(57)【要約】      （修正有）【課題】輸送時の安全性の向上、メンテナンス時の作業効率の向上および配管部との接触を無くすことができる供給用金属性容器を提供する。【解決手段】供給用金属性容器１は、円柱状の容器本体１１と、容器本体１１天部に設けられるバルブ１２、１３、１４を備える。容器本体１１に対しガードリングが着脱自在に取り付けられる。ガードリングは、容器本体１１の上部に着脱自在に取り付けられる板状リングと、板状リングの特定位置（３つのバルブ１２、１３、１４と容器本体１１の断面円中心とを結んだ延長線上でない位置）で立設される４つの支柱２２、２４、２５と、支柱２２、２４、２５と固定されかつ容器設置時に少なくとも１つのバルブと接続される配管（不図示）との接触を避けるように一部が欠けた形状のリング部２１とを有する。【選択図】図１
0003192261.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
円柱状の容器本体と、
前記容器本体天部に設けられるバルブと、
前記容器本体の上部に着脱自在に取り付けられる板状リングと、前記板状リングの、前記バルブと容器本体の断面円中心とを結んだ延長線上でない位置で立設される少なくとも３つの支柱と、当該支柱と固定されかつ容器設置時に前記バルブと接続される配管との接触を避けるように一部が欠けた形状のリング部とを有するガードリングと、を備える供給用金属性容器。
【請求項２】
前記リング部の欠けた部分が、容器設置時に背面側になる、請求項１に記載の供給用金属性容器。
【請求項３】
前記リング部の欠けた部分が、１１０°以上１３０°以下である、請求項１または２に記載の供給用金属性容器。
【請求項４】
前記ガードリングの前記リング部の高さは、前記バルブ上部に取り付けられる継手部の高さと同じまたは前記継手部から上に１５ｃｍ以下までの高さである、請求項１〜３のいずれか１項に記載の供給用金属性容器。
【請求項５】
前記継手部の輸送時保護用のロックデバイスが前記バルブまたは前記継手部に着脱自在に構成される、請求項１〜４のいずれか１項に記載の供給用金属性容器。
【請求項６】
前記継手部がハイフロー継手である、請求項１〜５のいずれか１項に記載の供給用金属性容器。
【請求項７】
前記ガードリングは、前記リング部の欠けた部分であって、前記リング部よりも低い位置に、前記２つの支柱と固定されるサポート部をさらに有する、請求項１〜６のいずれか１項に記載の供給用金属性容器。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、反応性、可燃性、自然発火性および／または毒性を有する液体・固体の供給で使用される金属製容器、例えば、薄膜形成用CVD材料(半導体、フィルム形成用など)の供給で使用される金属製容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に半導体プロセスを中心とした、水と空気との反応性、あるいは可燃性・自然発火性・毒性等を有する材料の供給には、一定の気密レベルを有したステンレス製容器に、半導体用バルブ(ダイレクトダイアフラムバルブ)を装着したものが使用されている。
【０００３】
また、プロテクトパイプの一部を湾曲させることで、設備等の配管部との干渉(影響)を防止可能とした可搬型貯蔵タンクがある（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第２６４８７７５号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の水と空気との反応性、あるいは可燃性・自然発火性・毒性等を有する材料の供給容器は、デリバリー時の安全性、メンテナンス時の作業効率などのすべてを満足するには至っていない。上記特許文献１では、プロテクトパイプの一部を湾曲させているが、メンテナンス時の作業効率までは考慮されていない。
【０００６】
また、供給容器から材料を半導体製造設備側へ供給する時の材料の残量管理は、一般的に、供給容器を含めた全重量の減少を測定することで行う。しかし、供給容器の取出管と連結される配管部が供給容器のプロテクトパイプと接触する等の干渉（影響）を起こすと、重量を精度良く測れない。上記特許文献１では、プロテクトパイプの一部を湾曲させることで配管部とプロテクトパイプとの接触を防止できるとしているが、より確実に干渉をなくしたいとの要望がある。
【０００７】
本考案は、上記現状に鑑みてなされたものであって、輸送時の安全性の向上、メンテナンス時の作業効率の向上および配管部との接触を無くすことができる供給用金属性容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するための本考案の供給用金属性容器は、
円柱状の容器本体と、
前記容器本体天部に設けられるバルブと、
前記容器本体の上部に着脱自在に取り付けられる板状リングと、前記板状リングの、前記バルブと容器本体の断面円中心とを結んだ延長線上でない位置で立設される少なくとも３つの支柱と、当該支柱と固定されかつ容器設置時に前記バルブと接続される配管との接触を避けるように一部が欠けた形状のリング部とを有するガードリングとを備える。
【０００９】
この構成によれば、ガードリングによって、安全性を確保した輸送（デリバリー）が可能になる。また、ガードリングが着脱自在であり、メンテナンス時にそれを取り外すことも可能となり作業性(時間、工数、コスト削減)が向上する。ガードリングを外さなくとも、支柱が３または４つであり、かつ、バルブと容器本体の断面円中心とを結んだ延長線上でない位置に支柱が立設されるので、支柱が邪魔になることがない。また、リング部の一部（支柱と支柱との間の一部）が欠けていることで、配管部との接触を無くし、供給設備側への干渉（影響）を完全に解消できる。本発明の供給用金属性容器は、例えば、反応性、可燃性、自然発火性、毒性等の危険性を有する薄膜形成用CVD材料(半導体、フィルム形成用など)の供給用に適する。
【００１０】
上記考案の一実施形態として、前記バルブの本数が、例えば１〜７本である。
【００１１】
上記考案の一実施形態として、前記リング部の欠けた部分が、容器設置時に背面側になる。これによって、設備側の配管が容器背面側から延設されても、ガードリングのリング部の欠けた部分が背面側にあるので、配管とガードリングとが接触しない。
【００１２】
上記考案の一実施形態として、前記リング部の欠けた部分が、１１０°以上１３０°以下である。これによって、欠けた部分によって配管との接触がなく、かつリング部（２３０°〜２５０°）によってバルブの保護を確実に行える。
【００１３】
上記考案の一実施形態として、前記ガードリングの前記リング部の高さは、前記バルブ上部に取り付けられる継手部の高さと同じまたは前記継手部から上に１５ｃｍ以下までの高さである。これによって、上記効果に加え、容器サイズのコンパクト性を維持する。
【００１４】
上記考案の一実施形態として、前記継手部の輸送時保護用のロックデバイスが前記バルブまたは前記継手部に着脱自在に構成される。これによって、輸送時の振動による継手部の緩み防止を確実にできる。
【００１５】
上記考案の一実施形態として、前記継手部がハイフロー継手である。また、プラグとソケットの両方にバルブが内蔵されている継手が好ましい。継手と配管を素早く接続または分離できる。
【００１６】
上記考案の一実施形態として、前記ガードリングは、前記リング部の欠けた部分であって、前記リング部よりも低い位置(例えば、継手と同じ高さ位置またはそれよりも低い位置)、に、前記２つの支柱と固定されるサポート部をさらに有する。リング部の欠けた位置に対応して、サポート部を設けることで、配管との接触を避けつつバルブの補助的な保護ができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施形態１の供給用金属性容器の外観を示す図である。
【図２】ガードリングを示す図である。
【図３】供給用金属性容器を上から見た図である。
【図４】実施形態２のガードリングを示す図である。
【図５】供給用金属性容器を上から見た図である。
【考案を実施するための形態】
【００１８】
（実施形態１）
実施形態１の供給用金属性容器について図１〜３を用いて説明する。供給用金属性容器１は、円柱状の容器本体１１と、容器本体１１天部に設けられる３つのバルブ１２、１３、１４を備える。容器本体１１に対しガードリング２が着脱自在に取り付けられる。ガードリング２は、容器本体１１の上部に着脱自在に取り付けられる板状リング１６と、板状リング１６の特定位置（３つのバルブ１２、１３、１４と容器本体１１の断面円中心とを結んだ延長線（Ｌ１、Ｌ２）上でない位置）で立設される４つの支柱２２、２３、２４、２５と、支柱２２、２３、２４、２５と固定されかつ容器設置時に少なくとも１つのバルブと接続される配管（不図示）との接触を避けるように一部が欠けた形状のリング部２１とを有する。
【００１９】
本実施形態１において、リング部２１の欠けた部分(α)は、１２０°の角度範囲であり、リング部２１の実体は２４０°の範囲である。ガードリング２のリング部２１は、バルブ（１２、１３、１４）上部の継手部より１０ｃｍ高い位置にある。各支柱２２、２３、２４、２５が立設された板状リング１６は、ボルトナット構造３１、３２、３３、３４で容器本体１１に溶接された取付部(ナット孔有する)と着脱自在に取り付けられており、それによってガードリング２が容器本体１１から着脱自在に構成されている。
【００２０】
（実施形態２）
実施形態２のガードリング２は、リング部２１の欠けた部分の替わりに、サポート部２８が設けられる（図４参照）。サポート部２８は、リング部２１よりも低い位置かつバルブ１２、１３、１４の上部に設置された継手部と同じ高さ位置で、２つの支柱２３、２４に固定される。別実施形態として、サポート部２８は、支柱２３、２４にボルトナット構造で着脱自在に取り付けられてもいてもよい。
【００２１】
（実施形態３）
各バルブ１２、１３、１４の上部に取り付けられた継手部を輸送時に保護するために、各バルブ１２、１３、１４および容器本体１１にボルトナット構造でロックデバイス５０が着脱自在に取り付けられる（図５参照）。ロックデバイス５０としては、例えばSwagelok社製のロックデバイスが挙げられる。
【００２２】
（別実施形態）
別実施形態として、バルブ１２、１３、１４の上部に取り付けられる継手部がハイフロー継手であることが好ましい。また、リング部２１の欠けた部分が、１２０°に限定されず、１１０°〜１３０°の範囲で構成していてもよい。また、支柱は４つに限定されず、３つであってもよい。また、それぞれの支柱が等間隔に配置されていなくてもよい。バルブの本数は３つに限定されず、１、２、４〜７本であってもよい。
【符号の説明】
【００２３】
１      供給用金属性容器
１１    容器本体
１２、１３、１４    バルブ
１６    板状リング
２      ガードリング
２１    リング部
２２、２３、２４    支柱
２８    サポート部
３１、３２、３３、３４  ボルトナット構造
５０    ロックデバイス
【図１】
0003192261.tif 000003
【図２】
0003192261.tif 000004
【図３】
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【図４】
0003192261.tif 000006
【図５】
0003192261.tif 000007
【手続補正書】
【提出日】平成26年6月9日(2014.6.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】実用新案登録請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
円柱状の容器本体と、
前記容器本体天部に設けられるバルブと、
前記容器本体の上部に着脱自在に取り付けられる板状リングと、前記板状リングの、前記バルブと容器本体の断面円中心とを結んだ延長線上でない位置で立設される少なくとも３つの支柱と、当該支柱と固定されかつ容器設置時に前記バルブと接続される配管との接触を避けるように一部が欠けた形状のリング部とを有するガードリングと、を備える供給用金属性容器。
【請求項２】
前記リング部の欠けた部分が、容器設置時に背面側になる、請求項１に記載の供給用金属性容器。
【請求項３】
前記リング部の欠けた部分が、１１０°以上１３０°以下である、請求項１または２に記載の供給用金属性容器。
【請求項４】
前記ガードリングの前記リング部の高さは、前記バルブ上部に取り付けられる継手部の高さと同じまたは前記継手部から上に１５ｃｍ以下までの高さである、請求項１〜３のいずれか１項に記載の供給用金属性容器。
【請求項５】
前記継手部の輸送時保護用のロックデバイスが前記バルブまたは前記継手部に着脱自在に構成される、請求項４に記載の供給用金属性容器。
【請求項６】
前記継手部がハイフロー継手である、請求項４又は５に記載の供給用金属性容器。
【請求項７】
前記ガードリングは、前記リング部の欠けた部分であって、前記リング部よりも低い位置に、前記２つの支柱と固定されるサポート部をさらに有する、請求項１〜６のいずれか１項に記載の供給用金属性容器。