(57)【要約】  【課題】  フレキシビリティーに優れるケーブルなどの電子部品の製造に適した軟磁性金属粉末を提供すること。  【解決手段】  鉄とケイ素とクロムで構成されている主成分を有し、該主成分１００原子％中の各元素の含有量が、鉄：６０〜７８原子％、ケイ素：１８〜３０原子％、クロム：０〜１９原子％（但し、０原子％を除く）である軟磁性金属粉末であって、５〜３０μｍの重量平均粒子径と、１００μｍ以上の粗大粒子が５％以下の粒度分布とを持つ、軟磁性金属粉末。  【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも鉄とケイ素を含む主成分を有し、該主成分１００原子％中の各元素の含有量が、鉄：６０〜７８原子％、ケイ素：１８〜３０原子％である軟磁性金属粉末であって、
５〜３０μｍの重量平均粒子径と、１００μｍ以上の粗大粒子が５％以下の粒度分布とを持つ、軟磁性金属粉末。
【請求項２】
鉄とケイ素とクロムで構成されている主成分を有し、該主成分１００原子％中の各元素の含有量が、鉄：６０〜７８原子％、ケイ素：１８〜３０原子％、クロム：０〜１９原子％（但し、０原子％を除く）である軟磁性金属粉末であって、
５〜３０μｍの重量平均粒子径と、１００μｍ以上の粗大粒子が５％以下の粒度分布とを持つ、軟磁性金属粉末。
【請求項３】
少なくとも鉄とケイ素を含む主成分を有し、材料・材質特性として２５００以上の透磁率を持つ軟磁性金属粉末であって、
５〜３０μｍの重量平均粒子径と、１００μｍ以上の粗大粒子が５％以下の粒度分布とを持つ、軟磁性金属粉末。
【請求項４】
鉄とケイ素とクロムで構成されている主成分を有し、材料・材質特性として２５００以上の透磁率を持つ軟磁性金属粉末であって、
５〜３０μｍの重量平均粒子径と、１００μｍ以上の粗大粒子が５％以下の粒度分布とを持つ、軟磁性金属粉末。
【請求項５】
０．１５〜０．３５ｇ／ｃｍ３  の嵩密度を持つ、請求項１〜４の何れかに記載の軟磁性金属粉末。
【請求項６】
６０Ａｍ２  ／ｋｇ以上の最大磁化を持つ、請求項５に記載の軟磁性金属粉末。
【請求項７】
請求項１〜６の何れかに記載の軟磁性金属粉末と少なくとも樹脂を含む複合絶縁磁性組成物であって、
該組成物１００重量％中の各成分の含有量が、軟磁性金属粉末：６０〜９０重量％、樹脂：１０〜４０重量％、である複合絶縁磁性組成物。
【請求項８】
前記軟磁性金属粉末の一部を置換したフェライト粉末をさらに含む請求項７に記載の複合絶縁磁性組成物。
【請求項９】
請求項７または８に記載の複合絶縁磁性組成物で構成されている複合絶縁磁性層を有する電子部品であって、
該複合絶縁磁性層が、厚さ１００〜４００μｍで形成されていることを特徴とする電子部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、軟磁性金属粉末、複合絶縁磁性組成物及び電子部品に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ノイズフィルターとして、フェライトビーズコアもしくはそのコアを樹脂ホルダーに入れたクランプフィルタ等をＥＭＣ機能部品としてケーブルに取り付けて用い、減衰を望む周波数で１０〜１５ｄＢとノイズを抑制可能とする技術が知られている（特許文献１参照）。
【０００３】
しかしながら、特許文献１記載の技術では、外観上、フェライトコアを用いているため重く、クランプフィルタとした場合でもケーブルに大きな凸形状となり（コアの部分がケーブルよりも厚くなり）、本来のケーブルとは明らかに外観が異なってしまうため、取り扱い性を損ねてしまう欠点があった。
【０００４】
また、材料・材質特性として透磁率が４５０のフェライト粉末を、重量比で９０％以上混練したゴムで、信号線及び電源線を被覆したケーブルが知られている（特許文献２参照）。特許文献２の技術では、磁性絶縁体自体の透磁率は１５であり、効果的にノイズを抑制することができるものである。
【０００５】
しかしながら、特許文献２記載の技術では、用いるフェライト粉末の磁気特性が低いため、重量比で９０％以上といった多量のフェライト粉末を樹脂に練り込む必要があり、この場合、製造上金型等の摩耗が激しくなり、交換時期を早めてしまう欠点があった。更に、多量のフェライト粉末を添加するため、結果として粘弾性に劣り、商品としてのケーブルのフレキシビリティーが損なわれるという課題も有している。
【特許文献１】特開２０００−２５１５４５号公報
【特許文献２】特開平１１−２５０７４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、取り扱い性が良好であり、フレキシビリティーに優れるケーブルなどの電子部品の製造に適した軟磁性金属粉末と、該粉末を含む複合絶縁磁性組成物と、該組成物を含むケーブルなどの電子部品とを、提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
軟磁性金属粉末 
上記目的を達成するために、本発明の第１の観点によれば、
少なくとも鉄とケイ素を含む主成分を有し、材料・材質特性として２５００以上の透磁率を持つ軟磁性金属粉末であって、
５〜３０μｍの重量平均粒子径と、１００μｍ以上の粗大粒子が５％以下の粒度分布とを持つ、軟磁性金属粉末が提供される。
【０００８】
第１の観点の発明によると、材料・材質特性として２５００以上の透磁率を持ちつつ、合金粒子の重量平均粒子経と粗大粒子の粒度分布とが所定範囲に調整されている。このため、取り扱い性が良好であり、フレキシビリティーに優れるケーブルなどの電子部品の製造に適した軟磁性金属粉末が提供される。
【０００９】
本発明の第２の観点によれば、
少なくとも鉄とケイ素を含む主成分を有し、該主成分１００原子％中の各元素の含有量が、鉄：６０〜７８原子％、ケイ素：１８〜３０原子％である軟磁性金属粉末であって、
５〜３０μｍの重量平均粒子径と、１００μｍ以上の粗大粒子が５％以下の粒度分布とを持つ、軟磁性金属粉末が提供される。
【００１０】
第２の観点の発明によると、特定組成を採用しつつ、合金粒子の重量平均粒子経と粗大粒子の粒度分布とが所定範囲に調整されている。このため、材料・材質特性として透磁率２５００以上の磁気特性を達成することができるとともに、取り扱い性が良好であり、フレキシビリティーに優れるケーブルなどの電子部品の製造に適した軟磁性金属粉末が提供される。
【００１１】
第１〜２の観点による軟磁性金属粉末の主成分は、少なくとも鉄とケイ素を含むものであれば特に限定されず、たとえば、鉄とケイ素とクロムで構成されている場合などが挙げられる。
【００１２】
本発明の第１の観点では、下記に示す第３の観点に係る構成を採用することが好ましい。
【００１３】
第３の観点によれば、鉄とケイ素とクロムで構成されている主成分を有し、材料・材質特性として２５００以上の透磁率を持つ軟磁性金属粉末であって、
５〜３０μｍの重量平均粒子径と、１００μｍ以上の粗大粒子が５％以下の粒度分布とを持つ、軟磁性金属粉末が提供される。
【００１４】
本発明の第２の観点では、下記に示す第４の観点に係る構成を採用することが好ましい。
【００１５】
第４の観点によれば、鉄とケイ素とクロムで構成されている主成分を有し、該主成分１００原子％中の各元素の含有量が、鉄：６０〜７８原子％、ケイ素：１８〜３０原子％、クロム：０〜１９原子％（但し、０原子％を除く）である軟磁性金属粉末であって、
５〜３０μｍの重量平均粒子径と、１００μｍ以上の粗大粒子が５％以下の粒度分布とを持つ、軟磁性金属粉末が提供される。
【００１６】
第３の観点によると、軟磁性金属粉末は所望の磁気特性を持つように各元素を含んで構成してある。第４の観点によると、軟磁性金属粉末は各元素を所定割合で含有させることで、所望の磁気特性を得るようにしてある。また、第３〜４の観点によると、重量平均粒子径を所定の範囲に調整し、粗大粒子は極力含まないように分級してある。これらの各限定により得られる軟磁性金属粉末を少なくとも樹脂と所定割合で混合する場合に、軟磁性金属粉末が樹脂中に均一に分散された複合絶縁性組成物を得ることが容易になる。特に第３〜４の観点のごとき、クロムを含む場合には耐食性が向上するので一層好ましい。
【００１７】
本発明の軟磁性金属粉末は、好ましくは、０．１５〜０．３５ｇ／ｃｍ３  の嵩密度を持つ。
【００１８】
本発明の軟磁性金属粉末は、好ましくは、６０Ａｍ２  ／ｋｇ以上の最大磁化を持つ。
【００１９】
本発明の軟磁性金属粉末は、鉄、ケイ素、クロムの他に、種々の添加元素が積極的に含有されていても良い。添加元素としては、特に限定されず、クロムを除く金属元素；ケイ素を除く非金属元素などが挙げられる。  
現在の高度な粉末精製技術をもってしても、軟磁性金属粉末を製造する際に使用される原料中への極微量の不可避的不純物元素の含有は避けられない。上述した”積極的に含有”とは、意図的に含有させるの意であり、結果的に不可避的不純物元素として含有することとなる場合を除く趣旨である。もちろん、本発明の軟磁性金属粉末には、不可避的不純物元素として種々の元素が含有されていてもよい。
【００２０】
本発明の軟磁性金属粉末は、少なくとも樹脂とコンパウンドされてシート化され、携帯端末、パソコン、デジタル家電、ゲーム機等における輻射ノイズが発生する用途に磁気シールド材として利用され得る。
【００２１】
本発明でいう「透磁率」は、軟磁性金属粉末自体で測定した透磁率ではなく、同一組成の粉末冶金法で得られた焼結体コア、たとえばトロイダルコア等の透磁率を意味する。この点を明確にするために、本発明では、「材料・材質特性として」との文言を使用している。
【００２２】
複合絶縁磁性組成物 
本発明によれば、上記何れかの軟磁性金属粉末と少なくとも樹脂を含む複合絶縁磁性組成物であって、
該組成物１００重量％中の各成分の含有量が、軟磁性金属粉末：６０〜９０重量％、樹脂：１０〜４０重量％、である複合絶縁磁性組成物が提供される。
【００２３】
この発明によると、用いる軟磁性金属粉末の磁気特性が高いため、軟磁性金属粉末の混練量を低く抑えることができる。その結果、フレキシビリティーに富み、かつ目的とする周波数帯域（５０〜３００ＭＨｚ）でノイズを減衰させることが可能な複合絶縁磁性組成物を提供することができる。
【００２４】
本発明の複合絶縁磁性組成物は、前記軟磁性金属粉末の一部を置換したフェライト粉末をさらに含むものであっても良い。フェライト粉末の例示は後述する。
【００２５】
電子部品 
本発明によれば、上記複合絶縁磁性組成物で構成されている複合絶縁磁性層を有する電子部品であって、
該複合絶縁磁性層が、厚さ１００〜４００μｍで形成されていることを特徴とする電子部品が提供される。
【００２６】
この発明によると、複合絶縁磁性組成物中の軟磁性金属粉末の磁気特性が高いため、該組成物中の軟磁性金属粉末の混練量を低く抑えることができる。このため、得られる電子部品のフレキシビリティーを高めることができる。複合絶縁磁性層の厚さについては、本来の目的であるノイズ減衰特性以外にケーブルとしての商品価値の一つであるフレキシビリティ−が重要である。
【００２７】
電子部品としては、特に限定されないが、パソコン、デジタル家電、ゲーム機等における、ＵＳＢ、ＩＥＥＥ１３９４規格に適応した伝送系としての、高速信号系や画像信号系のケーブルなどが例示される。
【発明の効果】
【００２８】
本発明の軟磁性金属粉末は、適正な磁気特性、粒度分布をもつため、樹脂との混合が均一に図られる。且つ軟磁性金属粉末の組成をコントロールすることで、得られる複合絶縁磁性組成物は、目標とする周波数帯域でノイズ減衰特性に優れる。また、複合絶縁磁性組成物の厚さを制御することで、ケーブルとしてのフレキシビリティ−を持たせることも可能となり、製品としての品質を向上させることが出来る。
【００２９】
すなわち、本発明によれば、取り扱い性が良好であり、フレキシビリティーに優れるケーブルなどの電子部品の製造に適した軟磁性金属粉末と、該粉末を含む複合絶縁磁性組成物と、該組成物を含むケーブルなどの電子部品とを、提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図１は本発明の一実施形態に係る電子部品の一例としての高速信号ケーブルを示す断面図、図２は実施例における試料１−４、試料１−６及び試料１−７の３種類に関する粒度分布図、図３は実施例においてフレキシビリティーを評価する際に用いた専用治具の平面図、図４は図３の右側面図、図５は図３の治具にサンプルをセットし、折り曲げた状態を示す平面図、図６は図５の右側面図、である。
【００３１】
高速信号ケーブル 
図１に示すように、本発明の一実施形態に係る電子部品の一例としての高速信号ケーブル２は、断面略円形の信号導線４を有する。信号導線４の外側には、第１絶縁層６が被覆されている。第１絶縁層６の外側には、複合絶縁磁性層８が被覆されている。複合絶縁磁性層８の外側には、第２絶縁層１０が被覆されている。
【００３２】
信号導線４は、信号線や電源線などで構成され、その直径は、たとえば１．５〜３．０ｍｍ程度である。
【００３３】
第１絶縁層６及び第２絶縁層１０は、塩化ビニル、ポリエチレン、ポリプロピレンなどの樹脂で構成され、その厚みは、たとえば３００〜６００μｍ程度である。
【００３４】
複合絶縁磁性層 
複合絶縁磁性層８は、１００〜４００μｍ、好ましくは１５０〜３００μｍの厚みを有する。
【００３５】
複合絶縁磁性層８は、本発明の複合絶縁磁性組成物で構成されている。この点は後述する。
【００３６】
複合絶縁磁性層８の形成方法は、特に限定されないが、たとえば、複合絶縁磁性組成物を押出成形などの手段により、第１絶縁層６の外側に被覆して形成する。ただし、複合絶縁磁性組成物を帯状に形成した後、これを第１絶縁層６の外側に巻き付けても良い。
【００３７】
複合絶縁磁性組成物 
本発明の複合絶縁磁性組成物は、軟磁性金属粉末を少なくとも樹脂と混合して形成されている。
【００３８】
組成物１００重量％中の各成分の含有量は、軟磁性金属粉末：６０〜９０重量％、好ましくは７０〜８５重量％、樹脂：１０〜４０重量％、好ましくは１５〜３０重量％である。
【００３９】
組成物中に含まれる樹脂としては、特に限定されないが、たとえばオレフィン系の熱可塑性樹脂（ポリエチレン、ポリプロピレンなど）などが挙げられる。
【００４０】
組成物中に含まれる軟磁性金属粉末は、後述する。
【００４１】
なお、本発明の複合絶縁磁性組成物は、特性を損なわない範囲内において、軟磁性金属粉末の一部を置換したフェライト粉末をさらに含んでいても良い。つまり、本発明の複合絶縁磁性組成物は、軟磁性金属粉末とフェライト粉末と樹脂を混合して形成されてもよい。フェライト粉末としては、特に限定されないが、たとえば、ＮｉＺｎ系、ＮｉＣｕＺｎ系、ＭｎＺｎ系、ＭｇＺｎ系フェライトなどが挙げられる。軟磁性金属粉末に対するフェライト粉末の置換量は、重量比で、５０重量％以下であることが好ましい。つまり、全体を１００としたときに、軟磁性金属粉末とフェライト粉末の重量比（軟磁性金属粉末：フェライト粉末）が、５０：５０〜１００：０（但し、１００：０は除く）であることが好ましい。
【００４２】
複合絶縁磁性組成物の製造方法は、特に限定されない。たとえば、押出機を用いて軟磁性金属粉末と樹脂とを混練することにより行うことができる。
【００４３】
軟磁性金属粉末 
組成物中に含まれる軟磁性金属粉末は、本発明の各観点に係るいずれかの軟磁性金属粉末で構成されている。
【００４４】
第１の観点に係る軟磁性金属粉末は、少なくとも鉄とケイ素を含む主成分を有し、材料・材質特性として２５００以上の透磁率を持つ軟磁性金属粉末であって、５〜３０μｍの重量平均粒子径と、１００μｍ以上の粗大粒子が５％以下の粒度分布とを持つ。
【００４５】
第２の観点に係る軟磁性金属粉末は、少なくとも鉄とケイ素を含む主成分を有し、該主成分１００原子％中の各元素の含有量が、鉄：６０〜７８原子％、ケイ素：１８〜３０原子％である軟磁性金属粉末であって、５〜３０μｍの重量平均粒子径と、１００μｍ以上の粗大粒子が５％以下の粒度分布とを持つ。
【００４６】
組成が上記範囲を外れると、材料・材質特性としての磁気特性（透磁率）が２５００を下回る。重量平均粒子径、粗大粒子、材料・材質特性としての磁気特性（透磁率）が上記範囲を外れると、ケーブルとしてのノイズの減衰特性が劣り、本来の目的である目標とする周波数帯域でのノイズ減衰を満たすことが出来ない。
【００４７】
第１の観点では、下記に示す第３の観点に係る軟磁性金属粉末が好ましい。
【００４８】
第３の観点に係る軟磁性金属粉末は、鉄とケイ素とクロムで構成されている主成分を有し、材料・材質特性として２５００以上の透磁率を持つ軟磁性金属粉末であって、５〜３０μｍの重量平均粒子径と、１００μｍ以上の粗大粒子が５％以下の粒度分布とを持つ。
【００４９】
第２の観点では、下記に示す第４の観点に係る軟磁性金属粉末が好ましい。
【００５０】
第４の観点に係る軟磁性金属粉末は、鉄とケイ素とクロムで構成されている主成分を有し、該主成分１００原子％中の各元素の含有量が、鉄：６０〜７８原子％、ケイ素：１８〜３０原子％、クロム：０〜１９原子％（但し、０原子％を除く）である軟磁性金属粉末であって、５〜３０μｍの重量平均粒子径と、１００μｍ以上の粗大粒子が５％以下の粒度分布とを持つ。
【００５１】
第２，４の何れの観点も、鉄の含有量は６８〜７５原子％が好ましい。ケイ素の含有量は２０〜２５原子％が好ましい。第４の観点では、クロムの含有量は３〜１２原子％が好ましい。
【００５２】
第１〜４の何れの観点も、重量平均粒子経は１０〜２０μｍが好ましく、１００μｍ以上の粗大粒子の含有量が２％以下であることが好ましい。
【００５３】
本発明では、重量平均粒子径とは、軟磁性金属粉末の重量を粒径の小さい方から積算し、この値が軟磁性金属粉末全体の重量の５０％に達したときの粒径（Ｄ５０）である。このＤ５０は、たとえば光散乱法を用いた粒度分析計で測定することができる。光散乱法を用いた粒度分析とは、試料を例えば循環しながらレーザー光やハロゲンランプ等を光源としてフランホーファ回折あるいはミィ散乱の散乱角を測定し、粒度分布を測定する分析方法である。Ｄ５０は、このような粒度分析計により得られた粒度分布により決定されることができる。
【００５４】
本実施形態に係る軟磁性金属粉末は、好ましくは０．１５〜０．３５ｇ／ｃｍ３  、より好ましくは０．２〜０．３ｇ／ｃｍ３  の嵩密度を持つ。嵩密度を所定範囲に制御することで、コンパウンド時の粉末の配合（混合）状態を安定化させることができる。嵩密度が低すぎると、組成物にした際に粉末のコンテントが増え、コンパウンドの作業性が劣る傾向にある。また、複合磁性組成物として減衰特性が劣る傾向にある。一方、嵩密度が高すぎると、１００μｍ以上の粗大粒子が５％以上含まれるおそれが増え、複合磁性組成物とした際の組成物のフレキシビリティーが劣る傾向にある。
【００５５】
本実施形態に係る軟磁性金属粉末は、好ましくは６０Ａｍ２  ／ｋｇ以上、より好ましくは７４Ａｍ２  ／ｋｇ以上の最大磁化を持つ。最大磁化が小さすぎると、目標とする周波数帯域での放射ノイズ減衰特性を得るために、組成物にした際の粉末のコンテント量を増加させなければならず、コンテント量が増加すると、複合磁性組成物とした際の組成物のフレキシビリティーが劣る傾向にある。
【００５６】
本発明の軟磁性金属粉末は、鉄、ケイ素、クロムの他に、種々の添加元素が積極的に含有されていても良い。”積極的に含有”の用語の意味は上述したとおりである。添加元素としては、特に限定されず、クロムを除く金属元素；ケイ素を除く非金属元素（たとえば、ホウ素Ｂ、ゲルマニウムＧｅ、ヒ素Ａｓ、アンチモンＳｂ、セレンＳｅ、テルルＴｅ、リンＰ、硫黄Ｓなど）などが挙げられる。添加元素は、単独で含有させても良いし、複数含有させても良い。添加元素の含有量は、鉄、ケイ素、クロムの合計を１００原子％としたとき、１０原子％以下であることが好ましい。添加元素の含有量が多すぎると、合金自体の性質が変化してしまい、所望の特性が得られなくなるおそれがあるからである。
【００５７】
本発明の軟磁性金属粉末には、上述した成分の他に、不可避的不純物元素の酸化物が含まれていてもよい。
【００５８】
軟磁性金属粉末の製造方法 
本発明の軟磁性金属粉末の製造方法の一例を説明する。
【００５９】
（１）まず、上述した特定組成の合金粒子を製造する。合金粒子の製造方法としては、特に限定されず、たとえば、”合金溶湯を急冷する方法”や、”合金インゴットを粉砕する方法”などを用いることができる。
【００６０】
合金溶湯を急冷する方法としては、特に限定されないが、粉砕工程なしで所望の粒径の合金粒子が得られて生産性が高いことから、水アトマイズ法を用いることが好ましい。水アトマイズ法は、合金溶湯に高圧水を噴射して凝固・粉末化した後、水中で冷却する方法である（例えば特願平１−１２２６７号参照）。なお、水アトマイズ法の他、溶湯を冷却基体に衝突させて、薄帯状や薄片状、あるいは粒状の合金を得る方法を用いてもよい。このような方法としては、片ロール法や双ロール法、あるいはアトマイズ法が挙げられる。これらの方法では、得られた急冷合金を必要に応じて粉砕し、所望の粒径の合金粒子とすればよい。
【００６１】
合金インゴットを粉砕することで合金粒子を製造する場合には、インゴットに容体化処理を施した後、粉砕することが好ましい。
【００６２】
合金粒子の平均粒径は、最終的に得られる軟磁性金属粉末の粒径に応じて適宜決定すればよいが、通常、重量平均粒子径Ｄ５０で５〜３０μｍ、好ましくは７〜２０μｍとすればよい。
【００６３】
なお、合金粒子には、結晶構造を整えるための熱処理を施すことが好ましい。
【００６４】
（２）次に、本実施形態では、得られた合金粒子を扁平化する。合金粒子の扁平化は、扁平化後の合金粒子の、重量平均粒子径Ｄ５０が５〜３０μｍになるまで行い、また、１００μｍ以上の粗大粒子の含有量が５％以下となるまで行う。
【００６５】
合金粒子を扁平化する手段は、特に限定されず、所望の扁平化が可能であればどのような手段を用いてもよい。ただし、本発明では、主として劈開により合金粒子の扁平化が進行するので、劈開を効率よく行なえる手段を用いることが好ましい。
【００６６】
このような手段としては、媒体撹拌ミル、転動ボールミル等が挙げられる。特に、媒体撹拌ミルを用いることが好ましい。媒体撹拌ミルは、ピン型ミル、ビーズミルあるいはアジテーターボールミルとも称される撹拌機であり、例えば特開昭６１−２５９７３９号公報、本発明者らによる特願平１−１２２６７号などに記載されている。
【００６７】
（３）本実施形態では、扁平化された合金粒子に対して、不活性ガスを封入して乾燥させた後、熱処理を施すことが好ましい。この熱処理を施すことで、磁気特性が向上するメリットがある。
【００６８】
この熱処理および前記合金粒子に施される熱処理の際の保持温度および温度保持時間は、１００〜６００℃にて１０分間〜１０時間とすることが好ましい。保持温度が低くすぎ、または温度保持時間が短すぎると、熱処理による効果が不十分となる。保持温度が高すぎ、または温度保持時間が長すぎると、発火や焼結が生じ易くなる傾向がある。より好ましい熱処理条件は、３００〜５００℃にて３０分間〜２時間である。
【００６９】
なお、熱処理は、真空中、あるいは窒素、水素、Ａｒ等の不活性ガス雰囲気中で行なうことが好ましい。この熱処理は、磁場中にて行なわれてもよい。
【００７０】
このような工程を経て、本実施形態の軟磁性金属粉末が製造される。
【００７１】
以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明はこうした実施形態に何等限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々なる態様で実施し得ることは勿論である。
【実施例】
【００７２】
次に、本発明の実施の形態をより具体化した実施例を挙げ、本発明をさらに詳細に説明する。ただし、本発明はこれらの実施例のみに限定されるものではない。
【００７３】
実施例１ 
軟磁性金属粉末の作製と評価 
まず、水アトマイズ法により、特定組成の合金粒子を作製した。得られた合金粒子は、ＦｅとＳｉとＣｒで構成されている主成分を有し、該主成分１００原子％中の各元素の含有量が、Ｆｅ：６８原子％、Ｓｉ：２１原子％及びＣｒ：１１原子％の組成を有していた。
【００７４】
次に、媒体撹拌ミルにより、得られた合金粒子を扁平化した。合金粒子の扁平化は、扁平化後の合金粒子の、重量平均粒子径Ｄ５０と、１００μｍ以上の粗大粒子の含有量が、表１に示す値となるまで行った。なお、Ｄ５０の値は、光散乱を利用した粒度分析計により測定した値である。
【００７５】
次に、扁平化後の合金粒子に不活性ガスを封入して乾燥させた後、同じ不活性ガス雰囲気中で、４５０℃にて６０分間、熱処理を施し、軟磁性金属粉末を得た。
【００７６】
得られた各軟磁性金属粉末の材料・材質特性としての透磁率（μｉ）、最大磁化（σｍ）を求めた。
【００７７】
透磁率（μｉ）は、周波数１ＭＨｚ、Ｈ＝０．４Ａ／ｍにおいて直流磁界Ｈ＝１０００Ａ／ｍの条件で測定することにより求めた（単位なし）。
【００７８】
最大磁化（σｍ）は、ＶＳＭ測定器（振動試料型磁力計）で５０ｍｇの軟磁性金属粉末に１ｋＯｅ（＝約７．９６×１０４  Ａ／ｍ）の磁界をかけて測定することにより求めた（単位：Ａｍ２  ／ｋｇ）。
【００７９】
なお、試料１−４（Ｄ５０＝１５μｍ）、試料１−６（Ｄ５０＝３０μｍ）及び試料１−７（Ｄ５０＝３０μｍ）の３種類に関する粒度分布を図２に示した。
【００８０】
複合絶縁磁性層の作製と評価 
次に、得られた軟磁性金属粉末とポリプロピレンとを、重量比で、表１に示す割合（重量％）で混合し、ブレード制御により、長さ１００ｍｍ×幅３０ｍｍ×厚さ３００μｍの複合絶縁磁性組成物で構成される複合絶縁磁性層（磁性層サンプル）を作製した。磁性層サンプルの厚みは、分析型走査型電子顕微鏡により測定した値である。
【００８１】
図３及び図４に示すように、得られた磁性層サンプル２４を、専用治具２０にセットし、図５及び図６に示すように、１００回繰り返し折り曲げたときのフレキシビリティーについて評価を行い、異常なしを”○”、亀裂発生を”△”、破断を”×”とした。
【００８２】
また、得られた磁性層サンプルを、ＵＳＢケーブルの信号線・電源線に被覆される構造とし、目標とする周波数帯域での放射ノイズの減衰特性の評価を行い、減衰レベルが１０ｄＢを超えた場合を最も良い評価点として”３”とし、５〜１０ｄＢを次に良い評価点として”２”とし、５ｄＢ未満の場合を”１”とした。結果を表１に示す。なお、各表において、「＊」のマークが付いている箇所が本発明の範囲外である。
【表１】
2005240138.tif 000002
【００８３】
表１に示すように、本発明の範囲外である値を含む試料１−１、１−７、１−８では、フレキシビリティーや放射ノイズの減衰特性のいずれかが悪化することが確認できた。これに対し、本発明の範囲内である試料１−２〜１−６は、軟磁性金属粉末が十分な磁気特性を持つので、組成物中への充填率を低く抑えることができ、これによりフレキシビリティーを確保しつつ、減衰特性を向上できることが確認できた。
【００８４】
実施例２
フェライト粉末の作製と評価 
次に示すフェライト粉末を準備した。まず、出発原料として、Ｆｅ２  Ｏ３  、ＺｎＯ、ＭｎＯ、ＭｇＯを用意した。次に、各出発原料の粉末を、Ｍｇ−Ｚｎ−Ｍｎ系フェライトとして、Ｆｅ２  Ｏ３  ：４８ｍｏｌ％、ＭｎＯ：２ｍｏｌ％、ＺｎＯ：１９ｍｏｌ％、ＭｇＯ：３１ｍｏｌ％となるように秤量した後、ボールミルで５時間湿式混合して原料混合物を得た。次に、得られた原料混合物を、空気中において９００℃で２時間仮焼して仮焼き材料とした後、ボールミルで２０時間湿式粉砕して粉砕材料を得た。次に、この粉砕材料を乾燥した後、該粉砕材料１００重量％に、バインダーとしてのポリビニルアルコールを１．０重量％添加して造粒して造粒物とし、これを、１００ｋＰａの圧力で加圧成形して成形体を得た。次に、得られた成形体を、空気中において、１３００℃で焼成して、焼結体（フェライト粉末）を得た。
【００８５】
得られたフェライト粉末の、体積平均粒子径Ｄ５０は１５μｍ、１００μｍ以上の粗大粒子の含有量は０．５％、圧縮密度は３．３１ｇ／ｃｍ３  、材料・材質特性としての透磁率（μｉ）は５００、最大磁化（σｍ）は４６Ａｍ２  ／ｋｇであった。
【００８６】
なお、フェライト粉末の圧縮密度は、圧縮密度測定金型（φ２５ｍｍの円柱型）に一定量のフェライト粉末を入れ、上型より１．０ｔｏｎ／ｃｍ２  の圧力をかけたときのフェライト粉末重量をフェライト粉末体積で除して求めた（単位：ｇ／ｃｍ３  ）。
【００８７】
複合絶縁磁性層の作製と評価 
次に、得られたフェライト粉末で実施例１の試料１−４の軟磁性金属粉末の一部を置換した混合材と、ポリプロピレンとを、重量比で、８５重量％で混合し、ブレード制御により、長さ１００ｍｍ×幅３０ｍｍ×厚さ３００μｍの複合絶縁磁性組成物で構成される複合絶縁磁性層（磁性層サンプル）を作製し、実施例１と同様の評価をした。結果を表２に示す。
【００８８】
なお、フェライト粉末の置換量は、混合材全体を重量比で１００としたときの、軟磁性金属粉末とフェライト粉末の重量比（軟磁性金属粉末：フェライト粉末）が、試料２−１では４０：６０、試料２−２では６０：４０、試料２−３では８０：２０、試料２−４では９０：１０、となる量とした（表２参照）。
【表２】
2005240138.tif 000003
【００８９】
実施例３
複合絶縁磁性層の作製と評価 
実施例１の試料１−４の軟磁性金属粉末とポリプロピレンとを、重量比で、８５重量％で混合し、ブレード制御により、長さ１００ｍｍ×幅３０ｍｍであって厚さを表３に示すように変化させて、複合絶縁磁性組成物で構成される複合絶縁磁性層（磁性層サンプル）を作製し、実施例１と同様の評価をした。結果を表３に示す。
【表３】
2005240138.tif 000004
【００９０】
表３に示すように、磁性層サンプルの厚さが薄すぎると放射ノイズの減衰特性が悪化し、逆に厚すぎるとフレキシビリティーが悪化する傾向が確認できた。
【００９１】
実施例４
ＦｅとＳｉとＣｒで構成されている主成分を有し、該主成分１００原子％中の各元素の含有量（原子％）を表４に示すように変化させ、水アトマイズ法により作製された合金粒子を用いて、実施例１と同様に、軟磁性金属粉末を作製し、同様の評価を行った。結果を表４に示す。
【表４】
2005240138.tif 000005
【００９２】
表４に示すように、本発明の範囲外である値を含む試料４−３では、放射ノイズの減衰特性が悪化することが確認できた。これに対し、本発明の範囲内である試料４−１、４−２は、軟磁性金属粉末が十分な磁気特性を持つので、組成物中への充填率を低く抑えることができ、これによりフレキシビリティーを確保しつつ、減衰特性を向上できることが確認できた。
【図面の簡単な説明】
【００９３】
【図１】図１は本発明の一実施形態に係る電子部品の一例としての高速信号ケーブルを示す断面図である。
【図２】図２は実施例における試料１−４、試料１−６及び試料１−７の３種類に関する粒度分布図である。
【図３】図３は実施例においてフレキシビリティーを評価する際に用いた専用治具の平面図である。
【図４】図４は図３の右側面図である。
【図５】図５は図３の治具にサンプルをセットし、折り曲げた状態を示す平面図である。
【図６】図６は図５の右側面図である。
【符号の説明】
【００９４】
２…  高速信号ケーブル
４…  信号導線
６…  第１絶縁層
８…  複合絶縁磁性層
１０…  第２絶縁層
２０…  専用治具
２２…  取付板
２４…  磁性層サンプル
２６…  サンプル抑え板
２８…  蝶番
【図１】
2005240138.tif 000006
【図２】
2005240138.tif 000007
【図３】
2005240138.tif 000008
【図４】
2005240138.tif 000009
【図５】
2005240138.tif 000010
【図６】
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