(57)【要約】【課題】  正確にフォトマスクの位置を合わせて露光を行い、寸法精度の高いカラーフィルタを製造するカラーフィルタ製造装置を提供する。【解決手段】  カラーフィルタ製造装置１の露光工程において、積層原反３を２つのクランプで挟んで、積層原反３のたるみを除去するようにする。積層原反３は、吸着機構１１で露光台９に真空吸着してセットし、露光装置７に固定する。積層原反３にカラーフィルタのフォトマスク１５ａをセットする際は、ブラックマトリクス３９作成と同時に作成したマーク４１ａと、フォトマスク１５ａの窓３１aとを合致させるよう、位置合わせを行う。【選択図】  図１
2005148353.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
感光性樹脂組成物層を積層したシート状基材を用いてカラーフィルタを製造するカラーフィルタ製造装置であって、
前記シート状基材を挟んで搬送する２組のクランプと、
前記シート状基材にフォトマスクを介して露光を行う露光手段と、
を具備し、
前記２組のクランプにより前記シート状基材の位置決めを行い、前記露光手段で露光を行うことを特徴とするカラーフィルタ製造装置。
【請求項２】
前記露光手段は、前記シート状基材を吸引する吸引機構と、光源とを少なくとも具備することを特徴とする請求項１記載のカラーフィルタ製造装置。
【請求項３】
前記シート状基材の位置決めは、前記２組のクランプで前記シート状基材に加える張力を調整しつつ行なわれ、前記シート状基材の位置が決まると前記吸引機構が前記シート基材を吸引して固定することを特徴とする請求項２記載のカラーフィルタ製造装置。
【請求項４】
前記シート状基材は、前記フォトマスクに設けられた窓に、前記シート状基材に設けられたマークが合致するように位置決めされることを特徴とする請求項３記載のカラーフィルタ製造装置。
【請求項５】
ブラックマトリクスを形成する際に、前記マークが前記シート状基材に形成されることを特徴とする請求項４記載のカラーフィルタ製造装置。
【請求項６】
前記吸着機構は、吸着プレートであって、上面が平坦で下面が凹型形状であり、多孔質物質からなることを特徴とする請求項２記載のカラーフィルタ製造装置。
【請求項７】
感光性樹脂組成物層を積層したシート状基材を用いてカラーフィルタを製造するカラーフィルタ製造方法であって、
前記シート状基材を挟んで搬送する２組のクランプにより、前記シート状基材の位置決めを行い、前記シート状基材に前記フォトマスクを介して露光を行うことを特徴とするカラーフィルタ製造方法。
【請求項８】
前記シート状基材を吸引する吸引機構と、光源とを少なくとも用いて前記露光を行うことを特徴とする請求項７記載のカラーフィルタ製造方法。
【請求項９】
前記シート状基材の位置決めは、前記２組のクランプで前記シート状基材に加える張力を調整しつつ行なわれ、前記シート状基材の位置が決まると前記吸引機構が前記シート基材を吸引して固定することを特徴とする請求項８記載のカラーフィルタ製造方法。
【請求項１０】
前記シート状基材は、前記フォトマスクに設けられた窓に、前記シート状基材に設けられたマークが合致するように位置決めされることを特徴とする請求項９記載のカラーフィルタ製造方法。
【請求項１１】
ブラックマトリクスを形成する際に、前記マークが前記シート状基材に形成されることを特徴とする請求項１０記載のカラーフィルタ製造方法。
【請求項１２】
前記吸着機構は、吸着プレートであって、上面が平坦で下面が凹型形状であり、多孔質物質からなることを特徴とする請求項８記載のカラーフィルタ製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、連続シート状基材上にカラーフィルタ形成用の感光性樹脂組成物の層を積層した積層原反を用いて行う、カラーフィルタ製造装置、カラーフィルタ製造方法、及びカラーフィルタに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、コンピュータのディスプレイとして、省スペース・低消費電力を特徴とする液晶カラーディスプレイの需要が高まっている。また、液晶カラーディスプレイは、液晶テレビ用途、携帯端末用途としても需要が高まっており、一層の軽量化や耐衝撃性の向上が望まれている。
【０００３】
液晶パネルを構成するカラーフィルタの基材としては、従来、ガラス板を用いている。ガラス基材上に、ブラックマトリクスや、カラーフィルタを構成する赤色、緑色及び青色の三色のカラーフィルタ層を生成する。こうして生成されるカラーフィルタ基板と、別工程で生成されるＴＦＴ基板とを貼り合わせ、基板間に液晶を注入し偏向フィルムを貼り付けることで液晶パネルが完成する。
【０００４】
尚、カラーフィルタ層は、ガラス基材上に着色された感光性樹脂組成物の層の積層、パターンの露光、現像、及び加熱処理を、ブラックマトリクス、赤、緑、及び青のカラーフィルタ層について一層ごとに行って生成する。
【０００５】
カラーフィルタの製造に際し、従来のガラス板を基材とするカラーフィルタにおいては、ガラス板自身は剛性を有し、平面性が高い。従ってガラス板を一枚ずつ取り扱う煩雑さはあるものの、ガラス板の取り扱い中の伸縮の問題や、カラーフィルタの製作精度上の問題は比較的少なかった。
【０００６】
これに対し、プラスチックシートを基材とするカラーフィルタの製造に際しては、連続したシートを取り扱うので、原反や加工中の半製品の取り扱いが楽になるという利点がある。このようなプラスチックシートを基材とするカラーフィルタの露光装置として、例えば特許文献１がある。
【特許文献１】特開２００１−２６４９９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
プラスチックシートを用いたカラーフィルタは、ブラックマトリクスやカラーフィルタ層を構成する赤、緑、青層の積層、パターンの露光、及び現像という手順で製造される。
【０００８】
このパターンの露光の際、ブラックマトリクスと赤層、青層、緑層の各カラーフィルタ層との位置合わせを正確に行う必要があるが、露光処理等は熱をかけて行うため、基材となるプラスチックシートが伸縮して位置合わせが困難であるといった問題があった。
【０００９】
本発明で、解決しようとする問題点は、カラーフィルタ製造時の露光工程での連続シート状基材の位置合わせと、寸法精度である。
【００１０】
本発明は、このような問題を鑑みてなされたもので、その目的とするところは、正確にフォトマスクの位置を合わせて露光を行い、寸法精度の高いカラーフィルタを製造するカラーフィルタ製造装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前述した目的を達成するための第１の発明は、感光性樹脂組成物層を積層したシート状基材を用いてカラーフィルタを製造するカラーフィルタ製造装置であって、前記シート状基材を挟んで搬送する２組のクランプと、前記シート状基材にフォトマスクを介して露光を行う露光手段とを具備し、前記２組のクランプにより前記シート状基材の位置決めを行い、前記露光手段で露光を行うことを特徴とするカラーフィルタ製造装置である。
【００１２】
前記露光手段は、前記シート状基材を吸引する吸引機構と、光源とを少なくとも具備する。
【００１３】
前記シート状基材の位置決めは、前記２組のクランプで前記シート状基材に加える張力を調整しつつ行なわれ、前記シート状基材の位置が決まると前記吸引機構が前記シート基材を吸引して固定する。
【００１４】
前記シート状基材は、カラーフィルタ層用のフォトマスクに設けられた窓に、前記シート状基材に設けられたマークが合致するように位置決めされる。尚、ブラックマトリクスを形成する際に、位置合わせ用の前記マークが前記シート状基材に形成される。カラーフィルタ層は、通常、赤、青、緑の層である。
【００１５】
前記吸着機構は、吸着プレートであって、上面が平坦で下面が凹型形状であり、多孔質物質からなる。
【００１６】
第１の発明によるカラーフィルタ製造装置は、シート状基材を２組のクランプで挟んで搬送し、２組のクランプで張力を調整しつつシート状基材の位置決めを行う。次に吸引機構がシート状基材を吸引して固定し、さらにシート状基材のマークとフォトマスクの窓が合致するようにフォトマスクの位置調整を行って位置決めが行なわれる。位置決め後に、シート状基材の露光が行われる。第１の発明によれば、ブラックマトリクスやカラーフィルタ層の各層のズレが少なく、寸法精度の高いカラーフィルタを製造することが可能である。
【００１７】
第２の発明は、感光性樹脂組成物層を積層したシート状基材を用いてカラーフィルタを製造するカラーフィルタ製造方法であって、前記シート状基材を挟んで搬送する２組のクランプにより、前記シート状基材の位置決めを行い、前記シート状基材に前記フォトマスクを介して露光を行うことを特徴とするカラーフィルタ製造方法である。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、正確にフォトマスクの位置を合わせて露光を行い、寸法精度の高いカラーフィルタを製造するカラーフィルタ製造装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下に、図面に基づいて本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【００２０】
（１．構成）
（１−１．フィルタ製造装置１の構成）
図１は、本実施の形態の係るフィルタ製造装置１の構成を示す図である。また、図２は、図１のフィルタ製造装置１を方向Ｘ−Ｘから見た図である。フィルタ製造装置１は、クランプ５−１、５−２、露光装置７、ギャップセンサ用レーザ１９、ＣＣＤカメラ２１、２３等から構成される。
【００２１】
積層原反３は、カラーフィルタを作成するための基となる連続シート状の原反である。積層原反３については、後に詳しく説明する。
【００２２】
クランプ５−１とクランプ５−２は、露光装置７の前後にそれぞれ設置される。図３（ａ）は、クランプ５−１が解除された状態（図１に点線で示す）であり、積層原反３を挟む場合は方向Ｐに移動する。図３（ｂ）は、クランプ５−１が積層原反３を挟んだ状態（図１に実線で示す）である。クランプ５−１は、方向Ｂ及び方向Ｃに移動可能であり、クランプ５−２は方向Ｄ及び方向Ｅに移動可能である。クランプ５−１とクランプ５−２は、積層原反３を挟んで図中のＡ方向に一定ピッチ分導出し、露光を行う積層原反３の次の未露光領域を、露光装置７の位置にセットする。
【００２３】
クランプ５−１を方向Ｂに移動させ、クランプ５−２を方向Ｅに移動させると積層原反３のたるみを除去することができる。このように、クランプ５−１とクランプ５−２を微動することで、積層原反３の張力を調整できる。後述するが、積層原反３がセットされて吸引装置１１で固定されると、クランプ５−１とクランプ５−２は解除されて図１の点線の配置（即ち図３（ａ）の配置）に戻る。
【００２４】
露光装置７は、積層原反３に光を照射する装置であり、露光台９と、吸引装置１１と、マスクホルダ１３と、露光光源１７等から成る。露光台９の上面には、積層原反３を吸着する吸引機構１１を配置する。また、露光光源１７の下面にはマスクホルダ１３を配置して、露光光源１７とマスクホルダ１３の間にフォトマスク１５をセットする。
【００２５】
フォトマスク１５の位置は、マスクホルダ１３を積層原反３進行方向に対して平行な方向Ｈ又はＩに、積層原反３進行方向に対して垂直な方向Ｆ又はＧに移動することによって調整できる（図２参照）。さらに、フォトマスク１５の位置は、マスクホルダ１３を回転（角度θ）させることによっても調整できる。
【００２６】
この露光装置７は、プロキシミティ露光方式のものを用いることが、精度の点、および感光性樹脂組成物の層の厚みの増減に対処できる点で好ましい。露光光源１７は、紫外線光線等である。
【００２７】
吸引機構１１は、吸着プレートであって、焼結金属板もしくは焼結セラミック板等の多孔質板で構成されている。例えば、市販品の吸着プレート（ＳＭＣ株式会社製、吸着プレート「ＳＰシリーズ」）を用いることができる。
【００２８】
多孔質板を用いると、その微細な孔から吸引することができるので、平らな板にドリル加工による孔を設けた吸引板に比べ、板全面に渡り、より均一な吸引を行うことができ、積層原反３に、孔の痕跡を残すことが無く、好ましい。多孔質板には吸引用のポンプが接続されて、吸引機構１１に積層原反３を吸着することができる。
【００２９】
積層原反３を吸着しないときは、吸引機構による吸引を止めるか、もしくは多孔質板から逆に、外に向かって空気を吹く。また、積層原反３が吸引機構１１に触れないよう、積層原反３の搬送時には、吸引機構１１が下方に逃げられるようにすることが好ましい。
【００３０】
ギャップセンサ用レーザ１９は、マスクホルダ１３（又はフォトマスク１５）と、積層原反３とのギャップｄを測定するセンサである。図１、図２にはギャップセンサ用レーザ１９を１つしか示していないが、実際には複数個（３個）を設置し、マスクホルダ１３（又はフォトマスク１５）が積層原反３から一定距離ｄとなるよう位置調整する。
【００３１】
マスクホルダ１３（又はフォトマスク１５）が積層原反３から一定距離ｄとなるよう位置調整するには、マスクホルダ１３（又はフォトマスク１５）を方向Ｌ又はＭに移動する。或いは図１には示していないが、上下方向（仰角方向）に回転移動させて位置調整を行う。マスクホルダ１３の位置調整を行い、全て（３つ）のギャップセンサ用レーザ１９の測定値（ギャップｄ）が、規定値になると、位置調整は終了する。
【００３２】
ＣＣＤカメラ２１、２３は、積層原反３やパターンの位置を確認するためのものである。例えば図２のマークパターン２５は、ブラックマトリクス作成時に露光される、位置合わせに用いるパターンである。位置合わせの方法については後に説明するが、可動できるＣＣＤカメラ２１、２３は、このマークパターン２５により作成される位置合わせ用のマークと、各色カラーフィルタのフォトマスクに設けられる位置合わせ用の窓との位置が合っているかどうかを検出する装置である。
【００３３】
次に、図４、図５は、図１に示す方向Ｘ−Ｘから見たフォトマスクを示す図である。図４は、ブラックマトリクス（ＢＭ）用のフォトマスク１５を示す図である。フォトマスク１５にはブラックマトリクス用のマスクパターン２９の周囲にマークパターン２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２７ａ、２７ｂ、２７ｃが設けられる。
【００３４】
尚、図４では、フォトマスク１５にマークパターン２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２７ａ、２７ｂ、２７ｃが設けられているが、実際にはスペーサ用のマークパターンが更に設けられる。
【００３５】
図５は、カラーフィルタ層用、例えばＲ層（赤層）用のフォトマスク１５ａを示す図である。フォトマスク１５ａにはＲ層用のマスクパターン２９ａの周囲に窓３１ａ、３３ａが設けられる。
【００３６】
このマークパターン２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２７ａ、２７ｂ、２７ｃ及び窓３１ａ、３３ａは、ブラックマトリクスの形成された積層原反３上にカラーフィルタ層を形成する場合にカラーフィルタ層用のフォトマスク１５ａの位置決めを行うために使用される。他のカラーフィルタ層（Ｇ層、Ｂ層）用のフォトマスクもフォトマスク２９ａと同様の構成を有する。図５に示す、Ｒ層（赤層）用のフォトマスク１５ａの位置決めの詳細については後述する。
【００３７】
（１−２．積層原反３について）
次に、積層原反３について説明する。図６は、積層原反３を示す図である。積層原反３は、連続シート状基材３７上に、少なくとも１層の感光性樹脂組成物層３５を積層してなるものである。
【００３８】
カラーフィルタは、連続シート状基材３７の上に構築され、光遮断及び混色防止用のブラックマトリクス（ＢＭ）、赤層、緑層、青層の三原色画素のカラーフィルタ層、保護膜等からなる。
【００３９】
カラーフィルタの製造の手順は、ＢＭ層の形成後、各カラーフィルタ層の形成を行う。ＢＭ層は、通常、連続したシート状基材３７上に、連続してＢＭ用に着色された感光性樹脂組成物層３５を形成し、フォトマスクをかけて露光し、現像、加熱処理を行ってＢＭ層を形成し、積層原反３を巻き取る。
【００４０】
次に、例えばＲ層（赤層）を、先ほど形成したＢＭ層上に位置合わせを行いつつ同様の工程（積層、露光、現像、加熱）で形成し、巻き取る。同様に緑層、青層を形成してカラーフィルタを作成する。
【００４１】
或いは、各層ごとに積層原反３を巻き取らないで、ＢＭ層、赤層、緑層、青層を連続形成してカラーフィルタを作成してもよい。
【００４２】
本実施の形態は、この感光性樹脂組成物層積層後の露光処理の工程に係る。即ち、ＢＭ層の露光時及び、赤層、緑層、青層の露光時の各フォトマスクの正確な位置合わせに関する。
【００４３】
図６に示す積層原反３の連続シート状基材３７は、可撓性（フレキシブル）で、透明性を有し、適宜な幅と、幅に対して十分長い長尺の形状を持つ。長尺の積層原反３は、巻取り（ロール）の形態であり、巻き出し装置に取り付けて、巻取りの外側の端から、順次加工機の加工部分に送り、加工終了後に再び巻取り処理を行う。
【００４４】
本実施の形態では、巻き出し装置は省略し、図１に示すように、積層原反３は巻取り（ロール）の形態から既に方向Ａに引き出された状態とする。
【００４５】
（２．処理手順）
（２−１．ＢＭの露光）
次に、図１９のフィルタ製造装置１の処理工程を説明する図に沿って、ＢＭの露光処理手順について説明する。尚、ブラックマトリクスの露光処理に関係する図７から図１２については、順次説明する。ブラックマトリクスは、カラーフィルタ層を構成する、赤・青・緑の各色の微細カラーフィルタ層の境界部を構成し、外光の反射を防止して、画像もしくは映像のコントラストを向上させるものである。
【００４６】
図７は、積層原反３へのフォトマスク（ＢＭ用）１５の露光を説明する図である。まず、連続シート状基材３７にＢＭ用の感光性樹脂組成物層３５が積層された積層原反３が、フィルタ製造装置１に供給される。また、マスクホルダ１３の上部にＢＭ用のフォトマスク１５がセットされる。クランプ５−１及びクランプ５−２は、積層原反３を挟み、方向Ａに一定ピッチ引き出して露光装置７の位置に未露光部分をセットする（ステップ１００１）。即ち、クランプ５−１は方向Ｃに、クランプ５−２は方向Ｅにそれぞれ正確に一定ピッチ、積層原反３を挟んで自動搬送する。図示していないが、ロール状の積層原反３は、この自動搬送とともに、巻き出し装置から一定ピッチ分巻き出される。
【００４７】
次に、クランプ５−１、５−２間の積層原反３のたるみを除去するために、クランプ５−１を方向Ｂ又はＣに、クランプ５−２を方向Ｄ又はＥにそれぞれ微動させて、積層原反３が一定のテンションとなるように調整する（ステップ１００２）。尚、このテンションは、たるみが生じない程度の低テンションであることがのぞましい。或いはテンションが殆どゼロであってもよい。
【００４８】
続いて、図７に示すように吸引機構１１と露光台９を方向Ｊに上昇させ、積層原反３を真空吸着する（ステップ１００３）。
【００４９】
積層原反３が露光台９に真空吸着されて固定されると、図８に示すようにクランプ５−１、５−２が解除される（ステップ１００４）。このように積層原反３は、テンションがかかっていない状態で、露光台９に吸着固定される。
【００５０】
次に、マスクホルダ１３とフォトマスク１５を方向Ｍ（図８に示す）下降させ、積層原反３との距離ｄが一定となるように調整する（ステップ１００５）。即ち、３台のギャップセンサ用レーザ１９（図８には１台のみ示す）で、マスクホルダ１３（又はフォトマスク１５）と積層原反３との距離ｄとを検知し、３点（即ち、積層原反３の幅方向と流れ方向）共に、マスクホルダ１３（又はフォトマスク１５）と積層原反３との距離ｄが一定となるように、マスクホルダ１３を上下方向（方向Ｍ又はＬ）及び図示していないが上下仰角方向に微動させる。
【００５１】
図９は、ブラックマトリクスのフォトマスク１５の露光を示す図である。マスクパターン２９は、ブラックマトリクスのパターンを示し、例えばマークパターン２５ａ、２７ａは赤層の位置合わせのためのパターン、マークパターン２５ｂ、２７ｂは緑層の位置合わせのためのパターン、マークパターン２５ｃ、２７ｃは青層の位置合わせのためのパターンを示す。
【００５２】
ブラックマトリクスの露光の場合（ステップ１００６のＹＥＳ）、図９のようにフォトマスク１５の位置を調整してセットする（ステップ１００７）。即ちフォトマスク１５の位置を、積層原反３の幅方向（方向Ｆ又はＧ）、流れ方向（方向Ｈ又はＩ）、回転方向θに微動させて調整を行う。尚、同時にクランプ５−１、５−２や、露光台９を微動させて位置調整を行っても良い。この位置合わせの確認は、ＣＣＤカメラ２１、２３によって行われる。
【００５３】
次に、フォトマスク１５を介して露光光源１７により、積層原反３に所定量の露光を行う（ステップ１００９）。フォトマスク１５を介して、積層原反３にブラックマトリクスのパターンの露光を行う時の断面図を、図１１に示す。
【００５４】
露光後、クランプ５−１、５−２で再び積層原反３を一定圧力で挟む（ステップ１０１０）。
【００５５】
吸引装置１１に大気もしくは風を導入して、露光台９と積層原反３の真空吸着状態を解除する（ステップ１０１１）。次に、吸引機構１１と露光台９を下降（方向Ｋ）させ、マスクホルダ１３とフォトマスク１５を上昇（方向Ｌ）させる（ステップ１０１２）。
【００５６】
次に、クランプ５−１、５−２で挟んだ積層原反３を一定ピッチ方向Ａに自動搬送し、露光された積層原反３を排出し、次に露光する積層原反３の未露光領域を露光位置にセットする（ステップ１０１３）。
【００５７】
尚、露光されたブラックマトリクスのパターンは、図１０に示すように積層原反３上に形成される。即ち、ブラックマトリクス（ＢＭ）３９、位置合わせ用のマーク４１ａ、４１ｂ、４１ｃ、４３ａ、４３ｂ、４３ｃが形成される。更に次の工程で露光されたパターンが現像、加熱処理されると、図１２（断面図）に示すように連続シート状基材３７上にＢＭ３９、及びマークが形成される。
【００５８】
このように、ブラックマトリクス３９の露光工程では、ステップ１００１からステップ１００７を処理してステップ１０１３までを繰り返すことにより、積層原反３上に複数のカラーフィルタ用ブラックマトリクス３９が露光形成される。
【００５９】
（２−２．他のカラーフィルタ層の露光）
次に、再び図１９を用いて、他のカラーフィルタ層の露光処理手順について説明する。尚、他のカラーフィルタ層の露光処理に関係する図１３から図１７については、順次説明する。
【００６０】
ここでは、赤層の形成を例に説明する。図１３（断面図）に示すように、予めブラックマトリクス３９が形成された連続シート状基材３７の全面に、赤色のカラーフィルタ層を形成するための感光性樹脂組成物層（赤色ＣＦ層４５）を積層し、積層原反３が形成される。
【００６１】
即ち、赤層形成のための露光では、図１３を上面からみると、図１０に示すように、予めブラックマトリクス３９と位置合わせ用マーク（４１ａ、４１ｂ・・・）が形成された積相原反３に感光性樹脂組成物層（赤色ＣＦ層４５）を積層した積層原反３が供給される。また、赤層形成のフォトマスク１５ａは、図５に示すようにマスクパターン２９ａと、その上下にブラックマトリクスのマーク４１ａ、４３ａとの位置合わせ用の窓３１a、３３aを備える。即ち、図１０に示す積層原反３に、図５に示すフォトマスク１５ａがセットされた露光装置７を上からみると図１４のように示される。
【００６２】
赤層形成のための露光では、図１９の処理手順はステップ１００１からステップ１００５までは前述したＢＭ形成の手順と同じである。ＢＭの露光ではないので、ステップ１００６のＮＯに進む。
【００６３】
赤層形成のためのフォトマスク１５ａ（Ｒ用）は、図１４（又は図５）に示すように、マスクパターン２９ａと、その上下にブラックマトリクスのマーク４１ａ、４３ａとのそれぞれの位置合わせ用の窓３１a、３３aを備える。精度の高いカラーフィルタを製造するには、赤層形成のためのフォトマスク１５ａ（Ｒ用）をブラックマトリクス３９に対して正確に位置合わせする必要がある。
【００６４】
図１４及び図１５は、赤層形成のためのフォトマスク１５ａ（Ｒ用）とブラックマトリクス３９との位置合わせを説明する図であり、図１５に示すように、フォトマスク１５ａ（Ｒ用）の窓３１ａの中心と、ブラックマトリクス３９の位置合わせ用マーク４１ａの中心とが一致するように行う。
【００６５】
フォトマスク１５ａの位置を調整して、積層原反３（即ちブラックマトリクス３９）との位置合わせを行う（ステップ１００８）。即ちフォトマスク１５の位置を、積層原反３の幅方向（方向Ｆ又はＧ）、流れ方向（方向Ｈ又はＩ）、回転方向θに微動させて調整を行う。尚、同時にクランプ５−１、５−２や、露光台９を微動させて位置調整を行っても良い。この位置合わせの確認は、ＣＣＤカメラ２１、２３によって行われる。
【００６６】
次に、フォトマスク１５ａを介して露光光源１７により、積層原反３（既にブラックマトリクス３９が形成されている）に所定量の露光を行う（ステップ１００９）。フォトマスク１５ａを介して、積層原反３に赤層のパターンの露光を行う断面図を図１６に示す。この後の工程（ステップ１０１０以降）は、前述のブラックマトリクス３９の形成と同じである。
【００６７】
次の工程で、露光されたパターンが現像、加熱処理されると、図１７（断面図）に示すように連続シート状基材３７上にＢＭ３９、及び赤色ＣＦ層４５が形成される。
【００６８】
このようにして、カラーフィルタ層を形成し、最終的には図１８に示すカラーフィルタを形成する。即ち、各カラーフィルタ層のズレの少ない、高精度なカラーフィルタを提供することが可能となる。
【００６９】
尚、位置合わせのマーク及び、それに対応する窓の位置、大きさ、形状、数等は、任意に設定することが可能である。
【００７０】
（３．効果等）
このように、本実施の形態では、露光時の積層原反３のたるみを２つのクランプで挟んで除去し、露光台９に吸着して固定するので、積層原反３のたるみや固定等が原因となる積層原反３の寸法精度の低下を防止する効果がある。従って、カラーフィルタ各層のフォトマスクの位置合わせが正確に行え、寸法精度の高いカラーフィルタを製造するカラーフィルタ製造装置を提供できる。
【００７１】
尚、本発明の技術的範囲は、前述した実施の形態に限られるものではない。当業者であれば、本願で開示した技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】本実施の形態におけるフィルタ製造装置１の構成を示す図
【図２】図１のＸ−Ｘ方向から見たフィルタ製造装置１を示す図
【図３】クランプ５−１の状態を示す図
【図４】ブラックマトリクス用フォトマスク１５を示す図
【図５】カラーフィルタ層用フォトマスク１５ａを示す図
【図６】積層原反３を示す図
【図７】積層原反３の露光を説明する図
【図８】積層原反３の露光を説明する図
【図９】ブラックマトリクスのパターンの露光を説明する図
【図１０】ブラックマトリクス３９とマーク４１、４３を示す図
【図１１】ブラックマトリクスのパターンの露光を説明する図
【図１２】積層原反３に形成されたブラックマトリクス３９を示す図
【図１３】カラーフィルタ層の形成を説明する図
【図１４】カラーフィルタ用フォトマスク１５ａの位置合わせを説明する図
【図１５】マーク４１ａと窓３１ａの位置合わせを説明する図
【図１６】カラーフィルタ層のパターンの露光を説明する図
【図１７】カラーフィルタ層の形成を説明する図
【図１８】カラーフィルタ層の形成を説明する図
【図１９】フィルタ製造装置１の処理工程を説明する図
【符号の説明】
【００７３】
１………フィルタ製造装置
３………積層原反
５−１、５−２………クランプ
７………露光装置
９………露光台
１１………吸引機構
１３………マスクホルダ
１５、１５ａ………フォトマスク
１７………露光光源
１９………ギャップセンサ用レーザ
２１、２３………ＣＣＤカメラ
２５、２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２７、２７ａ、２７ｂ、２７ｃ………マークパターン
２９、２９ａ………マスクパターン
３１ａ、３３ａ………窓
３５………感光性樹脂組成物層
３７………連続シート状基材
３９………ブラックマトリクス（ＢＭ）
４１ａ、４１ｂ、４１ｃ、４３ａ、４３ｂ、４３ｃ………マーク
４５………赤色ＣＦ層
４７………緑色ＣＦ層
４９………青色ＣＦ層
【図１】
2005148353.tif 000003
【図２】
2005148353.tif 000004
【図３】
2005148353.tif 000005
【図４】
2005148353.tif 000006
【図５】
2005148353.tif 000007
【図６】
2005148353.tif 000008
【図７】
2005148353.tif 000009
【図８】
2005148353.tif 000010
【図９】
2005148353.tif 000011
【図１０】
2005148353.tif 000012
【図１１】
2005148353.tif 000013
【図１２】
2005148353.tif 000014
【図１３】
2005148353.tif 000015
【図１４】
2005148353.tif 000016
【図１５】
2005148353.tif 000017
【図１６】
2005148353.tif 000018
【図１７】
2005148353.tif 000019
【図１８】
2005148353.tif 000020
【図１９】
2005148353.tif 000021