(57)【要約】      （修正有）【課題】  銅表面の初期の不動態化を必要とせず、銅表面に接着し、８５℃と８５％相対湿度の環境での加速エイジング試験、熱サイクル性試験、はんだ暴露抵抗性試験でも安定性を提供する抵抗器組成物、さらに温度抵抗率を有するように設計した導電性相の提供。【解決手段】  ２５０℃よりも高いガラス転移温度、および２％以下の吸水率を有するポリマーと、１種または複数の金属もしくは金属化合物と、有機溶媒とを含む組成物であり、該ポリマーがポリノルボルネン、ポリアリレートおよびそれらの混合物からなる群から選択される。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
２５０℃よりも高いガラス転移温度、および２％以下の吸水率を有するポリマーと、
１種または複数の金属もしくは金属化合物と、
有機溶媒とを含むことを特徴とする組成物。
【請求項２】
前記ポリマーが、ポリノルボルネン、ポリアリールエートおよびそれらの混合物からなる群から選択されることを特徴とする請求項１に記載の組成物。
【請求項３】
前記ガラス転移温度が２９０℃よりも高いことを特徴とする請求項１に記載の組成物。
【請求項４】
前記ガラス転移温度が３１０℃よりも高いことを特徴とする請求項１に記載の組成物。
【請求項５】
前記吸水率が１％以下であることを特徴とする請求項１に記載の組成物。
【請求項６】
前記吸水率が１％以下であることを特徴とする請求項３に記載の組成物。
【請求項７】
前記ポリマーが、式Ｉの分子単位を含むポリノルボルネンであることを特徴とする請求項２に記載の組成物。
【化１】
2005240020.tif 000004
（式中、Ｒ１は独立に水素および（Ｃ１〜Ｃ１０）アルキルから選択される。）
【請求項８】
前記ポリマーが、式ＩＩの分子単位をさらに含むポリノルボルネンであることを特徴とする請求項７に記載の組成物。
【化２】
2005240020.tif 000005
（式中、Ｒ２は、エポキシド、アルコール、シリルエーテル、カルボン酸、エステル、無水物を含む群から選択される、架橋または網目形成反応に関与することの可能なペンダント基であり、式Ｉに対する式ＩＩの分子単位のモル比は０から約０．４よりも大きい。）
【請求項９】
前記ポリマーがポリアリールエートであることを特徴とする請求項４に記載の組成物。
【請求項１０】
前記ポリマーが、１種または複数の架橋剤と架橋することのできる部位を含むことを特徴とする請求項１に記載の組成物。
【請求項１１】
ポリヒドロキシスチレンを含む１種または複数の架橋剤をさらに含むことを特徴とする請求項８に記載の組成物。
【請求項１２】
金属接着促進剤をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の組成物。
【請求項１３】
前記金属促進剤が、フェノキシ樹脂、ポリヒドロキシフェニルエーテル、２−メルカプトベンズイミダゾールからなる群から選択されることを特徴とする請求項１２に記載の組成物。
【請求項１４】
ヒドロキシルキャッピング剤をさらに含むことを特徴とする請求項１０に記載の組成物。
【請求項１５】
前記ヒドロキシルキャッピング剤がブロック化されたイソシアナート剤であることを特徴とする請求項１４に記載の組成物。
【請求項１６】
抵抗器および個々のコンデンサーもしくは平面コンデンサーから選択される電子素子を製造するのに使用されることを特徴とする請求項１に記載の組成物。
【請求項１７】
前記電子素子が、相対湿度試験に関して±５％未満の抵抗率変化％を有する抵抗器であることを特徴とする請求項１６に記載の組成物。
【請求項１８】
前記抵抗器が、ＥＳＤ試験に関して±１％未満の抵抗率変化％を示すことを特徴とする請求項１７に記載の組成物。
【請求項１９】
前記電子素子が、５％未満の損失％を有する個々のコンデンサーもしくは平面コンデンサーであることを特徴とする請求項１６に記載の組成物。
【請求項２０】
導電性接着剤を調製するのに使用されることを特徴とする請求項１に記載の組成物。
【請求項２１】
１８０℃未満の温度の硬化温度を有するか、または短い赤外による硬化で約２７０℃までの最高温度を用いて硬化することができることを特徴とする請求項１に記載の組成物。
【請求項２２】
２５０℃よりも高いガラス転移温度、および２％以下の吸水率を有するポリマーと、有機溶媒とを含むことを特徴とする組成物。
【請求項２３】
前記ポリマーが、ポリノルボルネン、ポリアリールエート、およびその混合物からなる群から選択されることを特徴とする請求項２２に記載の組成物。
【請求項２４】
前記組成物は、１８０℃未満の温度の硬化温度を有するか、または短い赤外による硬化で約２７０℃までの最高温度を用いて硬化することができ、かつ、封止材として使用されるか、または半導体ストレス緩和剤、相互接続誘電体、保護コーティング結合パッドの再配分、はんだバンプアンダーフィルから選択される集積回路兼ウェーハレベルパッケージとして使用されることを特徴とする請求項２２に記載の組成物。
【請求項２５】
２５０℃よりも高いガラス転移温度、および２％以下の吸水率を有するポリマーと、１種または複数の金属もしくは金属化合物と、有機溶媒とを混合してＰＴＦ抵抗器組成物を提供すること、
前記ＰＴＦ抵抗器組成物を基板に塗工すること、
前記塗工したＰＴＦ抵抗器組成物を硬化することを含むことを特徴とするＰＴＦ抵抗器を製造する方法。
【請求項２６】
前記ポリマーが、ポリノルボルネン、ポリアリールエートおよびその混合物からなる群から選択されることを特徴とする請求項２５に記載の方法。
【請求項２７】
前記塗工したＰＴＦ抵抗器組成物の硬化が、１８０℃未満の硬化温度、または短い赤外による硬化での約２７０℃までの最高温度を含むことを特徴とする請求項２５に記載の方法。
【請求項２８】
前記ポリマーが、２９０℃よりも高いガラス転移温度を有することを特徴とする請求項２５に記載の方法。
【請求項２９】
前記ポリマーが、１％以下の吸水率を有することを特徴とする請求項２５に記載の方法。
【請求項３０】
前記ポリマーが、式Ｉの分子単位を含むポリノルボルネンであることを特徴とする請求項２６に記載の方法。
【化３】
2005240020.tif 000006
（式中、Ｒ１は独立に水素および（Ｃ１〜Ｃ１０）アルキルから選択される。）
【請求項３１】
前記ポリマーが、式ＩＩの分子単位をさらに含むポリノルボルネンであることを特徴とする請求項３０に記載の方法。
【化４】
2005240020.tif 000007
（式中、Ｒ２は架橋可能なエポキシ基であり、式Ｉに対する式ＩＩの分子単位のモル比は０より大きくから約０．４まで。）
【請求項３２】
前記ポリマーがポリアリールエートであることを特徴とする請求項２６に記載の方法。
【請求項３３】
ＰＴＦ抵抗器および個々の抵抗器もしくは平面抵抗器からなる群から選択される電子素子であって、前記電子素子が、
２５０℃よりも高いガラス転移温度、および２％以下の吸水率を有するポリマーと、１種または複数の金属もしくは金属化合物と、有機溶媒とを混合して未硬化の組成物を提供すること、
前記未硬化の組成物を基板に塗工すること、
前記塗工した組成物を硬化することを含む方法によって調製された硬化した組成物を含むことを特徴とする電子素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、組成物と、先端材料を製造するためのその組成物の使用とに関する。詳細には、組成物は電子デバイス構造の製造および他の電子工学的用途に使用される。
【背景技術】
【０００２】
電子回路には、抵抗器、コンデンサー、インダクター、導電体、熱伝導体、接着剤、封止材など多くの電子素子が必要である。これらの素子は、いわゆるポリマー厚膜ペーストを加工するスクリーンもしくはステンシル印刷技術を用いて、または適切な組成物のスピンコーティングもしくはキャスティングによって、セラミックもしくはポリマー材料から製造することができる。セラミックペーストは一般にセラミック基板上に印刷され、続いて９００℃またはそれ以上の温度で焼成してセラミック素子が形成される。セラミックペースト用のバインダーはガラスであり、組成物に使用される機能性充填材を封止する。ポリマーベースの材料は一般に、熱可塑性もしくは熱硬化性ポリマー材料からなる有機基板上に印刷される。これらのポリマーベース基板は、熱酸化安定性および寸法安定性を保つために一般に２００℃以下から３００℃の加工温度を必要とする。ポリマー電子素子用のバインダーは一般に熱硬化性エポキシおよびフェノールポリマーである。
【０００３】
受動電子素子（受動体）を印刷回路基板、一般的にはＦＲ４基板の中に埋め込むか、または集積化することは最近の傾向である。埋め込まれた受動体では、回路のサイズとコストを減らし、層数を減らし、高周波性能を向上させ、はんだ接合を省いて信頼性を向上させ、小さな電子デバイスの機能性を増加させる可能性がある。しかし、１個または複数の欠陥がある受動素子が埋め込まれた多層回路基板を手直しする選択肢は限られているので、埋め込まれた受動体は高い性能基準に適合し、高い歩留まりで製造しなければならない。したがって、表面実装受動体、特に抵抗器、コンデンサー、インダクターを埋め込み受動体へ移行するには大きな技術的および経済的な障害がある。
【０００４】
ポリマー厚膜（ＰＴＦ）抵抗器の組成物はスクリーン印刷可能な液体またはペーストであり、電子用途に抵抗素子を形成するのに使用される。ＰＴＦ抵抗器の組成物は、バインダー系と、導電性材料（通常、微粉の形態）と、適切な有機溶媒とを含む。現在、市場で入手可能な主要なＰＴＦ抵抗器ペーストは、炭素またはグラファイトの粉体を導電性相として有する、熱硬化性または熱可塑性樹脂ペーストである。炭素を含有するＰＴＦ抵抗器ペーストは、スクリーン印刷、ステンシル印刷、または他の技術を用いて適切な基板上に塗工することができる。乾燥プロセスに続いて、印刷されたペーストは、比較的低い温度で硬化される。硬化したポリマーバインダーは収縮して導電性粒子を互いに圧縮し、粒子間に電気的な伝導性をもたらす。系の抵抗率は、それらの粒子サイズと充填量と同様に、ポリマーバインダーに組み込まれた材料の抵抗率に依存する。
【０００５】
ＰＴＦ抵抗器の抵抗率は、導電性粒子間の距離に大きく依存する。その結果、ＰＴＦ抵抗器には、高い温度と高い湿度環境で抵抗率の変化が認められない安定性が必要である。ＰＴＦ抵抗器の安定性は、８５℃と８５％相対湿度の環境での加速エイジング試験、熱サイクル性能試験、はんだ暴露抵抗性試験を含み、いくつかの知られた試験測定法で測定することができる。高性能のＰＴＦ抵抗器は、これらの試験の後、あったとしても大きな抵抗率の変化は示さないであろう。
【０００６】
また、ＰＴＦ材料はウェーブおよびリフローはんだ作業での複数回のはんだに暴露され得る。これらの熱振幅も、特に銅の上に直接印刷されるとき、従来のＰＴＦ抵抗器の不安定性の原因である。
【０００７】
Ｘｉらは、高温溶融金属、低温溶融金属、ポリマーバインダー系、および溶媒を含むＰＴＦ抵抗器組成物について述べている（例えば、特許文献１参照）。好ましいポリマー結合系はエポキシベース系である。記載されているように、抵抗率の熱係数（ＴＣＲ）は、バインダーの熱膨張に依存し、大部分の用途には低いＴＣＲが必要である。
【０００８】
現在の多くの抵抗器組成物は銅への接着が弱く、したがって抵抗器ペーストのスクリーン印刷の前に、銅の導体線の予備処理が必要である。現在、銅表面を不動態化して、これにより銅表面の酸化の問題を避けるためには、高価な銀浸漬プロセスが使用される。追加されたプロセスステップは時間がかかりコスト高になる。その結果、最初の銅表面の不動態化を必要としない抵抗器組成物の開発がやはり必要とされている。
【０００９】
【特許文献１】米国特許第５，９８０，７８５号明細書
【特許文献２】米国特許第４，８１４，１０７号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
このように、本発明の目的は、銅表面の初期の不動態化を必要とせず、銅表面に接着し、８５℃と８５％相対湿度の環境での加速エイジング試験、熱サイクル性能試験、はんだ暴露抵抗性試験でも安定性を提供する抵抗器組成物を提供することである。さらに本発明の他の目的は、低い温度抵抗率を有するように設計した導電性相を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、２５０℃よりも高いガラス転移温度、および２％以下の吸水率を有するポリマーと、１種または複数の金属もしくは金属化合物と、有機溶媒とを含む組成物に関する。ポリマーは、１種または複数の架橋剤と架橋することのできる部位を任意選択的に含むことができる。
【００１２】
また、本発明は、２５０℃よりも高いガラス転移温度、２％またはそれ以下の吸水率、および約２０から６５ｐｐｍ／℃の間の熱膨張率を有するポリマーと、有機溶媒とを含む組成物に関する。多くの組成物は、１８０℃未満の硬化温度を有するであろう。
【００１３】
また、本発明は、２５０℃よりも高いガラス転移温度、２％以下の吸水率を有するポリマーと、１種または複数の金属もしくは金属化合物と、有機溶媒とを混合して、硬化させていない組成物を提供し、硬化させていない組成物を基板上に塗工し、塗工した組成物を硬化することを含む電子素子の製造方法に関する。
【００１４】
このポリマーを含む本発明の組成物は、抵抗器、個別のもしくは平面状のコンデンサー、インダクター、電気的および熱的な導体などの電子素子の製造に使用することができる。また、組成物は、封止材、導電性接着剤、および集積回路実装材料など多くの電子工学的用途に使用することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明は、２５０℃よりも高いガラス転移温度、２％以下の吸水率、および約２０から６５ｐｐｍ／℃の間の熱膨張率を有するポリマーと、１種または複数の金属もしくは金属化合物と、有機溶媒とを含む組成物に関する。吸水率の量は、当業者には既知の方法であるＡＳＴＭ  Ｄ−５７０によって決定される。用語「ガラス転移温度」は、ポリマー化学の技術分野の当業者であればよく理解されており、よく知られた手順によって決定される。
【００１６】
また、本出願人は２９０℃よりも高いガラス転移温度、または３１０℃よりも高いポリマーは、硬化した組成物、すなわち好ましい特性を有する材料を提供する傾向があることを観察した。
【００１７】
また、本出願人は、１．５％以下、または１％以下の吸水率を有する組成物に使用されるポリマーは、好ましい特性を有する硬化した材料を提供する傾向があることを観察した。
【００１８】
ある用途において、本発明の組成物に架橋可能なポリマーを使用することは、対応する架橋することができないポリマーよりも重要な性能上の利点を提供することができる。ポリマーが熱硬化の間に架橋剤と架橋することのできる能力により、電子的なコーティングに熱的抵抗性と湿度抵抗性を向上させることができる。得られる架橋したポリマーは、バインダーマトリックスを安定化し、硬化したコーティング組成物のＴｇを高め、化学抵抗性を高め、または熱的安定性を高めることができる。また、架橋基を含まないポリマーに比べると、わずかに低いＴｇ、またはわずかに高い湿度吸収性も許容することができる。
【００１９】
架橋可能なポリマーと一緒に使用できる熱架橋剤の例には、ブロック化イソシアナート剤などのヒドロキシル−キャッピング剤、ポリヒドロキシスチレン、ノボラック樹脂、ビスフェノール、ジアミン、クレゾールホルムアルデヒド樹脂が含まれる。好ましい架橋剤は、ビスフェノールエポキシ樹脂、フェノールと芳香族炭化水素のエポキシ化コポリマー、エピクロルヒドリンとフェノールホルムアルデヒドのポリマー、１，１，１−トリス（ｐ−ヒドロキシフェニル）エタントリグリシジルエーテルからなる群から選択される。
【００２０】
一つの実施形態では、組成物はポリノルボルネン（ＰＮＢ）、ポリアリールエート(polyarylate)（ＰＡ）、およびその混合物からなる群から選択されるポリマーを含む。この組成物に使用されるＰＮＢポリマーまたはＰＡポリマーは、１％以下の吸水率を有することが好ましい。
【００２１】
他の実施形態では、この組成物は、２９０℃よりも高いガラス転移温度、および１％以下の吸水率を有するＰＮＢポリマーまたはＰＡポリマーを含む。
【００２２】
本発明の組成物は、式Ｉの分子単位で示される架橋可能な部位のないＰＮＢポリマーを含むことができる。
【００２３】
【化１】
2005240020.tif 000002
【００２４】
式中、Ｒ１は独立して水素および（Ｃ１〜Ｃ１０）アルキルから選択される。用語「アルキル」は、直鎖、分岐鎖、または環状の配置の１個から１０個の炭素を有するアルキル基を含む。アルキル基の例には、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチルを含む。
【００２５】
本発明の組成物は、式ＩＩの分子単位で示した架橋可能な部位を有するＰＮＢポリマーを含むことができる。
【００２６】
【化２】
2005240020.tif 000003
【００２７】
式中、Ｒ２は架橋または網目を形成する反応に関与することの可能なペンダント基である。例には、エポキシド、アルコール、シリルエーテル、カルボン酸、ｔｅｒｔ−ブチルエステルなどのエステル、無水物を含み、ＰＮＢポリマー中の式Ｉに対する式ＩＩの分子単位のモル比は０より大きくから約０．４まで、または０よりも大きくから約０．２まで。ＰＮＢポリマー中の架橋可能なエポキシ基は、組成物が硬化されるとき、ポリマーが本発明の組成物中の１種または複数の架橋剤と架橋することのできる部位を提供する。硬化した材料を改善するには、ＰＮＢポリマー中に少量の架橋可能な部位しか必要としない。例えば、組成物は、上で定義したモル比が０より大きくから約０．１までのＰＮＢポリマーを含むことができる。
【００２８】
また、本出願人は、組成物中に架橋可能なＰＮＢポリマーを使用することによって、対応する架橋することができないＰＮＢポリマーよりも重要な性能上の利点を提供することができることを観察した。ＰＮＢポリマーが熱硬化の間に架橋剤と架橋することのできる能力は、電子的なコーティングに熱的抵抗性と湿度抵抗性の向上を提供する。得られる架橋したポリマーは、バインダーマトリックスを安定化し、硬化したコーティング組成物のＴｇを高め、化学抵抗性を高め、または熱的安定性を高めることができる。
【００２９】
組成物は有機溶媒を含む。ポリマーと共に、有機溶媒は、組成物が微細に分離されて固体として分散させるのに役立つ。したがって、有機溶媒は、固体が十分に安定して分散可能なものでなければならない。また、溶媒は、分散物に良好なスクリーン印刷の用途特性を提供するように、十分に高い沸点をもたなければならない。
【００３０】
本出願人は、ある種の有機溶媒が特に本発明の組成物に適していることを見出した。溶媒の例には、エーテルアルコール、環状アルコール、酢酸エーテル、エーテル、酢酸塩、環状ラクトン、芳香族エステルからなる群から選択される。溶媒の選択は、組成物に使用されるポリマーに部分的に依存する。一般に、組成物中のポリマーが主としてＰＮＢであれば、Ｄｏｗｎｏｌ（登録商標）ＰＰＨが好ましい溶媒であり、組成物中のポリマーが主としてＰＡであれば、メチルベンゾアートが好ましい溶媒である。無論、溶媒の任意の混合物も本発明の組成物に使用することができる。
【００３１】
厚膜ペーストの大部分は、スクリーン印刷、ステンシル印刷、分配、フォトイメージ化または予め形成したパターン中へのドクターブレード塗工、または当業者の知る他の技術によって基板に塗工される。これらの組成物は、プレス、積層、押し出し、成形等を含んで、複合材産業で使用される他の任意の技術によって形成することもできる。しかし、厚膜組成物の大部分は、スクリーン印刷によって基板に塗工される。したがって、それらはスクリーンを容易に通過できるように適切な粘度をもたなければならない。さらに、それらは、スクリーン印刷されると速やかに固定され、それによって良好な解像度を与えるように、シキソトロピック（揺変性）でなければならない。流動特性は重要であるが、有機溶媒は、固体と基板への適切な濡れ性、良好な乾燥速度、乱暴な取り扱いに十分耐える乾燥膜の強度を提供しなければならない。
【００３２】
ペーストまたは液状の組成物の硬化は、対流加熱、強制空気対流加熱、気相凝縮加熱、伝導加熱、赤外加熱、誘導加熱、または当業者によって知られた他の技術を含む任意の多くの標準的な硬化方法によって達成される。
【００３３】
ポリマーが本発明の組成物に提供する利点の１つは、比較的低い硬化温度である。多くの組成物は１８０℃よりも低い温度で妥当な時間で硬化することができる。
【００３４】
１８０℃は硬化するプロファイルで到達することのできる最高温度ではないことを理解すべきである。例えば、組成物は短い赤外による硬化で約２７０℃までの最高温度を用いて硬化することもできる。用語「短い赤外による硬化」は、５分間から３０分間の高温スパイクを有する硬化するプロファイルを提供することと定義される。温度スパイクは、硬化プロファイルに用いられる平均温度よりも約４０℃から約１２０℃高い。
【００３５】
電子コーティング用途向けの異なるコーティング組成物は、必要な電気的、熱的または絶縁特性を獲得するように異なる機能性充填材を必要とする。抵抗器および導体用の機能性充填材は、１種もしくは複数の金属または金属化合物を含み、例えば、ルテニウム酸化物、および本明細書に開示の全体を参照して組み込まれている特許に記載されている他の抵抗器材料（例えば、特許文献２参照）を含むが、これらに制限されない。
【００３６】
用語「金属化合物」は、ＩＩＩＡ族、ＩＶＡ族、ＶＡ族、ＶＩＡ族、またはＶＩＩＡ族の元素の２種以上の金属または１種以上の金属の混合物であると定義される。特に、金属酸化物、金属炭化物、金属窒化物、および金属ホウ化物を含む金属化合物は本発明の組成物に使用することができる。
【００３７】
コンデンサー用の機能性充填材には、チタン酸バリウム、ニオブ酸マグネシウム鉛、酸化チタンが含まれるが、これらに制限されない。封止用の機能的充填材には、ヒュームド・シリカ、アルミナ、二酸化チタンが含まれるが、これらに制限されない。封止剤組成物は、有機バインダー系だけを使用して、充填されないこともでき、これは封止された素子のより良好な検査のために透明なコーティングを提供する利点を有する。熱伝導性コーティングの機能性充填材には、窒化バリウム、グラファイト、酸化ベリリウム、銀、銅、ダイアモンドが含まれるが、これらに制限されない。
【００３８】
ＰＴＦ材料は、特にフレキシブルメンブレンスイッチ、タッチキーボード、自動車部品および通信の市販製品に広く受け入れられている。これらの組成物は、ポリマーバインダー内に分散された抵抗性充填材料を含む。組成物は、比較的低い温度、すなわち組成物中の溶媒の除去とポリマーバインダー系の硬化に必要な温度で加工することができる。得られる抵抗器に必要な実際の抵抗率／導電率は電子用途に応じて変化する。
【００３９】
抵抗素子は通常ＰＴＦ組成物またはインクをシート上にパターン印刷することによって調製される。シート全体に均一な抵抗率を有することは重要である。すなわち、シートの片面の素子の抵抗率は、その反対面の素子の抵抗率と同じでなければならない。抵抗率の変動は歩留まりを大きく低下させる。
【００４０】
さらに、抵抗素子は組成および機能の両方で安定していなければならない。明らかに、抵抗器の最も重要な特性の１つは、経時的におよびある種の環境的な負荷の条件下で抵抗器が安定していることである。ＰＴＦ抵抗器の抵抗率が経時的にまたは電子デバイスの寿命の間に変化する程度は、性能にとって重要であり得る。また、ＰＴＦ抵抗器は印刷回路基板の内層に積層され、複数回のはんだに曝されるので、熱的な安定性が必要である。ある程度の抵抗率の変化は許容し得るが、一般に抵抗率の変化は５％未満でなければならない。
【００４１】
抵抗率は硬化したＰＴＦ抵抗器中の機能性充填材、すなわち抵抗器材料の間隔または容積の変化によって変化し得る。容積変化の程度を最小限に抑えるために、ポリマーは、硬化したポリマーバインダーが高湿度の環境に曝されたときに膨張しないよう、吸水率が低くなければならない。さもなければ、抵抗器の粒子の間隔が変化し、抵抗率の変化を招く。
【００４２】
また、抵抗器は、電子デバイスがさらされ易い温度範囲の温度で抵抗率変化が小さい必要がある。抵抗率の熱係数は一般に２００ｐｐｍ／℃未満と低くなければならない。
【００４３】
本発明の組成物はポリマー厚膜（ＰＴＦ）抵抗器を提供するのに特に適している。この組成物から作られたＰＴＦ抵抗器は、優れた抵抗器特性を有し、比較的高い湿度環境中でも熱的に安定である。例えば、多くのＰＴＦ抵抗器は、抵抗率の変化が約１０％を超えない。ＰＴＦ抵抗器の大部分は、抵抗率の変化が約１５％を超えない。熱および湿度に起因する抵抗率変化を小さくするために、ポリマーは比較的高いＴｇと比較的低い吸湿率により特徴つけられる。本出願人は、大部分の安定なポリマーマトリックスは、２％以下、好ましくは１．５％以下、さらに好ましくは１％以下の低い吸湿率を有する架橋可能な、高いＴｇのポリマーを使用することによって達成されることを見出した。
【００４４】
有用であることが判明したもう１つの手法は、充填材をポリイミド溶液と混合する前に、機能性充填材を表面処理剤で処理することである。シラン剤、γ−アミノプロピルトリメトキシシランは、本発明のＰＴＦ抵抗器組成物に使用される金属酸化物の機能性充填材を処理するのに特に有用であることが判明した。シランは酸化物の表面と反応して共有結合を形成し、ペンダントアミノ基は架橋剤と反応すると考えられている。シラン剤は硬化した材料中のポリマーバインダーの架橋を効果的に増加させ、したがって、ＰＴＦ抵抗器中の粒子成分を安定化させる。その結果、ＰＴＦ抵抗器は、熱的および高湿度のエイジング試験および加速試験の間の性能が向上する。シラン剤による表面処理は、ポリイミド溶液中への機能性充填材の分散性も向上させる。チタン酸塩もＰＴＦ抵抗器の特性を高めるために表面処理剤として使用することができる。
【００４５】
本発明の液体状またはペースト状の組成物は、１種または複数の金属接着剤をさらに含むことができる。好ましい金属接着剤は、ポリヒドロキシフェニルエーテル、ポリベンズイミダゾール、ポリエーテルイミド、ポリアミドイミドからなる群から選択される。
【００４６】
予期しなかったことであるが、ＰＴＦ抵抗器に対しては、フェノキシ樹脂ＰＫＨＨ、ポリヒドロキシフェニルエーテルの添加によって化学的に洗浄された銅への接着が向上することが判明した。これにより、ＰＴＦ抵抗器のはんだ暴露および加速熱エイジングに対する性能を大きく向上させることが判明した。−２５℃から１２５℃の熱サイクルおよび８５℃／８５％ＲＨ熱サイクル試験の両方で性能が大きく向上した。実際に、ＰＮＢとＰＡポリマーおよびフェノキシ樹脂の組合せは、高価な複数工程の銀浸漬処理を銅に施す必要がないという限度で、ＰＴＦ抵抗器の接着特性を大きく向上させた。さらに、接着促進剤の２−メルカプトベンズイミダゾール（２−ＭＢ）は、特に機能性充填材を多く充填するとき、ＰＴＦ抵抗器のはんだ暴露への安定性を僅かに向上させることが判明した。
【００４７】
また、ＰＮＢとＰＡポリマーは、金属および金属化合物を含まない溶液で提供することもでき、封止材として、またはＩＣおよびウェーハレベル実装における、半導体ストレス緩和剤、相互接続誘電体、保護コーティング（例えば、擦傷保護、不動態化、エッチングマスク等）、接合パッド再配分、はんだバンプアンダーフィルとして使用することができる。この組成物によって提供される利点の１つは、１８０℃未満の低い硬化温度、または短期間の最高温度２７０℃の短いＩＲによる硬化である。現在の実装には約３００℃＋／−２５℃の硬化温度が必要である。
【００４８】
本発明の利点を以下の実施例に示す。
【００４９】
本発明の組成物の調製と試験に使用した方法および試験手段、および比較実施例は以下の通りである。
【００５０】
３ロール粉砕
３ロール粉砕機を使用してペーストを全体に＜５μの粉砕粉末度（ＦＯＧ）に粉砕する。ギャップは１ミル（２５．４μｍ）に調節する。ペーストは、ＦＯＧが＜５μになるまで０、５０、１００、１５０、２００、２５０ｐｓｉで３回ロール粉砕する。粉砕粉末度はペーストの粒子サイズの測定値である。少量のペーストのサンプルを粉砕ゲージの上端（２５μの印）に置く。ペーストを金属スキージーで粉砕ゲージの長さに押し下げる。ＦＯＧはｘ／ｙとして与えられ、ｘは粉砕ゲージ上に４個以上の連続的な線が始まるときの粒子サイズ（ミクロン）であり、ｙはペーストの平均粒子サイズ（ミクロン）である。
【００５１】
スクリーン印刷
２３０または２８０メッシュのスクリーンおよび硬度７０のスキージーをスクリーン印刷に使用する。印刷機は、８インチ×１０インチ（２０．３ｃｍ×２５．４ｃｍ）のスクリーンで、スクリーンと基板表面の間のスナップオフ距離が典型的に３５ミル（７６２μｍ）になるように設定する。下方ストップ（スキージーの上下動の機械的な限界）は５ミル（１２７μｍ）に予め設定する。使用したスキージーの速度は典型的に１インチ／秒（２．５４ｃｍ／秒）、印刷−印刷モード（前進１回、後退１回の２回の印刷）を用いる。ペースト当たり最低２０個の試験片を印刷する。ペーストを全ての基板に印刷した後、最低１０分間静置（気泡が消えるように）し、次いで強制換気炉中にて１７０℃で１時間硬化させる。
【００５２】
はんだフロート
サンプルを６０／４０のスズ／鉛はんだ中に３×１０秒浮かべ、はんだ暴露の中間は最低３分間あけてサンプルを室温近くまで冷却する。
【００５３】
８５℃／８５％ＲＨ試験
最低３個のカバー被覆していない試験片を８５℃／８５％ＲＨチャンバー中に置き、８５℃／８５％ＲＨで１２５、２５０、３７５、５００時間エージングする。暴露時間に達した後、サンプルをチャンバーから取り出し、銅リードの酸化物をワイアブラシで除去し、直ちに抵抗率を測定する。
【００５４】
熱サイクル
カバー被覆していない硬化した抵抗器のサンプルを、１０℃／分の加熱と冷却の速度で、−２５℃から＋１２５℃の熱サイクルで１５０から２００サイクルにかけ、サンプルは極度に高い温度で３０分間保持される。
【００５５】
ＥＳＤ
５，０００ボルトを５回、２，０００ボルトを１０回与えた後、抵抗率の変化を測定する。
【００５６】
ＴＣＲ
ＴＣＲ（抵抗率の温度係数）は、１２５℃での熱ＴＣＲ（ＨＴＣＲ）と、−４０℃での冷ＴＣＲ（ＣＴＣＲ）の両方を測定し、ｐｐｍ／℃で記録する。
各サンプルは、各々８個の抵抗器を含む最低３個の試験片を使用する。自動化ＴＣＲで結果を平均化する。
【００５７】
ポリマー膜吸湿試験
これらは、ＡＳＴＭ  Ｄ５７０法により決められたポリマーの報告値である。
以下の組成物は使用した各成分の重量％で表している。以下の用語解説は使用した各成分の名前および略称を含む。
ＰＮＢ溶液                                      Ｄｏｗａｎｏｌ（登録商標）ＰＰ
Ｈ中固形分２０％のＰｒｏｍｅｒ
ｕｓ製ポリノルボルネンＡｐｐｅ
ａｒ−３０００Ｂ。
エポキシ−ＰＮＢ溶液                            ベータ−テルピネオール中固形分
３０％のＰｒｏｍｅｒｕｓ製エポ
キシ含有ポリノルボルネン。
フェノキシ樹脂ＰＫＨＨ溶液                      ７０／３０のＤｏｗａｎｏｌ（登
録商標）ＤＰＭ／ジメチレングリ
コールエチルエーテルアセテート
中に溶解した固形分２３．８９％
のＩｎＣｈｅｍ  Ｃｏｒｐ．製ポ
リヒドロキシフェニルエーテル。
ＡｒｙＬｉｔｅ（商標）Ａ１０００                Ｔｇ３２５℃、吸湿率０．３％の
Ｆｅｒｒａｎｉａ製ポリアリール                                                  エート（Polyarylate）。
Ａｐｐｅａｒ（商標）−３０００Ｂ                Ｔｇ３３０℃、吸湿率０．０３％
のＰｒｏｍｅｒｕｓ製ポリノルボ
ルネン。
Ｕｄｅｌ（登録商標）                            Ｔｇ１９０℃、吸湿率１．３％の
ポリスルホン。
Ｒａｄｅｌ（登録商標）Ｒ−５０００              ビスフェノールＡとジクロロジフ
ェニルスルホンをベースにするポ
リフェニルスルホン。ポリマーは
２２０℃のＴｇ、および１．１％
の吸湿率を有する。
Ｔｏｒｌｏｎ（登録商標）                        ＮＭＰ中、２０％溶液としての無
水トリメリット酸とベンジジンの
ポリアミドイミド。ポリマーは３
００℃のＴｇ、および２．５％の
吸湿率を有する。
Ｌｅｘａｎ（登録商標）                          ビスフェノールＡをベースにする
ＧＥ製ポリカーボナート。
ＰＨＳ                                          ＤｕＰｏｎｔ製ポリヒドロキシス                                                  チレン。Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ  
Ｐｏｌｙｍｅｒｓ
２−エチル−４−メチルイミダゾール              Ａｌｄｒｉｃｈ製エポキシ反応用
触媒。
２−メルカプトベンズイミダゾール（２−ＭＢ）    Ａｌｄｒｉｃｈ製接着促進剤。
二酸化ルテニウム（Ｐ２４５６）                  ＤｕＰｏｎｔ製、抵抗器材料。
Ｍｉｃｒｏｃｉｒｃｕｉｔ
Ｍａｔｅｒｉａｌｓ
表面積１２ｍ２／ｇ
ルテニウム酸ビスマス（Ｐ２２８０）              ＤｕＰｏｎｔ製、抵抗器材料。
Ｍｉｃｒｏｃｉｒｃｕｉｔ
Ｍａｔｅｒｉａｌｓ
表面積９〜１０ｍ２／ｇ。
銀（Ｐ３０２３）                                ＤｕＰｏｎｔ製、抵抗器材料。
Ｍｉｃｒｏｃｉｒｃｕｉｔ
Ｍａｔｅｒｉａｌｓ
表面積２．２〜２．８ｍ２／ｇ。
アルミナ（Ｒ０１２７）                          非導電性充填材。表面積７．４か
ら１０．５ｍ２／ｇ。
チタン酸バリウム（Ｚ９５００）                  Ｆｅｒｒｏ製コンデンサー材料。
表面積３．６ｍ２／ｇ、平均粒子
サイズ１．２ミクロン。
窒化アルミニウム                                Ａｌｆａ  Ａｅｓａｒ製熱伝導性
材料。平均粒子サイズ＜４ミクロ
ン。
ヒュームド・シリカ（Ｒ９７２）                  Ｄｅｇｕｓｓａ製粘度修正剤。表
面積９０〜１３０ｍ２／ｇ。
グラファイト（ＨＰＮ−１０）                    Ｄｉｘｏｎ  Ｔｉｃｏｎｄｒｏｇ
ａ  Ｃｏ．製天然グラファイト。
表面積０．５ｍ２／ｇ。
【実施例】
【００５８】
（実施例１および２）
ＰＮＢポリマーを有する実施例１の組成物と、ＰＡポリマーを有する実施例２の組成物を用いてＰＴＦ抵抗器を調製した。ＰＮＢポリマーとＰＡポリマーの両方とも低い吸湿率と高いＴｇを有している。得られるＰＴＦ抵抗器は、２３０℃での優れたはんだフロート性と８５℃／８５％ＲＨでの優れた試験結果を示す。
【００５９】
ポリマー                                    実施例
１                ２
Ａｐｐｅａｒ（商標）３０００−Ｂ    １０
ＡｒｙＬｉｔｅ（商標）Ａ１００                        １０
二酸化ルテニウム粉                  ２１．６          ２１．６
ルテニウム酸ビスマス粉              １５．７          １５．７
銀粉                                  ５．０            ５．０
アルミナ                              ４．５            ４．５
Ｄｏｗａｎｏｌ  ＰＰＨ              ５６
ＢＬＯ                                                ５６
【００６０】
Ｔｇ（℃）  Ｈ２Ｏ吸収％                  抵抗率変化％
はんだフロート              ８５℃／
（３×１０秒）                ８５％ＲＨ
２３０℃  ２６０℃  ２８８℃  （５００時間）
実施例１    ３３０    ０．０３    −０．９  ２８．４  ２０５        ＋１．８
実施例２    ３２５    ０．４      −１．５  ３２．９    −          −３．４
【００６１】
（実施例３）
架橋可能なエポキシ部位を有するＰＮＢポリマーをＰＴＦ抵抗器組成物の調製に使用した。組成物は、ポリマーのエポキシ部位と反応するＰＨＳおよび接着促進剤のフェノキシ樹脂も含む。抵抗器ペーストは化学的に洗浄された銅へ直接印刷した。すなわち、導体の銀浸漬予備処理をしないで直接印刷した。ＰＴＦ抵抗器組成物は以下の成分から調製した（グラム）。
【００６２】
成分                                  重量％
二酸化ルテニウム粉                    ２７．４６
ルテニウム酸ビスマス粉                １９．８９
銀粉                                    ６．４４
アルミナ粉                              ５．７６
エポキシ−ＰＮＢ                        ５．７６
フェノキシ樹脂ＰＫＨＨ                  ４．７５
ＰＨＳ                                  ３．２８
２−エチル−４−メチルイミダゾール      ０．１１
ベータ−テルピネオール                ２６．５５
【００６３】
混合物は１ミル（２５．４μｍ）のギャップで、各々０、５０、１００、２００、２５０、３００ｐｓｉで３回ロール粉砕して、５／２ミクロンの粉砕粉末度を得た。ペーストは、２８０メッシュのスクリーンおよび硬度７０のスキージーを用いて、１０ｐｓｉのスキージー圧力で４０および６０ミル（１，０１６および１，５２４μｍ）の抵抗器パターンを事前の化学的な洗浄を行わないでＦＲ−４基板上に印刷した。サンプルを強制換気炉中において１７０℃で１時間焼成した。硬化した抵抗器の特性を以下に示す。はんだフロート試験の結果の向上が観察された。
【００６４】
抵抗率（オーム／平方）                        １９８
厚さ（ミクロン）                              ８．１
ＨＴＣＲ（ｐｐｍ／℃）                        １４９
ＣＴＣＲ（ｐｐｍ／℃）                        ２４１
４０ミル抵抗器の％抵抗率の変化：
２８８℃はんだ、１０秒で３回のフロート後    ２．４
８５℃／８５％ＲＨで５００時間後          −３．１
熱サイクル（−２５℃から１２５℃）後      −２．２
ＥＳＤ（５，０００ｖで５パルス）後        −０．１２
【００６５】
（実施例４）
架橋できないＰＮＢポリマーを用いてＰＴＦ抵抗器組成物を調製した。再び、抵抗器ペーストを導体パターンの銀浸漬予備処理を行わずに、化学的に洗浄した銅に直接印刷した。組成物は優れた抵抗器の特性を提供した。ＰＴＦ抵抗器組成物は以下の成分から調製した（グラム）。
【００６６】
成分                                  重量％
二酸化ルテニウム粉                    ３８．９９
ルテニウム酸ビスマス粉                ２８．２８
銀粉                                    ９．０７
アルミナ粉                              ８．０８
ＰＮＢ溶液                            １１．６３
フェノキシ樹脂ＰＫＨＨ溶液              ３．９１
２−ＭＢ（ＮＭＰ中で１０％の固形分）    ０．０４
【００６７】
混合物は１ミル（２５．４μｍ）のギャップで、各々０、５０、１００、２００、２５０、３００ｐｓｉで３回ロール粉砕して、５／２ミクロンの粉砕粉末度を得た。ペーストは、２８０メッシュのスクリーンおよび硬度７０のスキージーを用いて、１０ｐｓｉのスキージー圧力で４０および６０ミル（１，０１６および１，５２４μｍ）の抵抗器パターンを化学的な洗浄を行ったＦＲ−４基板上に印刷した。サンプルを強制換気炉中にいて、１７０℃で１時間焼成した。硬化した抵抗器の特性を以下に示す。ＴＣＲ測定用のサンプルは残留溶媒の除去を確実にするため、最初に加熱した。
【００６８】
抵抗率（オーム／平方）                          ９０
厚さ（ミクロン）                                １１．５
ＨＴＣＲ（ｐｐｍ／℃）                      −１５６
ＣＴＣＲ（ｐｐｍ／℃）                        １７２
４０ミル抵抗器の抵抗率の変化％：
２８８℃はんだ、１０秒で３回のフロート後      １０．１
８５℃／８５％ＲＨで５００時間後                ２．１
熱サイクル（−２５℃から１２５℃）後            ２．１
ＥＳＤ（５，０００ｖで５パルス）後            −０．０２
【００６９】
（実施例５）
ＰＮＢポリマーを使用してグラファイトを含有するＰＴＦ抵抗器組成物を調製した。抵抗器組成物は、導体パターンの銀浸漬予備処理を行わずに、化学的に洗浄した銅に直接印刷した。ＰＴＦ抵抗器組成物は以下の成分から調製した（グラム）。
【００７０】
成分                                  重量％
二酸化ルテニウム粉                    １４．８３
ルテニウム酸ビスマス粉                  ２．２６
銀粉                                  １５．４８
グラファイト粉                        １６．１３
ＰＮＢ溶液                            ２７．９７
フェノキシ樹脂ＰＫＨＨ溶液            １４．０３
Ｄｏｗａｎｏｌ（登録商標）ＰＰＨ        ９．３０
【００７１】
混合物は１ミル（２５．４μｍ）のギャップで、各々０、５０、１００、２００、２５０、３００ｐｓｉで３回ロール粉砕して、５／２ミクロンの粉砕粉末度を得た。ペーストは、２８０メッシュのスクリーンおよび硬度７０のスキージーを用いて、１０ｐｓｉのスキージー圧力で４０および６０ミル（１，０１６および１，５２４μｍ）の抵抗器パターンを化学的な洗浄を行ったＦＲ−４基板上に印刷した。サンプルを強制換気炉中において１７０℃で１時間焼成した。硬化した抵抗器の特性は、以下の通りであった。
【００７２】
抵抗率（オーム／平方）      ２５．４
厚さ（ミクロン）            １５．３
【００７３】
（比較実施例１から４）
いくつかの市販の熱可塑性ポリマー系を試験して、抵抗器ＰＴＦ組成物における性能を評価した。これらの組成物は熱架橋剤または接着促進樹脂を含まなかった。比較するＰＴＦ組成物は以下の成分から調製した（グラム）。
【００７４】
成分                                          比較実施例
１        ２        ３        ４
Ｕｌｔｅｍ（登録商標）１０００        １０
Ｒａｄｅｌ（登録商標）Ｒ−５０００              １０
Ｕｄｅｌ（登録商標）                                      １０
Ｌｅｘａｎ（登録商標）                                              １０
二酸化ルテニウム粉                    ２１．６  ２１．６  ２１．６  ２１．６
ルテニウム酸ビスマス粉                １５．７  １５．７  １５．７  １５．７
銀粉                                    ５．０    ５．０    ５．０    ５．０
アルミナ粉                              ４．５    ４．５    ４．５    ４．５
ＮＭＰ                                ４０      ４０      ４０      ４０
【００７５】
次いで組成物を実施例１に提供した手順に従って化学的に洗浄した銅の上にスクリーン印刷し、１７０℃で１時間硬化し、実施例１のとおりに試験した。組成物はＰＴＦ抵抗器組成物としてはんだフロート、および８５℃／８５％ＲＨの加速エイジング性能を評価した。ＡＳＴＭ  Ｄ−５７０法からの平衡水摂取値を用いた。評価したポリマーおよび大きな抵抗率変化％を示す試験結果を以下に示す。
【００７６】
Ｔｇ（℃）  Ｈ２Ｏ吸収％                抵抗率変化％
はんだフロート          ８５℃／
（３×１０秒）          ８５％ＲＨ
２３０℃          （５００時間）
比較実施例１    ２２０      ０．８          ＋３０              −５．５
比較実施例２    ２２０      １．１          ＋３６              −１５
比較実施例３    １９０      １．３          ＋４２              −１２
比較実施例４    １４５      ０．４          ＋４７              ＋３．１
【００７７】
データが示すように、比較的低いＴｇを有するポリマーで調製した比較例の抵抗器組成物は、はんだ暴露で抵抗率安定性に劣る結果になる。
【００７８】
（比較実施例５および６）
いくつかの市販の熱可塑性ポリマー系を試験して、抵抗器ＰＴＦ組成物における性能を評価した。これらの組成物は熱架橋剤または接着促進樹脂を含まなかった。比較例のＰＴＦ組成物は、以下の成分から比較実施例１から４の手順に従って調製した（グラム）。
【００７９】
成分                                          比較実施例
５          ６
Ｃｅｌｚｏｌｅ（登録商標）ＰＢＩ（ＣＭ）      １０
Ｔｏｒｌｏｎ（登録商標）                                  １０
二酸化ルテニウム粉                            ２１．６    ２１．６
ルテニウム酸ビスマス粉                        １５．７    １５．７
銀粉                                            ５．０      ５．０
アルミナ                                        ４．５      ４．５
ＮＭＰ                                        ４０        ４０
【００８０】
Ｔｇ（℃）  Ｈ２Ｏ吸収％                抵抗率変化％
はんだフロート          ８５℃／
（３×１０秒）          ８５％ＲＨ
２３０℃          （５００時間）
比較実施例５    ４００      ５．０          −０．６            −２８．０
比較実施例６    ３００      ２．５          −１．６            −１８
データが示すように、吸水率が＞１％のポリマーで調製した比較の抵抗器組成物は、８５℃／８５％ＲＨ試験で抵抗率安定性に劣る。
【００８１】
（比較実施例７）
市場で入手可能なＡｓａｈｉペーストＴＵ−１００−８を実施例２のように化学的に洗浄した銅の上にスクリーン印刷し、１７０℃で１時間硬化した。得られた硬化した抵抗器の特性は、以下のとおりである。
【００８２】
抵抗率（オーム／平方）                          ５０
厚さ（ミクロン）                                ３０
ＨＴＣＲ（ｐｐｍ／℃）                      −３５９
ＣＴＣＲ（ｐｐｍ／℃）                      −１７２
４０ミル（１，０１６μｍ）抵抗器の抵抗率の変化％：
２８８℃はんだ、１０秒で３回のフロート後    −１０．２
８５℃／８５％ＲＨで５００時間後              ６２
熱サイクル（−２５℃から１２５℃）後            ４．０
ＥＳＤ（５，０００ｖで５パルス）後            −２．６
【００８３】
（実施例６）
この実施例は、ＰＴＦコンデンサー組成物を調製するのに、高いＴｇと低い吸水率を有する架橋できないＰＮＢポリマーの使用が有用であることを示している。ＰＴＦコンデンサーの組成物は以下の成分から調製した（グラム）。
【００８４】
成分                                  重量％
チタン酸バリウム粉                    ５８．０２
ＰＮＢ溶液                            ２３．０７
フェノキシ樹脂ＰＫＨＨ溶液              ７．５４
Ｄｏｗａｎｏｌ（登録商標）ＰＰＨ      １１．３７
【００８５】
混合物は１．０ミル（２５．４μｍ）のギャップで、各々０、５０、１００、２００、２５０ｐｓｉで少なくとも１回ロール粉砕して、５／２ミクロンの粉砕粉末度を得た。次いでＡＭＩポリマー厚膜スクリーン印刷機を用い、印刷−印刷モードで硬度７０のスキージーを用いて誘電体を印刷した。乳剤厚さ０．４ミル（１０．２μｍ）の２８０メッシュのスクリーンを像形成して１６個の個々のコンデンサーを銅箔の処理した側に印刷した。次いで印刷物は８０℃で５分間硬化した。第２の印刷を同じプロセスで調製した。銅箔上のコンデンサーは次いで１７０℃で１時間硬化した。硬化した誘電体上に銅ベースの導体ペーストを印刷し、１５０℃で３０分間硬化して上端電極を形成し、以下の特性を有するコンデンサーを形成した。結果は１６個の個々のコンデンサーの測定の平均である。
【００８６】
平均キャパシタンス      ９．８ｎｆ／ｉｎ２（１．５２ｎｆ／ｃｍ２）
平均損失                １．２％
平均厚さ                １．１ミル（２７．９４μｍ）
見かけのＫ            ４８
【００８７】
（実施例７）
この実施例は、銅上へのコンデンサー組成物のＰＴＦキャストを調製するのに、高いＴｇと低い吸水率を有する架橋できないＰＮＢポリマーの使用が有用であることを示している。ＰＴＦコンデンサーの組成物は以下の成分から調製した（グラム）。
【００８８】
成分                                  重量％
チタン酸バリウム粉                    ２３．１０
ＰＮＢ溶液                            ４０．７２
フェノキシ樹脂ＰＫＨＨ溶液            ２０．３０
酢酸エチル                            １５．８８
【００８９】
銅上へのキャスト（ＣＯＣ）サンプルの調製には、分散物を１ミル（２５．４μｍ）のドクターナイフで１ミル（２５．４μｍ）の両面を処理された銅へ溶液キャストした。コーティングは１００℃で１０分間および１７０℃で１時間乾燥した。キャパシタンス密度（Ｃ／Ａ）を求めるために、ＤｕＰｏｎｔ製ＣＢ２００銅導電性ペーストをＣＯＣサンプル上に１インチ×１インチ（２．５４ｃｍ×２．５４ｃｍ）のコーティングを塗工し、続いて１７０℃で１５分間硬化した。キャパシタンス（銅パッド上の上端のプローブ、ベースフィルムの銅縁部上の下部のプローブ）は３．０ｎＦ／ｉｎ２（０．４６５ｎＦ／ｃｍ２）で２％の平均損失が測定された。厚さは０．９５ミル（２４．１３μｍ）であることが判明した。誘電定数は１Ｈｚで１２．５であることが測定された。
【００９０】
ＣＯＣコーティングの接着試験のために、３Ｍの圧力感受性接着剤のシート、製品＃８１４１を３インチ×５インチ（７．６２ｃｍ×１２．７ｃｍ）のガラス板に積層した。１００℃で１０分間乾燥したＣＯＣコーティングの１インチ（２．５４ｃｍ）幅の数本の細片を、コーティング側を圧力感受性の接着剤に向けてハンドロールで積層した。ＩＭＡＳ  ＳＰ−２０００剥離試験機で試験できるように、２Ｋｇセル容量を用いて、遅延時間２秒、平均化時間２０秒、速度１２インチ／分（３０．４８ｃｍ）、角度１８０°でＣＯＣコーティングを銅から十分剥離してもどした。剥離強度は３．３ｐｌｉであることが測定された。
【００９１】
（実施例８）
この実施例は、ＰＴＦの導体組成物を得るために、高いＴｇと低い吸水率を有する架橋できないＰＮＢポリマーをフェノキシ樹脂と共に使用することを示している。ＰＴＦの導体組成物は以下の成分から調製した（グラム）。
【００９２】
成分                                  重量％
銀粉                                  ５７．２２
ＰＮＢ溶液                            ２３．３２
フェノキシ樹脂ＰＫＨＨ溶液            １１．７０
Ｄｏｗａｎｏｌ（登録商標）ＰＰＨ        ７．７６
【００９３】
混合物を１．５ミル（３８．１μｍ）ギャップでロール粉砕して粉砕粉末度８／５を得た。圧力は２００ｐｓｉを超えないように設定した。１０００平方のへび状パターンを０．５ミル（１２．７μｍ）の乳剤を有する２３０メッシュのスクリーンに像形成した。次いで、ＡＭＩポリマー厚膜スクリーン印刷機を用いて、印刷−印刷モードで硬度７０のスキージーで導体を印刷した。導体ペーストはブランクのセラミック片に印刷し、１７０℃で１時間、次いで２００℃で２分間硬化した。導体線の抵抗率は３８ミリオーム／平方であることが測定された。
【００９４】
（実施例９）
この実施例は、封止材組成物を得るために、高いＴｇと低い吸水率性を有する架橋できないＰＮＢポリマーをフェノキシ樹脂と共に使用することを示している。封止材組成物は以下の成分から調製した（グラム）。
【００９５】
成分                                  重量％
ヒュームド・シリカ                      ３．２０
ＰＮＢ溶液                            ４８．７８
フェノキシ樹脂ＰＫＨＨ溶液            ３１．７７
Ｄｏｗａｎｏｌ（登録商標）ＰＰＨ      １６．２５
【００９６】
混合物は１ミル（２５．４μｍ）のギャップで、各々０、５０、１００、２００、２５０ｐｓｉで少なくとも１回ロール粉砕して、５ミクロン未満の粉砕粉末度を有する均一なペーストを形成した。次いでＡＭＩポリマー厚膜スクリーン印刷機を用い、印刷−印刷モードで硬度７０のスキージーで封止材を印刷した。乳剤の厚さ１ミル（２５．４μｍ）の１２０メッシュのスクリーンを像形成して、印刷された個々の４０ミルと６０ミル（１，０１６μｍと１，５２４μｍ）の抵抗器の上に連続的なコーティングを印刷し、１７０℃で１時間硬化して印刷溶媒を除去し、抵抗器を被覆する連続的な固化したポリマーコーティングを形成した。コーティングの外観は曇っていた。抵抗器は７００時間の８５／８５試験の後、３．７％の平均ドリフトを示した。
【００９７】
（実施例１０）
この実施例は、封止材組成物を得るために、高いＴｇと低い吸水率の同じものをフェノキシ樹脂と共に使用することを示している。封止材組成物は以下の成分から調製した（グラム）。
【００９８】
成分                                  重量％
ＰＮＢ溶液                            １１．５７
フェノキシ樹脂ＰＫＨＨ溶液              ９．７２
Ｄｏｗａｎｏｌ（登録商標）ＰＰＨ      ７８．７２
【００９９】
均一な溶液は上記の成分で形成した。実施例７とは異なり、溶液はロール粉砕しなかった。次いでＡＭＩポリマー厚膜スクリーン印刷機を用い、印刷−印刷モードで硬度７０のスキージーで封止材を印刷した。乳剤の厚さ１ミル（２５．４μｍ）の１２０メッシュのスクリーンを像形成して、印刷された個々の４０ミルと６０ミル（１，０１６μｍと１，５２４μｍ）の抵抗器の上に連続的なコーティングを印刷し、１７０℃で１時間硬化して印刷溶媒を除去した。抵抗器の上に、僅かに曇った連続的な固化したポリマーコーティングが形成された。抵抗器は７００時間の８５／８５試験の後、４．４％の平均ドリフトを示した。
【０１００】
（実施例１１）
この実施例は、封止材組成物を得るために、高いＴｇと低い吸水率の同じものをフェノキシ樹脂と共に使用することを示している。封止材組成物は以下の成分から調製した（グラム）。
【０１０１】
成分                                  重量％
ＰＮＢ溶液                            １５．０
Ｄｏｗａｎｏｌ（登録商標）ＰＰＨ      ８５．０
【０１０２】
均一な溶液は上記の成分で形成した。実施例８と同様に、溶液はロール粉砕しなかった。次いで、ＡＭＩポリマー厚膜スクリーン印刷機を用い、印刷−印刷モードで硬度７０のスキージーで封止材を印刷した。乳剤の厚さが１ミル（２５．４μｍ）の１２０メッシュのスクリーンを像形成して、印刷された個々の４０ミルと６０ミル（１，０１６μｍと１，５２４μｍ）の抵抗器の上に連続的なコーティングを印刷し、１７０℃で１時間硬化して印刷溶媒を除去した。抵抗器の上に、連続的な固化した透明なポリマーコーティングが形成された。抵抗器は７００時間の８５／８５試験の後、−３．１％の平均ドリフトを示した。
【０１０３】
以下の議論の目的は、本発明の実施形態を選択するためだけであり、上の開示は本発明の全体的な範囲を制限するものではない。本発明の範囲は請求項によって定義されるべきである。
【外国語明細書】
2005240020000001.pdf