(57)【要約】【課題】  微粒子水の発生不能や霧化量の低下を防止することができる放電電極を提供する。【解決手段】  水５３に高電圧を印加して微粒子水５７を発生させるために用いる多孔質の放電電極１に関する。高電圧の印加によって放電を発生させるための放電部２と、放電部２に水を供給するための供給部３とを有する。放電部２への水５３の供給量の低下を抑制するための抑制手段４を備える。放電部２への水５３の供給速度の低下を抑制手段４により抑えることができる。多孔質の放電電極１の空孔がこの析出物で閉塞されにくくなって、放電部２への水５３の供給速度（単位時間あたりの水の供給量）が低下しにくくなる。空孔の閉塞を防止するために空孔径を大きくすることが不要となる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
水に高電圧を印加して微粒子水を発生させるために用いる多孔質の放電電極であって、高電圧の印加によって放電を発生させるための放電部と、放電部に水を供給するための供給部とを有し、放電部への水の供給速度の低下を抑制するための抑制手段を備えて成ることを特徴とする放電電極。
【請求項２】
抑制手段が、水に含まれている成分の析出が供給部の材料よりも少ない材料で放電部を形成すること、あるいは放電部よりも供給部の空孔率を大きく形成すること、あるいは放電部よりも供給部の空孔径を大きく形成することの少なくともいずれか一であることを特徴とする請求項１に記載の放電電極。
【請求項３】
放電部と供給部との間に緩和部を設けて成ることを特徴とする請求項１又は２に記載の放電電極。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載の放電電極を製造する方法であって、成形用金型で放電部用材料と供給部用材料とを一体的に成形した後、焼結することを特徴とする放電電極の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、イオン発生装置や除電装置、静電霧化装置などに用いられる放電電極及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、放電を利用して静電気を除去するためのイオン発生装置（水に高電圧を印加して気体雰囲気をイオン化する装置）や除電装置が提案されているが（例えば、特許文献１、２参照）、これらと同様に放電を利用して微粒子水を発生させるための静電霧化装置が本出願人によって提案されている。
【０００３】
図７（ａ）には静電霧化装置（静電霧化システム）５０の一例を示す。この静電霧化装置５０は、放電電極１、水タンク５１及び高電圧回路５２を備えて形成されている。放電電極１は上端が尖った棒状の多孔質のセラミックであって、その上部が放電部２として、下部が供給部３としてそれぞれ形成されている。放電電極１は放電部２が水タンク５１の上面から突出するように立設されており、水タンク５１の内部に位置する放電電極１の下部の供給部３は水タンク５１に貯留する水道水などの水５３に浸漬されている。高電圧回路５２には対向電極５４、電源５５、浸漬部５６が設けられており、対向電極５４は放電電極１の上方に配設されていると共に浸漬部５６は水タンク５１に貯留する水５３に浸漬されている。
【０００４】
そして、この静電霧化装置５０では以下のようにして微粒子水（ミスト）５７を発生することができる。まず、毛細管現象によって放電電極１の供給部３から放電部２の先端にまで水タンク５１内の水５３が吸い上げられる。次に、高電圧回路５２の電源５５により放電電極１及び水５３に高電圧（例えば、−１〜−９ｋＶ、好ましくは−６ｋＶ）を印加する。これにより、放電電極１と対向電極５４の間で放電が発生すると共に図７（ｂ）に示すように放電電極１の先端に電荷が集中し、放電電極１に吸い上げられた水５３が大きなエネルギーを受けて表面張力を超えて、図８に示すように、水５３が水粒子５９から微粒子水５７へと分裂を繰り返す（レイリー分裂）と共に、これと同時に生成された反応性に富むラジカル（酸素ラジカルやヒドラキシルラジカルなど）が分裂した微粒子水５７に包まれて空気中に飛び出す。このようにして直径約１８〜２０ｎｍの微粒子水５７が１秒間に約２０兆個空気中に放出することができるものである。すなわち、この静電霧化装置５０では水５３に高電圧を印加して微粒子水５７を次々と分裂して生成すると共にこれと同時に生じるラジカルを微粒子水５７で包んだナノサイズのイオン分子を発生させるものであり、この微粒子水５７で脱臭や除菌などの空気浄化を行うことができるものである。
【０００５】
ところで、現在、上記の放電電極１としてはコーディライト製で空孔径約０．７μｍ、空孔率約４０％の多孔質電極が一般的に使用されているが、静電霧化装置５０の使用に従って水５３に含まれているイオンなどの成分が放電電極１に析出して空孔が閉塞し、放電電極１による水５３の吸い上げ速度が低下して霧化量（単位時間あたりの微粒子水５７の発生量）が少なくなるという問題があった。また、空孔の閉塞を防止するために空孔径を大きくしておくと、放電の集中化が起こり放電阻害が発生し、微粒子水５７を発生することができなくなる恐れがあった。
【特許文献１】特開２００３−１５９１１４号公報
【特許文献２】特開平５−３６４６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、微粒子水の発生不能や霧化量の低下を防止することができる放電電極及びその製造方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る放電電極は、水５３に高電圧を印加して微粒子水５７を発生させるために用いる多孔質の放電電極１であって、高電圧の印加によって放電を発生させるための放電部２と、放電部２に水を供給するための供給部３とを有し、放電部２への水５３の供給量の低下を抑制するための抑制手段４を備えて成ることを特徴とするものである。
【０００８】
この発明によれば、放電部２への水５３の供給速度の低下を抑制手段４により抑えることができ、多孔質の放電電極１の空孔がこの析出物で閉塞されにくくなって、放電部２への水５３の供給速度（単位時間あたりの水の供給量）が低下しにくくなり、また、空孔の閉塞を防止するために空孔径を大きくすることが不要となって放電の集中化による放電阻害の発生を抑えることができ、この結果、微粒子水５７の発生不能や霧化量の低下を防止することができるものである。
【０００９】
本発明において、抑制手段４が、水５３に含まれている成分の析出が供給部３の材料よりも少ない材料で放電部２を形成すること、あるいは放電部２よりも供給部３の空孔率を大きく形成すること、あるいは放電部２よりも供給部３の空孔径を大きく形成することの少なくともいずれか一であることが好ましい。
【００１０】
この発明によれば、水５３に含まれている成分が放電部２で析出するのを抑えたり、供給部３の空孔が水５３に含まれている成分の析出で閉塞されにくくしたりすることができ、放電部２への水５３の供給速度が低下しにくくなって、微粒子水５７の発生不能や霧化量の低下を防止することができるものである。
【００１１】
本発明において、放電部２と供給部３の間に緩和部５を設けるのが好ましい。
【００１２】
この発明によれば、放電部２と供給部３の物理的性質の不連続を緩和部５で吸収することができ、不連続に伴う強度低下や空孔の連続性の低下などの問題の発生を緩和することができるものである。
【００１３】
本発明の放電電極の製造方法は、請求項１乃至３のいずれかに記載の放電電極１を製造する方法であって、成形用金型６で放電部用材料７と供給部用材料８とを一体的に成形した後、焼結することを特徴とするものである。
【００１４】
この発明によれば、性質の異なる放電部２と供給部３とを容易に接合することができ、一種類の材料を用いた場合よりも複雑な工程にならずに放電電極１を製造することができるものである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明は、放電部への水の供給速度の低下を抑制手段により抑えることができ、多孔質の放電電極の空孔がこの析出物で閉塞されにくくなって、放電部への水の供給速度（単位時間あたりの水の供給量）が低下しにくくなり、また、空孔の閉塞を防止するために空孔径を大きくすることが不要となって放電の集中化による放電阻害の発生を抑えることができ、この結果、微粒子水の発生不能や霧化量の低下を防止することができるものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明を実施するための最良の形態を説明する。
【００１７】
本発明の放電電極１は従来と同様に、放電を利用して微粒子水５７を発生させるための静電霧化装置などに使用されるものであって、多数の連なった空孔を有する多孔質のセラミックにより形成されている。また、放電電極１は断面略円形であって、図１に示すように上端が尖った棒状であり、その上部が放電部２として、下部が供給部３としてそれぞれ形成されている。尚、放電部２は放電電極１の上端から全長の５〜３０％までの長さとし、供給部３は放電部２の下端から放電電極１の下端までの間の部分をいう。そして、図７（ａ）に示すように、上記の従来例と同様に、本発明の放電電極１はその供給部３が水タンク５１に貯留する水５３に浸漬した状態で水タンク５１に立設されるものであり、これにより、放電部２が水タンク５１の上面から突出している。また、本発明の放電電極１を用いた静電霧化装置５０も図７（ｂ）及び図８に示すように、上記の従来例と同様の原理で微粒子水５７を発生することができるものである。
【００１８】
そして、本発明の放電電極１は二種類以上の異なる特性を有するものから構成した点に特徴を有するものであり、具体的には、放電部２と供給部３とを異なる特性を有するように形成し、長期間の使用によって放電部２への水５３の供給速度や供給量が低下するのを抑制するための抑制手段４を備えた点に特徴を有するものである。
【００１９】
第１の実施の形態では、放電部２と供給部３とを異なる材質で形成し、放電部２に抑制手段４を備えるようにしたものであり、具体的には、水道水などの水５３に含まれているカルシウムイオンなどのイオンなどの成分の析出が供給部３の材料よりも少ない材料で放電部２が形成されている。放電電極１の先端近傍を構成する放電部２の材料としてはコーディライトよりも高価ではあるが、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）を含まないステアライト（ＭｇＯ・ＳｉＯ２）を使用するのが好ましく、これにより、放電部２に酸化アルミニウムが含まれなくなって、水５３として水道水を用いた場合に、これに含まれているカルシウムイオンなどのイオンなどの成分の析出を抑えることができ、放電部２の空孔が析出物で閉塞されるのを防止することができるものである。
【００２０】
ここで、供給部３を構成する材料としてはステアライト以外でこれよりも安価な材料が好ましく、例えば、コーディライト（２ＭｇＯ・２Ａｌ２Ｏ３・５ＳｉＯ３）、ムライト（３Ａｌ２Ｏ３・２ＳｉＯ２）などを例示することができる。また、放電部２はステアライトの他にシリカ（ＳｉＯ２）などを用いて形成することができる。
【００２１】
第１の実施の形態の放電電極１を製造するにあたっては次のようにして行なう。まず、放電部用材料７と供給部用材料８を調製する。放電部用材料７はステアライトなどの原料粉末とステアリン酸などの成形助剤とを混合して調製することができ、供給部用材料８はコーディライトなどの原料粉末とステアリン酸などの成形助剤とを混合して調製することができる。両方の原料粉末とも粒径が０．５〜３０μｍ、好ましくは粒径１μｍ程度のものを使用し、成形助剤は放電部用材料７あるいは供給部用材料８の各全量に対して０．１〜５ｗｔ％、好ましくは０．５ｗｔ％配合することができる。成形助剤は放電部用材料７と供給部用材料８の保形性を良好にするために配合するものである。尚、本発明において、ステアライトやコーディライトなどの原料粉末の粒径はレーザー回折法による平均粒径を採用した。
【００２２】
次に、成型用金型６のキャビティ１０に図２（ａ）のように放電部用材料７を充填した後、その上から供給部用材料８を投入して図２（ｂ）のように充填する。次に、図２（ｃ）に示すように成型用金型６のキャビティ１０の開口からコア１１を差し込んでキャビティ１０内の放電部用材料７及び供給部用材料８を所望の形状に成形する。ここで成形条件は常温で、４９０〜５８８ＭＰａ（５〜６ｔｏｎｆ／ｃｍ２）の圧力で、３〜１０秒間の成形時間とすることができるが、これに限定されるものではない。
【００２３】
上記のようにして放電部用材料７及び供給部用材料８からなる複数個の成形体を形成した後、大気雰囲気下で１１００〜１３５０℃、好ましくは１２５０℃の温度で１〜４時間、好ましくは２時間保持して焼結した後、徐冷する。このようにして放電部用材料７及び供給部用材料８の異材料が界面で接合した多孔質の放電電極１を形成することができる。この焼結には図２（ｄ）に示すように炎１３などで加熱することができる焼結炉１２を用いることができる。尚、上記の焼結の後、必要に応じて図２（ｅ）に示すように、放電部２側を研磨材１４で研磨して形状を整えるなどしても良い。
【００２４】
そして、第１の実施の形態では、放電部２をステアライトなどで形成することによって、水５３に含まれているカルシウムイオンなどのイオンなどの成分の析出を放電部２で抑えることができ、放電部２の空孔が析出物で閉塞されるのを防止することができるものであり、この結果、放電部２への水５３の供給速度が低下しにくくなり、微粒子水５７の発生不能や霧化量の低下を防止することができるものである。また、放電部２の空孔の閉塞を防止するために放電部２の空孔径を大きくすることが不要となって放電の集中化による放電阻害の発生を抑えることができるものである。
【００２５】
次に、第２の実施の形態について説明する。第２の実施の形態では図３に示すように、第１の実施の形態とほぼ同外形ではあるが、放電部２と供給部３との空孔率を異なるように形成し、供給部３に抑制手段４を備えるようにしたものであり、具体的には、供給部３の空孔率を放電部２の空孔率よりも大きく形成したものである。尚、放電部２の空孔率とは放電部２の全体積に占める空孔の体積の割合で定義され、供給部３の空孔率とは供給部３の全体積に占める空孔の体積の割合で定義されるものである。
【００２６】
この放電電極１では放電部２と供給部３の材料を同じにしても異ならせても良く、カルシウムイオンなどの析出を抑えることができるステアライトを用いることができるが、これよりも安価なコーディライトを用いることが好ましく、ムライトなども使用可能である。
【００２７】
第２の実施の形態の放電電極１を製造するにあたっては次のようにして行なう。まず、放電部用材料７と供給部用材料８を調製する。放電部用材料７と供給部用材料８はコーディライトなどの原料粉末とステアリン酸などの成形助剤とを混合して調製することができる。両方の原料粉末とも粒径が０．５〜３０μｍ、好ましくは粒径１μｍ程度のものを使用することができる。また、成形助剤は放電部用材料７の場合にはその全量に対して０．１〜５ｗｔ％、好ましくは０．５ｗｔ％配合することができ、供給部用材料８の場合には放電部用材料７よりも多くて供給部用材料８の全量に対して０．５〜１０ｗｔ％、好ましくは１．０ｗｔ％配合することができる。
【００２８】
次に、成型用金型６のキャビティ１０に放電部用材料７を充填した後、図４（ａ）に示すように成型用金型６の上面のキャビティ１０の開口からコア１１を差し込んでキャビティ１０内の放電部用材料７を所望の形状に成形する。ここで成形条件は常温で、４９０〜５８８ＭＰａ（５〜６ｔｏｎｆ／ｃｍ２）の圧力で、３〜１０秒間の成形時間とすることができるが、これに限定されるものではない。このようにして放電部用材料７を成形した後、その上から供給部用材料８を投入して図４（ｂ）のように充填する。次に、図４（ｃ）に示すように成型用金型６の上面のキャビティ１０の開口からコア１１を再度差し込んでキャビティ１０内の放電部用材料７及び供給部用材料８を所望の形状に成形する。ここで成形条件は常温で、１９６〜２９４ＭＰａ（２〜３ｔｏｎｆ／ｃｍ２）の圧力で、３〜１０秒間の成形時間とすることができるが、これに限定されるものではない。このように放電部用材料７と供給部用材料８の成形助剤の配合量を異ならせると共に放電部用材料７と供給部用材料８の成形圧力を異ならせることによって、空孔率の異なる放電部２と供給部３を形成することができる。
【００２９】
上記のようにして放電部用材料７及び供給部用材料８からなる複数個の成形体を形成した後、大気雰囲気下で１１００〜１３５０℃、好ましくは１２５０℃の温度で１〜４時間、好ましくは２時間保持して焼結した後、徐冷する。このようにして空孔率が２０〜３５％、好ましくは３０％の放電部２と、空孔率が放電部２よりも大きくて３５〜５０％、好ましくは４５％の供給部３とが界面で接合した多孔質の放電電極１を形成することができる。尚、焼結には図２（ｄ）に示す上記と同様の焼結炉１２を用いることができると共に焼結の後に必要に応じて図２（ｅ）に示す上記と同様の研磨を行なっても良い。
【００３０】
そして、第２の実施の形態では、供給部３の空孔率を放電部２の空孔率よりも大きく形成することによって、水５３に含まれているカルシウムイオンなどのイオンなどの成分が供給部３で析出しても、供給部３の空孔が析出物で閉塞されるのを防止することができるものであり、この結果、供給部３から放電部２への水５３の供給速度が低下しにくくなり、微粒子水の発生不能や霧化量の低下を防止することができるものである。また、放電部２の空孔の閉塞を防止するために放電部２の空孔径を大きくすることが不要となって放電の集中化による放電阻害の発生を抑えることができるものである。尚、この実施の形態では供給部３の空孔率が放電部２の空孔率よりも大きければよいが、供給部３の水５３の供給性能や強度などを考慮すると、供給部３の空孔率が放電部２の空孔率の１．５〜２倍であるのが好ましい。
【００３１】
次に、第３の実施の形態について説明する。第３の実施の形態は第２の実施の形態とほぼ同外形ではあるが、放電部２と供給部３との空孔径を異なるように形成し、供給部３に抑制手段４を備えるようにしたものであり、具体的には、供給部３の空孔径を放電部２の空孔径よりも大きく形成したものである。尚、本発明では、放電部２又は供給部３のそれぞれにおいて、顕微鏡で空孔を拡大しながらその直径の最も大きい部分を測定し、複数個の空孔について測定した直径の平均値を空孔径として用いた。
【００３２】
この放電電極１では放電部２と供給部３の材料を同じにしても異ならせても良く、カルシウムイオンなどの析出を抑えることができるステアライトを用いることができるが、これよりも安価なコーディライトを用いることが好ましく、ムライトなども使用可能である。
【００３３】
第３の実施の形態の放電電極１を製造するにあたっては次のようにして行なう。まず、放電部用材料７と供給部用材料８を調製する。放電部用材料７と供給部用材料８はコーディライトなどの原料粉末とステアリン酸などの成形助剤とを混合して調製することができる。この時、放電部用材料７の原料粉末としては粒径が０．５〜３０μｍ、好ましくは粒径１μｍ程度のものを使用することができ、供給部用材料８の原料粉末としては放電部用材料７よりも粒径が大きくて粒径が１〜５０μｍ、好ましくは粒径５μｍ程度のものを使用することができる。このように粒径の異なる原料粉末を用いることによって、放電部２と供給部３の空孔径を異ならせることができる。また、成形助剤は放電部用材料７あるいは供給部用材料８の各全量に対して０．１〜５ｗｔ％、好ましくは０．５ｗｔ％配合することができる。
【００３４】
そして、上記のような放電部用材料７と供給部用材料８とを用いて第１の実施の形態と同様に図２（ａ）乃至（ｄ）に示す成形工程及び焼結工程、必要に応じて図２（ｅ）の研磨工程を行うことによって、空孔径が０．３〜２μｍ、好ましくは１μｍの放電部２と、空孔径が放電部２よりも大きくて１〜５μｍ、好ましくは５μｍの供給部３とを界面で接合させた多孔質の放電電極１を形成することができる。
【００３５】
第３の実施の形態では、供給部３の空孔径を放電部２の空孔径よりも大きく形成することによって、水５３に含まれているカルシウムイオンなどのイオンなどの成分が供給部３で析出しても、供給部３の空孔が析出物で閉塞されるのを防止することができるものであり、この結果、供給部３から放電部２への水５３の供給速度が低下しにくくなり、微粒子水の発生不能や霧化量の低下を防止することができるものである。また、放電部２の空孔の閉塞を防止するために放電部２の空孔径を大きくすることが不要となって放電の集中化による放電阻害の発生を抑えることができるものである。尚、この実施の形態では供給部３の空孔径が放電部２の空孔径よりも大きければよいが、供給部３の水５３の供給性能や強度などを考慮すると、供給部３の空孔径が放電部２の空孔径の２〜７倍であるのが好ましい。
【００３６】
次に、第４の実施の形態について説明する。第４の実施の形態は図１に示す第１の実施の形態とほぼ同外形ではあるが、放電部２と供給部３とを異なる材質で形成すると共に放電部２と供給部３との空孔径を異なるように形成し、放電部２と供給部３の両方に抑制手段４を備えるようにしたものであり、具体的には、水道水などの水５３に含まれているカルシウムイオンなどのイオンなどの成分の析出が供給部３の材料よりも少ない材料で放電部２を形成すると共に供給部３の空孔径を放電部２の空孔径よりも大きく形成したものである。
【００３７】
放電部２を構成する材料としては上記と同様にステアライトやシリカなどを用いることができ、また、供給部３を構成する材料としてはステアライト以外で上記と同様のコーディライトやムライトなどを例示することができる。
【００３８】
第４の実施の形態の放電電極１を製造するにあたっては次のようにして行なう。まず、放電部用材料７と供給部用材料８を調製する。放電部用材料７はステアライトなどの原料粉末とステアリン酸などの成形助剤とを混合して調製することができ、供給部用材料８はコーディライトなどの原料粉末とステアリン酸などの成形助剤とを混合して調製することができる。この時、放電部用材料７の原料粉末としては粒径が０．５〜３０μｍ、好ましくは粒径１μｍ程度のものを使用することができ、供給部用材料８の原料粉末としては放電部用材料７よりも粒径が大きくて粒径１〜５０μｍ、好ましくは粒径５μｍ程度のものを使用することができる。また、成形助剤は放電部用材料７あるいは供給部用材料８の各全量に対して０．１〜５ｗｔ％、好ましくは０．５ｗｔ％配合することができる。
【００３９】
そして、上記のような放電部用材料７と供給部用材料８とを用いて第１の実施の形態と同様に図２（ａ）乃至（ｄ）に示す成形工程及び焼結工程、必要に応じて図２（ｅ）の研磨工程を行うことによって、ステアライト製などであって、空孔径が０．３〜２μｍ、好ましくは１μｍの放電部２と、コーディライト製などであって、空孔径が放電部２よりも大きくて１〜５μｍ、好ましくは５μｍの供給部３とが界面で接合した多孔質の放電電極１を形成することができる。
【００４０】
第４の実施の形態では、放電部２をステアライトなどで形成することによって、水５３に含まれているカルシウムイオンなどのイオンなどの成分の析出を放電部２で抑えることができ、放電部２の空孔が析出物で閉塞されるのを防止することができるものであり、また、供給部３の空孔径を放電部２の空孔径よりも大きく形成することによって、水５３に含まれているカルシウムイオンなどのイオンなどの成分が供給部３で析出しても、供給部３の空孔が析出物で閉塞されるのを防止することができるものであり、この結果、供給部３から放電部２への水５３の供給速度が低下しにくくなり、微粒子水の発生不能や霧化量の低下を防止することができるものである。また、放電部２の空孔の閉塞を防止するために放電部２の空孔径を大きくすることが不要となって放電の集中化による放電阻害の発生を抑えることができるものである。
【００４１】
次に、第５の実施の形態について説明する。第５の実施の形態は図５に示すように、第１の実施の形態とほぼ同外形ではあるが、放電部２と供給部３とを異なる材質で形成して放電部２に抑制手段４を備えるようにした場合において、放電部２と供給部３との間に緩和部５を設けるようにしたものであり、具体的には、水道水などの水５３に含まれているカルシウムイオンなどのイオンなどの成分の析出が供給部３の材料よりも少ない材料で放電部２を形成すると共に緩和部５を放電部２と供給部３との間の特性を有する上層部５ａと中層部５ｂ及び下層部５ｃで形成したものである。
【００４２】
放電部２を構成する材料としては上記と同様にステアライトやシリカなどを用いることができ、供給部３を構成する材料としてはステアライト以外で、上記と同様のコーディライトやムライトなどを例示することができる。緩和部５は放電部２の材料と供給部３の材料とを混合して調製される材料で形成することができ、また、上層部５ａと中層部５ｂと下層部５ｃは放電部２の材料と供給部３の材料との混合比率を異ならせて形成されている。すなわち、放電部２をステアライト１００ｗｔ％、供給部３をコーディライト１００ｗｔ％で形成した場合は、放電部２の直下の上層部５ａはステアライト７５ｗｔ％とコーディライト２５ｗｔ％（質量比でステアライト：コーディライト＝３：１）の混合材料で形成し、上層部５ａと下層部５ｃの間の中層部５ｂはステアライト５０ｗｔ％とコーディライト５０ｗｔ％（質量比でステアライト：コーディライト＝１：１）の混合材料で形成し、さらに供給部３の直上の下層部５ｃはステアライト２５ｗｔ％とコーディライト７５ｗｔ％（質量比でステアライト：コーディライト＝１：３）の混合材料で形成したものである。上層部５ａと中層部５ｂと下層部５ｃの厚みはほぼ同じであって、例えば、２〜５ｍｍに形成することができるが、これに限定されるものではない。
【００４３】
第５の実施の形態の放電電極１を製造するにあたっては次のようにして行なう。まず、放電部用材料７と供給部用材料８及び緩和部用材料９とを調製する。放電部用材料７はステアライトなどの原料粉末とステアリン酸などの成形助剤とを混合して調製することができ、供給部用材料８はコーディライトなどの原料粉末とステアリン酸などの成形助剤とを混合して調製することができる。また、緩和部用材料９は上層部用材料９ａ、中層部用材料９ｂ、下層部用材料９ｃに応じて上記のような混合比率にステアライトなどの原料粉末とコーディライトなどの原料粉末とを配合し、さらにステアリン酸などの成形助剤とを混合して調製することができる。上記のステアライトやコーディライトなどの原料粉末としては粒径０．３〜２μｍ、好ましくは粒径１μｍ程度のものを使用することができる。また、成形助剤は放電部用材料７あるいは供給部用材料８あるいは緩和部用材料９の各全量に対して０．１〜５ｗｔ％、好ましくは０．５ｗｔ％配合することができる。
【００４４】
次に、成型用金型６のキャビティ１０に図６（ａ）のように放電部用材料７を充填した後、図６（ｂ）〜（ｅ）のようにその上から上層部用材料９ａ、中層部用材料９ｂ、下層部用材料９ｃ、供給部用材料８をこの順で投入して充填する。次に、図６（ｆ）に示すように成型用金型６の上面のキャビティ１０の開口からコア１１を差し込んでキャビティ１０内の放電部用材料７及び供給部用材料８並びに緩和部用材料９を所望の形状に成形する。ここで成形条件は第１の実施の形態と同様に設定することができる。この後、図６（ｇ）及び（ｈ）に示すように、上記と同様の焼結工程及び必要に応じて研磨工程をすることによって、放電電極１を形成することができる。
【００４５】
そして、第５の実施の形態では、放電部２と供給部３の間に組成が段階的に変化する複数の層からなる緩和部５を設けるので、放電部２と供給部３の物理的性質の不連続を緩和部５で吸収することができ、不連続に伴う強度低下や空孔の連続性の低下などの問題の発生を緩和することができるものであり、破損等の発生を低減することができるものである。
【００４６】
尚、放電部２と供給部３とは材料が異なる場合だけでなく、材料が同じであっても空孔率や空孔径が異なる場合でも緩和部５を設けるのが好ましく、この場合、緩和部５において空孔率や空孔径を段階的に変化させた複数の層を形成する。空孔率や空孔径を変化させる方法は第２、３の実施の形態と同様に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の実施の形態の一例を示す正面図である。
【図２】同上の製造工程を示し、（ａ）乃至（ｅ）は概略図である。
【図３】同上の他の実施の形態の一例を示す正面図である。
【図４】同上の製造工程を示し、（ａ）乃至（ｃ）は概略図である。
【図５】同上の他の実施の形態の一例を示す正面図である。
【図６】同上の製造工程を示し、（ａ）乃至（ｈ）は概略図である。
【図７】（ａ）は本発明又は従来の放電電極を用いた静電霧化装置の一例を示す概略図、（ｂ）は一部を示す拡大図である。
【図８】本発明又は従来の放電電極を用いた静電霧化装置による水の分裂を示す説明図である。
【符号の説明】
【００４８】
１  放電電極
２  放電部
３  供給部
４  抑制手段
５  緩和部
６  成型用金型
７  放電部用材料
８  供給部用材料
５３  水
５７  微粒子水
【図１】
2005243307.tif 000003
【図２】
2005243307.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2005243307.tif 000007
【図６】
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【図７】
2005243307.tif 000009
【図８】
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