(57)【要約】【課題】駆動系と被駆動系間の誤差を吸収できる簡単な構成で小型化を可能にした振動波リニアモータを提供する。【解決手段】振動波リニアモータ１２０は２個の振動子７４及び７５がハウジング１２２の上下に収容され、ハウジング１２２の両側面を挿通するシャフト７８がハウジング内で振動子７４及び７５に挟持されて長手方向に進退駆動される。ハウジング１２２の上下から抱き込むように付勢係合部材１２３−１と１２３−２が組み付けられ、連結止めピン１２６−１、１２６−２を支点にし、引き螺旋バネ１２９−１、１２９−２に付勢されて、一方では振動子７４をピン部材１１５を介して下方に付勢し他方では振動子７５をピン部材１１５を介して上方に付勢して振動子７４及び７５をシャフト７８に圧接させる。シャフト７８の一端にナット１３１を介して横に突設された駆動係合ピン１３２が被駆動体と係合して移動力を伝達する。【選択図】      図１４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電体部を含んで構成され所定の電圧を印加されることにより振動する少なくとも１つの駆動接触部を有する第１の振動子と、
圧電体部を含んで構成され所定の電圧を印加されることにより振動する複数の駆動接触部を有する第２の振動子と、
前記第１の振動子と前記第２の振動子とを双方の対向部に向けて相対的に付勢する付勢手段と、
該付勢手段により付勢された前記第１及び前記第２の振動子の駆動接触部に接触して前記第１及び第２の振動子に挟持されると共に、前記対向部の相対する方向に直交する長手方向に前記第１及び第２の振動子に対して移動自在に支持される被駆動体と、
を具備し、
前記第１又は第２の振動子の前記駆動接触部のうち少なくとも１つは楕円運動を行なって前記被駆動体を相対的に移動させることを特徴とする振動波リニアモータ。
【請求項２】
前記被駆動体は、直線形状の中空又はムクの棒状部材からなることを特徴とする請求項１記載の振動波リニアモータ。
【請求項３】
前記被駆動体は、その移動方向の長さにおいて前記各振動子の長さよりも長いことを特徴とする請求項１記載の振動波リニアモータ。
【請求項４】
前記被駆動体は、その移動方向の長さにおいて前記第２の振動子の前記複数の駆動接触部の最大配置長よりも長く形成されていることを特徴とする請求項１記載の振動波リニアモータ。
【請求項５】
前記被駆動体は、前記棒状部材の一端に駆動伝達係合部を備え、前記棒状部材の一方の端部から他方の端部まで同一の幅で形成されていることを特徴とする請求項２記載の振動波リニアモータ。
【請求項６】
前記駆動接触部は、前記被駆動体との接触面が該被駆動体の移動方向を規制するように形状が設定されていることを特徴とする請求項１記載の振動波リニアモータ。
【請求項７】
前記駆動接触部は、前記被駆動体の移動方向に沿って配置されていることを特徴とする請求項１記載の振動波リニアモータ。
【請求項８】
前記被駆動体は、円柱形状に形成され、前記駆動接触部は、前記被駆動体との接触部がＵ字形又はＶ字形の断面を有することを特徴とする請求項１記載の振動波リニアモータ。
【請求項９】
前記第１及び第２の振動子の本体は、それぞれ直方体形状に形成され、前記複数の駆動接触部は、相互に連結された連結型駆動接触部として形成され且つ振動子本体とは別体の部材で構成されていることを特徴とする請求項１記載の振動波リニアモータ。
【請求項１０】
前記連結型駆動接触部は、少なくとも一方の端部が前記振動子本体の側面と一致するように形成されていることを特徴とする請求項１記載の振動波リニアモータ。
【請求項１１】
前記連結型駆動接触部は、複数の前記駆動接触部を連結するための平板部を有し、該平板部の大きさは、前記振動子の前記連結型駆動接触部を接着する１面に一致する大きさであることを特徴とする請求項１記載の振動波リニアモータ。
【請求項１２】
前記第２の振動子に設けられた複数の駆動接触部の間に、前記第１の振動子に設けられた少なくとも１個の駆動接触部が対向配置されることを特徴とする請求項１記載の振動波リニアモータ。
【請求項１３】
前記第１の振動子に設けられた複数の駆動接触部と、前記第２の振動子に設けられた複数の駆動接触部とは、前記被駆動本を挟んで対称の位置に配置されていることを特徴とする請求項１記載の振動波リニアモータ。
【請求項１４】
前記第１の振動子に設けられた複数の駆動接触部と、前記第２の振動子に設けられた複数の駆動接触部とは、前記振動子の中心から前記被駆動体の移動方向に沿って対称に配置されていることを特徴とする請求項１記載の振動波リニアモータ。
【請求項１５】
前記駆動接触部は、前記振動子の前記被駆動体との対向方向の振動が最も高くなる位置の近傍に固定されて配置されることを特徴とする請求項１記載の振動波リニアモータ。
【請求項１６】
前記付勢手段は、引っ張りバネ、圧縮バネ、板バネ等の付勢部材から成り、前記被駆動体の移動中に前記振動子に一定の付勢力を供給し続けるように構成されることを特徴とする請求項１記載の振動波リニアモータ。
【請求項１７】
前記付勢手段は、前記第１及び／又は前記第２の振動子の振動の節部となる中央部に設けられたピンに係合して、前記第１及び前記第２の振動子を前記被駆動体に圧接させることを特徴とする請求項１記載の振動波リニアモータ。
【請求項１８】
前記第１又は前記２の振動子は固定され、前記第２又は第１の振動子は前記付勢手段により前記被駆動体に向けて付勢されることを特徴とする請求項１記載の振動波リニアモータ。
【請求項１９】
前記付勢手段は、前記第１及び前記第２の振動子間において前記被駆動体の外側に配置され、前記第１及び前記第２の振動子を前記被駆動体へ向けて付勢することを特徴とする請求項１記載の振動波リニアモータ。
【請求項２０】
請求項１乃至１９に記載のいずれかの振動波リニアモータを、合焦用レンズの駆動源として搭載したことを特徴とするレンズ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超音波振動子を用いた振動波リニアモータに関し、特に簡単な構成で小型化を可能にした振動波リニアモータ及びそれを用いたレンズ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電磁型モータに代わる新しいモータとして、超音波モータ（振動波モータ）が注目されている。この超音波モータは、従来の電磁型モータに比べて、ａ：ギヤ無しで低速高推力が得られ、ｂ：保持力が大きく、ｃ：ストロークが長く高分解能であり、ｄ：静穏性に富み、ｅ：磁気的ノイズを発生せずノイズの影響も受けない、などの利点を有している。
【０００３】
このような利点を有する従来の超音波モータとしては、移動部に２個の振動子板を設け、これら振動子板の対向面に形成されたそれぞれ１個の突起部の対向部間に１本のガイドシャフトを挟み、２個の振動子板の振動により、ガイドシャフトに沿って移動部が移動するリニア超音波モータが提案されている。（例えば、特許文献１参照）
【特許文献１】特開平０９−０５１６８７号公報（段落［００１１］〜［００１２］、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１の技術は、ガイドシャフトを挟んで向かい合う振動子板のそれぞれの駆動突起部が１個であるため、ガイドシャフトと振動子板の駆動方向で形成される面内で、駆動突起部を支点とした傾きが生じやすい。
駆動突起部での楕円振動の振幅は、ガイドシャフトとの垂直方向では振動子板とガイドシャフトとを離隔させる作用、ガイドシャフトとの水平方向ではガイドシャフトを相対的に駆動させる作用を持っている。これらの作用を満たすように駆動突起部の楕円振動を最適化しているので、傾きが生じると駆動に悪影響を及ぼす。
【０００５】
傾きが大きくなりすぎると、駆動突起部以外の所、例えば振動子板とガイドシャフトが当接することになり、そこでの振動は通常、駆動接触部での楕円振動を阻害する方向に作用し、また、無用な接触状態での振動は、接触部分の破壊につながる虞がある。
したがって、先ず、ガイドシャフトを本体装置側に固定する固定部材が必要であることは言うまでもないが、更に移動部においては駆動突起部がガイドシャフトに対して傾かないように位置決めするためのガイドシャフトに対する係合部が最低２箇所必要である。
【０００６】
このように必須な構成が多くなると全体構成を小型化することが困難になるだけでなく上記従来の構成は、移動部がガイドシャフトにガタなく支持されているため、この構成のリニア超音波モータを、多少の誤差が許容される例えばカメラの鏡枠等の駆動に応用しようとした場合、双方間の誤差を吸収するための連結部材が必要になると思われる。
【０００７】
本発明の課題は、上記従来の実情に鑑み、駆動系と被駆動系双方間の誤差を吸収でき且つ簡単な構成で小型化を可能にした振動波リニアモータ及びそれを用いたレンズ装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
先ず、第１の発明の振動波リニアモータは、圧電体部を含んで構成され所定の電圧を印加されることにより振動する少なくとも１つの駆動接触部を有する第１の振動子と、圧電体部を含んで構成され所定の電圧を印加されることにより振動する複数の駆動接触部を有する第２の振動子と、上記第１の振動子と上記第２の振動子とを双方の対向部に向けて相対的に付勢する付勢手段と、該付勢手段により付勢された上記第１及び上記第２の振動子の駆動接触部に接触して上記第１及び第２の振動子に挟持されると共に、上記対向部の相対する方向に直交する長手方向に上記第１及び第２の振動子に対して移動自在に支持される被駆動体と、を具備し、上記第１又は第２の振動子の上記駆動接触部のうち少なくとも１つは楕円運動を行なって上記被駆動体を相対的に移動させるように構成される。
【０００９】
上記被駆動体は、例えば直線形状の中空又はムクの棒状部材からなり、また、例えばその移動方向の長さにおいて上記各振動子の長さよりも長く構成され、また、例えばその移動方向の長さにおいて上記第２の振動子の上記複数の駆動接触部の最大配置長よりも長く形成され、また、例えば上記棒状部材の一端に駆動伝達係合部を備え、上記棒状部材の一方の端部から他方の端部まで同一の幅で形成されている。
【００１０】
また、上記駆動接触部は、上記被駆動体との接触面が該被駆動体の移動方向を規制するように形状が設定され、また、例えば上記被駆動体の移動方向に沿って配置され、また、例えば上記被駆動体が円柱形状に形成されているときその被駆動体との接触部がＵ字形又はＶ字形の断面を有するように構成される。
【００１１】
この振動波リニアモータは、例えば上記第１及び第２の振動子の本体は、それぞれ直方体形状に形成され、上記複数の駆動接触部は、相互に連結された連結型駆動接触部として形成され且つ上記振動子の本体とは別体の部材であるように構成される。
この場合、上記連結型駆動接触部は、少なくとも一方の端部が上記振動子の本体の側面と一致するように形成されていることが好ましく、また、例えば複数の上記駆動接触部を連結するための平板部を有して該平板部の大きさが上記振動子の上記連結型駆動接触部を接着する１面に一致する大きさであることが好ましい。
【００１２】
また、この振動波リニアモータにおいては、例えば上記第２の振動子に設けられた複数の駆動接触部の間に、上記第１の振動子に設けられた少なくとも１個の駆動接触部が対向配置されるように構成される。
また、この振動波リニアモータにおいては、例えば上記第１の振動子に設けられた複数の駆動接触部と、上記第２の振動子に設けられた複数の駆動接触部とは、上記被駆動本を挟んで対称の位置に配置されるようにしてもよく、また、例えば上記振動子の中心から上記被駆動体の移動方向に沿って対称に配置されるようにしてもよい。
【００１３】
また、この振動波リニアモータにおいては、例えば上記駆動接触部は、上記振動子の上記被駆動体との対向方向の振動が最も高くなる位置の近傍に固定されて配置されることが好ましい。
また、この振動波リニアモータにおいては、例えば上記付勢手段は、引っ張りバネ、圧縮バネ、板バネ等の付勢部材から成り、上記被駆動体の移動中に上記振動子に一定の付勢力を供給し続けるように構成される。
【００１４】
そして、上記付勢手段は、例えば上記第１及び／又は上記第２の振動子の振動の節部となる中央部に設けられたピンに係合して、上記第１及び上記第２の振動子を上記被駆動体に圧接させるように構成してもよい。
また、例えば上記第１又は上記２の振動子は固定され、上記第２又は第１の振動子は上記付勢手段により上記被駆動体に向けて付勢されるように構成してもよい。
【００１５】
また、例えば上記付勢手段は、上記第１及び上記第２の振動子間において上記被駆動体の外側に配置され、上記第１及び上記第２の振動子を上記被駆動体へ向けて付勢するように構成してもよい。
次に、第２の発明のレンズ装置は、上記に記載のいずれかの振動波リニアモータを、合焦用レンズの駆動源として搭載して構成される。
【発明の効果】
【００１６】
先ず、第１の発明によれば、２個の振動子で被駆動体を駆動させるので、駆動推力が大きく高効率な駆動を実現できる。
また、駆動接触部の被駆動体への接触部の断面がＵ字形又はＶ字形を成しているので、この接触部で被駆動体の移動方向を規制でき、したがってガイド部品が不要となって部品部品点数が削減でき、これにより小型化の実現とコストの低減に貢献できる。
【００１７】
また、被駆動体の動きに合わせて振動子も揺動するため、常に駆動接触部が被駆動体に接触していることができ、したがって、振動子の駆動力を被駆動体に正確に効率よく伝えることができ、この面からも高効率な駆動を実現することができる。
また、振動子本体と駆動接触部を別体の部材で構成するので、振動子本体又は駆動接触部の性能向上のため材質を個別に様々に変更することが可能となって寿命も含めた性能向上が容易に可能である。
【００１８】
次に、第２の発明によれば、リニア駆動により合焦レンズを直接駆動出来るため、機械損失が低減できて装置寿命が長くなるだけでなく、合焦時間を短縮することがき、ユーザの速い撮影動作にも対処することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。尚、以下の説明において、上記第１の振動子は例えば振動子７５等から成り、上記第２の振動子は例えば振動子７４等から成り、上記付勢手段は例えば圧縮バネ７６等から成り、そして上記被駆動体は例えばシャフト７８等から成る。
【実施例１】
【００２０】
図１(a) は、本発明の振動波リニアモータを搭載したレンズ装置を示す外観斜視図であり、同図(b) は、同図(a) に示すレンズ装置のＡ−Ａ´矢視断面を同図(a) の矢印ａ方向から見た図であり、レンズユニット各部の概略の構成を示している。
尚、図１(a) には、レンズ装置１と共に例えばカメラなどの本体装置のハウジング内に組み込まれるこのレンズ装置１の各部の駆動を制御する制御回路を備えた回路基板２の一部も共に示している。
【００２１】
同図(a) に示すレンズ装置１は、特には図示しない本体装置のハウジングの撮影レンズ窓から撮影光軸Ｏ１（図では鉛直方向で示している）に沿ってレンズＬ１に入射する被写体からの光束を、レンズＬ１と一体なプリズムによって、水平方向にほぼ直角に（図では斜め右上方向に）折れ曲がるように反射させる。このレンズ装置１は、上記折り曲げられた同図(b) に示す第２の光軸Ｏ２に沿って、上記の入射光束を、レンズ装置１の端部（図では斜め右上方向端部）に配設されている例えばＣＣＤ(charge coupled device）などからなる撮像素子１４まで導いて撮像画像を生成する。
【００２２】
同図(b) に示すように、レンズ装置１の内部には、上記水平方向に折り曲げられた第２の光軸Ｏ２に沿って、レンズＬ１及びレンズＬ２からなる第１の固定レンズ部８、レンズＬ３及びレンズＬ４からなる第１の移動レンズ部９、レンズＬ５、レンズＬ６及びレンズＬ７からなる第２の移動レンズ部１１、レンズＬ８からなる第３の移動レンズ部１２、並びにレンズＬ９からなる第２の固定レンズ部１３で構成される複数のレンズを備えている。そして、これらのレンズ群の終端には撮像素子１４が配置されている。
【００２３】
上記第１の固定レンズ部８のレンズＬ１は、上述した撮影レンズ窓から撮影光軸Ｏ１に沿って入射する被写体からの光束をほぼ９０°水平方向に反射して折り曲げて、第２の光軸Ｏ２に沿って光束の進路を変更するプリズムと一体化されており、レンズ２と共に第１の固定鏡枠部１５に保持されてレンズ装置１内で固定されている。また、上記第２の固定レンズ部１３は、第２の固定鏡枠部１６に保持されてレンズ装置１内で固定されている。
【００２４】
上記第１の固定鏡枠部１５と第２の固定鏡枠部１６は、第２の光軸Ｏ２に対し垂直な面で切られた断面がほぼＬ字形状を成す後述する金属フレームの長手方向の端部に一体的に樹脂成形により形成されている。
これら第１の固定鏡枠部１５と第２の固定鏡枠部１６との間に、上記第１の移動レンズ部９を保持する第１の移動鏡枠１７、第２の移動レンズ部１１を保持する第２の移動鏡枠１８、及び第３の移動レンズ部１２を保持する第３の移動鏡枠１９が配置されている。
【００２５】
上記第１の移動鏡枠１７、第２の移動鏡枠１８、及び第３の移動鏡枠１９は、上記の第１の移動レンズ部９、第２の移動レンズ部１１及び第３の移動レンズ部１２を、上記のレンズＬ１（以下、プリズムＬ１ともいう）によりほぼ直角に折り曲げられた第２の光軸Ｏ２に沿って、それぞれ独立に移動可能に保持している。
【００２６】
上記第１の移動レンズ部９及び第２の移動レンズ部１１は、このレンズ装置１の光学系の第２の光軸Ｏ２に沿って入射する被写体の光束の焦点距離を変化させるために設けられている。換言すれば、これら第１の移動レンズ部９及び第２の移動レンズ部１１を保持する第１の移動鏡枠１７及び第２の移動鏡枠１８は、レンズ系のズーム比調節用のために設けられている。
【００２７】
また、第３の移動レンズ部１２は、上記の光束が撮像素子１４上に結像する焦点調節のために設けられている。換言すれば、この第３の移動レンズ部１２を保持する第３の移動鏡枠１９は、第２の光軸Ｏ２方向に移動自在な合焦用の鏡枠として設けられている。
また、上記第１の移動レンズ部９と第２の移動レンズ部１１の間の２１は、絞りの位置を示している。
【００２８】
また、このレンズユニットは、上下の厚み（実際には撮影用のレンズユニットとしては奥行き方向の厚みとなる）を極力薄くするように、径の比較的大きなレンズＬ２、Ｌ５、Ｌ８を含む第１の固定レンズ部８、第２の移動レンズ部１１、第３の移動レンズ部１２をそれぞれ保持する第１の固定鏡枠部１５、第２の移動鏡枠１８、第３の移動鏡枠１９の枠壁の、第２の光軌Ｏ２に対し上下方向の一方の一部又は全部（図１(b) の例では下方のレンズ下端部に対応する部分）が切り欠かれて、切欠部１５−１、１８−１、１９−１が形成されている。
【００２９】
そして、この切り欠かれて枠壁が欠如した分だけ強度が弱くなる鏡枠の、第１の固定鏡枠１５のように特に他に補強部分を持たない第２、第３の移動鏡枠１８、１９については、上記の切り欠き部に第２の光軸Ｏ２を挟んで対向する側、つまり上側の枠壁に、外部に突出する後述する凸部を設けている。図において、第２、第３の移動鏡枠１８，１９の上側枠壁がやや厚く見えるのは、上記凸部の断面を示しているためである。
【００３０】
また、更に、第３の移動鏡枠１９については、全体が左右に薄くて弱いので、上記の凸部による補強だけでは不十分の虞があるので、レンズＬ８の下部側に形成されている切欠部１９−１の反対側に形成されているレンズ胴付部から、レンズＬ８の有効光線の範囲外となる左方面の周囲に回り込むように、突設部１９−２が設けられている。
【００３１】
図２は、上記のレンズ装置１を、上方から見た分解斜視図である。
図３は、同じく上記レンズ装置１を天地を逆にして下方から見た分解斜視図である。尚、上記の図２及び図３には、図１(a),(b) に示した構成と同一の構成部分には図１(a),(b) と同一の番号を付与して示している。
【００３２】
上記の図２及び図３に示すように、レンズ装置１は、主固定鏡枠２２を備えている。この主固定鏡枠２２の内外に図２又は図３に示す全ての構成要素が組み付けれて収納されたとき、全体が、対向する長方形の２つの主面と該２つの主面に挟まれた扁平な空間内に構成要素が詰め込まれてなる装置本体の図１(a) に示す外形形状を形成する。
【００３３】
上記の主固定鏡枠２２は、上記２つの主面の少なくとも一方の主面を形成する金属フレーム２３ａを備えている。このレンズ装置１の構成において、他方の主面は開放されている。この金属フレーム２３ａで形成される一方の主面と開放されている他方の主面とで挟まれた扁平な空間の長手方向の一方の側面も、一方の主面の金属フレーム２３ａからほぼ直角に連設される金属フレーム２３ｂで構成される。
【００３４】
また、短手方向の一方の側面（図２、図３では斜め左下方の短手方向側面）も上記主面の金属フレーム２３ａ及び長手方向側面の金属フレーム２３ｂにそれぞれほぼ直角に連設される金属フレーム２３ｃで構成される。
これにより、金属フレーム２３（２３ａ、２３ｂ）は、長手方向（前述した折り曲げられた第２の光軸Ｏ２方向でもある）に直角な断面が、１つの主面と長手方向の１つの側面からなるＬ字型のフレームを構成し、少量の材料で剛性を形成する理想的な構造のフレームとなっている。
【００３５】
この金属フレーム２３の長手方向の両端部には、それぞれ金属フレーム２３にアウトサート成形により一体成型された固定成形部が形成されている。これら２つの固定成形部が、図１(b) にも示した第１の固定鏡枠部１５と第２の固定鏡枠部１６である。
そして、第１の固定鏡枠部１５は図１(b) にも示したプリズムＬ１及び図２と図３には図示を省略しているがレンズＬ２が保持されて固定される。また第２の固定鏡枠部１６には、これも図２と図３には図示を省略しているが図１(b) に示したレンズＬ９が保持されて固定される
これら第１の固定鏡枠部１５と第２の固定鏡枠部１６との間に、図１(b) にも示した３つの移動鏡枠（第１の移動鏡枠１７、第２の移動鏡枠１８、及び第３の移動鏡枠１９）が配置される。
【００３６】
これら３つの移動鏡枠及び上記２つの固定鏡枠には、それぞれレンズを保持して固定する接着剤が周囲にあふれ出ないようにする接着剤溜まり部２４（図２参照）が形成されている。この接着剤溜まり部２４は、固定されるレンズの周面と鏡枠との間に形成されている僅かな間隙である。
【００３７】
尚、第３の移動鏡枠１９及び第２の固定鏡枠部１６の接着剤溜まり部は図では陰になって見えない。また、第１の固定鏡枠部１５の接着剤溜まり部も図では定かに見えないが、レンズＬ１と一体なプリズムの側面に対応する部分に設けられている。
上記３つの移動鏡枠が組み込まれるに先立って、ズーム用シャフトカム２５が、主固定鏡枠２２の開放側の長手方向側面の且つ第１の固定鏡枠部１５の側部に近接して配置される。ズーム用シャフトカム２５は、カム部のカム溝が設けられた周面を形成する太径部と、太径部の両端から同軸に突設された細径部２６（２６ａ、２６ｂ）を有しており、撮像素子１４とは反対側端部に突設されている細径部２６ａにはギア２７が固設されている。
【００３８】
ズーム用シャフトカム２５は、第１の固定鏡枠部１５の金属フレーム２３ｃとの一体化融着部に形成されている軸受嵌合孔２８内に一方の細径部２６ａを一旦挿通した後、図の斜め右方に引きながら他方の細径部２６ｂを図では陰になって見えない第１の固定鏡枠部１５に形成されている軸受け孔に嵌入させ、一方の細径部２６ａを軸受嵌合孔２８内において軸受２９と係合させる。これによりズーム用シャフトカム２５は第１の固定鏡枠部１５に対し回転可能に支持される。
【００３９】
ズーム用シャフトカム２５の一方の細径部２６ａの突端には更に径の小さな凸部３１が形成されており、この凸部３１は、一方の細径部２６ａが軸受２９と係合したとき軸受２９から上方外部に突出する。この凸部３１を付勢板バネ３２により押し付勢されることにより、ズーム用シャフトカム２５は上下の軸受けに位置決めされて安定して保持される。
【００４０】
付勢板バネ３２には、ほぼ四角な本体部から切り目によって一部を分離され下方に折り曲げられ更にその先端を水平に折り曲げられて形成された３個の曲がり足部３２−１と、本体部中央を切り欠いて形成された止め切片３２−２、及び本体部から一体に延設された付勢バネ部３２−３とから構成されている。
【００４１】
他方、金属フレーム２３ｃ側には、上記付勢板バネ３２の３個の曲がり足部３２−１に対応する位置に、３個の切欠部３３が形成され、これら３個の切欠部３３に囲まれたほぼ中央に、上記付勢板バネ３２の止め切片３２−２に対応する凸部３４が形成されている。
付勢板バネ３２の３個の曲がり足部３２−１を金属フレーム２３ｃの３個の切欠部３３に係合させながら、付勢板バネ３２の本体部が金属フレーム２３ｃ側に押し込まれると、止め切片３２−２の先端が凸部３４の周面に係止することにより、付勢板バネ３２が金属フレーム２３ｃの外面に位置固定され、その付勢バネ部３２−３の先端部によりズーム用シャフトカム２５の凸部３１が押し付勢されて、位置決めされる。
【００４２】
これにより、ズーム用シャフトカム２５は、その中心軸が主固定鏡枠２２の長手方向すなわち第２の光軸Ｏ２に平行する向きで、第１の固定鏡枠部１５に保持されるプリズムＬ１の近傍に配置され、少なくとも軸方向での一部分がプリズムＬ１の側面に隣接するように配置される。
【００４３】
続いて、ズーム用モータユニット３５が、レンズ（プリズム）Ｌ１の反射面裏側を保持する第１の固定鏡枠部１５の斜面と金属フレーム２３ｃによりに形成される略三角柱形状の空間部（図３参照）に配置され、その減速ギア列３６がズーム用シャフトカム２５のギア２７に係合する。このズーム用モータユニット３５は、ギア軸固定部３７及び止め板固定部３８の２箇所の止め部（図３参照）が、第１の固定鏡枠部１５に形成されている位置決め孔３９及び止め孔４１にネジ止めされることによって第１の固定鏡枠部１５に固定される。
【００４４】
上記に続いて、主固定鏡枠２２に、絞り・シャッタユニット４２が組み付けられる。絞り・シャッタユニット４２は（以下、図２参照）、第２の光軸Ｏ２を形成する反射光の通過光量を規制する絞りとシャッタを備えた絞り・シャッタ部４３と、この絞り・シャッタ部４３の絞りとシャッタとをそれぞれ機械的に駆動するロータリーソレノイド４４及び４５を備えている。
【００４５】
絞り・シャッタ部４３は図１(b) に示した絞りの位置２１に配置され、２個のロータリーソレノイド４４及び４５はズーム用シャフトカム２５の下方に配置される。
更に、この絞り・シャッタユニット４２の下方に、第３の移動鏡枠１９を移動駆動するための振動波リニアモータ４６と磁気センサユニット４７とが、主固定鏡枠２２の短手方向に並んで重なるようにして配置される。
【００４６】
これにより、振動波リニアモータ４６は、ズーム用シャフトカム２５の軸の延長方向の位置で且つ撮像面側に配置される。
磁気センサユニット４７は（図３参照）、磁気センサホルダ４８、磁気センサ４９、磁気スケール５１、及び付勢バネ５２を備えている。
【００４７】
尚、上記の振動波リニアモータ４６と、磁気センサユニット４７については更に詳しくは後述する。
このように、上述した各部材が配置された後、図１(b) に示した移動レンズ部９、１１、及び１２（図２と図３には図示を省略）をそれぞれ接着剤で固定された第１の移動鏡枠１７、第２の移動鏡枠１８、及び第３の移動鏡枠１９が組み付けられる。
【００４８】
これらの第１の移動鏡枠１７、第２の移動鏡枠１８、及び第３の移動鏡枠１９に保持される図１(b) に示した移動レンズ部９、１１及び１２の各レンズＬ３〜Ｌ８は、図１(b) では側断面図のため定かではないが、レンズは図１(a) に示すレンズ装置１に対して上下（図１(b) でも上下）を切除されて上下の周面が平坦な周面を形成して、レンズを正面で見ると小判形の形状を成している。
【００４９】
そして、第１、第２、第３の移動鏡枠１７、１８、１９のレンズ保持部外周は上記小判形の形状のレンズを保持することに対応して、第２の光軸Ｏ２に沿った上下（図１(a) に示すレンズ装置１における上下、図１(b) に示すレンズユニットでの上下）の周面が平面的に形成されており、これによりレンズ装置１に組み込まれる移動鏡枠の薄型化が図られている。
【００５０】
また、第２、第３の移動鏡枠１８、１９は、更なる薄型化を図るために、レンズを保持する鏡枠の下部（図２では下方の部分、図３では上方の部分）の、レンズ下部の平坦周面部分に対応する枠壁が切り欠かれて図１(b) に示した切欠部１８−１、１９−１が形成され、レンズ後部の平坦周面部分が露出している。
【００５１】
尚、上記の切欠部は、第２の移動鏡枠１８については図２及び図３で見える部分にあるが、第３の移動鏡枠１９については、残る周囲の鏡枠の陰になって定かには見えない。
これら第１の移動鏡枠１７、第２の移動鏡枠１８及び第３の移動鏡枠１９は（図２参照）、それぞれ、軸受部５３（５３−１、５３−２、５３−３）を備え、これらの軸受部５３には、それぞれ、ガイド孔５４（５４−１、５４−２、５４−３）が設けられている。
【００５２】
また、これら第１の移動鏡枠１７、第２の移動鏡枠１８、及び第３の移動鏡枠１９には、上記軸受部５３と対向する端部に、それぞれＵ字切欠部５５（５５−１、５５−２、５５−３）を備えている（図３参照）。
更に、第１の移動鏡枠１７の上記軸受部５３−１とＵ字切欠部５５−１とを有する後端部と対向する前端部外面５６と（図２参照）上記軸受部５３−１が配置される側面部５７との境界に形成される段差部５８には、光反射部材５９が貼着されて配置される。
【００５３】
また、第１の移動鏡枠１７の軸受部５３−１に一体に横に突設された部分と、第２の移動鏡枠１８の軸受部５３−２に一体に上に延設された部分に、それぞれカムフォロア６１（６１−１、６１−２）が形成されている。
また、第３の移動鏡枠１９の軸受部５３−３に一体に横方向に立設される側面には光反射部材６２が貼着されている。
【００５４】
また、第２の移動鏡枠１８及び第３の移動鏡枠１９には、上記軸受部５３（５３−２、５３−３）とＵ字切欠部５５（５５−２、５５−３）とを有する後端部と対向する前端部外面に図１(b) で説明した補強用の凸部６３（６３−２、６３−３）が形成されている。この凸部６３は、上述した装置全体を薄型にするために小判形のレンズの後部平坦部分に対応する枠壁が切り欠かれて欠如している鏡枠の強度を補強するために設けられている。
【００５５】
また、上記３個の移動鏡枠のガイド孔５４には、第１の固定鏡枠部１５と第２の固定鏡枠部１６のそれぞれ開口側面と開口主面に最も近接する角部に形成されたガイド軸支持孔６４（６４−１、６４−２）に両端を支持される第１のガイド軸６５が挿通される。
これにより、第１，第２及び第３の移動鏡枠１７、１８及び１９（つまり３個の移動レンズ部９、１１、１２）は、図１(b) に示す光軸Ｏ２方向に移動可能に支持される。
【００５６】
また、第１のガイド軸６５を支持するガイド軸支持孔６４（６４−１、６４−２）が、開口側面と開口主面に最も近接する角部に形成されていることにより、第１のガイド軸６５は、主固定鏡枠２２により形成されるレンズ装置１本体内において、開放された側面と開放された主面とが交わる最外部に可及的に近接して配置される。このように最外部に可及的に近接して配置された第１のガイド軸６５に軸受部５３が支持されることにより、３個の移動鏡枠は、狭い扁平な装置本体内部において空間に無駄なく配置される。
【００５７】
この第１のガイド軸６５の挿通に際しては、第１の移動鏡枠１７の軸受部５３−１と、第２の移動鏡枠１８の軸受部５３−２との間に、押し付勢力を有する圧縮バネ６６が、第１のガイド軸６５に外嵌して介装される。
また、上記３個の移動鏡枠の組み付けに先立って、第１の固定鏡枠部１５と第２の固定鏡枠部１６のそれぞれ金属フレーム２３ｂで構成される閉側面と開口主面とに最も近接する位置に形成された他の２つのガイド軸支持孔６７（図３参照）により両端を支持されて第２のガイド軸６８が配置される。
【００５８】
上記３個の移動鏡枠の組み付けに際しては、上述したＵ字切欠部５５が上記第２のガイド軸６８に横から嵌合して摺動自在に支持された後、その第２のガイド軸６８を支点にして各移動鏡枠を内側に回動させることにより、第１の移動鏡枠１７及び第２の移動鏡枠１８に配設されているカムフォロア６１が、ズーム用シャフトカム２５のカム溝に滑動自在に嵌入して係合する。
【００５９】
すなわち、ズーム用シャフトカム２５には、複数の鏡枠（この例では第１の移動鏡枠１７及び第２の移動鏡枠１８）に対応するカム（カムフォロア６１−１、６１−２が係合するカム溝）がそれぞれ形成されている。
上記のようにカムフォロア６１がズーム用シャフトカム２５のカム溝に嵌入することにより、ズーム用シャフトカム２５と第１の移動鏡枠１７及び第２の移動鏡枠１８とが摺動自在に係合する。
【００６０】
また、これと共に、第１の移動鏡枠１７の上部外面５６（図２参照）が一方の主面を形成している金属フレーム２３ａの裏面に近接して配置され、第２の移動鏡枠１８及び第３の移動鏡枠１９の前端部外面に形成されている補強用の凸部６３が、同じく金属フレーム２３ａに形成されている開口部６９に嵌入する。
【００６１】
この開口部６９は、第２の移動鏡枠１８及び第３の移動鏡枠１９の移動によって移動する移動レンズ（図１(b) のレンズＬ５〜Ｌ８参照）の移動との干渉を回避するために、つまり凸部６３が移動することへの妨害となるのを回避すべく、上記移動レンズの移動ストロークに応じた上下に長い開口部を形成している。
【００６２】
この後、上述した第１のガイド軸６５が各移動鏡枠の軸受部５３のガイド孔５４及び両端部のガイド軸支持孔６４に挿通される。これにより、上記二本のガイド軸（６５、６８）は、ズーム用シャフトカム２５に隣接し且つズーム用シャフトカム２５の軸と平行に配置される。
【００６３】
このように、軸形状部材が、相互に隣接し且つ並行して配置されるので、装置全体の小型化に貢献できる。
これら二本のガイド軸により支持されて、３個の移動鏡枠（１７、１８、１９）が、光軸Ｏ２方向に摺動可能に規制され且つ一方のガイド軸により他方のガイド軸周りの回転を禁止され、光軸Ｏ２に直角方向の位置決めをされて主固定鏡枠２２内に配置される。
【００６４】
また、第１の移動鏡枠１７の軸受部５３−１と第２の移動鏡枠１８の軸受部５３−２との間に圧縮バネ６６が第１のガイド軸６５に外嵌して介装されることにより、第１の移動鏡枠１７と第２の移動鏡枠１８は互いに相反する方向に付勢されている。
これにより、ズーム用シャフトカム２５のカム溝に係合するそれぞれのカムフォロア６１−１、６１−２が、ズーム用シャフトカム２５のカム溝の溝壁のそれぞれ相反する片側に押し付けられるようになり、したがって、ズーム用シャフトカム２５の回転駆動時のカム溝とカムフォロア間に生じる遊びが解消される、これにより、左移動時と右移動時における位置関係が正しく制御される。
【００６５】
上記の配置において、第１のガイド軸６５は、ズーム用シャフトカム２５とほぼ並行に且つ隣接して配置される。
この後、撮像素子１４が第２の固定鏡枠部１６の下面に取り付けられる。また、金属フレーム２３ａと同一面にある第１の固定鏡枠部１５の面の、第１の移動鏡枠１７に取り付けられている光反射部材５９に対応する位置にフォトセンサ取付孔７１が設けられており、このフォトセンサ取付孔７１にフォトセンサ７２が配置される。
【００６６】
このフォトセンサ７２は、第１の移動鏡枠の絶対位置を検知する。その検知した絶対位置からの第１の移動鏡枠の移動距離は、ズーム用モータユニット３５のステップ駆動されるズームモータのステップ数を、不図示の制御装置がカウントすることにより移動位置を検出して決定される。
【００６７】
また、第２の固定鏡枠部１６の開放されている側面に面する側の、第３の移動鏡枠１９に取り付けられている光反射部材６２に対応する位置に、他のフォトセンサ７３が配置される。このフォトセンサ７３は、第３の移動鏡枠１９に取り付けられた光反射部材６２からの反射光を検出して第３の移動鏡枠１９の絶対位置を検知する。
【００６８】
これら絶対位置の決定後、ズーム用モータユニット３５におけるモータの順逆両方向の回転により、ズーム用シャフトカム２５が所定範囲の角度内で順逆両方向に回動する。このズーム用シャフトカム２５の外周に設けられた２つのカム溝に、第１の移動鏡枠１７のカムフォロワ６１−１及び第２の移動鏡枠１８のカムフォロワ６１−２が係合していることにより、上記ズーム用シャフトカム２５の回動に応じて、第１の移動鏡枠１７と第２の移動鏡枠１８（つまり第１の移動レンズ部９及び第２の移動レンズ部１１）が、第２の光軸Ｏ２方向に沿って離接の移動を行って、光軸Ｏ２方向に進む光束の映像に対し縮小／拡大のズームを行う。
【００６９】
また、図１(b) に示した第１、第２の移動レンズ部９、１１の間の絞り位置２１に絞り・シャッタ部４３が配置される絞り・シャッタユニット４２によって、光軸Ｏ２を進行する光束の進路が開閉されるとともに、光学フィルタ（ＮＤフィルタ）によって撮像面への光量が制御される。
【００７０】
続いて、合焦用の第３の移動レンズ部１２を保持する第３の鏡枠の移動を駆動する振動波リニアモータについて説明する。
図４(a) は、本例において用いられる振動波リニアモータの基本構成を示す正面図であり、同図(b) は、その側面図である。同図(a),(b) に示すように、振動波リニアモータの基本構成７０は、先ず、直方体形状をした上下２個の振動子本体７１及び７２と、この２個の振動子本体７１及び７２の上下対向する面にそれぞれ振動子本体７１及び７２と一体に形成された又は別体で接着された突起形状の少なくとも１個以上の（図の例では上の振動子本体７１に２個、下の振動子本体７２に１個）の駆動接触部７３（７３−１、７３−２、７３−３）とから成る２個の振動子７４及び７５を備えている。
【００７１】
更に、この振動波リニアモータの基本構成７０において、上記振動子７４と振動子７５とを双方の対向部に向けて相対的に付勢する押し付勢力を有する上下２つの圧縮バネ７６（７６−１、７６−２）が、上下の支持部材７７（７７−１、７７−２）と上の振動子７４の上面と下の振動子７５の下面との間にそれぞれ介装されている。
【００７２】
また、この振動波リニアモータの基本構成７０においては、上記２つの圧縮バネ７６により付勢された振動子７４及び７５の駆動接触部７３に接触して、上記２つの振動子７４及び７５に挟持されると共に、双方の対向部の相対する方向に直交する長手方向（同図(a) では図面奥行き方向、同図(b) では図面左右方向））に移動可能に支持されたシャフト７８を備えている。
【００７３】
上記の圧縮バネ７６による付勢力は、振動子本体７１又は７２の振動の節部となる中央部７９の真上（又は直下）に加えられるので、圧縮バネ７６による付勢力は、振動子本体７１又は７２の中央より前後（図４(b) の図の左右方向）に均等に配分される。
上記３個の駆動接触部７３は、詳しくは後述するように、少なくとも１つは楕円運動を行なって上記のシャフト７８を相対的に移動させるように構成されている。
【００７４】
ここに示す基本構成のみならず、以下に示す種々の変形例、及び実際の組み立て上がり後の振動波リニアモータにおいても、上記の振動子本体７１及び７２は、それぞれ直方体形状に形成されており、上記のシャフト７８は、その移動方向の長さにおいて各振動子７４及び７５の長さよりも長く形成されている。
【００７５】
また、シャフト７８は、直線形状の形状で中空又はムクの棒状部材からなる。尚、図４(a),(b) ではムクの棒として示している。また、このシャフト７８は、棒状部材の一方の端部から他方の端部まで同一の幅で形成され、図４(a) に示すように断面が円形、つまり同図(b) に示すように全体が円柱形状に形成されている。勿論、円柱形状に限るものではなく、特には図示しないが、相対する駆動接触部の変形例に応じて、三角、四角、その他の多角形の断面を有する柱形状としてもよい。
【００７６】
そして、このシャフト７８に圧接する３個の駆動接触部７３は、シャフト７８の移動方向に沿って配置されている。これらの駆動接触部７３は、シャフト７８との接触部がＵ字形又はＶ字形の断面を有している（図４(a) ではＵ字形、Ｖ字形については後述する）。
このように、本発明の振動波リニアモータによれば、２個の振動子７４及び７５によりシャフト７８を駆動するので、シャフト７８の移動に対して大きな駆動力を伝えることが出来る。
【００７７】
また、複数の駆動接触部がシャフト７８の移動方向に沿って接触しているため、シャフト７８の移動方向に対して常に一定の向きを保つことができる。そのため常に最適な接触を保ってシャフト７８を駆動することが可能である。
また、シャフト７８の移動方向を駆動接触部７３の接触面で規制することができるのでシャフト７８の移動を案内する部品が不要となり、部品点数が削減でき小型化の実現、コストの低減に貢献できる。
【００７８】
また、上述したように、圧縮バネ７６による付勢力は、振動子本体７１又は７２の中央より前後に均等に配分されるので、駆動接触部７３が常にシャフト７８の動きに合わせてシャフト７８に接触していることができ、そのため振動子７４及び７５の駆動力をシャフト７８に正確に効率よく伝えることが可能となる。
【００７９】
図５(a),(b) は、駆動接触部７３のシャフト７８との接触面の断面形状の例を示す図であり、同図(c),(d) は、駆動接触部の振動子本体への配置例を示す図、同図(e) 〜(h) は駆動接触部そのものの構成例を示す図である。
同図(a) は、図４(a) の場合と同一であり、駆動接触部７３のシャフト７８との接触部がＵ字形の断面となっている。そして、同図(b) は、駆動接触部７３のシャフト７８との接触部がＶ字形の断面の場合を示している。いずれの場合も、駆動接触部７３は、シャフト７８との接触面がシャフト７８を半ば抱き込むように形成されており、これにより、シャフト７８の移動方向を前述した移動方向に規制するように駆動接触部７３の形状が設定されている。
【００８０】
また、同図(c) は、配置の上では上下の振動子７４及び７５共に２個の駆動接触部７３を備えた構成を示しており、この構成を換言すれば、上下の振動子７４及び７５共に複数の駆動接触部を備え、全体が両振動子７４及び７５の上述した振動子本体７１及び７２の振動の節部となる中央部７９を通る直線８１に対称な構成となっていると共に同図(c) には図示を省略したシャフト７８の中心軸８２にも対称な構成となっている。
【００８１】
また、同図(d) は、図４(b) に示したと同一の駆動接触部７３の配置構成であり、この構成を換言すれば、上の振動子７４に設けられた複数の駆動接触部７３の間に、下の振動子７５に設けられた少なくとも１個の駆動接触部７３が対向配置されている、といえる構成であり、この場合も、振動子本体７１及び７２の振動の節部となる中央部７９を通る直線８１に対して対称な構成となっている。
【００８２】
いずれにしても、振動子７４及び７５は、少なくとも振動子本体７１及び７２の振動の節部となる中央部７９を通る直線８１に対称な構成、又はシャフト７８の中心軸８２に対称な構成であることが好ましい。
また、同図(c),(d) 及び同図(g),(h) は、複数の駆動接触部７３が平板部８４によって相互に連結された連結型駆動接触部８５として形成され、且つ振動子本体７１又は７２とは別体の部材で構成されている。これら連結型駆動接触部８５は組み立て時には接着によって振動子本体７１又は７２と一体に構成される。
【００８３】
上記の連結型駆動接触部８５は、少なくとも一方の端部が振動子本体７１又は７２の側面（同図(e),(f) では長手方向の側面、同図(g),(h) では短手方向の側面）と一致するように形成されている。特に同図(e),(f) の場合は、連結型駆動接触部８５の複数の駆動接触部７３を連結するための平板部８４の大きさは、この連結型駆動接触部８５を接着する振動子７１（又は７２でもよい）の１面に一致する大きさであるように構成されている。
【００８４】
上記のように、駆動接触部７３の配置が対称形となっていることは、組み立て時に方向性を考慮する必要がないので便利であり、組み立ての作業能率が向上する。
特に図５(c) のようにシャフト軸に対して対称な形状は、振動子部品の共通化ができるためコストの低減化に有効であり、また、駆動接触部を接着する際の方向性を考える必要がなくなり組み付けが容易となって組み立て作業の能率が向上する。
【００８５】
また、いずれの構成の場合も、複数の駆動接触部７３が対向配置されている間に、シャフト７８が挟持されて駆動されるので、シャフト７８への駆動力が向上する。
また、駆動接触部７３がシャフト７８との接触面でシャフト７８を半ば抱き込むように配置されるので、シャフト７８は上下に揺動することはあっても、抱き込みのガイド性によって左右に揺動することはなく、このように駆動接触部７３はシャフト７８の駆動とシャフト７８の左右への揺動を禁止するガイドの両方を兼ねている。
【００８６】
また、駆動接触部７３が連結型駆動接触部８５のように振動子７１又は７２と別体の部材で構成されているため、駆動接触部や振動子の性能向上のためにそれらの材質を、それぞれ独立に様々に変更でき、設計の自由度と共に性能向上のための開発が容易となる。
また、連結型駆動接触部とすることにより、複数の駆動接触部をばらばらに加工して振動子に接着するよりも、加工工数が低減できてコスト削減に貢献する。
【００８７】
また、連結型駆動接触部は、少なくとも一方の端部が振動子の側面と一致するように形成されているので、振動子との位置決めが容易となり、組立性が向上する。
ここで、上記振動波リニアモータ７０の振動子本体７１（又は７２、以下同様）の構成を説明する。
【００８８】
図６(a) は、上記振動波リニアモータ７０の振動子本体７１の正面図であり、同図(b) は、その側面図、同図(c) は、同図(a),(b) に示す振動子本体７１の圧電体シートと電極配置を示する図、同図(d),(e) は、振動子本体の他の構成例を２例示す図である。
同図(a),(b) に示すように、振動子本体７１は、積層された圧電体シート８６から成る圧電体シート層８７とその下方に積層された弾性体シート８８から成る弾性体シート層８９とで構成される。
【００８９】
圧電体シート層８７の上面と、弾性体シート層８９の下面には、それぞれ絶縁体シート９１が貼着されている。尚、この絶縁体シート９１は、元来が絶縁体である弾性体シート８８と同一部材を用いることもできる。また、図４及び図５に示した駆動接触部７３又は連結型駆動接触部８５は、いずれか一方の絶縁体シート９１のそれぞれ外側面に密着して形成されている。
【００９０】
上記振動子本体７１の圧電体シート層８７は、主に強制振動を与えるための圧電体部を構成しており、弾性体シート層８９は、圧電体部と合わせて特定の振動モードを励起する励起部を構成している。ただし、圧電体部だけで所望の振動モードを励起することができれば、励起部は必ずしも必要ではない。
【００９１】
圧電体シート層８７を形成する圧電体シート８６と、弾性体シート層８９の弾性体シート８８は、図６(c) に示す内部電極処理が施されているかいないかの違いだけで、本来は例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の同一材質から成る薄い矩形状のシート部材である。具体的には例えば縦１０ｍｍ、横２．５ｍｍ、高さ（積層方向の厚さ）８０μｍの形状を有している。
【００９２】
尚、本例において使用するＰＺＴ材は、Ｑｍ値が２０００というように大きいハード系材料が選択されて使用される。弾性体シートも同様である。また、圧電体シート層８７と弾性体シート層８９を上下から挟持する絶縁体シート９１は、同じＰＺＴ材で、厚さは４０μｍの形状である。これらの絶縁体シートは圧電体シートと同一材料ではあるが電極が設けられていないので未分極状態であり、圧電性は無く、したがって、実質的に絶縁体としての特性を有している。
【００９３】
圧電体シート層８７の圧電体シート８６は、内部電極処理が施された電極のパターンのみが異なる２種類のシート状圧電素子で構成される。これら２種類の圧電体シート８６は同図(c) に示すように、一方は左右二方に分けてほぼ全面にＡ＋内部電極箔９４とＢ−内部電極箔９５を形成された圧電体シート８６ｍである。上記Ａ＋内部電極箔９４とＢ−内部電極箔９５には、それぞれ左右両端に近い位置に、外部と接続するための端子９４−１と端子９５−１が圧電体シート８６ｍの一方の側方に突出して形成されている
他方は同じく左右二方に分けてほぼ前面にＡ−内部電極箔９６とＢ＋内部電極箔９７を形成された圧電体シート８６ｎである。上記Ａ−内部電極箔９６とＢ＋内部電極箔９７には、それぞれ左右の中央に近い位置に、外部と接続するための端子９６−１と端子９７−１が圧電体シート８６ｎの上記と同じ一方の側方に突出して形成されている。
【００９４】
上記の内部電極箔は、その電極材料としては銀パラジウム合金もしくは銀が用いられ、例えば蒸着とフォトリソグラフィー技術によって、厚さ４μｍの形状となるように形成されている。
本例では、圧電体シート層８７は、これら２種類の圧電体シート８６ｍと８６ｎとを、それぞれ２４枚づつ合計４８枚のシート層として、交互に重ねて構成されている。
【００９５】
このようにして、最上部と最下部を除く中間部では、一枚の内部電極箔が自身が形成されている圧電体シート８６（８６ｎ又は８６ｍ）と、自身に接する圧電体シート８６（８６ｍ又は８６ｎ）の両方へ反対電位の電圧を印加する内部電極を構成している。
上記のＡ＋内部電極箔９４、Ａ−内部電極箔９６、Ｂ＋内部電極箔９７、及びＢ−内部電極箔９５からそれぞれ圧電体シート８６（８６ｍ、８６ｎ）の一方の側方に突出して形成されている外部接続用の端子９４−１、９５−１、９６−１及び９７−１は、同図(a) に示す振動子本体７１の一方の側面において、焼き付け銀より成るＡ＋電極接続外部端子９８、Ａ−電極接続外部端子９９、Ｂ＋電極接続外部端子１０１、及びＢ−電極接続外部端子１０２にそれぞれ接続されている。
【００９６】
上記の一方のＡ＋電極接続外部端子９８とＡ−電極接続外部端子９９はＡ相電極として構成され、他方のＢ＋電極接続外部端子１０１とＢ−電極接続外部端子１０２はＢ相電極として構成されている。尚、この場合、Ａ−電極接続外部端子９９とＢ−電極接続外部端子１０２は、それぞれＡ相とＢ相のグラウンド（ＧＮＤ）接続用として構成するものであるので、その場合は同一のリード線等に接続して電気的に同電位となるように構成しても良い。これらＡ相とＢ相の電極接続外部端子を介して特には図示しない駆動回路から電圧が圧電体シート層８７に印加されて、振動子本体７１は後述する超音波楕円振動を発生する。
【００９７】
尚、本例における振動子本体７１の寸法は、例えば、長手方向の寸法が１０ｍｍ、短手方向の寸法が２ｍｍ、そして高さが２．５ｍｍの形状で構成されている。この振動子本体７１には、図６(a) に示すように、上記のＡ相電極とＢ相電極のほぼ中間つまり図４(b) 及び図５(c),(d),(e),(g) に示した振動の節部となる中央部７９の位置に、ピン部材取り付け孔１０３が形成されている。このピン部材取り付け孔１０３については後述する。
【００９８】
また、圧電体部としては必ずしも圧電体シート層８７でなくても以下のようなものでもよい。図６(d) は圧電体部として、積層圧電体又は圧電素子からなる圧電体１０５と、たとえば真鍮材からなる振動子本体主要部１０６、振動子本体部品１０７とを接着結合して振動子本体としたものである。振動子本体主要部１０６、振動子本体部品１０７が励起部をなす。
【００９９】
また、図６(e) は、直方体形状のたとえば真鍮部材の弾性体部１０８に薄い単板圧電体１０９を接着した構成を示している。弾性体部１０８が励起部をなす。これらの部材の接着時には十分な押圧をかけて接着することが、振動伝達効率を上げるために重要である。
図７(a),(b) は、上記の構成において電極への電圧印加により発振駆動される振動波リニアモータ７０の振動子本体７１の超音波楕円振動を模式的に説明する斜視図であり、同図(c) は、同図(b) の２次の屈曲振動を分かり易く振動子本体の輪郭線のみで示す図である。
【０１００】
先ず、図６(a) に示した振動子本体７１のＡ相電極９８，９９、及びＢ相電極１０１、１０２に、同位相である共振周波数近傍の交番電圧を印加すると、図７(a) に示すように、振動子本体７１には、静止位置１１１と共振縦振動位置１１２からなる１次の縦振動が励起される。この場合、振動子本体７１は長手方向に伸縮すると共に、中央部の上下左右の寸法が伸縮する。
【０１０１】
また、図６(a) において、上記Ａ相電極９８，９９、及びＢ相電極１０１、１０２に、逆位相である共振周波数近傍の交番電圧を印加すると、図７(b) に示すように、振動子本体７１には、静止位置１１３と共振屈曲振動位置１１４からなる２次の屈曲振動が励起される。
【０１０２】
これらの振動は、有限要素法を用いてコンピュータ解析することにより予想されたものであるが、実際の超音波振動測定の結果でも、それらの予想が実証された。
尚、図７(c) では、静止位置１１３と共振屈曲振動位置１１４のほかに、図４(b) に示した振動子本体７１に配置された駆動接触部７３−１及び７３−２の構成の場合の２つの駆動接触部の動きを上部に示し、これまでの図では未だ示していなかったが、２つの駆動接触部の振動子本体の長手方向両端に配置した場合の２つの駆動接触部の動きを下部に示している。
【０１０３】
このように、振動子から被駆動体（シャフト）に効率良く動力を伝達するためには、駆動接触部は、振動子の被駆動体との対向方向の振動が最も高くなる位置又はその近傍に固定されて配置されることが望ましい。
また、図７(a),(b) には、同図(c) に示す振動の節部となる中央部７９の位置に形成された図６(a),(d),(e) に示したピン部材取り付け孔１０３に取り付けられたピン部材１１５を示している。
【０１０４】
尚、本実施の形態では、共振周波数に関して、屈曲２次振動の共振周波数を縦１次振動の共振周波数より数％程度（望ましくは３％程度）低くなるように設計している。このように構成することで、後述するように振動波リニアモータとしての出力特性を大幅に向上させることができる。
【０１０５】
次に、振動子本体７１のＡ相電極９８，９９、及びＢ相電極１０１、１０２に位相がπ／２だけ異なる共振周波数近傍の交番電圧を印加すると、振動子本体７１の図７(c) に示す振動子本体の長手方向両端に配置した２個の駆動接触部７３の位置と、振動子本体７２の図７(c) に示す端部と中央とのほぼ中間に配置した２個の駆動接触部７３の位置とで、楕円振動を観測することが出来た。
【０１０６】
この場合、振動子本体７１の底面にある駆動接触部７３の位置での超音波振動による楕円振動の回転の向きと、振動子本体７２の上面に配置してある駆動接触部７３の位置での超音波振動による楕円振動の回転の向きとは逆になる。（図８参照。）
図８(a),(b) は、位相がπ／２だけ異なる共振周波数近傍の交番電圧を印加したときの振動子の駆動接触部の楕円振動を模式的に示す図である。尚、同図(a),(b) に示す連結型駆動接触部８５の駆動接触部７３の配置が上下で異なるが、同一の番号で連結型駆動接触部８５として示している。また、駆動接触部７３が、それぞれが単独の駆動接触部である場合も以下に説明する楕円振動の動きは同一である。
【０１０７】
図８(a) は、Ａ相電極９８，９９が、Ｂ相電極１０１、１０２よりも、印加される交番電圧の位相がπ／２だけ進んでいる場合の動作を示しており、振動子本体７１の底面の駆動接触部７３は時計回り方向の回転をしており、他方、振動子本体７２の上面の駆動接触部７３は反時計回り方向の回転をしている。
【０１０８】
そして、図８(b) は、Ａ相電極９８，９９が、Ｂ相電極１０１、１０２よりも、印加される交番電圧の位相がπ／２だけ遅れている場合の動作を示しており、振動子本体７１の底面の駆動接触部７３は反時計回り方向の回転をしており、他方、振動子本体７２の上面の駆動接触部７３は時計回り方向の回転をしている。
【０１０９】
このように、同じ振動子の駆動接触部は同じ向きに回転するような位置に配置し、且つ対向側の振動子の駆動接触部は反対向きに回転する位置に配置されることが好ましい。これにより最も効率よくシャフト７８に対する駆動力を取り出すことができるようになる。
すなわち、上記振動子本体７１及び７２の縦振動と屈曲振動とから合成される楕円振動が、４個の駆動接触部７３を介してガイド軸７８に作用し、シャフト７８が、振動子本体７１及び７２の各駆動接触部７３の接触面によるガイドに従って、図４(a),(b) で示した同図(a) の図面奥行き方向、同図(b) では図面左右方向に進退移動する。これが、本発明における振動波リニアモータの動作原理である。
【０１１０】
尚、本実施の形態では、圧電体部が、Ａ相電極９８，９９が配設されるＡ相とＢ相電極１０１、１０２が配設されるＢ相の２個所で構成されているが、圧電体部は２個所と限ることなく、縦振動と屈曲振動を起こさせることができれば３個所以上であってもよい。
また、本例では、振動子本体７１が、ほぼ直方体形状であるので、このような場合は、縦振動と屈曲振動により上記の駆動力が得られるが、駆動接触部に楕円振動を起こして駆動力を得られるのであれば、振動子は他の形状でもよい。また、１または複数の、同じまたは整数倍の周波数のモードを同時に励起しても、同じような振動運動を得ることができる。
【０１１１】
更に、駆動接触部は、振動波リニアモータとして最も高レベルの出力特性が得られる任意の位置、すなわち、振動子本体７１又は７２の最も高レベルの超音波楕円振動が行われる位置に設けられるのが望ましいが、一般には、楕円振動を行うことが駆動の源となるため少なくとも１個以上の駆動接触部では楕円振動が起こっており、少なくとも全ての駆動接触部の部位で生ずる振動による駆動力の総和が０にならないように駆動接触部を配置すればよい。
【０１１２】
また、全ての駆動子の位置で楕円運動が起こっている必要はなく、単振動または逆方向の振動が起こってもいても、各振動子からの駆動力の総計が０でなく、ある１方向への駆動力となっていればよい。
いずれにしても、電極の配置位置、交番電圧の印加タイミング、駆動接触部の配置位置を適宜に設定することにより、上下２つの振動子を用いて最小限の入力電圧でシャフト７８の駆動が可能である。
【０１１３】
また、図８(a),(b) の示す振動子７１の例では、駆動接触部７３が振動子本体７１の長手方向両端部に形成されているが、このような場合、
被駆動体である図４等に示すシャフト７８は、その移動方向の長さにおいて振動子の複数の駆動接触部（図８の例では２個）の最大配置長よりも長く形成されていなければならないということになる。
【０１１４】
図９(a),(b) 、図１０(a),(b) 、図１１(a),(b) 、図１２(a),(b) は、それぞれ振動波リニアモータの基本構成の様々な変形例を示す正面図及び側面図である。尚、これらの図において、図４(a),(b) に示した構成と同一の構成部分には図４(a),(b) と同一の番号を付与して示している。
【０１１５】
先ず、図９(a),(b) では、振動子７１及び７２をそれぞれ両側から挟むように配置された断面がコの字形の付勢係合部材１１６のＶ字形の係合部１１６−１のＶ字の谷が、振動子７１及び７２のピン部材取り付け孔（図６(a),(d),(e) のピン部材取り付け孔１０３参照）に挿入されたピン部材１１５（図７(a),(b) のピン部材１１５も参照）の両端に係合している。ここでは、圧縮バネ７６（７６−１、７６−２）は、図４(a),(b) に示したように振動子７１及び７２を直接付勢するのではなく、上記の付勢係合部材１１６に当接し、これにより付勢係合部材１１６及びピン部材１１５を介して振動子７１及び７２を付勢している。
【０１１６】
このように、振動子７１又は７２の振動の節部となる中央部７９に挿通されているピン部材１１５を介して振動子７１及び７２を付勢するので、振動子の共振による変位を阻害しない構成で、振動子を簡単にシャフト７８に付勢することが可能である。また、振動子の変位しない中心部で付勢するので、振動子を均一にシャフトへ付勢でき、これにより、シャフト７８の安定した駆動が可能となる。このことは、複数の駆動接触部が図８のように配置され、シャフトへ付勢されている場合でも同様である。
【０１１７】
図１０(a),(b) は、図９(a),(b) の構成において、振動子７１又は７２の一方（図１０の例では振動子７２）の付勢係合部材１１６を支持部材７７（図１０の例では７７−２）に固定し、他方の振動子（図１０の例では振動子７１）のみを、付勢係合部材１１６及びピン部材１１５を介して付勢するようにしたものである。
【０１１８】
このようにすれば、図９(a),(b) の場合と同一の機能を維持したまま、一方の付勢部材が無い分だけ、全体の構成を小型化することができる。
図１１(a),(b) は、図９、図１０のように支持部材７７や付勢係合部材１１６のような付勢への助成部材を排除して、付勢部材のみで２個の振動子を付勢する構造を示している。すなわち、シャフト７８を挟持する振動子７４及び７５のピン部材１１５の両端に、引き付勢力を有する菱形の線バネ１１７がそれぞれ掛け渡されている。これにより、２個の振動子７４及び７５を容易にシャフト７８に付勢することができる。
【０１１９】
この構成は、シャフト７８への２個の振動子７４及び７５の付勢の制御が簡略化でき、複雑な制御が不要となり、振動波リニアモータの主要部をユニットとして構成することができるので、全体の小型化に寄与できる。
また、２個それぞれの振動子への付勢力が小さくすむので付勢部材を小型化することができる。更に、振動子とシャフトと付勢部材だけでユニット化されるので、被駆動体であるシャフトに対して振動子の変位の自由度が増し、自在な駆動が可能となる。
【０１２０】
図１２(a),(b) は、図１１(a),(b) の構成の菱形の線バネ１１７に代えて、同じく引き付勢力を有する螺旋バネ１１８を、振動子７４及び７５のピン部材１１５の両端に、それぞれ掛け渡したものである。この構成は、菱形の線バネ１１７と螺旋バネ１１８が入れ替わっただけで、機能及び作用の面では図１１(a),(b) の場合と同一である。
【０１２１】
図１３(a) は、振動波リニアモータの基本構成の更なる他の例を示す正面図であり、同図(b) は、その側面図、同図(c) は、反対側の側面図である。同図(a),(b),(c) に示す構成は、図９(a),(b) 及び図１０(a),(b) に示した付勢係合部材１１６が、圧縮バネ７６等と同様の押し付勢部材１１９と一体化された構成であり、図９(a),(b) 及び図１０(a),(b) で付勢係合部材１１６であった部分が、図１３(a),(b),(c) では押し付勢部材１１９の係合部１１９−１となっている。
【０１２２】
この押し付勢部材１１９は、同図(b) に示す上下の自由端部が、それぞれ矢印ａ及び矢印ａ´で示すように内側に、つまり上下の係合部１１９−１がそれぞれ振動子７４及び７５のピン部材１１５を上から下へ及び下から上に付勢するような付勢力を有している。
このように、振動子７４及び７５を付勢する付勢部材は、引っ張りバネ、圧縮バネ、板バネ等の付勢部材から成り、被駆動体であるシャフト７８の移動中に振動子７４及び７５に一定の付勢力を供給し続けるように構成されている。
【０１２３】
次に、上述したような基本構成からなる振動波リニアモータにおける振動子７４及び７５の駆動接触部７３の図８(a),(b) に示したような楕円振動によるシャフト７８の進退移動力を、図１乃至図３に示した第３の移動鏡枠１９の移動駆動力として取り出す構成について説明する。
【０１２４】
図１４(a) は、本例において用いられる振動波リニアモータの分解斜視図であり、同図(b) は、その組み立て上がり状態を示す斜視図である。同図(a),(b) に示すように、振動波リニアモータ１２０は、先ず、図９乃至図１３に示した直方体形状をした振動子本体７１及び７２と複数（図１４(a),(b) の例ではそれぞれ２個）の駆動接触部７３とから成る振動子７４及び７５を備えている。これらの振動子７４及び７５の振動の節部となる中央部には、それぞれピン部材１１５が挿通され、その両端は振動子７４及び７５の両側面からそれぞれ外部に突出している。
【０１２５】
これらの振動子７４及び７５を上部と下部に収容して長手方向（同図(a),(b) の斜め左下から斜め右上方向）への移動を禁止する一方で、長手方向の両面にシャフト７８が挿通されるシャフト挿通孔１２１−１、１２１−２を形成されて  いるハウジング１２２が備えられる。ハウジング１２２の上部と下部に収容される振動子７４及び７５の間に、ハウジング１２２のシャフト挿通孔１２１−１、１２１−２を挿通されたシャフト７８が介装される。
【０１２６】
上記のハウジング１２２の上下から、ハウジング１２２の上部と下部を抱き込むように付勢係合部材１２３−１、１２３−２が組み合わせられる。付勢係合部材１２３−１、１２３−２の長手方向の一方の端部（同図(a),(b) の斜め右上方向端部）には、それぞれ係止ピン孔１２４−１、１２４−２が形成されており、これらの係止ピン孔に対応して、ハウジング１２２の上部と下部の長手方向の一方の端部にも、それぞれ係止ピン孔１２５−１、１２５−２が形成されている。
【０１２７】
これら上方の付勢係合部材１２３−１の係止ピン孔１２４−１とハウジング１２２上部の係止ピン孔１２５−１に連結止めピン１２６−１が挿通される。この連結止めピン１２６−１を支点にして付勢係合部材１２３−１が揺動自在にハウジング１２２の上端部に係止する。
【０１２８】
他方、下方の付勢係合部材１２３−２の係止ピン孔１２４−２とハウジング１２２下部の係止ピン孔１２５−２に連結止めピン１２６−２が挿通される。この連結止めピン１２６−２を支点にして付勢係合部材１２３−２が揺動自在にハウジング１２２の下端部に係止する。
【０１２９】
また、付勢係合部材１２３−１、１２３−２の長手方向の他方の端部（同図(a),(b) の斜め左下方向端部）には、それぞれ付勢用ピン孔１２７−１、１２７−２が形成されている。これら付勢用ピン孔１２７−１、１２７−２には、それぞれ付勢用係合ピン１２８−１、１２８−２が挿通される。
【０１３０】
付勢用係合ピン１２８−１の外部に突出する両端部には、それぞれ円周に沿って切り欠かれた止め溝１２８−１ａ、１２８−１ｂが形成されており、他方の付勢用係合ピン１２８−２の外部に突出する両端部にも、それぞれ円周に沿って切り欠かれた止め溝１２８−２ａ、１２８−２ｂが形成されている。
【０１３１】
同図(b) には定かには示していないが、上記付勢用係合ピン１２８−１の手前側の止め溝１２８−１ａと付勢用係合ピン１２８−２の手前側の止め溝１２８−２ａに、引き付勢力を有する一方の螺旋バネ１２９−１の両端がそれぞれ係止し、上記付勢用係合ピン１２８−１の向う側の止め溝１２８−１ｂと付勢用係合ピン１２８−２の向う側の止め溝１２８−２ｂ（いずれも同図(b) では他部材の陰になって見えない）に、引き付勢力を有する他方の螺旋バネ１２９−２の両端がそれぞれ係止する。
【０１３２】
こにより、上の付勢係合部材１２３−１は、連結止めピン１２６−１を支点にして全体が下方に付勢され、その係合部１２３−１−１が、上の振動子７４のピン部材１１５に係合して振動子７４を下方に付勢し、下の付勢係合部材１２３−２は、連結止めピン１２６−２を支点にして全体が上方に付勢され、その係合部１２３−２−１が、下の振動子７５のピン部材１１５に係合して振動子７５を上方に付勢する。
【０１３３】
これらの振動子７４と振動子７５に押圧挟持されるシャフト７８の一方の端部（図１４(a),(b) の斜め右上方向の端部）には、ナット１３１が固定され、そのナット１３１には駆動係合ピン１３２がシャフト７８の軸に直角に且つ水平に且つ向う向き（同図(a),(b) では斜め左上向き）に固定して取り付けられる。
【０１３４】
尚、駆動係合ピン１３２の長く延び出す先端は、同図(b) では他部材の陰になって見えない。この駆動係合ピン１３２は、シャフト７８が振動子７４と振動子７５により長手方向に進退駆動されることに応じて、そのシャフト７８の動作に従って移動する。
図１５(a) は、上記振動波リニアモータ１２０と、第３の移動鏡枠１９との連結方法を説明する斜視図であり、同図(b) は、その連結部のみを取り上げて示す拡大斜視図である。尚、同図(a) は、図３において振動波リニアモータ４６（図１５(a) では１２０）と第３の移動鏡枠１９を見た図である。また、図１５(a) は、シャフト７８の端部のナット１３１に斜め左上向う側に突設されている駆動係合ピン１３２を、その突設側方向に、分かり易いようにナット１３１から脱離させて示している。
【０１３５】
図１６(a) は、図１５(b) を矢印ｃ方向に見た図、図１６(b) は図１５(b) のＡ−Ａ´矢視断面図である。尚、図１６(b) には駆動係合ピン１３２と共にシャフト７８とナット１３１の断面も示している。
図１５(a) に示すように、第３の移動鏡枠１９は、第３の移動レンズ部１２を保持する鏡枠本体１３３と軸受け部５３−３と、この軸受部５３−３から下方に突設された係合突設部１３４から構成されている。係合突設部１３４のほぼ中央部には鏡枠本体１３３が光軸Ｏ２に沿って移動する移動方向に並行する方向に長い長孔１３５が穿設されている。
【０１３６】
この長孔１３５には（以下、図１６(a),(b) も参照）、移動出力取出用の駆動係合ピン１３２を第３の移動鏡枠１９との当接個所（係合突設部１３４の長孔１３５）に付勢する板バネ１３６が図の向う側から係合する。
板バネ１３６は、平らな本体部１３６−１と、この本体部１３６−１の下方から手前と上方に２段に折り曲げられたけ係止部１３６−２と、本体部１３６−１の左横から手前に折り曲げられた付勢部１３６−３とで構成されている。
【０１３７】
この板バネ１３６は、その係止部１３６−２が、第３の移動鏡枠１９の長孔１３５が形成されている係合突設部１３４の下端部を向う側から回り込むように挟みつけて係合突設部１３４に係止する。これにより、板バネ１３６の本体部１３６−１が長孔１３５の向う側開口面に密着し、付勢部１３６−３が長孔１３５内の所定の位置に向う側から挿入される。付勢部１３６−３と長孔１３５の左端部間には移動出力取出用の駆動係合ピン１３２が挿通されるだけの間隙が形成されている。
【０１３８】
第３の移動鏡枠１９の鏡枠本体１３３の向う側の側面１３３−１と、係合突設部１３４の手前側の面との間には、ちょうど振動波リニアモータ１２０の振動子本体７１及び７２の図６に示したＡ＋電極接続外部端子９８、Ａ−電極接続外部端子９９、Ｂ＋電極接続外部端子１０１、及びＢ−電極接続外部端子１０２に接続されるフレキシブル基板が配置されるだけの空隙が形成されている。
【０１３９】
この空隙に振動波リニアモータ１２０が配置されたとき、その移動出力取出用の駆動係合ピン１３２が、図１５(b) に示すように、付勢部１３６−３と長孔１３５の左端部間に形成されている間隙に挿通される。
この係合により、移動出力取出用の駆動係合ピン１３２は、長孔１３５内において、第２の光軸Ｏ２方向への動きを禁止され、図１５(a) では図示を省略している図２に示した金属フレーム２３ａに図１４(b) に示したハウジング１２２が固定配置される振動波リニアモータ１２０のシャフト７８の第２の光軸Ｏ２方向への移動を忠実に第３の移動鏡枠１９に伝達する。
【０１４０】
また、駆動係合ピン１３２は、他方では、上記の係合において、上下の動きには遊びが許されている。この遊びにより、振動子本体７１及び７２とシャフト７８の、振動子本体７１又は７２のピン部材１１５を中心とする上下方向の斜揺動等が吸収される。
また、これにより、移動出力取出用の駆動係合ピン１３２は、上記のようにシャフト７８の第２の光軸Ｏ２方向への移動の向きと力を第３の移動鏡枠１９に正確に伝達する一方で振動子本体７１及び７２の楕円振動等による上下動に影響されるシャフト７８の上下動に応じた上下動は長孔１３５内における上下動で吸収し、第３の移動鏡枠１９に伝達することはない。
【０１４１】
このように、本例ではシャフト７８と第３の移動鏡枠１９間の連結には、一方でシャフト７８にナット１３１を介して固定され、他方では板バネ１３６の付勢力により第３の移動鏡枠１９鏡枠との当接個所（係合突設部１３４の長孔１３５）に当接するのみの移動出力取出用の駆動係合ピン１３２による連結状態を形成して、これによりシャフト７８の移動力（駆動力）を第３の移動鏡枠１９の移動に伝達するようにしている。
【０１４２】
このように、駆動係合ピン１３２は、振動波リニアモータ１２０を或る電子機器、装置等に搭載した場合に、シャフト７８の移動駆動力を外部（電子機器内の移動駆動機構、装置内の被移動駆動物）へと伝達するための移動駆動伝達手段である。
また、リニア駆動させることで、レンズ鏡枠などの直線移動を行う部材を直接に駆動することが可能となり、機械損失が低減でき、高効率な駆動を実現することができるようになる。
【０１４３】
また、カメラの鏡枠を被駆動体としたときは、リニア駆動によりレンズ鏡枠つまりレンズを直接駆動出来るため合焦時間を短くすることができ、迅速な撮影動作に対処することが容易に出来るようになる。
ところで、前述の図４(a),(b) において、本例における振動波リニアモータ７０（又は１２０、以下同様）は、シャフト７８と２つの振動子７４及び７５とは相対的に移動する関係にあると説明した。
【０１４４】
これを図１５(a) で説明すると、図１５(a) の場合は固定されたハウジング１２２に対して移動するシャフト７８によって、このシャフト７８にナット１３１及び駆動係合ピン１３２を介して連結された第３の移動鏡枠１９が移動するが、例えばシャフト７８の移動方向の前後の端部を、シャフト７８の振動を阻害しない弾性部材で挟持し、この弾性部材を金属フレーム２３ａに固定し、ハウジング１２２との固定連結部を第３の移動鏡枠１９の適宜の部位に形成する。
【０１４５】
そうすれば、シャフト７８は固定配置となり、このシャフト７８に対して相対的に振動子７４及び７５つまりハウジング１２２が移動することになり、すなわちハウジング１２２に固定連結された形の第３の移動鏡枠１９の方が移動するようになる。
そのような構成にすることも可能であり、従ってシャフト７８と２つの振動子７４及び７５とは相対的に移動する関係にあると説明したものである。
【図面の簡単な説明】
【０１４６】
【図１】(a) は本発明の振動波リニアモータを搭載したレンズ装置を示す外観斜視図、(b) は(a) に示すレンズ装置のＡ−Ａ´矢視断面を(a) の矢印ａ方向から見たレンズユニット各部の概略の構成を示す図である。
【図２】レンズ装置を上方から見た分解斜視図である。
【図３】レンズ装置を天地を逆にして下方から見た分解斜視図である。
【図４】(a) は本例において用いられる振動波リニアモータの基本構成を示す正面図、(b) はその側面図である。
【図５】(a),(b) は駆動接触部のシャフトとの接触面の形状例を示す図、(c),(d) は駆動接触部の振動子本体への配置例を示す図、(e) 〜(h) は駆動接触部そのものの構成例を示す図である。
【図６】(a) は振動波リニアモータの振動子本体の正面図、(b) はその側面図、(c) は(a),(b) に示す振動子本体の圧電体シートと電極配置を示する図、(d),(e) は振動子本体の他の構成例を２例示す図である。
【図７】(a),(b) は電極への電圧印加により発振駆動される振動波リニアモータの振動子本体の超音波楕円振動を模式的に説明する斜視図、(c) は(b) の２次の屈曲振動を分かり易く振動子本体の輪郭線のみで示す図である。
【図８】(a),(b) は位相がπ／２だけ異なる共振周波数近傍の交番電圧を印加したときの振動子の駆動接触部の楕円振動を模式的に示す図である。
【図９】(a),(b) は振動波リニアモータの基本構成の他の例を示す正面図及び側面図（その１）である。
【図１０】(a),(b) は振動波リニアモータの基本構成の他の例を示す正面図及び側面図（その２）である。
【図１１】(a),(b) は振動波リニアモータの基本構成の他の例を示す正面図及び側面図（その３）である。
【図１２】(a),(b) は振動波リニアモータの基本構成の他の例を示す正面図及び側面図（その４）である。
【図１３】(a) は振動波リニアモータの基本構成の更なる他の例を示す正面図、(b) はその側面図、(c) は反対側の側面図である。
【図１４】(a) は本例において用いられる振動波リニアモータの分解斜視図、(b) はその組み立て上がり状態を示す斜視図である。
【図１５】(a) は振動波リニアモータと第３の移動鏡枠との連結方法を説明する斜視図、(b) はその連結部のみを取り上げて示す拡大斜視図である。
【図１６】(a) は図１５(b) を矢印ｃ方向に見た図、(b) は図１５(b) のＡ−Ａ´矢視断面図である。
【符号の説明】
【０１４７】
１      レンズ装置
２      回路基板
８      第１の固定レンズ部
９      第１の移動レンズ部
１１    第２の移動レンズ部
１２    第３の移動レンズ部
１３    第２の固定レンズ部
１４    撮像素子
Ｌ１    プリズム一体化レンズ
Ｌ２、Ｌ９  固定レンズ
Ｌ３、Ｌ４、Ｌ５、Ｌ６、Ｌ７、Ｌ８  移動レンズ
１５    第１の固定鏡枠部
１５−１  切欠部
１６    第２の固定鏡枠部
１７    第１の移動鏡枠
１８    第２の移動鏡枠
１８−１  切欠部
１９    第３の移動鏡枠
１９−１  切欠部
１９−２  突設部
２１    絞り位置（シャッタ位置）
２２    主固定鏡枠
２３（２３ａ、２３ｂ、２３ｃ）  金属フレーム
２４    接着剤溜まり部
２５    ズーム用シャフトカム
２６（２６ａ、２６ｂ）  細径部
２７    ギア
２８    軸受嵌合孔
２９    軸受
３１    凸部
３２    付勢板バネ
３２−１  曲がり足部
３２−２  止め切片
３２−３  付勢バネ部
３３    切欠部
３４    凸部
３５    ズーム用モータユニット
３６    減速ギア列
３７    ギア軸固定部
３８    止め板固定部
３９    位置決め孔
４１    止め孔
４２    絞り・シャッタユニット
４３    絞り・シャッタ部
４４、４５  ロータリーソレノイド
４６    振動波リニアモータ
４７    磁気センサユニット
４８    磁気センサホルダ
４９    磁気センサ
５１    磁気スケール
５２    付勢バネ
５３（５３−１、５３−２、５３−３）  軸受部
５４（５４−１、５４−２、５４−３）  ガイド孔
５５（５５−１、５５−２、５５−３）  Ｕ字切欠部
５６    前端部外面
５７    側面部
５８    段差部
５９    光反射部材
６１（６１−１、６１−２）  カムフォロア
６２    光反射部材
６３（６３−２、６３−３）  凸部
６４（６４−１、６４−２）  ガイド軸支持孔
６５    第１のガイド軸
６６    圧縮バネ
６７    ガイド軸支持孔
６８    第２のガイド軸
６９    開口部
７０    本発明の振動波リニアモータの基本構成
７１、７２  振動子本体
７３（７３−１、７３−２、７３−３）  駆動接触部
７４、７５  振動子
７６（７６−１、７６−２）  圧縮バネ
７７（７７−１、７７−２）  支持部材
７８    シャフト
７９    振動の節部となる中央部
８１    振動の節部となる中央部を通る直線
８２    シャフトの中心軸
８４    平板部
８５    連結型駆動接触部
８６、８６ｍ、８６ｎ  圧電体シート
８７    圧電体シート層
８８    弾性体シート
８９    弾性体シート層
９１    絶縁体シート
９４    Ａ＋内部電極箔
９４−１、９５−１  端子
９５    Ｂ−内部電極箔
９６    Ａ−内部電極箔
９６−１、９７−１  端子
９７    Ｂ＋内部電極箔
９８    Ａ＋電極接続外部端子
９９    Ａ−電極接続外部端子
１０１  Ｂ＋電極接続外部端子
１０２  Ｂ−電極接続外部端子
１０３  ピン部材取り付け孔
１０５  圧電体
１０６  振動子本体主要部
１０７  振動子本体部品
１０８  弾性体部
１０９  単板圧電体
１１１  １次の縦振動の静止位置
１１２  １次の縦振動の共振縦振動位置
１１３  ２次の屈曲振動の静止位置
１１４  ２次の屈曲振動の共振屈曲振動位置
１１５  ピン部材
１１６  付勢係合部材
１１６−１  Ｖ字形係合部
１１７  菱形線バネ
１１８  螺旋バネ
１１９  押し付勢部材
１１９−１  係合部
１２０  振動波リニアモータ
１２１−１、１２１−２  シャフト挿通孔
１２２  ハウジング
１２３−１、１２３−２  付勢係合部材
１２３−１−１、１２３−２−１  係合部
１２４−１、１２４−２  係止ピン孔
１２５−１、１２５−２  係止ピン孔
１２６−１、１２６−２  連結止めピン
１２７−１、１２７−２  付勢用ピン孔
１２８−１、１２８−２  付勢用係合ピン
１２９−１、１２９−２  螺旋バネ
１３１  ナット
１３２  駆動係合ピン
１３３  鏡枠本体
１３４  係合突設部
１３５  長孔
１３６  板バネ
１３６−１  本体部
１３６−２  係止部
１３６−３  付勢部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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