(57)【要約】【課題】負荷の状態に応じて静電アクチュエータの駆動信号を制御することで効率の良い静電アクチュエータを提供すること。【解決手段】所定ピッチで配置された駆動電極１０６を有する固定子１０２と、所定ピッチで配置された帯状の電極パターン１０４，１０５の指部１０４−２，１０５−２を有する移動子１０１と、上記駆動電極１０６に接続され、周期的に出力電圧が変化する多相の駆動パルス電源と、上記固定子１０２に対して固定されたセンシング電極１０７と、上記センシング電極１０７に接続され、電位変化を検知する電位計測回路とを備え、上記駆動電極１０６と上記移動子１０１との間に作用する静電気力によって上記移動子１０１が変位する静電アクチュエータにおいて、上記駆動パルス電源の駆動信号と上記移動子１０１の変位に伴い変化する上記電位計測回路の出力信号とを比較する制御回路を更に設ける。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定ピッチで配置された駆動電極を有する固定基板と、
所定ピッチで配置された帯状の可動子電極を有する移動子と、
上記固定基板の駆動電極に接続され、周期的に出力電圧が変化する多相の駆動電源と、
上記固定基板に対して固定された電位検出電極と、
上記電位検出電極に接続され、電位変化を検知する電位変化検知手段と、
を備え、
上記固定基板の駆動電極と上記移動子との間に作用する静電気力によって上記移動子が変位する静電アクチュエータにおいて、
上記駆動電圧源の駆動信号と、上記移動子の変位に伴い変化する上記電位変化検知手段の出力信号とを比較する比較手段を更に具備することを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項２】
上記比較手段が、所定周期の上記駆動電源の出力電圧の周期の回数である駆動パルス数と、上記電位変化検知手段の出力信号の周期の回数である変位パルス数とを比較することを特徴とする請求項１に記載の静電アクチュエータ。
【請求項３】
上記比較手段は、上記移動子の目標位置までに必要な上記変位パルス数がカウントされるまで、上記駆動電源に上記出力電圧を出力させることを特徴とする請求項２に記載の静電アクチュエータ。
【請求項４】
上記比較手段は、上記駆動パルス数よりも上記変位パルス数が少ない場合は、上記駆動電源の駆動を停止することを特徴とする請求項２に記載の静電アクチュエータ。
【請求項５】
上記比較手段は、上記駆動パルス数よりも上記変位パルス数が少ない場合は、上記駆動電源の出力電圧の電圧を高めることを特徴とする請求項２に記載の静電アクチュエータ。
【請求項６】
上記比較手段は、上記駆動パルス数よりも上記変位パルス数が少ない場合は、上記駆動電源の出力電圧の周波数を低くすることを特徴とする請求項２に記載の静電アクチュエータ。
【請求項７】
上記比較手段は、上記駆動パルス数と上記変位パルス数とが等しい場合は、上記駆動電源の出力電圧の電圧を低くすることを特徴とする請求項２に記載の静電アクチュエータ。
【請求項８】
上記比較手段は、上記駆動パルス数と上記変位パルス数とが等しい場合は、上記駆動電源の出力電圧の周波数を高くすることを特徴とする請求項２に記載の静電アクチュエータ。
【請求項９】
上記比較手段が、所定周期の上記駆動電源の出力電圧の周期と上記電位変化検知手段の出力信号との位相差である位相ズレを求めることを特徴とする請求項１に記載の静電アクチュエータ。
【請求項１０】
上記比較手段は、上記位相ズレが所定の値を超えたときは、上記駆動電源の駆動を停止することを特徴とする請求項９に記載の静電アクチュエータ。
【請求項１１】
上記比較手段は、上記位相ズレが所定の値を超えたときは、上記駆動電源の出力電圧の電圧を高めることを特徴とする請求項９に記載の静電アクチュエータ。
【請求項１２】
上記比較手段は、上記位相ズレが所定の値を超えたときは、上記駆動電源の出力電圧の周波数を低くすることを特徴とする請求項９に記載の静電アクチュエータ。
【請求項１３】
上記比較手段は、上記位相ズレが所定の値よりも小さい場合は、上記駆動電源の出力電圧の電圧を低くすることを特徴とする請求項９に記載の静電アクチュエータ。
【請求項１４】
上記比較手段は、上記位相ズレが所定の値よりも小さい場合は、上記駆動電源の出力電圧の周波数を高くすることを特徴とする請求項９に記載の静電アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固定子と移動子との間に作用する静電気力により移動子を移動させる静電アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
乱調や脱調を防止し、しかも基準位置を再現性よく正確に設定できるようにした静電アクチュエータとしては、例えば特許文献１に開示されている方法が知られている。
【０００３】
この特許文献１に開示の方法によれば、図９に示すように、多数の固定子電極２１を一方向に所定間隔で配列した固定子２と、固定子電極２１に対向して配置される多数の可動子電極１１を上記一方向に所定間隔で配列して構成した可動子１（移動子）と、固定子２と可動子１との間に介在させた絶縁体層と、可動子電極１１と固定子電極２１との間に生じるクーロン力により可動子１が固定子２に対して上記一方向に移動するように固定子電極２１と可動子電極１１とに駆動電圧を印加する駆動電圧制御手段（スイッチ４、直流電源５、切換制御部６）と、固定子２に対する可動子１の変位量を検出し変位量に応じた駆動電圧が固定子電極２１と可動子電極１１とに印加されるように駆動電圧制御手段をフィードバック制御する位置検出手段（位置判定部７、センシング電極１２，２２）とを備えている。
【特許文献１】特許第２８９９１３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
実際に駆動できる速度や負荷は電圧に依存し、高速動作あるいは高負荷での動作には高電圧が必要となるが、その場合は昇圧回路でのロスが大きくなり、消費電力が増大する。
【０００５】
本発明は、上記の点に鑑みてなされたもので、負荷の状態に応じて静電アクチュエータの駆動信号を制御することで効率の良い静電アクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の静電アクチュエータの一態様は、
所定ピッチで配置された駆動電極を有する固定基板と、
所定ピッチで配置された帯状の可動子電極を有する移動子と、
上記固定基板の駆動電極に接続され、周期的に出力電圧が変化する多相の駆動電源と、
上記固定基板に対して固定された電位検出電極と、
上記電位検出電極に接続され、電位変化を検知する電位変化検知手段と、
を備え、
上記固定基板の駆動電極と上記移動子との間に作用する静電気力によって上記移動子が変位する静電アクチュエータにおいて、
上記駆動電圧源の駆動信号と、上記移動子の変位に伴い変化する上記電位変化検知手段の出力信号とを比較する比較手段を更に具備することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、負荷の状態に応じて静電アクチュエータの駆動信号を制御することで効率の良い静電アクチュエータを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面を参照して説明する。
【０００９】
［第１実施形態］
図１は、本発明の第１実施形態に係る静電アクチュエータの構成を示す平面図であり、この静電アクチュエータにおいては、移動子１０１が固定子１０２の上部に配置されている。ここで、移動子１０１は、固定子１０２に対して、図中の矢印の方向に変位する。
【００１０】
移動子１０１は、樹脂フィルム１０３の中に電極パターン１０４及び１０５が形成された構成となっており、その電極パターン１０４，１０５は、図示したように両側部の基部１０４−１，１０５−１と交差指状の指部１０４−２，１０５−２とから成っている。
【００１１】
図２は、説明を容易にするために、固定子１０２のみを図示したものである。
【００１２】
即ち、固定子１０２は、樹脂又はガラス基板の両面に金属電極が形成された構成で、表面側（移動子１０１が配置される側）に、帯状の駆動電極１０６とセンシング電極１０７とが形成されている。また、基板の裏面には駆動配線１０８，１０９，１１０，１１１が形成され、コンタクト孔１１２を介して駆動電極１０６に電気的に接続されている。ここで、図示したように駆動電極１０６は４本周期で駆動配線１０８，１０９，１１０，１１１に対して接続されている。また、センシング電極１０７は、駆動電極１０６の８本分にあたる周期で配置され、固定子１０２上の移動子１０１の変位方向において、駆動配線１０８に接続された駆動電極１０６に対応した部位に形成されている。そして、センシング電極１０７が配置された近傍においては駆動電極１０６は形成されていない。また、センシング電極１０７は、基板の裏面に配置されたセンシング配線１１３に、コンタクト孔１１２を介して電気的に接続されている。なお、特に図示しないが、センシング配線１１３は電位計測回路に接続されているものとする。
【００１３】
また、図３は、図２におけるＡ−Ａ’線及びＢ−Ｂ’線における断面図である（この図では移動子１０１の断面も併せて記載している）。この図から分かるように、移動子１０１の帯状電極となる電極パターン１０４，１０５の指部１０４−２及び１０５−２の周期は、固定子１０２の駆動電極１０６の周期の２倍である。
【００１４】
また、固定子１０２の駆動電極１０６及びセンシング電極１０７が形成された領域の両側には誘導電極１１４及び誘導電極１１５が形成されている。そして、移動子１０１が配置された状態では、電極パターン１０４の基部１０４−１と誘導電極１１４とが、また電極パターン１０５の基部１０５−１と誘導電極１１５とがそれぞれ対向する。このため、誘導電極１１４に電圧を印加すると静電誘導によってそれに対向する電極パターン１０４の基部１０４−１に電荷が誘起され、結果として電極パターン１０４の指部１０４−２は誘導電極１１４の電圧に応じた電位となる。同様に、誘導電極１１５に電圧を印加すると、静電誘導によってそれに対向する電極パターン１０５の基部１０５−１に電荷が誘起され、結果として電極パターン１０５の指部１０５−２は誘導電極１１５の電圧に応じた電位となる。
【００１５】
ここで、特に図示はしないが、固定子１０２の誘導電極１１４，１１５及び駆動配線１０８，１０９，１１０，１１１には、外部の駆動回路に接続するための配線が形成されている。ここで、上述のように電極パターン１０４，１０５の指部１０４−２，１０５−２の電位は誘導電極１１４，１１５の電圧に応じた電位となるので、結果として、移動子１０１に配線を接続することなく、電極パターン１０４，１０５の指部１０４−２，１０５−２の電位を制御することが可能となる。
【００１６】
次に、本実施形態に係る静電アクチュエータの動作について、図４を用いて説明する。この図は、該静電アクチュエータの電極の結線について模式的に示したもので、固定子１０２では、駆動電極１０６はＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄの各相の配線に接続される、ここで、図２の説明から、Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの各相の配線は駆動配線１０８，１０９，１１０，１１１に接続された配線に対応している。
【００１７】
図示したように、Ａ相，Ｃ相の配線には、交流電源１１６の出力をトランス１１７で昇圧した電圧が印加される。ここで、Ｃ相にはＡ相より位相が１８０°遅れた信号が印加されることになる。Ｂ相，Ｄ相の配線には、上記交流電源１１６の出力を位相シフタ１１８で位相を９０°遅らせた出力をトランス１１９で昇圧した電圧が印加される。ここで、Ｄ相にはＢ相より位相が１８０°遅れた信号が印加されることになる。従って、Ａ相，Ｂ相，Ｃ相，Ｄ相には４相交流電圧が印加されることになる。
【００１８】
一方、移動子１０１では、電極パターン１０４，１０５の指部１０４−２，１０５−２の電位は上述のように固定子１０２の誘導電極１１４，１１５に印加される電圧によって制御されるので、図２の説明から、配線Ｕ，Ｖは誘導電極１１４，１１５に接続された配線に対応することになる。配線Ｕには、交流電源１２０の出力をトランス１２１で昇圧した電圧が印加され、配線Ｖの電位は接地されている。
【００１９】
ここで、図示したように電極パターン１０４，１０５の指部１０４−２，１０５−２のピッチは、駆動電極１０６のピッチの丁度２倍となっており、移動子１０１は交流電源１１６と交流電源１２０の周波数差に応じた速度で変位する。また、交流電源１１６及び交流電源１２０の周波数は、両者の周波数差と比較して十分に大きいものとする。
【００２０】
次に、本実施形態における変位検知方法について、図５及び図６を用いて説明する。
【００２１】
即ち、図５は、連続した任意の時刻ｔ１，ｔ２，ｔ３，ｔ４におけるセンシング電極１０７と移動子１０１との位置関係を示している。前述の説明のように、電極パターン１０４の指部１０４−２には配線Ｕに対応した交流電圧が印加されているので、この指部１０４−２がセンシング電極１０７の直上に位置するときには、静電誘導によって、センシング電極１０７に交流電位が誘起される。このセンシング電極１０７に接続された電位計測回路（図示せず）は、その交流電圧を整流して直流を出力する機能を有するものとする。一方、センシング電極１０７の直上に指部１０４−２が存在しない場合や、電極パターン１０５の指部１０５−２（接地された配線Ｖに対応する）が存在する場合には、このような静電誘導は起こらない。
【００２２】
従って、時刻ｔ１，ｔ２，ｔ３，ｔ４，ｔ５における電位計測回路の出力を模式的に示すと、図６のようになる。なお、時刻ｔ１における値が時刻ｔ５における値よりも大きいのは、時刻ｔ１ではセンシング電極１０７−１及び１０７−２の２つの電極の直上に電極パターン１０４の指部１０４−２が存在するのに対して、時刻ｔ５では直上に指部１０４−２が存在するセンシング電極は１０７−２のみであるためである。
【００２３】
ここで、この電位計測回路の出力波形において例えば適当な閾値によって波形の立ち下がりを捕らえることによって、センシング電極１０７上を電極パターン１０４の指部１０４−２が通過する回数をカウントして移動子１０１の変位をモニタすることができる。
【００２４】
また、本実施形態のように、センシング電極１０７を離散的に複数配置して、移動子１０１がどの位置に存在する場合においても、少なくとも一つのセンシング電極１０７が移動子１０１の電極パターン１０４の指部１０４−２の直下に存在するようにできる。このセンシング電極１０７の必要な間隔については、移動子１０１の変位方向の長さに依存し、移動子１０１と固定子１０２の長さや可動範囲によっては一つのセンシング電極１０７で常に移動子変位のモニタが可能である場合もある。
【００２５】
このように、センシング電極１０７を一つもしくは比較的少数とすることによって、固定子１０２の移動子１０１に対向する部位に対するセンシング電極１０７が占める面積の割合を小さくすることが可能で、これによって固定子１０２の移動子１０１に対向する部位に対する駆動電極１０６が占める面積の割合を大きくして、変位モニタ機構を内包することによる駆動力の低下を抑制することができる。
【００２６】
以上のように、本実施形態においては、駆動出力が大きく変位モニタ機能を内包した静電アクチュエータを得ることができる。
【００２７】
次に、本実施形態に係る静電アクチュエータの、変位モニタ機能を用いた制御方法について説明する。
【００２８】
上記したように、センシング電極１０７に接続された不図示の電位計測回路は、静電誘導によってセンシング電極１０７に誘起された交流電圧を整流して直流を出力する。図示しない制御回路は、その電位計測回路の出力に応じて、上記交流電源１１６，トランス１１７，位相シフタ１１８，及びトランス１１９で構成された駆動パルス電源を制御する。ここで、起動時の駆動パルスは所定の標準電圧及び標準周波数とするが、制御回路は、Ａ相の駆動パルスと、電位計測回路の出力波形からカウントされるパルス数（以下、変位パルス数と称する）とを比較して、例えば下記のような駆動制御を行なうことができる。
【００２９】
１．移動子１０１の目標位置までに必要な変位パルス数がカウントされるまで駆動パルスを出力する。これによって、脱調が生じた場合にあっても目的の位置で移動子１０１を停止させることができる。
【００３０】
２．Ａ相の駆動パルス数よりも変位パルス数が少ない場合は脱調と判断して、駆動を停止する。
【００３１】
３．Ａ相の駆動パルス数よりも変位パルス数が少ない場合は脱調と判断して、駆動パルス電源からより高電圧の駆動パルスを印加する。ただし、印加電圧には上限値を設ける。
【００３２】
４．Ａ相の駆動パルス数よりも変位パルス数が少ない場合は脱調と判断して、駆動パルス電源からより低い周波数の駆動パルス印加する。ただし、駆動周波数には下限値を設ける。
【００３３】
５．Ａ相の駆動パルス数と変位パルス数とが等しい場合は駆動力に余裕があると判断して、消費電力を抑制するために駆動パルス電源からより低電圧の駆動パルスを印加する。ただし、印加電圧には下限値を設ける。
【００３４】
６．Ａ相の駆動パルス数と変位パルス数とが等しい場合は駆動力に余裕があると判断して、駆動速度を増大させるために駆動パルス電源からより高い周波数の駆動パルスを印加する。ただし、駆動周波数には上限値を設ける。
【００３５】
このように、脱調時には駆動を停止したり、駆動電圧の増大による駆動力の増加や、駆動周波数の低減による駆動速度の低下によって脱調を回避する。また、低負荷時にあっては、駆動電圧の低減によって消費電力を抑制したり、駆動周波数の増加によって駆動速度を向上させるなどの制御が可能となる。
【００３６】
また、Ａ相の駆動パルス波形と電位計測回路の出力波形とを比較してその位相差（以下、位相ズレと称する）を求めると、この値は移動子１０１に対する負荷に応じた値となるので、例えば下記のような駆動制御を行なうことができる。
【００３７】
７．位相ズレが所定の値を超えたときは過負荷と判断して、駆動を停止する。
【００３８】
８．位相ズレが所定の値を超えたときは過負荷と判断して、駆動パルス電源からより高電圧の駆動パルスを印加する。ただし、印加電圧には上限値を設ける。
【００３９】
９．位相ズレが所定の値を超えたときは過負荷と判断して、駆動パルス電源からより低い周波数の駆動パルス印加する。ただし、駆動周波数には下限値を設ける。
【００４０】
１０．位相ズレが所定の値よりも小さい場合は駆動力に余裕があると判断して、消費電力を抑制するために駆動パルス電源からより低電圧の駆動パルスを印加する。ただし、印加電圧には下限値を設ける。
【００４１】
１１．位相ズレが所定の値よりも小さい場合は駆動力に余裕があると判断して、駆動速度を増大させるために駆動パルス電源からより高い周波数の駆動パルスを印加する。ただし、駆動周波数には上限値を設ける。
【００４２】
このように、負荷が大きい時には駆動を停止したり、駆動電圧の増大による駆動力の増加や、駆動周波数の低減による駆動速度の低下によって脱調を回避する。また、低負荷時にあっては、駆動電圧の低減によって消費電力を抑制したり、駆動周波数の増加によって駆動速度を向上させるなどの制御が可能となる。
【００４３】
以上のように、本実施形態においては、内包された変位モニタ機能によって負荷の状態等に応じた静電アクチュエータの制御が可能である。
【００４４】
［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態について説明する。上記第１実施形態の方法では、移動子１０１の移動方向の判別はできなかったが、本実施形態はそれを可能とするためのものである。
【００４５】
図７は、本実施形態に係る静電アクチュエータにおける固定子２０１の構成を示している。ここで、図示しない移動子は、上記第１実施形態における移動子１０１と同様である。固定子２０１においても上記第１実施形態の固定子１０２と類似しており、よって、同様の部分には同じ参照番号を付し、その説明は省略する。
【００４６】
本実施形態における固定子２０１が上記第１実施形態の固定子１０２と異なる点は、上記第１実施形態にあってはセンシング電極１０７は駆動電極１０６のＡ相に対応する部位のみに設けられていたのに対して、本実施形態ではＢ相に対応する部位にも設けられていることである。即ち、Ａ相に対応するセンシング電極１０７−Ａに加えて、Ｂ相に対応するセンシング電極１０７−Ｂが形成されており、コンタクト孔１１２を介して第１センシング配線１１３−Ａ、第２センシング配線１１３−Ｂに接続されている。また、特に図示はしないが、外部リード線によって、第１センシング配線１１３−Ａは第１電位計測回路に、第２センシング配線１１３−Ｂは第２電位計測回路にそれぞれ接続されている。
【００４７】
本実施形態における移動子１０１の駆動方法は、上記第１実施形態と全く同様である。
【００４８】
ここで、駆動パルスと第１電位計測回路及び第２電位計測回路の出力波形について、第１実施形態における図６と同様に図８に模式的に示す。第１センシング電極１０７−Ａと第２センシング電極１０７−Ｂとは、駆動電極１０６の１／４周期分だけずれているので、それに応じた時間遅れを伴った出力となる。このため、両者を比較することで方向判別が可能となる。
【００４９】
このように、本実施形態においては、駆動出力が大きく、方向判別を含んだ変位センシング機能を内包した静電アクチュエータを得ることができる。
【００５０】
以上実施形態に基づいて本発明を説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形や応用が可能なことは勿論である。
【００５１】
（付記）
前記の具体的実施形態から、以下のような構成の発明を抽出することができる。
【００５２】
（１）  所定ピッチで配置された駆動電極を有する固定基板と、
所定ピッチで配置された帯状の可動子電極を有する移動子と、
上記固定基板の駆動電極に接続され、周期的に出力電圧が変化する多相の駆動電源と、
上記固定基板に対して固定された電位検出電極と、
上記電位検出電極に接続され、電位変化を検知する電位変化検知手段と、
を備え、
上記固定基板の駆動電極と上記移動子との間に作用する静電気力によって上記移動子が変位する静電アクチュエータにおいて、
上記駆動電圧源の駆動信号と、上記移動子の変位に伴い変化する上記電位変化検知手段の出力信号とを比較する比較手段を更に具備することを特徴とする静電アクチュエータ。
【００５３】
（対応する実施形態）
この（１）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、第１及び第２実施形態が対応する。ここで、それらの実施形態において、駆動電極１０６が上記駆動電極に対応し、固定子１０２又は２０１が上記固定基板に対応し、電極パターン１０４，１０５の指部１０４−２，１０５−２が上記可動子電極に対応し、移動子１０１が上記移動子に対応し、交流電源１１６，トランス１１７，位相シフタ１１８，及びトランス１１９でなる駆動パルス電源が上記駆動電源に対応し、センシング電極１０７又は１０７−Ａ，１０７−Ｂが上記電位検出電極に対応し、図示しない電位計測回路が上記電位変化検知手段に対応し、図示しない制御回路が上記比較手段に対応する。
【００５４】
（作用効果）
この（１）に記載の静電アクチュエータによれば、駆動電圧源の駆動信号と、上記移動子の変位に伴い変化する上記電位変化検知手段の出力信号とを比較することで負荷の状態を検出でき、よって、その検出結果に応じて静電アクチュエータの駆動信号を制御することが可能となるので、効率の良い静電アクチュエータを提供することができる。
【００５５】
（２）  上記比較手段が、所定周期の上記駆動電源の出力電圧の周期の回数である駆動パルス数と、上記電位変化検知手段の出力信号の周期の回数である変位パルス数とを比較することを特徴とする（１）に記載の静電アクチュエータ。
【００５６】
（対応する実施形態）
この（２）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、第１及び第２実施形態が対応する。
【００５７】
（作用効果）
この（２）に記載の静電アクチュエータによれば、駆動パルス数と変位パルス数とを比較することで、脱調の発生や低負荷を検出できる。
【００５８】
（３）  上記比較手段は、上記移動子の目標位置までに必要な上記変位パルス数がカウントされるまで、上記駆動電源に上記出力電圧を出力させることを特徴とする（２）に記載の静電アクチュエータ。
【００５９】
（対応する実施形態）
この（３）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、第１及び第２実施形態が対応する。
【００６０】
（作用効果）
この（３）に記載の静電アクチュエータによれば、脱調が生じた場合にあっても目的の位置で移動子を停止させることができる。
【００６１】
（４）  上記比較手段は、上記駆動パルス数よりも上記変位パルス数が少ない場合は、上記駆動電源の駆動を停止することを特徴とする（２）に記載の静電アクチュエータ。
【００６２】
（対応する実施形態）
この（４）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、第１及び第２実施形態が対応する。
【００６３】
（作用効果）
この（４）に記載の静電アクチュエータによれば、脱調時に、駆動を停止することによって、その脱調を回避することができる。
【００６４】
（５）  上記比較手段は、上記駆動パルス数よりも上記変位パルス数が少ない場合は、上記駆動電源の出力電圧の電圧を高めることを特徴とする（２）に記載の静電アクチュエータ。
【００６５】
（対応する実施形態）
この（５）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、第１及び第２実施形態が対応する。
【００６６】
（作用効果）
この（５）に記載の静電アクチュエータによれば、脱調時に、駆動電圧の増大による駆動力の増加によって、その脱調を回避することができる。
【００６７】
（６）  上記比較手段は、上記駆動パルス数よりも上記変位パルス数が少ない場合は、上記駆動電源の出力電圧の周波数を低くすることを特徴とする（２）に記載の静電アクチュエータ。
【００６８】
（対応する実施形態）
この（６）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、第１及び第２実施形態が対応する。
【００６９】
（作用効果）
この（６）に記載の静電アクチュエータによれば、脱調時に、駆動周波数の低減による駆動速度の低下によって、その脱調を回避することができる。
【００７０】
（７）  上記比較手段は、上記駆動パルス数と上記変位パルス数とが等しい場合は、上記駆動電源の出力電圧の電圧を低くすることを特徴とする（２）に記載の静電アクチュエータ。
【００７１】
（対応する実施形態）
この（７）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、第１及び第２実施形態が対応する。
【００７２】
（作用効果）
この（７）に記載の静電アクチュエータによれば、低負荷時にあっては、駆動電圧の低減によって消費電力を抑制することができる。
【００７３】
（８）  上記比較手段は、上記駆動パルス数と上記変位パルス数とが等しい場合は、上記駆動電源の出力電圧の周波数を高くすることを特徴とする（２）に記載の静電アクチュエータ。
【００７４】
（対応する実施形態）
この（８）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、第１及び第２実施形態が対応する。
【００７５】
（作用効果）
この（８）に記載の静電アクチュエータによれば、低負荷時にあっては、駆動周波数の増加によって駆動速度を向上させることができる。
【００７６】
（９）  上記比較手段が、所定周期の上記駆動電源の出力電圧の周期と上記電位変化検知手段の出力信号との位相差である位相ズレを求めることを特徴とする（１）に記載の静電アクチュエータ。
【００７７】
（対応する実施形態）
この（９）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、第１及び第２実施形態が対応する。
【００７８】
（作用効果）
この（９）に記載の静電アクチュエータによれば、位相ズレを求めることで、負荷の大きさ検出できる。
【００７９】
（１０）  上記比較手段は、上記位相ズレが所定の値を超えたときは、上記駆動電源の駆動を停止することを特徴とする（９）に記載の静電アクチュエータ。
【００８０】
（対応する実施形態）
この（１０）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、第１及び第２実施形態が対応する。
【００８１】
（作用効果）
この（１０）に記載の静電アクチュエータによれば、負荷が大きい時には駆動を停止することによって、脱調を回避することができる。
【００８２】
（１１）  上記比較手段は、上記位相ズレが所定の値を超えたときは、上記駆動電源の出力電圧の電圧を高めることを特徴とする（９）に記載の静電アクチュエータ。
【００８３】
（対応する実施形態）
この（１１）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、第１及び第２実施形態が対応する。
【００８４】
（作用効果）
この（１１）に記載の静電アクチュエータによれば、負荷が大きい時には、駆動電圧の増大による駆動力の増加によって、脱調を回避することができる。
【００８５】
（１２）  上記比較手段は、上記位相ズレが所定の値を超えたときは、上記駆動電源の出力電圧の周波数を低くすることを特徴とする（９）に記載の静電アクチュエータ。
【００８６】
（対応する実施形態）
この（１２）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、第１及び第２実施形態が対応する。
【００８７】
（作用効果）
この（１２）に記載の静電アクチュエータによれば、負荷が大きい時には、駆動周波数の低減による駆動速度の低下によって、脱調を回避することができる。
【００８８】
（１３）  上記比較手段は、上記位相ズレが所定の値よりも小さい場合は、上記駆動電源の出力電圧の電圧を低くすることを特徴とする（９）に記載の静電アクチュエータ。
【００８９】
（対応する実施形態）
この（１３）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、第１及び第２実施形態が対応する。
【００９０】
（作用効果）
この（１３）に記載の静電アクチュエータによれば、低負荷時にあっては、駆動電圧の低減によって消費電力を抑制することができる。
【００９１】
（１４）  上記比較手段は、上記位相ズレが所定の値よりも小さい場合は、上記駆動電源の出力電圧の周波数を高くすることを特徴とする（９）に記載の静電アクチュエータ。
【００９２】
（対応する実施形態）
この（１４）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、第１及び第２実施形態が対応する。
【００９３】
（作用効果）
この（１４）に記載の静電アクチュエータによれば、低負荷時にあっては、駆動周波数の増加によって駆動速度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００９４】
【図１】本発明の第１実施形態に係る静電アクチュエータの構成を示す平面図である。
【図２】固定子の平面図である。
【図３】図２におけるＡ−Ａ’線及びＢ−Ｂ’線断面図である。
【図４】第１実施形態に係る静電アクチュエータの電極の結線について模式的に示した図である。
【図５】連続した任意の時刻ｔ１，ｔ２，ｔ３，ｔ４におけるセンシング電極と移動子との位置関係を示す図である。
【図６】時刻ｔ１，ｔ２，ｔ３，ｔ４，ｔ５における電位計測回路の出力を模式的に示す図である。
【図７】本発明の第２実施形態に係る静電アクチュエータの構成を示す平面図である。
【図８】時刻ｔ１，ｔ２，ｔ３，ｔ４，ｔ５における第１及び第２電位計測回路の出力を模式的に示す図である。
【図９】従来の静電アクチュエータの構成を示す図である。
【符号の説明】
【００９５】
１０１…移動子、  １０２，２０１…固定子、  １０３…樹脂フィルム、  １０４，１０５…電極パターン、  １０４−１，１０５−１…基部、  １０４−２，１０５−２…指部、  １０６…駆動電極、１０７，１０７−１，１０７−２，１０７−Ａ，１０７−Ｂ…センシング電極、  １０８，１０９，１１０，１１１…駆動配線、  １１２…コンタクト孔、  １１３…センシング配線、  １１４，１１５…誘導電極、  １１６，１２０…交流電源、  １１７，１１９，１２１…トランス、  １１８…位相シフタ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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