(57)【要約】【課題】ガラス基板表面にマスキング処理を行うことなく、当該ガラス基板表面に凹部を形成するマイクロレンズアレイの製造方法の提供【解決手段】マイクロレンズアレイの製造工程中、ガラス基板表面に凹部を形成する工程において、当該凹部を形成する工程を、ガラス基板表面に尖状物で加圧して圧痕又は応力残留部を形成した後、当該ガラス基板のエッチングを行う工程とする。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板表面に凹部を形成する工程を有するマイクロレンズアレイの製造方法であって、前記凹部を形成する工程が、ガラス基板表面に尖状物で加圧して圧痕又は応力残留部を形成した後、当該ガラス基板をエッチングする工程であることを特徴とするマイクロレンズアレイの製造方法。
【請求項２】
２枚の貼り合わせガラス基板表面の片面又は両面に凹部を形成する工程を有するマイクロレンズアレイの製造方法であって、前記凹部を形成する工程が、２枚の貼り合わせガラス基板表面の片面又は両面に尖状物で加圧して圧痕又は応力残留部を形成した後、当該ガラス基板をエッチングする工程であることを特徴とするマイクロレンズアレイの製造方法。
【請求項３】
前記エッチングが湿式エッチングである請求項１又は２に記載のマイクロレンズアレイの製造方法。
【請求項４】
前記エッチングを凹部が稠密に形成するように継続する請求項１〜３のいずれかに記載のマイクロレンズアレイの製造方法。
【請求項５】
前記尖状物の頭頂部形状が、凹部の表面形状に対応した形状である請求項１〜４のいずれかに記載のマイクロレンズアレイの製造方法。
【請求項６】
前記エッチングが微細な気泡をエッチング液の中に発生させることにより行われる請求項３〜５のいずれかに記載のマイクロレンズアレイの製造方法。
【請求項７】
前記エッチングをガラス基板表面の凹部形成面にエッチング液を噴射することにより行う請求項３〜６のいずれかに記載のマイクロレンズアレイの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、マイクロレンズアレイの製造工程において、ガラス基板表面に凹部を形成させる方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
マイクロレンズアレイは、例えば、プロジェクターテレビ等の液晶表示装置において、ブラックマトリクスによる入射光遮断を回避し、光利用効率を向上させるために使用されている。また、更なる光利用効率を向上させて、液晶表示装置のコントラスト、画質等をより高品質とする場合には、マイクロレンズを稠密に配列したものとする必要がある。
【０００３】
このマイクロレンズアレイの製造方法としては、特許文献１に、ガラス基板表面にマスキングを行い、エッチングパターンに対応したマスキングパターンを施した後に、このマスキングが消滅するまでエッチング処理を行ってガラス基板表面にレンズ形状を形成し、次いで当該レンズ形状形成部に高屈折率の樹脂を充填する方法が開示されている。
【特許文献１】
特許第３２３７６３１号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した特許文献１に記載されている方法では、エッチング前にエッチングパターンに対応したマスキング処理を行うことが必須であり、このマスキング処理は、ガラス基板表面をマスキングした後にエッチングパターンを形成する煩雑な製造工程となっている。また稠密でないマイクロレンズアレイを製造する場合、エッチング後にマスキング剤の剥離処理を行うことを避けることはできない。さらに、エッチング液の不純物となるマスキング剤がエッチング液中に溶解することになるため、エッチング効率の悪化及びエッチング液の使用期間を短縮させる結果となる。
【０００５】
かかる製造工程の煩雑化、マスキング剤の除去、エッチング効率の悪化及びエッチング液の使用期間の短縮化は、マスキング処理を行わなければ解決するものであり、本発明は、ガラス基板表面にマスキング処理を行うことなく、当該ガラス基板表面に凹部を形成できる方法を提供することを課題とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る方法は、ガラス基板表面に凹部を形成する工程を有するマイクロレンズアレイの製造方法であって、前記凹部を形成する工程が、ガラス基板表面に尖状物で加圧して圧痕又は応力残留部を形成した後、当該ガラス基板をエッチングする工程であることを特徴とするマイクロレンズアレイの製造方法である。本発明の特徴であるガラス基板表面に尖状物で加圧して圧痕又は応力残留部を形成した後、当該ガラス基板をエッチングする工程によれば、ガラス表面にマスキングを行うことのない簡素化した方法で、ガラス基板表面に凹部を形成することができる。
【０００７】
前記凹部を形成する対象が、２枚の貼り合わせガラス基板であっても良い。必要に応じ、この貼り合わせガラス基板の片面又は両面に凹部を形成して、マイクロレンズアレイを製造することもできる。この方法によれば、貼り合わせガラス基板に、マスキングを行うことのない簡素化した方法で凹部を形成し、直接マイクロレンズを配列させることができる。
【０００８】
前記エッチングが湿式エッチングであることが好ましく、湿式エッチングであれば、エッチング装置のコストが安価となる。またエッチングを凹部が稠密に形成するように継続することが好適である。かかる稠密化されたガラス基板を使用したマイクロレンズアレイは、液晶表示装置等において、ブラックマトリクスによる入射光遮断を回避して光利用効率が向上し、液晶表示装置のコントラスト、画質等を高品質とすることが出来る。また前記尖状物の頭頂部形状が、凹部の表面形状に対応した形状であれば、尖状物頭頂部の形状に応じた凹部の表面形状に凹部を形成することが容易となる。さらに前記エッチングを、微細な気泡をエッチング液の中に発生させて行うことが好適である。気泡を発生させることでエッチング液の攪拌効果が得られ、ガラス表面のエッチングを均一化させることができる。また前記エッチングをガラス基板表面の凹部形成面にエッチング液を噴射することにより行っても良い。この噴射によって、凹部の表面形状の大きさ及び深さの制御が可能となる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施形態について説明する。本発明は、上述した通り、ガラス基板表面に凹部を形成する工程を有するマイクロレンズアレイの製造方法であって、前記凹部を形成する工程が、ガラス基板表面に尖状物で加圧して圧痕又は応力残留部を形成した後、当該ガラス基板をエッチングする工程であることを特徴とするマイクロレンズアレイの製造方法である。
【００１０】
本発明の方法で使用できるガラスには、マイクロレンズアレイの製造に使用できるガラスであれば特に限定はないが、ソーダ石灰ガラス、無アルカリガラス、アルカリバリウムガラス、ホウケイ酸ガラス、アルカリホウケイ酸ガラス、アルミノホウケイ酸ガラス、バリウムホウケイ酸ガラス、アルミノケイ酸ガラス、ホウ酸塩ガラス、シリカガラス、鉛ガラス等を組成に有するガラスがある。
【００１１】
ガラス表面への凹部の形成は、ガラス表面に尖状物で加圧した後エッチングを行うことにより行われる。通常は、ガラス基板の片面に前記尖状物の加圧を行う。この場合には、ガラス基板の片面に凹部を形成することになる。またガラス基板の両面にマイクロレンズを配列させてマイクロレンズアレイを製造する必要があれば、ガラス基板の両面に尖状物で加圧してエッチングを行うことによって当該ガラス基板両面に凹部を形成することができる。
【００１２】
またマイクロレンズを２枚の貼り合わせガラス基板に直接配列させる場合であれば、上述と同様、貼り合わせガラス基板の表面に前記尖状物の加圧を行う。貼り合わせガラス基板の両面にマイクロレンズを配列させる場合であれば、前記基板の両面に尖状物で加圧してエッチングを行うことによって当該ガラス基板両面に凹部を形成することができる。
【００１３】
尖状物には、ガラスより高硬度の材質のものを用いることが好ましく、ダイヤモンドや超硬合金等の材質が例示される。そして、尖状物の形状は円錐形、角錐形状等の限定なく、本発明に使用することが可能である。この形状によって、後述するエッチングで形成される凹部の表面形状を制御することができる。
【００１４】
例えば、図１は、円錐形の尖状物を使用してガラス基板１の表面に加圧を行ったものであり、ガラス基板１の表面に円形の圧痕２が形成される。その後エッチングを行えば、ガラス表面の凹部３の表面形状は、図２に示すごとく円形となる。
【００１５】
また四角錐形の尖状物を使用してガラス基板１の表面に加圧を行えば、ガラス基板１の表面には、図３に示すようにガラス基板表面に接する尖状物の頭頂部形状に対応した略十字型の圧痕４が形成される。その後エッチングを行えば、図４に示すように、圧痕４の頂点方向を頂角とする略四角形の表面形状を有する凹部５が形成されていくと共に、十字型圧痕４はガラス表面の凹部として拡大形成されていく。そして、エッチングを継続すれば前記略四角形表面形状は拡大されてゆき、当該拡大化の速度は十字型圧痕４の拡大化よりも速いため、十字型圧痕４が略四角形５の中に取り込まれて、ガラス基板の凹部の表面形状は、図５のように略四角形６の凹部となる。つまり、尖状物の頭頂部形状に対応した、凹部の表面形状の形成が可能となる。なお、ガラス表面に形成される凹部の深さ方向の形状は、曲面の底辺を有する形状であり、さらにエッチングを継続した場合、隣接する凹部がない限り、略四角形の凹部６の表面形状は、円形状へ拡大変形していく（不図示）。
【００１６】
尖状物のガラス基板への加圧は、例えば、マイクロビッカース硬度計を使用して行われる。当該加圧によって、ガラス表面に尖状物による圧痕又は応力残留部が形成されれば良い。加圧したガラス基板をエッチングすれば、圧痕または応力残留部を起点に凹部が形成、拡大されていくことになる。なお、同じエッチング条件で凹部を形成する場合であれば、加圧圧力が大きい程、大きな凹部が形成されることが確認されている。一方、加圧する時間は、特に限定されるものではないが、加圧圧力と同様、当該時間が長くなるにつれて、大きな凹部が形成されることが確認されている。ガラス表面に尖状物で加圧する間隔は、マイクロレンズを配置する間隔に応じて行うことになる。
【００１７】
エッチングは、通常ガラス基板をエッチング液に浸漬して行う。エッチングに使用するエッチング液には、ガラス溶解性の液体が使用され、好ましいエッチング液としては、フッ酸、フッ化アンモニウム、フッ化カリウム、フッ化ナトリウム、塩酸、硫酸、リン酸、硝酸、酢酸、コハク酸などのうち１種以上の薬品を含む水溶液である。中でもフッ酸が２〜２５重量％、塩酸が２〜２０重量％及び硫酸が２〜２０重量％の組成を有する水溶液であることが好適である。エッチング液にフッ酸、塩酸及び硫酸以外の薬品を含ませるときには、上記水溶液に対しさらに薬品を１種以上添加することになるが、その場合の添加量は、フッ化アンモニウムが２〜２０重量比、フッ化カリウムが１〜５重量比、フッ化ナトリウムが１〜５重量比、リン酸が２〜２０重量比、硝酸が１〜５重量比、酢酸が０．１〜１重量比、コハク酸が０．１〜１重量比となるのが好適である。その他、エッチング処理によって生じたスラッジがガラス表面に付着することを防止するため、陰イオン系界面活性剤及び両性界面活性剤から選択される１種以上を０．０１〜０．１重量比さらに添加しても良い。
【００１８】
エッチングを行うに際してのエッチング液の温度及び時間については、特に限定されるものではないが、高温であるほど、凹部形成に費やす時間を短縮できるものの、凹部の形状及び大きさを均一化制御が困難となる。
【００１９】
図１、２は、円錐形の尖状物でガラス基板表面を加圧して、圧痕を形成した後、エッチングを行って凹部を形成する場合のガラス表面を図示したものである。正方形のガラス基板１の表面に尖状物を等間隔で９回加圧すれば、図１のように等間隔の圧痕２が形成される。その後当該ガラス基板のエッチングを行えば表面形状が円形の凹部が形成し、さらにエッチングを継続すれば凹部が拡大して、図２のようにガラス基板には、円形の凹部が稠密に９つ均等に形成される。
【００２０】
この工程におけるガラス基板ＡＡ間の断面図を示したのが、図６及び７である。図６では、円錐形尖状物で加圧して圧痕を形成したガラス基板を図示している。図７は、このガラス基板をエッチングして凹部を形成したガラス基板断面図であり、ガラス基板には、略半円形の凹部が形成されるが、各凹部の間にはマイクロレンズの光利用効率を低下させる要因となる凹部未形成の部分が残存する。
【００２１】
さらにエッチングを継続して凹部３を拡大化させたガラス基板の斜視図が図８であり、断面図を図示したのが図９である。この場合には、凹部が完全に稠密化してガラス基板に凹部未形成部分が残存しないガラス基板を製造できることになる。なお、このガラス基板の凹部の表面形状は、四角形となる。このように、ガラス基板への尖状物の加圧を等間隔に複数行い、かつ、エッチングを継続していけば、エッチングの継続に伴って凹部が拡大化し、ガラス表面の凹部を稠密または完全稠密に形成することが可能である。
【００２２】
一方、上述した円錐形尖状物による加圧に変えて、四角錐形尖状物で加圧した場合には、上述した図５の通り凹部の表面形状が四角形のものが稠密化し、尖状物が六角錐形であれば凹部表面形状が六角形のものが稠密化する。すなわち、多角形の尖状物で加圧した後にエッチングすれば、その尖状物の多角形形状に対応した、凹部が稠密化する。なお、凹部稠密化が不要であれば、稠密化する前にエッチングを打ち切っても良い。
【００２３】
前記エッチングは、微細な気泡をエッチング液の中で発生させることが好適である。エッチング液への気泡の発生は、エッチング液貯留槽中に気泡発生装置を備えて当該装置から気泡を発生させることになる。この気泡発生装置としては、後述する気泡を発生させる気泡噴出管や気泡を含んだ前記エッチング液を噴出させるノズルが例示され、エッチング液貯留槽底部に気泡発生装置を設置して、気泡がエッチング液中を上昇することにより生じる上昇液流をエッチング液全体に生じさせることが好ましい。発生させる気泡に使用する気体は、空気、窒素、ヘリウム等、エッチングに際して不備を生じさせない気体が選択される。
【００２４】
この気泡発生によってエッチング液が攪拌され、エッチングを継続しても、エッチングによって溶解したガラスの濃度がエッチング液中で局在化せず、エッチング液全体が均質化し、ガラス基板凹部の形状寸法を均一化させることができる。なお、発生する気泡が微細であるほど、ガラス基板の凹部非形成面の表面がエッチングによって粗面化することもなく、一方凹部非形成面の表面が粗い表面であっても、凹部の形成と同時にガラス基板表面の平坦化を行うことができる。
【００２５】
先に述べた気泡噴出管としては、図１０に示す気泡噴出管であることが好ましい。当該気泡噴出管は、気体を導入する気体導入管７とこれと垂直に複数連結された多孔質気泡噴出管８からなる。気泡は、外部からポンプによって気体を導入管７を通じて気泡噴出管８に供給することで、噴出管の無数の気泡噴出孔９から噴出される。これらの気泡噴出孔９の孔径は、１０〜５００μｍであることが好ましく、この場合に発生する気泡は、微細なものとなる。
【００２６】
一方、気泡を含んだエッチング液（以下、「混合液」と称する）を噴出させるノズルとしては、図１１に例示されるノズルであることが好ましい。当該ノズルは、本体部１０とこれに螺合する液体導入部１１とからなり、本体部１０と液体導入部１１の間にはオリフィス１２が嵌合されたものである。本体部１０には、先端側に混合液噴出孔１３、当該噴出孔１３から本体部の基端側へ向けて貫通する気液混合部１４、この気液混合部から垂直方向に伸びる気体導入孔１５が設けられている。一方、液体導入部１１には当該基端部から本体部へ向けて液体導入孔１６が設けられている。そして、オリフィス１２には、孔径１〜２ｍｍの２個のオリフィスの孔１７がノズル先端部軸方向内側に向けて貫通しており、孔から噴出するエッチング液が気液混合部内で交わるようにノズル先端方向内向きに孔１７が傾斜している。
【００２７】
このノズルから混合液を噴出させるには、まず、液体導入孔１６に接続した配管を通じてエッチング液を液体導入孔１６、オリフィスの孔１７に次いで気液混合部１４に導入することで、エッチング液を噴出孔１３から噴出させる。当該噴出に伴い気体が気体導入孔１５に接続した配管を通じて気体導入孔１５から気液混合部１４に導入され、気液混合部１４でエッチング液と気体が混合した後に噴出孔１３から混合液が噴出する。このように混合液を噴出させる方法によれば、エッチング液中のスラッジがノズルの噴出孔１３に詰まることなく、エッチング処理をノズル詰まりによるノズル交換なく連続して行うことができる。
【００２８】
前記ノズルへの気体の導入が、ノズルへのエッチング液の供給によって吸引導入されることが好ましい。この気体の吸引導入は、エッチング液をポンプなどの液体圧送装置でノズル内の気液混合部へ強制的に供給し、気液混合部内を減圧化させることで可能となる。例えば、本体部の容積が０．８〜２ｃｍ３のノズルを深さ２２ｃｍのエッチング液中に設置した場合、ノズルからの液吐出量を３〜１２Ｌ／ｍｉｎ．に設定すれば、ノズルに導入する液圧力が０．１〜０．５ＭＰａで気体導入量が３．０〜４８．０Ｌ／ｍｉｎ．であることが好ましい。ノズルからの液吐出量を５Ｌ／ｍｉｎ．に設定し、ノズルに導入する液圧力が０．３ＭＰａの場合には、気体が９．０Ｌ／ｍｉｎ．程度の導入量で混合部に吸引導入される。かかるノズルから混合液を噴出させることによって発生する気泡は、前記気泡のみ発生させる方法よりも微細な気泡となる。
【００２９】
前記エッチングを、ガラス基板表面の凹部形成面にエッチング液を噴射させることにより行うことによってエッチングを行っても良い。当該エッチング液の噴射の態様としては、上記図１０に例示した気泡噴出管７に供給する気体に変えて、エッチング液を供給することによるエッチング液の噴射、上記図１１に例示したノズルからの混合液の噴射、当該ノズルの気体導入孔１５を封止又は気体導入孔１５を有しないノズルからのエッチング液の噴射等の態様がある。
【００３０】
このエッチング液を噴射させることと気泡をエッチング液に発生させることを双方ともに行っても良い。気泡とエッチング液を噴出させる場合には、図１１に例示したノズルを使用してエッチングを行う方法や、図１２に示すように２本の気泡噴出管を多孔質気泡噴出管８が交互になるようにエッチング液貯留槽に設置して、一方の気泡噴出管からは気体を噴出させ、他方の気泡噴出管からはエッチング液を噴射させる方法等がある。
【００３１】
また当該噴射は、エッチング液中で行うものと限定されるものではなく、ガラス基板をエッチング液に浸漬させることなく、ガラス基板表面にエッチング液を噴射しても良い。このようにエッチング液を噴射してガラス基板表面に凹部を形成する場合には、エッチング液の噴射を行わなかった場合に比べて、凹部の深さをより深くすることが可能となる。
【００３２】
以上の方法によって、表面に凹部を形成したガラス基板を使用してマイクロレンズアレイを製造するには、公知の方法が使用される。例えば、紫外線硬化型の高屈折率樹脂である含硫黄アクリレート系樹脂を凹部に充填して、紫外線硬化させる方法がある。図１３は、本発明による方法を使用したマイクロレンズアレイの一例の断面図である。このマイクロレンズアレイは、シーリング剤によって貼り合わされた２枚のガラス基板２０、２３の間に液晶注入室２２を有する液晶セル１８のうち、ブラックマトリクス２１が配設されたガラス基板２０に本発明の方法によって凹部を形成し、次いでこの凹部に高屈折率樹脂を充填してマイクロレンズ１９を配列させて、このレンズを配列したガラス面に偏光板２４を止着したものとしている。
【００３３】
【発明の効果】
以上に述べた通り、本発明の方法によれば、ガラス基板表面に形成する凹部に対応したマスキングパターンを施すことなく、エッチングによって凹部を形成することが可能であり、マイクロレンズアレイの製造工程を簡素化することになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】円錐形尖状物で加圧した後のガラス基板表面を図示したものである。
【図２】円錐形尖状物で加圧後、エッチング処理で凹部を形成したガラス基板表面を図示したものである。
【図３】四角錐形尖状物で加圧した後のガラス基板表面を図示したものである。
【図４】四角錐形尖状物で加圧後、エッチング処理で凹部を形成したガラス基板表面を図示したものである。
【図５】図４のガラス基板を更にエッチングしたガラス基板表面を図示したものである。
【図６】図１のＡ−Ａ間の断面図を図示したものである。
【図７】図２のＡ−Ａ間の断面図を図示したものである。
【図８】図２のガラス基板を更にエッチングしたガラス基板の斜視図である。
【図９】図８のガラス基板の断面図である。
【図１０】気泡噴出管の一例を図示したものである。
【図１１】混合液を噴出させるノズルの一例を図示したものである。
【図１２】気泡とエッチング液を噴出させる噴出管の組み合わせを図示したものである。
【図１３】液晶セルにマイクロレンズアレイを設けた一例を図示したものである。
【符号の説明】
１、２０、２３  ガラス基板
２、４  圧痕
３、５、６  凹部
７  気体導入管
８  多孔質気泡噴出管
９  気泡噴出孔
１０  本体部
１１  液体導入部
１２  オリフィス
１３  混合液噴出孔
１４  気液混合部
１５  気体導入孔
１６  液体導入孔
１７  オリフィスの孔
１８  液晶セル
１９  マイクロレンズ
２１  ブラックマトリクス
２２  液晶注入室
２４  偏光板
【図１】
2005008442.tif 000002
【図２】
2005008442.tif 000003
【図３】
2005008442.tif 000004
【図４】
2005008442.tif 000005
【図５】
2005008442.tif 000006
【図６】
2005008442.tif 000007
【図７】
2005008442.tif 000008
【図８】
2005008442.tif 000009
【図９】
2005008442.tif 000010
【図１０】
2005008442.tif 000011
【図１１】
2005008442.tif 000012
【図１２】
2005008442.tif 000013
【図１３】
2005008442.tif 000014
【手続補正書】
【提出日】平成16年9月28日(2004.9.28)
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス板表面に凹部を形成する方法であって、ガラス板表面に尖状物で加圧して圧痕又は応力残留部を形成した後、当該ガラス板をエッチングすることを特徴とするガラス板表面の凹部形成方法。
【請求項２】
２枚の貼り合わせガラス板表面に凹部を形成する方法であって、２枚の貼り合わせガラス板表面の片面又は両面に尖状物で加圧して圧痕又は応力残留部を形成した後、当該ガラス板をエッチングすることを特徴とするガラス板表面の凹部形成方法。
【請求項３】
前記エッチングが湿式エッチングである請求項１又は２に記載の凹部形成方法。
【請求項４】
前記エッチングを凹部が稠密に形成するように継続する請求項１〜３のいずれかに記載の凹部形成方法。
【請求項５】
前記尖状物の頭頂部形状が、凹部の表面形状に対応した形状である請求項１〜４のいずれかに記載の凹部形成方法。
【請求項６】
前記エッチングが微細な気泡をエッチング液の中に発生させることにより行われる請求項３〜５のいずれかに記載の凹部形成方法。
【請求項７】
前記エッチングをガラス板表面の凹部形成面にエッチング液を噴射することにより行う請求項３〜６のいずれかに記載の凹部形成方法。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれかに記載の方法を使用してガラス基板表面に凹部を形成する工程を有するマイクロレンズアレイの製造方法。
【請求項９】
請求項８に記載の方法により製造されたマイクロレンズアレイを使用して製造された液晶表示装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス板表面の凹部形成方法、マイクロレンズアレイの製造方法、及び、液晶表示装置に関する。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る方法は、ガラス板表面に凹部を形成する方法であって、ガラス板表面に尖状物で加圧して圧痕又は応力残留部を形成した後、当該ガラス板をエッチングすることを特徴とするガラス板表面の凹部形成方法である。本発明によれば、ガラス表面にマスキングを行うことのない簡素化した方法で、ガラス板表面に凹部を形成することができる。前記ガラス板は、２枚の貼り合わせガラス板であっても良い。必要に応じ、この貼り合わせガラス板の片面又は両面に凹部を形成して、マイクロレンズアレイを製造することもできる。この方法によれば、貼り合わせガラス板に、マスキングを行うことのない簡素化した方法で凹部を形成し、直接マイクロレンズを配列させることができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
前記エッチングが湿式エッチングであることが好ましく、湿式エッチングであれば、エッチング装置のコストが安価となる。またエッチングを凹部が稠密に形成するように継続することが好適である。かかる稠密化されたガラス板を使用して製造されたマイクロレンズアレイは、液晶表示装置等において、ブラックマトリクスによる入射光遮断を回避して光利用効率が向上し、液晶表示装置のコントラスト、画質等を高品質とすることが出来る。また前記尖状物の頭頂部形状が、凹部の表面形状に対応した形状であれば、尖状物頭頂部の形状に応じた凹部の表面形状に凹部を形成することが容易となる。さらに前記エッチングを、微細な気泡をエッチング液の中に発生させて行うことが好適である。気泡を発生させることでエッチング液の攪拌効果が得られ、ガラス表面のエッチングを均一化させることができる。また前記エッチングをガラス板表面の凹部形成面にエッチング液を噴射することにより行っても良い。この噴射によって、凹部の表面形状の大きさ及び深さの制御が可能となる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、本発明は、前記凹部形成方法を使用してガラス基板表面に凹部を形成する工程を有するマイクロレンズアレイの製造方法である。また、本発明は、前記凹部形成方法を使用して製造されたマイクロレンズアレイを使用して製造された液晶表示装置である。