(57)【要約】【課題】この発明は、パネルの表面に接触することなく確実にハンドリングできるパネルハンドリング装置を提供することを課題とする。【解決手段】パネルハンドリング装置１００は、保持爪４１〜４４によって固定された前面基板１０を把持する把持アーム５１、５２、把持アームを連動させる連動機構６０、連動機構６０を取り付けた可動部材６１、および把持アームを動作させる駆動部６８を有する。駆動部６８によって把持アーム５１を動作させると、ラック６４、６５、およびピニオン６２によって把持アーム５２が連動する。一方の把持アームが基板に接触すると、他方の把持アームの移動を許容するため、可動部材６１がＸ方向に移動する。【選択図】      図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
パネルの互いに対向する２つの縁部を挟持して把持する一対の把持アームと、
これら一対の把持アームを連動させる連動機構と、
この連動機構を上記把持アームの駆動方向に沿って移動自在に取り付けた可動部材と、
上記把持アームを駆動する駆動部と、
を有することを特徴とするパネルハンドリング装置。
【請求項２】
上記連動機構は、上記可動部材に回転可能に取り付けられたピニオン、および上記一対の把持アームに固設された第１および第２ラックを有し、
上記第１および第２ラックは、上記ピニオンを挟む位置でそれぞれ上記駆動方向に延設され上記ピニオンに歯合することを特徴とする請求項１に記載のパネルハンドリング装置。
【請求項３】
上記可動部材を上記駆動方向に沿った任意の位置で固定する固定部材をさらに有することを特徴とする請求項１または２に記載のパネルハンドリング装置。
【請求項４】
上記固定部材は、上記一対の把持アームが上記パネルを把持した位置で上記可動部材を固定することを特徴とする請求項３に記載のパネルハンドリング装置。
【請求項５】
上記可動部材を上記駆動方向に沿ったホームポジションに付勢する付勢部材をさらに有することを特徴とする請求項３に記載のパネルハンドリング装置。
【請求項６】
上記固定部材は、上記可動部材を上記ホームポジションで固定することを特徴とする請求項５に記載のパネルハンドリング装置。
【請求項７】
上記駆動部は、上記一対の把持アームのうち少なくとも一方を上記駆動方向に付勢することを特徴とする請求項１または２に記載のパネルハンドリング装置。
【請求項８】
上記少なくとも一方の把持アームと上記駆動部との間に設けられた緩衝部材をさらに有することを特徴とする請求項７に記載のパネルハンドリング装置。
【請求項９】
上記駆動部は、上記ピニオンを回転させることを特徴とする請求項２に記載のパネルハンドリング装置。
【請求項１０】
上記一対の把持アームは、上記パネルの縁部を受け入れる溝を有するハンド部材をそれぞれ有することを特徴とする請求項１または２に記載のパネルハンドリング装置。
【請求項１１】
上記ハンド部材は、上記把持アームに対して回動自在に取り付けられていることを特徴とする請求項１０に記載のパネルハンドリング装置。
【請求項１２】
パネルの互いに対向する２つの縁部に向けて連動することによりパネルを挟持して把持する把持アームと、
この把持アームの基端部を取り付けているとともに把持アームの駆動方向に沿って移動自在に設けられた可動部材と、
上記把持アームを駆動する駆動部と、
を有することを特徴とするパネルハンドリング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えば、表示装置を構成するガラス基板を把持して次の処理工程へ受け渡すパネルハンドリング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、偏平な平面パネル構造の真空外囲器を有する表示装置として、フィールドエミッションディスプレイ（ＦＥＤ）や、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）等が知られている。また、ＦＥＤの一種として、表面伝導型の電子放出素子を備えた表示装置（以下、ＳＥＤと称する）の開発が進められている。
【０００３】
ＳＥＤは、所定の隙間を置いて対向配置された前面基板および背面基板を有する。これらの基板は、板状のガラスにより形成され、矩形枠状の側壁を介して周縁部を互いに接合され、内部を真空にされて偏平な平面パネル構造の真空外囲器を構成している。
【０００４】
前面基板の内面には３色の蛍光体層が形成され、背面基板の内面には、蛍光体層を励起発光させる電子の放出源として、画素毎に対応する多数の電子放出素子が整列配置されている。また、背面基板の内面上には、電子放出素子を駆動するための多数本の配線がマトリックス状に設けられ、その端部は真空外囲器の外部に引き出されている。
【０００５】
前面基板と背面基板の間には板状のグリッドが配設されている。このグリッドには、電子放出素子に対して整列した位置関係で多数のビーム通過孔が形成されているとともに、前面基板および背面基板の内面に当接することで基板間の隙間を維持するための複数の柱状のスペーサが設けられている。
【０００６】
このＳＥＤを動作させる場合、基板間に１０［ｋＶ］程度の高電圧が印加され、配線に接続した駆動回路を介して各電子放出素子に選択的に駆動電圧が印加される。これにより、各電子放出素子から選択的に電子ビームが放出され、これら電子ビームが、グリッドの対応するビーム通過孔を通って対応する蛍光体層に照射され、蛍光体層が励起発光されてカラー画像が表示されるようになっている。
【０００７】
上述したＳＥＤの前面基板を取り扱う際には、その内面を上にした状態で蛍光体層が形成され、その後、表裏反転されて側壁を有する背面基板に対向されて高精度に位置決めされ、内部を真空な状態にして周縁部が側壁の上端に接合される。このため、内面に蛍光体層が形成された前面基板を把持して移動する特殊なハンドリング装置が必要となる。このようなハンドリング装置として、前面基板の周縁部だけを把持する装置や、前面基板の裏面側を吸着して保持する装置などが考えられる。
【０００８】
前面基板の背面を吸着して保持する装置として、基板背面に負圧を生じさせて吸着する真空チャック装置や、基板背面を帯電させて静電気力により吸着する静電チャック装置などが知られている。しかし、真空チャック装置は、真空雰囲気では使用できない。また、静電チャック装置は、基板に高電圧を印加するため装置が大掛りで重く取り扱いが容易ではなく基板の高精度な位置決めには適していない。
【０００９】
また、処理対象の周縁部だけを把持する装置として、例えば、陰極線管のフロントパネルを移載する移載装置が知られている（例えば、特許文献１参照。）。この移載装置は、ハンガーによって周縁部を懸垂支持したパネルをアンローディング点まで搬送し、下方に待機しているリフタを上昇させてパネルをハンガーから浮き上がらせ、ハンガーを退避させた後、リフタを下降させてパネルをコンベア上にローディングする。
【００１０】
しかし、この従来の移載装置は、パネルの表面にリフタを当接させるため、上述したＳＥＤの前面基板のように内面に蛍光体層が形成されているような前面基板をハンドリングすることはできない。このため、前面基板の内面に接触することなく前面基板の周縁部を把持してハンドリングする装置の開発が望まれている。
【特許文献１】特開２０００−８２４０３号公報（段落［００５３］、［００５４］、図５、図７）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
この発明は、以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、パネルの表面に接触することなく確実にハンドリングできるパネルハンドリング装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するため、本発明のパネルハンドリング装置は、パネルの互いに対向する２つの縁部を挟持して把持する一対の把持アームと、これら一対の把持アームを連動させる連動機構と、この連動機構を上記把持アームの駆動方向に沿って移動自在に取り付けた可動部材と、上記把持アームを駆動する駆動部と、を有する。
【００１３】
上記発明によると、把持アームを連動させる連動機構を把持アームの駆動方向に沿って移動自在としたため、所定位置に固定されている状態のパネルをパネルハンドリング装置が受け取る場合、一方の把持アームがパネルの一方の縁部に接触した後、可動部材がパネルに倣って移動して、他方の把持アームがパネルの反対側の縁部に接触し、固定された状態のパネルに倣ってパネルを挟持することができる。また、逆に、本発明のパネルハンドリング装置の把持アームによって把持されている状態のパネルを他の装置へ受け渡す場合、他の装置がパネルを把持するとき、可動部材が移動して把持アームを移動可能とするため、パネルに応力が生じることを防止でき、パネルの破損を防止できる。
【００１４】
また、本発明のパネルハンドリング装置は、パネルの互いに対向する２つの縁部に向けて連動することによりパネルを挟持して把持する把持アームと、この把持アームの基端部を取り付けているとともに把持アームの駆動方向に沿って移動自在に設けられた可動部材と、上記把持アームを駆動する駆動部と、を有する。
【発明の効果】
【００１５】
この発明のパネルハンドリング装置は、上記のような構成および作用を有しているので、パネルの表面に接触することなく確実にハンドリングできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面を参照しながら、この発明の実施の形態について詳細に説明する。始めに、本発明の実施の形態に係るパネルハンドリング装置（後述する）を用いて製造される表示装置の一例として、ＳＥＤについて説明する。
【００１７】
図１ないし図３に示すように、ＳＥＤ１は、それぞれ矩形状のガラス板からなる前面基板１０および背面基板１２を備え、これらの基板は約１．０〜２．０ｍｍの隙間をおいて対向配置されている。そして、前面基板１０および背面基板１２は、ガラスからなる矩形枠状の側壁１４を介して周縁部同士が接合され、内部が真空の扁平な平面パネル構造の真空外囲器１５を構成している。
【００１８】
前面基板１０の内面には画像表示面として機能する蛍光体スクリーン１６が形成されている。この蛍光体スクリーン１６は、赤、青、緑の蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂ、および遮光層１１を並べて構成され、これらの蛍光体層はストライプ状あるいはドット状に形成されている。また、蛍光体スクリーン１６上には、アルミニウム等からなるメタルバック１７が形成されている。
【００１９】
背面基板１２の内面には、蛍光体スクリーン１６の蛍光体層を励起発光させるための電子を放出する電子放出源として、それぞれ電子ビームを放出する多数の表面伝導型の電子放出素子１８が設けられている。これらの電子放出素子１８は、画素毎に対応して複数列および複数行に配列されている。各電子放出素子１８は、図示しない電子放出部、この電子放出部に電圧を印加する一対の素子電極等で構成されている。また、背面基板１２の内面上には、各電子放出素子１８に駆動電圧を与えるための多数本の配線２１がマトリックス状に設けられ、その端部は真空外囲器１５の外部に引き出されている。
【００２０】
接合部材として機能する側壁１４は、例えば、低融点ガラス、低融点金属等の封着材２０により、前面基板１０の周縁部および背面基板１２の周縁部に封着され、これらの基板同士を接合している。本実施の形態では、背面基板１２と側壁１４をフリットガラスを用いて接合し、前面基板１０と側壁１４をインジウムを用いて接合した。もし、配線２１のある背面基板１２と側壁１４を低融点金属で封着する場合は、配線２１と封着材２０の電気ショートを避けるため、中間層として絶縁層を設けている。
【００２１】
図２ないし図４に示すように、ＳＥＤ１は、前面基板１０と背面基板１２の間に配設されたスペーサ構体２２を備えている。本実施の形態において、スペーサ構体２２は、矩形状の金属板からなるグリッド２４と、グリッドの両面に一体的に立設された多数の柱状のスペーサ３０と、で構成されている。
【００２２】
グリッド２４は、前面基板１０の内面と対向した第１表面２４ａおよび背面基板１２の内面と対向した第２表面２４ｂを有し、これらの基板と平行に配置されている。そして、グリッド２４には、エッチング等により多数の電子ビーム通過孔２６が形成されている。電子ビーム通過孔２６は、それぞれ電子放出素子１８と対向して配列され、電子放出素子から放出された電子ビームを通過させる。
【００２３】
グリッド２４の第１表面２４ａ上には、隣接する電子ビーム通過孔２６間に位置して第１スペーサ３０ａが一体的に立設されている。第１スペーサ３０ａの延出端は、メタルバック１７、および蛍光体スクリーン１６の遮光層１１を介して前面基板１０の内面に当接している。また、グリッド２４の第２表面２４ｂ上には、隣接する電子ビーム通過孔２６間に位置して第２スペーサ３０ｂが一体的に立設されている。第２スペーサ３０ｂの延出端は、背面基板１２の内面上に設けられた配線２１上に当接している。
【００２４】
上記のように構成されたスペーサ構体２２は、前面基板１０および背面基板１２間に配設され、第１および第２スペーサ３０ａ、３０ｂを前面基板１０および背面基板１２の内面にそれぞれ当接せしめることにより、これらの基板に作用する大気圧荷重を支持し、基板間の間隔を所定値に維持している。
【００２５】
また、ＳＥＤ１は、グリッド２４および前面基板１０のメタルバック１７に電圧を印加する図示しない電圧供給部を備え、例えば、グリッド２４に１２ｋＶ、メタルバック１７に１０ｋＶの電圧が印加される。
【００２６】
そして、上記ＳＥＤ１において、画像を表示する場合、配線２１を介して電子放出素子１８の素子電極間に電圧を与え、任意の電子放出素子１８の電子放出部から電子ビームを放出するとともに、蛍光体スクリーン１６およびメタルバック１７にアノード電圧を印加する。電子放出部から放出された電子ビームは、アノード電圧により加速され、グリッド２４の電子ビーム通過孔２６を通った後、蛍光体スクリーン１６に衝突する。これにより、蛍光体スクリーン１６の蛍光体層が励起されて発光し、画像を表示する。
【００２７】
上記構造のＳＥＤ１を製造する場合、予め、蛍光体スクリーン１６およびメタルバック１７の設けられた前面基板１０と、電子放出素子１８および配線２１が設けられているとともに側壁１４が接合された背面基板１２と、を用意しておく。また、グリッド２４に多数のスペーサ３０ａ、３０ｂを設けたスペーサ構体２２を用意しておく。
【００２８】
そして、スペーサ構体２２を背面基板１２上に位置決め配置する。この状態で、前面基板１０、背面基板１２、およびスペーサ構体２２を図示しない真空チャンバ内に配置し、真空チャンバ内を真空排気した後、側壁１４を介して前面基板１０を背面基板１２に接合する。これにより、スペーサ構体２２を備えたＳＥＤ１が製造される。
【００２９】
上述したように、前面基板１０の内面に蛍光体スクリーン１６やメタルバック１７を形成する場合、内面を上に向けて前面基板１０を図示しない処理ステージにセットする。そして、内面に蛍光体スクリーン１６やメタルバック１７を形成した後、前面基板１０を処理ステージから受け取ってその表裏を反転し、ここでは説明を省略する他の処理工程を経て、側壁１４が接合された背面基板１２上に前面基板１０を位置決めして対向配置させる。
【００３０】
つまり、上述したＳＥＤ１を製造するためには、内面に蛍光体スクリーン１６やメタルバック１７を形成した前面基板１０を、その内面に接触することなく処理ステージから受け取って把持し、反転した後、背面基板１２に対して前面基板１０を位置決めする位置決め装置（図示せず）へ前面基板１０を受け渡すパネルハンドリング装置が必要となる。なお、処理対象となる前面基板１０がガラス板により形成されていることから、前面基板１０のハンドリングには十分な注意が必要である。
【００３１】
前面基板１０の内面に接触しないで基板をハンドリングする方法として、前面基板１０の背面を吸着する真空チャック装置や静電チャック装置が知られているが、真空チャック装置は真空雰囲気で使用することができない。また、静電チャック装置は、前面基板１０の背面を帯電させるため高電圧を印加する必要があり、そのための装置構成が大掛りとなり高価となる問題がある。
【００３２】
このため、本願発明者等は、安価な装置構成により、前面基板１０の内面に接触することなくその周縁部を把持して前面基板１０をハンドリングするパネルハンドリング装置を開発した。特に、このパネルハンドリング装置は、前面基板１０に不所望な応力が生じることのないうように把持して受け渡すことを特徴としている。
【００３３】
以下、図５を参照して、本発明の実施の形態に係るパネルハンドリング装置１００（以下、単にハンドリング装置１００と称する）について説明する。なお、図５には、ハンドリング装置１００の要部の構成を模式的に示してあるとともに、上述した処理ステージにある４つの保持爪４１、４２、４３、４４を図示してある。４つの保持爪４１〜４４は、内面を上に向けた状態の前面基板１０（パネル）の周縁部を角部近くで保持し、前面基板１０を所定の処理位置に位置決め配置している。
【００３４】
ハンドリング装置１００は、処理ステージに位置決め配置された前面基板１０の互いに対向する２つの縁部１０ａ、１０ｂを把持して前面基板１０を挟持する一対の把持アーム５１、５２を有する。各把持アーム５１、５２は、前面基板１０の縁部１０ａ、１０ｂをそれぞれ受け入れる細長い溝５３ａ、５４ａを有するハンド部材５３、５４を先端に備えている。各ハンド部材５３、５４は、対応する把持アーム５１、５２の先端に対して回動自在に取り付けられている。
【００３５】
より詳細には、一方のハンド部材５３は、２つの保持爪４１、４３の間で縁部１０ａに作用し、他方のハンド部材５４は、２つの保持爪４２、４４の間で縁部１０ｂに作用する。把持アーム５１、５２は、前面基板１０の上述した縁部１０ａ、１０ｂに沿って延設され、縁部１０ａ、１０ｂから離接する方向（駆動方向）（図中矢印Ｘ1、Ｘ2方向；以下、Ｘ方向とする場合もある）に移動可能に設けられている。
【００３６】
また、ハンドリング装置１００は、上記一対の把持アーム５１、５２を連動させて前面基板１０を挟持するとともに開放する連動機構６０を有する。連動機構６０は、図中左側の把持アーム５１を前面基板１０の縁部１０ａに近付ける動作（矢印Ｘ1方向の動作）に連動して、図中右側の把持アーム５２を他方の縁部１０ｂに近付ける（矢印Ｘ2方向に移動させる）よう機能する。また、連動機構６０は、把持アーム５１を縁部１０ａから離間させる動作（矢印Ｘ2方向の動作）に連動して、把持アーム５２を縁部１０ｂから離間させる（矢印Ｘ1方向の動作）よう機能する。
【００３７】
すなわち、連動機構６０は、後述する可動部材６１に対して回転可能に取り付けられたピニオン６２、および上記一対の把持アーム５１、５２それぞれの基端に固設された第１および第２ラック６４、６５を有する。第１および第２ラック６４、６５は、ハンドリング装置１００のベース部材１０１に対して図中矢印Ｘ方向にスライド自在に取り付けられており、それぞれ、ピニオン６２に歯合している。より具体的には、一方の把持アーム５１に固設された第１ラック６４は、ピニオン６２に対して前面基板１０に近い側から歯合し、他方の把持アーム５２に固設された第２ラック６５は、第１ラック６４との間にピニオン６２を挟む側からピニオン６２に歯合している。
【００３８】
しかして、ピニオン６２を時計回り方向に回転させると、第１ラック６４が矢印Ｘ1方向にスライドするとともに第２ラック６５が矢印Ｘ2方向にスライドし、一対の把持アーム５１、５２が前面基板１０を挟持する。逆に、ピニオン６２を反時計回り方向に回転させると、第１ラック６４が矢印Ｘ2方向にスライドするとともに第２ラック６５が矢印Ｘ1方向にスライドし、一対の把持アーム５１、５２が前面基板１０を開放する。
【００３９】
このように、ピニオン６２を回転させることにより把持アーム５１、５２を連動させるようにしても良いが、少なくとも一方の把持アーム５１、５２を直接矢印Ｘ方向に駆動することで連動機構６０を動作させることもできる。本実施の形態では、第１ラック６４の端部に緩衝部材としてのバネ６６を介して駆動部６８を接続した。つまり、駆動部６８によってクランプ軸６９を矢印Ｘ方向に付勢し、第１ラック６４を矢印Ｘ方向に移動させることで、連動機構６０を動作させるようにした。このとき、バネ６６は、クランプ軸６９の途中に固設されたストッパ６９ａに対して第１ラック６４を矢印Ｘ1方向に付勢するよう機能し、第１ラック６４に矢印Ｘ2方向の不所望な力が加わったときにその応力を吸収するよう機能する。
【００４０】
ピニオン６２を回転可能に取り付けた可動部材６１は、ハンドリング装置１００のベース部材１０１に対して図中矢印Ｘ方向にスライド自在に取り付けられており、ベース部材１０１に取り付けられた固定部材７１によって任意のスライド位置に固定されるようになっている。また、可動部材６１は、ベース部材１０１に固設された２つのストッパ７２、７３の間に配置され、一端をストッパ７２、７３によってそれぞれ係止された２つのバネ７４、７５（付勢部材）によって中立位置に付勢されている。つまり、可動部材６１は、固定部材７１による固定を解除された状態で、常に、バネ７４、７５の付勢力が均衡するホームポジションに付勢されている。
【００４１】
固定部材７１は、図中矢印Ｘ方向に移動可能であるとともに、図中矢印Ｙ方向に移動可能となっており、可動部材６１の移動を許容する場合に矢印Ｙ2方向に退避し、可動部材６１を固定する場合に矢印Ｙ1方向に移動する。固定部材７１は、例えば、把持アーム５１、５２によって前面基板１０を把持した位置に可動部材６１を固定し、或いは可動部材６１を上述したホームポジションに固定する。
【００４２】
以下、上記構造のハンドリング装置１００による動作について説明する。なお、ここでは、処理ステージの保持爪４１〜４４によって固定された状態の前面基板１０をハンドリング装置１００によって掴み取る動作について説明する。
【００４３】
まず、把持アーム５１、５２を十分に広げた状態で、４つの保持爪４１〜４４によって掴まれている前面基板１０の縁部１０ａ、１０ｂにハンド部材５３、５４がそれぞれ対向する位置にハンドリング装置１００を配置する。このとき、前面基板１０の縁部１０ａ、１０ｂとハンドリング部材１００の把持アーム５１、５２が略平行であることが望ましい。また、このとき、ハンド部材５３が保持爪４１、４３間に配置され、ハンド部材５４が保持爪４２、４４間に配置されるように、ハンドリング装置１００が前面基板１０に対して位置決めされる。なお、ハンドリング装置１００の把持アーム５１、５２の紙面方向の高さ位置は、前面基板１０の高さに高精度に合わせて設定されているものとする。この状態を図５に示してある。
【００４４】
この後、駆動部６８によってクランプ軸６９を矢印Ｘ1方向に移動させて第１ラック６４を矢印Ｘ1方向に移動させ、左側の把持アーム５１を矢印Ｘ1方向、すなわち前面基板１０の縁部１０ａに近づく方向に移動させる。同時に、第１ラック６４に歯合したピニオン６２が時計回り方向に回転し、ピニオン６２の反対側で歯合した第２ラック６５が矢印Ｘ2方向に移動し、右側の把持アーム５２が矢印Ｘ2方向、すなわち前面基板１０の縁部１０ｂに近づく方向に移動する。つまり、２つの把持アーム５１、５２が連動機構６０によって連動される。
【００４５】
このとき、前面基板１０が把持アーム５１、５２の丁度中間に位置している場合には、把持アーム５１のハンド部材５３が縁部１０ａに接触すると同時に把持アーム５２のハンド部材５４が縁部１０ｂに接触することになるが、多くの場合、一方のハンド部材が先に前面基板１０に接触することになる。この場合、先に接触したハンド部材によって前面基板１０の縁部が押圧され、固定された状態の前面基板１０に対して不所望な応力が作用して前面基板１０を破損してしまう問題を生じる。このため、本実施の形態では、連動機構６０を取り付けた可動部材６１を矢印Ｘ方向にスライド自在とし、応力の発生を防止するようにした。
【００４６】
つまり、本実施の形態によると、例えば、右側の把持アーム５２が先に前面基板１０に接触した場合、当該把持アーム５２が縁部１０ｂを把持した位置で停止し、必然的に停止した第２ラック６５に歯合したピニオン６２が回転しながら矢印Ｘ1方向に移動しようとする。このとき、ピニオン６２を取り付けた可動部材６１が矢印Ｘ1方向にスライドし、ピニオン６２の時計回り方向の回転および矢印Ｘ1方向の移動を許容する。これにより、右側の把持アーム５２が前面基板１０を押圧することなく、左側の把持アーム５１を縁部１０ａに向けて移動させることができ、前面基板１０に不所望な応力を生じさせることなく、前面基板１０を確実に把持することができる。
【００４７】
また、上述したように２つの把持アーム５１、５２を連動させて前面基板１０を狭持する際には、各把持アーム５１、５２の先端に回転可能に取り付けられたハンド部材５３、５４の溝５３ａ、５４ａ内にそれぞれ対応する基板の縁部１０ａ、１０ｂが受け入れられ、縁部１０ａ、１０ｂの傾きに倣って各ハンド部材５３、５４が回転する。図５に示す状態で縁部１０ａ、１０ｂと把持アーム５１、５２が平行である場合、ハンド部材５３、５４は把持アーム５１、５２に対して回転することはない。
【００４８】
つまり、ハンド部材５３、５４が前面基板１０の相対的な傾きに倣って傾斜することができるため、前面基板１０に対して把持アーム５１、５２が傾いている場合であっても、縁部１０ａ、１０ｂとハンド部材５３、５４との間に不所望な応力を生じることなく、前面基板１０を破損することなく確実に把持することができる。
【００４９】
なお、把持アーム５１、５２によって前面基板１０を把持するクランプ力は、バネ６６のバネ定数によって決定される。また、クランプ動作の終わりは、バネ６６が所定量変形して所定の長さになったときとすることができる。なお、上述したように、把持アーム５１、５２によって前面基板１０を把持した状態では、３つのバネ６６、７４、７５の作用によって、前面基板１０が把持アーム５１、５２によってしっかり把持されているものの、把持アーム５１、５２はバネ６６の付勢力に抗して開閉可能であり、且つバネ７４、７５の付勢力に抗して矢印Ｘ方向にスライド自在である。言い換えると、固定された前面基板１０を把持した把持アーム５１、５２を開閉可能且つ移動可能とすることで、前面基板１０に不所望な応力が生じることを防止できる。
【００５０】
この状態で、可動部材６１を固定部材７１によって固定しても良いが、固定部材７１で可動部材６１を固定する前に、処理ステージの保持爪４１、４２、４３、４４による前面基板１０の拘束を解除する。これにより、可動部材６１が２つのバネ７４、７５の付勢力が均衡するホームポジションに付勢され、前面基板１０が基準位置に配置される。この状態では可動部材６１が不安定であるため、固定部材７１によって可動部材６１をホームポジションに固定することで、前面基板１０をハンドリング装置１００に対して基準位置に固定する。
【００５１】
この後、前面基板１０の表裏を反転させる場合、図示しない反転機構によってベース部材１０１を回転させればよい。  
さらに、上述したようにハンドリング装置１００によって把持されて表裏反転された前面基板１０を図示しない位置決め装置に受け渡す場合、まず、固定部材７１を矢印Ｙ2方向に移動して可動部材６１の固定を解除し、把持アーム５１、５２の開閉動作および把持アーム５１、５２の矢印Ｘ方向への移動を可能とする。この状態で、位置決め装置の図示しない固定部材によって前面基板１０の縁部を固定する。
【００５２】
つまり、ハンドリング装置１００によって前面基板１０を移動可能に保持した状態で位置決め装置の固定部材によって前面基板を把持することで、位置決め装置を基準にして前面基板１０を取り扱うことができ、前面基板１０の受け渡し時に不所望な応力を生じることなく、前面基板１０を確実にハンドリングできる。
【００５３】
以上のように、本実施の形態のハンドリング装置１００を用いると、蛍光体スクリーン１６やメタルバック１７が形成された前面基板１０の内面に接触することなく、且つ前面基板１０に不所望な応力を生じさせることなく、前面基板１０を確実にハンドリングでき、前面基板１０の表裏を反転させることができる。
【００５４】
特に、一対の把持アーム５１、５２を連動させる連動機構６０を取り付けた可動部材６１を把持アーム５１、５２の駆動方向に沿って移動可能としたため、一方の把持アームが先に前面基板１０に接触しても、不所望な応力を与えることがなく、前面基板１０を確実に把持できる。また、把持アーム５１、５２に対してハンド部材５３、５４を回転可能に取り付けたため、把持アーム５１、５２と前面基板１０が相対的に傾斜している場合であっても基板の縁部の傾斜に倣ってハンド部材を回転させることができ、基板を確実に把持できる。
【００５５】
また、２つのバネ７４、７５を用いて可動部材６１をホームポジションに付勢するようにしたため、固定部材７１による固定を解除したとき、常に、把持アーム５１、５２を初期位置に配置でき、位置決めのための基準を容易に与えることができる。
【００５６】
さらに、駆動部６８と第１ラック６４（連動機構６０）との間にバネ６６を設けたため、一定のクランプ力で前面基板１０を把持することができ、且つ把持している状態の基板に外力が作用した場合における緩衝効果を与えることができる。
【００５７】
なお、この発明は、上述した実施の形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上述した実施の形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより種々の発明を形成できる。例えば、上述した実施の形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除しても良い。
【００５８】
例えば、上述した実施の形態では、ＳＥＤ１の前面基板１０をハンドリングする装置に本発明を適用した場合について説明したが、これに限らず、表面に接触できないパネルを取り扱う装置全般に本発明を適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】この発明の実施の形態に係るパネルハンドリング装置を用いて製造されるＳＥＤを示す外観斜視図。
【図２】図１のＳＥＤを線分II−IIに沿って切断した断面図。
【図３】図２の断面を部分的に拡大して示す部分拡大断面図。
【図４】図１のＳＥＤに組み込まれるスペーサ構体を示す外観斜視図。
【図５】この発明の実施の形態に係るパネルハンドリング装置の概略構造を説明するための模式図。
【符号の説明】
【００６０】
１…ＳＥＤ、１０…前面基板、１０ａ、１０ｂ…縁部、１２…背面基板、１４…側壁、１５…真空外囲器、１６…蛍光体スクリーン、１７…メタルバック、４１〜４４…保持爪、５１、５２…把持アーム、５３、５４…ハンド部材、６０…連動機構、６１…可動部材、６２…ピニオン、６４…第１ラック、６５…第２ラック、６６、７４、７５…バネ、６８…駆動部、６９…クランプ軸、７１…固定部材、１００…パネルハンドリング装置、１０１…ベース部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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