(57)【要約】【課題】  研磨時に研磨砥石の研磨面および被加工物の被研磨面を冷却する機能を備えた乾式研磨装置を提供する。【解決手段】  被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を研磨する研磨手段とを具備し、研磨手段が回転スピンドルの下端に設けられたマウンターと、該マウンターの下面に取り付けられる研磨工具とを具備する研磨装置であって、研磨工具はマウンターの下面に取り付けられるホイールベースと該ホイールベースの下面に装着された研磨砥石とを具備し、ホイールベースおよび研磨砥石の中心部には軸方向に形成され研磨砥石の研磨面に連通する連通路が設けられており、ホイールベースには放射状に延びる複数の送風羽根と該複数の送風羽根間に形成され連通路と連通し外周に開口する送風路が設けられている。【選択図】        図２
2005186165.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を研磨する研磨手段とを具備し、該研磨手段が回転スピンドルの下端に設けられたマウンターと、該マウンターの下面に取り付けられる研磨工具とを具備する乾式研磨装置において、
該研磨工具は、該マウンターの下面に取り付けられるホイールベースと、該ホイールベースの下面に装着された研磨砥石とを具備し、
該ホイールベースおよび該研磨砥石の中心部には軸方向に形成され該研磨砥石の研磨面に連通する連通路が設けられており、該ホイールベースには放射状に延びる複数の送風羽根と該複数の送風羽根間に形成され該連通路と連通し外周に開口する送風路が設けられている、
ことを特徴とする乾式研磨装置。
【請求項２】
該研磨砥石の研磨面には該連通路と連通し外周縁に達する送風溝が形成されている、請求項１記載の乾式研磨装置。
【請求項３】
該ホイールベースおよび該研磨砥石には該研磨砥石の研磨面と該送風路とを連通する複数の連通孔が設けられている、請求項１又は２記載の乾式研磨装置。
【請求項４】
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を研磨する研磨手段とを具備し、該研磨手段が回転スピンドルの下端に設けられたマウンターと、該マウンターの下面に取り付けられるホイールベースと該ホイールベースの下面に装着された研磨砥石とからなる研磨工具とを具備する乾式研磨装置において、
該ホイールベースおよび該研磨砥石の中心部には軸方向に貫通する連通路が設けられており、
該マウンターの下面には放射状に延びる複数の送風羽根と該複数の送風羽根間に形成され該連通路と連通し外周に開口する送風路が設けられている、
ことを特徴とする乾式研磨装置。
【請求項５】
該研磨砥石の研磨面には該連通路と連通し外周縁に達する送風溝が形成されている、請求項４記載の乾式研磨装置。
【請求項６】
該ホイールベースおよび該研磨砥石には該研磨砥石の研磨面と該送風路とを連通する複数の連通孔が設けられている、請求項４又は５記載の乾式研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエーハ等の被加工物を研磨する乾式研磨装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列されたストリートと呼ばれる切断予定ラインによって多数の矩形領域を区画し、該矩形領域の各々に半導体回路を形成する。このように多数の半導体回路が形成された半導体ウエーハをストリートに沿って分離することにより、個々の半導体チップを形成する。半導体チップの小型化および軽量化を図るために、通常、半導体ウエーハをストリートに沿って切断して個々の矩形領域を分離するのに先立って、半導体ウエーハの裏面を研削して所定の厚さに形成している。半導体ウエーハの裏面の研削は、通常、ダイヤモンド砥粒をレジンボンドの如き適宜のボンドで固着して形成した研削砥石を、高速回転せしめながら半導体ウエーハの裏面に押圧せしめることによって遂行されている。このような研削方式によって半導体ウエーハの裏面を研削すると、半導体ウエーハの裏面に所謂加工歪が生成され、これによって個々に分割された半導体チップの抗折強度が相当低減される。この研削された半導体ウエーハの裏面に生成される加工歪を除去する対策として、研削された半導体ウエーハの裏面を硝酸および弗化水素酸を含むエンチング液を使用して化学的エッチングするウエットエッチング法やエッチングガスを用いるドライエッチング法が使用されている。
【０００３】
しかしながら、上述したウエットエッチング法、ドライエッチング法およびポリッシング法は、生産性が悪いとともに、廃液が環境汚染の原因となる。このような問題を解決するため、研削された半導体ウエーハの裏面を研磨して歪みを取り除く研磨工具とて、フエルトに酸化ジルコニア等の砥粒を分散させ適宜のボンド剤で固定したフエルト砥石を用いたものが提案されている。（例えば、特許文献１参照。）
【０００４】
【特許文献１】特開平２００２−２８３２４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
而して、上記公報に開示された研磨工具による研磨は乾式であるため、半導体ウエーハの裏面である被研磨面は８０度以上の熱が発生する。この結果、半導体ウエーハの表面に貼着された保護テープが溶融し、半導体ウエーハの表面に形成された回路を汚染するという問題がある。従って、半導体ウエーハの被研磨面が８０度以上にならないように研磨圧力を低く押さえる必要があり、生産性が悪くなるという問題がある。
【０００６】
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術課題は、研磨時に研磨砥石の研磨面および被加工物の被研磨面を冷却する機能を備えた乾式研磨装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を研磨する研磨手段とを具備し、該研磨手段が回転スピンドルの下端に設けられたマウンターと、該マウンターの下面に取り付けられる研磨工具とを具備する乾式研磨装置において、
該研磨工具は、該マウンターの下面に取り付けられるホイールベースと、該ホイールベースの下面に装着された研磨砥石とを具備し、
該ホイールベースおよび該研磨砥石の中心部には軸方向に形成され該研磨砥石の研磨面に連通する連通路が設けられており、該ホイールベースには放射状に延びる複数の送風羽根と該複数の送風羽根間に形成され該連通路と連通し外周に開口する送風路が設けられている、
ことを特徴とする乾式研磨装置が提供される。
【０００８】
また、本発明によれば、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を研磨する研磨手段とを具備し、該研磨手段が回転スピンドルの下端に設けられたマウンターと、該マウンターの下面に取り付けられるホイールベースと該ホイールベースの下面に装着された研磨砥石とからなる研磨工具とを具備する乾式研磨装置において、
該ホイールベースおよび該研磨砥石の中心部には軸方向に貫通する連通路が設けられており、
該マウンターの下面には放射状に延びる複数の送風羽根と該複数の送風羽根間に形成され該連通路と連通し外周に開口する送風路が設けられている、
ことを特徴とする乾式研磨装置が提供される。
【０００９】
上記研磨砥石の研磨面には上記連通路と連通し外周縁に達する送風溝が形成されていることが望ましく、上記ホイールベースおよび研磨砥石には研磨砥石の研磨面と送風路とを連通する複数の連通孔が設けられていることが望ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明による研磨装置においては、研磨工具の回転に伴いホイールベースに設けられた送風羽根が回転せしめられるため研磨砥石およびホイールベースに設けられた連通路の空気が送風路を通って排出される。このため、研磨砥石の研磨面側から連通路に空気が吸引されるため、研磨砥石の研磨面およびチャックテーブル上に保持された被加工物の被研磨面が冷却される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明に従って構成された乾式研磨装置の好適な実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００１２】
図１には本発明に従って構成された乾式研磨装置の斜視図が示されている。
図示の乾式研磨装置は、全体を番号２で示す装置ハウジングを具備している。この装置ハウジング２は、細長く延在する直方体形状の主部２１と、該主部２１の後端部（図１において右上端）に設けられ実質上鉛直に上方に延びる直立壁２２とを有している。直立壁２２の前面には、上下方向に延びる一対の案内レール２２１、２２１が設けられている。この一対の案内レール２２１、２２１に研磨手段としての研磨ユニット３が上下方向に移動可能に装着されている。
【００１３】
研磨ユニット３は、移動基台３１と該移動基台３１に装着されたスピンドルユニット３２を具備している。移動基台３１は、後面両側に上下方向に延びる一対の脚部３１１、３１１が設けられており、この一対の脚部３１１、３１１に上記一対の案内レール２２１、２２１と摺動可能に係合する被案内溝３１２、３１２が形成されている。このように直立壁２２に設けられた一対の案内レール２２１、２２１に摺動可能に装着された移動基台３１の前面には前方に突出した支持部３１３が設けられている。この支持部３１３にスピンドルユニット３２が取り付けられる。
【００１４】
スピンドルユニット３２は、支持部３１３に装着されたスピンドルハウジング３３と、該スピンドルハウジング３３に回転自在に配設された回転スピンドル３４と、該回転スピンドル３４を回転駆動するための駆動手段としてのサーボモータ３５とを具備している。回転スピンドル３４の下端部はスピンドルハウジング３３の下端を越えて下方に突出せしめられており、その下端には円板形状のマウンター４が設けられている。このマウンター４の下面に研磨工具５が装着される。マウンター４および研磨工具５については、後で詳細に説明する。
【００１５】
図示の実施形態における乾式研磨装置は、上記研磨ユニット３を上記一対の案内レール２２１、２２１に沿って上下方向（後述するチャックテーブルの保持面に対して垂直な方向）に移動せしめる研磨ユニット送り機構６を備えている。この研磨ユニット送り機構６は、直立壁２２の前側に配設され実質上鉛直に延びる雄ねじロッド６１を具備している。この雄ねじロッド６１は、その上端部および下端部が直立壁２２に取り付けられた軸受部材６２および６３によって回転自在に支持されている。上側の軸受部材６２には雄ねじロッド６１を回転駆動するための駆動源としてのパルスモータ６４が配設されており、このパルスモータ６４の出力軸が雄ねじロッド６１に伝動連結されている。移動基台３１の後面にはその幅方向中央部から後方に突出する連結部（図示していない）も形成されており、この連結部には鉛直方向に延びる貫通雌ねじ穴が形成されており、この雌ねじ穴に上記雄ねじロッド６１が螺合せしめられている。従って、パルスモータ６４が正転すると移動基台３１即ち研磨ユニット３が下降即ち前進せしめられ、パルスモータ６４が逆転すると移動基台３１即ち研磨ユニット３が上昇即ち後退せしめられる。
【００１６】
図１を参照して説明を続けると、ハウジング２の主部２１にはチャックテーブル機構７が配設されている。チャックテーブル機構７は被加工物を保持するチャックテーブル７１を具備しており、このチャックテーブル７１は上記ハウジング２の主部２１上に前後方向（直立壁２２の前面に垂直な方向）である矢印２３ａおよび２３ｂで示す方向に延在する図示しない一対の案内レール上に摺動自在に載置された図示しない支持基台上に配設されている。チャックテーブル７１は、多孔質セラミッックスの如き適宜の多孔性材料から構成されており、図示しない吸引手段に接続されている。従って、チャックテーブル７１を図示しない吸引手段に選択的に連通することにより、上面即ち載置面上に載置された被加工物である例えば半導体ウエーハを吸引保持する。なお、チャックテーブル７１は、図示しないサーボモータによって回転せしめられる。このように構成されたチャックテーブル７１は、図示しないチャックテーブル移動機構によって図１に示す被加工物載置域２４と上記スピンドルユニット３２を構成する研磨工具５の研磨面（下面）と対向する研磨域２５との間で移動せしめられる。なお、図示のチャックテーブル機構７は、チャックテーブル７１を挿通する穴を有するカバー部材７２と、該カバー部材７２の移動方向両側には、横断面形状が逆チャンネル形状の蛇腹手段７３および７４が付設されている。蛇腹手段７３および７４はキャンパス布の如き適宜の材料から形成することができる。蛇腹手段７３の前端は主部２１の前面壁に固定され、後端はチャックテーブル機構７のカバー部材７２の前端面に固定されている。蛇腹手段７４の前端はチャックテーブル機構７のカバー部材７２の後端面に固定され、後端は装置ハウジング２の直立壁２２の前面に固定されている。チャックテーブル機構７が矢印２３ａで示す方向に移動せしめられる際には蛇腹手段７３が伸張されて蛇腹手段７４が収縮され、チャックテーブル機構７が矢印２３ｂで示す方向に移動せしめられる際には蛇腹手段７３が収縮されて蛇腹手段７４が伸張せしめられる。
【００１７】
次に、上記マウンター４および研磨工具５について、図２乃至図５を参照して説明する。図２および図３に示すマウンター４は、周方向に間隔をおいて軸方向に貫通する複数（図示の実施形態においては４個）のボルト挿通孔４１を備えている。また、図２に示す研磨工具５は、ホイールベース５０と研磨砥石５５とからなっている。ホイールベース５０は図２に示す実施形態においては、下面に研磨砥石５５が装着される円形状の支持部材５１と、該支持部材５１を上記マウンター４の下面に取り付けるための円形状の装着部材５２とからなっている。
【００１８】
研磨砥石５５は、フエルト等の柔軟部材に酸化ジルコニア等の砥粒を分散させ適宜のボンド剤で固定したもので、図示の実施形態において柔軟部材としてフエルトを使用した円形状のフエルト砥石が用いられている。このように構成された研磨砥石５５は、支持部材５１の下面にエポキシ樹脂系接着剤の如き適宜の接着剤によって接合されている。研磨砥石５５は、図４に示すように中心部に軸方向に貫通する連通路５５１が設けられているとともに、連通路５５１と外周縁との間には軸方向に貫通する複数の連通孔５５２が設けられている。また、研磨砥石５５の研磨面５５３には、上記連通路５５１と連通し外周縁に達する送風溝５５４が形成されている。
【００１９】
上記ホイールベース５０を構成する支持部材５１は、図２に示すように中心部に軸方向に貫通する連通路５１１が設けられている。この支持部材５１に設けられた連通路５１１は、上記研磨砥石５５に設けられた連通路５５１と連通するように構成されている。従って、支持部材５１の上面と研磨砥石５５の研磨面５５３は、連通路５１１と５５１によって連通される。支持部材５１の上面には、放射状に延びる複数（図示の実施形態においては４枚）の送風羽根５１２が図示のように所定方向に湾曲して設けられている。従って、複数の送風羽根５１２間には、連通路５１１と連通し外周に開口する送風路５１３が形成される。また、支持部材５１には、連通路５１１と外周縁との間に軸方向に貫通する複数の連通孔５１４が設けられている。この支持部材５１に設けられた複数の連通孔５１４は、上記研磨砥石５５に設けられた複数の連通孔５５２と連通するように構成されている。従って、支持部材５１に形成された送風路５１３と研磨砥石５５の研磨面５５３は、連通孔５１４と５５２によって連通される。なお、複数の送風羽根５１２には、それぞれ上面から軸方向に形成された複数のねじ穴５１５が設けられている。
【００２０】
上記ホイールベース５０を構成する装着部材５２は、図２に示すように上記マウンター４に設けられたボルト挿通孔４１と対応する位置に軸方向に形成された複数（図示の実施形態においては４個）のねじ穴５２１が設けられている。また、装着部材５２には、上記支持部材５１の複数の送風羽根５１２に設けられた複数のねじ穴５１５と対応する位置に軸方向に貫通するた複数のボルト挿通孔５２２が設けられている。
【００２１】
上述したように構成された支持部材５１と装着部材５２は、装着部材５２に形成された複数のボルト挿通孔５２２にそれぞれ締付ボルト５６を挿通し、この締付ボルト５６を支持部材５１の複数の送風羽根５１２に設けられた複数のねじ穴５１５に螺合することにより互いに結合され、図３に示すようにホイールベース５０を構成するとともに、支持部材５１の下面に研磨砥石５５が装着された研磨工具５が構成される。このように構成されたホイールベース５０即ち研磨工具５は、装着部材５２が上記マウンター４の下面に取り付けられる。即ち、マウンター４に設けられた複数のボルト挿通孔４１にそれぞれ締付ボルト５７を挿通し、この締付ボルト５７をホイールベース５０の装着部材５２に設けられた複数のねじ穴５２１に螺合することにより、ホイールベース５０即ち研磨工具５がマウンター４の下面に取り付けられる。
【００２２】
図示の実施形態における乾式研磨装置は以上のように構成されており、以下その作用について図１および図５を参照して説明する。
図１に示す研削装置を用いて被加工物を研磨するには、先ず図１に示す被加工物載置域２４に位置付けられているチャックテーブル７１上に被加工物である例えば半導体ウエーハ１０を載置する。このとき、半導体ウエーハ１０の表面（回路が形成されている面）に保護テープ１１を貼着し、該保護テープ１１をチャックテーブル７１上に載置する。従って、半導体ウエーハ１０は、裏面を上側にしてチャックテーブル７１上に載置されることになる。このようにしてチャックテーブル７１上に載置されたウエーハ１０は、図示しない吸引手段によってチャックテーブル７１上に吸引保持される。
【００２３】
チャックテーブル７１上にウエーハ１０を吸引保持したならば、図示しないチャックテーブル移動機構を作動してチャックテーブル７１を矢印２３ａで示す方向に移動し、チャックテーブル７１上に保持されたウエーハ１０を研磨砥石５５の下方の研磨域２５に位置付ける。なお、この状態においてチャックテーブル７１上に保持されたウエーハ１０は、図５に示すようにその中心（Ｐ）を研磨砥石５５が通過する位置に位置付けられている。このようにして、ウエーハ１０が研磨域２５に位置付けられたならば、チャックテーブル７１を図示しないサーボモータを駆動して１００〜３００ｒｐｍで回転し、上記研磨ユニット３のサーボモータ３５を駆動して研磨工具５を３０００〜６０００ｒｐｍで回転するとともに、上記研磨ユニット送り機構６のパルスモータ６４を正転駆動して研磨ユニット３を下降せしめて、研磨砥石５５の研磨面５５３である下面をチャックテーブル７１上に保持されたウエーハ１０の上面（裏面）に作用せしめる。そして、研磨砥石５５を所定量下降せしめて、ウエーハ１０を所定の厚さに研磨する。
【００２４】
上記研磨時において、図５に示すように研磨工具５の回転に伴い支持部材５２に設けられた送風羽根５１２が矢印で示す方向に回転せしめられる。この結果、研磨砥石５５および支持部材５１に設けられた連通路５５１と５１１の空気は、送風路５１３を通って排出される。このため、研磨砥石５５の研磨面５５３側から連通路５５１に空気が吸引されるため、研磨砥石５５の研磨面５５３およびチャックテーブル７１上に保持された半導体ウエーハ１０の被研磨面が冷却される。従って、半導体ウエーハ１０の表面に貼着された保護テープ１１の溶融を抑えることができ、半導体ウエーハ１０の表面に形成された回路の汚染が防止されるとともに、研磨圧力を上げることができるので生産性を向上させることができる。また、図示の実施形態においては、研磨砥石５５の研磨面５５３に上記連通路５５１に連通する複数の送風溝５５４が形成されているので、この送風溝５５４を通して空気が効果的に吸引されるので、研磨砥石５５の研磨面５５３および半導体ウエーハ１０の被研磨面の冷却が効果的となる。更に、図示の実施形態においては、研磨砥石５５および支持部材５１には、互いに連通し研磨面５５３（下面）および送風路５１３に開口する複数の連通孔５５２および５１４が設けられているので、研磨砥石５５の研磨面５５３側から複数の連通孔５５２および５１４を通して空気が送風路５１３側に吸引されるため、研磨砥石５５の研磨面５５３および半導体ウエーハ１０の被研磨面の冷却が更に効果的となる。なお、支持部材５２に設けられた送風羽根５２３が図２に示すように湾曲して形成されている場合に、研磨工具５を図５において矢印で示す方向に回転せしめると研磨工具５を流れる空気は上述したように研磨面５５３、連通路５５１、５１１、送風路５１３を通って流れるが、研磨工具５を図５において矢印と反対方向に回転せしめると空気が送風路５１３へ吸入され連通路５１１、５５１を通して研磨面５５３に噴出せしめられ、研磨面５５３および半導体ウエーハ１０を冷却することができる。
【００２５】
次に、研磨工具の他の実施形態について、図６を参照して説明する。なお、図６においては上記図１乃至図５に示す実施形態と同一部材および同一構成部位には同一符号を付してその説明は省略する。
図６に示す研磨工具５ａは、ホイールベース５０ａを支持部材５１ａのみによって構成し、下面に上記研磨砥石５５を装着した支持部材５１ａをマウンター４の下面に直接取り付けるように構成したものである。このように支持部材５１ａをマウンター４に直接取り付けるために、支持部材５１ａの上面における上記複数の送風羽根５１２間には上記マウンター４に設けられたボルト挿通孔４１と対応する位置に複数（図示の実施形態においては４個）のボス５１６が設けられ、この複数ボス５１６にそれぞれねじ穴５１７が形成されている。このように構成された研磨工具５ａは、マウンター４に設けられた複数のボルト挿通孔４１にそれぞれ締付ボルト５７を挿通し、この締付ボルト５７を支持部材５１ａのボス５１６に設けられたねじ穴５１７に螺合することにより、支持部材５１ａからなるホイールベース５０ａ即ち研磨工具５ａがマウンター４の下面に取り付けられる。このように構成された研磨工具５ａも研磨時に回転することにより複数の送風羽根５１２が回転せしめられ、研磨砥石５５およびホイールベース５０ａとしての支持部材５１ａに設けられた連通路５５１と５１１の空気は、送風路５１３を通って排出されるため、上記図１乃至図５に示す実施形態と同一の作用効果が得られる。なお、支持部材５１ａには、上記図１乃至図５に示す実施形態と同様に上記研磨砥石５５に設けられた複数の連通孔５５２と連通する複数の連通孔５１４が設けられている。
【００２６】
次に、研磨工具およびマウンターの他の実施形態について、図７および図８を参照して説明する。なお、図７および図８においては上記図１乃至図５および図６に示す各実施形態と同一部材および同一構成部位には同一符号を付してその説明は省略する。
図７および図８に示す実施形態は、マウンター４ｂの下面に放射状に延びる複数（図示の実施形態においては４枚）の送風羽根４２を設け、該複数の送風羽根４２間に送風路４３を形成したものである。そして、マウンター４ｂには、下面には複数の送風羽根４２の間に複数（図示の実施形態においては４個）のボス４４が設けられ、マウンター４ｂの上面からボス４４の下面に貫通するボルト挿通孔４５が形成されている。一方、図７および図８に示す研磨工具５ｂは、ホイールベース５０ｂを支持部材５１ｂのみによって構成し、下面に上記研磨砥石５５を装着した支持部材５１ｂを上記マウンター４ｂに直接取り付けるように構成したものである。このため、ホイールベース５０ｂとしての支持部材５１ｂには、上記マウンター４ｂに形成されたボルト挿通孔４５と対応する位置に複数（図示の実施形態においては４個）のねじ穴５１８が形成されている。このように構成されたマウンター４ｂと研磨工具５ｂは、マウンター４ｂに形成されたボルト挿通孔４５に締付ボルト５７を挿通し、この締付ボルト５７を支持部材５１ｂに形成されたねじ穴５１８に螺合することにより、支持部材５１ｂからなるホイールベース５０ｂ即ち研磨工具５ｂがマウンター４ｂの下面に取り付けられる。このように構成されたマウンター４ｂおよび研磨工具５ｂは、研磨時に回転することによりマウンター４ｂに設けられた複数の送風羽根４２が回転せしめられ、研磨砥石５５に設けられた連通路５５１および支持部材５１ｂに設けられた連通路５１１の空気は、送風路４３を通って排出されるため、上記図１乃至図５および図６に示す実施形態と同一の作用効果が得られる。なお、支持部材５１ｂには、上記図１乃至図５および図６に示す実施形態と同様に上記研磨砥石５５に設けられた複数の連通孔５５２と連通する複数の連通孔５１４が設けられている。図７および図８に示す実施形態は、マウンター４ｂに送風羽根４２と送風路４３を設けたので、研磨工具５ｂの支持部材５１ｂにはねじ穴ねじ穴５１８を形成するだけでよい。従って、消耗品である研磨工具を構成する支持部材５１ｂ即ちホイールベース５０ｂの構成を簡単にすることができ安価で経済的となる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明によって構成された乾式研磨装置の斜視図。
【図２】図１に示す乾式研磨装置に装備される研磨ユニットを構成するマウンターおよび研磨工具の一実施形態をもので、各構成部材を分解して示す斜視図。
【図３】図２に示す研磨工具の構成部材を組み立てた状態を示す斜視図。
【図４】図２に研磨工具を構成する支持部材の下面装着された研磨砥石を下面側から見た斜視図。
【図５】図２および図３に示すマウンターおよび研磨工具によって被加工物を研磨する状態を示す説明図。
【図６】図１に示す乾式研磨装置に装備される研磨ユニットを構成するマウンターおよび研磨工具の他の実施形態をもので、各構成部材を分解して示す斜視図。
【図７】図１に示す乾式研磨装置に装備される研磨ユニットを構成するマウンターおよび研磨工具の更に他の実施形態をもので、各構成部材を分解して示す斜視図。
【図８】図７に示すマウンターを下面側から見た斜視図。
【符号の説明】
【００２８】
２：装置ハウジング
３：研磨ユニット
３１：移動基台
３２：スピンドルユニット
３３：スピンドルハウジング
３４：回転スピンドル
３５：サーボモータ
４：マウンター
４ｂ：マウンター
４１：ボルト挿通孔
４２：送風羽根
４３：送風路
４５：ボルト挿通孔
５：研磨工具
５ａ：研磨工具
５ｂ：研磨工具
５０：ホイールベース
５１：支持部材
５１ａ：支持部材
５１ｂ：支持部材
５１１：連通路
５１２：送風羽根
５１３：送風路
５１４：連通孔
５２：装着部材
５２１：ねじ穴
５２２：ボルト挿通孔
５５：研磨砥石
５５１：連通路
５５２：連通孔
５５４：送風溝
５６：締付ボルト
５７：締付ボルト
６：研磨ユニット送り機構
７：チャックテーブル機構
７１：チャックテーブル
７２：カバー部材
【図１】
2005186165.tif 000003
【図２】
2005186165.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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