(57)【要約】【課題】基板Ｐのフィルムの端部剥離時間を短縮すること。【解決手段】フィルムが貼着された基板Ｐに作用して、該フィルムの一端部を該基板Ｐから部分的に剥離させる端部剥離手段１００を備え、端部剥離手段１００は、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２が基板Ｐの一端部を挟んだ状態で、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２を基板Ｐに対し横方向に移動させる横方向移動手段を備えているフィルム剥離装置。横方向移動手段は、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２を基板Ｐに対し該横方向の中央領域において該横方向に移動させる。【選択図】        図２
2005041611.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
片面又は両面に保護フィルムが貼着された基板に作用して、該フィルムの一端部を該基板から部分的に剥離させる端部剥離手段を備え、端部剥離手段は、基板の一端部を上下方向に挟むことができるよう配設されかつ基板の横方向に移動可能に配設された複数の圧接ローラと、圧接ローラが基板の一端部を上下方向に挟んだ状態で、圧接ローラを基板に対し該横方向に移動させる横方向移動手段とを備えているフィルム剥離装置において、
横方向移動手段は、圧接ローラを基板に対し該横方向の中央領域において該横方向に移動させる、ことを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項２】
圧接ローラは基板の搬送方向に移動可能に配設され、
端部剥離手段は、圧接ローラを、基板の一端部を上下方向に挟んだ状態で基板の搬送方向に移動させる搬送方向移動手段を備えている、請求項１記載のフィルム剥離装置。
【請求項３】
横方向移動手段及び搬送方向移動手段の協働によって圧接ローラを移動させることにより、圧接ローラは、該横方向の片方又は他方に向って、かつ該搬送方向の下流から上流へ向って又は上流から下流に向って、同時に移動させられる、請求項２記載のフィルム剥離装置。
【請求項４】
片面又は両面に保護フィルムが貼着された基板に作用して、該フィルムの一端部を該基板から部分的に剥離させる端部剥離手段を備えたフィルム剥離装置において、
端部剥離手段は、複数の上圧接ローラを備えかつ上昇降手段により昇降可能に配設されると共に基板の横方向に移動可能に配設された上圧接ローラユニットと、複数の下圧接ローラを備えかつ下昇降手段により昇降可能に配設されると共に該横方向に移動可能に配設された下圧接ローラユニットと、上及び下圧接ローラユニットが、上及び下昇降手段によりそれぞれ下降及び上昇させられて上及び下圧接ローラが基板の一端部を上下方向に挟んだ状態で一体に移動しうるよう上下方向に離脱自在に連結する連結手段と、上及び下圧接ローラが、基板の一端部を上下方向に挟んだ状態で基板に対し該横方向の中央領域において該横方向に移動させられるよう、連結手段により連結された上及び下圧接ローラユニットを、基板に対し該横方向に移動させる横方向移動手段とを備えている、ことを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項５】
上及び下圧接ローラユニットはそれぞれ基板の搬送方向に移動可能に配設され、端部剥離手段は、上圧接ローラユニットを基板の搬送方向に移動させる上搬送方向移動手段と、下圧接ローラユニットを基板の搬送方向に移動させる下搬送方向移動手段とを備えている、請求項４記載のフィルム剥離装置。
【請求項６】
横方向移動手段と、上及び下搬送方向移動手段との協働によって、連結手段により連結された上及び下圧接ローラユニットを一体に移動させることにより、上及び下圧接ローラは、該横方向の片方又は他方に向って、かつ該搬送方向の下流から上流へ向って又は上流から下流に向って、同時に移動させられる、請求項５記載のフィルム剥離装置。
【請求項７】
端部剥離手段は、静止枠体に対し該搬送方向に移動可能に支持された上主支持枠体と、上主支持枠体に対し該横方向に移動可能に支持された上ユニット基板と、上ユニット基板に上昇降手段により昇降可能に支持されかつ、上圧接ローラが該横方向に直列に配設された上圧接ローラユニットと、静止枠体に対し該搬送方向に移動可能に支持された下主支持枠体と、下主支持枠体に対し該横方向に移動可能に支持された下ユニット基板と、下ユニット基板に下昇降手段により昇降可能に支持されかつ、下圧接ローラが該横方向に直列に配設された下圧接ローラユニットとを備え、横方向移動手段は、上主支持枠体と上ユニット基板との間に配設された上横方向移動手段、又は、下主支持枠体と下ユニット基板との間に配設された下横方向移動手段、から構成される、請求項５又は請求項６記載のフィルム剥離装置。
【請求項８】
横方向移動手段は、上又は下ユニット基板に配設されかつ該搬送方向に直線状に水平に延在する従動溝と、上又は下主支持枠体に鉛直軸まわりに回転可能に配設された回転体に支持されると共に従動溝に沿って相対回転しながら移動可能に嵌合されたカムローラと、回転体を回転駆動する駆動源とを備え、上及び下圧接ローラユニットが連結手段により連結された状態で駆動源により回転体が回転駆動されると、カムローラが該鉛直軸まわりに公転しかつ従動溝内を自転しながら相対的に往復移動させられて、上圧接ローラは、上圧接ローラユニット及び上ユニット基板を介して上主支持枠体に対し該横方向に往復移動させられ、下圧接ローラは、下圧接ローラユニット及び下ユニット基板を介して下主支持枠体に対し、上圧接ローラと共に該横方向に往復移動させられる、請求項７記載のフィルム剥離装置。
【請求項９】
静止枠体には、上及び下圧接ローラユニットが上及び下昇降手段によりそれぞれ上昇及び下降させられて上及び下圧接ローラが基板の両面に対し上方及び下方に離隔された状態において、上ユニット基板の該横方向両側に作用して上圧接ローラを上圧接ローラユニットを介して移動開始位置に位置付ける上圧接ローラ位置決め手段と、下ユニット基板の該横方向両側に作用して下圧接ローラを下圧接ローラユニットを介して移動開始位置に位置付ける下圧接ローラ位置決め手段とが配設され、上及び下圧接ローラがそれぞれ移動開始位置に位置付けられた状態で、上及び下圧接ローラユニットは連結手段により相互に連結可能となる、請求項７又は請求項８記載のフィルム剥離装置。
【請求項１０】
連結手段は、上又は下圧接ローラユニットの一方に鉛直方向に延在するよう配設された係止ピンと、上又は下圧接ローラユニットの他方に鉛直方向に延在するよう配設されて係止ピンに離脱自在に嵌合しうる係止穴とからなる、請求項４〜９のいずれか１項に記載のフィルム剥離装置。
【請求項１１】
上搬送方向移動手段は、静止枠体と上主支持枠体との間に配設されたばね手段であって、上主支持枠体を該搬送方向下流に向けて常時付勢して下流側所定位置に位置付けるばね手段と、静止枠体と上主支持枠体との間に配設されたアクチュエータであって、上主支持枠体をばね手段のばね力に抗して該搬送方向上流に向けて下流側所定位置から上流側所定位置まで移動しうるアクチュエータとを備えている、請求項７〜１０のいずれか１項に記載のフィルム剥離装置。
【請求項１２】
下搬送方向移動手段は、静止枠体と下主支持枠体との間に配設されたばね手段であって、下主支持枠体を該搬送方向下流に向けて常時付勢して下流側所定位置に位置付けるばね手段と、静止枠体と下主支持枠体との間に配設されたアクチュエータであって、下主支持枠体をばね手段のばね力に抗して該搬送方向上流に向けて下流側所定位置から上流側所定位置まで移動しうるアクチュエータとを備えている、請求項７〜１１のいずれか１項に記載のフィルム剥離装置。
【請求項１３】
片面又は両面に保護フィルムが貼着された基板に作用して、該フィルムの一端部を該基板から部分的に剥離させる端部剥離手段と、端部剥離位置に停止させられた基板を該位置にクランプするクランプ手段とを備え、端部剥離手段は、クランプ手段に対し、基板の搬送方向下流側に配置されると共に、基板の一端部を上下方向に挟むことができるよう配設されかつ基板の横方向に移動可能に配設された複数の圧接ローラと、圧接ローラが基板の一端部を上下方向に挟んだ状態で、圧接ローラを基板に対し基板の横方向に移動させる横方向移動手段を備え、クランプ手段は、該横方向に延在する上クランプ部材及び下クランプ部材と、上クランプ部材及び下クランプ部材を、該位置に停止させられた基板の両面を上下方向に挟んでクランプするクランプ位置と、基板の両面から上方及び下方に離隔する非クランプ位置とに選択的に移動させるアクチュエータとを備えているフィルム剥離装置において、
圧接ローラの、基板に対する相対移動により発生する粉塵を回収するための集塵機を備え、
横方向移動手段は、圧接ローラを基板に対し該横方向の中央領域において該横方向に移動させ、集塵機は、上クランプ部材及び／又は下クランプ部材の該横方向の中央領域において一端がそれぞれ圧接ローラ側に開口するよう配設された複数の吸引穴と、吸引穴の各々の他端に吸引通路手段及び集塵手段を介して接続された吸引源とを備えている、ことを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項１４】
圧接ローラは基板の搬送方向に移動可能に配設され、端部剥離手段は、圧接ローラを、基板の一端部を上下方向に挟んだ状態で基板の搬送方向に移動させる搬送方向移動手段を備えている、請求項１３記載のフィルム剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板に貼着された保護フィルムを剥離するフィルム剥離装置、更に詳しくは、片面又は両面に保護フィルムが貼着された基板に作用して、保護フィルムの一端部を基板から部分的に剥離させる端部剥離手段を備え、端部剥離手段は複数個の圧接ローラを備えている、フィルム剥離装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
プリント配線基板の製造においては、ガラス繊維強化エポキシ樹脂等から形成されたコア板の両面に銅はくを貼着して銅張積層板を形成し、銅張積層板の片面又は両面にフォトレジスト層及び保護フィルムを積層したプリント配線基板素材を使用している。そしてこのプリント配線基板素材の片面又は両面に回路パターンを照射してフォトレジスト層を露光し、その後において片面又は両面に存在する保護フィルム（以下単に「フィルム」と略称する）を剥離している。
【０００３】
平面から見て矩形をなすプリント配線基板素材のような基板の片面又は両面からフィルムを剥離することができるフィルム剥離装置は、片面又は両面にフィルムが貼着された基板に作用して、フィルムの一端部を基板から部分的に剥離させる端部剥離手段を備えている。端部剥離手段は、基板の搬送幅方向（基板の水平搬送方向に直交する水平幅方向）、すなわち基板の横方向に直列に配設された複数個の圧接ローラを備えている（特許文献１参照）。いくつかの圧接ローラの軸線は、平面から見て、基板の搬送方向の中心線に対し傾斜するよう配設されているが、他の圧接ローラは全て該中心線に対し平行に配設されている。このようなフィルム剥離装置においては、クランプ手段によって所定の剥離位置に保持された基板のフィルムの一端部（搬送方向前端部）に、端部剥離手段の圧接ローラを基板の横方向外側から乗り上げさせて押圧させかつ回転させながら基板の横方向全域にわたって往復移動させる。圧接ローラの回転移動により発生するねじり力により、フィルムの一端部だけが部分的に浮き上がり、したがって、基板から部分的に剥離させられる。
【０００４】
しかしながら、上記フィルム剥離装置においては、基板のフィルムの一端部を部分的に剥離させるために、端部剥離手段の圧接ローラを、基板の一端部における横方向全域を擦りながら回転させて往復移動させるので、フィルムの一端部だけでなく、フィルムの内側にあるフォトレジスト層あるいはその内側にある基板の表面をも同時に擦る。このため、わずかではあるが、基板の一端部を横方向の全域にわたって傷を付けるおそれがある。また、このとき発生するフォトレジスト層の微細な破片や基板の表面からの銅粉は周辺に飛び散り、基板や装置を汚染するおそれがある。更にはまた、圧接ローラの往路移動開始時及び復路移動開始時には、圧接ローラが、それぞれ基板の一端部における横方向外側から基板の横方向一側縁部に、及び基板の他端部における横方向外側から基板の横方向他側縁部にそれぞれ乗り上がるので、衝撃による破損のおそれがある。上記乗り上がりは、薄い基板を曲げるおそれもある。その結果、基板の製造不良、装置の故障、製造ライン全体の見栄えを悪くする、などの悪影響を及ぼすおそれがある。
【０００５】
更に、基板の製造工程の進歩から、フィルムの端部剥離時間の短縮化が要求されているが、圧接ローラの往復移動距離が長いこと、上記乗り上がりによる衝撃で基板が破損せずしかもフィルムの剥離が可能な速度範囲で圧接ローラを往復移動させなければならないこと、などにより、該時間を短縮することは困難である。また、圧接ローラの往復移動距離が長いことに起因して、集塵機が著しく大型化し、コストが大幅にアップするので、集塵機を備えることは不可能ではないにしても、実用上は著しく困難であった。したがって、上記形態のフィルム剥離装置に対しては、フィルムの端部剥離時間を短縮すると共に、先に述べたような諸問題をも解消できるフィルム剥離装置の提案が望まれているところであった。
【０００６】
【特許文献１】
特開平４−１６４７７０号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、基板のフィルムの一端部を部分的に剥離させる時間を従来よりも短縮することを可能にする、新規なフィルム剥離装置を提供することである。
【０００８】
本発明の他の目的は、基板の一端部の表面に付けられる傷を大幅に低減し、かつ基板の両側縁部を破損することなく、基板のフィルムの一端部を部分的に剥離することができる、新規なフィルム剥離装置を提供することである。
【０００９】
本発明の更に他の目的は、基板のフィルムの一端部を部分的に剥離する動作時に発生する粉塵を、コンパクトかつ低コストで回収することを可能にする、新規なフィルム剥離装置を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の一局面によれば、片面又は両面に保護フィルムが貼着された基板に作用して、該フィルムの一端部を該基板から部分的に剥離させる端部剥離手段を備え、端部剥離手段は、基板の一端部を上下方向に挟むことができるよう配設されかつ基板の横方向に移動可能に配設された複数の圧接ローラと、圧接ローラが基板の一端部を上下方向に挟んだ状態で、圧接ローラを基板に対し該横方向に移動させる横方向移動手段とを備えているフィルム剥離装置において、
横方向移動手段は、圧接ローラを基板に対し該横方向の中央領域において該横方向に移動させる、ことを特徴とするフィルム剥離装置、が提供される。
圧接ローラは基板の搬送方向に移動可能に配設され、端部剥離手段は、圧接ローラを、基板の一端部を上下方向に挟んだ状態で基板の搬送方向に移動させる搬送方向移動手段を備えている、ことが好ましい。
横方向移動手段及び搬送方向移動手段の協働によって圧接ローラを移動させることにより、圧接ローラは、該横方向の片方又は他方に向って、かつ該搬送方向の下流から上流へ向って又は上流から下流に向って、同時に移動させられる、ことが好ましい。
本発明の他の局面によれば、片面又は両面に保護フィルムが貼着された基板に作用して、該フィルムの一端部を該基板から部分的に剥離させる端部剥離手段を備えたフィルム剥離装置において、
端部剥離手段は、複数の上圧接ローラを備えかつ上昇降手段により昇降可能に配設されると共に基板の横方向に移動可能に配設された上圧接ローラユニットと、複数の下圧接ローラを備えかつ下昇降手段により昇降可能に配設されると共に該横方向に移動可能に配設された下圧接ローラユニットと、上及び下圧接ローラユニットが、上及び下昇降手段によりそれぞれ下降及び上昇させられて上及び下圧接ローラが基板の一端部を上下方向に挟んだ状態で一体に移動しうるよう上下方向に離脱自在に連結する連結手段と、上及び下圧接ローラが、基板の一端部を上下方向に挟んだ状態で基板に対し該横方向の中央領域において該横方向に移動させられるよう、連結手段により連結された上及び下圧接ローラユニットを、基板に対し該横方向に移動させる横方向移動手段とを備えている、ことを特徴とするフィルム剥離装置、が提供される。
上及び下圧接ローラユニットはそれぞれ基板の搬送方向に移動可能に配設され、端部剥離手段は、上圧接ローラユニットを基板の搬送方向に移動させる上搬送方向移動手段と、下圧接ローラユニットを基板の搬送方向に移動させる下搬送方向移動手段とを備えている、ことが好ましい。
横方向移動手段と、上及び下搬送方向移動手段との協働によって、連結手段により連結された上及び下圧接ローラユニットを一体に移動させることにより、上及び下圧接ローラは、該横方向の片方又は他方に向って、かつ該搬送方向の下流から上流へ向って又は上流から下流に向って、同時に移動させられる、ことが好ましい。
端部剥離手段は、静止枠体に対し該搬送方向に移動可能に支持された上主支持枠体と、上主支持枠体に対し該横方向に移動可能に支持された上ユニット基板と、上ユニット基板に上昇降手段により昇降可能に支持されかつ、上圧接ローラが該横方向に直列に配設された上圧接ローラユニットと、静止枠体に対し該搬送方向に移動可能に支持された下主支持枠体と、下主支持枠体に対し該横方向に移動可能に支持された下ユニット基板と、下ユニット基板に下昇降手段により昇降可能に支持されかつ、下圧接ローラが該横方向に直列に配設された下圧接ローラユニットとを備え、横方向移動手段は、上主支持枠体と上ユニット基板との間に配設された上横方向移動手段、又は、下主支持枠体と下ユニット基板との間に配設された下横方向移動手段、から構成される、ことが好ましい。
横方向移動手段は、上又は下ユニット基板に配設されかつ該搬送方向に直線状に水平に延在する従動溝と、上又は下主支持枠体に鉛直軸まわりに回転可能に配設された回転体に支持されると共に従動溝に沿って相対回転しながら移動可能に嵌合されたカムローラと、回転体を回転駆動する駆動源とを備え、上及び下圧接ローラユニットが連結手段により連結された状態で駆動源により回転体が回転駆動されると、カムローラが該鉛直軸まわりに公転しかつ従動溝内を自転しながら相対的に往復移動させられて、上圧接ローラは、上圧接ローラユニット及び上ユニット基板を介して上主支持枠体に対し該横方向に往復移動させられ、下圧接ローラは、下圧接ローラユニット及び下ユニット基板を介して下主支持枠体に対し、上圧接ローラと共に該横方向に往復移動させられる、ことが好ましい。
静止枠体には、上及び下圧接ローラユニットが上及び下昇降手段によりそれぞれ上昇及び下降させられて上及び下圧接ローラが基板の両面に対し上方及び下方に離隔された状態において、上ユニット基板の該横方向両側に作用して上圧接ローラを上圧接ローラユニットを介して移動開始位置に位置付ける上圧接ローラ位置決め手段と、下ユニット基板の該横方向両側に作用して下圧接ローラを下圧接ローラユニットを介して移動開始位置に位置付ける下圧接ローラ位置決め手段とが配設され、上及び下圧接ローラがそれぞれ移動開始位置に位置付けられた状態で、上及び下圧接ローラユニットは連結手段により相互に連結可能となる、ことが好ましい。
連結手段は、上又は下圧接ローラユニットの一方に鉛直方向に延在するよう配設された係止ピンと、上又は下圧接ローラユニットの他方に鉛直方向に延在するよう配設されて係止ピンに離脱自在に嵌合しうる係止穴とからなる、ことが好ましい。
上搬送方向移動手段は、静止枠体と上主支持枠体との間に配設されたばね手段であって、上主支持枠体を該搬送方向下流に向けて常時付勢して下流側所定位置に位置付けるばね手段と、静止枠体と上主支持枠体との間に配設されたアクチュエータであって、上主支持枠体をばね手段のばね力に抗して該搬送方向上流に向けて下流側所定位置から上流側所定位置まで移動しうるアクチュエータとを備えている、ことが好ましい。
下搬送方向移動手段は、静止枠体と下主支持枠体との間に配設されたばね手段であって、下主支持枠体を該搬送方向下流に向けて常時付勢して下流側所定位置に位置付けるばね手段と、静止枠体と下主支持枠体との間に配設されたアクチュエータであって、下主支持枠体をばね手段のばね力に抗して該搬送方向上流に向けて下流側所定位置から上流側所定位置まで移動しうるアクチュエータとを備えている、ことが好ましい。
本発明の更に他の局面によれば、片面又は両面に保護フィルムが貼着された基板に作用して、該フィルムの一端部を該基板から部分的に剥離させる端部剥離手段と、端部剥離位置に停止させられた基板を該位置にクランプするクランプ手段とを備え、端部剥離手段は、クランプ手段に対し、基板の搬送方向下流側に配置されると共に、基板の一端部を上下方向に挟むことができるよう配設されかつ基板の横方向に移動可能に配設された複数の圧接ローラと、圧接ローラが基板の一端部を上下方向に挟んだ状態で、圧接ローラを基板に対し基板の横方向に移動させる横方向移動手段を備え、クランプ手段は、該横方向に延在する上クランプ部材及び下クランプ部材と、上クランプ部材及び下クランプ部材を、該位置に停止させられた基板の両面を上下方向に挟んでクランプするクランプ位置と、基板の両面から上方及び下方に離隔する非クランプ位置とに選択的に移動させるアクチュエータとを備えているフィルム剥離装置において、
圧接ローラの、基板に対する相対移動により発生する粉塵を回収するための集塵機を備え、
横方向移動手段は、圧接ローラを基板に対し該横方向の中央領域において該横方向に移動させ、集塵機は、上クランプ部材及び／又は下クランプ部材の該横方向の中央領域において一端がそれぞれ圧接ローラ側に開口するよう配設された複数の吸引穴と、吸引穴の各々の他端に吸引通路手段及び集塵手段を介して接続された吸引源とを備えている、ことを特徴とするフィルム剥離装置、が提供される。
圧接ローラは基板の搬送方向に移動可能に配設され、端部剥離手段は、圧接ローラを、基板の一端部を上下方向に挟んだ状態で基板の搬送方向に移動させる搬送方向移動手段を備えている、ことが好ましい。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に従って構成されたフィルム剥離装置の好適な実施の形態を添付図面を参照して詳細に説明する。
【００１２】
図１〜図４を参照して、フィルム剥離装置は、図１において右方である入口側に配置された、全体を図示しない基板搬送手段を備えている。基板搬送手段は、基板Ｐの搬送方向Ｆに間隔を置いて実質上水平に配列されかつ搬送方向Ｆに水平に延在する複数個の搬送ローラ２を備えている。これらの搬送ローラ２は図示しない電動モータによって回転駆動され、基板Ｐを、基板Ｐの搬送経路における搬送面ＰＬに沿って搬送方向Ｆに移動させることができる。搬送面ＰＬは水平に延在するよう設定されている。なお、この実施形態において、基板Ｐは、片面である上面及び他面である下面の両面にフィルムが貼着されたプリント配線基板から構成されている。なお、本明細書の記載において、基板Ｐの横方向又は横方向とは、いずれも同じ意味であって、基板Ｐの搬送方向Ｆに対し水平に直交する横方向ないし幅方向（図１において紙面の表裏方向、図２及び図３において左右方向）を意味するものである。また、上流、上流側、上流方向、下流、下流側、下流方向とは、それぞれ基板Ｐの搬送方向Ｆにおけるそれらを意味するものである。
【００１３】
基板Ｐの入口側に配設された基板搬送手段における下流端部に配置された搬送ローラ２に対し、基板Ｐの搬送経路を挟んだ上方の対向位置には、ピンチローラ４が一対の支持枠６間に回転自在に支持されている。一対の支持枠６は、それぞれ支持枠６の鉛直上方に配置されたアクチュエータであるエアシリンダ機構７のピストンロッド７ａに支持されている。鉛直軸線を有するピストンロッド７ａを備えたエアシリンダ機構７の各々は、フィルム剥離装置の静止枠体８に、基板Ｐの横方向に間隔をおいて配設されている。ピンチローラ４は、エアシリンダ機構７の各々によって、搬送ローラ２上に搬送された基板Ｐを搬送ローラ２と協働して挟む作用位置と、該基板Ｐから上方に離隔した非作用位置との間を選択的に移動させられる。なお、搬送ローラ２の最上端は、実質的に基板Ｐの搬送面ＰＬ上に位置付けられている。ピンチローラ４の下流側には、クランプ手段１０、基板停止手段２０、端部剥離手段１００、剥離手段３０などが、上流から下流に向かって上記した順序で配置されている。
【００１４】
後述する端部剥離位置に停止させられた基板Ｐを該位置にクランプするクランプ手段１０は、上クランプ部材１１及び下クランプ部材１２と、上クランプ部材１１及び下クランプ部材１２を、該位置に停止させられた基板Ｐの上面及び下面を上下方向に挟んでクランプするクランプ位置と、基板Ｐの上面及び下面から上方及び下方に離隔する非クランプ位置とに選択的に昇降させるそれぞれ一対のアクチュエータであるエアシリンダ機構１３及び１４とを備えている。上クランプ部材１１は、ほぼ直方体をなすブロック体から構成され、搬送経路の上方を横方向に水平に延在するよう配置されている。上クランプ部材１１の下面は水平面をなすよう形成されている。上クランプ部材１１は、上クランプ部材１１の鉛直上方に配置された一対のエアシリンダ機構１３のピストンロッド１３ａに支持されている。鉛直軸線を有するピストンロッド１３ａを備えたエアシリンダ機構１３の各々は、フィルム剥離装置の静止枠体８に、基板Ｐの横方向に間隔をおいて配設されている。下クランプ部材１２は、ほぼ直方体をなすブロック体から構成され、搬送経路の下方を横方向に水平に延在するよう配置されている。下クランプ部材１２の上面は水平面をなすよう形成されている。下クランプ部材１２は、下クランプ部材１２の鉛直下方に配置された一対のエアシリンダ機構１４のピストンロッド１４ａに支持されている。鉛直軸線を有するピストンロッド１４ａを備えたエアシリンダ機構１４の各々は、静止枠体８に、基板Ｐの横方向に間隔をおいて配設されている。
【００１５】
なお、上及び下クランプ部材１１及び１２の、基板Ｐの横方向中央領域には、それぞれ、後述する集塵機２００の一部を構成する複数の吸引穴２０２及び２０４などが配設されている。吸引穴２０２及び２０４などを含む集塵機２００については後述する。
【００１６】
公知の構成を利用することでよい基板停止手段２０は、図２において２点鎖線で示されているように、基板Ｐの横方向に水平に延在する支持部材２１の該横方向に間隔をおいて支持部材２１の上面から上方に延び出す一対の停止板部材２２と、支持部材２１に作用して、一対の停止板部材２２を、基板Ｐの搬送面ＰＬから上方に突出して搬送ローラ２により搬送された基板Ｐを端部剥離位置に停止させる作用位置（図１０参照）と、基板Ｐの搬送面ＰＬから下方に退避して基板Ｐの搬送に干渉しない非作用位置（図２参照）とに選択的に昇降させるアクチュエータであるエアシリンダ機構２３とを備えている。支持部材２１は、支持部材２１の鉛直下方に配置されたエアシリンダ機構２３のピストンロッド２３ａに支持されている。鉛直軸線を有するピストンロッド２３ａを備えたエアシリンダ機構２３は静止枠体８に配設されている。
【００１７】
端部剥離位置に位置付けられた基板Ｐに作用して、フィルムの一端部を基板Ｐから部分的に剥離させる端部剥離手段１００については後に詳述する。剥離手段３０は、端部剥離手段１００により基板Ｐの上面からフィルムの一端部が部分的に剥離されたフィルムを基板Ｐから上方に強制的に搬送する上側ベルト機構３０Ａと、端部剥離手段１００により基板Ｐの下面からフィルムの一端部が部分的に剥離されたフィルムを基板Ｐから下方に強制的に搬送する下側ベルト機構３０Ｂとを備えている。剥離手段３０はまた、端部剥離手段１００により基板Ｐの上面からフィルムの一端部が部分的に剥離されたフィルムとフォトレジスト層との間に高圧エアを噴射して上側ベルト機構３０Ａに向けて引き剥がす上部エア噴射手段３０Ｃと、端部剥離手段１００により基板Ｐの下面からフィルムの一端部が部分的に剥離されたフィルムとフォトレジスト層との間に高圧エアを噴射して下側ベルト機構３０Ｂに向けて引き剥がす下部エア噴射手段３０Ｄとを備えている。上側ベルト機構３０Ａ、下側ベルト機構３０Ｂ、上部エア噴射手段３０Ｃ及び下部エア噴射手段３０Ｄを含む剥離手段３０は、公知の構成を利用することでよく、またそれ自体の構成は本発明の特徴をなすものではないので、更なる説明は省略する。なお図１において、符号２５は補助搬送ローラであって、エアシリンダ機構２５Ａにより搬送面ＰＬよりも下方に離隔した退避位置と、外周面の頂部が搬送面ＰＬに位置する作用位置との間を選択的に移動させられる。また符号Ｓは、剥離手段３０の上流側に配設されたセンサであって、搬送される基板Ｐを検出するセンサである。
【００１８】
次に、本発明の特徴を含む端部剥離手段１００について説明する。図１、図２、図５及び図６を参照して、端部剥離手段１００は、上主支持枠体１０２と、上主支持枠体１０２に支持された上圧接ローラユニット１０４と、下主支持枠体１０６と、下主支持枠体１０６に支持された下圧接ローラユニット１０８とを備えている。静止枠体８は、搬送面ＰＬの上方を横方向に水平に延在する横枠８ａを備え、横枠８ａの、横方向における中央部には、搬送方向Ｆから見てほぼ矩形をなす上支持板部材１１０が配設されている。静止枠体８の一部を構成する上支持板部材１１０は、両面がそれぞれ搬送方向Ｆの上流及び下流に向けられかつそれぞれ鉛直面をなすよう配設されている。上支持板部材１１０には、両面を搬送方向Ｆに水平に貫通する複数の支持穴１１０ａが形成されている。実施形態において、支持穴１１０ａは、上支持板部材１１０の上端部及び下端部において、それぞれ横方向に間隔をおいて２個づつ形成されている。
【００１９】
板部材から形成される上主支持枠体１０２は、搬送方向Ｆから見て矩形をなす平板状の本体部１０２ａと、本体部１０２ａの上端から一定の幅で下流に向って直角に延びる上壁部１０２ｂと、本体部１０２ａの下端から一定の幅で下流に向って直角に延びる下壁部１０２ｃと、上壁部１０２ｂの先端から鉛直下方に直角に延びる上フランジ１０２ｄと、下壁部１０２ｃの先端から鉛直上方に直角に延びる下フランジ１０２ｅ（図１参照）とを備えている。上壁部１０２ｂ及び下壁部１０２ｃの搬送方向幅は同じであり、上フランジ１０２ｄ及び下フランジ１０２ｅの鉛直方向幅は同じである。上壁部１０２ｂと下壁部１０２ｃとの間隔は上支持板部材１１０の上下方向長さよりも大きく形成され、上フランジ１０２ｄと下フランジ１０２ｅの搬送方向幅は同じでありかつ上支持板部材１１０の搬送方向厚さよりも大きく形成されている。
【００２０】
上記のように構成された上主支持枠体１０２は、本体部１０２ａが上支持板部材１１０の上流側に位置し、上壁部１０２ｂ及び下壁部１０２ｃがそれぞれ上支持板部味１１０の上端の上方及び下端の下方に位置し、上フランジ１０２ｄ及び下フランジ１０２ｅが上支持板部材１１０の上流側に位置するよう配置される。上主支持枠体１０２の上フランジ１０２ｄ及び下フランジ１０２ｅには、上支持板部材１１０に形成された複数の支持穴１１０ａに対応して、複数の貫通穴１０３がそれぞれ同軸上に形成され、貫通穴１０３の各々には、頭付のピン部材１１２が下流側から水平に挿入されている。ピン部材１１２の各々の図示しない頭は上フランジ１０２ｄ及び下フランジ１０２ｅの下流側の面に当接され、ピン部材１１２の各々の本体部は、上支持板部材１１０の、対応する支持穴１１０ａに摺動可能に嵌合され、ピン部材１１２の各々の先端は上主支持枠体１０２の本体部１０２ａの下流側の面に対向して位置付けられる。ピン部材１１２の各々の先端には、上主支持枠体１０２の本体部１０２ａの上流側からビス１１４が締結されている。これにより、ピン部材１１２の各々は、上主支持枠体１０２の本体部１０２ａと、上フランジ１０２ｄ及び下フランジ１０２ｅとの間に固着される。このようにして、上主支持枠体１０２は、上支持板部材１１０に対し搬送方向Ｆの上流及び下流方向に移動可能に支持される。
【００２１】
上支持板部材１１０と上主支持枠体１０２との間には、後述する上圧接ローラユニット１０４を、上主支持枠体１０２及び後述する上ユニット基板１２２を介して搬送方向Ｆの上流及び下流の両方向に移動させることができる上搬送方向移動手段が配設されている。上搬送方向移動手段は、ばね手段である複数の圧縮コイルばね１１６と、複数のアクチュエータであるエアシリンダ機構１１８とを備えている。圧縮コイルばね１１６の各々は、上支持板部材１１０における下流側の面と、上主支持枠体１０２の上及び下フランジ１０２ｄ及び１０２ｅにおける上流側の面との間に配設されており、上主支持枠体１１０を下流に向けて常時付勢している。実施形態において、圧縮コイルばね１１６は、上支持板部材１１０の上端部及び下端部において、それぞれピン部材１１２の配設位置の内側において、横方向に間隔をおいて２個づつ配設されている。上支持板部材１１０における上流側の面には所定の厚さを有する板部材からなる複数のストッパ１１０ｓが配設されているので、主支持枠体１０２の本体部１０２ａの下流側の面は圧縮コイルばね１１６の各々によりストッパ１１０ｓの上流側の面に常時圧接されることにより、上主支持枠体１１０は下流側所定位置に位置付けられる。なお、ストッパ１１０ｓの各々は、上支持板部材１１０の支持穴１１０ａの各々に対応する位置に配設されているので、支持穴１１０ａの各々の上流側端はストッパ１１０ｓの上流側の面に開口している（つまり、支持穴１１０ａの各々はストッパ１１０ｓの各々を貫通して形成されているということである）。
【００２２】
エアシリンダ機構１１８の各々は、上支持板部材１１０の上端部及び下端部における横方向の中央にそれぞれ１個配設されている。エアシリンダ機構１１８の各々のシリンダは、上支持板部材１１０の上流側の面に形成された凹部に取り付けられ、ピストンないしピストンロッド１１８ａの先端は、上主支持枠体１０２の本体部１０２ａの下流側の面に対向するよう位置付けられている。搬送方向Ｆの水平軸を有するピストンないしピストンロッド１１８ａを備えたエアシリンダ機構１１８の各々が非作動の状態においては、上主支持枠体１０２は、圧縮コイルばね１１６の各々のばね力により下流側所定位置に位置付けられているが、エアシリンダ機構１１８の各々が作動されると、上主支持枠体１０２は、圧縮コイルばね１１６の各々のばね力に抗して上流に向けて下流側所定位置から上流側所定位置まで移動させられる。エアシリンダ機構１１８の各々により上流側所定位置まで移動させられた上主支持枠体１０２は、エアシリンダ機構１１８の各々の作動解除により、圧縮コイルばね１１６の各々のばね力により下流側所定位置まで戻される。
【００２３】
上主支持枠体１０２の上流側の面における上下方向の中央領域には、上下方向に間隔をおいて横方向のほぼ一側部から他側部にわたって水平にかつ直線状に延在する一対のレール部材１２０が配設されている。レール部材１２０の各々は細長い矩形状の板部材から形成され、各々の上側面及び下側面にはレール部材１２０の長手方向（基板Ｐの横方向）に沿って直線状に延在するガイド溝が形成されている。
【００２４】
上圧接ローラユニット１０４は、搬送方向Ｆから見て矩形状の平板部材からなる上ユニット基板１２２に配設されている。上ユニット基板１２２は、両面がそれぞれ搬送方向Ｆの上流及び下流に向けられかつそれぞれ鉛直面をなすよう配設されている。上ユニット基板１２２の下流側の面の上端部及び下端部における横方向中央部には、上下方向に間隔をおいて横方向に直線状に比較的短い長さで延在する一対の被ガイド部材１２４が配設されている。被ガイド部材１２４の各々は、搬送方向Ｆから見て矩形をなす平板状の本体部と、本体部の上端及び下端からそれぞれ下流方向に延び出す張出部と、張出部の各々の先端から相互に接近する上下方向に延び出す被係止突起とを備えている。上ユニット基板１２２は、被ガイド部材１２４の各々の被係止突起が、上主支持枠体１０２の対応するレール部材１２０のガイド溝にスライド自在に係止されることにより、上主支持枠体１０２の上流側面に沿って基板Ｐの横方向の両方向に水平に移動自在に支持される。
【００２５】
上ユニット基板１２２の上流側の面における横方向の両端部にはそれぞれほぼ直方体の支持ブロック１２６が配設され、上ユニット基板１２２の上流側の面における中央部であって支持ブロック１２６の各々間には、上圧接ローラユニット１０４の上昇降手段であるエアシリンダ機構１２８が配設されている。支持ブロック１２６の各々には、鉛直軸線を有するガイド穴１２６ａが配設されている。エアシリンダ機構１２８は鉛直軸線を有するピストンロッド１２８ａを備え、ピストンロッド１２８ａの下端には、横方向に水平に延在する支持枠体１３０が配設されている。支持枠体１３０の横方向の両端部には、支持枠体１３０の上面から鉛直上方に延び出すガイドロッド１３２と、支持枠体１３０の下面から鉛直下方に延び出す係止ピン１３３とが配設されている。
【００２６】
鉛直軸線を有するガイドロッド１３２の各々は、支持ブロック１２６の各々の、対応するガイド穴１２６ａにスライド自在に嵌合されている。支持枠体１３０の上流側の面には、複数の、実施形態においては４個の上圧接ローラ１３４が、搬送方向Ｆに水平に延在する軸を介して横方向に直列に配設されている。上圧接ローラ１３４の各々の最下面は支持枠体１３０の下面よりも下方に突出した位置にある。係止ピン１３３の各々は、上圧接ローラ１３４の各々の最下面よりも更に下方に延び出している。なお、支持枠体１３０及び支持枠体１３０に配設された上圧接ローラ１３４の各々は上圧接ローラユニット１０４を構成する。エアシリンダ機構１２８によって上圧接ローラユニット１０４が昇降させられると、支持枠体１３０のガイドロッド１３２の各々は、対応する支持ブロック１２６のガイド穴１２６ａに沿って鉛直方向に昇降させられるので、上圧接ローラ１３４の各々は鉛直方向に昇降させられる。
【００２７】
上支持板部材１１０には、上ユニット基板１２２の横方向両側に作用して上圧接ローラユニット１０４を移動開始位置に位置付ける上圧接ローラ位置決め手段が配設されている。上圧接ローラ位置決め手段は、上支持板部材１１０の上流側の面における横方向両端部に配設されたエアシリンダ機構１３６から構成されている。エアシリンダ機構１３６の各々は、横方向に水平に延在する共通の鉛直軸線上に存在するピストンロッド１３６ａを備えている。エアシリンダ機構１３６の各々を作動させてピストンロッド１３６ａが相互に接近する方向に実質的に同じストロークだけ移動させると、上圧接ローラユニット１０４が横方向のどの位置に存在しようとも、最終的にピストンロッド１３６ａの各々の先端が上ユニット基板１２２の横方向両側を押圧して、上ユニット基板１２２を横方向の中間位置である移動開始位置に位置付ける（センタリングする）ことができる。エアシリンダ機構１３６の各々のピストンロッド１３６ａのストロークは、相互に任意に設定可能であるので、上圧接ローラ１３４の各々における移動開始位置を横方向における所望の位置に自由に設定することができる。上記実施形態における移動開始位置は、上圧接ローラ１３４の各々の横方向の移動幅の範囲における中央である。このように、上圧接ローラ位置決め手段によれば、上圧接ローラ１３４の各々を、上圧接ローラユニット１０４及び上ユニット基板１２２を介して所望する移動開始位置に容易かつ確実に位置付けることができる。後に触れるように、下圧接ローラ位置決め手段も、上記した上圧接ローラ位置決め手段と実質的に同じ構成を有しているので、実質的に同じ作用効果が得られる。
【００２８】
静止枠体８は、横枠８ａに対し下方に間隔をおいて搬送面ＰＬの下方を横方向に水平に延在する横枠８ｂを備え、横枠８ｂの、横方向における中央部には下支持板部材１４０が配設されている。静止枠体８の一部を構成する下支持板部材１４０の構成は、上記上支持板部材１１０と実質的に同じであるので説明は省略する。下支持板部材１４０には、下主支持枠体１０６が搬送方向Ｆの上流及び下流方向に移動可能に支持される。下主支持枠体１０６の構成及び下主支持枠体１０６の、下支持板部材１４０に対する支持構造は、上記した、上主支持枠体１０２の構成及び上主支持枠体１０２の、上支持板部材１１０に対する支持構造とそれぞれ実質的に同じであるので説明は省略する。下支持板部材１４０と下主支持枠体１０６との間には、後述する下圧接ローラユニット１０８を、下主支持枠体１０６及び後述する下ユニット基板１４２を介して搬送方向Ｆの上流及び下流の両方向に移動させることができる下搬送方向移動手段が配設されている。図示しない複数の圧縮コイルばね及びエアシリンダ機構を含む下搬送方向移動手段の構成は、上記上搬送方向移動手段の構成と実質的に同じであるので説明は省略する。
【００２９】
上記実施形態において上及び下搬送方向移動手段は、複数の圧縮コイルばね及びエアシリンダ機構により構成されているが、それぞれエアシリンダ機構のみにより構成する他の実施形態もある。この実施形態の場合、上搬送方向移動手段のエアシリンダ機構１１８におけるピストンロッド１１８ａの先端は、上主支持枠体１０２の本体部１０２ａに連結され、下搬送方向移動手段の図示しないエアシリンダ機構におけるピストンロッドの先端は、下主支持枠体１０６の本体部１０６ａに連結される。更に具体的には、上搬送方向移動手段のエアシリンダ機構１１８における図示しないピストンの両側の油室に油圧を導入しうる構成、あるいは油圧を導入することができるピストンの片側の油室にピストンの戻り用の圧縮コイルばねを挿入する構成などを挙げることができる。下搬送方向移動手段の図示しないエアシリンダ機構についても同じことがいえる。
【００３０】
下圧接ローラユニット１０８は、搬送方向Ｆから見て矩形状の平板部材からなる下ユニット基板１４２に配設されている。下ユニット基板１４２は、下主支持枠体１０６の上流側面に沿って基板Ｐの横方向に水平に移動自在に支持される。下ユニット基板１４２の構成及び下ユニット基板１４２の、下主支持枠体１０６に対する支持構造は、上記した、上ユニット基板１２２の構成及び上ユニット基板１２２の、上主支持枠体１０２に対する支持構造とそれぞれ実質的に同じであるので説明は省略する。
【００３１】
下ユニット基板１４２の上流側の面には、下圧接ローラユニット１０８の下昇降手段であるエアシリンダ機構１４４とガイドブロック１４６とが、横方向に間隔をおいて鉛直方向に平行に直線状に延在するよう配設されている。エアシリンダ機構１４４及びガイドブロック１４６は、それぞれ縦長の直方体形状をなしている。エアシリンダ機構１４４の上端から鉛直上方に延び出すピストンロッド１４４ａの上端には、横方向に水平に延在する支持枠体１４８が支持されている。エアシリンダ機構１４４とガイドブロック１４６との間には、縦長の直方体形状をなしかつ鉛直方向に直線状に延在する被ガイドブロック１５０が、エアシリンダ機構１４４とガイドブロック１４６との間に沿って鉛直方向にスライド自在に（昇降自在に）係合されている。被ガイドブロック１５０の上端には、支持枠体１４８が連結されている。支持枠体１４８の横方向の両端部には、支持枠体１４８の上面から支持枠体１４８の内部に向って鉛直下方に延びる係止穴１４９が形成されている。
【００３２】
支持枠体１４８の上流側の面には、複数の、実施形態においては４個の下圧接ローラ１５２が、搬送方向Ｆに水平に延在する軸を介して横方向に直列に配設されている。下圧接ローラ１５２の各々の最上面は支持枠体１４８の上面よりも上方に突出した位置にあるなお、支持枠体１４８及び支持枠体１４８に配設された下圧接ローラ１５２の各々は下圧接ローラユニット１０８を構成する。エアシリンダ機構１４４によって下圧接ローラユニット１０８が昇降させられると、支持枠体１４８に連結された被ガイドブロック１５０は、エアシリンダ機構１４４とガイドブロック１４６との間に沿って鉛直方向に昇降させられるので、下圧接ローラ１５２の各々は鉛直方向に昇降させられる。
【００３３】
下支持板部材１４０には、下ユニット基板１４２の横方向両側に作用して下圧接ローラユニット１０８、したがって下圧接ローラ１５２を移動開始位置に位置付ける下圧接ローラ位置決め手段が配設されている。下支持板部材１４０の上流側の面における横方向両端部に配設され、かつそれぞれピストンロッド１５４ａを含むエアシリンダ機構１５４から構成されている下圧接ローラ位置決め手段は、先に述べた上圧接ローラ位置決め手段の構成と実質的に同じであるので、上圧接ローラ位置決め手段と実質的に同じ作用効果を得ることができる。上及び下圧接ローラユニット１０４及び１０８は、それぞれ、エアシリンダ機構１２８及び１４４により、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２が搬送ローラ２上に存在する基板Ｐに対し接触しない非作用位置と、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２が基板Ｐを上下方向に挟む作用位置との間を選択的に昇降させられる。
【００３４】
なお、上圧接ローラユニット１０４の支持枠体１３０に形成された係止ピン１３３の各々と、下圧接ローラユニット１０８の支持枠体１４８に形成された係止穴１４９の各々とは、エアシリンダ機構１２８及び１４４によりそれぞれ下降及び上昇させられた上及び下圧接ローラ１３４及び１５２が基板Ｐの一端部を上下方向に挟んだ状態で一体に移動しうるよう上下方向（鉛直方向）に離脱自在に連結する連結手段を構成する。上及び下圧接ローラ１３４及び１５２がそれぞれ移動開始位置に位置付けられた状態で、上及び下圧接ローラユニット１０４及び１０８は連結手段により相互に連結可能となる（係止ピン１３３の各々と、対応する係止穴１４９とが、鉛直方向に整合して位置付けられる）。上及び下圧接ローラユニット１０４及び１０８が連結手段により連結された状態（図１０及び図１３参照）で、上及び下搬送方向移動手段により上及び下主支持枠体１０２及び１０６が同期して上流及び下流方向に移動させられると、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２も同じ方向に同期して移動させられる。
【００３５】
上記連結手段によれば、上ユニット基板１２２に関連して後述する一つの上横方向移動手段を配設するのみで、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２を同時に横方向に移動させることができるので、部品点数が少なくて済み、低コストで上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の横方向移動手段を配設することが可能になる。また、上記連結手段は、係止ピン１３３の各々と、対応する係止穴１４９とにより構成されるので、簡単な構成により確実な連結が可能になる。
【００３６】
次に、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２が、基板Ｐの一端部を上下方向に挟んだ状態で基板Ｐに対し横方向に移動させられるよう、上圧接ローラユニット１０４を、上記連結手段により相対的に連結された下圧接ローラユニット１０８と一体に、基板Ｐに対し横方向に水平に移動させる上横方向移動手段について説明する。
【００３７】
図６を参照して、上ユニット基板１２２の上端部における横方向の中央部には、上ユニット基板１２２の上流側の面から上流方向に延び出す支持梁１５６が配設されている。支持梁１５６の水平上面には、横断面が上方に開放されたチャンネル形状をなすチャンネル部材１５８が配設されている。チャンネル部材１５８は、一定の幅で搬送方向Ｆに水平かつ直線状に延在する底壁と、底壁の横方向両側縁から鉛直上方に延び出す側壁とから構成され、これらの底壁及び側壁の各々により、搬送方向Ｆに直線状にかつ水平に延在する従動溝１６０が形成される。
【００３８】
上主支持枠体１０２の上壁部１０２ｂの上面における横方向の中央部には、上壁部１０２ｂの上流端から上流方向に水平に延び出す支持板部材１６２が配設されている。支持板部材１６２の上面側には、駆動源である電動モータＭが配設されている。鉛直方向に延在する電動モータＭの駆動軸１６３は支持板部材１６２の下面側に延び出している。鉛直軸まわりに回転可能な駆動軸１６３の延び出し部には、回転体１６４が一体回転し得るよう取り付けられている。回転体１６４は、円筒部と円筒部の下端に配設された円板部とから構成され、円板部の周縁部には円板部から鉛直下方に延び出す支持軸１６６が配設され、支持軸１６６にはカムローラ１６８が回転自在に支持されている。カムローラ１６８は、チャンネル部材１５８の従動溝１６０に沿って相対回転しながら移動可能に嵌合されている。上横方向移動手段は、電動モータＭ、回転体１６４、カムローラ１６８及びチャンネル部材１５８の従動溝１６０などにより構成される。
【００３９】
先に述べたように、上及び下圧接ローラユニット１０４が連結手段により連結された状態（図１０及び図１３参照）で、電動モータＭにより回転体１６４が回転駆動されると、カムローラ１６８が鉛直軸である駆動軸１６３まわりに公転しかつ従動溝１６０内を自転しながら相対的に往復移動させられる。上及び下ユニット基板１２２及び１４２が、それぞれ上及び下主支持枠体１０２及び１０６に対し横方向に往復移動させられるので、上圧接ローラ１３４は、上圧接ローラユニット１０４及び上ユニット基板１２２を介して横方向に往復移動させられ、下圧接ローラ１５２は、上圧接ローラ１３４と共に、下圧接ローラユニット１０８及び下ユニット基板１４２を介して横方向に往復移動させられる。
【００４０】
実施形態においては、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示されているように、カムローラ１６８の回転角度位置が０°の位置（平面から見て、カムローラ１６８の回転中心の公転位置が、基板Ｐの横方向の中心を通り搬送方向Ｆに延びる中心線上であって、搬送方向Ｆの上流側の位置）を、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の移動開始位置としている。カムローラ１６８は、上記０°の位置から、図６（ａ）及び図６（ｂ）において、反時計方向に公転させられる。上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の、移動開始位置から両横方向への最大移動距離は、駆動軸１６３の軸心から、カムローラ１６８の外周面であって該軸心から半径方向に最も遠い外周面までの距離を半径とする円の半径により規定される（横方向の全移動距離は該円の直径により規定される）。図６（ｂ）、図６（ｃ）、図７（ｂ）及び図８（ｂ）において、符号Ｄは該円（カムローラ１６８の公転により描かれる円形の軌跡のうち最大の直径を有する円形の軌跡）を示している。
【００４１】
カムローラ１６８が、図６（ａ）及び（ｂ）に示される上記０°の位置から、図７（ａ）及び（ｂ）に示す回転角度位置９０°まで反時計方向に公転させられると、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２は、移動開始位置から横方向の片方における最大ストローク位置まで移動させられる。カムローラ１６８が、上記０°の位置から、図６（ｃ）に示す回転角度位置１８０°まで反時計方向に公転させられると、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２は、横方向の片方における最大ストローク位置から移動開始位置まで戻される。カムローラ１６８が、上記０°の位置から、図８（ａ）及び（ｂ）に示す回転角度位置２７０°まで反時計方向に公転させられると、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２は、移動開始位置から横方向の他方における最大ストローク位置まで移動させられる。カムローラ１６８が、上記２７０°の位置から、再び図６（ａ）及び（ｂ）に示す回転角度位置０°まで反時計方向に公転させられると、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２は、横方向の他方における最大ストローク位置から移動開始位置まで再び戻される。すなわち、カムローラ１６８を、上記０°の位置から１回転させることにより、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２を、移動開始位置から横方向の片方及び他方までそれぞれ１往復移動させることができる。
【００４２】
フィルム剥離装置には、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の、基板Ｐに対する相対移動により発生する粉塵を回収するための集塵機２００が備えられている。図１、図３、図４、図１４及び図１５を参照して、集塵機２００は、先に述べたクランプ手段１０の上クランプ部材１１における横方向の中央領域において一端がそれぞれ下流側である上圧接ローラ１３４側に開口するよう配設された複数の吸引穴２０２と、下クランプ部材１２における横方向の中央領域において一端がそれぞれ下流側である下圧接ローラ１５２側に開口するよう配設された複数の吸引穴２０４とを備えている。
【００４３】
上クランプ部材１１の横方向の中央領域における上流側には上ダクト２０６が配設されている。上ダクト２０６は、その一端周縁が上クランプ部材１１の該中央領域における上流側の鉛直面に密着するよう配設されている。上クランプ部材１１に形成された吸引穴２０２の各々の上流側他端は、上ダクト２０６内に開口している。下クランプ部材１２の横方向の中央領域における上流側には下ダクト２０８が配設されている。下ダクト２０８は、その一端周縁が下クランプ部材１２の該中央領域における上流側の鉛直面に密着するよう配設されている。下クランプ部材１２に形成された吸引穴２０４の各々の上流側他端は、下ダクト２０８内に開口している。上及び下クランプ部材１１及び１２がクランプ位置に位置付けられ、かつ上及び下圧接ローラ１３４及び１５２が基板Ｐを上下に挟んだ状態において、吸引穴２０２及び２０４の各々の一端は、それぞれ、ほぼ、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２に対向するよう位置付けられ、吸引穴２０２及び２０４の各々の横方向列の全長は、ほぼ、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の横方向の全移動範囲にわたって延在するよう規定されている。
【００４４】
集塵機２００は、集塵手段、実施形態においてはストレーナ２１０と、吸引源である図示しない吸引ポンプを備えている。更に具体的に説明すると、フィルム剥離装置の剥離手段３０よりも下流側には、他の静止枠体２１２が配設されている。複数の枠部材によりほぼ直方体状に組み立てられた静止枠体２１２の上端部には、出口側の基板搬送手段２１４が配設されている。基板搬送手段２１４は、剥離手段３０によりフィルムが完全に剥離されて存在しない基板Ｐを、図示しない別の装置に向けて搬送するために設けられ、搬送ローラ２と同様な複数の搬送ローラ２１６が配設されている。静止枠体２１２における、基板搬送手段２１４よりも下方位置には、上記ストレーナ２１０と、集塵箱体２１８とが配設されている。ストレーナ２１０には、集塵手段である適宜のメッシュを有する金網が内蔵されている。集塵箱体２１８内には図示しない吸引ポンプが配設されている。
【００４５】
上及び下ダクト２０６及び２０８の各々の他端とストレーナ２１０の一端とは、それぞれ吸引通路手段である吸引パイプ２２０及び２２２により連結されている。ストレーナ２１０の他端と集塵箱体２１８とは、それぞれ吸引通路手段である吸引パイプ２２４及び２２６により連結されている。吸引ポンプが作動させられると、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の、基板Ｐに対する相対移動により発生した粉塵は、上及び下クランプ部材１１及び１２の吸引穴２０２及び２０４、上及び下ダクト２０６及び２０８、吸引パイプ２２０及び２２２、及び、ストレーナ２１０を通して集塵箱体２１８に回収される。なお、先に述べたように、上及び下クランプ部材１１及び１２は、クランプ位置と非クランプ位置との間を昇降させられるが、上及び下クランプ部材１１及び１２にそれぞれ固着された上及び下ダクト２０６及び２０８も、上及び下クランプ部材１１及び１２と共に昇降させられる。上及び下ダクト２０６及び２０８の他端には、それぞれ吸引パイプ２２０及び２２２が接続されているので、吸引パイプ２２０及び２２２の、上及び下ダクト２０６及び２０８との接続部は、相対移動を吸収できるよう構成される。具体的には、弾性部材からなる可撓性のパイプ、例えば蛇腹管から構成される。
【００４６】
次に、上記した端部剥離手段１００、集塵機２００などを備えたフィルム剥離装置の作用効果について説明する。フィルム剥離装置の作動は、フィルム剥離装置に備えられた図示しないコントローラにより制御される。図１〜図４を参照して、ピンチローラ４は非作用位置まで上昇させられ、上及び下クランプ部材１１及び１２は、それぞれ上昇及び下降させられて非クランプ位置に位置付けられている。上圧接ローラ１３４を備えた上圧接ローラユニット１０４及び下圧接ローラ１５２を備えた下圧接ローラユニット１０８は、それぞれ上昇及び下降させられて非作用位置に位置付けられている。上及び下圧接ローラ１３４及び１５２は、横方向の中央位置である移動開始位置に位置付けられている。なお、実施形態において、移動開始位置とは、横方向に直列に配置されたそれぞれ４個の上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の横方向における全長（全幅）の中心が、基板Ｐの搬送経路における横方向の中心と一致する位置である。
【００４７】
次に図９〜図１２を参照して、図２において右方に配設されている図示しない導入口から搬入された基板Ｐは、搬送ローラ２によって搬送方向Ｆに搬送され、あらかじめ作用位置に位置付けられた停止板部材２２（図１０参照）に先端が当接されて端部剥離位置に停止させられる。図示しないセンサが停止させられた基板Ｐを検出すると、搬送ローラ２の回転を停止する。ピンチローラ４を非作用位置から作用位置まで下降させて基板Ｐの上面を下方に押圧し、かつ上及び下クランプ部材１１及び１２をそれぞれクランプ位置まで下降及び上昇させて基板Ｐの両面に圧接させる（図１２参照）。このようにして基板Ｐを端部剥離位置に位置付けた後、停止板部材２２を作用位置から非作用位置まで下降させる（図２参照）。
【００４８】
停止板部材２２を非作用位置まで下降させた後、上圧接ローラ１３４を備えた上圧接ローラユニット１０４及び下圧接ローラ１５２を備えた下圧接ローラユニット１０８を、それぞれ下降及び上昇させて作用位置に位置付ける。上圧接ローラユニット１０４の係止ピン１３３の各々（図５参照）が下圧接ローラユニット１０８の係止穴１４９に嵌合係止され、上及び下圧接ローラユニット１０４及び１０８は一体に連結される。また、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２は、基板Ｐの横方向中央領域における一端部、すなわち該中央領域における搬送方向先端部の両面に圧接する。フィルムの横方向中央領域における一端部、すなわち該中央領域における搬送方向先端部の両面は、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２により圧接される。電動モータＭを駆動すると、カムローラ１６８が駆動軸１６３まわりに公転し、かつ上圧接ローラユニット１０４が支持されている上ユニット基板１２２の従動溝１６０に沿って自転しながら往復移動する。上及び下圧接ローラ１３４及び１５２は、基板Ｐの一端部の両面を上下に所定の圧力で挟んだ状態で、基板Ｐに対し横方向の中央領域において一体的に横方向に比較的高速で往復移動させられる。
【００４９】
例えば、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の横方向の全幅が約１００ｍｍ、基板Ｐの横幅が２００ｍｍ〜６００ｍｍの場合、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の、基板Ｐの横方向の中央領域における横方向の移動幅（図１６において符号Ｘで示す移動幅）は、例えば、１２０ｍｍ〜１４０ｍｍに設定することができる（横方向への移動量は２０ｍｍ〜４０ｍｍ）。基板Ｐの横方向における移動幅は、上記数値に限定されるものではないが、少なくとも、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の横方向列うち、横方向の両端に位置する上及び下圧接ローラ１３４及び１５２が、それぞれ、基板Ｐの横方向の、対応する側縁から側外方に離脱しない範囲内に設定される。
【００５０】
このように、本発明においては、横方向移動手段が、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２を、基板Ｐの一端部の両面を上下に所定の圧力で挟んだ状態で、基板Ｐに対し基板Ｐにおける横方向の中央領域において横方向に往復移動させるよう構成されているので、上及び下圧接ローラの全てが基板の両側縁から側外方に完全に離脱するような横方向の全移動距離（一般的には１０００ｍｍ前後）を有する従来装置と比較して、横方向の移動幅を著しく短縮することができ、しかも従来装置よりも高速で上及び下圧接ローラ１３４及び１５２を往復移動させることができるので、基板Ｐのフィルムの一端部を部分的に剥離させる時間を従来よりも短縮することを可能にする。
【００５１】
つまり、従来装置においては、圧接ローラの横方向へ往復移動時に、圧接ローラが基板の一端部における横方向外側から基板の横方向一側縁部に、及び基板の他端部における横方向外側から基板の横方向他側縁部にそれぞれ乗り上がるので、衝撃による破損などのおそれがあって、移動速度を高速化できなかった。しかしながら本発明においては、少なくとも、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の横方向列うち、横方向の両端に位置する上及び下圧接ローラ１３４及び１５２が、それぞれ、基板Ｐの横方向の、対応する側縁から側外方に離脱しない範囲内に設定されるので、上記乗り上がりは全く無くなる。その結果、従来よりも短い横方向の移動幅で、移動速度を高速化できるので、上記時間を従来よりも短縮することを可能にするのである。
【００５２】
上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の横方向への移動幅を基板Ｐにおける横方向の中央領域、すなわち、基板Ｐの幅全体に対し、中央部における横方向の狭い範囲内に設定した場合には、上記移動幅を可能な限り最短とすることができるので、従来装置におけるよりも高速化することなく、横方向への往復移動回数を従来よりも増加することによって、上記時間を短縮することが可能になる。もちろん、従来装置におけるよりも高速化した場合には、上記時間を更に短縮することが可能になる。また、本発明によれば、横方向の移動幅を従来よりも大幅に短縮することができるので、基板Ｐの一端部の表面に付けられるわずかな傷を大幅に低減し、かつ基板Ｐの両側縁部を破損することなく、基板Ｐのフィルムの一端部を部分的に剥離することができる。また、薄い基板Ｐを端部剥離処理によって曲げるおそれも無くなる。
【００５３】
上記端部剥離手段１００においてはまた、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２が横方向に比較的高速で移動中に、所定のタイミングによりエアシリンダ機構１１８を作動させることにより上及び下圧接ローラ１３４及び１５２を下流側所定位置から上流側所定位置へ、また、エアシリンダ機構１１８の作動を停止することにより上及び下圧接ローラ１３４及び１５２を上流側所定位置から下流側所定位置へ、それぞれ移動させることができる。この搬送方向への移動量（図１６において符号Ｙで示される移動量）は、これに限定されるものではないが、例えば、１ｍｍ〜２ｍｍ程度の微小幅でよい。このように上及び下圧接ローラ１３４及び１５２を、先に述べた上横方向移動手段及び搬送方向移動手段の協働により、上記横方向及び搬送方向の両方向に同時に移動させることにより、フィルムの端部剥離効果を更に向上させることができる。本発明者の実験によれば、１枚の基板Ｐに対する端部剥離処理において、従来装置に比較して１秒程度、時間を短縮できることが確認された。
【００５４】
なお、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の外周面に、軸線方向に傾斜して延びるローレット溝を全周にわたって形成する、あるいは、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２のうちのいくつかの軸線を、平面から見て、横方向の中心を通り搬送方向Ｆに延びる中心線に対し傾斜させる（図１６及び図１７参照）、などの手段を併用することは、上記した端部剥離効果を更に向上させるのに寄与する。
【００５５】
本発明によるフィルム剥離装置においては、端部剥離手段１００による、フィルムの端部剥離処理と同時に、集塵機２００が作動される。図２〜図４、図１４及び図１５を参照して、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２が横方向に往復移動させられる直前又は同時に、集塵機２００の図示しない吸引ポンプを作動させる。上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の、基板Ｐに対する相対移動により発生した粉塵は、上及び下クランプ部材１１及び１２の吸引穴２０２及び２０４、上及び下ダクト２０６及び２０８、吸引パイプ２２０及び２２２、及び、ストレーナ２１０を通して集塵箱体２１８に回収される。
【００５６】
上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の、基板Ｐに対する横方向の移動範囲は、先に述べたように横方向の中央領域であるので、基板Ｐの横方向幅を両外側に越える長い距離を往復移動する従来装置よりも大幅に短縮される。その結果、上及び下クランプ部材１１及び１２がクランプ位置に位置付けられ、かつ上及び下圧接ローラ１３４及び１５２が基板Ｐを上下に挟んだ状態において、吸引穴２０２及び２０４の各々の一端が、それぞれ、ほぼ、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２に対向するよう位置付けられかつ、吸引穴２０２及び２０４の各々の横方向列の全長が、ほぼ、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の横方向の全移動範囲にわたって延在するよう構成しても、全体としては基板Ｐの横方向中央領域に吸引穴２０２及び２０４の各々を集中するのみで、集塵効果を得ることが可能になる。その結果、基板Ｐのフィルムの一端部を部分的に剥離する動作時に発生する粉塵を、コンパクトかつ低コストで回収することを可能にするのである。
【００５７】
再び図１〜図４を参照して、端部剥離手段１００による基板Ｐのフィルムの一端部を部分的に剥離する動作を所定時間（例えば２秒間）遂行した後、電動モータＭの駆動を停止する。続いて、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の各々が基板Ｐの両面から離隔されるよう、上及び下圧接ローラユニット１０４及び１０８の各々をそれぞれ上昇及び下降させる。また、上及び下クランプ部材１１及び１２をクランプ位置から非クランプ位置まで上昇及び下降させる。補助搬送ローラ２５を作用位置に上昇させる。上及び下圧接ローラ位置決め手段により、上及び下圧接ローラユニット１０４及び１０８の各々を移動開始位置に戻す。
【００５８】
ピンチローラ４を作用位置に維持した状態で、入り口側の搬送ローラ２を再駆動して、フィルムの一端部が部分的に剥離された基板Ｐを剥離手段３０に向けて搬送する。剥離手段３０の上流側に配設されたセンサＳが基板Ｐの先端を検出してから所定時間経過後、上部及び下部エア噴射手段３０Ｃ及び３０Ｄにより高圧エアを噴射して基板Ｐの両面における一端部から、部分的に剥離されたフィルムをそれぞれ更に剥離させる。基板Ｐの上面から剥離されたフィルムは上側ベルト機構３０Ａに挟まれて上方に搬送され、図示しないフィルム回収箱に排出される。また、基板Ｐの下面から剥離されたフィルムは下側ベルト機構３０Ｂに挟まれて下方に搬送され、図示しないフィルム回収箱に排出される。フィルムが完全に剥離された基板Ｐは、出口側の基板搬送手段２１４（図１４参照）に向けて搬送される。上記センサＳが基板Ｐの後端の通過を検出した時点で、ピンチローラ４を非作用位置に上昇させる。補助搬送ローラ２５を退避位置に下降させる。基板停止手段２０の停止板部材２２を作用位置に上昇させる。なお、上部エア噴射手段３０Ｃの下流側に配設された図示しないセンサが基板Ｐの先端を検出してから所定時間経過後、上部及び下部エア噴射手段３０Ｃ及び３０Ｄによる高圧エアの噴射を停止する。基板Ｐが出口側の上記基板搬送手段２１４まで搬送された時点で、フィルム剥離装置によるフィルム剥離動作の１サイクルが終了する。フィルム剥離装置は、以上の剥離サイクルを繰り返すことにより、複数の基板Ｐから連続してフィルムを剥離する。
【００５９】
本発明によるフィルム剥離装置の上記実施形態においては、横方向移動手段及び搬送方向移動手段を備えているので、横方向移動手段及び搬送方向移動手段を相互に独立して作動させることにより、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２を、横方向又は搬送方向にそれぞれ真っ直ぐに、それぞれ独立した動きとして移動させることができる。また、横方向移動手段及び搬送方向移動手段を協働させることにより（換言すれば同時に作動させることにより）、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２を、横方向の片方又は他方に向って、かつ搬送方向の下流から上流へ向って又は上流から下流に向って、同時に相互に等速で又は異なった速度で移動させることができるので、フィルムの一端部を基板Ｐから部分的に、短時間にかつ効果的に剥離することを可能にする。
【００６０】
本発明によれば、横方向移動手段及び搬送方向移動手段を利用することにより、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２を、さまざまなパターンで移動させることが可能になる。以下、図１６〜図２４を参照して、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の横方向及び搬送方向への移動パターンの実施形態をいくつか紹介する。先にも述べたように、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の移動開始位置は、上記実施形態におけるような、基板Ｐにおける横方向の中心位置に限定されるものではなく、横方向のいずれの位置を移動開始位置とすることができる。図１６〜図２４において、左右方向は基板Ｐの横方向、上側は基板Ｐの搬送方向下流側、下側は基板Ｐの搬送方向上流側を示す。矢印は上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の移動方向を示す。先にも述べたように、符号Ｘは、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の横方向（左右方向）への移動幅を示し、符号Ｙは、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の搬送方向への移動量を示している。横方向移動手段及び搬送方向移動手段を協働（同時作動）させた場合には、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２は、平面から見て、横方向の片方又は他方に向って、かつ搬送方向の下流から上流へ向って又は上流から下流に向って、斜めにほぼ真っ直ぐに（図１７、図１９、図２２及び図２３参照）、又はほぼ曲線状に（図２４参照）移動させられる。なお、移動パターンの基本を示す図１６及び図１７においては、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２を図示しているが、図１８〜図２４においては、図面の明確化のために図示を省略してある。
【００６１】
図１６に示されている移動パターン（基本パターン１）において、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２は、横方向の左右終端（左右移動終端）間を直線移動し、左右終端において、搬送方向の上流終端まで、又は下流終端（上流側の移動終端又は下流側の移動終端）まで直線移動する。
【００６２】
図１７に示されている移動パターン（基本パターン２）において、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２は、横方向の左右終端間を直線移動し、左右終端において、搬送方向上流終端及び横方向の左終端に向って、又は搬送方向下流終端及び横方向の左終端に向って、それぞれ斜めに真っ直ぐに移動する。
【００６３】
図１８に示されている移動パターンにおいて、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２は、左右終端において、及び、横方向の左右終端間を直線移動する中間において、搬送方向上流終端又は搬送方向下流終端に向って移動する。上流終端又は下流終端における横方向の移動は、それぞれ横方向に延びる共通の直線上において行われる。この移動パターンは、図１６に示されている移動パターン（基本パターン１）の変形である。
【００６４】
図１９に示されている移動パターンにおいて、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２は、横方向の左右終端間の中央と左右終端間を直線移動し、左右終端において、搬送方向上流終端及び横方向の左右終端間の中央に向って、又は搬送方向下流終端及び横方向の左右終端間の中央に向って、それぞれ斜めに真っ直ぐに移動する。この移動パターンは、図１７に示されている移動パターン（基本パターン２）の変形である。
【００６５】
図２０に示されている移動パターンにおいて、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２は、横方向の左右終端間を複数回移動し、左右終端において、搬送方向の上流終端まで、又は下流終端まで直線移動する。この移動パターンは、図１６に示されている移動パターン（基本パターン１）の変形である。
【００６６】
図２１に示されている移動パターンにおいて、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２は、横方向の左右終端間を複数回移動し、左右終端において、搬送方向上流終端及び横方向の右終端に向って、又は搬送方向下流終端及び横方向の右終端に向って、それぞれ斜めに真っ直ぐに移動する。この移動パターンは、図１７に示されている移動パターン（基本パターン２）の変形である。
【００６７】
図２２に示されている移動パターンにおいて、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２は、横方向の左右終端間を直線移動する中間において、搬送方向上流終端及び横方向の右に向って、及び搬送方向下流終端及び横方向の右に向って移動し、又は、搬送方向下流終端及び横方向の左に向って、及び搬送方向上流終端及び横方向の左に向って移動する。横方向の左右終端においては、下流終端まで直線移動するか、又は搬送方向下流終端及び横方向の左に向って斜めに真っ直ぐに移動する。この移動パターンは、図１６に示されている移動パターン（基本パターン１）及び図１７に示されている移動パターン（基本パターン２）の組み合わせである。
【００６８】
図２３に示されている移動パターンにおいて、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２は、搬送方向の上流及び下流終端間における中央間において、横方向の左右終端間を移動するとき、搬送方向の下流終端における左右終端間の中央まで、又は搬送方向の上流終端における左右終端間の中央まで、それぞれ斜めに真っ直ぐに移動してから再び斜めに真っ直ぐに移動して横方向の左右いずれかの終端に到達する。
【００６９】
図２４に示されている移動パターンにおいて、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２は、搬送方向の上流及び下流終端間における中央間において、横方向の左右終端間を移動するとき、搬送方向の下流終端における左右終端間の中央まで、又は搬送方向の上流終端における左右終端間の中央まで、それぞれ曲線状に移動してから再び曲線状に移動して横方向の左右いずれかの終端に到達する。
【００７０】
本発明の上記実施形態において、連結手段を構成する係止ピン１３３の各々は、上圧接ローラユニット１０４の支持枠体１３０に配設され、連結手段を構成する係止穴１４９の各々は、下圧接ローラユニット１０８の支持枠体１４８に配設されているが、これらをそれぞれ逆に配設する他の実施形態もある。上記実施形態においてはまた、上クランプ部材１１には吸引穴２０２が形成され、下クランプ部材１２には吸引穴２０４が形成されているが、上クランプ部材１１のみに吸引穴を形成する他の実施形態、あるいは下クランプ部材１２のみに吸引穴を形成する他の実施形態も考えられる。
【００７１】
上記実施形態において、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２が基板Ｐの一端部を上下方向に挟んだ状態で、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２を、基板Ｐに対し横方向の中央領域において横方向に移動させる横方向移動手段として、上横方向移動手段が配設されている。上横方向移動手段は、上圧接ローラユニット１０４を、連結手段により相対的に連結された下圧接ローラユニット１０８と一体に、基板Ｐに対し横方向に移動させるよう構成されている。しかしながら、横方向移動手段としては上記上横方向移動手段に限定されるものではなく、上横方向移動手段と実質的に同じ構成を有する下横方向移動手段であってもよい。
【００７２】
すなわち、この下横方向移動手段は、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２が基板Ｐの一端部を上下方向に挟んだ状態で、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２を、基板Ｐに対し横方向の中央領域において横方向に移動させるよう、下圧接ローラユニット１０８を、連結手段により相対的に連結された上圧接ローラユニット１０４と一体に、基板Ｐに対し横方向に移動させる。更に具体的には、上記従動溝１６０を備えたチャンネル部材１５８を下ユニット基板１４２に配設し、電動モータＭ、回転体１６４及びカムローラ１６８などを下主支持枠体１０６に配設することにより下横方向移動手段を構成することができる。横方向移動手段は、要するに、上ユニット基板１２２又は下ユニット基板１４２に作用して、上ユニット基板１２２又は下ユニット基板１４２を、上主支持枠体１０２又は下主支持枠体１０６に対し、横方向に移動させることができるよう構成すればよい。横方向移動手段である上横方向移動手段又は下横方向移動手段は、電動モータＭなどにより構成されているが、他のアクチュエータ、例えばエアシリンダ機構から構成する他の実施形態もある。更にはまた、横方向移動手段を、相互に独立して作動することができる上横方向移動手段と下横方向移動手段とから構成する他の実施形態もある。この実施形態においては、上圧接ローラユニット１０４と下圧接ローラユニット１０８とを、離脱自在に連結する連結手段は配設されない。
【００７３】
【発明の効果】
本発明によるフィルム剥離装置によれば、基板のフィルムの一端部を部分的に剥離させる時間を従来よりも短縮することを可能にする。また、基板の一端部の表面に付けられる傷を大幅に低減し、かつ基板の両側縁部を破損することなく、基板のフィルムの一端部を部分的に剥離することができる。更にはまた、フィルム剥離動作時に発生する粉塵を、コンパクトかつ低コストで回収することを可能にする。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に従って構成されたフィルム剥離装置の実施形態の構成の要部を概略的に示す側面図。
【図２】図１に示すフィルム剥離装置に備えられている端部剥離手段を基板の搬送方向上流側から見た正面図であって、一部の構成を省略して示す正面図。
【図３】図１に示すフィルム剥離装置に備えられているクランプ手段を基板の搬送方向下流側から見た背面図。
【図４】図３に示すクランプ手段の要部横断面図であって、図３において右方から見た要部横断面図。
【図５】図１に示すフィルム剥離装置に備えられている端部剥離手段の要部を示す斜視図であって、一部の構成を省略しかつ一部を断面にして示す斜視図。
【図６】（ａ）図５に示す端部剥離手段の要部のうち上圧接ローラユニット側の構成体において、図５においては省略されている上横方向移動手段を備えた構成体を示す斜視図であって、一部を断面にして示す斜視図。
（ｂ）図６（ａ）に示す上横方向移動手段に備えられているカムローラの回転角度位置が０°の状態を概略的に示す平面図。
（ｃ）図６（ａ）に示す上横方向移動手段に備えられているカムローラの回転角度位置が１８０°の状態を概略的に示す平面図。
【図７】（ａ）図６（ａ）に示す構成体において、上横方向移動手段に備えられているカムローラの回転角度位置が９０°の状態を示す斜視図であって、一部を断面にして示す斜視図。
（ｂ）図７（ａ）に示すカムローラの回転角度位置（９０°）を概略的に示す平面図。
【図８】（ａ）図６（ａ）に示す構成体において、上横方向移動手段に備えられているカムローラの回転角度位置が２７０°の状態を示す斜視図であって、一部を断面にして示す斜視図。
（ｂ）図８（ａ）に示すカムローラの回転角度位置（２７０°）を概略的に示す平面図。
【図９】図１に示すフィルム剥離装置における他の作動態様を示す側面図。
【図１０】図９に示すフィルム剥離装置に備えられている端部剥離手段を基板の搬送方向上流側から見た正面図であって、一部の構成を省略して示す正面図。
【図１１】図９に示すフィルム剥離装置に備えられているクランプ手段を基板の搬送方向下流側から見た背面図。
【図１２】図１１に示すクランプ手段の要部横断面図であって、図１１において右方から見た要部横断面図。
【図１３】図５に示す端部剥離手段の他の作動態様を示す斜視図。
【図１４】図１に示すフィルム剥離装置に備えられた集塵機の要部を示す側面図。
【図１５】図１４に示す集塵機の要部を基板Ｐの搬送方向下流側から見た背面図。
【図１６】図１に示すフィルム剥離装置の端部剥離手段に備えられ圧接ローラの移動パターンの実施形態を模式的に示す平面図。
【図１７】図１に示すフィルム剥離装置の端部剥離手段に備えられ圧接ローラの移動パターンの他の実施形態を模式的に示す平面図。
【図１８】図１に示すフィルム剥離装置の端部剥離手段に備えられ圧接ローラの移動パターンの更に他の実施形態を模式的に示す平面図。
【図１９】図１に示すフィルム剥離装置の端部剥離手段に備えられ圧接ローラの移動パターンの更に他の実施形態を模式的に示す平面図。
【図２０】図１に示すフィルム剥離装置の端部剥離手段に備えられ圧接ローラの移動パターンの更に他の実施形態を模式的に示す平面図。
【図２１】図１に示すフィルム剥離装置の端部剥離手段に備えられ圧接ローラの移動パターンの更に他の実施形態を模式的に示す平面図。
【図２２】図１に示すフィルム剥離装置の端部剥離手段に備えられ圧接ローラの移動パターンの更に他の実施形態を模式的に示す平面図。
【図２３】図１に示すフィルム剥離装置の端部剥離手段に備えられ圧接ローラの移動パターンの更に他の実施形態を模式的に示す平面図。
【図２４】図１に示すフィルム剥離装置の端部剥離手段に備えられ圧接ローラの移動パターンの更に他の実施形態を模式的に示す平面図。
【符号の説明】
１００  端部剥離装置
１０２  上主支持枠体
１０４  上圧接ローラユニット
１０６  下主支持枠体
１０８  下圧接ローラユニット
１１０  上支持板部材
１２２  上ユニット基板
１３４  上圧接ローラ
１４０  下支持板部材
１４２  下ユニット基板
１５２  下圧接ローラ
１６０  従動溝
１６８  カムローラ
２００  集塵機
Ｍ  電動モータ
Ｐ  基板
【図１】
2005041611.tif 000003
【図２】
2005041611.tif 000004
【図３】
2005041611.tif 000005
【図４】
2005041611.tif 000006
【図５】
2005041611.tif 000007
【図６】
2005041611.tif 000008
【図７】
2005041611.tif 000009
【図８】
2005041611.tif 000010
【図９】
2005041611.tif 000011
【図１０】
2005041611.tif 000012
【図１１】
2005041611.tif 000013
【図１２】
2005041611.tif 000014
【図１３】
2005041611.tif 000015
【図１４】
2005041611.tif 000016
【図１５】
2005041611.tif 000017
【図１６】
2005041611.tif 000018
【図１７】
2005041611.tif 000019
【図１８】
2005041611.tif 000020
【図１９】
2005041611.tif 000021
【図２０】
2005041611.tif 000022
【図２１】
2005041611.tif 000023
【図２２】
2005041611.tif 000024
【図２３】
2005041611.tif 000025
【図２４】
2005041611.tif 000026