(57)【要約】【課題】  打粉なしでも周囲への貼り付きがない上、異方導電性接着剤に接着せず、表面離型性、耐久性に優れ、柔軟性を備えた安価な熱圧着用シリコーンゴムシート及びその製造方法を提供する。【解決手段】  （Ａ）平均重合度２００以上のオルガノポリシロキサンと、（Ｂ）揮発分が０．５質量％以下のカーボンブラック、（Ｃ）比表面積が５０ｍ2／ｇ以上の微粉末シリカ及び（Ｄ）金属、金属酸化物、金属窒化物或いは金属炭化物から選ばれる１種以上と、（Ｅ）硬化剤とを含む組成物を成形硬化した第一のシリコーンゴム層の片面又は両面に、（Ｆ）オルガノポリシロキサンと、（Ｇ）シリコーンパウダーと、好ましくは（Ｈ）揮発分が０．５質量％以下のカーボンブラック或いは（Ｉ）比表面積が５０ｍ2／ｇ以上の微粉末シリカと、（Ｊ）硬化剤とを含む組成物を成形硬化した第二のシリコーンゴム層が設けられた熱圧着用シリコーンゴムシート。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一のシリコーンゴム層の少なくとも一方の面に、該第一のシリコーンゴム層とは組成の異なる第二のシリコーンゴム層が設けられた複層のシリコーンゴム層からなるシリコーンゴムシートであって、前記第一のシリコーンゴム層が、
（Ａ）平均重合度が２００以上のオルガノポリシロキサン：１００質量部、
（Ｂ）水分を除いた揮発分が０．５質量％以下であるカーボンブラック、
（Ｃ）ＢＥＴ比表面積が５０ｍ2／ｇ以上である微粉末シリカ、
（但し、（Ｂ），（Ｃ）成分の合計配合量が０〜１５０質量部）
（Ｄ）金属、前記（Ｃ）成分以外の金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物から選択される少なくとも一種：０〜１，６００質量部、
（但し、（Ｂ），（Ｃ）及び（Ｄ）成分の合計配合量が１０〜１，６００質量部）
（Ｅ）硬化剤：硬化有効量
を含有してなるシリコーンゴム組成物を成形・硬化した層であり、前記第二のシリコーンゴム層が、
（Ｆ）オルガノポリシロキサン：１００質量部、
（Ｇ）シリコーンパウダー：１〜２００質量部、
（Ｈ）水分を除いた揮発分が０．５質量％以下であるカーボンブラック、
（Ｉ）ＢＥＴ比表面積が５０ｍ2／ｇ以上である微粉末シリカ、
（但し、（Ｈ），（Ｉ）成分の合計配合量が０〜５０質量部）
（Ｊ）硬化剤：硬化有効量
を含有してなるシリコーンゴム組成物を成形・硬化した層であることを特徴とする熱圧着用シリコーンゴムシート。
【請求項２】
前記（Ｇ）成分のシリコーンパウダーが、直鎖状のオルガノポリシロキサンを架橋した構造であるシリコーンゴムパウダー、シロキサン結合が三次元網目状に架橋した構造を持つシリコーンレジンパウダー、球状シリコーンゴムパウダーの表面をシリコーンレジンで被覆したシリコーン複合パウダーから選ばれるものである請求項１に記載の熱圧着用シリコーンゴムシート。
【請求項３】
前記（Ｇ）成分のシリコーンパウダーの平均粒子径が、１〜５０μｍである請求項１又は２に記載の熱圧着用シリコーンゴムシート。
【請求項４】
前記第二のシリコーンゴム層を形成する組成物中の（Ｈ），（Ｉ）成分を含む無機充填材の含有量が、組成物全体の２０質量％以下である請求項１〜３のいずれか１項に記載の熱圧着用シリコーンゴムシート。
【請求項５】
前記第二のシリコーンゴム層を形成する組成物中の（Ｇ）成分であるシリコーンパウダー以外のシリコーンレジンの含有量が、組成物全体の２０質量％以下である請求項１〜４のいずれか１項に記載の熱圧着用シリコーンゴムシート。
【請求項６】
前記第二のシリコーンゴム層の硬化後のＪＩＳ  Ｋ  ６２５３  デュロメーター硬さ試験  タイプＡ硬度が２０以上である請求項１〜５のいずれか１項に記載の熱圧着用シリコーンゴムシート。
【請求項７】
熱圧着用シリコーンゴムシートの両表面の表面粗さが、両表面ともに中心線平均粗さ：Ｒａが０．４μｍ≦Ｒａ≦５．０μｍ、最大高さ：ＲｍａｘがＲｍａｘ≦５０μｍである請求項１〜６のいずれか１項に記載の熱圧着用シリコーンゴムシート。
【請求項８】
前記第二のシリコーンゴム層の厚さが１〜５０μｍであり、第一のシリコーンゴム層の片面又は両面に第二のシリコーンゴム層を積層させてなるシリコーンゴムシート全体の厚さが０．１〜１０ｍｍである請求項１〜７のいずれか１項に記載の熱圧着用シリコーンゴムシート。
【請求項９】
１５０℃で３時間加熱した時の揮発分が０．２質量％以下である請求項１〜８のいずれか１項に記載の熱圧着用シリコーンゴムシート。
【請求項１０】
第一のシリコーンゴム組成物をシート状に成形し、この成形物を硬化させる前又はさせた後に、上記シート体の片面又は両面に、上記第一のシリコーンゴム組成物とは組成が異なり、シリコーンゴムパウダーが組成物中に分散されてなる第二のシリコーンゴム組成物をシート状に成形し、第二のシリコーンゴム組成物を、又は上記第一のシリコーンゴム組成物が未硬化の場合には第一及び第二のシリコーンゴム組成物を同時に加熱・硬化させ、第二のシリコーンゴム組成物シート体の硬化物層表面に、中心線平均粗さ：Ｒａが０．４μｍ≦Ｒａ≦５．０μｍ、最大高さ：ＲｍａｘがＲｍａｘ≦５０μｍの凹凸形状を形成することを特徴とする熱圧着用シリコーンゴムシートの製造方法。
【請求項１１】
（Ａ）平均重合度が２００以上のオルガノポリシロキサン：１００質量部、
（Ｂ）水分を除いた揮発分が０．５質量％以下であるカーボンブラック、
（Ｃ）ＢＥＴ比表面積が５０ｍ2／ｇ以上である微粉末シリカ、
（但し、（Ｂ），（Ｃ）成分の合計配合量が０〜１５０質量部）
（Ｄ）金属、前記（Ｃ）成分以外の金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物から選択される少なくとも一種：０〜１，６００質量部、
（但し、（Ｂ），（Ｃ）及び（Ｄ）成分の合計配合量が１０〜１，６００質量部）
（Ｅ）硬化剤：硬化有効量
を含有してなる第一のシリコーンゴム組成物をシート状に成形し、この成形物を硬化させる前又はさせた後に、上記シート体の片面又は両面に、
（Ｆ）オルガノポリシロキサン：１００質量部、
（Ｇ）シリコーンパウダー：１〜２００質量部、
（Ｈ）水分を除いた揮発分が０．５質量％以下であるカーボンブラック、
（Ｉ）ＢＥＴ比表面積が５０ｍ2／ｇ以上である微粉末シリカ、
（但し、（Ｈ），（Ｉ）成分の合計配合量が０〜５０質量部）
（Ｊ）硬化剤：硬化有効量
を含有してなる第二のシリコーンゴム組成物をシート状に成形し、第二のシリコーンゴム組成物を、又は上記第一のシリコーンゴム組成物が未硬化の場合には第一及び第二のシリコーンゴム組成物を同時に加熱・硬化させて、複層のシリコーンゴム層を形成した請求項１０記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱を伝えると共に均一に圧力をかける目的で使用される熱圧着用シリコーンゴムシートに関し、特に表面離型性に優れ、周囲の装置部品や被圧着物に貼り付かない熱圧着用シートとして使用する熱圧着用シリコーンゴムシート、具体的には、積層板やフレキシブルプリント基板の成形時、あるいは液晶パネル等に接続された電極とフレキシブルプリント基板のリード電極とを、異方導電性接着剤を介して電気的及び機械的に接続するときなどに使用する熱圧着用シリコーンゴムシート及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話、携帯用コンピューター、コンピューター用モニター、ビデオカメラ、デジタルカメラ、ナビゲイションシステム、携帯テレビ、薄型テレビ等のディスプレイとして、液晶パネルを用いることが増えている。この液晶パネルの製造に際しては、液晶を駆動させるために液晶パネルの透明リード電極と駆動用ＬＳＩが搭載されたフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）のリード電極とを、異方導電性接着剤を介在して熱圧着し、電気的及び機械的に接続することが行われている。
【０００３】
この場合、加圧・加熱ツールとＦＰＣの間に挟んで、加圧・加熱ツールから異方導電性接着剤に熱を伝えると共に均一な圧力を加える目的で、熱圧着用シートが用いられている。この熱圧着用シートとしては、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等のフッ素樹脂フィルムを用いる場合もあるが、更に圧力を均一にかけるために、低弾性で柔軟性があるのと同時に熱伝導性のよいシリコーンゴムシートを使用することが一般的になっている。
【０００４】
しかしながら、シリコーンゴムシートは、フッ素樹脂フィルムに比べてシート表面に粘着性があり、シートが加圧・加熱ツールやＦＰＣに密着して貼り付き、圧着工程の作業性が著しく低下するとともに、剥がす際にシートが劣化し、耐久性が悪くなることがある。また、熱圧着用シートは、熱圧着時にはみ出した異方導電性接着剤に直接接触することがあるため、この異方導電性接着剤に対して非接着であることが必要となるが、従来の熱圧着用シリコーンゴムシートは、異方導電性接着剤に対しての非接着性が十分ではなく、耐久性に問題があった。
【０００５】
熱圧着用シリコーンゴムシートとして、例えば、特開平５−１９８３４４号公報（特許文献１）では、シリコーンゴムに窒化ホウ素を配合しガラスクロスで補強したものが、特開平６−３６８５３号公報（特許文献２）では、シリコーンゴムに窒化ホウ素と導電性物質を配合し、ガラスクロスで補強して帯電防止性を付与したものが、特開平６−２８９３５２号公報（特許文献３）では、シリコーンゴムにセラミックや金属などの良熱伝導性物質を配合したものが、特開平７−１１０１０号公報（特許文献４）では、シリコーンゴムに水分を除いた揮発分が０．５％以下であるカーボンブラックを配合し耐熱性を改良したもの等が知られている。しかしながら、これらのものは、シート表面の粘着性の問題や、異方導電性接着剤に対する非接着性についての問題は改善されていない。
【０００６】
このような問題に対して、シリコーンゴムシートの表面にタルクなどの鱗片状の粉をムラなく打粉してから、余分な粉を水で洗浄することにより除去した熱圧着シリコーンゴムシートが提案されている（特許文献５）。このシートの場合には、シート表面の粘着性は改善されているが、異方導電性接着剤に対する非接着性についての問題は改善されていない。
【０００７】
前記シート表面の粘着性の問題と異方導電性接着剤に対する非接着性についての問題を解決するため、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等のフッ素樹脂フィルムとシリコーンゴムシートを別々に準備し、これら２種類のシートを重ねて使用することも行なわれているが、この方法では、２種類のシートを必要とするためにコストが高くなるし、２種類のシートを供給する装置がそれぞれ必要となるため、製造装置のコストアップにも繋がる。
【０００８】
また、シリコーンゴムシートと耐熱性樹脂フィルムを積層・複合化することによりシート表面の粘着性をなくすとともに、強度に優れた熱圧着用シリコーンゴム複合シートが提案されている（特許文献６〜８）。しかしながら、このシートを使用した場合には、シリコーンゴムが耐熱性樹脂フィルムと接着しているので、ゴム単体より柔軟性がなくなる。従って加圧時に均一に圧力がかかりにくくなり、加圧力を大きくする必要があるが、被圧着体の強度に限界があり、問題となる場合がある上、耐熱性樹脂フィルムが比較的高価なため、コストアップに繋がるという欠点があった。
【０００９】
これらの課題を解決するため、熱伝導性ゴムシートの片面又は両面にシリコーン樹脂層を積層して離型性を付与することや、熱伝導性ゴムシートの少なくとも片面に、充填剤不含のゴム組成物からなるゴム系離型層を積層することにより、表面離型性に優れ、異方導電性接着剤に接着せず、耐久性に優れ、均一に加圧力を伝えることができる柔軟性を兼ね備えた、熱圧着用シリコーンゴムシートを安価に提供できることが提案されている（特許文献９、１０）。
【００１０】
しかし、一般的なナイフコート、コンマコート、バーコート、ディップコートなどで離型層を積層しただけでは、離型層表面が平滑になり易く、シリコーンゴム特有の密着性が発現してしまう。この密着性により、熱圧着用シリコーンゴムシート製造時の取り扱い性が悪くなるとともに、実使用においても、各部位への密着が起こり、問題を引き起こす場合もある。この密着の問題を解決するため、従来はシート表面に密着防止剤としてマイカやタルクなど燐片状の粉を満遍なく打粉することが行なわれてきたが、これらの粉による各部への汚染が問題であった。そこで、特許文献１０では、離型層表面への密着防止用の粉打ちなしでも密着の問題が起こらないよう、表面に凹凸形状を付け粗面化することも提案されている。しかしながら、この粗面化の方法としては、コーティング後にエンボス表面を転写する方法、コロナ放電処理やサンドブラスト処理を行なう方法などが提案されているが、粗面化の工程が別に必要となるため、シリコーンゴムシートの生産性が悪くなり、コストアップに繋がるという問題があった。また、粗面化の方法や度合いによっては、密着性の問題は解決できても異方導電性接着剤に対する表面離型性が劣化してしまうという問題もあった。
【００１１】
【特許文献１】特開平５−１９８３４４号公報
【特許文献２】特開平６−３６８５３号公報
【特許文献３】特開平６−２８９３５２号公報
【特許文献４】特開平７−１１０１０号公報
【特許文献５】特開平１０−２１９１９９号公報
【特許文献６】特開平８−１７４７６５号公報
【特許文献７】特開２００１−１８３３０号公報
【特許文献８】特開平７−２１４７２８号公報
【特許文献９】特開２００１−２３２７１２号公報
【特許文献１０】特開２００３−２３６９８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明は、上記事情に鑑みなされたもので、表面離型性に優れ、マイカやタルクなどの打粉なしでも周囲の装置部品や被圧着物への貼り付きがない上、異方導電性接着剤に接着せず、耐久性に優れ、均一に加圧力を伝えることができる柔軟性を兼ね備えた安価な熱圧着用シリコーンゴムシートを提供することを目的とする。
また、本発明は、一般的なナイフコート、コンマコート、バーコート、ディップコートなどの方法でコートした後、そのまま加硫することで、簡便に離型層表面に凹凸形状を形成することができる熱伝導性シリコーンゴム層と離型層が積層された熱圧着用シリコーンゴムシートの製造方法を提供することを他の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明者等は、上記目的を達成するため鋭意検討した結果、従来の熱圧着シリコーンゴムシートの表面に、無機充填材の充填量が少なく、離型性に優れたシリコーンゴム基材にシリコーンパウダーを充填した離型層を積層することにより、良好な結果が得られることを見出した。
【００１４】
即ち、（Ａ）平均重合度が２００以上のオルガノポリシロキサン：１００質量部、
（Ｂ）水分を除いた揮発分が０．５質量％以下であるカーボンブラック、
（Ｃ）ＢＥＴ比表面積が５０ｍ2／ｇ以上である微粉末シリカ、
（但し、（Ｂ），（Ｃ）成分の合計配合量が０〜１５０質量部）
（Ｄ）金属、前記（Ｃ）成分以外の金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物から選択される少なくとも一種：０〜１，６００質量部、
（但し、（Ｂ），（Ｃ）及び（Ｄ）成分の合計配合量が１０〜１，６００質量部）
（Ｅ）硬化剤：硬化有効量
を含有してなるシリコーンゴム組成物の硬化物からなる第一のシリコーンゴム層の少なくとも一方の面に、
（Ｆ）オルガノポリシロキサン：１００質量部、
（Ｇ）シリコーンパウダー：１〜２００質量部、
（Ｈ）水分を除いた揮発分が０．５質量％以下であるカーボンブラック、
（Ｉ）ＢＥＴ比表面積が５０ｍ2／ｇ以上である微粉末シリカ、
（但し、（Ｈ），（Ｉ）成分の合計配合量が０〜５０質量部）
（Ｊ）硬化剤：硬化有効量
を含有してなるシリコーンゴム組成物の硬化物からなる第二のシリコーンゴム層を積層したシートとすることにより、表面離型性に優れ、マイカやタルクなどを打粉することなく、加熱・加圧ツールなどの周囲の装置部品、ＦＰＣなど被圧着物に貼り付かず、熱圧着時にはみ出した異方導電性接着剤にも接着しない、高離型耐久性の熱圧着用シリコーンゴムシートが得られることを見出し、本発明をなすに至った。
【００１５】
従って、本発明は、下記に示す熱圧着用シリコーンゴムシート及びその製造方法を提供する。
〔１〕  第一のシリコーンゴム層の少なくとも一方の面に、該第一のシリコーンゴム層とは組成の異なる第二のシリコーンゴム層が設けられた複層のシリコーンゴム層からなるシリコーンゴムシートであって、前記第一のシリコーンゴム層が、
（Ａ）平均重合度が２００以上のオルガノポリシロキサン：１００質量部、
（Ｂ）水分を除いた揮発分が０．５質量％以下であるカーボンブラック、
（Ｃ）ＢＥＴ比表面積が５０ｍ2／ｇ以上である微粉末シリカ、
（但し、（Ｂ），（Ｃ）成分の合計配合量が０〜１５０質量部）
（Ｄ）金属、前記（Ｃ）成分以外の金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物から選択される少なくとも一種：０〜１，６００質量部、
（但し、（Ｂ），（Ｃ）及び（Ｄ）成分の合計配合量が１０〜１，６００質量部）
（Ｅ）硬化剤：硬化有効量
を含有してなるシリコーンゴム組成物を成形・硬化した層であり、前記第二のシリコーンゴム層が、
（Ｆ）オルガノポリシロキサン：１００質量部、
（Ｇ）シリコーンパウダー：１〜２００質量部、
（Ｈ）水分を除いた揮発分が０．５質量％以下であるカーボンブラック、
（Ｉ）ＢＥＴ比表面積が５０ｍ2／ｇ以上である微粉末シリカ、
（但し、（Ｈ），（Ｉ）成分の合計配合量が０〜５０質量部）
（Ｊ）硬化剤：硬化有効量
を含有してなるシリコーンゴム組成物を成形・硬化した層であることを特徴とする熱圧着用シリコーンゴムシート。
〔２〕  第一のシリコーンゴム組成物をシート状に成形し、この成形物を硬化させる前又はさせた後に、上記シート体の片面又は両面に、上記第一のシリコーンゴム組成物とは組成が異なり、シリコーンゴムパウダーが組成物中に分散されてなる第二のシリコーンゴム組成物をシート状に成形し、第二のシリコーンゴム組成物を、又は上記第一のシリコーンゴム組成物が未硬化の場合には第一及び第二のシリコーンゴム組成物を同時に加熱・硬化させ、第二のシリコーンゴム組成物シート体の硬化物層表面に、中心線平均粗さ：Ｒａが０．４μｍ≦Ｒａ≦５．０μｍ、最大高さ：ＲｍａｘがＲｍａｘ≦５０μｍの凹凸形状を形成することを特徴とする熱圧着用シリコーンゴムシートの製造方法。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートは、シリコーンゴムが本来持っている異方導電性接着剤に対する非接着性を阻害してしまう無機充填材やシリコーンレジンなどの充填量が少なく、非接着性を阻害しないシリコーンパウダーを充填した材料を、従来の熱圧着シリコーンゴムシート上に積層し、表面離型層としたものであり、この表面離型層を形成する材料にはシリコーンパウダーが充填されているため、一般的なナイフコート、コンマコート、バーコート、ディップコートなどで積層した後、そのまま加硫することで、簡便に該離型層表面に凹凸形状を形成することができ、マイカやタルクなどを打粉することなく、シリコーン特有の密着性の問題を回避できる。従って、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等のフッ素樹脂フィルムを重ねて使用する必要がなく、熱圧着用シート単体での使用が可能となるし、打粉による汚染や各部への密着の問題も解決できる。また、比較的安価な方法で熱圧着用シリコーンゴムシートを製造できる。結果的に熱圧着工程のコスト低減にも寄与できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートは、第一のシリコーンゴム層の少なくとも一方の面に、該第一のシリコーンゴム層とは組成の異なる第二のシリコーンゴム層が設けられた複層のシリコーンゴム層からなるシリコーンゴムシートである。
【００１８】
本発明における第一のシリコーンゴム層は、下記（Ａ）成分と、（Ｂ），（Ｃ）及び（Ｄ）成分の少なくとも１種と、（Ｅ）成分とを含有するシリコーンゴム組成物の硬化物からなるものである。
（Ａ）平均重合度が２００以上のオルガノポリシロキサン
（Ｂ）水分を除いた揮発分が０．５質量％以下であるカーボンブラック
（Ｃ）ＢＥＴ比表面積が５０ｍ2／ｇ以上である微粉末シリカ
（Ｄ）金属、前記（Ｃ）成分以外の金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物から選択される少なくとも一種
（Ｅ）硬化剤
【００１９】
上記（Ａ）成分の平均重合度２００以上のオルガノポリシロキサンは、平均組成式Ｒ1aＳｉＯ(4-a)/2（ａは１．９５〜２．０５の正数）で表されるものが好ましく、式中のＲ1は置換又は非置換の一価炭化水素基を表す。Ｒ1の具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基等のアルキル基、シクロペンチル基、シクロへキシル基等のシクロアルキル基、ビニル基、アリル基等のアルケニル基、フェニル基、トリル基等のアリール基あるいはこれらの水素原子が部分的に塩素原子、フッ素原子などで置換されたハロゲン化炭化水素基等が挙げられる。本発明においては、Ｒ1の０．００１〜５モル％、特に０．０１〜１モル％がアルケニル基であることが好ましい。
【００２０】
上記オルガノポリシロキサンとしては、主鎖がジメチルシロキサン単位からなるものあるいはこのオルガノポリシロキサンの主鎖にビニル基、フェニル基、トリフルオロプロピル基などを導入したものが好ましい。また、分子鎖末端がトリオルガノシリル基又は水酸基で封鎖されたものであればよく、このトリオルガノシリル基としては、トリメチルシリル基、ジメチルビニルシリル基、トリビニルシリル基などが例示される。
【００２１】
また、上記オルガノポリシロキサンの平均重合度は、２００以上であり、３，０００〜２０，０００であることが好ましい。重合度が２００未満では、硬化後の機械的強度が劣り、脆くなる。なお、（Ａ）成分の２５℃における粘度は１０Ｐａ・ｓ以上であることが好ましい。
【００２２】
（Ｂ）成分の水分を除いた揮発分が０．５質量％以下であるカーボンブラックは、前記第一のシリコーンゴム層の耐熱性及び熱伝導性を向上させるばかりでなく、機械的強度を向上させると共に、シリコーンゴムシートを導電化して帯電防止性を付与するものである。一般に、シリコーンゴムの耐熱性は、組成物中のｐＨ、水分あるいは不純物の影響を受けるために、添加剤の選定には十分注意する必要がある。カーボンブラックは、シリコーンゴムの耐熱性を向上させることができるが、その不純物及び揮発分を考慮する必要がある。カーボンブラックの揮発分は表面に化学的に吸着している酸素化合物（カルボキシル、キノン、ラクトン、ヒドロキシル等の酸性成分）の重量に該当するが、加熱することによりこの酸素化合物が表面から気化するため、シリコーンゴムの耐熱性に悪影響を与える。従って、揮発分が０．５質量％以下、特に０．４質量％以下のカーボンブラックを用いることにより、３００℃以上の高温下でも使用可能な耐熱性を実現することができる。
【００２３】
なお、本発明における揮発分の測定方法は、ＪＩＳ  Ｋ  ６２２１の“ゴム用カーボンブラック試験方法”に記載されている方法を用いる。具体的には、るつぼの中にカーボンブラックを規定量入れ、９５０℃で７分間加熱した後の揮発減量を測定するものである。
【００２４】
カーボンブラックは、その製造方法により、ファーネスブラック、チャンネルブラック、サーマルブラック、アセチレンブラック等に分類されるが、揮発分が０．５質量％以下のカーボンブラックとしては、アセチレンブラックや導電性カーボンブラック等が好適である（例えば特開平１−２７２６６７号公報の第３頁、第３６〜４０行目）。
【００２５】
比表面積が大きいカーボンブラックほど耐熱性を向上させ、高温時の機械的強度の低下を抑制する効果が大きいため、本発明においては、ＢＥＴ比表面積が３０ｍ2／ｇ以上のカーボンブラックが好ましく、特に５０ｍ2／ｇ以上のものが好ましく、更には１００ｍ2／ｇ以上のものを使用することが好ましい。なお、ＢＥＴ比表面積の上限値としては、５００ｍ2／ｇ以下、特に３００ｍ2／ｇ以下とすることが好ましい。
【００２６】
（Ｃ）成分の、ＢＥＴ比表面積が５０ｍ2／ｇ以上である微粉末シリカは、シリコーンゴムの補強成分として使われるものである。この微粉末シリカは、親水性のものでも疎水性のものでもよいが、補強性の面からはＢＥＴ比表面積が５０〜８００ｍ2／ｇであることが好ましく、特に１００〜５００ｍ2／ｇのものがよい。比表面積が５０ｍ2／ｇ未満では、補強効果が十分に得られない。
【００２７】
本発明の（Ｂ）成分及び（Ｃ）成分は、ともにシリコーンゴムを補強する役割を有する。（Ｂ）成分である水分を除いた揮発分が０．５質量％以下であるカーボンブラックの方が、（Ｃ）成分であるＢＥＴ比表面積が５０ｍ2／ｇ以上である微粉末シリカよりも耐熱性向上への寄与はより大きいものの、室温での強度への寄与はより小さい。これら２種類の補強成分は、本発明の熱圧着シリコーンゴムシートの使用温度に応じて、適宜調整して使用することができる。ここで、（Ｂ）成分と（Ｃ）成分の合計の配合量は、（Ａ）成分１００質量部に対して０〜１５０質量部であり、１０〜１２０質量部であることが好ましく、２０〜１００質量部の範囲で使用することが最も好ましい。１５０質量部より多いと配合が困難になる上、成形加工性が悪くなる。
【００２８】
（Ｄ）成分は、金属、（Ｃ）成分以外の金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物から選択される少なくとも１種であり、本発明のシリコーンゴムシートに熱伝導性を付与するものである。これらの具体例としては、金属では銀粉、銅粉、鉄粉、ニッケル粉、アルミニウム粉など、金属酸化物では亜鉛、マグネシウム、アルミニウム、珪素、鉄等の酸化物、金属窒化物ではホウ素、アルミニウム、珪素等の窒化物、金属炭化物では珪素、ホウ素等の炭化物等が例示される。
【００２９】
（Ｄ）成分の配合量は、（Ａ）成分１００質量部に対して０〜１，６００質量部であり、特に０〜１，０００質量部の範囲で使用することが好ましい。１，６００質量部より多いと配合が困難になる上、成形加工性が悪くなる。
【００３０】
また、本発明における（Ｂ）成分と（Ｃ）成分と（Ｄ）成分の合計配合量は、（Ａ）成分１００質量部に対して１０〜１，６００質量部であり、２０〜１，２００質量部であることが好ましく、特に３０〜１，０００質量部の範囲で使用することが好ましい。（Ｂ）成分と（Ｃ）成分と（Ｄ）成分の合計配合量が１０質量部未満であると熱伝導率が低下し、十分な性能が得られず、１，６００質量部を超えると配合、混練が困難になる上、加工性が悪くなる。
【００３１】
なお、本発明の熱圧着シリコーンゴムシートのゴム強度や耐熱性を重視する場合には、（Ｂ）成分であるカーボンブラックや（Ｃ）成分である微粉末シリカの配合部数を（Ｄ）成分に対して相対的に多くすることが好ましい。具体的には（Ａ）成分１００質量部に対し、（Ｂ）成分と（Ｃ）成分の合計の配合量が３０〜１００質量部、（Ｄ）成分が０〜５０質量部とすることが好ましい。また、熱伝導性を重視する場合には、（Ｄ）成分である熱伝導付与剤の配合部数を（Ｂ）成分や（Ｃ）成分に対して相対的に多くすることが好ましい。具体的には、（Ａ）成分１００質量部に対し、（Ｂ）成分と（Ｃ）成分の合計の配合量が１０〜５０質量部、（Ｄ）成分が５０〜１，０００質量部とすることが好ましい。
【００３２】
（Ｅ）成分の硬化剤は、通常シリコーンゴムの硬化に使用されている公知の硬化剤の中から適宜選択することができる。これらの硬化剤の例としては、ラジカル反応に使用されるジ−ｔ−ブチルパーオキサイド、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）へキサン、ジクミルパーオキサイドなどの有機過酸化物、（Ａ）成分のオルガノポリシロキサンが１分子中にアルケニル基を２個以上有する場合に対しては、付加反応硬化剤として、ケイ素原子に結合した水素原子を１分子中に２個以上含有するオルガノハイドロジェンポリシロキサン及び白金系触媒、（Ａ）成分のオルガノポリシロキサンがシラノール基を２個以上含有する場合に対しては、縮合反応硬化剤として、アルコキシ基、アセトキシ基、ケトオキシム基、プロペノキシ基などの加水分解性の基を２個以上有する有機ケイ素化合物等が挙げられる。本発明においては、ラジカル反応及び／又は付加反応で硬化させることが好ましい。
【００３３】
これら硬化剤の添加量は、通常のシリコーンゴムの場合と同様にすればよく、硬化有効量であればよいが、ラジカル反応の場合には、有機過酸化物を（Ａ）成分１００質量部に対して０．１〜１０質量部使用することが好ましく、付加反応の場合には、オルガノハイドロジェンポリシロキサンのＳｉＨ基が（Ａ）成分のアルケニル基に対して０．５〜５モルとなる量及び白金系触媒が１〜２，０００ｐｐｍとなる量使用することが好ましい。
【００３４】
第一のシリコーンゴム層を形成する上記第一のシリコーンゴム組成物には、本発明の目的を損なわない範囲で、必要に応じて、非反応性オルガノポリシロキサン、末端がヒドロキシシリルジメチル基で封鎖されたオルガノポリシロキサン等の粘度及び硬さを調節するための希釈剤、クレイ、炭酸カルシウム、けいそう土等の充填剤、コバルトブルー等の無機顔料、有機染料等の着色剤、炭酸亜鉛、炭酸マンガン、ベンガラ、酸化チタン、酸化セリウム等の耐熱性、難燃性向上剤、白金族金属系触媒等の難燃性向上剤、低分子シロキサンエステル、シラノール等の分散剤、シランカップリング剤、チタンカップリング剤等の接着付与剤、ゴムコンパウンドのグリーン強度を上げるテトラフルオロポリエチレン粒子などをその他の成分として添加してもよい。
【００３５】
次に、本発明の熱圧着用シリコーンゴムシート中、第二のシリコーンゴム層は、主に第一のシリコーンゴム層表面の離型性を改善し、異方導電性接着剤との接着防止を目的として設けられるものである。
【００３６】
この第二のシリコーンゴム層は、下記（Ｆ）成分、（Ｇ）成分、（Ｊ）成分、及び好ましくは（Ｈ）及び／又は（Ｉ）成分を含有するシリコーンゴム組成物の硬化物からなるものであり、シリコーンゴムが本来持っている異方導電性接着剤に対する非接着性を阻害してしまう無機充填材やシリコーンレジンなどの充填量が少なく、非接着性を阻害しないシリコーンパウダーを充填した組成物を、従来の熱圧着シリコーンゴムシート上に積層し、表面離型層としたものである。
（Ｆ）オルガノポリシロキサン、
（Ｇ）シリコーンパウダー、
（Ｈ）水分を除いた揮発分が０．５質量％以下であるカーボンブラック、
（Ｉ）ＢＥＴ比表面積が５０ｍ2／ｇ以上である微粉末シリカ、
（Ｊ）硬化剤
【００３７】
上記（Ｆ）成分であるオルガノポリシロキサンとしては、例えば一般式Ｒ2bＳｉＯ(4-b)/2で示されるものが挙げられる。ここで、Ｒ2はメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基などのアルキル基、ビニル基、アリル基、プロペニル基、ブテニル基、ヘキセニル基などのアルケニル基、フェニル基、トリル基、キシリル基などのアリール基、ベンジル基、２−フェニルエチル基などのアラルキル基、あるいはこれらの基の炭素原子に結合している水素原子の一部又は全部を、ハロゲン原子、シアノ基などで置換したクロロメチル基、トリフルオロプロピル基、シアノエチル基などから選択される同一又は異種の、炭素数１〜１０、好ましくは炭素数１〜８の非置換又は置換一価炭化水素基である。ケイ素原子に結合した置換基Ｒ2は基本的に上記したいずれのものであってもよいが、アルケニル基としてはビニル基、その他の置換基としてはメチル基又はフェニル基が好ましく、特に耐溶剤性が必要な場合にはトリフルオロプロピル基が好ましい。また、ｂは１．９〜２．４の正数である。
【００３８】
このオルガノポリシロキサンは、主鎖が直鎖状のジオルガノポリシロキサンであることが最も好ましいが、分子中にＲ2ＳｉＯ3/2単位（Ｒ2は上記と同様）、ＳｉＯ2単位などの分岐構造を一部含有するものであってもよい。その平均重合度は、１０〜２０，０００であることが好ましい。平均重合度が１０未満では、硬化物の機械的強度が使用に十分満足するものとならない場合があり、２０，０００を超えるとゴムコンパウンドのロール作業性やカレンダー成形性が悪くなる場合がある。
【００３９】
本発明の熱圧着シリコーンゴムシートにおいては、第二のシリコーンゴム層の機械的強度向上のために、上記（Ｆ）成分であるオルガノポリシロキサン成分として、主鎖が直鎖状のジオルガノポリシロキサンに加えてシリコーンレジンを使用してもよい。シリコーンレジンとしては、Ｒ23ＳｉＯ0.5単位（Ｍ単位）とＳｉＯ2単位（Ｑ単位）、あるいは、Ｍ単位とＱ単位及びＲ2ＳｉＯ1.5単位（Ｔ単位）及び／又はＲ22ＳｉＯ単位（Ｄ単位）（Ｒ2は上記と同様）とからなる、ＭＱレジン、ＭＴＱレジン、ＭＤＱレジン又はＭＤＴＱレジンがあり、どれを使用してもよいが、基本的にはＭ単位とＱ単位を主成分とするものが好ましい。また、必要に応じて（ＣＨ2＝ＣＨ）（ＣＨ3）2ＳｉＯ0.5単位や（ＣＨ2＝ＣＨ）（ＣＨ3）ＳｉＯ単位を含むビニル基含有シリコーンレジンを使用することもできる。具体的には、（ＣＨ3）3ＳｉＯ0.5単位、（ＣＨ2＝ＣＨ）（ＣＨ3）2ＳｉＯ0.5単位及びＳｉＯ2単位からなるレジンや、（ＣＨ3）3ＳｉＯ0.5単位、（ＣＨ2＝ＣＨ）（ＣＨ3）ＳｉＯ単位及びＳｉＯ2単位からなるレジンを使用することが好ましい。
【００４０】
この（Ｆ）成分中のシリコーンレジンの含有量は、第二のシリコーンゴム組成物全体の２０質量％以下、特に０．１〜１０質量％であることが好ましい。２０質量％を超えると異方導電性接着剤に対する表面離型性が悪くなる場合がある。
【００４１】
（Ｇ）成分であるシリコーンパウダーは、第二のシリコーンゴム層の表面が平滑になることにより引き起こされる密着性の問題を防ぐために使用されるものである。即ち、シリコーンパウダーの充填により、第二のシリコーンゴム層の表面に簡便に凹凸形状を付け粗面化することができ、マイカやタルクなどを打粉することなく、密着性の問題を回避することができる。シリコーンパウダーを充填せずに、第二のシリコーンゴム層表面を粗面化する方法もあるが、シリコーンパウダーを充填することにより、一般的なナイフコート、コンマコート、バーコート、ディップコートなどの簡便なコーティング積層方法で粗面化が可能となる。粗面化だけ考えた場合、例えばアルミナや結晶性シリカなどのシリコーンパウダー以外の充填粉でも可能であるが、この場合には、シリコーン本来の異方導電性接着剤に対しての非接着性が損なわれる。一方、シリコーンパウダーの充填では、異方導電性接着剤に対しての非接着性を損なわずに、シリコーンゴム表面の粗面化が可能である。
【００４２】
シリコーンパウダーの材質としては、例えば、主に直鎖状のオルガノポリシロキサンを架橋した構造であるシリコーンゴムパウダー、シロキサン結合が（ＲＳｉＯ3/2）n（Ｒは置換又は非置換の一価炭化水素基を表す）で表される三次元網目状に架橋した構造を持つポリオルガノシルセスキオキサン硬化微粉末であるシリコンレジンパウダー、シリコーンゴムパウダーの表面をシリコーンレジンで被覆した構造のシリコーン複合パウダーなどがあるが、本発明の（Ｇ）成分のシリコーンパウダーとしては、単一の材質のもののみ使用してもよいし、二種類以上の材質のシリコーンパウダーをブレンドして使用してもよい。
【００４３】
シリコーンパウダーの平均粒子径は、１〜５０μｍのものが好適であるが、更には３〜３０μｍのものが好ましい。平均粒子径が１μｍ未満であるとシリコーンゴム層表面が平滑面に近くなり密着性の問題を引き起こし、５０μｍより大きいと、表面の凹凸形状が大きくなりすぎ、圧着シートとして均一に圧力の伝達ができなくなる。第二のシリコーンゴム層表面の凹凸形状は、シリコーンパウダーの粒径、材質、充填量、層厚や成形条件により変化するため、最適な粒径のシリコーンパウダーを適宜選択する必要がある。なお、本発明において、平均粒径は、レーザー光回折散乱法により測定することができる。
【００４４】
シリコーンパウダーの配合量は、（Ｆ）成分であるオルガノポリシロキサン１００質量部に対して１〜２００質量部、好ましくは３〜１００質量部であり、特に５〜５０質量部であることが好ましい。１質量部未満では、シリコーンゴム層表面が平滑面に近くなり密着の問題を引き起こす。２００質量部を超えると、シリコーンゴムパウダーの場合には第二のシリコーンゴム層の強度が弱くなりすぎて離型耐久性が悪くなり、シリコーンレジンパウダーの場合には切断時の伸びが小さくなるとともに硬くなりすぎるため、第一のシリコーンゴム層の動きに追従できなくなって亀裂が発生する場合がある。
【００４５】
（Ｈ）成分である水分を除いた揮発分が０．５質量％以下であるカーボンブラックは、前記第二のシリコーンゴム層の耐熱性及び熱伝導性を向上させるばかりでなく、機械的強度を向上させると共に、第二のシリコーンゴム層を導電化して帯電防止性を付与するものである。第二のシリコーンゴム層の（Ｈ）成分であるカーボンブラックも前記第一のシリコーンゴム層の（Ｂ）成分であるカーボンブラックと同様に、耐熱性の理由から揮発分が０．５質量％以下、特に０．４質量％以下のカーボンブラックを使用することが好ましく、例えば、アセチレンブラックや導電性カーボンブラック等が好適である（例えば、特開平１−２７２６６７号公報の第３頁、第３６〜４０行目）。
【００４６】
比表面積が大きいカーボンブラックほど耐熱性を向上させ、高温時の機械的強度の低下を抑制する効果が大きいため、本発明においては、ＢＥＴ比表面積が３０ｍ2／ｇ以上のカーボンブラックが好ましく、特に５０ｍ2／ｇ以上のものが好ましく、更には１００ｍ2／ｇ以上のものを使用することが好ましい。
【００４７】
（Ｉ）成分であるＢＥＴ比表面積が５０ｍ2／ｇ以上である微粉末シリカは、第二のシリコーンゴム層の補強成分として使われるものである。その具体例としては、親水性又は疎水性のヒュームドシリカ（乾式シリカ）や沈降シリカ（湿式シリカ）、結晶性シリカ、石英などが挙げられ、これらは単独で用いることも２種以上を組み合わせて用いることもできる。本発明に用いられる微粉末シリカは、補強性の点からＢＥＴ比表面積が５０ｍ2／ｇ以上であることが必要であるが、通常は、５０〜８００ｍ2／ｇ、特に１００〜５００ｍ2／ｇ程度のものを使用するのがよい。比表面積が５０ｍ2／ｇ未満では、補強効果が十分に得られない。
【００４８】
このようなシリカのうち、市販されている親水性のシリカとしては、Ａｅｒｏｓｉｌ１３０，２００，３００（日本アエロジル社又はＤｅｇｕｓｓａ社製の商品名）、ＣａｂｏｓｉｌＭＳ−５，ＭＳ−７（Ｃａｂｏｔ社製の商品名）、ＲｈｅｏｒｏｓｉｌＱＳ−１０２，１０３（トクヤマ（株）製の商品名）、ＮｉｐｓｉｌＬＰ（日本シリカ製の商品名）等が挙げられ、また、疎水性シリカとしては、ＡｅｒｏｓｉｌＲ−８１２，Ｒ−８１２Ｓ，Ｒ−９７２，Ｒ−９７４（Ｄｅｇｕｓｓａ社製の商品名）、ＲｈｅｏｒｏｓｉｌＭＴ−１０（トクヤマ（株）製の商品名）、ＮｉｐｓｉｌＳＳシリーズ（日本シリカ製の商品名）等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。
【００４９】
本発明においては、第二のシリコーンゴム層の機械的強度と異方導電性接着剤に対しての非接着性を両立させるため、予め表面処理された疎水性シリカを使用するか、材料混練時にオルガノシラザン化合物からなる表面処理剤を添加して親水性のシリカ粒子表面を処理することが好ましい。
【００５０】
上記疎水性シリカは、本質的にはジメチルジクロロシラン、メチルトリクロロシラン、ヘキサメチルジシラザン又はその混合物などの表面処理剤で、あるいはこれら表面処理剤と水とを用いて親水性の微粉末シリカを熱処理して得た、その表面が（ＣＨ3）3ＳｉＯ1/2基、（ＣＨ3）2ＳｉＯ2/2基、ＣＨ3ＳｉＯ3/2基、好ましくは（ＣＨ3）2ＳｉＯ2/2基とＣＨ3ＳｉＯ3/2基で処理され、疎水化されたシリカであればよいが、特にＣＨ3ＳｉＯ3/2基で処理されたものが好ましい。このようにして表面処理された疎水性シリカは、通常、シリカ全体に対して０．５質量％以上の炭素を含有する。
【００５１】
前記オルガノシラザン化合物からなる表面処理剤としては、例えば、（ＣＨ3）3ＳｉＮＨＳｉ（ＣＨ3）3、（ＣＨ3）3ＳｉＮＨＳｉ（ＣＨ3）2ＮＨＳｉ（ＣＨ3）3、（ＣＨ3）2（ＣＦ3ＣＨ2ＣＨ2）ＳｉＮＨＳｉ（ＣＦ3ＣＨ2ＣＨ2）（ＣＨ3）2等のアルキル基、アリール基、置換アルキル基等を有するヘキサオルガノシラザン、オクタオルガノトリシラザン等の炭素官能性基（例えば、アルケニル基）を有しないオルガノシラザン化合物、（ＣＨ3）2（ＣＨ2＝ＣＨ）ＳｉＮＨＳｉ（ＣＨ3）2ＮＨＳｉ（ＣＨ＝ＣＨ2）（ＣＨ3）2、（ＣＨ3）3ＳｉＮＨＳｉ（ＣＨ3）（ＣＨ2＝ＣＨ）［ＯＳｉ（ＣＨ3）2］nＮＨＳｉ（ＣＨ3）3、ＣＨ2＝ＣＨＳｉ［ＮＨＳｉ（ＣＨ3）3］3等のビニル基等のアルケニル基含有オルガノシラザン化合物等を挙げることができる。これらのオルガノシラザン化合物は、炭素官能性基を有しないオルガノシラザン化合物のみを用いても、アルケニル基含有オルガノシラザン化合物のみを用いてもよいし、両者を併用してもよい。特に、最も汎用であるヘキサメチルジシラザン（ＣＨ3）3ＳｉＮＨＳｉ（ＣＨ3）3を使用することで、安価且つ簡便に効果を得ることができる。
【００５２】
材料混練時の表面処理方法としては、上記した（Ｆ）成分としてのオルガノポリシロキサンに（Ｉ）成分としての親水性シリカを添加した混合物を混合機中で加熱混練するときに、オルガノシラザン化合物を加えると共に、必要に応じて少量の水を加えて加熱処理すればよく、このように処理するとシリカ表面のシラノールが処理されるので、この組成物を硬化して得られるシリコーンゴムは、離型耐久性の優れたものになる。
【００５３】
このオルガノシラザン化合物の配合量は、（Ｉ）成分としての微粉末シリカ１００質量部に対して１〜１００質量部であることが好ましく、より好ましくは１〜５０質量部である。１質量部未満であるとシリカ表面の処理度が十分でなく、異方導電性接着剤に対する離型性に悪影響を及ぼす場合がある。また、１００質量部より多くしてもこれらの効果に大きな改良性がみられないばかりか、硬化後のシリコーンゴムの機械的強度に悪影響を及ぼす上、実使用に当って、これらシラザンが反応する際に生ずるアンモニアによる危険性が大きくなる場合がある。
【００５４】
本発明においては、疎水性の微粉末シリカを、更にオルガノシラザン化合物で表面処理してもよい。この場合の処理方法としては、前記親水性シリカを混練時に表面処理した方法と同様にすればよく、シリカ表面シラノールの処理度が更に上がり、この組成物を硬化して得られるシリコーンゴムは、更に離型耐久性の優れたものになる。
【００５５】
本発明の（Ｈ）成分及び（Ｉ）成分は、ともにシリコーンゴムを補強する役割を有する。（Ｈ）成分である水分を除いた揮発分が０．５質量％以下であるカーボンブラックの方が、（Ｉ）成分であるＢＥＴ比表面積が５０ｍ2／ｇ以上である微粉末シリカよりも耐熱性向上への寄与はより大きいものの、室温での強度への寄与はより小さい。これら２種類の補強成分は、本発明の熱圧着シリコーンゴムシートの使用温度に応じて、適宜調整して使用することができる。また、（Ｈ）成分であるカーボンブラックと（Ｉ）成分である微粉末シリカの合計の配合量は、本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートの使用条件によって適宜調整することができるが、（Ｆ）成分であるオルガノポリシロキサン１００質量部に対して０〜５０質量部、好ましくは１〜３０質量部であり、特に３〜２０質量部であることが好ましい。５０質量部を超えると離型性が十分でなくなり、異方導電性接着剤と接着し易くなる。
【００５６】
（Ｊ）成分の硬化剤は、通常シリコーンゴムの硬化に使用されている公知の硬化剤の中から適宜選択することができる。これらの硬化剤の例としては、ラジカル反応に使用されるジ−ｔ−ブチルパーオキサイド、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）へキサン、ジクミルパーオキサイドなどの有機過酸化物、（Ｆ）成分のオルガノポリシロキサンが１分子中にアルケニル基を２個以上有する場合に対しては、付加反応硬化剤として、ケイ素原子に結合した水素原子を１分子中に２個以上含有するオルガノハイドロジェンポリシロキサン及び白金系触媒、（Ｆ）成分のオルガノポリシロキサンがシラノール基を２個以上含有する場合に対しては、縮合反応硬化剤として、アルコキシ基、アセトキシ基、ケトオキシム基、プロペノキシ基などの加水分解性の基を２個以上有する有機ケイ素化合物等が例示される。
【００５７】
これら硬化剤の添加量は通常のシリコーンゴムの場合と同様にすればよく、硬化有効量であればよいが、ラジカル反応の場合には、有機過酸化物を（Ｆ）成分１００質量部に対して０．１〜１０質量部使用することが好ましく、付加反応の場合には、オルガノハイドロジェンポリシロキサンのＳｉＨ基が（Ｆ）成分のアルケニル基に対して０．４〜４モルとなる量及び白金系触媒が１〜２，０００ｐｐｍとなる量使用することが好ましい。
【００５８】
第二のシリコーンゴム層を形成する上記第二のシリコーンゴム組成物には、本発明の目的を損なわない範囲で、必要に応じて、非反応性オルガノポリシロキサン、末端がヒドロキシシリルジメチル基で封鎖されたオルガノポリシロキサン等の粘度及び硬さを調節するための希釈剤、クレイ、炭酸カルシウム、けいそう土等の充填剤、コバルトブルー等の無機顔料、有機染料等の着色剤、炭酸亜鉛、炭酸マンガン、ベンガラ、酸化チタン、酸化セリウム等の耐熱性、難燃性向上剤、白金族金属系触媒等の難燃性向上剤、低分子シロキサンエステル、シラノール等の分散剤、シランカップリング剤、チタンカップリング剤等の接着付与剤、ゴムコンパウンドのグリーン強度を上げるテトラフルオロポリエチレン粒子や金属、金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物等の熱伝導率向上剤などを第二のシリコーンゴム組成物中のその他の成分として添加してもよい。ただし、前記（Ｈ）成分であるカーボンブラックと（Ｉ）成分である微粉末シリカを含めた無機充填材の添加は、異方導電性接着剤との非接着性を阻害するため、離型性の面からは添加量を少なくしたほうがよく、第二のシリコーンゴム組成物全体の２０質量％以下、特に０．１〜１５質量％とすることが好ましい。
【００５９】
なお、上記第一のシリコーンゴム組成物、第二のシリコーンゴム組成物の調製は、上記各成分をプラネタリーミキサー、ニーダー、二本ロール、三本ロール、バンバリーミキサー等の混合機を用いて混練りすればよいが、硬化剤は使用する直前に添加することが好ましい。
ここで、上記第一のシリコーンゴム組成物及び第二のシリコーンゴム組成物を硬化する際の硬化条件は適宜選定されるものであるが、加熱硬化条件としては、６０〜２００℃、特に８０〜１５０℃で３０秒〜６０分間、特に１分〜３０分間とすることが好ましい。
【００６０】
硬化後の第二のシリコーンゴム層のＪＩＳ  Ｋ  ６２５３  デュロメーター硬さ試験  タイプＡ硬度は２０以上であることが好ましく、特に３０〜９５であることが好ましい。硬度が２０未満であると、圧着時に、各被圧着部材に密着しやすくなる。
【００６１】
本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートにおいては、その両側（第二のシリコーンゴム層或いはこれと第一のシリコーンゴム層）の表面に凹凸形状を設け、粗面化することにより、密着防止剤としてのマイカやタルクなどの打粉をすることなく、シリコーンゴム特有の密着性を消失させることが可能となり、シリコーンゴムシート製造時の取り扱い性の問題や実使用時の各部材への密着の問題などを回避することができる。シリコーンゴムシート両表面の凹凸形状の程度は、中心線平均粗さＲａで０．４〜５．０μｍ、特に０．５〜３．０μｍの範囲であることが好ましく、最大高さＲｍａｘが５０μｍ以下、特に３０μｍ以下であることが好ましい。Ｒａが０．４μｍ未満では凹凸形状による密着性回避の効果が十分ではなく、Ｒａが５．０μｍより大きかったり、Ｒｍａｘが５０μｍより大きかったりすると、圧着時の圧力の伝わり方が不均一になるので好ましくない。
【００６２】
本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートは、前記第二のシリコーンゴム層の厚さが１〜５０μｍであり、第一のシリコーンゴム層の片面又は両面に第二のシリコーンゴム層を積層させたシリコーンゴムシート全体の厚さが０．１〜１０ｍｍであることが好ましく、特に第二のシリコーンゴム層の厚さが２〜３０μｍであり、前記第一のシリコーンゴム層の片面又は両面に第二のシリコーンゴム層を積層させたシリコーンゴムシート全体の厚さが０．１〜１０ｍｍであることが好ましい。第二のシリコーンゴム層の厚さが１μｍ未満では十分な離型性が発現しない場合があり、５０μｍを超えると熱伝導性が悪くなる場合がある。また、シリコーンゴムシート全体の厚さが０．１ｍｍ未満では、被圧着体に十分追従できないので圧力のかかり方が不均一になる場合があるし、１０ｍｍを超えると熱伝導性が悪くなる場合がある。
【００６３】
本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートを成形する方法としては、以下のような方法があるが、これらに限定されるものではない。
【００６４】
（１）第一のシリコーンゴム組成物を、中心線平均粗さ：Ｒａが０．４μｍ≦Ｒａ≦５．０μｍ、最大高さ：ＲｍａｘがＲｍａｘ≦５０μｍであるようにエンボス加工されたキャリアフィルム上にカレンダー成形あるいは押し出し成形・加熱硬化させた後、その上に第二のシリコーンゴム組成物をトルエン等の溶剤に溶解して液状化したものを、ナイフコート、コンマコート、バーコート、ディップコートなどの方法でコーティング成形し、そのまま大気中で溶剤除去・加熱硬化する方法。この場合、第二のシリコーンゴム組成物の粘度が低い場合には、トルエン等の溶剤に溶解せずにそのままコーティング成形してもよい。
【００６５】
（２）第一のシリコーンゴム組成物をトルエン等の溶剤に溶解して液状化し、上記と同様にエンボス加工されたキャリアフィルム上にコーティング成形・溶剤除去・加熱硬化させた後、その上に第二のシリコーンゴム組成物をトルエン等の溶剤に溶解して液状化したものを、ナイフコート、コンマコート、バーコート、ディップコートなどの方法でコーティング成形し、そのまま大気中で溶剤除去・加熱硬化する方法。この場合、第二のシリコーンゴム組成物の粘度が低い場合には、トルエン等の溶剤に溶解せずにそのままコーティング成形してもよい。
【００６６】
（３）第一のシリコーンゴム組成物をトルエン等の溶剤に溶解して液状化し、上記と同様にエンボス加工されたキャリアフィルム上にコーティング成形し、溶剤分を除去して未硬化のままとしておき、その上に更に第二のシリコーンゴム組成物をトルエン等の溶剤に溶解して液状化したものを、ナイフコート、コンマコート、バーコート、ディップコートなどの方法でコーティング成形し、そのまま大気中で溶剤除去した後、両層を加熱硬化する方法。この場合、第二のシリコーンゴム組成物の粘度が低い場合には、トルエン等の溶剤に溶解せずにそのままコーティング成形してもよい。
【００６７】
本発明においては、第一のシリコーンゴム層と第二のシリコーンゴム層間の接着を強固にするため、適宜プライマー処理などの方法を用いてもよい。また、第一のシリコーンゴム層の両面に第二のシリコーンゴム層を設け、３層構造とすることもできるが、この場合、２層ある第二のシリコーンゴム層の材質は異なるものであっても、同じものであってもよい。
【００６８】
本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートは、ガラス転移温度が２００℃以上である樹脂からなるクロス、又はガラスクロスからなる補強材により補強してもよい。
【００６９】
本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートは、１５０℃で３時間加熱した時の揮発分が０．２質量％以下、更には０．１質量％以下であることが好ましい。揮発分が０．２質量％を超えると揮発した成分が電極端子などの上に凝集して導通不良などの問題となる場合がある。このためには、高温でシリコーンゴムシートを熱処理することが好ましく、乾燥機や連続加熱炉の中で、１５０℃以上の温度で熱処理することが好ましい。
【実施例】
【００７０】
以下、実施例及び比較例を示し、本発明を具体的に説明するが、本発明は下記の実施例に制限されるものではない。なお、下記例において、比表面積はＢＥＴ法（Ｎ2ガス吸着）により測定した値を示し、平均粒径はレーザー回折・散乱法により測定した値を示し、揮発分は１５０℃で３時間加熱し、室温に戻してからの質量減少を測定した値を示す。
【００７１】
［実施例１］
ジメチルシロキサン単位９９．８５モル％及びメチルビニルシロキサン単位０．１５モル％からなる、平均重合度が８，０００のメチルビニルポリシロキサン１００質量部、良熱伝導性充填剤として酸化アルミニウム粉末：アルミナＡＬ−４５（昭和電工（株）製）４００質量部、比表面積が２００ｍ2／ｇであるシリカ微粉末：アエロジル２００（日本アエロジル（株）製）３０質量部、並びに下記式（１）で示されるα，ω−ジヒドロキシメチルポリシロキサン５質量部をニーダーを用いて均一に混練りし、１５０℃で２時間熱処理した。
【化１】
2005297234.tif 000002
【００７２】
冷却後、このシリコーンゴムコンパウンド１００質量部に、比表面積が１４０ｍ2／ｇの酸化セリウム粉末０．５質量部と、硬化剤として有機過酸化物：Ｃ−２３（信越化学工業（株）製）１．５質量部を、二本ロールを用いて添加混合した後、カレンダー成形機を用いて厚さが０．３０ｍｍとなるように分出ししてから、中心線表面粗さＲａが０．７μｍの片面エンボス加工された厚さ１２５μｍのＰＥＴフィルム上に転写し、１６０℃の加熱炉の中を５分間通して硬化させ、本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートの第一のシリコーンゴム層を作製した。
【００７３】
分子鎖両末端がビニルジメチルシリル基で封鎖され、平均重合度が１８０のジメチルポリシロキサン８５質量部、分子鎖両末端がビニルジメチルシリル基で封鎖され、平均重合度が５１０のジメチルポリシロキサン１０質量部、及びジメチルシロキサン単位９０．２５モル％及びメチルビニルシロキサン単位９．７５モル％からなる平均重合度が８，０００のメチルビニルポリシロキサン５質量部に、ＢＥＴ比表面積が約３００ｍ2／ｇである親水性シリカ（アエロジル３００：日本アエロジル（株）製商品名）５質量部を加え、更にヘキサメチルジシラザン１質量部と水０．５質量部を加えたものを、プラネタリーミキサー中で１時間、室温で混合した後、１６０℃、４時間加熱処理し、常温まで温度を下げた。
【００７４】
次いで、直鎖状のジメチルポリオルガノシロキサンを架橋した構造である平均粒径５μｍのシリコーンゴムパウダー３０質量部と比表面積が１４０ｍ2／ｇの酸化セリウム粉末０．５質量部を添加し、室温で１時間混合した後、３本ロールで更に混合した。
【００７５】
更に、シリコーンパウダー以外のジメチルポリシロキサンに対して塩化白金酸を白金質量で５０ｐｐｍ、反応抑制剤であるエチニルシクロヘキサノールをシリコーンパウダー以外のジメチルポリシロキサン１００質量部に対して０．２質量部、最後に下記式（２）
【化２】
2005297234.tif 000003
で表されるメチルハイドロジェンポリシロキサン８質量部を順次混合しながら加え、均一組成の第二のシリコーンゴム組成物を作製した。この組成物を１５０℃で５分間加熱・硬化し、更に２００℃で４時間ポストキュアーした後のＪＩＳ  Ｋ  ６２５３  デュロメーター硬さ試験によるタイプＡ硬度は４０であった。
【００７６】
上記第二のシリコーンゴム組成物をトルエン中に溶解して、４０質量％となるように調整し、第一のシリコーンゴム層上に、ナイフコーターにより厚さ１５μｍとなるようにコーティング成形した後、そのまま５０℃の加熱炉の中を５分間通過してトルエンを除去し、次いで１５０℃の加熱炉の中を５分間通して架橋・硬化させた。次いで２層構造のシリコーンゴムシートをＰＥＴフィルムから剥離し、２００℃で４時間ポストキュアーして、第二のシリコーンゴム層の厚さが１５μｍであって、第一のシリコーンゴム層と第二のシリコーンゴム層を合わせたシリコーンゴムシート全体の厚さが０．３１５ｍｍである本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートを作製した。
【００７７】
この２層構造のシリコーンゴムシートの表面粗さは、第一のシリコーンゴム層がＲａで０．７μｍ、Ｒｍａｘで５．５μｍ、第二のシリコーンゴム層がＲａで０．９μｍ、Ｒｍａｘで７．２μｍであった。また、１５０℃で３時間加熱したときの揮発分は０．１２質量％であった。
【００７８】
［実施例２］
ジメチルシロキサン単位９９．８５モル％及びメチルビニルシロキサン単位０．１５モル％からなる、平均重合度が８，０００のメチルビニルポリシロキサン１００質量部に、平均粒径２３ｎｍ、揮発分０．１０％でＢＥＴ比表面積が１３０ｍ2／ｇのアセチレンブラック５０質量部、ＢＥＴ比表面積が１２０ｍ2／ｇである疎水性シリカ（アエロジルＲ−９７２：商品名、Ｄｅｇｕｓｓａ社製）５質量部及び比表面積が１４０ｍ2／ｇの酸化セリウム粉末０．５質量部を二本ロールで配合し、混練りして均一化した。
【００７９】
このシリコーンゴムコンパウンド１００質量部に対して塩化白金酸のイソプロピルアルコール溶液（白金量２質量％）０．１質量部、反応抑制剤であるエチニルシクロヘキサノール０．１質量部、及び下記式（３）
【化３】
2005297234.tif 000004
で表されるメチルハイドロジェンポリシロキサン１．２質量部を添加し、二本ロールでよく混練りして第一のシリコーンゴム層となる硬化性シリコーンゴム組成物を調製した。
【００８０】
このシリコーンゴム組成物をカレンダー成形機を用いて厚さ０．２５ｍｍに分出ししてから、中心線表面粗さＲａが０．７μｍの片面エンボス加工された厚さ１２５μｍポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム上に転写した後、１６０℃の加熱炉の中を５分間通して硬化させ、本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートの第一のシリコーンゴム層を作製した。
【００８１】
第二のシリコーンゴム層の組成及び成形方法は実施例１と同じとして、第二のシリコーンゴム層の厚さを１５μｍ、第一のシリコーンゴム層と第二のシリコーンゴム層を合わせたシリコーンゴムシート全体の厚さを０．２６５ｍｍとして、実施例１と同様にポストキュアーされた積層構造のシリコーンゴムシートを作製した。
【００８２】
この２層構造のシリコーンゴムシートの表面粗さは、第一のシリコーンゴム層がＲａで０．７μｍ、Ｒｍａｘで５．５μｍ、第二のシリコーンゴム層がＲａで０．９μｍ、Ｒｍａｘで７．２μｍであった。また、１５０℃で３時間加熱したときの揮発分は０．０８質量％であった。
【００８３】
［実施例３］
実施例１と同様にして、厚さ０．２ｍｍの第一のシリコーンゴム層を作製した。
シリコーンパウダーとして、ポリオルガノシルセスキオキサン硬化微粉末である平均粒径が１０μｍのシリコンレジンパウダーを用いた以外は、すべて実施例１と同様にして第二のシリコーンゴム組成物を調製した。この組成物を１５０℃で５分間加熱・硬化し、更に２００℃で４時間ポストキュアーした後のＪＩＳ  Ｋ  ６２５３  デュロメーター硬さ試験によるタイプＡ硬度は５５であった。
【００８４】
第二のシリコーンゴム層の組成及び成形方法は実施例１と同じとして、第二のシリコーンゴム層の厚さを１０μｍ、第一のシリコーンゴム層と第二のシリコーンゴム層を合わせたシリコーンゴムシート全体の厚さを０．２１ｍｍとして、実施例１と同様にポストキュアーされた積層構造のシリコーンゴムシートを作製した。
【００８５】
この２層構造のシリコーンゴムシートの表面粗さは、第一のシリコーンゴム層がＲａで０．８μｍ、Ｒｍａｘで５．８μｍ、第二のシリコーンゴム層がＲａで１．２μｍ、Ｒｍａｘで９．３μｍであった。また、１５０℃で３時間加熱したときの揮発分は０．１０質量％であった。
【００８６】
［実施例４］
実施例１と同様にして、厚さ０．２ｍｍの第一のシリコーンゴム層を作製した。
ＢＥＴ比表面積が約３００ｍ2／ｇである親水性シリカを平均粒径２３ｎｍ、揮発分０．１０％でＢＥＴ比表面積が１３０ｍ2／ｇのアセチレンブラックに替えたこと以外は、すべて実施例１と同様にして第二のシリコーンゴム組成物を調製した。この組成物を１５０℃で５分間加熱・硬化し、更に２００℃で４時間ポストキュアーした後のＪＩＳ  Ｋ  ６２５３  デュロメーター硬さ試験によるタイプＡ硬度は４３であった。
【００８７】
第二のシリコーンゴム層の組成及び成形方法は実施例１と同じとして、第二のシリコーンゴム層の厚さを１５μｍ、第一のシリコーンゴム層と第二のシリコーンゴム層を合わせたシリコーンゴムシート全体の厚さを０．２１５ｍｍとして、実施例１と同様にポストキュアーされた積層構造のシリコーンゴムシートを作製した。
【００８８】
この２層構造のシリコーンゴムシートの表面粗さは、第一のシリコーンゴム層がＲａで０．８μｍ、Ｒｍａｘで５．８μｍ、第二のシリコーンゴム層がＲａで１．５μｍ、Ｒｍａｘで１２．３μｍであった。また、１５０℃で３時間加熱したときの揮発分は０．１０質量％であった。
【００８９】
［実施例５］
実施例１と同様にして、厚さ０．２ｍｍの第一のシリコーンゴム層を作製した。
実施例１と同じ第二のシリコーンゴム組成物をトルエン中に溶解して、１８質量％となるように調整し、ＰＥＴフィルムから剥離した第一のシリコーンゴム層の両面に、ディップコートにより厚さ１５μｍとなるようにコーティング成形した後、そのまま５０℃の加熱炉の中を５分間通過してトルエンを除去し、次いで１５０℃の加熱炉の中を５分間通して架橋・硬化させた。次いで、２００℃で４時間ポストキュアーして、第二のシリコーンゴム層の厚さが１５μｍであって、第一のシリコーンゴム層と第二のシリコーンゴム層を合わせたシリコーンゴムシート全体の厚さが０．３３０ｍｍである本発明の３層構造の熱圧着用シリコーンゴムシートを作製した。
【００９０】
この３層構造のシリコーンゴムシートの表面粗さは、一方の面がＲａで１．９μｍ、Ｒｍａｘで１８．５μｍ、もう一方の面がＲａで２．３μｍ、Ｒｍａｘで２０．１μｍであった。また、１５０℃で３時間加熱したときの揮発分は０．１１質量％であった。
【００９１】
［比較例１］
実施例１と同様にして、厚さ０．２ｍｍの第一のシリコーンゴム層を作製した。
シリコーンパウダーを添加しないこと以外は、すべて実施例１と同様にして第二のシリコーンゴム組成物を調製した。この組成物を１５０℃で５分間加熱・硬化し、更に２００℃で４時間ポストキュアーした後のＪＩＳ  Ｋ  ６２５３  デュロメーター硬さ試験によるタイプＡ硬度は４４であった。
【００９２】
第二のシリコーンゴム層の組成、成形方法及び厚さは実施例１と同じとして、実施例１と同様にポストキュアーされた積層構造のシリコーンゴムシートを作製した。
【００９３】
この２層構造のシリコーンゴムシートの表面粗さは、第一のシリコーンゴム層がＲａで０．８μｍ、Ｒｍａｘで５．８μｍ、第二のシリコーンゴム層がＲａで０．２μｍ、Ｒｍａｘで１．３μｍであった。また、１５０℃で３時間加熱したときの揮発分は０．１０質量％であった。
【００９４】
［比較例２］
実施例１と同様にして、厚さ０．２ｍｍの第一のシリコーンゴム層を作製した。
シリコーンパウダーに替えて、平均粒径１２μｍの結晶性シリカ粉末（クリスタライトＡ−１、龍森（株）製商品名）を５０質量部添加したこと以外は、すべて実施例１と同様にして第二のシリコーンゴム組成物を調製した。この組成物を１５０℃で５分間加熱・硬化し、更に２００℃で４時間ポストキュアーした後のＪＩＳ  Ｋ  ６２５３  デュロメーター硬さ試験によるタイプＡ硬度は４８であった。
【００９５】
第二のシリコーンゴム層の組成、成形方法及び厚さは実施例１と同じとして、実施例１と同様にポストキュアーされた積層構造のシリコーンゴムシートを作製した。
【００９６】
この２層構造のシリコーンゴムシートの表面粗さは、第一のシリコーンゴム層がＲａで０．８μｍ、Ｒｍａｘで５．８μｍ、第二のシリコーンゴム層がＲａで１．４μｍ、Ｒｍａｘで１３．１μｍであった。また、１５０℃で３時間加熱したときの揮発分は０．０９質量％であった。
【００９７】
［比較例３］
比較例１と同様にして、厚さ０．２ｍｍの第一のシリコーンゴム層の片面に厚さ１５μｍの第二のシリコーンゴム層が積層されたポストキュアー済みの二層構造のシリコーンゴムシートを作製した。
【００９８】
次いで、第二のシリコーンゴム層の表面をサンドブラスト加工して、表面に凹凸形状をつけ粗面化し、水洗してブラスト粉を除去した後、１５０℃で３０分間乾燥して、両面が粗面化された二層構造のシリコーンゴムシートを得た。
【００９９】
この２層構造のシリコーンゴムシートの表面粗さは、第一のシリコーンゴム層がＲａで０．８μｍ、Ｒｍａｘで５．８μｍ、第二のシリコーンゴム層がＲａで０．９μｍ、Ｒｍａｘで６．５μｍであった。また、１５０℃で３時間加熱したときの揮発分は０．１０質量％であった。
【０１００】
（製造工程の評価）
実施例１〜５及び比較例１〜３において、第二のシリコーンゴム層の成形工程数の比較を行なった。
【０１０１】
（出荷作業時の評価）
熱圧着用シリコーンゴムシートの出荷形態は、円筒状の巻き芯に巻いて出荷する場合が多い。この巻き作業時にゴムシート面の密着性があると、巻きがよれた時にシートとシートの間が密着してしまうため、修正が困難になり、大掛かりな機械装置で巻きがよれないように管理しないと、この形態での出荷ができなくなる。今回、比較のために、実施例１〜５及び比較例１〜３で作製した熱圧着用シリコーンゴムシートを人手で円筒状の巻き芯に巻いて比較した。
【０１０２】
（圧着試験評価）
熱圧着用シートは、熱圧着時にはみ出した異方導電性接着剤に直接接触することがある。そこで、この異方導電性接着剤に対しての非接着性を見るため、実施例１〜５及び比較例１〜３で作製した熱圧着用シリコーンゴムシートの下に、厚さ２２μｍの異方導電性膜を直接配し、その下に１００μｍ厚のポリイミドフィルムをはさむように圧着機に設置し、２４０℃に加熱した加圧ツールを用い、４ＭＰａの押し圧力で２０秒間圧着した。熱圧着用シリコーンゴムシートは、２層構造のシートの場合、加熱・加圧ツール側に第一のシリコーンゴム層が、異方導電性接着剤側に第二のシリコーンゴム層が配置するようにセットした。１回の圧着毎に、異方導電性膜を新しいものに代え、熱圧着用シリコーンゴムシートはそのまま同じ物を使用してこの圧着を繰り返し、異方導電性接着剤が熱圧着用シリコーンゴムシート側に接着するまでの回数を測定した。
【０１０３】
また、異方導電性接着剤への非接着性以外の耐久性を見るため、実施例１〜５、比較例１〜３で作製した熱圧着用シリコーンゴムシートの下に、５０μｍピッチの銅電極を設けた２枚のＦＰＣで厚さが２２μｍの異方導電性膜をはさんだもの（上下の銅電極の位置を合わせる）を置いてから圧着機に設置し、３４０℃に加熱した加圧ツールを用い、４ＭＰａの押し圧力で２０秒間圧着した。本試験では、異方導電性接着剤と熱圧着シートとの接着評価を前記のとおり別に評価するため、圧着時に２枚のＦＰＣの間から異方導電性接着剤がはみ出さないような構造とした。熱圧着用シリコーンゴムシートは、２層構造のシートの場合、加圧ツール側に第一のシリコーンゴム層が、ＦＰＣ側に第二のシリコーンゴム層が配置するようにセットした。この圧着を繰り返し、ＦＰＣへのシートの密着状態、及び均一な圧力で異方導電性接着剤を加熱硬化できなくなるまでの回数を測定した。この回数は上下のＦＰＣの銅電極の導通により確認した。
【０１０４】
表１に結果をまとめた。本発明による実施例１〜５の熱圧着用シリコーンゴムシートは、シリコーン特有の密着の問題がなく、異方導電性接着剤に対する非接着性も良好で、ゴム自体の耐久性も良好であることがわかる。しかも、第二のシリコーンゴム層中にシリコーンパウダーを充填したことで、従来からあるコーティング方式でその表面に簡便に凹凸形状を形成できることがわかる。
【０１０５】
比較例１のように、シリコーンパウダーを添加せずにナイフコートで積層を行なうと、その表面が平滑になり、シリコーン特有の密着性が発現してシリコーンゴムシートの製造・出荷時や、実使用の圧着工程で問題が発生する。
【０１０６】
比較例２のように、シリコーンパウダー以外である結晶性シリカ粉を充填することで、通常のナイフコートでシート表面に凹凸を形成できるが、異方導電性接着剤に対する非接着性が十分でなくなる。
【０１０７】
比較例３のように、シリコーンパウダーを添加せずにナイフコートで積層した後、サンドブラストで表面に凹凸形状を形成することもできるが、その製造工程が増え、コストが上昇してしまうという問題がある。
【０１０８】
【表１】
2005297234.tif 000005