(57)【要約】【課題】  フィルタエレメントからダストを効率よく払い落とすことができ、フィルタエレメントを容易に交換でき、内部を容易に確認して清掃できるダストコレクタの提供。【解決手段】  ダストコレクタ１のフィルタエレメント３３を、フィルタカートリッジ３５と、フィルタカートリッジ３５上部の蓋部材３７と、フィルタカートリッジ３５につながる排気室Ｅｒを内部に有してフィルタカートリッジ３５下部に配置された保持部材３９と、から構成し、フィルタエレメント３３を上部コイルスプリング４５と下部コイルスプリング４７によってケーシング３内に支持し、ケーシング３外から加振装置５５によってフィルタエレメント３３に振動を付与可能とし、排気室Ｅｒとケーシング３の排気流出口１７とをベローズ管５１でつなぐ。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
排気流入口、排気流出口及びダスト排出口を有するケーシングと、ケーシング内に立設されたフィルタエレメントと、ケーシング内壁とフィルタエレメントとの間のダスト捕集室とを備えるダストコレクタであって、
フィルタカートリッジと、フィルタカートリッジの上部を覆う蓋部材と、フィルタカートリッジに連なる排気室を内部に有してフィルタカートリッジの下部に配置された保持部材と、から構成されるフィルタエレメントと、
フィルタエレメントの上部及び下部を支持するコイルスプリングと、
フィルタエレメントに上下方向の振動を付与可能な加振装置と、
保持部材の排気室と排気流出口とをつなぐ伸縮可能な排気流出管と、を備えることを特徴とするダストコレクタ。
【請求項２】
ケーシングの天板と蓋部材との間に装着されてフィルタエレメントの上部を支持するコイルスプリングと、保持部材を懸吊してフィルタエレメントの下部を支持するコイルスプリングと、を備えることを特徴とする請求項１記載のダストコレクタ。
【請求項３】
加振装置によって振動するフィルタエレメントの振幅が所定幅に達するとフィルタエレメントと衝突する衝突子をケーシング内に備えることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のダストコレクタ。
【請求項４】
ケーシングの下方に形成されたダスト排出口と、ダスト排出管の上端に着脱自在に配置された覗き窓とを備えることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のダストコレクタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種装置の排気経路上に設けられて、排気経路を通って排気とともに排出されるダストを捕集可能なダストコレクタに関する。
【背景技術】
【０００２】
各種装置から排出される排気は、ダストを含む場合がある。ダストを排出する装置では、排気とともにダストが大気中に放散されることを防止するため、装置の排気経路にダストコレクタを設置し、ダストコレクタによってダストを捕集している。
従来あるダストコレクタは、排気流入口、排気流出口及びダスト排出口を有するケーシングと、ケーシング内をダスト捕集室と排気室とに仕切るフィルタエレメントとを備え、ダスト捕集室に排気流入口とダスト排出口が位置し、排気室に排気流出口が位置している。排気がダストとともに排気経路上流側から排気流入口を通ってダスト捕集室に流入し、フィルタエレメントを通過して排気室に流入する。排気がフィルタエレメントを通過する際、フィルタエレメントがダストを捕集し、ダストを除去された排気が排気室から排気流出口を通って排気経路下流側へ流出する。
【０００３】
排気とともにダストを排出する装置として、例えば、ハイドライド気相成長法（ＨＶＰＥ法）により化合物半導体を製造するハイドライド気相成長装置（ＨＶＰＥ装置）がある。
ＨＶＰＥ装置は窒化ガリウム（ＧａＮ）等の窒化物系半導体を製造する際、同時に、大量の塩化アンモニウム（ＮＨ4Ｃｌ）が副生成物として生成し、生成したＮＨ4Ｃｌの微粉末が排気とともにＨＶＰＥ装置から排出される。ＨＶＰＥ装置の排気経路にダストコレクタを設置してＮＨ4Ｃｌの微粉末をダストとして捕集するが、ダストコレクタのフィルタエレメントが大量のダストによって短時間のうちに目詰まりし、目詰まりしたフィルタエレメントが排気経路における排気の流れを阻害してしまう。
【０００４】
排気経路において排気の流れが阻害されると、排気経路上流側のＨＶＰＥ装置がその影響を受け、化合物半導体の製造に支障をきたす。このため、ダストコレクタのフィルタエレメントが目詰まりする度にＨＶＰＥ装置の稼動を停止し、フィルタエレメントを清掃しなければならない。しかし、フィルタエレメントが短時間のうちに再び目詰まりしてしまうので、ＨＶＰＥ装置を頻繁に停止しなければならず、ＨＶＰＥ装置の稼動率が著しく低下する。
【０００５】
そこで、排気とともに大量のダストを排出し、そのダストのために排気の流れの状態が変化し、稼動率に影響を及ぼしやすいＨＶＰＥ装置等においては、ダスト払落機構を備えるダストコレクタを排気経路に設置し、ダスト払落機構を用いてＨＶＰＥ装置等を停止することなくフィルタエレメントからダストを払い落とし、ＨＶＰＥ装置等の稼動率の低下を防止している。
ダスト払落機構の方式には、パルスジェットエアをフィルタエレメントに吹付けるパルスジェット方式、フィルタエレメントに衝撃を与える衝撃方式、フィルタエレメントに振動を与える振動方式（特許文献１を参照）等がある。
【０００６】
パルスジェット方式のダスト払落機構では、パルスジェットエアがダストコレクタ内の排気の流れを大きく乱し、ＨＶＰＥ装置における化合物半導体の製造に支障をきたす原因となる。したがって、パルスジェット方式のダスト払落機構を、ＨＶＰＥ装置等のダストコレクタに用いることは好ましくない。
衝撃方式のダスト払落機構では、頻繁に衝撃がフィルタエレメントに加わるので、フィルタエレメントがダメージを受けやすく、フィルタエレメントに衝撃を与える際の騒音も問題となる。
したがって、ＨＶＰＥ装置等のダストコレクタに振動方式のダスト払落機構を用いることが好ましい。
【０００７】
振動方式のダスト払落機構を備えるダストコレクタの一例を図４に示す。排気経路７０に設置されたダストコレクタ１は、横長のケーシング３とケーシング３外の加振装置５５とを備えている。ケーシング３には排気流入口１５、排気流出口１７及びダスト排出口１９が形成されており、ケーシング３内にフィルタエレメント３３が組み込まれている。フィルタエレメント３３はフレーム部材８０とフレーム部材８０に支持された筒状のメッシュ部材８４とからなり、ケーシング３内の両端（図４において左右両端）に弾性支持部材８２が装着され、弾性支持部材８２がフレーム部材８０の両端を支持するとともに、メッシュ部材８４の両端部とケーシング３の内壁との間を緊密にシールしている。ケーシング３内はメッシュ部材８４によってダスト捕集室Ｃｒと排気室Ｅｒとに仕切られており、メッシュ部材８４とケーシング３内壁との間の空間がダスト捕集室Ｃｒをなし、メッシュ部材８４内側の空間が排気室Ｅｒをなしている。ダスト捕集室Ｃｒの上方が排気流入口１５に連なり、ダスト捕集室Ｃｒの下方がダスト排出口１９に連なり、排気室Ｅｒの側方が排気流出口１７に連なっている。フレーム部材８０の側部が加振装置５５に接続されており、加振装置５５がフレーム部材８０を介してフィルタエレメント３３に水平方向の振動を与える構成となっている。
【０００８】
排気がダストとともに排気経路７０上流側からダストコレクタ１の排気流入口１５に流入する。排気流入口１５に流入した排気はダスト捕集室Ｃｒに入ってから、フィルタエレメント３３のメッシュ部材８４を通過して排気室Ｅｒへ入る。排気がメッシュ部材８４を通過する際、ダストがメッシュ部材８４に捕集され、排気のみが排気室Ｅｒへ入る。そして、排気が排気室Ｅｒから排気流出口１７を通って排気経路７０下流側に流出する。ダストがメッシュ部材８４に捕集されて付着するので、加振装置５５がフレーム部材８０を介してフィルタエレメント３３を振動させて、ダストをメッシュ部材８４から払い落とし、払い落とされたダストがダスト捕集室Ｃｒの下部に堆積する。ダスト排出口１９に設けられた開閉弁８６を定期的に開いて、ダスト捕集室Ｃｒに堆積したダストをダスト排出口１９から落下させてケーシング３外に排出する。
【特許文献１】ＷＯ９９／０２２３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上記の振動方式のダスト払落機構を備えるダストコレクタ１において、加振装置５５によって振動するフィルタエレメント３３の振動方向が重力方向と直交しており、加振装置５５からフィルタエレメント３３に与えられた振動エネルギーの一部が、フレーム部材８０を支持する弾性支持部材８２における剪断抵抗として吸収されてしまい、フィルタエレメント３３に与えられる振動エネルギーを効率的にダストの払い落としに利用できていない。
【００１０】
弾性支持部材８２がメッシュ部材８４の両端部とケーシング３の内壁との間をシールし、ダスト捕集室Ｃｒと排気室Ｅｒとがメッシュ部材８４を介さずに直接連通することを防止しているので、弾性支持部材８２に許容される変形量は限定されており、弾性支持部材８２が大きく変形するような振幅の振動を加振装置５５がフィルタエレメント３３に与えることができない。
フィルタエレメント３３を交換する場合、フィルタエレメント３３が弾性支持部材８２によってケーシング３内に緊密に組み込まれているので、フィルタエレメント３３の着脱が困難である。
【００１１】
ダスト捕集室Ｃｒに堆積したダストをケーシング３外に排出する場合、ダストをダスト排出口１９から落下させているので、ダスト排出口１９から離れた場所に堆積したダストがダスト排出口１９から落下せず、ダスト捕集室Ｃｒに滞留してしまう。ダスト捕集室Ｃｒに滞留したダストを確認する手段も存在しないので、滞留したダストがメッシュ部材８４の局部的目詰まりの原因となったり、フィルタエレメント３３の振動を妨げる原因となるおそれもある。
【００１２】
本発明は、上記問題を解決するものであり、その目的とするところは、フィルタエレメントを振動させてダストを効率よく払い落とすことが可能であり、振動条件の調整範囲を大きくすることができ、でフィルタエレメントを振動可能であり、フィルタエレメントを容易に交換可能であり、内部を容易に清掃可能であり、内部の状態を確認可能なダストコレクタを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、その課題を解決するために以下のような構成をとる。請求項１の発明に係るダストコレクタは、排気流入口、排気流出口及びダスト排出口を有するケーシングと、ケーシング内に立設されたフィルタエレメントと、ケーシング内壁とフィルタエレメントとの間のダスト捕集室とを備えるダストコレクタであって、フィルタカートリッジと、フィルタカートリッジの上部を覆う蓋部材と、フィルタカートリッジに連なる排気室を内部に有してフィルタカートリッジの下部に配置された保持部材と、から構成されるフィルタエレメントと、フィルタエレメントの上部及び下部を支持するコイルスプリングと、フィルタエレメントに上下方向の振動を付与可能な加振装置と、保持部材の排気室と排気流出口とをつなぐ伸縮可能な排気流出管と、を備える。
【００１４】
請求項１の発明によれば、排気がダストともに排気流入口からダスト捕集室に流入し、ダスト捕集室からフィルタカートリッジを通過して保持部材の排気室へ入り、排気室から排気流出管を通って排気流出口へ流れ、排気流出口から排出される。排気がフィルタカートリッジを通過する際、ダストがフィルタカートリッジの表面に捕集される。フィルタカートリッジに捕集されたダストが付着するが、加振装置がフィルタエレメントに振動を与え、フィルタカートリッジからダストを払い落とす。
【００１５】
加振装置がフィルタエレメントに与える振動は上下方向の振幅を有し、フィルタエレメントの上部及び下部がコイルスプリングによって支持され、フィルタエレメントの下部の保持部材の排気室と排気流出口とが伸縮可能な排気流出管によってつながれているので、フィルタエレメントが上下の重力方向に振動し、排気流出管が振動に伴って上下の重力方向に伸縮し、加振装置からフィルタエレメントに与えられる振動エネルギーの大半がフィルタエレメントの振動に用いられることとなり、フィルタカートリッジからのダストの払い落とし効率が向上する。
【００１６】
フィルタエレメントの上部及び下部を支持するコイルスプリングは、ダスト捕集室と排気室との間をシールする機能を有しておらず、これらのコイルスプリングが大きな振幅で振動しても、ダスト捕集室と排気室とがフィルタカートリッジを介さずに直接連通してしまうことはない。したがって、加振装置を調節して、ダストの性状に応じた適切な振幅の振動をフィルタエレメントに与えることができる。
また、天板を着脱可能とすれば、天板を取り外してフィルタカートリッジをケーシングから容易に抜き出し可能であり、フィルタカートリッジの交換が容易化される。
なお、保持部材の排気室と排気流出口とをつなぐ伸縮可能な排気流出管として、例えば、ベローズ管を挙げることができる。
【００１７】
請求項２の発明に係るダストコレクタは、請求項１記載のダストコレクタであって、ケーシングの天板と蓋部材との間に装着されてフィルタエレメントの上部を支持するコイルスプリングと、保持部材を懸吊してフィルタエレメントの下部を支持するコイルスプリングと、を備える。
請求項２の発明によれば、保持部材を懸吊するコイルスプリングによって、フィルタエレメントの下部が支持されているので、フィルタエレメントの下部とケーシングの底との間の空間容積を大きくし、ケーシングの底に堆積可能なダストの容量を大きくでき、ダストの排出頻度を少なくできるとともに、堆積したダストを簡単に排出でき、清掃が容易化される。
【００１８】
請求項３の発明に係るダストコレクタは、請求項１又は請求項２記載のダストコレクタであって、加振装置によって振動するフィルタエレメントの振幅が所定幅に達するとフィルタエレメントと衝突する衝突子をケーシング内に備える。
請求項３の発明によれば、加振装置が所定幅の振幅の振動をフィルタエレメントに与えると、衝突子とフィルタエレメントが衝突するので、衝撃が衝突子からフィルタカートリッジに与えられる。フィルタエレメントを振動させるだけではフィルタカートリッジからのダストを充分に払い落とすことが困難な場合であっても、フィルタカートリッジに衝撃を与えてダストを効率よく払い落とすことが可能である。
【００１９】
請求項４の発明に係るダストコレクタは、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のダストコレクタであって、ケーシングの下方に形成されたダスト排出口と、ダスト排出管の上端に着脱自在に配置された覗き窓とを備える。
請求項４の発明によれば、覗き窓を介してケーシングの底に堆積したダストの状態を監視でき、多量のダストの堆積を覗き窓から確認したら、覗き窓をダスト排出管から取り外し、ダストを排出する。適切な時期にダストを排出でき、ダストの堆積量が大きくなってダストの捕集効率が低下することを防止できる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明に係るダストコレクタは、上記のような構成であるので、フィルタエレメントを振動させてダストを効率よく払い落とすことが可能であり、振動条件の調整範囲を大きくすることができ、フィルタエレメントを容易に交換可能であり、内部を容易に清掃可能であり、内部の状態を確認可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明を実施するための最良の形態を図１〜図３を参照しつつ説明する。図１は本発明の実施の一形態に係るダストコレクタの構成図、図２は図１のＡ−Ａ線断面図、図３は図１のＢ−Ｂ線断面図である。
ＨＶＰＥ装置（図示せず）の排気経路７０にダストコレクタ１が設置されている。ダストコレクタ１は脚１３によって支承された円筒形状のケーシング３を有する。ケーシング３は円筒側板５、天板７及び底板１１とからなり、天板７が円筒側板５の上部から着脱可能に構成されている。円筒側板５には排気流入口１５、ダスト排出口１９及び上部覗き窓２９が形成されており、排気流入口１５及び上部覗き窓２９が円筒側板５の中間よりもやや上方に位置し、ダスト排出口１９が円筒側板５の下方に位置している。排気流入口１５は排気経路７０上流側に連なっており、上部覗き窓２９には窓ガラスが嵌っている。ダスト排出口１９には斜め上方に傾斜するダスト排出管２１が設けられており、ダスト排出管２１の上端側にはバタフライ弁２５を有する延長管２３がシール（図示略）を介して着脱可能に嵌っている。延長管２３の上端部には下部覗き窓３１が着脱可能に配置されており、下部覗き窓３１には窓ガラスが嵌っている。バタフライ弁２５と下部覗き窓３１の間の延長管２３内側には外側からエア導入管２７が挿通され、延長管２３内側でエア導入管２７の開口端が下部覗き窓３１を向いて、エア導入管２７から下部覗き窓３１に向けて窒素ガス等を噴出可能に構成されている。
【００２２】
ケーシング３内に、複数本の円筒状のフィルタカートリッジ３５、蓋部材３７及び保持部材３９からなるフィルタエレメント３３が装填されており、ケーシング３の内面とフィルタエレメント３３との間の空間がダスト捕集室Ｃｒを形成している。
蓋部材３７は中央にボルト孔を有する円盤状の板部材であり、蓋部材３７が各フィルタカートリッジ３５の上部を覆っている。保持部材３９は中空のリング状部材であり、保持部材３９内部の中空部分が排気室Ｅｒをなし、保持部材３９中央のリング孔には、ボルト孔を中央に有する十字形のクロスフレーム４０が装着されている。保持部材３９が各フィルタカートリッジ３５の下部に接続され、排気室Ｅｒと各フィルタカートリッジ３５の円筒内部とが連通している。
【００２３】
蓋部材３７のボルト孔と保持部材３９のクロスフレーム４０のボルト孔には連結ボルト４１が挿通されて、連結ボルト４１の上下両端がナット４３によって締結され、各フィルタカートリッジ３５が蓋部材３７と保持部材３９との間に挟持されている。
上部コイルスプリング４５が蓋部材３７と天板７の凹部９との間に装着されており、下部コイルスプリング４７が保持部材３９を円筒側板５の内周面に形成されたスプリングハンガ４９から懸吊している。スプリングハンガ４９は、排気流入口１５及び上部覗き窓２９よりも上方に位置している。
【００２４】
保持部材３９内の排気室Ｅｒは、保持部材３９の下面から底板１１に形成された排気流出口１７までベローズ管５１によってつながれており、排気流出口１７が排気経路７０下流側に連なっている。
保持部材３９の下面とケーシング３の底板１１との間には、２本のベローズ５３が装着されており、ベローズ５３の下端が底板１１に形成された挿通孔５９に接続されている。ベローズ５３の上端と保持部材３９の下面との間及びベローズ５３の下端と底板１１との間はそれぞれシールされている。ベローズ５３及び挿通孔５９を加振装置５５の保持フレーム５７が貫通し、保持フレーム５７の上端が保持部材３９の下面と接続され、底板１１から下方に突出する保持フレーム５７の下端に加振装置５５が懸吊されている。加振装置５５はピストン式バイブレータであり、上下方向の振動を発生可能に構成されている。
ケーシング３の円筒側板５の内周面において、衝突子ハンガ６３がスプリングハンガ４９よりも上方に形成されており、衝突子６１が衝突子ハンガ６３にボルト６５によって装着されている。衝突子６１は蓋部材３７の上面から所定距離だけ上方に位置している。
【００２５】
本実施の形態は上記のように構成されており、次にその作用について説明する。
排気がダストともにＨＶＰＥ装置から排気経路７０に排出され、排気経路７０上流側からダストコレクタ１の排気流入口１５に流入する。排気流入口１５に流入した排気及びダストはダスト捕集室Ｃｒに入ってから、フィルタエレメント３３を通過して排気室Ｅｒへ入る。排気がフィルタエレメント３３を通過する際、ダストがフィルタエレメント３３に捕集され、排気のみが排気室Ｅｒへ入り、排気室Ｅｒからベローズ管５１を通って排気流出口１７に流れ、排気経路７０下流側に流出する。フィルタエレメント３３の表面には捕集されたダストが付着する。
【００２６】
ダストコレクタ１に排気及びダストが流入している間は、加振装置５５を所定の間隔で上下方向に振動させる。加振装置５５が振動すると、加振装置５５を懸吊する保持部材３９に振動が伝わり、フィルタエレメント３３が上下方向に振動する。フィルタエレメント３３が上下方向に振動すると、上部コイルスプリング４５及び下部コイルスプリング４７も上下方向に振動し、ベローズ管５１及びベローズ５３も上下方向に伸縮する。フィルタエレメント３３の上下方向に振動するので、フィルタカートリッジ３５も上下方向に振動し、フィルタカートリッジ３５の表面に付着しているダストが払い落とされて底板１１上に堆積する。
【００２７】
加振装置５５の振動方向、上部コイルスプリング４５及び下部コイルスプリング４７の振動方向、ベローズ管５１及びベローズ５３の伸縮方向が、すべて、上下の重力方向となって一致しているので、加振装置５５からフィルタエレメント３３に加わる振動エネルギーの大半が、フィルタエレメント３３の振動エネルギーとなり、上部コイルスプリング４５、下部コイルスプリング４７、ベローズ管５１及びベローズ５３によって吸収される割合は小さく抑制されている。したがって、加振装置５５の振動エネルギーを、殆ど無駄なくフィルタカートリッジ３５の表面からのダストの払い落としに用いることができ、ダストの払い落とし効率が優れたものとなる。
【００２８】
ダストの性状にあわせて、加振装置５５の振動条件を変え、フィルタエレメント３３の上下方向の振幅、振動数を調整すると、フィルタカートリッジ３５からのダストの払い落とし効率がさらに向上する。上部コイルスプリング４５及び下部コイルスプリング４７の各弾性係数を調整することによっても、フィルタエレメント３３の上下方向の振幅、振動数を調整できる。
【００２９】
ダストの性状によっては、フィルタエレメント３３を振動させるだけでは、フィルタカートリッジ３５からダストを充分に払い落とせない場合がある。このような場合、加振装置５５の振動条件を変え、フィルタエレメント３３の振動の上下方向の振幅を大きくして、蓋部材３７と衝突子６１とを衝突させる。蓋部材３７と衝突子６１とが衝突すると、衝撃が蓋部材３７を介してフィルタカートリッジ３５に加わり、フィルタカートリッジ３５に付着していたダストは、上下方向の振動と衝突子６１からの衝撃とによって払い落とされる。
上部覗き窓２９からフィルタカートリッジ３５の表面に付着したダストの状態を監視できるので、必要に応じて加振装置５５を稼動させることができ、衝突子６１から衝撃をフィルタカートリッジ３５に加える必要の有無をも的確に判断でき、加振装置５５の振動条件の調整等が容易である。
【００３０】
下部覗き窓３１から底板１１上に堆積したダストを監視できるので、ダストの清掃が必要なタイミングを的確に判断でき、底板１１上に堆積したダストが、ダストコレクタ１のダストの捕集効率を低下させたり、フィルタエレメント３３の振動を妨げることが防止される。下部覗き窓３１から底板１１上に堆積したダストを監視する場合のみバタフライ弁２５を開き、他のときはバタフライ弁２５を閉じておくことで、下部覗き窓３１にダストが付着することを防止できる。バタフライ弁２５を開き、下部覗き窓３１からダストの堆積を監視する場合、下部覗き窓３１は、斜め上方に傾斜するダスト排出管２１の上端側に嵌った延長管２３に形成されているので、ダストが下部覗き窓３１に付着しにくい。また、下部覗き窓３１にダストが付着した場合、エア導入管２７から下部覗き窓３１に向けて窒素ガス等を噴出し、下部覗き窓３１に付着したダストを吹き飛ばすことができる。エア導入管２７から噴出する窒素ガス等は、下部覗き窓３１に付着したダストを吹き飛ばすだけなので、僅かな噴出量で足り、ダスト捕集室Ｃｒに流入する排気の流れがエア導入管２７から噴出する窒素ガス等によって乱されることを回避でき、エア導入管２７から噴出する窒素ガス等が排気経路７０上流側のＨＶＰＥ装置に影響することは防止されている。
【００３１】
下部覗き窓３１から底板１１上に堆積したダストを監視して、ダストの清掃が必要と判断した場合、ＨＶＰＥ装置及びダストコレクタ１の運転を停止し、バタフライ弁２５を開き、下部覗き窓３１を延長管２３から取り外し、バキュームノズル（図示せず）を延長管２３上側端からケーシング３内に挿入し、底板１１上に堆積したダストをダストコレクタ１外へ吸引する。フィルタカートリッジ３５は下部コイルスプリング４７によってケーシング３内に懸吊された状態となっており、保持部材３９の下面と底板１１との間には２本のベローズ５３と１本のベローズ管５１が存在するだけなので、底板１１上に堆積したダストを残らず容易に吸引できる。
なお、バキュームノズルをケーシング３内に挿入する際、バタフライ弁２５を開いて下部覗き窓３１を延長管２３から取り外す代わりに、延長管２３自体をダスト排出管２１から取り外し、ダスト排出管２１からバキュームノズルをケーシング３内に挿入してもよい。
【００３２】
本実施の形態では、下部覗き窓３１に付着したダストはエア導入管２７から窒素ガスを噴出させることで除去しているが、別途ワイパ装置を設けてもよい。
フィルタカートリッジ３５を交換する場合、以下の手順で作業を行う。天板７をケーシング３から取り外し、上部コイルスプリング４５を取り出す。上部コイルスプリング４５を取り出したら、ボルト６５を緩めて衝突子６１を蓋部材３７の上方から移動させ、連結ボルト４１から上側のナット４３を取り外し、蓋部材３７を取り外して、古いフィルタカートリッジ３５を抜き出して新しいフィルタカートリッジ３５と交換する。フィルタカートリッジ３５を交換したら、逆の手順によってダストコレクタ１を復旧する。緊密にシールされた部分を取り外す等する必要はなく、フィルタカートリッジ３５の交換は非常に容易なものとなっている。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の実施の一形態に係るダストコレクタの構成図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ線断面図である。
【図４】従来のダストコレクタの断面図である。
【符号の説明】
【００３４】
１    ダストコレクタ
３    ケーシング
５    円筒側板
７    天板
９    凹部
１１    底板
１３    脚
１５    排気流入口
１７    排気流出口
１９    ダスト排出口
２１    ダスト排出管
２３    延長管
２５    バタフライ弁
２７    エア導入管
２９    上部覗き窓
３１    下部覗き窓
３３    フィルタエレメント
３５    フィルタカートリッジ
３７    蓋部材
３９    保持部材
４０    クロスフレーム
４１    連結ボルト
４３    ナット
４５    上部コイルスプリング
４７    下部コイルスプリング
４９    スプリングハンガ
５１    ベローズ管
５３    ベローズ
５５    加振装置
５７    保持フレーム
５９    挿通孔
６１    衝突子
６３    衝突子ハンガ
６５    ボルト
７０    排気経路
Ｃｒ    ダスト捕集室
Ｅｒ    排気室
【図１】
2005313041.tif 000003
【図２】
2005313041.tif 000004
【図３】
2005313041.tif 000005
【図４】
2005313041.tif 000006