(57)【要約】【課題】  再生ビーム径／ピッチが１．３以上となるような大容量情報記録媒体において、情報記録媒体のＣＮ比が改善可能な情報記録媒体製造用原盤を提供する。【解決手段】  基板２上のレジスト材料３に凹凸パターンが形成された情報記録媒体製造用原盤１において、情報記録媒体の再生ビーム径／トラックピッチが１．３以上であり、かつ前記原盤のランド部の表面粗さをＲｌ、ミラー面の表面粗さをＲｍをとすると、０．２ｎｍ＞Ｒｌ−Ｒｍである。【選択図】        図３
2005251308.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上のレジスト材料に凹凸パターンが形成された情報記録媒体製造用原盤において、情報記録媒体の再生ビーム径／トラックピッチが１．３以上であり、かつ前記原盤のランド部の表面粗さをＲｌ、ミラー面の表面粗さをＲｍをとすると、０．２ｎｍ＞Ｒｌ−Ｒｍであることを特徴とする記録媒体製造用原盤。
【請求項２】
前記情報記録媒体が、そのグルーブ部に情報が記録されるグルーブ記録媒体であることを特徴とする請求項１記載の記録媒体製造用原盤。
【請求項３】
前記情報記録媒体が、前記グルーブとランド部の両方に情報が記録されるランドアンドグルーブ記録媒体であることを特徴とする請求項１記載の記録媒体製造用原盤。
【請求項４】
請求項１ないし３項のいずれか１項記載の情報記録媒体製造用原盤から製造されたことを特徴とする情報記録媒体用スタンパ。
【請求項５】
請求項４項の情報記録媒体用スタンパより製造されたことを特徴とする情報記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ディスク等の情報記録媒体を製造するための記録媒体製造用原盤およびこれにより製造された情報記録媒体のスタンパおよび情報記録媒体に関するものである。  
【背景技術】
【０００２】
情報記録媒体のＣ／Ｎとパターンの面粗さに関しては、まず、記録媒体の基板の案内溝底の面粗さＲａ（算術平均粗さ）を１ｎｍ以下と規定（かつ、案内溝底の記録層光学的膜厚を規定）している技術、また、ランドアンドグルーブ記録媒体のスタンパのランド面粗さＲｍｓ（二乗平均粗さ）が１ｎｍ以下と規定している技術、さらに記録媒体のスタンパ全面の面粗さＲａが０．４ｎｍ以下と規定している技術が知られている（例えば、特許文献１ないし３参照）。
光ディスク等の情報記録媒体はスタンパと呼ばれる表面に案内溝とかピット等のパターンを形成した金属板を型として、ポリカーボネート樹脂等を成形してこれに記録材料等を付与して安価に大量生産される。
光ディスク等の情報記録媒体はピッチを縮め、記録再生装置も記録再生光を短波長化してビーム径を小径化して、ＣＤ−Ｒ／ＲＷ、ＤＶＤ±Ｒ／ＲＷと容量を増加させてきた。
しかし、さらなる容量に対する要求に対応するため、ＣＤ−Ｒ／ＲＷでは記録再生光のビーム径と情報記録媒体のピッチは、ほぼ同等であったが（ビームの中心の強度が１／ｅ２となる領域で定義）、ＤＶＤ±Ｒ／ＲＷでは、ピッチに対し記録再生ビーム径が１．２倍程度になり、次世代以降では、さらに比率を大きくする必要が生じてきている。
この結果、記録再生光は、信号が記録される案内溝だけでなく、案内溝と案内溝の間のランド部にも照射されることになってきている。その結果、情報記録媒体の信号品質（キャリア／ノイズ比；ＣＮ比）は、ランド部の状態にも大きく影響されることになってきた。
前述のように情報記録媒体の基板は、スタンパから転写され、スタンパは原盤から転写されるため、基板の形状は、原盤形状が大きく影響する。前述のように原盤は表面が鏡面に研磨された基板にレジスト膜を形成し、パターンが形成される。
そのため、案内溝の底は表面が鏡面に研磨された基板となり、ランド部はレジスト膜となり、基板は変化しないので、情報記録媒体の信号品質はランド部に残ったレジスト膜の品質で決定される。
【０００３】
また、上記ＤＶＤ±Ｒ／ＲＷ等は、グルーブに情報を記録するが、グルーブとランドの両方に情報を記録するランドアンドグルーブ記録媒体も、ＤＶＤ−ＲＡＭ等で商品化されている。
ランドアンドグルーブ記録媒体はランドにも情報を記録するので、同じトラックピッチの場合は情報量が２倍に増加するが、隣のデータからのクロストークが大きくなるので、実際にはグルーブ記録の約２倍程度のトラックピッチが使われる。
このランドアンドグルーブ記録媒体の場合、ランド部にもデータを記録するため、ランド部の粗さが変動するとランド部の信号品質が悪化する。すなわち、グルーブ記録の場合と同様、情報記録媒体のランド部の信号品質は、ランド部に残ったレジスト膜の品質で決定される。
情報記録媒体の原盤露光は、情報記録媒体の容量の増加にしたがって、案内溝とかピット等のパターンを微細化する必要があるため、レーザ光源の波長を短くし、露光ビーム径を小さくしてきた。
ＣＤ−Ｒ／ＲＷではピッチに対し露光ビーム径が０．３倍程度であったが、ＤＶＤ±Ｒ／ＲＷでは、ピッチに対し露光ビーム径が０．５５倍程度になり、次世代以降では、さらに比率を大きくする必要が生じてきている。
【０００４】
次世代では、ピッチ０．４５μｍ以下が検討されている。しかし、レーザ光の波長は、光源の短波長化の限界とレーザ光の制御を行う偏光器等の素子の波長限界から、２５０ｎｍ程度が限界である。
ピッチ０．４３μｍの場合には、４１３ｎｍでＤＶＤを露光した場合と同様ピッチに対しビーム径は十分細いので、隣のトラックと干渉することなく、パターンが露光できる。しかし、ピッチ０．２５μｍでは、隣のトラックと重なってしまい、パターンが形成できなかった。
また、ピッチ０．３２μｍの場合には、パターンとしては形成できたが、隣のトラックとの重なりはあるためランド部がごくわずか露光されて、現像されることにより、ランド部の面粗さ（Ｒａ：中心線平均粗さ）が、ピッチ０．４３μｍの場合の０．５ｎｍに対し、０．７８ｎｍと悪化していることが判明した。
情報記録媒体は、アドレス情報等のために案内溝を蛇行させるため、ランド幅は変動するので、凹凸も変動する。結果、案内溝のノイズが増加して、ＣＮが悪化する問題があった。
上記のようにレーザ光の波長によってビーム径が決まるレーザ露光では、ピッチ０．３２μｍ程度が限界で、それ以下のパターンは形成困難である。そこで、新たな光源として、電子ビームを使用した電子ビーム原盤露光装置が検討されている。
しかし、電子ビームは、ビーム径こそ細くできるが、電子の散乱は、加速電圧２０ＫＶでも数μｍ以上あり、１μｍ以下のピッチで露光すると露光する必要のないランド部まで露光されてしまう。この結果ランド部が現像されて面粗さが増加してしまう、レーザ露光と同様の問題が発生した。
【特許文献１】特許第２６５２２７９号
【特許文献２】特開平１０−３３４５１７号公報
【特許文献３】特開２００２−３０４７７５公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１は、案内溝底の面粗さＲａを１ｎｍ以下と規定しているが、前述のように案内溝底は研磨されたガラス基板面から転写されるので、従来から０．５ｎｍ程度で、案内溝底の面粗さの値そのものには新規性はない。また、この従来例はランドの影響の少なかったＣＤ−Ｒに関してのもので、ランド面粗さに関する記載はない。
また、特許文献２は、ランド面粗さＲｍｓを１ｎｍ以下と規定している（Ｒａで表現すると０．７〜０．８ｎｍ程度）が、前述のように記録媒体のＣＮは、ランド粗さ自体のような微細な凹凸で決まるものではなく、もっと低周波の変動によって起きるノイズによって決定されるので、仮にランド粗さＲｍｓが０．５ｎｍから０．７ｎｍの間で変動すればＣＮは悪化する。
逆に、詳細は後述するが、ランド面粗さは、現像の時間を変化させると変化することが知られており、ランド面粗さが変化してもＣＮは変化しない。すなわち、ランド面粗さＲｍｓを１ｎｍ以下と規定してもＣＮが悪い問題があった。
また、特許文献３は、記録媒体のスタンパの全面の面粗さＲａが０．４ｎｍ以下と規定している。面粗さは小さいに越したことはないが、現実には、明細書に記載されているように原盤に形成されたパターンをマスクにして石英ガラスをドライエッチングし、エッチング条件により面粗さを低減し、これを電鋳してスタンパを作成している。
従来のプロセスでは実現困難なばかりでなく、不必要な仕様と言わざるを得ない。この工法では、高価なドライエッチング装置が必要なばかりでなく、高価な合成石英ガラスの使用、ドライエッチングによるプロセス時間の増加、環境問題を引き起こすフロン等の有害ガスの使用等、多くの問題も引き起こす不都合があった。
本発明の目的は、上述した実情を考慮して、再生ビーム径／ピッチが１．３以上となるような大容量情報記録媒体において、情報記録媒体のＣＮ比が改善可能な情報記録媒体製造用原盤を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、基板上のレジスト材料に凹凸パターンが形成された情報記録媒体製造用原盤において、情報記録媒体の再生ビーム径／トラックピッチが１．３以上であり、かつ前記原盤のランド部の表面粗さをＲｌ、ミラー面の表面粗さをＲｍをとすると、０．２ｎｍ＞Ｒｌ−Ｒｍである記録媒体製造用原盤を特徴とする。
また、請求項２に記載の発明は、前記情報記録媒体が、そのグルーブ部に情報が記録されるグルーブ記録媒体であることを特徴とする。
また、請求項３に記載の発明は、前記情報記録媒体が、そのグルーブとランド部の両方に情報が記録されるランドアンドグルーブ記録媒体である請求項１記載の記録媒体製造用原盤を特徴とする。
また、請求項４に記載の発明は、請求項１ないし３項のいずれか１項記載の情報記録媒体製造用原盤から製造された情報記録媒体用スタンパを特徴とする。
また、請求項５に記載の発明は、請求項４項の情報記録媒体用スタンパより製造された情報記録媒体を特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、大容量の情報を記録可能なピッチの狭い原盤においても、原盤のランド面粗さとミラー面粗さの差を０．２ｎｍ以下にすることにより、ランド面粗さ変動の少ない原盤を提供でき、これにより、ノイズの低い大容量情報記録媒体を作成可能になる。  また、露光された原盤そのもののランド粗さ変動が小さいので、高価なドライエッチング等の装置、プロセスを経ることなくノイズの低い大容量情報記録媒体を作成可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態を詳細に説明する。図１は本発明による情報記録媒体用原盤の第１の製造工程を示す図である。この原盤１の第１の製造工程では表面が鏡面に研磨された基板２にジスト膜３を形成する。
図２は本発明による情報記録媒体用原盤の第２の製造工程を示す図である。原盤露光装置で記録情報に基づいて信号変調されたレーザ光６でジスト膜３に照射して露光させる。
図３は本発明による情報記録媒体用原盤の第３の製造工程を示す図である。図２の第２の製造工程に続いて、これを現像することにより、表面にパターンを形成した光ディスク原盤１が作成される。
図４は本発明による情報記録媒体用原盤の第４の製造工程を示す図である。図３で作成された光ディスク原盤１の表面に導電膜４を付与し、電鋳皮膜５を形成する。
図５は本発明による情報記録媒体用原盤の第５の製造工程を示す図である。電鋳皮膜５を形成した原盤１から剥離することにより表面にパターンを形成したスタンパ７が作成される。
光ディスク等の情報記録媒体は、このようなスタンパ７と呼ばれる表面に案内溝とかピット等のパターンを形成した金属板を型として、ポリカーボネート樹脂等を成形してこれに記録材料等を付与して安価に大量生産される。このスタンパ７は、表面にパターンを形成した原盤１から作成される。
このスタンパ７から基板２を成形し、リライタブル媒体の場合は、この基板２に、ＧｅＳｂＴｅ系等の記録層を形成し、Ａｇ等の反射層を付け、保護層を形成し、記録再生可能な情報記録媒体が作成される。
また、書き換え不可能な媒体の場合には、この基板２に、フタロシアニン等の色素を付与し、Ａｇ等の反射層を付け、保護層を形成し、情報記録媒体が作成される。
前述のように原盤１は、表面が鏡面に研磨された基板２にレジスト膜３を形成しパターンが形成されるので、案内溝の底は、表面が鏡面に研磨された基板２となり、ランド部はレジスト膜３となり、基板２は変化しないので、情報記録媒体の信号品質は、ランド部に残ったレジスト膜３の品質で決定される。
情報記録媒体の原盤露光は、情報記録媒体の容量の増加にしたがって、案内溝とかピット等のパターンを微細化する必要があるため、レーザ光源の波長を短くし、露光ビーム径を小さくしてきた。
図６は波長４１３ｎｍのＫｒレーザを使用してピッチ０．７４μｍのＤＶＤ±Ｒ／ＲＷを露光した場合の半径方向の露光量分布を示す図である。図６のようにピッチに対しビーム径は十分細いので、隣のトラックと干渉することなく、パターンが露光できる。
図６のように、ピッチが０．６μｍと狭くなっても、同様に、隣のトラックと干渉することなく、パターンが露光できる。次世代では、ピッチ０．４５μｍ以下が検討されている。しかし、レーザ光の波長は、光源の短波長化の限界とレーザ光の制御を行う偏光器等の素子の波長限界から２５０ｎｍ程度が限界である。
従来技術で説明したように、光ディスク等情報記録媒体はピッチを縮め、記録再生装置も記録再生光を短波長化してビーム径を小径化して、ＣＤ−Ｒ／ＲＷ、ＤＶＤ±Ｒ／ＲＷと容量を増加させてきた。
しかし、さらなる容量に対する要求に対応するため、ＣＤ−Ｒ／ＲＷでは記録再生光のビーム径と情報記録媒体のピッチは、ほぼ同等であったが（ビームの中心の強度が１／ｅ２となる領域で定義）、ＤＶＤ±Ｒ／ＲＷでは、ピッチに対し記録再生ビーム径が１．２倍程度になり、次世代以降では、さらに比率を大きくする必要が生じてきている。
【０００９】
図７は再生ビーム径／ピッチ＝１の場合を示す図である。図８は再生ビーム径／ピッチ＝１の場合を示す図である。この結果、記録再生光は信号が記録される案内溝だけでなく、案内溝と案内溝の間のランド部にも照射されることになってきている。
図９は波長２５７ｎｍの場合の、ピッチ０．４３μｍ、０．３２μｍ、０．２５μｍでの半径方向の露光量分布を示す図である。ピッチ０．４３μｍの場合には、４１３ｎｍ  でＤＶＤを露光した場合と同様ピッチに対しビーム径は十分細いので、隣のトラックと干渉することなく、パターンが露光できる。
しかし、上述したように、ピッチ０．２５μｍでは、隣のトラックと重なってしまい、パターンが形成できなかった。また、ピッチ０．３２μｍの場合には、パターンとしては形成できたが、隣のトラックとの重なりがあるためランド部がごくわずか露光されて、現像される。
これによって、ランド部の面粗さ（Ｒａ：中心線平均粗さ）が、ピッチ０．４３μｍの場合の０．５ｎｍに対し、０．７８ｎｍと悪化していることが判明した。ランド荒れは、レジスト膜がごくわずかに露光され、現像されることによって起きる。
レジスト膜の現像は、溶解されやすい低分子量の粒子がまず溶け、その後にそれ以外の分子量の大きい粒子が溶けるため、現像の初期には、１０〜１００ｎｍ程度の粒子（グレインと呼ばれる）がレジスト表面に現われる形で凹凸が発生する。
露光ビームの重なりで起きる微小な露光による微細な現像は、この現像の初期に当たるので、ランド荒れは、１０〜１００ｎｍ程度のグレインがレジスト表面に現われる形で起きる。
再生ビーム径は、波長が４０５ｎｍの場合でも４００ｎｍ以上あるので上記の荒れが均一であれば直接再生信号にノイズとして現われない。しかし、情報記録媒体は、アドレス情報等のため案内溝を蛇行させるため、ランド幅は変動するので、凹凸も変動する。
【００１０】
本発明の原理を説明する。原盤１の面粗さは、レジスト膜３の材料、基板２の面粗さ、現像液種、現像時間等で変化する。また、前述のように露光ビーム径／ピッチ、ビームのボケ等の露光に起因する要因でも変化する。
しかし、前記レジスト膜３の材料、基板２の面粗さ、現像液種、現像時間等は、面粗さの絶対値は変化させるが、必ずしも面内の変動にはならず、その結果情報記録媒体のノイズを増加させない。
図１０は露光装置で案内溝を露光し、３０〜２４０秒で現像し、面粗さを測定した結果を示す図である。図１０に示すように、波長２５７ｎｍ、ビーム径０．２７μｍの露光装置で、ピッチ０．４３μｍの案内溝を露光し、通常６０秒で現像するところを３０〜２４０秒で現像し、面粗さを測定した。
さらにこの原盤１から従来例と同様情報記録媒体を作成し、この媒体にドライブ装置で単一パルスを記録し、再生信号のＣＮ比を測定（再生波長４０５ｎｍ、再生ビーム径０．５８μｍ、ビーム径／ピッチ＝１．３５）した結果を示す。
【００１１】
図１１は波長３５０ｎｍの場合の、ピッチ０．３２μｍ、０．４３μｍ、０．６０μｍでの半径方向の露光量分布を示す図である。ランド部面粗さ、ミラー部面粗さとも現像時間とともに増加するが、ＣＮ比はほとんど変化しない。
しかし、同じ露光装置でピッチ０．３２μｍの案内溝を露光したところミラー面の面粗さは同じだが、ランド部がＲａで０．１８ｎｍ悪化し、ＣＮ比も４．３ｄＢ悪化した（再生波長４０５ｎｍ、再生ビーム径０．４４μｍ、ビーム径／ピッチ＝１．３８）。
これは、図９で示したように、ピッチ０．４３μｍの場合には、ピッチに対しビーム径は十分細いので、隣のトラックと干渉することなく、パターンが露光できる。
しかしながら、ピッチ０．３２μｍの場合には、隣のトラックとの重なりがあるためランド部がごくわずか露光されて、現像されることにより、ランド部の面粗さ（Ｒａ：中心線平均粗さ）が悪化した。
また、波長３５０ｎｍ、ビーム径０．２７μｍの露光装置で、ピッチ０．４３μｍの案内溝を露光し、同様に再生信号のＣＮ比を測定（再生波長４０５ｎｍ、再生ビーム径０．５８μｍ、ビーム径／ピッチ＝１．３５）したところ、ランド粗さは、２４０秒現像と同等だが、ミラー面の粗さは、レジスト材料の違いから０．１８ｎｍ小さく、ＣＮ比は、２．４ｄＢ悪化した。
この場合は、図１１に示すように、波長３５０ｎｍ、ビーム径０．２７μｍの露光装置でピッチ０．４３μｍを露光すると、隣のトラックとの重なりがあるためランド部の面粗さが悪化する。
ランド部面粗さの値だけ見ていると露光によるランド荒れの発生がわからないが、ミラー面粗さとの差を取ることにより、露光によるランド荒れの発生が明らかになる。
このようにレジスト材料、基板の面粗さ、現像液種、現像時間等は、全面の面粗さを変化させるが、必ずしも面内の変動にはならず、結果情報記録媒体のノイズを増加させない。
これに対し、露光に起因する面粗さは、面内での変動が起きるため、基板ノイズを増加させＣＮを悪化させる。種々の露光装置でのランド粗さと、ノイズの関係を説明する。
【００１２】
図１２は種々の露光装置でのランド粗さとノイズの関係を示す図である。このデータから明らかなようにノイズは、ランド部の粗さにより決まるのでなく、ミラー面の粗さとランド部の粗さの差が大きくなったときに悪化する。
図１３はミラー面の粗さＲａとランド部の粗さＲａの差を説明する図である。図１３で明らかなように、ミラー面の粗さＲａとランド部の粗さＲａの差が０．２ｎｍを超えると、ＣＮが悪化する。
すなわち、ランド面の面粗さの変動が情報記録媒体の再生信号に影響を与えることになる。再生ビーム径／ピッチが１．３以上となるような大容量情報記録媒体において、情報記録媒体製造用の原盤のミラー面粗さＲａとランド部粗さＲａの差を０．２ｎｍ以下にすることにより、情報記録媒体の再生信号のＣＮを改善できる。
本発明の第１および第２の実施例を示す。波長２５７ｎｍ、ビーム径０．２７μｍの露光装置で、ガラス基板上に塗布されたＤｅｅｐＵＶレジスト３００Åを露光し、６０秒現像して、ピッチ０．４３μｍ、幅０．１８μｍの案内溝を形成した。
面粗さを原子間力顕微鏡ＡＦＭで測定したところ、ミラー面は、Ｒａ＝０．５ｎｍ、ランド部は、Ｒａ＝０．６ｎｍで、ミラー面粗さＲａとランド部粗さＲａの差は０．１０ｎｍあった。
また、同様に露光後、２４０秒現像してピッチ０．４３μｍ、幅０．１８μｍの案内溝を形成し、面粗さを原子間力顕微鏡ＡＦＭ測定したところ、ミラー面は、Ｒａ＝０．６３ｎｍ、ランド部は、Ｒａ＝０．７６ｎｍで、ミラー面粗さＲａとランド部粗さＲａの差は０．１１ｎｍあった。
この原盤を、従来と同様な方法でスタンパを作成し、このスタンパから基板を成形し、これらの基板に、ＧｅＳｂＴｅ系記録層を形成し、Ａｇ反射層を付け、保護層を形成し、記録再生可能な情報記録媒体を作成した。
この媒体に波長４０５ｎｍ、対物レンズＮＡ＝０．６５のドライブ装置で単一パルスを記録し、再生信号のＣＮ比を測定したら、６０秒現像、２４０秒現像とも５４．６ｄＢ、５４．７ｄＢと良好な結果が得られた。
【００１３】
本発明に対する第１の比較例を示す。波長３５０ｎｍ、ビーム径０．３６μｍの露光装置で、ガラス基板上に塗布されたＵＶレジスト３００Åを露光し、６０秒現像して、ピッチ０．４３μｍ、幅０．１８μｍの上記実施例と同様な案内溝を形成した。
面粗さを原子間力顕微鏡ＡＦＭ測定したところ、ミラー面は、Ｒａ＝０．４５ｎｍ、ランド部は、Ｒａ＝０．７４ｎｍで、ミラー面粗さＲａとランド部粗さＲａの差は０．２９ｎｍあった。
この原盤から実施例と同様に情報記録媒体を作成し、実施例と同様に再生信号のＣＮ比を測定したら、５２．３ｄＢと上記実施例に比べてＣＮが２．４ｄＢ悪化した。  
上記実施例１と比較例１は、再生ビーム径０．５８μｍ、ピッチ０．４３μｍ、再生ビーム径／ピッチが１．３５の場合で、その他の実施例、比較例は図１２を参照できる。
本発明による第３の実施例を示す。Ｓｉ基板に、電子ビームレジストを２５０Å塗布し、電子ビーム直径５０ｎｍで、加速電圧１ＫＶで露光し６０秒現像して、ピッチ０．３２μｍ、幅０．１３の溝を形成した。
面粗さを原子間力顕微鏡ＡＦＭ測定したところ、ミラー面は、Ｒａ＝０．５ｎｍ、ランド部は、Ｒａ＝０．５ｎｍで、ミラー面粗さＲａとランド部粗さＲａの差はなかった。
この原盤を、従来と同様な方法でスタンパを作成し、このスタンパから基板を成形し、この基板に、ＧｅＳｂＴｅ系記録層を形成し、Ａｇ反射層を付け、保護層を形成し、記録再生可能な情報記録媒体を作成した。
この媒体に波長４０５ｎｍ、対物レンズＮＡ＝０．８５のドライブ装置で単一パルスを記録し、再生信号のＣＮ比を測定した場合に、５４．６ｄＢと良好な結果が得られた。
【００１４】
本発明に対する第２の比較例を示す。波長２５７ｎｍ、ビーム径０．２７μｍの露光装置で、ガラス基板上に塗布されたＤｅｅｐＵＶレジスト２５０Åを露光し、６０秒現像して、ピッチ０．３２μｍ、幅０．１３μｍの実施例２と同様な案内溝を形成した。
面粗さを原子間力顕微鏡ＡＦＭ測定したところ、ミラー面は、Ｒａ＝０．５ｎｍ、ランド部は、Ｒａ＝０．７８ｎｍで、ミラー面粗さＲａとランド部粗さＲａの差は０．２８ｎｍあった。
この原盤から実施例と同様に情報記録媒体を作成し、実施例と同様に再生信号のＣＮ比を測定した場合、５０．３ｄＢと実施例に比べＣＮが３．４ｄＢ悪化した。上記実施例２と比較例２は、再生ビーム径０．４４μｍ、ピッチ０．３２μｍ、再生ビーム径／ピッチが１．３８の場合で、その他の実施例、比較例は図１２を参照できる。
本発明による実施例４を示す。波長２５７ｎｍ、ビーム径０．２７μｍの露光装置で、ガラス基板上に塗布されたＤｅｅｐＵＶレジスト４５０Åを露光し、６０秒現像して、ピッチ０．４３μｍ、幅０．２１５μｍの案内溝を形成した。
面粗さを原子間力顕微鏡ＡＦＭで測定したところ、ミラー面は、Ｒａ＝０．５ｎｍ、ランド部は、Ｒａ＝０．６ｎｍで、ミラー面粗さＲａとランド部粗さＲａの差は０．１０ｎｍあった。ちなみに、グルーブは、０．３４ｎｍであった。
この原盤を、従来と同様な方法でスタンパを作成し、このスタンパから基板を成形し、これらの基板に、ＧｅＳｂＴｅ系記録層を形成し、Ａｇ反射層を付け、保護層を形成し、記録再生可能な情報記録媒体を作成した。
この媒体に波長４０５ｎｍ、対物レンズＮＡ＝０．６５のドライブ装置でランド部に単一パルスを記録し、再生信号のＣＮ比を測定したら、６０秒現像、２４０秒現像とも５３．５ｄＢと良好な結果が得られた。
【００１５】
本発明に対する第３の比較例を示す。波長３５０ｎｍ、ビーム径０．３６μｍの露光装置で、ガラス基板上に塗布されたＵＶレジスト４５０Åを露光し、６０秒現像して、ピッチ０．４３μｍ、幅０．２１５μｍの実施例と同様な案内溝を形成した。
面粗さを原子間力顕微鏡ＡＦＭ測定したところ、ミラー面は、Ｒａ＝０．４５ｎｍ、ランド部は、Ｒａ＝０．７４ｎｍで、ミラー面粗さＲａとランド部粗さＲａの差は０．２９ｎｍあった。ちなみに、グルーブは、０．３４ｎｍであった。
この原盤から実施例と同様に情報記録媒体を作成し、実施例と同様に再生信号のＣＮ比を測定した場合、５１．４ｄＢと実施例に比べＣＮが２．１ｄＢ悪化した。
上記実施例１と比較例１は、再生ビーム径０．５８μｍ、ピッチ０．４３μｍ、再生ビーム径／ピッチが１．３５である。
上記実施例は、全て記録材料として相変化記録膜を使用したリライタブルメディアに関して記載したが、記録材として色素を使用した記録媒体にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明による情報記録媒体用原盤の第１の製造工程を示す図。
【図２】本発明による情報記録媒体用原盤の第２の製造工程を示す図。
【図３】本発明による情報記録媒体用原盤の第３の製造工程を示す図。
【図４】本発明による情報記録媒体用原盤の第４の製造工程を示す図。
【図５】本発明による情報記録媒体用原盤の第５の製造工程を示す図。
【図６】波長４１３ｎｍのＫｒレーザを使用してピッチ０．７４μｍのＤＶＤ±Ｒ／ＲＷを露光した場合の半径方向の露光量分布を示す図。
【図７】再生ビーム径／ピッチ＝１の場合を示す図。
【図８】再生ビーム径／ピッチ＝１の場合を示す図。
【図９】波長２５７ｎｍの場合の、ピッチ０．４３μｍ、０．３２μｍ、０．２５μｍでの半径方向の露光量分布を示す図。
【図１０】露光装置で案内溝を露光し、３０〜２４０秒で現像し、面粗さを測定した結果を示す図。
【図１１】波長３５０ｎｍの場合の、ピッチ０．３２μｍ、０．４３μｍ、０．６０μｍでの半径方向の露光量分布を示す図。
【図１２】種々の露光装置でのランド粗さとノイズの関係を示す図。
【図１３】ミラー面の粗さＲａとランド部の粗さＲａの差を説明する図。
【符号の説明】
【００１７】
１  原盤
２  基板
４  レジスト膜
６  レーザ光（露光装置）
７  スタンパ
【図１】
2005251308.tif 000003
【図２】
2005251308.tif 000004
【図３】
2005251308.tif 000005
【図４】
2005251308.tif 000006
【図５】
2005251308.tif 000007
【図６】
2005251308.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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