(57)【要約】【課題】過大な負荷などの外乱要因に対して適切な制御が行えるようにすること。【解決手段】所定ピッチで配置された駆動電極１０５を有する固定子１０２と、上記駆動電極１０５に対向して移動方向に周期的に帯状の負に帯電した帯電領域１０４を設けたエレクトレットフィルムでなる移動子１０１と、上記駆動電極１０５に接続され、周期的に出力電圧が変化する多相の駆動パルス電源と、上記固定子１０２に対して固定されたセンシング電極１０６と、上記センシング電極１０６に接続され、電位変化を検知する電位計測回路とを備え、上記駆動電極１０５と上記移動子１０１との間に作用する静電気力によって上記移動子１０１が変位する静電アクチュエータにおいて、上記駆動パルス電源の駆動信号と上記移動子１０１の変位に伴い変化する上記電位計測回路の出力信号とを比較する制御回路を更に設ける。【選択図】      図１
2005333722.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定ピッチで配置された駆動電極を有する固定基板と、
上記駆動電極に対向して移動方向に周期的に変化する電位分布を有する移動子と、
上記固定基板の駆動電極に接続され、周期的に出力電圧が変化する多相の駆動電源と、
上記固定基板に対して固定された電位検出電極と、
上記電位検出電極に接続され、電位変化を検知する電位変化検知手段と、
を備え、
上記固定基板の駆動電極と上記移動子との間に作用する静電気力によって上記移動子が変位する静電アクチュエータにおいて、
上記駆動電圧源の駆動信号と、上記移動子の変位に伴い変化する上記電位変化検知手段の出力信号とを比較する比較手段を更に具備することを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項２】
上記比較手段が、所定周期の上記駆動電源の出力電圧の周期の回数である駆動パルス数と、上記電位変化検知手段の出力信号の周期の回数である変位パルス数とを比較することを特徴とする請求項１に記載の静電アクチュエータ。
【請求項３】
上記比較手段は、上記移動子の目標位置までに必要な上記変位パルス数がカウントされるまで、上記駆動電源に上記出力電圧を出力させることを特徴とする請求項２に記載の静電アクチュエータ。
【請求項４】
上記比較手段は、上記駆動パルス数よりも上記変位パルス数が少ない場合は、上記駆動電源の駆動を停止することを特徴とする請求項２に記載の静電アクチュエータ。
【請求項５】
上記比較手段は、上記駆動パルス数よりも上記変位パルス数が少ない場合は、上記駆動電源の出力電圧の電圧を高めることを特徴とする請求項２に記載の静電アクチュエータ。
【請求項６】
上記比較手段は、上記駆動パルス数よりも上記変位パルス数が少ない場合は、上記駆動電源の出力電圧の周波数を低くすることを特徴とする請求項２に記載の静電アクチュエータ。
【請求項７】
上記比較手段は、上記駆動パルス数と上記変位パルス数とが等しい場合は、上記駆動電源の出力電圧の電圧を低くすることを特徴とする請求項２に記載の静電アクチュエータ。
【請求項８】
上記比較手段は、上記駆動パルス数と上記変位パルス数とが等しい場合は、上記駆動電源の出力電圧の周波数を高くすることを特徴とする請求項２に記載の静電アクチュエータ。
【請求項９】
上記比較手段が、所定周期の上記駆動電源の出力電圧の周期と上記電位変化検知手段の出力信号との位相差である位相ズレを求めることを特徴とする請求項１に記載の静電アクチュエータ。
【請求項１０】
上記比較手段は、上記位相ズレが所定の値を超えたときは、上記駆動電源の駆動を停止することを特徴とする請求項９に記載の静電アクチュエータ。
【請求項１１】
上記比較手段は、上記位相ズレが所定の値を超えたときは、上記駆動電源の出力電圧の電圧を高めることを特徴とする請求項９に記載の静電アクチュエータ。
【請求項１２】
上記比較手段は、上記位相ズレが所定の値を超えたときは、上記駆動電源の出力電圧の周波数を低くすることを特徴とする請求項９に記載の静電アクチュエータ。
【請求項１３】
上記比較手段は、上記位相ズレが所定の値よりも小さい場合は、上記駆動電源の出力電圧の電圧を低くすることを特徴とする請求項９に記載の静電アクチュエータ。
【請求項１４】
上記比較手段は、上記位相ズレが所定の値よりも小さい場合は、上記駆動電源の出力電圧の周波数を高くすることを特徴とする請求項９に記載の静電アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固定子と移動子との間に作用する静電気力により移動子を移動させる静電アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
単純な構成で効率の良い駆動が可能な走査型静電アクチュエータの実用化が期待されている。特に、移動子にエレクトレットを用いたエレクトレット静電アクチュエータは、移動子への配線が不要であり、比較的低電圧での駆動が可能であり、小出力，小型のアクチュエータに適している。
【０００３】
このようなエレクトレット静電アクチュエータとしては、例えば、特許文献１に開示されている。この特許文献１に開示されているエレクトレット静電アクチュエータの駆動方法について、図１１を用いて簡単に説明する。先ず、移動子２０のエレクトレット２２が固定子１０の所定の固定子電極１２の真上にくるように設定する。固定子電極１２の各端子Ａ〜Ｃに印加する電圧を全て負電圧にすると、移動子２０側から固定子１０側へ向かう電気力線が生じ、移動子２０が固定子１０に吸着される（状態ａ）。次に、Ａ端子に正電圧、Ｂ端子に負電圧、Ｃ端子に０電位がそれぞれ印加され、Ａ端子電極側から隣接したＢ端子電極側へ向かう電気力線が形成される（状態ｂ）。その結果、エレクトレット２２の正電荷は電気力線に沿った力を受けて、浮上し、且つ右方向へ電極１ピッチ分移動する（状態ｃ）。次に、全ての固定子電極１２が負電位にされて、電気力線が形成され、移動子２０が固定子１０に吸着される（状態ｄ）。この工程を繰り返すことによって、移動子２０を連続的に変位させることができる。
【特許文献１】特開平４−１１２６８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献１に開示の駆動方法では、基本的に移動子２０の変位量は駆動電極である固定子電極１２（端子Ａ〜Ｃ）に印加されたパルス数で決まるので、オープンループでの位置制御が可能である。しかしながら、用途によっては、過大な負荷などの外乱要因で正常な駆動ができなくなる可能性がある。
【０００５】
本発明は、上記の点に鑑みてなされたもので、過大な負荷などの外乱要因に対して適切な制御が可能な静電アクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の静電アクチュエータの一態様は、
所定ピッチで配置された駆動電極を有する固定基板と、
上記駆動電極に対向して移動方向に周期的に変化する電位分布を有する移動子と、
上記固定基板の駆動電極に接続され、周期的に出力電圧が変化する多相の駆動電源と、
上記固定基板に対して固定された電位検出電極と、
上記電位検出電極に接続され、電位変化を検知する電位変化検知手段と、
を備え、
上記固定基板の駆動電極と上記移動子との間に作用する静電気力によって上記移動子が変位する静電アクチュエータにおいて、
上記駆動電圧源の駆動信号と、上記移動子の変位に伴い変化する上記電位変化検知手段の出力信号とを比較する比較手段を更に具備することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、過大な負荷などの外乱要因に対して適切な制御が可能な静電アクチュエータを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面を参照して説明する。
【０００９】
［第１実施形態］
図１は、本発明の第１実施形態に係る静電アクチュエータの構成を示す平面図であり、この静電アクチュエータにおいては、移動子１０１が固定子１０２の上部に配置されている。ここで、移動子１０１は、固定子１０２に対して、図中の矢印の方向に変位する。
【００１０】
図２は、説明を容易にするために、移動子１０１と固定子１０２とを分離して図示したものである。
【００１１】
移動子１０１は、フッ素樹脂フィルム１０３に周期的に帯状の負に帯電した帯電領域１０４を設けたエレクトレットフィルムである。
【００１２】
固定子１０２は、樹脂又はガラス基板の両面に金属電極が形成された構成で、表面側（移動子１０１が配置される側）に、帯状の駆動電極１０５とセンシング電極１０６とが形成されている。また、基板の裏面には駆動配線１０８，１０９，１１０，１１１が形成され、コンタクト孔１０７を介して駆動電極１０５に電気的に接続されている。ここで、図示したように駆動電極１０５は４本周期で駆動配線１０８，１０９，１１０，１１１に対して接続されている。また、センシング電極１０６は、駆動電極１０５の８本分にあたる周期で配置され、固定子１０２上の移動子１０１の変位方向において、駆動配線１０８に接続された駆動電極１０５に対応した部位に形成されている。そして、センシング電極１０６が配置された近傍においては駆動電極１０５は形成されていない。また、センシング電極１０６は、基板の裏面に配置されたセンシング配線１１２に、コンタクト孔１０７を介して電気的に接続されている。なお、特に図示しないが、駆動配線１０８，１０９，１１０，１１１とセンシング配線１１２は外部回路にリード線を介して接続されており、駆動配線１０８，１０９，１１０，１１１は４相パルス電源に、センシング配線１１２は電位計測回路にそれぞれ接続されているものとする。
【００１３】
また、図３は、図２におけるＡ−Ａ’線及びＢ−Ｂ’線での断面図である。この図から分かるように、移動子１０１の帯電領域１０４の周期は、固定子１０２の駆動電極１０５の８本分に対応し、これはセンシング電極１０６の周期に等しい。
【００１４】
次に、本実施形態に係る静電アクチュエータの動作について、図４乃至図６を用いて説明する。
【００１５】
図４は、本実施形態に係る静電アクチュエータの電極の結線について模式的に示した図である。即ち、固定子１０２では、駆動電極１０５はＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄの各相の配線に接続され、これらは４相パルス電源に接続される。ここで、Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの各相の配線は、駆動配線１０８，１０９，１１０，１１１に接続された配線にそれぞれ対応する。
【００１６】
図５は、移動子１０１を変位させるための駆動パルスを示す図である。即ち、Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの各相に順次正電圧パルスを印加し、ある相に正電圧パルスが印加されている時に他の相には負電圧が印加されている。
【００１７】
ここで、図５に示した時刻ｔ１，ｔ２，ｔ３，ｔ４における移動子１０１の動作について図６を用いて説明する。
【００１８】
即ち、時刻ｔ１においては、駆動電極１０５におけるＡ相に対応する電極のみに正電圧が印加されて、他の電極には負電圧が印加される。このため、移動子１０１に負に帯電した帯電領域１０４は、駆動電極１０５のＡ相に対応する電極に引き込まれる。時刻ｔ２においては、Ｂ相に対応する電極のみに正電圧が印加されるので、帯電領域１０４は駆動電極１０５のＢ相に対応する電極に引き込まれる。同様に、時刻ｔ３，ｔ４においては、帯電領域１０４は駆動電極１０５のＣ相，Ｄ相にそれぞれ引き込まれ、時刻ｔ５では再び帯電領域１０４は駆動電極１０５のＢ相に対応する電極に引き込まれる。これを繰り返すことによって、移動子１０１を連続的に変位させることができる。
【００１９】
次に、本実施形態における変位検知方法について、図７及び図８を用いて説明する。
【００２０】
図７は、図４に示した時刻ｔ１，ｔ２，ｔ３，ｔ４におけるセンシング電極１０６と移動子１０１との位置関係を示している。時刻ｔ１においては、センシング電極１０６−１及び１０６−２の直上に移動子１０１の帯電領域１０４が位置するので、帯電領域１０４の負電荷の影響でこれらの電極の電位が低下する。次に、時刻ｔ２，ｔ３，ｔ４においては、帯電領域１０４の位置は駆動電極１０５の直上にはないので、センシング電極１０６の電位に対する帯電領域の影響は小さくなり、時刻ｔ５においては再びセンシング電極１０６−２の直上に移動子１０１の帯電領域１０４が位置するので、帯電領域１０４の負電荷の影響でこれらの電極の電位が低下する。また、図２に示したように、センシング電極１０６の近傍にあっては駆動電極１０５は形成されていないので、駆動電極１０５に印加される駆動パルスの影響を十分に小さくすることができる。
【００２１】
以上の説明から、センシング配線１１２に接続された電位計測回路（図示せず）の出力波形は、その電位計測回路の特性に強く依存するが、例えば図８に示したようになる。なお、ここでは分かり易くするために、駆動電極のＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄ相に印加される電圧も併せて示している。なお、時刻ｔ１における値が時刻ｔ５における値よりも大きいのは、時刻ｔ１ではセンシング電極１０６−１及び１０６−２の２つの電極の直上に帯電領域１０４が存在するのに対して、時刻ｔ５では直上に帯電領域１０４が存在するセンシング電極は１０６−２のみであるためである。
【００２２】
ここで、この電位計測回路の出力波形において例えば適当な閾値によって波形の立ち下がりを捕らえることによって、センシング電極１０６の直上を帯電領域１０４が通過する回数をカウントして移動子１０１の変位をモニタすることができる。
【００２３】
また、本実施形態のように、センシング電極１０６を離散的に複数配置して、移動子１０１がどの位置に存在する場合においても少なくとも一つのセンシング電極１０６が移動子１０１の直下に存在するようにできる。このセンシング電極１０６の必要な間隔については、移動子１０１の変位方向の長さに依存し、移動子１０１と固定子１０２の長さや可動範囲によっては一つのセンシング電極１０６で常に移動子変位のモニタが可能である場合もある。
【００２４】
このように、センシング電極１０６を一つもしくは比較的少数とすることによって、固定子１０２の移動子１０１に対向する部位に対するセンシング電極１０６が占める面積の割合を小さくすることが可能で、これによって固定子１０２の移動子１０１に対向する部位に対する駆動電極１０５が占める面積の割合を大きくして、変位モニタ機構を内包することによる駆動力の低下を抑制することができる。
【００２５】
このように、本実施形態においては、駆動出力が大きく、変位モニタ機能を内包した静電アクチュエータを得ることができる。
【００２６】
次に、本実施形態に係る静電アクチュエータの、変位モニタ機能を用いた制御方法について説明する。
【００２７】
図示しない駆動パルス電源を制御する不図示の制御回路は、起動時の駆動パルスは所定の標準電圧及び標準周波数とするが、Ａ相の駆動パルスと、上記電位計測回路の出力波形からカウントされるパルス数（以下、変位パルス数と称する）とを比較して、例えば下記のような駆動制御を行なうことができる。
【００２８】
１．移動子１０１の目標位置までに必要な変位パルス数がカウントされるまで駆動パルスを出力する。これによって、脱調が生じた場合にあっても目的の位置で移動子１０１を停止させることができる。
【００２９】
２．Ａ相の駆動パルス数よりも変位パルス数が少ない場合は脱調と判断して、駆動を停止する。
【００３０】
３．Ａ相の駆動パルス数よりも変位パルス数が少ない場合は脱調と判断して、駆動パルス電源からより高電圧の駆動パルスを印加する。ただし、印加電圧には上限値を設ける。
【００３１】
４．Ａ相の駆動パルス数よりも変位パルス数が少ない場合は脱調と判断して、駆動パルス電源からより低い周波数の駆動パルス印加する。ただし、駆動周波数には下限値を設ける。
【００３２】
５．Ａ相の駆動パルス数と変位パルス数とが等しい場合は駆動力に余裕があると判断して、消費電力を抑制するために駆動パルス電源からより低電圧の駆動パルスを印加する。ただし、印加電圧には下限値を設ける。
【００３３】
６．Ａ相の駆動パルス数と変位パルス数とが等しい場合は駆動力に余裕があると判断して、駆動速度を増大させるために駆動パルス電源からより高い周波数の駆動パルスを印加する。ただし、駆動周波数には上限値を設ける。
【００３４】
このように、脱調時には駆動を停止したり、駆動電圧の増大による駆動力の増加や、駆動周波数の低減による駆動速度の低下によって脱調を回避する。また、低負荷時にあっては、駆動電圧の低減によって消費電力を抑制したり、駆動周波数の増加によって駆動速度を向上させるなどの制御が可能となる。
【００３５】
また、Ａ相の駆動パルス波形と電位計測回路の出力波形とを比較してその位相差（以下、位相ズレと称する）を求めると、この値は移動子１０１に対する負荷に応じた値となるので、例えば下記のような駆動制御を行なうことができる。
【００３６】
７．位相ズレが所定の値を超えたときは過負荷と判断して、駆動を停止する。
【００３７】
８．位相ズレが所定の値を超えたときは過負荷と判断して、駆動パルス電源からより高電圧の駆動パルスを印加する。ただし、印加電圧には上限値を設ける。
【００３８】
９．位相ズレが所定の値を超えたときは過負荷と判断して、駆動パルス電源からより低い周波数の駆動パルス印加する。ただし、駆動周波数には下限値を設ける。
【００３９】
１０．位相ズレが所定の値よりも小さい場合は駆動力に余裕があると判断して、消費電力を抑制するために駆動パルス電源からより低電圧の駆動パルスを印加する。ただし、印加電圧には下限値を設ける。
【００４０】
１１．位相ズレが所定の値よりも小さい場合は駆動力に余裕があると判断して、駆動速度を増大させるために駆動パルス電源からより高い周波数の駆動パルスを印加する。ただし、駆動周波数には上限値を設ける。
【００４１】
このように、負荷が大きい時には駆動を停止したり、駆動電圧の増大による駆動力の増加や、駆動周波数の低減による駆動速度の低下によって脱調を回避する。また、低負荷時にあっては、駆動電圧の低減によって消費電力を抑制したり、駆動周波数の増加によって駆動速度を向上させるなどの制御が可能となる。
【００４２】
以上のように、本実施形態においては、内包された変位モニタ機能によって負荷の状態等に応じた静電アクチュエータの制御が可能である。
【００４３】
［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態について説明する。上記第１実施形態の方法では、移動子１０１の移動方向の判別はできなかったが、本実施形態はそれを可能とするためのものである。
【００４４】
図９は、本実施形態に係る静電アクチュエータにおける固定子２０１の構成を示している。ここで、図示しない移動子は、上記第１実施形態における移動子１０１と同様である。固定子２０１においても上記第１実施形態の固定子１０２と類似しており、よって、同様の部分には同じ参照番号を付し、その説明は省略する。
【００４５】
本実施形態における固定子２０１が上記第１実施形態の固定子１０２と異なる点は、上記第１実施形態にあってはセンシング電極１０６は駆動電極１０５のＡ相に対応する部位のみに設けられていたのに対して、本実施形態ではＢ相に対応する部位にも設けられていることである。即ち、Ａ相に対応するセンシング電極１０６−Ａに加えて、Ｂ相に対応するセンシング電極１０６−Ｂが形成されており、コンタクト孔１０７を介して第１センシング配線１１２−Ａ、第２センシング配線１１２−Ｂに接続されている。また、特に図示はしないが、外部リード線によって、第１センシング配線１１２−Ａは第１電位計測回路に、第２センシング配線１１２−Ｂは第２電位計測回路にそれぞれ接続されている。
【００４６】
本実施形態における移動子１０１の駆動方法は、上記第１実施形態と全く同様である。
【００４７】
ここで、駆動パルスと第１電位計測回路及び第２電位計測回路の出力波形について、第１実施形態における図８と同様に図１０に模式的に示す。第１センシング電極１０６−Ａと第２センシング電極１０６−Ｂとは、駆動電極１０５の１／４周期分だけずれているので、それに応じた時間遅れを伴った出力となる。このため、両者を比較することで方向判別が可能となる。
【００４８】
このように、本実施形態においては、駆動出力が大きく、方向判別を含んだ変位センシング機能を内包した静電アクチュエータを得ることができる。
【００４９】
以上実施形態に基づいて本発明を説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形や応用が可能なことは勿論である。
【００５０】
（付記）
前記の具体的実施形態から、以下のような構成の発明を抽出することができる。
【００５１】
（１）  所定ピッチで配置された駆動電極を有する固定基板と、
上記駆動電極に対向して移動方向に周期的に変化する電位分布を有する移動子と、
上記固定基板の駆動電極に接続され、周期的に出力電圧が変化する多相の駆動電源と、
上記固定基板に対して固定された電位検出電極と、
上記電位検出電極に接続され、電位変化を検知する電位変化検知手段と、
を備え、
上記固定基板の駆動電極と上記移動子との間に作用する静電気力によって上記移動子が変位する静電アクチュエータにおいて、
上記駆動電圧源の駆動信号と、上記移動子の変位に伴い変化する上記電位変化検知手段の出力信号とを比較する比較手段を更に具備することを特徴とする静電アクチュエータ。
【００５２】
（対応する実施形態）
この（１）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、第１及び第２実施形態が対応する。ここで、それらの実施形態において、駆動電極１０５が上記駆動電極に対応し、固定子１０２又は２０１が上記固定基板に対応し、周期的に配された帯状の負に帯電した帯電領域１０４が上記周期的に変化する電位分布に対応し、移動子１０１が上記移動子に対応し、駆動パルス電源が上記駆動電源に対応し、センシング電極１０６又は１０６−Ａ，１０６−Ｂが上記電位検出電極に対応し、図示しない電位計測回路が上記電位変化検知手段に対応し、図示しない制御回路が上記比較手段に対応する。
【００５３】
（作用効果）
この（１）に記載の静電アクチュエータによれば、駆動電圧源の駆動信号と、上記移動子の変位に伴い変化する上記電位変化検知手段の出力信号とを比較することで負荷の状態を検出でき、よって、その検出結果に応じて静電アクチュエータの駆動信号を制御することが可能となるので、効率の良い静電アクチュエータを提供することができる。
【００５４】
（２）  上記比較手段が、所定周期の上記駆動電源の出力電圧の周期の回数である駆動パルス数と、上記電位変化検知手段の出力信号の周期の回数である変位パルス数とを比較することを特徴とする（１）に記載の静電アクチュエータ。
【００５５】
（対応する実施形態）
この（２）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、第１及び第２実施形態が対応する。
【００５６】
（作用効果）
この（２）に記載の静電アクチュエータによれば、駆動パルス数と変位パルス数とを比較することで、脱調の発生や低負荷を検出できる。
【００５７】
（３）  上記比較手段は、上記移動子の目標位置までに必要な上記変位パルス数がカウントされるまで、上記駆動電源に上記出力電圧を出力させることを特徴とする（２）に記載の静電アクチュエータ。
【００５８】
（対応する実施形態）
この（３）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、第１及び第２実施形態が対応する。
【００５９】
（作用効果）
この（３）に記載の静電アクチュエータによれば、脱調が生じた場合にあっても目的の位置で移動子を停止させることができる。
【００６０】
（４）  上記比較手段は、上記駆動パルス数よりも上記変位パルス数が少ない場合は、上記駆動電源の駆動を停止することを特徴とする（２）に記載の静電アクチュエータ。
【００６１】
（対応する実施形態）
この（４）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、第１及び第２実施形態が対応する。
【００６２】
（作用効果）
この（４）に記載の静電アクチュエータによれば、脱調時に、駆動を停止することによって、その脱調を回避することができる。
【００６３】
（５）  上記比較手段は、上記駆動パルス数よりも上記変位パルス数が少ない場合は、上記駆動電源の出力電圧の電圧を高めることを特徴とする（２）に記載の静電アクチュエータ。
【００６４】
（対応する実施形態）
この（５）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、第１及び第２実施形態が対応する。
【００６５】
（作用効果）
この（５）に記載の静電アクチュエータによれば、脱調時に、駆動電圧の増大による駆動力の増加によって、その脱調を回避することができる。
【００６６】
（６）  上記比較手段は、上記駆動パルス数よりも上記変位パルス数が少ない場合は、上記駆動電源の出力電圧の周波数を低くすることを特徴とする（２）に記載の静電アクチュエータ。
【００６７】
（対応する実施形態）
この（６）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、第１及び第２実施形態が対応する。
【００６８】
（作用効果）
この（６）に記載の静電アクチュエータによれば、脱調時に、駆動周波数の低減による駆動速度の低下によって、その脱調を回避することができる。
【００６９】
（７）  上記比較手段は、上記駆動パルス数と上記変位パルス数とが等しい場合は、上記駆動電源の出力電圧の電圧を低くすることを特徴とする（２）に記載の静電アクチュエータ。
【００７０】
（対応する実施形態）
この（７）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、第１及び第２実施形態が対応する。
【００７１】
（作用効果）
この（７）に記載の静電アクチュエータによれば、低負荷時にあっては、駆動電圧の低減によって消費電力を抑制することができる。
【００７２】
（８）  上記比較手段は、上記駆動パルス数と上記変位パルス数とが等しい場合は、上記駆動電源の出力電圧の周波数を高くすることを特徴とする（２）に記載の静電アクチュエータ。
【００７３】
（対応する実施形態）
この（８）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、第１及び第２実施形態が対応する。
【００７４】
（作用効果）
この（８）に記載の静電アクチュエータによれば、低負荷時にあっては、駆動周波数の増加によって駆動速度を向上させることができる。
【００７５】
（９）  上記比較手段が、所定周期の上記駆動電源の出力電圧の周期と上記電位変化検知手段の出力信号との位相差である位相ズレを求めることを特徴とする（１）に記載の静電アクチュエータ。
【００７６】
（対応する実施形態）
この（９）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、第１及び第２実施形態が対応する。
【００７７】
（作用効果）
この（９）に記載の静電アクチュエータによれば、位相ズレを求めることで、負荷の大きさ検出できる。
【００７８】
（１０）  上記比較手段は、上記位相ズレが所定の値を超えたときは、上記駆動電源の駆動を停止することを特徴とする（９）に記載の静電アクチュエータ。
【００７９】
（対応する実施形態）
この（１０）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、第１及び第２実施形態が対応する。
【００８０】
（作用効果）
この（１０）に記載の静電アクチュエータによれば、負荷が大きい時には駆動を停止することによって、脱調を回避することができる。
【００８１】
（１１）  上記比較手段は、上記位相ズレが所定の値を超えたときは、上記駆動電源の出力電圧の電圧を高めることを特徴とする（９）に記載の静電アクチュエータ。
【００８２】
（対応する実施形態）
この（１１）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、第１及び第２実施形態が対応する。
【００８３】
（作用効果）
この（１１）に記載の静電アクチュエータによれば、負荷が大きい時には、駆動電圧の増大による駆動力の増加によって、脱調を回避することができる。
【００８４】
（１２）  上記比較手段は、上記位相ズレが所定の値を超えたときは、上記駆動電源の出力電圧の周波数を低くすることを特徴とする（９）に記載の静電アクチュエータ。
【００８５】
（対応する実施形態）
この（１２）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、第１及び第２実施形態が対応する。
【００８６】
（作用効果）
この（１２）に記載の静電アクチュエータによれば、負荷が大きい時には、駆動周波数の低減による駆動速度の低下によって、脱調を回避することができる。
【００８７】
（１３）  上記比較手段は、上記位相ズレが所定の値よりも小さい場合は、上記駆動電源の出力電圧の電圧を低くすることを特徴とする（９）に記載の静電アクチュエータ。
【００８８】
（対応する実施形態）
この（１３）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、第１及び第２実施形態が対応する。
【００８９】
（作用効果）
この（１３）に記載の静電アクチュエータによれば、低負荷時にあっては、駆動電圧の低減によって消費電力を抑制することができる。
【００９０】
（１４）  上記比較手段は、上記位相ズレが所定の値よりも小さい場合は、上記駆動電源の出力電圧の周波数を高くすることを特徴とする（９）に記載の静電アクチュエータ。
【００９１】
（対応する実施形態）
この（１４）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、第１及び第２実施形態が対応する。
【００９２】
（作用効果）
この（１４）に記載の静電アクチュエータによれば、低負荷時にあっては、駆動周波数の増加によって駆動速度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００９３】
【図１】本発明の第１実施形態に係る静電アクチュエータの構成を示す平面図である。
【図２】移動子と固定子とを分離して示す平面図である。
【図３】図２におけるＡ−Ａ’線及びＢ−Ｂ’線での断面図である。
【図４】第１実施形態に係る静電アクチュエータの電極の結線について模式的に示した図である。
【図５】移動子を変位させるための駆動パルスを示す図である。
【図６】連続した時刻ｔ１，ｔ２，ｔ３，ｔ４における移動子の位置を示す図である。
【図７】時刻ｔ１，ｔ２，ｔ３，ｔ４におけるセンシング電極と移動子との位置関係を示す図である。
【図８】時刻ｔ１，ｔ２，ｔ３，ｔ４，ｔ５における駆動電極のＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄ相に印加される電圧と電位計測回路の出力とを模式的に示す図である。
【図９】本発明の第２実施形態に係る静電アクチュエータの構成を示す平面図である。
【図１０】時刻ｔ１，ｔ２，ｔ３，ｔ４，ｔ５における駆動電極のＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄ相に印加される電圧と第１及び第２電位計測回路の出力とを模式的に示す図である。
【図１１】従来のエレクトレット静電アクチュエータの構成を示す図である。
【符号の説明】
【００９４】
１０１…移動子、  １０２，２０１…固定子、  １０３…フッ素樹脂フィルム、  １０４…帯電領域、  １０５…駆動電極、  １０６，１０６−１，１０６−２，１０６−Ａ，１０６−Ｂ…センシング電極、  １０７…コンタクト孔、  １０８，１０９，１１０，１１１…駆動配線、  １１２，１１２−Ａ，１１２−Ｂ…センシング配線。
【図１】
2005333722.tif 000003
【図２】
2005333722.tif 000004
【図３】
2005333722.tif 000005
【図４】
2005333722.tif 000006
【図５】
2005333722.tif 000007
【図６】
2005333722.tif 000008
【図７】
2005333722.tif 000009
【図８】
2005333722.tif 000010
【図９】
2005333722.tif 000011
【図１０】
2005333722.tif 000012
【図１１】
2005333722.tif 000013