【手続補正書】
【提出日】平成22年4月28日(2010.4.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】吐出口部材の製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、インクジェット記録方式に用いる記録液滴を発生するための吐出口部材の製造方法に関する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
また、気泡の成長方向と吐出方向とがほぼ同じタイプのインクジェット記録ヘッドの製造方法としては、例えば特許文献７に記載されている方法、すなわち、基体とオリフィスプレートとなるドライフィルムとをパターニングされた別のドライフィルムを介して接合し、フォトリソグラフィーによってオリフィスを形成する方法や、特許文献８に記載されている方法、すなわち、インク吐出圧力発生素子が形成された基体と電鋳加工により製造されるオリフィスプレートとをパターニングされたドライフィルムを介して接合する方法等がある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
しかしながら、従来用いられているスピンコート法では、第一の活性エネルギー線硬化材料であるノズル形成材料と、第２の活性エネルギー線硬化材料である撥インク性である表面処理材料とが互いに溶け合う場合、相溶してしまい、ノズル形成材料は撥インク性を帯びたり、撥インク性材料は撥インク性が減少する等の個々の特性がでなくなるばかりか、膜厚分布なども大幅に乱れてしまうという問題点があった。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明は、以上のような局面にかんがみてなされたもので、これらの問題点を解消するための吐出口部材の製造方法の提供を目的としている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
このため、本発明においては、以下の各項（１）〜（１２）のいずれかに示す吐出口部材の製造方法を提供することにより、前記目的を達成しようとするものである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
（１）液体を吐出する吐出口を有する液体吐出ヘッドの、前記吐出口が設けられ、前記吐出口が開口している側の表面が撥水性である吐出口部材の製造方法において、第一の材料層と、前記表面を撥水性とするための撥水用材料を含む第二の材料層と、を有する、前記吐出口部材となるための活性エネルギー線硬化性の層、を提供する提供工程と、前記活性エネルギー線硬化性の層の、前記第一の材料層と前記第二の材料層とを一括して露光する露光工程と、前記活性エネルギー線硬化性の層の、前記露光工程で露光されなかった部分を除去することにより、前記吐出口を形成する形成工程と、を有することを特徴とする吐出口部材の製造方法。
（２）前記第一の材料層は、エポキシ樹脂と光カチオン重合開始剤とを含むことを特徴とする前記（１）に記載の吐出口部材の製造方法。
（３）前記撥水用材料は、フッ素原子を有する化合物を含むことを特徴とする前記（１）または（２）に記載の吐出口部材の製造方法。
（４）前記提供工程では、前記吐出口と連通する液体の流路の形状の樹脂層が設けられた基板上に前記活性エネルギー線硬化性の層を提供し、前記形成工程を行った後に前記樹脂層を除去して前記流路を形成することを特徴とする前記（１）乃至（３）のいずれか１項に記載の吐出口部材の製造方法。
（５）液体を吐出する吐出口と該吐出口と連通する液体の流路とを有する液体吐出ヘッドの、前記吐出口が設けられ、前記吐出口が開口している側の表面が撥水性である吐出口部材の製造方法において、前記流路の壁となるための第一の材料層と、前記表面を撥水性とするための撥水用材料を含む第二の材料層と、を有する、前記吐出口部材となるための活性エネルギー線硬化性の層、を提供する提供工程と、前記活性エネルギー線硬化性の層の、前記第一の材料層と前記第二の材料層とを一括して露光する露光工程と、前記活性エネルギー線硬化性の層の、前記露光工程で露光されなかった部分を除去することにより、前記吐出口を形成する形成工程と、を有することを特徴とする吐出口部材の製造方法。
（６）前記第一の材料層は、エポキシ樹脂と光カチオン重合開始剤とを含むことを特徴とする前記（５）に記載の吐出口部材の製造方法。
（７）前記撥水用材料は、フッ素原子を有する化合物を含むことを特徴とする前記（５）または（６）記載の吐出口部材の製造方法。
（８）前記提供工程では、前記流路の形状の樹脂層が設けられた基板上に前記活性エネルギー線硬化性の層を提供し、前記形成工程を行った後に前記樹脂層を除去して前記流路を形成することを特徴とする前記（５）乃至（７）のいずれか１項に記載の吐出口部材の製造方法。
（９）液体を吐出する吐出口を有する液体吐出ヘッドの、前記吐出口が設けられ、前記吐出口が開口している側の表面が撥水性である吐出口部材の製造方法において、前記表面を撥水性とするための撥水用材料を第一の材料層を被覆するように前記第一の材料層上に付与して、前記吐出口部材となるための活性エネルギー線硬化性の層を設ける工程と、前記活性エネルギー線硬化性の層の前記撥水用材料の部分と前記第一の材料層の部分とを一括して露光する露光工程と、前記活性エネルギー線硬化性の層の、前記露光工程で露光されなかった部分を除去することにより、前記吐出口を形成する形成工程と、を有することを特徴とする吐出口部材の製造方法。
（１０）前記第一の材料層は、エポキシ樹脂と光カチオン重合開始剤とを含むことを特徴とする前記（９）に記載の吐出口部材の製造方法。
（１１）前記撥水用材料は、フッ素原子を有する化合物を含むことを特徴とする前記（９）または（１０）に記載の吐出口部材の製造方法。
（１２）前記活性エネルギー線硬化性の層を設ける工程では、前記吐出口と連通する液体の流路の形状の樹脂層が設けられた基板上に前記活性エネルギー線硬化性の層を提供し、前記形成工程を行った後に前記樹脂層を除去して前記流路を形成することを特徴とする前記（９）乃至（１１）のいずれか１項に記載の吐出口部材の製造方法。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
［作用］
以上のような本発明によれば、吐出口部の撥インク性感光性材料とインク流路形成材料とを同時にパターニングされ、また、撥インク感光性材料とインク流路形成材料との相溶の問題もないため、各吐出口に均一で安定した撥インク領域を作ることができる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出する吐出口を有する液体吐出ヘッドの、前記吐出口が設けられ、前記吐出口が開口している側の表面が撥水性である吐出口部材の製造方法において、
第一の材料層と、前記表面を撥水性とするための撥水用材料を含む第二の材料層と、を有する、前記吐出口部材となるための活性エネルギー線硬化性の層、を提供する提供工程と、
前記活性エネルギー線硬化性の層の、前記第一の材料層と前記第二の材料層とを一括して露光する露光工程と、
前記活性エネルギー線硬化性の層の、前記露光工程で露光されなかった部分を除去することにより、前記吐出口を形成する形成工程と、
を有することを特徴とする吐出口部材の製造方法。
【請求項２】
前記第一の材料層は、エポキシ樹脂と光カチオン重合開始剤とを含むことを特徴とする請求項１に記載の吐出口部材の製造方法。
【請求項３】
前記撥水用材料は、フッ素原子を有する化合物を含むことを特徴とする請求項１または２に記載の吐出口部材の製造方法。
【請求項４】
前記提供工程では、前記吐出口と連通する液体の流路の形状の樹脂層が設けられた基板上に前記活性エネルギー線硬化性の層を提供し、
前記形成工程を行った後に前記樹脂層を除去して前記流路を形成することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の吐出口部材の製造方法。
【請求項５】
液体を吐出する吐出口と該吐出口と連通する液体の流路とを有する液体吐出ヘッドの、前記吐出口が設けられ、前記吐出口が開口している側の表面が撥水性である吐出口部材の製造方法において、
前記流路の壁となるための第一の材料層と、前記表面を撥水性とするための撥水用材料を含む第二の材料層と、を有する、前記吐出口部材となるための活性エネルギー線硬化性の層、を提供する提供工程と、
前記活性エネルギー線硬化性の層の、前記第一の材料層と前記第二の材料層とを一括して露光する露光工程と、
前記活性エネルギー線硬化性の層の、前記露光工程で露光されなかった部分を除去することにより、前記吐出口を形成する形成工程と、
を有することを特徴とする吐出口部材の製造方法。
【請求項６】
前記第一の材料層は、エポキシ樹脂と光カチオン重合開始剤とを含むことを特徴とする請求項５に記載の吐出口部材の製造方法。
【請求項７】
前記撥水用材料は、フッ素原子を有する化合物を含むことを特徴とする請求項５または６記載の吐出口部材の製造方法。
【請求項８】
前記提供工程では、前記流路の形状の樹脂層が設けられた基板上に前記活性エネルギー線硬化性の層を提供し、
前記形成工程を行った後に前記樹脂層を除去して前記流路を形成することを特徴とする請求項５乃至７のいずれか１項に記載の吐出口部材の製造方法。
【請求項９】
液体を吐出する吐出口を有する液体吐出ヘッドの、前記吐出口が設けられ、前記吐出口が開口している側の表面が撥水性である吐出口部材の製造方法において、
前記表面を撥水性とするための撥水用材料を第一の材料層を被覆するように前記第一の材料層上に付与して、前記吐出口部材となるための活性エネルギー線硬化性の層を設ける工程と、
前記活性エネルギー線硬化性の層の前記撥水用材料の部分と前記第一の材料層の部分とを一括して露光する露光工程と、
前記活性エネルギー線硬化性の層の、前記露光工程で露光されなかった部分を除去することにより、前記吐出口を形成する形成工程と、
を有することを特徴とする吐出口部材の製造方法。
【請求項１０】
前記第一の材料層は、エポキシ樹脂と光カチオン重合開始剤とを含むことを特徴とする請求項９に記載の吐出口部材の製造方法。
【請求項１１】
前記撥水用材料は、フッ素原子を有する化合物を含むことを特徴とする請求項９または１０に記載の吐出口部材の製造方法。
【請求項１２】
前記活性エネルギー線硬化性の層を設ける工程では、前記吐出口と連通する液体の流路の形状の樹脂層が設けられた基板上に前記活性エネルギー線硬化性の層を提供し、
前記形成工程を行った後に前記樹脂層を除去して前記流路を形成することを特徴とする請求項９乃至１１のいずれか１項に記載の吐出口部材の製造方法。