(57)【要約】【課題】  レーザ出力指令を補正するパワー補正係数計測値の信頼性向上。【解決手段】  電源の投入後、発振器の放電が始まる直前に、暖機運転回数（指標値）を初期値０にし［Ｓ１］、温度測定手段で発振器の所定個所の温度を測定して、所定温度に達しているか判定する［Ｓ２、Ｓ３］。イエスであれば通常の発振器立上げ処理を実行し、その中でパワー補正係数の計算／更新を行い、シーケンス終了する［Ｓ１０〜Ｓ１６］。ノ−であれば、暖機運転回数をチェックし［Ｓ４］、所定回数の制限内で、所定温度が得られるまで暖機運転を実行する［Ｓ２０〜Ｓ２６］。所定回数を越えた場合は、［Ｓ３０］に進みアラームを表示して発振器の運転を停止する［Ｓ３１］。パワー補正係数を求める時の内部放電を暖機運転に利用することもできる。【選択図】        図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ発振器と、前記レーザ発振器より出力されるレーザ光出力を制御するためのレーザ出力指令値を出力する制御手段を有し、レーザ光による加工、照明、化学反応、及び発電の内の何れかを行うレーザ応用装置と、前記レーザ発振器あるいはレーザ応用装置の所定箇所の温度を測定する温度測定手段と、前記レーザ出力指令値を補正するための補正係数を定める補正係数決定手段とを含むレーザ装置において、
前記レーザ発振器の始動時あるいは運転中に前記温度測定手段によって測定した温度が所定の温度範囲外にある場合には、所定の時間、前記レーザ応用装置の稼動を休止し、稼動準備状態を継続させるとともに、
前記温度測定手段によって測定した温度が所定の温度範囲内となった場合には、前記補正係数決定手段により、補正係数を決定することを特徴とするレーザ装置。
【請求項２】
前記レーザ発振器およびレーザ応用装置の所定箇所の温度を、冷却水の水温とする、請求項１に記載のレーザ装置。
【請求項３】
前記レーザ発振器およびレーザ応用装置の所定箇所の温度を、レーザ発振器内の共振器部の部品の温度とする、請求項１に記載のレーザ装置。
【請求項４】
前記レーザ発振器およびレーザ応用装置の所定箇所の温度を、レーザ発振器内部の気温とする、請求項１に記載のレーザ装置。
【請求項５】
前記レーザ応用装置の稼動準備状態中、前記のレーザ発振器の運転を停止させないことを特徴とする、請求項１に記載のレーザ装置。
【請求項６】
前記レーザ応用装置の稼動準備状態中、前記のレーザ発振器もしくはレーザ応用装置の表示器に警告メッセージを表示させる手段を有することを特徴とする、請求項１に記載のレーザ装置。
【請求項７】
前記レーザ応用装置の稼動準備状態中、前記温度測定値が所定の温度より低い場合には、前記レーザ発振器の暖機運転を行う手段を有することを特徴とする、請求項１に記載のレーザ装置。
【請求項８】
前記レーザ発振器の所定時間の暖機運転もしくは、所定回数の暖機運転サイクルを実施しても、前記温度測定値が所定の温度に達しない場合に、アラームとして発振器の運転を停止する、あるいは警告メッセージを表示する手段を有する、請求項７に記載のレーザ装置。
【請求項９】
前記レーザ発振器の暖機運転として、レーザ出力指令値を前記レーザ発振器に所定時間指令することによって、所定出力かつ所定時間のレーザ発振を行わせる手段を有することを特徴とする、請求項７に記載のレーザ装置。
【請求項１０】
前記補正係数決定手段は、レーザ発振器のレーザ出力を測定する手段を有し、
暖機運転として、レーザ出力指令値を前記レーザ発振器に所定時間指令することにより、所定出力かつ所定時間のレーザ発振を行わせ、前記測定温度が所定の温度に達したら、前記レーザ出力の測定値と出力指令との比率の計算を行いレーザ発振器の始動動作を完了する手段を有することを特徴とする、請求項７に記載のレーザ装置。
【請求項１１】
前記レーザ出力の測定値と出力指令から求めた、前記比率をもとに、レーザ出力値が指令値に等しくなるように出力指令の補正を行う手段を有する、請求項１〜１０のうちいずれか１項に記載のレーザ装置。
【請求項１２】
前記レーザ応用装置の稼動準備状態中、前記温度測定値が所定の温度より高い場合には、前記レーザ発振器の冷却運転を行う手段を有することを特徴とする、請求項１に記載のレーザ装置。
【請求項１３】
前記レーザ発振器の所定時間の冷却運転もしくは、所定回数の冷却運転サイクルを実施しても、前記温度測定値が所定の温度以下に下がらない場合には、アラーム状態にして発振器の運転を停止する手段、あるいは警告メッセージを表示する手段を有する、請求項１２に記載のレーザ装置。
【請求項１４】
前記レーザ発振器の冷却運転によって、前記測定温度が所定の温度以下に下がった後、アラームとして発振器の運転を停止する手段、あるいは警告メッセージを表示する手段を有する、請求項１２に記載のレーザ装置。
【請求項１５】
前記レーザ発振器の冷却運転として、レーザ発振のみを停止し、前記レーザ発振器の運転は継続する手段を有することを特徴とする、請求項１２に記載のレーザ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ光を用いて加工、照明、化学反応、発電等を行なうために使用されるレーザ装置に関し、特に、同装置においてレーザ出力の補正を行なう技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
周知の通り、レーザ光を出力するレーザ装置は、加工や照明の他、化学反応、発電等の用途でも用いられている。このような用途で使用されるレーザ装置においては、レーザ光出力を補正する技術が必要とされることが多い。例えば、レーザ加工機では、加工性能を維持するために出力パワーを正確に制御する必要があり、そのために出力を制御する指令値に補正をかけてレーザ装置を駆動することが行なわれている。このような補正を必要とする要因の代表的なものとして、共振器に使用されているミラーの姿勢の変化や汚染による経年変化があり、このような経年変化の影響を補償するために、実際に加工を行う際に、指令値に補正をかけて、実出力を調整している。
【０００３】
そして、指令値に補正をかける方法の一つに、発振器の立上げ時に、既知の基準指令値とその実出力計測値の比を演算し、それに基づいて係数（以下、パワー補正係数あるいは単に補正係数という）を求め、この補正係数を指令値に乗じてレーザ出力を補正する方法がある（下記特許文献１を参照）。この方法には、高価な出力モニタ用の検出器を必要とせず、簡単に正確なレーザ出力を得ることができるという利点がある。
【０００４】
【特許文献１】特開昭６４−１８２８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、この方法には発振器立ち上げ時の出力の不安定さに関連して次のような問題がある。即ち、実際に信頼性のある補正係数を定めるためには、発振器が安定状態に移行するまで所定時間の発振をさせてから、計測を行い補正係数を求めることが要求されている。そこで、発振器をなるべく早く安定状態とするために、発振器に供給される冷却水の水温管理が行なわれているのであるが、実際には、発振器の立ち上げ時には水温管理が不十分な冷却水が供給されることが避けられず、結局、補正係数の計測値に高い信頼性が得られないことが多い。
【０００６】
言い換えれば、経年変化分に温度依存分を含めた状態で補正係数の計測が行われるため、水温が所定の温度に到達するころには、レーザ発振器の出力が増大して、正しく補正されたレーザ出力が得られなくなるおそれがあった。本発明はこのような問題を解決しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、この問題点を解決するために、発振器の出力に影響する部分の温度を検出する手段によって温度を計測し、温度が所定値に達するまで内部放電を繰返し、温度が適正値に達したところで、補正係数を測定して、正確なレーザ出力が得られるようにしたレーザ加工装置を提供するものである。本発明によれば、発振器の立上げ時に、発振器の所定個所の温度が測定され、適正温度に達していたら、既知のレーザ出力基準指令値とその実出力計測値の比を演算し、補正係数を求める。
【０００８】
また、適正温度に達していない場合は所定の出力で所定時間内部放電を行い、一旦放電開始前の状態に戻し、再度適正温度に達しているかどうか測定する。以下適正温度になるまでこの動作を繰返すことで、適正温度に到達させる。但し、上記の動作を所定回数（制限回数）繰返しても適正温度に達しない場合には、アラームとして発振器を停止させることもできる。
【０００９】
より具体的に言えば、本発明は、レーザ発振器と、前記レーザ発振器より出力されるレーザ光出力を制御するためのレーザ出力指令値を出力する制御手段を有し、レーザ光による加工、照明、化学反応、及び発電の内の何れかを行うレーザ応用装置と、前記レーザ発振器あるいはレーザ応用装置の所定箇所の温度を測定する温度測定手段と、前記レーザ出力指令値を補正するための補正係数を定める補正係数決定手段とを含むレーザ装置に適用される。
【００１０】
本発明の基本的な特徴に従えば、前記レーザ発振器の始動時あるいは運転中に前記温度測定手段によって測定した温度が所定の温度範囲外にある場合には、所定の時間、前記レーザ応用装置の稼動を休止し、稼動準備状態を継続させるとともに、前記温度測定手段によって測定した温度が所定の温度範囲内となった場合には、前記補正係数決定手段により、補正係数を決定する。
【００１１】
ここで、前記レーザ発振器およびレーザ応用装置の所定箇所の温度として、冷却水の水温、レーザ発振器内の共振器部の部品の温度、レーザ発振器内部の気温などがある。  
前記レーザ応用装置の稼動準備状態中、前記のレーザ発振器の運転を停止させないようにすることができる。また、同稼動準備状態中、前記のレーザ発振器もしくはレーザ応用装置の表示器に警告メッセージ（ワーニング）を表示させる手段を設けても良いし、前記温度測定値が所定の温度より低い場合には、前記レーザ発振器の暖機運転を行っても良い。
【００１２】
更に、前記レーザ発振器の所定時間の暖機運転もしくは、所定回数の暖機運転サイクルを実施しても、前記温度測定値が所定の温度に達しない場合に、アラームとして発振器の運転を停止する、あるいは警告メッセージを表示するようにしても良い。  
前記レーザ発振器の暖機運転を行なうために、レーザ出力指令値を前記レーザ発振器に所定時間指令することによって、所定出力かつ所定時間のレーザ発振を行わせる手段を設けることができる。また、前記補正係数決定手段として、レーザ発振器のレーザ出力を測定する手段を有するものを用い、暖機運転として、レーザ出力指令値を前記レーザ発振器に所定時間指令することにより、所定出力かつ所定時間のレーザ発振を行わせ、前記測定温度が所定の温度に達したら、前記レーザ出力の測定値と出力指令との比率の計算を行いレーザ発振器の始動動作を完了するようにすることもできる。そして、上記いずれのケースにおいても、出力指令を、前記レーザ出力の測定値と出力指令から求めた、前記比率をもとに、レーザ出力値が指令値に等しくなるように補正することができる。
【００１３】
また、前記レーザ応用装置の稼動準備状態中、前記温度測定値が所定の温度より高い場合には、前記レーザ発振器の冷却運転を行うようにすることができる。ここで、前記レーザ発振器の所定時間の冷却運転もしくは、所定回数の冷却運転サイクルを実施しても、前記温度測定値が所定の温度以下に下がらない場合には、アラーム状態にして発振器の運転を停止するか、あるいは、警告メッセージを表示することが好ましい。更に、前記レーザ発振器の冷却運転によって、前記測定温度が所定の温度以下に下がった後、アラームとして発振器の運転を停止する手段、あるいは警告メッセージを表示する手段を設けても良い。なお、前記レーザ発振器の冷却運転として、レーザ発振のみを停止し、前記レーザ発振器の運転は継続する手段を有することもできる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、発振器立上げ時に発振器が定常状態になっていない場合には暖機運転を自動的に実行し、発振器を定常状態にすることでレーザ発振器立上げ完了直後から安定したレーザ出力を得ることができる。また、なんらかの異常により、所定の制限条件で決まる期間内に安定したレーザ出力を得るに至らなかった場合には、アラームを出して発振器を停止させ、不正確な補正係数の下での運転を回避することもできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。先ず図１には、本発明の実施形態で採用される構成の概要がブロック図で示されている。図１において、符号１０はレーザ発振器の制御を含めてレーザ応用装置全体の制御を行なう制御装置を表わし、ここではレーザ加工機を制御するための数値制御装置（ＣＮＣ）が例示されている。もしも、レーザ応用装置が、レーザ光により照明、化学反応あるいは発電を行なうものである場合には、それぞれ照明装置、化学反応装置、発電装置用の制御装置が採用されるが、以下に説明するレーザ発振器の制御に関連する部分の構成と機能は基本的に同様とすることができる。
【００１６】
数値制御装置１０の内部構成としては、ここでは特に本発明を適用してレーザ発振器の制御を行なう態様に関連する部分が示されている。レーザ発振器の本体部３０の構成は周知のもので、一例を図２に示した。同図において、符号１は放電励起用の電源で、放電管（レーザ管）２の電極（図示省略）にラジオ周波数領域の高周波電圧を印加する。なお、このような高周波電圧を生成するためには、通常、３相交流を一旦整流して直流出力とし、これをインバータで高周波電圧に変える方式が採用される。
【００１７】
放電管２は、光共振器を構成するリア鏡３及び出力鏡４の間に配置される。両ミラー３、４は、それぞれ保持機構（図示省略）によって保持されている。放電管２は、図示されているように、熱交換器５、７及びブロワ６を含む循環路中に組み込まれ、この循環路を使って媒質ガス（レーザガス）８が高速で流される。
【００１８】
放電励起電源１が起動されて放電が発生し、媒質ガス８が励起されると、光共振器内でレーザ光が発生する。媒質ガス８は放電によって高温となるが、ブロワ６の手前の熱交換器５で冷却されてブロワ６に吸引される。ブロワ６は媒質ガス８を圧力をかけて吐出側へ送り出す。この過程で圧縮による昇温が起るが、これをブロワ６の吐出側の熱交換器７で再度冷却し、媒質ガス８の昇温を抑制する。ブロワ６から送り出された媒質ガス８は、交換器７を通過後、放電管２に還流する。
【００１９】
ブロワ６の動作は、数値制御装置１０内に設けられたレーザ立上げ／立下げ手段１８によって制御される。ブロワには、周知の媒質ガス流の送り出し圧力調節機構（図示省略）が装備され、レーザ立上げ／立下げ手段１８はブロワ６の起動／停止の他、この送り出し圧力調節機構の制御を行えるようになっている（後述するガス圧上昇指令／ガス圧下降指令の関連説明を参照）。
【００２０】
出力鏡４から出力されたレーザ光の一部は半透鏡９を通してレーザ出力測定手段（パワー検出器）３３に入力され、レーザ出力のパワーが測定される。測定結果を表わす信号は、図２に示すように、数値制御装置１０内のアンプ１７ａによる増幅、ＡＤ変換器１７によるＡＤ変換を経て補正手段１１に入力される。補正手段の機能については後述する。
【００２１】
熱交換器５、７は周知のものでその詳細構造は省略したが、ここでは冷却水を流す細管を多数配したものを使用している。冷却水は図示を省略した冷却水供給源から一定温度のものが供給されるようになっている。また、共振器の環境温度を測定するための適所には、温度測定手段（温度センサ）３４が配備される。ここで、「適所」としては、ブロワ６の手前の熱交換器５の中を流れる冷却水の水流中または流管上（符号３４ａで描示）、あるいは共振器の部品上（例えば出力ミラー４の一部；符号３４ｂで描示）、共振器内部のレーザガス流中（符号３４ｃで描示）などが考えられる。
【００２２】
そこで測定された冷却水、共振器の部品、レーザガスなどの温度を表わす信号は、図２に示したように、アンプ１６ａによる増幅、ＡＤ変換器１６によるＡＤ変換を経てレーザ立上げ／立下げ手段１８に送られる。レーザ立上げ／立下げ手段１８は、温度測定手段３４で計測された温度が所定値になるまで、所定のシーケンス（後述）に従ってレーザ発振器の暖機運転を行なう。
【００２３】
放電管２を駆動する電源１の単位時間当りの電力供給量は、数値制御装置１０内に設けられた指令制御手段１４の出力（デジタル指令値）をＤＡ変換器１５で変換したアナログ指令値に従って行なわれる。但し、前述したように、共振器で使用されているミラー３、４の姿勢の変化や汚染による経年変化等の要因で、指令制御手段１４が出力する指令値と実際に得られるレーザ出力値の関係に変化が起る。そこで、この変化を補償するために、指令制御手段１４の出力値に補正係数を乗じ、それをＤＡ変換して電源１を制御する。
【００２４】
符号１１は補正係数を計算する補正手段で、計算結果を記憶する内部メモリを含んでいる。補正係数は、予め設定されているレーザ出力基準指令値とそのときの実出力計測値の比から、補正係数を計算する補正手段である。実出力計測値（レーザ出力のパワー）は、符号３３で示した出力測定手段で測定され、アンプ１７ａによる増幅、ＡＤ変換器１７によるＡＤ変換を経て補正手段１に入力される。補正係数の計算タイミングについては後述するが、補正係数が計算される毎にその記憶値が更新される。
【００２５】
符号１２はタイマーで、補正係数の計算タイミング決定等に必要な時間を補正手段に通知する。また、符号１３は指令値記憶手段で、レーザ加工のためのレーザ出力指令値が記憶されている。レーザ出力指令値は通常何通りか記憶されており、いずれを採用するかは例えば加工プログラムで指定される。レーザ加工の実行時には、指令制御手段１４が補正手段１１に記憶されている補正係数を読み出し、これを指令値記憶手段１３からのレーザ出力指令値（例えば加工プログラムによる指定値）に乗じ、ＤＡ変換器１５を介して電源１に出力する。既述の通り、電源１は与えられた指令値に従って放電管２に電力供給を行い、それに応じたレーザ光が出力される。
【００２６】
符号２１、２２は周知の態様で数値制御装置１０に付設された表示器とキーボードであり、レーザ加工機の指令値、各種データ、パラメータなどの入力に使用される。表示器２１はＣＲＴ、液晶などを利用したもので、加工ヘッド（またはワークテイブル）の位置、移動速度、レーザ出力状態、加工条件などの表示の他、後述するアラーム時等のメッセージ表示にも使用される。キーボード２２は、レーザ加工機の指令値（指令値記憶手段１３に記憶される指令値）の他、各種データ、パラメータなどの入力に使用される他、レーザ加工機の電源ＯＮ／ＯＦＦ、加工プログラムを指定しての加工開始、強制停止等の諸操作、加工プログラム編集等にも利用される。
【００２７】
さて、電源１のＯＮ後、温度測定手段３４で計測された温度が所定値になるまでは、上記したように、レーザ立上げ／立下げ手段１８により、レーザ発振器の暖機運転が行われるが、この暖機運転を含むシーケンスの一例を図３のフローチャートに示した。各ステップの要点は下記の通りである。このシーケンスは、電源１の投入後、発振器の放電が始まる直前にスタートさせる。なお、以下に説明する諸シーケンスを実行するための各要素の制御は数値制御装置１０のＣＰＵ（図示省略）によって行い、そのためのプログラム、パラメータは数値制御装置１０のメモリ（図示省略）に設定されているものとする。以下、各ステップの要点を説明する。
【００２８】
［Ｓ１］；温度測定手段３４により発振器の所定個所の温度を測定する。  
［Ｓ２］；測定温度が所定温度に達しているか判定し、所定値に達している場合は［Ｓ１０］に進み通常の発振器立上げ処理を実行し終了する。所定温度に達していない場合には［Ｓ２０］に進み暖機運転処理を実行する。なお、所定温度としては、レーザ加工機（レーザ応用装置）が安定して動作するに適した温度が「温度範囲」（例えば温度Ｔ0 −δＴ〜Ｔ0 ＋δＴ；δＴは許容される上下温度幅）で予め設定される。
【００２９】
先ず、通常の発振器立上げ処理のシーケンス［Ｓ１０］〜［Ｓ１６］は次のようになる。  
［Ｓ１０］；［Ｓ２］で測定温度が所定温度に達している場合レーザ立上げ、立下げ手段１８により放電を開始する。  
［Ｓ１１］；放電開始したら、レーザガス圧を放電開始時の圧力から発振中の圧力に上昇させる（ブロワ６のガス送り出し圧力を上昇させる）。
【００３０】
［Ｓ１２］；レーザガス圧が発振中の圧力に到達したら放電電圧をベース放電中の電圧にセットする。  
［Ｓ１３］；補正係数を計算するために予め設定されているレーザ出力基準指令値を指令制御手段１４から出力し、内部放電させる。
【００３１】
［Ｓ１４］；内部放電したまま所定時間待つ。なお、この所定時間は数値制御装置１０の内部メモリに予め設定されており、また、所定時間の計測にはタイマー１２が利用される。即ち、レーザ出力基準指令値が指令制御手段１４から出力された時点でタイマー１２が計時を開始し、数値制御装置１０の内部メモリから読み出した所定時間の計時が終わったら待機状態を解き、［Ｓ１５］へ進む。  
［Ｓ１５］；パワー補正係数を計算し、それまでに記憶されていたパワー補正係数の値を更新する。なお、稼働開始時点において設定されているパワー補正係数の初期値は“１”である。
【００３２】
［Ｓ１６］；出力指令値を“０”にして立ち上がり時の処理を終了する。
【００３３】
以後、次回のパワー補正係数の計算／更新が行なわれるまで、上記［Ｓ１５］で更新されたパワー補正係数が加工時のレーザ出力指令値の補正に適用される。次に、上記［Ｓ２］で、測定温度が所定値に達していない場合に実行されるシーケンス［Ｓ２０］〜［Ｓ２６］は下記の通りである。  
［Ｓ２０］；レーザ立上げ／立下げ手段１８により放電を開始する。  
［Ｓ２１］；放電開始したら、レーザガス圧を放電開始時の圧力から発振中の圧力に上昇させる（ブロワ６のガス送り出し圧力を上昇させる）。  
［Ｓ２２］；レーザガス圧が発振中の圧力に到達したら放電電圧をベース放電中の電圧にセットする。
【００３４】
［Ｓ２３］；レーザ出力を暖機運転の出力で指令し内部放電を開始する。  
［Ｓ２４］；内部放電したまま所定時間待つ。なお、この所定時間は数値制御装置１０の内部メモリに予め設定されており、また、所定時間の計測にはタイマー１２が利用される。即ち、レーザ出力基準指令値が指令制御手段１４から出力された時点でタイマー１２が計時を開始し、数値制御装置１０の内部メモリから読み出した所定時間の計時が終わったら待機状態を解き、［Ｓ２５］へ進む。
【００３５】
［Ｓ２５］；内部放電を停止する。  
［Ｓ２６］；レーザガス圧を発振中の圧力から放電開始時の圧力に下げ（ブロワ６のガス送り出し圧力を低下）、［Ｓ１］に戻り再度温度測定を行い、所定の温度に達していない場合は［Ｓ２０］〜［Ｓ２６］の動作を繰返す。
【００３６】
システムのどこかに異常がない限り、何回（例えば１０回以内）かの暖機運転を繰り返す内に温度が上昇し、上記シーケンスの流れは［Ｓ２］から［Ｓ１０］以下へ進み、処理を終了することができる。しかし、システムのどこかに異常があれば、暖機運転の必要回数が異常に上昇したり、場合によっては何回繰り返しても所定温度まで上昇しないこと、あるいは、逆に高温側にずれることなどが有り得る。図４は、そのような場合に備えたシーケンスの概要を示したフローチャートで、各ステップの要点は下記の通りである。
【００３７】
［Ｓ１］；暖機運転回数（指標値）を初期値０にする。  
［Ｓ２］；温度測定手段３４で発振器の所定個所の温度を測定する。  
［Ｓ３］；測定温度が所定温度に達しているか判定し、所定値に達している場合は［Ｓ１０］に進み通常の発振器立上げ処理を実行し終了する。所定値に達していない場合には［Ｓ４］に進む。なお、所定温度の決め方は既述の通りである。  ［Ｓ４］；暖機運転回数が予め設定した所定回数（制限回数）を越えていない場合は［Ｓ２０］に進み、暖機運転を実行する。所定回数を越えている場合は［Ｓ３０］に進みアラームを表示して発振器の運転を停止する。なお、所定回数（制限回数）は、システムの異常を発見するに適した適値に設定する（例えば５回程度）。
【００３８】
先ず、通常の発振器立上げ処理のシーケンス［Ｓ１０］〜［Ｓ１６］は、前述したものと同様で、次のようになる。  
［Ｓ１０］；レーザ立上げ立下げ手段１８により放電を開始する。  
［Ｓ１１］；放電開始したら、レーザガス圧を放電開始時の圧力から発振中の圧力に上昇させる。なお、レーザガス圧の調整の仕方は既述の通りである（以下、同様）。  
［Ｓ１２］；レーザガス圧が発振中の圧力に到達したら放電電圧をベース放電中の電圧にセットする。  
［Ｓ１３］；レーザ出力をパワー補正係数を計算するための出力で指令し内部放電する。  
［Ｓ１４］；内部放電したまま所定時間待機する。所定時間の待機には、既述の通り、タイマー１２を利用する（以下、同様）。  
［Ｓ１５］；パワー補正係数を計算し、更新する。なお、稼働開始時点において設定されているパワー補正係数の初期値は“１”である。  
［Ｓ１６］；出力指令を“０”にしてシーケンスを終了する。
【００３９】
次に、上記［Ｓ２］で、測定温度が所定値に達していない場合に実行されるシーケンス［Ｓ２０］〜［Ｓ２７］、及び、アラームへ進む場合のシーケンス［Ｓ３０］〜［Ｓ３１］は下記の通りである。  
［Ｓ２０］；レーザ立上げ／立下げ手段１８により放電を開始する。  
［Ｓ２１］；放電開始したら、レーザガス圧を放電開始時の圧力から発振中の圧力に上昇させる。  
［Ｓ２２］；レーザガス圧が発振中の圧力に到達したら放電電圧をベース放電中の電圧にセットする。  
［Ｓ２３］；レーザ出力を暖機運転の出力で指令し内部放電を開始する。  
［Ｓ２４］；内部放電したまま所定時間待機する。
【００４０】
［Ｓ２５］；所定時間経過したら内部放電を停止する。  
［Ｓ２６］；レーザガス圧を発振中の圧力から放電開始時の圧力に下げる。  
［Ｓ２７］；暖機運転回数（指標）に“１”を加算する。以下［Ｓ２］に戻り温度測定を行い、所定の温度（所定温度範囲）に達していない場合は［Ｓ２０］〜［Ｓ２６］の動作を繰返す。但し、［Ｓ４］で繰り返し回数が所定値を越えたら［Ｓ３０］へ進む。  
［Ｓ３０］；暖機運転を所定回数実行しても温度が適正範囲にならないことをアラーム表示する。アラーム表示には例えば表示器２１を利用する。
【００４１】
［Ｓ３１］；発振器を停止処理してシーケンスを終了する。
さて、図３、図４の各フローチャートを参照して説明した各シーケンスにおいては、パワー補正計数の計算／更新と暖機運転は別の流れの中で行なわれているが、パワー補正係数を求める時の内部放電を暖機運転に利用することも可能である。その際のシーケンスの概要を図５のフローチャートに示した。各ステップの要点は次の通りである。なお、このシーケンスは、電源投入後、発振器の放電開始する直前にスタートさせる。
【００４２】
［Ｓ１０］；レーザ立上げ／立下げ手段１８により放電を開始する。  
［Ｓ１１］；放電開始したら、レーザガス圧を放電開始時の圧力から発振中の圧力に上昇させる。  
［Ｓ１２］；レーザガス圧が発振中の圧力に到達したら放電電圧をベース放電中の電圧にセットする。
【００４３】
［Ｓ１３］；レーザ出力をパワー補正係数を計算するための出力で指令し内部放電する。  
［Ｓ１４］；内部放電したまま温度を計測する。  
［Ｓ１５］；所定温度に達したかどうか判定し、達している場合は［Ｓ１６］に進みレーザ立上げ処理を実行する。達していない場合は再度温度計測するよう［Ｓ１４］に戻る。  
［Ｓ１６］；所定温度に達していたら、そのまま所定時間待つ。  
［Ｓ１５］；所定時間終了後パワー補正係数を計算し、それまでに記憶されていたパワー補正係数の値を更新する。なお、稼働開始時点において設定されているパワー補正係数の初期値は“１”である。  
［Ｓ１６］；出力指令を“０”にして、シーケンスを終了する。
【００４４】
以上、ここでは主として、レーザ応用装置はレーザ光を用いて加工を行うレーザ加工装置であるケースについて説明を行なったが、照明、化学反応、及び発電等を行なうレーザ応用装置に関しても、上記実施形態で説明した手法が同様の態様で適用し得ることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の実施形態で採用される構成の概要を示したブロック図である。
【図２】レーザ発振器の本体部の構成例を示した図である。
【図３】本発明の実施形態における、暖機運転を含むシーケンスについて説明するフローチャートである。
【図４】本発明の実施形態において、所定回数暖機運転サイクルを繰返しても温度が適正範囲にならない時アラームとする場合の処理について示したフローチャートである。
【図５】本発明の実施形態において、パワー補正係数を求める時の内部放電を暖機運転に利用するケースについて説明するフローチャートである。
【符号の説明】
【００４６】
１  電源
２  放電管（レーザ管）
３  リア鏡
４  出力鏡
５、７  熱交換器
６  ブロワ
８  レーザガス（媒質ガス）
９  半透鏡
１０  数値制御装置
１１  補正手段
１２  タイマー
１３  指令値記憶手段
１４  指令制御手段
１５  ＤＡ変換器
１６  ＡＤ変換器
１６ａ、１７ａ  アンプ
１８  レーザ立上げ／立下げ手段
２１  表示器
２２  キーボード
３０  レーザ発振器本体部
３３  レーザ出力測定手段（パワー検出器）
３４  温度測定手段（温度センサ）
３４ａ〜３４ｃ  温度測定箇所
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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