(57)【要約】【課題】  エピタキシャル成長により結晶欠陥の少ない低転位領域を有するＧａＮ系半導体を提供する。【解決手段】  ＧａＮ系半導体のファセット構造を形成しながら成長させて隣接するファセット構造を合体させる。ファセット構造が成長するにしたがい下地からの転位が曲がり低転位領域が形成される。更にファセット構造の成長させて隣接するファセット構造を合体させることでファセット面とファセット面とが重なる領域に曲がった転位を集める。【選択図】  図１
2005094029.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＧａＮ系半導体のファセット構造を形成しながら成長させ隣接する前記ファセット構造を合体させることを特徴とするＧａＮ系半導体の成長方法。
【請求項２】
ＧａＮ系半導体のファセット構造を形成しながら成長させ前記ＧａＮ系半導体中の転位を曲げて隣接するファセット面とファセット面との境界へ前記転位を集めることを特徴とするＧａＮ系半導体の成長方法。
【請求項３】
ＧａＮ系半導体のファセット構造を形成しながら成長させ隣接する前記ファセット構造を合体させた領域を有することを特徴とするＧａＮ系半導体。
【請求項４】
ＧａＮ系半導体のファセット構造を形成しながら成長させ前記ＧａＮ系半導体中の転位を曲げて隣接するファセット面とファセット面との境界へ前記転位を集めた領域を有することを特徴とするＧａＮ系半導体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体結晶のエピタキシャル成長方法に関し、格子定数や、熱膨張係数の異なる基板上にＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体結晶膜をエピタキシャル成長させる方法及びこの成長方法これによって得られるＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体膜に関する。特に結晶欠陥の少ない半導体膜の形成が困難なＧａＮ系半導体のエピタキシャル成長方法の適用に有効である。
【０００２】
さらにＧａＮ系半導体素子及びその製造方法に関し、結晶欠陥の少ないＧａＮ半導体膜上に形成されたＧａＮ系半導体素子及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００３】
ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体で、例えば窒化ガリウム（ＧａＮ）は、禁制帯幅が３．４ｅＶと大きく、かつ直接遷移型であることから青色発光素子材料として注目されている。
【０００４】
この材料を用いた発光デバイスを作製するための基板材料としては、成長させるエピタキシャル層と同じ物質のバルク結晶を用いることが望ましい。しかしながら、ＧａＮのような結晶では、窒素の解離圧が高いことによりバルク結晶の作製が非常に困難であった。したがってバルク結晶の作製が非常に困難な材料を用いてデバイスを作製する場合は、例えばサファイア（Ａｌ2Ｏ3）基板などのような格子定数、熱膨張係数などの物理的性質や、化学的性質も全く異なる基板が用いられてきた。
【０００５】
このようなヘテロ基板上にエピタキシャル成長を行うと、基板や、エピタキシャル層に歪みや、欠陥が発生し、特に厚い膜を成長した場合には、クラックが発生することが非特許文献１に報告されている。このような場合には、デバイスとしての性能が極端に悪くなるばかりではなく、成長層が粉々に破壊されるという結果をしばしば招いた。
【０００６】
また格子不整合系のエピタキシャル成長において、転位密度が少ない高品質のエピタキシャル成長層を得るために、最初の結晶成長で１μｍのＳｉＯ2膜でストライプを形成したサファイア基板上にＧａＮ膜の選択成長を行い、格子欠陥や転位を特定の領域に集中させることが特許文献１号公報に記載されている。しかし特許文献１の例ではＳｉＯ2膜部分で成長が起こらないために全面に平坦な成長層を得ることができず、素子形成箇所に制約が生じていた。
【特許文献１】特開平８−６４７９１号公報
【非特許文献１】「ジャパニーズジャーナル  オブ  アプライド  フィジックス第３２巻（１９９３）第１５２８−１５３３頁」（Jpn.J.  Appl.Phys.Vol  32(1993)  pp.1528-1533）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、格子定数や熱膨張係数が異なるヘテロ基板を用いてエピタキシャル成長を行っても、基板やエピタキシャル成長層への歪みや欠陥の発生が少なく、また厚い膜を成長してもクラックが入りにくいエピタキシャル成長層を得るための成長方法を提供することにある。
【０００８】
さらに本発明の他の目的は、上記エピタキシャル成長をＧａＮ系半導体の成長に利用し結晶欠陥の少ないＧａＮ系半導体膜を提供することにある。
【０００９】
また本発明の他の目的は、上記エピタキシャル成長により形成されたＧａＮ系半導体膜上にＧａＮ系半導体素子構造（例えばＧａＮ系半導体発光素子構造）を作製することにより、優れた素子特性の得られるＧａＮ系半導体素子（例えばＧａＮ系半導体発光素子）を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明のＧａＮ系半導体の成長方法は、ＧａＮ系半導体のファセット構造を形成しながら成長させ隣接する前記ファセット構造を合体させることを特徴とする。
【００１１】
本発明のＧａＮ系半導体の成長方法は、ＧａＮ系半導体のファセット構造を形成しながら成長させ前記ＧａＮ系半導体中の転位を曲げて隣接するファセット面とファセット面との境界へ前記転位を集めることを特徴とする。
【００１２】
本発明のＧａＮ系半導体は、ＧａＮ系半導体のファセット構造を形成しながら成長させ隣接する前記ファセット構造を合体させた領域を有することを特徴とする。
【００１３】
本発明のＧａＮ系半導体は、ＧａＮ系半導体のファセット構造を形成しながら成長させ前記ＧａＮ系半導体中の転位を曲げて隣接するファセット面とファセット面との境界へ前記転位を集めた領域を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によるＧａＮ系半導体の成長方法は、初期成長段階で、マスクにより基板上の成長領域を制限し、ファセット成長を促すことで、成長するＧａＮ系半導体層と基板結晶の熱膨張係数差、および格子定数差によって生じるクラックを抑え、欠陥の導入を抑制して、高品質のＧａＮ系半導体を形成することができる。
【００１５】
従って、本発明による結晶を用いれば、この上に高品質の半導体素子、例えばレーザ構造や、トランジスタ構造を作製することができ、その特性が飛躍的に向上することが期待される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明の実施の形態について、図面を用いて以下に説明する。
【００１７】
（第１の実施の形態）本発明の第１の実施の形態について、ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体のエピタキシャル成長を例に図１を参照して説明する。
【００１８】
初めに、基板材料とは性質を異にし、その次の工程で成長する材料と同じか、あるいはその材料と格子定数や熱膨張係数の似た性質を有するＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体１２を基板上に成長し、その表面上にフォトリソグラフィー法とウエットエッチング法を用いて基板上の成長領域を制限するマスク１４を形成する。マスクの形状はストライプとし、このときマスク１４の厚さは１０ｎｍから２μｍ程度であり、成長領域１３およびマスク１４のストライプ幅は、通常０．１μｍから１０μｍ程度とした。（図１（ａ））。
【００１９】
次に、成長領域に対しＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体膜のエピタキシャル成長を行う。マスク１４の付いた基板をエピタキシャル装置の反応管に挿入して、水素ガス、窒素ガス、または、水素と窒素の混合ガスとＶ族原料ガスを供給しながら基板１１を所定の成長温度まで昇温する。温度が安定してからＩＩＩ族原料を供給して、成長領域１３にＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体１５を成長する。結晶成長方法は、好ましくはＩＩＩ族原料に塩化物を用いる塩化物輸送法による気相成長（ＶＰＥ：Vapor  Phase  Epitaxy）で行うが、ＩＩＩ族原料に有機金属を用いる有機金属化合物気相成長（ＭＯＣＶＤ：Metal  Organic  Vapor  Phase  Epitaxy）を用いてもよい。
【００２０】
ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体１５は、初期段階ではマスク１４上に成長せず、成長領域１３のみで結晶成長が起こり、成長領域上のＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体１５にはファセット構造が形成される。このときのＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体１５の成長条件はファセット構造が形成されるよう６５０℃から１１００℃の成長温度、ＩＩＩ族原料の供給量に対し等倍から２０００００倍を供給するＶ族原料の供給量の範囲で行う。（図１（ｂ））。
【００２１】
さらにエピタキシャル成長を続けると、ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体１５はファセット構造の面に対して垂直な方向に成長が進むため、成長領域だけでなくマスク１４を覆うようになる。そして隣接する成長領域のＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体１５のファセット構造と接触する（図１（ｃ））。
【００２２】
さらにエピタキシャル成長を続けると、ファセット構造が埋め込まれ（図１（ｄ））、最終的には、平坦な表面を有するＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体膜１５を得ることができる（図１（ｅ））。
【００２３】
通常、基板上に格子定数や熱膨張率の異なるＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体の結晶成長を行うと、基板との界面で発生した結晶欠陥にともなう転位は、界面と垂直方向に伸びるために、たとえエピタキシャル膜を厚くしても、転位の低減は見られない。
【００２４】
本実施の形態による方法では、選択成長により成長領域にファセット構造を形成している。このファセットは成長速度が他の面より遅いために現れる。ファセットの出現により転位がファセットに向かって進み、基板と垂直に伸びていた転位が垂直な方向へ伸びることができなくなる。結晶欠陥はファセットの成長とともに横方向に曲げられ、エピタキシャル膜の膜厚増加に伴い、成長領域では結晶欠陥が減少していき、結晶の端に出てしまうか、閉ループを形成することがわかった。これにより、エピタキシャル膜内の欠陥の低減が計られる。このようにファセット構造を形成して成長することで、結晶欠陥を大幅に減らせる。
【００２５】
特にＩＩＩ族原料に塩化物を用いる塩化物輸送法による気相成長では、ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体１５の成長が速いため、ファセット構造のうち基板面と同じ面が消えるのがはやい。したがって基板と垂直に伸びる転位は、はやくからファセット構造のうち基板面と異なる面の方向に伸びることになりＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体１５における垂直に伸びる転位を大幅に減らすことができる。
【００２６】
なお、ＩＩＩ族原料に有機金属を用いる有機金属化合物気相成長は塩化物輸送法による気相成長と比べて成長速度が遅くなるが、上述のようにのＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体１５のファセット構造のうち基板面と同じ面がはやく消えるようにすればよい。例えば成長領域に対するマスクの面積を大きくすればマスク上からの成長種の供給量が増えるため成長領域におけるＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体１５の成長をはやめることができる。
【００２７】
（第２の実施の形態）本発明の第２の実施の形態について、ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体のエピタキシャル成長を例に図５を参照して説明する。
【００２８】
図５（ａ）〜（ｂ）までは第１の実施の形態の図１（ａ）から（ｅ）と同様な工程で作製しているため説明を省略する。第２の実施の形態では、ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体のエピタキシャル成長を行い成長層を平坦化した後に、第２のマスクを設け（図５（ｃ））、第１の実施の形態と同様にファセット構造を形成し、平坦化を行っている（図５（ｄ））。
【００２９】
第２の実施の形態では、図１（ａ）から（ｅ）の作製工程を繰り返すことにより形成したＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体膜の欠陥密度をさらに低減することができる。
【００３０】
第１の実施の形態あるいは第２の実施の形態は、基板と格子定数や熱膨張係数の異なる材料を結晶成長する場合に有効であり、Ａｌ2Ｏ3，Ｓｉ，ＳｉＣ，ＭｇＡｌ2Ｏ4，ＬｉＧａＯ2，ＺｎＯ等の基板への、ＧａＮ、ＧａＡｌＮ、ＩｎＧａＮ、ＩｎＮ等のＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体の成長に適用できる。
【００３１】
また図１あるいは図５では基板にその次の工程で成長する物質と同じ、あるいはその物質と格子定数や熱膨張係数の似た性質を有するＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体膜表面にマスクを形成した例を示したが、基板１１表面に直接マスクを形成して図１（ｂ）〜（ｅ）あるいは図５（ｂ）〜（ｄ）のプロセスを行っても同様な効果が得られる。
【００３２】
さらに本実施の形態ではマスク１４としてストライプ状のパターンを用いた成長領域について説明を行ったが、これに限られるものではなく、ファセット構造が現れるものであれば、成長領域の形状が矩形状、丸状、又は三角状となるマスクでもよい。
【００３３】
（第３の実施の形態）次に、本発明の第３の実施の形態について説明する。第３の実施の形態は、第１の実施の形態あるいは第２の実施の形態で説明したＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体のエピタキシャル成長をＧａＮ系半導体の成長に利用しＧａＮ系半導体膜を形成するものである。
【００３４】
第３の実施の形態は、第１の実施の形態あるいは第２の実施の形態で説明したエピタキシャル成長をＧａＮ系半導体に利用したものであり、共通する箇所については説明を簡略化する。
【００３５】
はじめに、ＧａＮ系半導体と熱膨張係数や格子定数の異なる基板材料上に、フォトリソグラフィー法とウエットエッチング法を用いて基板上の成長領域を制限するマスクを形成する。
【００３６】
次に成長領域に対しＧａＮ系半導体のエピタキシャル成長を行う。成長領域に成長するＧａＮ系半導体の結晶成長方法は、ＩＩＩ族原料にガリウム（Ｇａ）と塩化水素（ＨＣｌ）の反応生成物である塩化ガリウム（ＧａＣｌ）とＶ族原料にアンモニア（ＮＨ3）ガスを用いる塩化物輸送法による気相成長（ＶＰＥ：VaporPhase  Epitaxy  ）であるハイドライドＶＰＥ法や、Ｇａ原料に有機金属を用いる有機金属化合物気相成長（ＭＯＣＶＤ：Metal  Organic  Vapor  Phase  Epitaxy）を用いる。成長温度は６５０℃から１１００℃で行い、Ｖ族原料の供給量はＩＩＩ族原料の供給量に対し等倍から２０００００倍を供給すればよい。
【００３７】
ＧａＮ系半導体層のエピタキシャル成長は、第１の実施の形態と同様に、ＧａＮ系半導体が初期段階ではマスク上に成長せず成長領域のみで結晶成長が起こり、成長領域上のＧａＮ系半導体膜には基板の面方位とは異なる面方位のファセット構造が形成される。
【００３８】
エピタキシャル成長を続けると、ＧａＮ系半導体はファセット構造の面に対して垂直な方向に成長が進むため、成長領域だけでなくマスクを覆うようになる。そして隣接する成長領域のＧａＮ系半導体のファセット構造と接触する。さらにエピタキシャル成長を続けると、ＧａＮ系半導体によりファセット構造が埋め込まれ、最終的には、平坦な表面を有するＧａＮ系半導体膜を得ることができる。
【００３９】
ＧａＮはバルク結晶の作製が困難なため、従来のＧａＮ系半導体の結晶成長では基板としてサファイア基板、ＳｉＣ基板等を用いてきたが、これらの基板はＧａＮ系半導体とは格子定数や熱膨張率が異なっている。このためＧａＮ系半導体のエピタキシャル成長を行うと、基板との界面で発生した結晶欠陥にともなう転位が界面と垂直方向に伸び、たとえエピタキシャル膜を厚くしても転位の低減は見られなかった。
【００４０】
本実施の形態によるエピタキシャル成長方法では、ＧａＮ系半導体と熱膨張係数や格子定数の異なる基板材料上のマスク材料により選択的に形成された成長領域に、基板面方位とは異なる面方位のファセット構造を有するＧａＮ系半導体をエピタキシャル成長している。このファセットは成長速度が他の面より遅いために現れ、ファセットの出現により、基板とＧａＮ系半導体の界面付近から発生した転位がファセットに向かって進むようになり、基板と垂直に伸びていた転位が垂直な方向へ伸びることができなくなる。
【００４１】
したがってＧａＮ系半導体の結晶欠陥はファセットの成長とともに横方向に曲げられ、ＧａＮ系半導体のエピタキシャル成長による膜厚の増加に伴い、成長領域では結晶欠陥が減少していき、結晶の端に出てしまうか、閉ループを形成する。これにより、エピタキシャル膜内の欠陥の低減が計られる。
【００４２】
このように基板上にマスクにより選択的に形成された成長領域にファセット構造を有するＧａＮ系半導体膜を成長することで、ＧａＮ系半導体膜の結晶欠陥を大幅に減らすことが可能となる。
【００４３】
さらに、第３の実施の形態で得られるＧａＮ系半導体膜は膜厚を所望の厚さに成長してから基板（サファイア基板等）とマスクとＧａＮ系半導体の一部を除去することで、結晶欠陥の少ないＧａＮ系半導体膜の基板として用いることができる。このようなＧａＮ系半導体膜上にＧａＮ系半導体素子を作製することで、ＧａＮ系半導体素子の積層構造の結晶性を改善することができる。
【００４４】
またＧａＮ系半導体素子がＧａＮ系半導体発光素子の場合は、サファイア基板等で問題となっていたＧａＮ系半導体発光素子における基板裏面への電極形成が可能になる。
【００４５】
さらにＧａＮ系半導体発光素子がＧａＮ系半導体レーザの場合は、ＧａＮ系半導体とへき開面が異なるヘテロ基板上にレーザ構造を形成しても、へき開による共振器ミラーの作製が可能になる。
【００４６】
なお、第３の実施の形態におけるＧａＮ系半導体膜の形成は説明上第１の実施の形態のエピタキシャル成長を用いた記載としたが、第２の実施の形態でも適用可能である。
【００４７】
第３の実施の形態の説明では、ＧａＮ系半導体と格子定数や熱膨張係数の異なる基板表面に直接マスクを形成する例を示したが、基板上にＧａＮ系半導体を成長した後に、該ＧａＮ系半導体表面にマスクを形成しても同様な効果が得られる。
【００４８】
さらに本実施の形態に用いるマスクとしては第１の実施の形態あるいは第２の実施の形態と同様な材料、寸法、形状を適用することができる。また本実施の形態におけるＧａＮ系半導体膜としてはＧａＮ、ＡｌＧａＮ、ＩｎＧａＮ等があげられるがＧａＮが最も好ましい。
【００４９】
またＧａＮ系半導体素子としては、ＧａＮ系半導体レーザやＧａＮ系ＬＥＤ等のＧａＮ系半導体発光素子の他にＦＥＴやＨＢＴなどのデバイスにも適用可能である。
【００５０】
（第４の実施の形態）本発明の第４の実施の形態について、図６を参照して説明する。
【００５１】
第４の実施の形態は、ＧａＮ系半導体と熱膨張係数や格子定数が異なる基板上に、第１の実施の形態のエピタキシャル成長を利用してＧａＮ系半導体厚膜を成長し、さらにこのＧａＮ系半導体厚膜上にＧａＮ系半導体素子を作製するものである。
【００５２】
第４の実施の形態ではＧａＮ系半導体膜上のＧａＮ系半導体素子としてＧａＮ系半導体発光素子を用いた場合について説明する。
【００５３】
はじめに、基板表面にマスクを形成し、フォトリソグラフィー法とウエットエッチングでマスクと成長領域に分離する。基板には、ＧａＮ系半導体と熱膨張係数や格子定数の異なる基板材料上にＧａＮ系半導体が形成された基板を用いる。
【００５４】
マスク及び成長領域の形状としては、第１の実施の形態の説明のように成長領域のＧａＮ系半導体にファセットが出現する形状とする。
【００５５】
次に成長領域に対しＧａＮ系半導体のエピタキシャル成長を行う。ＧａＮ系半導体の成長法は、ＩＩＩ族原料にガリウム（Ｇａ）と塩化水素（ＨＣｌ）の反応生成物である塩化ガリウム（ＧａＣｌ）とＶ族原料にアンモニア（ＮＨ3 ）ガスを用いるハイドライドＶＰＥ法が好ましいが、有機金属化学気相成長法（ＭＯＶＰＥ）を用いてもよい。
【００５６】
ＧａＮ系半導体のエピタキシャル成長は、第１の実施の形態と同様に、ＧａＮ系半導体が初期段階ではマスク上に成長せず成長領域のみで結晶成長が起こり、成長領域上のＧａＮ系半導体には基板の面方位とは異なる面方位のファセット構造が形成される。
【００５７】
エピタキシャル成長を続けると、ＧａＮ系半導体はファセット構造の面に対して垂直な方向に成長が進むため、成長領域だけでなくマスクを覆うようになる。そして隣接する成長領域のＧａＮ系半導体膜のファセット構造と接触する。さらにエピタキシャル成長を続けると、ＧａＮ系半導体によりファセット構造が埋め込まれ、最終的には、平坦な表面を有するＧａＮ系半導体膜を得ることができる。
【００５８】
次にＧａＮ系半導体膜上にＧａＮ系半導体発光素子の素子構造を作製する。ＧａＮ系半導体膜を形成した後、ＧａＮ系半導体膜が形成された基板をＭＯＣＶＤ装置にセットし、所定の温度、ガス流量、Ｖ／ＩＩＩ比で、ｎ型ＧａＮ層、ｎ型ＡｌＧａＮクラット層、ｎ型ＧａＮ光ガイド層、アンドープＩｎＧａＮ量子井戸層とアンドープＩｎＧａＮ障壁層からなる多重量子井戸構造活性層、ｐ型ＡｌＧａＮ層、ｐ型ＧａＮ光ガイド層、ｐ型ＡｌＧａＮクラッド層、ｐ型ＧａＮコンタクト層を順次形成しレーザー構造を作製する。
【００５９】
次に、レーザー構造を形成した基板を研磨器にセットし、基板、ＳｉＯ2マスク、およびＧａＮ系半導体膜の一部を研磨してＧａＮ系半導体膜を露出させる。露出したＧａＮ系半導体膜の面、すなわちＧａＮ系半導体発光素子裏面側にｎ型電極を形成し表面側にｐ型電極を形成する。
【００６０】
第４の実施の形態により以下の効果が得られる。
【００６１】
第１の実施の形態のエピタキシャル成長で得られたＧａＮ系半導体膜上にＧａＮ系半導体素子構造を成長することにより、従来のサファイア基板を用いた成長で問題となっていたＧａＮ系半導体素子構造におけるエピタキシャル成長膜の結晶性が改善でき、ＧａＮ系半導体素子特性を向上させることができる。
【００６２】
さらにＧａＮ系半導体素子がＧａＮ系半導体発光素子の場合においては、裏面に電極を形成することができるため、従来のようにドライエッチング等複雑な作製工程で電極をＧａＮ系半導体膜の表面に形成することなく素子を作製でき電極作製工程が簡略化できる。
【００６３】
またＧａＮ系半導体発光素子がＧａＮ系半導体レーザの場合は、結晶欠陥が少ないＧａＮ系半導体厚膜を形成した後に基板、マスクを除去することで、へき開によりＧａＮ系半導体レーザ構造の共振器ミラー面を形成できる。このため従来のドライエッチング等による複雑な工程で共振器ミラー面を形成したものに比べ大幅に簡略化でき歩留まりも大幅に向上できる。
【００６４】
なお、第４の実施の形態は上記の説明に限定されるものではなく、必要に応じて他の構成、成長法を採ることが可能である。
【００６５】
例えば、ＧａＮ系半導体膜のエピタキシャル成長は第１の実施の形態だけでなく、第２の実施の形態の適用もできる。
【００６６】
さらにＧａＮ系半導体膜上にＧａＮ系半導体素子の積層構造を作製した後に基板、マスクを除去したが、ＧａＮ系半導体膜形成後に基板、マスクとＧａＮ系半導体膜の一部を除去した後にＧａＮ系半導体素子の積層構造を作製してもよい。
【００６７】
なお、ＧａＮ系半導体膜から基板、マスクを除去した例を説明したが、ＧａＮ系半導体膜上に形成されたＧａＮ系半導体素子の結晶性の効果だけ得たいのであれば、基板、マスクの除去を行わず、ＧａＮ系半導体素子表面側に電極を形成する構成としてもよい。
【００６８】
さらに本実施の形態に用いるマスクとしては第１の実施の形態あるいは第２の実施の形態と同様な材料、寸法、形状を適用することができる。また本実施の形態におけるＧａＮ系半導体膜としてはＧａＮ、ＡｌＧａＮ、ＩｎＧａＮ等があげられるがＧａＮが最も好ましい。
【００６９】
またＧａＮ系半導体素子としては、ＧａＮ系半導体レーザやＧａＮ系ＬＥＤ等のＧａＮ系半導体発光素子の他にＦＥＴやＨＢＴなどのデバイスにも適用可能である。
【実施例】
【００７０】
次に本発明の実施例について図面を参照して説明する。
【００７１】
（第１の実施例）本発明の実施例について、図１を参照して説明する。本実施例では、基板として、（０００１）面サファイア（Ａｌ2Ｏ3）基板１１上に１μｍ程度の膜厚のＧａＮ膜１２をあらかじめ形成した基板を用いた。このＧａＮ膜１２表面にＳｉＯ2膜を形成し、フォトリソグラフィー法とウエットエッチングでマスク１４と成長領域１３に分離した。成長領域１３およびマスク１４は、それぞれ５μｍおよび２μｍの幅のストライプ状である。ストライプ方向は＜１１−２０＞方向とした（（図１（ａ））。
【００７２】
成長領域１３に成長するＧａＮ膜１５は、ＩＩＩ族原料にガリウム（Ｇａ）と塩化水素（ＨＣｌ）の反応生成物である塩化ガリウム（ＧａＣｌ）とＶ族原料にアンモニア（ＮＨ3 ）ガスを用いるハイドライドＶＰＥ法を用いた。基板１１をハイドライドの成長装置にセットし、水素雰囲気で成長温度１０００℃に昇温する。成長温度が安定してから、ＨＣｌ流量を２０ｃｃ／毎分で供給し、ＮＨ3流量１０００ｃｃ／毎分で５分程度供給することで、成長領域１３にＧａＮ膜１５の｛１−１０１｝面からなるファセット構造を成長させた（図１（ｂ））。さらに、２０分間程度エピタキシャル成長を続け、マスク１４を覆うまでファセット構造１６を発達させた（図１（ｃ））。
【００７３】
エピタキシャル成長を続けることによりファセット構造を埋め込み（図１（ｄ））、最終的には、５時間の成長で２００μｍ程度の平坦な表面を有するＧａＮ膜を形成させた（図１（ｅ））。ＧａＮ膜１５を形成後、アンモニアガスを供給しながら、常温まで冷却し成長装置より取り出した。
【００７４】
第１の実施例では成長領域を制限する選択成長により、側壁が｛１−１０１｝面からなるファセットを形成して結晶成長を行っている。このファセットは成長速度が他の面より遅いために現れてくる。ファセットが現れる前は、基板と垂直に伸びていた転位が、ファセットの出現でこの方向へ伸びることができなくなる。
【００７５】
本発明により成長した結晶を詳細に調べると、ファセットの出現で、横方向に曲げられ、エピタキシャル膜の膜厚増加に伴い、結晶の端に出ることがわかった。これにより、エピタキシャル膜内の欠陥の低減が計られる。
【００７６】
第１の実施例によって形成されたＧａＮ膜１５には、サファイア基板１１と格子定数や熱膨張係数が違うにもかかわらずクラックが入っていないことが確認された。しかも、厚膜成長を行ったＧａＮ膜には、欠陥が非常に少なく、欠陥密度は１０6ｃｍ2程度であった。
【００７７】
本実施例で成長したＧａＮ膜は欠陥が非常に少なく、この上にレーザ、ＦＥＴ、およびＨＢＴなどの高品質なデバイス構造を成長することで、デバイス特性を向上させることが可能となる。
【００７８】
さらにサファイア基板１１を研磨等によって除去することで、ＧａＮ膜１５を基板材料として用いることもできる。
【００７９】
第１の実施例では、ＧａＮ膜のエピタキシャル成長にハイドライドＶＰＥ法を用いて形成したが、有機金属化合物気相成長法（ＭＯＣＶＤ）を用いても同様な効果が得られる。またＡｌ2Ｏ3基板１１を用いたが、Ｓｉ基板、ＺｎＯ基板、ＳｉＣ基板、ＬｉＧａＯ2基板、ＭｇＡｌ2Ｏ4基板等を用いても同様な効果が得られる。さらにＡｌ2Ｏ3基板１１上にＧａＮ膜１２をあらかじめ形成したが、基板１１上に直接マスクを形成してもよい。
【００８０】
またマスク１４としてＳｉＯ2を用いたがこれに限られるものではなく、ＳｉＮx等の絶縁体膜でもよい。この実施例ではマスク１４の幅を２μｍとしたが、マスクを埋め込むことのできる幅であれば同様な効果が得られる。さらにストライプを＜１１−２０＞方向に形成したが、ファセットが形成されれば、これと垂直の方向＜１−１００＞でもよく、これらの方向から傾けた角度であっても結晶成長の条件により、成長領域にファセット構造を形成することができる。なおファセット構造が形成される結晶成長の条件は材料によってそれぞれ異なる。
【００８１】
またＧａＮのエピタキシャル成長について述べたが、ＩｎＧａＮ膜、ＡｌＧａＮ膜、ＩｎＮ膜をエピタキシャル成長しても同様な効果が得られる。さらに成長するＩＩＩ−Ｖ族化合物に不純物の添加しても同様な効果が得られる。
【００８２】
（第２の実施例）本発明の第２の実施例について、第１の実施例と同じく図１を参照して説明する。
【００８３】
第２の実施例では、基板として、（０００１）面ＳｉＣ基板１１上に１μｍ程度の膜厚のＡｌ0.1Ｇａ0.9Ｎ膜１２をあらかじめ形成した結晶を用いた。このＡｌ0.1Ｇａ0.9Ｎ膜１２表面にＳｉＯ2膜を形成し、フォトリソグラフィー法とウエットエッチングでマスク１４と成長領域１３に分離した。成長領域１３、およびマスク１４は、それぞれ２μｍ、および１０μｍの幅のストライプ状である。ストライプ方向は＜１−１００＞方向とした（（図１（ａ））。
【００８４】
成長領域１３に成長するＧａＮ膜１５は、ＩＩＩ族原料にガリウム（Ｇａ）と塩化水素（ＨＣｌ）の反応生成物である塩化ガリウム（ＧａＣｌ）とＶ族原料にアンモニア（ＮＨ3 ）ガスを用いるハイドライドＶＰＥ法を用いた。基板１１をハイドライドの成長装置にセットし、水素雰囲気で成長温度１０００℃に昇温する。成長温度が安定してから、ＨＣｌ流量を２０ｃｃ／毎分で供給し、ＮＨ3 流量２０００ｃｃ／毎分で５分程度供給することで、成長領域１３にＧａＮ膜１５の｛１−１０１｝面からなるファセット構造を成長させた（図１（ｂ））。
【００８５】
さらに、２０分間程度エピタキシャル成長を続け、マスク１４を覆うまでＧａＮのファセット構造１５を発達させた（図１（ｃ））。
【００８６】
エピタキシャル成長を続けることによりファセット構造を埋め込み（図１（ｄ））、最終的には、５時間の成長で２００μｍ程度の平坦な表面を有するＧａＮ膜を形成させた（図１（ｅ））。ＧａＮ膜１５の形成後、ＮＨ3ガスを供給しながら常温なで冷却し、成長装置より取り出す。
【００８７】
第２の実施例によって形成されたＧａＮ膜１５には、ＳｉＣ基板１１との格子定数や熱膨張係数が違うにもかかわらずクラックが入っていないことが確認された。しかも、厚膜成長を行ったＧａＮ膜には、欠陥が非常に少なく欠陥密度は１０6ｃｍ2程度であった。
【００８８】
本実施例で成長したＧａＮ膜は欠陥が非常に少なく、この上にレーザ、ＦＥＴ、およびＨＢＴなどの高品質なデバイス構造を成長することで、デバイス特性を向上させることが可能となる。
【００８９】
また、ＳｉＣ基板１１を研磨等によって除去することで、ＧａＮ膜１５を基板材料として用いることもできる。
【００９０】
第２の実施例では、ＧａＮ膜のエピタキシャル成長にハイドライドＶＰＥ法を用いて形成したが、有機金属化合物気相成長法（ＭＯＣＶＤ）を用いても同様な効果が得られる。また本実施例では、ＳｉＣ基板１１を用いたが、Ｓｉ基板、ＺｎＯ基板、Ａｌ2Ｏ3基板基板、ＬｉＧａＯ2基板、ＭｇＡｌ2Ｏ4基板等を用いても同様な効果が得られる。さらにＳｉＣ基板１１上に膜厚のＧａＮ膜１２をあらかじめ形成したが、基板１１上に直接マスクを形成してもよい。
【００９１】
またマスク１４としてＳｉＯ2を用いたがこれに限られるものではなく、ＳｉＮx等の絶縁体膜でもよい。この実施例ではマスク１４の幅を１０μｍとしたが、マスクを埋め込むことのできる幅であれば同様な効果が得られる。さらにストライプを＜１−１００＞方向に形成したが、ファセットが形成されれば、これと垂直の方向＜１−１２０＞でもよく、これらの方向から傾けた角度であっても結晶成長の条件により、成長領域にファセット構造を形成することができる。なおファセット構造が形成される結晶成長の条件は材料によってそれぞれ異なる。
【００９２】
またさらに基板１１上の膜としてＡｌ組成０．１のＡｌＧａＮを用いたが、この組成は任意のものでよく、この膜としてその他にＡｌＮ、ＩｎＧａＮなどを用いても同様な効果が得られる。さらにＧａＮのエピタキシャル成長について述べたが、ＩｎＧａＮ膜、ＡｌＧａＮ膜、ＩｎＮ膜をエピタキシャル成長しても同様な効果が得られる。また成長するＩＩＩ−Ｖ族化合物に不純物の添加しても同様な効果が得られる。
【００９３】
（第３の実施例）本発明の第３の実施例について、図２を参照して説明する。
【００９４】
第３の実施例では、基板として、（１１１）面のＭｇＡｌ2Ｏ4基板２１を用いた。この基板２１表面にＳｉＯ2膜２３を形成し、フォトリソグラフィー法とウエットエッチングでマスク２３と成長領域２２に分離した。成長領域２２、およびマスク２３は、それぞれ４μｍ、および３μｍの幅のストライプ状である。ストライプ方向は＜１１−２０＞方向とした（（図２（ａ））。
【００９５】
ＧａＮ膜の成長は、マスク２３上に多結晶のＧａＮが付着を抑制するのに適したハイドライドＶＰＥ法を用いた。この手法では、ＩＩＩ族原料にガリウム（Ｇａ）と塩化水素（ＨＣｌ）の反応生成物である塩化ガリウム（ＧａＣｌ）と、Ｖ族原料にアンモニア（ＮＨ3）ガスを用いる。
【００９６】
まず、基板２１を成長装置にセットし、水素ガスを供給しながら１０００℃程度の高温で熱処理した後、５００℃に降温させ、ＨＣｌ流量を０．５ｃｃ／毎分で供給し、ＮＨ3  流量１０００ｃｃ／毎分で５分程度供給することで、結晶成長領域２３に約２０ｎｍの膜厚のＧａＮバッファ層２４を形成する（図２（ｂ））。
【００９７】
この状態で、ＮＨ3ガスを供給しながら１０００℃に昇温する。成長温度が安定してから、ＨＣｌ流量を２０ｃｃ／毎分で供給し、ＮＨ3 流量１５００ｃｃ／毎分で５分程度供給することで、成長領域２２のＧａＮバッファー層２４上にＧａＮの｛１−１０１｝面からなるファセット構造２５を成長させた（図２（ｃ））。
【００９８】
さらに、エピタキシャル成長を続け、マスク２３を覆うまでＧａＮ膜２５のファセット構造を発達させた後、ファセット構造を埋め込みながら成長を続け、最終的には、５時間の成長で２００μｍ程度の平坦な表面を有するＧａＮ膜２５を形成させた（図２（ｄ））。ＧａＮ膜２５の形成後、ＮＨ3 ガスを供給しながら常温まで冷却し成長装置より取り出す。
【００９９】
第３の実施例によって形成されたＧａＮ膜２５には、ＭｇＡｌ2Ｏ4基板２１との格子定数や熱膨張係数が違うにもかかわらずクラックが入っていないことが確認された。しかも、厚膜成長を行ったＧａＮ膜には、欠陥が非常に少なく、１０6ｃｍ2程度であった。
【０１００】
本実施例で成長したＧａＮ膜は欠陥が非常に少なく、この上にレーザ、ＦＥＴ、およびＨＢＴなどの高品質なデバイス構造を成長することで、デバイス特性を向上させることが可能となる。またＭｇＡｌ2Ｏ4基板２１を研磨等によって除去することで、ＧａＮ膜２５を基板材料として用いることもできる。
【０１０１】
第３の実施例では、ＧａＮ膜のエピタキシャル成長にハイドライドＶＰＥ法を用いて形成したが、有機金属化合物気相成長法（ＭＯＣＶＤ）を用いても同様な効果が得られる。また実施例では、ＭｇＡｌ2Ｏ4基板２１を用いたが、Ｓｉ基板、ＺｎＯ基板、ＳｉＣ基板、ＬｉＧａＯ2 基板、Ａｌ2 Ｏ3 基板等を用いても同様な効果が得られる。さらにＭｇＡｌ2 Ｏ4 ２１上に直接マスクを形成したが、基板２１上にＧａＮ膜をあらかじめ形成してもよい。
【０１０２】
またマスク１４としてＳｉＯ2を用いたがこれに限られるものではなく、ＳｉＮx等の絶縁体膜でもよい。さらにマスク２４の幅を１０μｍとしたが、マスクを埋め込むことのできる幅であれば同様な効果が得られる。本実施例では、ストライプを＜１１−２０＞方向に形成したが、ファセットが形成されれば、これと垂直の方向＜１−１００＞でもよく、これらの方向から傾けた角度でも結晶成長の条件により、成長領域にファセット構造を形成することができる。なお、ファセット構造が形成される結晶成長の条件は材料によってそれぞれ異なる。
【０１０３】
また本実施例では基板上に低温バッファ層を設けた後にＧａＮ膜の成長を行っているため、結晶欠陥をより少なくすることが可能となる。
【０１０４】
さらに、実施例では、ＧａＮのエピタキシャル成長について述べたが、ＩｎＧａＮ膜、ＡｌＧａＮ膜、ＩｎＮ膜をエピタキシャル成長しても同様な効果が得られる。さらに成長するＩＩＩ−Ｖ族化合物に不純物の添加しても同様な効果が得られる。
【０１０５】
（第４の実施例）本発明の第４の実施例について、図３、図４を参照して説明する。図３は選択的にエピタキシャル成長する成長領域の形状を丸形状、三角形状及び矩形状とした概略図である。
【０１０６】
本実施例では、基板として（０００１）面のＡｌ2Ｏ3基板４１上に１μｍ程度の膜厚のＧａＮ膜４２をあらかじめ形成した結晶基板を用いた。
【０１０７】
このＧａＮ膜４２表面にＳｉＯ2膜を形成し、フォトリソグラフィー法とウエットエッチングでマスク４３と成長領域４４に分離した。成長領域４４は、４μｍの直径の丸状（図３（ａ））、一辺が３μｍの三角形状（図３（ｂ））、および５μｍ角の矩形状（図３（ｃ））の３種類となるマスクをそれぞれ用いた。
【０１０８】
形成した成長領域４４に成長するＧａＮ膜４５は、ＩＩＩ族原料にトリメチルガリウム（ＴＭＧａ）及びトリメチルアルミニウム（ＴＭＡｌ）とＶ族原料にアンモニア（ＮＨ3 ）ガスを用いる有機金属化合物気相成長法を用いた。
【０１０９】
図４は図３の成長領域を形成した基板上に気相成長法を用いてＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体膜を形成する工程の概略図である。基板４１を有機金属化合物気相成長装置にセットし、水素ガスとＮＨ3ガスを供給しながら１０５０℃の成長温度に昇温する。成長温度が安定してから、トリメチルガリウム流量を５ｃｃ／毎分で供給し、ＮＨ3 流量５０００ｃｃ／毎分で１０分程度供給することで、成長領域４４にＧａＮ膜４５の｛１−１０１｝面からなるファセット構造を成長させた（図４（ａ））。
【０１１０】
さらに、３０分間程度エピタキシャル成長を続け、マスク４３を覆うまでＧａＮ層４５のファセット構造を発達させた（図４（ｂ））。
【０１１１】
エピタキシャル成長を続けることによりＧａＮ層４５のファセット構造を埋め込み（図４（ｃ））、最終的には、１２時間の成長で１００μｍ程度の平坦な表面を有するＧａＮ膜４５を形成させた（図４（ｄ））。
【０１１２】
３種類の形状の成長領域に形成したＧａＮ膜４５は、成長領域の形状によらず平坦な表面が得られ、サファイア基板４１にクラックが入っていないことが確認された。また、本実施例では成長領域の形状を丸状、三角形状、および矩形状の３種類としたが、マスク領域を埋め込むことのできる形状であれは多角形の形状、大きさによらず同様の効果がある。
【０１１３】
本実施例で成長したＧａＮ膜は欠陥が非常に少なく、この上にレーザ、ＦＥＴ、およびＨＢＴなどの高品質なデバイス構造を成長することで、デバイス特性を向上させることが可能となる。
【０１１４】
さらにサファイア基板４１を研磨等によって除去することで、ＧａＮ膜４５を基板材料として用いることもできる。
【０１１５】
第４の実施例では、ＧａＮ膜のエピタキシャル成長にハイドライドＶＰＥ法を用いて形成したが、有機金属化合物気相成長法（ＭＯＣＶＤ）を用いても同様な効果が得られる。またＡｌ2Ｏ3基板４１を用いたが、Ｓｉ基板、ＺｎＯ基板、ＳｉＣ基板、ＬｉＧａＯ2基板、ＭｇＡｌ2Ｏ4基板等を用いても同様な効果が得られる。さらにＡｌ2Ｏ3基板４１上に膜厚のＧａＮ膜４２をあらかじめ形成したが、基板４１上に直接マスクを形成してもよい。
【０１１６】
またマスク４３としてＳｉＯ2を用いたがこれに限られるものではなく、ＳｉＮx等の絶縁体膜でもよい。
【０１１７】
またＧａＮのエピタキシャル成長について述べたが、ＩｎＧａＮ膜、ＡｌＧａＮ膜、ＩｎＮ膜をエピタキシャル成長しても同様な効果が得られる。さらに成長するＩＩＩ−Ｖ族化合物に不純物の添加しても同様な効果が得られる。
【０１１８】
（第５の実施例）本発明の第５の実施例について、図５を参照して説明する。
【０１１９】
基板５１には、１μｍの膜厚のＧａＮ膜５２が形成された（０００１）面のサファイア基板５１を用いた。
【０１２０】
この基板５１表面にＳｉＯ2膜を形成し、フォトリソグラフィー法とウエットエッチングで第１のマスク５３と第１の成長領域５４に分離した。第１の成長領域５４、および第１のマスク５３は、それぞれ２μｍ、および５μｍのストライプ状とした。ストライプ方向は、＜１１−２０＞とした（図５（ａ））。
【０１２１】
第１の成長領域５４に成長する第１のＧａＮ膜５５は、上記の実施例１と同様にＩＩＩ族原料にガリウム（Ｇａ）と塩化水素（ＨＣｌ）の反応生成物である塩化ガリウム（ＧａＣｌ）とＶ族原料にアンモニア（ＮＨ3）ガスを用いるハイドライドＶＰＥ法を用いた。基板５１をハイドライドの成長装置にセットし、水素雰囲気で成長温度１０００℃に昇温する。６５０℃の温度から基板５１をＮＨ3ガス雰囲気にする。成長温度が安定してから、ＨＣｌ流量を１０ｃｃ／毎分で供給し、ＮＨ3流量４０００ｃｃ／毎分で６０分間の成長で、第１の実施例で説明した図１の（ａ）から（ｅ）の成長工程を経て、第１のマスク５３を埋め込んだ第１のＧａＮ膜５５を形成する（図５（ｂ））。第１のＧａＮ膜５５を形成後、ＮＨ3ガス雰囲気で常温まで冷却し、成長装置より取り出す。
【０１２２】
次に、ＧａＮ膜５５上に再びＳｉＯ2膜を形成し、第２の成長領域５６と第２のマスク５７を形成する。それぞれのストライプ幅は、２μｍ、および５μｍであり、ストライプ方向は＜１１−２０＞とした（図５（ｃ））。この基板５１上に、再び、第１の実施例で説明した図１の（ａ）から（ｅ）の成長工程を経て、第２のマスク５７を埋め込み、およそ１５０μｍの第２のＧａＮ層５８を成長させ平坦化した表面を得た（図５（ｄ））。
【０１２３】
成長した第２のＧａＮ膜５８の欠陥を断面透過電子顕微鏡で調べた結果、欠陥が１０5 ｃｍ2以下と極めて少ないものであった。ここでは、２段階の選択成長について述べたが、上記工程を繰り返すことでさらに欠陥密度を減少させることができる。
【０１２４】
第５の実施例では、ＧａＮ膜のエピタキシャル成長にハイドライドＶＰＥ法を用いて形成したが、有機金属化合物気相成長法（ＭＯＣＶＤ）を用いても同様な効果が得られる。またＡｌ2Ｏ3基板５１を用いたが、Ｓｉ基板、ＺｎＯ基板、ＳｉＣ基板、ＬｉＧａＯ2基板、ＭｇＡｌ2Ｏ4基板等を用いても同様な効果が得られる。さらにＡｌ2Ｏ3基板５１上にＧａＮ膜５２を成長した後にマスクを形成したが、これに限らず、基板上にＧａＮ膜５２を成長せず、直接第１のマスク５３を成長してもよい。
【０１２５】
またマスク５３としてＳｉＯ2を用いたがこれに限られるものではなく、ＳｉＮx等の絶縁体膜でもよい。さらに成長領域がストライプとなるようにパターニングされたマスクを用いたが、これに限らず、丸形状、矩形状、三角形状でもよい。またＧａＮのエピタキシャル成長について述べたが、ＩｎＧａＮ膜、ＡｌＧａＮ膜、ＩｎＮ膜をエピタキシャル成長しても同様な効果が得られる。さらに成長するＩＩＩ−Ｖ族化合物に不純物の添加しても同様な効果が得られる。
【０１２６】
本発明の各実施例ではＧａＮ系のＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体を用いた例について述べたが、これに限られるものではなく、基板と格子定数あるいは熱膨張係数が異なるＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体の成長に適用可能であることはいうまでもない。
【０１２７】
（第６の実施例）本発明の第６の実施例について、図６を参照して説明する。図６は本発明のエピタキシャル成長をＧａＮ膜の成長に用い、さらにこのＧａＮ膜上にＧａＮ系半導体レーザを製造する工程を説明するための概略図である。
【０１２８】
図６に示す基板６１には、１μｍの膜厚のＧａＮ膜６２が形成された（０００１）面のサファイア基板６１を用いた。この基板６１表面にＳｉＯ2膜を形成し、第１から第４の実施例と同様にフォトリソグラフィー法とウエットエッチングで第１のマスク６３と第１の成長領域６４に分離した。第１の成長領域６４、および第１のマスク６３は、それぞれ５μｍ、および２μｍのストライプ状とした。ストライプ方向は、＜１１−２０＞方向から１０度傾けて形成した（図６（ａ））。
【０１２９】
第１の成長領域６４に成長する第１のＧａＮ膜６５は、上記の実施例１と同様にＩＩＩ族原料にガリウム（Ｇａ）と塩化水素（ＨＣｌ）の反応生成物である塩化ガリウム（ＧａＣｌ）とＶ族原料にアンモニア（ＮＨ3 ）ガスを用いるハイドライドＶＰＥ法を用いた。基板６１をハイドライドの成長装置にセットし、水素雰囲気で成長温度１０００℃に昇温する。６５０℃の温度から基板５１をＮＨ3ガス雰囲気にする。成長温度が安定してから、ＨＣｌ流量を４０ｃｃ／毎分で供給し、ＮＨ3 流量１０００ｃｃ／毎分、およびシラン（ＳｉＨ4）流量０．０１ｃｃ／毎分で１５０分間の成長で、第１の実施例で説明した図１の（ａ）から（ｅ）の成長工程を経て、第１のマスク６３を埋め込んだ膜厚２００μｍの第１のＧａＮ膜６５を形成する（図５（ｂ））。第１のＧａＮ膜６５を形成後、ＮＨ3ガス雰囲気で常温まで冷却し、成長装置より取り出す。ＧａＮ膜６５は、ｎ型で、１×１０18ｃｍ-3以上のキャリア濃度であった。
【０１３０】
次に、ＧａＮ系半導体レーザ構造の作製には、有機金属化学気相成長法（ＭＯＶＰＥ）を用いて作製した。ＧａＮ膜６５を形成後、ＭＯＣＶＤ装置にセットし、水素雰囲気で成長温度１０５０℃に昇温する。６５０℃の温度からＮＨ3ガス雰囲気にする。Ｓｉを添加した１μｍの厚さのｎ型ＧａＮ層６６、Ｓｉを添加した０．４μｍの厚さのｎ型Ａｌ0.15Ｇａ0.85Ｎクラット層６７、Ｓｉを添加した０．１μｍの厚さのｎ型ＧａＮ光ガイド層６８、２．５ｎｍの厚さのアンドープＩｎ0.2Ｇａ0.8Ｎ量子井戸層と５ｎｍの厚さのアンドープＩｎ0.05Ｇａ0.95Ｎ障壁層からなる１０周期の多重量子井戸構造活性層６９、マグネシウム（Ｍｇ）を添加した２０ｎｍの厚さのｐ型Ａｌ0.2Ｇａ0.8Ｎ層７０、Ｍｇを添加した０．１μｍの厚さのｐ型ＧａＮ光ガイド層７１、Ｍｇを添加した０．４μｍの厚さのｐ型Ａｌ0.15Ｇａ0.85Ｎクラッド層７２、Ｍｇを添加した０．５μｍの厚さのｐ型ＧａＮコンタクト層７３を順次形成しレーザー構造を作製した。ｐ型のＧａＮコンタクト層７３を形成した後は、ＨＮ3 ガス雰囲気で常温まで冷却し、成長装置より取り出す（図６（ｃ））。２．５ｎｍの厚さのアンドープＩｎ0.2Ｇａ0.8Ｎ量子井戸層と５ｎｍの厚さのアンドープＩｎ0.05Ｇａ0.95Ｎ障壁層からなる多重量子井戸構造活性層６９は、７８０℃の温度で形成した。
【０１３１】
次に、レーザー構造を形成したサファイア基板６１を研磨器にセットし、サファイア基板６１、ＧａＮ層６２、ＳｉＯ2マスク６３、およびＧａＮ膜６５の５０μｍ研磨してＧａＮ膜６５を露出させる。露出したＧａＮ層６５面には、チタン（Ｔｉ）−アルミ（Ａｌ）のｎ型電極７４を形成し、ｐ型のＧａＮ層７３上にはニッケル（Ｎｉ）−金（Ａｕ）のｐ型電極７５を形成する（図６（ｄ））。
【０１３２】
図６に示すレーザ構造では、裏面にｎ型電極が形成されており、従来のようにドライエッチング等複雑な作製工程でｎ型の電極を窒化物表面に形成することなく素子を形成できるため電極作製工程が簡略化できる。
【０１３３】
また、サファイアとＧａＮ系半導体とは結晶のへき開面が異なるため、従来サファイア基板上に作製したレーザ構造の共振器ミラーはへき開により形成することが困難であった。
【０１３４】
これに対し、本実施例では結晶欠陥が少ないＧａＮ層６５を厚く成長することができるため、サファイア基板やマスク材料を除去してもＧａＮ６５上に形成したＧａＮ系半導体のレーザ構造には影響がなく、またＧａＮ層６５上のレーザ構造はへき開により共振器ミラー面を形成できる利点を持っているため、従来のドライエッチング等による複雑な工程で共振器ミラー面を形成したものに比べ大幅に簡略化でき歩留まりも大幅に向上した。
【０１３５】
本実施例では、ＧａＮ層６５上にレーザー構造形成してから、サファイア基板５１、ＧａＮ膜６２、ＳｉＯ2マスク６３を研磨したが、レーザー構造を作製する前にサファイア基板６１、ＧａＮ膜６２、ＳｉＯ2マスク６３を研磨しても同様な効果が得られる。
【０１３６】
また、本実施例では、サファイア基板６１、ＧａＮ層６２、ＳｉＯ2 マスク６３の研磨、およびＧａＮ膜６５の一部を研磨して、ｎ型の電極を形成したが、研磨を行わずにドライエッチングによりｎ型のＧａＮ層６６または６５まで除去しｎ型電極を形成し、共振器ミラー面を形成することで従来の構造を作製することもできる。
【図面の簡単な説明】
【０１３７】
【図１】本発明のＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体の形成方法を説明する工程概略図である。
【図２】ＡｌＧａＮ膜が形成されたＭｇＡｌ2Ｏ4基板上にハイドライドＶＰＥ法を用いて、ＧａＮ膜を形成する工程の概略図である。
【図３】選択的にエピタキシャル成長する成長領域の形状を丸形状、三角形状、及び矩形状に形成した概略図である。
【図４】図３の丸形状、三角形状、及び矩形状の成長領域を形成した基板上に気相成長法を用いてＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体膜を形成する工程の概略図である。
【図５】本発明の成長方法を２回繰り返して形成したＧａＮ膜の概略図である。
【図６】本発明の成長方法を用いて形成したＧａＮ膜上にＧａＮ系半導体レーザー構造を形成する工程の概略図である。
【符号の説明】
【０１３８】
１１  基板
１２  基板に形成されたＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体膜
１３  ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体を成長させる成長領域
１４  マスク
１５  エピタキシャル成長したＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体膜
１６  ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体のファセット構造
２１  （０００１）面のサファイア基板
２２  ＧａＮ膜
２３  マスク
２５  エピタキシャル成長したＧａＮ膜
３１  （１１１）面のＭｇＡｌ2Ｏ4基板
３２  １μｍのＧａＮ膜、またはＡｌＧａＮ膜
３２  基板上に形成された成長領域
３３  基板上に形成したＳｉＯ2膜のマスク
３４  エピタキシャル成長したＧａＮバッファ層
３５  ハイドライドＶＰＥ法で成長したＧａＮ膜
４３  マスク４４  成長領域
５１  （０００１）面のサファイア基板
５３  第１のマスク
５４  第１の成長領域
５５  第１のＧａＮ層
５６  第２の成長領域
５７  第２のマスク
５８  第２のＧａＮ層
６５  ｎ型ＧａＮ膜
６６  ｎ型ＧａＮ層
６７  ｎ型Ａｌ0.15Ｇａ0.85Ｎクラット層
６８  ｎ型ＧａＮ光ガイド層
６９  １０周期の多重量子井戸構造活性層
７０  ｐ型Ａｌ0.2Ｇａ0.8Ｎ層
７１  ｐ型ＧａＮ光ガイド層
７２  ｐ型Ａｌ0.15Ｇａ0.85Ｎクラット層
７３  ｐ型ＧａＮコンタクト層
７４  Ｔｉ-Ａｌのｎ型電極
７５  Ｎｉ-Ａｕのｐ型電極
【図１】
2005094029.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2005094029.tif 000007
【図６】
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