(57)【要約】【課題】  いわゆるノンリードパッケージ用の金型に代表される片面金型でかつ一方に吸引孔を備えた金型のクリーニングにおいてクリーニング時の作業性を向上させ、かつ、クリーニング樹脂が入らない部分も清掃できる金型クリーニングシートと金型クリーニング方法を提供する。【解決手段】  片面が厚み１０〜１５０μｍの耐熱性のクリーニング用樹脂溶液非透過性材料、もう片面が厚み０．１０〜１．０ｍｍの再生セルロース混不織布からなるクリーニング樹脂溶液透過性材料であり、両者が接着されてなり、カール度θが−９０°＜θ＜９０°であることを特徴とする金型クリーニングシート。【選択図】  選択図なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
片面が厚み１０〜１５０μｍの耐熱性のクリーニング用樹脂溶液非透過性材料、もう片面が厚み０．１０〜１．０ｍｍの再生セルロース混不織布からなるクリーニング樹脂溶液透過性材料であり、両者が接着されてなり、カール度θが−９０°＜θ＜９０°であることを特徴とする金型クリーニングシート。
【請求項２】
クリーニング樹脂溶液透過性材料が再生セルロース連続長繊維不織布である請求項１に記載の金型クリーニングシート。
【請求項３】
金型片面Ａに吸引孔を有し、もう一方の金型片面Ｂにキャビティ部等の成形用凹部を有する樹脂成形用金型をクリーニングする方法において、樹脂成形用金型面間に請求項１または２に記載の金型クリーニングシートをセットすることを特徴とする樹脂成形用金型面のクリーニング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、ＩＣ等の電子部品を樹脂材料によって封止成形するための樹脂成形用金型面及びその他の樹脂成形用金型面のクリーニング用シート及びそれを用いたクリーニング方法に関する。更に詳しくは、例えばいわゆるノンリードパッケージといわれるリード線のないタイプのパッケージを樹脂成形する金型で、片面に基板を固定するために吸引孔が設けられた樹脂成形用金型面及びその他の樹脂成形用金型面のクリーニングに用いられるクリーニングシート及びそれを用いたクリーニング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、ＩＣ、ダイオード、コンデンサー等の電子部品をエポキシレジン等の熱硬化性樹脂材料にて封止成形するための金型としては、両面にキャビティ部等の凹部が設けられたいわゆる両面金型や、片面のみに凹部が設けられたいわゆる片面金型がある。従来樹脂封止される電子部品にはリード線がついていたが、技術の進歩によりリード線を持たないもの、例えばＢＧＡ（Ｂａｌｌ  Ｇｒｉｄ  Ａｒｒａｙ）やＣＳＰ（Ｃｈｉｐ  Ｓｃａｌｅ  Ｐａｃｋａｇｅ）等、いわゆるノンリードパッケージが主流となりつつある。ノンリードパッケージの場合、リード線に相当する部分は樹脂封止された底面に設けられることが多い。
【０００３】
このようなノンリードパッケージを樹脂封止する金型は片面にキャビティ部等の凹部が設けられたいわゆる片面金型である。また、基板自体もフィルムで構成されていることが多く、基板を吸着固定するために平版の金型には吸引孔が設けられている。
ノンリードパッケージの樹脂封止は以下のように実施されている。型開きしている金型間に基板が挿入され、平版の金型に設けられた吸引孔により吸引して基板を所定位置に固定する。基板を位置固定した後金型を型締めし、通常のエポキシ樹脂等の樹脂封止用樹脂が金型に充填される。熱硬化させた後型開きされ、樹脂封止された基板を取り出し、操作が終了する。
【０００４】
全てのタイプの金型について共通のことではあるが、製品の製造により樹脂封止操作を実施していると、樹脂中のフィラーや樹脂滓等が金型に残留してくる。通常キャビティ部等製品になる部分の金型は、封止された樹脂の上に印刷することが多いためキャビティ部は梨地仕上げ、すなわち微小な凹凸状に仕上げられていることが多い。この部分に汚れが溜りやすく、放置して生産を続けていると印刷不良やバリ等の欠点が生じてくる。また、金型内にこれらの汚れが落下すると金型の型締めに斑が生じ、金型の変形や封止用樹脂の洩れ等の欠点も生じてくる。これらの欠点を解消するために、ある程度樹脂封止による生産を行った後に金型に付着した汚れ等を清掃する必要がある。
【０００５】
これら汚れや異物の除去方法としては、例えば専用のブラシ部材を用いる方法や、高圧縮エアを吹き付ける方法や、メラミン樹脂系のクリーニング用樹脂材料及びクリーニング用のダミーリードフレームを用いて通常のトランスファー成形と同様の樹脂成形を行うことにより、その溶融樹脂材料に金型面の異物を接着させて、これを該樹脂材料と共に金型面から除去する方法等も提案されている。
【０００６】
しかしながら、上記したブラシ部材を用いる方法や高圧縮エアを吹き付ける方法においては、金型面に付着した異物の剥離除去作用・効果が一様ではないために、その除去効率が低くきわめて不充分なものであった。特に、電子部品の樹脂封止成形時のように、樹脂材料として熱硬化性樹脂材料が用いられる場合は、金型（金属）に対する樹脂の接着性が大きいことから、完全に異物を剥離除去することができず、従って、これらのクリーニング方法を採用しても更にその後処理工程として、 例えば、作業者がクリーニング用ヘラ等の専用部材を用いて異物を確実に剥離除去すると云った人為的な手作業によるクリーニング作業が必要不可欠であった。
【０００７】
このため、加熱金型面のクリーニングと云う作業上の危険性を解消することができず、また、全体的な生産性が低下すると共に、成形品の品質性及び信頼性が低下し、更に、上記した専用部材には砥粒が含有されているので、却って金型面を損傷する等の問題があった。
【０００８】
また、メラミン樹脂系のクリーニング用樹脂材料等を用いる方法においては、クリーニング用樹脂溶液が充填される金型面、即ち、該樹脂溶液の移送用通路や上下両キャビティ及びエアベントの内に残存付着した異物との接着効果は認められるが、これらの充填部からリードフレームのセット用凹所やその他の金型面に浸入して硬化した異物についての剥離除去作用・効果は全く期待することができないものであった。従って、このような場合は、金型のポット及び移送用通路の周辺部・セット用凹所の全面・エアベントの周辺部等には未だ異物が残存付 着していることになるので、該方法を採用しても、該部位に残存付着した異物の剥離除去を目的としたクリーニング作業を別に行う必要があるため、このようなクリーニング方法においても全体的な生産性や品質性及び信頼性を低下させると云う上述したと同様の問題を改善することができないものであった。
【０００９】
以上のような金型クリーニングにおける欠点を解消するためのクリーニング方法として特許文献１にダミーフレームの替わりにネット状素材からなる金型クリーニングシートを用いて金型をクリーニングする方法が提案されている。この方法によれば従来の金型クリーニングにおける欠点をほぼ解消することが可能であるが、いわゆるノンリードパッケージ用の金型では一方の金型に基板を固定するための細かい吸引孔が設けられているため、ネット状素材を通してクリーニング用の樹脂が吸引孔へ吸い込まれ吸引孔が詰まる等の問題があった。
【００１０】
この問題を解決するために、マスクシートとクリーニングシートを有するクリーニング用シートが特許文献２に提案されている。この方法によればクリーニング樹脂が吸引孔へ吸い込まれる危険性は激減するが、マスクシートやクリーニングシートを選ばないとクリーニング樹脂がキャビティ等の金型凹部内部に充分に行き渡らなかったり、クリーニング樹脂が固化後に取り出そうとするとクリーニングシートとの一体性が悪くキャビティ内部に樹脂が残留しこれを取り除くのに手間がかかったり、残留物の破片等によりクリーニング後の生産で不良品の発生率が高くなったりすることがあった。また、クリーニングシートから発生する異物等による再汚染の可能性も否定できないものであった。更には、当然のことながらクリーニング樹脂が接触している部分はクリーニングできるもののクリーニング樹脂が接触しない部分、例えば金型の合わせ部等は何らクリーニング効果が期待できないものであった。また、マスクシートとクリーニングシートの複合方法や素材の選定によっては、金型にセットする場合、金型が高温のためマスクシートやクリーニングシートがカールして作業性が非常に低下するという可能性が大きいものであった。
【特許文献１】特許第１９０３６８０号公報
【特許文献２】特開２００２−２２５０４０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、いわゆるノンリードパッケージ用の金型に代表される片面金型でかつ一方に吸引孔を備えた金型のクリーニングにおいてクリーニング時の作業性を向上させ、かつ、クリーニング樹脂が入らない部分も清掃できる金型クリーニングシートと金型クリーニング方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明者等は、前記課題を解決するためネット状素材の金型クリーニングシートの金型クリーニング特性と吸引孔へクリーニング樹脂を流入させない方法を鋭意検討した結果、吸引孔側にクリーニング用樹脂溶液非透過性材料を用いつつ、これに接着される金型クリーニングシートのもう片面の素材と特性を特定の再生セルロース混不織布とすることでクリーニング樹脂の未充填や固化樹脂の脱落が発生しにくく、かつ、クリーニング樹脂が入らない部分をも清掃できることを見出し、本発明をなすに至った。
【００１３】
すなわち、本発明は以下のとおりである。
（１）片面が厚み１０〜１５０μｍの耐熱性のクリーニング用樹脂溶液非透過性材料、もう片面が厚み０．１〜１ｍｍの再生セルロース混不織布からなるクリーニング樹脂溶液透過性材料であり、両者が接着されてなり、カール度θが−９０°＜θ＜９０°であることを特徴とする金型クリーニングシート。
（２）クリーニング樹脂溶液透過性材料が再生セルロース連続長繊維不織布である（１）に記載の金型クリーニングシート。
（３）金型片面Ａに吸引孔を有し、もう一方の金型片面Ｂにキャビティ部等の成形用凹部を有する樹脂成形用金型をクリーニングする方法において、樹脂成形用金型面間に（１）または（２）に記載の金型クリーニングシートをセットすることを特徴とする樹脂成形用金型面のクリーニング方法。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の金型クリーニングシートは、いわゆるノンリードパッケージ用の金型に代表される片面金型でかつ一方に吸引孔を備えた金型のクリーニングにおいてクリーニング時の作業性を向上させ、かつ、クリーニング樹脂が入らない部分も清掃できる極めて有効なものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明について、以下具体的に説明する。
本発明の金型クリーニングシートは、片面に耐熱性のクリーニング用樹脂溶液非透過性材料、もう片面にクリーニング樹脂溶液透過性材料が接着されてなる構造である。当初、接着剤がクリーニングシートを介して金型面へ付着することで金型を汚染することが懸念されたため圧着により各材料の一体化を検討したが圧着部のクリーニングシートに密度斑ができクリーニング樹脂の固着性が低下したり、クリーニングシートに凹凸が生じ金型凹部内に凸部が接触したりしてクリーニング樹脂が未充填になったり、圧着時に耐熱性のクリーニング用樹脂溶液非透過性材料が破れてクリーニング樹脂がキャビティ部等の凹部以外に洩れだしたり、クリーニング樹脂固化後に耐熱性のクリーニング用樹脂溶液非透過性材料とクリーニング樹脂溶液透過性材料が外れて作業性が極端に低下したりして、この方法では目的を達成するに足るクリーニングシートを製造することは困難であった。このため、接着する方法を検討した結果、耐熱性の接着剤、例えばポリエステル系の接着剤を使用し、かつ、耐熱性のクリーニング用樹脂溶液非透過性材料に非常に薄くこれを塗布することにより、耐熱性のクリーニング用樹脂溶液非透過性材料とクリーニング樹脂溶液透過性材料の一体性が良好で、かつ、接着剤がクリーニングシートを介して金型面へ付着することで金型を汚染することがほとんどないクリーニングシートが得られることがわかった。
【００１６】
例えばクリーニングシートは以下のようにして製造できる。耐熱性のクリーニング用樹脂溶液非透過性材料として接着剤塗布面にコロナ処理を行ったポリエステルフィルムに接着剤が塗られたロールと接触させてフィルムに接着剤を付与し、接着剤を乾燥させた後、クリーニング用樹脂溶液透過性材料を接着剤塗布面側に挿入して加圧加熱することで一体化させる、いわゆるドライラミネーションにより製造できる。押し出しラミネーションでも可能であるが、接着剤量がドライラミネーションに比べて多くなる傾向にあるのでドライラミネーションが好ましい製造方法である。
【００１７】
本発明の金型クリーニングシートは、該クリーニング樹脂溶液透過性材料が再生セルロース混不織布である。ここでいう再生セルロースとはビスコース法レーヨンや銅アンモニア法レーヨン、溶剤法によるリヨセルやテンセルのことをいう。再生セルロース混不織布とは、再生セルロースが少なくとも６０重量％以上混合された不織布のことをいい、他素材が混合されている場合は耐熱性、少なくとも融点が２００℃以上の素材が混合されているものをいう。
【００１８】
ビスコース法レーヨンや銅アンモニア法レーヨンに代表される再生セルロース繊維は、公定水分率（２０℃、６５％ＲＨ条件下における水分率）が１１％と他のセルロース繊維、特に天然セルロース繊維である綿などに比べて大きい。クリーニング樹脂による金型クリーニング工程では金型に熱がかかるので、この熱により繊維中の水分が蒸発し、セルロース繊維が収縮するのでクリーニング樹脂がない部分においても金型表面の汚れ等を噛み込んで取る効果が向上する。また、型締めされた部分では収縮により更に密度が上がるためクリーニング樹脂の不慮の横漏れ防止にも効果がある。これらの効果はクリーニング時に使用する温度でシートの強力や伸度の変化の少ない素材である再生セルロース繊維の特徴である。再生セルロースの混率は、６０重量％以上が収縮による汚れ除去効果の点で好ましい。
【００１９】
また、再生セルロース連続長繊維不織布で構成すると、繊維が連続しているので短繊維で構成されたものに比べてシート表面からの発塵が非常に少ないため、クリーニング作業の一連の工程においてシートから金型面への異物汚染を少なくすることができる。再生セルロース長繊維不織布としては、例えば銅アンモニア法レーヨンを流下緊張紡糸法で製造した旭化成株式会社製『ベンリーゼ(R)』がある。特に、旭化成株式会社製『ベンリーゼ(R)』は再生セルロース連続長繊維が自己接着により不織布を形成するので、繊維自身をばらけさせないために通常使われるバインダーを使用していないため、金型に直接接触しても金型クリーニング時にかかる熱や洗浄用の溶剤などによりバインダーが溶出して金型面を汚染することもないので金型クリーニングシートとして最適の素材である。
【００２０】
本発明の金型クリーニングシートは、該クリーニング樹脂溶液透過性材料が、好ましくは、再生セルロース連続長繊維不織布であり、かつ、その厚みが、好ましくは０．１０〜１．０ｍｍ、より好ましくは０．２０〜０．９０ｍｍ、更に好ましくは０．３０〜０．８０ｍｍである。
本発明は、ＢＧＡ等の金型クリーニングシートを目的としているが、ＢＧＡ等の基板は薄膜化が進んでおり、厚みが１．０ｍｍを超えるクリーニングシートを用いると金型の型締めによりクリーニング樹脂溶液透過性材料が浮きやすく、キャビティ等の凹部壁面や底面に接触してクリーニング樹脂の未充填現象が発生することがある。また、０．１０ｍｍ未満であるとクリーニング樹脂溶液の保持性が低下して固化後にキャビティ内に固化樹脂が残留する、いわゆる剥離不良が発生することがある。
【００２１】
尚、クリーニング樹脂溶液透過性材料の厚みは以下の方法で測定されたものをいう。測定圧０．４９ｋＰａでクリーニングシート全体の厚みｄ１を測定する。クリーニングシートの厚み方向を電子顕微鏡で観察してクリーニング樹脂溶液非透過性材料の厚みｄ２を測定する。クリーニング樹脂溶液透過性材料の厚みｄは次式で与えられる。
ｄ＝ｄ１−ｄ２
本発明の金型クリーニングシートはカール度θが好ましくは−９０°＜θ＜９０°、より好ましくは−６０°≦θ≦６０°、更に好ましくは−４５°≦θ≦４５°である。ここでいうカール度とは以下の方法で測定されたものをいう。
【００２２】
２０ｃｍ四方の試料を１８０℃のプレート上に置き、３０秒間放置する。試料がカールする方向を確認する。新たに２０ｃｍ四方の試料を準備し、上向きにカールするように試料を１８０℃のプレート上に置き、３０秒後のカール状態を写真で記録する。この際、図１に示すように水平方向から写真撮影を行う。カールした試料の端から接線を引き、プレートとの角度を求めカール度θとする。尚、試料が１回以上巻いた状態の場合は、プレートとの角度に巻いた回数×３６０°を加えたものがカール度θとなる。カール度が負の値になる場合は、図１において上に凸の状態でカールする場合である。
カール度θが±９０°を超えると第１金型と第２金型を型締めする際に折れ曲がり一部が２枚重ね以上の状態で型締めされるのでクリーニング樹脂の洩れやクリーニングしたい部分への樹脂の未充填等が発生したり、圧力分布が不均一となり金型が変形する恐れがある。また、これらの修正や後処理等に時間がかかり作業効率が低下することがある。
【００２３】
カールはクリーニング樹脂溶液透過性材料とクリーニング用樹脂溶液非透過性材料の熱収縮差で発生すると考えられる。このため、カールの発生を抑制するには、例えばクリーニング樹脂溶液透過性材料とクリーニング用樹脂溶液非透過性材料の熱収縮差が少ない素材同士を張り合わせたり、貼り合せ時の張力調整により熱収縮差を抑えたり、クリーニング用樹脂溶液非透過性材料の厚みを増大させることによりクリーニング樹脂溶液透過性材料の熱収縮を抑制したりすることでカールをコントロールすることができる。
【００２４】
本発明の金型クリーニングシートは、該クリーニング樹脂溶液透過性材料の繊維充填率が５〜３０％であることが好ましく、より好ましくは１０〜２０％である。ここでいう繊維充填率とは、以下の方法で算出したものをいう。前述の方法で求めたクリーニング樹脂溶液透過性材料の厚みｄ（ｃｍ）と、クリーニングシート１００００ｃｍ２当たりの重量ｗ（ｇ）を測定する。まずは次式で１００％繊維充填時の１ｍ２当たりの重量ｓ（ｇ）を算出し、その後繊維充填率を算出する。
１００％繊維充填時の１ｍ２当たりの重量  ｓ  ＝１００００ｃｍ２×ｄ ｃｍ×（素材の比重）
繊維充填率（％）＝ｗ／ｓ×１００
【００２５】
尚、素材の比重は化繊協会刊行の繊維ハンドブック等に掲載の数値を用いる。例えば、ビスコース法レーヨンは１．５１、銅アンモニア法レーヨンは１．５０の数値を用いる。
繊維充填率が５％未満であると金型型締め時にクリーニング樹脂溶液透過性材料が浮きやすく、キャビティ等の凹部壁面や底面に接触してクリーニング樹脂の未充填現象が発生することがある。繊維充填率が３０％を超えるとクリーニング樹脂の保持性が低下して固化後にキャビティ内に固化樹脂が残留する、いわゆる剥離不良が発生することがある。
【００２６】
本発明でいうのクリーニング用樹脂非透過性材料の厚みは１０〜１５０μｍが好ましく、より好ましくは１５〜１３０μｍ、更に好ましくは２０〜１００μｍである。１０μｍ未満であると擦れや異物との接触により破れが生じやすく、また、クリーニング樹脂の圧力により破れを生じ樹脂洩れが発生しやすくなる。また、１５０μｍを超えるとクリーニング樹脂非透過性材料の強度にもよるが、金型に設置された凸部、例えば基板端面寄せピン、エジェクタ−ピン、位置決めピン等を痛めることがある。
【００２７】
本発明におけるクリーニング用樹脂非透過性材料とは、溶融状態で供給されるクリーニング用樹脂を透過しない材料のことをいう。このため、溶融状態で供給されるクリーニング用樹脂を透過しない材料であれば素材は特に限定されないが、耐熱性が要求される。金型をクリーニングする場合、通常クリーニング樹脂及び金型は１８０℃程度に加温される。このため、クリーニング用樹脂非透過性材料は融点が２００℃以上であることが好ましく、熱による軟化点も２００℃以上であることが好ましい。
【００２８】
本発明におけるクリーニング用樹脂非透過性材料の素材は上記の条件を満足していれば特に限定されないが、取り扱い性や熱伝導率の観点から非金属材料であることが好ましい。金属材料を用いると比重が重いため金型間へセットする手間がかったり、変形した状態で金型間にセットされると型締め時に金型に圧力斑が生じる原因となり、クリーニング用樹脂溶液が漏れ出したりすることがある。また、金属材料であると熱伝導率が高いため他の材料に比べてクリーニング用樹脂を硬化させるのに時間がかかることがある。以上の観点からクリーニング用樹脂非透過性材料は非金属であることが好ましい。非金属のクリーニング用樹脂非透過性材料としては、例えばポリエステルフィルム、芳香族ポリアミドフィルムやポリイミドフィルム等がある。
【００２９】
また、本発明のクリーニング用樹脂非透過性材料は加圧、加温下において収縮や膨張等の寸法変化が少ない材料が好ましい。寸法変化により、金型型締め時の圧力斑による金型の変形やクリーニング用樹脂の金型への付着等が発生することがあるからである。寸法変化の目安としては２００℃、３０分のリラックス条件下において常温の寸法に対して５％以内であれば問題なく使用することができる。
【００３０】
本発明の金型クリーニングシートの目付けは、１０〜１５０ｇ／ｍ２であることが好ましい。クリーニングシートの目付けはシートの保形性や厚みとも関連しており、１０ｇ／ｍ２未満であると保形性が低く、シートをセットしにくくなり作業性が低下する。また、１５０ｇ／ｍ２を超えると保形性は向上するものの厚みも増すことがあり金型型締めによりキャビティ等の凹部壁面や底面に接触してクリーニング樹脂の未充填現象が発生することがある。
【００３１】
また、保形性についてはクリーニングシートの柔軟性を代用特性とすることができる。クリーニングシートが柔らか過ぎると、金型へセットする際に作業性が悪くなる。ＪＩＳ−Ｌ−１０９６記載の布帛の柔軟度測定方法であるカンチレバー法による測定で機械軸方向、及び機械軸に垂直な方向での測定を行い、どちらか一方が６ｃｍ以上であることが好ましく、更に好ましくは８ｃｍ以上である。あるいは機械軸方向と機械軸に垂直な方向での測定結果の和が１０ｃｍ以上であってもクリーニングシートセット時の取り扱い性が向上するので好ましい。
【００３２】
本発明の金型クリーニングシートの強度は、シートの引張強度を代用特性とすることができる。幅１０cm、長さ１０cmで測定したシートの引張強度が好ましくは４０Ｎ以上、更に好ましくは８０Ｎ以上である。引張強度が４０Ｎ未満であるとクリーニング樹脂固化後に金型を型開きしてクリーニング樹脂と一体化したクリーニングシートを取り出す際にクリーニングシートが破れることがある。
【００３３】
本発明の金型クリーニングシートの厚みは測定圧０．４９ｋＰａでの測定で、０．１０〜０．７５ｍｍが好ましい。０．１ｍｍ未満では金型へのセット時に取り扱い性が低下することがある。０．７５ｍｍを超えると前述のとおりキャビティ等の凹部壁面や底面に接触してクリーニング樹脂の未充填現象が発生することがある。
本発明の金型クリーニングシートの大きさは特に限定されず、金型の大きさに合せて適宜選択すればよい。金型寸法より若干小さいサイズが一般的に用いられている。
【００３４】
本発明の金型クリーニングシートにはクリーニングシートを金型へセットする際の作業効率を更に向上させるために位置決め穴が開いていても問題はない。また、樹脂ポット、すなわちクリーニング樹脂の供給孔が吸引孔を有する金型面にある場合には樹脂ポット部に孔を設ける必要がある。樹脂を供給するための孔の径は、樹脂供給孔の直径の５０％以上、９０％以下が好ましい。５０％未満であると圧損の関係からクリーニングしたい金型の凹部に樹脂が行き渡らない、いわゆる未充填を生じることがある。また、９０％を超えると樹脂供給孔周辺で樹脂洩れが生じ、作業性が低下することがある。
【００３５】
また、本発明のクリーニングシートはクリーニング用樹脂透過性材料に離型剤を使用して離型性を向上させることもできる。再生セルロース繊維は各種溶剤に非常に安定な素材であり、かつ吸液性能に優れているので離型剤を含浸させた際の保液性が良好である。離型剤を用いる場合はクリーニング樹脂によるクリーニングが終了した後、本生産に入る前に実施すればよい。
本発明の金型クリーニングシートは連続した長尺状に形成されていてもよい。通常のクリーニング作業では数回以上のクリーニング操作を実施する。連続した長尺状、例えばロール状に巻かれたもので供給することで作業効率が向上する。ここでいう連続した長尺状とは、少なくともクリーニング操作を連続５回以上できる長さのことをいい、金型の形状やクリーニング用樹脂非透過性材料の投入方向にもよるが、１ｍ以上であることをいう。
【００３６】
本発明の金型クリーニング方法は、吸引孔が存在する金型面側にクリーニング用樹脂非透過性材料面が配置され、キャビティ部等が存在する金型面側にクリーニング用樹脂透過性材料面が配置されてセットされる。基板を樹脂封止する工程では、この時点で平版金型に設けられた吸引孔から吸引して基板を固定するが、クリーニング操作においては通常は吸引しない。この状態で金型を型締めし、メラミン系等のクリーニング用樹脂を溶融させて通常の樹脂封止と同様の操作で金型に圧入し、クリーニングシートに一体化させつつクリーニング用樹脂を固化せしめ、金型の凹部等に付着した汚れ等をクリーニング用樹脂に転写させ、汚れが転写しクリーニングシートと一体化したクリーニング用樹脂を型開きして金型間から取り除くことにより金型に付着した汚れを除去することができる。
この方法によればクリーニング用樹脂非透過性材料が吸引孔側に配置されているので、吸引孔へクリーニング用樹脂を流入させることなく、金型をクリーニングすることができる。
【実施例】
【００３７】
本発明を実施例に基づいて説明する。尚、金型のクリーニング効果については以下の方法で評価した。
（１）汚れた金型の準備
下金型に吸引孔及び樹脂供給孔があり、上金型にキャビティ部等の樹脂封止用の凹部が設けられたノンリードパッケージ用のトランスファーモールド装置で、エポキシ系の樹脂を用いて通常のノンリードパッケージの樹脂封止生産を１５００ショット行い、キャビティ部等が汚れた金型を準備した。
（２）クリーニングシートの準備
実施例及び比較例で得られたクリーニングシートを金型のサイズとほぼ同等の大きさにカットし、樹脂供給部にあたる部分に樹脂供給孔の直径の８０％の孔を開けた。
【００３８】
（３）吸引孔の孔詰まり状態の評価
前述のクリーニングシートを用いて、クリーニング用樹脂による１０回のクリーニング操作が終了した後、吸引孔を確認し、クリーニング樹脂等による孔詰まり数Pを計測する。孔総数Qに対する穴詰まり数Pの割合を穴詰まり率R（％）として算出した。
孔詰まり率R（％）＝（P／Q）×１００
【００３９】
（４）上金型のキャビティ部のクリーニング状態
クリーニング用樹脂による１０回のクリーニング操作が終了した後、熟練した作業員５名がクリーニング後のキャビティ部表面及びクリーニング樹脂のキャビティ部に対応する固化物の状態からクリーニング性を判断して以下の等級で評価し、５名の評価結果の平均を求めた。
５：非常にクリーニング状態が良好である
４：ややクリーニング状態が良好である
３：クリーニング状態が良好である
２：ややクリーニング状態が悪い
１：非常にクリーニング状態が悪い
【００４０】
（５）上金型のキャビティ部以外のクリーニング状態
クリーニング用樹脂による１０回のクリーニング操作が終了した後、熟練した作業員５名がクリーニング後のキャビティ部以外の部分のクリーニング性を判断して以下の等級で評価し、５名の評価結果の平均を求めた。
５：非常にクリーニング状態が良好である
４：ややクリーニング状態が良好である
３：クリーニング状態が良好である
２：ややクリーニング状態が悪い
１：非常にクリーニング状態が悪い
【００４１】
（６）クリーニング樹脂とクリーニングシートとの一体性
熟練した作業員５名が作業を行い、一体性の尺度としてクリーニング樹脂固化後、取り出し時の樹脂の剥離性を以下の等級で評価し、５名の評価結果の平均を求めた。
５：非常に剥離性が良い
４：やや剥離性が良い
３：剥離性が良い
２：やや剥離性が悪い
１：非常に剥離性が悪い
【００４２】
（７）総合作業性
熟練した作業員５名が作業を行い、一連の作業の作業性を以下の等級で評価し、５名の評価結果の平均を求めた。
５：非常に作業性が良い
４：やや作業性が良い
３：作業性が良い
２：やや作業性が悪い
１：非常に作業性が悪い
【００４３】
（８）クリーニングシート、不織布、樹脂非透過性材料の厚み
前述の方法で測定した。
（９）カール度
前述の方法で測定した。
（１０）繊維充填率
前述の方法で測定した。
【００４４】
［実施例１］
コットンリンターを銅アンモニア溶液で溶解し、流下緊張下で連続して紡糸し、シート形成させ、平均単繊度２．１ｄｔｅｘ、目付５０ｇ／ｍ２、厚み０．２０４ｍｍの再生セルロース連続長繊維不織布を得た。
片面にコロナ処理を行った厚み１６μｍ、目付２２．４ｇ／ｍ２のポリエステルフィルムと上記再生セルロース連続長繊維不織布を通常のドライラミネーションにより貼り合せた。ポリエステルフィルムのコロナ処理面にポリエステル系接着剤（不揮発分３０重量％）を乾燥重量で５ｇ／ｍ２均一塗布し、８０℃で１分間乾燥させた後、上記再生セルロース連続長繊維不織布と重ね、ゴムロールと８０℃の金属ロールで圧縮して貼り合せた後、４０℃の恒温室に１００時間保管して金型クリーニングシートを得た。得られた金型クリーニングシートは、目付８０ｇ／ｍ２、厚み０．２０ｍｍで、クリーニング樹脂透過性材料の厚みが０．１８ｍｍ、開孔部は０．０２個／ｃｍ２、クリーニング樹脂非透過性材料の厚みが１６μｍであった。
【００４５】
上金型に深さ０．２５ｍｍのキャビティ部とランナー部等の凹部が設けられ、下金型に吸引孔の細孔が設けられたＢＧＡタイプのパッケージ用金型で、トランスファーモールド装置を用いて以下の方法で金型のクリーニングを実施した。
得られた金型クリーニングシートを実作業がしやすい大きさ、樹脂ポットや位置決めピン部に孔を開け、クリーニング作業を行った。結果を表１に示す。結果からもわかるとおり、得られた金型クリーニングシートは金型クリーニング性及び作業性に極めて優れたものであった。
【００４６】
［実施例２］
ビスコース法レーヨン短繊維７０重量％、ポリエステル３０重量％で構成された不織布で、目付６０ｇ／ｍ２、厚み０．２８５ｍｍの再生セルロース混不織布を用いた以外は実施例１と同様の方法で金型クリーニングシートを得た。得られた金型クリーニングシートは、目付９０ｇ／ｍ２、厚み０．２８ｍｍで、クリーニング樹脂透過性材料の厚みが０．２６ｍｍ、開孔部は０．０３個／ｃｍ２、クリーニング樹脂非透過性材料の厚みが１６μｍであった。
得られた金型クリーニングシートを実作業がしやすい大きさ、樹脂ポットや位置決めピン部に孔を開け、クリーニング作業を行った。結果を表１に示す。結果からもわかるとおり、若干の脱落繊維は見られたものの得られた金型クリーニングシートは金型クリーニング性及び作業性に極めて優れたものであった。
【００４７】
［比較例１］
目付４０ｇ／ｍ２、厚み０．２４４ｍｍのポリエステルスパンボンド不織布を使用した以外は実施例１と同様の方法で金型クリーニングシートを得た。得られた金型クリーニングシートは、目付７０ｇ／ｍ２、厚み０．２５ｍｍで、クリーニング樹脂透過性材料の厚みが０．２３４ｍｍ、クリーニング樹脂非透過性材料の厚みが１６μｍであった。
得られた金型クリーニングシートを実作業がしやすい大きさ、樹脂ポットや位置決めピン部に孔を開け、クリーニング作業を行った。結果を表１に示す。結果からもわかるとおり、クリーニング樹脂がクリーニングシートに密着せず、多く金型面に残留しており、金型クリーニング性及び作業性が悪いものであった。
【００４８】
［比較例２］
実施例１において目付け１３．５ｇ／ｍ２、厚み０．０７ｍｍの再生セルロース連続長繊維不織布を使用した以外は実施例１と同様の方法で金型クリーニングシートを得た。得られた金型クリーニングシートは、目付４２．２ｇ／ｍ２、厚み０．０９ｍｍで、クリーニング樹脂透過性材料の厚みが０．０７４ｍｍ、クリーニング樹脂非透過性材料の厚みが１６μｍであった。
得られた金型クリーニングシートを実作業がしやすい大きさ、樹脂ポットや位置決めピン部に孔を開け、クリーニング作業を行った。結果を表１に示す。結果からもわかるとおり、クリーニング樹脂がクリーニングシートに密着せず、多く金型面に残留しており、金型クリーニング性及び作業性が悪いものであった。
【００４９】
［比較例３］
実施例１において目付け１４１ｇ／ｍ２、厚み１．１０ｍｍの再生セルロース連続長繊維不織布と片面にコロナ処理を行った厚み１５０μｍ、目付２１０ｇ／ｍ２のポリエステルフィルムを使用した以外は実施例１と同様の方法で金型クリーニングシートを得た。得られた金型クリーニングシートは、目付３６７ｇ／ｍ２、厚み１．２５ｍｍで、クリーニング樹脂透過性材料の厚みが１．１０ｍｍ、クリーニング樹脂非透過性材料の厚みが１５０μｍであった。
得られた金型クリーニングシートを実作業がしやすい大きさ、樹脂ポットや位置決めピン部に孔を開け、クリーニング作業を行った。結果を表１に示す。結果からもわかるとおり、クリーニング樹脂がクリーニングシートの影響でクリーニングしたいキャビティ等の凹部に完全に充填されず、金型クリーニング性及び作業性が悪いものであった。
【００５０】
［比較例４］
実施例１において目付け５０ｇ／ｍ２、厚み０．３３ｍｍの再生セルロース連続長繊維不織布と片面にコロナ処理を行った厚み１２μｍ、目付１６．８ｇ／ｍ２のポリエステルフィルムを使用し、再生セルロース連続長繊維不織布に実施例１に比べて張力をかけた状態で接着した以外は実施例１と同様の方法で金型クリーニングシートを得た。
得られた金型クリーニングシートは、目付７１ｇ／ｍ２、厚み０．３１３ｍｍで、クリーニング樹脂透過性材料の厚みが０．３０１ｍｍ、クリーニング樹脂非透過性材料の厚みが１２μｍであった。
得られた金型クリーニングシートを実作業がしやすい大きさ、樹脂ポットや位置決めピン部に孔を開け、クリーニング作業を行った。結果を表１に示す。結果からもわかるとおり、金型クリーニングシートを金型へ設置する際にカールがひどく、作業性が低下したり、この状態で型締めを行うとクリーニングシートが折れて金型に密着せず、金型クリーニング性及び作業性が悪いものであった。
【００５１】
［比較例５］
比較例４において、再生セルロース連続長繊維不織布を送り込みながら接着した以外は比較例４と同様の方法で金型クリーニングシートを得た。
得られた金型クリーニングシートは、目付７５ｇ／ｍ２、厚み０．３５２ｍｍで、クリーニング樹脂透過性材料の厚みが０．３４０ｍｍ、クリーニング樹脂非透過性材料の厚みが１２μｍであった。
得られた金型クリーニングシートを実作業がしやすい大きさ、樹脂ポットや位置決めピン部に孔を開け、クリーニング作業を行った。結果を表１に示す。結果からもわかるとおり、金型クリーニングシートを金型へ設置する際にカールがひどく、作業性が低下したり、この状態で型締めを行うとクリーニングシートが折れて金型に密着せず、金型クリーニング性及び作業性が悪いものであった。
【００５２】
［比較例６］
片面にコロナ処理を行った厚み８μｍ、目付１１．２ｇ／ｍ２のポリエステルフィルムを使用した以外は実施例１と同様の方法で金型クリーニングシートを得た。得られた金型クリーニングシートは、目付６７ｇ／ｍ２、厚み０．３４ｍｍで、クリーニング樹脂透過性材料の厚みが０．３３２ｍｍ、開孔部は０．０２個／ｃｍ２、クリーニング樹脂非透過性材料の厚みが８μｍであった。
得られた金型クリーニングシートを実作業がしやすい大きさ、樹脂ポットや位置決めピン部に孔を開け、クリーニング作業を行った。結果を表１に示す。結果からもわかるとおり、クリーニング樹脂非透過性材料が破れてクリーニング樹脂が洩れ、吸引孔に詰まり作業性が極めて悪いものであった。
【００５３】
［比較例７］
片面にコロナ処理を行った厚み２５０μｍ、目付３５０ｇ／ｍ２のポリエステルフィルムを使用した以外は実施例１と同様の方法で金型クリーニングシートを得た。得られた金型クリーニングシートは、目付４０７ｇ／ｍ２、厚み０．５９ｍｍで、クリーニング樹脂透過性材料の厚みが０．３４ｍｍ、開孔部は０．０２個／ｃｍ２、クリーニング樹脂非透過性材料の厚みが２５０μｍであった。
得られた金型クリーニングシートを実作業がしやすい大きさ、樹脂ポットや位置決めピン部に孔を開け、クリーニング作業を行った。結果を表１に示す。結果からもわかるとおり、基板端面寄せピン等、金型クリーニングシートに孔を開けなかった部分の金型の突起部が変形し、作業性が際寝て悪いものであった。
【００５４】
【表１】
2005297284.tif 000002
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】カール度θを示す模式図。
【図２】カール度θを示す模式図。
【図１】
2005297284.tif 000003
【図２】
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