(57)【要約】【課題】  光学ベースの摺動性能を向上するとともに半導体レーザで発生する熱の放熱性能を確保することにより、光学ヘッドの信頼性を向上する。【解決手段】  半導体レーザと、この半導体レーザからの光束を光磁気記録媒体上に集光する対物レンズと、この対物レンズを光磁気記録媒体のフォーカス方向及びトラッキング方向に駆動する対物レンズ駆動機構１４と、半導体レーザと対物レンズ駆動機構１４を保持する金属製の光学ベース１９と、この光学ベース１９を光磁気記録媒体のラジアル方向にガイドする送りネジ３６及びガイド軸３７を備える。光学ベース１９と、送りネジ３６又はガイド軸３７とは、熱伝導性を有する樹脂製又はセラミック製の摺動部材を介して接触する。【選択図】      図４
2005025920.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源と、
前記光源から出射された光束を光情報記録媒体上に集光する対物レンズと、
前記対物レンズを前記光情報記録媒体のフォーカス方向およびトラッキング方向に駆動する対物レンズアクチュエータと、
前記光源と前記対物レンズアクチュエータとを保持する金属製の光学ベースと、
前記光学ベースを前記光情報記録媒体のラジアル方向に案内する金属製のガイド部材とを備え、
前記光学ベースと前記ガイド部材とは、熱伝導性を有する摺動部材を介して接触していることを特徴とする光学ヘッド。
【請求項２】
前記光学ベースは、金属製のプレス加工品、鍛造品及び鋳造品の何れかによって構成されていることを特徴とする請求項１記載の光学ヘッド。
【請求項３】
前記摺動部材は、樹脂製及びセラミック製の何れかであることを特徴とする請求項１又は２記載の光学ヘッド。
【請求項４】
前記光学ベースは、金属製のプレス加工品であり、
前記光学ベースには、前記ガイド部材を支持するための板状の支持部が設けられ、
前記支持部は、０．２ｍｍ以上で且つ１．２ｍｍ以下の厚みに形成されていることを特徴とする請求項２又は３記載の光学ヘッド。
【請求項５】
前記ガイド部材は、前記情報記録媒体のラジアル方向に延びる軸部材からなり、
前記光学ベースには、前記ガイド部材を支持するための支持部が設けられ、
前記支持部にはそれぞれ貫通孔又は溝が形成され、
前記摺動部材は環状又はＣ字状に形成されるとともに前記支持部の貫通孔又は溝に装着され、この摺動部材に前記ガイド部材が挿入されていることを特徴とする請求項１から３の何れか１項記載の光学ヘッド。
【請求項６】
前記摺動部材の熱伝導率は、５Ｗ／ｍ・ｋ以上で且つ５０Ｗ／ｍ・ｋ以下であることを特徴とする請求項１から５の何れか１項記載の光学ヘッド。
【請求項７】
前記摺動部材の熱伝導率は、１０Ｗ／ｍ・ｋ以上で且つ４０Ｗ／ｍ・ｋ以下であることを特徴とする請求項６記載の光学ヘッド。
【請求項８】
前記摺動部材は、樹脂製で且つ導電性を有していることを特徴とする請求項１から７の何れか１項記載の光学ヘッド。
【請求項９】
前記摺動部材は、ベースとなる樹脂材料に金属又は炭素が質量百分率で２０％以上で且つ８０％以下の割合で含有されているものであることを特徴とする請求項８記載の光学ヘッド。
【請求項１０】
前記金属は、銅系、鉄系及びアルミニウム系の金属の何れかであることを特徴とする請求項９記載の光学ヘッド。
【請求項１１】
前記摺動部材は、樹脂製で且つ電気的絶縁性を有していることを特徴とする請求項１から７の何れか１項記載の光学ヘッド。
【請求項１２】
前記摺動部材は、ベースとなる樹脂材料に非導電性硬質材が質量百分率で２０％以上で且つ８０％以下の割合で含有されているものであることを特徴とする請求項１１記載の光学ヘッド。
【請求項１３】
前記非導電性硬質材は、セラミック、ルビー及びダイヤモンドの何れかであることを特徴とする請求項１２記載の光学ヘッド。
【請求項１４】
前記光学ベースと前記摺動部材とは一体的に成形されていることを特徴とする請求項１から１３の何れか１項記載の光学ヘッド。
【請求項１５】
請求項１から１４の何れか１項記載の光学ヘッドと、
トラッキング誤差信号を演算し、このトラッキング誤差信号に基づいて前記光学ヘッドの対物レンズ位置を制御して光情報記録媒体上の所定の情報トラックに集光スポットを追従させるトラッキング制御手段と、
フォーカス誤差信号を演算し、このフォーカス誤差信号に基づいて前記光学ヘッドの対物レンズ位置を制御して光情報記録媒体上に集光スポットを追従させるフォーカス制御手段とを備えていることを特徴とする光情報記録媒体駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ディスク状の情報記録媒体に光スポットを投影して光学的に情報を記録再生する光情報記録媒体駆動装置に適用される光学ヘッドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、光学ヘッドおよびディスク記録再生装置は、ＤＶＤ、ＭＤ、ＣＤ、ＣＤ−Ｒなどその用途は年々多様化する一方、益々高密度化、高性能化、高品質化、高付加価値化されている。特に記録可能な光磁気メディアを利用したディスク記録再生装置においては、ポータブル用の需要が大きく増加傾向にあり、より一層の小型化、薄型化、高性能化、低コスト化が求められている。
【０００３】
従来、光磁気ディスク用のディスク記録再生装置の光学ヘッドに関する技術としては、下記特許文献１等に開示された数多くの技術が公知となっている。以下、図面を参照しながら、従来の光学ヘッドの一例として、光磁気ディスク用のディスク記録再生装置に用いられる光学ヘッドについて説明する。図９〜図１２は従来の光学ヘッドの概略的な構成図およびその動作原理を説明するための図である。
【０００４】
図９〜図１１に示すように、光学ヘッド５０は、集積ユニット９と、反射ミラー１０と、対物レンズ１１が配設された対物レンズ駆動機構１４と、光学ベース１９とを備えている。
【０００５】
集積ユニット９は、図１０及び図１１に示すように、シリコン基板１と、光源である半導体レーザ２と、多分割光検出器３と、放熱プレート４と、端子５と、樹脂パッケージ６と、樹脂で成形されたホログラム素子７と、複合素子８とを一体構成としたものである。半導体レーザ２はシリコン基板１上に固定されている。多分割光検出器３は、ＩＣプロセスにてシリコン基板１上に形成されるものである。放熱プレート４は、シリコン基板１を伝熱状態で保持するためのものである。端子５は、多分割光検出器３の出力部３ａにワイヤーボンディング５ａ等で接続されている。樹脂パッケージ６は、シリコン基板１、放熱プレート４および端子５を保持するものである。ホログラム素子７には、回折格子が形成されている。複合素子８は、ビームスプリッタ８ａ、折り返しミラー８ｂ及び偏光分離素子８ｃによって構成されている。なお、図１０（ｂ）において、符号３２は光磁気記録媒体１３上に形成される光スポットを示している。
【０００６】
対物レンズ駆動機構１４は、対物レンズ１１を光磁気記録媒体１３のフォーカス方向（光磁気記録媒体１３に実質的に垂直な方向）およびラジアル方向（光磁気記録媒体１３に実質的に平行な方向）に駆動するものである。光磁気記録媒体１３は磁気光学効果を有する情報記録媒体である。
【０００７】
対物レンズ駆動機構１４は、図９に示すように、対物レンズ１１と、対物レンズホルダー１２と、ベース１５と、サスペンション１６と、磁気回路１７と、コイル１８ａ、１８ｂとより構成される。対物レンズ１１は対物レンズホルダー１２に固定されており、この対物レンズ１１は、半導体レーザ１からの光束を用いて光磁気記録媒体１３上に光スポット３２（図１０（ｂ）参照）を形成する。そして、コイル１８ａに通電することで対物レンズ１１をフォーカス方向に駆動でき、またコイル１８ｂに通電することで対物レンズ１１をラジアル方向に駆動することが可能となっている。
【０００８】
反射ミラー１０と集積ユニット９とは光学ベース１９によって保持される。この光学ベース１９は反射ミラー１０の固定部１９ａと、集積ユニット９の固定部１９ｂとを備えている。集積ユニット９は樹脂パッケージ６を光学ベース１９の固定部１９ｂに接着することにより固定される。そして、光学ベース１９上において、多分割光検出器３のフォーカス誤差信号受光領域２４は、Ｚ軸方向（光軸方向）におけるフォーカス誤差信号検出用の光スポットの焦点３０，３１の略中間に位置するように配置される。また、半導体レーザ２から発生した熱は、放熱プレート４および樹脂パッケージ６を通じて光学ベース１９へと伝熱し、この光学ベース１９を介して空気中に放熱するようになっている。半導体レーザ２から発生した熱を光学ベース１９等により効率的に空気中に放熱することにより、半導体レーザ２自身の温度が大きく上昇し消費電流が急激に増加することを防止することができるとともに半導体レーザ２の劣化を防止でき、光学ヘッド５０の信頼性を大幅に向上させることができる。なお、図９において符号３５はフレキシブル回路を示している。
【０００９】
図１１に示すように、多分割光検出器３には、フォーカス誤差信号受光領域２４と、トラッキング誤差信号受光領域２５，２６と、情報信号受光領域２７とが設けられている。そして、フォーカス誤差信号受光領域２４にはフォーカス誤差信号検出用の光スポット２０が、またトラッキング誤差信号受光領域２５，２６にはトラッキング誤差信号検出用の光スポット２１が、また情報信号受光領域２７にはメインビーム（Ｐ偏光）２２とメインビーム（Ｓ偏光）２３がそれぞれ照射される。なお、図１１において、符号４６はエッジドミラーを、また符号２８は減算器を、また符号２９は加算器を示している。
【００１０】
図１２に示すように、光学ヘッド５０は、光学ヘッド送り機構４７によって光磁気記録媒体１３のラジアル方向へ移動するようになっている。この光学ヘッド送り機構４７は、送りネジ３６、副軸３７、送りモータ３８、ギヤ３９ａ、ギヤ３９ｂ、カバー３３に設けられたナット板４０、軸受け４１等から構成される。光学ヘッド送り機構４７はメカベース４２に取り付けられる。送りネジ３６が光学ベース１９の摺動孔１９ｃ（図９参照）に対して摺動するとともに、副軸３７が光学ベース１９の摺動孔１９ｅ（図９参照）に対して摺動することにより、光学ヘッド５０は光磁気記録媒体１３のラジアル方向に移動する。この時、ナット板４０が送りネジ３６に係合しており、送りモータ３８が回転すると、ギヤ３９ａとギヤ３９ｂのギヤ比、および送りネジ３６のピッチから算出される減速比によって決定される送り量だけ光学ヘッド５０全体がラジアル方向に移動することとなる。
【００１１】
以上のように構成された従来の光学ヘッド５０の動作について説明する。
【００１２】
図１０（ａ）及び（ｂ）に示すように、半導体レーザ２より発せられた光は、ホログラム素子７により複数の光束に分離される。一部の光束は複合素子８のビームスプリッタ８ａを透過し、反射ミラー１０で反射された後、対物レンズ１１を透過して光磁気記録媒体１３上に直径１ミクロン程度の光スポット３２として集光される。一方、複合素子８のビームスプリッタ８ａにより反射された光束は、レーザモニタ用受光素子（図示せず）に入射し半導体レーザ２の駆動電流を制御する。
【００１３】
光磁気記録媒体１３からの反射光は、逆の経路をたどり、複合素子８のビームスプリッタ８ａにより反射分離されて、折り返しミラー８ｂで反射された後、偏光分離素子８ｃに入射する。
【００１４】
半導体レーザ２は、図１０（ａ）で紙面に平行な偏光方向となるようシリコン基板１上に設置されており、偏光分離素子８ｃへの入射光は、互いに直交する２つの偏光成分の光束に分離された後、情報信号受光領域２７（図１１参照）に入射される。
【００１５】
また、光磁気記録媒体１３からの反射光のうちビームスプリッタ８ａを透過した光束は、ホログラム素子７により複数の光束に分離され、フォーカス誤差信号受光領域２４とトラッキング誤差信号受光領域２５，２６へ集光される。尚、フォーカスサーボはいわゆるＳＳＤ法で行われ、トラッキングサーボはいわゆるプッシュプル法で行われる。
【００１６】
Ｐ偏光からなるメインビーム２２とＳ偏光からなるメインビーム２３との差を演算する差動検出法により、光磁気ディスク情報信号の検出が可能となっている。そして、それらの和をとることにより、プレピット信号の検出が可能となっている。
【００１７】
光磁気記録媒体１３の再生時および光磁気記録媒体１３への記録時において、対物レンズ駆動機構１４と光学ヘッド送り機構４７は、対物レンズ１１を光磁気記録媒体１３のラジアル方向に移動させる。
【００１８】
以上のように構成される光学ヘッド５０において、光磁気記録媒体１３からの反射光により所望の検出信号を得るためには、組立時に半導体レーザ２と対物レンズ１１と多分割光検出器３との相対位置調整が行われる。これらの相対位置調整は、光学ベース１９と、集積ユニット９の樹脂パッケージ６との寸法を規定することにより行われるが、この位置調整では、多分割光検出器３のフォーカス誤差信号受光領域２４がＺ軸方向（光軸方向）における光スポットの各焦点３０，３１の略中間に位置するようにフォーカス誤差信号の初期位置の調整が行われる。また、光磁気記録媒体１３と対物レンズ１１との相対傾き調整は、外部治具（図示せず）によりベース１５を保持した上で、対物レンズ１１と光磁気記録媒体１３とのスキュー調整により行う。
【特許文献１】特開平１１−３２８６８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
上記の従来の構成の光学ヘッド５０の光学ベース１９はアルミ、亜鉛またはマグネシウム等のダイキャストより構成されているので、光学ベース１９の成型時に摺動孔１９ｃ，１９ｅにバリが発生する。また、低コスト化または薄型高剛性化を目的として板材をプレス加工または鍛造することにより光学ベース１９を構成した場合においても、プレス加工時または鍛造の時に摺動孔１９ｃ，１９ｅにバリが発生する。このバリは金型の構成に応じた方向に発生する。摺動孔１９ｃ，１９ｅにバリが発生すると、摺動孔１９ｃ，１９ｅの寸法精度が悪化するため、送りネジ３６および副軸３７の摺動時の負荷が増大する。このため、送りモータ３８の消費電流の増大を招くばかりでなく、動作不良を引き起こすことにより記録不良および再生不良を発生させる虞がある。
【００２０】
また、摺動時にバリが摺動孔１９ｃと送りネジ３６の間に挟まれることがあり、この場合には摺動不能を引き起こし、送り動作が繰り返されることにより徐々に摺動動作を悪化させるという問題もある。
【００２１】
また、このバリを手作業等により除去する工程が必要となり製造コストが上昇するという問題があり、またオイルレスメタルを用いたとしても製造コストが高くなってしまう。
【００２２】
摺動性を確保すべく摺動孔１９ｃ，１９ｅに樹脂等からなる軸受けを配設することが考えられる。しかし、このような構成を採用すると、半導体レーザ２によって生ずる熱を送りネジ３６及び副軸３７を介して光学ベース１９側へ放熱させることが困難となる。この結果、半導体レーザ２の温度上昇を招き、これにより消費電力が増大するばかりでなく、発光寿命が低減するという問題が生ずる。
【００２３】
そこで、本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、光学ヘッドにおいて、光学ベースの摺動孔に発生するバリの影響を低減することにより、摺動孔における摺動抵抗を改善するとともに摺動抵抗を安定させて摺動性能を向上し、さらには、半導体レーザで発生する熱の放熱性能を確保することにより光学ヘッドの信頼性を向上することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
本発明は、前記の目的を達成するために以下の構成とする。
【００２５】
即ち、本発明の光学ヘッドは、光源と、前記光源から出射された光束を光情報記録媒体上に集光する対物レンズと、前記対物レンズを前記光情報記録媒体のフォーカス方向およびトラッキング方向に駆動する対物レンズアクチュエータと、前記光源と前記対物レンズアクチュエータとを保持する金属製の光学ベースと、前記光学ベースを前記光情報記録媒体のラジアル方向に案内する金属製のガイド部材とを備え、前記光学ベースと前記ガイド部材とは、熱伝導性を有する摺動部材を介して接触している。
【００２６】
この光学ヘッドでは、光学ベースとガイド部材との間に摺動部材が介在するので、ガイド部材に対する光学ベースの摺動性能を大幅に向上させることができる。これにより、送りモータ等の消費電力を低減することができる。そして、光源から発生する熱をこの摺動部材を介してガイド部材に効率的に伝熱し、ガイド部材での放熱が可能となるので、光源の温度が上昇するのを緩和でき、これにより光源の消費電力を低減することができる。この結果、電池寿命の大幅な向上および光源の長寿命化を期待できるとともに安定した記録再生を実現することができる。したがって、摺動特性と放熱特性とを両立させることにより、光学ヘッドの消費電力を低減できるとともに記録再生性能を向上でき、信頼性を向上することができる。
【００２７】
前記光学ベースを金属製の板材、例えばプレス加工品又は鍛造品によって構成すれば、放熱性能およびコスト性に優れた光学ヘッドを実現することが可能となるし、また鋳造品によって構成すれば、放熱性能および寸法精度に優れた光学ベースを実現することができる。これにより、高性能な光学ヘッドを実現することができる。また、光学ベースをプレス加工品によって構成したときには、薄型高剛性の構成を実現することができる。
【００２８】
前記摺動部材は、樹脂製及びセラミック製の何れかであるのが好ましい。摺動部材を樹脂製のものとすれば、低コストで寸法精度に優れたものとすることができる。一方、摺動部材をセラミック製のものとすれば、繰り返し動作時の磨耗量を大幅に低減することが可能となる。
【００２９】
前記光学ベースが金属製のプレス加工品の場合において、前記光学ベースに前記ガイド部材を支持するための板状の支持部を設けたときには、この支持部を０．２ｍｍ以上で且つ１．２ｍｍ以下の厚みに形成するのが好ましい。支持部の厚みを０．２ｍｍ以上とすれば必要強度を確保でき、また支持部の厚みを１．２ｍｍ以下とすれば光学ベースを精度よく成形することができる。
【００３０】
前記ガイド部材は、前記情報記録媒体のラジアル方向に延びる軸部材からなり、前記光学ベースには、前記ガイド部材を支持するための支持部が設けられ、前記支持部にはそれぞれ貫通孔又は溝が形成され、前記摺動部材は環状又はＣ字状に形成されるとともに前記支持部の貫通孔又は溝に装着され、この摺動部材に前記ガイド部材が挿入されている構成とすることができる。
【００３１】
前記摺動部材の熱伝導率を５Ｗ／ｍ・ｋ以上で且つ５０Ｗ／ｍ・ｋ以下とすれば、摺動性能、放熱特性およびコスト性に優れた光学ヘッドを実現することが可能となる。
【００３２】
さらに、前記摺動部材の熱伝導率を１０Ｗ／ｍ・ｋ以上で且つ４０Ｗ／ｍ・ｋ以下とすれば、熱伝導率のばらつきに左右される光源の温度ばらつきを抑制できる一方、摺動部材の成形性が悪化するのを抑制できてコスト上昇を抑制することができる。
【００３３】
前記摺動部材が樹脂製で且つ導電性を有していれば、樹脂製の摺動部材を用いた場合においても光学ベースとガイド部材を同電位に保つことが可能となるので、放熱特性を維持しながら光学ベース上の静電気をガイド部材側に放電することが可能となる。これにより、ノイズの影響を受けにくい光学ヘッドを実現でき、光学ヘッドの信頼性を向上することができる。
【００３４】
この場合、前記摺動部材は、ベースとなる樹脂材料に金属又は炭素が質量百分率で２０％以上で且つ８０％以下の割合で含有されているものであるのが好ましく、前記金属は、銅系、鉄系及びアルミニウム系の金属の何れかであるのが好ましい。金属又は炭素の含有率が２０％以上で且つ８０％以下であれば、光学ベースの放熱特性を維持しつつ摺動部材の成形性を維持することができる。
【００３５】
一方、前記摺動部材が樹脂製で且つ絶縁性を有していれば、樹脂製の摺動部材を用いた場合において光学ベースとガイド部材を電気的に遮断することが可能となり、放熱特性を維持しつつ、光学ベースの電位とガイド部材の電位とに電位差があっても安定した記録再生を行うことができる光学ヘッドを実現できる。
【００３６】
この場合、前記摺動部材は、ベースとなる樹脂材料に非導電性硬質材が質量百分率で２０％以上で且つ８０％以下の割合で含有されているものであるのが好ましく、前記非導電性硬質材は、セラミック、ルビー及びダイヤモンドの何れかであるのが好ましい。非導電性硬質材の含有率が２０％以上で且つ８０％以下であれば、光学ベースの放熱特性を維持しつつ摺動部材の成形性を維持することができる。
【００３７】
前記光学ベースと前記摺動部材とが一体的に成形されている構成とすれば、コスト性、寸法精度および組立作業性に優れた光学ヘッドを実現することができる。
【００３８】
また、本発明は、前記光学ヘッドと、トラッキング誤差信号を演算し、このトラッキング誤差信号に基づいて対物レンズの位置を制御して光情報記録媒体上の所定の情報トラックに集光スポットを追従させるトラッキング制御手段と、フォーカス誤差信号を演算し、このフォーカス誤差信号に基づいて対物レンズの位置を制御して光情報記録媒体上に集光スポットを追従させるフォーカス制御手段とを備え、前記光学ベースと前記ガイド部材とは、熱伝導性を有する摺動部材を介して接触している光情報記録媒体駆動装置としてもよい。
【発明の効果】
【００３９】
以上説明したように、本発明によれば、金属製の光学ベースの摺動部材を樹脂製又はセラミック製として摺動動作を安定させるとともに、この摺動部材に熱伝導性を持たせるようにしたので、光源から発生する熱をガイド部材を通じて効率よく放熱することができ、これにより光源、送りモータ等の低消費電力化、送り動作の高信頼性、光源の高信頼性および長寿命化を実現することが可能となり、低消費電力かつ高信頼性の光学ヘッドおよび光情報記録媒体駆動装置を実現できる。そして、光学ベースを金属製の板材より構成した場合には、光学ヘッドおよび光情報記録媒体駆動装置のより一層の薄型化、低コスト化を実現することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４０】
以下、本発明を実施するための最良の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。なお、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。
【００４１】
《実施形態１》
図１に示すように、本発明の実施形態１に係る光学ヘッド５０は、集積ユニット９と、反射ミラー１０と、対物レンズ１１が配設された対物レンズ駆動機構１４と、光学ベース１９とを備えている。
【００４２】
集積ユニット９は、図２及び図３に示すように、シリコン基板１と、光源である半導体レーザ２と、多分割光検出器３と、放熱プレート４と、端子５と、樹脂パッケージ６と、樹脂で成形されたホログラム素子７と、複合素子８とを一体構成としたものである。半導体レーザ２はシリコン基板１上に固定されている。多分割光検出器３は、ＩＣプロセスにてシリコン基板１上に形成されるものである。放熱プレート４は、シリコン基板１を伝熱状態で保持するためのものである。端子５は、多分割光検出器３の出力部３ａにワイヤーボンディング５ａ等で接続されている。樹脂パッケージ６は、シリコン基板１、放熱プレート４および端子５を保持するものである。ホログラム素子７には、回折格子が形成されている。複合素子８は、ビームスプリッタ８ａ、折り返しミラー８ｂ及び偏光分離素子８ｃによって構成されている。なお、図２（ｂ）において、符号３２は光磁気記録媒体１３上に形成される光スポットを示している。
【００４３】
対物レンズ駆動機構１４は、対物レンズ１１を光磁気記録媒体１３のフォーカス方向（光磁気記録媒体１３に実質的に垂直な方向）およびラジアル方向（光磁気記録媒体１３に実質的に平行な方向）に駆動するものである。光磁気記録媒体１３は磁気光学効果を有する情報記録媒体であり、例えば光ディスクとして構成されるものである。
【００４４】
対物レンズ駆動機構１４は、図１に示すように、対物レンズ１１と、対物レンズホルダー１２と、ベース１５と、サスペンション１６と、磁気回路１７と、コイル１８ａ、１８ｂとより構成される。対物レンズ１１は対物レンズホルダー１２に固定されており、この対物レンズ１１は、半導体レーザ１からの光束を用いて光磁気記録媒体１３上に光スポット３２を形成する。そして、コイル１８ａに通電することで対物レンズ１１をフォーカス方向に駆動でき、またコイル１８ｂに通電することで対物レンズ１１をラジアル方向に駆動することが可能となっている。なお、図１において符号３５はフレキシブル回路を示している。
【００４５】
反射ミラー１０と集積ユニット９とは光学ベース１９によって保持される。この光学ベース１９は反射ミラー１０の固定部１９ａと、集積ユニット９の固定部１９ｂとを備えている。集積ユニット９は樹脂パッケージ６を光学ベース１９の固定部１９ｂに接着することにより固定される。そして、光学ベース１９上において、多分割光検出器３のフォーカス誤差信号受光領域２４は、Ｚ軸方向（光軸方向）におけるフォーカス誤差信号検出用の光スポットの焦点３０，３１の略中間に位置するように配置される（図２（ａ）参照）。
【００４６】
半導体レーザ２から発生した熱は、放熱プレート４および樹脂パッケージ６を通じて光学ベース１９へと伝熱し、この光学ベース１９を介して空気中に放熱するようになっている。半導体レーザ２から発生した熱を光学ベース１９等により効率的に空気中に放熱することにより、半導体レーザ２自身の温度が大きく上昇し消費電流が急激に増加することを防止することができるとともに半導体レーザ２の劣化を防止でき、光学ヘッド５０の信頼性を大幅に向上させることができる。
【００４７】
図３に示すように、多分割光検出器３には、フォーカス誤差信号受光領域２４と、トラッキング誤差信号受光領域２５，２６と、情報信号受光領域２７とが設けられている。そして、フォーカス誤差信号受光領域２４にはフォーカス誤差信号検出用の光スポット２０が、またトラッキング誤差信号受光領域２５，２６にはトラッキング誤差信号検出用の光スポット２１が、また情報信号受光領域２７にはメインビーム（Ｐ偏光）２２とメインビーム（Ｓ偏光）２３がそれぞれ照射される。図３において、符号４６はエッジドミラーを、また符号２８は減算器を、また符号２９は加算器を示している。
【００４８】
図１に示すように、光学ベース１９には放熱板４４の固定部１９ｆが設けられている。この固定部１９ｆによって放熱板４４を固定すると、この放熱板４４の一部と光学ベース１９に固定された集積ユニット９の放熱プレート４とが接触するようになっている。したがって、放熱プレート４が放熱板４４を介して光学ベース１９と接触した状態となるので、半導体レーザ２から発生した熱を放熱プレート４および放熱板４４を通じて光学ベース１９に伝熱することとが可能となり、この光学ベース１９により半導体レーザ２からの熱を空気中に放熱することができる。この結果、半導体レーザ２による発熱を効率的に光学ベース１９に伝熱して放熱することが可能となる。
【００４９】
光学ベース１９は、金属材料からなる板材をプレス加工したプレス板、または金属材料を鍛造した鍛造品によって構成されている。この金属材料は、ＳＵＳ（ステンレス）、アルミニウム、ＳＥＣＣ（電気亜鉛メッキ鋼板）、ＳＰＣＣ（冷間圧延鋼板）等である。これら金属材料は強度、剛性に優れているため、この金属製の板材により光学ベース１９を構成すると、光学ベース１９および光学ヘッド５０の薄型化が可能となる。
【００５０】
光学ベース１９の一端部には、一対の第１支持部１９ｇ，１９ｇが設けられており、この各第１支持部１９ｇにはそれぞれ摺動孔１９ｃが貫通形成されている。両摺動孔１９ｃ，１９ｃは軸心が合わせられていて、各摺動孔１９ｃ，１９ｃにはそれぞれ摺動部材４３，４３が一体的に成形されている。この摺動部材４３は円筒状に形成されるものであり、この摺動部材４３にはガイド部材を構成する軸部材の一例としての送りネジ３６（図４参照）が挿入されている。つまり、両第１支持部１９ｇ，１９ｇは送りネジ３６の延びる方向に互いに対向して配置されており、送りネジ３６は両第１支持部１９ｇ，１９ｇによって支持されている。
【００５１】
一方、光学ベース１９の他端部には、第２支持部１９ｈが設けられており、この第２支持部１９ｈには円弧状に切り欠いた摺動溝１９ｅが設けられている。この摺動溝１９ｅには摺動部材４５が一体的に成形されている。この摺動部材４５は断面Ｃ字状に形成されるものであり、この摺動部材４５にはガイド部材を構成する軸部材の一例としてのガイド軸３７（図４参照）が挿入されている。このガイド軸３７は断面が円形のシャフトによって構成されている。
【００５２】
摺動部材４３，４５は、ＰＰＳ、液晶ポリマー、ジュラコン（登録商標）等の硬質樹脂材料をベース樹脂とした樹脂製のものであり、酸化アルミニウム、金属、セラミック、炭素等が含有されるものである。したがって、摺動部材４３，４５は熱伝導性を有している。
【００５３】
図４に示すように、光学ヘッド５０は、光学ヘッド送り機構４７によって光磁気記録媒体１３のラジアル方向に移動するようになっている。この光学ヘッド送り機構４７は、送りネジ３６、ガイド軸３７、送りモータ３８、ギヤ３９ａ、ギヤ３９ｂ、カバー３３に設けられたナット板４０、軸受け４１，４１等から構成されている。この光学ヘッド送り機構４７の軸受け４１，４１はメカベース４２に取り付けられており、この軸受け４１，４１に送りネジ３６の両端部が嵌め込まれている。つまり、送りネジ３６はメカベース４２に支持されている。この送りネジ３６には、ナット板４０に設けられた凸部（図示省略）が係合している。そして、送りモータ３８の回転により送りネジ３６が回転すると、この送りネジ３６の凸部に係合するナット板４０が送りネジ３６によって軸方向に案内され、これにより、光学ヘッド５０はメカベース４２に対してラジアル方向に移動する。この光学ヘッド５０の送り量は、ギヤ３９ａとギヤ３９ｂのギヤ比および送りネジ３６のピッチから算出される減速比によって決定される送り量となっている。なお、図４において符号３３はカバーを、また符号３４は接着剤をそれぞれ示している。
【００５４】
摺動部材４３の軸方向の厚みは、図５に示すように、送りネジ３６のネジ山間隔Ａよりも厚く形成されている。これにより、摺動部材４３は送りネジ３６の軸方向に移動してもネジ山の影響を受けることなくスムーズに動くことができる。
【００５５】
光学ベース１９の第１支持部１９ｇの肉厚Ｂは、０．２ｍｍ以上で且つ１．２ｍｍ以下であるのが好ましい。支持部の肉厚Ｂが０．２ｍｍ未満となると光学ベース１９としての必要強度を確保できなくなる一方、支持部の肉厚Ｂが１．２ｍｍを超えるとプレス板の場合に精度よく成形するのが困難となるからである。また、第２支持部１９ｈの肉厚も同様に０．２ｍｍ以上で且つ１．２ｍｍ以下であるのが好ましい。
【００５６】
本実施形態１に係る光学ヘッド５０の動作説明について図１〜図４を参照しながら行う。
【００５７】
半導体レーザ２から出射された光は、ホログラム素子７により複数の光束に分離される。一部の光束は複合素子８のビームスプリッタ８ａを透過し、反射ミラー１０で反射された後、対物レンズ１１を透過して光磁気記録媒体１３上に直径１μｍ程度の光スポット３２として集光される。一方、複合素子８のビームスプリッタ８ａにより反射された光束は、レーザモニタ用受光素子（図示せず）に入射し半導体レーザ２の駆動電流を制御する。
【００５８】
光磁気記録媒体１３からの反射光は、逆の経路をたどり、複合素子８のビームスプリッタ８ａにより反射分離されて、折り返しミラー８ｂで反射された後、偏光分離素子８ｃに入射する。
【００５９】
半導体レーザ２は、図２（ａ）で紙面に平行な偏光方向となるようシリコン基板１上に設置されており、偏光分離素子８ｃへの入射光は、互いに直交する２つの偏光成分の光束に分離された後、情報信号受光領域２７（図３参照）に入射される。
【００６０】
また、光磁気記録媒体１３からの反射光のうちビームスプリッタ８ａを透過した光束は、ホログラム素子７により複数の光束に分離され、フォーカス誤差信号受光領域２４とトラッキング誤差信号受光領域２５，２６へ集光される。尚、フォーカスサーボはいわゆるＳＳＤ法で行われ、トラッキングサーボはいわゆるプッシュプル法で行われる。
【００６１】
Ｐ偏光からなるメインビーム２２とＳ偏光からなるメインビーム２３の差を演算する差動検出法により、光磁気ディスク情報信号の検出が可能となっている。そして、それらの和をとることにより、プレピット信号の検出が可能となっている。
【００６２】
この光学ヘッド５０において、光磁気記録媒体１３からの反射光により所望の検出信号を得るためには、組立時に半導体レーザ２と対物レンズ１１と多分割光検出器３との相対位置調整が行われる。これらの相対位置調整は、光学ベース１９と集積ユニット９の樹脂パッケージ６との寸法を規定することにより行われるが、この位置調整では、多分割光検出器３のフォーカス誤差信号受光領域２４がＺ軸方向（光軸方向）における光スポットの各焦点３０，３１の略中間に位置するようにフォーカス誤差信号の初期位置の調整が行われる。
【００６３】
図６（ａ）及び（ｂ）に示すように、トラッキング誤差信号の調整は、外部治具（図示せず）によってベース１５を保持し、対物レンズ駆動機構１４をＹ方向およびＸ方向に移動することにより、トラッキング誤差信号受光領域２５，２６の出力が略均一となるように調整することによって行う。トラッキング誤差信号の調整を行うと、結果的には図６（ａ）及び（ｂ）において半導体レーザ２の光軸中心に対して対物レンズ１１の光軸中心を合わせることとなる。
【００６４】
さらに、光磁気記録媒体１３と対物レンズ１１との相対傾き調整は、外部治具（図示せず）によりベース１５を保持し、この状態で図６（ａ）に示すようにラジアル方向（Ｙ軸周り）のスキュー調整θＲ及びタンジェンシャル方向（Ｘ軸周り）のスキュー調整θＴにより行う。この相対傾き調整を行った後、図６（ｂ）に示すように接着剤３４を用いてベース１５を光学ベース１９に接着固定する。以上説明したように、フォーカス誤差信号およびトラッキング誤差信号の調整を行い、スキュー調整が完了した後、光学ベース１９に対して対物レンズ駆動機構１４を接着材３４で接着することにより光学ヘッド５０が完成する。
【００６５】
この光学ヘッド５０において、半導体レーザ２で発生した熱は放熱プレート４から放熱板４４を介して光学ベース１９に伝熱されるとともに、樹脂パッケージ６を通じても光学ベース１９に伝熱される。そして、この光学ベース１９から放熱される。また、光学ベース１９へ伝熱された熱は熱伝導性を有する摺動部材４３，４５を介して送りネジ３６およびガイド軸３７へ伝熱される。このとき、光学ベース１９と一体的に成形された両摺動部材４３，４５は、送りネジ３６又はガイド軸３７との摺動性を確保する目的から精度よく軸合わせされているため、摺動部材４３と送りネジ３６との接触が維持されているとともに摺動部材４５とガイド軸３７との接触が維持されている。このため、光学ベース１９の熱は送りネジ３６及びガイド軸３７へ効率よく伝熱される。そして、この熱は、送りネジ３６及びガイド軸３７からメカベース４２へと伝熱されて放熱される。
【００６６】
したがって、摺動部材４３，４５が送りネジ３６又はガイド軸３７と精度よく嵌め合わされ、さらにこの摺動部材４３，４５を熱伝導性を有する樹脂材料で構成するようにしているので、半導体レーザ２で発生した熱を送りネジ３６、ガイド軸３７およびメカベース４２へ効率的に伝熱して放熱することが可能となる。この結果、光学ベース１９の摺動特性と放熱特性の両立を図ることができ、信頼性が高く高性能な光学ヘッド５０を実現することができる。
【００６７】
また、半導体レーザ２で発生する熱を送りネジ３６およびガイド軸３７で放熱できるとともに、この送りネジ３６及びガイド軸３７を通じてメカベース４２でも放熱することが可能となるため、半導体レーザ２の温度上昇による消費電流の増加を防ぐことができるとともに半導体レーザ２の温度上昇による発光寿命の低減を防ぐことが可能となる。これにより、低消費電力化を図ることができるとともに高信頼性を実現することができる。
【００６８】
また、樹脂製の摺動部材４３，４５を摺動孔１９ｃ、摺動溝１９ｅへ装着するようにしているので、光学ベース１９の成形時に発生したバリが送りネジ３６の間に挟まれて摺動不能を引き起こすことを防止することができるとともに、摺動動作の繰り返しによって徐々に摺動性が悪化するという事態をも回避することができる。この結果、送りネジ３６およびガイド軸３７の摺動抵抗を低減して安定した摺動動作を実現することが可能となるとともに、送りモータ３８の消費電流を低減することができるので、信頼性が高く低消費電力の光学ヘッド５０を実現することができる。
【００６９】
さらに、光学ベース１９をプレス板によって構成した場合には高剛性で低コストかつ薄型の光学ベース１９とすることができるため、光学ベース１９および光学ヘッド５０の薄型化を図ることができる。したがって、プレス板により構成される光学ベース１９に伝熱性を有した樹脂製の摺動部材４３，４５を装着することにより、小型且つ薄型で信頼性が高く、消費電力の低い光学ヘッド５０および光ディスク駆動装置を低コストで実現することができる。
【００７０】
尚、本実施形態１では、光学ベース１９はプレス板または鍛造品により構成したが、これに代え、アルミ、亜鉛、マグネシウム等の鋳造品によって構成してもよい。そして、この鋳造品からなる光学ベース１９に伝熱性を有した樹脂製の摺動部材４３，４５を装着する構成としてもよい。
【００７１】
また、本実施形態１では摺動部材４３，４５は送りネジ３６側又はガイド軸３７側のどちらか一方だけに設ける構成としてもよい。しかしながら、摺動特性と放熱特性の両立を図るためには、送りネジ３６側及びガイド軸３７側の双方に摺動部材４３，４５を設けるのが好ましい。
【００７２】
また、半導体レーザ２から発生する熱は、放熱プレート４、放熱板４４、光学ベース１９及びメカベース４２から放熱する構成としたが、放熱板４４を省略し、放熱プレート４、樹脂パッケージ６、光学ベース１９及びメカベース４２から放熱する構成としてもよい。
【００７３】
また、光学ベース１９の第１支持部１９ｇには送りネジ３６に代えてネジを有さない軸部材を挿通し、この軸部材を通じて摺動部材４５の熱をメカベース４２に伝熱する構成としてもよい。
【００７４】
また、本実施形態１では摺動部材４３，４５は光学ベース１９と一体的に成形したが、これに限られるものではなく、摺動部材４３，４５を伝熱性を有する樹脂等により光学ベース１９とは別体に構成し、この摺動部材４３，４５を摺動孔１９ｃ又は摺動溝１９ｅに圧入又は接着して装着する構成としてもよい。
【００７５】
また、本実施形態１では、ガイド軸３７は断面形状が円形のシャフトとしたが、断面形状が角状のシャフトとしてもよい。
【００７６】
また、本実施形態１では、送りネジ３６およびガイド軸３７の双方で伝熱させる構成としたが、どちらか一方のみで伝熱させる構成としてもよい。
【００７７】
また、本実施形態１では、摺動部材４３，４５は熱伝導性を有した樹脂製のものとしたが、これに代え、摺動部材４３，４５は熱伝導性を有するセラミック製のものとしてもよい。摺動部材４３，４５をセラミック製とすれば、繰り返し動作時の摩耗量を大幅に低減することが可能となり、放熱性および信頼性に優れた光学ヘッド５０を実現することができる。
【００７８】
ここで、本実施形態１に係る光学ヘッド５０が適用された光ディスク駆動装置について説明する。
【００７９】
図７に示すように、光ディスク駆動装置５５は、光情報記録媒体１３を回転するための回転駆動機構５６と、前記光学ヘッド５０と、フォーカス制御回路５７と、トラッキング制御回路５８とを備えている。フォーカス制御回路５７は、フォーカス誤差信号受光領域２４の受光信号に基づいてフォーカス誤差信号を演算し、このフォーカス誤差信号に基づいて対物レンズ１１の位置を制御する。トラッキング制御回路５８は、トラッキング誤差信号受光領域２５，２６の受光信号に基づいてトラッキング誤差信号を演算し、このトラッキング誤差信号に基づいて対物レンズ１１の位置を制御する。そして、対物レンズ１１の位置を光情報記録媒体１３に直交する方向及び光情報記録媒体１３の半径方向に駆動させ、集光スポット３２を光情報記録媒体１３上の所定の情報トラック上に追従させ、情報の記録、再生を行う。
【００８０】
《実施形態２》
本実施形態２では、摺動部材４３，４５の熱伝導率の範囲を規定している。樹脂部材４３，４５の熱伝導率を高くするには、樹脂材料中に酸化アルミニウム、アルミナ、セラミック、金属、炭素等のフィラーを配合することにより実現する。フィラーの配合比を高くすることにより熱伝導率を上げて放熱特性を向上させることが可能であるが、配合比を高くしすぎると、コストが上昇するとともに樹脂部材４３，４５の剛性、摺動性および曲げ弾性等の樹脂特性が悪化する。したがって、放熱特性、コストおよび樹脂特性のバランスを考慮した熱伝導率の設定が必要となる。
【００８１】
図８は摺動部材４３，４５の熱伝導率と半導体レーザ２の温度（飽和温度）との相関関係をシミュレーションした結果を示す図である。同図から摺動部材４３，４５の熱伝導率が高くなるほど半導体レーザ２の温度上昇が低下することが分かる。つまり、摺動部材４３，４５の熱伝導率を高くすることで半導体レーザ２から発生する熱を効率的に放熱することができると推測される。そして、同図より、摺動部材４３，４５の熱伝導率が５Ｗ／ｍ・ｋ以上であれば放熱効果を十分に得ることが可能であると考えられる。一方、熱伝導率が５０Ｗ／ｍ・ｋを超えると、熱伝導率の違いによる半導体レーザ２の温度に対する影響が少ない状態となり、かつフィラーの配合比が高くなって樹脂材料の特性が急激に悪化する領域となるため実用が困難となる。したがって、熱伝導率を５Ｗ／ｍ・ｋから５０Ｗ／ｍ・ｋの範囲内と設定するのが好ましい。
【００８２】
さらに、摺動部材４３，４５の熱伝導率は、１０Ｗ／ｍ・ｋから４０Ｗ／ｍ・ｋの範囲内と設定するのがより好ましい。即ち、熱伝導率の値が１０Ｗ／ｍ・ｋ以上であれば、熱伝導率のばらつきによる放熱効果のばらつきを抑制できる一方、熱伝導率の値が４０Ｗ／ｍ・ｋ以下であれば、摺動部材４３，４５の成形性が悪化するのを抑制できてコスト上昇を抑制することができるからである。
【００８３】
したがって、摺動部材４３，４５の熱伝導率の範囲を特定することにより、摺動性能、放熱特性およびコスト性に優れた光学ヘッド５０および光ディスク駆動装置５５を実現することが可能となる。
【００８４】
尚、実施形態２において樹脂材料中に酸化アルミニウム、アルミナ、セラミック、金属、炭素等のフィラーを配合することにより熱伝導率を向上させるようにしたが、熱伝導率を向上させかつ樹脂の特性を維持するフィラーであれば何でもよい。その他の構成、作用及び効果は、その説明を省略しているが上記実施形態１と同様である。
【００８５】
《実施形態３》
本実施形態３では、摺動部材４３，４５は熱伝導性を有しておりかつ導電性を有している。ここでいう導電性を有するとは、体積抵抗率で１０2Ω・ｃｍ以下にあるものを意味している。摺動部材４３，４５は樹脂製又はセラミック製のものである。
【００８６】
ここで、摺動部材４３，４５に導電性を付与する場合のフィラーとしては、銅系、鉄系又はアルミニウム系等の金属、あるいは炭素とするのが好ましい。銅系の金属としては銅及び銅合金等が該当する。鉄系の金属としては鉄等が該当する。アルミニウム系の金属としてはアルミニウム及びアルミニウム合金等が該当する。そして、このフィラーの配合比は、ベース材料に対して質量百分率で２０％以上で且つ８０％以下であるのが好ましい。フィラーの含有率がこの範囲内であれば、光学ベース１９の放熱特性を維持しつつ摺動部材４３，４５の成形性を維持することができるからである。
【００８７】
この構成により、光学ベース１９と送りネジ３６、ガイド軸３７およびメカベース４２とを同電位に保つことが可能となる。したがって、光学ベース１９で発生した静電気をメカベース４２へ放電させることができるので、樹脂製又はセラミック製の摺動部材４３，４５を用いた場合においても、放熱特性を有しつつ、ノイズの影響を受けにくい安定した光ディスク駆動装置５５を実現できる。
【００８８】
なお、その他の構成、作用及び効果はその説明を省略しているが上記実施形態１と同様である。
【００８９】
《実施形態４》
本実施形態４は、実施形態３と異なり、摺動部材４３，４５は熱伝導性を有し、かつ絶縁性を有している。ここでいう絶縁性を有するとは、体積抵抗率で１０10Ω・ｃｍ以上にあるものを意味している。摺動部材４３，４５は樹脂製またはセラミック製のものである。
【００９０】
ここで、摺動部材４３，４５を絶縁性のものとする場合のフィラーとしては、非導電性硬質材が該当する。この非導電性硬質材としては、アルミナ等のセラミック、あるいはルビー、ダイヤモンド等の鉱物とするのが好ましい。そして、このフィラーの配合比は、ベース材料に対して質量百分率で２０％以上で且つ８０％以下であるのが好ましい。フィラーの含有率がこの範囲内であれば、光学ベース１９の放熱特性を維持しつつ摺動部材４３，４５の成形性を維持することができるからである。
【００９１】
この構成により、光学ベース１９と、送りネジ３６、ガイド軸３７及びメカベース４２とを電気的に遮断することが可能となる。したがって、光学ベース１９と、送りネジ３６、ガイド軸３７またはメカベース４２との間に電位差がある光学ヘッド５０にこの摺動部材４３，４５を用いた場合でも、放熱特性を有し且つ安定した記録再生性能を有した光学ヘッド５０及び光ディスク駆動装置５５を実現できる。
【００９２】
なお、その他の構成、作用及び効果はその説明を省略しているが上記実施形態１と同様である。
【図面の簡単な説明】
【００９３】
【図１】本発明の実施形態１に係る光学ヘッドを各部品毎に分解して示す斜視図である。
【図２】（ａ）は前記光学ヘッドにおける光路を概略的に示す図であり、（ｂ）はその光路を（ａ）と直交する方向に示す図である。
【図３】前記光学ヘッドの多分割光検出器を示す平面図である。
【図４】前記光学ヘッドおよび光学ヘッド送り機構を示す斜視図である。
【図５】前記光学ヘッドの光学ベースに設けられた第１支持部と、この第１支持部の摺動孔に嵌め込まれた摺動部材及び送りネジとを示す断面図である。
【図６】（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ前記光学ヘッドの調整方法を説明するための図である。
【図７】前記光学ヘッドが適用された光ディスク駆動装置を示す概略図である。
【図８】実施形態２に係る光学ヘッドに設けられた摺動部材の熱伝導率と、半導体レーザの温度上昇との関係をシミュレーションした結果を示す特性図である。
【図９】従来の光学ヘッドを各部品毎に分解して示す斜視図である。
【図１０】（ａ）は、従来の光学ヘッドにおける光路を概略的に示す図であり、（ｂ）はその光路を（ａ）と直交する方向に示す図である。
【図１１】従来の光学ヘッドの多分割光検出器を示す平面図である。
【図１２】従来の光学ヘッドおよび光学ヘッド送り機構を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００９４】
２    半導体レーザ（光源の一例）
１１    対物レンズ
１３    光磁気記録媒体（光情報記録媒体の一例）
１４    対物レンズ駆動機構（対物レンズアクチュエータの一例）
１９    光学ベース
１９ｃ  摺動孔（貫通孔の一例）
１９ｅ  摺動溝（溝の一例）
１９ｇ  第１支持部（支持部の一例）
１９ｈ  第２支持部（支持部の一例）
３６    送りネジ（ガイド部材の一例）
３７    ガイド軸（ガイド部材の一例）
４３    摺動部材
４５    摺動部材
５０    光学ヘッド
５７    フォーカス制御回路（フォーカス制御手段の一例）
５８    トラッキング制御回路（トラッキング制御手段の一例）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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