(57)【要約】      （修正有）【課題】大型電子デバイスの検査を容易にする従来技術に関連する問題を大幅に排除する被検デバイスを検査するプローブシステムを提供する。【解決手段】保管ラック１０３と、プローブバーガントリー組立体１０４と、プローブバーガントリー組立体１０４に取付けたキャリッジ１０８と、キャリッジ１０８に着脱可能であり、被検デバイスに電気的に整合するよう構成したプローブ組立体と、及び保管ラック１０３からプローブ組立体を取上げ、またプローブ組立体をプローブバーガントリー組立体１０４に取付けたキャリッジに配達し、またその逆に配達するロボットシステム１０１と、を備える。【選択図】図１
0003194991.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
被検デバイスを検査するプローブシステムにおいて、
ａ.   保管ラックと、
ｂ.   プローブバーガントリー組立体と、
ｃ.   プローブバーガントリー組立体に取付けたキャリッジと、
ｄ.   前記キャリッジに着脱可能であり、前記被検デバイスに電気的に整合するよう構成したプローブ組立体と、及び
ｅ.   前記保管ラックから前記プローブ組立体を取上げ、また前記プローブ組立体を前記プローブバーガントリー組立体に取付けたキャリッジに配達するロボットシステムであって、さらに、前記プローブバーガントリー組立体に取付けたキャリッジから前記プローブ組立体を取上げ、また前記プローブ組立体を前記保管ラックに配達する、該ロボットシステムと
を備える、プローブシステム。
【請求項２】
請求項１記載のプローブシステムにおいて、前記ロボットは、さらに、前記プローブ組立体及び前記キャリッジを前記プローブバーガントリー組立体の長さに沿って再位置決めして、前記プローブ組立体と前記被検デバイスの対応する整合部分とを整列させるよう構成する、プローブシステム。
【請求項３】
請求項２記載のプローブシステムにおいて、さらに、前記プローブ組立体及び前記キャリッジの前記プローブバーガントリー組立体の長さに沿う再位置決めを容易にする減摩デバイスを備える、プローブシステム。
【請求項４】
請求項２記載のプローブシステムにおいて、さらに、前記プローブ組立体及び前記キャリッジの前記プローブバーガントリー組立体の長さに沿う再位置決めを容易にするよう構成した空気軸受を備える、プローブシステム。
【請求項５】
請求項１記載のプローブシステムにおいて、前記プローブ組立体は、前記プローブ組立体を前記キャリッジに取付けるための取付けピンを有する、プローブシステム。
【請求項６】
請求項１記載のプローブシステムにおいて、前記プローブ組立体は、前記プローブ組立体を前記キャリッジに取付けるとき、前記被検デバイスにおける導電性パッドと整合するよう構成した複数個の接点ピンを有する、プローブシステム。
【請求項７】
請求項６記載のプローブシステムにおいて、前記プローブ組立体の前記接点ピンは、前記被検デバイスの構成に従って再位置決めする、プローブシステム。
【請求項８】
請求項１記載のプローブシステムにおいて、前記プローブ組立体は第２コネクタを有し、また前記キャリッジは第１コネクタを有し、前記プローブ組立体を前記キャリッジに取付けるとき、前記第１コネクタが前記第２コネクタに整合する構成とする、プローブシステム。
【請求項９】
請求項８記載のプローブシステムにおいて、さらに、少なくとも１つの検査駆動信号を前記キャリッジの前記第１コネクタに送信する可撓性ケーブルを備える、プローブシステム。
【請求項１０】
請求項９記載のプローブシステムにおいて、さらに、前記キャリッジを前記プローブバーガントリー組立体に取付けるとき、前記可撓性ケーブルを確実に適正な位置に位置決めするケーブル案内部材を備える、プローブシステム。
【請求項１１】
請求項９記載のプローブシステムにおいて、さらに、前記少なくとも１つの検査駆動信号を発生するよう構成した検査パターン発生器を備え、前記検査パターン発生器を前記可撓性ケーブルに電気的に接続する、プローブシステム。
【請求項１２】
請求項８記載のプローブシステムにおいて、さらに、少なくとも１つの検査駆動信号を前記キャリッジの前記第１コネクタに送信する可撓性プリント回路板を備える、プローブシステム。
【請求項１３】
請求項８記載のプローブシステムにおいて、前記プローブ組立体は、前記プローブ組立体を前記キャリッジに取付けるとき、前記被検デバイスにおける導電性パッドと整合するよう構成した複数個の接点ピンを有し、また前記複数個の接点ピンは、前記プローブ組立体の前記第２コネクタの複数個の接点に電気的に接続する、プローブシステム。
【請求項１４】
請求項１３記載のプローブシステムにおいて、前記プローブ組立体は、前記第２コネクタから少なくとも１つの検査駆動信号を受信し、またこの受信した前記少なくとも１つの検査駆動信号を前記複数個の接点ピンを介して前記被検デバイスに供給する、プローブシステム。
【請求項１５】
請求項１記載のプローブシステムにおいて、前記プローブ組立体は、前記キャリッジに取付けた前記プローブ組立体を最大プロービング力の下で保持するのに十分な垂直方向予負荷を有して前記プローブ組立体を前記キャリッジに取付ける取付けピンを有する、プローブシステム。
【請求項１６】
請求項１記載のプローブシステムにおいて、前記プローブバーガントリー組立体は、前記被検デバイス上の特定位置に前記プローブ組立体を位置決めする自動軸方向運動を生ずるよう構成する、プローブシステム。
【請求項１７】
請求項１記載のプローブシステムにおいて、前記ロボットシステムは、前記プローブ組立体を掴むよう動作する把持組立体を有する、プローブシステム。
【請求項１８】
請求項１７記載のプローブシステムにおいて、前記把持組立体は、前記把持組立体に対して回動可能に移動できる把持アームを有し、また前記ロボットシステムは、前記把持組立体の前記把持アームを動作させるアクチュエータを有する、プローブシステム。
【請求項１９】
請求項１７記載のプローブシステムにおいて、前記把持組立体は、前記プローブ組立体を前記キャリッジから取外すべきとき、前記キャリッジを前記プローブバーガントリー組立体に取付けるクランプ力に打ち勝つよう構成した予負荷機構を有する、プローブシステム。
【請求項２０】
請求項１７記載のプローブシステムにおいて、前記把持組立体は、前記プローブバーガントリー組立体の回転又は高さ変動を補償するコンプライアンス機構を有する、プローブシステム。
【請求項２１】
請求項１記載のプローブシステムにおいて、前記ロボットシステムは、前記プローブ組立体を識別又は探索するよう構成した少なくとも１個のセンサを有する、プローブシステム。
【請求項２２】
請求項２１記載のプローブシステムにおいて、前記センサは、ＲＦＩＤリーダとし、前記プローブ組立体は、前記ＲＦＩＤリーダが読取るよう構成したＲＦＩＤタグを有し、また前記ＲＦＩＤタグは、一意的なプローブ組立体識別子、プローブタイプ情報、及び較正情報のうち少なくとも１つを格納する、プローブシステム。
【請求項２３】
請求項２１記載のプローブシステムにおいて、前記センサは、前記プローブ組立体の端縁を検出するよう構成した端縁検出センサとする、プローブシステム。
【請求項２４】
請求項２３記載のプローブシステムにおいて、さらに、前記プローブ組立体の配置及び取外し中に、前記プローブバーガントリー組立体表面のいかなる歪みをも補償するに必要な修正を決定するよう構成した、コントローラを備える、プローブシステム。
【請求項２５】
請求項２１記載のプローブシステムにおいて、前記センサは、バーコードリーダとし、前記プローブ組立体は、前記バーコードリーダが読取るバーコードタグを有し、また前記バーコードタグは、一意的なプローブ組立体識別子、プローブタイプ情報、及び較正情報のうち少なくとも１つを格納する、プローブシステム。
【請求項２６】
請求項１記載のプローブシステムにおいて、前記ロボットシステムは、前記キャリッジを識別又は探索するよう構成した少なくとも１個のセンサを有する、プローブシステム。
【請求項２７】
請求項１記載のプローブシステムにおいて、前記プローブ組立体は、光学的探査デバイス、電気的探査デバイス、熱的探査デバイス、及び整列探査デバイスのうち少なくとも１つを有する、プローブシステム。
【請求項２８】
請求項１記載のプローブシステムにおいて、前記プローブバーガントリー組立体は、前記被検デバイス上のいかなる位置にでも前記プローブ組立体を位置決めするよう動作可能とする、プローブシステム。
【請求項２９】
請求項１記載のプローブシステムにおいて、前記キャリッジは、前記プローブ組立体を前記キャリッジに整列させる少なくとも１個の整列ピンを有する、プローブシステム。
【請求項３０】
請求項１記載のプローブシステムにおいて、前記キャリッジに、前記キャリッジに取付けた前記プローブ組立体を保持するクランプ機構を組込む、プローブシステム。
【請求項３１】
被検デバイスを検査するプローブシステムにおいて、
ａ.   第１レール及び第２レールを有する保管ラックと、
ｂ.   プローブバーガントリー組立体と、
ｃ.   プローブバーガントリー組立体に取付けたキャリッジであって、電気的な第１コネクタ及び検査駆動信号を前記電気的な第１コネクタに送信するケーブルを有する、該キャリッジと、
ｄ.   プローブ組立体であって、前記被検デバイスに電気的に整合するよう構成した複数個のピン、前記複数個のピンに電気的に接続して、前記プローブ組立体を前記キャリッジに取付けるとき前記第１コネクタに整合するよう構成した第２コネクタ、及び前記プローブ組立体を前記キャリッジに固定する取付けピンを有する、該プローブ組立体と、及び
ｅ.   前記保管ラックから前記プローブ組立体を取上げ、また前記プローブ組立体を前記プローブバーガントリー組立体に取付けたキャリッジに配達するロボットシステムであって、さらに、前記プローブバーガントリー組立体に取付けたキャリッジから前記プローブ組立体を取上げ、また前記プローブ組立体を前記保管ラックに配達する、該ロボットシステムと
を備える、プローブシステム。
【請求項３２】
請求項３１記載のプローブシステムにおいて、前記ロボットは、さらに、前記プローブ組立体及び前記キャリッジを前記プローブバーガントリー組立体の長さに沿って再位置決めして、前記プローブ組立体と前記被検デバイスの対応する整合部分とを整列させるよう構成する、プローブシステム。
【請求項３３】
請求項３２記載のプローブシステムにおいて、さらに、前記プローブ組立体及び前記キャリッジの前記プローブバーガントリー組立体の長さに沿う再位置決めを容易にするよう構成した空気軸受を備える、プローブシステム。
【請求項３４】
請求項３１記載のプローブシステムにおいて、前記プローブ組立体は、前記プローブ組立体を前記キャリッジに取付けるための取付けピンを有する、プローブシステム。
【請求項３５】
ａ.   保管ラックと、
ｂ.   第１ガントリー組立体と、
ｃ.   前記第１ガントリー組立体に取付けた第１キャリッジと、
ｄ.   第２ガントリー組立体と、
ｅ.   前記第２ガントリー組立体に取付けた第２キャリッジと、
ｆ.   前記第１ガントリー組立体にアクセスできるアクセス領域と、
ｇ.   第１ロボットシステムと、並びに
ｈ.   前記保管ラック、前記第１ガントリー組立体に取付けた前記第１キャリッジ及び前記第２ガントリー組立体に取付けた前記第２キャリッジのうちいずれかにおけるペイロードを再位置決めするよう構成した第２ロボットシステムであって、前記ペイロードの少なくとも１つの端縁を検出することによって、前記ペイロードを識別及び探索するよう構成した少なくとも１個の端縁検出センサを有する、該第２ロボットシステムと
を備える、システム。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、概して大型電子デバイスの電気的検査の分野、とくに、液晶（ＬＣ）ディスプレイ及び有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）ディスプレイの検査、並びにこのような検査に使用する自動システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）パネルは、電界に基づく光変調特性を示す液晶を組込む。液晶ディスプレイは、ＦＡＸ装置、ラップトップ型コンピュータのスクリーンから大型スクリーンの高精細ＴＶに至るまで様々なデバイスにおいて、画像及び他の情報を表示するのに最も頻繁に使用される。アクティブ・マトリクスＬＣＤパネルは、数種類の機能レイヤにより構成される複合層状構体であり、すなわち、偏光フィルム；薄膜トランジスタ、蓄積容量キャパシタ、画素電極、黒マトリクス及び色フィルタアレイを組込んだ色フィルタガラス基板を透明な共通電極に相互接続する配線を組込んだＴＦＴガラス基板；ポリイミド製の指向性フィルム；及びＬＣＤセル厚さを適正に維持するプラスチック／ガラススペーサを組込む実際の液晶材料を有する。
【０００３】
ＬＣＤパネルは、収率を最大化するためクリーンルーム環境内で高度に制御された条件下で製造される。それでも、多くのＬＣＤが、製造欠陥のため廃棄を余儀なくされる。
【０００４】  上述したように、複合電子デバイス、例えばＬＣＤパネルの生産収率を向上するためには、種々の検査段階で行い、作製プロセスの様々な段階中に生じ得る種々の欠陥を識別できるようにする。上述の検査段階は、作製段階相互間又は作製プロセス全体が完了した後に行うことができる。上述の検査プロセスの一例としては、ＬＣディスプレイ及びＯＬＥＤディスプレイに使用されるＴＦＴアレイの電気的欠陥の検査がある。種々の検査デバイスを使用して上述の検査を行う。この目的のために使用できる例示的デバイスとしては、（公序良俗違反につき、不掲載）がある。代案として、ＴＦＴアレイ検査は、当業者に知られており、また市販の電子ビーム検査システムを使用して行うことができる。【０００５】
電気的検査システムは、概して被検デバイス（ＤＵＴ）を、欠陥検出を容易にする電気的な信号又はパターンで駆動することを必要とする。これら信号は、パターン発生サブシステムからＤＵＴにプローブ（探針）ピンを担持する構体によって伝達し、これらプローブピンは、ＤＵＴのアクティブ領域の周縁に位置する接点パッドに物理的に接触する。ＴＦＴアレイの電気的検査の場合、１個以上の短絡バー（アレイと同一基板に実装されている）をアレイ検査に使用される接点パッドとパネル駆動ラインとの間に配置することがよくある。これら短絡バーを駆動ラインのサブセットに接続し（例えば、１個の短絡バーを一つおきのゲートラインに接続する）、これにより必要な接点の数を減らし、プロービング（探査）アセンブリを簡素化する。
【０００６】
異なるデバイスは、一般的に異なる検査パッドレイアウトを有する。検査パッドレイアウトは、ＤＵＴのサイズ、同一基板における検査すべき隣接デバイス間の距離、基板におけるＤＵＴの向き、及び他の要因に依存する。同一の電気的検査システムで異なるデバイスを検査する場合、プロービング構体は、したがって、ＤＵＴの構成に適合するよう変更しなければならない。現在のところ、プロービング構体の再構成は、相当多くの手作業を伴う手順を使用して行っている。例えば、手作業で構成したプロービング構体を使用する電気的検査システムにおいて、マシンオペレータが、異なる回路レイアウトを検査するとき、新たなプロービング構体を据付け、較正し、また構成する必要がある。このプロセスは、生産プロセスを中断することを必要とし、この結果、マシン稼働率を低下させる。プロセス制御チャンバを必要とするプロセスに対して、オペレータはチャンバ内に入って再構成を行う必要があり、このことは、チャンバをプロセス条件に戻す間にマシンの更なる稼働停止時間を招き、またオペレータを安全上の問題に晒すことになり得る。
【０００７】
新しいパネルレイアウトを検査すべき場合、カスタマイズしたプロービング構体は、当然顧客にコストを転嫁するはめになる。使用されないプロービング構体はマシンの外部に保管し、このことは保管用フロア空間がさらに必要となる。
【０００８】
自動プローブ構成を可能にし、またプローブ保管を行う１つの代表的解決法が、特許文献１（国際公開第２０１１／０８５２２７号）に記載されている。しかし、この文献に記載されているシステムは、電気的信号をプローブに対して入出力させる電気的バスに依存しており、このことは、若干の信頼性欠如に関連する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】国際公開第２０１１／０８５２２７号パンフレット
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【００１０】
本考案の目的は、大型電子デバイスの検査を容易にする従来技術に関連する上述の及び他の問題を大幅に排除する方法及びシステムを得るにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本考案の一態様によれば、被検デバイスを検査するプローブシステムを提供し、このプローブシステムは、保管ラックと、プローブバーガントリー組立体と、プローブバーガントリー組立体に取付けたキャリッジと、前記キャリッジに着脱可能であり、前記被検デバイスに電気的に整合するよう構成したプローブ組立体と、及び前記保管ラックから前記プローブ組立体を取上げ、また前記プローブ組立体を前記プローブバーガントリー組立体に取付けたキャリッジに配達するロボットシステムであって、さらに、前記プローブバーガントリー組立体に取付けたキャリッジから前記プローブ組立体を取上げ、また前記プローブ組立体を前記保管ラックに配達する、該ロボットシステムと、を組込む。
【００１２】
１つ以上の実施形態において、前記ロボットは、さらに、前記プローブ組立体及び前記キャリッジを前記プローブバーガントリー組立体の長さに沿って再位置決めして、前記プローブ組立体と前記被検デバイスの対応する整合部分とを整列させるよう構成する。
【００１３】
１つ以上の実施形態において、プローブシステムは、さらに、前記プローブ組立体及び前記キャリッジの前記プローブバーガントリー組立体の長さに沿う再位置決めを容易にする減摩デバイスを備える。
【００１４】
１つ以上の実施形態において、プローブシステムは、さらに、前記プローブ組立体及び前記キャリッジの前記プローブバーガントリー組立体の長さに沿う再位置決めを容易にするよう構成した空気軸受を備える。
【００１５】
１つ以上の実施形態において、キャリッジは、プローブ組立体をキャリッジに整列させる１個又は複数個の整列ピンを組込む。
【００１６】
１つ以上の実施形態において、前記キャリッジは、前記キャリッジに取付けるプローブ組立体を保持するクランプ機構を組込む。
【００１７】
１つ以上の実施形態において、前記プローブ組立体は、前記キャリッジに取付けた前記プローブ組立体を最大プロービング力の下で保持するのに十分な垂直方向予負荷を有して前記プローブ組立体を前記キャリッジに取付ける取付けピンを組込む。
【００１８】
１つ以上の実施形態において、前記プローブ組立体は、前記プローブ組立体を前記キャリッジに取付けるとき、前記被検デバイスにおける導電性パッドと整合するよう構成した複数個の接点ピンを組込む。
【００１９】
１つ以上の実施形態において、前記プローブ組立体の前記接点ピンは、前記被検デバイスの構成に従って再位置決めする。
【００２０】
１つ以上の実施形態において、前記キャリッジは第１コネクタを組込み、また前記プローブ組立体は第２コネクタを組込み、前記プローブ組立体を前記キャリッジに取付けるとき、前記第１コネクタが前記第２コネクタに整合する構成とする。
【００２１】
１つ以上の実施形態において、プローブシステムは、さらに、少なくとも１つの検査駆動信号を前記キャリッジの前記第１コネクタに送信する可撓性ケーブルを組込む。
【００２２】
１つ以上の実施形態において、プローブシステムにおいて、さらに、前記キャリッジを前記プローブバーガントリー組立体に取付けるとき、前記可撓性ケーブルを確実に適正な位置に位置決めするケーブル案内部材を組込む。
【００２３】
１つ以上の実施形態において、プローブシステムにおいて、さらに、前記少なくとも１つの検査駆動信号を発生するよう構成した検査パターン発生器を組込み、前記検査パターン発生器を前記可撓性ケーブルに電気的に接続する。
【００２４】
１つ以上の実施形態において、前記プローブ組立体は、前記プローブ組立体を前記キャリッジに取付けるとき、前記被検デバイスにおける導電性パッドと整合するよう構成した複数個の接点ピンを組込み、また前記複数個の接点ピンは、前記プローブ組立体の前記第２コネクタの複数個の接点に電気的に接続する。
【００２５】
１つ以上の実施形態において、前記プローブ組立体は、前記第２コネクタから前記少なくとも１つの検査駆動信号を受信し、またこの受信した前記少なくとも１つの検査駆動信号を前記複数個の接点ピンを介して前記被検デバイスに供給する。
【００２６】
１つ以上の実施形態において、前記プローブバーガントリー組立体は、前記被検デバイス上の特定位置に前記プローブ組立体を位置決めする自動軸方向運動を生ずるよう構成する。
【００２７】
１つ以上の実施形態において、前記ロボットシステムは、前記プローブ組立体を掴み、またＸ軸及びＹ軸双方に沿って前記プローブ組立体を整列させるよう動作する把持組立体を組込む。
【００２８】
１つ以上の実施形態において、前記把持組立体は、前記把持組立体に対して回動可能に移動できる把持アームを組込み、また前記ロボットシステムは、前記把持組立体の前記把持アームを動作させるアクチュエータを組込む。
【００２９】
１つ以上の実施形態において、前記把持組立体は、前記プローブ組立体を前記キャリッジから取外すべきとき、前記キャリッジを前記プローブバーガントリー組立体に取付けるクランプ力に打ち勝つよう構成した予負荷機構を組込む。
【００３０】
１つ以上の実施形態において、前記把持組立体は、前記プローブバーガントリー組立体の回転及び／又は高さ変動を補償するコンプライアンス機構を組込む。
【００３１】
１つ以上の実施形態において、前記ロボットシステムは、前記プローブ組立体を識別又は探索するよう構成した少なくとも１個のセンサを組込む。
【００３２】
１つ以上の実施形態において、前記センサは、ＲＦＩＤリーダとし、前記プローブ組立体は、前記ＲＦＩＤリーダが読取るよう構成したＲＦＩＤタグを組込み、また前記ＲＦＩＤタグは、一意的なプローブ組立体識別子、プローブタイプ情報、及び較正情報のうち少なくとも１つを格納する。
【００３３】
１つ以上の実施形態において、前記センサは、バーコードリーダとし、前記プローブ組立体は、前記バーコードリーダが読取るバーコードタグを組込み、また前記バーコードタグは、一意的なプローブ組立体識別子、プローブタイプ情報、及び較正情報のうち少なくとも１つを格納する。
【００３４】
１つ以上の実施形態において、前記センサは、前記プローブ組立体の端縁を検出するよう構成した端縁検出センサとする。
【００３５】
１つ以上の実施形態において、ＰＣＳシステムは、ＲＦＩＤリーダ又はバーコードリーダのようなプローブ組立体識別センサ、並びに端縁検出センサのようなプローブ組立体探索センサの双方を組込む。
【００３６】
１つ以上の実施形態において、プローブシステムは、前記プローブ組立体の配置及び取外し中に、前記プローブバーガントリー組立体表面のいかなる歪みをも補償するに必要な修正を決定するよう構成した、コントローラを組込む。
【００３７】
１つ以上の実施形態において、前記ロボットシステムは、前記キャリッジを識別又は探索するよう構成した少なくとも１個のセンサを組込む。
【００３８】
１つ以上の実施形態において、前記プローブ組立体は、光学的探査デバイス、電気的探査デバイス、熱的探査デバイス、及び整列探査デバイスのうち少なくとも１つを組込む。
【００３９】
１つ以上の実施形態において、前記プローブバーガントリー組立体は、前記被検デバイス上のいかなる位置にでも前記プローブ組立体を位置決めするよう動作可能とする。
【００４０】
本考案の他の態様によれば、被検デバイスを検査するプローブシステムを提供し、このプローブシステムは、第１レール及び第２レールを有する保管ラックと、プローブバーガントリー組立体と、プローブバーガントリー組立体に取付けたキャリッジであって、電気的な第１コネクタ及び検査駆動信号を前記電気的な第１コネクタに送信するケーブルを有する、該キャリッジと、プローブ組立体であって、前記被検デバイスに電気的に整合するよう構成した複数個のピン、前記複数個のピンに電気的に接続して、前記プローブ組立体を前記キャリッジに取付けるとき前記第１コネクタに整合するよう構成した第２コネクタ、及び前記プローブ組立体を前記キャリッジに固定する取付けピンを有する、該プローブ組立体と、及び前記保管ラックから前記プローブ組立体を取上げ、また前記プローブ組立体を前記プローブバーガントリー組立体に取付けたキャリッジに配達するロボットシステムであって、さらに、前記プローブバーガントリー組立体に取付けたキャリッジから前記プローブ組立体を取上げ、また前記プローブ組立体を前記保管ラックに配達する、該ロボットシステムと、を組込む。
【００４１】
１つ以上の実施形態において、前記ケーブルは、検査駆動信号を発生するよう構成した検査パターン発生器に電気的に接続する。
【００４２】
１つ以上の実施形態において、前記ロボットは、さらに、前記プローブ組立体及び前記キャリッジを前記プローブバーガントリー組立体の長さに沿って再位置決めして、前記プローブ組立体と前記被検デバイスの対応する整合部分とを整列させるよう構成する。
【００４３】
１つ以上の実施形態において、プローブシステムは、さらに、前記プローブ組立体及び前記キャリッジの前記プローブバーガントリー組立体の長さに沿う再位置決めを容易にするよう構成した空気軸受を組込む。
【００４４】
１つ以上の実施形態において、前記プローブ組立体は、前記プローブ組立体を前記キャリッジに取付けるための取付けピンを組込む。
【００４５】
本考案のさらに他の態様によれば、保管ラックと、第１ガントリー組立体と、前記第１ガントリー組立体に取付けた第１キャリッジと、第２ガントリー組立体と、前記第２ガントリー組立体に取付けた第２キャリッジと、前記第１ガントリー組立体にアクセスできるアクセス領域と、第１ロボットシステムと、並びに前記保管ラック、前記第１ガントリー組立体に取付けた前記第１キャリッジ及び前記第２ガントリー組立体に取付けた前記第２キャリッジのうちいずれかにおけるペイロードを再位置決めするよう構成した第２ロボットシステムであって、前記ペイロードの少なくとも１つの端縁を検出することによって、前記ペイロードを識別及び探索するよう構成した少なくとも１個の端縁検出センサを有する、該第２ロボットシステムと、を組込んだ、システムを提供する。
【００４６】
本考案に関連する他の態様は、部分的に以下の説明で記載し、部分的には以下の説明から明らかになるであろうし、本考案を実施することによって学ばれるであろう。本考案の態様は、以下の詳細な説明及び実用新案登録請求の範囲において特別に指摘した要素並びに種々の要素及び態様の組合せによって実現され、また達成することができる。
【００４７】
上述の及び以下の説明はともに、例示的であり、単なる説明に過ぎず、実用新案登録請求の範囲又はその用途を限定するものでは決してないと理解されたい。
【００４８】
本明細書に組入れ、また本明細書の一部をなす添付図面は、本考案の実施形態を簡略化し、また以下の記載とともに、本考案技術の原理を説明及び図示する。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】１つ以上の実施形態による、本考案のプローブ構成ステーション（ＰＣＳ：probe configuration station）の若干の選択したコンポーネントを示す。
【図２】プローブ組立体の例示的実施形態を示す。
【図３】プローブ組立体の本体部分を示す。
【図４】プローブバーガントリーに取付けたプローブ組立体キャリッジの例示的実施形態を示す。
【図５】プローブバーガントリーに取付けたプローブ組立体キャリッジの他方の側面から見た図を示す。
【図６】プローブ組立体保管ラックの例示的実施形態を示す。
【図７】ＰＣＳロボットのＰＣＳグリッパの例示的実施形態を示す。
【図８】ＰＣＳロボットのＰＣＳグリッパの例示的実施形態を示す。
【図９】ＰＣＳロボットの例示的実施形態に使用した感知システムを示す。
【図１０】ＰＣＳロボットの例示的実施形態に使用した感知システムを示す。
【図１１】ＰＣＳロボットの例示的実施形態に使用した感知システムを示す。
【図１２】プローブピン検査モジュールの例示的実施形態を示す。
【考案を実施するための形態】
【００５０】
以下の説明において、個々の機能的素子に同一参照符号を付した添付図面を参照する。図示のとおりの添付図面は、限定的なものではなく、本考案の原理に合致する特定の実施形態及び実装例である。これら実装例は、当業者が本考案を実施できるに十分なように記載しており、他の実装例も利用でき、また種々の素子の構造的変更及び／又は代替も本考案の範囲及び精神から逸脱することなく可能であると理解されたい。以下の説明は、したがって、限定的な意味で解釈すべきではない。
【００５１】
本明細書に記載する１つ以上の実施形態によれば、異なるデバイス（とくに、ＴＦＴアレイ）を電気的に検査するときに必要であった現行の手作業によるプロービング構体の交換手順（及びこれに関連する多数のプロービング構体）を、ＤＵＴのレイアウトに従ってプロービング構体を遠隔から（及び自動的に）再構成するよう使用できる新規なまた改良した手順及び関連の機構に代替する。
【００５２】
図１は、本明細書に記載する１つ以上の実施形態による本考案プローブ構成ステーション（ＰＣＳ）の若干の選択したコンポーネントを示す。図１に示すように、ＰＣＳは、一部にピック・アンド・プレース式のロボットシステム（ＰＣＳロボット）１０１、プローブ組立体（図１には示さない）を保持するための１個以上のプローブ組立体キャリッジ１０８、２個のプローブ組立体保管ラック１０３、及び図１に示すようなプローブバーガントリー１０４を有する。ＰＣＳロボット１０１を使用して、プローブ組立体（図示せず）をプローブバーガントリー１０４と、プローブ組立体保管ラック１０３との間で移動し、またプローブ組立体キャリッジ１０８をプローブバーガントリー１０４の長さに沿って再位置決めする。この目的のため、ＰＣＳロボット１０１にグリッパ１１１を設ける。
【００５３】
１つ以上の実施形態において、プローブ組立体保管ラック１０３は、複数の保管ラックレール１１０を組込み、使用されないときのプローブ組立体を支持するようにする。１つ以上の実施形態において、プローブ組立体キャリッジ１０８をプローブバーガントリー１０４の長さに沿って再位置決めするため、プローブ組立体を部分的にキャリッジ１０８に取付ける。ＰＣＳロボット１０１のグリッパ１１１は、プローブ組立体に取付け、またプローブ組立体を取付けたキャリッジ１０８とともにプローブバーガントリー１０４の長さに沿う所望位置に再位置決めする。１つ以上の実施形態において、ＰＣＳロボット１０１は、プローブ組立体を、プローブバーガントリー１０４に取付けたプローブ組立体キャリッジ１０８相互間で直接的に移動する。
【００５４】
１つ以上の実施形態において、プローブ組立体は、光学的プロービングデバイス、電気的プロービングデバイス、熱的プロービングデバイス、及び整列プロービングデバイスのうち少なくとも１つを組込む。
【００５５】
１つ以上の実施形態において、プローブバーガントリー１０４を支持フレーム組立体１０５に取付ける。プローブバーガントリー１０４は、支持フレーム組立体１０５と一緒にトラック組立体（図示せず）上でＹ軸方向に、例えば、リニアモータを使用するコンピュータ制御アクチュエータ（図１には示さない）によって移動可能である。１つ以上の実施形態によれば、プローブバーガントリー１０４は、自動軸方向運動を生じ、この運動を使用して、ＤＵＴの構成に従ってＬＣＤガラスの長さに沿う特定位置にプローブ組立体を位置決めする。
【００５６】
１つ以上の実施形態において、２個のプローブ組立体保管ラック１０３は、プローブ構成ステーション１００のフレームに対して静止の状態とする。他方、ＰＣＳロボット１０１は、ロボットトラック組立体１０９上で、図１に示すようにＸ軸方向に移動可能とする。ＰＣＳロボット１０１は、保管ラック１０３からプローブ組立体を掴み取り、またそれらをプローブ組立体キャリッジ１０８に取付けるよう構成する。さらに、ＰＣＳロボットを使用して、プローブ組立体キャリッジ１０８をプローブバーガントリー１０４の長さに沿って再位置決めする。
【００５７】
１つ以上の実施形態において、８〜１２個のプローブ組立体キャリッジ１０８を各プローブバーガントリー１０４に取付ける。他方、プローブ構成ステーションは、２個のバーガントリー１０４及び２個のＰＣＳロボット１０１を設け、２個のＰＣＳロボット１０１それぞれは、個別のロボットトラック組立体１０９上で移動可能にし、各ロボット１０１は１個のバーガントリー１０４に供するものとする。しかし、本明細書に記載の本考案のコンセプトは、プローブ組立体キャリッジ１０８、プローブバーガントリー１０４、保管ラック１０３又はＰＣＳロボット１０１の上述した数に限定するものではない。
【００５８】
図２は、プローブ組立体２００の例示的実施形態を示す。１つ以上の実施形態において、プローブ組立体２００はカスタマイズ可能なモジュールであり、電気的検査作業中ＤＵＴを駆動するため、ＤＵＴ上の信号受信導電性パッドに係合するよう設計した電気的接点ピン２０１のフルアレイ２０２を設ける。多くの場合、上述の導電性パッドは、ＤＵＴの周縁に配置する。ＤＵＴがＴＦＴパネルである場合、プローブ組立体２００は、駆動及び／又はデータ信号をＴＦＴパネルに送信して、電気的検査作業を可能にできる。１つ以上の実施形態において、電気的接点ピン２０１は、プローブ組立体本体２０７に取付けた細長ノーズ２０４に、一列、又は複数列、又は任意な他の空間的配列にして取付ける。上述の電気的接点ピン２０１の他に、プローブ組立体２００は、プローブ組立体本体２０７をプローブ組立体キャリッジ１０８に取付けるための１個以上の取付けピン２０３を組込み、この取付けは、最大プロービング力の下にプローブ組立体をキャリッジに保持するに十分な垂直方向の予負荷を持って行う。さらに、プローブ組立体２００は、４個のプローブ組立体保持部材２０５を組込み、保管ラック１０３のうちの１個にプローブ組立体本体２０７を支持できるようにする。１つ以上の実施形態において、プローブ組立体は、標準プローブ組立体本体２０７と、カスタマイズ可能なプローブノーズ２０４により構成する。プローブノーズ２０４は、ピンの個数、ピン間隔、並びに水平方向又は垂直方向の向きの点でパッド及びパネルレイアウトにカスタマイズすることができる。この場合、プローブ組立体は、プローブ組立体をキャリッジに取付けるための取付けピンを有する。
【００５９】
図３はプローブ組立体本体２０７の反対側から見た図を示す。１つ以上の実施形態において、図３に示すプローブ組立体本体２０７は頂面側の図であり、この頂面側は、プローブ組立体キャリッジ１０８に整合するよう構成する。図３に示すようにプローブ組立体本体２０７には、さらに１対の電気的コネクタ３０１を組込み、これら電気的コネクタ３０１は、プローブ組立体本体２０７をプローブ組立体キャリッジ１０８に取付けるとき、プローブ組立体キャリッジ１０８の電気的コネクタに整合するよう設計する。上述の電気的コネクタ３０１のピンは、プローブ組立体２００のノーズ２０４に取付けた対応のピン２０１に電気的に接合し、駆動電気信号を電気的コネクタ３０１経由でＤＵＴに供給する。１つ以上の実施形態において、上述の電気的コネクタ３０１は、コネクタ相互間に物理的挿入行為がなされないときでも、プローブ組立体の対応する電気的コネクタとの電気的接続を確立するよう設計する。
【００６０】
さらに、図３に示すプローブ組立体本体２０７のキャリッジ整合側には案内部材３０２を組込み、プローブ組立体本体２０７をプローブ組立体キャリッジ１０８に適正に整列するのを確実にする。１つ以上の実施形態において、案内部材３０２は、図３に示すようにミニローラとして実装することができる。プローブ組立体本体２０７をプローブ組立体キャリッジ１０８に取付けるとき、取付けピン２０３がプローブ組立体キャリッジ１０８の対応する取付け孔に係合し、両者間に信頼性が高い機械的連結を生ずる。１つ以上の実施形態において、１個以上のセンサを設け、確実な機械的連結がプローブ組立体本体２０７とプローブ組立体キャリッジ１０８との間に生じなかった場合を検出する。
【００６１】
図４はプローブバーガントリー１０４に取付けたプローブ組立体キャリッジ１０８の例示的実施形態を示す。図４に示すように、プローブ組立体キャリッジ１０８は、プローブ組立体の取付けピン２０３を収容するためのプローブ組立体取付け孔４０１、並びにプローブ組立体キャリッジ１０８とプローブ組立体本体２０７の整合中にプローブ組立体キャリッジ１０８とプローブ組立体本体２０７との適正整列を確実にするために案内部材３０２に係合するよう構成したプローブ組立体整列ピン４０２を有する。さらに、プローブ組立体キャリッジ１０８には、取付け孔４０１の内側に取付けピン２０３を保持するための取付けピン保持組立体（図示せず）を組込む。上述の取付けピン保持組立体は、キャリッジに取付けたプローブ組立体を保持するよう設けた機械的クランプ機構として機能する。１つ以上の実施形態において、プローブ組立体キャリッジ１０８には、さらに、１対の電気的コネクタ４０３を設け、プローブ組立体本体２０７の電気的コネクタ３０１と整合できるようにする。
【００６２】
１つ以上の実施形態において、各プローブ組立体キャリッジ１０８には、希土類永久磁石を有する磁気的予負荷空気軸受を組込み、プローブ組立体キャリッジ１０８に磁気的予負荷を加えるようにする。プローブ組立体キャリッジ１０８をプローブバーガントリー１０４の長さに沿ってプローブ組立体キャリッジ１０８を移動させる前に、加圧空気をプローブ組立体キャリッジ１０８の空気軸受に供給する。空気圧は、磁石の吸引力に打ち勝つのに十分な圧力とし、これによりキャリッジ１０８はプローブバーガントリー１０４に沿って容易に摺動することができる。プローブ組立体キャリッジ１０８がプローブバーガントリー１０４に沿う適正位置に達するとき、加圧空気を空気軸受に供給するのを停止し、これにより磁石の吸引力がプローブ組立体キャリッジ１０８をプローブバーガントリー１０４の所定位置に保持する。１つ以上の実施形態において、加圧空気はプローブバーガントリー１０４における空気送給孔から送給することができる。１つ以上の実施形態において、加圧空気は各プローブ組立体キャリッジ１０８に対して選択的に供給することができる。この目的のため、プローブバーガントリー１０４を、取付けた各プローブ組立体キャリッジ１０８に対応する空気送給ゾーンに分割し、加圧空気源を選択的に作動させることができるようにする。
【００６３】
代替的実施形態において、空気を、ＰＣＳロボット１０１によって、プローブ組立体キャリッジの空気軸受に供給し、ＰＣＳロボット１０１は、プローブ組立体２００又はプローブ組立体キャリッジ１０８の空気源流入口に整合するよう設計した加圧空気源流出口を有する。ＰＣＳロボット１０１がプローブ組立体２００をプローブ組立体キャリッジ１０８に取付けるとき、上述の加圧空気源を作動させ、ＰＣＳロボット１０１がプローブ組立体キャリッジ１０８をプローブバーガントリー１０４の長さに沿って再位置決めできるようにする。上述の再位置決めが完了した後、空気源を停止させ、この結果上述の磁気力によってプローブ組立体キャリッジ１０８がプローブバーガントリー１０４に確実に取付けられる。
【００６４】
図５は、プローブバーガントリー１０４に取付けられるプローブ組立体キャリッジ１０８の反対側から見た図を示す。１つ以上の実施形態において、各プローブ組立体キャリッジ１０８には、好適には、専用の可撓性導体（例えば、可撓性ケーブル又は可撓性プリント回路板）５０１を装備し、ＤＵＴ駆動信号をプローブ組立体キャリッジ１０８に送信できるようにする。１つ以上の実施形態において、専用可撓性ケーブル５０１は、ＰＣＳロボット１０１によってプローブバーガントリー１０４の長さに沿ってプローブ組立体キャリッジ１０８を移動できるよう設計した可撓性ケーブルとする。各プローブ組立体キャリッジ１０８は、プローブバーガントリー１０４に沿う所定の移動範囲を有する。１つ以上の実施形態において、上述した所定の移動範囲が順次互いにオーバーラップしてプローブバーガントリー１０４の長さを完全にカバーするよう、プローブ組立体キャリッジ１０８を配列する。プローブ組立体キャリッジ１０８相互間のあり得る機械的干渉を回避するため、１つ以上の実施形態において、ＰＣＳロボット１０１には、プローブバーガントリー１０４におけるプローブ組立体キャリッジ１０８の存在及び位置を検出するよう設計した１個以上のセンサを設けることができる。上述のセンサからの信号をＰＣＳシステムの制御モジュールに送り、この制御モジュールは、プローブバーガントリー１０４におけるプローブ組立体キャリッジ１０８相互間の機械的干渉を検出し、また阻止するよう構成する。同様に、ＰＣＳロボット１０１には、プローブ組立体が特定プローブ組立体キャリッジ１０８に既に取付けられているか否かを検出するよう設計した１個以上のセンサを設け、異なるプローブ組立体をこのようなキャリッジ１０８に取付けようとする試行を回避できるようにする。
【００６５】
プローブ組立体キャリッジ１０８の専用可撓性ケーブル又は可撓性プリント回路板５０１を電気的コネクタ４０３に電気的に接続し、プローブ組立体２００をプローブ組立体キャリッジ１０８に整合したとき、ＤＵＴ駆動信号をプローブ組立体２００の電気的コネクタ３０１に確実に送信できるようにする。専用可撓性ケーブル又は可撓性プリント回路板５０１の他方の端部は、プローブ組立体キャリッジ１０８から遠隔位置に配置した検査パターン発生器に電気的に接続する。上述の遠隔駆動電子機器は、検査中にＤＵＴを駆動するのに必要な駆動信号切替えを行い、またプローブ組立体２００の上述の接点ピン２０１に対して電気信号を送受信することができる。したがって、１つ以上の実施形態において、プローブ組立体２００及びプローブ組立体キャリッジ１０８は何ら能動的電子機器を含まない。
【００６６】
１つ以上の実施形態において、専用可撓性ケーブル又は可撓性プリント回路板５０１それぞれには、プローブ組立体キャリッジ１０８をプローブバーガントリー１０４に沿う異なる位置に取付けるとき、ケーブル又は可撓性プリント回路板５０１を確実に適正位置決めするケーブル案内部材５０３を設ける。１つ以上の実施形態において、可撓性のケーブル案内部材５０３は、金属、プラスチック又は任意な他の適当な材料で形成したストリップを有するものとする。本考案者らは、巻き尺ブレードの材料及び形状に類似の材料及び形状で形成したガイドが案内部材５０３に好適であることを見出した。ケーブル案内部材５０３は、専用可撓性ケーブル又は可撓性プリント回路板５０１がよじれたり、プローブ構成ステーション１００の動作に干渉したりするのを防止する。１つ以上の実施形態において、異なるプローブ組立体キャリッジ１０８の専用可撓性ケーブル又は可撓性プリント回路板５０１は、図１に示すように入れ子式に配列する。
【００６７】
図６は、プローブ組立体保管ラック１０３の例示的実施形態を示す。プローブ組立体保管ラック１０３は、複数の保管ラックレール１１０を組込み、これらレールは図６に示すように頂面側に配列する。各保管ラックレール１１０には、両サイドに突出するプローブ組立体保持ピン６０１のようなプローブ組立体保持手段を組込む。図６に示す実施形態において、４個の保持ピン６０１を使用する。しかし、本考案は、この個数の保持ピンにだけ限定するものではなく、任意な他の適当な個数も使用できる。これらプローブ組立体保持ピン６０１は、図２に示すプローブ組立体保持部材２０５に機械的に整合し、プローブ組立体保管ラック１０３上にプローブ組立体２００を支持する。保管ラック１０３を使用して、スペアのプローブ組立体２００又は他のＤＵＴレイアウトに使用するプローブ組立体を保管する。１つ以上の実施形態において、ＰＣＳロボット１０１には、プローブ組立体が保管ラックレール１１０の特定位置に予め取付けられているか否かを検出するよう設計した１個以上のセンサを設け、保管ラックレール１１０の同一位置に異なるプローブ組立体を取付けようとする試行を回避できるようにする。上述のセンサからの信号をＰＣＳシステムの制御モジュールに送信し、この制御モジュールは、保管ラックレール１１０上に取付けた異なるプローブ組立体相互間のあり得る機械的干渉を検出しまた阻止するよう構成する。
【００６８】
１つ以上の実施形態によれば、ＰＣＳロボット１０１は、高度に統合化した機構であるＰＣＳグリッパ組立体１１１を使用し、この例示的実施形態を図７に示す。ＰＣＳグリッパ組立体１１１を使用して、プローブ組立体２００を、保管ラック１０３及びプローブバーガントリー１０４に取付けたプローブ組立体キャリッジ１０８に対して「ピック・アンド・プレース」する。さらに、ＰＣＳグリッパ組立体１１１を使用して、取付けたプローブ組立体２００とともにプローブ組立体キャリッジ１０８をプローブバーガントリー１０４の長さに沿って再位置決めすることができる。
【００６９】
図７に示す実施形態において、ＰＣＳグリッパ組立体１１１は、把持アーム７０１及び７０２を組込み、これら把持アーム７０１及び７０２は、ＰＣＳグリッパ組立体１１１の残りの部分に対して回動可能に移動できるようにし、例えば、空気シリンダ（図示せず）を使用して動作させる。把持アーム７０１及び７０２が係合するとき、図２に示すプローブ組立体把持スロット２０６を使用してプローブ組立体２００の本体を掴むよう構成し／適合させる。把持フィンガ７０３，７０４，７０５及び７０６がプローブ組立体２００のプローブ組立体把持スロット２０６に挿入され、再位置決め作業中にプローブ組立体２００をグリッパ組立体１１１に保持し易くする。１つ以上の実施形態において、ＰＣＳグリッパ組立体１１１には、プローブ組立体に把持アーム７０１及び７０２が係合するときキャリッジ１０８をプローブバーガントリー１０４に取り付けるクランプ力に打ち勝つよう構成した予負荷機構を組込む。把持アーム７０１及び７０２が離脱するとき、プローブ組立体２００はＰＣＳグリッパ組立体１１１から釈放される。
【００７０】
１つ以上の実施形態において、ＰＣＳグリッパ組立体１１１には心出し機構を組込み、この心出し機構は、ばね７０９を使用して機械的に連結した、回動可能に取付けた心出し部材７０７及び７０８を含む。心出し部材７０７及び７０８には、それぞれ突起７１０及び７１１を組込み、これら突起７１０及び７１１は、ＰＣＳグリッパ組立体１１１をプローブ組立体２００の本体に取り付けるとき、プローブ組立体２００の本体における溝孔２０８及び２０９に整合するよう構成し、これによりＰＣＳグリッパ組立体１１１に対する適正な整列（心出し）を確実にする。さらに、１つ以上の実施形態において、ＰＣＳグリッパ組立体１１１には、１個以上の把持アームセンサを組込み、把持アーム７０１及び７０２の現在位置を感知し、また感知した位置をＰＣＳシステムの制御モジュールに通信できるようにする。
【００７１】
図８は、プローブ組立体キャリッジ１０８に取付けたプローブ組立体２００の本体近傍に位置するＰＣＳグリッパ組立体１１１を示す。図８に示すように、ＰＣＳグリッパ組立体１１１の把持アーム７０２は、プローブ組立体把持スロット２０６を使用してプローブ組立体２００の本体を掴むよう適合させる。１つ以上の実施形態において、ＰＣＳグリッパ組立体１１１は、プローブバーガントリー組立体の回転又は高さ変動を補償するコンプライアンス機構を有するものとする。
【００７２】
１つ以上の実施形態によれば、ＰＣＳグリッパ組立体１１１には、統合化した機械的リンク機構を組込み、グリッパ空気シリンダの動作による把持アーム７０１及び７０２の開閉を容易にする。このことにより、把持フィンガ７０３，７０４，７０５及び７０６はプローブ組立体２００に対して確実な把持を確立することができる。同一の又は他の実施形態において、上述の統合化した機械的リンク機構は、さらに、プローブ組立体キャリッジ１０８における取付けピン保持組立体の開閉も可能にする。
【００７３】
１つ以上の実施形態によれば、上述のピック・アンド・プレース作業中、以下の順次の作業をＰＣＳグリッパ組立体１１１が、把持アーム７０１及び７０２を動作させる上述の空気シリンダの単独ストロークで行い、すなわち、プローブ組立体２００を掴み、プローブ組立体キャリッジ１０８の取付けピン保持組立体を開いてプローブ組立体２００をプローブ組立体キャリッジ１０８から釈放する。
【００７４】
本考案のコンセプトを有する１つ以上の実施形態によれば、ＬＣＤガラス又は他のＤＵＴの駆動回路を電気的検査のために励起するには、１つ以上の遠隔検査パターン発生器（図示せず）を使用して１つ以上の電気的検査信号を発生する。種々の実施形態において、パターンの単独チャネルは、所定値範囲にわたる電圧、例えば、±５０ボルトの範囲における一連の電気的パルスとして定義する。上述の１つ以上の電気的検査信号は、専用信号ケーブル、例えば上述した図５に示す専用可撓性ケーブル５０１を介してプローブ組立体キャリッジ１０８に、またこのプローブ組立体キャリッジ１０８から電気的コネクタ４０３及び３０１を経由してプローブ組立体２００の接点ピン２０１に伝送される。接点ピン２０１は、ＬＣＤガラス又は他のＤＵＴの表面における信号を受信する導電性パッドに電気的に接続され、ＬＣＤガラス又は他のＤＵＴに生成した検査信号を送信する。プローブ組立体２００の接点ピン２０１とＤＵＴの表面における信号を受信する導電性パッドとの間の適正な整列を得るため、プローブ組立体２００はプローブバーガントリー１０４において適正に位置決めする。
【００７５】
１つ以上の実施形態によれば、ＰＣＳ１００の説明した実施形態における例示的なプローブ組立体２００の配置手順は、以下のステップを含む。
【００７６】
先ず、プローブバーガントリー１０４をＹ軸方向にプローブ組立体装荷（ローディング）位置に移動する。
【００７７】
その後、ＰＣＳロボット１０１がグリッパ組立体１１１を使用してプローブ組立体２００を保管ラック１０３からピックアップする。
【００７８】
次に、グリッパ組立体１１１に取付けられたプローブ組立体２００を持つＰＣＳロボット１０１はＸ軸方向に、プローブ組立体２００を配置すべきプローブバーガントリー１０４の領域に対応するプローブ組立体キャリッジ１０８の位置まで移動する。
【００７９】
続いて、依然としてプローブ組立体２００を取付けた状態にあるＰＣＳロボット１０１はプローブ組立体キャリッジ１０８まで上昇し、プローブ組立体２００をプローブ組立体キャリッジ１０８に取付ける。
【００８０】
その後、ＰＣＳロボット１０１は、プローブ組立体２００及びプローブ組立体キャリッジ１０８に係合したままＸ軸方向に移動し、またプローブ組立体２００及びプローブ組立体キャリッジ１０８をプローブバーガントリー１０４における適正Ｘ位置に牽引する。このステップ中、加圧空気を上述した空気軸受に供給し、プローブ組立体２００及びプローブ組立体キャリッジ１０８のプローブバーガントリー１０４の長さに沿う上述の再位置決めを容易にする。
【００８１】
この後に、ＰＣＳロボット１０１は、プローブ組立体２００及びプローブ組立体キャリッジ１０８から離脱し、プローブ組立体２００及びプローブ組立体キャリッジ１０８双方をプローブバーガントリー１０４の適正位置に所定状態でロックする。このとき、加圧空気の供給は中断する。
【００８２】
プローブ組立体２００をプローブバーにロックした後、電気的コネクタ４０３における専用導通ピンを使用して電気的導通をチェックし、プローブ組立体２００のプローブ組立体キャリッジ１０８に対する適正な整合を確認する。導通チェックに失敗する場合、プローブ組立体２００及びプローブ組立体キャリッジ１０８のロックステップを繰返す。電気的コネクタ４０３の適正導通を確立する失敗条件がさらに続く際には、プローブ組立体２００が欠陥であると見なし、保管ラック１０３に配置する。この操作は、保管ラック１０３から同様のプローブ組立体２００を取上げることによって継続する。
【００８３】
ＰＣＳロボット１０１は下方に移動し、保管ラック１０３まで復帰し、プローブバーガントリー１０４に配置するための次のプローブ組立体２００を取得し、このとき上述のステップを、プローブバーガントリーが、ＬＣＤパネル又は他のＤＵＴの電気的検査のために完全に構成されるまで繰返す。
【００８４】
１つ以上の実施形態によれば、プローブ組立体２００及び／又はプローブ組立体キャリッジ１０８に関連する位置、構成及び／又は他の情報のトラックを維持し、また保管ラック１０３又はプローブバーガントリー１０４にプローブ組立体２００を配置するには、ＰＣＳロボット１０１に、図９，１０及び１１に示すように、バーコード又はＲＦＩＤの読取りシステム９０１及び端縁検出センサ９０５を装備する。１つ以上の実施形態において、各プローブ組立体２００及びプローブ組立体キャリッジ１０８には、バーコード又はＲＦＩＤタグ（図示せず）を組込み、ＰＣＳロボット１０１のバーコード又はＲＦＩＤの読取りシステム９０１によって読取ることができるようにする。バーコード又はＲＦＩＤタグは、一意的なプローブ組立体又はプローブ組立体キャリッジＩＤ、プローブタイプ、ＸＹオフセット較正を、他の関連パラメータに加えて格納する。整列、計測、エネルギー伝達、基板への熱伝導等のための任意な他のデバイス、例えば、カメラ、照明、レーザー、他のセンサを、本考案によるＰＣＳシステムの実施形態に対してランタイムに付加することができる。１つ以上の実施形態において、本考案によるシステムには、さらに、プローブ組立体存在センサ９０６を組込み、ＰＣＳグリッパ組立体１１１におけるプローブ組立体の有無を検出するよう動作させ、失敗のない再構成を行うことができるようにする。
【００８５】
１つ以上の実施形態において、ＰＣＳロボット１０１の端縁検出センサ９０５を使用して、プローブ組立体キャリッジ１０８及び／又はプローブ組立体２００をプローブバーガントリー１０４に配置する。さらに、端縁検出センサ９０５は垂直方向のソフトウェア補償のためにも使用して、プローブバーガントリー１０４の表面におけるいかなる平坦性誤差又は歪みをも補償し、これによりプローブ組立体２００の失敗のない交換が容易になるようにする。
【００８６】
１つ以上の実施形態において、本考案によるシステムには、プローブ組立体キャリッジ存在センサ９０４を組込み、プローブ組立体をプローブ組立体キャリッジ１０８に配置する試行前にプローブバーガントリー１０４におけるプローブ組立体キャリッジ１０８の有無を検出するよう動作させる。さらに他のセンサとしては、プローブ組立体保管ラック１０３をチェックするためのルックアップセンサ９０２及びルックダウンセンサ９０３があり、予め決定した運動を試行する前に、上述した保管ラックに取付けたプローブ組立体に干渉するような１個又はそれ以上の取付けられたプローブ組立体が存在するかをチェックする。
【００８７】
１つ以上の実施形態において、チャック背後に取付けたプローブピン検査モジュールを使用して、プローブ組立体のノーズ２０４に欠落した又は破損したピン２０１の有無を検出し、ＤＵＴのプロービングに必要な時間を節約する。プローブバーガントリー１０４に取付けたプローブ組立体は、プローブピン検査モジュールの頂部で駆動し、またプローブピンをピン検査プレート上に降下させ、この後、ソフトウェアアルゴリズムが各ピンに対して電気的回路を閉成し、いかなる欠落又は破損したピンをも検出する。
【００８８】
本考案のコンセプトを有する１つ以上の実施形態によれば、システムには、さらに（システムの前部に配置した上述のロボット及び第１プローブバーガントリーの他に）、システムの後部に配置した第２ロボットを設けることができる。後部にアクセス領域、例えば、窓又は他の開口部、及び第２可動プローブバーガントリー１０４も配置し、第２可動プローブバーガントリー１０４には、アクセス領域からシステムの人的オペレータ又は自動手段がアクセスできるようにする。第２可動プローブバーガントリー１０４も（(第１)ガントリーを飛び越すことによって）再位置決めできるようにし、これにより（第１の前部における）ロボットシステムがアクセスできるようになる。この前部ロボットシステムは、任意の保管ラック、第１ガントリー組立体及び第２ガントリー組立体のうち任意なものにおけるペイロード（積載物）を再位置決めするよう構成する。ペイロードの端縁を検出することによってペイロードを識別及び配置するよう構成した１個以上の端縁検出センサを設けることができる。
【００８９】
保管ラック１０３又は（第１）プローブバーガントリー１０４にプローブ組立体２００を装荷するには、以下のステップを含む。
【００９０】
操作中、ＰＣＳシステムの後部に位置する第２ロボットは、デフォルトの場所で静止位置に留まる。
【００９１】
先ず、オペレータは手作業でプローブ組立体を第２ガントリー（システムの後部に位置する）にアクセス領域から取付ける。
【００９２】
第２ガントリー（システムの後部に位置する）は、第１ロボット（システムの前部に位置する）の頂部に移動し、次にこの第１ロボットが第２ガントリーに取付けたキャリッジに装荷したプローブ組立体をピックアップする。
【００９３】
最終的に、第１ロボット（システムの前部に位置する）は、保管ラック（システムの前部に位置する）又は第１ガントリー（システムの前部に位置する）にプローブ組立体を保管する。
【００９４】
プローブ組立体除荷（アンローディング）手順はその逆順で行う。
【００９５】
当業者には理解されると思われるが、本明細書に記載した本考案ＰＣＳシステムの利点としては、製品交換のための停止時間が短縮される点、新たな製品検査用の電気的検査システムを採用するコストが削減される点、並びにオペレータを安全上の問題に晒す危険性を減らす点がある。
【００９６】
ＤＵＴの構成に適合するようプロービング構体を遠隔で（及び／又は自動的に）再構成する本考案による手順及び関連の機構は、任意の特定検査デバイス又は任意の特定検査システム若しくは方法に限定されるものではない。上述のコンセプトを使用してＬＣＤパネル又はＯＬＥＤパネル、並びに任意な他の電子デバイスの検査することができ、この場合、例えば、電子ビーム、電圧画像形成を含む任意な既知の検査技術、又は任意な他の現在知られている若しくは今後開発される検査技術を使用することができる。さらに、本考案システムは、プローブ組立体又は特定検査機器のみの取扱いに限定されるものではなく、本考案システムを利用して、検査用又はそれ以外に係わらず、限定しないが、カメラ、センサ又は任意な他の機器を含む、任意のペイロードを取扱うことができる。
【００９７】
図１２は、システムの単一経路全体を検査するためのピン検査ストリップを組込むプローブピン検査モジュール１２０１の例示的実施形態を示す。ピン検査ストリップは、チャックの後部に取付けた導電性表面により構成する。プローブバーガントリーにプローブ組立体を装荷した後、プローブバーガントリーをプローブピン検査ストリップの上方位置に移動する。プローブバーガントリー１０４をＺ軸方向に降下させ、これによりプローブ組立体２００内に拘束されたプローブピンがプローブピン検査ストリップに物理的に接触する。このとき、ソフトウェアルーチンが起動して、上述の検査パターン発生器から信号を発生し、これら信号はスイッチング電子機器を経由して特定プローブ組立体２００上の特定プローブピンに伝送される。同時に、同一プローブ組立体における他のプローブピンをモニタリングする。プローブピン検査ストリップの導電性に起因して、プローブ組立体に向けて駆動される信号を、同一プローブ組立体でモニタリングされているピンの異なる組によって測定することができる。この方法により、ＬＣＤパネル又は他の被検デバイスの検査を開始する前に、単一経路全体の機能性をプローブ組立体のために検証することができる。上述のプロセスは、プローブバーにおける各プローブ組立体に対して繰り返すことができる。
【００９８】
最後に、本明細書に記載したプロセス及び技術は、本来的に任意な特定の装置に関連するものではなく、コンポーネントの任意の適当な組合せによって実現することができる。さらに、種々のタイプの汎用デバイスを、本明細書に記載した教示内容に従って、使用することができる。さらに、本明細書に記載した方法のステップを実施するよう特化した装置を構成するのは有利であることが分かっている。本考案を特定実施例に関連して説明してきたが、これら特定実施例は限定的なものではなく、すべて例示を目的とするものである。
【００９９】
さらに、当業者には、本明細書に記載した本考案の明細及び実践を考慮して、本考案の他の実施形態もあり得ること明らかであろう。上述の実施形態の種々の態様及び／又はコンポーネントは、電子デバイスを検査するシステムにおいて単独で又は任意の組合せで使用することができる。明細及び実施例は単に例示的なものと見なされ、本考案の真の範囲及び精神は実用新案登録請求の範囲によって示される。
【符号の説明】
【０１００】
１００    プローブ構成ステーション(ＰＣＳ：probe configuration station)
１０１    ＰＣＳロボット
１０３    プローブ組立体保管ラック
１０４    プローブバーガントリー
１０５    支持フレーム組立体
１０８    プローブ組立体キャリッジ
１０９    ロボットトラック組立体
１１０    保管ラックレール
１１１    ＰＣＳグリッパ組立体
２００    プローブ組立体
２０１    電気的接点ピン
２０２  フルアレイ
２０３    取付けピン
２０４    細長ノーズ
２０５    プローブ組立体保持部材
２０６    プローブ組立体把持スロット
２０７    プローブ組立体本体
２０８    溝孔
２０９    溝孔
３０１    電気的コネクタ
３０２    案内部材
４０１    プローブ組立体取付け孔
４０２    プローブ組立体整列ピン
４０３    電気的コネクタ
５０１    専用可撓性ケーブル又は可撓性プリント回路板
５０３    ケーブル案内部材
６０１    プローブ組立体保持ピン
７０１    把持アーム
７０２    把持アーム
７０３    把持フィンガ
７０４    把持フィンガ
７０５    把持フィンガ
７０６    把持フィンガ
７０７    心出し部材
７０８    心出し部材
７０９    ばね
７１０    突起
７１１    突起
９０１    バーコード又はＲＦＩＤの読取りシステム
９０２    ルックアップセンサ
９０３    ルックダウンセンサ
９０４    プローブ組立体キャリッジ存在センサ
９０５    端縁検出センサ
９０６    プローブ組立体存在センサ
【図１】
0003194991.tif 000003
【図２】
0003194991.tif 000004
【図３】
0003194991.tif 000005
【図４】
0003194991.tif 000006
【図５】
0003194991.tif 000007
【図６】
0003194991.tif 000008
【図７】
0003194991.tif 000009
【図８】
0003194991.tif 000010
【図９】
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【図１０】
0003194991.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
0003194991.tif 000014
【手続補正書】
【提出日】平成26年10月22日(2014.10.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】実用新案登録請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
被検デバイスを検査するプローブシステムにおいて、
ａ.  保管ラックと、
ｂ.  プローブバーガントリー組立体と、
ｃ.  プローブバーガントリー組立体に取付けたキャリッジと、
ｄ.  前記キャリッジに着脱可能であり、前記被検デバイスに電気的に整合するよう構成したプローブ組立体と、及び
ｅ.  前記保管ラックから前記プローブ組立体を取上げ、また前記プローブ組立体を前記プローブバーガントリー組立体に取付けたキャリッジに配達するロボットシステムであって、さらに、前記プローブバーガントリー組立体に取付けたキャリッジから前記プローブ組立体を取上げ、また前記プローブ組立体を前記保管ラックに配達する、該ロボットシステムと
を備える、プローブシステム。
【請求項２】
請求項１記載のプローブシステムにおいて、前記ロボットは、さらに、前記プローブ組立体及び前記キャリッジを前記プローブバーガントリー組立体の長さに沿って再位置決めして、前記プローブ組立体と前記被検デバイスの対応する整合部分とを整列させるよう構成する、プローブシステム。
【請求項３】
請求項２記載のプローブシステムにおいて、さらに、前記プローブ組立体及び前記キャリッジの前記プローブバーガントリー組立体の長さに沿う再位置決めを容易にする減摩デバイスを備える、プローブシステム。
【請求項４】
請求項２記載のプローブシステムにおいて、さらに、前記プローブ組立体及び前記キャリッジの前記プローブバーガントリー組立体の長さに沿う再位置決めを容易にするよう構成した空気軸受を備える、プローブシステム。
【請求項５】
請求項１記載のプローブシステムにおいて、前記プローブ組立体は、前記プローブ組立体を前記キャリッジに取付けるための取付けピンを有する、プローブシステム。
【請求項６】
請求項１記載のプローブシステムにおいて、前記プローブ組立体は、前記プローブ組立体を前記キャリッジに取付けるとき、前記被検デバイスにおける導電性パッドと整合するよう構成した複数個の接点ピンを有する、プローブシステム。
【請求項７】
請求項６記載のプローブシステムにおいて、前記プローブ組立体の前記接点ピンは、前記被検デバイスの構成に従って再位置決めする、プローブシステム。
【請求項８】
請求項１記載のプローブシステムにおいて、前記プローブ組立体は第２コネクタを有し、また前記キャリッジは第１コネクタを有し、前記プローブ組立体を前記キャリッジに取付けるとき、前記第１コネクタが前記第２コネクタに整合する構成とする、プローブシステム。
【請求項９】
請求項８記載のプローブシステムにおいて、さらに、少なくとも１つの検査駆動信号を前記キャリッジの前記第１コネクタに送信する可撓性ケーブルを備える、プローブシステム。
【請求項１０】
請求項９記載のプローブシステムにおいて、さらに、前記キャリッジを前記プローブバーガントリー組立体に取付けるとき、前記可撓性ケーブルを確実に適正な位置に位置決めするケーブル案内部材を備える、プローブシステム。
【請求項１１】
請求項９記載のプローブシステムにおいて、さらに、前記少なくとも１つの検査駆動信号を発生するよう構成した検査パターン発生器を備え、前記検査パターン発生器を前記可撓性ケーブルに電気的に接続する、プローブシステム。
【請求項１２】
請求項８記載のプローブシステムにおいて、さらに、少なくとも１つの検査駆動信号を前記キャリッジの前記第１コネクタに送信する可撓性プリント回路板を備える、プローブシステム。
【請求項１３】
請求項８記載のプローブシステムにおいて、前記プローブ組立体は、前記プローブ組立体を前記キャリッジに取付けるとき、前記被検デバイスにおける導電性パッドと整合するよう構成した複数個の接点ピンを有し、また前記複数個の接点ピンは、前記プローブ組立体の前記第２コネクタの複数個の接点に電気的に接続する、プローブシステム。
【請求項１４】
請求項１３記載のプローブシステムにおいて、前記プローブ組立体は、前記第２コネクタから少なくとも１つの検査駆動信号を受信し、またこの受信した前記少なくとも１つの検査駆動信号を前記複数個の接点ピンを介して前記被検デバイスに供給する、プローブシステム。
【請求項１５】
請求項１記載のプローブシステムにおいて、前記プローブ組立体は、前記キャリッジに取付けた前記プローブ組立体を最大プロービング力の下で保持するのに十分な垂直方向予負荷を有して前記プローブ組立体を前記キャリッジに取付ける取付けピンを有する、プローブシステム。
【請求項１６】
請求項１記載のプローブシステムにおいて、前記プローブバーガントリー組立体は、前記被検デバイス上の特定位置に前記プローブ組立体を位置決めする自動軸方向運動を生ずるよう構成する、プローブシステム。
【請求項１７】
請求項１記載のプローブシステムにおいて、前記ロボットシステムは、前記プローブ組立体を掴むよう動作する把持組立体を有する、プローブシステム。
【請求項１８】
請求項１７記載のプローブシステムにおいて、前記把持組立体は、前記把持組立体に対して回動可能に移動できる把持アームを有し、また前記ロボットシステムは、前記把持組立体の前記把持アームを動作させるアクチュエータを有する、プローブシステム。
【請求項１９】
請求項１７記載のプローブシステムにおいて、前記把持組立体は、前記プローブ組立体を前記キャリッジから取外すべきとき、前記キャリッジを前記プローブバーガントリー組立体に取付けるクランプ力に打ち勝つよう構成した予負荷機構を有する、プローブシステム。
【請求項２０】
請求項１７記載のプローブシステムにおいて、前記把持組立体は、前記プローブバーガントリー組立体の回転又は高さ変動を補償するコンプライアンス機構を有する、プローブシステム。
【請求項２１】
請求項１記載のプローブシステムにおいて、前記ロボットシステムは、前記プローブ組立体を識別又は探索するよう構成した少なくとも１個のセンサを有する、プローブシステム。
【請求項２２】
請求項２１記載のプローブシステムにおいて、前記センサは、ＲＦＩＤリーダとし、前記プローブ組立体は、前記ＲＦＩＤリーダが読取るよう構成したＲＦＩＤタグを有し、また前記ＲＦＩＤタグは、一意的なプローブ組立体識別子、プローブタイプ情報、及び較正情報のうち少なくとも１つを格納する、プローブシステム。
【請求項２３】
請求項２１記載のプローブシステムにおいて、前記センサは、前記プローブ組立体の端縁を検出するよう構成した端縁検出センサとする、プローブシステム。
【請求項２４】
請求項２３記載のプローブシステムにおいて、さらに、前記プローブ組立体の配置及び取外し中に、前記プローブバーガントリー組立体表面のいかなる歪みをも補償するに必要な修正を決定するよう構成した、コントローラを備える、プローブシステム。
【請求項２５】
請求項２１記載のプローブシステムにおいて、前記センサは、バーコードリーダとし、前記プローブ組立体は、前記バーコードリーダが読取るバーコードタグを有し、また前記バーコードタグは、一意的なプローブ組立体識別子、プローブタイプ情報、及び較正情報のうち少なくとも１つを格納する、プローブシステム。
【請求項２６】
請求項１記載のプローブシステムにおいて、前記ロボットシステムは、前記キャリッジを識別又は探索するよう構成した少なくとも１個のセンサを有する、プローブシステム。
【請求項２７】
請求項１記載のプローブシステムにおいて、前記プローブ組立体は、光学的探査デバイス、電気的探査デバイス、熱的探査デバイス、及び整列探査デバイスのうち少なくとも１つを有する、プローブシステム。
【請求項２８】
請求項１記載のプローブシステムにおいて、前記プローブバーガントリー組立体は、前記被検デバイス上のいかなる位置にでも前記プローブ組立体を位置決めするよう動作可能とする、プローブシステム。
【請求項２９】
請求項１記載のプローブシステムにおいて、前記キャリッジは、前記プローブ組立体を前記キャリッジに整列させる少なくとも１個の整列ピンを有する、プローブシステム。
【請求項３０】
請求項１記載のプローブシステムにおいて、前記キャリッジに、前記キャリッジに取付けた前記プローブ組立体を保持するクランプ機構を組込む、プローブシステム。
【請求項３１】
被検デバイスを検査するプローブシステムにおいて、
ａ.  第１レール及び第２レールを有する保管ラックと、
ｂ.  プローブバーガントリー組立体と、
ｃ.  プローブバーガントリー組立体に取付けたキャリッジであって、電気的な第１コネクタ及び検査駆動信号を前記電気的な第１コネクタに送信するケーブルを有する、該キャリッジと、
ｄ.  プローブ組立体であって、前記被検デバイスに電気的に整合するよう構成した複数個のピン、前記複数個のピンに電気的に接続して、前記プローブ組立体を前記キャリッジに取付けるとき前記第１コネクタに整合するよう構成した第２コネクタ、及び前記プローブ組立体を前記キャリッジに固定する取付けピンを有する、該プローブ組立体と、及び
ｅ.  前記保管ラックから前記プローブ組立体を取上げ、また前記プローブ組立体を前記プローブバーガントリー組立体に取付けたキャリッジに配達するロボットシステムであって、さらに、前記プローブバーガントリー組立体に取付けたキャリッジから前記プローブ組立体を取上げ、また前記プローブ組立体を前記保管ラックに配達する、該ロボットシステムと
を備える、プローブシステム。
【請求項３２】
請求項３１記載のプローブシステムにおいて、前記ロボットは、さらに、前記プローブ組立体及び前記キャリッジを前記プローブバーガントリー組立体の長さに沿って再位置決めして、前記プローブ組立体と前記被検デバイスの対応する整合部分とを整列させるよう構成する、プローブシステム。
【請求項３３】
請求項３２記載のプローブシステムにおいて、さらに、前記プローブ組立体及び前記キャリッジの前記プローブバーガントリー組立体の長さに沿う再位置決めを容易にするよう構成した空気軸受を備える、プローブシステム。
【請求項３４】
請求項３１記載のプローブシステムにおいて、前記プローブ組立体は、前記プローブ組立体を前記キャリッジに取付けるための取付けピンを有する、プローブシステム。
【請求項３５】
ａ.  複数の保管ラックと、
ｂ.  第１ガントリー組立体と、
ｃ.  前記第１ガントリー組立体に取付けた第１キャリッジと、
ｄ.  第２ガントリー組立体と、
ｅ.  前記第２ガントリー組立体に取付けた第２キャリッジと、
ｆ.  前記第１ガントリー組立体にアクセスできるアクセス領域と、
ｇ.  前記保管ラック、前記第１ガントリー組立体に取付けた前記第１キャリッジ及び前記第２ガントリー組立体に取付けた前記第２キャリッジのうちいずれかにおけるペイロードを再位置決めするように各々を構成した第１ロボットシステム及び第２ロボットシステムであって、各々が、前記ペイロードの少なくとも１つの端縁を検出することによって前記ペイロードを識別及び探索するよう構成した少なくとも１個の端縁検出センサを有する、該第１ロボットシステム及び第２ロボットシステムと
を備える、システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
上述したように、複合電子デバイス、例えばＬＣＤパネルの生産収率を向上するためには、種々の検査段階で行い、作製プロセスの様々な段階中に生じ得る種々の欠陥を識別できるようにする。上述の検査段階は、作製段階相互間又は作製プロセス全体が完了した後に行うことができる。上述の検査プロセスの一例としては、ＬＣディスプレイ及びＯＬＥＤディスプレイに使用されるＴＦＴアレイの電気的欠陥の検査がある。種々の検査デバイスを使用して上述の検査を行う。この目的のために使用できる例示的デバイスとしては、市販されているアレイ・チェッカーがある。代案として、ＴＦＴアレイ検査は、当業者に知られており、また市販の電子ビーム検査システムを使用して行うことができる。