(57)【要約】【課題】各種薄膜材料をバー状に切断・ダイシングする薄膜材料加工装置において、接着剤ワックスを使用せず、ワックス接着及びワックスの加熱取除き・冷却及び洗浄の工程を省き、切断後のバー状ウエハに反りが出ない薄膜材料加工装置を提供。【解決手段】ダイシングテーブル８上に載置され、移動・位置決めされ、真空チャック11で吸着された薄膜材料のウエハであるワーク１の一端部７に沿って横方向に平面研削するカップ砥石９で平面研削を行い、その後、カップ砥石９で平面研削された後のワーク１の一端部７をワーク保持装置16により直接に真空吸着され、ワークの一端部７を一端部７に平行な線に沿ってワーク１を切断砥石15によりバー状に切断・ダイシングする。カップ砥石９は切断・ダイシング砥石15とを組み合わせたデュアル砥石30とし同一の主軸14に軸回可能に支持されている。【選択図】図４
2005041155.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
載置した薄膜材料のウエハであるワークを下方に吸着する吸着チャック上面を有するダイシングテーブルと、ダイシングテーブル上に載置したワークを移動・位置決めする移動・位置決め装置と、移動・位置決めされたワークの一端部を前記一端部に沿って横方向に平面研削する平面研削装置と、平面研削された後の前記ワークの一端部を一端部に垂直方向に直接に真空吸着する複数個の開口穴又は長穴を設けた吸着チャックを有するワーク保持装置と、垂直方向で吸着された前記一端部に平行な線に沿って前記ワークをバー状に切断・ダイシングする切断砥石装置と、バー状に切断・ダイシングされた後の吸着されたバー状の前記ワークをワーク保持装置と共にバー状ワークを取外し位置まで移動させるワーク保持装置移動装置と、を有することを特徴とする薄膜材料加工装置。
【請求項２】
前記平面研削する平面研削装置の平面研削砥石と、前記切断砥石装置の切断砥石とは、両者を組み合わせたデュアル砥石とし、同一の主軸に軸回可能に支持されるようにし、前記平面研削と前記切断・ダイシングとを、段取り替えなしで加工できるようにしたことを特徴とする請求項１記載の薄膜材料加工装置。
【請求項３】
前記ワーク保持装置移動装置と、前記ワーク保持装置移動装置に設けた前記バー状ワークを支持するズレ防止ノッチ及び真空を解き前記バー状ワークを取外すバー状ワーク取外し装置を含む搬送装置とを自動制御するようにすることにより、切断後のバー状ワークは自動送り、自動回収できるようにしたことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の薄膜材料加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は薄膜磁気ヘッドのような各種薄膜材料をバー状に切断・ダイシングする加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の薄膜磁気ヘッドのような各種薄膜材料をバー状に切断・ダイシングする薄膜材料加工装置としては、例えば特許文献１に開示する図８に示すものがあった。この薄膜材料加工装置では、図８（ａ）の斜視図に示すように、ウエハ１をベース板である捨て板２に接着剤ワックス３で貼付け、（ｂ）の概略加工側面図に示すように、ワックス３で貼付けたウエハ１を捨て板２と共にダイシング砥石４を往復させて複数回で切断し、（ｃ）の概略加工後の正面図に示すように、ウエハ１をバー状に切断し、（ｄ）の斜視図に示すように、切断されたバー状ウエハ５を捨て板２から分離・洗浄し、他の治具６に再度接着して図示しない研削装置で研削加工して仕上げていた。加工前のウエハ１の形状は、例えば幅50mm程度、長さ150 mm、厚み1.2 mmの板状のものなどであった。
【特許文献１】特開平７−２８３１７４号公報  図５
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら従来の図８に示すような薄膜材料加工装置では、加工前のウエハ１のワックス接着（加熱、冷却設備）及びワックスの取除き、洗浄の工程が必要であり、又洗浄後他の治具６に再度接着して研削を行うが、ワックス接着及びワックスの加熱取除き、冷却及び洗浄の工程のため、切断後のバー状ウエハ５に反りが出て、加工量が不均一になり、研削加工・検査に手間がかかった。
【０００４】
本発明の課題は、薄膜磁気ヘッドのような各種薄膜材料をバー状に切断・ダイシングする薄膜材料加工装置において、接着剤ワックスを使用せず、ワックス接着及びワックスの加熱取除き・冷却及び洗浄の工程を省き、切断後のバー状ウエハに反りが出ない薄膜材料加工装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
このため本発明は、載置した薄膜材料のウエハであるワークを下方に吸着する真空チャック上面を有するダイシングテーブルと、ダイシングテーブル上に載置したワークを移動・位置決めする移動・位置決め装置と、移動・位置決めされたワークの一端部を前記一端部に沿って横方向に平面研削する平面研削装置と、平面研削された後の前記ワークの一端部を一端部に垂直方向に直接に真空吸着する複数個の開口穴又は長穴を設けた吸着チャックを有するワーク保持装置と、垂直方向で吸着された前記一端部に平行な線に沿って前記ワークをバー状に切断・ダイシングする切断砥石装置と、バー状に切断・ダイシングされた後の吸着されたバー状の前記ワークをワーク保持装置と共にバー状ワークを取外し位置まで移動させるワーク保持装置移動装置と、を有することを特徴とする薄膜材料加工装置を提供することによって上記した従来製品の課題を解決した。
【発明の効果】
【０００６】
かかる構成により、本発明の薄膜材料加工装置は、ワークの一端部を平面研削し、その後のワークの一端部をその垂直方向に直接に真空吸着する横方向吸着チャックを有するワーク保持装置で真空吸着して切断砥石装置でワークをバー状に切断・ダイシングする構造にしたことにより、接着剤ワックスを使用せず、ワックス接着及びワックスの加熱取除き・冷却及び洗浄の工程を省き、切断後のバー状ウエハに反りが出ない薄膜材料加工装置を提供するものとなった。又、切断後のバー状ウエハ側面は真空吸着された状態でワーク保持装置に保持されるので、加工後に飛散することがない。さらに、切断・ダイシングする前にワークの一端部を平面研削するようにしたので、バー状ウエハに反りの影響がなく、加工量も均一になり、研削加工・検査に手間がかからない薄膜材料加工装置を提供するものとなった。
【０００７】
好ましくは、前記平面研削する平面研削装置の平面研削砥石と、前記切断砥石装置の切断砥石とは、両者を組み合わせたデュアル砥石とし、同一の主軸に軸回可能に支持されるようにすることにより、前記平面研削と前記切断・ダイシングとを、段取り替えなしで加工できる薄膜材料加工装置を提供するものとなった。
【０００８】
より好ましくは、前記ワーク保持装置移動装置と、前記ワーク保持装置移動装置に設けた前記バー状ワークを支持するズレ防止ノッチ及び真空を解き前記バー状ワークを取外すバー状ワーク取外し装置を含む搬送装置とを自動制御するようにすることにより、切断後のバー状ワークは自動送り、自動回収できるものとなった。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明を実施するための最良の形態の一例を図１乃至図７を参照して説明する。図１は、本発明を実施するための最良の形態の一例であるダイシングテーブル８上に載置され、移動・位置決め装置20で移動・位置決めされ、真空チャック11で吸着された薄膜材料のウエハであるワーク１の一端部７に沿って横方向に平面研削する平面研削装置であるカップ砥石９とを示す概略斜視図である。ダイシングテーブル８上面に、載置したワーク１の下方を吸着する真空チャック11が設けられており、さらにダイシングテーブル上に載置したワーク１を移動・位置決めする移動・位置決め装置20がダイシングテーブル８に隣接して設けられている。カップ砥石９は回転されワーク１の一端部７に沿って矢印10方向横方向に移動して平面研削を行う。図２は図１のワーク１を真空チャック11で吸着したダイシングテーブル８及び平面研削装置の概略側面図で、真空チャック11の真空経路12をグレイで示す。真空チャック11はダイシングテーブル８上に図示しない多数の開口穴と開口穴を連結する真空経路12で構成される。平面研削用カップ砥石９は切断・ダイシング砥石15を組み合わせたデュアル砥石30とし同一の主軸14に軸回可能に支持されている。
【００１０】
図３は図１のカップ砥石９で平面研削された後のワーク１の一端部７をワーク保持装置16によりワーク１の一端部７に垂直方向に直接に真空吸着されたワークの一端部７を一端部７に平行な線に沿って矢印19方向横方向にワーク１をバー状に切断・ダイシングする切断砥石装置である切断砥石15を示す概略斜視図、図４は図３の平面研削装置であるカップ砥石９、ワーク保持装置16及び切断砥石装置15を示す概略側面図で真空吸着チャック17の真空経路18をグレイで示す。図５（ａ）は図４でバー状に切断・ダイシングされた残りのワーク１が送り装置20で次の切断・ダイシングをする位置まで移動・位置決めされた状態を示す概略斜視図、（ｂ）は切断・ダイシングされたバー状ワーク21が真空吸着された状態でワーク保持装置16と共にバー状ワーク21を取外し位置までワーク保持装置移動装置22により移動された状態を示す概略斜視図を示す。バー状ワーク21は図示しない真空を解きバー状ワークを取外すバー状ワーク取外し装置を含む搬送装置の上に、取外し装置で真空を解かれて落下し、後工程に送られる。ワーク保持装置移動装置22と、バー状ワーク取外し装置を含む搬送装置とを自動制御するようにすることにより、切断後のバー状ワークは自動送り、自動回収できるようにされている。
【００１１】
図６は図４のワーク保持装置16のバー状ワークの吸着面の真空経路を点線で示す説明図で、（ａ）ではワーク保持装置16はワークの一端部に開口する多数の開口穴23と各開口穴23を連結する真空経路18で構成される。真空経路18と連結された真空取出口24は図示しない真空ポンプと接続される。（ｂ）ではワーク保持装置16はワークの一端部に開口する長溝25と連結された真空経路18で構成される。
【００１２】
図７は図４のワーク保持装置16で点線で示すバー状ワーク21が吸着面で真空吸着された状態で示す吸着穴形状及びのズレ防止ノッチの取付け状態を示す説明図で、（ａ）ではワーク保持装置16はバー状ワーク21の一端部に開口する多数の開口穴23を有し、（ｂ）では（ａ）にズレ防止ノッチ26が設けられている説明図、（ｃ）ではワーク保持装置16はバー状ワーク21の一端部に開口する長溝25を有し、（ｄ）では（ｃ）にズレ防止ノッチ26が設けられている説明図、をそれぞれ示す。
〔本発明の最良の実施形態の効果〕
以上述べたように、本発明の最良の実施形態においては、ワークの一端部を平面研削し、その後のワークの一端部をその垂直方向に直接に真空吸着する横方向吸着チャックを有するワーク保持装置で真空吸着して切断砥石装置でワークをバー状に切断・ダイシングする構造にしたことにより、接着剤ワックスを使用せず、ワックス接着及びワックスの加熱取除き・冷却及び洗浄の工程を省き、切断後のバー状ウエハに反りが出ない薄膜材料加工装置を提供するものとなった。又、切断後のバー状ウエハ側面は真空吸着された状態でワーク保持装置に保持されるので、加工後に飛散することがない。さらに、切断・ダイシングする前にワークの一端部を平面研削するようにしたので、バー状ウエハに反りの影響がなく、加工量も均一になり、研削加工・検査に手間がかからない薄膜材料加工装置を提供するものとなった。
【００１３】
好ましくは、前記平面研削する平面研削装置の平面研削砥石と、前記切断砥石装置の切断砥石とは、両者を組み合わせたデュアル砥石とし、同一の主軸に軸回可能に支持されるようにすることにより、前記平面研削と前記切断・ダイシングとを、段取り替えなしで加工できる薄膜材料加工装置を提供するものとなった。
【００１４】
より好ましくは、前記ワーク保持装置移動装置と、前記ワーク保持装置移動装置に設けた前記バー状ワークを支持するズレ防止ノッチ及び真空を解き前記バー状ワークを取外すバー状ワーク取外し装置を含む搬送装置とを自動制御するようにすることにより、切断後のバー状ワークは自動送り、自動回収できるものとなった。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明を実施するための最良の形態の一例であるダイシングテーブル８上に載置され、移動・位置決め装置20で移動・位置決めされ、真空チャック11で吸着された薄膜材料のウエハであるワーク１の一端部７に沿って横方向に平面研削する平面研削装置であるカップ砥石９とを示す概略斜視図。
【図２】。
【００１６】
図１のワーク１を真空チャック11で吸着したダイシングテーブル８及び平面研削装置の概略側面図で、真空チャック11の真空経路12をグレイで示す。
【図３】図１の平面研削装置であるカップ砥石９で平面研削された後のワーク１の一端部７をワーク保持装置16によりワーク１の一端部７に垂直方向に直接に真空吸着されたワークの一端部７を一端部７に平行な線に沿って矢印19方向横方向にワーク１をバー状に切断・ダイシングする切断砥石装置15を示す概略斜視図。
【図４】図３の平面研削装置であるカップ砥石９、ワーク保持装置16及び切断砥石装置15を示す概略側面図で、真空吸着チャック17の真空経路18をグレイで示す。
【図５】（ａ）は図４でバー状に切断・ダイシングされた残りのワーク１が送り装置20で次の切断・ダイシングをする位置まで移動・位置決めされた状態を示す概略斜視図、（ｂ）は切断・ダイシングされたバー状ワーク21が真空吸着された状態でワーク保持装置16と共にバー状ワーク21を取外し位置までワーク保持装置移動装置22により移動された状態を示す概略斜視図を示す。
【図６】図４のワーク保持装置16のバー状ワークの吸着面の真空経路を示す説明図で、（ａ）ではワーク保持装置16はワークの一端部に開口する多数の開口穴23と各開口穴23を連結する真空経路18で構成され、（ｂ）ではワーク保持装置16はワークの一端部に開口する長溝25と連結された真空経路18で構成される。
【図７】図４のワーク保持装置16で点線で示すバー状ワーク21が吸着面で真空吸着された状態で示す吸着穴形状及びのズレ防止ノッチの取付け状態を示す説明図で、（ａ）ではワーク保持装置16はバー状ワーク21の一端部に開口する多数の開口穴23を有し、（ｂ）では（ａ）にズレ防止ノッチ26が設けられている。（ｃ）ではワーク保持装置16はバー状ワーク21の一端部に開口する長溝25を有し、（ｄ）では（ｃ）にズレ防止ノッチ26が設けられている説明図、をそれぞれ示す。
【図８】従来の薄膜材料加工装置の、（ａ）はウエハ１をベース板である捨て板２に接着剤ワックス３で貼付けた状態を示す斜視図、（ｂ）は従来の薄膜材料加工装置の概略切断・ダイシング加工側面図、（ｃ）は切断・ダイシング加工後の概略正面図、（ｄ）は（ｃ）で切断・ダイシング加工されたバー状ウエハ５を他の治具６に再度接着した状態を示す斜視図をそれぞれ示す。
【符号の説明】
【００１７】
１  ウエハであるワーク
７  ワーク１の一端部  
８  ダイシングテーブル
９  平面研削装置であるカップ砥石
11  真空チャック
12  真空経路
15  切断砥石装置である切断・ダイシング砥石
16  ワーク保持装置
17  真空吸着チャック
18  真空経路
20  ワーク送り装置
21  バー状ワーク
22  ワーク保持装置移動装置
23  開口穴
25  長溝
26  ズレ防止ノッチ
30  デュアル砥石
【図１】
2005041155.tif 000003
【図２】
2005041155.tif 000004
【図３】
2005041155.tif 000005
【図４】
2005041155.tif 000006
【図５】
2005041155.tif 000007
【図６】
2005041155.tif 000008
【図７】
2005041155.tif 000009
【図８】
2005041155.tif 000010