【手続補正書】
【提出日】平成22年3月15日(2010.3.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に複数の電極を備えたワークの前記複数の電極の上にボールを搭載する搭載装置であって、
ベースと、
前記ワークにボールを搭載するための複数の微小開口を備えたボール搭載用マスクを前記ベースに対して第１の位置に保持するためのボール搭載用マスクホルダと、
前記ワークを保持し、前記ベースに対する所定の位置へ前記ワークを移動可能な搬送ステージと、
前記ベースに固定された第１のカメラであって、前記搬送ステージに搭載された状態の前記ワークの基準マークを検出し、前記搬送ステージに対する前記ワークの位置をワーク基準位置としてメモリに記録可能な第１のカメラと、
前記ボール搭載用マスクホルダに保持された前記ボール搭載用マスクの上から、前記ボール搭載用マスクの少なくとも１つの微小開口を介して、その少なくとも１つの微小開口に対向する、前記ワークの少なくとも１つの電極の画像を取得可能な第２のカメラと、
前記ボール搭載用マスクホルダに保持された前記ボール搭載用マスクの上から、前記ボール搭載用マスクの複数の微小開口にボールを充填するためのボールディスペンサと、
前記搬送ステージの移動先を制御可能な制御ユニットとを有する、搭載装置。
【請求項２】
請求項１において、前記制御ユニットは、
前記ボール搭載用マスクホルダに保持された前記ボール搭載用マスクの下へ、前記搬送ステージにより、前記ワーク基準位置が、前記第１の位置により決められる位置になるように、前記ワークを移動し、前記第２のカメラを介して、前記ボール搭載用マスクの少なくとも１つの微小開口と、その少なくとも１つの微小開口に対向する前記少なくとも１つの電極とが位置合わせされたときの、前記ワーク基準位置の前記ベースに対する第２の位置を取得して前記メモリに記録するための第１の機能と、
前記ボール搭載用マスクホルダに保持された前記ボール搭載用マスクの下へ、前記搬送ステージにより、前記ワーク基準位置が、前記第２の位置になるように、前記ワークを移動し、前記ボールディスペンサによりボールを前記ボール搭載用マスクの複数の微小開口に充填し、前記ワークの前記複数の電極の上にボールが搭載されるようにする第２の機能とを含む、搭載装置。
【請求項３】
請求項１または２において、前記第２のカメラは、前記ボール搭載用マスクの基準マークを検出し、前記メモリに、前記第１の位置を記録可能である、搭載装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかにおいて、前記第２のカメラは、前記ボール搭載用マスクの少なくとも２つの微小開口を介して、その少なくとも２つの微小開口に対向する、前記ワークの少なくとも２つの電極の画像を取得可能である、搭載装置。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかにおいて、前記ボールディスペンサを動かすディスペンサ移動機構をさらに有し、前記第２のカメラは、前記ディスペンサ移動機構により移動可能である、搭載装置。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかにおいて、
前記ワークにフラックスを塗布するための複数の微小開口を備えたフラックス塗布用マスクを前記ベースに対して第３の位置に保持するためのフラックス塗布用マスクホルダと、
前記フラックス塗布用マスクホルダに保持された前記フラックス塗布用マスクの上から、前記フラックス塗布用マスクの少なくとも１つの微小開口を介して、その少なくとも１つの微小開口に対向する、前記ワークの少なくとも１つの電極の画像を取得可能な第３のカメラと、
前記フラックス塗布用マスクホルダに保持された前記フラックス塗布用マスクの上から、前記フラックス塗布用マスクの複数の微小開口を介してフラックスを塗布するためのフラックス塗布用ヘッドとをさらに有し、
前記制御ユニットは、
前記フラックス塗布用マスクホルダに保持された前記フラックス塗布用マスクの下へ、前記搬送ステージにより、前記ワーク基準位置が、前記第３の位置により決められる位置になるように、前記ワークを移動し、前記第３のカメラを介して、前記フラックス塗布用マスクの少なくとも１つの微小開口と、その少なくとも１つの微小開口に対向する前記少なくとも１つの電極とが位置合わせされたときの、前記ワーク基準位置の前記ベースに対する第４の位置を取得して前記メモリに記録するための第３の機能と、
前記フラックス塗布用マスクホルダに保持された前記フラックス塗布用マスクの下へ、前記搬送ステージにより、前記ワーク基準位置が、前記第４の位置になるように、前記ワークを移動し、前記フラックス塗布用ヘッドにより前記ワークの前記複数の電極に前記フラックス塗布用マスクの複数の微小開口を介してフラックスを塗布する第４の機能とをさらに含む、搭載装置。
【請求項７】
請求項６において、前記フラックス塗布用ヘッドを動かすヘッド移動機構をさらに有し、前記第３のカメラは、前記ヘッド移動機構により移動可能である、搭載装置。
【請求項８】
表面に複数の電極を備えたワークの前記複数の電極の上にボールを搭載する搭載装置を制御ユニットにより制御する方法であって、
前記搭載装置は、
ベースと、
前記ワークにボールを搭載するための複数の微小開口を備えたボール搭載用マスクを前記ベースに対して保持するためのボール搭載用マスクホルダと、
前記ワークを保持し、前記ベースに対する所定の位置へ前記ワークを移動可能な搬送ステージと、
前記ベースに固定された第１のカメラであって、前記搬送ステージに搭載された状態の前記ワークの基準マークを検出可能な第１のカメラと、
前記ボール搭載用マスクホルダに保持された前記ボール搭載用マスクの上から、前記ボール搭載用マスクの少なくとも１つの微小開口を介して、その少なくとも１つの微小開口に対向する、前記ワークの少なくとも１つの電極の画像を取得可能な第２のカメラと、
前記ボール搭載用マスクホルダに保持された前記ボール搭載用マスクの上から、前記ボール搭載用マスクの複数の微小開口にボールを充填するためのボールディスペンサと、
前記搬送ステージの移動先を制御可能な制御ユニットとを有し、
当該方法は、
前記第２のカメラにより、前記ボール搭載用マスクホルダに保持された前記ボール搭載用マスクの基準マークを検出し、メモリに、前記ベースに対する前記ボール搭載用マスクの第１の位置を記録することと、
前記制御ユニットが、前記第１のカメラの下に前記搬送ステージを移動し、前記第１のカメラにより、前記搬送ステージに搭載された状態の前記ワークの基準マークを検出し、前記メモリに、前記搬送ステージに対する前記ワークの位置をワーク基準位置として記録することと、
前記ボール搭載用マスクホルダに保持された前記ボール搭載用マスクの下へ、前記搬送ステージにより、前記ワーク基準位置が、前記第１の位置により決められる位置になるように、前記ワークを移動し、前記第２のカメラを介して、前記ボール搭載用マスクの少なくとも１つの微小開口と、その少なくとも１つの微小開口に対向する前記少なくとも１つの電極とが位置合わせされたときの、前記ワーク基準位置の前記ベースに対する第２の位置を取得し、前記メモリに、前記第２の位置を記録することと、
前記ボール搭載用マスクホルダに保持された前記ボール搭載用マスクの下へ、前記搬送ステージにより、前記ワーク基準位置が、前記第２の位置になるように、前記ワークを移動し、前記ボールディスペンサによりボールを前記ボール搭載用マスクの複数の微小開口に充填することと、を含む、方法。
【請求項９】
請求項８において、
前記第１の位置を記録することに続き、先行するワークについて前記ワーク基準位置として記録すること、前記第２の位置を記録すること、および前記微小開口に充填することを含む工程を行うことと、
次のワークについて、前記第２の位置を記録することを省き、前記ワーク基準位置として記録すること、および前記微小開口に充填することを含む工程を行うことと、を含む方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の一態様は、表面に複数の電極を備えたワークの複数の電極の上にボールを搭載する搭載装置を制御ユニットにより制御する方法である。搭載装置は、ベースと、ワークにボールを搭載するための複数の微小開口を備えたボール搭載用マスク（マスクプレート）をベースに対して保持するためのボール搭載用マスクホルダ（マスク保持手段）と、ワークを保持（搭載）し、ベースに対する所定の位置へワークを移動可能な搬送ステージと、ベースに固定された第１のカメラであって、搬送ステージに搭載された状態のワークの基準マークを検出可能な第１のカメラと、ボール搭載用マスクホルダに保持されたボール搭載用マスクの上から、ボール搭載用マスクの少なくとも１つの微小開口を介して、その少なくとも１つの微小開口に対向する、ワークの少なくとも１つの電極の画像を取得可能な第２のカメラと、ボール搭載用マスクホルダに保持されたボール搭載用マスクの上から、ボール搭載用マスクの複数の微小開口にボールを充填するためのボールディスペンサと、搬送ステージの移動先を制御可能な制御ユニットとを有する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
この方法は、以下の操作（動作（工程））を行なうことを含む。
（１）第２のカメラにより、ボール搭載用マスクホルダに保持されたボール搭載用マスクの基準マークを検出し、メモリに、ベースに対するボール搭載用マスクの第１の位置を記録すること、
（２）制御ユニットが、第１のカメラの下に搬送ステージを移動し、第１のカメラにより、搬送ステージに搭載された状態のワークの基準マークを検出し、メモリに、搬送ステージに対するワークの位置をワーク基準位置として記録すること、
（３）ボール搭載用マスクホルダに保持されたボール搭載用マスクの下へ、搬送ステージにより、ワーク基準位置が、第１の位置により決められる位置になるように、ワークを移動し、第２のカメラを介して、ボール搭載用マスクの少なくとも１つの微小開口と、その少なくとも１つの微小開口に対向する少なくとも１つの電極とが位置合わせされたときの、ワーク基準位置のベースに対する第２の位置を取得し、メモリに、第２の位置を記録すること、
（４）ボール搭載用マスクホルダに保持されたボール搭載用マスクの下へ、搬送ステージにより、ワーク基準位置が、第２の位置になるように、ワークを移動し、ボールディスペンサによりボールをボール搭載用マスクの複数の微小開口に充填すること。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
すなわち、この方法によれば、第２のカメラにより、少なくとも１つの微小開口を通じて、それに対向する少なくとも１つの電極の画像を取得することにより、ワークの電極の上にボールを搭載した状態を模擬的につくり出し、ワークの位置を微調整することができる。このため、実際にボール搭載用マスクを介してワークにボールを搭載することなく、ワークの電極の上にボールを搭載した状態をシミュレートし、ボール搭載用マスクとワークとの正確な位置合わせを行うことができる。さらに、この方法は、第１の位置を記録することに続き、先行するワークについてワーク基準位置として記録すること、第２の位置を記録すること、および微小開口に充填することを含む工程を行うことと、次のワークについて、第２の位置を記録することを省き、ワーク基準位置として記録すること、および微小開口に充填することを含む工程を行うことと、を含むことが好ましい。