(57)【要約】【課題】  吐出ノズルに微少量の液体を充填することができる液体充填方法および液体充填装置を提供すること。【解決手段】  容器２０の液貯め部１２に供給さした吐出液１９の中に、シリコーンオイル２２を充填した吐出ノズル２０の先端２０ａを浸漬する。そして、コントローラ３０が、レギュレータ１４，２４を操作して、容器加圧系１１とノズル加圧系２１との間に所定の圧力差（０．５ＭＰａ）を発生させる。この状態で、コントローラ３０は、バルブ１６，２６を２０ｍｓｅｃだけ開く。これにより、容器１０と吐出ノズル２０とに差圧（０．５ＭＰａ）が付与されるため、液貯め部１２に存在する吐出液１８が吐出ノズル２０の先端２０ａに約１０ｎＬだけ充填される。【選択図】            図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
吐出液を充填する液体充填方法であって、
吐出ノズルに作動流体を予め充填し、
液貯め部に満たされた吐出液の中に前記吐出ノズルの先端を浸漬するとともに、前記液貯め部を密閉し、
前記液貯め部と前記吐出ノズルとに差圧を付与することにより、前記作動流体と前記吐出液との界面を保持した状態で前記吐出ノズルに微少量の吐出液を充填することを特徴とする液体充填方法。
【請求項２】
吐出液を充填する液体充填方法であって、
吐出ノズルに作動流体を予め充填し、
液貯め部に満たされた吐出液の中に前記吐出ノズルの先端を浸漬するとともに、前記液貯め部を密閉し、
前記液貯め部と前記吐出ノズルとにそれぞれ異なる大きさの圧力をかけて差圧を付与することにより、前記作動流体と前記吐出液との界面を保持した状態で前記吐出ノズルに微少量の吐出液を充填することを特徴とする液体充填方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載する液体充填方法において、
前記差圧の大きさと前記差圧の付与時間とにより、前記吐出ノズルへの充填量を管理することを特徴とする液体充填方法。
【請求項４】
請求項１から請求項３に記載するいずれか１つの液体充填方法において、
前記作動流体に、水またはシリコーンオイルを使用することを特徴とする液体充填方法。
【請求項５】
請求項１から請求項４に記載するいずれか１つの液体充填方法において、
前記圧力差を０．１ＭＰａ以下に設定することを特徴とする液体充填方法。
【請求項６】
吐出液を充填する液体充填装置であって、
作動流体が予め充填された吐出ノズルと、
前記吐出ノズルに所定の圧力を加えるノズル加圧手段と、
吐出液を一時的に貯留する液貯め部が形成された充填容器と、
前記充填容器に所定の圧力を加える容器加圧手段と、
前記吐出ノズルを前記充填容器に装着した際に前記充填容器を密閉するシール部材と、
前記吐出ノズルの先端が前記液貯め部に満たされた吐出液の中に浸漬されるように、前記吐出ノズルを前記充填容器に装着した状態で、前記ノズル加圧手段と前記容器加圧手段とを制御して前記充填容器内と前記吐出ノズル内とに差圧を発生させる制御手段と、
を有することを特徴とする液体充填装置。
【請求項７】
請求項６に記載する液体充填装置において、
前記制御手段は、前記差圧の大きさと前記差圧の付与時間とにより、前記吐出ノズルへの吐出液の充填量を管理するものであることを特徴とする液体充填装置。
【請求項８】
請求項６または請求項７に記載する液体充填装置において、
前記吐出バルブには、作動流体として水またはシリコーンオイルが充填されていることを特徴とする液体充填装置。
【請求項９】
請求項６から請求項８に記載するいずれか１つの液体充填装置において、
前記制御手段は、前記圧力差を０．１ＭＰａ以下に設定するものであることを特徴とする液体充填装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微少量の液体を吐出する吐出ノズルに吐出液を充填する液体充填方法および液体充填装置に関する。特に、本発明に係る液体充填方法および液体充填装置は、バイオチッププレートに形成された複数のウェルに対して微少量の液体を吐出する吐出ノズルへの液体充填に好適なものである。
【背景技術】
【０００２】
マトリクス状に複数のウェル（典型的には８×１２＝９６ウェル）が形成されたバイオチッププレートに対して一定微量の液体を供給する供給装置として、例えば、非特許文献１に記載されたものがある。
【０００３】
この供給装置では、複数のエアオペレート式の定量吐出バルブを一列に並べ、各吐出バルブの吐出口にチューブを接続し、そのチューブの先端をバイオチッププレートのウェル上に配置している。そして、液体供給タンクから各吐出バルブに吐出する液体を圧送して所定量の液体を吐出バルブ内に充填する。また、各吐出バルブに対してそれぞれの専用コントローラが設けられている。そして、各専用コントローラにより各吐出バルブの動作を制御し、各吐出バルブに充填された液体を各吐出バルブからウェルに対して吐出するようなっている。
【０００４】
【非特許文献１】武蔵エンジニアリング（株）カタログ「液体精密定量吐出用パーツアクセサリ＆バルブ／タンクカタログＶＯＬ２」  第１９，２３頁
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記した従来技術では、液体供給タンクから液体が圧送され吐出ノズルに充填されている。ここで、吐出ノズルから吐出される液体の量は微少量である。このため、吐出ノズル内に充填された液体はすべて吐出されることはなく、吐出ノズル内に残留してしまう。また、液体供給タンクからの配管内にも液体が残留してしまう。そして、これら残留した液体は廃棄されている。ところが、バイオチッププレートのウェルに吐出する液体は非常に高価なものであるため非常に不経済である。このようなことから、バイオチッププレートのウェルに対する吐出量だけの液体を、吐出ノズルに充填させたいという要望がある。
【０００６】
そこで、本発明は上記した課題を解決するためになされたものであり、吐出ノズルに微少量の液体を充填することができる液体充填方法および液体充填装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するためになされた本発明に係る液体充填方法は、吐出液を充填する液体充填方法であって、吐出ノズルに作動流体を予め充填し、液貯め部に満たされた吐出液の中に前記吐出ノズルの先端を浸漬するとともに、前記液貯め部を密閉し、前記液貯め部と前記吐出ノズルとに差圧を付与することにより、前記作動流体と前記吐出液との界面を保持した状態で前記吐出ノズルに微少量の吐出液を充填することを特徴とする。
【０００８】
この液体充填方法では、まず、吐出ノズルに作動流体を予め充填しておく。そして、液貯め部に満たされた吐出液の中に、作動流体が充填された吐出ノズルの先端を浸漬するとともに液貯め部を密閉する。その後、液貯め部と吐出ノズルとに差圧を付与する。つまり、液貯め部内の圧力が吐出ノズル内の圧力よりも大きくなるように差圧を付与するのである。これにより、液貯め部の吐出液が吐出ノズルに充填される。このとき、吐出ノズル内の作動流体と吐出液との界面が保持されている。
【０００９】
このように、この液体充填方法では、ノズルの先端から吐出液を充填するので、吐出に必要な微少量の液体を吐出ノズルに充填することができる。したがって、吐出液を吐出した後に吐出ノズル内に吐出液が残留することもないし、また、従来のように液体供給タンクからの配管もないため配管内に残留する吐出液もない。このため、廃棄される吐出液をほとんど無くすことができる。
【００１０】
上記課題を解決するためになされた本発明に係る別の液体充填方法は、吐出液を充填する液体充填方法であって、吐出ノズルに作動流体を予め充填し、液貯め部に満たされた吐出液の中に前記吐出ノズルの先端を浸漬するとともに、前記液貯め部を密閉し、前記液貯め部と前記吐出ノズルとにそれぞれ異なる大きさの圧力をかけて差圧を付与することにより、前記作動流体と前記吐出液との界面を保持した状態で前記吐出ノズルに微少量の吐出液を充填することを特徴とする。
【００１１】
この液体充填方法では、まず、吐出ノズルに作動流体を予め充填しておく。そして、液貯め部に満たされた吐出液の中に、作動流体が充填された吐出ノズルの先端を浸漬するとともに液貯め部を密閉する。その後、液貯め部と吐出ノズルとにそれぞれ異なる大きさの圧力をかけて差圧を付与する。つまり、液貯め部内の圧力が吐出ノズル内の圧力よりも大きくなるように差圧を付与するのである。これにより、液貯め部の吐出液が吐出ノズルに充填される。このとき、吐出ノズルおよび充填容器ともに加圧下にあるため、吐出ノズル内の作動流体と吐出液との界面がより確実に保持されている。つまり、吐出ノズル内の作動流体と吐出液とが混合しない。
【００１２】
このように、この液体充填方法では、ノズルの先端から吐出液を充填するので、吐出に必要な微少量の液体を吐出ノズルに充填することができる。したがって、吐出液を吐出した後に吐出ノズル内に吐出液が残留することもないし、また、従来のように液体供給タンクからの配管もないため配管内に残留する吐出液もない。このため、廃棄される吐出液をほとんど無くすことができる。
【００１３】
そして、本発明に係る液体充填方法においては、前記差圧の大きさと前記差圧の付与時間とにより、前記吐出ノズルへの充填量を管理するようにすればよい。
【００１４】
ここで、吐出ノズルを流れる吐出液の流速Ｕ［ｍ／ｓ］は、
Ｕ＝（ｄ2 ／１６μ）・（ΔＰ／ｌ）
と表せる。なお、ｄ：吐出ノズルの内径［ｍ］、μ：吐出液の粘度［Ｐａ・ｓ］、ΔＰ：差圧［Ｐａ］、ｌ：吐出ノズルの長さ［ｍ］である。
【００１５】
そして、吐出ノズルの断面積をＳ［ｍ2 ］とすると、吐出ノズルを流れる吐出液の流量Ｑ［ｍ3 ／ｓ］は、
Ｑ＝Ｕ・Ｓ
と表せる。
【００１６】
したがって、吐出ノズルへの充填量Ｊ［ｍ2 ］は、差圧ΔＰの付与時間Ｔ［ｓ］とするとすると、
Ｊ＝Ｑ・Ｔ
と表せる。
【００１７】
よって、付与する圧力差ΔＰが決まれば流速Ｕが定まり、吐出ノズルの断面積Ｓは既知であるから、流量Ｑを算出することができる。そして、差圧ΔＰの付与時間Ｔを決めれば、吐出ノズルへの充填量Ｊを算出することができる。つまり、吐出ノズルへの充填量Ｊは、差圧ΔＰの大きさと差圧の付与時間Ｔとにより管理することができるのである。
【００１８】
また、本発明に係る液体充填方法においては、前記作動流体に、水またはシリコーンオイルを使用することが望ましい。
【００１９】
作動流体は、水やシリコーンオイル以外の液体あるいは空気などの気体であっても良いが、水またはシリコーンオイルを使用することにより、吐出液と作動流体との混合を確実に防止することができる。これにより、吐出ノズルへの充填量を精度よく管理することができる。
【００２０】
また、本発明に係る液体充填方法においては、前記圧力差を０．１ＭＰａ以下に設定することが望ましい。
【００２１】
こうすることにより、精度よく吐出ノズルへ微少量の吐出液を充填することができるからである。つまり、圧力差を０．１ＭＰａよりも大きくすると、吐出ノズルへの充填精度が低下、つまり充填量がばらつくため、圧力差を０．１ＭＰａ以下に設定するのがよいのである。
【００２２】
上記課題を解決するためになされた本発明に係る液体充填装置は、吐出液を充填する液体充填装置であって、作動流体が予め充填された吐出ノズルと、前記吐出ノズルに所定の圧力を加えるノズル加圧手段と、吐出液を一時的に貯留する液貯め部が形成された充填容器と、前記充填容器に所定の圧力を加える容器加圧手段と、前記吐出ノズルを前記充填容器に装着した際に前記充填容器を密閉するシール部材と、前記吐出ノズルの先端が前記液貯め部に満たされた吐出液の中に浸漬されるように、前記吐出ノズルを前記充填容器に装着した状態で、前記ノズル加圧手段と前記容器加圧手段とを制御して前記充填容器内と前記吐出ノズル内とに差圧を発生させる制御手段と、を有することを特徴とするものである。
【００２３】
この液体充填装置では、まず、予め作動流体が充填された吐出ノズルの先端が液貯め部に満たされた吐出液の中に浸漬されるように、吐出ノズルが充填容器に装着される。そうすると、シール部材により、充填容器は密閉状態となる。そして、ノズル加圧手段によって吐出ノズルに所定の圧力が加えられる。また、容器加圧手段によって充填容器に所定の圧力が加えられる。このとき、制御手段により、ノズル加圧手段と容器加圧手段とが制御されて充填容器内と吐出ノズル内とに差圧が付与される。つまり、制御手段によって、液貯め部内の圧力が吐出ノズル内の圧力よりも大きくなるように差圧を付与するのである。これにより、液貯め部の吐出液が吐出ノズルに充填される。このとき、吐出ノズルおよび充填容器ともに加圧下にあるため、吐出ノズル内の作動流体と吐出液とが混合することはない。
【００２４】
このように、この液体充填装置では、ノズルの先端から吐出液を充填するので、吐出液を無駄にすることなく、また吐出に必要な微少量の液体を吐出ノズルに充填することができる。したがって、吐出液を吐出した後に吐出ノズル内に吐出液が残留することもないし、また、従来のように液体供給タンクからの配管もないため配管内に残留する吐出液もない。このため、廃棄される吐出液をほとんど無くすことができる。
【００２５】
本発明に係る液体充填装置においては、前記制御手段は、前記差圧の大きさと前記差圧の付与時間とにより、前記吐出ノズルへの吐出液の充填量を管理するものであることが望ましい。
【００２６】
上記したように、付与する圧力差ΔＰが決まれば流速Ｕが定まり、吐出ノズルの断面積Ｓは既知であるから、流量Ｑを算出することができる。そして、差圧ΔＰの付与時間Ｔを決めれば、吐出ノズルへの充填量Ｊを算出することができる。つまり、吐出ノズルへの充填量Ｊは、差圧ΔＰの大きさと差圧の付与時間Ｔとにより、吐出ノズルへの充填量Ｊを管理することができる。したがって、この液体充填装置では、制御手段により、前記差圧の大きさと前記差圧の付与時間とを最適に制御することにより、吐出ノズルへの吐出液の充填量を高精度に管理することができる。
【００２７】
また、本発明に係る液体充填装置においては、前記吐出バルブには、作動流体として水またはシリコーンオイルが充填されていることが望ましい。
【００２８】
こうすることにより、吐出液と作動流体との混合を防止することができ、吐出ノズルへの充填量を精度よく管理することができるからである。
【００２９】
また、本発明に係る液体充填装置においては、前記制御手段は、前記圧力差を０．１ＭＰａ以下に設定するものであることが望ましい。
【００３０】
こうすることにより、精度よく吐出ノズルへ微少量の吐出液を充填することができるからである。つまり、圧力差を０．１ＭＰａよりも大きくすると、吐出ノズルへの充填精度が低下、つまり充填量がばらつくため、圧力差を０．１ＭＰａ以下に設定するのがよいのである。
【発明の効果】
【００３１】
本発明に係る液体充填方法および液体充填装置によれば、液貯め部と吐出ノズルとの間に差圧を付与して、液貯め部に貯留された吐出液を吐出ノズルの先端から充填するので、吐出ノズルに微少量の液体を充填することができる。これにより、吐出ノズルや配管に残留する吐出液をほとんど無くすことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
次に、本発明に係る液体充填方法および液体充填装置の一実施の形態について図面を参照しながら以下に説明する。そこでまず、液体充填方法を実行するための液体充填装置の概略構成を図１に示す。なお、図１は、吐出ノズルを容器に装着した状態を示している。この液体充填装置には、図１に示すように、容器１０と、吐出ノズル２０と、容器加圧系１１と、ノズル加圧系２１と、コントローラ３０とが備わっている。
【００３３】
容器１０には、吐出液を一時的に貯留するための液貯め部１２が形成されている。
この液貯め部１２には、容器加圧系１１が接続されている。この容器加圧系１１には、圧力源１３と、レギュレータ１４と、圧力計１５と、バルブ１６とが設けられている。これにより、圧力源１３の圧力がレギュレータ１４によって調圧され、バルブ１６の開閉によりその調圧された圧力で、容器１０（液貯め部１２）内を加圧するようになっている。
【００３４】
また、容器１０の上面（吐出ノズル２０が装着される面）には、Ｏリング１７が設けられている。これにより、容器１０に吐出ノズル１０が装着されると、容器１０内が密閉されるようになっている。
【００３５】
一方、吐出ノズル２０には、作動流体であるシリコーンオイル２２が予め充填されている。そして、この吐出ノズル２０にノズル加圧系２１が接続されている。このノズル加圧系２１には、圧力源２３と、レギュレータ２４と、圧力計２５と、バルブ２６とが設けられている。これにより、圧力源２３の圧力がレギュレータ２４によって調圧され、バルブ２６の開閉によりその調圧された圧力で、吐出ノズル２０内を加圧するようになっている。また、この吐出ノズル２０の長さは、容器１０に装着した際、その先端２０ａが液貯め部１２の底部（円錐部の頂点から高さｈ（図２参照）の位置）に位置するように設定されている。なお、本実施の形態における吐出ノズル２０は、外径が１９０μｍ、内径が１２０μｍ、長さが１４ｍｍとなっている。
【００３６】
そして、コントローラ３０には、レギュレータ１４，２４と、圧力計１５，２５と、バルブ１６，２６とが接続されている。これにより、コントローラ３０は、圧力計１５，１６からの入力信号に基づき、レギュレータ１４，２４を制御して、容器加圧系１１とノズル加圧系２１との間に所定の差圧（Ｐ１−Ｐ２）を生じさせるようになっている。なお、差圧は、０．１ＭＰａ以下に設定される。そして、コントローラ３０は、バルブ１６，２６の開閉を制御して、上記の差圧を付与する時間を調整し、吐出ノズル２０の先端２０ａへ充填する吐出液の量を管理するようになっている。なお、バルブ１６，２６は、数ｍｓｅｃで応答するようなっている。
【００３７】
次に、上記した液体充填装置を用いた充填方法について、図２〜図４を参照しながら説明する。図２は、容器に吐出液を供給した状態を示す図である。図３は、吐出ノズルを容器に装着した状態を示す図である。図４は、吐出ノズルに吐出液を充填した状態を示す図である。
【００３８】
まず、図２に示すように、吐出ノズル２０に充填する吐出液１８を容器１０の液貯め部１２に供給する。この吐出液１８の供給は図示しないディスペンサなどによって行われる。ここで、液貯め部１２への吐出液１８の供給量は、吐出ノズル２０への充填量（１ショット（吐出）当たりの吐出量にショット数を乗じたもの）より若干多い。液貯め部１２の底部は円錐形状になっており、この部分に溜まる吐出液は吐出ノズルに充填することができないからである。
【００３９】
例えば、吐出ノズル２０に対する１回の充填量が１０ｎＬであり、１００回の吐出（１００ショット）を行う場合であれば、液貯め部１２への吐出液１８の充填量は、１００＋ΔＶ［μＬ］となる。なお、ΔＶは液貯め部１２の円錐部の体積であり、ΔＶ＝π・（ｄ／２）2 ・ｈ／３である。そして、液貯め部１２の直径ｄおよび円錐部の高さｈは既知であるので、液貯め部１２への吐出液１８の充填量を算出することができる。
【００４０】
容器２０の液貯め部１２への吐出液１８の供給が終了すると、図３示すように、容器２０に吐出ノズル２０が装着される。これにより、Ｏリング１７が押し潰されて容器２０が密閉される。そして、吐出ノズル２０の先端２０ａが吐出液１８内に浸漬する。
【００４１】
その後、コントローラ３０は、レギュレータ１４，２４を操作して、容器加圧系１１とノズル加圧系２１との間に所定の圧力差を生じさせる。本実施の形態では、容器加圧系１１がノズル加圧系２１よりも０．５ＭＰａ高くなるように圧力差を生じさせている。そして、コントローラ３０により、バルブ１６，２６が開かれる。これにより、容器１０と吐出ノズル２０とに差圧（０．５ＭＰａ）が付与される。この差圧により、液貯め部１２に存在する吐出液１８は、図４に示すように、吐出ノズル２０の先端２０ａに充填される。そして、吐出ノズル２０には予めシリコーンオイル２２が充填されているので、吐出液と混合することなく充填量を精度よく管理することができる。
【００４２】
このように、吐出ノズル２０の先端２０ａから吐出液１８を充填するので、吐出に必要な微少量の液体を吐出ノズル２０に充填することができる。このため、吐出液１８を吐出した後に吐出ノズル２０内に吐出液１８が残留することもないし、また、従来のように液体供給タンクからの配管もないため配管内に残留する吐出液もない。したがって、廃棄される吐出液１８をほとんど無くすことができる。
【００４３】
ここで、吐出ノズル２０への吐出液１８の充填量は、容器１０と吐出ノズル２０との間に付与される差圧（Ｐ１ーＰ２）と、その差圧を付与する時間で決定される。つまり、差圧ΔＰ＝Ｐ１−Ｐ２と、バルブ１６，２６の開弁時間Ｔで吐出ノズル２０への吐出液１８の充填量を管理することができる。
【００４４】
ここで、吐出ノズル２０を流れる吐出液１８の流速Ｕ［ｍ／ｓ］は、
Ｕ＝（ｄ2 ／１６μ）・（ΔＰ／ｌ）
と表せる。なお、ｄ：吐出ノズル２０の内径［ｍ］、μ：吐出液１８の粘度［Ｐａ・ｓ］、ΔＰ：差圧［Ｐａ］、ｌ：吐出ノズル１８の長さ［ｍ］である。
【００４５】
そして、吐出ノズル１８の断面積をＳ［ｍ2 ］とすると、吐出ノズル２０を流れる吐出液１８の流量Ｑ［ｍ3 ／ｓ］は、
Ｑ＝Ｕ・Ｓ
と表せる。
【００４６】
したがって、吐出ノズル２０への充填量Ｊ［ｍ2 ］は、差圧ΔＰの付与時間Ｔ［ｓ］とするとすると、
Ｊ＝Ｑ・Ｔ
と表せる。
【００４７】
よって、付与する圧力差ΔＰが決まれば流速Ｕが定まり、吐出ノズル２０の断面積Ｓは既知であるから、流量Ｑを算出することができる。そして、差圧ΔＰの付与時間Ｔを決めれば、吐出ノズル２０への充填量Ｊを算出することができる。つまり、吐出ノズル２０への充填量Ｊは、差圧ΔＰの大きさと差圧の付与時間Ｔとにより管理することができるのである。
【００４８】
そして、本実施の形態では、コントローラ３０は、バルブ１６，２６を２０ｍｓｅｃ開弁させて、差圧０．５ＭＰａを付与する。これにより、吐出ノズル２０の先端２０ａに約１０ｎＬの吐出液１８が充填される。その後、吐出ノズル２０が容器１０から外されて、バイオチッププレートのウェルに対して吐出ノズル２０から吐出液１８が吐出される。
【００４９】
以上、詳細に説明したように本実施の形態に係る液体充填装置によれば、容器２０の液貯め部１２に供給された吐出液１９の中に、シリコーンオイル２２が充填された吐出ノズル２０の先端２０ａが浸漬される。そして、コントローラ３０により、レギュレータ１４，２４が操作されて、容器加圧系１１とノズル加圧系２１との間に所定の圧力差（０．５ＭＰａ）が発生する。この状態で、コントローラ３０により、バルブ１６，２６が２０ｍｓｅｃだけ開かれる。これにより、容器１０と吐出ノズル２０とに差圧（０．５ＭＰａ）が付与されるため、液貯め部１２に存在する吐出液１８が吐出ノズル２０の先端２０ａに約１０ｎＬだけ充填される。
【００５０】
このように、本実施の形態に係る液体充填装置では、吐出ノズル２０の先端２０ａから吐出液１８を充填するので、吐出に必要な１０ｎＬの吐出液を吐出ノズル２０に充填することができる。このため、吐出液１８を吐出した後に吐出ノズル２０内に吐出液１８が残留することもないし、また、従来のように液体供給タンクからの配管もないため配管内に残留する吐出液もない。したがって、廃棄される吐出液１８をほとんど無くすことができる。
【００５１】
なお、上記した実施の形態は単なる例示にすぎず、本発明を何ら限定するものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良、変形が可能であることはもちろんである。例えば、上記した実施の形態では、液貯め部および吐出ノズルがそれぞれ単体で構成されている場合を例示したが、液貯め部を複数形成した容器を用いて、多連構成の吐出ノズルに吐出液を充填することもできる。これにより、バイオチップの製作時間を大幅に短縮することができる。
【００５２】
また、上記した実施の形態では、吐出ノズル２０内に充填する作動流体としてシリコーンオイル２２を使用しているが、その他の流体、例えば水や空気などでもよい。
【００５３】
さらに、上記した実施の形態では、吐出ノズル２０内のシリコーンオイル２２と液貯め部１２の吐出液１８との両方を加圧して差圧を発生させているが、液貯め部１２の吐出液１８のみを加圧して差圧を発生させるようにしてもよい。具体的には、吐出ノズル２０を大気解放すればよい。例えば、図１に示す液体充填装置であれば、バルブ２６に三方弁を使用して、レギュレータ２４を閉じてバルブ２６を開けることにより、吐出ノズル２０を大気解放することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】実施の形態に係る液体充填装置の概略構成を示す図である。
【図２】容器に吐出液を供給した状態を示す図である。
【図３】吐出液が供給された容器に吐出ノズルを装着した状態を示す図である。
【図４】吐出ノズルに吐出液を充填した状態を示す図である。
【符号の説明】
【００５５】
１０  容器
１１  容器加圧系
１２  液貯め部
１７  Ｏリング
２０  吐出ノズル
２１  ノズル加圧系
３０  コントローラ
【図１】
2005350121.tif 000003
【図２】
2005350121.tif 000004
【図３】
2005350121.tif 000005
【図４】
2005350121.tif 000006