(57)【要約】【課題】通電時の内部発熱から摺動部を保護するとともに、内部発熱による内部温度を低減し、通電能力を向上するとともに、長寿命化を図る。【解決手段】一端が可動電極支持板２６と一端が機械的に接続された摺動軸２８を可動側端板２２を挿通して調整ナット１４と螺合し、摺動軸２８が摺動自在に挿通された摺動ガイド３２を支持するヒートパイプ３０を真空容器２３の外まで伸ばして冷却媒体により冷却する。又、真空容器２３内に設けた通電用ベローズ３６とヒートパイプ３０、摺動軸２８、摺動ガイド３２との間を仕切る熱遮蔽用ベローズ３７を設け、各ベローズ３６，３７間において外部から冷却媒体が通流される冷却パイプ３８を可動側端板２２に取り付ける。又、各ベローズ３６，３７間において可動電極支持板２６に孔２６ｃを設ける。【選択図】図１
2005183844.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁筒の両端を固定側端板及び可動側端板により閉塞した真空容器と、真空容器内において固定側端板と対向配置された可動電極支持板と、固定側端板及び可動電極支持板に対向して立設された固定電極及び可動電極と、一端が可動電極支持板に取り付けられるとともに、他端が可動側端板に挿通され、操作機構と連結された摺動軸と、摺動軸が摺動自在に挿通された摺動ガイドと、真空容器内において両端が可動電極支持板及び可動側端板に取り付けられた筒状の通電用ベローズと、通電用ベローズの内側において可動側端板に取り付けられ、摺動ガイドを支持する摺動ガイド支持部と、通電用ベローズの内側で摺動ガイド支持部の外側において両端が可動電極支持板及び可動側端板に取り付けられた筒状の熱遮蔽用ベローズと、各ベローズの間に位置して可動側端板に取り付けられ、外部から冷却媒体が通流される冷却パイプとを備えたことを特徴とする真空可変コンデンサ。
【請求項２】
絶縁筒の両端を固定側端板及び可動側端板により閉塞した真空容器と、真空容器内において固定側端板と対向配置された可動電極支持板と、固定側端板及び可動電極支持板に対向して立設された固定電極及び可動電極と、一端が可動電極支持板に取り付けられるとともに、他端が可動側端板に挿通され、操作機構と連結された摺動軸と、摺動軸が摺動自在に挿通された摺動ガイドと、真空容器内において両端が可動電極支持板及び可動側端板に取り付けられた筒状の通電用ベローズと、通電用ベローズの内側において可動側端板に取り付けられ、摺動ガイドを支持する摺動ガイド支持部と、通電用ベローズの内側で摺動ガイド支持部の外側において両端が可動電極支持板及び可動側端板に取り付けられた複数の筒状の熱遮蔽用ベローズとを備えたことを特徴とする真空可変コンデンサ。
【請求項３】
真空容器内の大気側と外部とを連通する空気孔を設けたことを特徴とする請求項２記載の真空可変コンデンサ。
【請求項４】
各ベローズ間において可動電極支持板に孔を設けたことを特徴とする請求項１記載の真空可変コンデンサ。
【請求項５】
摺動ガイド支持部を真空容器外まで伸ばし、この真空容器外部分を冷却媒体により冷却するようにしたことを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の真空可変コンデンサ。
【請求項６】
摺動軸と可動電極支持板との接続をロー付けではなく、機械的接続としたことを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の真空可変コンデンサ。
【請求項７】
熱遮蔽用ベローズに通電能力を持たせたことを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載の真空可変コンデンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、大電力発振器の発振回路、半導体製造装置用の高周波電源回路、あるいは誘導加熱装置のタンク回路等に用いられる真空可変コンデンサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
真空コンデンサの構造を大別すると、静電容量値が固定されている真空固定コンデンサと静電容量値を可変することができる真空可変コンデンサとがある。真空可変コンデンサの耐電圧・静電容量特性を安定させ、かつ全長の小形化を図ったものとして、特許文献１に示されたものがある。このコンデンサと同種のコンデンサを図２により説明する。図において、１はセラミックス製の絶縁筒であり、絶縁筒１の一端には固定側端板２を接合するとともに、絶縁筒１の他端には接続筒３を介して可動側端板４を接合し、真空容器５を形成する。固定側端板２の内面側には複数の径が異なる円筒状電極板６ａを同心状に取り付けて、固定電極６を形成する。７は固定側端板２の内面側の中心に固定ガイド８を介して立設されたセンターピンであり、真空容器５内に固定側端板２と対向して配置された可動電極支持板９には固定電極６の各円筒状電極板６ａ間に非接触で挿出入できるように径が異なる複数の円筒状電極板１０ａを同心状に取り付け、可動電極１０を構成する。
【０００３】
１１は可動電極支持板９の中心に貫通して一体的に設けられた筒状の可動リードであり、可動リード１１はセンターピン７とは電気的に絶縁される。又、可動側端板４の中心には孔４ａを設け、この孔４ａの周辺部において可動側端板４の内面側に筒状のヒートパイプ１２を立設し、ヒートパイプ１２の内面には内方に突出した鍔部１２ａを設ける。１３は外周に雄ねじ部１３ａが形成された調整ねじであり、その一端は可動リード１１に嵌合固定され、他端はヒートパイプ１２の鍔部１２ａに挿通される。１４は操作機構側の調整ナットであり、その一端側の内周には調整ねじ１３の雄ねじ部１３ａと螺合する雌ねじ部１４ａを有するとともに、この一端側は鍔部１２ａの下側に軸受１５を介して回転自在に支持される。
【０００４】
調整ねじ１３の他端には軸方向に雌ねじ部１３ｂが設けられ、雌ねじ部１３ｂにはストップねじ１６が螺合される。又、調整ナット１４には雌ねじ部１４ａと連続してより大径の孔１４ｂが形成され、雌ねじ部１４ａと孔１４ｂとの間には段部１４ｃが形成される。可動リード１１及びヒートパイプ１２の外周側には真空側と大気側とを区分する筒状のベローズ１７が設けられ、その一端は可動電極支持板９に取り付けられ、他端は可動側端板４に取り付けられ、真空容器５内が真空に保たれる。
【０００５】
上記構成の真空可変コンデンサにおいて、その最大静電容量値を調整する場合は、まずストップねじ１６を螺入する前に調整ナット１４を若干右に回し（右ねじの場合）、センターピン７の先端と調整ねじ１３の内端が突き当たる最大静電容量の位置より可動リード１１を若干下方に移動させ、定義した最大静電容量値に調整する。この若干の調整量は、真空可変コンデンサの静電容量のバラツキに対応して決まる。
【０００６】
次に、この状態でストップねじ１６をその頭部１６ａが調整ナット１４の段部１４ｃに当接するまで雌ねじ部１３ｂに螺入し、接着剤等で調整ねじ１３に固定する。ストップねじ１６と調整ナット１４とは接着しない。これにより、調整ねじ１３の上昇位置は規制され、この最大静電容量値の位置より調整ナット１４を左に回そうとしてもストップねじ１６の頭部１６ａが段部１４ｃと当接して回らず、調整ねじ１３は上昇しない。静電容量の調整は、例えば調整ナット１４を右に回すと、調整ねじ１３が下方に移動し、左回転では上方へ移動し、これにより可動電極１０を上下動させ、固定電極６との対向総面積を可変することにより行われる。
【０００７】
真空可変コンデンサは、真空容器５内が真空であるので、調整ねじ１３を常に上方へ押し上げる力が作用し、この力は調整ナット１４にも作用し、鍔部１２ａには面圧が生じ、調整ナット１４の回転に大きな回転トルクを必要とするが、軸受１５を設けたので、この回転トルクを小さくすることができる。なお、従来の真空可変コンデンサは、特許文献２，３にも示されている。
【０００８】
近年、真空可変コンデンサに要求される特性としては、損失が低く通電時の発熱が少ないこと、長寿命であることが挙げられ、上記構造の真空可変コンデンサでは、発熱源であるベローズ１７の大気側からの対流、輻射、及び発熱源であるベローズ１７、電極６，１０、センターピン７から可動電極支持板９及び可動リード１１を介しての熱伝導により、調整ねじ１３が非常に高温（推定で３００℃程度まで）になってしまう。そこで、ヒートパイプ１２を設けて上記した対流、輻射を防いで調整ねじ１３の温度低減を試みているが、期待した程の効果はない。そこで、真空可変コンデンサの内部発熱を低減させること、及びこの内部発熱による調整ねじ１３への熱伝達を低減させることが、長寿命化に影響を与える。従って、通電能力の向上と長寿命化が望まれており、真空可変コンデンサの内部温度の低減が必要である。
【特許文献１】特開平８−９７０８８号公報
【特許文献２】特開２００１−２１７１４７号公報
【特許文献３】特開平７−７８７２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記したように、従来では、発熱源であるベローズ１７からの熱の対流と輻射、及び発熱源であるベローズ１７、電極６，１０及びセンターピン７から可動電極支持板９及び可動リード１１を介した熱伝導により、調整ねじ１３の周辺が高温になってしまう。又、内部温度を外部に放出する構造になっていないために、内部に熱がこもり、発熱源の温度低減を妨げている。ヒートパイプ１２を設けたことによる調整ねじ１３の温度低減も期待した効果は得られない。このため、調整ねじ１３の周辺が高温になる程、塗布された摺動剤（グリース）が揮発してしまい、調整ねじ１３の摩耗が激しくなり、真空可変コンデンサの寿命が低減してしまう。又、摺動部が高温になるほど、摺動部の熱膨張、熱応力等により摺動部の摺動が妨げられる。
【００１０】
従来では、発熱源の発熱を低減して損失を少なくするために、ベローズ１７の径を大きくすることだけを考慮して設計していた。又、発熱源からの熱が調整ナット１３等の寿命に影響する部品に伝わらないような構造にすることが十分に考慮されていなかった。さらに、内部温度を外部に放出するような構造が十分に考慮されていなかった。又、従来では通電電流が大きくなかったため、ベローズ１７の径を大きくすることだけで十分対応することができた。
【００１１】
この発明は上記のような課題を解決するために成されたものであり、通電時の内部発熱から摺動部を保護するとともに、内部発熱による内部温度を低減し、通電能力の向上及び長寿命化を図ることができる真空可変コンデンサを得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
この発明の請求項１に係る真空可変コンデンサは、絶縁筒の両端を固定側端板及び可動側端板により閉塞した真空容器と、真空容器内において固定側端板と対向配置された可動電極支持板と、固定側端板及び可動電極支持板に対向して立設された固定電極及び可動電極と、一端が可動電極支持板に取り付けられるとともに、他端が可動側端板に挿通され、操作機構と連結された摺動軸と、摺動軸が摺動自在に挿通された摺動ガイドと、真空容器内において両端が可動電極支持板及び可動側端板に取り付けられた筒状の通電用ベローズと、通電用ベローズの内側において可動側端板に取り付けられ、摺動ガイドを支持する摺動ガイド支持部と、通電用ベローズの内側で摺動ガイド支持部の外側において両端が可動電極支持板及び可動側端板に取り付けられた筒状の熱遮蔽用ベローズと、各ベローズの間に位置して可動側端板に取り付けられ、外部から冷却媒体が通流される冷却パイプとを備えたものである。
【００１３】
請求項２に係る真空可変コンデンサは、絶縁筒の両端を固定側端板及び可動側端板により閉塞した真空容器と、真空容器内において固定側端板と対向配置された可動電極支持板と、固定側端板及び可動電極支持板に対向して立設された固定電極及び可動電極と、一端が可動電極支持板に取り付けられるとともに、他端が可動側端板に挿通され、操作機構と連結された摺動軸と、摺動軸が摺動自在に挿通された摺動ガイドと、真空容器内において両端が可動電極支持板及び可動側端板に取り付けられた筒状の通電用ベローズと、通電用ベローズの内側において可動側端板に取り付けられ、摺動ガイドを支持する摺動ガイド支持部と、通電用ベローズの内側で摺動ガイド支持部の外側において両端が可動電極支持板及び可動側端板に取り付けられた複数の筒状の熱遮蔽用ベローズとを備えたものである。
【００１４】
請求項３による真空可変コンデンサは、真空容器内の大気側と外部とを連通する空気孔を設けたものである。
【００１５】
請求項４に係る真空可変コンデンサは、各ベローズ間において可動電極支持板に孔を設けたものである。
【００１６】
請求項５に係る真空可変コンデンサは、摺動ガイド支持部を真空容器外まで伸ばし、この真空容器外部分を冷却媒体により冷却するようにしたものである。
【００１７】
請求項６に係る真空可変コンデンサは、摺動軸と可動電極支持板との接続をロー付けではなく、機械的接続としたものである。
【００１８】
請求項７に係る真空可変コンデンサは、熱遮蔽用ベローズに通電能力を持たせたものである。
【発明の効果】
【００１９】
以上のようにこの発明の請求項１によれば、通電用ベローズと摺動ガイド支持部との間に熱遮蔽用ベローズを設けたので、通電用ベローズの発熱による熱対流と熱輻射が熱遮蔽用ベローズにより摺動部へ加わるのが防止され、摺動部の温度が低減され、通電能力の向上と長寿命化を図ることができる。又、両ベローズ間に外部から冷却媒体が通流される冷却パイプを設けたので、この冷却パイプを介して通電用ベローズの発熱を外部に放出することができ、内部温度の低減により、通電能力の向上と長寿命化を図ることができる。又、冷却水により直接冷却せず、冷却パイプを介して冷却したので、ベローズの伸縮への悪影響やベローズの腐食を防止することができる。さらに、熱遮蔽用ベローズは径が小さいので、真空との差圧による自閉力が小さくなり、調整ナットの軸方向荷重が小さくなり、長寿命化が図れるとともに、その回転トルクも小さくなり、モータ等の駆動部の小形化を図ることができる。
【００２０】
請求項２によれば、通電用ベローズと摺動ガイド支持部との間に複数の熱遮蔽用ベローズを設けたので、通電用ベローズの発熱による熱対流と熱輻射が複数の熱遮蔽用ベローズにより摺動部へ加わるのが防止され、摺動部の温度がさらに低減され、通電能力の向上と長寿命化を図ることができる。又、内側の熱遮蔽用ベローズは径が小さいので、真空との差圧による自閉力が小さくなり、調整ナットの軸方向荷重が小さくなり、長寿命化が図れるとともに、その回転トルクも小さくなり、モータ等の駆動部の小形化を図ることができる。
【００２１】
請求項３によれば、真空容器内の大気側と外部とを連通する空気孔を設けたので、真空容器内の熱が外部に放出され、内部温度の低減により通電能力の向上と長寿命化を図ることができる。
【００２２】
請求項4によれば、各ベローズ間において可動電極支持板に孔を設けたので、各電極からの発熱をこの孔及び冷却パイプを介して外部に放出することができ、内部温度の低減により、通電能力の向上と長寿命化を図ることができる。
【００２３】
請求項5によれば、摺動ガイド支持部を真空容器外まで伸ばし、冷却媒体により冷却するようにしており、これによって摺動部も熱伝導により冷却され、長寿命化を図ることができる。
【００２４】
請求項６によれば、摺動軸と可動電極支持版との接続をロー付けでなく、機械的接続としており、可動電極支持板からの熱伝導率が低減し、摺動部への熱伝導が減少して長寿命化を図ることができる。
【００２５】
請求項７によれば、熱遮蔽用ベローズにも通電能力を持たせたので、通電電流が両ベローズに分流され、通電能力が向上するとともに、発熱が抑制され、摺動部の温度が低減されて長寿命化を図ることができる。熱遮蔽用ベローズを複数設けた場合には、通電電流は３つ以上のベローズに分流され、通電能力が向上するとともに発熱がさらに抑制され、摺動部の温度がさらに低減されて長寿命化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
実施最良形態１
以下、この発明を実施するための最良の形態を図面とともに説明する。図１はこの発明の実施最良形態１による真空可変コンデンサの縦断面図を示し、絶縁筒１８の両端に接続筒１９，２０を介して固定側端板２１及び可動側端板２２を接合し、真空容器２３を形成する。固定側端板２２の下側には冷却フランジ３３が取り付けられ、冷却フランジ３３の中心に嵌合孔３３ａが設けられるとともに、貫通した空気孔３３ｂが設けられる。固定側端板２１の内面側には複数の径が異なる円筒状電極板２４ａを同心状に取り付けて固定電極２４を形成する。２５は固定側端板２１の内面側の中心に一端が立設された筒状の電極ガイドであり、その他端は逆円錐形となっている。又、真空容器２３内に固定側端板２１と対向して配置された可動電極支持板２６には固定電極２４の各円筒状電極板２４ａ間に非接触で挿出入できるように径が異なる複数の円筒状電極板２７ａを同心状に取り付け、可動電極２７を構成する。
【００２７】
又、可動電極支持板２６の中心には電極ガイド２５と対向して先端が円錐状の突出部２６ａが形成され、また可動電極支持板２６の中心には雌ねじ部２６ｂが形成され、雌ねじ部２６ｂには摺動軸２８の一端に形成された２段の雄ねじ部２８ａ，２８ｂのうちの小径側の雄ねじ部２８ａが螺合され、大径側の雄ねじ部２８ｂには止めねじ２９が螺合される。小径側の雄ねじ部２８ａのピッチは０．７、大径側の雄ねじ部２８ｂのピッチは１．２５であり、このようにピッチが異なる２つのねじ部を組み合わせることにより、いわゆるダブルナット方式となり、ねじ部が外れないようになる。又、摺動軸２８の一端と可動電極支持板２６とはロー付けでなく、機械的構造により接続される。電極ガイド２５と突出部２６ａとが当接することにより、固定電極２４と可動電極２７とが全面的に重ならないようにする。
【００２８】
可動側端板２２の中心には孔２２ａが設けられ、孔２２ａには筒状のヒートパイプ３０が嵌合され、ねじ３１により固定される。ヒートパイプ３０の材質はＣｕやＳＵＳ等である。ヒートパイプ３０には摺動軸２８が挿通され、ヒートパイプ３０と摺動軸２８との間には筒状の摺動ガイド３２が設けられる。ヒートパイプ３０は摺動ガイド３２を支持する。摺動軸２８は摺動ガイド３２に摺動自在に挿通されて摺動部を形成し、摺動部の摺動により可動電極支持板２６は真空容器２３の中心線と平行に移動する。摺動ガイド３２の材質は銅、ＳＵＳとし、また摺動ガイド３２には直動タイプリニアブッシングを用いる。ヒートパイプ３０は真空容器２３外まで伸び、冷却フランジ３３の嵌合孔３３ａに嵌合され、摺動軸２８の他端側はヒートパイプ３０内に挿入され、その外周には雄ねじ部２８ｃが設けられ、摺動軸２８の他端には軸方向に雌ねじ部２８ｄが設けられる。
【００２９】
調整ナット１４及びストップねじ１６は従来同様のものであり、操作機構の一部を構成する調整ナット１４の雌ねじ部１４ａは摺動軸２８の雄ねじ部２８ｃと螺合し、ストップネジ１６は摺動軸２８の雌ねじ部２８ｄと螺合する。ヒートパイプ３０と調整ナット１４との間には複数の軸受３４，３５が設けられ、これにより調整ナット１４の傾きは防止され、また調整ナット１４への横荷重に対する耐力を向上することができる。
【００３０】
ストップねじ１６の頭部１６ａは従来同様に摺動軸２８の雌ねじ部２８ｄに螺合固定し、最大静電容量位置を決定する。最大静電容量位置においては、調整ナット１４を左回転させようとしてもストップねじ１６の頭部１６ａが調整ナット１４の段部１４ｃに係合して回転しない。又、静電容量の調整は、調整ナット１４を回転することにより摺動軸２８が上下動し、摺動軸２８に取り付けられた可動電極支持板２６を介して可動電極２７を上下動することにより行う。
【００３１】
真空容器２３内において、筒状の通電用ベローズ３６の両端が可動電極支持板２６と可動側端板２２とに取り付けられ、また通電用ベローズ３６から摺動部への熱対流と熱輻射を防ぐために、通電用ベローズ３６とヒートパイプ３０、調整ナット１４、摺動ガイド３２及び摺動軸２８との間に筒状の熱遮蔽用ベローズ３７を設ける。ベローズ３６，３７はそれぞれの内外を封止する。熱遮蔽用ベローズ３７の両端も可動電極支持板２６と可動側端板２２とに取り付けられる。又、通電用ベローズ３６と熱遮蔽用ベローズ３７との間に位置する冷却パイプ３８を可動側端板２２に取り付け、可動側端板２２には冷却パイプ３８と外部とを連通する連通孔３９を設け、この冷却パイプ３８に水や空気等の冷却媒体を通流させることにより冷却し、通電用ベローズ３６の熱を外部に放出する。冷却パイプ３８は複数設けてもよい。さらに、発熱源である電極２４，２７の熱は固定側端板２１から放出するが、電極２４，２７の熱をさらに外部へ放出するため、両ベローズ３６，３７間において可動電極支持板２６に孔２６ｃを設け、この孔２６ｃから電極２４，２７の熱を放出し、この熱を冷却パイプ３８を介して冷却する。
【００３２】
又、上述したように、摺動ガイド３２及び調整ナット１４を覆っているヒートパイプ３０は可動側端板２２を挿通して下方まで伸び、冷却フランジ３３の嵌合孔３３ａに嵌合している。冷却フランジ３３は水や空気等の冷却媒体により冷却され、ヒートパイプ３０も冷却される。このヒートパイプ３０の冷却により、熱伝導により摺動部も冷却される。さらに、冷却フランジ３３には摺動部の発熱を外部に放出するための空気孔３３ｂが設けられている。また、摺動軸２８は可動電極支持板２６に機械的に接続され、これにより可動電極支持板２６からの熱伝達率低減するとともに、止めねじ２９等のねじ硬度を高めた部材を使用することにより、長寿命化が可能となる。
【００３３】
実施最良形態１においては、真空可変コンデンサの通電時に、通電用ベローズ３６と摺動ガイド支持部であるヒートパイプ３０との間に熱遮蔽用ベローズ３７を設けたので、通電用ベローズ３６からの熱対流と熱輻射が摺動部に加わるのが防止され、通電能力の向上と長寿命化が図られる。又、両ベローズ３６，３７間に外部から冷却媒体が通流される冷却パイプ３８を設けたので、通電用ベローズ３６の発熱を外部に放出することができ、内部温度の低減により、通電能力の向上と長寿命化が図られる。また、冷却水でなく、冷却パイプ３８を介して冷却したので、ベローズ３６，３７の伸縮への悪影響やベローズ３６，３７の腐食を防止することができる。
【００３４】
又、各ベローズ３６，３７間において可動電極支持板２６に孔２６ｃを設けたので、電極２４，２７の発熱をこの孔２６ｃから放出し、冷却パイプ３８を介して外部に放出することができ、内部温度の低減により通電能力の向上と長寿命化を図ることができる。また、摺動軸２８及び摺動ガイド３２等を覆ったヒートパイプ３０を真空容器２３外まで伸ばし、この真空容器２３外部分を冷却フランジ３３を介して冷却媒体により冷却するとともに、冷却フランジ３３に空気孔３３ｂを設けてヒートパイプ３０の熱を外部に逃がすようにしており、これによって熱伝導により摺動軸２８等を冷却して長寿命化を図ることができる。
【００３５】
また、可動電極支持板２６と摺動軸２８との接続をロー付けではなく、機械的な接続としており、可動電極支持板２６からの熱伝導率が低下し、摺動軸２８の温度を低減して長寿命化を図ることができる。さらに、熱遮蔽用ベローズ３７は径が小さいので、真空との差圧による自閉力が小さくなり、調整ナット１４の軸方向荷重が小さくなり、調整ナット１４の雌ねじ部１４ａの面圧が小さくなり、長寿命化が図れる。また、調整ナット１４の回転トルクが小さくなり、モータ等の駆動部出力を小さくすることができ、駆動部の小形化が図ることができる。
【００３６】
実施最良形態２
図２は実施最良形態２による真空可変コンデンサの縦断面図を示し、固定側端板２２の下側にはボルト４０により冷却フランジ３３が取り付けられ、冷却フランジ３３の中心に嵌合孔３３ａが設けられるとともに、空気孔３３ｂが設けられる。又、通電用ベローズ３６と熱遮蔽用ベローズ３７との間にも両端が可動電極支持板２６と可動側端板２２とに取り付けられた筒状の熱遮蔽用ベローズ４１が設けられる。各ベローズ３６，３７，４１はそれぞれの内外を封止する。又、可動側端板２２には最も内側の熱遮蔽用ベローズ３７の内側、即ち真空容器２３内の大気側と外部とを連通する空気孔４２を設け、空気を通流させることにより真空容器２３内の熱を外部に放出する。その他の構成は実施最良形態１と同様である。
【００３７】
実施最良形態２においては、真空可変コンデンサの通電時に、通電用ベローズ３６と摺動ガイド支持部であるヒートパイプ３０との間に複数の熱遮蔽用ベローズ３７，４１を設けたので、通電用ベローズ３６からの熱対流と熱輻射が摺動部に加わるのが一層防止され、摺動部の温度がさらに低減され、通電能力の向上と長寿命化がさらに図られる。又、真空容器２３内の熱遮蔽用ベローズ３７の内側即ち大気側と外部とを連通する空気孔４２を設けたので、真空容器２３内の熱が外部に放出され、内部温度の低減により通電能力の向上と長寿命化が図られる。その他の効果は実施最良形態１と同様である。
【００３８】
実施最良形態３
実施最良形態３においては、図１に示す実施最良形態１において熱遮蔽用ベローズ３７をＳＵＳに銅メッキしたもの、ＳＵＳとＡｇとの合金、銅、銅合金等の導電率が高い材料により形成しており、熱遮蔽用ベローズ３７にも通電能力を持たせている。通電電流は各ベローズ３６，３７に分流し、通電能力を向上することができるとともに、発熱が抑制され、摺動部の温度が低減されて長寿命化を図ることができる。その他の構成及び効果は実施最良形態１と同様である。
【００３９】
実施最良形態４
実施最良形態４においては、図２に示す実施最良形態２において熱遮蔽用ベローズ３７，４１をＳＵＳに銅メッキしたもの、ＳＵＳとＡｇとの合金、銅、銅合金等の導電率が高い材料により形成しており、熱遮蔽用ベローズ３７，４１にも通電能力を持たせている。通電電流は各ベローズ３６，３７，４１に分流し、通電能力をさらに向上することができるとともに、発熱がさらに抑制され、摺動部の温度がさらに低減されて長寿命化を図ることができる。その他の構成及び効果は実施最良形態２と同様である。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】この発明の実施最良形態１による真空可変コンデンサの縦断面図である。
【図２】実施最良形態２による真空可変コンデンサの縦断面図である。
【図３】従来の真空可変コンデンサの縦断面図である。
【符号の説明】
【００４１】
１４…調整ナット
１８…絶縁筒
２１…固定側端板
２２…可動側端板
２３…真空容器
２４…固定電極
２６…可動電極支持板
２６ｂ…雌ねじ部
２６ｃ…孔
２７…可動電極
２８…摺動軸
２８ａ，２８ｂ…雄ねじ部
２９…止めねじ
３０…ヒートパイプ
３２…摺動ガイド
３３…冷却フランジ
３６…通電用ベローズ
３７，４１…熱遮蔽用ベローズ
３８…冷却パイプ
３９…連通孔
４２…空気孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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