(57)【要約】【課題】  回動前後で面平行度が高いＹ−θテーブル装置を得る。【解決手段】  一方向（Ｙ方向）に移動可能なベーステーブル１７０上に、９０度回動可能な上面テーブル１４０を設けたＹ−θテーブル装置２３０において、テーブル回動時はベーステーブル１７０と上面テーブル１４０の間に圧縮空気を供給して浮上させ、固定時は減圧空気で上面テーブル１４０の下面とベーステーブル１７０の上面を密着させた。【選択図】        図２
2005132649.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベーステーブル上にワークを固着する上面テーブルを装着し、該上面テーブルをベーステーブル面上で略９０度回動して固定可能に設けたＹ−θテーブル装置において、ベーステーブル上面と上面テーブルの下面との間に、調圧空気供給手段の出力部を設け、回動時は加圧空気をもって上面テーブルをベーステーブルから浮上させ、固定時は減圧空気をもってベーステーブルに吸着させることを特徴にしたＹ−θテーブル装置。
【請求項２】
外輪を円筒状のベアリンケースと外輪押えで固定したラジアルベアリングの内輪を下軸のシャフト部に嵌合し更に内輪押えで一体化した下軸組立を、ベーステーブルの中心に設けたメタル軸受内にスラスト方向摺動自在に納め、且つバネ板をもってベーステーブルと固着し、更に下軸の上端を上面テーブルの底面に固着したことを特徴とする請求項１記載のＹ−θテーブル装置。
【請求項３】
前記調圧空気供給手段は、ベーステーブル上面に凹状に設けた調圧空気の吐出部を成すエアーパッドと、ベーステーブルの側面に設け調圧空気の供給部を成す管継手、並びにベーステーブル内に孔設し前記エアーパッドと前記管継手を連結するエアー通路とから成ることを特徴とする請求項１乃至２のいずれか１つに記載のＹ−θテーブル装置。
【請求項４】
前記エアーパッドはベーステーブルに設けた回転中心と同心円を成す小円上に中心を有する複数個の内エアーパッドと、前記回転中心と同心円を成す大円上に中心を有する複数個の外エアーパッドとから成り、且つ全てのエアーパッドは流体的に連結していることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１つに記載のＹ−θテーブル装置。
【請求項５】
前記エアーパッドの掘り込み深さは１０〜３０μｍであることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１つに記載のＹ−θテーブル装置。
【請求項６】
回動時における上面テーブルのベーステーブルからの浮上量が１０〜６０μｍであることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１つに記載のＹ−θテーブル装置。
【請求項７】
Ｙ方向に移送可能なベーステーブル上にワークを固着する上面テーブルを装着し、該上面テーブルはベーステーブル面上で略９０度回動して固定可能なＹ−θテーブル装置を持ち且つＸ方向にカッターヘッドが移動可能な自動ガラススクライバーにおいて、該Ｙ−θテーブル装置として請求項１乃至６のいずれか1つに記載のＹ−θテーブル装置を具備したことを特徴とする自動ガラススクライバー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｙ−θテーブル装置及びそれを備えた自動ガラススクライバー装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
各種電子機器部品等の表示部に使用する液晶パネルあるいは顕微鏡標本の作成に使用するスライドガラスを造る場合、大型のパネルを分割することにより所定の大きさのガラス基板を得る。ガラス基板の切断方法としては、切断装置の載物面上に真空吸着等の手段でガラス基板を固定し、ガラス基板の片面側にその外周部が超硬合金、ダイヤモンド等の硬質部材で形成されたホイール状のカッターにより、スクライブと呼ばれる線状の条痕を施し、反対面側よりプレス、またはローラー等の押圧手段によりスクライブ線に沿って加圧し、ガラス基板のスクライブ溝に発生した基板面に対し垂直方向のクラックを進展させて切断する、いわゆるスクライブ法が一般的に行われている。
【０００３】
以下背景技術を図７〜１４を用いて説明する。図７は背景技術における自動ガラススクライバーの平面図、図８は図７の側面図、図９は図７におけるＹ−θテーブル装置３０部分の平面図、図１０は図９のＡ−Ａ断面図、図１１は図９のベーステーブルの上面図、図１２は図１１のＢ−Ｂ断面図、図１３は図９の回転テーブルの上面図、図１４は図１３のＣ−Ｃ断面図である。
【０００４】
図７、８に示す様に、従来の自動ガラススクライバー１００は、長方形をしたベース１上において、長手方向に並設した２本のガイドレール台２を設け、その上に、夫々テーブルガイドレール３を固定しておく。そして、その２本のテーブルガイドレール３の中央部には、テーブルガイドレール３に平行してＹ方向ボールネジ４を２個の軸受５で支持している。Ｙ方向ボールネジ４の軸線延長上には正転及び逆転が可能なＹ方向送りモータ７を設け、その出力軸とＹ方向ボールネジ４をカップリング８で接続している。
【０００５】
Ｙ方向ボールネジ４にはＹ方向ボールナット９が嵌合し、そのＹ方向ボールナット９はＹ−θテーブル装置３０の底面に固定している。Ｙ−θテーブル装置３０の底面にはまたガイドブロック１１を４個取付け、そのガイドブロック１１をテーブルガイドレール３と摺動自在に嵌合している。
【０００６】
ベース１のＹ方向略中央部分には、テーブルガイドレール３を跨いで、カッターヘッドガイド１２及びＸ方向ボールネジ１３を支持柱６で支持している。Ｘ方向ボールネジ１３の一端には、正逆転可能なＸ方向モータ１４を接続し、中間部にはＸ方向ボールナット１５を嵌合している。カッターヘッドガイド１２にはカッターヘッド１６を摺動自在に嵌合し、カッターヘッド１６にはカッター１７を取付けている。Ｘ方向ボールナット１５とカッターヘッド１６は一体化（図示しない手段で）しているので、カッターヘッド１６に固着したカッター１７はＸ方向に移動自在である。又、カッター１７はカッターヘッド１６上でＺ方向に移動可能な構造となっている。
【０００７】
図９〜１４に示す様に、Ｙ−θテーブル装置３０は上面テーブル４０とベーステーブル７０を主な構成要素とし、上面テーブル４０は載置テーブル５０と回転テーブル６０を主な構成要素としている。円形厚板７１を主な構成要素とするベーステーブル７０の上側にある回転テーブル６０は略八角形をした厚板６１を主要構成要素として、その中心部には上軸６２と下軸６３が、それぞれのフランジ部を介してねじ止めされ、上軸６２のシャフト部が上方に、又、下軸６３のシャフト部は下方に突出している。また、回転テーブル６０の一端面にはセクター６４がねじ止めされている。そして、回転テーブル６０の上側には載置テーブル５０が載せられ、載置テーブル５０の中心部に設けたメタル軸受５５と回転テーブルの上軸６２が嵌合している。
【０００８】
載置テーブル５０は回転テーブル６０に対して、上軸６２を中心にして微小回転可能になっている。即ち、回転テーブル６０の一端面にはブラケット６６を介して、駒６５が取り付けられている。一方、載置テーブル５０の下面には正逆転可能なテーブル微調モータ５１が取り付けられ、このモータの出力軸に連結した微調ボールネジ５２に噛み合った微調ボールナット５３の移動で、回転テーブル６０に固定した駒６５に力を作用させることにより、載置テーブル５０と回転テーブル６０はプラス２度〜マイナス２度の範囲で方向ズレを修正できる。尚、回転テーブル６０の上面に設けたリング状の突起６９が載置テーブル５０との摺動面となる。
【０００９】
円形厚板７１を基本形状とするベーステーブル７０は、その中心にラジアルベアリング７７を備えた軸受部がある。又、円形厚板７１の上面側には、同心円上に二本の円形溝７５ＬＩ、７６ＬＯが彫られ、内クロスローラーベアリング７５と外クロスローラーベアリング７６が埋め込まれている。又、ベーステーブル７０の側面には、正逆転可能なテーブル回転モータ７２がブラケット７３を介して取り付けられ、その出力軸にはピニオン７４が取り付いている。
【００１０】
上面テーブル４０をベーステーブル７０に搭載するには、ベーステーブル７０のラジアルベアリング７７と回転テーブル６０の下軸６３を嵌合させる。この時、回転テーブル６０とベーステーブル７０の間にある内クロスローラーベアリング７５は、回転テーブル６０の下面に設けた溝７５ＵＩに、外クロスローラーベアリング７６は、溝７６ＵＯに夫々嵌合し、ベーステーブル７０から上側のスラスト荷重をこれらのベアリングで支持する。又、テーブル回転モータ７２に付いているピニオン７４は、回転テーブル６０に付いているセクター６４と噛み合い、上面テーブル４０はベーステーブル７０に対し９０度回動可能となる。
【００１１】
９０度回動する上面テーブル４０上に搭載するワーク５４（ガラス板）の吸着に用いる真空用の配管及び制御電線の引回しは、ベース１側より、Ｙ−θテーブル装置３０の中心部を経由して上面テーブル４０部に連結する。この為、下軸６３には軸方向貫通孔６３ｈが、八角厚板６１のセンターには穴６１ｈが、上軸６２のフランジ部底面には横溝６２ｓが刻設してあり、また回転テーブル６０の上面側には中心から端部に向けて引き回し溝６８が刻設してある。  
【００１２】
次に従来の自動ガラススクライバー１００の使用法を簡単に説明しておく。先ず、載置テーブル５０上にワーク５４（ガラス基板）を固着する為、Ｙ方向送りモータ７によってＹ−θテーブル装置３０を支持柱６が邪魔にならない位置迄移動する。この後、載置テーブル５０上にワーク５４（ガラス基板）を固定する。ワーク５４（ガラス基板）のアライメントマークをモニターしながら、微調モータ５１を用いてワーク５４（ガラス基板）の位置を微調し、これが確定したらカッター１７を降ろす。その後、Ｙ方向送りモータ７によって、Ｙ−θテーブル装置３０をＹ軸方向に送りながら、ワーク５４（ガラス基板）をその端面迄スクライブする。次に、カッター１７をＺ方向に上げた状態で、Ｙ−θテーブル装置３０をＹ方向に戻してから、Ｘ方向送りモータ１４でカッターヘッド１６をＸ方向に送り、次のスクライブ位置に達したら再びカッター１７を降ろし、Ｙ−θテーブル装置３０をＹ軸方向に移動させながらワーク５４（ガラス基板）をスクライブ、この工程を繰り返すことで一定方向の全てのスクライブを行う。これが完了したら、テーブル回転モータ７２によって上面テーブル４０を９０度回転させ、それに搭載したワーク５４（ガラス基板）の向きを９０度回転させた後、再びＹ−θテーブル装置３０及びカッター１７に、テーブル回転前と同様の動きをさせることで、先に施したスクライブ線と直交するスクライブ線をワーク５４（ガラス基板）上に格子状に刻んでいく。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
上記のような従来の自動ガラススクライバー１００では、上面テーブル４０の回転前と後の載置テーブル５０上面側の平行度が重要になる。即ち、ワーク５４（ガラス基板）のスクライブに際してはスクライブ深さを高精度に一定に維持しないと、カット断面がきれいにならないという事が判明した。しかし、ベーステーブル７０と回転テーブル６０の間にクロスローラーベアリングを用いると、上面テーブル４０の回転前と回転後の平行度はクロスローラーベアリングの平行度に影響されてしまう。ところが、量産市販品のクロスローラーベアリングの平行度は、例えば直径８００ｍｍとした場合、３０〜４０μｍ位の差が生じるのは一般的である。一方、自動ガラススクライバー１００で高品質なカット（つまり、製品の価値を低下させる様なガラス切断端面での、突起や、水平方向のクラック、表面での欠けが少なく、またスクライブ後のブレイクの際に、スクライブラインに沿ってのガラス板の正確な切断が行われること）を行うには２０μｍ以下に納める必要があることが実験的に確認された。
【００１４】
また近年のワーク５４（ガラス基板）の大型化に伴い、上面テーブル４０も大きくなり、クロスローラーベアリングをテーブルの大きさに合わせる必要上どうしても大口径の高価な物を用いざるをえなかった。また、市販のクロスローラーベアリングを用いる場合、平行精度の高いものは量産品を選別する為一層高価にならざるを得なかった。また、クロスローラーベアリングには潤滑油は不可欠で、最近増えてきたクリーンルーム仕様の自動ガラススクライバーではそれに対応した高価なクロスローラーベアリングが要求された。また、クロスローラーベアリングではグリスアップ（潤滑油の注油）や部品交換のような定期的メンテナンスも不可欠である。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は上記課題を解決するために成されたものである。解決する手段として、本発明の請求項１記載に係わる発明は、ベーステーブル上にワークを固着する上面テーブルを装着し、該上面テーブルをベーステーブル面上で略９０度回動して固定可能に設置したＹ−θテーブル装置において、ベーステーブル上面と上面テーブルの下面との間に、調圧空気供給手段の出力部を設け、回動時は加圧空気をもって上面テーブルをベーステーブルから浮上させ、固定時は減圧空気をもってベーステーブルに吸着させることを特徴とするものである。
【００１６】
また、本発明の請求項２記載に係わる発明は、外輪を円筒状のベアリンケースと外輪押えで固定したラジアルベアリングの内輪を下軸のシャフト部に嵌合し更に内輪押えで一体化した下軸組立を、ベーステーブルの中心に設けたメタル軸受内にスラスト方向摺動自在に納め、且つバネ板をもってベーステーブルと固着し、更に下軸の上端を上面テーブルの底面に固着したことを特徴とするものである。
【００１７】
また、本発明の請求項３記載に係わる発明は、前記調圧空気供給手段は、ベーステーブル上面に凹状に設けた調圧空気の吐出部を成すエアーパッドと、ベーステーブルの側面に設け調圧空気の供給部を成す管継手、並びにベーステーブル内に孔設し前記エアーパッドと前記管継手を連結するエアー通路とから成ることを特徴とするものである。
【００１８】
また、本発明の請求項４記載に係わる発明は、前記エアーパッドはベーステーブルに設けた回転中心と同心円を成す小円上に中心を有する複数個の内エアーパッドと、前記回転中心と同心円を成す大円上に中心を有する複数個の外エアーパッドとから成り、且つ全てのエアーパッドは流体的に連結していることを特徴とするものである。
【００１９】
また、本発明の請求項５記載に係わる発明は、前記エアーパッドの掘り込み深さは１０〜３０μｍであることを特徴とするものである。
【００２０】
また、本発明の請求項６記載に係わる発明は、回動時における上面テーブルのベーステーブルからの浮上量が１０〜６０μｍであることを特徴とするものである。
【００２１】
また、本発明の請求項７記載に係わる発明は、Ｙ方向に移送可能なベーステーブル上にワークを固着する上面テーブルを装着し、該上面テーブルはベーステーブル面上で略９０度回動して固定可能なＹ−θテーブル装置を持ち且つＸ方向にカッターヘッドが移動可能な自動ガラススクライバーにおいて、該Ｙ−θテーブル装置として請求項１乃至６のいずれか1つに記載のＹ−θテーブル装置を具備したことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００２２】
本発明のＹ−θテーブル装置は上面テーブル回転前と後の載置テーブル面上平行度が回転テーブル下面の機械加工仕上り平行度にならうので、高精度の平行度を出し易い。また、ワークに対するカッター押付力によるモーメントでのテーブルの上下動が無くなる。この結果、本発明のＹ−θテーブル装置をガラススクライバーに用いると、スクライブ深さを高精度に一定に維持でき、高品質なカットを行うことができる。また、高価なクロスローラーベアリングを使用する必要がなくなり、クロスローラーベアリングを用いた場合必要だったメンテナンス費用、即ち、定期的なグリスアップ、磨耗劣化に基づくベアリング交換も不要になり、又、ベアリング潤滑油によるクリーンルーム汚染対策も不要になる事で生産品のコストダウンが可能になった。また、テーブル回転時の抵抗が小さくなり、モータが小出力で間に合う事でのコストダウンや省エネへの貢献といった効果も生じた。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
次に本発明を実施するための最良の形態を図１〜６を用いて説明する。図１は本発明の自動ガラススクライバーの側面図を、図２は自動ガラススクライバーに用いた本発明のＹ−θテーブル装置の主要部の縦断面図を、図３は図２のＹ−θテーブル装置の主要部品の一つであるベーステーブルの上面図を、図４は図３のベーステーブルのＤ−Ｄ断面図を、図５は図２のＹ−θテーブル装置の主要部品の一つである回転テーブルの縦断面図を、図６は図５の回転テーブルの底面図を示している。図１に示した本発明の自動ガラススクライバーは、Ｙ−θテーブル装置を除いて、図７、８に示した従来の自動ガラススクライバーと同じである。従って、本発明の自動ガラススクライバーの平面図は図７を参考にしてもらいたい。また背景技術で説明した構成部品と全く同一部品は同一符号を付し、簡単な説明にとどめた。
【００２４】
図１に示す様に、本発明の自動ガラススクライバー２００は、背景技術で説明した自動ガラススクライバー１００と同様に、長方形のベース１上に並設した２本のガイドレール台２上に、夫々テーブルガイドレール３を固定してある。そして、その２本のテーブルガイドレール３の中央部にはＹ方向ボールネジ４が軸受５で支持され、Ｙ方向ボールネジ４の軸線上には正転及び逆転が可能なＹ方向送りモータ７が設けられ、その出力軸はＹ方向ボールネジ４とカップリング８で接続している。Ｙ−θテーブル装置２３０の底面には、Ｙ方向ボールネジ４に嵌合したＹ方向ボールナット９及びテーブルガイドレール３と摺動自在に嵌合している４個のガイドブロック１１が取り付けられている。
【００２５】
ベース１のＹ方向略中央部分では、支持柱６をもってカッターヘッドガイド１２及びＸ方向ボールネジ１３が支持され、Ｘ方向ボールネジ１３の一端には正逆転可能なＸ方向モータ１４が、中間部にはＸ方向ボールナット１５が嵌合している。Ｘ方向ボールナット１５とカッターヘッド１６は一体化（図示しない手段で）し、またカッターヘッドガイド１２に摺動自在に嵌合しているカッターヘッド１６には、Ｚ方向に移動可能にカッター１７が取り付けられている。
【００２６】
本発明のＹ−θテーブル装置２３０は、図２に示す様に、上面テーブル１４０とベーステーブル１７０を主な構成要素とし、その上面テーブル１４０は載置テーブル５０と回転テーブル１６０を主な構成要素としている。円形厚板状のベーステーブル１７０の上側にある回転テーブル１６０は略八角形厚板１６１を主要構成部品として、その中心部には上軸６２と下軸１６３が、そのフランジ部を介してねじ止めされ、上軸のシャフト部が上方にまた、下軸のシャフト部は下方に突出している。また、回転テーブル１６０の一端面にはセクター６４がねじ止めされている。そして、回転テーブル１６０の上側には載置テーブル５０が載せられ、載置テーブル５０の軸受部を成すメタル軸受５５と回転テーブル１６０の上軸６２が嵌合している。
【００２７】
載置テーブル５０は回転テーブル１６０に対して、上軸６２を中心にして微小回転可能である。即ち、回転テーブル１６０の一端面にはブラケット６６を介して、駒６５が取付いている。一方、載置テーブル５０の下面には正逆転可能なテーブル微調モータ５１が取付けられ、このモータ出力軸に連結して微調ボールネジ５２が設けられ、この微調ボールネジ５２に噛み合ったボールナット５３の移動で回転テーブル１６０に固定した駒６５に力を与えることにより、載置テーブル５０が微小回転する。この微調はワーク５４（ガラス基板）を固定した後、カメラでアライメントマークを見ながら行う。
【００２８】
又、円形厚板１８１を基本形状とするベーステーブル１７０は、その中心にラジアルベアリング７７を備えた軸受部があり、この軸受部と回転テーブル１６０の下軸１６３と嵌合する。即ち、下軸１６３の下方部分を成すシャフト部には、ベアリングケース１８２内に収納し、更に外輪押え１８３で固定したラジアルベアリング７７の内輪を嵌合する。更にこのラジアルベアリング７７は、下軸１６３にネジ止めした内輪押え１８４をもって下軸１６３に取付いている。円形厚板１８１のベアリング取付部は、リン青銅から成る円筒状のメタル１８５が圧入固着してあり、その内筒にラジアルベアリング７７を収納したベアリングケース１８２を軸方向摺動自在に設け、又、内輪押え１８４の下端面にネジ止めしたステンレス薄板材から成るバネ板１８６を、円形厚板１８１のベアリング取り付け部の下端面にネジ止めした。この構成の結果、下軸１６３はラジアルベアリング７７で回転自在に、且つスラスト方向にはバネ板１８６の弾性変形により微小範囲で摺動可能となる。
【００２９】
ベーステーブル１７０の軸受部に取付けられた下軸１６３のフランジ部を回転テーブル１６０の中心部にネジ止めすることで上面テーブル１４０をベーステーブル１７０に搭載する。尚、この時、ブラケット７３を介してベーステーブル１７０の側面に取付けた正逆転可能なテーブル回転モータ７２の出力軸に取付けたピニオン７４は回転テーブル１６０に固定したセクター６４と噛み合う。この結果、テーブル回転モータ７２によって回転テーブル１６０（即ち、上面テーブル１４０）はベーステーブル１７０に対し略９０度回動可能になる。
【００３０】
９０度回動する上面テーブル４０上に搭載するワーク５４（ガラス板）の吸着に用いる真空用の配管及び制御電線の引回しは、ベース１側より、Ｙ−θテーブル装置２３０の中心部を経由して上面テーブル１４０に連結する。この為に、下軸１６３には軸方向貫通孔１６３ｈが、八角厚板１６１にはセンター穴１６１ｈが、上軸６２には横溝６２ｓが、また回転テーブル１６０には引回し溝６８が刻設してある。  
【００３１】
又、ベーステーブル１７０の上面側には、リング状の内エアーパッド台１７１が、又その外周には同心円を成す外エアーパッド台１７２が凸設してあり、内エアーパッド台１７１上には円形の内エアーパッド１７３が、外エアーパッド台１７２上には円形の外エアーパッド１７４が凹設してある。ベーステーブル１７０の側面には複数の管継手が設けられている。管継手Ａ１７５は、ベーステーブル１７０内に孔設した外エアー通路１７６を介して外エアーパッド１７４に連通すると同時に内エアー通路１７７を介して内エアーパッド１７３にも連通している。又、管継手Ｂ１７８は外エアー通路１７６を介して外エアーパッド１７４に連通している。又、管継手Ｃ１７９は、外エアー通路１７６を介して外エアーパッド１７４に連通していると同時に内エアー通路１７７を介して内エアーパッド１７３にも連通している。何れの管継手も３方向の流路を有し、管継手Ａ１７５は調圧空気源（図示せず）に連通すると同時に、隣の管継手Ｂ１７８にも連通している。更に、この管継手Ｂ１７８は管継手Ｃ１７９に流体的に連通し、これを繰り返すことで全エアーパッドは流体的に連通している。
【００３２】
回転テーブル１６０の下面側には、リング状の内受圧溝１６６が、更にその外周には、外受圧溝１６７が凹設してある。テーブルを組み付けた時、内受圧溝１６６が内エアーパッド台１７１と、外受圧溝１６７が外エアーパッド台１７２と重なる。
【００３３】
本発明のＹ−θテーブル装置２３０の利用に関しては、テーブル回転モータ７２によって上面テーブル１４０を９０度回転させ、それに搭載したガラス基板の向きを９０度回転させる場合、先ず、ベーステーブル１７０のエアーパッド１７３、１７４から圧縮空気を供給し、回転テーブル１６０（即ち上面テーブル１４０）を空気圧で上昇させる。テーブル上昇量は、上面テーブル１４０を下方に押し下げる力、即ち、上面テーブル１４０の重量とバネ板１８６のバネ力（即ちバネ板１８６の形状、物性値、取付け方法等で定まる）に対する上面テーブル１４０を押し上げる力、即ち、大略エアーパッド面に掛かる空気圧に元ずく力のバランス点で定まる。テーブル上昇量は、回転テーブル１６０の回転時にベーステーブル１７０をかじらない範囲で最小寸法になる事が望ましい。内外エアーパッド１７３，１７４への供給空気圧を３．５ｋｇ／ｃｍ２  とした場合、上昇量は１０〜６０μｍ位が適当である。又、ベーステーブル１７０と回転テーブル１６０（即ち上面テーブル１４０）を固定する場合はエアーパッドに減圧空気を供給して吸着固定した。
【００３４】
尚、自動ガラススクライバー２００を利用する場合の基本的手順、即ち、１）載置テーブル５０上にワーク５４（ガラス基板）を固定する段取りや、微調モータ５１を用いてワーク５４（ガラス基板）の位置を調整後、カッター１７を降ろして、Ｙ−θテーブル装置２３０をＹ軸方向に送りながらワーク５４（ガラス基板）をスクライブする事、２）この後、カッター１７を上げた状態で、Ｙ−θテーブル装置２３０を戻し、カッターヘッド１６をＸ方向に送り、次のスクライブ位置において、ワーク５４（ガラス基板）をスクライブする工程を繰返す事で一定方向の全スクライブを完了させる事、３）その後、上面テーブル１４０を９０度回転させて、それに搭載したワーク５４（ガラス基板）の向きを９０度回転させた後、再びＹ−θテーブル装置２３０及びカッター１７に、テーブル回転前と同様の動きをさせ、先に施したスクライブ線と直交するスクライブ線をワーク５４（ガラス基板）上に刻んでいく事、は既に説明した背景技術と全く同一である。
【産業上の利用可能性】
【００３５】
本明細書では、本発明のＹ−θテーブル装置の利用形態として自動ガラススクライバーを挙げて説明した。しかし本発明のＹ−θテーブル装置の利用は、これに限るものではない。テーブル回転が必要な加工機には基本的に全て利用可能である。その中でも特にメリットが大きいものとしては、例えば各種ＬＳＩ部品の自動加工機に用いれば高精度の切り込み深さ制御が達成可能になり部品の品質や歩留まりが向上する。また大型のワークを加工する工作機械、例えば、専用フライス盤等に応用すれば、大口径故に高価で且つ頻繁にメンテナンスが必要になるクロスローラーベアリングの使用が不要になりコストダウン達成の効果を生じる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の自動ガラススクライバーの側面図である。
【図２】図１の自動ガラススクライバーに用いたＹ−θテーブル装置の縦断面図である。
【図３】図２のベーステーブルの上面図である。
【図４】図３のＤ−Ｄ断面図である。
【図５】図２の回転テーブルの縦断面図である。
【図６】図２の回転テーブルの底面図である。
【図７】従来技術における自動ガラススクライバーの平面図である。
【図８】図７の側面図である。
【図９】図７におけるＹ−θテーブル装置部分の平面図である。
【図１０】図９のＡ−Ａ断面図である。
【図１１】図９のベーステーブルの上面図である。
【図１２】図１１のＢ−Ｂ断面図である。
【図１３】図９の回転テーブルの上面図である。
【図１４】図１３のＣ−Ｃ断面図である。
【符号の説明】
【００３７】
４  Ｙ方向ボールネジ  
７  Ｙ方向送りモータ  
９  Ｙ方向ボールナット
１２  カッターヘッドガイド
１３  Ｘ方向ボールネジ
１４  Ｘ方向モータ
１７  カッター
３０、２３０  Ｙ−θテーブル装置
４０、１４０  上面テーブル
５０  載置テーブル
５１  テーブル微調モータ
５４  ワーク（ガラス板）
５５  メタル軸受
６０、１６０  回転テーブル
６４  セクター
７０、１７０  ベーステーブル
７２  テーブル回転モータ
７４  ピニオン
７５  内クロスローラーベアリング
７６  外クロスローラーベアリング
１００、２００  自動ガラススクライバー
１６６  内受圧溝
１６７  外受圧溝
１７３  内エアーパッド
１７４  外エアーパッド
１７５  管継手Ａ
１７６  外エアー通路
１７７  内エアー通路
１７８  管継手Ｂ
１７９  管継手Ｃ
１８２  ベアリングケース
１８３  外輪押え
１８４  内輪押え
１８５  メタル
１８６  バネ板
【図１】
2005132649.tif 000003
【図２】
2005132649.tif 000004
【図３】
2005132649.tif 000005
【図４】
2005132649.tif 000006
【図５】
2005132649.tif 000007
【図６】
2005132649.tif 000008
【図７】
2005132649.tif 000009
【図８】
2005132649.tif 000010
【図９】
2005132649.tif 000011
【図１０】
2005132649.tif 000012
【図１１】
2005132649.tif 000013
【図１２】
2005132649.tif 000014
【図１３】
2005132649.tif 000015
【図１４】
2005132649.tif 000016