(57)【要約】【課題】  ラインを増設する際、パージが確実にできるガス供給集積ユニットを提供すること。【解決手段】  ガスユニットを複数備えるガス供給集積ユニットにおいて、プロセスガス共通流路端部手動弁２２と、パージガス共通流路端部手動弁２３と、プロセスガス共通流路端部手動弁２４とパージガス共通流路端部手動弁２５と第２手動弁１３Ｂを備える増設するガスユニットと、パージガス共通流路端部手動弁２５とプロセスガス共通流路端部手動弁２４とを連通させる第１連通路５２と、プロセスガス共通流路端部手動弁２４とプロセスガス共通流路端部手動弁２２とを連通させる第２連通路５９と、プロセスガス共通流路端部手動弁２２と第２手動弁１３Ｂとを連通させる第３連通路３７３Ａとを有する。【選択図】 図１
2005251790.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
出口流路に設けられた第１手動弁と、前記第１手動弁とプロセスガス共通流路とを連通する位置に設けられた第２手動弁と、前記第１手動弁とパージガス共通流路とを連通する位置に設けられた第３手動弁とが流路ブロックにより一体に連結されているガスユニットを複数備えるガス供給集積ユニットにおいて、
前記プロセスガス共通流路の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁と、
前記パージガス共通流路の端部と連通するパージガス共通流路端部手動弁と、
前記プロセスガス共通流路端部手動弁と連通する別のプロセスガス共通流路端部手動弁と前記パージガス共通流路端部手動弁と連通する別のパージガス共通流路端部手動弁と前記プロセスガス共通流路端部手動弁と連通する別の第２手動弁を備える増設するガスユニットと、
前記別のパージガス共通流路端部手動弁の出口流路と前記別のプロセスガス共通流路端部手動弁の出口流路とを連通させる第１連通路と、
前記別のプロセスガス共通流路端部手動弁の入口流路と前記プロセスガス共通流路端部手動弁の出口流路とを連通させる第２連通路と、
前記プロセスガス共通流路端部手動弁の出口流路と前記別の第２手動弁の入口流路とを連通させる第３連通路とを有することを特徴とするガス供給集積ユニット。  
【請求項２】
出口流路に設けられた第１手動弁と、前記第１手動弁とプロセスガス共通流路とを連通する位置に設けられた第２手動弁と、前記第１手動弁とパージガス共通流路とを連通する位置に設けられた第３手動弁とが流路ブロックにより一体に連結されているガスユニットを複数備え、前記プロセスガス共通流路の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁と、前記パージガス共通流路の端部と連通するパージガス共通流路端部手動弁とを有するガス供給集積ユニットにおいて、
前記プロセスガス共通流路端部手動弁の内部で二つに分岐した出口流路が形成され、前記増設するガスユニットの前記別のプロセスガス共通流路端部手動弁の内部で二つに分岐した出口流路が形成されていることを特徴とするガス供給集積ユニット。
【請求項３】
請求項２に記載するガス供給集積ユニットにおいて、
前記第１連通路を前記別のパージガス共通流路端部手動弁の出口流路と前記別のプロセスガス共通流路端部手動弁の前記二つに分岐した出口流路の両方に連通させ、
前記第２連通路を前記別のプロセスガス共通流路端部手動弁の入口流路と前記プロセスガス共通流路端部手動弁の前記二つに分岐した出口流路の一方に連通させ、
前期第３連通路を前記プロセスガス共通流路端部手動弁の前記二つに分岐した出口流路の他方と前記別の第２手動弁の入口流路に連通させるように設けられていることを特徴とするガス供給集積ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体工程にプロセスガスを供給するため、プロセスガスを分岐して供給するガス供給集積ユニットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工場においては、プロセスガスはタンクに収納されクリーンルームの外に配置されている。そして、タンクから同じプロセスガスをクリーンルーム内の複数箇所に供給するために、プロセスガスを分岐して供給するガス供給装置が使用されている。その様なガス供給装置においては、プロセスガスを新たに必要とする箇所が生じた場合には、１ライン増設する作業を行う必要がある。
図１６に、３ラインの供給を行っているプロセスガス供給装置の回路図を示し、図１７に、その回路を具体化した空圧機器の設置状態を平面図で示す。プロセスガスエアオペレート弁１０７が、プロセスガス供給口１０８を介して図示しないプロセスガスタンクと接続している。プロセスガスエアオペレート弁１０７は、プロセスガス共通流路１０５を介して、第２手動弁１０３Ａ，１０３Ｂ，１０３Ｃに接続している。
【０００３】
第２手動弁１０３Ａ，１０３Ｂ，１０３Ｃは、第１手動弁１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃに接続している。第１手動弁１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃの出口は、プロセスガス出口１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃと連通されている。第２手動弁１０３Ａ，１０３Ｂ，１０３Ｃと、第１手動弁１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃとの間の流路には、圧力計１０２Ａ，１０２Ｂ，１０２Ｃが連通されている。
また、パージガス手動弁１１０が、パージガス供給口１１１を介して図示しないパージガスタンクと接続している。パージガス手動弁１１１は、逆止弁１０９、パージガス共通流路１０６を介して、第３手動弁１０４Ａ，１０４Ｂ，１０４Ｃに接続している。第３手動弁１０４Ａ，１０４Ｂ，１０４Ｃは、第１手動弁１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃに接続している。
プロセスガス共通流路１０５の端部１０５ａは止め栓により封止されている。パージガス共通流路１０６の端部１０６ａは、止め栓により封止されている。
【０００４】
次に、図１６の３ラインの回路に１ライン増設する場合について説明する。図１６には、第４ラインＤを右側に記載している。図１８に、増設後の回路図を示し、図１９に、その回路を具体化した空圧機器の配置状態を平面図で示す。
第４ラインを増設する工事手順を説明する。この工事中は、プロセスガスは供給できず、半導体製造工程も停止している必要がある。
始めに、プロセスガスエアオペレート弁１０７を閉弁状態とし、第３手動弁１０４Ａ，１０４Ｂ，１０４Ｃを開弁状態とし、第１手動弁１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃを開弁状態とする。その状態で、パージガス手動弁１１１を開弁する。これにより、プロセスガスエアオペレート弁１０７から第１手動弁１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃ内に残っているプロセスガスを窒素ガスであるパージガスと置換する。十分な時間をかけてガス置換を行った後、パージガス手動弁１１０を閉弁する。
【０００５】
次に、パージガス共通流路１０６の端部１０６ａを封止している止め栓を外して、第４ラインのパージガス共通流路の入口端部１０６ｂと、配管１１２により接続する。また、プロセスガス共通流路１０５の端部１０５ａを封止している止め栓を外して、第４ラインのプロセスガス共通流路の入口端部１０５ｂと、配管１１３により接続する。
第４ラインの機器の構成は第１から第３ラインの構成と同じなので説明を省略する。第４ラインのパージガス共通流路１０６の新たな端部１０６ｃは、止め栓により封止されて
いる。また、プロセスガス共通流路１０５の新たな端部１０５ｃは止め栓により封止されている。
次に、プロセスガス出口１００Ｄを図示しない必要な箇所と接続する。
これにより、第４ラインの増設が終了する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来のガス供給集積ユニットには、以下の問題があった。
（１）新たなガスラインの増設工事を行う場合、既存のガスラインを停止しなければならないため、半導体製造工程が停止するときにしか増設工事を行うことができなかった。
また、増設工事を終了した後においても、プロセスガス共通流路１０５、及びパージガス共通流路１０６の図１８に大気暴露部として斜線で示す部分が、大気に暴露されるため、大気中の水分が流路の内壁に付着する問題があった。即ち、プロセスガスに水分が混入すると、プロセスガスの機能が不完全となる場合があり、第４ラインを増設した後、パージガス共通流路よりパージガスを長時間流して、空気暴露した流路の水分を除去する必要があったからである。実際に、数時間から数十時間のパージが行われていた。
【０００７】
（２）余分な配管１１２，１１３を必要とするため、ガス供給集積ユニットが横方向に大きくなり、集積化による小型化の要請に反していた。また、第４ラインは、ボルトにより、ベースプレート１２０に取り付けられているが、その位置あわせを配管１１２，１１３により調整する必要があり、配管工事に無駄な時間がかかる問題があった。
【０００８】
上記課題を解決するために特願２００３―３８２１３９を提案した。しかしながら、本特願発明には、以下の問題があった。
増設工事を終了した後のガスラインにおいて、大気暴露された部分は回路４３、回路４４であり、図１１に斜線で示す。この大気暴露された部分の水分を除去するため、パージガス共通流路１６より、第３ガスユニット内にパージガスを流し、第３ガスユニット内の水分の除去を行う。このパージにおけるパージガスの流れとパージガスから遮断された大気残留部を図１２の構成を示す平面図、図１３の機器を取り除いた下部の流路ブロックを示す平面図、及び図１４のプロセスガス共通流路端部手動弁２２、２４と下部の流路ブロックの断面図、及び図１５の機器を取り除いた下部の流路ブロックを示す斜視図で示す。これらの図からわかるように、回路４４にはパージガスが流れるが、回路４３はパージガスから遮断され、大気が残留するという問題があった。そのため、パージが不完全となり、プロセスガスに水分が混入し、プロセスガスの機能が不完全となる場合があった。
そこで、本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、ラインを増設してパージを行う際、パージが確実にできるガス供給集積ユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係るガス供給集積ユニットは、次のような構成を有している。
（１）出口流路に設けられた第１手動弁と、該第１手動弁とプロセスガス共通流路とを連通する位置に設けられた第２手動弁と、前記第１手動弁とパージガス共通流路とを連通する位置に設けられた第３手動弁とが流路ブロックにより一体に連結されているガスユニットを複数備えるガス供給集積ユニットにおいて、前記プロセスガス共通流路の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁と、前記パージガス共通流路の端部と連通するパージガス共通流路端部手動弁と、前記プロセスガス共通流路端部手動弁と連通する別のプロセスガス共通流路端部手動弁と前記パージガス共通流路端部手動弁と連通する別のパージガス共通流路端部手動弁と前記プロセスガス共通流路端部手動弁と連通する別の第２手動弁を備える増設するガスユニットと、前記別のパージガス共通流路端部手動弁の出口流路と前記別のプロセスガス共通流路端部手動弁の出口流路とを連通させる第１連通路と、前記別のプロセスガス共通流路端部手動弁の入口流路と前記プロセスガス共通流路端部手動弁の出口流路とを連通させる第２連通路と、前記プロセスガス共通流路端部手動弁の出口流路と前記別の第２手動弁の入口流路とを連通させる第３連通路とを有することを特徴とする
【００１０】
（２）出口流路に設けられた第１手動弁と、該第１手動弁とプロセスガス共通流路とを連通する位置に設けられた第２手動弁と、前記第１手動弁とパージガス共通流路とを連通する位置に設けられた第３手動弁とが流路ブロックにより一体に連結されているガスユニットを複数備え、前記プロセスガス共通流路の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁と、前記パージガス共通流路の端部と連通するパージガス共通流路端部手動弁とを有するガス供給集積ユニットにおいて、前記プロセスガス共通流路端部手動弁の内部で二つに分岐した出口流路が形成され、前記増設するガスユニットの前記別のプロセスガス共通流路端部手動弁の内部で二つに分岐した出口流路が形成されていることを特徴とする
（３）（２）に記載するガス供給集積ユニットにおいて、前記第１連通路を前記別のパージガス共通流路端部手動弁の出口流路と前記別のプロセスガス共通流路端部手動弁の前記二つに分岐した出口流路の両方に連通させ、前記第２連通路を前記別のプロセスガス共通流路端部手動弁の入口流路と前記プロセスガス共通流路端部手動弁の前記二つに分岐した出口流路の一方に連通させ、前期第３連通路を前記プロセスガス共通流路端部手動弁の前記二つに分岐した出口流路の他方と前記別の第２手動弁の入口流路に連通させるように設けられていることを特徴とする
【発明の効果】
【００１１】
続いて、上記構成を有する発明の作用効果について説明する。
通常、プロセスガス共通流路の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁、及びパージガス共通流路の端部と連通するパージガス共通流路端部手動弁とは、閉弁状態にある。新しいラインを増設する場合、増設するガスユニットを、ガスの流れと直角方向に交差して複数配置されたレールに取付け、レール上を移動させて、次のように回路を接続する。
まず、既設ラインのプロセスガス共通流路端部手動弁の出口流路と増設ラインの第２手動弁の入口流路とを流路ブロック内の連通路により連通させ、第３連通路を設ける。既設ラインのパージガス共通流路端部手動弁の出口流路と増設ラインの第３手動弁の入口流路とを流路ブロック内の連通路により連通させる。既設ラインのプロセスガス共通流路端部手動弁の出口流路と増設ラインのプロセスガス共通流路端部手動弁の入口流路とをパイプにより接続し、第２連通路を設ける。尚、増設工事の前に増設ラインのプロセスガス共通流路端部手動弁の出口流路と増設ラインのパージガス共通流路端部手動弁の出口流路とは、パイプの第１連通路で接続されている。以上のように回路を接続した後、接続ボルト、増設するガスユニットの固定ボルトを締める。
【００１２】
このように、増設ラインを既設ラインに接続した後、増設ラインのプロセスガス共通流路端部手動弁、パージガス共通流路端部手動弁、第１手動弁、第２手動弁及び第３手動弁を開弁状態として、既設ラインのパージガス共通流路端部手動弁を開弁する。  
次に既設ラインのパージガス手動弁を開弁して、増設ライン内にパージガスが一方は第３手動弁、第１手動弁からプロセスガス出口へと流される。また、パージガスの他方はパージガス共通流路端部手動弁、プロセスガス共通流路端部手動弁、第２手動弁、第１手動弁からプロセスガス出口へと流される。こうして、特願２００３―３８２１３９の発明で、パージガスが流れない回路にもパージガスを満たすことができる。パージガスが滞留する部分が一部発生するが、必要な時間パージをすれば、増設ライン内の水分の除去をほぼ完全に行うことができる。水分が除去でき、半導体製造装置側の準備が整ったら、増設ラインのプロセスガス共通流路端部手動弁、パージガス共通流路端部手動弁、及び第３手動弁を閉じ、既設ラインのプロセスガス共通流路端部手動弁を開くことにより、増設ラインにプロセスガスを供給することができる。
【００１３】
また、既設ラインのプロセスガス共通流路端部手動弁、及び増設ラインのプロセスガス共通流路端部手動弁にそれぞれ内部で二つに分岐した出口流路を形成することにより、パージガスを既設ラインのプロセスガス共通流路端部手動弁、及び増設ラインのプロセスガス共通流路端部手動弁のそれぞれ内部にも流すことができ、パージガスの滞留部が僅かになる。従って、増設ライン内の水分の除去をほぼ完全に行うことができる。
以上説明したように、本発明のガス供給集積ユニットは、出口流路に設けられた第１手動弁と、該第１手動弁とプロセスガス共通流路とを連通する位置に設けられた第２手動弁と、該第１手動弁とパージガス共通流路とを連通する位置に設けられた第３手動弁とが流路ブロックにより一体に連結されているガスユニットを複数備えるガス供給集積ユニットにおいて、前記プロセスガス共通流路の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁と、前記パージガス共通流路の端部と連通するパージガス共通流路端部手動弁と、前記プロセスガス共通流路端部手動弁と連通する別のプロセスガス共通流路端部手動弁と、前記パージガス共通流路端部手動弁と連通する別のパージガス共通流路端部手動弁と、前記プロセスガス共通流路端部手動弁と連通する別の第２手動弁を備える増設するガスユニットと、前記別のパージガス共通流路端部手動弁の出口流路と前記別のプロセスガス共通流路端部手動弁の出口流路とを連通させる第１連通路と、前記別のプロセスガス共通流路端部手動弁の入口流路と前記プロセスガス共通流路端部手動弁の出口流路とを連通させる第２連通路と、前記プロセスガス共通流路端部手動弁の出口流路と前記別の第２手動弁の入口流路とを連通させる第３連通路とを有するので、ラインを増設して増設ラインのパージを行う際、すべての回路にパージガスを満たすことができ、必要な時間パージを行って、増設するガスユニット内の水分をほぼ完全に除去できる。
【００１４】
さらに、本発明のガス供給集積ユニットは、前記プロセスガス共通流路端部手動弁の内部で二つに分岐した出口流路が形成され、前記増設するガスユニットの前記別のプロセスガス共通流路端部手動弁の内部で二つに分岐した出口流路が形成されているので、ラインを増設して増設ラインのパージを行う際、既存ラインのプロセスガス共通流路端部手動弁及び増設ラインのプロセスガス共通流路端部手動弁のそれぞれ内部までパージガスを流すことができ、時間をかけることなく、増設するガスユニット内の水分をほぼ完全に除去できる。
【００１５】
さらに、本発明のガス供給集積ユニットは、前記第１連通路を前記別のパージガス共通流路端部手動弁の出口流路と前記別のプロセスガス共通流路端部手動弁の前記二つに分岐した出口流路の両方に連通させ、前記第２連通路を前記別のプロセスガス共通流路端部手動弁の入口流路と前記プロセスガス共通流路端部手動弁の前記二つに分岐した出口流路の一方に連通させ、前期第３連通路を前記プロセスガス共通流路端部手動弁の前記二つに分岐した出口流路の他方と前記別の第２手動弁の入口流路に連通させるように設けられているので、既存ラインのプロセスガス共通流路端部手動弁及び増設ラインのプロセスガス共通流路端部手動弁のそれぞれの内部まで、且つすべての流路にパージガスを流すことができる。従って、パージに時間をかけることなく、増設するガスユニット内の水分をほぼ完全に除去できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
次に、本発明に係るガス供給集積ユニットの第１実施例について、図面を参照して説明する。図１に、既設のラインへプロセスガスの供給を行っているガスユニットＡからなるガス供給集積ユニットの回路図、及びそれに増設するための第２ガスユニットＢの回路図を示す。
プロセスガスエアオペレート弁１７は、プロセスガス供給口１８を介して図示しないプ
ロセスガスタンクと接続している。プロセスガスエアオペレート弁１７は、プロセスガス共通流路１５を介して、第２手動弁１３Ａの一方のポートに接続している。  第２手動弁１３Ａの他ポートは、第１手動弁１１Ａに接続している。第１手動弁１１Ａの出口ポートは、プロセスガス出口１０Ａと連通している。第２手動弁１３Ａと、第１手動弁１１Ａとを連通させている流路に、圧力計１２Ａが連通されている。
また、パージガス手動弁２０が、パージガス供給口２１を介して図示しないパージガスタンクと接続している。パージガス手動弁２０は、逆止弁１９、パージガス共通流路１６を介して、第３手動弁１４Ａの一方のポートに接続している。第３手動弁１４Ａの他のポートは、第１手動弁１１Ａに接続している。  プロセスガス共通流路１５の端部は、プロセスガス共通流路端部手動弁２２により封止されている。また、パージガス共通流路１６の端部は、パージガス共通流路端部手動弁２３により封止されている。
【００１７】
図２に、その回路を具体化した空圧機器の設置状態を平面図で示す。２本のレール２６，２７が、両端をレール固定棒４１，４５により平行に固定されている。レール２６，２７に沿って、ユニット固定板２８，２９，３０Ａが横方向に平行移動可能に取り付けられている。プロセスガス用ユニット固定板２８には、プロセスガスエアオペレート弁１７が固定されている。パージガス用ユニット固定板２９には、パージガス手動弁２０と逆止弁１９が固定されている。
【００１８】
第１ガスユニット固定板３０Ａには、上から第１手動弁１１Ａ、圧力計１２Ａ、そしてパイプ３８Ａにつながれて、第３手動弁１４Ａ、第２手動弁１３Ａ、そして少し右側にずれた位置に既設プロセスガス共通流路端部手動弁２２が固定されている。また、パイプ３８Ａを避けて少し右側にずれた位置に既設のパージガス共通流路端部手動弁２３が固定されている。
既設ガスユニットから少し離れて、増設する第２ガスユニットが第２ガスユニット固定板３０Ｂ上に固定されている。即ち、第２ガスユニット固定板３０Ｂには、上から第１手動弁１１Ｂ、圧力計１２Ｂ、パイプ３８Ｂにつながれて、第３手動弁１４Ｂ、第２手動弁１３Ｂ、そして少し右側にずれた位置に増設のプロセスガス共通流路端部手動弁２４が固定されている。また、パイプ３８Ｂを避けて少し右側にずれた位置にパージガス共通流路端部手動弁２５が固定され、プロセスガス共通流路端部手動弁２４とパージガス共通流路端部手動弁２５とがパイプの第１連通路５２でつながれる。
【００１９】
以上のように、既設ガスユニットから少し離れて、増設する第２ガスユニットが配置されている状態から、次のように第２ガスユニットの取付け工事を行う。まず、第２ガスユニットの固定板３０Ｂを第１ガスユニットの固定板３０Ａに近づけて、図５及び図６で示すように、プロセスガス共通流路端部手動弁２２の出口流路２２ｂと第２ガスユニットの第２手動弁１３Ｂの入口流路５１（図３参照）とを流路ブロック３７Ａで連通させる。即ち、プロセスガス共通流路端部手動弁２２の出口流路２２ｂは、流路ブロック３７Ａ内で、Ｕ字流路の流路３７１Ａ、流路３７３Ａから流路３７２Ａに連通させ、流路３７２Ａは第２手動弁１３Ｂの入口流路５１と連通させる。同様に、図３及び図４で示すように、パージガス共通流路端部手動弁２３の図示しない出口流路と第２ガスユニットの第３手動弁１４Ｂの図示しない入口流路とを流路ブロック５８の流路５６、流路５５及び流路５７で連通させる。次に、図５及び図６で示すように、プロセスガス共通流路端部手動弁２２の出口流路２２ｂと連通する流路３７１Ａと第２ガスユニットのプロセスガス共通流路端部手動弁２４の入口流路２４ａと連通する流路３６１Ｂとがパイプの第２連通路５９でつながれる。なお、第２ガスユニットの取付け工事の前に、プロセスガス共通流路端部手動弁２４の出口流路２４ｂは、流路ブロック３７Ｂ内で出口流路２４ｂと連通する流路３７１Ｂ、水平方向の流路３７３Ｂと連通し、流路３７３Ｂからパイプの第１連通路５２につながれている。同様に、図３及び図４で示すパージガス共通流路端部手動弁２５の出口流路５４は、流路ブロック４７内の流路５３からパイプ５２につながれている。
【００２０】
以上により第２ガスユニットの取付け工事は終了する。次に、第２ガスユニットの新たなプロセスガス共通流路端部手動弁２４、パージガス共通流路端部手動弁２５、第２手動弁１３Ｂ、第１手動弁１１Ｂ及び第３手動弁１４Ｂを開弁状態として、既設ガスユニットのパージガス共通流路端部手動弁２３及びパージガス手動弁２０を開弁する。
これにより、第２ガスユニット内にパージガスを流して、第２ガスユニット内の水分の除去を行う。パージガスの流れとパージガスの滞留部を次の図面で示す。即ち、図３の構成を示す平面図、図４の機器を取り除いた下部の流路ブロックを示す平面図、図５のプロセスガス共通流路端部手動弁２２、２４と流路ブロック３６，３７の断面図及び図６の機器を取り除いた下部の流路ブロックを示す斜視図で示す。
【００２１】
以下にパージガスの流れを説明する。パージガス手動弁２０を開弁して、第２ガスユニット内にパージガスを流すと、図示しないパージガスタンクからパージガス供給口２１、パージガス手動弁２０、逆止弁１９、パージガス共通流路１６を介して、パージガス共通流路端部手動弁２３から、第３手動弁１４Ｂとパージガス共通流路端部手動弁２５とに分岐して流れる。第３手動弁１４Ｂに流れたパージガスは、第１手動弁１１Ｂから、プロセスガス出口１０Ｂに流れる。
また、パージガス共通流路端部手動弁２５に流れたパージガスは、パイプの第１連通路５２、プロセスガス共通流路端部手動弁２４、パイプの第２連通路５９、流路ブロック３７Ａ内のＵ字流路の水平方向の第３連通路３７３Ａ、及び垂直方向の流路３７２Ａに流れる。流路３７２Ａに流れたパージガスは、第２手動弁１３Ｂの入口流路５１、第２手動弁１３Ｂ、第１手動弁１１Bを介して、プロセスガス出口１０Ｂに流れる。
【００２２】
このように第２ガスユニット内にパージガスを流すと、図５及び図６で示すように、一部の流路にパージガスの滞留部が発生する。しかし、パージガスが滞留しても、パージガスの流れと連通しているので、必要な時間パージガスを流せば、第２ガスユニット内の水分の除去を行うことが出来る。水分が十分除去でき、半導体製造装置側の準備が整ったら、プロセスガス共通流路端部手動弁２４、パージガス共通流路端部手動弁２５及び第３手動弁１４Ｂを閉じ、プロセスガス共通流路端部手動弁２２を開くことにより、第２ガスラインにプロセスガスを供給することができる。
【００２３】
以上、詳細に説明したように第１実施例のガス供給集積ユニットによれば、出口流路に設けられた第１手動弁１１と、第１手動弁１１とプロセスガス共通流路１５とを連通する位置に設けられた第２手動弁１３と、第１手動弁１１とパージガス共通流路１６とを連通する位置に設けられた第３手動弁１４とが流路ブロックにより一体に連結されているガスユニットを複数備えるガス供給集積ユニットにおいて、プロセスガス共通流路１５の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁２２と、パージガス共通流路１６の端部と連通するパージガス共通流路端部手動弁２３と、プロセスガス共通流路端部手動弁２２と連通する別のプロセスガス共通流路端部手動弁２４とパージガス共通流路端部手動弁２３と連通する別のパージガス共通流路端部手動弁２５とプロセスガス共通流路端部手動弁２２と連通する別の第２手動弁１３Ｂを備える増設するガスユニットと、別のパージガス共通流路端部手動弁２５の出口流路５４と別のプロセスガス共通流路端部手動弁２４の出口流路２４ｂとを連通させる第１連通路５２と、別のプロセスガス共通流路端部手動弁２４の入口流路２４ａとプロセスガス共通流路端部手動弁２２の出口流路２２ｂとを連通させる第２連通路５９と、プロセスガス共通流路端部手動弁２２の出口流路２２ｂと別の第２手動弁１３Ｂの入口流路５１とを連通させる第３連通路３７３Ａとを有するので、ラインを増設して増設ラインのパージを行う際、増設するガスユニット内のすべての流路にパージガスを満たすことができる。パージガスの流れのない滞留部が一部発生するが、滞留部はパージガスの流れと連通しているので、必要な時間パージガスを流せば、第２ガスユニット内の水分をほぼ完全に除去することができる。
【００２４】
次に、本発明の第２の実施例を説明する。第２実施例のガス供給集積ユニットの構成及び作用効果は、第１実施例とほぼ同じなので、相違する点のみ説明して、他を割愛する。相違点は既設ラインのプロセスガス共通流路端部手動弁から、増設ラインの第２連通路、プロセスガス共通流路端部手動弁、及び第１連通路につなぐ間の流路構造である。
第２ガスユニットを既設ガスユニットに取付ける工事は、第１実施例と同様に実施される。第２ガスユニットが取付けられたガス供給集積ユニットを次の図面で示す。図３に対応する図面を図７、図４に対応する図面を図８、図５に対応する図面を図９及び図６に対応する図面を図１０にそれぞれ示す。図９及び図１０で示すように、プロセスガス共通流路端部手動弁２２’の出口流路を下方に向かって二つに分岐させ、一方の流路２２２ｂと第２ガスユニットの第２手動弁１３Ｂの入口流路５１とを流路ブロック３７Ａ’のＵ字形の流路で連通させる。即ち、プロセスガス共通流路端部手動弁２２’の出口流路２２２ｂを、流路ブロック３７Ａ’内で、垂直方向の流路３７１Ａ’、水平方向の第３連通路３７３Ａ’、及び垂直方向の流路３７２Ａ’と連通させ、流路３７２Ａ’を第２手動弁１３Ｂの入口流路５１と連通させる。
【００２５】
次に、プロセスガス共通流路端部手動弁２２’の出口流路の他方の流路２２１ｂと第２ガスユニットのプロセスガス共通流路端部手動弁２４’の入口流路２４ａ’を流路ブロック３６Ｂ’のＶ字流路の第２連通路３６１Ｂ’により連通させる。プロセスガス共通流路端部手動弁２４’の出口流路をプロセスガス共通流路端部手動弁２２’と同様に、下方に向かって二つに分岐させ、一方の流路２４１ｂ及び他方の流路２４２ｂを流路ブロック３７Ｂ’のＶ字流路３７１Ｂ’の左のポート３７５及び右のポート３７６とそれぞれ連通させる。流路ブロック３７Ｂ’内のＶ字流路３７１Ｂ’をＶ字の最下点で流路３７３Ｂ’と連通させ、流路３７３Ｂ’をパイプの第１連通路５２’と連通させる。
このように設けられた第２実施例の作動及びその作用効果について説明する。第２ガスユニット内にパージガスを流して、第２ガスユニット内の水分の除去を行う。パージガスの流れとパージガスの滞留部を図７、図８、図９及び図１０で示す。
【００２６】
以下にパージガスの流れを説明する。第１実施例とは、パージガス共通流路端部手動弁２５からパイプの第１連通路５２’に流れるところまでは同様で、第１連通路５２’から第３連通路３７３Ａ’までの流れが異なり、この間の流れを説明する。パイプの第１連通路５２’ に流れたパージガスは、流路ブロック３７Ｂ’の流路３７３Ｂ’から、Ｖ字流路３７１Ｂ’のＶ字の最下点に流れ、Ｖ字の一方の流路から左のポート３７５を介して、プロセスガス共通流路端部手動弁２４’の出口流路の一方の流路２４１ｂに、またV字の他方の流路から右のポート３７６を介して、プロセスガス共通流路端部手動弁２４’の出口流路の他方の流路２４２ｂに流れる。流路２４１ｂおよび流路２４２ｂからプロセスガス共通流路端部手動弁２４’に流れたパージガスは、入口流路２４ａ’、 流路ブロック３６Ｂ’のＶ字流路の第２連通路３６１Ｂ’、プロセスガス共通流路端部手動弁２２’ の出口流路の他方の流路２２１ｂから一方の出口流路２２２ｂに流れる。プロセスガス共通流路端部手動弁２２’ の一方の出口流路２２２ｂに流れたパージガスは、流路ブロック３７Ａ’内のＵ字流路の流路３７１Ａ’、第３連通路の流路３７３Ａ’から流路３７２Ａ’に流れる。流路３７２Ａ’に流れたパージガスは、第２手動弁１３Ｂの入口流路５１に流れ、それ以降は第１実施例と同様である。
【００２７】
このように第２ガスユニット内にパージガスを流すと、図９及び図１０で示すように、プロセスガス共通流路端部手動弁２２’ の出口流路の一部にパージガスの流れのない滞留部が発生する。しかし、滞留部はパージガスの流れが鋭角に変化する変曲点近傍にあるので、見かけ上のみであり、実際は流れに巻き込まれてほとんど滞留せず、且つ体積も極めて少ないので、時間をかけることなく、第２ガスユニット内の水分の除去をほぼ完全に行うことが出来る。
水分が十分除去でき、半導体製造装置側の準備が整ったら、プロセスガス共通流路端部手動弁２４’、パージガス共通流路端部手動弁２５及び第３手動弁１４Ｂを閉じ、プロセスガス共通流路端部手動弁２２’を開くことにより、第２ガスラインにプロセスガスを供給することができる。
【００２８】
以上、詳細に説明したように第２実施例のガス供給集積ユニットによれば、プロセスガス共通流路端部手動弁２２’の内部で二つに分岐した出口流路２２１ｂ、出口流路２２２ｂが形成され、増設するガスユニットの別のプロセスガス共通流路端部手動弁２４’の内部で二つに分岐した出口流路２４１ｂ、出口流路２４２ｂが形成されているので、ラインを増設して増設ラインのパージを行う際、プロセスガス共通流路端部手動弁２２’、 別のプロセスガス共通流路端部手動弁２４’のそれぞれ内部までパージガスを流すことができ、時間をかけることなく、増設するガスユニット内の水分をほぼ完全に除去できる。
【００２９】
また、第２実施例のガス供給集積ユニットによれば、第１連通路５２’を別のパージガス共通流路端部手動弁２５の出口流路５４と別のプロセスガス共通流路端部手動弁２４’の二つに分岐した出口流路２４１ｂ及び２４２ｂの両方に連通させ、第２連通路３６１Ｂ’を別のプロセスガス共通流路端部手動弁２４’の入口流路２４ａ’とプロセスガス共通流路端部手動弁２２’の二つに分岐した出口流路の一方２２１ｂに連通させ、第３連通路３７３Ａ’をプロセスガス共通流路端部手動弁２２’の二つに分岐した出口流路の他方２２２ｂと別の第２手動弁の入口流路５１に連通させるように設けられているので、ラインを増設して増設ラインのパージを行う際、プロセスガス共通流路端部手動弁２２’、 別のプロセスガス共通流路端部手動弁２４’のそれぞれ内部まで、且つすべての流路にパージガスを流すことができる。従って、パージに時間をかけることなく、増設するガスユニット内の水分をほぼ完全に除去できる。
なお、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の第１実施例であるガス供給集積ユニットの構成を示す回路図である。
【図２】図１の構成を示す平面図である。
【図３】第１実施例の構成を示す平面図で、図２における第２ガスユニット固定板３０Ｂを移動させた後を示す。
【図４】図３の機器を取り除いた下部の流路ブロックを示す平面図である。
【図５】図３のＡ−Ａ断面図を示す。
【図６】図５の機器を取り除いた下部の流路ブロックを示す斜視図である。
【図７】第２実施例の構成を示す平面図である。
【図８】図７の機器を取り除いた下部の流路ブロックを示す平面図である。
【図９】図７のＢ−Ｂ断面図を示す。
【図１０】図９の機器を取り除いた下部の流路ブロックを示す斜視図である。
【図１１】特願２００３―３８２１３９の一実施例であるガス供給集積ユニットの構成を示す回路図である。
【図１２】図１１の構成を示す平面図である。
【図１３】図１２の機器を取り除いた下部の流路ブロックを示す平面図である。
【図１４】図１２のＣ−Ｃ断面図を示す。
【図１５】図１４の機器を取り除いた下部の流路ブロックを示す斜視図である。
【図１６】従来のガス供給ユニットの構成を示す回路図である。
【図１７】図１６を具体化した構成を示す平面図である。
【図１８】従来の増設後のガス供給ユニットを示す回路図である。
【図１９】図１８を具体化した構成を示す平面図である。
【符号の説明】
【００３１】
１１  第１手動弁
１３  第２手動弁
１４  第３手動弁
１５  プロセスガス共通流路
１６  パージガス共通流路
１７  プロセスガスエアオペレート弁
２０  パージガス手動弁
２２，２４  プロセスガス共通流路端部手動弁
２３，２５  パージガス共通流路端部手動弁
２２ｂ  出口流路
２４ａ  入口流路
２４ｂ  出口流路
５１  入口流路
５２  第１連通路
５４  出口流路
５９  第２連通路
３７３Ａ  第３連通路
２２１ｂ、２２２ｂ  出口流路
２４１ｂ、２４２ｂ  出口流路
３６１Ｂ’   第２連通路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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