(57)【要約】    【課題】  メッシュ切れが発生し難いスクリーン印刷版、このスクリーン印刷版を使用するスクリーン印刷方法及びこのスクリーン印刷方法を使用するプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供する。    【解決手段】  スクリーン印刷版において、横糸２が交互にずれて配列されており、縦糸１が横糸２の間を交互に上下しながら波打った形状で設けられている。また、横糸２の線径は縦糸１の線径より大きい。横糸２の波打ち幅はＷ２であり、縦糸１の波打ち幅はＷ１であり、Ｗ２＞Ｗ１となっている。このようにして構成されたスクリーン印刷版は、スクリーン印刷時には、横糸２が被印刷面と接し、縦糸１は被印刷面と接しない。このように被印刷面との摩擦により磨耗する横糸２を太くすることにより、メッシュ切れが発生する頻度を低減することができる。【選択図】  図１
2005313556.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
枠体内に縦糸と横糸が同一平面上に配置されて織り込まれたメッシュ織物が張設されてなるスクリーン印刷版において、前記縦糸及び前記横糸のうち一方の糸は他方の糸より大きく波打っており、前記一方の糸の線径は前記他方の糸の線径よりも大きいことを特徴とするスクリーン印刷版。
【請求項２】
前記他方の糸の引張強度は、前記一方の糸の引張強度より大きいことを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷版。
【請求項３】
前記一方の糸の引張強度は６００乃至１５００Ｎ／ｍｍ２であり、前記他方の糸の引張強度は１０００Ｎ／ｍｍ２以上で、且つ前記一方の糸の引張強度より少なくとも２００Ｎ／ｍｍ２大きいことを特徴とする請求項２に記載のスクリーン印刷版。
【請求項４】
前記一方の糸の線径は、前記他方の糸の線径の１．１乃至２倍であることを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷版。
【請求項５】
枠体内に縦糸と横糸が同一平面上に配置されて織り込まれたメッシュ織物が張設されてなるスクリーン印刷版において、前記縦糸及び前記横糸のうち一方の糸は他方の糸より大きく波打っており、２本以上の前記一方の糸が組を構成し、この組が前記他方の糸の上方及び下方を交互に通過することにより織り込まれていることを特徴とするスクリーン印刷版。
【請求項６】
前記組が３本以下の前記一方の糸により構成されていることを特徴とする請求項５に記載のスクリーン印刷版。
【請求項７】
平面基板の印刷面上にスクリーン印刷版を配置する工程と、前記平面基板と共に前記スクリーン印刷版を挟圧するように一方向に延びるスキージを配置する工程と、このスキージのこのスキージが延びる方向に交差する印刷方向前方に印刷ペーストを配置する工程と、前記スキージを前記印刷方向に前記平面基板に対して相対的に移動させることにより前記平面基板の印刷面に印刷する工程と、を有し、前記スクリーン印刷版は、枠体内に縦糸と横糸が同一平面上に配置されて織り込まれたメッシュ織物が張設されてなるスクリーン印刷版であり、前記縦糸及び前記横糸のうち一方の糸は他方の糸より大きく波打っており、前記一方の糸の線径は前記他方の糸の線径よりも大きいことを特徴とするスクリーン印刷方法。
【請求項８】
前記他方の糸の引張強度は、前記一方の糸の引張強度より大きいことを特徴とする請求項７に記載のスクリーン印刷方法。
【請求項９】
前記一方の糸の引張強度は６００乃至１５００Ｎ／ｍｍ２であり、前記他方の糸の引張強度は１０００Ｎ／ｍｍ２以上で、且つ前記一方の糸の引張強度より少なくとも２００Ｎ／ｍｍ２大きいことを特徴とする請求項８に記載のスクリーン印刷方法。
【請求項１０】
前記一方の糸の線径は、前記他方の糸の線径の１．１乃至２倍であることを特徴とする請求項７に記載のスクリーン印刷方法。
【請求項１１】
平面基板の印刷面上にスクリーン印刷版を配置する工程と、前記平面基板と共に前記スクリーン印刷版を挟圧するように一方向に延びるスキージを配置する工程と、このスキージのこのスキージが延びる方向に交差する印刷方向前方に印刷ペーストを配置する工程と、前記スキージを前記印刷方向に前記平面基板に対して相対的に移動させることにより前記平面基板の印刷面に印刷する工程と、を有し、
前記スクリーン印刷版は、枠体内に縦糸と横糸が同一平面上に配置されて織り込まれたメッシュ織物が張設されてなるスクリーン印刷版において、前記縦糸及び前記横糸のうち一方の糸は他方の糸より大きく波打っており、２本以上の前記一方の糸が組を構成し、この組が前記他方の糸の上方及び下方を交互に通過することにより織り込まれていることを特徴とするスクリーン印刷方法。
【請求項１２】
前記組が３本以下の前記一方の糸により構成されていることを特徴とする請求項１１に記載のスクリーン印刷方法。
【請求項１３】
第１透明基板上に第１の方向に延びる複数本の透明電極を形成する工程と、前記透明電極上に前記透明電極の導電性を補うバス電極を形成する工程と、前記第１透明基板、前記透明電極及び前記バス電極を覆うように透明誘電体層を形成する工程と、前記透明誘電体層上に表面保護層を形成する工程と、第２透明基板上に前記第１の方向と直交する方向にデータ電極を形成する工程と、前記第２透明基板及び前記データ電極を覆うように白色誘電体層を形成する工程と、前記白色誘電体層上に前記データ電極が延びる方向に延びる縦隔壁とこの縦隔壁が延びる方向に直交する方向に延びる横隔壁とからなる隔壁を形成する工程と、前記隔壁側面及び前記白色誘電体層表面を覆うように蛍光体層を形成する工程と、を有し、前記バス電極形成工程、前記データ電極形成工程、前記白色誘電体層形成工程、前記隔壁形成工程及び前記蛍光体層形成工程のうち少なくとも１の工程は、請求項７乃至１２のいずれか１項に記載のスクリーン印刷方法によるスクリーン印刷工程を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、メッシュ切れを発生し難くしたメッシュ織物が張設されてなるスクリーン印刷版、このスクリーン印刷版を使用するスクリーン印刷方法及びこのスクリーン印刷方法を使用するプラズマディスプレイパネルの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、基板上に配線パターンを形成する方法として、スクリーン印刷法が知られている。今日、配線パターンをより厚く微細に形成したいという要求が高まっており、それに適したスクリーンマスクが求められている。スクリーン印刷法における印刷の仕上がりを決定する重要な要因として、スクリーンマスクに使用するスクリーンファブリック（メッシュ織物）の性状が挙げられる。配線パターンの厚膜化及び微細化を満足するには、スクリーン印刷版を構成する糸の直径（線径）を細くし、且つオープニング（目開き）を広くする必要がある。しかしながら、線径を細くするとスクリーン印刷版の厚みが薄くなり、印刷パターンに十分な厚みが得られない虞がある。また、スクリーン印刷版にピンホールが発生しやすくなるという問題もある。そこで、細い糸を使用してスクリーン印刷版の厚みを大きくするために、スクリーンファブリックの織り方を工夫する試みが幾つか行われてきているが、いずれの場合にも厚みの精度が低いため工業的に使用できなかった。
【０００３】
これに対して、例えば、特許文献１（特開２００３−２６８６４９号公報）には、横糸に剛性が高い、即ち引張強度が大きくて曲がり難い金属糸を使用し、縦糸に横糸よりも剛性が低い金属糸を使用する技術が開示されている。図６は特許文献１に記載の従来の第１のスクリーン印刷版の断面図である。図６に示すように、剛性が高い横糸１０２は同一平面状に配置されており、横糸１０２よりも剛性が低い縦糸１０１が横糸１０２の間を交互に上下しながら波打った形状で設けられている。特許文献１には、これにより、スクリーン印刷版の厚みを大きくすることができ、印刷パターンに十分な厚みを確保できるとともに、ピンホールの発生率を低減できると記載されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−２６８６４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述の従来の技術には、以下に示すような問題点がある。特許文献１に記載のスクリーン印刷版においては、縦糸が横糸に比べて大きく波打つ構造であるため、スクリーン印刷時には、基板等の平坦な被印刷面に縦糸のみが擦り付けられる状態となる。このため、横糸に比べて縦糸の磨耗が著しく大きくなり、縦糸が破断するメッシュ切れが発生し易くなる。スクリーン印刷版にこのようなメッシュ切れがある場合、印刷時にメッシュ切れ部位での印刷材料の吐出量が増大し、印刷面が盛り上がって表面欠陥となってしまう。高精度の印刷パターンを要求される電子デバイス等においては、このような表面欠陥は歩留りを低下させる要因となる。
【０００６】
このような問題は、特許文献１に記載のスクリーン印刷版に限定されず、一般的なスクリーン印刷版においても発生していた。図７は従来の第２のスクリーン印刷版の断面図である。図７に示すように、横糸２０２の波打ち幅Ｗ２０２は縦糸２０１の波打ち幅Ｗ２０１よりも大きい。このように、横糸の波打ち幅と縦糸の波打ち幅には差がある場合が多く、この差はスクリーンファブリックの織り方によって発生する。スクリーンファブリックを織る工程においては、縦糸に張力を加えた状態で横糸を縦糸に対して交互に潜らせて張力を加える。従って、縦糸に加える張力及び横糸に加える張力に依存して、縦糸又は横糸のいずれか一方の波打ち幅が他方に対して大きくなってしまう。そのために、波打ち幅の大きい方の糸が磨耗してメッシュ切れが頻発する虞がある。
【０００７】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、メッシュ切れが発生し難いスクリーン印刷版、このスクリーン印刷版を使用するスクリーン印刷方法及びこのスクリーン印刷方法を使用するプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る第１のスクリーン印刷版は、枠体内に縦糸と横糸が同一平面上に配置されて織り込まれたメッシュ織物が張設されてなるスクリーン印刷版において、前記縦糸及び前記横糸のうち一方の糸は他方の糸より大きく波打っており、前記一方の糸の線径は前記他方の糸の線径よりも大きいことを特徴とする。
【０００９】
本発明においては、前記他方の糸は、その引張強度が前記一方の糸より大きいことで、前記一方の糸がより大きく波打ち、スクリーン印刷版の厚みが大きくなる。また、前記一方の糸は、その引張強度が６００乃至１５００Ｎ／ｍｍ２であり、前記他方の糸は、その引張強度が１０００Ｎ／ｍｍ２以上で、且つ前記第１糸の引張強度より少なくとも２００Ｎ／ｍｍ２大きくすることが望ましい。
【００１０】
また、前記一方の糸は、その線径が前記他方の糸の１．１乃至２倍であることが望ましい。
【００１１】
本発明に係る第２のスクリーン印刷版は、枠体内に縦糸と横糸が同一平面上に配置されて織り込まれたメッシュ織物が張設されてなるスクリーン印刷版において、前記縦糸及び前記横糸のうち一方の糸は他方の糸より大きく波打っており、２本以上の前記一方の糸が組を構成し、この組が前記他方の糸の上方及び下方を交互に通過することにより織り込まれていることを特徴とする。
【００１２】
本発明においては、前記組が３本以下の前記一方の糸により構成されていることが望ましい。
【００１３】
本発明に係る第１のスクリーン印刷方法は、平面基板の印刷面上にスクリーン印刷版を配置する工程と、前記平面基板と共に前記スクリーン印刷版を挟圧するように一方向に延びるスキージを配置する工程と、このスキージのこのスキージが延びる方向に交差する印刷方向前方に印刷ペーストを配置する工程と、前記スキージを前記印刷方向に前記平面基板に対して相対的に移動させることにより前記平面基板の印刷面に印刷する工程と、を有し、前記スクリーン印刷版は、枠体内に縦糸と横糸が同一平面上に配置されて織り込まれたメッシュ織物が張設されてなるスクリーン印刷版であり、前記縦糸及び前記横糸のうち一方の糸は他方の糸より大きく波打っており、前記一方の糸の線径は前記他方の糸の線径よりも大きいことを特徴とする。
【００１４】
本発明においては、前記他方の糸は、その引張強度が前記一方の糸より大きいことで、前記一方の糸がより大きく波打ち、スクリーン印刷版の厚みが大きくなり、印刷後のパターン膜厚が大きくなる。また、前記一方の糸は、その引張強度が６００乃至１５００Ｎ／ｍｍ２であり、前記他方の糸は、その引張強度が１０００Ｎ／ｍｍ２以上で、且つ前記第１糸の引張強度より少なくとも２００Ｎ／ｍｍ２大きくすることが望ましい。
【００１５】
また、前記一方の糸は、その線径が前記他方の糸の１．１乃至２倍であることが望ましい。
【００１６】
本発明に係る第２のスクリーン印刷方法は、平面基板の印刷面上にスクリーン印刷版を配置する工程と、前記平面基板と共に前記スクリーン印刷版を挟圧するように一方向に延びるスキージを配置する工程と、このスキージのこのスキージが延びる方向に交差する印刷方向前方に印刷ペーストを配置する工程と、前記スキージを前記印刷方向に前記平面基板に対して相対的に移動させることにより前記平面基板の印刷面に印刷する工程と、を有し、前記スクリーン印刷版は、枠体内に縦糸と横糸が同一平面上に配置されて織り込まれたメッシュ織物が張設されてなるスクリーン印刷版において、前記縦糸及び前記横糸のうち一方の糸は他方の糸より大きく波打っており、２本以上の前記一方の糸が組を構成し、この組が前記他方の糸の上方及び下方を交互に通過することにより織り込まれていることを特徴とする。
【００１７】
本発明においては、前記組が３本以下の前記一方の糸により構成されていることが望ましい。
【００１８】
本発明に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法は、第１透明基板上に第１の方向に延びる複数本の透明電極を形成する工程と、前記透明電極上に前記透明電極の導電性を補うバス電極を形成する工程と、前記第１透明基板、前記透明電極及び前記バス電極を覆うように透明誘電体層を形成する工程と、前記透明誘電体層上に表面保護層を形成する工程と、第２透明基板上に前記第１の方向と直交する方向にデータ電極を形成する工程と、前記第２透明基板及び前記データ電極を覆うように白色誘電体層を形成する工程と、前記白色誘電体層上に前記データ電極が延びる方向に延びる縦隔壁とこの縦隔壁が延びる方向に直交する方向に延びる横隔壁とからなる隔壁を形成する工程と、前記隔壁側面及び前記白色誘電体層表面を覆うように蛍光体層を形成する工程と、を有し、前記バス電極形成工程、前記データ電極形成工程、前記白色誘電体層形成工程、前記隔壁形成工程及び前記蛍光体層形成工程のうち少なくとも１の工程は、前述のスクリーン印刷方法のいずれかの方法によるスクリーン印刷工程を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、スクリーン印刷版を構成する縦糸又は横糸の内、波打ち幅の大きいいずれか一方の糸を太くすることにより、印刷時の磨耗によるメッシュ切れの発生頻度を低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態について添付の図面を参照して具体的に説明する。先ず、本発明の第１の実施形態について説明する。図１は本第１実施形態に係るスクリーン印刷版を示す断面図である。このスクリーン印刷版の目の粗さは、例えば３２５メッシュである。なお、メッシュは１インチ（２５．４ｍｍ）当たりの孔の数を表す。従って、３２５メッシュのスクリーン印刷版においては、１ｍｍ当たり１２．８個の孔が設けられている。本第１実施形態に係るスクリーン印刷版においては、枠体内にメッシュ織物が張設されている。図１に示すように、このスクリーン印刷版においては、横糸２が交互に上下方向にずれて配列されており、縦糸１が横糸２の間を交互に上下しながら波打った形状で設けられている。横糸２及び縦糸１の線径は、例えば夫々３４μｍ及び２８μｍであり、横糸２を縦糸１より太くしている。図１に示すスクリーン印刷版の断面図において、横糸２が交互にずれて配列されているのは、横糸２が波打っていることを示しており、その波打ち幅はＷ２である。また、縦糸１の波打ち幅はＷ１であり、Ｗ２＞Ｗ１となっている。縦糸１及び横糸２は、例えばナイロン製のものを使用する。
【００２１】
次に、上述の如く構成された本第１実施形態に係るスクリーン印刷版の動作について説明する。図１に示すように、横糸２の波打ち幅Ｗ２は、縦糸１の波打ち幅Ｗ１よりも大きくなっている。これは、このスクリーン印刷版に使用するスクリーン印刷版を織る際に、先ず、縦糸１を張り、縦糸１の間を上下に潜らせながら横糸２を張ると、先に張った縦糸１の張力が横糸２の張力に勝り、Ｗ２＞Ｗ１となる。このようにして構成されたスクリーン印刷版は、スクリーン印刷時には、横糸２が被印刷面と接し、縦糸１は被印刷面と接しない。このように被印刷面との摩擦により磨耗する横糸２を太くすることにより、メッシュ切れが発生する頻度を低減することができる。また、横糸２を太くすることで、スクリーン印刷版の厚みが大きくなり、印刷時にペーストが充填される開口部の容積が大きくなる。従って、印刷パターンの膜厚を大きくでき、ピンホールの発生率を低減する効果を奏する。
【００２２】
なお、本第１実施形態においては、縦糸１の太さを横糸２の太さの略１．２倍としたが、１．１乃至２倍であることが好ましい。縦糸１の太さが横糸２の太さの２倍を超えると、スクリーン印刷版の縦方向と横方向のメッシュ粗さが大きく異なってしまい、印刷パターンにムラが生じる虞がある。縦糸１の太さが横糸２の太さの１．１倍未満である場合は、縦糸の太さが不十分でメッシュ切れが発生する頻度を低減する効果が得られない。また、横糸２を縦糸１よりも太くしたが、本発明はこれに限定されず、より大きく波打って印刷時に被印刷面と接する側の糸を太くすればよい。更に、本発明においては、縦糸１及び横糸２としてナイロン製のものを使用したが、金属製又はＰＥＴ（poly-ethylene terephthalate：ポリエチレンテレフタレート）製等を使用してもよい。
【００２３】
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。図２は本第２実施形態に係るスクリーン印刷版を示す断面図である。このスクリーン印刷版の目の粗さは、例えば３２５メッシュ（孔の個数が１２．８個／ｍｍ）である。図２に示すように、このスクリーン印刷版においては、横糸２ａ及び２ｂからなる対が交互にずれて配列されており、縦糸１が横糸２ａ及び２ｂの間を交互に上下しながら波打った形状で設けられている。縦糸１、横糸２ａ及び２ｂの線径は、例えば２８μｍである。図２に示すスクリーン印刷版の断面図において、横糸２ａ及び２ｂからなる対が交互にずれて配列されているのは、横糸２ａ及び２ｂが波打っていることを示しており、その波打ち幅はＷ４である。また、縦糸１の波打ち幅はＷ３であり、Ｗ４＞Ｗ３となっている。縦糸１、横糸２ａ及び２ｂは、例えばＰＥＴ（poly-ethylene terephthalate：ポリエチレンテレフタレート）製のものを使用する。
【００２４】
次に、上述の如く構成された本第２実施形態に係るスクリーン印刷版の動作について説明する。図２に示すように、横糸２ａ及び２ｂの波打ち幅Ｗ４は、縦糸１の波打ち幅Ｗ３よりも大きくなっている。これは、このスクリーン印刷版に使用するスクリーン印刷版を織る際に、先ず、縦糸１を張り、縦糸１の間を上下に潜らせながら横糸２ａ及び２ｂからなる対を張ると、先に張った縦糸１の張力が横糸２ａ及び２ｂの張力に勝り、Ｗ４＞Ｗ３となる。このようにして構成されたスクリーン印刷版は、スクリーン印刷時には、横糸２ａ及び２ｂが被印刷面と接し、縦糸１は被印刷面と接しない。このように被印刷面との摩擦により磨耗する横糸を横糸２ａ及び２ｂの２本とすることにより、メッシュ切れが発生する頻度を低減することができる。
【００２５】
なお、本第２実施形態においては、横糸を２本で１対としたが、３本を１対としてもよい。１対当たりの横糸の本数が４本以上の場合は、スクリーン印刷版の縦方向と横方向のメッシュ粗さが大きく異なってしまい、印刷パターンにムラが生じる虞がある。また、横糸の数を２本に増やしたが、本発明はこれに限定されず、より大きく波打って印刷時に被印刷面と接する側の糸の数を増やせばよい。更に、本発明においては、縦糸１、横糸２ａ及び２ｂとしてＰＥＴ製のものを使用したが、金属製又はナイロン製等を使用してもよい。
【００２６】
次に、本発明の第３の実施形態について説明する。図３は本第３実施形態に係るスクリーン印刷版を示す断面図である。このスクリーン印刷の目の粗さは、例えば３２５メッシュ（孔の数が１２．８個／ｍｍ）である。図３に示すように、このスクリーン印刷版においては、線径２８μｍの金属製の横糸２が同一平面に設けられており、線径３４μｍの金属製の縦糸１が横糸２の間を交互に上下しながら波打った形状で設けられている。縦糸１には、例えば引張強度が６００乃至１５００Ｎ／ｍｍ２のものを使用する。また、横糸２には、例えば引張強度が１０００Ｎ／ｍｍ２以上で、且つ縦糸よりも引張強度が２００Ｎ／ｍｍ２以上大きいものを使用する。
【００２７】
次に、上述の如く構成された本第３実施形態に係るスクリーン印刷版の動作について説明する。一般に、引張強度が大きい糸は剛性が高く曲がり難い。図３に示すように、縦糸１には、引張強度が６００乃至１５００Ｎ／ｍｍ２のものを使用し、横糸２には引張強度が１０００Ｎ／ｍｍ２以上で、且つ縦糸よりも引張強度が２００Ｎ／ｍｍ２以上大きいものを使用することで、横糸２は波打つことなく同一平面状に配置され、縦糸１は大きく波打つ構造となる。縦糸１の引張強度が６００Ｎ／ｍｍ２未満の場合は、絶対的な強度不足によりスクリーン印刷版が破損しやすいという欠点を有する。また、縦糸１の引張強度が１５００Ｎ／ｍｍ２を超える場合は、縦糸１を大きく波打つ構造とすることが困難である。また、横糸２の引張強度が１０００Ｎ／ｍｍ２未満の場合は、絶対的な強度不足により波打ってしまう。横糸２と縦糸１の引張強度の差が２００Ｎ／ｍｍ２未満の場合には、やはり横糸２が波打ってしまう。
【００２８】
このようにして構成されたスクリーン印刷版は、スクリーン印刷時には、縦糸１のみが被印刷面と接することになる。このとき、縦糸１を太くする、即ち被印刷面との摩擦により磨耗する縦糸１を太くすることにより、縦糸１が擦り切れるまでの寿命を延ばすことができる。従って、メッシュ切れが発生する頻度を低減することができる。また、縦糸１を太くすることで、スクリーン印刷版の厚みが大きくなり、印刷パターンの膜厚を大きくでき、ピンホールの発生率を低減する効果を奏する。
【００２９】
なお、本第３実施形態においては、縦糸１の太さを横糸２の太さの略１．２倍としたが、１．１乃至２倍であればよい。縦糸１の太さが横糸２の太さの２倍を超えると、スクリーン印刷版の縦方向と横方向のメッシュ粗さが大きく異なってしまい、印刷パターンにムラが生じる虞がある。また、縦糸１を太くしたが、本発明はこれに限定されず、より大きく波打って印刷時に被印刷面と接する側の引張強度の相対的に小さい糸を太くすればよい。更に、本発明においては、金属製のものを使用したが、ＰＥＴ製又はナイロン製等を使用してもよい。
【００３０】
次に、本発明の第４の実施形態について説明する。図４（ａ）及び（ｂ）は本第４実施形態に係るスクリーン印刷方法を示す断面図である。図４（ａ）に示すように、平面ステージ１２上に被印刷物の平面基板１３が載せられ、その上に版枠１４に一定の張力で張られたスクリーン印刷版１１が平面基板１３との間に適度な隙間を設けて設置される。スクリーン印刷版１１は、例えば第１実施形態に係るスクリーン印刷版である。スキージ１６に印圧をかけスクリーン印刷版１１の裏面を平面基板１３の表面に押し当て、スキージ１６の前面に置かれたペースト１５を押し出しながらスキージ１６を移動させる。これにより、図４（ｂ）に示すように、平面基板１３上に所定のパターンのペースト層１７が印刷される。
【００３１】
次に、上述の如く構成された本第４実施形態に係るスクリーン印刷方法の効果について説明する。本第４実施形態によれば、被印刷面との摩擦により磨耗する横糸２を太くしたスクリーン印刷版を使用することで、印刷時にメッシュ切れが発生する頻度を低減することができる。また、横糸２を太くすることでスクリーン印刷版の厚みが大きくなり、印刷パターンの膜厚を大きくでき、ピンホールの発生率を低減する効果を奏する。
【００３２】
なお、本第４実施形態においては、第１実施形態に係るスクリーン印刷版を使用したが、第３実施形態に係るスクリーン印刷版を使用した場合にも同様の効果を奏する。また、第２実施形態に係るスクリーン印刷版を使用した場合においても、印刷時のメッシュ切れを低減する効果は得られる。
【００３３】
次に、本発明の第５の実施形態について説明する。図５は、本第５実施形態の製造方法により製造されるプラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰという）を示す斜視図である。図５に示すように、先ず、透明ガラス基板２３上に複数本の透明電極３１及び３４を形成する。透明電極３１及び３４の形成工程においては、例えばスパッタ法を使用してＩＴＯを形成した後、フォトリソグラフィ法によりパターニングする。ＩＴＯの膜厚は、例えば０．１μｍとし、そのエッチングには、例えば、塩酸と硫酸の混合物を使用する。次に、夫々の透明電極３１及び３４に重なるように、透明電極３１及び３４よりも幅の小さいバス電極３０及び３３を形成する。バス電極３０及び３３の形成工程においては、金属ペースト等の電極材料を透明電極３１及び３４上に、第４実施形態に係るスクリーン印刷法により所望のパターンに印刷して乾燥及び焼成を行う。次に、透明ガラス基板２３、透明電極３１及び３４並びにバス電極３０及び３３を覆うように透明誘電体層３５を形成する。透明誘電体層３５の形成工程においては、ガラスペースト等の透明誘電体材料をベタ状に印刷した後、乾燥、焼成を行う。次に、透明誘電体層３５上に蒸着法を使用して酸化マグネシウム等からなる表面保護層３６を形成する。これにより、前面基板２１が作製される。
【００３４】
一方、透明ガラス基板２４上にデータ電極２５を形成する。データ電極２５の形成工程においては、金属ペースト等の電極材料を透明ガラス基板２４表面に、第４実施形態に係るスクリーン印刷法により所望のパターンに印刷して乾燥及び焼成を行う。次に、ガラス基板２４及びデータ電極２５を覆うように白色誘電体層２６を形成する。白色誘電体層２６の形成工程においては、ガラスペースト等の誘電体材料をベタ状に印刷した後、乾燥、焼成を行う。次に、白色誘電体層２６上に、スクリーン印刷法を使用して隔壁２８を形成する。隔壁２８の形成工程においては、ガラスペーストを誘電体層１０４上に、第４実施形態に係るスクリーン印刷法により所望のパターンに印刷して乾燥及び焼成を行う。次に、白色誘電体層２６の表面及び隔壁２８の側面を覆うように蛍光体層２７を形成する。蛍光体層２７の形成工程においては、蛍光体ペーストを白色誘電体層２６の表面及び隔壁２８の側面に、第４実施形態に係るスクリーン印刷法により所望のパターンに印刷して乾燥を行う。これにより、背面基板２２が作製される。
【００３５】
このようにして作製された前面基板２１及び背面基板２２を重ね合わせ、前面基板２１上に形成された表面保護層３６に、背面基板２２上に形成された隔壁２８を当接させる。このとき、データ電極２５が延びる方向が、透明電極３１及び３４並びにバス電極３０及び３３の延びる方向に対して直交するようにする。次に、前面基板２１と背面基板２２とを重ね合わせた状態で熱処理を施し、前面基板２１と背面基板２２の端部同士をフリットにより融着する。これにより、前面基板２１、背面基板２２及びフリットにより囲まれた空間を気密的に封止する。その後、この空間内を排気し、例えばヘリウム、ネオン若しくはキセノン等又はこれらの混合ガスからなる放電ガスを充填する。このように、ＰＤＰを作製する。
【００３６】
次に、上述の如く構成された本第５実施形態に係るＰＤＰの製造方法の動作について説明する。本第５実施形態によれば、バス電極、データ電極、白色誘電体層、隔壁及び蛍光体層を形成する工程において、印刷時にメッシュ切れが発生する頻度を低減することができる。従って、メッシュ切れ部位における印刷材料の吐出量増大によるパターンの盛り上がり等の表面欠陥を低減できる。また、スクリーン印刷版の寿命が延びることにより、ＰＤＰの製造コストを低減する効果を奏する。
【産業上の利用可能性】
【００３７】
本発明は、ＰＤＰ等の電子デバイスの製造ラインにおけるスクリーン印刷法において好適に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の第１実施形態に係るスクリーン印刷版を示す断面図である。
【００３９】
【図２】本発明の第２実施形態に係るスクリーン印刷版を示す断面図である。
【００４０】
【図３】本発明の第３実施形態に係るスクリーン印刷版を示す断面図である。
【００４１】
【図４】本発明の第４実施形態に係るスクリーン印刷方法を示す断面図である。
【００４２】
【図５】本発明の第５実施形態のＰＤＰの製造方法により製造されるＰＤＰを示す斜視図である。
【００４３】
【図６】従来の第１のスクリーン印刷版の断面図である。
【００４４】
【図７】従来の第２のスクリーン印刷版の断面図である。
【符号の説明】
【００４５】
１、１０１，２０１；縦糸
２、２ａ、２ｂ、１０２、２０２；横糸
１１；スクリーン印刷版
１２；平面ステージ
１３；平面基板
１４；版枠
１５；ペースト
１６；スキージ
２１；前面基板
２２；背面基板
２３、２４；透明ガラス基板
２５；データ電極
２６；白色誘電体層
２７；蛍光体層
２８；隔壁
３０、３３；バス電極
３１、３４；透明電極
３５；透明誘電体層
３６；表面保護層
【図１】
2005313556.tif 000003
【図２】
2005313556.tif 000004
【図３】
2005313556.tif 000005
【図４】
2005313556.tif 000006
【図５】
2005313556.tif 000007
【図６】
2005313556.tif 000008
【図７】
2005313556.tif 000009