(57)【要約】【課題】従来技術において存在している課題を解決すること。【解決手段】電気光学モジュレータ装置が、導波路部によって部分的に画定された光信号経路と、導電線部によって部分的に画定された無線周波数（ＲＦ）信号経路と、ＲＦ信号経路で伝播するＲＦ信号が光信号経路で伝播する光信号と相互作用して光信号を変調する、相互作用領域と、導電線部に近接して配置された第１のチューニング部であって、導電部と、導電部をグランドに接続するように機能するスイッチ部とを含む、第１のチューニング部とを含む。【選択図】図１
2015530615.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気光学モジュレータ装置であって、
導波路部によって部分的に画定された光信号経路と、
導電線部によって部分的に画定された無線周波数（ＲＦ）信号経路と、
前記ＲＦ信号経路で伝播するＲＦ信号が前記光信号経路で伝播する光信号と相互作用して前記光信号を変調する、相互作用領域と、
前記導電線部に近接して配置された第１のチューニング部であって、導電部と、前記導電部をグランドに接続するように機能するスイッチ部とを含む、前記第１のチューニング部と
を備える電気光学モジュレータ装置。
【請求項２】
前記第１のチューニング部は、前記導電部およびグランドに接続された第１のスイッチ部を含む、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記第１のチューニング部は、前記導電部およびグランドに接続された第２のスイッチ部を含む、請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記導電部は、前記導電線部と重なる配置構成に配設される、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記第１のチューニング部の前記導電部は、前記導電線部から電気的に絶縁される、請求項１に記載の装置。
【請求項６】
第２のチューニング部をさらに備え、前記第２のチューニング部は、導電部と、前記導電部をグランドに接続するように機能するスイッチ部とを含む、請求項１に記載の装置。
【請求項７】
前記第１のチューニング部の前記スイッチ部に通信可能に接続されたコントローラ部をさらに備え、前記コントローラ部は、前記スイッチ部の状態を制御するように機能する、請求項１に記載の装置。
【請求項８】
前記第１のチューニング部の前記スイッチ部と前記第２のチューニング部の前記スイッチ部とに通信可能に接続されたコントローラ部をさらに備え、前記コントローラ部は、前記第１のチューニング部の前記スイッチ部の状態と前記第２のチューニング部の前記スイッチ部の状態とを制御するように機能する、請求項６に記載の装置。
【請求項９】
電気光学モジュレータ装置システムであって、
導波路部によって部分的に画定された光信号経路と、
導電線部によって部分的に画定された無線周波数（ＲＦ）信号経路と、
前記ＲＦ信号経路で伝播するＲＦ信号が前記光信号経路で伝播する光信号と相互作用して前記光信号を変調する、相互作用領域と、
前記導電線部に近接して配置された第１のチューニング部であって、導電部と、前記導電部をグランドに接続するように機能するスイッチ部とを含む、前記第１のチューニング部と、
前記第１のチューニング部の前記スイッチ部に通信可能に接続されたコントローラ部であって、前記スイッチ部の状態を制御するように機能する、前記コントローラ部と
を備える電気光学モジュレータ装置システム。
【請求項１０】
前記第１のチューニング部は、前記導電部およびグランドに接続された第１のスイッチ部を含む、請求項９に記載のシステム。
【請求項１１】
前記第１のチューニング部は、前記導電部およびグランドに接続された第２のスイッチ部を含む、請求項１０に記載のシステム。
【請求項１２】
前記導電部は、前記導電線部と重なる配置構成に配設される、請求項９に記載のシステム。
【請求項１３】
前記第１のチューニング部の前記導電部は、前記導電線部から電気的に絶縁される、請求項９に記載のシステム。
【請求項１４】
第２のチューニング部をさらに備え、前記第２のチューニング部は、導電部と、前記導電部をグランドに接続するように機能するスイッチ部とを含む、請求項９に記載のシステム。
【請求項１５】
前記コントローラ部は、前記第１のチューニング部の前記スイッチ部と前記第２のチューニング部の前記スイッチ部とに通信可能に接続され、前記コントローラ部は、前記第１のチューニング部の前記スイッチ部の状態と前記第２のチューニング部の前記スイッチ部の状態とを制御するように機能する、請求項１４に記載のシステム。
【請求項１６】
電気光学モジュレータ装置であって、
基板と、
前記基板上に配置された導電線部によって部分的に画定された無線周波数（ＲＦ）信号経路と、
前記基板上に配置された導波路部によって部分的に画定された光信号経路と、
前記ＲＦ信号経路で伝播するＲＦ信号が前記光信号経路で伝播する光信号と相互作用して前記光信号を変調する、相互作用領域と、
前記導電線部に近接して前記基板上に配置された第１のチューニング部であって、導電部と、前記導電部をグランドに接続するように機能するスイッチ部とを含む、前記第１のチューニング部と
を備える電気光学モジュレータ装置。
【請求項１７】
前記第１のチューニング部は、前記導電部およびグランドに接続された第１のスイッチ部を含む、請求項１６に記載の装置。
【請求項１８】
前記第１のチューニング部は、前記導電部およびグランドに接続された第２のスイッチ部を含む、請求項１７に記載の装置。
【請求項１９】
前記導電部は、前記導電線部と重なる配置構成に配設される、請求項１６に記載の装置。
【請求項２０】
前記第１のチューニング部の前記導電部は、前記導電線部から電気的に絶縁される、請求項１６に記載の装置。
【請求項２１】
電気光学モジュレータ装置を制御するための方法であって、
前記装置の性能メトリックを測定して第１の測定性能値を決めることと、
前記装置の第１のチューニング部の状態を変更して前記第１のチューニング部をグランドに接続することと
を含む方法。
【請求項２２】
前記装置の第１のチューニング部の前記状態を変更して前記第１のチューニング部をグランドに接続することに応答して、前記装置の前記性能メトリックを測定して第２の測定性能値を決めることと、
前記第２の測定性能値が前記第１の測定性能値より大きいかどうかを決定することと
をさらに含む、請求項２１に記載の方法。
【請求項２３】
前記第２の測定性能値が前記第１の測定性能値より大きくないと決定することに応答して、前記第２の測定性能値が前記第１の測定性能値より小さいかどうかを決定することと、
前記第２の測定性能値が前記第１の測定性能値より小さいと決定することに応答して、前記装置の前記第１のチューニング部の状態を変更して前記第１のチューニング部をグランドから分離することと
をさらに含む、請求項２２に記載の方法。
【請求項２４】
前記第２の測定性能値が前記第１の測定性能値より大きいと決定することに応答して、前記装置の第２のチューニング部の状態を変更して前記第２のチューニング部をグランドに接続することをさらに含む、請求項２３に記載の方法。
【請求項２５】
前記装置の第２のチューニング部の前記状態を変更して前記第２のチューニング部をグランドに接続することに応答して、前記装置の前記性能メトリックを測定して第３の測定性能値を決めることと、
前記第３の測定性能値が前記第２の測定性能値より大きいかどうかを決定することと
をさらに含む、請求項２４に記載の方法。
【請求項２６】
前記第３の測定性能値が前記第２の測定性能値より大きくないと決定することに応答して、前記第３の測定性能値が前記第２の測定性能値より小さいかどうかを決定することと、
前記第３の測定性能値が前記第２の測定性能値より小さいと決定することに応答して、前記装置の前記第２のチューニング部の状態を変更して前記第２のチューニング部をグランドから分離することと
をさらに含む、請求項２５に記載の方法。
【請求項２７】
電気光学モジュレータ装置を制御するための方法であって、
前記装置の性能メトリックを測定して第１の測定性能値を決めることと、
前記装置の第１のチューニング部の状態を変更して前記第１のチューニング部をグランドに接続することとを含み、前記第１のチューニング部は、前記電気光学モジュレータ装置の導電線部と重なる配置構成に配設される導電部を含み、前記第１のチューニング部をグランドに接続することは、前記導電部のキャパシタンスを増大させるように機能する、方法。
【請求項２８】
前記装置の第１のチューニング部の前記状態を変更して前記第１のチューニング部をグランドに接続することに応答して、前記装置の前記性能メトリックを測定して第２の測定性能値を決めることと、
前記第２の測定性能値が前記第１の測定性能値より大きいかどうかを決定することと
をさらに含む、請求項２７に記載の方法。
【請求項２９】
前記第２の測定性能値が前記第１の測定性能値より大きくないと決定することに応答して、前記第２の測定性能値が前記第１の測定性能値より小さいかどうかを決定することと、
前記第２の測定性能値が前記第１の測定性能値より小さいと決定することに応答して、前記装置の前記第１のチューニング部の状態を変更して前記第１のチューニング部をグランドから分離することと
をさらに含む、請求項２８に記載の方法。
【請求項３０】
前記第２の測定性能値が前記第１の測定性能値より大きいと決定することに応答して、前記装置の第２のチューニング部の状態を変更して前記第２のチューニング部をグランドに接続することをさらに含む、請求項２９に記載の方法。
【請求項３１】
前記装置の第２のチューニング部の前記状態を変更して前記第２のチューニング部をグランドに接続することに応答して、前記装置の前記性能メトリックを測定して第３の測定性能値を決めることと、
前記第３の測定性能値が前記第２の測定性能値より大きいかどうかを決定することと
をさらに含む、請求項３０に記載の方法。
【請求項３２】
前記第３の測定性能値が前記第２の測定性能値より大きくないと決定することに応答して、前記第３の測定性能値が前記第２の測定性能値より小さいかどうかを決定することと、
前記第３の測定性能値が前記第２の測定性能値より小さいと決定することに応答して、前記装置の前記第２のチューニング部の状態を変更して前記第２のチューニング部をグランドから分離することと
をさらに含む、請求項３１に記載の方法。
【請求項３３】
電気光学モジュレータ装置を制御するための方法であって、前記電気光学モジュレータ装置の導電線部のキャパシタンスを変化させることを含み、前記導電線部は、光信号と相互作用し前記光信号を変調するように機能する無線周波数（ＲＦ）信号を伝播するように機能する、方法。
【請求項３４】
前記光信号は、前記導電線部の一部分に近接して配置された前記電気光学モジュレータ装置の導波路部で伝播される、請求項３３に記載の方法。
【請求項３５】
前記導電線部の前記キャパシタンスを前記変化させることは、前記導電線部の前記キャパシタンスを増大させることを含む、請求項３３に記載の方法。
【請求項３６】
前記導電線部の前記キャパシタンスを前記増大させることは、前記ＲＦ信号の速度に影響を与える、請求項３５に記載の方法。
【請求項３７】
前記導電線部の前記キャパシタンスを前記増大させることは、前記ＲＦ信号と前記光信号の速度の差を低減させるように機能する、請求項３６に記載の方法。
【請求項３８】
前記導電線部の前記キャパシタンスを前記変化させることは、前記導電線部の前記キャパシタンスを低減させることを含む、請求項３３に記載の方法。
【請求項３９】
前記導電線部の前記キャパシタンスを前記低減させることは、前記ＲＦ信号の速度に影響を与える、請求項３８に記載の方法。
【請求項４０】
前記導電線部の前記キャパシタンスを前記低減させることは、前記ＲＦ信号と前記光信号の速度の差を低減させるように機能する、請求項３９に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般に電気光学装置および方法に関し、より詳細には電気光学モジュレータに関する。
【背景技術】
【０００２】
電気光学モジュレータは、光導波路部および導電線部の配置構成を含む。光導波路部は、光信号の伝播を促進するように機能し、導電線部は、入力無線周波数（ＲＦ）信号を伝播する。ＲＦ信号は、ＲＦ信号が導波路材料と相互作用するときに導波路材料の屈折率を変化させる電気光学効果を促進する。この配置構成は、光信号が入力ＲＦ信号によって変調可能なように光信号とＲＦ信号の間の相互作用を実現する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明の目的は、従来技術において存在している課題を解決することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明の一実施形態によれば、電気光学モジュレータ装置が、導波路部によって部分的に画定された光信号経路と、導電線部によって部分的に画定された無線周波数（ＲＦ）信号経路と、ＲＦ信号経路で伝播するＲＦ信号が光信号経路で伝播する光信号と相互作用して光信号を変調する、相互作用領域と、導電線部に近接して配置された第１のチューニング部（tuning portion）であって、導電部と、導電部をグランドに接続するように機能するスイッチ部とを含む、第１のチューニング部とを含む。
【０００５】
本発明の別の実施形態によれば、電気光学モジュレータ装置システムが、導波路部によって部分的に画定された光信号経路と、導電線部によって部分的に画定された無線周波数（ＲＦ）信号経路と、ＲＦ信号経路で伝播するＲＦ信号が光信号経路で伝播する光信号と相互作用して光信号を変調する、相互作用領域と、導電線部に近接して配置された第１のチューニング部であって、導電部と、導電部をグランドに接続するように機能するスイッチ部とを含む、第１のチューニング部と第１のチューニング部のスイッチ部に通信可能に接続されたコントローラ部であって、スイッチ部の状態を制御するように機能するコントローラ部とを含む。
【０００６】
本発明のさらに別の実施形態によれば、電気光学モジュレータ装置が、基板と、基板上に配置された導電線部によって部分的に画定された無線周波数（ＲＦ）信号経路と、基板上に配置された導波路部によって部分的に画定された光信号経路と、ＲＦ信号経路で伝播するＲＦ信号が光信号経路で伝播する光信号と相互作用して光信号を変調する、相互作用領域と、導電線部に近接して基板上に配置された第１のチューニング部であって、導電部と、導電部をグランドに接続するように機能するスイッチ部とを含む、第１のチューニング部とを含む。
【０００７】
本発明の技術を通して、さらなる特徴および利点が実現される。本発明の他の実施形態および態様は、本明細書で詳細に説明され、請求項に係る発明の一部とみなされる。本発明を利点および特徴と共により良く理解するために、詳細な説明および図面を参照されたい。
【０００８】
本発明とみなされる主題は、添付の特許請求の範囲において特に指摘され明確に特許請求される。本発明の上記および他の特徴および利点は、添付の図面と関連してなされる以下の詳細な説明から明らかである。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】電気光学モジュレータ装置の例示的実施形態の一部分の上面図である。
【図２】導電線およびチューニング部の例示的な配置構成の上面図である。
【図３】チューニング部の例示的実施形態の側面部分切り取り図である。
【図４】電気光学モジュレータ装置の別の例示的実施形態の一部分の上面図である。
【図５】（図４の）領域５における装置の例示的実施形態の一部分を示す図である。
【図６】（図４の）領域５における装置の別の代替的な例示的実施形態を示す図である。
【図７】電気光学装置を動作させるための例示的な方法のブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
従来の電気光学モジュレータは、光信号を伝播する導波路部、および無線周波数（ＲＦ）信号を伝播する導電線部を含んでいた。ＲＦ信号と光信号の相互作用は、光信号を変調するように機能する。光信号とＲＦ信号が概ね同様の速度で伝播するように装置が設計される傾向があるが、電気光学モジュレータの材料および幾何形状が、光信号とＲＦ信号の相対伝播速度に影響を与える可能性がある。たとえば、電気光学装置の相互作用領域においてＲＦ信号の伝播速度が光信号の伝播速度と一致しない場合、モジュレータの帯域幅が望ましくないことに低減することがある。
【００１１】
本明細書に記載の図示される例示的実施形態は、電気光学装置が動作している間に、電気光学装置の相互作用領域においてＲＦ信号の伝播速度を光信号と一致させるための方法およびシステムを提供する。そのような信号の速度を一致させること（またはチューニング）により、電気光学装置およびシステムの有効帯域幅を増大させることができる。
【００１２】
図１は、電気光学モジュレータ装置１００の例示的実施形態の一部分の上面図を示す。これに関して、電気光学モジュレータ装置１００は、たとえばシリコン基板材料などの基板上に配置される。導波路部１０２は、基板上に配置される。導電線１０４は、導波路部１０２の上または隣の層に配置される。導波路部１０２は、連続波（ＣＷ）光入力信号を伝播するように機能し、導電線１０４は、ＲＦ入力信号を伝播するように動作する。導波路部１０２と導電線１０４は、相互作用領域１０６において重なる。相互作用領域１０６におけるＲＦ信号の導波路部１０２との相互作用は、ＣＷ光入力信号の変調に影響を与えて、変調または符号化された光出力信号をもたらす。前述のように、電気光学モジュレータ装置１００の幾何形状および材料は、光信号およびＲＦ信号の伝播速度に影響を与えることがある。図示の例示的実施形態では、ＲＦ信号が光信号より速い速度で伝播する。したがって、ＲＦ信号の伝播速度を低減させることが、光信号とＲＦ信号の伝播速度の相対的差を低減させることになる。
【００１３】
ＲＦ信号の群速度は、線路インダクタンス、および導電線１０４のキャパシタンスの関数である。導電線１０４のキャパシタンスまたはインダクタンスを変化させることが、ＲＦ信号の群速度を変化させることになる。図示の実施形態は、導電線１０４を横切ってまたは導電線１０４に近接して配置された複数のチューニング部１０８を含む。チューニング部１０８は、導電線１０４から電気的に絶縁され、たとえば、導電線１０４から絶縁された基板上の材料の層に配置することができる。各チューニング部１０８は、（後述する）コントローラによって制御され得る１つまたは複数のスイッチ装置１１０を介してグランドに接続される。特定のチューニング部１０８について、スイッチ装置１１０が閉じられる（すなわち、チューニング部１０８が、チューニング部１０８の一端、両端、またはチューニング部１０８の中央領域に配置されたスイッチ装置１１０においてグランドに接続される）と、関連する導電線１０４のキャパシタンスが増大する。導電線１０４のキャパシタンスの増大は、導電線１０４で伝播するＲＦ信号の速度を低減させる。
【００１４】
図示の実施形態は、各導電線１０４と共に配置され関連付けられる２つのチューニング部１０８を含むが、代替的実施形態では、導電線１０４ごとに任意の数のチューニング部１０８を含んでよい。特定のチューニング部１０８をグランドに接続する（１つまたは複数の）スイッチ装置１１０に影響を与えることによって導電線１０４の実効キャパシタンスを漸増的に増大できるように、各チューニング部１０８は個別に制御され得る。チューニング部１０８の状態（すなわち、チューニング部１０８をグランドに接続するスイッチ装置１１０の状態）を変更することにより、導電線１０４の実効キャパシタンスを増大または低減させて、光信号の速度に接近または実質的に一致するようにＲＦ信号の速度に影響を与えることができる。
【００１５】
図２は、導電線１０４およびチューニング部１０８の例示的な配置構成の上面図を示す。線担持要素（line loading elements）が、スイッチ装置１１０に接続された導電部２０２を含む。導電部２０２のそれぞれは、チューニング部１０８の一端でスイッチ装置１１０を閉じることにより、選択的かつ個別にグランドに接続することができる。スイッチ装置１１０は、スイッチ装置１１０の状態を変更する信号を出力するように機能するコントローラ２０４によって制御される。コントローラ２０４は、たとえば、入力を受け取り、入力および出力信号を処理するように機能するプロセッサまたは論理回路を含むことができる。図示の実施形態では、コントローラ２０４が、スイッチ装置１１０ａを閉じることができ、それにより導電部２０２ａをグランドに接続する。そのような接続により、導電線１０４のキャパシタンスの増大がもたらされる。前述のように、導電線１０４のキャパシタンスの増大は、ＲＦ入力信号の速度を低減させる（（前述の）ＲＦ入力と光信号の速度の相対的差を低減させる）。ＲＦ入力の速度がさらに低減するのが望ましい場合、コントローラは、たとえば、スイッチ装置１１０ｂを閉じて、導電部２０２ｂをグランドに接続し、それにより、導電線１０４のキャパシタンスをさらに増大することができる。所望に応じて、他のチューニング部１０８のスイッチ装置１１０を閉じることにより、キャパシタンスをさらに増大することもできる。
【００１６】
図３は、チューニング部１０８の例示的実施形態の側面部分切り取り図を示す。導電部２０２は、スイッチ装置１１０に接続されている。図示の実施形態では、スイッチ装置１１０は、１つまたは複数のトランジスタを含む。スイッチ装置１１０は、ノード３０２を介してグランドに接続され、かつコントローラ２０４に接続されている。チューニング部１０８は、たとえば、基板３０１上に配設された酸化物または窒化物材料などである絶縁層３０３内に配置される。導電線１０４は、絶縁層３０３上に配置される。図示の実施形態では基板３０１および絶縁層３０３を含んでいるが、装置は、任意の種々の材料を含む任意の数の層を含むことができる。１つのスイッチ装置１１０が示されているが、代替的実施形態は、２つ以上のスイッチ装置１１０を含んでもよく、それにより、導電部２０２の各端がスイッチ装置１１０を介してグランドに接続され、または、代替的実施形態は、導電部２０２の中央領域にスイッチ装置１１０を含んでもよく、それにより、スイッチ装置１１０が閉じられたときに導電部２０２の両端の間にグランドへの経路が生じる。
【００１７】
図４は、電気光学モジュレータ装置４００の別の例示的実施形態の一部分の上面図である。電気光学モジュレータ装置４００は、変調経路４０１および４０３を含む。各変調経路４０１および４０３は、導電線４０４および導波路部４０２を含む。導電線４０４は、プッシュプルＲＦ入力４０６およびプッシュプルＲＦ出力４０８に接続されている。導波路部４０２は、光信号入力部４１０および光信号出力部４１２に接続されている。光信号は、相互作用または変調領域４１４においてＲＦ信号によって変調される。複数のチューニング部１０８が、導電線４０４の複数の部分上に配置される。グランド領域４１６に接続されたチューニング部１０８は、導電線４０４から絶縁される。導電線４０４は、絶縁体領域４１８によってグランド領域４１６から絶縁される。電気光学モジュレータ装置４００の動作は、上述の例示的実施形態の動作と同様であり、次の図５でさらに詳細に説明する。
【００１８】
図５は、（図４の）領域５における電気光学モジュレータ装置４００の例示的実施形態の一部分を示す。これに関して、チューニング部１０８ａ、１０８ｂ、および１０８ｃは、それぞれのグループ５０１、５０３、および５０５内に配置され、それぞれがコントローラ２１４によって通信可能に接続され制御されて、コントローラ２１４が、各グループ５０１、５０３、および５０５内の複数のチューニング部１０８ａ、１０８ｂ、１０８ｃのそれぞれについて、（図２の）スイッチ装置１１０の状態を選択的に変更することができる。
【００１９】
図６は、（図４の）領域５における電気光学モジュレータ装置４００の別の代替的な例示的実施形態を示す。これに関して、チューニング部１０８ａ、１０８ｂ、１０８ｃ、１０８ｄ、１０８ｅ、１０８ｆ、１０８ｇ、１０８ｈ、および１０８ｉはそれぞれ、コントローラ２１４によって通信可能に接続され別個に制御されて、コントローラ２１４が、複数のチューニング部１０８ａ、１０８ｂ、１０８ｃ、１０８ｄ、１０８ｅ、１０８ｆ、１０８ｇ、１０８ｈ、および１０８ｉのそれぞれについて、個別に（図２の）スイッチ装置１１０の状態を選択的に変更することができる。コントローラ２１４のそれぞれは、図７に示すような装置の性能測定値（性能メトリック）、たとえば、電気光学モジュレータ装置４００の測定帯域幅、または装置の変調ペナルティの測定値などを示す信号を受け取るように機能することができる。いくつかの実施形態では、信号は、後述するように電気光学モジュレータ装置４００を制御するために使用することができる。変調ペナルティは、特定の変調フォーマットに対して定義される。多くのタイプの変調フォーマット、たとえば、非ゼロ復帰（ＮＲＺ）、差動位相偏移変調（ＤＰＳＫ）、およびマルチレベル符号化（ＰＡＭ４またはＰＡＭ８）がある。たとえば、ＮＲＺの場合、変調ペナルティは、消光比の変調ペナルティへの変換、すなわち、パワーペナルティ＝１０×Ｌｏｇ［（ＥＲ−１）／（ＥＲ＋１）］として定義され、ここで、ＥＲは、「ゼロ」ビットのパワーを「１」ビットのパワーで割った比である消光比である。
【００２０】
図７は、上述の電気光学装置を動作させるための例示的な方法のブロック図を示す。これに関して、ブロック７０２で、電気光学装置の性能が測定される。装置の性能が測定されると、（図１の）チューニング部１０８の状態は、たとえばコントローラ２１４を用いて、スイッチ装置１１０の状態を変更することにより、チューニング部１０８がグランドに接続されるように変更される。ブロック７０６では、電気光学装置の性能が測定される。ブロック７０８において、電気光学装置の性能が増大していた場合、（たとえば、ブロック７０２の第１の測定帯域幅がブロック７０６の第２の測定帯域幅と比較されて、第２の測定帯域幅が第１の測定帯域幅より大きいかどうかが決定される）、ブロック７０４および７０６のプロセスを繰り返すことができる。ブロック７１０では、電気光学装置の性能が増大していなかった場合に、装置の性能が低減したかどうかが決定される。低減していた場合、装置のチューニング部１０８の状態は、たとえば、ブロック７１２でスイッチ装置１１０を開くことによって、グランドからチューニング部１０８を分離するように変更することができる。図７で説明される方法は、たとえば、電気光学装置の性能を示す入力を受け取るコントローラ２１４によって、またはチューニング部１０８の状態を制御するために入力をコントローラ２１４に送る技術者によって、実行され得る。
【００２１】
あるいは、データ伝送の（１つまたは複数の）品質が、リアルタイムで監視され、コントローラのための入力情報として、どのスイッチをオンにし、どのように電気光学モジュレータ帯域幅を構成すべきかを適切に修正するために使用され得る。さらに、伝送システムが光アドドロップ・モジュールを有するメッシュ・ネットワークである場合、ネットワークに追加されるデータが光アドドロップ・モジュールを介して移動するデータと同様の歪みを有することができるように、ネットワーク内の現存データの品質が監視され得る。
【００２２】
チューニング部１０８の状態が設定されたあと、状態は、いくつかの例示的実施形態では、電気光学装置が通常動作において光信号を変調している際に動的に変更可能であり、あるいは、状態は特定の動作モードに対して設定または校正可能である。
【００２３】
図７に図示の例示的方法は、チューニング部１０８の状態を変更することによって、装置の性能を増大することを含むが、いくつかの実施形態では、装置の性能を低減させる（たとえば、装置の帯域幅を低減させる）ことが望ましい場合がある。これに関して、同様の論理的方法で、チューニング部１０８の状態を変更して装置の性能を所望の性能レベルに低減させる方法が行われる。
【００２４】
本明細書で使用される用語は、特定の実施形態を説明するためのものに過ぎず、本発明を限定することを意図していない。本明細書で使用される場合、文脈で別段の明確な指示がない限り、単数形「ａ」、「ａｎ」および「ｔｈｅ」は複数形も包含する。さらに、本明細書で使用されるとき、用語「含む（comprise）」または「含んでいる（comprising）」あるいはその両方は、記載された特徴、整数、ステップ、動作、要素、または構成要素、あるいはそれらの一部または全部の存在を明示するが、１つまたは複数の他の特徴、整数、ステップ、動作、要素、構成要素、またはそれらの群、あるいは全部の存在または追加を除外しないことは理解されよう。
【００２５】
添付の特許請求の範囲におけるすべてのミーンズまたはステップ・プラス・ファンクション要素の対応する構造、材料、行為、および均等物は、明確に特許請求されるような他の特許請求される要素と組み合わせて機能を実行するための任意の構造、材料、または行為を含むことが意図される。本発明の説明は、例示および記述のために提示されているが、網羅的であること、または開示された形態に本発明を限定することは意図していない。多くの変更形態および変形形態が、本発明の範囲および趣旨から逸脱することなく当業者には明らかであろう。実施形態は、本発明の原理および実際的な応用を最も良く説明するため、また、企図される特定の用途に適した様々な変更と共に様々な実施形態について本発明を他の当業者が理解できるようにするために、選択され説明されている。
【００２６】
本明細書に示した流れ図は一例に過ぎない。この図、またはこの図で説明されたステップ（もしくは動作）に対する多くの変形形態が、本発明の趣旨から逸脱することなく存在し得る。たとえば、異なる順序でステップが実行されてもよく、あるいはステップが追加、削除、または変更されてもよい。これらの変形形態のすべては、請求項に係る発明の一部とみなされる。
【００２７】
本発明の好ましい実施形態について説明したが、現在および将来の両方において、当業者が、添付の特許請求の範囲に含まれる様々な改良および強化をなし得ることは理解されよう。これらの請求項は、当初記載された発明の適切な保護を維持するものと解釈されるべきである。
【図１】
2015530615.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【手続補正書】
【提出日】平成27年3月27日(2015.3.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気光学モジュレータ装置であって、
導波路部によって部分的に画定された光信号経路と、
導電線部によって部分的に画定された無線周波数（ＲＦ）信号経路と、
前記ＲＦ信号経路で伝播するＲＦ信号が前記光信号経路で伝播する光信号と相互作用して前記光信号を変調する、相互作用領域と、
前記導電線部に近接して配置された第１のチューニング部であって、導電部と、前記導電部をグランドに接続するように機能するスイッチ部とを含む、前記第１のチューニング部と
を備える電気光学モジュレータ装置。
【請求項２】
前記第１のチューニング部は、前記導電部およびグランドに接続された第１のスイッチ部を含む、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記第１のチューニング部は、前記導電部およびグランドに接続された第２のスイッチ部を含む、請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記導電部は、前記導電線部と重なる配置構成に配設される、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記第１のチューニング部の前記導電部は、前記導電線部から電気的に絶縁される、請求項１に記載の装置。
【請求項６】
第２のチューニング部をさらに備え、前記第２のチューニング部は、導電部と、前記導電部をグランドに接続するように機能するスイッチ部とを含む、請求項１に記載の装置。
【請求項７】
前記第１のチューニング部の前記スイッチ部に通信可能に接続されたコントローラ部をさらに備え、前記コントローラ部は、前記スイッチ部の状態を制御するように機能する、請求項１に記載の装置。
【請求項８】
前記第１のチューニング部の前記スイッチ部と前記第２のチューニング部の前記スイッチ部とに通信可能に接続されたコントローラ部をさらに備え、前記コントローラ部は、前記第１のチューニング部の前記スイッチ部の状態と前記第２のチューニング部の前記スイッチ部の状態とを制御するように機能する、請求項６に記載の装置。
【請求項９】
電気光学モジュレータ装置システムであって、
導波路部によって部分的に画定された光信号経路と、
導電線部によって部分的に画定された無線周波数（ＲＦ）信号経路と、
前記ＲＦ信号経路で伝播するＲＦ信号が前記光信号経路で伝播する光信号と相互作用して前記光信号を変調する、相互作用領域と、
前記導電線部に近接して配置された第１のチューニング部であって、導電部と、前記導電部をグランドに接続するように機能するスイッチ部とを含む、前記第１のチューニング部と、
前記第１のチューニング部の前記スイッチ部に通信可能に接続されたコントローラ部であって、前記スイッチ部の状態を制御するように機能する、前記コントローラ部と
を備える電気光学モジュレータ装置システム。
【請求項１０】
前記第１のチューニング部は、前記導電部およびグランドに接続された第１のスイッチ部を含む、請求項９に記載のシステム。
【請求項１１】
前記第１のチューニング部は、前記導電部およびグランドに接続された第２のスイッチ部を含む、請求項１０に記載のシステム。
【請求項１２】
前記導電部は、前記導電線部と重なる配置構成に配設される、請求項９に記載のシステム。
【請求項１３】
前記第１のチューニング部の前記導電部は、前記導電線部から電気的に絶縁される、請求項９に記載のシステム。
【請求項１４】
第２のチューニング部をさらに備え、前記第２のチューニング部は、導電部と、前記導電部をグランドに接続するように機能するスイッチ部とを含む、請求項９に記載のシステム。
【請求項１５】
前記コントローラ部は、前記第１のチューニング部の前記スイッチ部と前記第２のチューニング部の前記スイッチ部とに通信可能に接続され、前記コントローラ部は、前記第１のチューニング部の前記スイッチ部の状態と前記第２のチューニング部の前記スイッチ部の状態とを制御するように機能する、請求項１４に記載のシステム。
【請求項１６】
電気光学モジュレータ装置であって、
基板と、
前記基板上に配置された導電線部によって部分的に画定された無線周波数（ＲＦ）信号経路と、
前記基板上に配置された導波路部によって部分的に画定された光信号経路と、
前記ＲＦ信号経路で伝播するＲＦ信号が前記光信号経路で伝播する光信号と相互作用して前記光信号を変調する、相互作用領域と、
前記導電線部に近接して前記基板上に配置された第１のチューニング部であって、導電部と、前記導電部をグランドに接続するように機能するスイッチ部とを含む、前記第１のチューニング部と
を備える電気光学モジュレータ装置。
【請求項１７】
前記第１のチューニング部は、前記導電部およびグランドに接続された第１のスイッチ部を含む、請求項１６に記載の装置。
【請求項１８】
前記第１のチューニング部は、前記導電部およびグランドに接続された第２のスイッチ部を含む、請求項１７に記載の装置。
【請求項１９】
前記導電部は、前記導電線部と重なる配置構成に配設される、請求項１６に記載の装置。
【請求項２０】
前記第１のチューニング部の前記導電部は、前記導電線部から電気的に絶縁される、請求項１６に記載の装置。
【請求項２１】
電気光学モジュレータ装置を制御するための方法であって、
前記装置の性能メトリックを測定して第１の測定性能値を決めることと、
前記装置の第１のチューニング部の状態を変更して前記第１のチューニング部をグランドに接続することと
を含む方法。
【請求項２２】
前記装置の第１のチューニング部の前記状態を変更して前記第１のチューニング部をグランドに接続することに応答して、前記装置の前記性能メトリックを測定して第２の測定性能値を決めることと、
前記第２の測定性能値が前記第１の測定性能値より大きいかどうかを決定することと
をさらに含む、請求項２１に記載の方法。
【請求項２３】
前記第２の測定性能値が前記第１の測定性能値より大きくないと決定することに応答して、前記第２の測定性能値が前記第１の測定性能値より小さいかどうかを決定することと、
前記第２の測定性能値が前記第１の測定性能値より小さいと決定することに応答して、前記装置の前記第１のチューニング部の状態を変更して前記第１のチューニング部をグランドから分離することと
をさらに含む、請求項２２に記載の方法。
【請求項２４】
前記第２の測定性能値が前記第１の測定性能値より大きいと決定することに応答して、前記装置の第２のチューニング部の状態を変更して前記第２のチューニング部をグランドに接続することをさらに含む、請求項２３に記載の方法。
【請求項２５】
前記装置の第２のチューニング部の前記状態を変更して前記第２のチューニング部をグランドに接続することに応答して、前記装置の前記性能メトリックを測定して第３の測定性能値を決めることと、
前記第３の測定性能値が前記第２の測定性能値より大きいかどうかを決定することと
をさらに含む、請求項２４に記載の方法。
【請求項２６】
前記第３の測定性能値が前記第２の測定性能値より大きくないと決定することに応答して、前記第３の測定性能値が前記第２の測定性能値より小さいかどうかを決定することと、
前記第３の測定性能値が前記第２の測定性能値より小さいと決定することに応答して、前記装置の前記第２のチューニング部の状態を変更して前記第２のチューニング部をグランドから分離することと
をさらに含む、請求項２５に記載の方法。
【請求項２７】
電気光学モジュレータ装置を制御するための方法であって、
前記装置の性能メトリックを測定して第１の測定性能値を決めることと、
前記装置の第１のチューニング部の状態を変更して前記第１のチューニング部をグランドに接続することとを含み、前記第１のチューニング部は、前記電気光学モジュレータ装置の導電線部と重なる配置構成に配設される導電部を含み、前記第１のチューニング部をグランドに接続することは、前記導電部のキャパシタンスを増大させるように機能する、方法。
【請求項２８】
前記装置の第１のチューニング部の前記状態を変更して前記第１のチューニング部をグランドに接続することに応答して、前記装置の前記性能メトリックを測定して第２の測定性能値を決めることと、
前記第２の測定性能値が前記第１の測定性能値より大きいかどうかを決定することと
をさらに含む、請求項２７に記載の方法。
【請求項２９】
前記第２の測定性能値が前記第１の測定性能値より大きくないと決定することに応答して、前記第２の測定性能値が前記第１の測定性能値より小さいかどうかを決定することと、
前記第２の測定性能値が前記第１の測定性能値より小さいと決定することに応答して、前記装置の前記第１のチューニング部の状態を変更して前記第１のチューニング部をグランドから分離することと
をさらに含む、請求項２８に記載の方法。
【請求項３０】
前記第２の測定性能値が前記第１の測定性能値より大きいと決定することに応答して、前記装置の第２のチューニング部の状態を変更して前記第２のチューニング部をグランドに接続することをさらに含む、請求項２９に記載の方法。
【請求項３１】
前記装置の第２のチューニング部の前記状態を変更して前記第２のチューニング部をグランドに接続することに応答して、前記装置の前記性能メトリックを測定して第３の測定性能値を決めることと、
前記第３の測定性能値が前記第２の測定性能値より大きいかどうかを決定することと
をさらに含む、請求項３０に記載の方法。
【請求項３２】
前記第３の測定性能値が前記第２の測定性能値より大きくないと決定することに応答して、前記第３の測定性能値が前記第２の測定性能値より小さいかどうかを決定することと、
前記第３の測定性能値が前記第２の測定性能値より小さいと決定することに応答して、前記装置の前記第２のチューニング部の状態を変更して前記第２のチューニング部をグランドから分離することと
をさらに含む、請求項３１に記載の方法。
【請求項３３】
電気光学モジュレータ装置を制御するための方法であって、前記電気光学モジュレータ装置の導電線部のキャパシタンスを変化させることを含み、前記導電線部は、光信号と相互作用し前記光信号を変調するように機能する無線周波数（ＲＦ）信号を伝播するように機能する、方法。
【請求項３４】
前記光信号は、前記導電線部の一部分に近接して配置された前記電気光学モジュレータ装置の導波路部で伝播される、請求項３３に記載の方法。
【請求項３５】
前記導電線部の前記キャパシタンスを前記変化させることは、前記導電線部の前記キャパシタンスを増大させることを含む、請求項３３に記載の方法。
【請求項３６】
前記導電線部の前記キャパシタンスを前記増大させることは、前記ＲＦ信号の速度に影響を与える、請求項３５に記載の方法。
【請求項３７】
前記導電線部の前記キャパシタンスを前記増大させることは、前記ＲＦ信号と前記光信号の速度の差を低減させるように機能する、請求項３６に記載の方法。
【請求項３８】
前記導電線部の前記キャパシタンスを前記変化させることは、前記導電線部の前記キャパシタンスを低減させることを含む、請求項３３に記載の方法。
【請求項３９】
前記導電線部の前記キャパシタンスを前記低減させることは、前記ＲＦ信号の速度に影響を与える、請求項３８に記載の方法。
【請求項４０】
前記導電線部の前記キャパシタンスを前記低減させることは、前記ＲＦ信号と前記光信号の速度の差を低減させるように機能する、請求項３９に記載の方法。
【国際調査報告】
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