(57)【要約】【課題】  比較的低温の加熱処理でも、チタン材料をより硬化させて、耐摩耗性を付与することができる、チタン材料の表面硬化処理方法を提供することを目的とする。【解決手段】  チタン材料表面に塗布剤を1〜100mg/cm2塗布した後、温度550〜750℃で、酸素雰囲気下で1時間以上加熱処理することを含み、前記塗布剤はフッ素又は塩素を含有する化合物からなるとともに、フッ素又は塩素の塗布剤に対する含有量が１質量%以上であり、かつ、この塗布剤の融点又は共融点が前記加熱処理温度より0〜200℃低いこととする。【選択図】        なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
チタン材料表面に塗布剤を1〜100mg/cm2塗布した後、温度550〜750℃で、酸素雰囲気下で1時間以上加熱処理することを含み、前記塗布剤はフッ素又は塩素を含有する化合物からなるとともに、フッ素又は塩素の塗布剤に対する含有量が１質量%以上であり、かつ、この塗布剤の融点又は共融点が前記加熱処理温度より0〜200℃低いことを特徴とするチタン材料の表面硬化方法。
【請求項２】
前記塗布剤が1〜30質量%のAlを含有する請求項１に記載のチタン材料の表面硬化方法。
【請求項３】
前記化合物がKAlF4及びK3AlF6である請求項１または２に記載のチタン材料の表面硬化方法。
【請求項４】
前記加熱処理後に、機械加工により、チタン材料表面に残留する前記塗布剤及びその反応物を除去する請求項１乃至３のいずれか１項に記載のチタン材料の表面硬化方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エンジンや駆動部品などの輸送機分野や機械構造部品など耐摩耗性が必要となる部品に使用されるチタン材料の表面硬化処理方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
チタン材料は、軽量で比強度が高く、また耐食性にも優れることから、エンジンや駆動部品等の輸送機材料や機械構造材料として大変有望である。しかし、チタンは活性であり、熱拡散しにくい材料であるため、焼き付きやすく、耐摩耗性に劣ることが知られている。
【０００３】
そのために、チタン材料表面の耐焼き付き性や、耐摩耗性を高めるために、従来から各種表面硬化処理が提案されている。これらチタンの各種表面硬化処理は各種便覧に記載されているが、例えば、非特許文献１にまとめて記載されている。
【０００４】
この内、チタン材料表面の湿式めっきは、低温成膜が可能で、比較的成膜速度が速く厚膜化も可能である。しかし、材種によってはめっき層とチタン材との密着性を付与するのが困難であることが知られている。また、めっき時は低温成膜でも密着性確保のために高温熱処理が必要であることが多い。さらに昨今リサイクル性の要望も高いが、めっき処理材はリサイクル性に難があることも指摘されている。また、溶射についても同様に密着性が不足すること、リサイクル性に難があることが知られている。
【０００５】
また、肉盛溶接法では寸法精度に難があり、構造部品への適用は難しい。
【０００６】
CVDやPVDでは膜質の優れたものが得られるが、処理コストが高いため、一部の部品にしか適用することができない。
【０００７】
これに対して、熱拡散法は、簡便でコストも比較的安く、密着性も良く、リサイクル性にも優れることがわかっている。この熱拡散法として、Ｏ（酸化）、C（浸炭）、N（窒化）、B（ホウ化）などの元素やそれらの組合せなどが知られている（例えば、特許文献１〜６参照）。
【特許文献１】特開2003-73796号公報(請求項、段落0027)
【特許文献２】特開2001-81544号公報(請求項、段落0044)
【特許文献３】特開平5-65622号公報(請求項、段落0026)
【特許文献４】特開平5-295515号公報(請求項、段落0014)
【特許文献５】特開平2-179861号公報(請求項、第3頁左上欄第1行目)
【非特許文献１】チタンの加工技術（1992）、（社）チタニウム協会編、日刊工業新聞社発      行、P178〜186
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
これらの熱拡散処理(酸化処理)の特徴は、共通して、低いものでも加熱温度700℃以上(特許文献1、2、4)、高いものでは、900〜1000℃(特許文献3)、875〜1050℃(特許文献5)など、高温での加熱処理を必要とする。これらの熱拡散処理では、加熱温度が700℃以下の低温での酸化処理では、チタン材料の表面硬化効果が低いからである。しかし、チタン材料は700℃を大幅に超えるような上記高温にて熱処理を行うと、熱歪みや生成皮膜によって寸法変化を生じたり、結晶粒の成長により、強度低下を生じる問題がある。
【０００９】
また、窒化や浸炭等の表面硬化処理の場合、拡散させる元素によっては、特別な装置が必要であり、コストが高くなる問題もあり、硬化が著しい場合、摩耗相手材への攻撃性が大きくなり、却って摩耗損失が大きくなる問題もある。
【００１０】
これに対して、酸化処理の場合は、特別な装置が必要でなく、コストも安い。また、熱歪みや生成皮膜が生じず、結晶粒の成長が小さく、低温での酸化でもわずかに硬化することが知られている。しかし、表面硬化処理としての前記した限界が大きいゆえに、用途が限定される。
【００１１】
したがって、従来の表面硬化手法では何れもチタン材料の表面硬化処理としては不十分である問題がある。
【００１２】
本発明は、かかる課題を解決するためになされたものであり、チタン材の寸法精度に及ぼす影響も低く、かつ強度低下を引き起こすことなく、低コストで処理が可能な、耐摩耗性に優れたチタン材の表面硬化処理方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するための、本発明チタン材料の表面硬化処理方法の要旨は、チタン材料表面に塗布剤を1〜100mg/cm2塗布した後、温度550〜750℃で、酸素雰囲気下で1時間以上加熱処理することを含み、前記塗布剤はフッ素又は塩素を含有する化合物からなるとともに、フッ素又は塩素の塗布剤に対する含有量が１質量%以上であり、かつ、この塗布剤の融点又は共融点が前記加熱処理温度より0〜200℃低いことである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明者らは、上記従来技術の問題点を解決するために、チタン材料の表面硬化処理として、チタン材料の寸法精度に及ぼす影響も低く、かつ強度低下を引き起こすことない、低温での加熱酸化処理(以下、単に酸化処理とも言う)に着目した。ただし、前記した通り、低温での加熱酸化処理では、表面硬化効果が、実用的にならないほど低い。
【００１５】
前記酸化処理は、チタン材料への酸素の固溶を利用している。例えば、αチタン中には約14wt%の酸素が固溶することができ、この酸素固溶量が大きいほどチタンの硬度が高くなる。前記酸化処理においては、500〜600℃からチタンへの酸素の固溶が認められ、硬化することが一般的にも知られている。
【００１６】
一方で、チタンは、酸素との親和力が大きく、表面には自然酸化皮膜が形成しているのに加えて、酸化処理の場合、上記500〜600℃から、チタン材表面にTiO、TiO2などの酸化皮膜が厚く形成する。初期酸化の皮膜形成は、ほぼ放物線則に従うことが分かっており、酸化皮膜が形成するほど、酸素拡散障壁になる。このため、酸化皮膜が形成するほど、チタン材料への酸素の固溶が抑制される。したがって、チタン材料への酸素の固溶を促進して硬度をより高くするためには、この酸化皮膜形成の影響を排除するために、従来、共通して、前記より高温での加熱処理を必要としていた。
【００１７】
なお、チタン材料の表面に生成した酸化皮膜は高硬度であるため、用途によっては、わざわざチタン材料表面を硬化処理しなくても、表面酸化皮膜のみによって、耐摩耗性、耐傷付き性を担うこともできる。しかしながら、酸化皮膜は特に厚くなると、脆いこと、寸法変化を生じること、暗灰色であることなどから、これまでの用途の多くでは、これら表面酸化皮膜を機械研磨などにより除去して用いることが望まれる。したがって、このような用途には、耐摩耗性、耐傷付き性に対して、酸化皮膜を用いることができない。
【００１８】
本発明者らは、チタン材料への酸素の固溶をより促進するために、酸化皮膜の制御を試みた。その結果、上記した組成の溶融塩を用いることによって、従来のような700℃を超える高温での加熱処理を必要としないで、比較的低温の加熱処理であっても、酸化皮膜の影響を抑制できることを知見した。即ち、本発明の上記塗布剤を用いれば、比較的低温の加熱処理であっても、チタン材料表面の自然酸化皮膜を一旦除去し、新たにチタン材料表面で形成される酸化皮膜を、チタン材料への酸素の固溶を阻害しない程度に抑制できる。この結果、本発明によれば、比較的低温の加熱処理であっても、チタン材料表面への酸素の固溶をより促進でき、チタン材料表面をより硬化させて、耐摩耗性を付与することができる。このため、チタン材料の寸法精度に及ぼす影響も低く、かつ強度低下を引き起こすこともない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下に、本発明の実施態様と、本発明の各要件の限定理由とを具体的に説明する。
【００２０】
（塗布剤）
本発明の塗布剤は、フッ素又は塩素を含有する化合物からなるとともに、フッ素又は塩素の塗布剤に対する含有量が１質量%以上であり、かつ、塗布剤の融点又は共融点が前記加熱処理温度より0〜200℃低いことが特徴である。本発明の塗布剤としては、フッ素または塩素を含む化合物、あるいはフッ素または塩素を含む化合物が１種以上含まれた混合物であればよい。
【００２１】
本発明で言う、フッ素または塩素を含む化合物とは、通常の取り扱い方や作業で塗布することが可能で、コストを含めて入手しやすく汎用される、フッ化物塩や塩化物塩が代表的である。これらフッ素または塩素を含む塩としては、例えば、KF、LiF、CsF、RbF、KAlF4、K3AlF6、KTiF4、K3TiF6、KCl、LiCl、ZnCl2、CsCl、RbClなどが挙げられる。この内、特にフッ化物のみの組合せが、融点が500〜700℃の範囲で調整がしやすい。このため、KAlF4とK3AlF6との組合せが特に推奨される。
【００２２】
これらフッ素または塩素を含む化合物は、チタン材料への塗布剤（以下、塗布塩とも言う、また酸化処理時に化合物が溶融した塗布塩を溶融塩とも言う）として、チタン酸化物と反応し、酸化皮膜を破壊する効果がある。また、更に、チタン材料表面に新たな酸化皮膜も生じにくくなる効果を有する。但し、酸化処理時に、これら溶融塩の機能が効果的に働くためには、化合物の共融点（共融温度）、塗布量、フッ素または塩素の量を制御することが必要である。
【００２３】
（塗布剤のフッ素、塩素量）
塗布剤中のフッ素、塩素量は合計で1質量%以上、望ましくは40質量%以上であることが求められる。1質量%未満の場合は、加熱処理(以下、酸化処理とも言う)時の自然酸化皮膜の破壊ならびに酸化皮膜の形成を抑制する効果が低くなる。また、酸化処理温度にて、徐々にフッ素、塩素がチタン材料表面から脱離してしまうことから、望ましくは40質量%以上である方が良い。フッ素、塩素量の上限は特に定めないが、実質的には50質量%程度となる。したがって、このようなフッ素又は塩素の含有量となるように、塗布剤中の主剤である、フッ素または塩素を含む化合物の配合量や、化合物中のフッ素または塩素含有量を調節する。
【００２４】
（塗布剤の融点または共融点）
塗布する塗布剤の融点または共融点は、酸化処理温度より0〜200℃、好ましくは50〜100℃低いことが求められる。この理由は、塗布剤の融点または共融点が酸化処理温度より高いと、酸化処理時に塗布塩が溶融せず、チタン酸化物との反応が生じないためである。したがって、このような融点または共融点となるように、塗布剤中の主剤である、フッ素または塩素を含む化合物の融点または共融点や、その配合量、あるいは後述する添加物量などを調節する。
【００２５】
一方、塗布塩の融点または共融点が酸化処理温度より200℃以上低い場合は、酸化処理中に溶融塩よりフッ素、塩素ガスの発生が著しく、溶融塩中のフッ素、塩素が減少して、自然酸化皮膜の破壊および酸化皮膜の形成抑制効果が減衰していく。更に、これらフッ素、塩素の溶融塩からの脱離により、溶融塩の融点または共融点が上昇し、溶融塩が凝固する場合も生じる。このような場合、凝固塩が酸素拡散障壁と働くために、チタン基材の硬化を却って妨害する。したがって、塗布塩の融点または共融点は酸化処理温度より0〜200℃低いことが求められる。より好ましくは50〜100℃低い場合、塗布塩が一様に溶融状態となり、フッ素、塩素の脱離も少ないため、自然酸化皮膜の破壊ならびに酸化皮膜の形成を抑制する効果が高い。
【００２６】
ここで、塗布塩の融点または共融点は、文献等に各物質の融点が分かる場合は、それらの混合割合から計算によって求めることができる。しかしながら、各物質の融点が分からない場合は、実際に加熱しながら溶解する時の温度を測定することによって求める。
【００２７】
（塗布剤へのその他の添加物）
本発明塗布剤は、フッ素または塩素を含む化合物を主剤とするが、この化合物の機能の補助、チタン材料への酸素の固溶や硬化の促進、あるいは、この化合物の融点または共融点の前記規定範囲への調整などのために、他の元素あるいは化合物を添加乃至含んでも良い。但し、これら他の元素あるいは化合物の含有や含有量が、上記フッ素または塩素を含む化合物の機能を阻害しないことが前提である。
【００２８】
例えば、前記フッ素または塩素を含む化合物であるKAlF4、K3AlF6は、各々Alを含有している。AlはTi中に置換型固溶を起こす元素であり、チタン材料表面への固溶量も大きい。TiとAlの相互拡散速度は酸素よりはかなり低いと考えられるが、酸素の拡散に加え、チタン材料表面へのAlの拡散がある場合、チタン材料表面の硬化が高まる効果がある。前記した、KAlF4とK3AlF6との組合せが特に推奨されるのはこの理由にもよる。但し、塗布剤中のAl量が1質量%未満ではこの硬化効果が低い。また、塗布剤中のAl量が30質量%を越えると、却って、チタン材料の酸素拡散を著しく阻害する。即ち、酸化処理時に、溶融塩からフッ素や塩素が脱離して凝固が生じた場合、形成したAl化合物層は耐酸化性に極めて優れ、酸素拡散障壁としてチタン材料の酸素拡散を著しく阻害するからである。このため塗布剤中のAl量は1〜30質量%が良い。
【００２９】
また、塗布剤の融点または共融点の前記規定範囲への調整のために、例えば硫酸塩や炭酸塩など、フッ素、塩素を含まない化合物を適量混合させて良い。これらの硫酸塩や炭酸塩は、Li2SO4、Al2(SO4)3、Na2SO4、K2SO4、K2CO3、Li2CO3、K2SiO3、などが例示される。
【００３０】
（塗布剤の塗布量）
更に、化合物のチタン材料表面への塗布量は、1〜100mg/cm2であることが求められる。塗布量が1mg/cm2未満の場合は、チタン材料表面の溶融塩量が少なくなるため、溶融塩中のフッ素、塩素量も少なくなり、自然酸化皮膜の破壊ならびに酸化皮膜の形成を抑制する効果が低い。塗布塩の効果は100mg/cm2以上では変わらない。
【００３１】
但し、塗布量が100mg/cm2を越える場合は、溶融塩からのフッ素、塩素の脱離量も多くなり、安全上の問題が生じる。また、酸化処理後に塗布塩を除去するために行う機械研磨などの除去作業効率が低下する。更に、塗布塩が多い場合は、溶融塩自体が酸素拡散障壁となる可能性もあることから、100mg/cm2以下にする方がよい。塗布量は厚ければ、溶融塩自体がバリアー層となる可能性がある。また、酸化処理時の熱による組成の変化（F、Clの蒸発など）により、共融点が上がって、凝固するとさらに酸素のバリアーとなる可能性があるため、上記上下限値が設定される。望ましくは、3〜20mg/cm2の塗布量にて、効率よく自然酸化皮膜の破壊ならびに酸化皮膜の形成を抑制する効果を得ることができる。
【００３２】
(塗布剤の塗布方法)
塗布剤のチタン材料表面への塗布は、既存の方法にて塗布することが可能である。但し、水溶液またはアルコール溶液にて、一様に混合した化合物粉末を分散させた後、チタン材料表面への一様の塗布量にて塗布することが好ましい。前記したフッ化物塩、塩化物塩、硫酸塩、炭酸塩ともに、水溶液よりはアルコール溶液の方が分散しやすいので推奨される。
【００３３】
(加熱酸化処理)
本発明での酸化処理は、550〜750℃の温度にて行う。本発明塗布剤は、従来のような700℃を超える高温での加熱処理を必要としないで、比較的低温の加熱処理であっても、チタン材料への酸素の固溶をより促進でき、チタン材料をより硬化させて耐摩耗性を付与できる点が大きな利点である。したがって、チタン材料の寸法精度に及ぼす影響を低く、かつ強度低下を引き起こすことなく、低コストで処理を可能とするためには、750℃以下のできるだけ低温の温度にて酸化処理行うことが好ましい。
【００３４】
ただ、酸化処理温度が550℃未満の場合、チタン材料の酸素拡散による硬化効果が低くなり、耐摩耗性を付与できなくなる。また、酸化処理温度が750℃を越える場合は、チタン材料の熱歪みや、生成皮膜によって寸法変化を生じたり、結晶粒の成長により、強度低下を生じたりする。
【００３５】
また、酸化処理時間は１時間以上とする。酸化処理時間が１時間未満では、チタン材料の酸素拡散による硬化効果が低くなる。一方、酸化処理時間は長いほど酸素拡散による硬化効果が高いが、100時間を越えると殆ど変わらないため、作業効率の面から100時間以内とすることが望ましい。酸化雰囲気は、酸素存在下であれば、大気中でも酸素中でも酸素分圧制御下でも構わないが、温度に対する酸素とチタンの反応性に酸素分圧はあまり影響しないため、特別な装置が必要ではなく、コストが低い、大気酸化が推奨される。
【００３６】
酸化処理の雰囲気は、大気など、酸素を含む雰囲気であれば良い。上記塗布剤や酸化処理条件で行なえば、材料を問わず、雰囲気を問わず、同一の効果が得られる。このため、自然酸化皮膜除去及び酸化皮膜形成を抑制した酸素拡散処理の効果があれば、工程の付加や変更は、範囲に含まれる。
【００３７】
(後処理)
本発明では、チタン材料の外観や寸法精度の問題が無い場合、酸化処理後の表面状態にて、実際のチタン材料の製品・部材に適用しても構わない。但し、チタン材料の外観や寸法精度の要求が厳しい場合、酸化処理後に、研磨等の機械加工により、フッ素または塩素を含む化合物、化合物とチタンとの反応物及びチタン酸化物を、チタン材表面から除去することが望ましい。
【００３８】
この際、酸化処理後の塗布塩の大部分は、容易に除去可能であるが、チタン材料表面にてチタンと密着性の良い反応物を形成している。このため、大気酸化後に酸化皮膜を除去するために汎用されている、通常の機械加工にて、それらチタンと塗布塩との反応物を除去することが好ましい。
【００３９】
通常のチタン工業製品（自動車部品、精密機械部品等）は、寸法精度や外観が重視されるために、チタン材料表面のこれら反応物を除去して使用される。一方、相手材が固体ではなく、粉体や流体の場合（例えば土中を掘る部品や海洋港湾にて用いられる部品など）には、寸法精度が厳しくない部品が多い。このような場合には、そのまま製品・部材に適用できる。
【００４０】
(適用チタン材料)
本発明で言うチタン材料とは、圧延などの塑性加工によって種々の形状とされたチタン材のことを言う。本発明では、酸化処理される対象となるチタン材料を規定するものではないが、純チタン、αチタン合金、α＋βチタン合金などが推奨される。その理由は、酸素の固溶がα相にて多く、本発明の表面硬化効果が、これらのチタン合金において高いからである。これに対して、βチタン合金の場合、チタン材料表面の硬化効果は、α相を有する上記チタン合金に比して低い。
【００４１】
以下、実施例を挙げて本発明をより具体的に説明するが、本発明はもとより、下記実施例によって制限を受けるものではなく、前記、後記の趣旨に適合し得る範囲で適当に変更を加えて実施することも勿論可能であり、それらはいずれも本発明の技術的範囲に包含される。
【実施例】
【００４２】
チタン材料としてTi-6Al-4V合金(α＋βチタン合金)または純Tiを用い、25×25×1mmの板と、ピンオンディスク試験用に44mmΦ×8mmのディスク形状とに加工した。それぞれ、表面は400番エメリー研磨紙による研磨仕上げとして、アセトンによる洗浄の後、フッ素または塩素を含む化合物の塗布試験に供した。
【００４３】
表１に、塗布塩に用いたフッ素または塩素を含む化合物、塗布塩中のフッ素、塩素、アルミニウム量、塗布塩の共融点などを示す。塗布するフッ素または塩素を含む化合物に、共融点を調整する必要がある場合は炭酸塩または硫酸塩を混合したものを、塗布塩として用いた。混合した炭酸塩または硫酸塩名も表１のその他の欄に記載する。なお、混合物の場合には、乳鉢中にて攪拌し均一に混合させた。
【００４４】
塗布塩はエタノール溶液中に分散し、はけ塗りにて、チタン材料表面への塗布を行った。そして、エタノールを蒸発させた後、塗布量(mg/cm2)を、塗布前後のチタン材の重量計測にて測定した。
【００４５】
この塗布量測定後、各試験片を大気熱処理炉にて、表2に示す500〜750℃などの条件にて大気酸化処理を行った。
【００４６】
この大気酸化処理後に、各試験片の硬度測定と耐摩耗性試験を行い評価した。なお、耐摩耗性試験片ではその後、機械研磨にて塗布塩及びチタン材料と塗布塩との反応層を除去した。
【００４７】
硬度測定は、大気酸化処理後のチタン材料板状試験片を、中央にて切断し、樹脂に埋め込み、研磨をし、断面より垂直に測定した。測定荷重は25gf、荷重保持時間は15秒とし、表面位置から深さ10μmの位置を５点測定して平均化した。
【００４８】
ディスク形状試験片の耐摩耗性試験は、摺動摩耗試験を実施した。摺動摩耗試験は、ピンオンディスク型の摺動摩耗試験機を用い、相手ピン材としてΦ5mmのSUJ2、潤滑油として市販エンジンオイルを用いて、摺動速度1m/sec、荷重10kgf、摺動距離1kmの条件にて試験を行った。試験後、ディスク摩耗減量にて評価し、摩耗減量20mg未満を◎、20〜50mgを○、50〜100mgを△、100mgを越えると×として評価した。
【００４９】
表２は、チタン材料としてTi-6Al-4Vチタン合金を用いた場合、表３は、純Tiを用いた場合の、塗布塩種類（表１に対応）、塗布量、大気酸化処理温度、時間条件と評価結果(ビッカース硬度、耐摩耗性)を各々示す。
【００５０】
表２、表３の各発明例より、チタン材料に本発明の処理を行うことによって、700℃以下の比較的低温の酸化処理によっても、チタン材料の硬度を高め、耐摩耗性を向上できることが分かる。更に、表2の発明例13〜15、表3の発明例20、21など、好ましい処理条件範囲内である場合に、特に硬度や耐摩耗性に優れることが分かる。しかも、このような700℃以下の比較的低温の酸化処理では、チタン材料の寸法精度に及ぼす影響も低く、かつ強度低下を引き起こすこともない。なお、表1のように塗布塩I中のAl含有量が好ましい上限範囲30%を超えた発明例16は、同じ組み合わせの発明例15に比して、硬度や耐摩耗性が低くなっている。
【００５１】
一方、本発明の各処理条件範囲を外れる各比較例は、700℃以下の比較的低温の酸化処理では、上記発明例に比して、硬度や耐摩耗性が著しく劣っている。
即ち、表2の比較例1、2は、表1のようにフッ素又は塩素を含有しない塗布塩A、Bを用いている。表2の比較例3、4は、塗布剤の融点又は共融点と加熱処理温度との関係が外れる。表2の比較例5、6は、加熱処理温度が下限よりも低過ぎる。表2の比較例7は、加熱処理時間が短か過ぎる。表2の比較例8は、塗布量が少な過ぎる。
表3の比較例17は、表1のようにフッ素又は塩素を含有しない塗布塩Aを用いている。表3の比較例18は、塗布剤の融点又は共融点と加熱処理温度との関係が外れる。
【００５２】
したがって、これらの結果から、チタン材料の表面硬化処理に関する、本発明の各要件の臨界的な意義や、好ましい処理条件範囲の臨界的な意義が裏付けられる。
【００５３】
【表１】
2005350743.tif 000002
【００５４】
【表２】
2005350743.tif 000003
【００５５】
【表３】
2005350743.tif 000004
【産業上の利用可能性】
【００５６】
本発明によれば、 比較的低温の加熱処理であっても、チタン材料への酸素の固溶をより促進でき、チタン材料をより硬化させて、耐摩耗性を付与することができる。この結果、チタン材料の寸法精度に及ぼす影響も低く、かつ強度低下を引き起こすことなく、低コストで、耐摩耗性に優れたチタン材料を提供できる。