(57)【要約】【課題】  インク吐出口の品質を低下させることなく、かつ、インク流路内にエッチング残渣が発生せず、インク吐出が安定して行えるインクジェット記録ヘッドの製造方法、該製造方法により製造されるインクジェット記録ヘッド、並びに、該インクジェット記録ヘッドを備えるインクジェット記録装置を提供すること。【解決手段】  発熱抵抗体及び電極パッド部を有する基板と、該発熱抵抗体上に設けられ、インク吐出口を有する樹脂製ノズル体と、からなるインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、  前記基板の前記発熱抵抗体及び前記電極パッド部上に、可溶性樹脂からなる第１の樹脂層をそれぞれパターニングする工程と、  該第１の樹脂層上に第２の樹脂層を設けた後、該第２の樹脂層をエッチングして前記インク吐出口を形成すると共に、前記電極パッド部を開口する工程と、  前記第１の樹脂層を溶解除去する工程と、を備えることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法、該製造方法により製造されるインクジェット記録ヘッド、並びに、該インクジェット記録ヘッドを備えるインクジェット記録装置。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
発熱抵抗体及び電極パッド部を有する基板と、該発熱抵抗体上に設けられ、インク吐出口を有する樹脂製ノズル体と、からなるインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、
前記基板の前記発熱抵抗体及び前記電極パッド部上に、可溶性樹脂からなる第１の樹脂層をそれぞれパターニングする工程と、
該第１の樹脂層上に第２の樹脂層を設けた後、該第２の樹脂層をエッチングして前記インク吐出口を形成すると共に、前記電極パッド部を開口する工程と、
前記第１の樹脂層を溶解除去する工程と、
を備えることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記第２の樹脂層のエッチング面積が、パターニングされた前記第１の樹脂層の面積よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記第２の樹脂層のエッチング膜厚が、前記インク吐出口を形成する領域と、前記電極パッド部を開口する領域と、で略同一であることを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記第１の樹脂層は、前記第２の樹脂層よりも前記基板に対する密着力が小さいことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法により製造されたインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】
請求項５に記載のインクジェット記録ヘッドを備えたインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット記録方式を用いるインクジェット記録ヘッドの製造方法、及び該製造方法により製造されるインクジェット記録ヘッド、並びに、該インクジェット記録ヘッドを備えるインクジェット記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録ヘッドの製造方法として、従来より基板上に溶解可能なレジストによってインク流路の雄型を形成し、樹脂で被覆したのちレジストを溶出させることで、切断加工を行なわずにインク流路を形成する技術が存在する（例えば、特許文献１〜特許文献３参照。）。
また、ここでは、フィルム状の溶解可能なレジストが用いられる方法についても開示されているが、液状の溶解可能なレジストをスピンコート法により形成する技術も知られている。
【０００３】
インクジェット記録ヘッドの製造方法について具体的な一例を示す。図５は、従来のインクジェット記録ヘッドの製造工程の一例を示す概略断面図である。
まず、図５（ａ）に示されるように、液体吐出エネルギー発生素子１０２及び電極パッド部１０３を有する基板１０１上であって、液体吐出エネルギー発生素子１０２を覆うように、レジストによりインク流路パターンを形成する。ここで、インク流路パターンは、フィルム状のレジストをラミネートする、或いは、液状のレジストをスピンコート法により塗布し、ベーキングすることでレジストを固化させることで形成される。なお、このレジストは、固化した後においても適当な溶剤により溶解可能な性質を有するものである。
【０００４】
次に、図５（ｂ）に示されるように、レジストからなるインク流路パターン上を、スピンコート法により被覆樹脂１０５で覆い、ベーキングして固化させる。
その後、図５（ｃ）に示されるように、被覆樹脂１０５上に、インク吐出口が形成されたマスク１０６を形成する。
そして、図５（ｄ）に示されるように、マスク１０６を介してエッチングすることで、被覆樹脂１０５にインク吐出口１０７を形成すると共に、電極パッド部１０３を開口する。
その後、マスク１０６は除去される。
【０００５】
次いで、図５（ｅ）に示されるように、基板１０１の裏面からエッチングすることにより、インク供給のためのインク供給口１０８を基板に形成する。
その後、レジスト除去液に浸漬することで、レジストからなるインク流路パターンが溶解除去され、インク供給口１０８からインク吐出口１０６までのインク室１０９が形成される。
【０００６】
上述のように、かかるインクジェット記録ヘッドの製造方法では、図５（ｄ）に示されるように、被覆樹脂１０５にインク吐出口１０７を形成すると共に、電極パッド部１０３を開口する工程において、インク吐出口１０７を形成する領域と、電極パッド部１０３を開口する領域と、ではそのエッチング膜厚が異なる。これは、図５（ｄ）に示されるように、電極パッド部１０３を開口する方が、深いエッチングを必要とするためである。このように、この二つの領域においてエッチング膜厚が異なるため、電極パッド部１０３を開口するために被覆樹脂１０５を確実にエッチングしようとすると、インク吐出口１０７を形成する領域では、エッチング過多となってしまい、レジスト１０４を削り込んでしまうことがある。これにより、エッチングに晒されたレジスト１０４は変質して、除去液により溶解し難くなる部分ができ、インク室（インク流路）１０９の内部には、レジスト１０４の残渣（エッチング残渣）が発生する。
また、インク吐出口１０７を形成する際のエッチング過多は、マスク１０６の変形や、エッチャントとレジスト１０４との反応生成物のインク吐出口１０７内壁への付着などが生じやすく、インク吐出口１０７の寸法や上面／断面形状などが設計値から逸脱し、インク吐出口１０７の品質を低下させる問題を有していた。
その結果、インク吐出口の品質が低下したり、エッチング残渣の存在により、インクの流路が不均一となり、インクの吐出が不安定となる問題を有していた。
【特許文献１】特開平０５−３３００６６号公報
【特許文献２】特開平０６−２８６１４９号公報
【特許文献３】特開２００２−１９１２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
そこで、本発明は、インク吐出口の品質を低下させることなく、かつ、インク流路内にエッチング残渣が発生せず、インク吐出が安定して行えるインクジェット記録ヘッドの製造方法、該製造方法により製造されるインクジェット記録ヘッド、並びに、該インクジェット記録ヘッドを備えるインクジェット記録装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題は以下の本発明により達成される。すなわち、本発明は、
＜１＞  発熱抵抗体及び電極パッド部を有する基板と、該発熱抵抗体上に設けられ、インク吐出口を有する樹脂製ノズル体と、からなるインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、
前記基板の前記発熱抵抗体及び前記電極パッド部上に、可溶性樹脂からなる第１の樹脂層をそれぞれパターニングする工程と、
該第１の樹脂層上に第２の樹脂層を設けた後、該第２の樹脂層をエッチングして前記インク吐出口を形成すると共に、前記電極パッド部を開口する工程と、
前記第１の樹脂層を溶解除去する工程と、
を備えることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法である。
【０００９】
＜２＞  前記第２の樹脂層のエッチング面積が、パターニングされた前記第１の樹脂層の面積よりも小さいことを特徴とする＜１＞に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法である。
【００１０】
＜３＞  前記第２の樹脂層のエッチング膜厚が、前記インク吐出口を形成する領域と、前記電極パッド部を開口する領域と、で略同一であることを特徴とする＜１＞又は＜２＞に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法である。
【００１１】
＜４＞  前記第１の樹脂層は、前記第２の樹脂層よりも前記基板に対する密着力が小さいことを特徴とする＜１＞〜＜３＞のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法である。
【００１２】
＜５＞  ＜１＞〜＜４＞のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法により製造されたインクジェット記録ヘッドである。
【００１３】
＜６＞  ＜５＞に記載のインクジェット記録ヘッドを備えたインクジェット記録装置である。
【発明の効果】
【００１４】
本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法によれば、基板の発熱抵抗体及び電極パッド部上に、可溶性樹脂からなる第１の樹脂層をそれぞれパターニングし、その上に、第２の樹脂を形成する。そして、第２の樹脂をエッチングして、インク吐出口を形成し、また、電極パッド部を開口する工程を有するが、この際、エッチング領域は第２の層の下層に第１の樹脂層が形成されていることから、第２の樹脂層のみをエッチングし第１の樹脂層を露出させることで、インク吐出口を形成すると共に、電極パッド部を開口することができる。このように、電極パッド部上にも第１の樹脂層が形成されていることから、電極パッド部を開口するためのエッチング膜厚と、インク吐出口を形成するためのエッチング膜厚と、の間に極端な相違がなくなり、インク吐出口の品質の低下や、第１の樹脂層のエッチング残渣は発生しない。
したがって、本発明によれば、インク吐出口の品質を低下させることなく、かつ、インク流路内にエッチング残渣が発生せず、インク吐出が安定して行えるインクジェット記録ヘッドの製造方法、該製造方法により製造されるインクジェット記録ヘッド、並びに、該インクジェット記録ヘッドを備えるインクジェット記録装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明について詳細に説明する。
本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、発熱抵抗体及び電極パッド部を有する基板と、該発熱抵抗体上に設けられ、インク吐出口を有する樹脂製ノズル体と、からなるインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、
前記基板の前記発熱抵抗体及び前記電極パッド部上に、可溶性樹脂からなる第１の樹脂層をそれぞれパターニングする工程（以下、（Ａ）工程と称する場合がある。）と、
該第１の樹脂層上に第２の樹脂層を設けた後、該第２の樹脂層をエッチングして前記インク吐出口を形成すると共に、前記電極パッド部を開口する工程（以下、（Ｂ）工程と称する場合がある。）と、
前記第１の樹脂層を溶解除去する工程（以下、（Ｃ）工程と称する場合がある。）と、
を備えることを特徴とする
【００１６】
このような、本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法によれば、（Ａ）工程において、基板の発熱抵抗体及び電極パッド部上に、可溶性樹脂からなる第１の樹脂層をそれぞれパターニングして設ける。そして、（Ｂ）工程において、第１の樹脂層上に、第２の樹脂を形成し、かかる第２の樹脂をエッチングして、インク吐出口を形成し、また、電極パッド部を開口する。この（Ｂ）工程において、エッチング領域は第２の層の下層に第１の樹脂層が形成されている構成となることから、第２の樹脂層のみをエッチングし第１の樹脂層を露出させることで、インク吐出口を形成すると共に、電極パッド部を開口することができる。このように、電極パッド部上にも第１の樹脂層が形成されていることから、電極パッド部を開口するためのエッチング膜厚と、インク吐出口を形成するためのエッチング膜厚と、の間に極端な相違がなくなり、従来のように、インク吐出口を形成する際のエッチング過多がなくなる。
その結果、インク吐出口の品質の低下はみられず、第１の樹脂層のエッチング残渣は発生しない。そのため、インクの流路抵抗が均一になるため、インク吐出が安定して行えるインクジェット記録ヘッドを製造することができる。
【００１７】
また、本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法において、第２の樹脂層のエッチング面積が、パターニングされた第１の樹脂層の面積よりも小さいことが好ましい態様である。このような第２の樹脂のエッチングによりインク吐出口が形成されることとなる。
【００１８】
また、本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法において、第２の樹脂層のエッチング膜厚が、インク吐出口を形成する領域と、電極パッド部を開口する領域と、で略同一であることが好ましい態様である。
この態様とするために、（Ａ）工程において、基板の発熱抵抗体及び電極パッド部上に、可溶性樹脂からなる第１の樹脂層をそれぞれパターニングする際、かかるパターニングされた第１の樹脂層の厚さをいずれも略同一にし、（Ｂ）工程において、その第１の樹脂層上に第２の樹脂層を塗布法にて設けるという手段が用いられる。
このように、電極パッド部を開口するためのエッチング膜厚と、インク吐出口を形成するためのエッチング膜厚と、の間に差が無くなることから、略同一の条件でエッチングすることで、インク吐出口を形成し、かつ、電極パッド部の開口を行うことができる。これにより、インク吐出口の品質の低下や、第１の樹脂層のエッチング残渣の発生を、より確実に防止することができる。
【００１９】
また、第１の樹脂層は、第２の樹脂層よりも基板に対する密着力が小さいことが好ましい。
本発明において、第１の樹脂層は、インク流路を形成するため、更には、電極パッド部を露出させるため、除去液により容易に溶解され、基板上から除去される性質を有すること必要である。対して、第２の樹脂層は、インク流路の壁面を構成するため、第１の樹脂層の除去液や、製造工程における種々の溶剤に対して、耐性を有し、基板上に残存するような性質を有すること必要である。
このようなことから、第１の樹脂層は、第２の樹脂層よりも基板に対する密着力が小さいことが好ましい態様となり、第１の樹脂層及び第２の樹脂層を構成する材料を、それぞれ適宜選択することにより、両層の基板に対する密着力の大小を制御することができる。
具体的には、第１の樹脂層としては、ＰＭＧＩ、ＬＯＲ、ＰＭＭＡ（いずれもＭｉｃｒｏＣｈｅｍ社製）などが用いられる。
対して、第２の樹脂層としては、ＳＵ−８（ＭｉｃｒｏＣｈｅｍ社製）、ポリイミドなどが用いられる。
【００２０】
以下、本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法についてより詳細に説明する。
まず、図４には、本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法により製造されたインクジェット記録ヘッドが示されている。
図４に示されるインクジェット記録ヘッドは、発熱抵抗体（機能性素子）２及び電極パッド部３が設けられた基板１と、インク吐出口（開口部）７を有する第２の樹脂体６からなる樹脂製中空部材と、を備え、インク供給口８とインク吐出口７との間にインク室（中空部位）９が形成されている。
ここで、図４に示されるように、樹脂製中空部材の外側には、外部電源から発熱抵抗体２に電力を供給するために、電気的接続を行う電極パッド部３が配置されている。なお、本実施形態において、電極パッド部３は発熱抵抗体２と同じ方向に並ぶような構成であるが、これに限定されるものではなく、必要に応じて、任意の配置とすることができる。また、電極パッド部３は発熱抵抗体２を個別にアドレスするだけのものではなく、途中に論理回路を介して発熱抵抗体２をアドレスするものであってもよい。
【００２１】
図４では、２つの発熱抵抗体と、インク吐出口と、電極パッド部と、を模式的に示しているが、インク供給口を共通にして、更に多くのインク吐出口を形成する場合には、それらは図の奥若しくは手前方向にアレイ状に配置される。また、インク吐出口がインク供給口を共通にしない場合には、図の左右に、発熱抵抗体、インク吐出口、電極パッド部、樹脂製中空部材、インク供給口がそれぞれ配置される。
このようなインクジェット記録ヘッドの製造方法の具体例について、詳細に説明する。
【００２２】
〔第１の実施形態〕
図１及び図２は、本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法の第１の実施形態を示す概略断面図である。
図１（ａ）に示すように、発熱抵抗体２及び電極パッド部３が設けられた基板１上に、スピンコート法により第１の樹脂層（厚膜レジスト、ＰＭＧＩ、ＭｉｃｒｏＣｈｅｍ社製）４を形成する。
次に、図１（ｂ）に示すように、第１の樹脂層４上にスピンコート法により耐酸素プラズマ性レジストを塗布した後、露光現像を行い、耐酸素プラズマ性レジスト１１にインク室パターン及び電極パッド部保護パターンを形成する。
【００２３】
そして、図１（ｃ）に示すように、耐酸素プラズマ性レジスト１１をマスクとして、第１の樹脂層４を酸素プラズマでドライエッチングし、第１の樹脂層４からなるインク室パターン４１及び電極パッド部保護パターン４２を形成した後、剥離液により第１の樹脂層４上に残留している耐酸素プラズマ性レジスト１１を除去する。ここで、発熱抵抗体２及び電極パッド部３上にパターニングされた第１の樹脂層、即ち、図１（ｃ）におけるインク室パターン４１及び電極パッド部保護パターン４２は、いずれも同一の厚さを有することになる。
その後、図１（ｄ）に示すように、インク室パターン４１及び電極パッド部保護パターン４２上に、第２の樹脂層６（ＳＵ−８、ＭｉｃｒｏＣｈｅｍ社製）をスピンコート法により塗布し、ベーキングして固化させた後、耐酸素プラズマ性レジストをスピンコート法により塗布し、露光現像を行い、耐酸素プラズマ性レジスト１２にインク吐出口パターン及び電極パッド部開口パターンを形成する。
【００２４】
続いて、図１（ｅ）に示すように、耐酸素プラズマ性レジスト１２をマスクとして、第２の樹脂層６をドライエッチングすることにより、インク吐出口７及び電極パッド部開口１３を形成した後、剥離液により第２の樹脂層６上に残留している耐酸素プラズマ性レジスト１２を除去する。
そして、図２（ｆ）に示すように、基板１のインク吐出口７側を保護層１４で被覆する。
【００２５】
次いで、図２（ｇ）に示すように、基板１の裏面からエッチング液によりエッチングして、インク供給のための、インク供給口８を形成した後、図１（ｈ）に示すように、保護層１４を剥離液により除去する。
そして、図２（ｈ）に示される状態の部材を、レジスト除去液に浸漬することにより、第１の樹脂層４からなるインク室パターン４１を除去し、インク供給口８からインク吐出口７までのインク室９を形成すると共に、電極パッド部３を露出させることによって、図４に示す、インクジェット記録ヘッドが作製される。
【００２６】
なお、本実施形態においては、インク吐出口７及び電極パッド部開口１３を形成した後、インク供給口８を形成するためのエッチング時に電極パッド部３が劣化しないように、保護層１４を設ける工程（図２（ｆ））を行ったが、エッチング液がインク供給口８からインク吐出口７を経て電極パッド部３へとまわりこむことがなく、かつ、電極パッド部がエッチング液に直接晒されないような冶具を用いることにより、保護層１４の形成工程（図２（ｆ））を除くことが可能である。
【００２７】
〔第２の実施形態〕
図３は、本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法の第２の実施形態を示す概略断面図である。なお、微小中空体の製造方法の第２の実施形態においては、基板１上に、第１の樹脂層４からなるインク室パターン４１、及び電極パッド部保護パターン４２を形成する工程（図１（ａ）〜（ｃ））までは、第１の実施形態と同じである。
【００２８】
図３（ａ）に示すように、第１の樹脂層からなるインク室パターン４１、及び電極パッド部保護パターン４２上に、第２の樹脂層６をスピンコート法により塗布し、ベーキングして固化させた後、基板１の裏面からエッチング液によりエッチングして、インク供給のための、インク供給口８を形成する。
次いで、図３（ｂ）に示すように、第２の樹脂層６上に、耐酸素プラズマ性レジストをスピンコート法により塗布し、露光現像を行い、耐酸素プラズマ性レジスト１２にインク吐出口パターン及び電極パッド部開口パターンを形成する。
【００２９】
続いて、図３（ｃ）に示すように、耐酸素プラズマ性レジスト１２をマスクとして、第２の樹脂層６をドライエッチングすることにより、インク吐出口７及び電極パッド部開口１３を形成した後、剥離液により第２の樹脂層６上に残留している耐酸素プラズマ性レジスト１２を除去する。
そして、図３（ｃ）に示される状態の部材を、レジスト除去液に浸漬することにより、第１の樹脂層４からなるインク室パターン４１を除去し、インク供給口８からインク吐出口７までのインク室９を形成すると共に、電極パッド部３を露出させることによって、図４に示す、インクジェット記録ヘッドが作製される。
【００３０】
第１及び第２の実施形態では、インク吐出口７及び電極パッド部開口１３を形成するためのドライエッチングは、第１の樹脂層４が露出するまで行えばよいことになる。本実施形態では、いずれの方法あっても、発熱抵抗体２及び電極パッド部３上にパターニングされた第１の樹脂層、即ち、図１（ｃ）におけるインク室パターン４１及び電極パッド部保護パターン４２は、いずれも同一の厚さを有することから、第２の樹脂層６を同じ厚さでエッチングすることで、インク室パターン４１及び電極パッド部保護パターン４２が露出することになる。そして、露出したインク室パターン４１及び電極パッド部保護パターン４２は、可溶性樹脂（厚膜レジスト）からなるため、レジスト除去液により容易に除去される。
上述の如く、本実施形態では、インク室パターン４１を形成するエッチング膜厚と、電極パッド部保護パターン４２を露出する（電極パッド部３を開口する）エッチング膜厚と、が同じであるため、従来のように、インク吐出口のエッチング過多を必要としない。そのため、インク吐出口のエッチング過多に起因するインク吐出口の品質を低下させることがなく、更に、エッチング残渣の防止することもできる。
そのため、インク吐出が安定して行えるインクジェット記録ヘッドを製造することができる。
【００３１】
なお、第１及び第２の実施形態において、第１の樹脂層４によるインク室パターン４１、及び電極パッド部保護パターン４２の形成をドライエッチングによって行なったが、第１の樹脂層４として、感光性のレジスト層を用いることにより、フォトリソグラフィーによって形成することも可能である。
【００３２】
なお、本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、マイクロバルブの製造方法としても好ましく用いることができる。
【００３３】
このように、本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法により製造されたインクジェット記録ヘッド（本発明のインクジェット記録ヘッド）は、上述のように、エッチング過多に起因するエッチング残渣がないことから、中空内部に不均一な凹凸がないことになる。これにより、インク供給口からインク室を経由してインク吐出口までのインクの流路抵抗を均一にすることができるため、その結果、インクの吐出を安定に行うことができるという優れた効果を有する。
【００３４】
次に、本発明のインクジェット記録装置について、図面を参照して説明する。本発明のインクジェット記録装置は、上述した本発明のインクジェット記録ヘッドを備えることを特徴とする。
図６は、本発明のインクジェット記録装置の一例を示す概略斜視図である。
【００３５】
図６に示すように、インクジェット記録装置１１０はインクジェット記録用ヘッド（上述した本発明のインクジェット記録ヘッド）１１１が搭載されたキャリッジ１１２を備えている。キャリッジ１１２はインクジェット記録装置１１０に設けられたシャフト１１４に沿って主走査方向（矢印Ｍ方向）に移動する。
【００３６】
また、インクジェット記録装置１１０には記録用紙１１６を搬送する搬送ローラ１１８が設けられている。記録用紙１１６は搬送ローラ１１８に挟持されて搬送され、副走査方向（矢印Ｓ方向）へ移動する。
【００３７】
インクジェット記録用ヘッド１１１にはインクタンク１２０が設けられており、インクジェット記録装置本体に対してユーザが着脱可能な消耗品としてのインクジェットカートリッジ１３０を構成している。インクジェットカートリッジ１３０は、インクジェット記録用ヘッド１１１と、インクタンク１２０と、両者を連結する図示しないインク供給路とを備えた構造を有している。インクタンク内には、インク吸収体が内臓されていてもよい。また、インクジェット記録ヘッドのみがキャリッジ１１２に載置され、インクタンクはインクジェット記録装置本体のキャリッジ外部に配置され、両者がインク供給路で連結される構造とすることもできる。このインクタンク１２０の、記録用紙１１６に対面する側（図６では下側）が、インクジェット記録用ヘッド１１１となっている。
なお、図６に示す態様のインクジェット記録用ヘッド１１１では長手方向が副操作方向と一致し、短手方向が主走査方向と一致しているため、図６においてインクジェット記録用ヘッド１１１の長手方向が矢印Ｓで、短手方向が矢印Ｍでそれぞれ示されている。
【００３８】
従って、本発明のインクジェット記録装置は、安定したインク吐出が可能である、本発明のインクジェット記録ヘッドを備えるため、良好で安定した画像形成を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本実施形態１に係るインクジェット記録ヘッドの製造工程を示す概略断面図である。
【図２】本実施形態１に係るインクジェット記録ヘッドの製造工程を示す概略断面図である。
【図３】本実施形態２に係るインクジェット記録ヘッドの製造工程を示す概略断面図である。
【図４】本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法により製造されたインクジェット記録ヘッドの概略断面図である。
【図５】従来のインクジェット記録ヘッドの製造工程を示す概略断面図である。
【図６】本発明のインクジェット記録装置の一例を示す概略斜視図である。
【符号の説明】
【００４０】
１、１０１  基板
２、１０２  発熱抵抗体
３、１０３  電極パッド部
５  第１の樹脂層
６  第２の樹脂層
７、１０７  インク吐出口
８、１０８  インク供給口
９、１０９  インク室
１１、１２  耐酸素プラズマ性レジスト
１０５  被覆樹脂
１０６  マスク
１１０  インクジェット記録装置
１１１  インクジェット記録ヘッド
１１２  キャリッジ
１１４  シャフト
１１６  記録用紙
１１８  搬送ローラ
１２０  インクタンク
１３０  インクジェットカートリッジ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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