(57)【要約】【課題】  例えば１ＭΩ／□以上の超高抵抗値を有する抵抗体において、抵抗値のばらつきの抑制とＳＴＯＬ特性とを両立する。【解決手段】  ＥｒとＲｕの複合酸化物、すなわちＥｒ2Ｒｕ2Ｏ7を含有する導電性材料である。抵抗体ペーストは、導電性材料及びガラス組成物を含有し、これらが有機ビヒクルと混合されてなる抵抗体ペーストであって、導電性材料としてＥｒとＲｕの複合酸化物（Ｅｒ2Ｒｕ2Ｏ7）を含有する。抵抗体は、このような導電性材料を含む抵抗体ペーストを用いて形成される。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＥｒとＲｕの複合酸化物を含有することを特徴とする導電性材料。
【請求項２】
前記複合酸化物は、化学式Ｅｒ2Ｒｕ2Ｏ7で表される化合物であることを特徴とする請求項１記載の導電性材料。
【請求項３】
導電性材料及びガラス組成物を含有し、これらが有機ビヒクルと混合されてなる抵抗体ペーストであって、
前記導電性材料として、ＥｒとＲｕの複合酸化物を含有することを特徴とする抵抗体ペースト。
【請求項４】
前記複合酸化物は、化学式Ｅｒ2Ｒｕ2Ｏ7で表される化合物であることを特徴とする請求項３記載の抵抗体ペースト。
【請求項５】
前記導電性材料が、さらにＲｕ系酸化物を含有することを特徴とする請求項３又は４記載の抵抗体ペースト。
【請求項６】
前記Ｒｕ系酸化物が、ＲｕＯ2、ＣａＲｕＯ3、ＳｒＲｕＯ3、ＢａＲｕＯ3、Ｂｉ2Ｒｕ2Ｏ7から選ばれる少なくとも一種であることを特徴とする請求項５記載の抵抗体ペースト。
【請求項７】
前記導電性材料、ガラス組成物、及び添加物を合計した合計重量を１００とした場合に、前記導電性材料としての前記Ｅｒ2Ｒｕ2Ｏ7の割合が１．３重量％〜６８．５重量％であることを特徴とする請求項３記載の抵抗体ペースト。
【請求項８】
前記導電性材料、ガラス組成物、及び添加物を合計した合計重量を１００とした場合に、前記導電性材料の割合が７．９重量％〜６８．５重量％、前記ガラス組成物の割合が３１．５重量％〜８８．７重量％、前記添加物の割合が０重量％〜２８．１重量％であることを特徴とする請求項３載の抵抗体ペースト。
【請求項９】
前記ガラス組成物が、主たる修飾酸化物成分としてＣａＯ、ＳｒＯ及びＢａＯから選ばれる少なくとも１種と、
網目形成酸化物成分としてＢ2Ｏ3及びＳｉＯ2から選ばれる少なくとも一種とを含有することを特徴とする請求項３記載の抵抗体ペースト。
【請求項１０】
前記ガラス組成物が、他の修飾酸化物成分としてＺｒＯ2を含有することを特徴とする請求項９記載の抵抗体ペースト。
【請求項１１】
添加物を含有し、
前記添加物が、ＣｕＯ、ＮｉＯ、ＭｇＯから選ばれる少なくとも一種であることを特徴とする請求項３記載の抵抗体ペースト。
【請求項１２】
導電性材料、ガラス組成物、及び添加物を合計した合計重量と、前記有機ビヒクルの重量との比率が、１：０．２５〜１：４であることを特徴とする請求項３記載の抵抗体ペースト。
【請求項１３】
導電性材料としてＥｒとＲｕとの複合酸化物を含有することを特徴とする抵抗体。
【請求項１４】
前記ＥｒとＲｕとの複合酸化物がＥｒ2Ｒｕ2Ｏ7であることを特徴とする請求項１２記載の抵抗体。
【請求項１５】
前記Ｅｒ2Ｒｕ2Ｏ7の割合が１．３重量％〜６８．５重量％であることを特徴とする請求項１４記載の抵抗体
【請求項１６】
請求項３乃至１２のいずれか１項記載の抵抗体ペーストを用いて形成されたことを特徴とする請求項１３乃至１５のいずれか１項記載の抵抗体。
【請求項１７】
１ＭΩ／□以上の抵抗値を有することを特徴とする請求項１３乃至１６のいずれか１項記載の抵抗体。
【請求項１８】
請求項１３乃至１７のいずれか１項記載の抵抗体を有することを特徴とする電子部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＥｒとＲｕの複合酸化物を主たる成分とする新規な導電性材料に関するものであり、係る導電性材料と用いた抵抗体ペースト、さらにはこの抵抗体ペーストを用いて形成される抵抗体及び電子部品に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば抵抗体ペーストは、一般に、抵抗値の調節及び結合性を与えるためのガラス組成物と、導電性材料と、有機ビヒクルとを主たる成分として構成されており、これを基板上に印刷した後、焼成することによって、厚さ５〜２０μｍ程度の厚膜抵抗体が形成される。そして、この種の抵抗体ペースト（厚膜抵抗体）においては、通常、導電性材料として酸化ルテニウム（ＲｕＯ2）や鉛ルテニウム酸化物等が用いられ、ガラスとして酸化鉛（ＰｂＯ）系ガラス等が用いられている。
【０００３】
近年、環境問題が盛んに議論されてきており、鉛等の有害物質の電子部品からの排除が進められている。前記抵抗体ペーストや厚膜抵抗体も例外ではなく、鉛フリーとするための研究が行われている。
【０００４】
抵抗体ペーストの鉛フリー化における課題の一つとして、超高抵抗（１ＭΩ／□以上）の抵抗体において、抵抗値のばらつきが非常に大きくなることが挙げられる。高い抵抗値を得ようとする場合、抵抗体中の導電性材料の含有量を減らす必要があるが、１ＭΩ／□以上の超高抵抗の抵抗体ペーストにおいては、導電性材料の含有量の調節が非常に難しく、所望する抵抗値を得ることすらままならない状況である。
【０００５】
このような事情から、様々な検討がなされており、例えば特許文献１には、導電性を与えるための導電性材料を予めガラス組成物に溶解させておくことがが好ましい旨が記載され、これにより極めて高い抵抗値を有し、且つ抵抗値のばらつきの少ない抵抗体を得ることができるとされている。
【特許文献１】特開２００３−７５１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、高い抵抗値を有する抵抗体においては、抵抗体ペーストの鉛フリー化におけるもう一つの課題として、耐電圧特性（Short Term Overload：ＳＴＯＬ特性）が不十分であることが挙げられる。前述の特許文献１は、抵抗値のばらつきの抑制とＳＴＯＬ特性との両方を満足させる方法を示すものではない。
【０００７】
そこで本発明はこのような従来の実情に鑑みて提案されたものであり、例えば１ＭΩ／□以上の超高抵抗値を有し、抵抗値のばらつきが少なく、且つＳＴＯＬ特性の良好な抵抗体を得ることが可能な導電性材料、抵抗体ペーストを提供することを目的とする。また、本発明は、例えば１ＭΩ／□以上の超高抵抗値を有し、抵抗値のばらつきが少なく、且つＳＴＯＬ特性の良好な抵抗体及び電子部品を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者らは、抵抗値のばらつきが小さく、且つＳＴＯＬ特性に優れる導電性材料の開発を目的に長期に亘り研究を重ねた結果、ルテニウム複合酸化物の一種であるＥｒ2Ｒｕ2Ｏ7が前記目的を達成する導電性材料として有効であることを見出し、本発明を完成させるに至った。
【０００９】
すなわち、本発明に係る導電性材料は、ＥｒとＲｕの複合酸化物（Ｅｒ2Ｒｕ2Ｏ7）を含有することを特徴とする。同様に、本発明に係る抵抗体ペーストは、導電性材料及びガラス組成物を含有し、これらが有機ビヒクルと混合されてなる抵抗体ペーストであって、前記導電性材料がＥｒとＲｕの複合酸化物（Ｅｒ2Ｒｕ2Ｏ7）を含有することを特徴とする。また、本発明に係る抵抗体は、前記抵抗体ペーストを用いて形成されたことを特徴とする。また、本発明に係る電子部品は、前記抵抗体を有することを特徴とする。
【００１０】
ＥｒとＲｕの複合酸化物、例えば化学式Ｅｒ2Ｒｕ2Ｏ7で表される化合物は、抵抗体用の導電性材料として優れた特性を発揮し、高抵抗値が実現されるばかりでなく、抵抗値のばらつきの抑制と良好なＳＴＯＬ特性とが両立される。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、例えば１ＭΩ／□以上の超高抵抗値を有し、抵抗値のばらつきが少なく、且つＳＴＯＬ特性の良好な抵抗体を得ることが可能な導電性材料を提供することができる。したがって、係る導電性材料を用いることで、超高抵抗値を有する抵抗体の形成が可能で、抵抗値のばらつきの抑制及びＳＴＯＬ特性を両立し得る抵抗体ペーストを提供することが可能である。また、このような導電性材料、抵抗体ペーストを利用することで、例えば１０ＭΩ／□以上の超高抵抗値を有し、製品毎のばらつきが少なく、且つＳＴＯＬ特性に優れた抵抗体を提供することができ、さらには電子部品を提供することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明を適用した導電性材料、抵抗体ペースト、抵抗体、及び電子部品について説明する。
【００１３】
本発明の導電性材料は、ＥｒとＲｕの複合酸化物、具体的には化学式Ｅｒ2Ｒｕ2Ｏ7で表される化合物を含有するものである。このＥｒとＲｕの複合酸化物は、高抵抗値を有する抵抗体の導電性材料として有効であり、しかも抵抗値のばらつきを抑制することができ、ＳＴＯＬ特性も良好なものとすることができる。
【００１４】
本発明の抵抗体ペースト、抵抗体及び電子部品は、このＥｒとＲｕの複合酸化物を導電性材料として用いたものである。先ず、本発明の抵抗体ペーストであるが、これは、ガラス組成物、導電性材料及び必要に応じて添加物を含有し、これらが有機ビヒクルと混合されてなり、導電性材料としてＥｒ2Ｒｕ2Ｏ7を含有するものである。
【００１５】
抵抗体ペースト中のＥｒ2Ｒｕ2Ｏ7の含有量は、ガラス組成物、導電性材料、及び添加物の合計重量を１００重量％とした場合に、１．３重量％〜６８．５重量％とするのが好ましい。導電性材料としてＥｒ2Ｒｕ2Ｏ7の含有量が前記範囲を下回る場合、抵抗値のばらつき及びＳＴＯＬ特性の改善が不十分となるおそれがある。逆に、導電性材料としてＥｒ2Ｒｕ2Ｏ7の含有量が前記範囲を越えると、ガラス組成物による導電性材料の結着が不十分になり、信頼性が低下するおそれがある。
【００１６】
導電性材料としては、Ｅｒ2Ｒｕ2Ｏ7に加えて、鉛を実質的に含まない他の導電性材料を含んでいてもよい。実質的に鉛を含まない導電性材料としては特に限定されないが、Ｒｕ系酸化物の他、Ａｇ−Ｐｄ合金、Ａｇ−Ｐｔ合金、ＴａＮ、ＷＣ、ＬａＢ6、ＭｏＳｉＯ2、ＴａＳｉＯ2、金属（Ａｇ、Ａｕ、Ｐｔ、Ｃｕ、Ｗ、Ｍｏ等）が挙げられる。この中でもＲｕ系酸化物が好ましい。Ｒｕ系酸化物としては、酸化ルテニウム（ＲｕＯ2、ＲｕＯ4等）の他、ルテニウム系パイロクロア（Ｂｉ2Ｒｕ2Ｏ7、Ｔｌ2Ｒｕ2Ｏ7等）やルテニウム複合酸化物（ＣａＲｕＯ3、ＳｒＲｕＯ3、ＢａＲｕＯ3、ＬａＲｕＯ3等）等が含まれる。これらの中でも、ＲｕＯ2、Ｒｕ系複合酸化物等から選ばれる少なくとも一種を導電性材料として用いることが好ましく、特にＲｕＯ2、Ｒｕ系複合酸化物としてＣａＲｕＯ3、ＳｒＲｕＯ3、ＢａＲｕＯ3、Ｂｉ2Ｒｕ2Ｏ7等から選ばれる少なくとも一種を用いることが好ましい。これらの物質は単独で使用しても複数種類を組み合わせて使用してもよい。
【００１７】
抵抗体ペースト中の導電性材料の合計の含有量は、ガラス組成物、導電性材料、及び添加物の合計重量を１００重量％とした場合に、７．９重量％〜６８．５重量％とするのが好ましい。導電性材料の含有量が前記範囲を下回る場合、抵抗値が高くなりすぎてしまい、抵抗体ペーストとしての使用に適さなくなるおそれがある。逆に、導電性材料の含有量が前記範囲を越えると、ガラス組成物による導電性材料の結着が不十分になり、信頼性が低下するおそれがある。
【００１８】
ガラス組成物は、特に限定されないが、本発明では環境保全上、鉛を実質的に含まない鉛フリーのガラス組成物を用いることが好ましい。なお、本発明において、「鉛を実質的に含まない」とは、不純物レベルとは言えない量を越える鉛を含まないことを意味し、不純物レベルの量（例えば、ガラス組成物中の含有量が０．０５重量％以下程度）であれば含有されていてもよい趣旨である。鉛は、不可避不純物として極微量程度に含有されることがある。
【００１９】
ガラス組成物は、抵抗体とされたとき、抵抗体中で導電性材料及び添加物を基板と結着させる役割を持つ。ガラス組成物は、原料として、修飾酸化物成分、網目形成酸化物成分等を混合して用いることができる。主たる修飾酸化物成分としては、アルカリ土類酸化物、具体的にはＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯから選ばれる少なくとも１種を挙げることができる。また、網目形成酸化物成分としては、Ｂ2Ｏ3及びＳｉＯ2を挙げることができる。また、前記主たる修飾酸化物成分の他、その他の修飾酸化物成分として、任意の酸化物を用いることができる。具体的な酸化物は、例えばＡｌ2Ｏ3、ＺｒＯ2、ＭｇＯ、ＴｉＯ2、ＳｎＯ2、Ｋ2Ｏ、Ｎａ2Ｏ、Ｌｉ2Ｏ、ＣｕＯ、ＮｉＯ、ＺｎＯ、ＣｏＯ、ＭｎＯ、Ｆｅ2Ｏ3、Ｃｒ2Ｏ3、Ｙ2Ｏ3、Ｖ2Ｏ5等から選ばれる少なくとも一種であり、中でもＺｒＯ2であることが好ましい。
【００２０】
ガラス組成物における各成分の含有量にはそれぞれ最適範囲が存在し、例えば主たる修飾酸化物成分の含有量が少なすぎると、導電性材料との反応性が低下し、ＴＣＲ特性やＳＴＯＬ特性を劣化させるおそれがある。逆に、主たる修飾酸化物成分の含有量が多すぎる場合、抵抗体を形成した時に、過剰な金属酸化物の析出が起こり、特性を劣化させるおそれがある。網目形成酸化物成分の含有量が少ない場合、ガラスの作製が困難となるおそれがある。逆に、網目形成酸化物成分の含有量が多すぎる場合、ガラス組成物の耐水性が低下するため、抵抗体としたときの信頼性を著しく低下させるおそれがある。また、その他の修飾酸化物成分の含有量が少なすぎる場合、ガラス組成物の耐水性が低下するため、抵抗体としたときの信頼性を著しく低下させるおそれがある。逆に、その他の修飾酸化物成分の含有量が多すぎる場合、抵抗体を形成した時に、過剰な金属酸化物の析出が起こり、特性を劣化させるおそれがある。
【００２１】
抵抗体ペースト中のガラス組成物の含有量は、導電性材料、ガラス組成物、添加物の合計の重量を１００重量％とした時に、３１．５重量％〜８８．７重量％とするのが好ましい。含有量が少ない場合、導電性材料、添加物の結着が不十分となり、信頼性が著しく低下するおそれがある。逆に、ガラス組成物の含有量が前記範囲を越えると、抵抗値が高くなり過ぎてしまい、抵抗体ペーストとしての使用に適さなくなるおそれがある。
【００２２】
抵抗体ペーストには、前述のガラス組成物、導電性材料の他、特性の調整等を目的として、添加物が含まれていてもよい。抵抗体ペーストにおける添加物の含有量は、ガラス組成物、導電性材料、及び添加物の合計重量を１００重量％とした場合に、０〜２８．１重量％とするのが好ましい。添加物の含有量が多すぎる場合、導電性材料、添加物の結着が不十分となり、信頼性が著しく低下するおそれがある。
【００２３】
添加物としては、任意の金属酸化物を用いることができる。具体的には、ＭｇＯ、ＴｉＯ2、ＳｎＯ2、ＺｎＯ、ＣｏＯ、ＣｕＯ、ＮｉＯ、ＭｎＯ、Ｍｎ3Ｏ4、Ｆｅ2Ｏ3、Ｃｒ2Ｏ3、Ｙ2Ｏ3、Ｖ2Ｏ5等が挙げられる。中でも、ＣｕＯ、ＮｉＯ、ＭｇＯが好ましい。
【００２４】
有機ビヒクルは、ガラス組成物、導電性材料と添加物とを混練しペースト化させる役割を有し、この種の抵抗体ペーストに用いられるものがいずれも使用可能である。有機ビヒクルは、バインダを有機溶剤中に溶解することによって調製されるものである。バインダとしては、特に限定されず、例えば、エチルセルロース、ポリビニルブチラール等、各種バインダから適宜選択すればよい。有機溶剤も限定されず、テルピネオール、ブチルカルビトール、アセトン、トルエン等、各種有機溶剤から適宜選択すればよい。さらに、抵抗体ペーストの物性を調節するために、分散剤等の各種添加剤を加えてもよい。
【００２５】
前記有機ビヒクルの配合比率であるが、ガラス組成物、導電性材料、及び添加物を合計した合計重量（Ｗ１）と、有機ビヒクルの重量（Ｗ２）の比率（Ｗ２／Ｗ１）が、０．２５〜４（Ｗ２：Ｗ１＝１：０．２５〜１：４）であることが好ましい。より好ましくは、前記比率（Ｗ２／Ｗ１）が０．５〜２である。前記比率を外れると、抵抗体を例えば基板上に形成するのに適した粘度の抵抗体ペーストを得ることができなくなるおそれがある。
【００２６】
抵抗体を形成するには、前述の成分を含む抵抗体ペーストを例えば基板上にスクリーン印刷等の手法で印刷（塗布）し、８５０℃程度の温度で焼成すればよい。基板としては、Ａｌ2Ｏ3基板やＢａＴｉＯ3基板の誘電体基板や、低温焼成セラミック基板、ＡｌＮ基板等を用いることができる。基板形態としては、単層基板、複合基板、多層基板のいずれであってもよい。多層基板の場合、抵抗体は、表面に形成してもよいし、内部に形成してもよい。
【００２７】
抵抗体の形成に際しては、通常、基板に電極となる導電パターンを形成するが、この導電パターンは、例えば、ＡｇやＰｔ、Ｐｄ等を含むＡｇ系合金等の良導電材料を含む導電ペーストを印刷することにより形成することができる。また、形成した抵抗体の表面に、ガラス膜等の保護膜を形成してもよい。
【００２８】
本発明の抵抗体を適用可能な電子部品としては特に限定されないが、例えば単層または多層の回路基板、チップ抵抗器等の抵抗器、アイソレータ素子、Ｃ−Ｒ複合素子、モジュール素子の他、積層チップコンデンサ等のコンデンサやインダクタ等が挙げられ、コンデンサやインダクタ等の電極部分にも適用することができる。
【実施例】
【００２９】
以下、本発明を適用した具体的な実施例について、実験結果に基づいて説明する。
【００３０】
導電性材料
Ｅｒ2Ｏ3粉末とＲｕＯ2粉末とを所定量秤量し、ボールミルにて混合し、乾燥した。得られた混合粉末を大気中で５℃／分の速度で１２００℃まで昇温し、その温度に５時間保持して焼成した後、５℃／分の速度で室温まで冷却することによって、化合物（Ｅｒ2Ｒｕ2Ｏ7）を得た。得られた化合物をボールミルにて粉砕した。
また、導電性材料として、前記Ｅｒ2Ｒｕ2Ｏ7の他に、ＲｕＯ2、ＣａＲｕＯ3、ＢｉＲｕ2Ｏ7を下記の表に示す組成にて用いた。
【００３１】
ガラス組成物の作製
ＣａＣＯ3、Ｂ2Ｏ3、ＳｉＯ2、ＺｒＯ2の化合物を所定量秤量し、ボールミルにて混合した後、乾燥した。得られた粉末を５℃／分の速度で１３００℃まで昇温し、その温度に１時間保持した後、水中に投入することによって急冷し、ガラス化した。得られたガラス化物をボールミルで粉砕し、ガラス組成物粉末を得た。得られたガラス粉末の組成は下記の通りである。
ＣａＯ：Ｂ2Ｏ3：ＳｉＯ2：ＺｒＯ2＝３４：３６：２５：５（ｍｏｌ％）
【００３２】
添加物
添加物として、ＣｕＯ、ＮｉＯ、ＭｇＯを用いた。
【００３３】
有機ビヒクルの作製
バインダとしてエチルセルロース、有機溶剤としてテルピネオールを用い、有機溶剤を加熱撹拌しながらバインダを溶かして、有機ビヒクルを作製した。
【００３４】
抵抗体ペーストの作製
前述の導電性材料の粉末と、ガラス組成物粉末、添加物、及び有機ビヒクルを各組成となるように秤量し、３本ロールミルで混練し、抵抗体ペーストを得た。なお、導電性材料粉末、ガラス組成物粉末及び添加物粉末の合計重量と有機ビヒクルの重量の比は、得られた抵抗体ペーストがスクリーン印刷に適した粘度となるように、重量比で１：０．２５〜１：４の範囲で調合し、抵抗体ペーストを作製した。
【００３５】
抵抗体の作製
９６％のアルミナ基板上に、Ａｇ−Ｐｔ導体ペーストを所定形状にスクリーン印刷して乾燥させた。Ａｇ−Ｐｔ導体ペーストにおけるＡｇの割合は９５重量％、Ｐｔの割合は５重量％とした。このアルミナ基板をベルト炉に入れ、投入から排出まで１時間のパターンで焼き付けを行った。この時の焼き付け温度は８５０℃、その温度での保持時間は１０分間とした。
【００３６】
このようにして導体が形成されたアルミナ基板上に、先に作製した抵抗体ペーストをスクリーン印刷法にて所定の形状（１ｍｍ×１ｍｍの方形状）のパターンで塗布し、乾燥した。その後、導体焼き付けと同じ条件で抵抗体ペーストを焼き付け、厚膜抵抗体を得た。
【００３７】
抵抗体の特性評価
（１）抵抗値
Agilent Technologies 社製の製品番号 34401Aにより測定。試料数２４個の平均値を求めた。
（２）Ｃ．Ｖ．値（抵抗値ばらつき）
Ｃ．Ｖ．値＝抵抗値の標準偏差／抵抗値の平均値
（３）ＳＴＯＬ（短時間過負荷）
厚膜抵抗体に試験電圧を５秒間印加し、その前後における抵抗値の変化率を求めた。試料数１０個の平均値である。試験電圧＝２．５×定格電圧であり、定格電圧＝√（Ｒ／８）、Ｒは抵抗値（Ω／□）である。計算した試験電圧が２００Ｖを越える抵抗値を持つ抵抗体については、試験電圧を２００Ｖにて行った。
（４）経時変化
厚膜抵抗体を８５℃、８５％ＲＨの雰囲気に放置し、１０００時間後の抵抗値変動率を求めた。経時変化≦±１．０％が特性の基準となる。
表１に示す組成の抵抗体ペーストを用いて試料１〜１６を作製し、抵抗体の特性（抵抗値、Ｃ．Ｖ．値、ＳＴＯＬ、経時変化）を評価した。抵抗体ペーストの組成及び抵抗体の特性の評価結果を表１に示す。
【００３８】
【表１】
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【００３９】
表１から、導電性材料としてＥｒ2Ｒｕ2Ｏ7を単独で用いた試料４〜試料７では、Ｅｒ2Ｒｕ2Ｏ7を用いない従来型の抵抗体（試料１〜試料３）と比較して、抵抗値のばらつき及びＳＴＯＬ特性のいずれもが改善されていることがわかる。
【００４０】
また、導電性材料としてＥｒ2Ｒｕ2Ｏ7を単独で用い、その含有量を変化させた試料４〜試料７について比較すると、試料４〜試料６において経時変化が１．０％以内に抑えられ良好な結果を得ていることから、Ｅｒ2Ｒｕ2Ｏ7含有量を１．３重量％〜６８．５重量とすることが好ましいことがわかる。
【００４１】
試料８〜試料１０は、Ｅｒ2Ｒｕ2Ｏ7に加えて他の導電性材料を併用した例である。いずれの導電性材料を加えた場合でも、Ｅｒ2Ｒｕ2Ｏ7を含有しない試料１〜試料３と比較して、抵抗値のばらつき及びＳＴＯＬ特性の両方が改善されている。
【００４２】
試料１１〜試料１６は、抵抗体ペースト中にさらに添加物を含有させた例である。表１から明らかなように、さらに添加物を含有する場合でも、導電性材料としてＥｒ2Ｒｕ2Ｏ7を用いることで良好な特性が得られている。