(57)【要約】【課題】  低コストでありながら高速で光軸ずれ補正を行ない、かつ小型軽量な光空間通信装置を実現する。【解決手段】  光学系はコリメート光学系と分離光学系１１とに分離されており、分離光学系はコリメート光学系に対して独立して移動可能なようになっている。ＬＤなど発光素子やＡＰＤなど受光素子の周辺回路も別の場所に置いて、分離光学系との間を光ファイバまたは最小限のコードやケーブルで接続することで、分離光学系を軽い力で高速度で駆動することが出来るようにした。【選択図】  図１
2005086392.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
離れた地点間で対向設置されて光ビームにより通信を行う光空間通信装置であって、
発散光束をほぼ平行光束である光ビームに変換して相手側装置に送出し、また相手側装置からのほぼ平行光束である光ビームを受信して収束光束に変換するための第一の光学系と、それぞれ同一光軸上にあって方向が逆である、相手側装置に送出する光束と相手側装置から受信した光束を分離するための第二の光学系と、
前記第一の光学系に対して前記第二の光学系の相対位置を変化させる（平行移動だけでなく角度変化も含む）手段を持つことを特徴とする光空間通信装置。
【請求項２】
離れた地点間で対向設置されて光ビームにより通信を行う光空間通信装置であって、
発散光束をほぼ平行光束である光ビームに変換して相手側装置に送出し、また相手側装置からのほぼ平行光束である光ビームを受信して収束光束に変換するための第一の光学系と、それぞれ同一光軸上にあって方向が逆である、相手側装置に送出する光束と相手側装置から受信した光束を分離するための第二の光学系と、
前記第一の光学系に対して前記第二の光学系の相対位置を変化させる（平行移動だけでなく角度変化も含む）駆動手段と、
前記第二の光学系に附属し、相手側装置から受信した光束の角度を検出する角度検出手段と、
前記角度検出手段からの情報に基づいて、相手側装置から受信した光束の角度が所定の値になるように前記駆動手段を制御することにより相手側装置に送出する光ビームが常に相手側装置の方向に向かうように追尾制御する制御手段を持つことを特徴とする光空間通信装置。
【請求項３】
前記第二の光学系とは別の場所にあって、相手側装置に送出する光信号を発生するための発光素子を持ち、この発光素子と前記第二の光学系の間は光導波路（光ファイバ、ライトガイド等）で結ばれて、発光素子よりの送信光を光導波路により前記第二の光学系に導くことを特徴とする請求項１または請求項２記載の光空間通信装置。
【請求項４】
前記第二の光学系とは別の場所にあって、相手側装置より受信した光信号を検出するための光信号検出素子を持ち持ち、この光信号検出素子と前記第二の光学系の間は光導波路（光ファイバ、ライトガイド等）で結ばれて、前記第二の光学系よりの受信光を光導波路により光信号検出素子に導くことを特徴とする請求項１または請求項２記載の光空間通信装置。
【請求項５】
前記第二の光学系は、相手側装置に送出する光信号を含む光束を発生するための発光素子を持ち、この発光素子の発光強度を制御する回路と、光信号を発生するためにこの発光素子を送信する信号で変調する回路は、前記第二の光学系とは別の場所に置かれていることを特徴とする請求項１または請求項２記載の光空間通信装置。
【請求項６】
前記第二の光学系は、相手側装置より受信した光束に含まれる光信号を検出するための光信号検出素子を持ち、光信号検出素子により検出された電気信号を増幅する回路は、前記第二の光学系とは別の場所に置かれていることを特徴とする請求項１または請求項２記載の光空間通信装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、離れた二地点間に対向設置されて、自由空間中を伝搬する光ビームにより光信号を送り通信を行う光空間通信装置で、特に装置の角度ずれによる光ビームの光軸補正機能を持つ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般的に自由空間中に光ビームを伝搬させて通信を行う光空間通信装置は、光のパワーを効率よく伝送するために、光ビームの拡がり角を極力小さくした狭い光ビームで伝送する必要がある。しかし光ビームを狭くすると、建物あるいは設置架台の風圧や振動による揺れ、温度変動による歪みなどによる角度変動のため、光ビームが相手方装置から外れやすくなり、安定した通信が難しい。そのために図４のように、装置の角度が変わっても角度変化を補正して常に光ビームが相手側装置を向くような追尾制御を行なう光軸ずれ補正機能を持つ装置が考案されている（例えば、特開２００１−１１１４９１参照）。
【０００３】
図４は対向する１対の装置の片側を示す。図４において、２０は光ビームの送信／受信のための光学系である。相手側装置への送信光信号は半導体レーザ等の発光素子２１より放出される。半導体レーザの光は偏光しており、偏光方向は紙面に水平になるように設定されている。この方向の偏光は偏光ビームスプリッタ２２で送受光レンズ２３の方向に反射され、送受光レンズ２３で、僅かに拡がりを持つほぼ平行光束の光ビーム２４となって相手側装置の方向に送信される。発光素子２１は通常高速の信号で変調されるため、ノイズ発生を防止するため、変調回路と一緒にシールドされたケースに実装され、モジュール化されている。
【０００４】
他方相手側装置から送られて来た光は、自装置よりの送信光信号と同じ光軸上で逆の進路をたどり、送受光レンズ２３から偏光ビームスプリッタ２２に入るが、相手方装置からの受信光は偏光方向が送信光と直交するように（偏光方向は紙面に垂直）設定されているために、偏光ビームスプリッタ２２をそのまま透過し、ビームスプリッタ２５に入る。受信光の大部分はビームスプリッタ２５で反射し、光信号検出用の受光素子２６に入射して、通信用の信号が検出される。受光素子２６は通常微弱で高速の受信信号を扱うため、外部ノイズによる影響を防止するため、信号の増幅回路と一緒にシールドされたケースに実装され、モジュール化されている。
【０００５】
一方ビームスプリッタ２５で反射されない一部の光はビームスプリッタ２５を透過して、光位置検出素子２７に入射する。
【０００６】
光位置検出素子２７は、例えば図５に示すような４分割されたフォトダイオードである。図５は２７ａから２７ｄまでの４つに分割されたフォトダイオードに光スポット４２が当たっている様子を示す。４つのフォトダイオード２７ａから２７ｄの出力を比較することにより、光スポット４２の位置を知ることができる。光位置検出素子２７よりの信号は、角度補正情報として制御回路２８で演算処理され、光学系１０の駆動回路２９に駆動信号が出力される。そして駆動回路２９により、垂直方向の駆動機構３０および水平方向の駆動機構３１を動かして、光スポット４２の位置が光位置検出素子２７の中心に来て、４つのフォトダイオード２７ａから２７ｄの出力が全て等しくなるような方向に、光学系１０の角度が駆動・制御される。
【０００７】
光学系１０の内部では光位置検出素子２７と発光素子２１、光信号検出用の受光素子２６は全て光学軸が一致するように位置調整がなされており、光位置検出素子２７の中心に光スポット３２が当たった状態では、光信号検出用の受光素子２６の中心にも光が入射しており、かつ発光素子２１よりの光の中心は相手側装置の方向に放射される。
【０００８】
このようにして常に送信光が受信光の方向、即ち相手側装置の方向になるような追尾制御により光軸ずれ補正が行われる。
【０００９】
また別の従来の実施例として、光学系自体を駆動することにより光軸ずれ補正を行う代わりに、光学系２０の内部に光を偏向させる機構を持つものがある。例えば図６に示すように駆動回路２９により水平方向偏向ミラー３２と垂直方向偏向ミラー３３の角度を駆動して、鏡筒内で光を偏向させることにより光軸ずれ補正を行う。
【００１０】
さらに別の従来の実施例として、図７は光軸ずれ補正を行う手段として、レンズが光軸と垂直方向にシフト移動するいわゆるレンズシフト光学系３８を用いたものである。図７では紙面に水平方向の移動を描いてあるが、実際は紙面に水平方向と垂直方向の２次元でレンズが自由にシフトし、レンズのシフト量に応じて光ビーム２４が偏向する。レンズシフトのための駆動手段としては、ボイスコイルを用いたアクチュエータや、リニアモータなどが使える。
【特許文献１】特開２００１−１１１４９１
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
上記２つの従来例では、ともに装置の角度が変わっても光軸ずれ補正を行うことにより、光ビームの拡がり角を小さくした場合も安定した通信を行うことができるが、それぞれ次のような問題がある。
【００１２】
図４の例のような光学系の外部に駆動機構を持ち、光学系全体の角度を変える方式は、角度の可変範囲を自由に広く取ることができ、大きな角度変動に対応できるが、重量の大きなものを駆動することになるので、高速で角度を動かすことは難しく、速度の速い角度変動には応答できない。
【００１３】
また図６、図７の例のような光学系の内部に光を偏向させる機構を持つ方式では、高速で光の角度を変えることが比較的容易であるため、速度の速い角度変動には応答することができるが、図６の例ではミラーで折り返す部分の空間が必要となり、光学系全体が大型化し、装置も大型の物となり、取り扱いにも不便であるし、コストも増える。またミラーも表面精度の高いものが要求されるので、この点でもコストが増える。また図７の例では、光路途中のレンズを駆動して光束の方向を変えるという特殊な光学系となるため、ある程度の角度可変範囲を得ようとすると、レンズの収差補正や光束の角度変化を大きくするための特別な設計が必要となり、レンズ構成枚数が増加して（図７は原理的な説明図なのでレンズ枚数は実際よりも少なく描かれている）コストが増える。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記問題点を解決し、低コストでありながら高速で光軸ずれ補正を行ない、かつ小型軽量な光空間通信装置を実現するために、
本出願にかかわる第一の発明は、離れた地点間で対向設置されて光ビームにより通信を行う光空間通信装置において、発散光束をほぼ平行光束である光ビームに変換して相手側装置に送出し、また相手側装置からのほぼ平行光束である光ビームを受信して収束光束に変換するための第一の光学系（コリメート光学系）と、
それぞれ同一光軸上にあって方向が逆である、相手側装置に送出する光束と相手側装置から受信した光束を分離するための第二の光学系（分離光学系）と、
前記第一の光学系に対して前記第二の光学系の相対位置を変化させる（平行移動だけでなく角度変化も含む）手段を持つことを特徴とする。
【００１５】
また本出願にかかわる第二の発明は、離れた地点間で対向設置されて光ビームにより通信を行う光空間通信装置でにおいて、
発散光束をほぼ平行光束である光ビームに変換して相手側装置に送出し、また相手側装置からのほぼ平行光束である光ビームを受信して収束光束に変換するための第一の光学系と、
それぞれ同一光軸上にあって方向が逆である、相手側装置に送出する光束と相手側装置から受信した光束を分離するための第二の光学系と、
前記第一の光学系に対して前記第二の光学系の相対位置を変化させる（平行移動だけでなく角度変化も含む）駆動手段と、
前記第二の光学系に附属し、相手側装置から受信した光束の角度を検出する角度検出手段と、
前記角度検出手段からの情報に基づいて、相手側装置から受信した光束の角度が所定の値になるように前記駆動手段を制御することにより相手側装置に送出する光ビームが常に相手側装置の方向に向かうように追尾制御する制御手段を持つことを特徴とする。
【００１６】
また本出願にかかわる第三の発明は、前記第二の光学系とは別の場所にあって、相手側装置に送出する光信号を発生するための発光素子を持ち、この発光素子と前記第二の光学系の間は光導波路（光ファイバ、ライトガイド等）で結ばれて、発光素子よりの送信光を光導波路により前記第二の光学系に導くことを特徴とする。
【００１７】
また本出願にかかわる第四の発明は、前記第二の光学系は、相手側装置より受信した光束に含まれる光信号を検出するための光信号検出素子を持ち、光信号検出素子により検出された電気信号を増幅する回路は、前記第二の光学系とは別の場所に置かれていることを特徴とする。
【００１８】
また本出願にかかわる第五の発明は、前記第二の光学系とは別の場所にあって、相手側装置より受信した光信号を検出するための光信号検出素子を持ち持ち、この光信号検出素子と前記第二の光学系の間は光導波路（光ファイバ、ライトガイド等）で結ばれて、前記第二の光学系よりの受信光を光導波路により光信号検出素子に導くことを特徴とする。
【００１９】
また本出願にかかわる第六の発明は、前記第二の光学系は、相手側装置に送出する光信号を含む光束を発生するための発光素子を持ち、この発光素子の発光強度を制御する回路と、光信号を発生するためにこの発光素子を送信する信号で変調する回路は、前記第二の光学系とは別の場所に置かれていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
以上説明したように、本発明によれば、離れた地点間で対向設置されて光ビームにより通信を行う光空間通信装置において、
コリメート光学系１０から、小型軽量にまとめた分離光学系１１を分離し、またＬＤなど発光素子やＡＰＤなど受光素子の周辺回路も別の場所に置いて、分離光学系１１との間を光ファイバまたは最小限のコードやケーブルで接続することで、分離光学系１１を軽い力で高速度で駆動することが出来るようにした。その結果、低コストでありながら高速で光軸ずれ補正を行ない、かつ小型軽量な光空間伝送装置を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
（第一の実施例）
図１に本願発明による光軸ずれ補正機能を持つ光空間伝送装置を示す。図１上の各番号は図４から図７の番号と同じ機能の構成要素を示すものとする。図１の実施例において、光の送受信を行なう光学系は、第一の光学系であるコリメート光学系１０と第二の光学系である分離光学系１１とに分離されており、分離光学系１１はコリメート光学系１０に対して独立して移動可能なようになっている。また分離光学系１１は小型にまとめられて、軽い力で動くようになっている。
【００２２】
レーザーダイオード（ＬＤ）などの発光素子２１は分離光学系１１とは別の場所のプリント基板等に、発光制御回路や変調回路の近くに置かれている。発光素子２１よりの光信号を含む光は、送信用光ファイバ（またはライトガイド）１４によって分離光学系１１に伝送され、分離光学系１１に固定された光ファイバ端面より偏光ビームスプリッタ２２の方向に出射される。
【００２３】
そして図４から図７の従来の実施例と同様に偏光ビームスプリッタ２２で反射され、分離光学系１１を出てコリメート光学系１０の方向に進む。そしてコリメート光学系１０により、僅かに拡がりを持つほぼ平行の光ビーム２４となって相手側装置の方向に送信される。
【００２４】
なお光ファイバ端面から出射された光は偏光していないので、偏光素子０９を偏光ビームスプリッタ２２の手前に挿入して偏光にした後、偏光ビームスプリッタ２２で反射させている。
【００２５】
他方相手側装置から送られて来た光は、自装置よりの送信光信号と同じ光軸上で逆の進路をたどり、コリメート光学系１０に入射して、収束され偏光ビームスプリッタ２２に入る。その後の進路は図４から図７の従来の実施例と同様であって、相手方装置からの受信光は偏光方向が送信光と直交するように設定されているために、偏光ビームスプリッタ２２をそのまま透過し、ビームスプリッタ２５に入る。受信光の大部分はビームスプリッタ２５で反射し、受信用光ファイバ（またはライトガイド）１５の端面に入射する。一部の光はビームスプリッタ２５を透過して、光位置検出素子２７に入射する。
【００２６】
なおビームスプリッタ２５は図４から図７の従来の実施例では、平板型の物を使っているが、本実施例では、コンパクト化のため、図１にあるような偏光ビームスプリッタ２２と一体化されたプリズム型のものとした。
【００２７】
受信用光ファイバ１５の端面に入射した光は、分離光学系１１とは別の場所のプリント基板等に置かれたアバランシェフォトダイオード（ＡＰＤ）等の光検出素子２６に伝送され、光検出素子２６により通信用の信号が受信される。受信信号を増幅する回路や、光検出素子２６のバイアス制御回路なども近くに置かれている。
【００２８】
一方光位置検出素子２７よりの信号は、図４から図７の従来の実施例と同様に、角度補正情報として制御回路２８で演算処理され、駆動回路２９に駆動信号が出力される。
【００２９】
分離光学系１１はステージ１２に固定され、ステージ１２の上で、アクチュエータ１３により紙面に平行な方向と紙面に垂直な方向の２方向に駆動されるようになっている。（図１では２方向の駆動機構を図示するのが困難なため、紙面に平行な１方向のみを図示してある）。
【００３０】
そして駆動回路２９により、アクチュエータ１３を駆動して、光スポット４２の位置が光位置検出素子２７の中心に来て、４つのフォトダイオード２７ａから２７ｄの出力が全て等しくなるような方向に、分離光学系１１の位置が駆動・制御される。この様子を図２（Ａ）および（Ｂ）に示す。光学系１１のコリメート光学系１０に対する位置により、送信・受信の光束の方向が変わるのが分かる。
【００３１】
分離光学系１１の内部では光位置検出素子２７と送信用光ファイバ１４の端面、受信用光ファイバ１５の端面は全て光学軸が一致するように位置調整がなされており、光位置検出素子２７の中心に光スポット３２が当たった状態では、受信用光ファイバ１５の端面の中心にも光が入射しており、かつ送信用光ファイバ１４の端面よりの光の中心は相手側装置の方向に放射される。
【００３２】
このようにして常に送信光が受信光の方向、即ち相手側装置の方向になるように光軸ずれ補正が行われる。
【００３３】
本実施例では、分離光学系１１は小型軽量にまとめることが出来、またＬＤなど発光素子やＡＰＤなど受光素子の周辺回路も別の場所に置くことで重量増加を防ぐことが出来、さらに光ファイバで分離光学系１１と接続することで、重量や曲げ応力の大きい電気コードやケーブルの接続を最小限にして、分離光学系１１を軽い力で高速度で駆動することが出来る。その結果、振動や風圧等の外乱で装置全体の角度が高速で変動した場合でも光軸ずれ補正が応答することが可能となる。しかも図６の従来例のように装置が大型化したり、図７の従来例のように複雑なレンズ構成のためにコストが増すということもない。むしろ駆動部は小型軽量の物を駆動すればよいために、駆動部の要求仕様が緩くなり、コスト的には有利である。発光素子２１、受光素子２６およびそれらの周辺回路１６、１７も光ファイバの届く範囲内で任意に配置できるため、設計のレイアウトの自由度も高くなり装置全体の小型化にも有利である、また電気性能の点でも送受信信号間の干渉や電気的な外乱ノイズに対する対策も容易になる。
【００３４】
（光位置検出素子２７および周辺回路のみは、光ファイバに光を入射して光位置検出を行うことが出来ないため、従来通り分離光学系１１に取り付けて、電気コード配線となっている）。
【００３５】
（第二の実施例）
本発明に係わる第二の実施例を図３に示す。図３の実施例において、光の送受信を行なう光学系は、コリメート光学系１０と分離光学系１１とに分離されており、分離光学系１１は小型にまとめられて、軽い力で動くようになっており、コリメート光学系１０に対して独立して移動可能なようになっている点は図１の実施例と同様である。
【００３６】
図３の実施例ではレーザーダイオード（ＬＤ）などの発光素子２１は分離光学系１１に取り付けられており、送信光信号は発光素子２１から直接を出力される。但し発光制御回路や変調回路等の周辺回路は、分離光学系１１とは別の場所のプリント基板等に置かれており、発光素子１１とこれら回路は必要最小限の数の電気コードまたはケーブル（例えば送信信号とＬＤの駆動電流が重畳された１本の同軸ケーブル）でつながれている。
【００３７】
また図３の実施例ではアバランシェフォトダイオード（ＡＰＤ）等の光検出素子２６も分離光学系１１に取り付けられており、受信した光信号は光検出素子２６の受光面に直接入射する。但し光検出素子２６のバイアス制御回路や光検出素子２６により電気信号に変換された受信信号を増幅する回路などの周辺回路は別の場所のプリント基板等に置かれており、光検出素子２６とこれら回路は必要最小限の数の電気コードまたはケーブル（例えば受信信号と光検出素子のバイアス電圧が重畳された１本の同軸ケーブル）でつながれている。
【００３８】
本実施例では、小さくて重量が問題にならないＬＤなど発光素子やＡＰＤなど受光素子のみを分離光学系１１に置いて、比較的サイズが大きく重量のあるそれぞれの周辺回路を別の場所に置くことで、分離光学系１１の重量増加を防いで小型軽量にまとめることが出来、重量や曲げ応力の大きい電気コードやケーブルの接続を最小限にして、分離光学系１１を軽い力で高速度で駆動することが出来る。
【００３９】
電気コードやケーブルの重量や曲げ応力に関しては送受信信号を光ファイバで接続した図１の実施例に比べて多少大きくはなり、また分離光学系１１部での送受信信号間の電気的な干渉に注意を要するが、光ファイバを介さない分だけ構成が簡略になり、コスト的には図１の実施例よりも低くすることが出来る。
【００４０】
（第三の実施例）
第一および第二の実施例では、分離光学系１１はコリメート光学系１０に対して平行移動することで、図２に示すように送信・受信の光ビームの方向を変えているが、図８のように分離光学系をある支点を中心に回転させることによって送信・受信の光ビームの方向を変えることもできる。図８の例では●印で示した点を中心に回転させている。この場合回転の中心がコリメート光学系１０の集光点近くだと光ビームの方向を変える効果が少なくなるので、図８で示すような少し離れた点を回転の中心とするのがよい。
【００４１】
（第四の実施例）
第一から第三の実施例では、コリメート光学系１０に対して分離光学系１１を移動させるのは、送信・受信の光ビームの方向を変えて光軸ずれ補正を行うのが、目的であって、そのために分離光学系１１の移動方向はコリメート光学系１０の光軸に対して垂直方向であった。
【００４２】
しかし光ビームを用いて通信を行う光空間通信装置では、光ビームの方向の制御だけでなく、光ビームの広がり角の制御も重要である。光のパワーを効率よく伝送するために、光軸ずれ補正機能を持たせて、光ビームの拡がり角を小さくするわけであるが、しかし光ビームを狭くする限度があり、光軸ずれ補正機能の補正精度や、振動など外乱に対する応答性能の範囲内に抑える必要がある。
【００４３】
また設置距離に応じて光ビームの拡がり角を、例えば装置間の設置距離が短いときには広がり角を大き目にし、設置距離が長いときには広がり角を小さ目にするような制御を行うことにより、距離に応じて最適の光受信強度範囲で光信号の受信を行うような方法も有効である。
【００４４】
図９に示す実施例では、分離光学系１１の移動方向を、コリメート光学系１０の光軸に対して垂直方向のみでなく、光軸の方向にも移動可能とする事により、送信する光ビームの広がり角を可変する事が出来るようにしたものである。すなわち分離光学系１１はアクチュエータ１３を持つステージ１２に加えて、光軸の方向に移動するアクチュエータ９３を持つステージ９２により、光軸に垂直な２方向だけでなく、第３の光軸の方向にも移動するようになっている（図９では紙面に垂直方向の駆動機構を図示するのが困難なため省略してある）。アクチュエータ９３とステージ９２により分離光学系１１がコリメート光学系１０に近付く方向に移動すると光ビームの拡がり角は大きくなり、逆に分離光学系１１がコリメート光学系１０から離れる方向に移動すると光ビームの拡がり角は小さくなる。
【００４５】
（第五の実施例）
第一から第四の実施例では、光軸ずれ補正機能を持つ光空間通信装置のような、コリメート光学系１０に対する分離光学系１１の位置を自動的に動かすようなものであったが、コリメート光学系１０に対する分離光学系１１の位置を変化させて光ビームの方向や広がり角を調整するのは、自動で行う事に限定する必要はない。
【００４６】
例えば近距離用等の自動光軸ずれ補正機能のない安価な光空間通信装置についても、組立時や設置時の光軸調整の際など、アクチュエータ１３、９３などを手動のスイッチ操作で駆動させる方法が考えられる。さらにステージ１２、９２などはアクチュエータも無く、手動のネジ送り等の機構にしてもよい。このような場合でも光学系周辺の小型化や光軸方向の調整機構の簡素化による低コスト化の効果が大きい。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の第一の実施例
【図２】分離光学系１１の位置が駆動・制御される様子を示す。
【図３】本発明の第二の実施例
【図４】従来の実施例
【図５】スポット位置検出素子の例
【図６】従来の実施例
【図７】従来の実施例
【図８】本発明の第三の実施例
【図９】本発明の第四の実施例
【符号の説明】
【００４８】
１０  コリメート光学系
１１  分離光学系
２１  発光素子
１２、９２  可動ステージ
１３、９３  アクチュエータ
１４、１５  光ファイバ
１６  発光素子周辺回路
１７  受光素子周辺回路
１８、１９  同軸コード
２２  偏光ビームスプリッタ
２５  ビームスプリッタ
２６  受光素子
２７  スポット位置検出素子
２８  制御回路
２９  駆動回路
【図１】
2005086392.tif 000003
【図２】
2005086392.tif 000004
【図３】
2005086392.tif 000005
【図４】
2005086392.tif 000006
【図５】
2005086392.tif 000007
【図６】
2005086392.tif 000008
【図７】
2005086392.tif 000009
【図８】
2005086392.tif 000010
【図９】
2005086392.tif 000011