(57)【要約】【課題】ＬＤと光ファイバとの光軸のアライメント調整を、光ファイバ端面位置を絶対測定することにより、ＬＤと光ファイバを安価で作業効率良く、安全に行うことを実現する。【解決手段】レーザダイオード１からの発射光を、直接光ファイバ７の端面部に入射させる光ファイバのアライメント装置において、ＬＤ１の発行面と光ファイバ７の光軸位置ずれ及び光ファイバ７の端面部上に投影されるＬＤ１の発光面の投影像の形状を少なくともＸ軸方向、Ｙ軸方向の２軸方向に配置されたカメラ２及びカメラ９にて測定してアライメントする。【選択図】  図１
2005148466.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザダイオードの発光面からの発射光を直接光ファイバ端面部に入射させる光ファイバ
のアライメント装置において、前記光ファイバ端面部上に投影される前記レーザダイオー
ドの発光面の投影像の形状を測定してアライメントすることを特徴とする光ファイバアラ
イメント装置。
【請求項２】
レーザダイオードの発光面からの発射光を直接くさび形状或いは円錐形状を有する光ファ
イバ端面部に入射させるレーザダイオードと光ファイバを直接結合させる光モジュールの
ためのアライメント装置において、前記光ファイバ端面部上に投影される前記レーザダイ
オードの発光面の投影像の形状を測定してアライメントすることを特徴とする光ファイバ
アライメント装置。
【請求項３】
レーザダイオードの発光面からの発射光を直接くさび形状を有する光ファイバ端面部に入
射させる光ファイバのアライメント装置において、前記レーザダイオードの発光面位置と
前記光ファイバとの光軸位置ずれ及び前記レーザダイオードの発光面の投影像の形状を、
Ｘ軸方向、Ｙ軸方向の２軸方向に配置されるカメラにて測定してアライメントすることを
特徴とする光ファイバアライメント装置。
【請求項４】
前記投影像は、半月状の輪郭を有する形状であって、当該半月状の輪郭線を光ファイバ最
先端から所定の距離及び形状に調整することを特徴とする請求項３に記載の光ファイバ
アライメント装置。
【請求項５】
前記レーザダイオード発光側端面と当該レーザーダイオードからのレーザ光を受ける前記
光ファイバ端面との距離を、当該光ファイバの他端部にて、前記レーザダイオードの発光
パワーのピーク値が得られる距離に調整することを特徴とする請求項２に記載の光ファイ
バアライメント装置。
【請求項６】
レーザダイオードからの発射光を直接光ファイバ端面部に入射させる光ファイバのアライ
メント装置において、前記光ファイバ端面部上に投影される前記レーザダイオードの発光
面の投影像の測定は、少なくとも前記光ファイバ端面から前記投影像の半月状の円弧部先
端との距離と形状を測定してアライメントすることを特徴とする請求項３に記載の光ファ
イバアライメント装置。
【請求項７】
レーザダイオードと、その発射光を直接受ける光ファイバと、前記光ファイバの端面部上
に投影される前記レーザーダイオードの発光面の投影像の形状を測定するカメラと、前記
レーザダイオードの発光側端面とレーザダイオード発射光を受ける前記光ファイバ端面と
の距離を測定する別のカメラと、前記それぞれのカメラからの撮像を表示するモニターと
を備え、
前記測定されるレーザダイオードの発光面の投影像の形状と前記レーザダイオード発光側
端面と前記光ファイバ端面との距離を前記モニター上の撮像された画像に基づき、前記光
ファイバをＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向の移動と光ファイバのＸ軸方向の光軸の回
り、Ｙ軸周り及びＺ軸周りに回転してアライメントすることを特徴とする光ファイバアラ
イメント装置。
【請求項８】
レーザダイオードからの発射光を直接光ファイバ端面部に入射させる光ファイバのアライ
メント方法において、前記光ファイバ端面部上に投影される前記レーザダイオードの発光
面の投影像の形状を測定してアライメントすることを特徴とする光ファイバアライメント
方法。
【請求項９】
レーザダイオードの発光面からの発射光を直接くさび形状を有する光ファイバ端面部に入
射させる光ファイバのアライメント方法において、前記レーザダイオードの発光面位置と
前記光ファイバとの光軸位置ずれ及び前記レーザダイオードの発光面の投影像の形状を、
Ｘ軸方向、Ｙ軸方向の２軸方向に配置されるカメラにて測定してアライメントすることを
特徴とする光ファイバアライメント方法。
【請求項１０】
前記光ファイバ端面部の形状は、くさび形状或いは円錐状であることを特徴とする請求項
８に記載の光ファイバアライメント方法。
【請求項１１】
前記投影像は、半月状の輪郭を有する形状であって、当該半月状の輪郭線を光ファイバ最
先端から所定の距離及び形状に調整することを特徴とする請求項９に記載の光ファイバ
アライメント方法。
【請求項１２】
前記レーザダイオード発光側端面と当該レーザーダイオードからのレーザ光を受ける前記
光ファイバ端面との距離を、当該光ファイバの他端部にて、前記レーザダイオードの発光
パワーのピーク値が得られる距離に調整することを特徴とする請求項８に記載の光ファイ
バアライメント方法。
【請求項１３】
レーザダイオードからの発射光を直接光ファイバ端面部に入射させる光ファイバのアライ
メント方法において、前記光ファイバ端面部上に投影される前記レーザダイオードの発光
面の投影像の測定は、少なくとも前記光ファイバ端面から前記投影像の半月状の円弧部先
端との距離と形状を測定してアライメントすることを特徴とする請求項９に記載の光ファ
イバアライメント方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ファイバのアライメント装置及びアライメント方法に関する。より詳細に
は、レーザダイオードからの発射光を直接光ファイバ端面に入射させる光ファイバのアラ
イメント装置及びアライメント方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
データを伝送するデバイスとしてレーザダイオード（以下、LDと略す。）と光ファイバ
をカップリングしたものをパッケージングした光モジュールが広く使用されている。
パッケージングの部品要素として、LD、光ファイバ、サーミスタ、TECなどが存在する
が、LDと光ファイバをカップリングする構成部分は、電気信号のデータを光に変換して
データを伝送する役目である光モジュールの要素としては最も重要といっても過言でない
部分である。電気信号データをLDより発光されるLaser光に変換し、光ファイバを介し
て伝送するが、その光を光ファイバに効率良く集光する際に、多く用いられる方法として、
LDと光ファイバの間に凸レンズを使用することにより光ファイバに集光する方法が良く
知られている。しかし、この方法では光モジュールの部品点数が多くなり、さらには光モ
ジュール自体も大きくなってしまうという難点があった。また、アライメントする工程が
多くなるのも難点の１つである。
【０００３】
これに対して最近LDと光ファイバをカップリングする側の光ファイバ端面をくさび形
や円錐形状にすることでレンズの役目を付与し、レンズを省略して、LDと光ファイバを
直接カップリング、つまり、LDから発光されるLaser光を直接光ファイバに集光させた
光モジュールが主流になってきている。
【０００４】
LD等より発光されるLaser光を光ファイバに直接集光させた光モジュール部品におい
て、その製品の良否は、LDの出力がいかに光ファイバに効率よく伝送されるかによる。
また、その製品のyield率も重要視されるところである。従来はその効率をLDと光ファ
イバの接合部分で評価するのではなく、光ファイバから出力される光のパワーを光パワー
測定器で測定し、LDから出力しているパワーと比較することにより、アライメント及び
製品の良否を判断していた。
【０００５】
また、そのアライメント工法は、光ファイバの大きさが径で125μm程度しかない事や
LDと光ファイバ端面の距離が数μmしかない事、更にはLaser自体を直接見ながら作業
することが危険を伴うことから、極めて難しい作業であった。
【０００６】
なお、関連する先行技術文献として、金属スリーブに光ファイバを固定してスロットに
導入して、スロットを調整してアライイメントを得る記載がされている（例えば、特許文
献１）。
【０００７】
また、光ファイバから出射したレーザ光の光学部からの反射光の一部を、光ファイバの
光軸と同軸上でない位置に置かれた光センサで受光することにより光軸調整する記載が特
許文献２に開示されている。
【特許文献１】特開平６−２２２２４９号公報
【特許文献２】特開昭６３−１５９８１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、前述の光のパワーを光パワー測定器で測定し、ＬＤから出力しているパ
ワーと比較する手段では、出力されるパワーが満足するものでない場合、ＬＤと光ファイ
バの光軸をアライメントする事で出力される光のパワーを満足させる値に近づける様に光
ファイバ自体をあらゆる方向に移動させる。移動させる方向は、前後上下左右そして3軸
の回転方向とあり、その方向を決めるにはＬＤと光ファイバのカメラ画像を見るわけであ
るが、どの方向に移動するべきかが認識しづらくその基準として認識できるものが存在し
ない。つまり、光ファイバをどの方向に移動すべきか分からず、非常に作業効率の悪い、
信頼性が低いという問題があった。
【０００９】
また、光ファイバ端面は非常に脆いのでその移動方向が分かりにくいという事は、作業
効率が悪いだけでなく、間違った方向への移動は光ファイバの破損にもつながり、yield
率の低下につながる。加えて、顕微鏡レンズによる観察や画像認識でＬＤのレーザ発光面
や光ファイバの集光側端面を認識することによる各々の位置を確認し、アライメントを行
うが顕微鏡レンズの焦点深度には限界があり、Focusした状態で、同一画面でのLDと光
ファイバの認識は難しい場合が多く、LDと光ファイバの位置関係(距離)を画像認識で同一
画面上で両者を比較測定するという相対測定が出来ない問題点があった。
【００１０】
この問題に対処する一般的な方法として、複雑な画像処理を用いる方法がある。画像を
断続的に認識、取り込み、合成する方法がある。この方法では、前述のLDと光ファイバ
をそれぞれ認識し、一つの画像とすることで、相対測定が可能となるが、その機器は非常
に高価であり、操作方法も難しく、簡単な方法であるとは言い難い。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
従来の課題を解決するために、本発明の光ファイバアライメント装置は、レーザダイオ
ードの発光面からの発射光を直接光ファイバ端面部に入射させる光ファイバのアライメン
ト装置において、前記光ファイバ端面部上に投影される前記レーザダイオードの発光面の
投影像の形状を測定してアライメントすることを特徴としたものである。
【００１２】
また、本発明は、レーザダイオードの発光面からの発射光を直接くさび形状或いは円錐
形状を有する光ファイバ端面部に入射させるレーザダイオードと光ファイバを直接結合さ
せる光モジュールのためのアライメント装置において、前記光ファイバ端面部上に投影さ
れる前記レーザダイオードの発光面の投影像の形状を測定してアライメントすることを特
徴としたものである。
【００１３】
また、本発明は、レーザダイオードの発光面からの発射光を直接くさび形状を有する光
ファイバ端面部に入射させる光ファイバのアライメント装置において、前記レーザダイオ
ードの発光面位置と前記光ファイバとの光軸位置ずれ及び前記レーザダイオードの発光面
の投影像の形状を、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向の２軸方向に配置されるカメラにて測定してアラ
イメントすることを特徴としたものである。
【００１４】
また、本発明は、レーザダイオードと、その発射光を直接受ける光ファイバと、前記光
ファイバの端面部上に投影される前記レーザーダイオードの発光面の投影像の形状を測定
するカメラと、前記レーザダイオードの発光側端面とレーザダイオード発射光を受ける前
記光ファイバ端面との距離を測定する別のカメラと、前記それぞれのカメラからの撮像を
表示するモニターとを備え、前記測定されるレーザダイオードの発光面の投影像の形状と
前記レーザダイオード発光側端面と前記光ファイバ端面との距離を前記モニター上の撮像
された画像に基づき、前記光ファイバをＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向の移動と光フ
ァイバのＸ軸方向の光軸の回り、Ｙ軸周り及びＺ軸周りに回転してアライメントすること
を特徴としたものである。
【００１５】
また、本発明の光ファイバアライメント方法は、レーザダイオードからの発射光を直接
光ファイバ端面部に入射させる光ファイバのアライメント方法において、前記光ファイバ
端面部上に投影される前記レーザダイオードの発光面の投影像の形状を測定してアライメ
ントすることを特徴としたものである。
【００１６】
また、本発明は、レーザダイオードの発光面からの発射光を直接くさび形状を有する光
ファイバ端面部に入射させる光ファイバのアライメント方法において、前記レーザダイオ
ードの発光面位置と前記光ファイバとの光軸位置ずれ及び前記レーザダイオードの発光面
の投影像の形状を、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向の２軸方向に配置されるカメラにて測定してアラ
イメントすることを特徴としたものである。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、反射光を認識することで、光ファイバ端面自体を画像認識し、絶対測
定できる。したがって、より確実なアライメント作業が実現でき作業効率、yield率の向上
につながる。更に、高価な画像処理機器やソフトに頼らず、安価な方法で実現できる。
【００１８】
また、反射光は、レーザー光のパワーに左右されずに発生するため、レーザー光のLow 
powerで光ファイバのアライメントを実現できる。これは、従来の光ファイバからの出射
光とLDからのレーザー光とのパワー比較ではある程度出力しないといけない作業であっ
たのに比較すると、危険とされているLaser作業の安全確保にも寄与する事となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下に、本発明のアライメント装置及びアライメント方法の実施の形態を図面とともに、
詳細に説明する。
【実施例１】
【００２０】
図1は、LD１と光ファイバ７の受光端面の要部を模式的に表した図である。図2（ａ）
は、図1を横方向(A方向)から見た図であり、図２（ｂ）は、ＬＤ１と光ファイバ７のア
ライメントでの６軸方向の調整を模式的に説明するための図である。図3は、光ファイバ
アライメント装置を分かり易く説明するための配置図であり、図4は、アライメント装置
のブロック構成図である。図5（ａ）は、図4で示すモニタ10で測定されるＬＤ１と光フ
ァイバ７の受光端面を上から見た図であり、図５（ｂ）は、カメラ９でＬＤ１と光ファイ
バ７の光軸のずれを観測するためモニタ１４で横方向から測定した図である。図５（ｃ）
は、光ファイバ７の先端部に投影されるＬＤ１の発光面の投影図を示すものである。なお、
図５の各図は、アライメントが最適に調整された状態を表している。図6は、光ファイバ
７の多端での光パワーの測定値と、ＬＤ１と光ファイバ7の受光端面のＸ方向距離１１と
の関係を示した図である。図7は、ＬＤ１と光ファイバ7の光軸がずれた状態の一例を示
し、距離１３は、光ファイバ７の先端部からＬＤ１の発光面の投影像の半月状の円弧部の
先端部までの距離、距離１９は、ＬＤ１の発光面と光ファイバ７の光軸とのずれ量を示す。
【００２１】
図1に示すように、光ファイバ７の受光端面は予め円錐状やくさび形に先端加工され、
ＬＤ１から発光されるレーザ光をレンズなどを介さずに直接光ファイバ7に効率良く集光
させ、レーザ光を損失無く光ファイバ7に伝送する場合、ＬＤ１と光ファイバ７の受光端
面との距離１１は、数μから１０数μ程度に調整される。
【００２２】
また、図2（ａ）中LD1のＬＤ１の発光面と光ファイバ7の光軸とのＺ方向(高さ方向)
距離12においては、ＬＤ１の発光面に対して先端加工された光ファイバ７の光軸を同一
になるように調節される。つまりZ方向(高さ方向)距離12は、その距離を0に近付ける。
そのためには、ＬＤ１は固定されているため、フリー状態である光ファイバ7を精度良く
図中のＸ、Ｙ、Ｚ、θ方向で調節する必要がある。この調整は、ＬＤ１と光ファイバ7を
効率良く結合させ、良質の製品を製造する上では必要不可欠な工程であり、精度を要求さ
れる。この調整を精度よく、伝達される光パワーを最大とするように調整していく。この
調整が十分になされないと光ファイバ7に伝送された光パワーは低いものとなり、損失が
大きくなる。以下この調整をアライメントと呼ぶ。
【００２３】
図１、図3と図4において、カメラ２と９は、ＬＤ１と光ファイバ7の受光端面を測定
するように配置されており、カメラ2で上方向から、カメラ9で横方向からアライメント
状況を見えるように配置されている。
【００２４】
また、ＬＤ１は、図２（ｂ）に示す治具１に固定されており、光ファイバ7は、治具２
及びＸ、Ｙ、Ｚ、θx、θy、θzの各ステージ装置１８によってＸ、Ｙ、Ｚ、θx、θy、
θzの6軸方向に移動・回転可能となっている。また、光ファイバ７の受光端面と反対側
端面には、ＬＤ１より入射された光パワーを反対側端面から出射させ、その出射光6を測
定できるように光パワー測定器8を配置している。
【００２５】
Ｘ軸方向調整は、カメラ９の横方向からの観測から、ＬＤ１の発光面側端面と光ファイ
バ７の先端部との距離１１を設定し、また、Ｘ軸を中心とする回転調整を行う。Ｙ軸方向
調整は、カメラ２の上方からの観測から、ＬＤ１の端面と光ファイバ７の先端部の横方向
のズレをなくすように設定し、また、Ｙ軸方向を中心とする回転調整を行う。Ｚ軸方向調
整は、カメラ９の横方向からの観測から、ＬＤ１の発光面と光ファイバ７の先端の高さ即
ち、ＬＤ１の発光面位置の高さと光ファイバ７の光軸とを同一高さに合わせる。また、Ｚ
軸を中心とする回転調整を行う。
【００２６】
更に、本発明の特徴であるカメラ２の上方から光ファイバ７の受光面を観測して、その
受光面に投影されるＬＤ１の発光面の投影像の形状と位置を測定して、所定の形状と位置
が得られるようにアライメントをしていく。
【００２７】
例えば、光ファイバ７の受光面である先端部がくさび形状を有する場合、光ファイバ７
の先端部に投影される投影像をカメラ２で観測すると、半月状のように観測されるが、カ
メラ７の焦点位置を半月形状の円弧上端部に合わすため、光ファイバ７の受光面先端部は、
焦点が少しボケるため、半月の一部の形状として観測される。即ち、焦点が合った円弧上
端部の輪郭線を観測して、あらかじめパソコン等画像処理部3に記憶している図6に示す
ピーク値にアライメントされた基準状態の距離13（図５（ｃ）参照）を比較する。また、
ＬＤ１の発光面と光ファイバ７の光軸とのずれである距離１９（図７参照）と、半月状の
輪郭線と光ファイバ７の端面部との角度の値などを観測してアライメントが最適に調整
された基準状態と比較する。
【００２８】
なお、光ファイバ７の受光部の形状が円錐状の場合も同様に、受光部に投影される投影
像の輪郭線の形状、位置などを観測してアライメントすることができることは明らかであ
る。
【００２９】
最終的には、光パワーの最大値が得られるように調整するが、その調整パラメータは６
個あり、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向の距離とそれらの軸方向の回転調整を行って最適なアライ
メントをするものである。
【００３０】
アライメントは、ＬＤ１と光ファイバ7とを前述したように、光ファイバ７の受光端面
と反対側端面からの出射光が最大となるように調整を行っていく。図1に示すようにLD1
から発光されるレーザー光を、光ファイバ７の受光面にて受光すると光ファイバ7の端面
部がレンズ作用により集光する。そして、ＬＤ１と光ファイバ7とをアライメントしてい
く事で、前述のように光ファイバ7の先端が、円錐状やくさび状などに加工されているた
めに、必ずその加工面で光を屈折反射する現象が起こる。
【００３１】
これは、日常の中で鏡が光を反射させて別のところを照らす現象と全く同じ原理である。
ＬＤ１からの光を光ファイバ７の受光端面部で反射する光5を上側から測定するカメラ2
で観察すると、図１、図5に示すようにＬＤ１の発光面の投影像が見える。その投影像5
の形状、光ファイバ7の端面からの距離13及び距離１９は、前述の精度良くＬＤ１と光
ファイバ7端面とがアライメントされている場合、つまり、光パワー測定器8で測定した
光パワーが、図6で示すところのピーク値を表す場合、光ファイバ７の先端部の加工形状
によっては変わるが、加工形状が同じであれば常に同じ形状、距離13を示す。光ファイ
バ７の先端部の代表的な形状として、くさび型や円錐形状を使用することができる。
【００３２】
１例として、くさび形状の場合を図５を用いて説明する。図５（ａ）は、カメラ２の上
からの観測、図５（ｂ）は、カメラ９の横方向からの観測、図５（ｃ）は、光ファイバ７
の端面部にＬＤ１の発光面が投影される投影像の拡大図を示す。前述したように焦点の合
った投影像の輪郭線の形状、光ファイバ７の端面からの距離１３及び距離１９などを観測
して、予め最適のアライメント状態での基準となる投影像と比較して基準の形状、位置に
一致するように調整していく。
【００３３】
例えば、ＬＤ１の発光面に対して、光ファイバ7の光軸がX方向、Y方向にずれている
場合、即ち、投影像5の光ファイバ端面での形状、位置は図7のようにずれている場合、
光パワー測定器８にての光パワーの測定値にはピーク値が現れない。回転方向θがずれて
いた場合は、投影像5の形状はその回転軸に対して歪んで観測され、その場合の光パワー
の測定値も同様にピーク値が現れない。
【００３４】
次に、具体的にアライメント手順の一例を説明する。
（１）まずＬＤ１と光ファイバ7端面との距離１１をアライメントの前工程において２０
〜３０μm程度にセットする。この設定は、光パワー測定器8の値を確認しながら、カメ
ラ２及びカメラ９の画像をモニタ１０、１４を介して見る。
（２）そして、ＬＤ１に光ファイバ7の端面を近付ける様にＸ方向に移動する。そうする
とカメラ２により、モニタ10に光ファイバ7の端面部に投影像5が映し出され所定の形
状が観測される。そして、観測される所定の形状を、光パワー測定器８の測定がピーク値
になるように距離１３及び距離１９が所定の値になるように光ファイバ７をＸ軸、Ｙ軸方
向に移動する。
（３）次に、カメラ9によりモニタ14に映し出されるＺ方向距離12（図２参照）を同一
軸上になるように調整移動する。
（４）以上が粗調整で、次に、微調整をする。即ち、粗調整で得られた位置での光パワー
測定器８にてピーク値が出るように回転方向θx、θy、θz及びＹ方向、Ｚ方向を調整す
る。同時にカメラ2によるモニタ１０に映し出される反射光5の形状・位置の観察を行っ
ての調整も行う。最後に、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向を移動しながら(主にＸ方向)、ＬＤ１に対して
光ファイバ端面を前後することにより、図6のようなLD1と光ファイバ7の受光端面と
の距離１１と、光パワーの測定値との関係を得る事ができ、そのピーク値とするところを
アライメント後の正規のカップリング位置とする。
（５）更に、カメラ2により映し出されるモニタ10の画像に対して、半月形状に映し出
される投影像5の輪郭線と光ファイバ7の端面部との距離13及び距離１９と、光ファイ
バ７の端面部に対する輪郭線の角度を測定し、あらかじめパソコン等画像処理部3に記憶
している図6のピーク値にアライメントされた状態の距離13及び距離１９と輪郭線と光
ファイバ７の端面部との角度の値と比較しながら処理することでより効率的で安定した
アライメント作業を実施できる。
【００３５】
光パワー測定器８の測定値を見ながら、モニタ１０の画面で移動調整していく従来の方
法では、ピーク値に持っていくためには、画面に基準が無いため、移動する方向が判断が
困難で、大抵の場合、ＬＤ１の端面と光ファイバ7端面とはＺ方向に距離15が発生する。
【００３６】
カメラ２に付いている顕微鏡レンズには焦点が合う距離(以下焦点深度)が決まっており、
ＬＤ１の端面と光ファイバ7端面とのZ方向の距離１５は、その焦点深度よりもはるかに
大きいため、ＬＤ１の端面と光ファイバ７の端面を同時に映し出すことは不可能である。
つまり、どちらかの画像はピンぼけするということである。
【００３７】
しかし、本発明のように、ＬＤ１より発光されるレーザー光によって、先端部が加工さ
れた光ファイバ7端面部に映し出される反射光5を利用し、その反射光5による投影像を
モニタ10画面上で光ファイバ７先端部の投影像の形状と位置を観測を基準とする事で、
光ファイバ7をアライメントする際の移動方向を容易に判断でき、更にはＬＤ１を画面上
で認識せず、光ファイバ7の端面部のみを認識し、そこに映し出される反射光５による投
影像の形状、位置を測定する事で、ＬＤ１との位置関係までをもアライメントできること
は、大幅な作業効率、信頼性において向上が図れ、安定した光モジュールの製造が可能と
なる。
【００３８】
また、反射光はレーザ光のパワーに左右されずに測定することができるため、レーザ光
の低出力時における測定が可能である。これは、従来の光ファイバからの出射光とＬＤか
らのレーザー光とのパワー比較ではある程度の光パワーが要していたが、低出力時に作業
が可能であり、危険とされているレーザー作業の安全確保にも寄与する事となる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の光ファイバアライメント装置におけるアライメントを説明するための斜視図
【図２】（ａ）本発明の光ファイバアライメント装置の要部の側面を模式的に表した図（ｂ）本発明の光ファイバアライメント装置における６軸方向の調整を模式的に説明するための図
【図３】本発明の光ファイバアライメント装置の配置図
【図４】本発明の光ファイバアライメント装置のブロック構成図
【図５】（ａ）本発明の光ファイバアライメント装置における光ファイバの受光端面の平面図（ｂ）本発明の光ファイバアライメント装置における光ファイバの受光端面の側面図（ｃ）本発明の光ファイバアライメント装置における光ファイバの受光端面部に投影される投影像を示す図
【図６】本発明の光ファイバアライメント装置におけるＬＤと光ファイバ受光端面間の距離と光パワーの関係を示す図
【図７】本発明の光ファイバアライメント装置における光軸がずれた場合を説明するための図
【符号の説明】
【００４０】
１  ＬＤ(レーザダイオード)
２、９  カメラ（顕微鏡）
３  画像処理装置
４  入射光（光ファイバから見た／レーザ）
５  投影像
６  出射光（光ファイバから見た）
７  光ファイバ
８  光パワー測定器
１０、１４  Monitor
１１  ＬＤと光ファイバとの端面間距離
１２  ＬＤ１の発光面と光ファイバ光軸とのＺ方向距離
１３  光ファイバ端面と反射光の反映像センターとの距離
１５  光ファイバ光軸とLD端面とのＺ方向距離
１６  LD固定治具
１７  光ファイバ支持治具
１８  ６軸アライメントステージ
１９  光ファイバ軸と反射光中心との距離
【図１】
2005148466.tif 000003
【図２】
2005148466.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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