材の剛性は概等しい。
【００１９】
好ましい実施形態において、前記複数の微小鏡の各々は、前記作用部材を介して、前記微小鏡の各々に関連付けられた少なくとも２つの可動電極と連結されており、前記少なくとも２つの可動電極と、前記可動電極に対応する前記固定電極との間の電位差によって発生する静電力により、前記微小鏡の前記基板に対する垂直な方向への変位および／または前記基板に対する傾斜を行うことができる。
【００２０】
本発明の他の可変形ミラーは、基板と、相互に分離された状態で前記基板に支持される複数の微少鏡と、前記微少鏡の各々を独立に駆動して、前記微少鏡と前記基板の配置関係を制御する複数の駆動部とを備えた可変形ミラーであって、前記複数の駆動部の各々は、回動軸を中心に回動する可動電極と、前記可動電極を回動可能に支持する支持部材と前記可動電極に対向する少なくとも１つの固定電極と、前記可動電極の回転動作時に、前記微少鏡の特定部位と前記基板との距離を変化させる作用部材とを備え、前記複数の微小鏡の各々は、前記作用部材を介して、前記微小鏡の各々に関連付けられた少なくとも２つの可動電極と連結されており、前記少なくとも２つの可動電極と、前記可動電極に対応する前記固定電極との間の電位差によって発生する静電力により、前記微小鏡の前記基板に対する垂直な方向への変位および／または前記基板に対する傾斜を行うことができ、前記作用部材の少なくとも一部は、前記支持部材が有する剛性よりも低い剛性を有している。
【００２１】
好ましい実施形態において、前記作用部材の少なくとも一部は、前記支持部材の材料が有する弾性率よりも低い弾性率を有する材料から形成されている。
【００２２】
好ましい実施形態において、前記作用部材は、平板状の中間連結部材と、前記可動電極を前記中間連結部材に結合する突起部材とを備え、前記中間連結部材の概中心部において、前記中間連結部材と前記微小鏡が連結されている。
【００２３】
好ましい実施形態において、前記中間連結部材は、前記微少鏡と一体に形成されている。
【００２４】
好ましい実施形態において、前記可動電極は、片持ちまたは両持ちの梁部を備え、前記突起部材と前記可動電極とは前記梁部で結合されている。
【００２５】
好ましい実施形態において、前記中間連結部材は、前記可動電極の回転軸に平行な方向および前記回転軸に垂直な方向の両方向に所定の長さを有する片持ちまたは両持ちの梁部を備え、前記突起部材と前記中間連結部材は前記梁部で結合されている。
【００２６】
好ましい実施形態において、前記突起部材は樹脂から形成されている。
【００２７】
好ましい実施形態において、前記樹脂は、ポリイミド、ポリアリルエーテル系高分子材料、ベンゾシクロブテン系高分子材料、フッ素化炭化水素系高分子材料、およびフッ素化パレリン系高分子材料からなる群から選択された少なくとも１種の材料から形成されている。
【００２８】
好ましい実施形態において、前記突起部材は、パターニングされた金属薄膜から形成されている。
【００２９】
好ましい実施形態において、前記微小鏡は、第２の基板と、前記第２の基板上に堆積された金属薄膜とを有し、前記金属薄膜の一部は、前記作用部材として機能し、前記可動電極に接合されている。
【発明の効果】
【００３０】
本発明によれば、微小ミラーを駆動する駆動部における可動電極の少なくとも一部の第１の方向（回動軸方向）サイズが、回動軸に垂直な第２の方向に沿って略一定である。このため、可動電極の上記サイズが回動軸から離れるに従って減少するわけではなく、回動動作時に最も電極に近づく部分の面積を大きく確保することが可能になる。このため、低電圧でも大きな静電力を発生させることができる。
【００３１】
また、駆動部をいわゆる「市松模様状」に配列することにより、各可動電極の幅を短くすることなく、支持部材の回動軸方向長さを拡大できる。支持部材の回動軸方向長さが大きくなると、当該部材のねじれ剛性が小さくなるため、駆動電圧を低下させることができる。
【００３２】
可動電極を支持する支持部材のうちの柱部材の各々が、対応する一つの駆動部のみを支持し、隣接する他の駆動部を支持しない場合、可動電極間の干渉を防止することができる。これにより、柱部材の剛性を低下させることが可能となるため、駆動部間の干渉防止とともに、駆動電圧の低下を達成することもできる。
【００３３】
微小鏡の各々に関連付けられた少なくとも２つの可動電極を、対応する微小鏡に連結する作用部材の少なくとも一部が、支持部材の有する剛性よりも低い剛性を有している場合、可動電極と作用部材とが非平行となる姿勢をとる場合にも、反力が小さくなるため、低い電圧で駆動部を動作させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。
【００３５】
（実施形態１）
図１および図２を参照しながら、本発明による可変形ミラーの第１の実施形態を説明する。図１は、本実施形態における可変形ミラーの分解斜視図である。
【００３６】
本実施形態の可変形ミラーは、可変形ミラーがを駆動するための複数個のアクチュエータ（駆動部）と、各アクチュエータを駆動するための駆動回路とが同一のシリコン基板上に集積された構成を有しており、半導体製造プロセス技術を用いて作製される。
【００３７】
この可変形ミラーでは、１つの微小ミラーを３個のアクチュエータ（駆動部）で駆動し、各微小ミラーの基板に対する姿勢（基板から変位や傾き）を独立して制御することができる。
【００３８】
まず、図１を参照する。図１では、簡単のため、３つのアクチュエータが示されているが、実際には、同一基板上に多数のアクチュエータが配列されている。図示されていない領域における構成も図１に示すものと同じである。
【００３９】
基板１上には絶縁層２が設けられ、その絶縁層２上にベース３および３対の固定電極４〜６が形成されている。ベース３および固定電極４〜６は、アルミニウム（Al）または多結晶シリコン等の導電膜をパターニングすることによって形成されている。
【００４０】
固定電極４〜６は、それぞれ、２つの固定電極片４ａ、４ｂ、固定電極片５ａ、５ｂ、および固定電極片６ａ、６ｂに分割されている。固定電極片４ａ、４ｂ、５ａ、５ｂ、６ａ、６ｂは、絶縁層２に形成されたビア（不図示）によって基板１に形成された駆動回路に接続されている。駆動回路は、０〜５Ｖの範囲内で各々独立した電圧を固定電極片４ａ、４ｂ、５ａ、５ｂ、６ａ、６ｂに与えることができる。この６つの固定電極片４ａ、４ｂ、５ａ、５ｂ、６ａ、６ｂに印加する電圧は、例えば１６ｂｉｔ程度の多段階のデジタル値として設定され得る。一方、ベース３は接地電位に設定されている。
【００４１】
ヨーク７〜９は、固定電極４〜６に対向する位置にそれぞれ配置された３つの可動電極である。ヨーク７〜９は、いずれも、１対のヒンジ１０によって支持されている。ヨーク７〜９は、対応する固定電極４〜６に対向する可動電極として機能し、それぞれ、個別に駆動可能な３組のアクチュエータ（駆動部）を構成する。ヨーク７〜９は、アルミニウム（Al）または多結晶シリコン等の導電性部材をパターニングすることによって形成され、ベース３と導通して接地電位に設定されている。
【００４２】
ヨーク7〜９は、それぞれ、固定電極片４ａ、４ｂ、固定電極片５ａ、５ｂ、および固定電極片６ａ、６ｂに対向する位置に第１の部分７a〜９ａおよび第２の部分７ｂ〜９ｂを有している。
【００４３】
このようにヨーク７〜９は互いに同一の形状をしており、特に断らない限り、１つのヨークについての説明内容は、他のヨークについても適用される。
【００４４】
微小鏡１５は、ほぼ正方形の平面形状を有している。本実施形態では、１つの微小鏡が３つのヨーク７〜９で駆動されるため、各ヨークの外形は、長方形または長方形に近い形であることが好ましい。ヨーク８の長手方向をｘ方向とすると、ヨーク８の回動軸Ａ１はヨーク８と同一平面内でｘ方向に直交する方向（以下y方向と呼ぶ）に設定される。ヨーク８の中央は、ヒンジ１０によって回動自在に支持される。
【００４５】
ヨーク８の回動軸Ａ１方向の幅は、回動軸Ａ１からの距離に関わらずほぼ等しく、回動軸Ａ１から最も離れた端部においても回動軸方向の幅が短くなることがない。このため、回動動作時に最も電極に近づく部分の面積を大きく確保することができ、低電圧でも大きな静電力を発生させることが可能となる。同様に、ヨーク７、９は回動軸Ａ２を中心に回動自在に支持される。
【００４６】
固定電極片４ａに駆動電圧を与えると、ヨーク７の第１の部分７ａが固定電極片４ａ側に吸引される。これに対し、固定電極片４ｂに駆動電圧を与えた場合は、第２の部分７ｂが固定電極片４ｂ側に吸引される。このようにして、回動軸Ａを中心にしてCW（時計回り）方向、CCW（反時計回り）方向の何れに対しても、選択的に回動力を付与できる。
【００４７】
ｘ方向に隣接する可変形ミラーのピッチ間隔をｐとすると、回動軸Ａ１と回動軸Ａ２とは互いにｘ方向に半ピッチ分（＝ｐ／２）だけずれた位置に設けられる。ｙ方向に隣接するヨーク同士は、回動軸が互いにｘ方向に半ピッチ分シフトするように配置され、いわゆる市松模様状の配列を形成している。
【００４８】
ヒンジ１０は、ヨーク７〜９を回動軸Ａ１、Ａ２上で支持する棒状部材である。ヒンジ１０は、ヨーク７〜９と同様にアルミニウム（Al）または多結晶シリコン等の導電膜をパターニングすることによって形成されている。ヨーク７〜９が回動動作する場合には、ヒンジ１０がねじられ、回動動作と逆方向へヨーク７〜９を回動させる反力を発生する。この反力と静電力が釣り合ったところまでヨーク７〜９が回動変位するので、反力を小さくするほど、同じ静電力で大きな回動変位を得ることができる。
【００４９】
上記の反力を小さくするためには、ヒンジ１０のねじり剛性を小さくすれば良い。ヒンジ１０のねじり剛性を小さくするには、例えば回動軸方向のヒンジ１０の長さを大きくすればよい。
【００５０】
本実施形態では、市松模様上に駆動部を配列することにより、ヨーク７を支持するヒンジ１０を、ヨーク８と隣接する駆動手段８’との間の隙間に沿在するように配設している。このような構成を採用することにより、回動軸方向に隣接している他のヨークと干渉することなく、またヨーク７の回動軸方向に切り欠きを殆ど設けずに、ヒンジ１０のｙ方向の長さを伸ばすことができる。これにより、ヨークの回動に関わるヒンジ１０のねじり剛性を下げることができ、しかも回動力に直接関わるヨークの面積低下を最小限に抑えることができる。その結果、同じ駆動電圧でも大きな回転変位を得ることができる。また、回転変位が同じであっても、ヒンジ１０の長さが長い方が単位長さあたりの変形が少なくなり応力も低く押さえることが可能なので、破損や変形が発生しにくい可変形ミラーを得ることができる。
【００５１】
本実施形態のようにヒンジ１０とヨーク７〜９とが同一プロセスで形成され、それらの材料や厚さが同一となる場合でも、上記の構成により、ヨーク７〜９の剛性確保とヒンジ１０の柔軟性確保を両立し、信頼性が高く低電圧駆動可能な可変形ミラーを提供できる。
【００５２】
支持ポスト１１は、一端がベース３と一体に接合され、他端がヒンジ１０に接合されている。支持ポスト１１は、ヒンジ１０とともにヨーク７〜９を基板１によって支持する支持部材を構成している。支持ポスト１１は、棒状の簡易な形状を有しているため、アルミニウム（Al）または多結晶シリコン等の導電膜をパターニングすることによりヒンジ１０と同時に形成可能である。このため、支持ポスト１１を形成するための専用プロセスを追加しないで済み、製造コストを低く抑えられる。
【００５３】
ヨーク７〜９が回動動作するとき、支持ポスト１１の先端（ヒンジ１０と結合されている側の端部）が、駆動電圧を与えられた固定電極片の側にわずかに傾いてたわむ。支持ポス１１の断面積は、大きすぎると、支持ポスト１１の曲げ剛性が強くなりすぎるため、適切な範囲の大きさに設定される。支持ポストの曲げ（撓み）により、ヨーク７〜９が回動動作する際のねじり剛性を低下させることができる。言い換えると、支持ポスト１１の存在により、ヒンジ１０を充分に長くした場合と同等の効果を得ることができる。
【００５４】
本実施形態では、各支持ポスト１１が複数のヨークに兼用されておらず、１つのヨークのみを支持している。具体的には、図１に示すように、ヨーク７を支持する一対の支持ポスト１１およびヨーク９を支持する一対の支持ポスト１１のうち、ヨーク７とヨーク８との間に位置する２つの支持ポスト１１は、分離された状態にあり、連結していない。このため、一方の支持ポスト１１のたわみ変形が他方の支持ポスト１１の不必要のたわみ変形を引き起こさない。しだかって、隣接する２つのヨークのうちの一方の動作が他方の動作に影響しないため、アクチュエータ間でのクロストークが発生しない。
【００５５】
中間連結部材１２は、ヨーク７〜９に対向して配置される板状の部材であり、３カ所に設けられた接合部１２ａ、１２ｂ、１２ｃに、第１の連結ポスト１３ａ、１３ｂ、１３ｃが接合される。
【００５６】
第１の連結ポスト１３ａ、１３ｂ、１３ｃは、中間連結部材１２とヨーク７〜９を連結する棒状部材であり、第１の連結ポスト１３ａは、第１の部分７ａの遊端近傍の駆動点７ｃ（斜線で表示）においてヨーク７と結合する。同様に、第１の連結ポスト１３ｂは、ヨーク８の駆動点８ｃと連結し、第１の連結ポスト１３ｃはヨーク９の駆動点９ｃと連結する。このため、ヨーク７〜９を個別に回動駆動させると、第１の連結ポスト１３ａ、１３ｂ、１３ｃを介して、中間連結部材１２上の接合部１２ａ、１２ｂ、１２ｃの変位を独立に制御できることになり、これによって中間連結部材１２の姿勢が定まる。
【００５７】
ヨーク７〜９がそれぞれ基板１に平行な姿勢を取る初期位置では、中間連結部材１２もヨーク７〜９に平行であり、第１の連結ポスト１３ａ、１３ｂ、１３ｃは、ヨーク７〜９および中間連結部材１２の双方に垂直であるが、ヨーク７〜９を個別に駆動し中間連結部材１２が初期位置から移動または傾いた場合には、ヨーク７〜９と中間連結部材１２の平行関係が崩れる。この非平行姿勢は、第１の連結ポスト１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、ヨーク７〜９、中間連結部材１２のいずれかまたは全てが変形することにより実現されるが、それぞれ変形に対して剛性を有しているので、その剛性がヨーク７〜９の回動を妨げる効果として作用するとともに、ヨークの回動動作が他のヨークの回動動作に影響するクロストークとしても作用する。従って、ヨーク７〜９の駆動電圧の低電圧化およびアクチュエータ間のクロストーク低減の観点から、ヨーク７〜９と中間連結部材１２が非平行姿勢をとる際の剛性を、ヒンジ１０のねじれ剛性より十分小さくする必要がある。
【００５８】
このため、第１の連結ポスト１３ａ、１３ｂ、１３ｃは、たわみ剛性を極めて小さくするためにヒンジ１０とは別のプロセスで形成され、ヒンジ１０を形成する材料より弾性率の小さい材料により形成されることが好ましい。例えば、ヒンジ１０が多結晶シリコンにより形成され、連結ポスト１３ａ、１３ｂ、１３ｃはポリイミド系材料により形成される。これにより、ヨーク７〜９と中間連結部材１２が非平行姿勢をとる際に、第１の連結ポスト１３ａ、１３ｂ、１３ｃのたわみにより変形の大部分を吸収し、駆動電圧の低電圧化およびアクチュエータ間のクロストーク低減を実現することが可能になる。なお連結ポスト１３ａ、１３ｂ、１３ｃの材料は上記に限るものではなく、他にポリアリルエーテル系高分子材料、ベンゾシクロブテン系高分子材料、フッ素化炭化水素系高分子材料、フッ素化パレリン系高分子材料等の有機ポリマや、Ｎａｎｏｐｏｒｏｕｓ（商品名）等の多孔質材料も採用し得る。
【００５９】
中間連結部材１２には、接合部１２ａ、１２ｂ、１２ｃの近傍に、中間連結部材１１を貫通する溝穴１４ａ〜１４ｃが設けられている。これらは接合部１２ａ、１２ｂ、１２ｃに幅が狭い両持ちの梁構造をつくり、接合部１２ａ、１２ｂ、１２ｃにおけるねじれ剛性を低減して、駆動電圧の低電圧化およびアクチュエータ間のクロストーク低減に寄与する。なお、梁構造は両持ちに限られず、片持ち梁構造であっても同様の効果を得ることができる。
【００６０】
本実施形態では、ヨーク７〜９の駆動点７ｃ〜９ｃの近傍にもヨーク７〜９を貫通する溝穴７ｄ〜９ｄが設けられている。これらの溝穴７ｄ〜９ｄは、駆動電圧の低電圧化およびアクチュエータ間のクロストーク低減の効果に加えて、駆動点７ｃ〜９ｃの上方向（ｚ方向に正）と下（ｚ方向に負）方向の変位量のバランスをとる効果を発揮する。溝穴７ｄを設けたために、第１の部分７ａの面積は第２の部分７ｂの面積よりも小さく、回動軸Ａ２周りに発生する回動トルクはＣＣＷ方向がＣＷ方向よりも小さくなる。従って、回動軸Ａ２周りの回動に伴う駆動点７ｃの変位を考えた場合、上方向への変位の方が下方向への変位よりも大きくなる。
【００６１】
一方、ヨーク７と固定電極４との間に働く静電吸引力は、ヒンジ１０に単純な回動変形だけではなく、下方向への撓み変形を与える。これは、固定電極片４ａと４ｂのいずれを駆動した場合も駆動点７ｃに下方向の変位を与える。駆動点７ｃの変位はこれらの回動に伴う変位と撓みに伴う変位との和になるため、上方向と下方向との変位の差が互いに相殺されて両方向への変位量のバランスが改善する。しかも回動変位も撓み変位も静電吸引力に一次比例するため、ヒンジ１０のねじり剛性と撓み剛性の大きさに応じて溝穴７ｄの面積を適宜設定すれば、広い変位範囲にわたって変位量のバランス改善効果が発揮される。
【００６２】
なお、本実施形態では溝穴７ｄを設けることにより、この２つめの効果を実現したが、同じ効果は駆動点７ｃを吸引する方向への回動トルクを小さくすれば、任意の構成で達成できる。例えば、第１の部分７ａの面積を第２の部分７ｂよりも小さくすればよい。あるいは、固定電極片４ａの面積を固定電極片４ｂの面積によりも小さくしてもよい。このような構成を採用することにより、固定電極片４ａ、４ｂに印加した電圧に応じて、駆動点７ｃの変位量を上方向、下方向とも対称性よく制御することが可能になる。
【００６３】
微小鏡１５は、基板１とは別のＳＯＩ基板から形成され、第２の連結ポスト１６によって中間連結部材１２の斜線部１７とＡｕ接合されている。微小鏡１５と中間連結部材１２とは一体に結合しているため、微小鏡１５の姿勢は中間連結部材１２の姿勢によって決定される。こうした構成により、固定電極片４ａ、４ｂ、５ａ、５ｂ、６ａ、６ｂを適宜選択して駆動電圧を独立に設定すれば、微小鏡１５を、ｚ方向の変位、ｘ軸周りの傾き、ｙ軸周りの傾きについて正負双方向に駆動することが可能となる。
【００６４】
次に本実施形態の可変形ミラーの動作を説明する。
【００６５】
微小鏡１５は、３つのアクチュエータのヨーク７〜９を個別に回動させることにより、最大ストロークの範囲内で自由な姿勢をとることができる。以下、微小鏡１５を基板１に平行な姿勢のままｚ方向に移動する場合の動作を説明する。
【００６６】
まず、固定電極片４ｂ、５ｂ、６ｂに同じ電圧を印加する。微小鏡１５を平行移動させる場合には３つのアクチュエータには同じ電圧が印加され同じ変形をするため、以下ヨーク７の動作について説明する。ヨーク７は電圧の大きさに応じた分だけＣＷ方向に回動変位し、第２の部分７ｂの先端が固定電極４ｂに近づく。静電力の大きさは電極の面積に比例するが、第２の部分のｙ方向の幅は回転軸Ａ２からの距離によらずほぼ同じに設定されており、最も固定電極４ｂに近づく部分も先細りになっていないので、静電力を有効に発生させることができる。この回動動作によりヒンジ１０にはねじり変形が生ずるが、ヨーク７〜９を市松模様状に配置してヒンジ１０をｙ方向に隣接するヨーク８および８’の隙間に配置したので、ヨーク７の幅を殆ど狭めることなくヒンジ１０の長さを十分長く取ることができ、ヨーク７の剛性をれっかっせずに、ヒンジ１０のねじり剛性を低くして低電圧駆動を可能にしている。また支持ポスト１１も、支持ポスト１１とヒンジ１０との接合部が固定電極片４ｂの方向（＋ｘ方向）にたわむことで、回動動作に対する剛性をより小さくし低電圧駆動に寄与する。また、ヨーク７と９が異なる方向へ回動動作をする場合には、支持ポスト１１のたわみ方向もそれぞれ異なるが、支持ポスト１１がヨーク間で兼用されていないので、アクチュエータ間のクロストークの発生も抑えることができる。
【００６７】
第２の部分７ｂが固定電極片４ｂに近づくと、第１の部分７ａは固定電極片４ａと離れる方向（＋ｚ方向）に移動する。これにより第１のポスト１３ａを介して中間連結部材１２の接合部１２ａが＋ｚ方向に移動させられる。他の接合部１２ｂ、１２ｃも同じ距離だけ移動させられるので、中間連結部材１２全体は、基板１と平行な姿勢を保ったまま平行移動する。
【００６８】
次に、図２を参照する。図２は、実施形態１の微小鏡１５移動時の第１の連結ポスト近傍の断面図である。図２に示されている各部の変形は非常に微小であるため、変形量を誇張して表示している。
【００６９】
図２に示される例では、中間連結部材１２が＋ｚ方向に初期状態から傾きを変えずに平行に移動し、第１の部分７ａは回動しているので、中間連結部材１２と第１の部分７ａは角度を有する非平行の位置関係になる。このため、中間連結部材１２と第１の部分７ａを連結している箇所（接合部１２ａ、第１の連結ポスト１３ａ、駆動点７ｃ）に変形が生じ、その傾きを吸収する。例えば、第１の連結ポスト１３ａはたわみ変形し、接合部１２ａおよび駆動点７ｃは、ねじり変形して傾きを吸収する。
【００７０】
これらの変形が生じる部分の剛性が大きいと、変形に要するトルクも大きくなる。大きなトルクの生成は、ヨーク７を回動させるために必要な静電力に加算されるため、駆動に必要な電圧が上昇する。
【００７１】
このよう駆動電圧の上昇を抑えるには、第１の連結ポスト１３ａの剛性をヒンジ１０の剛性よりも小さくすればよい。このため、本実施形態では、ヒンジ１０の材料よりも弾性率の低い材料から第１の連結ポスト１３ａ〜１３ｃを形成し、第１の連結ポスト１３ａ〜１３ｃのたわみ剛性を低下させている。第１の連結ポスト１３ａの剛性を相対的に低くするには、弾性率の低い材料を少なくとも一部に用いる以外に、断面積などの形状ファクターも影響する。材料や形状を適切に選択することにより、第１の連結ポスト１３ａ〜１３ｃの剛性を、ヒンジ１０の剛性の１００分の１程度に設定することができる。
【００７２】
また、溝穴１４ａ〜１４ｃを中間連結部材１２に設けたり、溝穴７ｄ〜９ｄをヨーク７〜９に設けたりすることにより、接合部１２ａ〜１２ｃおよび駆動点７ｃ〜９ｃにおけるねじり剛性を低下させることができ、トルク低下の効果をさらに高めることができる。
【００７３】
このように本実施形態によれぱ、中間連結部材１２を、低電圧で平行移動させることができ、第２の連結ポスト１６により中間連結部材１２に一体に連結されている微小鏡１４も平行移動させることができる。
【００７４】
なお、本実施形態では、微小鏡１５および中間連結部材１２は、それぞれ別個の部材から形成し連結しているが、これらは一体的に構成されていて良い。
【００７５】
（実施形態２）
次に、図３を参照しながら本発明による可変形ミラーの第２の実施形態を説明する。図３は、本実施形態における中間連結部材１２の斜視図である。本実施形態の可変形ミラーは、中間連結部材１２以外の点では実施形態１における可変形ミラーの構造と同一の構造を有しているため、ここでは他の構成要素の説明を省略する。
【００７６】
本実施形態では、中間部部材１２に溝穴１８ａ、１９ａ、１８ｂ、１９ｂ、１８ｃ、１９ｃが設けられている。溝穴１８ａ、１９ａ、溝穴１８ｂ、１９ｂ、溝穴１８ｃ、１９ｃは、それぞれ、接合部１２ａ、接合部１２ｂ、接合部１２ｃの周囲に設けられた２本の細長い貫通穴である。接合部１２ａの周囲に設けられた溝穴１８ａおよび１９ａは、接合部１２ａを中心として対称形状であり渦巻き形状をなしている。接合部１２ｂと溝穴１８ｂ、１９ｂの関係、および接合部１２ｃと溝穴１８ｃ、１９ｃの関係も同様である。
【００７７】
これらの溝穴の存在により、接合部１２ａ、１２ｂ、１２ｃは、ｘおよびｙの両方向に極めて細長い２本の梁により両持ち支持される。その結果、ｘおよびｙの両軸まわりのねじり剛性を等しくし、かつ剛性を低下させることができる。
【００７８】
ねじり剛性の低下により、中間連結部材１２がどのような姿勢をとる場合でも、ｘおよびｙ軸回りに回転する中間連結部材１２の変形に要するトルクを著しく少なくできる。その結果、駆動電圧の低電圧化およびアクチュエータ間のクロストーク低減を実現することが可能にある。
【００７９】
（実施形態３）
次に、図４を参照しながら、本発明による可変形ミラーの第３の実施形態を説明する。図４は、本実施形態における中間連結部材１２の分解斜視図である。本実施形態の可変形ミラーは、中間連結部材１２および第１の連結ポスト１３ａ、１３ｂ、１３ｃ以外の点では実施形態１における可変光ミラーと同一の構成要素を有しているため、ここではそれらの説明を省略する。
【００８０】
中間連結部材１２には、開口２０ａ、２０ｂ、２０ｃが設けられ、その周囲に接合部１２ａ、１２ｂ、１２ｃが各々２箇所ずつ、ｘ方向から開口２０ａ、２０ｂ、２０ｃを挟み込む位置に配置されている。第１の連結部材１３ａ、１３ｂ、１３ｃは帯状の金属薄膜であり、ｘ方向を長手方向として、開口２０ａ、２０ｂ、２０ｃを橋渡しする様に中間連結部材１２に接合される。第１の連結部材１３ａ、１３ｂ、１３ｃは例えばヒンジ１０を構成する多結晶シリコンより低弾性率のＡｕから構成される。第１の連結部材１３ａ、１３ｂ、１３ｃは全て同じ構造なので、以下第１の連結部材１３ａについて説明する。第１の連結部材１３ａは、接合部１２ａと接合される第１接合端２１ａ、水平梁構造部２２ａ、垂直梁構造部２３ａ、駆動点７ｃと接合される第２接合端２４ａから構成され、第２接合端２４ａを中心に対称形状をとる。水平梁構造部２２ａ、垂直梁構造部２３ａは、中間連結部材１２とヨーク７が非平行姿勢をとる際に変形するが、低弾性率の材料から構成されること、および薄膜で断面積が小さいことからヒンジ１０のねじれ剛性より十分小さい剛性を実現することが可能である。中間連結部材１２がｘ方向回りに回転する場合には、主として水平梁構造部２２ａがねじれ変形し、ｙ方向回りに回転する場合には、水平梁構造部２２ａと垂直梁構造部２３ａがたわみ変形するので、ｘ、ｙいずれの方向に対してもねじり剛性を小さくすることが可能である。
【００８１】
図５は本発明の実施形態３における第１の連結部材１３ａの製造工程図である。第１の連結部材１３ａの形成には、まずヨーク７が多結晶シリコン等の導電膜をパターニングすることによって形成された後、犠牲層２５を垂直梁構造部２３ａの長さに相当する厚みで積層する。垂直梁構造部２３ａの長さの管理は積層厚みの管理により容易に可能である。次に中間連結部材１２を構成するために、多結晶シリコン等の導電膜を積層した後、開口２０ａを有する形状をパターニングする。次に開口２０ａから露出する犠牲層２５に、第２接合端２４ａに相当する面積のパターニングを行い犠牲層２５に穴をあけてヨーク７の一部を露出させる。この穴と開口２０ａの間の長さが水平梁構造部２２ａの長さになるので所望の長さを容易に形成可能である。第１の連結部材１３ａの変形に対する剛性は水平梁構造部２２ａの長さを変えることにより容易に変更可能である。次にＡｕの金属膜を中間連結部材１２、犠牲層２５、ヨーク７のそれぞれに沿って帯状に積層する。この帯の幅も第１の連結部材１３ａの変形に対する剛性を変更するパラメータとして用いることができ容易に変更可能である。Ａｕの金属膜の積層は、微小鏡１５を中間連結部材１２の斜線部１７（図４参照）にＡｕ接合するためのパターン生成と同じプロセスで行うので、新たなプロセスを追加することなく低コストで形成することが可能である。最後に犠牲層２５を取り除くことにより所望の形状が実現される。
【００８２】
以上の構成により、ヨーク７〜９と中間連結部材１２が非平行姿勢をとる際の変形を、第１の連結部材１３ａ、１３ｂ、１３ｃにより吸収し、駆動電圧の低電圧化およびアクチュエータ間のクロストーク低減を実現することが可能である。
【００８３】
なお、第１の連結ポスト１３ａ、１３ｂ、１３ｃの長手方向は、いずれも、ｘ方向に平行であるが、第１の連結ポスト１３ａ、１３ｂ、１３ｃの長手方向は、各々が異なる方向を向いていてもよいい。
【００８４】
また、本実施形態における第１の連結ポスト１３ａ、１３ｂ、１３ｃは対称形であり、中間連結部材１２と２箇所で連結されているが、本発明はこのような構成に限定されない。第１の連結ポスト１３ａ、１３ｂ、１３ｃは、図４に示す対称な構造物の片側の部分で構成され、中間連結部材１２と１箇所で連結されていてもよい。
【００８５】
（実施形態４）
以下、図６を参照しながら、本発明による可変形ミラーの第４の実施形態を説明する。図６は本発明の実施形態４における微小鏡１５の分解斜視図である。本実施形態において、固定電極４〜６，ヨーク７〜９、ヒンジ１０、支持ポスト１１は、実施形態１におけるものと同一であり、それらの説明は省略する。
【００８６】
本実施形態の微小鏡１５は、基板１とは別の基板である第２の基板３１と、その上に設けられ反射面として機能する金属薄膜からなる反射層３２とを有している。反射層３２は例えばＡｕ膜から形成され得る。
【００８７】
第２の基板３１には、接続孔３３ａ、３３ｂ、３３ｃが設けられており、反射層３２の一部を帯状に切り出して構成した作用部材３４ａ、３４ｂ、３４ｃが接続孔３３ａ、３３ｂ、３３ｃを通過してそれぞれヨーク７〜９上の駆動点７ｃ、８ｃ、９ｃに接続される。作用部材３４ａ、３４ｂ、３４ｃはすべて同じ構成を取るので、以下作用部材３４ａについて説明する。
【００８８】
作用部材３４ａは、第２の基板３１を貫通してヨーク７と接続されることにより、ヨーク７と微小鏡１５を連結し、微小鏡１５の位置姿勢を制御可能にする。作用部材３４ａは、ｘ方向を長手方向とし、水平梁構造部３５ａ、垂直梁構造部３６ａ、駆動点７ｃと接合される接合端３７ａから構成され、接合端３７ａを中心に対称形状をとる。水平梁構造部３５ａ、垂直梁構造部３６ａは、微小鏡１５とヨーク７が非平行姿勢をとる際に変形するが、ヒンジ１０を構成する多結晶シリコンより低弾性率の材料で構成されること、および薄膜で断面積が小さいことから、ヒンジ１０のねじれ剛性より十分小さい剛性を実現することが容易に可能である。
【００８９】
微小鏡１５がｘ方向回りに回転するとき、主として水平梁構造部３５ａがねじれ変形する。微小鏡１５がｙ方向回りに回転するときは、水平梁構造部３５ａと垂直梁構造部３６ａがたわみ変形するので、ｘ、ｙいずれの方向に対してもねじり剛性を小さくすることが可能である。
【００９０】
本実施形態によれば、微小鏡１５とヨーク７が非平行状態でどの方向に傾いても作用部材３４ａの変形に要する力を小さく抑えることができる。その結果、ヨーク７を回動させるために必要な静電力を増加させないため、低電圧での駆動が実現でき、アクチュエータ間のクロストークも小さく抑えることが可能である。
【００９１】
また、作用部材３４ａのｘおよびｙ方向のねじり剛性は、水平梁構造部３５ａの長さを変えることにより極めて容易に変更可能であり所望の剛性を容易に得ることができる。
【００９２】
水平梁構造部３５ａおよび垂直梁構造部３６ａは、例えば以下に説明する方法で作製できる。
【００９３】
まず、多結晶シリコン等の導電膜をパターニングすることによってヨーク７〜９を形成した後、犠牲層を垂直梁構造部３６ａの長さに相当する厚みで積層する。次に、多結晶シリコン等の導電膜を積層した後、接続孔３３ａを有する第２の基板をパターニングする。そして、接続孔３３ａから露出する犠牲層に、接合端３７ａに相当する面積のパターニングを行いヨーク７の駆動点７ａを露出させる。
【００９４】
次に、Ａｕからなる金属膜を第２の基板上に積層することにより、反射面の形成と同時に作用部材３４ａを形成できる。このため、作用部材３４ａを形成するための専用プロセスを必要としない。
【００９５】
最後に、犠牲層を取り除くことにより、所望の形状が実現される。
【００９６】
なお、反射層３２の材料をＡｕとしたが、反射膜として機能する材料であれば良く、これに限定されるものではない。また、作用部材３４ａ、３４ｂ、３４ｃの長手方向は、ｘ方向に限定されずではなく、作用部材３４ａ、３４ｂ、３４ｃのそれぞれが異なる方向を長手方向としても良い。
【００９７】
このように反射層３２の一部を作用部材３４ａ、３４ｂ、３４ｃとしたので、ヨーク７〜９と微小鏡１５を連結する部材および形成プロセスを追加することなく、低コストで低電圧駆動が実現でき、アクチュエータ間のクロストークも小さい可変形ミラーを提供することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００９８】
本発明の可変形ミラーは、光の波面の位相を局所的に変調することができるため、光の収差補正装置やパターン形成装置などに広く用いられる。
【図面の簡単な説明】
【００９９】
【図１】本発明による可変形ミラーの第１の実施形態の分解斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施形態における微小鏡移動時の第１の連結ポスト近傍の断面図である。
【図３】における中間連結部材の斜視図である。
【図４】本発明による可変形ミラーの第３の実施形態における中間連結部材の分解斜視図である。
【図５】本発明による可変形ミラーの第３の実施形態における第１の連結部材の製造工程図である。
【図６】本発明による可変形ミラーの第４の実施形態における微小鏡の分解斜視図である。
【図７】従来の可変形ミラーの斜視図である。
【符号の説明】
【０１００】
７〜９        ヨーク
１０            ヒンジ
１１            支持ポスト
１２            中間連結部材
１３            第１の連結ポスト
１５            微小鏡
【図１】
2005099357.tif 000003
【図２】
2005099357.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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