(57)【要約】【課題】中空球体と結合材料の混合物からなる整合部材において、帯電性を低減させた中空球体を偏在なく均一に充填させ、整合部材内の密度分布の均一性向上を図ったものである。【解決手段】台座３に整合部材作成治具５を設けると共に、この整合部材作成治具５には帯電性を低減させた中空球体１１を収納した収納体４を装着し、この状態で台座３を受台１０に落下衝突させてこのとき生じる振動によって中空球体１１の充填度を高める。この後、結合材料１３を混入して硬化させる。これによって、収納体４中の中空球体１１は偏在することなく充填されているので整合部材１８の密度は均一なのものになり、これを音響整合層１９として超音波センサに用いればその性能向上が図れる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯電性を低減させた中空球体を収納体に収納するとともに、加振して充填し、次いで、結合材料を混合させることで前記中空球体を結合材料で包囲することを特徴とする整合部材の製造方法。
【請求項２】
導電性を有する容器内に中空球体を所定時間放置した後に収納体内部に充填するようにした請求項１記載の整合部材の製造方法。
【請求項３】
中空球体に帯電防止剤を塗布した後に収納体内部に充填するようにした請求項１記載の整合部材の製造方法。
【請求項４】
台座で支持された整合部材作成治具に収納体を設け、加振装置を介して前記整合部材作成治具に振動を付与することで中空球体を収納体に充填するようにし、かつ前記台座と整合部材作成治具および前記収納体は電気的に接続するとともに、前記加振装置は接地した請求項１記載の整合部材の製造方法。
【請求項５】
整合部材作成治具に複数の収納体を配置した請求項４記載の整合部材の製造方法。
【請求項６】
結合材料は熱硬化性樹脂化合物である請求項１記載の整合部材の製造方法。
【請求項７】
中空球体に結合材料を混合させた後、この混合物を硬化させるようにした請求項１または６記載の整合部材の製造方法。
【請求項８】
中空球体はガラス組成を含むものである請求項１記載の整合部材の製造方法。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項記載の整合部材の製造方法で作成した整合部材を音響整合層として備えた超音波センサ。
【請求項１０】
天部と側壁部を有する筒状ケースと、前記天部の内壁面に固定された圧電体と、前記天部外壁面に接着層を介して設置された音響整合層からなる請求項９記載の超音波センサ。
【請求項１１】
請求項９または１０記載の超音波センサを流体の流れ方向に少なくとも一対配置し、前記超音波センサ間の超音波伝搬時間にもとづき流体の速度を検知するようにした流体の流れ測定装置。
【請求項１２】
請求項１０または１１記載の超音波センサを流体の流れ方向に少なくとも一対配置し、前記超音波センサ間の超音波伝搬時間により求めた流体の速度にもとづき流量を測定するようにした流体の流れ測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、整合部材の製造方法およびそれを音響整合層に用いた超音波センサ、並びに、この超音波センサを利用した気体や液体の流体の流れ測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、超音波センサの音響整合層などに用いられる整合部材の製造方法は、例えば、図７（ａ）に示すように中空球体２９と樹脂３０の混合物からなる整合部材３１と筒状部材からなる負荷ケース３２とを一対成型し、次いで、図７（ｂ）のように圧電体の共振周波数の１／４波長に相当する厚みにカットして音響整合層３３としていた。
【０００３】
音響整合層３３は、図７（ｃ）に示すように、圧電振動子３４に載置して超音波振動子としていた（特許文献１参照）。
【０００４】
また、ガラスバルーンと樹脂の混合体による整合部材については、圧電体からの発生する超音波の波長よりも小さい粒径の気泡を樹脂に形成するものが開示されていた（特許文献２参照）。
【特許文献１】特公平６−１０１８８０号公報
【特許文献２】特開平１１−２１５５９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、この従来の製造方法では、中空球体の投入時にこれら中空球体同士が凝集してしまい、整合部材内での分散が不均一になる課題があった。これは、中空球体を所定期間保存していると中空球体同士間の摩擦や、静電気を帯びやすい容器からの影響により中空球体が帯電状態になるためで、中空球体を投入したときに均一に分散されなくなる。
【０００６】
そのため、図７（ｂ）のように筒状部材を所定の厚みにカットした音響整合層群はそれぞれ１枚ごと中空球体と樹脂の比率が異なるために密度が不均一な音響整合層が作成されてしまう課題があった。
【０００７】
また、超音波の波長よりも小さい粒径の気泡を樹脂に混入することは、非常に困難であり、混入する気泡の大きさを制御することができない。
【０００８】
さらに、樹脂中に気泡を混入することで作成された音響整合層の密度は作成数ごとに異なり、一定の音響インピーダンスを得ることができない。
【０００９】
本発明は、前記従来の課題を解決するもので、密度のばらつきを低減した整合部材の製造が可能であり、またこの整合部材を音響整合層に用いた超音波センサ並びに同超音波センサを搭載した流れ測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記目的を達成するために本発明は、加振することにより収納体内部に帯電性を低減させた中空球体を充填し、次いで結合材料を混合させることで、前記中空球体を結合材料で包囲するようにしたもので、収納体に中空球体が均等に充填されることとなり、密度を均一とすることができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の整合部材の製造方法によれば、中空球体の充填が確実、且つ均一になされ、安定した密度とすることができるものであり、この整合部材を音響整合層として用いた超音波センサの性能、ひいては、この超音波センサを搭載した流体の流れ測定装置としても著しくその精度を高めることができるものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
第１の発明は、帯電性を低減させた中空球体を収納体に収納するとともに、加振して充填し、次いで、結合材料を混合させることで前記中空球体を結合材料で包囲するようにしたものである。
【００１３】
中空球体の帯電性が低減されているために、中空球体同士が凝集や反発しながら収納体に充填されないので収納体に中空球体が偏在することがなく、整合部材の密度をどの部分でも均一にできる。
【００１４】
第２の発明は、導電性を有する容器内に中空球体を所定時間放置した後に収納体内部に充填するようにしたものである。
【００１５】
放置中に中空球体が導電性容器に接触して除電されるために帯電性が低減し、中空球体同士の凝集が発生しない本来の高い流動性に戻すことができ、これにより、収納体に均等に分散させながら充填することができる。
【００１６】
第３の発明は、中空球体に帯電防止剤を塗布した後に収納体内部に充填するようにしたものである。
【００１７】
このように、中空球体表面に帯電防止剤を塗布しているので、中空球体同士の摩擦による表面帯電性を低減させることができ、中空球体同士の凝集が発生しない。そのため、収納体に均等に分散させながら充填することができる。
【００１８】
第４の発明は、台座で支持された整合部材作成治具に収納体を設け、加振装置を介して前記整合部材作成治具に振動を付与することで中空球体を収納体に充填するようにし、かつ前記台座と整合部材作成治具および前記収納体は電気的に接続するとともに、前記加振装置は接地したものである。
【００１９】
このように、収納体に振動を付与することで同収納体に充填される中空球体は隙間なく積み上げられ、さらに中空球体が充填される収納体は電気的に接地されているので、収納体中の中空球体も凝集することがない。そのために収納体中に中空球体が偏在することなく均一に分散させることができる。
【００２０】
第５の発明は、整合部材作成治具に複数の収納体を配置したもので、一度に多くの整合部材を作成でき、合理的である。
【００２１】
第６の発明は、結合材料を熱硬化性樹脂化合物としたもので、中空球体と混合しやすく且つ、混合後の加熱により硬化するので、中空球体表面に密着して硬化されて整合部材を作成することができる。
【００２２】
第７の発明は、中空球体に結合材料を混合させた後、この混合物を硬化させるようにしたもので、混合物を取り出さずに混合物を内包した収納体ごと加熱できるので、所定容積の整合部材を作成でき、また、加熱硬化後であるので、収納体から容易に整合部材を取り出すことができる。
【００２３】
第８の発明は、中空球体はガラス組成を含むもので、中空状態を保持したまま結合材料との混合による整合部材を作成することができるので、整合層周囲温度が変化しても整合層内の中空球体の中空状態は保持され、整合層密度の安定化に寄与することができる。
【００２４】
第９の発明は、前記方法で作成した整合部材を超音波センサの音響整合層として用いたもので、個々の超音波センサ間の特性ばらつきを抑えることができる。
【００２５】
第１０の発明は、天部と側壁部を有する筒状ケースと、前記天部の内壁面に固定された圧電体と、前記天部外壁面に接着層を介して設置された整合層から超音波センサを構成した。
【００２６】
こうすることにより、圧電体からの振動を整合層が効率よく気体中に音波として伝搬させることができる。
【００２７】
第１１の発明は、前記の超音波センサを流体の流れ方向に少なくとも一対配置し、前記超音波センサ間の超音波伝搬時間にもとづき流体の速度を検知するようにした。
【００２８】
また、第１２の発明は、前記求めた流体の速度を基に流量を演算するようにしたものである。
【００２９】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、この実施の形態によって本発明が限定されるものではない。
【００３０】
（実施の形態１）
図１において、矩形の基盤１の四隅より立設した４本のガイド柱２は台座３を上下動自在に支持している。
【００３１】
前記台座３には収納体４をもつ整合部材作成治具５が取着されており、さらにこの収納体４には円形の収納室６が形成されている。
【００３２】
前記台座３はロック装置７を介してガイド柱２の所定高さ位置にロックされている。可撓性チューブ８を経由して圧縮空気を送ると前記ロック装置７が解除され、自重などで落下するようにしてある。圧縮空気の流動を制御し、ロック装置７を操作するのがスイッチ９である。台座３の落下位置には基盤１に固定された受台１０がある。
【００３３】
図２も参照して整合部材の製造工程を説明する。
【００３４】
収納体４の収納室６にはガラスの中空球体１１が収納してある。中空球体１１はそれぞれ１０〜１００ｕｍの粒径を有し、平均粒径は約６０ｕｍである。真密度は約０．１４から０．１８ｇ／ｃｍ３である。
【００３５】
ガラスからなる中空球体１１は、他の充填剤と比較して比重が軽く、耐熱性、耐衝撃性を有し、充填材として使用したときの寸法安定性、成型性などの物性を改良できる。
【００３６】
使用したガラスの組成はホウケイ酸系ガラスである。このガラスよりなる中空球体１１は、酸化珪素、硼酸、炭酸カルシウム、炭酸ナトリウム、硫酸ナトリウム等の原料を１０００℃以上の高温で溶融して硫黄分を多含するガラスを形成させた後、ガラスを粉砕後、このガラス微粉末を火炎中に分散、滞留させることにより、硫黄分を発泡剤成分として発泡させて作成している。
【００３７】
前記中空球体１１を収納体４の収納室６に少量づつ投入し、その都度、収納体４を取着した整合部材作成治具５の台座３を受け台１０に落下させる。その結果、落下衝撃振動により中空球体１１が収納室６に充填される仕組みである。この工程を数回〜数十回繰り返しながら、収納室６に中空球体１１を満たしていく。
【００３８】
ここで、ガラスからなる中空球体１１はその外部壁面が表面改質材の被覆層を形成しているので、その流動性は高い。
【００３９】
このように中空球体１１を充填した収納体４の収納室６には図２（ａ）に示すように上下フィルター１２を設置した後、図２（ｂ）で示すように結合材料１３を供給して含浸させる。
【００４０】
ここで、結合材料１３としては熱硬化性樹脂化合物であるエポキシ樹脂を用いた。
【００４１】
エポキシ樹脂は硬化後の樹脂の形状変化が小さく、長期安定性に優れているためであり、何より、中空球体１１表面との親和性が高いので、同中空球体１１と結合力が安定的に向上する。
【００４２】
使用したエポキシ樹脂は、２液硬化型のエポキシ樹脂である。主剤はビスフェノールＡ型液状エポキシ樹脂であり、硬化剤は、テトラヒドロメチル無水フタル酸である。主剤と硬化剤を最適混合比率で混合してエポキシ樹脂として用いた。比重は約１．０〜１．２ｇ／ｃｍ３である。しかし、ここでは特に２液硬化型のエポキシ樹脂にこだわるものではなく、目的が達せられれば１液硬化型のエポキシ樹脂を用いても差し支えない。
【００４３】
結合材料１３を含浸させるために、吸引口１４を設けた吸引用治具１５を設置する。図２（ｂ）では吸引用治具１５の吸引口１４は１つしか設けられていないが、吸引口１４は１つに限らず複数口を設けても差し支えない。
【００４４】
収納体４の収納室６に中空球体１１を充填した整合部材作成治具５をエポキシ樹脂からなる結合材料１３でみたした容器１６内に設置する。収納室６の下側に設置するフィルター１２はその中の中空球体１１が漏れないようにするためであり、上側に設けるフィルター１２は結合材料１３を吸引したとき、中空球体１１を一緒に吸引しないためである。ここではフィルター１２にろ紙を用いた。なお、先に述べたフィルター１２の目的を達成していれば材質にはこだわらない。
【００４５】
そして、図２（ｂ）に示すように吸引用治具１５の吸引口１４から容器１６内の結合材料１３を真空ポンプ１７により吸引する。このように、低圧雰囲気下にすることにより、中空球体１１間に存在した空隙の気泡が抜け去り、変わって結合材料１３がその間を埋めていく。これにより、収納室６内の中空球体１１周囲に結合材料１３が塗布される状態になる。
【００４６】
なお、結合材料１３を吸引するときには、雰囲気や整合層作成治具治具５を結合材料１３が硬化しない温度、且つ結合材料１３の粘度が低くなる温度にしておくことが望ましく結合材料１３の吸引を効率よく実施することができる。
【００４７】
結合材料１３としてエポキシ樹脂を使用した場合、その硬化条件は、室温から昇温させて８０℃×２ｈ後、１２０℃×２ｈを経て１５０℃×１ｈの硬化プロファイルを実施するので、エポキシ樹脂のゲル化温度より低い温度の６０℃中で吸引した。
【００４８】
このように中空球体１１が充填された収納室６内に結合材料１３を含浸させた後、図２（ｃ）のごとく中空球体１１と結合材料１３の混合物を含む収納体４を取り出したあと、この収納体４ごと加熱して、結合材料１３を加熱硬化させる。
【００４９】
この硬化した混合物を室温まで冷却し、図２（ｄ）のごとく棒状治具等を用いて収納体４より取り出して、整合部材１８を得る。
【００５０】
図２に示す収納体４の収納室６は１個しか存在しないが、図３に示すように多数個の収納室６を設ければ、一度に多数個の整合部材１７をとりだすことができる。
【００５１】
次に、図２（ｅ）に示すように、この整合部材１８をダイシング装置などにより所定厚みに切断して目的の音響整合層１９を得る。
【００５２】
本実施の形態において、収納体４の収納室６に充填する中空球体１１は、充填工程前までに金属容器内に放置して、その中から充填する分量を金属容器から取り出した。
【００５３】
通常、中空球体１１は段ボール内のビニール袋または、所定容器内に入れられて大量
（最低約１ｋｇ以上）で製造メーカーから送付されてくる。その中から所定期間中に整合部材を製造する分量をあらかじめ小分けして容器内に保存しておく。
【００５４】
本実施形態の場合、中空球体１１は、メーカ−から送付されてきた分量から約１００ｇを所定容器内に取り分け、それを恒温層にて約１００℃で１時間乾燥した後、金属容器内に入れた。金属容器材質は、ＳＵＳ３１６である。
【００５５】
本実施形態の方法で製造した日毎の音響整合層１９の平均密度変化と、取り分けた中空球体１１を樹脂容器に保存した場合の日毎の音響整合層１９の平均密度変化を比較した。樹脂容器材質は、ポリプロピレンである。
【００５６】
なお、製造方法は図１（ａ）に示す治具を用い、台座３を高さ７０ｍｍから落下させて、中空球体１１を収納体４の収納室６に充填した。収納室６の数は１７個で、各収納室６の内径は約１０ｍｍ、長さは約５０ｍｍであった。この治具で一回に使用する中空球体１１は、約９．５ｇである。一回の小分けする量は約１００ｇであるので、この小分け量を使い切るのに、約１０ロット製造することになる。今回は１日に１ロットの割合で整合部材を製造した。使用した中空球体１１は、ガラス中空球体である。
【００５７】
平均密度変化の測定結果を図４に示す。図４に示すように、保管容器の材質により、日毎に製造する整合部材の平均密度が大きく異なる。小分けして樹脂容器に保管した中空球体１１を使用した整合部材の平均密度は、日毎に製造する密度が増加するのに対して、ＳＵＳ容器に保管した中空球体１１で製造した整合部材の平均密度は安定する。
【００５８】
もちろん、整合部材から切断されて抽出される整合層の平均密度についても図４と同じ結果になった。
【００５９】
さらに、保管容器内にある中空球体１１を静電気テスターにてその静電気量を測定した。製造ロットごとに使用するごとに保管容器内に中空球体１１の静電気量を測定比較した。
【００６０】
静電気量の測定には、３Ｍ製のＳｔａｔｉｃ  Ｓｅｎｃｏｒ（品番７０９）を用いた。
その結果を図５に示す。
【００６１】
図５に示すように、ポリプロピレン容器に保管した中空球体１１の静電気量は、ＳＵＳ容器に保管した静電気量と比較して約１０倍から約１００倍近くまで大きいことが判明した。
【００６２】
以上の結果から、樹脂容器に保管した中空球体は帯電性が大きくなる。これは、樹脂容器の表面固有抵抗が著しく高い（約１０１６Ω以上）ために、樹脂容器内に保管した中空球体に影響を与えて中空球体同士が凝集或いは反発しあった状態（極微小隙間が生じた状態）にあると考えられる。この状態の中空球体を収納室６に充填すると、収納室６内を微視的に捉えると、中空球体１１が凝集した部分と反対に中空球体１１の存在が粗な箇所が出来てしまう。そのため、中空球体１１が粗の部分は結合材料１３が占める割合が大きくなる。
【００６３】
中空球体１１と比較して結合材料１３の比重は約１０倍程度大きい。このため、収納室６内に中空球体１１が均等に充填される場合と比較して、収納室６内に結合材料１３が占める割合が大きくなるために、中空球体１１と結合材料１３の混合物である整合部材１８の密度は大きくなってしまう。
【００６４】
さらに、この整合部材１８から所定の厚みでもって得られる各々の音響整合層１９は、結合材料１３の占める割合が多い場合や、少ない場合など、それぞれで整合層の組成成分割合が異なる場合が考えられる。このため、各音響整合層１９の密度のばらつきが大きくなったり、しいては、超音波センサとして組み込んだときの特性ばらつきに影響を与えてしまう。
【００６５】
本実施の形態の音響整合層は、中空球体１１と結合材料１３の配合割合が一定なために、密度が安定する。しかも、製造ロットごとの整合層密度も安定する。
【００６６】
これは、中空球体１１が除電されているために、帯電性の影響が低減されているので、充填時に中空球体１１の本来保持している高い流動性を損なわないために、収納室６に均等に積み上げられて充填される。このように、本製造方法により密度の安定した音響整合層を製造することができる。
【００６７】
なお、今回小分けして保存した金属容器としてＳＵＳ容器を用いたが、中空球体１１を除電する効果がある導電性を有する容器であれば、材質にはこだわらない。例えば、カーボン繊維等を配合して静電気防止加工を施した樹脂製容器や樹脂製袋、また、帯電防止加工を施して表面固有抵抗値を低減させた樹脂製容器や樹脂製袋でもかまわない。さらに、容器の下に静電マットを敷いて除電効果を得ることも本発明の目的達成の妨げにはならない。
【００６８】
また、中空球体１１を収納体４の収納室６に充填する前に、帯電防止剤を塗布して中空球体間の摩擦により発生する静電気により、中空球体１１の凝集や反発を防止することも可能である。
【００６９】
収納体４に充填する前に、エチルアルコールとカチオン界面活性剤の混合物をスプレーにて中空球体１１に塗布した場合でも、中空球体１１の凝集が低減され中空球体１１の流動性が向上し、この中空球体１１で製造した整合部材１８から取り出した音響整合層１９の密度は製造ロットが異なっても、製造ロットが異なる整合部材１８のどこから採取しても密度範囲は０．５０から０．５３を示し、密度範囲が安定な音響整合層１９を得ることが出来る。
【００７０】
また、収納体４を含む整合部材作成治具５を振動させる加振装置は、接地することにより収納室６に充填する中空球体１１も除電することができ、加振充填工程中でも中空球体１１間の凝集や反発を防止することができ、収納室６に均等に隙間なく充填することに大きく寄与する。このことから、加振装置は電気的導電体で作成されていることが望ましい。
【００７１】
接地する箇所は、収納体４と整合部材作成治具が電気的導電体であれば、加振装置の基盤１や台座３からリード線を取り出して接地することによりアース電位にすることができる。このことにより、加振装置自体も帯電性を低減できるので収納体４に中空球体１１が均等に分散充填され、密度安定な音響整合層１９を得る事ができる。
【００７２】
なお、本実施の形態１の加振装置は図１に示すような中空球体１１を充填する収納体４を含む整合部材作成治具５を台座３に積載して台座３ごと所定高さから落下させ、受台１０に当ててその衝撃加速度により中空球体１１を充填する方法であったが、中空球体１１を充填する方法はこの方法に固執するものではない。
【００７３】
例えば、収納体４を所定周波数と所定振幅により縦振動やまた横振動を付与する振動装置より充填する方法でも帯電性が低減された中空球体１１は均等に充填される。
【００７４】
（実施の形態２）
図６は、上記実施の形態１により得た音響整合層１９を使用した超音波センサを示す。
【００７５】
導電性材料製の筒状のケース２０には天部２１があり、その天部２１の内壁面に圧電体２２が、外壁面に音響整合層１９がそれぞれ接着されている。筒状ケース２０の下方開放部は一方の端子２３を接続した端子板２４で閉塞されている。
【００７６】
他方の端子２５は電気絶縁材料２６を介して端子板２４を貫通し、圧電体２２の下面に接触する導電体２７に接続されている。圧電体２２には複数の縦溝２８が形成してある。
【００７７】
端子２３、２５から導電体２７を介して圧電体２２に電圧が加わると、この圧電体２２は圧電現象により振動する。
【００７８】
図６の圧電体２２は約５００ＫＨｚで振動し、その振動はケース２０から音響整合層１９に伝わり、この音響整合層１９の振動が気体に音波として伝搬する。
【００７９】
従来による製造方法で作成した音響整合層は、その中の中空球体の分散が一定でないので、圧電体からケースを介して伝搬される振動の波長が音響整合層内部でずれるので、測定流体中での振動波の強め合いが弱まり、超音波センサとしての送受信感度が低下してしまう。
【００８０】
これに対して、本実施形態の音響整合層１９は、その内部の中空球体が均一に分散されて密度が安定なため、振動の波長が同音響整合層内部で位相をずらせることがないので、測定流体中に振動波を安定的に発振させることができ、超音波センサの送受信感度特性を低下させることなく維持することができる。
【００８１】
さらに前記超音波センサは、流体の流れ測定装置に用いられる。すなわち、流路の流体流れ方向上流側と下流側に少なくとも一対の超音波センサを配置し、一方の超音波センサから送信された超音波が他方の超音波センサに受信されるまでの時間、すなわち超音波伝搬時間を検知して、それから流体の流速を測定できるようにすることができる。
【００８２】
また、前記流速に基づき流路の断面積などの要素を絡めて演算することで流量の測定も可能である。そして、先述したように、超音波センサが高性能であるために、流速およびまたは流量の計測が高精度に行えるものである。
【産業上の利用可能性】
【００８３】
以上のように、本発明にかかる整合部材の製造方法および同整合部材を音響整合層として用いた超音波センサ並びにこの超音波センサを用いた流体の流れ測定装置は、整合部材および音響整合層を均一密度で製造することができ、この音響整合層を用いた超音波センサの性能を向上し、さらには、この超音波センサを搭載した流体の流れ測定装置としても著しくその精度を高めることが可能となるので、気体や液体の流体流れ測定装置等の用途に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００８４】
【図１】（ａ）本発明の実施の形態１におけ整合部材製造装置の非動作時の正面図、（ｂ）中空球体を充填するための収納体の上面図、（ｃ）本発明の実施の形態１における整合部材製造装置の動作時の正面図
【図２】製造工程図
【図３】（ａ）本発明の他の実施の形態を示す整合部材作成治具の斜視図、（ｂ）同収納体の斜視図
【図４】整合部材の密度変化を示すグラフ
【図５】中空球体の静電気量比較を示すグラフ
【図６】本発明整合層を用いた超音波センサの断面図
【図７】従来の整合部材の製造工程図
【符号の説明】
【００８５】
３  台座
４  収納体
５  整合部材作成治具
６  収納室
１０  受台
１１  中空球体
１３  結合材料
１９  音響整合層
２０  状ケース
２１  天部
２２  圧電体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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