(57)【要約】【課題】  半導体パッケージの封止に用いられる液状封止樹脂等の液状樹脂をシリンジに充填する際の樹脂充填量のバラツキの低減に寄与し得るシリンジ用液状樹脂充填装置を提供する。【解決手段】  液状樹脂ストックタンク５から供給される液状樹脂をシリンジ３内に充填する注入ノズル７を有する一方、移送ホース１１と、分岐管１０とが液状樹脂流路１４を形成するシリンジ用液状樹脂充填装置において、液状樹脂流路１４に液状樹脂流路断面積制御手段を設け、この液状樹脂流路断面積制御手段を設けた部位の液状樹脂流路断面積を０から全開時における液状樹脂流路断面積まで連続的に制御可能に形成したので、シリンジ３への液状樹脂の供給速度、供給量が、連続量として制御可能となり、シリンジ３への液状樹脂の充填量の制御精度の向上が可能となった。【選択図】図１
2005041561.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上端開口部と下端注出口とを有する複数本のシリンジが配置される真空雰囲気室と、前記真空雰囲気室の外部に配置された液状樹脂ストックタンクと、前記真空雰囲気室内の前記シリンジの上方に配置され、前記液状樹脂ストックタンクから供給される液状樹脂を前記シリンジ内に前記上端開口部から注入、充填する注入ノズルとを有する一方、立設された前記注入ノズルの下端に前記液状樹脂の吐出口を有する円筒状のノズル本体と、前記ノズル本体の側面から延出され、その先端に前記液状樹脂ストックタンクと連結した移送ホースが接続される分岐管と、前記ノズル本体の内壁に摺接しながら上下動可能であるプランジャーとを具備し、前記移送ホースと、前記分岐管とが液状樹脂流路を形成するシリンジ用液状樹脂充填装置において、前記液状樹脂流路に液状樹脂流路断面積制御手段を設け、該液状樹脂流路断面積制御手段を設けた部位の液状樹脂流路断面積を０から前記液状樹脂流路断面積制御手段全開時における液状樹脂流路断面積まで連続的に制御可能に形成したことを特徴とするシリンジ用液状樹脂充填装置。
【請求項２】
前記液状樹脂流路断面積制御手段である液状樹脂供給ピンチバルブを前記移送ホースに有することを特徴とする請求項１記載のシリンジ用液状樹脂充填装置。
【請求項３】
前記液状樹脂流路断面積制御手段が、前記プランジャーであることを特徴とする請求項１または請求項２記載のシリンジ用液状樹脂充填装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体パッケージの封止に用いられる液状封止樹脂等の液状樹脂をシリンジ（注入器）に充填するシリンジ用液状樹脂充填装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液状封止樹脂等の粘度が高い（例えば３０〜５００Ｐａ・ｓ）液状樹脂をシリンジに充填するシリンジ用液状樹脂充填装置として、複数本のシリンジが配置される真空雰囲気室と、真空雰囲気室の外部に配置され液状樹脂がストックされた液状樹脂ストックタンクと、液状樹脂ストックタンクと移送ホースによって接続されると共に真空雰囲気室内にあってシリンジの上方に配置され、液状樹脂ストックタンクから供給される液状樹脂をシリンジ内にシリンジ上端の上端開口部から注入して充填する注入ノズルとを具備しており、液状樹脂ストックタンク内の液状樹脂を注入ノズルに供給し、さらに、注入ノズルから液状樹脂をシリンジに注入して充填するシリンジ用液状樹脂充填装置が知られている（特開２００１−２１９０号公報、特開２００２−３２６６０７号公報参照。）。
【０００３】
このようなシリンジ用液状樹脂充填装置ではシリンジへの液状樹脂の注入を終えると、注入ノズルからの液状樹脂の吐出を一旦停止する必要がある。液状樹脂の吐出を一旦停止した際に、注入ノズルの吐出口から液状樹脂が液垂れするとシリンジの上端開口部が液状樹脂で汚されたり、シリンジへの液状樹脂の充填量の精度が悪くなる等の問題があった。
【０００４】
そこで、上記した特開２００２−３２６６０７号公報では、注入ノズルの樹脂移送路内に残存する液状樹脂をエアーを用いて押し出して、注入ノズルの吐出口からの液垂れを防止することが提案されている。
【０００５】
しかし、かかるシリンジ用液状樹脂充填装置においても、注入ノズルの樹脂移送路内に残存する液状樹脂を、エアーを用いて完全に押し出すことは困難であり、例えば、樹脂移送路の側壁に液状樹脂が残存したり、液切れせずに吐出口に液状樹脂が残存したりする。そのため、エアーを用いて樹脂移送路内に残存する液状樹脂を押し出した後に、注入ノズルの吐出口から液状樹脂が少量ではあるが液垂れし、シリンジの上端開口部を汚したり、シリンジへの液状樹脂の充填量の精度を悪くするという問題点があった。
【０００６】
かかる問題点の解決を図るため、本願出願人は、既に、特願２００３−１４４６４１、特願２００３−１４５８０４において、エアーを用いて注入ノズルの樹脂移送路内に残存する液状樹脂を押し出した後に、注入ノズルの吐出口から液状樹脂が液垂れすることをより確実に防止でき、その結果、液状樹脂でシリンジの上端開口部を汚すことがなく、且つ、シリンジへの液状樹脂の充填量の精度向上を可能にするシリンジ用液状樹脂充填装置を提案している。
【０００７】
しかし、かかる改良を加えたシリンジ用液状樹脂充填装置においても、例えば、上記特願２００３−１４５８０４に示したシリンジ用液状樹脂充填装置では、シリンジへの液状樹脂の充填量の精度が悪くなる原因として、移送ホースの樹脂供給制御を担う樹脂用バルブの開閉が、開と閉の２段階のみであるため、シリンジの樹脂充填量にバラツキを生じ得るという問題点があった。
【特許文献１】特開２００１−２１９０号公報
【特許文献２】特開２００２−３２６６０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本願発明は、上記従背景技術に鑑みて発明されたものであり、その課題は、半導体パッケージの封止に用いられる液状封止樹脂等の液状樹脂をシリンジに充填する際の樹脂充填量のバラツキの低減に寄与し得るシリンジ用液状樹脂充填装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、請求項１に係る発明のシリンジ用液状樹脂充填装置にあっては、上端開口部と下端注出口とを有する複数本のシリンジが配置される真空雰囲気室と、前記真空雰囲気室の外部に配置された液状樹脂ストックタンクと、前記真空雰囲気室内の前記シリンジの上方に配置され、前記液状樹脂ストックタンクから供給される液状樹脂を前記シリンジ内に前記上端開口部から注入、充填する注入ノズルとを有する一方、立設された前記注入ノズルの下端に前記液状樹脂の吐出口を有する円筒状のノズル本体と、前記ノズル本体の側面から延出され、その先端に前記液状樹脂ストックタンクと連結した移送ホースが接続される分岐管と、前記ノズル本体の内壁に摺接しながら上下動可能であるプランジャーとを具備し、前記移送ホースと、前記分岐管とが液状樹脂流路を形成するシリンジ用液状樹脂充填装置において、前記液状樹脂流路に液状樹脂流路断面積制御手段を設け、該液状樹脂流路断面積制御手段を設けた部位の液状樹脂流路断面積を０から前記液状樹脂流路断面積制御手段全開時における液状樹脂流路断面積まで連続的に制御可能に形成したことを特徴とするものである。
【００１０】
請求項２に係る発明のシリンジ用液状樹脂充填装置にあっては、請求項１記載のシリンジ用液状樹脂充填装置において、前記液状樹脂流路断面積制御手段である液状樹脂供給ピンチバルブを前記移送ホースに有することを特徴とするものである。
【００１１】
請求項３に係る発明のシリンジ用液状樹脂充填装置にあっては、請求項１または請求項２記載のシリンジ用液状樹脂充填装置において、前記液状樹脂流路断面積制御手段が、前記プランジャーであることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１２】
請求項１に係る発明のシリンジ用液状樹脂充填装置にあっては、上端開口部と下端注出口とを有する複数本のシリンジが配置される真空雰囲気室と、前記真空雰囲気室の外部に配置された液状樹脂ストックタンクと、前記真空雰囲気室内の前記シリンジの上方に配置され、前記液状樹脂ストックタンクから供給される液状樹脂を前記シリンジ内に前記上端開口部から注入、充填する注入ノズルとを有する一方、立設された前記注入ノズルの下端に前記液状樹脂の吐出口を有する円筒状のノズル本体と、前記ノズル本体の側面から延出され、その先端に前記液状樹脂ストックタンクと連結した移送ホースが接続される分岐管と、前記ノズル本体の内壁に摺接しながら上下動可能であるプランジャーとを具備し、前記移送ホースと、前記分岐管とが液状樹脂流路を形成するシリンジ用液状樹脂充填装置において、前記液状樹脂流路に液状樹脂流路断面積制御手段を設け、該液状樹脂流路断面積制御手段を設けた部位の液状樹脂流路断面積を０から前記液状樹脂流路断面積制御手段全開時における液状樹脂流路断面積まで連続的に制御可能に形成したことを特徴とするので、シリンジへの液状樹脂供給速度、供給量が、連続量として制御可能となり、シリンジの樹脂充填量におけるバラツキ等に起因する誤差を低減でき、シリンジへの液状樹脂の充填量の制御精度を向上し得るという優れた効果を奏する。
【００１３】
請求項２に係る発明のシリンジ用液状樹脂充填装置は、請求項１記載のシリンジ用液状樹脂充填装置において、前記液状樹脂流路断面積制御手段である液状樹脂供給ピンチバルブを前記移送ホースに有することを特徴とするので、請求項１記載のシリンジ用液状樹脂充填装置の発明の効果に加えて、シリンジへの液状樹脂の充填量の制御が、簡便且つ高精度でできるという優れた効果を奏する。
【００１４】
請求項３に係る発明のシリンジ用液状樹脂充填装置は、請求項１または請求項２記載のシリンジ用液状樹脂充填装置において、前記液状樹脂流路断面積制御手段が、前記プランジャーであることを特徴とするので、請求項１または請求項２記載のシリンジ用液状樹脂充填装置の発明の効果に加えて、シリンジ用液状樹脂充填装置の機構を複雑化することなく、シリンジへの液状樹脂の充填量の制御が、簡便且つ高精度でできるという優れた効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態を図面に基づき説明する。尚、本発明のシリンジ用液状樹脂充填装置は、下記の実施形態にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
【００１６】
ここで、図１は、本発明のシリンジ用液状樹脂充填装置の一実施形態の構成を示す斜視図である。すなわち、本発明のシリンジ用液状樹脂充填装置にあっては、上端開口部１と下端注出口２とを有する複数本のシリンジ３が配置される真空雰囲気室４と、この真空雰囲気室４の外部に配置された液状樹脂ストックタンク５と、真空雰囲気室４内のシリンジ３の上方に配置され、液状樹脂ストックタンク５から供給される液状樹脂６をシリンジ３内に上端開口部１から注入、充填する注入ノズル７とを有する一方、立設された前記注入ノズル７の下端に液状樹脂６の吐出口８を有する円筒状のノズル本体９と、このノズル本体９の側面から延出され、その先端に液状樹脂ストックタンク５と連結した移送ホース１１が接続される分岐管１０と、ノズル本体９の内壁１２に摺接しながら上下動可能であるプランジャー１３とを具備し、移送ホース１１と、分岐管１０とが液状樹脂流路１４を形成するシリンジ用液状樹脂充填装置において、前記液状樹脂流路１４に液状樹脂流路断面積制御手段１５を設け、この液状樹脂流路断面積制御手段１５を設けた部位の液状樹脂流路断面積を０から前記液状樹脂流路断面積制御手段１５の全開時における液状樹脂流路断面積まで連続的に制御可能に形成するものである。
【００１７】
以下、これを、さらに詳細に説明する。
【００１８】
本発明の実施形態に係るシリンジへの液状樹脂のシリンジ用液状樹脂充填装置は、図１に示すように、真空雰囲気室４と、液状樹脂ストックタンク５と、注入ノズル７とを具備している。真空雰囲気室４は、アクリル樹脂板等で作製されたものであり、開閉自在に設けた出し入れ口（図示せず）を閉じると密閉状態になるようにしてある。真空雰囲気室４は、その側面に排気筒１６が設けてあり、この排気筒１６に真空ポンプ１７が接続してある。また、真空雰囲気室４は、その側面に真空計１８を備えており、真空雰囲気室４内の真空度を測定可能としている。また、真空雰囲気室４は、真空ポンプ１７及び真空計１８と接続している制御器１９によって、真空ポンプ１７の動作を制御することにより、真空雰囲気室内４の真空度を所定の真空度に保持できるようにしている
また、真空雰囲気室４内には、上端開口部１と下端注出口２とを設けて形成された複数本のシリンジ３が配置される。これらのシリンジ３は、シリンジスタンド２０の上面に縦方向及び横方向に配列して保持されている。これら、各シリンジ３は、その上端開口部１を上に、下端注出口２を下にして保持されている（図２参照）。シリンジスタンド２０は、計量秤の上に載置されており、シリンジ３内に注入された液状樹脂６（図２参照）を計量できるようになっている
。シリンジスタンド２０は、計量秤と共に、スタンド移動装置２１によって、水平方法及び垂直方向に移動可能としている。
【００１９】
また、このシリンジ用液状樹脂充填装置において、液状樹脂６がストックされる液状樹脂ストックタンク５は、下部がテーパー形状になっており、その下端に樹脂出口２２が設けてあり、この樹脂出口２２から液状樹脂６を送り出すようにしている。液状樹脂ストックタンク５の外周には、液状樹脂６の温度を調整する温度調整装置２３が付設されている。液状樹脂ストックタンク５の樹脂出口２２には、移送ホース１１の一端が接続されており、移送ホース１１の他端は注入ノズル７の分岐管１０（図２参照）に接続されている。この注入ノズル７は、真空雰囲気室４内にあってシリンジ３の上方に配置されている。
【００２０】
注入ノズル７の分岐管１０の先端に位置する供給口２４（図２参照）近傍の移
送ホース１１には液状樹脂供給ピンチバルブ２５を設けている。液状樹脂供給ピンチバルブ２５は、前後自在に移動する断面視が略矩形状の押片２８と、その対向面に配置されたプレート２９とで、移送ホース１１を挟んで、液状樹脂６の供給を制御するピンチコック式のものである。
【００２１】
注入ノズル７は、液状樹脂ストックタンク５から供給された液状樹脂６を、下端に形成した吐出口８（図２参照）から吐出して、シリンジ３の上端開口部１からシリンジ３内に注入する。注入ノズル７及びシリンジ３は、真空雰囲気中に配置されるので、液状樹脂６に空気が巻き込まれることなしに、液状樹脂６をシリンジ３内に充填することができる。
【００２２】
また、注入ノズル７は、図２に示すように、立設されていて、その下端に液状樹脂６の吐出口８を形成している円筒状のノズル本体９と、ノズル本体９の側面から延出され、その先端に前記移送ホース１１が接続される分岐管１０と、ノズル本体９の内壁１２に摺接しながら上下動可能であるプランジャー１３とを備えている。プランジャー１３は、プランジャー駆動用シリンダー２６によって、ノズル本体９の内壁１２に摺接しながら上下動できるようにしている。なお、 プランジャー１３がノズル本体９の内壁１２に摺接する部分は、円筒形状としている。
【００２３】
そして、プランジャー１３の先端部２７が分岐管１０の出口３０より上方位置に達するまでプランジャー１３を上昇させたときには、ノズル本体９と分岐管１０とが連通し、プランジャー１３の先端部２７が吐出口８に達する位置までプランジャー１３を下降させたときには、プランジャー１３の側面で分岐管１０の出口３０が閉塞される。なお、分岐管１０の先端側が、移送ホース１１から液状樹脂６が供給される供給口２４となり、分岐管１０のノズル本体９側が出口３０となる。
【００２４】
ノズル本体９及び分岐管１０の材質は、鉄、ステンレス等の金属又はフッ素樹脂などのプラスチック類であることが耐久性等の点で好ましく、プランジャー１３の材質は、鉄、ステンレス等の金属又はフッ素樹脂などのプラスチック類であることが耐久性等の点で好ましい。
【００２５】
なお、ここでは、プランジャー１３の先端部２７の形状について、図２で示すように、円錐形状の凹部３１を有する形状としている。かかる円錐形状の凹部３１は、先端部２７に付着した液状樹脂６の液切れ性を向上させると共に、液切れ後に先端部２７に付着した液状樹脂６を保持する性質があるので、液垂れ防止に効果があり、好ましい。特に、粘度が３０〜６００Ｐａ・ｓの粘度の液状樹脂６の場合に、液垂れ防止効果が顕著となるというものである。但し、本発明のシリンジ用液状樹脂充填装置のプランジャー１３の先端部２７の形状は、かかる円錐形状の凹部３１を有する形状のもののみに限定されるものではなく、上記課題解決に寄与し得る限りにおいて、何ら制約がないことはいうまでもない。
【００２６】
以下、本実施形態のシリンジ用液状樹脂充填装置を用いて、液状樹脂６をシリンジ３内に注入して充填する充填方法について、図３及び図４に基づいて説明する。
【００２７】
即ち、上記構成を有する本実施形態のシリンジ用液状樹脂充填装置において、移送ホース１１と、分岐管１０とが液状樹脂流路１４を形成し、この液状樹脂流路１４に液状樹脂流路断面積制御手段１５を設け、この液状樹脂流路断面積制御手段１５を設けた部位の液状樹脂流路断面積を０から前記液状樹脂流路断面積制御手段１５の全開時における液状樹脂流路断面積まで連続的に制御可能に形成するというものである。ここで、図３は、液状樹脂供給ピンチバルブ２５が、液状樹脂流路断面積制御手段１５ａとして機能するケースを示すものである。
【００２８】
即ち、液状樹脂６のシリンジ３内への充填を開始する前の段階では、図３（ａ）に示すように、液状樹脂供給ピンチバルブ２５の押片２８とプレート２９とで移送ホース１１を挟んで締めて、移送ホース１１から、注入ノズル７への液状樹脂６の供給を停止すると共に、注入ノズル７が備えるプランジャー１３が下降していて、プランジャー１３の側面で分岐管の出口３０を閉塞した状態となっている。
【００２９】
次に、図３（ｂ）に示すように、液状樹脂流路断面積制御手段１５ａである液状樹脂供給ピンチバルブ２５の押片２８を後退させ、押片２８とプレート２９との間を部分的に開放し、移送ホース１１から、注入ノズル７への液状樹脂６の供給を可能とする。
【００３０】
そして、液状樹脂６をシリンジ３内に充填するときには、図３（ｃ）に示すように、プランジャー１３の先端部２７が分岐管１０の出口３０より上方位置に達するまでプランジャー１３を上昇させて、ノズル本体９と分岐管１０とを連通する。すなわち、液状樹脂６を注入ノズル７の供給口２４から注入ノズル７に供給し、さらに、その液状樹脂６を注入ノズル７の下端の吐出口８から吐出させて、シリンジ３内に注入する。この際、液状樹脂ストックタンク５内の液状樹脂６の減量及び減量速度をモニタリングする一方、この液状樹脂６の減量及び減量速度から、液状樹脂流路断面積制御手段１５ａである液状樹脂供給ピンチバルブ２５の押片２８とプレート２９との間に挟まれた移送ホース１１の挟持部位３２での開閉度を液状樹脂供給ピンチバルブ２５の押片２８を前進、後退により連続的に制御可能とする。すなわち、この場合、移送ホース１１と分岐管１０とで形成した液状樹脂流路１４に液状樹脂流路断面積制御手段１５ａである液状樹脂供給ピンチバルブ２５を設け、移送ホース１１の液状樹脂供給ピンチバルブ２５を設けた部位である挟持部位３２での開閉度を液状樹脂供給ピンチバルブ２５の押片２８を前進、後退により連続的に制御することにより、挟持部位３２での液状樹脂流路１４を構成する移送ホース１１における液状樹脂６の流路断面積を液状樹脂供給ピンチバルブ２５の全閉時（図３（ｄ）参照）の０から液状樹脂供給ピンチバルブ２５の全開時（図３（ｅ）参照）における移送ホース１１の液状樹脂流路断面積まで連続的に制御可能に形成するものである。
【００３１】
こうして、計算量の液状樹脂６が、移送ホース１１の挟持部位３２を流れた時点で、図３（ｄ）に示すように、液状樹脂供給ピンチバルブ２５の押片２８とプレート２９とで移送ホース１１の挟持部位３２を挟んで完全に締めて、移送ホース１１から、注入ノズル７への液状樹脂６の供給を停止するというものである。
【００３２】
その後、図３（ａ）に示すように、プランジャー１３の先端部２７が吐出口８に達する位置までプランジャー１３を下降させる。この際、プランジャー１３の下降動作に伴って、ノズル本体９中に残存した液状樹脂６を吐出口８から、シリンジ３内に注入する。そして、プランジャー１３の先端部２７が吐出口８に達する位置までプランジャー１３を下降させたときには、プランジャー１３の側面で分岐管の出口３０は閉塞するようにしてシリンジ３への液状樹脂６の１回の充填操作を完了できることとなる。なお、図３（ｄ）〜（ａ）の過程において、シリンジ３内に注入されるノズル本体９内の残存液状樹脂６の量は、１回の充填操作においては、一定であるので、これを考慮して移送ホース１１の挟持部位３２を流れる液状樹脂６の計算量を予め設定することは当然に可能となる。
【００３３】
この結果、シリンジ３への液状樹脂供給速度、供給量が、連続量として制御可能となり、シリンジ３の樹脂充填量におけるバラツキ等に起因する誤差を低減でき、シリンジ３への液状樹脂６の充填量の制御精度を向上し得ることとなる。
【００３４】
さらに、本実施形態においては、液状樹脂流路断面積制御手段１５ａである液状樹脂供給ピンチバルブ２５を移送ホース１１の挟持部位３２に有するので、シリンジ３への液状樹脂６の充填量の制御が、簡便且つ高精度でできることとなる。
【００３５】
すなわち、この場合、図３に示すように、液状樹脂流路断面積制御手段１５ａである液状樹脂供給ピンチバルブ２５を設けた挟持部位３２における移送ホース１１の液状樹脂流路断面積を０（図３（ｄ））から液状樹脂供給ピンチバルブ１６の全開時（図３（ｅ））における液状樹脂流路断面積まで、その中間状態（図３（ｃ））を経由して、連続的に制御可能に形成することとなる。
【００３６】
また、この場合、上記図３（ｃ）、図３（ｄ）、図３（ｅ）に示すように、プランジャー１３の先端部２７が分岐管１０の出口３０より上方位置に達するまでプランジャー１３を上昇させた状態であってもよいが、図３（ｆ）に示すようにプランジャー１３を下げて分岐管１０の出口３０を部分的に開放する状態で実施することも当然可能である。
【００３７】
さらに、かかる液状樹脂流路断面積制御手段１５は、上記液状樹脂供給ピンチバルブ２５である液状樹脂流路断面積制御手段１５ａのみに限定されるものでないことはいうまでもない。例えば、本実施形態においても、図４に示すように、液状樹脂流路断面積制御手段１５ｂとしてプランジャー１３を使用できることもできる。即ち、液状樹脂６のシリンジ３内への充填を開始する前の段階では、図４（ａ）に示すように、液状樹脂供給ピンチバルブ２５の押片２８とプレート２９とで移送ホース１１を挟んで締めて、移送ホース１１から、注入ノズル７への液状樹脂６の供給を停止すると共に、注入ノズル７が備えるプランジャー１３が下降していて、プランジャー１３の側面で分岐管の出口３０を完全に閉塞した状態となっている。
【００３８】
次に、図４（ｂ）に示すように、液状樹脂供給ピンチバルブ２５の押片２８を後退させ、押片２８とプレート２９との間を開放し、移送ホース１１から、注入ノズル７への液状樹脂６の供給を可能とする。
【００３９】
そして、液状樹脂６をシリンジ３内に充填するときには、図４（ｃ）に示すように、プランジャー１３を上昇させて、プランジャー１３の先端部２７が分岐管１０の出口３０の下端部より上方に位置せしめ、ノズル本体９と分岐管１０とを連通させる。すなわち、液状樹脂６を注入ノズル７の供給口２４から注入ノズル７に供給し、さらに、その液状樹脂６を注入ノズル７の下端の吐出口８から吐出させて、シリンジ３内に注入できることとなる。この際、液状樹脂ストックタンク５内の液状樹脂６の減量及び減量速度をモニタリングする一方、この液状樹脂６の減量及び減量速度に基づき、液状樹脂流路断面積制御手段１５ｂであるプランジャー１３の昇降を制御し、プランジャー１３で分岐管１０の出口３０の開閉度を連続的に制御可能とする。すなわち、この場合、移送ホース１１と分岐管１０とで形成した液状樹脂流路１４の分岐管１０の出口３０に液状樹脂流路断面積制御手段１５ｂであるプランジャー１３を設け、出口３０での開閉度をプランジャー１３の昇降により連続的に制御することにより、出口３０での液状樹脂流路１４を構成する分岐管１０における液状樹脂６の流路断面積を出口３０での液状樹脂流路１４の全閉時（図４（ｂ）参照）の０から、出口３０での液状樹脂流路１４の全開時（図４（ｄ）参照）における出口３０の液状樹脂流路断面積まで連続的に制御可能に形成するものである。
【００４０】
こうして、計算量の液状樹脂６が、出口３０を流れた時点で、図４（ｂ）に示すように、プランジャー１３の先端部２７が吐出口８に達する位置までプランジャー１３を下降させることにより出口３０を完全に閉じて、注入ノズル７への液状樹脂６の供給を停止するというものである。
【００４１】
その後、図４（ａ）に示すように、液状樹脂供給ピンチバルブ２５の押片２８とプレート２９とで移送ホース１１の挟持部位３２を挟んで完全に締めて、移送ホース１１から、注入ノズル７への液状樹脂６の供給経路を閉じるというものである。このようにしてシリンジ３への液状樹脂６の１回の充填操作を完了できることとなる。
【００４２】
この結果、シリンジ３への液状樹脂供給速度、供給量が、連続量として制御可能となり、シリンジ３の樹脂充填量におけるバラツキ等に起因する誤差を低減でき、シリンジ３への液状樹脂６の充填量の制御精度を向上し得ることとなる。さらに、このように、液状樹脂流路断面積制御手段１５ｂとして、プランジャー１３を使用することによって、シリンジ用液状樹脂充填装置の機構を複雑化することなく、シリンジへの液状樹脂の充填量の制御が、簡便且つ高精度でできることとなる。すなわち、この場合、図４に示すように、移送ホース１１と分岐管１０とで形成した液状樹脂流路１４の分岐管１０の出口３０に液状樹脂流路断面積制御手段１５ｂであるプランジャー１３を設け、出口３０での開閉度をプランジャー１３の昇降により連続的に制御することにより、出口３０での液状樹脂流路１４を構成する分岐管１０における液状樹脂６の流路断面積を出口３０での液状樹脂流路１４の全閉時（図４（ｂ）参照）の０から、出口３０での液状樹脂流路１４の全開時（図４（ｄ）参照）における出口３０の液状樹脂流路断面積まで、その中間状態（図４（ｃ）参照）を経由して、連続的に制御可能に形成することとなる。
【００４３】
なお、本発明のシリンジ用液状樹脂充填装置の制御方法としては、例えば、上記液状樹脂ストックタンク５内の液状樹脂６の減量値及び減量速度に対応した出力信号を受け、上記液状樹脂流路断面積制御手段１５の開閉度を制御する信号を出力するように構成できる。制御方法は、特に制限されないが、公知のフィードバック制御技術を利用できる。
【００４４】
さらに、本実施形態においては、液状樹脂ストックタンク５内の液状樹脂６の減量及び減量速度をモニタリングすることとしたが、本発明のシリンジ用液状樹脂充填装置においては、これのみに限定されるものではなく、例えば、シリンジ３内の液状樹脂６の増量及び増量速度をモニタリングする等の実施形態も可能であり、上記課題解決に寄与し得る限りにおいて、何ら制約がないことはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本願発明の一実施形態であるシリンジ用液状樹脂充填装置の構成を示す斜視図である。
【図２】同シリンジ用液状樹脂充填装置の構成の要部を示す断面図である。
【図３】同シリンジ用液状樹脂充填装置において、液状樹脂流路断面積制御手段が、液状樹脂供給ピンチバルブである場合の動作の各ステップを示すもので、（ａ）〜（ｆ）は、前記各ステップの概略を示す断面図である。
【図４】同シリンジ用液状樹脂充填装置において、液状樹脂流路断面積制御手段が、プランジャーである場合の動作の各ステップを示すもので、（ａ）〜（ｄ）は、前記各ステップの概略を示す断面図である。
【符号の説明】
【００４６】
１    上端開口部（シリンジ３）
２    下端注出口（シリンジ３）
３    シリンジ
４    真空雰囲気室
５    液状樹脂ストックタンク
６    液状樹脂
７    注入ノズル
８    吐出口（ノズル本体９）
９    ノズル本体
１０    分岐管（注入ノズル７）
１１    移送ホース
１２    内壁（ノズル本体９）
１３    プランジャー
１４    液状樹脂流路
１５    液状樹脂流路断面積制御手段
１５ａ  液状樹脂流路断面積制御手段
１５ｂ  液状樹脂流路断面積制御手段
１６    排気筒
１７    真空ポンプ
１８    真空計
１９    制御器
２０    シリンジスタンド
２１    スタンド移動装置
２２    樹脂出口（液状樹脂ストックタンク５）
２３    温度調整装置（液状樹脂ストックタンク５）
２４    供給口（分岐管１０）
２５    液状樹脂供給ピンチバルブ
２６    プランジャー駆動用シリンダー
２７    先端部（プランジャー１３）
２８    押片（液状樹脂供給ピンチバルブ２５）
２９    プレート（液状樹脂供給ピンチバルブ２５）
３０    出口（分岐管１０）
３１    凹部（先端部２７）
３２    挟持部位（移送ホース１１）
【図１】
2005041561.tif 000003
【図２】
2005041561.tif 000004
【図３】
2005041561.tif 000005
【図４】
2005041561.tif 000006