(57)【要約】【課題】ピックアップ時間の短縮化及び装置の低廉化が図れる。【解決手段】ウェーハシート２に貼り付けられたダイ１Ａ、１Ｂ、１Ｃ・・・を真空吸着するコレット３と、ウェーハシート２を真空吸着する吸着ステージ５とを備えている。吸着ステージ５の上面には、ピックアップするダイ１Ａをピックアップセンター５に送る方向における送り側に突出面２１が形成され、吸着ステージ６でウェーハシート２を真空吸着した状態で、ピックアップするダイ１Ａがピックアップセンター５に位置するようにウェーハシート２を送った後、コレット３でダイ１Ａを真空吸着してピックアップする。【選択図】      図２
2005064172.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハシートに貼り付けられたダイを真空吸着するコレットと、前記ウェーハシートを真空吸着する吸着ステージとを備え、前記コレットでダイをピックアップするダイピックアップ方法において、
前記吸着ステージの上面には、ピックアップするダイをピックアップセンターに送る方向における送り側に突出面が形成され、前記吸着ステージでウェーハシートを真空吸着した状態で、ピックアップするダイが前記ピックアップセンターに位置するように前記ウェーハシートを送った後、前記コレットでダイを真空吸着してピックアップすることを特徴とするダイピックアップ方法。
【請求項２】
ウェーハシートに貼り付けられたダイを真空吸着するコレットと、前記ウェーハシートを真空吸着する吸着ステージとを備え、前記コレットでダイをピックアップするダイピックアップ方法において、
前記吸着ステージの上面には、ピックアップするダイをピックアップセンターに送る方向における送り側に突出面が形成され、ピックアップセンターに送る前に前記コレットでダイを真空吸着し、前記ウェーハシートと前記コレットを同期して前記ピックアップセンターに送ってダイをピックアップすることを特徴とするダイピックアップ方法。
【請求項３】
ウェーハシートに貼り付けられたダイを真空吸着するコレットと、前記ウェーハシートを真空吸着する吸着ステージとを備え、前記コレットでダイをピックアップするダイピックアップ装置において、
前記吸着ステージは、ウェーハシートを真空吸着する吸着筒と、ダイをピックアップセンターに送る方向における前記吸着筒の両側面に該吸着筒の上面より僅かに突出するように上下動可能に固定された駒と、前記吸着筒に螺合され、前記駒を上下動させる調整ナットとを備え、前記駒の前記吸着筒の上面より突出する部分の幅は、ダイの幅より小さく形成されていることを特徴とするダイピックアップ治具。
【請求項４】
前記吸着筒には、前記ダイの送り方向に沿って平行に多数の吸着溝が形成されていることを特徴とする請求項３記載のダイピックアップ治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハシートに貼り付けられたダイをコレットで前記ウェーハシートから剥離してピックアップするダイピックアップ方法及びダイピックアップ治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウェーハシートに貼り付けられたダイのピックアップ方法として、突き上げ針方式が一般的に行われている。しかし、この方法は、ダイの厚みが約１００μｍ以下と薄い場合には、ダイが破損するという問題があった。
【０００３】
この改善策として、突き上げ針を用いないでダイをウェーハシートよりピックアップする方法として、例えば特許文献１が挙げられる。この方法には、７つの実施例が開示されているが、いずれもピックアップするダイをピックアップセンターに移動させた後、ダイをコレットで保持し、吸着ステージを移動又は該吸着ステージ上面の一部突出した部分だけを移動させることにより、ウェーハシートをダイから剥離させる。
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−１１８８６２号公報（特許第３２０９７３６号公報）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記従来技術は、ダイをピックアップセンターに移動させた後、吸着ステージを移動又は突出した部分だけを移動させてウェーハシートをダイから剥離させるので、時間が掛かって生産性が悪い。また吸着ステージ又は吸着ステージの突出した部分を駆動させる駆動手段が必要であり、装置が高価になる。
【０００６】
本発明の課題は、ピックアップ時間の短縮化及び装置の低廉化が図れるダイピックアップ方法及びダイピックアップ治具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するための本発明の請求項１は、ウェーハシートに貼り付けられたダイを真空吸着するコレットと、前記ウェーハシートを真空吸着する吸着ステージとを備え、前記コレットでダイをピックアップするダイピックアップ方法において、
前記吸着ステージの上面には、ピックアップするダイをピックアップセンターに送る方向における送り側に突出面が形成され、前記吸着ステージでウェーハシートを真空吸着した状態で、ピックアップするダイが前記ピックアップセンターに位置するように前記ウェーハシートを送った後、前記コレットでダイを真空吸着してピックアップすることを特徴とする。
【０００８】
上記課題を解決するための本発明の請求項２は、ウェーハシートに貼り付けられたダイを真空吸着するコレットと、前記ウェーハシートを真空吸着する吸着ステージとを備え、前記コレットでダイをピックアップするダイピックアップ方法において、
前記吸着ステージの上面には、ピックアップするダイをピックアップセンターに送る方向における送り側に突出面が形成され、ピックアップセンターに送る前に前記コレットでダイを真空吸着し、前記ウェーハシートと前記コレットを同期して前記ピックアップセンターに送ってダイをピックアップすることを特徴とする。
【０００９】
上記課題を解決するための本発明の請求項３は、ウェーハシートに貼り付けられたダイを真空吸着するコレットと、前記ウェーハシートを真空吸着する吸着ステージとを備え、前記コレットでダイをピックアップするダイピックアップ装置において、
前記吸着ステージは、ウェーハシートを真空吸着する吸着筒と、ダイをピックアップセンターに送る方向における前記吸着筒の両側面に該吸着筒の上面より僅かに突出するように上下動可能に固定された駒と、前記吸着筒に螺合され、前記駒を上下動させる調整ナットとを備え、前記駒の前記吸着筒の上面より突出する部分の幅は、ダイの幅より小さく形成されていることを特徴とする。
【００１０】
上記課題を解決するための本発明の請求項４は、前記請求項３において、前記吸着筒には、前記ダイの送り方向に沿って平行に多数の吸着溝が形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
ピックアップするダイがピックアップセンターに移動する際に、当該ダイに対応したウェーハシートの部分は、吸着ステージの真空吸着によって突出面より剥がされるように送られるので、突出面のエッジ部でウェーハシートとダイの粘着力が低下する。即ち、ピックアップするダイをピックアップセンターに送った後に、直ちにコレットによるダイのピックアップが行えるので、ピックアップ時間の短縮化が図れる。また吸着ステージ又は突出部分を水平又は回転移動させる駆動手段を必要としないので、装置の低廉化が図れる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明のダイピックアップ治具の一実施の形態を図１及び図２により説明する。図２に示すように、ダイ１Ａ、１Ｂ、１Ｃ・・・が貼り付けられたウェーハシート２の外周は、図示しないウェーハリングに固定されている。ウェーハリングは、平面方向のＸＹ軸方向に駆動される図示しないウェーハ支持枠に固定される。ダイ１Ａ、１Ｂ、１Ｃ・・・は、吸着穴３が形成されたコレット４によって真空吸着されてピックアップされる。ピックアップセンター５の下方には、ウェーハシート２を真空吸着する吸着ステージ６が配設されている。以上は周知の技術である。
【００１３】
吸着ステージ６は、図１に示すように、吸着筒１０と、この吸着筒１０の両側面の上方部に固定された駒２０と、この駒２０の上下位置を調整する調整ナット３０とからなっている。吸着筒１０の中央には、貫通丸穴よりなる吸引丸穴１１が形成され、この吸引丸穴１１及びその両側には、ダイ１Ａ、１Ｂ、１Ｃ・・・をピックアップセンター５に送る方向（以下、Ｘ軸方向という）に平行に貫通長穴よりなる３個の吸引長穴１２が形成されている。また吸着筒１０の上面には、Ｘ軸方向に平行に多数の吸着溝１３が形成されており、これらの吸着溝１３を吸引するためにＹ軸方向に形成された貫通長穴よりなる複数個の吸引長穴１４が形成されている。
【００１４】
吸着筒１０のＸ軸方向の上方の両側部には、垂直に駒上下摺動部１５が形成されており、駒上下摺動部１５には駒２０がボルト３５で固定されている。駒上下摺動部１５より下方の外周には、ねじ部１６が形成されており、ねじ部１６には、調整ナット３０に形成されたねじ部３１が螺合しており、調整ナット３０の上面は駒２０の下面に当接するようになっている。駒２０の上面は、ダイ１Ａ、１Ｂ、１Ｃ・・・の幅より小さい幅の突出面２１と、この突出面２１より約２００μｍ低い逃げ面２２とからなっている。
【００１５】
そこで、ボルト３５を緩め、調整ナット３０を回して駒２０を上下動させ、駒２０の突出面２１を吸着筒１０の上面より約５０μｍ程度高くする。そして、ボルト３５を締め付け駒２０を吸着筒１０に固定する。
【００１６】
次にダイピックアップ方法について説明する。図２（ａ）に示すように、吸着ステージ６の真空をオンにし、ピックアップするダイ１Ａがピックアップセンター５に位置するように、ウェーハシート２が固定された図示しないウェーハリングをＸ軸方向に図２（ｂ）及び（ｃ）に示すように１ピッチ移動させる。前記したように、駒２０の上面は、ダイ１Ａの幅より小さく、かつ吸着筒１０の上面より約５０μｍ程度高く構成されているので、前記のようにダイ１Ａをピックアップセンター５に送る時に、ウェーハシート２は、吸着筒１０による真空吸引により駒２０のエッジ部２３によってダイ１Ａより剥がされるように送られると共に、吸着溝１３により吸引されており、エッジ部２３でウェーハシート２とダイ１Ａの粘着力が低下する。ダイ１Ａがピックアップセンター５に送られると、図２（ｃ）に示すように、コレット４が下降してダイ１Ａをピックアップする。この場合、ウェーハシート２とダイ１Ａの粘着力は低下しているので、コレット４はダイ１Ａを容易にピックアップすることができる。
【００１７】
ダイ１Ａを真空吸着してピックアップしたコレット４は、図示しない移送手段により上昇及びＸＹ軸方向に移動させられ、次工程、例えばダイボンディング、ダイ詰め等の工程を行う。ダイ１Ａがピックアップされると、次にピックアップされるダイ１Ｂを前記した動作によってピックアップセンター５に送る。
【００１８】
このように、ピックアップするダイ１Ａをピックアップセンター５に送った後に、直ちにコレット４によるダイ１Ａのピックアップが行えるので、ピックアップ時間の短縮化が図れる。また吸着ステージ６又は突出部分を水平又は回転移動させる駆動手段を必要としないので、装置の低廉化が図れる。
【００１９】
また吸着溝１３は、ダイ１Ａ、１Ｂ、１Ｃ・・・の送り方向（Ｘ軸方向）に平行に形成されているので、ウェーハシート２を比較的スムーズに送ることができる。
【００２０】
本発明のダイピックアップ方法の他の実施の形態を図３により説明する。吸着ステージ４０は、ピックアップセンター５のＸ軸方向の両側上面に突出面４１が形成されてている。なお、４２は吸引穴を示す。次に作用について説明する。図３（ａ）に示すように、吸着ステージ４０の真空をオンにし、またコレット４はピックアップするダイ１Ａの上方に位置した後に、図３（ｂ）に示すように下降してダイ１Ａを真空吸着する。次に図３（ｃ）に示すように、ウェーハシート２が固定された図示しないウェーハリングと、コレット４を同期させてＸ軸方向に１ピッチ移動させる。ウェーハシート２は吸引穴４２により真空吸着され、ダイ１Ａはコレット４に真空吸着されているので、吸着ステージ４０の突出面４１のエッジ部４３によってウェーハシート２はダイ１Ａより剥がされる。
【００２１】
本実施の形態においても、  ピックアップするダイ１Ａをピックアップセンター５に送った後には、コレット４を上昇させるのみでダイ１Ａのピックアップが行えるので、前記実施の形態と同様にピックアップ時間の短縮化が図れる。また吸着ステージ６を水平又は回転移動させる駆動手段を必要としないので、装置の低廉化が図れる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明のダイピックアップ治具の一実施の形態を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図、（ｃ）は（ａ）のＢ−Ｂ線断面図、（ｄ）は（ｃ）の右側面図である。
【図２】本発明のダイピックアップ方法の一実施の形態を示す工程図である。
【図３】本発明のダイピックアップ方法の他の実施の形態を示す工程図である。
【符号の説明】
【００２３】
１Ａ、１Ｂ、１Ｃ・・・    ダイ
２    ウェーハシート
３    吸着穴
４    コレット
５    ピックアップセンター
６    吸着ステージ
１０    吸着筒
１３    吸着溝
１５    駒上下摺動部
２０    駒
２１    突出面
２３    エッジ部
３０    調整ナット
３５    ボルト
４０    吸着ステージ
４１    突出面
４３    エッジ部
【図１】
2005064172.tif 000003
【図２】
2005064172.tif 000004
【図３】
2005064172.tif 000005