(57)【要約】【課題】  電極を絶縁保持するホルダが、処理時の電極や処理ガスの熱で変形を来たすのを防止できるプラズマ処理装置を提供する。【解決手段】  プラズマ処理装置Ｍ１の筐体２１内に電極ホルダ７０を介して電極３１，３２を収容する。電極ホルダ７０は、絶縁樹脂製の本体７１とセラミック製のガス導入側及び吹出し側ピース７４，７５で構成する。ホルダ本体７１の電極収容スペース７０ａの内面には、電極からの離間部７０ｄを凹設する。これにより、電極と電極ホルダの間に空隙２０ａを形成する。【選択図】  図１
2005243724.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理ガスをプラズマ化するための電極と、
前記電極を収容するスペースを有する絶縁性の電極ホルダと、を備え、
前記電極ホルダの電極収容スペースの内面には、電極からの離間部が凹設され、これによ
り、電極と電極ホルダの間に空隙が形成されていることを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項２】
処理ガスが、前記電極にて画成されたプラズマ化空間に導入されて吹出されるようになっ
ており、
前記電極ホルダが、前記電極収容スペースを有するホルダ本体と、このホルダ本体の処理
ガス導入側の端部に設けられた導入側ピースとを備え、
前記導入側ピースが、電極における処理ガス導入側の面への当接面と、前記プラズマ化空
間の上流端に連なる処理ガス導入路の形成面とを有していることを特徴とする請求項１に
記載のプラズマ処理装置。
【請求項３】
処理ガスが、前記電極にて画成されたプラズマ化空間に導入されて吹出されるようになっ
ており、
前記電極ホルダが、前記電極収容スペースを有するホルダ本体と、このホルダ本体の処理
ガス吹出し側の端部に設けられた吹出し側ピースとを備え、
前記吹出し側ピースが、電極における吹出し側の面への当接面と、前記プラズマ化空間の
下流端に連なる吹出し路の形成面とを有していることを特徴とする請求項１に記載のプラ
ズマ処理装置。
【請求項４】
前記ピースが、ホルダ本体より耐プラズマ性が高い材料にて構成されていることを特徴と
する請求項２又は３に記載のプラズマ処理装置。
【請求項５】
前記ピースが、ホルダ本体より耐熱性が高い材料にて構成されていることを特徴とする請
求項２又は３に記載のプラズマ処理装置。
【請求項６】
前記ホルダ本体が、樹脂にて構成され、前記ピースが、セラミックにて構成されているこ
とを特徴とする請求項２〜５の何れかに記載のプラズマ処理装置。
【請求項７】
前記電極ホルダより吹出し側に導電部材が電気的に接地された状態で設けられており、
前記電極ホルダの吹出し側の面に凹部が形成され、これにより、電極ホルダと導電部材の
間に空隙が形成されていることを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載のプラズマ処理
装置。
【請求項８】
前記電極ホルダを収容する剛性金属製の筐体と、
この筐体に形成されたカラー収容孔に収容された状態で筐体に係着された絶縁性のボルト
カラーと、
このボルトカラーに挿入されるとともに電極におけるプラズマ化空間画成面とは逆側の背
面に接合され、電極を押し又は引き可能なボルトと、
を備え、前記筐体のカラー収容孔の内周面と前記ボルトカラーの外周面との間に空隙が形
成されていることを特徴とする請求項１〜７の何れかに記載のプラズマ処理装置。
【請求項９】
前記ボルトカラーに収容されたボルトが電極に螺合されてこれを引き可能であり、
この引きボルトとは別途のボルトが、前記筐体に螺合されるとともに前記電極ホルダに押
し当てられ、ひいては電極ホルダを介して電極を押し可能になっており、
前記電極ホルダの電極からの離間部が、前記押しボルトに対応する部分を避けて形成され
ていることを特徴とする請求項８に記載のプラズマ処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、処理ガスをプラズマ化してワーク（被処理物）に当て、洗浄、成膜、エッ
チング、表面改質などの表面処理を行なうプラズマ処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、特許文献１に記載のプラズマ処理装置は、垂直な平板状をなす左右一対の電極
を備えている。一方の電極は、高周波電源に接続され、他方の電極は、接地されている。
これら電極は、セラミック製のホルダに収容され、保持されている。
【０００３】
【特許文献１】特開平９−９２４９３号公報（第１頁）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
電極ホルダの全体をセラミックにすると、材料コストが嵩む。一方、電極ホルダを樹脂
にすると、処理時の電極や処理ガスの熱でソリ、歪等の変形を来たすおそれがある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本発明に係るプラズマ処理装置は、処理ガスをプラズマ化
するための電極と、前記電極を収容するスペースを有する絶縁性の電極ホルダとを備え、
前記電極ホルダの電極収容スペースの内面には、電極からの離間部が凹設され、これによ
り、電極と電極ホルダの間に空隙が形成されていることを特徴とする。
これによって、電極と電極ホルダの接触面積を小さくでき、電極から電極ホルダへの熱
の伝わりを抑制することができる。したがって、電極ホルダを樹脂にて構成してもソリや
歪等の熱変形を来たすのを抑制することができる。
【０００６】
処理ガスが、前記電極にて画成されたプラズマ化空間に導入されて吹出される所謂リモ
ート式のプラズマ処理装置においては、前記電極ホルダが、前記電極収容スペースを有す
るホルダ本体と、このホルダ本体の処理ガス導入側の端部に設けられた導入側ピースとを
備え、前記導入側ピースが、電極における処理ガス導入側の面への当接面と、前記プラズ
マ化空間の上流端に連なる処理ガス導入路の形成面とを有していることが望ましい。また
、前記電極ホルダが、前記ホルダ本体の処理ガス吹出し側の端部に設けられた吹出し側ピ
ースとを備え、前記吹出し側ピースが、電極における吹出し側の面への当接面と、前記プ
ラズマ化空間の下流端に連なる吹出し路の形成面とを有していることが望ましい。これに
よって、導入側ピースや吹出し側ピースがプラズマ等によって損傷した場合には、それだ
けを交換すればよく、電極ホルダ全体を変える必要がない。
【０００７】
前記導入側ピース又は吹出し側ピースが、ホルダ本体より耐プラズマ性が高い材料にて
構成されていることが望ましい。これによって、プラズマによる損傷を防止することがで
きる。
また、前記導入側ピース又は吹出し側ピースが、ホルダ本体より耐熱性が高い材料にて
構成されていることが望ましい。これによって、熱による変形や損傷等を防止できる。
前記ホルダ本体が、樹脂にて構成され、前記導入側ピース又は吹出し側ピースが、アル
ミナやガラス等のセラミックにて構成されていることが望ましい。これによって、電極ホ
ルダ全体の材料コストを確実に低減できるとともに、導入側ピース又は吹出し側ピースを
確実に耐プラズマ性及び耐熱性にすることができる。
ホルダ本体は、耐熱性の樹脂（例えばポリエチレンテレフタレートを主原料とする樹脂
）にて構成するのが望ましい。
【０００８】
前記電極ホルダより吹出し側に導電部材が電気的に接地された状態で設けられているこ
とが望ましい。これによって、被処理物へのアーク放電を防止できるとともに、プラズマ
化空間を被処理物に近づけ処理効率を高めることができる。また、電界が被処理物へ洩れ
るのを防止でき、被処理物が電界によって影響を受けないようにすることができる。
前記電極ホルダの吹出し側の面に凹部が形成され、これにより、電極ホルダと導電部材
の間に空隙が形成されていることが望ましい。これによって、電極への高周波給電によっ
て導電部材が誘導加熱されても、導電部材から電極ホルダに熱が伝わるのを抑制でき、電
極ホルダの熱変形を来たすのを確実に防止することができる。
【０００９】
前記電極ホルダを収容する剛性金属製の筐体と、この筐体に形成されたカラー収容孔に
収容された状態で筐体に係着された絶縁性のボルトカラーと、このボルトカラーに挿入さ
れるとともに電極におけるプラズマ化空間画成面とは逆側の背面に接合され、電極を押し
又は引き可能なボルトとを備え、前記筐体の収容孔の内周面と前記ボルトカラーの外周面
との間に空隙が形成されていることが望ましい。これによって、電極が長尺の場合、その
歪を矯正又は阻止できる。また、ボルトと筐体との間を確実に絶縁することができる。
【００１０】
前記ボルトカラーに収容されたボルトが電極に螺合されてこれを引き可能であり、この
引きボルトとは別途のボルトが、前記筐体に螺合されるとともに前記電極ホルダに押し当
てられ、ひいては電極ホルダを介して電極を押し可能になっており、前記電極ホルダの電
極からの離間部ひいては電極との空隙が、前記押しボルトに対応する部分を避けて形成さ
れていることが望ましい。これによって、前記別途の押しボルトを電極から絶縁できると
ともに、歪阻止又は矯正のための力を電極に確実に作用させることができる。
【００１１】
本発明のプラズマ処理は、例えば略常圧（大気圧近傍の圧力）で実施される。なお、本
発明における略常圧（大気圧近傍の圧力）とは、１．０１３×１０4〜５０．６６３×１
０4Ｐａの範囲を言い、圧力調整の容易化や装置構成の簡便化を考慮すると、１．３３３
×１０4〜１０．６６４×１０4Ｐａが好ましく、９．３３１×１０4〜１０．３９７×１
０4Ｐａがより好ましい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、電極から電極ホルダへの熱の伝わりを抑制することができ、電極ホル
ダが熱による変形等の影響を受けるのを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の一実施形態を図面にしたがって説明する。
図１及び図２に示すように、本実施形態に係る常圧プラズマ処理装置Ｍ１は、架台（図
示せず）に支持されたプラズマノズルヘッド１と、このノズルヘッド１に接続された処理
ガス源２（図１にのみ図示）と電源３（図２にのみ図示）を備えている。装置Ｍ１の被処
理物であるワークＷは、大面積をなし、搬送手段（図示せず）によってノズルヘッド１の
下方を左右に送られ、常圧プラズマ処理されるようになっている。勿論、ワークＷを固定
する一方、ノズルヘッド１を移動させるようになっていてもよい。
【００１４】
電源３は、例えばパルス状の高周波電圧を出力するようになっている。このパルスの立
上がり時間及び／又は立下り時間は、１０μｓ以下、後記電極３１，３２間での電界強度
は１０〜１０００ｋＶ／ｃｍ、周波数は０．５ｋＨｚ以上であることが望ましい。なお、
電圧形状は、パルス状に代えて、正弦波状であってもよい。
【００１５】
処理ガス源２には、処理内容に応じた処理ガスが貯えられている。液相で貯え、適量ず
つ気化するようになっていてもよい。この処理ガス源２からの処理ガスが、ガス供給管２
ａを経てプラズマノズルヘッド１に導入されるようになっている。
【００１６】
プラズマ処理装置Ｍ１のプラズマノズルヘッド１について詳述する。
ノズルヘッド１は、上側のガス整流部１０と、下側の放電処理部２０を備え、前後方向
（図１において紙面と直交する方向、図２において上下方向）に長く延びている。詳細な
図示は省略するが、ガス整流部１０には、前後に延びる複数段のチャンバーが設けられ、
これらチャンバーが前後に延在されたスリット又は多数の小孔にて連通されている。ガス
整流部１０に導入された処理ガスは、これらチャンバーやスリット又は多数の小孔を順次
交互に通過することにより、前後長手方向に均一化されるようになっている。
【００１７】
プラズマノズルヘッド１の放電処理部２０について説明する。
放電処理部２０は、筐体２１と、電極ホルダ７０と、電極３１，３２を有し、前後方向
に長く延びている。
【００１８】
図１に示すように、筐体２１は、トッププレート２２と、左右一対のサイドプレート２
３を有している。これらプレート２２，２３は、剛性金属にて構成されている。トッププ
レート２２の縁部にサイドプレート２３の上端部がボルト締めにて連結され、剛結合され
ている。
トッププレート２２の左右中央部には、ガス導入路２２ａが形成されている。導入路２
２ａは、スリット状をなして前後方向に延び、上記ガス整流部１０の下流端の全長にわた
って連なっている。
【００１９】
図１及び図２に示すように、筐体２１の内部に、電極ホルダ７０を介して左右一対の電
極３１，３２が収容されている。各電極３１，３２は、例えばステンレス等の導電性材料
によって出来、断面四角形状をなして前後方向へ直線状に長く延びている。左側の電極３
１は、給電線３ａを介して電源３に接続され、電界印加電極となっている。右側の電極３
２は、接地線３ｂを介して接地され、接地電極となっている。一対の電極３１，３２どう
しは、狭い間隔（例えば２ｍｍ）を置いて互いに平行に配されている。これら電極３１，
３２どうしの間に、前後方向へスリット状に延びるプラズマ化空間３０ａが形成されてい
る。
なお、図示は省略するが、各電極３１，３２の対向面と上面と下面には、アルミナ等か
らなる固体誘電体が溶射被膜されている。また、電極の内部には、温調用の冷媒を通す温
調路が形成されている。
【００２０】
図１に示すように、各電極３１，３２は、絶縁性の電極ホルダ７０によって絶縁、保持
されている。電極ホルダ７０は、筐体２１の内部に左右一対をなして収容されている。各
電極ホルダ７０は、ホルダ本体７１と、ガス導入側ピース７４と、吹出し側ピース７５を
備えている。ホルダ本体７１は、断面Ｌ字状のベース部７２と、このベース部７２の上部
に設けられたキャップ部７３とに分割され、全体として断面コ字状をなし、前後に延びて
いる。これらホルダ本体構成部７２，７３は、例えばユニレート（登録商標）等の耐熱性
の絶縁樹脂にて構成されている。
【００２１】
断面コ字状をなすホルダ本体７１ひいては電極ホルダ７０の内部に、電極３１又は３２
のための収容スペース７０ａが形成されている。左側の電極ホルダ７０の収容スペース７
０ａに電界印加電極３１が収容されている。右側の電極ホルダ７０の収容スペース７０ａ
に電界印加電極３１が収容されている。
【００２２】
各電極ホルダ７０のキャップ部７３の内端部（他方の電極ホルダ７０との対向端部）の
下隅には、ガス導入側ピース７４が設けられている。ガス導入側ピース７４は、樹脂製の
ホルダ本体７１より耐プラズマ性及び耐熱性が高い絶縁材料、例えばアルミナ等のセラミ
ックによって構成されている。ガス導入側ピース７４は、キャップ部７３の内端部に沿っ
て前後方向に延びる長方形断面の細棒状をなしている。ガス導入側ピース７４の内端面は
、キャップ部７３の内端面の下側においてこれと面一をなしている。左側のガス導入側ピ
ース７４の下面は、電界印加電極３１の上面の内側寄り部分に当接されている。右側のガ
ス導入側ピース７４の下面は、接地電極３２の上面の内側寄り部分に当接されている。
【００２３】
左右一対の電極ホルダ７０のキャップ部７３及びピース７４の内端面どうしの間に、処
理ガス導入路７０ｂが形成されている。導入路７０ｂは、スリット状をなして前後方向に
延びている。導入路７０ｂの上端部は、トッププレート２２の導入路２２ａにストレート
に連なり、下端部は、電極３１，３２間のプラズマ化空間３０ａの上流端にストレートに
連なっている。
【００２４】
各電極ホルダ７０において、Ｌ字状ベース部７２の下辺部の内端部には、吹出し側ピー
ス７５が設けられている。吹出し側ピース７５は、樹脂製のホルダ本体７１より耐プラズ
マ性及び耐熱性が高い絶縁材料、例えばパイレックス（登録商標）ガラスによって構成さ
れている。吹出し側ピース７５は、ベース部７２の下辺部の内端部に沿って前後方向に延
びる断面逆Ｌ字の細棒状をなしている。左側の吹出し側ピース７５の上面は、電界印加電
極３１の下面の内側寄り部分に当接されている。右側の吹出し側ピース７５の上面は、接
地電極３２の下面の内側寄り部分に当接されている。
【００２５】
左右一対の電極ホルダ７０の吹出し側ピース７５の内端面どうしの間に、処理ガス吹出
し路７０ｃが形成されている。吹出し路７０ｃは、スリット状をなして前後方向に延びて
いる。吹出し路７０ｃの上端部は、電極３１，３２間のプラズマ化空間３０ａの下流端に
ストレートに連なっている。
【００２６】
放電処理部２０の底部全体（左右の電極３１，３２、ホルダ７０，７０及びサイドプレ
ート２３，２３の下面）には、金属板からなる導電部材２７が被せられている。導電部材
２７の左右中央部には、吹出し口２７ｂが形成されている。吹出し口２７ｂは、スリット
状をなして前後方向に延び、上記吹出し路７０ｃに連なっている。
【００２７】
導電部材２７は、電極ホルダ７０によって電極３１，３２から絶縁されるとともに、接
地線３ｄを介して電気的に接地されている。
また、導電部材２７とサイドプレート２３とが接触することにより、筐体２１が導電部
材２７を介して電気的に接地されている。これにより、プラズマノズルヘッド１から外部
への漏電が防止されている。
【００２８】
プラズマノズルヘッド１には、長尺状の電極３１，３２の歪阻止手段ないしは歪矯正手
段が設けられている。すなわち、図２に示すように、左右のサイドプレート２３には、ネ
ジ孔２３ａとカラー収容孔２３ｂがそれぞれ前後方向に離間して交互に複数形成され、更
に、電極ホルダ７０のベース部７２には、サイドプレート２３の各収容孔２３ｂに連なる
カラー収容孔７２ｂが形成されている。
【００２９】
各ネジ孔２３ａには、金属製いもネジからなる押しボルト４０が捩じ込まれている。押
しボルト４０は、所要強度を有する鋼材等の金属にて構成されている。押しボルト４０の
先端には、座金４１が設けられ、この座金４１が、電極ホルダ７０のベース部７２背面の
凹み７２ｃに突き当てられている。
【００３０】
各収容孔２３ｂ，７２ｂには、ボルトカラー６０が収容されている。ボルトカラー６０
は、ポリテトラフルオロエチレン等の絶縁樹脂によって出来、軸線を左右水平方向へ向け
た段付き筒状をなしている。ボルトカラー６０の外端部には、フランジ６０ｆ（筐体への
係着部）が設けられている。このフランジ６０ｆが、サイドプレート２３の収容孔２３ｂ
の段差２３ｃに外側から引っ掛けられている。
【００３１】
ボルトカラー６０の内部には、その軸線に沿ってボルト挿入孔６０ａが貫通形成されて
いる。ボルト挿入孔６０ａは、外端側が大径になり、奥端側が小径になっており、この大
径孔部６０ｂと小径孔部６０ｃとの間に段差６０ｄ（ボルトの引っ掛け部）が形成されて
いる。ボルトカラー６０の肉厚（ボルト挿入孔６０ａの内周面からボルトカラー６０の外
周面までの厚さ）は、絶縁耐力が十分大きくなり静電容量が十分小さくなるように、十分
な厚さになっている。
【００３２】
ボルトカラー６０のボルト挿入孔６０ａに引きボルト５０が挿通されている。引きボル
ト５０は、所要強度を有する鋼材等の金属にて構成されている。引きボルト５０の頭部は
、角部が丸みを帯びており、表面全体が滑らかになっている。引きボルト５０の頭部は、
ボルト挿入孔６０ａの大径孔部６０ｂに収容されるとともに段差６０ｄに引っ掛かってい
る。引きボルト５０の脚部は、ボルト挿入孔６０ａの小径孔部６０ｃを貫通し、対応電極
３１，３２に形成されたネジ孔３０ｄにねじ込まれている。すなわち、左側の引きボルト
５０は、電界印加電極３１にねじ込まれ、右側の引きボルト５０は、接地電極３２にねじ
込まれている。
【００３３】
サイドプレート２３の各カラー収容孔２３ｂのフランジ６０ｆへの引っ掛け部を除く内
径は、ボルトカラー６０のフランジ６０ｆより奥側部分の外径より十分大きくなっている
。これによって、カラー収容孔２３ｂの内周面とボルトカラー６０の外周面の間には、環
状の空隙２０ｃが形成されている。なお、電極ホルダ７０のカラー収容孔７２ｂは、サイ
ドプレート２３のカラー収容孔２３ｂと同径になっているが、それより大径にしてもよく
、ボルトカラー６０がちょうど嵌る大きさにしてもよい。
【００３４】
本発明の最も特徴的部分について説明する。
電極ホルダ７０の収容スペース７０ａの内面には、ザグリ加工が施されている。これに
よって、電極からの離間部７０ｄが凹設されている。離間部７０ｄは、ベース部７２の押
しボルト４０に対応する部分７２ｅを避けるとともに、カラー収容孔７２ｂに連なるよう
にして、ベース部７２の縦辺部の内面及び下辺部の上面、並びにキャップ部７３の下面に
わたっている。これによって、電極３１，３２の背面（他方の電極との対向面とは逆側の
面）には、ベース部７２の押しボルト対応部分７２ｅのみが当接し、電極３１，３２の上
面には、導入側ピース７４のみが当接し、電極３１，３２の下面には、吹出し側ピース７
５のみが当接している。これらの当接部分を除く電極３１，３２の背面、上面及び下面と
、電極ホルダ７０との間には、空隙２０ａすなわち空気層が形成されている。
【００３５】
また、左右の各電極ホルダ７０のベース部７２の下面には、凹部７２ａが形成されてい
る。これによって、電極ホルダ７０の凹部７２ａの内面と導電部材２７との間に、空隙２
０ｂすなわち空気層が形成されている。
【００３６】
上記のように構成された常圧プラズマ処理装置Ｍ１の作用について説明する。
処理ガス源２からの処理ガスは、管２ａを経て、整流部１０に導入され、この整流部１
０において前後長手方向に均一化された後、導入路２２ａ，７０ｂを経て、電極間のプラ
ズマ化空間３０ａに導入される。そして、電源３から電極３１への電圧印加によって空間
３０ａ内にパルス電界が形成されてグロー放電が起き、これによって、処理ガスがプラズ
マ化される。このプラズマ化された処理ガスが、吹出し路２７ｂを通って吹出し口２０ｂ
から下方へ吹出され、ワークＷに当てられる。これにより、ワークＷの洗浄等のプラズマ
表面処理を行なうことができる。
【００３７】
ノズルヘッド１の底面すなわちワークＷと対向すべき面は、電気的に接地された導電部
材２７が被装されているので、電極３１からワークＷにアークが落ちるのを防止しつつ、
ノズルヘッド１をワークＷに近づけることができる。これによって、常圧下においてもプ
ラズマをワークＷに確実に到達させることができる。ひいては、処理効率を確実に向上さ
せることができる。また、電界がワークＷへ洩れるのを防止でき、ワークＷが電界によっ
て影響を受けないようにすることができる。
導電部材２７と電極３１とは、電極ホルダ７０にて絶縁できる。また、電極ホルダ７０
と導電部材２７の間に空隙２０ｂを形成することによって、部材７０，２７間の絶縁耐力
を高めることができる。
【００３８】
上記押しボルト４０は、電極ホルダ７０のベース部７２を介して電極３１，３２を他方
の電極に接近する方向に押すことができ、一方、引きボルト５０は、電極３１，３２を他
方の電極から遠ざかる方向に引くことができる。したがって、長尺電極３１，３２が歪ん
でいる場合には、これらボルト４０，５０のねじ込み量を調節することによって、上記電
極３１，３２の歪みを矯正できる。
また、押しボルト４０は、電極３１，３２が他方の電極から遠ざかるのを阻止でき、一
方、引きボルト５０は、電極３１，３２が他方の電極へ接近するのを阻止できる。したが
って、長尺電極３１，３２が、クーロン力で歪んだり、該電極の金属本体と表面の固体誘
電体層との熱膨張率の差で歪んだりするのを防止できる。これによって、プラズマ化空間
３０ａの幅を前後全長にわたって一定にすることができ、処理ガスを、前後長手方向に沿
って確実に均一に吹出すことができる。ひいては、ワークＷを確実に均一にプラズマ処理
することができる。
【００３９】
左側の引きボルト５０には、電極３１を介して電圧が印加されるが、絶縁性のボルトカ
ラー６０によって、筐体２１と絶縁することができる。しかも、カラー６０と筐体２１の
間には環状空隙２０ｃすなわち空気層が設けられているので、確実に絶縁することができ
る。
【００４０】
プラズマ処理装置Ｍ１によれば、電極３１，３２を絶縁保持する電極ホルダ７０の大部
分を占める本体７１を樹脂にて構成することによって、全体をセラミック等にするより材
料コストを安価にすることができる。一方、処理ガス導入路７０ｂの形成面と吹出し路７
０ｃの形成面についてはセラミック製のピース７４，７５にて構成することによって、耐
プラズマ性を確保でき、プラズマによる損傷を防止できる。
また、セラミック製のピース７４，７５は耐熱性も十分に高く、高温の処理ガスを通し
ても変質や変形を来たさないようにすることができる。
【００４１】
電極ホルダ７０の大部分を占める本体７１については、樹脂の中でも耐熱性の高いユニ
レート（登録商標）にて構成することによって、電極３１，３２からの熱による変形等の
影響を低減することができる。
しかも、電極３１，３２とホルダ本体７１の間には、空隙２０ａすなわち断熱層が介在
され、これら部材どうしの接触面積が小さくなっているので、電極３１，３２からホルダ
本体７１への熱の伝わりを抑制することができる。したがって、ホルダ本体７１が電極３
１，３２からの熱によって変形等の影響を受けるのを一層確実に防止することができる。
また、電極３１とホルダ本体７１の間の絶縁耐力を高めることができ、放電を抑制するこ
とができる。
【００４２】
更に、電極３１，３２への高周波給電によって導電部材２７が誘導加熱されても、該導
電部材２７と電極ホルダ７０との間に空隙２０ｂすなわち断熱層が介在されているので、
導電部材２７から電極ホルダ７０に熱が伝わるのを抑制できる。これによって、電極ホル
ダ７０の樹脂本体７１が熱変形を来たすのを一層確実に防止することができる。
【００４３】
本発明は、上記実施形態に限定されず、種々の改変が可能である。
例えば、電極ホルダ７０の断面Ｌ字状のベース部７２とキャップ部７３とが、一体にな
っていてもよい。ベース部７２の縦辺部と下辺部が分離され、縦辺部とキャップ部７３が
一体になっていてもよい。
上記実施形態では、電極３１，３２が略正方形の断面形状をなしているが、縦長（例え
ば高さが横幅に対し２倍）の長方形断面等にしてもよい。勿論、この場合、サイドプレー
ト２３や電極ホルダ７０も縦長になる。
接地電極用の引きボルトは、カラーに収容しなくてもよく、頭部が筐体に直接係着され
ていてもよい。
押しボルトが、電極に直接突き当たって押すようになっていてもよい。この場合、少な
くとも電界印加電極に対応する押しボルトについては絶縁性のボルトカラーに収容し、筐
体と絶縁する。この押しボルト用カラーのボルト収容孔の内周面には、押しボルトを螺合
する雌ネジを設ける。また、押しボルト用カラーが筐体に内側から引っ掛かるようにする
。
少なくとも電界印加電極に対応するボルトカラーのボルト収容孔の外端開口は、キャッ
プで塞ぐようにしてもよい。これによって、ボルト収容孔の内周面が放電で焦げたとして
も、パーティクルがヘッドの周辺の処理雰囲気中に飛散、混入するのを防止できる。
本発明のプラズマ処理は、電極間のプラズマ化空間の外部に被処理物を配置する所謂リ
モート式だけでなく、電極間のプラズマ化空間の内部に被処理物を配置する所謂ダイレク
ト式にも適用される。
本発明は、常圧下だけでなく、減圧下でのプラズマ処理にも適用でき、グロー放電だけ
でなく、コロナ放電や沿面放電によるプラズマ処理にも適用でき、洗浄、成膜、表面改質
、エッチング、アッシング等の種々のプラズマ処理に遍く適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の一実施形態に係る常圧プラズマ処理装置を、図２のI-I線に沿って示す正面断面図である。
【図２】上記常圧プラズマ処理装置を、図１のII-II線に沿って示す平面断面図である。
【符号の説明】
【００４５】
Ｍ１  常圧プラズマ処理装置
２０ａ  電極と電極ホルダの間の空隙
２０ｂ  電極ホルダと導電部材の間の空隙
２０ｃ  ボルトカラーと筐体の間の空隙
２１  筐体
２３ａ  カラー収容孔
２７  導電部材
３１，３２  電極
３０ａ  プラズマ化空間
４０  押しボルト
５０  引きボルト
６０  ボルトカラー
６０ａ  ボルト挿入孔
７０  電極ホルダ
７０ａ  電極収容スペース
７０ｂ  処理ガス導入路
７０ｃ  吹出し路
７０ｄ  電極からの離間部
７１  ホルダ本体
７２ａ  凹部
７２ｅ  電極ホルダの押しボルト対応部分
７４  導入側ピース
７５  吹出し側ピース
【図１】
2005243724.tif 000003
【図２】
2005243724.tif 000004