(57)【要約】【課題】  一対の長尺電極を有するプラズマ処理装置において、電極の歪を阻止するとともに、該歪阻止用のボルトからの放電を防止する。【解決手段】  プラズマ処理装置Ｍ１の金属筐体２１内に、電極絶縁部材２４を介して長尺状の第１、第２電極３１，３２を対向させて収容する。各電極３１，３２の背部には、筐体２１に係着されて当該電極を押し又は引き可能な金属ボルト４０，５０を設ける。電源３に接続された第１電極３１に螺合されたボルト５０については、絶縁性のカラー６０に収容し、この絶縁カラー６０を筐体２１に係着する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電源に接続された第１電極と、この第１電極と対向する第２電極とを備え、これら電極ど
うしの間に電界を印加するとともに処理ガスを導入してプラズマ化し、被処理物のプラズ
マ処理を行なう装置において、
前記第１、第２電極が、長尺状をなし、剛性金属製の筐体の内部に電極絶縁部材を介して
収容されており、
各電極の他方の電極との対向側とは逆側の背部には、前記筐体に係着されて当該電極を押
し又は引き可能な金属製のボルトが設けられ、
少なくとも第１電極に接合されたボルトは、絶縁性のカラーに収容され、この絶縁カラー
が、前記筐体に係着されていることを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項２】
前記筐体に前記絶縁カラーを収容するカラー収容孔が形成され、このカラー収容孔の内周
面とカラーの外周面との間に、絶縁のための空間が形成されていることを特徴とする請求
項１に記載のプラズマ処理装置。
【請求項３】
前記絶縁カラーにおける前記ボルトのための収容孔が、絶縁性のキャップで塞がれている
ことを特徴とする請求項１または２に記載のプラズマ処理装置。
【請求項４】
前記絶縁カラーに収容されたボルトの頭部が、丸みを帯び、かつ表面が滑らかになってい
ることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載のプラズマ処理装置。
【請求項５】
前記絶縁カラーに収容されたボルトが、絶縁カラーを貫通し、電極にねじ込まれているこ
とを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載のプラズマ処理装置。
【請求項６】
前記第２電極が、それに接合されたボルトを介して接地されていることを特徴とする請求
項１〜５の何れかに記載のプラズマ処理装置。
【請求項７】
前記第２電極に接合されたボルトが、導電性のカラーに収容されて導通し、この導電カラ
ーが、前記筐体に係着されて導通していることを特徴とする請求項６に記載のプラズマ処
理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ＣＶＤ（薄膜形成）等の表面処理を行なうプラズマ処理装置に関し、特に
、電極が長尺状をなすプラズマ処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種のプラズマ処理装置は、一対の電極間に電界を印加しグロー放電を起こさせ、処
理ガスをプラズマ化（活性化、イオン化）して被処理物に吹き付け、表面処理を行なう。
例えば、特許文献１に記載のプラズマ処理装置では、電極が長尺状をなしている。これ
によって、電極の長さ分の表面処理を一度に行なうことができ、処理速度を向上させるこ
とができる。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−３５３０００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、長尺の電極は、印加電界によるクーロン力や、電極の金属本体とその表面に溶
射被膜された固体誘電体との熱膨張率の違い等によって、歪変形を来たすことがある。ま
た、上記溶射時等の製造段階で歪みが形成されている場合もあり得る。このような歪みが
あると、処理の均一性が損なわれてしまう。上掲特許文献１では、歪対策として長尺電極
の幅寸法を規定したり、電極端部に支持体を設けたり、電極背面にリブを設けたりしてい
るが、均一性向上のためには歪を確実に阻止することが求められる。また、歪が生じてい
る場合にこれを矯正できるようにすることも必要である。
【０００５】
出願人は、かかる歪阻止又は歪矯正のために、電極背部にこれを押し引き可能なボルト
を設けることを提案したが（特願２００３−３０４３７０）、このボルトが電源電極に螺
合等されている場合には、それと装置筐体との絶縁を確保する必要がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記問題点を解決するために、本発明は、電源に接続された第１電極と、この第１電極
と対向する第２電極とを備え、これら電極どうしの間に電界を印加するとともに処理ガス
を導入してプラズマ化し、被処理物のプラズマ処理を行なう装置において、前記第１、第
２電極が長尺状をなし、剛性金属製の筐体の内部に電極絶縁部材を介して収容されており
、各電極の他方の電極との対向側とは逆側の背部には、前記筐体に係着されて当該電極を
押し又は引き可能な金属製のボルト（ネジ部材）が設けられ、少なくとも第１電極に接合
されたボルトが、絶縁性のカラーに収容され、この絶縁カラーが、前記筐体に係着されて
いることを特徴とする。
【０００７】
この特徴構成によれば、電極背部のボルトによって、電極が歪むのを確実に阻止でき、
歪んでいる場合にはこれを矯正することができる。これによって、処理の均一性を向上さ
せることができる。更に、少なくとも第１電極と接合されたボルトに関しては、絶縁カラ
ーを介して筐体に係着することにより、歪阻止力又は歪矯正力を確実に発揮できるととも
に、筐体との絶縁を図ることができ、漏電を防止することができる。
【０００８】
ここで、「係着」とは、螺合や引掛等を言い、これにより、ボルト又はカラーと筐体と
の間で歪阻止又は歪矯正のための力を伝達可能になっている。
また、「接合」とは、ボルトが電極に螺合されている場合や電極に直接突き当たってい
る場合を言う。したがって、このとき、電極とボルトは、電気的に導通した状態になって
いる。第１電極に対応するボルトであっても、直接には電極絶縁部材等に突き当たり、こ
の電極絶縁部材等を介して第１電極を押し可能になっている場合には、絶縁カラーに収容
する必要はない。
【０００９】
絶縁カラーは、十分厚肉になっているのが望ましい。これによって、絶縁耐力を十分大
きくでき、かつ静電容量を十分小さくでき、ボルトから絶縁カラーを介して筐体に放電す
るのを防止することができる。ひいては、放電で絶縁カラーが焦げパーティクルが発生す
るのを防止でき、処理品質を確保できる。
【００１０】
前記筐体に前記絶縁カラーを収容するカラー収容孔が形成され、このカラー収容孔の内
周面とカラーの外周面との間に、絶縁のための空間が形成されていることが望ましい。こ
れによって、ボルトと筐体との間の放電をより確実に防止することができ、処理品質を一
層確実に確保できる。
【００１１】
前記絶縁カラーにおける前記ボルトのための収容孔が、絶縁性のキャップで塞がれてい
ることが望ましい。これによって、たとえボルトから放電が起きて絶縁カラーのボルト収
容孔の内周面が焦げたとしても、パーティクルがボルト収容孔から処理雰囲気中へ飛散し
ないようにすることができ、処理品質を確保することができる。
【００１２】
前記絶縁カラーに収容されたボルトの頭部が、丸みを帯び、かつ表面が滑らかになって
いることが望ましい。これによって、電界がボルト頭部の一箇所に集中するのを防止でき
、放電をより一層確実に防止することができる。
【００１３】
前記絶縁カラーに収容されたボルトは、例えば絶縁カラーを貫通し、電極にねじ込まれ
ている。これによって、ボルトのねじ込み操作によって、電極を他方の電極へ向けて押し
、又は他方の電極から離れる方向に引くことができ、ひいては電極の歪を矯正できる。ま
た、電極が他方の電極から遠ざかり、又は他方の電極へ接近するのを阻止でき、ひいては
歪を阻止することができる。
【００１４】
前記第２電極が、それに接合されたボルトを介して接地されていてもよい。これによっ
て、接地線の配線が容易になる。
前記第２電極に接合されたボルトが、導電性のカラーに収容されて該導電カラーと導通
し、この導電カラーが、前記筐体に係着されて該筐体と導通していてもよい。これにより
、第２電極に接合されたボルトを、導電カラーを介して筐体に係着できるだけでなく、前
記第２電極、ボルト、導電カラー、及び筐体を互いに導通させることができ、これらを１
本の共通接地線で接地することができ、配線を簡素化できる。この共通接地線は、筐体、
ボルト、導電カラーの何れかに接続されていればよい。「係着」及び「接合」の意は上述
した通りである。
【００１５】
本発明は、略常圧（大気圧近傍の圧力）の環境で行なう常圧プラズマ処理等に適用され
る。本発明における略常圧とは、１．０１３×１０4〜５０．６６３×１０4Ｐａの範囲を
言い、圧力調整の容易化や装置構成の簡便化を考慮すると、１．３３３×１０4〜１０．
６６４×１０4Ｐａが好ましく、９．３３１×１０4〜１０．３９７×１０4Ｐａがより好
ましい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、長尺電極の歪を阻止したり矯正したりすることができ、処理の均一性
を確保できる。加えて、少なくとも第１電極と接合されたボルトに関しては、絶縁カラー
を介して筐体に係着することにより歪阻止又は歪矯正を確実に行なうことができるだけで
なく、絶縁カラーによって筐体との絶縁を図ることができ、漏電を防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。
図１〜図３は、本発明の第１実施形態に係る常圧プラズマ処理装置Ｍ１を示したもので
ある。プラズマ処理装置Ｍ１は、ワーク搬送機構４と、この搬送機構４上に位置するよう
にして架台（図示せず）に支持されたプラズマノズルヘッド１と、このプラズマノズルヘ
ッド１に接続された処理ガス源２と、電源３（電界印加手段）を備えている。搬送機構４
は、例えばローラコンベア等によって構成され、この搬送機構４によって大面積のワーク
（被処理物）Ｗがプラズマノズルヘッド１の下側を左右に通され、成膜等のプラズマ表面
処理が行なわれる。勿論、ワークＷを固定する一方、プラズマノズルヘッド１が移動され
るようになっていてもよい。
【００１８】
電源３は、例えばパルス状の電圧を出力するようになっている。このパルスの立上がり
時間及び／又は立下り時間は、１０μｓ以下、電界強度は１０〜１０００ｋＶ／ｃｍ、周
波数は０．５ｋＨｚ以上であることが望ましい。パルス波に代えて、正弦波等の連続波を
用いてもよい。
【００１９】
処理ガス源２には、処理内容に応じた処理ガスが貯えられている。液相で貯え、適量ず
つ気化するようになっていてもよい。この処理ガス源２からの処理ガスが、ガス供給管２
ａを経てプラズマノズルヘッド１に導入され、プラズマ表面処理に供されるようになって
いる。なお、本装置Ｍ１によるプラズマ処理は、常圧下で行なわれるようになっている。
【００２０】
プラズマ処理装置Ｍ１のプラズマノズルヘッド１について詳述する。
ノズルヘッド１は、上側のガス整流部１０と、下側の放電処理部２０を備え、図１、図
２の紙面と直交する前後方向に長く延びている。
【００２１】
ガス整流部１０は、前後細長の容器状をなす本体１１を有し、この本体１１にパイプユ
ニット１２が収容されている。パイプユニット１２は、左右一対のパイプ１３，１３と、
これらを挟持する上下一対のパイプホルダ１４Ｕ，１４Ｌを有し、本体１１と同方向に延
びている。パイプユニット１２によって本体１１の内部が上下２つのチャンバー１１ａ，
１１ｂに仕切られている。
【００２２】
図３に示すように、処理ガス源２からのガス供給管２ａが二手に分岐し、一方のパイプ
１３の前端部と、他方のパイプの後端部にそれぞれ接続されている。これによって、処理
ガスは、２つのパイプ１３，１３内を互いに逆方向に流れる。各パイプ１３，１３の上側
部および上側パイプホルダ１４Ｕには、孔１１ｅが前後長手方向に延在されている。孔１
１ｅは、スポット状をなして前後に短間隔置きに多数設けられているが、スリット状をな
して前後に延びていてもよい。パイプ１３，１３内の処理ガスは、この孔１１ｅを通って
上側チャンバー１１ａへ漏れ出る。その後、図１及び図２に示すように、パイプユニット
２０の両脇のスリット状の隙間１１ｃを通って下側チャンバー１１ｂへ流れ込む。これに
よって、処理ガスを長手方向に均一化することができる。
【００２３】
プラズマノズルヘッド１の放電処理部２０について説明する。
図１〜図３に示すように、放電処理部２０は、筐体２１と、この筐体２１内に、電極絶
縁部材２４を介して収容された左右一対の第１、第２電極３１，３２とを有し、前後方向
に長く延びている。
【００２４】
筐体２１は、アッパープレート２２と、左右一対のサイドプレート２３を有している。
これらプレート２２，２３は、剛性金属にて構成されている。アッパープレート２２の縁
部にサイドプレート２３の上端部がボルト締めにて連結され、剛結合されている。これら
金属プレート２２，２３からなる筐体２１は、接地線３ｄを介して電気的に接地されてい
る。
アッパープレート２２の左右中央部には、チャンバー１１ｂに連なるスリット状の上段
導入路２２ａが前後に延びるようにして形成されている。
【００２５】
筐体２１の内部に、左右一対の電極絶縁部材２４が収容されている。各電極絶縁部材２
４は、ポリテトラフルオロエチレン等の絶縁樹脂によって断面逆Ｌ字状に形成され、アッ
パープレート２２の下面の左右半分とサイドプレート２３の内側面と添っている。２つの
電極絶縁部材２４の上側部どうし間に、アッパープレート２２の上段導入路２２ａに連な
る下段導入路２４ａが形成されている。
【００２６】
各電極３１，３２は、例えばステンレス等の導電性材料によって出来、断面四角形状を
なして前後方向へ直線状に長く延びている。各電極３１，３２の上面と背面（他方の電極
との対向側とは逆側の面）に、上記Ｌ字状の絶縁部材２４が宛てがわれている。これによ
って、電極３１，３２が筐体２１から絶縁されている。
【００２７】
左側の第１電極３１は、給電線３ａを介して電源３に接続され、電界印加電極となって
いる。右側の第２電極３２は、接地線３ｂを介して接地され、接地電極となっている。
【００２８】
各電極３１，３２の対向面と上面と下面には、サンドブラストが施されたうえでアルミ
ナ等からなる固体誘電体３３が溶射被膜されている。
なお、図２において、符号３０ｃは、電極温調用の冷媒路である（図３において省略）
。
【００２９】
一対の電極３１，３２どうしは、狭い間隔（例えば２ｍｍ）を置いて互いに平行に配さ
れている。これら電極３１，３２どうしの間に、前後方向へスリット状に延びる空間３０
ａが形成されている。電極間空間３０ａの上端部は、導入路２４ａに連なっている。これ
によって、ガス整流部１０からの処理ガスが、導入路２２ａ，２４ａを経て、電極間空間
３０ａに導入されるようになっている。そして、電源３から第１電極３１への電圧印加に
よって電極間空間３０ａ内にパルス電界が形成されてグロー放電が起き、これによって、
処理ガスがプラズマ化される。
【００３０】
放電処理部２０の底部（電極３１，３２と絶縁部材２４とプレート２３の下面）には、
板状の絶縁部材２５が設けられている。絶縁部材２５の下面には、金属板からなる放電遮
蔽部材２６が被せられている。これら部材２５，２６の左右中央部には、スリット状の吹
出し口２０ｂが前後方向に延びるようにして形成されている。これによって、電極間空間
３０ａでプラズマ化された処理ガスが、吹出し口２０ｂから下方へ吹出され、ワークＷに
当てられることにより、表面処理が行なわれる。
【００３１】
なお、底部の絶縁部材２５は、吹出し口２０ｂを形成する部分とその他の部分とが別部
材で構成されている。吹出し口２０ｂを形成する部材２５Ａは、その他の部分の部材２５
Ｂより耐プラズマ性の高い材料で構成されている。例えば、吹出し口形成部材２５Ａは、
石英ガラスにて構成され、他部材２５Ｂは、塩化ビニルで構成されている。一般に、石英
のような耐プラズマ性材料は、そうでない塩化ビニルなどと比べ高価である。したがって
、底部絶縁部材２５の全体を耐プラズマ性材料にするより材料コストが安くできる。
【００３２】
図１に示すように、放電遮蔽部材２６は、絶縁部材２５によって電極３１，３２から絶
縁されるとともに、接地線３ｃを介して接地されている。これによって、電極３１から下
側（ワークＷ側）への放電が防止されている。
【００３３】
本発明の最も特徴的な部分について説明する。
図１〜図３に示すように、プラズマノズルヘッド１０の各サイドプレート２３には、電
極３１，３２の歪阻止手段あるいは歪矯正手段として、押しボルト４０及び引きボルト５
０が、それぞれ前後方向に離間して複数設けられている。これらボルト４０，５０は、所
要強度を有する鋼材等の金属にて構成されている。
【００３４】
図２及び図３に示すように、サイドプレート２３には、ネジ孔２３ａが長手方向に離間
して複数設けられている。各ネジ孔２３ａに押しボルト４０が捩じ込まれている。押しボ
ルト４０の先端は、電極絶縁部材２４の背面の凹部２４ｃに突き当てられている。
【００３５】
図１及び図３に示すように、サイドプレート２３と電極絶縁部材２４には、収容孔２３
ｂ，２４ｂが、長手方向に離間して複数設けられている。これら収容孔２３ｂ、２４ｂに
絶縁カラー６０が収容されている。絶縁カラー６０は、ポリテトラフルオロエチレン等の
絶縁樹脂によって出来、軸線を左右水平方向へ向けた段付き筒状をなしている。絶縁カラ
ー６０の外端部には、フランジ６０ｆ（筐体への係着部）が設けられている。このフラン
ジ６０ｆが、サイドプレート２３の収容孔２３ｂの段差２３ｃに外側から引っ掛けられて
いる。
【００３６】
絶縁カラー６０には、その軸線に沿ってボルト収容孔６０ａが貫通形成されている。絶
縁カラー６０の肉厚（孔６０ａの内周面から絶縁カラー６０の外周面までの厚さ）は、絶
縁耐力が十分大きくなり静電容量が十分小さくなるように、十分な厚さになっている。ボ
ルト収容孔６０ａは、外端側が大径になり、奥端側が小径になっており、この大径孔部６
０ｂと小径孔部６０ｃとの間に段差６０ｄ（ボルトの引っ掛け部）が形成されている。
【００３７】
絶縁カラー６０のボルト収容孔６０ａに引きボルト５０が挿通されている。引きボルト
５０の頭部５１は、角部が丸みを帯びており、表面全体が滑らかになっている。引きボル
ト５０の頭部は、ボルト収容孔６０ａの大径孔部６０ｂに収容されるとともに段差６０ｄ
に引っ掛かっている。引きボルト５０の脚部は、ボルト収容孔６０ａの小径孔部６０ｃを
貫通し、対応電極３１，３２に形成されたネジ孔３０ｄにねじ込まれている。これによっ
て、左側の引きボルト５０は、第１電極３１と導通し、右側の引きボルト５０は、第２電
極３２と導通している。
【００３８】
上記構成の作用を説明する。
組み付け時等において、電極３１，３２が歪んでいる場合には、ボルト４０，５０のね
じ込み量を調節することによって、長尺電極３１，３２の歪みを矯正できる。すなわち、
押しボルト４０をねじ込むことにより、電極３１，３２における当該押しボルト４０に対
応する部分を絶縁部材２４を介して他方の電極へ向けて押すことができる。また、引きボ
ルト５０をねじ込むことにより、電極３１，３２における当該引きボルト５０に対応する
部分を他方の電極から遠ざかるように引き寄せることができる。これによって、電極３１
，３２を各々真っ直ぐにし、互いに平行になすようにして、電極間のプラズマ化空間３０
ａの厚さを長手方向に均一にすることができる。
【００３９】
なお、押しボルト４０は、ネジ孔２３ａへの螺合により筐体２１に直接係着され、電極
への押し力を発揮できるようになっている。
引きボルト５０は、絶縁カラー６０を介して筐体２１に定着されている。すなわち、そ
の頭部５１が絶縁カラー６０の段差６０ｄに引っ掛かり、絶縁カラー６０のフランジ６０
ｆがサイドプレート２３の段差２３ｃに引っ掛かっている。これにより、電極の引き寄せ
力を発揮できるようになっている。
【００４０】
プラズマ処理時においては、印加電界によって長尺電極３１，３２間にクーロン引力が
働いても、引きボルト５０が絶縁カラー６０を介してサイドプレート３３に係着されるこ
とによって、各電極３１，３２が他方の電極へ向けて引き動かされるのを阻止することが
できる。
【００４１】
各電極３１，３２の金属本体と固体誘電体層３３との間の熱膨張率の違いにより、他方
の電極に接近するように歪もうとしても、上記と同様に引きボルト５０によって、これを
阻止することができる。一方、前記熱膨張率の違いにより他方の電極から遠ざかるように
歪もうとした場合には、押しボルト４０が電極絶縁部材２４を介してその電極３１，３２
の背部に突き当てられることにより、この離間方向の歪みを阻止することができる。
【００４２】
これによって、長尺電極３１，３２を真っ直ぐの状態に維持でき、電極間のプラズマ化
空間３０ａの厚さを均一に維持することができる。この結果、プラズマ流を前後長手方向
に沿って確実に均一に吹出すことができ、ひいては、ワークＷの表面処理を確実に均一に
行なうことができる。
【００４３】
左側の第１電極３１にねじ込まれた引きボルト５０には、第１電極３１と同様の電圧が
印加される。したがって、該引きボルト５０と左サイドプレート２３との間に電位差が生
じる。一方、これら部材５０，２３間には絶縁材料からなるカラー６０が介在されている
ので、両部材５０，２３を絶縁することができる。絶縁カラー６０は、十分厚肉になり、
絶縁耐力が十分大きく静電容量が十分小さくなっているので、絶縁性を確実に確保するこ
とができ、引きボルト５０から絶縁カラー６０を介してサイドプレート２３に放電するの
を防止することができる。しかも、ボルト５０の頭部５１が、丸みを帯び、かつ滑面にな
っているので、電界の集中を防止でき、放電を一層確実に防止することができる。これに
よって、絶縁カラー６０が焦げて微細なパーティクルがヘッド１の周辺の雰囲気中へ飛散
するのを防止でき、ひいては処理品質を確保することができる。
【００４４】
次に、本発明の他の実施形態を説明する。以下の実施形態において、既述の実施形態と
同様の構成に関しては、図面に同一符号を付して説明を省略する。
図４は、本発明の第２実施形態を示したものである。この実施形態に係る常圧プラズマ
処理装置Ｍ２では、左側の第１電極３１に螺合された引きボルト５０のカラー６０は、第
１実施形態と同様に絶縁材料にて構成されているが、右側の第２電極３２に螺合された引
きボルト５０のカラー６０Ｘは、金属にて構成され、導電性を有している。
【００４５】
したがって、第２電極３２は、ボルト５０、導電カラー６０Ｘを介して金属筐体２１と
電気的に導通している。これによって、筐体２１から１本の接地線３ｄを出すことにより
、第２電極３２の接地を行なうことができる。したがって、第２電極専用の接地線３ｂが
不要となる。
なお、導電カラー６０Ｘの形状は、絶縁カラー６０と同様である。
【００４６】
また、第２実施形態では、電極の周りの絶縁部材が、第１実施形態の逆Ｌ字状部材２４
及び底部材２５Ｂに代えて、電極３１，３２の上面に宛がわれた平板状の絶縁部材２４Ｃ
と、電極３１，３２の背面および下面に宛がわれたＬ字状の絶縁部材２４Ｄで構成されて
いる。Ｌ字状絶縁部材２４Ｄの内端部に、吹出し口２０ｂを形成する石英ガラス製の耐プ
ラズマ部材２５Ａが設けられている。サイドプレート２３とＬ字状絶縁部材２４Ｄと耐プ
ラズマ部材２５Ａの下面は、互いに面一になっている。これら部材２３，２４Ｄ，２５Ａ
の下面に、金属板からなる放電遮蔽部材２６が被せられている。これによって、放電遮蔽
部材２６は、金属筐体２１と導通している。したがって、筐体２１を接地線３ｄで接地す
ることにより放電遮蔽部材２６をも接地することができ、放電遮蔽部材専用の接地線３ｃ
が不要となる。更には、第２電極３２と筐体２１と放電遮蔽部材２６を１本の共通接地線
３ｄで接地することができ、配線の容易化を図ることができる。
共通接地線３ｄは、筐体２１に代えて、導電カラー６０Ｘまたは放電遮蔽材２６または
右側の押しボルト４０（図４において図示せず）から引き出してもよい。
【００４７】
第２実施形態において、左側の絶縁カラー６０のボルト収容孔６０ａの外端開口は、キ
ャップ６１で塞がれている。キャップ６１は、絶縁材料にて構成されていればよく、カラ
ー本体６０と同じ絶縁材料であっても異なる絶縁材料であってもよい。キャップ６１は、
ボルト収容孔６０ａに着脱自在になっている。これによって、歪矯正やメンテナンス等の
際は、キャップ６１を取り外すことにより、ボルト５０を回すことができる。
【００４８】
更に、絶縁カラー６０の外周面と、左サイドプレート２３のカラー収容孔２３ｂの内周
面との間には、環状の絶縁空間２３ｄが形成されている。
【００４９】
なお、右側の導電カラー６０Ｘのボルト収容孔６０ａも、キャップ６１Ｘで塞がれてい
る。キャップ６１Ｘは、導電金属で構成されていてもよく、絶縁材料で構成されていても
よい。ただし、導電カラー６０Ｘとそれに収容されたボルト５０との間では放電が飛ぶお
それがないので、キャップ６１Ｘは無くてもよい。キャップ６１Ｘが無い場合には、カラ
ー６０Ｘ内のボルト５０から上記共通接地線３ｄを引き出してもよい。
【００５０】
また、導電カラー６０Ｘの外周面と右サイドプレート２３のカラー収容孔２３ｂの内周
面との間には、環状の空間２３ｅが形成されているが、絶縁の必要が無いので、この空間
２３ｅは無くてもよい。
なお、図４において、ガス整流部１０の詳細図示は省略してある。
【００５１】
第２実施形態によれば、左側の絶縁カラー６０とサイドプレート２３の間に空間２３ｄ
すなわち空気層を設けることによって、絶縁耐力を高めることができる。これによって、
パーティクルの発生を一層確実に防止でき、処理品質を一層確実に確保することができる
。
【００５２】
たとえ放電が起きて絶縁カラー６０のボルト収容孔６０ａの内周面が焦げたとしても、
当該収容孔６０ａの外端開口がキャップ６１で塞がれているので、焦げによるパーティク
ルが雰囲気中に混入することはない。したがって、処理品質が損なわれることはない。
【００５３】
本発明は、上記実施形態に限定されず、種々の改変が可能である。
例えば、第２電極用の引きボルトは、カラーに収容しなくてもよく、頭部が筐体に直接
係着されていてもよい。
押しボルトが、電極に直接突き当たって押すようになっていてもよい。この場合、少な
くとも第１電極に対応する押しボルトについては絶縁カラーに収容し、筐体と絶縁する。
この絶縁カラーのボルト収容孔の内周面には、押しボルトを螺合する雌ネジを設ける。ま
た、絶縁カラーが筐体に内側から引っ掛かるようにする。
本発明は、常圧下だけでなく、減圧下でのプラズマ処理にも適用でき、グロー放電だけ
でなく、コロナ放電や沿面放電によるプラズマ処理にも適用でき、成膜だけでなく、エッ
チング、洗浄、表面改質、アッシング等の種々のプラズマ処理に遍く適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の第１実施形態に係る常圧プラズマ処理装置を、図３のI−I線に沿って示す正面断面図である。
【図２】上記常圧プラズマ処理装置を、図３のII−II線に沿って示す正面断面図である。
【図３】図１のIII−III線に沿う上記常圧プラズマ処理装置の側面断面図である。
【図４】本発明の第２実施形態に係る常圧プラズマ処理装置の正面断面図である。
【符号の説明】
【００５５】
Ｗ  ワーク（被処理物）
Ｍ１，Ｍ２  常圧プラズマ処理装置
３  電源（電界印加手段）
２１  筐体
２３ｂ  カラー収容孔
２３ｄ  絶縁空間
２４，２４Ｃ，２４Ｄ，２５  電極絶縁部材
３１  第１電極
３２  第２電極
４０  押しボルト
５０  引きボルト
５１  頭部
６０  絶縁カラー
６０ａ  ボルト収容孔
６０ｄ  段差（ボルト頭部の引っ掛け部）
６０ｆ  フランジ（筐体への係着部）
６０Ｘ  導電カラー
６１  キャップ
【図１】
2005243294.tif 000003
【図２】
2005243294.tif 000004
【図３】
2005243294.tif 000005
【図４】
2005243294.tif 000006