(57)【要約】【目的】青反射用ダイクロイック膜について高次の反射帯を使用するようにし、赤反射用ダイクロイック膜について低高２つの屈折率材料層の屈折率比を規定することで、斜入射反射型液晶プロジェクタ装置において、赤青各ダイクロイック膜への光束入射順が異なることにより生じる出射光量の変化を防止する。【構成】ガラス基板（BK7）４０上のダイクロイック膜３１、３２を高屈折率材料層４４ｂと低屈折率材料層４４ａの交互層により構成し、最下層および最上層をいずれも低屈折率材料層４４ａとする。青色成分用３２としては、反射帯として高次の反射帯を用いる。赤色成分用３１としては、低屈折率材料層４４ａを構成する材料の屈折率Ｎｌと高屈折率材料層４４ｂを構成する材料の屈折率Ｎｈの比を下記条件式を満足するよう設定する。1.105≦Nh／Nl≦1.450【選択図】          図３
2005234183.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源からの光束を反射型液晶表示素子に対して斜めから入射せしめる反射型液晶プロジェクタ装置に搭載され、前記反射型液晶表示素子よりも前段において、緑色光を透過するとともに、青色光と赤色光を互いに異なる方向に反射する色光分離用のクロスダイクロイックプリズムにおいて、
前記青色光を反射せしめる青色成分反射ダイクロイック膜と前記赤色光を反射せしめる赤色成分反射ダイクロイック膜の双方が、プリズム基材上に低屈折率材料層および高屈折率材料層を交互に積層してなり、
前記青色成分反射ダイクロイック膜は、複数の反射帯を有するような光学特性の膜構成とされるとともに、最大の帯域幅を有する反射帯よりも短波長側の反射帯に、前記青色光の波長が含まれるような反射特性とされ、かつ前記赤色成分反射ダイクロイック膜は、下記条件式（１）を満足するように構成されていることを特徴とするクロスダイクロイックプリズム。
1.105≦Nh／Nl≦1.450      （１）
但し、
Ｎｈは高屈折率材料の屈折率
Ｎｌは低屈折率材料の屈折率
【請求項２】
前記青色成分反射ダイクロイック膜は、前記低屈折率材料層の光学膜厚ｄｌに対する前記高屈折率材料層の光学膜厚ｄｈの比率ｄｈ／ｄｌが約２以上であることを特徴とする請求項１記載のクロスダイクロイックプリズム。
【請求項３】
前記青色成分反射ダイクロイック膜は、前記低屈折率材料層がSiO2により構成されていることを特徴とする請求項１または２記載のクロスダイクロイックプリズム。
【請求項４】
前記最大の帯域幅を有する反射帯よりも短波長側の反射帯が、該最大の帯域幅を有する反射帯に隣接する反射帯であることを特徴とする請求項１から３のうちいずれか１項記載のクロスダイクロイックプリズム。
【請求項５】
前記プリズム基材がBK7からなるガラス材であることを特徴とする請求項１から４のうちいずれか１項記載のクロスダイクロイックプリズム。
【請求項６】
請求項１〜５のうちいずれか１項記載のクロスダイクロイックプリズムを有し、光源からの光束が、このクロスダイクロイックプリズムの軸に対して斜めとなるような角度で、このクロスダイクロイックプリズムの入射面に入射するように構成されていることを特徴とする反射型液晶プロジェクタ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は光源からの光束を反射型液晶表示素子に対して斜めから入射せしめるカラー用反射型液晶プロジェクタ装置において、該光源からの光束を各色光成分に分離するクロスダイクロイックプリズムおよびこれを搭載した反射型液晶プロジェクタ装置に関し、特にクロスダイクロイックプリズムのダイクロイック膜の膜構成に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、カラー用反射型液晶プロジェクタ装置の色分解光学系において、光源光を赤、緑、青の３色成分に色分解するクロスダイクロイックプリズムが知られている。
【０００３】
この種のクロスダイクロイックプリズムは、例えば図１８（（Ａ）は側面図、（Ｂ）は上面図）に示すようにして使用される。すなわち、Ｓ偏光に偏光変換された光源光がレンズ１０１を介してＰＢＳプリズム１０２に入射すると、この偏光分離面において反射され、クロスダイクロイックプリズム１０３において赤、緑、青の３色光成分に色分解され、分解された各色光成分は対応する反射型液晶表示素子１０４〜１０６に入射する。各反射型液晶表示素子（一般にLCOSと称される）１０４〜１０６に入射した各色光は、対応する画像信号により変調され、Ｐ偏光に変換され、クロスダイクロイックプリズム１０３において色合成される。色合成された光は、ＰＢＳプリズム１０２の偏光分離面を直進するように透過し、投写レンズ１０７によって図示されないスクリーン上に投写される。
【０００４】
上述したクロスダイクロイックプリズム１０３は、多層膜からなる２つのダイクロイック膜により色分解を行うもので、赤色反射のダイクロイック膜１１１の面と青色反射のダイクロイック膜１１２の面が略直交するように配されたガラスプリズムである。このクロスダイクロイックプリズム１０３内において、各成分光は、例えば図１９に示す如く、赤色反射のダイクロイック膜１１１の面と青色反射のダイクロイック膜１１２の面の両者を順次通過することになる。すなわち、緑色成分光は、赤色反射のダイクロイック膜１１１と青色反射のダイクロイック膜１１２の両者を透過することとなり、また、赤色成分光は、赤色反射のダイクロイック膜１１１により反射されるとともに青色反射のダイクロイック膜１１２を透過することとなり、また、青色成分光は、青色反射のダイクロイック膜１１２により反射されるとともに赤色反射のダイクロイック膜１１１を透過することとなる。ここで、各色光は、図１９に示されるように、入射光束の上半分と下半分とで、２つのダイクロイック膜１１１、１１２への入射の順番が互いに逆になる。このような、光束が通過するダイクロイック膜１１１、１１２の順番は、図１８に示すように、入射光束がクロスダイクロイックプリズム１０３の入射面に対して垂直入射する場合には、問題は生じない。
【０００５】
一方、最近、上述した如き、反射型液晶表示素子表面に光束を垂直入射せしめる構成ではなく、反射型液晶表示素子表面に光束を斜め入射せしめる構成のもの（以下斜入射タイプと称する；一般にOFF−AXISタイプとも称される）が知られている。このような斜入射タイプのものでは、入射側光学系の光軸と出射側光学系の光軸が互いに重なり合わず、したがって、上述した従来技術において入射光と出射光の分離のために用いられていたＰＢＳプリズム１０２が不要となり、このＰＢＳプリズムを用いることによる製造コストの上昇および光学系の重量化、さらには光学設計の難易化を防止することができる。
【０００６】
しかしながら、上述した斜入射タイプのものでは、入射光を各色光に分解するクロスダイクロイックプリズムの入射面に対しても光束が斜めから入射することとなり、その結果、赤色反射のダイクロイック膜および青色反射のダイクロイック膜に対しても光束の入射、反射、透過を図１９に示すような、クロスダイクロイックプリズム１０３の軸に対して垂直な一平面内で論じることができなくなってしまう。これまでは、このような観点からの光学的検討はなされておらず、従来のクロスダイクロイックプリズム１０３をそのまま搭載することにより対処していた。
【０００７】
ところが、本発明者等の検証によれば、図１８に示すような従来技術において用いられていたクロスダイクロイックプリズム１０３を、上述した斜入射タイプのものにそのまま使用した場合、各ダイクロイック膜１１１、１１２への光入射の順番によって各色光の光量が変わってしまい、図１９（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）の各々において、入射光束の上半分と下半分とでは、得られる光量が異なってしまうという問題が生じる。この結果、スクリーン画面上に投映される画像の色味や光強度が左右（あるいは上下）で異なるという問題が発生する。
【０００８】
そこで、本願出願人は、このような問題を解決するための手法として、下記特許文献１に記載された内容を既に開示している。この特許文献１に記載されたものは、青色成分反射ダイクロイック膜と赤色成分反射ダイクロイック膜を、ともにプリズム基材上に積層された低屈折率材料層と高屈折率材料層の交互層により形成し、プリズム基材、低屈折率材料および高屈折率材料の各屈折率の関係を所定の範囲のものとすることによりスクリーン画面上に投映される画像の色味や光強度が左右（あるいは上下）で異なるという問題を解決している。
【０００９】
【特許文献１】特願２００２−３３０４３１号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、この特許文献１に記載のものは上記問題解決にあたっては有用な手法であるが、その一方で、上記３者の屈折率の関係が２つの条件式によって厳格に規定されてしまうことから、膜構成材料を選択する自由度が狭まり、例えば膜構成材料としては一般的なSiO2 やMgF2を低屈折率材料として用いることができない場合も多い。
【００１１】
本発明は、このような事情に鑑みなされたものであり、斜め入射タイプの反射型液晶プロジェクタ装置の色分解光学系に用いられるクロスダイクロイックプリズムにおいて、膜構成材料の選択自由度を大幅に狭めることなく、赤、青の各ダイクロイック膜への光束入射の順番が異なることによる光量の変化を防止し、スクリーン画面上に投映される色味や光強度の左右または上下のバランスを良好とし得るクロスダイクロイックプリズムおよびこれを用いた反射型液晶プロジェクタ装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明のクロスダイクロイックプリズムは、光源からの光束を反射型液晶表示素子に対して斜めから入射せしめる反射型液晶プロジェクタ装置に搭載され、前記反射型液晶表示素子よりも前段において、緑色光を透過するとともに、青色光と赤色光を互いに異なる方向に反射する色光分離用のクロスダイクロイックプリズムにおいて、
前記青色光を反射せしめる青色成分反射ダイクロイック膜と前記赤色光を反射せしめる赤色成分反射ダイクロイック膜の双方が、プリズム基材上に低屈折率材料層および高屈折率材料層を交互に積層してなり、
前記青色成分反射ダイクロイック膜は、複数の反射帯を有するような光学特性の膜構成とされるとともに、最大の帯域幅を有する反射帯よりも短波長側の反射帯に、前記青色光の波長が含まれるような反射特性とされ、かつ前記赤色成分反射ダイクロイック膜は、下記条件式（１）を満足するように構成されていることを特徴とするものである。
1.105≦Nh／Nl≦1.450      （１）
但し、
Ｎｈは高屈折率材料の屈折率、
Ｎｌは低屈折率材料の屈折率
【００１３】
また、前記青色成分反射ダイクロイック膜は、前記低屈折率材料層の光学膜厚ｄｌに対する前記高屈折率材料層の光学膜厚ｄｈの比率ｄｈ／ｄｌが約２以上であることが好ましい。
【００１４】
また、前記青色成分反射ダイクロイック膜は、前記低屈折率材料層がSiO2により構成されていることが好ましい。
【００１５】
また、前記最大の帯域幅を有する反射帯よりも短波長側の反射帯を、該最大の帯域幅を有する反射帯に隣接する反射帯とすることが好ましい。
【００１６】
また、前記プリズム基材がBK7からなるガラス材であることが好ましい。
【００１７】
また、本発明の反射型液晶プロジェクタ装置は、上述したいずれかのクロスダイクロイックプリズムを備え、光源からの光束が、上述したいずれかのクロスダイクロイックプリズムの軸に対して斜めとなるような角度で、このクロスダイクロイックプリズムの入射面に入射するように構成されていることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１８】
本発明のクロスダイクロイックプリズムおよびこれを用いた反射型液晶プロジェクタ装置によれば、青色成分反射ダイクロイック膜を、複数の反射帯を有するような光学特性の膜構成とするとともに、最大の帯域幅を有する反射帯よりも短波長側の反射帯に、前記青色光の波長が含まれるような反射特性とすることにより、赤色成分反射ダイクロイック膜について、低屈折率材料層および高屈折率材料層の屈折率の比を規定する１つの条件式を満足するだけで、光源からの光束を反射型液晶表示素子に対して斜めから入射せしめる反射型液晶プロジェクタ装置においても、赤反射用、青反射用の各ダイクロイック膜への光束入射の順番が異なることにより生じる出射光量の変化を防止することができ、これによりスクリーン画面上に投映される画像の色味や光強度の左右バランスを良好とすることができる。
【００１９】
これにより、膜構成材料の選択自由度が大幅に向上し、例えば膜構成材料としては一般的なSiO2 やMgF2を低屈折率材料として用いることも容易となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態に係るクロスダイクロイックプリズムおよびこれを用いた反射型液晶プロジェクタ装置について、図面を参照しながら説明する。
図２は、本実施形態に係る反射型液晶プロジェクタ装置を示す概略構成図である。なお、本装置はカラープロジェクタ装置であり、赤、緑、青の各色光に対応する反射型液晶表示素子（LCOSと称される）を有しているが、図２では、説明の便宜のため緑色光用の反射型液晶表示素子のみを示し、以下の説明においても緑色チャンネルを中心として説明する。
【００２１】
図２において、無偏光白色光として光源１１から出力された照明光は、１対のレンズアレイ板からなるフライアイ１２により光軸Ｚに直交する断面内における光量均一化がなされ、偏光変換素子（櫛型フィルタ）１３によって全光束がＳ偏光に変換され、集光レンズ１４を介して色分解光学系としてのクロスダイクロイックプリズム１６に入射する。
【００２２】
クロスダイクロイックプリズム１６は、緑色光を透過するとともに、赤色光および青色光を互いに逆方向（側方）に反射することで３原色各色光に色分解する。色分解された緑色光はノイズ光カット用の偏光子１７およびレンズ１８を介して緑色用の反射型液晶表示素子１９に斜めから入射する。
この後緑色光は、緑色光用の画像が映出された反射型液晶表示素子１９により上記画像情報を担持した状態で出力され、レンズ１８を通過した後、色合成用のクロスダイクロイックプリズム２１に入射せしめられる。
【００２３】
一方、上記クロスダイクロイックプリズム１６において色分解された赤色光および青色光は夫々、上述した緑色チャンネルと略同様に構成された赤色チャンネル、および青色チャンネルにおいて赤色光用の画像および青色光用の画像を各々担持せしめられ、各々色合成用のクロスダイクロイックプリズム２１の側方から入射せしめられる。
これにより、色合成用のクロスダイクロイックプリズム２１において色合成された各色光は、投写レンズ２２により図示されないスクリーン上に投写され、このスクリーン上にカラー画像が映出される。
【００２４】
ここで、上記光源１１には、光の有効利用を図るためのリフレクタが設けられている。また、この光源１１としては、例えばメタルハライドランプ、高圧水銀ランプ、タングステンハロゲンランプ等が使用される。
【００２５】
ところで前述したように、斜入射タイプの反射型液晶プロジェクタ装置では、入射光を各色光に分解するクロスダイクロイックプリズム１６の入射面に対して光束が斜めから入射する。すなわち、図１（（Ａ）は側面図、（Ｂ）は上面図）に示すように、上方から見れば（（Ｂ）参照）、入射光がクロスダイクロイックプリズム１６の入射面に対して垂直に入射するように、かつ側方から見れば（（Ａ）参照）、入射光がクロスダイクロイックプリズム１６の入射面に対して斜めに入射するように構成されている。このクロスダイクロイックプリズム１６の軸を含む断面内における、プリズム入射面に対する光束の入射角は２０度〜４０度程度とされている。
【００２６】
このような光学系においては、図１８に示すような従来技術で用いられていたクロスダイクロイックプリズム１０３を、そのまま使用した場合、ダイクロイック膜への光入射の順番によって各色光の光量が変わってしまう。すなわち、図１９（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）の各々に示すような、入射光束の上半分と下半分とでは、得られる光量が異なってしまい、スクリーン画面上に投影される色味や光強度が左右で異なるという問題を生じる。
【００２７】
そこで、本実施形態においては、クロスダイクロイックプリズム１６内の、赤色成分反射ダイクロイック膜３１および青色成分反射ダイクロイック膜３２の層構成（層構成材料、層数等）を適切に規定することにより上記問題を解決している。
【００２８】
図３は、本発明の実施形態に係るクロスダイクロイックプリズムのダイクロイック膜３１、３２の層構成を模式的に示すものである。
すなわち、ダイクロイック膜３１、３２は、プリズム基材（ガラス基板）４０上に積層された低屈折率材料層４４ａと高屈折率材料層４４ｂとの交互層からなる。各層を積層する際には、真空蒸着法、スパッタリング法あるいはイオンプレーティング法等が用いられる。
【００２９】
ダイクロイック膜３１、３２の最下層および最上層はいずれも低屈折率材料層４４ａであり、例えば青色成分反射ダイクロイック膜３２は１１層乃至１９層の奇数層で構成されており、一方、赤色成分反射ダイクロイック膜３１は、例えば２３層乃至３７層の奇数層で構成されている。
そして、本実施形態のダイクロイック膜３１、３２において、両層４４ａ、４４ｂを構成する材料は互いに同一であってもよいし互いに相違していてもよい。
【００３０】
ただし、赤色成分反射ダイクロイック膜３１において、低屈折率材料層４４ａを構成する材料の屈折率Ｎｌと高屈折率材料層４４ｂを構成する材料の屈折率Ｎｈの比は下記条件式（１）を満足する必要がある。
1.105≦Nh／Nl≦1.450      （１）
【００３１】
このように、本実施形態においては、赤色成分反射ダイクロイック膜３１について、低屈折率材料層４４ａを構成する材料の屈折率Ｎｌと高屈折率材料層４４ｂを構成する材料の屈折率Ｎｈの関係を所定の範囲とすることのみが要求され、これらの屈折率Ｎｌ、Ｎｈとプリズム基材の屈折率とが所定の条件を満足することは要求されていない。また、青色成分反射ダイクロイック膜３２については、これらの屈折率の関係に拘束されるものではない。したがって、この点において前述した特願２００２−３３０４３１号明細書に開示された技術に比べて、各材料層４４ａ、４４ｂの材料選択の自由度を大幅に向上することができているといえる。
【００３２】
このように、上記各材料層４４ａ、４４ｂの材料の選択の自由度を大幅に向上することができたのは、青色成分反射ダイクロイック膜３２を、複数の反射帯を有するような光学特性の膜構成とするとともに、最大帯域幅を有する反射帯よりも短波長側の反射帯に、青色光の波長が含まれるような反射特性とすること、すなわち、青色成分反射ダイクロイック膜３２の反射帯として高次の反射帯を用いたことによる。
【００３３】
すなわち、赤色成分反射ダイクロイック膜３１においては、低屈折率材料層４４ａと高屈折率材料層４４ｂの膜厚の比率を調整しても、実質的に使用し得る反射帯は１つしか現れないが、青色成分反射ダイクロイック膜３２においては、高屈折率材料層４４ｂの膜厚を低屈折率材料層４４ａの膜厚に対して大きな値に設定すると、図１５に示すように、通常使用している最大の帯域幅を有する反射帯（ここでは１次反射帯と称する：中心波長λＭ）よりも短波長側に高次の反射帯が現れるようになる。この高次の反射帯は、上記１次反射帯の中心波長λＭの整数分の１の波長付近に生じるもの（ここでは、λＭ／２の波長付近の反射帯を２次反射帯、λＭ／３の波長付近の反射帯を３次反射帯、・・・と称する）であり、短波長側の反射帯（より高次の反射帯）程、帯域幅が狭くなるように現れる。このような高次の反射帯の発生は、厳密な理論は解明されていないが、低屈折率材料層４４ａと高屈折率材料層４４ｂの膜厚が互いに異なった厚みに設定されると、それに応じて各材料層４４ａ、４４ｂの境界面における反射光同士の位相差が変化し、干渉により光強度を強めあう反射光波長の組合せが変化することによるものと考えられている。
【００３４】
なお、上記高次の反射帯は、低屈折率材料層４４ａの光学膜厚ｄｌに対する高屈折率材料層４４ｂの光学膜厚ｄｈの比率ｄｈ／ｄｌが約２以上としたときに良好に現れる。
例えば、図１５に示すように、Ｎｈ／Ｎｌの値が２程度となると、通常の反射帯（１次反射帯）の他に、２次および４次の高次の反射帯が現れ、Ｎｈ／Ｎｌの値が３程度となると、通常の反射帯（１次反射帯）の他に、２次および３次の高次の反射帯が現れる。
【００３５】
図１６（Ａ）は、青色光の反射が２次反射帯によりなされるように設計された青色成分反射ダイクロイック膜３２の透過率特性を示すものである（Ｐ偏光に対する透過率ＴＰおよびＳ偏光に対する透過率ＴＳの両者を示す：本実施形態においては透過率ＴＳが使用される）。また、その比較として、図１６（Ｂ）に、青色光の反射が通常の反射帯（１次反射帯）によりなされるようにした従来の青色成分反射ダイクロイック膜の透過率特性を示す。
【００３６】
本実施形態においては、この高次の反射帯を青色成分反射ダイクロイック膜３２の反射帯として利用することにより、赤色成分反射ダイクロイック膜３１について、低屈折率材料層４４ａおよび高屈折率材料層４４ｂの屈折率の比を規定する１つの条件式を満足するだけで、光源からの光束を反射型液晶表示素子に対して斜めから入射せしめる反射型液晶プロジェクタ装置においても、赤反射用、青反射用の各ダイクロイック膜３１、３２への光束入射の順番が異なることにより生じる出射光量の変化を防止することができ、これによりスクリーン画面上に投映される画像の色味や光強度の左右バランスを良好とすることを可能としている。
【００３７】
また、本実施形態においては、青色成分反射ダイクロイック膜３２の膜設計に際し、いわゆるショートパスフィルタ（ＳＰＦ）の設計手法を用いている。
【００３８】
次に、赤色成分反射ダイクロイック膜３１の各層４４ａ、４４ｂの構成材料とされる、上記条件式（１）を満足する具体的な物質の組合せの範囲を、下記表１に示す。
【００３９】
【表１】
2005234183.tif 000003
【００４０】
表１中において、一重線で囲まれる組合せの範囲が条件式（１）を満足する範囲である。この表１では、上段横方向に高屈折率材料として選択するための材料名およびその屈折率（使用波長632.8nm）が配列されており、一方、左列縦方向に低屈折率材料として選択するための材料名およびその屈折率（使用波長632.8nm）が配列されている。そして、例えば、Ｎｂ２Ｏ５の縦列とＡｌ２Ｏ３の横行の交差した領域内に記載されている1.443という値が上記Ｎｈ／Ｎｌの値を示すものであり、この領域が一重線で囲まれる組合せの範囲に含まれているので、高屈折率材料としてＮｂ２Ｏ５を選択し、低屈折率材料としてＡｌ２Ｏ３を選択した場合には、条件式（１）を満足することを示している。
【００４１】
具体的には、高屈折率材料としてNb2O5またはTiO2を選択した場合は、低屈折率材料として、Ｈ４（LaTiO3）、HfO2、ZrO2、Ｍ３（La2XAl2YO3(X+Y)）、Y2O3、Ｍ１（PrAlO3）、Al2O3のうちのいずれかを選択する。
【００４２】
また、高屈折率材料としてTa2O5を選択した場合は、低屈折率材料として、HfO2、ZrO2、Ｍ３（La2XAl2YO3(X+Y)）、Y2O3、Ｍ１（PrAlO3）、Al2O3のうちのいずれかを選択する。
【００４３】
また、高屈折率材料としてＨ４（LaTiO3）を選択した場合は、低屈折率材料としてＭ３（La2XAl2YO3(X+Y)）、Y2O3、Ｍ１（PrAlO3）、Al2O3、SiO2のうちのいずれかを選択する。
【００４４】
また、高屈折率材料としてHfO2またはZrO2を選択した場合は、低屈折率材料としてY2O3、Ｍ１（PrAlO3）、Al2O3、SiO2、MgF2のうちのいずれかを選択する。
【００４５】
また、高屈折率材料としてＭ３（La2XAl2YO3(X+Y)）を選択した場合は、低屈折率材料としてAl2O3、SiO2、MgF2のうちのいずれかを選択する。
【００４６】
さらに、高屈折率材料として、Y2O3、Ｍ１（PrAlO3）、Al2O3を選択した場合は、低屈折率材料としてSiO2、MgF2のうちのいずれかを選択する。
【００４７】
なお、上記LaTiO3、PrAlO3およびLa2XAl2YO3(X+Y)は、各々例えば、商品名サブスタンスH4パーチナル、サブスタンスM1パーチナル、サブスタンスM3パーチナル（パーチナルはメルク社の登録商標）として周知のものである。
【００４８】
また、ダイクロイック膜３１、３２を積層するプリズム基材（ガラス基板）４０としては、光学特性が良好で膜の積層性に優れ、コスト的にも安価であることからBK7（屈折率1.5146）を用いている。
【００４９】
上述したように構成された、本実施形態のクロスダイクロイックプリズムによれば、赤反射用、青反射用の各ダイクロイック膜３１、３２への光束入射の順番が異なることにより生じる出射光量の変化を防止することができ、これによりスクリーン画面上に投影される色味や光強度の左右バランスを良好とすることができる。
【００５０】
また、上述した〈1〉ダイクロイック膜３１、３２の最下層および最上層をいずれも低屈折率材料層４４ａとすること、〈2〉青色成分反射ダイクロイック膜３２を１１層乃至１９層の奇数層で構成すること、〈3〉赤色成分反射ダイクロイック膜３１を２３層乃至３７層の奇数層で構成することは、いずれも上述した作用効果をより促進し得るものである。
【００５１】
なお、本発明のクロスダイクロイックプリズムおよびこれを用いた反射型液晶プロジェクタ装置としては、上述した実施形態のものに限られるものではなく、その他の種々の態様の変更が可能である。例えば、ダイクロイック膜３１、３２を構成する各層形成材料としては上記実施形態のものに限られず、その他の種々の材料の組合せが可能である。
【００５２】
例えば、高屈折率材料としては、OH-5（オプトロン社製；TiO2＋ZrO2）、サブスタンスH1パーチナル（メルク社製（パーチナルは登録商標）；TiO2＋ZrO2）、サブスタンスH5パーチナル（メルク社製（パーチナルは登録商標）；LaTixOy）等を用いることも可能である。一方、低屈折率材料としては、OM-4（オプトロン社製；Al2O3＋ZrO2）、OM-6（オプトロン社製；Al2O3＋ZrO2）等を用いることも可能である。
【００５３】
また、ダイクロイック膜３１、３２の最下層および／または最上層を高屈折率材料とすることも可能であり、層数を偶数とすることも可能である。
【００５４】
さらに、クロスダイクロイックプリズムの基材としても、勿論BK7に限られるものではなく、光学特性が良好で膜の積層性に優れた種々の基材を使用可能である。
【００５５】
以下、本発明を具体的な実施例を用いてさらに詳細に説明する。なお、図１７は、以下の実施例および比較例に係るクロスダイクロイックプリズムの波長特性を測定する際の条件を説明するための概略図（（Ａ）は側面図、（Ｂ）は上面図）である。
【００５６】
＜実施例１＞
実施例１に係るクロスダイクロイックプリズムのダイクロイック膜は、プリズム基材としてBK7を用い、このプリズム基材上に真空蒸着法により、青色成分反射ダイクロイック膜３２については、SiO2からなる低屈折率材料層４４ａ（屈折率Ｎｌ：1.470）と、Ta2O5からなる高屈折率材料層４４ｂ（屈折率Ｎｈ：2.213）との交互層を積層し、赤色成分反射ダイクロイック膜３１については、Al2O3からなる低屈折率材料層４４ａ（屈折率Ｎｌ：1.646）と、Ta2O5からなる高屈折率材料層４４ｂ（屈折率Ｎｈ：2.213）との交互層を積層した。
【００５７】
ダイクロイック膜３１、３２の最下層（第１層）および最上層は、青色成分反射ダイクロイック膜３２についてはSiO2からなる低屈折率材料層４４ａであり、赤色成分反射ダイクロイック膜３１についてはAl2O3からなる低屈折率材料層４４ａであり、青色成分反射ダイクロイック膜３２は１３層とし、赤色成分反射ダイクロイック膜３１は２３層とした。
各ダイクロイック膜３１、３２の各層の構成材料および物理的膜厚を下記表２に示す。
【００５８】
【表２】
2005234183.tif 000004
【００５９】
また、実施例１に係るクロスダイクロイックプリズムを用い、図１７（（Ａ）は側面図、（Ｂ）は上面図）に示すような入射条件（入射光の波長は632.8nm）で色分解を行ったときの波長特性を、各色光毎に測定した。なお、本実施例の赤色成分反射ダイクロイック膜３１における屈折率比Ｎｈ／Ｎｌの値は1.344であり、条件式（１）を満足している。また、青色成分反射ダイクロイック膜３２における膜厚比ｄｈ／ｄｌ（高屈折率材料層４４ｂの光学膜厚をｄｈ、低屈折率材料層４４ａの光学膜厚をｄｌとする：以下の実施例および比較例において同じ）は2.432とされている。
【００６０】
測定結果を図４に示す（（Ａ）は緑色成分、（Ｂ）は青色成分、（Ｃ）は赤色成分について示すものである。図５〜１４に同じ）。図４から明らかなように、最初に青色成分反射ダイクロイック膜に入射し、次に赤色成分反射ダイクロイック膜に入射した場合（Ｂ−Ｒ曲線（点線））と、最初に赤色成分反射ダイクロイック膜に入射し、次に青色成分反射ダイクロイック膜に入射した場合（Ｒ−Ｂ曲線（実線））とが略一致した。
【００６１】
＜実施例２＞
実施例２に係るクロスダイクロイックプリズムのダイクロイック膜は、プリズム基材としてBK7を用い、このプリズム基材上に真空蒸着法により、青色成分反射ダイクロイック膜３２については、SiO2からなる低屈折率材料層４４ａ（屈折率Ｎｌ：1.470）と、TiO2からなる高屈折率材料層４４ｂ（屈折率Ｎｈ：2.350）との交互層を積層し、赤色成分反射ダイクロイック膜３１については、Al2O3からなる低屈折率材料層４４ａ（屈折率Ｎｌ：1.646）と、Ta2O5からなる高屈折率材料層４４ｂ（屈折率Ｎｈ：2.213）との交互層を積層した。
【００６２】
ダイクロイック膜３１、３２の最下層（第１層）および最上層は、青色成分反射ダイクロイック膜３２についてはSiO2からなる低屈折率材料層４４ａであり、赤色成分反射ダイクロイック膜３１についてはAl2O3からなる低屈折率材料層４４ａであり、青色成分反射ダイクロイック膜３２は１１層とし、赤色成分反射ダイクロイック膜３１は２３層とした。
各ダイクロイック膜３１、３２の各層の構成材料および物理的膜厚を下記表３に示す。
【００６３】
【表３】
2005234183.tif 000005
【００６４】
また、実施例２に係るクロスダイクロイックプリズムを用い、図１７（（Ａ）は側面図、（Ｂ）は上面図）に示すような入射条件（入射光の波長は632.8nm）で色分解を行ったときの波長特性を、各色光毎に測定した。なお、本実施例の赤色成分反射ダイクロイック膜３１における屈折率比Ｎｈ／Ｎｌの値は1.344であり、条件式（１）を満足している。また、青色成分反射ダイクロイック膜３２における膜厚比ｄｈ／ｄｌは2.641とされている。
【００６５】
測定結果を図５に示す。図５から明らかなように、最初に青色成分反射ダイクロイック膜に入射し、次に赤色成分反射ダイクロイック膜に入射した場合（Ｂ−Ｒ曲線（点線））と、最初に赤色成分反射ダイクロイック膜に入射し、次に青色成分反射ダイクロイック膜に入射した場合（Ｒ−Ｂ曲線（実線））とで略一致した。
【００６６】
＜実施例３＞
実施例３に係るクロスダイクロイックプリズムのダイクロイック膜は、プリズム基材としてBK7を用い、このプリズム基材上に真空蒸着法により、青色成分反射ダイクロイック膜３２については、SiO2からなる低屈折率材料層４４ａ（屈折率Ｎｌ：1.470）と、LaTiO3からなる高屈折率材料層４４ｂ（屈折率Ｎｈ：2.081）との交互層を積層し、赤色成分反射ダイクロイック膜３１については、Al2O3からなる低屈折率材料層４４ａ（屈折率Ｎｌ：1.646）と、LaTiO3からなる高屈折率材料層４４ｂ（屈折率Ｎｈ：2.081）との交互層を積層した。
【００６７】
ダイクロイック膜３１、３２の最下層（第１層）および最上層は、青色成分反射ダイクロイック膜３２についてはSiO2からなる低屈折率材料層４４ａであり、赤色成分反射ダイクロイック膜３１についてはAl2O3からなる低屈折率材料層４４ａであり、青色成分反射ダイクロイック膜３２は１５層とし、赤色成分反射ダイクロイック膜３１は２５層とした。
各ダイクロイック膜３１、３２の各層の構成材料および物理的膜厚を下記表４に示す。
【００６８】
【表４】
2005234183.tif 000006
【００６９】
また、実施例３に係るクロスダイクロイックプリズムを用い、図１７（（Ａ）は側面図、（Ｂ）は上面図）に示すような入射条件（入射光の波長は632.8nm）で色分解を行ったときの波長特性を、各色光毎に測定した。なお、本実施例の赤色成分反射ダイクロイック膜３１における屈折率比Ｎｈ／Ｎｌの値は1.264であり、条件式（１）を満足している。また、青色成分反射ダイクロイック膜３２における膜厚比ｄｈ／ｄｌは2.287とされている。
【００７０】
測定結果を図６に示す。図６から明らかなように、最初に青色成分反射ダイクロイック膜に入射し、次に赤色成分反射ダイクロイック膜に入射した場合（Ｂ−Ｒ曲線（点線））と、最初に赤色成分反射ダイクロイック膜に入射し、次に青色成分反射ダイクロイック膜に入射した場合（Ｒ−Ｂ曲線（実線））とで略一致した。
【００７１】
＜実施例４＞
実施例４に係るクロスダイクロイックプリズムのダイクロイック膜は、プリズム基材としてBK7を用い、このプリズム基材上に真空蒸着法により、青色成分反射ダイクロイック膜３２については、SiO2からなる低屈折率材料層４４ａ（屈折率Ｎｌ：1.470）と、LaTiO3からなる高屈折率材料層４４ｂ（屈折率Ｎｈ：2.081）との交互層を積層し、赤色成分反射ダイクロイック膜３１については、PrAlO3からなる低屈折率材料層４４ａ（屈折率Ｎｌ：1.715）と、LaTiO3からなる高屈折率材料層４４ｂ（屈折率Ｎｈ：2.081）との交互層を積層した。
【００７２】
ダイクロイック膜３１、３２の最下層（第１層）および最上層は、青色成分反射ダイクロイック膜３２についてはSiO2からなる低屈折率材料層４４ａであり、赤色成分反射ダイクロイック膜３１についてはPrAlO3からなる低屈折率材料層４４ａであり、青色成分反射ダイクロイック膜３２は１５層とし、赤色成分反射ダイクロイック膜３１は２９層とした。
各ダイクロイック膜３１、３２の各層の構成材料および物理的膜厚を下記表５に示す。
【００７３】
【表５】
2005234183.tif 000007
【００７４】
また、実施例４に係るクロスダイクロイックプリズムを用い、図１７（（Ａ）は側面図、（Ｂ）は上面図）に示すような入射条件（入射光の波長は632.8nm）で色分解を行ったときの波長特性を、各色光毎に測定した。なお、本実施例の赤色成分反射ダイクロイック膜３１における屈折率比Ｎｈ／Ｎｌの値は1.214であり、条件式（１）を満足している。また、青色成分反射ダイクロイック膜３２における膜厚比ｄｈ／ｄｌは2.287とされている。
【００７５】
測定結果を図７に示す。図７から明らかなように、最初に青色成分反射ダイクロイック膜に入射し、次に赤色成分反射ダイクロイック膜に入射した場合（Ｂ−Ｒ曲線（点線））と、最初に赤色成分反射ダイクロイック膜に入射し、次に青色成分反射ダイクロイック膜に入射した場合（Ｒ−Ｂ曲線（実線））とで略一致した。
【００７６】
＜実施例５＞
実施例５に係るクロスダイクロイックプリズムのダイクロイック膜は、プリズム基材としてBK7を用い、このプリズム基材上に真空蒸着法により、青色成分反射ダイクロイック膜３２については、SiO2からなる低屈折率材料層４４ａ（屈折率Ｎｌ：1.470）と、TiO2からなる高屈折率材料層４４ｂ（屈折率2.350）との交互層を積層し、赤色成分反射ダイクロイック膜３１については、PrAlO3からなる低屈折率材料層４４ａ（屈折率Ｎｌ：1.715）と、TiO2からなる高屈折率材料層４４ｂ（屈折率2.350）からなる高屈折率材料層４４ｂとの交互層を積層した。
【００７７】
ダイクロイック膜３１、３２の最下層（第１層）および最上層は、青色成分反射ダイクロイック膜３２についてはSiO2からなる低屈折率材料層４４ａであり、赤色成分反射ダイクロイック膜３１についてはPrAlO3からなる低屈折率材料層４４ａであり、青色成分反射ダイクロイック膜３２は１１層とし、赤色成分反射ダイクロイック膜３１は２７層とした。
各ダイクロイック膜３１、３２の各層の構成材料および物理的膜厚を下記表６に示す。
【００７８】
【表６】
2005234183.tif 000008
【００７９】
また、実施例５に係るクロスダイクロイックプリズムを用い、図１７（（Ａ）は側面図、（Ｂ）は上面図）に示すような入射条件（入射光の波長は632.8nm）で色分解を行ったときの波長特性を、各色光毎に測定した。なお、本実施例の赤色成分反射ダイクロイック膜３１における屈折率比Ｎｈ／Ｎｌの値は1.371であり、条件式（１）を満足している。また、青色成分反射ダイクロイック膜３２における膜厚比ｄｈ／ｄｌは2.641とされている。
【００８０】
測定結果を図８に示す。図８から明らかなように、最初に青色成分反射ダイクロイック膜に入射し、次に赤色成分反射ダイクロイック膜に入射した場合（Ｂ−Ｒ曲線（点線））と、最初に赤色成分反射ダイクロイック膜に入射し、次に青色成分反射ダイクロイック膜に入射した場合（Ｒ−Ｂ曲線（実線））とで略一致した。
【００８１】
＜実施例６＞
実施例６に係るクロスダイクロイックプリズムのダイクロイック膜は、プリズム基材としてBK7を用い、このプリズム基材上に真空蒸着法により、青色成分反射ダイクロイック膜３２については、Al2O3からなる低屈折率材料層４４ａ（屈折率Ｎｌ：1.646）と、Ta2O5（屈折率Ｎｈ：2.213）からなる高屈折率材料層４４ｂとの交互層を積層し、赤色成分反射ダイクロイック膜３１についても、Al2O3からなる低屈折率材料層４４ａ（屈折率Ｎｌ：1.646）と、Ta2O5からなる高屈折率材料層４４ｂ（屈折率Ｎｈ：2.213）との交互層を積層した。
【００８２】
各ダイクロイック膜３１、３２の最下層（第１層）および最上層は、いずれもAl2O3からなる低屈折率材料層４４ａであり、青色成分反射ダイクロイック膜３２は１９層とし、赤色成分反射ダイクロイック膜３１は２３層とした。
各ダイクロイック膜３１、３２の各層の構成材料および物理的膜厚を下記表７に示す。
【００８３】
【表７】
2005234183.tif 000009
【００８４】
また、実施例６に係るクロスダイクロイックプリズムを用い、図１７（（Ａ）は側面図、（Ｂ）は上面図）に示すような入射条件（入射光の波長は632.8nm）で色分解を行ったときの波長特性を、各色光毎に測定した。なお、本実施例の赤色成分反射ダイクロイック膜３１における屈折率比Ｎｈ／Ｎｌの値は1.344であり、条件式（１）を満足している。また、青色成分反射ダイクロイック膜３２における膜厚比ｄｈ／ｄｌは3.289とされている。
【００８５】
測定結果を図９に示す。図９から明らかなように、最初に青色成分反射ダイクロイック膜に入射し、次に赤色成分反射ダイクロイック膜に入射した場合（Ｂ−Ｒ曲線（点線））と、最初に赤色成分反射ダイクロイック膜に入射し、次に青色成分反射ダイクロイック膜に入射した場合（Ｒ−Ｂ曲線（実線））とが略一致した。
【００８６】
＜実施例７＞
実施例７に係るクロスダイクロイックプリズムのダイクロイック膜は、プリズム基材としてBK7を用い、このプリズム基材上に真空蒸着法により、青色成分反射ダイクロイック膜３２については、SiO2からなる低屈折率材料層４４ａ（屈折率Ｎｌ：1.470）と、Ta2O5からなる高屈折率材料層４４ｂ（屈折率Ｎｈ：2.213）との交互層を積層し、赤色成分反射ダイクロイック膜３１については、SiO2からなる低屈折率材料層４４ａ（屈折率Ｎｌ：1.470）と、Al2O3からなる高屈折率材料層４４ｂ（屈折率Ｎｈ：1.646）との交互層を積層した。
【００８７】
各ダイクロイック膜３１、３２の最下層（第１層）および最上層は、いずれもSiO2からなる低屈折率材料層４４ａであり、青色成分反射ダイクロイック膜３２は１３層とし、赤色成分反射ダイクロイック膜３１は３７層とした。
各ダイクロイック膜３１、３２の各層の構成材料および物理的膜厚を下記表８に示す。
【００８８】
【表８】
2005234183.tif 000010
【００８９】
また、実施例７に係るクロスダイクロイックプリズムを用い、図１７（（Ａ）は側面図、（Ｂ）は上面図）に示すような入射条件（入射光の波長は632.8nm）で色分解を行ったときの波長特性を、各色光毎に測定した。なお、本実施例の赤色成分反射ダイクロイック膜３１における屈折率比Ｎｈ／Ｎｌの値は1.120であり、条件式（１）を満足している。また、青色成分反射ダイクロイック膜３２における膜厚比ｄｈ／ｄｌは2.432とされている。
【００９０】
測定結果を図１０に示す。図１０から明らかなように、最初に青色成分反射ダイクロイック膜に入射し、次に赤色成分反射ダイクロイック膜に入射した場合（Ｂ−Ｒ曲線（点線））と、最初に赤色成分反射ダイクロイック膜に入射し、次に青色成分反射ダイクロイック膜に入射した場合（Ｒ−Ｂ曲線（実線））とが略一致した。
【００９１】
＜実施例８＞
実施例８に係るクロスダイクロイックプリズムのダイクロイック膜は、プリズム基材としてBK7を用い、このプリズム基材上に真空蒸着法により、青色成分反射ダイクロイック膜３２については、SiO2からなる低屈折率材料層４４ａ（屈折率Ｎｌ：1.470）と、Ta2O5からなる高屈折率材料層４４ｂ（屈折率Ｎｈ：2.213）との交互層を積層し、SiO2からなる低屈折率材料層４４ａ（屈折率Ｎｌ：1.470）と、LaTiO3からなる高屈折率材料層４４ｂ（屈折率Ｎｈ：2.081）との交互層を積層した。
【００９２】
各ダイクロイック膜の最下層（第１層）および最上層は、いずれもSiO2からなる低屈折率材料層４４ａであり、青色成分反射ダイクロイック膜３２は１３層とし、赤色成分反射ダイクロイック膜３１は２１層とした。
各ダイクロイック膜３１、３２の各層の構成材料および物理的膜厚を下記表９に示す。
【００９３】
【表９】
2005234183.tif 000011
【００９４】
また、実施例８に係るクロスダイクロイックプリズムを用い、図１７（（Ａ）は側面図、（Ｂ）は上面図）に示すような入射条件（入射光の波長は632.8nm）で色分解を行ったときの波長特性を、各色光毎に測定した。なお、本実施例の赤色成分反射ダイクロイック膜３１における屈折率比Ｎｈ／Ｎｌの値は1.416であり、条件式（１）を満足している。また、青色成分反射ダイクロイック膜３２における膜厚比ｄｈ／ｄｌは2.432とされている。
【００９５】
測定結果を図１１に示す。図１１から明らかなように、最初に青色成分反射ダイクロイック膜に入射し、次に赤色成分反射ダイクロイック膜に入射した場合（Ｂ−Ｒ曲線（点線））と、最初に赤色成分反射ダイクロイック膜に入射し、次に青色成分反射ダイクロイック膜に入射した場合（Ｒ−Ｂ曲線（実線））とが略一致した。
【００９６】
＜実施例９＞
実施例９に係るクロスダイクロイックプリズムのダイクロイック膜は、プリズム基材としてBK7を用い、このプリズム基材上に真空蒸着法により、青色成分反射ダイクロイック膜３２については、SiO2からなる低屈折率材料層４４ａ（屈折率Ｎｌ：1.470）と、Ta2O5からなる高屈折率材料層４４ｂ（屈折率Ｎｈ：2.213）との交互層を積層し、SiO2からなる低屈折率材料層４４ａ（屈折率Ｎｌ：1.470）と、La2XAl2YO3(X+Y)からなる高屈折率材料層４４ｂ（屈折率Ｎｈ：1.820）との交互層を積層した。
【００９７】
各ダイクロイック膜３１、３２の最下層（第１層）および最上層は、いずれもSiO2からなる低屈折率材料層４４ａであり、青色成分反射ダイクロイック膜３２は１３層とし、赤色成分反射ダイクロイック膜３１は２３層とした。
各ダイクロイック膜３１、３２の各層の構成材料および物理的膜厚を下記表１０に示す。
【００９８】
【表１０】
2005234183.tif 000012
【００９９】
また、実施例９に係るクロスダイクロイックプリズムを用い、図１７（（Ａ）は側面図、（Ｂ）は上面図）に示すような入射条件（入射光の波長は632.8nm）で色分解を行ったときの波長特性を、各色光毎に測定した。なお、本実施例の赤色成分反射ダイクロイック膜３１における屈折率比Ｎｈ／Ｎｌの値は1.238であり、条件式（１）を満足している。また、青色成分反射ダイクロイック膜３２における膜厚比ｄｈ／ｄｌは2.432とされている。
【０１００】
測定結果を図１２に示す。図１２から明らかなように、最初に青色成分反射ダイクロイック膜に入射し、次に赤色成分反射ダイクロイック膜に入射した場合（Ｂ−Ｒ曲線（点線））と、最初に赤色成分反射ダイクロイック膜に入射し、次に青色成分反射ダイクロイック膜に入射した場合（Ｒ−Ｂ曲線（実線））とが略一致した。
【０１０１】
＜比較例１＞
比較例１に係るクロスダイクロイックプリズムのダイクロイック膜は、プリズム基材としてBK7を用い、このプリズム基材上に真空蒸着法により、青色成分反射ダイクロイック膜については、SiO2からなる低屈折率材料層（屈折率Ｎｌ：1.470）と、Ta2O5からなる高屈折率材料層４４ｂ（屈折率Ｎｈ：2.213）との交互層を積層し、赤色成分反射ダイクロイック膜についても、SiO2からなる低屈折率材料層（屈折率Ｎｌ：1.470）と、Ta2O5からなる高屈折率材料層４４ｂ（屈折率Ｎｈ：2.213）との交互層を積層した。
【０１０２】
各ダイクロイック膜の最下層（第１層）および最上層はいずれもSiO2からなる低屈折率材料層であり、青色成分反射ダイクロイック膜は２３層とし、赤色成分反射ダイクロイック膜は１９層とした。
各ダイクロイック膜の各層の構成材料および物理的膜厚を下記表１１に示す。
【０１０３】
【表１１】
2005234183.tif 000013
【０１０４】
また、比較例１に係るクロスダイクロイックプリズムを用い、図１７（（Ａ）は側面図、（Ｂ）は上面図）に示すような入射条件（入射光の波長は632.8nm）で色分解を行ったときの波長特性を、各色光毎に測定した。なお、本比較例の赤色成分反射ダイクロイック膜における屈折率比Ｎｈ／Ｎｌの値は1.506であり、条件式（１）を満足していない。また、青色成分反射ダイクロイック膜における膜厚比ｄｈ／ｄｌは1.961とされている。
【０１０５】
測定結果を図１３に示す。図１３から明らかなように、最初に青色成分反射ダイクロイック膜に入射し、次に赤色成分反射ダイクロイック膜に入射した場合（Ｂ−Ｒ曲線（点線））と、最初に赤色成分反射ダイクロイック膜に入射し、次に青色成分反射ダイクロイック膜に入射した場合（Ｒ−Ｂ曲線（実線））とで大きなずれが測定された。
【０１０６】
＜比較例２＞
比較例２に係るクロスダイクロイックプリズムのダイクロイック膜は、プリズム基材としてBK7を用い、このプリズム基材上に真空蒸着法により、青色成分反射ダイクロイック膜については、SiO2からなる低屈折率材料層（屈折率Ｎｌ：1.470）と、Ta2O5からなる高屈折率材料層４４ｂ（屈折率Ｎｈ：2.213）との交互層を積層し、赤色成分反射ダイクロイック膜についても、SiO2からなる低屈折率材料層（屈折率Ｎｌ：1.470）と、Ta2O5からなる高屈折率材料層４４ｂ（屈折率Ｎｈ：2.213）との交互層を積層した。
【０１０７】
各ダイクロイック膜の最下層（第１層）および最上層はいずれもSiO2からなる低屈折率材料層であり、青色成分反射ダイクロイック膜は１３層とし、赤色成分反射ダイクロイック膜は１９層とした。
各ダイクロイック膜の各層の構成材料および物理的膜厚を下記表１２に示す。
【０１０８】
【表１２】
2005234183.tif 000014
【０１０９】
また、比較例２に係るクロスダイクロイックプリズムを用い、図１７（（Ａ）は側面図、（Ｂ）は上面図）に示すような入射条件（入射光の波長は632.8nm）で色分解を行ったときの波長特性を、各色光毎に測定した。なお、本比較例の赤色成分反射ダイクロイック膜３１における屈折率比Ｎｈ／Ｎｌの値は1.506であり、条件式（１）を満足していない。また、青色成分反射ダイクロイック膜３２における膜厚比ｄｈ／ｄｌは2.432とされている。
【０１１０】
測定結果を図１４に示す。図１４から明らかなように、最初に青色成分反射ダイクロイック膜に入射し、次に赤色成分反射ダイクロイック膜に入射した場合（Ｂ−Ｒ曲線（点線））と、最初に赤色成分反射ダイクロイック膜に入射し、次に青色成分反射ダイクロイック膜に入射した場合（Ｒ−Ｂ曲線（実線））とで大きなずれが測定された。
【０１１１】
なお、下記表１３に上記各実施例および各比較例の結果を整理して示す。ここで、下記表１３において、赤色成分反射ダイクロイック膜の屈折率比Ｎｈ／Ｎｌは波長632.82nmについての屈折率比であり、青色成分反射ダイクロイック膜の膜厚比ｄｈ／ｄｌはｄ線における屈折率ｎｄを用いた光学膜厚比である。
【０１１２】
【表１３】
2005234183.tif 000015
【図面の簡単な説明】
【０１１３】
【図１】本発明の実施形態に係るクロスダイクロイックプリズムと、これに入射する光束の関係を模式的に説明する概略図（（Ａ）は側面図、（Ｂ）は上面図）
【図２】本発明の実施形態に係る反射型液晶プロジェクタ装置の構成を示す概略図
【図３】本発明の実施形態に係るクロスダイクロイックプリズムのダイクロイック膜の層構成を示す概略図
【図４】本発明の実施例１に係るクロスダイクロイックプリズムを用いて色分解を行ったときの、各色光毎に測定した波長特性を示すグラフ（（Ａ）は緑色成分、（Ｂ）は青色成分、（Ｃ）は赤色成分について示すものである。）
【図５】本発明の実施例２に係るクロスダイクロイックプリズムを用いて色分解を行ったときの、各色光毎に測定した波長特性を示すグラフ（（Ａ）は緑色成分、（Ｂ）は青色成分、（Ｃ）は赤色成分について示すものである。）
【図６】本発明の実施例３に係るクロスダイクロイックプリズムを用いて色分解を行ったときの、各色光毎に測定した波長特性を示すグラフ（（Ａ）は緑色成分、（Ｂ）は青色成分、（Ｃ）は赤色成分について示すものである。）
【図７】本発明の実施例４に係るクロスダイクロイックプリズムを用いて色分解を行ったときの、各色光毎に測定した波長特性を示すグラフ（（Ａ）は緑色成分、（Ｂ）は青色成分、（Ｃ）は赤色成分について示すものである。）
【図８】本発明の実施例５に係るクロスダイクロイックプリズムを用いて色分解を行ったときの、各色光毎に測定した波長特性を示すグラフ（（Ａ）は緑色成分、（Ｂ）は青色成分、（Ｃ）は赤色成分について示すものである。）
【図９】本発明の実施例６に係るクロスダイクロイックプリズムを用いて色分解を行ったときの、各色光毎に測定した波長特性を示すグラフ（（Ａ）は緑色成分、（Ｂ）は青色成分、（Ｃ）は赤色成分について示すものである。）
【図１０】本発明の実施例７に係るクロスダイクロイックプリズムを用いて色分解を行ったときの、各色光毎に測定した波長特性を示すグラフ（（Ａ）は緑色成分、（Ｂ）は青色成分、（Ｃ）は赤色成分について示すものである。）
【図１１】本発明の実施例８に係るクロスダイクロイックプリズムを用いて色分解を行ったときの、各色光毎に測定した波長特性を示すグラフ（（Ａ）は緑色成分、（Ｂ）は青色成分、（Ｃ）は赤色成分について示すものである。）
【図１２】本発明の実施例９に係るクロスダイクロイックプリズムを用いて色分解を行ったときの、各色光毎に測定した波長特性を示すグラフ（（Ａ）は緑色成分、（Ｂ）は青色成分、（Ｃ）は赤色成分について示すものである。）
【図１３】比較例１に係るクロスダイクロイックプリズムを用いて色分解を行ったときの、各色光毎に測定した波長特性を示すグラフ（（Ａ）は緑色成分、（Ｂ）は青色成分、（Ｃ）は赤色成分について示すものである。）
【図１４】比較例２に係るクロスダイクロイックプリズムを用いて色分解を行ったときの、各色光毎に測定した波長特性を示すグラフ（（Ａ）は緑色成分、（Ｂ）は青色成分、（Ｃ）は赤色成分について示すものである。）
【図１５】高次の反射帯について説明するためのグラフ
【図１６】本実施形態に係る青色成分反射ダイクロイック膜の透過率特性を示すグラフ（Ａ）、および従来技術に係る青色成分反射ダイクロイック膜の透過率特性を示すグラフ（Ｂ）
【図１７】本発明の実施例および比較例に係るクロスダイクロイックプリズムの波長特性を測定する際の条件を説明するための概略図（（Ａ）は側面図、（Ｂ）は上面図）
【図１８】従来技術を説明するための概略図（（Ａ）は側面図、（Ｂ）は上面図）
【図１９】従来技術の問題点を説明するための概略図（（Ａ）は緑色成分、（Ｂ）は青色成分、（Ｃ）は赤色成分）
【符号の説明】
【０１１４】
１１      光源
１２      フライアイ
１３      偏光変換素子（櫛型フィルタ）
１４      集光レンズ
１６、１０３      クロスダイクロイックプリズム（色分解用）
１７      偏光子
１８      レンズ
１９、１０４、１０５、１０６      反射型液晶表示素子
２１      クロスダイクロイックプリズム（色合成用）
２２、１０７      投写レンズ
３１、３２、１１１、１１２      ダイクロイック膜
４０      プリズム基材（ガラス基板）
４４ａ      低屈折率材料層
４４ｂ      高屈折率材料層
１０２      ＰＢＳプリズム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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