(57)【要約】【課題】装置自体の製造コストが安価で且つ高精度な位置決めを維持し得る真空蒸着用アライメント装置を提供する。【解決手段】真空容器３内に保持されたマスクの上方に、真空容器３の上壁面である取付用フランジ１ａに形成された貫通穴１ｂを挿通された吊持部材１２を介して保持された基板ホルダ１１と、真空容器の外部に設けられるとともに吊持部材に連結された連結用板体１３と、この連結用板体を移動させて基板ホルダに保持された蒸着室２内の基板５のマスクに対する位置を調整し得る位置調整手段１４と、吊持部材に外嵌されるとともに取付用フランジの貫通穴１ｂの外周と連結用板体との間に設けられて真空側と大気側とを遮断する伸縮式筒状遮断部材１５と、この筒状遮断部材の内側が真空状態であることにより発生する連結用板体への押圧力と逆方向の付勢力を発生させる付勢手段１６とを具備したもの。【選択図】      図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空容器内に保持された基板の表面に蒸着材料を所定パターンでもって蒸着させる際に用いられるマスクに対して当該基板の位置決めを行うアライメント装置であって、
上記真空容器内に保持されたマスクの上方に、当該真空容器の壁体部に形成された貫通穴を挿通された吊持部材を介して保持された基板の保持体と、
上記真空容器の外方に設けられるとともに上記吊持部材に連結された連結用板体と、
この連結用板体を移動させて保持体に保持された蒸着室内の基板のマスクに対する位置を調整し得る位置調整手段と、
上記吊持部材に外嵌されるとともに壁体部の貫通穴の外周と上記連結用板体との間に設けられて真空側と大気側とを遮断する伸縮式筒状遮断部材と、
上記筒状遮断部材の内側が真空状態であることにより発生する連結用板体への押圧力と逆方向の付勢力を発生させる付勢手段とを具備したことを特徴とする真空蒸着用アライメント装置。
【請求項２】
位置調整手段は、連結用板体が、吊持部材および保持体を介して保持された基板がマスク表面と平行に移動し得るように構成したことを特徴とする請求項１に記載の真空蒸着用アライメント装置。
【請求項３】
位置調整手段に、連結用板体を基板表面と直交する軸心方向で移動し得る機能を具備させたことを特徴とする請求項２に記載の真空蒸着用アライメント装置。
【請求項４】
付勢手段による付勢力を調整可能に構成したことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の真空蒸着用アライメント装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空蒸着用アライメント装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体基板などを製造する際に、真空容器内で半導体材料が蒸発されるとともに、基板表面に蒸着されて所定の導体パターンが形成されている。
この導体パターンを形成する場合、通常、基板の表面に導体パターンが形成されたマスクを配置し、その表面に塗布されたフォトレジストが露光されることにより行われている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００３−１５７９７３
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、真空容器内において、マスクに対して基板を所定位置に配置する必要があり、この位置合わせのためのアライメント装置が設けられている。
このアライメント装置は真空容器内に配置されることになるが、位置決め精度が高いアライメント装置を真空容器内に配置する場合、ガス放出が少ない特種な材料の部品、潤滑剤、放熱対策などを必要とするため、装置そのものが非常に高価なものとなる。
【０００４】
一方、このような事態を回避するために、アライメント装置を真空容器の外部に配置することが考えられる。
このように、アライメント装置を真空容器の外部に配置する場合には、アライメント装置におけるマスク保持部材の真空容器内への挿入部分における真空維持機構が必要となり、したがって特殊なシール機構、または加工が必要となり、やはり装置が高価なものとなる。
【０００５】
さらに、マスク保持部材の真空容器内への挿入部分には、真空力により、言い換えれば、大気圧による大きい外力を受けて、歪が生じ位置合わせ精度が低下する虞れがあった。
そこで、上記課題を解決するため、本発明は、装置自体の製造コストが安価で且つ高精度な位置決めを維持し得る真空蒸着用アライメント装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため、本発明の請求項１に係る真空蒸着用アライメント装置は、真空容器内に保持された基板の表面に蒸着材料を所定パターンでもって蒸着させる際に用いられるマスクに対して当該基板の位置決めを行うアライメント装置であって、上記真空容器内に保持されたマスクの上方に、当該真空容器の壁体部に形成された貫通穴を挿通された吊持部材を介して保持された基板の保持体と、上記真空容器の外方に設けられるとともに上記吊持部材に連結された連結用板体と、この連結用板体を移動させて保持体に保持された蒸着室内の基板のマスクに対する位置を調整し得る位置調整手段と、上記吊持部材に外嵌されるとともに壁体部の貫通穴の外周と上記連結用板体との間に設けられて真空側と大気側とを遮断する伸縮式筒状遮断部材と、上記筒状遮断部材の内側が真空状態であることにより発生する連結用板体への押圧力と逆方向の付勢力を発生させる付勢手段とを具備したものである。
【０００７】
また、請求項２に係る真空蒸着用アライメント装置は、請求項１に記載のアライメント装置の位置調整手段が、連結用板体が、吊持部材および保持体を介して保持された基板がマスク表面と平行に移動し得るように構成されたものである。
【０００８】
また、請求項３に係る真空蒸着用アライメント装置は、請求項２に記載の位置調整手段に、連結用板体を基板表面と直交する軸心方向で移動し得る機能を具備させたものである。
【０００９】
さらに、請求項４に係る真空蒸着用アライメント装置は、請求項１乃至３のいずれかに記載のアライメント装置の付勢手段による付勢力を調整可能に構成したものである。
【発明の効果】
【００１０】
上記の各真空蒸着用アライメント装置の構成によると、所定の真空下でマスクに対する基板の位置合わせを行う際に、真空容器の外部に基板のアライメント装置を配置したので、真空下を考慮した材料等を用いる必要がないとともに、特殊なシール機構などについても必要とせず、したがって装置自体の製造コストを安価にすることができる。
【００１１】
また、真空下で大気圧による押圧力に対向し得る付勢力を付与し得る付勢手段を具備したので、アライメント装置に余分な外力が作用するのを防止することができ、したがってマスクに対する基板の位置合わせを高精度に維持することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明の実施の形態に係る真空蒸着用アライメント装置について説明する。
この真空蒸着用アライメント装置は真空蒸着装置に設けられるもので、例えば有機ＥＬディスプレイの表示部の製造時に、マスクを用いてガラス基板の表面に有機材料を所定のパターンでもって蒸着させて導体パターンを得る際に、ガラス基板を保持するとともにマスクに対する当該ガラス基板の位置調整（アライメント）を行うためのものである。
［実施の形態１］
以下、実施の形態１に係る真空蒸着用アライメント装置を、図１〜図６に基づき説明する。
【００１３】
図１に示すように、このアライメント装置１は、真空下でガラス基板の表面に有機材料を蒸着させるための蒸着室２を有する真空容器３の上壁部３ａに取付用フランジ（壁体部の一例である）１ａを介して設けられている。なお、取付用フランジを介さずに、真空容器の上面全体に亘って設けられる上壁部に、直接、取り付けるようにしてもよい。
【００１４】
また、真空容器３の蒸着室２の下部には蒸発源４が配置されるとともに、真空容器３の蒸着室２内の上方位置には、アライメント装置１を介してガラス基板（以下、基板という）５が保持されるとともに、この基板５の下方には、所定の導体パターンを形成するためのマスク６がその取付枠７を介してマスク保持体８により保持されている。なお、真空容器３の側壁部３ｂには、基板５およびマスク６の搬入出用開口部９が設けられており、基板５およびマスク６の搬入および搬出については、ロボットハンド（図示せず）が用いられる。
【００１５】
上記アライメント装置１には、図２〜図４に示すように、板状のホルダ本体部１１ａに基板５を吸着し得るシート状の静電チャック部１１ｂが設けられてなる例えば平面視が矩形状の基板ホルダ（基板の保持体）１１と、この基板ホルダ１１の左右２箇所に下端部が連結されるとともに上端部が取付用フランジ１ａに形成された貫通穴１ｂを挿通されて真空容器３の外部に突出された２本の円筒状の吊持部材１２と、真空容器３の外部に設けられて上記２本の吊持部材１２の上端部に且つその上端開口部が上面に開口するように貫通して連結された例えば平面視矩形状の連結用板体１３と、上記取付用フランジ１ａの上面に配置されて連結用板体１３を移動させて基板ホルダ１１に保持された蒸着室３内における基板５のマスク６に対する位置を調整し得る位置調整手段１４と、上記各吊持部材１２に外嵌されるとともに取付用フランジ１ａの貫通穴１ｂの外周と上記連結用板体１３との間に設けられて真空側と大気側とを遮断する伸縮式筒状遮断部材（例えば、真空ベローズが用いられる）１５と、この筒状遮断部材１５の内側が真空状態であることにより発生する連結用板体１３への押圧力（押付力）と逆方向の付勢力を発生させる（付与する）付勢手段１６とが具備されている。なお、上記筒状遮断部材１５と取付用フランジ１ａ側および連結用板体１３側とは、それぞれ所定内径の下部環状取付座１７および上部環状取付座１８を介して連結されており、取付用フランジ１ａ側に設けられる上部環状取付座１８への筒状遮断部材１５における取付部開口面積（接触面積）に真空による力（大気圧による押圧力）が作用することになる。
【００１６】
上記位置調整手段１４は、連結用板体１３を、マスク６の表面と平行な平面内で平行移動、回転（板体の中心を回転中心とした回転）および旋回（板体の中心とは異なる位置を中心にした回転）させ得る平面内移動装置２１と、マスク６（連結用板体の表面でもある）と直交する鉛直方向（軸心方向）で移動させ得る鉛直移動装置２２とから構成されている。
【００１７】
上記平面内移動装置２１は、図４および図５に示すように、平面視が矩形状の支持板３１と、この支持板３１上の４隅の内、３箇所に配置された駆動用支持機構３２および残りの１箇所に配置された案内用支持機構３３と、これら各支持機構３２，３３に設けられた連結具３４を介して支持された移動板３５とから構成されており、またこの移動板３５と連結用板体１３とは昇降用案内機構３６を介して鉛直方向での移動を許容するとともに水平面内での移動が連動（追従）するように構成されている。
【００１８】
上記駆動用支持機構３２は、公知の技術であり、図５に示すように、水平面内で、すなわちＸ−Ｙ軸方向でリニアガイド機構３７を介して移動し得るとともに、サーボモータ３８により一方の軸方向（Ｘ軸またはＹ軸方向）に沿って強制移動を行い得るもので、また案内用支持機構３３は、上記と同様のリニアガイド機構３９を介してＸ−Ｙ軸方向で自由に移動し得るようにされたものである。
【００１９】
そして、３個の駆動用支持機構３２の内、２個については、同一方向で強制移動し得るように配置されるとともに、残りの１個については、上記２個の強制移動方向と直交する方向で強制移動し得るように配置されて、これら３個の内、所定（１個、２個または３個）の駆動用支持機構３２におけるサーボモータ３８を駆動することにより、移動板３５を、Ｘ軸方向（図５（ｂ）参照）、Ｙ軸方向（図５（ｃ）参照）、Ｘ軸およびＹ軸に対して斜め方向（図５（ｄ）参照）、並びに移動板３５の中心を回転軸とする回転方向でもって（図５（ｅ）参照）、また任意の支持機構３２側を中心として旋回させる旋回方向でもって（図５（ｆ）参照）、移動板３５を水平面内で任意の方向並びに任意の回転角または旋回角でもって移動させ得るものである。
【００２０】
上記昇降用案内機構３６は、図３および図４に示すように、移動板３５の上面に一体に設けられた平面視矩形状の取付板４１と、この取付板４１の前後で且つ左右位置で立設された４本のガイド軸４２と、連結用板体１３側に設けられてこれら各ガイド軸４２に外嵌して上下方向で移動自在に案内される４個のガイド筒４３とから構成されている。なお、図面上では、前部または後部に係る左右のガイド軸４２およびガイド筒４３だけを示している。
【００２１】
そして、鉛直移動装置２２として、電動シリンダ（サーボモータにより駆動されるもの）が用いられ、この電動シリンダの出退用ロッド部２２ａが上記取付板４１に連結されており、その出退用ロッド部２２ａを出退させることにより、連結用板体１３を介して基板ホルダ１１が昇降されて、マスク６に対する基板５の間隔が調整される。
【００２２】
上記付勢手段１６は、貫通穴１ｂを介して蒸着室３に連通されて真空状態になる筒状遮断部材１５内の端面側に作用する大気圧による押圧力を打ち消す（または、軽減する）ためのものである。
【００２３】
すなわち、この付勢手段１６は、連結用板体１３を跨ぐように取付用フランジ１ａ上に立設された側面視が門形状の取付用フレーム５１と、上記連結用板体１３の左右位置に設けられた台座部５２の上面に設けられた所定内径の下部環状取付座５３と上記取付用フレーム５１の水平部５１ａの下面に設けられた所定内径の上部環状取付座５４と、これら上下部の環状取付座５３，５４同士に亘って接続された伸縮式筒状遮断部材（例えば、真空用ベローズが用いられる）５５とから構成されるとともに、これら左右における各筒状遮断部材５５内は、取付用フレーム５１内に形成された連通用穴５６を介して真空容器３内に連通されており、したがって、この連通用穴５６の基端側は取付用フランジ１ａに形成された連通穴１ｃを介して真空容器３内に連通されるとともに、他端側は取付用フレーム５１の水平部５１ａに設けられた上部環状取付座５４に対応する位置に開口されている。
【００２４】
そして、少なくとも、連結用板体１３の上面（実際には、台座部５２の上面）に設けられた下部環状取付座５３とその下面に設けられた上部環状取付座１８とにおける開口面積同士が等しくなるようにされている。すなわち、連結用板体１３の上下面には、同一面積の真空接触部が設けられることになり、真空に起因して発生する押圧力が連結用板体１３の上下面から均等に作用するため、連結用板体１３に余分な外力が働くのが防止されている。
【００２５】
また、図４に示すように、上記吊持部材１２としては筒状のものが用いられるとともに、基板ホルダ１１には両吊持部材１２内の連通用穴１２ａに接続される通路（穴部である）１１ｃが設けられて、吊持部材１２の上端開口から水などの冷却流体を供給することにより、基板５を冷却し得るようにされており、またこれらの連通用穴１２ａの上端から静電チャック部１１ｂへの電気配線が行われる。
【００２６】
さらに、図１および図３に示すように、マスク保持体８に保持されたマスク６に対して基板５の位置合わせを行うために、すなわち図６に示すように、マスク６の対角線上の隅部に設けられた円形のマスク側マークＭ１内に、基板５側に設けられた点状の基板側マークＭ２が入るように位置合わせを行うためのＣＣＤカメラ装置５７が連結用板体１３側に設けられており、勿論、取付用フランジ１ａ側には、覗き窓５８が設けられている。
【００２７】
上記構成において、真空容器３内にてマスク６に対する基板５の位置合わせを行う作業について説明する。
まず、図１に示すように、真空容器３の側壁部３ｂに形成された搬入出用開口部９より、ロボットハンドを用いて、基板５をマスク保持体８により保持されたマスク６の上方に挿入するとともに、静電チャック部１１ｂにて基板５を保持した後、ロボットハンドを真空容器３から出し、そして搬入出用開口部９を閉じる。なお、真空容器３内にマスク等を搬入または搬出する際には、少なくとも搬入出用開口部９（正確に言えば、搬入出用開口部９に接続された空間側）については、真空容器３２内と同じ真空度に保たれた状態にされている。
【００２８】
この真空下では、上述したように、連結用板体１３の上下面には、筒状遮断部材１５，５５（正確には、環状取付座１８，５３）により、同一面積の真空接触部が設けられたことになるため、当該連結用板体１３には、真空による余分な外力が働くことはない。
【００２９】
次に、マスク保持体８により蒸着室２内に保持されたマスク６に対して、上記基板ホルダ１１により保持された基板５の位置合わせが行われる。
このマスク６に対する基板５の位置合わせには、対角線上に配置された２台のＣＣＤカメラ装置５７が用いられる。
【００３０】
すなわち、図６に示すように、マスク６側に設けられた円形のマスク側マークＭ１内に、基板５側に設けられた点状の基板側マークＭ２が入るように、位置調整手段１４の平面内移動装置２１が駆動された後、鉛直移動装置２２により、マスク６の表面に、殆ど接触するように基板５が移動される。
【００３１】
マスク６に対する基板５の位置合わせが完了すると、蒸発源４の加熱により、蒸着材料がマスク６のパターンに応じて基板５の表面に付着されて所定の導体パターンが形成される。
【００３２】
所定の導体パターンが形成されると、ロボットアームにより搬入出用開口部９から基板５を取り出した後、新しい基板５を真空容器３内に挿入して基板ホルダ１１に保持させ、そして上述したように、位置合わせを行い導体パターンを形成すればよい。
【００３３】
このように、所定の真空下で、マスク６に対する基板５の位置合わせを行う際に、真空容器３の外部に基板５のアライメント装置１を配置したので、装置自体の構成を安価なものにすることができる。
【００３４】
また、このアライメント装置１における基板５の吊持部材１２を真空容器３の外部に導くための貫通穴１ｂを形成した際に、この貫通穴１ｂを大気側と遮断するための筒状遮断部材１５の連結用板体１３への取付部分の反対側に、当該筒状遮断部材１５と同一の断面積を有するとともに真空容器３の真空下に連通された筒状遮断部材５５（環状取付座１８の開口面積）を接続するようにしたので、すなわち真空下で大気圧による押圧力に対向し得る付勢手段１６を具備したので、アライメント装置１に余分な外力が作用するのを防止することができ、したがって装置に歪が発生することがないので、マスクに対する基板の位置合わせを高精度でもって行うことができる。
【００３５】
詳しく説明すると、下記のような効果が得られる。
１．基板５を水平面内で移動させる平面内移動装置２１および鉛直方向で移動させる鉛直移動装置２２を真空容器３の外部（大気圧下）に配置したので、特殊な真空用機械要素や、モータの冷却装置を必要としないので、安価で且つ高精度なアライメント装置を提供することができる。
２．各移動装置２１，２２を真空容器３の外部（大気圧下）に配置するとともに、真空下で作用する押圧力に対向し得る付勢力を付与し得る付勢手段１６を具備したので、真空により生じる各移動装置２１，２２に作用する力を軽減することができ、したがって移動装置におけるモータなどの駆動機器として容量の小さいものを用いることができるので、より安価な構成にし得る。
３．また、各移動装置２１，２２を真空容器３の外部（大気圧下）に配置するとともに、真空下で作用する押圧力に対向し得る付勢力を付与し得る付勢手段１６を具備したので、装置自体に歪が発生するのを抑制し得るとともに、基板５の位置合わせ用のカメラ装置５７における視野ずれを防止でき、したがって高精度な位置合わせを行うことができる。
４．静電チャック部１１ｂにより基板５を保持するようにしているので、基板５の平面度を維持することが可能となり、したがってマスク６との距離を非常に小さくすることができるので、より高精度な位置合わせを行うことができる。
５．また、静電チャック部１１ｂにより基板５を保持するようにしているので、基板５の平面度を維持して基板５をマスク６に均等な面圧で接触させることが可能となり、したがってより高精度な位置合わせを行うことができる。
６．基板ホルダ１１を支持する吊持部材１２およびホルダ本体部１１ａ内に連通用穴１２ａおよび通路１１ｃを形成するとともに、これら連通用穴１２ａおよび通路１１ｃ内を大気圧下としたので、基板ホルダ１１の冷却を容易に行い得るとともに、静電チャック部１１ｂへの電気配線についても容易に行うことができる。
［実施の形態２］
次に、実施の形態２に係る真空蒸着用アライメント装置を、図７に基づき説明する。
【００３６】
上記実施の形態１においては、付勢手段１６として、真空容器３内の真空（真空力）を利用したものとして説明したが、本実施の形態２においては、ばね力を利用したものである。
【００３７】
なお、実施の形態１と実施の形態２と異なる箇所は、この付勢手段の部分であるため、本実施の形態２においては、この部分に着目して説明するとともに、他の構成部材については、実施の形態１と同一の番号を付して説明を行うものとする（後述する実施の形態３においても同様とする）。
【００３８】
すなわち、図７に示すように、連結用板体１３の左右に設けられた台座部５２と取付用フレーム５１との間に、真空による押圧力と同等の引張力を発揮し得る付勢手段として例えばコイルばね６１が設けられたものである。
【００３９】
この付勢手段であるコイルばね６１によると、取付用フレーム５１内に真空用の連通用穴５６を形成する場合に比べて、その構成が簡単になるため、より安価なアライメント装置を提供することができる。
【００４０】
また、図８に示すように、コイルばねの替わりに、空気ばね７１を用いた場合でも、上記実施の形態２と同様の効果が得られる。
さらに、図９に示すように、コイルばねの替わりに、カウンタウエイト８１を用いてもよい。
【００４１】
すなわち、一端部がカウンタウエイト８１に接続された索体（例えば、ワイヤ、ロープなど）８２の他端部が、取付用フレーム５１の水平部５１ａに配置された複数個（例えば、２個）の案内用滑車８３を介して連結用板体１３の各端部側に設けられた台座部５２に連結されたものである。
【００４２】
勿論、上記カウンタウエイト８１の合計重さは、真空による押圧力に対向し得るようにされている。
この構成についても、上記実施の形態２と同様の効果が得られる。
［実施の形態３］
次に、実施の形態３に係る真空蒸着用アライメント装置を、図１０に基づき説明する。
【００４３】
上記実施の形態１においては、付勢手段１６として真空容器３内の真空（真空力）を利用したものとして説明したが、本実施の形態３においては、空気圧シリンダを用いたものである。
【００４４】
すなわち、図１０に示すように、連結用板体１３の左右に設けられた台座部５２と取付用フレーム５１との間に空気圧シリンダ９１が配置され、またこの空気圧シリンダ９１としては、例えば片ロッド式のものが用いられるとともに、そのロッド側シリンダ室９２の空気供給口９３には、途中に圧力調整器９４を有する空気配管９５を介して空気供給ポンプ９６が接続されたものである。
【００４５】
したがって、蒸着室２内を真空下にする際には空気供給ポンプ９６を作動させて、空気圧シリンダ９１に、真空による押圧力に対向し得る引張力を発生させるようにすればよい。
【００４６】
この場合も、実施の形態１と同様の効果が得られ、また空気圧シリンダ９１に供給する空気圧を調整することにより、押圧力に対向し得る引張力の大きさを調整することができる。
【００４７】
また、本実施の形態３においては、連結用板体１３を上方に付勢するのに、当該連結用板体１３の上方に配置された空気圧シリンダ９１により行うようにしたが、図１１に示すように、連結用板体１３と取付用フランジ１ａとの間に空気圧シリンダ９１を配置して、連結用板体１３を下方から上方に付勢するように構成してもよい。
【００４８】
この構成によれば、図１１に示すように、取付用フレームおよび台座部が不要となり、装置のコンパクト化、軽量化および製作コストの低減化を図ることができる。
なお、図１０および図１１に示した空気圧シリンダ９１については、連結用板体１３の台座部５２と取付用フレーム５１との間、または連結用板体１３と取付用フランジ１ａとの間に配置されるが、連結用板体１３側が少なくとも水平方向に移動し得るため、空気圧シリンダ９１の両端部には自在継手が介装される。また、図１１において、空気圧シリンダ９１の下側であるシリンダ本体を取付用フランジ１ａ側に固定するとともに、上側であるロッド部の先端に転動用ボール（ボール軸受）を配置して、単に、下側から連結用板体１３を支持するだけの構成にしてもよい。
【００４９】
ところで、上述した各実施の形態においては、有機ＥＬ材料をガラス基板に蒸着させる真空蒸着装置におけるアライメント装置として説明したが、勿論、真空蒸着の対象としては、この有機ＥＬ材料に限定されるものでもなく、例えば半導体装置の製造に際して、真空容器内でマスクを用いて基板上に導体パターンを形成するための装置であれば、どのような真空蒸着装置にでも適用し得るものである。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の実施の形態１に係るアライメント装置が設けられた真空蒸着装置の概略構成を示す断面図である。
【図２】同アライメント装置における基板ホルダおよびマスクの概略斜視図である。
【図３】同アライメント装置の概略斜視図である。
【図４】同アライメント装置の断面図である。
【図５】同アライメント装置における平面内移動装置の平面図で、（ａ）は平面内移動装置の構成を示すもので、（ｂ）〜（ｆ）はその動作を説明するものである。
【図６】同アライメント装置における基板とマスクとの位置合わせ動作を説明する平面図である。
【図７】本発明の実施の形態２に係るアライメント装置の断面図である。
【図８】同実施の形態２に係るアライメント装置の変形例を示す断面図である。
【図９】同実施の形態２に係るアライメント装置の他の変形例を示す断面図である。
【図１０】本発明の実施の形態３に係るアライメント装置の断面図である。
【図１１】同実施の形態３に係るアライメント装置の変形例の断面図である。
【符号の説明】
【００５１】
１      アライメント装置
１ａ    取付用フランジ
１ｂ    貫通穴
２      蒸着室
３      真空容器
５      ガラス基板
６      マスク
１１      基板ホルダ
１２      吊持部材
１２ａ    連通用穴
１３      連結用板体
１４      位置調整手段
１５      筒状遮断部材
１６      付勢手段
１８      上部環状取付座
２１      平面内移動装置
２２      鉛直移動装置
５１      取付用フレーム
５２      台座部
５３      下部環状取付座
５５      筒状遮断部材
５６      連通用穴
６１      コイルばね
７１      空気ばね
８１      カウンタウエイト
９１      空気圧シリンダ
【図１】
2005240121.tif 000003
【図２】
2005240121.tif 000004
【図３】
2005240121.tif 000005
【図４】
2005240121.tif 000006
【図５】
2005240121.tif 000007
【図６】
2005240121.tif 000008
【図７】
2005240121.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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