(57)【要約】【課題】基板製造ラインのタクトタイムを短縮する基板搬送装置を提供する。【解決手段】基板搬送装置１に制御部１０、バッファ１１、搬送ロボット１２を設ける。制御部１０は、コータ・デベロッパ装置２０と露光装置３０との間で基板９０を搬送する際の搬送ロボット１２の搬送動作を、コータ・デベロッパ装置２０からバッファ１１に基板９０を搬送する動作（第１動作）と、それ以外の動作（第２動作）とに分類する。また、制御部１０は、基板９０に対する処理順序に応じて、第１動作および第２動作における搬送ロボット１２の動作順序を決定したうえで、第１動作および第２動作ごとに動作要求を受け付ける。【選択図】図１
2005243776.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に対して所定の処理を実行する第１処理部と、通常時における単位時間あたりの処理枚数が前記第１処理部に比べて少ない第２処理部との間で基板を搬送する基板搬送装置であって、
前記第１処理部と前記第２処理部との間で前記基板を搬送する搬送手段と、
前記第１処理部と前記第２処理部との間で、前記搬送手段が搬送する前記基板を、一旦蓄積する基板蓄積手段と、
前記搬送手段が基板を搬送する動作のうち、基板を前記第１処理部から前記基板蓄積手段に搬送する動作を第１動作とし、前記第１動作以外の動作を第２動作として、前記第１動作および前記第２動作ごとの動作要求を受け付けて、前記動作要求に応じて前記搬送手段を制御する制御手段と、
を備えることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板搬送装置であって、
前記第２動作は、基板を前記基板蓄積手段から前記第２処理部に搬送する動作と、基板を前記第２処理部から前記第１処理部に搬送する動作とを含む複数の動作から構成され、
前記制御手段は、基板に対して行われる処理順序に応じて、前記複数の動作が所定の順序で実行されるように前記搬送手段を制御することを特徴とする基板搬送装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の基板搬送装置であって、
通常時における単位時間あたりの処理枚数が前記第２処理部に比べて多い第３処理部をさらに備えることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載の基板搬送装置であって、
前記搬送手段は、それぞれ基板を保持する第１アームと第２アームとを備え、
前記第２動作は、前記第１アームおよび前記第２アームのうち基板を保持していない方によって前記第２処理部から基板を搬出する動作と、他方によって保持した基板を前記第２処理部に搬入する動作とを連続して行う動作を含むことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項５】
基板に対して所定の処理を実行する第１処理部と、通常時における単位時間あたりの処理枚数が前記第１処理部に比べて少ない第２処理部との間で基板を搬送する基板搬送装置であって、
前記第１処理部と前記第２処理部との間で搬送される基板を、一旦蓄積する基板蓄積手段と、
基板を保持するステージと、
前記第１処理部と前記ステージとの間で基板を搬送する第１搬送手段と、
前記ステージと前記第２処理部との間で基板を搬送する第２搬送手段と、
前記第１搬送手段が基板を搬送する動作のうち、基板を前記第１処理部から前記基板蓄積手段に搬送する動作を第１動作とし、前記第１動作以外の動作を第２動作として、前記第１動作および前記第２動作ごとの動作要求を受け付けて、前記動作要求に応じて前記第１搬送手段を制御する制御手段と、
を備えることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項６】
請求項５に記載の基板搬送装置であって、
前記第２動作は、基板を前記基板蓄積手段から前記ステージに搬送する動作と、基板を前記ステージから前記第１処理部に搬送する動作とを含む複数の動作から構成され、
前記制御手段は、基板に対して行われる処理順序に応じて、前記複数の動作が所定の順序で実行されるように前記第１搬送手段を制御することを特徴とする基板搬送装置。
【請求項７】
請求項５または６に記載の基板搬送装置であって、
前記第１搬送手段および第２搬送手段は、それぞれ基板を保持する第１アームと第２アームとを備え、
前記第２動作は、前記第１アームおよび前記第２アームのうち基板を保持していない方によって前記第２処理部から基板を搬出する動作と、他方によって保持した基板を前記第２処理部に搬入する動作とを連続して行う動作を含むことを特徴とする基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、処理速度の異なる複数の処理部の間で基板を搬送する場合において、タクトタイムを抑制する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネル用のガラス基板や、フォトレジスト用マスク基板、半導体基板などの基板（以下、単に「基板」と称する）の製造工程においては、例えば、コータ・デベロッパ装置と露光装置とをインライン接続して、基板製造ラインを構成し、基板に対する一連の処理を行う技術が特許文献１に提案されている。露光装置は、コータ・デベロッパ装置に比べて基板処理に時間を要するため、通常時における単位時間あたりに処理できる基板の枚数は少ない。すなわち、複数の装置をインライン接続する基板製造ラインを構築する場合、各装置ごとの処理時間が異なる場合がある。したがって、前述の例のような場合、処理速度の速いコータ・デベロッパ装置と、処理速度の遅い露光装置との間に基板蓄積装置（バッファ）を設け、コータ・デベロッパ装置における処理が終了した基板を一旦蓄積して待機させることにより、装置間のタクトタイムの差を吸収するようにしている。
【０００３】
このようなインライン方式の基板製造ラインを構築する場合、各装置間の基板の搬送は基板搬送装置が行うのが一般的である。そして、従来より基板搬送装置の待機時間を最小限にするために、各装置からの動作要求（基板の搬入要求や搬出要求）が発生した順番に、当該要求に応じた搬送動作を行うように制御していた（以下、このような制御を「イベントドリブン制御」と称する）。このようなイベントドリブン制御を実行することにより、基板搬送装置の応答時間が短縮され、基板搬送装置が遊んでしまうことによる無駄時間（待機時間）は最小となる。
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−１４５２４６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、インライン方式によって構築された基板製造ラインにおいては、各装置における基板の処理時間が異なるために、基板搬送装置に対する動作要求がランダムに発生する。このような場合に、イベントドリブン制御では、基板搬送装置の待機時間は最小となるが、基板搬送装置の移動量は増加する。基板搬送装置の移動量が増加すれば、移動に要する時間（他の要求に応答できない時間）が増加するため、結果として一連の動作を終了するまでの動作時間が増加するという問題があった。
【０００６】
また、各装置における処理時間が異なるために、あるタイミングで基板の搬入要求があったとしても、搬入すべき基板が上流側の装置に準備されていなければ、基板搬送装置は当然その要求に応じることができない。その場合、基板搬送装置は基板が準備されるまで待機することとなるが、基板が準備された時点においては、当該搬入要求に応じることが最も効率のよい動作であるとは限らないという問題があった。
【０００７】
以上のことから、基板搬送装置の待機時間を短縮することが、基板製造ラインの動作効率を向上させるとは限らないという問題があった。
【０００８】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、基板製造ラインにおいて、処理時間の異なる装置間で基板を搬送する場合に、基板製造ラインのタクトタイムを短縮する基板搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題を解決するため、請求項１の発明は、基板に対して所定の処理を実行する第１処理部と、通常時における単位時間あたりの処理枚数が前記第１処理部に比べて少ない第２処理部との間で基板を搬送する基板搬送装置であって、前記第１処理部と前記第２処理部との間で前記基板を搬送する搬送手段と、前記第１処理部と前記第２処理部との間で、前記搬送手段が搬送する前記基板を、一旦蓄積する基板蓄積手段と、前記搬送手段が基板を搬送する動作のうち、基板を前記第１処理部から前記基板蓄積手段に搬送する動作を第１動作とし、前記第１動作以外の動作を第２動作として、前記第１動作および前記第２動作ごとの動作要求を受け付けて、前記動作要求に応じて前記搬送手段を制御する制御手段とを備えることを特徴とする。
【００１０】
また、請求項２の発明は、請求項１または２の発明に係る基板搬送装置であって、前記第２動作は、基板を前記基板蓄積手段から前記第２処理部に搬送する動作と、基板を前記第２処理部から前記第１処理部に搬送する動作とを含む複数の動作から構成され、前記制御手段は、基板に対して行われる処理順序に応じて、前記複数の動作が所定の順序で実行されるように前記搬送手段を制御することを特徴とする。
【００１１】
また、請求項３の発明は、請求項２の発明に係る基板搬送装置であって、通常時における単位時間あたりの処理枚数が前記第２処理部に比べて多い第３処理部をさらに備えることを特徴とする。
【００１２】
また、請求項４の発明は、請求項１ないし３のいずれかの発明に係る基板搬送装置であって、前記搬送手段は、それぞれ基板を保持する第１アームと第２アームとを備え、前記第２動作は、前記第１アームおよび前記第２アームのうち基板を保持していない方によって前記第２処理部から基板を搬出する動作と、他方によって保持した基板を前記第２処理部に搬入する動作とを連続して行う動作を含むことを特徴とする。
【００１３】
また、請求項５の発明は、基板に対して所定の処理を実行する第１処理部と、通常時における単位時間あたりの処理枚数が前記第１処理部に比べて少ない第２処理部との間で基板を搬送する基板搬送装置であって、前記第１処理部と前記第２処理部との間で搬送される基板を、一旦蓄積する基板蓄積手段と、基板を保持するステージと、前記第１処理部と前記ステージとの間で基板を搬送する第１搬送手段と、前記ステージと前記第２処理部との間で基板を搬送する第２搬送手段と、前記第１搬送手段が基板を搬送する動作のうち、基板を前記第１処理部から前記基板蓄積手段に搬送する動作を第１動作とし、前記第１動作以外の動作を第２動作として、前記第１動作および前記第２動作ごとの動作要求を受け付けて、前記動作要求に応じて前記第１搬送手段を制御する制御手段とを備えることを特徴とする。
【００１４】
また、請求項６の発明は、請求項５の発明に係る基板搬送装置であって、前記第２動作は、基板を前記基板蓄積手段から前記ステージに搬送する動作と、基板を前記ステージから前記第１処理部に搬送する動作とを含む複数の動作から構成され、前記制御手段は、基板に対して行われる処理順序に応じて、前記複数の動作が所定の順序で実行されるように前記第１搬送手段を制御することを特徴とする。
【００１５】
また、請求項７の発明は、請求項５または６の発明に係る基板搬送装置であって、前記第１搬送手段および第２搬送手段は、それぞれ基板を保持する第１アームと第２アームとを備え、前記第２動作は、前記第１アームおよび前記第２アームのうち基板を保持していない方によって前記第２処理部から基板を搬出する動作と、他方によって保持した基板を前記第２処理部に搬入する動作とを連続して行う動作を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
請求項１ないし７に記載の発明では、搬送手段が基板を搬送する動作のうち、基板を第１処理部から基板蓄積手段に搬送する動作を第１動作とし、第１動作以外の動作を第２動作として、第１動作および前記第２動作ごとの動作要求を受け付けて、動作要求に応じて搬送手段を制御することにより、応答すべき動作要求を絞り込むことができ、動作要求に対して効率のよい応答をすることができる。したがって、効率のよい搬送処理を実現することができる。
【００１７】
請求項２および６に記載の発明では、基板に対して行われる処理順序に応じて、複数の動作が所定の順序で実行されるように搬送手段を制御することにより、さらに、効率のよい搬送処理を実現することができる。
【００１８】
請求項４および７に記載の発明では、第２動作は、第１アームおよび第２アームのうち基板を保持していない方によって第２処理部から基板を搬出する動作と、他方によって保持した基板を第２処理部に搬入する動作とを連続して行う動作を含むことにより、基板の交換動作を行うことができ、基板の搬出と搬入との間で搬送手段が移動する必要がなく、搬送動作に要する時間を削減することができる。
【００１９】
請求項５に記載の発明では、第１処理部とステージとの間で基板を搬送する第１搬送手段と、ステージと第２処理部との間で基板を搬送する第２搬送手段とを備えることにより、処理速度の遅い第２処理部に基板を搬入する処理が、他の搬送動作のために待たされることがなく、第２処理部の処理能力を最大限に活用することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の好適な実施の形態について、添付の図面を参照しつつ、詳細に説明する。
【００２１】
＜１．  第１の実施の形態＞
＜１．１  機能および構成の説明＞
図１は、基板製造ラインにおける本発明に係る基板搬送装置１と他の装置との配置を示す平面図である。基板製造ラインは、基板搬送装置１、コータ・デベロッパ装置２０、露光装置３０、および周辺装置４０を備えており、基板の製造工程におけるレジスト塗布、露光、現像に係る一連の処理を実行する機能を有している。
【００２２】
基板搬送装置１は、制御部１０、バッファ１１、および搬送ロボット１２を備えている。制御部１０は、ＣＰＵなどの演算素子と、ＲＡＭやＲＯＭといった記憶素子とから構成される一般的なコンピュータであって、記憶素子に記憶されているプログラムに従って動作することにより、基板搬送装置１の各構成を制御する。特に、制御部１０は、搬送ロボット１２を制御することにより、搬送ロボット１２による基板９０の搬送動作を制御する。また、基板製造ラインを構成する各装置とも図示しないケーブルなどで通信可能な状態で接続されており、それらの装置から所定の情報（基板識別情報や動作要求に関する情報など）を受信する。
【００２３】
バッファ１１は、複数の棚を形成する支持部材が上下方向に配列した構造の装置であって、各棚にそれぞれ１枚の基板９０を保持する。すなわち、バッファ１１は、コータ・デベロッパ装置２０と露光装置３０との間で、搬送ロボット１２が搬送する基板９０を一旦蓄積する。
【００２４】
図２は、搬送ロボット１２の詳細を示す斜視図である。搬送ロボット１２は、２つの搬送アーム１２１、アーム基台１２２、および昇降部１２３を備えている。
【００２５】
各搬送アーム１２１は、軸Ｐに対して進退可能であり、それぞれが１枚の基板９０を保持する。これにより、搬送ロボット１２は同時に２枚までの基板９０を保持することが可能である。
【００２６】
アーム基台１２２は搬送アーム１２１を支持するとともに、軸Ｐを中心に回転する機構を備えている。すなわち、アーム基台１２２の回転位置によって、搬送アーム１２１の進退方向が規定される。
【００２７】
アーム基台１２２を支持する昇降部１２３は、テレスコピック構造を形成する複数の部材から構成されており、搬送アーム１２１とアーム基台１２２とを一体的に昇降させる機能を有している。すなわち、昇降部１２３の昇降位置によって搬送アーム１２１の高さ位置が規定される。
【００２８】
このような構成により、搬送ロボット１２は、基板９０を保持しつつ、コータ・デベロッパ装置２０と露光装置３０との間で基板９０を搬送する。
【００２９】
コータ・デベロッパ装置２０は、基板９０にレジスト液を塗布する塗布装置（コータ）と、露光された基板９０を現像する現像装置（デベロッパ）とから構成される装置であって、本発明における第１処理部に相当する。なお、図１にはコータ・デベロッパ装置２０の構成のうち、特に基板搬送装置１との間で基板９０の受け渡しを行う受け取り部のみを図示している。また、コータ・デベロッパ装置２０におけるコータ（塗布装置）は所定枚数の基板９０を処理するごとにノズル洗浄などの処理が必要となる装置であって、その間、基板９０を処理することはできない。
【００３０】
露光装置３０は、例えば感光材料のレジスト液が塗布された基板９０に回路パターンなどを露光する装置である。露光装置３０の通常時における単位時間あたりの処理枚数は、コータ・デベロッパ装置２０に比べて少ない。すなわち、露光装置３０が本発明における第２処理部に相当する。
【００３１】
また、露光装置３０は、本実施の形態における基板製造ラインを構成する装置において、最も処理に時間を要する装置である。したがって、露光装置３０がその処理能力を最大限に発揮できるように搬送ロボット１２を制御することが、当該基板製造ラインにおけるタクトタイムを短縮するために重要となる。
【００３２】
周辺装置４０は、例えば、基板９０に対して識別情報を印刷するタイトラーや、周辺露光装置などであって、露光装置３０における露光処理よりも基板に対する処理時間の短い処理を行う装置である。すなわち、周辺装置４０が本発明における第３処理部に相当する。
【００３３】
以上が、本実施の形態における基板搬送装置１および基板製造ラインを構成する装置の機能および構成の説明である。
【００３４】
＜１．２  制御説明＞
次に、制御部１０がどのように搬送ロボット１２を制御するか、その手法を説明する。基板搬送装置１の制御部１０は、コータ・デベロッパ装置２０、露光装置３０、および周辺装置４０から、主に次のような搬送ロボット１２の搬送動作を要求される。
【００３５】
動作Ａ：コータ・デベロッパ装置２０から基板９０を受け取る動作
コータ・デベロッパ装置２０に塗布処理の終了した基板９０が準備されたときに要求される動作である。この動作を実行するとき、アーム基台１２２の回転位置は、搬送アーム１２１がコータ・デベロッパ装置２０に向かって進退する位置となっている必要がある。
【００３６】
動作Ｂ：バッファ１１に基板９０を搬入する動作
コータ・デベロッパ装置２０から受け取った基板９０を一旦蓄積させておくために必要となる動作である。この動作を実行するとき、アーム基台１２２の回転位置は、搬送アーム１２１がバッファ１１に向かって進退する位置となっている必要がある。
【００３７】
動作Ｃ：バッファ１１から基板９０を受け取る動作
バッファ１１に蓄積されている基板９０を取り出すために必要となる動作である。この動作を実行するとき、アーム基台１２２の回転位置は、搬送アーム１２１がバッファ１１に向かって進退する位置となっている必要がある。
【００３８】
動作Ｄ：露光装置３０から基板９０を受け取る動作
露光装置３０における露光処理が終了した基板９０を取り出すために必要となる動作である。この動作を実行するとき、アーム基台１２２の回転位置は、搬送アーム１２１が露光装置３０に向かって進退する位置となっている必要がある。
【００３９】
動作Ｅ：露光装置３０に基板９０を搬入する動作
露光装置３０において新たな基板９０に対して露光処理を実行することが可能となったときに要求される動作である。この動作を実行するとき、アーム基台１２２の回転位置は、搬送アーム１２１が露光装置３０に向かって進退する位置となっている必要がある。
【００４０】
動作Ｆ：周辺装置４０から基板９０を受け取る動作
周辺装置４０において基板９０に対する処理が終了したときに要求される動作である。この動作を実行するとき、アーム基台１２２の回転位置は、搬送アーム１２１が周辺装置４０に向かって進退する位置となっている必要がある。
【００４１】
動作Ｇ：周辺装置４０に基板９０を搬入する動作
周辺装置４０において、新たな基板９０に対して処理可能な状態となったときに要求される動作である。この動作を実行するとき、アーム基台１２２の回転位置は、搬送アーム１２１が周辺装置４０に向かって進退する位置となっている必要がある。
【００４２】
動作Ｈ：コータ・デベロッパ装置２０に基板９０を搬入する動作
コータ・デベロッパ装置２０において、新たに現像処理を行う基板９０を受け付けることが可能となったときに要求される動作である。この動作を実行するとき、アーム基台１２２の回転位置は、搬送アーム１２１がコータ・デベロッパ装置２０に向かって進退する位置となっている必要がある。
【００４３】
これら動作Ａないし動作Ｈに説明した８つの動作は、主に搬送アーム１２１のいずれか一方が、所定の方向に進退することによって実現される動作であって、いずれの動作も同程度の時間を要する動作である。
【００４４】
また、搬送ロボット１２では、これら８つの動作ＡないしＨに付随して、適宜、アーム基台１２２が回転する動作と、昇降部１２３が上下方向に伸縮する動作とが行われる。これらの動作は、搬送ロボット１２が、動作ＡないしＨを実行するために、それぞれ必要とされる位置に移動する動作であって、移動を開始する前におけるアーム基台１２２の回転位置および昇降部１２３の昇降位置によって、その所要時間が変化する動作である。ただし、昇降部１２３の昇降動作は、他の搬送動作および処理に要する時間に比べて十分に短い時間で完了する動作であるので、以下、「搬送ロボット１２の移動」とは、主に搬送ロボット１２がアーム基台１２２を回転させることにより、搬送アーム１２１の進退方向を調整する動作を指すものとする。
【００４５】
本実施の形態における基板搬送装置１の制御部１０は、搬送ロボット１２が基板９０を搬送するために行う複数の動作のうち、基板９０をコータ・デベロッパ装置２０からバッファ１１に搬送する動作を第１動作とする。また、それ以外の搬送動作を第２動作とする。
【００４６】
これにより、搬送ロボット１２の第１動作とは、動作Ａを行う位置に移動する動作と、動作Ａと、動作Ａを行った位置から動作Ｂを行う位置に移動する動作と、動作Ｂとを含む動作となる。そして、制御部１０は、これら第１動作を構成する搬送ロボット１２の動作を、基板９０に対する処理順序に応じて、ここに示す所定の順番で順次実行するよう搬送ロボット１２を制御する。すなわち、第１動作とは、コータ・デベロッパ装置２０のタクトタイムによって律速する一連の動作となる。
【００４７】
また、搬送ロボット１２の第２動作とは、動作Ｃを行う位置に移動する動作と、動作Ｃと、動作Ｃを行った位置から動作Ｄおよび動作Ｅを行う位置に移動する動作と、動作Ｄと、動作Ｅと、動作Ｅを行った位置から動作Ｆおよび動作Ｇを行う位置に移動する動作と、動作Ｆと、動作Ｇと、動作Ｇを行った位置から動作Ｈを行う位置に移動する動作と、動作Ｈとを含む動作となる。そして、制御部１０は、これらの第２動作を構成する搬送ロボット１２の動作を、基板９０に対する処理順序に応じて、ここに示す所定の順番で順次実行するよう搬送ロボット１２を制御する。ここで、露光装置３０のタクトタイムは周辺装置４０のタクトタイムよりも長いため、第２動作とは、露光装置３０のタクトタイムによって律速する一連の動作となる。
【００４８】
このように、制御部１０は、搬送ロボット１２の搬送に係る動作を、異なるタクトタイムによって律速する２つの動作に分類した上で、それら２つの動作ごとに動作要求を受け付ける。すなわち、制御部１０は、動作Ａに対する動作要求があった場合に第１動作を開始し、動作Ｅに対する動作要求があった場合に第２動作を開始するように搬送ロボット１２を制御する。その一方で、制御部１０は、その他の動作（動作Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｆ，Ｇ，Ｈ）についての動作要求があってもこれを受け付けることなく無視する。
【００４９】
これは、制御部１０が、搬送ロボット１２に対して、２種類の動作要求についてイベントドリブン制御を行うことに相当する。なお、動作Ａの要求とはコータ・デベロッパ装置２０から発せられる動作要求であって、基板搬送装置１に対して、塗布処理の終了した基板９０を搬出するように要求するものである。また、動作Ｅの要求とは露光装置３０から発せられる動作要求であって、基板搬送装置１に対して、露光処理を行う基板９０を供給するよう要求するものである。
【００５０】
第１動作および第２動作を構成する各動作は、制御部１０によって決定された所定の順番で実行され、ひとたび第１動作または第２動作が開始された後は、その一連の動作中にそれらの動作の順番が変更されることはない。ただし、他の動作がこれらの動作の間に割り込むことはある。
【００５１】
以上が、本実施の形態における基板搬送装置１において、制御部１０が搬送ロボット１２を制御する手法の説明である。
【００５２】
＜１．３  動作説明＞
次に、基板製造ラインにおいて、基板搬送装置１が基板を搬送する動作について説明する。図３ないし図５は、本実施の形態における制御部１０が搬送ロボット１２を制御することにより実現される基板搬送装置１の動作を示す流れ図である。
【００５３】
制御部１０は、まず、動作Ｅまたは動作Ａについての動作要求がされているか否かを監視しつつ（ステップＳ１１，Ｓ１２）、搬送ロボット１２を待機させる。
【００５４】
制御部１０が動作Ｅについての動作要求を検出すると（ステップＳ１１においてＹｅｓ）、搬送ロボット１２にステップＳ３１以降の動作を実行させることにより、第２動作を開始させる。なお、第２動作については後述する。
【００５５】
一方、制御部１０が、動作Ａについての動作要求を検出すると（ステップＳ１２においてＹｅｓ）、搬送ロボット１２に第１動作を開始させる。まず、制御部１０は、搬送アーム１２１をコータ・デベロッパ装置２０に向けて進退できる位置に搬送ロボット１２を移動させる（ステップＳ１３）。ステップＳ１３における移動が完了すると、搬送ロボット１２は動作Ａを実行する（ステップＳ１４）。これによって、搬送アーム１２１のいずれか一方が、コータ・デベロッパ装置２０から基板９０を受け取る。
【００５６】
ステップＳ１４による搬送ロボット１２の動作Ａが終了すると、制御部１０は、動作Ｅに対する動作要求があるか否かを判定する（ステップＳ１５）。これにより、本実施の形態における基板搬送装置１は、第１動作中に第２動作に対する動作要求の有無を判定することとなる。
【００５７】
そして、動作Ｅに対する動作要求を検出していない場合は、搬送ロボット１２はコータ・デベロッパ装置２０から受け取った基板９０を保持しつつ、バッファ１１に対して搬送アーム１２１を進退できる位置に移動する（ステップＳ１６）。ステップＳ１６による移動が完了すると、搬送ロボット１２は動作Ｂを実行する（ステップＳ１７）。すなわち、搬送ロボット１２は、基板９０を保持した方の搬送アーム１２１をバッファ１１に向けて進出させ、コータ・デベロッパ装置２０から受け取った基板９０をバッファ１１に搬入し、第１動作を終了する。ステップＳ１７が実行されると、制御部１０は、ステップＳ１１の処理に戻って、新たな動作要求がされるまで搬送ロボット１２を待機させる。
【００５８】
一方、搬送ロボット１２が第１動作を実行してる間（ステップＳ１５が実行されるまで）に、動作Ｅについての動作要求があり、制御部１０がステップＳ１５においてＹｅｓと判定した場合、搬送ロボット１２は以下のように動作する。
【００５９】
基板搬送装置１のバッファ１１は複数の基板９０を蓄積することができる。したがって、搬送ロボット１２は、まず、バッファ１１の空いている棚に対して基板９０を搬入する（動作Ｂ）ことによって、第１動作を完了し、続いて露光装置３０に供給する基板９０を保持している棚から当該基板９０を受け取る動作（第２動作である動作Ｃ）を実行することも可能である。しかし、搬送ロボット１２が受け取る基板９０を保持している棚に、先に基板９０を搬入することはできないため、動作Ｂを先に実行する場合は、動作Ｂを行う棚と動作Ｃを行う棚とが互いに異なる棚でなければならない。そうすると、動作Ｂと動作Ｃとの間において、搬送ロボット１２は棚選択のための昇降動作を行う必要が生じる。また、バッファ１１に使用されていない棚が存在していなければならないという制約も発生する。
【００６０】
そこで、本実施の形態における基板搬送装置１では、搬送ロボット１２が第１動作を実行している間に第２動作が要求された場合（ステップＳ１５においてＹｅｓ）、まず、制御部１０が、搬送ロボット１２をバッファ１１の方向に向くように制御する。この制御に従って、搬送ロボット１２は、コータ・デベロッパ装置２０から受け取った基板９０を保持しつつ、バッファ１１に対して搬送アーム１２１を進退させる位置に移動する（ステップＳ１８）。このとき、搬送ロボット１２の移動目標となる棚は、露光装置３０に搬送すべき基板９０を保持している棚である。
【００６１】
ステップＳ１８における搬送ロボット１２の移動が完了すると、搬送ロボット１２は、動作Ｃを実行する（ステップＳ１９）。すなわち、基板９０を保持していない方の搬送アーム１２１をバッファ１１に対して進出させて、バッファ１１に準備されている基板９０（露光装置３０に搬送する基板９０）を受け取る。続いて、搬送ロボット１２は、動作Ｂを実行して、第１動作を終了する（ステップＳ２０）。すなわち、コータ・デベロッパ装置２０から基板９０を受け取った方の搬送アーム１２１を、ステップＳ１９において基板９０を取り出した棚に対して進出させて、保持している基板９０をバッファ１１に搬入する。
【００６２】
ここで、ステップＳ１８における搬送ロボット１２の移動とは、動作Ｃを行うための移動である。しかし、搬送ロボット１２が動作Ｃを実行した後に、続けて動作Ｂを行うことから、ステップＳ１８における搬送ロボット１２の移動は、ステップＳ１６における搬送ロボット１２の移動と同じく、動作Ｂを行うための移動とみなすこともできる。
【００６３】
すなわち、搬送ロボット１２が第１動作を実行している間に第２動作が要求された場合（ステップＳ１５においてＹｅｓ）、制御部１０は、バッファ１１に対して基板９０の交換動作（搬出・搬入動作）を行うように搬送ロボット１２を制御する。これにより、搬送ロボット１２が実行する第１動作のうち、動作Ｂを行うために移動する動作が実質的に不要となり、搬送ロボット１２の移動に要する時間を削減することができる。すなわち、本実施の形態における基板搬送装置１は、検出した動作要求に応じて、制御部１０が搬送ロボット１２を制御することにより、搬送ロボット１２の移動に要する時間を削減することができる。
【００６４】
また、基板搬送装置１では、搬送ロボット１２が２つの搬送アーム１２１を備えているため、バッファ１１に搬入する基板９０を保持したまま、さらにバッファ１１から搬出する基板９０を受け取ることができ、基板９０の交換動作を実現することができる。したがって、バッファ１１に空いている棚がない場合であっても、第１動作の後に第２動作が予定されている場合には、第１動作を完了することができる。
【００６５】
なお、動作Ｂは、実質的には動作Ｃを実行する時間分だけ待たされることとなる。しかし、動作Ｃは、搬送アーム１２１をバッファ１１に対して進退させるだけの動作であり、その所要時間は他の動作および処理に要する時間比べて十分に短い（例えば、数秒程度）。したがって、動作Ｂが、動作Ｃを先に実行することによって待たされたとしても、搬送ロボット１２の第１動作のタクトタイムが影響を受けることはほとんどない。
【００６６】
動作Ｃは、第２動作に含まれる動作であるから、搬送ロボット１２が動作Ｂを実行する前に動作Ｃを実行することは、搬送ロボット１２が第１動作の実行中に、次に予定されている第２動作を予め開始する（第２動作が第１動作に割り込む）ことに相当する。このように、第２動作が第１動作に割り込んだ場合でも、制御部１０によって予め決定された第１動作の動作順序は変更されてはいない。また、ステップＳ２０が実行された後、搬送ロボット１２は、引き続きステップＳ３３の処理に戻ることにより、開始された第２動作を継続する。なお、第２動作については後述する。
【００６７】
次に、搬送ロボット１２が第２動作を行う場合について説明する。第２動作は、動作Ｅに対する動作要求があった場合に開始される動作である。したがって、前述のように、制御部１０がステップＳ１１またはステップＳ１５においてＹｅｓと判定した場合に第２動作が開始される。
【００６８】
制御部１０は、ステップＳ１１でＹｅｓと判定すると、搬送アーム１２１をバッファ１１に向けて進退できる位置に搬送ロボット１２を移動させる（ステップＳ３１）。ステップＳ３１における移動が完了すると、搬送ロボット１２は動作Ｃを実行する（ステップＳ３２）。これによって、搬送アーム１２１のいずれか一方が、バッファ１１から基板９０を受け取る。
【００６９】
次に、搬送ロボット１２は、バッファ１１から受け取った基板９０を保持しつつ、露光装置３０に向けて搬送アーム１２１を進退できる位置に移動する（ステップＳ３３）。ステップＳ３３における移動が完了すると、搬送ロボット１２は動作Ｄを実行する（ステップＳ３４）。これによって、基板９０を保持していない方の搬送アームが、露光装置３０から露光処理の終了した基板９０を受け取る。
【００７０】
なお、ステップＳ１５においてＹｅｓと判定されたことによって第２動作が開始される場合は、前述のようにステップＳ１８，１９によって動作Ｃが実行されることによって第２動作が開始される。この場合、ステップＳ２０の処理が実行されてからステップＳ３３以降の処理を行うが、この場合であっても、第２動作を構成する各動作の実行順序は予め決められた所定の順序で実行される。
【００７１】
露光処理の終了した基板９０を受け取ると、搬送ロボット１２は、動作Ｅを実行する（ステップＳ３５）ことにより、バッファ１１から受け取った基板９０を露光装置３０に搬入する。すなわち、動作Ｄと動作Ｅとを連続して実行することにより、搬送ロボット１２は露光装置３０に対する基板９０の交換動作を行う。
【００７２】
次に、搬送ロボット１２は、露光装置３０から受け取った基板９０を保持しつつ、周辺装置４０に向けて搬送アーム１２１を進退できる位置に移動する（ステップＳ３６）。ステップＳ３６における移動が完了すると、搬送ロボット１２は動作Ｆを実行する（ステップＳ３７）。これによって、搬送ロボット１２が、周辺装置４０から処理の終了した基板９０を受け取る。
【００７３】
周辺装置４０から処理の終了した基板９０を受け取ると、搬送ロボット１２は、動作Ｇを実行する（ステップＳ３８）ことにより、露光装置３０から受け取った基板９０を周辺装置４０に搬入する。すなわち、動作Ｆと動作Ｇとを連続して実行することにより、搬送ロボット１２は周辺装置４０に対する基板９０の交換動作を行う。
【００７４】
ステップＳ３８による搬送ロボット１２の動作Ｇが終了すると、制御部１０は、動作Ａに対する動作要求があるか否かを判定する（ステップＳ４１）。そして、動作Ａに対する動作要求を検出していない場合は、コータ・デベロッパ装置２０に対して搬送アーム１２１を進退できる位置に搬送ロボット１２を移動させる（ステップＳ４２）。ステップＳ４２による移動が完了すると、搬送ロボット１２は、動作Ｈを実行する（ステップＳ４３）ことにより、周辺装置４０から受け取った基板９０をコータ・デベロッパ装置２０に搬入し、第２動作を終了してステップＳ１１からの処理に戻る。
【００７５】
このように、本実施の形態における基板搬送装置１では、第２動作を構成する各動作の実行順序が基板９０の処理順序に応じて決定されている。したがって、ステップＳ３４，３５、およびステップＳ３７，３８に示すように、搬送ロボット１２の第２動作では、基板９０の交換動作が行われるようにその動作順序が決定されている。すなわち、露光装置３０および周辺装置４０に対しては、基板９０の搬出・搬入動作が必ず連続で行われることから、搬送ロボット１２の移動時間を短縮することができる。
【００７６】
基板搬送装置１は、搬送ロボット１２の移動中においては、他の動作要求に応答することができない。したがって、搬送ロボット１２の移動時間を短縮することは、基板搬送装置１が応答可能状態にある確率を高めることに相当し、動作Ａおよび動作Ｅについての動作要求に対する搬送ロボット１２の応答時間を短縮することに相当する。
【００７７】
すなわち、本実施の形態における基板搬送装置１は、搬送ロボット１２の移動時間を短縮することにより、露光装置３０からの基板供給要求（動作Ｅについての動作要求）に対する応答時間を短縮することができる。したがって、最もタクトタイムの長い露光装置３０がさらに処理待ち状態となることによって、基板製造ライン全体の処理能力が低下することを有効に防止することができる。
【００７８】
なお、露光装置３０よりも処理速度の速い周辺装置４０において、露光装置３０より先に基板９０に対する処理が終了した場合であっても、搬送ロボット１２が露光装置３０より先に当該基板９０を搬出することはない（動作Ｆについての動作要求は無視される）。したがって、周辺装置４０は、露光装置３０のタクトタイムに合わせて動作する。周辺装置４０は、露光処理が終了した基板９０が露光装置３０に準備されなければ、次の基板９０に対する処理を行うことができず、基板９０の搬出だけを先に行ったとしても、露光装置３０のタクトタイムでしか動作することができない。したがって、周辺装置４０の基板搬出要求に対する応答が待たされることによって、基板製造ラインの効率が、従来に比べて低下することはほとんどない。
【００７９】
図５に戻って、搬送ロボット１２が第２動作を実行してる間（ステップＳ４１が実行されるまで）に、動作Ａについての動作要求があり、制御部１０がステップＳ４１においてＹｅｓと判定した場合、搬送ロボット１２は以下のように動作する。なお、動作Ａに対する動作要求がある場合とは、コータ・デベロッパ装置２０の受け渡し部にバッファ１１に搬送すべき基板９０がすでに準備されている場合である。
【００８０】
コータ・デベロッパ装置２０の受け渡し部は、通常、１枚の基板９０を保持することしかできない。したがって、搬送ロボット１２は、コータ・デベロッパ装置２０の受け渡し部に基板９０が準備されている状態では、コータ・デベロッパ装置２０に基板９０を搬入することはできない。すなわち、動作Ａについての動作要求がされている状態では、動作Ｈを実行することができず、搬送ロボット１２は第２動作を完了することができない。
【００８１】
この場合の解決手法としては、搬送ロボット１２によって第２動作が開始されたことを予め制御部１０がコータ・デベロッパ装置２０に通知し、第２動作が完了するまで（動作Ｈが完了するまで）受け渡し部に基板９０を準備しないように要求するインターロック制御を行うことも可能である。このような制御によって、搬送ロボット１２が第２動作を実行している間に動作Ａについての動作要求がされることはなくなる。
【００８２】
しかし、このようなインターロック制御を実行すると、本来、処理速度の速いコータ・デベロッパ装置２０が、露光装置３０のタクトタイムに合わせて動作しなければならなくなる。この場合、コータ・デベロッパ装置２０と露光装置３０との処理速度はほぼ等しくなるため、バッファ１１に基板９０が貯まらなくなる。そうすると、コータにおけるノズル洗浄のために、コータ・デベロッパ装置２０の塗布処理が一時的に停止した場合にも、露光装置３０に供給すべき基板９０が存在しない状態となり、露光装置３０も停止する。すなわち、露光装置３０の処理能力を最大限に発揮させることができなくなるため、基板製造ライン全体としての効率が低下する。
【００８３】
そこで、本実施の形態における基板搬送装置１では、搬送ロボット１２が第２動作を実行している間に第１動作が要求された場合（ステップＳ４１においてＹｅｓ）、まず、制御部１０が、搬送ロボット１２をコータ・デベロッパ装置２０の方向に向くように制御する。この制御に従って、搬送ロボット１２は、周辺装置４０から受け取った基板９０を保持しつつ、コータ・デベロッパ装置２０に対して搬送アーム１２１を進退させる位置に移動する（ステップＳ４４）。
【００８４】
ステップＳ４４における搬送ロボット１２の移動が完了すると、搬送ロボット１２は、動作Ａを実行する（ステップＳ１５）。すなわち、基板９０を保持していない方の搬送アームをコータ・デベロッパ装置２０に対して進出させて、コータ・デベロッパ装置２０に準備されている基板９０を受け取る。続いて、搬送ロボット１２は、動作Ｈを実行して、第２動作を終了する（ステップＳ４６）。すなわち、周辺装置４０から基板９０を受け取った方の搬送アーム１２１をコータ・デベロッパ装置２０に対して進出させて、保持している基板９０をコータ・デベロッパ装置２０に搬入する。
【００８５】
なお、ステップＳ４４における搬送ロボット１２の移動は、動作Ａを行うための移動であるが、動作Ａを実行した後に、コータ・デベロッパ装置２０に対して動作Ｈを行うことから、ステップＳ４２における搬送ロボット１２の移動と同じく動作Ｈを行うための移動とみなすこともできる。すなわち、このような制御により、第２動作のうち、搬送ロボット１２が動作Ｈを行う位置に移動する動作が実質的にほぼ不要となる。
【００８６】
このように、本実施の形態における基板搬送装置１では、搬送ロボット１２が２つの搬送アーム１２１を備えていることにより、コータ・デベロッパ装置２０に対して基板９０の交換動作を行うことができる。したがって、前述のようなインターロック制御を行うことなく、基板９０を搬送することができるため、基板製造ラインの効率を低下させることがない。
【００８７】
また、搬送ロボット１２が第２動作を実行している間に第１動作が要求された場合（ステップＳ４１においてＹｅｓ）、制御部１０は、コータ・デベロッパ装置２０に対して基板９０の交換動作を行うように搬送ロボット１２を制御する。すなわち、本実施の形態における基板搬送装置１は、第２動作を実行中に検出した動作要求に応じて、制御部１０が搬送ロボット１２を制御することにより、搬送ロボット１２の移動に要する時間を削減することができる。
【００８８】
なお、動作Ｈは、実質的には動作Ａを実行する時間分だけ待たされることとなる。しかし、動作Ａは、搬送アーム１２１をコータ・デベロッパ装置２０に対して進退させるだけの動作であり、その所要時間は他の動作および処理に要する時間比べて十分に短い（例えば、数秒程度）。したがって、動作Ｈが、動作Ａによって待たされたとしても、搬送ロボット１２の第２動作のタクトタイムが影響を受けることはほとんどない。
【００８９】
動作Ａは、第１動作に含まれる動作であるから、搬送ロボット１２が動作Ｈを実行する前に動作Ａを実行することは、搬送ロボット１２が第２動作の実行中に、次に予定されている第１動作を予め開始する（第１動作が第２動作に割り込む）ことに相当する。このように、第１動作が第２動作に割り込んだ場合でも、制御部１０によって予め決定された第２動作の動作順序は変更されることはない。また、ステップＳ４６が実行された後、搬送ロボット１２は、引き続きステップＳ１５の処理に戻ることにより、開始された第１動作を継続する。
【００９０】
以上のように、本実施の形態における基板搬送装置１は、搬送ロボット１２による基板の搬送動作を、タクトタイムの比較的短い第１動作と、タクトタイムの比較的長い第２動作とに分類し、第１動作および第２動作ごとの動作要求を受け付ける。すなわち、搬送ロボット１２に対する動作要求を絞り込むことによって、動作要求の発生状況を容易に予測することができる。したがって、動作要求に対して効率よく対応することができ、効率のよい搬送処理を実現することができる。
【００９１】
また、第１動作および第２動作を構成する搬送ロボット１２の各動作が、基板９０の処理順序に応じて、所定の順序となるように予め決定されていることにより、例えば、搬送ロボット１２が基板９０の交換動作を行うように動作順序を設定することができる。したがって、搬送ロボット１２の移動時間を削減することができる。
【００９２】
また、搬送ロボット１２が２つの搬送アーム１２１を備えていることにより、搬送ロボット１２は基板９０の搬出・搬入動作（交換動作）を、途中で移動することなく行うことができる。したがって、搬送ロボット１２の移動時間を削減することができるため、効率のよい搬送処理を実現することができる。
【００９３】
なお、本実施の形態における基板搬送装置１の制御部１０は、動作Ａと動作Ｅとについての動作要求を同時に検出した場合は、第２動作を優先して実行するよう搬送ロボット１２を制御する。このように、処理能力の劣る露光装置３０の処理を優先することにより、基板製造ラインの処理の効率化を図ることができる。
【００９４】
また、基板搬送装置１では、動作Ｅについての動作要求があった場合に、動作Ｅよりも先に、必ず動作Ｃおよび動作Ｄが実行される。したがって、この動作Ｃおよび動作Ｄに要する時間を見越して、露光装置３０が早めに動作Ｅについての動作要求を発するように構成してもよい。これにより、動作Ａについての動作要求が先に検出され、搬送ロボット１２が第１動作を完了するまで、露光装置３０が待たされる確率を減少させることができる。
【００９５】
また、露光装置３０として、基板９０についての露光処理が終了し、搬出する基板９０を準備した段階で、動作Ｅについての動作要求を発する装置を想定して説明した。しかし、露光装置３０と搬送ロボット１２との間は１枚の基板９０の受け渡ししか行うことができない。したがって、搬送ロボット１２が露光処理を終了した基板９０を搬出しない限り（動作Ｄを実行しない限り）、露光装置３０は新たに基板９０を受け取れる状態になることはなく、本来、動作Ｅについての動作要求を行うことはできない。すなわち、基板製造ラインを構成する露光装置が、動作Ｄについての動作要求が無視される限り、動作Ｅについての動作要求を行わない場合には、動作Ｄについての動作要求を本実施の形態における動作Ｅについての動作要求とみなして、前述の制御を行うようにしてもよい。その場合、制御部１０は、搬送ロボット１２に動作Ｄを実行させた後、動作Ｅについての動作要求があるまで、搬送ロボット１２を待機させる。このようにして、搬送ロボット１２の第２動作の動作順序は、制御部１０によって予め決定された所定の順序となるように制御される。これは周辺装置４０についても同様である。
【００９６】
＜２．  第２の実施の形態＞
第１の実施の形態では、搬送ロボットが１台の基板搬送装置１について説明したが、搬送ロボットの数はこれに限られるものではなく、さらに多くの搬送ロボットを備えていてもよい。
【００９７】
図６は、このような原理に基づいて構成した第２の実施の形態における基板搬送装置２を基板製造ラインとともに示す平面図である。
【００９８】
第２の実施の形態における基板搬送装置２は、第１の実施の形態における基板搬送装置１の構成に加えて、待機ステージ１３および搬送ロボット１４とを備えている。なお、本実施の形態における基板搬送装置２において、第１の実施の形態における基板搬送装置１とほぼ同様の機能を有する構成については同符号を付し、適宜説明を省略する。
【００９９】
待機ステージ１３は、所定の位置に１枚の基板９０を保持するステージであって、搬送ロボット１２，１４のいずれからも基板９０の受け渡しが可能とされている。
【０１００】
搬送ロボット１４は、搬送ロボット１２とほぼ同様の機能を有しており、待機ステージ１３と露光装置３０との間で基板９０を搬送する。
【０１０１】
第２の実施の形態における基板搬送装置１の制御部１０は、コータ・デベロッパ装置２０および周辺装置４０などから、主に次のような搬送ロボット１２の搬送動作を要求される。
【０１０２】
動作Ａ：コータ・デベロッパ装置２０から基板９０を受け取る動作
コータ・デベロッパ装置２０に塗布処理の終了した基板９０が準備されたときに、コータ・デベロッパ装置２０から要求される動作である。この動作を実行するとき、搬送ロボット１２のアーム基台１２２の回転位置は、搬送アーム１２１がコータ・デベロッパ装置２０に向かって進退する位置となっている必要がある。
【０１０３】
動作Ｂ：バッファ１１に基板９０を搬入する動作
コータ・デベロッパ装置２０から受け取った基板９０を一旦蓄積させておくために必要となる動作である。この動作を実行するとき、搬送ロボット１２のアーム基台１２２の回転位置は、搬送アーム１２１がバッファ１１に向かって進退する位置となっている必要がある。
【０１０４】
動作Ｃ：バッファ１１から基板９０を受け取る動作
バッファ１１に蓄積してる基板９０を取り出すために必要となる動作である。この動作を実行するとき、搬送ロボット１２のアーム基台１２２の回転位置は、搬送アーム１２１がバッファ１１に向かって進退する位置となっている必要がある。
【０１０５】
動作Ｄ：待機ステージ１３から基板９０を受け取る動作
待機ステージ１３から露光処理が終了した基板９０を取り出すために必要となる動作である。この動作を実行するとき、搬送ロボット１２のアーム基台１２２の回転位置は、搬送アーム１２１が待機ステージ１３に向かって進退する位置となっている必要がある。
【０１０６】
動作Ｅ：待機ステージ１３に基板９０を搬入する動作
待機ステージ１３に露光装置３０に搬送すべき基板９０を供給するために必要となる動作である。この動作を実行するとき、搬送ロボット１２のアーム基台１２２の回転位置は、搬送アーム１２１が待機ステージ１３に向かって進退する位置となっている必要がある。
【０１０７】
動作Ｆ：周辺装置４０から基板９０を受け取る動作
周辺装置４０において基板９０に対する処理が終了したときに、周辺装置４０から要求される動作である。この動作を実行するとき、搬送ロボット１２のアーム基台１２２の回転位置は、搬送アーム１２１が周辺装置４０に向かって進退する位置となっている必要がある。
【０１０８】
動作Ｇ：周辺装置４０に基板９０を搬入する動作
周辺装置４０において新たな基板９０の受け入れが可能となったときに要求される動作である。この動作を実行するとき、搬送ロボット１２のアーム基台１２２の回転位置は、搬送アーム１２１が周辺装置４０に向かって進退する位置となっている必要がある。
【０１０９】
動作Ｈ：コータ・デベロッパ装置２０に基板を搬入する動作
コータ・デベロッパ装置２０において、新たに現像処理を行う基板９０を受け付けることが可能となったときに要求される動作である。この動作を実行するとき、搬送ロボット１２のアーム基台１２２の回転位置は、搬送アーム１２１がコータ・デベロッパ装置２０に向かって進退する位置となっている必要がある。
【０１１０】
さらに、制御部１０は、露光装置３０などから、主に次のような搬送ロボット１４の搬送動作を要求される。
【０１１１】
動作Ｉ：待機ステージ１３から基板９０を受け取る動作
待機ステージ１３に露光装置３０に搬送すべき基板９０が準備されたときに要求される動作である。この動作を実行するとき、搬送ロボット１４のアーム基台１２２の回転位置は、搬送アーム１２１が待機ステージ１３に向かって進退する位置となっている必要がある。
【０１１２】
動作Ｊ：露光装置３０から基板９０を受け取る動作
露光装置３０において露光処理が終了した基板９０を取り出すために必要となる動作である。この動作を実行するとき、搬送ロボット１４のアーム基台１２２の回転位置は、搬送アーム１２１が露光装置３０に向かって進退する位置となっている必要がある。
【０１１３】
動作Ｋ：露光装置３０に基板９０を搬入する動作
待機ステージ１３から受け取った基板９０を露光装置３０に搬入するために必要となる動作である。この動作を実行するとき、搬送ロボット１４のアーム基台１２２の回転位置は、搬送アーム１２１が露光装置３０に向かって進退する位置となっている必要がある。
【０１１４】
動作Ｌ：待機ステージ１３に基板９０を搬入する動作
待機ステージ１３に露光処理が終了した基板９０を搬入するために必要となる動作である。この動作を実行するとき、搬送ロボット１４のアーム基台１２２の回転位置は、搬送アーム１２１が待機ステージ１３に向かって進退する位置となっている必要がある。
【０１１５】
これら動作ＡないしＬに説明した１２の動作は、主に搬送ロボット１２，１４の搬送アーム１２１のいずれか一方が、所定の方向に進退することによって実現される動作であって、いずれの動作も同程度の時間を要する動作である。なお、本実施の形態における搬送ロボット１２の８つの動作のうち、動作Ｄおよび動作Ｅ以外は、第１の実施の形態における動作Ａないし動作Ｃ、および動作Ｆないし動作Ｈと同様である。また、待機ステージ１３は、露光装置３０に搬送すべき基板９０を保持している場合に動作Ｉについての動作要求を行い、それ以外の場合には動作Ｅについての動作要求を行う。
【０１１６】
本実施の形態における基板搬送装置２の制御部１０は、第１の実施の形態において説明したように、搬送ロボット１２が基板９０を搬送するために行う複数の動作のうち、基板９０をコータ・デベロッパ装置２０からバッファ１１に搬送する動作を第１動作とし、それ以外の搬送動作を第２動作とする。
【０１１７】
すなわち、第２の実施の形態における搬送ロボット１２の第１動作とは、第１の実施の形態における搬送ロボット１２の第１動作と同様の動作である。そして、制御部１０は、これら第１動作を構成する搬送ロボット１２の動作を、基板９０に対する処理順序に応じて、ここに示す所定の順番で順次実行するよう搬送ロボット１２を制御する。
【０１１８】
また、搬送ロボット１２の第２動作とは、動作Ｃを行う位置に移動する動作と、動作Ｃと、動作Ｃを行った位置から動作Ｄおよび動作Ｅを行う位置に移動する動作と、動作Ｄと、動作Ｅと、動作Ｅを行った位置から動作Ｆおよび動作Ｇを行う位置に移動する動作と、動作Ｆと、動作Ｇと、動作Ｇを行った位置から動作Ｈを行う位置に移動する動作と、動作Ｈとを含む動作となる。そして、制御部１０は、これらの第２動作を構成する搬送ロボット１２の動作を、基板９０に対する処理順序に応じて、ここに示す所定の順番で順次実行するよう搬送ロボット１２を制御する。
【０１１９】
次に、第２の実施の形態における基板搬送装置２における搬送ロボット１２，１４の動作について説明する。まず、搬送ロボット１２については、図３ないし図５に示す第１の実施の形態における搬送ロボット１２と同様に制御される。
【０１２０】
図７ないし図８は、第２の実施の形態における基板搬送装置２の搬送ロボット１４の動作を示す流れ図である。まず、制御部１０は、動作Ｋおよび動作Ｉについての動作要求があるか否かを監視しつつ（ステップＳ５１，５２）、搬送ロボット１４を待機させる。
【０１２１】
制御部１０が動作Ｋについての動作要求を検出した場合（ステップＳ５１においてＹｅｓ）、ステップＳ６１からの処理を実行して第２動作を開始するが、これについては後述する。
【０１２２】
制御部１０が動作Ｉについての動作要求を検出した場合（ステップＳ５２においてＹｅｓ）、まず、搬送ロボット１４を待機ステージ１３に向くように制御する。この制御に応じて、搬送ロボット１４は、搬送アーム１２１を待機ステージ１３に対して進退させる位置に移動する（ステップＳ５３）。
【０１２３】
次に、搬送ロボット１４は、基板９０を保持していない方の搬送アーム１２１を待機ステージ１３に進出させて、待機ステージ１３から基板９０を受け取ることにより、動作Ｉを実行する（ステップＳ５４）。また、搬送ロボット１４が、露光装置３０から搬出した基板９０を保持している場合には、当該基板９０を保持している方の搬送アーム１２１を待機ステージ１３に進出させて、待機ステージ１３に当該基板９０を受け渡すことにより、動作Ｌを実行する（ステップＳ５５）。これにより、搬送ロボット１４は、待機ステージ１３に対して基板９０の交換動作を行う。
【０１２４】
ステップＳ５４において、搬送ロボット１４が露光装置３０に搬送する基板９０を受け取ると、制御部１０は、動作Ｋについての動作要求を監視しつつ（ステップＳ５６）、搬送ロボット１４を待機させる。ステップＳ５６により、この間、動作Ｉについての動作要求は無視されることとなる。搬送ロボット１４は、ステップＳ５６が実行される時点において、すでに露光装置３０に搬送する基板９０を保持している（ステップＳ５４）ので、動作Ｉについての動作要求があっても応じることができないからである。
【０１２５】
制御部１０が、動作Ｋについての動作要求を検出すると（ステップＳ５１，Ｓ５６のいずれかにおいてＹｅｓ）、制御部１０は、搬送ロボット１４を露光装置３０に向くように制御する。この制御に応じて、搬送ロボット１４は、搬送アーム１２１を露光装置３０に対して進退させる位置に移動する（ステップＳ６１）。
【０１２６】
次に、搬送ロボット１４は、露光装置３０に露光処理の終了した基板９０が準備されている場合には、基板９０を保持していない方の搬送アーム１２１を露光装置３０に進出させて、露光装置３０から基板９０を受け取ることにより、動作Ｊを実行する（ステップＳ６２）。また、待機ステージ１３から受け取った基板９０を保持している方の搬送アーム１２１を露光装置３０に進出させて、露光装置３０に当該基板９０を受け渡すことにより動作Ｋを実行する（ステップＳ６３）。これにより、搬送ロボット１４は、露光装置３０に対して基板９０の交換動作を行う。
【０１２７】
搬送ロボット１４が露光装置３０から基板９０を受け取ると、制御部１０は、動作Ｉについての動作要求があるか否かを判定する（ステップＳ６４）。動作Ｉについての動作要求がある場合、すなわち、待機ステージ１３に露光装置３０に搬送すべき基板９０が準備されている場合、搬送ロボット１４はステップＳ５３からの処理に戻って動作する。
【０１２８】
一方、動作Ｉについての動作要求がされていない場合（ステップＳ６４においてＮｏ）であって、かつ、露光装置３０から受け取った基板９０を保持している場合には、制御部１０は、搬送ロボット１４を待機ステージ１３に向くように制御する。この制御に応じて、搬送ロボット１４は、搬送アーム１２１を待機ステージ１３に対して進退させる位置に移動する（ステップＳ６５）。さらに、搬送ロボット１４は、保持している基板９０を待機ステージ１３に搬入することにより、動作Ｌを実行し（ステップＳ６６）、ステップＳ５１に戻って待機状態となる。
【０１２９】
以上のように、第２の実施の形態における基板搬送装置２においても、第１の実施の形態における基板搬送装置１と同様の効果を得ることができる。
【０１３０】
また、基板搬送装置２が２台の搬送ロボット１２，１４を備えることにより、１台の搬送ロボット１４を処理速度の遅い露光装置３０にアクセスする専用ロボットとして使用することができる。すなわち、第１の実施の形態における基板搬送装置１では、搬送ロボット１２が第１動作を開始すると、その間露光装置３０への基板９０の供給動作が待ち状態になるために、露光装置３０の処理能力を最大限に活用することができなかった。しかし、第２の実施の形態における基板搬送装置２では、搬送ロボット１２が第１動作を開始している状態でも、搬送ロボット１４が露光装置３０に基板９０を供給することができるため、露光装置３０の待ち状態を回避することができ、露光装置３０の処理能力を最大限に有効活用できる。したがって、基板製造ラインの製造効率の向上を図ることができる。
【０１３１】
なお、搬送ロボット１２は、所定のサイクルごとに第２動作がスキップされることを除いて、露光装置３０における処理がコータ・デベロッパ装置２０に比べて遅いことを意識することなく、コータ・デベロッパ装置２０のタクトタイムで動作する。
【０１３２】
＜３．  第３の実施の形態＞
上記実施の形態では、周辺装置４０における処理が、露光装置３０における露光処理よりも後に実行される例について説明したが、周辺装置４０における処理は露光装置３０における露光処理よりも先に実行される処理であってもよい。
【０１３３】
図９は、このような原理に基づいて構成した第３の実施の形態における基板搬送装置３と、基板製造ラインとを示す平面図である。図９に示すように、本実施の形態における基板製造ラインは、周辺装置４０が露光装置３０の上流側に設けられている点が第１の実施の形態において説明した基板製造ラインと異なっている。
【０１３４】
本実施の形態における基板搬送装置３の制御部１０は、コータ・デベロッパ装置２０、周辺装置４０、露光装置３０などから、主に次のような搬送ロボット１２の搬送動作を要求される。
【０１３５】
動作Ａ：コータ・デベロッパ装置２０から基板９０を受け取る動作
コータ・デベロッパ装置２０に塗布処理の終了した基板９０が準備されたときに、コータ・デベロッパ装置２０から要求される動作である。この動作を実行するとき、アーム基台１２２の回転位置は、搬送アーム１２１がコータ・デベロッパ装置２０に向かって進退する位置となっている必要がある。
【０１３６】
動作Ｂ：バッファ１１に基板９０を搬入する動作
コータ・デベロッパ装置２０から受け取った基板９０を一旦蓄積させておくために必要となる動作である。この動作を実行するとき、アーム基台１２２の回転位置は、搬送アーム１２１がバッファ１１に向かって進退する位置となっている必要がある。
【０１３７】
動作Ｃ：バッファ１１から基板９０を受け取る動作
バッファ１１に蓄積してる基板９０を取り出すために必要となる動作である。この動作を実行するとき、アーム基台１２２の回転位置は、搬送アーム１２１がバッファ１１に向かって進退する位置となっている必要がある。
【０１３８】
動作Ｄ：周辺装置４０から基板９０を受け取る動作
周辺装置４０において基板９０に対する処理が終了したときに、周辺装置４０から要求される動作である。この動作を実行するとき、アーム基台１２２の回転位置は、搬送アーム１２１が周辺装置４０に向かって進退する位置となっている必要がある。
【０１３９】
動作Ｅ：周辺装置４０に基板９０を搬入する動作
周辺装置４０において新たな基板９０の受け入れが可能となったときに要求される動作である。この動作を実行するとき、アーム基台１２２の回転位置は、搬送アーム１２１が周辺装置４０に向かって進退する位置となっている必要がある。
【０１４０】
動作Ｆ：露光装置３０から基板９０を受け取る動作
露光装置３０における露光処理が終了した基板９０を取り出すために必要となる動作である。この動作を実行するとき、アーム基台１２２の回転位置は、搬送アーム１２１が露光装置３０に向かって進退する位置となっている必要がある。
【０１４１】
動作Ｇ：露光装置３０に基板９０を搬入する動作
露光装置３０において新たな基板９０に対して露光処理を実行することが可能となったときに要求される動作である。この動作を実行するとき、アーム基台１２２の回転位置は、搬送アーム１２１が露光装置３０に向かって進退する位置となっている必要がある。
【０１４２】
動作Ｈ：コータ・デベロッパ装置２０に基板９０を搬入する動作
コータ・デベロッパ装置２０において、新たに現像処理を行う基板９０を受け付けることが可能となったときに要求される動作である。この動作を実行するとき、アーム基台１２２の回転位置は、搬送アーム１２１がコータ・デベロッパ装置２０に向かって進退する位置となっている必要がある。
【０１４３】
すなわち、第３の実施の形態における動作Ｄおよび動作Ｅは第１の実施の形態における動作Ｆおよび動作Ｇと同じ動作であり、第３の実施の形態における動作Ｆおよび動作Ｇは第１の実施の形態における動作Ｄおよび動作Ｅと同じ動作である。
【０１４４】
第３の実施の形態における基板搬送装置３の制御部１０は、第１の実施の形態における制御部１０と同様に、搬送ロボット１２が基板９０を搬送するために行う複数の動作のうち、基板９０をコータ・デベロッパ装置２０からバッファ１１に搬送する動作を第１動作とする。また、それ以外の搬送動作を第２動作とする。
【０１４５】
すなわち、第３の実施の形態における搬送ロボット１２の第１動作は、第１の実施の形態における搬送ロボット１２の第１動作と動作の内容および順序がともに同じである。
【０１４６】
また、第３の実施の形態における搬送ロボット１２の第２動作とは、動作Ｃを行う位置に移動する動作と、動作Ｃと、動作Ｃを行った位置から動作Ｄおよび動作Ｅを行う位置に移動する動作と、動作Ｄと、動作Ｅと、動作Ｅを行った位置から動作Ｆおよび動作Ｇを行う位置に移動する動作と、動作Ｆと、動作Ｇと、動作Ｇを行った位置から動作Ｈを行う位置に移動する動作と、動作Ｈとを含む動作となる。そして、制御部１０は、これらの第２動作を構成する搬送ロボット１２の動作を、基板９０に対する処理順序（周辺装置４０における処理が露光装置３０における処理より先）に応じて、ここに示す所定の順番で順次実行するよう搬送ロボット１２を制御する。
【０１４７】
そして、制御部１０は、第１の実施の形態と同様に動作Ａに対する動作要求があった場合に第１動作を開始する一方で、第２動作は動作Ｇに対する動作要求があった場合に開始するように搬送ロボット１２を制御する。すなわち、基板搬送装置３は、露光装置３０から基板９０の供給要求があった場合に第２動作を開始する意味においては、第１の実施の形態における基板搬送装置１と同様である。また、制御部１０は、その他の動作（動作Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆ，Ｈ）についての動作要求があってもこれを受け付けることなく無視する。
【０１４８】
また、上記実施の形態と同様に、第３の実施の形態における基板搬送装置３においても、第１動作および第２動作を構成する各動作は、制御部１０によって決定された所定の順番で実行され、ひとたび第１動作または第２動作が開始された後は、他の動作がこれらの動作の間に割り込むことはあっても、その一連の動作中にそれらの動作の順番が変更されることはない。
【０１４９】
なお、第３の実施の形態における基板搬送装置３の動作は、図３に示すステップＳ１１，Ｓ１５において、動作Ｇについての動作要求の有無を判定することを除いて、第１の実施の形態における基板搬送装置１とほぼ同様であるので、説明を省略する。
【０１５０】
以上のように、第３の実施の形態における基板搬送装置３においても、上記実施の形態における基板搬送装置１，２と同様の効果を得ることができる。
【０１５１】
＜４．  変形例＞
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく様々な変形が可能である。
【０１５２】
また、第１ないし第３処理部における処理は、上記の処理に限られるものではなく、他の処理を行うものであってもよい。
【０１５３】
また、上記実施の形態では、周辺装置４０を備える基板製造ラインについて説明したが、周辺装置４０に相当する装置のない基板製造ラインであってもよい。図１０は、このような原理に基づいて構成した基板搬送装置４と基板製造ラインとを示す平面図である。図１０に示す基板搬送装置４の搬送ロボット１２は、第１の実施の形態における搬送ロボット１２の搬送動作のうち、動作Ｆおよび動作Ｇに相当する動作がないものとして制御される。したがって、基板搬送装置４の第２動作は、図４に示すステップＳ３５によって動作Ｅが実行された後は、ステップＳ３６ないしＳ３８を実行しない動作となる。このような構成であっても、上記実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１５４】
【図１】本発明に係る基板搬送装置を基板製造ラインとともに示す平面図である。
【図２】搬送ロボットの詳細を示す斜視図である。
【図３】第１の実施の形態における搬送ロボットの動作を示す流れ図である。
【図４】第１の実施の形態における搬送ロボットの動作を示す流れ図である。
【図５】第１の実施の形態における搬送ロボットの動作を示す流れ図である。
【図６】第２の実施の形態における基板搬送装置を基板製造ラインとともに示す平面図である。
【図７】第２の実施の形態における搬送ロボットの動作を示す流れ図である。
【図８】第２の実施の形態における搬送ロボットの動作を示す流れ図である。
【図９】第３の実施の形態における基板搬送装置を基板製造ラインとともに示す平面図である。
【図１０】変形例における基板搬送装置を基板製造ラインとともに示す平面図である。
【符号の説明】
【０１５５】
１，２，３，４  基板搬送装置
１０  制御部
１１  バッファ
１２，１４  搬送ロボット
１２１  搬送アーム
１２２  アーム基台
１２３  昇降部
１３  待機ステージ
２０  コータ・デベロッパ装置（第１処理部）
３０  露光装置（第２処理部）
４０  周辺装置（第３処理部）
９０  基板
Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆ，Ｇ，Ｈ，Ｉ，Ｊ，Ｋ，Ｌ  動作
【図１】
2005243776.tif 000003
【図２】
2005243776.tif 000004
【図３】
2005243776.tif 000005
【図４】
2005243776.tif 000006
【図５】
2005243776.tif 000007
【図６】
2005243776.tif 000008
【図７】
2005243776.tif 000009
【図８】
2005243776.tif 000010
【図９】
2005243776.tif 000011
【図１０】
2005243776.tif 000012