(57)【要約】【課題】プレート板に貼着されたバッキング材の貼付面及び内部に保有されている過剰水を容易に除去し得る吸水方法を提供する。【解決手段】研磨装置に装着されるプレート板１０の一面側に貼着され、研磨に供するワークを貼付面に貼り付ける水を過剰に保有するバッキング材１２から過剰水を除去する際に、該バッキング材１２が保有する過剰水を吸水すべく、バッキング材１２の貼付面に吸水材２２を押圧しつつ、吸水材２２に吸引された水を吸引して除去することを特徴とする。【選択図】        図１
2005313312.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨装置に装着されるプレート板の一面側に貼着され、研磨に供するワークを貼り付ける水を過剰に保有するバッキング材から過剰水を除去する際に、
該バッキング材の過剰水を吸水すべく、前記バッキング材のワークを貼り付ける貼付面に吸水材を押圧しつつ、前記吸水材に吸引された水を吸引して除去することを特徴とする吸水方法。
【請求項２】
プレート板として、バッキング材の貼付面の外周縁に沿って、研磨中にワークがバッキング材の貼付面から外れないように、細幅のリング状のテンプレートが貼着されているプレート板を用いる請求項１記載の吸水方法。
【請求項３】
吸水材として、多孔質のスポンジ状の吸水材を用いる請求項１又は請求項２記載の吸水方法。
【請求項４】
吸水材に吸収した水を真空吸引する請求項１〜３のいずれか一項記載の吸水方法。
【請求項５】
吸水材として、バッキング材の貼付面と同一大きさの吸水材を用い、前記吸水材をバッキング材の全面に亘って押圧する請求項１〜４のいずれか一項記載の吸水方法。
【請求項６】
バッキング材の貼付面への吸水材の押圧を、前記バッキング材の貼付面に対して接離可能に設けられたホルダーと、前記ホルダーに装着され、前記吸水材を保持し且つ吸水材に吸水された水を吸引する複数個の吸引孔が形成された保持部材とを用い、前記ホルダーをバッキング材の貼付面に近接し、前記吸水材をバッキング材の貼付面に当接したとき、前記保持部材及びホルダーの自重によって施す請求項１〜５のいずれか一項記載の吸水方法。
【請求項７】
研磨装置に装着されるプレート板の一面側に貼着され、研磨に供するワークを貼付面に貼り付けることができるように水を過剰に保有するバッキング材から過剰水を吸水して除去する吸水装置であって、
該バッキング材の貼付面に当接し、前記バッキング材が保有する過剰水を吸収する吸水材と、前記吸水材をバッキング材の貼付面に押圧する押圧手段と、前記吸水材に吸引された水を吸引して除去する吸引手段とを具備することを特徴とする吸水装置。
【請求項８】
プレート板が、バッキング材の貼付面の外周縁に沿って、研磨中にワークがバッキング材の貼付面から外れないように、細幅のリング状のテンプレートが貼着されているプレート板である請求項７記載の吸水装置。
【請求項９】
吸水材が、多孔質のスポンジ状の吸水材である請求項７又は請求項８記載の吸水装置。
【請求項１０】
吸水材を保持する保持部材が設けられ、前記保持部材には、保持された吸水材に吸収された水を真空吸引する複数個の吸引孔が形成されている請求項７〜９のいずれか一項記載の吸水装置。
【請求項１１】
吸水材が、バッキング材の貼付面と同一大きさの吸水材であって、前記吸水材をバッキング材の全面に亘って押し付ける押圧手段が設けられている請求項７〜１０のいずれか一項記載の吸水装置。
【請求項１２】
吸水材をバッキング材の貼付面に押圧する押圧手段が、前記バッキング材の貼付面に対して接離可能に設けられたホルダーと、前記ホルダーに装着され、前記吸水材を保持し且つ吸水材に吸水された水を吸引する複数個の吸引孔が形成された保持部材とから成り、前記バッキング材の貼付面に当接した吸水材を、前記ホルダー及び保持部材の自重によって押圧できるように設けられている請求項７〜１１のいずれか一項記載の吸水装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は吸水方法及び吸水装置に関し、更に詳細には研磨装置に装着されるプレート板の一面側に貼着され、研磨に供するワークを貼付面に貼り付ける水を過剰に保有するバッキング材から過剰水を除去する吸水方法及び吸水装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置に用いられるウェーハには、例えば図１１に示す研磨装置によって研磨が施される。図１１に示す研磨装置では、所定方向に回転する定盤１００に貼着された研磨布１０２に対し、接離可能に設けられていると共に、所定方向に回転するトップリング１０４を用い、このトップリング１０４のヘッド本体内に組み込まれて固定されたセラミック製のプレート板１０６に保持されたワークとしてのウェーハＷの研磨面を研磨布１０２に押し付けて研磨を施す。
かかるウェーハＷは、図１２に示す様に、プレート板１０６の一面側に貼着された、発泡シートから成るバッキング材１０８に保有する水の表面貼力によって、プレート板１０６に保持される。
【０００３】
ところで、近年、ウェーハＷは、大径化し且つ薄くなると共に、ウェーハＷの研磨面の研磨精度の向上が益々求められている。
しかし、図１２に示す様に、プレート板１０６の一面側に貼着されたバッキング材１０８に保有する水の表面貼力によって貼り付けたウェーハＷの研磨面は、中央部が周縁部近傍に比較して薄くなる、いわゆる中凹形状となり易いことが判明した。
【０００４】
バッキング材１０８の保有水によって貼り付けたウェーハＷの研磨面が中凹形状となり易い現象は、以下のように考えられる。
つまり、過剰の水が保有されたバッキング材１０８に貼り付けられたウェーハＷを、定盤１００に貼着された研磨布１０２に当接して研磨を施す際に、図１３に示す様に、ウェーハＷの外周縁でバッキング材１０８が押圧されてシール状態となり、バッキング材１０８に保有された過剰水がウェーハＷの外周縁から外方に移動できなくなって、ウェーハＷの中央部近傍に集まる。
しかも、研磨の摩擦熱等によってバッキング材１０８に保有された水の温度上昇と相俟って、図１３に示す如く、バッキング材１０８のウェーハＷの中央部に相当する部分が、ウェーハＷの外周縁近傍に相当する部分に比較して厚くなり、強く研磨布１０２に押し付けられることによって、ウェーハＷの研磨面が中凹形状となる。
【０００５】
更に、図１４に示す様に、研磨中にウェーハＷがバッキング材１０８の貼付面から外れないように、バッキング材１０８の外周縁に沿って細幅のリング状のテンプレート１１０が貼着されているプレート板１０６では、テンプレート１１０の内側の過剰水は排出され難い。
このため、図１４に示すテンプレート１１０が貼着されているプレート板１０６では、テンプレート１１０が貼着されていないプレート板１０６に比較して、バッキング材１０８に保有される過剰水は増加する傾向にある。
【０００６】
また、かかるバッキング材１０８が貼着されたプレート板１０６は、ウェーハＷの研磨が終了した後、バッキング材１０８が貼着された状態で洗浄し、バッキング材１０８に過剰の水を保有した状態で再度ウェーハＷを貼り付ける。
したがって、バッキング材１０８は乾燥されることなく次のウェーハＷが貼り付けられるため、バッキング材１０８に添加する水量によって保有される水量を調整することは困難である。
【０００７】
このため、プレート板１０６に貼着されたバッキング材１０８の過剰水を除去すべく、下記特許文献１には、プレート板１０６に貼着されたバッキング材１０８の貼付面に付着する水を除去すべく、バッキング材１０８の貼付面への空気の噴射及び／又はプレート板１０６を回転することが提案されている。
【特許文献１】特開２００３−１１０５６号公報（特許請求の範囲、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記特許文献１に提案された様に、プレート板１０６のバッキング材１０８の貼付面への空気の噴射及び／又はプレート板１０６を回転することによって、バッキング材１０８の表面に付着した水を除去できる。
しかし、バッキング材１０８が貼着されたプレート板１０６は、通常、ウェーハＷの研磨が終了した後、バッキング材１０８が貼着された状態で洗浄し、バッキング材１０８を乾燥することなくウェーハＷを貼り付ける。
このため、バッキング材１０８の内部にも過剰水が保有されており、かかる過剰水を空気の噴射及び／又はプレート板１０の回転で除去する場合には、先ず、空気の噴射量及び／又は噴射圧、噴射ノズルの移動速度、プレート板の回転速度等の過剰水除去に影響を与える各因子の最適化を図ることが必要であり、最適化条件の決定は容易ではない。
更に、空気の噴射量等の各因子を、その最適化条件を維持できるように制御することを要し、制御系が複雑化する。
そこで、本発明の課題は、プレート板に貼着されたバッキング材の貼付面及び内部に保有されている過剰水を容易に除去し得る吸水方法及び吸水装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者等は、前記課題を解決すべく検討した結果、プレート板１０６に貼着されたバッキング材１０８のウェーハＷの貼付面に、スポンジ状の吸水材を押圧しつつ、吸水材に吸水された水を吸引して除去することが有効であることを見出し、本発明に到達した。
すなわち、本発明は、研磨装置に装着されるプレート板の一面側に貼着され、研磨に供するワークを貼付面に貼り付ける水を過剰に保有するバッキング材から過剰水を除去する際に、該バッキング材が保有する過剰水を吸水すべく、前記バッキング材のワークを貼り付ける貼付面に吸水材を押圧しつつ、前記吸水材に吸引された水を吸引して除去することを特徴とする吸水方法にある。
また、本発明は、研磨装置に装着されるプレート板の一面側に貼着され、研磨に供するワークを貼付面に貼り付ける水を過剰に保有するバッキング材から過剰水を吸水して除去する吸水装置であって、該バッキング材の貼付面に当接し、前記バッキング材が保有する過剰水を吸収する吸水材と、前記吸水材をバッキング材の貼付面に押圧する押圧手段と、前記吸水材に吸引された水を吸引して除去する吸引手段とを具備することを特徴とする吸水装置でもある。
【００１０】
かかる本発明において、プレート板として、バッキング材の貼付面の外周縁に沿って、研磨中にワークがバッキング材の貼付面から外れないように、細幅のリング状のテンプレートが貼着されているプレート板を好適に用いることができる。
更に、吸水材として、多孔質のスポンジ状の吸水材を用い、吸水材に吸収した水を真空吸引することによって、バッキング材の内部の過剰水を容易に除去できる。
この吸水材として、バッキング材の貼付面と同一大きさの吸水材を用い、前記吸水材をバッキング材の全面に亘って押圧することによって、バッキング材の過剰水を効率的に除去できる。
また、バッキング材の貼付面に対する吸水材の押圧を、前記バッキング材の貼付面に対して接離可能に設けられたホルダーと、前記ホルダーに装着され、前記吸水材を保持し且つ吸水材に吸水された水を吸引する複数個の吸引孔が形成された保持部材とを用い、前記ホルダーをバッキング材の貼付面に近接し、前記吸水材をバッキング材の貼付面に当接したとき、前記保持部材及びホルダーの自重によって施すことにより、吸水装置を簡易化できる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、プレート板に貼着されたバッキング材を吸水材によって押圧することによって、バッキング材の貼付面に存在する水は勿論のこと、バッキング材の内部に存在する水も吸水材に吸水できる。更に、吸水材に吸水された水は、吸引して除去される。
したがって、バッキング材の貼付面及び内部に保有される過剰水を容易に除去でき、バッキング材の内部に保有される過剰水に起因するワークの研磨面の中凹形状を防止できるため、ワークの研磨面の研磨精度を向上できる。
しかも、バッキング材の貼付面及び内部に保有される過剰水を除去するための条件設定も容易であり、その装置の構造も簡単化できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明に係る吸水装置の一例を図１に示す。図１において、セラミック製のプレート板１０の一面側に発泡シートから成るバッキング材１２が貼着され、ワークとしてのウェーハＷを貼り付けるバッキング材１２の貼付面の外周縁に沿って、細幅のリング状のテンプレート１４が貼着されている。
かかるバッキング材１２の貼付面の全面を覆うことができる、多孔質のスポンジ状の吸水材２２を具備する吸水装置２０が設けられている。この吸水材２２としては、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）製の吸水材２２を好適に用いることができる。
この吸水装置２０には、吸水材２２を保持する保持板２４と保持板２４を保持し、バッキング材１２の貼付面に対し、シリンダ装置等の接離動手段としての昇降手段によって接離可能に設けられたホルダー２６とから構成されている。
【００１３】
かかる吸水装置２０の保持板２４には、図２に示す様に、複数個の吸引孔２４ａ，２４ａ・・が形成されており、吸引孔２４ａ，２４ａ・・は真空ポンプによって吸引されている。このため、吸水材２２は、保持板２４に保持されていると共に、吸引孔２４ａ，２４ａ・・から吸水材２２に吸水された水は吸引されて除去される。
真空ポンプに繋がる配管は、保持板２４の中央部近傍に繋がれている。このため、保持板２４に形成された吸引孔２４ａ，２４ａ・・の各々から均一に吸引するため、図１及び図２に示す吸水装置２０には、保持板２４とホルダー２６との間には、図３（ａ）（ｂ）に示すゴム製の分散板２８が設けられている。
尚、分散板２８は、ゴム製であったが、塩ビ等の樹脂製、或いはステンレス製であってもよい。
【００１４】
図３（ａ）は、分散板２８の保持板２４側を示す平面図であり、図３（ｂ）は、分散板２８のホルダー２６側を示す背面図である。
分散板２８の保持板２４の中央部には、図３（ａ）（ｂ）に示す様に、出口孔２８ａが形成されており、図３（ａ）に示す、分散板２８の保持板２４側の面には、出口孔２８ａから外周縁方向に、放射状に複数本の凹溝２８ｂ，２８ｂ・・が形成されている共に、凹溝２８ｂ間には、同心円状の凸条２８ｃと凹溝２８ｄとが交互に形成されている。
かかる分散板２８によれば、保持板２４に形成された吸引孔２４ａ，２４ａ・・の各々から吸引された水を含む空気は、凹溝２８ｄ，凹溝２８ｄ・・及び凹溝２８ｂ，２８ｂ・・を経由して出口孔２８ａに繋がれている配管を経由して真空ポンプに吸引される。
このため、吸引孔２４ａ，２４ａ・・から出口孔２８ａへのバイパスを防止でき、吸引孔２４ａ，２４ａ・・の各々から均一に吸引できる。
尚、分散板２８の外周縁近傍には、保持板２４への取付ネジ用の小孔２８ｅ，２８ｅ・・が形成されている。
【００１５】
図１及び図２に示す吸水装置２０では、保持板２４及びホルダー２６が重いため、プレート板１０のバッキング材１２の貼付面に当接した吸水材２２の押圧は、保持板２４及びホルダー２６の自重によって施すことができる。このため、図２に示すホルダー２６に装着された筒状部３０は、昇降手段に繋がるシャフト３２に固着されておらず、昇降手段によって、プレート板１０のバッキング材１２の貼付面に当接した吸水材２２を押圧することはない。
但し、シャフト３２の端部に設けられたフランジ３２ａと筒状部３０の天井面とが当接している場合には、昇降手段によって吸水装置２０は昇降する。
【００１６】
図１及び図２に示す吸水装置２０によれば、真空ポンプを駆動して保持板２４に吸水材２２を保持している吸水装置２０を昇降手段を駆動して降下して、載置台等に載置されたプレート板１０に貼着されたバッキング材１２の貼付面の全面に吸水材２２を当接し、保持板２４及びホルダー２６の自重によって吸水材２２をバッキング材１２に押圧する。
この吸水材２２の押圧によって、吸水材２２はバッキング材１２の貼付面に沿って変形し、テンプレート１４の内側に位置するバッキング材１２の貼付面も押圧できる。
かかるバッキング材１２の貼付面の全面を吸水材２２によって押圧することによって、バッキング材１２の貼付面に付着している水は勿論のこと、バッキング材１２の内部の水も吸水材２２に吸水できる。
更に、吸水材２２に吸水された水は、駆動する真空ポンプによって、保持板２４の吸引孔２４ａ，２４ａ・・から吸引され、吸水材２２から除外できる。
【００１７】
プレート板１０に貼着されたバッキング材１２の貼付面の全面に吸水材２２を当接し押圧する状態を所定時間維持した後、昇降手段を駆動して吸水装置２０を上昇することによって、バッキング材１２の過剰水の吸水を終了する。
過剰水を吸水したバッキング材１２に、ワークであるウェーハＷを、その貼付面に水の表面貼力によって貼り付けて、図４に示す研磨装置を用いて研磨を施すことができる。図４に示す研磨装置は、プレート板１０の一面側に貼着されたバッキング材１２を介して貼り付けたウェーハＷの研磨面を、プレート板１０の他面側に当接するトップリング６４の押圧力によって、定盤６０に貼付された研磨布６２の研磨面に押し付けて研磨を施す。
このトップリング６４は、シャフト６６を介して接離動手段６８に接続されており、プレート板１０の他面側に対して接離動可能に設けられている。
この様に、定盤６０の研磨布６２にトップリング６４の押圧力によって押し付けられたウェーハＷが貼り付けられたプレート板１０は、図５に示す様に、ローラ７２，７２によって定盤６０の所定位置に位置決めされている。このローラ７２，７２は、矢印Ａ方向に回転する定盤６０の外側の基台に回動可能に設けられた回動軸６８から延出されたアーム７０に装着され、矢印Ａ方向に回転する定盤６０と共に移動するプレート板１０の二箇所に当接している。
尚、ローラ７２，７２は、プレート板１０の位置決めを行うことを要しない場合には、回動軸６８の回動によって、定盤６０の外側の基台上に移動することができる。
【００１８】
図５では、ローラ７２，７２によってプレート板１０を定盤６０の所定位置に位置決めしたが、図６に示す様に、センターローラ７４と、定盤６０の外側の基台に回動可能に設けられた回動軸６８から延出されたアーム７８に装着された一個のローラ７２とによっても、プレート板１０を定盤６０の所定位置に位置決めできる。
この場合も、センターローラ７４とローラ７２とは、矢印Ａ方向に回転する定盤６０と共に移動するプレート板１０の外周面の二箇所に当接し、プレート板１０を所定位置に位置決めする。この際に、センターローラ７４は矢印Ｄ方向に回転する。
【００１９】
図１及び図２に示す吸水装置２０を用いてプレート板１０に貼着したバッキング材１２の過剰水の吸水した後、バッキング材１２の貼付面にウェーハＷを貼り付けて、図４及び図５に示す研磨装置によって研磨を施した。
更に、研磨終了したウェーハＷを剥離してバッキング材１２を洗浄し、同様にしてバッキング材１２の過剰水を吸水した後、バッキング材１２の貼付面にウェーハＷを貼り付けて、図４及び図５に示す研磨装置によって研磨を施した。
この様に、同一のバッキング材を用いて一連の吸水・研磨作業を複数回繰り返してウェーハＷに研磨を施し、研磨を施したウェーハＷの各々について、厚さ（裏面基準面からの距離）を数箇所測定し、最大値と最小値との差（ＧＢＩＲ）を求め、その結果を図７（ａ）に示す。
更に、バッキング材１２の過剰水を吸水する吸水作業を実施しなかった他は、同様にして研磨作業を複数回繰り返して実施し、研磨を施したウェーハＷの各々について、厚さ（裏面基準面からの距離）を数箇所測定し、最大値と最小値との差（ＧＢＩＲ）を求め、その結果を図７（ｂ）に示す。
図７（ａ）（ｂ）のグラフでは、横軸に同一バッキング材１２を用いて施した研磨の回数を示す。
図７（ａ）（ｂ）のグラフから明らかな様に、バッキング材１２の過剰水を吸水した後、ウェーハＷを貼付して研磨を施すことによって、ウェーハＷの研磨面の平坦度を均一とすることができ、且つ同一バッキング材１２を用いて研磨を繰り返して施しても、ウェーハＷの研磨面の平坦度を一定に保持できる。
このことは、バッキング材１２の過剰水を吸水することによって、図９に示す如く、過剰水がウェーハＷの中央部方向に集まり、バッキング材１０８のウェーハＷの中央部に相当する部分が、ウェーハＷの外周縁近傍に相当する部分に比較して厚くなる現象を解消でき、ワークＷの研磨精度の向上を図ることができたものと考えられる。
【００２０】
ところで、図１に示す吸水装置２０は、プレート板１０との位置決めが適切に行なわれているため、吸水材２２は、テンプレート１４の内側に露出するバッキング材１２の貼付面と等しい面積に形成されている。
しかし、吸水装置２０とプレート板１０との位置決めが困難である場合には、吸水材２２として、テンプレート１４の内側に露出するバッキング材１２の貼付面よりも大面積の吸水材２２を採用してもよい。
図１及び図２に示す吸水装置２０では、プレート板１０のバッキング材１２の貼付面に当接した吸水材２２の押圧を、保持板２４及びホルダー２６の自重によって施しているが、保持板２４及びホルダー２６の自重では押圧力が不足する場合には、吸水装置２０を昇降する昇降手段によってバッキング材１２の押圧を強制的に施してもよい。この場合、図２に示すホルダー２６に装着された筒状部３０は、昇降手段に繋がるシャフト３２に固着されている。
【００２１】
また、図１及び図２に示す吸水装置２０に代えて図８に示すローラ状の吸水装置４０を用いてもよい。このローラ状の吸水装置４０は、コンベアとして用いるローラ４６によって搬送されてきたプレート板１０に貼着されたバッキング材１２の貼付面に対し、回転可能に設けられた筒状部材４２の外周面に多孔質のスポンジ状の吸水材２２が装着されている。
かかる筒状部材４２には、図９に示す様に、複数個の吸引孔４４，４４・・が形成されており、筒状部材４２内を真空ポンプによって吸引することによって、吸水材２２を筒状部材４２の外周面に保持し且つ吸水材２２に吸水された水を吸引して除去できる。
【００２２】
図８に示すローラ状吸水装置４０は、コンベアとして用いるローラ４６の上方に設置し、ローラ４６によって搬送されるプレート板１０のバッキング材１２の貼付面を、筒状部材４２の回転に伴って回転しつつ当接する吸水材２２によって押圧する。
この吸水材２２には、バッキング材１２の貼付面及び内部の過剰水が吸水され、吸水された水は真空ポンプによって吸水材２２から吸引除去できる。
図８に示すローラ状吸水装置４０は、コンベアとして用いるローラ４６の上方の設置位置から移動しないが、コンベアとして用いるローラ４６によって搬送されたきたプレート板１０を所定位置で停止した後、図８に示すローラ状吸水装置４０をバッキング材１２の貼付面に沿って移動してもよい。この場合も、バッキング材１２の貼付面を回転しつつ当接する吸水材２２によって押圧する。
【００２３】
図１〜図３及び図８に示す吸水装置２０，４０では、吸水材２２に吸水された水を真空ポンプによって吸引して除去している。このため、真空ポンプとしては、ポンプ内に水を吸引していも問題のない水封止式真空ポンプを用いることが好ましい。
ポンプ内に水を吸引すると問題が発生する可能性を有する真空ポンプを用いる場合には、吸水装置２０，４０と真空ポンプとの配管に、図１０に示すドレン分離器を設けることが好ましい。このドレン分離器は、吸水装置２０，４０からの配管５２と真空ポンプ側への配管５４との間にドレンポット５０が設けられたものである。このドレンポット５０には、貯まったドレンをパージするパージバルブ５６が設けられている。
かかるドレン分離器では、配管５２から送られてくるドレンを含む空気流は、ドレンポット５０に入り急激に流速が低下し、ドレンが空気流から分離してドレンポット５０内に溜り、空気流のみが配管５４から真空ポンプに吸引される。
【００２４】
以上の説明では、本発明に係る吸水方法及び吸水装置によってバッキング材１２の過剰水が吸引されたプレート板１６を用いることができる研磨装置として、図４、図５及び図６に、ローラ７２によって所定位置に位置決めされたプレート板１０の一面側に貼着されたバッキング材１２を介して貼り付けたウェーハＷの研磨面を、プレート板１０の他面側に当接するトップリング６４の押圧力によって、定盤６０に貼付された研磨布６２の研磨面に押し付ける研磨装置を示したが、他の研磨装置にも本発明に係る吸水方法及び吸水装置を適応できる。
例えば、図１１に示す研磨装置、すなわち所定方向に回転する定盤１００に貼着された研磨布１０２に対し、接離可能に設けられていると共に、所定方向に回転するトップリング１０４を用い、このトップリング１０４のヘッド本体内に組み込まれて固定されたセラミック製のプレート板１０６に保持されたワークとしてのウェーハＷの研磨面を研磨布１０２に押し付けて研磨を施す研磨装置にも、本発明に係る吸水方法及び吸水装置を適応できる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明に係る吸水装置の一例を説明する正面図である。
【図２】図１に示す吸水装置の断面図である。
【図３】図１及び図２に示す吸水装置に用いる分散板を説明する正面図及び背面図である。
【図４】本発明に係る吸水装置で吸水したバッキング材に貼付したワークＷに研磨を施す研磨装置の一例を説明する部分断面図である。
【図５】図４に示すプレート板１０の位置決め機構の一例を説明する部分平面図である。
【図６】図４に示すプレート板１０の位置決め機構の他の例を説明する部分平面図である。
【図７】バッキング材の過剰水の吸水による効果を説明するグラフである。
【図８】本発明に係る吸水装置の他の例を説明する斜視図である。
【図９】図８に示す吸水装置の部分断面図である。
【図１０】吸水装置と真空ポンプとの間に設置するドレン分離器の概要を示す概略図である。
【図１１】研磨装置の一例を説明する説明図である。
【図１２】図１１に示す研磨装置で用いるプレート板の一例を説明する正面図である。
【図１３】ワークとしてのウェーハＷの研磨状態を説明する説明図である。
【図１４】図１１に示す研磨装置で用いるプレート板の他の例を説明する斜視図である。
【符号の説明】
【００２６】
１０  プレート板
１２  バッキング材
１４  テンプレート
２０，４０  吸水装置
２２  吸水材
２４  保持板（保持部材）
２４ａ  吸引孔
２６  ホルダー
２８  分散板
３０  筒状部
３２  シャフト
３２ａ  フランジ
４２  筒状部材                                                                               
【図１】
2005313312.tif 000003
【図２】
2005313312.tif 000004
【図３】
2005313312.tif 000005
【図４】
2005313312.tif 000006
【図５】
2005313312.tif 000007
【図６】
2005313312.tif 000008
【図７】
2005313312.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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