(57)【要約】【課題】各種現像処理の工程管理を可能にし作業を容易にすること。【解決手段】自動現像処理装置内に感光波長領域外の発光波長を持つＬＥＤを照明として組み込む。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光波長が被処理感光材料の感光波長外であるＬＥＤを組み込むことを特徴とする自動現像処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光材料の自動現像処理装置に関するものである。詳しくは内部照明を持つ自動現像処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
感光材料を取り扱うためには、十分な遮光性能をもった暗室内において、セーフライトとよばれる取り扱う感光材料の感光波長領域外の照明のもとで作業をすることが一般的である。セーフライトに求められる性能としては、セーフライトから発する光が十分強くてもあるいは十分長い照射によっても感光材料がカブリを生じないことが最も重要であるが、実用面では、セーフライト光による視認性の善し悪し、経時による光強度の劣化及びセーフライト光のスペクトルの変化の有無も重要である。
【０００３】
セーフライトとしては、電球や蛍光灯を発光源とし、その全面に色フィルターを用いて感光材料の感光波長領域の光量を減じることでかぶらない照明として機能するものが使用されている。しかし、そのような電球や蛍光灯を使用するセーフライトは、発熱が大きく、フィルタの性能劣化も早い等の欠点があるため、セーフライトとしてＬＥＤを用いた照明が提案されている（例えば、特許文献１）。さらに、ＬＥＤ発光によるカブリを防止するためにＬＥＤの発光中心波長から離れた波長の光を減ずるフィルターをもちいることが提案されている（例えば、特許文献２）。
【０００４】
セーフライトの暗室下で使用される感光材料用の自動現像処理装置として、ガラスマスク自動現像処理装置がある。我々は、ガラスのような厚みのある基板の現像処理方法を提案している（例えば、特許文献３）。このような自動現像処理装置においては、遮光のためのカバーの必要性は少なくなっているがアルカリや酸性の各種処理液を用いることから臭気等の作業環境には十分な配慮が必用である。また、自動搬送装置が用いられるため、安全性への配慮からも作業者の作業領域と自動現像処理装置の稼働領域を分離分断するための閾となるカバーの取り付けが望ましい。またファインパターン化に伴い防塵対策としてのカバーの取り付け効果は高い。
【０００５】
一方、自動現像処理装置で処理されたガラスマスクの表面には、処理不良が見られるが、それがどの処理工程に起因しているかを特定するためには現像処理中のガラス基板表面の様子を観察することが望ましい。
【０００６】
カバーで覆われた自動現像装置で処理中過程を観察するためにはカバーの一部を透明体にすることである程度は可能となるが、部屋に設置されているセーフライトのみでは各処理過程のガラス基板表面を観察するには十分でない。
【０００７】
また、自動現像処理装置へのガラスの着脱作業は人手により行っているが、ガラスを着脱する治具が装置内部にあるため、治具の視認性が良くないと作業が困難である。
【特許文献１】実開昭５９−１３８８５５号公報
【特許文献２】特開平１０−４０７２７号公報
【特許文献３】特開２００１−１５４３２８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の課題は、自動現像処理装置による処理中においてもガラス基板表面の様子を観察できるようにし、さらにガラス基板の着脱作業を容易にすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者らは、自動現像処理装置内に感光波長領域外の発光波長を持つＬＥＤを照明として組み込むことによって上記課題を解決した。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、カバーに覆われたコンパクトな自動現像処理装置においても、現像処理中のガラス基板表面の様子を観察することができ、品質管理が可能となる。さらに、ガラス基板の人手による着脱作業が容易になる。また、内部照明による一つの光源が数立方センチ以下のサイズであり、結露などの状況下であってもカブリのおそれが全くなく、発熱量がきわめて少ないので、現像品質に悪影響を及ぼさない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
図１、２に本発明を適用した自動現像処理装置の概略を示す。図２は装置外観を示すものであり、カバーに取り付けられたガラス窓５、６により内部が観察できるようになっている。ガラスの着脱は、扉７を開けて内部に設置されている治具に対して人手により行う。図１は装置内部を示すものであり、３はガラス着脱治具、４は現像処理槽である。装置内部にはＬＥＤ照明１及びＬＥＤ照明2が組み込まれている。ＬＥＤ照明１はガラス着脱治具の近辺に設置されており、これにより治具の視認性が向上し、人手によるガラスの着脱作業が容易になる。ＬＥＤ照明２は各処理槽の近辺に設置されており、これにより各装置過程の感光面の様子を観察することができ、品質管理が可能となる。
【００１２】
本発明に係わるＬＥＤの選択において、その発光の中心波長及びスペクトル半値幅がきわめて重要な評価基準となる。すなわち、このＬＥＤによる照明が被処理感光材料のカブリの原因にならないように、被処理感光材料の感光波長領域の終端から、このＬＥＤのピーク発光波長は少なくとも発光スペクトルの半値幅に相当する波長だけ感光波長領域外にずれていることが重要である。ここで言う、被処理感光材料の感光波長領域の終端とは、露光に用いる光の中心波長における被処理感光材料の感度に対し、その１％の感度とする。通常のＬＥＤの場合発光スペクトルの半値幅は４０nm以下である。カブリを防止するために発光波長を感光波長領域より遠ざけることが重要であるが同時に視認性を確保するためには、赤色ＬＥＤの場合はより短波長の発光波長のＬＥＤを用いることが重要である。
【００１３】
本発明はＬＥＤによってカブリを防止するとともに十分な視認性を確保する手段を提供するものである。必要な視認性が得られれば、設置場所及び設置数量に制限はない。必要な視認性が局部的な領域である場合には指向性の狭いＬＥＤを使用し、一方で必要な視認性が広い領域である場合には指向性の広いＬＥＤを使用すればより効果的である。ＬＥＤは大変小さく、発熱も少ないので、わずかな設置スペースがあれば容易に装置内に組み込むことが可能であり、コンパクトな装置内への組み込みには最適である。
【００１４】
ＬＥＤ照明１の点灯を扉７に連動するようにし、扉を開けている間だけＬＥＤ照明１が点灯するようにしておけば、ガラス基板を治具に着脱する作業時だけの点灯となり、不必要な間は点灯しないようにできる。ＬＥＤ照明２は各処理過程の基板感光面を常に観察できるだけのＬＥＤを一括で点灯しておいても良いが、各処理過程ごとに分けて、その過程の基板感光面が観察できる分のＬＥＤを必要な時間だけ点灯するようにしても良い。
【実施例１】
【００１５】
以下、実施例について説明するが、これらに限定されるものではない。
三菱製紙株式会社製のプリント基板用ガラスマスク自動現像機EL-GPIに本発明を適用した。EL-GPIは最大処理可能なガラスサイズが508mm×610mmに対し、外寸が1200W×1950D×2086Hとコンパクトであり、小さな暗室にも設置が可能である。EL-GPIの内部にはガラス着脱治具と６つの処理槽及び１つの乾燥ゾーンが収納されている。マスク材料として、感光波長領域の終端波長が約583nmである市販のエマルジョンマスクを使用した。内部照明用として２種類のＬＥＤを適用した。ガラス着脱治具に対しては局部的な視認性を上げることが作業を容易にする上でより効果的であるため、ＬＥＤとして、指向性の狭い株式会社東芝製TLSU164を適用した。一方、現像処理中のガラス基板表面を観察するには広い領域の視認性が必要であるため、ＬＥＤとして、指向性の広い株式会社東芝製TLSU124を適用した。TLSU164及びTLSU124は共にピーク発光波長が636nmで、半値幅は17nmの高輝度赤色ＬＥＤであり、使用したエマルジョンマスクの終端波長に対し、そのピーク発光波長が半値幅以上感光波長領域外にある。TLSU164のＬＥＤをガラス着脱治具の近辺に４個設置し、TLSU124のＬＥＤを各処理槽の近辺に各１個ずつ、計１１個のＬＥＤを設置した。ガラス着脱治具の近辺に設置した４個のＬＥＤは扉と連動するようにし、ガラスの着脱作業時だけ点灯するようにした。また、処理槽の近辺に設置した７個のＬＥＤは必要に応じて点灯できるようにした。この結果、治具の視認性が向上し、ガラスの着脱作業が容易になった。また、現像処理中の基材表面の様子を観察することができ、品質管理が可能となった。現像処理後のガラスマスクにカブリは一切生じなかった。
【実施例２】
【００１６】
実施例１において、マスク材料として感光波長領域の終端波長が約603nmである市販のエマルジョンマスクを用い、内部照明用ＬＥＤとして治具近辺には指向性の狭いローム株式会社製SLA-360JTを、各処理槽近辺には指向性の広いSLA-370JTを用いた。SLA-360JT及びSLA-370JTは共にピーク発光波長が660nmで、半値幅は25nmの高輝度赤色ＬＥＤであり、使用したエマルジョンマスクの終端波長に対し、そのピーク発光波長が半値幅以上感光波長領域外にある。この結果、治具の視認性が向上し、ガラスの着脱作業が容易になった。また、現像処理中の基材表面の様子を観察することができ、品質管理が可能となった。現像処理後のガラスマスクにカブリは一切生じなかった。
【産業上の利用可能性】
【００１７】
内部照明を必要とする感光材料用自動現像処理装置。狭いスペースへの照明の組み込み設置が要求される感光材料用自動現像処理装置。組み込み照明の発熱が問題となるような感光材料用自動現像処理装置。組み込み照明の耐久性が要求される感光材料用自動現像処理装置。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】自動現像処理装置の内部概略図
【図２】自動現像処理装置の外部概略図
【符号の説明】
【００１９】
１、２  ＬＥＤ照明
３  ガラス着脱治具
４  現像処理槽
５、６  ガラス窓
７  扉
【図１】
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【図２】
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