(57)【要約】【課題】  たとえ発熱量が高い発熱体に対しても十分な冷却性能が得られ、しかも冷媒中の異物による冷媒流路の詰まりに起因した冷却性能の劣化を画期的に低減することができるヒートシンクを得ることにある。【解決手段】  発熱体３が実装されたヒートシンク本体１の内部に、前記発熱体３の実装部近傍を通る冷媒流路２が設けられたヒートシンクにおいて、前記冷媒流路２の内部に、前記発熱体３の実装部近傍で冷媒の流れ方向に沿って延びる熱交換プレート５を前記容器１と一体結合させて配置したものである。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
発熱体が実装されたヒートシンク本体の内部に、前記発熱体の実装部近傍を通る冷媒流路が設けられたヒートシンクにおいて、前記冷媒流路の内部に、前記発熱体の実装部近傍で冷媒の流れ方向に沿って延びる熱交換プレートを前記ヒートシンク本体の壁部と一体結合させて配置したことを特徴とするヒートシンク。
【請求項２】
熱交換プレートは、その複数枚が冷媒流路の幅方向に所定の平行間隔で配置されていることを特徴とする請求項１記載のヒートシンク。
【請求項３】
熱交換プレートには、その肉厚方向に貫通する冷媒通孔が設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２記載のヒートシンク。
【請求項４】
冷媒通孔は、一枚の熱交換プレートに複数個が設けられていることを特徴とする請求項３記載のヒートシンク。
【請求項５】
冷媒流路は、ヒートシンク本体の内部空間を上下に仕切る流路画成部材によって上側冷媒流路と下側冷媒流路とに分割形成され、前記流路画成部材には、前記上側冷媒流路と下側冷媒流路とを連通する切欠部が設けられ、その切欠部に熱交換プレートが配置されていることを特徴する請求項１記載のヒートシンク。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えば半導体素子等の発熱体を冷却するためのヒートシンクに係わり、特に、冷媒を用いたヒートシンクに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のこの種のヒートシンクとして、半導体素子等の発熱体に対する冷却性能を高めるために、３枚の平板状銅製部材（以下、平面部材という）を重ね合わせることにより、その中間平面部材と下側平面部材との間に流入水路を、かつ、中間平面部材と上側平面部材との間に流出水路をそれぞれ形成すると共に、前記中間平面部材の一端側には前記流入水路と流出水路とを連通する複数の孔径が小さな導水孔を一列状に設け、その導水孔側において前記上側平面部材の上部に前記発熱体を実装した構成とし、前記流入水路に供給された水などの冷媒を前記上側平面部材の発熱体実装壁部に噴出させることで前記発熱体の効果的冷却を意図したものは既に知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−２７３４４１号公報（第５〜６頁、図３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来のヒートシンクは以上のように構成されているので、中間平面部材に設けられた小孔径の複数の導水孔によって発熱体冷却領域での放熱面積が大幅に抑制され、その放熱面積を十分に確保できないため、より高い発熱量の発熱体に対して十分な冷却性能が得られないという課題があった。しかも、前記小孔径の導水孔には、これを通る冷媒中の異物が詰まり易く、異物が詰まった導水孔は閉塞状態となって冷媒が流れなくなり、これに起因して冷媒流量が低下するため、冷却性能が大幅に劣化するという課題があった。
【０００５】
この発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、たとえ発熱量が高い発熱体が実装されていても、冷媒流路を流れる冷媒への十分な放熱面積が得られて冷却性能を大幅に向上させることができる信頼性の高いヒートシンクを得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明に係るヒートシンクは、発熱体が実装されたヒートシンク本体の内部に、前記発熱体の実装部近傍を通る冷媒流路が設けられたヒートシンクにおいて、前記冷媒流路の内部に、発熱体の実装部近傍で冷媒の流れ方向に沿って延びる熱交換プレートを前記ヒートシンク本体の壁部と一体結合させて配置したものである。
【発明の効果】
【０００７】
この発明によれば、ヒートシンク本体の内部に設けられている冷媒流路に、前記ヒートシンク本体における発熱体の実装部近傍で冷媒の流れ方向に沿って延びる熱交換プレートを前記ヒートシンク本体の壁部と一体結合させて配置するように構成したので、ヒートシンク本体の発熱体実装部近傍において、発熱体からヒートシンク本体に伝わる熱を、ヒートシンク本体と一体結合された熱交換プレートに効率よく伝導させることができ、このため、ヒートシンク本体の発熱体実装部近傍を流れる冷媒に対する放熱面積が前記熱交換プレートによって増大し、しかも、その熱交換プレートは、前記冷媒流路を流れる冷媒に常に浸されるので、頗る効率的な熱交換が行われて冷却効率が大幅に向上するという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１によるヒートシンクの要部を示す横断平面図、図２は図１の縦断側面図である。
図１および図２に示すヒートシンクは、銅などの熱伝導率の高い部材で形成されたヒートシンク本体となる平面矩形状（詳しくは平面長方形状）の容器１の内部に形成した冷媒流路２を有し、その容器１の前面壁（以下、ヒートシンク前壁という）１ａ側の上壁面に実装した半導体素子等の発熱体３を備えている。図示例の冷媒流路２は、容器１内に流路画成部材４を一体的に嵌着結合することにより、その流路画成部材４の側壁面と前記容器１の内壁面との間に形成されているもので、さらに詳しくは、前記容器１の一側壁内面に沿った冷媒入口側の流路（以下、入口側冷媒流路という）２ａと、前記容器１の他側壁内面に沿った冷媒出口側の流路（以下、出口側冷媒流路という）２ｃと、前記容器１における発熱体３の実装領域近傍で前面壁１ａに沿って前記入口側冷媒流路３ａと出口側冷媒流路３ｃとを一連に接続する中継冷媒流路２ｂとからなっている。
【０００９】
このような流路構成の冷媒流路２において、容器１の発熱体３の実装領域近傍を通る中継冷媒流路２ｂ内には、冷媒の流れ方向に沿った熱交換プレート５の複数枚が流路幅方向に所定の間隔で平行に配置されている。それらの熱交換プレート５は、各々の熱交換プレート５を肉厚方向に貫通する複数の冷媒通孔５ａが設けられた同一寸法の有孔平板からなり、それぞれの上下端部が前記中継冷媒流路２ｂの上下壁面に一体結合されている。このような熱交換プレート５は、前記容器１の材質と同様に、銅などの熱伝導率が高い部材で形成されるが、熱伝導率が高く、冷媒に腐食され難い材料であれば、どのような材料であってもよい。
【００１０】
図３は前記熱交換プレート５の寸法および配置間隔等を説明するための斜視図である。図３において、ＷＬは隣り合う熱交換プレート５の間隔幅、ＷＦは前記熱交換プレート５の厚さ、ＨＦは前記熱交換プレート５の高さ、ｄは冷媒通孔５ａの孔径である。
冷媒流路２の中継冷媒流路２ｂに配置する熱交換プレート５の間隔幅ＷＬは狭いほど、さらに枚数が多いほど冷却性能が高くなるが、これに反して冷媒の流動抵抗も増大する。
そこで、この実施の形態１においては、例えば発熱体３の寸法が長さ１０ｍｍ×幅２ｍｍで、発熱体３の発熱量が約５０Ｗ程度の場合には、熱交換プレート５の厚さＷＦを０．２〜１．０ｍｍ、熱交換プレート５の枚数を１０枚以下、隣り合う熱交換プレート５の間隔幅ＷＬを０．１〜１．０ｍｍ程度にすることが好ましい。また、冷媒通孔５ａの孔径ｄは、隣り合う熱交換プレート５の間隔幅ＷＬの２〜３倍程度大きくするのが最も効率がよい。さらに、冷媒通孔５ａの数は、一枚の熱交換プレート５における冷媒通孔５ａの合計開口面積が、隣り合う熱交換プレート５の間隔幅ＷＬ×高さＨＦ＝面積と同等程度となるように設定することが好ましい。
なお、上述した熱交換プレート５の寸法および配置間隔等は、理想的な冷却性能を得るために例示したにすぎず、必ずしも上述のように特定されるものではない。
【００１１】
次に動作について説明する。
図４はヒートシンク本体としての容器１における発熱体３の実装部近傍での熱の流れを点線矢印で示す動作説明図、図５は複数枚の熱交換プレート５間での冷媒の流れを実線矢印で示す動作説明図である。
発熱体３が発した熱は、図４の点線矢印で示すように、容器１の上面壁（ヒートシンク上壁）およびヒートシンク前部壁１ａに伝導されると共に、冷媒流路２の中継冷媒流路２ｂ内に配置された複数枚の熱交換プレート５にそれぞれ伝導され、それらの熱交換プレート５の全表面から中継冷媒流路２ｂの冷媒に放熱されることにより、その冷媒と効率よく熱交換される。ここで、冷媒流路２を流れる水などの冷媒は、図１に矢印で示すように、入口側冷媒流路２ａから中継冷媒流路２ｂを通って出口側冷媒流路２ｃに向かう流れとなるが、その流れにおいて、前記入口側冷媒流路２ａから前記中継冷媒流路２ｂに流入する冷媒に含まれた異物Ｓが、図５に示すように、前記中継冷媒流路２ｂ内で流路幅方向に隣り合う熱交換プレート５の上流端間に詰まることも考えられる。その詰まりが生じた場合においても、前記各熱交換プレート５には、それぞれの肉厚方向に貫通する複数の冷媒通孔５ａが設けられているため、前記異物Ｓによる目詰まりが生じた熱交換プレート５間の冷媒流路に隣り合う目詰まりのない冷媒流路を流れる冷媒が、図５の矢印で示すように、前記目詰まりの生じた熱交換プレート５間の流路に当該熱交換プレート５の冷媒通孔５ａから流入する。このため、前記異物Ｓによる目詰まりが生じた熱交換プレート５間の流路においても冷媒の流れを維持することができる。
【００１２】
以上説明した実施の形態１によれば、上壁面に発熱体３が実装されたヒートシンク本体となる容器１の内部に形成された冷媒流路２において、前記容器１の発熱体３の実装領域近傍を通る箇所の冷媒流路である中継冷媒流路２ｂ内に、冷媒の流れ方向に沿う方向に延びて流路幅方向に所定の間隔で平行する平板状をなした複数の熱交換プレート５をそれぞれの上下端部で前記容器１の壁部と一体結合させて配置するように構成したので、前記容器１における発熱体３の実装部近傍での前記冷媒流路２の冷媒に対する放熱面積が前記複数枚の熱交換プレート５によって著しく増大し、しかも、それら全ての熱交換プレート５が前記冷媒流路２を流れる冷媒に常に浸されるので、たとえ発熱量が高い発熱体３が実装されたヒートシンクであっても、その発熱体３の実装部付近を通る箇所の冷媒流路での十分な放熱面積を確保することができ、これにより頗る効率的な熱交換が行われて冷却効率が大幅に向上するという効果がある。
【００１３】
特に、前記実施の形態１によれば、前記熱交換プレート５にそれぞれの肉厚方向へ貫通する複数の冷媒通孔５ａを設けるように構成したので、前記熱交換プレート５間の冷媒流路である中継冷媒流路２ｂに冷媒中の異物Ｓによる目詰まりが生じた場合でも、その目詰まり中継冷媒流路２ｂに隣り合う目詰まりのない中継冷媒流路２ｂを流れる冷媒が、前記目詰まり側の熱交換プレート５の冷媒通孔５ａを通って前記目詰まり中継冷媒流路２ｂに流入することとなる。このため、前記目詰まり中継冷媒流路２ｂでの冷媒流動抵抗の低下を最小限に抑えることができ、さらには、その目詰まり中継冷媒流路２ｂにおいても熱交換プレート５の伝導熱を冷媒に放熱できるため、冷媒中の異物Ｓによる冷媒流路の詰まりに起因した冷却性能の劣化を画期的に低減できるという効果がある。
【００１４】
また、前記実施の形態１によれば、各熱交換プレート５の冷媒通孔５ａの孔径ｄを、隣り合う熱交換プレート５の間隔幅ＷＬの２〜３倍程度の大きさに設定するように構成したので、冷媒中の異物Ｓによって前記冷媒通孔５ａが目詰まりする可能性が極めて少ないという効果がある。さらには、一枚毎の熱交換プレート５における冷媒通孔５ａの合計開口面積が、隣り合う熱交換プレート５の間隔幅ＷＬ×高さＨＦ＝面積と同等程度となるように設定したので、前記冷媒通孔５ａを通る冷媒の流動抵抗の増大を最低限に抑えることができるという効果がある。さらに、前記各々の熱交換プレート５は、前記中継冷媒流路２ｂで冷媒の流れ方向に沿ってヒートシンク前壁１ａと平行し、かつ前記中継冷媒流路２ｂの流路幅方向へ所定の間隔で平行して隣り合う配置となるように構成したので、前記中継冷媒流路２ｂでの冷媒の整流効果も得られ、その中継冷媒流路２ｂでの冷媒の流れ分布を均一化できるという効果もある。
【００１５】
実施の形態２．
図６はこの発明の実施の形態２によるヒートシンクの要部を示す横断平面図であり、図１〜図５と同一または相当部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
この実施の形態２では、冷媒流路２の中継冷媒流路２ｂに所定の平行間隔で配置した複数の熱交換プレート５を、前記中継冷媒流路２ｂの冷媒流れ方向に沿った方向の長さが異なるように形成したものである。すなわち、前記実施の形態１では、それぞれが同一寸法の複数枚の熱交換プレート５を前記中継冷媒流路５ｂに平行配置したが、この実施の形態２では、互いに隣り合う複数枚の熱交換プレート５を、前記中継冷媒流路２ｂでの冷媒流れ方向に沿った長さが流路画成部材４の幅寸法よりも長い熱交換プレート５１と、この熱交換プレート５１よりも前記冷媒流れ方向に沿った長さが短い熱交換プレート５２との組み合わせとし、それらの熱交換プレート５１，５２を前記中継冷媒流路２ｂに交互に平行配置したものである。
【００１６】
このように構成した実施の形態２によれば、前記実施の形態１の場合と同様の効果が得られることに加え、長さの長い熱交換プレート５１によって、入口側冷媒流路２ａからの冷媒を隣り合う熱交換プレート５間の中継冷媒流路２ｂに指向し、また、その中継冷媒流路２ｂを流れる冷媒を出口側冷媒流路２ｃに指向することができるという効果がある。なお、前記実施の形態２では、前述のように長さが異なる２枚の熱交換プレート５１，５２を図示し、長さが長い方の熱交換プレート５１をヒートシンク前壁１ａ側、つまり発熱体３の実装部に近づくように配置したが、それぞれの長さが異なる３枚以上の熱交換プレート５を、長さが長い方の熱交換プレートが発熱体３の実装部側に順次近づくように配置してもよく、この場合も同様の効果が得られる。
【００１７】
図７はこの発明の実施の形態１，２によるヒートシンクに適用した熱交換プレートの変形例を示す正面図、図８は図７の熱交換プレートの冷媒通孔の配置を異ならせた変形例を示す正面図である。
前記実施の形態１，２では、熱交換プレート５の冷媒通孔５ａを円形孔としたが、その冷媒通孔５ａは、図７および図８に示すような角穴形状および配置としてもよく、この場合も前記実施の形態１，２と同様の効果が得られる。要するに、熱交換プレート５に設ける冷媒通孔５ａは、隣り合う熱交換プレート５間の冷媒流路に冷媒を分流させ得るものであれば、どのような形状・配置であってもよい。
【００１８】
実施の形態３．
図９はこの発明の実施の形態３によるヒートシンクの要部を示す横断平面図である。
この実施の形態３では、前記実施の形態１，２における熱交換プレート５の冷媒通孔５ａを、前記熱交換プレート５の高さ方向に設けた切欠部５ｂに置き換え、その切欠部５ｂを冷媒通孔としたものである。このように熱交換プレート５の切欠部５ｂを冷媒通孔とした実施の形態３によれば、前記実施の形態１と同様の効果が得られることに加え、隣り合う熱交換プレート５の冷媒上流端間に異物Ｓによる目詰まりが生じた際に、前記切欠部５ｂによって、熱交換プレート５間の目詰まり冷媒流路に対しこれに隣り合う目詰まりのない冷媒流路から多量の冷媒を流入させることができ、このため、目詰まり冷媒流路での冷却性能の劣化をいっそう低減できるという効果がある。
【００１９】
実施の形態４．
図１０はこの発明の実施の形態４によるヒートシンクの要部を示す縦断側面図、図１１は図１０の横断平面図であり、図１〜図４と同一または相当部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
前記実施の形態１〜３では、容器１内に冷媒を水平方向に流す冷媒流路２を形成したヒートシンクについて説明したが、この実施の形態４では、前記冷媒流路２を、容器１の内部空間を上下に仕切ってその下部空間から上部空間に向って冷媒が流れる流路構成としたもので、その詳細を以下に説明する。
この実施の形態４では、容器１の内部空間を、当該容器１と一体結合された水平方向の仕切り板（流路画成部材）４で上下に仕切ることで、その上部空間を出口側冷媒流路（上側冷媒流路）２ｃ、下部空間を入口側冷媒流路（下側冷媒流路）２ａとして区画形成すると共に、前記仕切り板４におけるヒートシンク前壁１ａ側（発熱体３実装方向）の端部を切り欠くことで前記入口側冷媒流路２ａと出口側冷媒流路２ｃとを連通する中継冷媒流路２ｂを形成したものである。そして、前述のような仕切り板４の端部切り欠きからなる中継冷媒流路２ｂから垂直方向に立ち上がる複数枚の熱交換プレート５を所定の間隔で平行配置したものである。ここで、前記熱交換プレート５は、その上端が容器１の上壁に、かつ、一側端面が容器１の前面壁１ａに、他側端面の下部が前記仕切り板４の切り欠き端面にそれぞれ一体結合されているものである。
【００２０】
以上において、ヒートシンク前壁１ａと仕切り板４との間の中継冷媒流路２ｂの流路面積は、冷媒の流速を増速するために入口側冷媒流路２ａの断面積よりも狭くなるように設定する。ここで、前記入口側冷媒流路２ａの高さとしては一般的に５ｍｍ以下とするため、前記ヒートシンク前壁１ａと仕切り板４との間の中継冷媒流路２ｂの流路幅は５ｍｍ以下とすれば、冷却効率が高まるために好ましい。このような寸法設定は、理想的な冷却性能を得るための代表例として示したが、容器１における発熱体３の実装部上壁（ヒートシンク上壁）の下面に冷媒が衝突する構造であれば、同様の効果が得られるため、どのような寸法であってもよい。
【００２１】
次に動作について説明する。図１２は前記実施の形態４によるヒートシンクの発熱体からの熱の流れを示す動作説明図である。
容器１内の冷媒流路２において、冷媒は、図１０および図１１に矢印で示すように、仕切り板４下部の入口側冷媒流路２ａから熱交換プレート５間の中継冷媒流路２ｂを通って発熱体３の実装部におけるヒートシンク上壁の下面に衝突した後に前記仕切り板４上部の出口側冷媒流路２ｃへと流れる。この状態において、発熱体３が発する熱は、図１２に点線矢印で示すように、熱伝導率の高いヒートシンク前壁１ａおよびヒートシンク上壁に伝導され、それらのヒートシンク前壁１ａおよびヒートシンク上壁に伝導された熱は、次いで熱交換プレート５に伝導された後、それぞれの熱交換プレート５の全表面から冷媒に放熱される。
【００２２】
以上説明した実施の形態４によれば、仕切り板４下部の入口側冷媒流路２ａから仕切り板４上部の出口側冷媒流路２ｃに向って冷媒が流れる流路構成とした冷媒流路２を備えるヒートシンクにおいて、前記仕切り板４の端部を切り欠いて当該仕切り板４の切り欠き端部とヒートシンク前壁１ａとの間に中継冷媒流路２ｂを形成し、この中継冷媒流路２ｂから立ち上がる複数の熱交換プレート５を平行配置し、それらの熱交換プレート５をヒートシンク前壁１ａおよびヒートシンク上壁と仕切り板４の切り欠き端部に一体結合するように構成したので、発熱体３からヒートシンク前壁１ａおよびヒートシンク上壁に伝導された熱を冷媒流路２内の複数の熱交換プレート５に効率よく伝導させることができ、それらの熱交換プレート５の全表面から冷媒流路２内の冷媒に放熱されるため、冷媒流路２を流れる冷媒への放熱面積を前記複数の熱交換プレート５によって増大することができ、良好な冷却性能を得ることができるという効果がある。
【００２３】
また、この実施の形態４では、仕切り板４下部の入口側冷媒流路２ａから中継冷媒流路２ｂで隣り合う熱交換プレート５間に流入した冷媒が、発熱体３の実装部付近にてヒートシンク上壁の下面に衝突することによる冷却効果も得られ、このため、前記実施の形態１の場合よりもさらに良好な冷却性能を得ることができるという効果がある。さらには、この実施の形態４においても、前記熱交換プレート５のそれぞれには、前記実施の形態１と同様の冷媒通孔５ａが設けられているので、隣り合う熱交換プレート５の上流端間に冷媒中の異物Ｓによる目詰まりが生じた際に、前記実施の形態１の場合と同様の画期的な効果が得られるものである。
【００２４】
実施の形態５．
図１３はこの発明の実施の形態５によるヒートシンクの要部を示す縦断側面図であり、図１０〜図１２と同一部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
この実施の形態５では、前記実施の形態４による熱交換プレート５を、仕切り板４の切欠幅（中継冷媒流路２ｂの流路幅）よりも幅狭く形成し、その熱交換プレート５の上端をヒートシンク上壁に、かつ前記熱交換プレート５のヒートシンク前壁１ａとは反対側の端縁部を前記仕切り板４の切り欠き端部にそれぞれ一体結合させるように構成したものである。このような構成とした実施の形態５においても、ヒートシンク前壁１ａに熱交換プレート５を結合させていない点を除いて前記実施の形態４と同様の効果が得られることに加え、前述のように幅狭に形成された熱交換プレート５をヒートシンク前壁１ａから離すことにより、冷媒流動抵抗の増大を抑えることができるという効果がある。
【００２５】
実施の形態６．
図１４はこの発明の実施の形態６によるヒートシンクの要部を示す縦断側面図である。この実施の形態６では、前記実施の形態５の場合と同様に形成された熱交換プレート５を横向きにしてヒートシンク前壁１ａと仕切り板４の切り欠き端部に一体結合させ、前記熱交換プレート５の上端をヒートシンク上壁から離すように構成したものである。このように構成した実施の形態６においても、熱交換プレート５の上端をヒートシンク上壁から離した点を除いて前記実施の形態４と同様の効果が得られる。また、前述のように熱交換プレート５の上端をヒートシンク上壁から離して熱交換プレート５の高さを短くしたことにより、冷媒流動抵抗の増大を抑えることができるという効果がある。
【００２６】
実施の形態７．
図１５はこの発明の実施の形態７によるヒートシンクの要部を示す縦断側面図、図１６は図１５の横断平面図であり、図１０〜図１２と同一または相当部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
この実施の形態７では、前記実施の形態４における熱交換プレート５の冷媒通孔５ａをなくし、その冷媒通孔５ａがない幅広の熱交換プレート５３と、同様に前記冷媒通孔５ａがない幅狭の熱交換プレート５４との組み合わせとし、幅広の熱交換プレート５３をヒートシンク前壁１ａに、かつ幅狭の熱交換プレート５４を仕切り板４の切り欠き端部にそれぞれ一体結合させることにより、複数枚の幅広の熱交換プレート５３と幅狭の熱交換プレート５４と交互に所定の間隔で平行配置すると共に、幅広の熱交換プレート５３と幅狭の熱交換プレート５４とでは高さが異なるように構成したものである。このような構成とした実施の形態７によれば、前記全ての熱交換プレート５３，５４に冷媒通孔がなくとも、隣り合う熱交換プレート５３，５４間の流路に仕切り板４下部の入口側冷媒流路２ａから冷媒を流入させて仕切り板４上部の出口側冷媒流路２ｃに流すことことができ、前記実施の形態１の場合とほぼ同様の効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】この発明の実施の形態１によるヒートシンクの要部を示す横断平面図である。
【図２】図１の縦断側面図である。
【図３】図１および図２に示された熱交換プレートの寸法関係を説明するための斜視図である。
【図４】この発明の実施の形態１によるヒートシンクの発熱体実装部近傍での熱の流れを示す動作説明図である。
【図５】この発明の実施の形態１によるヒートシンクの要部での冷媒の流れを説明するための動作説明図である。
【図６】この発明の実施の形態２によるヒートシンクの要部を示す横断平面図である。
【図７】この発明の実施の形態１，２によるヒートシンクに適用した熱交換プレートの変形例を示す正面図である。
【図８】図７の変形例を示す正面図である。
【図９】この発明の実施の形態３によるヒートシンクの要部を示す横断平面図である。
【図１０】この発明の実施の形態４によるヒートシンクの要部を示す縦断側面図である。
【図１１】図１０の横断平面図である。
【図１２】この発明の実施の形態４によるヒートシンクの動作説明図である。
【図１３】この発明の実施の形態５によるヒートシンクの要部を示す縦断側面図である。
【図１４】この発明の実施の形態６によるヒートシンクの要部を示す縦断側面図である。
【図１５】この発明の実施の形態７によるヒートシンクの要部を示す縦断側面図である。
【図１６】図１５の横断平面図である。
【符号の説明】
【００２８】
１  容器（ヒートシンク本体）、１ａ  ヒートシンク前壁、２  冷媒流路、２ａ  入口側冷媒流路、２ｂ  中継冷媒流路、２ｃ  出口側冷媒流路、３  発熱体、４  流路画成部材、５  熱交換プレート、５ａ  冷媒通孔、５ｂ  切欠部、５１〜５４  幅広熱交換プレート、Ｓ  異物。
【図１】
2005252092.tif 000003
【図２】
2005252092.tif 000004
【図３】
2005252092.tif 000005
【図４】
2005252092.tif 000006
【図５】
2005252092.tif 000007
【図６】
2005252092.tif 000008
【図７】
2005252092.tif 000009
【図８】
2005252092.tif 000010
【図９】
2005252092.tif 000011
【図１０】
2005252092.tif 000012
【図１１】
2005252092.tif 000013
【図１２】
2005252092.tif 000014
【図１３】
2005252092.tif 000015
【図１４】
2005252092.tif 000016
【図１５】
2005252092.tif 000017
【図１６】
2005252092.tif 000018