(57)【要約】 【課題】  搬送ローラの損傷を容易に抑えることが可能なサンドブラスト装置を提供する。【解決手段】  サンドブラスト装置１００に、基板６００を搬送する搬送ローラ１５３と、切削材を噴射するとともに基板６００の搬送方向と略直交する方向に往復移動するガン１６１，１６２と、を備える。ガン１６１の往復移動の折返し部Ｒ１１，Ｒ１２、ガン１６２の往復移動の折返し部Ｒ１３，Ｒ１４を、搬送ローラ１５３の外縁よりも外側に位置するように設定する。このため、例えば折返し部Ｒ１１，Ｒ１４の下方に搬送ローラ１５３が存在しないため、例えば折返し部Ｒ１１，Ｒ１４近傍において移動速度が遅くなったガン１６１，１６２により搬送ローラ１５３が切削されることがなく、搬送ローラ１５３の損傷を容易に抑えることができる。【選択図】  図２
2005186204.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に形成された積層体または基板自体をサンドブラスト加工により所定の形状に加工するサンドブラスト装置において、
前記基板を搬送する搬送手段と、
前記サンドブラスト加工で用いる切削材を噴射するとともに前記基板上で前記基板の搬送方向に対して交差する方向に往復移動可能なガンと、を備え、
前記ガンの前記往復移動の折返し部は、前記搬送手段の外縁よりも外側に設定された
ことを特徴とするサンドブラスト装置。
【請求項２】
請求項１に記載のサンドブラスト装置において、
前記サンドブラスト加工を実施するサンドブラスト空間を略区画形成する筐体と、
前記搬送手段を駆動するための動力を発生する駆動手段と、を備え、
前記搬送手段および前記ガンは、前記サンドブラスト空間内に設けられ、
前記駆動手段は、前記筐体の外部に設けられた
ことを特徴とするサンドブラスト装置。
【請求項３】
請求項２に記載のサンドブラスト装置において、
前記搬送手段に前記動力を伝達する駆動力伝達手段と、
前記ガンの前記往復移動の経路および前記駆動力伝達手段の間に設けられ前記切削材の噴射から前記駆動力伝達手段を保護する駆動力伝達手段保護部と、を備えた
ことを特徴とするサンドブラスト装置。
【請求項４】
請求項３に記載のサンドブラスト装置において、
前記駆動力伝達手段保護部は、前記基板上の前記積層体における所定の部分を前記切削材の噴射から保護するパターン保護部を備えた
ことを特徴とするサンドブラスト装置。
【請求項５】
請求項３または請求項４に記載のサンドブラスト装置において、
前記ガンの前記往復移動の折返し部は、前記駆動力伝達手段保護部の外縁よりも外側に設定された
ことを特徴とするサンドブラスト装置。
【請求項６】
基板上に形成された積層体または基板自体をサンドブラスト加工により所定の形状に加工してプラズマディスプレイパネルを製造する方法であって、
前記基板を搬送手段で搬送し、切削材をガンから前記基板に噴射するとともに、このガンを前記基板上で前記基板の搬送方向に対して交差する方向に往復移動させてサンドブラスト加工をし、前記ガンの前記往復移動の折返し部を前記搬送手段の外縁よりも外側に設定した
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板上に形成された積層体または基板自体をサンドブラスト加工により所定の形状に加工するサンドブラスト装置、および、プラズマディスプレイパネルの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、プラズマディスプレイパネルの背面板となる基板上にリブを形成する際に用いられるサンドブラスト装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
この特許文献１のサンドブラスト装置は、基板を搬送する搬送ローラと、この搬送ローラによる搬送方向と直交する方向に往復移動しながら切削材を噴射するガンと、などを備えている。そして、基板上にリブを形成する際には、まず、基板上にガラスペーストを塗布乾燥した後、このガラスペースト上におけるリブとなる部分に、耐サンドブラスト性を有するマスクを形成する。この後、この基板を搬送ローラにて所定方向に搬送するとともに、ガンを基板の搬送方向と直交する方向に往復移動させながら切削材を基板に向けて噴射することにより、マスクが形成されていない部分のガラスペーストを切削してリブを形成する。
【０００４】
そして、特許文献１のサンドブラスト装置のような構成においては、一般的に図１に示すように、基板６００の搬送に用いられる搬送ローラ５１０を駆動する駆動ベルト５２０は、ガン５３０，５４０から噴射される図示しない切削材により切削されないように、筐体５５０の外側に配設される。このため、例えばガン５３０の往復移動の折返し部Ｒ２１は、搬送ローラ５１０のローラ端近傍部５１０Ａの上方に位置することになる。
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−２２２９４６（第３頁）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、図１に示すような構成において、例えばガン５３０を折返し部Ｒ２１近傍まで移動させた際に、折返し部Ｒ２１において折り返しをするために移動速度を遅くする構成とすることがある。このような場合、折返し部Ｒ２１の下方に位置するローラ端近傍部５１０Ａには、搬送ローラ５１０の他の部分と比べて多量の切削材が噴射されることとなり、搬送ローラ５１０が局部的に切削されてしまうという問題が発生する。そこで、このような問題を解決する１つの方法として、例えばローラ端近傍部５１０Ａの上方に切削材による切削を防止するための搬送ローラ保護板５６０を配設する方法が考えられる。
【０００７】
しかしながら、搬送ローラ保護板５６０の硬度が切削材よりも高い場合には、切削材と搬送ローラ保護板５６０との衝突により切削材が破損しやすくなる。このため、切削材を再利用できなくなり、サンドブラスト装置５００に新しい切削材を適宜補充しなくてはならないという問題が一例として挙げられる。また、搬送ローラ保護板５６０の硬度が切削材よりも低い場合には、切削材と搬送ローラ保護板５６０との衝突により搬送ローラ保護板５６０が切削されやすくなる。このため、搬送ローラ保護板５６０の交換頻度が高くなるという問題が一例として挙げられる。さらに、搬送ローラ保護板５６０に例えば弾性ゴムなどのクッション材を用いた場合には、交換頻度が高くなるという問題に加え、静電気が発生するという問題が一例として挙げられる。
【０００８】
本発明は、このような点に鑑みて、搬送手段の損傷を容易に抑えることが可能なサンドブラスト装置、および、プラズマディスプレイパネルの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１に記載の発明は、基板上に形成された積層体または基板自体をサンドブラスト加工により所定の形状に加工するサンドブラスト装置において、前記基板を搬送する搬送手段と、前記サンドブラスト加工で用いる切削材を噴射するとともに前記基板上で前記基板の搬送方向に対して交差する方向に往復移動可能なガンと、を備え、前記ガンの前記往復移動の折返し部は、前記搬送手段の外縁よりも外側に設定されたことを特徴とするサンドブラスト装置である。
【００１０】
請求項６に記載の発明は、基板上に形成された積層体または基板自体をサンドブラスト加工により所定の形状に加工してプラズマディスプレイパネルを製造する方法であって、前記基板を搬送手段で搬送し、切削材をガンから前記基板に噴射するとともに、このガンを前記基板上で前記基板の搬送方向に対して交差する方向に往復移動させてサンドブラスト加工をし、前記ガンの前記往復移動の折返し部を前記搬送手段の外縁よりも外側に設定したことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
〔第１の実施の形態〕
以下に、本発明に係る第１の実施の形態を図面に基づいて説明する。本実施の形態では、プラズマディスプレイパネルの背面板となる基板にサンドブラスト加工にてリブを形成するサンドブラスト装置を例示して説明するがこれに限られない。
【００１２】
［サンドブラスト装置の構成］
まず、第１の実施の形態のサンドブラスト装置の構成について、図面に基づいて説明する。図２は、第１の実施の形態に係るサンドブラスト装置の概略構成を示す平面視での断面図である。図３は、サンドブラスト装置の正面視での断面図である。
【００１３】
図２および図３において、１００はサンドブラスト装置である。このサンドブラスト装置１００は、図示しない前工程装置からプラズマディスプレイパネルの背面板となる略矩形板状の基板６００を搬入する。この後、基板６００を略矩形状の長手方向と搬送方向とが略一致する状態で搬送するとともに、基板６００上のリブ形成領域６０１に形成された図示しない積層体としてのガラスペーストをサンドブラスト加工することにより図示しないリブを形成して、この基板６００に付着した切削材Ｋを除去する装置である。このサンドブラスト装置１００は、前工程装置から搬入される基板６００にサンドブラスト加工を施すサンドブラスト加工部１１０と、サンドブラスト加工の際に基板６００に付着する切削材Ｋなどを除去する図示しないエアブロー部と、などを備えている。
【００１４】
サンドブラスト加工部１１０は、例えば金属などの材料により下面が開口された略矩形箱状に形成された筐体上部１２０と、この筐体上部１２０の下端に連結され上面および下面が開口された略四角錐台形状に形成された筐体下部１３０と、を備えた筐体１４０を有している。そして、筐体上部１２０および筐体下部１３０にて、サンドブラスト空間１４０Ａが略区画形成されている。
【００１５】
筐体上部１２０は、略長方形板状の天板部１２１と、この天板部１２１の長手方向の両側縁において下方に向けて略垂直に設けられた略矩形板状の側板部１２２，１２３と、天板部１２１の前工程装置側の端縁において下方に向けて略垂直に設けられた略矩形板状の基端板部１２４と、天板部１２１のエアブロー部側の端縁において下方に向けて略垂直に設けられた略矩形板状の先端板部１２５と、にて下面が開口された略矩形箱状に形成されている。基端板部１２４における下方には、側板部１２２側から側板部１２３側にかけて略細長矩形状に形成され基板６００をサンドブラスト空間１４０Ａに搬入するための搬入口１２４Ａが形成されている。先端板部１２５における基端板部１２４の搬入孔に略対応する位置には、基板６００をサンドブラスト空間１４０Ａから搬出するための搬出口１２５Ａが形成されている。
【００１６】
筐体下部１３０は、側板部１２２，１２３の下端縁において対向する側板部１２３，１２２側の斜め下方に向けて設けられた略台形板状の側斜板部１３１，１３２と、基端板部１２４の下端縁において先端板部１２５側の斜め下方に向けて設けられた略台形板状の図示しない基斜板部と、先端板部１２５の下端縁において基端板部１２４側の斜め下方に向けて設けられた略台形板状の図示しない先斜板部と、にて上面および下面が開口され上面よりも下面が小さい略四角錐台形状に形成されている。そして、この筐体下部１３０の下面の開口部が、切削材Ｋをサンドブラスト空間１４０Ａの外部に排出する排出孔１４０Ｂとされている。
【００１７】
また、筐体１４０には、サンドブラスト空間１４０Ａの上下方向略中央から下方にかけての位置などに設けられた搬送部１５０と、この搬送部１５０の上方などに設けられた切削部１６０と、などが備えられている。
【００１８】
搬送部１５０は、前工程装置から搬入された基板６００をエアブロー部に搬出する。そして、この搬送部１５０は、サンドブラスト空間１４０Ａにおける側斜板部１３１，１３２の基端板部１２４側から先端板部１２５側にかけて設けられたローラ保持部１５１，１５２と、ローラ保持部１５１，１５２を架橋する状態に設けられた複数の搬送手段としての搬送ローラ１５３と、筐体１４０の外部に設けられた駆動手段としての駆動モータ１５４と、駆動力伝達手段としての駆動ベルト１５５と、などを備えている。
【００１９】
搬送ローラ１５３は、例えば金属やセラミックなどの材料により略丸棒状に形成されている。この搬送ローラ１５３は、軸方向一端側に設けられローラ保持部１５１により保持される被保持部１５３Ａと、軸方向他端側に設けられローラ保持部１５２により保持される被保持部１５３Ｂと、被保持部１５３Ａ，１５３Ｂにより挟まれる位置に設けられ基板６００が載置される基板載置部１５３Ｃと、被保持部１５３Ａよりも軸方向一端側に設けられ駆動ベルト１５５が架け回されるローラ架回部１５３Ｄと、を有している。なお、搬送ローラ１５３は、被保持部１５３Ａ，１５３Ｂ、基板載置部１５３Ｃ、ローラ架回部１５３Ｄを一体的に形成したものでもよいし、それぞれを別体で形成してこれらを組み立てた構成などいずれの構成としてもよい。
【００２０】
ローラ保持部１５１は、例えば金属などの材料により略棒状に形成され側斜板部１３１の各端板部１２４，１２５側において上方に向けて立設された固定ステー１５１Ａ，１５１Ｂと、例えば金属などの材料により略細長矩形板状に形成され固定ステー１５１Ａ，１５１Ｂを架橋する状態に設けられた架橋部材１５１Ｃと、を備えている。架橋部材１５１Ｃにおける上面には、搬送ローラ１５３を被保持部１５３Ａにて回転可能に保持する複数の保持部材１５１Ｄが、基端板部１２４側から先端板部１２５側にかけて略同一間隔で並設されている。この保持部材１５１Ｄは、被保持部１５３Ａの円周面を包むように保持している。
【００２１】
ローラ保持部１５２は、固定ステー１５１Ａ，１５１Ｂ、架橋部材１５１Ｃと略同一の構成を有する固定ステー１５２Ａ，１５２Ｂ、架橋部材１５２Ｃを備えている。固定ステー１５２Ａ，１５２Ｂ、架橋部材１５２Ｃは、側斜板部１３２における固定ステー１５１Ａ，１５１Ｂ、架橋部材１５１Ｃにそれぞれ略対応する位置に設けられている。また、架橋部材１５２Ｃの上面における架橋部材１５１Ｃに設けられた保持部材１５１Ｄに略対応する位置には、搬送ローラ１５３を被保持部１５３Ｂにおいて回転可能に保持する保持部材１５２Ｄが設けられている。
【００２２】
そして、ローラ保持部１５１，１５２の保持部材１５１Ｄ，１５２Ｄにより各搬送ローラ１５３を保持することにより、搬送ローラ１５３は、サンドブラスト空間１４０Ａにおいて基端板部１２４側から先端板部１２５側にかけて略同一間隔に並設される。
【００２３】
駆動モータ１５４は、搬送ローラ１５３を駆動する。この駆動モータ１５４は、筐体１４０の側斜板部１３１側の外部における先端板部１２５側に配設されている。そして、駆動モータ１５４は、モータ本体１５４Ａと、このモータ本体１５４Ａの一面から突出するように設けられモータ本体１５４Ａの駆動により回転するモータ軸１５４Ｂと、を備えている。モータ本体１５４Ａは、モータ軸１５４Ｂの軸方向が搬送ローラ１５３の軸方向と略一致するように配設されている。そして、モータ軸１５４Ｂの先端側には、駆動ベルト１５５が架け回されるモータ架回部１５４Ｃが設けられている。なお、ここでは、駆動手段として駆動モータ１５４を適用した構成について例示するが、これに限らず他の駆動手段を適宜適用してもよい。
【００２４】
駆動ベルト１５５は、駆動モータ１５４の動力を各搬送ローラ１５３に伝達する。この駆動ベルト１５５としては、例えばゴムなどの材料により形成されたものが例示できるが、これに限られない。また、ここでは、駆動力伝達手段として駆動ベルト１５５を適用した構成について例示するが、これに例えばチェーンや歯車など駆動モータ１５４の動力を伝達可能な他の駆動力伝達手段を適宜適用してもよい。この駆動ベルト１５５は、側斜板部１３１に形成された挿通孔１３１Ａを介して筐体１４０の外部から内部にかけて設けられ、各搬送ローラ１５３のローラ架回部１５３Ｄおよび駆動モータ１５４のモータ架回部１５４Ｃに架け回されている。これにより、モータ本体１５４Ａによりモータ軸１５４Ｂが回転されると駆動ベルト１５５が駆動し、この駆動ベルト１５５の駆動により各搬送ローラ１５３が所定の方向に回転して、搬送ローラ１５３に載置された基板６００が搬送される。
【００２５】
切削部１６０は、搬送ローラ１５３により搬送される基板６００に切削材Ｋを噴射することにより、基板６００にリブを形成する。そして、この切削部１６０は、サンドブラスト空間１４０Ａにおける上方に設けられ図示しない制御部の制御により切削材Ｋを噴射するガン１６１，１６２と、天板部１２１の上方に設けられガン１６１，１６２を略同一の速度で往復移動させるガン移動制御部１６３と、例えば天板部１２１の上方に設けられガン１６１，１６２に切削材Ｋを供給する図示しない切削材供給部と、などを備えている。
【００２６】
ガン移動制御部１６３は、サンドブラスト空間１４０Ａにおける基端板部１２４近傍の上方においてガン１６１を基板６００の搬送方向と略直交する方向に往復移動させる図示しない第１の移動制御部と、ガン１６１よりも先端板部１２５側においてガン１６２をガン１６１と略同一方向に往復移動させる図示しない第２の移動制御部と、を備えている。なお、ここでは、第１の移動制御部および第２の移動制御部がガン１６１，１６２を基板６００の搬送方向と略直交する方向に往復移動させる構成について例示するが、これに限らずガン１６１，１６２を往復移動させる方向が基板６００の搬送方向と一致しない方向であれば、いずれの方向に往復移動させる構成としてもよい。また、第１の移動制御部と第２の移動制御部とを別体で設けた構成について例示するが、これらを１つで構成してもよいし、これらの一部を共有させた構成などとしてもよい。そして、第１の移動制御部および第２の移動制御部は略同一の構成を有しているので、以下において、第１の移動制御部について詳細に説明し、第２の移動制御部については説明を簡略化する。
【００２７】
第１の移動制御部は、天板部１２１の上方における基端板部１２４近傍の側板部１２２側および側板部１２３側にそれぞれ配設され軸方向が基板６００の搬送方向と略同一となるような軸を中心に回転する図示しない円筒体と、これら円筒体に架け回された図示しない駆動ベルトと、円筒体を回転させる図示しない駆動部と、などを備えている。円筒体に架け回された駆動ベルトの下面には、天板部１２１に形成された図示しない挿通部に挿通された図示しない略棒状の連結部を介してガン１６１が連結されている。そして、第１の移動制御部は、駆動部にて円筒体を一方に回転させることにより、ガン１６１を平面視で搬送ローラ１５３の一端縁１５３Ｅよりも側板部１２２側の折返し部Ｒ１１まで移動させる。また、第１の移動制御部は、駆動部にて円筒体を他方に回転させることにより、ガン１６１を平面視で搬送ローラ１５３の他端縁１５３Ｆよりも側板部１２３側の折返し部Ｒ１２まで移動させる。すなわち、第１の移動制御部は、ガン１６１が折返し部Ｒ１１または折返し部Ｒ１２に到達した際に、ガン１６１と側斜板部１３１または側斜板部１３２との間に搬送ローラ１５３が存在しないような位置に設定された折返し部Ｒ１１と折返し部Ｒ１２との間で、ガン１６１を往復移動させる。
【００２８】
第２の移動制御部は、第１の移動制御部と同様に、図示しない、２つ円筒体、駆動ベルト、駆動部などを備え、第１の移動制御部の先端板部１２５側に隣接されている。この第２の移動制御部の円筒体に架け回された駆動ベルトの下面には、天板部１２１に形成された図示しない挿通部に挿通された連結部１６４を介してガン１６２が連結されている。そして、第２の移動制御部は、駆動部にて円筒体を一方に回転させることにより、ガン１６２を折返し部Ｒ１１から基板６００の搬送方向と略同一方向に移動した位置である折返し部Ｒ１３まで移動させる。また、第２の移動制御部は、駆動部にて円筒体を他方に回転させることにより、ガン１６２を折返し部Ｒ１２から基板６００の搬送方向と略同一方向に移動した位置である折返し部Ｒ１４まで移動させる。すなわち、第２の移動制御部は、ガン１６２が折返し部Ｒ１３または折返し部Ｒ１４に到達した際に、ガン１６２と側斜板部１３１または側斜板部１３２との間に搬送ローラ１５３が存在しないような位置に設定された折返し部Ｒ１３と折返し部Ｒ１４との間で、ガン１６２を往復移動させる。
【００２９】
ガン１６１，１６２は、下方に向けて開口され切削材供給部から供給される切削材Ｋを噴射する図示しない噴射孔を有している。そして、この噴射孔は、長手方向が基板６００の搬送方向と略同一となるようなスリット状に形成されている。なお、ここでは、噴射孔がスリット状に形成されたガン１６１，１６２を用いる構成について例示するが、これに限らず例えば噴射孔がスリット状以外の形状である例えば略円形状に形成された複数のガン１６１，１６２を基板６００の搬送方向に並設する構成や、噴射孔が例えば略円形状に形成された１つのガン１６１，１６２を基板６００の搬送方向に揺動させる構成など適宜他の構成などとしてもよい。
【００３０】
エアブロー部は、例えば金属などの材料により例えば上方が略箱状に形成され、例えば下方が略四角錐台形状に形成された図示しない筐体を有している。そして、この筐体の内部に略区画形成されたエアブロー空間には、サンドブラスト加工部１１０から搬入される基板６００に例えばエアーを噴射することにより基板６００付着した切削材Ｋなどを除去する図示しないエア噴射部などが設けられている。
【００３１】
［サンドブラスト装置の動作］
次に、サンドブラスト装置１００の動作について説明する。なお、ここでは、ガン１６１が折返し部Ｒ１２に位置し、ガン１６２が折返し部Ｒ１３に位置する状態において、基板６００が搬入された際のサンドブラスト装置１００の動作について説明する。
【００３２】
まず、サンドブラスト装置１００のサンドブラスト加工部１１０は、搬送部１５０に前工程装置からガラスペーストやマスクなどが形成された基板６００が搬入されると、例えば予め駆動されている搬送部１５０の搬送ローラ１５３にて基板６００を所定速度で搬送する。また、サンドブラスト加工部１１０は、切削部１６０にてガン１６１，１６２から切削材Ｋを基板６００に向けて噴射させ、ガン１６１を折返し部Ｒ１２から折返し部Ｒ１１に向けて所定の速度で移動させるとともに、ガン１６２を折返し部Ｒ１３から折返し部Ｒ１４に向けてガン１６１と略同一の速度で移動させる。なお、ここでは、ガン１６１の移動方向とガン１６２の移動方向とを異なる方向とした構成について例示するがこれに限られない。この後、ガン１６１が折返し部Ｒ１１に到達すると、第１の移動制御部は、駆動部にて円筒体を逆方向に回転させ、ガン１６１を折返し部Ｒ１２に向けて移動させる。また、第２の移動制御部も、同様にしてガン１６２を折返し部Ｒ１３に向けて移動させる。
【００３３】
そして、ガン１６１，１６２が基板６００の上方を通過して切削材Ｋが基板６００に衝突すると、この衝突によりマスクが形成されていない部分のガラスペーストが切削され、基板６００にリブが形成される。ここで、切削材Ｋや切削されたガラスペーストなどは、排出孔１４０Ｂからサンドブラスト空間１４０Ａの外部に排出され適宜再利用される。なお、基板６００の搬送速度、ガン１６１，１６２の往復移動速度、ガン１６１，１６２からの切削材Ｋの噴射量などは、基板６００に形成されるリブが所望の形状となるように適宜調整されている。この後、リブが形成された基板６００は、搬送部１５０にてエアブロー部に搬送され、エアブロー部にて表面に付着した切削材Ｋが除去される。
【００３４】
［第１の実施の形態の作用効果］
上述したように、上記第１の実施の形態では、以下に示す作用効果を奏することができる。
【００３５】
（１）サンドブラスト装置１００に、基板６００を搬送する搬送ローラ１５３と、切削材Ｋを噴射するとともに基板６００の搬送方向と略直交する方向に往復移動するガン１６１，１６２と、を備えている。そして、ガン１６１の往復移動の折返し部Ｒ１１，Ｒ１２、ガン１６２の往復移動の折返し部Ｒ１３，Ｒ１４を、平面視でそれぞれ搬送ローラ１５３の一端縁１５３Ｅよりも側板部１２２側、搬送ローラ１５３の他端縁１５３Ｆよりも側板部１２３側に設定している。すなわち、折返し部Ｒ１１，Ｒ１２，Ｒ１３，Ｒ１４を、搬送ローラ１５３の外縁よりも外側に位置するように設定している。このため、ガン１６１，１６２を往復移動させる際に例えば折返し部Ｒ１１，Ｒ１４近傍で移動速度を遅くする構成にしても、折返し部Ｒ１１，Ｒ１４の下方に搬送ローラ１５３が存在しないため、移動速度が遅くなったガン１６１，１６２から噴射される切削材Ｋにより搬送ローラ１５３が切削されることがない。したがって、搬送ローラ１５３を例えば折返し部Ｒ１１，Ｒ１４の近傍において移動速度が遅くなったガン１６１，１６２から噴射される切削材Ｋから保護する搬送ローラ保護板を設ける必要がないので、この搬送ローラ保護板を設けた場合に必要な搬送ローラ保護板を交換する作業を省略できる。また、搬送ローラ保護板と切削材Ｋとの衝突による切削材Ｋの破損や静電気を抑えることができる。よって、ガン１６１，１６２の折返し部Ｒ１１，Ｒ１２，Ｒ１３，Ｒ１４を搬送ローラ１５３の外縁よりも外側に設定するだけの簡単な構成で、搬送ローラ１５３の損傷を容易に抑えることができる。
【００３６】
（２）各搬送ローラ１５３を駆動するための駆動モータ１５４を、筐体１４０の外部に配設している。そして、この駆動モータ１５４の動力を各搬送ローラ１５３に伝達する駆動ベルト１５５を、筐体１４０外部に配設された駆動モータ１５４のモータ軸１５４Ｂおよび筐体１４０内部に配設された各搬送ローラ１５３に架け回している。このため、駆動モータ１５４を筐体１４０内部に配設することなく各搬送ローラ１５３を駆動することができる。したがって、ガン１６１，１６２から噴射される切削材Ｋから駆動モータ１５４を保護でき、駆動モータ１５４の損傷を抑えることができる。また、駆動モータ１５４を筐体１４０の外部に配設しているので、駆動モータ１５４の交換作業を容易にできる。
【００３７】
〔第２の実施の形態〕
以下に、本発明に係る第２の実施の形態を図面に基づいて説明する。本実施の形態では、第１の実施の形態と同様のサンドブラスト装置を例示して説明するがこれに限られない。なお、本実施の形態および以下に示す第３の実施の形態のサンドブラスト装置は、第１の実施の形態のサンドブラスト装置の筐体内部の構成を他の構成としたものなので、第１の実施の形態の構成と同一の構成については同一符号を付し、説明を省略または簡略化する。また、サンドブラスト装置の動作についても説明を省略する。図４は、サンドブラスト装置の概略構成を示す平面視での断面図である。図５は、サンドブラスト装置の正面視での断面図である。
【００３８】
［サンドブラスト装置の構成］
図４および図５において、２００はサンドブラスト装置である。このサンドブラスト装置２００は、図示しない前工程装置から搬入した基板６００を略矩形状の長手方向と搬送方向とが略一致するように搬送するとともに、リブ形成領域６０１にサンドブラスト加工にて図示しないリブを形成して、この基板６００に付着した切削材Ｋを除去する装置である。また、サンドブラスト装置２００は、第１の実施の形態のサンドブラスト装置１００に駆動ベルト１５５を保護する構成を加えた装置である。そして、サンドブラスト装置２００は、筐体１４０を有するサンドブラスト加工部１１０と、図示しないエアブロー部と、などを備えている。
【００３９】
筐体１４０の内部に略区画形成されたサンドブラスト空間１４０Ａには、搬送部１５０と、切削部１６０と、サンドブラスト空間１４０Ａの側板部１２２側における基端板部１２４側に設けられた駆動ベルト保護部２７０と、などが備えられている。
【００４０】
駆動ベルト保護部２７０は、切削部１６０のガン１６１，１６２から噴射される切削材Ｋから駆動ベルト１５５を保護する。この駆動ベルト保護部２７０は、側斜板部１３１の基端板部１２４側において上方に向けて立設された保護板保持部材２７１と、折返し部Ｒ１１，Ｒ１３近傍に位置する駆動ベルト１５５の上方に設けられた駆動力伝達手段保護部としてのベルト保護板２７２と、を備えている。
【００４１】
保護板保持部材２７１は、例えば金属などの材料により略矩形板状に形成されている。この保護板保持部材２７１は、側斜板部１３１における挿通孔１３１Ａが設けられた位置よりも側板部１２２側において、長手方向が基板６００の搬送方向と略一致するように配設されている。
【００４２】
ベルト保護板２７２は、例えば金属やセラミックなどの材料により長手方向の長さが保護板保持部材２７１の長手方向の長さと略同一となるような略矩形板状に形成されている。このベルト保護板２７２は、平面視で略矩形状の長手方向一側縁２７２Ａが駆動ベルト１５５の側板部１２２側の端縁１５５Ａよりも側板部１２２側に、かつ、折返し部Ｒ１１，Ｒ１３よりも側板部１２３側に位置するように、一側縁２７２Ａ側の側面において保護板保持部材２７１により保持されている。また、ベルト保護板２７２は、平面視で略矩形状の長手方向他側縁２７２Ｂが駆動ベルト１５５の側板部１２３側の端縁１５５Ｂよりも側板部１２３側に、かつ、各搬送ローラ１５３にて搬送される基板６００の側板部１２２側の端縁６０２よりも側板部１２２側に位置するように設けられている。さらに、ベルト保護板２７２は、平面視で略矩形状の基端板部１２４側の端縁２７２Ｃが折返し部Ｒ１１よりも基端板部１２４側に、かつ、先端板部１２５側の端縁２７２Ｄが折返し部Ｒ１３よりも先端板部１２５側に位置するように設けられている。
【００４３】
［第２の実施の形態の作用効果］
上述したように、上記第２の実施の形態では、第１の実施の形態の（１）、（２）と同様の作用効果に加え以下に示す作用効果を奏することができる。
【００４４】
（３）サンドブラスト装置２００に、駆動ベルト１５５の上方に位置するようにベルト保護板２７２を設けている。このため、ベルト保護板２７２により、駆動ベルト１５５をガン１６１，１６２から噴射される切削材Ｋから保護でき、駆動ベルト１５５の寿命を延ばすことができる。
【００４５】
（４）ベルト保護板２７２を平面視で一側縁２７２Ａが折返し部Ｒ１１，Ｒ１３よりも側板部１２３側に位置するように、すなわち、平面視で折返し部Ｒ１１，Ｒ１３の下方に位置しない状態に設けている。このため、折返し部Ｒ１１，Ｒ１３近傍において移動速度が遅くなったガン１６１，１６２から噴射される切削材Ｋによりベルト保護板２７２が切削されることがない。したがって、ベルト保護板２７２の損傷を最小限に抑えることができる。
【００４６】
〔第３の実施の形態〕
以下に、本発明に係る第３の実施の形態を図面に基づいて説明する。本実施の形態では、上記各実施の形態と同様のサンドブラスト装置を例示して説明するがこれに限られない。図６は、サンドブラスト装置の概略構成を示す平面視での断面図である。図７は、サンドブラスト装置の正面視での断面図である。
【００４７】
［サンドブラスト装置の構成］
図６および図７において、３００はサンドブラスト装置である。このサンドブラスト装置３００は、図示しない前工程装置からプラズマディスプレイパネルの背面板となる略矩形板状の基板７００を搬入する。この後、基板７００を略矩形状の長手方向と搬送方向とが略一致する状態で搬送するとともに、基板７００上の両側縁近傍の積層体における所定の部分としての電極領域７０２，７０３に挟まれたリブ形成領域７０１に形成された図示しないガラスペーストをサンドブラスト加工することにより図示しないリブを形成する。そして、基板７００に付着した切削材Ｋを除去する装置である。また、サンドブラスト装置３００は、第１の実施の形態のサンドブラスト装置１００に駆動ベルト１５５および電極領域７０２，７０３を保護する構成を加えた装置である。そして、このサンドブラスト装置３００は、筐体１４０を有するサンドブラスト加工部１１０と、図示しないエアブロー部と、などを備えている。
【００４８】
筐体１４０の内部に略区画形成されたサンドブラスト空間１４０Ａには、搬送部１５０と、切削部１６０と、サンドブラスト空間１４０Ａの側板部１２２側における基端板部１２４側に設けられたベルト基板保護部３７０と、サンドブラスト空間１４０Ａの側板部１２３側におけるベルト基板保護部３７０と略対向する位置に設けられた基板端縁保護部３８０と、などを備えている。
【００４９】
ベルト基板保護部３７０は、切削部１６０のガン１６１，１６２から噴射される切削材Ｋから駆動ベルト１５５および基板７００の電極領域７０２近傍を保護する。このベルト基板保護部３７０は、第２の実施の形態の保護板保持部材２７１と同様の構成を有するとともに略同一位置に配設された保護板保持部材３７１と、折返し部Ｒ１１，Ｒ１３近傍に位置する駆動ベルト１５５の上方に設けられたベルト基板保護板３７２と、を備えている。
【００５０】
ベルト基板保護板３７２は、例えば金属やセラミックなどの材料により長手方向の長さが保護板保持部材３７１の長手方向の長さと略同一となるような略矩形板状に形成されている。このベルト基板保護板３７２は、平面視で略矩形状の長手方向一側縁３７２Ａが駆動ベルト１５５の側板部１２２側の端縁１５５Ａよりも側板部１２２側に、かつ、折返し部Ｒ１１，Ｒ１３よりも側板部１２３側に位置するように、一側縁３７２Ａ側の側面において保護板保持部材３７１により保持されている。また、ベルト基板保護板３７２は、平面視で略矩形状の長手方向他側縁３７２Ｂが各搬送ローラ１５３にて搬送される基板７００の電極領域７０２およびリブ形成領域７０１の仮想境界線７０４近傍に位置するように設けられている。さらに、ベルト基板保護板３７２は、平面視で略矩形状の基端板部１２４側の端縁３７２Ｃが折返し部Ｒ１１よりも基端板部１２４側に、かつ、先端板部１２５側の端縁３７２Ｄが折返し部Ｒ１３よりも先端板部１２５側に位置するように設けられている。
【００５１】
なお、ベルト基板保護板３７２における平面視で駆動ベルト１５５の側板部１２３側の端縁１５５Ｂ近傍よりも側板部１２３側の部分において本実施の形態のパターン保護部が構成され、端縁１５５Ｂよりも側板部１２２側の部分において本実施の形態の駆動力伝達手段保護部が構成される。
【００５２】
基板端縁保護部３８０は、ガン１６１，１６２から噴射される切削材Ｋから基板７００の電極領域７０３近傍を保護する。この基板端縁保護部３８０は、側斜板部１３２の基端板部１２４側において上方に向けて立設された保護板保持部材３８１と、各搬送ローラ１５３にて搬送される基板７００の電極領域７０３の上方に設けられたパターン保護部としての電極保護板３８２と、を備えている。
【００５３】
保護板保持部材３８１は、保護板保持部材３７１と同様の構成を有している。また、保護板保持部材３８１は、側斜板部１３２における固定ステー１５２Ａ，１５２Ｂが設けられた位置よりも側板部１２３側において、長手方向が基板７００の搬送方向と略一致するように配設されている。
【００５４】
電極保護板３８２は、例えば金属やセラミックなどの材料により長手方向の長さが保護板保持部材３８１の長手方向の長さと略同一となるような略矩形板状に形成されている。この電極保護板３８２は、平面視で略矩形板状の長手方向他側縁３８２Ａが折返し部Ｒ１２，Ｒ１４よりも側板部１２２側に位置するように、他側縁３８２Ａ側の側面において保護板保持部材３８１により保持されている。また、電極保護板３８２は、平面視で略矩形状の長手方向一側縁３８２Ｂが基板７００の電極領域７０３およびリブ形成領域７０１の仮想境界線７０５近傍に位置するように設けられている。さらに、電極保護板３８２は、平面視で略矩形状の基端板部１２４側の端縁３８２Ｃが折返し部Ｒ１２よりも基端板部１２４側に、かつ、先端板部１２５側の端縁３８２Ｄが折返し部Ｒ１４よりも先端板部１２５側に位置するように設けられている。
【００５５】
［第３の実施の形態の作用効果］
上述したように、上記第３の実施の形態では、第１の実施の形態の（１）、（２）と同様の作用効果に加え以下に示す作用効果を奏することができる。
【００５６】
（５）サンドブラスト装置３００に、折返し部Ｒ１１，Ｒ１３近傍の駆動ベルト１５５、および、各搬送ローラ１５３にて搬送される基板７００の電極領域７０２上方に位置するようにベルト基板保護板３７２を設けている。また、サンドブラスト装置３００に、基板７００の電極領域７０３上方に位置するように電極保護板３８２を設けている。このため、ベルト基板保護板３７２により、駆動ベルト１５５をガン１６１，１６２から噴射される切削材Ｋから保護でき、駆動ベルト１５５の寿命を延ばすことができる。また、ベルト基板保護板３７２、電極保護板３８２により、基板７００の電極領域７０２，７０３をガン１６１，１６２から噴射される切削材Ｋから保護でき、リブを形成したいリブ形成領域７０１のみにリブを形成することができる。
【００５７】
（６）ベルト基板保護板３７２に、駆動ベルト１５５を保護する駆動力伝達手段保護部としての機能、および、基板７００の電極領域７０２を保護するパターン保護部としての機能を備えた構成としている。このため、駆動力伝達手段保護部およびパターン保護部を別体とする構成と比べて、ベルト基板保護部３７０の部品数を減らすことができる。
【００５８】
（７）ベルト基板保護板３７２を平面視で一側縁３７２Ａが折返し部Ｒ１１，Ｒ１３よりも側板部１２３側に位置するように、すなわち、平面視で折返し部Ｒ１１，Ｒ１３の下方に位置しない状態に設けている。また、電極保護板３８２を平面視で他側縁３８２Ａが折返し部Ｒ１２，Ｒ１４よりも側板部１２２側に、すなわち、平面視で折返し部Ｒ１２，Ｒ１４の下方に位置しない状態に設けている。このため、折返し部Ｒ１１，Ｒ１２，Ｒ１３，Ｒ１４において移動速度が遅くなったガン１６１，１６２から噴射される切削材Ｋによりベルト基板保護板３７２および電極保護板３８２が切削されることがない。したがって、ベルト基板保護板３７２および電極保護板３８２の損傷を最小限に抑えることができる。
【００５９】
［実施の形態の変形］
なお、本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲で以下に示される変形をも含むものである。
【００６０】
すなわち、例えば各実施の形態において、駆動モータ１５４を筐体１４０の外部に設けた構成について例示したが、これに限らず駆動モータ１５４を筐体１４０のサンドブラスト空間１４０Ａに設けてもよい。このような構成にすれば、駆動モータ１５４と、例えば作業者の手足や基板６００，７００を運搬するカートなどの異物と、の接触による駆動モータ１５４の損傷を抑えることができる。
【００６１】
また、第２の実施の形態や第３の実施の形態において、ベルト保護板２７２やベルト基板保護板３７２を、平面視で折返し部Ｒ１１，Ｒ１３の下方に位置しない状態に設けた構成について例示したが、これに限らず平面視で折返し部Ｒ１１，Ｒ１３の下方に位置する状態に設けた構成などとしてもよい。また、電極保護板３８２を、平面視で折返し部Ｒ１２，Ｒ１４の下方に位置する状態に設けた構成などとしてもよい。このような構成にしても、駆動ベルト１５５をガン１６１，１６２から噴射される切削材Ｋから保護でき、駆動ベルト１５５の寿命を延ばすことができる。また、基板７００の電極領域７０２，７０３をガン１６１，１６２から噴射される切削材Ｋから保護でき、リブを形成したいリブ形成領域７０１のみにリブを形成することができる。
【００６２】
さらに、本発明をプラズマディスプレイパネルの背面板となる基板６００，７００にリブを形成するサンドブラスト装置１００，２００，３００に適用した構成について例示したが、これに限らず基板などの被加工物をサンドブラスト加工するいかなる構成のサンドブラスト装置にも適用できる。また、基板６００，７００に形成されたガラスペーストをサンドブラスト加工する構成について例示したが、これに限らず基板に形成されたいかなる積層体や基板自体をサンドブラスト加工するサンドブラスト装置にも適用できる。
【００６３】
［実施形態の作用効果］
上述したように、上記実施の形態では、サンドブラスト装置１００に、基板６００を搬送する搬送ローラ１５３と、切削材Ｋを噴射するとともに基板６００の搬送方向と略直交する方向に往復移動するガン１６１，１６２と、を備えている。そして、ガン１６１の往復移動の折返し部Ｒ１１，Ｒ１２、ガン１６２の往復移動の折返し部Ｒ１３，Ｒ１４を、搬送ローラ１５３の外縁よりも外側に位置するように設定している。このため、ガン１６１，１６２を往復移動させる際に例えば折返し部Ｒ１１，Ｒ１４近傍で移動速度を遅くする構成にしても、折返し部Ｒ１１，Ｒ１４の下方に搬送ローラ１５３が存在しないため、移動速度が遅くなったガン１６１，１６２から噴射される切削材Ｋにより搬送ローラ１５３が切削されることがない。したがって、搬送ローラ１５３を例えば折返し部Ｒ１１，Ｒ１４の近傍において移動速度が遅くなったガン１６１，１６２から噴射される切削材Ｋから保護する搬送ローラ保護板を設ける必要がないので、この搬送ローラ保護板を設けた場合に必要な搬送ローラ保護板を交換する作業を省略できる。また、搬送ローラ保護板と切削材Ｋとの衝突による切削材Ｋの破損や静電気を抑えることができる。よって、ガン１６１，１６２の折返し部Ｒ１１，Ｒ１２，Ｒ１３，Ｒ１４を搬送ローラ１５３の外縁よりも外側に設定するだけの簡単な構成で、搬送ローラ１５３の損傷を容易に抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】従来のサンドブラスト装置の概略構成を示す平面視での断面図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係るサンドブラスト装置の概略構成を示す平面視での断面図である。
【図３】前記第１の実施の形態におけるサンドブラスト装置の正面視での断面図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態に係るサンドブラスト装置の概略構成を示す平面断面図である。
【図５】前記第２の実施の形態におけるサンドブラスト装置の正面視での断面図である。
【図６】本発明の第３の実施の形態に係るサンドブラスト装置の概略構成を示す平面断面図である。
【図７】前記第３の実施の形態におけるサンドブラスト装置の正面視での断面図である。
【符号の説明】
【００６５】
１００，２００，３００  サンドブラスト装置
１４０  筐体
１５３  搬送手段としての搬送ローラ
１５４  駆動手段としての駆動モータ
１５５  駆動力伝達手段としての駆動ベルト
１６１，１６２  ガン
２７２  駆動力伝達手段保護部としてのベルト保護板
３７２  駆動力伝達手段保護部およびパターン保護部としての機能ベルト基板保護板
３８２  パターン保護部としての電極保護板
６００，７００  基板
７０２，７０３  積層体における所定の部分としての電極領域
Ｋ      切削材
Ｒ１１，Ｒ１２，Ｒ１３，Ｒ１４  折返し部
【図１】
2005186204.tif 000003
【図２】
2005186204.tif 000004
【図３】
2005186204.tif 000005
【図４】
2005186204.tif 000006
【図５】
2005186204.tif 000007
【図６】
2005186204.tif 000008
【図７】
2005186204.tif 000009