(57)【要約】  【課題】  サーミスタおよびその製造方法に関し、小型化・電気特性の多様化・高精度化に対応することができる。  【解決手段】  複数枚の内部電極１３を少なくとも一側面に露出させて並設してなるサーミスタ素体と、サーミスタ素体の一側面において内部電極１３の並び方向に並設され、内部電極１３と選択的に接続する一対の外部電極１４，１５とを備えたものである。【選択図】      図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数枚の内部電極を少なくとも一側面に露出させて並設してなるサーミスタ素体と、
前記サーミスタ素体の前記一側面において前記内部電極の並び方向に並設され、前記内部電極と選択的に接続する一対の外部電極と、を備えたことを特徴とするサーミスタ。
【請求項２】
前記サーミスタ素体の前記内部電極が露出した一側面の裏面に、外部電極が形成されている、ことを特徴とする請求項１に記載のサーミスタ。
【請求項３】
前記外部電極が、前記内部電極の並び方向複数箇所に分割されている、ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のサーミスタ。
【請求項４】
前記内部電極が、前記サーミスタ素体の二側面以上の側面に露出している、ことを特徴とする請求項１に記載のサーミスタ。
【請求項５】
前記内部電極が、同一平面内において複数個形成されている、ことを特徴とする請求項４に記載のサーミスタ。
【請求項６】
少なくとも一側端に達した内部電極を有した複数枚のセラミックグリーンシートを積層，圧着して積層体を得る工程と、
前記積層体を焼成し、少なくとも一側面に前記内部電極が露出したサーミスタ素体を得る工程と、
前記サーミスタ素体の前記一側面において前記内部電極の並び方向に並設し、かつ、当該並設方向寸法を調整して前記内部電極との接続枚数を所定の枚数とした一対の外部電極を形成する工程と、を含むサーミスタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、温度検知や温度補償用に使用されるサーミスタおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、温度補償や温度検知用にサーミスタが広く使用されており、その用途によって、小型化・電気特性の多様化・高精度化の要求が強くなってきている。
【０００３】
小型化においては、高密度実装するために、素子自身の小型化と、はんだ付け時のフィレットと称されるはんだの盛り上がり部分をなくすバンプ電極構造化が行われている。図１８ないし図２０に、バンプ構造の外部電極１０１を実現した従来のサーミスタ１００を示す。
【０００４】
また、電気特性の多様化に対応するため、図２１に示すように、バンプ構造であって、かつ、内部電極１０２の構成によって特性を変更できるサーミスタ１００も提案されている。このサーミスタ１００の場合、内部電極１０２と外部電極１０１は接続されておらず、内部電極１０２の面積、積み枚数、および上下の重なり部分の形状等が変化することによって、特性値が変化するものである。
【０００５】
このように、バンプ電極構造・内部電極化を実現することによって、小型化・電気特性の多様化に対応している。しかし、高精度化に対しては、特性値の狙い値ずれをロット間で制御するには限界があるため、狭偏差化対応する上において、良品率のばらつきが大きくなっている。
【０００６】
そこで、内部電極と接続する外部電極を任意の位置で切断し、外部電極に接続する内部電極の枚数を変えて抵抗値（特性値）を調整することにより、高精度化に対応したサーミスタが特許文献１に記載されている。
【特許文献１】特開平８−３３９９０５号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１に記載のサーミスタは、通常のはんだ付け等を前提とした構造となっており、バンプ接続を前提とした電極構成とはなっておらず、小型化が図れないという問題があった。
【０００８】
また、抵抗値の調整による高精度化についても、外部電極を切断して抵抗値を調整する面を実装面とした場合、外部電極を切断した箇所にはんだが付着することにより、ブリッジ等の不都合が発生し、抵抗値が変化し、高精度化に十分対応できないという問題があった。
【０００９】
また、下面を基板に実装した状態で、抵抗値を調整する面を、横向きあるいは上向きとして実装した場合、ごみ等の付着により抵抗値を調整する箇所に不都合が発生し、特性が劣化するという問題があった。
【００１０】
本発明は、小型化・電気特性の多様化・高精度化に対応したサーミスタおよびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明のサーミスタは、複数枚の内部電極を少なくとも一側面に露出させて並設してなるサーミスタ素体と、前記サーミスタ素体の前記一側面において前記内部電極の並び方向に並設され、前記内部電極と選択的に接続する一対の外部電極とを備えたものである。
【００１２】
本発明のサーミスタの製造方法は、少なくとも一側端に達した内部電極を有した複数枚のセラミックグリーンシートを積層，圧着して積層体を得る工程と、前記積層体を焼成し、少なくとも一側面に前記内部電極が露出したサーミスタ素体を得る工程と、前記サーミスタ素体の前記一側面において前記内部電極の並び方向に並設し、かつ、当該並設方向寸法を調整して前記内部電極との接続枚数を所定の枚数とした一対の外部電極を形成する工程とを含むものである。
【００１３】
本発明のサーミスタおよびその製造方法によると、サーミスタ素体の表面に外部電極を形成してなるバンプ電極構造としたことで小型化が図れ、かつ、内部電極化を実現化することによって電気特性の多様化に対応できる。さらに、外部電極と内部電極との接続枚数を変更することによって容易に抵抗値を調整することができ、高精度化に対応できる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明のサーミスタおよびその製造方法によれば、小型化・電気特性の多様化・高精度化に対応することができるという効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明の実施の態様を図１ないし図８に基づいて説明する。
【００１６】
図１はサーミスタ素体の分解斜視図、図２は内部電極を有したセラミックグリーンシートの平面図、図３はサーミスタ素体の斜視図、図４はサーミスタ素体の下面図、図５はサーミスタの斜視図、図６はサーミスタの下面図、図７はサーミスタの断面図、図８はサーミスタの作用説明図である。
【００１７】
本実施の態様のサーミスタの製造工程に沿って説明する。
【００１８】
まず、セラミック粉末を樹脂バインダーに分散してなるセラミックスラリーを作る。このセラミックスラリーをドクターブレード法等にてベースフィルム上に薄く塗布し、乾燥させてセラミックグリーンシートを作る。次に、このセラミックグリーンシート上に、必要に応じて導電ペーストを使用して内部電極パターンを印刷する。
【００１９】
ベースフィルムから剥離されたセラミックグリーンシートを順次積層圧着して未焼成の積層体を得る。本実施の態様の場合、図１に示すように、両端の各々２枚のセラミックグリーンシート１２ａ間に、内部電極１３を有した５枚のセラミックグリーンシート１２ｂが介装される。図２に、内部電極１３を有したセラミックグリーンシート１２ｂの平面図を示す。内部電極１３は、セラミックグリーンシート１２ｂの一側端のみに達するように形成されている。
【００２０】
次に、積層体を焼成してサーミスタ素体１１を得る。図３にサーミスタ素体１１の斜視図、図４にサーミスタ素体１１の下面図を示す。５枚のセラミックグリーンシート１２ｂに形成した各内部電極１３の端部が、サーミスタ素体１１の下面に並行に露出する。
【００２１】
そして、図５ないし図７に示すように、サーミスタ素体１１の内部電極１３が露出した面に、内部電極１３に対して直角に外部電極１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂを形成して、サーミスタ１０を製造する。すなわち、サーミスタ素体１１の下面における内部電極１３の並び方向両端に、第１外部電極１４ａ，１４ｂを形成し、各第１外部電極１４ａ，１４ｂの表面に第２外部電極１５ａ，１５ｂを形成する。
【００２２】
第１外部電極１４ａ，１４ｂは内部電極１３の露出端に接続され、第１外部電極１４ａ，１４ｂに接続される内部電極１３の本数を必要に応じて変えることにより、サーミスタ１０の抵抗値を調整することができる。本実施の態様の場合、第１外部電極１４ａは２枚の内部電極１３に接続され、第１外部電極１４ｂは１枚の内部電極１３に接続されている。
【００２３】
第２外部電極１５ａ，１５ｂは、サーミスタ１０を基板に実装するためのものであり、第１外部電極１４ａ，１４ｂの大きさに係らず所定の大きさに形成されている。
【００２４】
なお、第１外部電極１４ａ，１４ｂは、Ｎｉ，Ｃｒ，Ｃｕ，Ａｕ，Ａｇ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｓｎまたはこれらの合金からなる導電ペーストを、サーミスタ素体１１の表面に塗布し、焼付けて形成される。また、第２外部電極１５ａ，１５ｂは、Ａｕ，Ａｇ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｓｎまたはこれらの合金からなる導電ペーストを、第１外部電極１４ａ，１４ｂの表面に塗布し、焼付けて形成される。さらに、第１外部電極１４ａ，１４ｂならびに第２外部電極１５ａ，１５ｂは、同時に焼成してもよく、あるいは焼付け以外の方法で形成されたものでもよい。
【００２５】
このように構成されたサーミスタ１０およびその製造方法によると、バンプ電極構造・内部電極化を実現することによって、小型化・電気特性の多様化に対応することができる。
【００２６】
また、図８に示すように、第１外部電極１４ａ，１４ｂに接続される内部電極１３の本数を必要に応じて変えることにより、サーミスタ１０の抵抗値を調整することができる。すなわち、図８（ａ）に示すように、第１外部電極１４ａ，１４ｂがそれぞれ１枚ずつ内部電極１３に接続された場合と、図８（ｂ）に示すように、第１外部電極１４ａが２枚の内部電極１３に接続され、第１外部電極１４ｂが１枚の内部電極１３に接続された場合とを比較すると、図８（ｂ）に示すサーミスタ１０の方が、内部電極１３との接続枚数が多くなる分、抵抗値が小さくなり、容量が大きくなる。
【００２７】
以上の結果、製造ロット間で発生する特性値の狙いずれを、第１外部電極１４ａ，１４ｂと内部電極１３との接続枚数を変更することによって容易に調整することができ、狭偏差化に対応した良品率の改善が行え、高精度化に対応することができる。実際には、先行して製造したロットの特性値の結果を元にして、次のロットの内部電極と接続する外部電極の長さを決定する。
【００２８】
また、抵抗値を調整する際に、前記特許文献１では外部電極を切断するなどして余分な不使用箇所が発生するのに対し、本発明では、外部電極の長さを予め決定しておくことで、除去する外部電極がなく、無駄が発生せず、コストの低減が図れる。
【００２９】
さらに、外部電極を第１外部電極１４ａ，１４ｂと第２外部電極１５ａ，１５ｂの二層構造としたので、抵抗値の調整は第１外部電極１４ａ，１４ｂにて対応し、基板への接続は第２外部電極１５ａ，１５ｂにて行うので、第１外部電極１４ａ，１４ｂの大きさに係らず第２外部電極１５ａ，１５ｂは所定の大きさとなり、基板への接続が円滑に行える。
【００３０】
なお、外部電極は、一層構造としてもよい。
【００３１】
上記実施の態様では、片方の第１外部電極１４ａを調整する例を示したが、両第１外部電極１４ａ，１４ｂの長さを変えて抵抗値を調整するものであってもよい。
【００３２】
図９ないし図１１に内部電極１３を有したセラミックグリーンシート１２ｂの変形例を示す。なお、セラミックグリーンシート１２ｂは、これらの変形例に限るものではない。
【００３３】
図９のセラミックグリーンシート１２ｂは、対向する両端にそれぞれ達するように一対の内部電極１３ａを形成したものである。
【００３４】
図１０のセラミックグリーンシート１２ｂは、対向する両端に渡って内部電極１３ｂを形成したものである。
【００３５】
図１１のセラミックグリーンシート１２ｂは、四方の端面にそれぞれ達するように４つの内部電極１３ｃを形成したものである。
【００３６】
図１２ないし図１４は、図９に示したセラミックグリーンシート１２ｂを用いたサーミスタ１０の製造工程を示している。なお、その他の変形例についても同様に製造される。
【００３７】
図１２に示すように、セラミックグリーンシート１２ａ，１２ｂを順次積層し、圧着して未焼成の積層体を得る。次に、図１３に示すように、積層体を焼成してサーミスタ素体１１を得る。サーミスタ素体１１の上下面において、内部電極１３ａがそれぞれ並んで露出する。次に、図１４に示すように、サーミスタ素体１１の下面の両端に、外部電極１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂを形成し、サーミスタ１０が製造される。
【００３８】
このように、サーミスタ素体１１の上下面に内部電極１３ａが露出することで、外部電極１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂをサーミスタ素体１１の上面もしくは下面のいずれにも形成することができ、サーミスタ１０の製造段階での取り扱いが容易となる。図１１に示したセラミックグリーンシート１２ｂの場合、内部電極１３ｃがサーミスタ素体１１の四方に露出し、より製造段階での取り扱いが容易となる。
【００３９】
本発明の他の実施の態様を図１５ないし図１７に基づいて説明する。
【００４０】
図１５の実施の態様は、サーミスタ素体１１の内部電極１３の露出している面の裏面（上面）にも、第１外部電極１４ｃおよび第２外部電極１５ｃを形成したものである。
【００４１】
このように、第１外部電極１４ｃおよび第２外部電極１５ｃを形成したことで、抵抗値の狙い値の調整範囲を広げることができる。すなわち、内部電極１３と第１外部電極１４ｃの間隔をＫ１、内部電極１３どうしの間隔をＫ２とすると、Ｋ１＜Ｋ２となるように内部電極１３を形成した場合、破線にて示す通電ルート２０ができ、抵抗値を調整することができる。
【００４２】
なお、外部電極１４ｃ，１５ｃは、一層構造としてもよい。
【００４３】
図１６の実施の態様は、サーミスタ素体１１の内部電極１３の露出している面と反対側の面（上面）に、内部電極１３の並び方向に複数箇所に分割して第１外部電極１４ｄ，１４ｅ，１４ｆおよび第２外部電極１５ｄ，１５ｅ，１５ｆを形成したものである。
【００４４】
このように、複数箇所に分割して第１外部電極１４ｄ，１４ｅ，１４ｆおよび第２外部電極１５ｄ，１５ｅ，１５ｆを形成したことで、サーミスタ１０の第２外部電極１５ａ，１５ｂをランドを介して基板に実装する代わりに、ユーザが選択的に第２外部電極１５ｄ，１５ｅ，１５ｆを使用して、ワイヤーボンディング等にて基板に接続することで、抵抗値を調整できる。
【００４５】
なお、内部電極１３の露出面に形成する外部電極を、内部電極１３の並び方向複数箇所に分割したものでもよい。
【００４６】
図１７の実施の態様は、図１５のサーミスタ１０において、外部電極１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂが存在しない内部電極１３が露出した部分に、絶縁性樹脂１６を充填したものである。
【００４７】
このように、露出した内部電極１３を絶縁性樹脂１６にて覆ったので、内部電極１３の露出部分から水分が浸入し、セラミックグリーンシートや内部電極１３が劣化するのを防止でき、耐環境特性の保護が行える。
【００４８】
なお、図１２ないし図１４に示した実施例のように、サーミスタ素体１１の複数表面に内部電極１３ａが露出する場合、外部電極１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂが形成されない上面に絶縁性樹脂１６を設けて、露出した内部電極１３ａを覆うようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４９】
本発明のサーミスタおよびその製造方法は、内部電極を施したセラミックグリーンシートを積層してなるサーミスタ素体に、抵抗値を調整して外部電極を形成してなるサーミスタおよびその製造方法として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の実施の形態におけるサーミスタ素体の分解斜視図
【図２】本発明の実施の形態における内部電極を有したセラミックグリーンシートの平面図
【図３】本発明の実施の形態におけるサーミスタ素体の斜視図
【図４】本発明の実施の形態におけるサーミスタ素体の下面図
【図５】本発明の実施の形態におけるサーミスタの斜視図
【図６】本発明の実施の形態におけるサーミスタの下面図
【図７】本発明の実施の形態におけるサーミスタの断面図
【図８】本発明の実施の形態におけるサーミスタの作用説明図
【図９】本発明の変形例における内部電極を有したセラミックグリーンシートの正面図
【図１０】本発明の他の変形例における内部電極を有したセラミックグリーンシートの正面図
【図１１】本発明のさらに他の変形例における内部電極を有したセラミックグリーンシートの正面図
【図１２】本発明の変形例におけるサーミスタのサーミスタ素体を構成するセラミックグリーンシートの斜視図
【図１３】本発明の変形例におけるサーミスタ素体の斜視図
【図１４】本発明の変形例におけるサーミスタの斜視図
【図１５】本発明の他の実施の形態におけるサーミスタの断面図
【図１６】本発明のさらに他の実施の形態におけるサーミスタの断面図
【図１７】本発明のさらに他の実施の形態におけるサーミスタの断面図
【図１８】従来例におけるサーミスタの斜視図
【図１９】従来例におけるサーミスタの側断面図
【図２０】従来例におけるサーミスタの下面図
【図２１】他の従来例におけるサーミスタの側断面図
【符号の説明】
【００５１】
１０  サーミスタ
１１  サーミスタ素体
１２ａ，１２ｂ  セラミックグリーンシート
１３，１３ａ，１３ｂ，１３ｃ  内部電極
１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ，１４ｅ，１４ｆ  第１外部電極
１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄ，１５ｅ，１５ｆ  第２外部電極
【図１】
2005183675.tif 000003
【図２】
2005183675.tif 000004
【図３】
2005183675.tif 000005
【図４】
2005183675.tif 000006
【図５】
2005183675.tif 000007
【図６】
2005183675.tif 000008
【図７】
2005183675.tif 000009
【図８】
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【図９】
2005183675.tif 000011
【図１０】
2005183675.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
2005183675.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
2005183675.tif 000017
【図１６】
2005183675.tif 000018
【図１７】
2005183675.tif 000019
【図１８】
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【図１９】
2005183675.tif 000021
【図２０】
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【図２１】
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