(57)【要約】【課題】  確実に把持可能な光学ユニット及びこれを用いた光学装置を提供する。【解決手段】  光学ユニット５は、一方の端面を下面５ａとし、他方の端面を上面５ｂとし、上面５ｂ側の側部に把持装置６１による把持を可能とする把持部３９，３９を備え、把持部３９は、側部の互いに対向する位置に対称の形状に対として設けられ、側面の全幅に亘って延在する二つの把持面３３，３７を有し、一方の把持面３３は、その外側に向かう法線が下側を向き、他方の把持面３７は、その外側に向かう法線が上側を向く構成とすることで、把持装置６１のチャック面７３，７７が、把持面３３，３７にそれぞれに押し当てられて光学ユニット５が把持されるため、４面による安定した把持とされる。【選択図】  図３
2005234051.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の端面を下面とし、他方の端面を上面とし、前記上面側の側部に把持装置による把持を可能とする把持部を備え、
前記把持部は、
前記側部の互いに対向する位置に対称の形状に対として設けられ、側面の全幅に亘って延在する二つの把持面を有し、
一方の把持面は、その外側に向かう法線が下側を向き、
他方の把持面は、その外側に向かう法線が上側を向くことを特徴とする光学ユニット。
【請求項２】
前記側面の全幅に亘って延在する凹設溝を備え、
前記一方の把持面は、前記凹設溝の内側上面で構成され、
前記他方の把持面は、前記凹設溝の内側下面又は前記他方の端面である上面の縁部で構成されることを特徴とする請求項１に記載の光学ユニット。
【請求項３】
前記側面の全幅に亘って延在する凸条部を備え、
前記一方の把持面は、前記凸条部の下面で構成され、
前記他方の把持面は、前記凸条部の上面又は前記他方の端面である上面の縁部で構成されることを特徴とする請求項１に記載の光学ユニット。
【請求項４】
光学素子と、前記把持部を有し前記光学素子を保持する光学枠と、を有すること
を特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の光学ユニット。
【請求項５】
マウントベースと、
請求項１〜４の何れか１項に記載の光学ユニットと、を備え、
前記光学ユニットの前記一方の端面である下面が、接着剤を介して前記マウントベース上に接着されたことを特徴とする光学装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は光学ユニット及びこれを用いた光学装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
略直方体形状の光学ユニットの光軸を調整しベース上に位置決めするための光軸調整装置が知られている（例えば、特許文献１参照。）。この種の装置では、チャック爪（把持装置）によって光学ユニットの両側面を把持し、ベース上の所定の位置まで移動して位置決めをし、締め付け用ネジでベース上に固定する。
【特許文献１】特開平６−６７０７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、この種の光軸調整装置にあっては、光学ユニットの側面を把持するチャック爪はその把持力が強いものではなく、場合によってはチャック爪の滑り等により光学ユニットがずれ、光学ユニットの位置精度及び向き精度が充分に得られない虞がある。
【０００４】
そこで、本発明は確実に把持可能な光学ユニット及びこれを用いた光学装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するため、本発明の光学ユニットは、一方の端面を下面とし、他方の端面を上面とし、上面側の側部に把持装置による把持を可能とする把持部を備え、把持部は、側部の互いに対向する位置に対称の形状に対として設けられ、側面の全幅に亘って延在する二つの把持面を有し、一方の把持面は、その外側に向かう法線が下側を向き、他方の把持面は、その外側に向かう法線が上側を向くことを特徴としている。
【０００６】
この光学ユニットによれば、把持装置のチャック面が、対として設けられた二つの把持面それぞれに押し当てられて光学ユニットが把持されるため、４面による安定した把持とされる。
【０００７】
ここで、上記作用を効果的に奏する光学ユニットの構成としては、具体的には、側面の全幅に亘って延在する凹設溝を備え、一方の把持面は、凹設溝の内側上面で構成され、他方の把持面は、凹設溝の内側下面又は他方の端面である上面の縁部で構成されるものが挙げられる。
【０００８】
また、上記作用を効果的に奏する光学ユニットの他の構成としては、具体的には、側面の全幅に亘って延在する凸条部を備え、一方の把持面は、凸条部の下面で構成され、他方の把持面は、凸条部の上面又は他方の端面である上面の縁部で構成されるものが挙げられる。
【０００９】
また、上記作用を効果的に奏する光学ユニットの構成としては、具体的には、光学素子と、把持部を有し光学素子を保持する光学枠と、を有する構成が挙げられる。
【００１０】
また、本発明の光学装置は、マウントベースと、上記何れかの光学ユニットと、を備え、光学ユニットの一方の端面である下面が、接着剤を介してマウントベース上に接着されたことを特徴としている。
【００１１】
この光学装置によれば、マウントベース上に光学ユニットを接着剤により接着する工程で接着剤が硬化するまでの間把持装置によって光学ユニットを安定して把持することで、接着剤の硬化時の伸縮によって光学ユニットの位置及び向きがずれることが抑制され、光学ユニットの位置精度及び向き精度が向上される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば確実に把持可能な光学ユニット及びこれを用いた光学装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明による光学ユニットを備えた光学装置の好適な実施形態について添付図面を参照しながら説明する。なお、各図において、同一の要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。
【００１４】
図１は、本発明の第１実施形態に係る光学装置１を示す斜視図であり、この光学装置１は、マウントベース３と、光学ユニット５と、を備えたいわゆるマッハツェンダー干渉計を構成している。
【００１５】
マウントベース３は例えばアルミニウム等の金属からなり板状に形成され基板を成すものである。
【００１６】
光学ユニット５は、マウントベース３上に搭載されている。この光学ユニット５は、発光素子を搭載した発光ユニット５Ｐ、コリメートレンズを搭載したレンズユニット５Ｑ、ビームスプリッタを搭載したビームスプリッタユニット５Ｓ１，５Ｓ２、ミラーを搭載したミラーユニット５Ｍ１，５Ｍ２、受光素子を搭載した受光ユニット５Ｒであり、これら発光素子、コリメートレンズ、ビームスプリッタ、ミラー、受光素子を光学素子として各々搭載したユニットを総称して光学ユニット５と呼ぶ。この光学ユニット５はその下面が所定波長の光を受けて硬化する紫外線硬化性樹脂（光硬化性樹脂）からなる接着剤を介してマウントベース３上に接着されている。
【００１７】
発光ユニット５Ｐ、レンズユニット５Ｑ、ビームスプリッタユニット５Ｓ１及びミラーユニット５Ｍ１は同軸に一列状に設置されていると共に、ミラーユニット５Ｍ２、ビームスプリッタユニット５Ｓ２、受光ユニット５Ｒは同軸上に一列状に設置され、これらのユニット列は並設されると共に、ビームスプリッタユニット５Ｓ２とミラーユニット５Ｍ２のミラー面同士、ミラーユニット５Ｍ１とビームスプリッタユニット５Ｓ２のミラー面同士が各々対面し、発光ユニット５Ｐから出射された光が、レンズユニット５Ｑでコリメートされ、ビームスプリッタユニット５Ｓ１でミラーユニット５Ｍ１へ向かう光とミラーユニット５Ｍ２へ向かう光とに分割され、ビームスプリッタユニット５Ｓ１からの直進光はミラーユニット５Ｍ１で直角に反射され、一方ビームスプリッタユニット５Ｓ１からの分離光はミラーユニット５Ｍ２で直角に反射され、ミラーユニット５Ｍ１、ミラーユニット５Ｍ２からの光はビームスプリッタユニット５Ｓ２に至り、当該ビームスプリッタユニット５Ｓ２を介して受光ユニット５Ｒに受光される配置構成とされている。そして、ビームスプリッタユニット５Ｓ１とミラーユニット５Ｍ１との間の光路上に検査対象となる被検物７を配置することにより受光ユニット５Ｒでは干渉縞が検出され、被検物７の歪み等が測定される。
【００１８】
以下、光学ユニット５について詳説する。なお、以下の説明中で用いる上方、下方、上部、下部等の上下の概念は、図面の上下に対応するものとする。
【００１９】
図２は図１中の光学ユニット５を示す斜視図であり、ここでは光学ユニット５Ｓ１，５Ｓ２を代表して説明するが他の光学ユニット５Ｐ，５Ｑ，５Ｍ１，５Ｍ２，５Ｒの場合も同様である。光学ユニット５は、一方の端面を下面５ａ、他方の端面を上面５ｂとし、下面５ａがマウントベース３に接着される。このマウントベース３との接着は、紫外線硬化性樹脂からなる接着剤によってされる。光学ユニット５は、光学部品２１と、その下面に透明板２３とを備え、透明板の下面５ａが一方の端面とされ光学部品２１の上面５ｂが他方の端面とされ、光学部品２１と透明板２３とは例えば熱硬化性樹脂等からなる接着剤等により接着されている。
【００２０】
光学部品２１は光学枠２５と、この光学枠２５に保持される光学素子２７（前述した光学素子を総称して光学素子２７と呼ぶ）とを有している。光学枠２５は、紫外線が不透過とされ、その中央に断面矩形形状の溝として形成された素子搭載部２９を有し、光学素子２７は、素子搭載部２９の溝内に嵌め込まれることで光学枠２５に保持されている。この光学素子２７は所定の向きに設置され、この光学素子２７を保持した光学ユニット５を上記マウントベース３上の所定位置に設置することで前記した各種光学ユニット５の光学的機能が発揮される。なお、素子搭載部２９は断面矩形形状の溝に限らず、例えば断面円形形状の貫通孔や断面半円形形状の溝としてもよい。
【００２１】
光学枠２５は、その上部の両側面に形成された凹設溝３１，３１を有している。これらの凹設溝３１，３１は、面対称となるように対に形成されていると共に、両側面の奥行き方向（幅方向）全幅に亘って延在している。この凹設溝３１は内側に切り込むＶ溝であり、内側上面３３及び内側下面３５を備えている。
【００２２】
内側上面３３は、外側に向かう法線３３ｈが下側を向き、水平面に対して傾斜面とされている。内側上面３３は、光学枠２５の上面５ｂの縁部３７と共にこの光学ユニット５の把持面を構成する。すなわち、その外側に向かう法線３３ｈが下側を向く内側上面３３及びその外側に向かう法線３７ｈが上側を向く上面縁部３７で光学ユニット５の把持部３９が構成され、後述する把持装置が、そのチャック面を内側上面３３及び上面縁部３７に押し当てることによって光学ユニット５を把持することが可能とされている。
【００２３】
また、光学枠２５は、その下部の両側面に形成された傾斜面５１，５１を有している。これらの傾斜面５１は、面対称となるように対に形成されていると共に、両側面の奥行き方向（幅方向）全幅に亘って延在している。この傾斜面５１は光学枠２５の底面２５ａに向かうに従い光学枠２５の外形が小さくなるように傾斜している。このように光学枠２５に傾斜面５１が設けられることにより、その下部に逃げ部５３が画成される。
【００２４】
透明板２３は、例えば上記所定波長の紫外線を透過する石英ガラス等からなり、平板状に形成されている。この透明板２３は、その上下方向の投影外形が光学部品２１の同方向の投影外形から突出しない形状とされている。投影外形が突出しないとは、投影外形が同じであることも含まれる。
【００２５】
透明板上面２３ｂは中央部のみ接合面として光学枠２５の底面２５ａに接合され、これより外側の上面縁部２３ｃは上記の逃げ部５３から露出している。光学部品２１側の斜め上方から透明板２３へ向けて斜めに上記所定波長の紫外線が照射された場合には、この紫外線は逃げ部５３を通過し透明板２３の上面縁部２３ｃに達する。
【００２６】
続いて、図３を参照し、光学ユニット５をマウントベース３上に接着する接着工程について説明する。図３は、図２の光学ユニット５の接着工程を示す状態説明図であり、把持装置６１により把持されマウントベース３上に設置された光学ユニット５を示す図である。まず、接着工程に用いる把持装置６１及びマニピュレータ６７等について説明する。
【００２７】
把持装置６１は、対として設けられたチャック部６３，６４を有している。チャック部６３とチャック部６４とは接離機構６５で連結されており、一方のチャック部６３は他方のチャック部６４に対して接離する方向に移動可能とされている。接離機構６５としては例えば油圧、空気圧等により駆動するシリンダ機構が用いられる。チャック部６３，６４は、側面の奥行き方向（幅方向）全幅に亘って延び、光学ユニット５の把持面３３，３７に沿うような形状に構成されたチャック面７３，７７を有している。すなわち、チャック部６３，６４とが接近方向に移動することによりチャック面７３，７７が把持面３３，３７と密着する形状とされている。
【００２８】
マニピュレータ６７は、把持装置６１を連結して備え、図示しない制御手段の制御によって把持装置６１を３次元方向に移動させる。制御手段は、図示しない検出手段が検出した光学ユニット５の位置及び向きに基づいてマニピュレータ６７の駆動を制御する。
【００２９】
また、マニピュレータ６７は、光学部品２１側から透明板２３の逃げ部５３へ向かうように斜めに前記紫外線を照射する光源部６９を一対備えている。この光源部６９としては、例えば出射面６９ａから紫外線を拡散させる光ファイバーの束等が用いられる。
【００３０】
続いて、光学ユニット５をマウントベース３上に接着する接着工程について説明する。始めに、光学ユニット５の下面（透明板の下面）５ａに未硬化の紫外線硬化性樹脂からなる接着剤を予め塗布し、光学ユニット５の上部を把持装置６１によって把持する。すなわち、まず、マニピュレータ６７が、把持装置６１を、そのチャック部６３，６４が離れた状態で光学ユニット５の上部を挟む位置に移動する。次に、接離機構６５を駆動し、チャック部６３を、チャック部６４へ接近する方向に移動する。すると、光学ユニット５の把持面３３，３７がそれぞれチャック面７３，７７に押し当てられ、光学ユニット５が把持装置６１によって把持される。このように光学ユニット５は上部を把持されるとき４つの平面と密着するため、把持装置６１に対して確実に把持される。
【００３１】
光学ユニット５は、把持装置６１に把持されたままマニピュレータ６７によって移動され、マウントベース３上の所定の設置位置及び設置向きで下面５ａがマウントベース３上に配置される。このとき、予め下面５ａに塗布されていた接着剤は下面５ａとマウントベース３との間に挟まれ、挟まれた接着剤によって接着層８３が形成される。なお、ここでは接着剤を光学ユニット５の下面５ａに予め塗布しているが、マウントベース３上の設置位置に予め塗布していてもよい。
【００３２】
次に、制御手段によってマニピュレータ６７の駆動を制御し、光学ユニット５を、その上部の把持部３９，３９で把持装置６１によって把持したまま、光学ユニット５の位置及び向きの微調整を行う。
【００３３】
次いで、光源部６９から上記所定波長の紫外線を出射する。すると、出射された紫外線は逃げ部５３を通り露出した上面縁部２３ｃへ達し、透明板２３内部を通過して接着層８３へ達し、接着層８３の接着剤はこの紫外線を受けて硬化する。接着剤はこの硬化に伴って収縮しようとするが、光学ユニット５は把持部３９が把持装置６１によって確実に固定されているので、接着剤の収縮に引きずられて移動することはなく、接着剤の硬化中においても設置位置及び設置向きが正確に維持される。そして、接着剤が完全に硬化したら把持装置６１を把持部３９，３９から外し、光学ユニット５の接着が終了する。
【００３４】
このように、光学ユニット５によれば、上部に把持面３３，３７を有することにより把持装置６１のチャック面７３，７７が、それぞれ把持面３３，３７に押し当てられて光学ユニット５を把持するため、光学ユニット５は４面による安定した把持とされ確実に把持される。
【００３５】
また、このように確実に把持されるため、光学ユニット５は、接着剤硬化中の収縮に伴う力を受けたとき位置及び向きを変えることが抑制され、接着剤の硬化後には所望の設置位置及び設置向きに正確に固定され、光学ユニット５は高い精度で所望の設置位置及び設置向きに設置される。
【００３６】
また、光学ユニット５によれば、凹設溝３１は、側面の奥行き方向全幅に亘って延在しているため、側面に穴状の凹部を設けて把持部を構成する場合よりも単純な構造のチャック部６３，６４を用いることが可能とされ、マニピュレータ等による自動的な把持が容易とされる。
【００３７】
また、光学ユニット５によれば、透明板２３の投影外形は光学部品２１の投影外形から突出しないように構成されており、光学ユニット５同士を近接に設置しても透明板２３同士が邪魔にならないため、光学ユニット５同士を近接に設置することが可能とされ、光学装置１内には光学ユニット５を稠密に配置することが可能とされる。
【００３８】
また、光学ユニット５によれば、その下部に傾斜面５１が設けられて逃げ部５３が形成され、透明板２３の投影外形を光学部品２１と同じ又は小さくしながらも上面縁部２３ｃが露出するため、光源部６９からの紫外線が上面縁部２３ｃに到達し、接着層８３のより中央側まで紫外線が当たりやすく、接着剤の接着力が充分確保され、光学ユニット５がマウントベース３上に確実に接着されている。
【００３９】
また、光学ユニット５を用いた光学装置１によれば、光学ユニット５の傾斜面５１は、底面２５ａに向かうに従い光学枠２５の外形が小さくなるように傾斜しているため、光学装置１内で発生し光学ユニット５へ向かう散乱光は傾斜面５１により下向きに反射され、透明板２３やマウントベース３で減衰される結果、信頼性の高い光学装置を得ることが可能とされる。
【００４０】
また、光学ユニット５によれば、光学部品２１と透明板２３とが予め接合され一体に構成されているため、マウントベース３上に設置する場合には、光学ユニット５とマウントベース３とを接着すればよく、光学部品２１、透明板２３及びマウントベース３を同時に接着する場合に比して取り扱いが容易であると共に、光学ユニット５の高い位置精度及び向き精度を得ることが可能とされる。
【００４１】
また、光学ユニット５によれば、把持部３９，３９により安定して確実に把持されながら、透明板２３の上面縁部２３ｃの露出によりマウントベース３上に接着される接着剤の充分な接着力を確保し充分に硬化することから、光学ユニット５がマウントベース３上に確実に所望の設置位置及び設置向きに正確に固定され、光学ユニット５の更に高い位置精度及び向き精度が得られる。
【００４２】
また、光学ユニット５によれば、凹設溝３１と傾斜面５１とが同じ奥行き方向に延びているため、光学枠２５の作製の際、凹設溝３１と傾斜面５１とを同時に加工することが可能であり、光学枠２５の作製が容易とされる。
【００４３】
なお、上記各種光学ユニット５が適用される光学装置１は、マッハツエンダー干渉計に限定されるものではなく、フーリエ変換分光計，平面度測定装置等にも適用が可能である。
【００４４】
続いて、本発明による光学ユニットの第２の実施形態である光学ユニット２００について図４を参照しながら説明する。図４は、光学ユニット２００を示す斜視図である。この光学ユニット２００の光学ユニット５との相違点は、把持部２３９の構成にある。
【００４５】
この実施形態では、光学ユニット２００を構成する光学枠２２５は、その上部の両側面に形成された凸条部２３１，２３１を有している。これらの凸条部２３１，２３１は、面対称となるように対に形成されていると共に、両側面の奥行き方向（幅方向）全幅に亘って延在している。この凸条部２３１は断面四角形形状に形成されており、凸条部下面２３３及び凸条部上面２３７を備えている。
【００４６】
凸条部下面２３３は、外側に向かう法線２３３ｈが下側を向き、水平面に対して傾斜面とされており、凸条部上面２３７は、光学ユニット２００の上面２００ｂと同一平面上の縁部であり、外側に向かう法線２３７ｈが上側を向き、この凸条部下面２３３及び凸条部上面２３７がこの光学ユニット２００の把持面を構成する。すなわち、これらの凸条部下面２３３及び凸条部上面２３７で光学ユニット２００の把持部２３９が構成され、後述する把持装置が、そのチャック面を凸条部下面２３３及び凸条部上面２３７に押し当てることによって光学ユニット２００を把持することが可能とされている。
【００４７】
続いて、図５を参照し、光学ユニット２００の接着工程に用いる把持装置２６１について説明する。図５は、図４の光学ユニット２００の接着工程を示す状態説明図であり、把持装置２６１により把持されマウントベース３上に設置された光学ユニット２００を示す図である。把持装置２６１の把持装置６１との相違点は、接離機構２６５の構成にある。
【００４８】
接離機構２６５は、モータ２６５ｍの駆動により雄螺子軸２６５ｎが回転し、これに螺合されチャック部６３を備える連結部２６５ｐがチャック部６４と接離する方向に移動する構成とされている。
【００４９】
本実施形態の光学ユニット２００によれば、上部に把持面２３３，２３７を有することにより把持装置２６１のチャック面７３，７７が、それぞれ把持面２３３，２３７に押し当てられて光学ユニット２００を把持するため、光学ユニット５の場合と同様の作用、効果を奏する。なお、凸条部を光学枠に対して下方にずらして設け（凸条部の上面が光学枠の上面に対して低くなるように設け）、光学ユニットの上面縁部ではない凸条部の上面を凸条部の下面と共に把持面とすることも可能である。
【００５０】
続いて、本発明による光学ユニットの第３の実施形態である光学ユニット３００について図６を参照しながら説明する。図６は、光学ユニット３００を示す斜視図である。この光学ユニット３００の光学ユニット５との相違点は、把持部３３９の構成にある。
【００５１】
この実施形態では、光学ユニット３００を構成する光学枠３２５は、その上部の両側面に形成された凹設溝３３１，３３１を有している。これらの凹設溝３３１，３３１は、面対称となるように対に形成されていると共に、両側面の奥行き方向（幅方向）全幅に亘って延在している。この凹設溝３３１は内側に切り込む断面台形形状の溝であり、内側上面３３３及び内側下面３３７を備えている。
【００５２】
内側上面３３３は、外側に向かう法線３３３ｈが下側を向き、水平面に対して傾斜面とされており、内側下面３３７は、外側に向かう法線３３７ｈが上側を向き、水平面に対して傾斜面とされており、この内側上面３３３及び内側下面３３７がこの光学ユニット３００の把持面を構成する。すなわち、これらの内側上面３３３及び内側下面３３７で光学ユニット３００の把持部３３９が構成され、後述する把持装置が、そのチャック面を内側上面３３３及び内側下面３３７に押し当てることによって光学ユニット３００を把持することが可能とされている。
【００５３】
続いて、図７を参照し、光学ユニット３００の接着工程に用いる更に他の把持装置３６１について説明する。図７は、図６の光学ユニット３００の接着工程を示す状態説明図であり、他の把持装置３６１により把持されマウントベース３上に設置された光学ユニット３００を示す図である。把持装置３６１の把持装置６１との相違点は、チャック部３６３，３６４の構成にある。
【００５４】
チャック部３６３，３６４は、側面の奥行き方向（幅方向）全幅に亘って延び、光学ユニット３００の把持面３３３，３３７に沿うような形状に構成されたチャック面３７３，３７７を有している。すなわち、チャック部３６３，３６４とが接近方向に移動することによりチャック面３７３，３７７が把持面３３３，３３７と密着する形状とされている。
【００５５】
また、図８を参照し、光学ユニット３００の接着工程に用いる更に他の把持装置について説明する。図８は、図６の光学ユニット３００が更に他の把持装置を構成するチャック部３８３により把持された状態を示す状態説明図であり、その状態の光学ユニット３００の把持部３３９付近を示す図である。
【００５６】
チャック部３８３は、アーム３８４先端の密着部３８６が回動軸３８５を中心として互いに開く方向にアーム３８４が回動することにより、それぞれの密着部３８６の外側の面であるチャック面３９３，３９７が各々光学ユニット３００の把持面３３３，３３７に押し当てられる構成とされている。
【００５７】
本実施形態の光学ユニット３００によれば、上部に把持面３３３，３３７を有することにより把持装置３６１のチャック面３７３，３７７が、それぞれ把持面３３３，３３７に押し当てられて光学ユニット３００を把持し、また、他の把持装置のチャック面３９３，３９７が、それぞれ把持面３３３，３３７に押し当てられて光学ユニット３００を把持するため、光学ユニット５の場合と同様の作用、効果を奏する。
【００５８】
なお、光学ユニット５，２００，３００と、それらを把持する把持装置との組み合わせは、上記実施形態の組み合わせに限定されるものではなく、適用可能な実施形態に対して各々用いることが可能である。
【００５９】
続いて、本発明による光学ユニットの第４の実施形態に係る光学ユニット４００、第５の実施形態に係る光学ユニット５００及び第６の実施形態に係る光学ユニット６００についてそれぞれ図９、図１０、図１１を参照しながら説明する。図９、図１０、図１１は、それぞれ光学ユニット４００，５００，６００を示す斜視図である。これらの光学ユニット４００，５００，６００の光学ユニット５との相違点は、その下部の構成にあり、特に光学ユニット４００，５００の構成要素である光学枠４２５，５２５の構成、及び光学ユニット６００の構成要素である透明板６２３の構成にある。
【００６０】
なお、第４実施形態から第６実施形態にあっては、光学ユニット４００，５００，６００の透明板２３，５２３，６２３は、第１実施形態に係る光学ユニット５と同様、その上下方向の投影外形が光学部品４２１，５２１，６２１の同方向の投影外形から突出しない形状とされている。
【００６１】
図９に示す第４実施形態の光学ユニット４００にあっては、光学枠４２５はその下部両側面が鉛直面にされると共に傾斜貫通孔４５３を備えている。この傾斜貫通孔４５３は、光学枠４２５の下部両側面から光学枠４２５と透明板２３との接合面に達するように傾斜して延びており、奥行き方向（幅方向）に１個もしくは複数（本実施形態では片側２個）が設けられている。透明板２３の上面２３ｂは傾斜貫通孔４５３を介して外部へ露出している。
【００６２】
このような光学ユニット４００によれば、第１実施形態と同様に光学部品４２１側から透明板２３へ向けて斜めに上記所定波長の紫外線が照射された場合には、この紫外線は傾斜貫通孔４５３を通過し露出した透明板上面２３ｂに達するため、光学ユニット５の場合と同様の効果を得ることができる。
【００６３】
また、光学ユニット４００を用いた光学装置によれば、光学ユニット４００の側面に傾斜貫通孔４５３が設けられているため、光学装置内で発生し光学ユニット４００へ向かう散乱光が傾斜貫通孔４５３へ入射し、透明板２３やマウントベース３で減衰される結果、信頼性の高い光学装置を得ることが可能とされる。
【００６４】
また、光学ユニット４００によれば、光学枠４２５と透明板２３との接合面の面積が光学ユニット５に比して大きいため、光学枠４２５と透明板２３との強い接着が得られる。また、一般に貫通孔は加工が容易であるため、光学枠４２５の作製が容易とされる。
【００６５】
図１０に示す第５実施形態の光学ユニット５００にあっては、光学枠５２５はその下部両側面が鉛直面にされると共に下部両側面から突出して対に設けられた大径の鍔部５５１及び貫通孔５５３を備えている。この貫通孔５５３は、鍔部５５１の上面５５１ｂから光学枠５２５と透明板５２３との接合面に達するように延びており、奥行き方向（幅方向）に１個もしくは複数（本実施形態では片側２個）が設けられている。透明板５２３の上面５２３ｂは貫通孔５５３を介して外部へ露出している。
【００６６】
このような光学ユニット５００によれば、第１実施形態と同様に光学部品５２１側から透明板５２３へ向けて上記所定波長の紫外線が照射された場合には、この紫外線は貫通孔５５３を通過し露出した透明板上面５２３ｂに達するため、光学ユニット５の場合と同様の効果を得ることができる。
【００６７】
また、光学ユニット５００によれば、光学枠５２５と透明板５２３との接合面の面積が光学ユニット４００に比して大きいため、光学枠５２５と透明板５２３との更に強い接着が得られる。また、一般に貫通孔は加工が容易であるため、光学枠５２５の作製が容易とされる。
【００６８】
図１１に示す第６実施形態の光学ユニット６００にあっては、光学枠６２５はその下部両側面が鉛直面とされ、透明板６２３はその両側面が上方に向かうに従いこの透明板６２３の外形が小となる傾斜面６２３ｄとされている。その結果、光学部品６２１側から透明板６２３に向けて斜めに所定波長の紫外線が照射された場合の傾斜面６２３ｄへの入射角は、その斜めの紫外線が鉛直面へ入射するときの入射角よりも小さくなる。
【００６９】
このため、このような光学ユニット６００によれば、傾斜面６２３ｄに入射した紫外線の反射損失が少なくされ、この反射損失の少ない紫外線が透明板６２３の内部を透過して透明板６２３の下面５ａに到達するため、光学ユニット５の場合と略同様の効果を得ることができる。
【００７０】
以上、本発明をその実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、例えば、上記実施形態においては、光学ユニット５，２００，３００，４００，５００，６００を稠密に設置可能であり好ましいとして、透明板２３，２３，２３，２３，５２３，６２３の鉛直方向の投影外形が光学部品２１，２２１，３２１，４２１，５２１，６２１の同方向の投影外形から突出しない形状に構成されているが、上記各透明板の投影外形は上記各光学部品の投影外形から突出してもよい。
【００７１】
また、上記実施形態においては、光学ユニット５，２００，３００，４００，５００，６００は、接着層８３に照射される光量が多くなり好ましいとして、光学枠２５，２２５，３２５，４２５，５２５，６２５の下面に透明板２３，２３，２３，２３，５２３，６２３を有しているが、光学ユニットは透明板を有さず光学枠２５，２２５，３２５，４２５，５２５，６２５の底面が光学ユニット５の下面を構成し、これらの面がマウントベース３に接着されてもよい。
【００７２】
また、上記実施形態においては、光学ユニット５，２００，３００，４００，５００，６００のマウントベース３への接着を紫外線硬化性樹脂からなる接着剤によって行っているが、接着剤は熱硬化性樹脂からなる接着剤等の他の接着剤を用いて接着してもよい。
【００７３】
また、上記実施形態においては、２箇所の光源部６９を設け紫外線を対称な２方向から照射し接着剤の硬化状態を対称とし硬化中の収縮に伴う接着層８３の歪みを平均化するようにしているが、光源部６９は少なくとも１箇所設ければよく、紫外線は少なくとも１方向から照射されればよい。また、このとき、光学ユニットの傾斜面５１、傾斜貫通孔４５３、貫通孔５５３、透明板６２３の傾斜面６２３ｄも紫外線の照射方向に対応して少なくとも１箇所に設けられればよい。また、光源部６９及び傾斜面５１、傾斜貫通孔４５３、貫通孔５５３、傾斜面６２３ｄは３個以上の場合は、周方向の等配位置に配置することが好ましい。
【００７４】
また、上記実施形態においては、光学部品２１，２２１，３２１，４２１，５２１，６２１は光学枠２５，２２５，３２５，４２５，５２５，６２５を有し、これらの光学枠が光学素子２７を保持することとして光学枠に把持部３９，２３９，３３９を設けているが、光学ユニットにおいてこれらの光学枠は必須ではなく、光学素子２７自体で光学部品或いは光学ユニットを構成し、この光学素子に直接把持部３９，２３９，３３９のような把持部を設けても良い。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】本発明の第１実施形態に係る光学ユニットを備えた光学装置を示す斜視図である。
【図２】図１中の光学ユニットを示す斜視図である。
【図３】図２の光学ユニットの接着工程を示す状態説明図であり、把持装置により把持されマウントベース上に設置された光学ユニットを示す図である。
【図４】本発明の第２実施形態に係る光学ユニットを示す斜視図である。
【図５】図４の光学ユニットの接着工程を示す状態説明図であり、他の把持装置により把持されマウントベース上に設置された光学ユニットを示す図である。
【図６】本発明の第３実施形態に係る光学ユニットを示す斜視図である。
【図７】図６の光学ユニットの接着工程を示す状態説明図であり、更に他の把持装置により把持されマウントベース上に設置された光学ユニットを示す図である。
【図８】図６の光学ユニットが更に他の把持装置を構成するチャック部により把持された状態を示す状態説明図である。
【図９】本発明の第４実施形態に係る光学ユニットを示す斜視図である。
【図１０】本発明の第５実施形態に係る光学ユニットを示す斜視図である。
【図１１】本発明の第６実施形態に係る光学ユニットを示す斜視図である。
【符号の説明】
【００７６】
１…光学装置、３…マウントベース、５，２００，３００，４００，５００，６００…光学ユニット、５ａ…下面、５ｂ，２００ｂ…上面、２５，２２５，３２５，４２５，５２５，６２５…光学枠、２７…光学素子、３１，３３１…凹設溝、３３，３３３…内側上面（把持面）、３７…上面縁部（把持面）、３３ｈ，２３３ｈ，３３３ｈ…下向き法線、３７ｈ，２３７ｈ，３３７ｈ…上向き法線、３９，２３９，３３９…把持部、６１，２６１，３６１…把持装置、８３…接着層、２３１…凸条部、２３３…凸条部下面（把持面）、２３７…凸条部上面（把持面）、３３７…内側下面（把持面）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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