(57)【要約】【課題】  放電電極の取り付け精度等によらずに、放電電極間におけるグロー放電の密度の偏りを防止する。【解決手段】  第１の回路Ａが、幅方向に関して放電空間Ｓの両側方の空間のうち一方の空間を経由して第１及び第２の放電電極５及び６を接続している。第２の回路Ｂが、他方の空間を経由して第１及び第２の放電電極５及び６を接続している。パルス電圧印加装置５１は、少なくともグロー放電の開始時点において、第１の回路Ａを通して放電電極５及び６間に印加するパルス電圧の瞬時値と、第２の回路Ｂを通して放電電極５及び６間に印加するパルス電圧の瞬時値とに差を生じさせることができる。【選択図】  図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の放電電極と、
前記第１の放電電極との間に放電空間を確保した状態で配置された第２の放電電極と、
一端が前記第１の放電電極に接続され、他端が前記第２の放電電極に接続され、第１のピーキングキャパシタを有する第１の回路と、
一端が前記第１の放電電極に接続され、他端が前記第２の放電電極に接続され、第２のピーキングキャパシタを有する第２の回路と、
前記第１のピーキングキャパシタと前記第２のピーキングキャパシタとに相互に異なる瞬時値をもつパルス電圧を印加することができるパルス電圧印加手段と
を備えたパルス放電装置。
【請求項２】
前記パルス電圧印加手段が、
電源と、
前記電源によって充電される中間キャパシタと、
前記中間キャパシタ及び前記第１のピーキングキャパシタと共に閉じた電流回路を構成し、該中間キャパシタから該第１のピーキングキャパシタへの電荷の移行を実質的に阻止する阻止状態、及び電荷の移行を実質的に許容する許容状態のいずれかの状態を選択的にとる第１のスイッチ手段と、
前記中間キャパシタ及び前記第２のピーキングキャパシタと共に閉じた電流回路を構成し、該中間キャパシタから該第２のピーキングキャパシタへの電荷の移行を実質的に阻止する阻止状態、及び電荷の移行を実質的に許容する許容状態のいずれかの状態を選択的にとる第２のスイッチ手段と
を有する請求項１に記載のパルス放電装置。
【請求項３】
前記パルス電圧印加手段が、前記第１及び第２のスイッチ手段の一方が他方よりも遅延して前記許容状態となるように、該第１及び第２のスイッチ手段の少なくともいずれか一方を制御する制御手段を有する請求項２に記載のパルス放電装置。
【請求項４】
前記第１及び第２のスイッチ手段の各々が、
磁気ヒステリシス特性を示すコアと、
前記コアに巻かれ、前記中間キャパシタと前記第１又は２のピーキングキャパシタとを接続する主巻線と、
前記コアに巻かれたリセット巻線とを有し、
前記制御手段が、前記第１及び第２のスイッチ手段のリセット巻線に相互に異なる大きさのリセット電流を供給することにより、該第１及び第２のスイッチ手段が前記許容状態になる時期を相互に異ならせる請求項３に記載のパルス放電装置。
【請求項５】
前記第１及び第２の放電電極が、軸方向に長く延在した形状をなしており、
前記第１の回路が、前記第１及び第２の放電電極の前記軸方向と直交する幅方向に関して前記放電空間の両側方の空間のうち、一方の空間を経由して該第１及び第２の放電電極を接続し、
前記第２の回路が、他方の空間を経由して該第１及び第２の放電電極を接続している請求項１〜４のいずれかに記載のパルス放電装置。
【請求項６】
前記第１及び第２の放電電極が、軸方向に長く延在した形状をなしており、
前記第１及び第２の回路が、前記第１の放電電極の外表面上に、前記軸方向と直交する幅方向に関して離散的に配置された複数の位置において該第１の放電電極と接続された導体を共有する請求項１〜５のいずれかに記載のパルス放電装置。
【請求項７】
第１の放電電極と、
前記第１の放電電極との間に放電空間を確保した状態で配置された第２の放電電極と、
一端が前記第１の放電電極に接続され、他端が前記第２の放電電極に接続されてこれら第１及び第２の放電電極間にパルス電圧を印加するパルス電圧印加回路であって、前記第１及び第２の放電電極のうち少なくともいずれか一方の放電電極との接続位置が、該放電電極の外表面上において複数離散的に画定されているパルス電圧印加回路と
を備えたパルス放電装置。
【請求項８】
さらに、前記第１及び第２の放電電極とレーザ媒質ガスとを収容する容器と、
前記第１及び第２の放電電極間に生じる放電によって前記レーザ媒質ガスが励起されることに基づいて発生する光を閉じ込めるとともに、閉じ込められた光の一部を外部に出射させる光共振器と
を備えた請求項１〜７に記載のパルス放電装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パルス放電装置に関し、特に一対の放電電極間にパルス電圧を印加することにより、それら放電電極間にグロー放電を発生させるパルス放電装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガスレーザ発振装置は、レーザ媒質ガスが収容されたチャンバ内に、一対の放電電極が放電空間を隔てて相対向して配置された構成を有する。これら放電電極間にパルス電圧を印加することにより、放電空間にグロー放電を発生させる。放電電極間にパルス電圧を印加するものとして、磁気パルス圧縮回路を備えたパルス電圧印加装置が知られている（特許文献１及び２参照）。グロー放電によってレーザ媒質ガスが励起されることに基づいてレーザ光が発生する。
【０００３】
なお、放電電極の近傍に予備電離電極を備えたガスレーザ発振装置も知られている。グロー放電の発生に先立って、放電電極と予備電離電極との間でコロナ放電を起こすことにより紫外光を発生させる。すると、その紫外光がレーザ媒質ガスを予めイオン化するため、グロー放電の起こりやすい状況が作り出される。これにより、アーク放電の発生を防止して、安定したグロー放電の発生を実現できる。
【０００４】
【特許文献１】特開平８−３１６７９５号公報
【特許文献２】特開平１１−９８８６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
レーザ光のビーム品質を良好なものとするためには、放電電極間に空間的に均一なグロー放電を発生させることが必要である。しかし、次のような理由によりグロー放電の均一化には限界があるため、レーザ光のビーム品質の向上にも限界が生じている。
【０００６】
例えば、放電電極の製作精度に限界がある。また、精度よく放電電極を製作できたとしても、そのチャンバ内への取り付け精度が問題となる。放電電極の製作精度又は取り付け精度が悪いと、放電電極間に均一なグロー放電を発生させることが困難となる。さらに、放電電極の表面は、パルス放電を繰り返し行うことにより次第に荒れるため、長期にわたって均一なグロー放電を保つことには限界がある。
【０００７】
また、予備電離電極の取り付け精度も問題となる。予備電離電極の取り付け精度が悪いと、コロナ放電によって発生した紫外光が放電空間を均一に照射しないことになる。その結果、グロー放電の起こりやすさの度合いが放電電極の幅方向の位置によって異なってしまうことになる。そのような場合には、放電電極の幅方向に関して均一なグロー放電を起こすことが困難となる。
【０００８】
また、通常チャンバ内においては、ファンによって放電電極間を幅方向に流れるレーザ媒質ガスのガス流が形成される。このガス流が、均一なグロー放電の発生の妨げになる場合があると考えられる。例えば、放電電極間において、レーザ媒質ガスの流速は、ガス流に沿ってファンから遠い位置程低下する場合がある。そのため、放電電極間の位置によってレーザ媒質ガスの流速が異なる事態が生じ、これに起因して放電電極間の位置によって放電の条件が変わってしまう結果、均一なグロー放電の発生が妨げられてしまうことが考えられる。
【０００９】
本発明の目的は、上述した放電電極や予備電離電極の取り付け精度等の問題によらずに、放電の偏りを防止することのできる技術を提供することにある。本発明の他の目的は、放電の密度を放電電極間の位置によって制御できる技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一観点によれば、第１の放電電極と、前記第１の放電電極との間に放電空間を確保した状態で配置された第２の放電電極と、一端が前記第１の放電電極に接続され、他端が前記第２の放電電極に接続され、第１のピーキングキャパシタを有する第１の回路と、一端が前記第１の放電電極に接続され、他端が前記第２の放電電極に接続され、第２のピーキングキャパシタを有する第２の回路と、前記第１のピーキングキャパシタと前記第２のピーキングキャパシタとに相互に異なる瞬時値をもつパルス電圧を印加することができるパルス電圧印加手段とを備えたパルス放電装置が提供される。
【発明の効果】
【００１１】
第１及び第２のピーキングキャパシタに相互に異なる瞬時値をもつパルス電圧を印加することができるので、少なくとも放電が開始する時点において、第１の回路を通して放電電極間に印加される電圧と、第２の回路を通して放電電極間に印加される電圧とに差を生じさせることができる。これにより、相対的に放電の生じにくい領域に、相対的に高い電圧を印加することが可能となる。その結果、放電の偏りが防止される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
図１を参照し、まず参考例について説明する。図１は、参考例によるパルス放電装置の等価回路図である。このパルス放電装置は、基本パルス電圧を生成するパルス発生回路１と、生成された基本パルス電圧のパルス幅を圧縮する磁気パルス圧縮回路２と、パルス幅が圧縮されたパルス電圧を一対の放電電極５及び６間に印加する電極部回路３とを有する。
【００１３】
パルス発生回路１の構成について説明する。直流電源である充電電源４の、非接地側の出力端子に、抵抗Ｒ、磁気アシストＬ０、主キャパシタＣ０、及びトランスＰＴの一次側巻線がこの順に直列接続されている。一端が主キャパシタＣ０に接続されたトランスＰＴの一次側巻線の他端は、共通アースＧＮＤに接続されている。なお、図示しないが、充電電源４の接地側の出力端子は、共通アースＧＮＤに接続されている。トランスＰＴの二次側巻線の非接地側の端部が、このパルス発生回路１の出力端子ＴＯＵＴである。
【００１４】
また、磁気アシストＬ０、主キャパシタＣ０、及びトランスＰＴの一次側巻線の直列接続に対して並列に、スイッチ素子ＳＷが接続されている。スイッチ素子ＳＷは、外部から与えられるトリガパルス信号に従い、抵抗Ｒと磁気アシストＬ０との間の接続点を共通アースＧＮＤに短絡するオン状態、及びその接続点と共通アースＧＮＤとを断絶するオフ状態の双方の状態を選択的にとる。
【００１５】
次に、磁気パルス圧縮回路２の構成について説明する。磁気パルス圧縮回路２は、第１段目〜第ｎ段目の複数段の圧縮回路によって構成されている。第１段目圧縮回路は、自己の入力端子ＴＩＮ−１と共通アースＧＮＤとの間に接続された第１段目キャパシタＣ１と、自己の入力端子ＴＩＮ−１と出力端子ＴＯＵＴ−１との間に接続された第１段目磁気スイッチＭＳ１と、第１段目磁気スイッチＭＳ１に対応して設けられた第１段目リセット回路ＲＥ１とを有する。
【００１６】
第１段目磁気スイッチＭＳ１は、磁気ヒステリシス特性を示すコアに、一端が入力端子ＴＩＮ−１に接続され、他端が出力端子ＴＯＵＴ−１に接続された主巻線が巻かれて構成され、主巻線を流れる電流（励磁電流）によってコアの磁化が飽和したときに自己のインダクタンスが急激にゼロに近づく現象を利用してスイッチング動作を行う。第１段目リセット回路ＲＥ１は、第１段目磁気スイッチＭＳ１のコアに巻かれたリセット巻線を有し、そのリセット巻線に、リセット電流を供給することにより、コアを逆励磁する。
【００１７】
図示しないが、第２段目〜第ｎ−１段目圧縮回路も、以上説明した第１段目圧縮回路と同様に構成されている。そして、第１段目〜第ｎ段目の圧縮回路が相互にカスケード接続されて磁気パルス圧縮回路２が構成されている。第１段目圧縮回路の入力端子ＴＩＮ−１がパルス発生回路１の出力端子ＴＯＵＴと接続され、最終段の第ｎ段目圧縮回路の出力端子ＴＯＵＴ−ｎが、電極部回路３の入力端子Ｔａ及びＴｂと接続されている。なお、ｎの値は任意である。例えば、ｎの値として３が選択される。
【００１８】
次に、電極部回路３の構成について説明する。電極部回路３は、第１及び第２の放電電極５及び６、予備電離電極７及び８、並びに第１及び第２の回路Ｃ及びＤを有する。第１及び第２の放電電極５及び６は、放電空間を隔てて相対向して配置されている。第２の放電電極６に接地電位が与えられる。予備電離電極７及び８は、第１の放電電極５の両側方に配置されている。
【００１９】
第１の回路Ｃは、第１のピーキングキャパシタＣｐａと第１のインダクタＬａとを有する。第１のインダクタＬａの一端は、第１の放電電極５に接続され、他端は第１のピーキングキャパシタＣｐａの非接地側の電極に接続されている。第１のピーキングキャパシタＣｐａの接地側の電極は、第２の放電電極６と接続されている。
【００２０】
第２の回路Ｄも同様に、第２のピーキングキャパシタＣｐｂと第１のインダクタＬｂとを有する。第２のインダクタＬｂの一端は、第１の放電電極５に接続され、他端は第２のピーキングキャパシタＣｐｂの非接地側の電極に接続されている。第２のピーキングキャパシタＣｐｂの接地側の電極は、第２の放電電極６と接続されている。
【００２１】
なお、第１及び第２のピーキングキャパシタＣｐａ及びＣｐｂのキャパシタンスは互いに等しい。また、第１及び第２のピーキングキャパシタＣｐａ及びＣｐｂの各々のキャパシタンスは、第１〜第ｎのキャパシタＣ１〜Ｃｎの各々のキャパシタンスよりも小さい。また、第１及び第２のインダクタＬａ及びＬｂのインダクタンスは互いに等しい。
【００２２】
第１の回路Ｃ上における第１のインダクタＬａと第１のピーキングキャパシタＣｐａとの間の接続点が入力端子Ｔａとなり、第２の回路Ｄ上における第２のインダクタＬｂと第２のピーキングキャパシタＣｐｂとの間の接続点がもう一方の入力端子Ｔｂとなる。入力端子ＴａとＴｂとは短絡されている。
【００２３】
以下、上記パルス放電装置の動作を説明する。パルス発生回路１において、スイッチ素子ＳＷがオフ状態のときに、充電電源４が主キャパシタＣ０を充電する。主キャパシタＣ０に印加される電圧は数ｋＶ程度である。次に、スイッチ素子ＳＷがオン状態にされると、主キャパシタＣ０に蓄積された電荷が開放され、主キャパシタＣ０と磁気アシストＬ０とで共振を起こすことにより、基本パルス電圧が発生する。発生した基本パルス電圧は、トランスＰＴにおいて所定の昇圧比（例えば１０倍）で昇圧され、出力端子ＴＯＵＴに出力される。
【００２４】
出力端子ＴＯＵＴに出力されたパルス電圧が、第１段目圧縮回路の第１段目キャパシタＣ１を充電する。第１段目キャパシタＣ１が充電されると、第１段目圧縮回路の第１段目磁気スイッチＭＳ１の主巻線に僅かな電流（励磁電流）が流れ始める。但し、このとき第１段目磁気スイッチＭＳ１のインダクタンスが大きいため、電流の急激な立ち上がりが抑止される。
【００２５】
励磁電流によって第１段目磁気スイッチＭＳ１のコアの磁化が飽和した瞬間に、第１段目磁気スイッチＭＳ１のインダクタンスが急激に低下して、この第１段目磁気スイッチＭＳ１を流れる電流が急激に増大する。これにより、第１段目キャパシタＣ１の放電が実質的に許容され、第１段目キャパシタＣ１に蓄積されていた電荷が、図示しない次段の第２段目圧縮回路の第２段目キャパシタＣ２に移行する。このようにして、第ｉ段目圧縮回路の第ｉ段目キャパシタＣｉに蓄積された電荷が、第ｉ段目圧縮回路の第ｉ段目磁気スイッチＭＳｉを介して、次段の第ｉ＋１段目圧縮回路の第ｉ＋１段目キャパシタＣｉ＋１へ移行する。
【００２６】
第ｉ段目磁気スイッチＭＳｉが許容状態となった後、第ｉ段目キャパシタＣｉから第ｉ＋１段目キャパシタＣｉ＋１へ電荷が移行するのに要する期間（ＴＣｉ−Ｃｉ＋１）は、第ｉ段目磁気スイッチＭＳｉの飽和時におけるインダクタンス等に依存する。ここで、第１段目〜第ｎ段目キャパシタＣ１〜Ｃｎのキャパシタンスを全て同一とし、第ｉ段目磁気スイッチＭＳｉを構成する主巻線の巻数をｉの増加とともに減少させた構成としていることにより、電荷の移行期間ＴＣｉ−Ｃｉ＋１をｉの増加とともに短くすることができる。即ち、パルス電圧のパルス幅は、ｉの値の増加とともに圧縮される。
【００２７】
なお、一旦スイッチング動作を行った後の第ｉ段目磁気スイッチＭＳｉには磁束が残留するため、そのままの状態では次回に適切なパルス圧縮を行えない。そこで、第ｉ段目リセット回路ＲＥｉが、第ｉ段目磁気スイッチＭＳｉにリセット電流を供給していわゆる磁気リセットを行うようにしている。
【００２８】
電極部回路３では、接続点ＴａとＴｂとが短絡されているため、第ｎ段目圧縮回路の第ｎ段目キャパシタＣｎの放電電流によって、第１及び第２のピーキングキャパシタＣｐａ及びＣｐｂが同時に充電される。このとき第１及び第２のピーキングキャパシタＣｐａ及びＣｐｂに印加される電圧は等しい。放電電極５と６との間に電流が流れていない状態、即ち第１及び第２のインダクタＬａ及びＬｂに電流が流れていない状態の時、第１及び第２のピーキングキャパシタＣｐａ及びＣｐｂに印加される電圧が放電電極５及び６間に印加される。
【００２９】
放電電極５及び６間の電圧が、絶縁破壊電圧以上になったときに、第１のピーキングキャパシタＣｐａと第１のインダクタＬａとで共振を起こし、また第２のピーキングキャパシタＣｐｂと第２のインダクタＬｂとで共振を起こしながら、放電電極５及び６間にグロー放電が発生する。
【００３０】
なお、グロー放電の発生に先立ち、予備電離電極７及び８によってコロナ放電が発生されることにより、予めグロー放電の起こりやすい状況が作り出される。以上説明したグロー放電の発生動作が、パルス発生回路１のスイッチ素子ＳＷによるスイッチング動作により繰り返し行われる。
【００３１】
図２(ａ)に、図１に示したパルス放電装置において圧縮されるパルス電圧の波形を示す。横軸は時間ｔを示し、縦軸は電圧を示す。便宜上、図１のスイッチ素子ＳＷをオンにした時点をｔ＝０とおいている。なお、ここではｎが３である場合、即ち図１の磁気パルス圧縮回路２が、３段構成である場合を例に挙げて説明する。
【００３２】
第１段目キャパシタＣ１の電極間電圧を示す波形ＶＣ１は、スイッチ素子ＳＷをオンにした時（ｔ＝０）に立ち上がり、期間ＴＣ０−Ｃ１を経過した時にピーク値をとる。期間ＴＣ０−Ｃ１は、図１において、主キャパシタＣ０から、トランスＰＴを介して第１段目キャパシタＣ１に電荷が移行する期間である。
【００３３】
波形ＶＣ１がピーク値から立ち下がると同時に、第２段目キャパシタＣ２の電極間電圧を示す波形ＶＣ２が立ち上がる。このことは、第１段目キャパシタＣ１が放電すると同時に、その放電電荷によって第２段目キャパシタＣ２が充電されることを意味する。波形ＶＣ２は、期間ＴＣ１−Ｃ２を経過した時にピーク値をとる。期間ＴＣ１−Ｃ２は、第１段目キャパシタＣ１から第２段目キャパシタＣ２に電荷が移行する期間である。
【００３４】
波形ＶＣ２がピーク値から立ち下がると同時に、第３段目キャパシタＣ３の電極間電圧を示す波形ＶＣ３が立ち上がる。このことは、第２段目キャパシタＣ２が放電すると同時に、その放電電荷によって第３段目キャパシタＣ３が充電されることを意味する。波形ＶＣ３は、期間ＴＣ２−Ｃ３を経過した時にピーク値をとる。期間ＴＣ２−Ｃ３は、第２段目キャパシタＣ２から第３段目キャパシタＣ３に電荷が移行する期間である。
【００３５】
波形ＶＣ３がピーク値から立ち下がると同時に、第１及び第２のピーキングキャパシタＣｐａ及びＣｐｂの各々の電極間電圧を示す波形ＶＣｐが立ち上がる。なお、第１のピーキングキャパシタＣｐａの電極間電圧を表す波形と、第２のピーキングキャパシタＣｐｂの電極間電圧を表す波形とは時間軸上で重なり合う。そこで、一方のピーキングキャパシタの電極間電圧を表す波形ＶＣｐのみを示している。波形ＶＣ３の立ち下がりと同時に波形ＶＣｐが立ち上がることは、第３段目キャパシタＣ３が放電すると同時に、その放電電荷によって第１及び第２のピーキングキャパシタＣｐａ及びＣｐｂが同時に充電されることを意味する。
【００３６】
上述したように、第１及び第２のピーキングキャパシタＣｐａ及びＣｐｂの各々のキャパシタンスは、第１〜第ｎのキャパシタＣ１〜Ｃｎの各々のキャパシタンスよりも小さいので、波形ＶＣｐは波形ＶＣ１〜ＶＣ３のピーク値以上の値をとる。但し、波形ＶＣｐは、波形ＶＣ１〜ＶＣ３のピーク値以上の値となった後、自己のピーク値をとる前に放電電極５及び６間の絶縁破壊電圧に達する。即ち、第３段目キャパシタＣ３から第１及び第２のピーキングキャパシタＣｐａ及びＣｐｂに電荷が移行する期間ＴＣ３−Ｃｐ内にグロー放電が発生する。
【００３７】
図２(ｂ)に、図２(ａ)に示したパルス電圧の波形に対応するパルス電流の波形を示す。横軸は時間を示し、縦軸は電流を示す。波形ＩＣ１、IＣ２、IＣ３、及びIＣｐが、それぞれパルス電圧の波形ＶＣ１、ＶＣ２、ＶＣ３、及びＶＣｐと対応する。パルス電圧のパルス幅の圧縮に伴ない、パルス電流のパルス幅も圧縮されている。以上、参考例について説明した。以下、実施例について説明する。
【００３８】
図３は、実施例によるパルス放電装置の等価回路図である。このパルス放電装置も基本パルス電圧を生成するパルス発生回路１１と、生成された基本パルス電圧のパルス幅を圧縮する磁気パルス圧縮回路１２と、パルス幅が圧縮されたパルス電圧を一対の放電電極５及び６間に印加する電極部回路１３とを有する。
【００３９】
パルス発生回路１１の構成は、図１に示したパルス発生回路１と同じである。磁気パルス圧縮回路１２も、図１に示した磁気パルス圧縮回路２と同様に、第１段目〜第ｎ段目の複数段の圧縮回路によって構成されている。第１段目圧縮回路から第ｎ−１段目圧縮回路までの構成は、図１に示した磁気パルス圧縮回路２と同じである。但し、最終段の第ｎ段目圧縮回路の構成が、図１に示した磁気パルス圧縮回路２とは異なる。
【００４０】
最終段の第ｎ段目圧縮回路は、入力端子ＴＩＮ−ｎと、第１及び第２の２つの出力端子ＴＯＵＴ−ｎａ及びＴＯＵＴ−ｎｂとを有する。入力端子ＴＩＮ−ｎと共通アースＧＮＤとの間に、結線２０によって互いに並列接続された第１及び第２の最終段キャパシタＣｎａ及びＣｎｂが接続されている。第１及び第２の最終段キャパシタＣｎａ及びＣｎｂの各々の非接地側電極と、第１の出力端子ＴＯＵＴ−ｎａとの間に、第１の最終段磁気スイッチＭＳｎａが接続されている。また、第１及び第２の最終段キャパシタＣｎａ及びＣｎｂの各々の非接地側電極と、第２の出力端子ＴＯＵＴ−ｎｂとの間に、第２の最終段磁気スイッチＭＳｎｂが接続されている。
【００４１】
なお、上記第１及び第２の最終段キャパシタＣｎａ及びＣｎｂによって中間キャパシタが構成されている。これら第１及び第２の最終段キャパシタＣｎａ及びＣｎｂのキャパシタンスは、両者の和が、第１段目〜第ｎ−１段目キャパシタＣ１〜Ｃｎ−１の各々のキャパシタンス（以下、基準キャパシタンスという。）と等しくなるように選択されている。具体的には、第１及び第２の最終段キャパシタＣｎａ及びＣｎｂの各々のキャパシタンスは、上記基準キャパシタンスの１／２である。
【００４２】
また、第１の最終段磁気スイッチＭＳｎａに対して第１の最終段リセット回路ＲＥｎａが設けられ、第２の最終段磁気スイッチＭＳｎｂに対して第２の最終段リセット回路ＲＥｎｂが設けられている。第１の最終段リセット回路ＲＥｎａが第１の最終段磁気スイッチＭＳｎａにリセット電流を供給し、第２の最終段リセット回路ＲＥｎｂが第２の最終段磁気スイッチＭＳｎｂにリセット電流を供給する。
【００４３】
また、第１及び第２の最終段リセット回路ＲＥｎａ及びＲＥｎｂを制御する制御部３０が設けられている。制御部３０は、第１の最終段リセット回路ＲＥｎａによって第１の最終段磁気スイッチＭＳｎａに供給されるリセット電流と、第２の最終段リセット回路ＲＥｎｂによって第２の最終段磁気スイッチＭＳｎｂに供給されるリセット電流との各々の大きさを制御する
これにより、例えば第２の最終段磁気スイッチＭＳｎｂａが許容状態になる時点を、第１の最終段磁気スイッチＭＳｎａが許容状態になる時点よりもΔＴだけ遅延させることができる。その結果、第２の出力端子ＴＯＵＴ−ｎｂにパルス電圧が現れる時点が、第１の出力端子ＴＯＵＴ−ｎａにパルス電圧が現れる時点よりもΔＴだけ遅延する。
【００４４】
次に、電極部回路１３の構成について説明する。電極部回路１３の構成自体は、図１に示した電極部回路３と同様である。但し、第１の回路Ａ上における第１のインダクタＬａと第１のピーキングキャパシタＣｐａとの入力端子Ｔａが、上述した最終段の第ｎ段目圧縮回路の第１の出力端子ＴＯＵＴ−ｎａと接続されている。また、第２の回路Ｂ上における第２のインダクタＬｂと第２のピーキングキャパシタＣｐｂの入力端子Ｔｂが、最終段の第ｎ段目圧縮回路の第２の出力端子ＴＯＵＴ−ｎｂと接続されている。
【００４５】
入力端子ＴａとＴｂとは短絡されていないため、第１の出力端子ＴＯＵＴ−ｎａに現れるパルス電圧の、第２のピーキングキャパシタＣｐｂへの移行は、第１及び第２のインダクタＬａ及びＬｂによって抑止される。また、第２の出力端子ＴＯＵＴ−ｎｂに現れるパルス電圧の、第１のピーキングキャパシタＣｐａへの移行は、第１及び第２のインダクタＬａ及びＬｂによって抑止される。従って、第１の出力端子ＴＯＵＴ−ｎａに現れるパルス電圧は、第１のピーキングキャパシタＣｐａを優先的に充電し、第２の出力端子ＴＯＵＴ−ｎｂに現れるパルス電圧は、第２のピーキングキャパシタＣｐｂを優先的に充電する。
【００４６】
図４(ａ)に、図３に示したパルス放電装置において圧縮されるパルス電圧の波形を示す。以下、図４(ａ)を参照しつつ、図３に示したパルス放電装置の動作を説明する。図４(ａ)において横軸は時間ｔを示し、縦軸は電圧を示す。便宜上、第ｎ−２段目磁気スイッチＭＳｎ−２が許容状態になった時点をｔ＝０とおく。ｔ＝０の時点前のパルス波形は、図２に示したパルス波形と同様である。
【００４７】
第ｎ−１段目キャパシタＣｎ−１の電極間電圧を表す波形ＶＣｎ−１は、第ｎ−２段目磁気スイッチＭＳｎ−２が許容状態となった時点（ｔ＝０）から、期間ＴＣｎ−２−Ｃｎ−１が経過した時にピーク値をとる。期間ＴＣｎ−２−Ｃｎ−１は、第ｎ−２段目キャパシタＣｎ−２から、第ｎ−１段目キャパシタＣｎ−１に電荷が移行する期間である。
【００４８】
波形ＶＣｎ−１がピーク値から立ち下がるのと同時に、第１の最終段キャパシタＣｎａと第２の最終段キャパシタＣｎｂとによって構成される中間キャパシタの電極間電圧を示す波形ＶＣｎが同時に立ち上がる。なお、図３において、結線２０が第１及び第２の最終段キャパシタＣｎａ及びＣｎｂを並列に接続しているため、第１の最終段キャパシタＣｎａの電極間電圧を表す波形と、第２の最終段キャパシタＣｎｂの電極間電圧を表す波形とは時間軸上で重なり合う。
【００４９】
波形ＶＣｎは、波形ＶＣｎ−１がピーク値から立ち下がる時点から、期間ＴＣｎ−１−Ｃｎを経過した時に同時にピーク値をとっている。期間ＴＣｎ−１−Ｃｎは、第ｎ−１段目キャパシタＣｎ−１から、第１及び第２の最終段キャパシタＣｎａ及びＣｎｂへ電荷が移行する期間である。波形ＶＣｎがピーク値をとる時点に、第１のピーキングキャパシタＣｐａの電極間電圧を示す波形ＶＣｐａが立ち上がる。このことは、波形ＶＣｎがピーク値をとる時点に、図３の第１の最終段磁気スイッチＭＳｎａが許容状態になることを意味する。
【００５０】
また、波形ＶＣｐａの立ち上がり時点からΔＴだけ遅延して、第２のピーキングキャパシタＣｐｂの電極間電圧を示す波形ＶＣｐｂが立ち上がる。これは上述したように、図３において第２の最終段磁気スイッチＭＳｎｂが許容状態になる時点を、第１の最終段磁気スイッチＭＳｎａが許容状態になる時点よりもΔＴだけ遅延させたことを意味する。なお、波形ＶＣｐｂが立ち上がる時点において、上記中間キャパシタの電極間電圧を示す波形ＶＣｎが不連続に変化している。
【００５１】
ここで、第２の最終段磁気スイッチＭＳｎｂが許容状態になるタイミングを、第１の最終段磁気スイッチＭＳｎａが許容状態になるタイミングよりも遅延させる方法について具体的に説明する。一般に、前段の磁気スイッチが許容状態になった時から、次段の磁気スイッチが許容状態になる時までの間の待ち期間ＴＷは、ＴＷ＝（Ａ×ΔＢ×ｎ１）／Ｖで表される。但し、ΔＢは、ΔＢ＝μ０×ｎ２×Ｉで表される。
【００５２】
ここに、Ｖは次段の磁気スイッチに印加されるパルス電圧の半周期分の平均値を表す。Ａは次段の磁気スイッチのコアの断面積を表す。ｎ１は次段の磁気スイッチの主巻線の巻数を表す。ｎ２は次段の磁気スイッチのリセット巻線の巻数を表す。μ０は真空の透磁率を表す。Ｉは次段の磁気スイッチのリセット巻線を流れるリセット電流の大きさを表す。なお、リセット電流は定電流である。ΔＢは有効磁化スイングを表す。
【００５３】
上式において、例えばリセット電流Ｉが大きい程、有効磁化スイングΔＢを大きくとることができるので、待ち時間ＴＷを長くすることができる。そこで、例えば第２の最終段リセット回路ＲＥｎｂが第２の最終段磁気スイッチＭＳｎｂに供給する第２のリセット電流を、第１の最終段リセット回路ＲＥｎａが第１の最終段磁気スイッチＭＳｎａに供給する第１のリセット電流よりも大きく設定することにより、第２の最終段磁気スイッチＭＳｎｂが許容状態になるタイミングを、第１の最終段磁気スイッチＭＳｎａが許容状態になるタイミングよりも遅延させることができる。
【００５４】
なお、遅延時間ΔＴは、第１のリセット電流と第２のリセット電流との差によって調整できる。従って、図３に示した制御部３０は、第１のリセット電流と第２のリセット電流との差によって遅延時間ΔＴを制御することができる。但し、図４(ａ)に示すように、遅延時間ΔＴは、波形ＶＣｐｂが、波形ＶＣｐａのパルス幅を表す期間ＴＣｎ−Ｃｐ内に立ち上がる程度の値とする。
【００５５】
波形ＶＣｐｂの立ち上がり時点を、波形ＶＣｐａの立ち上がり時点よりもΔＴだけ遅延させたことにより、波形ＶＣｐｂの瞬時値、即ち第２のパルス電圧の瞬時値が、同時点における波形ＶＣｐａの瞬時値、即ち第１のパルス電圧の瞬時値よりも小さくなっている。なお、第１及び第２のパルス電圧の瞬時値の差は、遅延時間ΔＴに依存する。このことは、図３において、第１のピーキングキャパシタＣｐａの電極間電圧と、第２のピーキングキャパシタＣｐｂの電極間電圧とに、遅延時間ΔＴに依存した差をもたせつつ、これら第１及び第２のピーキングキャパシタＣｐａ及びＣｐｂを充電させることができることを意味する。
【００５６】
波形ＶＣｐｂの瞬時値が、波形ＶＣｐａの瞬時値よりもΔＶだけ小さい状態でグロー放電が開始している。このことは、図３において、グロー放電の開始時点には、第２のピーキングキャパシタＣｐｂを有する第２の回路Ｂを通して放電電極間５及び６間に印加されるパルス電圧の瞬時値が、第１のピーキングキャパシタＣｐｂを有する第１の回路Ａを通して放電電極５及び６間に印加されるパルス電圧の瞬時値よりも小さいことを意味する。
【００５７】
なお、図４(ａ)には示さないが、グロー放電が開始した後のある時点、具体的には期間ＴＣｎ−Ｃｐの終了時点に、波形ＶＣｐａと波形ＶＣｐｂとが融合して一つの振動波形が形成されると考えられる。上述したように、第１及び第２のピーキングキャパシタＣｐａ及びＣｐｂのキャパシタンスは、第１段目〜第ｎ−１段目キャパシタＣ１〜Ｃｎ−１のキャパシタンスよりも小さいので、波形ＶＣｐａ及びＶＣｐｂは、波形ＶＣｎ−１及びＶＣｎのピーク値よりも大きい値をとる。但し、波形ＶＣｐａ及びＶＣｐｂがピーク値をとる前にグロー放電が開始している。
【００５８】
なお、期間ＴＣｎ−Ｃｐが、期間ＴＣｎ−１−Ｃｎよりも短いことは、図３において、第１及び第２の最終段磁気スイッチＭＳｎａ及びＭＳｎｂは、許容状態となったときには、それぞれ第１及び第２の最終段キャパシタＣｎａ及びＣｎｂに蓄積されている電荷を、図示しない第ｎ−１段目キャパシタＣｎ−１が放電するパルス電圧（以下、準圧縮パルス電圧という。）のパルス幅よりも短い期間で放電することを許容することを意味する。即ち、第１及び第２の最終段磁気スイッチＭＳｎａ及びＭＳｎｂは、遅延時間Δｔを生成することのみならず、準圧縮パルス電圧のパルス幅を圧縮することにも寄与している。
【００５９】
図４(ｂ)に、上記パルス電圧の波形に対応したパルス電流の波形を示す。横軸は時間を示し、縦軸は電流を示す。波形ＩＣｎ−１は、波形ＶＣｎ−１と対応する。波形ＩＣｎは、波形ＶＣｎと対応する。波形ＩＣｐａは、波形ＶＣｐａと対応する。波形ＩＣｐｂは、波形ＶＣｐｂと対応する。なお、図４(ｂ)には示さないが、グロー放電が開始した後においては、波形ＩＣｐａと波形ＩＣｐｂとが融合して一つの振動波形が形成されると考えられる。上記期間ＴＣｎ−Ｃｐの終了の時点に、波形ＩＣｐｂが波形ＩＣｐａと融合すると考えられる。
【００６０】
図５に、図３に示したパルス放電装置を備えたガスレーザ発振装置の断面図を示す。図５(ａ)は発振するレーザ光の光軸に垂直な断面図であり、図５(ｂ)はレーザ光の光軸に平行な断面図である。レーザ媒質ガスが充電されたチャンバ５０の内部に、上記放電電極５及び６が、放電空間Ｓを隔てて相対向した状態で配置されている。放電電極５及び６は、図５(ｂ)に示すように、軸方向（図５(ｂ)の左右方向）に長く延在している。
【００６１】
また、チャンバ５０内には、セラミック等の絶縁体からなる中空筒状の収容器５１が配置されている。収容器５１も、図５(ｂ)に示すように、軸方向に長く延在している。収容器５１の内部には、図３に示したパルス放電装置の、放電電極５及び６並びに予備電離電極７及び８を除く部分の回路（以下、パルス電圧印加装置５２という。）が収容されている。なお、収容器５１の内部は絶縁油で満たされている。
【００６２】
接地側の放電電極（上記第２の放電電極）６は、接地部材５３によってチャンバ５０の内壁と電気的に接続されている。チャンバ５０は、導電性を有する材料で形成されており、それ自体に接地電位ＧＮＤが与えられている。接地部材５３に、第１及び第２の導電部材５４ａ及び５４ｂが接続されている。第１及び第２の導電部材５４ａ及び５４ｂが、接地部材５３を介して放電電極６をパルス電圧印加装置５２と接続している。
【００６３】
なお、図５(ｂ)では、第１及び第２の導電部材５４ａ及び５４ｂの図示を省略しているが、第１及び第２の導電部材５４ａ及び５４ｂも軸方向に長く延在している。図５(ａ)に示すように、第１及び第２の導電部材５４ａ及び５４ｂは、ともに断面視略くの字状をなしており、放電電極５及び６を挟んで、互いの凹面を放電電極５及び６の幅方向（図５(ａ)の左右方向）に向かい合わせた状態で配置されている。
【００６４】
一方、非接地側の放電電極（上記第１の放電電極）５は、図３にも示されている第３及び第４の導電部材５５ａ及び５５ｂによって、パルス電圧印加装置５２と接続されている。図５(ｂ)には示さないが、第３及び第４の導電部材５５ａ及び５５ｂも、軸方向に長く延在している。
【００６５】
第３及び第４の導電部材５５ａ及び５５ｂは、放電電極５の裏面に接続されている。第３及び第４の導電部材５５ａ及び５５ｂの、放電電極５の裏面との接続位置は、放電電極５の幅方向に離散的に画定されている。具体的には、第３の導電部材５５ａは、放電電極５の裏面内における幅方向一端部（右端部）と接続され、第４の導電部材５５ｂは、放電電極５の裏面内における幅方向他端部（左端部）と接続されている。
【００６６】
また、放電電極５の近傍には、図３にも示した予備電離電極７及び８が設けられている。予備電離電極７及び８も、図５(ｂ)に示すように、軸方向に長く延在している。予備電離電極７及び８は、第３及び第４の導電部材５５ａ及び５５ｂを介してパルス電圧印加装置５２と接続されている。
【００６７】
上述した第１の導電部材５４ａ及び接地部材５３と、第３及び第４の導電部材５５ａ及び５５ｂとを含んで図３にも示した第１の回路Ａが構成されている。また、第２の導電部材５４ｂ及び接地部材５３と、第３及び第４の導電部材５５ａ及び５５ｂとを含んで図３にも示した第２の回路Ｂが構成されている。なお、第３及び第４の導電部材５５ａ及び５５ｂが、第１及び第２の回路Ａ及びＢによって共有される回路部分を構成している。
【００６８】
なお、第１〜第４の導電部材５４ａ、５４ｂ、５５ａ、及び５５ｂは、それぞれ収容器５１を貫通してパルス電圧印加装置５２と接続されている。それらの貫通部分は気密構造となっている。また、第１〜第４の導電部材５４ａ、５４ｂ、５５ａ、及び５５ｂは、例えば銅板によって構成してよい。
【００６９】
なお、チャンバ５０内には、熱交換器５６やファン５７も配置されている。熱交換器５６は、レーザ媒質ガスを冷却する。ファン５７は、チャンバ５０内でレーザ媒質ガスを循環させることにより、放電電極５及び６の間を幅方向に通過するガス流Ｆを形成する。なお、図示はしないが、第１及び第２の導電部材５４ａ及び５４ｂの各々には、幅方向からみて、レーザ媒質ガスの通過を許容する貫通孔（スリット）が形成されているので、ガス流Ｆは妨げられない。
【００７０】
また、図５(ｂ)に示すように、軸方向に向かい合うように一対の光透過窓６１及び６２が配置されている。光透過窓６１及び６２は、気密なチャンバ５０の側壁の一部を構成している。チャンバ５０の外部において、一方の光透過窓６１と対向する位置には全反射鏡６３が配置され、他方の光透過窓６２と対向する位置には部分反射鏡６４が配置されている。これら全反射鏡６３及び部分反射鏡６４によって光共振器が構成されている。
【００７１】
以下、このガスレーザ発振装置の動作を説明する。パルス電圧印加装置５２が、接地部材５３並びに第１〜第４の導電部材５４ａ、５４ｂ、５５ａ、及び５５ｂを介して、放電電極５及び６間にパルス電圧を印加する。これにより、放電電極５及び６間に、放電空間Ｓにわたるグロー放電が生じる。
【００７２】
図５(ａ)において、第１の回路Ａを構成する第１の導電部材５４ａが、幅方向に関して放電電極５及び６の一方の側方（右側方）の位置において接地部材５３と接続されており、第２の回路Ｂを構成する第２の導電部材５４ｂが、幅方向に関して放電電極５及び６の他方の側方（左側方）の位置において接地部材５３と接続されている。そして、第１の回路Ａが、幅方向に関して放電空間Ｓの一方の側方（右側方）の空間を経由し、第２の回路Ｂが、幅方向に関して放電空間Ｓの他方の側方（左側方）の空間を経由している。
【００７３】
これにより、第１の回路Ａを通して放電電極５及び６間に印加されるパルス電圧の大きさは、放電空間Ｓ内における上記一方の側方（右側方）の空間寄りの第１の領域ＳＡでのグロー放電の密度に優先的に反映される。また、第２の回路Ｂを通して放電電極５及び６間に印加されるパルス電圧の大きさは、放電空間Ｓ内における上記他方の側方（左側方）の空間寄りの第２の領域ＳＢでのグロー放電の密度に優先的に反映される。
【００７４】
そして、上述したように、パルス電圧印加装置５２によれば、少なくともグロー放電の開始時点において、第１の回路Ａを通して放電電極５及び６間に印加するパルス電圧と、第２の回路Ｂを通して放電電極５及び６間に印加するパルス電圧とに差ΔＶをもたせることができる。これにより、第１及び第２の領域ＳＡ及びＳＢのうち、相対的に放電の生じにくい方の領域に、相対的に高い電圧を印加することが可能となる。その結果、放電空間Ｓ内におけるグロー放電の偏りが防止される。
【００７５】
放電電極５及び６間に生じたグロー放電が、放電空間Ｓに満たされたレーザ媒質ガスを励起することに基づいてレーザ光Ｌが発生する。グロー放電の偏りを防止できるから、レーザ光Ｌのビーム品質の向上を図ることができる。全反射鏡５８と部分反射鏡５９とで構成される光共振器が、レーザ光Ｌを閉じ込めるとともに、閉じ込められたレーザ光Ｌの一部を外部に出射させる。
【００７６】
図６(ａ)に、参考のために、図１に示したパルス放電装置を備えたガスレーザ発振装置の要部断面図を示す。このガスレーザ発振装置では、収容器５１の内部に、図１に示したパルス放電装置の、放電電極５及び６並びに予備電離電極７及び８を除く部分の回路（以下、パルス電圧印加装置７０という。）が配置されている。上述したように、パルス電圧印加装置７０によれば、第１の回路Ｃを通して放電電極５及び６間に印加されるパルス電圧の瞬時値と、第２の回路Ｄを通して放電電極５及び６間に印加するパルス電圧の瞬時値とは等しい。この点以外の構成は、図５(ａ)に示したガスレーザ発振装置の構成と同様である。
【００７７】
第１及び第２の回路Ｃ及びＤによって共有される第３及び第４の導電部材５５ａ及び５５ｂが、第１の放電電極５の幅方向両端部に接続されているため、これら第３及び第４の導電部材５５ａ及び５５ｂを用いて、第１の放電電極５に幅方向両端部から放電電流を流入させることができる。これにより、第１の放電電極５の幅方向中央部のみから放電電流を流入させる場合に比べると、グロー放電の均一さを向上しうる。
【００７８】
しかし、例えば放電電極５及び６の取り付け精度等に起因して、幅方向に関して放電空間Ｓ内における一端部（左端部）でのグロー放電の起こり易さの度合いが、他端部（右端部）でのグロー放電の起こり易さの度合いよりも高くなると、仮に第１及び第２の回路Ｃ及びＤの各々を通して印加されるパルス電圧が均等であっても、図６(ａ)に示すように一端部（左端部）でのグロー放電の密度が、他端部（右端部）でのグロー放電の密度よりも高くなってしまう。放電電極５及び６の取り付け精度等には限界があるため、このままではグロー放電の密度の偏り防止には限界がある。
【００７９】
図６(ｂ)に、図５に示したガスレーザ発振装置の要部断面図を示す。図６(ａ)に示したグロー放電の不均一さをキャンセルすることを考える。図６(ａ)では、放電空間Ｓ内における一端部（左端部）の領域でのグロー放電の起こりやすさの度合いが、他端部（右端部）の領域でのグロー放電の起こりやすさの度合いよりも高くなっている。そこで、第２の回路Ｂを通して印加するパルス電圧を、第１の回路Ａを通して印加するパルス電圧よりも小さくすることができれば、グロー放電の不均一さをキャンセルできる。
【００８０】
これは上述したとおり、図３において、第２の最終段磁気スイッチＭＳｎｂが許容状態になる時点を、第１の最終段磁気スイッチＭＳｎａが許容状態になる時点よりも遅延させることにより実現できる。これにより、放電電極５及び６の取り付け精度等によらずに、図６(ｂ)に示すようにグロー放電の偏りを防止できる。
【００８１】
ところで、グロー放電の密度分布は放電電極５及び６の表面状態等に依存して経時的に変化する。従って、上述のようにしてグロー放電の偏りを防止する措置をとった後においても、再びグロー放電の均一さが悪化することも考えられる。例えば、今度は、放電空間Ｓ内における他端部（右端部）の領域でのグロー放電の起こりやすさの度合いが、一端部（左端部）の領域でのグロー放電の起こりやすさの度合いよりも高くなってしまったとする。
【００８２】
そのような場合は、図３に示した制御部３０が、今度は第１の最終段磁気スイッチＭＳｎａが許容状態になる時点を、第２の最終段磁気スイッチＭＳｎｂが許容状態になる時点よりも遅延させる。これは、第２のリセット電流が、第１のリセット電流よりも小さくなるように第１及び第２の最終段リセット回路ＲＥｎａ及びＲＥｎｂの少なくともいずれか一方を制御することにより実現できる。これにより、第２の回路Ｂを通して放電電極５及び６間に印加するパルス電圧の瞬時値を、第１の回路Ａを通して放電電極５及び６間に印加するパルス電圧の瞬時値よりも大きくすることができるから、グロー放電の偏りを防止できる。
【００８３】
以上、実施例について説明したが、本発明はこれに限られない。例えば、図３においては第１及び第２の最終段キャパシタＣｎａ及びＣｎｂによって中間キャパシタが構成されることとしたが、中間キャパシタは一つのキャパシタのみによって構成してもよい。例えば、第１及び第２の最終段キャパシタＣｎａ及びＣｎｂのうちいずれか一方を省略し、残した他方のキャパシタのキャパシタンスを上記基準キャパシタンスと一致させてもよい。また、図５(ａ)において接地側の導電部材は必ずしも第１の接地側導電部材５５ａと第２の接地側導電部材５５ｂとの２つに分けなくてもよく、一つの接地側導電部材のみを用いてもよい。
【００８４】
また、実施例においては、グロー放電の密度の偏りを防止することを目的としたが、第１の回路Ａを通して放電電極５及び６間に印加するパルス電圧と、第２の回路Ｂを通して放電電極５及び６間に印加するパルス電圧とに差ΔＶをもたせることにより、放電空間内に意図的に放電の密度分布を形成できることは自明であろう。即ち、放電の密度を放電電極間の位置によって制御することができる。本発明は、ガスレーザ発振装置のみならず、パルス電圧を用いて一対の電極間に放電を起こす装置（例えば電気集塵装置等）にも広く適用できる。この他、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】参考例によるパルス放電装置の等価回路図である。
【図２】参考例によるパルス放電装置によって圧縮されるパルス電圧波形及びパルス電流波形の概略図である。
【図３】実施例によるパルス放電装置の等価回路図である。
【図４】実施例によるパルス放電装置によって圧縮されるパルス電圧波形及びパルス電流波形の概略図である。
【図５】(ａ)は実施例によるパルス放電装置を組み込んだガスレーザ発振装置の縦断面図であり、(ｂ)は同ガスレーザ発振装置の横断面図である。
【図６】(ａ)は参考例によるパルス放電装置を備えたガスレーザ発振装置の要部断面図であり、(ｂ)は実施例によるパルス放電装置を備えたガスレーザ発振装置の要部断面図である。
【符号の説明】
【００８６】
１、１１  基本パルス発生回路
２、１２  磁気パルス圧縮回路
３、１３  電極部回路
４  充電電源（電源）
５  第１の放電電極
６  第２の放電電極
７、８  予備電離電極
Ｃｉ  第ｉ段目キャパシタ
ＭＳｉ  第ｉ段目磁気スイッチ
ＲＥｉ  第ｉ段目リセット回路
Ｃｐａ  第１のピーキングキャパシタ
Ｃｐｂ  第２のピーキングキャパシタ
Ｌａ  第１のリアクタ
Ｌｂ  第２のリアクタ
Ｃｎａ  第１の最終段キャパシタ（中間キャパシタ）
Ｃｎｂ  第２の最終段キャパシタ（中間キャパシタ）
ＭＳｎａ  第１の最終段磁気スイッチ（第１のスイッチ手段）
ＭＳｎｂ  第１の最終段磁気スイッチ（第２のスイッチ手段）
ＲＥｎａ  第１の最終段リセット回路
ＲＥｎｂ  第２の最終段リセット回路
Ａ、Ｃ  第１の回路
Ｂ、Ｄ  第２の回路
２０  結線
５０  チャンバ（容器）
５１  収容器
５２、７０  パルス電圧印加装置（パルス電圧印加手段）
５３  接地部材
５４ａ  第１の導電部材
５４ｂ  第２の導電部材
５５ａ  第３の導電部材
５５ｂ  第４の導電部材
５６  熱交換器
５７  ファン
６１、６２  光透過窓
６３  全反射鏡
６４  部分反射鏡
Ｓ  放電空間
ＳＡ  第１の領域
ＳＢ  第２の領域
Ｆ  ガス流
【図１】
2005243927.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2005243927.tif 000007
【図６】
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