(57)【要約】      （修正有）【課題】インクジェット用途に好適な感光性脂組成物を提供することにより、信頼性の高いインクジェットヘッドを簡便な方法で提供する。【解決手段】少なくとも、式１を繰り返し単位とするポリエーテルアミド樹脂と、光照射により酸を発生する化合物と、酸性条件下で作用する前記ポリエーテルアミド樹脂の架橋剤とを含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。2005008652.tif 000007［式中、Ｒ1〜Ｒ4は、それぞれ独立して水素原子、または炭素数１〜４アルキル基、炭素数１〜４のアルコキシ基またはハロゲン原子を示す。Ｒ5およびＲ6は、それぞれ独立して水素原子、炭素数１〜４のアルキル基または炭素数１〜４のハロゲン化アルキル基を示す。また、Ａｒ2は置換または未置換のフェニレン、ビフェニレン、ナフチレンを示す。ｎは正の整数を示す。］【選択図】    なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも、式１を繰り返し単位とするポリエーテルアミド樹脂と、
光照射により酸を発生する化合物と、
酸性条件下で作用する前記ポリエーテルアミド樹脂の架橋剤とを含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
【化１】
2005008652.tif 000005
［式中、Ｒ１〜Ｒ４は、それぞれ独立して水素原子、または炭素数１〜４アルキル基、炭素数１〜４のアルコキシ基またはハロゲン原子を示す。Ｒ５およびＲ６は、それぞれ独立して水素原子、炭素数１〜４のアルキル基または炭素数１〜４のハロゲン化アルキル基を示す。また、Ａｒ２は置換または未置換のフェニレン、ビフェニレン、ナフチレンを示す。ｎは正の整数を示す。］
【請求項２】
ポリエーテルアミド樹脂の架橋剤が、縮合性のメラミン化合物もしくは縮合性の尿素化合物であることを特徴とする請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
縮合性のメラミン化合物が、式２で示されるメラミン化合物および／またはその縮合物であることを特徴とする請求項２に記載の感光性樹脂組成物。
【化２】
2005008652.tif 000006
［式中、Ｒ７〜Ｒ１２はそれぞれ独立して水素原子、メチロール基またはメトキシメチル基を示す。］
【請求項４】
縮合性のメラミン化合物が、ヘキサメトキシメチルメラミンの単量体を９０％以上含有することを特徴とする請求項３に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項５】
インクを吐出するための吐出口と、該吐出口に連通するインク流路と、
前記吐出口から前記インクを吐出するための圧力を発生する圧力発生素子が形成された基板と、
該基板と接合して前記インク流路を形成するインク流路形成部材とを有するインクジェットヘッドであって、
前記インク流路形成部材が、請求項１に記載の感光性樹脂組成物の硬化物層を介して前記基板に接合されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項６】
前記インク流路形成部材が、樹脂により形成されていることを特徴とする請求項５に記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
前記インク流路形成部材が、エポキシ樹脂のカチオン重合化合物により形成されていることを特徴とする請求項５または６に記載のインクジェットヘッド。
【請求項８】
前記インクを吐出するための吐出口が、前記圧力発生素子の対向する側に設けられていることを特徴とする請求項５から７のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項９】
前記圧力発生素子が、電気熱変換体であることを特徴とする請求項５〜８に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１０】
インクを吐出するための吐出口と、該吐出口に連通するインク流路と、
前記吐出口から前記インクを吐出するための圧力を発生する圧力発生素子が形成された基板と、
該基板と接合して前記インク流路を形成するインク流路形成部材とを有するインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記圧力発生素子が形成された基板上に、少なくとも、請求項１に記載の感光性樹脂組成物のパターンを形成する工程と、
該感光性樹脂組成物パターンの形成された基板上に、溶解可能な樹脂にてインク液路パターンを形成する工程と、
該インク液路パターン上に、インク液路形成部材を形成する工程と、
該液路形成部材の前記基板の前記圧力発生素子の設置位置に対向する部分にインク吐出口を形成する工程と、
前記インク流路パターンを溶解除去してインク流路を形成する工程とを有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１１】
インクを吐出するための吐出口と、該吐出口に連通するインク流路と、前記吐出口から前記インクを吐出するための圧力を発生する圧力発生素子が形成された基板と、該基板と接合して前記インク流路を形成するインク流路形成部材と、前記基板を貫通して前記インク流路に連通するインク供給口を有するを有するインクジェットヘッドの製造方法であって、
少なくとも、請求項１に記載の感光性樹脂組成物を耐エッチングマスクとして用い、エッチングにより前記基板を貫通するインク供給口を形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１２】
基板としてシリコン基板を用い、異方性エッチングにより該基板を貫通するインク供給口を形成することを特徴とする請求項１１に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、新規な感光性樹脂組成物に関する。また本発明は、該感光性樹脂組成物を用いたインクジェットヘッドおよびその製造方法に関し、特に、インクを吐出するための圧力発生素子が形成された基板と、該基板と接合してインク流路を形成するための流路形成部材との密着力の向上方法、および該基板を貫通してインク流路にインクを供給するためのインク供給口の形成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、インクジェットヘッドの製造方法及びインク吐出圧力発生素子が形成された基板と接合して液路を形成する液路形成部材についてはさまざまな提案がなされている。特開昭５７−２０８２５５、２０８２５６号公報には、インク吐出圧力発生素子が形成された基板上に感光性樹脂にて液路パターンを形成しガラス等の天板を接合、切断することでインクジェットヘッドを作成する方法が開示されている。
【０００３】
また、Ｈｅｗｌｌｅｔｔ  Ｐａｃｋａｒｄ  Ｊｏｕｒｎａｌ  ３６，５（１９８５）では、インク吐出圧力発生素子が形成された基板上に感光性樹脂にて液路パターンを形成し、Ｎｉ電鋳により作成したオリフィスプレートを貼り合わせることでインクジェットヘッドを作成する方法が開示されている。
【０００４】
また、特開昭６１−１５４９４７号公報には、インク吐出圧力発生素子が形成された基板のインク吐出圧力発生素子上に溶解可能な樹脂にて液路パターンを形成し、該パターンをエポキシ樹脂等で被覆、硬化し、基板切断後に溶解可能な樹脂層を溶出しインクジェットヘッドを作成する方法が開示されている。
【０００５】
さらに、特開平３−１８４８６８号公報には、前出の特開昭６１−１５４９４７号公報に記載のインクジェットヘッドの製造に最適な被覆樹脂組成物として芳香族エポキシ化合物のカチオン重合硬化物が有用であることが開示されている。
【０００６】
上述したいずれの方法においても、インク吐出圧力発生素子が形成された基板と液路形成部材の接合強度は、基本的に液路形成部材となる樹脂材料（感光性樹脂層、被覆樹脂層）の密着力に依存している。
【０００７】
また、上述したいずれの構成においても、ヘッドにインクを供給するためのインク供給系を取り付ける必要がある。ここで、インクの吐出口が圧力発生素子に対向して設けられた構造を有する所謂サイドシュータータイプのインクジェットヘッドにおいては、支持基板に貫通孔を形成し、支持基板の裏面からインクを供給する構造が一般的に知られている。
【０００８】
以下に、図面を参照してサイドシュータータイプのインクジェットヘッドの製造方法の一例を説明する。図１２〜図１９は、サイドシュータータイプのインクジェットヘッドの構成およびその製造方法の断面図を模式的に示したものである。
【０００９】
まず図１２は、本発明に用いられるガラス、セラミックス、プラスチックあるいは金属等からなる基板１である。基板１は、インク液路およびインク吐出口を形成する液路形成部材の支持体として機能するものである。
【００１０】
上記基板１上には、必要に応じて絶縁膜（不図示）が形成され、電気熱変換素子あるいは圧電素子等のインク吐出圧力発生素子２が所望の個数配置される（図１３）。このようなインク吐出圧力発生素子２によって、記録液滴を吐出させるための吐出エネルギーがインク液に与えられ、記録が行われる。なお、これらの吐出圧力発生素子２には、素子を動作させるための制御信号入力用電極（不図示）が接続されている。また、これら吐出圧力発生素子２の耐用性の向上を目的として、保護層等（不図示）の各種機能層が設けられる場合もある。
【００１１】
次いで、図１４に示すように、上記インク吐出圧力発生素子２を含む基板１上に、溶解可能な樹脂にてインク液路パターン３を形成する。最も一般的な手段としては感光性材料にて形成する手段が挙げられるが、該液路パターン３は、後工程において溶解除去する必要があるため、ポジ型レジストが用いられる。
【００１２】
このように、液路パターン３を形成した基板１上に、図１５に示すように、液路形成部材４を形成する。液路形成部材４としては、後述するインク吐出口６をフォトリソグラフィーで容易にかつ精度よく形成できることから、感光性のものを用いる。
【００１３】
次いで、液路形成部材４上に、感光性を有する撥インク剤層５を形成し（図１６）、マスク（不図示）を介してパターン露光を行い、液路形成部材４および撥インク剤層５を、適当な溶剤を用いて現像することにより、図１７に示すように、インク吐出口６を形成することができる。
【００１４】
次いで、基板１にインク供給口７となる貫通孔を形成し（図１８）、適当な溶剤で液路パターン３を溶解除去することで、インク液路８を形成し、インクジェットヘッドが完成する（図１９）。
【００１５】
【特許文献１】
特開昭５７−２０８２５５公報
【特許文献２】
特開昭５７−２０８２５６公報
【特許文献３】
特開昭６１−１５４９４７号公報
【特許文献４】
特開平３−１８４８６８号公報
【特許文献５】
特開平１１−３４８２９０号公報
【特許文献６】
特開２００１−１００７０号
【非特許文献１】
Ｈｅｗｌｌｅｔｔ  Ｐａｃｋａｒｄ  Ｊｏｕｒｎａｌ  ３６，５（１９８５）
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
インク吐出圧力発生素子として発熱抵抗体を用い、インクの膜沸騰によるバブル形成を利用してインクを吐出させる所謂バブルジェットヘッドの場合、インクによる電蝕やバブル消泡の際のキャビテーションによるダメージを低減するために、発熱抵抗体上にはＳｉＮやＳｉＯ２といった無機絶縁層とＴａ等の耐キャビテーション層とを設けることが一般的である。しかしながら、Ｔａ膜は前述の液路形成部材となる樹脂材料との密着力が極めて低いために、液路形成部材のＴａ膜からの剥離が生じるという問題が発生する場合がある。
【００１７】
この問題を回避するために、液路形成部材となる樹脂材料の密着力を向上させる目的で、液路形成部材となる樹脂材料が設けられる部分のＴａ膜を除去することも考えられるが、この場合、基板上の電気熱変換体からなるインク吐出圧力発生素子に接続する電極が配置された部分は前述の無機絶縁層のみを介して液路形成部材を構成する樹脂材料が積層されることになる。ＳｉＮやＳｉＯ２といった無機絶縁層は通常膜質がポーラスであるため、樹脂中に含まれるイオンが無機絶縁層を透過し、このイオンによって電極が腐食してしまう可能性がある。
【００１８】
また、インク吐出圧力発生素子が形成された基板と液路形成部材の密着力向上のために、基板にシランカップリング処理を施したり、ポリイミド（例えば、商品名：東レ製フォトニース）等からなる下びき層（密着力向上及びパッシベーション層）を用いる例が知られている。
【００１９】
ここで、インクジェットヘッドは、通常その使用環境下においてインクと常時接触している部分を有するが、インクの影響で吐出圧力発生素子が形成された基板と液路形成部材が剥離するようなことは避けなければならない。一方、近年のインクジェット記録方式に対しては、用紙選択性、画像の耐水性等の要求が高まっており、これらの要望に対応するためにインクのｐＨをアルカリ性側にすることが検討されている。こうしたアルカリ性のインクに対しては、インク吐出圧力発生素子が形成された基板と液路形成部材の密着力を長期にわたり維持することが困難な場合があった。
【００２０】
そこで出願人は、特開平１１−３４８２９０号公報で、ポリエーテルアミド樹脂からなる密着層を介して、インク吐出圧力発生素子が形成された基板と液路形成部材を接合する手法を提案している。これにより、アルカリ性のインクに対しても、長期にわたり優れた密着力を維持することができ、さらに、接着面にＴａ等の金属面が露出している場合でも、長期にわたり優れた密着力を維持することができる信頼性の高いインクジェットヘッドを提供するができることを見出した。
【００２１】
また、基板にインク供給口となる貫通孔を形成する方法としては、切削、サンドブラスト、レーザー加工、ウエットエッチング等種々の方法が試みられている。しかしながら、切削、サンドブラスト、レーザー加工等の手法は、基板や各構成部材に対するダメージが大きく、最悪の場合には加工時に基板が破損するという問題が発生する。
【００２２】
基板に機械的な力を加えることなく貫通孔を形成する方法としてウエットエッチングがある。出願人は、特開２００１−１００７０号公報において、基板としてシリコン基板を用い、無機の誘電体膜とポリエーテルアミド樹脂をマスクとし、アルカリ性のエッチャントを用いてシリコンの異方性エッチングによりインク供給口を形成する方法を提案している。この方法によれば、基板に機械的な力を加えること無く貫通孔を形成することが可能である。
【００２３】
このように、ポリエーテルアミド樹脂は、耐アルカリ性に優れるため、アルカリ性のインクに接するインクジェットヘッドの構造材料として、また、アルカリ性のエッチャントを用いたウエットエッチング時のマスク材として優れた材料である。しかしながら、上述した用途で用いられるポリエーテルアミド樹脂は、更なる改善が求められている。すなわち、ポリエーテルアミド樹脂は、それ自体感光性を有していないため、ポリエーテルアミド樹脂をパターニングする場合には、フォトレジストをパターニングしてマスク材を形成し、エッチングによりパターニングを行う必要がある。また、ポリエーテルアミド樹脂はウエットエッチングが困難であるため、ドライエッチングを行う必要があり、工程が長くなるとともに、大規模な設備が必要となる。
【００２４】
本発明は、上記諸点に鑑みてなされたものであり、インクジェット用途に好適な感光性脂組成物を提供することにより、信頼性の高いインクジェットヘッドを簡便な方法で提供するものである。
【００２５】
【課題を解決するための手段】
すなわち本発明は、式１で示される繰り返し単位を有するポリエーテルアミド樹脂と、
光照射により酸を発生する化合物と、
酸性条件下で作用する前記ポリエーテルアミド樹脂の架橋剤とを含有することを特徴とする感光性樹脂組成物である。
【００２６】
さらに、ポリエーテルアミド樹脂の架橋剤が、縮合性のメラミン化合物もしくは縮合性の尿素化合物であること、さらに、縮合性のメラミン化合物が、式（２）で示されるメラミン化合物および／またはその縮合物であること、さらに、縮合性のメラミン化合物が、ヘキサメトキシメチルメラミンの単量体を９０％以上含有することを好ましい形態として含むものである。
【００２７】
また、インクを吐出するための吐出口と、
該吐出口に連通するインク液路と、
前記吐出口からインクを吐出させるための圧力を発生する圧力発生素子が形成された基板と、
該基板と接合して前記インク液路を形成するインク液路形成部材とを有するインクジェットヘッドであって、
前記インク液路形成部材が、少なくとも、式１で示される構造単位を有するポリエーテルアミド樹脂と、
光照射により酸を発生する化合物と、
酸性条件下で作用する前記ポリエーテルアミド樹脂の架橋剤とを含有する感光性樹脂組成物の硬化物層を介して前記基板に接合されていることを特徴とするインクジェットヘッドである。
【００２８】
さらにポリエーテルアミド樹脂の架橋剤が、縮合性のメラミン化合物もしくは縮合性の尿素化合物であること、さらに、縮合性のメラミン化合物が、式（２）で示されるメラミン化合物および／またはその縮合物であること、さらに、縮合性のメラミン化合物が、ヘキサメトキシメチルメラミンの単量体を９０％以上含有すること、さらに、インク液路形成部材が、樹脂により形成されていること、さらに、インク液路形成部材が、エポキシ樹脂のカチオン重合化合物により形成されていること、さらに、インクを吐出するための吐出口が、圧力発生素子の対向する側に設けられていること、さらに、吐出圧力発生素子が、電気熱変換体であることを好ましい形態として含むものである。
【００２９】
また、インクを吐出するための吐出口と、該吐出口に連通するインク流路と、
前記吐出口から前記インクを吐出するための圧力を発生する圧力発生素子が形成された基板と、
該基板と接合して前記インク流路を形成するインク流路形成部材とを有するインクジェットヘッドの製造方法であって、
圧力発生素子が形成された基板上に、少なくとも、式１で示される繰り返し単位を有するポリエーテルアミド樹脂と、
光照射により酸を発生する化合物と、
酸性条件下で作用する前記ポリエーテルアミド樹脂の架橋剤とを含有する感光性樹脂組成物のパターンを形成する工程と、
該感光性樹脂組成物パターンの形成された基板上に、溶解可能な樹脂にてインク液路パターンを形成する工程と、
該インク液路パターン上に、インク液路形成部材を形成する工程と、
該液路形成部材の前記基板の前記圧力発生素子の設置位置に対向する部分にインク吐出口を形成する工程と、
前記インク流路パターンを溶解除去してインク流路を形成する工程とを有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法である。
【００３０】
さらにポリエーテルアミド樹脂の架橋剤が、縮合性のメラミン化合物もしくは縮合性の尿素化合物であること、さらに、縮合性のメラミン化合物が、式（２）で示されるメラミン化合物および／またはその縮合物であること、さらに、縮合性のメラミン化合物が、ヘキサメトキシメチルメラミンの単量体を９０％以上含有すること、を好ましい形態として含むものである。
【００３１】
また、インクを吐出するための吐出口と、
該吐出口に連通するインク流路と、
前記吐出口から前記インクを吐出するための圧力を発生する圧力発生素子が形成された基板と、
該基板と接合して前記インク流路を形成するインク流路形成部材と、
前記基板を貫通して前記インク流路に連通するインク供給口を有するを有するインクジェットヘッドの製造方法であって、
少なくとも、式１で示される繰り返し単位を有するポリエーテルアミド樹脂と、
光照射により酸を発生する化合物と、
酸性条件下で作用する前記ポリエーテルアミド樹脂の架橋剤とを含有する感光性樹脂組成物を耐エッチングマスクとして用い、
エッチングにより前記基板を貫通するインク供給口を形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法である。
【００３２】
さらに、ポリエーテルアミド樹脂の架橋剤が、縮合性のメラミン化合物もしくは縮合性の尿素化合物であること、さらに、縮合性のメラミン化合物が、式（２）で示されるメラミン化合物および／またはその縮合物であること、さらに、縮合性のメラミン化合物が、ヘキサメトキシメチルメラミンの単量体を９０％以上含有すること、さらに、基板としてシリコン基板を用い、異方性エッチングにより該基板を貫通するインク供給口を形成することを好ましい形態として含むものである。
【００３３】
【発明の実施の形態】
以下に図面を参照して、本発明の第１の実施の形態を更に詳細に説明する。図１〜図１１は、本発明によるインクジェットヘッドの構成およびその製造方法の断面図を模式的に示したものである。
【００３４】
まず本発明においては、例えば図１に示されるような、シリコン基板９を準備する。このような基板は、後述のインク液路およびインク吐出口を形成する液路形成部材の支持体として機能し得るものであれば、その形状、材質等に特に限定されることなく使用することができるが、本実施の形態のように異方性エッチングにより基板を貫通するインク供給口を形成する場合は、シリコン基板が用いられる。
【００３５】
上記シリコン基板９上には、電気熱変換素子あるいは圧電素子等のインク吐出圧力発生素子２が所望の個数配置される（図２）。このようなインク吐出圧力発生素子２によって、記録液滴を吐出させるための吐出エネルギーがインク液に与えられ、記録が行われる。例えば、上記インク吐出圧力発生素子２として電気熱変換素子が用いられる時には、この素子が近傍の記録液を加熱することにより、記録液に状態変化を生起させ吐出エネルギーを発生する。また、例えば、圧電素子が用いられる時は、この素子の機械的振動によって、吐出エネルギーが発生される。
【００３６】
なお、これらの吐出圧力発生素子２には、素子を動作させるための制御信号入力用電極（不図示）が接続されている。また、一般にはこれら吐出圧力発生素子２の耐用性の向上を目的として、保護層等（不図示）の各種機能層が設けられるが、もちろん本発明においてもこのような機能層を設けることは一向に差し支えない。
【００３７】
尚、吐出圧力発生素子として通常用いられる電気熱変換素子は、発熱抵抗層上に電極層を積層した積層構造を所定の配線パターンにパターニングし、かつ電極層の所定部を除去して下部にある発熱抵抗層を露出させることで、１対の電極間に、これらの電極に接続した発熱抵抗層の露出部（電気熱変換素子）が配置された構成を有している。
【００３８】
次いで、図３に示すように、膜厚１〜３μｍの樹脂層（密着層）１０をスピンコート法、ロールコート法、スリットコート法等の塗布方法により形成する。ここで用いられる樹脂層１０は、後述する液路形成部材４と支持基板との密着性を向上する目的で使用するものであり、シリコン基板９上に形成されるＳｉＮやＳｉＯ２といった無機絶縁層（不図示）と、液路形成部材の有機材料の双方に対して優れた密着力を有することが必要である。また、インクに接触する可能性のある部材であることから、特に、これらの構成部材に対してアルカリ条件下においても優れた密着性を維持されることが要求される。
【００３９】
さらに、図３に示すように、樹脂層（密着層）３はインク吐出圧力発生素子２および後述するインク供給口７上には形成されないようパターニングする必要があることから、感光性を有するものが用いられる。本発明者等は鋭意検討の結果、これらの特性を満足する材料として、少なくとも、式１で示される繰り返し単位を有するポリエーテルアミド樹脂と、光照射により酸を発生する化合物と、酸性条件下で作用する前記ポリエーテルアミド樹脂の架橋剤とから成る感光性樹脂組成物が好適に用いられることを見いだした。
【００４０】
ここで、ポリエーテルアミド樹脂、酸発生剤および架橋剤は、ポリエーテルアミド樹脂１００に対して、酸発生剤０．５〜１０、架橋剤１〜４０の割合で配合されることが好ましく、酸発生剤１〜５、架橋剤１０〜３０の割合で配合されることがより好ましい。
【００４１】
本発明の感光性樹脂組成物に用いられるポリエーテルアミド樹脂としては、例えば式（１）で示される樹脂が好適に用いられる。式（１）で示されるポリエーテルアミド樹脂は、たとえば昭６３−６１１２号公報に記載されている既知の方法により合成することができる。
【００４２】
【化３】
2005008652.tif 000002
［式中、Ｒ１〜Ｒ４は、それぞれ独立して水素原子、または炭素数１〜４アルキル基、炭素数１〜４のアルコキシ基またはハロゲン原子を示す。Ｒ５およびＲ６は、それぞれ独立して水素原子、炭素数１〜４のアルキル基または炭素数１〜４のハロゲン化アルキル基を示す。また、Ａｒ２は置換または未置換のフェニレン、ビフェニレン、ナフチレンを示す。ｎは正の整数を示す。］
【００４３】
また、本発明に用いられるポリエーテルアミド樹脂は、例えば、テレフタル酸、イソフタル酸、オキシジ安息香酸、ビフェニルジカルボン酸、ナフタレンジカルボン酸のジクロライドと、２・２−ビス｛４−（４−アミノフェノキシ）フェニル｝プロパン、２・２−ビス｛３−メチル−４−（４−アミノフェノキシ）フェニル｝プロパン等のジアミンを重縮合させることにより得られるが、これ以外の成分として、耐熱性を向上させる等の目的で、４・４’−ジアミノジフェニルメタン、３・３’−ジアミノジフェニルスルホン等のジアミン類を添加して重縮合させたものを用いても良い。
【００４４】
ここで、ポリエーテルアミド樹脂は、分子量（Ｍｗ）が１０００００〜５０００であることが好ましく、２００００〜５００００であることがより好ましい。
【００４５】
ポリエーテルアミド樹脂は、分子量（Ｍｗ）が１０００００以上では解像性が低下し、さらに塗布溶剤にたいする溶解性が低下する。また、５０００以下では塗布性および皮膜性が極端に低下する。
【００４６】
また、Ａｒ１としては、ｐ−フェニレン、ｍ−フェニレンであることが好ましい。
【００４７】
また、光照射により酸を発生する化合物としては、例えば、ヨードニウム塩やスルホニウム塩のようなオニウム塩、ハロゲン化トリアジン化合物、ジスルホン化合物、スルホン酸エステル化合物等を好適に用いることができる。
【００４８】
また、酸性条件下で作用するポリエーテルアミド樹脂の架橋剤としては、酸性条件下で前述したポリエーテルアミド樹脂中のイミノ基と縮合反応を生じるメラミン化合物や、尿素化合物が好適に用いられ、特に、ヘキサメチロールメラミン、テトラメチロールメラミン、ヘキサメトキシメチルメラミン、テトラメトキシメチルメラミン、ヘキサエトキシメチルメラミン、テトラエトキシメチルメラミン等のメチロール化メラミンおよびそのアルキルエーテル化合物、およびそれらの部分縮合化合物が好適に用いられる。また、光反応性、保存安定性に優れることから、ヘキサメトキシメチルメラミンの単量体を９０％以上含有する架橋剤が特に好適に用いられる。
【００４９】
これらの成分から成る感光性樹脂組成物を、Ｎ−メチル−２−ピロリドンからなる溶剤に５〜２０ｗｔ％の割合で希釈して、スピンコート法、ロールコート法、スリットコート法等の塗布方法により基板上に塗布される。溶剤としてはＮ−メチル−２−ピロリドン以外にもジエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル等を用いることができる。その後、通常のフォトリソ工程によりパターニングし、必要に応じて加熱処理を施して熱硬化させて、図３に示すように樹脂層（密着層）１０を形成する。また、該感光性樹脂組成物は、塗布溶剤の他に、下地との密着性の向上を目的としてシランカップリング剤や、光感度の向上を目的として増感剤を添加して用いても良い。
【００５０】
次いで、図４に示すように、上記インク吐出圧力発生素子２を含むシリコン基板９上に、溶解可能な樹脂にてインク液路パターン３を形成する。最も一般的な手段としては感光性材料にて形成する手段が挙げられる。該液路パターン３は、後工程において溶解除去する必要があるため、ポジ型レジストを使用することが好ましく、特にポリメチルイソプロペニルケトン、ポリビニルケトン等のビニルケトン系あるいはアクリル系の光崩壊型高分子化合物を好適に用いることができる。
【００５１】
例えば、膜厚１０μｍの上記光崩壊型高分子化合物からなる膜を、スピンコート法、ロールコート法、スリットコート法等の塗布方法で形成する。その後、フォトリソグラフィー法により所望の液路パターン３を形成する。液路パターン３を形成したシリコン基板９上に、図５に示すように、膜厚２０μｍ（平板上）の液路形成部材４を形成するための材料を通常のスピンコート法、ロールコート法、スリットコート法等の塗布方法で形成する。ここで、液路形成部材４を形成するにおいては、液路パターン３を変形せしめない等の特性が必要となる。すなわち、液路形成部材４を溶剤に溶解し、これをスピンコート、ロールコート等で液路パターン３上に積層する場合、溶解可能な液路パターン３を溶解しないように溶剤を選択する必要がある。
【００５２】
また、液路形成部材４としては、後述するインク吐出口６をフォトリソグラフィーで容易にかつ精度よく形成できることから、感光性のものが好ましい。このような感光性被覆樹脂には、構造材料としての高い機械的強度、下地との密着性、耐インク性と、同時にインク吐出口の微細なパターンをパターニングするための解像性が要求される。これらの特性を満足する材料としては、カチオン重合型のエポキシ樹脂組成物を好適に用いることができる。
【００５３】
本発明に用いられるエポキシ樹脂としては、例えばビスフェノールＡとエピクロヒドリンとの反応物のうち分子量がおよそ９００以上のもの、含ブロモスフェノールＡとエピクロヒドリンとの反応物、フェノールノボラックあるいはｏ−クレゾールノボラックとエピクロヒドリンとの反応物、特開昭６０−１６１９７３号公報、特開昭６３−２２１１２１号公報、特開昭６４−９２１６号公報、特開平２−１４０２１９号公報に記載のオキシシクロヘキサン骨格を有する多官能エポキシ樹脂等があげられるが、これら化合物に限定されるものではない。
【００５４】
また、上述のエポキシ化合物においては、好ましくはエポキシ当量が２０００以下、さらに好ましくはエポキシ当量が１０００以下の化合物が好適に用いられる。これは、エポキシ当量が２０００を越えると、硬化反応の際に架橋密度が低下し、密着性、耐インク性に問題が生じる場合があるからである。
【００５５】
上記エポキシ樹脂を硬化させるための光カチオン重合開始剤としては、前述した光照射により酸を発生する化合物を用いることができ、例えば旭電化工業株式会社より市販されているＳＰ−１５０、ＳＰ−１７０、ＳＰ−１７２等を好適に用いることができる。
【００５６】
また、上述の光カチオン重合開始剤は、還元剤を併用し加熱することによって、カチオン重合を促進（単独の光カチオン重合に比較して架橋密度が向上する。）させることができる。ただし、光カチオン重合開始剤と還元剤を併用する場合、常温では反応せず一定温度以上（好ましくは６０℃以上）で反応する所謂レドックス型の開始剤系になるように、還元剤を選択する必要がある。このような還元剤としては、銅化合物、特に反応性とエポキシ樹脂への溶解性を考慮して銅トリフラート（トリフルオロメタンスルフォン酸銅（ＩＩ））が最適である。さらに上記組成物に対して必要に応じて添加剤など適宜添加することが可能である。例えば、エポキシ樹脂の弾性率を下げる目的で可撓性付与剤を添加したり、あるいは下地との更なる密着力を得るためにシランカップリング剤を添加することなどが挙げられる。
【００５７】
次いで、液路形成部材４上に、感光性を有する撥インク剤層５を形成する（図６）。撥インク剤層５は、スピンコート法、ロールコート法、スリットコート法等の塗布方法により形成可能であるが、未硬化の液路形成部材４上に形成されるため、両者が必要以上に相溶しないことが必要である。また、上述したように、液路形成部材４としてカチオン重合性組成物が用いられる場合には、感光性を有する撥インク剤層５にもカチオン重合可能な官能基を含有させておくことが好ましい。液路形成部材４には、光重合開始剤を必須成分として含むが、撥インク剤層５には必ずしも光重合開始剤を含む必要はなく、液路形成部材４のノズル材料硬化時に発生するカチオンで反応、硬化させても良い。
【００５８】
次いで、マスク（不図示）を介してパターン露光を行い、現像処理を施してインク吐出口６を基板上に設けられたインク吐出圧発生素子２と対向する位置に形成する（図７）。パターン露光された液路形成部材４および撥インク剤層５を、適当な溶剤を用いて現像することにより、図７に示すように、インク吐出口６を形成することができる。この際、現像と同時に液路パターン３を溶解除去することも可能であるが、一般的に、シリコン基板９上には複数のヘッドが配置され、切断工程を経てインクジェットヘッドとして使用されるため、切断時のごみ対策として、図７に示すように液路パターン３を残し（液路パターン３が残存するため、切断時に発生するゴミが液路内に入り込むことを防止できる）、切断工程後に液路パターン３を溶解除去することが好ましい。
【００５９】
次いで、シリコン基板９を貫通するインク供給口を形成する。インク供給口の形成方法としては、本発明による感光性樹脂組成物をマスクとして用い、異方性エッチングにより行う。結晶方位として、＜１００＞、＜１１０＞の方位を持つシリコン基板は、アルカリ系の化学エッチングを行うことにより、エッチングの進行方向に関して、深さ方向と幅方向の選択性ができ、これによりエッチングの異方性を得ることができる。特に、＜１００＞の結晶方位を持つシリコン基板は、エッチングを行う幅によってエッチングされる深さが幾何学的に決定されるため、エッチング深さを制御することができ、例えば、エッチングの開始面から深さ方向に５４．７°の傾斜を持って狭くなる孔を形成することができる。
【００６０】
図８に示すように、まずシリコン基板９の裏面に、本発明による感光性樹脂組成物層１１を形成し、マスク（不図示）を用いてフォトリソによりパターニングを行い（図９）、アルカリ系のエッチング液である水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド等の水溶液に浸漬してエッチングを行い、インク供給口７を形成する（図１０）。この際、例えば特開第２００１−１００７０号公報に記載されているように、ピンホール等の欠陥を防止する目的で、酸化シリコン、窒化シリコン等の誘電体膜との二層構成のマスクとしても、何ら問題はない。
【００６１】
次いで、切断分離工程を経た後（不図示）、液路パターン３を溶解除去し、必要に応じてエッチングマスクとして用いた感光性樹脂組成物層１０を除去する。さらに、必要に応じて加熱処理を施すことにより、液路形成部材４および撥インク剤層５を完全に硬化させた後、インク供給のための部材（不図示）との接合、インク吐出圧力発生素子を駆動するための電気的接合（不図示）を行って、インクジェットヘッドを完成させる（図１１）。
【００６２】
【実施例】
以下に、本発明の実施例を示す。
（実施例１）
・インクジェットヘッドの作成
本実施例では、前述の図１〜図１１に示す手順に従ってインクジェットヘッドを作製し、評価を行った。
【００６３】
まず、インク吐出圧力発生素子２としての電気熱変換素子（材質ＨｆＢ２  からなるヒーター）と、インク液路およびノズル形成部位にＳｉＮとＴａの積層膜（不図示）を有するシリコン基板９を準備した（図１、図２）。次いで、下記に示す組成から成る感光性ポリエーテルアミド樹脂組成物を用いて、樹脂層（密着層）１０を形成した（図３）。
【００６４】
下記の繰り返し単位を有する分子量（Ｍｗ）２５０００のポリエーテルアミド樹脂  ２０質量部
【００６５】
【化４】
2005008652.tif 000003
【００６６】
架橋剤  ヘキサメトキシメチルメラミン  Ｅ−２１５１（商品名：三和ケミカル製）  ２重量部
光重合開始剤  ＳＰ−１７２（商品名：旭電化工業製）  ０．５重量部
Ｎ−メチル−２−ピリドリン（ＮＭＰ）  ７７．５重量部
なお、パターニングは、以下に示すプロセス条件により行った。
【００６７】
次いで、被処理基板上に、ポリメチルイソプロペニルケトン  （東京応化工業製  商品名：ＯＤＵＲ−１０１０）を用いて液路パターン３を形成した（図４）。なお、パターニングは、以下に示すプロセス条件により行った。
【００６８】
次いで、被処理基板上に以下の組成からなる感光性樹脂組成物を用いてスピンコートを行い（平板上膜厚２０μｍ）、１００℃で２分間（ホットプレート）のベークを行い、液路形成部材４を形成した（図５）。
【００６９】
エポキシ樹脂  （ダイセル化学工業製  商品名：ＥＨＰＥ）  １００重量部
添加樹脂  （セントラル硝子製  商品名：１．４ＨＦＡＢ）  ２０重量部
光カチオン重合触媒  （旭電化工業製  商品名：ＳＰ−１７０）  ２重量部
シランカップリング剤  （日本ユニカー製  商品名：Ａ−１８７）  ５重量部
メチルイソブチルケトン  １００重量部
ジエチレングリコールジメチルエーテル（ジグライム）  １００重量部
引き続き、被処理基板上に以下の組成からなる感光性樹脂組成物を用いて、スピンコートにより１μｍの膜厚となるように塗布し、８０℃で３分間（ホットプレート）のベークを行い、撥インク剤層５を形成した（図６）。
【００７０】
ダイセル化学工業製（商品名：ＥＨＰＥ―３１５８）  ３５重量部
２、２―ビス（４―グリシジルオキシフェニル）ヘキサフロロプロパン  ２５重量部
１、４―ビス（２―ヒドロキシヘキサフロロイソプロピル）ベンゼン  ２５重量部
３―（２―パーフルオロヘキシル）エトキシー１、２―エポキシプロパン  １６重量部
シランカップリング剤  （日本ユニカー製商品名：Ａ−１８７）  ４重量部
光カチオン重合触媒  （旭電化工業製  商品名：ＳＰ―１７０）  ２重量部
ジエチレングリコールモノエチルエーテル  １００重量部
次いで、以下に示す条件により液路形成部材４および撥インク剤層５のパターニングを行い、インク吐出口６を形成した（図７）。なお、本実施例では開口径１５μｍの吐出口パターンを形成した。
【００７１】
次に、被処理基板の裏面にパターニグ条件（１）と同様の条件で、上述した感光性ポリエーテルアミド樹脂組成物を用いて幅１ｍｍ、長さ１０ｍｍの開口部形状をパターニングし、２００℃−６０分の熱処理を行ってエッチングマスクを作成した。次いで、８０℃に保持した２２ｗｔ％のＴＭＡＨ水溶液中に被処理基板を浸漬してシリコン基板９の異方性エッチングを行い、インク供給口７を形成した（図８〜図１０）。なお、この際エッチング液から撥インク剤層５を保護する目的で、保護膜（東京応化工業製  商品名：ＯＢＣ：不図示）を撥インク剤層５上に塗布して異方性エッチングを行った。
【００７２】
次いで、保護膜として用いたＯＢＣをキシレンを用いて溶解除去した後、被処理基板を上述のパターニング条件（２）で用いたＰＬＡ−６２０にて３０００ｍＪ／ｃｍ２の全面露光を行い、液路パターン３を可溶化した。引き続きメチルイソブチルケトン中に超音波を付与しつつ浸漬し、液路パターン３を溶解除去することによりインクジェットヘッドを作成した（図１１）。なお、エッチングマスクとして用いた感光性ポリエーテルアミド樹脂組成物層は、酸素プラズマを用いたドライエッチングにより除去した。
・密着性の評価
得られたインクジェットヘッドを、以下に示す組成からなるアルカリインク（ｐＨ＝１０．５）中に浸漬し、プレッシャークッカー（ＰＣＴ）試験（１２１℃飽和条件−１００時間）を行い、液路形成部材となる樹脂材料の密着状況を観察したところ、変化は観察されなかった。
【００７３】
黒色染料  ３重量部
エチレングリコール  ５重量部
尿素  ３重量部
イソプロピルアルコール  ２重量部
イオン交換水  ８７重量部
（実施例２）
光開始剤（旭電化工業製  商品名：ＳＰ−１７２）の半分の量の増感剤（旭電化工業製  商品名：ＳＰ−１００）を添加した感光性ポリエーテルアミド樹脂組成物を用い、パターニングの際の露光量を５００ｍＪ／ｃｍ２とした以外は実施例１と同様にしてインクジェットヘッドを作成し、ＰＣＴ試験を行った。その結果、変化は観察されなかった。
（実施例３）
ポリエーテルアミド樹脂として下記の繰り返し単位を有する分子量（Ｍｗ）３２０００の樹脂を使用した以外は、実施例１と同様にしてインクジェットヘッドを作成し、ＰＣＴ試験を行った。その結果、変化は観察されなかった。
【００７４】
【化５】
2005008652.tif 000004
【００７５】
（比較例１）
樹脂層（密着層）１０を形成しない以外は、実施例１と同様にしてインクジェットヘッドを作成し、ＰＣＴ試験を行った。その結果、液路形成部材４とシリコン基板９間に剥離が確認された。これはシリコン基板９上に形成されたＳｉＮ＋Ｔａ層と、液路形成材料４との密着性が十分でないために生じたものと考えられる。
（比較例２）
樹脂層（密着層）１０として、感光性ポリイミド（東レ製  商品名：フォトニースＵＲ３１００）を用いた以外は実施例１と同様にしてインクジェットヘッドを作成し、ＰＣＴ試験を行った。なお、感光性ポリイミドのパターニングは、専用現像液を用いてメーカー指定の条件にて行い、キュア条件は、１３０℃で３０分＋３００℃で１時間とした。その結果、樹脂層（密着層）１０として用いた感光性ポリイミドが完全に消失しており、液路形成部材４の剥離が観察された。
（比較例３）
非感光性ポリエーテルアミド樹脂（日立化成工業製  商品名：ＨＩＭＡＬ−１２００）を用い、ポジ型レジスト（東京応化製  商品名：ＯＦＰＲ８００）を用いて酸素プラズマによるドライエッチングを行った後、ポジ型レジストを溶解除去して樹脂層（密着層）１０を形成した以外は実施例１と同様にしてインクジェットヘッドを作成し、ＰＣＴ試験を行った。その結果、変化は観察されなかったが、プロセスが増加し煩雑なものとなった。
（比較例４）
シリコン基板９の裏面のエッチングマスクとして、非感光性ポリエーテルアミド樹脂（日立化成工業製  商品名：ＨＩＭＡＬ−１２００）を用い、ポジ型レジスト（東京応化製  商品名：ＯＦＰＲ８００）を用いて酸素プラズマによるドライエッチングを行った後、ポジ型レジストを溶解除去して樹脂組成物層１１を形成した以外は実施例１と同様にしてインクジェットヘッドを作成した。その結果、問題無くインク供給口７を形成できたが、プロセスが増加し煩雑なものとなった。
【００７６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、インクジェットヘッドを作成するに好適な感光性樹脂組成物を提供することができる。また、本発明による感光性樹脂組成物を用いることにより、インク吐出圧力発生素子が形成された基板と液路形成部材との密着力を高め、信頼性の高いインクジェットヘッドを提供することができる。さらには、簡便な方法で信頼性の高いインクジェットヘッドを作成することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のシリコン基板の断面図である。
【図２】本発明のインク吐出圧力発生素子を形成したシリコン基板の断面図である
【図３】本発明の樹脂層（密着層）を形成したシリコン基板の断面図である
【図４】本発明の液路パターンを形成したシリコン基板の断面図である
【図５】本発明の液路形成部材となる樹脂材料を形成したシリコン基板の断面図である
【図６】本発明の撥インク剤層を形成したシリコン基板の断面図である
【図７】本発明のインク吐出口を形成したシリコン基板の断面図である
【図８】本発明の裏面に感光性樹脂層を形成したシリコン基板の断面図である
【図９】感光性樹脂層をパターニングしたシリコン基板の断面図である
【図１０】本発明のインク供給口を形成したシリコン基板の断面図である
【図１１】本発明の完成したインクジェットヘッドの断面図である
【図１２】従来技術の基板の断面図である。
【図１３】従来技術のインク吐出圧力発生素子を形成した基板の断面図である。
【図１４】従来技術の液路パターンを形成した基板の断面図である。
【図１５】従来技術の液路形成部材を形成した基板の断面図である。
【図１６】従来技術の撥インク剤層を形成した基板の断面図である。
【図１７】従来技術のインク吐出口を形成した基板の断面図である。
【図１８】従来技術のインク供給口を形成した基板の断面図である
【図１９】従来技術の完成したインクジェットヘッドの断面図である
【符号の説明】
１  基板
２  インク吐出圧力発生素子
３  液路パターン
４  液路形成部材
５  撥インク剤層
６  インク吐出口
７  インク供給口
８  インク液路
９  シリコン基板
１０  樹脂層（密着層）
１１  感光性樹脂組成物層
【図１】
2005008652.tif 000008
【図２】
2005008652.tif 000009
【図３】
2005008652.tif 000010
【図４】
2005008652.tif 000011
【図５】
2005008652.tif 000012
【図６】
2005008652.tif 000013
【図７】
2005008652.tif 000014
【図８】
2005008652.tif 000015
【図９】
2005008652.tif 000016
【図１０】
2005008652.tif 000017
【図１１】
2005008652.tif 000018
【図１２】
2005008652.tif 000019
【図１３】
2005008652.tif 000020
【図１４】
2005008652.tif 000021
【図１５】
2005008652.tif 000022
【図１６】
2005008652.tif 000023
【図１７】
2005008652.tif 000024
【図１８】
2005008652.tif 000025
【図１９】
2005008652.tif 000026
【手続補正書】
【提出日】平成16年5月28日(2004.5.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
少なくとも、式１を繰り返し単位とするポリエーテルアミド樹脂と、
光照射により酸を発生する化合物と、
酸性条件下で作用する前記ポリエーテルアミド樹脂の架橋剤とを含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
【化１】
2005008652.tif 000027
［式中、Ｒ4〜Ｒ7は、それぞれ独立して水素原子、または炭素数１〜４アルキル基、炭素数１〜４のアルコキシ基またはハロゲン原子を示す。Ｒ8およびＲ9は、それぞれ独立して水素原子、炭素数１〜４のアルキル基または炭素数１〜４のハロゲン化アルキル基を示す。また、Ａｒ1は置換または未置換のフェニレン、ビフェニレン、ナフチレン、オキシジフェニレン、スルフォニルジフェニレンを示す。ｎは正の整数を示す。］
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
【課題を解決するための手段】
すなわち本発明は、少なくとも、式１で示される繰り返し単位を有するポリエーテルアミド樹脂と、
光照射により酸を発生する化合物と、
酸性条件下で作用する前記ポリエーテルアミド樹脂の架橋剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物である。
【化１】
2005008652.tif 000028
［式中、Ｒ4〜Ｒ7は、それぞれ独立して水素原子、または炭素数１〜４アルキル基、炭素数１〜４のアルコキシ基またはハロゲン原子を示す。Ｒ8およびＲ9は、それぞれ独立して水素原子、炭素数１〜４のアルキル基または炭素数１〜４のハロゲン化アルキル基を示す。また、Ａｒ1は置換または未置換のフェニレン、ビフェニレン、ナフチレン、オキシジフェニレン、スルフォニルジフェニレンを示す。ｎは正の整数を示す。］


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
さらに、ポリエーテルアミド樹脂の架橋剤が、縮合性のメラミン化合物もしくは縮合性の尿素化合物であること、さらに、縮合性のメラミン化合物が、式（２）で示されるメラミン化合物および／またはその縮合物であること、さらに、縮合性のメラミン化合物が、ヘキサメトキシメチルメラミンの単量体を９０％以上含有すること、さらに、インク液路形成部材が、樹脂により形成されていること、さらに、インク液路形成部材が、エポキシ樹脂のカチオン重合硬化物により形成されていること、さらに、インクを吐出するための吐出口が、圧力発生素子の対向する側に設けられていること、さらに、吐出圧力発生素子が、電気熱変換体であることを好ましい形態として含むものである。
【化２】
2005008652.tif 000029
［式中、Ｒ１〜Ｒ６はそれぞれ独立して水素原子、メチロール基またはメトキシメチル基を示す。］
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
【化３】
2005008652.tif 000030
［式中、Ｒ4〜Ｒ7は、それぞれ独立して水素原子、または炭素数１〜４アルキル基、炭素数１〜４のアルコキシ基またはハロゲン原子を示す。Ｒ8およびＲ9は、それぞれ独立して水素原子、炭素数１〜４のアルキル基または炭素数１〜４のハロゲン化アルキル基を示す。また、Ａｒ1は置換または未置換のフェニレン、ビフェニレン、ナフチレン、オキシジフェニレン、スルフォニルジフェニレンを示す。ｎは正の整数を示す。］


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６３】
まず、インク吐出圧力発生素子２としての電気熱変換素子（材質ＨｆＢ2 からなるヒーター）と、インク液路およびノズル形成部位にＳｉＮとＴａの積層膜（不図示）を有するシリコン基板９を準備した（図１、図２）。次いで、下記に示す組成から成る感光性ポリエーテルアミド樹脂組成物を用いて、第１の実施形態の図３で示したプロセスを用いて樹脂層（密着層）１０を形成した（図３）。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６６】
架橋剤  ヘキサメトキシメチルメラミン  Ｅ−２１５１（商品名：三和ケミカル製）  ２重量部
光重合開始剤  ＳＰ−１７２（商品名：旭電化工業製）  ０．５重量部
Ｎ−メチル−２−ピリドリン（ＮＭＰ）  ７７．５重量部
なお、第１の実施形態の図３で示したように膜厚１〜３μｍの樹脂層を塗布法により形成し、フォトリソ工程によりパターニングした。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
次いで、被処理基板上に、ポリメチルイソプロペニルケトン（東京応化工業製  商品名：ＯＤＵＲ−１０１０）を用いてパターニングを行い、液路パターン３を形成した（図４）。尚、パターニングは、第１の実施形態の図４で示したように膜厚１０μｍの膜を塗布法で形成し、フォトリソ工程を用いて行った。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
ダイセル化学工業製（商品名：ＥＨＰＥ―３１５８）  ３５重量部
２、２―ビス（４―グリシジルオキシフェニル）ヘキサフロロプロパン  ２５重量部
１、４―ビス（２―ヒドロキシヘキサフロロイソプロピル）ベンゼン  ２５重量部
３―（２―パーフルオロヘキシル）エトキシー１、２―エポキシプロパン  １６重量部
シランカップリング剤  （日本ユニカー製商品名：Ａ−１８７）  ４重量部
光カチオン重合触媒  （旭電化工業製  商品名：ＳＰ―１７０）  ２重量部
ジエチレングリコールモノエチルエーテル  １００重量部
次いで、液路形成部材４および撥インク剤層５のパターニングを行い、インク吐出口６を形成した（図７）。なお、本実施例では開口径１５μｍの吐出口パターンを形成した。パターニングは、第１の実施形態の図７のプロセスをもちい、塗布法により形成し、パターン露光を行い、現像処理を施して形成した。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７１】
次に、被処理基板の裏面に上述した感光性ポリエーテルアミド樹脂組成物を第１の実施形態の図８〜９で示したように、フォトリソ工程により、幅１ｍｍ、長さ１０ｍｍの開口部形状をパターニングし、２００℃−６０分の熱処理を行ってエッチングマスクを作成した。次いで、８０℃に保持した２２ｗｔ％のＴＭＡＨ水溶液中に被処理基板を浸漬してシリコン基板９の異方性エッチングを行い、インク供給口７を形成した（図８〜図１０）。なお、この際エッチング液から撥インク剤層５を保護する目的で、保護膜（東京応化工業製  商品名：ＯＢＣ：不図示）を撥インク剤層５上に塗布して異方性エッチングを行った。


【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７２】
次いで、保護膜として用いたＯＢＣをキシレンを用いて溶解除去した後、被処理基板を、ＰＬＡ−６２０にて３０００ｍＪ／ｃｍ2の全面露光を行い、液路パターン３を可溶化した。引き続きメチルイソブチルケトン中に超音波を付与しつつ浸漬し、液路パターン３を溶解除去することによりインクジェットヘッドを作成した（図１１）。なお、エッチングマスクとして用いた感光性ポリエーテルアミド樹脂組成物層は、酸素プラズマを用いたドライエッチングにより除去した。
・密着性の評価
得られたインクジェットヘッドを、以下に示す組成からなるアルカリインク（ｐＨ＝１０．５）中に浸漬し、プレッシャークッカー（ＰＣＴ）試験（１２１℃飽和条件−１００時間）を行い、液路形成部材となる樹脂材料の密着状況を観察したところ、変化は観察されなかった。