(57)【要約】【課題】  駆動パネルと封止パネルとを封止用接着樹脂を介して貼り合わせる際に気泡の残存または混入を防止することができ、表示品質を高めることができる表示装置の製造方法を提供する。【解決手段】  駆動用基板に有機発光素子が形成された駆動パネル１０に、封止用接着樹脂３２を配置し、駆動パネル１０と封止パネル２０とを封止用接着樹脂３２を介して真空中で貼り合わせる。封止用接着樹脂３２と封止パネル２０との間に隙間が形成されてしまった場合にも、その隙間は空気の気泡ではなく真空の隙間となるので、真空を解除することにより真空の隙間に封止用接着樹脂３２が吸引され、隙間がつぶれる。気泡の残存または混入なく駆動パネル１０と封止パネル２０とが貼り合わされる。駆動パネル１０に封止用接着樹脂３２を配置する際には真空中で行ってもよく、大気中で行ってもよい。【選択図】        図１２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動用基板に表示素子が形成された駆動パネルに封止用接着樹脂を配置する工程と、
前記駆動パネルと封止パネルとを前記封止用接着樹脂を介して真空中で貼り合わせる工程と
を含むことを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項２】
前記駆動パネルに前記封止用接着樹脂を真空中で配置する
ことを特徴とする請求項１記載の表示装置の製造方法。
【請求項３】
前記駆動パネルに前記封止用接着樹脂を大気中で配置する
ことを特徴とする請求項１記載の表示装置の製造方法。
【請求項４】
前記表示素子は、第１電極、発光層を含む有機層および第２電極が前記素子基板の側から順に積層された有機発光素子である
ことを特徴とする請求項１記載の表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動パネルと封止パネルとを封止用接着樹脂を介して貼り合わせる表示装置の製造方法に係り、特に中型ないし大型の表示装置の製造に好適な表示装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、駆動用基板に有機発光素子を形成した駆動パネルと、封止用基板を有する封止パネルとを接着層を介して貼り合わせた有機発光表示装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。このような有機発光表示装置は、接着層および封止用基板により有機発光素子を確実に封止することができるが、製造工程において駆動パネルと封止パネルとを貼り合わせる際に気泡が残存または混入してしまい、光の屈折等により表示品質に深刻な影響を及ぼすという問題があった。そこで、従来では、駆動パネルに封止用接着樹脂を塗布したのち、封止用接着樹脂の上方に封止パネルを配置し、封止パネルの裏側からローラ等により端から端まで押圧することにより、封止用接着樹脂と封止パネルとの間から気泡を追い出しつつ貼り合わせるようにしていた（例えば、特許文献１ないし特許文献３参照）。
【特許文献１】特開２００２−２１６９５０号公報
【特許文献２】特開２００２−２１６９５８号公報
【特許文献３】特開２００２−２２１９１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、特許文献１ないし特許文献３に記載された方法では、大気中で駆動パネルに封止用接着樹脂を塗布し、同じ大気中で駆動パネルと封止パネルとの貼り合わせを行っていたので、封止用接着樹脂の中の気泡が脱しきれずに残ってしまっていた。小型の場合には、貼り合わせた大型パネルのうち気泡のない部分を利用することも可能であるが、中型ないし大型の場合には、一枚のパネルの中に気泡があれば使用が難しくなってくる。このため、気泡を確実に排除することのできる製造方法の開発が望まれていた。
【０００４】
なお、液晶表示装置の製造工程においては、パネル外周を枠状に封止したのち、パネルの一部に開口を設けてこの開口に液晶を滴下し、パネル内部を真空にして液晶を真空圧で注入することが行われている。しかし、この方法を有機発光表示装置の貼合せ工程に適用した場合、貼合せに著しく長時間を要し、生産性の点で問題を生じるおそれがある。
【０００５】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、駆動パネルと封止パネルとを封止用接着樹脂を介して貼り合わせる際に気泡の残存または混入を防止することができ、表示品質を高めることができる表示装置の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明による表示装置の製造方法は、駆動用基板に表示素子が形成された駆動パネルに封止用接着樹脂を配置する工程と、駆動パネルと封止用基板を有する封止パネルとを封止用接着樹脂を介して真空中で貼り合わせる工程とを含むものである。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の表示装置の製造方法によれば、駆動パネルと封止パネルとを封止用接着樹脂を介して真空中で貼り合わせるようにしたので、封止用接着樹脂と封止パネルとの間に気泡が残存または混入することを確実に防止することができる。よって、表示品質を高めることができ、特に中型ないし大型の表示装置の製造に極めて好適である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【０００９】
図１は、本発明の一実施の形態に係る表示装置の断面構成を表すものである。この表示装置は、例えば、パーソナルコンピュータのモニタあるいはテレビジョンなどの中大型の有機発光表示装置、またはホームシアターなどの大型の有機発光表示装置として用いられるものであり、駆動パネル１０と封止パネル２０とが対向配置され、接着層３０により全面が貼り合わせられた構成を有している。封止パネル２０の大きさは、後述する製造方法において使用する装置の構造や、または目的とする表示装置の寸法により、必ずしも駆動パネル１０と同じである必要はない。
【００１０】
図２は、図１に示した表示装置の詳細な断面構成を表すものである。駆動パネル１０は、例えば、ガラスなどの絶縁材料よりなる駆動用基板１１に、赤色の光を発生する有機発光素子１０Ｒと、緑色の光を発生する有機発光素子１０Ｇと、青色の光を発生する有機発光素子１０Ｂとが、順に全体としてマトリクス状に設けられている。なお、駆動用基板１１の端部には、取り出し端子およびアライメントマーク（いずれも図示せず）が設けられている。アライメントマークは、作業者が目視確認しながら駆動パネル１０と封止パネル２０との位置合わせを行うのを助けるためのものである。
【００１１】
有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂは、例えば、駆動用基板１１の側から、陽極としての第１電極１２、絶縁膜１３、発光層を含む有機層１４、および陰極としての第２電極１５がこの順に積層されている。第２電極１５の上には、必要に応じて、酸化シリコン（ＳｉＯ2 ）あるいは窒化シリコン（ＳｉＮ）などよりなる保護膜１６が形成されている。
【００１２】
第１電極１２は、反射層としての機能も兼ねており、例えば、白金（Ｐｔ），金（Ａｕ），クロム（Ｃｒ）またはタングステン（Ｗ）などの金属または合金により構成されている。なお、第１電極１２は、図示しない絶縁膜により相互に電気的に分離されている。
【００１３】
絶縁膜１３は、第１電極１２と第２電極１５との絶縁性を確保すると共に、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂにおける発光領域の形状を正確に所望の形状とするためのものである。絶縁膜１３は、例えば、酸化シリコンなどの絶縁材料により構成され、発光領域に対応して開口部１３Ａが設けられている。
【００１４】
有機層１４は、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂごとに構成が異なっている。有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂの有機層１４は、正孔輸送層，発光層および電子輸送層が第１電極１２の側からこの順に積層された構造を有している。正孔輸送層は発光層への正孔注入効率を高めるためのものである。発光層は電界をかけることにより電子と正孔との再結合が起こり、光を発生するものである。電子輸送層は、発光層への電子注入効率を高めるためのものである。
【００１５】
有機発光素子１０Ｒの正孔輸送層の構成材料としては、例えば、ビス［（Ｎ−ナフチル）−Ｎ−フェニル］ベンジジン（α−ＮＰＤ）が挙げられ、有機発光素子１０Ｒの発光層の構成材料としては、例えば、２，５−ビス−［４−［Ｎ−（４−メトキシフェニル）−Ｎ−フェニルアミノ］］スチリルベンゼン−１，４−ジカーボニトリル（ＢＳＢ）が挙げられ、有機発光素子１０Ｒの電子輸送層の構成材料としては、例えば、８−キノリノールアルミニウム錯体（Ａｌｑ3 ）が挙げられる。
【００１６】
有機発光素子１０Ｂの正孔輸送層の構成材料としては、例えば、α−ＮＰＤが挙げられ、有機発光素子１０Ｂの発光層の構成材料としては、例えば、４，４´−ビス（２，２´−ジフェニルビニン）ビフェニル（ＤＰＶＢｉ）が挙げられ、有機発光素子１０Ｂの電子輸送層の構成材料としては、例えば、Ａｌｑ3 が挙げられる。
【００１７】
有機発光素子１０Ｇの正孔輸送層の構成材料としては、例えば、α−ＮＰＤが挙げられ、有機発光素子１０Ｇの発光層の構成材料としては、例えば、Ａｌｑ3 にクマリン６（Ｃ６；Ｃｏｕｍａｒｉｎ６）を１体積％混合したものが挙げられ、有機発光素子１０Ｇの電子輸送層の構成材料としては、例えば、Ａｌｑ3 が挙げられる。
【００１８】
第２電極１５は、半透過性電極により構成されており、発光層で発生した光は第２電極１５の側から取り出されるようになっている。第２電極１５は、例えば、銀（Ａｇ），アルミニウム（Ａｌ），マグネシウム（Ｍｇ），カルシウム（Ｃａ），ナトリウム（Ｎａ）などの金属または合金により構成されている。
【００１９】
封止パネル２０は、駆動パネル１０の有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂが形成されている側に位置しており、例えば、接着層３０と共に有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂを封止する封止用基板２１を有している。封止用基板２１は、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂで発生した光に対して透明なガラスなどの材料により構成されている。また、封止用基板２１には、図示しないが、例えば、カラーフィルタまたはブラックマトリクスとしての遮蔽膜が設けられ、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂおよびその間の配線において反射された外光を吸収し、コントラストを改善するようになっている。更に、封止用基板２１の端部には、駆動用基板１１のアライメントマークに対応するアライメントマーク（図示せず）が設けられている。
【００２０】
図１および図２に示した接着層３０は、駆動パネル１０と封止パネル２０との間に設けられ、表示装置の強度を確保すると共に、水分や酸素の侵入による有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂの結晶化および第２電極１５の剥離をより効果的に防止するようになっている。接着層３０は、駆動パネル１０の全面に設けられている必要はなく、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂを覆うように設けられていればよい。駆動用基板１１の端部に設けられた取り出し端子（図示せず）を接着層３０の外部に露出させ、駆動回路等との電気的接続をとるためである。
【００２１】
接着層３０は、熱硬化型樹脂または紫外線硬化型樹脂により構成されている。特に封止用基板２１に図示しないカラーフィルタを設ける場合には、カラーフィルタの材料は紫外線を透過しにくいので、接着層３０は主として熱硬化型樹脂により構成されていることが好ましい。
【００２２】
この表示装置は、例えば、次のようにして製造することができる。
【００２３】
図３は、この表示装置の製造方法を表す流れ図である。まず、図２に示したような駆動用基板１１に有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂが形成された駆動パネル１０を用意する（ステップＳ１０１）。
【００２４】
なお、駆動パネル１０は、例えば、次のようにして形成することができる。まず、駆動用基板１１に、例えばスパッタリング法により上述した材料よりなる第１電極１２，取り出し端子およびアライメントマーク等を設ける。次いで、例えば蒸着法により上述した材料よりなる絶縁膜１３を形成し、開口部１３Ａを設ける。続いて、第１電極１２の上に、例えば蒸着法により、各色別に、上述した材料よりなる正孔輸送層，発光層および電子輸送層を順次成膜して有機層１４を形成する。有機層１４を形成したのち、例えば蒸着法により、上述した材料よりなる第２電極１５を形成し、必要に応じて保護膜１６を形成する。
【００２５】
また、封止用基板２１に、必要に応じて、遮蔽膜，カラーフィルタおよびアライメントマーク等を形成することにより封止パネル２０を形成する（ステップＳ１０２）。
【００２６】
駆動パネル１０および封止パネル２０を形成したのち、駆動パネル１０に封止用接着樹脂を配置する工程（以下、「接着樹脂配置工程」という。）と、駆動パネル１０と封止パネル２０とを封止用接着樹脂を介して真空中で貼り合わせる工程（以下、「真空貼合工程」という。）とを行う。
【００２７】
（製造装置の構成）
真空貼合工程は、例えば、図４に示した製造装置を用いて行う。この製造装置１００は、例えば、内部を真空にすることが可能な真空容器１１０を有しており、この真空容器１１０内に、駆動パネル１０を支持する基体１２０と、封止パネル２０を支持して駆動パネル１０に対して相対的に移動させる移動機構１３０と、封止パネル２０を裏側から加圧することにより封止用接着樹脂を押し広げるための加圧部材１４０とが配設されている。また、真空容器１１０には、排気部１１１および真空解除のためのガス導入部１１２が設けられている。排気部１１１は図示しない排気装置に接続され、ガス導入部１１２は図示しないガス供給装置に接続されている。
【００２８】
基体１２０は、図５に示したように、駆動パネル１０の厚みよりも浅い溝１２１が設けられていることが好ましい。駆動パネル１０を溝１２１にはめ込むことにより駆動パネル１０を確実に固定することができるからである。
【００２９】
移動機構１３０は、移動可能な二本の平行な支持アーム１３１を備えている。なお、封止パネル２０の大きさによっては、図４および図６に示したように、必要に応じて、支持アーム１３１の間にガラス等よりなる帯状の保持部材１３２を架け渡し、封止パネル２０の端を保持部材１３２に乗せるようにしてもよい。
【００３０】
加圧部材１４０は、例えば、図４に示した加圧ピンに限られず、加圧ローラ等でもよい。
【００３１】
更に、真空容器１１０内に、封止用接着樹脂を塗布または滴下などにより配置するための接着樹脂配置機構（図示せず）が設けられている場合には、接着樹脂配置工程および真空貼合工程の両方を製造装置１００により行うことも可能である。接着樹脂配置機構としては、例えば、スリットノズル型ディスペンサ、ロールコータ、またはスクリーン印刷法によるものが挙げられる。以下の説明では、接着樹脂配置工程および真空貼合工程の両方を製造装置１００により行う場合について説明する。
【００３２】
（接着樹脂配置工程）
まず、図７に示したように、真空容器１１０内の基体１２０上に、駆動パネル１０を載置する（ステップＳ１０３）。
【００３３】
次いで、同じく図７に示したように、上述した接着樹脂配置機構（図示せず）により、駆動パネル１０に仮固定用接着樹脂３１を配置する（ステップＳ１０４）。仮固定用接着樹脂３１は、駆動パネル１０と封止パネル２０とを貼り合わせたのち、駆動パネル１０と封止パネル２０とを位置合わせしてから封止用接着樹脂を硬化させるまでの間、両者の正確な位置関係を保持するためのものであり、例えば、駆動パネル１０と封止パネル２０との重なる領域の四隅に配置することが好ましい。また、仮固定用接着樹脂３１としては、例えば紫外線硬化型樹脂を用いることが好ましい。局所的な硬化が容易であり、かつ硬化時間が短いからである。
【００３４】
続いて、同じく図７に示したように、駆動パネル１０に封止用接着樹脂３２を配置する（ステップＳ１０５）。封止用接着樹脂３２は、駆動パネル１０と封止パネル２０とを全面にわたって貼り合わせるためのものであり、例えば熱硬化型樹脂を用いることが好ましい。封止用接着樹脂３２は、例えば、図８に示したように面状に配置してもよいし、図９に示したように線状に配置してもよく、あるいは図１０に示したように点状に分散して配置してもよい。
【００３５】
また、このとき、必要以上に多量の封止用接着樹脂３２を配置しないようにすることが好ましい。封止用接着樹脂３２が硬化する際に広がりすぎて、取り出し端子などを覆ってしまうおそれがあるからである。例えば、後述するように、駆動パネル１０と封止パネル２０とを貼り合わせた段階で、封止用接着樹脂３２が封止パネル２０の端面から少し内側まで押し広げられた状態になるよう、封止用接着樹脂３２の量を調整することが好ましい。なお、封止用接着樹脂３２の量の調整は、封止用接着樹脂３２を吐出するノズル等と駆動パネル１０との間隔、配置速度、配置パターンの間隔または長さ、配置停止時または配置終了時の待機時間、封止用接着樹脂３２の吐出量などの諸条件が総合的に関係する。
【００３６】
（真空貼合工程）
駆動パネル１０に封止用接着樹脂３２を配置したのち、図１１に示したように、真空容器１１０内の移動機構１３０に封止パネル２０を設置する（ステップＳ１０６）。なお、このとき、駆動用基板１１および封止用基板２１の各々に設けられたアライメントマークを用いて、駆動パネル１０の位置と封止パネル２０の位置とが大きくずれないように位置合わせしておくことが好ましい。
【００３７】
移動機構１３０に封止パネル２０を設置したのち、排気部１１１により真空容器１１０内を真空にする（ステップＳ１０７）。このときの真空度は、例えば、１０-1Ｐａないし１０-2Ｐａ程度とする。これにより、脱泡、すなわち、封止用接着樹脂３２内に残っている気泡を除去することができ、気泡の残存を防止して表示品質を向上させることができる。
【００３８】
真空容器１１０内を真空にしたのち、図１２に示したように、移動機構１３０により封止パネル２０を下降させて封止用接着樹脂３２に接触させたのち、加圧部材１４０により封止パネル２０を裏側から加圧して封止用接着樹脂３２を押し広げていく。これにより、駆動パネル１０と封止パネル２０とを、封止用接着樹脂３２を介して真空中で貼り合わせる（ステップＳ１０８）。このように真空中で貼り合わせるようにすれば、封止用接着樹脂３２と封止パネル２０との間に隙間が形成されてしまった場合にも、その隙間は空気の気泡ではなく真空の隙間となるので、真空を解除することにより真空の隙間に封止用接着樹脂３２が吸引され、隙間をつぶすことができる。よって、気泡の残存または混入なく駆動パネル１０と封止パネル２０とを貼り合わせることができ、表示品質の高い表示装置を製造することができる。
【００３９】
このとき、接着樹脂配置工程で説明したように封止用接着樹脂３２を配置する量を調整し、押し広げられた封止用接着樹脂３２が封止パネル２０の端面からはみ出すことのないようにする必要がある。例えば、封止用接着樹脂３２は、硬化により更に広がることを考慮して、図１３において斜線を付して示したように、封止パネル２０の端面から１０ｍｍないし５ｍｍ程度の範囲内に押し広げられていることが好ましい。
【００４０】
なお、封止用接着樹脂３２の伸びが足りない場合には、例えば、基体１２０を例えば４０℃ないし５０℃程度の低温に加熱するようにすれば、封止用接着樹脂３２の粘度を下げることができ、スムーズに押し広げることが可能となる。
【００４１】
駆動パネル１０と封止パネル２０とを真空中で貼り合わせたのち、真空容器１１０内の真空を解除する（ステップＳ１０９）。このとき、真空解除は、例えば、窒素ガスまたは空気などを徐々に導入するようにすることが好ましい。
【００４２】
真空を解除したのち、真空容器１１０内の気圧を大気圧と同じに戻し、貼り合わせられた駆動パネル１０および封止パネル２０を真空容器１１０から取り出し、位置合わせ装置（図示せず）において駆動パネル１０と封止パネル２０とを正確に位置合わせし、直ちに紫外線照射などにより仮固定用接着樹脂３１を硬化させ、仮固定層３１Ａを形成する（ステップＳ１１０）。これにより、位置合わせされた駆動パネル１０と封止パネル２０との正確な位置関係を固定することができる。
【００４３】
仮固定用接着樹脂３１を硬化させたのち、貼り合わせられた駆動パネル１０および封止パネル２０を炉に設置し、例えば８０℃程度の温度に加熱することにより封止用接着樹脂３２を硬化させ、接着層３０を形成する（ステップＳ１１１）。封止用接着樹脂３２は、硬化に伴い、毛細管現象により外側へと広がっていくので、図１４に示したように、接着層３０により封止パネル２０の端面まで十分に接着させることができる。なお、接着層３０は、図１５に示したように、封止パネル２０の端面からわずかにはみ出す場合がある。この場合、接着層３０が封止パネル２０の端面から必要以上にはみ出ないようにすることが好ましい。これは、駆動パネル１０の端に設けられている取り出し端子１７が接着層３０に覆われてしまわないようにするためである。そのためには、接着樹脂配置工程において説明したような封止用接着樹脂３２の量の調整を行うことが望ましい。
【００４４】
封止用接着樹脂３２を硬化させたのち、目的とする表示装置の大きさにより必要に応じて分割を行う。以上により、図１および図２に示した表示装置が完成する。
【００４５】
この表示装置では、例えば、第１電極１２と第２電極１５との間に所定の電圧が印加されると、有機層１４の発光層に電流が注入され、正孔と電子とが再結合することにより、主として発光層の正孔輸送層側の界面において発光が起こり、この光は第２電極１５を透過して取り出される。本実施の形態では、駆動パネル１０と封止パネル２０とが封止用接着樹脂３２を介して真空中で貼り合わせられているので、接着層３０と封止パネル２０との間に気泡が残存または混入することが防止されている。よって、気泡による光の屈折などの悪影響がなくなり、表示品質が向上する。
【００４６】
このように本実施の形態では、駆動パネル１０と封止パネル２０とを封止用接着樹脂３２を介して真空中で貼り合わせるようにしたので、封止用接着樹脂３２と封止パネル２０との間に気泡が残存または混入することを確実に防止することができる。よって、表示品質を高めることができ、特に中型ないし大型の表示装置の製造に極めて好適である。また、駆動パネル１０に封止用接着樹脂３２を配置したのちに駆動パネル１０と封止パネル２０とを封止用接着樹脂３２を介して貼り合わせるようにしたので、駆動パネル１０と封止パネル２０との間に封止用接着樹脂３２を導入するのに時間をかけなくて済み、製造効率を向上させることができる。
【００４７】
なお、本実施の形態では、接着樹脂配置工程および真空貼合工程の両方を製造装置１００において行う場合について説明したが、接着樹脂配置工程は、他の製造装置により行うようにしてもよい。すなわち、例えば図１６に示したように、他の製造装置において駆動パネル１０に仮固定用接着樹脂３１（ステップＳ１０４）および封止用接着樹脂３２（ステップＳ１０５）を配置したのち、真空容器１１０内の基体１２０上に駆動パネル１０を載置する（ステップＳ１０３）ようにしてもよい。
【００４８】
また、接着樹脂配置工程の一部を他の製造装置により行うようにしてもよい。すなわち、例えば図１７に示したように、他の製造装置において駆動パネル１０に仮固定用接着樹脂３１を配置したのち（ステップＳ１０４）、真空容器１１０内の基体１２０上に駆動パネル１０を載置し（ステップＳ１０３）、駆動パネル１０に封止用接着樹脂３２を配置する（ステップＳ１０５）ようにしてもよい。
【００４９】
更に、図１８に示したように、駆動パネル１０を真空容器１１０内の基体１２０上に載置したのち（ステップＳ１０３）、真空容器１１０内を真空にして（ステップＳ１０７）、仮固定用接着樹脂３１を真空中で配置し（ステップＳ２０４）、封止用接着樹脂３２を真空中で配置する（ステップＳ２０５）ようにしてもよい。この場合も、図示しないが、他の製造装置において駆動パネル１０に仮固定用接着樹脂３１を配置したのち、真空容器１１０内の基体１２０上に駆動パネル１０を載置し、真空容器１１０内を真空にして、駆動パネル１０に封止用接着樹脂３２を真空中で配置するようにしてもよい。
【００５０】
以上、実施の形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、種々変形が可能である。例えば、上記実施の形態では、真空貼合工程ののちに、位置合わせおよび仮固定を行うようにした場合について説明したが、真空貼合工程において精確な位置決めが可能であれば位置合わせは省略してもよい。
【００５１】
また、上記実施の形態において説明した各層の材料および膜厚、または成膜方法および成膜条件などは限定されるものではなく、他の材料および厚みとしてもよく、または他の成膜方法および成膜条件としてもよい。
【００５２】
更に、上記実施の形態では、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂの構成を具体的に挙げて説明したが、全ての層を備える必要はなく、また、他の層を更に備えていてもよい。
【００５３】
加えて、上記実施の形態で説明した製造装置１００の構成は限定されるものではなく、他の構成としてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本発明は、携帯情報端末などに用いられる小型の有機発光表示装置、パーソナルコンピュータのモニタあるいはテレビジョンなどの中大型の有機発光表示装置、またはホームシアターなどの大型の有機発光表示装置の製造に適用することができ、特に中大型または大型の有機発光表示装置の製造に好適である。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の一実施の形態に係る表示装置の構成を表す断面図である。
【図２】図１に示した表示装置の詳細な構成の一例を表す断面図である。
【図３】図１に示した表示装置の製造方法を表す流れ図である。
【図４】図１に示した表示装置の製造に用いられる製造装置の構成を表す図である。
【図５】図４に示した基体の変形例を表す断面図である。
【図６】図４に示した駆動パネルおよび封止パネルを移動機構の側から見た構成を表す平面図である。
【図７】図１に示した表示装置の製造方法における接着樹脂配置工程を表す断面図である。
【図８】図７に示した仮固定用接着樹脂および封止用接着樹脂の配置の一例を表す平面図である。
【図９】図７に示した仮固定用接着樹脂および封止用接着樹脂の配置の他の例を表す平面図である。
【図１０】図７に示した仮固定用接着樹脂および封止用接着樹脂の配置の更に他の例を表す平面図である。
【図１１】図７に続く工程を表す図である。
【図１２】図８に続く工程（真空貼合工程）を表す断面図である。
【図１３】図１２に示した工程における封止用接着樹脂の広がり状態を表す平面図である。
【図１４】図１２に続く工程における接着層の広がり状態を表す平面図である。
【図１５】図１４のＸＶ−ＸＶ線における断面図である。
【図１６】本発明の変形例に係る表示装置の製造方法を表す流れ図である。
【図１７】本発明の他の変形例に係る表示装置の製造方法を表す流れ図である。
【図１８】本発明の更に他の変形例に係る表示装置の製造方法を表す流れ図である。
【符号の説明】
【００５６】
１０…駆動パネル、１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂ…有機発光素子、１１…駆動用基板、１２…第１電極、１３…絶縁膜、１４…有機層、１５…第２電極、１６…保護膜、１７…取り出し端子、２０…封止パネル、２１…封止用基板、３０…接着層、３１…仮固定用接着樹脂、３１Ａ…仮固定層、３２…封止用接着樹脂
【図１】
2005243413.tif 000003
【図２】
2005243413.tif 000004
【図３】
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【図４】
2005243413.tif 000006
【図５】
2005243413.tif 000007
【図６】
2005243413.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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