(57)【要約】【課題】隣接する圧電変位素子の振動の影響を受けず、高密度に配置された印刷ヘッド及びその製造方法、並びにインクジェットプリンタを提供する。【解決手段】導電性を有する流路部材の上に、複数の圧電変位素子が独立して設けられ、さらに、該圧電変位素子の内部に形成された内部電極と、前記流路部材とを電気的に連結するために、前記複数の圧電変位素子が形成する隙間に導電性部材が充填されてなることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性を有する流路部材の上に、複数の圧電変位素子が独立して設けられ、さらに、該圧電変位素子の内部に形成された内部電極と、前記流路部材とを電気的に連結するために、前記複数の圧電変位素子が形成する隙間に導電性部材が充填されてなることを特徴とする印刷ヘッド。
【請求項２】
前記導電性部材の厚みが、前記圧電変位素子の厚みと略同一であることを特徴とする請求項１記載の印刷ヘッド。
【請求項３】
前記導電性部材が、導電性樹脂を主体とすることを特徴とする請求項１又は２記載の印刷ヘッド。
【請求項４】
導電性を有する流路部材の上に、複数の圧電変位素子が独立して設けられ、さらに、該圧電変位素子の内部に形成された内部電極と、前記流路部材とを電気的に連結するために、前記圧電変位素子の側面に配線層が設けられてなることを特徴とする印刷ヘッド。
【請求項５】
前記配線層が、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｃｕ、Ａｌ及びそれらの合金のいずれか１種を主成分とすることを特徴とする請求項４記載の印刷ヘッド。
【請求項６】
圧電変位素子が、振動板と、該振動板上に設けられた共通電極と、該共通電極の上に設けられた圧電セラミック層と、該圧電セラミック層の表面に形成された個別電極とを具備することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の印刷ヘッド。
【請求項７】
複数の圧電変位素子と、該複数の圧電変位素子間に、該複数の圧電変位素子と一体的に設けられた接続部と、を具備する圧電変位素子基板を流路部材の上に接着し、しかる後に前記接続部を除去するとともに、除去した前記接続部に導電性部材を充填することを特徴とする印刷ヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記導電性部材が、導電性樹脂を主成分とすることを特徴とする請求項７記載の印刷ヘッドの製造方法。
【請求項９】
複数の圧電変位素子と、該複数の圧電変位素子間に、該複数の圧電変位素子と一体的に設けられた接続部と、を具備する圧電変位素子基板を流路部材の上に接着し、しかる後に前記接続部を除去するとともに、前記接続部が除去されて形成された前記圧電変位素子の側面に、配線層を設けることを特徴とする印刷ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記配線層が、気相析出法によって形成されることを特徴とする請求項９記載の印刷ヘッドの製造方法。
【請求項１１】
前記配線層が、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｄ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｎｉ及びＴｉのいずれか１種を主成分とすることを特徴とする請求項９又は１０記載の印刷ヘッドの製造方法。
【請求項１２】
印刷用紙の送り部と、請求項１〜６のいずれかに記載の印刷ヘッドと、該印刷ヘッドにインクを供給するインク供給部と、を具備することを特徴とするインクジェットプリンタ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、印刷ヘッド及びその製造方法、並びにインクジェットプリンタに関し、特に広がり振動、伸び振動、厚み縦振動を利用した印刷ヘッド、例えば微細なインク吐出孔からインク滴を吐出して文字や画像を印刷する各種プリンタや記録計、ファクシミリ、あるいは捺染分野や窯業分野で文様形成等に用いられる印刷機等の記録装置に好適に使用される印刷ヘッドとその製造方法、並びにそれを用いたインクジェットプリンタに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、パーソナルコンピューターの普及やマルチメディアの発達に伴って、情報を記録媒体に出力する記録装置として、インクジェット方式の記録装置の利用が急速に拡大している。
【０００３】
かかるインクジェット方式の記録装置には、印刷ヘッドが搭載されており、この種の印刷ヘッドには、インクが充填されたインク流路内に加圧手段としてのヒーターを備え、ヒーターによりインクを加熱、沸騰させ、インク流路内に発生する気泡によってインクを加圧し、インク吐出孔より、インク流として吐出させるサーマル方式と、インクが充填されるインク流路の一部の壁を変位素子によって屈曲変位させ、機械的にインク流路内のインクを加圧し、インク吐出孔よりインク流として吐出させる圧電方式が一般的に知られている。
【０００４】
圧電方式を利用した印刷ヘッドとして、例えば、複数の加圧室が設けられた基板上に、複数の圧力発生部を具備するアクチュエータを、一つの圧力発生部が一つの加圧室に当接するように、即ちインク加圧方向に垂直に接合した印刷ヘッドが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
この圧力発生部は、独立して制御することが可能であるため、個々の圧力発生部における振動によって発生した圧力を用いて加圧室に充填されたインクを吐出することにより、インクジェットプリンタの高速化及び高精度化に寄与することができる。
【０００６】
一方、圧電方式を利用した他の印刷ヘッドとして、振動板の上に圧電変位素子素子を設け、これをインク加圧方向に対して平行に配置した印刷ヘッドが提案されている（例えば、特許文献２参照）。この方式は、圧電磁器の広がり振動を直接振動版に伝えるため、インク加圧に対して有利であるという特徴を有する。
【０００７】
【特許文献１】
特開平１１−３４３２１号公報図１、図２
【０００８】
【特許文献２】
特開２００１−３３４６６１号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献１記載の圧電アクチュエータは、複数の圧電変位素子が同一振動板の上に一体的に形成されているため、一つの圧電変位素子が振動すると、その振動が隣接する圧電変位素子の振動に悪影響を及ぼすというクロストークの問題があり、インクの吐出が不安定になって、鮮明な印刷が得られなかった。
【００１０】
また、特許文献２記載の圧電アクチュエータは、アクチュエータの発生力を増加させるため積層構造をとるが、アクチュエータ自体が大きくなるためアクチュエータの集積度が上げられないという問題があった。
【００１１】
従って、本発明は、隣接する圧電変位素子の振動の影響を受けず、高密度に配置された印刷ヘッド及びその製造方法、並びにインクジェットプリンタを提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は、複数の圧電変位素子が設けられた圧電アクチュエータを流路部材の上に接合し、しかる後に圧電変位素子間を切断して圧電変位素子をそれぞれ独立させることで、隣接する圧電変位素子に悪影響を及ぼすことが抑制され、且つ圧電変位素子を高密度に高密度に配置させることができるという新規な知見に基づく。
【００１３】
即ち、本発明の印刷ヘッドは、導電性を有する流路部材の上に、複数の圧電変位素子が独立して設けられ、さらに、該圧電変位素子の内部に形成された内部電極と、前記流路部材とを電気的に連結するために、前記複数の圧電変位素子が形成する隙間に導電性部材が充填されてなることを特徴とするものである。
【００１４】
特に、前記導電性部材の厚みが、前記圧電変位素子の厚みと略同一であることが好ましい。これにより、共通電極からのグランド配線をアクチュエータ上部へ引き出して接続する場合圧電磁器変位素子と厚みが同一なので、一枚のフレキシブルケーブルに個別電極の接続と同時に行うことが容易になる。
【００１５】
また、前記導電性部材が、導電性樹脂を主体とすることが好ましい。これにより、流路部材に必要以上の高温に曝すことがなくなるので、熱による膨張収縮による流路部材の寸法の変化を抑制することができ、より精度の高い流路設計が可能となる。
【００１６】
また、本発明の他の印刷ヘッドは、導電性を有する流路部材の上に、複数の圧電変位素子が独立して設けられ、さらに、該圧電変位素子の内部に形成された内部電極と、前記流路部材とを電気的に連結するために、前記圧電変位素子の側面に配線層が設けられてなることを特徴とするものである。
【００１７】
特に、前記配線層が、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｄ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｎｉ及びＴｉのいずれか１種を主成分とすることが好ましい。これにより、必要な導電性を確保することができ、且つより安価な電極材料も使用可能である。
【００１８】
また、圧電変位素子が、振動板と、該振動板上に設けられた共通電極と、該共通電極の上に設けられた圧電セラミック層と、該圧電セラミック層の表面に形成された個別電極とを具備することが好ましい。これにより、圧電変位素子の集積度を上げることができる。
【００１９】
また、本発明の印刷ヘッドの製造方法は、複数の圧電変位素子と、該複数の圧電変位素子間に、該複数の圧電変位素子と一体的に設けられた接続部と、を具備する圧電変位素子基板を流路部材の上に接着し、しかる後に前記接続部を除去するとともに、除去した前記接続部に導電性部材を充填することを特徴とするものである。これにより、個別電極部の位置精度を確保すると共に集積度を向上させ、且つ個別電極部を独立させることにより隣接する個別電極部の振動の影響を抑制し、より鮮明な印刷が可能な印刷ヘッドとすることができる。
【００２０】
特に、前記導電性部材が、導電性樹脂を主成分とすることが好ましい。これにより、導電性樹脂を充填した部位のヤング率が圧電変位素子のヤング率より小さくすることができるため、隣接する個別電極部の振動の影響を受けにくくすることができるので、より鮮明な印刷が可能な印刷ヘッドができる。
【００２１】
また、本発明の他の印刷ヘッドの製造方法は、複数の圧電変位素子と、該複数の圧電変位素子間に、該複数の圧電変位素子と一体的に設けられた接続部と、を具備する圧電変位素子基板を流路部材の上に接着し、しかる後に前記接続部を除去するとともに、前記接続部が除去されて形成された前記圧電変位素子の側面に、配線層を設けることを特徴とするものである。
【００２２】
特に、前記配線層が、気相析出法によって形成されることが好ましい。これにより、隣接する個別電極間を完全に分断することが可能となるため、隣接する個別電極部の振動の影響を更に抑制することが可能となり、更に鮮明な印刷を可能とする印刷ヘッドができる。
【００２３】
さらに、前記配線層が、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｃｕ、Ａｌ及びそれらの合金のいずれか１種を主成分とすることが好ましい。これにより、必要な導電性を確保することができ、且つより安価な電極材料も使用可能である。
【００２４】
また、本発明のインクジェットプリンタは、印刷用紙の送り部と、上記の印刷ヘッドと、該印刷ヘッドにインクを供給するインク供給部と、を具備することを特徴とするものである。これにより、高密度に集積された印刷ヘッドを備えたプリンタとなるため、より鮮明な印刷ができる。また、高密度に集積された圧電変位素子を印刷方向に対して直角に並べることでより高解像度を保ちながら高速印刷が可能なインクジェットプリンタとすることが可能となる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態にかかるインクジェットプリンタに用いられる印刷ヘッドついて、図面を参照して詳細に説明する。
【００２６】
図１（ａ）は本実施形態の印刷ヘッドの断面図、図１（ｂ）はその平面図、（ｃ）は部分的な拡大断面図である。図１に示すように、この印刷ヘッドは、流路部材３の上に、圧電変位素子７が設けられた構造を有する。
【００２７】
圧電変位素子７は、例えば、図１（ａ）及び（ｃ）に示したように、振動板２と、振動板２の上に設けられた共通電極４と、その上に設けられた圧電セラミック層４と、その上に設けられた個別電極６と、からなり、圧電セラミック層４を、共通電極５と表面個別電極６とで挟持してなる圧電変位素子７が、基板２上に設けられている。なお、振動板２を設けることは、圧電変位素子７を保持し、機械的な振動や衝撃から圧電変位素子７を保護するために好ましい。
【００２８】
流路部材３には複数の液体加圧室３ａが並設され、液体加圧室３ａを仕切る壁として隔壁３ｂが形成されている。そして、液体加圧室３ａの開口部の直上に表面個別電極６が配置するように、圧電アクチュエータ１と流路部材３とが接着されている。このような構成にすることで、圧電変位素子７の変位量を大きくすることが可能となる。
【００２９】
そして、共通電極５と表面個別電極６との間に駆動電圧を印加すると、共通電極５と表面個別電極６とで挟持された圧電セラミック層４が変形し、圧電変位素子７が変位する。この変位に伴って、圧電変位素子７と一体化されている振動板２も圧電変位素子７と同一方向に変位し、変位領域７ａが変位することとなり、その結果、液体加圧室３ａの容積を変化させるため、その時に発生する圧力で液体加圧室３ａの液体が液体吐出口８から吐出する。
【００３０】
また、表面電極６は、図１（ｂ）に示したように、圧電セラミック層４の表面に複数配列されることにより、複数の圧電変位素子７が形成されたものである。図１（ｂ）では、表面電極６が格子状に配列しているが、千鳥状の配列（図示せず）でも良く、これにより圧電変位素子７の集積度を高めることができる。
【００３１】
本発明によれば、このような複数の圧電変位素子７が、それぞれ独立して流路部材上に設けら、一定の間隔をあけて配列されていることが重要である。これらの圧電変位素子は、それぞれ独立して制御されて微細な領域に振動を起こすため、例えば微量のインクを特定の微細領域に吐出する印刷ヘッドに好適な構造を有しており、一つの圧電変位素子が振動しても、特に短時間に変位を繰り返して振動しても、隣接する圧電変位素子の振動を妨害する影響が小さくなり、その結果インクの吐出が安定化し、鮮明な印刷が得られる。
【００３２】
また、圧電変位素子間を導電性部材で充填されてなることも重要である。圧電変位素子の間に導電性部材を充填するのは、共通電極を連結し、グランド電極とするためであり、これにより、個別電極との間に電圧を印加した時、圧電変位素子が変位をすることが可能となるとともに、樹脂のヤング率が小さいため、振動を吸収してクロストークの問題回避に有効である。
【００３３】
また、本発明によれば、基板面内に多連多列に個別電極を配置することができるので、圧電変位素子を高密度に高密度に配置させることができ、高品質の印刷を達成することが可能となる。
【００３４】
導電性部材は、半田のような低融点金属や導電性樹脂を用いることができるが、特に導電性樹脂が、クロストークを効果的に抑制するために好ましい。
【００３５】
この導電性部材は、圧電変位素子の厚みと略同一であるのが好ましい。換言すれば、圧電変位素子間の隙間を全て埋めるように充填されていることが好ましい。その理由は、共通電極からのグランド配線をアクチュエータ上部へ引き出して接続する場合圧電磁器変位素子と厚みが同一なので、個別電極の接続と同じフレキシブルケーブルを用いて、外部電気回路と接続をすることができる。
【００３６】
圧電アクチュエータ１の厚みＴは、振動板２と圧電変位素子７の総厚みを示すものであり、１００μｍ以下であることが重要である。このように薄層にすることで、大きな変位を得ることができ、低電圧で高効率の駆動を実現できる。特に、８０μｍ以下、更には６５μｍ以下、より好適には５０μｍ以下が望ましい。
また、十分な機械的強度を有し、取扱いおよび作動中の破壊を防止するため、３μｍ以上、特に５μｍ以上、更には１０μｍ以上、より好適には２０μｍ以上が望ましい。
【００３７】
圧電セラミック層４としては、圧電性を示すセラミックスを用いることができ、具体的には、Ｂｉ層状化合物（層状ペロブスカイト型化合物）、タングステンブロンズ型化合物、およびＮｂ系ペロブスカイト型化合物（Ｎｂ酸ナトリウム等のＮｂ酸アルカリ化合物（ＮＡＣ）、Ｎｂ酸バリウム等のＮｂ酸アルカリ土類化合物（ＮＡＥＣ））、マグネシウムニオブ酸鉛（ＰＭＮ系）、ニッケルニオブ酸鉛（ＰＮＮ系）、亜鉛ニオブ酸鉛、マンガンニオブ酸鉛、アンチモンスズ酸鉛、チタン酸鉛、チタン酸バリウム等を主成分とするもの、Ｐｂを含有するジルコン酸チタン酸鉛（ＰＺＴ）やＰＺＴにランタン、バリウム、ニオブ、亜鉛、ニッケル、マンガン等の酸化物の１種または２種以上を添加したもの、例えば、ＰＬＺＴ等のＰＺＴ系の圧電材料、チタン酸鉛等のペロブスカイト型化合物を含有する物質を例示できる。
【００３８】
上記のうち、特に、少なくともＰｂを含むペロブスカイト型化合物であるのがよい。例えば、マグネシウムニオブ酸鉛（ＰＭＮ系）、ニッケルニオブ酸鉛（ＰＮＮ系）、Ｐｂを含有するジルコン酸チタン酸鉛（ＰＺＴ）やチタン酸鉛等を含有する物質が好ましい。特に、Ａサイト構成元素としてＰｂを含有し、かつＢサイト構成元素としてＺｒおよびＴｉを含有する結晶であるのがよい。このような組成にすることで、高い圧電定数を有する圧電セラミック層４が得られる。これら中でもＰｂを含むジルコン酸チタン酸鉛やチタン酸鉛が、大きな変位を付加する上で好適である。
【００３９】
上記ペロブスカイト型結晶の一例として、ＰｂＺｒＴｉＯ３を好適に使用できる。また、他の酸化物を混合しても良く、さらに、副成分として、特性に悪影響がない範囲であれば、Ａサイトおよび／またはＢサイトに他元素が置換していてもよい。例えば、副成分としてＺｎ、Ｓｂ、ＮｉおよびＴｅを添加した、Ｐｂ（Ｚｎ１／３Ｓｂ２／３）Ｏ３およびＰｂ（Ｎｉ１／２Ｔｅ１／２）Ｏ３の固溶体であってもよい。
【００４０】
本発明によれば、上記ペロブスカイト型結晶におけるＡサイト構成元素として、さらにアルカリ土類元素を含有するのが望ましい。アルカリ土類元素としてはＢａ、Ｓｒ、Ｃａ等が挙げられ、特にＢａ、Ｓｒが高い変位を得られる点で好ましい。これにより、比誘電率が向上する結果、さらに高い圧電定数を得ることが可能となる。
【００４１】
具体的には、Ｐｂ１−ｘ−ｙＳｒｘＢａｙ（Ｚｎ１／３Ｓｂ２／３）ａ（Ｎｉ１／２Ｔｅ１／２）ｂＺｒ１−ａ−ｂ−ｃＴｉｃＯ３＋α質量％Ｐｂ１／２ＮｂＯ３（０≦ｘ≦０．１４、０≦ｙ≦０．１４、０．０５≦ａ≦０．１、０．００２≦ｂ≦０．０１、０．４４≦ｃ≦０．５０、α＝０．１〜１．０）で表される化合物を例示できる。
【００４２】
振動板としては、特に限定されるものではなく、金属、合金及びセラミックスのうち少なくとも１種の材料を使用することができる。例えば、金属として、モリブデン、タングステン、タンタル、チタン、白金、鉄及びニッケルを例示でき、合金は上記金属の合金、ステンレス鋼を例示できる。また、セラミック材料として、アルミナ、窒化アルミニウム、炭化珪素、窒化珪素、ジルコニア及びＰＺＴを例示できる。
【００４３】
個別電極６、共通電極５の材質としては、導電性を有するものならば何れでも良く、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｃｕ、Ａｌやそれらの合金等が導電性に優れる点で好ましい。共通電極を形成するために、上記の金属粉末を含む導体ペーストを積層成形体の表面に印刷法等により塗布し、積層後に焼成し、導体ペースト中の金属の粉末を焼結又は溶融させ、圧電体と一体化させることができる。
【００４４】
本発明の他の印刷ヘッドは、例えば図２に示したように、図１の導電性部材を設ける代わりに、共通電極１５と、導電性を有する流路部材１３とを電気的に連結する配線層１９を圧電変位素子１７の側面に設けたことを特徴とするものである。
【００４５】
導電性を有する流路部材の上に、複数の圧電変位素子が独立して設けられ、さらに、該圧電変位素子の内部に形成された内部電極と、前記流路部材とを電気的に連結するために、前記圧電変位素子の側面に配線層が設けられてなることが重要である。
【００４６】
本発明によれば、圧電変位素子が一体的に設けられているのではなく、個別に形成され、それぞれが独立しているため、クロストークの問題の回避に有効であり、また、圧電変位素子を高密度に配置することが可能である。
【００４７】
配線層は、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｃｕ、Ａｌ及びそれらの合金のいずれか１種を主成分とするものであることが、高い導電性を得ることができるので好ましい。また、上記の金属又は合金は、金属膜又は合金膜として圧電変位素子の壁面に形成されているのが、クロストークの問題を低減するために好ましい。
【００４８】
その他の詳細は、先の発明形態と同じ構成で、同じ効果があるため、説明を省略する。
【００４９】
次に、本発明の印刷ヘッドの製造方法を説明する。
【００５０】
まず、振動板の上に、共通電極、圧電セラミック層、複数の個別電極をこの順に形成し、共通電極と個別電極とで圧電セラミック層を挟持してなる圧電変位素子が複数形成された圧電アクチュエータを作製する。
【００５１】
ここで、複数の表面電極はそれぞれ分離独立して形成されているが、振動板、共通電極及び圧電セラミック層は、一体的に形成されているので容易に作製することができる。
【００５２】
次に、導電性を有する金属製の流路部材の上に正確に位置決めされた圧電変位素子を接着し、ついで個別電極上を覆うように樹脂にてマスキングを行う。マスキングの方法はスクリーン印刷であってもよく、個別電極上を覆うようにマスキング材を形成できれば良い。
【００５３】
その後、個別電極と、個別電極との分離するように、個別電極を接続している接続部を正確に切断し個別電極を独立させる。切断方法は周知の切断方法を使用することができ、例えばダイシングマシーンを用いることができ、またはレーザー切断法、ウォータージェット切断法等の手法でもよい。いずれの方法を用いても、正確に個別電極間を切断することが肝要である。
【００５４】
切断によって圧電変位素子が分離・独立して流路部材の上に配列されているが、共通電極と導電性を有する流路部材とを接続するために、２つの方法を採用することができる。
【００５５】
まず、第一の方法では、切断による除去跡に、導電樹脂を流し込み、硬化させるものである。その際の手法は導電ペーストと磁器の高さとをそろえるため、スクリーン印刷を用いることが望ましい。
【００５６】
また、第二の方法では、マスクスパッタ法やＣＶＤ法等の気相析出法により金属膜を圧電変位素子の側面に配線層として設けることが望ましい。気相析出法により、薄膜を圧電変位素子の側面に容易に形成でき、しかも比較的均一に金属膜を形成することができる。
【００５７】
このような方法によって、本発明の印刷ヘッドを作製することができる。
【００５８】
本発明のインクジェットプリンタは、印刷用紙の送り部と、上記の印刷ヘッドと、印刷ヘッドにインクを供給するインク供給部と、を具備することを特徴とするものであり、クロストークが少なく、高密度に集積された印刷ヘッドを備えたプリンタとなるため、より鮮明な印刷ができる。また、高密度に集積された圧電変位素子を印刷方向に対して直角に並べることでより高解像度を保ちながら高速印刷が可能なインクジェットプリンタとすることが可能となる。
【００５９】
【発明の効果】
本発明の印刷ヘッドは、複数の圧電変位素子を一体的に設けず、それぞれ独立して流路部材の上に設けるため、クロストークによる印刷画質低下を防止するとともに、変位素子を高密度で集積することが可能であり、高速高画質の印刷を可能にするものである。
【００６０】
また、本発明の印刷ヘッドの製造方法は、複数の圧電変位素子が一体的に設けられた圧電アクチュエータを流路部材に接合し、しかる後に切断等により圧電変位素子を切り離すため、工程が容易であるとともに、不良発生率が低く、しかも上記の印刷ヘッドを作製することができる。
【００６１】
さらに、本発明のプリンタは、上記の印刷ヘッドを用いることにより、高画質で高速な印刷を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の印刷ヘッドの構造を示すもので、（ａ）は概略断面図、（ｂ）は平面図、（ｃ）は（ａ）の一部分の拡大断面図である。
【図２】本発明の他の印刷ヘッドの構造を示す概略断面図である。
【図１】
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【図２】
2005041054.tif 000004