(57)【要約】      （修正有） 【課題】多様な大きさの液晶パネルを同じ液晶表示装置用ベース基板内に位置させつつ、スクライビング工程に必要とする時間及びフィール消耗量を減少させることができる液晶パネルの配置構造を提供する。【解決手段】相互に接触する液晶パネルカップルを構成して液晶表示装置用ベース基板に位置する液晶パネルの配置構造を提供する。さらに、相互に接触する液晶パネルを、一度のスクライビング工程で切断する製造方法と、隣接する液晶パネルカップル間を、重複露光する液晶パネルの露光方法を提供する。また、隣接する液晶パネルを、相互に接触するように配置することによって、液晶表示装置用ベース基板の空間が最適の効率で使用できる効果がある。そして、スクライビング工程時、作業時間とフィール消耗量が減少する。【選択図】図３
2005025182.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベース基板上に形成された、少なくとも一つの液晶パネルカップルを有し、
前記少なくとも一つの液晶パネルカップルは、第１液晶パネルと
前記第１液晶パネルに隣接した第２液晶パネルとからなり、
前記ベース基板上に形成された前記第１液晶パネルと第２液晶パネルとは、相互に接触していることを特徴とするベース基板。
【請求項２】
前記第１液晶パネルと第２液晶パネルは、前記ベース基板上に、横（列方向）に相互に隣接するように配置されていることを特徴とする請求項１に記載のベース基板。
【請求項３】
前記第１液晶パネルと第２液晶パネルは、前記ベース基板上に、縦（行方向）に相互に隣接するように配置されていることを特徴とする請求項１に記載のベース基板。
【請求項４】
前記第１液晶パネルと第２液晶パネルは、同じ大きさであることを特徴とする請求項１に記載のベース基板。
【請求項５】
多数の液晶パネルカップルを含むことを特徴とする請求項１に記載のベース基板。
【請求項６】
前記液晶パネルカップルは、相互に同じ大きさであることを特徴とする請求項５に記載のベース基板。
【請求項７】
前記液晶パネルカップルのうち、少なくとも二つの液晶パネルカップルは、相互に異なる大きさであることを特徴とする請求項５に記載のベース基板。
【請求項８】
前記第１液晶パネルと第２液晶パネルを分離する一つのスクライブラインをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のベース基板。
【請求項９】
前記スクライブラインの方向に沿って配列された位置整列マークをさらに 含むことを特徴とする請求項８に記載のベース基板。
【請求項１０】
少なくとも、一つの第３液晶パネルをさらに含み、前記第３液晶パネルは、液晶パネルカップルを構成しないことを特徴とする請求項１に記載のベース基板。
【請求項１１】
ベース基板上に、相互に接触する第１液晶パネルと第２液晶パネルを形成する段階と、
一つのスクライビング工程で、前記第１液晶パネルと第２液晶パネルを分離する段階とを含む液晶パネルの製造方法。
【請求項１２】
前記第１液晶パネルと第２液晶パネル間にスクライブラインを形成する段階をさらに含み、前記分離する段階は、前記スクライブラインをスクライビング工程に適用することを含むことを特徴とする請求項１１に記載の液晶パネルの製造方法。
【請求項１３】
前記第１液晶パネルと第２液晶パネルは、前記ベース基板上に、横（列方向）に相互に隣接するように配置することを特徴とする請求項１１に記載の液晶パネルの製造方法。
【請求項１４】
前記第１液晶パネルと第２液晶パネルは、前記ベース基板上に、縦（行方向）に相互に隣接するように配置することを特徴とする請求項１１に記載の液晶パネルの製造方法。
【請求項１５】
多数の液晶パネルがある第１液晶パネルグループおよび前記第１液晶パネルグループの周りに位置する第１周辺領域を露光する段階と、
多数の液晶パネルがある第２液晶パネルグループおよび前記第１液晶パネルグループに隣接した前記第２液晶パネルグループの周りに位置する第２周辺領域を露光する段階とを含んでおり、
各々の液晶パネルグループの液晶パネルは、相互に接触していて、前記第１周辺領域と前記第２周辺領域は重なることを特徴とする液晶パネルの露光方法。
【請求項１６】
前記第２液晶パネルグループは、前記第１液晶パネルグループより、さらに大きいことを特徴とする請求項１５に記載の液晶パネルの露光方法。
【請求項１７】
前記第１周辺領域と前記第２周辺領域は、同じマスクにより露光されることを特徴とする請求項１６に記載の液晶パネルの露光方法。
【請求項１８】
前記第２液晶パネルグループは、前記第１液晶パネルグループが露光される時に遮断手段により遮断されることを特徴とする請求項１６に記載の 液晶パネルの露光方法。
【請求項１９】
ベース基板上に形成された第１平板パネルと、
前記ベース基板上に形成された第２平板パネルとを有し、
前記第２平板パネルは、前記第１平板パネルと接触することを特徴とするベース基板。
【請求項２０】
ベース基板上に、相互に接触する第１平板パネルと第２平板パネルを形成する段階と、
一度の分離工程により前記第１平板パネルと第２平板パネルを分離する段階とを含む平板パネルの製造方法。
【請求項２１】
多数の平板パネル等がある第１平板パネルグループおよび前記第１平板パネルグループの周りに位置する第１周辺領域を露光する段階と、
多数の平板パネルがある第２平板パネルグループおよび前記第１平板パネルグループに隣接した前記第２平板パネルグループの周りに位置する第２周辺領域を露光する段階とを含んでおり、
各々の平板パネルグループの液晶パネルは、相互に接触していて、前記第１周辺領域と前記第２周辺領域は重なることを特徴とする平板表示パネルの露光方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置に係り、特に、ベース基板上での液晶パネルの効果的な配列及びその露光方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、液晶パネルは、大面積ベース基板(例えば、ガラス基板)である液晶表示装置用ベース基板上に多数の液晶パネルが配列されるように、薄膜蒸着工程、洗浄工程、フォトーリソグラフィー(photo lithography)工程、エッチング工程等を行って、薄膜パターンを形成した後、各薄膜パターン形成部に対して配向膜の塗布、ラビング工程等を同一に行い、工程後に、各々の液晶パネルは、スクライビング(scribing)工程により 前記ベース基板から分離される。
【０００３】
図１は、ベース基板上に配列された多数の液晶パネルの斜視図である。
図示したように、均一な大きさの多数の液晶パネル１１０がベース基板１００上に、規則的にな配列されており、均一な間隔を置いて、相互に離隔するように配置されている。
【０００４】
図２は、前記図１による液晶パネルにより配置された位置整列マーク及びスクライブラインを示している。
図示したように、第１スクライブライン１３０ａ、第２スクライブライン１３０ｂは、各々第１液晶パネル１１０ａ、第２液晶パネル１１０ｂの向かい合うエッジ(edge)部に隣接するように配列される。
【０００５】
図には示してないが、スクライブラインは、また、第１液晶パネル１１０ａ、第２液晶パネル１１０ｂを各々取り囲むように形成される。従って、前記第１スクライブライン１３０ａ、第２スクライブライン１３０ｂは、前記ベース基板１００上から、液晶パネル１１０を分離するために利用される。特に、前記第１スクライブライン１３０ａ、第２スクライブライン１３０ｂ間に位置するベース基板１００領域は、液晶パネル１１０部には属しない。前記第１スクライブライン１３０ａ、第２スクライブライン１３０ｂは、各々の液晶パネル１１０の最外廓に構成されるベース基板領域で定義される。従って、前記ベース基板１００上で、相互に離隔されるように位置する隣接した液晶パネル１１０間の距離は、前記第１スクライブライン１３０ａ、第２スクライブライン１３０ｂ間の距離によって決まる。
【０００６】
液晶パネル１１０を前記ベース基板１００から分離するため、スクライビング装置は、順次的に、前記第１スクライブライン１３０ａ、第２スクライブライン１３０ｂに適用される。前記液晶パネル１１０は、前記ベース基板１００から分離された後、各々液晶表示装置として制作されるため、後続工程に廻される。
【０００７】
例えば、露光工程を行う場合に、露光装置(図示せず)と液晶パネル１１０は、位置整列の過程を経る。液晶パネル１１０に形成されるパターンは、極微細パターンであるために、正確な位置整列を行わないと、望まないパターンが液晶パネル１１０に形成される。従って、露光装置に位置するマスク(図示せず)と液晶パネル１１０は、位置整列をするため、各々に形成されているマーク１２０を使用する。
【０００８】
位置整列マークまたはキー１２０を通じてマスクと液晶パネル１１０は正確に位置整列されて、その後、露光装置を通じて露光工程が行われることにより望むパターンが液晶パネル１１０に形成される。
さらに、スキャン方式で露光が行われる場合には、位置整列マーク１２０は、液晶パネル１１０の周りに、一つ以上が形成され、マスクと液晶パネル１１０の位置を正しく整列させる。
【０００９】
液晶パネル１１０の周りに位置する第１スクライブライン１３０ａ、第２スクライブライン１３０ｂは、工程が完了した後、各々の液晶パネル１１０を個別的に分離させるために形成されている。液晶パネル１１０の工程が完了すると、スクライビング装置(図示せず)を使用して、各々の液晶パネル１１０は、第１スクライブライン１３０ａ、第２スクライブライン１３０ｂに沿って切断されて、液晶パネル１１０は、個別的に分離され、後続工程が行われる。
【００１０】
隣接する二つの液晶パネル１１０を個別的に分離するためには、二度のスクライビング工程が行われる。例えば、第１スクライブライン１３０ａに沿って、スクライビング工程が行われて、その後、第２スクライブライン１３０ｂに沿って、スクライビング工程が行われる。二度のスクライビング工程を行うと、隣接する液晶パネル１１０は、個別的に分離され、各々は、個別的に後続工程が行われる。
【００１１】
前述したように、液晶表示装置用ベース基板１００内には、液晶パネル１１０は、同じ大きさと同じ間隔に分割配置されている。
【００１２】
液晶表示装置用ベース基板１００に、多様な大きさの液晶パネル１１０を配置すると、液晶表示装置用ベース基板１００の空間利用効率が増大する。ところが、従来の液晶パネルの分割配置のように、液晶パネルを相互に一定間隔離隔して配置すると、液晶パネル間の空間が必然的に固定されてしまって、その空間を使用できなくなるので、多様なサイズの液晶パネルを液晶表示装置用ベース基板内に効率的に配置できなくなる。
【００１３】
液晶パネル１１０を液晶表示装置用ベース基板１００内で分割配置すると、多様な大きさの液晶パネル１１０を液晶表示装置用ベース基板１００内に、効率的に配置できなくなり、液晶表示装置用ベース基板１００の空間利用効率は、減少する。
そして、液晶パネル１１０等を相互に離隔して分割配置することによって、各液晶パネル１１０ごとにマーク１２０やスクライブライン等を個別的に形成しなければならないので、それによる追加工程が発生する。
【００１４】
すなわち、前記ベース基板１００の利用効率は、多様な大きさの液晶パネル１１０を適用すると増加する反面、良好な結果を得ることは難しい。その理由は、液晶パネル１１０を隣接したスクライブライン間の均一な距離に、相互に離隔されるように配置しなければならないからである。従って、液晶パネル１１０は同じサイズでなければならなく、隣接したスクライブライン間の間隔は一定でなければならないので、液晶パネル１１０は、ベース基板１００上に不規則に配置されてはならない。その結果、従来の液晶パネルの配置構造によると、ベース基板の利用効率が落ちる問題があった。
また、前述したスクライビング工程で、隣接する液晶パネル１１０を個別的に分離するためには２度の工程を行う。２度の工程の過程を行うことによって、スクライビングの工程時間が増大し、それにより、スクライビング装置のフィール消耗量も増加するだけではなく、液晶表示装置用ベース基板１００が増加すると、液晶パネル１１０の数も増加して、スクライビング工程に消耗される工程時間及びフィール消耗量もさらに増加する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
本発明は、前述したような問題を解決するために、ベース基板上の液晶パネルの効率的配置及びその露光方法を提供する。
本発明の目的は、ベース基板上に、高効率の配置構造で配置される液晶パネルを提供する。
もう一つの目的は、スクライビング工程とスクライビングフィール消耗量を減少させる液晶パネルの製造工程を提供する。
また他の目的は、ベース基板上に効率的に配置された液晶パネルを露光する方法に関する。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
前述したような目的を達成するための本発明によるベース基板は、ベース基板上に形成された、少なくとも一つの液晶パネルカップルを有し、前記少なくとも一つの液晶パネルカップルは、第１液晶パネルと前記第１液晶パネルに隣接した第２液晶パネルとからなり、かつ前記第１液晶パネルと第２液晶パネルとは、相互に接触していることを特徴とする。
【００１７】
前記第１液晶パネルと第２液晶パネルは、前記ベース基板上に、横（列方向）および／または縦（行方向）に相互に隣接するように配置されており、また、同じ大きさであることを特徴とする。
【００１８】
本発明によるベース基板は、多数の液晶パネルカップル等を含み、前記液晶パネルカップルは、相互に同じ大きさである。
また、前記液晶パネルカップルのうち、少なくとも二つの液晶パネルカップルは、相互に異なる大きさである。
前記第１液晶パネルと第２液晶パネルを分離する一つのスクライブラインを含み、前記スクライブラインの方向に沿って配列された位置整列マークをさらに含む。
さらに、少なくとも、一つの第３液晶パネルを含み、前記第３液晶パネルは、液晶パネルカップルを構成しないことを特徴とする。
【００１９】
本発明による液晶パネルの製造方法は、ベース基板上に、相互に接触する第１液晶パネルと第２液晶パネルを形成する段階と、一つのスクライビング工程で、前記第１液晶パネルと第２液晶パネルを分離する段階とを含むことを特徴とする。
前記第１液晶パネルと第２液晶パネル間にスクライブラインを形成する段階をさらに含み、前記分離する段階は、前記スクライブラインをスクライビング工程に適用することを含む。
また、前記第１液晶パネルと第２液晶パネルは、前記ベース基板上に、横（列方向）および／または縦（行方向）に、相互に隣接するように配置する。
【００２０】
一方、本発明による液晶パネルの露光方法は、多数の液晶パネルがある第１液晶パネルグループおよび前記第１液晶パネルグループの周りに位置する第１周辺領域を露光する段階と、多数の液晶パネルがある第２液晶パネルグループおよび前記第１液晶パネルグループに隣接した前記第２液晶パネルグループの周りに位置する第２周辺領域を露光する段階とを含んでおり、各々の液晶パネルグループの液晶パネル等は相互に接触していて、前記第１周辺領域と前記第２周辺領域は重なることを特徴とする。
【００２１】
前記第２液晶パネルグループは、前記第１液晶パネルグループより、さらに大きい。
前記第１周辺領域と前記第２周辺領域は、同じマスクにより露光される。
前記第２液晶パネルグループは、前記第１液晶パネルグループが露光される時に遮断手段により遮断されることを特徴とする。
【００２２】
また他の本発明によるベース基板は、ベース基板上に形成された第１平板パネルと、前記ベース基板上に形成された第２平板パネルとを有し、前記第２平板パネルは、前記第１平板パネルと接触することを特徴とする。
本発明による平板パネルの製造方法は、ベース基板上に、相互に接触する第１平板パネルと第２平板パネルを形成する段階と、一度の分離工程により前記第１平板パネルと第２平板パネルを分離する段階とを含む。
【００２３】
一方、本発明による平板表示パネルの露光方法は、多数の平板パネル等がある第１平板パネルグループおよび前記第１平板パネルグループの周りに位置する第１周辺領域を露光する段階と、多数の平板パネルがある第２平板パネルグループおよび前記第１平板パネルグループに隣接した前記第２平板パネルグループの周りに位置する第２周辺領域を露光する段階とを含んでおり、各々の平板パネルグループの液晶パネルは相互に接触していて、前記第１周辺領域と前記第２周辺領域は重なることを特徴とする。
以下、図を参照して、本発明の実施例を説明する。
【発明の効果】
【００２４】
本発明は、ベース基板の利用効率を高めるためのパネルジャスト構造であって、隣接する液晶パネルを、相互に接触するように配置することによって、液晶表示装置用ベース基板の空間効率を上昇させ、多様な大きさの液晶パネルを同じ液晶表示装置用ベース基板内に位置させて、最適の空間効率を得ることができる。そして、スクライビング工程時に一度の工程により液晶パネルカップルを分離することができて、作業時間とフィール消耗量が減少する。さらに、ブレード(blade)により遮られる領域を重複露光をすることによって、望むパターンが液晶表示装置用ベース基板に形成される効果がある。
【実施例】
【００２５】
図３、図４は、本発明の一実施例による液晶パネルの配置構造を示している。
多数の液晶パネルは、第１液晶パネル２１０ａ、第２液晶パネル２１０ｂがカップルを構成していて、同じベース基板２００上に配列される。以下、前記カップルを構成する第１液晶パネル２１０ａ、第２液晶パネル２１０ｂは、共通スクライブライン(図示せず)を共有する液晶パネルカップル２１０と称する。
図示してはないが、スクライブラインは、液晶パネルカップル２１０を各々取り囲むように形成される。
【００２６】
前記図２による第１スクライブライン１３０ａ、第２スクライブライン１３０ｂと類似するように、前記第１液晶パネル２１０ａ、第２液晶パネル２１０ｂ間のスクライブラインは、各々の液晶パネルの最外廓のエッジ部に位置するベース基板２００領域で定義する。
前記第１液晶パネル２１０ａ、第２液晶パネル２１０ｂを分離するためのスクライビング工程(図示せず)は、単一スクライビング工程でスクライブラインを適用することができる。
さらに、前記図２と同じパネルの数を基準に、より少ない分離工程数を行って、液晶パネルが分離できる。
【００２７】
一方、第３液晶パネル２１０ｃはパネルカップルを構成せずに独立的にベース基板２００上に配列される。
ここで、前記図３、図４は、単に、ベース基板２００上の第１液晶パネル２１０ａ、第２液晶パネル２１０ｂ、第３液晶パネル２１０ｃの望ましい配列例を示している。したがって、第１液晶パネル２１０ａ、第２液晶パネル２１０ｂ、第３液晶パネル２１０ｃが実質的に望む他の方式で、配列されても構わない。
【００２８】
本発明の重要な特徴は、前記図１に示したような液晶パネルの配置と比べた場合、液晶パネルを製造して分離するのに必要なスクライブラインと位置整列マーク２２０の全体の数を減らせることである。
従って、ベース基板の利用効率は、ベース基板から製造された全体の液晶パネルの生産収率により増加することができる。
【００２９】
図３は、列方向へと隣接する液晶パネルがパネルジャスト構造で液晶パネルカップル２１０を構成して配置されている。
図示したように、列方向へと隣接する液晶パネルは、相互に接触して液晶パネルカップルを構成しており、液晶表示装置用ベース基板内に配置される。液晶パネルカップル等は、列方向と行方向へと一定間隔離隔され配置されている。
図４に示したように、上から２行と３行に位置する液晶パネル等は、パネルジャスト構造で液晶パネルカップル２１０を構成して配置されていて、１行に位置する第３液晶パネル２１０ｃ等は、独立的に配置されている。
【００３０】
図５は、本発明の一実施例による多様な大きさの液晶パネルの配置構造を示している。
ベース基板２００は、多様な大きさの液晶パネルを形成することができる。ベース基板２００には、第１大きさの液晶パネル２１１、第２大きさの液晶パネル２１２ａ、２１２ｂ、第３大きさの液晶パネル２１３ａ、２１３ｂとが形成されていて、前記第１大きさ、第２大きさ、第３大きさは、相互に異なる大きさである。
少なくとも、一つの隣接する第２大きさの液晶パネル２１２ａ、２１２ｂのカップルは、少なくとも、一つの第１液晶パネルカップル２１２として配列される。また、隣接する第３大きさの、少なくとも、１カップルの液晶パネル２１３ａ、２１３ｂ等は、第２液晶パネルカップル２１３として配列される。
【００３１】
パネルジャスト構造で配置されると、従来の分割配置に比べて、液晶表示装置用ベース基板の余裕空間は増加されて、多様な大きさの液晶パネル等を液晶表示装置用ベース基板内に配置することができる。多様な大きさの液晶パネルを配置すると、液晶表示装置用ベース基板の空間を、さらに効率的に使用できる。また、パネルジャスト構造の液晶パネルカップル等は、位置整列マーク等が共有できるようになり、効率が増加する。
【００３２】
図６は、本発明の一実施例による位置整列マークとスクライブラインの配置構造を示している。  
相互に隣接する液晶パネルカップル２１０は、一度のスクライビング工程で分離できる。
液晶パネルカップル２１０の第１液晶パネル２１０ａ、第２液晶パネル２１０ｂは、一つのスクライブライン２３０と同じ位置整列マーク２２０により分離されて、前記ベース基板２００上に形成される。
【００３３】
前述したように、スクライブライン２３０は、第１液晶パネル２１０ａ、第２液晶パネル２１０ｂの最外廓のエッジ部に構成されるベース基板２００領域で定義する。そのことによって、第１液晶パネル２１０ａ、第２液晶パネル２１０ｂは、本質的に、前記ベース基板２００上に、相互に接触する。
【００３４】
前述した製造工程が完了した後、第１液晶パネル２１０ａ、第２液晶パネル２１０ｂは、スクライビング工程により相互に分離することができ、スクライビング装置のスクライビングフィールは、スクライブラインのあるベース基板２００領域を切断する。
【００３５】
前記一度のスクライビング工程によると、第１液晶パネル２１０ａ、第２液晶パネル２１０ｂは、前記図１、図２で説明した液晶パネル１１０のスクライビングより短時間で、ベース基板２００から液晶パネルの数と同じ数だけ、液晶パネルカップル２１０の形で、相互にベース基板２００から完全に分離することができる。
その理由は、第１液晶パネル２１０ａ、第２液晶パネル２１０ｂは、前記図１、図２に説明したような液晶パネルを分離する方法と比べた時、スクライビング工程数、スクライビングフィールの減少を通じて、ベース基板から分離される。
【００３６】
パネルジャスト構造の多数の液晶パネルカップル２１０が位置する液晶表示装置用ベース基板２００は、薄膜蒸着工程、洗浄工程、フォトリソグラフィー工程、エッチング工程等を行って、薄膜パターンが形成され、配向膜の塗布、ラビング工程等を同一に行い、工程が完了すると、第１液晶パネル２１０ａ、第２液晶パネル２１０ｂは、スクライビングされる。  液晶パネルカップル２１０をスクライビングするため、液晶表示装置用ベース基板２００には、スクライビングキー２２０とスクライブライン２３０が配置されている。
【００３７】
フィールがあるスクライビング装置(図示せず)を利用して、液晶パネルカップル２１０が接する部分に沿ってスクライビングすると、液晶パネルカップル２１０は、第１液晶パネル２１０ａと第２液晶パネル２１０ｂとに独立的に分離される。
液晶パネルがパネルジャスト構造に配置されると、液晶パネルカップルは、一度のスクライビング工程により分離できる。従って、従来の分割配置された液晶パネルのスクライビング工程に比べて、スクライビングの工程時間が最大１/２ほど短縮される。
【００３８】
また、スクライビング工程を行うためのスクライビング装置は、フィールを利用してスクライビング工程を行って、一度の工程で液晶パネルカップルが分離されるので、フィールの消耗量も従来の分割配置された液晶パネルに比べて、最大１/２ほど減少する。
【００３９】
前述したように、液晶表示装置用ベース基板内に、パネルジャスト構造で配置された液晶パネルは、スクライビング工程時、一度のスクライビング工程により分離できることによって、従来の分割配置された液晶パネルに比べて、スクライビングの工程時間が短縮されて、スクライビング装置のフィール消耗量も減少でき、工程収率が増大する。
【００４０】
図７は、本発明の一実施例によるベース基板の露光領域を示している。
一般的に、多数のパネル各々を一度の露光工程を通じて全体のベース基板２００が均一に露光されることは、難しい。従って、多数のパネル等は、多数のパネルグループに構成されて、各々は一つのマスクにより各々露光される。
【００４１】
ベース基板２００上の各々の液晶パネルは、それらが形成されたベース基板２００の領域により決定された順に、露光される。例えば、第１露光領域Ｓ１は１回目、第２露光領域Ｓ２は２回目、第３露光領域Ｓ３は３回目、第４露光領域Ｓ４は４回目、第５露光領域Ｓ５は５回目、第６露光領域Ｓ６は６回目に露光される。ところが、数、大きさ、露光される領域の配置は、多様に変更できる。さらに、露光される各領域の順序は、多様に変更できる。
第１露光領域Ｓ１、第２露光領域Ｓ２、第３露光領域Ｓ３、第４露光領域Ｓ４、第５露光領域Ｓ５、第６露光領域Ｓ６は、液晶パネルと、液晶パネルの周りを含むほどの領域である。
【００４２】
液晶表示装置用ベース基板２００の露光工程を行う場合に、同じマスクを使用して露光工程が行われるが、第１露光領域Ｓ１、第２露光領域Ｓ２、第３露光領域Ｓ３と、第４露光領域Ｓ４、第５露光領域Ｓ５、第６露光領域Ｓ６は、面積が異なるので、同じマスクを使用する場合に、面積が大きい第４露光領域Ｓ４、第５露光領域Ｓ５，第６露光領域Ｓ６に対応する大きさのマスクを使用することが効果的である。
【００４３】
ところが、第４露光領域Ｓ４、第５露光領域Ｓ５，第６露光領域Ｓ６に対応する大きさのマスクを使用すると、第１露光領域Ｓ１、第２露光領域Ｓ２，第３露光領域Ｓ３を露光する場合に、マスクの一部を遮りながら露光を行わなければならない。そうしないと、第１露光領域Ｓ１、第２露光領域Ｓ２，第３露光領域Ｓ３を露光しながら、第４露光領域Ｓ４、第５露光領域Ｓ５，第６露光領域Ｓ６を露光して、望まない第４露光領域Ｓ４、第５露光領域Ｓ５，第６露光領域Ｓ６が形成される。
【００４４】
図８Ａ、図８Ｂは、前記図７による液晶パネルの露光工程を示している。
図８Ａに示したように、第１露光領域Ｓ１、第２露光領域Ｓ２、第３露光領域Ｓ３を露光する際、ブレード(図示せず)を使用して、第１露光領域Ｓ１、第２露光領域Ｓ２，第３露光領域Ｓ３を露光するのに不必要なマスクの部分を遮る。ブレードは、露光装置(図示せず)に位置して、望む分だけ、露光させるために、マスクを一部遮る遮断手段である。従って、ブレードにより露光されないブレード領域Ｂに位置する液晶表示装置用ベース基板２００部分は、マスクにより露光されなくなって、望まないパターンは形成されない。そして、第１露光領域Ｓ１、第２露光領域Ｓ２，第３露光領域Ｓ３は、ブレードにより遮られない第１マスク領域Ｍ１に位置して、望むパターンが形成される。
【００４５】
第１露光領域Ｓ１、第２露光領域Ｓ２、第３露光領域Ｓ３をブレードを使用して露光した後、図８Ｂに示したように、第４露光領域Ｓ４、第５露光領域Ｓ５、第６露光領域Ｓ６を露光すると、液晶表示装置用ベース基板２００は、全体が露光される。第４露光領域Ｓ４、第５露光領域Ｓ５、第６露光領域Ｓ６は、ブレードを使用しなくなり、第２マスク領域Ｍ２に位置して、望むパターンが形成される。
【００４６】
ところが、ブレードは、マイクロ単位で位置を制御することは、簡単ではないので、ブレード領域Ｂと第１マスク領域Ｍ１の境界部Ｆでは、マスクのパターンが形成されない場合もある。ブレードと液晶表示装置用ベース基板２００の移動(shift)により、ブレード領域の境界部Ｆで、マスクパターンが遮られて、望むパターンが形成されない。
【００４７】
図８Ｂに示したように、薄膜パターンは、第４露光領域Ｓ４、第５露光領域Ｓ５、第６露光領域Ｓ６について、第２露光工程を行うことによって、形成される。従って、第４露光領域Ｓ４、第５露光領域Ｓ５、第６露光領域Ｓ６は、第１露光工程に使用されたマスクと同じマスクで、対応するような位置で露光され、前記第４露光領域Ｓ４、第５露光領域Ｓ５、第６露光領域Ｓ６のサイズによって、第１マスク領域Ｍ１より大きい第２マスク領域Ｍ２になるが、別途の遮断手段は不必要である。
【００４８】
第１露光領域Ｓ１、第２露光領域Ｓ２、第３露光領域Ｓ３、第４露光領域Ｓ４、第５露光領域Ｓ５、第６露光領域Ｓ６を露光する時は、全体のベース基板が二度の露光工程により露光される。  従って、ブレード領域の境界部Ｆは、重複露光を行い、マスクパターンが遺失しないようにする。
【００４９】
重複露光を行うためには、第１露光領域Ｓ１、第２露光領域Ｓ２、第３露光領域Ｓ３を露光する際、ブレード領域の境界部Ｆに対応するマスクのパターンは、第４露光領域Ｓ４、第５露光領域Ｓ５、第６露光領域Ｓ６を露光する際、ブレード領域の境界部Ｆに対応するマスクのパターンと同じく、マスクに重複形成されている。
従って、第１露光領域Ｓ１、第２露光領域Ｓ２、第３露光領域Ｓ３をブレードを使用してマスクで露光した後、第４露光領域Ｓ４、第５露光領域Ｓ５、第６露光領域Ｓ６を露光しながらブレード領域の境界部Ｆを重複して露光すると、ブレード領域の境界部Ｆでは望むパターンが形成されて、液晶表示装置用ベース基板２００全体は、望ましいパターニングがなされる。すなわち、ブレード領域の境界部Ｆは、第１露光領域Ｓ１、第２露光領域Ｓ２、第３露光領域Ｓ３を露光する過程と、第４露光領域Ｓ４、第５露光領域Ｓ５、第６露光領域Ｓ６を露光する過程とで、重複して露光され、パターンが遺失しないまま望ましく形成される。
【００５０】
さらに、図３、図４、図５での説明と同様に、図８Ａ、図８Ｂでの液晶パネルの配置は、ベース基板２００の利用効率と、同じベース基板から製造された液晶パネルの生産収率とを増加させる。
前述したように、液晶パネル２１０をパネルジャスト構造で相互に接触するように配置すると、液晶表示装置用ベース基板２００は、余分の空間を効率的に使用できるようになり、多様な大きさの液晶パネル２１０を液晶表示装置用ベース基板２００内に効率的に配置することができる。そして、パネルジャスト構造の相互に接触する液晶パネルは、一度のスクライビング工程により、液晶パネルカップルの分離ができて、スクライビングの工程時間及びスクライビング工程時に、使用される装置のフィール消耗量が減少する。また、露光工程で、ブレードによりパターンが遺失する領域を重複して露光することによって、液晶表示装置用ベース基板に、パターンが望ましく形成される。
【００５１】
従って、本発明によると、多様な大きさの液晶パネルを配置する場合にも、ベース基板の効率が最大化できる。
液晶パネルカップル内に、液晶パネルの、少なくとも一領域を提供することによって、位置整列マークとスクライブラインの数は減少するので、スクライビング工程数だけではなく、個別的な液晶表示装置で液晶パネルを分離して、製造する工程が、従来の液晶パネルの配置に比べて減少する。
さらに、スクライビング装置の減少率は、液晶パネルの工程時間が少なくなるので減少する。
【００５２】
既存の従来技術に比べて、望むパターンは、二度の露光によって先に決定された液晶パネルを露光することによって形成される。
本発明は、適用できる装置(例えば、平板表示装置)の製造工程まで拡大適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】ベース基板上に配列された多数の液晶パネルの斜視図である。
【図２】前記図１による液晶パネルにより配置された位置整列マーク及びスクライブラインを示した図である。
【図３】本発明の一実施例による液晶パネルの配置構造を示した図である。
【図４】本発明の一実施例による液晶パネルの配置構造を示した図である。
【図５】本発明の一実施例による多様な大きさの液晶パネルの配置構造を示した図である。
【図６】本発明の一実施例による位置整列マークとスクライブラインの配置構造を示した図である。
【図７】本発明の一実施例によるベース基板の露光領域を示した図である。
【図８Ａ】前記図７による液晶パネルの露光工程を示した図である。
【図８Ｂ】前記図７による液晶パネルの露光工程を示した図である。
【符号の説明】
【００５４】
２００：液晶表示装置用ベース基板
２１０：液晶パネル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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