(57)【要約】【課題】トラブル発生を予防し、品質と共に歩留まりを向上させる。【解決手段】管理値更新装置１０は、製造工場の製造管理システム１００の下に設けられ、製造装置２０１からプロセスデータを収集するプロセスデータ収集装置１４１および検査装置２０２から検査結果データを収集する検査結果データ収集装置１５２と通信可能に接続されるとともに、プロセスデータに管理図を適用するための管理値を、プロセスデータに基づいて、検査結果データが正常である範囲内で管理値の限界を広げる方向に更新する管理値演算部１３を備える。これにより、実際のプロセスデータに基づいて管理限界値を最大限に広げることができるため、プロセスの停止を最小限度にすることができる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
製造装置と該製造装置で製造された製造物を検査する検査装置とを含む製造ラインを制御する製造管理システムの下に設けられた管理値更新装置であって、
製造装置からプロセスデータを収集するプロセスデータ収集装置および検査装置から検査結果データを収集する検査結果データ収集装置と通信可能に接続されるとともに、
上記プロセスデータに管理図を適用するための管理値を、上記プロセスデータに基づいて、上記検査結果データが正常である範囲内で管理値の限界を広げる方向に更新する管理値演算手段を備えたことを特徴とする管理値更新装置。
【請求項２】
管理単位ごとに上記プロセスデータを上記管理値と比較してプロセスデータが正常であるか否かを判定するプロセスデータ判定手段と、
当該管理単位ごとに上記検査結果データを所定のしきい値と比較して検査結果データが正常であるか否かを判定する検査結果データ判定手段と、を備えるとともに、
上記管理値演算手段が、同一の管理単位に対して、上記プロセスデータ判定手段が異常と判定し、かつ、上記検査結果データ判定手段が正常と判定した場合に、該当するプロセスデータを正常と判定する新しい管理値を演算するものであることを特徴とする請求項１に記載の管理値更新装置。
【請求項３】
上記管理値を更新ごとに追加して記憶する管理値記憶手段を備えるとともに、
上記管理値演算手段が、上記検査結果データ判定手段が異常と判定する頻度が所定の基準を超えた場合に、上記管理値記憶手段から過去の管理値を取得して、当該過去の管理値により管理値を更新するものであることを特徴とする請求項１または２に記載の管理値更新装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載の管理値更新装置を含み、かつ、
上記プロセスデータを上記管理値とともに示した管理図と、上記検査結果データ判定手段による判定結果とを、管理単位ごとに対応付けて表示する相関図表示手段を備えたユーザインターフェイス装置を含むことを特徴とする管理値更新システム。
【請求項５】
請求項１から３のいずれか１項に記載の管理値更新装置を備え、かつ、
上記管理値更新装置で更新された管理値を用いて製造装置を制御するプロセス管理装置を備えることを特徴とする製造管理システム。
【請求項６】
製造装置と該製造装置で製造された製造物を検査する検査装置とを含む製造ラインを制御する製造管理システムの下に設けられた管理値更新システムによる管理値更新方法であって、
製造装置からプロセスデータを収集するプロセスデータ収集ステップと、
検査装置から検査結果データを収集する検査結果データ収集ステップと、
上記プロセスデータに管理図を適用するための管理値を、上記プロセスデータに基づいて、上記検査結果データが正常である範囲内で管理値の限界を広げる方向に更新する管理値演算ステップと、を含むことを特徴とする管理値更新方法。
【請求項７】
上記プロセスデータを上記管理値とともに示した管理図と、上記検査結果データ判定手段による判定結果とを、管理単位ごとに対応付けて表示する相関図表示ステップを含むことを特徴とする請求項６に記載の管理値更新方法。
【請求項８】
請求項１から３のいずれか１項に記載の管理値更新装置を動作させる管理値更新プログラムであって、コンピュータを上記の各手段として機能させるための管理値更新プログラム。
【請求項９】
請求項４に記載の管理値更新システムを構成するユーザインターフェイス装置を動作させる管理値更新プログラムであって、コンピュータを上記相関図表示手段として機能させるための管理値更新プログラム。
【請求項１０】
請求項８または９に記載の管理値更新プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、工程能力測定により品質管理を行う製造管理システムに関し、さらに詳しくは、管理値を更新する管理値更新装置、管理値更新システム、製造管理システム、管理値更新方法、管理値更新プログラム、管理値更新プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ＬＣＤ（ｌｉｑｕｉｄ  ｃｒｙｓｔａｌ  ｄｉｓｐｌａｙ）製造工場をはじめ、ＰＤＰ（ｐｌａｓｍａ  ｄｉｓｐｌａｙ  ｐａｎｅｌ）製造工場、半導体製造工場では製品の品質や稼動効率を向上させるために自動化を目指し、近年の殆どの製造工場ではプロセスデータと検査結果データを製造管理システムに実績データとして格納し、品質管理システムに関しては主にＳＰＣ（ｓｔａｔｉｓｔｉｃ  ｐｒｏｃｅｓｓ  ｃｏｎｔｒｏｌ）機能として活用している。
【０００３】
統計的管理手法を応用したシステムとして、例えば下記の特許文献１があり、これは製造プロセス異常処置システムおよびその品質管理値更新方法を開示しており、統計的管理手法より得られる管理幅を外れた場合、または管理値に対して所定の傾向を有する場合にアラーム管理や流動制御装置等と連動して、該当ロットの流動に対するアラームを発生、もしくは停止させる手段を持ち、品質管理値の更新方法としては測定データを前回管理値と比較して特定条件を満たす場合に管理を厳しくする側のみに自動更新する方法を示している。
【０００４】
本願発明に関連する先行技術文献としては、次の特許文献１がある。特許文献１には、あらかじめトラブル発生を予防する処置がとれる製造プロセス品質異常処置システムおよびその品質管理値更新方法が記載されている。具体的には、プロセスデータ収集装置で収集された各プロセスデータは収集データチェック装置によって、製品仕様値から決められた管理値、および管理上限値、管理下限値と比較され、管理幅内に収まっているか判定される。と同時にサンプリングによって平均値、バラツキを算出して、これら収集データの動向を調べて、その求めた値に応じて管理値自動更新装置によって厳しい側に管理幅を自動的に再設定する。これにより、管理幅を越えたり所定の条件から外れる場合、アラームを発したり、ロットを自動停止させる。管理値が実績データに合わせて厳しくされるので、より品質向上が実現する。また見落としで異常が発生するのを未然に防ぐことができ、無駄なロットを発生させてしまうこともないとされている。
【０００５】
【特許文献１】
特開平８−２０２７７５号公報（公開日：平成８年（１９９６）８月９日）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の方法では、測定データから平均値とバラツキを算出し管理値を更新する際に前回管理値と比較しているのみであり、管理値の更新の際はより厳しい方向への更新であるため、製造装置が非常に安定動作した期間以降では検査結果の良・不良の別にかかわらずアラームを発生し、流動制御にも影響を与えることになる。
【０００７】
そして、管理限界値が狭まった場合、異常傾向が検出される以前に限界値を超える場合があり、異常傾向を見て製造装置に警告を出す機能が充分に作用しないことも考えられる。
【０００８】
なお、特許文献１に限らず、現状のＳＰＣ機能においては、バラツキの所定倍値によるか、装置メーカの提供する限界値により管理限界値が設定されており、測定対象となった装置の安定性だけを問題としている。装置が安定していれば品質の向上が望めるのは確かであるが、品質を維持可能な範囲内で装置の不安定さを認めることで、品質と共に歩留まりを向上する方向で管理値を更新し利用するに至っておらず、現状は製造装置に安定稼動を求めるに止まっている。
【０００９】
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたもので、その目的は、トラブル発生を予防し、品質と共に歩留まりを向上させることができる管理値更新装置、管理値更新システム、製造管理システム、管理値更新方法を提供することにある。また、本発明の目的には、上記管理値更新システムを実現する管理値更新プログラム、およびそれを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体を提供することも含まれる。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明の管理値更新装置は、製造装置と該製造装置で製造された製造物を検査する検査装置とを含む製造ラインを制御する製造管理システムの下に設けられた管理値更新装置であって、製造装置からプロセスデータを収集するプロセスデータ収集装置および検査装置から検査結果データを収集する検査結果データ収集装置と通信可能に接続されるとともに、上記プロセスデータに管理図を適用するための管理値を、上記プロセスデータに基づいて、上記検査結果データが正常である範囲内で管理値の限界を広げる方向に更新する管理値演算手段を備えたことを特徴としている。
【００１１】
また、本発明の管理値更新方法は、製造装置と該製造装置で製造された製造物を検査する検査装置とを含む製造ラインを制御する製造管理システムの下に設けられた管理値更新システムによる管理値更新方法であって、製造装置からプロセスデータを収集するプロセスデータ収集ステップと、検査装置から検査結果データを収集する検査結果データ収集ステップと、上記プロセスデータに管理図を適用するための管理値を、上記プロセスデータに基づいて、上記検査結果データが正常である範囲内で管理値の限界を広げる方向に更新する管理値演算ステップと、を含むことを特徴としている。
【００１２】
上記の構成および方法により、管理値更新装置あるいは管理値更新システムでは、プロセスデータに基づいて、検査結果データが正常である範囲内で管理値の限界を広げる方向に管理値を更新する。すなわち、管理値（プロセス値）を更新する際、プロセスデータだけでなく、検査結果データを反映させることができる。なお、管理値の更新は、管理値更新装置あるいは管理値更新システムが自動的に行ってもよいし、操作者の指示に応じて行ってもよい。
【００１３】
よって、実際のプロセスデータおよび検査結果データに基づいて、管理限界値を最大限に広げるように順次更新するため、製品仕様に適合するとともに、製造工場における製造上の特性を反映した管理値の真の限界値を得ることができる。
【００１４】
したがって、管理値に基づきプロセスデータの異常を検知する頻度を極小化できる。よって、アラーム発生や製造ラインの停止を最小限に抑制できる。それゆえ、品質を維持したまま製造工場の稼働率を向上させることができる。この点、従来は必要以上に厳しい管理値が設定していたため、本来不必要なアラームや停止が発生していた。
【００１５】
また、製造装置を停止させる間隔が長くなるため、装置間のバラツキをより長期に監視でき、適切な保守時期を設定することが可能となるため、歩留まり向上を実現できる。その結果、従来製造装置の安定稼動のために余裕を見込んで行っていた過剰な保守整備や点検が不要となる。
【００１６】
また、検査結果に影響しない、すなわち品質維持にあまり関係しない製造装置の管理限界値は増加するが、装置間のバラツキが欠陥数等の検査結果データに対応する製造装置の管理限界値は増加しない。よって、製造装置や工程ごとに品質管理や歩留まり管理に重要な要因を持つか否かが判断できるため、監視を強化するべき製造装置や工程を特定することが可能となる。それゆえ、品質および歩留まりの向上を実現できる。
【００１７】
さらに、本発明の管理値更新装置は、管理単位ごとに上記プロセスデータを上記管理値と比較してプロセスデータが正常であるか否かを判定するプロセスデータ判定手段と、当該管理単位ごとに上記検査結果データを所定のしきい値と比較して検査結果データが正常であるか否かを判定する検査結果データ判定手段と、を備えるとともに、上記管理値演算手段が、同一の管理単位に対して、上記プロセスデータ判定手段が異常と判定し、かつ、上記検査結果データ判定手段が正常と判定した場合に、該当するプロセスデータを正常と判定する新しい管理値を演算するものであることを特徴としている。
【００１８】
上記の構成により、さらに、管理単位（例えばロット）ごとに、プロセスデータおよび検査結果データをそれぞれ判定する。よって、プロセスデータの判定結果と、検査結果データの判定結果とを、管理単位ごとに照合できる。それゆえ、検査結果データが正常と判定された管理単位のプロセスデータを特定することが可能となる。
【００１９】
したがって、同一の管理単位に対して、プロセスデータは異常と判定されたが、検査結果データは正常と判定された場合に、該当するプロセスデータを正常と判定するように新しい管理値を演算することができる。それゆえ、プロセスデータに基づいて、検査結果データが正常である範囲内で管理値の限界を広げる方向に更新することができる。
【００２０】
さらに、本発明の管理値更新装置は、上記管理値を更新ごとに追加して記憶する管理値記憶手段を備えるとともに、上記管理値演算手段が、上記検査結果データ判定手段が異常と判定する頻度が所定の基準を超えた場合に、上記管理値記憶手段から過去の管理値を取得して、当該過去の管理値により管理値を更新するものであることを特徴としている。
【００２１】
上記の構成により、さらに、例えば、新しい管理値に変更した結果、検査結果の異常が頻発した場合、検査結果が正常となる過去の管理値（例えば、初期値や前回設定値）へ復帰させることができる。なお、管理値の復帰は、管理値更新システムが自動的に行ってもよいし、操作者の指示に応じて行ってもよい。
【００２２】
また、本発明の管理値更新システムは、上記の管理値更新装置を含み、かつ、上記プロセスデータを上記管理値とともに示した管理図と、上記検査結果データ判定手段による判定結果とを、管理単位ごとに対応付けて表示する相関図表示手段を備えたユーザインターフェイス装置を含むことを特徴としている。
【００２３】
さらに、本発明の管理値更新方法は、上記プロセスデータを上記管理値とともに示した管理図と、上記検査結果データ判定手段による判定結果とを、管理単位ごとに対応付けて表示する相関図表示ステップを含むことを特徴としている。
【００２４】
上記の構成および方法により、さらに、プロセスデータと検査結果データとを管理単位ごとに対応付けて相関図として一覧表示する。なお、相関図に含めるプロセスデータおよび検査結果データはそれぞれ複数でもよい。
【００２５】
よって、管理値更新システムの操作者は、製造装置のプロセスデータの変化が検査結果に与える影響を視認できる。特に、検査結果に特に影響のある製造装置あるいは製造工程を特定することが可能となる。したがって、管理値を演算するための条件である、製造装置、検査装置、測定期間、プロセスデータの測定項目、検査結果データの検査項目等の設定が容易となる。
【００２６】
また、本発明の製造管理システムは、上記の管理値更新装置を備え、かつ、上記管理値更新装置で更新された管理値を用いて製造装置を制御するプロセス管理装置を備えることを特徴としている。
【００２７】
上記の構成により、例えば、製造装置からリアルタイムで送信されるプロセスデータが管理上限値を超えた時、製造装置を停止させたり、担当の操作者へ警報を発するなどのアクションを行うことができる。
【００２８】
また、本発明の管理値更新プログラムは、コンピュータを上記管理値更新装置の各手段として機能させるコンピュータ・プログラムである。
【００２９】
上記の構成により、コンピュータで上記管理値更新装置の各手段を実現することによって、上記管理値更新装置を実現することができる。
【００３０】
また、本発明の管理値更新プログラムは、コンピュータを上記ユーザインターフェイス装置の相関図表示手段として機能させるコンピュータ・プログラムである。
【００３１】
上記の構成により、コンピュータで上記ユーザインターフェイス装置の相関図表示手段を実現することによって、上記ユーザインターフェイス装置を実現することができる。
【００３２】
また、本発明の管理値更新プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体は、上記の各手段をコンピュータに実現させて、上記管理値更新システムを構成する管理値更新装置およびユーザインターフェイス装置を動作させる管理値更新プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体である。
【００３３】
上記の構成により、上記記録媒体から読み出された管理値更新プログラムによって、上記管理値更新システムをコンピュータ上に実現することができる。
【００３４】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施の形態について図１から図１０に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、本実施の形態では、一般的なＬＣＤ製造工場に適用した製造管理システム１００を一例として説明するが、本発明は他の分野においても適用可能である。
【００３５】
図１は、本実施の形態に係る管理値更新システム１６０の構成を示す機能ブロック図である。図１に示すように、管理値更新システム１６０は、上位システムである製造管理システム１００の下に設けられる。製造管理システム１００は、製造ライン２００を制御する。この製造ライン２００は、製造装置２０１と、製造装置２０１で製造された製造物を検査する検査装置２０２とを少なくとも１組含んでいる。そして、製造管理システム１００は、管理値更新システム１６０の他、生産管理システム１１０、進捗管理システム１２０、物流管理システム１３０、製造装置管理システム１４０、検査装置管理システム１５０を備えて構成されている。ただし、生産管理システム１１０、進捗管理システム１２０、物流管理システム１３０、製造装置管理システム１４０、検査装置管理システム１５０については、基本的に従来と同様の構成および機能を備えているため、詳細な説明は省略する。
【００３６】
生産管理システム１１０は、プロセス管理装置３０を備えている。プロセス管理装置３０は、プロセスデータ収集装置１４１からプロセスデータを取得し、管理値更新装置１０で更新された管理値を用いてプロセスを管理する。具体的には、プロセス管理装置３０は、管理値更新システム１６０で更新された管理値を用いて製造装置２０１を制御する。そして、プロセス管理装置３０は、プロセスデータが管理値に対して異常であることを検知した場合、所定のアクションを実行する。具体的には、プロセス管理装置３０は、異常検知時のアクションとして、例えば、プロセス停止部３１により該当する製造装置２０１を進捗管理システム１２０を介して停止させるか、あるいは、警報発生部３２により担当の操作者に対して警報を発する。
【００３７】
製造装置管理システム１４０は、プロセスデータ収集装置１４１およびプロセスデータ記憶装置１４２を備えて構成されている。なお、製造装置管理システム１４０は、製造装置２０１、管理値更新システム１６０、進捗管理システム１２０との通信インターフェイス（図示せず）を備えている。
【００３８】
プロセスデータ収集装置１４１は、製造工場内のすべての製造装置２０１に対して設けられており、製造装置２０１からプロセスデータ（装置の内部状態、処理結果を示す）を収集して、管理する。また、プロセスデータ記憶装置１４２は、過去のプロセスデータ（例えば数十件分）をロットごとに保持する。プロセスデータ収集装置１４１は、管理値更新装置１０からプロセスデータの要求を受けると、指定された条件に該当するプロセスデータをプロセスデータ記憶装置１４２から取得して管理値更新装置１０へ送信する。
【００３９】
検査装置管理システム１５０は、検査結果データ収集装置１５１および検査結果データ記憶装置１５２を備えて構成されている。なお、検査装置管理システム１５０は、検査装置２０２、管理値更新システム１６０、進捗管理システム１２０との通信インターフェイス（図示せず）を備えている。
【００４０】
検査結果データ収集装置１５１は、製造工場内のすべての検査装置２０２に対して設けられており、検査装置２０２から検査結果データを収集して、管理する。また、検査結果データ記憶装置１５２は、過去の検査結果データ（例えば数十件分）をロットごとに保持する。検査結果データ収集装置１５１は、管理値更新装置１０から検査結果データの要求を受けると、指定された条件に該当する検査結果データを検査結果データ記憶装置１５２から取得して管理値更新装置１０へ送信する。
【００４１】
なお、製造装置管理システム１４０からは、製造装置２０１を制御するための制御データ（製造条件等を示すレシピデータ）を送信する。同様に、検査装置管理システム１５０からは、検査装置２０２を制御するための制御データを送信する。これらの制御データの送信、すなわち、製造装置管理システム１４０および検査装置管理システム１５０による製造装置２０１および検査装置２０２の制御は、進捗管理システム１２０および生産管理システム１１０の制御に従って行われる。
【００４２】
図１に示すように、管理値更新システム１６０は、製造ライン２００を制御する製造管理システム１００の下に設けられ、管理値更新装置１０および条件設定装置（ユーザインターフェイス装置）２０を備えて構成されている。
【００４３】
管理値更新装置１０は、プロセスデータ判定部（プロセスデータ判定手段）１１、検査結果データ判定部（検査結果データ判定手段）１２、管理値演算部（管理値演算手段）１３、管理値記憶部（管理値記憶手段）１４を備えて構成されている。なお、管理値更新装置１０は、製造装置管理システム１４０および検査装置管理システム１５０との通信インターフェイスを備えている。また、管理値更新装置１０は、条件設定装置２０との通信インターフェイスを備えている。すなわち、管理値更新装置１０は、プロセスデータ収集装置１４１および検査結果データ収集装置１５１と通信可能に接続されている。
【００４４】
プロセスデータ判定部１１は、プロセスデータ収集装置１４１を介して取得した製造装置２０１のプロセスデータに対して、管理図の手法による判定を行う。すなわち、プロセスデータ判定部１１は、ロット（管理単位）ごとにプロセスデータを管理値と比較してプロセスデータが正常であるか否かを判定する。そして、判定結果を管理値演算部１３へ通知する。なお、判定に使用する管理値は、管理値演算部１３より入力される。また、生産管理システム１１０のプロセス管理装置３０も同様に管理図を用いた判定を行う。
【００４５】
検査結果データ判定部１２は、検査結果データ収集装置１５１を介して取得した検査装置２０２の検査結果データが正常か否かを判定する。すなわち、検査結果データ判定部１２は、ロットごとに検査結果データを所定のしきい値と比較して検査結果データが正常であるか否かを判定する。そして、判定結果を管理値演算部１３へ通知する。なお、判定のしきい値は、例えば良品率であり、条件設定装置２０より入力される。
【００４６】
管理値演算部１３は、管理値の演算に必要な件数分の過去のプロセスデータおよび検査結果データをプロセスデータ収集装置１４１および検査結果データ収集装置１５１から取得し、新しい管理値を演算する。管理値演算部１３は、管理値の演算を製造装置２０１ごと行うことができる。なお、管理値演算部１３は、演算の間、プロセスデータおよび検査結果データを保持する記憶部（図示せず）を備えている。なお、プロセスデータ記憶装置１４２および検査結果データ記憶装置１５２を、管理値更新装置１０に設けてもよい。
【００４７】
そして、管理値演算部１３は、更新した新しい管理値を生産管理システム１１０へ送信する。また、管理値演算部１３は、更新した新しい管理値を条件設定装置２０へ送信し、操作者に提示させる。また、管理値演算部１３は、更新した新しい管理値を管理値記憶部１４に格納する。
【００４８】
ここで、管理値演算部１３は、プロセスデータに管理図を適用するための管理値を、プロセスデータに基づいて、検査結果データが正常である範囲内で管理値の限界を広げる方向に更新する。すなわち、管理値演算部１３は、指定された測定期間のプロセスデータおよび検査結果データに基づき、検査結果データが正常と判定されている限り最高値を保持するように、例えば管理値の幅を広げる方向で自動的に管理値を更新する。なお、管理値の演算方法の詳細については後述する。
【００４９】
また、管理値演算部１３は、検査結果データ判定部１２が異常と判定する頻度が所定の基準を超えた場合、例えば３ロット連続して異常と判定された場合、管理値記憶部１４から過去の管理値を取得して、当該過去の管理値により管理値を更新する。よって、新しい管理値に変更した結果、検査結果の異常が頻発した場合、検査結果が正常となる過去の管理値（例えば、初期値や前回設定値）へ自動的に復帰させることができる。
【００５０】
管理値記憶部１４は、管理値演算部１３が演算した管理値を設定順に格納して履歴を管理する。すなわち、管理値記憶部１４は、管理値を更新ごとに追加して記憶する。
【００５１】
よって、上記管理値更新装置１０によれば、管理値が、製造装置２０１のメーカの示す画一的な値ではなく、各工場の製造上の特性や製造工程で得られた実績データに基づく真の限界値に近づくように順次更新される。したがって、製造品の品質向上を実現できる。また、管理幅を広げる方向で設定することで、その間でのバラツキ動向をより長期に監視できるので、適切な保守時期を設定でき、歩留まり向上を実現できる。
【００５２】
条件設定装置２０は、管理値更新装置１０が更新する管理値を用いた管理図を表示するとともに、管理値更新装置１０に設定する条件を操作者に入力させるユーザインターフェイスを提供する。なお、条件設定装置２０は、製造装置２０１や検査装置２０２の近くで操作者が監視・操作できるように、製造ラインの適所に１台の管理値更新装置１０に対して複数台設けてもよい。
【００５３】
図１に示すように、条件設定装置２０は、ＧＵＩ（Ｇｒａｐｈｉｃａｌ  Ｕｓｅｒ  Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）部（相関図表示手段）２１、表示画面生成部（相関図表示手段）２２、条件設定部２３を備えて構成されている。
【００５４】
ＧＵＩ部２１は、ボタンやメニューなどのグラフィックスの部品を使って設計されたユーザインターフェイスを操作者に提供する。具体的には、ＧＵＩ部２１は、ＬＣＤ等の表示装置、マウスやキーボードあるいはタッチパネル等の入力装置により構成されている。
【００５５】
表示画面生成部２２は、プロセスデータを管理値とともに示した管理図（例えば、図２のグラフｇ２）と、検査結果データ判定部１２による判定結果（例えば、図２のグラフｇ１）とを、管理単位ごとに対応付けて表示する画面を生成して、ＧＵＩ部２１に表示する。具体的には、表示画面生成部２２は、管理値更新装置１０よりプロセスデータ、管理値、検査結果データを取得し、条件として設定された測定期間、検査結果データの検査項目、およびプロセスデータの測定項目について、製造装置２０１のプロセスデータの管理図と検査装置２０２の検査結果データとの相関関係図を作成する。なお、相関関係図を作成するための条件である、製造装置、検査装置、測定期間、検査結果データの検査項目、およびプロセスデータの測定項目は、条件設定部２３によって設定される。
【００５６】
また、表示画面生成部２２は、上記管理図とともに、上記条件である、製造装置、検査装置、測定期間、検査結果データの検査項目、およびプロセスデータの測定項目を操作者が指定するための選択リストやテキストボックス等や、管理値の更新を操作者が指示するためのボタンｂ１〜ｂ３を表示する画面を生成する。
【００５７】
条件設定部２３は、管理対象となる製造装置２０１とプロセスデータの測定項目、および検査装置２０２、管理対象とする製品、測定期間等の条件をＧＵＩ部２１から取得して、管理値更新装置１０に送信する。
【００５８】
よって、上記条件設定装置２０によれば、検査結果データと複数の製造装置２０１のプロセスデータを一覧できる。したがって、操作者は、製造装置２０１のプロセスデータの変化が検査結果に与える影響を視認できる。特に、検査結果に特に影響のある製造工程または製造装置２０１を特定することが可能となる。
【００５９】
つづいて、図２から図６を参照しながら、管理値演算部１３における管理値の演算方法について説明する。図２から図６は、管理値演算部１３における管理値の更新方法を示す説明図である。詳細には、図２は相関図の具体例であり、グラフｇ１は検査結果データである良品率、グラフｇ２およびグラフｇ３は２５ロット分の管理図、グラフｇ４およびグラフｇ５は１０ロット分の管理図をそれぞれ示す。図３および図４は、プロセスデータおよび管理値の具体例である。図５は、管理図係数表の具体例である。図６は検査結果データの具体例である。
【００６０】
管理図は、図２のグラフｇ２に示すように、中心線（ＣＬ）と上下一対の管理限界線が引かれており、上の方の限界線を上方管理限界線（ＵＣＬ）、下の方の限界線を下方管理限界線（ＬＣＬ）という。なお、通常、管理限界線の幅は、（平均値）±３×（標準偏差）つまり、３シグマ法の幅に設定される。
【００６１】
Ｘｂａｒ管理図（図２のグラフｇ３，ｇ５）では、中心線（ＣＬ）は各ロットの平均値（Ｘ）の平均値であり、上方管理限界線（ＵＣＬ）および下方管理限界線（ＬＣＬ）は次のように表される。Ｘｂａｒ管理図によって工程平均が管理できる。
【００６２】
ＵＣＬ＝ＣＬ＋Ａ２＊Ｒｂａｒ
ＬＣＬ＝ＣＬ−Ａ２＊Ｒｂａｒ
また、Ｒ管理図（図２のグラフｇ２，ｇ４）では、中心線（ＣＬ）は各ロットの範囲（Ｒ）の平均値であり、上方管理限界線（ＵＣＬ）および下方管理限界線（ＬＣＬ）は次のように表される。Ｒ管理図によってバラツキが管理できる。
【００６３】
ＵＣＬ＝Ｄ４＊Ｒｂａｒ
ＬＣＬ＝Ｄ３＊Ｒｂａｒ
なお、Ｘｂａｒはロットの平均値、Ｒは最小値と最大値の幅を示す。また、Ａ２、Ｄ４、Ｄ３は、ロットの大きさ（１群に含まれるデータ数）によって決まる定数である（図５）。また、図２から図６に示す例では、１ロットに８枚の基板が含まれるものとする。よって、測定結果をロット単位、すなわち、基板８枚分のデータ群として扱う。
【００６４】
図３に示すように、ロット００１からロット０１０までのＲ管理図の上方管理限界値ＵＣＬは１６．１である。よって、図２のグラフｇ４に示すように、上方管理限界値ＵＣＬは１６．１に表示される。
【００６５】
次に、図４に示すように、ロット０１３のＲの値は１６．３であり、ロット００１からロット０１０までで算出した上方管理限界値ＵＣＬを超えている。よって、このときプロセスデータ判定部１１は異常と判定する。なお、生産管理システム１１０のプロセス管理装置３０も同様に異常と判定する。しかし、このロット０１３の良品率は９９．３％であり、操作者が指定した検査装置２０２の基準良品率９９％を上回っている（図６）。この状態が図２のグラフｇ１に示されている。
【００６６】
そこで、管理値演算部１３は、当該プロセスデータを含めて、中心線（ＣＬ）、上方管理限界値（ＵＣＬ）、下方管理限界値（ＬＣＬ）を再演算する。この状態が図２のグラフｇ２に示されている。
【００６７】
なお、以上ではＲ管理図について説明したが、Ｘｂａｒ管理図についても同様である。
【００６８】
次に、管理値演算部１３は、プロセスデータ（Ｒ管理図の場合はＲの値）が上方管理限界値ＵＣＬを超えた場合には、例えば次のようにして新しい管理値を決定する。なお、下方管理限界値ＬＣＬを下回った場合についても同様である。（１）当該プロセスデータを含めて再演算した上方管理限界値（ＵＣＬ）を新しい上方管理限界値ＵＣＬとする。（２）新しい上方管理限界値ＵＣＬと同様に、当該プロセスデータを含めて再演算した下方管理限界値（ＬＣＬ）を新しい下方管理限界値ＬＣＬとする。すなわち、管理幅を上方および下方へ広げる。
【００６９】
また、製造装置２０１からのプロセスデータが先に報告されるため、対応する検査結果データがない場合には、過去のデータに基づく３σを管理値とする。なお、管理値の初期値としては他に、（１）製造装置のメーカが管理値として示した値、（２）管理幅が十分に狭い適当な値、などが設定できる。ただし、いずれの初期値から出発しても、上記のような更新を行うため、ある程度安定した管理値へは短時間に達することができる。
【００７０】
また、管理値演算部１３によれば、管理値は検査結果が正常である限り、管理幅が広がる方向のみに変更される。よって、検査結果に影響しないプロセスデータでは際限なく変更されることが考えられる。その場合、変更可能な限界値（上方管理限界値ＵＣＬであれば上限値）を決めておくことができる。この限界値としては、例えば、当初のσを用いて４σや６σに設定してもよい。
【００７１】
また、管理値演算部１３は、更新後の管理値では検査結果の異常が頻発した場合、検査結果が正常であった過去の管理値（例えば、初期値や前回設定値）へ復帰させる。なお、管理値の復帰は、管理値演算部１３が自動的に行ってもよいし、後述のように操作者の指示に応じて行ってもよい。
【００７２】
このように、管理値更新装置１０では、たとえ見逃せない異常原因により管理限界値の超過が見られたとしても、その検査結果が正常と判断されるなら、管理限界値を超えたロットのデータを偶然原因によるバラツキ範囲内のデータとして扱い、そのデータを管理値域内に含むように新たに中心線、上方管理限界値、下方管理限界値の演算を行う。
【００７３】
なお、管理値更新装置１０は、複数の検査装置２０２が指定された場合、すべての検査結果が正常を示す場合のみ、管理限界値を超えたロットのデータを偶然原因によるバラツキ範囲内のデータとして扱う。
【００７４】
図９は、条件設定装置２０の表示画面例（表示画面ｗ１）である。なお、演算開始ボタンｂ１、前回設定値復帰ボタンｂ２、初期値復帰ボタンｂ３については後述する。
【００７５】
条件設定装置２０は、ＧＵＩ部２１により操作者から、測定期間、複数の製造装置２０１と各製造装置２０１に対応したプロセスデータ項目、複数の検査装置２０２と各検査装置２０２に対応した検査結果項目、および製品種類の指定を受け付ける。そして、ＧＵＩ部２１に入力された各条件は条件設定部２３が管理値更新装置１０へ送信する。
【００７６】
また、条件設定装置２０は、プロセスデータと検査結果の相関関係を視認し易い表示形式でグラフ表示する。具体的には、グラフは製造装置２０１あるいは検査装置２０２の装置単位で縦方向に並べられ、横軸がロット単位となっている。よって、横軸の同一位置に縦方向に同一ロットのデータが配置される。グラフ表示の縦軸の単位は測定対象となった収集データの単位に従う。
【００７７】
ＧＵＩ部２１では、相関関係を見る製造装置２０１と検査装置２０２の組合せは、操作者の要求に応じて任意に選択可能である。装置の選択の際、一台の装置を基底装置として指定する。基底装置を設定するのは、横軸を構成するロットを特定するためである。基底装置として指定された装置を、例えば図９では画面の最上段に表示し、その他の装置の処理結果・検査結果を順次下方に表示する。もちろん、基底装置と同一ロットについてのデータを表示する。
【００７８】
表示画面ｗ１では、プロセスデータに基づいて生成されたＸｂａｒ−Ｒ管理図（平均値Ｘｂａｒの管理図と範囲Ｒの管理図とを組み合わせて１枚の図にまとめた管理図）が中下段に、検査結果データである良品率や欠陥数等をプロットしたグラフが上段にそれぞれ表示されている。
【００７９】
なお、検査結果データを線幅とすると、検査装置は線幅測定装置、製造装置とそのプロセスデータは、例えば露光装置と露光時間、化学的膜形成装置とガス圧力・ガス濃度となる。また、検査結果データを膜厚とすると、検査装置は膜厚測定装置、製造装置とそのプロセスデータは、例えば薄膜形成装置と反応室圧力・温度・処理時間となる。
【００８０】
表示画面ｗ１では、検査結果データの判断基準となるしきい値が指定可能である。例えば、良品率１００％を正常とするか、良品率９８％以上を正常とするかは操作者の設定したしきい値（基準良品率）に従う。
【００８１】
また、例えば、検査装置を膜厚測定装置、検査項目を膜厚良品率、製造装置を薄膜形成装置、測定項目を反応室圧力の最大値と最小値の幅、測定期間をロット００１〜０２５とすると、図２のグラフｇ１，ｇ２が表示される相関図に相当する。
【００８２】
表示画面生成部２２は、上記管理図とともに、上記のような、製造装置、検査装置、測定期間、検査結果データの検査項目、およびプロセスデータの測定項目を操作者が指定するための選択リストやテキストボックス等や、管理値の更新を操作者が指示するためのボタンｂ１〜ｂ３を表示する画面を生成する。
【００８３】
ここで、図７を参照しながら、管理値更新システム１６０における管理値（中心線、上方管理限界、下方管理限界）の基本的な更新ロジックについて説明する。
【００８４】
まず、プロセスデータ判定部１１が、プロセスデータ収集装置１４１より製造装置２０１のプロセスデータを取得し（プロセスデータ収集ステップ）、そのプロセスデータが管理限界値（上方管理限界および下方管理限界）を超えているか否かを判定する（Ｓ１１）。プロセスデータ判定部１１の判定の結果、プロセスデータが管理限界値を超えていなければ（Ｓ１１でＮＯ）、管理値演算部１３が、中心線（ＣＬ）、上方管理限界（ＵＣＬ）、および下方管理限界（ＬＣＬ）を再計算して管理値を更新する（Ｓ１２）。
【００８５】
一方、プロセスデータ判定部１１の判定の結果、プロセスデータが管理限界値を超えていれば（Ｓ１１でＹＥＳ）、検査装置２０２による当該ロットに対する検査結果が出ているかを判定する（Ｓ１３）。さらに、検査結果が出ていれば（Ｓ１３でＹＥＳ）、検査結果データ判定部１２が、検査結果データ収集装置１５１より上記プロセスデータと同一ロットに対する検査装置２０２による検査結果データを取得し（検査結果データ収集ステップ）、その検査結果データが正常か否かを判定する（Ｓ１４）。
【００８６】
そして、検査結果データが正常であれば（Ｓ１４でＹＥＳ）、中心線、上方管理限界、および下方管理限界を再計算して管理値を更新する（Ｓ１５（管理値演算ステップ））。このとき、管理限界値があらかじめ決められた上限値を超えない範囲で更新するものとし、上限値を超える場合には、上限値を管理限界値とする。
【００８７】
一方、検査結果が出ていない場合（Ｓ１３でＮＯ）、あるいは、検査結果データが異常の場合（Ｓ１４でＮＯ）、管理値演算部１３は管理値を更新しない（Ｓ１６）。
【００８８】
そして、ステップＳ１２およびＳ１５において更新された管理値、プロセスデータ、検査結果データを条件設定装置２０へ送信し、ＧＵＩ部２１に相関図を表示する（相関図表示ステップ）。
【００８９】
つづいて、図８を参照しながら、図７に示した管理値の基本更新ロジックに、管理値を自動復帰させる処理を追加した場合について説明する。この場合は、以下のステップが追加される。
プロセスデータが管理限界値を超えており（Ｓ１１でＹＥＳ）、検査結果が出ていて（Ｓ１３でＹＥＳ）、その検査結果データが異常の場合（Ｓ１４でＮＯ）、検査結果データの異常が連続して発生したか否かを判定する（Ｓ２１）。そして、検査結果データの異常が連続して発生した場合（Ｓ２１でＹＥＳ）、管理値演算部１３が前回の管理値を管理値記憶部１４から読み出し、前回の管理値によって更新する（Ｓ２２）。一方、検査結果データの異常が連続して発生していない場合（Ｓ２１でＮＯ）、管理値演算部１３は管理値を更新しない（Ｓ２３）。
【００９０】
また、管理値更新システム１６０では、操作者が管理値のための演算を手動で指示することもできる。
【００９１】
操作者が表示画面ｗ１（図９）にある演算開始ボタンｂ１を押下すると、それをトリガとして管理値演算部１３が管理の演算を実行する。演算結果は中心線（ＣＬ）、上方管理限界（ＵＣＬ）、および下方管理限界（ＬＣＬ）として表示される。なお、グラフ表示も更新するが、新たに演算開始ボタンｂ１が押下されるまでは、前回値を保持・表示する。
【００９２】
ここで、管理値更新システム１６０では、検査装置２０２からの検査結果データと、製造装置２０１からのプロセスデータとの相関をとる。それゆえ、対象となる装置の性能や動作状態に影響を受けやすく、対象装置が何らかの異常状態にある場合の検査結果データに基づいて、中心線、上方管理限界、下方管理限界の演算が行われるのは避けるべきである。そのため、管理値更新装置１０は、演算のトリガを操作者による演算開始ボタンｂ１の押下としている。操作者は、対象装置の安定状態を確認の上で演算開始ボタンｂ１の押下を行う。なお、誤操作を解消するために再計算を行う場合は、測定期間を対象装置が安定稼動していた期間に設定後、演算開始ボタンｂ１を押下する。
【００９３】
また、操作者が前回設定値復帰ボタンｂ２を押下すると、管理値演算部１３は管理値を前回の設定値に戻す。これにより、操作者が、管理値が不適切であると判断した場合、いつでも前回の設定値に戻すことができる。ここで、前回の設定値は装置単位で保持可能である。
【００９４】
また、操作者が初期値復帰ボタンｂ３を押下すると、管理値演算部１３は管理値を初期設定値に戻す。これにより、操作者が、管理値が不適切であると判断した場合、いつでも初期設定値に戻すことができる。ここで、初期設定値は装置単位で保持可能である。また、初期設定値は別画面（図示せず）にて登録・編集が可能である。また、前回の設定値などの過去の設定値を基に編集した設定値を初期設定値として登録することも可能である。
【００９５】
図１０は、上記管理値更新システム１６０を一般的なＬＣＤ製造工場に適用した場合の説明図である。
【００９６】
これまで、薄膜形成装置および膜厚測定装置が製造装置２０１および検査装置２０２にそれぞれ対応する場合（図１）、すなわち、製造工程とその直後の検査工程との間において、プロセスデータと検査結果データとのロットごとの相関関係を照合して管理値を更新する場合について説明した。これは、図１０において、ＴＦＴ製造工程の薄膜形成装置（製造装置２０１Ａ）および膜厚測定装置（検査装置２０２Ａ）からプロセスデータ収集装置１４１Ａおよび検査結果データ収集装置１５１Ａを介してプロセスデータおよび検査結果データを取得し、それらの相関関係を照合して薄膜形成装置に対する管理値を更新する管理値更新システム１６０Ａに相当する。
【００９７】
しかし、管理値更新システム１６０がプロセスデータと検査結果データとの相関関係を照合する製造装置２０１および検査装置２０２は、検査項目および測定項目に応じて適宜選択できる。例えば、図１０に管理値更新システム１６０Ｂとして示すように、配向膜形成工程のフォト装置、薄膜形成装置、エッチング装置、塗布装置、液晶注入・封止工程の真空チャンバーを製造装置２０１Ｂとして、プロセスデータ収集装置１４１Ｂを介してプロセスデータを収集し、パネル検査工程のパネル検査装置を検査装置２０２Ｂとして、検査結果データ収集装置１５１Ｂを介して検査結果データを収集し、それらの相関関係を照合して各製造装置２０１Ｂに対する管理値を更新することもできる。
【００９８】
なお、図１に示すように、製造管理システム１００では、すべての製造装置２０１に対してプロセスデータ収集装置１４１が設けられており、また、すべての検査装置２０２に対して検査結果データ収集装置１５１が設けられている。そして、管理値更新システム１６０は、製造装置管理システム１４０および検査装置管理システム１５０に要求することにより、任意の製造装置２０１のプロセスデータおよび任意の検査装置２０２の検査結果データを取得できる。よって、管理値更新装置１０は、条件設定装置２０での設定に応じて、１または複数の任意の製造装置２０１と１または複数の任意の検査装置２０２との組合せについてプロセスデータおよび検査結果データの相関関係を照合して、製造装置に対する管理値を更新することができる。
【００９９】
以上により、管理値更新システム１６０によれば、製品仕様に適した管理値が得られる。よって、従来、品質向上を目的として製造装置の安定稼動を求めて過剰なる管理値を設定したために発生していた製造装置の保守整備や点検が不要となるとともに、アラーム発生による製造ラインの停止を最小限に抑制できる。それゆえ、品質を維持したまま製造装置の稼働率を向上させることができる。
【０１００】
また、品質維持にあまり関係しない製造装置の管理限界値幅は増加傾向にあり、逆に装置のバラツキが欠陥数等の検査結果データに対応する製造装置の管理限界値幅は増加傾向が見られない。よって、品質管理や歩留まり管理に重要な要因を持つ製造装置が判断でき、データマイニングや回帰分析を行う際の変数に関する基礎データを提供することが可能である。それゆえ、効率的に解析して、工程改善を行うことが可能となる。
【０１０１】
なお、管理値が確定していない製造ライン２００の稼働の初期段階では、管理値の確定を優先させるために、上記のようにプロセスデータの判定で限界値を超えていても検査結果が出るまで処理を続けてもよい。そして、管理値が確定した安定段階では、上記のようにプロセスデータの判定で限界値を超えた場合には、装置を停止させてもよい。
【０１０２】
なお、本実施の形態は本発明の範囲を限定するものではなく、本発明の範囲内で種々の変更が可能であり、例えば、以下のように構成することができる。
【０１０３】
本発明の相関関係照合システムは、製造工場で、製造管理システムの下に、プロセスデータ収集装置および検査結果データ収集装置とのインターフェイスを持ち、プロセスデータを管理する管理値、および管理上限値、管理下限値で決まる管理幅を、過去の実績であるプロセスデータと検査結果データの照合を基に検査結果が正常である範囲内で最高値を保持するように広げる方向で自動更新する品質管理値自動更新装置と、管理対象となる製造装置とプロセスデータ内の測定項目、および工程検査装置、管理対象とする期間について品質管理値自動更新装置に対して指示し、品質管理値自動更新装置の更新する前記の管理幅を管理図手法にて表示し、操作者に対しＧＵＩを提供する品質管理対象設定装置と、を備えて構成されてもよい。
【０１０４】
また、本発明の品質管理値更新方法は、監視対象とした一定期間に、指定した製造装置により処理されたロットとプロセスデータ内の測定項目、および対応するロットの検査結果データに関して、前記品質管理値自動更新装置が、検査結果データが正常を示すプロセスデータ内の測定項目から得られる平均値およびバラツキを算出し、さらにバラツキの所定倍値と検査結果データが正常を示すプロセスデータ内の測定値の最高値、最低値および前回管理上限値、前回管理下限値と比較して、それら絶対値がより大きい値をとるものを新しい管理上限値、管理下限値として置き換える方法であってもよい。
【０１０５】
これにより、製造工程のすべての工程において、必要とされるプロセスデータと検査結果データはそれぞれプロセスデータ収集装置と検査結果データ収集装置で集められ、収集されたデータは品質管理対象設定装置にて指定される測定期間、製造装置、検査装置、および製品種類の条件で、品質管理値自動更新装置により抽出される。品質管理値自動更新装置は検査結果データが正常を示すプロセスデータ内の測定項目から得られる平均値およびバラツキを算出し、さらにバラツキの所定倍値と検査結果データが正常を示すプロセスデータ内の測定値の最高値、最低値および前回管理上限値、前回管理下限値と比較してそれら絶対値がより大きい値をとるものを新しい管理上限値、管理下限値として置き換え、更新された新しい品質管理値は品質管理対象設定装置を通じて操作者に通知する。
【０１０６】
また、検査結果と複数製造装置のプロセスデータを一覧できることから、製造装置のプロセスデータの変化が検査結果に与える影響を視認でき、特に検査結果に影響のある工程、または製造装置を特定するための補助装置として作用する。
【０１０７】
よって、製造工場の全工程において、検査結果を製造装置の管理値に反映することが可能となり、製品仕様に適した管理値で自動化工場が稼動され、品質向上を目的として製造装置の安定稼動を求めて過剰なる管理値を設定したために発生する不要な製造装置の保守整備や点検、およびアラーム発生による製造ラインの停止を最小限に抑制でき、品質を保持したまま歩留まりの向上を実現することができる。
【０１０８】
また。特に検査結果に影響のある工程、または製造装置を特定するための補助装置として作用し、結果として特に監視を強化する装置を特定できることから品質・歩留まり向上を実現することができる。
【０１０９】
最後に、製造管理システム１００、特に、管理値更新装置１０および条件設定装置２０は、パーソナルコンピュータ等の汎用のコンピュータをベースに構成できる。すなわち、管理値更新装置１０、条件設定装置２０等は、それぞれの機能を実現するプログラムの命令を実行するＣＰＵ（ｃｅｎｔｒａｌ  ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  ｕｎｉｔ  ）、ブートロジックを格納したＲＯＭ（ｒｅａｄ  ｏｎｌｙ  ｍｅｍｏｒｙ）、上記プログラムを展開するＲＡＭ（ｒａｎｄｏｍ  ａｃｃｅｓｓ  ｍｅｍｏｒｙ）、上記プログラムおよび各種データベースを格納するハードディスク等の記憶装置（記録媒体）、キーボードやマウス等の入力機器、モニタ、スピーカー、プリンタ等の出力機器、外部のネットワークに接続するネットワーク接続機器が、内部バスによって接続されて構成されている。そして、管理値更新装置１０、条件設定装置２０等の機能は、記憶装置に格納されたプログラムを必要に応じてＲＡＭに展開してＣＰＵで実行することでそれぞれ実現される。
【０１１０】
また、本発明の目的は、上述した管理値更新装置１０および条件設定装置２０の各機能を実現するソフトウェアである管理値更新プログラムのプログラムコード（実行形式プログラム、中間コードプログラム、ソースプログラム）をコンピュータで読み取り可能に記録した記録媒体を、システムあるいは装置に供給し、そのシステムあるいは装置のコンピュータ（またはＣＰＵやＭＰＵ、ＤＳＰ）が記録媒体に記録されているプログラムコードを読み出し実行することによっても、達成可能である。
【０１１１】
上記プログラムコードを供給するための記録媒体は、システムあるいは装置と分離可能に構成することができる。また、上記記録媒体は、プログラムコードを供給可能であるように固定的に担持する媒体であってもよい。そして、上記記録媒体は、記録したプログラムコードをコンピュータが直接読み取ることができるようにシステムあるいは装置に装着されるものであっても、外部記憶装置としてシステムあるいは装置に接続されたプログラム読み取り装置を介して読み取ることができるように装着されるものであってもよい。
【０１１２】
例えば、上記記録媒体としては、磁気テープやカセットテープ等のテープ系、フロッピー（登録商標）ディスク／ハードディスク等の磁気ディスクやＣＤ−ＲＯＭ／ＭＯ／ＭＤ／ＤＶＤ／ＣＤ−Ｒ等の光ディスクを含むディスク系、ＩＣカード（メモリカードを含む）／光カード等のカード系、あるいはマスクＲＯＭ／ＥＰＲＯＭ／ＥＥＰＲＯＭ／フラッシュＲＯＭ等の半導体メモリ系などを用いることができる。
【０１１３】
また、システムあるいは装置を通信ネットワークと接続可能に構成し、上記プログラムコードを通信ネットワークを介して供給してもよい。そして、通信ネットワークとしては、特に限定されず、具体的には、インターネット、イントラネット、エキストラネット、ＬＡＮ、ＩＳＤＮ、ＶＡＮ、ＣＡＴＶ通信網、仮想専用網（ｖｉｒｔｕａｌ  ｐｒｉｖａｔｅ  ｎｅｔｗｏｒｋ）、電話回線網、移動体通信網、衛星通信網等が利用可能である。また、通信ネットワークを構成する伝送媒体としては、特に限定されず、具体的には、ＩＥＥＥ１３９４、ＵＳＢ、電力線搬送、ケーブルＴＶ回線、電話線、ＡＤＳＬ回線等の有線でも、ＩｒＤＡやリモコンのような赤外線、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ、８０２．１１無線、ＨＤＲ、携帯電話網、衛星回線、地上波デジタル網等の無線でも利用可能である。なお、本発明は、上記プログラムコードが電子的な伝送で具現化された搬送波あるいはデータ信号列の形態でも実現され得る。
【０１１４】
上述した機能は、コンピュータが読み出した上記プログラムコードを実行することによって実現されるだけでなく、そのプログラムコードの指示に基づき、コンピュータ上で稼働しているＯＳなどが実際の処理の一部または全部を行うことによっても実現される。
【０１１５】
さらに、上述した機能は、上記記録媒体から読み出された上記プログラムコードが、コンピュータに装着された機能拡張ボードやコンピュータに接続された機能拡張ユニットに備わるメモリに書込まれた後、そのプログラムコードの指示に基づき、その機能拡張ボードや機能拡張ユニットに備わるＣＰＵなどが実際の処理の一部または全部を行うことによっても実現される。
【０１１６】
【発明の効果】
以上のように、本発明の管理値更新装置は、製造装置からプロセスデータを収集するプロセスデータ収集装置および検査装置から検査結果データを収集する検査結果データ収集装置と通信可能に接続されるとともに、上記プロセスデータに管理図を適用するための管理値を、上記プロセスデータに基づいて、上記検査結果データが正常である範囲内で管理値の限界を広げる方向に更新する管理値演算手段を備えた構成である。
【０１１７】
また、本発明の管理値更新方法は、製造装置からプロセスデータを収集するプロセスデータ収集ステップと、検査装置から検査結果データを収集する検査結果データ収集ステップと、上記プロセスデータに管理図を適用するための管理値を、上記プロセスデータに基づいて、上記検査結果データが正常である範囲内で管理値の限界を広げる方向に更新する管理値演算ステップと、を含む方法である。
【０１１８】
それゆえ、実際のプロセスデータおよび検査結果データに基づいて、管理限界値を最大限に広げるように順次更新するため、製品仕様に適合するとともに、製造工場における製造上の特性を反映した管理値の真の限界値を得ることができる。
【０１１９】
したがって、管理値に基づきプロセスデータの異常を検知する頻度を極小化できる。よって、アラーム発生や製造ラインの停止を最小限に抑制できる。それゆえ、上記管理値更新システムによれば、品質を維持したまま製造工場の稼働率を向上させることができるという効果を奏する。
【０１２０】
また、製造装置を停止させる間隔が長くなるため、装置間のバラツキをより長期に監視でき、適切な保守時期を設定することが可能となるため、歩留まり向上を実現できる。その結果、従来製造装置の安定稼動のために余裕を見込んで行っていた過剰な保守整備や点検が不要となるという効果を奏する。
【０１２１】
また、製造装置や工程ごとに品質管理や歩留まり管理に重要な要因を持つか否かが判断できるため、監視を強化するべき製造装置や工程を特定することが可能となる。それゆえ、品質および歩留まりの向上を実現できるという効果を奏する。
【０１２２】
さらに、本発明の管理値更新装置は、管理単位ごとに上記プロセスデータを上記管理値と比較してプロセスデータが正常であるか否かを判定するプロセスデータ判定手段と、当該管理単位ごとに上記検査結果データを所定のしきい値と比較して検査結果データが正常であるか否かを判定する検査結果データ判定手段と、を備えるとともに、上記管理値演算手段が、同一の管理単位に対して、上記プロセスデータ判定手段が異常と判定し、かつ、上記検査結果データ判定手段が正常と判定した場合に、該当するプロセスデータを正常と判定する新しい管理値を演算するものである。
【０１２３】
それゆえ、さらに、同一の管理単位に対して、プロセスデータは異常と判定されたが、検査結果データは正常と判定された場合に、該当するプロセスデータを正常と判定するように新しい管理値を演算することができる。それゆえ、プロセスデータに基づいて、検査結果データが正常である範囲内で管理値の限界を広げる方向に更新できるという効果を奏する。
【０１２４】
さらに、本発明の管理値更新装置は、上記管理値を更新ごとに追加して記憶する管理値記憶手段を備えるとともに、上記管理値演算手段が、上記検査結果データ判定手段が異常と判定する頻度が所定の基準を超えた場合に、上記管理値記憶手段から過去の管理値を取得して、当該過去の管理値により管理値を更新するものである。
【０１２５】
それゆえ、さらに、例えば、新しい管理値に変更した結果、検査結果の異常が頻発した場合、検査結果が正常となる過去の管理値（例えば、初期値や前回設定値）へ復帰させることができるという効果を奏する。
【０１２６】
また、本発明の管理値更新システムは、上記の管理値更新装置を含み、かつ、上記プロセスデータを上記管理値とともに示した管理図と、上記検査結果データ判定手段による判定結果とを、管理単位ごとに対応付けて表示する相関図表示手段を備えたユーザインターフェイス装置を含む構成である。
【０１２７】
さらに、本発明の管理値更新方法は、上記プロセスデータを上記管理値とともに示した管理図と、上記検査結果データ判定手段による判定結果とを、管理単位ごとに対応付けて表示する相関図表示ステップを含む方法である。
【０１２８】
それゆえ、さらに、管理値更新システムの操作者は、製造装置のプロセスデータの変化が検査結果に与える影響を視認できる。特に、検査結果に特に影響のある製造装置あるいは製造工程を特定することが可能となる。したがって、管理値を演算するための条件である、製造装置、検査装置、測定期間、プロセスデータの測定項目、検査結果データの検査項目等の設定が容易となるという効果を奏する。
【０１２９】
また、本発明の製造管理システムは、上記の管理値更新装置を備え、かつ、上記管理値更新装置で更新された管理値を用いて製造装置を制御するプロセス管理装置を備える構成である。
【０１３０】
それゆえ、例えば、製造装置からリアルタイムで送信されるプロセスデータが管理上限値を超えた時、製造装置を停止させたり、担当の操作者へ警報を発するなどのアクションを行うことができるという効果を奏する。
【０１３１】
また、本発明の管理値更新プログラムは、コンピュータを上記管理値更新装置の各手段として機能させるコンピュータ・プログラムである。
【０１３２】
それゆえ、コンピュータで上記管理値更新装置の各手段を実現することによって、上記管理値更新装置を実現することができるという効果を奏する。
【０１３３】
また、本発明の管理値更新プログラムは、コンピュータを上記ユーザインターフェイス装置の相関図表示手段として機能させるコンピュータ・プログラムである。
【０１３４】
それゆえ、コンピュータで上記ユーザインターフェイス装置の相関図表示手段を実現することによって、上記ユーザインターフェイス装置を実現することができるという効果を奏する。
【０１３５】
また、本発明の管理値更新プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体は、上記の各手段をコンピュータに実現させて、上記管理値更新システムを構成する管理値更新装置およびユーザインターフェイス装置を動作させる管理値更新プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体である。
【０１３６】
それゆえ、上記記録媒体から読み出された管理値更新プログラムによって、上記管理値更新システムをコンピュータ上に実現することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係る管理値更新システムの構成の概略を示す機能ブロック図である。
【図２】図１に示した管理値更新システムにおける管理値の更新方法を示す説明図である。
【図３】図１に示した管理値更新システムにおける管理値の更新方法を示す説明図である。
【図４】図１に示した管理値更新システムにおける管理値の更新方法を示す説明図である。
【図５】図１に示した管理値更新システムにおける管理値の更新方法を示す説明図である。
【図６】図１に示した管理値更新システムにおける管理値の更新方法を示す説明図である。
【図７】図１に示した管理値更新システムにおける管理値の更新方法のフローチャートである。
【図８】図１に示した管理値更新システムにおける管理値の更新方法のフローチャートである。
【図９】図１に示した管理値更新システムにおける表示画面例を示す説明図である。
【図１０】図１に示した管理値更新システムを一般的なＬＣＤ製造工場に適用した場合の説明図である。
【符号の説明】
１１    プロセスデータ判定部（プロセスデータ判定手段）
１２    検査結果データ判定部（検査結果データ判定手段）
１３    管理値演算部（管理値演算手段）
１４    管理値記憶部（管理値記憶手段）
２１    ＧＵＩ部（相関図表示手段）
２０    条件設定装置（ユーザインターフェイス装置）
２２    表示画面生成部（相関図表示手段）
３０    プロセス管理装置
１００    製造管理システム
１４１    プロセスデータ収集装置
１５１    検査結果データ収集装置
１６０    管理値更新システム
２００    製造ライン
２０１    製造装置
２０２    検査装置
Ｓ１５    管理値演算ステップ
【図１】
2005025475.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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