(57)【要約】【課題】  モーター駆動回路を制御するモーター制御回路の動作異常を早期に検出し、モーターの誤動作を防止すること。また、モーターで駆動される負荷の動作を監視するセンサーを用いることなく、モーター制御回路の動作異常を早期に検出し、モーターの誤動作を防止すること。【解決手段】  モーター駆動回路２がモーターに供給する駆動電力の制御を、モーター制御回路１からモーター駆動回路への制御信号によって行うモーター駆動において、モーター制御回路は制御信号と共に周期信号を生成し、周期信号を監視し、周期信号の周期に基づいてモーター制御回路の制御状態を検出する。検出結果に基づいてモーター駆動回路のモーターへの電力供給を遮断することによりモーターの誤動作を防ぐ。【選択図】図１
2005350157.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
モーター駆動回路がモーターに供給する駆動電力の制御を、モーター制御回路からモーター駆動回路への制御信号によって行うモーター駆動において、
前記モーター制御回路は制御信号と共に周期信号を生成し、
前記周期信号を監視し、当該周期信号の周期に基づいてモーター制御回路の制御状態を検出し、
前記検出結果に基づいて前記モーター駆動回路のモーターへの電力供給を遮断することによりモーターの誤動作を防ぐことを特徴とする、モーター誤動作防止装置。
【請求項２】
ガラス基板を搬送する搬送装置であって、
前記ガラス基板を搬送するモーターと、
前記モーターに駆動電力を供給するモーター駆動回路と、
前記モーター駆動回路に制御信号を送るモーター制御回路と、
前記モーターの誤動作を防ぐモーター誤動作防止装置とを備え、
前記モーター誤動作防止装置は、前記モーター制御回路が制御信号と共に生成する周期信号を監視し、当該周期信号の周期に基づいてモーター制御回路の制御状態を検出し、当該検出結果に基づいて前記モーター駆動回路のモーターへの電力供給を遮断することを特徴とする、ガラス基板搬送装置。
【請求項３】
ガラス基板上に形成されるＴＦＴアレイを検査するＴＦＴアレイ検査装置であって、
前記ガラス基板をＴＦＴアレイ検査部に対して搬出入するモーターと、
前記モーターに駆動電力を供給するモーター駆動回路と、
前記モーター駆動回路に制御信号を送るモーター制御回路と、
前記モーターの誤動作を防ぐモーター誤動作防止装置とを備え、
前記モーター誤動作防止装置は、前記モーター制御回路が制御信号と共に生成する周期信号を監視し、当該周期信号の周期に基づいてモーター制御回路の制御状態を検出し、当該検出結果に基づいて前記モーター駆動回路のモーターへの電力供給を遮断することを特徴とする、ＴＦＴアレイ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイなどのＴＦＴアレイ基板を検査するＴＦＴアレイ検査装置に関し、ＴＦＴアレイ検査装置に用いるガラス基板搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＴＦＴアレイ検査装置として電子線方式や光学方式が知られている。この従来のＴＦＴアレイ検査装置では、電子線や光をＴＦＴ基板に照射してＴＦＴ基板の電位状態を測定し、ＴＦＴ基板の異常電位のピクセルを検出することによってＴＦＴアレイの欠陥を検出する。電子線を用いたＴＦＴアレイ検査板装置としては、例えば特許文献１，２があり、光を用いたＴＦＴアレイ検査装置としては、例えば特許文献３，４がある。
【０００３】
ＴＦＴアレイ検査装置は、ＴＦＴアレイを検査する検査部と、検査部に対してガラス基板を搬出入する搬送部とを備える。搬送部は、モーター駆動によってガラス基板の移動を行う。
【０００４】
図３は、ガラス基板の搬送を行う搬送部の一構成例である。図３において、モーター１０３は、図示しない搬送機構を駆動してガラス基板を検査部に対して搬入及び搬出を行う。
【０００５】
モーター１０３は、モーター制御回路１０１及びモーター駆動回路１０２によって駆動制御される。モーター制御回路１０１は、速度信号等の制御信号１１１をモーター駆動回路１０２に送り、モーター駆動回路１０２は制御信号１１１を受けてモーター１０３に供給する駆動電力を制御する。モーター１０３は、モーター駆動回路１０２から駆動電力１１２の供給を受けて駆動し、ガラス基板を搬送する。モーター制御回路１０１は、ＴＦＴアレイ検査装置が備える主制御装置１０７により制御される。
【０００６】
搬送装置は、モーター制御回路の誤動作によるモーターの暴走を防ぐために、センサー１０４及びインターロック回路１０５を備える。センサー１０４は、モーター１０３により駆動される負荷の動きを検出する。インターロック回路１０５は、センサー１０４の検出信号を監視し、負荷が規定外の動きをした場合には、モーター駆動回路１０２へ供給する駆動電力を遮断し、これによってモーターの誤動作を防止する。
【０００７】
センサーが動きを検出する負荷としては、モーター１０３によって駆動される機械部材やガラス基板を支持し搬送する部材等とすることができ、これらの位置、速度、負荷荷重等を検出し、規定する位置、速度、加重等を越える値が検出されたとき、誤動作が発生したとしてモーター駆動回路１０２の駆動電力の遮断制御を行う。
【特許文献１】特開２０００−３１４２号公報
【特許文献２】特開平１１−２６５６７８号公報
【特許文献３】特許第３１９９４８１号
【特許文献４】特許第３２７５１０３号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
前記誤動作の要因として、モーター制御回路の異常動作による制御不能状態がある。このようにモーター制御回路が制御不能な状態において、センサーに故障が発生すると、モーターの誤動作を検出できないという問題がある。
【０００９】
図４は、前記図３に示す搬送部の信号状態の一例である。図４において、（ｃ）〜（ｄ）はセンサーが正常状態にある場合を示し、（ｅ）〜（ｇ）はセンサーが異常状態にある場合を示している。
【００１０】
センサーが正常の動作している場合には、モーター制御回路が正常であるときは（図４（ａ）の正常状態）、インターロック回路の出力は“ロー”であり、モーター駆動回路に対する励磁を“オン”とする。一方、モーター制御回路が異常となると（図４（ａ）の異常状態）、インターロック回路の出力は“ハイ”となり、モーター駆動回路に対する励磁を“オフ”として駆動電力の供給を停止する（図４（ｂ）中のＡ）。
【００１１】
これに対して、センサーが故障している場合には、モーター制御回路が異常な状態であっても（図４（ａ）の異常状態）、センサーは異常を検出しないため（図４（ｅ））インターロック回路の出力は“ロー”のままであるとなり、モーター駆動回路に対する励磁も“オン”のままとなり、規定の速度を越えることになる（図４（ｂ）中のＢ）。
【００１２】
このように、モーター制御回路が制御不能な状態においてセンサーが故障すると、モーターへの駆動電力供給遮断が行われず、搬送機構が暴走し、構造物が破損するという問題があるほか、復旧に長時間を要し、ＴＦＴアレイ検査装置の稼働が長時間停止するという問題もある。
【００１３】
また、センサーが正常の動作している場合であっても、モーター制御回路が制御不能な状態に陥ったことは、モーターが誤動作して初めて検出されるため、モーターを停止させるための対応が遅くなるという問題がある。
【００１４】
センサーの感度を高めたり、異常検出と判定するしきい値を低く設定することによって、モーターの誤動作を早期に検出することもできるが、この場合にはノイズ等による変動についても誤動作と判定する頻度が高まり、ＴＦＴアレイ検査装置の稼働率が低下させることになる。
【００１５】
そこで、本発明は上記課題を解決し、モーター駆動回路を制御するモーター制御回路の動作異常を早期に検出し、モーターの誤動作を防止することを目的とする。また、モーターで駆動される負荷の動作を監視するセンサーを用いることなく、モーター制御回路の動作異常を早期に検出し、モーターの誤動作を防止することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記目的を解決するために、本発明はモーター制御回路が制御不能となったことを早期に検出する機能を備え、モーターが誤動作を行う前にモーターへの駆動電力の供給を遮断し、モーターの誤動作を防止する。モーター制御回路の制御不能状態を検出することによって、モーターへの駆動電力の供給を遮断するため、センサーの検出動作による遅延時間が発生しないため、モーター制御回路の動作異常を早期に検出することができる。モーター制御回路の動作異常の早期検出によって、モーターの誤動作による搬送機構の稼働を早期に停止させることができるため、搬送機構の異常動作による破損等を未然に防ぎ、ＴＦＴアレイ検査装置の稼働率の低下を抑制することができる。
【００１７】
本発明において、モーター駆動回路がモーターに供給する駆動電力の制御を、モーター制御回路からモーター駆動回路への制御信号によって行うモーター駆動において、モーター制御回路は制御信号と共に周期信号を生成する。
【００１８】
モーター誤動作防止装置は、モーター制御回路が生成する周期信号を監視し、この周期信号の周期に基づいてモーター制御回路の制御状態を検出する。モーター制御回路が正常である場合には生成する周期信号の周期は不変であり、一方、モーター制御回路が制御不能状態の場合には生成する周期信号の周期は変化する。この周期信号の周期変化に基づいてモーター制御回路が正常状態にあるか、あるいは制御不能な状態であるかを検出することができる。
【００１９】
制御不能な状態と検出された場合には、モーター駆動回路のモーターへの電力供給を遮断し、モーターの誤動作を防ぐ。
【００２０】
また、本発明のガラス基板搬送装置はガラス基板を搬送する搬送装置であって、ガラス基板を搬送するモーターと、モーターに駆動電力を供給するモーター駆動回路と、モーター駆動回路に制御信号を送るモーター制御回路と、モーターの誤動作を防ぐモーター誤動作防止装置とを備える。モーター誤動作防止装置は、モーター制御回路が制御信号と共に生成する周期信号を監視し、周期信号の周期に基づいてモーター制御回路の制御状態を検出し、検出結果に基づいてモーター駆動回路のモーターへの電力供給を遮断する。
【００２１】
ガラス基板搬送装置はモーター誤動作防止装置を備えることによって、モーターの誤動作を防止し、ガラス基板の搬送の安全性を高める。
【００２２】
また、本発明のＴＦＴアレイ検査装置は、ガラス基板上に形成されるＴＦＴアレイを検査するＴＦＴアレイ検査装置であって、ガラス基板をＴＦＴアレイ検査部に対して搬出入するモーターと、モーターに駆動電力を供給するモーター駆動回路と、モーター駆動回路に制御信号を送るモーター制御回路と、モーターの誤動作を防ぐモーター誤動作防止装置とを備える。モーター誤動作防止装置は、モーター制御回路が制御信号と共に生成する周期信号を監視し、周期信号の周期に基づいてモーター制御回路の制御状態を検出し、検出結果に基づいて前記モーター駆動回路のモーターへの電力供給を遮断する。
【００２３】
ＴＦＴアレイ検査装置はモーター誤動作防止装置を備えることによって、モーターの誤動作を防止し、ＴＦＴアレイの検査稼働率を高める。
【発明の効果】
【００２４】
本発明のＴＦＴアレイ検査装置によれば、モーター駆動回路を制御するモーター制御回路の動作異常を早期に検出し、モーターの誤動作を防止することができる。また、モーターで駆動される負荷の動作を監視するセンサーを用いることなく、モーター制御回路の動作異常を早期に検出し、モーターの誤動作を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明の実施の形態について図を参照しながら詳細に説明する。
【００２６】
図１は本発明のモーター誤動作防止装置の概要を説明するための図であり、図２はモーター誤動作防止装置の動作を説明するための信号図である。
【００２７】
図１において、モーター３は、図示しない搬送機構を駆動し、検査部に対してガラス基板の搬入搬出を行う。
【００２８】
モーター３は、モーター制御回路１及びモーター駆動回路２によって駆動制御される。モーター制御回路１は、速度信号等の制御信号１１をモーター駆動回路２に送り、モーター駆動回路２は制御信号１１を受けてモーター３に供給する駆動電力１２を制御する。モーター３は、モーター駆動回路２から駆動電力１２の供給を受けて駆動し、ガラス基板（図示していない）を搬送する。モーター制御回路１は、ＴＦＴアレイ検査装置が備える主制御装置７により制御される。
【００２９】
モーター制御回路１は、モーター駆動回路１２に送る制御信号１１を形成する制御信号形成回路１ａと、周期信号を形成する周期信号形成回路１ｂとを備える。制御信号形成回路１ａは、例えばモーター３を所定の回転速度で駆動するためにモーター駆動回路２に供給する速度信号を形成する。
【００３０】
周期信号形成回路１ｂは、予め設定された所定周期の周期信号１３を形成する。周期信号１３は、例えば汎用Ｉ／Ｏ出力端子から出力することができる。周期信号１３の周期は任意とすることができるが、予め設定されたものとする。モーター誤動作防止装置は、周期信号形成回路１ｂで形成された周期信号１３の周期の変動を監視し、周期が変化した場合には、モーター制御回路１において異常が発生して制御不能に至り、制御信号形成回路１ａから出力される制御信号１１に異常が発生したものと判定する。
【００３１】
周期信号１３の周期変動は、必ずしも制御信号形成回路１ａの動作異常を表すものではないが、制御信号形成回路１ａ及び周期信号形成回路１ｂの両回路の上位の回路に異常が発生している可能性や、周期信号形成回路１ｂに異常を生じさせる要因は、共通の回路基板上に設けた制御信号形成回路１ａにも異常を生じさせる可能性が高いと想定されるため、本発明のモーター誤動作防止装置は、周期信号形成回路１ｂの出力信号である周期信号１３の周期を動作異常を判定する指標として用い、この周期が予め設定された周期からずれたときに、制御信号形成回路１ａから出力される制御信号についても異常が発生したものと判定する。
【００３２】
周期信号１３の周期ずれの検出は、例えば参照波形源５で形成した参照信号１４の周期と比較することで行うことができる。この参照波形源５は、周期信号形成回路１ｂで設定された周期と同じ周期の参照信号１４を形成する。
【００３３】
波形比較回路４は、周期信号１３と参照信号１４の周期を比較し、比較結果信号１５を信号変換器６に送る。信号変換器６は、比較結果信号１５に基づいて励磁制御信号１６をモーター駆動回路２のEnable端子に送る。
【００３４】
なお、モーター駆動電力１２の供給／遮断をモーター駆動回路２のEnable端子の信号を制御する構成に限らず、モーター駆動回路２の電源のオン／オフ、モーター動力線の接続／遮断等を行う構成とすることもできる。
【００３５】
周期信号１３の周期ＴＡと参照信号１４の周期ＴＢが一致する場合には、波形比較回路４は、モーター制御回路１は正常状態にあり、制御信号形成回路１ａからは正常な制御信号１１が出力されているものと判定して、“Ｈ”の比較結果信号を信号変換器６に送る。一方、周期信号１３の周期ＴＡと参照信号１４の周期ＴＢが不一致である場合には、波形比較回路４は、モーター制御回路１は異常状態にあり、制御信号形成回路１ａからは異常な制御信号１１が出力されているものと判定して、“Ｌ”の比較結果信号を信号変換器６に送る。
【００３６】
信号変換器６は、波形比較回路４から出力される比較結果信号１５が“Ｈ”の場合には、励磁制御信号を“Ｈ”として、モーター駆動回路２からモーター３への駆動電力１２の供給を許可する。一方、信号変換器６は、波形比較回路４から出力される比較結果信号１５が“Ｌ”の場合には、励磁制御信号を“Ｌ”として、モーター駆動回路２からモーター３への駆動電力１２の供給を遮断する。
【００３７】
これによって、モーター誤動作防止装置は、モーター制御回路が制御不能となったことを早期に検出し、モーターが誤動作を行う前にモーターへの駆動電力の供給を遮断し、モーターの誤動作を防止する。
【００３８】
図２は信号状態の一例において、予め設定された周期信号の周期を“Ｔ１”とする。モーター制御回路が正常状態であるときは（図２（ａ）の正常状態）、周期信号形成回路１ｂから出力される周期信号１３の周期信号ＴＡは“Ｔ１”となる（図２（ｂ））。周期信号１３の周期ＴＡと参照信号１４の周期ＴＢが共に“Ｔ１”であるため（図２（ｂ），（ｃ））、波形比較回路４は比較結果信号１５として“Ｈ”を出力する（図２（ｄ））。信号変換器６は、比較結果信号１５の“Ｈ”を受けて、“Ｈ”の励磁制御信号１６をモーター駆動回路２に送り励磁をオンとする（図２（ｅ））。
【００３９】
一方、モーター制御回路が異常状態となると（図２（ａ）の異常状態）、周期信号形成回路１ｂから出力される周期信号１３の周期信号ＴＡは“Ｔ２”となる（図２（ｂ））。参照信号１４の周期ＴＢは“Ｔ１”であるのに対して周期信号１３の周期ＴＡの周期は“Ｔ２”であるため（図２（ｂ），（ｃ））、波形比較回路４は比較結果信号１５として“Ｌ”を出力する（図２（ｄ））。信号変換器６は、比較結果信号１５の“Ｌ”を受けて、“Ｌ”の励磁制御信号１６をモーター駆動回路２に送り励磁をオフとする（図２（ｅ））。
【００４０】
なお、上記例では、周期信号１３や参照信号１４を２値化したパルス信号により示しているが、これに限らず、信号に周期性があれば、アナログ波形、多値化した信号波形とすることもできる。
【００４１】
周期信号１３の正常／異常を検出する速度は、周期信号１３の周期に依存する。例えば周期信号１３の周期が１００ｍｓである場合には、波形比較回路４の出力である比較結果信号１５は変化する時間間隔も１００ｍｓであるため、周期信号１３が正常から異常に変化したことを検出するに要する時間遅れは１００ｍｓとなる。
【００４２】
ここで、モーター駆動電力１２を供給状態から遮断状態に変化させるには、波形比較回路４、信号変換器６、モーター駆動回路２などの個々の信号応答遅延が加算されるため、前記の時間遅れよりもさらに検出には時間を要するが、モーター３が実際に誤動作を開始する応答時間よりは十分に短くすることができるため、モーター３が誤動作を始める前に停止させることができる。
【００４３】
上記のモーター誤動作防止装置は、ガラス基板搬送装置の駆動機構に適用することができる、さらに、ＴＦＴアレイ検査装置のガラス基板を検査部に搬出入するガラス基板搬送装置に適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明の液晶アレイ基板のほか、有機ＥＬアレイ基板の検査等に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明のＴＦＴアレイ検査の概要を説明するための図である。
【図２】信号状態の一例を示す図である。
【図３】ガラス基板の搬送を行う搬送部の一構成例である。
【図４】搬送部の信号状態の一例を示す図である。
【符号の説明】
【００４６】
１…モーター制御回路、１ａ…制御信号形成回路、１ｂ…周期信号形成回路、２…モーター駆動回路、３…モーター、４…波形比較回路、５…参照波形源、６…信号変換器、７…主制御装置、１１…制御信号、１２…駆動電力、１３…周期信号、１４…参照信号、１５…比較結果信号、１６…励磁制御信号、１０１…モーター制御回路、１０２…モーター駆動回路、１０３…モーター、１０４…センサー、１０５…インターロック回路、１０７…主制御装置、１１１…制御信号、１１２…駆動電力。
【図１】
2005350157.tif 000003
【図２】
2005350157.tif 000004
【図３】
2005350157.tif 000005
【図４】
2005350157.tif 000006