(57)【要約】      （修正有）【課題】ベースと、必要とする研磨機構とが結合され、洗浄ユニットで、ウエハーに対して洗浄して、有効に、従業員の実装問題や洗浄ユニットの脱落を防止でき、また、交換時間を節約でき、産出高が向上される効果が得られる一体成型洗浄構造を提供する。【解決手段】その一面に、固定ユニット１１が設けられるベース１と、一体成型に、固定ユニットの外側に覆われる洗浄ユニット２と、が含有されることを特徴とする。ベースと、必要とする研磨機構とが、結合され、洗浄ユニットで、ウエハーに対して洗浄し、これにより、従業員の実装問題が解消され、有効に、洗浄ユニットの脱落を防止でき、また、洗浄ユニットを交換する時間の節約ができ、そのため、ウエハーの産出高が向上される。【選択図】図２
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
その一面に、固定ユニットが設けられるベースと、一体成型に、上記固定ユニットの外側に覆われる洗浄ユニットと、が含有されることを特徴とする一体成型洗浄構造。
【請求項２】
上記固定ユニットは、ベースの一面上に設けられた伸び部と、伸び部の一端に設けられた係止部とを有し、上記洗浄ユニットは、一体成型に、上記伸び部と係止部に覆われることを特徴とする請求項１に記載の一体成型洗浄構造。
【請求項３】
上記伸び部と係止部とは、ベースと一体成型されることを特徴とする請求項２に記載の一体成型洗浄構造。
【請求項４】
上記ベースと伸び部及び係止部は、ポリプロピレン（ＰＰ）材質からなることを特徴とする請求項３に記載の一体成型洗浄構造。
【請求項５】
上記係止部は、伸び部に結合されたディスク体と、ディスク体の周縁に形成された多数の突出が含有されることを特徴とする請求項４に記載の一体成型洗浄構造。
【請求項６】
上記洗浄ユニットは、ポリビニルアルコール海綿（ＰＶＡ海綿）であることを特徴とする請求項５に記載の一体成型洗浄構造。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、一体成型洗浄構造に関し、特に、ベースと必要とする研磨機構を結合して、洗浄ユニットで、ウエハーを洗浄し、従業員による実装をすることを必要せず、有効に洗浄ユニットの脱落を防止でき、交換時間を節約でき、また、産出高が向上される効果が得られるものに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般の、従来のウエハー洗浄構造（図３参照）は、凹槽３１を有する固定座３と、凹槽３１に嵌設された海綿４とから構成され、これにより、固定座３と必要とする研磨機構（図示せず）とを結合することにより、研磨機構を利用して、固定座３を介して、海綿４を駆動させ、ウエハーを洗浄する。
【０００３】
しかしながら、従来の実装によれば、下記の問題がある。
１．従業員による実装のため、海綿を、容易に、水平に維持できなく、海綿の実装が水平にならないと、洗浄効果に悪影響を与え、産出高が低減される。
２．実装が確実でないと、海綿が脱落する恐れがあり、ウエハーの洗浄プロセスに悪影響を与える。
【０００４】
本考案者は、上記欠点を解消するため、慎重に研究し、また、学理を活用して、有効に上記欠点を解消でき、設計が合理である本考案を提案する。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
本考案の主な目的は、ベースと、必要とする研磨機構とが結合され、洗浄ユニットで、ウエハーに対して洗浄して、有効に、従業員の実装問題や洗浄ユニットの脱落を防止でき、また、交換時間を節約でき、産出高が向上される効果が得られるものを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本考案は、上記の目的を達成するため、その一面に、固定ユニットが設けられるベースと、一体成型に、上記固定ユニットの外側に覆われる洗浄ユニットと、が含有される一体成型洗浄構造である。
【０００７】
本考案の実施例によれば、上記固定ユニットは、ベースの一面に設けられた伸び部と、伸び部の一端に設けられた係止部とがあり、上記洗浄ユニットは、一体成型に、上記伸び部と係止部に覆われる。
【０００８】
本考案の実施例によれば、上記伸び部と係止部は、ベースと一体成型される。
【０００９】
本考案の実施例によれば、上記ベースと伸び部及び係止部は、ポリプロピレン（ＰＰ）材質からなる。
【００１０】
本考案の実施例によれば、上記係止部は、伸び部に結合されたディスク体と、ディスク体の周縁に形成された多数の突出とが含有される。
【００１１】
本考案の実施例によれば、上記洗浄ユニットは、ポリビニルアルコール海綿（ＰＶＡ海綿）である。
【００１２】
以下、図面を参照しながら、本考案の特徴や技術内容について、詳しく説明するが、それらの図面等は、参考や説明のためであり、本考案は、それによって制限されることが無い。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本考案の立体外観概念図である。
【図２】本考案の立体分解概念図である。
【図３】従来の分解状態概念図である。
【考案を実施するための形態】
【００１４】
図１と図２は、それぞれ、本考案の立体外観概念図と本考案の立体分解概念図である。図のように、本考案は、一体成型洗浄構造であり、ベース１と洗浄ユニット２とから構成される。
【００１５】
上記のベース１の一面には、固定ユニット１１が設けられ、上記固定ユニット１１は、ベース１の一面に設けられた伸び部１１１と、伸び部１１１の一端に設けられた係止部１１２とが含有され、上記伸び部１１１と係止部１１２は、ベース１と一体成型され、また、上記ベース１と伸び部１１１及び係止部１１２は、ポリプロピレン（ＰＰ）材質からなり、上記係止部１１２は、伸び部１１１に結合されたディスク体１１２１と、ディスク体１１２１の周縁に設けられた多数の突出１１２２とが、含有される。
【００１６】
上記洗浄ユニット２は、一体成型に、上記固定ユニット１１に設けられた伸び部１１１と係止部１１２の外側に覆われ、上記洗浄ユニット２は、ディスク体１１２１の周縁の各突出１１２２によって係止されて、洗浄ユニット２が、安定的にベース１の一面に固定され、また、上記洗浄ユニット２は、ポリビニルアルコール海綿（ＰＶＡ海綿）である。上記の構成により、新規な一体成型洗浄構造が実現される。
【００１７】
本考案によれば、ベース１のもう一面に、必要とする研磨機構（図示せず）が結合され、上記研磨機構により、ベース１を介して、上記洗浄ユニット２で、ウエハーに対して、洗浄し、上記洗浄ユニット２は、一体成型に、上記固定ユニット１１に設けられた伸び部１１１と係止部１１２の外側に覆われるため、上記洗浄ユニット２とベース１は、安定的に結合され、従業員の実装問題を解消するだけでなく、有効に、洗浄ユニット２の脱落を防止でき、洗浄ユニット２を交換する時間の節約ができ、そのため、ウエハーの産出高が向上される。
【００１８】
以上のように、本考案に係る一体成型洗浄構造は、有効に、従来の諸欠点を解消でき、ベースと必要とする研磨機構とが結合されて、洗浄ユニットでウエハーに対して、洗浄を行い、従業員の実装問題を解消でき、有効に、洗浄ユニットの脱落を防止でき、交換時間の節約や産出高が向上される効果がえられ、そのため、本考案は、より進歩的かつより実用的で、法に従って実用新案登録を出願する。
【００１９】
以上は、ただ、本考案のより良い実施例であり、本考案は、それによって制限されることが無く、本考案に係わる実用新案登録請求の範囲や明細書の内容に基づいて行った等価の変更や修正は、全てが、本考案の実用新案登録請求の範囲内に含まれる。
【符号の説明】
【００２０】
（本考案）
１        ベース
１１      固定ユニット
１１１    伸び部
１１２    係止部
１１２１  ディスク体
１１２２  突出
２        洗浄ユニット
（従来）
３        固定座
３１      凹槽
４        海綿
【図１】
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【図２】
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【図３】
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