(57)【要約】【課題】表面電極を介した分極を容易に行うことができる分極装置及びその分極方法を提供する。【解決手段】表面電極６を有する圧電体１０２を分極するための分極装置であって、前記表面電極６と電気的に接続するための電圧印加用電極１０３、１０４を備え、該電圧印加用電極１０３、１０４が、表面に複数の突起を有する導電性弾性体からなること、また、表面電極６を有する圧電体１０２を分極するための分極装置であって、前記表面電極６と電気的に接続するための電圧印加用電極１０３、１０４を備え、該電圧印加用電極１０３、１０４が、弾性体と、該弾性体を貫通するように併設された複数の導電性部材と、を具備し、該導電性部材の一端部が、前記弾性体の一主面に突起を形成してなることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面電極を有する圧電体を分極するための分極装置であって、前記表面電極と電気的に接続するための電圧印加用電極を備え、該電圧印加用電極が、表面に複数の突起を有する導電性弾性体からなることを特徴とする分極装置。
【請求項２】
表面電極を有する圧電体を分極するための分極装置であって、前記表面電極と電気的に接続するための電圧印加用電極を備え、該電圧印加用電極が、弾性体と、該弾性体を貫通するように併設された複数の導電性部材と、を具備し、該導電性部材の一端部が、前記弾性体の一主面に突起を形成してなることを特徴とする分極装置。
【請求項３】
前記導電性部材が、前記一主面と反対側の対向主面にも突起を形成し、該対向主面に設けられた突起を電気的に連結するように補助電極を設けたことを特徴とする請求項２記載の分極装置。
【請求項４】
前記補助電極が、金属板又は導電性弾性体であることを特徴とする請求項３記載の分極装置。
【請求項５】
前記突起が、半球状、円柱状及び多面体形状のいずれかの形状であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の分極装置。
【請求項６】
表面電極を有する圧電体の分極方法であって、表面に複数の突起を有する導電性弾性体からなる第一電極を、該突起が前記表面電極に接触するように配置するとともに、前記表面電極と対向する対抗電極に対して第二電極を電気的に接続し、しかる後に、前記第一電極と前記第二電極との間に電圧を印加することを特徴とする圧電体の分極方法。
【請求項７】
表面電極を有する圧電体の分極方法であって、弾性体と、該弾性体を貫通するように併設された複数の導電性部材と、を具備し、該導電性部材の一端部が、前記弾性体の一主面に突起を形成してなる第一電極を、該突起が前記表面電極に接触するように配置するとともに、前記表面電極と対向する対抗電極に対して第二電極を電気的に接続し、しかる後に、前記第一電極と前記第二電極との間に電圧を印加することを特徴とする圧電体の分極方法。
【請求項８】
前記突起が、半球状、円柱状及び多面体形状のいずれかの形状であることを特徴とする請求項６又は７記載の圧電体の分極方法。
【請求項９】
前記圧電体が、複数の表面電極と、該表面電極に対向するように設けられた内部電極と、該内部電極と電気的に接続された表面端子電極と、を具備することを特徴とする請求項６〜８のいずれかに記載の圧電体の分極方法。
【請求項１０】
前記圧電体の厚みが０．３ｍｍ以下であることを特徴とする請求項６〜９のいずれかに記載の圧電体の分極方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、分極装置及び圧電体の分極方法に関するものであり、特に、液体吐出装置、文字や画像の印刷に用いるインクジェット記録装置に好適に用いられる圧電アクチュエータを分極するための分極装置及び圧電体の分極方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、パーソナルコンピューターの普及やマルチメディアの発達に伴って、情報を記録媒体に出カする記録装置として、インクジェット方式の記録装置、特に圧電方式の記録装置の利用が急速に拡大している。かかる圧電方式の記録装置には、アクチュエータを用いた印刷ヘッドが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このような印刷ヘッドは、例えば図４（ａ）に示したように、複数の溝がインク流路５３ａとして並設され、各インク流路５３ａを仕切る壁として隔壁５３ｂを形成した流路部材５３の上に、アクチュエータ５１が設けられた構造を有する。
【０００４】
アクチュエータ５１は、圧電セラミック層５４の一方の主面に共通電極５５を形成するとともに、他方の主面に複数の個別電極５６を形成し、複数の変位素子５７が設けられてなるアクチュエータ５１が、流路部材５３の開口部であるインク流路５３ａの直上に個別電極５６を配置するように、アクチュエータ５１と流路部材５３とを接着する。
【０００５】
共通電極５５と個別電極５６との間に電圧を印加して変位素子５７を振動させることによりインク流路５３ａ内のインクを加圧し、流路部材５３の底面に開口させたインク吐出孔５８よりインク滴を吐出させる構造になっている。
【０００６】
また、図４（ｂ）に示したように、圧電セラミック層５４上に個別電極５６を等ピッチで多数並設し、変位素子５７を多数設けた印刷ヘッドを構成するとともに、各変位素子５７を独立して制御することにより、インクジェットプリンタの高速化及び高精度化に寄与することが可能である。
【０００７】
ここで用いる圧電アクチュエータは、図４（ｃ）に示したように、圧電セラミックス等からなる振動板５３の上に、共通電極５５と、圧電セラミック層５４と、複数の個別電極５６とがこの順に設けられ、個別電極５６は、駆動部電極５６ａと、接続部電極５６ｂとで構成される。
【０００８】
このような表面に複数の表面電極を有する圧電アクチュエータの製品検査をする場合、圧電アクチュエータを流路部材に接合する前に、圧電アクチュエータ単体の状態において共通電極と個別電極の電極間に電圧を印加して分極処理を行ない、製品特性を評価する必要があった。
【０００９】
そこで、例えば、圧電セラミックスを分極するために、対向する両面に導電性部材を強く押し当てて、電極間に電圧を印可する分極方法が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特公平７−９６３０１号公報
【特許文献２】特開平５−２６７７４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、特許文献２に記載の分極方法では、圧電アクチュエータの全電極を介して分極するために、圧電セラミックスが平坦でなければならず、表面に電極などの凹凸があると、突起部では導電性部材が接触するものの、突起の周辺部では導電性部材が接触せず、分極している部位と分極してない部位とが生じるという問題があった。
【００１１】
例えば、図４（ｃ）に示したような圧電アクチュエータ５１において、接続電極部５６ｂは、外部の接続基板（図示せず）に半田付け等により電気的に接続されるために設けられており、接続信頼性を高めるために、接続電極部５６ｂの高さＨを１０μｍ以上となるように、接続部電極５６ｂを形成することがある。
【００１２】
この接続部電極５６ｂは、印刷法等で作製するものの、例えば図５に示したように、その高さＨがばらつき、接続部電極５６ｂ２が接続部電極５６ｂ１及び接続部電極５６ｂ３に比べて高さＨが小さい場合、圧電アクチュエータ５１の上に、個別電極５６の全ての接続部電極５６ｂと接触するように導電性部材５９を押付けようとしても、接続部電極５６ｂ２に接していないため、分極されない部位が発生していた。
【００１３】
また、圧電アクチュエータの全面に導電性部材を強く接触させるために、圧電セラミックスに対して導電性部材に圧力加えることも考えられるが、特に圧電セラミックスが薄い場合、破損しやすいという問題があった。
【００１４】
従って、本発明は、表面電極を介した分極を容易に行うことができる分極装置及びその分極方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明の分極装置は、表面電極を有する圧電体を分極するための分極装置であって、前記表面電極と電気的に接続するための電圧印加用電極を備え、該電圧印加用電極が、表面に複数の突起を有する導電性弾性体からなることを特徴とするものである。
【００１６】
また、本発明の他の分極装置は、表面電極を有する圧電体を分極するための分極装置であって、前記表面電極と電気的に接続するための電圧印加用電極を備え、該電圧印加用電極が、弾性体と、該弾性体を貫通するように併設された複数の導電性部材と、を具備し、該導電性部材の一端部が、前記弾性体の一主面に突起を形成してなることを特徴とするものである。
【００１７】
特に、前記導電性部材が、前記一主面と反対側の対向主面にも突起を形成し、該対向主面に設けられた突起を電気的に連結するように補助電極を設けたことが好ましい。
【００１８】
また、前記補助電極が、金属板又は導電性弾性体であることが好ましい。
【００１９】
さらに、前記突起が、半球状、円柱状及び多面体形状のいずれかの形状であることが好ましい。
【００２０】
また、本発明の圧電体の分極方法は、表面電極を有する圧電体の分極方法であって、表面に複数の突起を有する導電性弾性体からなる第一電極を、該突起が前記表面電極に接触するように配置するとともに、前記表面電極と対向する対抗電極に対して第二電極を電気的に接続し、しかる後に、前記第一電極と前記第二電極との間に電圧を印加することを特徴とするものである。
【００２１】
また、本発明の他の圧電体の分極方法は、表面電極を有する圧電体の分極方法であって、弾性体と、該弾性体を貫通するように併設された複数の導電性部材と、を具備し、該導電性部材の一端部が、前記弾性体の一主面に突起を形成してなる第一電極を、該突起が前記表面電極に接触するように配置するとともに、前記表面電極と対向する対抗電極に対して第二電極を電気的に接続し、しかる後に、前記第一電極と前記第二電極との間に電圧を印加することを特徴とするものである。
【００２２】
特に、前記突起が、半球状、円柱状及び多面体形状のいずれかの形状であることが好ましい。
【００２３】
また、前記圧電体が、複数の表面電極と、該表面電極に対向するように設けられた内部電極と、該内部電極と電気的に接続された表面端子電極と、を具備することが好ましい。
【００２４】
さらに、前記圧電体の厚みが０．３ｍｍ以下であることが好ましい。
【発明の効果】
【００２５】
本発明は、表面電極に接触する導電性弾性体の表面には複数の突起が設けられているので、圧電体表面に凹凸があってもその凹凸にならって電圧印加用電極が変形するため、圧電体の表面電極に大きな圧力で導電性弾性体を押付けなくても、導電性弾性体が変形して圧電アクチュエータの凹凸を吸収するため、突起と圧電体の表面電極との接触が確実にでき、分極が容易に行えるとともに、接続のための加圧を小さくできるので、薄い圧電体を分極する場合であっても破損が抑制される。
【００２６】
また、導電性弾性体の代わりに、弾性体を貫通するように、弾性体の内部に導電性部材を併設し、その一端部が突起を形成するような電圧印加用電極を用いても、上記と同様の効果を有する。
【００２７】
特に、前記導電性部材が、前記一主面と反対側の対向主面にも突起を形成し、該対向主面に設けられた突起を電気的に連結するように補助電極を設けたので、補助電極が導電性部材を介して、圧電体の表面電極と電気的に接続することができる。
【００２８】
また、前記補助電極が、金属板又は導電性弾性体であるため、より確実に補助電極と電圧印加用電極とを電気的に接触させることができる。
【００２９】
前記突起が、半球状、円柱状及び多面体形状のいずれかの形状であると、低加圧で前記突起は変形し、凹凸を有するアクチュエータ形状にならうことから、複数の表面電極の全ヶ所に確実に接続され、かつ薄肉のアクチュエータであっても低加圧であることから破損の心配がなく、分極工程の製造歩留まりが確保できる。
【００３０】
また、本発明の圧電体の分極方法を用いると、電極部に過多の加重が加わらないことから製品に与える機械的負荷は小さく、分極工程における破損を低減でき、工程歩留まりを改善できるという効果がある。
【００３１】
特に、前記圧電体が、複数の表面電極と、該表面電極に対向するように設けられた内部電極と、該内部電極と電気的に接続された表面端子電極と、を具備するので、表面電極、固定電極が一面に形成されることによって分極装置、及び分極工程が簡素化される。
【００３２】
さらに、前記圧電体の厚みが０．３ｍｍ以下であるので、圧電アクチュエータの場合には変位が大きく、また、圧電体の厚みが小さいので本発明の分極装置を好適に用いることができ、クラックの発生を顕著に削減することができる。このように薄い圧電体であっても、本発明の分極方法を用いれば、容易に、簡単に分極処理を施すことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
本発明の分極装置を、インクジェットヘッドに用いた圧電アクチュエータを分極する場合について、図を用いて詳細に説明する。
【００３４】
図１（ａ）は本発明の分極装置の構成を示す概略断面図、図１（ｂ）はその部分拡大断面図である。本発明の分極装置は、例えば図１（ａ）に示したように、圧電体１０２を載置するための架台１０１と、圧電体１０２の表面電極に電気的に接続するための第一電極１０３と、表面電極と対向して設けられた対抗電極に電気的に接続するための第二電極１０４と、第一電極１０３と第二電極１０４との間、即ち表面電極と対向電極との間に電圧を印加するための電源１０８と、電源１０８から第一電極１０３及び第二電極１０４に電圧を供給するための一対の配線１０７とを具備するものである。
【００３５】
また、図１（ｂ）に示したように、圧電体１０２は、その表面に複数の表面電極６が設けられ、この表面電極６の全てと接触するように第一電極１０３が配置されている。また、対向電極５は、複数の表面電極６と対向して設けられており、ビア電極８を介して表面端子電極７と接続している。
【００３６】
第一電極１０３及び第二電極１０４は、電源１０８から供給される電圧を圧電体の表面電極と表面端子電極とに印加するための電圧印加用電極であり、第一電極１０３と第二電極１０４との間、即ち表面電極と対向電極との間に電圧を印加するために、第一電極１０３及び第二電極１０４と、電源１０８（図示せず）とが、配線１０７ａ、１０７ｂを介して電気的に接続されている。そして、電圧を印加することによって、表面電極と対向電極とで挟持された圧電セラミック層を分極することができる。
【００３７】
架台は所望により省略することができる。また、第二電極１０４は、圧電体１０２の表面に接続しているが、圧電体１０２の側面に露出させ、その側面に形成された表面端子電極に接続しても良い。
【００３８】
本発明によれば、圧電体１０２の表面に形成された複数の表面電極の全てと電気的に接続するために、第一電極１０３の表面に複数の突起を具備した導電性弾性体からなることが重要である。
【００３９】
このように表面に複数の突起を設けたので、導電性弾性体からなる平板よりも微小な凹凸に対応でき、圧電体表面に凹凸があってもその凹凸にならって弾性電極が変形するため、大きな圧力で前記導電性弾性体を前記電極に押付けなくても、導電性弾性体が変形して圧電アクチュエータの凹凸の影響を低減することができる。その結果、表面電極との接触が確実にでき、分極が容易に行えるとともに、接続のための加圧を小さくできるので、薄い圧電体を分極する場合であっても破損を抑制することができる。
【００４０】
その状態の一例を、図２を用いて具体的に説明する。図２は圧電アクチュエータ１に、第一電極１０３を接触する前後の状態を示す概略断面図である。圧電アクチュエータ１は、図２（ａ）に示したように、振動に関与する部位である圧電セラミック層４と、その表面に設けられた個別電極６と、内部に設けられた共通電極５とが、振動板３の上に設けられている。
【００４１】
個別電極６は、駆動部電極６ａと接続部電極６ｂとで構成される。駆動部電極６ａの厚みは、振動を阻害しないように１μｍ以下、特に０．７μｍ以下、更には０．５μｍ以下であるのに対して、接続部電極６ｂの厚みＨは１０μｍ以上、時には２０μｍに達するため、Ｈがばらついても変形が容易で、且つ表面に突起が設けられている導電性弾性体を用いることが重要である。
【００４２】
表面に形成された凹凸が１０μｍ以上になると、本発明において突起付き導電性弾性体を用いる効果が顕著となり、本発明の分極装置の能力を十分に発揮できる。例えば、図２（ａ）に示した圧電アクチュエータの表面に導電性弾性体を押付けるように接触させると、図２（ｂ）のように変形し、突起１０９の周辺で導電性弾性体が変形し、十分な高さを有する表面端子電極６ｂ１及び６ｂ３における接触はもとより、他の表面端子電極６ｂ１及び６ｂ３の高さよりも低い６ｂ２であっても、導電性弾性体と十分に接触させることができる。
【００４３】
このように、導電性弾性体の表面に複数の突起を設けているので、導電性弾性体の変形自由度が大きいため、高さばらつきのある接続部電極６ｂに対しても確実に接触することができる。しかも接点は変形して点接触、又は微小面接触するため、第一電極を小さな圧力で押圧しただけでも表面電極との電気接続を確実に行うことができる。特に、突起の形状、大きさを変えることにより、圧電体の表面に１μｍ〜１ｍｍの凹凸が形成されていても容易に対応することができる。
【００４４】
この突起は、半球状、円柱状及び多面形状の少なくとも１種であることが好ましい。これらの形状は、変形しやすく、且つ接触しやすいためである。また、突起の最大断面積は、接続部電極６ｂの断面積Ｓに対して、０．０５Ｓ〜１．５Ｓ、特に０．１Ｓ〜１．０Ｓ、更には０．２Ｓ〜０．７Ｓに相当する大きさであるのが好ましい。これによって低加圧でのより確実な電気接続が可能となり、特に薄肉の圧電アクチュエータの場合、加圧による破損を低減させることが出来る。
【００４５】
導電性弾性体とは主に導電性ゴムを示し、具体的な材質としては、天然ゴム系、クロロプレン系、シリコーン系の特に体積固有抵抗が５×１０２Ω・ｃｍ以下、硬度が６５（ＪＩＳ−Ａ）のものが効果的である。
【００４６】
圧電アクチュエータ１の厚みＴは、個別電極６、圧電セラミック層４、共通電極５及び振動板３を含めた全体の厚みを示すものであり、Ｔが１００μｍ以下であることが望ましい。このように薄層にすることで、大きな変位を得ることができ、また低電圧で高効率の駆動を実現できる。従って、特に最近のカラープリンタの性能向上に伴う高速化及び高精度化の要求に対して、本発明においては、１００μｍ以下の厚みにすることにより、その要求に対応することができ、圧電アクチュエータ１及びそれを用いた印刷ヘッドの高性能化に寄与することができる。
【００４７】
特に、圧電アクチュエータ１としての特性をさらに高めるため、Ｔは８０μｍ以下、更には６５μｍ以下、より好適には５０μｍ以下が良い。また、製造取扱い中、評価中又は駆動中の機械的強度を考慮して圧電積層体の厚みＴの下限値は３μｍ以上、特に５μｍ以上、更には１０μｍ以上、より好適には２０μｍ以上が好ましい。このように薄層の圧電アクチュエータは、機械的応力に対して破壊しやすいため、本発明の分極装置を好適に用いることができる。
【００４８】
また、本発明の他の分極装置は、上述した分極装置において、電圧印加用電極の構造が異なるのみで、他は同じ構成であるため、ここでは、電圧印加用電極の構造のみを示す。即ち、電圧印加用電極は、図３（ａ）及び（ｂ）に示したように、弾性体からなる第一電極１０３の内部に、弾性体を貫通するように、複数の導電性部材１１１が併設され、導電性部材１１１は、弾性体の表面に突起を形成している。
【００４９】
第一電極１０３の一主面には、圧電体の表面に設けられた表面電極に接触するための突起１１５が形成され、対向主面には、補助電極１１０と接するための突起１１６が設けられている。
【００５０】
補助電極１１０は、変形し易いものが好ましく、具体的には金属板又は導電性弾性体が好ましい。補助電極１１０の変形によって、補助電極１１０と導電性部材１１１との電気的接触をより確実なものにする。
【００５１】
なお、導電性弾性体は、導電性ゴム、導電性樹脂等のように、導電性があり、変形し易いものであれば、どのようなものでも使用することができる。特に、導電性樹脂は、図３（ｃ）のように、対向主面に形成された突起１１６を覆うように一体的に設けることができ、全ての突起１１６を確実に接続できるので好適に使用できる。
【００５２】
導電性部材１１１は、図３（ｂ）のように球状であっても、また、図３（ｃ）のように楕円、又は円柱状や多角形形状であっても、確実な接触が得られるので良い。
【００５３】
次に、本発明の圧電体の分極方法について、印刷ヘッドに用いる圧電アクチュエータを分極する方法を例にとって具体的に説明する。
【００５４】
まず、圧電アクチュエータを準備する。例えば、圧電セラミック粉末を準備する。圧電セラミックスとしては、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、マグネシウムニオブ酸鉛（ＰＭＮ系）、ニッケルニオブ酸鉛（ＰＮＮ系）のうち少なくとも１種を主成分とする圧電セラミックスからなる原料粉末からグリーンシートを作製し、この表面に導体ペーストを印刷し、所望の構成でグリーンシートを積層して、得られた積層体を焼成する。これにより、内部に共通電極を有する圧電積層体が得られる。この圧電積層体の表面に、複数の個別電極を形成し、圧電アクチュエータが得られる。
【００５５】
個別電極が２種類の高さを有する電極を具備し、高いほうの電極が１０μｍ以上の高さを有するのが良い。即ち、個別電極は、駆動部電極と、接続部電極とからなり、駆動部電極が圧電変位素子の振動に関与する電極であり、接続部電極が外部の接続基板に電気的に接続するための表面端子電極となる。
【００５６】
そして、接続部電極は、接続基板と接続するために、１０μｍ以上、特に１５μｍ以上の厚みを有することが、接続信頼性を確保する上で好ましい。
【００５７】
このような突起のある圧電アクチュエータの表面に設けられた複数の個別電極を介して圧電セラミック層を分極するのに適するものである。
【００５８】
次に、このような突起のある圧電アクチュエータの分極方法を説明する。図１の分極装置を準備する。電圧印加用電極は、導電性弾性体を用いたものであっても、また、弾性体の内部に導電性部材を複数併設したものであっても、いずれでも好適に使用できる。以下は、導電性弾性体を例として取り上げて説明する。
【００５９】
次いで架台の上に、上記の圧電アクチュエータを、個別電極が上になるように載置する。そして、図２（ｂ）に示したように、圧電アクチュエータの個別電極６ｂの上に導電性弾性体からなる第二電極１０３を接触させ、上から適度な荷重を加える。
【００６０】
この荷重は、２〜１０ＭＰａ、特に３〜６ＭＰａ、更には３〜４ＭＰａが好ましい。このような小さな荷重であっても、接触は十分に行うことができる。
【００６１】
また、圧電体の主面に設けられた表面端子電極と、圧電体内部に形成された内部電極との接続は、ビア電極を介して電気的に接続することができる。なお、内部電極５は、側面に設けられた表面端子電極（図示せず）に接続され、さらにこの第二電極に電気的に接続していても良い。
【００６２】
第二電極と表面端子電極との接触方法は、特に制限されるものではないが、第一電極と同様な表面に複数の突起を有する導電性弾性体を用いることができる。
【００６３】
最後に、電源１０９を用いて、第一電極１０３と第二電極１０４との間に電圧を印加して、圧電体を分極することができる。
【実施例１】
【００６４】
図１及び２に示した構造を有し、厚さ５０μｍの圧電アクチュエータを分極した。圧電アクチュエータの電極高さは１２μｍであった。この電極は、導電ペーストを印刷法によって塗布し、熱処理によって焼き付けたものであり、厚みばらつきは最大４μｍであった。なお、個別電極の数は６００個であった。
【００６５】
導電性弾性体として、シリコーン系導電性ゴムを用いた。この導電性弾性体には、半球状の突起が形成されており、その中心部の断面積は個別電極の面積の０．２倍となるように設定した。なお、導電性弾性体は、０．３ＭＰａの圧力で圧電体表面に接触させた。
【００６６】
そして、分極処理を行った後、分極状態を調べるために、インピーダンスアナライザーを用い、共振周波数・反共振周波数のインピーダンス波形より分極の合否判定を行った。明瞭にインピーダンス波形の現れるものを分極された良品、インピーダンス波形の現れないものを分極されない不良品と判断した。いずれも分極状態を検知することができ、且つ６００個の個別電極のうち、発生した不良品は１個であった。
【実施例２】
【００６７】
圧電アクチュエータの厚さを１００μｍ、２００μｍ、４００μｍとした以外は実施例１と同様にして測定を行った。その結果、分極状態を調べたところ、６００個の個別電極のうち、１個が分極不十分と認められた。また、４００μｍ厚みのものは、他の厚みのものに比べて変位量が小さかった。
【実施例３】
【００６８】
電圧印加用電極が、図３（ｃ）に示したようなシリコーン系ゴムからなる弾性体の内部に銅からなる導電性部材が多数設けられた以外は、実施例１と同様にして圧電体の分極を行った。また、評価方法も実施例１と同様にした。
【００６９】
その結果、分極は容易に且つ確実になされ、６００個の個別電極のうち、発生した不良品は０個であった。
【比較例】
【００７０】
これに対して、表面に突起のない導電性弾性体を第一電極として用いて分極処理を実施例１と同様にして行った。なお、導電性弾性体は、３ＭＰａの圧力で圧電体表面に接触させた。６００個の個別電極のうち、１５個が、クラックが生じた不良品であった。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】本発明の分極装置の構造を示すもので、（ａ）は概略断面図、（ｂ）は部分拡大断面図である。
【図２】本発明に用いる圧電体の構造を示す説明図で、（ａ）は測定前、（ｂ）は測定時の状態を示す概略断面図である。
【図３】本発明の分極装置を構成する電圧印加用電極の構造を示すもので、（ａ）は斜視図、（ｂ）及び（ｃ）は概略断面図である。
【図４】従来の圧電アクチュエータの構造を示すもので（ａ）は概略断面図、（ｂ）は平面図、（ｃ）は部分拡大断面図である。
【図５】従来の圧電体の分極方法を示す説明図である。
【符号の説明】
【００７２】
１・・・アクチュエータ
２・・・振動板
４・・・圧電セラミック層
５・・・共通電極
６・・・個別電極
５ａ・・・駆動部電極
５ｂ・・・接続部電極
７・・・変位素子
８・・・ビア電極
９・・・導電性弾性体
１０１・・・架台
１０２・・・圧電体
１０３・・・第一電極
１０４・・・第二電極
１０７・・・配線
１０８・・・電源
１０９・・・突起
１１０・・・補助電極
１１１・・・導電性部材
１１５・・・主面に設けられた突起
１１６・・・対向主面に設けられた突起
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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