(57)【要約】【課題】隔壁部を十分な高さで所定の寸法どおりに精密に成形し、圧力発生室等の窪み形状を高精度の下で加工する液体噴射ヘッドの製造方法等を提供する。【解決手段】圧力発生室２９となる溝状窪部３３と、板厚方向に貫通した液体貯留室１４を形成する室用空間３５が設けられた金属製の圧力発生室形成板３０に鍛造加工を行うものであり、室用空間３５内に圧力発生室形成板３０の素材流動を抑制する規制部材６８を挿入した状態で、平行に配列された多数の突条部５３ｃとこれら突条部５３ｃの間に形成された空隙部５３ｂが設けられた第１金型５１ａと、上記第１金型５１ａと対をなす第２金型５２ａとの間で圧力発生室形成板３０を加圧して、上記空隙部５３ｂ内に隔壁部２８を成形するのと同時に上記溝状窪部３３を成形する液体噴射ヘッドの製造方法である。このため、素材の塑性流動が規制部材６８によって抑制され、高さの高い隔壁部２８がえられる。【選択図】図１８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力発生室となる溝状窪部が列設されるとともに、上記溝状窪部の列設方向に略沿って板厚方向に貫通した状態で液体貯留室を形成する室用空間が設けられた金属製の圧力発生室形成板と、上記圧力発生室形成板に接合され上記圧力発生室を封止する封止板と、上記圧力発生室内の液体を加圧する圧力発生素子と、上記圧力発生室に連通したノズル開口が設けられ上記圧力発生室形成板に接合されたノズルプレートを含んで構成された液体噴射ヘッドの製造方法であって、上記室用空間内に圧力発生室形成板の素材流動を抑制する規制部材を挿入した状態で、平行に配列された多数の突条部とこれら突条部の間に形成された空隙部が設けられた第１金型で圧力発生室形成板を加圧して、上記空隙部内に隔壁部を成形するのと同時に上記溝状窪部を成形することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項２】
上記溝状窪部の列設方向に沿って圧力発生室形成板の素材流動を規制する規制凹部が圧力発生室形成板にあらかじめ設けられ、上記第１金型が上記圧力発生室形成板の規制凹部と上記規制部材との間の領域を加圧する請求項１記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項３】
上記第１金型と対をなす第２金型には、上記第１金型の突条部と略同じ長さで上記突条部の長手方向と同じ方向に設けられた多数の筋状突起が設けられ、上記第１金型の突条部と第２金型の筋状突起とが対向する状態で加圧する請求項１または２記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項４】
上記溝状窪部の列と上記室用空間とが組をなして２組配置され、２つの溝状窪部の列が上記規制凹部を間においた状態で配置され、上記２つの溝状窪部の列にそれぞれ隣接した状態で各室用空間が配置されている請求項１〜３のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項５】
上記第２金型として、仮成形用の仮成形金型と、仕上げ加工用の仕上げ金型を設け、上記仮成形金型による仮成形の後、仕上げ金型による仕上げ加工を行う請求項１〜４のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項６】
上記仕上げ加工は、上記室用空間に規制部材が挿入された状態で行われる請求項５記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項７】
上記仮成形金型には、上記突条部に対向するとともに上記突条部と略同じ長さの上記筋状突起が設けられ、この筋状突起に長さ方向における中間部の高さが低く設定された凹部が設けられ、突条部と筋状突起の間で加圧された圧力発生室形成板の素材が上記空隙部内に流動する請求項５記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項８】
上記仕上げ用金型には、平坦面に長さ方向における中間部の高さが低く設定された収容凹部が設けられ、上記平坦面と突条部との間で加圧された圧力発生室形成板の素材が上記空隙部内に流動する請求項５記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項９】
圧力発生室となる溝状窪部が列設されると共に、各溝状窪部の一端に板厚方向に貫通する連通口を形成した金属製の圧力発生室形成板と、上記連通口と対応する位置にノズル開口を穿設した金属製のノズルプレートと、溝状窪部の開口面を封止すると共に、溝状窪部の他端に対応する位置に液体供給口を穿設した金属製の封止板とを備え、圧力発生室形成板における溝状窪部側に封止板を、反対側にノズルプレートをそれぞれ接合してなる液体噴射ヘッドの製造方法であって、第１金型には平行に配列された突条部とこれら突条部の間に形成された空隙部が設けられ、第２金型として、上記突条部に対向するとともに上記突条部と略同じ長さの筋状突起が設けられ、この筋状突起には長さ方向における中間部の高さが低く設定された凹部が設けられている仮成形金型と、上記筋状突起が除去された平坦面とされ、上記凹部に対応する箇所に収容凹部が設けられた仕上げ金型とが準備され、第１工程は上記第１金型と上記仮成形金型とのあいだで上記圧力発生室形成板に予備成形を行い、第２工程は上記第１金型と上記仕上げ金型とのあいだで圧力発生室形成板に仕上げ成形を行って上記圧力発生室形成板に溝状窪部を成形することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
上記第１金型および／または第２金型は、所定の金型形状に成形された金型の表面が研磨仕上げされるとともに、上記研磨仕上げされた金型の表面に硬質コーティングが施されたものである請求項１〜９のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項１１】
上記研磨仕上げは、プロファイル・グラインディングである請求項１０記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項１２】
上記硬質コーティングは、ＤＬＣ被膜である請求項１０または１１記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項１３】
圧力発生室となる溝状窪部が列設されるとともに、上記溝状窪部の列設方向に略沿って板厚方向に貫通した状態で液体貯留室を形成する室用空間が設けられた金属製の圧力発生室形成板と、上記圧力発生室形成板に接合され上記圧力発生室を封止する封止板と、上記圧力発生室内の液体を加圧する圧力発生素子と、上記圧力発生室に連通したノズル開口が設けられ上記圧力発生室形成板に接合されたノズルプレートを含んで構成された液体噴射ヘッドの製造装置であって、少なくとも、上記溝状窪部を成形する平行に配列された多数の突条部とこれら突条部の間に形成された空隙部が設けられた圧力発生室形成板を加圧する第１金型と、上記加圧の際に室用空間内に挿入され圧力発生室形成板の素材流動を抑制する規制部材とを備えたことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造装置。
【請求項１４】
上記第１金型と対をなす第２金型には、上記第１金型の突条部と略同じ長さで上記突条部の長手方向と同じ方向に設けられた多数の筋状突起が設けられ、上記第１金型の突条部と第２金型の筋状突起とが対向している請求項１３記載の液体噴射ヘッドの製造装置。
【請求項１５】
上記第１金型および／または第２金型は、所定の金型形状に成形された金型の表面が研磨仕上げされるとともに、上記研磨仕上げされた金型の表面に硬質コーティングが施されたものである請求項１４記載の液体噴射ヘッドの製造装置。
【請求項１６】
上記研磨仕上げは、プロファイル・グラインディングである請求項１５記載の液体噴射ヘッドの製造装置。
【請求項１７】
上記硬質コーティングは、ＤＬＣ被膜である請求項１６記載の液体噴射ヘッドの製造装置。
【請求項１８】
圧力発生室となる溝状窪部が列設されるとともに、上記溝状窪部の列設方向に略沿って板厚方向に貫通した状態で液体貯留室を形成する室用空間が設けられた金属製の圧力発生室形成板と、上記圧力発生室形成板に接合され上記圧力発生室を封止する封止板と、上記圧力発生室内の液体を加圧する圧力発生素子と、上記圧力発生室に連通したノズル開口が設けられ上記圧力発生室形成板に接合されたノズルプレートを含んで構成された液体噴射ヘッドの製造装置に用いられ、平行に配列された多数の突条部とこれら突条部の間に形成された空隙部が設けられた第１金型と、上記第１金型と対をなす第２金型との間で圧力発生室形成板を加圧して、上記空隙部内に隔壁部を成形するのと同時に上記溝状窪部を成形するための金型であって、上記第１金型および／または第２金型は、所定の金型形状に成形された金型の表面が研磨仕上げされるとともに、上記研磨仕上げされた金型の表面に硬質コーティングが施されていることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造装置の金型。
【請求項１９】
上記研磨仕上げは、プロファイル・グラインディングである請求項１８記載の液体噴射ヘッドの製造装置の金型。
【請求項２０】
上記硬質コーティングは、ＤＬＣ被膜である請求項１８記載の液体噴射ヘッドの製造装置の金型。
【請求項２１】
圧力発生室となる溝状窪部が列設されるとともに、上記溝状窪部の列設方向に略沿って板厚方向に貫通した状態で液体貯留室を形成する室用空間が設けられた金属製の圧力発生室形成板と、上記圧力発生室形成板に接合され上記圧力発生室を封止する封止板と、上記圧力発生室内の液体を加圧する圧力発生素子と、上記圧力発生室に連通したノズル開口が設けられ上記圧力発生室形成板に接合されたノズルプレートを含んで構成された液体噴射ヘッドであって、上記溝状窪部が列設された側の面とは反対側の圧力発生室形成板の面に、溝状窪部の幅方向の略中央部に対向する位置で溝状窪部の長手方向に沿って凹条が配置されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２２】
上記圧力発生室形成板には、その上記溝状窪部を挟んで室用空間の反対側に、上記溝状窪部の列に沿って凹部が形成されている請求項２１記載の液体噴射ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液体噴射ヘッドの製造方法とそれによってえられた液体噴射ヘッドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
加圧された液体をノズル開口から液滴として吐出させる液体噴射ヘッドは、種々な液体を対象にしたものが知られているが、そのなかでも代表的なものとして、インクジェット式記録ヘッドをあげることができる。そこで、従来の技術を上記インクジェット式記録ヘッドを例にとって説明する。
【０００３】
インクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッドと称する。）は、インク貯留室から圧力発生室を経てノズル開口に至る一連の流路を、ノズル開口に対応させて複数備えている。そして、小型化の要請から各圧力発生室は、記録密度に対応した細かいピッチで形成する必要がある。このため、隣り合う圧力発生室同士を区画する隔壁部の肉厚は極めて薄くなっている。また、圧力発生室とインク貯留室とを連通するインク供給口は、圧力発生室内のインク圧力をインク滴の吐出に効率よく使用するため、その流路幅が圧力発生室よりもさらに絞られている。このような微細形状の圧力発生室及びインク供給口を寸法精度良く作製する観点から、従来の記録ヘッドでは、シリコン基板が好適に用いられている。すなわち、シリコンの異方性エッチングにより結晶面を露出させ、この結晶面で圧力発生室やインク供給口を区画形成している。
【０００４】
また、ノズル開口が形成されるノズルプレートは、加工性等の要請から金属板により作製されている。そして、圧力発生室の容積を変化させるためのダイヤフラム部は、弾性板に形成されている。この弾性板は、金属製の支持板上に樹脂フィルムを貼り合わせた二重構造であり、圧力発生室に対応する部分の支持板を除去することで作製されている。
【０００５】
【特許文献１】
特開２０００−２６３７９９号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記した従来の記録ヘッドでは、隔壁部の肉厚が極めて薄いために、圧力発生室の窪み形状を正確に求めて、圧力発生室等の液体収容容積を均一に設定することが困難であった。特に、圧力発生室の深さ方向で見た隔壁部の高さを所定の高さとなるように製作することが重要であり、この隔壁部の高さを十分な高さとすることにより、圧力発生室等の液体収容容積を所定の値に確保することが可能となる。この窪み形状は、一般に細長い形状とされている場合が多く、それだけに隔壁部の長さが長くなるので、その全長にわたって隔壁部を正確に製作することが、液体収容容積を均一に確保する等の面から重要である。特に、上記のように、適正な形状の窪み形状をえるためには、窪み形状間の隔壁部の高さを製造段階で十分に確保することが重要視される。
【０００７】
また、シリコンと金属との線膨張率の差が大きいため、シリコン基板、ノズルプレート及び弾性板の各部材を貼り合わせるにあたり、比較的低温の下で長時間をかけて接着する必要があった。このため、生産性の向上が図り難く、製造コストが嵩む一因となっていた。このため、塑性加工によって圧力発生室を金属製基板に形成する試みがなされているが、圧力発生室が極めて微細であること、および上記隔壁部を所定の高さで確保する必要があること等から加工が困難であり、生産効率の向上が図り難いという問題点があった。
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、隔壁部を十分な高さで所定の寸法どおりに精密に成形し、圧力発生室等の窪み形状を高精度の下で加工することをその主たる目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の液体噴射ヘッドの製造方法は、圧力発生室となる溝状窪部が列設されるとともに、上記溝状窪部の列設方向に略沿って板厚方向に貫通した状態で液体貯留室を形成する室用空間が設けられた金属製の圧力発生室形成板と、上記圧力発生室形成板に接合され上記圧力発生室を封止する封止板と、上記圧力発生室内の液体を加圧する圧力発生素子と、上記圧力発生室に連通したノズル開口が設けられ上記圧力発生室形成板に接合されたノズルプレートを含んで構成された液体噴射ヘッドの製造方法であって、上記室用空間内に圧力発生室形成板の素材流動を抑制する規制部材を挿入した状態で、平行に配列された多数の突条部とこれら突条部の間に形成された空隙部が設けられた第１金型で圧力発生室形成板を加圧して、上記空隙部内に隔壁部を成形するのと同時に上記溝状窪部を成形することを第１の要旨とする。
【００１０】
すなわち、本発明の液体噴射ヘッドの製造方法は、上記室用空間内に圧力発生室形成板の素材流動を抑制する規制部材を挿入した状態で、平行に配列された多数の突条部とこれら突条部の間に形成された空隙部が設けられた第１金型で圧力発生室形成板を加圧して、上記空隙部内に隔壁部を成形するのと同時に上記溝状窪部を成形するものである。
【００１１】
このため、上記第１金型で加圧された金属素材板すなわち圧力発生室形成板（以下、単に素材ともいう）は、上記規制部材で室用空間への素材流動が抑制されているので、それにともなって上記空隙部内により多量の素材が流動し、隔壁部の高さを高く成形することが可能となる。そして、この隔壁部の成形と同時に上記溝状窪部が成形されるので、溝状窪部の深さも十分に確保することができる。このような成形でえられた隔壁部は、研磨加工等の仕上げ加工で規定どおりの高さに揃えられるのであるが、上記のように十分な高さの隔壁部を確保することにより、所定どおりの「仕上げ代」がえられて、圧力発生室の容積や形状が高精度で加工できる。
【００１２】
本発明の液体噴射ヘッドの製造方法において、上記溝状窪部の列設方向に沿って圧力発生室形成板の素材流動を規制する規制凹部が圧力発生室形成板にあらかじめ設けられ、上記第１金型が上記圧力発生室形成板の規制凹部と上記規制部材との間の領域を加圧する場合には、上記第１金型が圧力発生室形成板の上記領域を加圧すると、加圧によって第１金型の空隙部の長手方向に素材の塑性流動が発生しようとするのであるが、上記規制凹部と規制部材の２者によってこの長手方向の塑性流動が抑制されているので、より多量の素材が第１金型の空隙部の奥の方に向って流動する。したがって、上記空隙部に成形される隔壁部の高さが十分に確保できる。さらに、上記規制凹部が圧力発生室形成板にあらかじめ形成される際に、その形成加工部分に加工硬化が生じる。したがって、空隙部からその長手方向に流動しようとする素材が、上記加工硬化部分において制止され、規制凹部における素材の流動抑制が一層確実に果たされる。
【００１３】
本発明の液体噴射ヘッドの製造方法において、上記第１金型と対をなす第２金型には、上記第１金型の突条部と略同じ長さで上記突条部の長手方向と同じ方向に設けられた多数の筋状突起が設けられ、上記第１金型の突条部と第２金型の筋状突起とが対向する状態で加圧する場合には、対向している上記突条部と筋状突起との間における素材の加圧変形量が最も多くえられ、それによって大量の素材が突条部に隣接している空隙部内に流動する。換言すると、素材は溝状窪部の列設方向に流動する余地がほとんどなく、それによって空隙部内への流動量が増量するのである。したがって、上記空隙部に成形される隔壁部の高さが十分に確保できる。
【００１４】
本発明の液体噴射ヘッドの製造方法において、上記溝状窪部の列と上記室用空間とが組をなして２組配置され、２つの溝状窪部の列が上記規制凹部を間においた状態で配置され、上記２つの溝状窪部の列にそれぞれ隣接した状態で各室用空間が配置されている場合には、２つの溝状窪部が規制凹部と規制部材によって同時に塑性流動の抑制作用を受けるので、１対の溝状窪部を一時に成形することが効率的に行える。特に、規制凹部は１つだけ配置すればよいので、加工が完了した圧力発生室形成板の構造が簡素化される。
【００１５】
本発明の液体噴射ヘッドの製造方法において、上記第２金型として、仮成形用の仮成形金型と、仕上げ加工用の仕上げ金型を設け、上記仮成形金型による仮成形の後、仕上げ金型による仕上げ加工を行う場合には、上記仮成形金型により素材を空隙部内に流動させ、その後、仕上げ金型により空隙部内にさらに多くの素材を流動させ、それと同時に空隙部内における素材の分布を正常な状態に可及的に近づけるので、空隙部内への素材流入量が空隙部の長さ方向においてほぼ真直ぐな状態になり、合わせて隔壁部の高さを高めるのに好都合である。
【００１６】
本発明の液体噴射ヘッドの製造方法において、上記仕上げ加工は、上記室用空間に規制部材が挿入された状態で行われる場合には、仕上げ加工時にも、上記空隙部からその長手方向に流動しようとする素材を抑制するので、仕上げ加工時における素材が空隙部内にさらに流入し、隔壁部の高さを高めるのに有効である。
【００１７】
本発明の液体噴射ヘッドの製造方法において、上記仮成形金型に、上記突条部に対向するとともに上記突条部と略同じ長さの上記筋状突起が設けられ、この筋状突起に長さ方向における中間部の高さが低く設定された凹部が設けられ、突条部と筋状突起の間で加圧された圧力発生室形成板の素材が上記空隙部内に流動する場合には、上記突条部と筋状突起との対向した位置関係によって、素材の塑性流動量が最も多く確保され、それによって大量の素材が突条部に隣接している空隙部内に流動する。そして、上記凹部両側の箇所においては、両金型間の間隔が中間部（凹部）よりも狭くなっていて、この狭い部分においては素材の加圧量が多くなる。このようにして加圧された素材は、加圧方向に略直交する方向へ押し出されるようにして流動させられ、両金型間の間隔が広くなった加圧量の少ない凹部の方へより多くの素材移動がなされる。換言すると、上記素材流動において、凹部が素材の逃げ込み場所を提供しているような機能を果たしている。このようにして、凹部の両側で素材の流動を凹部側へ仕向けつつ空隙部の全域にわたってより多くの素材流入がなされる。
【００１８】
本発明の液体噴射ヘッドの製造方法において、上記仕上げ用金型に、平坦面に長さ方向における中間部の高さが低く設定された収容凹部が設けられ、上記平坦面と突条部との間で加圧された圧力発生室形成板の素材が上記空隙部内に流動する場合には、上記平坦面でさらに素材を突条部の方へ加圧することにより、空隙部内の素材の流入高さが空隙部の長さ方向にわたって可及的に均一になる。すなわち、上記凹部の両側の平坦面が積極的に素材を加圧することとなるので、空隙部内への素材流動高さが凹部に対応した空隙部の部分の素材流入高さと略同じ高さとなり、空隙部の長さ全域にわたって略均一となる。
【００１９】
上記目的を達成するため、本発明の液体噴射ヘッドの製造方法は、圧力発生室となる溝状窪部が列設されると共に、各溝状窪部の一端に板厚方向に貫通する連通口を形成した金属製の圧力発生室形成板と、上記連通口と対応する位置にノズル開口を穿設した金属製のノズルプレートと、溝状窪部の開口面を封止すると共に、溝状窪部の他端に対応する位置に液体供給口を穿設した金属製の封止板とを備え、圧力発生室形成板における溝状窪部側に封止板を、反対側にノズルプレートをそれぞれ接合してなる液体噴射ヘッドの製造方法であって、第１金型には平行に配列された突条部とこれら突条部の間に形成された空隙部が設けられ、第２金型として、上記突条部に対向するとともに上記突条部と略同じ長さの筋状突起が設けられ、この筋状突起には長さ方向における中間部の高さが低く設定された凹部が設けられている仮成形金型と、上記筋状突起が除去された平坦面とされ、上記凹部に対応する箇所に収容凹部が設けられた仕上げ金型とが準備され、第１工程は上記第１金型と上記仮成形金型とのあいだで上記圧力発生室形成板に予備成形を行い、第２工程は上記第１金型と上記仕上げ金型とのあいだで圧力発生室形成板に仕上げ成形を行って上記圧力発生室形成板に溝状窪部を成形することを第２の要旨とする。
【００２０】
すなわち、本発明の液体噴射ヘッドの製造方法は、第１金型には平行に配列された突条部とこれら突条部の間に形成された空隙部が設けられ、第２金型として、上記突条部に対向するとともに上記突条部と略同じ長さの筋状突起が設けられ、この筋状突起には長さ方向における中間部の高さが低く設定された凹部が設けられている仮成形金型と、上記筋状突起が除去された平坦面とされ、上記凹部に対応する箇所に収容凹部が設けられた仕上げ金型とが準備され、第１工程は上記第１金型と上記仮成形金型とのあいだで上記圧力発生室形成板に予備成形を行い、第２工程は上記第１金型と上記仕上げ金型とのあいだで圧力発生室形成板に仕上げ成形を行って上記圧力発生室形成板に溝状窪部を成形する。
【００２１】
このため、上記第１金型と上記仮成形金型とのあいだで上記金属素材板に予備成形が施される第１工程においては、仮成形金型に上記突条部に対向するとともに上記突条部と略同じ長さの筋状突起が設けられ、この筋状突起には長さ方向における中間部の高さが低く設定された凹部が設けられているので、上記凹部両側の第２金型の端部に近い箇所においては、両金型間の間隔が中間部（凹部）よりも狭くなっていて、この狭い部分においては素材の加圧量が多くなる。このようにして加圧された金属素材板は、加圧方向に略直交する方向へ押し出されるようにして流動させられ、両金型間の間隔が広くなった加圧量の少ない凹部の方へより多くの素材移動がなされる。換言すると、上記素材流動において、凹部が素材の逃げ込み場所を提供しているような機能を果たしている。このような素材移動は、主として、上記突条部や空隙部の長手方向に沿って行われ、また、素材の一部が凹部の方へ膨出した隆起部となる。
【００２２】
したがって、上記加圧量の多い箇所においては強い素材加圧により、空隙部への素材流入が積極的に行われ、また、加圧量の少ない凹部の方へはより多くの素材が流動してくるので、凹部に対応した箇所の空隙部に対しても多くの素材流入が行われる。このようにして、凹部の両側で素材の流動を凹部側へ仕向けつつ空隙部の全域にわたってより多くの素材流入が予備成形の段階としてなされる。
【００２３】
上記予備成形（仮成形）に引続いて、第２工程が実行され、上記第１金型と上記仕上げ金型とのあいだで金属素材板に仕上げ成形を行う。上記仕上げ金型は、上記筋状突起が除去された平坦面とされ、上記凹部に対応する箇所に金属素材板に成形された隆起部を収容する収容凹部が設けられた仕上げ加工用とされているので、上記平坦面でさらに素材を突条部の方へ加圧することにより、素材の空隙部内への流動高さが空隙部の長さ方向にわたって可及的に均一になる。このとき、上記収容凹部に上記隆起部が収容されているので、隆起部に相当する量の素材が空隙部内に移動するようなことがなく、上記流動高さの均一化に有効に機能している。
【００２４】
上記の空隙部に流入した素材が窪み形状部（溝状窪部）の隔壁部を構成するような場合においては、窪みの空間形状を正確に形成することができる。さらに、このような微細な構造の加工成形としては、一般に、異方性エッチングの手法が採用されるのであるが、このような手法は加工工数が多大なものとなるので、製造原価の面で不利である。それに対して、上記の金属製素材を対象にした鍛造加工方法によれば、加工工数が大幅に削減され、原価的にも極めて有利である。さらに、各溝状窪部の容積を均一に加工できるので、液体噴射ヘッドの圧力発生室を高精度に成形でき、液体噴射ヘッドの噴射特性を安定させる等の面で非常に有効である。
【００２５】
本発明の液体噴射ヘッドの製造方法において、上記第１金型および／または第２金型が、所定の金型形状に成形された金型の表面が研磨仕上げされるとともに、上記研磨仕上げされた金型の表面に硬質コーティングが施されたものである場合には、金型表面が平滑で高硬度となる。このため、金型表面に沿って滑動する素材の移動が円滑になされて、金型の各部、例えば第１金型の空隙部内への素材の塑性流動が十分に行われ、隔壁部の高さを高くするのに有効である。
【００２６】
本発明の液体噴射ヘッドの製造方法において、上記研磨仕上げが、プロファイル・グラインディングである場合には、成形研削であるプロファイル・グラインディングにより複雑な金型形状部分にいたるまで高精度な仕上げ面がえられる。
【００２７】
本発明の液体噴射ヘッドの製造方法において、上記硬質コーティングが、ＤＬＣ被膜である場合には、ダイアモンドに匹敵するカーボンの被膜が金型表面にコーティングされるので、高硬度による耐磨耗性の向上が図られ、しかも、ＤＬＣ被膜は動摩擦係数が低いことから、金型に接触する素材の流れも円滑で隔壁部の高さを高くするのに有利である。しかも耐磨耗性に優れ、金型の破損も防止されて、金型寿命が長くなる。
【００２８】
上記目的を達成するため、本発明の液体噴射ヘッドの製造装置は、圧力発生室となる溝状窪部が列設されるとともに、上記溝状窪部の列設方向に略沿って板厚方向に貫通した状態で液体貯留室を形成する室用空間が設けられた金属製の圧力発生室形成板と、上記圧力発生室形成板に接合され上記圧力発生室を封止する封止板と、上記圧力発生室内の液体を加圧する圧力発生素子と、上記圧力発生室に連通したノズル開口が設けられ上記圧力発生室形成板に接合されたノズルプレートを含んで構成された液体噴射ヘッドの製造装置であって、少なくとも、上記溝状窪部を成形する平行に配列された多数の突条部とこれら突条部の間に形成された空隙部が設けられた圧力発生室形成板を加圧する第１金型と、上記加圧の際に室用空間内に挿入され圧力発生室形成板の素材流動を抑制する規制部材とを備えたことを要旨とする。
【００２９】
すなわち、本発明の液体噴射ヘッドの製造装置は、少なくとも、上記溝状窪部を成形する平行に配列された多数の突条部とこれら突条部の間に形成された空隙部が設けられた圧力発生室形成板を加圧する第１金型と、上記加圧の際に室用空間内に挿入され圧力発生室形成板の素材流動を抑制する規制部材とを備えている。
【００３０】
このため、上記第１金型で加圧された金属素材板すなわち圧力発生室形成板（以下、単に素材ともいう）は、上記規制部材で室用空間への素材流動が抑制されているので、それにともなって上記空隙部内により多量の素材が流動し、隔壁部の高さを高く成形することが可能となる。そして、この隔壁部の成形と同時に上記溝状窪部が成形されるので、溝状窪部の深さも十分に確保することができる。このような成形でえられた隔壁部は、研磨加工等の仕上げ加工で規定どおりの高さに揃えられるのであるが、上記のように十分な高さの隔壁部を確保することにより、所定どおりの「仕上げ代」がえられて、圧力発生室の容積や形状が高精度で加工できる。
【００３１】
本発明の液体噴射ヘッドの製造装置において、上記第１金型と対をなす第２金型には、上記第１金型の突条部と略同じ長さで上記突条部の長手方向と同じ方向に設けられた多数の筋状突起が設けられ、上記第１金型の突条部と第２金型の筋状突起とが対向している場合には、対向している上記突条部と筋状突起との間における素材の加圧変形量が最も多くえられ、それによって大量の素材が突条部に隣接している空隙部内に流動する。換言すると、素材は溝状窪部の列設方向に流動する余地がほとんどなく、それによって空隙部内への流動量が増量するのである。したがって、上記空隙部に成形される隔壁部の高さが十分に確保できる。
【００３２】
本発明の液体噴射ヘッドの製造装置において、上記第１金型および／または第２金型が、所定の金型形状に成形された金型の表面が研磨仕上げされるとともに、上記研磨仕上げされた金型の表面に硬質コーティングが施されたものである場合には、金型表面が平滑で高硬度となる。このため、金型表面に沿って滑動する素材の移動が円滑になされて、金型の各部、例えば第１金型の空隙部内への素材の塑性流動が十分に行われ、隔壁部の高さを高くするのに有効である。
【００３３】
本発明の液体噴射ヘッドの製造装置において、上記研磨仕上げが、プロファイル・グラインディングである場合には、成形研削であるプロファイル・グラインディングにより複雑な金型形状部分にいたるまで高精度な仕上げ面がえられる。
【００３４】
本発明の液体噴射ヘッドの製造装置において、上記硬質コーティングが、ＤＬＣ被膜である場合には、ダイアモンドに匹敵するカーボンの被膜が金型表面にコーティングされるので、高硬度による耐磨耗性の向上が図られ、しかも、ＤＬＣ被膜は動摩擦係数が低いことから、金型に接触する素材の流れも円滑で隔壁部の高さを高くするのに有利である。しかも耐磨耗性に優れ、金型の破損も防止されて、金型寿命が長くなる。
【００３５】
上記目的を達成するため、本発明の液体噴射ヘッドは、圧力発生室となる溝状窪部が列設されるとともに、上記溝状窪部の列設方向に略沿って板厚方向に貫通した状態で液体貯留室を形成する室用空間が設けられた金属製の圧力発生室形成板と、上記圧力発生室形成板に接合され上記圧力発生室を封止する封止板と、上記圧力発生室内の液体を加圧する圧力発生素子と、上記圧力発生室に連通したノズル開口が設けられ上記圧力発生室形成板に接合されたノズルプレートを含んで構成された液体噴射ヘッドであって、上記溝状窪部が列設された側の面とは反対側の圧力発生室形成板の面に、溝状窪部の幅方向の略中央部に対向する位置で溝状窪部の長手方向に沿って凹条が配置されていることを要旨とする。
【００３６】
すなわち、本発明の液体噴射ヘッドは、上記溝状窪部が列設された側の面とは反対側の圧力発生室形成板の面に、溝状窪部の幅方向の略中央部に対向する位置で溝状窪部の長手方向に沿って凹条が配置されている。
【００３７】
上記圧力発生室からノズル開口に液体を供給する連通口が、各圧力発生室毎に上記反対側の圧力発生室形成板の面に開口しているのであるが、隣合う上記連通口の間の圧力発生室形成板の面には上記凹条が配置されることがなく、各連通口の間は平坦面とすることができる。したがって、圧力発生室形成板を接着剤を用いて上記ノズルプレートに接合することが確実に行われる。特に、上記連通口の間に凹条が存在しないので、接着剤が凹条内に流入して、圧力発生室形成板の接着面とノズルプレートの接着面との間の接着剤の量に不足を来し、それによる接着不良発生の恐れがなくなる。
【００３８】
本発明の液体噴射ヘッドにおいて、上記圧力発生室形成板に、その上記溝状窪部を挟んで室用空間の反対側に、上記溝状窪部の列に沿って凹部が形成されている場合には、上記凹部が溝状窪部近傍の圧力発生室形成板の剛性を高めているので、圧力発生室形成板自体の剛性を高めて、湾曲等の異常変形のない高精度の圧力発生室形成板がえられる。したがって、圧力発生室形成板に上記封止板やノズルプレート等を接合して、組み立て精度の高い液体噴射ヘッドがえられる。
【００３９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００４０】
本発明において製造の対象となっている液体噴射ヘッドは、上述のように種々な液体を対象にして機能させることができ、図示の実施の形態においてはその代表的な事例として、この液体噴射ヘッドをインクジェット式記録ヘッドに適用した例を示している。
【００４１】
図１及び図２に示すように、記録ヘッド１は、ケース２と、このケース２内に収納される振動子ユニット３と、ケース２の先端面に接合される流路ユニット４と、先端面とは反対側のケース２の取付面上に配置される接続基板５と、ケース２の取付面側に取り付けられる供給針ユニット６等から概略構成されている。
【００４２】
上記の振動子ユニット３は、図３に示すように、圧電振動子群７と、この圧電振動子群７が接合される固定板８と、圧電振動子群７に駆動信号を供給するためのフレキシブルケーブル９とから概略構成される。
【００４３】
圧電振動子群７は、列状に形成された複数の圧電振動子１０…を備える。各圧電振動子１０…は、圧力発生素子の一種であり、電気機械変換素子の一種でもある。これらの各圧電振動子１０…は、列の両端に位置する一対のダミー振動子１０ａ，１０ａと、これらのダミー振動子１０ａ，１０ａの間に配置された複数の駆動振動子１０ｂ…とから構成されている。そして、各駆動振動子１０ｂ…は、例えば、５０μｍ〜１００μｍ程度の極めて細い幅の櫛歯状に切り分けられ、１８０本設けられる。また、ダミー振動子１０ａは、駆動振動子１０ｂよりも十分広い幅であり、駆動振動子１０ｂを衝撃等から保護する保護機能と、振動子ユニット３を所定位置に位置付けるためのガイド機能とを有する。
【００４４】
各圧電振動子１０…は、固定端部を固定板８上に接合することにより、自由端部を固定板８の先端面よりも外側に突出させている。すなわち、各圧電振動子１０…は、いわゆる片持ち梁の状態で固定板８上に支持されている。そして、各圧電振動子１０…の自由端部は、圧電体と内部電極とを交互に積層して構成されており、対向する電極間に電位差を与えることで素子長手方向に伸縮する。
【００４５】
フレキシブルケーブル９は、固定板８とは反対側となる固定端部の側面で圧電振動子１０と電気的に接続されている。そして、このフレキシブルケーブル９の表面には、圧電振動子１０の駆動等を制御するための制御用ＩＣ１１が実装されている。また、各圧電振動子１０…を支持する固定板８は、圧電振動子１０からの反力を受け止め得る剛性を備えた板状部材であり、ステンレス板等の金属板が好適に用いられる。
【００４６】
上記のケース２は、例えば、エポキシ系樹脂等の熱硬化性樹脂で成形されたブロック状部材である。ここで、ケース２を熱硬化性樹脂で成形しているのは、この熱硬化性樹脂は、一般的な樹脂よりも高い機械的強度を有しており、線膨張係数が一般的な樹脂よりも小さく、周囲の温度変化による変形が小さいからである。そして、このケース２の内部には、振動子ユニット３を収納可能な収納空部１２と、インクの流路の一部を構成するインク供給路１３とが形成されている。
【００４７】
収納空部１２は、振動子ユニット３を収納可能な大きさの空部である。この収納空部１２の先端側部分はケース内壁が側方に向けて部分的に突出しており、この突出部分の上面が固定板当接面として機能する。そして、振動子ユニット３は、各圧電振動子１０の先端が開口から臨む状態で収納空部１２内に収納される。この収納状態において、固定板８の先端面は固定板当接面に当接した状態で接着されている。
【００４８】
インク供給路１３は、ケース２の高さ方向を貫通するように形成され、先端が後述のインク貯留室１４に連通している。また、インク供給路１３における取付面側の端部は、取付面から突設した接続口１６内に形成されている。
【００４９】
上記の接続基板５は、記録ヘッド１に供給する各種信号用の電気配線が形成されると共に、信号ケーブルを接続可能なコネクタ１７が取り付けられた配線基板である。そして、この接続基板５は、ケース２における取付面上に配置され、フレキシブルケーブル９の電気配線が半田付け等によって接続される。また、コネクタ１７には、制御装置（図示せず）からの信号ケーブルの先端が挿入される。
【００５０】
上記の供給針ユニット６は、インクカートリッジ（図示せず）が接続される部分であり、針ホルダ１８と、インク供給針１９と、フィルタ２０とから概略構成される。
【００５１】
インク供給針１９は、インクカートリッジ内に挿入される部分であり、インクカートリッジ内に貯留されたインクを導入する。このインク供給針１９の先端部は円錐状に尖っており、インクカートリッジ内に挿入し易くなっている。また、この先端部には、インク供給針１９の内外を連通するインク導入孔が複数穿設されている。そして、本実施形態の記録ヘッド１は２種類のインクを吐出可能であるため、図１に示すように、このインク供給針１９を２本備えている。
【００５２】
針ホルダ１８は、インク供給針１９を取り付けるための部材であり、その表面にはインク供給針１９の根本部分を止着するための台座２１を２本分横並びに形成している。この台座２１は、インク供給針１９の底面形状に合わせた円形状に作製されている。また、台座底面の略中心には、針ホルダ１８の板厚方向を貫通するインク排出口２２を形成している。また、この針ホルダ１８には、フランジ部を側方に延出している。
【００５３】
フィルタ２０は、埃や成形時のバリ等のインク内の異物の通過を阻止する部材であり、例えば、目の細かな金属網によって構成される。このフィルタ２０は、台座２１内に形成されたフィルタ保持溝に接着されている。
【００５４】
そして、この供給針ユニット６は、図２に示すように、ケース２の取付面上に配設される。この配設状態において、供給針ユニット６のインク排出口２２とケース２の接続口１６とは、パッキン２３を介して液密状態で連通する。
【００５５】
次に、上記の流路ユニット４について説明する。この流路ユニット４は、圧力発生室形成板３０の一方の面にノズルプレート３１を、圧力発生室形成板３０の他方の面に封止板の１つである弾性板３２を接合した構成である。
【００５６】
圧力発生室形成板３０は、図４に示すように、長手方向に多数平行に列設された溝状窪部３３と、上記各溝状窪部３３に設けられた連通口３４と、インク貯留室１４を形成するための室用空間３５とを形成した金属製の板状部材である。上記室用空間３５は、溝状窪部３３の列設方向に略沿って圧力発生室形成板３０の板厚方向に貫通した状態で設けられ、図４に示すように、溝状窪部３３の列設方向に延びた細長い形状とされている。後述の図１５にも同様な室用空間３５が図示されている。本実施形態では、この圧力発生室形成板３０を、厚さ０．３５ｍｍのニッケル製の基板を加工することで作製している。
【００５７】
ここで、基板としてニッケルを選定した理由について説明する。第１の理由は、このニッケルの線膨張係数が、ノズルプレート３１や弾性板３２の主要部を構成する金属（本実施形態では後述するようにステンレス）の線膨張係数と略等しいからである。すなわち、流路ユニット４を構成する圧力発生室形成板３０、弾性板３２及びノズルプレート３１の線膨張係数が揃うと、これらの各部材を加熱接着した際において、各部材は均等に膨張する。このため、膨張率の相違に起因する反り等の機械的ストレスが発生し難い。その結果、接着温度を高温に設定しても各部材を支障なく接着することができる。また、記録ヘッド１の動作時に圧電振動子１０が発熱し、この熱によって流路ユニット４が加熱されたとしても、流路ユニット４を構成する各部材３０，３１，３２が均等に膨張する。このため、記録ヘッド１の動作に伴う加熱と作動停止に伴う冷却とが繰り返し行われても、流路ユニット４を構成する各部材３０，３１，３２に剥離等の不具合は生じ難い。
【００５８】
第２の理由は、防錆性に優れているからである。すなわち、この種の記録ヘッド１では水性インクが好適に用いられているので、長期間に亘って水が接触しても錆び等の変質が生じないことが肝要である。その点、ニッケルは、ステンレスと同様に防錆性に優れており、錆び等の変質が生じ難い。
【００５９】
第３の理由は、展性に富んでいるからである。すなわち、圧力発生室形成板３０を作製するにあたり、本実施形態では後述するように塑性加工（例えば、鍛造加工）で行っている。そして、圧力発生室形成板３０に形成される溝状窪部３３や連通口３４は、極めて微細な形状であり、且つ、高い寸法精度が要求される。そして、基板にニッケルを用いると、展性に富んでいることから塑性加工であっても溝状窪部３３や連通口３４を高い寸法精度で形成することができる。
【００６０】
なお、圧力発生室形成板３０に関し、上記した各要件、すなわち、線膨張係数の要件、防錆性の要件、および、展性の要件を満たすならば、ニッケル以外の金属で構成してもよい。
【００６１】
溝状窪部３３は、圧力発生室２９となる溝状の窪部であり、図５に拡大して示すように、直線状の溝によって構成されている。本実施形態では、幅約０．１ｍｍ，長さ約１．５ｍｍ，深さ約０．１ｍｍの溝を溝幅方向に１８０個列設している。この溝状窪部３３の底面は、深さ方向（すなわち、奥側）に進むに連れて縮幅されてＶ字状に窪んでいる。底面をＶ字状に窪ませたのは、隣り合う圧力発生室２９，２９同士を区画する隔壁部２８の剛性を高めるためである。すなわち、底面をＶ字状に窪ませることにより、隔壁部２８の根本部分（底面側の部分）の肉厚が厚くなって隔壁部２８の剛性が高まる。そして、隔壁部２８の剛性が高くなると、隣の圧力発生室２９からの圧力変動の影響を受け難くなる。すなわち、隣の圧力発生室２９からのインク圧力の変動が伝わり難くなる。また、底面をＶ字状に窪ませることにより、溝状窪部３３を塑性加工によって寸法精度よく形成することもできる（後述する）。そして、このＶ字の角度は、加工条件によって規定されるが、例えば９０度前後である。さらに、隔壁部２８における先端部分の肉厚が極く薄いことから、各圧力発生室２９…を密に形成しても必要な容積を確保することができる。
【００６２】
また、本実施形態における溝状窪部３３に関し、その長手方向両端部は、奥側に進むにつれて内側に下り傾斜している。すなわち、溝状窪部３３の長手方向両端部は、面取形状に形成されている。このように構成したのも、溝状窪部３３を塑性加工によって寸法精度よく形成するためである。
【００６３】
さらに、両端部の溝状窪部３３，３３に隣接させてこの溝状窪部３３よりも幅広なダミー窪部３６を１つずつ形成している。このダミー窪部３６は、インク滴の吐出に関与しないダミー圧力発生室となる溝状の窪部である。本実施形態のダミー窪部３６は、幅約０．２ｍｍ，長さ約１．５ｍｍ，深さ約０．１ｍｍの溝によって構成されている。そして、このダミー窪部３６の底面は、Ｗ字状に窪んでいる。これも、隔壁部２８の剛性を高めるため、および、ダミー窪部３６を塑性加工によって寸法精度よく形成するためである。
【００６４】
そして、各溝状窪部３３…および一対のダミー窪部３６，３６によって溝状窪部の列３３ａが構成される。本実施形態では、この列３３ａを横並びに２列形成している。すなわち、溝状窪部の列３３ａと室用空間３５が組をなして、２組配置されている。
【００６５】
連通口３４は、溝状窪部３３の一端から板厚方向に貫通する貫通孔として形成している。この連通口３４は、溝状窪部３３毎に形成されており、１つの窪部列に１８０個形成されている。本実施形態の連通口３４は、開口形状が矩形状であり、圧力発生室形成板３０における溝状窪部３３側から板厚方向の途中まで形成した第１連通口３７と、溝状窪部３３とは反対側の表面から板厚方向の途中まで形成した第２連通口３８とから構成されている。
【００６６】
そして、第１連通口３７と第２連通口３８とは断面積が異なっており、第２連通口３８の内寸法が第１連通口３７の内寸法よりも僅かに小さく設定されている。これは、連通口３４をプレス加工によって作製していることに起因する。すなわち、この圧力発生室形成板３０は、厚さ０．３５ｍｍのニッケル板を加工することで作製しているため、連通口３４の長さは、溝状窪部３３の深さを差し引いても０．２５ｍｍ以上となる。そして、連通口３４の幅は、溝状窪部３３の溝幅よりも狭くする必要があるので、０．１ｍｍ未満に設定される。このため、連通口３４を１回の加工で打ち抜こうとすると、アスペクト比の関係で雄型（ポンチ）が座屈するなどしてしまう。そこで、本実施形態では、加工を２回に分け、１回目の加工では第１連通口３７を板厚方向の途中まで形成し、２回目の加工で第２連通口３８を形成している。なお、この連通口３４の加工手順については、後で説明する。
【００６７】
また、ダミー窪部３６にはダミー連通口３９が形成されている。このダミー連通口３９は、上記の連通口３４と同様に、第１ダミー連通口４０と第２ダミー連通口４１とから構成されており、第２ダミー連通口４１の内寸法が第１ダミー連通口４０の内寸法よりも小さく設定されている。
【００６８】
なお、本実施形態では、上記の連通口３４およびダミー連通口３９に関し、開口形状が矩形状の貫通孔によって構成されたものを例示したが、この形状に限定されるものではない。例えば、円形に開口した貫通孔によって構成してもよい。
【００６９】
次に、上記の弾性板３２について説明する。この弾性板３２は、封止板の一種であり、例えば、支持板４２上に弾性体膜４３を積層した二重構造の複合材（本発明の金属材の一種）によって作製される。本実施形態では、支持板４２としてステンレス板を用い、弾性体膜４３としてＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）を用いている。
【００７０】
ダイヤフラム部４４は、圧力発生室２９の一部を区画する部分である。すなわち、ダイヤフラム部４４は溝状窪部３３の開口面を封止し、この溝状窪部３３と共に圧力発生室２９を区画形成する。このダイヤフラム部４４は、図７（ａ）に示すように、溝状窪部３３に対応した細長い形状であり、溝状窪部３３を封止する封止領域に対し、各溝状窪部３３…毎に形成されている。具体的には、ダイヤフラム部４４の幅は溝状窪部３３の溝幅と略等しく設定され、ダイヤフラム部４４の長さは溝状窪部３３の長さよりも多少短く設定されている。長さに関し、本実施形態では、溝状窪部３３の長さの約２／３に設定されている。そして、形成位置に関し、図２に示すように、ダイヤフラム部４４の一端を、溝状窪部３３の一端（連通口３４側の端部）に揃えている。
【００７１】
このダイヤフラム部４４は、図７（ｂ）に示すように、溝状窪部３３に対応する部分の支持板４２をエッチング等によって環状に除去して弾性体膜４３のみとすることで作製され、この環内には島部４７を形成している。この島部４７は、圧電振動子１０の先端面が接合される部分である。
【００７２】
インク供給口４５は、圧力発生室２９とインク貯留室１４とを連通するための孔であり、弾性板３２の板厚方向を貫通している。このインク供給口４５も、ダイヤフラム部４４と同様に、溝状窪部３３に対応する位置に各溝状窪部３３…毎に形成されている。このインク供給口４５は、図２に示すように、連通口３４とは反対側の溝状窪部３３の他端に対応する位置に穿設されている。また、このインク供給口４５の直径は、溝状窪部３３の溝幅よりも十分に小さく設定されている。本実施形態では、２３ミクロンの微細な貫通孔によって構成している。
【００７３】
このようにインク供給口４５を微細な貫通孔にした理由は、圧力発生室２９とインク貯留室１４との間に流路抵抗を付与するためである。すなわち、この記録ヘッド１では、圧力発生室２９内のインクに付与した圧力変動を利用してインク滴を吐出させている。このため、インク滴を効率よく吐出させるためには、圧力発生室２９内のインク圧力をできるだけインク貯留室１４側に逃がさないようにすることが肝要である。この観点から本実施形態では、インク供給口４５を微細な貫通孔によって構成している。
【００７４】
そして、本実施形態のように、インク供給口４５を貫通孔によって構成すると、加工が容易であり、高い寸法精度が得られるという利点がある。すなわち、このインク供給口４５は貫通孔であるため、レーザー加工による作製が可能である。従って、微細な直径であっても高い寸法精度で作製でき、作業も容易である。
【００７５】
なお、弾性板３２を構成する支持板４２及び弾性体膜４３は、この例に限定されるものではない。例えば、弾性体膜４３としてポリイミドを用いてもよい。
【００７６】
次に、上記のノズルプレート３１について説明する。ノズルプレート３１は、ノズル開口４８を列設した金属製の板状部材である。本実施形態ではステンレス板を用い、ドット形成密度に対応したピッチで複数のノズル開口４８…を開設している。本実施形態では、合計１８０個のノズル開口４８…を列設してノズル列を構成し、このノズル列を２列横並びに形成している。そして、このノズルプレート３１を圧力発生室形成板３０の他方の表面、すなわち、弾性板３２とは反対側の表面に接合すると、対応する連通口３４に各ノズル開口４８…が臨む。
【００７７】
そして、上記の弾性板３２を、圧力発生室形成板３０の一方の表面、すなわち、溝状窪部３３の形成面に接合すると、ダイヤフラム部４４が溝状窪部３３の開口面を封止して圧力発生室２９が区画形成される。同様に、ダミー窪部３６の開口面も封止されてダミー圧力発生室が区画形成される。また、上記のノズルプレート３１を圧力発生室形成板３０の他方の表面に接合するとノズル開口４８が対応する連通口３４に臨む。この状態で島部４７に接合した圧電振動子１０を伸縮すると、島部４７周辺の弾性体膜４３が変形し、島部４７が溝状窪部３３側に押されたり、溝状窪部３３側から離隔する方向に引かれたりする。この弾性体膜４３の変形により、圧力発生室２９が膨張したり収縮したりして圧力発生室２９内のインクに圧力変動が付与される。
【００７８】
上記構成の記録ヘッド１は、インク供給針１９からインク貯留室１４までの共通インク流路と、インク貯留室１４から圧力発生室２９を通って各ノズル開口４８…に至る個別インク流路とを有する。そして、インクカートリッジに貯留されたインクは、インク供給針１９から導入されて共通インク流路を通ってインク貯留室１４に貯留される。このインク貯留室１４に貯留されたインクは、個別インク流路を通じてノズル開口４８から吐出される。
【００７９】
例えば、圧電振動子１０を収縮させると、ダイヤフラム部４４が振動子ユニット３側に引っ張られて圧力発生室２９が膨張する。この膨張により圧力発生室２９内が負圧化されるので、インク貯留室１４内のインクがインク供給口４５を通って各圧力発生室２９に流入する。その後、圧電振動子１０を伸張させると、ダイヤフラム部４４が圧力発生室形成板３０側に押されて圧力発生室２９が収縮する。この収縮により、圧力発生室２９内のインク圧力が上昇し、対応するノズル開口４８からインク滴が吐出される。
【００８０】
そして、この記録ヘッド１では、圧力発生室２９（溝状窪部３３）の底面がＶ字状に窪んでいる。このため、隣り合う圧力発生室２９，２９同士を区画する隔壁部２８は、その根本部分の肉厚が先端部分の肉厚よりも厚く形成される。これにより、隔壁部２８の剛性を従来よりも高めることができる。従って、インク滴の吐出時において、圧力発生室２９内にインク圧力の変動が生じたとしても、その圧力変動を隣の圧力発生室２９に伝わり難くすることができる。その結果、所謂隣接クロストークを防止でき、インク滴の吐出を安定化できる。
【００８１】
また、本実施形態では、列端部の圧力発生室２９，２９に隣接させてインク滴の吐出に関与しないダミー圧力発生室（すなわち、ダミー窪部３６と弾性板３２とによって区画される空部）を設けたので、これらの両端の圧力発生室２９，２９に関し、片側には隣りの圧力発生室２９が形成され、反対側にはダミー圧力発生室が形成されることになる。これにより、列端部の圧力発生室２９，２９に関し、その圧力発生室２９を区画する隔壁の剛性を、列途中の他の圧力発生室２９…における隔壁の剛性に揃えることができる。その結果、一列全ての圧力発生室２９のインク滴吐出特性を揃えることができる。
【００８２】
さらに、このダミー圧力発生室に関し、列設方向側の幅を各圧力発生室２９…の幅よりも広くしている。換言すれば、ダミー窪部３６の幅を溝状窪部３３の幅よりも広くしている。これにより、列端部の圧力発生室２９と列途中の圧力発生室２９の吐出特性をより高い精度で揃えることができる。
【００８３】
次に、上記記録ヘッド１の製造方法について説明する。なお、この製造方法では、上記の圧力発生室形成板３０の製造工程に特徴を有しているので、圧力発生室形成板３０の製造工程を中心に説明することにする。なお、この圧力発生室形成板３０は、順送り型による鍛造加工によって作製される。また、圧力発生室形成板３０の素材として使用する帯板は、上記したようにニッケル製である。
【００８４】
圧力発生室形成板３０の製造工程は、溝状窪部３３を形成する溝状窪部形成工程と、連通口３４を形成する連通口形成工程とからなり、順送り型によって行われる。
【００８５】
溝状窪部形成工程では、図８に示す雄型５１と図９に示す雌型５２とを用いる。この雄型５１は、溝状窪部３３を形成するための金型である。この雄型には、溝状窪部３３を形成するための突条部５３を、溝状窪部３３と同じ数だけ列設してある。また、列設方向両端部の突条部５３に隣接させてダミー窪部３６を形成するためのダミー突条部（図示せず）も設ける。突条部５３の先端部分５３ａは先細りした山形とされており、例えば図８（ｂ）に示すように、幅方向の中心から４５度程度の角度で面取りされている。すなわち、突条部５３の先端に形成した山形の斜面により楔状の先端部分５３ａが形成されている。これにより、長手方向から見てＶ字状に尖っている。また、先端部分５３ａにおける長手方向の両端は、図８（ａ）に示すように、４５度程度の角度で面取りしてある。このため、突条部５３の先端部分５３ａは、三角柱の両端を面取りした形状となっている。
【００８６】
また、雌型５２には、その上面に筋状突起５４が複数形成されている。この筋状突起５４は、隣り合う圧力発生室２９，２９同士を区画する隔壁部２８の形成に不可欠なものであり、上記突条部５３と対向した箇所に位置する。この筋状突起５４は四角柱状であり、高さは幅と同程度である。また、筋状突起５４の長さは溝状窪部３３（突条部５３）の長さと同程度に設定されている。
【００８７】
上記雄型５１が第１金型５１ａであり、また、雌型５２が第２金型５２ａである。第２金型５２ａに設けられた筋状突起５４は、上記突条部５３と略同じ長さで突条部５３の長手方向と同じ方向に多数設けられ、突条部５３と筋状突起５４とが対向した位置関係とされている。このような位置関係なので、第１金型５１ａと第２金型５２ａの間で素材（圧力発生室形成板３０）が加圧されると、突条部５３と筋状突起５４の間に存在する素材の加圧量が最も多くなる。
【００８８】
そして、溝状窪部形成工程では、まず、図１０（ａ）に示すように、雌型５２の上面に素材であるとともに圧力発生室形成板である帯板５５を載置し、帯板５５の上方に雄型５１を配置する。次に、図１０（ｂ）に示すように、雄型５１を下降させて突条部５３の先端部を帯板５５内に押し込む。このとき、突条部５３の先端部分５３ａをＶ字状に尖らせているので、突条部５３を座屈させることなく先端部分５３ａを帯板５５内に確実に押し込むことができる。この突条部５３の押し込みは、図１０（ｃ）に示すように、帯板５５の板厚方向の途中まで行う。
【００８９】
突条部５３の押し込みにより、帯板５５の一部分が流動し、溝状窪部３３が形成される。ここで、突条部５３の先端部分５３ａがＶ字状に尖っているので、微細な形状の溝状窪部３３であっても、高い寸法精度で作製することができる。すなわち、先端部分５３ａで押された部分が円滑に流れるので、形成される溝状窪部３３は突条部５３の形状に倣った形状に形成される。このときに、先端部分５３ａで押し分けられるようにして流動した素材５５は、突条部５３のあいだに設けられた空隙部５３ｂ内に流入し隔壁部２８が成形される。さらに、先端部分５３ａにおける長手方向の両端も面取りしてあるので、当該部分で押圧された帯板５５も円滑に流れる。従って、溝状窪部３３の長手方向両端部についても高い寸法精度で作製できる。
【００９０】
また、突条部５３の押し込みを板厚方向の途中で止めているので、貫通孔として形成する場合よりも厚い帯板５５を用いることができる。これにより、圧力発生室形成板３０の剛性を高めることができ、インク滴の吐出特性の向上が図れる。また、圧力発生室形成板３０の取り扱いも容易になる。
【００９１】
また、突条部５３で押圧されたことにより、帯板５５の一部は隣り合う突条部５３，５３の空間内すなわち空隙部５３ｂ内に隆起する。ここで、突条部５３と筋状突起５４は上記のように対向した位置関係とされているので、突条部５３と筋状突起５４との間の素材５５が最も多く加圧され、それによりこの加圧された部分の素材５５の塑性流動が空隙部５３ｂに向って積極的に行われ、突条部５３間の空間（空隙部５３ｂ）に対して効率よく素材の塑性流動がなされて、隔壁部２８を高く形成できる。
【００９２】
なお、図１０の（ｄ）は実線図示の突条部５３と２点鎖線図示の筋状突起５４との位置関係を平面的に示したもので、筋状突起５４が、上記突条部５３と略同じ長さで突条部５３の長手方向と同じ方向に多数設けられ、突条部５３と筋状突起５４とが対向した位置関係とされている。
【００９３】
本発明の前提となる溝状窪部３３の成形は、基本的には上述のとおりである。ここで、溝状窪部３３の成形精度、とりわけ隔壁部２８の成形処理が重要となる。このような要請に応えるために、本発明では、圧力発生室形成板３０（素材，帯板，金属素材板５５）の塑性流動を規制して、適正な隔壁部２８を成形するようにしている。それと同時に、鍛造加工パンチに第１金型と、仮成形金型と仕上げ金型からなる第２金型を保有させ、第２金型に特殊な形状を付与して、隔壁部２８の形状の適正化を図っている。
【００９４】
図１１〜図１４は、まず最初に、上記第１金型と特殊な形状を付与した第２金型によって隔壁部２８や溝状窪部３３が成形される加工工程を示している。なお、すでに説明された部位と同じ機能を果たす部位については、同一の符号を図中に記載してある。
【００９５】
なお、前述の雄型５１および雌型５２により帯板（素材）５５に塑性加工を行うときには、常温の温度条件下であり、また、以下に説明する塑性加工においても同様に常温の温度条件で塑性加工を行っている。
【００９６】
雄型５１ａすなわち第１金型に、多数の成形パンチ５１ｂが配列されている。溝状窪部３３を成形するために、この成形パンチ５１ｂを細長く変形して、突条部５３ｃとされている。そして、この突条部５３ｃは、所定ピッチで平行に配列されている。また、隔壁部２８を成形するために、上記成形パンチ５１ｂの間に空隙部５３ｂ（図８，図１０参照）が設けられている。上記第１金型５１ａが素材である圧力発生室形成板３０（５５）に押込まれた状態が、図１２（Ｃ）に示してある。
【００９７】
一方、上記雌型５２ａすなわち第２金型は、上記突条部５３ｃの長手方向における中間部に対応する部分に、突条部５３ｃの配列方向に延びる凹部５４ａが設けられている。そして、第２金型５２ａには、仮成形金型５６と仕上げ金型５７の２種類の金型が準備されている。
【００９８】
上記第２金型５２ａは、仮成形用の仮成形金型５６と、該仮成形金型５６による仮成形後に仕上げ加工を行うための仕上げ金型５７とを有しているので、上記仮成形金型５６により素材５５を空隙部５３ｂ内に流動させ、その後、仕上げ金型５７により空隙部５３ｂ内における素材５５の分布を正常な状態に可及的に近づけるので、空隙部５３ｂ内への素材流入量が空隙部５３ｂの長さ方向において略真直ぐな状態になり、液体噴射ヘッド１の圧力発生室２９の隔壁部２８として機能させるときに好都合である。
【００９９】
このような第２金型５２ａの構成や作動を詳細に述べると次のとおりである。
【０１００】
上記仮成形金型５６には上記突条部５３ｃに対向するとともにこの突条部５３ｃと略同じ長さの筋状突起５４が形成されている。そして、この筋状突起５４にはその長さ方向における中間部の高さが低く設定された凹部５４ａが設けられている。図１４は、多数配列されている筋状突起５４のなかの１つを示す側面図であり、同図（Ａ）では中央部に円弧状の凹部５４ａが形成されている。
【０１０１】
上記筋状突起５４は、図９や図１０に示したものは、高さの低い突条のような部材形状であるが、凹部５４ａを形成するためには、筋状突起５４に図１２〜図１４に示すような所要の高さが必要とされている。したがって、このような凹部５４ａが形成された筋状突起５４は、高さのある「突条」が多数平行に配列されたもので、図１２では断面形状が先端の尖った楔形状とされている。この楔形状部分の楔角度は、９０度以下の鋭角とされている。なお、筋状突起５４の配列により谷部５６ａが形成されている。また、圧力発生室形成板３０（素材５５）の裏面に後述の仮成形工程で成形される隆起部５５ａが図示されている。
【０１０２】
上記筋状突起５４の長手方向の凹部５４ａの長さは、筋状突起５４の長さの約１／２以下に設定してある。また、筋状突起５４のピッチは０．１４ｍｍである。この筋状突起５４のピッチについては、０．３ｍｍ以下とすることにより、液体噴射ヘッド等の部品加工等においてより好適な予備成形となる。このピッチは好ましくは０．２ｍｍ以下，より好ましくは０．１５ｍｍ以下である。さらに、筋状突起５４の少なくとも凹部５４ａの部分は、その表面が平滑に仕上げられている。この仕上げとしては、鏡面仕上げが適しているが、他に例えば、クロム鍍金を施してもよい。
【０１０３】
上記楔形状部分の稜線部分を削り取るようにして形成されたのが、図１４の（Ａ）〜（Ｆ）の示すような凹部５４ａである。（Ａ）は前述のように円弧状，（Ｂ）は平面で構成された凹部形状，（Ｃ）は両端部が小さな曲面とされ大部分が平面とされた凹部形状，（Ｄ）は両端部が平坦な傾斜面とされ中央部が平面とされた凹部形状，（Ｅ）（Ｆ）は凹部の中間部分に隆起形状部５４ｂが設けられている凹部形状である。上記のように楔形状部分の稜線部分を削り取って凹部５４ａが形成されているので、凹部５４ａの頂面は図１４（Ａ２）のように断面で見ると平面となり、凹部全体では細長い円弧面になっている。
【０１０４】
上記の筋状突起５４は楔形状で先端部が尖っているが、素材５５の移動状態等により図１４（Ｇ）に示すように平坦な頂面５４ｃまたは丸みのある先端部の形状にしてもよい。
【０１０５】
つぎに、上記第２金型５２ａの仕上げ金型５７は、上記仮成形金型５６による仮成形後に使用されるもので、この仕上げ金型５７には仮成形金型５６の筋状突起５４が除去された平坦面５７ａが形成され、また、仮成形金型５６の凹部５４ａに対応する箇所に収容凹部５７ｂが形成されている。すなわち、仕上げ金型５７の成形面の幅方向で見て、中央部に収容凹部５７ｂが形成され、この収容凹部５７ｂの両側に平坦面５７ａが設けられている。
【０１０６】
上記平坦面５７ａは、上記突条部５３ｃの配列方向における端部近傍の箇所が端部に向かって低くなる表面形状とされている。図１３（Ａ）に示す表面形状は上記平坦面５７ａに連続した傾斜面５７ｃである。
【０１０７】
第１金型５１ａと第２金型５２ａは、金型が進退動作をする通常の鍛造加工装置（図示していない）に固定され、両金型５１ａと５２ａのあいだに圧力発生室形成板３０（５５）を配置して、順次加工がなされる。また、第２金型５２ａは仮成形金型５６と仕上げ金型５７が組になって構成されているので、仮成形金型５６と仕上げ金型５７を順送り式の鍛造加工装置に隣合わせて配列し、圧力発生室形成板３０（５５）を順次移行させるのが適当である。
【０１０８】
つぎに、上記の第１金型５１ａ，第２金型５２ａによって構成された鍛造加工パンチの加工動作を説明する。
【０１０９】
上記両金型５１ａ，５２ａの間で加圧された金属素材板５５は、対向関係となっている突条部５３ｃと筋状突起５４との間で十分に加圧されるので、第１金型５１ａの空隙部５３ｂに押込まれるようにして素材５５の流入移動がなされる。このとき、第２金型５２ａには中間部の高さが低くされた凹部５４ａが設けられているので、上記凹部５４ａ両側の第２金型５２ａの端部に近い箇所５６ｂ，５６ｂ（図１２（Ｄ）参照）においては、両金型５１ａ，５２ａ間の間隔Ｄ１が中間部（凹部）の間隔Ｄ２よりも狭くなっていて、この狭い部分においては素材の加圧量が多くなる。このようにして加圧された金属素材板５５は、加圧方向に略直交する方向へ押し出されるようにして流動させられ、両金型５１ａ，５２ａ間の間隔が広くなった加圧量の少ない凹部５４ａの方へより多くの素材移動がなされる。換言すると、上記素材流動において、凹部５４ａが素材５５の逃げ込み場所を提供しているような機能を果たしている。このような素材移動は、主として、上記突条部５３ｃや空隙部５３ｂの長手方向に沿って行われ、また、素材５５の一部が凹部５４ａの方へ膨出した隆起部５５ａとなる。
【０１１０】
したがって、上記加圧量の多い箇所５６ｂにおいては強い素材加圧により、空隙部５３ｂへの素材流入が積極的に行われ、また、加圧量の少ない凹部５４ａの方へはより多くの素材５５が流動してくるので、凹部５４ａに対応した箇所の空隙部５３ｂに対しても多くの素材流入が行われる。このようにして、凹部５４ａの両側５６ｂ，５６ｂで素材の流動を凹部５４ａ側へ仕向けつつ空隙部の全域にわたってより多くの素材流入がなされる。また、突条部５３ｃは所定ピッチで配列されているので、各突条部５３ｃの押込みによる配列方向（突条部の幅方向）への素材の流動現象が、流動方向および流動量のいずれにおいても均一化される。このような上記所定ピッチに基づく素材５５の流動が、上記の空隙部５３ｂの長手方向への流動現象を乱すようなことがなく、各空隙部５３ｂへの均一な素材の流入に寄与している。
【０１１１】
上記の加工動作は、第２金型５２ａの凹部５４ａの動作機能に重点を置いて説明したものであるが、図示の筋状突起５４およびその凹部５４ａによる動作機能はつぎのとおりである。図１２（Ｂ）は、第１金型５１ａと第２金型５２ａとの間で素材５５が加圧される直前の状態を示している。この状態から（Ｃ）（Ｄ）に示すように両金型５１ａ，５２ａ間で素材５５が加圧されると、筋状突起５４が素材５５に突き刺さるようにして圧入されて行くのと同時に、空隙部５３ｂ内への素材流動がなされて、隔壁部２８の仮成形がなされる。
【０１１２】
上記の仮成形の段階においては、筋状突起５４の凹部５４ａにより、上述の場合と同様に加圧量の少ない凹部５４ａの方へはより多くの素材５５が流動して行くので、凹部５４ａに対応した箇所の空隙部５３ｂに対しても多くの素材流入が行われる。このようにして、凹部５４ａの両側５６ｂ，５６ｂで素材の流動を凹部側へ仕向けつつ空隙部５３ｂの全域にわたってより多くの素材流入がなされる。さらに、筋状突起５４自体の突起高さが相乗して、より一層多くの素材５５が空隙部５３ｂ内に積極的に押込まれる。このような仮成形状態における隔壁部２８の高さは、図１２（Ｄ）に示すように、低い部分２８ａ，２８ａと高い部分２８ｂが形成される。このように高低差ができるのは、端部に近い箇所５６ｂ，５６ｂにおいて加圧された素材５５が凹部５４ａの箇所へより多く流動して、そのときに多くの素材５５が空隙部５３ｂ内に流動するからである。
【０１１３】
図１２（Ｃ）（Ｄ）に示す仮成形が完了すると、仮成形状態の素材５５は図１３（Ｂ）に示すように、第１金型５１ａと仕上げ金型５７のあいだに移送され、そこで両金型５１ａ，５２ａで（Ｃ）に示すように加圧される。仕上げ金型５７には収容凹部５７ｂの両側に平坦面５７ａが形成してあるので、上記の低い隔壁部の部分２８ａ，２８ａにおける空隙部５３ｂ内への素材５５の流動量が多くなり、部分２８ａ，２８ａの高さが高くなる。このとき、上記隆起部５５ａは収容凹部５７ｂ内に収容されて仕上げ金型５７から加圧力を受けることがないので、上記の高い部分２８ｂの高さはほとんど変わらない。したがって、最終的には（Ｄ）に示すように、隔壁部２８の高さが略均一な高さとなる。
【０１１４】
また、仕上げ成形の段階においては、上記傾斜面５７ｃが形成されているので、各空隙部５３ｂ内への素材５５の流入量が全ての空隙部５３ｂにおいて可及的に均一化される。すなわち、上記突条部５３ｃの配列方向に流動した素材５５が突条部５３ｃの配列中央部から端部の方へ少しずつ流動して集積的に偏った状態になり、端部付近がいわゆる多肉状態になる。このように集積的に偏った素材量を端部が低くなった傾斜面５７ｃで加圧するので、多肉状態の素材を過度に空隙部５３ｂ内に流動させることが防止される。したがって、各空隙部５３ｂ内への素材５５の流入量が全ての空隙部５３ｂにおいて可及的に均一化される。
【０１１５】
上記の図１１〜図１４にしたがって説明した塑性加工に対し、素材流動を抑制することを付加することによって、本発明の課題が確実に解決される。そこで、図１５〜図２１にしたがってこの素材流動の抑制に関し、以下のとおり説明する。
【０１１６】
図１５は、鍛造加工装置において素材５５が順送りされて行く状態を示す平面図である。図１５には図示されていないが、仮成形工程６３の箇所には第２金型５２ａの仮成形金型５６が配置されている。また、同様に図示されていないが、仕上げ工程６４の箇所には第２金型５２ａの仕上げ金型５７が配置されている。
【０１１７】
上記の仮成形工程６３が行われる前に、図１５に示す各工程６３，６４の上流工程（図１５の左側）において、予備加工が実施される。上記予備加工は、少なくとも、溝状窪部３３の列設方向に沿って形成される細長い規制凹部６５の成形（図１６（Ａ）参照）と、インク貯留室１４を形成する室用空間３５の打抜き（図１６（Ｂ）参照）である。なお、６６は、規制凹部６５の加圧成形時に素材５５の反対側の面に現われた膨出部である。
【０１１８】
図１７〜図２０は、仮成形工程６３と仕上げ工程６４における金型設備の構造と動作状態を示す断面図である。仮成形金型５６（仕上げ金型５７）上に図１６（Ｂ）に示された予備加工済みの素材５５が載置され、パッド６７で加圧されて素材５５の移動が拘束されるようになっている。室用空間３５内に挿入される規制部材６８は、室用空間３５の内面に略隙間のない状態で摺動できるように挿入されるもので、２つの規制部材６８が結合基板６９に固定されている。上記規制部材６８は、平行な状態で下方に延ばされ、上記パッド６７に設けた貫通穴７０，室用空間３５および仮成形金型５６（仕上げ金型５７）に設けたガイド穴７１を貫通するようになっている。
【０１１９】
上記突条部５３ｃや空隙部５３ｂが列設された第１金型５１ａが、上記規制部材６８の間において結合基板６９に固定されている。突条部５３ｃや空隙部５３ｂの列設方向は、図１７，図１８の紙面に対して垂直な方向とされ、上記規制凹部６５も突条部５３ｃ等と同方向に配置されている。また、仮成形金型５６（仕上げ金型５７）には、上記膨出部６６を受け入れる受入凹部７２が設けられている。
【０１２０】
上述のように、溝状窪部３３の列３３ａと室用空間３５とが組をなして２組配置され、２つの溝状窪部３３の列３３ａが規制凹部６５を間においた状態で配置されているので、第１金型５１ａには二股部５１ｃが設けられ、上記二股部５１ｃの端面に突条部５３ｃや空隙部５３ｂが形成されている。そして、第１金型５１ａが加圧動作をするときには、二股部５１ｃの間に規制凹部６５が位置するようになっている。
【０１２１】
上記第１金型５１ａと規制部材６８を進退駆動するために油圧シリンダ７３が設けられ、そのピストンロッド７４が結合基板６９に固定されている。規制部材６８の先端部は、第１金型５１ａの端面（突条部５３ｃや空隙部５３ｂが成形されている面）よりも突出した位置に配置されており、こうすることによって規制部材６８が室用空間３５に入り切って、規制部材６８が素材５５の塑性流動を規制できる状態になってから第１金型５１ａによる塑性加工が行われるようになっている。
【０１２２】
図１９は、図１８の〔１９〕−〔１９〕断面を示しており、同図の（Ａ）は仮成形が行われている状態であり、（Ｂ）は仕上げ成形が行われている状態である。（Ｂ）には、溝状窪部３３が成形された側の面とは反対側の圧力発生室形成板３０の面に、筋状突起５４によって成形された凹条７５が図示されている。上記凹条７５は、溝状窪部３３の幅方向の略中央部に対向する位置で溝状窪部３３の長手方向に沿って配置されている。なお、凹条７５は、図１３（Ｂ）（Ｃ）にも図示されている。
【０１２３】
空隙部５３ｂ内に成形される隔壁部２８の高さは、上述のように金型の形状等によって左右される要素が大きいのであるが、他方、金型の表面状態を改善することによって、圧力発生室形成板３０の成形をさらに良好なものとすることができる。
【０１２４】
以下に説明する金型の表面研磨や硬質コーティングは、金型表面の全域または必要に応じて部分的に行われる。そして、第１金型５１ａ，第２金型５２ａの両方またはいずれか一方に対して上記処理が行われる。図２１は、第１金型５１ａの突条部５３ｃの箇所の加工処理を段階的に示している。同図（Ａ）は突条部５３ｃを所定の金型形状に成形された状態を示している。ここでの形状成形方法は、通常の放電加工によって行われている。触針法で測定した上記放電加工による表面粗さは、凹凸の振幅の中心線平均粗さＲａは１．７９μｍ、最大粗さＲｙは１２．６μｍ、十点平均粗さＲｚが７．８μｍであった。
【０１２５】
つぎに、放電加工後の突条部５３ｃを、＃１０００のダイアモンド砥石を有するプロファイル・グラインダで研磨仕上げを行った。それによってえられた表面粗さを、上記の方法と同様にして測定した結果は、Ｒａは０．９５μｍ，Ｒｙは７．７μｍおよびＲｚが４．９μｍであり、表面粗さが大幅に改善されていることが認められる。
【０１２６】
最後に、図２１（Ｃ）に示すように、ＤＬＣ（ダイアモンドライクカーボン）被膜によって硬質コーティングを行った。所定のＤＬＣコーティング装置で、ＤＬＣ被膜を厚さ１．０±０．２μｍとなるように成膜処理を行った。このＤＬＣ被膜をコーティングした状態における表面粗さは、上記研磨仕上げ後の値と同じであった。
【０１２７】
つぎに、成形動作を説明する。
【０１２８】
規制部材６８，第１金型５１ａが油圧シリンダ７３の後退により、仮成形金型５６から離れた位置に停止しているときに、図１６（Ｂ）に示す予備加工済みの素材５５が、その室用空間３５をガイド穴７１に合致させて仮成形金型５６上に載置され、その後、パッド６７によって素材５５が仮成形金型５６上にしっかりと押え付けられる。ついで、規制部材６８と第１金型５１ａが進出してくると、先ず最初に規制部材６８が室用空間３５内に挿入される。この状態において、少なくとも規制部材６８の内面６８ａが素材５５に接触している。その後、さらに第１金型５１ａが進出すると、その突条部５３ｃが上記規制凹部６５と規制部材６８との間の領域に加圧されて、仮成形が行われる（図１７（Ａ），図１８の状態）。上記の仮成形が完了した中間部品が図１６（Ｃ）に示した圧力発生室形成板３０である。
【０１２９】
上記仮成形においては、溝状窪部３３の列３３ａの片側に流出しようとする素材は規制部材６８によってその流動が阻止され、他方、上記列３３ａの他側に流出しようとする素材は規制凹部６５によってその流動が阻止される。図２０の２点鎖線で示すように、規制凹部６５が設けられていなければ、素材５５が２点鎖線図示のように盛り上がり、空隙部５３ｂ内にとどまるべき素材５５の量が少なくなってしまう。しかし、規制凹部６５が配置されているので、上記のような盛り上がりによって退避流動をする素材５５の量が著しく減少するので、空隙部５３ｂ内に大量の素材５５が流入する。また、規制凹部６５の形状は塑性加工によって形成されているので、この塑性加工の際に規制凹部６５およびその近傍の素材５５に加工硬化が生じ、この硬化部分により塑性流動が抑制される現象も同時に発生している。
【０１３０】
上記規制部材６８による素材流動の抑制機能は、実質的に、規制部材６８の内面６８ａが退避的に流動しようとする素材５５を受け止めることによって、果たされている。したがって、規制部材６８にはこのような規制動作がえられるように上記内面６８ａを作用させるようにすればよい。
【０１３１】
上記両金型５１ａ，５２ａの間で加圧された金属素材板５５すなわち圧力発生室形成板３０は、上記規制部材６８で素材流動が抑制されているので、それにともなって上記空隙部５３ｂ内により多量の素材５５が流動し、隔壁部２８の高さを高く成形することが可能となる。そして、この隔壁部２８の成形と同時に上記溝状窪部３３が成形されるので、溝状窪部３３の深さも十分に確保することができる。このような成形でえられた隔壁部２８は、研磨加工等の仕上げ加工で規定どおりの高さに揃えられるのであるが、上記のように十分な高さの隔壁部２８を確保することにより、所定どおりの「仕上げ代」がえられて、圧力発生室２９の容積や形状が高精度で加工できる。
【０１３２】
上記第１金型５１ａが圧力発生室形成板３０の上記領域を加圧すると、加圧によって第１金型５１ａの空隙部５３ｂの長手方向に素材５５の塑性流動が発生しようとするのであるが、上記規制凹部６５と規制部材６８の２者によってこの長手方向の塑性流動が抑制されているので、より多量の素材５５が第１金型５１ａの空隙部５３ｂの奥の方に向って流動する。したがって、上記空隙部５３ｂに成形される隔壁部２８の高さが十分に確保できる。さらに、上記規制凹部６５が圧力発生室形成板３０にあらかじめ形成される際に、その形成加工部分に加工硬化が生じる。したがって、空隙部５３ｂからその長手方向に流動しようとする素材５５が、上記加工硬化部分において制止され、規制凹部６５における素材５５の流動抑制が一層確実に果たされる。
【０１３３】
対向している上記突条部５３，５３ｃと筋状突起５４との間における素材５５の加圧変形量が最も多くえられ、それによって大量の素材５５が突条部５３，５３ｃに隣接している空隙部５３ｂ内に流動する。換言すると、素材５５は溝状窪部３３の列設方向に流動する余地がほとんどなく、それによって空隙部５３ｂ内への流動量が増量するのである。したがって、上記空隙部５３ｂに成形される隔壁部２８の高さが十分に確保できる。
【０１３４】
上記溝状窪部３３の列３３ａと上記室用空間３５とが組をなして２組配置され、２つの溝状窪部３３の列３３ａが上記規制凹部６５を間においた状態で配置され、上記２つの溝状窪部３３の列３３ａにそれぞれ隣接した状態で各室用空間３５が配置されている。このため、２つの溝状窪部３３が規制凹部６５と規制部材６８によって同時に塑性流動の抑制作用を受けるので、１対の溝状窪部３３を一時に成形することが効率的に行える。特に、規制凹部６５は１つだけ配置すればよいので、加工が完了した圧力発生室形成板３０の構造が簡素化される。
【０１３５】
上記仮成形金型５６により素材５５を空隙部５３ｂ内に流動させ、その後、仕上げ金型５７により空隙部５３ｂ内にさらに多くの素材５５を流動させ、それと同時に空隙部５３ｂ内における素材５５の分布を正常な状態に可及的に近づけるので、空隙部５３ｂ内への素材流入量が空隙部５３ｂの長さ方向においてほぼ真直ぐな状態になり、合わせて隔壁部２８の高さを高めるのに好都合である。
【０１３６】
仕上げ加工時にも、上記空隙部５３ｂからその長手方向に流動しようとする素材５５を抑制するので、仕上げ加工時における素材５５が空隙部５３ｂ内にさらに流入し、隔壁部２８の高さを高めるのに有効である。
【０１３７】
上記突条部５３，５３ｃと筋状突起５４との対向した位置関係によって、素材５５の塑性流動量が最も多く確保され、それによって大量の素材５５が突条部５３，５３ｃに隣接している空隙部５３ｂ内に流動する。そして、上記凹部５４ａ両側の箇所５６ｂにおいては、両金型５１ａ，５２ａ間の間隔が中間部（凹部５４ａ）よりも狭くなっていて、この狭い部分においては素材５５の加圧量が多くなる。このようにして加圧された素材５５は、加圧方向に略直交する方向へ押し出されるようにして流動させられ、両金型５１ａ，５２ａ間の間隔が広くなった加圧量の少ない凹部５４ａの方へより多くの素材移動がなされる。換言すると、上記素材流動において、凹部５４ａが素材５５の逃げ込み場所を提供しているような機能を果たしている。このようにして、凹部５４ａの両側で素材５５の流動を凹部５４ａ側へ仕向けつつ空隙部５３ｂの全域にわたってより多くの素材流入がなされる。
【０１３８】
上記平坦面５７ａでさらに素材５５を突条部５３，５３ｃの方へ加圧することにより、空隙部５３ｂ内の素材５５の流入高さが空隙部５３ｂの長さ方向にわたって可及的に均一になる。すなわち、上記収容凹部５７ｂの両側の平坦面５７ａが積極的に素材５５を加圧することとなるので、空隙部５３ｂ内への素材流動高さが収容凹部５７ｂに対応した空隙部５３ｂの部分の素材流入高さと略同じ高さとなり、空隙部５３ｂの長さ全域にわたって略均一となる。
【０１３９】
上記第１金型５１ａと上記仮成形金型５６との間で上記金属素材板５５に予備成形が施される第１工程においては、仮成形金型５６に上記突条部５３ｃに対向するとともに上記突条部５３ｃと略同じ長さの筋状突起５４が設けられ、この筋状突起５４には長さ方向における中間部の高さが低く設定された凹部５４ａが設けられているので、上記凹部５４ａ両側の第２金型５２ａの端部に近い箇所においては、両金型５１ａ，５２ａ間の間隔が中間部（凹部５４ａ）よりも狭くなっていて、この狭い部分においては素材５５の加圧量が多くなる。このようにして加圧された金属素材板５５は、加圧方向に略直交する方向へ押し出されるようにして流動させられ、両金型５１ａ，５２ａ間の間隔が広くなった加圧量の少ない凹部５４ａの方へより多くの素材移動がなされる。換言すると、上記素材流動において、凹部５４ａが素材５５の逃げ込み場所を提供しているような機能を果たしている。このような素材移動は、主として、上記突条部５３ｃや空隙部５３ｂの長手方向に沿って行われ、また、素材５５の一部が凹部５４ａの方へ膨出した隆起部５５ａとなる。
【０１４０】
したがって、上記加圧量の多い箇所においては強い素材加圧により、空隙部５３ｂへの素材流入が積極的に行われ、また、加圧量の少ない凹部５４ａの方へはより多くの素材５５が流動してくるので、凹部５４ａに対応した箇所の空隙部５３ｂに対しても多くの素材流入が行われる。このようにして、凹部５４ａの両側で素材５５の流動を凹部５４ａ側へ仕向けつつ空隙部５３ｂの全域にわたってより多くの素材流入が予備成形の段階としてなされる。
【０１４１】
上記予備成形（仮成形）に引続いて、第２工程が実行され、上記第１金型５１ａと上記仕上げ金型５７との間で金属素材板５５に仕上げ成形を行う。上記仕上げ金型５７は、上記筋状突起５４が除去された平坦面５７ａとされ、上記凹部５４ａに対応する箇所に金属素材板５５に成形された隆起部５５ａを収容する収容凹部５７ｂが設けられた仕上げ加工用とされているので、上記平坦面５７ａでさらに素材５５を突条部５３ｃの方へ加圧することにより、素材５５の空隙部５３ｂ内への流動高さが空隙部５３ｂの長さ方向にわたって可及的に均一になる。このとき、上記収容凹部５７ｂに上記隆起部５５ａが収容されているので、隆起部５５ａに相当する量の素材５５が空隙部５３ｂ内に移動するようなことがなく、上記流動高さの均一化に有効に機能している。
【０１４２】
上記の空隙部５３ｂに流入した素材５５が窪み形状部（溝状窪部３３）の隔壁部２８を構成するような場合においては、窪みの空間形状を正確に形成することができる。さらに、このような微細な構造の加工成形としては、一般に、異方性エッチングの手法が採用されるのであるが、このような手法は加工工数が多大なものとなるので、製造原価の面で不利である。それに対して、上記の金属製素材を対象にした鍛造加工方法によれば、加工工数が大幅に削減され、原価的にも極めて有利である。さらに、各溝状窪部３３の容積を均一に加工できるので、インク噴射ヘッドの圧力発生室２９を高精度に成形でき、インク噴射ヘッドの噴射特性を安定させる等の面で非常に有効である。
【０１４３】
上記第１金型５１ａおよび／または第２金型５２ａが、所定の金型形状に成形された金型の表面が研磨仕上げされるとともに、上記研磨仕上げされた金型の表面に硬質コーティングが施されることにより、金型表面が平滑で高硬度となる。このため、金型表面に沿って滑動する素材５５の移動が円滑になされて、金型の各部、例えば第１金型５１ａの空隙部５３ｂ内への素材５５の塑性流動が十分に行われ、隔壁部２８の高さを高くするのに有効である。
【０１４４】
上記研磨仕上げを、プロファイル・グラインディングで行うことにより、複雑な金型形状部分にいたるまで高精度な仕上げ面がえられる。また、上記硬質コーティングを、ＤＬＣ被膜を形成することにより、ダイアモンドに匹敵するカーボンの被膜が金型表面にコーティングされるので、高硬度による耐磨耗性の向上が図られ、しかも、ＤＬＣ被膜は動摩擦係数が低いことから、金型に接触する素材５５の流れも円滑で隔壁部２８の高さを高くするのに有利である。しかも耐磨耗性に優れ、金型の破損も防止されて、金型寿命が長くなる。
【０１４５】
上記圧力発生室２９からノズル開口４８にインクを供給する連通口３４が、各圧力発生室２９毎に上記反対側の圧力発生室形成板３０の面に開口しているのであるが、隣合う上記連通口３４の間の圧力発生室形成板３０の面には上記凹条７５が配置されることがなく、各連通口３４の間は平坦面とすることができる。したがって、圧力発生室形成板３０を接着剤を用いて上記ノズルプレート３１に接合することが確実に行われる。特に、上記連通口３４の間に凹条７５が存在しないので、接着剤が凹条７５内に流入して、圧力発生室形成板３０の接着面とノズルプレート３１の接着面との間の接着剤の量に不足を来し、それによる接着不良発生の恐れがなくなる。
【０１４６】
上記圧力発生室形成板３０に、その上記溝状窪部３３を挟んで室用空間３５の反対側に、上記溝状窪部３３の列３３ａに沿って規制凹部６５が形成されていることにより、上記規制凹部６５が溝状窪部３３近傍の圧力発生室形成板３０の剛性を高めているので、圧力発生室形成板３０自体の剛性を高めて、湾曲等の異常変形のない高精度の圧力発生室形成板３０がえられる。したがって、圧力発生室形成板３０に上記封止板３２やノズルプレート３１等を接合して、組み立て精度の高いインク噴射ヘッドがえられる。
【０１４７】
図２２に例示した記録ヘッド１´は、本発明を適用することのできる事例であり、圧力発生素子として発熱素子６１を用いたものである。この例では、圧力発生室２９内における封止基板６２の表面に発熱素子６１を取り付けている。この発熱素子６１は電気配線を通じて給電されて発熱する。なお、圧力発生室形成板３０やノズルプレート３１等、その他の構成は上記実施形態と同様であるので、その説明は省略する。
【０１４８】
この記録ヘッド１´では、発熱素子６１への給電により、圧力発生室２９内のインクが突沸し、この突沸によって生じた気泡が圧力発生室２９内のインクを加圧する。この加圧により、ノズル開口４８からインク滴が吐出される。そして、この記録ヘッド１´でも、圧力発生室形成板３０を金属の塑性加工で作製しているので、上記した実施形態と同様の作用効果を奏する。
【０１４９】
上記各実施の形態は、インクジェット式記録装置を対象にしたものであるが、本発明によってえられた液体噴射装置は、インクジェット式記録装置用のインクだけを対象にするのではなく、グルー，マニキュア，導電性液体（液体金属）等を噴射することができる。さらに、上記実施の形態では、液体の一つであるインクを用いたインクジェット式記録ヘッドについて説明したが、プリンタ等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド，液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド，有機ＥＬディスプレー，ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド，バイオチップ製造に用いられる生体有機噴射ヘッド等の液体を吐出する液体噴射ヘッド全般に適用することも可能である。
【０１５０】
【発明の効果】
以上のように、本発明の液体噴射ヘッドの製造方法によれば、上記第１金型で加圧された金属素材板すなわち圧力発生室形成板（以下、単に素材ともいう）は、上記規制部材で室用空間への素材流動が抑制されているので、それにともなって上記空隙部内により多量の素材が流動し、隔壁部の高さを高く成形することが可能となる。そして、この隔壁部の成形と同時に上記溝状窪部が成形されるので、溝状窪部の深さも十分に確保することができる。このような成形でえられた隔壁部は、研磨加工等の仕上げ加工で規定どおりの高さに揃えられるのであるが、上記のように十分な高さの隔壁部を確保することにより、所定どおりの「仕上げ代」がえられて、圧力発生室の容積や形状が高精度で加工できる。
【０１５１】
また、上記第１金型と上記仮成形金型とのあいだで上記金属素材板に予備成形が施される第１工程においては、仮成形金型に上記突条部に対向するとともに上記突条部と略同じ長さの筋状突起が設けられ、この筋状突起には長さ方向における中間部の高さが低く設定された凹部が設けられているので、上記凹部両側の第２金型の端部に近い箇所においては、両金型間の間隔が中間部（凹部）よりも狭くなっていて、この狭い部分においては素材の加圧量が多くなる。このようにして加圧された金属素材板は、加圧方向に略直交する方向へ押し出されるようにして流動させられ、両金型間の間隔が広くなった加圧量の少ない凹部の方へより多くの素材移動がなされる。換言すると、上記素材流動において、凹部が素材の逃げ込み場所を提供しているような機能を果たしている。このような素材移動は、主として、上記突条部や空隙部の長手方向に沿って行われ、また、素材の一部が凹部の方へ膨出した隆起部となる。
【０１５２】
したがって、上記加圧量の多い箇所においては強い素材加圧により、空隙部への素材流入が積極的に行われ、また、加圧量の少ない凹部の方へはより多くの素材が流動してくるので、凹部に対応した箇所の空隙部に対しても多くの素材流入が行われる。このようにして、凹部の両側で素材の流動を凹部側へ仕向けつつ空隙部の全域にわたってより多くの素材流入が予備成形の段階としてなされる。
【０１５３】
上記予備成形（仮成形）に引続いて、第２工程が実行され、上記第１金型と上記仕上げ金型とのあいだで金属素材板に仕上げ成形を行う。上記仕上げ金型は、上記筋状突起が除去された平坦面とされ、上記凹部に対応する箇所に金属素材板に成形された隆起部を収容する収容凹部が設けられた仕上げ加工用とされているので、上記平坦面でさらに素材を突条部の方へ加圧することにより、素材の空隙部内への流動高さが空隙部の長さ方向にわたって可及的に均一になる。このとき、上記収容凹部に上記隆起部が収容されているので、隆起部に相当する量の素材が空隙部内に移動するようなことがなく、上記流動高さの均一化に有効に機能している。
【０１５４】
上記の空隙部に流入した素材が窪み形状部（溝状窪部）の隔壁部を構成するような場合においては、窪みの空間形状を正確に形成することができる。さらに、このような微細な構造の加工成形としては、一般に、異方性エッチングの手法が採用されるのであるが、このような手法は加工工数が多大なものとなるので、製造原価の面で不利である。それに対して、上記の金属製素材を対象にした鍛造加工方法によれば、加工工数が大幅に削減され、原価的にも極めて有利である。さらに、各溝状窪部の容積を均一に加工できるので、液体噴射ヘッドの圧力発生室を高精度に成形でき、液体噴射ヘッドの噴射特性を安定させる等の面で非常に有効である。
【０１５５】
上記本発明による液体噴射ヘッドによれば、上記圧力発生室からノズル開口に液体を供給する連通口が、各圧力発生室毎に上記反対側の圧力発生室形成板の面に開口しているのであるが、隣合う上記連通口の間の圧力発生室形成板の面には上記凹条が配置されることがなく、各連通口の間は平坦面とすることができる。したがって、圧力発生室形成板を接着剤を用いて上記ノズルプレートに接合することが確実に行われる。特に、上記連通口の間に凹条が存在しないので、接着剤が凹条内に流入して、圧力発生室形成板の接着面とノズルプレートの接着面との間の接着剤の量に不足を来し、それによる接着不良発生の恐れがなくなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】インクジェット式記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】インクジェット式記録ヘッドの断面図である。
【図３】（Ａ）及び（Ｂ）は、振動子ユニットを説明する図である。
【図４】圧力発生室形成板の平面図である。
【図５】圧力発生室形成板の説明図であり、（ａ）は図４におけるＸ部分の拡大図、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ断面図、（ｃ）は（ａ）におけるＢ−Ｂ断面図である。
【図６】弾性板の平面図である。
【図７】弾性板の説明図であり、（ａ）は図６におけるＹ部分の拡大図、（ｂ）は（ａ）におけるＣ−Ｃ断面図である。
【図８】（ａ）及び（ｂ）は、溝状窪部の形成に用いる雄型を説明する図である。
【図９】（ａ）及び（ｂ）は、溝状窪部の形成に用いる雌型を説明する図である。
【図１０】（ａ）〜（ｄ）は、溝状窪部の形成を説明する模式図である。
【図１１】金型と素材との関係を示す斜視図である。
【図１２】仮成形の進行状態を示す斜視図と断面図である。
【図１３】仕上げ成形の進行状態を示す斜視図と断面図である。
【図１４】筋状突起の凹部形状を示す側面図と断面図である。
【図１５】圧力発生室形成板の順送り加工を示す平面図である。
【図１６】圧力発生室形成板が成形されて行く変形過程を示す断面図である。
【図１７】規制部材，第１金型等を装備した鍛造加工装置の断面図と第１金型の斜視図である。
【図１８】図１７（Ａ）の一部を拡大した断面図である。
【図１９】図１８の〔１９〕−〔１９〕断面図である。
【図２０】成形局部を拡大した断面図である。
【図２１】金型表面の加工順序を示す図である。
【図２２】変形例のインクジェット式記録ヘッドを説明する断面図である。
【符号の説明】
１      インクジェット式記録ヘッド
１´    インクジェット式記録ヘッド
２      ケース
３      振動子ユニット
４      流路ユニット
５      接続基板
６      供給針ユニット
７      圧電振動子群
８      固定板
９      フレキシブルケーブル
１０      圧電振動子
１０ａ    ダミー振動子
１０ｂ    駆動振動子
１１      制御用ＩＣ
１２      収納空部
１３      インク供給路
１４      インク貯留室
１６      接続口
１７      コネクタ
１８      針ホルダ
１９      インク供給針
２０      フィルタ
２１      台座
２２      インク排出口
２３      パッキン
２８      隔壁部
２８ａ    隔壁部の低い部分
２８ｂ    隔壁部の高い部分
２９      圧力発生室
３０      圧力発生室形成板
３１      ノズルプレート
３２      弾性板，封止板
３３      溝状窪部
３３ａ    溝状窪部の列
３４      連通口
３５      室用空間
３６      ダミー窪部
３７      第１連通口
３８      第２連通口
３９      ダミー連通口
４０      第１ダミー連通口
４１      第２ダミー連通口
４２      支持板
４３      弾性体膜
４４      ダイヤフラム部
４５      インク供給口
４７      島部
４８      ノズル開口
５１      雄型
５１ａ    第１金型
５１ｂ    成形パンチ
５１ｃ    二股部
５２      雌型
５２ａ    第２金型
５３      突条部
５３ａ    先端部分
５３ｂ    空隙部
５３ｃ    突条部
５４      筋状突起
５４ａ    凹部
５４ｂ    隆起形状部
５４ｃ    頂面
５５      帯板，素材，金属素材板，（圧力発生室形成板）
５５ａ    隆起部
５６      仮成形金型
５６ａ    谷部
５６ｂ    端部に近い箇所
５７      仕上げ金型
５７ａ    平坦面
５７ｂ    収容凹部
５７ｃ    傾斜面
６１      発熱素子
６２      封止基板
６３      仮成形工程
６４      仕上げ工程
６５      規制凹部
６６      膨出部
６７      パッド
６８      規制部材
６８ａ    内面
６９      結合基板
７０      貫通穴
７１      ガイド穴
７２      受入凹部
７３      油圧シリンダ
７４      ピストンロッド
７５      凹条
【図１】
2005041001.tif 000003
【図２】
2005041001.tif 000004
【図３】
2005041001.tif 000005
【図４】
2005041001.tif 000006
【図５】
2005041001.tif 000007
【図６】
2005041001.tif 000008
【図７】
2005041001.tif 000009
【図８】
2005041001.tif 000010
【図９】
2005041001.tif 000011
【図１０】
2005041001.tif 000012
【図１１】
2005041001.tif 000013
【図１２】
2005041001.tif 000014
【図１３】
2005041001.tif 000015
【図１４】
2005041001.tif 000016
【図１５】
2005041001.tif 000017
【図１６】
2005041001.tif 000018
【図１７】
2005041001.tif 000019
【図１８】
2005041001.tif 000020
【図１９】
2005041001.tif 000021
【図２０】
2005041001.tif 000022
【図２１】
2005041001.tif 000023
【図２２】
2005041001.tif 000024