(57)【要約】【課題】  粉塵の侵入を防止しつつ、アクチュエータ内部の正圧状態を維持すると共に、負圧状態を速やかに解消せしめて、アクチュエータの耐久性を向上せしめ得る、改良された構造の防振用アクチュエータを提供すること。【解決手段】  ハウジング１１６の開口部を支持ゴム弾性体７８によって覆蓋することにより該ハウジング１１６の内部領域を外部空間から遮断された密閉領域１７０とする一方、該ハウジング１１６に通孔１４３を形成して該通孔１４３に一方型の弁手段１４６を設けることにより、該通孔１４３を通じての該密閉領域１７０からの空気の外部空間への漏出を抑えると共に、外部空間から該密閉領域１７０への空気の流入を許容するようにした。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
略カップ形状のハウジングの内部にコイル部材を組み込むと共に、該コイル部材への通電によって駆動力が及ぼされるアーマチャを該ハウジングの軸方向に変位可能に配設する一方、該ハウジングの開口部側に出力部材を離隔配置せしめて該出力部材を該ハウジングに対して支持ゴム弾性体を介して弾性支持せしめると共に、該出力部材を前記アーマチャに連結することにより、該コイル部材への通電によって該アーマチャから該出力部材に加振力を及ぼして該出力部材を該ハウジングの軸方向に加振変位せしめるようにした防振用アクチュエータにおいて、
前記ハウジングの開口部を前記支持ゴム弾性体によって流体密に覆蓋することにより該ハウジングにおける前記コイルおよび前記アーマチャの配設領域を外部空間に対して遮断された密閉領域とする一方、該ハウジングに通孔を形成して該通孔に一方向型の弁手段を設けることにより、該通孔を通じての該密閉領域からの空気の外部空間への漏出を抑えると共に、外部空間から該密閉領域への空気の流入を許容するようにしたことを特徴とする防振用アクチュエータ。
【請求項２】
前記通孔の内周面に環状段差部を形成し、該環状段差部によって前記防振用アクチュエータの内方への変位が阻止される大きさの蓋板金具を該通孔に嵌め込むと共に、該蓋板金具の内面にシールゴム層を被着形成して、該シールゴム層を該蓋板金具で押圧して該環状段差部に押圧状態に保持することによって該通孔を覆蓋せしめる一方、該蓋板金具の中央部分に連通孔を形成すると共に、該連通孔を遮断するように該シールゴム層を延び出させて該シールゴム層に開閉孔を形成することにより前記一方向型の弁手段を構成した請求項１に記載の防振用アクチュエータ。
【請求項３】
前記ハウジングにおいて中心軸上に延びる案内孔を設けると共に、前記出力部材に設けたガイドロッドを該案内孔に挿入せしめて、該ガイドロッドの該案内孔による案内作用に基づいて該ハウジングの中心軸方向に該出力部材を加振変位せしめるようにする一方、前記ハウジングにおける該案内孔の延長線上に前記通孔を設けて、該通孔を通じて前記案内孔が外部に開口せしめられるようにした請求項１又は２に記載の防振用アクチュエータ。
【請求項４】
前記通孔において前記ハウジングの内方に向かって略ドーム形状で突出して該通孔を遮断する封止ゴムを形成し、該封止ゴムの突出先端部分を厚さ方向に貫通すると共に、該封止ゴムの弾性で閉塞状態とされる弁孔を形成することによって前記一方向型の弁手段を構成した請求項１乃至３の何れかに記載の防振用アクチュエータ。
【請求項５】
前記弁孔が、前記封止ゴムの略頂部において略針穴状をもって該封止ゴムの厚さ方向に貫設されている請求項４に記載の防振用アクチュエータ。
【請求項６】
前記弁孔が、前記封止ゴムの軸直角方向に広がるスリット形状をもって前記封止ゴムの厚さ方向に貫設されている請求項４に記載の防振用アクチュエータ。
【請求項７】
前記弁孔が、前記密閉領域側から前記封止ゴムの厚さ方向で所定長さに亘る部分において該密閉領域側に向かって次第に大径となる逆テーパ形状を有している請求項４に記載の防振用アクチュエータ。
【請求項８】
相互に連結されることにより振動伝達系を構成する一方の部材に取り付けられる第一の取付部材と他方の部材に取り付けられる第二の取付部材を本体ゴム弾性体で連結する一方、該本体ゴム弾性体によって壁部の一部が構成されて非圧縮性流体が封入された受圧室を形成すると共に、該受圧室の壁部の別の一部を加振部材で構成し、該加振部材に加振力を及ぼすアクチュエータを設けて、該アクチュエータで該加振部材を加振駆動することにより該受圧室の圧力を能動的に制御するようにした能動型防振用マウントにおいて、
前記アクチュエータとして請求項１乃至７の何れかに記載の防振用アクチュエータを用い、該防振用アクチュエータにおける前記ハウジングを前記第二の取付部材に固定する一方、前記出力部材によって前記加振部材を構成したことを特徴とする能動型防振用マウント。
【請求項９】
防振対象部材に装着されることにより、該防振対象部材に加振力を及ぼして能動的な制振作用を発揮する能動型防振用制振器であって、
請求項１乃至７の何れかに記載の防振用アクチュエータを用い、該防振用アクチュエータにおける前記ハウジングと前記出力部材の一方において前記防振対象部材に固定するための取付部を設けると共に、それらハウジングと出力部材の他方にマス部を設けたことを特徴とする能動型防振用制振器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、防振対象部材に装着されることにより能動的な防振効果を発揮し得る能動型防振装置に用いられる防振用アクチュエータと、それを用いた能動型防振装置に係り、特に自動車のエンジンマウントやボデーマウント，制振器などの防振装置において好適に採用される防振用アクチュエータおよびそれを用いた能動型防振装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば自動車のボデー等のように振動低減が重要視される防振対象部材において振動を低減するために、従来では、一般に、ショックアブソーバやゴム弾性体等の減衰効果を利用した振動減衰手段や、コイルスプリングやゴム弾性体等のばね効果を利用した振動絶縁手段の如き防振装置が採用されているが、これらの防振装置は何れも受動的な防振作用を発揮するものであるために、例えば防振すべき振動の周波数等の特性が変化する場合やより高度な防振効果が要求される場合等においては、充分な防振効果を得ることが難しいという問題があった。そこで、近年では、防振対象部材や防振装置に加振力を及ぼすことにより、防振すべき振動を積極的乃至は相殺的に低減せしめるようにした能動型防振装置が開発され、検討されている。例えば、特許文献１や特許文献２に記載のものが、それである。
【０００３】
ところで、このような能動型防振装置では、加振力を発生するアクチュエータが必要であり、かかるアクチュエータにおいては、発生加振力に関して周波数や位相の高度の制御性が要求される。そこで、能動型防振装置に採用される防振用アクチュエータとしては、コイルを用いて、コイルへの通電を制御することにより生ぜしめられる電磁力や磁力を制御するようにしたものが好適に採用される。また、数十Ｈｚ以上の高周波数域で出力部材を加振駆動せしめるために、ハウジング内部に案内孔が形成されて、出力部材を駆動方向に案内するガイド機構が、好適に採用される。
【０００４】
ところで、このような防振用アクチュエータにおいて、ハウジングに形成されて出力部材を案内する案内孔は、アクチュエータの組立工程上の理由やアクチュエータの各種調節に際しての作業上の理由などから、ハウジングを貫通してハウジング底面に開口した構造をもって形成されることが多い。
【０００５】
しかしながら、案内孔をハウジング底面に開口させた状態にしておくと、かかる開口部を通じて入り込んだ粉塵などの異物が、ハウジング内部の案内孔にまで侵入して、出力部材の変位が阻害されてしまい、出力部材において目的とする駆動力を安定して発揮することができなくなるという問題があった。
【０００６】
このような問題に対処するために、例えば、特許文献３に示されているように、ハウジングにおける案内孔の開口部位にねじ溝を形成し、そこにねじ蓋を螺着して、アクチュエータの内部を外部空間に対して遮断された密閉領域とすることも考えられる。
【０００７】
ところが、これら能動型防振装置は、載置される例えば自動車のエンジンルーム内などの高温環境によって、アクチュエータの内部が高圧状態となる場合がある。そこにおいて、アクチュエータの内部を密閉領域とすると、かかる高圧状態のアクチュエータ内部の空気は、例えば、加振部材に対する空気ばねとしての作用を発揮して、加振部材の過大変位を抑える等といった効果を奏するのであるが、その高圧状態と加振部材の作動によって、アクチュエータ内部の空気は外部に漏出せしめられ易い。その結果、エンジン停止などによってエンジンルームの温度が低下して、常温環境となった場合には、アクチュエータの内部は空気が外部から侵入して大気圧となる迄の相当の期間、負圧状態となってしまう。これにより、かかる負圧が、支持ゴム弾性体に対する吸引力として働き、支持ゴム弾性体が比較的長い時間に亘って変形状態に保持され続けることとなって、支持ゴム弾性体のばね特性が変化してしまったり、その耐久性が低下してしまうおそれがあったのである。
【０００８】
すなわち、アクチュエータの耐久性を向上するためには、アクチュエータ内部の正圧状態は維持されて、負圧状態は速やかに解消されるのが望ましいのであるが、粉塵の入り込みを防止する為にアクチュエータ内部を密閉すると、かかる負圧を迅速に解消することが困難となるのである。
【０００９】
【特許文献１】特開平９−８９０４０号公報
【特許文献２】特開平９−４９５４１号公報
【特許文献３】特開２００１−１７６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ここにおいて、本発明は上述の如き事情を背景として為されたものであって、その解決課題とするところは、粉塵の侵入を防止しつつ、アクチュエータ内部の正圧状態を維持すると共に、負圧状態を速やかに解消せしめて、アクチュエータの耐久性を向上せしめ得る、改良された構造の防振用アクチュエータを提供することにある。
【００１１】
また、本発明は、そのような防振用アクチュエータを用いて構成された、改良された構造を有する能動型防振装置として、能動型防振用マウントおよび能動型防振用制振器を提供することも目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
以下、前述の如き課題を解決するために為された本発明の態様を記載する。なお、以下に記載の各態様において採用される構成要素は、可能な限り任意の組み合わせで採用可能である。また、本発明の態様乃至は技術的特徴は、以下に記載のものに限定されることなく、明細書全体および図面の記載、或いはそれらの記載から当業者が把握することの出来る発明思想に基づいて認識されるものであることが理解されるべきである。
【００１３】
（防振用アクチュエータに関する本発明の態様１）
すなわち、防振用アクチュエータに関する本発明の第一の態様は、略カップ形状のハウジングの内部にコイル部材を組み込むと共に、該コイル部材への通電によって駆動力が及ぼされるアーマチャを該ハウジングの軸方向に変位可能に配設する一方、該ハウジングの開口部側に出力部材を離隔配置せしめて該出力部材を該ハウジングに対して支持ゴム弾性体を介して弾性支持せしめると共に、該出力部材を前記アーマチャに連結することにより、該コイル部材への通電によって該アーマチャから該出力部材に加振力を及ぼして該出力部材を該ハウジングの軸方向に加振変位せしめるようにした防振用アクチュエータにおいて、前記ハウジングの開口部を前記支持ゴム弾性体によって流体密に覆蓋することにより該ハウジングにおける前記コイルおよび前記アーマチャの配設領域を外部空間に対して遮断された密閉領域とする一方、該ハウジングに通孔を形成して該通孔に一方向型の弁手段を設けることにより、該通孔を通じての該密閉領域からの空気の外部空間への漏出を抑えると共に、外部空間から該密閉領域への空気の流入を許容するようにしたことを、特徴とする。
【００１４】
本態様に従う構造とされた防振用アクチュエータにおいては、ハウジング内部を密閉領域とすることによって、ハウジング外部からの粉塵等の侵入を防止することが出来ると共に、アクチュエータ内部の正圧状態を維持することによって内部の空気を空気ばねとして有効に作用せしめて、アクチュエータ作動時における支持ゴム弾性体の過大変形を抑えことが出来る。それに加えて、ハウジングに一方向型の弁手段を設けて、ハウジング内部への空気の流入を許容することによって、ハウジング内部の負圧状態を迅速に解消せしめることが可能となって、支持ゴム弾性体に対する負圧吸引力の作用も軽減され得るのである。即ち、密閉領域とされたハウジング内部を一方向型の弁手段によって外部空間と連通せしめることによって、ハウジング内部への粉塵の侵入を防止しつつ、正圧の維持と負圧の迅速な解消という効果を両立することが出来て、もってアクチュエータの耐久性を向上せしめることが出来るのである。
【００１５】
なお、一方向型の弁手段を設ける通孔の形成箇所、個数及び具体的形状や、また、一方向型の弁手段の具体的態様などについては、何等限定されるものではない。例えば通孔や弁体を複数形成することも可能であるし、一方向型の弁手段は、例えばボール型やポペット型等のチェック弁やシャトル弁を用いて構成したり、ベローズ型等の空気抜き弁やダイヤフラム型等の圧力調整弁を用いて構成することも可能であり、或いは、ソレノイド弁を温度差に応じて開閉制御することなどによって一方向型の弁手段を構成することも可能である。
【００１６】
（防振用アクチュエータに関する本発明の態様２）
防振用アクチュエータに関する本発明の第二の態様は、前記態様１に係る防振用アクチュエータにおいて、前記通孔の内周面に環状段差部を形成し、該環状段差部によって前記防振用アクチュエータの内方への変位が阻止される大きさの蓋板金具を該通孔に嵌め込むと共に、該蓋板金具の内面にシールゴム層を被着形成して、該シールゴム層を該蓋板金具で押圧して該環状段差部に押圧状態に保持することによって該通孔を覆蓋せしめる一方、該蓋板金具の中央部分に連通孔を形成すると共に、該連通孔を遮断するように該シールゴム層を延び出させて該シールゴム層に開閉孔を形成することにより前記一方向型の弁手段を構成したことを、特徴とする。本態様に従う構造とされた防振用アクチュエータにおいては、特別な部材や機構、装置を必要とすることもなく、一方向型の弁手段を非常に簡易に実現することが出来る。
【００１７】
（防振用アクチュエータに関する本発明の態様３）
防振用アクチュエータに関する本発明の第三の態様は、前記態様１又は２に係る防振用アクチュエータにおいて、前記ハウジングにおいて中心軸上に延びる案内孔を設けると共に、前記出力部材に設けたガイドロッドを該案内孔に挿入せしめて、該ガイドロッドの該案内孔による案内作用に基づいて該ハウジングの中心軸方向に該出力部材を加振変位せしめるようにする一方、前記ハウジングにおける該案内孔の延長線上に前記通孔を設けて、該通孔を通じて前記案内孔が外部に開口せしめられるようにしたことを、特徴とする。
【００１８】
本態様に従う構造とされた防振用アクチュエータにおいては、通孔によってハウジング内部の案内孔と外部空間とを連通せしめることによって、一方向型の弁手段を設けるための通孔を積極的に利用して、例えば通孔をアクチュエータの出力調節や組み付け等の作業にも利用することが出来る。そして、一方向型の弁手段を通孔に設けることによって、案内孔の開口部を覆蓋せしめて、案内孔への粉塵の侵入を防止することも可能となる。
【００１９】
（防振用アクチュエータに関する本発明の態様４）
防振用アクチュエータに関する本発明の第四の態様は、前記態様１乃至３の何れかに係る防振用アクチュエータにおいて、前記通孔において前記ハウジングの内方に向かって略ドーム形状で突出して該通孔を遮断する封止ゴムを形成し、該封止ゴムの突出先端部分を厚さ方向に貫通すると共に、該封止ゴムの弾性で閉塞状態とされる弁孔を形成することによって前記一方向型の弁手段を構成したことを、特徴とする。
【００２０】
本態様に従う構造とされた防振用アクチュエータにおいては、アクチュエータ内部の圧力変化に迅速に対応して作動することが出来る一方向型の弁手段を、簡易な構造で実現することが出来る。即ち、ハウジング内部が正圧状態の場合には、突出部には圧縮応力が発生して弁孔が閉塞せしめられる一方、ハウジング内部が負圧状態となった場合には、突出部には引張応力が発生することとなり、これにより、弁孔が開口せしめられる。特に、かかる突出部がハウジング内部に略ドーム形状で突出形成されていることにより、ハウジング内部の圧力変化に伴う突出部における圧縮乃至は引張の応力発生が効果的に実現されて、内外の圧力差に基づく弁作用が有利に発揮され得る。
【００２１】
なお、本態様は、前述の態様２と組み合わせた態様で、特に好適に採用される。即ち、前記態様２におけるシールゴム層に、通孔内方に向かって突出する本態様における封止ゴムを形成して、本態様における弁孔を前記態様２におけるシールゴム層の開閉孔とすることによって、目的とする一方向型の弁手段が有利に構成される。
【００２２】
（防振用アクチュエータに関する本発明の態様５）
防振用アクチュエータに関する本発明の第五の態様は、前記態様４に係る防振用アクチュエータにおいて、前記弁孔が、前記封止ゴムの略頂部において略針穴状をもって該封止ゴムの厚さ方向に貫設されていることを、特徴とする。本態様に従う構造とされた防振用アクチュエータは、例えば、封止ゴムの成形後にピン等を挿し通すことによって、容易に形成することが出来る。
【００２３】
（防振用アクチュエータに関する本発明の態様６）
防振用アクチュエータに関する本発明の第六の態様は、前記態様４に係る防振用アクチュエータにおいて、前記弁孔が、前記封止ゴムの軸直角方向に広がるスリット形状をもって前記封止ゴムの厚さ方向に貫設されていることを、特徴とする。本態様に従う構造とされた防振用アクチュエータにおいては、弁孔の有効な開口量を大きくすることが出来、それによって、弁孔を流れる空気の流量をより多く確保して、より迅速な負圧の解消を図ることができる。
【００２４】
（防振用アクチュエータに関する本発明の態様７）
防振用アクチュエータに関する本発明の第七の態様は、前記態様４に係る防振用アクチュエータにおいて、前記弁孔が、前記密閉領域側から前記封止ゴムの厚さ方向で所定長さに亘る部分において該密閉領域側に向かって次第に大径となる逆テーパ形状を有していることを、特徴とする。本態様に従う構造とされた防振用アクチュエータにおいては、弁孔が密閉領域側に向かって拡開形状で開口していることから、外部空間から密閉領域への空気の流入がより容易とされている。また、密閉領域側の径寸法が拡開形状で大きくなっていることから、アクチュエータ内部が負圧状態の場合に封止ゴムの突出部に及ぼされる引張力に対して弁孔を開口するように変形し易くされて、負圧時の空気の流入がより容易にされている。
【００２５】
（能動形防振用マウントに関する本発明）
能動形防振用マウントに関する本発明は、相互に連結されることにより振動伝達系を構成する一方の部材に取り付けられる第一の取付部材と他方の部材に取り付けられる第二の取付部材を本体ゴム弾性体で連結する一方、該本体ゴム弾性体によって壁部の一部が構成されて非圧縮性流体が封入された受圧室を形成すると共に、該受圧室の壁部の別の一部を加振部材で構成し、該加振部材に加振力を及ぼすアクチュエータを設けて、該アクチュエータで該加振部材を加振駆動することにより該受圧室の圧力を能動的に制御するようにした能動型防振用マウントにおいて、前記アクチュエータとして上述の如き防振用アクチュエータに関する本発明の態様１乃至７の何れかの態様に係る防振用アクチュエータを用い、該防振用アクチュエータにおける前記ハウジングを前記第二の取付部材に固定する一方、前記出力部材によって前記加振部材を構成したことを、特徴とする。このような本発明に従えば、例えば自動車用エンジンマウント等に好適に採用され得る能動型防振用マウントが有利に実現され得る。
【００２６】
（能動形防振用制振器に関する本発明）
能動形防振用制振器に関する本発明は、防振対象部材に装着されることにより、該防振対象部材に加振力を及ぼして能動的な制振作用を発揮する能動型防振用制振器であって、前記防振用アクチュエータに関する本発明の態様１乃至７の何れかの態様に係る防振用アクチュエータを用い、該防振用アクチュエータにおける前記ハウジングと前記出力部材の一方において前記防振対象部材に固定するための取付部を設けると共に、それらハウジングと出力部材の他方にマス部を設けたことを、特徴とする。このような本発明に従えば、例えば自動車のボデー用制振器等に好適に採用され得る能動型防振用制振器が有利に実現され得る。
【発明の効果】
【００２７】
上述の説明から明らかなように、本発明に従う構造とされた防振用アクチュエータにおいては、ハウジング内部が略密閉領域とされていることから、粉塵の侵入を防止すると共に、ハウジング内部の空気を支持ゴム弾性体に対する空気ばねのように作用せしめて、支持ゴム弾性体の過大変位を抑えることが出来る。また、ハウジングに一方向型の弁手段が設けられていることから、ハウジング内部が正圧状態の際には内部の空気を空気ばねとして一層有効に利用しつつ、負圧状態となった際にはかかる負圧状態を速やかに解消することが出来るのであり、これにより、支持ゴム弾性体に及ぼされる吸引力を軽減して、防振用アクチュエータの耐久性を向上することが可能となるのである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明を更に具体的に明らかにするために、本発明の実施形態について、図面を参照しつつ、詳細に説明する。
【００２９】
先ず、図１には、能動型防振用マウントに関する本発明の第一の実施形態としての自動車用エンジンマウント１０が示されている。このエンジンマウント１０は、第一の取付部材としての第一の取付金具１２と第二の取付部材としての第二の取付金具１４が本体ゴム弾性体１６によって弾性的に連結された構造とされており、第一の取付金具１２が図示しない自動車のパワーユニットに取り付けられる一方、第二の取付金具１４が図示しない自動車のボデーに取り付けられることにより、パワーユニットをボデーに対して防振支持するようになっている。また、そのような装着状態下、第一の取付金具１２と第二の取付金具１４の間には、パワーユニットの分担荷重と、防振すべき主たる振動が、何れも、エンジンマウント１０の略軸方向（図１中、上下方向）に入力されるようになっている。なお、以下の説明中、上下方向とは、原則として、図１中の上下方向を言うものとする。
【００３０】
より詳細には、第一の取付金具１２は、本体ゴムインナ金具１８とダイヤフラムインナ金具２０によって構成されていると共に、第二の取付金具１４は、本体ゴムアウタ筒金具２２とダイヤフラムアウタ筒金具２４によって構成されている。そして、本体ゴム弾性体１６に対して本体ゴムインナ金具１８と本体ゴムアウタ筒金具２２が加硫接着されて第一の一体加硫成形品２８とされている一方、ダイヤフラムインナ金具２０とダイヤフラムアウタ筒金具２４が、可撓性膜としてのダイヤフラム３０に対して加硫接着されて第二の一体加硫成形品３２とされており、これら第一及び第二の一体加硫成形品２８，３２が相互に組み合わされている。
【００３１】
ここにおいて、第一の一体加硫成形品２８を構成する本体ゴムインナ金具１８は、逆向きの略円錐台形状を有している。また、本体ゴムインナ金具１８の上端面（大径側端面）には、嵌合凹部３４が形成されていると共に、該嵌合凹部３４の底面に開口するねじ穴３８が設けられている。
【００３２】
更にまた、本体ゴムアウタ筒金具２２は、略大径円筒形状を有する筒壁部４０を備えており、この筒壁部４０の軸方向下端部には径方向外方に向かって広がるフランジ状部４２が一体形成されている一方、筒壁部４０の軸方向上端部分は、軸方向上方に行くに従って次第に拡開するテーパ筒状部４４とされている。これによって、本体ゴムアウタ筒金具２２の外周側には、外周面に開口して周方向に一周弱の長さで延びる周溝４５が形成されている。そして、本体ゴムアウタ筒金具２２の上方に離隔して、本体ゴムインナ金具１８が略同一中心軸上で離隔配置されており、本体ゴムインナ金具１８における逆テーパ形状の外周面と本体ゴムアウタ筒金具２２におけるテーパ筒状部４４の内周面が相互に離隔して対向位置せしめられており、これら本体ゴムインナ金具１８と本体ゴムアウタ筒金具２２との対向面間が、本体ゴム弾性体１６によって弾性的に連結されている。
【００３３】
かかる本体ゴム弾性体１６は、全体として大径の円錐台形状を有しており、その中央部分には、本体ゴムインナ金具１８が同軸的に配されて加硫接着されていると共に、その大径側端部外周面に対して本体ゴムアウタ筒金具２２のテーパ筒状部４４が重ね合わせられて加硫接着されている。これによって、本体ゴム弾性体１６が、上述の如き本体ゴムインナ金具１８および本体ゴムアウタ筒金具２２を備えた第一の一体加硫成形品２８として形成されている。
【００３４】
また一方、第二の一体加硫成形品３２を構成するダイヤフラムインナ金具２０は、厚肉の円板形状を有している。また、ダイヤフラムインナ金具２０の下面には、嵌合凸部４６が形成されていると共に、該嵌合凸部４６の形成部位を貫通して挿通孔５２が形成されている。更にダイヤフラムインナ金具２０には、上方に突出して取付板部５８が一体形成されており、取付板部５８の中央部分にはボルト挿通孔５９が設けられている。
【００３５】
また、ダイヤフラムアウタ筒金具２４は、薄肉大径の円筒形状を有しており、その軸方向上側の開口部には、径方向外方に向かって広がる取付用板部６２が一体形成されている。なお、取付用板部６２には、複数の挿通孔が形成されており、それらの挿通孔に対してそれぞれ固定ボルト６４が圧入されて植設されている。更にまた、ダイヤフラムアウタ筒金具２４の軸方向下側の開口部には、径方向外方に向かって広がる円環板形状のフランジ状部６６が一体形成されており、更に、フランジ状部６６の外周縁部には、軸方向下方に向かって突出する円環状のかしめ片６８が一体形成されている。
【００３６】
そして、ダイヤフラムアウタ筒金具２４の軸方向上方に離隔して、ダイヤフラムインナ金具２０が、略同一中心軸上に配設されており、それらダイヤフラムインナ金具２０とダイヤフラムアウタ筒金具２４が、ダイヤフラム３０によって連結されている。
【００３７】
ダイヤフラム３０は、薄肉のゴム膜によって形成されており、容易に弾性変形が許容されるように大きな弛みを持った湾曲断面形状をもって周方向に延びる略円環形状を有している。そして、ダイヤフラム３０の内周縁部が、ダイヤフラムインナ金具２０の外周縁部に対して加硫接着されていると共に、ダイヤフラム３０の外周縁部が、ダイヤフラムアウタ筒金具２４の軸方向上側の開口部に加硫接着されている。これにより、ダイヤフラム３０は、ダイヤフラムインナ金具２０およびダイヤフラムアウタ筒金具２４を備えた第二の一体加硫成形品３２として形成されている。
【００３８】
而して、かかる第二の一体加硫成形品３２が、前述の第一の一体加硫成形品２８に対して上方から重ね合わせられて組み付けられており、ダイヤフラムインナ金具２０が本体ゴムインナ金具１８に固着されていると共に、ダイヤフラムアウタ筒金具２４が本体ゴムアウタ筒金具２２に固着されており、更にダイヤフラム３０が、本体ゴム弾性体１６の外方に離隔して、本体ゴム弾性体１６の外周面を全体に亘って覆うようにして配設されている。
【００３９】
すなわち、ダイヤフラムインナ金具２０が本体ゴムインナ金具１８の上面に直接に重ね合わされて、ダイヤフラムインナ金具２０の嵌合凸部４６が本体ゴムインナ金具１８の嵌合凹部３４に嵌め込まれることによって、ダイヤフラムインナ金具２０と本体ゴムインナ金具１８が同一中心軸上に位置合わせされている。また、特に本実施形態では、嵌合凸部４６と嵌合凹部３４の各外周面に切欠状に形成された係合外周面５０と係合内周面３６の係合作用によって、ダイヤフラムインナ金具２０と本体ゴムインナ金具１８が周方向でも相互に位置決めされており、ダイヤフラムインナ金具２０の挿通孔５２と本体ゴムインナ金具１８のねじ穴３８が位置合わせされている。
【００４０】
そして、図１に示されているように、本体ゴムインナ金具１８とダイヤフラムインナ金具２０を重ね合わせた状態下で、連結ボルト７０が、ダイヤフラムインナ金具２０の挿通孔５２を通じて本体ゴムインナ金具１８のねじ穴３８に螺着されている。而して、これら本体ゴムインナ金具１８とダイヤフラムインナ金具２０が連結ボルト７０で連結固定されることにより、第一の取付金具１２が構成されている。
【００４１】
一方、ダイヤフラムアウタ筒金具２４は本体ゴムアウタ筒金具２２に対して軸方向上方から外挿されている。また、本体ゴムアウタ筒金具２２は、その下端部において、フランジ状部４２の外周縁部がダイヤフラムアウタ筒金具２４のフランジ状部６６に対して軸方向に重ね合わされていると共に、その上端部において、テーパ筒状部４４の開口端縁部がダイヤフラムアウタ筒金具２４の内周面に対して径方向で重ね合わされている。
【００４２】
そして、本体ゴムアウタ筒金具２２のフランジ状部４２の外周縁部に対して、ダイヤフラムアウタ筒金具２４のかしめ片６８がかしめ固定されることによって、本体ゴムアウタ筒金具２２とダイヤフラムアウタ筒金具２４が相互に固定されて組み付けられている。なお、これら本体ゴムアウタ筒金具２２の上下両端部におけるダイヤフラムアウタ筒金具２４との重ね合わせ部位には、それぞれ、本体ゴム弾性体１６またはダイヤフラム３０と一体成形されたシールゴムが介在されており、流体密にシールされている。これにより、本体ゴムアウタ筒金具２２に形成された周溝４５がダイヤフラムアウタ筒金具２４で流体密に覆蓋されており、もって、本体ゴムアウタ筒金具２２の筒壁部４０とダイヤフラムアウタ筒金具２４の径方向対向面間を周方向に所定長さで乃至は全周に亘って連続して延びる環状通路７２が形成されている。
【００４３】
さらに、本体ゴムアウタ筒金具２２の下側開口部には、仕切板金具７４と蓋部材７６が組み付けられている。蓋部材７６は、略円環板形状の支持ゴム弾性体７８に対して、その中央部分に出力部材としての加振板８０が加硫接着されていると共に、その外周部分に環状保持金具８２が加硫接着されており、それら加振板８０と環状保持金具８２が支持ゴム弾性体７８で弾性的に連結されている。
【００４４】
加振板８０は、円板形状を有しており、その外周縁部には上方に向かって突出する環状連結部８４が一体形成されている。また、加振板８０の中央部分には、下方に向かって延びる駆動軸８６が一体形成されており、この駆動軸８６の先端部分が雄ねじとされている。なお、加振板８０は、環状連結部８４や駆動軸８６を含んで、金属や合成樹脂等の硬質材で一体成形されている。
【００４５】
一方、環状保持金具８２は、円筒形状を有する筒状部８８の上下開口部に対してそれぞれフランジ状に広がる取付板部９０と位置決め突部９２が一体形成されており、取付板部９０の外周縁部には、更に下方に突出する円環状の圧入部９４が一体形成されている。
【００４６】
そして、環状保持金具８２の径方向内方に離隔して略同一中心軸上に加振板８０が配設されており、これら環状保持金具８２と加振板８０の径方向対向面間に広がるようにして支持ゴム弾性体７８が配設されている。また、かかる支持ゴム弾性体７８は、その内外周縁部が加振板８０の環状連結部８４と環状保持金具８２の筒状部８８の対向面に対してそれぞれ加硫接着されており、加振板８０と環状保持金具８２の間が支持ゴム弾性体７８で流体密に閉塞されている。なお、加振板８０の環状連結部８４の付近には、環状連結部８４を覆う形でストッパゴム９８が形成されており、加振板８０の仕切板金具７４への接近方向の移動量が緩衝的に制限されると共に、当接時の衝撃や打ち当たり音が軽減されている。
【００４７】
一方、仕切板金具７４は、薄肉の円板形状を有しており、その外径寸法が、環状保持金具８２における取付板部９０の径方向中間部分まで至る大きさとされている。また、仕切板金具７４の中央部分は、略台地状に上方に突出せしめられていると共に、その中心軸上にオリフィス通孔９６が貫設されている。更に、仕切板金具７４の外周縁部近くに位置する周上には、複数の係止片７９が、上方に向かって突設されている。
【００４８】
そして、仕切板金具７４は、係止片７９によって軸直方向に位置合わせされて、ダイヤフラムアウタ筒金具２４の下側開口部において、そこに組み付けられた本体ゴムアウタ筒金具２２のフランジ状部４２に対して外周縁部が重ね合わされて組み付けられている。更に、ダイヤフラムアウタ筒金具２４の下側開口部には、仕切板金具７４の下方から蓋部材７６が組み付けられており、蓋部材７６における環状保持金具８２の取付板部９０が、本体ゴムアウタ筒金具２２と仕切板金具７４に重ね合わされて、それぞれの外周縁部がダイヤフラムアウタ筒金具２４のかしめ片６８によってかしめ固定されている。
【００４９】
これにより、ダイヤフラムアウタ筒金具２４の下側開口部が、蓋部材７６で流体密に覆蓋されており、もって、本体ゴム弾性体１６と蓋部材７６の対向面間には、非圧縮性流体が封入された受圧室１００が形成されている。この受圧室１００は、壁部の一部が本体ゴム弾性体１６で構成されており、第一の取付金具１２と第二の取付金具１４の間への振動入力時に本体ゴム弾性体１６の弾性変形に基づいて振動が入力されて圧力変動が惹起されるようになっている。
【００５０】
また、受圧室１００には、仕切板金具７４が配設されており、受圧室１００が、仕切板金具７４を挟んで、本体ゴム弾性体１６側の振動入力室１０２と、蓋部材７６側の加振室１０４に二分されていると共に、これら振動入力室１０２と加振室１０４がオリフィス通孔９６で連通せしめられている。
【００５１】
更にまた、本体ゴム弾性体１６とダイヤフラム３０が、それぞれの内周縁部と外周縁部において第一の取付金具１２と第二の取付金具１４に固着されることにより、本体ゴム弾性体１６とダイヤフラム３０の対向面間には、非圧縮性流体が封入された平衡室１０６が形成されている。即ち、この平衡室１０６は、壁部の一部が変形容易なダイヤフラム３０で構成されており、ダイヤフラム３０の弾性変形に基づいて容易に容積変化が許容されるようになっているのである。なお、受圧室１００や平衡室１０６に封入される非圧縮性流体としては、後述するオリフィス通路１１２を通じて流動せしめられる流体の共振作用に基づく防振効果を自動車用のエンジンマウント１０に要求される振動周波数域で効率的に得るために、一般に、０．１Ｐａ．ｓ以下の低粘性流体が好適に採用される。
【００５２】
さらに、受圧室１００と上側に形成された平衡室１０６は、第二の取付金具１４内に形成された環状通路７２が、その周方向一方の端部に形成された連通孔１１０と、周方向他端部において本体ゴム弾性体１６に形成された連通孔１０７を通じて接続されており、それによって、受圧室１００と平衡室１０６を相互に連通せしめて両室１００，１０６間での流体流動を許容するオリフィス通路１１２が所定長さで形成されている。なお、オリフィス通路１１２は、振動入力時に受圧室１００と平衡室１０６の間に惹起される圧力差に基づいて内部を流動せしめられる流体の共振作用に基づく防振効果が、例えばアイドリング振動等の特定の周波数域で有効に発揮されるように、その通路断面積や通路長さが適当に設定されてチューニングされている。
【００５３】
また一方、蓋部材７６を挟んで受圧室１００と反対側には、防振用アクチュエータとしての電磁加振器１１４が配設されている。この電磁加振器１１４は、略カップ形状のハウジング１１６の上面が蓋部材７６で覆蓋されることによって形成された内部領域１７０内に、コイル１１８が収容状態で固定的に組み付けられていると共に、コイル１１８の周りには、それぞれ環状の強磁性体からなるヨーク１２０，１２２が固定的に組み付けられて磁路が形成されている。また、磁路を形成するヨーク１２０には中央を貫通する案内孔としての筒状内周面１３８が形成されており、かかる筒状内周面１３８には、ガイドスリーブ１２４が弾性的に位置決めされて装着されている。そして、アーマチャとしての強磁性体からなる滑動子１２６が、ガイドスリーブ１２４内を滑動可能に組み付けられている。
【００５４】
滑動子１２６は、磁路を形成するヨーク１２０，１２２間に形成された磁気ギャップの領域に配設されており、コイル１１８に通電することにより磁力が及ぼされて、ガイドスリーブ１２４で案内されつつ軸方向に駆動されるようになっている。また、滑動子１２６は、全体として略円筒形状を有しており、外周面においてガイドスリーブ１２４に摺動可能とされている一方、内周面には、環状の係合突部１２８が内方に向かって突出形成されている。
【００５５】
そして、電磁加振器１１４は、ハウジング１１６の開口周縁部に形成されたフランジ部１３０が、蓋部材７６における環状保持金具８２の取付板部９０に重ね合わされて、環状保持金具８２等と共に、かしめ片６８で第二の取付金具１４にかしめ固定されている。これにより、電磁加振器１１４は、その滑動子１２６の滑動中心軸が、第一及び第二の取付金具１２，１４の中心軸に略一致するように組み付けられている。
【００５６】
また、このように組み付けられた電磁加振器１１４には、その中心軸上で上方から加振板８０の駆動軸８６が差し入れられており、この駆動軸８６が、滑動子１２６の係合突部１２８に挿通されている。更に、駆動軸８６にはコイルスプリング１３２が外挿されて、加振板８０と滑動子１２６の係合突部１２８の対向面間に跨がって配設されていると共に、駆動軸８６の係合突部１２８に挿通された先端部分には位置決めナット１３４が螺着されている。そして、位置決めナット１３４を駆動軸８６にねじ込み、滑動子１２６の係合突部１２８を介して、加振板８０との間でコイルスプリング１３２を圧縮せしめることにより、駆動軸８６に対して滑動子１２６が軸方向で固定的に位置決めされている。なお、本実施形態においては、コイルスプリング１３２の両端には、カラー部材１５０が冠着されており、コイルスプリング１３２と他部材との擦れによる磨耗を軽減している。而して、駆動軸８６と滑動子１２６は、コイルスプリング１３２の付勢力で軸方向において実質的に固着状態で連結されて、コイル１１８への通電で滑動子１２６に作用せしめられる駆動力が駆動軸８６に及ぼされるようになっている。また、このことから明らかなように、本実施形態では、滑動子１２６と駆動軸８６を含んでガイドロッドが構成されている。
【００５７】
要するに、位置決めナット１３４の駆動軸８６へのねじ込み量を調節することにより、第二の取付金具１４に対して支持ゴム弾性体７８で弾性的に位置決め支持された加振板８０に対して滑動子１２６の取付位置を軸方向に変更設定することが出来るのであり、それによって、滑動子１２６のヨーク１２２に対する磁力作用対向面間の距離を微調節することが可能となっているのである。また、本実施形態では、位置決めナット１３４に対して軸方向下側からロックボルト１３６が締め込まれており、位置決めナット１３４のねじ穴内でロックボルト１３６が駆動軸８６の先端に当接されていることによって、駆動軸８６に対する位置決めナット１３４の締付位置がロックされるようになっている。
【００５８】
なお、位置決めナット１３４の外周縁部と滑動子１２６との対向面間には僅かな間隙が形成されており、滑動子１２６は駆動軸８６に対して軸直角方向の滑り変位が許容される状態で位置決めナット１３４と重ね合わされて当接状態に保持されている。これにより、各部材の製造上の寸法誤差や組み付け時の位置決め誤差等に起因する駆動軸８６と滑動子１２６との相対的な位置ずれを有利に吸収することが出来て、滑動子１２６をコイル１１８に対して軸直方向にも安定して位置決めすることが出来る。また、アクチュエータ作動時における一時的な軸ずれも有利に吸収されることとなって、安定した作動特性を得ることが出来るのである。なお、かかる軸直角方向の相対変位の許容量としては、０．２ｍｍ〜３ｍｍの範囲が好適に採用される。
【００５９】
そして、電磁加振器１１４のハウジング１１６の底壁部中央には、透孔１４０が貫設されており、滑動子１２６に対向位置せしめられて磁力を及ぼすヨーク１２２が外部に露呈されていると共に、ヨーク１２２の中心孔１４２を通じて、滑動子１２６が配設された電磁加振器１１４の内部空間が、直接に外部に開口せしめられるようになっている。そして、この開口部を通じてヨーク１２２の中心孔１４２の開口部に六角レンチ等の工具を差し入れることにより、上述のロックボルト１３６や位置決めナット１３４を操作して、滑動子１２６の位置を外部から調節することが出来るようにされている。
【００６０】
また、図２に示すように、ヨーク１２２の中心孔１４２は、下側開口部近くが拡径されて、大径部１４３とされている。かかる大径部１４３によって、案内孔の開口部が形成されており、案内孔としてのヨーク１２０の筒状内周面１３８が、ハウジング１１６の底面に開口せしめられている。このことから明らかなように、本実施形態においては、大径部１４３が、ハウジング１１６に形成された通孔とされている。そして、大径部１４３の軸方向内方に位置して環状段差部としての段差面１４４が形成されている。また、大径部１４３の内周面には、周方向に連続して延びる環状の係止溝１４５が形成されている。そして、かかる大径部１４３には、一方向型の弁手段としての逆止弁部材１４６が組み付けられている。
【００６１】
逆止弁部材１４６は蓋板金具１４８とシールゴム層１４９から構成されている。蓋板金具１４８は、図３及び図４に示すように、円板形状を有しており、その中央部分には連通孔１６４が厚さ方向に貫設形成されている。そして、蓋板金具１４８の一方の面には略全面に亘ってシールゴム層１４９が形成されて加硫接着されている。シールゴム層１４９は、その中央部分が略ドーム形状で突出する突出部１６６とされて、蓋板金具１４８の連通孔１６４と略同軸上に形成されている。また、シールゴム層１４９は、その外周部分が中央部分よりも僅かに厚肉とされた環状シールゴム部１５４とされている。なお、本実施形態においては、シールゴム層１４９が、蓋板金具１４８の連通孔１６４を、内側から流体密に覆蓋せしめている。そして、突出部１６６には、その中心軸上に弁孔１６８が厚さ方向に貫設形成されており、このことから明らかなように、本実施形態においては、シールゴム層１４９が封止ゴムとされており、弁孔１６８が、シールゴム層１４９の開閉孔とされている。弁孔１６８は図５に示すように、実質的に密閉状態で閉塞して突出部１６６の厚さ方向に貫設されており、例えば、加硫成形後のシールゴム層１４９の中央部位に対して、針状の鋭利な冶具を突刺すこと等によって形成することが出来る。なお、図中に示す弁孔１６８は、突出部１６６に対して引張応力が発生して開口せしめられた際の形状を示しており、略一定の大きさの円形断面で直線状に延びている。この弁孔１６８は、大気圧雰囲気中においてはシールゴム層１４９の弾性によって、閉塞状態に維持されることとなる。
【００６２】
そして、蓋板金具１４８がヨーク１２２の大径部１４３に嵌め込まれていると共に、蓋板金具１４８の外側からＣ形止め輪１５５が大径部１４３に嵌め込まれて係止溝１４５に係止装着されている。これにより、蓋板金具１４８の外面がＣ形止め輪１５５によって中心孔１４２の内方に向かって押し付けられて、蓋板金具１４８の外周部分が、段差面１４４に対して、環状シールゴム部１５４を介して当接されており、以て、電磁加振器１１４のヨーク１２２に形成された中心孔１４２が、その開口部に形成された大径部１４３において流体密に覆蓋されている。また、蓋板金具１４８が大径部１４３に嵌め込まれることによって、シールゴム層１４９の中央部分に突出形成された突出部１６６が、ハウジング１１６の内方に向かって突出せしめられることとなる。
【００６３】
上述の如き構造とされたエンジンマウント１０には、電磁加振器１１４に対して、更に筒形ブラケット１５６が外挿されている。筒形ブラケット１５６は、上端開口部にフランジ状部１５８を有しており、このフランジ状部１５８が、本体ゴムアウタ筒金具２２のフランジ状部４２や環状保持金具８２の取付板部９０，ハウジング１１６のフランジ部１３０と共に、ダイヤフラムアウタ筒金具２４に対してかしめ片６８でかしめ固定されている。また、筒形ブラケット１５６の下端開口部には取付板部１６０が形成されており、この取付板部１６０に対して複数の取付用孔（図示せず）が形成されている。
【００６４】
而して、エンジンマウント１０は、図示されていないが、第一の取付金具１２の取付板部５８が、ボルト挿通孔５９に挿通される固定ボルトでパワーユニットに取り付けられる一方、第二の取付金具１４が、筒形ブラケット１５６を介して固定ボルトで自動車ボデーに取り付けられることにより、パワーユニットとボデーの間に装着されることとなる。そして、かかる装着状態下、第一の取付金具１２と第二の取付金具１４の間に振動が入力されると、本体ゴム弾性体１６の弾性変形に伴って受圧室１００と平衡室１０６の間に惹起される圧力差に基づいてオリフィス通路１１２を通じて流体流動が生ぜしめられて、かかる流体の共振作用等の流動作用に基づいて受動的な防振効果が発揮される。また、防振すべき振動に応じた周波数や位相でコイル１１８への通電を制御して電磁加振器１１４で加振板８０を加振駆動せしめることにより、加振室１０４からオリフィス通孔９６を通じて振動入力室１０２に圧力変動を及ぼし、振動入力室１０２の圧力変動を能動制御することにより入力振動に対して能動的な防振効果を得ることが出来るのである。
【００６５】
そこにおいて、本実施形態におけるエンジンマウント１０においては、ハウジング１１６の内部領域１７０は、ハウジング１１６の開口部が蓋部材７６によって覆蓋されると共に、下側開口部である大径部１４３がシールゴム層１４９によって封止されていることで外部空間から遮断された密閉領域とされて、粉塵などの侵入が抑えられているのである。
【００６６】
また、エンジンルームの温度上昇等によってエンジンマウント１０が高温環境に晒された場合には、内部領域１７０内の空気が加熱されて、内部領域１７０は高圧状態となる。この時、本実施形態におけるエンジンマウント１０においては、内部領域１７０の内方に突出せしめられた突出部１６６の全体に対して面に沿った方向で圧縮応力が発生することから、突出部１６６の弁孔１６８が閉塞状態に維持せしめられる。これにより、内部領域１７０内の空気の漏出が抑えられて、内部領域１７０の正圧状態が維持される。かかる正圧状態の空気は支持ゴム弾性体７８に対する空気ばねとして機能して、支持ゴム弾性体７８の過大変位を抑えることが出来る。
【００６７】
一方、エンジン停止などによってエンジンマウント１０の温度が低下した際には、内部領域１７０は一時的に負圧状態となる。かかる負圧状態は、突出部１６６の全体に対して面に沿った方向で引張応力が発生することから、突出部１６６の弁孔１６８が開口せしめられる。これにより、弁孔１６８を通じて内部領域１７０への空気の流入が許容されて、内部領域１７０の負圧状態が速やかに解消されるのであり、支持ゴム弾性体７８に対して及ぼされる不要な負圧吸引力も軽減されるのである。
【００６８】
このように、ハウジング１１６の下端開口部において一方向型の弁手段としての逆止弁部材１４６を設けたことによって、内部領域１７０の正圧状態は維持されて支持ゴム弾性体７８の過大変位を抑える一方で、負圧状態は迅速に解消されて、支持ゴム弾性体７８に及ぼされる負圧吸引力が軽減されているのである。而して、支持ゴム弾性体７８のヘタリが軽減されて、防振用アクチュエータの耐久性が向上されるのである。
【００６９】
さらに本実施形態においては、ハウジング１１６の開口部を封止するためのシールゴム層１４９に弁孔１６８を設けたことによって、何等特別の部材を別途用意することも無しに、非常に簡易に一方向型の弁手段を実現しているのである。
【００７０】
以上、本発明の一実施形態について詳述してきたが、これはあくまでも例示であって、本発明は、かかる実施形態における具体的な記載によって、何等、限定的に解釈されるものではない。
【００７１】
例えば、シールゴム層１４９に形成される弁孔１６８の具体的な形状は何等限定されるものではなく、図６乃至図８に示す第二の実施形態としての逆止弁部材１７２のように、シールゴム層１４９の径方向に所定幅をもって広がる弁孔１７４を形成するなどしても良い。このような弁孔１７４によれば、弁孔１７４を流れる空気の流動量をより多く確保することが出来て、より迅速に内部領域１７０の負圧を解消することが出来る。弁孔１７４は、加硫成形したシールゴム層１４９の中央部を、鋭利な冶具で穿孔する等して形成する事が出来る。なお、図６乃至図８及び後述する図９乃至図１１における弁孔の形状は、突出部１６６が内部領域１７０に発生する負圧と外部空間の大気圧の差によって内部領域１７０側に負圧吸引せしめられた際の変形した開口形状を示すものであり、弁孔は内部領域１７０が略大気圧とされた状態下でシールゴム層１４９の弾性によって閉塞状態に維持されている。また、これら図６乃至図１１に示す各実施形態において、第一の実施形態と同様な構造とされた部材および部位については、それぞれ、図中に、第一の実施形態と同一の符号を付することにより、それらの詳細な説明を省略する。
【００７２】
次に、図９乃至図１１に、第三の実施形態としての逆止弁部材１７６を示す。かかる逆止弁部材１７６における弁孔１７８は、内部領域１７０側から外部空間に向かって次第に小径となるテーパ形状の拡径部１８０をもって突出部１６６を厚さ方向に貫設されている。このような形状によれば、突出部１６６に対して負圧吸引力が及ぼされた場合には、弁孔１７８は内部領域１７０側に大きく開口せしめられることから、外部空間からの空気の流入がより容易に行なわれる。弁孔１７８は例えば、予め突出部１６６の突出先端部においてテーパ形状の拡径部１８０を型成形したシールゴム層１４９を加硫成形した後に、かかるシールゴム層１４９の拡径部１８０の中心軸上に針状の鋭利な冶具を突き刺して、突出部１６６の厚さ方向に貫通して形成することが出来る。また、図示は省略するが、図１１に示すような断面形状をもって、その上面視において図７に示したようにシールゴム層１４９の径方向に所定幅に亘って広がるスリット形状をもって弁孔を形成すること等も可能である。
【００７３】
また、弁孔を通過し得る程に微細な粉塵や水滴等のアクチュエータ内部への侵入を防止するために、アクチュエータの内部領域と外部空間との間に通気性防水膜を介在せしめることも望ましい。具体的には例えば、第一の実施形態における逆止弁部材１４６の、連通孔１６４の外部空間側開口部を、通気性防水膜によって覆蓋することで、アクチュエータの外部空間から内部領域へ向かう空気の流動を許容しつつも、粉塵や水の侵入を略完全に防止することが出来る。なお、通気性防水膜としては、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、ポリオレフィンのような疎水性樹脂からなる多孔質膜、メッシュ、織布若しくは不織布の他、通常の樹脂からなる多孔質膜等に防水性樹脂をコーティングしたもの等が例示される。
【００７４】
なお、本発明は、例示の如き形状の自動車用エンジンマウントに限らず、所謂筒形マウント等にも適用可能であるし、自動車用のボデーマウントやメンバマウント等、或いは自動車以外の各種装置におけるマウントや制振器などの防振装置や、そのような防振装置に用いられる防振用アクチュエータに対して、同様に適用可能である。
【００７５】
例えば、本発明を適用した能動型制振器としては、具体的には、第一の実施形態に示された電磁加振器１１４を、第一及び第二の一体加硫成形品２８，３２から独立して単体で用いて、そのハウジング１１６の開口部に蓋部材７６を組み付け、環状保持金具８２における取付板部９０をハウジング１１６のフランジ部１３０にかしめ固定することによって構成される。即ち、このようにして構成された制振器にあっては、加振板８０を取付部として制振すべき振動部材に対して固定的に取り付けて、コイル１１８を含むハウジング１１６を、振動部材に対して支持ゴム弾性体７８を介して弾性的に連結支持せしめることにより、コイル１１８を含むハウジング１１６を、コイル１１８への通電によって振動部材に対して能動加振されるマスとして作用せしめることが出来るのである。
【００７６】
その他、一々列挙はしないが、本発明は、当業者の知識に基づいて種々なる変更，修正，改良等を加えた態様において実施され得るものであり、また、そのような実施態様が、本発明の趣旨を逸脱しない限り、何れも、本発明の範囲内に含まれるものであることは、言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】本発明の第一の実施形態としてのエンジンマウントを示す縦断面図である。
【図２】図１に示したエンジンマウントの要部拡大図である。
【図３】一方向型の弁手段を構成する第一の実施形態としての逆止弁部材であって、図４におけるＩＩＩ−ＩＩＩ断面である。
【図４】一方向型の弁手段を構成する第一の実施形態としての逆止弁部材の上面図である。
【図５】一方向型の弁手段を構成する第一の実施形態としての逆止弁部材の要部拡大図である。
【図６】一方向型の弁手段を構成する第二の実施形態としての逆止弁部材であって、図７におけるＶＩ−ＶＩ断面である。
【図７】一方向型の弁手段を構成する第二の実施形態としての逆止弁部材の上面図である。
【図８】一方向型の弁手段を構成する第二の実施形態としての逆止弁部材の要部拡大図である。
【図９】一方向型の弁手段を構成する第三の実施形態としての逆止弁部材であって、図１０におけるＩＸ−ＩＸ断面である。
【図１０】一方向型の弁手段を構成する第三の実施形態としての逆止弁部材の上面図である。
【図１１】一方向型の弁手段を構成する第三の実施形態としての逆止弁部材の要部拡大図である。
【符号の説明】
【００７８】
１０  エンジンマウント
１２  第一の取付金具
１４  第二の取付金具
１６  本体ゴム弾性体
７６  蓋部材
７８  支持ゴム弾性体
１００  受圧室
１０２  振動入力室
１０４  加振室
１０６  平衡室
１１２  オリフィス通路
１１４  電磁加振器
１１６  ハウジング
１４０  透孔
１４６  逆止弁部材
１４８  蓋板金具
１４９  シールゴム層
１６６  突出部
１６８  弁孔
【図１】
2005240872.tif 000003
【図２】
2005240872.tif 000004
【図３】
2005240872.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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