(57)【要約】      （修正有）【課題】空間を効率的に用い、特性を変化させない可変容量マイクロフォンを提供する。【解決手段】音圧に反応する振動板の面積を一定寸法以上とし、可変容量マイクロフォンの各構成要素の水平断面を楕円形や陸上競技場トラック形状に変形して、小型化、薄型化となっている各種の電子製品の内部空間を最小限に占めつつ、音圧に対する感度を低下させないようにする。また、ケースの下面に円形の折曲部を設けるか、または、円弧形、三角形、四角形の溝を形成して、可変容量マイクロフォンの製造工程におけるカーリング工程中に加わる外圧に対し、ケースの平坦度と振動板と固定電極との間のギャップを一定に維持する。【選択図】図２
2005086831.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水平断面が楕円形であり、最下面に音波流入口が穿孔された容器形状を有し、最上端の段部が折曲され内部の構成要素を固定させる金属製のケースと、
上記ケース内に位置し、上記音波流入口を通った音波により振動板が振動できるようにケース内の空間を保持し、振動板の外面を把持し、水平断面が楕円形である振動板プレートと、
上記振動板プレート上に位置し、音波流入口を通った音波により振動し、電荷が蓄積されたフィルム金属板を有する振動板と、
上記振動板上に位置し、音波により振動板が振動可能なように、振動板と固定電極との間のエアギャップを維持する絶縁材料からなるスペーサと、
上記スペーサ上に位置し、ケースと固定電極、及び、ケースと連結リングとの絶縁状態を維持し、各部を支持してぐらつきを防止し、全体の変形を防止する絶縁材料からなるベースと、
上記振動板と向かい合う面に電荷が蓄積されたフィルム形状の金属材料からなり、複数個の通孔が穿孔され、水平断面が楕円形の形状であり、上記ベース内に位置して、スペーサにより振動板と一定間隔のエアギャップを維持する固定電極と、
上記ベース内及び固定電極上に位置し、整合用ＦＥＴのゲートと上記固定電極を接続する連結リングと、
導電材料でパターンが形成され、上記ケース内に設けられ、ケース及び連結リングと電気的に接続され、水平断面が楕円形状である印刷回路基板と、
上記印刷回路基板上に設けられ、上記振動板の振動による振動板と固定電極との間の静電容量の変化に基づく電位変化を電気信号に増幅変換するＦＥＴと
を含むことを特徴とする、空間を効率的に用いて特性が変化しない楕円形可変容量マイクロフォン。
【請求項２】
上記ケースの長さ(L)は4.2〜4.8mmであり、幅(W)は2.5〜3.1mmであることを特徴とする、請求項１記載の楕円形可変容量マイクロフォン。  
【請求項３】
上記ケース下面に位置し、音波流入口を通って集塵や湿気または異物がケース内へ入ることを防止するフィルタを更に備えていることを特徴とする、請求項１記載の楕円形可変容量マイクロフォン。 
【請求項４】
中央が周辺より高い円形または楕円形の折曲部を上記ケースの下面に設けたことを特徴とする、請求項１記載の楕円形可変容量マイクロフォン。
【請求項５】
上記ケースの下面に側面から一定間隔を隔てて、断面が三角、四角または円弧形の溝を形成することを特徴とする、請求項１記載の楕円形可変容量マイクロフォン。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、音圧により発生された静電容量の変化を電気信号に変換する可変容量マイクロフォンに関する。特に、本発明は、水平断面を楕円形とし、小型化、薄型化されている各種の電子製品の内部空間を最小限に占めながらも、音圧に対する感度を低下させない、空間を効率的に用いて、特性が変化しない楕円形可変容量マイクロフォンに関する。
【０００２】
また、本発明は、ケースの下面に円形または楕円形の折曲部をなすかまたは円形、三角形、四角形の溝を形成し、それにより、ケースの平坦度と、振動板と固定電極との間のギャップを一定に維持することで、可変容量マイクロフォンの特性が変化しないようにする、空間を効率的に用いて、特性が変化しない楕円形可変容量マイクロフォンに関する。 
【背景技術】
【０００３】
一般的に、可変容量マイクロフォンは、平行板コンデンサの静電容量変化を用いたマイクロフォンであって、一方には固定電極を設け、他方には固定電極と対向させて導電性の振動板を設けて、この両電極間に数10KΩの抵抗を介して高い直流電圧を印加する。従って、音圧による電極間のギャップが、両電極間の静電容量の変化として現われ、電気信号に変換される。
【０００４】
可変容量マイクロフォンの周波数特性は30kHz付近まで殆んど平坦であり、高忠実度のマイクロフォンであるが出力が小さい。測定用及び放送用の他に、最近では、携帯電話、PDA等のような移動通信端末機等に広範囲に適用されている。
【０００５】
このような可変容量マイクロフォンの動作理論及び原理を調べてみると、可変容量マイクロフォンの内部構成部品は非常に精密であり、また外部の電気ノイズに敏感であるので、集塵や異物の侵入や電気ノイズから十分に保護するために、音波流入口が形成された金属のケースに積層密封されている。 
【０００６】
音波流入口を通じてフィルム金属振動板に音波が到達した時、振動板が振動し、振動板と固定電極との間の距離変化、すなわち、音波による距離変化が生じるが、このような物理的変化の現象を電気的に変換して、静電容量の変化を把握することができる。 
【０００７】
通常、可変容量マイクロフォンは静電容量が少なく、また、電気的インピーダンスが高くて、一般の増幅器と直結して使用することができず、増幅器に必要な入力インピーダンスと整合させるために、インピーダンス変換素子であるFETと結合して使用するのが一般的である。 
【０００８】
ここで、FETは電界効果トランジスタであって、ソース、ゲート、ドレンの3端子とから構成された能動素子であり、ゲートの電位変化に基づいて、ドレンとソースとの間に流れる電流値が変化し、静電型可変容量マイクロフォンの基本作動回路を構成し、音波による電気的信号を得ることができる。 
【０００９】
可変容量マイクロフォンは、成極電圧である数百Ｖの外部供給ＤＣ電源を必要とするが、静電型可変容量マイクロフォンは、無極性可変容量マイクロフォンの一種であり、電荷蓄積特性が優れた高分子フィルムに金属を蒸着させて振動板として使用するか、または高分子フィルムを固定電極に取り付けて電荷を蓄積させることにより外部供給電源を省略したものである。
【００１０】
上記可変容量マイクロフォンを構成するケースと振動板プレート、振動板、スペーサ、固定電極、連結リング、ベース、印刷回路基板のような各構成要素は、それぞれの特性に会わせて別々に製造される。
【００１１】
上述したように設けられた構成要素のうち、可変容量マイクロフォンの外面をなす、すなわち、最外周側に位置するケースは、別の作業台の上に置かれ、この際、ケースの開口部は上方に向けられる。作業台の上に置かれたケース内に、振動板プレート、振動板、スペーサ、固定電極、連結リング、ベース及び印刷回路基板を順次設けて、別途のジグを用いてケースの段部を内側に折り曲げることで、可変容量マイクロフォンの製造工程が完了する。
【００１２】
しかし、前述のようにケース段部を内側に折曲させてケース内の構成要素等を固定する過程で、ケースの段部には、ない方及び下方へ向かう圧力が必然的に加わる。この圧力は、ケース段部を内方に折曲させるための力として作用するばかりでなく、ケースの側面に沿ってケースの下面まで伝達され、ケース下面を撓ませる力としても作用する。 
【００１３】
すなわち、ケース上段部を側面から押し付けると、ケースの上部には内方への力が加わり、反対にケースの下方部には外方への力が加わる。そのため、単純な平板形状を有するケース下面の中央部位が下へ垂れると同時に、ケース内の振動板プレート、振動板、固定電極、連結リング、ベース及び印刷回路基板等が下方または上方に撓む現状が起る。 
【００１４】
従って、設計時の振動板と固定電極との間のギャップが変化し、設計時の可変容量マイクロフォンの特性が設計時のものとは異なってしまう。すなわち、振動板と固定電極との間のギャップが一定ではなくなり、互いに異なる方向から入る音響に対して互いに異なる反応をするようになる。
【００１５】
また、携帯電話やPDA等のような電子製品が小型化するに従って、ケース内の構成要素等の配列や形状は変形及び改善されている。しかしながら、ケースの水平断面は依然として円形であり、電子製品の内部空間が効率的に利用されていない。
【００１６】
すなわち、可変容量マイクロフォンが設けられる携帯電話やPDA等のような電子製品内の空間が電子製品の端部に長方形に形成されているのに対し、可変容量マイクロフォンの水平断面は円形であり、長方形の空間を効率的に活用することができない。  
【００１７】
特に、音波に対する適当な反応感度を得るために、可変容量マイクロフォンの水平断面の面積を一定範囲以上に保たなければならないので、可変容量マイクロフォンの直径を小さくするには限界があり、電子製品内で可変容量マイクロフォンが占める空間を減らすことができない。 
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
本発明の目的は、可変容量マイクロフォンの水平断面を楕円形とし、可変容量マイクロフォンの直径を大きくしなくても可変容量マイクロフォンの水平断面、特に振動板の水平断面を大きくすることにより、各種の電子製品の内部空間を最小限に占めながらも、音圧に対する感度を最大限とする可変容量マイクロフォンを提供することにある。 特に、本発明の目的は、可変容量マイクロフォンの特性を強化しつつ、可変容量マイクロフォンの寸法を小さくすることにある。
【００１９】
また、本発明の他の目的は、可変容量マイクロフォンの外面に相当するケースの下面に、中央が周辺より高く円形または楕円形に折曲部をなすか、または三角、四角或は円弧形の溝を形成することにより、可変容量マイクロフォンを製造する工程におけるカーリング工程の際に加わる外圧に対して、ケースの下面が下方または上方に撓んだり垂れたりすることを防止する可変容量マイクロフォンを提供することにある。
【００２０】
また、本発明の更に他の目的は、ケースの下面の変形を防止することにより、ケース内の振動板プレート、振動板、スペーサ、固定電極、連結リング、ベース及び印刷回路基板等の変形を防止させることができ、振動板と固定電極との間のギャップが一定に維持され、可変容量マイクロフォンの特性が変化しないようにすることにある。
【００２１】
また、本発明の更に他の目的は、振動板と固定電極との間のギャップが一定に維持されるので、ケースの音波流入口を通る音響の流入方向に関係なく、いずれの方向から入る音響に対してばらつかないように反応させることにある。 
【００２２】
また、本発明の更に他の目的は、ケースの音波流入口と振動板との間のギャップを最小とし、周辺の低い音圧にも振動板が均一に振動できるようにすることにより、可変容量マイクロフォンの反応感度を高めることにある。 
【課題を解決するための手段】
【００２３】
空間を効率的に用い、特性が変化しない本発明による楕円形可変容量マイクロフォンは、水平断面が楕円形であり、最下面に音波流入口が穿孔された容器形状を有し、最上端の段部が折曲され内部の構成要素を固定する金属製のケースと、上記ケース内に位置し、上記音波流入口を通った音波により振動板が振動できるようにケース内の空間を保持し、振動板の外面を把持し、水平断面が楕円形である振動板プレートと、上記振動板プレート上に位置し、音波流入口を通った音波により振動し、電荷が蓄積されたフィルム金属板を有する振動板と、上記振動板上に位置し、音波により振動板が振動可能なように、振動板と固定電極との間のエアギャップを維持する絶縁材料からなるスペーサと、上記スペーサ上に位置し、ケースと固定電極、及び、ケースと連結リングとの絶縁状態を維持し、各部を支持してぐらつきを防止し、全体の変形を防止する絶縁材料からなるベースと、上記振動板と向かい合う面に電荷が蓄積されたフィルム形状の金属材料からなり、複数個の通孔が穿孔され、水平断面が楕円形の形状であり、上記ベース内に位置して、スペーサにより振動板と一定間隔のエアギャップを維持する固定電極と、上記ベース内及び固定電極上に位置し、整合用ＦＥＴのゲートと上記固定電極を接続する連結リングと、導電性材料でパターンが形成され、上記ケース内へ設けられ、ケース及び連結リングと電気的に接続され、水平断面が楕円形状である印刷回路基板と、上記印刷回路基板上に設けられ、上記振動板の振動により振動板と固定電極との間の静電容量の変化に基づく電位変化を電気信号に増幅変換するＦＥＴを含むことを特徴としている。
【００２４】
本発明によれば、上記ケースの長さ(L)は4.2〜4.8mmであり、幅(W)は2.5〜3.1mmであるのが好ましい。
【００２５】
本発明によれば、上記ケース下面に位置し、音波流入口を通って集塵や湿気または異物がケース内へ入ることを防止するフィルタを更に備えているのが好ましい。
【００２６】
本発明によれば、中央が周辺より高い円形または楕円形の折曲部を上記ケースの下面に設けるのが好ましい。
【００２７】
本発明によれば、上記ケースの下面に側面から一定間隔を隔てて、三角、四角或は円弧形の溝を形成するのが好ましい。
【００２８】
本発明によれば、上記ケースの下面が円形または楕円形であるのが好ましい。
【発明の効果】
【００２９】
本発明によれば、可変容量マイクロフォンの水平断面が大きくされ、携帯電話やPDAのような電子製品の内部空間に対応し、電子製品の内部空間を最小限に占めつつ音圧に対する感度を低下させない効果がある。特に、本発明は、可変容量マイクロフォンの感度が増大され、寸法が最小となることで可変容量マイクロフォンが装着される携帯電話やPDAのような移動通信端末機や各種の電子製品の高品質化及び小型化に寄与することができる。  
【００３０】
また、本発明によれば、可変容量マイクロフォンの外面に相当するケースの下面に、中央が周辺より高い円形または楕円形の折曲部を設けるか、または四角、三角、円弧形の溝を形成することにより、可変容量マイクロフォンを製造する工程におけるカーリング工程中に加わる外圧に対して、ケースの下面が下方または上方に撓んだり垂れたりすることを防止できるようになる。
【００３１】
さらに、本発明によれば、ケースの下面の変形を防止することでケース内の振動板プレート、振動板、スペーサ、固定電極、連結リング、ベース及び印刷回路基板の変形を防止することができ、振動板と固定電極との間のギャップが一定に維持され可変容量マイクロフォンの特性が変化しない。
【００３２】
またさらに、本発明によれば、振動板と固定電極との間のギャップが一定に維持されるので、ケースの音波流入口を通った音響の流入方向に関係なく、いずれの方向から入る音響に対してばらつかないように反応する。
【００３３】
またさらに、本発明によれば、ケースの音波流入口と振動板との間のギャップを最小限とし、周辺の低い音圧にも振動板が振動できるようになっている。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
図１は、本発明による可変容量マイクロフォンの斜視図であって、黄銅軟質のような金属材料により水平断面が楕円形状または陸上競技場トラック形状の容器形状に形成されたケース（８）内には、振動板プレート、振動板、スペーサ、ベース、固定電極、連結リング及び印刷回路基板（１）等が順次設けられ、ケース（８）の段部（８ｂ）が内方に折曲されて、上記した構成要素が固定されている。
【００３５】
上記印刷回路基板（１）の底面にはＦＥＴを始めとして各種の素子を半田付けするためのパターンが形成されていて、上記印刷回路基板（１）の上面には電子製品のＰＣＢと電気的な接続のためのパターン（１ａ）（１ｂ）が形成されている。この際、印刷回路基板（１）に貫通孔が形成され、ＦＥＴが固定される。
【００３６】
上記した可変容量マイクロフォンの構成を、図２ないし図５により更に具体的に説明する。  
【００３７】
図面で最下端に位置している下面に複数個の音波流入口（８ａ）が穿孔されたケース（８）は、携帯電話やPDA等のような電子製品に装着される時、既存の可変容量マイクロフォンの感度を維持するかまたは上昇させながら電子製品の端部や隅部にある長方形の空間を効率的に利用できるように、楕円または陸上競技場トラック形状の水平断面を有している。 
【００３８】
ここで、ケース（８）の水平断面の大きさ、すなわち長さ(L)を4.2〜4.8mmに、幅(W)を2.5〜3.1mmに設定して、特性に影響を与えずに、可変容量マイクロフォンの大きさを最小化することができる。  
【００３９】
上記容器形状を有するケース（８）の材料としては、黄銅軟質等のような導電材料を用いることができ、ケース（８）の表面に2〜3μmのニッケル(Ni)を、次いで、0.02〜0.04μmの金(Au)をめっきすることが好ましい。 
勿論、ケース（８）内に設けられる振動板プレート（７）、振動板（６）、スペーサ（５）、ベース（４）、固定電極（３）、連結リング（２）及び印刷回路基板（１）の水平断面も、ケース（８）と同様に楕円または陸上競技場トラック形状を有し、それらの長さ及び幅は、ケース（８）内に設けられることが可能なように、ケース（８）の長さ及び幅よりも小とされている。
【００４０】
図示するように、ケース（８）の水平面である下面上に位置するドーナツ形状の振動板プレート（７）は、リン青銅のような金属材料からなり、表面に2〜3μmのNiがめっきされている。 
【００４１】
特に、振動板プレート（７）の上部に音波流入口（８ａ）を通った音により振動する振動板（６）、すなわち、電荷が蓄積されたフィルム金属極板が取り付けられていて、薄板である振動板（６）をケース（８）内へ設ける際、損傷されることなく、平坦状態を維持することができる。 
【００４２】
すなわち、振動板（６）と一体型に取りつけられた状態でケース（８）内に設けられる振動板プレート（７）は、音波流入口（８ａ）を通った音圧により振動板（６）が振動できるようにケース（８）内部の空間を保ち、振動板（６）の平坦状態を維持できるように振動板（６）の外周を把持するように機能する。 また、振動板プレート（７）は、振動板（６）をケース（８）と電気的に連結するように機能する。
【００４３】
上記振動板（６）の材料としてはフィルム形状の金属板、即ちAu-PETフィルム等が使用可能である。 
【００４４】
上記振動板（６）の上に位置するスペーサ（５）は、ポリエステルフィルムのような絶縁材料からなり、振動板（６）が振動するように、振動板（６）と固定電極（３）との間のエアギャップを維持する。スペーサ（５）は、振動板（６）の振動のための空間を確保するために中央が空いたドーナツ形状となっている。
【００４５】
上記スペーサ（５）の上に位置する固定電極（３）は、黄銅材料の円板を複数個の通孔（３ａ）を有する楕円または陸上競技場トラック形状に加工処理したもので、表面に2〜3μmのNiがめっきされ、振動板（６）と対向する固定電極（３）の底面（３ｂ）に、電荷が蓄積されたフィルムが取り付けられている。
【００４６】
従って、振動板（６）と固定電極（３）のフィルム面がギャップを隔てて互いに対向して配置されているので、振動板（６）と固定電極（３）は通常のコンデンサのような構造をなしている。 
【００４７】
勿論、振動板（６）と固定電極（３）の形状や配列はこれに限定されず、バックタイプ、フロントタイプ及びフォイルタイプ等、多様なものとすることができる。 
【００４８】
振動板プレート（７）、振動板（６）、スペーサ（５）、ベース（４）及び固定電極（３）に次いで、順次積層された連結リング（２）と印刷回路基板（１）とは、ケース（８）の段部（８ｂ）を内側に折り曲げることにより、ケース（８）内に保持される。
【００４９】
ここで、黄銅のような金属材料からなる連結リング（２）には、まず2〜3μmのNiが、次いで、0.02〜0.04μmのAuがめっきされ、整合用ＦＥＴ（図示しない）のゲートと固定電極（３）とを電気的に接続するように機能する。
【００５０】
図３に示すように、上記印刷回路基板（１）の上面には、導電材料により電子製品のＰＣＢとの電気的な接続のためのパターン（１ａ）（１ｂ）が形成されており、図４に示すように、下面にはＦＥＴを含む各種の素子等を半田付けするためのパターン（１ｇ）（１ｓ）（１ｄ）が形成されている。 
【００５１】
ここでＦＥＴは、振動板(6)の振動による振動板（６）と固定電極（３）との間の静電容量の変化による電位変化を電気信号に増幅変換するように機能する。また、スペーサ（５）の上部、すなわち、ケース（８）と固定電極（３）、及び、ケース（８）と連結リング（２）との間には、アセタール或はガラス繊維のような絶縁材料から形成されたベース（４）が設けられており、これはケース（８）と固定電極（３）、及び、ケース（８）と連結リング（２）の絶縁状態を維持するように、素子を支持してぐらつきを防止し、全体の変形を防止するように機能する(図５参照)。 
【００５２】
また、音波流入口（８ａ）が穿孔されたケース（８）下面に不織布のようなフィルタ（９）が取り付けられており、音波流入口（８ａ）からの集塵や湿気及び異物を、振動板（６）を含むケース（８）内の各構成要素に固着させないようにすることで、可変容量マイクロフォンの特性に悪影響を及ぼすことを防止することができる。 
【００５３】
図６は、図１ないし図５に開示された可変容量マイクロフォンのケース（８）の一つの例を示したもので、同一部材には同一符号を付し、具体的な説明を省略する。 
【００５４】
先ず、可変容量マイクロフォンの外面に相当するケース（８）は、アルミニウムや銅等のような導電材料からなり、振動板プレート（７）や印刷回路基板（１）のパターンのような端子と電気的に連結され、接地機能をなす。このケース（８）の下面には音の流入のための複数の音波流入口（８ａ）が形成されている。 また、音波流入口（８ａ）の外周側、すなわちケース（８）の側壁から一定距離を隔てて、周辺より中央が高い折曲部（１０）が形成されており、外圧による下面の変形が防止されている。
【００５５】
このケース（８）には、必要に応じてAuやNi等がめっきされ、接地機能が強化される。次に説明する仕上げ(curling)工程後、音波流入口（８ａ）を除く残りの部分は、外部からの音が可変容量マイクロフォンの内部へ入ることを防止するように機能する。
【００５６】
特に、図７に示すように、ケース（８）の中央が周辺に比べて高く形成されているので、振動板（６）とケース（８）の音波流入口（８ａ）とのギャップが小となり、振動板（６）を外部から加わる音圧に対して、より敏感に反応させることができる。
【００５７】
図７に示すように、上記した構造のケース（８）内に、振動板（６）が接着された振動板プレート（７）、スペーサ（５）、固定電極（３）、連結リング（２）、ベース（４）、印刷回路基板（１）を順次設けた後、段部（８ｂ）を内方に折曲させることにより、仕上げ工程であるカーリング工程を実施する。
【００５８】
図８は、ケース（８）の他の例を示す断面図であり、図６及び図７に開示された折曲部（１０）に代ってケース(8)下面に凹溝（１１）を形成したものである。
【００５９】
ケース（８）の下面には、図６及び図７と同様に可変容量マイクロフォンを製造する過程で加わる外圧にもかかわらず、ケース（８）や振動板（６）が接着された振動板プレート（７）、スペーサ（５）、固定電極（３）、連結リング（２）、ベース（４）、印刷回路基板（１）の変形や特性変化を防止する凹溝（１１）がケース（８）の側面から一定間隔を隔てて円形に形成されている。
【００６０】
ここで、ケース（８）の下面に形成された凹溝（１１）の垂直断面を、四角形状や三角形状または円弧形状等とすることができる。
【００６１】
また、本発明では、可変容量マイクロフォンを構成するケースと振動板プレート、振動板、スペーサ、固定電極、連結リング、ベース及び印刷回路基板のような構成要素の水平断面を円形または楕円形等のように多様な形態に変形しても同一の効果を得ることができる。また、可変容量マイクロフォンを構成する構成要素の種類や大きさ及び配列を変えても同一の効果を得ることができるのは勿論である。
【００６２】
図１ないし図８の可変容量マイクロフォンにおいて、音波流入口（８ａ）を通った音波により振動板（６）が振動し、それにより、振動板（６）と固定電極（３）との間のギャップが変化し、それらの間の静電容量が変化する。
【００６３】
このため、固定電極（３）の電位は、音波に対応して変化してＦＥＴのゲートに入力されるので、ＦＥＴのソースからドレンに流れる電流は、音波に対応して増幅される。
【００６４】
このようにして、可変容量マイクロフォンは、音波流入口（８ａ）を通った音波を電気信号に変換して増幅させることができる。 
【産業上の利用可能性】
【００６５】
本発明は、家庭で使用される音響機器と各種の放送装備及び録音装備、ディジタルカメラ等に装着され、音声や音響等を収集するマイクにおける技術に関し、各種の装備等の小型化、高品質化、薄型化に寄与することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】空間を効率的に用いて、特性が変化しない、本発明による楕円形可変容量マイクロフォンの斜視図である。
【図２】空間を効率的に用いて、特性が変化しない、本発明による楕円形可変容量マイクロフォンの分解斜視図である。
【図３】印刷回路基板の半田付けのためのパターンが形成された面の平面図である。
【図４】印刷回路基板の半田付けのためのパターンが形成された面の平面図である。
【図５】空間を効率的に用いて、特性が変化しない、本発明による楕円形可変容量マイクロフォンの断面図である。
【図６】本発明の一実施例による可変容量マイクロフォンのケースの切り欠き斜視図である。
【図７】図６に開示されたケースを有する可変容量マイクロフォンの断面図である。
【図８】本発明の他の実施例によるケースを有する可変容量マイクロフォンの断面図である。
【符号の説明】
【００６７】
１          印刷回路基板
１ａ、１ｂ  パターン
１ｄ、１ｇ、１ｓ  パターン
２          連結リング
３          固定電極
３ａ        通孔
３ｂ        底面
４          ベース
５          スペーサ
６          振動板
７          振動板プレート
８          ケース
８ａ        音波流入口
８ｂ        段部
９          フィルタ
１０        折曲部
１１        凹溝
【図１】
2005086831.tif 000003
【図２】
2005086831.tif 000004
【図３】
2005086831.tif 000005
【図４】
2005086831.tif 000006
【図５】
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【図６】
2005086831.tif 000008
【図７】
2005086831.tif 000009
【図８】
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