(57)【要約】【課題】  半導体ウェハーや平板ディスプレイを運送及び／または収納するためのカセットのスロットにウェハーまたは平板ディスプレイが挿入されているかどうかを検査してその情報を得るためのマッピング装置及びその制御装置を提供する。【解決手段】  板状体が挿入される複数のスロットが設けられ、前記複数のスロットの内部に入射するビームを反射させるための反射体を備えるカセットと、発光部と受光部を備え、前記発光部から前記照射されたビームが前記反射体により反射されて前記受光部に受信されるかどうかを検出することにより、前記複数のスロットの各々に対する板状体の挿入有無を判別するセンサーとを含む。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状体が挿入される複数のスロットが設けられ、前記複数のスロットの内部に入射するビームを反射させるための反射体を備えるカセットと、
発光部と受光部を備え、前記発光部から前記照射されたビームが前記反射体により反射されて前記受光部に受信されるかどうかを検出することにより、前記複数のスロットの各々に対する板状体の挿入有無を判別するセンサーとを含むマッピング装置。
【請求項２】
前記発光部から照射されたビームが前記反射体により反射されて前記受光部に受信できるように前記反射体の角度及び／または受光部の位置が決められる請求項１に記載のマッピング装置。
【請求項３】
前記発光部から照射されたビームが前記カセットに挿入されている板状体により反射されるとき、前記反射されたビームが前記受光部に受信されないように前記発光部のビームの照射角度及び／または受光部の位置が決められる請求項１に記載のマッピング装置。
【請求項４】
板状体が挿入できるように前記複数のスロットが並ぶように設けられ、
前記少なくとも一つの反射体が前記複数のスロットの端のうち少なくともいずれか一つに設けられる請求項１に記載のマッピング装置。
【請求項５】
前記複数のスロットの各々には円形の板状体が挿入できるように入口が形成され、
前記少なくとも一つの反射体が前記カセットにおける前記複数のスロットの入口の反対側に、前記スロットの中央からずらされて設けられる請求項１に記載のマッピング装置。
【請求項６】
前記少なくとも一つの反射体は、前記カセットの側面に対して鋭角をなすように設けられる請求項１に記載のマッピング装置。
【請求項７】
前記スロットの背面内部の上面に背面反射体がさらに設けられる請求項４に記載のマッピング装置。
【請求項８】
前記センサー部の照射位置は、前記スロットの中央からずらされる請求項７に記載のマッピング装置。
【請求項９】
板状体が挿入可能な厚さと幅を有する複数のスロットが並ぶように設けられ、前記複数のスロットの各々の内部に入射するビームを反射させるための反射体を備えるカセットと、
前記ビームを照射する発光部と前記反射体により反射されるビームを受信する受光部と、を含み、
前記複数のスロットの厚さ方向に沿って移動しつつビームを照射し、前記照射されたビームが前記反射体により反射されて前記受光部に受信されるかどうかを検出することにより、前記複数のスロットの各々に対する板状体の挿入有無を判別するセンサーと、を含むマッピング装置。
【請求項１０】
前記発光部から照射されたビームが前記反射体により反射されて前記受光部に受信できるように前記反射体の角度及び／または受光部の位置が決められる請求項９に記載のマッピング装置。
【請求項１１】
前記発光部から照射されたビームが前記カセットに挿入されている板状体により反射されるとき、前記反射されたビームが前記受光部に受信されないように前記発光部のビームの照射角度及び／または受光部の位置が決められる請求項９に記載のマッピング装置。
【請求項１２】
前記少なくとも一つの反射体が前記複数のスロットの端のうち少なくともいずれか一つに設けられる請求項９に記載のマッピング装置。
【請求項１３】
前記複数のスロットの各々には板状体が挿入可能な入口が形成され、
前記少なくとも一つの反射体が前記カセットにおける前記複数のスロットの入口の反対側に、前記スロットの中央からずらされて設けられる請求項６に記載のマッピング装置。
【請求項１４】
平板ディスプレイが挿入可能な厚さと幅を有する複数のスロットが並ぶように設けられ、前記複数のスロットの各々の内部に入射するビームを反射させるための反射体を備えるカセットと、
前記レーザビームを照射するレーザ発生部と前記反射体により反射されるレーザビームを受信する受光部を含み、
前記複数のスロットの厚さ方向に沿って移動しつつ前記レーザビームを照射し、前記照射されたレーザーが前記反射体により反射されて前記受光部に受信されるかどうかを検出することにより、前記複数のスロットの各々に対する平板ディスプレイの挿入有無を判別するセンサーとを含む平板ディスプレイのマッピング装置。
【請求項１５】
前記平板ディスプレイがＬＣＤガラスを含む請求項１４に記載の平板ディスプレイのマッピング装置。
【請求項１６】
前記発光部から照射されたビームが前記反射体により反射されて前記受光部に受信できるように前記反射体の角度及び／または受光部の位置が決められる請求項１４に記載の平板ディスプレイマッピング装置。
【請求項１７】
前記発光部から照射されたビームが前記カセットに挿入されている複数の板状体のうちいずれか一つにより反射されるとき、前記反射されたビームが前記受光部に受信されないように前記発光部のビームの照射角度及び／または受光部の位置が決められる請求項１４に記載の平板ディスプレイのマッピング装置。
【請求項１８】
前記少なくとも一つの反射体が前記複数のスロットの端のうち少なくともいずれか一つに設けられる請求項１４に記載の平板ディスプレイのマッピング装置。
【請求項１９】
前記複数のスロットの各々には板状体が挿入可能な入口が形成され、
前記少なくとも一つの反射体が、前記カセットにおける前記複数のスロットの入口の反対側に、前記スロットの中央からずらされて設けられる請求項１４に記載の平板ディスプレイのマッピング装置。
【請求項２０】
板状体が挿入可能な厚さと幅を有する複数のスロットが並ぶように設けられ、前記複数のスロットの内部に入射するビームを反射させるように前記複数のスロットに沿って長く設けられる少なくとも一つの反射体を備えるカセットと、
前記ビームを照射する発光部と、前記反射体により反射されるビームを受信する受光部とよりなるセンサーと、
前記反射体の長手方向を移動軸として前記センサーを移動させつつ前記ビームを照射し、前記少なくとも一つの反射体により反射されたビームが前記受光部に受信されることによる電気的な特性の変化を検出し、前記電気的な特性の変化が検出された時点における前記センサーの位置から、前記カセットにおける少なくとも一つの板状体の挿入スロットの位置情報を得る制御部とを含むマッピング装置。
【請求項２１】
前記スロットの開始位置と前記スロット間のピッチは、前記スロットの位置情報を反映して算出する請求項２０に記載のマッピング装置。
【請求項２２】
板状体が挿入可能な厚さと幅を有する複数のスロットが並ぶように設けられ、前記複数のスロットの内部に入射するビームを反射させるように前記複数のスロットに沿って長く設けられる反射体を備えるカセットと、
前記ビームを照射する発光部と前記少なくとも一つの反射体により反射されるビームを受信する受光部よりなるセンサーと、を含むマッピング装置の制御装置において、
前記反射体の長手方向を移動軸として前記センサーを移動させつつ前記ビームを照射し、前記照射されたビームが前記少なくとも一つの反射体により反射されて前記受光部に受信されることにより、前記センサーにおける電気的な特性の変化を検出し、前記電気的な特性変化の検出時点における前記センサーの位置から、前記カセットにおける板状体の挿入スロットの位置情報を得るマッピング装置の制御装置。
【請求項２３】
前記スロットの開始位置と前記スロット間のピッチは、前記スロットの位置情報を反映して算出する請求項２２に記載のマッピング装置。
【請求項２４】
受信部は、板状体が挿入される複数のスロットと、前記複数のスロットの側面に設けられ、前記スロットを介して照射されたレーザビームを反射させる少なくとも一つの反射体とを備え、
センサー部は、前記スロットからレーザビームを照射する発光部と、空いている各スロットに応じて、前記少なくとも一つの反射体から反射されたレーザビームを受信する受光部とを備えるマッピング装置。
【請求項２５】
前記少なくとも一つの反射体は複数の反射体からなり、前記複数の反射体は、前記各スロットの側面に対応して設けられる請求項２４に記載のマッピング装置。
【請求項２６】
受信部は、板状体が挿入される複数のスロットと、前記複数のスロットの背面の内部に中央からずらされて設けられる少なくとも一つの反射体とを備え、
センサー部は、前記複数のスロットに光を照射し、空いている各スロットに応じて前記少なくとも一つの反射体から反射されたレーザビームを受信するマッピング装置。
【請求項２７】
前記少なくとも一つの反射体は複数の反射体からなり、前記複数の反射体は、前記各スロットの背面の内部に対応して設けられる請求項２６に記載のマッピング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体の製造装置に係り、特に、半導体ウェハーや平板ディスプレイを運送及び／または収納するためのカセットのスロットにウェハーまたは平板ディスプレイが挿入されているかどうかを検査してその情報を得るためのマッピング装置及びその制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
通常、半導体の製造工程におけるウェハーや、これと類似した平板ディスプレイの製造工程におけるＬＣＤガラスなどは、複数のスロットが設けられるカセットの各スロットに挿入されたままで移動及び／または収納される。カセットからウェハーまたはＬＣＤガラスなどを引き出して工程に投入したり、あるいは工程済みのウェハーまたはＬＣＤガラスなどを再びカセットに搭載する作業は搬送ロボットにより行われる。
【０００３】
搬送ロボットがカセットからウェハーやＬＣＤガラスなどを引き出すためには、まず、カセットのマッピング作業が先に行われなければならない。このマッピング作業は、カセットにおけるウェハーまたはＬＣＤガラスの挿入スロットと空きスロットを確かめる作業と、スロットに挿入されているウェハーまたはＬＣＤガラスなどの整列状態を検査する作業などを含む。確度良いマッピングがなされていないままで挿入または引き出し作業を試みれば、確度が落ちるだけではなく、製品が損傷される恐れがある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明に係るマッピング装置及びその制御装置は、カセットと搬送ロボットとの間の距離が遠く、かつ、カセットが搭載されるポートの周りの環境が複雑であっても確度良いマッピングを可能にするところにその目的がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この目的を達成するために、本発明に係るマッピング装置は、カセットとセンサーを含む。カセットには板状体が挿入される複数のスロットと、複数のスロットの内部に入射するビームを反射させるための反射体と、が備えられる。センサーは発光部と受光部を備えるが、この発光部から照射されたビームが反射体により反射されて受光部に受信されるかどうかを検出することにより、複数のスロットの各々への板状体の挿入有無を判別する。
【０００６】
本発明に係る他のマッピング装置は、カセットとセンサーを含む。カセットには板状体が挿入可能な厚さと幅を有する複数のスロットが並ぶように設けられ、複数のスロットの各々の内部に入射するビームを反射させるための反射体が備えられる。センサーは、ビームを照射する発光部と、反射体により反射されるビームを受信する受光部を含むが、複数のスロットの厚さ方向に沿って移動しつつ発光部を介してビームを照射し、この照射されたビームが反射体により反射されて受光部に受信されるかどうかを検出することにより、複数のスロットの各々への板状体の挿入有無を判別する。
【０００７】
本発明に係るさらに他のマッピング装置は、カセットとセンサーを含む。カセットには平板ディスプレイが挿入可能な厚さと幅を有する複数のスロットが並ぶように設けられ、複数のスロットの各々の内部に入射するビームを反射させるための反射体が備えられる。
【０００８】
センサーは、レーザビームを照射するレーザ発生部と、反射体により反射されるレーザビームを受信する受光部を含み、複数のスロットの厚さ方向に沿って移動しつつレーザビームを照射し、この照射されたレーザーが反射体により反射されて受光部に受信されるかどうかを検出することにより、複数のスロットの各々への平板ディスプレイの挿入有無を判別する。
【０００９】
本発明に係るさらに他のマッピング装置は、カセットとセンサー、及び制御部を含む。カセットには板状体が挿入可能な厚さと幅を有する複数のスロットが並ぶように設けられ、複数のスロットの内部に入射するビームを反射させるように、複数のスロットに沿って長く設けられる反射体が備えられる。センサーは、ビームを照射する発光部と、反射体により反射されるビームを受信する受光部からなる。制御部は、反射体の長手方向を移動軸としてセンサーを移動させつつビームを照射し、反射体により反射されたビームが受光部に受信されることにより生じる電気的な特性の変化を検出し、電気的な特性の変化が検出された時点におけるセンサーの位置から、カセットにおける板状体の挿入スロットの位置情報を得る。
【００１０】
本発明に係るマッピング装置のカセットには、板状体が挿入可能な厚さと幅を有する複数のスロットが並ぶように設けられ、複数のスロットの内部に入射するビームを反射させるように複数のスロットに沿って長く設けられる反射体が備えられる。
【００１１】
また、センサーは、ビームを照射する発光部と、反射体により反射されるビームを受信する受光部からなる。このように、本発明に係るマッピング装置の制御装置は、反射体の長手方向を移動軸として複数のスロットの厚さ方向に沿ってセンサーを移動させつつビームを照射する。この照射されたビームが反射体により反射されて受光部に受信されることにより、センサーにおける電気的な特性の変化を検出する。このように、電気的な特性変化が検出された時点におけるセンサーの位置から、カセットにおける板状体の挿入スロットの位置情報を得る。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係るマッピング装置及びその制御装置は、レーザセンサーを用いることにより、カセットとセンサーとの距離が比較的に遠い場合にも確度良いマッピング結果を得ることができ、カセットの側面に反射板を取り付け、この反射板を介して反射されるレーザビームの反射有無に基づきカセットのマッピングを行うことにより、カセットの周りの環境から影響されることなく、確度良いマッピング結果を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
この種の本発明に係るマッピング装置及びその制御装置の好ましい実施の形態を図１ないし図５を参照して説明すれば、次の通りである。
【００１４】
まず、図１は、本発明の実施の形態によるＬＣＤガラスのマッピング装置を示す図面である。図１に示すように、ポート１０８上に設けられるカセット１０２には、板状体であるＬＣＤガラス１５０が収納可能な幅と厚さを有する複数のスロット１０４が水平方向に並ぶように設けられる。もし、ＬＣＤガラス１５０が垂直に複数のスロット１０４に挿入される場合には、スロットの厚さ方向は水平方向となる。
【００１５】
これらのスロット１０４ごとに各々一つずつのＬＣＤガラス１５０が矢印１１４の方向に挿入される。カセット１０２におけるスロット１０４の端、すなわち、カセット１０２の両側面にはカセット１０２の前面に対して所定の角度をもって反射板１０６が設けられる。あるいは、この反射板１０６は、一つのみ備えられても良い。
【００１６】
搬送ロボット１１０にはレーザセンサー１１２が設けられるが、このレーザセンサー１１２は、レーザビームを照射する発光部１１２ａと、照射されたレーザビームが反射板１０６により反射されればこれを受信する受光部１１２ｂとを含む。本発明において、レーザセンサー１１２の発光部１１２ａからレーザビームを照射し、反射板１０６により反射されてくるものを受光部１１２ｂにおいて受信するような構造は、カセット１０２におけるＬＣＤガラス１５０の挿入スロットと空きスロットを検査するためのものであり、このためには、照射されたレーザビームが空きスロットを通過して反射板１０６により反射された後再びレーザセンサー１１２の受光部に受信されるように、反射板１０６の角度とレーザセンサー１１２のレーザビームの照射角度を決めなければならない。これを図２を参照して説明すれば、次の通りである。
【００１７】
図２は、図１に示されたＬＣＤガラスのマッピング装置の反射板の取り付け角度とレーザセンサー１１２のレーザビームの照射角度との関係を示す図である。図２に示すように、搬送ロボット１１０に取り付けられるレーザセンサー１１２は、レーザビームをカセット１０２の正面に対して鋭角（または鈍角）をなすようにレーザビームを照射する。この場合、反射板１０６もまたカセット１０２の側面に対して鋭角（または鈍角）をもつように取り付け、レーザセンサー１１２から照射されたレーザーが反射板１０６により反射された後に再びレーザセンサー１１２の受光部１１２ｂに受信できるようにレーザセンサー１１２の角度と反射板１０６の角度を決めることが好適である。カセット１０２をウェハー積載用だけに限定すれば、反射板１０６はカセット１０２の側面に加えて背面２０２にも取り付けできる。これを図３を参照して説明すれば、次の通りである。
【００１８】
図３は、円形のレーザセンサーを用いたマッピング装置において、円形のウェハー３００と長方形のＬＣＤガラス３０８との違いを示す図である。図３に示すように、ウェハー３００は円形であるため、ウェハー３００の真ん中からレーザビーム３０２を照射すれば、入射するレーザビームと反射されるレーザビームが同じ経路を有することになる。このため、レーザセンサーの受光部１１２ｂに受信される反射されたレーザビームがウェハー用カセットの背面に取り付けられた反射板によるものであるか、それともスロットに挿入されているウェハーによるものであるかが不明になる。従って、ウェハー用カセットの背面に反射板を取り付ける場合には、図３Ａに示すレーザビーム３０４のように、レーザセンサーの照射位置がウェハーの真ん中を外れるものの、反射板の反射面に対しては鋭角または鈍角にすることが好適である。
【００１９】
ウェハー３００が円形であることとは異なって、ＬＣＤガラス３０８は長方形であるため、ＬＣＤガラス３０８の正面に対して直角にレーザビームを照射すれば、レーザビームの照射位置に関わらず、照射されたレーザビームがＬＣＤガラスにより反射されて受光部１１２ｂに受信されるため、図３Ｂに示すレーザビーム３０６ａ，３０６ｂのように、レーザセンサーの受光部１１２ｂに受信される反射レーザビームがカセットの背面に取り付けられた反射板によるものであるか、それともスロットに挿入されているＬＣＤガラスによるものであるかが不明になる。従って、ＬＣＤガラス用カセットの場合には、図３Ｃに示すように、レーザビーム３１０とＬＣＤガラス３０８の正面がなす角度が鋭角（または鈍角）になるようにレーザビーム３１０をずらして照射し、反射板の取り付け位置もずらされて照射されるレーザビーム３１０に対して直角をなすようにカセット１０２の側面に取り付けることが好ましい。
【００２０】
図１において、カセット１０２には複数のスロット１０４が垂直方向に並ぶように設けられることを示したが、このスロット１０４にＬＣＤガラス１５０が水平に挿入される。このようにカセット１０２のスロット１０４にＬＣＤガラス１５０が水平に挿入されて上下方向に積載されれば、搬送ロボット１１０がレーザセンサー１１２を上下動させつつレーザビームを照射し、各々のスロット１０４ごとにＬＣＤガラス１５０が挿入されているかどうかを検査する。これを図４を参照して説明すれば、次の通りである。
【００２１】
図４は、図１に示されたＬＣＤガラスのマッピング装置の側面図である。図４に示すように、搬送ロボット１１０がカセット１０２の側面から反射板１０６に向かってレーザビームを照射しつつＺ軸（垂直方向）に沿って移動する。Ｚ軸に沿って移動する間に、ＬＣＤガラス１５０が挿入されているスロットの位置においてはレーザセンサー１１２の受光部１１２ｂには反射されたレーザビームが受信されることなく、空きスロットの位置においては反射板１０６により反射されたレーザビームが受光部１１２ｂに受信される。レーザセンサー１１２は、反射されたレーザビームが受光部１１２ｂに受信されるときと受信されないときに、各々相異なる大きさの出力電圧を生じさせる。このように、相異なる出力電圧の大きさに基づき、ＬＣＤガラスが挿入されているスロットと空いているスロットを区別し、搬送ロボット１１０がＺ軸に沿って移動する間に、ＬＣＤガラスが挿入されているとして判別されるスロットの位置におけるＺ軸の値を別途のメモリに格納してマッピングデータを確保する。マッピングデータを確保するときには、レーザセンサー１１２の初期位置とカセット１０２の上部または下部において最初のスロットが設けられている位置（スロットの開始位置）、スロット１０４のピッチなどに基づきマッピングデータを補正することが好ましい。
【００２２】
図５は、本発明の実施の形態によるＬＣＤガラスのマッピング装置の制御装置を示すフローチャートである。図５に示すように、レーザセンサー１１２をターンオンさせ（５０２）、レーザセンサー１１２の初期出力電圧の大きさを検出して基準値とする（５０４）。レーザビームを照射しつつＺ軸に沿って移動する間に、レーザセンサー１１２の出力電圧が先に検出した初期出力電圧に対して一定の大きさ以上に変化するかを監視する（５０６ないし５０８）。レーザセンサー１１２の出力電圧が一定の大きさ以上に変化すれば、そのときのレーザセンサー１１２のＺ軸上の位置を得（５１０）、機械的な誤差（レーザセンサーの初期位置、スロットのピッチなど）を反映してレーザセンサー１１２の現在の位置を的確に算出する（５１２）。このような方法により最後のスロットまで検査を終えれば（５１４）、レーザセンサー１１２をターンオフさせて搬送ロボットの運送動作を止める（５１６）。各々のスロットに対して確保されたマッピングデータを別途のメモリに格納し、以降、搬送ロボット１１０がカセット１０２からＬＣＤガラス１５０を引き出したり、カセット１０２の空きスロットに新しいＬＣＤガラス１５０をさらに挿入する場合には、格納されているマッピングデータを参照して作業を行う。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の実施の形態によるＬＣＤガラスのマッピング装置を示す図である。
【図２】図１に示されたＬＣＤガラスのマッピング装置の反射板の取り付け角度とレーザセンサーのレーザビームの照射角度との関係を示す図である。
【図３Ａ】円形のレーザセンサーを用いたマッピング装置において、円形のウェハーと長方形のＬＣＤガラスとの違いを示す図である。
【図３Ｂ】円形のレーザセンサーを用いたマッピング装置において、円形のウェハーと長方形のＬＣＤガラスとの違いを示す図である。
【図３Ｃ】円形のレーザセンサーを用いたマッピング装置において、円形のウェハーと長方形のＬＣＤガラスとの違いを示す図である。
【図４】図１に示されたＬＣＤガラスのマッピング装置の側面図である。
【図５】本発明の実施の形態によるＬＣＤガラスのマッピング装置の制御装置を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００２４】
１０２    カセット
１０４    スロット
１０６    反射板
１０８    ポート
１１０    搬送ロボット
１１２    レーザセンサー
１１２ａ  発光部
１１２ｂ  受光部
１５０、３０８  ＬＣＤガラス
２０２    背面
３００    ウェハー
３０２、３０４、３０６ａ、３０６ｂ、３１０  レーザビーム
【図１】
2005064463.tif 000003
【図２】
2005064463.tif 000004
【図３Ａ】
2005064463.tif 000005
【図３Ｂ】
2005064463.tif 000006
【図３Ｃ】
2005064463.tif 000007
【図４】
2005064463.tif 000008
【図５】
2005064463.tif 000009