(57)【要約】【課題】  本発明は、ヘール工具に関し、特にヘール切削による溝加工に適用して、種々の断面形状による溝を従来に比して短時間で高い精度により作成することができる。【解決手段】  本発明は、溝の底面に対応する部位より立ち上がる両側の部位において、逃げ面角を異なる角度（α、β）に設定する。【選択図】  図８
2005186272.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヘール切削による溝加工に供するヘール工具であって、
溝の底面に対応する部位より立ち上がる両側の部位において、逃げ面角が異なる角度に設定された
ことを特徴とするヘール工具。
【請求項２】
工具先端の幅が切削に供する部位の根元側より幅広である
ことを特徴とする請求項１に記載のヘール工具。
【請求項３】
前記工具先端の幅広側の両端のコーナーが、曲面により形成された
ことを特徴とする請求項２に記載のヘール工具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ヘール工具に関し、特にヘール切削による溝加工に適用することができる。本発明は、溝の底面に対応する部位より立ち上がる両側の部位において、逃げ面角を異なる角度に設定することにより、種々の断面形状による溝を従来に比して短時間で高い精度により作成することができるようにする。
【背景技術】
【０００２】
従来、金型等の加工においては、加工対象の形状データより作成したＮＣデータである加工データにより加工装置を駆動して、この形状データにより表される形状を作成するようになされている。このような加工データにおいて、溝を作成する場合、従来の加工工程においては、例えばヘール切削により溝加工するようになされている。
【０００３】
すなわちヘール切削により溝を作成する場合、切削工程においては、溝の経路に沿って工具を移動させながら、溝の深さ方向に順次段階的に工具を移動させ、これにより深さ方向に順次段階的に切削加工して溝形状を形成するようになされている。
【０００４】
このような基本的な動作により溝加工するヘール切削においては、例えば特公昭６３−５４４８５号公報に記載のように、このようにして切削加工する溝の断面形状と同一形状のヘール工具を使用することにより、単に深さ方向に切削加工するだけで所望の形状による溝を作成することができる。
【０００５】
これに対してこのような溝形状と同一形状によるヘール工具を採用できない場合、例えば図１８（Ａ）に示すように、目標とする溝形状より小さな断面形状により溝を作成した後、図１８（Ｂ）において矢印Ａにより示すように、溝壁面の更なる切削加工により、また矢印Ｂにより示すように、表面からの更なる切削加工により、所望する断面形状による溝を作成するようになされている。
【０００６】
このような一旦、目標とする溝形状より小さな断面形状により溝を作成した後、壁面等の切削により溝加工する場合、ヘール加工においては、図１９に示すように、断面形状が逆テーパー形状の溝についても、切削加工することができる。
【０００７】
ところでこのような従来のヘール切削による溝加工においては、実用上、未だ不十分な問題がある。
【０００８】
すなわち切削加工する溝の断面形状に対応する形状によりヘール工具を作成して切削加工する場合、加工する溝形状が限られてしまう問題がある。特に、断面形状が逆テーパー形状の溝については、切削加工することが困難な問題がある。
【０００９】
これに対して目標とする溝形状より小さな断面形状により溝を作成した後、溝壁面等の更なる切削加工により所望の断面形状による溝を作成する場合、例えば溝の底面等に微細な段差の発生を避け得ず、その分、加工精度が劣る問題がある。因みに、このような段差については、研磨等により除去することになり、その分、加工に時間を要する問題がある。また研磨による場合には、精度を確保することも困難になる。
【００１０】
また目標とする溝形状より小さな断面形状により溝を作成する方法においても、溝の断面を露出させることが必要なことにより、例えば図２０に示すように、ループ形状により逆テーパー形状の溝を作成する場合、工具を進入させるための凹部を事前に作成することが必要になる。これにより余分な加工工程が必要になり、その分作成に時間を要することになる。
【００１１】
なお、例えば他の部材との接続部、端面にこのような溝を形成し、この溝にＯリング等のシール部材を保持して封止する場合等にあっては、実際上、このような工具進入用の凹部を作成すると、凹部と溝の部分とで底面に微細な段差が発生し、その分、十分に封止できなくなる欠点がある。なおこのような凹部にあっては、この種のシール部材を溝より取り外す際に、取り外し用の工具を侵入させるために使用される。
【特許文献１】特公昭６３−５４４８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明は以上の点を考慮してなされたもので、種々の断面形状による溝を従来に比して短時間で高い精度により作成することができるヘール工具を提案しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
かかる課題を解決するため請求項１の発明においては、ヘール切削による溝加工に供するヘール工具に適用して、溝の底面に対応する部位より立ち上がる両側の部位において、逃げ面角が異なる角度に設定されてなるようにする。
【００１４】
また請求項２の発明においては、請求項１の構成において、工具先端の幅が切削に供する部位の根元側より幅広であるようにする。
【００１５】
また請求項３の発明においては、請求項１の構成において、工具先端の幅広側の両端が、曲面により形成されるようにする。
【００１６】
請求項１の構成により、溝の底面に対応する部位より立ち上がる両側の部位において、逃げ面角が異なる角度に設定されてなるようにすることにより、工具軸を中心にして工具を傾けて切削幅を種々に変更しても、工具の破損を防止することができる。これにより加工の進行に応じて工具を傾けて、種々の断面形状による溝を従来に比して短時間で高い精度により作成することができる。
【００１７】
また請求項２の構成によれば、請求項１の構成において、先端側が根元側により幅広であることにより、断面形状が逆テーパー形状である溝も容易に作成することができる。
【００１８】
また請求項３の構成によれば、請求項２の構成において、工具先端の幅広側の両端が、曲面により形成されていることにより、深さ方向に傾きを変化させるようにして逆テーパー溝を切削加工した場合に、溝壁面をこの曲面の部位で切削することができ、これにより溝壁面の微細な凹凸を防止することができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、種々の断面形状による溝を従来に比して短時間で高い精度により作成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、適宜図面を参照しながら本発明の実施例を詳述する。
【実施例１】
【００２１】
（１−１）加工原理
図１は、加工対象の平面図及び断面図であり、この実施例に係るヘール切削の原理説明に供する図である。このヘール切削においては、進行方向に対する工具の傾きを、切削加工の進行に応じて変化させる。なおこの図１においては、説明を簡略化するために、工具を平面により示し、これにより加工対象の上方より見た平面図においては、工具を太線により示す。ここで工具は、先端側が根元側より幅広に作成される。
【００２２】
ここで工具の進行方向である溝の延長する方向に対して、工具の傾きθを変化させると、この工具により切削される溝の断面形状においては、工具の傾きθに応じて幅が変化することになる。これにより溝の深さ方向をｚ方向として、ｚ方向の座標値を順次段階的に変化させて深さ方向に溝を切削する場合、ｚ方向の座標値に応じて傾きθを順次変化させれば、この傾きθの変化に応じた断面形状による溝を作成することができる。
【００２３】
すなわち逆テーパーによる溝を作成する場合、切削開示時においては、工具の進行方向に対する工具の傾きθを小さく設定することにより、幅狭により溝の切削を開始することができる（図１（Ａ１）及び（Ａ２））。またｚ方向の座標値が変化するにつれ、工具の傾きθを徐々に大きくすることにより、深くなるにつれて徐々に溝幅が広くなるように切削することができる（図１（Ｂ１）〜（Ｄ１））。これにより深さ方向に順次ｚ座標値を切り換えてなる１つの切削工程により逆テーパーによる溝を切削加工することができる。
【００２４】
またこのようなｚ座標値に応じた傾きθの設定により、図２に示すように、図１にとは逆の断面形状により溝を作成することもでき、さらには図３に示すように、これらの図１及び図２に示す断面形状を深さ方向に組み合わせた形状により溝を作成することもできる。また図４に示すように、逆テーパーを有し、かつ壁面が曲面により溝も作成することができる。
【００２５】
これらにより進行方向に対する工具の傾きを、切削加工の進行に応じて変化させることにより、特に、深さ方向への加工の進行に応じて工具の傾きθを変化させることにより、種々の断面形状により延長する溝を、従来に比して短い時間により作成することができる。またこのようにして作成される溝においては、深さ方向への１つの切削工程により作成されることにより、溝の底面等における段差の発生も防止することができ、これにより高い精度により作成することができる。また順次深さ方向に座標値を変化させながら傾きθを変化させて逆テーパーの溝を作成できることにより、図２０を用いて説明したような工具進入用の凹部についても、加工を省略することができ、その分、例えば真空チャンバー等の溝加工に適用して、高い気密性を確保することができる。
（１−２）実施例１の構成
図５は、本発明の実施例に係るＣＡＭシステムを示すブロック図である。このＣＡＭシステム１は、オンライン、フロッピーディスク等を介して、ＣＡＤ等により作成された形状データＤ１を受け、この形状データＤ１によりＮＣ切削装置を駆動する加工データＤ３を生成する。
【００２６】
ここでこのＣＡＭシステム１において、加工データ作成装置２は、コンピュータにより構成され、表示装置３を介してメッセージを表示すると共に、キーボード、マウス等である入力装置４を介してオペレータの入力を受け付け、これにより対話形式で加工の条件を受け付ける。さらにこの受け付けた加工の条件に応じて形状データＤ１よりカッターパスのデータを作成し、このカッターパスのデータよりＮＣ装置の制御用データである加工データＤ３を生成する。
【００２７】
このとき加工データ作成装置２は、オペレータの指示に応じて、ヘール切削加工装置用の数値制御用データにより加工データＤ３を生成する。因みに、加工データ作成装置２は、通常の３軸のＮＣ切削装置における工具軸の回転速度制御に代えて、工具軸の回転軸を中心にした角度指示制御により加工データＤ３を作成し、これにより工具の進行方向に対する工具の傾きθを制御可能に加工データＤ３を作成する。なお、このような加工データＤ３に対応して、この加工データＤ３により駆動されるＮＣ切削装置においては、このような角度指示制御に対応して工具軸を中心にした工具の傾きθを可変して位置決めできるように、工具軸の回転角度を高精度のロータリーエンコーダにより検出できるようになされ、またこの検出結果により角度θを高い精度により可変できるようになされている。
【００２８】
かくするにつき加工データ作成装置２は、このヘール切削用の加工データＤ３により、ＮＣ切削装置において、あたかも木工加工におけるかんながけのように加工対象を切削加工するように、加工データＤ３を生成する。加工データ作成装置２は、このようにして作成した加工データＤ３をオンライン、フロッピーディスク、又は紙テープによりＮＣ切削装置に供給し、形状データＤ１による形状を切削加工するようになされている。
【００２９】
このようにして加工データを作成するにつき、加工データ作成装置は、形状データＤ１による加工目標の形状解析により、加工形状に溝の有無を判定する。さらに溝が検出されると、所定の溝加工データ作成手順の実行を実行し、上述した加工原理に従って溝加工するように加工データＤ３を作成する。
【００３０】
図６は、この溝加工データ作成手順を示すフローチャートである。加工データ作成装置２は、この処理手順を開始すると、ステップＳＰ１からステップＳＰ２に移り、ここで工具が適切か否か判断する。ここで上述の加工原理では説明を省略したが、実際の工具にあっては、厚みがあり、またこのような工具の進行方向に対する工具の傾きθを変化させて切削加工する場合には、傾きθの変化によっては、干渉により工具破損する場合がある。また工具によっては、幅が狭いことにより、溝の底面をまとめて切削できない場合もある。これにより加工データ作成装置２は、加工対象である溝の断面形状と工具形状との比較により、工具が適切か否か判断する。
【００３１】
すなわち図７は、実際のヘール加工に供する工具の先端を示す平面図、側面図である。この工具においては、正面より見て（図７（Ａ））先端が等角の台形形状により突出するように形成され、この突出した部分が切削用の部位に設定される。すなわちこの部位の底面には、符号Ａにより部分的に拡大して示すように、所定の角度により切削角が設けられるようになされている。
【００３２】
工具は、矢印Ｂにより部分的に拡大して示すように、この吐出した部分の先端である工具先端の幅広側、両端のコーナーが曲面により形成されるようになされ、これにより図１を用いて説明したように、順次段階的に深さ方向に工具の傾きθを可変して逆テーパー溝を作成した場合でも、溝壁面における微細な凹凸の発生を防止するようになされている。なおこの実施例においては、この曲面が一定の半径による面取りにより作成されるようになされている。
【００３３】
また工具は、この平面図をＡ−Ａ線により切り取って下方より見た断面図を図８に示すように、この突出した部位の両端にそれぞれ所定角度による切削角（逃げ面角である）α及びβが設けられるようになされている。
【００３４】
この工具は、底面より見たこの両端の切削角α及びβのうち、一方の切削角αが極端に大きな角度に設定される。これによりこの角度の大きな切削角αの側が工具の進行方向となるように、設定して工具の傾きθを種々に変化させてヘール切削できるようになされている。
【００３５】
このようにして切削加工するにつき、このような断面形状による工具においては、図９に示すように、工具を正面より見た場合の幅Ｌｍａｘが最も幅広の切削可能な幅となり、切削角αの側が工具の進行方向となるように設定して、この切削角αによる側面が溝の壁面と接する場合に切削加工可能な幅が最小の幅Ｌｍｉｎとなる。
【００３６】
これにより加工データ作成装置２は、溝の断面形状と工具との関係を図１０に示すように、溝の最も幅広の部分（図１０においては、底面である）の幅と最も幅狭の部分の幅（図１０においては、表面に面した部位である）とが、この切削可能な幅の範囲幅Ｌｍａｘ〜Ｌｍｉｎに入っているか否か判断することにより、工具が適切か否か判断する。
【００３７】
また加工データ作成装置２は、過切削するか否か、すなわち順次ｚ座標値を変化させて最も幅広の工具の部分が対応するｚ座標値の溝幅となるように、工具を傾けて見た工具の外形形状が溝の内側形状より飛び出すか否か判断することにより、工具が適切か否か判断する。なおこのような過切削に関しては、図１０に示すような側面が一定のテーパーによる溝であって、かつ工具が図７に示すような台形形状による場合、この工具の台形形状による側面の成す角度θ１を溝の側面が成す角度θ２より大きくすることにより、満足することができる。また矢印Ａにより示す溝の底面のコーナーについては、この溝の底面を切削加工するように工具を傾けて見た工具の外形形状において、溝底面のコーナーの半径より、工具の対応する部位の半径が小さいか否か判断することにより、判断することができる。
【００３８】
このようにして工具が適切か否か判断して、工具が適切でないと判断された場合、加工データ作成装置２は、ステップＳＰ２からステップＳＰ３に移り、ユーザーによる指示を受け付け、ステップＳＰ２に戻る。なお加工データ作成装置２は、このステップＳＰ３における処理において、溝の断面形状、溝の輪郭線と工具との関係を表示装置３に表示して不具合な点をユーザーに通知する。これによりこのユーザーによる指示にあっては、工具の変更だけでなく、溝形状の変更等も考えられる。
【００３９】
これに対してステップＳＰ２で肯定結果が得られると、加工データ作成装置２は、ステップＳＰ４に移る。ここで加工データ作成装置２は、溝の深さ、溝を作成する面を基準にして、工具先端のｚ座標値を設定した後、続くステップＳＰ５でこのｚ座標値による溝中心の軌跡を計算することにより、工具先端の工具経路を計算する。
【００４０】
これにより加工データ作成装置２は、例えば図１１、図１２に示すような工具経路を作成する。なお図１１は、加工対象の両側面に断面が露出しているような溝を作成する場合であり、また図１２は、ほぼ円形形状にループを描く溝である。ここでこのような溝にあっては、平坦な面に作成される場合だけでなく、曲面上に作成される場合もあることにより、この一連の処理において、加工データ作成装置２は、切削に供するピッチの分だけ、溝の深さ方向に、溝を作成する表面のｚ座標値を変化させて、それぞれ溝の両側面との間で作成される曲線を計算し、これら両側面上の曲線より、工具先端の工具経路を計算する。
【００４１】
続いて加工データ作成装置２は、ステップＳＰ６に移り、このようにして計算した工具経路における工具の傾きθを計算する。ここでこの傾きθの計算は、ステップＳＰ４で設定したＺ座標値を基準にして溝幅を計算し、この溝幅により切削できるように、すなわちこの場合、工具の最も幅広である工具先端部分の幅が、この溝幅に対応する傾きθとなるように、傾きθを計算して実行される。
【００４２】
このようにして１つの工具経路について傾きθを計算すると、加工データ作成装置２は、ステップＳＰ７に移り、ｚ座標値を判定する。ここでこのｚ座標値の判定により溝の底近傍まで工具経路を作成していないと判断できる場合、加工データ作成装置２は、ステップＳＰ８に移り、溝作成のピッチの分だけ、さらにｚ座標値を更新してステップＳＰ５に戻る。
【００４３】
これにより加工データ作成装置２は、ステップＳＰ５−ＳＰ６−ＳＰ７−ＳＰ８−ＳＰ５の処理手順を繰り返し、順次、溝の深さ方向に、工具経路を作成する。
【００４４】
このようにして工具経路を作成して、溝の底面近傍になると、加工データ作成装置２は、ステップＳＰ７からステップＳＰ９に移る。ここで加工データ作成装置２は、ピッチを小さくしてｚ座標値を更新し、ステップＳＰ５に戻る。これにより加工データ作成装置２は、順次一定のピッチにより溝の深さ方向に工具経路を作成し、溝の底面近傍になると、ピッチを小さくして工具経路を作成するようになされている。
【００４５】
このようにして工具経路を作成して、溝の底面についての工具経路を作成すると、加工データ作成装置２は、ステップＳＰ７から図１３に示すステップＳＰ１０に移り、回避用の工具経路が必要か否か判断する。ここでこの回避とは、切削により発生したいわゆるキリコによる工具のカジリを防止する処理である。例えば図１１について上述したような、加工対象の両側面に断面が露出しているような溝を作成する場合にあっては、工具経路により工具を移動させて切削によるキリコを端面側より排出することができる。これによりこのような場合には、このような回避の処理を必要としない。これに対して図１２に示すようなループを描く溝については、このような端面におけるキリコの排出を期待できず、このようなループを描く溝については、この回避の処理が必要となる。加工データ作成装置２は、これらにより工具経路が閉じているか否か、すなわちループを描いているか否か判断することにより、このような回避の工具経路が必要か否か判断する。
【００４６】
加工データ作成装置２は、このステップＳＰ１０で肯定結果が得られると、ステップＳＰ１１に移り、回避用の工具経路を生成する。ここで加工データ作成装置２は、図１４に示すように、ステップＳＰ５で生成した工具経路毎に、切削を完了した時点より、工具経路に沿って工具を移動させながら工具を溝から持ち上げ、溝より工具先端を遠ざけるように、工具経路を作成する。このときｚ座標値の変化に応じて工具の傾きθが変化している場合であって、逆テーパーの場合には、この工具の傾きθに対応するように工具を持ち上げるに従って傾きθを変化させるように、工具経路を作成する。なおこの工具を持ち上げる際の傾きの変化は、切削時に比して幅が狭くなるように設定される。これにより加工データ作成装置２は、ループを描く溝については、１周切削加工する毎に、工具を溝より引き出し、キリコを排出するようになされている。またこのとき工具を傾けることにより、それまで切削した溝を傷つけないようになされている。
【００４７】
また加工データ作成装置２は、このような退出側の回避用工具経路と共に、進入側の回避用工具経路を作成する。ここでこの進入側の回避用工具経路は、このようにして溝より引き出した工具を再び溝に進入される経路であり、工具を溝に近づけて工具経路に沿って工具を移動させながら溝に進入させるように作成される。この場合においても、加工データ作成装置２は、ｚ座標値の変化に応じて工具の傾きθが変化している場合であって、逆テーパーの場合には、この工具の傾きθに対応するように工具を下げるに従って傾きθを変化させるように、工具経路を作成する。この工具を進入させる際の傾きの変化は、切削時に比して幅が狭くなるように設定される。これにより加工データ作成装置２は、ループを描く溝については、１周切削加工する毎に、引き出した工具を溝に戻すようになされ、またこのとき工具を傾けることにより、それまで切削した溝を傷つけないようになされている。
【００４８】
なお加工データ作成装置２は、ステップＳＰ５で生成した工具経路のうち、底面近傍のピッチを小さくして生成した工具経路については、このような回避用工具経路の生成処理を省略するようになされている。
【００４９】
このようにして回避用工具経路を作成すると、又はステップＳＰ１０で否定結果が得られると、加工データ作成装置２は、ステップＳＰ１２に移る。ここで加工データ作成装置２は、このようにして生成した各工具経路を接続する工具経路を作成し、これにより全体の工具経路を作成した後、ステップＳＰ１３に移ってこの処理手順を終了する。
【００５０】
すなわち図１１を用いて説明したように、断面が露出するような溝にあっては、溝を切削する工具経路の延長線をアプローチ用の工具経路に設定して、溝の一方の断面側より工具を進入させる。また他方の断面まで溝を切削する工具経路に続いて、この工具経路の延長線をリリース用の工具経路に設定し、さらに加工対象より所定距離だけ工具が遠ざかると、ｚ座標値により工具を引き上げてアプローチ側に戻すように工具経路を作成する。加工データ作成装置は、この一連の動作の繰り返しにより、順次深さ方向に溝をヘール切削するように全体の工具経路を生成する。
【００５１】
これに対して図１２を用いて説明したように、ループ形状による溝にあっては、進入側の回避用工具経路に続いて、対応する加工用工具経路、退避側の回避用工具経路が続くように、工具経路を作成する。さらに退避側の回避用工具経路により、工具が所定距離だけ加工対象より遠ざかると、続く進入側の回避用工具経路側に工具を移動させ、順次この一連の工具経路を繰り返すように、全体の工具経路を作成する。さらに加工する部位が溝の底面近傍になって、ｚ座標値のピッチが小さくなると、ヘール切削による工具経路を順次繰り返すように、工具経路を作成し、最後に退避側の回避用工具経路を設定して全体の工具経路を作成する。
【００５２】
これによりこの実施例では、図２０について上述したような工具進入用の凹部を作成しなくても、逆テーパーによるループ形状の溝を簡易かつ高い精度により作成できるようになされている。
（１−３）実施例１の効果
以上の構成によれば、逃げ面角を異ならせた工具を適用してヘール切削することにより、工具軸を中心にして工具を傾けて切削幅を種々に変更しても、工具の破損を防止することができる。これにより加工の進行に応じて工具を傾けて、種々の断面形状による溝を従来に比して短時間で高い精度により作成することができる。
【００５３】
またこのとき根元側より先端側が幅広である工具を使用することにより、逆テーパーの溝を簡易に作成することができる。
【００５４】
またこのとき工具先端の幅広側の両端のコーナーが、曲面により形成されていることにより、深さ方向に傾きを変化させるようにして逆テーパー溝を切削加工した場合に、溝壁面をこの曲面の部位で切削することができ、これにより溝壁面の微細な凹凸を防止することができる。
【実施例２】
【００５５】
図１５は、実施例２に係る配管用の部材を部分的に示す斜視図である。この部材１１は、例えば真空チャンバーの排気系の配管に使用されるこの部材１１は、略円筒形状により形成され、この図１に示す端部にて対応する部材の端部と突き合わされて接続され、気体の流路を形成する。部材１１は、この端部の端面に、実施例１について説明した加工方法により、図１４について説明したループ形状により溝であって、断面形状が台形形状による逆テーパー形状の溝が作成される。さらにこの溝に、可撓性の材料であるゴムによるシール部材（例えばＯリング）が配置され、このシール部材を接続対象の部材と共に押圧して気体を封止するようになされている。
【００５６】
かくするにつきこの部材１１は、溝の深さ方向に工具の傾きを順次段階的に変化させて、ヘール加工により、この端面に溝が作成される。これにより部材１１は、高い精度により、また短い時間により逆テーパー形状による溝が作成されるようになされている。またこのように逆テーパー形状による溝にシール部材を収納して保持することにより、接続作業時におけるシール部材の脱落等を有効に回避できるようになされている。また高い精度により溝加工できることにより、接続対象との間で十分な封止強度を確保して、流体を十分かつ確実に封止できるようになされている。また加工時における工具進入用の凹部を作成しなくても、逆テーパーにより溝を作成することができることにより、溝の断面が露出してなる部位の発生を有効に回避し、これによっても従来に比して格段的に封止の強度を確保できるようになされている。
【００５７】
なおこの実施例に係る溝作成方法によれば、符号Ｂにより部分的に拡大して示すように、シール部材の取り外し用の凹部を作成する場合であっても、溝の底面の深さより凹部の深さを浅くして、溝の底面に段差ができないようにすることができることにより、さらには溝幅等に無関係に、取り外し用の作業が可能な範囲で小型に凹部を作成できることにより、従来に比して格段的に封止の強度を確保することができる。
【実施例３】
【００５８】
なお上述の実施例においては、溝の深さ方向における加工の進行に応じて工具を傾ける場合について述べたが、本発明はこれに限らず、溝の延長方向における加工の進行に応じて工具を傾けるようにしてもよい。このようにすれば、図１６に平面図により示すように、溝の延長方向に溝幅を種々に変化させてなる溝を作成することができる。またこのとき工具中心も同時に変化させるようにすれば、図１６のと対比により図１７に示すように、一方の壁面と他方の壁面とを異ならせるようにすることもできる。またこのように溝の延長方向における加工の進行に応じた工具の傾きと、溝の深さ方向における加工の進行に応じて工具の傾きとを組み合わせて変化させるようにしてもよい。
【００５９】
また上述の実施例においては、ループ形状による溝を作成する例としてリング形状に溝を作成する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、要は断面が露出しないようにして周回するように溝を作成する場合に広く適用することができる。
【００６０】
また上述の実施例においては、真空チャンバーの排気系の部材に本発明を適用する場合について、ゴムによるシール部材を溝に配置する場合を述べたが、本発明はこれに限らず、真空チャンバー自体にも適用することができ、さらにはガスケットの蓋、集積回路製造装置における各種シールド用の部材等、各種真空機器、気体、液体を使用する機器に適用してシール用溝を作成する場合に広く適用することができる。またこのようなシール用溝の作成に限らず、例えばシール用のゴムリンクの金型作成等にも広く適用することができる。
【００６１】
また上述の実施例においては、平坦な面に溝を作成する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、例えば円柱形状、円筒形状の側面に溝を作成する場合等、種々の曲面に溝を作成する場合にも広く適用することができる。なおこのように円柱形状、円筒形状の側面に溝を作成する場合にあっては、例えば円柱形状の中心軸、円筒形状の管軸が鉛直方向となるように加工対象を保持する場合もあることにより、このような場合には、必要に応じて、上述した回避用の工具経路を省略することができる。
【産業上の利用可能性】
【００６２】
本発明は、ヘール工具に関し、特にヘール切削による溝加工に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の実施例１に係る加工原理の説明に供する平面図及び断面図である。
【図２】図１の加工原理による他の溝の例を示す断面図である。
【図３】図２とは異なる他の溝の例を示す断面図である。
【図４】図２及び図３とは異なる他の溝の例を示す断面図である。
【図５】ＣＡＭシステムを示すブロック図である。
【図６】溝作成の処理手順を示すフローチャートである。
【図７】工具を示す平面図及び側面図である。
【図８】工具先端を示す断面図である。
【図９】切削可能範囲の説明に供する工具の断面図である。
【図１０】切削可能範囲の説明に供する溝の断面図である。
【図１１】溝の例を示す斜視図である。
【図１２】ループ形状による溝の例を示す斜視図である。
【図１３】図６の続きを示すフローチャートである。
【図１４】回避用工具経路を示す斜視図である。
【図１５】実施例２に係る接続部材を示す斜視図である。
【図１６】溝の延長方向における加工の進行に応じて工具を傾けた説明に供する平面図である。
【図１７】溝の延長方向における加工の進行に応じて工具を傾けると共に、工具中心を変化させた説明に供する平面図である。
【図１８】従来のヘール切削による溝加工の説明に供する断面図である。
【図１９】逆テーパによる溝加工の説明に供する断面図である。
【図２０】ループ形状による溝の説明に供する断面図である。
【符号の説明】
【００６４】
１……ＣＡＭシステム、２……加工データ作成装置、Ｄ１……形状データ、Ｄ３……加工データ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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