(57)【要約】【課題】本発明は、液相エピタキシャル法により磁性ガーネット単結晶膜を育成する磁性ガーネット単結晶膜の製造方法に関し、結晶欠陥の少ない磁性ガーネット単結晶膜を低コストで育成できる磁性ガーネット単結晶膜の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】坩堝に原材料を充填し、原材料を所定の溶融温度で融解して融液を生成し、融液を用いて液相エピタキシャル法により複数の磁性ガーネット単結晶膜を繰り返し育成する際に、融液温度を１枚目の磁性ガーネット単結晶膜の育成終了時より低下させずに２枚目の磁性ガーネット単結晶膜の育成を開始する。【選択図】    図２
2005008457.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
坩堝に原材料を充填し、
前記原材料を所定の溶融温度で融解して融液を生成し、
前記融液を用いて液相エピタキシャル法により磁性ガーネット単結晶膜を育成した後に、前記融液の温度を膜育成終了時より低下させずに次の磁性ガーネット単結晶膜の育成を開始すること
を特徴とする磁性ガーネット単結晶膜の製造方法。
【請求項２】
請求項１記載の磁性ガーネット単結晶膜の製造方法において、
前記磁性ガーネット単結晶膜の育成終了から１０分以内に前記溶融温度近傍までの前記融液の昇温を開始すること
を特徴とする磁性ガーネット単結晶膜の製造方法。
【請求項３】
請求項２記載の磁性ガーネット単結晶膜の製造方法において、
前記磁性ガーネット単結晶膜の育成終了後、直ちに前記融液の昇温を開始すること
を特徴とする磁性ガーネット単結晶膜の製造方法。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の磁性ガーネット単結晶膜の製造方法において、
前記磁性ガーネット単結晶膜を育成した後に、前記融液に所定量の追加材料を追加すること
を特徴とする磁性ガーネット単結晶膜の製造方法。
【請求項５】
請求項４記載の磁性ガーネット単結晶膜の製造方法において、
前記追加材料は、前記磁性ガーネット単結晶膜の育成により前記融液から減少した溶質の成分を含むこと
を特徴とする磁性ガーネット単結晶膜の製造方法。
【請求項６】
請求項５記載の磁性ガーネット単結晶膜の製造方法において、
前記磁性ガーネット単結晶膜の重量に基づいて前記所定量を算出すること
を特徴とする磁性ガーネット単結晶膜の製造方法。
【請求項７】
請求項５記載の磁性ガーネット単結晶膜の製造方法において、
前記磁性ガーネット単結晶膜の育成前後での前記融液の重量変化に基づいて前記所定量を算出すること
を特徴とする磁性ガーネット単結晶膜の製造方法。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか１項に記載の磁性ガーネット単結晶膜の製造方法において、
前記坩堝は、金又は金を含む材質で形成されていること
を特徴とする磁性ガーネット単結晶膜の製造方法。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか１項に記載の磁性ガーネット単結晶膜の製造方法において、
金又は金を含む材質で形成された攪拌用治具で前記融液を攪拌すること
を特徴とする磁性ガーネット単結晶膜の製造方法。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれか１項に記載の磁性ガーネット単結晶膜の製造方法において、
金又は金を含む材質で形成された基板固定用治具で固定された基板に前記磁性ガーネット単結晶膜を育成すること
を特徴とする磁性ガーネット単結晶膜の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液相エピタキシャル法により磁性ガーネット単結晶膜を育成する磁性ガーネット単結晶膜の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
磁性ガーネット単結晶膜は、光アイソレータ等に用いられるファラデー回転子として光通信システムに多く用いられている。図５は、液相エピタキシャル（ＬＰＥ）法による従来の磁性ガーネット単結晶膜の製造方法を示すフローチャートである。図６は、図５の各ステップでの坩堝（るつぼ）内の原材料（融液）の温度変化を示すグラフである。グラフの横軸は時間を表し、縦軸は温度を表している。図５及び図６に示すように、まず白金（Ｐｔ）を主成分とする貴金属製の坩堝に、鉄（Ｆｅ）、希土類元素、ビスマス（Ｂｉ）、鉛（Ｐｂ）、ホウ素（Ｂ）などの酸化物からなる原材料を充填する（ステップＳ２１）。次に、原材料を充填した坩堝を電気炉内に配置する（ステップＳ２２）。電気炉中で９００〜１０００℃程度の温度まで昇温させて坩堝内の材料を溶融し（ステップＳ２３）、白金を主成分とする貴金属製の攪拌用治具で材料の溶融物を攪拌して均一な融液にする（ステップＳ２４）。
【０００３】
その後、融液温度を７００〜９００℃程度の育成温度（育成開始温度）に設定する（ステップＳ２５）。次に、白金を主成分とする貴金属製の基板固定用治具でＧＧＧ（ガドリニウム・ガリウム・ガーネット）単結晶基板などを固定し、当該基板の片面を融液に接触させて（ステップＳ２６）、融液温度を徐々に降温させながら基板上に厚さ数百μｍの磁性ガーネット単結晶膜をエピタキシャル成長させる（ステップＳ２７）。育成終了後、磁性ガーネット単結晶膜を融液から切り離し（ステップＳ２８）、炉温を室温まで徐々に冷却する（ステップＳ２９）。これにより、育成された磁性ガーネット単結晶膜が徐冷されるとともに、坩堝内に残存する融液が冷却されて固化する。次に、磁性ガーネット単結晶膜を坩堝から取り出す（ステップＳ３０）。その後、坩堝内に残存して固化している材料を取り除いて廃棄し、坩堝を酸で洗浄する（ステップＳ３１）。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１０−１３９５号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
このように、磁性ガーネット単結晶膜の育成に一度使用されて育成後に坩堝内に残存する材料は廃棄される。すなわち、坩堝内に充填された原材料の成分のうち一部のみが磁性ガーネット単結晶膜となり、残りは廃棄されることになる。磁性ガーネット単結晶膜の育成には廃棄分を含む原材料全体の費用が必要になるため、磁性ガーネット単結晶膜の育成コストが極めて高くなってしまうという問題が生じる。
【０００６】
上記の問題を解決するために、坩堝内に残存する材料を廃棄せず、再度加熱溶融して繰り返し使用する手法が考えられる。しかしながら、１回目の磁性ガーネット単結晶膜育成後に坩堝内に残存する材料を繰り返し用いて複数回の磁性ガーネット単結晶膜の育成を試みると、２回目以降に育成された磁性ガーネット単結晶膜に多数の結晶欠陥が発生してしまう。このため、２回目以降に育成された磁性ガーネット単結晶膜では、光学素子に適した光学特性が得られないという問題が新たに生じる。
【０００７】
ここで、特許文献１には、坩堝に充填した材料を繰り返し用いてビスマス置換希土類鉄ガーネット単結晶厚膜を育成する際の単結晶厚膜の割れを抑制するために、単結晶厚膜育成前の融液を９５０℃以上の温度で少なくとも１０時間以上保持する磁気光学ガーネットの製造法が提案されている。しかしながら、特許文献１に提案された製造法を用いれば磁性ガーネット単結晶膜の割れを抑制することはできるものの、磁性ガーネット単結晶膜に多数の結晶欠陥が発生するのは防止できない。
【０００８】
本発明の目的は、結晶欠陥の少ない磁性ガーネット単結晶膜を低コストで育成できる磁性ガーネット単結晶膜の製造方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的は、坩堝に原材料を充填し、前記原材料を所定の溶融温度で融解して融液を生成し、前記融液を用いて液相エピタキシャル法により磁性ガーネット単結晶膜を育成した後に、前記融液の温度を膜育成終了時より低下させずに次の磁性ガーネット単結晶膜の育成を開始することを特徴とする磁性ガーネット単結晶膜の製造方法によって達成される。
【００１０】
上記本発明の磁性ガーネット単結晶膜の製造方法において、前記磁性ガーネット単結晶膜の育成終了から１０分以内に前記溶融温度近傍までの前記融液の昇温を開始することを特徴とする。
【００１１】
上記本発明の磁性ガーネット単結晶膜の製造方法において、前記磁性ガーネット単結晶膜の育成終了後、直ちに前記融液の昇温を開始することを特徴とする。
【００１２】
上記本発明の磁性ガーネット単結晶膜の製造方法において、前記磁性ガーネット単結晶膜を育成した後に、前記融液に所定量の追加材料を追加することを特徴とする。
【００１３】
上記本発明の磁性ガーネット単結晶膜の製造方法において、前記追加材料は、前記磁性ガーネット単結晶膜の育成により前記融液から減少した溶質の成分を含むことを特徴とする。
【００１４】
上記本発明の磁性ガーネット単結晶膜の製造方法において、前記磁性ガーネット単結晶膜の重量に基づいて前記所定量を算出することを特徴とする。
【００１５】
上記本発明の磁性ガーネット単結晶膜の製造方法において、前記磁性ガーネット単結晶膜の育成前後での前記融液の重量変化に基づいて前記所定量を算出することを特徴とする。
【００１６】
上記本発明の磁性ガーネット単結晶膜の製造方法において、前記坩堝は、金又は金を含む材質で形成されていることを特徴とする。
【００１７】
上記本発明の磁性ガーネット単結晶膜の製造方法において、金又は金を含む材質で形成された攪拌用治具で前記融液を攪拌することを特徴とする。
【００１８】
上記本発明の磁性ガーネット単結晶膜の製造方法において、金又は金を含む材質で形成された基板固定用治具で固定された基板に前記磁性ガーネット単結晶膜を育成することを特徴とする。
【００１９】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施の形態による磁性ガーネット単結晶膜の製造方法について図１乃至図４を用いて説明する。本実施の形態は、原材料を溶融した融液を繰り返し使用してＬＰＥ法により複数の磁性ガーネット単結晶膜を順次育成する際に、１つの磁性ガーネット単結晶膜の育成が終了してから次の磁性ガーネット単結晶膜の育成を開始するまでの間の融液温度を所定温度以上に保持することを特徴としている。また、本実施の形態は、１つの磁性ガーネット単結晶膜の育成が終了してから１０ｍｉｎ（分）以内に融液温度を育成温度以上に昇温させるとともに、融液温度を昇温させながら当該磁性ガーネット単結晶膜を取り出して次の磁性ガーネット単結晶膜の育成に移ることを特徴としている。これにより、２回目以降の磁性ガーネット単結晶膜の育成で問題となる結晶欠陥の発生が抑制される。
【００２０】
ここで、磁性ガーネット単結晶膜の主要な構成元素は、希土類元素、鉄、ビスマス等である。坩堝内には、これらの酸化物が原材料として充填される。ＬＰＥ法による育成で磁性ガーネット単結晶膜となるのは、坩堝内に充填される原材料のうちごく一部だけである。そのため、育成後に坩堝内に残存した材料を廃棄せずに繰り返し使用することができれば、材料コストを削減できるとともに、坩堝に材料を充填する工程や坩堝を洗浄する工程などを削減できる。
【００２１】
ところが、ファラデー回転子に使用される磁性ガーネット単結晶膜は、非磁性ガーネット単結晶基板（ＧＧＧ単結晶基板）の片面に数百μｍの膜厚に成長させる必要がある。このため、育成後には融液中の溶質が育成前に比べてかなりの割合で減少する。したがって、一度育成に使用した材料を再び用いて磁性ガーネット単結晶膜の育成を試みても溶質量が不足し、膜厚の薄い磁性ガーネット単結晶膜しか育成できない。そこで、育成した磁性ガーネット単結晶膜の重量を測定して、育成で減少した分の溶質を育成後に残った材料に追加材料として追加する。これにより、再びほぼ同じ材料の条件で次の磁性ガーネット単結晶膜を育成できるため、溶質以外の材料の大部分を繰り返し使用しながら、十分な膜厚の磁性ガーネット単結晶膜を複数育成できる。
【００２２】
しかし、一度使用した材料の融液を室温まで冷却すると、例えば白金製の坩堝から融液に溶けた白金が他の元素と複合酸化物を形成してしまう。白金は融液に溶解し難いために坩堝や治具の材質に使われているものの、若干は溶解してしまう。融液に溶解した白金は、他の元素と複合酸化物を形成すると非常に溶解し難い固形物になる。一度冷却して固化した材料を再び溶融してもこの固形物が融液に溶解することはほとんどない。この融液を用いて磁性ガーネット単結晶膜を育成すると、融液中に残存する固形物が単結晶の成長面に付着して結晶成長を阻害する。これが磁性ガーネット単結晶膜に発生する結晶欠陥の原因になる。
【００２３】
そこで、磁性ガーネット単結晶膜の育成終了後、融液を固形物の析出しない所定温度以上の高温に保持しながら磁性ガーネット単結晶膜を取り出し、次の磁性ガーネット単結晶膜の育成に移る。これにより融液中に白金を含む複合酸化物が形成されることがなく、結晶欠陥の原因となる固形物が融液中に析出することもない。したがって、坩堝内に充填した原材料を繰り返し使用して複数の磁性ガーネット単結晶膜を育成しても、各磁性ガーネット単結晶膜の結晶欠陥の発生を抑制できる。
【００２４】
図１は、本実施の形態による磁性ガーネット単結晶膜の製造方法を示すフローチャートである。図２は、図１の各ステップでの坩堝内の原材料（融液）の温度変化を示すグラフである。グラフの横軸は時間を表し、縦軸は温度を表している。図１及び図２に示すように、まず、白金や金（Ａｕ）等の貴金属製の坩堝に、鉄、希土類元素、ビスマス、鉛、ホウ素などの酸化物からなる原材料を充填する（ステップＳ１）。次に、原材料を充填した坩堝を電気炉内に配置する（ステップＳ２）。以上の工程は、例えば室温で行われる。次に、電気炉中で例えば９４０℃程度の溶融温度まで坩堝内の材料を昇温させて溶融し（ステップＳ３）、白金や金等の貴金属製の攪拌用治具で材料の溶融物を攪拌して均一な融液にする（ステップＳ４）。
【００２５】
図３は、攪拌用治具を用いて溶融物を攪拌している状態を示している。図３に示すように、攪拌用治具１は、長方形平板状に形成されている。攪拌用治具１は、その一端辺のほぼ中央でセラミック製の攪拌棒６に接続固定されている。坩堝４内に攪拌棒６を搬入し、電気炉の加熱コイル１１に通電することにより加熱されて溶融した融液８中に攪拌棒６先端の攪拌用治具１を浸す。攪拌棒６を棒の中心軸回りに回転させると攪拌用治具１も共に回転し、融液８を攪拌することができる。
【００２６】
次に、融液温度を降温させ、例えば８５０℃程度の育成開始温度に設定する（ステップＳ５）。次に、白金や金等の貴金属製の基板固定用治具でＧＧＧ単結晶基板などを固定し、当該基板の少なくとも片面を融液８に接触させて（ステップＳ６）、融液温度を例えば８３８℃まで徐々に降温させながら基板上に厚さ数百μｍの磁性ガーネット単結晶膜を育成する（ステップＳ７）。
【００２７】
図４は、基板固定用治具でＧＧＧ単結晶基板を固定し、ＬＰＥ法を用いて磁性ガーネット単結晶膜を育成している状態を示している。図４に示すように、基板固定用治具２は、ＧＧＧ単結晶基板１０を３点で支持する３本の線状支持部と、基板１０を保持するために各線状支持部の一端側で折り曲げられた基板保持部とを有している。各線状支持部の他端側は、一つにまとめられてセラミック製の支持棒７に接続固定されている。支持棒７を所定距離だけ貴金属製の坩堝４内に搬入して、支持棒７先端の基板固定用治具２に保持された基板１０の少なくとも片面を坩堝４内の融液８中に浸す。そして、支持棒７を棒の中心軸回りに回転させると、基板１０も基板固定用治具２と共に回転し、基板１０片面に融液８を十分接触させることができる。このとき、基板固定用治具２の基板保持部は、基板１０片面と共に融液８中に浸されている。基板１０片面には、磁性ガーネット単結晶膜１２がエピタキシャル成長する。
【００２８】
育成終了後、磁性ガーネット単結晶膜１２を融液８から切り離す（ステップＳ８）。その後、育成された磁性ガーネット単結晶膜１２の温度が室温まで徐々に低下する条件で、磁性ガーネット単結晶膜１２を引き上げて電気炉外に取り出す（ステップＳ９）。ここで、磁性ガーネット単結晶膜１２を徐冷しながら電気炉外に取り出すのは、熱衝撃による割れの発生を防止するためである。
【００２９】
磁性ガーネット単結晶膜１２の育成終了時は、融液温度が最も低くなっている。それに加えて、熱的な蓋（ふた）となっている円板状の基板１０を融液８直上から移動させてしまうため、融液温度が大きく低下するおそれがある。この状態でかつ融液８に強制対流のない条件で１０ｍｉｎより長い時間融液８を放置すると、融液８中に固形物が析出し易くなる。このため、融液８の温度が育成終了時の温度より低下しないように、育成終了後速やかに昇温を開始する。これにより、融液８を溶融した状態に維持でき、固形物の析出も防止できる。具体的には、育成終了から昇温開始までの時間ｔを１０ｍｉｎ以内にし、好ましくは育成終了後直ちに融液８の昇温を開始する（ｔ≒０（ｍｉｎ））。
【００３０】
融液８を溶融温度の９４０℃程度まで昇温させた後、必要であれば、磁性ガーネット単結晶膜１２となって融液８から減少した溶質の成分を含む追加材料を坩堝４内に追加する（ステップＳ１０）。追加材料の分量は、得られた磁性ガーネット単結晶膜１２の重量や膜厚等に基づいて算出される。あるいは、育成前後での融液８の重量変化に基づいて、追加材料の分量を算出してもよい。その後、ステップＳ４〜Ｓ１０を繰り返し、複数の磁性ガーネット単結晶膜１２を順次育成する。
【００３１】
本実施の形態では、坩堝４内に充填した原材料を繰り返し使用して複数の磁性ガーネット単結晶膜１２を順次育成している。したがって、坩堝４内に残存する材料を廃棄してしまうことがないため、磁性ガーネット単結晶膜１２の育成コストを削減できる。さらに本実施の形態では、１つの磁性ガーネット単結晶膜１２の育成終了後、次の磁性ガーネット単結晶膜１２の育成を開始する前に追加材料を追加しているため、２回目以降の育成でも十分な膜厚の磁性ガーネット単結晶膜１２が得られる。
【００３２】
また、本実施の形態では、磁性ガーネット単結晶膜１２の育成終了後から次の磁性ガーネット単結晶膜１２の育成開始までの間、融液温度を固形物の析出しない所定温度以上の高温に保持している。これにより、融液８中に白金を含む複合酸化物が形成されることがなく、結晶欠陥の原因となる固形物が融液８中に析出することもない。したがって、２回目以降の磁性ガーネット単結晶膜１２の育成で問題となる結晶欠陥の発生を抑制できる。
【００３３】
以下、本実施の形態による磁性ガーネット単結晶膜の製造方法について、実施例及び比較例を用いてより具体的に説明する。
（実施例１）
白金製の坩堝４に、１６．２６５ｇのＧｄ２Ｏ３、１８．９７７ｇのＹｂ２Ｏ３、３８０．８０ｇのＦｅ２Ｏ３、１６．８３３ｇのＧｅＯ２、７８．９４６ｇのＢ２Ｏ３、２６０８．１ｇのＢｉ２Ｏ３、及び２０２０．６ｇのＰｂＯを原材料として充填し、坩堝４を電気炉内に配置した。融液温度を９４０℃まで上げて坩堝４内の原材料を融解し、白金製の攪拌用治具１を使用して融液８を攪拌した。ＣａＭｇＺｒ置換ＧＧＧ基板１０を白金製の基板固定用治具２に取り付けて炉内に投入し、融液温度を８５０℃まで下げてから基板１０の片面を融液８に接触させて、融液温度を８３８℃まで徐々に低下させながらエピタキシャル成長を４０時間行った。育成終了後、直ちに昇温を開始して融液温度を９４０℃まで上昇させた（ｔ≒０（ｍｉｎ））。そして、育成された磁性ガーネット単結晶膜１２の温度が室温まで徐々に低下する条件で、磁性ガーネット単結晶膜１２を引き上げて電気炉外に取り出した。磁性ガーネット単結晶膜１２を洗浄した後に膜厚を評価したところ、得られた磁性ガーネット単結晶膜１２の膜厚は５００μｍであった。蛍光Ｘ線装置により分析したところ、磁性ガーネット単結晶膜１２の組成は、Ｂｉ１．２０Ｇｄ１．２０Ｙｂ０．５８Ｐｂ０．０２Ｆｅ４．９８Ｐｔ０．０１Ｇｅ０．０１であった。基板１０及び磁性ガーネット単結晶膜１２の重量を測定し、その重量と予め測定された基板１０の重量との差から磁性ガーネット単結晶膜１２の重量を求めた。磁性ガーネット単結晶膜１２の重量は１６．１ｇであった。
【００３４】
１回目の育成で融液８から減少した材料の重量を求め、その分の３．４４４ｇのＧｄ２Ｏ３、１．８１０ｇのＹｂ２Ｏ３、６．２９６ｇのＦｅ２Ｏ３、０．０３６ｇのＧｅＯ２、４．４２７ｇのＢｉ２Ｏ３、及び０．０７１ｇのＰｂＯを追加材料として坩堝４内に追加した。そして９４０℃に維持されている融液８を白金製の攪拌用治具１を使用して攪拌し、追加材料を融解した。ＣａＭｇＺｒ置換ＧＧＧ基板１０を白金製の基板固定用治具２に取り付けて炉内に投入し、融液温度を８５０℃まで下げてから基板１０の片面を融液８に接触させて、融液温度を８３８℃まで徐々に低下させながらエピタキシャル成長を４０時間行った。膜厚４９５μｍの磁性ガーネット単結晶膜１２が得られた。
【００３５】
育成した２枚の磁性ガーネット単結晶膜１２の表面を目視により観察したところ、結晶欠陥の発生数に有意な差はなかった。顕微鏡を用いて結晶欠陥密度の評価をしたところ、２枚の磁性ガーネット単結晶膜１２の結晶欠陥密度は、共に１個／ｃｍ２であった。また、２枚の磁性ガーネット単結晶膜１２に割れの発生は認められなかった。これらの磁性ガーネット単結晶膜１２をそれぞれ加工して無反射膜の成膜を行い、波長１．５５μｍの光に対して回転角４５ｄｅｇ．となる２つのファラデー回転子を作製した。両ファラデー回転子の波長１．５５μｍにおける光挿入損失は、共に０．０３ｄＢであった。１枚目の磁性ガーネット単結晶膜１２を用いて作製されたファラデー回転子の消光比は４５．０ｄＢであり、２枚目の磁性ガーネット単結晶膜１２を用いて作製されたファラデー回転子の消光比は４４．５ｄＢであった。このように、良好な特性の得られる２枚の磁性ガーネット単結晶膜１２を同じ融液８から問題なく育成することができた。
【００３６】
（実施例２）
白金製の坩堝４に、１６．２６５ｇのＧｄ２Ｏ３、１８．９７７ｇのＹｂ２Ｏ３、３８０．８０ｇのＦｅ２Ｏ３、１６．８３３ｇのＧｅＯ２、７８．９４６ｇのＢ２Ｏ３、２６０８．１ｇのＢｉ２Ｏ３、及び２０２０．６ｇのＰｂＯを原材料として充填し、坩堝４を電気炉内に配置した。融液温度を９４０℃まで上げて坩堝４内の原材料を融解し、白金製の攪拌用治具１を使用して融液８を攪拌した。ＣａＭｇＺｒ置換ＧＧＧ基板１０を白金製の基板固定用治具２に取り付けて炉内に投入し、融液温度を８５０℃まで下げてから基板１０の片面を融液８に接触させて、融液温度を８３８℃まで徐々に低下させながらエピタキシャル成長を４０時間行った。育成終了から１０ｍｉｎ経過後に昇温を開始し、融液温度を９４０℃まで上昇させた（ｔ＝１０（ｍｉｎ））。そして、育成された磁性ガーネット単結晶膜１２の温度が室温まで徐々に低下する条件で、磁性ガーネット単結晶膜１２を引き上げて電気炉外に取り出した。磁性ガーネット単結晶膜１２を洗浄した後に膜厚を評価したところ、得られた磁性ガーネット単結晶膜１２の膜厚は５００μｍであった。蛍光Ｘ線装置により分析したところ、磁性ガーネット単結晶膜１２の組成は、Ｂｉ１．２０Ｇｄ１．２０Ｙｂ０．５８Ｐｂ０．０２Ｆｅ４．９８Ｐｔ０．０１Ｇｅ０．０１であった。基板１０及び磁性ガーネット単結晶膜１２の重量を測定し、その重量と予め測定された基板１０の重量との差から磁性ガーネット単結晶膜１２の重量を求めた。磁性ガーネット単結晶膜１２の重量は１６．１ｇであった。
【００３７】
１回目の育成で融液８から減少した材料の重量を求め、その分の３．４４４ｇのＧｄ２Ｏ３、１．８１０ｇのＹｂ２Ｏ３、６．２９６ｇのＦｅ２Ｏ３、０．０３６ｇのＧｅＯ２、４．４２７ｇのＢｉ２Ｏ３、及び０．０７１ｇのＰｂＯを追加材料として坩堝４内に追加した。そして９４０℃に維持されている融液８を白金製の攪拌用治具１を使用して攪拌し、追加材料を融解した。ＣａＭｇＺｒ置換ＧＧＧ基板１０を白金製の基板固定用治具２に取り付けて炉内に投入し、融液温度を８５０℃まで下げてから基板１０の片面を融液８に接触させて、融液温度を８３８℃まで徐々に低下させながらエピタキシャル成長を４０時間行った。膜厚５０５μｍの磁性ガーネット単結晶膜１２が得られた。
【００３８】
育成した２枚の磁性ガーネット単結晶膜１２の表面を目視により観察したところ、結晶欠陥の発生数に有意な差はなかった。顕微鏡を用いて結晶欠陥密度の評価をしたところ、２枚の磁性ガーネット単結晶膜１２の結晶欠陥密度は、共に１個／ｃｍ２であった。また、２枚の磁性ガーネット単結晶膜１２に割れの発生は認められなかった。これらの磁性ガーネット単結晶膜１２をそれぞれ加工して無反射膜の成膜を行い、波長１．５５μｍの光に対して回転角４５ｄｅｇ．となる２つのファラデー回転子を作製した。両ファラデー回転子の波長１．５５μｍにおける光挿入損失は、共に０．０３ｄＢであった。１枚目の磁性ガーネット単結晶膜１２を用いて作製されたファラデー回転子の消光比は４６．０ｄＢであり、２枚目の磁性ガーネット単結晶膜１２を用いて作製されたファラデー回転子の消光比は４５．０ｄＢであった。このように、良好な特性の得られる２枚の磁性ガーネット単結晶膜１２を同じ融液８から問題なく育成することができた。
【００３９】
（実施例３）
金製の坩堝４に、１６．２６５ｇのＧｄ２Ｏ３、１８．９７７ｇのＹｂ２Ｏ３、３８０．８０ｇのＦｅ２Ｏ３、２０．５５４ｇのＧｅＯ２、７８．９４６ｇのＢ２Ｏ３、２６０８．１ｇのＢｉ２Ｏ３、及び２０２０．６ｇのＰｂＯを原材料として充填し、坩堝４を電気炉内に配置した。融液温度を９４０℃まで上げて坩堝４内の原材料を融解し、金製の攪拌用治具１を使用して融液８を攪拌した。ＣａＭｇＺｒ置換ＧＧＧ基板１０を金製の基板固定用治具２に取り付けて炉内に投入し、融液温度を８５０℃まで下げてから基板１０の片面を融液８に接触させて、融液温度を８３８℃まで徐々に低下させながらエピタキシャル成長を４０時間行った。育成終了から１０ｍｉｎ経過後に昇温を開始し、融液温度を９４０℃まで上昇させた（ｔ＝１０（ｍｉｎ））。そして、育成された磁性ガーネット単結晶膜１２の温度が室温まで徐々に低下する条件で、磁性ガーネット単結晶膜１２を引き上げて電気炉外に取り出した。磁性ガーネット単結晶膜１２を洗浄した後に膜厚を評価したところ、得られた磁性ガーネット単結晶膜１２の膜厚は５００μｍであった。蛍光Ｘ線装置により分析したところ、磁性ガーネット単結晶膜１２の組成は、Ｂｉ１．２０Ｇｄ１．２０Ｙｂ０．５８Ｐｂ０．０２Ｆｅ４．９８Ｇｅ０．０２であった。基板１０及び磁性ガーネット単結晶膜１２の重量を測定し、その重量と予め測定された基板１０の重量との差から磁性ガーネット単結晶膜１２の重量を求めた。磁性ガーネット単結晶膜１２の重量は１６．１ｇであった。
【００４０】
１回目の育成で融液８から減少した材料の重量を求め、その分の３．４４４ｇのＧｄ２Ｏ３、１．８１０ｇのＹｂ２Ｏ３、６．２９６ｇのＦｅ２Ｏ３、０．０７２ｇのＧｅＯ２、４．４２７ｇのＢｉ２Ｏ３、及び０．０７１ｇのＰｂＯを追加材料として坩堝４内に追加した。そして９４０℃に維持されている融液８を金製の攪拌用治具１を使用して攪拌し、追加材料を融解した。ＣａＭｇＺｒ置換ＧＧＧ基板１０を金製の基板固定用治具２に取り付けて炉内に投入し、融液温度を８５０℃まで下げてから基板１０の片面を融液８に接触させて、融液温度を８３８℃まで徐々に低下させながらエピタキシャル成長を４０時間行った。膜厚５１０μｍの磁性ガーネット単結晶膜１２が得られた。
【００４１】
育成した２枚の磁性ガーネット単結晶膜１２の表面を目視により観察したところ、結晶欠陥の発生数に有意な差はなかった。顕微鏡を用いて結晶欠陥密度の評価をしたところ、２枚の磁性ガーネット単結晶膜１２の結晶欠陥密度は、共に１個／ｃｍ２以下であった。また、２枚の磁性ガーネット単結晶膜１２に割れの発生は認められなかった。これらの磁性ガーネット単結晶膜１２をそれぞれ加工して無反射膜の成膜を行い、波長１．５５μｍの光に対して回転角４５ｄｅｇ．となる２つのファラデー回転子を作製した。両ファラデー回転子の波長１．５５μｍにおける光挿入損失は、共に０．０１ｄＢであった。１枚目の磁性ガーネット単結晶膜１２を用いて作製されたファラデー回転子の消光比は４６．５ｄＢであり、２枚目の磁性ガーネット単結晶膜１２を用いて作製されたファラデー回転子の消光比は４５．８ｄＢであった。
【００４２】
本実施例では、融液８に接触する坩堝４、攪拌用治具１及び基板固定用治具２が、金で形成されている。金は融液にほとんど溶解しない上に、非常に酸化物を作り難い元素である。このため、磁性ガーネット単結晶膜１２に金が取り込まれることはなく、融液中で不溶性の酸化物を作ることもない。したがって、実施例１及び２よりさらに良好な特性の得られる２枚の磁性ガーネット単結晶膜１２を同じ融液８から育成することができた。なお、本実施例では、坩堝４、攪拌用治具１及び基板固定用治具２が全て金で形成されているが、坩堝４、攪拌用治具１及び基板固定用治具２は金を主成分として含む材質で形成してもよい。また、坩堝４が金（又は金を主成分として含む材質）で形成されていれば、攪拌用治具１及び基板固定用治具２が他の材質で形成されていてもほぼ同様の効果が得られる。
【００４３】
（比較例）
白金製の坩堝４に、１６．２６５ｇのＧｄ２Ｏ３、１８．９７７ｇのＹｂ２Ｏ３、３８０．８０ｇのＦｅ２Ｏ３、１６．８３３ｇのＧｅＯ２、７８．９４６ｇのＢ２Ｏ３、２６０８．１ｇのＢｉ２Ｏ３、及び２０２０．６ｇのＰｂＯを原材料として充填し、坩堝４を電気炉内に配置した。融液温度を９４０℃まで上げて坩堝４内の原材料を融解し、白金製の攪拌用治具１を使用して融液８を攪拌した。ＣａＭｇＺｒ置換ＧＧＧ基板１０を白金製の基板固定用治具２に取り付けて炉内に投入し、融液温度を８５０℃まで下げてから基板１０の片面を融液８に接触させて、融液温度を８３８℃まで徐々に低下させながらエピタキシャル成長を４０時間行った。育成終了から３０ｍｉｎ経過後に昇温を開始し、融液温度を９４０℃まで上昇させた（ｔ＝３０（ｍｉｎ））。そして、育成された磁性ガーネット単結晶膜１２の温度が室温まで徐々に低下する条件で、磁性ガーネット単結晶膜１２を引き上げて電気炉外に取り出した。磁性ガーネット単結晶膜１２を洗浄した後に膜厚を評価したところ、得られた磁性ガーネット単結晶膜１２の膜厚は５００μｍであった。蛍光Ｘ線装置により分析したところ、磁性ガーネット単結晶膜１２の組成は、Ｂｉ１．２０Ｇｄ１．２０Ｙｂ０．５８Ｐｂ０．０２Ｆｅ４．９８Ｐｔ０．０１Ｇｅ０．０１であった。基板１０及び磁性ガーネット単結晶膜１２の重量を測定し、その重量と予め測定された基板１０の重量との差から磁性ガーネット単結晶膜１２の重量を求めた。磁性ガーネット単結晶膜１２の重量は１６．１ｇであった。
【００４４】
１回目の育成で融液８から減少した材料の重量を求め、その分の３．４４４ｇのＧｄ２Ｏ３、１．８１０ｇのＹｂ２Ｏ３、６．２９６ｇのＦｅ２Ｏ３、０．０３６ｇのＧｅＯ２、４．４２７ｇのＢｉ２Ｏ３、及び０．０７１ｇのＰｂＯを追加材料として坩堝４内に追加した。そして９４０℃に維持されている融液８を白金製の攪拌用治具１を使用して攪拌し、追加材料を融解した。ＣａＭｇＺｒ置換ＧＧＧ基板１０を白金製の基板固定用治具２に取り付けて炉内に投入し、融液温度を８５０℃まで下げてから基板１０の片面を融液８に接触させて、融液温度を８３８℃まで徐々に低下させながらエピタキシャル成長を４０時間行った。膜厚４８５μｍの磁性ガーネット単結晶膜１２が得られた。
【００４５】
育成した２枚の磁性ガーネット単結晶膜１２の表面を目視により観察したところ、１枚目の磁性ガーネット単結晶膜１２にはほとんど結晶欠陥は認められなかったが、２枚目の磁性ガーネット単結晶膜１２の表面には多数の結晶欠陥が認められた。顕微鏡を用いて結晶欠陥密度の評価をしたところ、１枚目の磁性ガーネット単結晶膜１２の結晶欠陥密度は１個／ｃｍ２であり、２枚目の磁性ガーネット単結晶膜１２の結晶欠陥密度は５６個／ｃｍ２であった。これらの磁性ガーネット単結晶膜１２をそれぞれ加工して無反射膜の成膜を行い、波長１．５５μｍの光に対して回転角４５ｄｅｇ．となるファラデー回転子を作製した。１枚目の磁性ガーネット単結晶膜１２を用いて作製されたファラデー回転子は、波長１．５５μｍにおける光挿入損失が０．０３ｄＢであり、消光比が４６．０ｄＢであった。２枚目の磁性ガーネット単結晶膜１２を用いて作製されたファラデー回転子は、波長１．５５μｍにおける光挿入損失が０．０３ｄＢであり、消光比が２２．６ｄＢであった。２枚目の磁性ガーネット単結晶膜１２を用いて作製されたファラデー回転子は、結晶欠陥の増加が原因で消光比が極めて悪化していた。このように、２枚目の磁性ガーネット単結晶膜１２は、ファラデー回転子の製造には使えない結果となった。
【００４６】
表１は、上記の実施例及び比較例で得られた磁性ガーネット単結晶膜１２及びファラデー回転子の特性等をまとめて示している。
【００４７】
【表１】
2005008457.tif 000003
【００４８】
表１に示すように、１回目の育成終了から１０ｍｉｎ以内の間に昇温を開始した実施例１乃至３では、その後の２回目の育成でも良好な特性の磁性ガーネット単結晶膜１２及びファラデー回転子が得られた。これに対し、１回目の育成終了から３０ｍｉｎ経過後に昇温を開始した比較例では、その後の２回目の育成では良好な特性の磁性ガーネット単結晶膜１２及びファラデー回転子が得られなかった。
【００４９】
【発明の効果】
以上の通り、本発明によれば、結晶欠陥の少ない磁性ガーネット単結晶膜を低コストで育成できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態による磁性ガーネット単結晶膜の製造方法を示すフローチャートである。
【図２】図１の各ステップでの坩堝内の原材料（融液）の温度変化を示すグラフである。
【図３】攪拌用治具を用いて溶融物を攪拌している状態を示す図である。
【図４】基板固定用治具でＧＧＧ単結晶基板を固定し、液相エピタキシャル法を用いて磁性ガーネット単結晶膜を育成している状態を示す図である。
【図５】従来の磁性ガーネット単結晶膜の製造方法を示すフローチャートである。
【図６】図５の各ステップでの坩堝内の原材料（融液）の温度変化を示すグラフである。
【符号の説明】
１  攪拌用治具
２  基板固定用治具
４  坩堝
６  攪拌棒
７  支持棒
８  融液
１０  基板
１１加熱コイル
１２  磁性ガーネット単結晶膜
【図１】
2005008457.tif 000004
【図２】
2005008457.tif 000005
【図３】
2005008457.tif 000006
【図４】
2005008457.tif 000007
【図５】
2005008457.tif 000008
【図６】
2005008457.tif 000009