(57)【要約】【課題】  シャッタを備えるカメラのシャッタ検査装置の提供。【解決手段】  光源１からの照明光はコリメートレンズ９を介して、シャッタ３および撮像素子２に斜め入射する。その際、シャッタ３の走行方向に対して直交する方向から光を入射させるようにする。シャッタ３および撮像素子２により反射された光は、結像レンズによって開口１２が設けられた光電変換素子１１の受光面に結像される。シャッタ作動時にシャッタスリットがｚ方向に走行すると、光電変換素子１１の受光面にシャッタスリットの像が投影されたときに受光量が増加する。光電変換素子１１の出力信号に基づき、シャッタ速度、シャッタ幕走行速度およびＸ接点の設定を測定することができる。例えば、出力信号をフーリエ変換することにより、シャッタ速度を容易に求めることができる。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シャッタと撮像素子とを有するカメラのシャッタ検査装置であって、
シャッタ走行方向に垂直な面内において、検査光を前記シャッタおよび前記撮像素子に斜め入射させる照明部と、
前記検査光の前記シャッタおよび前記撮像素子からの反射光を検出する検出器と、
前記反射光に基づいて前記シャッタのシャッタ速度を算出するシャッタ演算部とを備えたことを特徴とするシャッタ検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載のシャッタ検査装置であって、
前記検査光は前記シャッタおよび前記撮像素子に垂直に入射し、
前記検査光が照射された前記シャッタおよび前記撮像素子からの反射光を前記検出器へと導く光学部材をさらに有することを特徴とするシャッタ検査装置。
【請求項３】
請求項１または２のいずれかに記載のシャッタ検査装置において、
前記検出器を複数備え、前記シャッタ演算部は前記シャッタ速度の算出に加えてシャッタ幕走行速度の算出およびＸ接点のシンクロ同調状態の検査を行うことを特徴とするシャッタ検査装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載のシャッタ検査装置において、
前記シャッタ演算部は、前記シャッタおよび前記撮像素子からの反射光を検出した検出器から出力される信号をフーリエ変換処理することにより前記シャッタ速度を算出することを特徴とするシャッタ検査装置。
【請求項５】
請求項４に記載のシャッタ検査装置において、
前記検出器の反射光検出領域の寸法を２ｘとし、スリット露光時の前記シャッタのシャッタスリット幅寸法をｙとしたときに、「ｘ＜ｙでｙ≠ｎｘ、ｎは２以上の自然数」が満足されるように前記反射光検出領域の寸法を設定したことを特徴とするシャッタ検査装置。
【請求項６】
シャッタと撮像素子とを有するカメラのシャッタ検査装置であって、
光源からの光を２分割して、一方の光を第１光路に導き、他方の光を第２光路に設けられた前記シャッタおよび前記撮像素子に垂直入射させる光分割部材と、
前記第１光路に沿って移動可能に設けられ、前記一方の光を反射する可動部材と、
前記光分割部材で分波された前記可動部材からの反射光と前記シャッタからの反射光および前記撮像素子からの反射光との白色干渉縞を検出する検出器と、
前記検出器によって検出された前記白色干渉縞に基づいて前記撮像素子の位置を算出する位置演算部とを備えたことを特徴とするシャッタ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カメラのシャッタ検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の、銀塩フィルムを用いるカメラにおいて、カメラのボディ内に組み込まれた機械式シャッタの検査を光を用いて行う場合には、カメラの裏蓋を開けてフィルム側に検出器を装着し、レンズ側から光を入射して検査を行っていた（例えば、特許文献１参照）。近年、デジタルカメラにおいては、高画素化が進むとともに、機械式シャッタを搭載するものが出てきている。このような、デジタルカメラにおいては、銀塩フィルム式カメラの場合と同様に機械式シャッタをボディ内に組み込んだ後に検査を行う必要がある。
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−３８５３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来のシャッタ試験装置の場合には、レンズ側から光を入射してカメラ裏蓋側に設けられた検出器で検出する透過型の試験装置であった。しかしながら、デジタルカメラではシャッタ後方に撮像素子が固設されているため、従来の透過型シャッタ試験装置ではシャッタの試験を行うことができなかった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１の発明は、シャッタと撮像素子とを有するカメラのシャッタ検査装置であって、シャッタ走行方向に垂直な面内において、検査光をシャッタおよび撮像素子に斜め入射させる照明部と、検査光のシャッタおよび撮像素子からの反射光を検出する検出器と、反射光に基づいてシャッタのシャッタ速度を算出するシャッタ演算部とを備えたことを特徴とする。
請求項２の発明は、請求項１に記載のシャッタ検査装置であって、検査光は前記機械式シャッタおよび前記撮像素子に垂直に入射し、検査光が照射されたシャッタおよび撮像素子からの反射光を検出器へと導く光学部材をさらに有するものである。
請求項３の発明は、請求項１または２のいずれかに記載のシャッタ検査装置において、検出器を複数備え、シャッタ演算部はシャッタ速度の算出に加えてシャッタ幕走行速度の算出およびＸ接点のシンクロ同調状態の検査を行うものである。
請求項４の発明は、請求項１〜３のいずれかに記載のシャッタ検査装置において、シャッタ演算部は、シャッタおよび撮像素子からの反射光を検出した検出器から出力される信号をフーリエ変換処理することによりシャッタ速度を算出するものである。
請求項５の発明は、請求項４に記載のシャッタ検査装置において、検出器の反射光検出領域の寸法を２ｘとし、スリット露光時のシャッタのシャッタスリット幅寸法をｙとしたときに、「ｘ＜ｙでｙ≠ｎｘ、ｎは２以上の自然数」が満足されるように反射光検出領域の寸法を設定したものである。
請求項６の発明は、シャッタと撮像素子とを有するカメラのシャッタ検査装置であって、光源からの光を２分割して、一方の光を第１光路に導き、他方の光を第２光路に設けられたシャッタおよび撮像素子に垂直入射させる光分割部材と、第１光路に沿って移動可能に設けられ、一方の光を反射する可動部材と、光分割部材で分波された可動部材からの反射光とシャッタからの反射光および撮像素子からの反射光との白色干渉縞を検出する検出器と、検出器によって検出された白色干渉縞に基づいて撮像素子の位置を算出する位置演算部とを備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、反射光によりシャッタ検査を行うようにしているので、デジタルカメラの機械式シャッタの検査を行うことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、図を参照して本発明の実施の形態を説明する。
−第１の実施の形態−
図１は、本発明によるシャッタ検査装置の概略構成を示すブロック図である。１は交換レンズ式のデジタルカメラであり、撮像素子２とその前面に設けられた機械式のシャッタ３を備えている。図１はシャッタ検査装置４にカメラ１を装着した状態を示しており、シャッタ検査装置４の装着部４ａとカメラ１のレンズマウントのフランジ５とを接続する。シャッタ検査装置４は、シャッタ３を照明する光源６、シャッタ３および撮像素子２で反射された光を受光する受光部７および受光部７の検出信号に基づいてシャッタ３の状態を算出する処理部８を備えている。
【０００８】
図２はシャッタ検査装置４の詳細構成を示す図である。図２において、撮像素子２およびシャッタ３はｙ軸に直交するような配置となっている。シャッタ３の走行方向はｚ方向（紙面に対して垂直）である。光源６にはレーザ光源やランプ光源など種々のものを用いることができ、光の波長も特定波長に限定されない。また、レーザ光を光ファイバーに導入し、光ファイバーの射出端を光源６の位置に配置して光源としてもかまわない。光源６からの照明光はコリメートレンズ９によって平行光とされ、シャッタ３を照明する。
【０００９】
本実施の形態では、図１，２に示すようにシャッタ面に対して光を斜めから入射させる。ただし、シャッタ３の走行方向に対して直交する面内から光を入射させるようにする。例えば、図２に示した例では、シャッタ走行方向はｚ方向（紙面に垂直な方向）であり、照明光はｘｙ平面内においてシャッタ３に斜め入射している。このときの入射角θは０度または９０度を除くどのような角度でも良い。
【００１０】
このように、シャッタ走行方向に直交する方向から照明光を入射させないと、以下のような不都合が生じる。シャッタ３により形成されたスリット３ａはｘ方向に延びた細長い開口であり、ｚ方向に移動する。スリット３ａを通過した光は撮像素子２の表面で反射されて受光部７へと向かう。
【００１１】
しかし、ＸＹ平面に平衡でない角度でスリットに入射した場合には、スリット３ａの下側の縁を通過して撮像素子２の表面で反射された光はシャッタ３のシャッタ幕により遮れ、受光部７へと向かうことができない。そのため、スリット３ａの実際の幅寸法よりも小さい寸法として、受光部７で観測することになってしまう。本実施の形態では、このようにシャッタ幕によって撮像素子２の表面で反射された光が遮られないように、照明光をｘｙ面に平行に入射させるようにしている。
【００１２】
シャッタ３および撮像素子２で反射された光は結像レンズ１０により集光され、受光部に設けられた光電変換素子１１の受光面上に結像される。光電変換素子１１にはフォトダイオード等が用いられ、それらは結像面上に複数設けられている。例えば、撮像素子２の結像エリアに対応して縦×横＝３×３の９個の光電変換素子１１が配設される。各光電変換素子１１の前方には、光電変換素子１１の反射光検出領域を規定する開口１２が配設されている。また、結像レンズ１０による集光位置には、不要な迷光などを除去するための絞り１３が設けられている。
【００１３】
シャッタ３を動作させると、スリット３ａがｚ方向に移動して撮像素子２が露光される。図３，４はシャッタ動作時の光電変換素子１１の受光信号強度の変化を説明する図である。図３は、シャッタ動作時におけるスリット３ａの像３ａ’の位置変化を示したものであり、時間の経過とともに（ａ）〜（ｈ）の順に変化する。また、図４は、スリット像３ａ’が開口１２を通過したときの受光強度信号の時間的な変化を示した図である。
【００１４】
上述したように、図３は光電変換素子１１の前面に配設された開口１２とスリット像３ａ’との関係を示したものである。図３では開口１２が正方形の場合について説明するが、開口１２は、長方形、円形等でもかまわない。スリット３ａがｚ軸方向に走行すると、スリット像３ａ’が図の上方から下方へと移動する。図３（ａ）は図４の時刻ｔ１の状態を示したものであり、開口１２にはシャッタ幕の像が投影され、光電変換素子１１にはシャッタ幕で反射された光が入射する。シャッタ幕は反射率が低いので、図４の時刻ｔ１における光電変換素子１１の受光量は少なく、受光信号強度ｈ１は低いレベルとなっている。
【００１５】
時刻ｔ２では、図３（ｂ）に示すようにスリット像３ａ’の下側縁が開口１２の外周と一致する。すなわち、時刻ｔ１から時刻ｔ２までは受光信号強度は低レベルｈ１が維持され、時刻ｔ２以後は、図３（ｃ）に示すようにスリット像３ａ’と開口１２との重なりが徐々に増加する。そして、時刻ｔ３となると、図３（ｄ）のようにスリット像３ａ’の上側縁が開口１２の周上に重なり、スリット像３ａ’の幅全体が開口１２上に投影されるようになる。
【００１６】
撮像素子２からの反射光の光量はシャッタ幕からの反射光の光量よりも大きいので、スリット像３ａ’の一部が撮像素子２からの反射光によって形成されるのと、光電変換素子１１の受光信号強度が増加し、スリット像３ａ’と開口１２上の重なりが一番大きい時刻ｔ３’では、光電変換素子１１の受光信号強度は高レベルｈ２となる。
【００１７】
図４の時刻ｔ３から時刻ｔ４までは、図３（ｅ）に示すようにスリット像３ａ’の幅全体が開口１２上に投影され続ける。時刻ｔ４なると、図３（ｆ）に示すようにスリット像３ａ’の下側縁が開口１２の外周と一致し、これ以後は図３（ｇ）に示すようにスリット像３ａ’と開口１２との重なりが徐々に減少する。そして、時刻ｔ５ではスリット像３ａ’の上側縁が開口１２の外周と一致し、スリット像３ａ’と開口１２との重なりがゼロとなる。その結果、光電変換素子１１の受光信号強度はｈ１となる。
【００１８】
図４に示すような信号は各光電変換素子１１毎に得られる。そして、スリット像３ａ’が上から下へと移動すると、シャッタ走行方向である上下方向に並んだ３つの光電変換素子１１の一番上の光電変換素子１１によるスリット像３ａ’の検出信号Ｓ１、二番目の光電変換素子１１によるスリット像３ａ’の検出信号Ｓ２および三番目の光電変換素子１１によるスリット像３ａ’の検出信号Ｓ３が順に時間間隔Δｔをあけて検出される。
【００１９】
各信号Ｓ１〜Ｓ３の立ち上がりで信号強度が（ｈ１＋ｈ２）／２となる点Ｐ１を基準に時間間隔Δｔ１を設定する。このとき、光電変換素子１１の間隔をΔｚとすれば、幕走行速度（スリット走行速度）はΔｚ／Δｔ１で算出される。また、信号Ｓ１の立ち下がり時の信号強度が（ｈ１＋ｈ２）／２となる点をＰ２とすれば、点Ｐ１と点Ｐ２との時間間隔Δｔ２から測定個所における露光時間（シャッタ速度）を求めることができる。また、光電変換素子１１で検出された受光量の変化を検出することにより、画面全体が露光された瞬間、すなわちシャッタの先幕が画面を通過した瞬間にスイッチオンするシンクロ同調接点、いわゆるＸ接点が正常に作動しているかどうかの検査を行うこともできる。
【００２０】
上述した例では、信号Ｓ１のレベルがｈ１およびｈ２の中間点Ｐ１、Ｐ２となるところを基準に測定個所の露光時間を算出した。しかし、図４に示す各光電変換素子１１の受光信号強度ｈ(t)は、スリット像３ａ’が開口１２を通過するときの受光量の変化を表しているので、スリット像３ａ’の幅、すなわちスリット３ａのスリット幅と開口１２の寸法と光電変換素子１１の応答周波数のコンボリューションとなっている。そのため、信号Ｓ１の立ち上がり部分および立ち下がり部分のどの点を時間間隔算出の基準とするか難しい場合が多い。
【００２１】
そこで、本実施の形態では、フーリエ変換を利用するこことによって測定個所の露光時間の算出を簡単に行えるようにした。図５（ａ）は、時間幅２ｂの矩形信号ａ(t)をフーリエ変換して得られるフーリエ成分Ａ(f)を示す図である。波形Ａ(f)が最初にゼロになるのは点Ｐ１０（ｆ＝１／２ｂ）であり、次にゼロになるのは点Ｐ１１（ｆ＝１／ｂ）である。そのため、矩形信号ａ(t)の幅を２ｂよりも小さな２ｃとした場合には、フーリエ成分Ａ(f)は図５（ｂ）のようになる。
【００２２】
図５（ｂ）では、波形Ａ(f)が最初にゼロとなるのは点Ｐ２０（ｆ＝１／２ｃ）であり、上述したように２ｃ＜２ｂなので１／２ｃ＞１／２ｂとなり点Ｐ２０は点Ｐ１０よりも図示右側にある。この点Ｐ２０が点Ｐ１０と点Ｐ１１との間にくるためには、ｂ＜２ｃ＜２ｂとすれば良いことが図５からわかる。
【００２３】
図５（ｃ）は、図４の信号ｈ(t)をフーリエ変換したときのフーリエ成分Ｈ(f)を示したものである。信号ｈ(t)はスリット３ａのスリット幅と開口１２の寸法のコンボリューションとなっているので、波形Ｈ(f)が最初にゼロとなる点Ｐ３０が図５（ａ）の点Ｐ１０に対応し、次にゼロとなる点Ｐ３１が図５（ｂ）の点Ｐ２０に対応している。
【００２４】
すなわち、スリット３ａの幅をｙ、開口１２の寸法を２ｘとしたときに、式「ｘ＜ｙ＜２ｘ」を満たすように設定すれば、信号ｈ(t)のフーリエ変換してそのフーリエ成分Ｈ(f)が２番目にゼロとなる点Ｐ３１の周波数から、シャッタ速度を算出することができる。シャッタ速度は露光時間であるから、得られた周波数の逆数がシャッタ速度となる。
【００２５】
また、スリット幅ｙが開口１２の寸法２ｘよりも大きくｙがｘの整数倍でない場合には、Ｈ(f)がゼロとなる点との対応関係が逆転するので、図５（ｃ）において最初にゼロとなる点Ｐ３０の周波数からシャッタ速度を算出する。開口１２の直径２ｘを設定する場合には、シャッタ３が有するシャッタ速度と上述の条件とを考慮して設定すれば良い。なお、ｙがｘの整数倍となった場合には、例えば図５の点Ｐ２０の位置と点Ｐ１１の位置とが同じになって図５（ｃ）において区別がつかなくなるので、ｙはｘの整数倍とならないように設定する必要がある。
【００２６】
−第２の実施の形態−
上述した第１の実施の形態では、光源６の光をシャッタ３に対して斜めに入射させたが、図６に示す第２の実施の形態では光を垂直入射させるような構成とした。なお、図６は第１の実施の形態の図２と対応するものであり、図２と同一の構成要素には同一の符号を付した。
【００２７】
図６に示す装置では、光源６およびコリメートレンズ９は撮像素子２に対して垂直な光軸上に配置され、コリメートレンズ９とシャッタ３との間には光束を分割する光学部材であるビームスプリッタ２０が配設されている。光源６からの光Ｌ０がコリメートレンズ９を介してビームスプリッタ２０に入射すると、光Ｌ０は反射光である光Ｌ１および透過光である光Ｌ２に分割される。ビームスプリッタ２０からｘ負方向に出射される光Ｌ１は、本実施の形態では利用されない。
【００２８】
一方、ビームスプリッタ２０を透過した光Ｌ２は、シャッタ３および撮像素子２に垂直に入射する。シャッタ３および撮像素子２で反射された光Ｌ３は再びビームスプリッタ２０に入射し、その一部の光Ｌ４が反射光として結像レンズ１０の方向に出射される。光Ｌ４は図１の場合と同様に結像レンズ１０により結像され、シャッタ３および撮像素子２の像が光電変換素子１１上に投影される。
【００２９】
図６の装置の場合も、光電変換素子１１の前面に開口１２が配置されている。本実施の形態の場合も第１の実施の形態と同様な信号が得られ、同様の方法でシャッタ速度、幕走行速度等が算出される。ここでは、算出方法の説明は省略する。
【００３０】
［変形例］
第２の実施の形態では、ビームスプリッタ２０により白色光源６’からの光Ｌ０を２つの光Ｌ１，Ｌ２に分割しているので、シャッタ検査に用いられていない光Ｌ１を利用して撮像素子２の受光面の位置測定を行うことが可能となる。図７は、図６の装置に光Ｌ１が出射される方向に位置測定装置２１を設けた変形例を示したものである。光源６’には白色光源が用いられる。
【００３１】
一般に、レンズ交換式のデジタルカメラでは、交換レンズのフランジからレンズの焦点面までの距離と、レンズマウントのフランジ５から撮像素子２の受光面までの距離Ｃとが等しくなるように、交換レンズおよびカメラボディは設計されている。そのため、撮像素子２の受光面までの距離Ｃを精度良く測定する必要がある。なお、図２や図６では図示を省略したが、撮像素子２とシャッタ３との間には赤外カットフィルタや光学ローパスフィルタで構成される光学部品２２が配置されている。そのため、上述した距離Ｃとは、光学部品２２を考慮した光学的距離を意味するものである。
【００３２】
Ｌ１の光路中に位置測定装置２１を配置して、距離Ｃを測定する。位置測定装置２１には、参照基板２３および光学部品２２Ｓが設けられており、ビームスプリッタ２０側から光学部品２２Ｓ、参照基板２３の順に光Ｌ１の光軸上に配置されている。光学部品２２Ｓは上述した光学部品２２と同一構成のものである。参照基板２３はガラス製の楔形状基板であり、光軸方向に沿って移動可能なステージ（不図示）の上に固定されている。
【００３３】
参照基板２３は楔形状であるため、光軸に垂直な表面２３Ｒで反射された光Ｌ５は光軸に沿ってビームスプリッタ２０へと進行するが、裏面２３Ｌで反射された光は光軸からそれてビームスプリッタ２０に入射することがない。そのため、表面２３Ｒでの反射光と裏面２３Ｌでの反射光との不要な干渉を避けることができる。
【００３４】
参照基板２３の表面２３Ｒで反射された光Ｌ５の一部はビームスプリッタ２０を透過して光電変換素子１１に入射する。そのため、図７のような構成においては、光電変換素子１１には参照基板２３の表面２３Ｒで反射された光Ｌ５と撮像素子３により反射された光Ｌ３とが入射することになる。そのため、参照基板２３を移動させながら光電変換素子１１で観測すると、２つの光Ｌ３，Ｌ５の干渉によって白色干渉縞が観測される。なお、光学的距離Ｃの測定はシャッタ３を取り付ける前に行われる。
【００３５】
次いで、光学的距離Ｃの測定動作について説明する。なお、測定の際には視野中心部の光電変換素子１１を用い、撮像素子２の中心部分の位置を測定する。まず、校正部材を用いて光学的距離Ｃを測定する際の参照基板２３の基準位置を設定する。校正部材には、フランジ５からの距離が設計位置Ｄに設定された基準反射面を使用する。この基準反射面を用いて観測を行うと、参照基板２３が基準位置となったときに白色干渉縞の最大信号が得られる。
【００３６】
基準位置が決まったならば、カメラボディを装置に装着して撮像素子２の位置測定を行う。まず、参照基板２３を光軸に沿って平行移動させながら、光電変換素子１１から出力される信号を取り込む。この信号は、例えば図８に示すようなものになる。図８の横軸は参照基板２３の表面２３Ｒの位置を表し、縦軸は信号の電圧値を表している。
【００３７】
図８に示す信号には２つの白色干渉縞（Ｆ部、Ｇ部）が見られる。Ｆ部は、参照基板２３の表面２３Ｒで反射された光Ｌ５と、撮像素子２で反射された光Ｌ３との合成による白色干渉縞信号である。Ｇ部は光Ｌ５と光学部品２２の表面で反射された光との合成による白色干渉縞信号である。一般に、撮像素子２や光学部品２２の反射率は既知であり、各々の反射率に基づいて白色干渉縞のコントラストを予測することができるので、信号強度の大きさから、Ｆ部が位置測定に使用する信号であることが判別できる。
【００３８】
そして、Ｆ部の白色干渉縞信号が現れたならば、コントラストが最大となるときの参照基板２３の位置Ｈを検出する。撮像素子２の位置Ｃが基準反射面の位置Ｄと同一位置であれば、位置Ｈは基準位置と一致する。一方、位置Ｃが位置Ｄと異なっている場合には、コントラストが最大となる位置は基準位置から距離δだけずれることになる。その結果、撮像素子２の光学的距離Ｃは式「Ｃ＝Ｄ−δ」により算出される。ここでは、白色干渉の原理を用いているので距離Ｃを精度良く測定することができ、５μｍ程度の測定再現性を実現することができる。
【００３９】
なお、上述した実施の形態では、複数の光電変換素子１１を設けてシャッタ速度や幕走行速度やＸ接点の測定を行ったが、シャッタ速度のみの測定であれば光電変換素子１１の数は１つであっても良い。
【００４０】
以上説明した実施の形態と特許請求の範囲の要素との対応において、光源６は照明部を、処理部８はシャッタ演算部を、処理部８および位置測定装置２１は位置演算部を、ビームスプリッタ２０は光学部材および光分割部材を、参照基板２３は可動部材を、光電変換素子１１は検出器を、開口１２は反射光検出領域をそれぞれ構成する。また、本発明の特徴を損なわない限り、本発明は上記実施の形態に何ら限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明によるシャッタ検査装置４の概略構成を示すブロック図である。
【図２】シャッタ検査装置４の詳細構成を示す図である。
【図３】シャッタ動作時におけるスリット３ａの像３ａ’の位置変化を示した図であり、時間の経過とともに（ａ）〜（ｈ）の順に変化する。
【図４】光電変換素子１１の受光信号強度を示す図である。
【図５】（ａ）は矩形幅２ｂの矩形信号ａ(t)をフーリエ変換したときのフーリエ成分Ａ(f)を示す図であり、（ｂ）は矩形幅２ｃの矩形信号ａ(t)をフーリエ変換したときのフーリエ成分Ａ(f)を示す図であり、（ｃ）は信号ｈ(t)をフーリエ変換したときのフーリエ成分Ｈ(f)を示す図である。
【図６】第２の実施の形態を説明する図であり、シャッタ検査装置４の詳細構成を示したものである。
【図７】変形例の構成を示す図である。
【図８】光電変換素子１１から出力される信号の一例を示す図である。
【符号の説明】
【００４２】
１  デジタルカメラ
２  撮像素子
３  シャッタ
３ａ  スリット
３ａ’  スリット像
４  シャッタ検査装置
４ａ  装着部
５  フランジ
６  光源
６’  白色光源
７  受光部
８  処理部
９  コリメートレンズ
１０  結像レンズ
１１，１１ａ〜１１ｃ  光電変換素子
１２  開口
１３  絞り  
２０  ビームスプリッタ
２１  位置測定装置
２２，２２Ｓ  光学部品
２３  参照基板
【図１】
2005148380.tif 000003
【図２】
2005148380.tif 000004
【図３】
2005148380.tif 000005
【図４】
2005148380.tif 000006
【図５】
2005148380.tif 000007
【図６】
2005148380.tif 000008
【図７】
2005148380.tif 000009
【図８】
2005148380.tif 000010