(57)【要約】【課題】高電圧、高温下、高湿度下で繰り返して作動する場合においても、内部電極間の短絡を抑制できる積層型電子部品を提供する。【解決手段】複数の誘電体と複数の内部電極とを積層してなり、前記誘電体層の厚みが５０μｍ以上であり、かつその厚みばらつきが１０μｍ以下とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の誘電体と複数の内部電極とを積層してなり、前記誘電体の厚みが５０μｍ以上であり、かつその厚みばらつきが１０μｍ以下であること特徴とする積層型電子部品。
【請求項２】
前記内部電極中の金属組成物がＶＩＩＩ族金属および／またはＩｂ族金属を主成分とすることを特徴とする請求項１記載の積層型電子部品。
【請求項３】
前記内部電極中のＶＩＩＩ族金属の含有量をＭ１（重量％）、Ｉｂ族金属の含有量をＭ２（重量％）としたとき、０＜Ｍ１≦１５、８５≦Ｍ２＜１００、Ｍ１＋Ｍ２＝１００を満足することを特徴とする請求項２記載の積層型電子部品。
【請求項４】
前記ＶＩＩＩ族金属がＮｉ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｉｒ、Ｒｕ、Ｏｓのうち少なくとも１種以上であり、Ｉｂ族金属がＣｕ、Ａｇ、Ａｕのうち少なくとも１種以上であることを特徴とする請求項２乃至３のいずれかに記載の積層型電子部品。
【請求項５】
前記ＶＩＩＩ族金属がＰｔ、Ｐｄのうち少なくとも１種以上であり、Ｉｂ族金属がＡｇ、Ａｕのうち少なくとも１種以上であることを特徴とする請求項２乃至４のいずれかに記載の積層型電子部品。
【請求項６】
前記ＶＩＩＩ族金属がＮｉであることを特徴とする請求項２乃至４のいずれかに記載の積層型電子部品。
【請求項７】
前記Ｉｂ族金属がＣｕであることを特徴とする請求項２乃至４のいずれかに記載の積層型電子部品。
【請求項８】
前記内部電極中に金属組成物とともに無機組成物を添加したことを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の積層型電子部品。
【請求項９】
前記無機組成物がＰｂＺｒＯ３−ＰｂＴｉＯ３からなるペロブスカイト型酸化物を主成分とすることを特徴とする請求項８記載の積層型電子部品。
【請求項１０】
前記誘電体がペロブスカイト型酸化物を主成分とすることを特徴とする請求項１乃至９のいずれかに記載の積層型電子部品。
【請求項１１】
前記誘電体がＰｂＺｒＯ３−ＰｂＴｉＯ３からなるペロブスカイト型酸化物を主成分とすることを特徴とする請求項１０記載の積層型電子部品。
【請求項１２】
前記積層体の側面に外部電極を有し、前記側面に端部が露出する内部電極と端部が露出しない内部電極とが交互に構成されており、該端部が露出していない内部電極と外部電極間の誘電体部分に溝が形成されており、この溝内に、誘電体よりもヤング率の低い絶縁体が充填されていることを特徴とする請求項１乃至１１のいずれかに記載の積層型電子部品。
【請求項１３】
厚み５０μｍ以上で厚みばらつきが１０μｍ以下である誘電体のシートをテープ成形により作製し、内部電極を印刷した後で積層し、焼成することを特徴とする請求項１乃至１２のいずれかに記載の積層型電子部品の製造方法。
【請求項１４】
スラリー粘度が１５ポイズ以上のスラリーを用いて前記シートを作成することを特徴とする請求項１３記載の積層型電子部品の製造方法。
【請求項１５】
前記シートは、バインダとしてアクリル、ブチラールを含み、溶媒としてアルコール、トルエンの少なくとも一種類を含むことを特徴とする請求項１３または１４記載の積層型電子部品の製造方法。
【請求項１６】
噴射孔を有する収納容器と、該収納容器に収納された請求項１乃至１２のいずれかに記載の積層型電子部品と、該積層型電子部品の駆動により前記噴射孔から液体を噴出させるバルブとを具備してなることを特徴とする噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、光学装置などの精密位置決め装置、振動防止用の駆動素子、あるいは自動車エンジンの燃料噴射用の駆動素子などに使用される積層型圧電アクチュエータ等の積層型電子部品とその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
圧電板は電圧を印加すると伸縮する逆圧電効果を有している。この場合、圧電板１枚１枚の伸縮量は微量であることから、従来から複数層の圧電体を積層して形成した積層型圧電アクチュエータが作製されている。
【０００３】
この積層型圧電アクチュエータは、圧電体に電圧を印加して数〜数１０μｍ伸長させ、アクチュエータの駆動力源とするものである。
【０００４】
図１に従来の積層型圧電アクチュエータの構造を示しており、（ａ）は斜視図、（ｂ）は側面図である。従来の積層型圧電アクチュエータは、圧電体１と内部電極２が交互に積層され、圧電体１と内部電極２が同時焼成されて形成されており、内部電極２は柱状積層体１０の４つの側面に左右互い違いに露出し、内部電極２が露出した柱状積層体１０の対向する２つの側面１０ｂに外部電極４を形成し、内部電極２と一層おきに交互に接続している。
【０００５】
このような積層型電子部品は、セラミックグリーンシートに内部電極ペーストを印刷し、この内部電極ペーストが塗布されたグリーンシートを複数層有する柱状積層体を作製していた（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００１−１８１０５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
近年、積層型圧電アクチュエータは、高応答性、大変位量を達成するために、高電圧を高周波数で印加して駆動させることが要求されており、上記積層型圧電アクチュエータでは、異なる極性の電圧が印加される内部電極の端部間が短絡し、駆動を低下させる問題があった。
【０００７】
即ち、図１に示すような従来の積層型圧電アクチュエータは、原料粉末と有機高分子から成るバインダ等を混合してスラリーを作製し、該スラリーを周知のドクターブレード法、カレンダーロール法、スリップキャスティング法等のテープ成形法により、圧電体１となるセラミックグリーンシートを作製して、これに内部電極を印刷し、積層して柱状積層体を得ていた。この成形方法では異物の混入や、乾燥むらなどによりテープの厚みのばらつきが大きく、内部電極２間の距離が短くなることがあり、内部電極２間において電気が短絡しやすい状態になっていた。特に絶縁性を上げるためシート厚みを厚くするとばらつきが大きくなった。
【０００８】
このため、上記のような高応答性、大変位量を達成するために、高電圧を高周波数で印加して駆動すると内部電極間で短絡が発生してしまうという問題があった。
【０００９】
特に、高温、高湿度下で駆動させた場合、電極成分のマイグレーションにより異なる電圧が印加される内部電極間で短絡が発生し易いという問題があった。
【００１０】
本発明は、高電圧、高温下、高湿度下で繰り返して作動する場合でも、内部電極間の短絡を抑制できる積層型電子部品を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の積層型電子部品は、複数の誘電体と複数の内部電極とを積層してなる電子部品本体を有し、前期誘電体の厚みが５０μｍ以上であり、かつその厚みばらつきが１０μｍ以下であること特徴とする。
【００１２】
また、本発明の積層型電子部品は、前記内部電極中の金属組成物がＶＩＩＩ族金属および／またはＩｂ族金属を主成分としたことを特徴とし、特に前記内部電極中のＶＩＩＩ族金属の含有量をＭ１（重量％）、Ｉｂ族金属の含有量をＭ２（重量％）としたとき、０＜Ｍ１≦１５、８５≦Ｍ２＜１００、Ｍ１＋Ｍ２＝１００を満足することを特徴とする。
【００１３】
また、本発明の積層型電子部品は、前記ＶＩＩＩ族金属がＮｉ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｉｒ、Ｒｕ、Ｏｓのうち少なくとも１種以上であり、Ｉｂ族金属がＣｕ、Ａｇ、Ａｕのうち少なくとも１種以上であることを特徴とする。
【００１４】
また、本発明の積層型電子部品は、前記ＶＩＩＩ族金属がＰｔ、Ｐｄのうち少なくとも１種以上であり、Ｉｂ族金属がＡｇ、Ａｕのうち少なくとも１種以上であることを特徴とする。
【００１５】
また、本発明の積層型電子部品は、前記ＶＩＩＩ族金属がＮｉであることを特徴とし、さらに前記Ｉｂ族金属がＣｕであることを特徴とする。
【００１６】
また、本発明の積層型電子部品は、前記内部電極中に金属組成物とともに無機組成物を添加することを特徴とし、特に前記無機組成物がＰｂＺｒＯ３−ＰｂＴｉＯ３からなるペロブスカイト型酸化物を主成分としたことを特徴とする。
【００１７】
また、本発明の積層型電子部品は、前記圧電体がペロブスカイト型酸化物を主成分とすることを特徴とし、特に前記圧電体がＰｂＺｒＯ３−ＰｂＴｉＯ３からなるペロブスカイト型酸化物を主成分とすることを特徴とする。
【００１８】
また、本発明の積層型電子部品は、前記積層体の側面に外部電極を有し、前記側面に端部が露出する内部電極と端部が露出しない内部電極とが交互に構成されており、該端部が露出していない内部電極と外部電極間の誘電体部分に溝が形成されており、この溝内に、誘電体よりもヤング率の低い絶縁体が充填されていることを特徴とする。
【００１９】
また、本発明の積層型電子部品の製造方法は、厚み５０μｍ以上で厚みばらつきが１０μｍ以下である誘電体のシートをテープ成形により作製し、内部電極を印刷後積層、焼成することにより得られる。また、スラリー粘度が１５ポイズ以上のであるスラリーを用いて前記シートを作成することを特徴としており、また前記シートはバインダとしてアクリル、ブチラールを含み、溶媒としてアルコール、トルエンの少なくとも一種類を含むことを特徴とするものである。
【００２０】
また、本発明の噴射装置は、噴射孔を有する収納容器と、該収納容器に収納された前記積層型電子部品と、該積層型電子部品の駆動により前記噴射孔から液体を噴出させるバルブとを具備してなることを特徴とする。
【００２１】
このような積層型電子部品は、内部電極間を短絡させるような内部電極間の厚みばらつきが小さいため、高電圧、高温下、高湿度下においても高い耐久性能を有することができる。特に、高電圧が印加される積層型圧電アクチュエータに関しては、内部電極間による短絡を抑制でき、高性能で高い信頼性が得られる。
【発明の効果】
【００２２】
このように、本発明の積層型電子部品によれば、内部電極間の厚みが５０μｍ以上でかつその厚みばらつきが１０μｍ以下であることによって、内部電極間での短絡が抑制され、高電圧、高温下、高湿度下においても高い耐久性能を有することができる。特に、高電圧が印加される積層型圧電アクチュエータにおいて、内部電極間での短絡を抑制できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の積層型電子部品の実施形態を積層型アクチュエータを例にとって図面に基づき説明する。
【００２４】
積層型アクチュエータは、図１に示すように、誘電体である複数の圧電体１と複数の内部電極２を交互に積層してなる四角柱の柱状積層体１０の対向する２つの側面１０ｂにおいて、内部電極２の端部が互い違いで一層おきに絶縁体３で被覆され、絶縁体３で被覆されていない内部電極２の端部を外部電極４の各々に接続し、各外部電極４にリード線５を接続固定して構成されている。
【００２５】
圧電体１の間には内部電極２が配されており、各圧電体１に所定の電圧を印加し、圧電体１に逆圧電効果による変位を起こさせる作用をなす。
【００２６】
そして、本発明の積層型圧電アクチュエータでは、この圧電体１の厚み、即ち内部電極２間の距離が５０μｍ以上好ましくは７０μｍさらに好ましくは８０μｍ以上で、かつそのばらつきが１０μｍ以下好ましくは８μｍ以下、さらに好ましくは５μｍ以下であることを特徴としている。これは内部電極２間の距離が短いかもしくはそのばらつきが大きいと、内部電極２間での短絡が生じ、積層型圧電アクチュエータが破損しやすくなるからである。
【００２７】
ここで、内部電極２間の距離のばらつきである圧電体１の厚みとは、複数箇所で測定したときの平均値であり、そのばらつきとは最大値と最小値との差のことである。
【００２８】
さらに、内部電極２中の金属組成物がＶＩＩＩ族金属および／またはＩｂ族金属を主成分とすることにより、内部電極２を高い耐熱性を有する金属組成で形成できるため、焼成温度の高い圧電体１との同時焼成が可能になる。
【００２９】
さらに、内部電極２中のＶＩＩＩ族金属の含有量をＭ１（重量％）、Ｉｂ族金属の含有量をＭ２（重量％）としたとき、０＜Ｍ１≦１５、８５≦Ｍ２＜１００、Ｍ１＋Ｍ２＝１００を満足することにより、内部電極２の比抵抗を小さくできるため、積層型圧電素子を長時間連続駆動させても、内部電極２の発熱を抑制することができる。併せて、積層型圧電素子の温度上昇を抑制できるため、素子変位量を安定化することができる。
【００３０】
さらに、前記ＶＩＩＩ族金属がＮｉ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｉｒ、Ｒｕ、Ｏｓのうち少なくとも１種以上であり、Ｉｂ族金属がＣｕ，Ａｇ、Ａｕのうち少なくとも１種以上であることにより、前記内部電極２の原料として、合金原料および混合粉原料のいずれでも使用することができる。
【００３１】
さらに、前記ＶＩＩＩ族金属がＰｔ、Ｐｄのうち少なくとも１種以上であり、Ｉｂ族金属がＡｇ、Ａｕのうち少なくとも１種以上であることにより、耐熱性および耐酸化性に優れた内部電極２を形成できる。
【００３２】
さらに、前記ＶＩＩＩ族金属がＮｉであることにより、駆動時の変位によって生じる応力を緩和することができるとともに、耐熱性に優れた内部電極２を形成できる。
【００３３】
さらに、前記Ｉｂ族金属がＣｕであることにより、駆動時の変位によって生じる応力を緩和することができるとともに、熱伝導性に優れた内部電極２を形成できる。
【００３４】
さらに、内部電極２中に金属組成物とともに無機組成物を添加することにより、内部電極２と圧電体１の界面の密着強度が増大するため、内部電極２と圧電体１の界面における剥離を抑制することができる。
【００３５】
さらに、圧電体１がＰｂＺｒＯ３−ＰｂＴｉＯ３からなるペロブスカイト型酸化物を主成分としたことにより、圧電体１と内部電極２を同時焼成することができるため、焼成工程を短縮でき、併せて内部電極２の比抵抗を小さくできる。
【００３６】
圧電体１は、例えば、上述したチタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３：以下ＰＺＴと略す）、或いはチタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）を主成分とする圧電セラミック材料等で形成されている。この圧電セラミックスは、その圧電特性を示す圧電歪み定数ｄ３３が高いものが望ましい。
【００３７】
さらに、焼成後は柱状積層体１０の４つの側面に内部電極２は露出しているが、少なくとも１つの側面において、内部電極２の端部を含む圧電体１の端面に一層おきに深さ５０〜５００μｍ、積層方向の幅３０〜２００μｍの溝が形成されており、該溝内にガラス、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、シリコーンゴム等を充填することによって絶縁体３が形成されることが信頼性の面から好ましい。
【００３８】
この絶縁体３により、柱状積層体１０の対向する２つの側面１０ｂにおいて、内部電極２の端部が互い違いで一層置きに絶縁され、内部電極２の絶縁されていない他方の端部は、外部電極４に接続されている。
【００３９】
なお、絶縁体３は、柱状積層体１０との接合を強固とするために、柱状積層体１０の変位に対して追従するような弾性率が低い材料、具体的にはシリコーンゴム等からなることが好適である。
【００４０】
外部電極４はＡｇ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｗ、Ｍｏ、ステンレス、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金等の導電性、弾性を備えた金属材料から成り、中でも、耐酸化性が良好で、導電性が良いという点から、Ａｇ、Ｎｉ、ステンレスが望ましい。また、外部電極４を低抵抗とし、さらに、柱状積層体１０の変位に対して追従するような伸縮性に富むようにするため、内部電極２と接続する部分にメッシュ部材を具備させ、かつ外部電極４の厚みを５０〜５００μｍ程度とすることが望ましい。
【００４１】
外部電極４は、外部からの挟持力により柱状積層体１０の対向する２つの側面１０ｂに押し当てられた状態で内部電極２と接続しても良い。また、半田等によって内部電極２と接続固定しても良い。
【００４２】
また、内部電極２の露出した柱状積層体１０の対向する２つの側面１０ｂに、蒸着、スパッタリング、メッキ等で薄膜の低抵抗部を予め形成しておき、この低抵抗部上に外部電極４を接続しても良い。
【００４３】
さらに、外部電極４にはリード線５が半田等により接続固定されている。このリード線５は外部電極４を外部の電圧供給部に接続する作用を有する。
【００４４】
そして、リード線５を介して一対の外部電極４に０．１〜３ｋＶ／ｍｍの直流電流を印加し、柱状積層体１０を分極処理することによって、積層型圧電アクチュエータが完成する。該積層型圧電アクチュエータに対して、リード線５を外部の電圧供給部に接続し、外部電極４を介して内部電極２に電圧を印加させれば、各圧電体１は逆圧電効果によって大きく変位する。この機能は、例えば、エンジンに燃料を噴射供給する自動車用燃料噴射装置として利用できる。
【００４５】
即ち、噴射口を有する収納容器と、該収納容器に収納された本発明の積層型圧電アクチュエータと、該積層型圧電素子の駆動により前記噴射孔から液体を噴出させるバルブとを具備して噴射装置を構成することができる。噴射装置では、上記したように、積層型圧電素子において、連続駆動させても、所望の変位量が実効的に変化しないために、装置が誤作動することなく、耐久性に優れた高信頼性の噴射装置を提供することができる。
【００４６】
次に、本発明の積層型圧電アクチュエータの製造方法を説明する。
【００４７】
本発明の積層型圧電アクチュエータは、先ず、ＰＺＴ等の圧電セラミックスの仮焼粉末と、アクリル系、ブチラール系等の有機高分子から成るバインダと、バインダを溶解させるためのアルコールや、トルエンなどの有機溶剤、ＤＢＰ（フタル酸ジオチル）、ＤＯＰ（フタル酸ジブチル）等の可塑剤を混合してスラリーを作製し、該スラリーを周知のドクターブレード法、カレンダーロール法、スリップキャスティング法等のテープ成形法により、厚みが５０μｍ以上で厚みばらつきが１０μｍ以下の圧電体１となるセラミックグリーンシートを作製する。
【００４８】
上記スラリーの粘度は１５ポイズ以上、好ましくは２０ポイズさらに好ましくは２５ポイズ以上であることが好ましい。シート厚みを厚くすると厚みばらつきが大きくなるが、粘度を高くして成形することにより厚みの均一なテープが得られる。またこれらの粘度にスラリーをするにはアクリル系、ブチラール系等の有機高分子から成るバインダと、バインダを溶解させるためにアルコールや、トルエンなどを用いることが好ましい。
【００４９】
次に、銀‐パラジウム粉末に、バインダ、可塑剤、及び必要に応じて上記圧電セラミックス仮焼粉末等を添加混合して、内部電極２を成す導電性ペーストを作製し、該導電ペーストを上記各グリーンシートの上面にスクリーン印刷等によって１〜４０μｍの厚みに印刷する。
【００５０】
そして、上面に導電性ペーストが印刷されたグリーンシートを積層し、任意の大きさに切断した後、所定の温度で脱バインダを行い、９００〜１０００℃で焼成することによって、柱状積層体１０を作製する。この際、焼成工程中に生じる変形、分解を抑制するために供材などを同時に焼成したり、密閉された焼成鉢で焼成したり、あるいは同一材料系の焼成鉢で焼成することが好ましい。
【００５１】
焼成後の柱状積層体１０の形状を整えるために、平面研削盤等で研削する。さらに、これらの研削後もしくは単独でも、炭化珪素やアルミナの砥粒を用いたラップ研磨や、ポリッシングで加工することが好ましい。
【００５２】
上記のようにして、複数の圧電体１と複数の内部電極２を交互に積層して成る柱状積層体１０が作製される。さらに、柱状積層体１０の対向する２つの側面１０ｂにおいて、内部電極２の端部を互い違いで一層置きに絶縁体３により絶縁し、内部電極の絶縁されていない他方の端部には、外部電極４が接続し、該外部電極４にリード線５を接続することによって、本発明の積層型圧電アクチュエータが作製される。
【００５３】
以上の実施形態では、圧電体と内部電極を複数積層したアクチュエータについて説明したが、本発明の積層型電子部品は積層型圧電アクチュエータに限るものではない。例えば、圧電体の代わりに他の誘電体を用いることにより、コンデンサ等の積層型電子部品とすることもできる。
【実施例】
【００５４】
先ず、ＰＺＴを主成分とする圧電セラミックスの仮焼粉末、ブチラールからなるバインダ、ＩＰＡ−トルエンからなる溶剤及び可塑剤を混合した表に示すスラリーを作製し、粘度を測定後スリップキャスティング法で厚み１００μｍのセラミックグリーンシートを作製した。
【００５５】
このグリーンシートの片面に、表記の成分の導電性ペーストをスクリーン印刷法により５μｍの厚みに印刷し、導電性ペーストを乾燥させた後、該導電性ペーストが塗布された複数のグリーンシートを１００枚積層し、さらに、この積層体の積層方向の両端部に、導電性ペーストが塗布されていないグリーンシートを上側１０枚、下側２０枚積層した。
【００５６】
次に、この積層体を１００℃で加熱を行いながら加圧することにより一体化し、８ｍｍ×８ｍｍの大きさの四角柱状に切断した後、８００℃で１０時間の脱バインダを行い、１０００℃で２時間、圧電体１と内部電極２を同時焼成して、図１に示す柱状積層体１０を得た。焼成の際、焼成鉢は密閉されたＭｇＯの鉢を用いて、積層体とともに同一組成の粉末を入れて焼成した。
【００５７】
得られた柱状積層体１０の４つの側面１０ａ及び１０ｂを研削した。
【００５８】
その後、柱状積層体１０の対向する２つの側面１０ｂにおいて、内部電極２端部を含む圧電体１の端面で互い違いになるよう、一層おきに深さ２００μｍ、積層方向の幅７５μｍの溝を形成し、これらの溝にシリコーンゴムを充填して絶縁体３を形成し、内部電極２の端部を一層おきに柱状積層体１０の対向する２つの側面１０ｂに露出させた。
【００５９】
この後、柱状積層体１０の対向する２つの側面１０ｂに、銀とポリイミド樹脂から成る導電性接着剤を塗布し、該導電性接着剤中にメッシュ部材を埋め込み、この状態で２００℃に加熱し、硬化することにより、外部電極４を形成した。
【００６０】
この後、両方の外部電極４にリード線５を半田で接続し、アクチュエータの外周面をアルコール等で洗浄した後、プライマー等で表面処理することによって樹脂の密着性を向上させ、ディッピング等の方法でシリコーンゴムを被覆した後に、１ｋＶの分極電圧を印加してアクチュエータ全体を分極処理し、図１に示す本発明の積層型圧電アクチュエータを得た。
【００６１】
得られた積層型圧電アクチュエータに２００Ｖの直流電圧を印加した結果、各アクチュエータは１０μｍの変位を得た。
【００６２】
さらに、これら積層型アクチュエータに０〜＋２００Ｖの交流電界を２００Ｈｚの周波数にて印加し、１５０℃で駆動試験を行った。駆動試験は、１×１０９サイクルまで積層型圧電アクチュエータを駆動させた後、改めて変位を測定し、初期の変位からの変動を調べた。この際、変動量の絶対値が０．５μｍ以下の時に異常なしとした。また、変位量の測定は、試料を防振台上に固定し、試料上面にアルミニウム箔を張り付けて、レーザー変位計により積層型アクチュエータの中心部、及び周囲部の３箇所で測定した値の平均値で評価した。
【００６３】
なお、駆動試験後の試料の断面で圧電体１の厚みを測定した。測定は、断面のＳＥＭ写真を用い、任意の５層の圧電体について、各１層ごとに任意の１０箇所の厚みを測定し、最大値と最小値の差をばらつきとした。結果は表１に示す通りである。
【表１】
2005243677.tif 000003
【００６４】
この表から、比較例である試料番号１では、厚みばらつきが１０μｍを超えていたために、１×１０７サイクルで内部電極２間の短絡が発生した。また、試料番号９では、圧電体１の厚みが薄く、内部電極間の厚みが薄すぎたために、分極中に破損した。
【００６５】
これらに対して、圧電体１の厚みが５０μｍ以上であり、かつ、そのばらつきが１０μｍ以下である本発明の実施例（試料番号２，３，４，５，６，７，８）では、内部電極２の端部間における短絡を抑制することができた。
【００６６】
特に、厚みが６０μｍ以上、ばらつきが７μｍ以下の実施例（試料番号３，４，５，７，８）では、最も優れた結果を示した。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】積層型電子部品の一例である積層型圧電アクチュエータを示す斜視図である。
【符号の説明】
【００６８】
１・・・圧電体
２・・・内部電極
３・・・絶縁体
４・・・外部電極
５・・・リード線
１０・・・柱状積層体
１０ａ・・・側面
１０ｂ・・・側面
【図１】
2005243677.tif 000004