【手続補正書】
【提出日】平成22年6月15日(2010.6.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極を設けた基板上に光配向膜を形成した液晶表示用基板を使用し、前記光配向膜の全面に光を一定方向に照射する第１の配向処理工程と、
複数の開口部を一定間隔で設けた露光マスクを介して前記光配向膜に光を前記照射方向と異なる方向に照射する第２の配向処理工程と、
を含み、前記光配向膜に配向方向が異なる複数の配向領域を分割形成することを特徴とする液晶表示用基板の製造方法。
【請求項２】
配向方向が光の照射方向に応じて可逆的に変化する光配向膜を使用し、該光配向膜の全面に光を一定方向に照射して前記第１の配向処理工程を実施した後、前記露光マスクを介して前記光配向膜に光を前記照射方向と異なる方向に照射して前記第２の配向処理工程を実施することを特徴とする請求項１記載の液晶表示用基板の製造方法。
【請求項３】
配向方向が光の照射方向に対して非可逆性を有する光配向膜を使用し、前記露光マスクを介して前記光配向膜に光を一定方向に照射して前記第２の配向処理工程を実施した後、前記光配向膜の全面に光を前記照射方向と異なる方向に照射して前記第１の配向処理工程を実施することを特徴とする請求項１記載の液晶表示用基板の製造方法。
【請求項４】
前記第１の配向処理工程と第２の配向処理工程とは、前記基板を一定方向に搬送しながら行なわれることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の液晶表示用基板の製造方法。
【請求項５】
前記第１の配向処理工程は、前記基板の前記搬送方向の長さよりも短い幅に形成され、且つ前記基板面に平行な面内にて前記搬送方向と直交する方向に前記基板の幅と略等しい長さの開口部を設けた第１の露光マスクを介して行い、
前記第２の配向処理工程は、前記基板の前記搬送方向の長さよりも短い幅に形成され、且つ前記基板面に平行な面内にて前記搬送方向と直交する方向に複数の開口部を一定間隔で設けた第２の露光マスクを介して行う、
ことを特徴とする請求項４記載の液晶表示用基板の製造方法。
【請求項６】
前記第１の配向処理工程と第２の配向処理工程とは、前記基板を一方の配向処理工程における基板配置状態から該基板面内にて一定角度だけ回転させた状態で搬送して行なうことを特徴とする請求項４又は５記載の液晶表示用基板の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明による液晶表示用基板の製造方法は、電極を設けた基板上に光配向膜を形成した液晶表示用基板を使用し、前記光配向膜の全面に光を一定方向に照射する第１の配向処理工程と、複数の開口部を一定間隔で設けた露光マスクを介して前記光配向膜に光を前記照射方向と異なる方向に照射する第２の配向処理工程と、を含み、前記光配向膜に配向方向が異なる複数の配向領域を分割形成するものである。このような構成により、液晶表示用基板上に形成した光配向膜の全面に光を一定方向に照射する配向処理、及び複数の開口部を一定間隔で設けた露光マスクを介して光配向膜に光を上記照射方向と異なる方向に照射する配向処理を行い、光配向膜に配向方向が異なる複数の配向領域を分割形成する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
この場合、配向方向が光の照射方向に応じて可逆的に変化する光配向膜を使用し、該光配向膜の全面に光を一定方向に照射して前記第１の配向処理工程を実施した後、前記露光マスクを介して前記光配向膜に光を前記照射方向と異なる方向に照射して前記第２の配向処理工程を実施してもよく、又は配向方向が光の照射方向に対して非可逆性を有する光配向膜を使用し、前記露光マスクを介して前記光配向膜に光を一定方向に照射して前記第２の配向処理工程を実施した後、前記光配向膜の全面に光を前記照射方向と異なる方向に照射して前記第１の配向処理工程を実施してもよい。これにより、光配向膜に配向方向が異なる複数の配向領域を分割形成する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
さらに、前記第１の配向処理工程は、前記基板の前記搬送方向の長さよりも短い長さに形成され、且つ前記基板面に平行な面内にて前記搬送方向と直交する方向に前記基板の幅と略等しい長さの開口部を設けた第１の露光マスクを介して行い、前記第２の配向処理工程は、前記基板の前記搬送方向の長さよりも短い長さに形成され、且つ前記基板面に平行な面内にて前記搬送方向と直交する方向に複数の開口部を一定間隔で設けた第２の露光マスクを介して行うものである。これにより、基板の搬送方向の長さよりも短い長さに形成され、且つ基板面に平行な面内にて搬送方向と直交する方向に基板の幅と略等しい長さの開口部を設けた第１の露光マスクを介して光配向膜の全面に光を一定方向に照射して、その全面を同一方向に配向し、基板の搬送方向の長さよりも短い長さに形成され、且つ基板面に平行な面内にて搬送方向と直交する方向に複数の開口部を一定間隔で設けた第２の露光マスクを介して光配向膜に光を上記照射方向と異なる方向に照射して、その照射領域を上記配向方向と異なる方向に配向する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
そして、前記第１の配向処理工程と第２の配向処理工程とは、前記基板を一方の配向処理工程における基板配置状態から該基板面内にて一定角度だけ回転させた状態で搬送して行なう。これにより、基板を第１の配向処理工程及び第２の配向処理工程のいずれか一方の配向処理における基板配置状態から該基板面内にて一定角度だけ回転させた状態で搬送して第１の配向処理工程又は第２の配向処理工程を行なう。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
請求項１、及び２又は３に係る発明によれば、露光マスクのアライメントは、第２の配向処理工程においてのみ行えばよく、露光マスクのアライメントや複数の開口部の形成には、従来技術の場合のような高精度は要求されない。したがって、たとえ露光マスクのアライメント精度や複数の開口部の形成精度が従来技術よりも劣っていても液晶の配向を乱すおそれのある未露光領域を生じさせることなく配向処理を行なうことができる。これにより、光配向膜に配向方向が異なる複数の配向領域を容易に分割形成することができ、製造コストを低減することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、請求項４に係る発明によれば、基板を一定方向に搬送しながら露光することができ、使用する露光マスクの形状を小さくすることができる。したがって、大型の液晶表示用基板を製造する露光マスクのコストを安価にすることができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
さらに、請求項５に係る発明によれば、光の照射方向を変更する必要が無いので露光光学系を共通化することができ、露光装置のコストを安価にすることができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
具体的には、次のようにして光配向膜２を塗布形成する。即ち、先ず、スピンコータ等を使用して、その回転可能なステージ上に上記基板１を吸着保持し、該基板１上に上記フォトレジストを適量滴下する。そして、上記ステージを一定の回転数で回転し、遠心力によりフォトレジストを基板１の全面に引き延ばして一定の厚みの光配向膜２を形成する。次に、約100℃に加熱されたホットプレート上に上記光配向膜２が形成された基板１を約１分間置いて上記光配向膜２を乾燥させる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
次に、第２の配向処理工程においては、図１（ｃ）に示すように、例えば基板１の長手方向の幅に略等しい長さのストライプ状の複数の開口部３を一定間隔で並べて設けた露光マスク４を介して光配向膜２に光を図２（ｃ）に示すように同図（ｂ）の矢印Ａで示す照射方向とは反対の矢印Ｃ方向に照射する。これにより、図１（ｃ）に示すように、その照射領域の配向が矢印Ｂ方向から反転して矢印Ｄ方向となる。このようにして、図１（ｃ）に示すように、基板１の光配向膜２には、配向方向の異なる第１の配向領域５と第２の配向領域６とが交互に並んで形成されることとなる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
図３及び図４は、本発明による液晶表示用基板の製造方法の第２の実施形態を説明する図である。
先ず、第１の配向処理工程においては、図４（ａ）に示す矢印Ｅ方向に移動可能にされた露光装置のステージ７上に上記光配向膜２の形成された基板１を光配向膜２の形成面を上側にして載置する。さらに、該基板１の一方の端面１ａを先頭として矢印Ｅ方向に一定の速度で搬送しながら、図３（ａ）に示すように基板１の搬送方向（矢印Ｅ方向）の長さよりも短い幅に形成され、且つ基板１の面に平行な面内にて上記搬送方向と直交する方向に基板１の幅と略等しい長さの開口部８を設けた第１の露光マスク９を介して上記光配向膜２の全面に光を図４（ａ）に矢印Ａで示すように斜め上方から照射し、図３（ａ）に示すように光配向膜２の全面を同一方向（矢印Ｂ方向）に配向する。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
次に、第２の配向処理工程においては、図４（ｂ）に示すように、上記基板１を上記第１の配向処理工程の基板配置状態から基板１の面内にて180°回転した状態でステージ７上に載置する。さらに、他方の端面１ｂを先頭にして矢印Ｅ方向に一定の速度で搬送しながら、図３（ｂ）に示すように基板１の搬送方向（矢印Ｅ方向）の長さよりも短い幅に形成され、且つ基板１の面に平行な面内にて矢印Ｅで示す搬送方向と直交する方向に複数の開口部１０を一定間隔で並べて設けた第２の露光マスク１１を介して上記光配向膜２に光を照射する。この場合、基板１を反転しているので、光の照射方向は、図４（ｂ）に示すように上記第１の配向処理工程と同じ矢印Ａ方向となる。これにより、図３（ｂ）に示すように、光配向膜２の照射領域が第１の配向処理工程による配向方向（矢印Ｂ方向）と異なる矢印Ｄ方向に配向される。このようにして、基板１の光配向膜２には、配向方向の異なる第１の配向領域５と第２の配向領域６とが交互に並んで形成されることとなる。なお、上記第１の配向処理工程と第２の配向処理工程とでは、基板１の向きが互いに反対向きとなっているため、矢印Ｂで示す配向方向が反転して示されている。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
なお、上記実施形態においては、第１の配向領域５と第２の配向領域６の配向方向が180°異なる場合について説明したが、これに限られず、両領域の配向方向が異なっていればそのずれ角度は何度でもよい。この場合、第２の配向処理工程において、基板１をその面内にて一定角度だけ回転して搬送すればよい。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
そして、本発明の液晶表示用基板の製造方法においては、配向方向が光の照射方向に応じて可逆的に変化する光配向膜２を用いた場合について説明したが、これに限られず、配向方向が光の照射方向に対して非可逆性を有する光配向膜を用いてもよい。この場合、第１の配向処理工程においては、複数の開口部を一定間隔で設けた露光マスクを介して光配向膜に光を一定方向に照射して複数の第１の配向領域５を形成し、次に、光配向膜２の全面に光を上記照射方向と異なる方向に照射して、第１の配向領域５と配向方向の異なる第２の配向領域６を形成するようにするとよい。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
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