【手続補正書】
【提出日】平成22年6月4日(2010.6.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流管と、光ビームを発する光源及び該光源からの光を受ける光検出器が設けられた少なくとも一つの管位置センサと、流管を軸線に対して移動せしめる駆動手段とを有し、上記光源と光検出器との間の光路に対しての流管の変位に対応して上記光検出器が信号を発するように上記流管、管位置センサ、駆動手段が配置されており、光源と光検出器は所定距離をもって互いに対向して位置しそして干渉空間によって離間されていて、該干渉空間で流管あるいは流管に取り付けられた突出部が上記光路で光源そして光検出器に対して非接触で移動可能となっているコリオリ型質量流量計において、第一光透過開口を有する第一スクリーンが光源側に配されそして第二光透過開口を有する第二スクリーンが光検出器側に配されていること、第一光透過開口と第二光透過開口とが同じ形状で対向して位置していること、両光透過開口が互いに平行で光路上で一致して位置していて光のビームが光検出器に入射することを特徴とするコリオリ型質量流量計。
【請求項２】
少なくとも一つの管位置センサは互いに対向せる二つの脚部を備えるＵ字状ハウジングを有し、一方の脚部に光源が、そして他方の脚部に光検出器が配設されていることとする請求項１に記載のコリオリ型質量流量計。
【請求項３】
第一と第二スクリーンがＵ字状ハウジングの脚部同士の対向壁により形成されていることとする請求項２に記載のコリオリ型質量流量計。
【請求項４】
脚部同士の対向壁に開口が形成されていること、第一スクリーンが一方の脚部の壁での開口に対向した光透過開口を有して配置され、第二スクリーンが他方の脚部の壁での開口に対向した開口を有して配置されていることとする請求項２に記載のコリオリ型質量流量計。
【請求項５】
第一そして第二スクリーンが、二つの脚部と連結リムを有するＵ字状構造の脚部に形成されていることとする請求項１又は請求項４に記載のコリオリ型質量流量計。
【請求項６】
第一そして第二光透過開口が流管の移動方向に対して平行な矩形の一辺を有する矩形をなしていることとする請求項１に記載のコリオリ型質量流量計。
【請求項７】
少なくとも一つの管位置センサは、流管の移動方向で連続せる、検出面の連続的部分域に、検出器の受光量を単調に変化させる手段を備えていることとする請求項１に記載のコリオリ型質量流量計。
【請求項８】
第一そして第二光透過開口の大きさは、流管の移動方向を横切る方向で流管の移動方向から見て、広い部分から狭い部分へ単調に減小していることとする請求項１に記載のコリオリ型質量流量計。
【請求項９】
第一そして第二スクリーンにおける第一そして第二光透過開口の大きさは、流管の移動方向を横切る方向で流管の移動方向から見て、広い部分から狭い部分へ単調に減小していることとする請求項４に記載のコリオリ型質量流量計。
【請求項１０】
流管の移動方向で単調に変化する透過度勾配をもったフィルタが光源と光検出器との間の光路に配されていることとする請求項１に記載のコリオリ型質量流量計。
【請求項１１】
上記手段が光源と光検出器との間の光路に配された光学楔状部材を有していることとする請求項７に記載のコリオリ型質量流量計。
【請求項１２】
流量計が第一そして第二位置センサを有し、各位置センサが干渉空間により離間配置されている光源と光検出器を有し、流管あるいは流管に取り付けられた突出部が上記干渉空間内を可動となっていること、上記第一そして第二位置センサが流管の動きの中心となる軸線の両側で互いに小さな距離をおいて配置されていることとする請求項１に記載のコリオリ型質量流量計。
【請求項１３】
流量計が第一、第二そして第三位置センサを有し、各位置センサが干渉空間により離間配置されている光源と光検出器を有し、流管あるいは流管に取り付けられた突出部が上記干渉空間内を可動となっていること、上記第一そして第二位置センサが流管の動きの中心となる軸線の両側で互いに小さな距離をおいて配置されていること、第三位置センサが第一そして第二位置センサと同一線上で第一そして第二位置センサの一方に隣接して配置されていることとする請求項１に記載のコリオリ型質量流量計。
【請求項１４】
各管センサは互いに対向せる二つの脚部を備えるＵ字状ハウジングを有し、一方の脚部に光源が、そして他方の脚部に光検出器が配設され、第一光透過開口を有する第一スクリーンが光源側に配されそして第二光透過開口を有する第二スクリーンが光検出器側に配されていること、すべての位置センサについて一体型Ｕ字状構造の脚部が対応位置センサのスクリーンが形成されていて、各位置センサの第一そして第二光透過開口の光軸が一致しそれぞれの独立の位置センサの光軸が互いに平行であることとする請求項１２又は請求項１３に記載のコリオリ型質量流量計。
【請求項１５】
流管が一つの面で機械的に閉じられたループを形成し、両端がループの中心を通るようにて屈曲されていて、ループの両端が弾性懸吊部となっていることとする請求項１に記載のコリオリ型質量流量計。
【請求項１６】
流量計は、流管の移動のために該流管に力あるいはトルクを非接触で励起する手段を有していることとする請求項１に記載のコリオリ型質量流量計。
【請求項１７】
突出部が流管の壁に取り付けられており、流管が光路外で移動したときに、上記突出部が光路内で移動可能となっていることとする請求項１に記載のコリオリ型質量流量計。
【請求項１８】
突出部が流管の壁に取り付けられており、流管が光路外で移動したときに、上記突出部が第一そして第二位置センサの光路内で移動可能となっていることとする請求項１２に記載のコリオリ型質量流量計。
【請求項１９】
突出部が流管の壁に取り付けられており、流管が光路外で移動したときに、上記突出部が第一、第二そして第三位置センサの光路内で移動可能となっていることとする請求項１３に記載のコリオリ型質量流量計。
【請求項２０】
突出部に少なくとも一つの窓部が形成されており、流管の移動方向に見たときに、流管の移動方向を横切る方向での該窓部の大きさが広い部分から狭い部分へ減小していることとする請求項１７、請求項１８そして請求項１９のうちの一つに記載のコリオリ型質量流量計。
【請求項２１】
突出部が流管に対し接線方向に設けられていることとする請求項１７、請求項１８、請求項１９そして請求項２０のうちの一つに記載のコリオリ型質量流量計。
【請求項２２】
第一光透過開口と第二光透過開口は、光ビームのうち非平行光が遮断されて平行光のみが透過できるよう形成されていることとする請求項１に記載のコリオリ型質量流量計。
【請求項２３】
第一光透過開口と第二光透過開口は、光ビームを柱状とするように形成されていることとする請求項１に記載のコリオリ型質量流量計。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
本発明によるコリオリ型質量流量計は、かかる問題を解決する冒頭で述べた種の質量流量計を提供するものであり、流管と、光ビームを発する光源及び該光源からの光を受ける光検出器が設けられた少なくとも一つの管位置センサと、流管を軸線に対して移動せしめる駆動手段とを有し、上記光源と光検出器との間の光路に対しての流管の変位に対応して上記光検出器が信号を発するように上記流管、管位置センサ、駆動手段が配置されており、光源と光検出器は所定距離をもって互いに対向して位置しそして干渉空間によって離間されていて、該干渉空間で流管あるいは流管に取り付けられた突出部が上記光路で光源そして光検出器に対して非接触で移動可能となっているコリオリ型質量流量計において、第一光透過開口を有する第一スクリーンが光源側に配されそして第二光透過開口を有する第二スクリーンが光検出器側に配されていること、第一光透過開口と第二光透過開口とが同じ形状で対向して位置していること、両光透過開口が互いに平行で光路上で一致して位置（すなわち、第一そして第二光透過開口の光軸が一致）していて光のビームが光検出器に入射することを特徴としている。