(57)【要約】【課題】  複数色の着色画素が規則的に多数配列された被検査カラーフィルタ基板の色ムラを容易に精度良く検査する。【解決手段】  白色光源ランプ１と被検査カラーフィルタ基板１０との間に、被検査カラーフィルタ基板１０の青色着色画素１３とほぼ同一の透過スペクトル特性を有する青色フィルタ基板２０を備えた。これにより、被検査カラーフィルタ基板１０から出射（透過）される光のほとんどを青色着色画素１３からの透過光とすることができ、他の緑色着色画素１４および赤色着色画素１５からの透過光を無くす（または微小にする）ことができる。このため、青色着色画素１３の膜厚異常部（ムラ部分）で見られる透過光のわずかな強弱を、緑色着色画素１４や赤色着色画素１５からの透過光に邪魔されることなく検査でき、被検査カラーフィルタ基板１０の青色ムラを容易に精度良く検出することが可能となる。【選択図】図１
2005148637.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数色の着色画素が規則的に多数配列されたカラーフィルタ基板の色ムラを検査するカラーフィルタ基板の検査工程を含む表示装置の製造方法であって、前記検査工程では、連続スペクトルを有する白色光源と前記カラーフィルタ基板との間に、前記カラーフィルタ基板の着色画素のうち一色とほぼ同一の透過スペクトル特性を有する単色フィルタ基板を設置し、この単色フィルタ基板を介して前記白色光源からの光を前記カラーフィルタ基板に照射して、前記カラーフィルタ基板からの透過光に基づき前記カラーフィルタ基板を検査することを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項２】
請求項１記載の表示装置の製造方法であって、前記単色フィルタ基板が青色フィルタ基板であることを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項３】
複数色の着色画素が規則的に多数配列されたカラーフィルタ基板の色ムラを検査するカラーフィルタ基板の検査工程を含む撮像装置の製造方法であって、前記検査工程では、連続スペクトルを有する白色光源と前記カラーフィルタ基板との間に、前記カラーフィルタ基板の着色画素のうち一色とほぼ同一の透過スペクトル特性を有する単色フィルタ基板を設置し、この単色フィルタ基板を介して前記白色光源からの光を前記カラーフィルタ基板に照射して、前記カラーフィルタ基板からの透過光に基づき前記カラーフィルタ基板を検査することを特徴とする撮像装置の製造方法。
【請求項４】
請求項３記載の撮像装置の製造方法であって、前記単色フィルタ基板が青色フィルタ基板であることを特徴とする撮像装置の製造方法。
【請求項５】
複数色の着色画素が規則的に多数配列されたカラーフィルタ基板の色ムラを検出するカラーフィルタ基板の検査装置であって、連続スペクトルを有する白色光源と、前記白色光源と前記カラーフィルタ基板との間に設置され前記カラーフィルタ基板の着色画素のうち一色とほぼ同一の透過スペクトル特性を有する単色フィルタ基板とを備えたことを特徴とするカラーフィルタ基板の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラー液晶表示装置、カラープラズマディスプレイ等の表示装置の製造方法およびカラー撮像管、ＣＣＤカメラ等の撮像装置の製造方法、ならびにこれらの製造方法に用いられるカラーフィルタ基板の検査装置に関するものである。
詳しくは、表示装置の色発光用カラーフィルタ基板の検査工程を含む製造方法および撮像装置の色分解用カラーフィルタ基板の検査工程を含む製造方法、ならびにこれらの検査工程に用いられるカラーフィルタ基板の検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶表示装置などに用いられるカラーフィルタ基板は、ガラス基板上に遮光性を有するブラックマトリクスと、例えば赤色、緑色、青色のフィルタ機能を有する着色画素が、基板の全面にわたって所定の規則で多数配列されたものである。このカラーフィルタ基板をフォトリソグラフィ法によって製造した際に発生する欠陥の一つである色ムラは、各着色画素の膜厚の部分的な差が色の濃淡となって現われたものであり、例えば、塗布工程における各色フォトレジストの物性の変動、あるいは塗布条件、乾燥条件の変動によってもたらされる。塗布装置としてスピンコーターを用いた場合には、基板の中央部から周縁部に向かって放射状に発生するスジ状の色ムラとなり、また塗布装置としてスリットコーターを用いた場合には、基板の幅方向に直線状に発生するスジ状の色ムラとなる。
【０００３】
このような色ムラの検査方法としては、従来、光源と拡散板により面光源としたバックライトの前方に被検査カラーフィルタ基板を設置し、その透過光を目視によって検査する方法がとられていた。しかし、このように赤色、緑色、青色の着色画素で構成される被検査カラーフィルタ基板の３色を一括して同時に検査する方法では、重度の色ムラの良否判定は行えるものの、軽度の色ムラの良否判定は精度よく行うことができない。
【０００４】
特に、液晶表示装置において、赤色画素および緑色画素部分の液晶を光遮断状態にした、いわゆる青色表示時のみに視認される青色ムラは、カラーフィルタ基板の青色着色画素部の膜厚変動に起因するものであるが、上記の従来方法では、青色着色画素の膜厚異常部で見られる透過光のわずかな強弱が、他の赤色着色画素と緑色着色画素からの透過光に邪魔されるため、検出が難しいという問題があった。このため、被検査カラーフィルタ基板の前に１色の着色画素の光のみを透過し他の２色の着色画素からの光を遮光する検査用マスクを設ける方法も提案されているが、位置合わせに時間がかかる、また被検査カラーフィルタ基板と検査用マスクの接触によるカラ−フィルタ基板の傷つきが発生するなどの課題があった。
【０００５】
このような問題を解決する技術として、例えば特許文献１では、青色着色画素の色ムラを検出するカラーフィルタ検査方法および装置に関する技術が開示されている。この例では、カラーフィルタの色ムラ検査方法として、カラーフィルタに白色面光源光を照射し、その反射光または透過光を、カラーフィルタを構成する青色着色画素のピーク波長、すなわち略４５０ｎｍ±４０ｎｍを透過させる干渉フィルタを介し検査するものである。このような干渉フィルタを介することによって、青色以外の赤色着色画素、緑色着色画素からの透過光をカットすることができるため、上記のような検査用マスクは不要となる。
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−９８０３６号公報（第４頁、第６図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
このように、特許文献１に開示されたカラーフィルタ検査方法によれば、検査者の目に入射する光の波長スペクトルは、青色着色画素のピーク付近の波長領域のみであるため、青色着色画素のピーク波長領域の透過率が目視レベルでムラとして視認されるようなカラーフィルタの膜厚変動による色ムラを検出することは可能である。しかしながら、実際にカラーフィルタを用いて液晶表示装置を構成し、赤色画素と緑色画素部分の液晶を光遮断状態にした、いわゆる青色表示時のみに視認されるムラは、非常にわずかな青色カラーフィルタの膜厚変動で発生しているため、青色着色画素のピーク波長領域（選択透過領域）の透過率変動は少なく、青色着色画素の波長選択領域の裾の部分（低透過率領域）での透過率変動が大きい。さらに、わずかな膜厚変動で発生する青色着色画素のピーク波長領域でのわずかな透過率変動は、人間の比視感度特性で感度の低い波長領域であるため、特許文献１によるカラーフィルタ検査方法では、わずかな膜厚変動による色ムラは検出できないという問題があった。
【０００８】
本発明は、上記のような問題点を解消するためになされたもので、複数色の着色画素が所定の規則で多数配列された被検査カラーフィルタ基板の色ムラを、容易に精度良く検査することが可能なカラーフィルタ基板の検査工程を含む表示装置の製造方法および撮像装置の製造方法ならびにこれらの製造方法に用いられるカラーフィルタ基板の検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係わる表示装置の製造方法は、複数色の着色画素が規則的に多数配列されたカラーフィルタ基板の色ムラを検査するカラーフィルタ基板の検査工程を含む表示装置の製造方法であって、検査工程では、連続スペクトルを有する白色光源とカラーフィルタ基板との間に、カラーフィルタ基板の着色画素のうち一色とほぼ同一の透過スペクトル特性を有する単色フィルタ基板を設置し、この単色フィルタ基板を介して白色光源からの光をカラーフィルタ基板に照射して、カラーフィルタ基板からの透過光に基づきカラーフィルタ基板を検査するものである。
【００１０】
また、本発明に係わる撮像装置の製造方法は、複数色の着色画素が規則的に多数配列されたカラーフィルタ基板の色ムラを検査するカラーフィルタ基板の検査工程を含む撮像装置の製造方法であって、検査工程では、連続スペクトルを有する白色光源とカラーフィルタ基板との間に、カラーフィルタ基板の着色画素のうち一色とほぼ同一の透過スペクトル特性を有する単色フィルタ基板を設置し、この単色フィルタ基板を介して白色光源からの光をカラーフィルタ基板に照射して、カラーフィルタ基板からの透過光に基づきカラーフィルタ基板を検査するものである。
【００１１】
また、本発明に係わるカラーフィルタ基板の検査装置は、複数色の着色画素が規則的に多数配列されたカラーフィルタ基板の色ムラを検出するカラーフィルタ基板の検査装置であって、連続スペクトルを有する白色光源と、白色光源とカラーフィルタ基板との間に設置されカラーフィルタ基板の着色画素のうち一色とほぼ同一の透過スペクトル特性を有する単色フィルタ基板とを備えたものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、カラーフィルタ基板の検査工程において、白色光源とカラーフィルタ基板との間にカラーフィルタ基板の着色画素のうち一色とほぼ同一の透過スペクトル特性を有する単色フィルタ基板を設置することにより、カラーフィルタ基板からの透過光のほとんどを単色フィルタ基板と同じ色の着色画素からの透過光とすることができ、他の色の着色画素からの透過光を無くす（または微小にする）ことができる。これにより、単色フィルタ基板と同じ色の着色画素の膜厚異常部で見られる透過光のわずかな強弱を、他の色の着色画素からの透過光に邪魔されることなく検査することができ、カラーフィルタ基板の色ムラを容易に精度良く検出することが可能なカラーフィルタ基板の検査工程を含む表示装置の製造方法および撮像装置の製造方法を提供することが可能となる。
【００１３】
また、本発明によれば、白色光源とカラーフィルタ基板との間に設置されカラーフィルタ基板の着色画素のうち一色とほぼ同一の透過スペクトル特性を有する単色フィルタ基板を備えることにより、カラーフィルタ基板からの透過光のほとんどを単色フィルタ基板と同じ色の着色画素からの透過光とすることができ、この着色画素の膜厚異常部で見られる透過光のわずかな強弱を、他の色の着色画素からの透過光に邪魔されることなく検査することができるため、カラーフィルタ基板の色ムラを容易に精度良く検出することが可能なカラーフィルタ基板の検査装置が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下に、本発明を実施するための最良の形態である実施の形態１および実施の形態２について述べる。
【００１５】
実施の形態１．
本発明の実施の形態１を図面に基づいて説明する。図１は、本発明の実施の形態１であるカラーフィルタ基板の検査装置を示す概略図、図２は被検査カラーフィルタ基板の構造を示す図であり、（ａ）は部分平面図、（ｂ）は図２（ａ）中、Ｘ−Ｘで示す部分の断面図である。
【００１６】
カラー液晶表示装置、カラープラズマディスプレイ等の表示装置では、多数の表示素子の光を受けて色発光する色発光用カラーフィルタが用いられ、カラー撮像管、ＣＣＤカメラ等の撮像装置では、多数の撮像素子に対する光を色分解する色分解用カラーフィルタが用いられる。これらの表示装置および撮像装置は、それぞれのカラーフィルタの色ムラを検査する検査工程を経て製造される。図２の被検査カラーフィルタ基板１０は、これらの表示装置に用いられる色発光用カラーフィルタまたは撮像装置に用いられる色分解用カラーフィルタである。
【００１７】
本実施の形態１におけるカラーフィルタ基板検査装置３０は、複数色の着色画素が規則的に多数配列された被検査カラーフィルタ基板１０の色ムラを検出する検査装置であり、図１に示すように、タングステンランプまたはキセノンランプなど連続スペクトルを有する複数の白色光源ランプ１を備えている。これらの複数の白色光源ランプ１はハウジング２に収納され、発光面側となるハウジング２の主面２ａ上に拡散板３を設け、均一な白色面光源を形成している。
【００１８】
さらに、拡散板３上には、ガラス基板２１上に青色フィルタ層２３が形成された青色フィルタ基板２０が設けられている。なお、図１では、拡散板３と青色フィルタ基板２０は離れて設置されているが、重ねて設置してもよく、青色フィルタ基板２０の設置位置は、白色光源ランプ１と被検査カラーフィルタ基板１０の間であればよい。
【００１９】
次に、図２に示す被検査カラーフィルタ基板１０の構造について説明する。被検査カラーフィルタ基板１０は、図２に示すように、ガラス基板１１上に遮光性を有するブラックマトリクス１２がマトリクス状に形成され、さらに青色着色画素１３、緑色着色画素１４、赤色着色画素１５などの複数色の着色画素が、ガラス基板１１の全面にわたって規則的に多数配列されたものである。これらの各着色画素は、フォトリソグラフィ法により形成されている。
【００２０】
また、本実施の形態１では、青色フィルタ基板２０の青色フィルタ層２３を、被検査カラーフィルタ基板１０の青色着色画素１３と同―色材で形成している。すなわち、本実施の形態１によるカラーフィルタ基板検査装置３０は、複数の白色光源ランプ１と被検査カラーフィルタ基板１０との間に、被検査カラーフィルタ基板１０の着色画素のうち一色（本実施の形態では青色）と同一の透過スペクトル特性を有する青色フィルタ基板２０を備えたことを特徴としている。
【００２１】
本実施の形態１におけるカラーフィルタ基板検査装置３０を用いたカラーフィルタ基板の検査方法について図１を用いて説明する。連続スペクトルを有する白色光源ランプ１と被検査カラーフィルタ基板１０との間に、被検査カラーフィルタ基板１０の青色着色画素１３と同一の透過スペクトル特性を有する青色フィルタ基板２０を設置する。白色光源ランプ１からの光は、この青色フィルタ基板２０を介して被検査カラーフィルタ基板１０に照射され、検査者は被検査カラーフィルタ基板１０からの透過光を検査者目視部３１にて検査する。
【００２２】
次に、本実施の形態１におけるカラーフィルタ基板の検査方法の原理および特徴について、図３〜図６を用いて説明する。図３は、被検査カラーフィルタ基板１０の青色着色画素１３、緑色着色画素１４、赤色着色画素１５それぞれの透過スペクトル特性を示す図である。なお、図中Ｂは青色着色画素１３、Ｇは緑色着色画素１４、Ｒは赤色着色画素１５の透過スペクトル特性を示している。
【００２３】
また、図４の符号１００は本実施の形態１におけるカラーフィルタ検査装置３０に用いられる白色光源ランプ１の発光スペクトル特性、図５の符号２００は白色光源ランプ１から放射され青色フィルタ基板２０を通過した光、すなわち被検査カラーフィルタ基板１０に入射する光の発光スペクトル特性を示している。図３と図５を比較すると明らかなように、青色フィルタ基板２０の青色フィルタ層２３は、被検査カラーフィルタ基板１０の青色着色画素１３と同―色材で形成されているため、被検査カラーフィルタ１０に入射される光の発光スペクトル特性２００（図５）は、被検査カラーフィルタ基板１０の青色着色画素１３の透過スペクトル特性Ｂ（図３）と同様のものとなる。
【００２４】
さらに、図６は、白色光源ランプ１から放射され青色フィルタ基板２０を通過した光（図５に示す発光スペクトル特性２００の光）が、被検査カラーフィルタ基板１０に入射し、青色着色画素１３、緑色着色画素１４、赤色着色画素１５のそれぞれから出射（透過）された光の発光スペクトル特性を示している。すなわち、図６は、本実施の形態におけるカラーフィルタ基板検査装置３０の検査者が、検査者目視部３１（図１）において観察する発光スペクトル特性である。なお、図６中、符号３０１ａは被検査カラーフィルタ基板１０の青色着色画素（膜厚正常部）透過光の発光スペクトル特性、符号３０１ｂは被検査カラーフィルタ基板１０の青色着色画素（膜厚異常部）透過光の発光スペクトル特性、符号３０２は被検査カラーフィルタ基板１０の緑色着色画素透過光の発光スペクトル特性、符号４００は人の比視感度特性曲線を示している。
【００２５】
図６に示すように、本実施の形態１によるカラーフィルタ基板検査装置３０において、被検査カラーフィルタ基板１０から出射される発光スペクトルとしては、赤色着色画素１５からの出射光成分はほとんどない（図示せず）。また、緑色着色画素１４から出射される発光スペクトル３０２は、図５に示す被検査カラーフィルタ基板１０に入射される光の発光スペクトル２００と、図３に示す被検査カラーフィルタ基板１０の緑色着色画素１４の透過スペクトル特性Ｇとの重なり部分であるため、その出力は小さいものとなる。従って、被検査カラーフィルタ基板１０から出射される発光スペクトルのほとんどは、青色着色画素１３から出射される発光スペクトル（膜厚正常部３０１ａ、膜厚異常部３０１ｂ）となる。
【００２６】
このように、本実施の形態１におけるカラーフィルタ検査工程では、被検査カラーフィルタ基板１０の赤色着色画素１５から出射（透過）される赤色成分の発光スペクトルはほとんどなく、緑色着色画素１４から出射（透過）される緑色成分の発光スペクトル３０２も非常に微小であり、ほとんどが青色着色画素１３から出射（透過）される青色成分の発光スペクトル３０１ａ、３０１ｂとなる。このため、青色着色画素１３の膜厚異常部（ムラ部分）で見られる透過光のわずかな強弱が、他の赤色着色画素１５および緑色着色画素１４からの透過光に邪魔されることなく検査することが可能となる。
【００２７】
さらに、青色着色画素１３から透過される光のピーク波長領域付近の透過率変動だけでなく、裾の部分（低透過率領域）すなわち人の比視感度特性４００において感度の高い波長領域の透過率変動まで検査できるので、青色着色画素１３のわずかな膜厚変動によって生じる透過率特性の変動に対しても非常に高精度な色ムラ検査が可能となる。また、従来のように、被検査カラーフィルタ１０に１色の着色画素からの光のみを透過し他の色の着色画素からの光を遮光する検査用マスクを設ける必要がないため、位置合わせに時間を要することなく、簡単な作業で検査でき、検査用マスクとの接触による被検査カラ−フィルタ基板１０の傷つき等も発生しない。
【００２８】
これに対し、従来のカラーフィルタの色ムラ検査方法（特許文献１）について図８〜図１１を用いて説明し、本発明と従来例との違いを明らかにする。図８は、特許文献１に開示されたカラーフィルタ検査方法の一実施例を示している。なお、図８中、図１と同一、相当部分には同一符号を付し説明を省略する。図８に示すように、従来のカラーフィルタの色ムラ検査方法では、白色面光源３２からの光を、青色着色画素１３のピーク波長略４５０ｎｍ±４０ｎｍを選択的に透過させる干渉フィルタ３３を通して被検査カラーフィルタ基板１０に照射し、被検査カラーフィルタ基板１０からの透過光を目視によって検査するものである。
【００２９】
図９は、被検査カラーフィルタ基板１０の青色着色画素１３の透過スペクトル特性を示しており、図中、Ｂは膜厚正常部の透過スペクトル特性、Ｂ’は膜厚異常部の透過スペクトル特性を示している。また、図１０は、従来のカラーフィルタの色ムラ検査方法における干渉フィルタ３３の透過率特性５００を示している。この従来例における干渉フィルタ３３は、図１０に示すように、青色着色画素１３のピーク波長略４５０ｎｍ±４０ｎｍを選択的に透過させ、緑色着色画素１４、赤色着色画素１５からの透過光をカットするものである。図９と図１０を比較すると明らかなように、青色着色画素１３のわずかな膜厚変動による透過率変動は、干渉フィルタ３３の選択透過領域であるピーク波長領域付近においては少なく、選択透過領域のすその部分（低透過率領域）において大きいことがわかる。
【００３０】
さらに、図１１は干渉フィルタ３３と被検査カラーフィルタ基板１０を通して検査者目視部３１にて観察される光のスペクトル分布を、人の比視感度特性４００と共に示した図である。図中、符号６０１ａは被検査カラーフィルタ基板１０の青色着色画素（膜厚正常部）透過光の発光スペクトル、符号６０１ｂは被検査カラーフィルタ基板１０の青色着色画素（膜厚異常部）透過光の発光スペクトルを示している。図１１に示すように、この従来例によるカラーフィルタ検査方法では、検査者目視部３１にて観察される光の波長スペクトルは、青色着色画素１３のピーク波長領域付近のみであり、青色着色画素１３のわずかな膜厚変動による透過率変動が少ない上に、この波長領域は人の目に鈍感な波長領域である。
【００３１】
このように、本発明の実施の形態１と従来例において、検査者が目視する被検査カラーフィルタ基板１０からの透過光の発光スペクトル特性は、図６と図１１を比較すると明らかなように、その波長領域が全く異なるものである。すなわち、従来のカラーフィルタ検査方法においては、青色着色画素１３のピーク波長領域付近での透過率変動を観察しており、この波長領域は、わずかな膜厚変動による透過率変動が少ない上に、人の目に鈍感な波長領域であるため、わずかな膜厚変動による色ムラは検出できなかった。これに対し、本実施の形態１におけるカラーフィルタ基板の検査方法では、青色着色画素１３の低透過率領域（すその部分）、特に人の比視感度特性において感度の高い緑色波長領域側での透過率変動を観察できるため、わずかな膜厚変動による色ムラを容易に検出することが可能である。
【００３２】
なお、本実施の形態１では、青色フィルタ基板２０の青色フィルタ層２３を、被検査カラーフィルタ基板１０の青色着色画素１３と同―色材で形成したが、コスト面や生産性を考慮し、必ずしも青色着色画素１３と同―色材を用いる必要はない。ただし、青色着色画素１３とほぼ同一の透過スペクトル特性を示し、青色着色画素１３の透過率特性の低透過率領域であり比視感度特性の高い波長領域を一定割合で透過させ、且つ被検査カラーフィルタ基板１０の緑色着色画素１４を透過させる波長領域に対して低透過率特性となるフィルタ材料を用いる必要がある。
【００３３】
以上のように、本実施の形態１によるカラーフィルタ検査装置３０は、連続スペクトルを有する白色光源ランプ１と、この白色光源ランプ１と被検査カラーフィルタ基板１０との間に設置され、被検査カラーフィルタ基板１０の青色着色画素１３とほぼ同一の透過スペクトル特性を有する青色フィルタ基板２０とを備えることにより、被検査カラーフィルタ基板１０の緑色着色画素１４および赤色着色画素１５から出射される光を無くし（または微小にし）、被検査カラーフィルタ基板１０から出射される光のほとんどを青色着色画素１３から出射される光とすることができる。このため、青色着色画素１３の膜厚異常部（ムラ部分）で見られる透過光のわずかな強弱を、他の緑色着色画素１４や赤色着色画素１５からの透過光に邪魔されることなく検査することができ、被検査カラーフィルタ基板１０の青色ムラを容易に精度良く検出することが可能となる。
【００３４】
さらに、本実施の形態１によるカラーフィルタ基板の検査工程では、青色着色画素１３のわずかな膜厚変動によって生じる透過率特性の変動に関しても、青色着色画素１３のピーク波長領域付近の透過率変動だけでなく、人の比視感度特性において感度の高い青色着色画素１３の低透過率領域（裾の部分）の透過率変動まで検査することができるため、非常に高精度な色ムラの検出が可能となる。
【００３５】
実施の形態２．
上記実施の形態１では、白色光源ランプ１と被検査カラーフィルタ基板１０との間に青色フィルタ基板２０を設置し、被検査カラーフィルタ基板１０の青色ムラを高精度に検出する例について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。本発明の実施の形態２では、白色光源ランプ１と被検査カラーフィルタ１０との間に、赤色フィルタ基板を設置し、被検査カラーフィルタ基板１０の赤色ムラを高精度に検出するものである。なお、本実施の形態におけるカラーフィルタ基板検査装置の構成は、上記実施の形態１に示したカラーフィルタ基板検査装置３０の青色フィルタ基板２０を赤色フィルタ基板に置き換えた以外は上記実施の形態１と同様であるので、図１を流用して説明する。
【００３６】
本実施の形態２におけるカラーフィルタ基板検査装置３０ａは、タングステンランプまたはキセノンランプなど連続スペクトルを有する白色光源ランプ１をハウジング２に収納し、発光面側となるハウジング２の主面２ａ上に拡散板３を設け、均一な面光源を形成している。さらに、拡散板３上には、ガラス基板２１上に赤色フィルタ層２３aが形成された赤色フィルタ基板２０ａが設けられている。この赤色フィルタ基板２０ａの赤色フィルタ層２３ａは、被検査カラーフィルタ基板１０の赤色着色画素１５と同―色材で形成されている。
【００３７】
図７は、本実施の形態におけるカラーフィルタ基板検査装置３０ａにおいて、白色光源ランプ１から放射され赤色フィルタ基板２０ａを通過した光が被検査カラーフィルタ基板１０に入射し、青色着色画素１３、緑色着色画素１４、赤色着色画素１５のそれぞれから出射（透過）された光の発光スペクトル特性を示している。すなわち、図７は、本実施の形態におけるカラーフィルタ基板検査装置３０ａの検査者が、検査者目視部３１（図１）において観察する発光スペクトル特性である。なお、図７中、符号７０１ａは被検査カラーフィルタ基板１０の赤色着色画素（膜厚正常部）透過光の発光スペクトル特性、符号７０１ｂは被検査カラーフィルタ基板１０の赤色着色画素（膜厚異常部）透過光の発光スペクトル特性、符号３０３は被検査カラーフィルタ基板１０の緑色着色画素透過光の発光スペクトル特性、符号４００は人の比視感度特性曲線を示している。
【００３８】
図７に示すように、本実施の形態によるカラーフィルタ基板検査装置３０ａにおいて、被検査カラーフィルタ基板１０から出射される発光スペクトルとしては、青色着色画素１３からの出射光成分はほとんどない（図示せず）。また、緑色着色画素１４から出射される発光スペクトル３０３は、被検査カラーフィルタ基板１０に入射される赤色波長成分の光の発光スペクトルと、被検査カラーフィルタ基板１０の緑色着色画素１４の透過スペクトル特性Ｇ（図３参照）との重なり部分であるため、その出力は小さいものとなる。従って、被検査カラーフィルタ基板１０から出射される発光スペクトルのほとんどは、赤色着色画素１５から出射される発光スペクトル（膜厚正常部７０１ａ、膜厚異常部７０１ｂ）となる。
【００３９】
このように、本実施の形態２におけるカラーフィルタ検査工程では、被検査カラーフィルタ基板１０の青色着色画素１３から出射（透過）される青色成分の発光スペクトルはほとんどなく、緑色着色画素１４から出射（透過）される緑色成分の発光スペクトル３０３も非常に微小であり、ほとんどが赤色着色画素１５から出射（透過）される赤色成分の発光スペクトル７０１ａ、７０１ｂとなる。このため、赤色着色画素１５の膜厚異常部（ムラ部分）で見られる透過光のわずかな強弱を、他の青色着色画素１３および緑色着色画素１４からの透過光に邪魔されることなく検査でき、被検査カラーフィルタ基板１０の赤色ムラを容易に精度良く検出することが可能となる。
【００４０】
さらに、赤色着色画素１５から透過される光のピーク波長領域付近の透過率変動だけでなく、すその部分（低透過率領域）すなわち人の比視感度特性４００において感度の高い波長領域の透過率変動まで検査できるので、赤色着色画素１５のわずかな膜厚変動によって生じる透過率特性の変動に対しても非常に高精度な色ムラ検査が可能となる。
【００４１】
なお、本実施の形態２では、赤色フィルタ基板２０ａの赤色フィルタ層２３ａを、被検査カラーフィルタ基板１０の赤色着色画素１５と同―色材で形成したが、コスト面や生産性を考慮し、必ずしも赤色着色画素１５と同―色材を用いる必要はなく、ほぼ同一の透過スペクトル特性を示すものであればよい。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
本発明の表示装置の製造方法は、カラー液晶表示装置およびカラープラズマディスプレイなどの製造方法に利用でき、また本発明の撮像装置の製造方法は、カラー撮像管、CCDカメラなどの製造方法に利用され、それらのカラーフィルタ基板の製造工程において、その品質検査に利用される。また本発明のカラーフィルタ基板の検査装置は、カラー液晶表示装置およびカラープラズマディスプレイなどの表示装置における色発光用カラーフィルタおよびカラー撮像管、CCDカメラなどの撮像装置のおける色分解用カラーフィルタの製造に利用され、それらの品質検査に利用される。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の実施の形態１であるカラーフィルタ基板検査装置を示す概略図である。
【図２】本発明の実施の形態１における被検査カラーフィルタ基板の構造を示す平面図および断面図である。
【図３】被検査カラーフィルタ基板の青色着色画素、緑色着色画素、赤色着色画素それぞれの透過スペクトル特性を示す図である。
【図４】本発明の本実施の形態１であるカラーフィルタ基板検査装置に用いられる白色光源ランプの発光スペクトル特性を示す図である。
【図５】本発明の本実施の形態１であるカラーフィルタ基板検査装置において白色光源ランプから放射され青色フィルタ基板を通過した光の発光スペクトル特性を示す図である。
【図６】本発明の実施の形態１であるカラーフィルタ基板検査装置において、被検査カラーフィルタ基板から出射（透過）された光の発光スペクトル特性を示す図である。
【図７】本発明の実施の形態２であるカラーフィルタ基板検査装置において、被検査カラーフィルタ基板から出射（透過）された光の発光スペクトル特性を示す図である。
【図８】従来のカラーフィルタの色ムラ検査方法の一実施例を示す図である。
【図９】被検査カラーフィルタ基板の青色着色画素（膜厚正常部、膜厚異常部）の透過スペクトル特性を示す図である。
【図１０】従来のカラーフィルタの色ムラ検査方法における干渉フィルタの透過率特性を示す図である。
【図１１】従来のカラーフィルタの色ムラ検査方法において、被検査カラーフィルタ基板から出射（透過）された光の発光スペクトル特性を示す図である。
【符号の説明】
【００４４】
１  白色光源ランプ、２  ハウジング、２ａ  主面、３  拡散板、
１０  被検査カラーフィルタ基板、１１  ガラス基板、１２  ブラックマトリクス、
１３  青色着色画素、１４  緑色着色画素、１５  赤色着色画素、
２０  青色フィルタ基板、２０ａ  赤色フィルタ基板、
２１  ガラス基板、２３  青色フィルタ層、２３ａ  赤色フィルタ層、
３０、３０ａ  カラーフィルタ検査装置、３１  検査者目視部、３２  白色面光源、
３３  干渉フィルタ、１００  白色光源ランプの発光スペクトル特性、
２００  白色光源ランプから放射され青色フィルタ基板を通過した光の発光スペクトル特性、
３０１ａ  被検査カラーフィルタ基板の青色着色画素（膜厚正常部）透過光の発光スペクトル特性、
３０１ｂ  被検査カラーフィルタ基板の青色着色画素（膜厚異常部）透過光の発光スペクトル特性、
３０２、３０３  被検査カラーフィルタ基板の緑色着色画素透過光の発光スペクトル特性、
４００  人の比視感度特性曲線、５００  従来例における干渉フィルタの透過率特性、
６０１ａ  従来例における被検査カラーフィルタ基板の青色着色画素（膜厚正常部）透過光の発光スペクトル特性、
６０１ｂ  従来例における被検査カラーフィルタ基板の青色着色画素（膜厚異常部）透過光の発光スペクトル特性、
７０１ａ  被検査カラーフィルタ基板の赤色着色画素（膜厚正常部）透過光の発光スペクトル特性、
７０１ｂ  被検査カラーフィルタ基板の赤色着色画素（膜厚異常部）透過光の発光スペクトル特性。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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