(57)【要約】【課題】  ばね定数を比較的容易に設定することができ、且つ製造時間の短縮と製造コストの低減が図れるとともに、外部接触子に対するスパイラル接触子の接触抵抗の低減が可能なスパイラル接触子及びその製造方法を提供する。【解決手段】  直線的なポンチで金属板を順番に打抜くことにより、四角型のスパイラル接触子１０を製造することができるため、製造時間の短縮と製造コストの低減が図れるようになる。また金属板１０Ａの板厚寸法を調整するだけで、スパイラル接触子１０のばね定数の設定することが可能となる。またスパイラル接触子１０が角型であるため、巻回部１２のエッジを外部接触子に対して点接触させることができるため、外部接触子に対するスパイラル接触子１０の接触抵抗の低減が可能となる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外周側に設けられた枠部と、前記枠部から内周中心に向かって螺旋状に延びる巻回部とを有するスパイラル接触子であって、
前記巻回部は、一方向に直線状に延びる接触辺の終端から前記一方向とは異なる方向に次の接触辺が連続して直線状に延びることを繰り返すことにより形成されていることを特徴とするスパイラル接触子。
【請求項２】
前記各接触辺の長さ寸法が、前記枠部から前記内周中心に向かうほど短くなるように形成されている請求項１記載のスパイラル接触子。
【請求項３】
前記各接触辺の幅寸法が、前記枠部から前記内周中心に向かうほど狭くなるように形成されている請求項１または２記載のスパイラル接触子。
【請求項４】
隣り合う一方の接触辺と他方の接触辺との挟角θが、６０°≦θ＜１８０°の範囲で形成されている請求項１ないし３のいずれか記載のスパイラル接触子。
【請求項５】
前記挟角θが全て同じ大きさで形成されている請求項４記載のスパイラル接触子。
【請求項６】
前記巻回部は平面形状または立体凸型形状に塑性変形させられている請求項１ないし５のいずれか記載のスパイラル接触子。
【請求項７】
前記請求項１ないし６のいずれかに記載されたスパイラル接触子が、フープ材を介して連結されていることを特徴とするスパイラルシート。
【請求項８】
一のスパイラル接触子の枠部に対し、隣り合う他のスパイラル接触子の枠部が平行に配置されている請求項７記載のスパイラルシート。
【請求項９】
外周側に設けられた枠部と、直線状に延びる複数の接触辺が螺旋状に連結された巻回部とを有するスパイラル接触子を製造する方法であって、以下の（ａ）ないし（ｅ）の工程で形成されることを特徴とするスパイラル接触子の製造方法。
（ａ）金属板に中心孔を形成する工程、
（ｂ）前記中心孔から外側に突出する長孔を穿設する工程、
（ｃ）前記長孔に交差する他の長孔を前記長孔の終端に連続させて穿設する工程、
（ｄ）前記工程（ｃ）を順次繰り返すことにより、前記中心孔または先に穿設された長孔の外側に他の長孔を連続的に穿設して螺旋状の巻回部を形成する工程、
（ｅ）隣り合う巻回部と巻回部との間に分離孔を穿設することにより、前記枠部と前記枠部が連結されるフープ材とを形成する工程、
【請求項１０】
外周側に設けられた枠部と、直線状に延びる複数の接触辺が螺旋状に連結された巻回部とを有するスパイラル接触子を製造する方法であって、以下の（ａ）ないし（ｅ）の工程で形成されることを特徴とするスパイラル接触子の製造方法。
（ａ）金属板に長孔を穿設する工程、
（ｂ）前記長孔の終端に連続する他の長孔を前記長孔に交差させて穿設する工程、
（ｃ）前記工程（ｂ）を繰り返すことにより、先に穿設された長孔の内側に他の長孔を連続的に穿設して螺旋状の巻回部を形成する工程、
（ｄ）最内周側に形成された長孔に連続する中心孔を形成する工程、
（ｅ）隣り合う巻回部と巻回部との間に分離孔を穿設することにより、前記枠部と前記枠部が連結されるフープ材とを形成する工程、
【請求項１１】
２以上の長孔が同時に形成される請求項９または１０記載のスパイラル接触子の製造方法。
【請求項１２】
前記長孔が、ポンチで打抜かれることにより形成される請求項９ないし１１のいずれか記載のスパイラル接触子の製造方法。
【請求項１３】
前記長孔の長さ寸法が外周側から内周側に向かうほど短くなるように形成されている請求項９ないし１２のいずれか記載のスパイラル接触子の製造方法。
【請求項１４】
隣り合う一方の長孔と他方の長孔との挟角αが、６０°≦α＜１８０°の範囲で形成される請求項９ないし１３のいずれか記載のスパイラル接触子の製造方法。
【請求項１５】
前記挟角αが全て同じ大きさで形成される請求項１４記載のスパイラル接触子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体などの電子部品に複数配列された外部接続端子などに対して個別に接続されるスパイラル接触子に係わり、特に製造が容易で且つ製造時間の短縮と製造コストの低減とを図れるようにしたスパイラル接触子及びスパイラルシート並びにスパイラル接触子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に記載されている半導体検査装置（ＩＣソケット）は、半導体（ＩＣ等）を外部の回路基板などに電気的に仮接続させるものである。半導体の背面側には格子状またはマトリックス状に配置された多数の球状接触子又は平板状接触子などからなる外部接触子が設けられており、これに対向する絶縁基台上には多数の凹部が設けられ、この凹部内にスパイラル接触子が対向配置されている。
【０００３】
前記半導体の背面側を前記絶縁基台に向けて押圧すると、例えば前記球状接触子の外表面に前記スパイラル接触子が螺旋状に巻き付くように接触するため、個々の球状接触子と個々のスパイラル接触子との間の電気的接続が確実に行われるようになっている。
【０００４】
また引用文献１の図３７ないし図４０には、メッキ加工およびエッジング処理、あるいはレーザ加工など複数の加工処理技術を駆使することによってスパイラル接触子を製造する方法が記載されている。
【特許文献１】特開２００２−１７５８５９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、前記特許文献１に記載されたスパイラル接触子には、以下に示すような問題がある。
【０００６】
（１）上記の文献に記載された製造方法では、スパイラル接触子をメッキ加工およびエッジング処理、あるいはレーザ加工など複数の加工処理技術を複数回行う必要があるため、製造時間が長くなりやすく、しかも製造コストが高騰しやすい。
【０００７】
（２）スパイラル接触子のばね定数は、前記スパイラル接触子の板厚寸法によって左右されるため、メッキ浴の濃度やメッキ時間、さらにはエッチングの時間等を管理徹底する必要があり、スパイラル接触子の板厚制御が複雑になりやすい。
【０００８】
（３）スパイラル接触子では、スパイラル接触子と外部接触子との間の接触圧を高めてこの間に発生する接触抵抗を低減する必要があるため、スパイラル接触子と外部接触子とを鋭利な凸部又は角部を介して点接触させることが好ましい。しかし、前記従来のスパイラル接触子は、円弧状の接触子が外縁部から中心部に向かって渦巻き状に延びた形状をしているため、スパイラル接触子と外部接触子とを鋭利な凸部又は角部を介して接触させるのが難しい構造である。
【０００９】
本発明は上記従来の課題を解決するためのものであり、ばね定数を比較的容易に設定することができ、且つ製造時間と製造コストの低減が図れるとともに、外部接触子に対するスパイラル接触子の接触抵抗を低減することを可能としたスパイラル接触子及びその製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、外周側に設けられた枠部と、前記枠部から内周中心に向かって螺旋状に延びる巻回部とを有するスパイラル接触子であって、
前記巻回部は、一方向に直線状に延びる接触辺の終端から前記一方向とは異なる方向に次の接触辺が連続して直線状に延びることを繰り返すことにより形成されていることを特徴とするものである。
【００１１】
本発明のスパイラル接触子は、巻回部が角型螺旋状で形成されているため複数に角部が形成されやすい。よって、前記角部を介してスパイラル接触子と電子部品の外部接続部とを点接触させることが可能となるため、前記スパイラル接触子と外部接続部との間の接触抵抗を低減することができる。
【００１２】
上記において、前記各接触辺の長さ寸法が、前記枠部から前記内周中心に向かうほど短くなるように形成されているもの、または前記各接触辺の幅寸法が、前記枠部から前記内周中心に向かうほど狭くなるように形成されているもの、あるいは、隣り合う一方の接触辺と他方の接触辺との挟角θが、６０°≦θ＜１８０°の範囲で形成されており、さらには前記挟角θが全て同じ大きさで形成されているものが好ましい。
【００１３】
上記手段では、巻回部の全長にわたってのばね定数を均一に設定することができる。このため、巻回部の先端(自由端側)に向かうほどばねが硬くなる（ばね定数が大きくなる）ような不具合を防止することが可能となる。
【００１４】
また、前記巻回部は平面形状または立体凸型形状に塑性変形させられているものとして構成することができる。
【００１５】
また本発明は、前記いずれかに記載されたスパイラル接触子が、フープ材を介して連結されていることを特徴とするスパイラルシートである。
【００１６】
上記スパイラルシートでは、フープ材から個々のスパイラル接触子を切り離すだけで分離することができるため、個々のスパイラル接触子を保持するためのシートを不要とすることができる。
【００１７】
上記発明においては、一のスパイラル接触子の枠部に対し、隣り合う他のスパイラル接触子の枠部が平行に配置されているものが好ましい。
【００１８】
上記工程では、スパイラル接触子の単位面積当たりにおける実装密度を高めることができる。よって、さらに小型の電子部品などに対応することが可能となる。
【００１９】
また本発明は、外周側に設けられた枠部と、直線状に延びる複数の接触辺が螺旋状に連結された巻回部とを有するスパイラル接触子を製造する方法であって、以下の（ａ）ないし（ｅ）の工程で形成されることを特徴とするものである。
【００２０】
（ａ）金属板に中心孔を形成する工程、
（ｂ）前記中心孔から外側に突出する長孔を穿設する工程、
（ｃ）前記長孔に交差する他の長孔を前記長孔の終端に連続させて穿設する工程、
（ｄ）前記工程（ｃ）を順次繰り返すことにより、前記中心孔または先に穿設された長孔の外側に他の長孔を連続的に穿設して螺旋状の巻回部を形成する工程、
（ｅ）隣り合う前記巻回部と巻回部との間に分離孔を穿設することにより、前記枠部と前記枠部が連結されるフープ材とを形成する工程、
【００２１】
または、外周側に設けられた枠部と、直線状に延びる複数の接触辺が螺旋状に連結された巻回部とを有するスパイラル接触子を製造する方法であって、以下の（ａ）ないし（ｅ）の工程で形成されることを特徴とするものである。
【００２２】
（ａ）金属板に長孔を穿設する工程、
（ｂ）前記長孔の終端に連続する他の長孔を前記長孔に交差させて穿設する工程、
（ｃ）前記工程（ｂ）を繰り返すことにより、先に穿設された長孔の内側に他の長孔を連続的に形成して螺旋状の巻回部を形成する工程、
（ｄ）最内周側に形成された長孔に連続する中心孔を形成する工程、
（ｅ）隣り合う巻回部と巻回部との間に分離孔を穿設することにより、前記枠部と前記枠部が連結されるフープ材とを形成する工程、
【００２３】
上記の製造方法においては、２以上の長孔が同時に形成されるものが好ましく、この場合前記長孔が、ポンチで打抜かれることにより形成することができる。
【００２４】
上記製造方法では、金属板をポンチで穿設する打抜き加工を繰り返すだけでスパイラル接触子を形成することができる。すなわち、従来のようにメッキ加工やエッチング処理など複数の加工処理技術を不要とすることができるため、より簡単な製造方法により低い製造コストでスパイラル接触子を製造することが可能となる。しかも、打抜き加工は連続的に行うことができるため、スパイラル接触子の製造時間を大幅に短縮することができる。
【００２５】
また、金属板の板厚の種類を変えるだけで、スパイラル接触子のばね定数を調整することが可能となる。よって、スパイラル接触子のばね定数の設定や変更を比較的容易に行うことが可能となる。
【００２６】
上記において、前記長孔の長さ寸法が外周側から内周側に向かうほど短くなるように形成されているもの、または隣り合う一方の長孔と他方の長孔との挟角αが、６０°≦α＜１８０°の範囲で形成されており、前記挟角αが全て同じ大きさで形成されるものが好ましい。
【００２７】
上記手段では、三角型、四角型を始め、より多角型のスパイラル接触子を製造することが可能となる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明では、巻回部に複数の角部を形成することができるため、前記角部を介してスパイラル接触子と電子部品の外部接続部とを点接触させることが可能となる。よって、前記スパイラル接触子と外部接続部との間の接触抵抗を低減することができる。
【００２９】
またポンチによる打抜き加工という簡単な方法でスパイラル接触子を製造できるため、製造コストを安価にできるとともに製造時間を大幅に短縮することができる。
【００３０】
さらにスパイラル接触子のばね定数の調整が、金属板の板厚寸法を変えることにより行うことができるため、ばね定数の設定や変更を容易に行うことができる。
【００３１】
また複数のスパイラル接触子を１枚のシートとして形成することができるとともに、シート内の実装密度を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
最初に、本発明のスパイラル接触子の構造について説明する。
図１は本発明の第１の実施の形態としてのスパイラル接触子を示す平面図、図２は図１の２−２線における断面図であり、平面形状のスパイラル接触子の場合、図３は立体凸型形状のスパイラル接触子を示す図２同様の断面図、図４はスパイラル接触子と球状接触子との接続の様子を示す図２同様の断面図である。
【００３３】
図１に示すスパイラル接触子１０は薄い銅板などからなる導電性の金属板１０Ａより形成されている。前記スパイラル接触子１０の外周側には、符号１１ａ，１１ｂ，１１ｃおよび１１ｄの４つの外辺部によってほぼ正方形状に形成された枠部１１が設けられている。前記枠部１１の内部には開口部１１Ａが形成されており、この開口部１１Ａには前記枠部１１から四角型螺旋状に延びる巻回部１２が一体に形成されている。この実施の形態における前記巻回部１２は、符号１２ａ、１２ｂ，１２ｃ，１２ｄおよび１２ｅからなる接触辺と、最内周に設けられた接触部１２ｆとで形成されている。
【００３４】
前記接触辺１２ａは前記外辺部１１ａから対辺となる前記外辺部１１ｃに向かって前記外辺部１１ｂに沿って直線で延びている。以下同様に、接触辺１２ｂは前記接触辺１２ａの終端から前記外辺部１１ｄに向かって前記外辺部１１ｃに沿って直線で延び、接触辺１２ｂは前記接触辺１２ａの終端から前記外辺部１１ｄに向かって前記外辺部１１ｃに沿って直線で延び、接触辺１２ｃは前記接触辺１２ｂの終端から前記外辺部１１ａに向かって前記外辺部１１ｄに沿って直線で延び、接触辺１２ｄは前記接触辺１２ｃの終端から前記接触辺１２ａに向かって前記外辺部１１ａに沿って直線で延び、接触辺１２ｅは前記接触辺１２ｄの終端から前記接触辺１２ｂに向かって前記接触辺１２ａに沿って直線で延びている。そして、前記接触部１２ｆは、前記接触辺１２ｅの終端に設けられている。
【００３５】
図１に示すように、前記外辺部１１ｂと接触辺１２ａとの間には長孔１３ａが形成されている。以下同様に、前記外辺部１１ｃと接触辺１２ｂとの間には直線状の長孔１３ｂが形成され、前記外辺部１１ｄと接触辺１２ｃとの間には直線状の長孔１３ｃが形成され、前記外辺部１１ａと接触辺１２ｄとの間には直線状の長孔１３ｄが形成され、前記接触辺１２ａと接触辺１２ｅとの間には直線状の長孔１３ｅが形成されている。そして、前記接触部１２ｆと前記接触辺１２ｂおよび接触辺１２ｃとの間には直線状の長孔１３ｆ，１３ｇがそれぞれ形成されており、前記接触部１２ｆと前記接触辺１２ｃ、１２ｄおよび１２ｅとに囲まれる領域には中心孔１３ｈが形成されている。
【００３６】
図１に示すように、前記接触辺1２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅの幅寸法をＷａ、Ｗｂ、Ｗｃ、Ｗｄ、Ｗｅ、長さ寸法をＬａ、Ｌｂ、Ｌｃ、Ｌｄ、Ｌｅとすると、これらはＷａ＞Ｗｂ＞Ｗｃ＞Ｗｄ＞ＷｅおよびＬａ＞Ｌｂ＞Ｌｃ＞Ｌｄ＞Ｌｅの関係で形成されている。
【００３７】
またこの実施の形態では、図１に示すように隣り合う前記接触辺間の挟角をθａ、θｂ、θｃ、θｄ、θｅとすると、各挟角はθａ＝θｂ＝θｃ＝θｄ＝θｅ＝９０°である。
【００３８】
なお、上記スパイラル接触子１０は、板厚１０μm〜１００μｍ、ＸおよびＹ方向の全体の幅寸法は３００μm〜２０００μｍ程度の大きさである。
【００３９】
前記スパイラル接触子１０の巻回部１２は、図２に示すような平面形状、または図３に示すように巻回部１２の接触部１２ｆが枠部１１から図示上方に塑性変形させられた凸型形状で形成されている。
【００４０】
スパイラル接触子１０は、前記接触辺１２ａが固定端側、前記接触部１２ｆが自由端側であり、前記巻回部１２は前記接触辺１２ａを固定端として、自由端である前記接触部１２ｆ側が図２および図３においてＺ方向に弾性変形可能とされている。
【００４１】
図４に示すように、前記スパイラル接触子１０は基板４０に固定される。前記基板４０の表面には複数のスルーホール４１が貫通されており、その外縁部には前記スルーホール４１の縁部を取り囲む第１の接続部４２がメッキなどによって形成されている。前記スルーホール４１の内壁には、第１の接続部４２から連続する導電部４３が形成されており、前記第１の接続部４２と基板４０の背面に設けられた図示しない第２の接続部とが前記導電部４３を介して接続されている。そして、前記スパイラル接触子１０は、その枠部１１が前記第１の接続部４２に対し導電性接着剤など介して固定されており、前記巻回部１２は前記第１の接続部４２上においてスルーホール４１の中心方向に延びている。
【００４２】
例えば、電子部品３０の底面に設けられている球状の外部接触子３１をスルーホール４１内に押し込むように埋設すると、前記スパイラル接触子１０の巻回部１２が図示Ｚ２方向の弾性変形するとともに前記外部接触子３１の外表面にまとわりつくように接触するため、前記外部接触子３１と前記スパイラル接触子１０とを電気的に接続させることができる。このとき、前記巻回部１２の各接触辺１２ａないし１２ｅまたは接触部１２ｆのいずれか又はいくつかのエッジを前記外部接触子３１の表面に接触させることができる。前記エッジは鋭利な角部を形成しているため、前記接触部と前記外部接触子３１の表面とを前記角部を介して点接触させることが可能となる。よって、スパイラル接触子１０と外部接触子３１との間の接触抵抗を低減することができる。
【００４３】
次に、上記のようなスパイラル接触子１０の製造方法について説明する。
図５ないし図１１はスパイラル接触子の製造工程を示す部分平面図であり、図５は中心孔を形成する場合、図６は中心孔に連続する長孔を形成する場合、図７は図６で形成した長孔に連続する次の長孔を形成する場合、図８は図７で形成した長孔に連続する次の長孔を形成する場合、図９は巻回部の左右にＹ方向に延びる分離孔を形成する場合、図１０は巻回部の上下にＸ方向に延びる分離孔を形成する場合、図１１はスパイラル接触子の製造が完成した状態を示している。なお、図５ないし図１１中に一点鎖線で示す部分が、その工程において形成される部分を示している。
【００４４】
スパイラル接触子を形成するための板厚１０μm〜１００μｍの金属板１０Ａを用意し、これを図示しない公知の打抜き加工装置に装填する。前記打抜き加工装置は、複数の打抜き用のポンチを備えており、これらのポンチを順番に交換することにより、あるいは前記金属板１０Ａを各ポンチの動作位置に間欠的に送り移動させられることにより、前記金属板１０Ａを所定の形状で打抜くことが可能とされている。
【００４５】
図５に示す工程では、第１のポンチで打抜くことにより、前記金属板１０Ａに長方形状からなる複数の中心孔１３ｈが穿設される。図６に示す次の工程では、Ｘ方向に直線状に延びる第２のポンチを用いて中心孔１３ｈに連続する長孔１３ｇが穿設される。このとき、図６に点線で丸く囲った部分に示すように、前記第２のポンチの端部が前記中心孔１３ｈの一部に至るように位置決めされて行われる。
【００４６】
図７に示す工程ではＹ方向に直線状に延びる第３のポンチを用いることにより、前記長孔１３ｇに連続する長孔１３ｆが穿設される。図７に点線で丸く囲った部分に示すように、第３のポンチの端部が前記長孔１３ｇの終端に交差するように位置決めされた状態で穿設される。このとき、長孔１３ｇと長孔１３ｆとの間の挟角をα１とすると、α１＝９０°である。
【００４７】
図８に示す工程ではＸ方向に直線状に延びる第４のポンチを用いることにより、前記長孔１３ｆに連続する長孔１３ｅが穿設される。このときも、図８に点線で丸く囲った部分に示すように、第４のポンチの端部が前記長孔１３ｇの終端に交差するように位置決めされた状態で穿設される。また長孔１３ｆと長孔１３ｅとの間の挟角をα２とすると、α２＝９０°である。
【００４８】
以下同様に、長さ寸法の異なる直線状のポンチを次々に交換しながら、長孔１３ｆから長孔１３ａまで順番に形成されることにより、図９に示すように開口部１１Ａと四角型螺旋状の巻回部１２とが金属板１０Ａ上に形成される。なお、図９に示すものでは、中心孔１３ｈの一辺の外側に長孔１３ｈが平行に形成され、長孔１３ｇの外側に長孔１３ｃが平行に形成され、長孔１３ｆの外側に長孔１３ｂが平行に形成され、長孔１３ｅの外側に長孔１３ａが平行に形成される。このとき、隣り合う長孔と長孔との間の挟角α３ないしα６は、α３＝α４＝α５＝α６＝９０°である。
【００４９】
前記図５ないし図９の工程を順番に行うことにより、螺旋形状の巻回部１２は内周側から外周側に向かって形成されるが、これらの工程を逆の順番で行うものであってもよい。すなわち、最初に外周側の長孔１３ａを形成し、その後に長孔１３ｂ、長孔１３ｃ・・・の順番で長孔１３ｇまで形成し、最後に中心孔１３ｈを形成することにより、外周側から内周側に向かって形成するものであってもよい。
【００５０】
あるいは、複数の長孔を同時に形成するものであってもよい。例えば略Ｌ字形状のポンチを用いると、中心孔１３ｈと長孔１３ｇとを同時に形成し、次に長孔１３ｆと長孔１３ｅを同時に形成し、次に長孔１３ｄと長孔１３ｃを同時に形成し、最後に長孔１３ｂと長孔１３ａを同時に形成することができる。この場合も、前記のように内周側から外周方向に向かって形成すること、および外周側から内周側に向かって形成することが可能である。
【００５１】
さらには、略コの字形状のポンチ、略ロの字形状のポンチ、あるいは略＝形状のポンチを用いることにより、２以上の長孔を同時に形成することが可能である。特に、略＝形状のポンチを用いると、例えば長孔１３ａと長孔１３ｅを同時に形成することができるため、一度の工程で接触辺１２ａを形成することができる。よって、前記巻回部１２の各接触辺ごとに形成することが可能である。
【００５２】
このように、複数の長孔を同時に形成することにより、スパイラル接触子１０の製造時間を短縮することができる。
【００５３】
次に、図９の示すように、左右（Ｘ）方向に隣り合う前記巻回部１２と巻回部１２との間に図示Ｙ方向に所定の長さ寸法で延びる分離孔１４ａがポンチによって打抜き形成される。さらに図１０に示すように、上下（Ｙ）方向に隣接する前記巻回部１２と巻回部１２との間に図示Ｘ方向に平行に所定の長さ寸法で延びる２本の分離孔１４ｂ，１４ｂがポンチで穿設される。前記分離孔１４ａと分離孔１４ｂ，１４ｂが形成されると、前記巻回部１２の周囲に枠部１１が形成されるとともにフープ材１５とが形成される。
【００５４】
以上のように、各工程ごとに異なるポンチを用いて打抜き加工を繰り返す上記製造方法により、複数のスパイラル接触子１０を前記金属板１０Ａに同時に形成することが可能である。
【００５５】
図１１は、上記製造方法によって形成された複数のスパイラル接触子からなるスパイラルシートの一部を示す部分平面図である。
【００５６】
図１１に示すように、各スパイラル接触子１０の図示Ｙ方向の両端には、前記２本の分離孔１４ｂ，１４ｂとによって形成されたフープ材１５がＸ方向に延びている。各スパイラル接触子１０は、前記枠部１１の外辺部１１ｂがフープ材１５から図示Ｙ２方向に延びる連結部１５ａによって連結され、外辺部１１ｄがフープ材１５から図示Ｙ１方向に延びる連結部１５ａによって連結されることにより、スパイラルシートを形成している。
【００５７】
なお、各スパイラル接触子１０のフープ材１５に対するＸ方向のピッチ寸法はＰｘ、Ｙ方向のフープ材１５のピッチ寸法はＰｙであるが、前記ピッチ寸法Ｐｘとピッチ寸法Ｐｙとを同じ寸法で形成されてもよいし（Ｐｘ＝Ｐｙ）、異なる寸法で形成されるものでもよい（Ｐｘ≠Ｐｙ）。
【００５８】
上記製造方法により製造された複数のスパイラル接触子１０は、フープ材１５に連結されたスパイラルシートの状態で前記基板４０に形成されているスルーホール４１上に載置される。そして、上記のように各スパイラル接触子１０の枠部１１と、各スルーホール４１に形成された第１の接続部４２とが導電性接着剤などを用いて接続される。
【００５９】
このとき、前記ピッチ寸法ＰｘおよびＰｙを前記スルーホール４１のＸおよびＹ方向のピッチ寸法に一致するようにしておくと、前記個々のスパイラル接触子１０と個々のスルーホール４１とを容易に位置合わせすることができ、接続作業の効率を向上させることが可能である。
【００６０】
そして、各スパイラル接触子１０の枠部１１が各スルーホール４１の第１の接続部４２に完全に固着した後、前記フープ材１５と各スパイラル接触子１０とを連結する前記連結部１５ａが切断される。これにより、基板４０の複数のスルーホール４１の表面に、個々に独立したスパイラル接触子１０が配置される。
【００６１】
図１２は本発明の第２の実施の形態としての三角型のスパイラル接触子を示す平面図、図１３は三角型のスパイラル接触子が連結されたスパイラルシートの一部を示す平面図、図１４は三角型のスパイラル接触子が複数配置されたスパイラルシートの好ましい配置を示す平面図である。
【００６２】
図１２に示すスパイラル接触子２０は、三角型であること以外はほぼ前記四角型のスパイラル接触子と同様の構成である。
【００６３】
すなわち、外辺部２１ａ，２１ｂおよび２１ｃとからなる正三角形状の枠部２１を有している。前記枠部２１の内側には開口部２１Ａが形成されており、前記枠体２１には前記枠部２１から三角型螺旋状に延びる巻回部２２が一体に形成されている。
【００６４】
この実施の形態における前記巻回部２２は、符号２２ａないし２２ｇからなる接触辺で形成されており、接触辺２２ａが固定端側、接触辺２２ｇが自由端側である。前記接触辺２２ａないし２２ｇは前記外辺部２１ａ，２１ｂおよび２１ｃのいずれかに対して平行に形成されているが、各接触辺間の挟角θがほぼ６０°で形成されている点が上記スパイラル接触子１０と異なっている。
【００６５】
前記スパイラル接触子２０は、上記同様の製造方法で形成することができる。すなわち、打抜き加工装置において金属板に三角形状のポンチを用いて中心孔２３ｉを形成し、その周囲に長さ寸法の異なる直線状のポンチで順番に穿設することにより、長孔２３ｈないし長孔２３ａを中心から外周方向に向かって形成することによって巻回部２２を形成することができる。また外周側の長孔２３ａから内周側の長孔２３ｈに向かって順に形成し、最後に中心孔２３ｉを形成することもできる。さらには、略∠形状のポンチや、略△形状のポンチ、あるいは略＝形状のポンチを用いることにより、複数の長孔を同時に形成することも可能である。なお、この場合における隣り合う長孔と長孔とが作る挟角αはα＝６０°が好ましい。
【００６６】
そして、最後に略三角形状の分離孔２４ａと長方形状の分離孔２４ｂとを打抜くことにより、フープ材２５とこのフープ材２５に連結される三角型のスパイラル接触子２０からなるスパイラルシートを形成することができる（図１３参照）。
【００６７】
また図１４に示すように、フープ材２５に複数のスパイラル接触子２０が連結されるものにおいては、一のスパイラル接触子２０の枠部２１と、これと隣り合う他のスパイラル接触子２０の枠部２１とが平行に対向する状態で配置したものが好ましい。このような配置とすることにより、スパイラルシート上の単位面積当たりに配置可能なスパイラル接触子２０の数を増やすこと、すなわちスパイラルシートの実装密度を高めることができる。
【００６８】
特に、三角形状のスパイラル接触子２０の場合には、図１４に示すように隣り合うスパイラル接触子２０の向きを交互に逆向きにして配置することにより、実装密度を高めることが可能である。
【００６９】
上記実施の形態では、前記枠部１１が正方形状および正三角形状からなるとともに前記巻回部１２、２２を形成する各外辺部間の挟角θが互いにθ＝９０°またはθ＝６０°の関係で渦巻く四角型または三角型のスパイラル接触子について説明したが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、前記枠部が例えば菱形状、正五角形状、正六角形状、正八角形状などの多角形状であり、巻回部がそれぞれ菱型、五角型、六角型または八角型等の多角型のスパイラル接触子であってもよい。
【００７０】
この場合、前記巻回部を形成する各外辺部間の挟角θの範囲は、６０°≦θ＜１８０°であればよく、例えば正五角型の場合はθ＝１０８°、正六角型の場合はθ＝１２０°、正八角型の場合はθ＝１３５°となり、一般的な正ｎ角型の場合はθ＝１８０°・（ｎ−２）／ｎ（ｎは３以上の自然数）となる。
【００７１】
よって、長孔と長孔との挟角αを前記各外辺部間の挟角θと同じ角度とすることにより、正ｎ角型のスパイラル接触子を上記の製造方法を用いて形成することが可能となる。なお、菱形状の場合には、対向する挟角（対角）どうしは同じ大きさとなるが、隣合う挟角どうしは異なる角度に設定される。
【００７２】
上記のような多角型のスパイラル接触子である場合にも、一のスパイラル接触子の枠部に対し、隣り合う他のスパイラル接触子の枠部を平行に配置することにより、スパイラルシート上に形成されるスパイラル接触子の単位面積当たりの実装密度を高めることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】第１の実施の形態としてのスパイラル接触子を示す平面図、
【図２】図１の２−２線における断面図であり、平面形状のスパイラル接触子の場合、
【図３】立体凸型形状のスパイラル接触子を示す図２同様の断面図、
【図４】スパイラル接触子と球状接触子との接続の様子を示す図２同様の断面図、
【図５】スパイラル接触子の製造工程を示す金属板の部分平面図であり、中心孔を形成する場合を示す、
【図６】中心孔に連続する長孔を形成する場合を示す図５同様の平面図、
【図７】図６で形成した長孔に連続する次の長孔を形成する場合を示す図５同様の平面図、
【図８】図７で形成した長孔に連続する次の長孔を形成する場合を示す図５同様の平面図、
【図９】巻回部の左右にＹ方向に延びる分離孔を形成する場合を示す図５同様の平面図、
【図１０】巻回部の上下にＸ方向に延びる分離孔を形成する場合を示す図５同様の平面図、
【図１１】スパイラル接触子の製造が完成した状態を示す図５同様の平面図、
【図１２】本発明の第２の実施の形態としての三角型のスパイラル接触子を示す平面図、
【図１３】三角型のスパイラル接触子が連結されたスパイラルシートの一部を示す平面図、
【図１４】三角型のスパイラル接触子が複数配置されたスパイラルシートの好ましい配置を示す平面図、
【符号の説明】
【００７４】
１０  スパイラル接触子
１０Ａ  金属板
１１，２１  枠部
１１ａ〜１１ｄ，２１ａ〜２１ｃ  外辺部
１２，２２  巻回部
１２ａ〜１２ｅ，２２ａ〜２２ｇ  接触辺
１２ｆ  接触部
１３ａ〜１３ｇ，２３ａ〜２３ｈ  長孔
１３ｈ，２３ｉ  中心孔
１４ａ，１４ｂ，２４ａ，２４ｂ  分離孔
１５，２５  フープ材
２０  三角型のスパイラル接触子
３０  電子部品
３１  外部接触子
４０  基板
４１  スルーホール
４２  第１の接続部
θ  外辺部と外辺部とが作る挟角
α  長孔と長孔とが作る挟角
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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