(57)【要約】【課題】  異なるフォーマットに対して互換性を持たせる。【解決手段】  各チャンネルの磁気ヘッドは、基板２の上面に形成された一対の磁極６，８により規定された第１のトラック幅を有する第１の薄膜磁気ヘッド３と、前記第１の薄膜磁気ヘッド３の上面に位置する一対の磁極８，１０により規定された第２のトラック幅を有する第２の薄膜磁気ヘッド５とを有する。第１のトラック幅と第２のトラック幅とが互いに異なる。使用するヘッドを任意に切り替えることにより、トラックピッチの異なる２種類のフォーマットでの記録再生が行われる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数チャンネルの磁気ヘッドを備えたマルチチャンネル型の磁気ヘッド装置であって、
各チャンネルの磁気ヘッドは、第１のトラック幅を有する第１の書き込み用磁極と前記第１のトラック幅とは異なる第２のトラック幅を有する第２の書き込み用磁極を有することを特徴とする磁気ヘッド装置。
【請求項２】
前記各チャンネルの磁気ヘッドにおいて、第１の書き込み用磁極と第２の書き込み用磁極は、一方のギャップ端位置が略一致するように配置されていることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド装置。
【請求項３】
前記第１の書き込み用磁極と第２の書き込み用磁極において、片側の磁極が共通化されていることを特徴とする請求項１又は２記載の磁気ヘッド装置。
【請求項４】
前記第１の書き込み用磁極と第２の書き込み用磁極は、それぞれ薄膜磁気ヘッドの磁極であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載の磁気ヘッド装置。
【請求項５】
各チャンネルの磁気ヘッドは、薄膜磁気ヘッドを積層形成することにより構成されていることを特徴とする請求項４記載の磁気ヘッド装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばヘリカルスキャン方式に用いられるマルチチャンネルヘッドとして好適な磁気ヘッド装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、外周面に磁気ヘッドが取り付けられた回転ドラムの外周面に磁気テープを斜めに巻き付け、回転ドラムの回転に伴って移動する磁気ヘッドを磁気テープに対して斜めに摺動させて、この磁気テープに対する信号の記録又は再生を行うようにした、ヘリカルスキャン方式と呼ばれる記録再生方式が提案されている。このヘリカルスキャン方式では、テープ走行方向に対して互いに異なるアジマスを有するトラックを交互に形成することにより、高密度記録を達成するとともに、走行する磁気テープ上を磁気ヘッドが高速で摺動して信号の記録及び再生を行うことで、データ転送レートの向上を実現している。
【０００３】
このヘリカルスキャン方式に用いられる磁気ヘッドとしては、異なるチャンネル間のトラック高さをウェハ内で、高精度で一括生産できるというメリットがあることから、薄膜型磁気ヘッドが幅広く採用されている。例えば特許文献１においては、基板材と薄膜磁気ヘッドを内設する非磁性層と補助部材との先端に、これらの並んだ方向、または、これに対して所定角度傾けられた方向に沿って磁気テープと摺動する摺動面を形成する薄膜磁気ヘッドが提案されている。特許文献１記載の技術によれば、非磁性層を薄くでき、摺動面における非磁性層の面積を小さくすることができるので、磁気テープとの摺動性を向上することができる。
【特許文献１】特開２０００−２４９９１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、これまでに磁気記録再生方式として多種多様なフォーマットが策定されており、例えばヘリカルスキャン方式を採用したＤＤＳ（Digital Date Storage）のみを例に挙げた場合でも、ＤＤＳ３、ＤＤＳ４、ＤＤＳ５等の複数のフォーマットが存在する。したがって、薄膜型磁気ヘッドが搭載される磁気記録再生装置においては下位互換性を保持することも重要となるが、フォーマット毎に要求されるトラックピッチが異なるため、単一のトラック幅を有して製造された薄膜型磁気ヘッドでは様々なフォーマットへの対応は困難である。
【０００５】
そこで本発明は、このような従来の実情に鑑みて提案されたものであり、異なるフォーマットに対して互換性を有するマルチチャンネル型の磁気ヘッド装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述の問題を解決するために、本発明に係る磁気ヘッド装置は、複数チャンネルの磁気ヘッドを備えたマルチチャンネル型の磁気ヘッド装置であって、各チャンネルの磁気ヘッドは、第１のトラック幅を有する第１の書き込み用磁極と、前記第１のトラック幅とは異なる第２のトラック幅を有する第２の書き込み用磁極を有することを特徴とする。
【０００７】
以上のような構成を有する磁気ヘッド装置では、トラック幅の互いに異なる２種類の書き込み用磁極を有するので、使用する磁極を任意に切り替えることにより、トラックピッチの異なる２種類のフォーマットでの記録再生が実現される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、トラック幅の互いに異なる２種類の書き込み用磁極を有するため、異なるトラックピッチを要求する２つのフォーマットに対応可能なマルチチャンネル型の磁気ヘッド装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明を適用したマルチチャンネル型の磁気ヘッド装置について、図面を参照して詳細に説明する。
【００１０】
図１は、本発明を適用したマルチチャンネル型の磁気ヘッド装置において、各チャンネルを構成する磁気ヘッドの一例である。本実施形態では、書き込み用磁極は薄膜型磁気ヘッドとして形成されているが、薄膜型磁気ヘッドは、薄膜形成技術によって常法に従い形成される。図１（ａ）において、磁気ヘッド１は、例えば非磁性のＡｌ2Ｏ3−ＴｉＣ等からなる基板２上に、第１の薄膜磁気ヘッド３と、例えばＡｌ2Ｏ3等からなる非磁性層４と、第２の薄膜磁気ヘッド５とをこの順に有する。図１（ｂ）に示すように、第１の薄膜磁気ヘッド３と第２の薄膜磁気ヘッド５とはトラック幅が互いに異なり、第１の薄膜磁気ヘッド３のトラック幅は、第２の薄膜磁気ヘッド５のトラック幅に比べて幅広とされている。
【００１１】
磁気ヘッド１についてより詳細に説明すると、第１の薄膜磁気ヘッド３は、基板２の上面に、下部磁極６と、層間絶縁膜７、及び上部磁極８とが順次積層された構造とされる。また、第１の薄膜磁気ヘッド３は、層間絶縁膜７中に薄膜状に形成されたコイル９を有する。書き込み用磁極である下部磁極６と上部磁極８とは、巻回されたコイル９の中心付近で磁気的に接触するとともに、磁気テープとの摺動面１ａ側で所定間隔を有する磁気ギャップＧ１を構成するように形成される。第１の薄膜磁気ヘッド３は、薄膜型磁気ヘッド１の摺動面１ａにおいて、トラック幅を規定する下部磁極６及び上部磁極８を臨ませるように形成されている。第１の薄膜磁気ヘッド３の上面には、略全面に亘り非磁性層４が形成されている。
【００１２】
また、第１の薄膜磁気ヘッド３のトラック幅に比べて狭トラック幅とされた第２の薄膜磁気ヘッド５は、非磁性層４を介して第１の薄膜磁気ヘッド３上に積層される。第２の薄膜磁気ヘッド５は、非磁性層４の上面に、下部磁極１０と、層間絶縁膜１１と、上部磁極１２とが順次積層された構造とされる。第２の薄膜磁気ヘッド５の構造は、基本的には先の第１の薄膜磁気ヘッド３と同様であり、層間絶縁膜１１中に薄膜状に形成されたコイル１３を有する。下部磁極１０と上部磁極１２とは、巻回されたコイル１３の中心付近で接触するとともに、磁気テープとの摺動面１ａ側で所定間隔を有する磁気ギャップＧ２を構成するように形成される。第２の薄膜磁気ヘッド５は、薄膜型磁気ヘッド１の摺動面１ａにおいて、トラック幅を規定する下部磁極１０及び上部磁極１２を臨ませるように形成されている。第２の薄膜磁気ヘッド５の上面には、略全面に亘って保護層１４が形成されている。
【００１３】
なお、前述の磁気ヘッド１において、第１の薄膜磁気ヘッド３と第２の薄膜磁気ヘッド５は、磁気ギャップＧ１と磁気ギャップＧ２の一方のギャップ端位置が略一致するように配置されている
次に、本発明を適用した磁気ヘッド１により、ヘリカルスキャン方式で磁気テープにデータの記録を行う場合について、図２を参照しながら説明する。
【００１４】
図２では、記録用磁気ヘッドとして、本発明を適用した一対の磁気ヘッド１ａ及び１ｂを、回転ドラムの外周面の対極位置に配置して磁気テープに記録を行う場合について説明する。磁気ヘッド１ａ及び１ｂのアジマス角度は互いに逆方向である。図２（ａ）に示すように、例えばトラックピッチ（チャンネル段差）ＴｐＡを採用する第１のフォーマットで記録を行う場合には、トラック幅Ｗ１を有する第１の薄膜磁気ヘッド３ａ、３ｂを用い、アジマス角の極性が互いに逆のトラックを交互に順次形成する。アジマス角の極性が互いに逆のトラックを交互に順次形成することにより、隣接トラックによるクロストーク成分が低減される。この際、一方の第１の薄膜磁気ヘッド３ａで記録されたトラックの幅方向の一方の縁を、他方の第１の薄膜磁気ヘッド３ｂで重ね書きするように記録を行う。これにより、トラックピッチＴｐＡを有するトラックパターンが得られる。
【００１５】
また、図２（ｂ）に示すように、例えば狭トラックピッチＴｐＢを採用する第２のフォーマットで記録を行う場合には、第１の薄膜磁気ヘッド３から第２の薄膜磁気ヘッド５に切り替えて記録を行う。図２（ｂ）に示すように、幅狭のトラック幅Ｗ２を有する第２の薄膜磁気ヘッド５ａ、５ｂを用い、アジマス角の極性が互いに逆のトラックを交互に順次形成するとともに、一方の第２の薄膜磁気ヘッド５ａで記録されたトラックの幅方向の一方の縁を、他方の第２の薄膜磁気ヘッド５ｂで重ね書きするように記録を行う。これにより、トラックピッチＴｐＢを有するトラックパターンが得られる。
【００１６】
以上のように、磁気ヘッド１は、異なるトラック幅を有する２種類の書き込み用磁極（薄膜磁気ヘッド）を備えるので、異なるフォーマットに対応可能であり、例えばＤＤＳのような下位互換性を保持する磁気記録再生装置に搭載されるマルチチャンネル型磁気ヘッドとして利用でき、さらなる転送レートの向上に貢献できる。
【００１７】
また、磁気ヘッド１によれば、各薄膜磁気ヘッド３，５が薄膜形成技術により製造されるため、従来の機械加工による製造工程に比べてトラック幅やトラックピッチ（チャンネル段差）をサブマイクロメーター単位で高精度に位置合わせすることができる。したがって、容易且つ高精度にトラック幅やトラックピッチの調整を行うことができる。
【００１８】
ところで、図１における磁気ヘッド１においては、使用するフォーマットによっては、第１の薄膜磁気ヘッド３と第２の薄膜磁気ヘッド５とで、隣接する片側の磁極を共通化することができる。このような構成を有する磁気ヘッドについて、以下、図３を参照しながら説明する。
【００１９】
図３に示す磁気ヘッド３１は、図１に示す磁気ヘッド１と同様に、薄膜形成技術によって常法に従い形成される。図３（ａ）において、磁気ヘッド３１は、Ａｌ2Ｏ3−ＴｉＣやＡｌ2Ｏ3等からなる基板３２上に、第１の薄膜磁気ヘッド３３と、第２の薄膜磁気ヘッド３４とをこの順に有する。図３（ｂ）に示すように、第１の薄膜磁気ヘッド３１と第２の薄膜磁気ヘッド３４とはトラック幅が互いに異なり、第１の薄膜磁気ヘッド３１のトラック幅は、第２の薄膜磁気ヘッド３４のトラック幅に比べて幅広とされている。
【００２０】
図３（ａ）に示すように、磁気ヘッド３１は、第１の薄膜磁気ヘッド３３と第２の薄膜磁気ヘッド３４との間に非磁性層が介在せず、第１の薄膜磁気ヘッド３３における上部磁極と、第２の薄膜磁気ヘッド３４における下部磁極との機能を兼ねる共通磁極３５を有する。
【００２１】
磁気ヘッド３１についてより詳細に説明すると、第１の薄膜磁気ヘッド３３は、基板３２の上面に、下部磁極３６と、層間絶縁膜３７と、共通磁極３５とが順次積層された構造とされている。また、第１の薄膜磁気ヘッド３３は、層間絶縁膜３７中に薄膜状に形成されたコイル３８を有する。下部磁極３６と共通磁極３５とは、巻回されたコイル３８の中心付近で接触するとともに、磁気テープとの摺動面３１ｓ側で所定間隔を有する磁気ギャップＧ３１を構成するように形成されている。第１の薄膜磁気ヘッド３３は、薄膜型磁気ヘッド３１の摺動面３１ａにおいて、トラック幅を規定する下部磁極３６及び共通磁極３５を臨ませるように形成されている。
【００２２】
また、第１の薄膜磁気ヘッド３３のトラック幅に比べて狭いトラック幅を有する第２の薄膜磁気ヘッド３４は、共通磁極３５と、層間絶縁膜３９と、上部磁極４０とが順次積層された構造とされている。また、第２の薄膜磁気ヘッド３４は、層間絶縁膜３９中に薄膜状に形成されたコイル４１を有する。共通磁極３５と上部磁極４０とは、巻回されたコイル４１の中心付近で接触するとともに、磁気テープとの摺動面３１ｓ側で所定間隔を有する磁気ギャップＧ３２を構成するように形成されている。第２の薄膜磁気ヘッド３４は、磁気ヘッド３１の摺動面３１ｓにおいて、トラック幅を規定する共通磁極３５及び上部磁極４０を臨ませるように形成されている。第２の薄膜磁気ヘッド３４の上面には、略全面に亘り保護層４２が形成されている。
【００２３】
次に、磁気ヘッド３１により、ヘリカルスキャン方式で磁気テープにデータの記録を行う場合について、図４を参照しながら説明する。
【００２４】
図４では、図２と同様に、記録用磁気ヘッドとして、本発明を適用した一対の磁気ヘッド３１ａ及び３１ｂを、回転ドラムの外周面の対極位置に配置して磁気テープに記録を行う場合について説明する。磁気ヘッド３１ａ及び３１ｂのアジマス角度は互いに逆方向とされている。図４（ａ）に示すように、例えば幅広のトラックピッチＴｐＣを採用する第３のフォーマットで記録を行う場合には、幅広のトラック幅Ｗ３１を有する第１の薄膜磁気ヘッド３３ａ、３３ｂを用い、アジマス角の極性が互いに逆のトラックを交互に順次形成する。アジマス角の極性が互いに逆のトラックを交互に順次形成することにより、隣接トラックによるクロストーク成分が低減される。この際、一方の第１の薄膜磁気ヘッド３３ａで記録されたトラックの幅方向の一方の縁を、他方の第１の薄膜磁気ヘッド３３ｂで重ね書きするように、記録を行う。これにより、トラックピッチＴｐＣを有するトラックパターンが得られる。
【００２５】
また、図４（ｂ）に示すように、例えば狭トラックピッチＴｐＤを採用する第４のフォーマットで記録を行う場合には、第１の薄膜磁気ヘッド３３から第２の薄膜磁気ヘッド３４に切り替えて記録を行う。図４（ｂ）に示すように、幅狭のトラック幅Ｗ３２を有する第２の薄膜磁気ヘッド３４ａ、３４ｂを用い、アジマス角の極性が互いに逆のトラックを交互に順次形成するとともに、一方の第２の薄膜磁気ヘッド３４ａで記録されたトラックの幅方向の一方の縁を、他方の第２の薄膜磁気ヘッド３４ｂで重ね書きするように、記録を行う。これにより、トラックピッチＴｐＤを有するトラックパターンが得られる。
【００２６】
以上のように、磁気ヘッド３１は、２種類の書き込み用磁極（薄膜磁気ヘッド）を備えるので、異なるフォーマットのトラックピッチに対応可能であり、例えばＤＤＳのような下位互換性を保持する磁気記録再生装置に搭載されるマルチチャンネル型磁気ヘッドとして利用できる。
【００２７】
また、第１の薄膜磁気ヘッド３３の上部磁極と第２の薄膜磁気ヘッド３４の下部磁極とを同一の部材で構成すると、図５に示すように、長さの長い共通磁極３５の長さ方向中途位置において、第２の薄膜磁気ヘッド３４の上部磁極４０の端部との間に図中点線で示すようなフリンジ磁界が発生するため、記録特性への悪影響が懸念されるが、図３に示す磁気ヘッド３１でヘリカルスキャン方式によりトラックパターンのトラック幅方向の一部を重ね書きするように記録する場合、前記フリンジ磁界の影響を受けることなく、良好な記録特性で記録を行うことができる。図４（ｂ）における磁気ヘッド３１ａのトラックパターンを例にとると、磁気ヘッド３１ａの第２の薄膜磁気ヘッド３４ａによるトラックパターンのうちフリンジ磁界の影響を受ける領域は、トラックパターンのうち幅方向の一方の縁付近であって、追従する第２の薄膜磁気ヘッド３４ｂの磁界の乱れのない端部によって重ね書きされるためである。したがって、磁気ヘッド３１は、第１の薄膜磁気ヘッド３３の上部磁極と第２の薄膜磁気ヘッド３４の下部磁極とを共通化することによる記録特性の劣化を生じることなく、異なるフォーマットに対応可能である。
【００２８】
以上のように、磁気ヘッド３１は、異なるトラック幅を有する２種類の磁気ヘッドを備えるので、異なるフォーマットに対応可能であり、例えばＤＤＳのような下位互換性を保持する磁気記録再生装置に搭載されるマルチチャンネル型磁気ヘッドとして利用でき、さらなる転送レートの向上に貢献できる。
【００２９】
また、磁気ヘッド３１によれば、各薄膜磁気ヘッド３３，３４が薄膜形成技術により製造されるため、製造工程においてトラック幅やトラックピッチ（チャンネル段差）をサブマイクロメーター単位で高精度に位置合わせすることができる。したがって、容易且つ高精度にトラック幅やトラックピッチの調整を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】（ａ）は本発明を適用した磁気ヘッドの一例を示す要部概略断面図であり、（ｂ）は磁気テープ摺動方向から見た磁気ヘッドを模式的に示す図である。
【図２】（ａ）は図１の磁気ヘッドにおける第１の薄膜磁気ヘッドにより形成されるトラックパターンを模式的に示す図であり、（ｂ）は図１の磁気ヘッドにおける第２の薄膜磁気ヘッドにより形成されるトラックパターンを模式的に示す図である。
【図３】（ａ）は本発明を適用した磁気ヘッドの変形例を示す要部概略断面図であり、（ｂ）は磁気テープ摺動方向から見た磁気ヘッドを模式的に示す図である。
【図４】（ａ）は図３の磁気ヘッドにおける第１の薄膜磁気ヘッドにより形成されるトラックパターンを模式的に示す図であり、（ｂ）は図３の磁気ヘッドにおける第２の薄膜磁気ヘッドにより形成されるトラックパターンを模式的に示す図である。
【図５】図３に示す磁気ヘッドにおいてフリンジ磁界が発生する状態を模式的に示す図である。
【符号の説明】
【００３１】
１  磁気ヘッド、２  基板、３  第１の薄膜磁気ヘッド、４  非磁性層、５  第２の薄膜磁気ヘッド、６  下部磁極、７  層間絶縁膜、８  上部磁極、９  コイル、１０  下部磁極、１１  層間絶縁膜、１２  上部磁極、１３  コイル、１４  保護層、３１  磁気ヘッド、３２  基板、３３  第１の薄膜磁気ヘッド、３４  第２の薄膜磁気ヘッド、３５  共通磁極、３６  下部磁極、３７  層間絶縁膜、３８  コイル、３９  層間絶縁膜、４０  上部磁極、４１  コイル、４２  保護層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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