(57)【要約】【課題】ダイボンダと同等の高速高精度性と工程変動や製品変動に迅速対応できる柔軟性と小型経済性とを有し、多世代の製品に亘って流用可能な部品実装組立セルを提供する。【解決手段】部品実装組立を行なう複数の工程において共通に用いられる機器を筐体１０ａに内蔵するとともにワーク２を所定搬送方向へ搬送する機構２０Ａとワーク２を位置決めする機構２０Ａとをそなえたベースユニット１０と、エンドエフェクタ４１を含む専用ユニット４０と、エンドエフェクタ４１を所定搬送方向と直交する２軸方向へ移動させてエンドエフェクタ４１とワーク２やパーツ３との相対位置を調整する機構３１，３２を含む選択機構ユニット３０とをそなえ、移動機構３１，３２がベースユニット１０に対し取替可能に装着されるとともに、エンドエフェクタ４１が移動機構３２に対し取替可能に装着される。【選択図】図１
2005064287.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品実装組立を行なう複数の工程において共通に用いられる機器を筐体に内蔵するとともに、該筐体上で実装組立対象のワークを製造ラインに沿う所定搬送方向へ搬送するための搬送機構と該ワークを前記所定搬送方向における所定位置に位置決めするための位置決め機構とを含んで構成されるベースユニットと、
該ワークもしくは該ワークに実装されるべきパーツに対し各工程に応じた処理を施すためのエンドエフェクタを含んで構成される専用ユニットと、
各工程において該エンドエフェクタを前記所定搬送方向と直交する２軸方向へ移動させて該エンドエフェクタと該ワークもしくは該パーツとの相対位置を調整し位置決めするための移動機構を含んで構成される選択機構ユニットとをそなえ、
該移動機構が、各工程の内容に応じて複数種類の中から選択され、該ベースユニットに該選択機構ユニットとして取替可能に装着されるとともに、
該エンドエフェクタが、各工程の内容に応じて複数種類の中から選択され、該移動機構に該専用ユニットとして取替可能に装着されることを特徴とする、部品実装組立セル。
【請求項２】
該選択機構ユニットが、さらに、該エンドエフェクタによって該製造ラインに投入されるべき該ワークまたは該パーツ、もしくは、該エンドエフェクタによって該製造ラインから取り出された該ワークの水平位置を調整するためのアライナ機構を含んで構成され、該アライナ機構が、各工程の内容に応じて複数種類の中から選択され、該ベースユニットに該選択機構ユニットとして取替可能に装着されるとともに、
該専用ユニットが、さらに、該アライナ機構上において該ワークもしくは該パーツを所定位置に固定するための固定機構を含んで構成され、該固定機構が、各工程の内容に応じて複数種類の中から選択され、該アライナに該専用ユニットとして取替可能に装着されることを特徴とする、請求項１記載の部品実装組立セル。
【請求項３】
他工程用の部品実装組立セルと前記所定搬送方向に連結可能に構成されるとともに、
該他工程用の部品実装組立セルとの連結時に、該搬送機構が、該ワークを、隣接する該他工程用の部品実装組立セルの搬送機構へ受渡し可能に構成されていることを特徴とする、請求項１または請求項２に記載の部品実装組立セル。
【請求項４】
該ベースユニットの筐体に、該機器として、外部コントローラもしくは他工程用の部品実装組立セルにおける制御機器と信号のやり取りを行なうための入出力インターフェースとして機能する入出力ユニットが内蔵されていることを特徴とする、請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の部品実装組立セル。
【請求項５】
該ベースユニットの該筐体が、断面Ｈ形の基準フレームを該筐体の軸中心に沿って配置して構成されていることを特徴とする、請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の部品実装組立セル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）ジャイロセンサ等の超小型センサデバイスを含む小型部品を一貫製造する際に用いられる部品実装組立セルに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、ＭＥＭＳジャイロセンサ等の超小型センサデバイスの一貫製造においては、高精度加工技術や実装技術に加え、各工程間の精密低振動ハンドリング技術を、限られたスペースで且つ高次元で実現する必要がある。
近年、設備のモジュール化や小型化が進み、省スペース，省エネルギ，短期立ち上げを行なう試みがなされているが、さらに、研究実験から量産工場まで共通に使用できる、高精度で小型な実装組立装置の開発が要求されている。
【０００３】
また、研究実験レベルでは、頻繁な要素変更に伴う実装組立工程変更へ柔軟に対応することが求められ、量産レベルでは、高いスループットや高い拡張性が求められている。さらに、いずれのレベルでも小型廉価が要求される。
従来、センサデバイス実装組立には、例えば下記特許文献１，２などに開示されているようなダイボンダ方式を用いることが一般的である。このダイボンダ方式は、高速高精度な実装組立が可能であるという点で大量生産向きであるが、高額な初期投資を必要とする点や、安定稼動までの立ち上げ期間が長い点で多品種少量生産には不向きである。また、多品種少量生産を意識した現状の小型モジュール化設備ラインでは、センサデバイス分野で要求されるような速度や精度の要件（高速高精度）を満足するものとは言い難い。
【特許文献１】特開昭５７−１４５３３４号公報
【特許文献２】特開平１０−３０８４０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
現状の多品種少量生産システムにおける課題をまとめると、以下の（１）〜（３）の通りである。
（１）従来、製品開発部門では、量産化に向け、何度か試作品を製作している。この試作品の製作に用いられる設備は、マニュアル主体の簡易治具によるもので、製作条件等はこの治具により決定される。量産時には、さらに量産設備に合った製作条件を決定する必要があり、製品量産立ち上げに多くの時間を要する。したがって、製品試作時の設備がそのまま量産設備となるような特徴をそなえた、部品実装用の装置を開発することが課題となっている。
【０００５】
（２）現在の多品種少量生産に要求されることは、短期大量生産（同一機種の生涯生産量は少ない）であるため、高速性を維持したまま、機種変動に柔軟に対応することが可能な、部品実装用の装置の開発が課題となっている。
（３）さらには、小型でスペース生産性が高く、多世代の製品に亘って流用可能な、部品実装用の装置の開発が課題となっている。
【０００６】
本発明は、このような課題に鑑み創案されたもので、ダイボンダと同等の高速高精度性をそなえるとともに工程変動や製品変動に迅速対応できる柔軟性と小型経済性とをも併せもち、さらには多世代の製品に亘って流用可能な部品実装組立セルを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明の部品実装組立セル（請求項１）は、部品実装組立を行なう複数の工程において共通に用いられる機器を筐体に内蔵するとともに、該筐体上で実装組立対象のワークを製造ラインに沿う所定搬送方向へ搬送するための搬送機構と該ワークを前記所定搬送方向における所定位置に位置決めするための位置決め機構とを含んで構成されるベースユニットと、該ワークもしくは該ワークに実装されるべきパーツに対し各工程に応じた処理を施すためのエンドエフェクタを含んで構成される専用ユニットと、各工程において該エンドエフェクタを前記所定搬送方向と直交する２軸方向へ移動させて該エンドエフェクタと該ワークもしくは該パーツとの相対位置を調整し位置決めするための移動機構を含んで構成される選択機構ユニットとをそなえ、該移動機構が、各工程の内容に応じて複数種類の中から選択され、該ベースユニットに対し該選択機構ユニットとして取替可能に装着されるとともに、該エンドエフェクタが、各工程の内容に応じて複数種類の中から選択され、該移動機構に対し該専用ユニットとして取替可能に装着されることを特徴としている。
【０００８】
このような部品実装組立セルにおいて、該選択機構ユニットが、さらに、該エンドエフェクタによって該製造ラインに投入されるべき該ワークまたは該パーツ、もしくは、該エンドエフェクタによって該製造ラインから取り出された該ワークの水平位置を調整するためのアライナ機構を含んで構成され、該アライナ機構が、各工程の内容に応じて複数種類の中から選択され、該ベースユニットに対し該選択機構ユニットとして取替可能に装着されるとともに、該専用ユニットが、さらに、該アライナ機構上において該ワークもしくは該パーツを所定位置に固定するための固定機構を含んで構成され、該固定機構が、各工程の内容に応じて複数種類の中から選択され、該アライナ機構に対し該専用ユニットとして取替可能に装着されていてもよい（請求項２）。
【０００９】
また、他工程用の部品実装組立セルと前記所定搬送方向に連結可能に構成されるとともに、該他工程用の部品実装組立セルとの連結時に、該搬送機構が、該ワークを、隣接する該他工程用の部品実装組立セルの搬送機構へ受渡し可能に構成されていてもよい（請求項３）。
さらに、該ベースユニットの筐体に、該機器として、外部コントローラもしくは他工程用の部品実装組立セルにおける制御機器と信号のやり取りを行なうための入出力インターフェースとして機能する入出力ユニットを内蔵してもよい（請求項４）。
【００１０】
またさらに、該ベースユニットの該筐体を、断面Ｈ形の基準フレーム部材を該筐体の軸中心に沿って配置して構成してもよい（請求項５）。
【発明の効果】
【００１１】
上述した本発明の部品実装組立セル（請求項１〜５）によれば、ベースユニットは製品の機種変動や製造工程の変動に関係なく共通に使用され、このようなベースユニットに対して各工程の内容に応じた選択機構ユニットが選択されて取替可能に装着されるとともに、各工程の内容に応じた専用ユニットが選択されて取替可能に装着されることにより、ある製品を製造する際（部品実装組立時）における一工程を担当する専用の部品実装組立セルが構成されることになる。これにより、ベースユニットを多種の工程や多世代の製品に亘って流用することができ、また、選択機構ユニットおよび専用ユニットを工程の内容に応じて取り替えることによって、製造工程変動や製品機種変動に極めて柔軟かつ迅速に対応でき、製造期間の短縮や製造コストの削減にも大きく寄与する。さらに、本発明の部品実装組立セルは上述のような柔軟性を有しているので、製品試作時と量産時との設備変更には選択機構ユニットや専用ユニットを変更することで迅速に対応でき、製品試作時の設備をほぼそのまま量産設備として用いることが可能になる。
【００１２】
また、本発明の部品実装組立セルを、他工程用の部品実装組立セルと所定搬送方向に連結可能に構成し、他工程用の部品実装組立セルとの連結時には、ベースユニットにおける搬送機構が、隣接する他工程用の部品実装組立セルの搬送機構へワークの受渡しを行なえるように構成することにより（請求項３）、搬送機構がラインコンベアとして機能することになり、多工程から成る製造ラインを容易に構築することができる。つまり、本発明の部品実装組立セルは、ライン化や多機能化を容易に実現可能なビルドアップシステム構成となっている。
【００１３】
さらに、ベースユニットの筐体に、外部コントローラや他工程用の部品実装組立セルにおける制御機器と信号のやり取りを行なうための入出力ユニットを内蔵することにより（請求項４）、本発明の部品実装組立セルを単体セルとして独立させることができ、部品実装組立セルの他設備への移植性を高め、ハイブリッドライン構成を容易に実現することができる。
【００１４】
またさらに、ベースユニットの筐体を、断面Ｈ形の基準フレームを筐体の軸中心に沿って配置して構成することにより（請求項５）、高精度化に必要な高剛性が得られるとともに小型軽量化を実現できるほか、各種機器の収納性やベースユニットの三次元拡張性を高めることもできる。また、断面Ｈ形のフレームを採用することにより、手軽に補強を施すことができるため、必要に応じさらに剛性を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
〔１〕本発明の一実施形態の説明
〔１−１〕部品実装組立セル単体の基本構成
図１は本発明の一実施形態としての部品実装組立セルの外観・構成を模式的に示す斜視図で、この図１に示すように、本実施形態の部品実装組立セル１は、ある製品（部品）の実装・組立を行なう際にその複数の工程のそれぞれに対応してそなえられるもので、大きく分けて、ベースユニット１０と選択機構ユニット３０と専用ユニット４０との３つの部分から構成されている。なお、図１に示す部品実装組立セル１は、図２に示す製造ラインにおけるパーツ搭載工程（搭載セル１Ｃ）に対応するものである。
【００１６】
〔１−１−１〕ベースユニット
ベースユニット１０は、図４を参照しながら後述するごとく部品実装組立を行なう複数の工程において共通に用いられる機器を筐体１０ａに内蔵するとともに、その筐体１０ａ上でパレット４を搬送するためのＸ軸搬送機構２０を含んで構成されている。
ここで、Ｘ軸搬送機構２０は、２ライン分の搬送系、搬送位置決め機構２０Ａとパレット戻り機構２０Ｂとを並行に配置して構成されている。
【００１７】
搬送位置決め機構（パレット送り機構）２０Ａは、パレット４上に載置されたワーク２を製造ラインに沿う所定搬送方向（Ｘ軸方向，図１中の矢印Ａｘ方向）へ搬送するための搬送機構、且つ、ワーク２を前記所定搬送方向における所定位置に位置決めするための位置決め機構として機能するもので、図１０〜図１５を参照しながら後述するごとく、実際には、多点ロボット，ローラ搬送機構，シリンダ上下機構（昇降機構）などを組み合わせて構成されている。
【００１８】
また、パレット戻り機構２０Ｂは、空パレット４のリターン搬送（前記所定搬送方向とは逆の方向、つまり図１中の矢印Ｂｘ方向への搬送）を行なうためのもので、図１０および図１２を参照しながら後述するごとく、実際には、ローラ搬送機構などによって構成されている。
そして、本実施形態の部品実装組立セル１は、他工程用の部品実装組立セル１と前記所定搬送方向に連結可能に構成されており、他工程用の部品実装組立セル１との連結時には、Ｘ軸搬送機構２０（２０Ａ，２０Ｂ）が、ワーク２（パレット４）を、隣接する他工程用の部品実装組立セル１のＸ軸搬送機構２０（２０Ａ，２０Ｂ）へ受渡し可能に構成されている。つまり、搬送位置決め機構２０Ａは、ワーク２を載置されたパレット４を、そのセル１での所定工程の終了後に、前記所定搬送方向（Ｘ軸方向，図１中の実線矢印Ａｘ方向）に隣接する他工程用の部品実装組立セル１へ送るように構成されるとともに、パレット戻り機構２０Ｂは、パレット４のみ（空パレット４）を前記所定搬送方向とは逆の方向（図１中の点線矢印Ｂｘ方向）に隣接する他工程用の部品実装組立セル１へ送るように構成されている。
【００１９】
このように構成されたベースユニット１０は、製品の機種変動や製造工程の変動があっても共通に使用することが可能で、多種の工程や多世代の製品に亘って流用することができる。また、ベースユニット１０は、他製品用の製造ラインを構築する際にそのまま再利用されるので、製造期間短縮や製造コスト削減に寄与することになる。
〔１−１−２〕選択機構ユニット
選択機構ユニット３０は、Ｙ軸移動機構３１，Ｚ軸移動機構３２およびアライナ機構３３を含んで構成されている。
【００２０】
ここで、Ｙ軸移動機構３１およびＺ軸移動機構３２は、それぞれ、各工程において、後述するエンドエフェクタ４０を前記所定搬送方向と直交する２軸方向（図１のＹ軸方向およびＺ軸方向）へ移動させてそのエンドエフェクタ４０とワーク２もしくはこのワーク２に実装されるべきパーツ３との相対位置を調整し位置決めするためのものである。Ｙ軸移動機構３１としては、例えば２点シリンダや多点ロボットから成るＹ軸２点位置決め機構，Ｙ軸多点位置決め機構，Ｙ軸１点位置決め機構などが用いられ、Ｚ軸移動機構３２としては、例えば２点シリンダや多点ロボットなどから成るＺ軸２点位置決め機構などが用いられる。
【００２１】
また、アライナ機構３３は、後述するエンドエフェクタ４０によって製造ラインに投入されるべきワーク２またはパーツ３、もしくは、エンドエフェクタ４０によって製造ラインから取り出されたワーク２の水平位置（ＸＹ平面内での位置）を調整するためのものである。このアライナ機構３３としては、例えば、ＸＹ精密ステージ，ＸＹ回転精密ステージ，自動認識補正ステージなどが用いられる。
【００２２】
そして、移動機構３１，３２は、各工程の内容に応じて複数種類（上述した２点シリンダ，多点ロボットなどから成る各種機構）の中から選択され、ベースユニット１０に対し選択機構ユニット３０として取替可能に装着されるとともに、アライナ機構３３は、各工程の内容に応じて複数種類（上述した各種ステージ）の中から選択され、ベースユニット１０に対し選択機構ユニット３０として取替可能に装着される。
【００２３】
なお、図１に示す部品実装組立セル１は前述した通り搭載セル１Ｃに対応するものであるので、図１では、表１や図２，図３を参照しながら後述するごとく、移動機構３１，３２としてそれぞれＹ軸多点位置決め機構３１ＢおよびＺ軸２点位置決め機構３２が選択・装着され、アライナ機構３３としてＸＹ２軸方向の位置調整可能なステージが選択・装着された例が示されている。
【００２４】
このように構成された選択機構ユニット３０（移動機構３１，３２およびアライナ機構３３）は、組立工程の変動（位置決め点数やストロークの変動）に対応して選択され、ベースユニット１０に対して取替可能に装着されるので、組立工程の機能に合わせてユニット３０のみを開発したり市販ユニットとして購入することで、過剰機能・過剰性能を避けることができ製造コストを削減することが可能になる。
【００２５】
〔１−１−３〕専用ユニット
専用ユニット４０は、ワーク２もしくはパーツ３に対し各工程に応じた処理を施すためのエンドエフェクタ（先端触手）４１と、アライナ機構３３上においてワーク２もしくはパーツ３を所定位置に固定するための固定機構４２とを含んで構成されている。ここで、エンドエフェクタ４１としては、例えば、パーツ吸着ハンド，ワーク吸着ハンド，ディスペンサ，スキージ塗布ハンド，加熱加圧ヘッド，ワークロードハンド，アンロードハンドなどが用いられる。また、固定機構４２としては、例えば、各種パーツ３に対応したパール専用固定機構や各種ワーク２に対応したワーク専用固定機構などが用いられる。
【００２６】
そして、エンドエフェクタ４１は、各工程の内容に応じて複数種類（上述した各種ハンド，ヘッド類）の中から選択され、Ｚ軸移動機構３２の先端に対し専用ユニット４０として取替可能に装着されるとともに、固定機構４２は、各工程の内容に応じて複数種類（上述した各種固定機構）の中から選択され、アライナ機構３３に対し専用ユニット４０として取替可能に装着される。
【００２７】
なお、図１に示す部品実装組立セル１は前述した通り搭載セル１Ｃに対応するものであるので、図１では、表１や図２，図３を参照しながら後述するごとく、エンドエフェクタ４１としてパーツ吸着ハンド（吸着ヘッド）４１Ｃが選択・装着され、固定機構４２としてパーツ専用固定ユニット４２Ｂが選択・装着された例が示されている。
このように構成された専用ユニット４０は、製品変動により機能性能が変わるユニットであり、この専用ユニット４０としてのエフェクタ４１および固定機構４２は、製品変動に対応して選択され、それぞれＺ軸移動機構３２およびアライナ機構３３に対して取替可能に装着されるので、設備開発者は、専用ユニット４０を上述した２つのユニット１０，３０から切り離して専用ユニット４０（エンドエフェクタ４１）による組立要素技術の開発を行なうことが可能になる。従って、設備開発者は、その組立要素技術およびエンドエフェクタ４１の開発に集中でき、開発期間の短縮と設備品質の向上が可能になる。
【００２８】
〔１−１−４〕部品実装組立セルの動作シーケンス
上述のごとく構成された部品実装組立セル１（１Ｃ）によるパーツ搭載の動作シーケンスは、以下の(a)〜(f)の通りである。
(a)パーツ３をアライナ機構３３にセットし、パーツ専用固定機構４２Ｂによりパーツ３を固定する。
【００２９】
(b)ワーク２を搭載したパレット４を搬送位置決め機構（パレット送り機構）２０Ａに投入し、この搬送位置決め機構２０Ａによりパレット４をＸ軸方向（前記所定搬送方向，図１の矢印Ａｘ方向）へ引き込んだ後、搬送位置決め機構２０Ａ内のシリンダ上下機構（図１１〜図１５を参照しながら後述する昇降機構２３）によりパレット４を押し上げてＸ軸方向における所定位置に位置決めする。
【００３０】
(c)Ｙ軸移動機構３１およびＺ軸移動機構３２により、エンドエフェクタ４１を、(a)でアライナ機構３３上にセット・固定されたパーツ３の上方に移動させた後、エンドエフェクタ４１（パーツ吸着ハンド４１Ｃ）によりパーツ３を吸着する。
(d)Ｙ軸移動機構３１およびＺ軸移動機構３２により、エンドエフェクタ４１を、Ｘ軸方向における所定位置に位置決めされたワーク２の上方へ移動させた後、エンドエフェクタ４１（パーツ吸着ハンド４１Ｃ）によりパーツ３をワーク２に実装する。
【００３１】
(e)パーツ３を実装されたワーク２を搭載されたパレット４は、搬送位置決め機構（パレット送り機構）２０Ａにより前記所定搬送方向へ排出され、次工程の部品組立実装セル１へ送出される。
(f)全ての工程を終了したワーク２をアンロードされて空になったパレット４は、パレット戻り機構２０Ｂにより、前記所定搬送方向とは逆の方向（図１中の矢印Ｂｘ方向）に搬送され、最終工程の部品実装組立セル１から第１工程の部品実装組立セル１まで送り返される。
【００３２】
〔１−１−５〕部品実装組立セルによって得られる効果
上述したように、図１に示す部品実装組立セル１によれば、ベースユニット１０は製品の機種変動や製造工程の変動に関係なく共通に使用され、このようなベースユニット１０に対して各工程の内容に応じた選択機構ユニット３０が選択されて取替可能に装着されるとともに、各工程の内容に応じた専用ユニット４０が選択されて取替可能に装着されることにより、ある製品を製造する際（部品実装組立時）における一工程（図１ではパーツ搭載工程）を担当する専用の部品実装組立セル１（１Ｃ）が構成されることになる。
【００３３】
これにより、ベースユニット１０を多種の工程や多世代の製品に亘って流用することができ、また、選択機構ユニット３０と専用ユニット４０を工程の内容に応じて取り替えることによって、製造工程変動や製品機種変動に極めて柔軟かつ迅速に対応でき、製造期間の短縮や製造コストの削減にも大きく寄与する。
さらに、部品実装組立セル１は上述のような柔軟性を有しているので、製品試作時と量産時との設備変更には選択機構ユニット３０や専用ユニット４０を変更することで迅速に対応でき、製品試作時の設備（部品実装組立セル１や、複数の部品実装組立セル１から成る、後述のごとき製造ライン）をほぼそのまま量産設備として用いることが可能になる。
【００３４】
〔１−２〕部品実装組立セルによる製造ライン構築
本実施形態の部品実装組立セル１は、前述した通り、他工程用の部品実装組立セル１と前記所定搬送方向に連結可能に構成され、複数の部品実装組立セル１を前記所定搬送方向に連結すると、Ｘ軸搬送機構２０（２０Ａ，２０Ｂ）が、パレット４を、隣接する部品実装組立セル１のＸ軸搬送機構２０（２０Ａ，２０Ｂ）へ受け渡せるように構成されているので、図２や図３に示すごとく、Ｘ軸搬送機構２０（２０Ａ，２０Ｂ）がラインコンベアとして機能するようになっている。
【００３５】
ここで、図２は本実施形態の部品実装組立セル１（１Ａ〜１Ｅ）を連結して構築された製造ラインを模式的に示す斜視図、図３は図２に示す製造ラインの要部（部品実装組立セル１Ｂ〜１Ｄの部分）を詳細に示す斜視図である。なお、図２や図３に示す各セル１のサイズは、例えば、Ｘ軸方向幅１００ｍｍ以下、Ｙ軸方向長３００ｍｍ以下、Ｚ軸方向高さ３００ｍｍ程度である。
【００３６】
図２および図３に示す製造ラインは、５つの部品実装組立セル１Ａ〜１Ｅを連結して構築されており、これらの部品実装組立セル１Ａ〜１Ｅにより、それぞれ、以下のような第１〜第５工程が実行される。
第１工程：  ワークロードセル１Ａにおいて、空のパレット４が所定位置に位置決めされると、アライナ機構３３上でワーク専用固定機構４２Ａにより固定されたワーク２が、ワーク吸着ハンド（エンドエフェクタ，吸着ヘッド）４１Ａにより吸着され、Ｙ軸２点位置決め機構（Ｙ軸移動機構，２点シリンダ）３１ＡおよびＺ軸２点位置決め機構（Ｚ軸移動機構，２点シリンダ）３２によりパレット４上に搭載された後、このパレット４（ワーク２）が、パレット送り機構２０Ａにより次の塗布セル１Ｂへ搬送される。
【００３７】
第２工程：  塗布セル１Ｂにおいて、パレット４（ワーク２）が所定位置に位置決めされると、ワーク２の上面におけるパーツ３の実装位置に対し、ディスペンサ（エンドエフェクタ）４１Ｂ，Ｙ軸２点位置決め機構３１ＡおよびＺ軸２点位置決め機構３２により接着剤が塗布された後、パレット４（ワーク２）が、パレット送り機構２０Ａにより次の搭載セル１Ｃへ搬送される。
【００３８】
第３工程：  搭載セル１Ｃにおいて、パレット４（ワーク２）が所定位置に位置決めされると、アライナ機構３３上でパーツ専用固定機構４２Ｂにより固定されたパーツ３が、パーツ吸着ハンド（エンドエフェクタ，吸着ヘッド）４１Ｃにより吸着され、Ｙ軸多点位置決め機構（Ｙ軸移動機構，多点ロボット）３１ＢおよびＺ軸２点位置決め機構３２によりワーク２上に搭載・実装された後、パレット４（ワーク２およびパーツ３）が、パレット送り機構２０Ａにより次の加圧セル１Ｄへ搬送される（詳細については前述した動作シーケンス(a)〜(e)参照）。
【００３９】
第４工程：  加圧セル１Ｄにおいて、パレット４（ワーク２およびパーツ３）が所定位置に位置決めされると、加圧ヘッド（エンドエフェクタ）４１Ｄ，Ｙ軸２点位置決め機構３１ＡおよびＺ軸２点位置決め機構３２によりパーツ３がワーク２に対して押圧された後、パレット４（ワーク２およびパーツ３）が、パレット送り機構２０Ａにより次のワークアンロードセル１Ｅへ搬送される。
【００４０】
第５工程：  ワークアンロードセル１Ｅにおいて、パレット４（ワーク２およびパーツ３）が所定位置に位置決めされると、パーツ３を実装されたワーク２が、ワーク吸着ハンド（エンドエフェクタ，吸着ヘッド）４１Ｅにより吸着され、Ｙ軸２点位置決め機構３１ＡおよびＺ軸２点位置決め機構３２によりパレット４上（製造ライン）からアライナ機構３３上へ取り出され（アンロードされ）、このアライナ機構３３上でパーツ専用固定既往４２Ｃにより固定される。
【００４１】
なお、ワークアンロードセル１Ｅよりもさらに前記所定搬送方向側に、ワーク４をアンロードされて空になったパレット４をパレット送り機構２０Ａ側からパレット戻り機構２０Ｂ側へ載せかえる反転機構（図示省略）をそなえてもよい。このような反転機構をそなえることにより、ワーク２をアンロードされて空になったパレット４は、自動的にパレット送り機構２０Ａ側からパレット戻り機構２０Ｂ側へ受け渡され、このパレット戻り機構２０Ｂにより、前記所定搬送方向とは逆の方向（図２中の点線矢印Ｂｘ方向）に搬送されて、第５工程のセル１Ｅ側から第１工程のセル１Ａ側まで送り返される。
【００４２】
図２および図３を参照しながら上述した製造ラインの第１〜第５工程をそれぞれ実行するセル１Ａ〜１Ｅにおいて選択されるべきユニット（各セル１Ａ〜１Ｅのユニット構成）をまとめると、下表１の通りである。
【００４３】
【表１】
2005064287.tif 000003
【００４４】
表１に示すように、セル１Ａ〜１Ｅにおいてベースユニット１０（筐体１０ａおよびＸ軸搬送機構２０）は全て共通である。また、表１の「選択機構ユニット」の「Ｙ軸」欄において、「２点」は、選択機構ユニット３０として、２点シリンダから成るＹ軸２点位置決め機構３１Ａを用いることを示し、「多点」は、選択機構ユニット３０として、多点ロボットから成るＹ軸多点位置決め機構３１Ｂを用いることを示し、「１点」は、選択機構ユニット３０として、Ｙ軸１点位置決め機構３１Ｃを用いることを示している。表１の「選択機構ユニット」の「Ｚ軸」欄において、「２点」は、選択機構ユニット３０として、２点シリンダから成るＺ軸２点位置決め機構３２を用いることを示している。また、表１の「選択機構ユニット」の「アライナ」欄において、「２軸」は、選択機構ユニット３０として、ＸＹ２軸方向の位置調整可能なステージを有するアライナ機構３３を用いることを示し、「−」はアライナ機構を用いないことを示している。さらに、表１の「専用ユニット」の「固定機構」欄において、「ワーク専用１」は固定機構４２としてワーク専用固定機構４２Ａを用いることを示し、「パーツ専用」は固定機構４２としてパーツ専用固定機構４２Ｂを用いることを示し、「ワーク専用２」は固定機構４２としてワーク専用固定機構４２Ｃを用いることを示し、「−」は固定機構を用いないことを示している。表１の「専用ユニット」の「エンドエフェクタ」欄において、「ワーク吸着ハンド１」はエンドエフェクタ４１としてワーク吸着ハンド４１Ａを用いることを示し、「ディスペンサ」はエンドエフェクタ４１としてディスペンサ４１Ｂを用いることを示し、「パーツ吸着ハンド」はエンドエフェクタ４１としてパーツ吸着ハンド４１Ｃを用いることを示し、「加圧ヘッド」はエンドエフェクタ４１として加圧ヘッド４１Ｄを用いることを示し、「ワーク吸着ハンド２」はエンドエフェクタ４１としてワーク吸着ハンド４１Ｅを用いることを示している。
【００４５】
このように、部品実装組立セル１（１Ａ〜１Ｅ）が相互に所定搬送方向へ連結可能に構成され、これらの部品実装組立セル１（１Ａ〜１Ｅ）を連結すると、ベースユニット１０におけるＸ軸搬送機構２０が、ワーク２（パレット４）を搬送するためのラインコンベアとして機能することになり、多工程から成る製造ラインを容易に構築することができる。つまり、本実施形態の部品実装組立セル１（１Ａ〜１Ｅ）は、ライン化や多機能化を容易に実現可能なビルドアップシステム構成となっている。また、表１や図２，図３に示すように、全ての工程においてベースユニット１０が共通化されているため、工程追加や削除等の変動に柔軟対応すことができる利点もある。
【００４６】
〔１−３〕ベースユニットの構造
図４は本実施形態の部品実装組立セル１（１Ａ〜１Ｈ）におけるベースユニット１０の構造を模式的に示す分解斜視図で、この図４に示すように、ベースユニット１０の筐体１０ａは、断面Ｈ形のフレーム部材をＬ字形に配して形成された基準フレーム１０ｂを、筐体１０ａの軸中心に沿って配置するとともに、この基準フレーム１０ｂを周囲側面から覆うカバー１０ｃを取り付けて構成されている。また、筐体１０ａ（基準フレーム１０ｂ）の背面（後部）には、セル１の設置，取り出し，持ち運び時などに作業者によって把持される把手１０ｄが取り付けられている。
【００４７】
この筐体１０ａには、上述したＸ軸搬送機構２０，移動機構３１，３２およびエンドエフェクタ４１などの動作を制御するための制御機器としてのＸ軸搬送用ドライバボード１１，Ｙ軸用ドライバボード１２および電磁ソレノイドエアバルブ１３が内蔵されるとともに、外部コントローラ（図示省略）もしくは他工程用の部品実装組立セル１における制御機器と信号のやり取りを行なうための入出力インターフェースとして機能するＩ／Ｏユニット（入出力ユニット）１４が内蔵されている。
【００４８】
ここで、Ｘ軸搬送用ドライバボード１１やＹ軸用ドライバボード１２は、Ｘ軸搬送機構２０やＹ軸移動機構３１など、サーボステージで構成される機構の制御ドライバとして機能するものであり、電磁ソレノイドエアバルブ１３は、Ｚ軸移動機構３２，昇降機構２３（図１１〜図１５参照）やエンドエフェクタ４１の一部などにおいて簡易位置決めに用いられるシリンダ機構を駆動制御するためのものである。このほか、電磁マニホールド，モータドライバ，センサアンプ，コネクタなども、必要に応じて筐体１０ａに内蔵される。
【００４９】
このように、筐体１０ａに各種制御機器１１〜１３やＩ／Ｏユニット１４を内蔵するとともに筐体１０ａ上にＸ軸搬送機構２０をそなえてベースユニット１０を構成することにより、制御特性を向上させることができるほか、セル１の交換性や互換性を高めることができる。
また、Ｉ／Ｏユニット１４を内蔵することにより、外部コントローラや他工程用の部品実装組立セル１との接続性を高めることができ、部品実装組立セル１を単体セルとして独立させることができ、部品実装組立セル１の他設備への移植性を高め、ハイブリッドライン構成を容易に実現することができる。
【００５０】
さらに、断面Ｈ形の基準フレーム１０ｂ内に制御機器１１〜１３やＩ／Ｏユニット１４を収納することで、これらの制御機器１１〜１３やＩ／Ｏユニット１４の保守性を向上させることができる。
また、ベースユニット１０の後部に把手１０ｄを装備することで、作業者は把手１０ｄを用いてセル１の設置，取り出し，持ち運びを容易に行なえるようになり、セル１の取扱性を向上させることができる。
【００５１】
〔１−４〕ベースユニットの基準フレームおよびフレームエクステンション
図５は本実施形態の部品実装組立セル１（１Ａ〜１Ｈ）におけるベースユニット１０の基準フレーム１０ｂおよびフレームエクステンション１０ｅ，１０ｆ，１０ｇを模式的に示す分解斜視図であり、この図５に示すように、筐体１０ａを構成する基本フレーム１０ｂは、ベースユニット１０を拡張するための３種類のフレームエクステンション１０ｅ，１０ｆ，１０ｇと連結可能に構成されている。また、これらのフレームエクステンション１０ｅ，１０ｆ，１０ｇも、基準フレーム１０ｂと同一の断面Ｈ形に形成されている。
【００５２】
そして、フレームエクステンション１０ｅは、サーボモータ制御ドライバ等を追加する際に基準フレーム１０ｂの背面（後部；図５中の右側）に対しＹ軸方向に連結されて使用される。また、フレームエクステンション１０ｆは、パーツ供給機能を追加する際に基準フレーム１０ｂの前面（前部；図５中の左側）に対しＹ軸方向に連結されて使用されるほか、丈の高いワーク２に対応して移動機構３１，３２やエンドエフェクタ４１の位置を高くする際に基準フレーム１０ｂの上面に対しＺ軸方向に連結されて使用される。さらに、フレームエクステンション１０ｇは、ワーク２が搬送方向（Ｘ軸方向）に長い場合に対応すべく基準フレーム１０ｂの側面に対しＸ軸方向に連結されて使用される。
【００５３】
このように、ベースユニット１０の筐体１０ａを、断面Ｈ形の基準フレーム１０ｂを筐体１０ａの軸中心に沿って配置して構成することにより、高精度化に必要な高剛性が得られるとともに小型軽量化を実現できるほか、各種機器の筐体１０ａ内への収納性を高めることもできる。
特に、断面Ｈ形の基準フレーム１０ｂやフレームエクステンション１０ｅ〜１０ｇは、断面□形の中空フレームに比べ部品点数が少なく、軽量化や鋳物化が容易である。また、本実施形態のごときセル構成の場合、各セル１での作業ポイントは筐体１０ａの軸中心となるため、断面Ｈ形のフレーム１０ｂやフレームエクステンション１０ｅ〜１０ｇを筐体１０ａの軸中心に沿って配置することによって充分な強度を得ることができ、高精度化に必要な剛性を確保することができる。
【００５４】
また、断面Ｈ形のフレーム１０ｂやフレームエクステンション１０ｅ〜１０ｇでは、図４や図５に示すごとく前面，側面，後面がいずれもオープンになり、項目〔１−３〕でも前述したように筐体１０ａ内に収納された各種機器１１〜１４の保守性を向上させることができるだけでなく、単位容積あたりに効率よく制御機器等を収納できるため、筐体１０ａを小型化することができる。
【００５５】
さらに、３種類のフレームエクステンション１０ｅ〜１０ｇを用意しこれらのフレームエクステンション１０ｅ〜１０ｇを必要に応じて基準フレーム１０ｂに追加・連結することで、ベースユニット１０、つまりは部品実装組立セル１自体の三次元拡張性を高めることもできる。
また、断面Ｈ形の基準フレーム１０ｂやフレームエクステンション１０ｅ〜１０ｇを採用することにより、手軽に補強を施すことができるため、必要に応じさらに剛性を高めることができる。例えば図２１に示すごとく、基準フレーム１０ｂの前面に補強プレート１０ｈを取り付けたり、基準フレーム１０ｂの背面側の上下板間に補強シャフト１０ｉを介設したりといった補強を容易に行なって、剛性を高めることができる。なお、図２１は本実施形態における基準フレーム１０ｂの補強例を示す分解斜視図である。また、同様の補強は、フレームエクステンション１０ｅ〜１０ｇに対しても施すことができる。
【００５６】
〔１−５〕ラダー型ラインシャーシおよびシャーシエクステンション
図６は本実施形態の部品実装組立セル１（１Ａ〜１Ｈ）におけるベースユニット１０を載置されるラダー型ラインシャーシ１５およびシャーシエクステンション１６ａ，１６ｂを模式的に示す分解斜視図、図７は図６に示すラダー型ラインシャーシ１５およびシャーシエクステンション１６ａ，１６ｂの使用例（組立例）を模式的に示す斜視図である。
【００５７】
本実施形態では、部品実装組立セル１（１Ａ〜１Ｈ）を連結して製造ライン（ライン形態）を構築する場合、図６および図７に示すごとく、各セル１（１Ａ〜１Ｈ）の基準フレーム１０ｂ（ベースユニット１０）を、Ｘ軸方向（製造ラインに沿う搬送方向）に延在するラダー型ラインシャーシ１５上に載置しこのラダー型ラインシャーシ１５に対して固定する。
【００５８】
このとき、基準フレーム１０ｂに対しフレームエクステンション１０ｅ，１０ｆが連結されている場合には、これらのフレームエクステンション１０ｅ，１０ｆのぞれぞれに対応してシャーシエクステンション１６ａ，１６ｂがラダー型ラインシャーシ１５の前後に連結され、フレームエクステンション１０ｅ，１０ｆは、それぞれ、シャーシエクステンション１６ａ，１６ｂ上に載置され、シャーシエクステンション１６ａ，１６ｂに対して固定される。
【００５９】
また、本実施形態において、ラダー型ラインシャーシ１５やシャーシエクステンション１６ａ，１６ｂは、アリ溝（図示省略）付きのアルミフレームとして形成され、そのアリ溝内に同アリ溝に沿って摺動可能に可動ナット（図示省略）がそなえられている。この可動ナットを用いて、基準フレーム１０ｂ（フレームエクステンション１０ｇ）やフレームエクステンション１０ｅ，１０ｆがそれぞれラダー型ラインシャーシ１５および該シャーシエクステンション１６ａ，１６ｂに対して固定されるようになっている。
【００６０】
このように、ラダー型ラインシャーシ１５やシャーシエクステンション１６ａ，１６ｂ上に部品実装組立セル１を配置・固定することで、各種セル１の連結や拡張に極めて柔軟に対応することができ、また、ラダー型ラインシャーシ１５やシャーシエクステンション１６ａ，１６ｂのアリ溝内を摺動する可動ナットを用いて各セル１を固定することで、セル１の固定位置の変更にも極めて柔軟に対応することができる。
【００６１】
〔１−６〕可動フレーム
図８は本実施形態の部品実装組立セル１（１Ａ〜１Ｈ）におけるベースユニット１０を載置される可動フレーム基本構造１７を模式的に示す斜視図、図９は図８に示す可動フレーム基本構造１７に対し複数（図９中では４つ）の部品実装組立セル１（１Ａ〜１Ｈ）を実装して構築された製造ラインを模式的に示す斜視図である。なお、図中、既述の符号と同一の符号は同一もしくはほぼ同一の部分を示しているので、その説明は省略する。
【００６２】
図８に示す本実施形態の可動フレーム基本構造１７は、図６や図７に示したものとほぼ同様構成のラダー型ラインシャーシ１５上において、前記所定搬送方向（矢印Ａｘ方向）と直交する水平方向（Ｙ軸方向）へ動作する可動ガイド１７ａを取り付けて構成されている。このような可動フレーム基本構造１７上において、図８および図９に示すように、ベースユニット１０の基準フレーム１０ｂが可動ガイド１７ａを介して載置され、ベースユニット１０が選択機構ユニット３０や専用ユニット４０とともに（つまり各部品実装組立セル１の全体）が、ラダー型ラインシャーシ１５上から上記水平方向（Ｙ軸方向）へ引き出し可能に構成される。
【００６３】
なお、図８および図９では図示していないが、ベースユニット１０の基準フレーム１０ｂにフレームエクステンション１０ｅ，１０ｆが連結されるとともにこれに対応してラダー型ラインシャーシ１５にシャーシエクステンション１６ａ，１６ｂが連結されている場合には、ベースユニット１０の基準フレーム１０ｂおよびフレームエクステンション１０ｅ，１０ｆがそれぞれラダー型ラインシャーシ１５およびシャーシエクステンション１６ａ，１６ｂ上に可動ガイド１７ａを介して載置され、ベースユニット１０が、選択機構ユニット３０および専用ユニット４０とともにラダー型ラインシャーシ１５およびシャーシエクステンション１６ａ，１６ｂ上から上記水平方向（Ｙ軸方向）へ引き出し可能に構成される。
【００６４】
このように、図９に示すごとく、可動ガイド１７ａにより、製造ラインを構成する各部品実装組立セル１（１Ａ〜１Ｈ）をＹ軸方向へ引き出すことができるので、各部品実装組立セル１（１Ａ〜１Ｈ）の保守，点検，管理などの作業を極めて容易に行なうことが可能になる。
〔１−７〕ベースユニットにおけるＸ軸搬送機構（搬送位置決め機構）
次に、ベースユニット１０におけるＸ軸搬送機構２０の詳細構成、つまり搬送位置決め機構（パレット送り機構）２０Ａおよびパレット戻り機構２０Ｂの詳細構成について、図１０〜図１５を参照しながら説明する。
【００６５】
ここで、図１０は本実施形態のベースユニット１０における搬送位置決め機構（パレット送り機構）２０Ａおよびパレット戻り機構２０Ｂを模式的に示す平面図、図１１は図１０のＡ−Ａ矢視断面を模式的に示す図、図１２は図１０のＢ矢視図、図１３および図１４は、それぞれ、本実施形態のベースユニット１０における搬送位置決め機構２０Ａを構成するピッチ送り機構２４および昇降機構２３を模式的に示す水平断面図および縦断面図、図１５は図１３のＣ−Ｃ矢視断面を模式的に示す図である。
【００６６】
図１０〜図１２に示すように、搬送位置決め機構（パレット送り機構）２０Ａおよびパレット戻り機構２０Ｂは、並行して配置され、パレット４をそれぞれ矢印Ａｘ，Ｂｘ方向へ搬送するものである。
パレット送り機構（搬送位置決め機構）２０Ａは、パレット戻り機構２０Ｂと同様、平行に配置された一対のフレーム２０ａ，２０ａにそれぞれ駆動ローラ２１ａおよび従動ローラ（コロ）２２ａを枢着して構成されるとともに、図１３〜図１５を参照しながら詳述する昇降機構２３およびピッチ送り機構２４をそなえて構成されている。駆動ローラ２１ａは駆動源（図示省略）によって回転駆動され、パレット４が、その両側下面をそれぞれローラ２１ａおよび２２ａによって支持されながら、駆動ローラ２１ａの駆動力を受けて矢印Ａｘ方向に搬送される。
【００６７】
パレット戻り機構２０Ｂは、前述した通り空のパレット４を戻すためのもので、パレット４を停止させて位置決めを行なう必要がないために位置決め機構を有しておらず、平行に配置された一対のフレーム２０ｂ，２０ｂにそれぞれ駆動ローラ２１ｂおよび従動ローラ（コロ）２２ｂを枢着して構成されている。駆動ローラ２１ｂは、駆動ローラ２１ａと同じ駆動源（図示省略）によって回転駆動され、空のパレット４が、その両側下面をそれぞれローラ２１ｂおよび２２ｂによって支持されながら、駆動ローラ２１ｂの駆動力を受けて矢印Ｂｘ方向に搬送される。
【００６８】
ここで、複数の駆動ローラ２１ａおよび２１ｂは、上述したように同一の駆動源によって回転駆動される。より具体的には、その駆動源によって回転駆動される１本のウォームシャフト（図示省略）上に、正・逆の交互左右ウォームギア（図示省略）を配置し、各ウォームギアに駆動ローラ２１ａ，２１ｂを連結することにより、駆動ローラ２１ａ，２１ｂは同時に互いに逆方向へ回転駆動され、パレット４の送り搬送と戻り搬送とを同時に行なうことができるようになっている。
【００６９】
また、図１１に示すように、パレット４の後端（図１１中の左側端）にはストッパ４ａが下方に向かって突設されるとともに、パレット送り機構２０Ａのパレット搬入側には、パレット４のストッパ４ａの下端部と係合しうるパレットストッパ２５が上方に向かって突設されている。そして、パレット４がパレット送り機構２０Ａに搬入されると、パレット４のストッパ４ａの下端部とパレットストッパ２５の上端部とが係合することにより、このパレット４の矢印Ａｘ方向への搬送（駆動ローラ２１ａによる搬送）が規制されるようになっている。
【００７０】
さらに、パレット送り機構（搬送位置決め機構）２０Ａには、ベースユニット１０における前記搬送機構および前記位置決め機構として機能する昇降機構２３およびピッチ送り機構２４がそなえられている。昇降機構２３は、ワーク２を載置されるパレット４を昇降駆動しうるものであり、ピッチ送り機構２４は、昇降機構２３をパレット４とともに前記所定搬送方向（矢印Ａｘ方向）へ移動して多点位置決めを行ないうるものである。
【００７１】
昇降機構２３は、図１１および図１２に示すように、昇降ステージ２３ａを上下駆動するもので、昇降ステージ２３ａを下降させた状態では、この昇降ステージ２３ａが、ローラ２１ａ，２２ａによって搬送されるパレット４と干渉しないように配置される。
一方、昇降ステージ２３ａを上昇させた状態では、この昇降ステージ２３ａがパレット４を押し上げ、パレット４のストッパ４ａとパレットストッパ２５との係合状態が解除されるとともに、パレット４が駆動ローラ２１ａから離隔されて駆動ローラ２１ａの駆動力がパレット４に伝達されない状態となる。
【００７２】
このように昇降ステージ２３ａを上昇させてパレット４を押し上げた状態で、ピッチ送り機構２４が、昇降機構２３を矢印Ａｘ方向へ移動させることにより、パレット４（もしくはこのパレット４上に載置されたワーク２）を、Ｘ軸方向について多点に位置決めすることが可能になっている。
上述のように構成された搬送位置決め機構（パレット送り機構）２０Ａでは、図１１に示すように、図１１中の左側から投入されたパレット４は、駆動ローラ２１ａによって駆動されて搬入され、パレット４のストッパ４ａがパレットストッパ２５に当接して停止する。このようにパレット４が停止した状態で、昇降機構２３により昇降ステージ２３ａが下降位置から上昇駆動され、パレット４のストッパ４ａがパレットストッパ２５から外れるまで、パレット４がその下面から昇降ステージ２３ａにより押し上げられる。
【００７３】
そして、上位指令を受けたピッチ送り機構２４により、昇降機構２３を矢印Ａｘ方向へ移動させてパレット４（ワーク２）をＸ軸方向の所定位置に位置決めし、所定工程を実行する。所定工程を終了すると、ピッチ送り機構２４により、昇降機構２３をさらに矢印Ａｘ方向へ移動させてパレット４を最右端まで移動させてから、昇降機構２３によりパレット４を降下させ、駆動ローラ２１ａによりパレット４を次の部品実装組立セル１へ送出する。このようにパレット４を送出した後、昇降ステージ２３ａを下降させた状態で、昇降機構２３をピッチ送り機構２４により再び最左端まで移動させる。
【００７４】
なお、図１０〜図１２に示すＸ軸搬送機構２０のサイズは、例えば、Ｘ軸方向の全長１００ｍｍ以下、Ｙ軸方向幅（搬送系全幅）１００ｍｍ以下、Ｚ軸方向高さ（搬送高さ）５０ｍｍ以下、昇降機構２３（後述するボールナットブロック２３ｂ）のストローク長５０ｍｍ程度である。
次に、昇降機構２３およびピッチ送り機構２４の構成について、図１３〜図１５を参照しながら、より詳細に説明する。
【００７５】
図１３〜図１５に示すように、昇降機構２３は、昇降ステージ２３ａ，ボールナットブロック２３ｂ，ボールナット２３ｃ，ストロークベアリング２３ｄ，エアシリンダ２３ｅ，プッシュロッド２３ｆ，ロッド２３ｇ，リテーナ２３ｈ，リテーナ押さえバネ２３ｉおよびマスク板２３ｊをそなえて構成されている。
昇降ステージ２３ａは、ボールナットブロック２３ｂを貫通する４本のロッド２３ｇの上端に取り付けられている。これらのロッド２３ｇは、ボールナットブロック２３ｂのストロークベアリング２３ｄにより上下方向へ移動可能に支持されている。ロッド２３ｇの下端には、昇降ステージ２３ａの上昇位置を規制しうるリテーナ２３ｈが取り付けられている。このリテーナ２３ｈの上面とボールナットブロック２３ｂの下面との間には、リテーナ押さえバネ２３ｉが介装されており、このリテーナ押さえバネ２３ｉの付勢力により昇降ステージ２３ａは下方へ付勢されている。
【００７６】
また、ボールナットブロック２３ｂには、後述するボールネジ２４ａと螺合するボールナット２３ｃが設けられるとともに、昇降ステージ２３ａを昇降駆動するためのエアシリンダ２３ｅがそなえられている。
エアシリンダ２３ｅは、ベースブロック１０（筐体１０ａ）内の電磁ソレノイドエアバルブ１３によって制御され、プッシュロッド２３ｆを上下駆動するもので、昇降ステージ２３ａを上昇させる際にはプッシュロッド２３ｆを押し上げることにより、このプッシュロッド２３ｆの上面を昇降ステージ２３ａの下面に当接させ、リテーナ押さえバネ２３ｉの付勢力に対抗しながら昇降ステージ２３ａを押し上げる。逆に、昇降ステージ２３ａを下降させる際にはプッシュロッド２３ｆをエアシリンダ２３ｅ側に引き込むことにより、昇降ステージ２３ａはリテーナ押さえバネ２３ｉの付勢力によって下降駆動される。
【００７７】
さらに、ボールナットブロック２３ｂには、マスク板２３ｊも取り付けられている。このマスク板２３ｊは、部品実装組立セル１の立上げ時にピッチ送り機構２４の原点合わせを行なうために用いられるもので、マスク板２３ｊとピッチ送り機構２４の固定部に取り付けられた原点センサ２６とが協働してピッチ送り機構２４の原点合わせが行なわれるようになっている。なお、図１５において、マスク板２３ｊの図示は省略されている。
【００７８】
一方、ピッチ送り機構２４は、上述したボールナットブロック２３ｂおよびボールナット２３ｃのほか、ボールネジ２４ａ，端板２４ｂ，２４ｃ，ベアリング２４ｄ，２４ｅ，直動ガイド２４ｆ，ボールネジプーリ２４ｇ，ＡＣサーボモータ２４ｈ，モータプーリ２４ｉおよびタイミングベルト２４ｊをそなえて構成されている。
ボールネジ２４ａは、Ｘ軸方向に沿って配置され、その両端が、それぞれベアリング２４ｄ，２４ｅを介して端板２４ｂ，２４ｃにより軸支されている。このボールネジ２４ａは、ボールナットブロック２３ｂのボールナット２３ｃに螺合して回転することにより、ボールナットブロック２３ｂ（つまりは昇降機構２３の全体）をＸ軸方向へ移動させるものである。その移動方向は、ボールネジ２４ａの回転方向を切り替えることにより矢印Ａｘ方向もしくは矢印Ｂｘ方向のいずれかに切り替えられる。
【００７９】
また、ボールナットブロック２３ｂを回転させることなくＸ軸方向へ直線的に移動させるべく、ボールナットブロック２３ｂの下部とピッチ送り機構２４の固定側との間には左右一対の直動ガイド（ＬＭガイド）２４ｆ，２４ｆがそなえられている。このれらの直動ガイド２４ｆ，２４ｆによって、ボールナットブロック２３ｂは、回転することなくＸ軸方向へ直線的に案内される。
【００８０】
さらに、ボールネジ２４ａの一端側（図１３，図１４中の右端側）には、ボールネジプーリ２４ｇが同軸的に取り付けられるとともに、ボールネジ２４ａと並行してそなえらえたＡＣサーボモータ２４ｈの回転駆動軸には、モータプーリ２４ｉが同軸的に取り付けられている。そして、ボールネジプーリ２４ｇとモータプーリ２４ｉとにタイミングベルト２４ｊが巻回されることで、ＡＣサーボモータ２４ｈの回転駆動力が、モータプーリ２４ｉ，タイミングベルト２４ｊおよびボールネジプーリ２４ｇを介してボールネジ２４ａに伝達され、このボールネジ２４ａが所定方向へ回転駆動される。
【００８１】
なお、端板２４ｂ，２４ｃには、一対の透過型センサ２７ａ，２７ｂが取り付けられており、これらの透過型センサ２７ａ，２７ｂが、リテーナ２３ｈの上下方向位置を検出することにより、昇降ステージ２３ａの昇降位置を検出できるようになっている。
上述のように構成された昇降機構２３では、エアシリンダ２３ｅやストロークベアリング２３ｄがボールナット２３ｂと一体化され、ボールナットブロック２３ｂ内に昇降駆動のための機能が集約されているので、昇降機構２３ひいてはピッチ送り機構２４やＸ軸搬送機構２０の小型化に大きく寄与する。
【００８２】
また、上述のように構成されたピッチ送り機構２４では、上位装置（ホスト）からの指令値によりＡＣサーボモータ２４ｈが回転し、その回転駆動力がモータプーリ２４ｉ，タイミングベルト２４ｊおよびボールネジプーリ２４ｇから成る伝達・減速機構を介してボールネジ２４ａに伝達され、このボールネジ２４ａの回転および回転方向に応じて、ボールナット２３ｂが直動ガイド２４ｆに沿って直線的に移動し、Ｘ軸方向の所定位置に位置決めされる。そして、昇降ステージ２３ａはエアシリンダ２３ｅのプッシュロッド２３ｆのプッシュ動作により上昇し、プル動作とリテーナ押さえバネ２３ｉの付勢力により降下する。
【００８３】
このような昇降機構２３およびピッチ送り機構２４を用いることにより、Ｘ軸搬送機構２０ひいてはベースユニット１０や部品実装組立セル１が小型化されるほか、Ｘ軸搬送機構２０の動作が高速化される。
〔１−８〕部品供給ユニット
次に、図１６および図１７を参照しながら、図１０〜図１５に示すピッチ送り機構２４および昇降機構２３を含むＸ軸搬送機構２０の構成要素を流用して構成される部品供給ユニット２０Ｃについて説明する。ここで、図１６はその部品供給ユニット２０Ｃを一部破断して模式的に示す平面図、図１７は図１６のＤ−Ｄ矢視断面を模式的に示す図である。なお、図１６では、後述する部品供給トレー５およびテーブル２８を透視した状態で図示がなされている。
【００８４】
図１６および図１７に示す部品供給ユニット２０Ｃは、例えば４インチ幅の部品供給トレー５をＸ軸方向（矢印Ａｘ方向または矢印Ｂｘ方向）に搬送すべく、この部品供給トレー５を載置されるテーブル２８を有し、さらに、図１０〜図１５に示すピッチ送り機構２４および昇降機構２３を含むＸ軸搬送機構２０の構成要素である、フレーム２０ａ，２０ｂ，従動ローラ２２ａ，２２ｂ，ボールナットブロック２３ｂ，ボールナット２３ｃ，エアシリンダ２３ｅ，プッシュロッド２３ｆ，ボールネジ２４ａ，端板２４ｂ，２４ｃ，ベアリング２４ｄ，２４ｅ，直動ガイド２４ｆ，ボールネジプーリ２４ｇ，ＡＣサーボモータ２４ｈ，モータプーリ２４ｉおよびタイミングベルト２４ｊを流用されて構成されている。
【００８５】
ただし、部品供給ユニット２０Ｃにおいては、Ｘ軸搬送機構２０の中央部にそなえられたフレーム２１ａ，２１ｂおよび駆動ローラ２１ａ，２１ｂが省略されるとともに、ボールナットブロック２３ｂでは、ロッド２３ｇのための貫通穴やストロークベアリング２３ｄが省略されている。また、図１７に示すように、部品供給ユニット２０Ｃにおいて、直動ガイド２４ｆは１組のみそなえられている。
【００８６】
また、テーブル２８には、左右一対のプッシュロッド挿入穴２８ａ，２８ａと左右一対のプッシュロッド挿入穴２８ｂ，２８ｂとが、Ｘ軸方向に適当な間隔をあけて形成されている。プッシュロッド挿入穴２８ａ，２８ａには、ボールナットブロック２３ｂにそなえられた左右一対のエアシリンダ２３ｅ，２３ｅがプッシュロッド２３ｆ，２３ｆを上昇させた場合に、これらのプッシュロッド２３ｆ，２３ｆの先端が同時に挿入されるようになっている。同様に、プッシュロッド挿入穴２８ａ，２８ａにも、左右一対のエアシリンダ２３ｅ，２３ｅがプッシュロッド２３ｆ，２３ｆを上昇させた場合に、これらのプッシュロッド２３ｆ，２３ｆの先端が同時に挿入されるようになっている。
【００８７】
そして、プッシュロッド２３ｆ，２３ｆをプッシュロッド挿入穴２８ａ，２８ａもしくは２８ｂ，２８ｂに挿入した状態で、ピッチ送り機構２４の機能により、ボールナットブロック２３ｂをＸ軸方向（矢印Ａｘ方向または矢印Ｂｘ方向）に移動させることで、テーブル２８は、その両側下面をそれぞれ従動ローラ（コロ）２２ａおよび２２ｂによって支持されながらＸ軸方向（矢印Ａｘ方向または矢印Ｂｘ方向）に搬送される。
【００８８】
さらに、テーブル２８の下方で部品供給ユニット２０Ｃの中央部には、テーブル２８の下面と所定間隔をあけて対向しこのテーブル２８を常に吸引するテーブル保持磁石２９が固定されている。
上述のように構成された部品供給ユニット２０Ｃは基本的に以下のように動作する。つまり、部品供給トレー５を載置されたテーブル２８が、部品供給ユニット２０Ｃに投入されると、ボールナットブロック２３ｂをプッシュロッド挿入穴２８ａ，２８ａに対応する位置に移動させてから、エアシリンダ２３ｅ，２３ｅのプッシュロッド２３ｆ，２３ｆを上昇させて、これらのプッシュロッド２３ｆ，２３ｆの先端をプッシュロッド挿入穴２８ａ，２８ａに挿入・連結する。この後、ピッチ送り機構２４の機能を用い、ボールナットブロック２３ｂを従動ローラ２２ａおよび２２ｂによって支持・案内しながら移動させることにより、部品供給トレー５を任意の位置に位置決め・固定する。
【００８９】
このとき、ボールナットブロック２３ｂが最右端に到達した場合には、プッシュロッド２３ｆ，２３ｆを引き下げて一時的にテーブル２８との連結を解除する。そして、再度、ボールナットブロック２３ｂを左端側に移動させプッシュロッド挿入穴２８ｂ，２８ｂに対応する位置に配置してから、プッシュロッド２３ｆ，２３ｆの先端をプッシュロッド挿入穴２８ｂ，２８ｂに挿入・連結し、上述と同様にしてテーブル２８を移動させる。
【００９０】
このように２段階の動作を行なうことにより、ボールナットブロック２３ｂのストローク長以上の範囲（ここでは例えばストローク長５０ｍｍの２倍）で部品供給トレー５を搬送・位置決めすることが可能になる。従って、部品供給ユニット２０Ｃの小型化が実現されるとともに、この部品供給ユニット２０Ｃよりも大きなサイズを有する部品供給トレー５の移動・位置決めを実現することができる。
【００９１】
また、本実施形態の部品供給ユニット２０Ｃでは、テーブル２８がテーブル保持磁石２９によって常に下方へ吸引されているので、部品供給トレー５（テーブル２８）のオーバーハングに伴って部品供給トレー５（テーブル２８）が傾くのを確実に防止することができるようになっている。
〔１−９〕部品実装組立セルの第１〜第３構成例（搭載セルの第１〜第３変形例）
次に、図１６および図１７に示す部品供給ユニット２０Ｃを用いた部品実装組立セルの第１〜第３構成例（搭載セルの第１〜第３変形例）について、図１８〜図２０を参照ながら説明する。
【００９２】
〔１−９−１〕部品実装組立セルの第１構成例（搭載セルの第１変形例）
図１８は上述した部品供給ユニット２０Ｃを用いた部品実装組立セルの第１構成例（搭載セルの第１変形例）を模式的に示す斜視図で、この図１８に示す搭載セル（部品実装組立セル）１Ｆは、図１〜図３に示した搭載セル１Ｃと同様、ベースユニット１０に、ベースＹ軸移動機構５１（Ｙ軸多点位置決め機構３１Ｂ）と、ベースピックアップ５２（Ｚ軸２点位置決め機構３２）と、パーツ吸着ハンド４１Ｃとをそなえて構成されているが、この搭載セル１Ｆでは、搭載セル１Ｃのアライナ機構３３に代えて上述した部品供給ユニット２０Ｃがそなえられている。
【００９３】
このように構成された搭載セル１Ｆでは、部品供給ユニット２０Ｃに搭載されている部品供給トレー５上におけるパーツ（図１８では図示省略）が、ベースピックアップ５２先端のパーツ吸着ハンド４１Ｃによって吸着され、Ｘ軸搬送機構２０上の組立エリアへベースＹ軸移動機構５１によって移動された後、予め搬送・位置決めされているパレット上のワーク（図１８では図示省略）に実装される。この搭載セル１Ｆは、ワークに対するパーツの実装精度として、特別に高精度を要求されない場合に用いられる。
【００９４】
〔１−９−２〕部品実装組立セルの第２構成例（搭載セルの第２変形例）
図１９は上述した部品供給ユニット２０Ｃを用いた部品実装組立セルの第２構成例（搭載セルの第２変形例）を模式的に示す斜視図で、この図１９に示す搭載セル（部品実装組立セル）１Ｇは、図１〜図３に示した搭載セル１Ｃと同様、ベースユニット１０に、ベースＹ軸移動機構５１（Ｙ軸多点位置決め機構３１Ｂ）と、ベースピックアップ５２（Ｚ軸２点位置決め機構３２）と、パーツ吸着ハンド４１Ｃと、アライナ機構３３とをそなえて構成されるとともに、さらに、Ｙ軸多点位置決め機構３１Ｂと同様構成の供給Ｙ軸移動機構５３とＺ軸２点位置決め機構３２と同様構成の供給ピックアップ５４とをそなえて構成されている。そして、供給ピックアップ５４にもパーツ吸着ハンド４１が取り付けられている。また、搭載セル１Ｇの基準フレーム１０ｂにはフレームエクステンション１０ｆが連結されており、このフレームエクステンション１０ｆに、上述した部品供給ユニット２０Ｃがそなえられている。
【００９５】
このように構成された搭載セル１Ｇでは、部品供給ユニット２０Ｃに搭載されている部品供給トレー５上におけるパーツ（図１９では図示省略）が、供給ピックアップ５４先端のパーツ吸着ハンド４１Ｃによって吸着され、アライナ機構３３上へラフに供給され、このアライナ機構３３によってパーツ姿勢が矯正される。この後、姿勢矯正後のパーツが、ベースピックアップ５２先端のパーツ吸着ハンド４１Ｃによって吸着され、Ｘ軸搬送機構２０上の組立エリアへベースＹ軸移動機構５１によって移動され、予め搬送・位置決めされているパレット上のワーク（図１９では図示省略）に実装される。この搭載セル１Ｇは、ワークに対するパーツの実装精度として高精度を要求される場合に用いられる。
【００９６】
〔１−９−３〕部品実装組立セルの第３構成例（搭載セルの第３変形例）
図２０は上述した部品供給ユニット２０Ｃを用いた部品実装組立セルの第３構成例（搭載セルの第３変形例）を模式的に示す斜視図で、この図２０に示す搭載セル（部品実装組立セル）１Ｈは、図１８に示した搭載セル１Ｆと同様、ベースユニット１０に、ベースＹ軸移動機構５１（Ｙ軸多点位置決め機構３１Ｂ）と、パーツ吸着ハンド４１Ｃと、上述した部品供給ユニット２０Ｃとをそなえて構成されているが、この搭載セル１Ｈでは、搭載セル１Ｆのベースピックアップ５２に代えて、Ｙ軸方向の多点について位置決めが可能で且つＸｙθ軸調整が可能なベースピックアップ（Ｙ軸多点位置決め・Ｘｙθ軸調整機構）５５がそなえられ、このベースピックアップ５５の先端にパーツ吸着ハンド４１Ｃが取り付けられている。さらに、ベースピックアップ５５には、ワーク（図２０では図示省略）を撮像してそのワークの姿勢を認識するためのワークカメラ５６が付設されるとともに、ベースユニット１０（基準フレーム１０ｂ）には、パーツ（図２０では図示省略）を撮像してそのパーツの姿勢を認識するためのパーツカメラ５７がそなえられている。
【００９７】
このように構成された搭載セル１Ｇでは、部品供給ユニット２０Ｃに搭載されている部品供給トレー５上におけるパーツが、ベースピックアップ５５先端のパーツ吸着ハンド４１Ｃによって吸着され、Ｘ軸搬送機構２０上の組立エリアへベースＹ軸移動機構５１によって移動された後、予め搬送・位置決めされているパレット上のワークに実装される。その際、搭載セル１Ｇでは、パーツカメラ５７によりパーツ姿勢を認識すると同時にワークカメラ５６でワーク姿勢を認識し、その認識結果に基づいて、ベースピックアップ５５のＸｙθ軸調整機能により、パーツ吸着ハンド４１Ｃに吸着されているパーツの姿勢ずれ量を修正してから、パーツをワークに実装する。この搭載セル１Ｇは、ワークに対するパーツの実装精度として、超高精度を要求される場合に用いられる。
【００９８】
〔２〕その他
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
例えば、本発明は、ＭＥＭＳジャイロセンサ等の超小型センサデバイスのみならず、各種小型部品を実装・組立する場合にも上述した実施形態と同様に適用され、上述した実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
【００９９】
〔３〕付記
（付記１）部品実装組立を行なう複数の工程において共通に用いられる機器を筐体に内蔵するとともに、該筐体上で実装組立対象のワークを製造ラインに沿う所定搬送方向へ搬送するための搬送機構と該ワークを前記所定搬送方向における所定位置に位置決めするための位置決め機構とを含んで構成されるベースユニットと、
該ワークもしくは該ワークに実装されるべきパーツに対し各工程に応じた処理を施すためのエンドエフェクタを含んで構成される専用ユニットと、
各工程において該エンドエフェクタを前記所定搬送方向と直交する２軸方向へ移動させて該エンドエフェクタと該ワークもしくは該パーツとの相対位置を調整し位置決めするための移動機構を含んで構成される選択機構ユニットとをそなえ、
該移動機構が、各工程の内容に応じて複数種類の中から選択され、該ベースユニットに対し該選択機構ユニットとして取替可能に装着されるとともに、
該エンドエフェクタが、各工程の内容に応じて複数種類の中から選択され、該移動機構に対し該専用ユニットとして取替可能に装着されることを特徴とする、部品実装組立セル。
【０１００】
（付記２）該選択機構ユニットが、さらに、該エンドエフェクタによって該製造ラインに投入されるべき該ワークまたは該パーツ、もしくは、該エンドエフェクタによって該製造ラインから取り出された該ワークの水平位置を調整するためのアライナ機構を含んで構成され、該アライナ機構が、各工程の内容に応じて複数種類の中から選択され、該ベースユニットに対し該選択機構ユニットとして取替可能に装着されるとともに、
該専用ユニットが、さらに、該アライナ機構上において該ワークもしくは該パーツを所定位置に固定するための固定機構を含んで構成され、該固定機構が、各工程の内容に応じて複数種類の中から選択され、該アライナ機構に対し該専用ユニットとして取替可能に装着されることを特徴とする、付記１記載の部品実装組立セル。
【０１０１】
（付記３）他工程用の部品実装組立セルと前記所定搬送方向に連結可能に構成されるとともに、
該他工程用の部品実装組立セルとの連結時に、該搬送機構が、該ワークを、隣接する該他工程用の部品実装組立セルの搬送機構へ受渡し可能に構成されていることを特徴とする、付記１または付記２に記載の部品実装組立セル。
【０１０２】
（付記４）該ベースユニットにおいて該搬送機構が２ライン並行して配置され、
一方の搬送機構が、該ワークを載置されたパレットを前記所定搬送方向に隣接する該他工程用の部品実装組立セルへ送るように構成されるとともに、
他方の搬送機構が、該パレットのみを前記所定搬送方向とは逆の方向に隣接する該他工程用の部品実装組立セルへ送るように構成されていることを特徴とする、付記３記載の部品実装組立セル。
【０１０３】
（付記５）該ベースユニットの筐体に、該機器として、該搬送機構，該位置決め機構，該移動機構および該エンドエフェクタの動作を制御するための制御機器が内蔵されていることを特徴とする、ことを特徴とする、付記１〜付記４のいずれか一項に記載の部品実装組立セル。
（付記６）該ベースユニットの筐体に、該機器として、外部コントローラもしくは他工程用の部品実装組立セルにおける制御機器と信号のやり取りを行なうための入出力インターフェースとして機能する入出力ユニットが内蔵されていることを特徴とする、付記１〜付記５のいずれか一項に記載の部品実装組立セル。
【０１０４】
（付記７）該ベースユニットの該筐体が、断面Ｈ形の基準フレームを該筐体の軸中心に沿って配置して構成されていることを特徴とする、付記１〜付記６のいずれか一項に記載の部品実装組立セル。
（付記８）該ベースユニットの該筐体を構成する該基準フレームが、該ベースユニットを拡張するための断面Ｈ形のフレームエクステンションと連結可能に構成されていることを特徴とする、付記７記載の部品実装組立セル。
【０１０５】
（付記９）該ベースユニットの該基準フレームがラダー型ラインシャーシ上に載置され該ラダー型ラインシャーシに固定されることを特徴とする、付記７記載の部品実装組立セル。
（付記１０）該ベースユニットの該基準フレームがラダー型ラインシャーシ上に載置され該ラダー型ラインシャーシに固定されるとともに、該ベースユニットの該フレームエクステンションが、該ラダー型ラインシャーシに連結されたシャーシエクステンション上に載置され該シャーシエクステンションに固定されることを特徴とする、付記８記載の部品実装組立セル。
【０１０６】
（付記１１）該ラダー型ラインシャーシにアリ溝が形成されるとともに、該アリ溝内に該アリ溝に沿って摺動可能に可動ナットがそなえられ、該可動ナットを用いて該基準フレームが該ラダー型ラインシャーシに固定されることを特徴とする、付記９記載の部品実装組立セル。
（付記１２）該ラダー型ラインシャーシおよび該シャーシエクステンションにアリ溝が形成されるとともに、該アリ溝内に該アリ溝に沿って摺動可能に可動ナットがそなえられ、該可動ナットを用いて該基準フレームおよび該フレームエクステンションがそれぞれ該ラダー型ラインシャーシおよび該シャーシエクステンションに固定されることを特徴とする、付記１０記載の部品実装組立セル。
【０１０７】
（付記１３）該ベースユニットの該基準フレームが該ラダー型ラインシャーシ上に可動ガイドを介して載置され、該ベースユニットが、該選択機構ユニットおよび該専用ユニットとともに、該ラダー型ラインシャーシ上から前記所定搬送方向と直交する水平方向へ引き出し可能に構成されていることを特徴とする、付記９記載の部品実装組立セル。
（付記１４）該ベースユニットの該基準フレームおよび該フレームエクステンションがそれぞれ該ラダー型ラインシャーシおよび該シャーシエクステンション上に可動ガイドを介して載置され、該ベースユニットが、該選択機構ユニットおよび該専用ユニットとともに該ラダー型ラインシャーシおよび該シャーシエクステンション上から前記所定搬送方向と直交する水平方向へ引き出し可能に構成されていることを特徴とする、付記１０記載の部品実装組立セル。
【０１０８】
（付記１５）該ベースユニットにおける該搬送機構と該位置決め機構とが一体化されていることを特徴とする、付記１〜付記１４のいずれか一項に記載の部品実装組立セル。
（付記１６）該搬送機構および該位置決め機構が、該ワークを載置されるパレットを昇降駆動しうる昇降機構と、該昇降機構を該パレットとともに前記所定搬送方向へ移動して位置決めしうるピッチ送り機構とから構成されていることを特徴とする、付記１５記載の部品実装組立セル。
【０１０９】
（付記１７）該ベースユニットにおいて該搬送機構および該位置決め機構としての機能を果たす該昇降機構および該ピッチ送り機構の構成要素を流用して、部品供給トレーを載置されるテーブルを、前記所定搬送方向もしくはその所定搬送方向とは逆の方向に移動させるように構成された部品供給ユニットがさらにそなえられたことを特徴とする、付記１６記載の部品実装組立セル。
【産業上の利用可能性】
【０１１０】
以上のように、本発明によれば、ベースユニットを多種の工程や多世代の製品に亘って流用することができ、また、選択機構ユニットと専用ユニットを工程の内容に応じて取り替えることによって、製造工程変動や製品機種変動に極めて柔軟かつ迅速に対応できる。
従って、本発明は、例えばＭＥＭＳジャイロセンサ等の超小型センサデバイスを含む小型部品を一貫製造する際に用いて好適であり、その有用性は極めて高いものと考えられる。
【図面の簡単な説明】
【０１１１】
【図１】本発明の一実施形態としての部品実装組立セルの外観・構成を模式的に示す斜視図である。
【図２】本実施形態の部品実装組立セルを連結して構築された製造ラインを模式的に示す斜視図である。
【図３】図２に示す製造ラインの要部を詳細に示す斜視図である。
【図４】本実施形態の部品実装組立セルにおけるベースユニットの構造を模式的に示す分解斜視図である。
【図５】本実施形態の部品実装組立セルにおけるベースユニットの基準フレームおよびフレームエクステンションを模式的に示す分解斜視図である。
【図６】本実施形態の部品実装組立セルにおけるベースユニットを載置されるラダー型ラインシャーシおよびシャーシエクステンションを模式的に示す分解斜視図である。
【図７】図６に示すラダー型ラインシャーシおよびシャーシエクステンションの使用例（組立例）を模式的に示す斜視図である。
【図８】本実施形態の部品実装組立セルにおけるベースユニットを載置される可動フレーム基本構造を模式的に示す斜視図である。
【図９】図８に示す可動フレーム基本構造に対し複数の部品実装組立セルを実装して構築された製造ラインを模式的に示す斜視図である。
【図１０】本実施形態のベースユニットにおける搬送位置決め機構（パレット送り機構）およびパレット戻り機構を模式的に示す平面図である。
【図１１】図１０のＡ−Ａ矢視断面を模式的に示す図である。
【図１２】図１０のＢ矢視図である。
【図１３】本実施形態のベースユニットにおける搬送位置決め機構を構成するピッチ送り機構および昇降機構を模式的に示す水平断面図である。
【図１４】本実施形態のベースユニットにおける搬送位置決め機構を構成するピッチ送り機構および昇降機構を模式的に示す縦断面図である。
【図１５】図１３のＣ−Ｃ矢視断面を模式的に示す図である。
【図１６】図１３〜図１５に示すピッチ送り機構および昇降機構を含むＸ軸搬送機構の構成要素を流用して構成される部品供給ユニットを一部破断して模式的に示す平面図である。
【図１７】図１６のＤ−Ｄ矢視断面を模式的に示す図である。
【図１８】図１６および図１７に示す部品供給ユニットを用いた部品実装組立セルの第１構成例（搭載セルの第１変形例）を模式的に示す斜視図である。
【図１９】図１６および図１７に示す部品供給ユニットを用いた部品実装組立セルの第２構成例（搭載セルの第２変形例）を模式的に示す斜視図である。
【図２０】図１６および図１７に示す部品供給ユニットを用いた部品実装組立セルの第３構成例（搭載セルの第３変形例）を模式的に示す斜視図である。
【図２１】本実施形態における基準フレームの補強例を示す分解斜視図である。
【符号の説明】
【０１１２】
１    部品実装組立セル
１Ａ    ワークロードセル（部品実装組立セル）
１Ｂ    塗布セル（部品実装組立セル）
１Ｃ，１Ｆ，１Ｇ，１Ｈ    搭載セル（部品実装組立セル）
１Ｄ    加圧セル（部品実装組立セル）
１Ｅ    ワークアンロードセル（部品実装組立セル）
２    ワーク
３    パーツ
４    パレット
４ａ    ストッパ
５    部品供給トレー
１０    ベースユニット
１０ａ    筐体
１０ｂ    基準フレーム
１０ｃ    カバー
１０ｄ    把手
１０ｅ，１０ｆ，１０ｇ    フレームエクステンション
１０ｈ    補強プレート
１０ｉ    補強シャフト
１１    Ｘ軸搬送用ドライバボード（制御機器）
１２    Ｙ軸用ドライバボード（制御機器）
１３    電磁ソレノイドエアバルブ（制御機器）
１４    Ｉ／Ｏユニット（入出力ユニット）
１５    ラダー型ラインシャーシ
１６ａ，１６ｂ    シャーシエクステンション
１７    可動フレーム基本構造
１７ａ    可動ガイド
２０    Ｘ軸搬送機構
２０Ａ    搬送位置決め機構（パレット送り機構）
２０Ｂ    パレット戻り機構
２０Ｃ    部品供給ユニット
２０ａ，２０ｂ    フレーム
２１ａ，２１ｂ    駆動ローラ
２２ａ，２２ｂ    従動ローラ（コロ）
２３    昇降機構
２３ａ    昇降ステージ
２３ｂ    ボールナットブロック
２３ｃ    ボールナット
２３ｄ    ストロークベアリング
２３ｅ    エアシリンダ
２３ｆ    プッシュロッド
２３ｇ    ロッド
２３ｈ    リテーナ
２３ｉ    リテーナ押さえバネ
２３ｊ    マスク板
２４    ピッチ送り機構
２４ａ    ボールネジ
２４ｂ，２４ｃ    端板
２４ｄ，２４ｅ    ベアリング
２４ｆ    直動ガイド
２４ｇ    ボールネジプーリ
２４ｈ    ＡＣサーボモータ
２４ｉ    モータプーリ
２４ｊ    タイミングベルト
２５    パレットストッパ
２６    原点センサ
２７ａ，２７ｂ    透過型センサ
２８    テーブル
２８ａ，２８ｂ    プッシュロッド挿入穴
２９    テーブル保持磁石
３０    選択機構ユニット
３１    Ｙ軸移動機構
３１Ａ    Ｙ軸２点位置決め機構（Ｙ軸移動機構，２点シリンダ）
３１Ｂ    Ｙ軸多点位置決め機構（Ｙ軸移動機構，多点ロボット）
３１Ｃ    Ｙ軸１点位置決め機構（Ｙ軸移動機構）
３２    Ｚ軸移動機構（Ｚ軸２点位置決め機構，２点シリンダ）
３３    アライナ機構
４０    専用ユニット
４１    エンドエフェクタ
４１Ａ    ワーク吸着ハンド（吸着ヘッド）
４１Ｂ    ディスペンサ
４１Ｃ    パーツ吸着ハンド（吸着ヘッド）
４１Ｄ    加圧ヘッド
４１Ｅ    ワーク吸着ハンド（吸着ヘッド）
４２    固定機構
４２Ａ    ワーク専用固定機構
４２Ｂ    パーツ専用固定機構
４２Ｃ    ワーク専用固定機構
５１    ベースＹ軸移動機構（Ｙ軸多点位置決め機構）
５２    ベースピックアップ（Ｚ軸２点位置決め機構）
５３    供給Ｙ軸移動機構（Ｙ軸多点位置決め機構）
５４    供給ピックアップ（Ｚ軸２点位置決め機構）
５５    ベースピックアップ（Ｙ軸多点位置決め・Ｘｙθ軸調整機構）
５６    ワークカメラ
５７    パーツカメラ
【図１】
2005064287.tif 000004
【図２】
2005064287.tif 000005
【図３】
2005064287.tif 000006
【図４】
2005064287.tif 000007
【図５】
2005064287.tif 000008
【図６】
2005064287.tif 000009
【図７】
2005064287.tif 000010
【図８】
2005064287.tif 000011
【図９】
2005064287.tif 000012
【図１０】
2005064287.tif 000013
【図１１】
2005064287.tif 000014
【図１２】
2005064287.tif 000015
【図１３】
2005064287.tif 000016
【図１４】
2005064287.tif 000017
【図１５】
2005064287.tif 000018
【図１６】
2005064287.tif 000019
【図１７】
2005064287.tif 000020
【図１８】
2005064287.tif 000021
【図１９】
2005064287.tif 000022
【図２０】
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【図２１】
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