(57)【要約】【課題】  上側の半導体チップの撓みを防止することができる半導体装置を提供すること。ボイドの発生を抑制できる半導体装置を提供すること。【解決手段】  本発明にかかる半導体装置１は、複数の半導体チップ３ａ、３ｂ、３ｃを、スペーサ４を介して積層してパッケージングしている。特に当該半導体装置１では、スペーサ４は、連続して積層されたスペーサ４ａ、スペーサ４ｂとを備えている、  スペーサ４ａの主面の面積は、スペーサ４ｂの主面の面積と異なっている。特に、スペーサ４ａよりもスペーサ４ｂの方が、その主面の面積を大きくすると上側の半導体チップ３ｂの撓みを防止できる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の半導体チップをスペーサを介して積層してパッケージングした半導体装置であって、前記スペーサは、少なくとも第１のスペーサと前記第１のスペーサの上方に設けられた第２のスペーサとを備え、
前記第１のスペーサの主面の面積は、前記第２のスペーサの主面の面積と異なる半導体装置。
【請求項２】
前記第１のスペーサよりも前記第２のスペーサの方が、その主面の面積が大きいことを特徴とする請求項１記載の半導体装置。
【請求項３】
前記第２のスペーサよりも前記第１のスペーサの方が、その主面の面積が大きいことを特徴とする請求項１記載の半導体装置。
【請求項４】
前記第１のスペーサと前記第２のスペーサの厚さの総和は、前記スペーサの下側に位置する半導体チップのワイヤボンディングに必要とされる厚みであることを特徴とする請求項１記載の半導体装置。
【請求項５】
前記第１のスペーサと前記第２のスペーサのいずれか一方は、前記半導体チップの厚さよりも薄いことを特徴とする請求項１記載の半導体装置。
【請求項６】
前記第１のスペーサと前記第２のスペーサは、略同じ厚さを有することを特徴とする請求項４又は５記載の半導体装置。
【請求項７】
前記第２のスペーサは、前記第２のスペーサよりも上方に設けられた半導体チップ以上の主面の面積を有することを特徴とする請求項１記載の半導体装置。
【請求項８】
前記第２のスペーサの少なくとも一面の全領域に渡って電磁波遮断膜が形成されていることを特徴とする請求項７記載の半導体装置。
【請求項９】
前記電磁波遮断膜は、アルミ膜であることを特徴とする請求項８記載の半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の半導体チップを積層してパッケージングした半導体装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
各種携帯電話装置や情報携帯端末機器の小型化が進み、これらに用いられる半導体装置も小型化が要求されている。小型化の要求を満足させる１つの手段として、１つのパッケージ内に複数の半導体チップを積層する技術が提案されている（例えば、特許文献１、特許文献２）。図５に、かかる技術を利用した半導体装置の構成例を示す。
【０００３】
図５に示されるように、基板（インターポーザ）２上に半導体チップ３ａが接着剤により固定され、その上にスペーサ４を介して半導体チップ３ｂが固定されている。スペーサ４は、下側の半導体チップ３ａの電極にワイヤを接続する空間を確保する目的で設けられている。スペーサ４と各半導体チップ３ａ、３ｂとの間は、例えば接着剤により固定されている。半導体チップ３ａの電極は基板２の電極とワイヤ５ａにより接続されており、また、半導体チップ３ｂの電極は基板２の電極とワイヤ５ｂにより接続されている。そして、これらの半導体チップ３ａ、３ｂ、スペーサ４等は、封止用樹脂６によってパッケージングされている。
【特許文献１】特開２００２−２６１２３３号公報
【特許文献２】特開２００２−５７２７２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
図５に示されるような従来の半導体装置においては、スペーサ４は下側の半導体チップ３ａの電極にワイヤを接続する空間を確保する必要性から、半導体チップ３ａが設けられた周辺領域から一定距離だけ内側にその外周が位置しなければならない。従って、当該スペーサ４上に固定される上側の半導体チップ３ｂがスペーサ４よりも十分大きいような場合に、スペーサ４はこの半導体チップ３ｂの中央付近の狭い領域において支持することになるため、半導体チップ３ｂに撓みを生じさせる場合があり、ボンディング不良や半導体チップ３ｂの特性劣化を招くという問題があった。
【０００５】
他方、図６に示されるように、封止用樹脂６は一方向から注入されることが一般的であり、図の矢印に従って封止用樹脂６が流れる。従って、注入側と反対側に位置するスペーサ４の近傍領域７においては、封止用樹脂６の密度が低くなってしまい、ボイドが発生する場合がある。このとき、従来の半導体装置では、スペーサ４は下側の半導体チップ３ａの電極にワイヤを接続する空間を確保する必要性から、一定以上の厚さを有している必要があるため、比較的厚く構成されている。そのため、領域７において発生するボイドも大きくなってしまう。そして、ボイドが大きくなると、半導体装置のパッケージが脆くなり、壊れやすくなるという問題が発生する。
【０００６】
本発明の目的は、かかる問題を解消し、上側の半導体チップの撓みを防止することができる半導体装置を提供することにある。また、本発明の目的は、ボイドの発生を抑制できる半導体装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明にかかる半導体装置は、複数の半導体チップをスペーサを介して積層してパッケージングした半導体装置であって、前記スペーサは、少なくとも第１のスペーサと前記第１のスペーサの上方に設けられた第２のスペーサとを備え、前記第１のスペーサの主面の面積は、前記第２のスペーサの主面の面積と異なるものである。
【０００８】
ここで、前記第１のスペーサよりも前記第２のスペーサの方が、その主面の面積が大きくなるようにするとよい。逆に、前記第２のスペーサよりも前記第１のスペーサの方が、その主面の面積が大きくなるようにしてもよい。
【０００９】
また、前記第１のスペーサと前記第２のスペーサの厚さの総和は、前記スペーサの下側に位置する半導体チップのワイヤボンディングに必要とされる厚みとするとよい。
【００１０】
さらに、前記第１のスペーサと前記第２のスペーサのいずれか一方は、前記半導体チップの厚さよりも薄くすることが望ましい。
【００１１】
好適な実施の形態における第１のスペーサと前記第２のスペーサは、略同じ厚さを有する。
【００１２】
また、前記第２のスペーサは、前記第２のスペーサよりも上方に設けられた半導体チップ以上の主面の面積を有することが望ましい。
【００１３】
特に、前記第２のスペーサの少なくとも一面の全領域に渡って電磁波遮断膜が形成されていることが好ましい。好適な実施の形態における電磁波遮断膜は、アルミ膜である。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、上側の半導体チップの撓みを防止することができる半導体装置を提供することができる。また、本発明によれば、ボイドの発生を抑制できる半導体装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
発明の実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１による半導体装置の構成を示す一部破断断面図である。図に示されるように、基板（インターポーザ）２上に半導体チップ３ａが接着剤や銀ペースト等により固定されている。接着剤は、例えばシール型の接着剤が用いられる。この半導体チップ３ａには、メモリＩＣ、ロジックＩＣ等様々な種類のＩＣが含まれ、主にシリコンやガリウムヒ素によりなる。以下の半導体チップ３ｂ、３ｃも同様である。
【００１６】
半導体チップ３ａの上面には、スペーサ４ａが接着剤等により固定されている。さらに、本発明の実施の形態１では、スペーサ４ａの上面に接着剤等によりスペーサ４ｂが固定されている。スペーサ４ｂの主面の面積は、スペーサ４ａよりも大きい。スペーサ４ａ、４ｂは、例えば、シリコンウエハの一部をダイシングすることにより形成されたシリコンチップにより構成される。スペーサ４ａとスペーサ４ｂは、連続して積層されている。
【００１７】
スペーサ４ａは、主に半導体チップ３ａの電極にワイヤ５ａを接続する空間を確保する目的で設けられている。そのため、スペーサ４ａの主面の面積は、半導体チップ３ａの主面の面積よりも狭い。そして、半導体チップ３ａの周辺領域に設けられた電極がスペーサ４ａを固定した状態において露出している。スペーサ４ｂは、主に半導体チップ３ｂに撓みが生じることを防止するために設けられている。さらに半導体チップ３ｂの撓みを効果的に防止するために、スペーサ４ｂ自体に硬度の高い材料を用いたり、スペーサ４ｂの主面上にタングステン等の金属膜を形成したりしてもよい。
【００１８】
スペーサ４ｂの上面に接着剤等により半導体チップ３ｂが固定されている。この例では、さらに半導体チップ３ｂの上面に接着剤等により半導体チップ３ｃが固定されている。半導体チップ３ｂの主面の面積よりも半導体チップ３ｃの方が小さく、半導体チップ３ｂの電極は露出しているため、半導体チップ３ｂと半導体チップ３ｃの間にはスペーサは設けられていない。
【００１９】
半導体チップ３ａの電極は基板２の電極とワイヤ５ａにより接続されており、また、導体チップ３ｂの電極は基板２の電極とワイヤ５ｂにより接続されている。半導体チップ３ｃの電極は基板２の電極とワイヤ５ｃにより接続されている。そして、これらの半導体チップ３ａ、３ｂ、３ｃ、スペーサ４等は、封止用樹脂６によってパッケージングされている。封止用樹脂６は、例えば、熱硬化性樹脂により構成される。
【００２０】
ここで、本発明の実施の形態１にかかる半導体装置の製造方法について簡単に説明する。まず、基板２の上に接着剤を塗布し、この上に１段目の半導体チップ３ａを載置する。接着剤が硬化すると半導体チップ３ａが基板２の上面に固定される。そして、半導体チップ３ａの表面縁部に形成された電極と基板２側に形成された電極とを例えば金線などのワイヤ５ａで接続する。
【００２１】
次いで、半導体チップ３ａの上面に接着剤を塗布する。接着剤は、電極が形成された表面縁部より内方側の表面に塗布され、ここにスペーサ４ａを載置する。接着剤が硬化するとスペーサ４ａが半導体チップ３ａの上面に固定される。
【００２２】
スペーサ４ａの上面に接着剤を塗布し、スペーサ４ｂを載置する。接着剤が硬化すると、スペーサ４ｂがスペーサ４ａ上に固定される。
【００２３】
次に、スペーサ４ｂの上面に接着剤を塗布し、この上に２段目の半導体チップ３ｂを載置する。接着剤が硬化すると半導体チップ３ｂがスペーサ４ｂの上面に固定される。そして、半導体チップ３ｂの表面縁部に形成された電極と基板２側に形成された電極とを例えば金線などのワイヤ５ｂで接続する。
【００２４】
さらに、半導体チップ３ｂの上面に接着剤を塗布し、この上に３段目の半導体チップ３ｃを載置する。接着剤が硬化すると半導体チップ３ｃが半導体チップ３ｂの上面に固定される。
【００２５】
最後に封止用樹脂（熱硬化性樹脂）６を注入して熱で硬化させてパッケージングして完成する。
以上説明したように、本発明の実施の形態１においては、主面の面積が異なるスペーサを２枚組み合わせて構成したため、スペーサの上面に固定される半導体チップの撓みを抑制できる。特に、スペーサは、上側のスペーサを下側のスペーサよりもその主面の面積が大きくなるようにすると、下側にある半導体チップのワイヤボンディングのための空間を確保しつつ、効果的に上面に固定される半導体チップの撓みを抑制することができる。
【００２６】
発明の実施の形態２．
本発明の実施の形態２においては、発明の実施の形態１と同様に、主面の面積が異なるスペーサを２枚組み合わせて構成しているが、特に、これらのスペーサの厚みに特徴を有する。スペーサ以外の構成については、基本的に発明の実施の形態１において説明した構成と同じであり、説明を省略する。
【００２７】
具体的には、組み合わせられたスペーサの全厚みが、下側にある半導体チップ３ａのワイヤボンディングのための空間を確保する上で必要とされる最低限度の厚みを有するように設定されており、１つ１つのスペーサ４ａ、４ｂの厚みは、例えばスペーサの全厚みの半分の厚さを有し、当該最低限度の厚みよりも薄い厚みを有する。従って、発明が解決しようとする課題の欄において説明したようなボイドが発生したとしても、そのボイドの直径は最大でも主面の面積が小さい側のスペーサ（ここでは、スペーサ４ａ）の厚さ程度に抑えることができるため、ボイドの影響を少なくすることができる。
【００２８】
図２に示すスペーサ４は、下側のスペーサ４ａよりも上側のスペーサ４ｂの方が、その主面の面積が大きく形成されている。このため、発明の実施の形態１と同様に、本発明の実施の形態２にかかる半導体装置においても、下側にある半導体チップのワイヤボンディングのための空間を確保しつつ、効果的に上面に固定される半導体チップの撓みを防止することができるという効果を奏する。
【００２９】
発明の実施の形態３．
本発明の実施の形態３においては、発明の実施の形態１、２と同様に、主面の面積が異なるスペーサを２枚組み合わせて構成しているが、特に、これらのスペーサの厚みに特徴を有する。スペーサ以外の構成については、基本的に発明の実施の形態１において説明した構成と同じであり、説明を省略する。この例では、発明の実施の形態２と異なり、図３に示されるように、スペーサ４ａよりもスペーサ４ｂの方がその主面の面積が小さい。
【００３０】
具体的には、組み合わせられたスペーサの全厚みが、下側にある半導体チップ３ａのワイヤボンディングのための空間を確保する上で必要とされる最低限度の厚みを有するように設定されており、１つ１つのスペーサ４ａ、４ｂの厚みは、例えばスペーサの全厚みの半分の厚さを有し、当該最低限度の厚みよりも薄い厚みを有する。従って、発明が解決しようとする課題の欄において説明したようなボイドが発生したとしても、主面の面積が小さい側のスペーサ（ここでは、スペーサ４ｂ）の厚さが最大直径のボイドしか発生しないため、ボイドの影響を抑制することができる。
【００３１】
図３に示されるように、スペーサ４ｂよりもスペーサ４ａの方がその主面の面積を大きくすると、半導体チップ３ｂや上側のスペーサ４ｂによって半導体チップ３ａに加えられる応力を緩和することが可能となるため、半導体チップ３ａの性能劣化を防止できる。
【００３２】
発明の実施の形態４．
本発明の実施の形態４においては、発明の実施の形態１、２と同様に、主面の面積が異なるスペーサを２枚組み合わせて構成しているが、特に、これらのスペーサのうち、上側にあるスペーサ４ｂの主面の面積が、上側にある半導体チップ３ｂの主面の面積以上であることを特徴とする。
【００３３】
従って、下側にある半導体チップ３ａによって発生した電磁波ノイズが上側にある半導体チップ３ｂに伝達されることをスペーサ４ｂにより抑制することができる。特に、本発明の実施の形態４においては、図４に示されるようにスペーサ４ｂの一面（この例では上面）の全領域に亘って電磁波遮断膜としてアルミ膜、タングステン膜、窒化チタン膜等の金属膜が形成されているため、より効果的にノイズの伝達を抑制できる。尚、ノイズの伝達に関しては、上側にある半導体チップ３ｂから下側にある半導体チップ３ａに対して伝達される場合もあり、この場合も当該スペーサ４ｂによって効果的にノイズの伝達を抑制できる。即ち、スペーサ４ｂはノイズをシールドできる。
【００３４】
図４に示すスペーサ４は、下側のスペーサ４ａよりも上側のスペーサ４ｂの方が、その主面の面積が大きく形成されている。このため、発明の実施の形態１と同様に、本発明の実施の形態４にかかる半導体装置においても、下側にある半導体チップのワイヤボンディングのための空間を確保しつつ、効果的に上面に固定される半導体チップの撓みを防止することができるという効果を奏する。
【００３５】
その他の実施の形態．
上述した各発明の実施の形態では、スペーサ４は、２つのスペーサ４ａ、４ｂにより構成した例を説明したが、これに限らず、スペーサ４は、３つ以上のスペーサにより構成するようにしても同様の効果を奏する。この場合に、発明の実施の形態１に関しては、上側の半導体チップ３ｂに近い側、即ち上側にいくに従って、段階的にスペーサの主面の面積が大きくなるようにするとよい。また、発明の実施の形態２に関しては、スペーサの主面の面積が交互に大小を繰り返すように構成すると、発生するボイドの大きさをより小さくすることが可能となる。例えば、一番下のスペーサ４ａよりも次のスペーサ４ｂの方が大きくなるように、その次のスペーサ４ｃはスペーサ４ｂよりも小さくなるようにし、さらに、その次のスペーサ４ｄはスペーサ４ｃよりも大きくなるようにする。
【００３６】
尚、複数の半導体チップ３を予め１パッケージとして設計し、不要な半導体チップ３は、ダミースペーサに置き換えるとよい。この場合のダミースペーサは、一面にアルミ膜が形成されたシリコンとすることが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の実施の形態１による半導体装置の構成を示す一部破断断面図である。
【図２】本発明の実施の形態２による半導体装置の構成を示す一部破断断面図である。
【図３】本発明の実施の形態３による半導体装置の構成を示す一部破断断面図である。
【図４】本発明の実施の形態４による半導体装置の構成を示す一部破断断面図である。
【図５】従来の半導体装置の構成を示す一部破断断面図である。
【図６】従来の課題を説明するための上面図である。
【符号の説明】
【００３８】
１  半導体装置
２  基板
３  半導体チップ
４  スペーサ
５  ワイヤ
６  封止用樹脂
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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