(57)【要約】  【課題】  インク供給通路４７のフィルタ体２０の一部がごみで詰まっても、複数の共通インク室７にインクが均等に供給されて、ノズル列毎のインク吐出性能が変化しないようにする。  【解決手段】  キャビティユニットの背面には、インク供給通路４７が開口されるとともにその開口に対応するフィルタ体２０が配置され、隣接する少なくとも２つの共通インク室７におけるインク入口５１が仕切り壁５２を隔てて並設され、インク供給通路４７は、仕切り壁５２を含む複数のインク入口５１に対応する投影面積を有し、仕切り壁５２を含み２以上の隣接するインク入口５１に跨って連通されている。フィルタ体２０は、仕切り壁５２に対してインク供給通路４７の上流側へ間隔をおいて位置する。  【選択図】  図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
前面に複数のノズルがそれぞれ列状に配置された複数のノズル列と、前記各ノズルに連通する複数の圧力室と、前記各ノズル列毎に対応して前記各圧力室にインクを分配供給する複数の共通インク室と、これら各共通インク室から前記圧力室を経由して前記ノズルに至るインク流通路と、インクの貯留部から前記複数の共通インク室にインクを供給するインク供給通路とを有するキャビティユニットが備えられたインクジェット式記録ヘッドにおいて、
前記キャビティユニットの背面には、前記インク供給通路が開口されるとともにその開口に対応する濾過部を有するフィルタ体が配置され、
隣接する少なくとも２つの共通インク室におけるインク入口が仕切り壁を隔てて並設され、
前記インク供給通路の開口は、前記仕切り壁を隔てて隣接する複数のインク入口に対して共通にインクを流通させる投影面積を有し、前記フィルタ体は前記仕切り壁に対してインク供給通路の上流側へ間隔をおいて位置することを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【請求項２】
前記インク供給通路は、２以上の前記隣接するインク入口に跨って連通され、このインク供給通路に対応する前記濾過部は、その平面視輪郭形状が前記仕切り壁を含む複数のインク入口の投影面積を有していることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。
【請求項３】
前記共通インク室及びインク入口を有するプレートと、前記圧力室が形成されたプレートとの間に、少なくとも１枚のスペーサプレートを介挿させて積層し、
前記共通インク室及びインク入口を有するプレートには、前記仕切り壁が形成され、
前記圧力室が形成されたプレートの背面にインク供給通路が開口され、
前記圧力室が形成されるプレートと、前記スペーサプレートとに、前記インク供給通路が貫通形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェット式記録ヘッド。
【請求項４】
前記共通インク室は、前記ノズル列の延びる方向に沿って延設され、
前記インク入口、インク供給通路及び濾過部が前記ノズル列の端部に対応して位置し、前記共通インク室に連通するように形成されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のインクジェット式記録ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電式等のインクジェット式記録ヘッドの構成に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
先行技術の圧電式インクジェット式記録ヘッドは、例えば特許文献１では、一定間隔で穿設されたノズルが２列形成されたノズルプレートと、前記各ノズル箇所に対応する圧力室が２列形成されたペースプレートと、該ベースプレートとノズルプレートとの間に介挿されて各圧力室の列にインクを供給するための２個の共通インク室が形成されたマニホールドプレートとを積層して、キャビティユニットを構成している。そして、該キャビティユニットの背面側にはインク貯蔵部（タンク）からのインクを各共通インク室に導入する２個のインク供給孔が穿設され、また、キャビティユニットの背面に、圧電アクチュエータを接合し、この圧電アクチュエータを駆動させて、選択されたノズルからインクを吐出して被記録媒体に画像を記録する。
【０００３】
他方、特許文献２に記載のキャビティユニットでは、ノズル開口列を複数列有した平面視略矩形板状のノズルプレートと、前記ノズル開口列に連通する圧力発生室列、インク供給口を介して圧力発生室列に連通するリザーバ（共通インク室）、及び各リザーバに連通するインク流路が区画形成され、一方の面を前記ノズルプレートにて封止されたスペーサプレートと、スペーサプレートの他面を封止し、ノズル開口列の対称線上に配置された単一のインク導入口が穿設された板部材とにより構成されている。したがって、単一のインク導入口から供給されたインクはスペーサプレート上の複数のインク流路の始端で分岐されて各リザーバ（共通インク室）に供給されるものである。
【特許文献１】特開２００２−６７３１２号公報（図６、図１２参照）
【特許文献２】特許３２６７４１２号公報（図１、図５及び図６参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１における記録ヘッドでは、１つのノズル列に対応する１つの共通インク室に１つのインク供給孔が対応しており、キャビティユニットの背面に前記各インク供給孔を覆うようにフィルタが貼着されていた。
【０００５】
従って、例えば、１色のインクを吐出する１つのノズル列に、所定のインクをインク供給孔を介して供給している時に、インクに混入していたごみによってフィルタの濾過部の一部が詰まると、インク流動抵抗が極端に増大し、インク吐出性能が大幅に悪化して画質が悪化するという問題があった。
【０００６】
特許文献２でも、前記単一のインク導入口の箇所にフィルタを配置した場合、この濾過部の一部がごみで詰まると、複数のインク流路にインクが均等に供給されず、ノズル列毎のインク吐出性能が変化してしまい、画質が悪化するという問題は解決されなかった。
【０００７】
そこで、本発明は、このような問題を解消したインクジェット式記録ヘッドを提供することを技術的課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この技術的課題を解決するため、請求項１の発明のインクジェット式記録ヘッドは、前面に複数のノズルがそれぞれ列状に配置された複数のノズル列と、前記各ノズルに連通する複数の圧力室と、前記各ノズル列毎に対応して前記各圧力室にインクを分配供給する複数の共通インク室と、これら各共通インク室から前記圧力室を経由して前記ノズルに至るインク流通路と、インクの貯留部から前記複数の共通インク室にインクを供給するインク供給通路とを有するキャビティユニットが備えられたインクジェット式記録ヘッドにおいて、
前記キャビティユニットの背面には、前記インク供給通路が開口されるとともにその開口に対応する濾過部を有するフィルタ体が配置され、
隣接する少なくとも２つの共通インク室におけるインク入口が仕切り壁を隔てて並設され、
前記インク供給通路の開口は、前記仕切り壁を隔てて隣接する複数のインク入口に対して共通にインクを流通させる投影面積を有し、前記フィルタ体は前記仕切り壁に対してインク供給通路の上流側へ間隔をおいて位置するものである。
【０００９】
請求項２の発明は、請求項１に記載したインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記インク供給通路は、２以上の前記隣接するインク入口に跨って連通され、このインク供給通路に対応する前記濾過部は、その平面視輪郭形状が前記仕切り壁を含む複数のインク入口の投影面積を有しているものである。
【００１０】
請求項３の発明は、請求項１又は２に記載したインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記共通インク室及びインク入口を有するプレートと、前記圧力室が形成されたプレートとの間に、少なくとも１枚のスペーサプレートを介挿させて積層し、前記共通インク室及びインク入口を有するプレートには、前記仕切り壁が形成され、前記圧力室が形成されたプレートの背面にインク供給通路が開口され、前記圧力室が形成されるプレートと、前記スペーサプレートとに、前記インク供給通路が貫通形成されているものである。
【００１１】
請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３のいずれかに記載のインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記共通インク室は、前記ノズル列の延びる方向に沿って延設され、前記インク入口、インク供給通路及び濾過部が前記ノズル列の端部に対応して位置し、前記共通インク室に連通するように形成されているものである。
【発明の効果】
【００１２】
請求項１の発明によれば、インク供給通路は、複数の共通インク室における隣接する複数のインク入口が仕切り壁を隔てて並設され、このインク供給通路の開口が、その仕切り壁を隔てて隣接する複数のインク入口に対して共通にインクを流通させる投影面積を有し、仕切り壁に対してインク供給通路の上流側へ間隔をおいてフィルタ体が位置しているから、濾過部の一部がインクに含まれたごみによって詰まったとしても、この濾過部の他の部分（詰まっていない箇所）から流入したインクが、広い面積のインク供給通路に入った後、仕切り壁の箇所でインク流れが分岐されて全てのインク入口に対してほぼ均一にインクが供給されることを保証できるという効果を奏する。
【００１３】
請求項２の発明によれば、前記インク供給通路は、２以上の前記隣接するインク入口に跨って連通され、このインク供給通路に対応する前記濾過部は、その平面視輪郭形状が前記仕切り壁を含む複数のインク入口の投影面積を有しているから、濾過部の投影面積が少なくとも仕切り壁を含む複数のインク入口の投影面積とほぼ等しくなり、供給されるインクの流れ抵抗を少なくできる。
【００１４】
請求項３の発明によれば、広い面積のインク供給通路と、隣接するインク入口の間に仕切り壁を有する複数の共通インク室とを別々のプレートに形成できるから、後に積層させるだけで本発明の構成が至極簡単に作れて製造コストを低減できるという効果を奏する。
【００１５】
請求項４の発明によれば、前記ノズル列との関係においても、前記キャビティユニットの短辺方向の巾寸法を大きくする必要はなく、インク供給機能を維持しながらも、前記インクジェット式記録ヘッドのコンパクト化に寄与できるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
次に、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。図１は圧電式のインクジェット式記録ヘッドの第１実施形態の分解斜視図、図２はキャビティユニットの拡大分解斜視図、図３は図１の III−III 視拡大断面図、図４は２つの共通インク室が接近した箇所のベースプレートから下面側を見た部分平面図、図５は２つの共通インク室に別々にインクを供給する箇所のベースプレートから下面側を見た部分平面図、図６は図４のVI−VI線矢視拡大断面図、図７は図５のVII −VII 視拡大断面図、図８は第２実施形態のキャビティユニットの分解斜視図、図９は図８のIX−IX線矢視拡大断面図、図１０（ａ）は第３実施形態を示す平面図、図１０（ｂ）は断面図である。
【００１７】
図１は、本発明の第１実施形態による圧電式のインクジェット式記録ヘッドＨＤにおけるキャビティユニット１と圧電アクチュエータ２の斜視図であり、キャビティユニット１は分解した状態を示している。
【００１８】
インクジェット式記録ヘッドＨＤは、金属板製のキャビティユニット１にプレート型の圧電アクチュエータ２が接合され、このプレート型の圧電アクチュエータ２の上面に外部機器との接続のためのフレキシブルフラットケーブル３（図３参照）が重ね接合されている。そして、最下層のキャビティユニット１の下面側に開口されたノズル４から、下向きにインクが吐出するものとする。
【００１９】
前記キャビティユニット１は、図１〜図３に示すように構成されている。すなわち、ノズルプレート１１、第１スペーサプレート１２、ダンパープレート１３、２枚のマニホールドプレート１４ａ，１４ｂ、第２スペーサプレート１５、第３スペーサプレート１６、及びベースプレート１７の合計８枚の薄い板がそれぞれ接着剤にて重ね接合された構造としている。
【００２０】
実施形態では、合成樹脂製のノズルプレート１１を除き、各プレート１２〜１７は、４２％ニッケル合金鋼板製で、５０〜１５０μｍ程度の厚さを有する。前記ノズルプレート１１には、微小径（実施形態では２５μｍ程度）のインク吐出用のノズル４が記録時の解像度に応じた微小間隔で多数個穿設されている。実施形態では、１インチの長さに７５個のノズル４が穿設されており、配列密度は７５ｄｐｉ（ドット・パー・インチ）である。このノズル４は、当該ノズルプレート１１における第１の方向（長辺方向、Ｘ方向）に沿って、千鳥配列状で５列に配列されている。
【００２１】
また、前記ベースプレート１７には、図１に示すように、複数の圧力室３６がベースプレート１７の長辺（前記Ｘ方向）に沿い、ノズル４の列に対応する千鳥配列状で５列に配列されている。実施形態では、図２に示すように、前記ノズル４と連通する圧力室３６の一端部（先端部）３６ａと後述する共通インク室７と連通する他端部３６ｂとを結ぶ方向を圧力室３６の長手方向とする。各圧力室３６は、その長手方向がベースプレート１７における第２の方向（短辺方向、Ｙ方向）に沿うように細幅に穿設されている。
【００２２】
各圧力室３６における先端部３６ａは、２枚のスペーサプレート１５，１６と２枚のマニホールドプレート１４ａ，１４ｂ、ダンパープレート１３、及び第１スペーサプレート１２に、同じく千鳥配列状にて穿設されている微小径の貫通孔３７を介して、ノズルプレート１１における前記各ノズル４に連通している。
【００２３】
ベースプレート１７の下面に隣接する第３スペーサプレート１６には、各圧力室３６の他端部３６ｂに接続するために、前記各他端部３６ｂに対応する位置に連通孔３８が穿設されている。
【００２４】
第３スペーサプレート１６の下面に隣接する第２スペーサプレート１５には、後述する共通インク室７から前記各圧力室３６へインクを供給するための接続流路４０が設けられる。そして、各接続流路４０には、共通インク室７からインクが入る入口孔４０ａと、圧力室３６側（前記連通孔３８）に開口する出口孔４０ｂと、入口孔４０ａと出口孔４０ｂとの間にあって、出口孔４０ｂよりも接続流路４０中で最も大きな流路抵抗となるように断面積を小さくして形成された絞り部４０ｃとが備えられている。
【００２５】
この実施形態では、絞り部４０ｃは、第３スペーサプレート１６に隣接する面側をハーフエッチングすることによって、所定の流路抵抗を持つように形成されている。入口孔４０ａと出口孔４０ｂとは前記絞り部４０ｃの両端部に位置合わせして形成されている。入口孔４０ａは第２スペーサプレート１５を貫通している。出口孔４０ｂは第２スペーサプレート１５における第３スペーサプレート１６との隣接面に凹み形成されている（図２及び図３参照）。
【００２６】
２枚のマニホールドプレート１４ａ，１４ｂには、その長辺方向（Ｘ方向）に沿って長い５つの共通インク室７が前記ノズル４の各列に沿って延びるように板厚さを貫通して形成されている。すなわち２枚のマニホールドプレート１４ａ，１４ｂを積層し、且つその上面を第２スペーサプレート１５にて覆い、下面をダンパープレート１３にて覆うことにより、合計５つの共通インク室（マニホールド室）７はそれぞれ密閉状に形成されている。各共通インク室７は、各プレートの積層方向から見た平面視において、前記圧力室３６の一部と重なって圧力室３６の列方向に沿って長く延びている。
【００２７】
図２及び図３に示すように、マニホールドプレート１４ａの下面に隣接するダンパープレート１３の下面側には、共通インク室７と隔絶されたダンパ室４５が凹み形成されている。この各ダンパ室４５の位置及び形状は、前記各共通インク室７と一致させている。このダンパプレート１３は、適宜弾性変形し得る金属素材であるため、ダンパ室４５の薄い板状の天井部は、共通インク室７側にも、ダンパ室４５側にも自由に振動することができる。インク吐出時に、圧力室３６で発生した圧力変動が共通インク室７に伝播しても、前記天井部が弾性変形して振動することにより、前記圧力変動を吸収減衰させるというダンパ効果を奏し、圧力変動が他の圧力室３６へ伝播するというクロストークを防止することができるものである。
【００２８】
また、ベースプレート１７と第３スペーサプレート１６との少なくとも一方（実施形態では第３スペーサプレート１６におけるベースプレート１７側の広巾面）には、前記圧力室３６の列間において、この圧力室３６の列（長辺方向、Ｘ方向）に沿って延び且つ外部に連通する検査用流通溝５０が形成されている。この場合、検査用流通溝５０の外向き開口部からの空気の流出又は後述するインク供給通路４７側での圧力低下を検出することにより、圧力室３６の列間の領域における密閉漏れを検査したり、圧力室３６から外部へのリークについても同時に検査したりすることができる。
【００２９】
そして、インクタンク等の図示しないインク貯留部から前記共通インク室７にインクを供給するように連通するインク供給通路４７が、キャビティユニット１の背面側から圧力室３６が形成されるベースプレート１７と、第２及び第３スペーサプレート１５、１６とに貫通形成されている（図１、図３参照）。この構成をさらに詳述すると、図１に示すように、平面視で４つのインク供給通路４７がキャビティユニット１短辺方向（前記Ｙ方向）に沿い、且つノズル４の列の領域の外側に並ぶように穿設されている。なお、これら４つのインク供給通路４７を、図１の左側から順に４７ａ，４７ｂ，４７ｃ，４７ｄと記載する。そして、キャビティユニット１の背面には、インク供給通路４７ａ，４７ｂ，４７ｃ，４７ｄがそれぞれ開口されるとともにその開口に対応する濾過部２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄを有するフィルタ体２０が配置されて接着材等で貼着されている。
【００３０】
この実施形態では、図１に示すように、インク供給通路４７が４つ設けられているのに対して、共通インク室７が５つ設けられている（個別には、符号７ａ，７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄで示す図１参照）。
【００３１】
インク供給通路４７ａは、図１における左側に隣接して配置された２つの共通インク室７ａ，７ａにおける長手方向の一方の端部である２つインク入口５１に跨って連通している。この隣接する２つのインク入口５１は仕切り壁５２を挟んで近接し配置されている（図４及び図６参照）。言い換えると、共通インク室７ａ及びインク入口５１を有するマニホールドプレート１４ａ，１４ｂには、仕切り壁５２が形成されることになる。
【００３２】
そして、図４及び図６に示すように、インク供給通路４７ａの開口は、仕切り壁５２を隔てて隣接する複数（実施形態で２つ）のインク入口５１に対して共通にインクを流通させる投影面積を有し、フィルタ体２０は仕切り壁５２に対してベースプレート１７及び第２、第３のスペーサプレート１６、１５の厚さ分だけインク供給通路４７ａの上流側へ間隔をおいて位置している。
【００３３】
換言すると、インク供給通路４７ａは、隣接する２つの共通インク室７ａ，７ａにおける隣接する２つのインク入口５１に跨って連通され、このインク供給通路４７ａに対応する単一の濾過部２０ａは、その平面視輪郭形状が仕切り壁５２を含む２つのインク入口５１の投影面積を有し、フィルタ体２０は仕切り壁５２に対して間隔をおいて位置している。このように構成すると、単一の濾過部２０ａの一部がインクに含まれたごみ５３によって詰まったとしても、この濾過部２０ａの他の部分（詰まっていない箇所）から流入したインクが、広い面積のインク供給通路４７ａに入った後、仕切り壁５２の箇所でインク流れが図６の矢印ｉ１，ｉ２に分岐されて２つのインク入口５１に対してほぼ均一にインクが供給されることを保証できるのである。
【００３４】
なお、実施形態では、インク供給通路４７ａには、ブラックインクが供給されるように設定されている。これは、モノクロ記録時の記録速度をカラー記録の場合よりも速くしたときには、ブラックインクの単位時間当りの消費量が他のカラーインクに比べて多くなることを考慮したものである。
【００３５】
他のインク供給通路４７ｂ，４７ｃ，４７ｄには、イエロー、マゼンタ、シアンの各インクがそれぞれ単独に供給され、それぞれのインク供給通路４７ｂ，４７ｃ，４７ｄに、対応する共通インク室７ｂ，７ｃ，７ｄが１つずつ連通している（図１及び図５参照）。
【００３６】
前記各金属製のプレート１２〜１７におけるインク供給通路４７、共通インク室７、貫通孔３７、連通孔３８、接続流路４０、ダンパ室４５、検査用流通溝５０等の凹み形成や貫通する孔等は、エッチング加工、放電加工、プラズマ加工、レーザ加工等により形成されている。ポリイミド等の合成樹脂製で平面視ほぼ矩形薄シート状の１枚のフィルタ体２０には、レーザ加工等にて極小孔が穿設された濾過部２０ａ〜２０ｄが形成される。フィルタ体２０を金属製にする場合には、電鋳加工、プラズマ加工、レーザ加工等により形成すればよい。これらのフィルタ体２０が前記全てのインク供給通路４７ａ〜４７ｄを覆うように接着剤にて接合される。
【００３７】
以上のように形成された８枚の薄い板１１〜１７を互いに位置合わせして重ね接合することで、キャビティユニット１が構成される。これにより、図３、図４及び図５に示すように、キャビティユニット１の内部に長辺方向に延びる共通インク室７が形成される。更に、この共通インク室７に開口した各接続流路４０の入口孔４０ａから対応する連通孔３８、圧力室３６、貫通孔３７を順次経由してノズル４に至る個別のインク流通路が形成される。
【００３８】
該記録ヘッドＨＤを図示しない記録装置のキャリッジに取付けたとき、インク供給通路４７は、インク貯留部と接続した供給管４８とシール部材４９を介して連通する。
【００３９】
さて、前記圧電アクチュエータ２は、公知の特開平４−３４１８５３号公報に開示されたものと同様に、図示しないが複数枚の圧電シートを積層した構造で、１枚の厚さが３０μｍ程度の各圧電シートのうち最下段と、下から奇数段目の圧電シートの上面（広幅面）には、前記キャビティユニット１における複数の圧力室３６に跨がってコモン電極が形成されている。下から偶数段目の圧電シートの上面（広幅面）には、複数個の各圧力室３６に対応した箇所毎に細幅の個別電極が形成されている。さらに、最上段のシートの上面には、図１に示すように、表面電極９として、前記個別電極の各々に対して電気的に接続される表面電極と、前記コモン電極に対して電気的に接続される表面電極とが設けられている。
【００４０】
そして、このような構成のプレート型の圧電アクチュエータ２における下面（圧力室３６と対面する広巾面）全体に、接着剤としてのインク非浸透性の合成樹脂材からなる接着剤シート（図示せず）を予め貼着し、次いで、前記キャビティユニット１に対して、圧電アクチュエータ２が、その各個別電極を前記キャビティユニット１における各圧力室３６の各々に対応させて接着・固定される。また、この圧電アクチュエータ２における上側の表面には、前記フレキシブルフラットケーブル３が加熱加圧されることにより、このフレキシブルフラットケーブル３における各種の配線パターン（図示せず）が、前記各表面電極９に電気的に接合される。
【００４１】
以上の構成において、圧電アクチュエータ２の各個別電極のうち任意のものと、これに対応するコモン電極との間に電圧を印加すると、これら両電極に対応する活性部に、圧電縦効果による積層方向の歪みが発生する。この歪みにより前記任意の個別電極に対する圧力室３６の内容積が縮小する。その結果、当該圧力室３６内のインクがノズル４から液滴状に吐出する（所定の印字が行われる）のである。
【００４２】
次に、図８及び図９は、第２実施形態を示し、この実施形態ではノズル４の列が４列であって、複数のノズル４がＸ方向に列状に配置された４列のノズル列を有するノズルプレート１１と、２枚のマニホールドプレート１４ａ，１４ｂと、１枚のスペーサプレート１５と、各ノズル４に対応する圧力室３６を有するベースプレート１７とを順に積層したもので、下側のマニホールドプレート１４ａでは、その板厚さの上側半分をハーフエッチングし、上側のマニホールドプレート１４ａでは、その板厚さを貫通するように、共通インク室７がノズル４の各列に沿って延びるように形成されている。すなわち２枚のマニホールドプレート１４ａ，１４ｂを積層し、且つその上面をスペーサプレート１５にて覆い、下面をノズルプレート１１にて覆うことにより、合計４つの共通インク室（マニホールド室）７はそれぞれ密閉状に形成されている。各共通インク室７は、各プレートの積層方向から見た平面視において、前記圧力室３６の一部と重なって圧力室３６の列方向に沿って長く延びている。
【００４３】
そして、１枚のスペーサプレート１５と２枚のマニホールドプレート１４ａ，１４ｂとには、ベースプレート１７における各圧力室３６からノズルプレート１１の各ノズル４にインクを流通させるための貫通孔３７が穿設され、またスペーサプレート１５には、共通インク室７から対応する圧力室３６にインクを供給するための連通孔３８が穿設されている。
【００４４】
この実施形態では、図８に示すように、ベースプレート１７とスペーサプレート１５とにそれぞれインク供給通路４７が２つ設けられ、一方のインク供給通路４７ａは、図８における左側に隣接して配置された２つの共通インク室７ａ，７ｂにおける長手方向の一方の端部である２つインク入口５１に跨って連通し、他方のインク供給通路４７ｂは、図８における右側に隣接して配置された２つの共通インク室７ｃ，７ｄにおける長手方向の一方の端部である２つインク入口５１に跨って連通している。
【００４５】
これら隣接する２つのインク入口５１は、２枚のマニホールドプレート１４ａ，１４ｂにそれぞれ上下に重なるように形成された仕切り壁５２ａ，５２ｂを挟んで近接し配置されている（図９参照）。２枚のマニホールドプレート１４ａ，１４ｂでは、プレートの左側の２つの共通インク室７ａ，７ｂに１つの種類のインクが供給され、同じく右側の２つの共通インク室７ｃ，７ｄに他の１つの種類のインクが供給されるようになっている。
【００４６】
そして、図８及び図９に示すように、インク供給通路４７ａ，４７ｂの開口は、それぞれ仕切り壁５２を隔てて隣接する複数（実施形態で２つ）のインク入口５１に対して共通にインクを流通させる投影面積を有し、ベースプレート１７の背面に貼着されるフィルタ体２０は仕切り壁５２に対してベースプレート１７とスペーサプレート１５との厚さ分だけインク供給通路４７ａの上流側へ間隔をおいて位置している。また、このインク供給通路４７ａ，４７ｂにそれぞれ対応する濾過部２０ａ，２０ｂは、その平面視輪郭形状が仕切り壁５２を含む２つのインク入口５１の投影面積を有している。このように構成すると、濾過部２０ａ，２０ｂの一部がインクに含まれたごみ５３によって詰まったとしても、濾過部２０ａ，２０ｂの他の部分（詰まっていない箇所）から流入したインクが、広い面積のインク供給通路４７ａ，４７ｂに入った後、仕切り壁５２の箇所でインク流れが図９の矢印ｉ１，ｉ２に分岐されて全ての（２つの）インク入口５１に対してほぼ均一にインクが供給されることを保証できるのである。
【００４７】
図１０（ａ）及び図１０（ｂ）に示すのは第３実施形態であって、１つのキャビティユニット１に１種類のインクを供給する実施形態の１例として、４つの共通インク室７に同じ種類のインクを供給するものであり、この４つの共通インク室７における各インク入口５１はマニホールドプレート１４ａ，１４ｂの短辺の一側寄り部位にてそれぞれ仕切り壁５２を介して近接して配置されている。その上側の複数枚のスペーサプレート１５、１６及びベースプレート１７の板厚さを貫通するように形成されるインク供給通路４７及びフィルタ体２０における単一の濾過部２０ａは、その平面視輪郭形状が４つのインク入口５１と３つの仕切り壁５２を含むような投影面積を有している。なお、その他の構成は、第１実施形態と同じであるので、同じ構成には同じ符号を付して詳細な説明を省略する。
【００４８】
この実施形態においても、濾過部２０ａの一部がインクに含まれたごみ５３によって詰まったとしても、濾過部２０ａの他の部分（詰まっていない箇所）から流入したインクが、広い面積のインク供給通路４７に入った後、３つの仕切り壁５２の箇所でインク流れが図１０（b ）の矢印ｉ１，ｉ２，ｉ３，ｉ４に分岐されて４つのインク入口５１に対してほぼ均一にインクが供給されることを保証できるのである。
【００４９】
本発明は、前述の実施形態に限らず、様々な態様に具体化できる。例えば、インク供給通路から供給されるインクの種類は、前述のカラーインクに限らず、定着促進剤等であってもよい。カラーインクの種類も問わない。
【００５０】
インク供給通路の平面視輪郭形状も、略円形、略小判型、長円形（楕円形）、矩形状、多角形状等といった様々な形状を採用することができる。それに伴い、濾過部の平面視輪郭形状は略小判型に限らず、長円形（楕円形）、矩形状、多角形状であっても構わない。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】圧電式インクジェット式記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】キャビティユニットの拡大分解斜視図である。
【図３】図１の III−III 視拡大断面図である。
【図４】隣接する２つの共通インク室７ａ，７ａの部分におけるベースプレートから下面側を見た部分平面図である。
【図５】離れた３つの共通インク室７ａ，７ａの部分におけるベースプレートから下面側を見た部分平面図である。
【図６】図４のVI−VI線矢視拡大断面図である。
【図７】図５のVII −VII 視拡大断面図である。
【図８】第２実施形態のキャビティユニットの拡大分解斜視図である。
【図９】図８のIX−IX線矢視視拡大断面図である。
【図１０】（ａ）は第２実施形態のキャビティユニットの背面側から見た部分平面図、（ｂ）は図１０（ａ）のXb−Xb線矢視視拡大断面図である。
【符号の説明】
【００５２】
ＨＤ    インクジェットヘッド
１  キャビティユニット
２  圧電アクチュエータ
４  ノズル
７（７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ）    共通インク室
１１  ノズルプレート
１２  第１スペーサプレート
１３  ダンパープレート
１４ａ，１４ｂ  マニホールドプレート
１５  第２スペーサプレート
１６  第３スペーサプレート
１７  ベースプレート
２０  フィルム体
２０ａ〜２０ｄ  濾過部
３６  圧力室
３７  貫通孔
３８  連通孔
４０  接続流路
４５  ダンパ室
４７（４７ａ〜４７ｄ）    インク供給通路
５１      インク入口
５２（５２ａ）      仕切り壁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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