(57)【要約】  【課題】  制御装置と従属装置間の実効的な転送速度を速くし、且つ制御装置への負担を軽くする。  【解決手段】  書き込むアドレスを指定するデータ転送コマンドと指定のアドレスに書き込むデータをセットにした複数のサブコマンドと、サブコマンドの個数、サブコマンド語数、コントロールバイトや情報の転送時間等が含まれる複合コマンドヘッダとを有する前記制御情報の複合コマンドを一つのフレームに作成する作成ステップと、前記フレームを前記制御装置から前記従属装置に送る送信ステップと、前記送信ステップの送信が完了した後に前記従属装置から前記制御装置に前記フレームを受けたことを示す応答コマンドを送信する応答送信ステップとを有することを特徴とする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
制御用ワークステーションを含む制御装置と、この制御装置にネットワークを含む通信路を介して接続される１つまたは複数の従属装置とを有し、かつ前記制御装置から前記従属装置に制御情報を送る通信システムのデータ転送方法にあって、
書き込むアドレスを指定するデータ転送コマンドと指定のアドレスに書き込むデータをセットにした複数のサブコマンドと、サブコマンドの個数、サブコマンド語数、コントロールバイトや情報の転送時間等が含まれる複合コマンドヘッダとを有する前記制御情報の複合コマンドを一つのフレームに作成する作成ステップと、
前記フレームを前記制御装置から前記従属装置に送る送信ステップと、
前記送信ステップの送信が完了した後に前記従属装置から前記制御装置に前記フレームを受けたことを示す応答コマンドを送信する応答送信ステップとを有することを特徴とするデータ転送方法。
【請求項２】
請求項１記載のデータ転送方法にあって、
前記制御情報の複合コマンドが送られる前後に前記制御装置と前記従属装置の間で、交信の連絡の確立および切断を示すコネクション確立の信号とコネクション遮断の信号を交わすことを特徴とするデータ転送方法。
【請求項３】
請求項２記載のデータ転送方法にあって、
前記コネクション確立の信号と前記コネクション遮断の信号は、ＴＣＰ／ＩＰの通信方式に則っていることを特徴とするデータ転送方法。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか一つに記載されたデータ転送方法を用いる電子線装置にあって、
電子ビームを発生する電子銃と、前記電子ビームを偏向する偏向器と、前記電子ビームが照射される資料を載置するステージと、電子ビームの偏向やステージの作動操作を制御する制御ユニットを有することを特徴とする電子線装置。
【請求項５】
請求項４記載の電子線装置において、
前記制御ユニットは、前記複合コマンドを受け、かつ複数の制御部に前記データを送るインタフェースを有し、インタフェースは前記制御部に送る前記データの転送先を前記複合コマンドから識別する機能を有することを特徴とする電子線装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ネットワークを介して制御装置と従属装置との間で制御情報のデータ転送を行なうデータ転送方法にないし、このデータ転送方法を備えた電子線装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のデータ転送方法ついて図３を引用して説明する。
【０００３】
制御用ワークステーションとインタフェース基板間でのデータ転送方法は、制御用ワークステーションからデータ転送先（レジスタ）を示すアドレス、データ語数等を含んだデータ転送コマンドを送信し、それを受け取ったインタフェース基板は、データ転送コマンドを受け取ったことを示すアンサーコマンドを制御用ワークステーションに返す。この交信にはＴＣＰ／ＩＰ（Ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ  Ｃｏｎｔｒｏｌ  ｐｒｏｔｏｃｌ  Ｉｎｔｅｒｎｅｔ  ｐｒｏｔｏｃｌ）が用いられる。
【０００４】
制御用ワークステーションは、そのアンサーコマンドを受け取った後、制御に必要なデータを転送する。データを全て受け取ったインタフェース基板は、そのデータを各制御部の指定された転送先（レジスタ）へデータを転送し、制御用ワークステーションへは、データを受け取ったことを示すアンサーコマンドを返す。この制御用ワークステーションとインタフェース基板間のコマンド・データの送受信には、プロトコルのトランスポート層のＴＣＰを採用している。
【０００５】
ＴＣＰは、データ転送に先立ってコネクションを確立し、データ転送が終了するとコネクションを切断する。
【０００６】
コネクションを確立するときには、送信側ソフトは、ＴＣＰヘッダ中のＳＹＮ（Ｓｙｎｃｈｒｏｎｉｚｅ）ビットをオンにしたヘッダを送信する。これは、これからコネクション確立を要求することを意味する。コネクション確立の要求を受けた受信側ソフトは、ＳＹＮビットとＡＣＫ（Ａｃｋｎｏｗｌｅｄｇｅｍｅｎｔ）ビットをオンにしたＴＣＰヘッダを送信し、コネクションが確立したことを送信側ソフトに知らせる。そのＴＣＰヘッダを受け取った送信側ソフトは、データ転送を開始することを知らせるために、ＡＣＫビットをオンにしたＴＣＰヘッダを受信側ソフトに返す。
【０００７】
コネクションの確立が終わると、送信側ソフトから受信側ソフトに向けＴＣＰヘッダ＋データを転送する。データを正しく受け取った受信側ソフトは、ＡＣＫビットをオンにしたＴＣＰヘッダを返し、データを受け取ったことを知らせる。データ転送の終了時には、コネクション確立と同じ手順で終了を宣言する。ただし、ＳＹＮビットの代わりに、ＦＩＮビットを用いる。
【０００８】
このデータ転送方法に関して、コマンドとデータを同時に送ることで、データを高速に転送する技術が知られている（例えば、特許文献１）。
【０００９】
【特許文献１】特開平１０−３０３９３６号公報。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
従来例（図３）のような方法では、１回のコマンド・データ転送にＴＣＰのコネクション処理が発生し、このコネクション処理のオーバヘッドにより、制御用ワークステーションと各制御部間の実効的なデータ転送速度を低下させる。
【００１１】
特に、制御データ・応答データ等の比較的小容量なデータの場合、実データの転送容量よりもＴＣＰのコネクション処理におけるデータ転送容量が多くなるため、実効的なデータ転送速度低下が顕著に現れる。よって、電子線描画装置のトータルスループット低下につながる。
【００１２】
特許文献１に示されているデータ転送方法の例では、一つの転送先（レジスタ）へのデータ転送であれば、実効的なデータ転送速度の向上は見込める。
【００１３】
しかし、電子線描画装置のような制御用ワークステーションから制御データ（制御情報）を頻繁に転送する場合だと、データを送る転送先（レジスタ）が増えるほど、実効的なデータ転送速度が低下してしまう。また制御データをどの制御装置に送るかを決める作業を制御用ワークステーション側にさせると、制御用ワークステーションの負担が多くなる。
【００１４】
本発明の目的は、ネットワーク等の通信路を介して通信接続された制御装置と各制御部間の実効的な転送速度を速くし、かつ制御装置への負担を軽くすることである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は、制御装置から従属装置に制御情報を送る通信システムのデータ転送方法にあって、書き込むアドレスを指定するデータ転送コマンドと指定のアドレスに書き込むデータをセットにした複数のサブコマンドと、サブコマンドの個数、サブコマンド語数、コントロールバイトや情報の転送時間等が含まれる複合コマンドヘッダとを有する前記制御情報の複合コマンドを一つのフレームに作成する作成ステップと、フレームを制御装置から従属装置に送る送信ステップと、送信ステップの送信が完了した後に従属装置から制御装置にフレームを受けたことを示す応答コマンドを送信する応答送信ステップとを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、ネットワークを介して通信接続された制御装置とインタフェース間の実効的な転送速度を速くすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
まず、本発明が採用されて電子線描画装置（電子線装置）の概要について、図２を引用して述べる。
【００１８】
電子線描画装置は、電子ビーム１１を発生させる電子銃２６、電子ビーム１１を試料１２上の目標位置に照射するカラム２７、ＬＳＩ回路を形成するためのパターンデータから電子ビーム１１の偏向データを算出するデータ制御部２３（制御部）、偏向データを高精度にアナログ量に変換し、カラム２７の偏向器・レンズを駆動するアナログ制御部２５（制御部）、試料１２の移動制御を行うステージ２８、ステージ２８上へ試料１２の搬送を行うローダ２９、ステージ２８・ローダ２９を制御する機構制御部２４などから構成されている。
【００１９】
ネットワーク等の通信路を介して接続している制御用ワークステーション２１とインタフェース基板２２（インタフェース）間は、イーサネット（登録商標）を媒体にし、ＴＣＰ／ＩＰの通信方式に従ってデータが送受信される。制御用ワークステーション２１が制御装置であるのに対し、インタフェース基板２２は従属装置の関係になっている。なお、従属装置は、電子線描画装置、制御部、インタフェース基板等を含む。
【００２０】
インタフェース基板２２は、制御用ワークステーション２１からの制御データを各制御部２３，２４，２５へ転送、および各制御部２３，２４，２５からの応答データを制御用ワークステーション２１へ転送するための仲介を行う。
【００２１】
電子線描画装置がＬＳＩ回路を描画形成する具体的な描画手順は、以下のとおりである。
【００２２】
まず、制御用ワークステーション２１はパターンデータをデータ制御部２３へ転送する。データ制御部２３（制御部）はパターンデータを一時的に保持する。次に制御用ワークステーション２１は、インタフェース基板２２を介し、各制御部２３、２４、２５に対して起動信号（制御データ／制御情報）を発行する。
【００２３】
データ制御部２３は、保持していたパターンデータを順次読み出して、描画可能な微小形状の描画データに分解処理し、電子ビーム１１の偏向量を計算する。アナログ制御部２５は、この偏向量に従って電子ビーム１１を制御することにより、試料１２上に所望のパターンを描画する。ローダ２９は試料１２をステージ２８に搬送し、ステージ２８は試料１２を所望の描画位置に移動する。
【００２４】
制御用ワークステーション２１は、制御データを転送後、各制御部を起動し、各制御部の状態を確認するためのフラグおよび起動後の応答データを受信し、装置の動作状態を診断する。
【００２５】
本発明の主要部を示す図１を引用して説明する。図１は本発明の具体的なデータ転送方法を示す。
【００２６】
制御用ワークステーション２１では、先に図３（従来例）に沿って述べたデータ転送コマンド３１（ＴＣＰヘッダを含む）とデータ３３（ＴＣＰヘッダを含む）を一つのセットにし、さらにそのセットを複数まとめて一つのフレームにし、この一まとまりのフレームを制御ユニットのインタフェース基板２２へ送信する。この一まとまりにフレームをここでは複合コマンド４１（ＴＣＰヘッダを含む）と呼ぶ。
【００２７】
図１に示すように複合コマンド４１（ＴＣＰヘッダ＋複合コマンド）を受け取ったインタフェース基板２２は、複合コマンド４１を正しく受け取ったことを示すアンサーコマンド４２（ＴＣＰヘッダ＋アンサーコマンド）（応答コマンド）を制御用ワークステーション２１に対し送信する。インタフェース基板２２は、複合コマンド４１からアドレスを識別し、各制御部３０の指定された転送先に順次データ４３ａ，４３ｂ，４３ｃを送信する。
【００２８】
なお、アンサーコマンド４２は、データ４３ａ，４３ｂ，４３ｃが制御部３０に送られた後に行われる。またインタフェース基板２２には、複合コマンド４１から各制御部３０の転送先を識別する機能が備わるので、制御用ワークステーション２１側で転送先を識別する負担が軽減される。
【００２９】
この複合コマンド４１とアンサーコマンド４２の前後に、交信の連絡の確立および切断を示すコネクション確立の信号およびコネクション切断の信号が交わされる。このコネクション確立／コネクション切断の交信は、ＴＣＰ／ＩＰの通信方式に則って行われる。
【００３０】
コネクション確立にはＳＹＮ７１，ＳＹＮ．ＡＣＫ７２，ＡＣＫ７３が、コネクション切断にはＦＩＮ７５，ＦＩＮ．ＡＣＫ７６，ＡＣＫ７３が、インタフェース基板２２と制御用ワークステーション２１との間で交信される。
【００３１】
このように、コネクション確立／コネクション切断の交信は、多数のデータ転送コマンド３１およびデータ３３をまとめた複合コマンド４１にすることで一度で済まされるため、個別に送るものに比べ、通信の転送速度が速くなる。
【００３２】
図４に複合コマンド４１のコマンド構成を示す。横幅は、３２ｂｉｔである。複合コマンド４１は、ＴＣＰヘッダと、複合コマンドヘッダ５１と、データ転送コマンドとデータを含んだ複数のサブコマンド５２から構成されている。またサブコマンドは、書き込むアドレスを指定するデータ転送コマンドと指定のアドレスに書き込むデータをセットにしている。
【００３３】
ＴＣＰヘッダと、複合コマンドヘッダ５１と、複数のサブコマンド５２よりなる制御情報の複合コマンドは、制御用ワークステーション２１の作成ステップで一つのフレームに作成される。
【００３４】
こうして、一つのフレームに作成された複合コマンドは制御用ワークステーション（制御装置）から従属装置（電子線描画装置、制御部、インタフェース基板等を含む）に送られ（送信ステップ）、送信ステップの送信が完了した後に従属装置から制御装置にフレームを受けたことを示す応答コマンドが送信される（応答送信ステップ）。
【００３５】
また、複合コマンドヘッダ５１は、複合コマンドであることを示すコントロールバイト５３、サブコマンド数を示すサブコマンド数５４、サブコマンド全てのデータの大きさを示すサブコマンド語数５５、および複合コマンドを転送した時間５６で構成されている。サブコマンド５２は、データ転送コマンドを示すコントロールバイト５７、転送先のアドレスを示すポイントアドレス５８、データの大きさを示すデータ転送語数５９、転送時間６０、および転送データ６１で構成されている。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の実施例にかかわるもので、制御用ワークステーション、インタフェース基板、各制御部で交わされるデータ転送通信の流れを示す図。
【図２】本発明の実施例にかかわるもので、電子線描画装置の概略構成および制御データの通信機能を示すブロック図。
【図３】従来例にかかわるもので、制御用ワークステーション、インタフェース基板、各制御部で交わされるデータ転送通信の流れを示す図。
【図４】本発明の実施例にかかわるもので、複合コマンドの構成を示す図。
【符号の説明】
【００３７】
１１…電子ビーム、１２…試料、２１…制御用ワークステーション、２２…インタフェース基板、２３…データ制御部、２４…機構制御部、２５…アナログ制御部、２６…電子銃、２７…カラム、２８…ステージ、２９…ローダ、３０…各制御部、３１…データ転送コマンド、３３…データ、４１…複合コマンド、４２…アンサーコマンド、４３…データ、５１…複合コマンドヘッダ、５２…サブコマンド、５３…コントロールバイト、５４…サブコマンド数、５５…サブコマンド語数、５６…転送時間、５７…コントロールバイト、５８…ポイントアドレス、５９…データ転送語数、６０…転送時間、６１…転送データ、７１…ＳＹＮビットをオンにしたＴＣＰヘッダ、７２…ＳＹＮ，ＡＣＫビットをオンにしたＴＣＰヘッダ、７３…ＡＣＫビットをオンにしたＴＣＰヘッダ、７４…ＴＣＰヘッダとデータ、７５…ＦＩＮビットをオンにしたＴＣＰヘッダ、７６…ＦＩＮ，ＡＣＫビットをオンにしたＴＣＰヘッダ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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