(57)【要約】      （修正有）【課題】現像処理を行った後に未露光部の基板上および遮光層上に残渣を生じることがなく、現像後ポストベークされた画素が耐熱性、耐アルカリ性に優れており、顔料凝集粒子がないカラーフィルター用感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、(C)光重合開始剤、(D)溶剤及び(E)着色剤を含むカラーフィルター用感光性樹脂組成物であって、該(A)アルカリ可溶性樹脂が、無水マレイン酸モノマーとカルボキシル基含有不飽和モノマーと上記以外の共重合可能な不飽和モノマーを重合して得られるアルカリ可溶性樹脂からなり、且つ上記無水マレイン酸モノマーから誘導される構成単位の含有量／着色剤(E)の含有量の比率が0.001〜0.015であるカラーフィルター用感光性樹脂組成物。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、(C)光重合開始剤、(D)溶剤及び(E)着色剤を含むカラーフィルター用感光性樹脂組成物であって、該(A)アルカリ可溶性樹脂が、
無水マレイン酸モノマー(a-1)0.2〜30重量部と、カルボキシル基含有不飽和モノマー(a-2)3〜40重量部と、上記(a-1)、(a-2)以外の共重合可能な不飽和モノマー(a-3)30〜96.8重量部((a-1)と(a-2)と(a-3)の合計量100重量部)を重合して得られるアルカリ可溶性樹脂(A-1)0.1〜100重量部、
無水マレイン酸モノマー(a’-1)0〜0.2重量部(0.2重量部を含まない)と、カルボキシル基含有不飽和モノマー(a’-2)5〜50重量部と、上記(a’-1)、(a’-2)以外の共重合可能な不飽和モノマー(a’-3)49.8〜95重量部((a’-1)と(a’-2)と(a’-3)の合計量100重量部)を重合して得られるアルカリ可溶性樹脂(A-2)99.9〜0重量部
とからなり((A-1)と(A-2)の合計量100重量部)、且つ
上記無水マレイン酸モノマー(a-1)と(a’-1)から誘導される構成単位の含有量／着色剤(E)の含有量の比率が0.001〜0.015であることを特徴とするカラーフィルター用感光性樹脂組成物。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液晶ディスプレイに用いられるカラーフィルターを形成するためのカラーフィルター用感光性樹脂組成物に関するものであり、特に塗布、露光、現像処理を行った後に未露光部の基板上および遮光層上に残渣を生じることがなく、現像後ポストベークされた画素が耐熱性、耐アルカリ性に優れており、顔料凝集粒子が生じないカラーフィルター用感光性樹脂組成物に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来よりガラス基板等の上に形成されたカラーフィルタはカラー液晶表示装置、カラーファクシミリ、カラービデオカメラ等に広く用いられてきた。このカラーフィルタの製造においては、カラー液晶表示装置のOA機器等への用途及び市場の拡大と共に技術の多様化が進み、染色法、印刷法、電着法及び分散法等が提案されているが、その中でも染色法が主流であった。
【０００３】
染色法では感光性を付与したアクリル樹脂、ゼラチン等の水溶性レジスト剤を用いてガラス基板に所定のパターンを形成した後、染色、固着及び防染処理工程を経て着色パターンを得る。この工程を3回繰り返して赤色（R）、緑色（G）及び青色（B）の着色層を作成し、さらに着色層上に保護膜を施すのである。染色法は精細性及び分光特性等の面では優れているが、上記のように工程が複雑であり、また耐久性にやや劣るという難点がある。
【０００４】
そこで近年は分散法が注目されている。分散法では予め着色顔料を分散してあるレジスト剤をガラス基板に塗布し、露光現像によって所定のパターンを得る。この工程を3回繰り返して赤色（R）、緑色（G）及び青色（B）の着色層を作成し、さらに必要に応じて着色層上に保護膜を施すのである。このように分散法は染色、固着工程等が不要なことから生産性の向上を図ることができ、また必ずしも着色層上に保護膜を施す必要がない等の利点を有する。
【０００５】
分散法において画素パターンを形成可能なアルカリ現像感光性樹脂として、メタクリル酸モノマーを成分とするアルカリ可溶性樹脂が報告されている。このような文献としては、特許文献１、特許文献２、特許文献３などがある。
【０００６】
しかし、分散法においても耐熱性の点においては問題がある。特に液晶カラー表示装置のカラーフィルタに用いられるレジスト剤は、ポストベークと透明導電膜の熱処理工程に晒されるため200℃以上の熱で着色しないことが求められるにもかかわらず、上記の公知の感光性樹脂は180℃、1時間程度の加熱で画素パターンの顔料凝集粒子（一般に顔料凝集粒子の粒子径は1〜10μmであった）が生じ易くなるという問題点を有している。
【０００７】
また分散法において画素パターンを形成可能なアルカリ現像感光性樹脂として、カルボキシル基含有不飽和モノマーとその他の共重合可能なモノマーを成分とするアルカリ可溶性樹脂も報告されている。このカルボキシル基含有不飽和モノマーとしては、例えば(メタ)アクリル酸モノマー、無水マレイン酸モノマー、 (メタ)アクリル酸モノマーと無水マレイン酸モノマーの併用等が挙げられる。このような文献としては特許文献４、特許文献５などがある。
【０００８】
しかし、上記公知の特許文献においては、（メタ）アクリル酸モノマーと無水マレイン酸モノマーとの特定含有量及び両者の比率、無水マレイン酸モノマーから誘導される構成単位の含有量／着色剤の含有量の比率及びその画素パターンの顔料凝集粒子の防止、耐熱性の向上などの作用効果が得られること等が全く示唆されていない。
【０００９】
また、分散法において画素パターンを形成可能なアルカリ現像感光性樹脂として、無水マレイン酸モノマー及び、無水マレイン酸モノマーと共重合可能な1種類以上のモノマーからなる共重合体に該共重合体の無水マレイン酸部がポリエチレングリコールモノメタクリレート等の化合物により、ハーフエステル化された不飽和基含有ポリカルボン酸樹脂をアルカリ可溶性樹脂とする報告もある。このような文献としては特許文献６、特許文献７などがある。
【００１０】
しかし上記公知の感光性樹脂組成物については、塗布、露光、現像処理を行った後にポストベークされた画素の耐熱性が悪く、顔料凝集粒子を生じやすいという問題があった。
【特許文献１】特公平6-95211号公報
【特許文献２】特開平8-183819号公報
【特許文献３】特開平9-311210号公報
【特許文献４】特開平4-122934号公報
【特許文献５】特開平10-260309号公報
【特許文献６】特開平6-228239号公報
【特許文献７】特開平9-15858号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は以上のような事情に鑑みてなされたものであり、その課題は塗布、露光、現像処理を行った後に未露光部の基板上および遮光層上に残渣を生じることがなく、現像後ポストベークされた画素が耐熱性、耐アルカリ性に優れており、顔料凝集粒子が生じないカラーフィルター用感光性樹脂組成物を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は課題の解決手段として、(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、(C)光重合開始剤、(D)溶剤及び(E)着色剤を含むカラーフィルター用感光性樹脂組成物であって、該(A)アルカリ可溶性樹脂が、無水マレイン酸モノマー(a-1)0.2〜30重量部とカルボキシル基含有不飽和モノマー(a-2)3〜40重量部と上記(a-1)、(a-2)以外の共重合可能な不飽和モノマー(a-3)30〜96.8重量部((a-1)と(a-2)と(a-3)の合計量100重量部)を重合して得られるアルカリ可溶性樹脂(A-1)0.1〜100重量部、無水マレイン酸モノマー(a’-1)0〜0.2重量部(0.2重量部を含まない)とカルボキシル基含有不飽和モノマー(a’-2)5〜50重量部と上記(a’-1)、(a’-2)以外の共重合可能な不飽和モノマー(a’-3)49.8〜95重量部((a’-1)と(a’-2)と(a’-3)の合計量100重量部)を重合して得られるアルカリ可溶性樹脂(A-2)99.9〜0重量部とからなり((A-1)と(A-2)の合計量100重量部)、且つ上記無水マレイン酸モノマー(a-1)と(a’-1)から誘導される構成単位の含有量／着色剤(E)の含有量の比率が0.001〜0.015であるカラーフィルター用感光性樹脂組成物を提供するものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
（Ａ）アルカリ可溶性樹脂
本発明におけるアルカリ可溶性樹脂(A)は、アルカリ可溶性樹脂(A-1)0.1〜100重量部及び必要に応じて配合されるアルカリ可溶性樹脂(Ａ-2)99.9〜0重量部からなる((A-1)と(A-2)の合計量100重量部)。前記アルカリ可溶性樹脂(A-1)は、無水マレイン酸モノマー(a-1)0.2〜30重量部、カルボキシル基含有不飽和モノマー(a-2)3〜40重量部、及び上記(a-1)、(a-2)以外の共重合可能な不飽和モノマー(a-3)30〜96.8重量部((a-1)と(a-2)と(a-3)の合計量100重量部)を重合して得られ、またアルカリ可溶性樹脂(A-2)は、無水マレイン酸モノマー(a’-1)0.2重量部以下(0.2重量部を含まない)、カルボキシル基含有不飽和モノマー(a’-2)5〜50重量部、及び上記(a’-1)、(a’-2)以外の共重合可能な不飽和モノマー(a’-3)49.8〜95重量部((a’-1)と(a’-2)と(a’-3)の合計量100重量部)を重合して得られる。
【００１４】
カルボキシル基含有不飽和モノマー（ａ-2）としては、例えばアクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、α−クロロアクリル酸、エチルアクリル酸及び桂皮酸などの不飽和モノカルボン酸類;フマル酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸及び無水シトラコン酸などの不飽和ジカルボン酸（無水物）類;3価以上の不飽和多価カルボン酸（無水物）類などが挙げられる。
【００１５】
これらのカルボキシル基含有不飽和モノマーのうち、アクリル酸、メタクリル酸等が好ましい。カルボキシル基含有不飽和モノマーは単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
【００１６】
カルボキシル基含有不飽和モノマー（ａ’-2）の例は、前述のカルボキシル基含有不飽和モノマー（ａ-2）と同様である。
【００１７】
(a-1)、(a-2)以外の共重合可能な不飽和モノマー(a-3)としては、芳香族官能基を含む共重合可能な不飽和モノマー（ａ-3-1）、若しくは芳香族官能基を含む共重合可能な不飽和モノマー（ａ-3-1）と芳香族官能基を含まない共重合可能な不飽和モノマー（ａ-3-2）とからなる混合物である。
【００１８】
芳香族官能基を含む共重合可能な不飽和モノマー（ａ-3-1）としては、例えばスチレン、α-メチルスチレン、ビニルトルエン、クロロエチレン、メトキシスチレンなどの芳香族ビニル基化合物；ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、フェニルアクリレート、フェニルメタクリレート等の不飽和カルボン酸エステル類；Ｎ-フェニルマレイミド、Ｎ-ｏ-ヒドロキシフェニルマレイミド、Ｎ-ｍ-ヒドロキシフェニルマレイミド、Ｎ-ｐ-ヒドロキシフェニルマレイミド、Ｎ-ｏ-メチルフェニルマレイミド、Ｎ-ｍ-メチルフェニルマレイミド、Ｎ-ｐ-メチルフェニルマレイミド、Ｎ-ｏ-メトキシフェニルマレイミド、Ｎ-ｍ-メトキシフェニルマレイミド、Ｎ-ｐ-メトキシフェニルマレイミド、Ｎ-シクロヘキシルマレイミドなどのマレイミド類が挙げられる。
【００１９】
芳香族官能基を含まない共重合可能な不飽和モノマー（ａ-3-2）としては、例えばメチルアクリレート、メチルメタクリレート、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、n-プロピルアクリレート、n-プロピルメタクリレート、イソプロピルアクリレート、イソプロピルメタクリレート、n-ブチルアクリレート、n-ブチルメタクリレート、イソブチルアクリレート、イソブチルメタクリレート、sec-ブチルアクリレート、sec-ブチルメタクリレート、ｔ-ブチルアクリレート、ｔ-ブチルメタクリレート、2-ヒドロキシエチルアクリレート、2-ヒドロキシエチルメタクリレート、2-ヒドロキシプロピルアクリレート、2-ヒドロキシプロピルメタクリレート、3-ヒドロキシプロピルアクリレート、3-ヒドロキシプロピルメタクリレート、2-ヒドロキシブチルアクリレート、2-ヒドロキシブチルメタクリレート、3-ヒドロキシブチルアクリレート、3-ヒドロキシブチルメタクリレート、4-ヒドロキシブチルアクリレート、4-ヒドロキシブチルメタクリレート、アリルアクリレート、アリルメタクリレート、メトキシトリエチレングリコールアクリレート、メトキシトリエチレングリコールメタクリレート、ドデシルメタクリレート、テトラデシルメタクリレート、ヘキサデシルメタクリレート、オクタデシルメタクリレート、エイコシルメタクリレート、ドコシルメタクリレート等の不飽和カルボン酸エステル類；2-アミノエチルアクリレート、2-アミノエチルメタクリレート、2-アミノプロピルアクリレート、2-アミノプロピルメタクリレート、3-アミノプロピルアクリレート、3-アミノプロピルメタクリレート等の不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類；グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレート等の不飽和カルボン酸グリシジルエステル類；酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、などのカルボン酸ビニルエステル類；ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、アリルグリシジルエーテル、メタリルグリシジルエーテル等の不飽和エーテル類；アクリロニトリル、メタクリロニトリル、α-クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデン等のシアン化ビニル化合物；アクリルアミド、メタクリルアミド、α-クロロアクリルアミド、N-ヒドロキシエチルアクリルアミド、N-ヒドロキシエチルメチルアクリルアミド等の不飽和アミド類；1,3-ブタジエン、イソプレン、クロロプレン等の脂肪族共役ジエン類などが挙げられる。
【００２０】
これらの共重合可能な不飽和モノマー(a-3)のうち、スチレン、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、N-フェニルマレイミド、メチルアクリレート、メチルメタクリレート、2-ヒドロキシエチルアクリレート、2-ヒドロキシエチルメタクリレート等が好ましい。共重合可能な不飽和モノマー(a-3)は単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
【００２１】
(a’-1)、(a’-2)以外の共重合可能な不飽和モノマー(a’-3) としては、芳香族官能基を含む共重合可能な不飽和モノマー（ａ’-3-1）と芳香族官能基を含まない共重合可能な不飽和モノマー（ａ’-3-2）とからなる混合物である。
【００２２】
芳香族官能基を含む共重合可能な不飽和モノマー（ａ’-3-1）と芳香族官能基を含まない共重合可能な不飽和モノマー（ａ’-3-2）の例は、前述の芳香族官能基を含む共重合可能な不飽和モノマー（ａ-3-1）と芳香族官能基を含まない共重合可能な不飽和モノマー（ａ-3-2）と同様である。
【００２３】
本発明におけるアルカリ可溶性樹脂(A)は、アルカリ可溶性樹脂(A-1)、及び必要に応じて配合されるアルカリ可溶性樹脂(A-2)からなる。かかるアルカリ可溶性樹脂(A)中で、アルカリ可溶性樹脂(A-1)の含有量は0.1〜100重量部、好ましくは0.1〜99.9重量部、更に好ましくは1〜90重量部、特に好ましくは2〜80重量部であり、アルカリ可溶性樹脂(A-2)の含有量は99.9〜0重量部、好ましくは99.9〜0.1重量部、更に好ましくは99〜10重量部、特に好ましくは98〜20重量部である((A-1)と(A-2)の合計量100重量部)。アルカリ可溶性樹脂(A-1)の含有量が0.1重量部未満であるか、またはアルカリ可溶性樹脂(A-2）の含有量が99.9重量部を超えると、カラーフィルター用感光性樹脂組成物は現像後ポストベークされた画素の耐熱性が悪くなって、顔料凝集粒子が生じやすくなる。
【００２４】
本発明におけるアルカリ可溶性樹脂（A-1）の重合において、各モノマーの含有量(モノマー(a-1)と(a-2)と(a-3)の合計量100重量部に対して)は次のとおりである。
【００２５】
無水マレイン酸モノマー（ａ-1）の含有量は0.2〜30重量部、好ましくは0.5〜25重量部、更に好ましくは1.0〜20重量部である。
【００２６】
カルボキシル基含有不飽和モノマー(a-2) の含有量は3〜40重量部、好ましくは5〜35重量部、更に好ましくは8〜30重量部である。
【００２７】
(a-1)、(a-2)以外の共重合可能な不飽和モノマー(a-3)の含有量は30〜96.8重量部、好ましくは40〜94.5重量部、更に好ましくは50〜91重量部である。
【００２８】
特に上記不飽和モノマー(a-3)に含まれる、芳香族官能基を含む共重合可能な不飽和モノマー（ａ-3-1）の含有量は、好ましくは45重量部以上、更に好ましくは55重量部以上、特に好ましくは70重量部以上である。
【００２９】
本発明のアルカリ可溶性樹脂（A-1）の共重合用モノマーにおいて、無水マレイン酸モノマー（ａ-1）の含有量が0.2重量部未満であると、現像後ポストベークされた画素の耐熱性が悪くなって顔料凝集粒子が生じやすくなる。一方その含有量が30重量部を超えると、塗布、露光、現像処理を行った後に未露光部の基板上および遮光層上に残渣が生じやすくなって、現像後ポストベークされた画素のアルカリ性が悪くなる。
【００３０】
本発明のアルカリ可溶性樹脂（A-1）の共重合用モノマーにおいて、カルボキシル基含有の不飽和モノマー(ａ-2)の含有量が3重量部未満であると、塗布、露光、現像処理を行った後に未露光部の基板上および遮光層上に残渣が生じやすくなる。一方その含有量が40重量部を越えると、現像後ポストベークされた画素の耐アルカリ性が悪くなる。
【００３１】
本発明のアルカリ可溶性樹脂（A-1）の共重合用モノマーにおいて、(a-1)、(a-2)以外の共重合可能な不飽和モノマー(a-3) の含有量が30〜96.8重量部であると、塗布、露光、現像処理を行った後に未露光部の基板上および遮光層上に残渣が生じることは少なく、現像後ポストベークされた画素の耐熱性が良好である。
【００３２】
本発明のアルカリ可溶性樹脂（A-1）の共重合用モノマーにおいて、芳香族官能基を含む共重合可能な不飽和モノマー（ａ-3-1）の含有量が45重量部を超えると、現像後ポストベークされた画素の耐熱性、耐アルカリ性が良好である。
【００３３】
本発明のアルカリ可溶性樹脂（A-1）の共重合用モノマーにおいて、モノマー(ａ-1)とモノマー(ａ-2)との含有量の比率は0.01〜3.0、好ましくは0.03〜2.8、更に好ましくは0.05〜2.5である。その比率が0.01〜3.0であると、塗布、露光、現像処理を行った後に未露光部の基板上および遮光層上に残渣が生じることは少なく、現像後ポストベークされた画素の耐熱性、耐アルカリ性が優れており、顔料凝集粒子は生じにくくなる。
【００３４】
本発明のアルカリ可溶性樹脂(A-1)は単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。その例としては、例えば無水マレイン酸モノマー／アクリル酸モノマー／ベンジルメタクリレートモノマーからなる共重合物（モノマーの比率は5／15／80）と、無水マレイン酸モノマー／メタクリル酸モノマー／ベンジルメタクリレートモノマーからなる共重合体（モノマーの比率は10／15／75）の併用が挙げられる。
【００３５】
本発明におけるアルカリ可溶性樹脂（A-2）の重合において、各モノマーの含有量(モノマー(a’-1)と(a’-2)と(a’-3)の合計量100重量部に対して)は次のとおりである。
【００３６】
無水マレイン酸モノマー（ａ’-1）の含有量は0.2重量部未満、好ましくは0〜0.15重量部、更に好ましくは0〜0.1重量部である。
【００３７】
カルボキシル基含有不飽和モノマー(a’-2) の含有量は5〜50重量部、好ましくは8〜45重量部、更に好ましくは10〜40重量部である。
【００３８】
(a’-1)、(a’-2)以外の共重合可能な不飽和モノマー(a’-3)の含有量は49.8〜95重量部、好ましくは54.85〜92重量部、更に好ましくは59.9〜90重量部である。
特に上記アルカリ可溶性樹脂（A-2）は、無水マレイン酸モノマー（ａ’-1）を配合せずに、カルボキシル基含有不飽和モノマー(a’-2) 5〜50重量部、(a’-1)、(a’-2)以外の共重合可能な不飽和モノマー(a’-3)50〜95重量部とを重合して形成することもできる。
【００３９】
特に上記不飽和モノマー(a-3)に含まれる、芳香族官能基を含む共重合可能な不飽和モノマー（ａ’-3-1）の含有量は、好ましくは45重量部以上、更に好ましくは55重量部以上、特に好ましくは70重量部以上である。
【００４０】
本発明のアルカリ可溶性樹脂（A-2）の共重合用モノマーにおいて、無水マレイン酸モノマー（ａ’-1）の含有量が0.2重量部未満（0.2重量部を含まない）であると、塗布、露光、現像処理を行った後に未露光部の基板上および遮光層上に残渣が生じにくくなる。
【００４１】
本発明のアルカリ可溶性樹脂（A-2）の共重合用モノマーにおいて、カルボキシル基含有の不飽和モノマー(ａ’-2)の含有量が5重量部未満であると、塗布、露光、現像処理を行った後に未露光部の基板上および遮光層上に残渣が生じやすくなる。一方その含有量が50重量部を越えると、現像後ポストベークされた画素の耐アルカリ性が悪くなる。
【００４２】
本発明のアルカリ可溶性樹脂（A-2）の共重合用モノマーにおいて、(a’-1)、(a’-2)以外の共重合可能な不飽和モノマー(a’-3) の含有量が49.8〜95重量部であると、塗布、露光、現像処理を行った後に未露光部の基板上および遮光層上に残渣が生じることは少なく、現像後ポストベークされた画素の耐熱性が良好である。
【００４３】
本発明のアルカリ可溶性樹脂（A-2）の共重合用モノマーにおいて、芳香族官能基を含む共重合可能な不飽和モノマー（ａ’-3-1）の含有量が45重量部を超えると、現像後ポストベークされた画素の耐熱性、耐アルカリ性が良好である。
【００４４】
アルカリ可溶性樹脂(A-1)及び(A-2)の製造に使用される溶剤としては、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノn-プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノn-ブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノn-プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノーn-ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノエチルエーテル等の（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテル類；エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類；ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフラン等の他のエーテル類；メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2-へプタノン、3-へプタノン等のケトン類；2−ヒドロキシプロピオン酸メチル、2−ヒドロキシプロピオン酸エチル等の乳酸アルキルエステル類；2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、2−ヒドロキシ−3−メチル酪酸メチル、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルプロピオネート、酢酸エチル、酢酸ｎ−プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、酢酸ｎ−ペンチル、酢酸イソアミル、プロピオン酸ｎ−ブチル、酪酸エチル、酪酸ｎ−プロピル、酪酸イソプロピル、酪酸ｎ−ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸ｎ−プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソ酪酸エチル等の他のエステル類；トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類；Ｎ−メチルピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド等のカルボン酸アミド類等が挙げられる。これらの溶剤は単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。これらの溶剤のうちプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3-エトキシプロピオン酸エチル等が好ましい。
【００４５】
アルカリ可溶性樹脂(A-1)及び(A-2)の製造に使用される重合開始剤は一般的なラジカル重合開始剤であり、2,2'−アゾビスイソブチロニトリル、2,2'−アゾビス−（2,4−ジメチルバレロニトリル）、2,2'−アゾビス−（4−メトキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル）、2,2'−アゾビス−2−メチルブチロニトリル等のアゾ系化合物；ベンゾイルパーオキサイド等の過酸化物が挙げられる。
【００４６】
(B)エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物
本発明におけるエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物（B）の含有量は、アルカリ可溶性樹脂100重量部（A）に対して好ましくは5〜220重量部、更に好ましくは50〜160重量部である。
【００４７】
本発明におけるエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物（B）は、重合可能なエチレン性不飽和結合を１個以上有するモノマーからなる。
【００４８】
エチレン性不飽和基を1個有するエチレン性不飽和化合物として、例えばアクリルアミド、（メタ）アクリロイルモルホリン、7-アミノ-3,7-ジメチルオクチル（メタ）アクリレート、イソブトキシメチル（メタ）アクリルアミド、イソボルニルオキシエチル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、2-エチルヘキシル（メタ）アクリレート、エチルジエチレングリコール（メタ）アクリレート、ｔ-オクチル（メタ）アクリルアミド、ジアセトン（メタ）アクリルアミド、ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ドデシル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、N,N-ジメチル（メタ）アクリルアミド、テトラクロロフェニル（メタ）アクリレート、2ーテトラクロロフェノキシエチル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、テトラブロモフェニル（メタ）アクリレート、2-テトラブロモフェノキシエチル（メタ）アクリレート、2-トリクロロフェノキシエチル（メタ）アクリレート、トリブロモフェニル（メタ）アクリレート、2-トリブロモフェノキシエチル（メタ）アクリレート、2-ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、2-ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、ビニルカプロラクタム、N-ビニルピロリドン、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、ペンタクロロフェニル（メタ）アクリレート、ペンタブロモフェニル（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ボルニル（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【００４９】
エチレン性不飽和基を2個以上有するエチレン性不飽和化合物としては、例えばエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニルジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリス（2-ヒドロキシエチル）イソシアヌレートジ（メタ）アクリレート、トリス（2-ヒドロキシエチル）イソシアヌレートトリ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性トリス（2-ヒドロキシエチル）イソシアヌレートトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、エチレンオキシド（以下、「EO」と略記する。）変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、プロピレンオキシド（以下、「PO」と略記する。）変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、1,4-ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、1,6ーヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ポリエステルジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、カプロラクロン変性ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、EO変性ビスフェノールAジ（メタ）アクリレート、PO変性ビスフェノールAジ（メタ）アクリレート、EO変性水添ビスフェノールAジ（メタ）アクリレート、PO変性水添ビスフェノールAジ（メタ）アクリレート、PO変性グリセロールトリ（メタ）アクリレート、EO変性ビスフェノールFジ（メタ）アクリレート、フェノールノボラックポリグリシジルエーテルの（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【００５０】
エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物のうち、特に好ましいものとしては、トリメチロールプロパントリアクリレート、EO変性トリメチロールプロパントリアクリレート、PO変性トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、カプロラクロン変性ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、PO変性グリセロールトリアクリレートが挙げられる。
【００５１】
(C)光重合開始剤
本発明における光重合開始剤(C)の含有量は、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物(B)100重量部に対して好ましくは20〜120重量部、更に好ましくは30〜100重量部である。
【００５２】
光重合開始剤(C)としては、アセトフェノン系化合物とビイミダゾール系化合物が挙げられる。
【００５３】
アセトフェノン系化合物としては例えばp−ジメチルアミノアセトフェノン、α, α'−ジメトキシアゾキシアセトフェノン、2,2'−ジメチル−2−フェニルアセトフェノン、p−メトキシアセトフェノン、2−メチル−(4−メチルチオフェノール) −2−モルホリノ−1−プロパノン、2−ベンジル−2−N,N−ジメチルアミノ−1−（4−モルホリノフェニル）−1−ブタノンが挙げられる。
【００５４】
ビイミダゾール系化合物としては、例えば2-（o−クロロフェニル）−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−（o−フルオロフェニル）−4,5,−ジフェニルイミダゾール二量体、2−（o−メチルフェニル）−4,5,−ジフェニルイミダゾール二量体、2−（o−メトキシフェニル）−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−（p−メトキシフェニル）−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−（2,4−ジメトキシフェニル）−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−（2−クロロフェニル）−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−（2,4−ジクロロフェニル）−4, 5−ジフェニルイミダゾール二量体等が挙げられる。
【００５５】
これらの中で2−ベンジル−2−N,N−ジメチルアミノ−1−（4−モルホリノフェニル）−1−ブタノン、2−（2−クロロフェニル）−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体を併用した光重合開始剤が好ましい。
【００５６】
本発明の感光性樹脂組成物は、更にベンゾフェノン系化合物の光重合開始剤を添加してもよく、かかるベンゾフェノン系化合物の光重合開始剤としては、チオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、チオキサントン−4−スルホン、ベンゾフェノン、4,4'−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、4,4'−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンなどが挙げられる。
【００５７】
その他にベンジル、アセチル等のα−ジケトン類；ベンゾインなどのアシロイン類；ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル等のアシロインエーテル類；2,4,6−トリメチル-ベンゾイルジフェニルホスフィン酸化物、ビス−（2,6−ジメトキシベンゾイル）−2,4,4−トリメチルベンジルホスフィン酸化物等のアシルホスフィン酸化物類；アントラキノン、1,4−ナフトキノン等のキノン類；塩化フェナシル、トリブロムメチルフェニルスルホン、トリス（トリクロロメチル）−s−トリアジン等のハロゲン化合物；ジ−t−ブチルパーオキシド等の過酸化物が挙げられる。
【００５８】
これらの中ではベンゾフェノン系化合物が好ましく、特に4,4'−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンが最も好ましい。
【００５９】
(D)溶剤
本発明の感光性組成物は前記アルカリ可溶性樹脂（A）、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物（B）および光重合開始剤（C）を含み、必要に応じて後記添加剤成分を配合するが、通常着色剤(E)以外の各成分を適当な溶剤(D)に溶解した液状組成物として調製される。
【００６０】
溶剤(D)としてはアルカリ可溶性樹脂（A）、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物（B）および光重合開始剤（C）を溶解し、かつこれらの成分と事実上反応せず適度の揮発性を有するものである限り、適宜選択して使用することができる。
【００６１】
本発明における溶剤(D)の含有量は、アルカリ可溶性樹脂(A)100重量部に対して好ましくは300〜2,500重量部、更に好ましくは500〜2,000重量部である。この溶剤(D)の例は、前述のアルカリ可溶性樹脂(A)の重合の場合に述べた溶剤と同様である。
【００６２】
アルカリ可溶性樹脂(A)100重量部に対して、本発明の溶剤(D)の好ましい使用量は300〜2500重量部であって、更に好ましいのは500〜2000重量部である。
【００６３】
これらの溶剤のうちプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、3-エトキシプロピオン酸エチル等が好ましい。前記溶剤は単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
【００６４】
(E) 着色剤
本発明における着色剤（E）の含有量は、アルカリ可溶性樹脂(A)100重量部に対して好ましくは20〜500重量部、更に好ましくは50〜400重量部である。
【００６５】
本発明の着色剤(E)は、従来公知の種々の無機顔料または有機顔料を用いることができる。無機顔料としては金属酸化物、金属錯塩などで示される金属化合物であり、具体的には鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモンなどの金属酸化物、及び上記金属の複合酸化物が挙げられる。
【００６６】
有機顔料としては、以下のものが挙げられる。
C.I. Pigment Yellow 1, 3, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 20, 24, 31, 53, 55, 60, 61, 65, 71, 73, 74, 81, 83, 93, 95, 97, 98, 99, 100, 101, 104, 106, 108, 109, 110, 113, 114, 116, 117, 119, 120, 126, 127, 128, 129, 138, 139, 150, 151, 152, 153, 154, 155, 156, 166, 167, 168, 175。
【００６７】
C.I. Pigment Orange 1, 5, 13, 14, 16, 17, 24, 34, 36, 38, 40, 43, 46, 49, 51, 61, 63, 64, 71, 73。
【００６８】
C.I. Pigment Red 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 14, 15, 16, 17, 18, 19, 21, 22, 23, 30, 31, 32, 37, 38, 40, 41, 42, 48:1, 48:2, 48:3, 48:4, 49:1, 49:2, 50:1, 52:1, 53:1, 57, 57:1, 57:2, 58:2, 58:4, 60:1, 63:1, 63:2, 64:1, 81:1, 83, 88, 90:1, 97, 101, 102, 104, 105, 106, 108, 112, 113, 114, 122, 123, 144, 146, 149, 150, 151, 155 ,166, 168, 170, 171, 172, 174, 175, 176, 177, 178, 179, 180, 185, 187, 188, 190, 193, 194, 202, 206, 207, 208, 209, 215, 216, 220, 224, 226, 242, 243, 245, 254, 255, 264, 265。
【００６９】
C.I. Pigment Violet 1, 19, 23, 29, 32, 36, 38, 39。
【００７０】
C.I. Pigment Blue1, 2, 15, 15:3, 15:4, 15:6, 16, 22, 60, 66。
【００７１】
C.I. Pigment Green 7, 36, 37。
【００７２】
C.I. Pigment Palm23, 25, 28。
【００７３】
C.I. Pigment Black 1, 7。
【００７４】
着色剤(E)は単独で、または2種以上を混合して使用することができる。
【００７５】
本発明の感光性樹脂組成物において、有機顔料の平均粒径は、好ましくは0.03〜0.5μｍ、更に好ましくは0.04〜0.4μｍ、特に好ましくは0.05〜0.3μｍである。
【００７６】
本発明の感光性樹脂組成物においては、「（無水マレイン酸モノマー(a-1)と(a’-1)から誘導される構成単位の含有量）／（着色剤(E)の含有量）」の比率が0.001〜0.015、好ましくは0.002〜0.012、更に好ましくは0.003〜0.010である。
【００７７】
この比率が0.001未満であると、現像後ポストベークされた画素の耐熱性が悪くなって顔料凝集粒子が生じやすくなる。一方この比率が0.015を超えると、塗布、露光、現像処理を行った後に未露光部の基板上および遮光層上に残渣が生じやすくなって、現像後ポストベークされた画素の耐アルカリ性が悪くなる。
【００７８】
本発明における着色剤(E)は、所望により分散剤とともに使用することができる。このような分散剤としては、例えばカチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性、シリコーン系、フッ素系等の界面活性剤を挙げることができる。
【００７９】
前記界面活性剤としては、例えばポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルエーテル類；ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類；ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート等のポリエチレングリコールジエステル類；ソルビタン脂肪酸エステル類；脂肪酸変性ポリエステル類；3級アミン変性ポリウレタン類；ポリエチレンイミン類のほか、以下商品名で、ＫＰ（信越化学工業製）、SF−8427（東レ・ダウコーニング・シリコーン社）、ポリフロー（共栄社油脂化学工業製）、エフトップ（トーケムプロダクツ製）、メガファック（大日本インキ化学工業製）、フロラード（住友スリーエム製）、アサヒガード、サーフロン（旭硝子製）等を挙げることができる。これらの界面活性剤は単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
【００８０】
本発明の感光性樹脂組成物においては、その塗布性能を高めるために界面活性剤を使用することができる。界面活性剤の配合量はアルカリ可溶性樹脂(A)100重量部に対して好ましくは0〜6重量部、より好ましくは0〜3重量部である。その界面活性剤の例は、前述の着色剤の項に述べた界面活性剤と同様である。
【００８１】
本発明の感光性樹脂組成物は必要に応じて各種添加物、例えば充填剤、アルカリ可溶性樹脂(A)以外の高分子化合物、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤などを配合することができる。本発明におけるこれらの添加剤の配合量はアルカリ可溶性樹脂(A)100重量部に対して0〜10重量部、好ましくは0〜6重量部、更に好ましくは0〜3重量部である。
【００８２】
添加物の具体例としては、ガラス、アルミナなどの充填剤；ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレートなどのカルボキシル基含有アルカリ可溶性樹脂(A)以外の高分子化合物；ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2-メトキシエトキシ)シラン、N-(2-アミノエチル)-3-アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N-(2-アミノエチル)-3-アミノプロピルトリメトキシシラン、3-アミノプロピルトリエトキシシラン、3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3-グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2-(3,4-エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3-クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3-クロロプロピルトリメトキシシラン、3-メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3-メルカプトプロピルトリメトキシシランなどの密着促進剤；2,2-チオビス(4-メチル-6-t-ブチルフェノール)、2,6-ジ-t-ブチルフェノールなどの酸化防止剤；2-(3-ｔ-ブチル-5-メチル-2-ヒドロキシフェニル)-5-クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノンなどの紫外線吸収剤；ポリアクリル酸ナトリウムなどの凝集防止剤などを挙げることができる。
【００８３】
本発明の感光性樹脂組成物は、上記成分(A)〜(E)、さらに必要に応じて用いられるその他の界面活性剤、密着促進剤などの添加剤を溶剤(D)と混合し、各種の混合機、分散機を使用して混合分散することによって調製することができる。
【００８４】
本発明の感光性樹脂組成物を基板に回転塗布法、流延塗布法或いはロールー塗布法などの塗布法を用いて塗布し、プレベークにより溶剤を除去することによって感光性樹脂組成物の塗膜が形成される。
【００８５】
基板としては例えば液晶ディスプレイなどに用いられる無アルカリ性ガラス、ソーダガラス、パイレックス（登録商標）ガラス、石英ガラス及びこれらに透明導電膜を付着させたものや、固体撮像素子などに用いられる光電変換素子基板、例えばシリコン基板等などが挙げられる。これらの基板には一般的に各画素を隔離するブラックマトリックスが形成されている。
【００８６】
プレベークの条件は各成分の種類、配合割合によっても異なるが、通常70℃〜90℃で１分〜15分間程度である。プレベークした後、感光性樹脂組成物の塗膜に所定のパターンマスクを介して露光し、例えば23±2℃の現像液で通常30秒〜５分現像することによって不要な部分を除去して所定パターンを形成する。この際に使われる光線としてはｇ線、ｈ線、ｉ線などの紫外線が好ましい。紫外線照射装置としては高圧水銀ランプ、メタルハライドランプを用いることができる。
【００８７】
現像液としては例えば水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素カリウム、珪酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８-ジアザビシクロ-〔５，４，０〕-７-ウンデセン等のアルカリ性化合物を濃度が0.001〜10質量%、好ましくは0.01〜1質量%となるように溶解させたアルカリ性水溶液が使用される。
【００８８】
なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、一般に現像後に水で洗浄し、更に圧縮空気や圧縮窒素で風乾させることによってパターンが形成される。
【００８９】
その後このパターンをホットプレート、オーブンなどの加熱装置により、所定温度、例えば150℃〜250℃で、所定時間、例えばホットプレート上なら5分〜60分間、オーブン中では30〜90分間加熱処理（ポストベーク）をすることにより、目的とする画素パターンを得ることができる。
【００９０】
各色（主に赤、緑、青の三色）についてこの工程を繰り返すことで、カラーフィルターを調製することができる。そしてこの上に220〜250℃程度の真空下で酸化インジウムスズ（ITO）蒸着膜を施し、必要に応じてITO膜をエッチング・配線形成した後、液晶配向膜用ポリイミドワニスを塗布して焼成することで、液晶ディスプレイ用カラーフィルターとして供される。
【実施例】
【００９１】
以下、実施例及び比較例を挙げて本発明の実施の形態をさらに具体的に説明する。但し本発明はこれらの実施例に何ら制約されるものではない。
【００９２】
＜アルカリ可溶性樹脂(A-1)の合成例＞
「合成例A-1-1」
窒素ガス雰囲気の下で、窒素ガス導入口、攪拌器、加熱器、冷却管および温度計を備えた1000mlの4ツ口フラスコに、無水マレイン酸モノマー（以下ではMAnと称す）1重量部、メタクリル酸モノマー（以下ではMAAと称す）14重量部、ベンジルメタクリレートモノマー(以下ではBzMAと称す)75重量部、メチルアクリレート(以下ではMAと称す)10重量部、及び溶剤である3-エトキシプロピオン酸エチル（以下ではEEPと称する）200重量部をフィードした。各モノマーのフィード方式は一括添加とした。
【００９３】
この4ツ口フラスコの内容物が攪拌されている状態でオイルバスの温度を100℃まで上げて、しかる後に重合開始剤である2,2’―アゾビス-2-メチルブチロニトリル(以下ではAMBNと称す)4重量部を溶剤EEPに溶かし、該溶液の5等分の量を一時間ごとに4ツ口フラスコ内に分括添加した。
【００９４】
溶液の温度を100℃に保持し、この温度を6時間保持し、重合完了後に4ツ口フラスコから重合体の溶液を取出し、溶剤を揮発してアルカリ可溶性樹脂Ａ-1-1を得た。
【００９５】
「合成例A-1-2〜A-1-8」
モノマーの種類及び量を変えた以外は、合成例A-1-1と同様な操作方法により樹脂A-1-2〜A-1-8を得た。使用したモノマーの種類ならびに配合割合及び反応条件を表1に示す。
【００９６】
「合成例A-1-9」
窒素ガス雰囲気の下で、窒素ガス導入口、攪拌器、加熱器、冷却管および温度計を備えた1000mlの4ツ口フラスコに、スチレン−無水マレイン酸共重合物（共重合比1：1、分子量10000）500重量部をエチルセロソルブアセテート1300重量部に常温で溶解した後、トリエチルアミン10重量部、ハイドロキノンモノメチルエーテル2重量部、日本油脂株式会社製ポリエチレングリコールモノメタクリレート（商品名 ブレンマー PE−350）109重量部を常温で加え、90〜95℃で3時間反応させた。
【００９７】
上記反応液を80℃に冷却したのち、ヒドロキシエチルアクリレートを250重量部加え、再度90〜95℃で3時間反応させた後に、4ツ口フラスコから重合体の溶液を取出し、溶剤を揮発してアルカリ可溶性樹脂A-1-9を得た。
【００９８】
「合成例A-1-10」
窒素ガス雰囲気の下で、窒素ガス導入口、攪拌器、加熱器、冷却管および温度計を備えた1000mlの4ツ口フラスコに、MAn 50重量部、スチレンモノマー（以下ではSMと称す）50重量部、溶剤であるメチルイソブチルケトン(以下はMIBKと称す)200重量部及び重合開始剤であるジクミルパーオキサイド(以下ではDCPと称す)2重量部をフィードした。各モノマーのフィード方式は一括添加とした。
【００９９】
溶液の温度を130℃に保持し、この温度を4時間保持し、重合完了後に4ツ口フラスコから重合体の溶液を取出し、溶剤を揮発してアルカリ可溶性樹脂A-1-10を得た。
【表１】
2005148720.tif 000002
Man    無水マレイン酸
AA     アクリル酸
MAA    メタクリル酸
BzMA   ベンジルメタクリレート
SM     スチレン
HEMA   2-ヒドロキシエチルメタクリレート
MA     メチルアクリレート
AMBN   2,2’-アゾビス-2-メチルブチロニトリル
EEP    3-エトキシプロピオン酸エチル
【０１００】
＜アルカリ可溶性樹脂(A-2)の合成例＞
「合成例A-2-1」
窒素ガス雰囲気の下で、窒素ガス導入口、攪拌器、加熱器、冷却管および温度計を備えた1000mlの4ツ口フラスコに、アクリル酸モノマー(以下ではAAと称す)5重量部、MAA 15重量部、SM 60重量部、MA 10重量部、及び溶剤であるEEP 200重量部をフィードした。各モノマーのフィード方式は一括添加とした。
【０１０１】
この4ツ口フラスコの内容物が攪拌されている状態でオイルバスの温度を100℃まで上げて、しかる後に重合開始剤であるAMBN 4重量部を溶剤EEPに溶かし、該溶液の5等分の量を一時間ごとに4ツ口フラスコ内に分括添加した。
【０１０２】
溶液の温度を100℃に保持し、この温度を6時間保持し、重合完了後に4ツ口フラスコから重合体の溶液を取出し、溶剤を揮発してアルカリ可溶性樹脂A-2-1を得た。
【０１０３】
「合成例A-2-2〜A-2-4」
モノマーの種類及び量を変えた以外は、合成例A-2-1と同様な操作方法により樹脂A-2-2〜A-2-4を得た。使用したモノマーの種類ならびに配合割合及び反応条件を表2に示す。
【表２】
2005148720.tif 000003
MAn   無水マレイン酸
AA    アクリル酸
MAA   メタクリル酸
BzMA  ベンジルメタクリレート
SM    スチレン
MA    メチルアクリレート
AMBN  2,2’-アゾビス-2-メチルブチロニトリル
EEP   3-エトキシプロピオン酸エチル
【０１０４】
＜感光性樹脂組成物の実施例及び比較例＞
「実施例1」
(A)合成例で得られたアルカリ可溶性樹脂（A-1-1）100重量部（固形分）、(B) エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、(C)光重合開始剤、(D)溶剤、(E)着色剤として、表3に示す各成分(数値は重量部)を振動かき混ぜ機で溶解、混合させた後、感光性樹脂組成物を調製した。得られた感光性樹脂組成物を用い、下記の各測定項目の評価を行った。結果を表3に示す。
【０１０５】
＜測定項目＞
【０１０６】
「無水マレイン酸モノマー(a-1)と(a’-1)から誘導される構成単位の含有量」
この含有量は下記の計算方法で求めた。下記の計算で求めた含有量の単位は重量％である。
（無水マレイン酸モノマー(a-1)と(a’-1)から誘導される構成単位／アルカリ可溶性樹脂(A)の含有量）×100重量%。
そのうち、無水マレイン酸モノマー(a-1)と(a’-1)から誘導される構成単位については、アルカリ可溶性樹脂(A-1)及び(A-2)の重合反応中の原料仕込み量、各モノマーの転化率及び回収した揮発性成分に基づき算出する。
【０１０７】
「着色剤(E)の含有量」
この含有量は下記の計算式より求めた。下記の計算で求めた含有量の単位は重量％である。
（着色剤の使用量／アルカリ可溶性樹脂(A)の含有量）×100重量%
【０１０８】
「無水マレイン酸モノマー(a-1)と(a’-1)から誘導される構成単位の含有量／着色剤(E)の含有量の比率」
この比値は、下記の計算式より求めた。
無水マレイン酸モノマー(a-1)と(a’-1)から誘導される構成単位の含有量／着色剤(E)含有量
【０１０９】
「耐熱性」
感光性樹脂組成物を用い、回転塗布により10cm×10cmのガラス基板に8μmの厚みの塗膜を塗布し、且つ85℃で5分間プレベーキングした後、感光性樹脂組成物の塗膜を得た。そしてこの感光性樹脂組成物の塗膜に、紫外線（露光機Canon PLA-501F）200mJ／cm2を照射して、23℃の現像液に2分間浸漬した後、純水でリンスした。更に200℃で40分間ポストベークしてガラス基板上の感光性樹脂層を得た。
【０１１０】
この感光性樹脂層について、ミクロアナライザー（東京電色（株）製「TC−1800M」）を用いて400〜700nmの波長における透過率を測定した後、クリーンオーブンにて250℃60分の追加ベークを実施した。追加ベーク後、再度透過率を測定して追加ベーク前後の透過率の変化率を計算した。結果を次の基準によって評価した。
○：5%未満。
△：5〜10%。
×：10%を超える。
【０１１１】
「耐アルカリ性」
耐熱性測定と同様に形成した感光性樹脂層について、ミクロアナライザー（東京電色（株）製「TC−1800M」）を用いて400〜700nmの波長における透過率を測定した後、2%水酸化ナトリウム水溶液中に10分の浸漬を実施した。追加浸漬後、再度透過率を測定して追加浸漬前後の透過率の変化率を計算した。結果を次の基準によって評価した。
○：5%未満。
△：5〜10%。
×：10%を超える。
【０１１２】
「顔料凝集粒子」
耐熱性測定と同様に形成した感光性樹脂層について、顕微鏡にて顔料凝集粒子の有無を観察し以下の基準で評価した（一般の顔料凝集粒子の粒子径は1〜10μmである）。
○：顔料凝集粒子が無い。
△：顔料凝集粒子が少しある。
×：顔料凝集粒子が多い。
【０１１３】
「残渣」
この感光性樹脂組成物を用い、回転塗布により10cm×10cmのガラス基板に8μmの厚みの塗膜を塗布し、且つ85℃で5分間プレベーキングした後、感光性樹脂組成物の塗膜を得た。
そしてこの感光性樹脂組成物塗膜に、所定のパターンマスクを介して紫外線（露光機Canon PLA-501F）300mJ／cm2を照射して、23℃の現像液に2分間浸漬した後、純水でリンスした。
これらの操作により不要な部分は除去され、更に200℃で40分間ポストベークしてガラス基板上の画素パターンを得た。この画素パターンを電子顕微鏡で観察し、表面の残渣の有無を観察し以下の基準で評価した。
○：無残渣である。
△：少々残渣がある。
×：残渣が多数ある。
【０１１４】
「実施例2〜4」
アルカリ可溶性樹脂(A)の種類及び含有量を変えた以外は、実施例1と同様な操作方法により感光性樹脂組成物を得た。使用した成分の種類ならびに配合割合及び評価結果を表3に示す。
【０１１５】
「実施例5〜7」
アルカリ可溶性樹脂(A)や着色剤(E)の種類及び含有量を変えた以外は、実施例1と同様な操作方法により感光性樹脂組成物を得た。使用した成分の種類ならびに配合割合及び評価結果を表3に示す。
【０１１６】
「比較例1〜9」
アルカリ可溶性樹脂(A)の種類及び含有量を変えた以外は、実施例1と同様な操作方法により感光性樹脂組成物を得た。使用した成分の種類ならびに配合割合及び評価結果を表3に示す。
【０１１７】
「比較例10」
アルカリ可溶性樹脂(A)や着色剤(E)の含有量を変えた以外は、実施例1と同様な操作方法により感光性樹脂組成物を得た。使用した成分の種類ならびに配合割合及び評価結果を表3に示す。
【表３】
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B-1    ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
C-1    2-ベンジル-2-N,N-ジメチルアミノ-1-(4-モルホリノフェニル)-1-ブタノン
C-2    4,4’- ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン
C-3    2,-(2-クロロフェニル)-4,5-テトラフェニルビイミダゾール二量体
D-1    3-エトキシプロピオン酸エチル
D-2    プロピレングリコールメチルエーテルアセテート
E-1    顔料 CI254
E-2    顔料 G36
E-3    顔料 B15:6