(57)【要約】    【課題】ショート不良率及び耐圧不良率を低減し、且、製造効率を向上し得る積層電子部品製造装置、及び、積層電子部品の製造方法を提供する。    【解決手段】グリーンシート形成部において、可撓性支持体１０は表面側が塗布面１１として用いられる。塗布部２０は、塗布面１１にセラミック塗料２２を塗布する。巻き取りローラ５２は可撓性支持体１０を巻き取る。クリーニング部材４０は、乾燥処理部３０と、巻き取りローラ５２との間において、可撓性支持体１０の裏面１２をクリーニングする。電極形成装置において、電極印刷部７０はグリーンシート１３に導電性塗料７１を印刷する。巻き取りローラ５２はグリーンシート１３を巻き取る。クリーニング部材４０は、乾燥処理部３０と、巻き取りローラ５２との間において、可撓性支持体１０の裏面１２をクリーニングする。【選択図】      図１
2005252039.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミックグリーンシート形成装置を含む積層電子部品製造装置であって、
前記セラミックグリーンシート形成装置は、可撓性支持体と、塗布部と、乾燥処理部と、クリーニング部材と、巻き取りローラとを含み、
前記可撓性支持体は、セラミック塗料塗布面として用いられ、
前記塗布部は、一方向に走行する前記可撓性支持体の表面側に、セラミック塗料を塗布し、
前記乾燥処理部は、前記可撓性支持体を通す乾燥炉を有し、
前記巻き取りローラは、前記可撓性支持体を巻き取り、
前記クリーニング部材は、前記乾燥処理部と、前記巻き取りローラとの間において、前記可撓性支持体の裏面に接触するように配置されている
積層電子部品製造装置。
【請求項２】
電極形成装置を含む積層電子部品製造装置であって、
前記電極形成装置は、セラミックグリーンシートと、電極印刷部と、乾燥処理部と、クリーニング部材と、巻き取りローラとを含み、
前記セラミックグリーンシートは、可撓性支持体上に塗布されたセラミック塗料を乾燥させたものでなり、
前記電極印刷部は、一方向に走行する前記セラミックグリーンシートの表面側に導電性塗料を印刷して電極パターンを形成し、
前記乾燥処理部は、前記電極パターンの形成された前記セラミックグリーンシートを通す乾燥炉を有し、
前記巻き取りローラは、前記セラミックグリーンシートを巻き取るものであり、
前記クリーニング部材は、前記乾燥処理部と、前記巻き取りローラとの間において、前記可撓性支持体の裏面に接触するように配置されている
積層電子部品製造装置。
【請求項３】
セラミックグリーンシート形成装置と、電極形成装置とを含む積層電子部品製造装置であって、
前記セラミックグリーンシート形成装置は、請求項１に記載されたものでなり、
前記電極形成装置は、請求項２に記載されたものでなる
積層電子部品製造装置。
【請求項４】
請求項３に記載された積層電子部品製造装置であって、
前記セラミックグリーンシート形成装置は、前記巻き取りローラを介さずに、前記電極形成装置に連続するように備えられている
積層電子部品製造装置。
【請求項５】
請求項１乃至４の何れかに記載した積層電子部品製造装置であって、
前記クリーニング部材は、発泡ウレタン、不織布、又は、粘着ロールである
積層電子部品製造装置。
【請求項６】
セラミックグリーンシート形成工程を含む積層電子部品の製造方法であって、
前記セラミックグリーンシート形成工程は、
まず、可撓性支持体の表面側に、セラミック塗料を塗布し、
次に、前記セラミック塗料を乾燥して、セラミックグリーンシートを形成し、
次に、前記可撓性支持体の裏面を、クリーニング部材を用いてクリーニングした後、巻き取りローラで、前記可撓性支持体を巻き取る
工程を含む積層電子部品の製造方法。
【請求項７】
電極形成工程を含む積層電子部品の製造方法であって、
前記電極形成工程は、
まず、セラミックグリーンシートの表面側に、導電性塗料を印刷して、電極を形成し、
次に、前記導電性塗料を乾燥させ、
次に、前記可撓性支持体の裏面を、クリーニング部材を用いてクリーニングした後、巻き取りローラで、前記可撓性支持体を巻き取る
工程を含む積層電子部品の製造方法。
【請求項８】
積層電子部品の製造方法であって、
前記セラミックグリーンシート形成工程と、前記電極形成工程とを、交互に複数回繰り返す工程を含む積層電子部品の製造方法。
【請求項９】
積層電子部品の製造方法であって、
まず、可撓性支持体の表面側に、セラミック塗料を塗布し、
次に、前記セラミック塗料を乾燥して、セラミックグリーンシートを形成し、
次に、前記セラミックグリーンシートの表面側に、導電性塗料を印刷し、
次に、前記導電性塗料を乾燥させ、
次に、前記可撓性支持体の裏面を、クリーニング部材を用いてクリーニングした後、巻き取りローラで、前記可撓性支持体を巻き取る
工程を含む積層電子部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層電子部品製造装置、及び、積層電子部品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
積層セラミックコンデンサ、圧電部品、ＰＴＣサーミスタ、ＮＴＣサーミスタ、又は、バリスタ等の各種積層電子部品は、セラミックグリーンシートを用いて作製される。セラミックグリーンシートは、押し出し法やドクターブレード法などにより製造され、セラミック粉、有機バインダー、可塑剤等を含むセラミック塗料を、繰り出しローラから繰り出された可撓性支持体上に、塗布、乾燥して製造される。
【０００３】
そして、このセラミックグリーンシートは、巻き取りローラによって、一時的に巻き取り保管される。次に、セラミックグリーンシート上にパラジウム、銀、ニッケル等の導電性塗料をスクリーン印刷によって形成し、乾燥処理して内部電極が作製される。
【０００４】
次に、乾燥して得られた電極付きセラミックグリーンシートは、その複数枚が、所望の積層構造になるように一枚ずつ積層され、プレス切断工程を経てセラミックグリーンチップが形成される。このようにして得られたセラミックグリーンチップ中のバインダーをバーンアウトし、１０００℃〜１４００℃で焼成し、得られた焼成体に銀、銀−パラジウム、ニッケル、銅等の端子電極を形成し、積層電子部品が得られる。
【０００５】
ところで、セラミックグリーンシートの表面、及び、これを支持する可撓性支持体の裏面には、通常、その製造工程において塵埃、可撓性支持体の削れ塵埃等が付着する。ここで、積層電子部品の製造方法においては、先に説明したように、繰り出しローラから繰り出された可撓性支持体上に、ドクターブレード法などによりセラミック塗料を塗布し、塗布されたセラミック塗料を乾燥させてセラミックグリーンシートが作製される。そして、このセラミックグリーンシートを巻き取りローラによって一時的に巻き取り保管する工程を備えている。
【０００６】
巻き取りローラ上では、可撓性支持体の裏面が、先に巻かれたセラミックグリーンシートの表面に重なる。従って、可撓性支持体の裏面に、塵埃、可撓性支持体の削れ塵埃等が付着していると、セラミックグリーンシートを巻き取りローラに巻き取ったときに、可撓性支持体の裏面側に付着した塵埃等が、先に巻かれているセラミックグリーンシートの表面に転写されてしまう。このため、このセラミックグリーンシートを積層して得られた積層電子部品は、ショート不良率や耐圧不良率が高くなる。
【０００７】
特に、積層電子部品の製造方法においては、可撓性支持体上に塗布されたセラミック塗料は、続く乾燥処理工程において乾燥炉内の熱風乾燥により乾燥されるから、乾燥炉内で吹き上げられた塵埃、可撓性支持体の削れ塵埃等が、可撓性支持体の裏面に付着する確率が極めて高くなる。
【０００８】
セラミックグリーンシートの厚みが厚ければ、塵埃等の影響はそれほど問題にはならないが、最近は小型大容量化の要請に応えるべく、セラミックグリーンシートの膜厚が極めて薄くなっており、塵埃付着による影響を非常に受けやすい。特許文献１乃至３には、そのような問題点の認識及び解決手段については、何も開示がない。
【特許文献１】特開平８−１３０１５５号公報
【特許文献２】特開平８−２７６４１４号公報
【特許文献３】特開２００２−１３４３５７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の課題は、積層電子部品のショート不良率、及び、耐圧不良率を低減することができる積層電子部品製造装置、及び、積層電子部品の製造方法を提供することである。
【００１０】
また、本発明の他の課題は、製造効率を向上することができる積層電子部品製造装置、及び、積層電子部品の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上述した課題を解決するため、本発明に係る積層電子部品製造装置は、セラミックグリーンシート形成装置を含む。セラミックグリーンシート形成装置は、可撓性支持体と、塗布部と、乾燥処理部と、クリーニング部材と、巻き取りローラとを含む。可撓性支持体は、表面側がセラミック塗料塗布面として用いられる。塗布部は、一方向に走行する可撓性支持体の表面側に、セラミック塗料を塗布する。乾燥処理部は、可撓性支持体を通す乾燥炉を有する。巻き取りローラは、可撓性支持体を巻き取る。クリーニング部材は、乾燥処理部と、巻き取りローラとの間において、可撓性支持体の裏面に接触するように配置されている。
【００１２】
また、本発明に係る他の積層電子部品製造装置は、電極形成装置を含む。電極形成装置は、セラミックグリーンシートと、電極印刷部と、乾燥処理部と、クリーニング部材と、巻き取りローラとを含む。セラミックグリーンシートは、可撓性支持体と、セラミック塗料とを含み、可撓性支持体上に塗布されたセラミック塗料が乾燥したものでなる。電極印刷部は、一方向に走行するセラミックグリーンシートの表面側に導電性塗料を印刷する。乾燥処理部は、セラミックグリーンシートを通す乾燥炉を有する。巻き取りローラは、セラミックグリーンシートを巻き取る。クリーニング部材は、乾燥処理部と、巻き取りローラとの間において、可撓性支持体の裏面に接触するように配置されている。
【００１３】
本発明に係る積層電子部品製造装置は、上述したセラミックグリーンシート形成装置と、電極形成装置とを併せ備えていてもよい。
【発明の効果】
【００１４】
（１）セラミックグリーンシート形成装置を含む積層電子部品製造装置について
この積層電子部品製造装置では、セラミックグリーンシート形成装置は、可撓性支持体と、塗布部と、乾燥処理部とを含む。可撓性支持体は、表面側がセラミック塗料塗布面として用いられる。塗布部は、一方向に走行する可撓性支持体の表面側に、セラミック塗料を塗布する。乾燥処理部は、可撓性支持体を通す乾燥炉を有する。従って、積層電子部品製造装置は、可撓性支持体上にセラミック塗料を塗布し、且、乾燥させて、セラミックグリーンシートを得ることができる。
【００１５】
また、この積層電子部品製造装置は、巻き取りローラを含む。巻き取りローラは、可撓性支持体を巻き取る。これにより、可撓性支持体及びその上に形成された乾燥後のセラミックグリーンシートが巻き取られる。巻き取りローラ上では、可撓性支持体の裏面が、先に巻かれたセラミックグリーンシートの表面に重なる。従って、仮に、可撓性支持体の裏面に、塵埃、可撓性支持体の削れ塵埃等が付着していると、セラミックグリーンシートを巻き取りローラに巻き取ったときに、可撓性支持体の裏面側に付着した塵埃等が、先に巻かれているセラミックグリーンシートの表面に転写されてしまう。
【００１６】
本発明に係るセラミックグリーンシート形成装置は、この問題を解決する手段として、クリーニング部材を含む。クリーニング部材は、乾燥処理部と、巻き取りローラとの間に配置されている。この構成によれば、乾燥工程において実行される熱風乾燥により、乾燥炉の中に存在する塵埃や可撓性支持体の削れ塵埃等が、可撓性支持体の裏面に付着したとしても、巻き取りローラによって巻き取る前に、クリーニング部材でこれを確実に除去することができる。
【００１７】
クリーニング部材は、可撓性支持体の裏面に接触するように配置されているから、可撓性支持体が巻き取りローラに巻き取られたときに裏面に付着した塵塵埃、可撓性支持体の削れ塵埃等が、先に巻かれているセラミックグリーンシートの表面に転写されてしまう危険も生じない。従って、積層電子部品のショート不良率及び耐圧不良率を低減させることができる。
【００１８】
（２）電極形成装置を含む積層電子部品製造装置について
この積層電子部品製造装置において、電極形成装置は、セラミックグリーンシートと、電極印刷部と、乾燥処理部とを含む。セラミックグリーンシートは、可撓性支持体上に塗布されたセラミック塗料が乾燥したものでなり、電極印刷部は、一方向に走行するセラミックグリーンシートの表面側に導電性塗料を印刷する。乾燥処理部は、セラミックグリーンシートを通す乾燥炉を有する。従って、積層電子部品製造装置は、セラミックグリーンシート上に導電性塗料を塗布し、且、乾燥させることができる。
【００１９】
また、この積層電子部品製造装置は、巻き取りローラを含む。巻き取りローラは、可撓性支持体を巻き取る。これにより、可撓性支持体、及び、その上に形成された乾燥後のセラミックグリーンシートが巻き取られる。セラミックグリーンシートの表面には電極が形成されている。巻き取りローラ上では、可撓性支持体の裏面が、先に巻かれたセラミックグリーンシートの表面に重なる。従って、仮に、可撓性支持体の裏面に、塵埃、可撓性支持体の削れ塵埃等が付着していると、セラミックグリーンシートを巻き取りローラに巻き取ったときに、可撓性支持体の裏面側に付着した塵埃等が、先に巻かれているセラミックグリーンシートの表面、及び、セラミックグリーンシート上に形成された電極に転写されてしまう。
【００２０】
本発明に係る電極形成装置は、この問題を解決する手段として、クリーニング部材を含む。クリーニング部材は、乾燥処理部と、巻き取りローラとの間に配置されている。この構成によれば、電極パターンの乾燥工程において実行される熱風乾燥により、乾燥炉の中に存在する塵埃、可撓性支持体の削れ塵埃等が、可撓性支持体の裏面に付着したとしても、巻き取りローラによって巻き取る前に、クリーニング部材でこれを確実に除去することができる。
【００２１】
クリーニング部材は、可撓性支持体の裏面に接触するように配置されているから、可撓性支持体が巻き取りローラに巻き取られたときに、裏面に付着した塵埃等が、先に巻かれているセラミックグリーンシートの表面、及び、セラミックグリーンシート上に形成された電極に転写されてしまう危険も生じない。従って、電極を備えたセラミックグリーンシートを積層して積層電子部品を作製した場合に、ショート不良率、及び、耐圧不良率を低減することができる。
【００２２】
（３）他の好ましい態様について
本発明に係る積層電子部品製造装置は、好ましい1つの態様として、セラミックグリーンシート形成装置と、電極形成装置とを含むことができる。セラミックグリーンシート形成装置及び電極形成装置は、上述したものでなる。従って、積層電子部品製造装置は、上述した利点を全て有する。
【００２３】
さらに、本発明に係る積層電子部品製造装置は、別の好ましい態様として、セラミックグリーンシート形成装置が、巻き取りローラを介さずに、電極形成装置に連続して備えられている。従って、積層電子部品を容易に製造することができる。
【００２４】
本発明に係る積層電子部品製造装置の更に別の好ましい態様として、クリーニング部材は、発泡ウレタン、不織布、もしくは粘着ロールである。このクリーニング部材の構造によると、積層電子部品製造装置は優れた異物除去能力を有することができる。
【００２５】
本発明の他の目的、構成及び利点については、添付図面を参照し、更に詳しく説明する。添付図面は、単に、例示に過ぎない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
図１は、本発明に係るセラミックグリーンシート形成装置を含む積層電子部品製造装置の一実施形態の構成を示す図である。図１を参照すると、セラミックグリーンシート形成装置は、可撓性支持体１０と、塗布部２０と、乾燥処理部３０と、クリーニング部材４０と、巻き取りローラ５２とを含む。
【００２７】
可撓性支持体１０は、長尺の帯状体であって、表面側がセラミック塗料塗布面１１として用いられる。可撓性支持体１０は、好ましくはポリエチレンテレフタレートのような耐熱性合成樹脂で構成される。
【００２８】
可撓性支持体１０は、セラミックグリーンシートの剥離を考慮し、塗布面１１に剥離処理を施しておくのがよい。剥離処理は、塗布面１１に、例えば、Ｓｉ等でなる剥離用膜を薄くコートすることによって実行することができる。このような剥離処理を施しておくことにより、必要層数の積層工程が終了した後、可撓性支持体１０の上に形成されている最下層のセラミックグリーンシートを、可撓性支持体１０から容易に剥離することができる。図１において、参照符号Ｆ１は、可撓性支持体１０の走行方向を示している。
【００２９】
塗布部２０は、矢印Ｆ１方向に走行する可撓性支持体１０の塗布面１１に、セラミック塗料２２を塗布する。
【００３０】
塗布部２０は、塗布ヘッド２１を有し、可撓性支持体１０の上に、セラミック粉末、有機バインダ、可塑剤及び溶剤等を含むセラミック塗料２２を塗布する。図２には、ドクターブレード式の塗布ヘッド２１を用いたセラミックグリーンシート形成装置の例が示されている。なお、塗布ヘッド２１は、押し出し式や、その他リバースロール式を用いてもよい。
【００３１】
セラミック塗料２２は、一例であるが、粒径が０．１μｍ〜１．０μｍ程度のチタン酸バリウム、酸化クロム、酸化イットリウム、炭酸マンガン、炭酸バリウム、炭酸カルシウム、酸化硅素等の粉末を焼成した後、ＢａＴｉＯ3１００モル％として、Ｃｒ2Ｏ3に換算して０．３モル％、ＭｎＯに換算して０．４モル％、ＢａＯに換算して２．４モル％、ＣａＯに換算して１．６モル％、ＳｉＯ2に換算して４モル％、Ｙ2Ｏ3に換算して０．１モル％の組成になるように混合し、ボールミルにより２４時間混合し、乾燥後誘電体原料を得た。この誘電体原料１００重量部とアクリル樹脂５重量部、塩化メチレン４０重量部、アセトン２５重量部、ミネラルスピリット６重量部を配合し、市販のφ１０ｍｍジルコニアビーズを用い、ポット架台により２４時間混合したものを用いる。
【００３２】
乾燥処理部３０は、未乾燥のセラミックグリーンシート１３を有する可撓性支持体１０を通す乾燥炉を有し、塗布されたセラミック塗料２２を乾燥させてセラミックグリーンシート１３とする。説明の都合上、乾燥処理部と、乾燥炉とは、同一参照符号３０で表示する。
【００３３】
乾燥炉３０は、可撓性支持体１０を内に通すとともに、炉内部に熱風を流通させて、可撓性支持体１０上の未乾燥のセラミックグリーンシート１３を熱風乾燥させる。上述した熱風乾燥によると、例えば４５〜８０℃の低い温度であって、従来の約１／３の乾燥時間で乾燥処理を行なうことができる。しかも、可撓性支持体１０の変形量を最小にすることができる。可撓性支持体１０の変形量は、具体的には、２０μｍ以下に押さえることができる。
【００３４】
巻き取りローラ５２は、図示する繰り出しローラ５１や、複数のローラとともに、可撓性支持体１０の送り装置を構成する。より詳細に説明すると、繰り出しローラ５１は、モータ等の駆動装置（図示しない）によって、矢印Ｒ１の方向に回転駆動することにより、可撓性支持体１０を矢印Ｆ１の方向に繰り出し、巻き取りローラ５２が繰り出しローラ５１と協働しながら、可撓性支持体１０を巻き取る。巻き取りローラ５２は、モータ等の駆動装置（図示しない）によって、矢印Ｒ１の方向に回転駆動される。繰り出しローラ５１から繰り出された可撓性支持体１０は、複数のローラを経由して巻き取られる。
【００３５】
複数のローラは、案内ローラ６１、サクションローラ６２、蛇行修正ローラ６３とを含み、それぞれが可撓性支持体１０のセラミック塗料２２を塗布する面１１とは反対側の面１２にのみ接触するように配置され、可撓性支持体１０を矢印Ｆ１の方向に送る。
【００３６】
クリーニング部材４０は、好ましくは発泡ウレタン、不織布、もしくは粘着ロールである。本明細書において、不織布とは、繊維を一定方向やランダムに集積して接着樹脂で科学的に結合させたり、機械的に絡ませたり、熱溶着繊維で結合させて作製したものを意味する。これら不織布は、ポーラス構造であるため、塵埃や異物等を取り込み、除去する能力に優れている。材質としてはポリエステル、ナイロンなどが好ましい。また、粘着ロールは、ポリビニルエチルエーテル樹脂及び炭酸カルシウムでなる周知のクリーニング部材である。
【００３７】
クリーニング部材４０は、乾燥処理部３０と、巻き取りローラ５２との間において、可撓性支持体１０の塗布面１１とは反対側の面１２に接触するように配置されている。図示するクリーニング部材４０は、協働するクリーニング部材用ローラ４１、４３により矢印Ｆ２で示す方向に走行するとともに、中間部分で支持ローラ４２を経由する。支持ローラ４２は、予め可撓性支持体１０の裏面１２に近接する適当な位置に備えられており、クリーニング部材４０は支持ローラ４２の外側を経由した場合に可撓性支持体１０の裏面１２に接触し、塵埃、可撓性支持体の削れ塵埃等を除去する。好ましい態様として、矢印Ｆ２で示すクリーニング部材４０の走行方向は、可撓性支持体１０の走行方向Ｆ１とは反対方向となるから、クリーニング部材４０は、優れた異物除去能力を有する。
【００３８】
上述した積層電子部品製造装置は、以下の工程により積層電子部品を製造する。即ち、繰り出しローラ５１から、矢印Ｆ１で示す方向に引き出された可撓性支持体１０は、塗布面１１に未焼成セラミック塗料層が形成され、さらに案内ローラ６１を通り、乾燥炉３０内に導かれる。次に、セラミック塗料２２を乾燥して、セラミックグリーンシート１３を形成する。次に、可撓性支持体１０の裏面１２をクリーニング部材４０を用いてクリーニングした後、巻き取りローラ５２を用いて、クリーニングされた可撓性支持体１０を巻き取る。
【００３９】
上述したように、セラミックグリーンシート形成装置は、可撓性支持体１０と、塗布部２０と、乾燥処理部３０とを含む。可撓性支持体１０は、表面側が塗布面１１として用いられる。塗布部２０は、一方向に走行する可撓性支持体１０の塗布面１１に、セラミック塗料２２を塗布する。乾燥処理部３０は、可撓性支持体１０を通す乾燥炉を有する。従って、積層電子部品製造装置は、可撓性支持体１０上のセラミック塗料２２を塗布し、且、乾燥させて、セラミックグリーンシート１３を得ることができる。
【００４０】
積層電子部品製造装置は、巻き取りローラ５２を含む。巻き取りローラ５２は、可撓性支持体１０を巻き取る。これにより、可撓性支持体１０、及び、その上に形成された乾燥後のセラミックグリーンシート１３が巻き取られる。巻き取りローラ５２では、可撓性支持体１０の裏面１２が、先に巻かれたセラミックグリーンシート１３の表面に重なる。従って、仮に、裏面１２に、塵埃、可撓性支持体の削れ塵埃等が付着していると、セラミックグリーンシート１３を巻き取りローラ５２に巻き取ったときに、裏面１２に付着した塵埃等が、先に巻かれているセラミックグリーンシート１３の表面に転写されてしまう。
【００４１】
セラミックグリーンシート形成装置は、この問題を解決する手段として、クリーニング部材４０を含む。クリーニング部材４０は、乾燥処理部３０と、巻き取りローラ５２との間に配置されている。この構成によれば、乾燥工程において実行される熱風乾燥により、乾燥炉の中に存在する塵埃、可撓性支持体の削れ塵埃等が、可撓性支持体１０の裏面１２に付着したとしても、巻き取りローラ５２によって巻き取る前に、クリーニング部材４０で塵埃を確実に除去することができる。
【００４２】
クリーニング部材４０は、可撓性支持体１０の裏面１２に接触するように配置されているから、可撓性支持体１０が巻き取りローラ５２に巻き取られたときに、裏面１２に付着した塵埃等が、先に巻かれているセラミックグリーンシート１３の表面に転写されてしまう危険も生じない。従って、積層電子部品のショート不良率、及び、耐圧不良率を低減させることができる。
【００４３】
図２は、本発明の一実施形態に係る電極形成装置を含む積層電子部品製造装置の構成を示す図である。図２において、図１に示した構成部分と同一の構成部分には、同一の参照符号を付す。図２を参照すると、電極形成装置は、セラミックグリーンシート１３と、電極印刷部７０と、乾燥処理部３０と、クリーニング部材４０と、巻き取りローラ５２とを含む。
【００４４】
セラミックグリーンシート１３は、図１に示したセラミックグリーンシート形成装置において形成されたものであって、可撓性支持体１０上に塗布されたセラミック塗料２２が乾燥したものでなる。
【００４５】
電極印刷部７０は、Ｆ１方向に走行するセラミックグリーンシート１３の表面に導電性塗料７１を用いて電極８０を印刷する。電極印刷部７０は、好ましくは周知のスクリーン印刷により電極８０を印刷する。電極印刷部７０は、その他画像処理によって電極８０を印刷することもできる。
【００４６】
図２を参照すると電極印刷部７０は、導電性塗料７１と、スクリーン７２と、スキージ７３とを有し、可撓性支持体１０の表面上に形成された未焼成セラミック層の表面１３０に、所定のパターンを有する電極８０が印刷される。電極印刷に用いられる導電性塗料７１は、導電成分となるＮｉ等の金属粉と、エチルセルロース系バインダと、溶剤とを含む。導電成分となる金属粉は周知のものを用いることができ、上述したＮｉの他に、パラジウム、銀の少なくとも一種またはこれらの合金等を用いることができる。溶剤は、テルピネオール等の高沸点溶剤である。
【００４７】
電極８０の印刷された可撓性支持体１０は、乾燥処理部３０で乾燥処理が施された後、可撓性支持体１０の裏面１２がクリーニング部材４０によりクリーニングされ、巻き取りローラ５２で巻き取られる。
【００４８】
上述した積層電子部品製造装置は、以下の工程により積層電子部品の製造を製造する。まず、セラミックグリーンシート１３の表面側に、導電性塗料７１を印刷して、電極８０を形成する。次に、可撓性支持体１０の裏面１２を、クリーニング部材４０を用いてクリーニングした後、巻き取りローラ５２を用いて、クリーニングされた可撓性支持体１０を巻き取る。
【００４９】
図示してはいないが、セラミックグリーンシート形成工程と、電極形成工程とを、交互に複数回繰り返すこともできる。即ち、電極８０を印刷したセラミックグリーンシート１３は、通常、図１に示す塗布部２０を備えたセラミックグリーンシート形成工程に再度付される。巻き取られたセラミックグリーンシート１３は、繰り出しローラ５１に取付けられ、蛇行修正ローラ６３を通して、所望の厚みになるようにセラミックグリーンシート形成を行うことができるとともに、電極８０を印刷する工程が、必要とする積層数だけ繰り返される。
【００５０】
この後、積層電子部品を得るために必要な周知の工程が実行される。例えば、セラミックグリーンシート形成工程、及び、電極印刷工程を複数回実行した後、さらに積層セラミックグリーンシート１３上に別途保護層をシート形成し、積層セラミックグリーンシート１３を可撓性支持体１０から剥離する。剥離して得られた積層セラミックグリーンシート１３は、さらに複数が所望の配置で積層される。そのようにして得られた積層体の最上層には、別途シート形成された保護層を積層する。
【００５１】
最後に、上述のようにして得られた積層セラミックグリーンシート１３を打ち抜き後プレスし、切断することにより、積層グリーンチップが得られる。得られた積層グリーンチップを、所定の温度条件で脱バインダ処理した後、焼成し、更に、端子電極を焼き付け形成する。脱バインダ及び焼成の条件は、従来より周知である。例えば、２８０℃で１２時間脱バインダし、還元雰囲気中で１３００℃にて２時間焼成する。焼成後得られた積層体に端子電極を形成する。端子電極の材質及び形成方法も従来よりよく知られている。例えば、銅を主成分とし、Ｎ2＋Ｈ2中で８００℃にて３０分焼き付けし、めっきを行なう。以上必要な工程を経て、積層電子部品の完成品が得られる。
【００５２】
上述したように、本発明に係る積層電子部品製造装置は、電極形成装置を含み、電極形成装置は、セラミックグリーンシート１３と、電極印刷部７０と、乾燥処理部３０とを含む。セラミックグリーンシート１３は、可撓性支持体１０上に塗布されたセラミック塗料が乾燥したものでなり、電極印刷部７０は、一方向に走行するセラミックグリーンシート１３の表面１３０に導電性塗料７１を印刷する。乾燥処理部３０は、セラミックグリーンシート１３を通す乾燥炉を有する。従って、積層電子部品製造装置は、セラミックグリーンシート１３に導電性塗料７１を塗布し、且、乾燥させることができる。
【００５３】
また、本発明に係る積層電子部品製造装置は、巻き取りローラ５２とを含む。巻き取りローラ５２は、可撓性支持体１０を巻き取る。これにより、可撓性支持体１０、及び、その上に形成された乾燥後のセラミックグリーンシート１３が巻き取られる。セラミックグリーンシート１３の表面には電極８０が形成されている。巻き取りローラ５２上では、可撓性支持体１０の裏面１２が、先に巻かれたセラミックグリーンシート１３の表面１３０に重なる。
【００５４】
ここで、本発明に係る積層電子部品製造装置における電極形成装置は、クリーニング部材４０を含む。クリーニング部材４０は、乾燥処理部３０と、巻き取りローラ５２との間に配置されている。上記構成によれば、電極パターンの乾燥工程において実行される熱風乾燥により、乾燥炉の中に存在する塵埃、可撓性支持体の削れ塵埃が、可撓性支持体１０の裏面１２に付着したとしても、巻き取りローラ５２によって巻き取る前に、クリーニング部材４０が塵埃等を確実に除去することができる。
【００５５】
しかも、クリーニング部材４０は、可撓性支持体１０の裏面１２に接触するように配置されているから、可撓性支持体１０が巻き取りローラ５２に巻き取られたときに、裏面１２に付着した塵埃等が、先に巻かれているセラミックグリーンシート１３の表面１３０、及び、セラミックグリーンシート１３上に形成された電極８０に転写されてしまう危険も生じない。従って、電極８０を備えたセラミックグリーンシート１３を積層して積層電子部品を作製した場合に、ショート不良率、及び、耐圧不良率を低減することができる。
【００５６】
クリーニング部材を備えない従来構成の場合、可撓性支持体１０の裏面１２に、塵埃、可撓性支持体の削れ塵埃等が付着していると、セラミックグリーンシート１３を巻き取りローラ５２に巻き取ったときに、裏面１２に付着した塵埃等が、先に巻かれているセラミックグリーンシート１３の表面１３０、及び、セラミックグリーンシート１３に形成された電極８０に転写されてしまう。本発明によれば、このような問題を回避できることは、上述した点から明らかである。
【００５７】
本発明に係る積層電子部品製造装置の利点について、さらに実験データを参照して説明する。表１は、積層電子部品製造装置を用いて製造した積層電子部品において、ショート不良実験を行った場合のクリーニング部材別ショート不良率を示している。
【００５８】
【表１】
2005252039.tif 000003
表１において、「１００ｍあたりのスジ本数」は、セラミックグリーンシート上に現れる損傷であって、積層電子部品のショート不良の原因となるものである。
【００５９】
表１を参照すると、比較例１は、従来技術に係る積層電子部品製造装置であって、クリーニング部材を含まない積層電子部品製造装置を用いて得られた積層電子部品の実験結果を示している。比較例１では、１００ｍ当たり２本のスジが発生し、ショート不良率が１０％になっている。これは、クリーニング部材を有していないため、セラミックグリーンシート１３が巻き取りローラ５２に巻き取られたときに、可撓性支持体の裏面に付着した塵埃、可撓性支持体の削れ塵埃等が、先に巻かれているセラミックグリーンシート１３の表面、及び、セラミックグリーンシート１３上に形成された電極８０に転写されたためと推測される。
【００６０】
これに対し、実施例１〜３では、セラミックグリーンシート１３、及び、セラミックグリーンシート１３上に形成された電極８０に発生するスジは、１００ｍ当たり０．２〜０．０３本に低減され、ショート不良率が５％〜２％に低減されている。これは、クリーニング部材４０により可撓性支持体１０の裏面１２に付着した塵埃、可撓性支持体の削れ塵埃等が除去されるからと推測される。
【００６１】
本発明に係る積層電子部品製造装置は、好ましい態様としてセラミックグリーンシート形成装置と、電極形成装置とを含み、セラミックグリーンシート形成装置が、巻き取りローラ５２を介さずに、電極形成装置に連続して備えることができる。この構成によると、積層電子部品を量産性よく製造することができる。
【００６２】
上述したセラミックグリーンシート形成装置と、電極形成装置とを含む積層電子部品製造装置は、以下の工程により積層電子部品を製造する。積層電子部品の製造方法であって、まず、可撓性支持体１０の表面側に、セラミック塗料２２を塗布する。次に、セラミック塗料２２を乾燥して、セラミックグリーンシート１３を形成する。次に、セラミックグリーンシート１３の表面側に、導電性塗料７１を印刷する。次に、導電性塗料７１を乾燥させる。次に、可撓性支持体１０の裏面１２を、クリーニング部材４０を用いてクリーニングした後、巻き取りローラ５２を用いて、クリーニングされた可撓性支持体１０を巻き取る。
【００６３】
上記製造方法によると、可撓性支持体１０上で、セラミック塗料２２を塗布してセラミック層を形成するセラミック層形成工程と、セラミック層上に電極８０を印刷する印刷工程とを含むから、量産性が向上する。
【００６４】
以上、好ましい実施例を参照して本発明の内容を具体的に説明したが、本発明の基本的技術思想及び教示に基づいて、当業者であれば、種種の変形態様を採り得ることは自明である。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明の一実施形態に係るセラミックグリーンシート形成装置を含む積層電子部品製造装置の構成を示す図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る電極形成装置を含む積層電子部品製造装置の構成を示す図である。
【符号の説明】
【００６６】
１０        可撓性支持体
１１        セラミック塗料塗布面
１２        裏面
１３        セラミックグリーンシート
２０        塗布部
２２        セラミック塗料
３０        乾燥処理部（乾燥炉）
４０        クリーニング部材
５２        巻き取りローラ
７０        電極印刷部
７１        導電性塗料
８０        電極
【図１】
2005252039.tif 000004
【図２】
2005252039.tif 000005