(57)【要約】【課題】  このスライド装置は，テーブルの往復移動のストローク長さを長くし，高速性や高応答性を発揮させ，小形であってコンパクトに製作効率を良好にする。【解決手段】このスライド装置は，テーブル１に設けた８極でなる界磁マグネット６と界磁マグネット６に対向してベッド２に設けた矩形状のコアレスでなる１２個の電機子コイル７を持つ電機子組立体５を有し，テーブル１に界磁マグネット６を位置決め可能にする凹部３５を形成し，凹部３５を界磁マグネット６の板厚の１／３以下の深さに形成する。【選択図】図５
2005333702.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺な板状でなるベッド，前記ベッドの長手方向に直動案内ユニットを介して往復移動自在な板状でなるテーブル，前記テーブルの前記ベッドに対する第１対向面に前記テーブルの移動方向に極性が交互に異にして並設された多数のマグネットでなる界磁マグネット，及び前記界磁マグネットに対向して前記ベッドの前記テーブルに対する第２対向面に前記長手方向に沿って矩形状のコアレスでなる電機子コイルを多数配設した電機子組立体を有する可動マグネット型リニアモータを内蔵したスライド装置において，  前記ベッドはコイルヨークとして及び前記テーブルはマグネットヨークとして，磁気回路部分になる磁性材料から構成され，且つ前記テーブルの前記第１対向面に多数の前記マグネットでなる前記界磁マグネットを位置決め可能にする第１凹部が形成され，前記第１凹部は前記界磁マグネットの板厚の１／３以下の深さに形成されていることを特徴とするスライド装置。
【請求項２】
前記テーブルに形成された前記第１凹部は，０．０５ｍｍ〜０．５ｍｍの深さに形成されていることを特徴とする請求項１に記載のスライド装置。
【請求項３】
前記界磁マグネットは前記マグネットの数が８個で構成され，及び前記電機子組立体は三相通電方式で各相の電流が供給される３個の前記電機子コイルが一組として構成されて前記電機子コイルの数が総計で１２個から構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のスライド装置。
【請求項４】
前記ベッドの前記第２対向面には，前記電機子組立体が配設される第２凹部が形成され，前記第２凹部は前記電機子コイルの厚みの半分より浅く形成され，前記電機子組立体の両側面には異物の侵入を防止する側面カバーが配設されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のスライド装置。
【請求項５】
前記テーブルは，突出部の無い平坦面に形成され，前記平坦面に位置決めピンにより位置決めされた前記直動案内ユニットにおけるスライダが固着され，前記スライダは，前記ベッドに固着された前記直動案内ユニットにおける軌道レールに転動体を介して摺動自在に跨架されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のスライド装置。
【請求項６】
前記電機子組立体の中央に位置する６個の前記電機子コイルには，前記界磁マグネットを検知する磁気検知素子がそれぞれ配設されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のスライド装置。
【請求項７】
前記テーブルの前記第１対向面の側部には，前記長手方向に沿ってリニアエンコーダでなるリニアスケールが固着され，前記ベッドの側面には，前記リニアスケールに対向してリニアエンコーダでなるセンサを配設するために前記センサの支持ブラケットを固着する取付用の第３凹部が形成されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のスライド装置。
【請求項８】
前記ベッドの端部には，前記電機子組立体における前記電機子コイルを覆う基板に，電源線と信号線との結線部分を保護し且つ前記ベッドから前記テーブルの飛び出しを規制するコネクタブロックが固着され，前記コネクタブロックには，前記センサからのセンサ線を支持するための支持バンドを固着する前記支持バンドの取付用の第４凹部が形成されていることを特徴とする請求項７に記載のスライド装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は，半導体製造装置，各種組立装置，測定・検査装置，試験装置，工作機械等の各種装置に使用されるスライド装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年，スライド装置は，半導体製造装置，各種組立装置，測定・検査装置，試験装置，工作機械等の各種の装置において益々多用途になって各種の仕様のものが求められている。スライド装置としては，例えば，小形リニアモータテーブルが知られている。該小形リニアモータテーブルは，界磁マグネットが装着されたテーブルが鋼等の磁性材からなり，マグネットヨークとして磁気回路部分を構成し，ベッドも同じく磁性材からなり，各電機子コイルに関するコイルヨークとして作用する磁気回路部分を構成していた（例えば，特許文献１参照）。
【０００３】
また，可動マグネット型リニアモータを内蔵したスライド装置が知られている。該可動マグネット型リニアモータを内蔵したスライド装置は，小形リニアモータテーブルに比較して，小形化され，高推力，高応答なスライド装置になっており，界磁マグネットのＮ極とされた一方の磁極の外側に磁束のパターンを矯正させて磁気検知素子でもって正確に位置検出を可能にするものである。また，該スライド装置は，界磁マグネットに対向してベッドに配設された磁気検知素子によってテーブルの位置を検出する。界磁マグネットの一方の端部に配置されている一端磁極の外側には，テーブルの推力に与える影響が少ない範囲で極性が異なる補助マグネットが配設されている。補助マグネットは，配設されないときに外側に開放されてしまう一端磁極の磁極パターンを矯正し，互いに隣接する磁極の境界位置における磁束と同程度に設定し，一端磁極の端部を正確に検出するものである。また，上記のスライド装置は，ベッド及びテーブルを磁性材料で構成し，テーブルには，希土類磁石でなる界磁マグネットが配設され，更に，補助マグネット，端板，センサ用マグネットが配設され，ベッドには三相通電方式でなる電機子組立体が配設されており，スライド装置の小形化，高推力，高応答などを実現しているものであり，光リニアエンコーダが配設され，高精度に位置決め可能なスライド装置になっているものである（例えば，特許文献２参照）。
【特許文献１】特開平９−２６６６５９号公報（第１頁，図３）
【特許文献２】特開２００２−１０６１７号公報（第１頁，図４）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら，上記の小形リニアモータテーブルは，本出願人に係るものであるが，テーブルに界磁マグネットを固設する際に，テーブルの下面側に形成された凹部に嵌挿されるが，その凹部の深さが，ほぼ界磁マグネットの板厚に相当する程度に深く形成されていた。そのため，界磁マグネットの磁極が５極と小さな磁極でなっているにもかかわらず，上記凹部の深さが大きいので，界磁マグネットの磁束がその凹部の側面に逃げてしまい，対向する電機子コイルへの磁束が弱まって推力が弱められていた。また，上記凹部の深さが大きいので，製作する上でも加工工数が掛かるものになっていた。更に，テーブルの下面には，案内手段でなるスライドユニット即ち摺動台を固設する際に，一方の側部にスライドユニットを位置決めする突出側部が形成された構造になっており，製作する上でも加工工数が掛かるものになっていた。また，ベッドも，上面に電機子コイルを配設する凹部が形成され，下面に駆動回路を配設する凹部が形成され，断面Ｈ字状に形成され複雑な形状で製作する上でも加工工数が掛かるものになっていた。従って，上記の小形リニアモータテーブルは，小形なスライド装置にあって，高推力，高応答，長ストローク及び製作効率の良い構成には不足する部分があった。
【０００５】
また，上記のスライド装置は，本出願人に係るものであるが，テーブルの下面に４極の界磁マグネットを下面の平面上に並べただけのものになっていた。従って，上記スライド装置は，長ストローク，高推力，高応答等の課題を解決するために，界磁マグネットの磁極を更に多数である８極にする場合に，界磁マグネットの位置決めができなかった。また，テーブルの一方の側部には，直動案内ユニットにおけるスライダを固着するために位置決めする突出側部が形成された構造になっており，製作する上でも加工工数が掛かるものになっていた。また，ベッドも，上面に電機子コイルを埋設する凹部が形成され，凹部の深さが深く形成され，ベッドを製作する上でも加工工数が掛かるものになっていた。また，ベッドは，中央部側部を切り欠いてセンサを配設した構造であり，複雑な形状で製作する上でも加工工数が掛かるものになっていた。
【０００６】
近年，可動マグネット型リニアモータを内蔵したスライド装置は，半導体製造装置，各種組立装置，測定・検査装置，試験装置，工作機械等の各種装置に益々多用途になり，長い距離（ストローク）を可動可能な構造のものが求められている現状である。そこで，本出願人に係る上記スライド装置を更に一段と発展させて，テーブルのストローク長さを長く可動できるように改良し，推力を向上させて高速性，高応答性等の性能を発揮させ，更に小形，コンパクト，製作効率が良好なスライド装置を構成するという課題があった。
【０００７】
この発明の目的は，上記の課題を解決することであり，テーブルが長い距離，即ち，ストローク長さを長く可動でき，推力を向上させて高速性，高応答性等の性能を発揮させると共に，小形であってコンパクトで製作効率が良好な可動マグネット型リニアモータを内蔵したスライド装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明は，長尺な板状でなるベッド，前記ベッドの長手方向に直動案内ユニットを介して往復移動自在な板状でなるテーブル，前記テーブルの前記ベッドに対する第１対向面に前記テーブルの移動方向に極性が交互に異にして並設された多数のマグネットでなる界磁マグネット，及び前記界磁マグネットに対向して前記ベッドの前記テーブルに対する第２対向面に前記長手方向に沿って矩形状のコアレスでなる電機子コイルを多数配設した電機子組立体を有する可動マグネット型リニアモータを内蔵したスライド装置において，
前記ベッドはコイルヨークとして及び前記テーブルはマグネットヨークとして，磁気回路部分になる磁性材料から構成され，且つ前記テーブルの前記第１対向面に多数の前記マグネットでなる前記界磁マグネットを位置決め可能にする第１凹部が形成され，前記第１凹部は前記界磁マグネットの板厚の１／３以下の深さに形成されていることを特徴とするスライド装置に関する。
【０００９】
このスライド装置は，前記テーブルに形成された前記第１凹部が，０．０５ｍｍ〜０．５ｍｍの深さに形成されているものである。
【００１０】
また，このスライド装置において，前記界磁マグネットは前記マグネットの数が８個で構成され，及び前記電機子組立体は三相通電方式で各相の電流が供給される３個の前記電機子コイルが一組として構成されて前記電機子コイルの数が総計で１２個から構成されている。
【００１１】
このスライド装置は，前記ベッドの前記第２対向面には，前記電機子組立体が配設される第２凹部が形成され，前記第２凹部は前記電機子コイルの厚みの半分より浅く形成され，前記電機子組立体の両側面には異物の侵入を防止する側面カバーが配設されているものである。
【００１２】
前記テーブルは，突出部の無い平坦面に形成され，前記平坦面に位置決めピンにより位置決めされた前記直動案内ユニットにおけるスライダが固着され，前記スライダは，前記ベッドに固着された前記直動案内ユニットにおける軌道レールに転動体を介して摺動自在に跨架されている。
【００１３】
また，このスライド装置は，前記電機子組立体の中央に位置する６個の前記電機子コイルには，前記界磁マグネットを検知する磁気検知素子がそれぞれ配設されているものである。
【００１４】
このスライド装置は，前記テーブルの前記第１対向面の側部には，前記長手方向に沿ってリニアエンコーダでなるリニアスケールが固着され，前記ベッドの側面には，前記リニアスケールに対向してリニアエンコーダでなるセンサを配設するために前記センサの支持ブラケットを固着する取付用の第３凹部が形成されているものである。
【００１５】
このスライド装置は，前記ベッドの端部には，前記電機子組立体における前記電機子コイルを覆う基板に，電源線と信号線との結線部分を保護し且つ前記ベッドから前記テーブルの飛び出しを規制するコネクタブロックが固着され，前記コネクタブロックには，前記センサからのセンサ線を支持するための支持バンドを固着する前記支持バンドの取付用の第４凹部が形成されているものである。
【発明の効果】
【００１６】
このスライド装置は，上記のように構成されているので，従来のスライド装置を更に発展させたものであり，従来のスライド装置に比較して，テーブルがストローク長さを更に長く移動できるように構成し，テーブルの推力を向上させて，高速性，高応答性等の性能を一層発揮できるように構成し，長ストロークを有するスライド装置にあっても小形にコンパクトに構成し，しかも製作効率が良好な構造を備えており，各種装置に組み込んで使用できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下，図面を参照して，この発明による可動マグネット型リニアモータを内蔵したスライド装置の実施例を説明する。この発明による可動マグネット型リニアモータを内蔵したスライド装置は，クリーンルーム，試験実験室等のエリアで稼働される半導体製造装置，工作機械，各種組立装置，試験装置，位置決めテーブル，スライドテーブル等の各種装置に組み込んで使用できるものである。
【００１８】
この発明による可動マグネット型リニアモータを内蔵したスライド装置は，本出願人に係る特開２００２−１０６１７号公報に開示された既存スライド装置について，ベッド２上を直動案内ユニット１０を介して往復移動するテーブル１のストローク長さを更に長く移動できるように構成すると共に，装置全体を薄型に小形にコンパクトに構成したものである。従って，このスライド装置は，部品，部材等については基本的な機能は上記のスライド装置の部品や機能と共通するものである。また，このスライド装置は，既存の上記スライド装置に対して，特徴的な機能を持たせるために構成を改良したものである。特に，このスライド装置は，長尺状になる多数のマグネット６Ｍ（Ｎｏ．１〜Ｎｏ．８）でなる界磁マグネット６が位置決め可能になる僅かな凹部３５（第１凹部）をテーブル１に形成した構造を有することを特徴としている。
【００１９】
この発明によるスライド装置は，長尺な板状でなるベッド２に配設した電機子コイル７を持つ電機子組立体５と，ベッド２の長手方向に直動案内ユニット１０を介して往復移動自在な板状でなるテーブル１に設けた界磁マグネット６とから成る可動マグネット型リニアモータを内蔵したものである。詳しくは，このスライド装置は，テーブル１のベッド２に対する対向面５７（第１対向面）にテーブル１の移動方向に極性が交互に異にして並設された多数のマグネット６Ｍでなる界磁マグネット６，及び界磁マグネット６に対向してベッド２のテーブル１に対する対向面５８（第２対向面）に長手方向に沿って矩形状のコアレスでなる電機子コイル７を多数配設した電機子組立体５を有する可動マグネット型リニアモータを内蔵したものである。また，電機子コイル７の上面を覆う状態に基板１１が設けられている。基板１１には，電機子コイル７の固定用の孔４２（皿孔タイプ），及び電機子コイル７の基板１１への位置決め用孔４３が形成されている。このスライド装置では，電機子コイル７は，電機子コイル７に対して基板１１を位置決めし，固定用の孔４２及び電機子コイル７に設けた固定用孔６６にねじを挿通してベッド２に形成された固定用のねじ孔４７にねじ込むことによってベッド２に固定されている。
【００２０】
このスライド装置は，特に，ベッド２はコイルヨークとして及びテーブル１がマグネットヨークとして磁気回路部分になる磁性材料から構成され，図８及び図９に示すように，テーブル１の対向面５７に多数のマグネット６Ｍでなる界磁マグネット６を位置決め可能にする凹部３５（第１凹部）が形成され，凹部３５の深さｄは，凹部３５の側面即ち側部５９への磁束漏れを小さくするために，界磁マグネット６の板厚ｔの１／３以下の深さに形成されていることを特徴としている。即ち，テーブル１に形成した凹部３５の深さｄは，界磁マグネット６の板厚ｔの１／３以下，言い換えれば，最大でも板厚ｔの１／３であることが個々のマグネット６Ｍを位置決めして凹部３５に配設し易く，マグネット６の位置ずれも生じ難いものにしている。装置全体を薄型に構成できると共にテーブル１の強度を確保できて磁路としての機能も達成できる。テーブル１に形成された凹部３５は，界磁マグネット６が配設される幅でテーブル１の移動方向に延びている。また，凹部３５の深さｄは，具体的には，実質的に０．０５ｍｍ〜０．５ｍｍの深さに形成されている。
【００２１】
このスライド装置において，ベッド２は，一端にエンドブロック１２がねじ６４を取付用ねじ孔５２にねじ込むことによって取り付けられ，また，他端にコネクタブロック１４がねじ６５を取付用ねじ孔４８にねじ込むことによってベッド２に取り付けられている。エンドブロック１２のテーブル１側の端面６２には，テーブル１のベッド２からの抜け出しを防止するストッパ１３が設けられ，また，コネクタブロック１４のテーブル１側の端面６３には，テーブル１のベッド２からの抜け出しを防止するストッパ１３が設けられている。ストッパ１３は，コネクタブロック１４に形成された取付用孔５４に固定される。また，コネクタブロック１４には，下面側にコネクタ用凹部５３が形成されている。ベッド２の下面には，機台等のベースにベッド２を位置決めして適正に取り付けるための取付基準面３０が設けられている。ベッド２には，機台等のベースにベッド２を取り付けるため，両側部に沿って取付用孔２３が形成されている。
【００２２】
このスライド装置において，テーブル１の上面には，長手方向に延びる逃げ部２２が形成されており，ワーク等の部材をテーブル１に位置決めして適正に取り付けるため，逃げ部２２の両側に延びる取付基準面２０が設けられている。テーブル１には，ワーク等の部材をテーブル１に取り付けるため，ねじ孔２４が取付基準面２０に形成されている。界磁マグネット６を構成するマグネット６Ｍは，磁極（Ｎ極とＳ極）即ち磁性が交互に異なる状態にテーブル１の下面の凹部３５に８個が順次配設されているが，テーブル１の凹部３５には，エンドブロック１２側の端部に端板３２が取り付けられ，端部側の界磁マグネット６と端板３２との間には，界磁マグネット６における一端部のマグネット６Ｍと極性が異なる状態に補助マグネット３１が配設されている。テーブル１に設けられた端板３２は，補助マグネット３１の端部において，界磁マグネット６が発する磁束の外部への漏れ防止用のため配設されている。補助マグネット３１は，その長手方向の幅が，テーブル１に及ぼされる推力への影響を制限するため，電機子コイル７の腕の幅よりも小さい幅に設定されている。また，テーブル１の凹部３５には，コネクタブロック１４側の端部に端部側の界磁マグネット６における他端部のマグネット６Ｍと極性が異なる状態にセンサ用マグネット２９が配設されている。ベッド２には，テーブル１のベッド２に対するスライド限界位置に応じてセンサ用マグネット２９を検出するリミットセンサ３６が配設されている。
【００２３】
また，図４，図７及び図１１に示すように，このスライド装置は，界磁マグネットがマグネット６Ｍの数が８個（Ｎｏ．１〜Ｎｏ．８）で構成され，及び電機子組立体５が三相通電方式で各相の電流が供給される３個の電機子コイル７が一組として構成されて電機子コイル７の数が総計で１２個（Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１２）から構成されている。このスライド装置において，テーブル１は，上記の従来既存のスライド装置のテーブルがストローク距離Ｓ：６５ｍｍであるのに比較し，倍程度のストローク距離Ｓ：１２０ｍｍの移動距離を有するものである。このスライド装置は，上記のように，三相通電方式で各相の電流が供給される３個の電機子コイル７が一組（例えば，Ｎｏ．１〜Ｎｏ．３，Ｎｏ．４〜Ｎｏ．６，Ｎｏ．７〜Ｎｏ．９，及びＮｏ．１０〜Ｎｏ．１２の四組）として構成されているので，電機子コイル７には常に電流が流れており，電機子コイル７の数が１２個より多くなれば，消費電力も多くなり，不経済になってしまうので，電機子コイル７の数が１２個が省エネルギーの点から好ましいことになる。また，このスライド装置は，電機子コイル７が１２個であるので，テーブル１のストローク長さを長く可動できることになり，推力を向上させて高速性，高応答性等の性能を発揮させ，一層の小形，コンパクト，製作効率を良好にするため，上記の界磁マグネット６を構成するマグネット６Ｍの数と電機子組立体５における電機子コイル７の数とが最適である構造に構成されているものであり，マグネット６Ｍの数を増やして推力アップさせ，テーブル１の長ストロークを確保している。また，このスライド装置は，界磁マグネット６がマグネット６Ｍが８極で長尺状になっているので，高速，高応答に富んだテーブル１の往復移動に対して横ずれ等が無いように位置決めすることが必要になっている。
【００２４】
このスライド装置は，ベッド２の対向面５８（第２対向面）である上面には，図５，図１３，及び図１４に示すように，電機子組立体５の電機子コイル７が配設される凹部５０（第２凹部）が形成され，凹部５０が電機子コイル７の厚みの半分より浅く形成されている。ベッド２に形成された凹部５０は，電機子コイル７が配設される幅にテーブル１の移動方向に延びている。また，ベッド２の下面には，長手方向に延びる逃げ部４５が形成され，逃げ部４５には電機子コイル７の固定用のねじ孔４７が形成され，また，逃げ部４５の両側に形成された取付基準面３０には軌道レール３の取付用の孔４６（ざぐり孔）及びベースへのベッド２の取り付けのための取付用孔２３が形成されている。軌道レール３は，ベッド２の取付面４９に配設し，ベッド２の下面側から取付用の孔４６にねじを通して軌道レール３に形成されたねじ孔にねじ込むことによって，ベッド２に固定される。特に，ベッド２の凹部５０の深さｈは，電機子組立体５を埋設する深さではなく，電機子コイル７の厚みｍの半分より浅い形状，例えば，１／３程度の深さに形成されている。従って，電機子組立体５は，図５，図１１及び図１２に示すように，ベッド２上の凹部５０から飛び出した状態に配設されているものであり，電機子組立体５の両側面６１には，電機子コイル７への異物の侵入を防止する側面カバー９が配設された構造に構成されている。
【００２５】
このスライド装置では，テーブル１及びベッド２は，図８及び図１４に示すように，テーブル１の凹部３５を含め，即ち，浅い深さの凹部３５，５０を形成した程度で，突出部などが無い平坦な板状に形成されているので，ベッド２及びテーブル１の製作効率を向上させて商品化しやすいものとするために，製作工数を小さなものにする形状になっている。また，テーブル１は，突出部の無い平坦面に形成され，平坦面に位置決めピン即ちノックピン２５により位置決めされてスライダ４が固着されている。スライダ４は，テーブル１に形成された取付用孔に取付用ねじ５６を通してスライダ４に形成されたねじ孔にねじ込むことによってテーブル１に固定される。スライダ４は，ベッド２に固着された軌道レール３に転動体を介して摺動自在に跨架されている。具体的には，テーブル１は，図４，図５，図７及び図８に示すように，全体的に突出部の無い平坦な面に形成されている。従って，テーブル１に直動案内ユニット１０におけるスライダ４を位置決め案内して固着する際に，平坦な面に位置決めピンであるノックピン２５を突出させて，ノックピン２５にスライダ４を突き当てすることで位置決めするように構成されている。従って，このスライド装置は，従来のスライド装置のように，テーブルの一方の側部に鍔（フランジ）をわざわざ形成しなくてもよい構造になっている。
【００２６】
また，このスライド装置は，電機子組立体５の中央に位置する６個の電機子コイル７には，界磁マグネット６を検知する磁気検知素子が配設されている。具体的には，図１１に示すように，電機子組立体５の中央に位置する６個の電機子コイル７には，界磁マグネット６を検知するホールＩＣ４０が配設されている。電機子コイル７には，ホールＩＣが従来の既存のスライド装置にも同様に配設されていたが，全数の電機子コイルに配設されていたが，このスライド装置では，中央に位置する６個の電機子コイル７のみに配設されている。ホールＩＣ４０は，磁気検知素子であり，電機子コイル７の製作時に同時に組み込むものであり，容易に配設されるものである。ホールＩＣ４０は，スライド装置が通常，水平面上に設置される場合は，テーブル１はスライド方向に自由にスライド可能のため電機子コイル７で磁気検知できるので，機能しなくもよいものになっており，スライド装置を垂直方向に設置する場合にはテーブル１に一方向の力が負荷されている状況ではテーブル１の自由なスライドが不可能なため，その時に，ホールＩＣ４０により磁気検知するものになっている。
【００２７】
このスライド装置は，テーブル１の対向面５７の側部５９には，長手方向に沿ってリニアエンコーダでなるリニアスケール８が固着され，また，ベッド２の側面６０には，リニアスケール８に対向してリニアエンコーダでなるセンサ１５を配設するためにセンサ１５の支持ブラケット２１を固着する取付用の凹部５１（第３凹部）が形成されている。即ち図３〜図５，図１５〜図１９に示すように，ベッド２の長手方向の中央部にセンサ１５を配設することになるが，ベッド２の中央部にセンサ１５を支持する支持ブラケット２１を設け，センサ１５の支持ブラケット２１をベッド２に取り付けするために，ベッド２の側部即ち側面６０を凹ませて凹部５１（第３凹部）をベッド２に形成した構造に構成されている。
【００２８】
図１，図３，図４及び図２０〜図２２に示すように，このスライド装置は，ベッド２の端部には，電機子組立体５の基板１１である一方の端部に，電源線１７及び信号線１９とが結線する結線部分６８（図１１）を保護し且つベッド２からテーブル１の飛び出しを規制するコネクタブロック１４が固着されている。コネクタブロック１４には，センサ１５からのセンサ線１８を支持するための支持バンド１６を固着するため，支持バンド１６の取付用の凹部５５（第４凹部）が形成されている。即ち，電機子組立体５への電源線１７及び信号線１９の他に，センサ１５からのセンサ線１８をしっかりと支持するために，支持バンド１６が使用されている。通常，電源線１７，センサ線１８，信号線１９等のラインは支持バンド１６を用いて支持されている。支持バンド１６は，ねじ固定する際に，支持バンド１６も共回りして断線等の要因になってしまうので，その現象を避けるため，コネクタブロック１４にセンサ線１８を支持するための支持バンド１６を固着する取付用の凹部５５を形成したものになっている。凹部５５を，ベッド２でなくコネクタブロック１４に形成したので，加工も簡単になっている。
【００２９】
図６〜図８に示すように，テーブル１には，側部の長手方向即ち移動方向に沿って第１段部３３と，第１段部３３に隣接してそれより低くなっている第２段部３４とがそれぞれ形成されている。テーブル１の第２段部３４には，光スケールでなるリニアスケール８が配設されている。また，テーブル１の第１段部３３には，支持具２７によって原点マーク２６が配設されている。リニアスケール８は，基準段部となる第２段部３４に突き当てることによって適正に容易に配設でき，また，原点マーク２６は，基準段部となる第１段部３３に突き当てることによって適正に容易に配設できる。テーブル１には，その下面にスライダ４をテーブル１に取付ねじ５６で取り付けるため，取付ねじ５６が挿通する取付孔２８が形成されている。
【００３０】
図１０及び図１１に示すように，このスライド装置は，電機子組立体５にあって，矩形状のコアレスでなる電機子コイル７の内部には樹脂部４１が形成され，型崩れしないものになっており，電機子コイル７を基板１１に配設する際に，樹脂部４１から位置決めの突出部（図示せず）が形成されており，基板１１の位置決め用孔４３に嵌入することによって強固に位置固定して基板１１に固設されるものになっている。また，ベッド２に固定される基板１１には，両端部にリミットセンサ３６とカラー３８が設けられており，リミットセンサ３６から摺動方向の内側に原点前センサ３７が配設されている。カラー３８は，金属製で作製されており，電機子コイル７にそれぞれ設けられた樹脂製のカラー６７と同様に，ベッド２と基板１１との間隔を保持するスペーサの機能を有し，電機子コイル７を保護している。
【産業上の利用可能性】
【００３１】
この可動マグネット型リニアモータを内蔵したスライド装置は，クリーンルーム，試験実験室，クリーン環境等のエリアで稼働される半導体製造装置，測定・検知装置，各種組立装置，試験装置，位置決めテーブル，スライドテーブル等の各種装置に組み込んで使用される。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】この発明による可動マグネット型リニアモータを内蔵したスライド装置を示す平面図である。
【図２】図１のスライド装置を示す側面図である。
【図３】図１のスライド装置を示す正面図である。
【図４】図１のスライド装置におけるテーブル等を透視した状態でスライド装置を示す説明図である。
【図５】図２のスライド装置においてエンドブロックを外した状態を示す側面図である。
【図６】図１のスライド装置における可動マグネットを有するテーブルを示す正面図である。
【図７】図６のテーブルを示す下面図である。
【図８】図７のテーブルを示す側面図である。
【図９】図８のテーブルのＡ領域を示す拡大側面図である。
【図１０】図１のスライド装置における電機子組立体を示す平面図である。
【図１１】図１０の電機子組立体を示す背面図である。
【図１２】図１１の電機子組立体を示す側面図である。
【図１３】図１のスライド装置におけるベッドを示す平面図である。
【図１４】図１３のベッドを示す側面図である。
【図１５】図１３のベッドを示す正面図である。
【図１６】図１３のベッドを示す背面図である。
【図１７】図１のスライド装置におけるセンサの支持ブラケットを示す平面図である。
【図１８】図１７の支持ブラケットを示す側面図である。
【図１９】図１７の支持ブラケットを示す背面図である。
【図２０】図１のスライド装置におけるコネクタブロックを示す平面図である。
【図２１】図２０のコネクタブロックを示す側面図である。
【図２２】図２０のコネクタブロックを示す正面図である。
【符号の説明】
【００３３】
１      テーブル
２      ベッド
３      軌道レール
４      スライダ
５      電機子組立体
６      界磁マグネット
７      電機子コイル
８      リニアスケール
９      側面カバー
１０    直動案内ユニット
１１    基板
１４    コネクタブロック
１５    センサ
１６    支持バンド
１７    電源線
１８    センサ線
１９    信号線
２０，３０    取付基準面
２１    センサ支持ブラケット
２５    ノックピン
３５    凹部（第１凹部）
４０    磁気検知素子（ホールＩＣ）
５０    凹部（第２凹部）
５１    凹部（第３凹部）
５５    凹部（第４凹部）
５７    対向面（第１対向面）
５８    対向面（第２対向面）
５９    側部
６０，６１    側面
６８    結線部分
ｄ      テーブルの凹部の深さ
ｍ      電機子コイルの厚み
ｔ      界磁マグネットの板厚
【図１】
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【図２】
2005333702.tif 000004
【図３】
2005333702.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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