(57)【要約】【課題】  新しいレイアウト設計に際しても即座に全組合せデバイスのレイアウト構成を抽出し、正規のレイアウト検証ルールを作成し出力する他、不正規デバイス等の不正規のレイアウト構成を明確に区別して出力しＬＶＳやＤＲＣの検証時にエラー個所を容易に発見し製造プロセス生成の効率化を図る。【解決手段】  プロセスのレイヤ情報を属性毎に記述する使用レイヤテーブル２１、及び正規デバイス情報を記述したレイヤ構成リスト２２から組合せ可能な全組合せデバイスによるレイアウト構成を抽出し、全組合せデバイスのうち正規デバイス情報に含まれるレイアウト構成と含まれないレイアウト構成を検索する正規／不正規検索部２３と、正規のレイアウト構成にブーリアン処理を施してレイアウト検証ルールとして出力し、不正規のレイアウト構成乃至要素に不正規を容易に認識させ得る態様を含ませてエラー出力するレイアウト検証ルール提示部２４とを備える。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
プロセスのレイヤ情報を属性毎に振り分けた使用レイヤテーブルと、
正規デバイス情報を記述したレイヤ構成リストと、
前記使用レイヤテーブル及び前記レイヤ構成リストから組合せ可能な全てのレイヤ構成からなる全組合せデバイスのレイアウト構成を抽出するとともに、該全組合せデバイスのうち前記正規デバイス情報に含まれるレイアウト構成と含まれないレイアウト構成を検索する正規／不正規検索手段と、
前記全組合せデバイスのうち前記正規デバイス情報に含まれるレイアウト構成にブーリアン処理を施してレイアウト検証ルールとして出力し、前記全組合せデバイスのうち前記正規デバイス情報に含まれないレイアウト構成乃至レイアウト要素をも不正規を容易に認識させ得る態様を含ませてエラー出力するレイアウト検証ルール提示手段と、
を備えたことを特徴とするレイアウト検証ルール作成装置。
【請求項２】
前記レイアウト検証ルール提示手段は、前記全組合せデバイスのうち前記正規デバイス情報に含まれるレイアウト構成の前記ブーリアン処理の結果をテキストに変換して出力することを特徴とする請求項１に記載のレイアウト検証ルール作成装置。
【請求項３】
前記レイアウト検証ルール提示手段は、前記ブーリアン処理に図形演算を含め、該図形演算の結果から前記正規デバイスを含むレイアウト図形、もしくは前記正規デバイス及び不正規を容易に認識させ得る態様の前記不正規デバイスを含むレイアウト図形を画像表示するものであることを特徴とする請求項１に記載のレイアウト検証ルール作成装置。
【請求項４】
前記不正規を容易に認識させ得る態様は、不正規を示すテキスト表示するか、もしくは正規デバイス等の出力色と異なる出力色で表示するかによるものであることを特徴とする請求項１，２，３のいずれか一つに記載のレイアウト検証ルール作成装置。
【請求項５】
プロセスのレイヤ情報を属性毎に振り分けて使用レイヤテーブルに記入し、
正規デバイス情報をレイヤ構成リストに記述し、
前記使用レイヤテーブル及び前記レイヤ構成リストから組合せ可能な全てのレイヤ構成からなる全組合せデバイスのレイアウト構成を抽出し、
前記全組合せデバイスのうち前記正規デバイス情報に含まれるレイアウト構成と含まれないレイアウト構成を検索し、
しかる後、前記全組合せデバイスのうち前記正規デバイス情報に含まれるレイアウト構成にブーリアン処理を施してレイアウト検証ルールとして出力し、前記全組合せデバイスのうち前記正規デバイス情報に含まれないレイアウト構成乃至レイアウト要素をも不正規を容易に認識させ得る態様を含ませてエラー出力する、
ことを特徴とするレイアウト検証ルール作成方法。
【請求項６】
前記全組合せデバイスのうち前記正規デバイス情報に含まれるレイアウト構成の前記ブーリアン処理の結果をテキストに変換して出力することを特徴とする請求項５に記載のレイアウト検証ルール作成方法。
【請求項７】
前記ブーリアン処理に図形演算を含め、該図形演算の結果から前記正規デバイスを含むレイアウト図形、もしくは前記正規デバイス及び不正規を容易に認識させ得る態様の前記不正規デバイスを含むレイアウト図形を画像表示することを特徴とする請求項５に記載のレイアウト検証ルール作成方法。
【請求項８】
前記不正規を容易に認識させ得る態様は、不正規をテキスト表示するか、もしくは正規デバイス等の出力色と異なる出力色で表示するかによるものであることを特徴とする請求項５，６，７のいずれか一つに記載のレイアウト検証ルール作成方法。
【請求項９】
プロセスのレイヤ情報を属性毎に振り分けて使用レイヤテーブルに記入するステップと、
正規デバイス情報をレイヤ構成リストに記述するステップと、
前記使用レイヤテーブル及び前記レイヤ構成リストから組合せ可能な全てのレイヤ構成からなる全組合せデバイスのレイアウト構成を抽出するステップと、
前記全組合せデバイスのうち前記正規デバイス情報に含まれるレイアウト構成と含まれないレイアウト構成を検索するステップと、
前記全組合せデバイスのうち前記正規デバイス情報に含まれるレイアウト構成にブーリアン処理を施してレイアウト検証ルールとして出力するステップと、
前記全組合せデバイスのうち前記正規デバイス情報に含まれないレイアウト構成乃至レイアウト要素に不正規を容易に認識させ得る態様を含ませてエラー出力するステップと、
を含むことを特徴とするレイアウト検証ルール作成プログラム。
【請求項１０】
前記全組合せデバイスのうち前記正規デバイス情報に含まれるレイアウト構成の前記ブーリアン処理の結果をテキストに変換して出力するステップを含むことを特徴とする請求項９に記載のレイアウト検証ルール作成プログラム。
【請求項１１】
前記ブーリアン処理に図形演算を含め、該図形演算の結果から前記正規デバイスを含むレイアウト図形、もしくは前記正規デバイス及び不正規を容易に認識させ得る態様の前記不正規デバイスを含むレイアウト図形を画像表示するステップを含むことを特徴とする請求項９に記載のレイアウト検証ルール作成プログラム。
【請求項１２】
前記不正規を容易に認識させ得る態様として、不正規をテキスト表示するステップ、もしくは正規デバイス等の出力色と異なる出力色で表示するステップを含むことを特徴とする請求項９，１０，１１のいずれか一つに記載のレイアウト検証ルール作成プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体集積回路のレイアウト設計に際するＬＶＳ（Iayout Versus Schematic）やＤＲＣ（Design Rule Check）の検証時においてエラー個所を容易に発見し製造プロセス生成の効率化を可能とするレイアウト検証ルール作成装置、レイアウト検証ルール作成方法、レイアウト検証ルール作成プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば第１に、論理回路データとレイアウト設計データとを比較して両データの不一致個所を原因別にグループ分けしてエラーデータとして出力するエラーデータ出力工程と、エラーデータとエラー個所を特定するキーワードからなる知識ベースとに基づいてエラー個所を特定する推論工程とを具備する半導体集積回路設計におけるレイアウト検証方法が知られている（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
また第２に、あらかじめ準備されたレイアウト検証ルールのひな形とデザインルールの検証項目に対する変数及びチェック値を記述したチェック値テーブルとを入力としてレイアウト検証ルールを生成するもので、レイアウト検証ルールのひな形の生成に際しては検証項目ライブラリから検証項目をセレクトして生成するというレイアウト検証ルール生成装置が知られている（例えば特許文献２参照）。
【０００４】
また第３に、半導体レイアウト設計のデザインルール検証を行うルールファイルを生成するために、必要なデータを文字入力する入力手段と、入力されたデータをルールファイルの文法へ翻訳する変換手段とを備えた半導体設計検証ルールファイル自動生成装置が知られている（例えば特許文献３参照）。
【０００５】
また第４に、レイアウト回路と手本回路のいずれも縮約処理を行い、同時に縮約前と後の関係をテーブルに記憶し、縮約後のレイアウト回路の素子と手本回路の素子とのうち接続関係が一致する素子同士を対応させ、対応付けられた各素子が一つの素子か、複数の素子のいずれであるか、記録したテーブルを参照して素子のレイアウトエラーであるかを判定する半導体集積回路のレイアウト検証方法が知られている（例えば特許文献４参照）。
【０００６】
【特許文献１】特開平６−１１０９７０号公報
【特許文献２】特開平９−５０４５７号公報
【特許文献３】特開平１０−６３６９９号公報
【特許文献４】特開平１０−２１４２７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、第１の従来例（特許文献１）においては、原因別のグループ分けとして、特定のデバイスに接続するノードがレイアウト設計データと論理回路データとで一致が取れない場合、ノードの一致は取れているが論理回路データにあるデバイスがレイアウト設計データにない場合、及び、特定のノードに接続されるデバイスの一致が論理回路データとレイアウト設計データとの間で取れない場合にエラーデータを出力するというものであり、エラーデータの出力形態が如何ようなものであるかについては明確な記載がなされておらず、レイアウト設計者に具体的なエラー個所を効率良く認識させる観点からは不充分な構成である。知識ベースにはエラー個所を特定するためのキーワード情報が保持されているが、レイアウト設計者が多くのエラーを検証することで順次蓄積してゆくものであり、即ち完全な状態に至るまでには相当の期間を要するものである。
【０００８】
第２の従来例（特許文献２）においては、あらかじめ準備されているレイアウト検証ルールの実績のあるひな形を用いてレイアウト検証を生成するものであるが、ひな形の内容には限りがあり、かつ各レイヤ毎の具体的なブーリアン内容が示されたものではなく、この点解り難く、しかも各レイヤ毎に明確なエラーデータが示されるものでもなく、実用性の観点からは不充分な構成である。特に、全く新しいプロセスのレイアウト検証ルールを作成する場合、検証項目ライブラリから検証ルールを検索してペーストすることでひな形を作成する作業が必要となり、効率性の観点からもあまり好ましくない問題がある。
【０００９】
第３の従来例（特許文献３）においては、検証対象となる図形のレイヤ名、検証項目、検証値、条件を記入したテンプレートを作成し、自動変換プログラムによりデザインルールチェックやレイアウトバーサススキマティックのルールに翻訳し出力するものであるが、レイアウトの内容に誤り等があった場合に、誤り個所を指定したりエラーデータを出力したりすることができず、従って翻訳されたルールの正誤を知る手立てがなく、製造プロセスを通して生産した後に誤動作等が判明した場合の損失を回避し得ず、このため翻訳されたルールは信頼性に問題が残る。即ち正規のデバイスによるレイアウト、不正規のデバイスによるレイアウトを明確に見極めた上で最適なレイアウト検証ルールを提示することができず、この観点から実用性に劣る問題がある。
【００１０】
第４の従来例（特許文献４）においては、縮約後のレイアウト回路の素子数と手本回路の素子数が一致する場合はレイアウトエラーとせず、双方の素子数が不一致の場合にレイアウトエラーを出力するというものであるが、エラーの原因は素子数の相違に限られるものではなく、このため信頼性に欠ける問題があり、しかも手本回路の素子についてもあらかじめ検討できるものには限りがあり、過去の経験が反映され難い全く新たなレイアウト設計が要求された場合に対応し得ない構成であるという問題がある。
【００１１】
本発明は、上記従来技術の課題に鑑みてなされたものであり、全く新しいレイヤ構成を含むレイアウト設計に際しても即座に対応して全組合せデバイスのレイアウト構成を抽出し、そのうち正規デバイス等の正規のレイアウト検証ルールを作成し出力する他、不正規デバイス等の不正規のレイアウト構成をも正規のものと一見して解り易く明確に区別して出力することを可能にし、これによりＬＶＳやＤＲＣの検証時においてエラー個所を容易に発見し製造プロセス生成の効率化を可能にするレイアウト検証ルール作成装置、レイアウト検証ルール作成方法、及び、レイアウト検証ルール作成プログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成すべく、本発明のレイアウト検証ルール作成装置は、プロセスのレイヤ情報を属性毎に振り分けた使用レイヤテーブルと、正規デバイス情報を記述したレイヤ構成リストと、前記使用レイヤテーブル及び前記レイヤ構成リストから組合せ可能な全てのレイヤ構成からなる全組合せデバイスのレイアウト構成を抽出するとともに、該全組合せデバイスのうち前記正規デバイス情報に含まれるレイアウト構成と含まれないレイアウト構成を検索する正規／不正規検索手段と、前記全組合せデバイスのうち前記正規デバイス情報に含まれるレイアウト構成にブーリアン処理を施してレイアウト検証ルールとして出力し、前記全組合せデバイスのうち前記正規デバイス情報に含まれないレイアウト構成乃至レイアウト要素をも不正規を容易に認識させ得る態様を含ませてエラー出力するレイアウト検証ルール提示手段とを備えたことを特徴とする。
【００１３】
また、前記レイアウト検証ルール提示手段は、前記全組合せデバイスのうち前記正規デバイス情報に含まれるレイアウト構成の前記ブーリアン処理の結果をテキストに変換して出力することを特徴とする。
【００１４】
また、前記レイアウト検証ルール提示手段は、前記ブーリアン処理に図形演算を含め、該図形演算の結果から前記正規デバイスを含むレイアウト図形、もしくは前記正規デバイス及び不正規を容易に認識させ得る態様の前記不正規デバイスを含むレイアウト図形を画像表示するものであることを特徴とする。
【００１５】
また、前記不正規を容易に認識させ得る態様は、不正規を示すテキスト表示するか、もしくは正規デバイス等の出力色と異なる出力色で表示するかによるものであることを特徴とする。
【００１６】
一方、本発明のレイアウト検証ルール作成方法は、プロセスのレイヤ情報を属性毎に振り分けて使用レイヤテーブルに記入し、正規デバイス情報をレイヤ構成リストに記述し、前記使用レイヤテーブル及び前記レイヤ構成リストから組合せ可能な全てのレイヤ構成からなる全組合せデバイスのレイアウト構成を抽出し、前記全組合せデバイスのうち前記正規デバイス情報に含まれるレイアウト構成と含まれないレイアウト構成を検索し、しかる後、前記全組合せデバイスのうち前記正規デバイス情報に含まれるレイアウト構成にブーリアン処理を施してレイアウト検証ルールとして出力し、前記全組合せデバイスのうち前記正規デバイス情報に含まれないレイアウト構成乃至レイアウト要素をも不正規を容易に認識させ得る態様を含ませてエラー出力することを特徴とする。
【００１７】
また、前記全組合せデバイスのうち前記正規デバイス情報に含まれるレイアウト構成の前記ブーリアン処理の結果をテキストに変換して出力することを特徴とする。
【００１８】
また、前記ブーリアン処理に図形演算を含め、該図形演算の結果から前記正規デバイスを含むレイアウト図形、もしくは前記正規デバイス及び不正規を容易に認識させ得る態様の前記不正規デバイスを含むレイアウト図形を画像表示することを特徴とする。
【００１９】
前記不正規を容易に認識させ得る態様は、不正規をテキスト表示するか、もしくは正規デバイス等の出力色と異なる出力色で表示するかによるものであることを特徴とする。
【００２０】
一方、本発明のレイアウト検証ルール作成プログラムは、プロセスのレイヤ情報を属性毎に振り分けて使用レイヤテーブルに記入するステップと、正規デバイス情報をレイヤ構成リストに記述するステップと、前記使用レイヤテーブル及び前記レイヤ構成リストから組合せ可能な全てのレイヤ構成からなる全組合せデバイスのレイアウト構成を抽出するステップと、前記全組合せデバイスのうち前記正規デバイス情報に含まれるレイアウト構成と含まれないレイアウト構成を検索するステップと、前記全組合せデバイスのうち前記正規デバイス情報に含まれるレイアウト構成にブーリアン処理を施してレイアウト検証ルールとして出力するステップと、前記全組合せデバイスのうち前記正規デバイス情報に含まれないレイアウト構成乃至レイアウト要素に不正規を容易に認識させ得る態様を含ませてエラー出力するステップとを含むことを特徴とする。
【００２１】
また、前記全組合せデバイスのうち前記正規デバイス情報に含まれるレイアウト構成の前記ブーリアン処理の結果をテキストに変換して出力するステップを含むことを特徴とする。
【００２２】
また、前記ブーリアン処理に図形演算を含め、該図形演算の結果から前記正規デバイスを含むレイアウト図形、もしくは前記正規デバイス及び不正規を容易に認識させ得る態様の前記不正規デバイスを含むレイアウト図形を画像表示するステップを含むことを特徴とする。
【００２３】
また、前記不正規を容易に認識させ得る態様として、不正規をテキスト表示するステップ、もしくは正規デバイス等の出力色と異なる出力色で表示するステップを含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２４】
請求項１に記載の発明によれば、使用レイヤテーブル及びレイヤ構成リストから全組合せデバイスのレイアウト構成を抽出するとともに、全組合せデバイスのうち正規デバイス情報に含まれるレイアウト構成と含まれないレイアウト構成を検索する正規／不正規検索手段と、前記前者のレイアウト構成にブーリアン処理を施して出力し、前記後者のレイアウト構成乃至レイアウト要素をも不正規を容易に認識させ得る態様を含ませてエラー出力するレイアウト検証ルール提示手段とを備えたので、全く新しいレイヤ構成を含むレイアウト設計に際しても即座に対応して正規のレイアウト検証ルールを作成し出力することが可能であり、かつ不正規デバイス等の不正規のレイアウト構成をも正規のものと一見して解り易く明確に区別して出力することが可能であり、これによりエラー個所を速やかに認識して誤りのないレイアウト検証ルールを熟練を要さずとも簡単に作成することができ、製造プロセス生成の効率化を図ることができる。
【００２５】
請求項２に記載の発明によれば、前記レイアウト検証ルール提示手段は、前記全組合せデバイスのうち前記正規デバイス情報に含まれるレイアウト構成の前記ブーリアン処理の結果をテキストに変換して出力するので、レイアウト検証者にとって大変解り易いレイアウト検証ルールを提示することができる。
【００２６】
請求項３に記載の発明によれば、前記レイアウト検証ルール提示手段は、前記ブーリアン処理に図形演算を含め、該図形演算の結果から前記正規デバイスを含むレイアウト図形、もしくは前記正規デバイス及び不正規を容易に認識させ得る態様の前記不正規デバイスを含むレイアウト図形を画像表示するので、レイアウト検証者にとってデザイン的なレイアウト図形からエラー個所の特定をも含めて大変解り易いレイアウト検証ルールを提示することができる。
【００２７】
請求項４に記載の発明によれば、前記不正規を容易に認識させ得る態様は、不正規を示すテキスト表示するか、もしくは正規デバイス等の出力色と異なる出力色で表示するかによるので、より一層エラー個所の特定が容易であり、より解り易いレイアウト検証ルールを提示することができる。
【００２８】
請求項５に記載の発明によれば、使用レイヤテーブル及びレイヤ構成リストから全組合せデバイスのレイアウト構成を抽出し、前記全組合せデバイスのうち前記正規デバイス情報に含まれるレイアウト構成と含まれないレイアウト構成を検索し、しかる後、前者のレイアウト構成にブーリアン処理を施してレイアウト検証ルールとして出力し、後者のレイアウト構成乃至レイアウト要素をも不正規を容易に認識させ得る態様を含ませてエラー出力するようにしたので、全く新しいレイヤ構成を含むレイアウト設計に際しても即座に対応して正規のレイアウト検証ルールを作成し出力することが可能であり、かつ不正規デバイス等の不正規のレイアウト構成をも正規のものと一見して解り易く明確に区別して出力することが可能であり、これによりエラー個所を速やかに認識して誤りのないレイアウト検証ルールを熟練を要さずとも簡単に作成することができ、製造プロセス生成の効率化を図ることができる。
【００２９】
請求項６に記載の発明によれば、前記全組合せデバイスのうち前記正規デバイス情報に含まれるレイアウト構成の前記ブーリアン処理の結果をテキストに変換して出力するので、レイアウト検証者にとって大変解り易いレイアウト検証ルールを提示することができる。
【００３０】
請求項７に記載の発明によれば、前記ブーリアン処理に図形演算を含め、該図形演算の結果から前記正規デバイスを含むレイアウト図形、もしくは前記正規デバイス及び不正規を容易に認識させ得る態様の前記不正規デバイスを含むレイアウト図形を画像表示するので、レイアウト検証者にとってデザイン的なレイアウト図形からエラー個所の特定をも含めて大変解り易いレイアウト検証ルールを提示することができる。
【００３１】
請求項８に記載の発明によれば、前記不正規を容易に認識させ得る態様は、不正規をテキスト表示するか、もしくは正規デバイス等の出力色と異なる出力色で表示するかによるので、より一層エラー個所の特定が容易であり、より解り易いレイアウト検証ルールを提示することができる。
【００３２】
請求項９に記載の発明によれば、使用レイヤテーブル及びレイヤ構成リストから全組合せデバイスのレイアウト構成を抽出するステップと、前記全組合せデバイスのうち前記正規デバイス情報に含まれるレイアウト構成と含まれないレイアウト構成を検索するステップと、前者のレイアウト構成にブーリアン処理を施してレイアウト検証ルールとして出力するステップと、後者のレイアウト構成乃至レイアウト要素に不正規を容易に認識させ得る態様を含ませてエラー出力するステップとを含むので、同じく全く新しいレイヤ構成を含むレイアウト設計に際しても即座に対応して正規のレイアウト検証ルールを作成し出力することが可能であり、かつ不正規デバイス等の不正規のレイアウト構成をも正規のものと一見して解り易く明確に区別して出力することが可能であり、これによりエラー個所を速やかに認識して誤りのないレイアウト検証ルールを熟練を要さずとも簡単に作成することができ、製造プロセス生成の効率化を図ることができる。
【００３３】
請求項１０に記載の発明によれば、前記全組合せデバイスのうち前記正規デバイス情報に含まれるレイアウト構成の前記ブーリアン処理の結果をテキストに変換して出力するステップを含むので、同じくレイアウト検証者にとって大変解り易いレイアウト検証ルールを提示することができる。
【００３４】
請求項１１に記載の発明によれば、また、前記ブーリアン処理に図形演算を含め、該図形演算の結果から前記正規デバイスを含むレイアウト図形、もしくは前記正規デバイス及び不正規を容易に認識させ得る態様の前記不正規デバイスを含むレイアウト図形を画像表示するステップを含むので、同じくレイアウト検証者にとってデザイン的なレイアウト図形からエラー個所の特定をも含めて大変解り易いレイアウト検証ルールを提示することができる。
【００３５】
請求項１２に記載の発明によれば、前記不正規を容易に認識させ得る態様として、不正規をテキスト表示するステップ、もしくは正規デバイス等の出力色と異なる出力色で表示するステップを含むので、同じくより一層エラー個所の特定が容易であり、より解り易いレイアウト検証ルールを提示することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
以下、添付図面を参照して本発明の実施の形態に係るレイアウト検証ルール作成装置について説明する。図１は、本実施の形態に係るレイアウト検証ルール作成装置のハード構成を示すブロック図である。本例のレイアウト検証ルール作成装置１０は、図１に示すように、第１にレイアウト検証ルール作成の処理を行う処理装置（ＣＰＵ：正規／不正規検索手段、レイアウト検証ルール提示手段）１１を備える。第２に処理装置１１に対して半導体集積回路の生成に係るプロセスのレイヤ情報や、正規デバイスの種別（属性（パターン）：ＡＮＤ、ＯＲ、ＮＯＴ、ＸＯＲ等）等の情報や、種々の命令（レイアウト検証ルール作成命令等）を入力するキーボード１２を備える。第３に処理装置１１に対して半導体集積回路の生成に係るプロセスのレイヤ情報の入力画面（例えばＧＵＩ）の表示及びレイヤ情報の選択や、正規デバイスの種別（属性（パターン）：ＡＮＤ、ＯＲ、ＮＯＴ、ＸＯＲ等）等の情報の入力画面（例えばＧＵＩ）の表示及び該種別の選択や、種々の命令（レイアウト検証ルール作成開始命令、レイアウト検証ルール表示命令もしくはプリント命令等）をクリック入力するマウス１３を備える。但し、マウス１３の代りに、タブレットやトラックボール等のポインティングデバイスを用いても良い。
【００３７】
また、レイアウト検証ルール作成装置１０は、第４にレイアウト検証ルール作成に関わるデータとして、例えば詳しくは後述する使用レイヤテーブル、及びレイヤ構成リストや、全組合せデバイスによるレイアウト構成のデータや、正規デバイス情報に含まれるレイアウト構成のデータ及び含まれないレイアウト構成乃至レイアウト要素のデータ（エラーデータ）や、不正規デバイス等に不正規を容易に認識させ得る態様を付与するためのテキストデータ（例えば不正規１、不正規２等）、もしくは色分け指定データ等を記憶する他、詳しくは後述するレイアウト検証ルール作成プログラム等を記憶する記憶装置１４を備える。記憶装置１４には、ＲＡＭ、ＥＰＲＯＭ、ＨＤ等が任意に用いられる。一方、第５に半導体集積回路の生成に係るプロセスのレイヤ情報の入力画面（例えばＧＵＩ）の表示や、正規デバイスの種別（属性（パターン）：ＡＮＤ、ＯＲ、ＮＯＴ、ＥｘＯＲ等）等の情報の入力画面（例えばＧＵＩ）の表示や、レイアウト検証ルール作成の処理結果の表示（例えばテンプレートによるテキスト表示、もしくはレイアウト構成のグラフィック図形表示）等を行う表示装置１５を備える。表示装置１５には、例えばＣＲＴや液晶ディスプレイ等が任意に用いられる。
【００３８】
なお、正規／不正規検索手段、レイアウト検証ルール提示手段は、処理装置１１がレイアウト検証ルール作成プログラムを実行することで機能的に構成されるものである。
【００３９】
図２は、本例のレイアウト検証ルール作成装置１０の主要部をなす機能構成を示す機能ブロック図である。レイアウト検証ルール作成装置１０の主要構成としては、図２に示すように、プロセスのレイヤ情報を属性（パターン、タイプ）毎に振り分けて記述する使用レイヤテーブル２１と、正規デバイス情報を記述したレイヤ構成リスト２２と、使用レイヤテーブル２１及びレイヤ構成リスト２２から組合せ可能な全てのレイヤ構成からなる全組合せデバイスによるレイアウト構成を抽出（組立て）し、該全組合せデバイスのうち正規デバイス情報に含まれるレイアウト構成と含まれないレイアウト構成を検索する正規／不正規検索部２３と、全組合せデバイスのうち正規デバイス情報に含まれるレイアウト構成にブーリアン処理を施してレイアウト検証ルールとして出力し、かつ全組合せデバイスのうち正規デバイス情報に含まれないレイアウト構成乃至レイアウト要素（例えばエラーのデバイスや配線等）に不正規を容易に認識させ得る態様（テキスト表示や色分け表示等）を含ませてエラー出力することでレイアウト検証ルールを提示するレイアウト検証ルール提示部（表示装置１５を含む）２４とを備えるものである。
【００４０】
図３は、本例のレイアウト検証ルール作成装置１０を動作させるレイアウト検証ルール作成プログラムの処理を示すフローチャートである。まずステップ３０１においてプロセス情報の入力及び使用レイヤテーブル２１の作成を行う。即ち、一つには使用レイヤ情報として、プロセス固有のレイアウト情報の一覧を入力するとともに、各レイアウト情報の属性（パターン、タイプ等）について定義を行う（ステップ３０２）。具体的には、例えばＮｃｈ ＭＯＳ Ｔｒ、Ｐｃｈ ＭＯＳ Ｔｒを事例とした場合、図４に示すように、各レイヤ情報の各タイプとして、例えばＮＷＥＬＬ（ｎ型基板）にＢＡＳＥとのタイプを定義し、ＤＩＦＦ（拡散）にＡＣＴＩＶＥとのタイプを定義し、ＰＯＬＹ（多結晶シリコン）にＧＡＴＥを定義し、ＣＯＮＴ（コンタクト）にＷＩＲＥを定義し、ＰＩＭＰ（ｐ型不純物）にＩＭＰ（ｉｍｐｕｒｉｔｙ：注入）を定義し、ＮＩＭＰ（ｎ型不純物）に同じくＩＭＰを定義し、ＭＥＴＡＬ（配線）にＷＩＲＥ等のタイプを定義するという態様がある。各レイアウト情報（ＮＷＥＬＬ等）には例えば順番に番号等を付してより解り易くしても良い。
【００４１】
一方、他の一つにはレイヤ構成リスト２２に記述する正規デバイス情報として、プロセスで定められたデバイス素子の一覧を入力するとともに、そのレイヤ構成について定義を行う（ステップ３０３）。具体的には、同じくＮｃｈ ＭＯＳ Ｔｒ、Ｐｃｈ ＭＯＳ Ｔｒを事例とした場合、図５に示すように、例えばデバイス名がＮｃｈである場合は、レイヤ構成としてＤＩＦＦ、ＰＯＬＹ、ＮＩＭＰと定義し、デバイス名がＰｃｈである場合は、レイヤ構成としてＤＩＦＦ、ＰＯＬＹ、ＰＩＭＰ、ＮＷＥＬＬと定義するという態様がある。なお、図示しないがデバイスとして例えばＡＮＤ、ＯＲ、ＮＯＴ、ＥｘＯＲ等のタイプの定義を行う態様もある。
【００４２】
ステップ３０４において使用レイヤ情報の読み込みを行い、続いてステップ３０５において使用レイヤ情報を元にあらかじめ定められたデバイス素子の属性（タイプ）に基づいて全組合せデバイスのレイアウト構成の抽出（組立て）を行うとともに記憶装置１４に記憶する。この処理では、図４に示したファイルを読み込んで使用されるレイヤ及びタイプをそれぞれの変数に格納した後、Ｎｃｈ及びＰｃｈＧＡＴＥの基本となるレイヤ（例えばＡＣＴＩＶＥ、ＧＡＴＥ）を変数から取出してＧＡＴＥの基本レイヤを基準に、例えば図６に示すように、正規デバイス及び不正規デバイスのレイヤ構成を全て抽出して記憶することになる。また、この段階では、使用レイヤ情報の中で個々に定義されたタイプ（属性）から基本構造をなすレイヤであるか、デバイス素子の仕様により要否が区別されるレイヤであるか、あるいは接続情報に必要なレイヤであるか等によりどのタイプ（属性）同士の組合せを行うかがあらかじめ定められており、そのタイプ（属性）に従って計算される全組合せ、即ち全組合せデバイスのレイアウト構成が抽出されるものである。
【００４３】
ステップ３０６においてステップ３０３で設定された正規デバイス情報、即ちプロセスで定められたデバイス素子の一覧と、そのレイヤ構成の定義を行った正規デバイス情報の読み込みを行い、続いてステップ３０７において正規デバイス情報の一覧と全組合せデバイスのレイアウト構成の一覧との比較を行い、全組合せデバイスのうち正規デバイス情報に含まれるレイアウト構成と含まれないレイアウト構成とを検索して振り分ける。この結果、全組合せデバイスのうち正規デバイス情報に含まれるレイアウト構成がある場合（一致）は正規デバイスのレイアウト構成として抽出するとともにデータベース（記憶装置１４等）に記録し（ステップ３０８）、全組合せデバイスのうち正規デバイス情報に含まれないレイアウト構成がある場合（不一致）は不正規デバイスのレイアウト構成として抽出するとともに不正規を容易に認識させ得る態様（テキスト表示や色分け表示等）を含ませてエラー出力する（ステップ３０９）。そして、全て不一致である場合は本フローを終了する。一方、正規デバイスのレイアウト構成、及び不正規デバイスのレイアウト構成も、例えば図７に示すように、Ｎｃｈ（正規）＝ＤＩＦＦ、ＰＯＬＹ、ＮＩＭＰ、Ｐｃｈ（正規）＝ＤＩＦＦ、ＰＯＬＹ、ＰＩＭＰ、ＮＷＥＬＬ、不正規１＝ＤＩＦＦ、ＰＯＬＹ、ＰＩＭＰ、不正規２＝ＤＩＦＦ、ＰＯＬＹ、ＮＩＭＰ、ＮＷＥＬＬ等のように記述する態様で記憶装置１４に記録される。
【００４４】
かくて、全組合せデバイスのうち正規デバイス情報に含まれるレイアウト構成をデータベースに記録した場合、ステップ３１０において、データベースに正規デバイスと不正規デバイスとに区別して記録した全組合せデバイスのレイアウト構成の情報（レイヤリスト情報）に対しレイアウト検証ルールに使用すべく図形の論理演算を含むブーリアン処理を施す。各レイアウト構成の各タイプ（属性）毎にあらかじめ設定された規則に従うブーリアン演算の結果は所定のリストに纏められてデータベースに記録される。しかる後、ステップ３１１においてブーリアン処理結果をＬＶＳルールに適応した内容、例えば図８に示すようなテンプレートのテキスト形式に変換出力し、かつステップ３１２においてステップ３１１の処理結果にＬＶＳルールに必要なその他の記述（接続情報等）を含め、例えば図８に示すテンプレートをレイアウト検証ルールとして表示装置１５やプリンタ等に出力すると、本フローを終了する。
【００４５】
本実施の形態においては、プロセスのレイヤ情報を属性毎に振り分けた使用レイヤテーブル２１、及び正規デバイス情報を記述したレイヤ構成リスト２２から組合せ可能な全てのレイヤ構成からなる全組合せデバイスのレイアウト構成を抽出し、全組合せデバイスのうち正規デバイス情報に含まれるレイアウト構成と含まれないレイアウト構成を検索する正規／不正規検索部２３と、前者の正規のレイアウト構成にブーリアン処理を施してレイアウト検証ルールとして出力するとともに、後者の不正規のレイアウト構成乃至レイアウト要素に不正規を容易に認識させる不正規１、不正規２等のテキスト表示を含むエラー出力を行うレイアウト検証ルール提示部２４とを構成（レイアウト検証ルール作成プログラムを含む）したので、全く新しいレイヤ構成を含むレイアウト設計に際しても即座に対応して全組合せデバイスのレイアウト構成を抽出し、そのうち正規デバイス等の正規のレイアウト検証ルールを作成し出力する他、不正規デバイス等の不正規のレイアウト構成をも正規のものと一見して解り易く明確に区別して出力することが可能となり、従ってＬＶＳやＤＲＣの検証時においてエラー個所を容易に発見し製造プロセス生成の効率化を図ることが可能である。
【００４６】
また、本実施の形態においては、特に、不正規デバイス等の不正規のレイアウト構成をも正規のものと一見して解り易く明確に区別して出力することが可能であるので、レイアウト設計者に熟練を要さずとも、速やかに適切かつ効率的に不正規のレイアウト構成乃至レイアウト要素を把握することが可能であり、従ってエラー個所のトレースに多くの時間を要することがなく、例え初心者であっても極めて効率的にレイアウト検証ルールの作成が可能となり、半導体集積回路の生産性を極めて向上させることができる。
【００４７】
また、本実施の形態においては、全組合せデバイスのうち正規デバイス情報に含まれるレイアウト構成のブーリアン処理の結果をＬＶＳルールに適するテキストに変換して出力することが可能であるので、作成されたレイアウト検証ルールが極めて解り易く、扱い易いものであり、この観点からも信頼性を高め、半導体集積回路の生産性を向上させることが可能である。
【００４８】
なお、レイアウト検証ルール提示部２４には、ブーリアン処理に図形演算を含め、該図形演算の結果から正規デバイスを含むレイアウト図形、もしくは正規デバイス及び不正規を容易に認識させ得る態様の不正規デバイス（例えば色分けされたエラー出力）を含むレイアウト図形を画像表示させるように構成しても良いことは勿論である。
【産業上の利用可能性】
【００４９】
本発明のレイアウト検証ルール作成装置、レイアウト検証ルール作成方法、及びレイアウト検証ルール作成プログラムにあっては、組合せ可能な全てのレイヤ構成からなる全組合せデバイスのレイアウト構成を抽出し、正規のレイアウト構成と不正規のレイアウト構成（エラー個所）を検索して出力することが可能であるため、半導体集積回路のレイアウト検証ルールの作成に好適である他、レイアウト生産可能な機械装置やデザイン生産等の分野においても利用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の実施の形態に係るレイアウト検証ルール作成装置のハード構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の実施の形態のレイアウト検証ルール作成装置の主要部をなす機能構成を示す機能ブロック図である。
【図３】レイアウト検証ルール作成プログラムの処理を示すフローチャートである。
【図４】使用されるレイヤ及び属性を記述したファイル（使用レイヤテーブル）の一例を説明する説明図である。
【図５】正規デバイスのレイヤ構成を記述したファイル（レイヤ構成リスト）の一例を説明する説明図である。
【図６】抽出した正規デバイス、不正規デバイスを含む全組合せデバイスの一部のレイヤ構成を記述したファイルの一例を説明する説明図である。
【図７】全組合せデバイスのうち正規デバイス情報に含まれるレイアウト構成と含まれないレイアウト構成の一部のレイヤ構成を記述したファイルの一例を説明する説明図である。
【図８】作成されたレイアウト検証ルールの一例を説明する説明図である。
【符号の説明】
【００５１】
１０  レイアウト検証ルール作成装置
１１  処理装置
１２  キーボード
１３  マウス
１４  記憶装置
１５  表示装置
２１  使用レイヤテーブル
２２  レイヤ構成リスト
２３  正規／不正規検索部
２４  レイアウト検証ルール提示部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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