(57)【要約】【課題】  ディスク基板の表面にオーバコートを施す際、コーティング剤の延展時に、ディスク基板を載置するテーブル体に設けられた突起部にコーティング剤が付着することがなく、しかもディスク基板自体の裏側にコーティング剤が付着することがない回転保持台及びオーバーコーティング方法を提供する。【解決手段】  ディスク基板Ｄを載置保持して回転可能なテーブル体２と、ディスク基板Ｄを位置決めするためにテーブル体Ｄの中央に配置したボス体Ｂと、を設け、テーブル体２には、ディスク基板Ｄの内周端側を吸着する多孔質可撓体２ｂと、ディスク基板Ｄの外周端側を支持する突起部２ｃと、を設け、且つ多孔質可撓体２ｂと突起部２ｃとに載置されたディスク基板Ｄとテーブル体２との間に形成された隙間Ｓにエアーを吹き込むためのエアー流通穴Ａ１を形成した。【選択図】  図３
2005243199.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスク基板を載置保持して回転可能なテーブル体と、
ディスク基板を位置決めするためにテーブル体の中央に設けられたボス体と、を有し、
テーブル体には、
ディスク基板の内周端側を吸着する第１受け部と、
ディスク基板の外周端側を支持する第２受け部と、
が設けられ、
且つ第１受け部と第２受け部とに載置されたディスク基板とテーブル体との間に形成された隙間にエアーを吹き込むためのエアー流通穴が設けられていることを特徴とする回転保持台。
【請求項２】
前記第１受け部は、多孔質可撓体でなることを特徴とする請求項１に記載の回転保持台。
【請求項３】
前記第１受け部には、ディスク基板を多孔質可撓体を介して吸引するための吸引穴が形成されていることを特徴とする請求項２に記載の回転保持台。
【請求項４】
前記第２受け部は、輪環状に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の回転保持台。
【請求項５】
前記エアー流通穴は、ディスク基板とテーブル体との間に形成された隙間に吹き込まれたエアーがテーブル体の外周端側へ流れるように、外方に向かって傾斜していることを特徴とする請求項１に記載の回転保持台。
【請求項６】
ディスク基板をテーブル体に載置保持して回転させ、コーティング剤をオーバコーティングする際、ディスク基板とテーブル体の上面との間に隙間を形成し、この隙間に外方に向けてエアーを吹き込むことを特徴とするオーバコーティング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ディスク基板のオーバコーティングに関し、更に詳しくは、ディスク基板をオーバコーティングする際、ディスク基板の裏側や回転保持台の突起部にコーティング剤を付着させない回転保持台に関する。
特に、ディスク基板を載置する回転保持台の上面とディスク基板の下面との隙間に空気を吹き込み、それをディスク基板の外周端側から吹き出すことで回転保持台の外周端側の輪環状の突起部にコーティング剤が付着しなく、またディスク基板の裏側にコーティング剤が付着しないこととなる回転保持台に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ディスク基板の表面は傷付き防止等の表面保護のためにオーバーコートが施されている。
ディスク基板の表面に紫外線硬化樹脂等のコーティング剤を均一にオーバーコートするために、コーティング装置が開発されている。
このコーティング装置には、図４に示すような回転保持台が用いられている。  この回転保持台１００は、ディスク基板をオーバーコートする回転台として従来から用いられているものである。
回転保持台１００は、ディスク基板Ｄを載置するための円盤状のテーブル体１０１と、このテーブル体１０１を支えるための回転支持軸１０２とを備えている。
【０００３】
テーブル体１０１の上面側中央には凹部が形成されて、そこにボス体Ｂが取り付けられている。
テーブル体１０１の上面にはディスク基板Ｄが載置されるが、このディスク基板Ｄの中心穴にボス体Ｂを挿入することで、ディスク基板Ｄは的確に位置決めされる。
【０００４】
ディスク基板Ｄは、ボス体Ｂの周囲に設けられた輪環状のやや突出した受け部１０１ａと、テーブル体１０１の外周端側に突設された輪環状の突起部１０１ｂとにより支持される。
また受け部１０１ａには吸引穴１０１ｃが形成されており、この吸引穴１０１ｃは回転支持軸１０２に形成された吸引穴１０２ａに通じ、更に、図示しない吸引源に開放される。
テーブル体１０１に載置されたディスク基板Ｄは、受け部１０１ａにより吸着して固定される。
そして、突起部１０１ｂ及び受け部１０１ａの存在により、ディスク基板Ｄとテーブル体１０１との間には隙間Ｓが形成される。
そのため、ディスク基板Ｄの下面の大部分が、直接、テーブル体１０１の表面に接することがなく、キズ付きが防止される。
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−１４３３３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このような回転保持台１００でオーバーコーティングする際、ディスク基板Ｄ上にドーナツ状に塗布されたコーティング剤Ｒは、テーブル体１０１の回転により延展されて広がり、余分なコーティング剤Ｒは周囲に吹き飛ぶこととなる。
しかし、図５に示すように、ディスク基板Ｄの外周端から弾き飛ばされたコーティング剤Ｒは、飛散防止カバー（後述する図１参照）の内側空間で発生する乱流により散乱させられ、その一部が、テーブル体１０１の外周端側に形成された突起部１０１ｂに付着する。
【０００７】
このようにテーブル体１０１の外周端側の突起部１０１ｂに接着剤Ｒが付着すると、新しく搬送されてきたディスク基板Ｄをテーブル体１０１に載置した際、ディスク基板Ｄの下面にもコーティング剤Ｒが付着してしまうのである。
更にまた、突起部１０１ｂに付着したコーティング剤Ｒの存在により、ディスク基板Ｄはテーブル体１０１に載置された際、傾斜状態となりテーブル体１０１と平行でなくなり、コーティング剤Ｒが基板全体に均一に延展するのを妨げることとなる。
【０００８】
また更に悪いことに、突起部１０１ｂとディスク基板Ｄとの間を抜けて隙間Ｓにコーティング剤Ｒが侵入してしまう場合もあった。
するとコーティング剤Ｒである紫外線硬化樹脂が、ディスク基板Ｄの下面（裏側）に付着し、次工程の紫外線照射により硬化してしまうのである。
そのため後工程で行う処理、例えば他のディスク基板を貼り合わせる際に、ディスク基板同士の密着した貼り合わせの妨げとなり、不良品が発生し、歩留まりの低下を招く。
【０００９】
本発明は、かかる背景技術をもとになされたもので、上記の背景技術の問題点を克服するためになされたものである。
すなわち、本発明は、ディスク基板の表面にオーバコートを施す際、コーティング剤の延展時に、ディスク基板を載置するテーブル体に設けられた突起部にコーティング剤が付着することがなく、しかもディスク基板自体の裏側にもコーティング剤が付着することがない回転保持台を提供することを目的とする。
また同様にオーバーコーティング方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
かくして、本発明者は、このような課題背景に対して鋭意研究を重ねた結果、テーブル体とディスク基板との間の隙間にエアーを流入させ、隙間内に空気圧を加えることにより、ディスク基板の外周端側を上方へ僅かに反らさせ、突起部とディスク基板との間に生じた隙間から空気を吹き出させることで、上記の問題点を解決することができることを見出し、この知見に基づいて本発明を完成させたものである。
【００１１】
すなわち、本発明は、（１）、ディスク基板を載置保持して回転可能なテーブル体と、ディスク基板を位置決めするためにテーブル体の中央に設けられたボス体とを有し、テーブル体には、ディスク基板の内周端側を吸着する第１受け部と、ディスク基板の外周端側を支持する第２受け部とが設けられ、且つ第１受け部と第２受け部とに載置されたディスク基板とテーブル体との間に形成された隙間にエアーを吹き込むためのエアー流通穴が設けられている回転保持台に存する。
【００１２】
また、本発明は、（２）、前記第１受け部は、多孔質可撓体でなる請求項１に記載の回転保持台に存する。
【００１３】
また、本発明は、（３）、前記第１受け部には、ディスク基板を多孔質可撓体を介して吸引するための吸引穴が形成されている請求項２に記載の回転保持台に存する。
【００１４】
また、本発明は、（４）、前記第２受け部は、輪環状に形成されている請求項１に記載の回転保持台に存する。
【００１５】
また、本発明は、（５）、前記エアー流通穴は、ディスク基板とテーブル体との間に形成された隙間に吹き込まれたエアーがテーブル体の外周端側へ流れるように、外方に向かって傾斜している請求項１に記載の回転保持台に存する。
【００１６】
また、本発明は、（６）、ディスク基板をテーブル体に載置保持して回転させ、コーティング剤をオーバコーティングする際、ディスク基板とテーブル体の上面との間に隙間を形成し、この隙間に外方に向けてエアーを吹き込むオーバコーティング方法に存する。
【００１７】
なお、本発明の目的に添ったものであれば、上記請求項を適宜組み合わせた構成も採用可能である。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、テーブル体にはディスク基板の内周端側を吸着する第１受け部と、ディスク基板の外周端側を支持する第２受け部とが設けられ、且つ第１受け部と第２受け部とに載置されたディスク基板とテーブル体との間に形成された隙間にエアーを吹き込むためのエアー流通穴が設けられているので、テーブル体を回転させ遠心力によりディスク基板のコーティング剤を飛散させる際、ディスク基板とテーブル体との間の隙間にエアーを流入させると、第２受け部とディスク基板との間が開いて非接触状態となり、その隙間からエアーがテーブル体の外周端側へ向けて吹き出す。
【００１９】
そのため、飛散防止カバー内側空間に乱流が発生しても、テーブル体の外周端から吹き出すエアーにより、飛散したコーティング剤が第２受け部である突起部に付着したり、突起部内側に侵入することがない。
従ってディスク基板を汚すことはない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係る回転保持台を示しており、図２は、テーブル体付近の拡大図である。
【００２１】
以下、図２を交えながら図１に示す回転保持台１について説明する。
この一実施形態の回転保持台１は、ディスク基板Ｄを載置するための円盤状に形成されたテーブル体２と、このテーブル体２を支えるための回転支持軸３とを備えている。
テーブル体２は、回転支持軸３の大径部３ａと嵌合させることにより取り付けられている。
回転支持軸３の大径部３ａの直下と、下端側とには、それぞれベアリング４が設けられており、回転支持軸３は、これらのベアリング４を介して固定支持軸５に対して回転可能に支持されている。
また回転支持軸３は、下方にあるＡＣサーボモーター８により駆動され、テーブル体２に回転力を与える。
【００２２】
〔テーブル体〕
テーブル体２は、直接にディスク基板Ｄが載置される部分で、上面がほぼ平坦な面として形成されている。
図２に示すように、テーブル体２の中心部に形成された嵌合穴２ａには、ボス体Ｂが突設されている。
ディスク基板Ｄは、テーブル体２の上面の着座面に載置される。
テーブル体２の着座面にはディスク基板Ｄの内周端側を吸着する第１受け部とディスク基板Ｄの外周端側を支持する第２受け部とが形成されている。
【００２３】
ディスク基板Ｄがテーブル体２で第１受け部と第２受け部とに支持されて載置状態にある場合、第１受け部と第２受け部とはそれ以外の部分より僅かに一定高さ突出しているため、テーブル体２の上面とディスク基板Ｄの下面との間には隙間Ｓが形成される。
この隙間Ｓの高さＬは、通常、０．２〜０．３ｍｍとされる。
このように隙間Ｓを形成するのは、ディスク基板Ｄがテーブル体２に接触する面積を極力少なくして、ディスク基板Ｄの下面に傷が付かないようにするためである。
【００２４】
ところで、第２受け部は、テーブル体２の外周端側に円周方向に輪環状に形成されている突起部２ｃよりなる。
この突起部２ｃは、上端が曲面形状の断面となっており、そのためディスク基板Ｄの下面に傷が付きにくい。
この第１受け部は、ボス体Ｂの周囲に一定幅で且つ一定厚みの多孔質可撓体２ｂを埋め込むことで形成されている。
第１受け部である多孔質可撓体２ｂは、第２受け部である突起部２ｃと同じ高さに設定されている。
ディスク基板Ｄは多孔質可撓体２ｂの上に載置されるためにその下面に傷が付かない。
【００２５】
テーブル体２の第１受け部、具体的に多孔質可撓体２ｂが埋め込まれている部分には、吸引穴Ｂ１が形成されている。
また回転支持軸３の大径部３ａには、この吸引穴Ｂ１に通じる通路Ｂ２が形成されている。
そして、この通路Ｂ２は回転支持軸３の細径部に形成されている通路Ｂ３に通じており、更にこの通路Ｂ３はジョイントＫを介して図示しない制御された外部の負圧源に開放されている。
この負圧源により多孔質可撓体２ｂに吸着力が生じてディスク基板Ｄを安定した状態で保持することができる。
また多孔質可撓体２ｂにより、ディスク基板Ｄの下面をソフトに受けることができる。
【００２６】
〔エアー流通穴〕
一方、テーブル体２には円周方向に複数のエアー流通穴Ａ１が設けられており、  このエアー流通穴Ａ１は外方に傾斜するように形成されている。
またエアー流通穴Ａ１は回転支持軸３に形成された通路Ａ２に連通している。
更に、この通路Ａ２は、回転支持軸３と固定支持軸５との間の隙間通路Ａ３に開放される。
隙間通路Ａ３は、回転支持軸３と固定支持軸５の間に密封された円筒状の空間として形成され、隙間通路Ａ３の上下の２箇所に設けられたシール体６を使って厳密に気密性が保証される。
【００２７】
更に、この隙間通路Ａ３は、固定支持軸５の適当な上下位置に設けられた貫通口Ａ４により外部に開放されており、この貫通口Ａ４を介して図示しない制御された外部の加圧源に接続されている。
エアー流通穴Ａ１は、外方に傾斜しているので、テーブル体２の上面に吹き出されるエアーはテーブル体２の外周端側へ効率良く流れる。
そしてディスク基板Ｄの外周端側から外方へ吹き出される。
【００２８】
このように、ディスク基板Ｄとテーブル体２との間の隙間Ｓに流出させるためのエアー通路は、エアー流通穴Ａ１、通路Ａ２、隙間通路Ａ３、及び貫通口Ａ４等により形成されることとなる。
そして、図示しない加圧源（例えばコンプレッサー）を駆動させることで、貫通口Ａ４、隙間通路Ａ３、通路Ａ２を順次通って、エアー流通穴Ａ１かちエアーが隙間Ｓに吹き込まれる。
エアー流通穴Ａ１からテーブル体２の上面に吹き込まれたエアーは、テーブル体２の外周端側へ流れ、ディスク基板Ｄの外周端から外へ吹き出される。
【００２９】
〔コーティング方法〕
さて、次にコーティング方法について述べる。
コーティングする際、コーティング剤Ｒの延展にあたっては、エアー流通穴Ａ１からエアーを隙間Ｓに流入させながら、テーブル体２を回転させるのであるが、以下、図３を用いてこのときの作用について説明する。
エアー流通穴Ａ１からディスク基板Ｄとテーブル体２との間に形成される隙間Ｓに吹き込まれたエアーは、ディスク基板Ｄの外周端側へ向けて流れる。
そして、ディスク基板Ｄと突起部２ｃとの間が僅かに開いて非接触状態となり、この間からエアーが外方に吹き出すこととなる。
【００３０】
一方、ディスク基板Ｄの上に塗布されたコーティング剤Ｒは、テーブル体２の回転によって遠心力が働き、外方へ向かって噴霧状に飛散される。
その結果、飛散防止カバー７（図１記載）の内側空間では乱流が発生し、回転保持台１の周囲もそのような状態となる。
そのため一部のコーティング剤Ｒは、乱流に乗り散乱させられ、テーブル体２の外周端側に形成された突起部２ｃに至る。
因みに、コーティング時のテーブル体２の回転数は、通常、１００００ｒｐｍ前後で行われるために、飛散の勢いは２枚のディスク基板の貼り合わせの時より大きいものとなる。
【００３１】
しかしながら、上述したように、ディスク基板Ｄとテーブル体２との間に形成される隙間Ｓからテーブル体２の外周端側へ向けてエアーが吹き出しているので、飛散したコーティング剤Ｒは突起部２ｃに近づくことができない。
従って、突起部２ｃにコーティング剤Ｒが付着することはなく、当然、突起部２ｃを越えて内部にコーティング剤Ｒは入ることもないのである。
その結果、突起部２ｃやディスク基板Ｄの下面も汚れなく、品質低下とならない。
【００３２】
以上、本発明を説明してきたが、本発明は上述した一実施形態にのみ限定されるものではなく、その本質を逸脱しない範囲で、他の種々の変形が可能であることはいうまでもない。
例えば、エアー流通穴の位置や数はコーティング剤Ｒを外方に吹き飛ばすことができる限り、適宜変更が可能である。
また第１受け部は、多孔質可撓体の場合で示したが、これに限らず、要はディスク基板Ｄを傷付けることなくソフトに受けることができればよい。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】図１は、本発明の一実施形態に係る回転保持台を示す説明図である。
【図２】図２は、図１の回転保持台のテーブル体付近を示す拡大図である。
【図３】図３は、図２のテーブル体が回転した場合の接着剤やエアーの流れを示す説明図である。
【図４】図４は、従来の回転保持台のテーブル体付近を示す説明図である。
【図５】図５は、図４のテーブル体が回転した場合の接着剤やエアーの流れを示す説明図である。
【符号の説明】
【００３４】
１  回転保持台
２  テーブル体
２ａ  嵌合穴
２ｂ  第１受け部（多孔質可撓体）
２ｃ  第２受け部（突起部）
３  回転支持軸
３ａ  大径部
４  ベアリング
５  固定支持軸
６  シール体
７  飛散防止カバー
８  ＡＣサーボモーター
１００  回転保持台
１０１  テーブル体
１０１ａ  受け部    
１０１ｂ  突起部
１０１ｃ  吸引穴
１０２  回転支持軸
１０２ａ  吸引穴
Ａ１  エアー流通穴
Ａ２  通路
Ａ３  隙間通路
Ａ４  貫通口
Ｂ  ボス体
Ｂ１  吸引口
Ｂ２  内部空間
Ｂ３  通路
Ｄ  ディスク基板  
Ｋ  ジョイント
Ｒ  コーティング剤
Ｓ  隙間
Ｌ  高さ
【図１】
2005243199.tif 000003
【図２】
2005243199.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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