(57)【要約】【課題】ツールを水平方向に移動させる駆動部の駆動力が小さくて良く、かつガイド軸とツール押圧部材との当接部の磨耗の発生が防止されると共に、ツール押圧部材による荷重を確実にツールに伝えることができ、ツールクリーニングが行える。【解決手段】ツール６が固定され上下動可能に設けられたツールホルダ１０、ツールホルダ１０を上下方向にガイドするツールホルダガイド部材１３を水平方向に駆動するツール駆動部１５、ツール駆動部１５の上方に設けられた基台２０、ツールホルダ１０を押圧するツール押圧部材２７、ツール押圧部材２７を上下駆動させる上下駆動手段２３、上下駆動手段２３を保持しツール押圧部材２７が上下動可能に設けられた移動体２１、基台２０に設けられツール駆動部１５に追従して移動体２１を移動させる押圧部材駆動部２２、ダイ２を載置するダイステージ１の近傍に設けられたツールクリーニングステージ３０とを備えている。【選択図】      図１
2005072033.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダイを載置するダイステージと、インナーリードにダイをボンディングするツールと、このツールが固定され上下動可能に設けられたツールホルダと、前記ツールを上方に付勢するばねと、前記ツールホルダを上下方向にガイドするツールホルダガイド部材と、このツールホルダガイド部材を水平方向に駆動するツール駆動部と、このツール駆動部の上方に設けられた基台と、前記ツールホルダを押圧するツール押圧部材と、このツール押圧部材を上下駆動させる上下駆動手段とを備えたインナーリードボンディング装置において、
前記上下駆動手段を保持し前記ツール押圧部材が上下動可能に設けられた移動体と、前記基台に設けられ前記ツール駆動部に追従して前記移動体を移動させる押圧部材駆動部と、前記ダイステージの近傍に設けられたツールクリーニングステージとを備えたことを特徴とするインナーリードボンディング装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、キャリアテープに設けられたインナーリードにダイをボンディングするインナーリードボンディング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のインナーリードボンディング装置は、インナーリードにダイをボンディングするツールと、このツールが固定され上下動可能に設けられたツールホルダと、前記ツールを上方に付勢するばねと、前記ツールホルダを上下方向にガイドするツールホルダガイド部材と、このツールホルダガイド部材を水平方向に駆動する駆動部と、この駆動部と別個に設けられた基台と、この基台に上下動可能に設けられ、前記ツールホルダを押圧するツール押圧部材と、このツール押圧部材を上下駆動させる上下駆動手段とを備え、ツール押圧部材の押圧面と、ツールを保持したツールホルダの摺接面とは、ツールホルダを上方に付勢するばねの付勢力で常に摺接している。（例えば、特許文献１参照）
【０００３】
またボンディング装置として、ツールクリーニングステージをダイステージの近傍に設け、インナーリードにダイをボンディングする動作を一定回数行った後、ツールをツールクリーニングステージに移動させてクリーニングを行うものも知られている。しかし、このボンディング装置は、特許文献１のように、ツールとこのツールを上下移動させるツール押圧部材とが別体に構成されたものではない。
【０００４】
【特許文献１】
特開昭６３−２３２３４５号公報（特公平８−３１４９６号公報）
【特許文献２】
特開平４−３４３２４１号公報（特許第２８２７０６０号公報）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記特許文献１は、ツール押圧部材の押圧面とツールホルダの摺接面とは、ばねの付勢力で常に摺接しており、ツールホルダが取付けられた移動部（ＸＹ駆動部）には、前記摺接部の荷重が常時加わっているので、移動部を移動させるために大きな駆動力を必要とする。また移動部の移動によって摺接部は摩擦抵抗により磨耗し易い。またツール押圧部材は、基台に上下動可能に設けられており、水平移動（ＸＹ軸方向移動）ができないので、ダイステージの近傍にツールクリーニングステージを設置した場合、ツール駆動部によってツールをツールクリーニングステージの上方に移動させても、ツール押圧部材によってツールを上下駆動させることができない。
【０００６】
本発明の課題は、ツールを水平方向に移動させる駆動部の駆動力が小さくて良く、かつ摺接部の磨耗が防止されると共に、ツール押圧部材による荷重を確実にツールに伝えることができ、ツールクリーニングが行えるインナーリードボンディング装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための本発明の手段は、ダイを載置するダイステージと、インナーリードにダイをボンディングするツールと、このツールが固定され上下動可能に設けられたツールホルダと、前記ツールを上方に付勢するばねと、前記ツールホルダを上下方向にガイドするツールホルダガイド部材と、このツールホルダガイド部材を水平方向に駆動するツール駆動部と、このツール駆動部の上方に設けられた基台と、前記ツールホルダを押圧するツール押圧部材と、このツール押圧部材を上下駆動させる上下駆動手段とを備えたインナーリードボンディング装置において、
前記上下駆動手段を保持し前記ツール押圧部材が上下動可能に設けられた移動体と、前記基台に設けられ前記ツール駆動部に追従して前記移動体を移動させる押圧部材駆動部と、前記ダイステージの近傍に設けられたツールクリーニングステージとを備えたことを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】
本発明のインナーリードボンディング装置の一実施の形態を図１乃至図３により説明する。図１に示すように、ダイステージ１に載置されたダイ２のバンプ３とキャリアテープ４に設けられたインナーリード５とは、ツール６によってボンディングされる。
【０００９】
ツール６はツールホルダ１０に固定されており、ツールホルダ１０にはロードセル１１を介してガイド軸１２が固定されている。ガイド軸１２は、ツールホルダガイド部材１３に上下動可能に設けられ、ガイド軸１２とツールホルダガイド部材１３には、ガイド軸１２のストッパ部１２ａをツールホルダガイド部材１３の下面方向に付勢するようにばね１４が掛けられている。ツールホルダガイド部材１３は、ＸＹ軸方向に駆動されるツール駆動部１５に固定されている。
【００１０】
ツール駆動部１５の上方に設けられた基台２０の下面には、垂直下方に伸びた移動体２１をＸＹ軸方向に駆動させる押圧部材駆動部２２が固定されており、移動体２１には、エンコーダ等の位置検出器２３を有するサーボモータ２４が軸線を垂直にして固定されている。サーボモータ２４の出力軸には、ねじ軸２５が連結されており、ねじ軸２５にはナット２６が螺合されている。ナット２６には、前記ガイド軸１２の上方に配設されたツール押圧部材２７が固定されている。そこで、サーボモータ２４を駆動させると、ねじ軸２５が回転してナット２６を介してツール押圧部材２７が上下動させられる。ここで、押圧部材駆動部２２は、移動体２１がツール駆動部１５に追従して同一方向に同一移動量で移動するように、図示しない制御手段で制御されて駆動されるようになっている。
【００１１】
前記ダイステージ１の近傍には、ツール６をクリーニングするツールクリーニングステージ３０が設けられており、ツールクリーニングステージ３０の上面には、例えばワイヤブラシ又は砥石が設けられている。ツールクリーニングステージ３０は、図示しない回転駆動手段によって回転駆動される。
【００１２】
次に作用について説明する。ツール６が図４に示す第１ボンディング部位４０の上方に位置した状態で、サーボモータ２４が駆動され、ツール押圧部材２７が下降する。このツール押圧部材２７の下降によってガイド軸１２が下降させられ、ツール６もガイド軸１２と共に下降する。そして、インナーリード５がバンプ３に圧接すると、ロードセル１１の荷重は上昇し、ロードセル１１の出力が予め設定されたボンディング荷重になると、サーボモータ２４の回転は停止する。そこで、ツール６の加圧力と熱により、図４に示す第１ボンディング部位４０のバンプ３はインナーリード５に接続される。
【００１３】
一定時間後、サーボモータ２４は逆回転し、ツール押圧部材２７は上昇し、ツール６はばね１４の付勢力でツール押圧部材２７に追従して上昇してキャリアテープ４より離間する。その後、ガイド軸１２のストッパ部１２ａがツールホルダガイド部材１３に当接してツール６の上昇は停止する。この状態より更にサーボモータ２４が回転してガイド軸１２とツール押圧部材２７との隙間が所定の隙間になって図２の状態となると、サーボモータ２４の回転は停止し、ツール押圧部材２７及びツール６の上昇も停止する。
【００１４】
次にツール駆動部１５が駆動され、また移動体２１は押圧部材駆動部２２によってツール駆動部１５に追従して駆動され、ツール６は図４に示す第２ボンディング部位４１の直上に位置決めされ、ツール押圧部材２７もガイド軸１２と共に移動させられる。続いて、前記第１ボンディング部位４０へのボンディング動作と同様に、サーボモータ２４が正回転及び逆回転して第２ボンディング部位４１のインナーリード５にダイ２をボンディングする。
【００１５】
このように、ツール駆動部１５が駆動される時は、移動体２１も共に移動してボンディングするので、ツール押圧部材２７による荷重を最適な状態でツール６に伝えることができる。またガイド軸１２はツール押圧部材２７より離れており、両者１２と２７とは摺接しないので、ツール駆動部１５の駆動力は小さくて良いと共に、ガイド軸１２とツール押圧部材２７との当接部の磨耗等は発生しない。
【００１６】
前記したように、インナーリード５をダイ２にボンディングする動作を一定回数行った後、ツール駆動部１５が駆動されてツール６はツールクリーニングステージ３０の上方に位置させられる。また前記したように移動体２１が押圧部材駆動部２２によってツール駆動部１５に追従して駆動され、ツール押圧部材２７もガイド軸１２と共に移動する。そして、サーボモータ２４が駆動され、前記した動作によってツール６は下降して図３に示すようにツールクリーニングステージ３０に圧接する。
【００１７】
そして、ツールクリーニングステージ３０が回転及びツール駆動部１５と共に押圧部材駆動部２２によって移動体２１もＸＹ軸方向に追従して移動させられ、ツール６はクリーニングされる。クリーニング後、サーボモータ２４が逆回転し、ツール６及びツール押圧部材２７は上昇し、続いてツール駆動部１５と共に押圧部材駆動部２２によって移動体２１も図１に示すダイステージ１の上方に移動させられる。そして、前記したインナーリード５をダイ２にボンディングする動作を行う。
【００１８】
このように、ツール押圧部材２７はツール６に追従して移動するので、ダイステージ１より離れた位置に設置されたツールクリーニングステージ３０にツール６と共にツール押圧部材２７を移動させることができ、ツール押圧部材２７によってツール６をツール押圧部材２７に圧接させてクリーニングを行うことができる。
【００１９】
なお、上記実施の形態においては、ロードセル１１をツールホルダ１０とガイド軸１２間に設けたが、ロードセル１１をガイド軸１２の上面又はツール押圧部材２７の下面若しくはツール押圧部材２７の中間部に設けてもよい。
【００２０】
【発明の効果】
本発明は、ダイを載置するダイステージと、インナーリードにダイをボンディングするツールと、このツールが固定され上下動可能に設けられたツールホルダと、前記ツールを上方に付勢するばねと、前記ツールホルダを上下方向にガイドするツールホルダガイド部材と、このツールホルダガイド部材を水平方向に駆動するツール駆動部と、このツール駆動部の上方に設けられた基台と、前記ツールホルダを押圧するツール押圧部材と、このツール押圧部材を上下駆動させる上下駆動手段とを備えたインナーリードボンディング装置において、前記上下駆動手段を保持し前記ツール押圧部材が上下動可能に設けられた移動体と、前記基台に設けられ前記ツール駆動部に追従して前記移動体を移動させる押圧部材駆動部と、前記ダイステージの近傍に設けられたツールクリーニングステージとを備えた構成よりなるので、ツールを水平方向に移動させる駆動部の駆動力が小さくて良く、かつガイド軸とツール押圧部材との当接部の磨耗の発生が防止されると共に、ツール押圧部材による荷重を確実にツールに伝えることができ、ツールクリーニングが行える。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のインナーリードボンディング装置の一実施の形態を示す側面図である。
【図２】ツール移動時を示す側面図である。
【図３】ツールクリーニング状態を示す側面図である。
【図４】キャリアテープの概略平面図である。
【符号の説明】
１    ダイステージ
２    ダイ
３    バンプ
４    キャリアテープ
５    インナーリード
６    ツール
１０    ツールホルダ
１１    ロードセル
１２    ガイド軸
１３    ツールホルダガイド部材
１４    ばね
１５    ツール駆動部
２０    基台
２１    移動体
２２    押圧部材駆動部
２３    位置検出器
２４    サーボモータ
２７    ツール押圧部材
３０    ツールクリーニングステージ
４０    第１ボンディング部位
４１    第２ボンディング部位
【図１】
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【図２】
2005072033.tif 000004
【図３】
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【図４】
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