(57)【要約】  【課題】  ウエハへの実験条件の設定作業の自動化により、複雑な実験計画のウエハへの設定作業の負担の軽減と、作業ミスを排除することを目的とする。  【解決手段】  実験条件の項目である制御因子と実験条件の値である水準値を設定し（ステップ４０５）、制御因子の個数を計算し（ステップ４１０）、予め登録された実験配列表の中から制御因子数を属性に持つ実験配列表を選択し（ステップ４１５）、実験配列表へ制御因子と水準値を設定して実験計画表を作成し（ステップ４２０）、実験計画表の各実験条件へウエハ番号を設定する（ステップ４２５）ことにより、複数種類の生産条件を複数のワークを用いた実験計画を策定する。【選択図】  図４
2005122309.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数種類の生産条件を複数のワークを用いて実験するための実験計画を策定する生産管理装置であって、
予め登録された実験配列表に基づいて実験計画表を作成する実験計画表作成部と、
前記実験計画表の各実験条件へワーク識別子を設定する実験計画表設定部とを有し、
前記実験計画表作成部が、
実験条件の項目である制御因子と実験条件の値である水準値とを入力する入力部と、
前記制御因子の個数を計算する制御因子数計算部と、
予め登録された実験配列表の中から前記制御因子数を属性に持つ実験配列表を選択する配列表選択部と、
前記実験配列表へ前記制御因子と前記水準値を設定する実験配列表設定部とを備えたことを特徴とする生産管理装置。
【請求項２】
前記複数種類の生産条件が、複数の生産工程に亘る条件であり、
前記生産管理装置は、
実験を実施する生産工程を選択する実験工程選択部と、前記実験計画表作成部により作成された実験計画表に基づき工程作業指示表を作成する工程作業指示表作成部とをさらに備え、
前記実験工程選択部により選択された生産工程について、前記実験計画表作成部が実験計画表を作成し、
前記実験計画表設定部が、前記ワーク識別子を設定する前に、前記実験計画表へ、前記実験工程選択部により選択された生産工程の識別子を設定すると共に、前記ワーク識別子を設定した後に、当該ワーク識別子へ処理順序を設定し、
前記工程作業指示表作成部が、前記生産工程識別子を介して、前記工程作業指示表へ前記実験計画表の各実験条件を設定する、請求項１に記載の生産管理装置。
【請求項３】
前記配列表選択部が、
予め登録された実験配列表の中から、設定した制御因子数以上の制御因子を属性として持つ実験配列表を抽出し、
抽出した前記実験配列表の中から、制御因子数が小さい順番に少なくとも1つの実験配列表を抽出する、請求項１または２に記載の生産管理装置。
【請求項４】
前記実験計画表設定部が、
各実験条件にワーク群識別子を設定し、
各実験条件の所要ワーク数を計算し、
各ワーク群識別子に所要ワーク数を設定し、
各ワーク群識別子の所要ワーク数の情報を用いて、ワーク識別子および実験条件識別子を設定する、請求項１に記載の生産管理装置。
【請求項５】
前記実験計画表設定部が、
各実験条件にワーク群識別子を設定し、
前記複数の生産工程に亘り各実験条件の所要ワーク数を計算し、
各ワーク群識別子に所要ワーク数を設定し、
各ワーク群識別子の所要ワーク数の情報を用いて、ワーク識別子および実験条件識別子を設定する、請求項２に記載の生産管理装置。
【請求項６】
前記実験計画表設定部が、前記複数の生産工程に亘り各実験条件の所要ワーク数を計算する処理を、以下の（ａ）〜（ｄ）の少なくとも１つの処理により実行する、請求項５に記載の生産管理装置。
（ａ）実験を実施する各生産工程の各実験条件に設定された所要ワーク数を、全生産工程に亘り各実験条件について総和を計算し、全生産工程に亘る各実験条件の所要ワーク数として設定する処理
（ｂ）実験を実施する各生産工程の各実験条件に設定された所要ワーク数から、全生産工程に亘り各実験条件について最大の所要ワーク数を計算し、全生産工程に亘る各実験条件の所要ワーク数として設定する処理
（ｃ）実験を実施する各生産工程の各実験条件の所要ワーク数に任意の重み係数を乗算した値を、全生産工程に亘り各実験条件について総和を計算し、全生産工程に亘る各実験条件の所要ワーク数として設定する処理
（ｄ）実験を実施する各生産工程の各実験条件の所要ワーク数を、全生産工程に亘り各実験条件について多項式を作成し、全生産工程に亘る各実験条件の所要ワーク数として設定する処理
【請求項７】
前記実験計画表設定部が、
各実験条件のワーク群識別子を設定し、
各処理順序群の所要ワーク数を計算し、
各処理順序群に所要ワーク数を設定し、
各処理順序群の所要ワーク数の情報を用いて、ワーク群識別子、ワーク識別子、および、実験条件識別子を設定する、請求項１に記載の生産管理装置。
【請求項８】
前記実験計画表設定部が、
各実験条件のワーク群識別子を設定し、
少なくとも１つの実験及び実験以外の工程の各処理順序群の所要ワーク数を計算し、
各処理順序群に所要ワーク数を設定し、
各処理順序群の所要ワーク数の情報を用いて、ワーク群識別子、ワーク識別子、および、実験条件識別子を設定する、請求項２に記載の生産管理装置。
【請求項９】
前記実験計画表設定部が、前記各処理順序群の所要ワーク数の計算を、以下の（ａ）〜（ｄ）の少なくとも１つの処理により実行する、請求項８に記載の生産管理装置。
（ａ）各工程の各処理順序群の所要ワーク数の総和を計算し、全工程の各処理順序群の所要ワーク数に設定する処理
（ｂ）各工程の処理順序群の所要ワーク数の最大数を計算し、全工程の各処理順序群の所要ワーク数に設定する処理
（ｃ）各工程の処理順序群の所要ワーク数に任意の重み係数を乗算した値の総和を計算し、全工程の各処理順序群の所要ワーク数に設定する処理
（ｄ）各工程の処理順序群の所要ウエハ枚数について多項式を作成し、全工程の各処理順序群の所要ウエハ枚数に設定する処理
【請求項１０】
前記実験計画表設定部が、
各実験条件のワーク群識別子を設定し、
仕上がりを試験的に確認する為の試し処理である先行工程で処理するワーク識別子を先行ワーク識別子として抽出し、
各先行ワーク識別子に所要ワーク数を設定し、
先行ワーク識別子の所要ワーク数の情報を用いて、ワーク群識別子、ワーク識別子、および実験条件識別子を設定する、請求項１または２に記載の生産管理装置。
【請求項１１】
各ワークに割当てられたワーク識別子が連続番号であり、
前記実験計画表設定部が、全先行工程の先行ワーク識別子の和集合を、前記先行ワーク識別子とする、請求項１０に記載の生産管理装置。
【請求項１２】
各ワークに割当てられたワーク識別子が連続番号であり、
前記実験計画表設定部が、各先行ワーク識別子に所要ワーク数を設定する処理を、
先行ワーク識別子とワーク群識別子とを比較し、
先行ワーク識別子がワーク群識別子の最小番号と等しい場合、先行ワーク識別子より１つ大きいワーク群識別子を冗長ワーク識別子と設定し、
先行ワーク識別子がワーク群識別子の最小番号より大きく、かつ、ワーク群識別子の最大番号より小さい場合、先行ワーク識別子より１つ大きいワーク群識別子か、或いは、先行ワーク識別子より１つ小さいワーク群識別子を冗長ワーク識別子と設定し、
先行ワーク識別子がワーク群識別子の最大番号と等しい場合、先行ワーク識別子より１つ小さいワーク群識別子を冗長ワーク識別子と設定し、
先行ワーク識別子と冗長ワーク識別子との合計ワーク数を所要ワーク数に設定することにより行う、請求項１０に記載の生産管理装置。
【請求項１３】
前記実験計画表設定部が、
各制御因子の水準変更の所要工数を設定し、
制御因子の水準変更の所要工数が降順に整列するように全制御因子を整列させ、
降順に整列した前記各制御因子にて、実験計画表の実験条件識別子を整列させ、
整列後の前記実験条件識別子の情報を用いてワーク識別子を設定する、請求項１に記載の生産管理装置。
【請求項１４】
前記実験計画表設定部が、ワーク識別子へ処理順序を設定する処理を、
各制御因子の水準変更の所要工数を設定し、
各実験工程にて、制御因子の水準変更の所要工数が降順に整列するように制御因子を整列させ、
実験を実施する各生産工程にて、降順に整列した前記各制御因子にて、実験計画表の実験条件識別子とワーク識別子を整列させ、
整列後の前記実験条件識別子と前記ワーク識別子の情報を用いて処理順序識別子を設定することにより行う、請求項２に記載の生産管理装置。
【請求項１５】
複数種類の生産条件を複数のワークを用いて実験するための実験計画を策定する生産管理方法であって、
予め登録された実験配列表に基づいて実験計画表を作成するステップと、
前記実験計画表の各実験条件へワーク識別子を設定するステップとを含み、
前記実験計画表の作成ステップが、
実験条件の項目である制御因子と実験条件の値である水準値とを設定するステップと、
前記制御因子の個数を計算するステップと、
予め登録された実験配列表の中から前記制御因子数を属性に持つ実験配列表を選択するステップと、
前記実験配列表へ前記制御因子と前記水準値を設定するステップとを含むことを特徴とする生産管理方法。
【請求項１６】
前記複数種類の生産条件が、複数の生産工程に亘る条件であり、
実験を実施する生産工程を選択するステップと、
選択された生産工程について、前記実験計画表の作成ステップを実行するステップと、
前記ワーク識別子の設定ステップを実行する前に、前記実験計画表へ、実験を実施する工程として選択された生産工程の識別子を設定するステップと、
前記ワーク識別子の設定ステップの後に、当該ワーク識別子へ処理順序を設定するステップと、
前記生産工程の識別子を介して、工程作業指示表へ前記実験計画表の各実験条件を設定するステップとを含む、請求項１５に記載の生産管理方法。
【請求項１７】
予め登録された実験配列表の中から前記制御因子数を属性に持つ実験配列表を選択するステップが、
予め登録された実験配列表の中から、設定した制御因子数以上の制御因子を属性として持つ実験配列表を抽出するステップと、
抽出した前記実験配列表の中から、制御因子数が小さい順番に少なくとも1つの実験配列表を抽出するステップとを含む、請求項１５または１６に記載の生産管理方法。
【請求項１８】
各実験条件へワーク識別子を設定するステップが、
各実験条件にワーク群識別子を設定するステップと、
各実験条件の所要ワーク数を計算するステップと、
各ワーク群識別子に所要ワーク数を設定するステップと、
各ワーク群識別子の所要ワーク数の情報を用いて、ワーク識別子および実験条件識別子を設定するステップとを含む、請求項１５に記載の生産管理方法。
【請求項１９】
各実験条件へワーク識別子を設定するステップが、
各実験条件にワーク群識別子を設定するステップと、
前記複数の生産工程に亘り各実験条件の所要ワーク数を計算するステップと、
各ワーク群識別子に所要ワーク数を設定するステップと、
各ワーク群識別子の所要ワーク数の情報を用いて、ワーク識別子および実験条件識別子を設定するステップとを含む、請求項１６に記載の生産管理方法。
【請求項２０】
前記複数の生産工程に亘り各実験条件に所要ワーク数を計算するステップが、以下の（ａ）〜（ｄ）のうち少なくとも１つのステップを採用する、請求項１９に記載の生産管理方法。
（ａ）実験を実施する各生産工程の各実験条件に設定された所要ワーク数を、全生産工程に亘り各実験条件について総和を計算し、全生産工程に亘る各実験条件の所要ワーク数として設定するステップ
（ｂ）実験を実施する各生産工程の各実験条件に設定された所要ワーク数から、全生産工程に亘り各実験条件について最大の所要ワーク数を計算し、全生産工程に亘る各実験条件の所要ワーク数として設定するステップ
（ｃ）実験を実施する各生産工程の各実験条件の所要ワーク数に任意の重み係数を乗算した値を、全生産工程に亘り各実験条件について総和を計算し、全生産工程に亘る各実験条件の所要ワーク数として設定するステップ
（ｄ）実験を実施する各生産工程の各実験条件の所要ワーク数を、全生産工程に亘り各実験条件について多項式を作成し、全生産工程に亘る各実験条件の所要ワーク数として設定するステップ
【請求項２１】
各実験条件へワーク識別子を設定するステップが、
各実験条件のワーク群識別子を設定するステップと、
各処理順序群の所要ワーク数を計算するステップと、
各処理順序群に所要ワーク数を設定するステップと、
各処理順序群の所要ワーク数の情報を用いて、ワーク群識別子、ワーク識別子、および、実験条件識別子を設定するステップとを含む、請求項１５に記載の生産管理方法。
【請求項２２】
各実験条件へワーク識別子を設定するステップが、
各実験条件のワーク群識別子を設定するステップと、
少なくとも１つの実験及び実験以外の工程の各処理順序群の所要ワーク数を計算するステップと、
各処理順序群に所要ワーク数を設定するステップと、
各処理順序群の所要ワーク数の情報を用いて、ワーク群識別子、ワーク識別子、および、実験条件識別子を設定するステップとを含む、請求項１６に記載の生産管理方法。
【請求項２３】
少なくとも１つの実験及び実験以外の工程の各処理順序群の所要ワーク数を計算するステップが、以下の（ａ）〜（ｄ）の少なくとも１つのステップを採用する、請求項２２に記載の生産管理方法。
（ａ）各工程の各処理順序群の所要ワーク数の総和を計算し、全工程の各処理順序群の所要ワーク数に設定するステップ
（ｂ）各工程の処理順序群の所要ワーク数の最大数を計算し、全工程の各処理順序群の所要ワーク数に設定するステップ
（ｃ）各工程の処理順序群の所要ワーク数に任意の重み係数を乗算した値の総和を計算し、全工程の各処理順序群の所要ワーク数に設定するステップ
（ｄ）各工程の処理順序群の所要ウエハ枚数について多項式を作成し、全工程の各処理順序群の所要ウエハ枚数に設定するステップ
【請求項２４】
各実験条件へワーク識別子を設定するステップが、
各実験条件のワーク群識別子を設定するステップと、
仕上がりを試験的に確認する為の試し処理である先行工程で処理するワーク識別子を先行ワーク識別子として抽出するステップと、
各先行ワーク識別子に所要ワーク数を設定するステップと、
先行ワーク識別子の所要ワーク数の情報を用いて、ワーク群識別子、ワーク識別子、および実験条件識別子を設定するステップとを含む、請求項１５または１６に記載の生産管理方法。
【請求項２５】
各ワークに割当てられたワーク識別子が連続番号であり、
先行工程で処理する先行ワーク識別子を抽出するステップにおいて、
各先行工程の先行ワーク識別子の和集合を、全工程の先行ワーク識別子として設定する、請求項２４に記載の生産管理方法。
【請求項２６】
各ワークに割当てられたワーク識別子が連続番号であり、
各先行ワーク識別子に所要ワーク数を設定するステップが、
先行ワーク識別子とワーク群識別子とを比較するステップと、
先行ワーク識別子がワーク群識別子の最小番号と等しい場合、先行ワーク識別子より１つ大きいワーク群識別子を冗長ワーク識別子と設定するステップと、
先行ワーク識別子がワーク群識別子の最小番号より大きく、かつ、ワーク群識別子の最大番号より小さい場合、先行ワーク識別子より１つ大きいワーク群識別子か、或いは、先行ワーク識別子より１つ小さいワーク群識別子を冗長ワーク識別子と設定するステップと、
先行ワーク識別子がワーク群識別子の最大番号と等しい場合、先行ワーク識別子より１つ小さいワーク群識別子を冗長ワーク識別子と設定するステップと、
先行ワーク識別子と冗長ワーク識別子との合計ワーク数を所要ワーク数に設定するステップとを含む、請求項２４に記載の生産管理方法。
【請求項２７】
各実験条件へワーク識別子を設定するステップが、
各制御因子の水準変更の所要工数を設定するステップと、
制御因子の水準変更の所要工数が降順に整列するように全制御因子を整列するステップと、
降順に整列した前記各制御因子にて、実験計画表の実験条件識別子を整列するステップと、
整列後の前記実験条件識別子の情報を用いてワーク識別子を設定するステップとを含む、請求項１５に記載の生産管理方法。
【請求項２８】
ワーク識別子へ処理順序を設定するステップが、
各制御因子の水準変更の所要工数を設定するステップと、
各実験工程にて、制御因子の水準変更の所要工数が降順に整列するように制御因子を整列するステップと、
実験を実施する各生産工程にて、降順に整列した前記各制御因子にて、実験計画表の実験条件識別子とワーク識別子を整列するステップと、
整列後の前記実験条件識別子と前記ワーク識別子の情報を用いて処理順序識別子を設定するステップとを含む、請求項１６に記載の生産管理方法。
【請求項２９】
請求項１４〜２８に記載の生産管理方法をコンピュータに実行させるための命令を含むことを特徴とするコンピュータプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、実験計画に従って実験条件をワーク（例えば、半導体ウエハ）に設定する生産管理を行うための装置および方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の生産管理方法は、実験条件が割付けられた各ウエハの処理情報を、製造装置にデータ送信し、製造装置でのウエハ処理順序を指示している（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
従来の生産管理方法について、図を参照しながら説明する。
【０００４】
図３５は、従来の生産管理方法の流れ図である。図３５に示すように、従来の生産管理方法は、実験条件毎ウエハ割付けステップ３４０５、データ送信ステップ３４１０、実験処理制御ステップ３４１５を含む。なお、図３５に示す表３４２０は、実験条件ウエハ割付表の一例である。
【０００５】
まず、実験担当者は、生産管理システムなどを利用して、各実験工程毎に各実験条件（ここでは、各制御因子と各水準の組み合わせ）をウエハに割付ける（ステップ３４０５）。
【０００６】
例えば、図３５の実験条件ウエハ割付け表３４２０によれば、実験条件（２乃至３個の水準を持つ８個の制御因子）に２０枚のウエハが割付けられている。この表中で、黒丸がウエハの割付けを示している。図３５は、１８個の実験条件Ｎｏ（ウエハ群Ｎｏ）に２０枚のウエハＮｏを割り付けている様子を示す。つまり、実験条件Ｎｏ（ウエハ群Ｎｏ）＝１にはウエハＮｏ＝１、２、実験条件Ｎｏ（ウエハ群Ｎｏ）＝２にはウエハＮｏ＝３、４、実験条件Ｎｏ（ウエハ群Ｎｏ）＝３〜１８にはウエハＮｏ＝５〜２０がそれぞれ割り付けられている。
【０００７】
次に、ホストコンピュータは、ステップ３４０５で作成された各実験工程毎の実験条件、処理ウエハの情報を、製造装置へデータ送信する（ステップ３４１０）。
【０００８】
次に、製造装置は、ステップ３４１０でホストコンピュータから受信したデータに従ってウエハの実験処理を進行する（ステップ３４１５）。
【特許文献１】特開２０００−２５２１７８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら従来の生産管理方法では、実験担当者が実験条件を各ウエハに割付ける作業の自動化と、実験中に発生するウエハの欠損などの不測事態や先行工程などの特殊状況の回避方法と、作業者や製造装置がウエハを処理する順序の最適化とについて言及していない。その結果、実験担当者が人手を介して実験条件を各ウエハに割付けるので、実験担当者が複雑な実験計画を各ウエハに割付ける作業の負担が増大するという問題を有していた。更に、人手を介しての作業であるので、作業ミスを発生させるという問題を有していた。
【００１０】
本発明は、上記課題に鑑みて、実験担当者が実験条件を各ウエハに設定する作業を自動化することで、実験担当者が複雑な実験計画を各ウエハに割付ける作業の負担を軽減することができ、作成した実験計画からミスを排除することができる生産管理装置および生産管理方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の目的を達成するために、本発明の生産管理装置は、複数種類の生産条件を複数のワークを用いて実験するための実験計画を策定する生産管理装置であって、予め登録された実験配列表に基づいて実験計画表を作成する実験計画表作成部と、前記実験計画表の各実験条件へワーク識別子を設定する実験計画表設定部とを有し、前記実験計画表作成部が、実験条件の項目である制御因子と実験条件の値である水準値とを入力する入力部と、前記制御因子の個数を計算する制御因子数計算部と、予め登録された実験配列表の中から前記制御因子数を属性に持つ実験配列表を選択する配列表選択部と、前記実験配列表へ前記制御因子と前記水準値を設定する実験配列表設定部とを備えたことを特徴とする。
【００１２】
また、上記の目的を達成するために、本発明の生産管理方法は、複数種類の生産条件を複数のワークを用いて実験するための実験計画を策定する生産管理方法であって、予め登録された実験配列表に基づいて実験計画表を作成するステップと、前記実験計画表の各実験条件へワーク識別子を設定するステップとを含み、前記実験計画表の作成ステップが、実験条件の項目である制御因子と実験条件の値である水準値とを設定するステップと、前記制御因子の個数を計算するステップと、予め登録された実験配列表の中から前記制御因子数を属性に持つ実験配列表を選択するステップと、前記実験配列表へ前記制御因子と前記水準値を設定するステップとを含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、予め登録された実験配列表の中から、設定した制御因子の個数を満足する実験配列表を選択し、選択した実験配列表の各実験条件へワーク識別子を設定することを自動化することで、簡単に作業ミスを発生することなく複雑な実験計画の各実験条件をワーク識別子に設定できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明において、前記複数種類の生産条件が、複数の生産工程に亘る条件であり、前記の構成にかかる生産管理装置が、実験を実施する生産工程を選択する実験工程選択部と、前記実験計画表作成部により作成された実験計画表に基づき工程作業指示表を作成する工程作業指示表作成部とをさらに備え、前記実験工程選択部により選択された生産工程について、前記実験計画表作成部が実験計画表を作成し、前記実験計画表設定部が、前記ワーク識別子を設定する前に、前記実験計画表へ、前記実験工程選択部により選択された生産工程の識別子を設定すると共に、前記ワーク識別子を設定した後に、当該ワーク識別子へ処理順序を設定し、前記工程作業指示表作成部が、前記生産工程識別子を介して、前記工程作業指示表へ前記実験計画表の各実験条件を設定することが好ましい。
【００１５】
これにより、予め登録された実験配列表の中から、選択した複数の各実験工程に亘る複数の制御因子の個数を満足する実験配列表を選択し、選択した実験配列表の各実験条件へウエハ番号を設定し、各制御因子を複数の各実験工程に設定することを自動化することで、簡単に作業ミスを発生することなく複数の実験工程に亘る複雑な実験計画の各実験条件をウエハ番号や処理順序に設定できる。
【００１６】
本発明にかかる生産管理装置において、前記配列表選択部が、予め登録された実験配列表の中から、設定した制御因子数以上の制御因子を属性として持つ実験配列表を抽出し、抽出した前記実験配列表の中から、制御因子数が小さい順番に少なくとも1つの実験配列表を抽出することが好ましい。
【００１７】
これにより、設定した制御因子の個数以上で、かつ、近傍の個数の制御因子数を属性に持つ実験配列表を抽出することで、設定した制御因子の個数に等しい実験配列表が予め登録されていなくても、実験に要求される必要十分で、かつ、可能な限り小規模な実験を計画することができる。
【００１８】
本発明にかかる生産管理装置において、前記実験計画表設定部が、各実験条件にワーク群識別子を設定し、各実験条件の所要ワーク数を計算し、各ワーク群識別子に所要ワーク数を設定し、各ワーク群識別子の所要ワーク数の情報を用いて、ワーク識別子および実験条件識別子を設定することが好ましい。
【００１９】
これにより、ウエハ欠損の可能性が高い実験条件について代替のウエハを予め設定することで、実験条件に依存してウエハが欠損しても代替のウエハで測定データを収集できる。
【００２０】
本発明にかかる生産管理装置において、前記実験計画表設定部が、各実験条件にワーク群識別子を設定し、前記複数の生産工程に亘り各実験条件の所要ワーク数を計算し、各ワーク群識別子に所要ワーク数を設定し、各ワーク群識別子の所要ワーク数の情報を用いて、ワーク識別子および実験条件識別子を設定することが好ましい。
【００２１】
これにより、複数の実験工程に亘りウエハの欠損の可能性が高い実験条件について代替のウエハを予め設定することで、任意の実験工程で実験条件に依存してウエハが欠損しても代替のウエハで測定データを収集できる。
【００２２】
上記の構成にかかる生産管理装置において、前記実験計画表設定部が、前記複数の生産工程に亘り各実験条件の所要ワーク数を計算する処理を、以下の（ａ）〜（ｄ）の少なくとも１つの処理により実行することが好ましい。
【００２３】
（ａ）実験を実施する各生産工程の各実験条件に設定された所要ワーク数を、全生産工程に亘り各実験条件について総和を計算し、全生産工程に亘る各実験条件の所要ワーク数として設定する処理、
（ｂ）実験を実施する各生産工程の各実験条件に設定された所要ワーク数から、全生産工程に亘り各実験条件について最大の所要ワーク数を計算し、全生産工程に亘る各実験条件の所要ワーク数として設定する処理、
（ｃ）実験を実施する各生産工程の各実験条件の所要ワーク数に任意の重み係数を乗算した値を、全生産工程に亘り各実験条件について総和を計算し、全生産工程に亘る各実験条件の所要ワーク数として設定する処理、
（ｄ）実験を実施する各生産工程の各実験条件の所要ワーク数を、全生産工程に亘り各実験条件について多項式を作成し、全生産工程に亘る各実験条件の所要ワーク数として設定する処理。
【００２４】
これにより、全実験工程のウエハ欠損の状況に応じて必要最小限の代替のウエハを予め設定することで、過不足のない実験ウエハ枚数を見積もることができる。
【００２５】
本発明にかかる生産管理装置において、前記実験計画表設定部が、各実験条件のワーク群識別子を設定し、各処理順序群の所要ワーク数を計算し、各処理順序群に所要ワーク数を設定し、各処理順序群の所要ワーク数の情報を用いて、ワーク群識別子、ワーク識別子、および、実験条件識別子を設定することが好ましい。
【００２６】
これにより、ウエハ欠損の可能性が高い処理順序について代替のウエハを予め設定することで、処理順序に依存してウエハが欠損しても代替のウエハで測定データを収集できる。
【００２７】
本発明にかかる生産管理装置において、前記実験計画表設定部が、各実験条件のワーク群識別子を設定し、少なくとも１つの実験及び実験以外の工程の各処理順序群の所要ワーク数を計算し、各処理順序群に所要ワーク数を設定し、各処理順序群の所要ワーク数の情報を用いて、ワーク群識別子、ワーク識別子、および、実験条件識別子を設定することが好ましい。
【００２８】
これにより、複数の工程に亘りウエハの欠損の可能性が高い処理順序について代替のウエハを予め設定することで、任意の工程で処理順序に依存してウエハが欠損しても代替のウエハで測定データを収集できる。
【００２９】
上記の構成にかかる生産管理装置において、前記実験計画表設定部が、前記各処理順序群の所要ワーク数の計算を、以下の（ａ）〜（ｄ）の少なくとも１つの処理により実行することが好ましい。
【００３０】
（ａ）各工程の各処理順序群の所要ワーク数の総和を計算し、全工程の各処理順序群の所要ワーク数に設定する処理、
（ｂ）各工程の処理順序群の所要ワーク数の最大数を計算し、全工程の各処理順序群の所要ワーク数に設定する処理、
（ｃ）各工程の処理順序群の所要ワーク数に任意の重み係数を乗算した値の総和を計算し、全工程の各処理順序群の所要ワーク数に設定する処理
（ｄ）各工程の処理順序群の所要ウエハ枚数について多項式を作成し、全工程の各処理順序群の所要ウエハ枚数に設定する処理。
【００３１】
これにより、全工程の処理順序に依存するウエハ欠損の状況に応じて必要最小限の代替のウエハを予め設定することで、過不足のない実験ウエハ枚数を見積もることができる。
【００３２】
本発明にかかる生産管理装置において、前記実験計画表設定部が、各実験条件のワーク群識別子を設定し、仕上がりを試験的に確認する為の試し処理である先行工程で処理するワーク識別子を先行ワーク識別子として抽出し、各先行ワーク識別子に所要ワーク数を設定し、先行ワーク識別子の所要ワーク数の情報を用いて、ワーク群識別子、ワーク識別子、および実験条件識別子を設定することが好ましい。
【００３３】
これにより、先行工程用ウエハについて代替のウエハを予め設定することで、処理履歴が異なる先行工程用ウエハで測定したデータを使わずに、他の実験用ウエハと同じ処理履歴の代替ウエハで測定したデータを使って解析を行うことで、実験誤差を低減できる。
【００３４】
上記の構成にかかる生産管理装置において、各ワークに割当てられたワーク識別子が連続番号であり、前記実験計画表設定部が、全先行工程の先行ワーク識別子の和集合を、前記先行ワーク識別子とすることが好ましい。
【００３５】
これにより、複数の先行工程が存在する場合、必要最小限の代替のウエハを予め設定することで、過不足のない実験ウエハ枚数を見積もることができる。
【００３６】
あるいは、上記の構成にかかる生産管理装置において、各ワークに割当てられたワーク識別子が連続番号であり、前記実験計画表設定部が、各先行ワーク識別子に所要ワーク数を設定する処理を、先行ワーク識別子とワーク群識別子とを比較し、先行ワーク識別子がワーク群識別子の最小番号と等しい場合、先行ワーク識別子より１つ大きいワーク群識別子を冗長ワーク識別子と設定し、先行ワーク識別子がワーク群識別子の最小番号より大きく、かつ、ワーク群識別子の最大番号より小さい場合、先行ワーク識別子より１つ大きいワーク群識別子か、或いは、先行ワーク識別子より１つ小さいワーク群識別子を冗長ワーク識別子と設定し、先行ワーク識別子がワーク群識別子の最大番号と等しい場合、先行ワーク識別子より１つ小さいワーク群識別子を冗長ワーク識別子と設定し、先行ワーク識別子と冗長ワーク識別子との合計ワーク数を所要ワーク数に設定することにより行うことが好ましい。
【００３７】
これにより、決められたアルゴリズムで代替ウエハを自動計算することで、簡単で作業ミスなく代替ウエハを設定できる。
【００３８】
本発明にかかる生産管理装置において、前記実験計画表設定部が、各制御因子の水準変更の所要工数を設定し、制御因子の水準変更の所要工数が降順に整列するように全制御因子を整列させ、降順に整列した前記各制御因子にて、実験計画表の実験条件識別子を整列させ、整列後の前記実験条件識別子の情報を用いてワーク識別子を設定することが好ましい。
【００３９】
これにより、事前の製造装置等の準備や事後の製造装置等の保守等の工数を少なくするようにウエハの処理順序を整列することで、実験のＴＡＴが短縮できる。
【００４０】
本発明にかかる生産管理装置において、前記実験計画表設定部が、ワーク識別子へ処理順序を設定する処理を、各制御因子の水準変更の所要工数を設定し、各実験工程にて、制御因子の水準変更の所要工数が降順に整列するように制御因子を整列させ、実験を実施する各生産工程にて、降順に整列した前記各制御因子にて、実験計画表の実験条件識別子とワーク識別子を整列させ、整列後の前記実験条件識別子と前記ワーク識別子の情報を用いて処理順序識別子を設定することにより行うことが好ましい。
【００４１】
これにより、複数の実験に亘る複雑な実験において、事前の製造装置等の準備や事後の製造装置等の保守等の工数を少なくするように各工程のウエハの処理順序を整列することで、実験のＴＡＴが大幅に短縮できる。
【００４２】
また、上述の本発明にかかる生産管理方法において、前記複数種類の生産条件が、複数の生産工程に亘る条件であり、実験を実施する生産工程を選択するステップと、選択された生産工程について、前記実験計画表の作成ステップを実行するステップと、前記ワーク識別子の設定ステップを実行する前に、前記実験計画表へ、実験を実施する工程として選択された各生産工程を設定するステップと、前記ワーク識別子の設定ステップの後に、当該ワーク識別子へ処理順序を設定するステップと、前記生産工程を介して工程作業指示表へ前記実験計画表の各実験条件を設定するステップとを含むことが好ましい。
【００４３】
これにより、予め登録された実験配列表の中から、選択した複数の各実験工程に亘る複数の制御因子の個数を満足する実験配列表を選択し、選択した実験配列表の各実験条件へウエハ番号を設定し、各制御因子を複数の各実験工程に設定することを自動化することで、簡単に作業ミスを発生することなく複数の実験工程に亘る複雑な実験計画の各実験条件をウエハ番号や処理順序に設定できる。
【００４４】
また、本発明の生産管理方法において、予め登録された実験配列表の中から前記制御因子数を属性に持つ実験配列表を選択するステップが、予め登録された実験配列表の中から、設定した制御因子数以上の制御因子を属性として持つ実験配列表を抽出するステップと、抽出した前記実験配列表の中から、制御因子数が小さい順番に少なくとも１つの実験配列表を抽出するステップとを含むことが好ましい。
【００４５】
これにより、設定した制御因子の個数以上で、かつ、近傍の個数の制御因子数を属性に持つ実験配列表を抽出することで、設定した制御因子の個数に等しい実験配列表が予め登録されていなくても、実験に要求される必要十分で、かつ、可能な限り小規模な実験を計画することができる。
【００４６】
また、本発明の生産管理方法において、各実験条件へワーク識別子を設定するステップが、各実験条件にワーク群識別子を設定するステップと、各実験条件の所要ワーク数を計算するステップと、各ワーク群識別子に所要ワーク数を設定するステップと、各ワーク群識別子の所要ワーク数の情報を用いて、ワーク識別子および実験条件識別子を設定するステップとを含むことが好ましい。
【００４７】
これにより、ウエハ欠損の可能性が高い実験条件について代替のウエハを予め設定することで、実験条件に依存してウエハが欠損しても代替のウエハで測定データを収集できる。
【００４８】
また、本発明の生産管理方法において、各実験条件へワーク識別子を設定するステップが、各実験条件にワーク群識別子を設定するステップと、前記複数の生産工程に亘り各実験条件の所要ワーク数を計算するステップと、各ワーク群識別子に所要ワーク数を設定するステップと、各ワーク群識別子の所要ワーク数の情報を用いて、ワーク識別子および実験条件識別子を設定するステップとを含むことが好ましい。
【００４９】
これにより、複数の実験工程に亘りウエハの欠損の可能性が高い実験条件について代替のウエハを予め設定することで、任意の実験工程で実験条件に依存してウエハが欠損しても代替のウエハで測定データを収集できる。
【００５０】
また、本発明の生産管理方法において、前記複数の生産工程に亘り各実験条件に所要ワーク数を計算するステップが、（ａ）実験を実施する各生産工程の各実験条件に設定された所要ワーク数を、全生産工程に亘り各実験条件について総和を計算し、全生産工程に亘る各実験条件の所要ワーク数として設定するステップ、（ｂ）実験を実施する各生産工程の各実験条件に設定された所要ワーク数から、全生産工程に亘り各実験条件について最大の所要ワーク数を計算し、全生産工程に亘る各実験条件の所要ワーク数として設定するステップ、（ｃ）実験を実施する各生産工程の各実験条件の所要ワーク数に任意の重み係数を乗算した値を、全生産工程に亘り各実験条件について総和を計算し、全生産工程に亘る各実験条件の所要ワーク数として設定するステップ、（ｄ）実験を実施する各生産工程の各実験条件の所要ワーク数を、全生産工程に亘り各実験条件について多項式を作成し、全生産工程に亘る各実験条件の所要ワーク数として設定するステップの内、少なくとも１つのステップを採用することが好ましい。
【００５１】
これにより、全実験工程のウエハ欠損の状況に応じて必要最小限の代替のウエハを予め設定することで、過不足のない実験ウエハ枚数を見積もることができる。
【００５２】
また、本発明の生産管理方法において、各実験条件へワーク識別子を設定するステップが、各実験条件のワーク群識別子を設定するステップと、各処理順序群の所要ワーク数を計算するステップと、各処理順序群に所要ワーク数を設定するステップと、各処理順序群の所要ワーク数の情報を用いて、ワーク群識別子、ワーク識別子、および、実験条件識別子を設定するステップとを含むことが好ましい。
【００５３】
これにより、ウエハ欠損の可能性が高い処理順序について代替のウエハを予め設定することで、処理順序に依存してウエハが欠損しても代替のウエハで測定データを収集できる。
【００５４】
また、本発明の生産管理方法において、各実験条件へワーク識別子を設定するステップが、各実験条件のワーク群識別子を設定するステップと、少なくとも１つの実験及び実験以外の工程の各処理順序群の所要ワーク数を計算するステップと、各処理順序群に所要ワーク数を設定するステップと、各処理順序群の所要ワーク数の情報を用いて、ワーク群識別子、ワーク識別子、および、実験条件識別子を設定するステップとを含むことが好ましい。
【００５５】
これにより、複数の工程に亘りウエハの欠損の可能性が高い処理順序について代替のウエハを予め設定することで、任意の工程で処理順序に依存してウエハが欠損しても代替のウエハで測定データを収集できる。
【００５６】
また、本発明の生産管理方法において、少なくとも１つの実験及び実験以外の工程の各処理順序群の所要ワーク数を計算するステップが、（ａ）各工程の各処理順序群の所要ワーク数の総和を計算し、全工程の各処理順序群の所要ワーク数に設定するステップ、（ｂ）各工程の処理順序群の所要ワーク数の最大数を計算し、全工程の各処理順序群の所要ワーク数に設定するステップ、（ｃ）各工程の処理順序群の所要ワーク数に任意の重み係数を乗算した値の総和を計算し、全工程の各処理順序群の所要ワーク数に設定するステップ、（ｄ）各工程の処理順序群の所要ウエハ枚数について多項式を作成し、全工程の各処理順序群の所要ウエハ枚数に設定するステップの内、少なくとも１つのステップを採用することが好ましい。
【００５７】
これにより、全工程の処理順序に依存するウエハ欠損の状況に応じて必要最小限の代替のウエハを予め設定することで、過不足のない実験ウエハ枚数を見積もることができる。
【００５８】
また、本発明の生産管理方法において、各実験条件へワーク識別子を設定するステップが、各実験条件のワーク群識別子を設定するステップと、仕上がりを試験的に確認する為の試し処理である先行工程で処理するワーク識別子を先行ワーク識別子として抽出するステップと、各先行ワーク識別子に所要ワーク数を設定するステップと、先行ワーク識別子の所要ワーク数の情報を用いて、ワーク群識別子、ワーク識別子、および実験条件識別子を設定するステップとを含むことが好ましい。
【００５９】
これにより、先行工程用ウエハについて代替のウエハを予め設定することで、処理履歴が異なる先行工程用ウエハで測定したデータを使わずに、他の実験用ウエハと同じ処理履歴の代替ウエハで測定したデータを使って解析を行うことで、実験誤差を低減できる。
【００６０】
また、本発明の生産管理方法において、各ワークに割当てられたワーク識別子が連続番号であり、各先行工程の先行ワーク識別子の和集合を、先行工程で処理する先行ワーク識別子とすることが好ましい。
【００６１】
これにより、複数の先行工程が存在する場合、必要最小限の代替のウエハを予め設定することで、過不足のない実験ウエハ枚数を見積もることができる。
【００６２】
また、本発明の生産管理方法において、各ワークに割当てられたワーク識別子が連続番号であり、各先行ワーク識別子に所要ワーク数を設定するステップが、先行ワーク識別子とワーク群識別子とを比較するステップと、先行ワーク識別子がワーク群識別子の最小番号と等しい場合、先行ワーク識別子より１つ大きいワーク群識別子を冗長ワーク識別子と設定するステップと、先行ワーク識別子がワーク群識別子の最小番号より大きく、かつ、ワーク群識別子の最大番号より小さい場合、先行ワーク識別子より１つ大きいワーク群識別子か、或いは、先行ワーク識別子より１つ小さいワーク群識別子を冗長ワーク識別子と設定するステップと、先行ワーク識別子がワーク群識別子の最大番号と等しい場合、先行ワーク識別子より１つ小さいワーク群識別子を冗長ワーク識別子と設定するステップと、先行ワーク識別子と冗長ワーク識別子との合計ワーク数を所要ワーク数に設定するステップとを含むことが好ましい。
【００６３】
これにより、決められたアルゴリズムで代替ウエハを自動計算することで、簡単で作業ミスなく代替ウエハを設定できる。
【００６４】
また、本発明の生産管理方法において、各実験条件へワーク識別子を設定するステップが、各制御因子の水準変更の所要工数を設定するステップと、制御因子の水準変更の所要工数が降順に整列するように全制御因子を整列するステップと、降順に整列した前記各制御因子にて、実験計画表の実験条件識別子を整列するステップと、整列後の前記実験条件識別子の情報を用いてワーク識別子を設定するステップとを含むことが好ましい。
【００６５】
これにより、事前の製造装置等の準備や事後の製造装置等の保守等の工数を少なくするようにウエハの処理順序を整列することで、実験のＴＡＴが短縮できる。
【００６６】
また、本発明の生産管理方法において、ワーク識別子へ処理順序を設定するステップが、各制御因子の水準変更の所要工数を設定するステップと、各実験工程にて、制御因子の水準変更の所要工数が降順に整列するように制御因子を整列するステップと、実験を実施する各生産工程にて、降順に整列した前記各制御因子にて、実験計画表の実験条件識別子とワーク識別子を整列するステップと、整列後の前記実験条件識別子と前記ワーク識別子の情報を用いて処置順序識別子を設定するステップとを含むことが好ましい。
【００６７】
これにより、複数の実験に亘る複雑な実験において、事前の製造装置等の準備や事後の製造装置等の保守等の工数を少なくするように各工程のウエハの処理順序を整列することで、実験のＴＡＴが大幅に短縮できる。
【００６８】
以下、本発明の実施形態のより具体的な態様について、図面を参照しながら説明する。
【００６９】
まず、本発明の全実施形態に共通して参照する各種の定義表や実験運用例を説明する。
【００７０】
本発明において、「実験配列表」とは、制御因子の水準の組合せ（すなわち配列）を定義した表である。例えば、図１に示す表１１５が「実験配列表」の一例である。表１１５では、制御因子と水準の組合せのみが定義され、具体的な制御因子名や水準値は空欄となっている。一方、「実験計画表」とは、具体的な制御因子とその水準値を設定した表である。例えば、図７に示す表７１０が「実験計画表」の一例である。表７１０では、具体的な制御因子として、研磨時間、研磨圧力、研磨位置、研磨台高さ、洗浄時間、乾燥時間、研磨材、添加剤混合比が設定され、水準値として、（水準１、水準２）＝（長、短）、（水準値１、水準値２、水準値３）＝｛（高、中、低）、（低、中、高）、（右、中、左）、（長、中、短）、（Ａ、Ｂ、Ｃ）、（薄、標準、濃）｝が設定されている。
【００７１】
図１は、本発明の全実施形態の生産管理方法における実験配列一覧定義表及び実験配列定義表を示す図である。図１において、１０５は実験配列一覧定義表であり、１１０は直交表Ｌ１８の実験配列表であり、１１５は直交表Ｌ１８の水準値を明示した実験配列表の書式であり、１２０は直交表Ｌ１８の水準数を明示した実験配列表の書式である。
【００７２】
図２は、本発明の全実施形態の生産管理方法におけるウエハ欠損所要ウエハ枚数定義表及びウエハ処理記号定義表である。図２において、２０５はウエハ欠損所要ウエハ枚数定義表であり、２１０はウエハ処理表示記号定義表である。
【００７３】
図３は、本発明の全実施形態の生産管理方法における実験運用例である。図３において、３０５は実験用に予め準備した専用ウエハであり、３１５は実験以外の用途にも用いる通常のウエハであり、３１０は実験工程であり、３２０は実験に必要な仕込みをする工程など実験以外の工程である。
【００７４】
図３において、ケース１は専用ウエハ３０５を用いた単一の実験工程３１０での実験運用を示すものであり、ケース２は通常のウエハ３１５を用いて実験前の工程や実験後の工程３２０を含んだ単一の実験工程３１０での実験運用を示すものであり、ケース３は通常のウエハ３１５を用いて実験前の工程、実験間の工程や実験後の工程を含んだ複数の実験工程３１０での実験運用を示すものである。
【００７５】
以後、これら３つの実験運用のケースの中から、本発明のそれぞれの実施形態を最も的確に説明できるいずれかのケースを用いて説明する。
【００７６】
（第１の実施形態）
本発明の第１の実施形態は、単一実験工程の場合の複数の実験条件をウエハに設定する生産管理方法である。
【００７７】
想定する実験運用は、図３のケース１及びケース２である。
【００７８】
以下、本発明の第１の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
【００７９】
図４は、本発明の第１の実施形態である単一実験工程の場合の生産管理方法の流れ図である。図４に示すように、本実施形態の生産管理方法は、実験条件の項目である制御因子と実験条件の値である水準値を設定するステップ４０５と、ステップ４０５で設定した制御因子の個数を計算するステップ４１０と、予め登録された実験配列表（１０５、１１０、１１５、１２０）の中からステップ４１０で計算した制御因子数を属性に持つ実験配列表を選択するステップ４１５と、ステップ４１５で選択した実験配列表へステップ４０５で設定した制御因子と水準値を設定するステップ４２０と、ステップ４１５で選択した実験配列表の各実験条件へウエハ番号を設定するステップ４２５とを含む。
【００８０】
以上の生産管理方法について、以下その動作を説明する。参照する図面は、図６、図７、図８、図９である。
【００８１】
図６は、制御因子数を用いた実験配列表の抽出手順の流れ図である。図６において、ステップ６０５はステップ４０５で設定した制御因子数以上の制御因子を属性として持つ実験配列表を予め登録された実験配列表（１０５、１１０、１１５、１２０）から抽出するステップであり、ステップ６１０はステップ６０５で抽出した実験配列表の中から最小の制御因子数を属性として持つ実験配列表を抽出するステップであり、ステップ６１５はステップ６０５で抽出した実験配列表からステップ６１０で抽出した実験配列表を除いた残りの実験配列表の中から最小の制御因子数を属性として持つ実験配列表を抽出するステップである。ステップ６１５は適宜繰り返される。
【００８２】
図７は、制御因子数を用いた実験計画表の設定例である。図７の表７０５に、ステップ４０５で設定する制御因子の例としてＣＭＰ工程の制御因子を示す。ここでは、水準値の図示は省略している。また、図７の表７１０と表７１５は、ステップ４１５で選択した実験配列表へステップ４０５で設定した制御因子と水準値（表７０５では図示せず）を設定することによって得られる実験計画表である。
【００８３】
図８は、実験計画表のウエハ処理設定例である。図８において、表８０５は実験条件番号とウエハ番号との対応表であり、表８１０はウエハ処理表示記号定義表（２１０）を用いて各実験条件のウエハ処理指示を黒丸で表示し、かつ、実験条件番号とウエハ番号との対応表８０５を用いて各実験条件番号にウエハ番号を設定した実験計画表である。
【００８４】
図９は、実験計画表の表示例である。図９において、表９０５は、単一の実験工程として工程順序番号２６のＣＭＰ工程を含む工程作業指示表（フローチャート）であり、表９１５は、ＣＭＰ工程の実験計画表の表示例である。
【００８５】
以下、図４の各ステップの内容を説明する。
［ステップ４０５］
まず、制御因子の例としてＣＭＰ工程の制御因子（制御因子番号：制御因子＝１：研磨位置、２：研磨圧力、３：研磨時間、４：研磨台高さ、５：洗浄時間、６：乾燥時間、７：研磨材、８：添加材混合比）と水準値（表７１０に図示）を設定する。
［ステップ４１０］
次に、制御因子数を計算する。ここでは、制御因子は８個であるので、制御因子数＝８とする。
［ステップ４１５］
次に、実験配列一覧定義表１０５の制御因子数から制御因子数＝８を検索して、予め登録された実験配列表（表１１０、１１５、１２０）から実験配列表を選択する。
【００８６】
なお、ステップ４０５で設定した制御因子の個数に等しい個数を属性として持つ実験配列表が必ず予め登録されているとは限らない。
【００８７】
そこで、次のように制御因子数に対応した実験配列表を選択しても良い。
【００８８】
まず、ステップ４０５で設定した制御因子数以上の制御因子を属性として持つ実験配列表を予め登録された実験配列表（表１０５、１１０、１１５、１２０）から抽出する（ステップ６０５）。
【００８９】
次に、ステップ６０５で抽出した実験配列表の中から、最小の制御因子数を属性として持つ実験配列表を抽出する。
【００９０】
次に、ステップ６０５で抽出した実験配列表からステップ６１０で抽出した実験配列表を除いた残りの実験配列表の中から、最小の制御因子数を属性として持つ実験配列表を抽出する（ステップ６１５）。
【００９１】
そして、ステップ６１５は適宜繰り返されるものとする。
［ステップ４２０］
次に、選択した実験配列表へ制御因子と水準値を設定し、ＣＭＰ工程の実験計画表（表７１０、７１５）を作成する。
［ステップ４２５］
次に、実験計画表７１０を元にして、ウエハ処理表示記号定義表２１０を用いて各実験条件のウエハ処理指示を黒丸で表示し、かつ、実験条件番号とウエハ番号との対応表８０５を用いて各実験条件番号にウエハ番号を設定した実験計画表８１０を作成する。
【００９２】
最後に、作成した実験計画表８１０に実験工程（ここではＣＭＰ工程）を設定しＣＭＰ工程の実験計画表９１５を作成し、単一の実験工程として工程順序番号２６のＣＭＰ工程を含む工程作業指示表（フローチャート）と紐付けする。
【００９３】
以上のように、本発明の第１の実施形態によれば、実験条件の項目である制御因子と実験条件の値である水準値を設定するステップと、設定した制御因子の個数を計算するステップと、予め登録された実験配列表の中から計算した制御因子数を属性に持つ実験配列表を選択するステップと、実験配列表へ制御因子と水準値を設定するステップと、実験計画表の各実験条件へウエハ番号を設定するステップとを設けることにより、予め登録された実験配列表の中から、設定した制御因子の個数を満足する実験配列表を選択し、選択した実験配列表に制御因子と水準値を設定し実験計画表を作成し、作成した実験計画表の各実験条件へウエハ番号を設定することを自動化できるので、簡単に作業ミスを発生することなく複雑な実験計画の各実験条件をウエハ番号に設定できる、優れた生産管理方法を実現できるものである。
【００９４】
なお、本発明の第１の実施形態では、ウエハ番号がウエハ処理順序番号と等価であるとして説明している為、ウエハ処理順序番号の設定を明記していない。従って、各実験条件へウエハ番号を設定する手順に、ウエハ処理順序番号を追記しても良い。
【００９５】
なお、上述の説明は、本発明の一側面としての生産管理方法の実施形態について説明したが、本発明の他の側面としての生産管理装置は、上述した生産管理方法をコンピュータに実施させるためのプログラムをコンピュータに読み込ませて実行させることによって、実現可能である。
【００９６】
例えば、図３４に、本発明の生産管理装置を実現するためのハードウェア構成の一例を示す。図３４に示すように、本実施形態の生産管理装置１は、ＣＩＭシステム２に接続され、例えばパーソナルコンピュータ等で実現される。なお、ＣＩＭシステム２は、製造装置２４とＣＩＭ制御装置２２とが通信回線２３で接続された構成であり、ＣＩＭ制御装置２２が、ＣＩＭデータベース２１に記憶された情報（工程作業指示表、実験計画表など）に従い、製造装置２４の動作を制御する。生産管理装置１は、あらかじめ登録された実験配列表に基づいて実験計画表を作成すると共にその各実験条件へワーク識別子を設定し、その結果得られた実験計画表を、ＣＩＭデータベース２１へ登録する。
【００９７】
このため、生産管理装置１は、操作者に各種データや指示を入力させるための入力部１１と、計算、抽出、設定等の各種処理を行う演算処理部１２と、生産管理装置自身の動作を制御するプログラムが格納されたプログラム記憶部１３と、各種データを記憶するデータ記憶部１４とを備えている。演算処理部１２は、ＣＰＵやＲＡＭ等のハードウェアで構成され、プログラム記憶部１３に格納されているプログラムを読み込み、読み込んだプログラムに記述された命令に従って動作する。プログラム記憶部１３は、ＲＯＭあるいはハードディスク等により構成される。プログラム記憶部１３に、本実施形態において上述したような生産管理方法の処理手順を記述したプログラムを記憶させることにより、生産管理装置１に上述の生産管理方法を実行させることができる。
【００９８】
データ記憶部１４は、ハードディスクあるいは脱着可能な記憶媒体等で構成され、上述した実験配列表等をあらかじめ記憶する他、ＣＩＭデータベース２１から取得したデータ類や演算処理部１２の処理結果等を、少なくとも一時的に記憶することもできる。なお、生産管理装置１において、入力部１１、プログラム記憶部１３、およびデータ記憶部１４は、演算処理部１２とは独立したハードウェア装置（コンピュータの周辺デバイス）として構成しても良いし、生産管理装置１の全体を一筐体のハードウェア装置として構成しても良い。
【００９９】
例えば、生産管理装置１において、図４に示すフローチャートの処理手順を記述したプログラムをプログラム記憶部１３に記憶させ、実行を開始すると、演算処理部１２は、ステップ４０５〜４２０を実行する間は、予め登録された実験配列表に基づいて実験計画表を作成する実験計画表作成部として機能し、ステップ４２５を実行する間は、実験計画表の各実験条件へワーク識別子を設定する実験計画表設定部として機能する。さらに、ステップ４０５を実行する間、演算処理部１２は、実験条件の項目である制御因子と実験条件の値である水準値とを入力部１１から入力して設定する入力部として機能する。ステップ４１０を実行する間、演算処理部１２は、制御因子の個数を計算する制御因子数計算部として機能する。ステップ４１５を実行する間、演算処理部１２は、予め登録された実験配列表の中から前記制御因子数を属性に持つ実験配列表を選択する配列表選択部として機能する。さらに、ステップ４２０を実行する間、実験配列表へ前記制御因子と前記水準値を設定する実験配列表設定部として機能する。
【０１００】
以上のように、パーソナルコンピュータ等のコンピュータおよびその周辺デバイスを用いることにより、本発明にかかる生産管理装置を実現することが可能である。
【０１０１】
（第２の実施形態）
本発明の第２の実施形態は、複数の実験工程の場合の複数の実験条件をウエハに設定する生産管理方法である。
【０１０２】
想定する実験運用は、図３のケース３である。
【０１０３】
以下、本発明の第２の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
【０１０４】
図５は、本発明の第２の実施形態である複数実験工程の場合の生産管理方法の流れ図である。図５に示すように、本実施形態の生産管理方法は、第１の実施形態の生産管理方法（図４参照）へ、工程作業指示表（フローチャート）から実験工程を選択するステップ５０５と、ステップ４０５からステップ４２０にて設定された実験計画表へ実験工程を設定するステップ５１０と、ステップ４２５で設定されたウエハ番号へ処理順序を設定するステップ５１５と、ステップ５０５で選択した実験工程の識別子を介して、工程作業指示表へ実験計画表の各実験条件を設定するステップ５２０とを追加したものである。
【０１０５】
なお、ステップ４０５、４１０、４１５、４２０、４２５の内容は、本発明の第１の実施形態と同様であるので、第２の実施形態における説明は省略する。
【０１０６】
以上の生産管理方法について、以下その動作を説明する。参照する図面は図６、図７、図８、図９である。
【０１０７】
なお、図６、図７、図８で説明する動作については、本発明の第１の実施形態と同様であるので概要のみ説明する。
【０１０８】
図９は、実験計画表の表示例である。
【０１０９】
図９において、９１０は、複数の実験工程（工程順序番号：工程名＝９：ウェット処理工程、１５：注入工程、２０：熱処理工程、２５：ＣＶＤ工程、２９：スパッタ工程）を含む工程作業指示表（フローチャート）であり、９２０はウェット処理工程の実験計画表（制御因子＝処理時間）の表示例であり、９２５は注入工程の実験計画表（制御因子＝イオン種、エネルギー）であり、９３０は熱処理工程の実験計画表（制御因子＝処理温度）であり、９３５はＣＶＤ工程の実験計画表（制御因子＝処理温度）であり、９４０はスパッタ工程の実験計画表（制御因子＝電極材料、ガス種類、処理温度）である。
［ステップ５０５］
まず、実験を実施する工程として、実験工程（工程順序番号：工程名＝９：ウェット処理工程、１５：注入工程、２０：熱処理工程、２５：ＣＶＤ工程、２９：スパッタ工程）を選択する。
［ステップ４０５］
次に、各実験工程の制御因子と水準値を設定する。ここでは、ウェット処理工程では制御因子＝処理時間（表９２０）、注入工程は制御因子＝ＩＯＮ種、エネルギー（表９２５）、熱処理工程は制御因子＝処理温度（表９３０）、ＣＶＤ工程は制御因子＝処理温度（表９３５）、スパッタ工程は制御因子＝電極材料、ガス種類、処理温度（表９４０）を設定している。
［ステップ４１０］
次に、制御因子数を計算する。ここでは、制御因子は８個であるので、制御因子数＝８とする。
［ステップ４１５］
次に、実験配列一覧定義表１０５の制御因子数から制御因子数＝８を検索して、予め登録された実験配列表（表１１０、１１５、１２０）から実験配列表を選択する。
【０１１０】
なお、ステップ４０５で設定した制御因子の個数に等しい個数を属性として持つ実験配列表が必ず予め登録されているとは限らない。
【０１１１】
そこで、本発明の第１の実施形態と同様に、次のように制御因子数に対応した実験配列表を選択しても良い。
【０１１２】
まず、ステップ４０５で設定した制御因子数以上の制御因子を属性として持つ実験配列表を予め登録された実験配列表（表１０５、１１０、１１５、１２０）から抽出する（ステップ６０５）。
【０１１３】
次に、ステップ６０５で抽出した実験配列表の中から最小の制御因子数を属性として持つ実験配列表を抽出する。
【０１１４】
次に、ステップ６０５で抽出した実験配列表からステップ６１０で抽出した実験配列表を除いた残りの実験配列表の中から最小の制御因子数を属性として持つ実験配列表を抽出する（ステップ６１５）。
【０１１５】
そして、ステップ６１５は適宜繰り返されるものとする。
［ステップ４２０］
次に、選択した実験配列表へ制御因子と水準値を設定し、実験計画表を作成する。
［ステップ５１０］
次に、制御因子に対応する実験工程を、実験計画表に設定する。例えば、図９の各実験工程毎の実験計画表９２０、９２５、９３０、９３５、９４０の場合、実験計画表９２０は（工程Ｎｏ、工程）＝（９、ウェット処理）を設定し、実験計画表９２５は（工程Ｎｏ、工程）＝（１５、注入）を設定し、実験計画表９３０は（工程Ｎｏ、工程）＝（２０、熱処理）を設定し、実験計画表９３５は（工程Ｎｏ、工程）＝（２５、ＣＶＤ）を設定し、実験計画表９４０は（工程Ｎｏ、工程）＝（２９、スパッタ）を設定する。
［ステップ４２５］
次に、実験計画表を元にして、ウエハ処理記号定義表２１０を用いて各実験条件のウエハ処理指示を黒丸で表示し、かつ、実験条件番号とウエハ番号との対応表８０５を用いて各実験条件番号にウエハ番号を設定する。
［ステップ５１５］
次に、例えば、ここではウエハ番号と同じ番号を、ウエハ処理順序番号と設定する。
［ステップ５２０］
最後に、各実験工程に対応する各実験計画表をキー情報として工程作業指示表（フローチャート）と紐付けする。例えば、図９のように、実験計画表９２０は（工程Ｎｏ、工程）＝（９、ウェット処理）をキー情報として、実験計画表９２５は（工程Ｎｏ、工程）＝（１５、注入）をキー情報として、実験計画表９３０は（工程Ｎｏ、工程）＝（２０、熱処理）をキー情報として、実験計画表９３５は（工程Ｎｏ、工程）＝（２５、ＣＶＤ）をキー情報として、実験計画表９４０は（工程Ｎｏ、工程）＝（２９、スパッタ）をキー情報として、工程作業指示表（フローチャート）９１０と、各実験工程毎の実験計画表９２０、９２５、９３０、９３５、９４０とを紐付ける。このようにして、生産工程を介して工程作業指示表へ実験計画表の各実験条件を設定することができる。
【０１１６】
以上のように本発明の第２の実施形態によれば、本発明の第１の実施形態に加えて、実験を実施する実験工程を選択するステップと、実験計画表へ実験工程を設定するステップと、ウエハ番号へ処理順序を設定するステップと、実験工程を介して工程作業指示表へ実験計画表の各実験条件を設定するステップとを設けることにより、予め登録された実験配列表の中から、選択した複数の各実験工程に亘る複数の制御因子の個数を満足する実験配列表を選択し、選択した実験配列表の各実験条件へウエハ番号を設定し、各制御因子を複数の各実験工程に設定することを自動化できるので、簡単に作業ミスを発生することなく複数の実験工程に亘る複雑な実験計画の各実験条件をウエハ番号や処理順序に設定できる、優れた生産管理方法を実現できるものである。
【０１１７】
なお、本実施形態にかかる生産管理方法の処理手順を記述したプログラムをコンピュータに実行させることにより、本発明の一実施形態にかかる生産管理装置を実現できることは、第１の実施形態と同様である。
【０１１８】
（第３の実施形態）
本発明の第３の実施形態は、単一実験工程の場合の実験条件に依存するウエハ欠損時のウエハ設定に関する生産管理方法である。
【０１１９】
想定する実験運用は、図３のケース１及びケース２である。
【０１２０】
以下、本発明の第３の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
【０１２１】
図１０は、本発明の第３の実施形態である単一実験工程の場合の実験条件に依存するウエハ欠損時のウエハ番号設定手順の流れ図である。このウエハ番号設定手順は、図４のステップ４２５に相当する。
【０１２２】
図１０に示すように、ウエハ番号設定手順は、各実験条件にウエハ群番号を設定するステップ１００５と、各実験条件の所要ウエハ枚数を計算するステップ１０１０と、各ウエハ群番号に所要ウエハ枚数を設定するステップ１０１５と、各ウエハ群番号の所要ウエハ枚数の情報を用いてウエハ番号、実験条件番号を設定するステップ１０２０とを含む。
【０１２３】
以下、各ステップの動作を説明する。参照する図面は図１３、図１４である。
【０１２４】
図１３は、実験条件に依存するウエハ欠損時のウエハ番号設定手順におけるウエハ群番号からウエハ番号への展開手順の流れ図である。
【０１２５】
図１４は、単一実験工程の場合の実験条件に依存するウエハ欠損時の実験計画表の設定例である。図１４において、表１４０５は生産管理システムなどにより過去の処理実績から計算された各実験条件番号のウエハ欠損率を示し、表１４１０は各実験条件番号と各実験条件番号に対応する各ウエハ群番号の所要ウエハ枚数対応表であり、表１４１５は各実験条件番号と各ウエハ群番号とウエハ番号対応表であり、表１４２０は実験条件番号とウエハ群番号とウエハ番号を明示した実験計画表である。
［ステップ１００５］
まず、各実験条件番号（１から１８）と各ウエハ群番号（１から１８）を対応させる（表１４１０）。
［ステップ１０１０］
次に、生産管理システムなどにより過去の処理実績から各実験条件番号のウエハ欠損率を計算する。ここでは、実験条件４、５、１０、１１のウエハ欠損率がそれぞれ０．６、０．７、０．５、０．７である（表１４０５）。
【０１２６】
次に、ウエハ欠損所要ウエハ枚数定義表２０５を用いて、各実験条件（１から１８）の所要ウエハ枚数を計算する。ここでは、ウエハ欠損所要ウエハ枚数定義表２０５から、実験条件４、５、１０、１１の所要ウエハ枚数は２枚と設定し、その他の実験条件の所要ウエハ枚数は１枚と設定する（表１４１０）。
［ステップ１０１５］
次に、各実験条件（１から１８）の所要ウエハ枚数から各ウエハ群番号の所要ウエハ枚数を設定する。ここでは、各実験条件番号と各ウエハ番号の対応関係から、ウエハ群番号４、５、１０、１１の所要ウエハ枚数は２枚と設定し、その他のウエハ群番号の所要ウエハ枚数は１枚と設定する（表１４１０）。
［ステップ１０２０］
次に、各ウエハ群番号の所要ウエハ枚数の情報を用いて各ウエハ番号、各実験条件番号を設定する。
【０１２７】
詳細な手順を図１３を参照して説明する。
【０１２８】
まず、ウエハ群番号がウエハ群番号の最大値以下か否かを判定する（ステップ１３０５、１３１０）。
【０１２９】
＜１＞ここで、ウエハ群番号がウエハ群番号の最大値よりも大きい場合、一連の手順を終了する（ステップ１３１０：ＮＯ）。
【０１３０】
＜２＞ここで、ウエハ群番号がウエハ群番号の最大値以下の場合、以下の手順に進む（ステップ１３１０：ＹＥＳ）。
【０１３１】
次に、所要ウエハ枚数が各ウエハ群番号における所要ウエハ枚数の最大値以下か否かを判定する（ステップ１３１５、１３２０）。
【０１３２】
＜２−１＞ここで、所要ウエハ枚数が各ウエハ群番号における所要ウエハ枚数の最大値よりも大きい場合、次のウエハ群番号に進む（ステップ１３２０：ＮＯ：１３３０）。
【０１３３】
＜２−２＞ここで、所要ウエハ枚数が各ウエハ群番号における所要ウエハ枚数の最大値以下の場合、以下の手順に進む（ステップ１３２０：ＹＥＳ）。
【０１３４】
次に、各ウエハ群番号を各実験条件番号に設定し、所要ウエハ枚数をウエハ番号に設定し、所要ウエハ枚数を１つ繰り上げ、ステップ１３２０に戻る（ステップ１３２５）。
【０１３５】
このような手順により、ここでは、ウエハ群番号４、５、１０、１１にて所要ウエハ枚数分のウエハ番号を（４、５）、（６、７）、（１２、１３）、（１４、１５）と展開する（表１４１５）。
【０１３６】
最後に、設定した各実験条件番号、各ウエハ群番号、各ウエハ番号の情報を用いて、実験計画表のウエハ処理指示を設定する。ここでは、２枚のウエハの組み合わせである次の４組（実験条件番号、ウエハ群番号、ウエハ番号）＝｛（４、４、４）、（４、４、５）｝、｛（５、５、６）、（５、５、７）｝、｛（１０、１０、１２）、（１０、１０、１３）｝、｛（１１、１１、１４）、（１１、１１、１５）｝について、２枚共同じ実験条件を設定している（表１４２０）。
【０１３７】
以上により本発明の第３の実施形態によれば、各実験条件へウエハ番号を設定する手順において、各実験条件にウエハ群番号を設定するステップと、各実験条件の所要ウエハ枚数を計算するステップと、各ウエハ群番号に所要ウエハ枚数を設定するステップと、各ウエハ群番号の所要ウエハ枚数の情報を用いてウエハ番号、実験条件番号を設定するステップとを設けることにより、ウエハ欠損の可能性が高い実験条件（実験条件＝４、５、１０、１１）について代替のウエハ｛（ウエハ番号：代替ウエハ番号）＝（４：５）、（６：７）、（１２：１３）、（１４：１５）｝を予め設定することで、実験条件に依存してウエハが欠損しても代替のウエハで測定データを収集できる、優れた生産管理方法を実現できるものである。
【０１３８】
次に、想定する実験運用がケース３のような複数の実験工程の場合について、図面を参照しながら説明する。参照する図面は図１１、図１２である。
【０１３９】
図１１は、複数実験工程の場合の実験条件に依存するウエハ欠損時のウエハ番号設定手順の流れ図である。
【０１４０】
図１２は、複数実験工程の場合の実験条件に依存するウエハ欠損時の所要ウエハ枚数設定手順の流れ図である。
【０１４１】
図１１のように、本発明の第３の実施形態における各実験条件の所要ウエハ枚数を計算する手順（図１０のステップ１０１０）に替わり、複数の実験工程に亘り各実験条件の所要ウエハ枚数を計算する手順を設けることにより（ステップ１１０５）、複数の実験工程に亘りウエハの欠損の可能性が高い実験条件について代替のウエハを予め設定することで、任意の実験工程で実験条件に依存してウエハが欠損しても代替のウエハで測定データを収集できる、優れた生産管理方法を実現できるものである。
【０１４２】
更に、複数の実験工程に亘り各実験条件の所要ウエハ枚数を計算するステップ１１０５を、図１２に示すように、（１）各実験工程の各実験条件に設定された所要ウエハ枚数を、全実験工程に亘り各実験条件について総和を計算し、全実験工程に亘る各実験条件の所要ウエハ枚数として設定するステップ１２０５、（２）各実験工程の各実験条件に設定された所要ウエハ枚数から、全実験工程に亘り各実験条件について最大の所要ウエハ枚数を計算し、全実験工程に亘る各実験条件の所要ウエハ枚数として設定するステップ１２１０、（３）各実験工程の各実験条件の所要ウエハ枚数に任意の重み係数を乗算した値を、全実験工程に亘り各実験条件について総和を計算し、全実験工程に亘る各実験条件の所要ウエハ枚数として設定するステップ１２１５、（４）各実験工程の各実験条件の所要ウエハ枚数を、全実験工程に亘り各実験条件について多項式を作成し、全実験工程に亘る各実験条件の所要ウエハ枚数として設定するステップ１２２０の４つのうち少なくとも１つ以上の手順を採用する手順を設けても良い。これによれば、全実験工程のウエハ欠損の状況に応じて必要最小限の代替のウエハを予め設定することで、過不足のない実験ウエハ枚数を見積もることができる、優れた生産管理方法を実現できるものである。
【０１４３】
なお、本実施形態にかかる生産管理方法の処理手順を記述したプログラムをコンピュータに実行させることにより、本発明の一実施形態にかかる生産管理装置を実現できることは、第１の実施形態と同様である。
【０１４４】
（第４の実施形態）
本発明の第４の実施形態は、単一工程の場合の処理順序に依存するウエハ欠損時のウエハ設定に関する生産管理方法である。
【０１４５】
想定する実験運用は、図３のケース１である。
【０１４６】
以下本発明の第４の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
【０１４７】
図１５は、本発明の第４の実施形態である単一工程の場合の処理順序に依存するウエハ欠損時のウエハ番号設定手順の流れ図である。この手順は、図４に示すステップ４２５に対応し、図１５に示すように、各実験条件にウエハ群番号を設定するステップ１００５と、各処理順序群の所要ウエハ枚数を計算するステップ１５０５と、各処理順序群に所要ウエハ枚数を設定するステップ１５１０と、各処理順序群の所要ウエハ枚数の情報を用いてウエハ群番号、ウエハ番号、実験条件番号を設定するステップ１５１５とを含む。
【０１４８】
以上のように構成された生産管理方法について、以下その動作を説明する。参照する図面は図１８、図１９である。
【０１４９】
図１８は、処理順序に依存するウエハ欠損時のウエハ番号設定手順における処理順序群からウエハ番号への展開手順の流れ図である。
【０１５０】
図１９は、単一工程の場合の処理順序に依存するウエハ欠損時の実験計画表の設定例である。図１９において、表１９０５は生産管理システムなどにより過去の処理実績から計算された各処理順序群のウエハ欠損率を示し、表１９１０は各実験条件番号と各実験条件番号に対応する各ウエハ群番号と各処理順序群の所要ウエハ枚数対応表であり、表１９１５は各実験条件番号と各ウエハ群番号とウエハ番号対応表であり、表１９２０は実験条件番号とウエハ群番号とウエハ番号を明示した実験計画表である。
［ステップ１００５］
まず、各実験条件番号（１から１８）と各ウエハ群番号（１から１８）を対応させる（表１４１０）。
［ステップ１５０５］
次に、生産管理システムなどにより過去の処理実績から各処理順序群のウエハ欠損率を計算する。ここでは、処理順序群１、２のウエハ欠損率がそれぞれ０．６、０．５である（表１９０５）。
【０１５１】
次に、ウエハ欠損所要ウエハ枚数定義表２０５を用いて、各処理順序群（１から１８）の所要ウエハ枚数を計算する。ここでは、ウエハ欠損所要ウエハ枚数定義表から、実験条件１、２の所要ウエハ枚数は２枚と設定し、その他の処理順序群の所要ウエハ枚数は１枚と設定する（表１９１０）。
［ステップ１５１０］
次に、各処理順序群（１から１８）の所要ウエハ枚数から各ウエハ群番号の所要ウエハ枚数を設定する。ここでは、各処理順序群と各実験条件番号と各ウエハ群番号と各ウエハ番号の対応関係から、ウエハ群番号１、２の所要ウエハ枚数は２枚と設定し、その他のウエハ群番号の所要ウエハ枚数は１枚と設定する（表１９１０）。
［ステップ１５１５］
次に、各ウエハ群番号の所要ウエハ枚数の情報を用いて各ウエハ番号、各実験条件番号を設定する。
【０１５２】
詳細な手順を図１８を参照して説明する。
【０１５３】
まず、処理順序群番号がウエハ群番号の最大値以下か否かを判定する（ステップ１８０５、１８１０）。
【０１５４】
＜１＞ここで、処理順序群番号がウエハ群番号の最大値よりも大きい場合、一連の手順を終了する（ステップ１８１０：ＮＯ）。
【０１５５】
＜２＞ここで、処理順序群番号がウエハ群番号の最大値以下の場合、以下の手順に進む（ステップ１８１０：ＹＥＳ）。
【０１５６】
次に、所要ウエハ枚数が各処理順序群番号における所要ウエハ枚数の最大値以下か否かを判定する（ステップ１８１５、１８２０）。
【０１５７】
＜２−１＞ここで、所要ウエハ枚数が各処理順序群番号における所要ウエハ枚数の最大値よりも大きい場合、次の処理順序群番号に進む（ステップ１８２０：ＮＯ：１８３０）。
【０１５８】
＜２−２＞ここで、所要ウエハ枚数が各処理順序群番号における所要ウエハ枚数の最大値以下の場合、以下の手順に進む（ステップ１８２０：ＹＥＳ）。
【０１５９】
次に、各処理順序群番号を各実験条件番号に設定し、所要ウエハ枚数をウエハ番号に設定し、所要ウエハ枚数を１つ繰り上げ、ステップ１８２０に戻る（ステップ１８２５）。
【０１６０】
このような手順により、ここでは、処理順序群番号とウエハ群番号との対応関係（表１９１０）を利用し、処理順序群番号１、２（＝ウエハ群番号）にて所要ウエハ枚数分のウエハ番号を（１、２）、（３、４）と展開する（表１９１５）。
【０１６１】
最後に、設定した各実験条件番号、各ウエハ群番号、各ウエハ番号の情報を用いて、実験計画表のウエハ処理指示を設定する。ここでは、２枚のウエハの組み合わせである次の２組（実験条件番号、ウエハ群番号、ウエハ番号）＝｛（１、１、１）、（１、１、２）｝、｛（２、２、３）、（２、２、４）｝について、２枚共同じ実験条件を設定している（表１９２０）。
【０１６２】
以上により本発明の第４の実施形態によれば、各実験条件のウエハ群番号を設定するステップと、各処理順序群の所要ウエハ枚数を計算するステップと、各処理順序群に所要ウエハ枚数を設定するステップと、各処理順序群の所要ウエハ枚数の情報を用いてウエハ群番号、ウエハ番号、実験条件番号を設定するステップとを設けることにより、ウエハ欠損の可能性が高い処理順序（処理順序＝１、２）について代替のウエハ｛（ウエハ番号：代替ウエハ番号）＝（１：１）、（１：２）、（２：３）、（２：４）｝を予め設定することで、処理順序に依存してウエハが欠損しても代替のウエハで測定データを収集できる優れた生産管理方法を実現できるものである。
【０１６３】
次に、想定する実験運用が図３のケース２及び３のような複数の工程の場合について、図面を参照しながら説明する。参照する図面は図１６、図１７である。
【０１６４】
図１６は、複数工程の場合の処理順序に依存するウエハ欠損時のウエハ番号設定手順の流れ図である。
【０１６５】
図１７は、複数工程の場合の処理順序に依存するウエハ欠損時の所要ウエハ枚数設定手順の流れ図である。
【０１６６】
図１６のように、本発明の第４の実施形態における各処理順序の所要ウエハ枚数を計算するステップ（図１５のステップ１５０５）に替わり、複数の工程に亘り各処理順序の所要ウエハ枚数を計算するステップを設けることにより（ステップ１６０５）、複数の工程に亘りウエハの欠損の可能性が高い処理順序について代替のウエハを予め設定することで、任意の工程で処理順序に依存してウエハが欠損しても代替のウエハで測定データを収集できる、優れた生産管理方法を実現できるものである。
【０１６７】
更に、図１７のように、複数の工程に亘り各処理順序群の所要ウエハ枚数を計算するステップ１６０５において、（１）各工程の各処理順序群の所要ウエハ枚数の総和を計算し、全工程の各処理順序群の所要ウエハ枚数に設定するステップ１７０５と、（２）各工程の処理順序群の所要ウエハ枚数の最大枚数を計算し、全工程の各処理順序群の所要ウエハ枚数に設定するステップ１７１０と、（３）各工程の処理順序群の所要ウエハ枚数に任意の重み係数を乗算した値の総和を計算し、全工程の各処理順序群の所要ウエハ枚数に設定するステップ１７１５と、（４）各工程の処理順序群の所要ウエハ枚数について多項式を作成し、全工程の各処理順序群の所要ウエハ枚数に設定するステップ１７２０とを備え、前記の４つの各処理順序群の所要ウエハ枚数設定手順の内、少なくとも1つ以上の手順を採用する手順とを設けることにより、全工程の処理順序に依存するウエハ欠損の状況に応じて必要最小限の代替のウエハを予め設定することで、過不足のない実験ウエハ枚数を見積もることができる、優れた生産管理方法を実現できるものである。
【０１６８】
なお、本実施形態にかかる生産管理方法の処理手順を記述したプログラムをコンピュータに実行させることにより、本発明の一実施形態にかかる生産管理装置を実現できることは、第１の実施形態と同様である。
【０１６９】
（第５の実施形態）
本発明の第５の実施形態は、先行工程が存在する場合のウエハ設定に関する生産管理方法である。先行工程とは、仕上がりを試験的に確認する為の試し処理である。
【０１７０】
想定する実験運用は、図３のケース２及びケース３である。
【０１７１】
以下、本発明の第５の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
【０１７２】
図２０は、本発明の第５の実施形態である、先行工程が存在する場合のウエハ番号設定手順の流れ図である。このウエハ番号設定処理は、図４のステップ４２５に対応し、図２０に示すように、各実験条件のウエハ群番号を設定するステップ１００５と、先行工程で処理する先行ウエハ番号を抽出するステップ２００５と、各先行ウエハ番号に所要ウエハ枚数を設定するステップ２０１０と、先行ウエハ番号の所要ウエハ枚数の情報を用いてウエハ群番号、ウエハ番号、実験条件番号を設定するステップ２０１５とを含む。
【０１７３】
図２１は、複数の先行工程が存在する場合の先行ウエハ番号設定ステップ（ステップ２００５）の流れ図である。図２１において、２１０５は各先行工程の先行ウエハ番号の論理和を計算し、全工程の先行ウエハ番号を設定するステップである。
【０１７４】
以上の各ステップについて、以下その動作を説明する。参照する図面は図２２、図２３、図２４である。
【０１７５】
図２２は、先行工程が存在する場合の冗長ウエハ番号設定手順の流れ図である。
【０１７６】
図２３は、先行工程が存在する場合のウエハ番号設定手順における先行ウエハ番号からウエハ番号への展開手順の流れ図である。
【０１７７】
図２４は、先行工程が存在する場合の実験計画表の設定例である。図２４において、表２４０５は全工程の工程作業指示表（フローチャート）の先行工程の先行ウエハ番号対応表であり、表２４１０は各先行ウエハ番号と冗長ウエハ番号と所要ウエハ枚数対応表であり、表２４１５は各実験条件番号と各ウエハ群番号と所要ウエハ枚数対応表であり、表２４２０は各実験条件番号と各ウエハ群番号と各ウエハ番号対応表であり、表２４２５は実験条件番号とウエハ群番号とウエハ番号を明示した実験計画表である。
［ステップ１００５］
まず、各実験条件番号（１から１８）と各ウエハ群番号（１から１８）を対応させる（表２４１５）。
［ステップ２００５］
次に、全先行工程の先行ウエハ番号を抽出する。先行工程が複数存在する場合は、図２１のように、例えば各先行工程の先行ウエハ番号の「和集合」を全先行工程の先行ウエハ番号として設定する（ステップ２１０５）。ここでは、先行ウエハ番号は１、２５である（表２４０５）。
【０１７８】
なお、先行ウエハ番号の「和集合」を設定するとは、以下のような設定方法をいう。
【０１７９】
注目する実験工程に対して複数の先行工程が存在する場合、複数の先行工程で先行ウエハ番号が同じである場合と、複数の先行工程で先行ウエハ番号が異なる場合とが存在する。複数の先行工程で先行ウエハ番号が同じである場合（例えば、複数の先行工程で先行ウエハ番号が全て“１”である場合）、全先行工程の先行ウエハ番号として“１”を設定する。複数の先行工程で先行ウエハ番号が異なる場合（例えば、ある先行工程の先行ウエハ番号が“１”、別の先行工程の先行ウエハ番号が“２”、更に別の先行工程の先行ウエハ番号が“２５”である場合）、全先行工程（この場合は３つの先行工程）の先行ウエハ番号として“１”、“２”、“２５”の３つの番号を設定する。更に、複数の先行工程で同じ先行ウエハ番号と異なる先行ウエハ番号とのどちらも存在する場合（例えば、ある先行工程の先行ウエハ番号が“１”、第２の先行工程の先行ウエハ番号が“２５”、第３の先行工程の先行ウエハ番号が“１”、第４の先行工程の先行ウエハ番号が“２”である場合）、全先行工程（この場合は４つの先行工程）の先行ウエハ番号として、“１”、“２”、“２５”の３つの番号を設定する。
［ステップ２０１０］
次に、各先行ウエハ番号の所要ウエハ枚数を計算する。
【０１８０】
詳細な手順を、図２２を参照して説明する。
【０１８１】
まず、先行ウエハ番号とウエハ群番号とを比較する（ステップ２２０５）。次に、各先行ウエハ番号に冗長ウエハ番号を設定し、所要ウエハ枚数を設定する（ステップ２２１０）。
【０１８２】
ここで、先行ウエハ番号がウエハ群番号の最小番号と等しい場合、先行ウエハ番号より１つ大きいウエハ群番号を冗長ウエハ番号と設定する（ステップ２２１５）。
【０１８３】
また、先行ウエハ番号がウエハ群番号の最小番号より大きく、かつ、ウエハ群番号の最大番号より小さい場合、先行ウエハ番号より１つ大きいウエハ群番号か、或いは、先行ウエハ番号より１つ小さいウエハ群番号を冗長ウエハ番号と設定する（ステップ２２２０）。
【０１８４】
また、先行ウエハ番号がウエハ群番号の最大番号と等しい場合、先行ウエハ番号より１つ小さいウエハ群番号を冗長ウエハ番号と設定する（ステップ２２２５）。
【０１８５】
そして、ステップ２２１５、２２２０、２２２５の各ステップについて、先行ウエハ番号と冗長ウエハ番号との合計ウエハ枚数を、所要ウエハ枚数に設定する。ここでは、先行ウエハ番号が１、２５であるから、先行ウエハ番号１の冗長ウエハ番号は２、先行ウエハ番号２５の冗長ウエハ番号は２４（ウエハ番号の最大値を２５と想定している。）であり、それぞれ、所要ウエハ枚数は２枚と設定する（ステップ２４１０）。
［ステップ２０１５］
次に、各先行ウエハ番号の所要ウエハ枚数の情報を用いて各ウエハ群番号、各ウエハ番号、各実験条件番号を設定する。
【０１８６】
詳細な手順を図２３を参照して説明する。
【０１８７】
まず、先行ウエハ番号がウエハ群番号の最大値以下か否かを判定する（ステップ２３０５、２３１０）。
【０１８８】
＜１＞先行ウエハ番号がウエハ群番号の最大値よりも大きい場合、一連の手順を終了する（ステップ２３１０：ＮＯ）。
【０１８９】
＜２＞先行ウエハ番号がウエハ群番号の最大値以下の場合、以下の手順に進む（ステップ２３１０：ＹＥＳ）。
【０１９０】
次に、先行ウエハ番号がウエハ群番号に等しいか否かを判定する（ステップ２３１５）。
【０１９１】
＜２−１＞先行ウエハ番号がウエハ群番号に等しい場合、以下の手順に進む（ステップ２３１５：ＹＥＳ）。
【０１９２】
次に、所要ウエハ枚数が各ウエハ群番号における所要ウエハ枚数の最大値以下か否かを判定する（ステップ２３２０、２３２５）。
【０１９３】
＜２−１−１＞所要ウエハ枚数が各ウエハ群番号における所要ウエハ枚数の最大値よりも大きい場合、次の先行ウエハ番号に進む（ステップ２３２５：ＮＯ：２３３５）。
【０１９４】
＜２−１−２＞所要ウエハ枚数が各ウエハ群番号における所要ウエハ枚数の最大値以下の場合、以下の手順に進む（ステップ２３２５：ＹＥＳ）。
【０１９５】
次に、先行ウエハ番号を各実験条件番号に設定し、所要ウエハ枚数をウエハ番号に設定し、所要ウエハ枚数を１つ繰り上げ、ステップ２３２５に戻る（ステップ２３３０）。
【０１９６】
以上で、先行ウエハ番号がウエハ群番号に等しい場合の手順を終了する。
【０１９７】
＜２−２＞先行ウエハ番号がウエハ群番号に等しくない場合、以下の手順に進む（ステップ２３１５：ＹＥＳ）。
【０１９８】
次に、所要ウエハ枚数を１に設定する（ステップ２３４０）。
【０１９９】
次にウエハ群番号を各実験条件番号に設定し、所要ウエハ枚数（＝１）をウエハ番号に設定し、次の先行ウエハ番号に進む（ステップ２３３５）。
【０２００】
このような手順により、ここでは、先行ウエハ番号とウエハ群番号との対応関係（ステップ２４１０、２４１５）を利用し、先行ウエハ番号（ウエハ群番号＝１）にて所要ウエハ枚数分のウエハ番号を（１、２）と展開する（ステップ２４２０）。
【０２０１】
最後に、設定した各実験条件番号、各ウエハ群番号、各ウエハ番号の情報を用いて、実験計画表のウエハ処理指示を設定する。ここでは、２枚のウエハの組み合わせである次の１組（実験条件番号、ウエハ群番号、ウエハ番号）＝｛（１、１、１）、（１、１、２）｝について、２枚共同じ実験条件を設定している（ステップ２４２５）。
【０２０２】
以上により本発明の第５の実施形態によれば、各実験条件のウエハ群番号を設定するステップと、先行工程で処理する先行ウエハ番号を抽出するステップと、各先行ウエハ番号に所要ウエハ枚数を設定するステップと、先行ウエハ番号の所要ウエハ枚数の情報を用いてウエハ群番号、ウエハ番号、実験条件番号を設定するステップとを設けることにより、先行工程用ウエハ（先行ウエハ番号＝１）について代替のウエハ（冗長ウエハ番号＝２）を予め設定する。これにより、処理履歴が異なる先行工程用ウエハ（先行ウエハ番号＝２）で測定したデータを使わずに、他の実験用ウエハと同じ処理履歴の代替ウエハ（冗長ウエハ番＝２）で測定したデータを使って解析を行うことで、実験誤差を低減できる、優れた生産管理方法を実現できるものである。
【０２０３】
更に、先行工程で処理するウエハ番号を抽出するステップ２００５において、各先行工程の先行ウエハ番号の論理和を計算し、全工程の先行ウエハ番号を設定する（ステップ２１０５）ことにより、複数の先行工程が存在する場合、必要最小限の代替のウエハを予め設定することで、過不足のない実験ウエハ枚数を見積もることができる、優れた生産管理方法を実現できるものである。
【０２０４】
また、各先行ウエハ番号に所要ウエハ枚数を設定するステップ２０１０において、先行ウエハ番号とウエハ群番号とを比較するステップ２２０５と、（１）先行ウエハ番号がウエハ群番号の最小番号と等しい場合、先行ウエハ番号より１つ大きいウエハ群番号を冗長ウエハ番号と設定するステップ２２１５と、（２）先行ウエハ番号がウエハ群番号の最小番号より大きく、かつ、ウエハ群番号の最大番号より小さい場合、先行ウエハ番号より１つ大きいウエハ群番号か、或いは、先行ウエハ番号より１つ小さいウエハ群番号を冗長ウエハ番号と設定するステップ２２２０と、（３）先行ウエハ番号がウエハ群番号の最大番号と等しい場合、先行ウエハ番号より１つ小さいウエハ群番号を冗長ウエハ番号と設定するステップ２２２５と、前記３つの冗長ウエハ番号を設定するステップ２２１５、２２２０、２２２５にて先行ウエハ番号と冗長ウエハ番号との合計ウエハ枚数を所要ウエハ枚数に設定する手順とを設けることにより、決められたアルゴリズムで代替ウエハを自動計算することで、簡単で作業ミスなく代替ウエハを設定できる、優れた生産管理方法を実現できるものである。
【０２０５】
なお、本実施形態にかかる生産管理方法の処理手順を記述したプログラムをコンピュータに実行させることにより、本発明の一実施形態にかかる生産管理装置を実現できることは、第１の実施形態と同様である。
【０２０６】
（第６の実施形態）
本発明の第６の実施形態は、単一実験工程の場合に、水準変更工数の大きい制御因子の水準変更回数を低減する場合のウエハ設定に関する生産管理方法である。
【０２０７】
想定する実験運用は、図３のケース１及びケース２である。
【０２０８】
以下、本発明の第６の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
【０２０９】
図２５は、本発明の第６の実施形態にかかるウエハ番号設定手順の流れ図である。このウエハ番号設定手順は、図４のステップ４２５に相当し、図２５に示すように、各制御因子の水準変更の所要工数を設定するステップ２５０５と、制御因子の水準変更の所要工数が降順に整列するように全制御因子を整列するステップ２５１０と、降順に整列した前記各制御因子にて、実験計画表の実験条件番号を整列するステップ２５１５と、整列後の前記実験条件番号の情報を用いてウエハ番号を設定するステップ２５２０とを有する。
【０２１０】
以下、各ステップの動作を説明する。参照する図面は図２６、図２７、図２８である。
【０２１１】
図２６は、単一の実験工程の場合の制御因子の水準変変更工数の降順整列例である。
【０２１２】
図２７は、単一の実験工程の場合の水準変更工数の大きい制御因子の水準変更回数の低減推移例である。
【０２１３】
図２８は、単一の実験工程の場合の水準変更工数の大きい制御因子の水準変更回数を低減した実験計画表の設定例である。
［ステップ２５０５］
まず、生産管理システムなどにより過去の処理実績から計算されたＣＭＰ工程の各制御因子の水準値の変更に要する所要工数を計算する（表２６０５）。
［ステップ２５１０］
次に、各制御因子の水準値の変更に要する所要工数の降順に各制御因子を整列させる。ここでは、（制御因子：所要工数）＝｛（研磨材：５）（研磨台高さ：３）（研磨位置：２）（添加材混合比：１．５）（研磨圧力：０．５）（乾燥時間：０．５）（研磨時間：０．１）（洗浄時間：０．１）｝の順に整列させる（表２６１０）。
［ステップ２５１５］
次に、実験計画表の実験条件番号を整列させる。その詳細な手順を図２７を参照して説明する。
【０２１４】
表２７０５は制御因子の水準変更の所要工数で実験条件番号を整列する前の実験計画表であり、表２７２５はその時の各制御因子の水準変更回数と各制御因子の水準変更に伴う所要工数と全制御因子の水準変更に伴う所要工数の総和（＝１９２Ｈ）である。
【０２１５】
まず、最も水準変更所要工数が大きい研磨材について、水準変更所要工数が最小になるように実験条件番号を整列させる（表２７１０）。この時の全制御因子の水準変更に伴う所要工数の総和は１１２．２Ｈとなる（表２７３０）。
【０２１６】
次に、研磨材の水準変更回数を変えることなく、２番目に水準変更所要工数が大きい研磨台高さについて、水準変更所要工数が最小になるように実験条件番号を整列させる（表２７１５）。この時の全制御因子の水準変更に伴う所要工数の総和は１０２．５となる（表２７３５）。
【０２１７】
次に、研磨材と研磨台高さの水準変更回数を変えることなく、３番目の水準変更所要工数が大きい研磨位置について、水準変更所要工数が最小になるように実験条件番号を整列させる（表２７２０）。この時の全制御因子の水準変更に伴う所要工数の総和は９８Ｈとなり、実験条件番号の整列前の１／２以下まで短縮している（表２７４０）。
【０２１８】
研磨材と研磨台高さと研磨位置の水準変更回数を変えることなく、４番目の水準変更所要工数が大きい添加剤混合比について、水準変更所要工数が最小になるように実験条件番号を整列させることができないので（表２７２０）、実験条件番号の整列を停止させる。
［ステップ２５２０］
次に、整列後の実験条件番号に対応するウエハ番号の情報を用いて各ウエハ番号、各実験条件番号、各処理順序番号を設定する。ここでは、（実験条件番号：ウエハ番号：処理順序番号）＝｛（１、１、１）（９、２、２）（１２、３、３）（５、４、４）（１４、５、５）（１５、６、６）（１６、７、７）（１７、８、８）（２、９、９）（７、１０、１０）（１０、１１、１１）（６、１２、１２）（１１、１３、１３）（４、１４、１４）（１３、１５、１５）（１８、１６、１６）（３、１７、１７）（８、１８、１８）｝となる（２８０５、２８１０）。
【０２１９】
以上により本発明の第６の実施形態によれば、各制御因子の水準変更の所要工数を設定するステップと、制御因子の水準変更の所要工数が降順に整列するように全制御因子を整列するステップと、降順に整列した前記各制御因子にて、実験計画表の実験条件番号を整列するステップと、整列後の前記実験条件番号の情報を用いてウエハ番号を設定するステップとを設けることにより、事前の製造装置等の準備や事後の製造装置等の保守等の工数を少なくするようにウエハの処理順序を整列することで、例えば、図２７に示すようにＣＭＰ工程の水準変更所要工数が１９２Ｈから９８Ｈへと１／２以下まで短縮でき、ひいては実験のTATを短縮できる、優れた生産管理方法を実現できるものである。
【０２２０】
次に、想定する実験運用が図３に示すケース３のような複数の実験工程の場合について、図面を参照しながら説明する。
【０２２１】
図２９は、複数の実験工程の場合の水準変更工数の大きい制御因子の水準変更回数を低減する場合のウエハ番号設定手順の流れ図である。
【０２２２】
図２９において、２５０５は各制御因子の水準変更の所要工数を設定するステップであり、２９０５は各実験工程にて、制御因子の水準変更の所要工数が降順に整列するように制御因子を整列するステップであり、２９１０は各実験工程にて、降順に整列した前記各制御因子にて、実験計画表の実験条件番号とウエハ番号を整列するステップであり、２９１５は整列後の前記実験条件番号と前記ウエハ番号の情報を用いて処置順序番号を設定するステップである。
【０２２３】
以上の各ステップについて、以下その動作を説明する。参照する図面は図３０、図３１、図３２である。
【０２２４】
図３０は、複数の実験工程の場合の各工程の制御因子の水準変変更工数の降順整列例である。
【０２２５】
図３１は、複数の実験工程の場合の水準変更工数の大きい制御因子の水準変更回数の低減推移例である。
【０２２６】
図３２は、複数の実験工程の場合の水準変更工数の大きい制御因子の水準変更回数を低減した実験計画表の設定例である。
【０２２７】
図３３は、複数の実験工程の場合の水準変更工数の大きい制御因子の水準変更回数を低減した実験計画表の設定例である。
［ステップ２５０５］
まず、生産管理システムなどにより過去の処理実績から計算された複数の実験工程の各制御因子の水準値の変更に要する所要工数を計算する（表３００５）。
［ステップ２９０５］
次に、各制御因子の水準値の変更に要する所要工数の降順に各実験工程にて各制御因子を整列させる。ここでは、（実験工程：制御因子：所要工数）＝｛（ウェット処理：処理時間：０．１）｝｛（注入工程：イオン種：２）（注入工程：エネルギー：０．５）｝｛（熱処理工程：処理温度：３）｝｛（ＣＶＤ工程：処理温度：０．１）｝｛（スパッタ工程：電極材料：５）（スパッタ工程：ガス種類：１．５）（スパッタ工程：処理温度：０．５）｝の順に各実験工程内で整列させる（表３０１０）。
［ステップ２５１５］
次に、実験計画表の実験工程毎の実験条件番号を整列させる。詳細な手順を図３１を参照して説明する。
【０２２８】
表３１０５は制御因子の水準変更の所要工数で実験条件番号を整列する前の全実験工程の実験計画表であり、表３１３５はその時の各実験工程の各制御因子の水準変更回数と各制御因子の水準変更に伴う所要工数と全実験工程の全制御因子の水準変更に伴う所要工数の総和（＝１９２Ｈ）である。
【０２２９】
表３１１０、３１１５、３１２０、３１２５、３１３０は各実験工程にて最終的に水準変更所要工数を最小になるように実験条件番号を整列させた状態を示している。そして、表３１４０、３１４５、３１５０、３１５５、３１６０はその時の全実験工程の全制御因子の水準変更に伴う所要工数の総和（＝１０．４Ｈ）を示している。
【０２３０】
ここで、ウェット処理工程の制御因子（処理時間）の水準変更回数は１回で、水準変更所要工数は０．１Ｈであり（表３１１０、３１４０）、注入工程の制御因子（イオン種、エネルギー）の各水準変更回数は（８、２＝合計１０）回で、水準変更所要工数は１．８Ｈであり（表３１１５、３１４５）、熱処理工程の制御因子（処理温度）の水準変更回数は２回で、水準変更所要工数は０．２Ｈであり（表３１２０、３１５０）、ＣＶＤ工程の制御因子（処理温度）の水準変更回数Ｈが２回で、水準変更所要工数は０．２Ｈであり（表３１２５、３１５５）、スパッタ工程の制御因子（電極材料、ガス種類、処理温度）の水準変更回数は（１１、２、８＝合計２１）回で、水準変更所要工数は８．１Ｈである（表３１３０、３１６０）。
［ステップ２９１５］
次に、整列後の各実験工低の実験条件番号に対応するウエハ番号の情報を用いて各ウエハ番号、各実験条件番号、各処理順序番号を設定する。ここでは、代表例としてスパッタ工程の場合を示す。（実験条件番号：ウエハ番号：処理順序番号）＝｛（１、１、１）（５、５、２）（１１６、１６、３）（９、９、４）（１４、１４、５）（１２、１２、６）（１５、１５、７）（１０、１０、８）（２、２、９）（６、６、１０）（１７、１７、１１）（７、７、１２）（１８、１８、１３）（８、８、１４）（１３、１３、１５）（１１、１１、１６）（３、３、１７）（４、４、１８）｝となる（表３２０５、３２１０）。
【０２３１】
最後に、作成した実験計画表に実験工程（ここでは工程順序番号：工程名＝９：ウェット処理工程、１５：注入工程、２０：熱処理工程、２５：ＣＶＤ工程、２９：スパッタ工程）を設定し、実験計画表（表９２０、８２５、９３０、９３５、９４０）を作成し、複数の実験工程として工程順序番号：工程名＝９：ウェット処理工程、１５：注入工程、２０：熱処理工程、２５：ＣＶＤ工程、２９：スパッタ工程を含む工程作業指示表（フローチャート）と紐付けする。
【０２３２】
以上により本発明の第６の実施形態の複数の実験工程の場合によれば、各制御因子の水準変更の所要工数を設定するステップと、各実験工程にて、制御因子の水準変更の所要工数が降順に整列するように制御因子を整列するステップと、各実験工程にて、降順に整列した前記各制御因子にて、実験計画表の実験条件番号とウエハ番号を整列するステップと、整列後の前記実験条件番号と前記ウエハ番号の情報を用いて処置順序番号を設定するステップとを設けることにより、複数の実験に亘る複雑な実験において、事前の製造装置等の準備や事後の製造装置等の保守等の工数を少なくするように各工程のウエハの処理順序を整列することで、例えば、図３１に示すようにウェット処理工程、注入工程、熱処理工程、ＣＶＤ工程、スパッタ工程の各制御因子の水準変更所要工数の総和が１９２Ｈから１０．４Ｈへと１／１０以下まで大幅に短縮でき、ひいては実験のTATを大幅に短縮できる、優れた生産管理方法を実現できるものである。
【０２３３】
なお、本実施形態にかかる生産管理方法の処理手順を記述したプログラムをコンピュータに実行させることにより、本発明の一実施形態にかかる生産管理装置を実現できることは、第１の実施形態と同様である。
【０２３４】
なお、以上の全ての実施形態において、ウエハ欠損率と所要ウエハ枚数の対応を（ウエハ欠損率：所要ウエハ枚数）＝｛（＜０．５：１）（０．５≦：２）｝と定義して説明したが、ウエハの処理履歴に応じてウエハ欠損率や所要ウエハ枚数について他の数値を用いて説明しても良い。
【０２３５】
なお、以上の全ての実施形態において、ウエハ処理指示の記号を黒丸で標記して説明したが、判別し易い他の記号を用いて説明しても良い。
【０２３６】
なお、以上の全ての発明において、実施形態の適用例として半導体の生産ラインを用いて説明したが、他の任意の分野の生産ラインを用いて説明しても良い。
【産業上の利用可能性】
【０２３７】
本発明の生産管理装置および方法は、実験計画からミスを排除し、代替ウエハを有効活用して実験誤差を低減でき、実験のTATを短縮することができるものであり、実験計画に従って実験条件をワーク（例えば、半導体ウエハ）に設定する生産管理装置および方法として有効である。
【図面の簡単な説明】
【０２３８】
【図１】本発明の全実施形態の生産管理方法における実験配列一覧定義表及び実験配列定義表
【図２】本発明の全実施形態の生産管理方法におけるウエハ欠損所要ウエハ枚数定義表及びウエハ処理表示記号定義表
【図３】本発明の全実施形態の生産管理方法における実験運用例を示す図
【図４】本発明の第1の実施形態である単一実験工程の場合の生産管理方法の流れ図
【図５】本発明の第２の実施形態である複数実験工程の場合の生産管理方法の流れ図
【図６】制御因子数を用いた実験配列表の抽出手順の流れ図
【図７】制御因子数を用いた実験計画表の設定例を示す図
【図８】実験計画表のウエハ処理設定例を示す図
【図９】実験計画表の表示例を示す図
【図１０】本発明の第３の実施形態である単一実験工程の場合の実験条件に依存するウエハ欠損時のウエハ番号設定手順の流れ図
【図１１】複数実験工程の場合の実験条件に依存するウエハ欠損時のウエハ番号設定手順の流れ図
【図１２】複数実験工程の場合の実験条件に依存するウエハ欠損時の所要ウエハ枚数設定手順の流れ図
【図１３】実験条件に依存するウエハ欠損時のウエハ番号設定手順におけるウエハ群番号からウエハ番号への展開手順の流れ図
【図１４】単一実験工程の場合の実験条件に依存するウエハ欠損時の実験計画表の設定例を示す図
【図１５】本発明の第４の実施形態である単一工程の場合の処理順序に依存するウエハ欠損時のウエハ番号設定手順の流れ図
【図１６】複数工程の場合の処理順序に依存するウエハ欠損時のウエハ番号設定手順の流れ図
【図１７】複数工程の場合の処理順序に依存するウエハ欠損時の所要ウエハ枚数設定手順の流れ図
【図１８】処理順序に依存するウエハ欠損時のウエハ番号設定手順における処理順序群からウエハ番号への展開手順の流れ図
【図１９】単一工程の場合の処理順序に依存するウエハ欠損時の実験計画表の設定例を示す図
【図２０】本発明の第５の実施形態である先行工程が存在する場合のウエハ番号設定手順の流れ図
【図２１】複数の先行工程が存在する場合の先行ウエハ番号設定手順の流れ図
【図２２】先行工程が存在する場合の冗長ウエハ番号設定手順の流れ図
【図２３】先行工程が存在する場合のウエハ番号設定手順における先行ウエハ番号からウエハ番号への展開手順の流れ図
【図２４】先行工程が存在する場合の実験計画表の設定例を示す図
【図２５】本発明の第６の実施形態である単一の実験工程の場合の水準変更工数の大きい制御因子の水準変更回数を低減する場合のウエハ番号設定手順の流れ図
【図２６】単一の実験工程の場合の制御因子の水準変変更工数の降順整列例を示す図
【図２７】単一の実験工程の場合の水準変更工数の大きい制御因子の水準変更回数の低減推移例を示す図
【図２８】単一の実験工程の場合の水準変更工数の大きい制御因子の水準変更回数を低減した実験計画表の設定例を示す図
【図２９】複数の実験工程の場合の水準変更工数の大きい制御因子の水準変更回数を低減する場合のウエハ番号設定手順の流れ図
【図３０】複数の実験工程の場合の各工程の制御因子の水準変変更工数の降順整列例を示す図
【図３１】複数の実験工程の場合の水準変更工数の大きい制御因子の水準変更回数の低減推移例を示す図
【図３２】複数の実験工程の場合の水準変更工数の大きい制御因子の水準変更回数を低減した実験計画表の設定例を示す図
【図３３】複数の実験工程の場合の水準変更工数の大きい制御因子の水準変更回数を低減した実験計画表の設定例を示す図
【図３４】本発明の一実施形態にかかる生産管理装置の構成を示すブロック図
【図３５】従来の生産管理方法の流れ図
【符号の説明】
【０２３９】
１      生産管理装置
２      ＣＩＭシステム
１１    入力部
１２    演算処理部
１３    プログラム記憶部
１４    データ記憶部
２１    ＣＩＭデータベース
２２    ＣＩＭ制御装置
２３    通信回線
２４    製造装置
４０５  実験条件の項目である制御因子と実験条件の値である水準値を設定するステップ
４１０  制御因子の個数を計算するステップ
４１５  予め登録された実験配列表の中から制御因子数を属性に持つ実験配列表を選択するステップ
４２０  実験配列表へ制御因子と水準値を設定するステップ
４２５  実験計画表の各実験条件へウエハ番号を設定するステップ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2005122309.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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