(57)【要約】      （修正有）【課題】ワークを非接触にて手操作により搬送およびカセットに挿入、取り出しを行う非接触手操作ハンドを提供する。【解決手段】気体をワークＧに向かって噴出することによりワークＧを非接触にて懸垂保持する非接触吸着具１に、手操作による気体供給切替弁８を設けたハンドル７を装着し、該非接触吸着具１にはワークＧの移動を規制する後方のガイド６とガイドバーを前後進することにより昇降する後方ガイドおよびカセットのポケットに挿入しワークＧをカセットの棚と平行に挿入することを容易にする案内板とにより構成されている。【選択図】  図１
2005251984.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
気体を噴出することによりワークを非接触にて保持する非接触吸着具に、気体供給弁を装着したハンドルおよびガイドを設けた手操作非接触ハンド。
【請求項２】
前記＜請求項１＞記載の非接触吸着具に案内板を設けた手操作非接触ハンド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、気体を噴出することにより非接触にてウエハ、ガラス基板等の板状ワークを保持し、カセットに挿入、取り出しを手操作にて行う手操作非接触ハンドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ワークの搬送は、従来ピンセットで掴んで所定の場所に移動したり、カセットに挿入、取り出しをしている場合がある。
【０００３】
そのためワークにキズを付けたり、破損させたり、汚れを付着させることがある。
【０００４】
また非接触にてワークを移送する非接触吸着具もある。
【０００５】
上記非接触吸着具は、ノズルより板状体ワークに向かって空気を噴出することにより吸着具の保持面と板状体との狭い空間に流れる高速気流により負圧を生ぜしめ、ワークを空中に浮遊した非接触状態にて懸垂保持するものである。
【０００６】
非接触吸着具は従来吸着開始時には、非接触吸着具をワークに至近距離まで接近させかつ、ワークと平行に保った状態にて気体を噴出しワークを非接触状態にて懸垂する。
【０００７】
そのため非接触吸着具を手に持ち、ワークに接触させずに至近距離まで接近させ、かつ平行状態に保ちつつ気体供給弁を手操作により操作するのは、非常に困難であり殆ど不可能であり、ロボットに装着して使用するのが通常であった。
【０００８】
またカセットにワークを挿入、取り出しをする場合は、非接触吸着具をワークを収納するカセットの狭いポケットを形成する棚と同一距離を保持しつつ、ぶれることなく棚と平行に移動しなければならないため手操作では不可能であった。
【特許文献１】特許第３０５４９８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
解決しようとする問題点は、非接触吸着具を手操作にて使用する際、ワークを懸垂開始時に容易に至近距離まで到達させ、かつ平行状態に維持し気体供給弁の操作が容易であり、またワークをカセットに挿入、取り出しが可能な手操作非接触ハンドを提供することである。、
【課題を解決するための手段】
【００１０】
気体を噴出することによりワークを非接触にて保持する非接触吸着具に、気体供給弁を装着したハンドルおよびガイドを付着した手操作非接触ハンドおよび非接触吸着具に案内板を設けた手操作非接触ハンドにより解決できる。
【発明の効果】
【００１１】
１．ガイド６を設けているため非接触吸着具１を手操作により容易にワークに接触することなく平行状態にて、至近距離に移動可能。
【００１２】
２．非接触吸着具をワークと至近距離において平行状態に保持することが可能。
【００１３】
３．ハンドルに気体供給弁を設けているため、手操作が容易。
【００１４】
４．手操作により非接触にてワークの搬送が可能。
【００１５】
５．案内板を備えているためワークをキャリヤへ収納、取り出す操作において、手操作非接触ハンドがぶれることがなく、手操作により非接触にてワークのキャリヤへの挿入、取り出しが可能。
【００１６】
６．前方ガイドが昇降可能な機構のため、カセットへの収納、取り出しが可能。
【００１７】
７．ワークにキズ、汚れ、損傷を与えない。  
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
ワークを手操作にて非接触にて搬送する手段において、気体を噴出することによりワークを非接触にて保持する非接触吸着具に、気体供給弁を装着したハンドルおよびガイドを付着した手操作非接触ハンドにより実現した。  
【実施例１】
【００１９】
図１は本発明の手操作非接触ハンドＡの実施例の側面図であって、図２はその上平面図である。
【００２０】
非接触吸着具１に付着しているブラケット１０に気体供給弁８を取り付けたハンドル７をネジ２５により調節可能自由に取り付けられている。
【００２１】
気体供給弁１０は手にて弁が開閉する機構になっている。
【００２２】
気体供給源に接続する管路（図示せず）は、気体供給弁入り口１２に接続し、気体供給弁８、管路２６、フィルター９，管路２７、気体供給口２に順次連設する。
【００２３】
ガイド６は、ワークＧの外縁より間隙を設けた位置に、非接触吸着具１の作動面５より突出し、台１１上のワークＧに至近距離hを保持する高さにて非接触吸着具１底部より必要数突設している。
【００２４】
このガイド６によりワークＧの懸垂開始時において、非接触吸着具１の作動面５はワーク６と平行状態にて至近距離hを保持する。
【００２５】
この構成にてハンドル７を手で掴み、非接触吸着具１を台１１上のワークＧ上にガイド６が台１１に到達するまで移動させる。
【００２６】
この状態にて、指により気体供給弁８を押すことにより気体は管路２６，フィルター９、管路２７を経て気体供給口２より非接触吸着具１に供給され、ノズル３よりクッション室４より噴出し、ワークＧと作動面５との空隙を通り排出される。
【００２７】
クッション室４および作動面５とワークＧとの空間を通過する高速気流により、クッション室５およびワークＧとの間隙が負圧になりワークＧを吸引し非接触状態にて保持する。
【００２８】
この状態にて所定の場所に手操作により手操作非接触ハンドＡを移動し、指を気体供給弁８から離すことにより、非接触吸着具１への気体の供給を遮断し、非接触吸着具１よりワークＧを脱着させる。
【実施例２】
【００２９】
図３は本発明の別の実施例の手操作非接触ハンドＢの側面図、図４は上平面図、図５はカセットＣへの挿入操作図を示す。
【００３０】
手操作非接触ハンドＢは、ワークＧを収納するカセットＣへのワークＧの挿入、取り出しを行うものである。
【００３１】
非接触吸着具２８に付着しているブラケット１０に気体供給弁８を取り付けたハンドル７をネジ２５により調節可能に取り付けられている。
【００３２】
気体供給弁１０は指にて頭部を押すことにより弁が開閉する機構になっている。
【００３３】
気体供給源に接続する管路（図示せず）は、気体供給弁入り口１２に接続し、気体供給弁８、管路２６、フィルター９，管路２７、気体供給口２に順次連設する。    
【００３４】
非接触吸着具２８は、非接触吸着具１と同様な機構になっており、ノズル１４より気体を噴出することにより、ワークＧを非接触にて吸引保持する。
【００３５】
非接触吸着具Ｂの先端部に半円球の頭部２０を有するガイド１８がバネ１９に支持され設けられており、後方部にはガイド１７が設けられている。
【００３６】
ガイド１８は、非接触吸着具Ｂの上面に前後移動自由にネジ２２により付着されているガイドバー２１の前後進にともなう傾斜面を有する摺動面３０との頭部２０との摺動により昇降する。
【００３７】
非接触吸着具Ｂの側面には、カセットＣに挿入可能な収納ポケット２５の間隙よりやや薄い厚さを有する案内板２３がに設けられている。
【００３８】
図５に示すように作動面１６の位置は、案内板２３をポケット２９に挿入したときに棚２４の先端上面の高さは、非接触にて保持しているワークＧがポケット２９’の挿入可能な位置になるように形成されている。
【００３９】
そのため非接触吸着具ＢがカセットＣ内にて前後進する場合は、常にワークＧがポケット２９に収まってる。
【００４０】
上記の構成により、気体供給弁８を指で押し気体を非接触吸着具Ｂに供給し、ワークＧを非接触にて懸垂保持する。
【００４１】
ガイドバー２１を前進させて後方ガイド１８を下降させ、ワークＧの動きを規制し、手操作非接触ハンドＢのハンドル７を手で持ち、カセットＣのポケット２９の棚２４に沿って案内板２３を挿入しする。
【００４２】
それに伴い非接触吸着具２８の作動面１６に非接触にて保持されているワークＧもポケット２９’に挿入される。
【００４３】
ワークＧのポケット２９’の先端まで挿入すると、気体切替弁１２の指操作により気体の供給を停止しワークＧを解放し、ワークＧをポケット２９’に収納し、ガイドバー２１を後退させガイド１８を上昇させ、非接触吸着具Ｂを案内板２３を棚２９に沿い引き出す。
【００４４】
カセットＣに収納されているワークＧを取り出す場合は、ガイド１８を上昇した状態にて、案内板２３をポケット２９’に挿入し、非接触吸着具Ｂが先端まで達したときに
ガイドバー２１を前進させガイド１８を下降させ、非接触吸着具Ｂに気体を供給し、ワークＧを吸引保持し、非接触吸着具ＢをカセットＣより引き出し、所定の位置まで移送し気体の供給を停止し、ワークＧを脱着する。
【００４５】
本発明の非接触吸着具は気体を噴出することにより負圧を発生し、ワークを非接触にて吸引保持する機構のものもよい。
【００４６】
気体供給弁はハンドルに装着しなくても他の操作容易な場所に設けてもよく、足踏み式、電気式にて切り替わる機構のものもよい。
【００４７】
案内板は、非接触吸着具がポケットに定位置にて、ワークが水平に挿入できる機構のものもよい。
【００４８】
後方ガイド１８はレバー式、シリンダー式により、昇降可能な機構のものもよい。   
【産業上の利用可能性】
【００４９】
手作業により非接触にて半導体ウエハ、太陽電池基板、液晶ガラス基板の手操作により搬送可能およびカセットへの出し入れがキズ、汚れを付けることなく可能になる。  
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の手操作非接触ハンドＡの側面である。（実施例１）
【図２】本発明の手操作非接触ハンドＡの平面図である。（実施例１）
【図３】本発明の別の手操作非接触ハンドＢ側面図である。（実施例２）
【図４】本発明の別の手操作非接触ハンドＢの平面図である。（実施例２）
【図５】本発明の別の手操作非接触ハンドＢによるカセットＣへ挿入操作説明図である。（実施例２）
【符号の説明】
【００５１】
１、２８  非接触吸着具
２  気体供給口
３、１４  ノズル
４、１５  クッション室
５、１６  作動面
６  ガイド
７  ハンドル
８  気体供給弁
９  フィルター  
１１  台
１７  前方ガイド
１８  後方ガイド
２１  ガイドバー
２３  案内板
２４  棚
２９，２９’ポケット
Ａ，Ｂ，手操作非接触ハンド
Ｃ  カセット
Ｇ  ワーク
【図１】
2005251984.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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