(57)【要約】 【課題】接着剤の選定に制限を生じず、透過する光束に線状、あるいは点状の影が発生することを防止できる光学部品の製造方法及び光学部品を提供すること。【解決手段】レンズ基板４２１及びカバーガラス基板４２２を加熱した後、カバーガラス基板４２２上面の幾何学的中心位置の一点に、接着剤Ｓを滴下する。その後、真空状態で、レンズ基板４２１及びカバーガラス基板４２２を当接させる。そして、接着剤Ｓの一部、すなわち、酸素により変質した部分ＳＸがレンズ基板４２１及びカバーガラス基板４２２の外周部からはみ出すまで、接着剤Ｓを押し広げる。【選択図】 図８
2005234309.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の対向配置された光学素子を有する光学部品の製造方法であって、
一方の光学素子の他方の光学素子との対向面の基準位置の一点に、接着剤を塗布する接着剤塗布工程と、
真空下において、前記他方の光学素子と、前記接着剤が塗布された前記一方の光学素子とを当接させて、接着剤の一部が一対の光学素子の光束透過範囲の外周部からはみ出すまで、接着剤を押し広げ、接着する接着工程と、
前記接着剤を硬化させる硬化工程とを有することを特徴とする光学部品の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の光学部品の製造方法において、
前記接着剤塗布工程の前段で、少なくとも、接着剤が塗布される一方の光学素子を加熱する加熱工程を有することを特徴とする光学部品の製造方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の光学部品の製造方法において、
前記接着剤塗布工程の前段で、一対の光学素子の対向面を洗浄する洗浄工程を有することを特徴とする光学部品の製造方法。
【請求項４】
請求項１から３の何れかに記載の光学部品の製造方法において、
前記光学部品は、対向基板と、
表面に画素電極が形成され、対向基板とともに、電気光学物質を挟持する素子基板とを有した液晶表示装置であり、
前記対向基板は、表面に対向電極及び遮光膜が形成されたカバーガラス基板と、このカバーガラス基板の裏面側に配置され、前記カバーガラス基板との対向面にマイクロレンズアレイが形成されたレンズ基板とを有し、
前記一方の光学素子は、前記カバーガラス基板であり、他方の光学素子は前記レンズ基板であり、
硬化工程の後段に、カバーガラス基板の前記表面を研磨する研磨工程と、
研磨されたカバーガラス基板の表面に前記対向電極及び遮光膜を形成する成膜工程と、
前記カバーガラス基板の表面に対して、画素電極が形成された素子基板を貼り合わせる素子基板貼り合せ工程と、
カバーガラス基板、レンズ基板、素子基板を切断する切断工程とを有することを特徴とする光学部品の製造方法。
【請求項５】
請求項１から３の何れかに記載の光学部品の製造方法において、
前記光学部品は、表面に対向電極及び遮光膜が形成された対向基板と、
表面に画素電極が形成され、前記対向基板とともに、電気光学物質を挟持する素子基板と、対向基板及び／又は素子基板上に貼り合わされた防塵基板とを有した液晶表示装置であり、
前記一方の光学素子は、防塵基板であり、前記他方の素子は、対向基板及び／又は素子基板であり、
前記防塵基板と前記対向基板、及び／又は、防塵基板と素子基板とを貼り合わせた後、前記防塵基板、対向基板、素子基板を切断することを特徴とする光学部品の製造方法。
【請求項６】
請求項１から５の何れかに記載の光学部品の製造方法により製造されたことを特徴とする光学部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学部品の製造方法、光学部品に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、対向配置される光学素子同士を接着することにより製造される光学部品が知られている。例えば、光学部品としての液晶表示装置において、表面にマイクロレンズアレイが形成されたレンズ基板（光学素子）と、カバーガラス基板（光学素子）とを接着剤により貼り合せることが知られている（例えば、特許文献１参照）。
また、液晶表示装置において、防塵基板（光学素子）と、素子基板（光学素子）等とを貼り合せることも知られている。さらには、凹レンズ（光学素子）と凸レンズ（光学素子）とを貼り合せたレンズ群を用いて、光学部品としての投写レンズを構成することも知られている。
このような光学部品において、対向配置される光学素子同士を接着する際には、接着剤の厚みを均一とする必要がある。そのため、図１３に示すように、一方の光学素子１００の他方の光学素子との対向面に、格子状、放射状、多数の平行線状等の線状に接着剤Ｓを塗布し、他方の光学素子を貼り付ける方法が採用されている。
また、一方の光学素子の他方の素子との対向面に、接着剤をスピンコートした後、他方の光学素子を貼り付ける方法も提案されている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−００５１６４号公報（第３〜第５頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、一方の光学素子の対向面に格子状、放射状、多数の平行線状等の線状に接着剤を塗布する方法で、接着剤を塗布した後、光学素子同士を貼り合せると、光学部品を透過する光束に筋状、あるいは点状の影ができてしまうという問題がある。
また、スピンコートにより接着剤を塗布する方法では、上述した問題は生じないが、スピンコートに適した粘性の低い接着剤を使用しなければならず、接着剤の選定に制限が生じる。特に近年、使用されている高屈折率、高耐熱性等の高機能接着剤は粘性の高いものが多いため、使用できなくなるという問題がある。
【０００５】
本発明の目的は、接着剤の選定に制限を生じず、透過する光束に線状、あるいは点状の影が発生することを防止できる光学部品の製造方法及び光学部品を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者は、上記目的を達成するために鋭意検討を重ねた結果、光学部品を透過する光束に筋状、点状の影が生じる原因として、次のようなことが考えられるとした。
近年、接着剤としては、ＵＶ硬化型接着剤が使用されることが多く、このＵＶ硬化型接着剤は一般に嫌気性で、酸素による硬化阻害を起こす。接着剤を一方の光学素子の対向面に塗布すると、接着剤の表面で酸素による硬化阻害が進行する。そして、図１４（Ａ）に示すように、接着剤Ｓの表面に変質した薄い層ＳＸが形成される。このような状態で、図１４（Ｂ）に示すように、他方の光学素子１０１を貼り合せると、線状に塗布した接着剤Ｓが広がっていき、図１４（Ｃ）に示すように、隣接する線状の接着剤Ｓと接触する。この接触部分に、酸素により変質した部分ＳＸが集中的に溜まるのである。その後、接着剤Ｓの硬化を行うと、変質した部分ＳＸは、他の部分と屈折率が異なるため、透過した光束に筋状、点状の影ができてしまうのである。
本発明の光学部品の製造方法は、以上のような知見推測に基づいて案出されたものである。
【０００７】
すなわち、本発明の光学部品の製造方法は、一対の対向配置された光学素子を有する光学部品の製造方法であって、一方の光学素子の他方の光学素子との対向面の基準位置の一点に、接着剤を塗布する接着剤塗布工程と、真空下において、前記他方の光学素子と、前記接着剤が塗布された前記一方の光学素子とを当接させて、接着剤の一部が一対の光学素子の光束透過範囲の外周部からはみ出すまで、接着剤を押し広げ、接着する接着工程と、前記接着剤を硬化させる硬化工程とを有することを特徴とする。
ここで、一方の光学素子の対向面の基準位置とは、例えば、光学的中心位置であってもよく、また、幾何学的中心位置であってもよい。
【０００８】
このような本発明によれば、接着剤塗布工程では、一方の光学素子の前記他方の光学素子との対向面の基準位置の一点に、接着剤を塗布しており、接着工程では、他方の光学素子と、接着剤が塗布された一方の光学素子とを当接させて、接着剤の一部が一対の光学素子の光束透過範囲の外周部からはみ出すまで、接着剤を押し広げている。これにより、一方の光学素子の対向面に塗布された接着剤の表面に生じた変質部分は、接着工程において、光学素子の光束透過範囲の外周部からはみ出すこととなる。そのため、一対の光学素子の光束透過範囲間には、変質した部分が残らず、光学部品を透過した光束に筋状、点状の影ができてしまうことがない。
なお、接着工程では、接着剤の一部が一対の光学素子の光束透過範囲の外周部からはみ出せばよく、例えば、光学素子の全面が光束透過範囲として使用される場合には、光学素子の外周縁から外側に接着剤の一部がはみ出せばよい。また、光学素子を接着後、光学素子の外周縁を切り落として使用する場合には、接着剤の一部は、使用される範囲（光束透過範囲）よりも外側にはみ出ていればよく、光学素子の外周縁からはみ出していなくてもよい。
また、本発明では、真空下で、一方の光学素子と、他方の光学素子とを接着させているので、接着剤中に気泡が入らず、接着剤を均一に広げることができる。
なお、本発明では、全工程を真空下で行ってもよいが、接着工程のみを真空下で行うことが好ましい。接着工程のみを真空下で行う場合は、全工程を真空下で行った場合と比較して、装置の大型化やコストの増大を抑えることができる。
さらに、本発明では、光学素子の対向面の基準位置の一点のみに接着剤を塗布しており、従来のように、スピンコートにより接着剤を塗布するものではないので、粘性の高い接着剤も使用することができる。これにより、接着剤の選定に制限を生じず、各光学部品に応じた最適な接着剤を選定することが可能となる。
【０００９】
本発明では、前記接着剤塗布工程の前段で、少なくとも、接着剤が塗布される一方の光学素子を加熱する加熱工程を有することが好ましい。
このような本発明によれば、少なくとも接着剤が塗布される一方の光学素子を加熱することで、接着剤を塗布した際に、接着剤が光学素子により加熱され、粘度が低下することとなる。これにより、接着工程における接着剤の広がりを良好にすることができる。
なお、他方の光学素子も加熱してもよく、他方の光学素子も加熱することで、接着剤が光学素子により、より加熱されて粘度が低下し、接着工程における接着剤の広がりを一層良好にすることができる。
【００１０】
さらに、本発明では、前記接着剤塗布工程の前段で、一対の光学素子の対向面を洗浄する洗浄工程を有することが好ましい。
このような本発明によれば、接着剤を塗布する前段で、光学素子の対向面を洗浄しているので、光学部品の対向面のぬれ性を高めることができ、接着工程における接着剤の広がりをさらに良好にすることができる。
【００１１】
また、本発明では、前記光学部品は、対向基板と、表面に画素電極が形成され、対向基板とともに、電気光学物質を挟持する素子基板とを有した液晶表示装置であり、前記対向基板は、表面に対向電極及び遮光膜が形成されたカバーガラス基板と、このカバーガラス基板の裏面側に配置され、前記カバーガラス基板との対向面にマイクロレンズアレイが形成されたレンズ基板とを有し、前記一方の光学素子は、前記カバーガラス基板であり、他方の光学素子は前記レンズ基板であり、硬化工程の後段に、カバーガラス基板の前記表面を研磨する研磨工程と、研磨されたカバーガラス基板の表面に前記対向電極及び遮光膜を形成する成膜工程と、前記カバーガラス基板の表面に対して、画素電極が形成された素子基板を貼り合わせる素子基板貼り合せ工程と、カバーガラス基板、レンズ基板、素子基板を切断する切断工程とを有することが好ましい。
このような本発明では、レンズ基板と、カバーガラス基板とを前述した方法で張り合わせているので、レンズ基板の光束透過範囲とカバーガラス基板の光束透過範囲との間に接着剤の変質した部分が残らず、液晶表示装置を透過した光束に筋状、点状の影ができてしまうことがない。
さらに、本発明では、大型のカバーガラス基板、レンズ基板、素子基板を貼り合わせた後、切断しているので、液晶表示装置の量産性を上げることができる。
【００１２】
さらに、本発明は、前記光学部品は、表面に対向電極及び遮光膜が形成された対向基板と、表面に画素電極が形成され、前記対向基板とともに、電気光学物質を挟持する素子基板と、対向基板及び／又は素子基板上に貼り合わされた防塵基板とを有した液晶表示装置であり、前記一方の光学素子は、防塵基板であり、前記他方の素子は、対向基板及び／又は素子基板であり、前記防塵基板と前記対向基板、及び／又は、防塵基板と素子基板とを貼り合わせた後、前記防塵基板、対向基板、素子基板を切断するものであってもよい。
ここで、防塵基板は、対向基板又は素子基板の何れか一方にのみ貼り付けられていても良く、また、対向基板、素子基板の双方に貼り付けられていてもよい。
このような本発明では、防塵基板と、対向基板及び／又は素子基板とを前述した方法で張り合わせているので、防塵基板の光束透過範囲と、対向基板及び／又は素子基板の光束透過範囲との間に接着剤の変質した部分が残らず、液晶表示装置を透過した光束に筋状、点状の影ができてしまうことがない。
さらに、本発明では、大型の対向基板、素子基板、防塵基板を貼り合わせた後、切断しているので、液晶表示装置の量産性を上げることができる。
【００１３】
本発明の光学部品は、上述した何れかの光学部品の製造方法により製造されたことを特徴とする。
このような本発明によれば、光学部品は、上述した何れかの製造方法により、製造されているので、透過する光束に筋状、点状の影が生じることがなく、光学的に優れたものとなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１及び図２に、本発明の光学部品の製造方法により、製造された光学部品としての液晶表示装置１を示す。図１は、液晶表示装置１の平面図であり、図２は液晶表示装置１の断面図である。
この液晶表示装置１は、プロジェクタ等の光学機器に搭載されるものであり、例えば、ＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）型の液晶パネルである。この液晶表示装置１は薄膜トランジスタをスイッチング素子として、液晶１３を電気的に制御し、入射した光束を画像情報に応じて変調し、射出する。
この液晶表示装置１は、素子基板１１と、この素子基板１１に対向配置された対向基板１２と、素子基板１１及び対向基板１２間に挟持された電気光学物質である液晶１３とを有している。
素子基板１１は、例えば、石英、シリコン製の基板であり、素子基板１１の対向基板１２との対向面（液晶１３が封入される側の表面）には、画素を構成する複数の透明な画素電極１１１がマトリクス状に配置されている。
【００１５】
また、素子基板１１の前記対向面には、図示しないが、前記画素電極１１１の縦横の境界にそれぞれ沿ってデータ線、走査線、走査線およびデータ線により区画される画素単位に形成される薄膜トランジスタが設けられている。さらに、前記対向面には、データ線及び走査線に沿って各画素に対応して格子状に遮光膜が形成されている。この遮光膜によって、反射光が薄膜トランジスタのソース領域、チャネル領域、ドレイン領域に入射することが防止される。
【００１６】
さらに、この素子基板１１の画素電極１１１上には、液晶１３に方向性を与える配向膜（図示略）が形成されている。この配向膜は、例えばポリイミド系の高分子樹脂から構成されており、所定方向にラビング処理されている。
また、この素子基板１１の前記対向面のシール部材１４（後述）の外側の領域には、データ線駆動回路１１２及び複数の実装端子１１３が設けられている。このデータ線駆動回路１１２及び実装端子１１３は、素子基板１１の一辺に沿って設けられている。この一辺と直交して延びる２辺には、走査線駆動回路１１４が形成されている。さらに、残りの一辺には、走査線駆動回路１１４間を接続するための複数の配線１１５が設けられている。
【００１７】
電気光学物質である液晶１３は、画素毎に印加される電圧レベルにより分子集合の配向や秩序が変化することで光束を変調し、階調表示を可能にする。ノーマリーホワイトモードであれば、各画素の単位で印加された電圧に応じて入射光束に対応する透過率が減少し、ノーマリーブラックモードであれば、各画素単位で印加された電圧に応じて入射光束に対する透過率が増加され、画像信号に応じたコントラストを持つ光束を射出する。
【００１８】
対向基板１２は、レンズ基板１２１と、このレンズ基板１２１に対向配置されたカバーガラス基板１２２とを有している。
レンズ基板１２１は、カバーガラス基板１２２との対向面にマイクロレンズアレイ１２１Ａが形成されたものである。マイクロレンズアレイ１２１Ａは、複数の小レンズとしての凹部がマトリクス状に配置されたものである。複数の小レンズは、各画素に一つずつ対応するように配置されている。これにより、光束の透過効率を向上させることができるのである。
【００１９】
カバーガラス基板１２２は、例えば、石英、シリコン製の平板状の基板であり、このカバーガラス基板１２２の表面、すなわち、素子基板１１との対向面（液晶が封入される側の面）には、素子基板のデータ線、走査線、及び薄膜トランジスタに対向する領域、すなわち、各画素の非表示領域において、遮光膜が設けられている。この遮光膜によって、反射光が薄膜トランジスタのソース領域、チャネル領域、ドレイン領域に入射することが防止される。
この遮光膜上には、ＩＴＯ膜（Indium  Tin  Oxides）で構成される対向電極１２２Ａが全面に形成されている。
さらに、この対向電極１２２Ａの表面には、液晶１３に方向性を与える配向膜（図示略）が順に形成されている。この配向膜は、例えばポリイミド系の高分子樹脂から構成されており、所定方向にラビング処理されている。
【００２０】
また、このカバーガラス基板１２２の素子基板１１との対向面には、表示領域を区画する縁としての遮光膜１２２Ｂが矩形枠状に設けられている。この遮光膜１２２Ｂの外側の領域には、対向基板１２の輪郭形状に略一致するように液晶１３を封入するシール部材１４が矩形枠状に配置され、対向基板１２と素子基板１１とを相互に固着している。
このような対向基板１２の隅部の少なくとも一箇所においては、素子基板１１と対向基板１２との間を電気的に導通するための導通材（図示略）が設置されている。
【００２１】
このようなカバーガラス基板１２２は、裏面（液晶が封入される側の面と反対側の面）が接着剤Ｓにより、レンズ基板１２１に貼り合わされている。この接着剤Ｓは、紫外線硬化型のエポキシ系の接着剤である。この接着剤Ｓの屈折率は、硬化時に、例えば、１．５９０である。なお、本実施形態では、接着剤Ｓとして紫外線硬化型の接着剤を例示したが、これに限らず、熱硬化性の接着剤を使用してもよい。
【００２２】
以上のような構造の液晶表示装置１は、以下のような方法で製造される。
まず、大型のレンズ基板４２１と、大型のカバーガラス基板４２２とを接着剤Ｓにより貼り合せる（図８参照）。なお、ここで言う大型のレンズ基板４２１とは、切断することで、複数枚のレンズ基板１２１が得られる大きさのものをいう。また、大型のカバーガラス基板４２２も同様で、切断することで、複数枚のカバーガラス基板１２２が得られる大きさのものを言う。レンズ基板４２１、カバーガラス基板４２２の径は、例えば、８インチ〜１２インチ程度である。
【００２３】
ここで、図３に大型のレンズ基板４２１と、カバーガラス基板４２２とを接着するための製造装置３を示す。
この製造装置３は、大型のレンズ基板４２１及びカバーガラス基板４２２を加熱する２台のホットプレート３１Ａ，３１Ｂと、この２台のホットプレート３１Ａ，３１Ｂが設置された設置台３２と、チャンバー３３と、レンズ基板４２１及びカバーガラス基板４２２を前記チャンバー３３内に搬送する搬送手段３４と、接着剤Ｓを塗布するシリンジ３５とを有する。
シリンジ３５は接着剤Ｓを滴下するものであり、シリンジ３５内の接着剤Ｓは常温となっている。
搬送手段３４は、レンズ基板４２１、カバーガラス基板４２２を吸着する吸着プレート３４１を有しており、図示しない保持手段により、レンズ基板４２１、カバーガラス基板４２２を保持し、吸着プレート３４１上に設置する。そして、吸着プレート３４１に吸着されたレンズ基板４２１、カバーガラス基板４２２をチャンバー３３内に搬送する。
【００２４】
チャンバー３３は、真空チャンバーであり、内部の空気を真空ポンプ等で引くことで、内部が真空に維持される。
このチャンバー３３内には、加圧プレート３３１と、この加圧プレート３３１に対向配置されたホットプレート３３２とが設置されている。ホットプレート３３２の上面には、複数本、例えば、４本の可動ピン３３２Ａが設置されている。この可動ピン３３２Ａは、ホットプレート３３２上面から突没可能となっている。
加圧プレート３３１は、ホットプレート３３２上に設置されたレンズ基板４２１及びカバーガラス基板４２２を加圧するものである。この加圧プレート３３１は、加圧プレート３３１に接続された駆動手段３３１Ａにより、ホットプレート３３２に対して、接近・離間可能となっている。また、加圧プレート３３１は、加熱機能をも有しており、加圧すると同時に、レンズ基板４２１及びカバーガラス基板４２２を加熱する。
【００２５】
このような製造装置３を用いて、レンズ基板４２１とカバーガラス基板４２２とは以下の手順で貼り合わされる。
まず、レンズ基板４２１及びカバーガラス基板４２２を、硫酸等を用いて洗浄する（洗浄工程、処理Ｓ１）。
洗浄工程が終了した後、レンズ基板４２１をホットプレート３１Ａ上に設置する。
なお、洗浄からレンズ基板４２１とカバーガラス基板４２２とを貼りあわせるまでの間隔は２４時間以内が望ましい。これ以上放置すると、接触角が上がり、濡れ性が低下する。
また、カバーガラス基板４２２をホットプレート３１Ｂ上に設置する。そして、カバーガラス基板４２２及びレンズ基板４２１を、例えば、３０℃以上、７０℃以下、好ましくは、５０℃前後に加熱する（加熱工程、処理Ｓ２）。
【００２６】
次に、カバーガラス基板４２２上面（レンズ基板４２１との対向面）の基準位置、すなわち、カバーガラス基板４２２上面の幾何学的中心位置の一点に、シリンジ３５から接着剤Ｓを滴下する（接着剤塗布工程、処理Ｓ３）。
接着剤Ｓの滴下量は、例えば、カバーガラス基板４２２一枚に対し、０．５ｇである。滴下された接着剤Ｓは直径３０ｍｍ程度の大きさとなる。
なお、接着剤Ｓの滴下量は、前述した量に限らず、レンズ基板４２１とカバーガラス基板４２２との間の寸法や、レンズ基板４２１やカバーガラス基板４２２の大きさ等に応じて適宜設定することが好ましい。
また、図４に示すように、予めカバーガラス基板４２２上面の外周部には、ビーズ状のギャップ材４２２Ａを等間隔で設置しておく。例えば、径が７μｍ程度のギャップ材４２２Ａを１０個配置する。
カバーガラス基板４２２上に滴下された接着剤Ｓは、酸素との反応が進行し、表面に変質した部分ＳＸが形成されることとなる（図５参照）。
【００２７】
次に、接着剤Ｓが塗布されたカバーガラス基板４２２を、搬送手段３４の吸着プレート３４１に吸着させ、図５に示すように、チャンバー３３のホットプレート３３２上に設置する。なお、このホットプレート３３２も３０℃以上、７０℃以下、好ましくは、５０℃前後に加熱されている。
さらに、搬送手段３４の吸着プレート３４１にレンズ基板４２１を吸着させ、チャンバー３３内に搬送する。そして、図６に示すように、レンズ基板４２１をホットプレート３３２上面から突出した可動ピン３３２Ａ上に設置する。なお、このとき、レンズ基板４２１のマイクロレンズアレイが形成された面をカバーガラス基板４２２に対向させて設置する。
【００２８】
次に、チャンバー３３内を真空状態とする。具体的には、３０〜５００秒程度、図示しない真空ポンプを駆動して、チャンバー３３内の空気を排出する。
そして、図７に示すように、加圧プレート３３１を下降させて、レンズ基板４２１及びカバーガラス基板４２２を加圧プレート３３１及びホットプレート３３２で挟持する。この際、可動ピン３３２Ａは、ホットプレート３３２内部に没入する。
さらに、接着剤Ｓの一部、すなわち、酸素により変質した部分ＳＸがレンズ基板４２１及びカバーガラス基板４２２の光束透過範囲の外周部の外側にはみ出すまで、接着剤Ｓを押し広げる。本実施形態では、レンズ基板４２１及びカバーガラス基板４２２の全面が光束透過範囲となるので、レンズ基板４２１及びカバーガラス基板４２２の外周縁から外側にはみ出すまで、接着剤Ｓを押し広げる（接着工程、処理Ｓ４）。
【００２９】
ここで、加圧プレート３３１から、レンズ基板４２１及びカバーガラス基板４２２に対して加えられる圧力は、例えば０．１ｋｇ／ｃｍ２以上、２．０ｋｇ／ｃｍ２以下であり、特に好ましくは、０．５ｋｇ／ｃｍ２である。
また、加圧プレート３３１及びホットプレート３３２により、レンズ基板４２１及びカバーガラス基板４２２を挟持する時間は、６０秒以上、１８０秒以下が好ましい。
その後、チャンバー３３内から、接着されたレンズ基板４２１及びカバーガラス基板４２２を取り出し、ＵＶを照射して、接着剤Ｓを硬化させる（硬化工程、処理Ｓ５）。これにより、図８及び図９（Ａ）に示すように、大型の対向基板４２が完成する。
【００３０】
次に、以上のようにして完成した対向基板４２のカバーガラス基板４２２の表面（レンズ基板４２１との対向面と反対側の面）を研磨する。これにより、カバーガラス基板４２２の厚さ寸法を３０μｍ〜４０μｍ程度とする。そして、カバーガラス基板４２２に対向電極１２２Ａ及び遮光膜をスパッタリング法や、真空蒸着法等により、形成する（成膜工程、処理Ｓ６）。
【００３１】
一方で、予め大型の素子基板４１を製造しておき、液晶１３をシール部材１４の内側に滴下する。そして、図９（Ｂ）に示すように、減圧下で、大型の素子基板４１に大型の対向基板４２を重ね合わせ、シール部材１４を硬化させる（素子基板貼り合せ工程、処理Ｓ７）。
なお、本実施形態では、液晶１３をシール部材１４の内側に滴下し、素子基板４１に大型の対向基板４２を重ね合わせる滴下方式を採用したが、これに限らず、予め素子基板４１及び対向基板４２を貼り合せておき、シール部材１４に小さな孔を形成し、この孔から液晶１３を注入する注入方式を採用してもよい。
【００３２】
その後、図９（Ｃ）に示すように、大型のレンズ基板４２１、カバーガラス基板４２２、素子基板４１を切断し、液晶表示装置１を得る（切断工程、処理Ｓ８）。
切断の方法は、特に限定されず、例えば、予めレンズ基板４２１、カバーガラス基板４２２、素子基板４１にクラックを形成しておき、クラックを成長させて切断する方法（スクライブ・ブレイク法等）で切断してもよく、ディスク状の刃や砥石を回転させて、或いはワイヤー状の刃を高速移動させて切断する、ダイシング法で切断してもよい。
【００３３】
従って、本実施形態によれば、以下の効果を奏することができる。
（１）接着剤塗布工程では、カバーガラス基板４２２上面（レンズ基板４２１との対向面）の幾何学的中心位置、一点に、シリンジ３５から接着剤Ｓを滴下しており、接着工程では、加圧プレート３３１とホットプレート３３２とで、レンズ基板４２１及びカバーガラス基板４２２を挟持して、接着剤Ｓの一部（変質した部分ＳＸ）がレンズ基板４２１及びカバーガラス基板４２２の外周部からはみ出すまで、接着剤Ｓを押し広げている。そのため、レンズ基板４２１及びカバーガラス基板４２２間には、接着剤Ｓの変質した部分ＳＸが残らず、対向基板４２を透過した光束に筋状、点状の影ができてしまうことがない。これにより、透過した光束に筋状、点状の影が生じない液晶表示装置１を得ることができる。
【００３４】
（２）また、接着剤塗布工程でカバーガラス基板４２２の上面（レンズ基板４２１との対向面）の幾何学的中心位置に接着剤Ｓを滴下しているため、接着工程で接着剤Ｓを押し広げる際に、幾何学的中心位置から外周部に向かって、接着剤Ｓを均一に押し広げることができる。これにより、接着剤Ｓの変質した部分ＳＸをレンズ基板４２１及びカバーガラス基板４２２の外周部から、確実にはみ出させることができる。
（３）さらに、接着工程では、真空下で、レンズ基板４２１及びカバーガラス基板４２２を接着させているので、接着剤Ｓ中に気泡が混入することなく、接着剤Ｓを均一に広げることができる。
（４）また、本実施形態の接着剤塗布工程では、カバーガラス基板４２２上面（レンズ基板４２１との対向面）の幾何学的中心位置の一点のみに接着剤Ｓを塗布しており、従来のように、スピンコートにより接着剤Ｓを塗布するものではないので、粘性の高い接着剤Ｓも使用することができる。これにより、接着剤Ｓの選定に制限を生じず、液晶表示装置１に応じた最適な接着剤Ｓを選定することが可能となる。
【００３５】
（５）さらに、本実施形態では、接着剤Ｓを滴下する前段で、カバーガラス基板４２２をホットプレート３１Ｂにより加熱している。そのため、接着剤Ｓをカバーガラス基板４２２上に滴下した際に、接着剤Ｓがカバーガラス基板４２２により加熱され、粘度が低下することとなる。これにより、接着工程における接着剤Ｓの広がりを良好にすることができる。
これに加え、本実施形態では、レンズ基板４２１もホットプレート３１Ａで加熱しているため、レンズ基板４２１からの熱によっても、接着剤Ｓが加熱され、粘度が低下し、接着工程における接着剤Ｓの広がりをより良好にすることができる。
また、チャンバー３３内でも、レンズ基板４２１及びカバーガラス基板４２２はホットプレート３３２、加圧プレート３３１により加熱されているので、より一層、接着剤Ｓの粘度を低下させることができる。
【００３６】
（６）さらに、カバーガラス基板４２２及びレンズ基板４２１の加熱温度を７０℃以下としているため、必要以上に接着剤Ｓの粘性が低下してしまうことがなく、接着剤Ｓを取り扱いやすいものとしている。また、カバーガラス基板４２２及びレンズ基板４２１の加熱温度を３０℃以上としているので、接着剤Ｓの粘性を充分に低下させることができ、接着工程における接着剤Ｓの広がりをより良好にすることができる。
（７）また、本実施形態では、接着剤塗布工程の前段で、レンズ基板４２１及びカバーガラス基板４２２を硫酸等で洗浄しているため、レンズ基板４２１及びカバーガラス基板４２２のぬれ性を高めることができ、接着工程における接着剤Ｓの広がりを良好にすることができる。
【００３７】
（８）さらに、本実施形態では、大型のカバーガラス基板４２２、レンズ基板４２１、素子基板４１を貼り合わせた後、切断することで液晶表示装置１を製造しているため、液晶表示装置１を一つずつ製造する場合に比べ、液晶表示装置１の量産性を上げることができる。
（９）また、本実施形態では、カバーガラス基板４２２の外周部にギャップ材４２２Ａを配置しているので、カバーガラス基板４２２及びレンズ基板４２１間の間隔を一定に保持することができ、これにより、接着剤Ｓによる層を均一な厚みとすることができる。
【００３８】
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、前記実施形態では、対向基板４２のカバーガラス基板４２２及びレンズ基板４２１を貼り合せていたが、これには限られない。図１０に示すように、例えば、対向基板１２と、防塵基板１５Ａとを貼り合せる際に、前述したような接着方法を利用しても良い。また、素子基板１１と防塵基板１５Ｂとを貼り合せる際に、前述したような接着方法を利用しても良い。このようにすることで、接着剤Ｓの表面に生じた変質部分が、レンズ基板１２１及び防塵基板１５Ａの光束透過範囲の外周部、素子基板１１及び防塵基板１５Ｂの光束透過範囲の外周部から、はみ出すこととなる。これにより、液晶表示装置１’を透過した光束に筋状、点状の影ができてしまうことがない。
なお、このような液晶表示装置１’を製造する際も、前記実施形態の液晶表示装置１と同様に、大型の対向基板４２、素子基板４１に、大型の防塵基板を貼り付けた後、切断することが好ましい。このようにすることで、液晶表示装置１’の生産性を向上させることができる。
【００３９】
さらに、光学部品としての投写レンズを構成するレンズ（光学素子）同士を前述した接着方法で接着してもよい。より詳細に説明すると、例えば、図１１及び図１２に示すように、投写レンズ５は、内部に所定の光路が設定された樹脂製等の鏡筒５１と、この鏡筒５１内の光路の照明光軸上に順次配置される複数のレンズとしてのレンズ群５２とを備える。
レンズ群５２は、投写側（図１２中の右側）から順に、１群レンズ５２１、２群レンズ５２２、３群レンズ５２３、および４群レンズ５２４の合計４つのレンズの群として構成されている。
１群レンズ５２１は、あおり方向に拡大投写するための凹レンズであり、非球面レンズとして形成されている。２群レンズ５２２は、光束を調整する凸レンズである。３群レンズ５２３は、凹レンズ５２３Ａに対して、この凹レンズ５２３Ａよりも小さな寸法を有し入射側が非球面レンズとされた凸レンズ５２３Ｂが貼り合わされたバルサムレンズである。４群レンズ５２４は、画像光をのみこむ凸レンズであり、球面レンズとして形成されている。このようなレンズ群５２のうちの３群レンズ５２３の凹レンズ５２３Ａと凸レンズ５２３Ｂとを前述したような接着方法で接着し、製造してもよい。このようにすることで、凹レンズ５２３Ａの光束透過範囲と凸レンズ５２３Ｂの光束透過範囲との間に接着剤Ｓの変質した部分ＳＸが残らず、鮮明な投写画像を形成できる投写レンズ５とすることができる。
【００４０】
さらに、プロジェクタ等の光学機器に搭載される一対のレンズアレイ（光学部品）、例えば、光源ランプから射出される光束を複数の部分光束に分割する第一レンズアレイ（光学素子）と、第１レンズアレイの各小レンズの像を結像させる機能を有する第二レンズアレイ（光学素子）とを上述したような接着方法で接着し、製造してもよい。
【００４１】
また、前記実施形態では、接着剤塗布工程の前段で、レンズ基板４２１及びカバーガラス基板４２２を洗浄していたが、洗浄工程は省略してもよい。例えば、レンズ基板４２１やカバーガラス基板４２２表面に酸化膜等が形成されていないような状態の場合には、洗浄工程を省略することができる。このようにすることで、液晶表示装置１の製造を簡略化することができる。
さらに、前記実施形態では、接着工程の前段で、レンズ基板４２１及びカバーガラス基板４２２の双方を加熱していたが、何れか一方のみを加熱してもよい。このようにすることで、ホットプレートの数を減らすことができ、製造装置にかかるコストを低減させることができる。
また、前記実施形態では、接着剤Ｓは直接加熱されていなかったが、接着剤Ｓを直接加熱した後、カバーガラス基板４２２上に塗布してもよい。このようにすることで、接着剤Ｓの粘度を確実に低下させることができる。
【００４２】
さらに、前記実施形態では、カバーガラス基板４２２上に接着剤Ｓを滴下したが、これに限らず、レンズ基板４２１上に接着剤Ｓを滴下してもよい。
また、前記実施形態では、大型のカバーガラス基板４２２、レンズ基板４２１、素子基板４１を貼り合わせた後、切断することで、液晶表示装置１を製造したが、これに限らず、液晶表示装置１の大きさに対応した小型のカバーガラス基板、レンズ基板、素子基板を用い、液晶表示装置１を一つずつ製造してもよい。
さらに、前記実施形態では、接着工程において、カバーガラス基板４２２、レンズ基板４２１の外周縁から接着剤Ｓの一部がはみ出すまで、接着剤Ｓを押し広げていたが、これに限らず、例えば、カバーガラス基板、レンズ基板の中央部のみが光束透過範囲として使用される場合には、接着剤の一部がこの光束透過範囲の外周部にはみ出すまで、接着剤を押し広げればよい。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
本発明は、光学部品、例えば液晶表示装置の製造に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の液晶表示装置を示す平面図。
【図２】前記液晶表示装置を示す断面図。
【図３】前記液晶表示装置を製造するための製造装置を示す模式図。
【図４】前記液晶表示装置のカバーガラス基板を示す平面図。
【図５】前記製造装置によるカバーガラス基板とレンズ基板とを接着する工程を説明する模式図。
【図６】前記製造装置によるカバーガラス基板とレンズ基板とを接着する工程を説明する模式図。
【図７】前記製造装置によるカバーガラス基板とレンズ基板とを接着する工程を説明する模式図。
【図８】前記カバーガラス基板とレンズ基板とが接着された状態を示す図。
【図９】液晶表示装置の製造工程を示す模式図。
【図１０】液晶表示装置の変形例を示す断面図。
【図１１】本発明の変形例である投写レンズを示す斜視図。
【図１２】前記投写レンズの断面図。
【図１３】本発明の従来例を示す平面図。
【図１４】本発明の従来例を説明する模式図。
【符号の説明】
【００４５】
１…液晶表示装置（光学部品）、５…投写レンズ（光学部品）、１１…素子基板、１２…対向基板、１３…液晶、１５Ａ…防塵基板（光学素子）、１５Ｂ…防塵基板（光学素子）、４１…素子基板、４２…対向基板、１２１…レンズ基板（光学素子）、１２２…カバーガラス基板（光学素子）、４２１…レンズ基板（光学素子）、４２２…カバーガラス基板（光学素子）、５２３Ｂ…凸レンズ（光学素子）、５２３Ａ…凹レンズ（光学素子）、Ｓ…接着剤。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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