(57)【要約】【課題】  可動子に接続される除電用ケーブルの自由度を高め、装置全体の組立て性を向上させることを可能とする静電吸引駆動装置を提供する。【解決手段】  可動子３０とグランド電位Ｇとの間に、除電用ケーブル５０およびトランジスタ６０などで構成される除電手段が設けられている。前記可動子３０は導電体または低抵抗体で形成されているため、除電用ケーブルを可動子３０の任意の位置に接続することが可能となる。このため、可動子３０の動きを拘束することなく、除電用ケーブル５０を配線するための自由度を高めることができ、装置全体の組立て性を向上させることが可能となる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定子側電極が設けられた固定子と、可動子側電極を有するとともに前記固定子に対向しながら移動方向に移動可能に支持された可動子と、前記固定子側電極に所定の電圧信号を与える信号源とを備え、前記可動子が前記固定子側電極と前記可動子側電極との対向部分に発生する静電吸引力によって移動させられる静電吸引駆動装置において、
前記可動子が、導電体または低抵抗体で形成されていることを特徴とする静電吸引駆動装置。
【請求項２】
前記可動子が、低抵抗のシリコンで形成されている請求項１記載の静電吸引駆動装置。
【請求項３】
前記可動子側電極および可動子の全体が、導電性樹脂に低抵抗材料を混錬させた樹脂から形成されている請求項１記載の静電吸引駆動装置。
【請求項４】
前記可動子の抵抗値が、１Ω以上１ｋΩ以下の範囲で形成されている請求項１ないし３のいずれか記載の静電吸引駆動装置。
【請求項５】
前記可動子側電極および固定子側電極が、前記可動子または固定子の一方の対向面から他方の対向面に向かって垂直に突出するとともに、前記移動方向に平行となる一対の長辺部と前記移動方向の両端に設けられる一対の短辺部とを有しており、前記一対の短辺部が前記移動方向に凸となる曲面で形成されている請求項１または３記載の静電吸引駆動装置。
【請求項６】
前記可動子とグランド電位との間に除電手段が設けられている請求項１ないし５のいずれか記載の静電吸引駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、可動子が静電力で駆動させられる静電吸引駆動装置に係わり、特に可動子を除電する手段を備えるとともに装置全体の組立て性を向上させた静電吸引駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の静電吸引駆動装置に関する先行技術文献としては、例えば以下の特許文献１などが存在している。図７は、特許文献１の図１に第１の実施形態として示されている静電吸引駆動装置の概略構成を示す図、図８は同じく図２として示されている電圧信号を示すタイミングチャートである。
【０００３】
この静電吸引駆動装置では、図７に示すように第１の固定子２ａと第２の固定子２ｂとが所定の距離を隔てた状態で互いに対向配置され、その間にスライド移動する可動子３が配置されている。
【０００４】
前記第１の固定子２ａには所定方向に順次配列された３系統の電極Ａ，Ｂ，Ｃ（第１電極）が設けられ、前記第２の固定子２ｂには一様な１系統の電極Ｄ（第２電極）が設けられている。また前記可動子３は、一方の表面に前記第１の固定子２ａの各電極Ａ，Ｂ，Ｃの電極ピッチに対応して設けられた電極部３ａと、他方の表面に前記第２の固定子２ｂに対向して設けられた平坦な電極部３ｄとを有しており、前記両電極部３ａおよび３ｄは同一電位に維持される１系統の電極Ｅ（第３電極）を形成している。
【０００５】
図８に示すように、前記第１の固定子２ａに設けられる電極Ａに電圧を印加して、電極Ａの電位を可動子３に設けられる電極Ｅの電位よりも高くすると、電極Ａと電極Ｅとの間で作用する静電力（クーロン力）により、可動子３は第１の固定子２ａ側に吸引される。その際、電極Ａと電極部３ａがぴったり重なり合う状態がもっとも安定であるため、可動子３は電極Ａと電極部３ａとが重なり合うように電極Ａより作用力を受ける。続いて、電圧を印加する電極を第２の固定子２ｂに設けられる電極Ｄに切り換えると、可動子３は第２の固定子２ｂ側に吸引される。さらに、電圧を印加する電極を第１の固定子２ａに設けられる電極Ｂに切り換えると、電極Ａに電圧を印加した際と同様なメカニズムにより、可動子３は電極Ｂと電極部３ａが重なり合う用に電極Ｂより作用力を受ける。このような一連の動作、即ち電圧を電圧源６からスイッチング回路５を介して電極Ａ→電極Ｄ→電極Ｂ→電極Ｄ→電極Ｃ→電極Ｄ→電極Ａ…と順次繰り返して印加することにより、可動子３が配列方向（図中の右側）に駆動されるようになっている。
【特許文献１】特開２００１−３４６３８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、上記従来の静電吸引駆動装置では、第１の固定子２ａの第１電極（電極Ａ，Ｂ，Ｃのいずれか）に高い電位を与えると、前記第１の固定子２ａ側の第１電極に正電荷が発生し、可動子３側の第３電極（Ｅ電極）に負電荷が誘導される。同様に第２の固定子２ｂの第２電極（Ｄ電極）に高い電位を与えると、前記第２の固定子２ｂの第２電極に正電荷が発生し、可動子３側の第３電極（Ｅ電極）に負電荷が誘導される。
【０００７】
このように、可動子３側の第３電極（Ｅ電極）に負電荷が誘導され続けると、可動子３に負電荷に帯電してしまうため、前記可動子３側を除電しない場合には、可動子３の動きが鈍くなり、移動速度や応答速度が低下しやすくなると問題がある。
【０００８】
この点、前記特許文献１には、前記可動子３の一方の面に設けられた電極部３ａと他方の面に設けられた電極部３ｄとが同一電位に維持されている旨記載され、また特許文献１の図６には可動子３に設けられた電極Ｆが接地されている旨が開示されており、このように可動子３を同一電位、特にグランド電位に設定することが可能となれば、上記のよう問題は生じなくなる。
【０００９】
しかし、上記特許文献１では可動子３を導電体または低抵抗体で形成すると、外力などを受けて可動子３が傾いたときに、前記第１の固定子２ａ側の第１電極と第２の固定子２ｂ側の第２電極とが前記可動子３を介して短絡する危険性があるため、特許文献１では前記可動子３を絶縁体で形成する必要がある。このため、前記可動子３の一方の面に設けられた電極部３ａと他方の面に設けられた電極部３ｄとを同一電位とするには、可動子３の表面に電極部３ａと電極部３ｂとを連結する専用のパターン線等を形成する必要がある。したがって、可動子３とグランド電位との間を接続するための除電用ケーブルは、前記パターン線に接続する必要があり、自在に移動する可動子３に対する除電用ケーブルの接続の自由度が拘束されやすく、装置全体の組立て性が低下しやすいという問題がある。
【００１０】
一方、上記従来の静電吸引駆動装置は、可動子３が微視的には上下振動をしながら、巨視的には第１の固定子２ａに配列された第１電極の配列方向（移動方向）に順次駆動させられる構成である。
【００１１】
すなわち、可動子３の配列方向の移動量（変位Ｘ）は、可動子３が第１電極に吸引される上方向への移動のときには大きくなり、可動子が第２電極に吸引される下方向への移動のときには小さくなる構成である。このため、可動子３が第１の固定子２ａと第２の固定子２ｂとの間を上下動しながら移動するため、いわゆる平滑駆動性に劣るという問題がある。
【００１２】
本発明は上記従来の課題を解決するためのものであり、除電用ケーブルの接続の自由度を高めることにより、装置の組立て性を向上させることを可能とする静電吸引駆動装置を提供することを目的としている。
【００１３】
また同時に、本発明は可動子の平滑駆動性を高めた静電吸引駆動装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は、  固定子側電極が設けられた固定子と、可動子側電極を有するとともに前記固定子に対向しながら移動方向に移動可能に支持された可動子と、前記固定子側電極に所定の電圧信号を与える信号源とを備え、前記可動子が前記固定子側電極と前記可動子側電極との対向部分に発生する静電吸引力によって移動させられる静電吸引駆動装置において、
前記可動子が、導電体または低抵抗体で形成されていることを特徴とするものである。
【００１５】
上記において、前記可動子が低抵抗のシリコンで形成されているもの、あるいは前記可動子側電極および可動子の全体が、導電性樹脂に低抵抗材料を混錬させた樹脂から形成されているものとして構成することができる。
【００１６】
本発明では、可動子全体が導電体または低抵抗体で形成することができるため、除電用ケーブルを可動子の任意の位置に接続することができる。このため、可動子自体の動きを拘束することなく、除電用ケーブル配線のための自由度を高めることができる。このため、装置全体の組立て性を向上させることができる。
【００１７】
前記可動子の抵抗値が、１Ω以上１ｋΩ以下の範囲で形成されているものが好ましい。
上記手段では、可動子の絶縁破壊と耐圧をある程度維持しつつ、可動子の応答性を良好なものとすることが可能となる。
【００１８】
また前記可動子側電極および固定子側電極が、前記可動子または固定子の一方の対向面から他方の対向面に向かって垂直に突出するとともに、前記移動方向に平行となる一対の長辺部と前記移動方向の両端に設けられる一対の短辺部とを有しており、前記一対の短辺部が前記移動方向に凸となる曲面で形成されているものが好ましい。
【００１９】
上記手段では、静電吸引力の急激な変動を防止することができるため、可動子を平滑駆動性を向上させることができる。
【００２０】
前記可動子とグランド電位との間に除電手段が設けられているものが好ましい。
上記手段では、可動子を確実に除電することができるため、可動子の移動速度や応答速度の低下を防止できる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明では、簡単な構成で可動子を容易に除電できるため、可動子の移動速度や応答速度の低下を防止することが可能となる。しかも可動子の任意の位置に除電用のケーブルを接続することが可能となるため、接続の自由度を高めることが可能となり、装置全体の組立て性を向上させることができる。
【００２２】
さらには、可動子の平滑駆動性を高めることが可能となる
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
図１は本発明の実施の形態として静電吸引駆動装置を示す分解斜視図、図２Ａは固定子に設けられた固定子側電極を示す拡大平面図、図２Ｂは可動子に設けられた可動子側電極を示す拡大平面図、図３は固定子と可動子とが対向する組み合わせ状態を示しており、図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線における断面図、図４は図２Ａ、Ｂに示す固定子側電極と可動子側電極とが対向配置されている状態を示す拡大平面図である。なお、以下においては図示Ｙ１方向が移動方向、Ｘ方向が幅方向、Ｚ方向が高さ方向である。
【００２４】
図１に示すように、本発明の静電吸引駆動装置１０は、高さ方向の図示Ｚ２側に設けられた固定子２０と、図示Ｚ１側に設けられた可動子３０とを有している。
【００２５】
前記固定子２０は、移動方向であるＹ方向に延設された平板状の部材であり、例えば絶縁性の材料で形成されている。前記固定子２０の対向面２０ａ（Ｚ１側）の幅方向（Ｘ方向）の両端部には、移動方向（Ｙ方向）に沿って互いに平行に延びる一対の案内溝２１，２１が設けられている。図１および図３に示すように前記案内溝２１，２１は、例えば互いに異なる方向に傾く第１の斜面２１ａと第２の斜面２１ｂとが対向するＶ字形状をしている、あるいは第１の斜面２１ａと第２の斜面２１ｂとの間に、両者を連結する平坦部を有する台形状をしているものであってもよい。前記第１の斜面２１ａおよび第２の斜面２１ｂの表面は平滑面で形成されており、摩擦抵抗の低減が図られている。
【００２６】
一方、前記可動子３０の移動（Ｙ）方向の長さ寸法は、前記固定子２０よりも短い寸法で形成されている。前記可動子３０の対向面（Ｚ２側の面）３０ａの幅方向（Ｘ方向）の両端部には、前記案内溝２１，２１に対向する一対の保持溝３１，３１が設けられている。前記保持溝３１，３１も、前記案内溝２１，２１同様のＶ字溝または台形溝で形成されており、その表面は摩擦抵抗の低減が図られている。
【００２７】
図１に示すように、前記固定子２０の前記対向面２０ａ上には複数の固定子側電極２３が設けられている。前記固定子側電極２３は、例えば銅などの導電性金属をＺ方向に垂直にメッキ成長させることにより形成されている。
【００２８】
同様に、前記可動子３０の前記対向面３０ａ上にも複数の可動子側電極３３が設けられている。前記可動子３０は例えば、導電体またはシリコンなどの低抵抗体で形成されており、可動子側電極３３はこのような導電体または低抵抗体で形成された対向面３０ａの表面に、例えば銅などの導電性金属をＺ方向に垂直にメッキ成長させることにより形成した構成である。
【００２９】
あるいは、導電性樹脂に低抵抗材料を混錬した樹脂を型に流し込んだ状態で焼成等することにより、複数の可動子側電極３３を含む可動子３０全体を一体で形成したものであってもよい。この場合の導電性樹脂としては、例えばエポキシ系樹脂に導電フィラーとして銀などを混ぜたペースト状の樹脂であり、この樹脂に低抵抗体材料として例えばカーボン粉などを混ぜたものを用いることができる。そして、このようにして形成された前記可動子３０は、全体として一つの低抵抗体を構成している。前記可動子３０の抵抗値は絶縁破壊と耐圧の面からは高抵抗が望ましいが、可動子３０の応答性を良好なものとするためには低抵抗値のものが望ましく、これらのバランスを考慮すると本願における好ましい抵抗値の範囲は１Ω以上１ｋΩ以下である。
【００３０】
図２Ａおよび図２Ｂに示すように、前記対向面２０ａまたは対向面３０ａの一部を平面的に拡大して見ると、個々の前記固定子側電極２３および可動子側電極３３は略長方形状をしている。
【００３１】
図２Ａに示すように前記固定子側電極２３は、移動方向（Ｙ方向）に平行となる一対の長辺部２３ａ，２３ａと前記移動方向の両端に設けられる一対の短辺部２３ｂ，２３ｂとを有している。前記一対の長辺部２３ａ，２３ａは幅方向（Ｘ方向）を向く電極面の一部を形成している。また前記一対の短辺部２３ｂ，２３ｂには前記移動方向（Ｙ１およびＹ２方向）に凸となる曲面、好ましくは円弧面が形成されている。そして、このような複数の固定子側電極２３が、前記移動方向および幅方向に沿って前記対向面２０ａ上に等間隔で規則正しく並べられている。
【００３２】
前記図１に示す実施の形態では、前記固定子側電極２３が、Ｙ方向（移動方向）にＮ行形成され、かつＸ方向（幅方向）に６列形成されている。なお、前記固定子側電極２３の並びは、前記のようなＮ行６列に限られるものではなく、これよりも多い配列でもよいし、少ない配列でもよい。
【００３３】
またこの実施の形態では、図示しない手段によりＸ方向に並ぶ固定子側電極２３（６ヶの固定子側電極２３）が電気的に接続されており、これらは同電位からなる一つの電極群を形成している。ただし、移動方向に隣り合う電極群どうしは電気的に絶縁された状態にある。図２Ａに示すものでは、前記固定子側電極２３により形成される電極群が、一行ごとにＡ相電極群、Ｂ相電極群、Ｃ相電極群、Ｄ相電極群、Ｅ相電極群、Ａ相電極群、Ｂ相電極群、・・・の順番で５つの電極群に分けられている。
【００３４】
同様に、図２Ｂに示すように前記可動子側電極３３も、移動方向（Ｙ方向）に平行となる一対の長辺部３３ａ，３３ａと一対の短辺部３３ｂ，３３ｂとを有している。前記一対の長辺部３３ａ，３３ａは幅方向（Ｘ方向）を向く電極面の一部を形成している。また前記一対の短辺部３３ｂ，３３ｂには前記移動方向（Ｙ１およびＹ２方向）に凸となる曲面、好ましくは円弧面が形成されている。そして、このような複数の可動子側電極３３が、前記移動方向および幅方向に沿って前記対向面３０ａ上に等間隔で規則正しく並べられている。ただし、この実施の形態では、図示しない手段により前記可動子側電極３３のすべてが同じ電位となるよに形成されている。
【００３５】
図３に示すように、前記固定子２０と可動子３０とは互いの対向面２０ａ，３０ａどうしを対向させた状態で組み立てられる。このとき、前記案内溝２１，２１と保持溝３１，３１との間には複数の球体４１が設けられる。すなわち、可動子３０は前記複数の球体４１を介して前記固定子２０側の案内溝２１，２１上に支持されている。
【００３６】
前記球体４１は、例えば絶縁性を有する弾性体、例えばシリコンゴムなどで形成されており、一方の対向面２０ａと他方の対向面３０ａと間には、常に一定寸法の隙間が高さ方向に形成されるように前記可動子３０を支持している。
【００３７】
この状態から前記可動子３０に移動方向の力を与えると、前記球体４１が前記案内溝２１，２１と保持溝３１，３１との間で移動方向に転動するため、前記可動子３０を移動方向に直線的に移動させることが可能とされている。すなわち、この実施の形態における前記案内溝２１，２１と前記保持溝３１，３１および複数の球体４１は、前記可動子３０を移動方向に案内するガイド手段として機能している。
【００３８】
図１および図４に示すように、前記固定子側電極２３の幅方向の電極間隔Ｗ１は前記可動子側電極３３の幅方向の厚さ寸法ｔ２よりも広く、同様に前記可動子側電極３３の幅方向の電極間隔Ｗ２は前記固定子側電極２３の幅方向の厚さ寸法ｔ１よりも広く形成されている。よって、図４に示すように前記固定子２０と可動子３０とが組み立てられた状態では、幅方向に隣り合う固定子側電極２３と固定子側電極２３との間に前記可動子側電極３３が挿入されており、前記固定子側電極２３の電極面と可動子側電極３３の電極面とが互いに方向に対向するように配置される。
【００３９】
さらに、図４に示すように前記固定子側電極２３および可動子側電極３３のＺ方向の高さ寸法は、前記固定子２０と可動子３０とが組み合った状態において前記固定子側電極２３および可動子側電極３３の先端が、前記対向面２０ａおよび対向面３０ａの表面に当接しない程度に設定されている。
【００４０】
図３および図４に示す状態では、前記固定子側電極２３の電極面と可動子側電極３３の電極面とが互いに平行な状態で対向配置されている。このため、前記固定子側電極２３と可動子側電極３３との間に電位差を与えると、前記固定子側電極２３の電極面と可動子側電極３３の電極面とが対向し合うそれぞれの部分が平板型のコンデンサとして機能し、前記各電極間に静電吸引力を発生させることが可能となっている。
【００４１】
なお、静電吸引駆動装置１０には、ＣＰＵなどを主体として構成される制御部（図示せず）が設けられており、図示しない信号源から出力される複数の電圧信号（図６参照）の生成を行っている。
【００４２】
また図３に示すように、可動子３０には可撓性に優れたフレキシブルケーブルなどで形成された除電用ケーブル５０が接続されており、可動子３０の移動を制限することのないよう配慮されている。前記除電用ケーブル５０の一方の端部５１は前記可動子３０表面に電気的に接続されている、また他方の端部５２は、前記可動子３０が低抵抗体である場合にはトランジスタ（切り換え手段）６０のコレクタ端子６０ｃに直接接続され、可動子３０が導電体である場合には、図３に点線で示すように所定の大きさの外付け抵抗Ｒ１を介してコレクタ端子６０ｃに直接接続されている。またトランジスタ６０のエミッタ端子６０ｅはグランド電位Ｇに接地されており、ベース端子６０ｂは前記信号源の一部に接続されている。そして、前記ベース端子６０ｂには後述の図６に示す除電信号Ｓが印加されるようになっている。
【００４３】
前記可動子３０はその全体が導電体または低抵抗体で形成されているため、前記除電用ケーブル５０は可動子３０の任意の位置に接続することが可能である。すなわち、自在に移動する可動子３０の表面上の任意の位置に除電手段を構成する除電用ケーブル５０を自由に接続することができるため、可動子３０の動きを制限することもない。しかも除電用ケーブル５０の接続の自由度を高めることが可能であるため、装置全体の組立て性をも向上させることができる。
【００４４】
以下静電吸引駆動装置の動作について説明する。
図５は、固定子側電極と可動子側電極との配置を部分的に示す平面図であり、移動方向（Ｙ方向）に２列に並ぶ固定子側電極２３，２３の間に可動子側電極３３の１列分が対向配置されている様子を示している。また図６は図５に示す各電極群に与えられる電圧信号の一例を示すタイミングチャート図である。なお、以下においては、可動子３０の対向面３０ａに図示Ｙ２側を第１行目としてＹ１方向に向かって順番に並ぶ個々の可動子側電極３３を、それぞれ３３Ａ、３３Ｂ、３３Ｃ、３３Ｄ、３３Ｅ、・・・の符号を付して説明する。
【００４５】
図５に示すものでは、固定子２０の対向面２０ａ上の左端の第１列目にＥ相電極群が形成され、第２行目にＡ相電極群が形成されている。以下同様に第３行目にＢ相電極群が、第４行目にＣ相電極群が、第５行目におよびＤ相電極群が形成され、第６行目に再びにＥ相電極群が形成されるというように、順番に応じた電極群配置となっている。
【００４６】
ここで、Ａ相ないしＥ相の各電極群には、例えば図６に示すような電圧信号が与えられる。すなわち、先ずＳＴＥＰ１としてＡ相電極群とＤ相電極群にＨレベルの電圧が同じタイミングで印加される。次のＳＴＥＰ２ではＢ相電極群とＤ相電極群にＨレベルの電圧が同じタイミングで印加され、ＳＴＥＰ３ではＢ相電極群とＥ相電極群にＨレベルの電圧が同じタイミングで印加され、ＳＴＥＰ４ではＣ相電極群とＥ相電極群にＨレベルの電圧が同じタイミングで印加され、ＳＴＥＰ５ではＡ相電極群とＣ相電極群にＨレベルの電圧が同じタイミングで印加される。そして、これらの各ＳＴＥＰは、ＳＴＥＰ１→ＳＴＥＰ２→ＳＴＥＰ３→ＳＴＥＰ４→ＳＴＥＰ５→ＳＴＥＰ１→ＳＴＥＰ２→・・・の順番で繰り返されるようになっている。
【００４７】
前記静電吸引駆動装置１０の初期状態が、例えば図５に示す状態、すなわち可動子側電極３３Ａ（第１行目）、３３Ｃ（第３行目）、３３Ｅ（第５行目）がそれぞれＥ相電極群とＡ相電極群との間に部分的にまたがって対向し、かつ可動子側電極３３Ｂ（第２行目）、３３Ｄ（第４行目）はＣ相電極群のみに対向しているとする。
【００４８】
この状態から、ＳＴＥＰ１の前段としてＡ相電極群とＤ相電極群に所定の電圧が同時に印加されると、第２行目のＡ相電極群と第１行目の可動子側電極３３Ａとは部分的に対向しているため、一方のＡ相電極群に正電荷＋Ｑが発生し、他方の可動子側電極３３Ａに負電荷−Ｑが誘導される。よって、前記Ａ相電極群と可動子側電極３３Ａとの間に静電吸引力（クーロン力）が作用し、前記可動子側電極３３ＡはＡ相電極群を形成する固定子側電極２３に吸引される。ただし、Ａ相電極群を形成する固定子側電極２３，２３は、可動子側電極３３Ａの幅方向の両端に設けられているため、前記静電吸引力のうち幅（Ｘ）方向に作用する成分は互いに相殺される。一方、前記静電吸引力のうち移動（Ｙ）方向の成分は残存するため、前記可動子側電極３３ＡにはＹ１方向の静電吸引力が作用する。
【００４９】
この際、可動子側電極３３Ａの移動方向の中心がＡ相電極群を形成する固定子側電極２３の移動方向の中心に一致する状態が最も安定する状態であるため、可動子側電極３３Ａは図５に点線で示す位置まで移動させられる。この関係は、他の可動子側電極３３Ｃおよび３３Ｅについても同様であるため、可動子３０は前記可動子側電極３３Ａ，３３Ｃおよび３３Ｅに作用する移動方向の静電吸引力の合成力によってＹ１方向に移動させられることになる。
【００５０】
なお、ＳＴＥＰ１では可動子側電極３３Ｂおよび３３Ｄに対向するＣ相電極群には電圧は印加されないため、可動子側電極３３Ｂ，３３Ｄと前記Ｃ相電極群との間に静電吸引力（クーロン力）は作用しない。
【００５１】
次に、ＳＴＥＰ１の後段において前記信号源から除電信号Ｓが出力され、前記トランジスタ６０のベース端子６０ｂに与えられる。これにより、前記トランジスタ６０は、前記コレクタ端子６０ｃとエミッタ端子６０ｅとの間がＯＮ状態に設定されるため、前記可動子側電極３３Ａ，３３Ｃおよび３３Ｅに誘導され、かつ可動子３０に蓄積された負電荷−Ｑを前記除電用ケーブル５０およびトランジスタ６０を介してグランド電位Ｇに放出すること（除電）ができる。これにより、可動子３０の帯電状態を解消することができるため、可動子３０の移動速度や応答速度の低下を防止することが可能となる。
【００５２】
ここで、除電に要する時間は、固定子側電極２３と可動子側電極３３との間の合成容量Ｃと除電用ケーブル５０を流れる電流を制限する抵抗値Ｒとの時定数ＲＣで決定されるが、上記のように前記可動子３０が低抵抗体である場合には、前記可動子３０自体の抵抗値Ｒにより決定される。なお、前記可動子３０自体の抵抗値Ｒが低い場合には、外付け抵抗を補助的に付加することにより、自由に前記時定数ＲＣを設定することが可能である。
【００５３】
また可動子３０が導電体である場合には、前記外付け抵抗Ｒ１により決定される。このため、前記除電に要する時間を前記合成容量Ｃと前記可動子３０自体の抵抗値Ｒまたは外付け抵抗Ｒ１との時定数で決定することができる。すなわち、前記可動子３０、除電用ケーブル５０、トランジスタ６０、さらには外付け抵抗Ｒ１は、可動子３０に蓄積される電荷を放出するための除電手段として機能している。
【００５４】
このように、可動子３０が低抵抗体として形成されている場合には、除電手段を容易化できるとともに部品点数を削減することが可能である。
【００５５】
以下同様に、電圧信号が、図６に示すタイミングチャートのＳＴＥＰ１からＳＴＥＰ５の順番通りに各電極群に与えられることにより、可動子３０をＹ１方向に移動させることができるようになり、その都度与えられる除電信号によって可動子３０を除電することが可能である。
【００５６】
また同様の原理から、例えばＳＴＥＰ５→ＳＴＥＰ４→ＳＴＥＰ３→ＳＴＥＰ２→ＳＴＥＰ１→ＳＴＥＰ５というように、前記一連の動作を前記とは逆の順番に行うと、可動子３０を除電しつつ前記の方向（Ｙ１方向）とは逆方向（Ｙ２方向）に順次移動させることが可能である。
【００５７】
なお、図５に示すように前記固定子側電極２３の長さ寸法をＬ１ａ、互いに隣り合う固定子側電極２３の移動方向の電極間隔をＬ１ｂ、前記可動子側電極３３の長さ寸法をＬ２ａ、互いに隣り合う可動子側電極３３の移動方向の電極間隔をＬ２ｂとし、図４のＳＴＥＰ１からＳＴＥＰ５に従う電圧信号を固定子側電極２３の各相の電極群に与えると、可動子３０を移動方向に並ぶ可動子３０側電極の一区間に相当する距離（Ｌ２ａ＋Ｌ２ｂ）だけＹ１方向に移動させることができるようになっている。
【００５８】
上記実施の形態では、各ＳＴＥＰごとに除電信号を与える構成としたものを示したが、本発明はこれに限られるものではなく、例えばいずれかのＳＴＥＰ、例えばＳＴＥＰ１のときにのみ除電信号が出力される構成としたものであってもよい。または例えばＳＴＥＰ２とＳＴＥＰ４のように、所定のＳＴＥＰのときに除電信号が出力される構成としたものであってもよい。どのようなタイミングで除電するようにしても、可動子３０の移動速度や応答速度の低下を防止することが可能である。
【００５９】
上記実施の形態では、固定子側電極２３の一対の短辺部２３ｂ，２３ｂが移動方向に凸となる曲面で形成され、同様に可動子側電極３３の一対の短辺部３３ｂ，３３ｂも移動方向に凸となる曲面で形成されている。このため、静電吸引力の急激な変動を防止することが可能である。
【００６０】
すなわち、固定子側電極２３や可動子側電極３３の角部（エッジ）を鋭利な形状で形成した場合には、前記静電吸引力は電極間距離の２乗に反比例すること、および前記角部に前記静電吸引力が集中しやすくなることなどから、前記静電吸引力に急激な変動が発生しやすい。
【００６１】
そこで、少なくとも前記固定子側電極２３の短辺部２３ｂと可動子側電極３３の短辺部３３ｂのいずれか一方を凸状の曲面、特に円弧形状の面で形成すると、前記静電吸引力の急激な変動を防止することが可能となり、可動子３０を一定の速度で駆動（平滑駆動）することができるようになる。
【００６２】
なお、上記実施の形態では、固定子を複数の電極群として、これらに電圧信号を印加するようにし、かつ可動子を除電する構成としたものを示したが、本発明は上記の実施の形態に限られるものではなく、可動子側に電極群を形成して電圧信号を印加するようにし、かつ固定子側を除電するようにしてもよい。
【００６３】
さらに、Ａ相ないしＥ相の電極群を形成し、各電極群に５相の電圧信号を印加するようにしたが、本発明はこれに限られるものではなく、電極群および電圧信号の相数は前記実施の形態以下（ただし、２相以上）であってもよく、またそれ以上であってもよい。
【００６４】
また切り換え手段としてトランジスタ６０を示したが、その他例えばＦＥＴなどの半導体素子、スイッチ類、あるいはリレーなどからなる切り換え手段であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明の実施の形態として静電吸引駆動装置を示す分解斜視図、
【図２】Ａは固定子に設けられた固定子側電極を示す拡大平面図、Ｂは可動子に設けられた可動子側電極を示す拡大平面図、
【図３】固定子と可動子とが対向する組み合わせ状態を示しており、図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線における断面図、
【図４】図２Ａ、Ｂに示す固定子側電極と可動子側電極とが対向配置されている状態を示す拡大平面図、
【図５】固定子側電極と可動子側電極との配置を部分的に示す平面図、
【図６】図５に示す各電極群に与えられる電圧信号の一例を示すタイミングチャート図、
【図７】特許文献１の図１に第１の実施形態として示されている静電吸引駆動装置の概略構成を示す図、
【図８】特許文献１に図２として示されている電圧信号を示すタイミングチャート、
【符号の説明】
【００６６】
１０  静電吸引駆動装置
２０  固定子
２０ａ  固定子の対向面
２１  案内溝（ガイド手段）
２３  固定子側電極
３０  可動子
３０ａ  可動子の対向面
３１  保持溝（ガイド手段）
３３，３３Ａ，３３Ｂ，３３Ｃ，３３Ｄ，３３Ｅ  可動子側電極
４１  球体（ガイド手段）
５０  除電用ケーブル
６０  トランジスタ（切り換え手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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