(57)【要約】【課題】  簡易な構成でライン化が容易で量産性に優れ、かつ、ドット位置精度に優れる高速・高精細な記録装置を提供する。【解決手段】  屈曲運動可能な複数個のアレイ状に配列された梁構造体１と、この梁構造体にインキを供給する手段８と、記録媒体を搬送する手段とを有し、画像信号に応じて梁構造体１を屈曲させて記録媒体５と接触させ、インキ４を記録媒体上に転移させることで画像を形成する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
屈曲運動可能な複数個のアレイ状に配列された梁構造体と、この梁構造体にインキを供給する手段と、記録媒体を搬送する手段とを有し、
画像信号に応じて前記梁構造体を屈曲させて前記記録媒体と接触させ、前記インキを前記記録媒体上に転移させることで画像を形成することを特徴とする記録装置。
【請求項２】
請求項１記載の記録装置において、
前記梁構造体が片持ち梁構造体であり、片持ち梁の先端を画像信号に応じて梁構造体を屈曲させて前記記録媒体と接触させて、前記インキを該記録媒体上に転移させて画像を形成することを特徴とする記録装置。
【請求項３】
請求項１記載の記録装置において、
前記梁構造体が両持ち梁構造体であり、両持ち梁の中央部を画像信号に応じて該梁構造体を屈曲させて前記記録媒体と接触させ、前記インキを該記録媒体上に転移させて画像を形成することを特徴とする記録装置。
【請求項４】
屈曲運動可能な複数個のアレイ状に配列された梁構造体と、前記梁構造体にインキを供給する手段と、記録媒体を搬送する手段とを有し、画像信号に応じて前記梁構造体を屈曲させて記録媒体と接触させて前記インキを記録紙上に転移することで画像を形成する記録装置であって、
画像信号に応じて前記アレイ状の梁構造体を隣り合う構造体毎に交互に前記記録媒体とを接触させて前記インキを該記録媒体上に転移することで画像を形成することを特徴とする記録装置。
【請求項５】
請求項１記載の記録装置において、
前記梁構造体を前記記録媒体の搬送方向に対峙する方向に複数個設けたことを特徴とする記録装置
【請求項６】
請求項１記載の記録装置において、
前記梁構造体を前記記録媒体の搬送方向に複数個設けたことを特徴とする記録装置
【請求項７】
請求項６記載の記録装置において、
前記複数個の梁構造体は、互いに千鳥に配列されていることを特徴とする記録装置。
【請求項８】
請求項６記載の記録装置において、
前記インキを複数色有し、各色毎に前記複数個の梁構造体を設けたことを特徴とする記録装置。
【請求項９】
請求項８記載の記録装置において、
各色毎の梁構造体間に前記記録媒体へのインキ固着手段が設けられていることを特徴とする記録装置。
【請求項１０】
請求項９記載の記録装置において、
前記インキ固着手段は、インキ溶剤吸収性を有するローラ状部材を前記記録媒体に接触させる手段であることを特徴とする記録装置。
【請求項１１】
請求項１０記載の記録装置において、
前記インキ固着手段がポリオルガノシロキサン骨格を有する部材からなることを特徴とする記録装置。
【請求項１２】
請求項２記載の記録装置において、
前記梁構造体にインキ保持手段を設けたことを特徴とする記録装置。
【請求項１３】
請求項２記載の記録装置において、
前記梁構造体にスリットを設けて毛管力で前記インキの供給と保持を行うことを特徴とする記録装置。
【請求項１４】
請求項３記載の記録装置において、
前記梁構造体の中央部にインキ保持手段を設けたことを特徴とする記録装置。
【請求項１５】
請求項４記載の記録装置において、
前記梁構造体にスリットを設けて、前記インキの供給と保持を行うことを特徴とする記録装置。
【請求項１６】
請求項１記載の記録装置において、
前記インキの粘度が０．００１Ｐａ・ｓ〜１Ｐａ・ｓの範囲であることを特徴とする記録装置。
【請求項１７】
請求項１６記載の記録装置において、
前記インキは、樹脂と顔料と有機溶剤を含有していることを特徴とする記録装置。
【請求項１８】
請求項１６記載の記録装置において、
前記インキは、保水性部材と色材と水を含有していることを特徴とする記録装置。
【請求項１９】
請求項１記載の記録装置において、
前記梁構造体は、電場、磁場もしくは熱により自己収縮・膨張することで屈曲運動する部材から構成されていることを特徴とする記録装置。
【請求項２０】
請求項１９記載の記録装置において、
前記梁構造体が電場応答性高分子材料から構成されていることを特徴とする記録装置。
【請求項２１】
請求項１９記載の記録装置において、
前記梁構造体が、形状記憶合金とシリコン酸化膜を形成したシリコン基板とのユニモルフもしくはバイモルフ構造から構成されていることを特徴とする記録装置。
【請求項２２】
請求項１記載の記録装置において、
前記梁構造体が静電アクチュエータから構成されていることを特徴とする記録装置。
【請求項２３】
請求項１記載の記録装置において、
前記屈曲運動可能な複数個のアレイ状に配列された梁構造体は、レーザ切削加工により製造したことを特徴とする記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インキを記録媒体上に転移させることで画像を形成する記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、市販されているプリンタの記録方式として、ドットインパクト方式、熱溶融型熱転写方式、電子写真方式、インキジェット方式が知られている。このうち、シリアルインキジェットヘッド方式は、記録媒体となる用紙上でのドット位置精度が低く、高精細な文字品質が得られず、印刷速度も１０ｐｐｍ以上にあげにくい。マルチノズルによるライン型インキジェットヘッド方式は、高速化がし易いが加工し難く、コストが高くなる欠点がある。  
特許文献１、２には、静電型梁構造体を用いることでライン化の簡素化を図った構成が提案されているが、この場合、液体を密閉化する必要がある。また、乾式電子写真方式は、通常５〜７μｍ程度の大きなトナーを用いるため、オフセット印刷ほど高画質が得られにくい。湿式電子写真方式は、１μｍ以下のトナーを用いるため、画質はオフセット印刷並であるが、用紙上でのトナーの乾燥がしづらい欠点がある。熱転写方式は、ライン型サーマルヘッドを用いるが、このライン型サーマルヘッドは高価でありコスト高となる。一方、特許文献３、４、５には、ドットインパクト方式の印字ヘッドの構成が記載されている。ドットインパクト方式の場合、比較的簡単にライン型にできるが、機構が複雑であるため、解像度が低い。
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−０１５８０８
【特許文献２】特開２０００−０１５８０９
【特許文献３】特許第２８４４７１７号
【特許文献４】特開２００１−８００９５
【特許文献５】特開２０００−１４１７１７
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、簡易な構成でライン化が容易で量産性に優れ、かつ、ドット位置精度に優れる高速・高精細な記録装置を提供することを、その目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するため、本発明にかかる記録装置は、屈曲運動可能な複数個のアレイ状に配列された梁構造体と、この梁構造体にインキを供給する手段と、記録媒体を搬送する手段とを有し、画像信号に応じて梁構造体を屈曲させて記録媒体と接触させ、インキを記録媒体上に転移させることで画像を形成することを特徴としている。
【０００６】
梁構造体の形態としては片持ち梁構造体あるいは両持ち梁構造体が想定できる。片持ち梁構造体の場合、片持ち梁の先端を画像信号に応じて梁構造体を屈曲させて記録媒体と接触させて、インキを記録媒体上に転移させて画像を形成すればよく、構成が簡素になり、書き込みユニットの小型化にできる。また、片持ち梁構造体の場合、この梁構造体にインキ保持手段を設けると、インキ付着量にバッファが設けられることになるため、付着量が安定して画像信頼性が増すので好ましい。あるいは、梁構造体の先端にスリットを設けて毛管力でインキの供給と保持を行うようにすると、インキ保持手段として機能するとともに、かつ、この保持手段として一番簡易で低コストとなる。
【０００７】
両持ち梁構造体の場合、両持ち梁の中央部を画像信号に応じて梁構造体を屈曲させて記録媒体と接触させ、インキを記録媒体上に転移させて画像を形成すればよい。両持ちにすることで、梁の剛質が高くなり、屈曲運動の応答性が上がり、駆動周波数をあげて高速印字することができる。両持ち梁構造体の場合、梁構造体の中央部にインキ保持手段を設けると、梁構造体へのインキ付着量にバッファが設けられるため、付着量が安定し、画像信頼性が向上するので好ましい。
【０００８】
アレイ状の梁構造体を、画像信号に応じて隣り合う構造体毎に交互に記録媒体と接触させてインキを記録媒体上に転移させて画像形成すると、すなわち、アレイ状の梁構造体を交互に駆動すると、隣の梁の干渉を受けなくなる。これら梁構造体にスリットを設けて、インキの供給と保持を行うようにすると、インキ保持手段として機能するとともに、保持手段として一番簡易で低コストとなる。
【０００９】
梁構造体を、記録媒体の搬送方向に対峙する方向あるいは記録媒体の搬送方向に複数個設けてもよい。梁構造体を記録媒体の搬送方向に対峙する方向複数個設ける場合と、幅広の記録媒体にも対応する場合でも間単に構成とすることができる。
【００１０】
梁構造体を記録媒体の搬送方向に複数個設けると、ドットが安定し、印字品質が高くなるので好ましい。また、梁構造体を互いに千鳥に配列した場合には、解像度が上がり、画質が向上する。インキを複数色有し、梁構造体を記録媒体の搬送方向に複数個設ける場合、各色毎に複数個の梁構造体を設けると、カラー記録装置として大幅な小型化を達成できる。また、各色毎の梁構造体間に記録媒体へのインキ固着手段を設けると、インキを直ちに記録媒体に定着できるので、高速印字が可能となる。
【００１１】
インキ固着手段としては、インキ溶剤のみ吸収性を有するローラ状部材を記録媒体に接触させる手段とした場合、その構成が簡易であるため、装置構成を複雑にすることがなくなるので好ましい。インキが樹脂と色材と油性溶媒で構成される場合、この手段はポリオルガノシロキサン骨格を有する部材で構成すると、固着材料として一番適しており、安定した印字が可能となる。
【００１２】
本発明の記録装置に用いるインキの粘度としては０．００１Ｐａ・ｓ〜１Ｐａ・ｓの範囲と規定することで、本発明にもっとも適するインキの管理が行える。そしてこのインキを、樹脂と顔料又は染料と有機溶剤を含有したものとすると、保存性の良いインキを提供でき、装置の放置信頼性が高くなるので好ましい。インキを、保水性部材と色材と水を含有したものとすると、上質紙におけるにじみが防止され、画質と保存性を両立でき、放置信頼性が高く、且つ、高画質化を図れるので好ましい。
【００１３】
本発明において、梁構造体は、電場、磁場もしくは熱により自己収縮・膨張することで屈曲運動する部材から構成した場合、梁構造体材料として最も加工がし易く、量産性が向上するので好ましい。この部材を梁構造体が電場応答性高分子材料から構成すると、高分子材料であるため最も加工性に優れるので好ましい。あるいは、形状記憶合金とシリコン酸化膜を形成したシリコン基板とのユニモルフもしくはバイモルフ構造から構成する形態とすると、金属を使用するため耐環境性に優れるので好ましい。
【００１４】
本発明において、梁構造体を静電アクチュエータで構成すると、電極材料として安価な素材が選定できるため、低コスト化につながるので好ましい。
【００１５】
屈曲運動可能な複数個のアレイ状に配列された梁構造体を、レーザ切削加工により製造すると、精密な加工を短時間にすることができ、歩留まりが向上するので好ましい製造形態となる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、屈曲運動可能な複数個のアレイ状に配列された梁構造体と、この梁構造体にインキを供給する手段と、記録媒体を搬送する手段とを有し、画像信号に応じて梁構造体を屈曲させて記録媒体と接触させ記インキを記録媒体上に転移させることで画像を形成することで、簡易な構成で、高速、且つ、高精細な画像を形成することができる。  
本発明によれば、画像信号に応じてアレイ状の梁構造体を隣り合う構造体毎に交互に記録媒体とを接触させてインキを該記録媒体上に転移することで画像を形成することで、隣の梁の干渉を受けなくなり、印字が安定し信頼性が高くなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。図１において本発明における梁構造体の例を示す。図１（ａ）において、符号１で示す梁構造体は、板状の梁構造体にスリット２を設けて、図示していないインキ供給タンクからチューブ等で、符号３で示すインキ供給手段（インキ供給部）へ符号４で示すインキを供給し、毛細管現象にてインキ４を梁の先端１Ａに移動させるものである。これは、万年筆におけるペン先へのインキ供給と同じ原理である。図１（ｂ）に示す梁構造体１０は、管状構造の中をインキが毛管力で移動して先端１０Ａにインキを供給するものである。梁構造体１，１０は、その基端１Ｂ、１０Ｂ側がそれぞれ基台１１上に支持されていて、片持の梁構造体とされている。図１（ａ）において、スリット２は梁構造体の先端１Ａまで完全に形成されているが、図１（ｃ）に示すように、先端１Ａの手前までスリット２が形成されていてもよい。
【００１８】
図２は、図１（ａ）で示した梁構造体１が複数個のアレイ状に配列された具体例である。図２では、１枚の板状部材１１に複数のスリット２を板状部材１１の長手方向に沿って設け、複数個の梁構造体１をアレイ状に配列している。各梁構造体１は、電気信号が入力（印加）されることにより個別に屈曲可能とされている。この屈曲方向は図２において上下方向となる。
【００１９】
図３は、本発明の一つの具体例による記録原理を示す。図３（ａ）において、図示しないインキ供給手段から梁構造体１に搬送されるインキは、梁構造体１の先端１Ａに毛管力にて供給される。記録部材としての記録紙５は、その搬送中において、梁構造体１が屈曲することでインキ４が接することが可能な位置で、梁構造体１の配列方向Bとの直角方向で配置配送されている。そして、電気信号が後述する電極に印加されると、図３（ｂ）に示すように、梁構造体１を屈曲させて記録紙５に接触させ、記録紙上にインキ４を付着させる。次に、印加した電気信号を切るか、あるいは逆極性の電気信号を印加して、図３（ｃ）に示すように梁構造体１を元の位置、すなわち、屈曲前の位置に戻す。記録紙５を矢印Ａで示す搬送方向に移動させながら、この一連の動作を画像信号に応じて行うことで、記録紙５上にインキ画像を形成する。
【００２０】
梁構造体１は、具体例として、画像解像度の整数倍のピッチでアレイ状に配列する。図２（ａ）、（ｂ）では、電界をかけることで変形する部材を板状部材１１として用いて一体的に複数の梁構造体１を構成し、共通電極６を片面（裏面）の長手方向に形成し、対する面（表面）に各画素に応じた個別電極７をそれぞれ形成したものである。個別の梁構造体１は、この例に限らず、画素単位で梁構造体１を形成し、お互いの梁構造体１をアレイ状に連結した構成であっても構わない。
【００２１】
図４に示すように、各梁構造体１の長さＬは、図４（ａ）に示すように同じであっても良いし、図４（ｂ）に示すように、互い違いに異なるようになっても良いし、図４（ｃ）に示すように、斜めに配列する形態であっても良い。
【００２２】
図５に本発明の具体例にて記録原理を示す。図中符号８は、インキ供給手段としてのインキ壷を示す。図５（ａ）は、インキ壷８に接することが可能な複数個のアレイ状に配列された片持ちの梁構造体１と、この梁構造体１に接することが可能な位置に梁構造体列１と直行する方向に搬送中の記録紙５との位置関係を示す。矢印Ａは搬送方向を示す。記録を行うためには、まず図５（ｂ）に示すように、梁構造体１をインキ壷８側に屈曲変形させて先端１Aをインキ４に接触させ、図５（ｃ）に示すように、梁構造体１の一部である、ここでは先端１Ａにインキ４を付着させる。その後、梁構造体１を、記録紙５を図５（ｄ）に示すように図５（ｂ）とは逆方向に屈曲変位させて記録紙５に接触させて記録紙５上にインキ４を付着させ、図５（ｅ）に示すように梁構造体１の屈曲変形を解除する。この一連の動作を画像信号に応じて行うことで、記録紙５上にインキ画像を形成する。
【００２３】
梁構造体１の配列方向Ｂ（図２参照）と記録紙５の搬送方向Ａとは直角の関係にあり、梁構造体１の長さＬが記録幅と同じである場合、図６に示すような記録ヘッド９の配置が望ましい。このとき、当該梁構造体１を有する記録ヘッド９は、図７に示すようにその長手方向に沿ってアレイ状の梁構造体１を配置し、梁構造体１よりも上方にインキ壷８を配置する構成とし、図８に示すように配置して記録装置１００を構成する。記録装置１００は、図８に示すように、アレイ状の梁構造体１とインキ壷８を有する記録ヘッド９と、記録ヘッド９の下方で記録紙５を介して梁構造体１の先端１Ａと略対向する部位に配設され、先端１Ａに向かってその位置が上下動可能なローラ１０１と、このローラ１０１の前後に配置された複数の搬送ローラ対１０２，１０３，１０４と、ガイド板１０５とを備えている。これら搬送ローラ対１０２，１０３，１０４は記録紙５を搬送する手段を構成する。梁構造体１の長さＬが記録幅よりも狭い場合、シリアルプリンターのごとくシャトル方式による印字走査を行っても構わない。
【００２４】
以下に様々な梁構造体の構成を説明するが、片持ち梁構造体に関連する各種梁構造体は、図８に示す記録装置１００に適用され、両持ち梁構造体に関連する各種梁構造体は、図１１に示す記録装置２００に適用されるものとする。
【実施例１】
【００２５】
（アレイ状に配列された片持ちの梁構造体の構成）
下部に共通電極、上部に幅１７０μｍピッチで個別電極をパターニングしたポリフッ化ビニリデンフィルム（厚み２００μm）をレーザ加工により上部個別電極に沿って図２に示すようにスリット加工を施し、個別電極にリード線を形成する。梁構造体１の長さＬは３０ｍｍとした。
・インキ：顔料（カーボンブラック）１４ｗｔ％、顔料分散剤１ｗｔ％、オレフィン系溶剤８５ｗｔ％からなる油性インキ
・インキ供給部材：多孔質ウレタンフォーム材に上記インキを含浸しアルミ材に固定
図８に示すように、搬送ローラ対１０２、１０３、１０４により記録紙５としてのコート紙を搬送し、インキ供給手段（インキ壷８）の下面とコート紙とのギャップＣをローラ１０１の位置を調整して３０μｍとし、その中間に梁構造体１を配置した。
【００２６】
実施結果
このような構成において、周波数１０Ｈｚ、電圧３０Ｖにてパルスを当該梁構造体１に印加しながら、記録紙５を搬送したところ、紙上にドット径約１５０μｍのドット列が形成できた。
【００２７】
本発明の別な形態の記録原理について説明する。図９は、その両端が基台１１Ａ、１１Ｂに支持された両持ちの梁構造体２０を示す。この梁構造体２０は、その中央部２０Ａが画像信号に応じて屈曲してインキ壷８と記録紙５とに接触し、インキ４を記録紙５上に転移させて画像を形成するものである。
【００２８】
図９（ａ）は、インキ壷８と、これに接することが可能な複数個のアレイ状に配列された両持ちの梁構造体２０と、梁構造体２０に接することが可能な位置に梁構造体１の配列方向と直角方向に搬送中の記録紙５との位置関係を示す。各梁構造体２０の中央部２０Ａには、インキ４を保持するインキ保持手段としてのインキ孔２１が形成されている。本形態では、記録を行うため、図９（ｂ）に示すように、梁構造体２０はインキ壷８のインキ４に接触し、図９（ｃ）に示すように、梁構造体２０の一部である中央部２０Ａにインキを付着させる。その後、該梁構造体２０を記録紙５に接触させ、インキ孔２１から紙上にインキ４を付着させ、図９（ｅ）に示すように梁構造体２０の屈曲変形を解除する。この一連の動作を画像信号に応じて行うことで、記録紙５上にインキ画像を形成する。
【００２９】
本形態の梁構造体２０は、画像解像度の整数倍のピッチでアレイ状に配列される。図１０にその具体例を示す。図１０は、電界を与えることで図１０において上下に変形する板状部材３０にて一体的に構成された梁構造体２０の構成を示すものである。板状部材３０の片面（裏面）には図１０（ｂ）に示すように共通電極３１が形成され、対する面（表面）には図１０（ａ）に示すように各画素に応じた個別電極３２がそれぞれ形成されている。
【００３０】
板状部材３０には、配列方向Ｂと直行する方向に延びる複数のスリット２２が等間隔で形成されていていて、各スリット２２の間にインキ孔２１がそれぞれ形成されている。個別の梁構造体２０は、この例に限らず、画素単位で梁構造体を形成し、お互いの梁構造体をアレイ状につないだ構成でも構わない。梁構造体２０の配列方向Ｂと記録紙５の搬送方向Ａとは直角であり、該梁構造体２０の長さが記録幅と同じである場合、図６に示すような配置が望ましい。
【００３１】
図１１は、この梁構造体２０を有する記録ヘッド４０を備えた記録装置２００を示す。記録ヘッド４０は、両持ちの梁構造体２０とインキ壷８とを備えている。記録装置２００は、記録ヘッド４０の下方で、記録紙５を介して梁構造体２０の中央部２０Ａと略対向する部位に配設され、中央部２０Ａに向かって上下動可能なローラ１０１と、このローラ１０１の前後に配置され、搬送手段を構成する複数の搬送ローラ対１０２，１０３，１０４と、ガイド板１０５とを備えている。
【実施例２】
【００３２】
（アレイ状に配列された両持ちの梁構造体の構成）
厚み１００μｍのステンレス板を貼り付けた積層ＰＺＴ（厚み１０００μm）を用い、下部に共通電極、上部に幅１７０μｍピッチで長さ３０ｍｍの積層ＰＺＴ（厚み１０００μm）をダイシングソーにより上部個別電極３２に沿って、図１０に示すようにスリット加工を施し、個別電極３２にリード線を接続する。その後、梁全体をポリアミド樹脂にてコートし、絶縁性を付与した。ＰＺＴとは、チタン酸ジルコン酸鉛を示す。
【００３３】
・インキ：染料１ｗｔ％含有した水性インキ
・インキ供給部材：多孔質ウレタンフォーム材に上記インキを含浸しアルミ材に固定
図１１に示すように、搬送ローラ対１０２、１０３、１０４により記録紙５としてコート紙を搬送し、インキ供給手段（インキ壷８）とコート紙とのギャップＣをローラ１０１の位置を調整して３０μｍとし、その中間に梁構造体２０を配置した。
【００３４】
実施結果
このような構成において、周波数１０Ｈｚ、電圧５０Ｖにてパルスを当該梁構造体２０に印加しながら、記録紙５を搬送したところ、紙上にドット径約１５０μｍのドット列が形成できた。
【００３５】
ところで、上記屈曲運動可能な複数個のアレイ状に配列された梁構造体１、２０において、隣り合う各梁構造体を同時に動かすと、梁同士がぶつかる可能性があるので、隣合う梁どうしを交互に時間差を設けて動かすように電圧印加時間をずらすと、隣り合う梁構造体同士の衝突のおそれがなくなるので好ましい。梁構造体１、１０、２０としては、記録紙５の搬送方向Ａに対峙する方向に複数個設けてもよい。記録幅が長い場合、一度に複数個のアレイ状に配列された梁構造体１、１０、２０を記録幅分製作するよりも、短い長さの複数個のアレイ状に配列された梁構造体をつなげて記録幅分にした方が生産性に優れる。
【００３６】
梁構造体１、１０、２０としては、記録紙５の搬送方向Ａに複数個設けたものでも良い。上記発明において、一回の記録工程で梁構造体１，１０，２０に付着するインキ量が多すぎると、各梁構造体への負荷が大きくなり、梁構造体が正常に作動しなくなるおそれがある。しかし、逆に、付着するインキ量が少ないと、記録紙５上のインキドットの濃度が足りず画像濃度が低くなるおそれがある。そこで、該アレイ状の梁構造体１、１０、２０を記録紙５の搬送方向Ａに複数個設けることで、梁構造体の振動動作が正常に動作する程度のインキ量でも、複数個の梁構造体にて記録紙５上で同じドット位置に何度もインキを付着させることで濃度低下を防ぐことが可能となる。図１２は、そのうちの具体例の一つで、この例では、記録ピッチの１／３づつのピッチ毎にアレイ状の梁構造体１、１０、２０を記録紙５の搬送方向Ａに（ａ）（ｂ）（ｃ）の順に複数個設けたものである。
【実施例３】
【００３７】
（アレイ状に配列された片持ちの梁構造体の構成）
下部に共通電極、上部に幅８０μmピッチで個別電極をパターニングしたＰ（ＶＤＦ−ＴｒＥＦ）コポリマーフィルム（厚み４０μｍ）をレーザ加工により上部個別電極に沿って、図２に示すように、梁の長さ２０ｍｍにてスリット加工を施し、個別電極にリード線を形成。この梁構造体を間隔５ｍｍあけて、２個配置した。Ｐ（ＶＤＦ−ＴｒＥＦ）とは、Ｐｏｌｙ（vinylidene Fluoride-trifluoroethykene）Copolymerの略で、フッ化ビニリデン−トリフロロエチレン共重合体を示す。
・インキ：顔料（カーボンブラック）１５ｗｔ％、オレフィン系溶剤８５ｗｔ％からなる油性インキ
・インキ供給部材：多孔質ウレタンフォーム材に上記インキを含浸しアルミ材に固定
図８に示す搬送ローラ１０２、１０３、１０４により記録紙５（コート紙）を搬送し、インキ供給手段としてのインキ壷８と記録紙５とのギャップをローラ１０１の位置を調整して５００μｍとし、その中間に当該梁構造体を配置した。
実施結果
このような構成において、周波数５Ｈｚ、電圧３００Ｖにてパルスを当該梁構造体に印加しながら、記録紙５を搬送したところ、紙上にドット径約２００μｍのドット列が形成できた。
【００３８】
解像度を上げるために、梁構造体の幅を短くするとインキ搬送力が低下し、上記と同様画像濃度が低下する。そこで、画像濃度が十分でる程度のインキ付着量を保てる幅の梁構造体を用い、かつその低解像度のアレイ状梁構造体を千鳥に複数個設けることで解像度を上げることができる。
【実施例４】
【００３９】
（アレイ状に配列された片持ちの梁構造体の構成）
下部に共通電極、上部に幅１７０μmピッチで個別電極をパターニングしたＰ（ＶＤＦ−ＴｒＥＦ）コポリマーフィルム（厚み４０μｍ）をレーザ加工により上部個別電極に沿って図２に示すように、スリット加工を施し、個別電極にリード線を形成する。この梁構造体を２個用い、４０μｍほどずらして配置する。
・インキ：ロジン変性フェノール樹脂３０ｗｔ％、顔料（カーボンブラック）１５ｗｔ％、オレフィン系溶剤５５ｗｔ％からなる油性インキ
・インキ供給部材：多孔質ウレタンフォーム材に上記インキを含浸しアルミ材に固定
図８に示す搬送ローラ１０２、１０３、１０４により記録紙５（コート紙）を搬送し、インキ供給手段としてのインキ壷８と記録紙５とのギャップをローラ１０１の位置を調整して１００μｍとし、その中間に当該梁構造体を配置した。
実施結果
このような構成において、周波数５Ｈｚ、電圧３００Ｖにてパルスを当該梁構造体に印加しながら記録紙５を搬送したところ、2倍の画像解像度で紙上にドット径約１５０μｍのドット列が形成できた。
【００４０】
インキを複数色有する場合の構成について説明する。  
この場合、上記の複数個のアレイ状梁構造体を、上記記録装置１００、２００に各色毎に設けるとカラー記録装置を構成することとなる。各色としては、プロセスカラーであるイエロー、シアン、マゼンタ及びブラックや、補色であるブルー、グリーン、レッドや、各色において濃度が異なるインキを複数個のアレイ状梁構造体に搭載することで自然画質を得ることができる。図１６（ａ）において、符号１Ｙ、１Ｍ、１Ｃ、１Ｋは、イエロー、シアン、マゼンタ、ブラックのインキを供給する梁構造体をそれぞれ示す。これら各梁構造体は、記録紙５の搬送方向Ａに間隔をおいて配置されている。
【実施例５】
【００４１】
（アレイ状に配列された片持ちの梁構造体の構成）
厚み５０μｍのアクリル系樹脂エラストマーシートの両面に金電極を形成し、その後、図２の如く、ピッチ１７０μｍ、長さ１０ｍｍにてアレイ状梁構造体をカッターナイフで加工した。
・インキ：Ｙ，Ｍ，Ｃ，Ｋの各色毎に顔料１５ｗｔ％、オレフィン系溶剤８５ｗｔ％からなる油性インキ
・インキ供給部材：多孔質ウレタンフォーム材に上記インキを含浸しアルミ材に固定
図１６に示す構成を図８に示す記録装置１００に設け、搬送ローラ１０２、１０３、１０４により記録紙５（コート紙）を搬送し、インキ供給手段としてのインキ壷８と記録紙５とのギャップをローラ１０１の位置を調整して１００μｍとし、その中間に当該梁構造体を配置した。
実施結果
Ｙ，Ｍ，Ｃ，Ｋの各色ごとに梁構造体１Ｙ、１Ｍ、１Ｃ、１Ｋを３０ｍｍ間隔で記録紙５が搬送方向Ａに並べ、周波数１０Ｈｚ、電圧１ｋＶにてパルスを当該梁構造体に印加しながら、記録紙を搬送したところ、紙上にドット径約１５０μｍの各色のドット列が形成できた。
【００４２】
複数個の各色毎の当該アレイ状梁構造体を設けた記録装置において、記録紙５上に付着したインキが乾燥しないまま次の色のアレイ状梁構造体を通過すると、色が混じり、且つ、画像ドットに尾引きが発生してしまい、画質劣化を招くおそれがある。そこで、一つのアレイ状梁構造体にて記録後の位置に、インキ固着手段を設ける。すなわち、各色毎のアレイ状梁構造体１Ｙ、１Ｍ、１Ｃ、１Ｋの間に記録紙５へのインキ固着手段を設ける。
【実施例６】
【００４３】
（アレイ状に配列された片持ちの梁構造体の構成）
厚み５０μｍのポリウレタン樹脂エラストマーシートの両面に金電極を形成し、その後、図２の如く、ピッチ１７０μｍ、長さ１０ｍｍにてアレイ状梁構造体をカッターナイフで加工した。
・インキ：各色染料１ｗｔ％の水性インキ
・インキ供給部材：多孔質ウレタンフォーム材に上記インキを含浸しアルミ材に固定
インキ固定手段を有するアレイ状梁構造体１Ｙ、１Ｍ、１Ｃ、１Ｋを図２に示す記録装置１００に装着し、搬送ローラ１０２、１０３、１０４により記録紙５（コート紙）を搬送し、上記インキ供給手段となるインキ壷８と記録紙５とのギャップをローラ１０１の位置を調整して５００μｍとし、その中間に当該梁構造体１Ｙ、１Ｍ、１Ｃ、１Ｋをそれぞれ配置した。
【００４４】
インキ固着手段としては、インキを乾燥させる機能を有するものが有効であり、例えば図１６（ａ）に示すように複数の発熱体７０Ｙ、７０Ｍ、７０Ｃ、７０Ｋを配置すればよい。本実施例では発熱体として記録紙５の表面が５０℃となるよう設定した棒状ハロゲンランプを用いる。
実施結果
図１６（ａ）に示すように、各色ごとに梁構造体１Ｙ，１Ｍ，１Ｃ，１Ｋを１００ｍｍ間隔で記録紙５の搬送方向Ａに並べ、周波数１０Ｈｚ、電圧１ｋＶにてパルスを当該梁構造体に印加しながら、記録紙５を搬送したところ、記録紙上にドット径約１５０μｍのドット列が形成できた。さらに、外線ランプを点灯させることで、インキ４はすぐに乾燥したため、混色による異常画像も発生しなかった。
【００４５】
インキ固着手段としては各発熱体ではなく、図１６（ｂ）に示すように、インキ溶剤吸収性を有するローラ状部材７１Ｙ，７１Ｍ，７１Ｃ，７１Ｋを記録紙５に接触するように設けても良い。インキ固着手段としては、単にローラ状部材７１Ｙ，７１Ｍ，７１Ｃ，７１Ｋをインキ４による画像ドット記録後の位置に設ける構成が最も簡素である。このとき、これらローラがインキ溶剤吸収性を有する部材であれば、ローラとの接触により記録紙５上に付着したインキの溶剤がローラ状部材に吸収され、直ちにインキは紙上に固着する。また、何度も記録するうちにローラ状部材中にインキ溶剤が飽和してきた場合、装置内で定期的にローラを加熱する等の手段により飽和したインキ溶剤を蒸発するようにすれば、インキ固定手段の耐久性も向上することになる。
【実施例７】
【００４６】
（アレイ状に配列された片持ちの梁構造体の構成）
厚み５０μｍのシリコーン樹脂エラストマーシートの両面に金電極を形成し、その後、図２の如く、ピッチ１７０μｍ、長さ１０ｍｍにてアレイ状梁構造体をカッターナイフで加工した。
・インキ：ロジン変性フェノール樹脂５ｗｔ％、顔料（カーボンブラック）１５ｗｔ％、オレフィン系溶剤８０ｗｔ％からなる油性インキ
・インキ供給部材：多孔質ウレタンフォーム材に上記インキを含浸しアルミ材に固定
・インキ固着手段：クロロプレンゴム（硬度５０度）を巻きつけたゴムローラ（長さ：印字幅、ローラ径４０ｍｍ）
図８に示す搬送ローラ１０２、１０３、１０４により記録紙５（コート紙）を搬送し、上記インキ供給手段とインキ固定手段とを備え、インキ供給手段となるインキ壷８と記録紙５とのギャップをローラ１０１の位置を調整して５００μｍとし、その中間に当該梁構造体を配置した。
実施結果
このような構成において、周波数１０Ｈｚ、電圧１ｋＶにてパルスを当該梁構造体に印加しながら、紙を搬送したところ、紙上にドット径約１５０μｍのドット列が形成できた。また、指で印刷物を擦ったところ、指にはインキが全く付着していなかった。
【００４７】
実施例７のようなインキ吸収型のインキ固着手段において、インキ溶剤を吸収し、かつ、インキ自身がローラに付着しない部材としては、ポリオルガノシロキサン骨格を有する部材が適する。
【実施例８】
【００４８】
（アレイ状に配列された片持ちの梁構造体の構成）
厚み５０μｍのシリコーン樹脂エラストマーシートの両面に金電極を形成し、その後、図２の如く、ピッチ１７０μｍ、長さ１０ｍｍにてアレイ状梁構造体をカッターナイフで加工した。
・インキ：ロジン変性フェノール樹脂５ｗｔ％、顔料（カーボンブラック）１５ｗｔ％、オレフィン系溶剤８０ｗｔ％からなる油性インキ
・インキ供給部材：多孔質ウレタンフォーム材に上記インキを含浸しアルミ材に固定
・インキ固着手段：シリコーンゴム（硬度５０度）を巻きつけたゴムローラ（長さ：印字幅、ローラ径４０ｍｍ）
図８に示す搬送ローラ１０２、１０３、１０４により記録紙５（コート紙）を搬送し、上記インキ供給手段とインキ固定手段とを備え、インキ供給手段となるインキ壷８と記録紙５とのギャップをローラ１０１の位置を調整して１００μｍとし、その中間に当該梁構造体を配置した。
実施結果
このような構成において、周波数１０Ｈｚ、電圧１ｋＶにてパルスを当該梁構造体に印加しながら、記録紙５を搬送したところ、記録紙上にドット径約１５０μｍのドット列が形成できた。また、指で印刷物を擦ったところ、指にはインキが全く付着していなかった。
【００４９】
片持ち梁構造体においては、その先端にインキ保持部材を設けてもよい。例えば、図１３（ｃ）に具体例を示す。この例は、インキが水溶性である場合で、片持ち梁構造体となる梁構造体１の先端１Ａに親水性部３５を形成したものである。この形成方法として、先端１Ａを粗面化することや、親水性樹脂をコートなどが適する。インキが油性である場合、梁構造体１の先端１Ａに親油性部を形成する。この形成方法として、先端１Ａを粗面化することや、親油性樹脂をコートなどが適する。
【実施例９】
【００５０】
（アレイ状に配列された片持ちの梁構造体の構成）
厚み５０μｍのシリコーン樹脂エラストマーシートの両面に金電極を形成し、その後、図２の如く、ピッチ１７０μｍ、長さ１０ｍｍにてアレイ状梁構造体をカッターナイフで加工した。その後、梁構造体の先端を粗面化した。
・インキ：ロジン変性フェノール樹脂５ｗｔ％、顔料（カーボンブラック）１５ｗｔ％、オレフィン系溶剤８０ｗｔ％からなる油性インキ
・インキ供給部材：多孔質ウレタンフォーム材に上記インキを含浸しアルミ材に固定
図８に示す搬送ローラ１０２、１０３、１０４により記録紙５（コート紙）を搬送し、上記インキ供給手段を備え、インキ供給手段となるインキ壷８と記録紙５とのギャップをローラ１０１の位置を調整して１００μｍとし、その中間に当該梁構造体を配置した。
実施結果
このような構成において、周波数１０Ｈｚ、電圧１ｋＶにてパルスを当該梁構造体に印加しながら、記録紙５を搬送したところ、記録紙上にドット径約１５０μｍのドット列が形成できた。さらに、ドット径のばらつきが±１０μｍ以内となった。従来は±２０μｍ程度であったので、ばらつきが半減した。
【００５１】
片持ち梁構造体において、この梁構造体の先端にスリットを設けてインキを保持するようにしても良い。例えば、図１（ａ）、図１３（ａ）に示すように、スリット２を設けることで、毛管力でインキ４をスリット中に保持することができる。この場合、スリット２を長くしておけば、保持量が多くとれ、インキバッファの役目をはたし、一回ごとの付着量が安定する。また、インキ保持手段としてはスリット２に限定されるものではなく、図１３（ｂ）に示すように微細な孔２１Ａを先端１Ａに形成してもよい。
【実施例１０】
【００５２】
（アレイ状に配列された片持ちの梁構造体の構成）
下部に共通電極、上部に幅１７０μmピッチで個別電極をパターニングしたＰ（ＶＤＦ−ＴｒＥＦ）コポリマーフィルム（厚み４０μm）をレーザ加工により上部個別電極にそって図２のごとく、梁の長さ２０ｍｍにてスリット加工を施した。更に、図１３（ａ）に示すように、幅２０μｍ・長さ１５ｍｍにてスリット２を各梁ごとに形成した。各梁ごとに個別電極にリード線を形成し、この梁構造体を間隔５ｍｍあけて、２個配置した。
・インキ：顔料（カーボンブラック）１５ｗｔ％、オレフィン系溶剤８５ｗｔ％からなる油性インキ
・インキ供給部材：梁構造体の付け根にインキを含浸した多孔質ウレタンフォーム材を貼り付け、毛管力で各梁ごとに先端までインキを供給できるようにした。
【００５３】
図８に示す搬送ローラ１０２、１０３、１０４により記録紙５（コート紙）を搬送し、上記インキ供給手段を備え、スリット付の梁構造体の先端と記録紙５とのギャップをローラ１０１の位置を調整して１００μｍとして配置した。
実施結果
このような構成において、周波数１０Ｈｚ、電圧３００Ｖにてパルスを当該梁構造体に印加しながら、記録紙５を搬送したところ、記録紙上にドット径約１５０μｍのドット列が形成できた。また、連続印字の際のドット径ばらつきが±１０μｍ以内に抑えられた。
【００５４】
両持ち梁構造体においては、該梁構造体の中央部にインキ保持部材を設けてもよい。インキが水溶性である場合、両持ち梁構造体となる梁構造体２０の中央部２０Ａに親水性部を形成する。形成方法として、中央部２０Ａを粗面化することや、親水性樹脂をコートなどが適する。インキが油性である場合、図１４（ｃ）に示すように、該梁構造体２０の中央部２０Ａに親油性部４５を形成する。形成方法として、中央部を粗面化することや親油性樹脂をコートなどが適する。
【実施例１１】
【００５５】
（アレイ状に配列された両持ちの梁構造体の構成）
下部に共通電極、上部に幅８０μmピッチで個別電極をパターニングしたＰ（ＶＤＦ−ＴｒＥＦ）コポリマーフィルム（厚み４０μm）をレーザ加工により上部個別電極にそって図２の如く、梁の長さ２０ｍｍにてスリット加工を施し、更に、梁中央部にポリビニルアルコール樹脂をコート後、個別電極にリード線を形成した。この梁構造体を間隔５ｍｍあけて、２個配置した。
・インキ：染料１ｗｔ％からなる水性インキ
・インキ供給部材：多孔質ウレタンフォーム材に上記インキを含浸しアルミ材に固定
図１１に示す搬送ローラ１０２、１０３、１０４により記録紙５（コート紙）を搬送し、上記インキ供給手段を備え、インキ供給手段と紙とのローラ１０１の位置を調整してギャップを１００μｍとし、その中間に当該梁構造体を配置した。
実施結果
このような構成において、周波数１０Ｈｚ、電圧３００Ｖにてパルスを当該梁構造体に印加しながら、記録紙５を搬送したところ、記録紙上にドット径約１５０μｍのドット列が形成できた。さらに、ドット径のばらつきが±１０μｍ以内となった。従来は±２０μｍ程度であったので、ばらつきが半減した。
【００５６】
両持ち梁構造体においては、図１４（ａ）に示すように、該梁構造体２０の中央部２０Ａに図１４（ｂ）に示すインキ孔２１に代えてスリット４６を設けてインキ保持手段としても良い。このように梁構造体２０の中央部２０Ａにスリット４６を設けることで、毛管力でインキ４をスリット４６中に保持することができる。この場合、スリット４６を長くしておけば、保持量が多くとれ、インキバッファの役目をはたし、一回ごとの付着量が安定する。
【実施例１２】
【００５７】
（アレイ状に配列された両持ちの梁構造体の構成）
下部に共通電極、上部に幅１７０ピッチで個別電極をパターニングしたＰ（ＶＤＦ−ＴｒＥＦ）コポリマーフィルム（厚み４０μm）をレーザ加工により上部個別電極に沿って図１０のごとく、梁の長さＬ：２０ｍｍにてスリット加工を施し、更に、梁中央部にインキ孔２１に代えて幅２０μｍ・長さ１ｍｍのスリットを加工し、個別電極にリード線を形成した。この梁構造体を間隔５ｍｍあけて、２個配置した。
【００５８】
・インキ：顔料（カーボンブラック）１５ｗｔ％、オレフィン系溶剤８５ｗｔ％からなる油性インキ
・インキ供給部材：多孔質ウレタンフォーム材に上記インキを含浸しアルミ材に固定
図１１に示す搬送ローラ１０２、１０３、１０４により記録紙５（コート紙）を搬送し、上記インキ供給手段を備え、ローラ１０１の位置を調整してインキ供給手段と記録紙５とのギャップを１００μｍとし、その中間に当該梁構造体２０を配置した。
実施結果
このような構成において、周波数１０Ｈｚ、電圧３００Ｖにてパルスを当該梁構造体に印加しながら、記録紙５を搬送したところ、記録紙上にドット径約１５０μｍのドット列が形成できた。また、連続印字の際のドット径ばらつきが±１０μｍ以内に抑えられた。
【００５９】
次に本発明におけるインキ４の粘度について説明する。インキ４の粘度としては０．１Ｐａ・ｓ〜１０Ｐａ・ｓの範囲としている。これは、インキ粘度が高いほうが、記録紙５へ付着した際に広がり難いのでにじみの発生を抑えられる点で有利となる。しかし、インキ４の粘度が高すぎるとインキ壷８からインキ４が離れにくくなり、梁構造体の動作不良をまねくおそれである。本発明者らは、実施形態において記載されている各種梁構造体とインキ粘度との関係を鋭意検討した結果、インキ４の粘度が０．１Ｐａ・ｓ〜１０Ｐａ・ｓの範囲であれば、上記のような問題は発生しないことが分った。
【実施例１３】
【００６０】
（アレイ状に配列された片持ちの梁構造体の構成）
下部に共通電極、上部に幅８０μmピッチで個別電極をパターニングしたＰ（ＶＤＦ−ＴｒＥＦ）コポリマーフィルム（厚み４０μm）をレーザ加工により上部個別電極にそって図２の如く、梁の長さ２０ｍｍにてスリット加工を施し、個別電極にリード線を形成。この梁構造体を間隔5ｍｍあけて、２個配置した。
・インキ：ロジン変性フェノール樹脂１〜３０ｗｔ％、顔料（カーボンブラック）１５ｗｔ％、オレフィン系溶剤４５〜５５ｗｔ％の範囲で粘度（L型粘度計で測定、２５℃での粘度）が０．００３Ｐａ・ｓ〜１Ｐａ・ｓのの油性インキを試作
・インキ供給部材：多孔質ウレタンフォーム材に上記インキを含浸しアルミ材に固定
図８に示す搬送ローラ１０２、１０３、１０４により記録紙５（コート紙）を搬送し、上記インキ供給手段を備え、ローラ１０１の位置を調整してインキ供給手段と記録紙５とのギャップを１００μｍとし、その中間に当該梁構造体２０を配置した。
実施結果
このような構成において、周波数１０Ｈｚ、電圧３００Ｖにてパルスを当該梁構造体に印加しながら、記録紙５を搬送したところ、インキ４の粘度がおよそ０．００１Ｐａ・ｓ〜１Ｐａ・ｓの範囲であれば、記録紙５上にドット径が形成できた。
【００６１】
インキ４の粘度を０．００１Ｐａ・ｓ〜１Ｐａ・ｓの範囲とした場合、樹脂と顔料と有機溶剤を含有するものであっても良い。水溶性インキは、非塗工紙の場合、記録紙５への浸透が均一でなく、画像ドットの真円度や大きさがばらつき、画質が紙種に依存してしまう。一方、樹脂と顔料と有機溶剤を含有しているインキは、樹脂が記録紙５への浸透性を抑え、また、顔料を用いることで耐水性を高めることができる。さらに、各該梁構造体にインキを付着させた際、樹脂と顔料と有機溶剤を含有しているインキは、インキの凝集力が高いため、梁構造体上でインキは半球上になりやすく、ドット径の均一化に有利となる。
【実施例１４】
【００６２】
（アレイ状に配列された片持ちの梁構造体の構成）
厚み５０μｍのシリコーン樹脂エラストマーシートの両面に金電極を形成し、その後、図２のごとく、ピッチ１７０μｍ、長さ１０ｍｍにてアレイ状梁構造体をカッターナイフで加工した。
・インキ：アルキッド樹脂３０ｗｔ％、顔料（カーボンブラック）１５ｗｔ％、パラフィン系溶剤５５ｗｔ％からなる油性インキ
・インキ供給部材：多孔質ウレタンフォーム材に上記インキを含浸しアルミ材に固定
図８に示す搬送ローラ１０２、１０３、１０４により記録紙５（コート紙）を搬送し、上記インキ供給手段を備え、ローラ１０１の位置を調整してインキ供給手段と記録紙５とのギャップを３０μｍとし、その中間に当該梁構造体を配置した。
実施結果
このような構成において、周波数１０Ｈｚ、電圧３０Ｖにてパルスを当該梁構造体に印加しながら、記録紙５を搬送したところ、記録紙上にドット径約１５０μｍのドット列が形成できた。
【００６３】
インキ４の粘度を０．００１Ｐａ・ｓ〜１Ｐａ・ｓの範囲とした場合、保水性部材と色材と水を含有しているものであってもよい。油性インキは、記録装置の放置中に乾燥し難い利点を有するが、表面張力が低いため、上質紙のごとき記録紙に対しては、にじみが著しくなる欠点を有する。そこで、表面張力を高くするため、インキ溶媒として水を用い、装置保管中の乾燥を防止するため、インキ中に保水性部材を添加し、空気中の水分を捕獲することで乾燥を防止した。
【００６４】
各梁構造体１，１０、２０としては、自己収縮・膨張により屈曲運動する部材から構成する。梁構造体の屈曲方法としては、静電界や磁界の力で梁を静電気力や磁力により屈曲させる方法が考えられるが、これでは装置構成が複雑になり、また、梁の隣同士の電界や磁界によるクロストークで誤動作するおそれがある。これに対し、梁自身が自己収縮・膨張により屈曲する構成であると、構造が簡易で、しかもクロストークに強くなるので好ましい。材料自ら収縮・膨張する材料としては、熱収縮・膨張を利用した材料や、圧電効果を利用した材料などが適する。
【実施例１５】
【００６５】
（アレイ状に配列された両持ちの梁構造体の構成）
下部に共通電極、上部に幅１７０μｍピッチで長さ３０ｍｍの積層ＰＺＴ（厚み１０００μｍ）をダイシングソーにより上部個別電極に沿って、図１０のごとく、スリット加工を施し、個別電極にリード線を形成。その後、梁全体をポリアミド樹脂にてコートし、絶縁性を付与した
・インキ：顔料１０ｗｔ％含有した油性インキ
・インキ供給部材：多孔質ウレタンフォーム材に上記インキを含浸しアルミ材に固定
図１１に示す搬送ローラ１０２、１０３、１０４により記録紙５（コート紙）を搬送し、上記インキ供給手段を備え、ローラ１０１の位置を調整してインキ供給手段と記録紙５とのギャップを３０μｍとし、その中間に当該梁構造体を配置した。
実施結果
このような構成によると、周波数１０Ｈｚ、電圧１００Ｖにてパルスを当該梁構造体に印加しながら、紙を搬送したところ、紙上にドット径約１５０μｍのドット列が形成できた。
【００６６】
梁構造体１、１０、２０に用いる自己収縮・膨張により屈曲運動する部材としては、電場応答性高分子材料が挙げられる。電場応答性の高分子材料とは、電界を与えることで材料そのものの長さや体積が大きく変化する材料である。具体に適する材料としては、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）やビニリデンフロライド−トリフロロエチレン共重合体（Ｐ（ＶＤＦ−ＴｒＦＥ））の如きフッ素系の強誘電性高分子材料が適当である。これら材料は電場をかけると圧電効果により材料内部で膨張と収縮がおこり変形する。また、シリコーン樹脂やアクリル系樹脂の如き誘電エラストマーも適する材料の１つであり、強い電場の中で電場の方向に収縮し、電場と垂直な方向に膨張する性質をもつマックスウエル応力と呼ばれる変形力により変形する。これらの材料は高分子であるため、シート状に製造することが容易で、且つ、素材が柔らかいため図２に示すように、スリットを設けて櫛歯状に加工することが簡単であり、量産に向いている。
【実施例１６】
【００６７】
（アレイ状に配列された片持ちの梁構造体の構成）
厚み５０μｍのシリコーン樹脂エラストマーシートの両面に金電極を形成し、その後、図２のごとく、ピッチ１７０μｍ、長さ１０ｍｍにてアレイ状梁構造体をカッターナイフで加工した。
【００６８】
・インキ：ロジン変性フェノール樹脂５ｗｔ％、顔料（カーボンブラック）１５ｗｔ％、オレフィン系溶剤８０ｗｔ％からなる油性インキ
・インキ供給部材：多孔質ウレタンフォーム材に上記インキを含浸しアルミ材に固定
図８に示す搬送ローラ１０２、１０３、１０４により記録紙５（コート紙）を搬送し、上記インキ供給手段を備え、ローラ１０１の位置を調整してインキ供給手段と記録紙５とのギャップを５００μｍとし、その中間に当該梁構造体を配置した。
実施結果
このような構成において、周波数５Ｈｚ、電圧１ｋＶにてパルスを当該梁構造体に印加しながら、記録紙５を搬送したところ、記録紙上にドット径約１５０μｍのドット列が形成できた。
【００６９】
梁構造体１、１０、２０に用いる自己収縮・膨張により屈曲運動する部材としては、形状記憶合金とシリコン酸化膜を形成したシリコン基板とのユニモルフもしくはバイモルフ構造から構成してもよい。形状記憶合金としては、Ｔｉ−Ｎｉ２元系合金の薄膜やＴｉ−Ｎｉ−Ｐｄ３元系合金の薄膜が適する。シリコン基板上にシリコン酸化膜を形成後、これらの合金をシリコン基板上にスパッタ蒸着し、ユニモルフ構造もしくはバイモルフ構造を形成する。そして、ダイシングソーにて複数個のアレイ状梁構造体の形状に切削加工する。
【００７０】
このようにして加工した梁構造体は室温下では、シリコン基板と形状記憶合金との熱収縮率の違いから反り返った状態（屈曲した状態）となっている。そして、この状態で加熱すると形状記憶合金が相変体し、応力が緩和され、まっすぐな状態へと変形する。すわちち、画像信号に応じて、該梁構造体を加熱冷却することで梁構造体を屈曲しながら記録紙５へインキを付着させることができる。
【実施例１７】
【００７１】
（アレイ状に配列された片持ちの梁構造体の構成）
５００μｍ厚みのシリコン基板にシリコン酸化膜を１μｍ形成し、その上にスパッタ蒸着によりＴｉ−Ｎｉ系形状記憶合金を２μｍ形成した。その後、図２のごとき形状にダイヤモンド砥粒のダイシングソーにて複数個の梁を持つ梁構造体を加工した。さらに、梁構造体に熱素子をスクリーン印刷にて形成し、熱素子の両端にアルミ電極を蒸着した。
【００７２】
・インキ：染料１ｗｔ％含有した水性インキ
・インキ供給部材：多孔質ウレタンフォーム材に上記インキを含浸しアルミ材に固定
図８に示す搬送ローラ１０２、１０３、１０４により記録紙５（コート紙）を搬送し、上記インキ供給手段を備え、ローラ１０１の位置を調整してインキ供給手段と記録紙５とのギャップを１００μｍとし、その中間に当該梁構造体を配置した。梁構造体上に形成した熱素子を駆動周波数５Ｈｚにて駆動し、熱素子の表面温度が１５０℃となるよう電圧を設定した。画像信号に応じて熱素子を駆動し、普通紙上に１００μｍサイズのドット列を形成できた。
【００７３】
梁構造体としては静電アクチュエータで構成してもよい。図１５に示すように、複数個のアレイ状の梁構造体６０を個別電極とし、それに対向する位置に、アースされた一枚の対抗電極６１を設けて、平行電極を構成する。そして画像信号に応じて、個別電極に駆動電圧を印加すると、平行電極間に働く静電気力により、個別電極は屈曲し、記録紙に接触する。
【実施例１８】
【００７４】
（アレイ状に配列された片持ちの梁構造体の構成）
図１５に示すように、上部に絶縁被膜を施したニッケル箔のアースされた共通電極、下部に厚み５０μｍのニッケル箔に幅８０μmピッチで個別電極をレーザ加工により形成し、個別電極にリード線を形成した。下部電極と上部電極の間隔は１００μｍとした
・インキ：顔料（カーボンブラック）１５ｗｔ％、オレフィン系溶剤８５ｗｔ％からなる油性インキ
・インキ供給部材：多孔質ウレタンフォーム材に上記インキを含浸しアルミ材に固定
図８に示す搬送ローラ１０２、１０３、１０４により記録紙５（コート紙）を搬送し、上記インキ供給手段を備え、ローラ１０１の位置を調整してインキ供給手段と記録紙５とのギャップを５０μｍとし、その中間に当該梁構造体６０を配置した。そして、駆動周波数１０Ｈｚ、電圧５０Ｖにて駆動し、普通紙上に１００μｍサイズのドット列を形成できた。
【００７５】
梁構造体１、１０、２０、６０としては、レーザ切削加工により製造するのが好ましい。レーザの種類としてはＹＡＧレーザやＣＯ２レーザやエキシマレーザのような切削加工用のレーザを用いて加工するのが良い。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】本発明の記録装置に用いられ片持ち梁構造体の一形態を示す斜視図である。
【図２】アレイ状に配列された梁構造体の構成を示す拡大斜視図である。
【図３】片持ち梁構造体の動作の概略を示す模式図である。
【図４】アレイ状に配列された梁構造体の様々な形態を示す斜視図である。
【図５】片持ち梁構造体による記録原理と動作を示す模式図である。
【図６】梁構造体を有する記録ヘッドと記録媒体との関係を示す図である。
【図７】図６に示す記録ヘッドの概略構成を示す内部透視図である。
【図８】本発明の一実施の形態である片持ち梁構造体が適用されるは記録装置の概略構成を示す断面図である。
【図９】両持ち梁構造体の構成と記録原理並びに動作を示す模式図である。
【図１０】両持ち梁構造体をアレイ状に配列した一形態を示す斜視図である。
【図１１】本発明の一実施の形態である両持ち梁構造体が適用される記録装置の概略構成を示す断面図である。
【図１２】梁構造体を記録媒体の搬送方向に配置した様々な形態を示す図である。
【図１３】片持ち梁構造体に設けたインキ保持手段の様々な形態を示す拡大図である。
【図１４】両持ち梁構造体に設けたインキ保持手段の様々な形態を示す拡大図である。
【図１５】静電アクチュエータを有する梁構造体の一形態を示す斜視図である。
【図１６】複数のインキ色に対向して設けた梁構造体の構成と、インキ固着手段の様々な形態を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００７７】
１、１０、６０    梁構造体（片持ち梁構造体）
１Ａ、１０Ａ    片持ち梁の先端
１（Ｙ、Ｍ、Ｃ、Ｋ）    複数色に対応した梁構造体
２、４６    スリット
３、８    インキ供給手段
４    インキ
５    記録媒体、
２０    梁構造体（両持ち梁構造体）
２０Ａ    両持ち梁構造体の中央部
２１Ａ、３５    インキ保持手段
２４、４５    インキ保持手段
１０１、１０２、１０３    搬送手段
６１    静電アクチュエータ
７０（Ｙ、Ｍ、Ｃ、Ｋ）    インキ固着手段
７１（Ｙ、Ｍ、Ｃ、Ｋ）    インキ固着手段（ローラ状部材）
１００、２００    記録装置
Ａ  記録媒体の搬送方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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