(57)【要約】【課題】従来行われているクリーニング吸引によりヘッドのノズルの目詰まりを回復させるのに比較して、廃棄する液体を大幅に削減することができ、吐出液体をより多く有効に活用できる液滴吐出装置、液滴吐出方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供すること。【解決手段】液滴をワークに吐出するための液滴吐出装置１０であって、供給された液体の液滴を吐出する複数のノズル８１を有するヘッド１１と、ヘッド１１のノズル面７０を封止して吸引するための吸引手段と、目詰まりしているノズルの数が予め定めた数を超えると、吸引手段によりノズル面７０を封止してノズル８１から吸引手段への液滴の吐出を行い、吸引手段によりノズル面７０を封止した状態で放置してノズル面７０を保湿させる制御部２００とを備えることを特徴とする。【選択図】図９
2005313114.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴をワークに吐出するための液滴吐出装置であって、
供給された液体の前記液滴を吐出する複数のノズルを有するヘッドと、
前記ヘッドの前記ノズル面を封止して吸引するための吸引手段と、
目詰まりしている前記ノズルの数が予め定めた数を超えると、前記吸引手段により前記ノズル面を封止して前記ノズルから前記吸引手段への前記液滴の吐出を行い、前記吸引手段により前記ノズル面を封止した状態で放置して前記ノズル面を保湿させる制御部と、を備えることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記目詰まりしている前記ノズルの数が前記予め定めた数以下であると、前記制御部は、前記吸引手段に対して前記ヘッドのノズル面を封止して吸引する吸引動作を行わせることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記吸引動作と、前記ノズル面を封止した状態で放置して保湿させる動作とを選択するための選択手段を有することを特徴とする請求項２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記ノズル面を封止した状態で放置して保湿させる時間を通知するための放置時間通知手段を有することを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記目詰まりしている前記ノズルを検出して前記制御部に知らせる非吐出ノズル検出部を有することを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
ヘッドから液滴をワークに吐出する液滴吐出方法であって、
前記ヘッドのノズル面におけるノズルが目詰まりしている場合に、目詰まりしている前記ノズルの数が予め定めた数を超えると、前記ヘッドの前記ノズル面を封止して吸引するための前記吸引手段により前記ノズル面を封止して、前記ノズルから前記吸引手段への前記液滴の吐出を行い、前記吸引手段により前記ノズル面を封止した状態で放置して前記ノズル面を保湿させることを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項７】
ヘッドから液滴をワークに吐出する液滴吐出装置を用いて電気光学装置の製造をする電気光学装置の製造方法であって、
前記ヘッドのノズル面におけるノズルが目詰まりしている場合に、目詰まりしている前記ノズルの数が予め定めた数を超えると、前記ヘッドの前記ノズル面を封止して吸引するための前記吸引手段により前記ノズル面を封止して、前記ノズルから前記吸引手段への前記液滴の吐出を行い、前記吸引手段により前記ノズル面を封止した状態で放置して前記ノズル面を保湿させ、その後前記ワークに前記液滴を吐出することで製造されることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項８】
ヘッドから液滴をワークに吐出する液滴吐出装置を用いて製造される電気光学装置であって、
前記ヘッドのノズル面におけるノズルが目詰まりしている場合に、目詰まりしている前記ノズルの数が予め定めた数を超えると、前記ヘッドの前記ノズル面を封止して吸引するための前記吸引手段により前記ノズル面を封止して、前記ノズルから前記吸引手段への前記液滴の吐出を行い、前記吸引手段により前記ノズル面を封止した状態で放置して前記ノズル面を保湿させ、その後前記ワークに前記液滴を吐出することで製造されることを特徴とする電気光学装置。
【請求項９】
請求項８に記載の前記電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴をワークに吐出するための液滴吐出装置、液滴吐出方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
液滴吐出装置は、描画システムとして用いられることがあり、この描画システムはインクジェット式で液滴をワークに対して吐出するようになっている。この描画システムはたとえばフラットパネルディスプレイのような電気光学素子の製造に用いられることがある。
インクジェット式で微小な液滴を吐出する液滴吐出装置は、液滴を吐出するためのヘッドを有している。このヘッドは、微小な液滴を安定して正確にワークに対して吐出する必要がある。このためにヘッドが有する複数のノズルが目詰まりを起こす現象を抑制することにより、微小な液滴を安定して正確に吐出する。このヘッドのノズル面は、必要に応じて吸引してノズルから液滴を吐出させてクリーニング処理をすることにより、ノズルの目詰まりを抑制することが提案されている（たとえば特許文献１）。
【特許文献１】特開２００２−７９６９３号公報（第１０頁、図９）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
この種のヘッドのクリーニングの方式は、クリーニング回数の増加による吐出液体であるインクの使用量を削減するために、クリーニングの回数を削減する必要がある。このために、ヘッドのクリーニングを行う前に、非吐出ノズル（非動作ノズルあるいは否吐出ノズルとも言う）の検出を実行して、この非吐出ノズルが存在している場合にのみクリーニング動作を実行するようになっている。この場合のクリーニング動作は、複数のノズルセット単位で実施をしている。しかし、結局はヘッドのノズルの回復処理としてクリーニングを実行しているので、インクの使用量が多く、廃棄するインクの量が削減できないという問題がある。
【０００４】
またクリーニングをする場合にタイマを設けており、ある一定時間ごとにクリーニングを行うことも開示されているが、このいわゆるタイマクリーニングの動作の前に、やはり非吐出ノズル（ドット抜け）検出を行って、タイマクリーニング動作を省略する記載がある。しかしドット抜けが生じていた場合には、やはりタイマクリーニングを実施するので、インクの使用量の削減にはつながらない。
【０００５】
そこで本発明は上記課題を解消し、従来行われているクリーニング吸引によりヘッドのノズルの目詰まりを回復させるのに比較して、廃棄する液体を大幅に削減することができ、吐出液体をより多く有効に活用できる液滴吐出装置、液滴吐出方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的は、第１の発明にあっては、液滴をワークに吐出するための液滴吐出装置であって、供給された液体の前記液滴を吐出する複数のノズルを有するヘッドと、前記ヘッドの前記ノズル面を封止して吸引するための吸引手段と、目詰まりしている前記ノズルの数が予め定めた数を超えると、前記吸引手段により前記ノズル面を封止して前記ノズルから前記吸引手段への前記液滴の吐出を行い、前記吸引手段により前記ノズル面を封止した状態で放置して前記ノズル面を保湿させる制御部と、を備えることを特徴とする液滴吐出装置により、達成される。
【０００７】
第１の発明の構成によれば、ヘッドは、供給された液体の液滴を吐出する複数のノズルを有している。吸引手段は、ヘッドのノズル面を封止して吸引する。
制御部は、目詰まりしているノズルの数が予め定めた数を超えると、吸引手段によりノズル面を封止してノズルから吸引手段へ液滴の吐出を行い、吸引手段によりノズル面を封止した状態で放置してノズル面を保湿させる。
【０００８】
これにより、液滴吐出装置が液滴を吐出する前に、目詰まりしているノズルの数が予め定めた数を超えると、制御部は吸引手段によりノズル面を封止してノズルから吸引手段への液滴の吐出を行う。そして、吸引手段は、ノズル面を封止した状態で放置して、ノズル面を保湿させる。このようにして、吸引手段を用いて吸引手段によりノズル面を保湿させた状態で放置することにより、ヘッドのノズルの目詰まりを確実に回復させることができる。
したがって、従来のクリーニング動作による吸引でヘッドのノズルの目詰まりを回復させるのに比べて、廃棄する液体が大幅に削減できるので、吐出液滴をより有効活用することができる。つまり、目詰まりしているノズルを回復するために、クリーニング動作を何度も実行する現象を防ぐことができるので、使用する液体量を削減することができるのである。
【０００９】
第２の発明は、第１の発明の構成において、前記目詰まりしている前記ノズルの数が前記予め定めた数以下であると、前記制御部は、前記吸引手段に対して前記ヘッドのノズル面を封止して吸引する吸引動作を行わせることを特徴とする。
第２の発明の構成によれば、目詰まりしているノズルの数が予め定めた数以下であると、制御部は吸引手段に対してヘッドのノズル面を封止して吸引する吸引動作を行わせる。
これにより、目詰まりしているノズルの数が予め定めた数以下である場合には、ヘッドのノズル面は吸引手段により封止した状態で吸引動作により、ヘッドのノズルの目詰まりを回復する。
これによって、目詰まりしているノズルの数が予め定めた数よりも少ない場合には、吸引動作によるノズルの目詰まりの回復を行う。
【００１０】
第３の発明は、第２の発明の構成において、前記吸引動作と、前記ノズル面を封止した状態で放置して保湿させる動作とを選択するための選択手段を有することを特徴とする。
第３の発明の構成によれば、選択手段は、吸引動作とノズル面を封止した状態で放置して保湿させる動作とを選択することができる。
これにより、使用者は選択手段を用いて、吸引手段により吸引する吸引動作と、ノズル面を封止した状態で放置して保湿させる動作を適宜選択させることができる。
【００１１】
第４の発明は、第１の発明ないし第３の発明のいずれかの構成において、前記ノズル面を封止した状態で放置して保湿させる時間を通知するための放置時間通知手段を有することを特徴とする。
第４の発明の構成によれば、放置時間通知手段は、ノズル面を封止した状態で放置して保湿させる時間を使用者に対して通知することができる。
【００１２】
第５の発明は、第４の発明の構成によれば、前記目詰まりしている前記ノズルを検出して前記制御部に知らせる非吐出ノズル検出部を有することを特徴とする。
第５の発明の構成によれば、非吐出ノズル検出部は、目詰まりしているノズルの存在の有無を検出することができる。
これにより、非吐出ノズル検出部が検出した目詰まりしているノズルの数は、制御部に対して確実に知らせることができる。
【００１３】
上記目的は、第６の発明にあっては、ヘッドから液滴をワークに吐出する液滴吐出方法であって、前記ヘッドのノズル面におけるノズルが目詰まりしている場合に、目詰まりしている前記ノズルの数が予め定めた数を超えると、前記ヘッドの前記ノズル面を封止して吸引するための前記吸引手段により前記ノズル面を封止して、前記ノズルから前記吸引手段への前記液滴の吐出を行い、前記吸引手段により前記ノズル面を封止した状態で放置して前記ノズル面を保湿させることを特徴とする液滴吐出方法により、達成される。
【００１４】
これにより液滴吐出装置が液滴を吐出する前に、目詰まりしているノズルの数が予め定めた数を超えると、制御部は吸引手段によりノズル面を封止してノズルから吸引手段への液滴の吐出を行う。そして、吸引手段は、ノズル面を封止した状態で放置して、ノズル面を保湿させる。このようにして、吸引手段を用いて吸引手段によりノズル面を保湿させた状態で放置することにより、ヘッドのノズルの目詰まりを確実に回復させることができる。
したがって、従来のクリーニング動作による吸引でヘッドのノズルの目詰まりを回復させるのに比べて、廃棄する液体が大幅に削減できるので、吐出液滴をより有効活用することができる。つまり、目詰まりしているノズルを回復するために、クリーニング動作を何度も実行する現象を防ぐことができるので、使用する液体量を削減することができるのである。
【００１５】
上記目的は、第７の発明にあっては、ヘッドから液滴をワークに吐出する液滴吐出装置を用いて電気光学装置の製造をする電気光学装置の製造方法であって、前記ヘッドのノズル面におけるノズルが目詰まりしている場合に、目詰まりしている前記ノズルの数が予め定めた数を超えると、前記ヘッドの前記ノズル面を封止して吸引するための前記吸引手段により前記ノズル面を封止して、前記ノズルから前記吸引手段への前記液滴の吐出を行い、前記吸引手段により前記ノズル面を封止した状態で放置して前記ノズル面を保湿させ、その後前記ワークに前記液滴を吐出することで製造されることを特徴とする電気光学装置の製造方法により、達成される。
【００１６】
これにより液滴吐出装置が液滴を吐出する前に、目詰まりしているノズルの数が予め定めた数を超えると、制御部は吸引手段によりノズル面を封止してノズルから吸引手段への液滴の吐出を行う。そして、吸引手段は、ノズル面を封止した状態で放置して、ノズル面を保湿させる。このようにして、吸引手段を用いて吸引手段によりノズル面を保湿させた状態で放置することにより、ヘッドのノズルの目詰まりを確実に回復させることができる。
したがって、従来のクリーニング動作による吸引でヘッドのノズルの目詰まりを回復させるのに比べて、廃棄する液体が大幅に削減できるので、吐出液滴をより有効活用することができる。つまり、目詰まりしているノズルを回復するために、クリーニング動作を何度も実行する現象を防ぐことができるので、使用する液体量を削減することができるのである。
液滴吐出装置を用いて電気光学装置を製造する場合に、吐出する液体はより多く電気光学装置の製造に活用することができるので、電気光学装置の製造に際してコストダウンを図ることができる。また、ノズルの目詰まりを確実に防止でき、ノズル面に非吐出ノズルが生じるのを防いで、電気光学装置の製造時の品質が向上する。
【００１７】
上記目的は、第８の発明にあっては、ヘッドから液滴をワークに吐出する液滴吐出装置を用いて製造される電気光学装置であって、前記ヘッドのノズル面におけるノズルが目詰まりしている場合に、目詰まりしている前記ノズルの数が予め定めた数を超えると、前記ヘッドの前記ノズル面を封止して吸引するための前記吸引手段により前記ノズル面を封止して、前記ノズルから前記吸引手段への前記液滴の吐出を行い、前記吸引手段により前記ノズル面を封止した状態で放置して前記ノズル面を保湿させ、その後前記ワークに前記液滴を吐出することで製造されることを特徴とする電気光学装置により、達成される。
【００１８】
これにより液滴吐出装置が液滴を吐出する前に、目詰まりしているノズルの数が予め定めた数を超えると、制御部は吸引手段によりノズル面を封止してノズルから吸引手段への液滴の吐出を行う。そして、吸引手段は、ノズル面を封止した状態で放置して、ノズル面を保湿させる。このようにして、吸引手段を用いて吸引手段によりノズル面を保湿させた状態で放置することにより、ヘッドのノズルの目詰まりを確実に回復させることができる。
したがって、従来のクリーニング動作による吸引でヘッドのノズルの目詰まりを回復させるのに比べて、廃棄する液体が大幅に削減できるので、吐出液滴をより有効活用することができる。つまり、目詰まりしているノズルを回復するために、クリーニング動作を何度も実行する現象を防ぐことができるので、使用する液体量を削減することができるのである。
したがって、液滴吐出装置を用いて電気光学装置を製造する場合に、吐出する液体はより多く電気光学装置の製造に活用することができるので、電気光学装置の製造に際してコストダウンを図ることができる。また、ノズルの目詰まりを確実に防止でき、ノズル面に非吐出ノズルが生じるのを防いで、電気光学装置の製造時の品質が向上する。
【００１９】
第９の発明は、第８の発明に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の好適な実施の形態を図面を参照して説明する。
図１は、本発明の液滴吐出装置の好ましい実施形態を示す平面図である。図１に示す液滴吐出装置１０は、たとえば描画システムとして用いることができる。この描画システムは、いわゆるフラットパネルディスプレイの一種であるたとえば有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）装置の製造ラインに組み込まれるものである。この液滴吐出装置１０は、有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子を形成することができる。
【００２１】
液滴吐出装置１０は、たとえばインクジェット式描画装置として用いることができる。液滴吐出装置１０は、たとえば有機ＥＬ装置の発光素子を液滴吐出法（インクジェット法）で形成するためのものである。液滴吐出装置１０のヘッド（機能液滴吐出ヘッドとも言う）は、有機ＥＬ素子の発光素子を形成できる。具体的には、有機ＥＬ素子の製造工程において、バンク部形成工程およびプラズマ処理工程を経て、バンク部が形成された基板（ワークの一例）に対して、発光機能材料を導入したヘッドを相対的に走査することにより、液滴吐出装置１０は、基板の画素電極の位置に対応して正孔注入／輸送層および発光層の成膜部を形成することができる。
液滴吐出装置１０はたとえば２台用意することにより、１台目の液滴吐出装置１０が正孔注入／輸送層を形成し、もう１台の液滴吐出装置１０はＲ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）の３色の発光層を形成することができる。
【００２２】
図１の液滴吐出装置１０はチャンバ１２の中に収容されている。チャンバ１２は別のチャンバ１３を有している。このチャンバ１３の中には、ワーク搬出入テーブル１４を収容している。ワーク搬出入テーブル１４は、ワークＷをチャンバ１２内へ搬入したりあるいは処理後のワークＷをチャンバ１２内のテーブル３０の上から搬出するためのテーブルである。
【００２３】
図１に示すチャンバ１２の中にはヘッド１１のメンテナンスを行うメンテナンス部１５を収容している。またチャンバ１２の外側には、回収部１６を備えている。
メンテナンス部１５は、吸引手段１７５０、ワイピングユニット５００、非吐出ノズル検出部６００あるいは重量測定ユニット（図示せず）等を有している。
吸引手段１７５０は、ヘッド１１のノズル面から液滴や気泡を吸引するためのものである。ワイピングユニット５００のワイピングブレードは、ノズル面に付着する汚れを払拭するためのものである。非吐出ノズル検出部６００は、ヘッド１１から吐出される液滴の吐出状態を検査する。重量測定ユニットは、ヘッド１１から吐出される液滴の重量を測定する。
回収部１６は、たとえば液滴を回収する液滴回収系と、ワイピングの後に用いる洗浄用の溶剤を供給する洗浄液供給系を有している。
【００２４】
チャンバ１２とチャンバ１３は、個別にエアー管理されており、チャンバ１２とチャンバ１３の中の雰囲気に変動が生じないようになっている。このようにチャンバ１２とチャンバ１３を用いるのは、たとえば有機ＥＬ素子を製造する場合には大気中の水分等を嫌うために大気の影響を排除できるようにするためである。チャンバ１２とチャンバ１３の中にはドライエアーを連続的に導入して排気することで、ドライエアー雰囲気を維持する。
【００２５】
次に、図１に示すチャンバ１２内の構成要素について説明する。
チャンバ１２の中には、フレーム２０、ヘッド１１、キャリッジ１９、液体貯留部３００、第１操作部２１、第２操作部２２、テーブル３０、ガイド基台１７を収容している。
図１のフレーム２０はＸ軸方向に沿って水平に設けられている。ガイド基台１７はＹ軸方向に沿って設けられている。フレーム２０はガイド基台１７の上方にある。Ｘ軸は第１移動軸に相当し、Ｙ軸は第２移動軸に相当する。Ｘ軸とＹ軸は直交しており、Ｚ軸に対しても直交している。Ｚ軸は、図１において紙面垂直方向である。
【００２６】
第１操作部２１は、フレーム２０に沿ってキャリッジ１９とヘッド１１を、Ｘ軸方向に沿って直線往復移動および位置決めするためのものである。
第２操作部２２は、テーブル３０を有している。このテーブル３０は、図１に示すようなワークＷを着脱可能に搭載することもできる。この第２操作部２２のテーブル３０は、ヘッド１１からワークＷに対して液滴を与える際に、ワークＷを保持する。そして第２操作部２２は、ワークＷをＹ軸方向に沿ってガイド基台１７上を直線移動して位置決めすることができる。
【００２７】
第１操作部２１は、ヘッド１１をＸ軸方向に直線移動して位置決めするためのモータ２１Ａを有している。このモータ２１Ａは、たとえば送りねじを用いることにより、このヘッド１１をＸ軸方向に直線移動することができる。モータ２１Ａは、この回転型の電動モータであってもよいし、リニアモータであってもよい。
【００２８】
第２操作部２２のモータ２２Ａは、テーブル３０をガイド基台１７に沿ってＹ軸方向に直線移動して位置決め可能である。モータ２２Ａはたとえば送りねじを回転する回転型の電動モータを用いることができる。モータ２２Ａとしては回転型のモータの他にリニアモータを用いることも可能である。
【００２９】
第２操作部２２のテーブル３０は、搭載面３０Ａを有している。この搭載面３０Ａは、図１のＺ軸方向に垂直な面である。搭載面３０Ａは、吸着部３０Ｂを有している。この吸着部３０Ｂは、ワークＷを真空吸着により吸着することができるものである。これによりワークＷは、搭載面３０Ａに対してずれることなく確実に着脱可能に固定することができる。
【００３０】
次に、図２と図３を参照して、キャリッジ１９とヘッド１１の構造例について説明する。
図２はキャリッジ１９とヘッド１１の周りの形状例を示す斜視図であり、図３は、図２のＥ方向から見た正面図の例である。
キャリッジ１９は、図１に示すモータ２１ＡによりＸ軸方向に移動して位置決め可能である。キャリッジ１９はヘッドホルダ６１を用いてヘッド１１を着脱可能に保持している。モータ６２の出力軸は送りねじ１８２１に連結されている。送りねじ１８２１は軸１８２３のナット１８２２に噛み合っている。
【００３１】
図２に示すモータ６２が作動すると、送りねじ１８２１が回転して、ナット１８２２と軸１８２３とヘッドホルダ６１とヘッド１１のユニットがＺ軸方向に沿って上下動して位置決め可能である。もう１つのモータ６３が作動することにより、ヘッド１１は、Ｕ軸を中心としてθ方向に回転可能になっている。
【００３２】
図２と図３に示すように、ヘッド１１はノズルプレート６４を有している。ノズルプレート６４の下面はノズル面７０である。このノズル面７０は、複数のノズルのノズル開口６５を有している。ヘッド１１は、液体貯留部３００にチューブを介して接続されている。液体貯留部３００は機能液貯蔵部ともいう。液体は有機ＥＬ素子の正孔注入／輸送層や発光層の成膜部を形成するのに用いられる機能液の一例である。液体貯留部３００内の液体は、ノズル開口６５からたとえば圧電振動子の作動によりインクジェット式で吐出させることができるのである。図３に示すようにモータ６２，６３は制御部２００により動作が制御される。
【００３３】
図４は、図２と図３に示すヘッド１１のノズル面７０の形状例を示している。ノズル面７０は、複数のノズル列７９Ａから７９Ｆを有している。各ノズル列７９Ａないし７９Ｆは、Ｙ軸方向に平行に形成されている。各ノズル列７９Ａないし７９Ｆは、複数のノズル８１を有している。しかもノズル列７９Ａないし７９Ｆは、Ｘ軸方向に関して所定の間隔をおいて配列されている。
各ノズル列７９Ａないし７９Ｆは、複数のノズル８１を有している。ノズル列の数は図４の例では６列図示されているが、これに限らず２以上の数のノズル列であっても勿論構わない。
【００３４】
図４に示すように、非吐出ノズル検出部６００が、ノズル８１の内の目詰まりした非吐出ノズルを検出するために設けられている。この非吐出ノズル検出部６００は、非動作ノズル検出部あるいは否吐出ノズル検出部とも呼ぶことができる。
非吐出ノズル検出部６００は、発光部６０１と受光部６０２を有している。発光部６０１は、たとえばレーザー発光部を採用することができる。発光部６０１が発生する光Ｌは、受光部６０２に受光される。ノズル８１から液滴が吐出されると、光Ｌの光路を遮るので、この場合には受光部６０２は光Ｌの受光が一時的に中断される。したがって、あるノズル８１から正常に液滴が吐出されていれば、光Ｌが受光部６０２で一時的に遮光されるので、制御部２００は、このノズルは目詰まりをしていないと判断することができる。
【００３５】
一方、ノズル８１の駆動期間内に、光Ｌが全く遮光されない時には、制御部２００はそのノズル８１が目詰まりしていると判断することができる。なお、一滴の液滴では、光Ｌが遮断されたかどうかを十分に確実に検出できない場合があるので、１つのノズル８１について数滴の液滴を吐出するようにするのが望ましい。
【００３６】
図４におけるノズル列７９Ａの各ノズル８１について目詰まりの検査が済むと、ヘッド１１は、Ｘ軸方向に少し移動することで、次のノズル列７９Ｂのノズル８１について非吐出ノズルの検査をすることができる。
このように、非吐出ノズル検出部６００は、飛行中の液滴を検出することによって、各ノズル列７９Ａ〜７９Ｆの各ノズル８１の目詰まりの有無（すなわちドット抜けの有無）を検査することができる。
図４に示すノズル列７９Ａないし７９Ｆは、それぞれ異なる種類の液滴を吐出する構造であっても良いし、隣接する２以上のノズル列が同じ種類の液滴を吐出するような構成にしても勿論構わない。
【００３７】
次に、図５を参照して、本発明の液滴吐出装置の各構成要素の電気的な接続例について説明する。
図５に示す制御部２００は、ホストコンピュータ１８００に対して通信インターフェース１８０１を介して接続されている。通信インターフェース１８０１は、メモリ１８０２に接続されている。メモリ１８０２は、データ領域１８０３と情報格納部１８１０を有している。
【００３８】
制御部２００は、クリーニング制御部２０１を有している。このクリーニング制御部２０１は、キャッピング制御部２０２、フラッシング制御部２０３を有している。
制御部２００は、選択手段７００、非吐出ノズル検出部６００、放置時間通知手段３９０、キャップ操作用のモータ３０１、吸引ポンプのモータ３０２、Ｘ軸用のモータ２１Ａ、Ｙ軸用のモータ２２Ａ、吸着部３０Ｂ、モータ６２，６３、切替部４００の切替信号生成部４０１と駆動信号生成部４０３に電気的に接続されている。
【００３９】
図５に示すモータ２１Ａ，２２Ａ、吸着部３０Ｂ、モータ６２，６３は、図１に図示してある。図５に示す駆動信号生成部４０３は、制御部２００からの信号により、切替部４００の複数のスイッチ回路４１０に対して適宜信号を供給するようになっている。各スイッチ回路４１０は、それぞれ圧電素子（圧電振動子とも言う）４２０に対して接続されている。切替信号生成部４０１が制御部２００から与えられる信号により、スイッチ回路４１０を制御することにより、必要とする圧電素子４２０に対して駆動信号を供給するようになっている。
ヘッド１１はこれらの圧電素子４２０を有していて、各圧電素子４２０は、図４に示す各ノズル列のそれぞれのノズル８１に対応して設けられている。圧電素子４２０が駆動されると、その伸長収縮によりノズル８１から液滴が吐出できる。
図５に示すキャップ操作用のモータ３０１と吸引ポンプのモータ３０２は、図６に示している。
【００４０】
図６は、吸引手段１７５０の構造例を示している。吸引手段１７５０は、ヘッド１１のノズル面７０を封止して吸引することにより、ヘッド内のノズルのクリーニングを行うことができる。吸引手段１７５０は、キャップ１７５１、吸収材１７５２、吸引ポンプ１７５３、廃液タンク１７５４およびモータ３０１，３０２を有している。モータ３０１は、キャップをＺ１方向に上昇しＺ２方向に下降するためのキャップ操作用のモータである。モータ３０２は、吸引ポンプ１７５３を動作させるためのモータである。
【００４１】
キャップ１７５１は、吸収材１７５２を収容している部材である。キャップ１７５１の上端部１７６０は、ノズル面７０に対して密着することにより図６（Ｂ）に示すようにノズル面７０を封止することができる。
吸収材１７５２は、キャップ１７５１内に収容されていて、液滴を吸収することができる、たとえば多孔質材料のものである。キャップ１７５１の底部は、吸引ポンプ１７５３に対して吸引チューブ１７６１により接続されている。
【００４２】
これによって、吸引ポンプ１７５３がモータ３０２の動作により動作すると、図６（Ｂ）の状態においての封止状態においては、ノズル面７０のノズル８１から液体および空気の泡あるいは液体の目詰まりを吸収材１７５２側に吸引することができる。つまり吸引ポンプ１７５３はキャップ１７５１内を負圧にすることにより、ノズル８１側の液体を強制的に吸引してノズル８１をクリーニングすることができる。吸引した液体は、吸引ポンプ１７５３を介して廃液タンク１７５４側に排出する。
キャップ操作用のモータ３０１が作動すると、図６（Ａ）のようにキャップ１７５１が待機する状態から、図６（Ｂ）に示すようにキャップ１７５１が吸引する状態に変わって、そして図６（Ｃ）に示すように再び待機する状態に変化させることができる。
【００４３】
図６（Ｄ）に示すのは、吸引手段１７５０に代えて用いられるワイピングブレード１８５０である。このワイピングブレード１８５０は、清掃部材もしくは払拭部材とも呼んでいる。ワイピングブレード１８５０は、図６（Ａ）ないし図６（Ｃ）に示すようにノズル面７０を吸引した後に、ノズル面７０の液滴を払拭してクリーニングするようになっている。この場合には、ヘッド１１がＸ軸方向のＸ１方向に沿ってワイピングブレード１８５０に対して相対的に水平移動することにより、ノズル面７０はワイピングブレード１８５０により払拭することができる。ワイピングブレード１８５０は、弾性変形可能なたとえばゴムやエラストマー等により作られている。
図６（Ａ）ないし図６（Ｄ）に示すのが、ノズル面７０のクリーニングシーケンスである。図５のクリーニング制御部２０１のキャッピング制御部２０２は、上述したキャップ操作用のモータ３０１とモータ３０２の動作を制御することができる。
【００４４】
次に、図７は、図５に示すユーザへの放置通知手段３９０の例を示している。
図７（Ａ）では、ユーザへの放置通知手段３９０が液晶表示装置（ＬＣＤ）である例であり、図７（Ｂ）では、ユーザへの放置通知手段３９０がＬＥＤ（発光ダイオード）表示部の例である。
【００４５】
図７に示すユーザへの放置通知手段３９０は、図８に示すような液滴をキャップ１７５１内へ吐出（フラッシング）してキャッピング放置している状態の放置時間を、ユーザに対して通知するための手段である。
まず図８に示すキャッピング放置状態について説明する。
図６に示すキャップ１７５１が、ノズル面７０に対して密着して封止している状態では、キャップ１７５１は各ノズル列のノズル８１を封止している。この状態で、フラッシング制御部２０３が図５に示す切替部４００を介して各圧電素子４２０を作動することにより、各ノズル８１から液体のフラッシング（液体吐出）を行う。
【００４６】
これにより、液体は吸収材１７５２内に吸収される。吸収材１７５２に吸収された液体により、キャップ１７５１内とノズル面７０が保湿された状態になる。これがフラッシングしてキャッピング放置している状態である。
このようにキャッピングして放置している時間は、図７に示すユーザへの放置通知手段３９０により、ユーザに対して表示することができる。図７（Ａ）の例では、液晶表示装置３７０が用いられている。液晶表示装置３７０の画面には、ユーザへの通知のためのコメント３７１が表示される。このコメント３７１の例としては、たとえば「キャッピング時間（放置時間）は６時間必要です。このまま電源をオフにして、６時間経ったら液滴吐出装置の再使用が可能です。」というような内容である。
【００４７】
これに対して、図７（Ｂ）のユーザへの放置通知手段３９０の例では、ＬＥＤ表示部３８０が使用されている。このＬＥＤ表示部３８０は、たとえば液体エンド（液体の貯留量がゼロになることを示す）用のＬＥＤを用いる。ユーザへの通知３８１としては、たとえば図７（Ｃ）に示すようにインクエンド用ＬＥＤ３８３を、たとえば６回点滅後、たとえば２秒おいて再び６回点滅させるようにすることができる。
このようなユーザへの放置通知手段３９０を用いることにより、ユーザに対して視覚的に確実にキャッピング時間（放置時間）の通知を行うことができるのである。
【００４８】
図９は、本発明の液滴吐出装置の好ましい実施形態により実施することができる液滴吐出方法の一例を示すフロー図である。
図１０は、図９の液滴吐出方法を行う場合に、液体の非吐出ノズルの割合に応じて、行われるクリーニングシーケンスの実施の必要性の有無、キャップ内におけるフラッシング（ＦＬ）の数およびキャッピング時間（放置時間）の例を示している。
【００４９】
図１０に示す表は、テーブルＡとテーブルＢを有している。テーブルＡは、液体の非吐出ノズルの割合Ｎに対するクリーニングシーケンスの実施の必要性の有無を表示している。テーブルＢは、液体の非吐出ノズルの割合Ｎに対するキャップ内におけるフラッシング（液滴吐出）数とキャッピング時間の例を示している。
このようなテーブルＡ、テーブルＢは、図５のメモリ１８０２の情報格納部１８１０に格納する。図１０に示すキャッピング時間（ＴＣ）は、モード１、モード２およびモード３の３つに区分けされている。モード１では、液体吐出作業直前までのキャッピング時間ＴＣが０以上１月未満であり、モード２ではキャッピング時間ＴＣが１月以上４月未満であり、モード３ではキャッピング時間ＴＣが４月以上に区分けされている。
【００５０】
モード１では、非吐出ノズルの割合Ｎは、考慮されずにクリーニングシーケンスの実施が行われるが、キャップ内におけるフラッシング数とキャッピング時間（放置時間）は考慮されない。
モード２では、非吐出ノズルの割合Ｎが５％以下の場合と、５％を超える場合とに分けられている。非吐出ノズルの割合Ｎが５％以下である場合には、クリーニングシーケンスを行うが、キャップ内におけるフラッシング数やキャッピング時間（放置時間）については考慮されない。
非吐出ノズルの割合Ｎが５％を超えると、クリーニングシーケンスは行われないが、キャップ内におけるフラッシング数が１００セグメントであり、キャッピング時間（放置時間）は６時間に設定されている。
【００５１】
モード３では、非吐出ノズルの割合Ｎが５％以下である場合には、クリーニングシーケンスが行われるが、キャップ内におけるフラッシング数とキャッピング時間（放置時間）については考慮されていない。非吐出ノズルの割合Ｎが５％を超えて１０％以下であると、クリーニングシーケンスは行われないが、キャップ内におけるフラッシング数は２００セグメントでありキャッピング時間（放置時間）は１２時間に設定されている。非吐出ノズルの割合Ｎが１０％を超えると、クリーニングシーケンスは行われないが、キャップ内におけるフラッシング数は４００セグメントでありキャッピング時間（放置時間）は２４時間に設定されている。
ここで、非吐出ノズルの割合Ｎは、１列のノズル列における吐出用のノズルの数に対する目詰まりしたノズルの割合を言う。また、フラッシング数のセグメント（ｓｅｇｍｅｎｔ）は、液滴の吐出回数の総数を表す。
【００５２】
次に、図９を参照しながら、液滴吐出方法の好ましい実施形態について説明する。
図９において、ステップＳＴ１では、非吐出ノズルの検出指示が図５の制御部２００から非吐出ノズル検出部６００側に有った場合には、ステップＳＴ２に移る。ステップＳＴ２では、図５と図４に示す非吐出ノズル検出部６００が、ノズル列の複数のノズルの中から非吐出ノズルの検出を行う。
【００５３】
図９のステップＳＴ３において、非吐出ノズルが有ったかどうかを制御部２００が判断して、非吐出ノズルが無い場合にはステップＳＴ４において制御部２００はヘッド１１に対して通常の吐出動作を行わせる。そしてステップＳＴ５において、この場合の液滴吐出作業の直前までのキャッピング時間ＴＣは０にする。これによりこの作業が終了する。
これに対して図９のステップＳＴ３において、非吐出ノズル検出部６００が非吐出ノズルを検出すると、ステップＳＴ６に移る。
ステップＳＴ６では、図５の制御部２００は、非吐出ノズルの割合Ｎを図４の受光部６０２からの受光信号に基づいて決定する。
【００５４】
ステップＳＴ７では、制御部２００は、液滴吐出作業の直前までのキャッピング時間ＴＣと非吐出ノズルの割合Ｎに基づいて、図１０に示すモード１、モード２およびモード３の内のどのモードであるかを判定する。
ステップＳＴ８では、図１０に示すテーブルＡの処理をまず選択して、ステップＳＴ９において、クリーニングシーケンスＣＬを実施したかどうかを制御部２００が判断する。ステップＳＴ９において、クリーニングシーケンスＣＬを図６に示すように実施した場合には、ステップＳＴ２に移り、ステップＳＴ２からステップＳＴ５を行って終了する。
【００５５】
クリーニングシーケンスＣＬでは、図６（Ａ）ないし図６（Ｃ）に示すようにキャップ１７５１がノズル面７０に対して密着することにより、ノズル面７０の各ノズル８１が封止される。この状態で、吸引ポンプ１７５３が作動すると、キャップ１７５１内は負圧になり、これによって、各ノズル８１からは液体や空気の泡が吸引チューブ１７６１と吸引ポンプ１７５３を通じて廃液タンク１７５４側に送られることになる。
その後、図６（Ｃ）に示すように吸引ポンプ１７５３が停止してキャップ１７５１がＺ２方向に下がって待機状態になる。その後、図６（Ｄ）に示すようにワイピングブレード１８５０がノズル面７０を払拭する。
【００５６】
図９のステップＳＴ９において、クリーニングシーケンスＣＬを実施する場合としては、図１０のモード１の場合と、モード２とモード３の非吐出ノズルの割合Ｎが５％以下である場合である。
図９のステップＳＴ９において、クリーニングシーケンスＣＬを実施しない場合には、ステップＳＴ１０のキャッピング時間（放置時間）を設定するかどうかを判断する。そうでない場合には、クリーニングシーケンスをステップＳＴ１１により実行して、ステップＳＴ２からステップＳＴ５を実行して終了する。
【００５７】
ステップＳＴ１０において、制御部２００は図１０に示すモード２の非吐出ノズルの割合Ｎが５％を超えた場合と、モード３における非吐出ノズルの割合Ｎが５％を超えて１０％以下である場合と１０％を超える場合には、それぞれキャッピング時間（放置時間）をテーブルＢにより設定する。
このことから、ステップＳＴ１２では、制御部２００はテーブルＢに基づいて、フラッシング（液滴吐出）の実施とステップＳＴ１３において、キャッピング時間（放置時間）の設定を行う。
【００５８】
たとえばモード２において、非吐出ノズルの割合Ｎが５％を超える場合には、キャップ内におけるフラッシング数は、１００セグメントであり、キャッピング時間（放置時間）は６時間である。
また、モード３において非吐出ノズルの割合Ｎが５％を超えて１０％以下である場合にはキャップ内におけるフラッシング数は２００セグメントであり、キャッピング時間（放置時間）は１２時間である。非吐出ノズルの割合Ｎが１０％を超えるとキャップ内におけるフラッシング数は４００セグメントであり、キャッピング時間（放置時間）は２４時間となる。
このように、非吐出ノズルの割合Ｎが増えていくと、キャップ内におけるフラッシング数の吐出単位が増えていき、キャッピング時間もそれに伴って長くなっていく。
【００５９】
図９のステップＳＴ１４では、キャッピング時間（放置時間）は、ユーザへ通知する。このユーザへの通知は、図７（Ａ）および図７（Ｂ）に示すユーザへの放置通知手段の両方もしくはいずれか一方により行うことができる。図７（Ａ）のユーザへの放置通知手段３９０は、液晶表示装置３７０の画面上でコメント３７１を表示する。たとえばキャッピング時間（放置時間）が６時間である場合には、図７（Ａ）に示すような表示をすることができる。
【００６０】
図７（Ｂ）の場合には、キャッピング時間が６時間必要である場合には、図７（Ｃ）に示すようにＬＥＤ３８３を６回点滅後、２秒間おいて再び６回点滅させる。このようにすることで、図７（Ａ）と図７（Ｂ）のいずれのユーザへの放置通知手段３９０を用いても、ユーザに対して確実にキャッピング時間（放置時間）の通知３８１を行うことができる。たとえば６時間経過した後に、液滴吐出装置は液滴吐出作業が再度可能になり、再使用可能になる。
図７（Ｂ）において、ＬＥＤ３８３の各点滅間隔はたとえば０．５秒間隔にすることができる。図７の例では、たとえば６時間経過したらキャッピング時間（放置時間）が終了して、再び液滴を吐出することができる吐出開始可能になる。
図７における表示例は、キャッピング時間が６時間の場合であるが、１２時間あるいは２４時間であっても同様な手法により、ユーザへの放置通知手段３９０は表示することができる。
【００６１】
図９に戻ると、ステップＳＴ１５では、液滴吐出装置の電源をオフする。再び必要に応じてステップＳＴ１からステップＳＴ５を経過することにより、非吐出ノズルが保湿作用により目詰まりを回復させることができる。その後ステップＳＴ１からステップＳＴ５を経てヘッドは通常の吐出動作を行うことができるのである。
【００６２】
本発明の液滴吐出装置の実施形態は、電気光学装置（デバイス）を製造するのに用いることができる。この電気光学装置（デバイス）としては液晶表示装置、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ  Ｄｉｓｐｌａｙ）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する各種装置が考えられる。カラーフィルタ（ＣＦ）や液晶表示装置を製造する場合には、液晶の吐出も行える。
【００６３】
図１１は、本発明の液滴吐出装置を描画装置として用いて、フラットパネルディスプレイの一種類である有機ＥＬ装置の製造に用いる場合の有機ＥＬ装置の構造例を示している。有機ＥＬ装置７０１は、基板７１１、回路素子部７２１、画素電極７３１、バンク部７４１、発光素子７５１、陰極７６１（対向電極）、および封止用基板７７１から構成された有機ＥＬ素子７０２に対して、フレキシブル基板（図示省略）の配線および駆動ＩＣ（図示省略）を接続したものである。
【００６４】
有機ＥＬ素子７０２の基板７１１上には、回路素子部７２１が形成され、回路素子部７２１上には、複数の画素電極７３１が整列している。そして、各画素電極７３１間には、バンク部７４１が格子状に形成されており、バンク部７４１により生じた凹部開口７４４に、発光素子７５１が形成されている。バンク部７４１および発光素子７５１の上部全面には、陰極７６１が形成され、陰極７６１の上には、封止用基板７７１が積層されている。
【００６５】
有機ＥＬ素子７０２の製造プロセスは、バンク部７４１を形成するバンク部形成工程と、発光素子７５１を適切に形成するためのプラズマ処理工程と、発光素子７５１を形成する発光素子形成工程と、陰極７６１を形成する対向電極形成工程と、封止用基板７７１を陰極７６１上に積層して封止する封止工程とを備えている。
すなわち、有機ＥＬ素子７０２は、予め回路素子部７２１および画素電極７３１が形成された基板７１１（ワークＷ）の所定位置にバンク部７４１を形成した後、プラズマ処理、発光素子７５１および陰極７６１（対向電極）の形成を順に行い、さらに、封止用基板７７１を陰極７６１上に積層して封止することにより製造される。なお、有機ＥＬ素子７０２は、大気中の水分等の影響を受けて劣化しやすいため、有機ＥＬ素子７０２の製造は、ドライエアーまたは不活性ガス（窒素、アルゴン、ヘリウム等）雰囲気で行うことが好ましい。
【００６６】
また、各発光素子７５１は、正孔注入／輸送層７５２およびＲ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）のいずれかの色に着色された発光層７５３から成る成膜部で構成されており、発光素子形成工程には、正孔注入／輸送層７５２を形成する正孔注入／輸送層形成工程と、３色の発光層７５３を形成する発光層形成工程と、が含まれている。
有機ＥＬ装置７０１は、有機ＥＬ素子７０２を製造した後、有機ＥＬ素子７０２の陰極７６１にフレキシブル基板の配線を接続するとともに、駆動ＩＣに回路素子部７２１の配線を接続することにより製造される。
【００６７】
次に、本発明の実施形態の液滴吐出装置１０を液晶表示装置の製造に適用した場合について説明する。
図１２は、液晶表示装置８０１の断面構造を表している。液晶表示装置８０１は、カラーフィルタ８０２と、対向基板８０３と、カラーフィルタ８０２と対向基板８０３との間に封入された液晶組成物８０４と、バックライト（図示省略）と、で構成されている。対向基板８０３の内側の面には、画素電極８０５と、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子（図示省略）とがマトリクス状に形成されている。画素電極８０５に対向する位置に、カラーフィルタ８０２の赤、緑、青の着色層８１３が配列するようになっている。カラーフィルタ８０２および対向基板８０３のそれぞれ内側の面には、液晶分子を一定方向に配列させる配向膜８０６が形成されており、カラーフィルタ８０２および対向基板８０３のそれぞれ外側の面には、偏光板８０７が接着されている。
【００６８】
カラーフィルタ８０２は、透光性の透明基板８１１と、透明基板８１１上にマトリクス状に並んだ多数の画素（フィルタエレメント）８１２と、画素８１２上に形成された着色層８１３と、各画素８１２を仕切る遮光性の仕切り８１４と、を備えている。着色層８１３および仕切り８１４の上面には、オーバーコート層８１５および電極層８１６が形成されている。
【００６９】
液晶表示装置８０１の製造方法について説明すると、先ず、透明基板８１１に仕切り８１４を作り込んだ後、画素８１２部分にＲ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）の着色層８１３を形成する。そして、透明アクリル樹脂塗料とスピンコートしてオーバーコート層８１５を形成し、さらに、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）から成る電極層８１６を形成して、カラーフィルタ８０２を作成する。
【００７０】
対向基板８０３には、画素電極８０５とＴＦＴ素子を作り込んでおく。次に、作成したカラーフィルタ８０２および画素電極８０５が形成された対向基板８０３に配向膜８０６の塗布を行った後、これらを貼り合わせる。そして、カラーフィルタ８０２および対向基板８０３との間に液晶組成物８０４を封入した後、偏光板８０７およびバックライトを積層する。
【００７１】
本発明の液滴吐出装置の実施形態は、上記カラーフィルタのフィルタエレメント（Ｒ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）の着色層８１３）の形成に用いることができる。また、画素電極８０５に対応する液体材料を用いることにより、画素電極８０５の形成にも用いることが可能である。
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の他、プレパラート形成を包含する装置が考えられる。上記した液滴吐出装置を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【００７２】
本発明の電子機器は、上記電気光学装置を搭載している。この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【００７３】
図１３は、電子機器の一例である携帯電話１０００の形状例を示している。携帯電話１０００は、本体部１００１と表示部１００２を有している。表示部１００２は、上述したような電気光学装置であるたとえば有機ＥＬ装置７０１や液晶表示装置８０１を用いている。
【００７４】
図１４は、電子機器の他の例であるコンピュータ１１００を示している。コンピュータ１１００は本体部１１０１と表示部１１０２を有している。表示部１１０２は、上述したような電気光学装置の一例である有機ＥＬ装置７０１や液晶表示装置８０１を使用することができる。
【００７５】
本発明の液滴吐出装置および液滴吐出方法の実施形態では、微小な液滴を安定して正確に吐出するためのヘッドを有している。このヘッドのノズルの目詰まりを抑制するために、液滴吐出動作の前にいわゆるドット抜け検出（非吐出ノズルの検出）で目詰まりしているノズルを検出する。
そしてその目詰まりしているノズルの数が、ある一定のノズルの数を超えていた場合には、図８に示すようにノズル面７０をキャップ１７５１により封止している状態で、キャップ１７５１内に対するノズル８１からの液滴のフラッシング数（液滴吐出数）を本来より増加させる。つまり、たとえば図１０においてモード２では、非吐出ノズルの割合Ｎが５％を超えた場合に、あるいはモード３では、非吐出ノズルの割合Ｎが５％を超えて１０％以下である場合と、１０％を超えた場合に、それぞれキャップ内におけるフラッシング数の吐出単位を増加させていく。そして図８に示すようにキャップ１７５１がノズル面７０を封止している封止状態の放置時間（キャッピング時間）は、非吐出ノズルの割合Ｎの増加により増加させていく。
【００７６】
これによって、キャップ１７５１内の吸収材１７５２内には液体が吸収されることによりキャップ１７５１内の保湿性を高める。キャップ１７５１内の保湿性が高まることによりノズル面７０は保湿されることになり、目詰まりしているノズル８１の目詰まり状態を確実に回復させることができる。
従来行われているクリーニング動作による吸引だけでノズルの目詰まりを回復させる方法を用いると、目詰まりが解消するまで繰り返してクリーニング動作により吸引を繰り返して、多くの液体が無駄に排出されてしまう。
【００７７】
しかし、本発明の実施形態では、非吐出ノズルの割合Ｎがある一定の値を超えると、図８に示すようにフラッシングしてキャッピング放置するので、繰り返してキャップにより吸引してクリーニングするのに比べて、廃棄されてしまう液体の量を大幅に削減することができる。このことから、高価な吐出液体はより有効に電気光学装置等の製造の際に活用することができる。
【００７８】
図９のステップＳＴ１０において、使用者（ユーザ）が、キャッピング時間（放置時間）を意図的に設定しないようにして、図１０に示すテーブルＢではなくテーブルＡに基づいて、図９に示すステップＳＴ１１のようにクリーニングシーケンスを実行することができる。
つまりユーザは、図８のようなフラッシングしてキャッピング放置することによるノズルの目詰まりの回復方式を採用するか、図６に示すようなクリーニングシーケンスを用いてノズルの目詰まりを回復するかを自由に選択することができる。
【００７９】
このようなフラッシングしてキャッピング状態で放置する動作と、図６に示すクリーニングシーケンスによる目詰まりを回復する動作は、図５に示す選択手段７００をユーザが押すことにより選択することができる。これによって、使用者は非吐出ノズルの割合Ｎの値に関わらず、液滴吐出動作をしたい場合には、クリーニングシーケンスＣＬを選択して行い、キャッピング放置は選択せずに液滴吐出動作を優先して行うことができるというメリットがある。
【００８０】
図１０に示すキャッピング時間（放置時間）は、予め非吐出ノズルの割合（いわゆるドット抜けの割合）Ｎと、図４に示す非吐出ノズルを有するノズル列と、そのノズル列に対応する液体の種類、キャッピング時間（月）と、フラッシング数をテーブル化して図９に示すシーケンスに取り込むことで、ノズルの目詰まりの検出および回復を自動化することができると共に使用者に対して再度吐出を開始できる吐出開始可能時間を確実に知らせることができる。
【００８１】
ところで上述した実施形態では、電気光学装置のワークに対して液滴を吐出する例を示している。
しかしこれに限らず、たとえばワークに対して複数種類の液体を用いて印刷する場合に対しても本発明の液滴吐出装置は使用することができる。本発明の液滴吐出装置の実施形態が、たとえばワークあるいはターゲットとしての印刷対象に対して複数の液体を吐出する場合について説明する。
【００８２】
従来行われていたように、ヘッドの目詰まり等すなわちヘッドの非吐出ノズルの数が多い場合には、いくらクリーニングシーケンスを施してもノズルの目詰まりの解消ができないことがある。これは、ノズルの開口での液体の増粘状態が進んで液体が固化している場合であり、その固化がヘッドのキャビティ内に及んでいることによる。またヘッドが例えば４色の液体を吐出するために４つのノズル列を有している構造である場合には、１つのキャップで４つのノズル列を同時に吸引しており目詰まりの回復性が全色同等である場合は各列からは同じ吸引力で吸引して問題は発生しなかった。しかし、４色のうちたとえばマゼンタ（Ｍ）のみが回復性が悪く、他の３色であるブラック（ＢＫ）、シアン（Ｃ）、イエロー（Ｙ）のノズルの開口からはそれぞれの液体を吸引してしまうが、マゼンタに対応するノズル開口から液体を吸引することができなくなる。このマゼンタのノズル開口の目詰まりを回復するためには、何回も４色のノズル列を同時にクリーニング処理することが必要であった。
このような場合であっても、本発明の実施形態を用いることにより、キャップ内に保湿性を持たせてその状態でヘッドをキャッピング時間（放置時間）だけ放置するという手法が有効である。
【００８３】
本発明の実施形態では、非吐出ノズルの割合が多くなっても繰り返してクリーニングシーケンスを行わなくて済み、吐出液体の浪費を削減できるので、インクのような高価な液体の使用量の削減が図れ、省資源となる。
ヘッドのノズルの吐出不良をクリーニングを繰り返して行うことで回復しようとする作業が少なくでき、ヘッドのノズル面の撥水性の劣化を防ぎ、ワイピング部材の磨耗を防止し、吸引ポンプの長寿命を延長できる。
液体の種類やインクの色種が変わっても、ノズルの目詰まりの回復処理が確実に行え、廃棄液体量の削減ができる。
【００８４】
本発明は、上記実施形態に限定されず、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことができる。さらに、上述の各実施形態は、相互に組み合わせて構成するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】本発明の液滴吐出装置の好ましい実施形態を示す平面図。
【図２】図１の液滴吐出装置のキャリッジ、ヘッド等を示す斜視図。
【図３】図２のキャリッジおよびヘッド等を示す図２におけるＥ方向から見た正面図。
【図４】ヘッドのノズル面の形状例および非吐出ノズル検出部の構造例をしめす図。
【図５】制御部およびその周辺の要素の電気的な接続例を示す図。
【図６】クリーニングシーケンスを実施するための吸引手段とワイピングユニットの例を示す図。
【図７】ユーザへの放置通知手段の例を示す図。
【図８】フラッシングしてキャッピング放置している状態を示す図。
【図９】液滴吐出方法の好ましい実施形態を示すフロー図。
【図１０】情報格納部に格納されたクリーニングシーケンスとキャップ内におけるフラッシング数およびキャッピング時間の例を示す図。
【図１１】本発明の液滴吐出装置により製造される有機ＥＬ装置の形状例を示す断面図。
【図１２】本発明の液滴吐出装置により製造される液晶表示装置の構造例を示す断面図。
【図１３】本発明の実施形態により製造された表示装置を備える電子機器の一例である携帯電話を示す斜視図。
【図１４】電子機器の別の例であるコンピュータを示す斜視図。
【符号の説明】
【００８６】
１０・・・液滴吐出装置、１１・・・ヘッド、７０・・・ノズル面、７９Ａないし７９Ｆ・・・ノズル列、８１・・・ノズル、２００・・・制御部、３９０・・・ユーザへの放置時間通知手段、６００・・・非吐出ノズル検出部、７００・・・選択手段、１７５１・・・キャップ、１７５３・・・吸引ポンプ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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