(57)【要約】【課題】スリーブ部材と突状電極とショートの心配が無く、スラッジを良好に流出させることができ、また、１個の突状電極であっても、溝を形成でき、溝数、溝幅も変更できる円柱状電極、これを用いたスリーブ部材の溝加工方法及びその装置を得ること。【解決手段】本発明のスリーブ部材の溝加工装置１は、スリーブ部材Ｓを保持するチャック１０と、スリーブ部材Ｓの上方開口部から挿入され、断面が円形の電極本体２１のその外周面に少なくとも１個の突状電極２２が形成されている円柱状電極２０Ａと、その円柱状電極２０Ａをスリーブ部材Ｓの中空円開口部の上端縁から軸方向の所定位置の間、昇降させるＺ軸駆動装置４と、円柱状電極２０Ａを所定の角度回動させるＣ軸回動装置７と、円柱状電極２０Ａの突状電極２２がスリーブ部材Ｓの中空内周面に近接した時に、スリーブ部材Ｓと円柱状電極２０Ａとの間に所定の電圧を印加できる電源１５とを備えて構成されている。【選択図】図１
2005313260.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
溝加工を施そうとするスリーブ部材の中空円の直径よりも小さい直径の断面が円形の電極本体の同一外周面に少なくとも１個の突状電極が形成されていることを特徴とする円柱状電極。
【請求項２】
前記突状電極の先端が描く円の直径が前記スリーブ部材の中空円の直径よりも大であることを特徴とする請求項１に記載の円柱状電極。
【請求項３】
前記突状電極の先端が描く円の直径が前記スリーブ部材の中空円の直径よりも小であることを特徴とする請求項１に記載の円柱状電極。
【請求項４】
前記突状電極が前記電極本体の軸線方向に所定の間隔を開け、前記電極本体の外周面に形成されていることを特徴とする請求項３に記載の円柱状電極。
【請求項５】
スリーブ部材の中空円開口部の上方位置から、少なくとも１個の突状電極が電極本体の外周面に形成されている円柱状電極の前記突状電極を、該突状電極と前記スリーブ部材との間に電圧を印加しながら、そして一定の速度で一方向に回転させながら前記スリーブ部材の軸線方向における中間位置まで一定の速度で下降させ、前記スリーブ部材の中空内周面に第１の溝を形成する第１ステップと、
前記突状電極が前記中間位置に達した時に、該突状電極の回転方向を反転させ、引き続き前記突状電極と前記スリーブ部材との間に電圧を印加しながら前記スリーブ部材の下方位置まで前記一定の速度で下降させ、前記スリーブ部材の前記内周面に前記第１の溝に続く第２の溝を形成する第２ステップと、
その後、前記突状電極と前記スリーブ部材との間に印加している電圧を切断して前記突状電極を所定の角度回動する第３ステップと、
前記突状電極と前記スリーブ部材との間に再度電圧を印加しながら、前記突状電極を前記第３ステップにおける回動位置から、前記第２ステップにおける前記スリーブ部材の回転方向と逆の回転方向に回転させながら前記スリーブ部材の軸線方向において前記一定の速度と同一の速度で前記中間位置まで上昇させ、前記第２の溝と所定の間隔が開いた平行な第３の溝を形成する第４ステップと、
前記中間位置に達した時に、該突状電極の回転方向を反転させ、引き続き前記突状電極と前記スリーブ部材との間に電圧を印加しながら前記スリーブ部材の軸線方向の前記上方位置まで前記一定の速度で上昇させ、前記スリーブ部材の前記内周面に前記第１の溝と所定の間隔が開いた平行な前記第３の溝に続く第４の溝を形成する第５ステップと、
必要に応じて前記第１ステップから第５ステップの溝加工を繰り返し行って同様の溝を前記スリーブ部材の中空円の内周面全周に形成する第６ステップと
を含むスリーブ部材の溝加工方法。
【請求項６】
スリーブ部材の中空円開口部の上方位置から、少なくとも１個の突状電極が電極本体の外周面に形成されている円柱状電極の前記突状電極を、該突状電極と前記スリーブ部材との間に電圧を印加しながら、そして一定の速度で一方向に回転させながら前記スリーブ部材の軸線方向における第１の所定位置まで一定の速度で下降させ、前記スリーブ部材の中空内周面に第１の溝を形成する第１ステップと、
前記突状電極が前記第１の所定位置に達した時に、該突状電極の回転方向を反転させ、引き続き前記突状電極と前記スリーブ部材との間に電圧を印加しながら前記スリーブ部材の軸線方向の第２の所定位置まで前記一定の速度で下降させ、前記スリーブ部材の前記内周面に前記第１の溝に続く第２の溝を形成する第２ステップと、
前記第２の所定位置から前記突状電極を軸線方向に一定の速度で第３の所定位置まで降下させる第３ステップと、
前記突状電極が前記第３の所定位置に達した時に、引き続き前記突状電極と前記スリーブ部材との間に電圧を印加しながら、前記突状電極の回転方向を反転させて前記第１ステップにおける前記突状電極の回転方向と同一の方向に回転させ、前記スリーブ部材の軸線方向における第４の所定位置まで一定の速度で下降させて、前記スリーブ部材の前記中空内周面に第４の溝を形成する第４ステップと、
前記突状電極が前記第４の所定位置に達した時に、引き続き前記突状電極と前記スリーブ部材との間に電圧を印加しながら、前記突状電極の回転方向を反転させて前記第２ステップにおける前記突状電極の回転方向と同一の方向に回転させ、そして前記スリーブ部材の下端位置まで一定の速度で下降させて、前記スリーブ部材の前記中空内周面に第５の溝を形成する第５ステップと、
次に、前記突状電極と前記スリーブ部材との間に印加している電圧を切断して前記突状電極を所定の角度回動する第６ステップと、
続いて前記突状電極と前記スリーブ部材との間に再度電圧を印加しながら、前記突状電極の回転方向及び軸線方向の移動を前記第１ステップから前記第５ステップにおける回転方向及び軸線方向の移動とは逆に回転及び移動させながら前記突状電極で前記第１の溝から第５の溝にそれぞれ平行な溝を前記スリーブ部材の前記中空内周面に形成する第７ステップと、
必要に応じて前記第１ステップから第７ステップの溝加工を繰り返し行って同様の溝を前記スリーブ部材の中空内周面全周に形成する第８ステップと
を含むスリーブ部材の溝加工方法。
【請求項７】
前記円柱状電極は、前記電極本体の直径が前記スリーブ部材の前記開口部の内径より小さく、前記突状電極の先端が描く円の直径が前記スリーブ部材の前記開口部の直径より僅かに大であることを特徴とする請求項５または請求項６に記載のスリーブ部材の溝加工方法。
【請求項８】
前記円柱状電極は、前記電極本体の直径が前記スリーブ部材の前記開口部の内径より小さく、かつ前記突状電極の先端が描く円の直径が前記スリーブ部材の前記開口部の直径より僅かに小であることを特徴とする請求項５または請求項６に記載のスリーブ部材の溝加工方法。
【請求項９】
溝加工を施そうとするスリーブ部材の中空円の直径よりも小さい直径の断面が円形の電極本体の軸線方向に所定の間隔を開けてそれぞれの外周面に少なくとも１個の突状電極が形成されており、該突状電極の先端が描く円の直径が加工しようとするスリーブ部材の中空円の直径よりも小である円柱状電極を、前記スリーブ部材の中空円内の所定位置まで挿入する第１ステップと、
該所定位置から所定の第１中間位置まで前記スリーブ部材と前記円柱状電極との間に所定の電圧を印加し、そして前記円柱状電極を回転しながら前記スリーブ部材に軸線方向に降下させる第２ステップと、
前記第１中間位置で前記円柱状電極を反転し、前記第１中間位置から第２中間位置まで前記スリーブ部材と前記円柱状電極との間に所定の電圧を印加し、そして前記円柱状電極を回転しながら前記スリーブ部材に軸線方向に降下させる第３ステップと、
必要に応じて前記第２ステップと前記第３ステップとを繰り返し行わせる第４ステップと、
前記円柱状電極を所定の角度、回動し、前記第２ステップ、前記第３ステップの動作を行わせる第５ステップと
を含むスリーブ部材の溝加工方法。
【請求項１０】
溝加工を施そうとするスリーブ部材を垂直に保持し、一方の電極となるチャックと、
前記スリーブ部材の上方開口部から挿入され、該スリーブ部材の中空円の直径よりも小さい直径で断面が円形の電極本体の外周面に少なくとも１個の突状電極が形成されている円柱状電極と、
該円柱状電極を前記チャックに保持された前記スリーブ部材の内部の軸方向の所定位置に上下動させるＺ軸方向駆動手段と、
前記突状電極を可逆回転させる機能と、前記突状電極が前記スリーブ部材の外方に在る時に、該突状電極を所定の角度回動させる機能を備えた回転手段と、
前記チャックと前記円柱状電極との間に所定の電圧を印加できる電源装置と
を備えて構成されていることを特徴とするスリーブ部材の溝加工装置。
【請求項１１】
前記Ｚ軸駆動手段は前記突状電極が前記スリーブ部材の中空内周面に近接している時に、該突状電極を前記スリーブ部材の軸方向に微細に揺動させる揺動手段を備えていることを特徴とする請求項１０に記載のスリーブ部材の溝加工装置。
【請求項１２】
前記回動手段は前記突状電極が前記スリーブ部材の中空内周面に近接している時に、該突状電極を前記スリーブ部材の内周方向に微細に揺動させる揺動手段を備えていることを特徴とする請求項１０に記載のスリーブ部材の溝加工装置。
【請求項１３】
前記チャックと該チャックに保持された前記スリーブ部材とを電解液中に浸すための電解液糟を備えていることを特徴とする請求項１０に記載のスリーブ部材の溝加工装置。
【請求項１４】
前記電解液を前記スリーブ部材の中空円内を循環させ、発生するスラッジを除去する電解液循環手段を備えていることを特徴とする請求項１３に記載のスリーブ部材の溝加工装置。
【請求項１５】
前記スリーブ部材の中空内周面に前記突状電極を備えた円柱状電極で放電加工により溝を形成している時に、前記中空内周面と前記円柱状電極との間に油を供給する油供給装置を備えていることを特徴とする請求項１０に記載のスリーブ部材の溝加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、モータの軸受けなどに用いられるスリーブ部材の内周面にへリングボーン形状のような動圧流体溝などの溝を形成するための円柱状電極、これを用いたスリーブ部材の溝加工方法及びその装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
通常、マイクロコンピュータのハードディスク駆動装置用のＤＣブラシレスモータ、ＣＤ−ＲＯＭ駆動装置用のＤＣモータなどでは、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭなどの記録媒体を安定して高速回転させるために、軸受けとして動圧流体軸受が用いられている。動圧流体軸受は、一般的に、相対回転されるスリーブ状の軸受け部材（以下、スリーブ部材と記す）と軸部材とから構成され、スリープ部材の内周面及び／または軸部材の外周面に動圧流体溝が形成されている。
【０００３】
スリープ部材の内周面に動圧流体溝を形成する一加工方法として、例えば、下記の［特許文献１］に開示されたものが知られている。先ず、このスリーブ部材の溝加工方法を、図１０及び図１１を参照しながら説明する。
【０００４】
図１０は従来技術の加工電極の拡大図であって、同図Ａはその斜視図、同図Ｂは同図ＡのＢ−Ｂ線上の断面図、そして図１１は図１０に示した加工電極を用いたスリーブ部材の溝加工工程図である。
【０００５】
先ず、図１０を参照しながら、この従来技術の動圧流体溝の加工方法に用いられる加工電極８６を説明する。この加工電極８６は略円筒状の電極本体９２を備えており、電極本体９２は前加工用電極部９４、溝加工用電極部９６及び仕上げ加工用電極部９８を備えている。前加工用電極部９４は電極本体９２の上端部に設けられ、仕上げ加工用電極部９８は電極本体９２の下端部に設けられ、また溝加工用電極部９６は電極本体９２の軸線方向における中間部に設けられている。このように加工の際にスリーブ部材５２に作用し始める上端部から下端部に向けて前加工用電極部９４、溝加工用電極部９６及び仕上げ加工用電極部９８をこの順序で配置していて、加工電極８６を上方へ移動することにより、後記するように、スリーブ部材５２の中空内周面に前加工用電極部９４によって前加工を施し、次いで前加工後の前記内周面に溝加工用電極部９６によって溝加工を施し、その後、溝加工後の前記内周面の仕上げ加工が行えるように出来ている。
【０００６】
加工電極８６の溝加工電極部９６は、図１０Ｂに示したように、電解加工を行うための複数個の電極片１００を備え、これら電極片１００が電極本体９２の周表面に周方向に間隔を置いて配設され、電極本体９２の周表面を規定している。各電極片１００は小さい矩形状に形成されており、電圧を印加するためのリード線１０２が電気的に接続され、これらリード線１０２は電極本体８６に連結された連結ロツド１０４（図１０Ａ）の内部空間を通して外部に導出されている。前加工用電極部９４及び仕上げ加工用電極部９８は、溝加工用電極部９６と同一の構成であり、周方向に間隔を置いて設けられた複数個の電極片１０６、１０８をそれぞれ備えている。
【０００７】
前加工用電極部９４はスリーブ部材５２の内周面を所定の大きさとなるように前加工するためのものであり、この電極部９４における電極片１０６の間隔は小さく設定されている。また、溝加工用電極部９６はへリングボーン形状の動圧発生溝を形成するためのものであり、それ故に、この電極部９６における電極片１００の幅は形成される溝の幅に対応し、それらの間隔は、形成される溝の間隔に対応した間隔に設定されている。そして仕上げ加工用電極部９８は溝が形成されたスリ−ブ部材５２の内周面を所定の大きさに仕上げ加工するためのものであり、この電極部９８における電極片１０８の間隔は小さく設定されている。
【０００８】
加工電極８６の各電極片１００、１０６、１０８と加工するスリーブ部材５２（図１１）には直流電源（不図示）が電気的に接続されている。
【０００９】
この従来技術の動圧流体溝の加工方法は、このような加工電極８６を用いてスリーブ加工を行っている。以下、図１１を参照しながら従来技術の動圧流体溝の加工方法を説明する。
【００１０】
スリーブ部材５２の加工前は、図１１Ａに示したように、シリンダ機構が収縮状態にあることから調芯部材７０は上昇位置に、保持スリーブ７２は下降位置に、また加工電極８６は非加工位置に保持される。このような状態においては、調芯部材７０は保持部材６６の上方に後退し、保持部材６６と調芯部材７０との間には、加工すべきスリーブ部材５２を保持部材６６に載置し、また保持部材６６から取除くための充分なスペースを取っている。また、保持スリーブ７２は保持部材６６の下方に後退している。加工電極８６は保持部材６６の下方に位置し、前記下降位置にある保持スリーブ７２内に収容された状態となっている。
【００１１】
加工に際しては、先ず、スリーブ部材５２を保持部材６６の保持凹部６８に収容し、仮載置する（図１１Ａ）。これによってスリーブ部材５２を所定の加工位置に仮保持する。
【００１２】
次に、シリンダ機構を伸張して調芯部材７０を下降させて図１１Ｂに示す保持位置に位置付ける。このようにすることにより、調芯部材７０の調芯部８２が保持部材６６に仮保持されたスリーブ部材５２の上端部の内周縁部に作用し、スリーブ部材５２は保持部材６６に載置された状態で所定の加工位置に位置付けられる。その後、また別のシリンダ機構を伸張して保持スリーブ７２を上昇させて図１１Ｂに示す位置決め保持位置に位置付ける。このように位置決め保持位置に位置付けると、保持スリーブ７２の位置決め保持部９０の先端部が保持部材６６に載置されたスリ−ブ部材５２の下端部の内周縁部に作用し、このようにしてスリーブ部材５２を、所定の加工位置に正確に位置決めされて調芯部材７０の調芯部８２と保持スリーブ７２の位置決め保持部９０との間に保持する。
【００１３】
その後、回転機構（不図示）を下側から見て時計方向に回動しながら更に他のシリンダ機構（不図示）を伸張して図１１Ｃに示すように加工電極８６の電極本体９２をスリーブ部材５２の内部に挿入する。そして、この挿入時、電解液を加工領域に供給すると共に、直流電源からの電圧をスリーブ部材５２と各電極片１００、１０６、１０８との間に印加する。電解液の供給は、供給ポンプ（不図示）を作動させることによって行われており、供給ポンプからの電解液は調芯部材７０の液注入孔８４を通して加工領域、即ち、スリーブ部材５２の内周面と加工電極８６の電極本体９２の外周面との間に供給され、電解加工を行う際に前記加工領域に電解液が介在するようになされている。加工領域への電解液の保持を確実に行うために、スリーブ部材５２の内周面と電極本体９２の外周面との間隔を、０．２ｍｍ以下に設定しており、このように設定することによって、電解液は毛細管現象によって電極本体９２とスリーブ部材５２の間隙に保持されるようになされている。
【００１４】
加工電極８６によるスリーブ部材５２の内周面の加工は、電極本体９２の先端部がスリーブ部材５２内に挿入されると、前加工用電極部９４の各電極片１０６（図１０）に直流電源からの電圧が印加され、直流電源からの電流が、各電極片１０６から電解液を通してスリ−ブ部材５２の対向する部位に流れ、これによってスリーブ部材５２の内周面に前加工が施される。電極本体９２が前記したように回動しながら更に溝加工用電極部９６が所定位置まで挿入されると、溝加工用電極部９６の各電極片１００（図１０）にも直流電源からの電圧が印加され、直流電源からの電流が、各電極片１００から電解液を通してスリーブ部材５２の対向する部位に流れ、これによってスリーブ部材５２の前加工された内周面に溝形成加工が施される。このようにして電極本体９２が回動しながら更に仕上げ加工用電極部９８がスリーブ部材５２に挿入されると、仕上げ加工用電極部９８の各電極片１０８（図１０）にも直流電源からの電圧が印加され、直流電源からの電流が、各電極片１０８から電解液を通してスリーブ部材５２の対向する部位に流れ、これによってスリーブ部材５２の溝形成加工された内周面に仕上げ加工が施される。そして、溝加工用電極部９６がスリーブ部材５２の所定位置まで挿入されると、各電極片１００、１０６、１０８に電圧を印加した状態において回転機構１１４の回動方向が図において下側から見て反時計方向に切り換えられ、加工電極８６は前記した方向とは反対方向に回動しながら上昇される。このように加工電極８６を移動させることにより、スリーブ部材５２の内周面にへリングボーン状の複数個の溝を形成している。
【００１５】
以上記したように、この従来技術の動圧流体溝の加工方法は、加工電極８６を回動しながら上方に移動させ、このように上方に移動させることによって、前加工用電極部９４によりスリーブ部材５２の内周面に前加工を行い、溝形成電極部９６により前加工後の前記内周面に溝形成加工を行い、更に、仕上げ加工用電極部９８により溝形成加工後の前記内周面に仕上げ加工を行い、このようにして一加工工程で前加工、溝形成加工及び仕上げ加工を行う方法を採っている。
【特許文献１】特許第３４５５４１０号第２頁、図２
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
前記のような従来技術の動圧流体溝の加工方法によれば、スリーブ部材と電極の隙間が非常に狭いため、スリーブ部材５２と加工電極８６とが接触してショートしないよう調芯する必要がある。
【００１７】
また、溝仕様が変更されると、その都度、加工電極８６を変更する必要がある。
【００１８】
更にまた、加工電極８６とスリーブ部材５２の間隔が狭いため、発生したスラッジが加工電極８６またはスリーブ部材５２に付着し、良好な加工ができないこともある。
【００１９】
本発明は、これらの課題を解決しようとするものであって、スリーブ部材と加工電極とが接触することによるショートの心配が無く、スラッジを良好に流出させることができ、かつ１加工電極であっても、溝数、溝幅を変更できる円柱状電極、これを用いたスリーブ部材の溝加工方法及びその装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
それ故、これらの課題を解決するため、本発明の円柱状電極は、溝加工を施そうとするスリーブ部材の中空円の直径よりも小さい直径の断面が円形の電極本体の同一外周面に少なくとも１個の突状電極が形成されていることを特徴とする。
【００２１】
そしてこの円柱状電極は、前記突状電極の先端が描く円の直径が前記スリーブ部材の中空円の直径よりも大であっても、小であってもよい。
【００２２】
また、前記円柱状電極は、その突状電極の先端が描く円の直径が前記スリーブ部材の中空円の直径よりも小である場合は、前記突状電極を前記電極本体の軸線方向に所定の間隔を開け、前記電極本体の外周面に形成することができる。
【００２３】
そして本発明のスリーブ部材の溝加工方法は、スリーブ部材の中空円開口部の上方位置から、少なくとも１個の突状電極が電極本体の外周面に形成されている円柱状電極の前記突状電極を、その突状電極と前記スリーブ部材との間に電圧を印加しながら、そして一定の速度で一方向に回転させながら前記スリーブ部材の軸線方向における中間位置まで一定の速度で下降させ、前記スリーブ部材の中空内周面に第１の溝を形成する第１ステップと、前記突状電極が前記中間位置に達した時に、その突状電極の回転方向を反転させ、引き続き前記突状電極と前記スリーブ部材との間に電圧を印加しながら前記スリーブ部材の下方位置まで前記一定の速度で下降させ、前記スリーブ部材の前記内周面に前記第１の溝に続く第２の溝を形成する第２ステップと、その後、前記突状電極と前記スリーブ部材との間に印加している電圧を切断して前記突状電極を所定の角度回動する第３ステップと、前記突状電極と前記スリーブ部材との間に再度電圧を印加しながら、前記突状電極を前記第３ステップにおける回動位置から、前記第２ステップにおける前記スリーブ部材の回転方向と逆の回転方向に回転させながら前記スリーブ部材の軸線方向において前記一定の速度と同一の速度で前記中間位置まで上昇させ、前記第２の溝と所定の間隔が開いた平行な第３の溝を形成する第４ステップと、前記中間位置に達した時に、その突状電極の回転方向を反転させ、引き続き前記突状電極と前記スリーブ部材との間に電圧を印加しながら前記スリーブ部材の軸線方向の前記上方位置まで前記一定の速度で上昇させ、前記スリーブ部材の前記内周面に前記第１の溝と所定の間隔が開いた平行な前記第３の溝に続く第４の溝を形成する第５ステップと、必要に応じて前記第１ステップから第５ステップの溝加工を繰り返し行って同様の溝を前記スリーブ部材の中空円の内周面全周に形成する第６ステップとを含む方法を採っている。
【００２４】
更に、本発明のスリーブ部材の溝加工方法は、スリーブ部材の中空円開口部の上方位置から、少なくとも１個の突状電極が電極本体の外周面に形成されている円柱状電極の前記突状電極を、その突状電極と前記スリーブ部材との間に電圧を印加しながら、そして一定の速度で一方向に回転させながら前記スリーブ部材の軸線方向における第１の所定位置まで一定の速度で下降させ、前記スリーブ部材の中空内周面に第１の溝を形成する第１ステップと、前記突状電極が前記第１の所定位置に達した時に、その突状電極の回転方向を反転させ、引き続き前記突状電極と前記スリーブ部材との間に電圧を印加しながら前記スリーブ部材の軸線方向の第２の所定位置まで前記一定の速度で下降させ、前記スリーブ部材の前記内周面に前記第１の溝に続く第２の溝を形成する第２ステップと、前記第２の所定位置から前記突状電極を軸線方向に一定の速度で第３の所定位置まで降下させる第３ステップと、前記突状電極が前記第３の所定位置に達した時に、引き続き前記突状電極と前記スリーブ部材との間に電圧を印加しながら、前記突状電極の回転方向を反転させて前記第１ステップにおける前記突状電極の回転方向と同一の方向に回転させ、前記スリーブ部材の軸線方向における第４の所定位置まで一定の速度で下降させて、前記スリーブ部材の前記中空内周面に第４の溝を形成する第４ステップと、前記突状電極が前記第４の所定位置に達した時に、引き続き前記突状電極と前記スリーブ部材との間に電圧を印加しながら、前記突状電極の回転方向を反転させて前記第２ステップにおける前記突状電極の回転方向と同一の方向に回転させ、そして前記スリーブ部材の下端位置まで一定の速度で下降させて、前記スリーブ部材の前記中空内周面に第５の溝を形成する第５ステップと、次に、前記突状電極と前記スリーブ部材との間に印加している電圧を切断して前記突状電極を所定の角度回動する第６ステップと、続いて前記突状電極と前記スリーブ部材との間に再度電圧を印加しながら、前記突状電極の回転方向及び軸線方向の移動を前記第１ステップから前記第５ステップにおける回転方向及び軸線方向の移動とは逆に回転及び移動させながら前記突状電極で前記第１の溝から第５の溝にそれぞれ平行な溝を前記スリーブ部材の前記中空内周面に形成する第７ステップと、必要に応じて前記第１ステップから第７ステップの溝加工を繰り返し行って同様の溝を前記スリーブ部材の中空内周面全周に形成する第８ステップとを含む方法を採っている。
【００２５】
前記円柱状電極は、前記電極本体の直径が前記スリーブ部材の前記開口部の内径より小さく、前記突状電極の先端が描く円の直径が前記スリーブ部材の前記開口部の直径より僅かに大であっても、小であってもよい。
【００２６】
更にまた、本発明のスリーブ部材の溝加工方法は、溝加工を施そうとするスリーブ部材の中空円の直径よりも小さい直径の断面が円形の電極本体の軸線方向に所定の間隔を開けてそれぞれの外周面に少なくとも１個の突状電極が形成されており、該突状電極の先端が描く円の直径が加工しようとするスリーブ部材の中空円の直径よりも小である円柱状電極を、前記スリーブ部材の中空円内の所定位置まで挿入する第１ステップと、その所定位置から所定の第１中間位置まで前記スリーブ部材と前記円柱状電極との間に所定の電圧を印加し、そして前記円柱状電極を回転しながら前記スリーブ部材に軸線方向に降下させる第２ステップと、前記第１中間位置で前記円柱状電極を反転し、前記第１中間位置から第２中間位置まで前記スリーブ部材と前記円柱状電極との間に所定の電圧を印加し、そして前記円柱状電極を回転しながら前記スリーブ部材に軸線方向に降下させる第３ステップと、必要に応じて前記第２ステップと前記第３ステップとを繰り返し行わせる第４ステップと、前記円柱状電極を所定の角度、回動し、前記第２ステップ、前記第３ステップの動作を行わせる第５ステップとを含む方法を採っている。
【００２７】
そしてまた、本発明のスリーブ部材の溝加工装置は、溝加工を施そうとするスリーブ部材を垂直に保持し、一方の電極となるチャックと、前記スリーブ部材の上方開口部から挿入され、そのスリーブ部材の中空円の直径よりも小さい直径で断面が円形の電極本体の外周面に少なくとも１個の突状電極が形成されている円柱状電極と、その円柱状電極を前記チャックに保持された前記スリーブ部材の内部の軸方向の所定位置に上下動させるＺ軸方向駆動手段と、前記突状電極を可逆回転させる機能と、前記突状電極が前記スリーブ部材の外方に在る時に、その突状電極を所定の角度回動させる機能を備えた回転手段と、前記チャックと前記円柱状電極との間に所定の電圧を印加できる電源装置とを備えて構成されている。
【００２８】
前記Ｚ軸駆動手段には、前記突状電極が前記スリーブ部材の中空内周面に近接している時に、その突状電極を前記スリーブ部材の軸方向に微細に揺動させる揺動手段を具備せしめてもよく、また、前記回動手段には、前記円柱状電極が前記スリーブ部材の中空内周面に近接している時に、その円柱状電極を前記スリーブ部材の内周方向に微細に揺動させる揺動手段を具備せしめてもよい。
【００２９】
そして、前記スリーブ部材の溝加工装置を用いて電解加工を行う場合には、前記チャックとそのチャックに保持された前記スリーブ部材とを電解液中に浸すための電解液糟を具備せしめ、更に、前記電解液を前記スリーブ部材の中空円内を循環させて、発生するスラッジを除去する電解液循環手段を具備せしめることを特徴とする。
【００３０】
そしてまた、前記スリーブ部材の中空内周面に前記突状電極を備えた円柱状電極で放電加工により溝を形成している時に、前記中空内周面と前記円柱状電極との間に油を供給する油供給装置を備えていることを特徴とする。
【００３１】
従って、本発明の円柱状電極によれば、電極本体と突状電極とを一体構造で形成でき、そしてその電極本体の直径を小にでき、それだけスリーブ部材の中空内周面と電極本体の外周面との間隔を比較的大きく開けることができる。
【００３２】
そして本発明のスリーブ部材の溝加工方法及びその装置によれば、スリーブ部材の中空内周面と電極本体の外周面との間隔を比較的大きく開けながらも、電解加工或いは放電加工でスリーブ部材の中空内周面に所望の溝を加工する。また、スリーブ部材の内周面に１本づつの溝を、或いは一度に複数本の溝を形成することができ、そして、スリーブ部材の内径が微小なものでも、そのスリーブ部材の内周面に溝を容易に形成することができる。
【００３３】
従って、本発明の円柱状電極、スリーブ部材の溝加工方法及びその装置によれば、スリーブ部材の内周面との間に比較的大きな空間を形成することができ、また、スリーブ部材の中空内周面に１本づつの溝を、或いは一度に複数本の溝を形成することができ、そして、円柱状電極を用いることから、たとえスリーブ部材の内径が微小なものでも、そのスリーブ部材の内周面に溝を容易に形成でき、更に、その溝の加工時に発生するスラッジを容易に流出でき、スラッジが突状電極またはスリーブ部材の内周面に付着することがない。
【発明の効果】
【００３４】
それ故、本発明の円柱状電極によれば、
１．電極本体と突状電極とを一体構造で形成できることから破損しにくい。
２．電極本体の直径を小にでき、それだけスリーブ部材の中空内周面と電極本体の外周面  との間隔を比較的大きく開けることができることから、電解加工の場合、十分に電解液  を流すことができる。
３．加工で発生したスラッジが突状電極またはスリーブ部材の内周面に付着することがな  い。
【００３５】
そして、本発明のスリーブ部材の溝加工方法によれば、
１．電流を流して溝加工を行いながら突状電極を軸受け内径に挿入して行くことができる  のでショートの心配が無い。
２．設計により突状電極の最大径が軸受け内径より大きくても小さくても加工できる。
３．この方法であれば、１個の突状電極で溝数を変更することができる。
４．１本の円柱状電極の外周面に複数の突状電極を形成しておけば、複数の溝を同時に形  成することができる。
５．突状電極を微小角度振りながら溝加工方法を行うことにより、１個の突状電極で溝幅  を変更することができる。
６．スリーブ部材の中空内周面と円柱状電極の隙間は十分に取れることから、発生したス  ラッジを流出させることができる。
７．更に、スリーブ部材の中空内周面に対して円柱状電極を揺動させることにより、電解  液を攪拌することができ、電解液を加工面に供給できる。
８．この溝加工法は放電加工においても適用できる。
【００３６】
更にまた、本発明のスリーブ部材の溝加工装置によれば、
１．構成が簡単でありながら、内径が極めて微小なスリーブ部材であっても、その中空内  周面に溝を容易に形成することができる。
２．円柱状電極とスリーブ部材との位置決めに複雑な装置を必要としない。
３．ＸＹステージ、Ｚ軸駆動装置、Ｃ軸回動装置など既存の装置を用いることができるの  で比較的安価に構成することができる。
４．円柱状電極の上または下に電解液を噴射するポンプなど、または吸い込むポンプなど  を連結することにより、電解液を揺り動かすことができ、円柱状電極またはスリーブ部  材へのスラッジの付着を防止することができ、良好な溝加工を行うことができる。
【００３７】
以上のように、本発明は数々の優れた効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３８】
本発明の円柱状電極は、溝加工を施そうとするスリーブ部材の中空円の直径よりも小さい直径の、断面が円形の電極本体の同一外周面に少なくとも１個の突状電極が形成されている。その突状電極の突出は、その先端が描く円の直径が前記スリーブ部材の中空円の直径よりも大であっても、小であってもよい。その先端が描く円の直径が前記スリーブ部材の中空円の直径よりも小である場合は、前記電極本体の軸線方向に所定の間隔を開け、前記電極本体の外周面に前記突状電極を形成してもよい。
【００３９】
本発明のスリーブ部材の溝加工方法においては、前記のような円柱状電極を用いて行われる。その方法は、スリーブ部材の中空円開口部の上方位置から、少なくとも１個の突状電極が電極本体の外周面に形成されている円柱状電極の前記突状電極を、その突状電極と前記スリーブ部材との間に電圧を印加しながら、そして一定の速度で一方向に回転させながら前記スリーブ部材の軸線方向における中間位置まで一定の速度で挿入、下降させて第１の溝を形成する第１ステップと、前記突状電極が前記中間位置に達した時に、その突状電極の回転方向を反転させ、引き続き前記突状電極と前記スリーブ部材との間に電圧を印加しながら前記スリーブ部材の下方位置まで前記一定の速度で下降させ、前記スリーブ部材の前記中空内周面に前記第１の溝に続く第２の溝を形成する第２ステップと、その後、前記突状電極と前記スリーブ部材との間に印加している電圧を切断して前記突状電極を所定の角度回動する第３ステップと、前記突状電極と前記スリーブ部材との間に再度電圧を印加しながら、前記突状電極を前記第３ステップにおける回動位置から、前記第２ステップにおける前記スリーブ部材の回転方向と逆の回転方向に回転させながら前記スリーブ部材の軸線方向において前記一定の速度と同一の速度で前記中間位置まで上昇させ、前記第２の溝と所定の間隔が開いた平行な第３の溝を前記スリーブ部材の前記中空内周面に形成する第４ステップと、前記第１の所定位置に達した時に、その突状電極の回転方向を反転させ、引き続き前記突状電極と前記スリーブ部材との間に電圧を印加しながら前記スリーブ部材の軸線方向の前記上方位置まで前記一定の速度で上昇させ、前記スリーブ部材の前記中空内周面に前記第１の溝と所定の間隔が開いた平行な前記第３の溝に続く第４の溝を形成する第５ステップと、必要に応じて前記第１ステップから第５ステップの溝加工を繰り返し行って同様の溝を前記スリーブ部材の中空内周面全周に形成する第６ステップとを含む方法を採っている。
【００４０】
このようなスリーブ部材の溝加工方法を採ることにより、一連のへリングボーン形状のモータ用動圧流体溝を形成することができる。
【００４１】
前記スリーブ部材の中空内周面に溝を形成するに当たっては、前記円柱状電極の突状電極の先端が描く円の直径が前記スリーブ部材の中空円の直径よりも大である場合には、スリーブ部材と円柱状電極との中心を合わせ、その突状電極を前記スリーブ部材の上端縁の上方位置から始め、前記スリーブ部材の下端縁の下方位置で終わるように円柱状電極の軸線方向の動きを制御して溝を形成する方法を採る。
【００４２】
しかし、前記円柱状電極の突状電極の先端が描く円の直径が前記スリーブ部材の中空円の直径よりも小である場合には、前記のような方法を採ってもよいが、前記スリーブ部材と前記円柱状電極との中心を合わせ、その円柱状電極を、その突状電極が前記スリーブ部材の中空内周面に接触しないように、その中空円内に挿入して、その突状電極を前記スリーブ部材の上端縁からやや下方の所定位置から始め、前記スリーブ部材の下端縁の上方位置で終わるように円柱状電極の軸線方向の動きを制御して溝を形成する方法を採ってもよい。
【００４３】
また、スリーブ部材の中空内周面の軸線方向に２段以上に一連のへリングボーン形状のような溝を形成する場合には、スリーブ部材の中空円開口部の上方位置から、少なくとも１個の突状電極が電極本体の外周面に形成されている円柱状電極の前記突状電極を、その突状電極と前記スリーブ部材との間に電圧を印加しながら、そして一定の速度で一方向に回転させながら前記スリーブ部材の軸線方向における第１の所定位置まで一定の速度で下降させ、前記スリーブ部材の中空内周面に第１の溝を形成する第１ステップと、前記突状電極が前記第１の所定位置に達した時に、その突状電極の回転方向を反転させ、引き続き前記突状電極と前記スリーブ部材との間に電圧を印加しながら前記スリーブ部材の軸線方向の第２の所定位置まで前記一定の速度で下降させ、前記スリーブ部材の前記内周面に前記第１の溝に続く第２の溝を形成する第２ステップと、前記第２の所定位置から前記突状電極を軸線方向に一定の速度で第３の所定位置まで降下させる第３ステップと、前記突状電極が前記第３の所定位置に達した時に、引き続き前記突状電極と前記スリーブ部材との間に電圧を印加しながら、前記突状電極の回転方向を反転させて前記第１ステップにおける前記突状電極の回転方向と同一の方向に回転させ、前記スリーブ部材の軸線方向における第４の所定位置まで一定の速度で下降させて、前記スリーブ部材の前記中空内周面に第４の溝を形成する第４ステップと、前記突状電極が前記第４の所定位置に達した時に、引き続き前記突状電極と前記スリーブ部材との間に電圧を印加しながら、前記突状電極の回転方向を反転させて前記第２ステップにおける前記突状電極の回転方向と同一の方向に回転させ、そして前記スリーブ部材の中空開口部の下端位置まで一定の速度で下降させて、前記スリーブ部材の前記中空内周面に第５の溝を形成する第５ステップと、次に、前記突状電極と前記スリーブ部材との間に印加している電圧を切断して前記突状電極を所定の角度回動する第６ステップと、続いて前記突状電極と前記スリーブ部材との間に再度電圧を印加しながら、前記突状電極の回転方向及び軸線方向の移動を前記第１ステップから前記第５ステップにおける回転方向及び軸線方向の移動とは逆に回転及び移動させながら前記突状電極で前記第１の溝から第５の溝にそれぞれ平行な溝を前記スリーブ部材の前記中空内周面に形成する第７ステップと、必要に応じて前記第１ステップから第７ステップの溝加工を繰り返し行って同様の溝を前記スリーブ部材の中空内周面全周に形成する第８ステップとを含むスリーブ部材の溝加工方法を採るとよい。
【００４４】
前記円柱状電極の前記電極本体の直径が前記スリーブ部材の前記開口部の内径より小さく、かつ前記突状電極の先端が描く円の直径が前記スリーブ部材の前記開口部の直径より僅かに大である円柱状電極を用いて溝を形成する場合は、前記突状電極は前記スリーブ部材の中空円開口部の上方位置である上端縁から始め、前記スリーブ部材の中空開口部の下端位置である下端縁から抜け切って終えるようにする。
【００４５】
また、前記円柱状電極の前記電極本体の直径が前記スリーブ部材の前記開口部の内径より小さく、かつ前記突状電極の先端が描く円の直径が前記スリーブ部材の前記開口部の直径より僅かに小である円柱状電極を用いて溝を形成する場合は、前記突状電極は前記スリーブ部材の中空円開口部の上方位置である上端縁から始めてもよく、或いは前記上端縁から内部に入った内周面から始めてもよく、そして前記スリーブ部材の中空開口部の下端位置である下端縁から抜け切って終えるようにしてもよいが、前記下端縁の手前の内周面で終わらすこともできる。
【００４６】
前記各スリーブ部材の溝加工方法を実現する手段として、本発明のスリーブ部材の溝加工装置は、溝加工を施そうとするスリーブ部材を垂直に保持し、一方の電極となるチャックと、前記スリーブ部材の上方開口部から挿入され、そのスリーブ部材の中空円の直径よりも小さい直径で断面が円形の電極本体の外周面に少なくとも１個の突状電極が形成されている円柱状電極と、その円柱状電極を前記チャックに保持された前記スリーブ部材の内部の軸方向の所定位置に上下動させるＺ軸方向駆動手段と、前記突状電極を可逆回転させる機能と、前記突状電極が前記スリーブ部材の外方に在る時に、その突状電極を所定の角度回動させる機能を備えた回転手段と、前記チャックと前記円柱状電極との間に所定の電圧を印加できる電源装置とを備えて構成されている。
【００４７】
そして、前記Ｚ軸駆動手段は前記突状電極が前記スリーブ部材の中空内周面に近接している時に、その突状電極を前記スリーブ部材の軸方向に微細に揺動させる揺動手段を具備せしめてもよく、また、前記回動手段は前記円柱状電極が前記スリーブ部材の中空内周面に近接している時に、その円柱状電極を前記スリーブ部材の内周方向に微細に揺動させる揺動手段を具備せしめてもよい。このように突状電極を揺動させれば、溝の幅を広げることができる。
【００４８】
また、前記スリーブ部材と前記円柱状電極の突状電極との間に電圧を印加して前記スリーブ部材の中空内周面に放電加工により溝を形成することもできるが、電解液を貯めた電解液糟の中に前記チャックとそのチャックに保持された前記スリーブ部材とを納め、電解液中に浸し、前記スリーブ部材と前記チャックとの間に電圧を印加すれば、電解加工により溝を形成することもできる。
【００４９】
前者の場合、前記スリーブ部材の中空円内に油をポンプなどの手段により供給、循環させることにより、放電加工により発生したスラッジを流出させることができ、そのスラッジを除去して油分のみ繰り返し循環させることができる。
【００５０】
また、後者の場合、前記電解液糟内の電解液をポンプなどの手段により前記スリーブ部材の中空円内を循環させ、発生するスラッジを除去する電解液循環手段を具備させることができる。
【実施例１】
【００５１】
以下、図を用いて、本発明の円柱状電極、これを用いたスリーブ部材の溝加工方法及びその装置を説明する。なお、以下の実施例においては、スリーブ部材はモータの動圧流体軸受けに加工されるものであり、そのスリーブ部材の内周面にヘリングボーン状の動圧流体溝を形成する例を採り上げて説明する。
【００５２】
図１は本発明の一実施例のスリーブ部材の溝加工装置の構成図、図２は図１に用いて好適な第１実施例の円柱状電極を示していて、同図Ａはその側面図、同図Ｂは同図ＡのＢ−Ｂ線上の拡大断面図、同図Ｃはスリーブ部材の中空内周面と前記円柱状電極との寸法関係を示す拡大平面図、図３は図１に示したスリーブ部材の溝加工装置を用いてスリーブ部材を加工する本発明の第１実施例のスリーブ部材の溝加工方法を説明するための工程図であって、各工程図の図ａはスリーブ部材、電極、チャックの関係位置を示した側面図、図ｂは図ａの上面図、図４は本発明の第１実施例のスリーブ部材の溝加工方法によって形成することができる溝の展開パターン図、そして図５は図４のスリーブ部材の溝加工方法の応用方法によって形成することができる溝の展開パターン図である。
【００５３】
先ず、図１を用いて、本発明の１実施例のスリーブ部材の溝加工装置の構成を説明する。図１において、符号１は全体としてスリーブ部材の溝加工装置を指す。このスリーブ部材の溝加工装置１は、フレーム２、ＸＹステージ３、Ｚ軸駆動装置４、Ｚ軸５、Ｚ軸スライダ６、Ｃ軸回動装置７、回動軸８、電解液糟９、チャック１０、ポンプ１１、電解液タンク１２、スラッジ除去装置１３、パイプ１４、電源１５、コントローラ１６、中継ボックス１７、本発明の第１実施例の円柱状電極２０Ａなどから構成されている。
【００５４】
フレーム２の下端部にはＸＹステージ３が水平に固定されており、そのＸＹステージ３には側面から上面中央部にＪ字状に貫通している貫通孔３ａが形成されている。そしてＸＹステージ３の上面には電解液糟９が固定されている。この電解液糟９の底面中央部には前記貫通孔３ａに合致した貫通孔９ａが形成されている。電解液糟９の内部底面にチャック１０が水平に固定されている。チャック１０は導電性の部材で形成されており、被加工物であり、軸受けとなるスリーブ部材（以下、単に「スリーブ部材」と記す）Ｓが嵌合できる円形凹部１０ａが形成されている容器状のもので、その円形凹部１０ａの底面１０ｂの中央部には前記貫通孔９ａに合致する貫通孔１０ｃが形成されている。貫通孔３ａ、貫通孔９ａ、及び貫通孔１０ｃは１本の貫通孔に接続される。
【００５５】
ＸＹステージ３をＸ軸方向及び又はＹ軸方向に調整することにより電解液糟９共々チャック１０に保持されたスリーブ部材ＳをＸ軸方向及び又はＹ軸方向に移動させ、その中心軸を後記する円柱状電極２０の中心軸に合わせることができる。
【００５６】
フレーム２の上端部にはＺ軸駆動装置４が取り付けられていて、その下方にはＺ軸５がスライドできるように支持するＺ軸スライダ６がフレーム２に固定されている。Ｚ軸５の下端にはＣ軸回動装置７が固定されており、その回動軸８には、後記する円柱状電極２０が取り付けられている。円柱状電極２０はその長軸がＸＹステージ３の水平面に対して垂直になるように取り付けられている。
【００５７】
かくしてコントローラ１６の制御の下に中継ボックス１７を制御することにより、Ｚ軸駆動装置４を作動させることができ、Ｃ軸回動装置７を上下方向にスライドさせることができる。また、コントローラ１６の制御の下に中継ボックス１７を制御することにより、Ｃ軸回動装置７を作動させることができ、円柱状電極２０を所定の角度回動させることができる。
【００５８】
ポンプ１１の出力側のパイプ１４ａは円柱状電極２０の電極本体２１（図２）の上端に連結されており、ポンプ１１には電解液タンク１２がパイプ１４ｂを介して連結されており、電解液タンク１２にはスラッジ除去装置１３がパイプ１４ｃを介して連結されており、そしてスラッジ除去装置１３の入力側はパイプ１４ｄ、貫通孔３ａ、貫通孔９ａを介してチャック１０の貫通孔１０ｃに連結されている。
【００５９】
かくしてポンプ１１を作動させることにより、電解液糟９中の電解液Ｌはスラッジ除去装置１３に環流し、ここで電解液Ｌ中のスラッジが除去される。スラッジが除去されたクリーンな電解液Ｌは電解液タンク１２に貯蔵され、ポンプ１１で円柱状電極２０の電極本体２１の上端からスリーブ部材Ｓの中空円の空間Ｓ内に供給される。スラッジは後記するスリーブ部材Ｓの溝加工により生じる。このようにしてクリーンな電解液Ｌが円柱状電極２０とスリーブ部材Ｓの内周加工面との間に循環し、供給される。
【００６０】
電源１５は、その（＋）電極をチャック１０に接続し、その（−）電極を円柱状電極２０に接続する。円柱状電極２０Ａがスリーブ部材Ｓの内周面Ｓｉに溝を形成する時に、スイッチ１５ａをオンし、チャック１０と円柱状電極２０Ａとの間に所定の電圧を印加し、電解加工を行う。円柱状電極２０Ａがスリーブ部材Ｓの中空開口部から外れる時には、スイッチ１５ａをオフし、チャック１０と円柱状電極２０Ａとの間には電圧を印加しない。この電源１５のオンオフは円柱状電極２０Ａ及びＸＹステージ３の動きに同期してコントローラ１６の制御下で行われる。
【００６１】
かくして円柱状電極２０によりスリーブ部材Ｓの所定の中空内周面Ｓｉに電解加工により後記するような所定の溝を形成することができ、スリーブ部材Ｓの前記所定の中空内周面Ｓｉ位置以外の部分には無用な電解加工が行われないようにすることができる。
【００６２】
次に、図２を用いて、前記の円柱状電極２０Ａの構造を説明する。この円柱状電極２０Ａは本発明の第１実施例の円柱状電極である。この円柱状電極２０Ａは、円柱の電極本体２１の下端部の外周面に３個の突状電極２２が１２０°の等角間隔で形成されている。これらの突状電極２２は球の一部分が電極本体２１の外周面から突出した構造のもので、これらの突状電極２２は放電加工などで形成することができる。そしてこれら突状電極２２の先端部が描く円の直径Ｄｂはスリーブ部材Ｓの中空内周面Ｓｉの直径Ｄａより若干大であっても小であってもよい。なお、加工電極２３を除いた他の部分の表面は絶縁コーティング層で被覆されている。
【００６３】
スリーブ部材Ｓの材質は、例えば、ステンレススチールで、その中空円の直径Ｄａが１．５ｍｍである場合、この円柱状電極２０Ａの各部の寸法の一例を挙げると、電極本体２１の直径Ｄｃは２ｍｍ、突状電極２２が描く円の直径Ｄｂは２ｍｍである。なお、円柱状電極２０Ａの材質としては、カッパー、タングステンカッパーなどを用いることができる。
【００６４】
スリーブ部材の溝加工装置１と円柱状電極２０Ａとは以上説明したような構成、構造のものであるが、次に、図３及び図４を参照しながら、このスリーブ部材の溝加工装置１と円柱状電極２０を用いて被加工物であるスリーブ部材Ｓの中空内周面Ｓｉに所定の動圧流体溝を加工、形成するスリーブ部材の溝加工方法を説明する。
【００６５】
先ず、加工しようとするスリーブ部材Ｓを、図３Ｂに示したように、チャック１０の円形凹部１０ａ内に嵌め込み、スリーブ部材Ｓの嵌め込まれた部分の外周面と円形凹部１０ａの内周面とを接触させる。チャック１０に固定したスリーブ部材Ｓは完全に電解液面下に配置されるように電解液糟９内に電解液Ｌを満たす。スリーブ部材Ｓはその中空円の直径Ｄａが、例えば、１．５ｍｍ程度のものである。
【００６６】
一方、円柱状電極２０Ａを、図１に示したように、Ｃ軸回動装置７の回動軸８に垂直に取り付ける。そして、図１に示したように、パイプ１４ａの先端部をこの円柱状電極２０Ａの電極本体２１に取り付ける。
【００６７】
次に、図３Ａに示したように、円柱状電極２０Ａの電極本体２１の中心がスリーブ部材Ｓの中空円の中心に一致するようにコントローラ１６の制御の下にＸＹステージ３を操作してチャック１０に固定されているスリーブ部材Ｓの位置を微調整する。
【００６８】
そして、コントローラ１６の制御の下に中継ボックス１７を経てＺ軸駆動装置４を作動させ、円柱状電極２０Ａを降下させて、円柱状電極２０Ａの３個の突状電極２２をスリーブ部材Ｓの中空開口部の上端縁Ｐ１（図４）に近接させる。
【００６９】
次に、ポンプ１１を作動してクリーンな電解液Ｌをスリーブ部材Ｓの中空内に供給し、スリーブ部材Ｓと突状電極２２との間に供給しながら、そして、スイッチ１５ａをオンにし、電源１５からチャック１０を通じてスリーブ部材Ｓと円柱状電極２０Ａに所定の電圧を印加する。
【００７０】
そして、コントローラ１６の制御の下にＺ軸駆動装置４及びＣ軸回動装置７を作動させて以下の加工動作を順次行わせる。即ち、Ｃ軸回動装置７を作動させ、円柱状電極２０Ａの３個の突状電極２２を一定の速度で一方向に回転させながら、図４に示したように、スリーブ部材Ｓの中空円の開口部上端縁Ｐ１からスリーブ部材Ｓの軸線方向における中間位置Ｐ２まで一定の速度で下降させる。電源１５から各突状電極２２とスリーブ部材Ｓの内周面Ｓｉに直流電圧が印加されていることから、電源１５からの電流が、各突状電極２２から電解液Ｌを通してスリーブ部材Ｓの内周面Ｓｉの相対する部位に流れ、これによってスリーブ部材Ｓの中空内周面Ｓｉに第１の傾斜溝Ｇ１が形成される。
【００７１】
３個の突状電極２２が中間位置Ｐ２に達した時に、Ｃ軸回動装置７はその回転方向が反転して突状電極２２の回転方向を反転させ、一方、Ｚ軸駆動装置４は円柱状電極２０Ａを依然として前記の一定速度で降下させながら、各突状電極２２をスリーブ部材Ｓの下方位置Ｐ３まで一定の速度で下降させ、スリーブ部材Ｓの中空内周面Ｓｉに前記第１の溝に続く第２の溝Ｇ２を前記の加工メカニズムの作用により形成する。
【００７２】
その後、スイッチ１５ａをオフして突状電極２２とスリーブ部材Ｓとの間に印加している電圧を切断した状態でＣ軸回動装置７を作動させ、突状電極２２を所定の角度、回動させる。
【００７３】
続いてスイッチ１５ａをオンして前記と同様に突状電極２２とスリーブ部材Ｓとの間に再度電圧を印加しながら、そしてＣ軸回動装置７を反転させ、突状電極２２を前記回動位置から、第２の傾斜溝Ｇ２の形成時の回転方向とは逆の回転方向に回転させ、そして同時にＺ軸駆動装置４を逆に作動させてスリーブ部材Ｓの軸線方向に前記一定の速度と同一の速度で前記下方位置Ｐ３から前記中間位置Ｐ２まで上昇させ、第２の傾斜溝Ｇ２と所定の間隔が開いた平行な第３の傾斜溝Ｇ３を同様に形成する。
【００７４】
この中間位置Ｐ２に達した時に、Ｃ軸回動装置７を反転させてその突状電極２２の回転方向を反転させ、引き続き突状電極２２とスリーブ部材Ｓとの間に電圧を印加しながらスリーブ部材Ｓの軸線方向の上方位置Ｐ１まで一定の速度で上昇させ、スリーブ部材Ｓの中空内周面Ｓｉに第１の傾斜溝Ｇ１と所定の間隔が開いた平行な第３の傾斜溝Ｇ３に続く第４の傾斜溝Ｇ４を同様に形成する。
【００７５】
そして、必要に応じて前記工程の溝加工を繰り返し行って同様の傾斜溝Ｇ１〜Ｇ４をスリーブ部材Ｓの中空内周面Ｓｉ全周に形成する。
【００７６】
以上、説明した各工程を実施することによりスリーブ部材Ｓの中空内周面ＳｉにＧ１〜Ｇ４からなるへリングボーン形状の動圧流体溝を形成することができる。
【００７７】
この実施例１の場合、３個の突状電極２２を同時に作動させているので、３本の第１の傾斜溝Ｇ１、第４の傾斜溝Ｇ４と３本の第２の傾斜溝Ｇ２、第３の傾斜溝Ｇ３が形成される。
【００７８】
前記各傾斜溝Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３、Ｇ４の形成時には、突状電極２２はスリーブ部材Ｓの中空内周面Ｓｉなどに接触させないように、たとえば加工条件によるが、０．１ｍｍ程度の間隙を開けながら傾斜溝の加工を行う。
【００７９】
前記各傾斜溝Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３、Ｇ４の形成時に、Ｃ軸回動装置７をコントローラ１６の下に制御して円柱状電極２０Ａを回転方向に±δαの僅かな回動範囲で揺動させれば、図５Ａに示したように、各傾斜溝を幅広く形成することができる。
【００８０】
また、前記各傾斜溝Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３、Ｇ４の形成時に、Ｚ軸駆動装置４をコントローラ１６の下に制御して円柱状電極２０Ａを上下方向に±δｚの僅かな上下範囲で揺動させても、図５Ｂに示したように、各傾斜溝を幅広く形成することができる。
【００８１】
この実施例では、３個の突状電極２２を備えた円柱状電極２０Ａを用いて傾斜溝の加工を行ったが、１個の突状電極を備えた円柱状電極を用いて１本毎に傾斜溝の加工を行うこともでき、また、２個、４個、５個など、必要に応じた数の突状電極を備えた円柱状電極を用いて傾斜溝の加工を行えることもできる。
【実施例２】
【００８２】
前記のようなスリーブ部材Ｓの中空円の直径よりも大なる直径の突状電極２２を備えた円柱状電極２０Ａを用いて行うスリーブ部材の溝加工方法を応用すると、図６に示したような２列のへリングボーン形状の動圧流体溝を形成することができる。そのスリーブ部材の溝加工方法を図１〜図３及び図６を用いて説明する。
【００８３】
図６はこのスリーブ部材の溝加工方法によって形成することができる動圧流体溝の展開パターン図である。
【００８４】
なお、スリーブ部材Ｓのチャック１０への取り付け、円柱状電極２０ＡのＣ軸回動装置７の回動軸８への取り付け、これらの中心軸出し、これらへの電圧の印加、Ｚ軸駆動装置４、Ｃ軸回動装置７、ＸＹステージ３の動作などは前記本発明の第１実施例におけるスリーブ部材の溝加工方法における場合と同様であるので、それらの説明を省略する。
【００８５】
先ず、スイッチ１５ａをオンして円柱状電極２０Ａの３個の突状電極２２とスリーブ部材Ｓとの間に電圧を印加しながら、３個の突状電極２２をスリーブ部材Ｓの中空円開口部上縁の位置Ｐ１から一定の速度で一方向に回転させながらスリーブ部材Ｓの軸線方向における第１の所定位置Ｐ２まで一定の速度で下降させ、スリーブ部材Ｓの中空内周面Ｓｉに第１の傾斜溝Ｇ１を形成する。
【００８６】
そして、各突状電極２２が第１の所定位置Ｐ２に達した時に、各突状電極２２の回転方向を反転させ、引き続き突状電極２２とスリーブ部材Ｓとの間に電圧を印加しながらスリーブ部材Ｓの軸線方向の第２の所定位置Ｐ３まで一定の速度で下降させ、スリーブ部材Ｓの前記中空内周面Ｓｉに第１の傾斜溝Ｇ１に続く第２の傾斜溝Ｇ２を形成する。
【００８７】
次に、第２の所定位置Ｐ３から突状電極２２を軸線方向に一定の速度で第３の所定位置Ｐ４まで降下させて垂直な連結溝Ｇ３を形成する。
【００８８】
続いて、各突状電極２２が第３の所定位置Ｐ４に達した時に、引き続き突状電極２２とスリーブ部材Ｓとの間に電圧を印加しながら、突状電極２２の回転方向を反転させ、スリーブ部材Ｓの軸線方向における第４の所定位置Ｐ５まで一定の速度で下降させて、スリーブ部材Ｓの中空内周面Ｓｉに第４の傾斜溝Ｇ４を形成する。
【００８９】
そして、各突状電極２２が第４の所定位置Ｐ５に達した時に、引き続き各突状電極２２とスリーブ部材Ｓとの間に電圧を印加しながら、各突状電極２２の回転方向を反転させてスリーブ部材Ｓの開口部下端縁の位置Ｐ６まで一定の速度で下降させて、スリーブ部材Ｓの中空内周面Ｓｉに第５の傾斜溝を形成する。
【００９０】
次に、スイッチ１５ａをオフして突状電極２２とスリーブ部材Ｓとの間に印加している電圧を切断し、各突状電極２２を、溝Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３、Ｇ４、Ｇ５と等間隔の溝を形成できるように所定の角度回動する。
【００９１】
続いて、スイッチ１５ａをオンして各突状電極２２とスリーブ部材Ｓとの間に再度電圧を印加しながら、各突状電極２２の回転方向及び軸線方向の移動を前記の各ステップにおける回転方向及び軸線方向の移動とは逆に回転及び移動させながら各突状電極２２で第１の傾斜溝Ｇ１から第５の傾斜溝Ｇ５にそれぞれ平行な傾斜溝Ｇ６、Ｇ７、Ｇ８、Ｇ９、Ｇ１０をスリーブ部材Ｓの中空内周面Ｓｉに形成する。
【００９２】
このようなスリーブ部材の溝加工方法を採ることにより、スリーブ部材Ｓの中空内周面Ｓｉ全周に２列のへリングボーン形状の動圧流体溝が形成された軸受けが得られる。
【００９３】
また、必要に応じて前記の溝加工を繰り返し行えば、同様の傾斜溝をスリーブ部材Ｓの中空内周面Ｓｉ全周にわたって、そしてスリーブ部材Ｓの軸方向に複数列のへリングボーン形状の動圧流体溝を形成することができる。
【００９４】
更に、図５を用いて第１実施例のスリーブ部材の溝加工方法を説明したように、円柱状電極２０Ａを回転方向に微細に揺動させたり、円柱状電極２０Ａを上下方向に微細に揺動させながら溝を形成すると、幅の広い傾斜溝を形成することができる。
【００９５】
以上、突状電極２２が描く円の直径がスリーブ部材Ｓの中空円の直径より僅かに大きい円柱状電極２０Ａを用いてスリーブ部材Ｓの内周面Ｓｉに溝を加工する方法を説明したが、この溝加工方法においては、スリーブ部材Ｓの中空内周面Ｓｉと円柱状電極２０Ａの電極本体２１の外周面との間に十分な隙間を開けることができるので、ポンプ１１により電解液Ｌを十分に循環させることができ、従って、溝加工で発生したスラッジを突状電極２２やスリーブ部材Ｓの中空内周面Ｓｉに付着させることなく流し出すことができる。
【００９６】
この実施例２においても、３個の突状電極２２を備えた円柱状電極２０Ａを用いて傾斜溝の加工を行ったが、１個の突状電極を備えた円柱状電極を用いて１本毎に傾斜溝の加工を行うこともでき、また、２個、４個、５個など、必要に応じた数の突状電極を備えた円柱状電極を用いて傾斜溝の加工を行えることを付言しておく。
【実施例３】
【００９７】
次に、図１〜図３、図７及び図８を用いて本発明の第３実施例のスリーブ部材の溝加工方法を説明する。
【００９８】
図７は本溝加工方法に用いる第２実施例の円柱状電極を示していて、同図Ａはその側面図、同図Ｂは同図ＡのＢ−Ｂ線上における拡大断面図、同図Ｃはスリーブ部材の中空内周面と前記円柱状電極との寸法関係を示す拡大平面図、そして図８はこの溝加工方法によって形成することができる動圧流体溝の展開パターン図であって、同図Ａは動圧流体溝が１段のもの、同図Ｂは動圧流体溝が２段のものである。
【００９９】
このスリーブ部材の溝加工方法においては、図７に示した本発明の第２実施例の円柱状電極２０Ｂを用いる。この円柱状電極２０Ｂは、同図Ｃに示したように、その電極本体２１の直径Ｄｃが加工しようとするスリーブ部材Ｓの開口部の直径Ｄａより小さく、かつ突状電極２２の先端が描く円の直径Ｄｂがスリーブ部材Ｓの前記開口部の直径Ｄａより僅かに小であることを特徴とする。例えば、スリーブ部材Ｓの中空内周面Ｓｉと突状電極２２の先端部の距離を０．１ｍｍ〜０．２ｍｍほど開けて、両者がショートしないようにする。
【０１００】
このようにＸＹステージ３を微細に作動させ、スリーブ部材Ｓの中心と円柱状電極２０Ｂの中心とを合わせてスリーブ部材の溝加工装置１にセットし、そしてＺ軸駆動装置４を作動させて円柱状電極２０Ｂの３個の突状電極２２をスリーブ部材Ｓの中空円内の上方位置Ｐ１に位置決めし、そしてスイッチ１５ａをオンしてスリーブ部材Ｓと円柱状電極２０Ｂとの間に電源１５から所定の電圧を印加し、次に、Ｃ軸回動装置７を作動させて一定の回転速度で回転させながらＺ軸駆動装置４を作動させ、スリーブ部材Ｓの軸線方向の中空内周面Ｓｉの中間位置Ｐ２まで降下させ、３本の傾斜溝Ｇ１を形成する。
【０１０１】
そして、突状電極２２がスリーブ部材Ｓの中空内周面Ｓｉの中間位置Ｐ２に達したらＣ軸回動装置７の回転を反転させ、一定の回転速度で回転させながら、引き続いてＺ軸駆動装置４を作動させながらスリーブ部材Ｓの軸線方向の下方位置Ｐ３まで更に降下させ、３本の傾斜溝Ｇ２を形成する。
【０１０２】
次に、スイッチ１５ａをオフしてスリーブ部材Ｓと円柱状電極２０Ｂとの間に印加していた電源１５から所定の電圧を遮断した状態で、この下方位置Ｐ３でＣ軸回動装置７を作動させて円柱状電極２０Ｂを所定の角度、回動する。
【０１０３】
次に、電源１５のスイッチ１５ａをオンしてスリーブ部材Ｓと円柱状電極２０Ｂとの間に電源１５から所定の電圧を再び印加し、そしてＣ軸回動装置７を作動させて円柱状電極２０Ｂを反転させ、そしてＺ軸駆動装置４を作動させて円柱状電極２０Ｂを前記中間位置Ｐ２まで上昇させ、各突状電極２２により前記傾斜溝Ｇ２に平行で等間隔に３本の傾斜溝Ｇ３を形成する。
【０１０４】
そして引き続いて、Ｃ軸回動装置７を作動させて円柱状電極２０Ｂを反転させ、Ｚ軸駆動装置４を作動させて円柱状電極２０Ｂを前記上方位置Ｐ１まで更に上昇させ、各突状電極２２により前記傾斜溝Ｇ１に平行で等間隔に３本の傾斜溝Ｇ４を形成する。
【０１０５】
このような溝加工方法を採ることにより、図７Ａに示したように、スリーブ部材Ｓの中空内周面Ｓｉの中央部に一連のへリングボーン形状の動圧流体溝を形成することができる。
【０１０６】
図７Ｂに示したように、スリーブ部材Ｓの軸線方向に第１列目の動圧流体溝と第２列目の動圧流体溝とからなる２段の動圧流体溝を得る場合には、図７Ａを用いて説明した前記の溝加工工程に続いて、即ち、傾斜溝Ｇ４の形成後、電源１５のスイッチ１５ａをオフして電圧の印加を遮断し、Ｚ軸駆動装置４を作動させて円柱状電極２０Ｂを中間位置Ｐ４まで下降させ、再度、電源１５のスイッチ１５ａをオンしてスリーブ部材Ｓと円柱状電極２０Ｂとの間に電圧を印加し、中間位置Ｐ５まで円柱状電極２０Ｂを下降させながら回転させ、各突状電極２２により３本の傾斜溝Ｇ５を形成する。そして中間位置Ｐ５に達したら円柱状電極２０Ｂを反転させ、そして引き続き下方位置Ｐ６まで降下させて各突状電極２２により３本の傾斜溝Ｇ６を形成する。
【０１０７】
その後、電源１５のスイッチ１５ａをオフし、円柱状電極２０Ｂを所定の角度、回動させる。続いて電源１５のスイッチ１５ａをオンし、前記下方位置Ｐ６から中間位置Ｐ５まで円柱状電極２０Ｂを回転させながら上昇させ、各突状電極２２により傾斜溝Ｇ６に平行で等間隔な３本の傾斜溝Ｇ７を形成する。そしてこの中間位置Ｐ５で円柱状電極２０Ｂを反転させ、回転させながら引き続き円柱状電極２０Ｂを中間位置Ｐ４まで上昇させて、各突状電極２２ことに傾斜溝Ｇ５に平行で、かつ等間隔な３本の傾斜溝Ｇ８を各突状電極２２により形成する。
【０１０８】
このようにしてスリーブ部材Ｓの内周面Ｓｉに各突状電極２２に見合った第１列目の動圧流体溝と第２列目の動圧流体溝とが２段に形成された軸受けを得ることができる。
【０１０９】
この実施例においても、３個の突状電極２２を備えた円柱状電極２０Ｂを用いて傾斜溝の加工を行ったが、１個の突状電極を備えた円柱状電極を用いて１本毎に傾斜溝の加工を行うこともでき、また、２個、４個、５個など、必要に応じた数の突状電極を備えた円柱状電極を用いて傾斜溝の加工を行えることを付言しておく。
【実施例４】
【０１１０】
このような２段の動圧流体溝が形成された軸受けは、図９に示した本発明の第３実施例の円柱状電極２０Ｃを用いても形成することができる。即ち、この円柱状電極２０Ｃは円柱の電極本体２１の下方部に３個の突状電極２２Ａが１２０°の角間隔で形成されており、更に図７Ｂに示した上方位置Ｐ１と中間位置Ｐ４に相当する距離、離した下端部に３個の突状電極２２Ｂが１２０°の角間隔で、突状電極２２Ａと同相で形成されている。そしてこれら突状電極２２Ａ、２２Ｂの先端部が描く円の直径Ｄｂはスリーブ部材Ｓの中空円の直径Ｄａより小であることは、第２実施例の円柱状電極２０Ｂの場合と同様である。
【０１１１】
この円柱状電極２０Ｃを用いてスリーブ部材Ｓの中空内周面Ｓｉに図７Ｂに示した２段の動圧流体溝を形成する第４実施例のスリーブ部材の溝加工方法は、次のようにして行えばよい。即ち、電源スイッチ１５ａをオフの状態で、円柱状電極２０Ｃをスリーブ部材Ｓの中空円内に同心的に挿入し、突状電極２２Ａが上方位置に、突状電極２２Ｂが中間位置Ｐ４に位置させ、次に、電源スイッチ１５ａを投入してスリーブ部材Ｓと円柱状電極２０Ｃとの間に所定の電圧を印加し、突状電極２２Ａが中間位置Ｐ２に、突状電極２２Ｂが中間位置Ｐ５に到達するまで円柱状電極２０Ｃを回転させながら降下させれば、それぞれ３本の傾斜溝Ｇ１と傾斜溝Ｇ５とを同時に形成することができる。続いて突状電極２２Ａと突状電極２２Ｂとがそれぞれ中間位置Ｐ２及びＰ５に達すると、円柱状電極２０Ｃの回転を反転させ、そして中間位置Ｐ２、Ｐ５から中間位置Ｐ３及び下方位置Ｐ６までそれぞれの突状電極２２Ａと突状電極２２Ｂとが移動するように円柱状電極２０Ｃを降下させると、それぞれ３本の傾斜溝Ｇ２と傾斜溝Ｇ６を形成することができる。
【０１１２】
次に、電源スイッチ１５ａをオフにし、円柱状電極２０Ｃを所定の角度、回動させ、その回動位置の中間位置Ｐ３と下方位置Ｐ６から中間位置Ｐ２、Ｐ５まで円柱状電極２０Ｃを上昇させ、傾斜溝Ｇ３と傾斜溝Ｇ７とをそれぞれ形成する。そしてそれぞれの突状電極２２Ａ及び突状電極２２Ｂが中間位置Ｐ２、Ｐ５に達すると、円柱状電極２０Ｃの回転を反転させ、それらの位置から上方位置Ｐ１及び中間位置Ｐ４まで更に上昇させてそれぞれ３本の傾斜溝Ｇ４及び傾斜溝Ｇ８を形成する。
【０１１３】
このような加工工程を必要に応じて繰り返し行えば、円柱状電極２０Ｃを用いることにより、スリーブ部材Ｓの中空内周面Ｓｉの全周に２段の動圧流体溝を同時に形成することができる。
【０１１４】
この実施例においても、３個の突状電極２２Ａ及び突状電極２２Ｂを２段に備えた円柱状電極２０Ｃを用いて傾斜溝の加工を行ったが、各段に１個の突状電極を備えた円柱状電極を用いて１本毎に傾斜溝の加工を行うこともでき、また、各段に２個、４個、５個など、必要に応じた数の突状電極を備えた円柱状電極を用いて傾斜溝の加工を行えることを付言しておく。
【０１１５】
以上、本発明者によってなされた発明の各実施例を具体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変形可能であるというのは記すまでもない。
【０１１６】
例えば、前記の実施例では、電解液を用いて動圧流体溝を形成するスリーブ部材の溝加工方法を説明したが、本発明はこの方法に限定されるものではなく、放電加工方法によっても動圧流体溝を形成することができる。この放電加工により溝を加工する場合、溝加工装置にポンプを含む油供給装置を設置し、溝の加工中に、中空内周面Ｓｉと円柱状電極２０との間に油を供給、循環させれば、発生したスラッジを容易に流出させることができる。
【０１１７】
また、本発明においては、Ｖ字状の動圧流体溝のみならず、あらゆる種類の形状加工に対しても同様に適用することができる。
【０１１８】
更に、前記の実施例において、スリーブ部材と円柱状電極との位置合わせはＸＹステージでスリーブ部材の方を微調整することによって行っているが、このスリーブ部材の方を固定し、円柱状電極の方を微調整することによっても位置合わせができる。
【図面の簡単な説明】
【０１１９】
【図１】本発明の一実施例のスリーブ部材の溝加工装置の構成図である。
【図２】図１に用いて好適な第１実施例の円柱状電極を示していて、同図Ａはその側面図、同図Ｂは同図ＡのＢ−Ｂ線上の拡大断面図、同図Ｃはスリーブ部材の中空内周面と前記円柱状電極との寸法関係を示す拡大平面図である。
【図３】図１に示したスリーブ部材の溝加工装置を用いてスリーブ部材を加工する本発明の第１実施例のスリーブ部材の溝加工方法を説明するための工程図であって、各工程図の図ａはスリーブ部材、電極、チャックの関係位置を示した側面図、図ｂは図ａの上面図である。
【図４】本発明の第１実施例のスリーブ部材の溝加工方法によって形成することができる溝の展開パターン図である。
【図５】図４のスリーブ部材の溝加工方法の応用方法によって形成することができる溝の展開パターン図である。
【図６】本発明の第２実施例のスリーブ部材の溝加工方法によって形成することができるへリングボーン形状の動圧流体溝の展開パターン図である。
【図７】本発明の第３実施例のスリーブ部材の溝加工方法によって形成することができる動圧流体溝の展開パターン図であって、同図Ａは動圧流体溝が１段のもの、同図Ｂは動圧流体溝が２段のものである。
【図８】本発明の第３実施例のスリーブ部材の溝加工方法に用いる第２実施例の円柱状電極を示していて、同図Ａはその側面図、同図Ｂは同図ＡのＢ−Ｂ線上における拡大断面図、同図Ｃはスリーブ部材の中空内周面と円柱状電極との寸法関係を示す拡大平面図である。
【図９】本発明の第３実施例の円柱状電極の側面図である。
【図１０】従来技術の加工電極の拡大図であって、同図Ａはその斜視図、同図Ｂは同図ＡのＢ−Ｂ線上の断面図である。
【図１１】図１０に示した加工電極を用いたスリーブ部材の溝加工工程図である。
【符号の説明】
【０１２０】
１…本発明の一実施例のスリーブ部材の溝加工装置、２…フレーム、３…ＸＹステージ、４…Ｚ軸駆動装置、６…Ｚ軸スライダ、７…Ｃ軸回動装置、８…回動軸、９…電解液糟、１０…チャック、１０ａ…円形凹部、１１…ポンプ、１２…電解液タンク、１３…スラッジ除去装置、１４…パイプ、１５…電源、２０Ａ…本発明の第１実施例の円柱状電極、２０Ｂ…本発明の第２実施例の円柱状電極、２０Ｃ…本発明の第３実施例の円柱状電極、２１…電極本体、２２…突状電極、Ｓ…スリーブ部材、Ｓｉ…スリーブ部材Ｓの中空内周面
【図１】
2005313260.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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