(57)【要約】【課題】シートを位置補正された状態で打ち抜くことが可能で、しかもコンパクトな設備レイアウトが可能なシート打ち抜き装置を提供する。【解決手段】上面に載置されたシート１が打ち抜かれる領域に対応するシート打ち抜き領域２よりも外側の領域３に、シートを真空吸引して吸引保持するための吸引孔４，１４が配設されたテーブル本体５と、テーブル本体５のシート打ち抜き領域２の内側に配設され、シート１を真空吸引して吸引保持するための吸引孔４，１４を備え、シート１を吸引保持した状態で回転することにより、シート１を平面的に回転させて、シート１の回転方向の位置を補正する回転方向補正テーブル１５と、テーブル本体５および回転方向補正テーブル１５に支持された状態のシートを打ち抜く手段とを備えた打ち抜きヘッド８とを具備する構成とする。【選択図】図１
2005297365.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面に載置されたシートが打ち抜かれる領域に対応するシート打ち抜き領域よりも外側の領域に、シートを真空吸引して吸引保持するための吸引孔が配設されたテーブル本体と、
前記テーブル本体の、前記シート打ち抜き領域の内側に配設され、シートを真空吸引して吸引保持するための吸引孔を備え、シートを吸引保持した状態で回転することにより、シートを平面的に回転させて、シートの回転方向の位置を補正する回転方向補正テーブルと、
前記テーブル本体および前記回転方向補正テーブルに支持された状態のシートを打ち抜く手段と、打ち抜いたシートを保持する手段とを備えた打ち抜きヘッドと
を具備することを特徴とするシート打ち抜き装置。
【請求項２】
前記テーブル本体と前記回転方向補正テーブルとの間には、前記テーブル本体と前記回転方向補正テーブルの隙間からの真空漏れを防止するためのシール部材が配設されていることを特徴とする請求項１記載のシート打ち抜き装置。
【請求項３】
前記テーブル本体および前記回転方向補正テーブルが、前記吸引孔から気体をブローする手段を備えていることを特徴とする請求項１または２記載のシート打ち抜き装置。
【請求項４】
前記テーブル本体および前記回転方向補正テーブルが、吸引孔から気体をブローする際のブロー圧、気体の流量、気体をブローするタイミング、および吸引孔から気体をブローしている状態と吸引孔から真空吸引している状態との切替を制御するための制御機構を備えていることを特徴とする請求項３記載のシート打ち抜き装置。
【請求項５】
前記シートが、キャリアフィルム上にセラミックグリーンシートが保持されたものであることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のシート打ち抜き装置。
【請求項６】
請求項５に記載のシート打ち抜き装置を用い、キャリアフィルム上に保持されたセラミックグリーンシートを打ち抜く工程を具備することを特徴とする積層セラミック電子部品の製造方法。
【請求項７】
請求項５記載のシート打ち抜き装置を用いた積層セラミック電子部品の製造方法であって、
(ａ)前記テーブル本体および前記回転方向補正テーブルの少なくとも一方の吸引孔からの吸引をオンにした状態で、キャリアフィルム上に保持されたセラミックグリーンシートをテーブル本体および回転方向補正テーブル上に搬入するシート搬入工程と、
(ｂ)前記テーブル本体の吸引孔からの吸引をオフ、前記回転方向補正テーブルの吸引孔からの吸引をオンとした状態で、前記回転方向補正テーブルを動作させて、セラミックグリーンシートの回転方向の位置を補正する回転位置補正工程と、
(ｃ)前記テーブル本体および前記回転方向補正テーブルの少なくとも一方の吸引孔からの吸引をオンにした状態で、前記打ち抜きヘッドを下降させて、前記テーブル本体および前記回転方向補正テーブルに支持された状態のセラミックグリーンシートを打ち抜く打ち抜き工程と、
(ｄ)前記回転方向補正テーブルの吸引孔からの吸引をオフ、または吸引口からのブローをオン、前記テーブル本体の吸引孔からの吸引をオンにした状態で前記打ち抜きヘッドを上昇させて、打ち抜かれたセラミックグリーンシートをキャリアフィルムから剥離する剥離工程と、
(ｅ)前記打ち抜きヘッドを上昇させた後、前記回転方向補正テーブルおよび前記テーブル本体の吸引孔からの吸引をオフ、または吸引口からのブローをオンにして、前記回転方向補正テーブルおよび前記テーブル本体上のキャリアフィルムおよびセラミックグリーンシートの打ち抜き残渣を除去して、次の、キャリアフィルム上に保持されたセラミックグリーンシートの搬入に備える搬入準備工程と
を具備することを特徴とする積層セラミック電子部品の製造方法。
【請求項８】
前記(ｄ)の工程において、前記回転方向補正テーブルの吸引孔からのブローをオンとすることを特徴とする請求項７記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
【請求項９】
前記(ｅ)の工程において、前記回転方向補正テーブルおよび前記テーブル本体の吸引孔からのブローをオンとすることを特徴とする請求項７または８記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、シート打ち抜き装置およびそれを用いた積層セラミック電子部品の製造方法に関し、詳しくは、打ち抜くべきシートの平面的な回転方向の位置補正を確実に行うことが可能なシート打ち抜き装置およびそれを用いた積層セラミック電子部品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
代表的な積層セラミック電子部品の１つである積層セラミックコンデンサは、例えば、図８に示すように、セラミック素子５１中に、複数の内部電極５２ａ，５２ｂがセラミック層５３を介して積層され、かつ、セラミック層５３を介して互いに対向する内部電極５２ａ，５２ｂが交互にセラミック素子５１の逆側の端面５４ａ，５４ｂに引き出されて、該端面に形成された外部電極５５ａ，５５ｂに接続された構造を有している。
【０００３】
そして、このような構造を有する積層セラミックコンデンサは、通常、セラミックグリーンシートを積層する工程を経て製造されている。
すなわち、積層セラミックコンデンサは、導電ペーストを印刷、塗布して表面に内部電極パターンを形成したセラミックグリーンシートを積層するとともにその上下両面側に、内部電極が形成されていないセラミックグリーンシート（ダミーシート）を積層、圧着し、個々の素子への分割（カット）、焼成を行った後、焼成後の積層体（セラミック素子）の両端部に外部電極を形成する工程を経て製造されている。
【０００４】
ところで、上述のようにして積層されるセラミックグリーンシートとしては、通常、打ち抜き装置を用いて所定の形状に打ち抜いたものが用いられている（特許文献１参照）。
そして、セラミックグリーンシートを打ち抜く場合においては、積層工程で内部電極パターンの積層ずれなどが生じないように、セラミックグリーンシートの位置調整（位置決め）をした後、打ち抜きが行われる。この位置調整（位置決め）には、セラミックグリーンシートを平面的に見た場合のＸ方向およびＹ方向の位置調整のほかに、図９にその概念を模式的に示すように、セラミックグリーンシート６１（ここではキャリアフィルム６０に保持された状態のセラミックグリーンシート６１を示している）を平面的に見た場合の回転方向（θ方向）についての位置調整（位置決め）が行われる。
この回転方向の位置調整を行うにあたって、従来は、
(１)図９に示すように、セラミックグリーンシート６１を載置した打ち抜きテーブル６２の全体を回転させて、回転方向（θ方向）の位置調整を行った後、シート吸引機能を備えた打ち抜きヘッド６３を下降させてセラミックグリーンシート６１を打ち抜いた後、打ち抜いたセラミックグリーンシート６１を吸着して次の工程に移送する方法や、
(２)図１０に示すように、打ち抜きテーブル６２とは別に回転方向の位置補正機構６４を備えた設備を用い、位置補正機構６４によりセラミックグリーンシート６１を回転させて、回転方向（θ方向）の位置調整を行った後、シート吸引機能を備えた打ち抜きヘッド６３を下降させてセラミックグリーンシートを打ち抜いた後、打ち抜いたセラミックグリーンシートを吸着して次の工程に移送する方法
などの方法が用いられている。
【０００５】
しかしながら、従来のシート打ち抜き装置では、打ち抜きテーブル６２の全体を回転させてセラミックグリーンシート６１を回転させるか、あるいは、打ち抜きテーブル６２とは別に設けた回転方向の位置補正機構６４によりセラミックグリーンシート６１を回転させるようにしているので、セラミックグリーンシートを回転させて位置調整を行うためには、広いスペースが必要となり、コンパクトな設備レイアウトを行うことが困難であるという問題点がある。
また、駆動源も大きいものが必要となり、駆動エネルギーが大きくなるという問題点がある。
【特許文献１】特開２００１−２１０５６９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本願発明は、上記問題点を解決するものであり、シートを平面的に回転させて、シートの回転方向の位置を補正することが可能なシート打ち抜き装置であって、コンパクトな設備レイアウトが可能で、駆動エネルギーが少なく、コストの低減を図ることが可能なシート打ち抜き装置、およびそれを用いて、積層セラミック電子部品を効率よく製造することが可能な積層セラミック電子部品の製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本願発明（請求項１）のシート打ち抜き装置は、
上面に載置されたシートが打ち抜かれる領域に対応するシート打ち抜き領域よりも外側の領域に、シートを真空吸引して吸引保持するための吸引孔が配設されたテーブル本体と、
前記テーブル本体の、前記シート打ち抜き領域の内側に配設され、シートを真空吸引して吸引保持するための吸引孔を備え、シートを吸引保持した状態で回転することにより、シートを平面的に回転させて、シートの回転方向の位置を補正する回転方向補正テーブルと、
前記テーブル本体および前記回転方向補正テーブルに支持された状態のシートを打ち抜く手段と、打ち抜いたシートを保持する手段とを備えた打ち抜きヘッドと
を具備することを特徴としている。
【０００８】
また、請求項２のシート打ち抜き装置は、前記テーブル本体と前記回転方向補正テーブルとの間には、前記テーブル本体と前記回転方向補正テーブルの隙間からの真空漏れを防止するためのシール部材が配設されていることを特徴としている。
【０００９】
また、請求項３のシート打ち抜き装置は、前記テーブル本体および前記回転方向補正テーブルが、前記吸引孔から気体をブローする手段を備えていることを特徴としている。
【００１０】
また、請求項４のシート打ち抜き装置は、前記テーブル本体および前記回転方向補正テーブルが、吸引孔から気体をブローする際のブロー圧、気体の流量、気体をブローするタイミング、および吸引孔から気体をブローしている状態と吸引孔から真空吸引している状態との切替を制御するための制御機構を備えていることを特徴としている。
【００１１】
また、請求項５のシート打ち抜き装置は、前記シートが、キャリアフィルム上にセラミックグリーンシートが保持されたものであることを特徴としている。
【００１２】
また、本願発明（請求項６）の積層セラミック電子部品の製造方法は、請求項５に記載のシート打ち抜き装置を用い、キャリアフィルム上に保持されたセラミックグリーンシートを打ち抜く工程を具備することを特徴としている。
【００１３】
また、本願発明（請求項７）の積層セラミック電子部品の製造方法は、
請求項５記載のシート打ち抜き装置を用いた積層セラミック電子部品の製造方法であって、
(ａ)前記テーブル本体および前記回転方向補正テーブルの少なくとも一方の吸引孔からの吸引をオンにした状態で、キャリアフィルム上に保持されたセラミックグリーンシートをテーブル本体および回転方向補正テーブル上に搬入するシート搬入工程と、
(ｂ)前記テーブル本体の吸引孔からの吸引をオフ、前記回転方向補正テーブルの吸引孔からの吸引をオンとした状態で、前記回転方向補正テーブルを動作させて、セラミックグリーンシートの回転方向の位置を補正する回転位置補正工程と、
(ｃ)前記テーブル本体および前記回転方向補正テーブルの少なくとも一方の吸引孔からの吸引をオンにした状態で、前記打ち抜きヘッドを下降させて、前記テーブル本体および前記回転方向補正テーブルに支持された状態のセラミックグリーンシートを打ち抜く打ち抜き工程と、
(ｄ)前記回転方向補正テーブルの吸引孔からの吸引をオフ、または吸引口からのブローをオン、前記テーブル本体の吸引孔からの吸引をオンにした状態で前記打ち抜きヘッドを上昇させて、打ち抜かれたセラミックグリーンシートをキャリアフィルムから剥離する剥離工程と、
(ｅ)前記打ち抜きヘッドを上昇させた後、前記回転方向補正テーブルおよび前記テーブル本体の吸引孔からの吸引をオフ、または吸引口からのブローをオンにして、前記回転方向補正テーブルおよび前記テーブル本体上のキャリアフィルムおよびセラミックグリーンシートの打ち抜き残渣を除去して、次の、キャリアフィルム上に保持されたセラミックグリーンシートの搬入に備える搬入準備工程と
を具備することを特徴としている。
【００１４】
また、請求項８の積層セラミック電子部品の製造方法は、前記(ｄ)の工程において、前記回転方向補正テーブルの吸引孔からのブローをオンとすることを特徴としている。
【００１５】
また、請求項９の積層セラミック電子部品の製造方法は、前記(ｅ)の工程において、前記回転方向補正テーブルおよび前記テーブル本体の吸引孔からのブローをオンとすることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１６】
本願発明（請求項１）のシート打ち抜き装置は、上面に載置されたシートが打ち抜かれる領域に対応するシート打ち抜き領域よりも外側の領域に、シートを真空吸引して吸引保持するための吸引孔が配設されたテーブル本体と、テーブル本体のシート打ち抜き領域の内側に配設され、シートを真空吸引して吸引保持するための吸引孔を備え、シートを吸引保持した状態で回転することにより、シートを平面的に回転させて、シートの回転方向の位置を補正する回転方向補正テーブルと、テーブル本体および回転方向補正テーブルに支持された状態のシートを打ち抜く手段とを備えた打ち抜きヘッドとを具備しているので、コンパクトな設備レイアウトが可能になるとともに、設備コストの削減や省エネルギーを図ることが可能になる。
【００１７】
すなわち、本願発明のシート打ち抜き装置においては、回転方向補正テーブルをテーブル本体の内側に配設しているので、回転方向補正テーブルを駆動させる際にも、テーブル本体より大きいスペースを必要とせず、従来のシート打ち抜き装置に比べて、設備の小型化、コンパクトな設備レイアウト、駆動源の小型化などを図ることが可能になり、省エネルギー、設備の高速運転化などを実現することができる。
【００１８】
また、請求項２のシート打ち抜き装置のように、テーブル本体と回転方向補正テーブルとの間に、シール部材を配設することにより、テーブル本体と回転方向補正テーブルの隙間からの真空漏れを生じることなく回転方向補正テーブルを回転させることが可能になり、本願発明をさらに実効あらしめることが可能になる。
なお、シール部材としては、シリコーン樹脂や、合成ゴム、天然ゴムなどが例示される。なお、シール部材にグリスを塗布することにより、摺動抵抗を小さく保ちつつ、真空漏れを防止することが可能になる。
【００１９】
また、請求項３のシート打ち抜き装置のように、テーブル本体および回転方向補正テーブルの吸引孔から気体をブローする手段を備えた構成とすることにより、テーブル本体や回転方向補正テーブルに吸引保持されていたシートを迅速、かつ、確実に解放することが可能になり、本願発明をさらに実効あらしめることが可能になる。
【００２０】
また、請求項４のシート打ち抜き装置のように、テーブル本体および回転方向補正テーブルが、吸引孔から気体をブローする際のブロー圧、気体の流量、気体をブローするタイミング、吸引孔から気体をブローしている状態と吸引孔から真空吸引している状態との切替を制御するための制御機構を備えた構成とすることにより、シートを確実に保持した状態で、信頼性の高い回転位置補正を行うことが可能になるとともに、シートの受け渡しを効率よくしかも確実に行うことが可能になり、本願発明をさらに実効あらしめることが可能になる。
【００２１】
また、請求項５のシート打ち抜き装置のように、シートが、キャリアフィルム上にセラミックグリーンシートが保持されたものである場合、キャリアフィルム上のセラミックグリーンシートを、正確に位置調整された状態で確実に打ち抜くことが可能になるとともに、打ち抜かれたセラミックグリーンシートのキャリアフィルムからの剥離や受け渡しを効率よく行うことが可能になる。
したがって、積層セラミック電子部品の製造に用いられる信頼性の高いセラミックグリーンシートを得ることが可能になる。
【００２２】
また、本願発明（請求項６）の積層セラミック電子部品の製造方法によれば、請求項５に記載のシート打ち抜き装置を用いて、キャリアフィルム上に保持されたセラミックグリーンシートを打ち抜く工程を経て積層セラミック電子部品が製造されることになり、位置調整された状態で打ち抜かれた、信頼性の高いセラミックグリーンシートを用いて積層セラミック電子部品が製造されることになるため、信頼性の高い積層セラミック電子部品を効率よく製造することが可能になる。
【００２３】
また、本願発明（請求項７）の積層セラミック電子部品の製造方法は、請求項５記載のシート打ち抜き装置を用い、(ａ)テーブル本体および回転方向補正テーブルの少なくとも一方の吸引孔からの吸引をオンにした状態で、キャリアフィルム上に保持されたセラミックグリーンシートをテーブル本体および回転方向補正テーブル上に搬入し、(ｂ)テーブル本体の吸引孔からの吸引をオフ、回転方向補正テーブルの吸引孔からの吸引をオンとした状態で、回転方向補正テーブルを動作させて、セラミックグリーンシートの回転方向の位置を補正し、(ｃ)テーブル本体および回転方向補正テーブルの少なくとも一方の吸引孔からの吸引をオンにした状態で、打ち抜きヘッドを下降させて、テーブル本体および回転方向補正テーブルに支持された状態のセラミックグリーンシートを打ち抜き、(ｄ)回転方向補正テーブルの吸引孔からの吸引をオフ、または吸引口からのブローをオン、テーブル本体の吸引孔からの吸引をオンにした状態で前記打ち抜きヘッドを上昇させて、打ち抜かれたセラミックグリーンシートをキャリアフィルムから剥離した後、(ｅ)回転方向補正テーブルおよびテーブル本体の吸引孔からの吸引をオフ、または吸引口からのブローをオンにして、回転方向補正テーブルおよびテーブル本体上のキャリアフィルムおよびセラミックグリーンシートの打ち抜き残渣を除去して、次の、キャリアフィルム上に保持されたセラミックグリーンシートの搬入に備えるようにしているので、キャリアフィルム上のセラミックグリーンシートを、正確に位置調整された状態で確実に打ち抜くことが可能になるとともに、打ち抜かれたセラミックグリーンシートの受け渡しを効率よく行うことが可能になる。したがって、積層セラミック電子部品の製造に用いられる所定の形状に打ち抜かれた信頼性の高いセラミックグリーンシートを提供することが可能になる。
【００２４】
また、請求項８の積層セラミック電子部品の製造方法は、(ｄ)の工程において、回転方向補正テーブルの吸引孔からのブローをオンとすることを特徴としているので、打ち抜かれたセラミックグリーンシートをキャリアフィルムから確実に剥離することが可能になる。
【００２５】
また、請求項８の積層セラミック電子部品の製造方法は、(ｅ)の工程において、回転方向補正テーブルおよび前記テーブル本体の吸引孔からのブローをオンとしているので、回転方向補正テーブルおよびテーブル本体上のキャリアフィルムおよびセラミックグリーンシートの打ち抜き残渣を確実に除去することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下に本願発明の実施例を示して、本願発明の特徴とするところをさらに詳しく説明する。
【実施例１】
【００２７】
図１は、キャリアフィルム１０上に保持されたセラミックグリーンシート１（以下、単に「シート」とも言う）を打ち抜くためのシート打ち抜き装置の要部構成を模式的に示す斜視図、図２は要部構成を示す平面図、図３は要部構成を示す断面図である。
【００２８】
このシート打ち抜き装置は、上面に載置されたシート１が打ち抜かれる領域に対応するシート打ち抜き領域２よりも外側の領域３に、シート１を真空吸引して吸引保持するための吸引孔４が配設されたテーブル本体５と、テーブル本体５の、シート打ち抜き領域２の内側に配設され、シート１を真空吸引して吸引保持するための吸引孔１４を備え、シート１を吸引保持した状態で回動することにより、シート１を平面的に回転させて、シート１の回転方向の位置を補正する回転方向補正テーブル１５と、テーブル本体５および回転方向補正テーブル１５に支持された状態のシート１を打ち抜く手段（この実施例ではブレード）６（図３，図４，図５参照）と、打ち抜いたシート１を保持する手段（この実施例では吸引孔７から真空吸引してシート１を保持する吸引手段）を備えた打ち抜きヘッド８とを備えている。
【００２９】
また、テーブル本体５と、回転方向補正テーブル１５との間には、テーブル本体と回転方向補正テーブルの隙間からの真空漏れを防止するためのシール部材（シリコーン樹脂からなるＯリング）９が配設されている。この実施例では、Ｏリング９は、テーブル本体５との間に約５０μｍの隙間が形成されるような態様で、回転方向補正テーブル１５側に取り付けられている。なお、Ｏリング９にはグリスが塗布されており、テーブル本体５との間の隙間から真空が漏れないように、かつ、回転方向補正テーブル１５を円滑に回転させることができるように構成されている。
【００３０】
また、この実施例のシート打ち抜き装置においては、テーブル本体５および回転方向補正テーブル１５が吸引保持していたシート１を確実に解放できるようにするために、テーブル本体５および回転方向補正テーブル１５の吸引孔４，１４から気体をブローする手段を備えている。
【００３１】
さらに、テーブル本体５および回転方向補正テーブル１５は、吸引孔から気体をブローする際のブロー圧、気体の流量、気体をブローするタイミング、吸引孔から気体をブローしている状態と吸引孔から真空吸引している状態との切替を制御するための制御機構を備えている。
【００３２】
次に、上記のシート打ち抜き装置を用いて、シートを打ち抜く方法について説明する。
なお、以下では、この実施例のシート打ち抜き装置の各工程における動作を説明する図３，図４，図５および図６、各工程におけるテーブル本体５および回転方向補正テーブル１５の吸引孔４，１４からの気体の吸引、ブロー、および停止（中立）のタイミングを示す図７を参照しつつ説明を行う。
なお、図４〜６において、図３と同一符号を付した部分は、同一または相当する部分を示している。
【００３３】
(１)まず、図３および図７に示すように、打ち抜きヘッド８が上死点に位置している状態で、回転方向補正テーブル１５の吸引孔１４からの吸引をオン、テーブル本体５の吸引孔４からの吸引をオフにした状態で、キャリアフィルム１０上に保持されたセラミックグリーンシート１をテーブル本体５および回転方向補正テーブル１５上に搬入する。
なお、このシート１の搬入工程において、回転方向補正テーブル１５の吸引孔１４からの吸引をオン、テーブル本体５の吸引孔４からの吸引をオフにした状態でシート１を搬入するようにしているのは、テーブル本体５と回転方向補正テーブル１５の吸引・中立・ブローの切替え回数を少なくするためであり、場合によってはテーブル本体５と回転方向補正テーブル１５の吸引孔４および１４の両方からの吸引をオンにすることも可能であり、また、回転方向補正テーブル１５の吸引孔１４からの吸引をオフ、テーブル本体５の吸引孔４からの吸引をオンにした状態でシート１の搬入を行うことも可能である。
【００３４】
(２)それから、テーブル本体５の吸引孔４からの吸引をオフ、回転方向補正テーブル１５の吸引孔１４からの吸引をオンとした状態で、イメージセンサなどにより、回転方向（θ方向）（図１，図２，図３参照）の補正量を決定し、回転方向補正テーブル１５を駆動（回転）させて、シート１の回転方向の位置を補正する。
【００３５】
(３)それから、回転方向補正テーブル１５の回転を停止させた後、図４および図７に示すように、テーブル本体５および回転方向補正テーブル１５の吸引孔４，１４からの吸引をオンにし、かつ、打ち抜きヘッド８の吸引をオンにした状態で、打ち抜きヘッド８を下降させるとともに、ブレード６を下降させて、テーブル本体５および回転方向補正テーブル１５に支持されたシート１を打ち抜く。
【００３６】
(４)そして、図５および図７に示すように、回転方向補正テーブル１５の吸引孔１４からのブローをオン、テーブル本体５の吸引孔４からの吸引をオンにし、かつ、打ち抜きヘッド８の吸引をオンにした状態で打ち抜きヘッド８を上昇させる。このとき、回転方向補正テーブル１５の吸引孔１４からのブローがオンになっているので、キャリアフィルム１０の中央部が持ち上げられて、湾曲し、打ち抜かれたセラミックグリーンシート（シート）１が、図６に示すように、確実にキャリアフィルム１０から剥離される。
なお、回転方向補正テーブル１５の吸引孔１４からのブローを行いながら剥離することにより、キャリアフィルム１０を浮き上がらせて、強制的に線剥離状態を作り出すことが可能になり、シート１へのダメージを低減させることが可能になる。
また、打ち抜かれたセラミックグリーンシート１を剥離する工程で、回転方向補正テーブル１５の吸引孔１４からのブロー圧、流量、タイミング、吸引への切替などを制御することにより、キャリアフィルム１０の動きをより高度に制御し、シート１の歪みをさらに効果的に矯正することが可能になる。
なお、上述のようにして打ち抜かれ、キャリアフィルム１０から剥離されたシート１は、打ち抜きヘッド８に吸着されて所定の工程に運ばれる。
【００３７】
(５)その後、吸引をオンにした状態で打ち抜きヘッド８を上昇させた後、回転方向補正テーブル１５およびテーブル本体５の吸引孔１４，４からのブローをオンにして、回転方向補正テーブル１５およびテーブル本体５上のキャリアフィルム１０およびセラミックグリーンシート１の打ち抜き残渣を除去して、次のシートの搬入に備える。
なお、上述のようにして位置ずれなく打ち抜かれ、キャリアフィルムから剥離されたセラミックグリーンシート（シート）１を、公知の方法により積層、圧着し、カット、焼成、外部電極の形成などの工程を経ることにより、例えば、図８に示すような構造を有する積層セラミックコンデンサなどの積層セラミック電子部品を効率よく製造することが可能になる。
【００３８】
上記実施例のシート打ち抜き装置においては、回転方向補正テーブル１５をテーブル本体５の内側に配設しているので、回転方向補正テーブル１５を駆動させる際にも、テーブル本体５より大きいスペースを必要とせず、外部に回転方向補正手段を備えるようにした従来のシート打ち抜き装置に比べて、コンパクトな設備レイアウトが可能になる。
【００３９】
さらに、設備をコンパクト化、軽量化することができるため、駆動源を小型化して、省エネルギーを図ることが可能になる。また、設備を小型化、軽量化することが可能になるため、高速運転を行うことが可能になり、生産性を向上させることが可能になる。
【００４０】
また、テーブル本体５と、回転方向補正テーブル１５との間にＯリング９を配設するようにしているので、真空漏れを防止しつつ、回転方向補正テーブル１５を円滑に回転させることが可能になり、回転方向の位置補正を高精度に、しかも効率よく行うことが可能になる。すなわち、シート１を打ち抜いた後、シート１を剥離させる場合、シート１の外側のみを裏面側から吸引保持した状態で剥離が行われるが、Ｏリング９を設けない状態では、隙間からの真空漏れのため、キャリアフィルム１０を吸引保持する能力が低下し、キャリアフィルム１０ごと吸引ヘッド８に吸着されてしまうことになりかねないが、Ｏリング９でシールすることにより、キャリアフィルム１０と、テーブル本体５および回転方向補正テーブル１５との間が密閉空間となり、高い吸着性能を確保することが可能になり、シート１を確実に剥離させることが可能になる。
【００４１】
また、Ｏリング９とテーブル本体５との間にわずかな隙間を設ける一方で、Ｏリング９にグリスを塗布して、気密性と円滑摺動性を確保するようにしているので、比較的簡単な構造でシールと円滑な回転を行わせることが可能になり、信頼性の高い補正を行うことが可能になる。
【００４２】
なお、上記実施例ではキャリアフィルム１０上に保持されたセラミックグリーンシート１を打ち抜く場合を例にとって説明したが、特にキャリアフィルムに保持されていないシートを打ち抜く場合にも本願発明を適用することが可能である。
【００４３】
また、本願発明は上記実施例に限定されるものではなく、打ち抜くべきシートの種類、テーブル本体および回転方向補正テーブルの具体的な形状や構成、吸引孔の配設位置や配設数、打ち抜きヘッドの具体的な構成、テーブル本体と回転方向補正テーブルの隙間からの真空漏れを防止するシール部材の具体的な形状や構成材料の種類などに関し、発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。
【００４４】
さらに、テーブル本体と回転方向補正テーブルの吸引孔からの吸引やブローを行うための具体的な構成、吸引孔から気体をブローする際のブロー圧、気体の流量、気体をブローするタイミング、および吸引孔から気体をブローしている状態と吸引孔から真空吸引している状態との切替を制御するための制御機構の構成に関しても、発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
上述のように、本願発明のシート打ち抜き装置は、回転方向補正テーブルをテーブル本体の内側に配設しているので、回転方向補正テーブルを駆動させる際にも、テーブル本体より大きいスペースを必要とせず、従来のシート打ち抜き装置に比べて、設備の小型化、コンパクトな設備レイアウト、駆動源の小型化などを図ることが可能になり、省エネルギー、設備の高速運転化などを実現することができる。
したがって、本願発明は、キャリアフィルム上に保持されたセラミックグリーンシートを打ち抜く工程を経て製造される積層セラミック電子部品を製造する工程などに広く適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】シート打ち抜き装置の要部構成を模式的に示す斜視図である。
【図２】図１のシート打ち抜き装置の要部構成を示す平面図である。
【図３】図１のシート打ち抜き装置の要部構成を示す断面図である。
【図４】本願発明における実施例のシート打ち抜き装置の各工程における動作を説明する図である。
【図５】本願発明における実施例のシート打ち抜き装置の各工程における動作を説明する図である。
【図６】本願発明における実施例のシート打ち抜き装置の各工程における動作を説明する図である。
【図７】本願発明における実施例のシート打ち抜き装置の各工程における吸引孔からの気体の吸引、ブロー、および停止（中立）のタイミング、および、打ち抜きヘッドの動作を示す図である。
【図８】積層セラミックコンデンサの構造を示す断面図である。
【図９】従来のシート打ち抜き装置を模式的に示す図である。
【図１０】従来の他のシート打ち抜き装置を模式的に示す図である。
【符号の説明】
【００４７】
１        セラミックグリーンシート（シート）
２        シート打ち抜き領域
３        シート打ち抜き領域よりも外側の領域
４        吸引孔
５        テーブル本体
６        シートを打ち抜く手段（ブレード）
７        吸引孔
８        打ち抜きヘッド
９        シール部材（シリコーン樹脂からなるＯリング）
１０      キャリアフィルム
１４      吸引孔
１５      回転方向補正テーブル
【図１】
2005297365.tif 000003
【図２】
2005297365.tif 000004
【図３】
2005297365.tif 000005
【図４】
2005297365.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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