(57)【要約】【課題】基板処理装置で警告状況が発生した場合であっても、保守担当者に通知して、当該警告状況について迅速に対応することができる基板処理システム、基板処理装置および基板処理方法を提供する。【解決手段】基板処理ユニット１１０の各部で警告状況が発生すると、動作状況データが基板処理装置１００から情報処理装置１に向けて送信される。この動作状況データを受信した情報処理装置１は、警告状況が発生した時点に基づいて、個人情報テーブル３１、勤怠時間情報テーブル３２および出勤情報テーブル３３から、警告状況が発生した時点において勤務中の保守担当者を選択する。そして、この選択された保守担当者に警告状況を示すデータを電子メールとして送信する。これにより、保守担当者は迅速に基板処理装置１００の警告状況について対応することができる。そのため、基板の処理不良を未然に防止することができる。【選択図】図１
2005064214.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板処理システムであって、
(a)  情報処理装置と、
(b)  ネットワークを介して前記情報処理装置と接続されており、
(b-1)  基板処理部と、
(b-2)  前記基板処理部の動作状況を検出する検出手段と、
(b-3)  前記検出手段による検出結果に基づき、前記基板処理部の動作状況を判定する判定手段と、
(b-4)  前記判定手段によって前記各部で警告状況が発生していると判断された場合に、前記各部の動作状況データを前記情報処理装置に送信する送信手段と、
を有する基板処理装置と、
を備え、
前記情報処理装置は、
(a-1)  前記基板処理装置を担当する保守担当者の個人情報および勤務状況に関する情報を格納するデータベースと、
(a-2)  前記送信手段によって送信された動作状況データを受信した時点に基づき、前記データベースを検索して保守担当者を選択する選択手段と、
(a-3)  前記選択手段によって選択された保守担当者に前記各部の警告状況を通知する通知手段と、
を有することを特徴とする基板処理システム。
【請求項２】
請求項１に記載の基板処理システムにおいて、
前記情報処理装置が複数の前記基板処理装置と前記ネットワークを介して接続されており、
前記通知手段は、前記動作状況データを受信した時点と、当該動作状況データを送信した基板処理装置を他の基板処理装置から区別する基板処理装置情報とに基づいて前記データベースを検索して保守担当者を選択することを特徴とする基板処理システム。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の基板処理システムにおいて、
前記通知手段は、電子メールによって前記基板処理部の警告状況を通知することを特徴とする基板処理システム。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の基板処理システムにおいて、
前記送信手段は、前記基板処理部の特定部位の動作回数が所定回数以上となった場合に、前記動作状況データを前記情報処理装置に送信することを特徴とする基板処理システム。
【請求項５】
請求項４に記載の基板処理システムにおいて、
前記基板処理部は、前記基板にエッチング処理を施すエッチング部を有し、
前記所定部位の動作回数は、前記エッチング部の処理槽に設けられたシャッター部の開閉回数であることを特徴とする基板処理システム。
【請求項６】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の基板処理システムにおいて、
前記送信手段は、前記検出手段によって取得された所定部位の検出値が、予め設定された範囲外の値となった回数に基づいて、前記動作状況データを前記情報処理装置に送信することを特徴とする基板処理システム。
【請求項７】
請求項６に記載の基板処理システムにおいて、
前記基板処理部は、前記基板にエッチング処理を施すエッチング部を有し、
前記検出手段は、前記基板に供給するエッチング液の流量値を取得することを特徴とする基板処理システム。
【請求項８】
請求項６に記載の基板処理システムにおいて、
前記基板処理部は、前記基板にエッチング処理を施すエッチング部を有し、
前記検出手段は、貯留槽に貯留されたエッチング液の液温を取得することを特徴とする基板処理システム。
【請求項９】
請求項１ないし請求項８のいずれかに記載の基板処理システムにおいて、
前記データベースは、
前記基板処理装置の保守担当者の情報を格納した個人情報テーブルと、
就業時間に関する情報を格納した勤怠時間情報テーブルと、
前記個人情報テーブルおよび前記勤怠時間情報テーブルと関連付けられた出勤時間データと、
を有することを特徴とする基板処理システム。
【請求項１０】
請求項９に記載の基板処理システムにおいて、
前記通知手段は、前記データベースの個人情報データに基づき、通知の受取り可能な保守担当者を特定して当該保守担当者に通知することを特徴とする基板処理システム。
【請求項１１】
基板処理装置であって、
(a)  前記基板処理装置を担当する保守担当者の勤務状況に関する情報を格納するデータベースと、
(b)  基板処理部の動作状況を検出する検出手段と、
(c)  前記検出手段による検出結果に基づき、前記基板処理部の動作状況を判定する判定手段と、
(d)  前記基板処理部で警告状況が発生していると判断された時点に基づき、前記データベースを検索して保守担当者を選択する選択手段と、
(e)  前記選択手段によって選択された保守担当者に前記基板処理部の警告状況を通知する通知手段と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の基板処理装置において、
前記通知手段は、電子メールによって前記基板処理部の警告状況を通知することを特徴とする基板処理装置。
【請求項１３】
基板処理方法であって、
(a)  基板処理装置の基板処理部の動作状況の検出結果に基づき、前記基板処理部の動作状況を判定する判定工程と、
(b)  前記判定工程において、警告状況が発生していると判断された場合に、当該警告状況が発生していると判断された時点に基づき、
前記基板処理装置を担当する保守担当者の勤務状況に関する情報を格納したデータベースを検索して保守担当者を選択する選択工程と、
(c)  前記選択工程によって選択された保守担当者に前記基板処理部の警告状況を通知する通知工程と、
を備えることを特徴とする基板処理方法。
【請求項１４】
請求項１３に記載の基板処理方法において、
前記通知工程は、電子メールによって前記基板処理部の警告状況を通知することを特徴とする基板処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体基板、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等（以下、単に「基板」と称する）に対して所定の処理を施す基板処理システム、基板処理装置および基板処理方法に関するもので、特に、基板処理装置の動作状況を当該基板処理装置の保守担当者に通知する手順の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被監視装置の動作状況を定期的に判断して、故障が発生した場合には故障警報を監視装置に通知するとともに、故障内容を電子メールを使用して個人または複数人に知らせる警報監視方法が知られている（例えば、特許文献１）。そして、この警報監視方法は、被監視装置を基板処理装置としても同様に適用することができる。
【０００３】
【特許文献１】特開平０９−３３０２８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１の警報監視方法では、被監視装置において故障が発生した場合に、故障警報を監視装置に送信している。これにより、被監視装置が基板処理装置の場合には、装置内で処理中の基板に対して正常に処理を施すことができず、処理不良が発生する。すなわち、特許文献１の警報監視方法では、基板の処理不良を未然に防止することができない。
【０００５】
また、特許文献１の警報監視方法では、電子メールを送信する時点において、電子メールの受信を受ける者が、受信可能な状態か否かに関わりなく送信する。すなわち、特許文献１の監視方法では、電子メールの受信を受ける者が、勤務時間外の場合であっても送信される。そのため、場合によっては、基板処理装置で発生している故障に対して迅速に対応することができない。
【０００６】
そこで、本発明では、基板処理装置で警告状況が発生した場合であっても、保守担当者に通知して、当該警告状況について迅速に対応することができる基板処理システム、基板処理装置および基板処理方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、請求項１の発明は、基板処理システムであって、情報処理装置と、ネットワークを介して前記情報処理装置と接続されており、基板処理部と、前記基板処理部の動作状況を検出する検出手段と、前記検出手段による検出結果に基づき、前記基板処理部の動作状況を判定する判定手段と、前記判定手段によって前記各部で警告状況が発生していると判断された場合に、前記各部の動作状況データを前記情報処理装置に送信する送信手段と、を有する基板処理装置と、を備え、前記情報処理装置は、前記基板処理装置を担当する保守担当者の個人情報および勤務状況に関する情報を格納するデータベースと、前記送信手段によって送信された動作状況データを受信した時点に基づき、前記データベースを検索して保守担当者を選択する選択手段と、前記選択手段によって選択された保守担当者に前記各部の警告状況を通知する通知手段と、を有することを特徴とする。
【０００８】
また、請求項２の発明は、請求項１に記載の基板処理システムにおいて、前記情報処理装置が複数の前記基板処理装置と前記ネットワークを介して接続されており、前記通知手段は、前記動作状況データを受信した時点と、当該動作状況データを送信した基板処理装置を他の基板処理装置から区別する基板処理装置情報とに基づいて前記データベースを検索して保守担当者を選択することを特徴とする。
【０００９】
また、請求項３の発明は、請求項１または請求項２に記載の基板処理システムにおいて、前記通知手段は、電子メールによって前記基板処理部の警告状況を通知することを特徴とする。
【００１０】
また、請求項４の発明は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の基板処理システムにおいて、前記送信手段は、前記基板処理部の特定部位の動作回数が所定回数以上となった場合に、前記動作状況データを前記情報処理装置に送信することを特徴とする。
【００１１】
また、請求項５の発明は、請求項４に記載の基板処理システムにおいて、前記基板処理部は、前記基板にエッチング処理を施すエッチング部を有し、前記所定部位の動作回数は、前記エッチング部の処理槽に設けられたシャッター部の開閉回数であることを特徴とする。
【００１２】
また、請求項６の発明は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の基板処理システムにおいて、前記送信手段は、前記検出手段によって取得された所定部位の検出値が、予め設定された範囲外の値となった回数に基づいて、前記動作状況データを前記情報処理装置に送信することを特徴とする。
【００１３】
また、請求項７の発明は、請求項６に記載の基板処理システムにおいて、前記基板処理部は、前記基板にエッチング処理を施すエッチング部を有し、前記検出手段は、前記基板に供給するエッチング液の流量値を取得することを特徴とする。
【００１４】
また、請求項８の発明は、請求項６に記載の基板処理システムにおいて、前記基板処理部は、前記基板にエッチング処理を施すエッチング部を有し、前記検出手段は、貯留槽に貯留されたエッチング液の液温を取得することを特徴とする。
【００１５】
また、請求項９の発明は、請求項１ないし請求項８のいずれかに記載の基板処理システムにおいて、前記データベースは、前記基板処理装置の保守担当者の情報を格納した個人情報テーブルと、就業時間に関する情報を格納した勤怠時間情報テーブルと、前記個人情報テーブルおよび前記勤怠時間情報テーブルと関連付けられた出勤時間データと、を有することを特徴とする。
【００１６】
また、請求項１０の発明は、請求項９に記載の基板処理システムにおいて、前記通知手段は、前記データベースの個人情報データに基づき、通知の受取り可能な保守担当者を特定して当該保守担当者に通知することを特徴とする。
【００１７】
また、請求項１１の発明は、基板処理装置であって、前記基板処理装置を担当する保守担当者の勤務状況に関する情報を格納するデータベースと、基板処理部の動作状況を検出する検出手段と、前記検出手段による検出結果に基づき、前記基板処理部の動作状況を判定する判定手段と、前記基板処理部で警告状況が発生していると判断された時点に基づき、前記データベースを検索して保守担当者を選択する選択手段と、前記選択手段によって選択された保守担当者に前記基板処理部の警告状況を通知する通知手段と、を備えることを特徴とする。
【００１８】
また、請求項１２の発明は、請求項１１に記載の基板処理装置において、前記通知手段は、電子メールによって前記基板処理部の警告状況を通知することを特徴とする。
【００１９】
また、請求項１３の発明は、基板処理方法であって、基板処理装置の基板処理部の動作状況の検出結果に基づき、前記基板処理部の動作状況を判定する判定工程と、前記判定工程において、警告状況が発生していると判断された場合に、当該警告状況が発生していると判断された時点に基づき、前記基板処理装置を担当する保守担当者の勤務状況に関する情報を格納したデータベースを検索して保守担当者を選択する選択工程と、前記選択工程によって選択された保守担当者に前記基板処理部の警告状況を通知する通知工程と、を備えることを特徴とする。
【００２０】
また、請求項１４の発明は、請求項１３に記載の基板処理方法において、前記通知工程は、電子メールによって前記基板処理部の警告状況を通知することを特徴とする。
【００２１】
なお、この発明における「基板処理部」とは、基板に対する直接の作用を及ぼす部分のみならず基板の搬送や環境設定などに用いられる部分をも含む概念である。
【発明の効果】
【００２２】
請求項１から請求項１０に記載の発明によれば、基板処理装置の基板処理部において警告状況が検出された場合に、情報処理装置は、基板処理装置から動作状況データを受信した時刻に勤務中の保守担当者をデータベースから検索して選択し、その保守担当者に警告状況を通知する。これにより、基板処理装置で発生した警告状況について迅速かつ的確に対応することができる。そのため、基板の処理不良を未然に防止することができる。
【００２３】
特に、請求項２に記載の発明によれば、基板処理装置が複数の場合であっても、警告状況が発生した基板処理装置につき、動作状況データを受信した時刻に勤務中の保守担当者を選択して警告状況を通知することができる。そのため、基板処理装置が複数の場合であっても、それぞれの基板処理装置で発生した警告状況について迅速に対応することができ、基板の処理不良を未然に防止することができる。
【００２４】
特に、請求項３に記載の発明によれば、電子メールによって即時かつ的確に基板処理部の動作状況を保守担当者に通知することができる。
【００２５】
特に、請求項４に記載の発明によれば、基板処理部の特定部位が繰り返し動作することによって動作劣化することを未然に防止することができる。
【００２６】
特に、請求項５の発明によれば、シャッター部の動作劣化を未然に防止することができる。
【００２７】
特に、請求項６に記載の発明では、検出手段による所定部位の検出値が所定範囲外となる回数に基づいて、当該所定部位で警告状況が発生しているか否かを判断し、情報処理装置によって保守担当者に通知することができるため、基板処理装置における処理不良を未然に防止することができる。
【００２８】
特に、請求項７に記載の発明によれば、エッチング液の流量値が所定範囲外となる回数に基づき、エッチング部で警告状況が発生しているか否かを判断することができるため、基板の処理不良を未然に防止することができる。
【００２９】
特に、請求項８に記載の発明によれば、エッチング液の温度が所定範囲外となる回数に基づき、エッチング部で警告状況が発生しているか否かを判断することができるため、基板の処理不良を未然に防止することができる。
【００３０】
特に、請求項９に記載の発明によれば、基板処理装置を担当する保守担当者の個人情報および勤務状況に関する情報を複数のテーブルによって分散して格納することができるため、当該保守担当者に関する情報を効率的に管理することができる。
【００３１】
特に、請求項１０に記載の発明によれば、保守担当者のうち通知の受け取り可能な者に通知するため、効率的に基板処理部の警告状況を通知することができる。
【００３２】
また、請求項１１および請求項１２に記載の発明によれば、基板処理装置の基板処理部において警告状況が検出された場合に、当該警告状況が発生した時刻に勤務中の保守担当者をデータベースから検索して選択し、その保守担当者に警告状況を通知することができる。そのため、基板処理装置で発生した警告状況について迅速かつ的確に対応することができ、基板の処理不良を未然に防止することができる。
【００３３】
特に、請求項１２に記載の発明によれば、電子メールによって即時かつ的確に基板処理部の動作状況を保守担当者に通知することができる。
【００３４】
また、請求項１３および請求項１４に記載の発明によれば、警告状況が発生した時刻に勤務中の保守担当者をデータベースから検索して選択し、その保守担当者に警告状況を通知することができる。そのため、基板処理装置で発生した警告状況について迅速かつ的確に対応することができ、基板の処理不良を未然に防止することができる。
【００３５】
特に、請求項１４に記載の発明によれば、電子メールによって即時かつ的確に基板処理部の動作状況を保守担当者に通知することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【００３７】
＜１．第１の実施の形態＞
＜１．１．基板処理システムの構成＞
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る基板処理システム５００の構成の一例を示す図である。図１に示すように、基板処理システム５００は、主として、基板処理装置１００と、基板処理装置１００の保守担当者に対して基板処理装置１００の警告状況を通知する情報処理装置１とを備える。
【００３８】
まず、基板処理装置１００について説明する。図２は、本発明の実施の形態に係る基板処理ユニット１１０の構成の一例を示す断面図である。図１および図２に示すように、基板処理装置１００は、基板に対して所定の処理を施す基板処理ユニット１１０と、基板処理ユニット１１０の各部の動作状況を把握するとともに、各部の動作制御を行う制御ユニット１２０とを備える。
【００３９】
この基板処理ユニット１１０は、搬送ローラ５３、６３、７３によって形成される搬送路９１に沿って搬送方向ＡＲ１に角型基板Ｗを移動させることにより、当該角型基板Ｗに対してエッチング処理および洗浄処理を施す装置である。図２に示すように、基板処理ユニット１１０は、主として、第１エッチング部５０、第２エッチング部６０および洗浄部７０とを備える。
【００４０】
第１エッチング部５０は、角型基板Ｗの搬送方向ＡＲ１から見て第２エッチング部６０および洗浄部７０より上流側に配置された部材であり、角型基板Ｗに向けてエッチング液を供給することにより、角型基板Ｗ上に形成されたレジストパターン通りに薄膜を形状加工する。
【００４１】
シャッター５４は、第１エッチング部５０内部に角型基板Ｗを搬入する場合には図示を省略する開閉機構によって開放され、それ以外のときは閉鎖される部材である。図２に示すように、シャッター５４は、第１エッチング部５０の搬送路９１と交差する側面のうち、角型基板Ｗの搬送方向ＡＲ１から見て上流側の側面に設けられている。
【００４２】
また、シャッター５４の下部には、開閉状況を検出するセンサ８１ｇが設けられている。センサ８１ｇは、例えば近接センサで構成されている。そして、シャッター５４の下部がセンサ８１ｇ付近に存在してシャッター５４が閉鎖されている場合にはＯＮ状態に、またシャッター５４の下部がセンサ８１ｇ付近になくシャッター５４が開放されている場合にはＯＦＦ状態になる。したがって、センサ８１ｇのＯＮ／ＯＦＦ状態を検出して監視することにより、シャッター５４の開閉回数を監視することができる。
【００４３】
搬送ローラ５３は、第１エッチング部５０の外部からシャッター５４を開放することによって形成される開口部を介して第１エッチング部５０の内部に角型基板Ｗを搬送する搬送部である。図２に示すように、搬送ローラ５３は、吐出部５２の下方の搬送路９１に沿って複数配設されている。また、複数の搬送ローラ５３のそれぞれは、図示しない駆動モータに接続されており、図２の紙面鉛直方向を回転軸として回転する。したがって、搬送ローラ５３は、その上に載せられた角型基板Ｗを矢印ＡＲ１方向、または矢印ＡＲ１と反対方向に直線的に移動することができる。
【００４４】
液ナイフ５１は、エッチング液を角型基板Ｗに向けて供給する部材であり、図２に示すように、シャッター５４の上方に配設される。また、液ナイフ５１は配管８６ａ、センサ８１ａ、ポンプ８２ａ、バルブ８３ａおよび共通配管８５を介してエッチング液が貯留されるエッチング液供給源５８と連通接続されている。したがって、バルブ８３ａを開放するとともにポンプ８２ａを駆動させることにより、シャッター５４付近にエッチング液の液カーテンを形成することができ、第１エッチング部５０の内部と外部との雰囲気を遮断することができる。
【００４５】
ここで、液ナイフ５１にエッチング液を供給する供給流路として使用される配管８６ａ上に配置されるセンサ８１ａは、配管８６ａ内を流れるエッチング液の流量を検出する流量センサである。したがって、センサ８１ａによってエッチング液の流量を検出することにより、ポンプ８２ａの動作状況を把握するとともに、液ナイフ５１によって形成される液カーテンの形成状況を間接的に監視することができる。
【００４６】
また、図２に示すようにエッチング液供給源５８の下部には温調器５８ａが取り付けられており、エッチング液供給源５８内に貯留されたエッチング液５９の液温を一定に保持することができる。
【００４７】
さらに、エッチング液供給源５８内のエッチング液５９が貯留される部分に配置されるセンサ８１ｄは、エッチング液供給源５８に貯留されるエッチング液５９の液温を検出する温度センサである。したがって、センサ８１ｄによってエッチング液の液温を検出することにより、角型基板Ｗ上に形成された薄膜のエッチング速度を間接的に監視することができる。
【００４８】
吐出部５２は、搬送ローラ５３によって第１エッチング部５０内を搬送する角型基板Ｗに向けてエッチング液を供給する部材であり、搬送路９１の上方に複数（本実施の形態では３つ）配置される。また、複数の吐出部５２は、配管８６ｂ、センサ８１ｂ、ポンプ８２ｂ、バルブ８３ｂおよび共通配管８５を介してエッチング液の貯留されたエッチング液供給源５８と連通接続されている。したがって、バルブ８３ｂを開放するとともに、ポンプ８２ｂを駆動させることにより、吐出部５２から角型基板Ｗに向けてエッチング液を供給することができる。
【００４９】
ここで、複数の吐出部５２にエッチング液を供給する供給流路として使用される配管８６ｂ上に配置されるセンサ８１ｂは、配管８６ｂ内を流れるエッチング液の液圧を検出する圧力センサである。したがって、センサ８１ｂによってエッチング液の液圧を検出することにより、ポンプ８２ｂの動作状況を把握するとともに、吐出部５２から角型基板Ｗに向けて吐出されるエッチング液の吐出状況を監視することができる。
【００５０】
気液分離部５５は、第１エッチング部５０内部から排出されるエッチング液（エッチング液のミストも含む）および気体を回収するとともに、回収したエッチング液および気体を液相と気相とに分離する部材である。そして分離された液相に含まれるエッチング液は、回収配管５６を介してエッチング液供給源５８に再投入される。一方、分離された気体は、ポンプ８２ｆ、センサ８１ｅおよび排気配管５７を介して排気ドレインに排出される。
【００５１】
ここで、排気配管５７上に配置されるセンサ８１ｅは、排気配管５７を通過する気体の圧力（排気圧）を検出する圧力センサである。したがって、センサ８１ｅによって排気圧を検出することにより、ポンプ８２ｆの動作状況を把握するとともに、第１エッチング部５０内部から気液分離部５５を介して排気ドレインに排出される気体の排気状況を監視することができる。
【００５２】
第２エッチング部６０は、第１エッチング部５０と洗浄部７０との間に配置された部材であり、第１エッチング部５０と同様に角型基板Ｗに向けてエッチング液を供給することにより、角型基板Ｗ上に形成されたレジストパターン通りに薄膜を形状加工する。
【００５３】
ここで、エッチング液によって角型基板Ｗにエッチング処理を施す方式として、例えば、（１）エッチング液をスプレー状に供給して角型基板Ｗ上の薄膜を略鉛直方向にエッチングするスプレー方式、（２）角型基板Ｗ上にエッチング液の層を形成して、すなわち、角型基板Ｗの上面にエッチング液を盛ってエッチングするパドル方式がある。本実施の形態の第１エッチング部５０および第２エッチング部６０は、それぞれ同様な方式によってエッチング処理を行ってもよいし、また、一方はスプレー方式、他方はパドル方式によってエッチング処理を行ってもよい。
【００５４】
搬送ローラ６３は、第１エッチング部５０から開口部６９を介して供給される角型基板Ｗを第２エッチング部６０の内部に搬送する搬送部である。図２に示すように、搬送ローラ６３は、吐出部６２の下方の搬送路９１に沿って複数配設されている。また、複数の搬送ローラ６３のそれぞれは、図２の紙面鉛直方向を回転軸として回転する。したがって、搬送ローラ６３は、その上に載せられた角型基板Ｗを矢印ＡＲ１方向、または矢印ＡＲ１と反対方向に直線的に移動することができる。
【００５５】
吐出部６２は、搬送ローラ６３によって第２エッチング部６０内を搬送する角型基板Ｗに向けてエッチング液を供給する部材であり搬送路９１の上方に複数（本実施の形態では３つ）配置される。また、複数の吐出部６２は、配管８６ｃ、センサ８１ｃ、ポンプ８２ｃ、バルブ８３ｃおよび共通配管８５を介してエッチング液供給源５８と連通接続されている。したがって、バルブ８３ｃを開放するとともに、ポンプ８２ｃを駆動させることにより、搬送ローラ６３から角型基板Ｗに向けてエッチング液を供給することができる。
【００５６】
ここで、吐出部６２にエッチング液を供給する配管８６ｃ上に配置されるセンサ８１ｃは、センサ８１ｂと同様に、配管８６ｃ内を流れるエッチング液の液圧を検出する圧力センサである。したがって、センサ８１ｃによってエッチング液の液圧を検出することにより、ポンプ８２ｃの動作状況を把握するとともに、吐出部６２から角型基板Ｗに向けて吐出されるエッチング液の吐出状況を監視することができる。
【００５７】
気液分離部６５は、第２エッチング部６０内部から排出されるエッチング液および気体を回収するとともに、回収したエッチング液および気体を液相と気相とに分離する部材である。そして分離された液相に含まれるエッチング液は、回収配管６６を介してエッチング液供給源５８に再投入される。一方、分離された気体は、ポンプ８２ｇ、センサ８１ｆおよび排気配管６７を介して排気ドレインに排出される。
【００５８】
ここで、排気配管６７上に配置されるセンサ８１ｆは、排気配管５７を通過する気体の圧力（排気圧）を検出する圧力センサである。したがって、センサ８１ｆによって排気圧を検出することにより、ポンプ８２ｇの動作状況を把握するとともに、第２エッチング部６０内部から気液分離部６５を介して排気ドレインに排出される気体の排気状況を監視することができる。
【００５９】
シャッター６４は、第２エッチング部６０内部から洗浄部７０に向けて角型基板Ｗを搬出する場合には図示を省略する開閉機構によって開放され、それ以外のときは閉鎖される部材である。図２に示すように、シャッター６４は、第２エッチング部６０の搬送路９１と交差する側面のうち、角型基板Ｗの搬送方向ＡＲ１から見て下流側の側面に設けられている。
【００６０】
また、シャッター６４の下部には、開閉状況を検出するセンサ８１ｈが設けられている。センサ８１ｈは、シャッター５４のセンサ８１ｇと同様に、例えば近接センサで構成されている。そして、シャッター６４の下部がセンサ８１ｈ付近に存在してシャッター６４が閉鎖されている場合にはＯＮ状態に、またシャッター６４の下部が８１ｇ付近になくシャッター６４が開放されている場合にはＯＦＦ状態になる。したがって、センサ８１ｈのＯＮ／ＯＦＦ状態を検出して監視することにより、シャッター６４の開閉回数を監視することができる。
【００６１】
洗浄部７０は、第１エッチング部５０および第２エッチング部６０より下流側に配置された部材であり、エッチング処理が施された角型基板Ｗを純水により洗浄する。
【００６２】
搬送ローラ７３は、第２エッチング部６０のシャッター６４を開放することによって形成される開口部を介して洗浄部７０の内部に角型基板Ｗを搬送する搬送部である。図２に示すように、搬送ローラ７３は、吐出部７２の下方の搬送路９１に沿って複数配設されている。また、複数の搬送ローラ７３のそれぞれは、図示しない駆動モータに接続されており、図２の紙面鉛直方向を回転軸として回転する。したがって、搬送ローラ７３は、その上に載せられた角型基板Ｗを矢印ＡＲ１方向、または矢印ＡＲ１と反対方向に直線的に移動することができる。
【００６３】
液ナイフ７１は、純水を角型基板Ｗに向けて供給する部材であり、図２に示すように、シャッター６４の上方に配設される。また、液ナイフ７１は配管８８ａ、ポンプ８２ｄ、バルブ８３ｄおよび共通配管８７を介して純水供給源７８と連通接続されている。したがって、バルブ８３ｄを開放するとともにポンプ８２ｄを駆動させることにより、シャッター６４付近に純水の液カーテンを形成することができる。そのため、第２エッチング部６０内の雰囲気と洗浄部７０内の雰囲気とを遮断するとともに、エッチング液が付着した角型基板Ｗを純水によって洗浄することができる。
【００６４】
吐出部７２は、搬送ローラ７３によって洗浄部７０内を搬送する角型基板Ｗに向けて洗浄液としての純水を供給する部材であり、搬送路９１の上方に複数（本実施の形態では３つ）配置される。また、複数の吐出部７２は、配管８８ｂ、ポンプ８２ｅ、バルブ８３ｅおよび共通配管８７を介して純水供給源７８と連通接続されている。したがって、バルブ８３ｅを開放するとともに、ポンプ８２ｅを駆動させることにより、吐出部５２から角型基板Ｗに向けてエッチング液を供給することができる。
【００６５】
なお、洗浄部７０内部から排出される純水および気体は、廃棄ドレインに排出されて、基板処理ユニット１１０外部に廃棄される。
【００６６】
制御ユニット１２０は、図１に示すように、プログラムや変数等を格納するメモリ１２１と、メモリ１２１に格納されたプログラムに従った制御を実行するＣＰＵ１２２とを備えている。ＣＰＵ１２２は、メモリ１２１に格納されているプログラムに従って、バルブ８３ａ〜８３ｅの開閉制御や、ポンプ８２ａ〜ポンプ８２ｅの動作制御等を所定のタイミングで行う。
【００６７】
次に、情報処理装置１について説明する。情報処理装置１は、基板処理装置１００の保守担当者に対して基板処理装置１００の警告状況を通知する装置であり、主として、個人情報テーブル３１、勤怠時間情報テーブル３２、出勤情報テーブル３３、および制御ユニット２０から構成される。
【００６８】
個人情報テーブル３１は、基板処理装置１００の保守担当者の個人情報が格納されている。図３は、個人情報テーブル３１の一例を示す図である。図３に示すように、個人情報テーブル３１は、複数のフィールド（「グループＮＯ」、「氏名」、「メールアドレス」、および「送信有無」）を有している。
【００６９】
「グループＮＯ」には、保守担当者が所属するグループを一意に識別する値が格納される。ここで、グループとは、保守担当者と同様な職務を有する従業者の集合を言う。なお、本実施の形態において、保守担当者はいずれか１つのグループに所属するものとする。
【００７０】
また、「氏名」には、保守担当者の氏名が格納される。また、「メールアドレス」には、保守担当者のメールアドレスが格納される。さらに、「送信有無」には、警告状況が発生した際に保守担当者が警告状況を通知するメールを送信するか否か、すなわち、保守担当者が電子メールを受け取り可能であるか否かを示す値が格納される。具体的には、警告状況が発生した際に警告状況を通知する場合には、「送信有無」に「１」が、また、警告状況を通知しない場合には、「送信有無」に「０」が格納される。
【００７１】
このように、個人情報テーブル３１の横方向のデータの集合であるレコード（例えば、「グループＮＯ」＝「１」、「氏名」＝「××○○」、「メールアドレス」＝「××＠□□．ｃｏ．ｊｐ」、および「送信有無」＝「１」で構成されるデータの集合）が各保守担当者の個人情報を示す。
【００７２】
勤怠時間情報テーブル３２は、基板処理装置１００の保守担当者が勤務する会社の就業時間に関する情報が格納されている。図４に示すように、勤怠時間情報テーブル３２は、複数のフィールド（「略記号」、「勤怠名」、「開始時刻」、および「終了時刻」）を有している。
【００７３】
「略記号」には、勤怠時間情報テーブル３２に格納されている複数のレコード（行方向のデータ集合）から所定のレコードを一意に識別するために使用される値が格納される。また、「開始時刻」および「終了時刻」には、それぞれ就業開始時刻および就業終了時刻が格納される。さらに、「勤怠名」には、「開始時刻」から「終了時刻」までの勤務形態を示す文字列が格納される。
【００７４】
出勤情報テーブル３３は、個人情報テーブル３１および勤怠時間情報テーブル３２と関連付けられており、各グループの出勤日および出勤時間に関する情報が格納されている。図５に示すように、出勤情報テーブル３３は、複数のフィールド（「日付」、「グループＮＯ」、「略記号」）を有する。「日付」には、出勤日を示す年月日が格納される。
【００７５】
「グループＮＯ」には、個人情報テーブル３１の「グループＮＯ」に格納されている値のいずれかが保存されている。すなわち、出勤情報テーブル３３の「グループＮＯ」は、個人情報テーブル３１の「グループＮＯ」と関連付けられている。したがって、（１）出勤情報テーブル３３から任意のレコードを選択し、続いて、（２）当該任意レコードに格納されている「グループＮＯ」の値と等しくなる「グループＮＯ」を有するレコードを個人情報テーブル３１から検索することにより、当該任意のレコードの「日付」で示される出勤日に出勤しており、かつ「グループＮＯ」で示されるグループに属する保守担当者を選択することができる。
【００７６】
例えば、図３および図５に示すように、「日付」＝「２００３／８／４」において出勤している「グループＮＯ」＝「１」に属する保守担当者は、「氏名」＝「××○○」と「氏名」＝「○××○」である。
【００７７】
「略記号」には、勤怠時間情報テーブル３２の「略記号」に格納されている値のいずれかが保存されている。すなわち、出勤情報テーブル３３の「略記号」は、勤怠時間情報テーブル３２の「略記号」と関連付けられている。したがって、（１）出勤情報テーブル３３から任意のレコードを選択し、続いて、（２）当該任意レコードに格納されている「略記号」の値と等しくなる「略記号」を有するレコードを勤怠時間情報テーブル３２から検索することにより、当該任意のレコードの「略記号」で示される出勤日における「グループＮＯ」で示されるグループの勤怠時間情報を選択することができる。
【００７８】
例えば、図４および図５に示すように、「日付」＝「２００３／８／１０」において出勤している「グループＮＯ」で示されるグループの勤務の「開始時刻」は「１７：００」であり、「終了時刻」は「１：３０」である。
【００７９】
制御ユニット２０は、図１に示すように、プログラムや変数等を格納するメモリ２１と、メモリ２１に格納されたプログラムに従った制御を実行するＣＰＵ２２とを備えている。ＣＰＵ２２は、メモリ２１に格納されているプログラムに従って、ディスプレイ１１に画面表示の制御、キーボード１２やマウス１３からの入力に応じた情報処理、ネットワーク４０を介して接続された基板処理装置１００や保守担当者のコンピュータ（図示省略）等との通信制御、および個人情報テーブル３１、勤怠時間情報テーブル３２、出勤情報テーブル３３へのアクセス制御等を所定のタイミングで行う。ここで、ネットワーク４０は、有線回線であっても無線回線であってもよい。
【００８０】
以上のように、本実施の形態では、個人情報テーブル３１、勤怠時間情報テーブル３２および出勤情報テーブル３３に格納されたデータを使用することにより、「日付」（出勤情報テーブル３３）で示される出勤日の「開始時刻」から「終了時刻」において出勤しており、かつ、「グループＮＯ」で示されるグループに所属する保守担当者を検索して選択することができる。
【００８１】
したがって、個人情報テーブル３１、勤怠時間情報テーブル３２、および出勤情報テーブル３３に格納されたデータの集合は基板処理装置１００を担当する保守担当者の勤務状況に関する情報を格納するデータベースとして使用され、すなわち、このデータベースには、各保守担当者の個人情報および勤務状況に関する情報が格納される。
【００８２】
＜１．２．基板処理システムによる警告状況の通知手順＞
図６は、第１の実施の形態の情報処理装置１による警告状況の通知手順を示すフローチャートである。本実施の形態において、基板処理システム５００の基板処理装置１００において警告状況が発生した場合に、情報処理装置１は、基板処理装置１００の保守担当者に警告状況を通知する。
【００８３】
ここで、警告状況とは、各部の動作状況について、現在良好な基板処理を行うことが可能な状況にあるが、近い将来に基板処理ユニット１１０の各部の汚れや故障により基板の処理不良が発生する可能性のある場合を言う。例えば、シャッター５４の場合、開閉機構（図示省略）の動作回数が耐久回数付近となり、近い将来に当該開閉機構において故障や動作不良の発生することが予測される場合をいう。
【００８４】
したがって、基板処理ユニット１１０の各部で警告状況が発生していることを検出した場合、何らかのメンテナンスや部品の交換作業等をすることにより、基板の処理不良を未然に防止することができる。
【００８５】
なお、本実施の形態では、基板処理ユニット１１０の各部で警告状況が発生しているか否かの判定を以下のようにして行う。
【００８６】
例えば、シャッター５４の開閉のように同一動作を繰り返し行うものについては、動作回数が所定範囲内か否かによって判定する。すなわち、センサ８１ｇの検出結果に基づいてシャッター５４の動作状況を把握し、シャッター５４の開閉回数が所定値以上となった場合に警告状況が発生していると判定する。
【００８７】
また、ポンプ８２ｂで警告状況が発生しているか否かの判定は、吐出部５２から角型基板Ｗに向けて供給されるエッチング液の流量を指標として次のように行われる。図７は、吐出部５２から角型基板Ｗに向けて供給されるエッチング液の流量Ｖの時間変化を示すものである。なお、図７の縦軸は、配管８６ｂを通過するエッチング液の流量Ｖを、図７の横軸は時刻ｔを、それぞれ示す。
【００８８】
ここで、吐出部５２から角型基板Ｗに向けて供給されるエッチング液の流量Ｖの値がＶ４≦Ｖ≦Ｖ３の範囲内の場合に良好な基板処理（エッチング処理）が、また、エッチング液の流量Ｖの値がＶ＜Ｖ４またはＶ＞Ｖ３の範囲となる場合に処理不良が発生するものとすると、エッチング液の流量Ｖの値が処理不良の発生する範囲に隣接するＶ１≦Ｖ≦Ｖ３の範囲、または、Ｖ４≦Ｖ≦Ｖ２の範囲となる場合、ポンプ８２ｂの動作状況において警告状況が発生していると考えることができる。すなわち、センサ８１ｂの検出結果に基づいて、ポンプ８２ｂの動作状況を判定することができる。
【００８９】
なお、警告状況の範囲を示すのに使用されるエッチング液の流量値Ｖ１、Ｖ２、および処理不良が発生する際の流量範囲を定めるのに使用されるＶ３、Ｖ４については、それぞれ実験等により予め求める。
【００９０】
また、ポンプ８２ｂは、使用し続けると制御ユニット１２０から同一の駆動指令を与えてポンプ８２ｂを駆動させても、ポンプ８２ｂの経年変化によってセンサ８１ｂによって検出されるエッチング液の流量は時間の経過とともに徐々に変化することが知られている。例えば、流量Ｖの変化率Ｄ（単位時間あたりの流量Ｖの変化量）が常に正（または負）となるようにエッチング液の流量Ｖが徐々変化する場合や、図７に示すように、ある振幅をもってエッチング液の流量Ｖが時間経過とともに徐々に増加する場合もある。
【００９１】
したがって、センサ８１ｂによって検出されたエッチング液の流量Ｖの値がＶ１≦Ｖ≦Ｖ２の範囲から警告状況の範囲（すなわち、Ｖ１≦Ｖ≦Ｖ３の範囲、または、Ｖ４≦Ｖ≦Ｖ２の範囲）に移行する回数（以下、「移行回数」とも呼ぶ）Ｎに基づき、ポンプ８２ｂで警告状況が発生しているか否かの判定をすることができる。
【００９２】
例えば、流量Ｖの変化率Ｄが常に正（または負）となるようにエッチング液の流量Ｖが徐々変化する場合は、移行回数Ｎを１回とすることにより、警告状況の発生を検出することができる。また、図７に示すように、ある振幅をもってエッチング液の流量Ｖが時間経過とともに徐々に変化する場合において移行回数Ｎを３回とすると、時刻ｔ３の時点においてポンプ８２ｂで警告状況が発生したと判定することができる。このように、移行回数Ｎは流量曲線Ｃ（図７参照）によって定まる値であり、実験等によって予め求めるものとする。
【００９３】
なお、ポンプ８２ｂと同様に、ポンプ８２ａ、８２ｃ、８２ｆ、８２ｇについても、それぞれ、センサ８１ａによって検出されたエッチング液の液圧、センサ８１ｃによって検出されたエッチング液の流量、センサ８１ｅによって検出された排気圧、およびセンサ８１ｆによって検出された排気圧を指標とすることにより、予め実験等によって求めた移行回数Ｎに基づいてポンプ８２ａ、８２ｃ、８２ｆ、８２ｇの各部で警告状況が発生したか否かを判定することができる。
【００９４】
また、温調器５８ａについても、同様に、エッチング液供給源５８に貯留されたエッチング液５９の液温を指標として、予め実験等により求めた移行回数Ｎに基づいて、温調器５８ａで警告状況が発生したか否かを判定することができる。
【００９５】
以下では、制御ユニット１２０によって基板処理ユニット１１０の各部において上述した警告状況が発生したと判定された場合に、情報処理装置１から基板処理装置１００の保守担当者に警告状況が発生している旨を通知する手順について説明する。
【００９６】
ここで、基板処理装置１００の制御ユニット１２０では、情報処理装置１による情報処理と並行して、センサ８１ａ〜８１ｆの検出値に基づき基板処理ユニット１１０内の各部（例えば、ポンプ８２ａ〜８２ｅ、シャッター５４等）が正常に動作しているか、または、各部に警告状況が発生しているかどうかの確認を行っている。
【００９７】
基板処理ユニット１１０内の各部で警告状況が発生した場合、基板処理装置１００から情報処理装置１に向けて当該各部の動作状況を示すデータ（例えば、警告状況がポンプ８２ａで発生した場合、（１）警告状況がポンプ８２ａにて発生したことを示すデータと、（２）センサ８１ａによって検出される検出値が所定範囲外となった回数：以下「動作状況データ」とも呼ぶ）を送信することにより、基板処理装置１００にて警告状況が発生したことを情報処理装置１に通知する。
【００９８】
情報処理装置１が基板処理装置１００から動作状況データを受信すると（Ｓ１０１）、情報処理装置１の制御ユニット２０は、ＣＰＵ２２によって動作状況データを受信した時点（日付、時刻）を警告状況が発生した時点（日付、時刻）として取得するとともに、メモリ２１にその日付および時刻を格納する（Ｓ１０２）。
【００９９】
なお、以下では、警告状況の発生した時点のうち日付を示す部分を「警告発生日」と、時刻を示す部分を「警告発生時刻」とそれぞれ呼ぶこととする。また、本実施の形態において、警告発生日および警告発生時刻は、情報処理装置１で取得しているが、基板処理装置１００において取得するとともに、動作状況データに警告発生日および警告発生時刻を含めて基板処理装置１００から情報処理装置１に向けて送信してもよい。
【０１００】
続いて、警告状況が発生した時点に基づいて、出勤情報テーブル３３から警告状況が発生した時点に勤務中のグループを示す「グループＮＯ」を取得する。具体的には、まず、メモリ２１に格納された警告発生日と一致する「日付」を有するレコード（行方向のデータ集合）（以下、「選択出勤情報レコード」とも呼ぶ）を出勤情報テーブル３３から選択する。次に、この選択出勤情報レコードに含まれる「略記号」の値と一致する「略記号」を有するレコード（以下、「選択勤怠時間情レコード」とも呼ぶ）を勤怠時間情報テーブル３２から選択するとともに、選択勤怠時間情報レコードに含まれる「開始時刻」および「終了時刻」の値を取得する。
【０１０１】
そして、メモリ２１に格納された警告発生時刻が選択勤怠時間情レコードから取得した「開始時刻」から「終了時刻」の範囲内となる場合、選択出勤情報レコードに含まれる「グループＮＯ」を警告状況が発生した時点において勤務中のグループを示す値（以下、「選択グループＮＯ」とも呼ぶ）として取得する。
【０１０２】
一方、メモリ２１に格納された警告発生時刻が選択勤怠時間情レコードから取得した「開始時刻」から「終了時刻」の範囲外となる場合、メモリ２１に格納された警告発生日と一致する「日付」を有する別のレコードを出勤情報テーブル３３から選択するとともに、同様の処理を行うことによって「選択グループＮＯ」を取得する。
【０１０３】
続いて、ステップＳ１０３において取得した「選択グループＮＯ」に基づき、ステップＳ１０４からＳ１０７の処理を実行することにより、保守担当者に警告状況が発生したことを通知する。具体的には、まず、ステップＳ１０３において取得した「選択グループＮＯ」と一致する「グループＮＯ」を有するレコード（以下、「選択個人情報レコード」とも呼ぶ）を個人情報テーブル３１から選択するとともに。この選択個人情報レコードの「送信有無」の値を取得する（Ｓ１０４）。
【０１０４】
続いて、「送信有無」の値が「１」の場合は（Ｓ１０５）、選択個人情報レコードの「メールアドレス」で指定される電子メールアドレスに警告状況を示すデータとして動作状況データ、警告発生日、警告発生時刻を保守担当者に送信する（Ｓ１０６）。これにより、保守担当者は、端末（例えば、コンピュータや、電子メール受取り可能な携帯電話）４００によって警告状況を示すデータを電子メールとして受信することができる。そのため、基板処理装置１００にて警告状況が発生したことを知ることができる。
【０１０５】
このように、本実施の形態の情報処理装置１は、警告状況が発生した時点において勤務中の保守担当者に、基板処理装置１００にて警告状況が発生したことを通知することができる。すなわち、勤務時間外の保守担当者には通知せず、勤務中の保守担当者にのみ警告状況が発生したことを通知することができる。そのため、保守担当者は基板処理装置１００で発生した警告状況に迅速に対応することができ、基板処理装置１００において角型基板Ｗの処理不良が発生することを未然に防止することができる。
【０１０６】
そして、「選択グループＮＯ」と一致する「グループＮＯ」を有するすべての選択個人情報レコードについてステップＳ１０４〜Ｓ１０６の処理が終了すると（Ｓ１０７）、再びステップＳ１０１に戻る。
【０１０７】
＜１．３．第１の実施の形態の基板処理システムの利点＞
以上のように、第１の実施の形態の基板処理システム５００は、（１）基板処基板処理ユニット１１０で警告状況が発生すると、基板処理装置１００から情報処理装置１に向けて警告状況が発生した旨を通知するとともに、（２）情報処理装置１は、警告状況が発生した時点において勤務中の保守担当者に、基板処理装置１００において警告状況が発生したことを電子メールによって通知する。すなわち、本実施の形態では、警告状況が発生したことを勤務時間外の保守担当者に通知することなく、勤務時間中の保守担当者にのみ通知する。
【０１０８】
これにより、保守担当者は、警告状況に対応した措置、例えば、各部のメンテナンスや部品の交換作業等を迅速に行うことができる。そのため、基板処理装置１００において角型基板Ｗの処理不良が発生することを未然に防止することができる。
【０１０９】
＜２．第２の実施の形態＞
次に、本発明の第２の実施の形態について説明する。この第２の実施の形態における基板処理システム６００は、第１の実施の形態の基板処理システム５００と比較して、
（１）基板処理装置を複数有する点と、
（２）情報処理装置１の個人情報テーブルの構成が異なる点と、
（３）情報処理装置１による警告状況の通知手順が異なる点と、
を除いては、第１の実施の形態と同じである。そこで、以下ではこの相違点を中心に説明する。なお、以下の説明において、第１の実施の形態の基板処理システムにおける構成要素と同様な構成要素については同一符号を付している。これら同一符号の構成要素は、第１の実施の形態において説明済みであるため、本実施形態では説明を省略する。
【０１１０】
＜２．１．基板処理システムの構成＞
図８は、本発明の第２の実施の形態に係る基板処理システム６００の構成の一例を示す図である。図８に示すように、基板処理システム６００は、主として、複数（本実施の形態では２つ）の基板処理装置１００、２００と、基板処理装置１００または基板処理装置２００の保守担当者に警告状況を通知する情報処理装置１とを備える。
【０１１１】
基板処理装置２００は、基板処理装置１００と同様に、基板に対して所定の処理を施す基板処理ユニット２１０と、基板処理ユニット２１０の各部の動作状況を把握するとともに各部の動作制御を行う制御ユニット２２０とを備える。ここで、基板処理ユニット２１０は、基板処理ユニット１１０と同様なエッチング処理を施すユニットであってもよいし、また、レジスト塗布処理や現像処理を施すユニットであってもよい。さらに、洗浄処理を施すユニットであってもい。
【０１１２】
また、基板処理装置２００は、ネットワーク４０を介して情報処理装置１と接続されている。したがって、基板処理装置２００にて警告状況が発生した場合、警告状況が発生した各部の動作状況データを、基板処理装置２００から情報処理装置１に向けて送信することができる。
【０１１３】
制御ユニット２２０は、図８に示すように、プログラムや変数等を格納するメモリ２２１と、メモリ２２１に格納されたプログラムに従った制御を実行するＣＰＵ２２２とを備えている。ＣＰＵ２２２は、メモリ２２１に格納されているプログラムに従って、基板処理ユニット２１０の各部の動作制御等を所定のタイミングで行う。
【０１１４】
次に、情報処理装置１について説明する。情報処理装置１は、基板処理装置１００の保守担当者に対して基板処理装置１００の警告状況を通知する装置であり、主として、個人情報テーブル１３１、勤怠時間情報テーブル３２、出勤情報テーブル３３、および制御ユニット２０から構成される。
【０１１５】
個人情報テーブル１３１は、基板処理装置１００または基板処理装置２００の保守担当者の個人情報が格納されている。図９は、個人情報テーブル１３１の一例を示す図である。図９に示すように、個人情報テーブル１３１は、個人情報テーブル３１の有するフィールド（「グループＮＯ」、「氏名」、「メールアドレス」、および「送信有無」）に加えて、「装置ＮＯ」フィールドを有する。ここで、「装置ＮＯ」には、基板処理システム６００を構成する基板処理装置を一意に示す値が格納される。これにより、個人情報テーブル１３１の「装置ＮＯ」を参照することにより各保守担当者がメンテナンス作業を担当する基板処理装置を確認することができる。
【０１１６】
＜２．２．基板処理システムによる警告状況の通知手順＞
図１０は、第２の実施の形態の情報処理装置１による警告状況の通知手順を示すフローチャートである。なお、以下の説明では、基板処理システム６００が有する複数の基板処理装置のうち基板処理装置２００にて警告状況が発生した場合に、基板処理装置２００の保守担当者に警告状況を通知する手順について説明する。
【０１１７】
ここで、基板処理装置２００の制御ユニット２２０は、基板処理装置１００と同様に、情報処理装置１による情報処理と並行して基板処理ユニット２１０内の各部が正常に動作しているか、または、各部に警告状況が発生しているかどうかの確認を行っている。
【０１１８】
基板処理ユニット２１０内の各部（例えば、レジスト塗布処理を施すユニットの場合、ユニット外部の雰囲気を遮断するためのシャッター部（図示省略））にて警告状況が発生した場合、基板処理装置２００から情報処理装置１に向けて動作状況データ（さらに、警告状況が発生した基板処理装置を他の基板処理装置と区別するデータ（個人情報テーブル１３１の「装置ＮＯ」と対応：以下、「警告発生装置ＮＯ」とも呼ぶ）を含む）を送信することにより、基板処理装置２００にて警告状況が発生したことを情報処理装置１に通知する。
【０１１９】
情報処理装置１が、基板処理装置２００から動作状況データを受信すると（Ｓ２０１）、情報処理装置１の制御ユニット２０は、動作状況データを受信した時点（日付、時刻）を警告発生日および警告発生時刻として、それぞれメモリ２１に格納する（Ｓ２０２）。
【０１２０】
続いて、第１の実施の形態のステップＳ１０３と同様に、警告状況が発生した時点に基づいて、出勤情報テーブル３３から警告状況が発生した時点に勤務中のグループを示す「選択グループＮＯ」を取得する（Ｓ２０３）。
【０１２１】
続いて、ステップＳ２０３において取得した「選択グループＮＯ」に基づき、ステップＳ２０４からＳ２０７の処理を実行することにより、保守担当者に警告状況が発生したことを通知する。具体的には、まず、ステップＳ２０３において取得した「選択グループＮＯ」と一致する「グループＮＯ」を有するレコード（以下、「選択個人情報レコード」とも呼ぶ）を個人情報テーブル１３１から選択するとともに。この選択個人情報レコードの「送信有無」の値および「装置ＮＯ」の値をそれぞれ取得する（Ｓ２０４、Ｓ２０５）。
【０１２２】
続いて、「送信有無」の値が「１」であって、かつ、「装置ＮＯ」の値が「警告発生装置ＮＯ」の値と一致する場合は（Ｓ２０６）、選択個人情報レコードの「メールアドレス」で指定される電子メールアドレスに警告状況を示すデータとして動作状況データ、警告発生装置ＮＯ、警告発生日、警告発生時刻を保守担当者に送信する（Ｓ２０７）。これにより、保守担当者は、端末４００によって警告状況を示すデータを電子メールとして受信することができる。そのため、「警告発生装置ＮＯ」で示される基板処理装置にて警告状況が発生したことを知ることができる。
【０１２３】
そして、「選択グループＮＯ」と一致する「グループＮＯ」を有するすべての選択個人情報レコードについてステップＳ２０４〜Ｓ２０７の処理が終了すると（Ｓ２０８）、再びステップＳ２０１に戻る。
【０１２４】
＜２．３．第２の実施の形態の基板処理システムの利点＞
以上のように、第２の実施の形態の基板処理システム６００は、複数の基板処理装置１００、２００のそれぞれで警告状況が発生した場合、それぞれの基板処理装置の保守担当者のうち警告状況が発生した時点に勤務中の保守担当者にのみ電子メールを使用して警告状況が発生したことを通知することができる。そのため、各基板処理装置１００、２００で角型基板Ｗの処理不良が発生することを未然に防止することができる。
【０１２５】
＜３．第３の実施の形態＞
次に、本発明の第３の実施の形態について説明する。この第３の実施の形態における基板処理装置３００は、第１の実施の形態の基板処理装置１００と比較して、
（１）基板処理装置の構成要素としての制御ユニットが個人情報テーブル３１、勤怠時間情報テーブル３２、および出勤情報テーブル３３を有する点と、
（２）情報処理装置を介さずに基板処理装置から直接保守担当者に警告状況の発生を通知する点と、
が相違することを除いては、第１の実施の形態と同じである。そこで、以下ではこの相違点を中心に説明する。なお、以下の説明において、第１の実施の形態の基板処理システムにおける構成要素と同様な構成要素については同一符号を付している。これら同一符号の構成要素は、第１の実施の形態において説明済みであるため、本実施形態では説明を省略する。
【０１２６】
＜３．１．基板処理装置の構成＞
図１１は、本発明の第３の実施の形態に係る基板処理装置３００の構成の一例を示す図である。図１１に示すように、基板処理装置３００は、主として、基板処理ユニット１１０と、制御ユニット３２０とを備える。
【０１２７】
制御ユニット３２０は、図１１に示すように、主として、メモリ１２１、ＣＰＵ１２２、個人情報テーブル３１、勤怠時間情報テーブル３２および出勤情報テーブル３３とを備える。これらの構成要素により、制御ユニット３２０は、基板処理ユニット１１０の各部の動作状況を把握するとともに各部の動作制御を行うとともに、基板処理装置１００の保守担当者に対して基板処理装置１００の警告状況を通知することができる。
【０１２８】
すなわち、第３の実施の形態では、基板処理ユニット１１０内の各部で警告状況が発生した場合、警告状況が発生したことを他の情報処理装置に通知することなく、後述するように、制御ユニット３２０に格納されている個人情報テーブル３１、勤怠時間情報テーブル３２、出勤情報テーブル３３から保守担当者を選択し、その保守担当者に警告状況を示すデータを電子メールとして送信する。
【０１２９】
＜３．２．基板処理装置による警告状況の通知手順＞
図１２は、第３の実施の形態の基板処理装置３００による警告状況の通知手順を示すフローチャートである。ここで、制御ユニット３２０では、基板処理ユニット１１０内の各部（例えば、ポンプ８２ａ〜８２ｅ、シャッター５４等）が正常に動作しているか、または、各部に警告状況が発生しているかどうかの確認を行っている。そして、基板処理ユニット１１０内の各部で警告状況が発生したことを検出すると（Ｓ３０１）、制御ユニット３２０は、警告状況が発生した時点（日付、時刻）を警告発生日および警告発生時刻として、それぞれメモリ２１に格納する（Ｓ３０２）。
【０１３０】
続いて、第１の実施の形態のステップＳ１０３と同様に、警告状況が発生した時点に基づいて、出勤情報テーブル３３から警告状況が発生した時点に勤務中のグループを示す「選択グループＮＯ」を取得する（Ｓ３０３）。
【０１３１】
続いて、ステップＳ３０３において取得した「選択グループＮＯ」に基づき、第１の実施の形態のステップＳ１０４〜Ｓ１０６と同様な処理であるステップＳ３０４〜Ｓ３０６の処理を実行することにより、保守担当者に警告状況が発生したことを通知する。
【０１３２】
具体的には、Ｓ３０３にて取得した「選択グループＮＯ」に基づいて個人情報テーブル３１から選択個人情報レコードを選択するとともに、選択個人情報レコードの「送信有無」の値を取得する（Ｓ３０４）。次に、「送信有無」の値が「１」の場合に（Ｓ３０５）、警告状況を示すデータを電子メールとして送信する（Ｓ３０６）。これにより、保守担当者は、端末４００によって警告状況を示すデータを電子メールとして受信することができる。
【０１３３】
そして、「選択グループＮＯ」と一致する「グループＮＯ」を有するすべての選択個人情報レコードについてステップＳ３０４〜Ｓ３０６の処理が終了すると（Ｓ３０７）、再びステップＳ３０１に戻る。
【０１３４】
＜３．３．第３の実施の形態の基板処理システムの利点＞
以上のように、第３の実施の形態の基板処理装置３００で警告状況が発生した場合、情報処理装置を介することなく、基板処理装置３００の保守担当者のうち警告状況が発生した時点に勤務中の保守担当者にのみ電子メールを使用して警告状況が発生したことを通知することができる。そのため、基板処理ユニット３１０で角型基板Ｗの処理不良が発生することを未然に防止することができる。
【０１３５】
＜４．変形例＞
以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明は上記の例に限定されるものではない。
（１）第１および第３の実施の形態において、基板処理ユニット１１０は、角型基板Ｗに対してエッチング処理を施すユニットであるが、これに限定されるものでなく、例えば、角型基板Ｗに対してレジスト塗布処理や現像処理を施すユニットであってもよいし、また、洗浄処理を施すユニットであってもよい。
（２）また、第１および第３の実施の形態において、警告状況が発生した場合に、基板処理装置の保守担当者に対してその旨を通知する電子メールを送信しているが、基板の処理不良が発生したことも電子メールを使用して保守担当者に通知してもよい。例えば、図７に示すエッチング液の流量Ｖが、Ｖ＜Ｖ４またはＶ＞Ｖ３の範囲となる場合に、保守担当者に角型基板Ｗの処理不良が発生していること、ポンプ８２ｂにて動作不良が発生していること等を電子メールにて通知しても良い。
（３）また、第１および第３の実施の形態において、保守担当者に警告状況が発生したことを知らせる手段として電子メールが使用されているが、これに限定されるものでなく、例えば、情報処理装置１から指定された電話番号に電話して、あらかじめ録音された定型メッセージを再生してもよい。
（４）また、第１および第３の実施の形態では、主にエッチング液の供給に関する各部（例えば、ポンプ８２ａ〜８２ｃ）について警告状況が発生しているか否かの判定を行っているが、これに限定されるものでなく、純水の供給に関する各部について警告状況が発生しているか否かの判定を行ってもよい。この場合、例えば、ポンプ８２ｄと液ナイフ７１との間の配管８８ａ上、または、ポンプ８２ｅと吐出部７２との間の配管８８ｂ上にセンサを設けることによって同様な警告状況の判定作業を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０１３６】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る基板処理システムの構成の一例を示す図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る基板処理部の構成の一例を示す断面図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態に係る個人情報テーブルの構成の一例を示す図である。
【図４】本発明の実施の形態に係る勤怠時間情報テーブルの構成の一例を示す図である。
【図５】本発明の実施の形態に係る出勤情報テーブルの構成の一例を示す図である。
【図６】本発明の第１の実施の形態の情報処理装置による警告状況の通知手順を示すフローチャートである。
【図７】本発明の実施の形態のエッチング部において角型基板に向けて供給されるエッチング液の流量の時間変化の一例を示すグラフである。
【図８】本発明の第２の実施の形態に係る基板処理システムの構成の一例を示す図である。
【図９】本発明の第２の実施の形態に係る個人情報テーブルの構成の一例を示す図である。
【図１０】本発明の第２の実施の形態の情報処理装置による警報通知動作のシーケンスを示すフローチャートである。
【図１１】本発明の第３の実施の形態に係る基板処理装置の構成の一例を示す図である。
【図１２】本発明の第３の実施の形態の基板処理装置による警報通知動作のシーケンスを示すフローチャートである。
【符号の説明】
【０１３７】
１  情報処理装置
２０、１２０、２２０、３２０  制御ユニット
３１  個人情報テーブル
３２  勤怠時間情報テーブル
３３  出勤情報テーブル
４０  ネットワーク
８１ａ〜８１ｈ  センサ
１００、２００、３００  基板処理装置
１１０、２１０、３１０  基板処理ユニット
Ｗ  基板
【図１】
2005064214.tif 000003
【図２】
2005064214.tif 000004
【図３】
2005064214.tif 000005
【図４】
2005064214.tif 000006
【図５】
2005064214.tif 000007
【図６】
2005064214.tif 000008
【図７】
2005064214.tif 000009
【図８】
2005064214.tif 000010
【図９】
2005064214.tif 000011
【図１０】
2005064214.tif 000012
【図１１】
2005064214.tif 000013
【図１２】
2005064214.tif 000014