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【手続補正書】
【提出日】平成22年5月21日(2010.5.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
潜像担持体と、トナー担持体と、トナー担持体上のトナー量を規制しトナー層を形成するトナー規制部材とを少なくとも有する画像形成装置を用い、該潜像担持体上に形成された静電潜像を非磁性一成分トナーによって現像する画像形成方法であって、
該トナー担持体は、軸芯体及び該軸芯体の外周の弾性層、並びに該弾性層の外周に少なくとも結着樹脂と樹脂粒子を含有する表面層を有するトナー担持体であり、該表面層の厚さは８．０乃至１５．０（μｍ）であり、該樹脂粒子は弾性率が０．０５乃至２．００（ＭＰａ）である樹脂粒子であり、また、該弾性層のアスカーＣ硬度が５０乃至６０（°）であり、
該トナーは、結着樹脂、着色剤、及びワックス成分を少なくとも含有するトナー粒子と、無機微粉体とを有するトナーであって、トナーに対する微小圧縮試験において、測定するトナーの粒子径をＤ（μｍ）、トナーの１粒子に負荷速度９．８×１０−５Ｎ／ｓｅｃで荷重９．８×１０−４Ｎを負荷したときの最大変位量をＸ１００（μｍ）、荷重２．０×１０−４Ｎ時の変位量をＸ２０（μｍ）としたとき、
０．４００≦Ｘ１００／Ｄ≦０．８００
０．０２０≦Ｘ２０／Ｄ≦０．０６０
であることを特徴とする画像形成方法。
【請求項２】
該トナーの個数平均粒子径（Ｄｔ１）が３．０乃至８．０（μｍ）であり、トナー担持体表面層に含まれる樹脂粒子の体積粒度分布において、３．０乃至３０．０（μｍ）の範囲内で少なくとも２つのピーク（ＤＰＡおよびＤＰＢ）を有しており、３．０≦Ｄｔ１＜ＤＰＡ＜ＤＰＢ≦３０．０を満足することを特徴とする請求項１に記載の画像形成方法。
【請求項３】
該トナー担持体表面層に含まれる樹脂粒子について、３．０≦Ｄｔ１＜ＤＰＡ＜ＤＰＢ≦３０．０および４．０≦ＤＰＢ−ＤＰＡ≦１２．０を同時に満足することを特徴とする請求項１または２に記載の画像形成方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】非磁性一成分トナーを用いた画像形成方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、電子写真法に代表される記録方法に用いられる非磁性一成分トナーを用いた画像形成方法に関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の目的は、定着性、現像性、及び耐久性がバランス良く、優れた非磁性一成分トナーを用いた画像形成方法を提供することにある。
更に、本発明の目的は、低温定着性、耐高温オフセット性、画像の高光沢性に優れ、耐ストレス性が良好であり、高速かつ多数枚の連続プリントを行うことでトナーが現像装置内で負荷を受ける場合でも、安定した画像が得られるトナーを用いた画像形成方法を提供することにある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
上記課題を解決するための本発明は、
潜像担持体と、トナー担持体と、トナー担持体上のトナー量を規制しトナー層を形成するトナー規制部材とを少なくとも有する画像形成装置を用い、該潜像担持体上に形成された静電潜像を非磁性一成分トナーによって現像する画像形成方法であって、
該トナー担持体は、軸芯体及び該軸芯体の外周の弾性層、並びに該弾性層の外周に少なくとも結着樹脂と樹脂粒子を含有する表面層を有するトナー担持体であり、該表面層の厚さは８．０乃至１５．０（μｍ）であり、該樹脂粒子は弾性率が０．０５乃至２．００（ＭＰａ）である樹脂粒子であり、また、該弾性層のアスカーＣ硬度が５０乃至６０（°）であり、
該トナーは、結着樹脂、着色剤、及びワックス成分を少なくとも含有するトナー粒子と、無機微粉体とを有するトナーであって、トナーに対する微小圧縮試験において、測定するトナーの粒子径をＤ（μｍ）、トナーの１粒子に負荷速度９．８×１０−５Ｎ／ｓｅｃで荷重９．８×１０−４Ｎを負荷したときの最大変位量をＸ１００（μｍ）、荷重２．０×１０−４Ｎ時の変位量をＸ２０（μｍ）としたとき、
０．４００≦Ｘ１００／Ｄ≦０．８００
０．０２０≦Ｘ２０／Ｄ≦０．０６０
であることを特徴とする画像形成方法に関する。
【手続補正書】
【提出日】平成22年5月18日(2010.5.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６９】
１）図１５の（ａ）は、ドア３１が装置本体に対して所定の閉じ位置に十分に閉められている状態時を示している。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８５】
４）図１５の（ｄ）は、ドア３１が所定の開き位置に十分に開かれた状態時を示している。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８７】
ドア３１が所定の開き位置に十分に開かれることにより、トレイ保持部材３４Ｌ・３４Ｒは第二の位置から第一の位置に移動した状態になる。この状態においては、トレイ保持部材３４Ｌ・３４Ｒと一緒にトレ３５も上方移動して、各カートリッジはドラム１がベルト１３から非接触に離間した状態になる（図４）。
【手続補正書】
【提出日】平成22年5月10日(2010.5.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像振れを補正する補正手段と、
前記補正手段を一体に保持する可動部材と、
前記可動部材を移動可能に支持する固定部材とを備え、
前記可動部材を介して前記補正手段を撮像光学系の光軸と直交する方向に移動させることで、振れによる画像振れを補正する振れ補正装置において、
前記可動部材と前記固定部材の一方に一端が固定され、他端が突出形状部に形成された棒状部材と、
前記可動部材と前記固定部材の他方に設けられ、前記棒状部材の前記突出形状部が挿入される減衰手段形成用穴部と、
前記棒状部材の前記突出形状部が前記減衰手段形成用穴部に挿入された状態で、前記突出形状部と前記減衰手段形成用穴部の間に介在し、前記可動部材の前記固定部材に対する相対移動に際して粘性抵抗を与える紫外線硬化性の減衰手段とを有し、
前記棒状部材は、紫外線透過材で構成されることを特徴とする振れ補正装置。
【請求項２】
画像振れを補正する補正手段と、
前記補正手段を一体に保持する可動部材と、
前記可動部材を移動可能に支持する固定部材とを備え、
前記可動部材を介して前記補正手段を撮像光学系の光軸と直交する方向に移動させることで、振れによる画像振れを補正する振れ補正装置において、
前記可動部材と前記固定部材の一方に一端が固定され、他端が突出形状部に形成された棒状部材と、
前記可動部材と前記固定部材の他方に設けられ、前記棒状部材の前記突出形状部が挿入される減衰手段形成用開口容器と、
前記棒状部材の前記突出形状部が前記減衰手段形成用開口容器に挿入された状態で、前記突出形状部と前記減衰手段形成用開口容器の間に介在し、前記可動部材の前記固定部材に対する相対移動に際して粘性抵抗を与える減衰手段とを有し、
前記減衰手段形成用開口容器は、紫外線透過材で構成されることを特徴とする振れ補正装置。
【請求項３】
前記減衰手段は、紫外線硬化型シリコーンゲルであることを特徴とする請求項１または２に記載の振れ補正装置。
【請求項４】
前記棒状部材は、減衰機構の一部となることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の振れ補正装置。
【請求項５】
前記棒状部材の前記突出形状部は円柱形状もしくは円錐形状をしており、該突出形状部の側面、先端の一部に、入射される紫外線を前記減衰手段に対して射出する反射部、屈折部または拡散部が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の振れ補正装置。
【請求項６】
前記減衰手段形成用開口容器の側面の一部に、入射される紫外線を前記減衰手段に対して射出する反射部が設けられていることを特徴とする請求項２に記載の振れ補正装置。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれか１項に記載の振れ補正装置を有することを特徴とする撮像装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
上記目的を達成するために、本発明は、画像振れを補正する補正手段と、前記補正手段を一体に保持する可動部材と、前記可動部材を移動可能に支持する固定部材とを備え、前記可動部材を介して前記補正手段を撮像光学系の光軸と直交する方向に移動させることで、振れによる画像振れを補正する振れ補正装置において、前記可動部材と前記固定部材の一方に一端が固定され、他端が突出形状部に形成された棒状部材と、前記可動部材と前記固定部材の他方に設けられ、前記棒状部材の前記突出形状部が挿入される減衰手段形成用穴部と、前記棒状部材の前記突出形状部が前記減衰手段形成用穴部に挿入された状態で、前記突出形状部と前記減衰手段形成用穴部の間に介在し、前記可動部材の前記固定部材に対する相対移動に際して粘性抵抗を与える紫外線硬化性の減衰手段とを有し、前記棒状部材が、紫外線透過材で構成される振れ補正装置とするものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
同じく上記目的を達成するために、本発明は、画像振れを補正する補正手段と、前記補正手段を一体に保持する可動部材と、前記可動部材を移動可能に支持する固定部材とを備え、前記可動部材を介して前記補正手段を撮像光学系の光軸と直交する方向に移動させることで、振れによる画像振れを補正する振れ補正装置において、前記可動部材と前記固定部材の一方に一端が固定され、他端が突出形状部をした棒状部材と、前記可動部材と前記固定部材の他方に設けられ、前記棒状部材の前記突出形状部が挿入される減衰手段形成用開口容器と、前記棒状部材の前記突出形状部が前記減衰手段形成用開口容器に挿入された状態で、前記突出形状部と前記減衰手段形成用開口容器の間に介在し、前記可動部材の前記固定部材に対する相対移動に対して粘性抵抗を与える減衰手段とを有し、前記減衰手段形成用開口容器が、紫外線透過材で構成される振れ補正装置とするものである。
【手続補正書】
【提出日】平成22年5月25日(2010.5.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸芯体と、表面に導電性樹脂層とを有する現像ローラーにおいて、
該導電性樹脂層が、低弾性樹脂粒子Ａ及び高弾性樹脂粒子Ｂを含有し、
該低弾性樹脂粒子Ａ及び該高弾性樹脂粒子Ｂは平均粒子径が３μｍ以上３０μｍ以下で、且つ、該高弾性樹脂粒子Ｂの平均粒子径ｂと該低弾性樹脂粒子Ａの平均粒子径ａとの差（ｂ−ａ）が５μｍ以上２７μｍ以下であり、
該低弾性樹脂粒子Ａの弾性率が０．０５ＭＰａ以上０．２ＭＰａ以下であって、該高弾性樹脂粒子Ｂの弾性率が０．３ＭＰａ以上２．０ＭＰａ以下であって、
該低弾性樹脂粒子Ａ及び該高弾性樹脂粒子Ｂが、導電性樹脂層の断面積に占める断面積が１０％以上５０％以下となるように含有されていることを特徴とする現像ローラー。
【手続補正書】
【提出日】平成22年2月16日(2010.2.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示の保持性を有する複数の画素を備えたアクティブマトリクス駆動の表示装置であって、
前記複数の画素のそれぞれには、データ線に接続され対応する画素を選択するための選択スイッチング素子が設けられており、
前記複数の画素のうち少なくとも１つには、
一端が電源線に接続されると共に他端が前記選択スイッチング素子のゲート電極に接続され、外部からの入力動作に感応して前記電源線からの信号を自身と同一の画素に対応する前記選択スイッチング素子に供給する外部入力スイッチと、
走査線と前記ゲート電極との間に接続され、前記走査線から前記ゲート電極の方向へ電流を整流する整流素子と
が設けられている
ことを特徴とする表示装置。
【請求項２】
前記外部入力スイッチが、感圧スイッチング素子である
ことを特徴とする請求項１に記載の表示装置。
【請求項３】
前記感圧スイッチング素子が、マイクロ電気機械スイッチである
ことを特徴とする請求項２に記載の表示装置。
【請求項４】
前記表示装置が、電気泳動分散液を封入してなるマイクロカプセルを一対の基板間に挟持して構成されたもので、前記一対の基板のうちの表示側の基板の外面に、保護フィルムが貼着されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のうちいずれか一項に記載の表示装置。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のうちいずれか一項に記載の表示装置からなることを特徴とする電子ペーパー。
【手続補正書】
【提出日】平成22年2月25日(2010.2.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板の主表面に塗布した樹脂を硬化させることによって樹脂材層を形成する工程と、
前記樹脂材料層の主表面側に表示回路を構成する複数の積層材料層を形成する工程と、
前記複数の積層材料層の表面に偏光板を形成する工程と、
前記偏光板の表面に配向膜を形成する工程と、
前記ガラス基板の前記積層材料層が形成された面と反対側の面から光を照射させ前記樹脂材層と前記ガラス基板の界面における剥離を生じさせる工程とを有し、
前記ガラス基板が取り除かれた前記樹脂材料層を前記表示回路が形成された基板として用いることを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項２】
前記樹脂材料層は主鎖中にイミド環構造を有する材料から構成されていることを特徴とする請求項１に記載の表示装置の製造方法。
【請求項３】
前記樹脂材料層の主表面側に形成する前記表示回路は、前記樹脂材料層側からの水あるいは酸素の侵入を回避させるバリア層を介在させて形成することを特徴とする請求項１に記載の表示装置の製造方法。
【請求項４】
前記バリア層は、酸窒化シリコン膜、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、ポリシリラザン膜、有機材料膜のうちのいずれか、あるいはそれらのいくつかの積層体から構成されていることを特徴とする請求項３に記載の表示装置の製造方法。
【請求項５】
前記表示回路は薄膜トランジスタを備えた回路であることを特徴とする請求項１に記載の表示装置の製造方法。
【請求項６】
前記表示回路を構成する各積層材料層の一つとして偏光板が備えられていることを特徴とする請求項１に記載の表示装置の製造方法。
【請求項７】
ガラス基板の主表面に塗布した樹脂を硬化させることによって第１樹脂材層および該第１樹脂材層よりも光透過率の大きな第２樹脂材層を順次形成する工程と、
前記第２樹脂材層の主表面側に複数の積層材料層からなる表示回路を形成する工程と、
前記複数の積層材料層の表面に偏光板を形成する工程と、
前記偏光板の表面に配向膜を形成する工程と、
前記ガラス基板の前記表示回路が形成された面と反対側の面から光を照射させ前記第１樹脂材層と前記第２樹脂材層の界面あるいは第１樹脂材層中における剥離を生じさせる工程とを有し、
前記第１樹脂材層が被着された前記ガラス基板が取り除かれた前記第２樹脂材層を前記表示回路が形成された基板として用いることを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項８】
前記第１樹脂材層および第２樹脂材層のうち少なくとも一方は、主鎖中にイミド環構造を有する材料から構成されていることを特徴とする請求項７に記載の表示装置の製造方法。
【請求項９】
ガラス基板の主表面に導電膜および塗布した樹脂を硬化させることによって樹脂材層を順次形成する工程と、
前記樹脂材層の主表面側に複数の積層材料層からなる表示回路を形成する工程と、
前記複数の積層材料層の表面に偏光板を形成する工程と、
前記偏光板の表面に配向膜を形成する工程と、
前記ガラス基板の前記表示回路が形成された面と反対側の面から光あるいはレーザを照射させ前記樹脂材層と前記導電膜の界面における剥離を生じさせる工程とを有し、
前記導電膜が被着された前記ガラス基板が取り除かれた前記樹脂材層を前記表示回路が形成された基板として用いることを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項１０】
前記導電膜は、ＺｎＯ、ＳｎＯ、ＷＯｘ、ＭｏＯｘ、ＧｅＯｘ、Ｇｅ、ＳｉＧｅのうちのいずれか、あるいはそれらのいくつかの積層体で構成されていることを特徴とする請求項９に記載の表示装置の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
（１）本発明による表示装置の製造方法は、たとえば、ガラス基板の主表面に塗布した樹脂を硬化させることによって樹脂材層を形成する工程と、
前記樹脂材料層の主表面側に表示回路を構成する複数の積層材料層を形成する工程と、
前記複数の積層材料層の表面に偏光板を形成する工程と、
前記偏光板の表面に配向膜を形成する工程と、
前記ガラス基板の前記積層材料層が形成された面と反対側の面から光を照射させ前記樹脂材層と前記ガラス基板の界面における剥離を生じさせる工程とを有し、
前記ガラス基板が取り除かれた前記樹脂材料層を前記表示回路が形成された基板として用いることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
（７）本発明による表示装置の製造方法は、たとえば、ガラス基板の主表面に塗布した樹脂を硬化させることによって第１樹脂材層および該第１樹脂材層よりも光透過率の大きな第２樹脂材層を順次形成する工程と、
前記第２樹脂材層の主表面側に複数の積層材料層からなる表示回路を形成する工程と、
前記複数の積層材料層の表面に偏光板を形成する工程と、
前記偏光板の表面に配向膜を形成する工程と、
前記ガラス基板の前記表示回路が形成された面と反対側の面から光を照射させ前記第１樹脂材層と前記第２樹脂材層の界面あるいは第１樹脂材層中における剥離を生じさせる工程とを有し、
前記第１樹脂材層が被着された前記ガラス基板が取り除かれた前記第２樹脂材層を前記表示回路が形成された基板として用いることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
（８）本発明による表示装置の製造方法は、たとえば、（７）の構成を前提とし、前記第１樹脂材層および第２樹脂材層のうち少なくとも一方は、主鎖中にイミド環構造を有する材料から構成されていることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
（９）本発明による表示装置の製造方法は、たとえば、ガラス基板の主表面に導電膜および塗布した樹脂を硬化させることによって樹脂材層を順次形成する工程と、
前記樹脂材層の主表面側に複数の積層材料層からなる表示回路を形成する工程と、
前記複数の積層材料層の表面に偏光板を形成する工程と、
前記偏光板の表面に配向膜を形成する工程と、
前記ガラス基板の前記表示回路が形成された面と反対側の面から光あるいはレーザを照射させ前記樹脂材層と前記導電膜の界面における剥離を生じさせる工程とを有し、
前記導電膜が被着された前記ガラス基板が取り除かれた前記樹脂材層を前記表示回路が形成された基板として用いることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成22年5月19日(2010.5.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
投影光学系を有し、前記投影光学系を介して原版に形成されたパターンを基板に投影して該基板を露光する露光装置であって、
前記投影光学系を収容するチャンバと、
前記チャンバの内部に温度制御されたガスを供給する供給管と前記チャンバの内部からガスを排出する排出管と前記供給管によるガス供給及び前記排出管によるガス排出を制御する制御器とを含み、前記チャンバの内部の温度を調節する温度調節ユニットと、
を備え、
前記制御器は、前記ガス供給及び前記ガス排出を、露光時には行わず、非露光時に行うように制御する、ことを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記排出管の排出口は、前記供給管の供給口よりも上部に配置されている、ことを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記供給管及び前記排出管の少なくとも１つは、前記チャンバの内部に収容された前記投影光学系を構成する光学素子まで延びた延長部を含む、ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の露光装置。
【請求項４】
前記投影光学系は、鉛直方向に入射する露光光を鉛直方向に出射し、かつ、鉛直方向と交差する方向に延びる光軸を有する光学要素を含む、ことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項５】
前記供給管及び前記排出管は、露光光を遮らないように配置されている、ことを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項６】
前記排出管の排出口でのガスの温度を検出するセンサ、をさらに備え、
前記制御器は、前記センサの検出温度に応じて、前記ガス供給の流量及び前記ガス排出の流量を制御する、ことを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項７】
前記制御器は、前記ガス供給及び前記ガス排出を、前記基板を入れ替えるとき、または、露光動作を待機しているときに行うように制御する、ことを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載の露光装置を用いて、基板を露光する工程と、
前記工程で露光された前記基板を現像する工程と、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明は、投影光学系を有し、前記投影光学系を介して原版に形成されたパターンを基板に投影して該基板を露光する露光装置であって、前記投影光学系を収容するチャンバと、前記チャンバの内部に温度制御されたガスを供給する供給管と前記チャンバの内部からガスを排出する排出管と前記供給管によるガス供給及び前記排出管によるガス排出を制御する制御器とを含み、前記チャンバの内部の温度を調節する温度調節ユニットと、を備え、前記制御器は、前記ガス供給及び前記ガス排出を、露光時には行わず、非露光時に行うように制御する、ことを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成22年5月18日(2010.5.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レンズ鏡筒の開口部の周縁のレンズ受部にレンズをレンズ押さえで光軸方向に押し付けて上記レンズ鏡筒に上記レンズを組み付けるとともに、上記レンズを上記レンズ鏡筒に螺合した調整ネジによって上記光軸の略垂直方向に付勢して上記レンズの位置調整を行うレンズ装置において、
上記レンズは、曲面状の一方の主面が上記レンズ鏡筒のレンズ受部に押し付けられていることを特徴とするレンズ装置。
【請求項２】
上記一方の主面は、球面であることを特徴とする請求項１に記載のレンズ装置。
【請求項３】
レンズ鏡筒の開口部の周縁のレンズ受部にレンズをレンズ押さえで光軸方向に押し付けて上記レンズ鏡筒に上記レンズを組み付けるとともに、上記レンズを上記レンズ鏡筒に螺合した調整ネジによって上記光軸の略垂直方向に付勢して上記レンズの位置調整を行うレンズ装置において、
上記レンズ鏡筒の開口部の周縁のレンズ受部は、球面状に形成されていて、該レンズ受部に上記レンズの周縁部が押し付けられていることを特徴とするレンズ装置。
【請求項４】
上記レンズ押さえにより上記レンズと上記レンズ鏡筒との間に発生する静止摩擦力は、上記調整ネジにより上記レンズに加えられる付勢力よりも小に設定されていることを特徴とする請求項１に記載のレンズ装置。
【請求項５】
上記レンズは、調整バネにより光軸の垂直方向に付勢されて上記調整ネジの先端に上記レンズの外周部が接触していることを特徴とする請求項１に記載のレンズ装置。
【請求項６】
上記調整バネは、上記レンズ押さえと一体に形成されていることを特徴とする請求項５に記載のレンズ装置。
【請求項７】
上記レンズ押さえは、チルト調整後に補強部材によって上記レンズを上記レンズ鏡筒に押し付ける力が補強されていることを特徴とする請求項５に記載のレンズ装置。
【請求項８】
上記レンズは、レンズ枠の内周に取り付けられていて、該レンズ枠の外周に設けた被押圧面を上記調整ネジで押圧されることを特徴とする請求項１または請求項３に記載のレンズ装置。
【請求項９】
上記被押圧面は、上記調整ネジで押圧されたときに上記レンズを上記レンズ鏡筒に押し付ける分力を発生させるように光軸方向に対して所定の傾斜角度に形成されていることを特徴とする請求項８に記載のレンズ装置。
【請求項１０】
チルト調整可能なレンズ装置を備えた撮像装置において、
上記レンズ装置は、レンズの曲面状の主面がレンズ鏡筒の開口部の周縁のレンズ受部にレンズ押さえによって光軸方向に押し付けられていて、上記レンズ鏡筒に螺合した調整ネジによって上記レンズを上記レンズ受部に沿って移動させることにより上記レンズのチルト調整を行うことを特徴とする撮像装置。
【手続補正書】
【提出日】平成22年5月13日(2010.5.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体側より像側へ順に、正の屈折力の第１レンズ群、負の屈折力の第２レンズ群、正の屈折力の第３レンズ群、正の屈折力の第４レンズ群より構成され、各レンズ群が移動してズーミングを行うズームレンズであって、広角端から望遠端へのズーミングに際し該第１レンズ群は広角端に比べ望遠端において物体側に位置し、該第４レンズ群は物体側に凸状の軌跡で移動しており、
広角端での該第３レンズ群および該第４レンズ群の横倍率をそれぞれβ３ｗ、β４ｗ、望遠端での該第３レンズ群および該第４レンズ群の横倍率をそれぞれβ３ｔ、β４ｔとするとき、
０．５＜β３ｔ・β４ｗ／（β３ｗ・β４ｔ）＜０．９
１．２＜β４ｔ／β４ｗ＜１．４
なる条件を満足することを特徴とするズームレンズ。
【請求項２】
前記ズームレンズの広角端での焦点距離をｆｗ、望遠端での焦点距離をｆｔとし、焦点距離ｆｍを
【数１】
2008292733.tif 000001
とおいたとき、前記第４レンズ群の広角端から焦点距離ｆｍまでの光軸上の移動量をＭｗｍ、該第４レンズ群の広角端から望遠端までの移動量をＭｗｔとするとき、
０．３５＜（｜Ｍｗｍ｜＋｜Ｍｗｔ｜）／ｆ３＜０．６０
なる条件を満足することを特徴とする請求項１記載のズームレンズ。
【請求項３】
前記第４レンズ群の移動量Ｍｗｍ、Ｍｗｔが
１．０＜｜Ｍｗｍ／Ｍｗｔ｜＜３．０
なる条件を満足することを特徴とする請求項１又は２のズームレンズ。
【請求項４】
前記第１レンズ群は物体側から像側へ順に、物体側が凸面でメニスカス形状の負レンズと２枚の正レンズを含むことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のズームレンズ。
【請求項５】
前記第３レンズ群は、独立した２枚の正レンズと１枚の負レンズを有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のズームレンズ。
【請求項６】
前記ズームレンズの望遠端での焦点距離をｆｔ、広角端と望遠端における前記第３レンズ群と前記第４レンズ群の軸上間隔を各々Ｌ３ｗ、Ｌ３ｔとするとき、
０．０８＜（Ｌ３ｔ−Ｌ３ｗ）／ｆｔ＜０．２０
なる条件を満足することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のズームレンズ。
【請求項７】
前記第３レンズ群の広角端から望遠端までの光軸方向の移動量をＭ３、前記ズームレンズの望遠端における焦点距離をｆｔとするとき
０．０１＜｜Ｍ３｜／ｆｔ＜０．１５
なる条件を満足することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載のズームレンズ。
【請求項８】
前記第３レンズ群は物体側から像側へ順に、物体側が凸面の正レンズ、物体側の面が凸でメニスカス形状の負レンズ、両レンズ面が凸面の正レンズより成ることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載のズームレンズ。
【請求項９】
前記第３レンズ群は物体側から像側へ順に、物体側が凸面の正レンズ、物体側の面が凸でメニスカス形状の負レンズ、物体側が凸でメニスカス形状の負レンズと正レンズとを接合した接合レンズより成ることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載のズームレンズ。
【請求項１０】
前記第３レンズ群は物体側から像側へ順に、物体側が凸面の正レンズ、物体側の面が凸でメニスカス形状の負レンズ、両レンズ面が凸面の正レンズと両レンズ面が凹面の負レンズとを接合した接合レンズより成ることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載のズームレンズ。
【請求項１１】
前記第４レンズ群は、単一の正レンズ又は正レンズと負レンズとの接合レンズより成ることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載のズームレンズ。
【請求項１２】
前記第３レンズ群を、光軸と垂直方向の成分を持つように移動させて、前記ズームレンズが振動したときの撮影画像の位置を補正することを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項に記載のズームレンズ。
【請求項１３】
固体撮像素子に像を形成することを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか１項に記載のズームレンズ。
【請求項１４】
請求項１から１３のいずれか１項に記載のズームレンズと、該ズームレンズによって形
成される像を受光する固体撮像素子とを有していることを特徴とする撮像装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
一般に撮影光学系を小型化するためには、撮影光学系を構成する各レンズ群の屈折力を強めつつ、レンズ枚数を削減すれば良い。しかしながら、このようにした撮影光学系は、各面の屈折力の増加に伴いレンズ肉厚が増してしまい、レンズ系の短縮効果が不十分になると同時に諸収差の補正が困難になってくる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
本発明のズームレンズは、物体側より像側へ順に、正の屈折力の第１レンズ群、負の屈折力の第２レンズ群、正の屈折力の第３レンズ群、正の屈折力の第４レンズ群より構成され、各レンズ群が移動してズーミングを行うズームレンズであって、広角端から望遠端へのズーミングに際し該第１レンズ群は広角端に比べ望遠端において物体側に位置し、該第４レンズ群は物体側に凸状の軌跡で移動しており、
広角端での該第３レンズ群および該第４レンズ群の横倍率をそれぞれβ３ｗ、β４ｗ、望遠端での該第３レンズ群および該第４レンズ群の横倍率をそれぞれβ３ｔ、β４ｔとするとき、
０．５＜β３ｔ・β４ｗ／（β３ｗ・β４ｔ）＜０．９
１．２＜β４ｔ／β４ｗ＜１．４
なる条件を満足することを特徴としている。
【手続補正書】
【提出日】平成22年5月25日(2010.5.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転する像担持体と前記像担持体に形成された潜像を現像剤により現像して現像像とする現像装置とを有する複数の画像形成部と、複数の画像形成部が周上に周に沿って並列に配置されている中間転写体であって、前記像担持体に接触して回転して１次転写手段により前記現像像の１次転写を受ける中間転写体と、前記中間転写体に１次転写された現像像を記録材に２次転写させる２次転写手段と、前記中間転写体から２次転写残現像剤を除去する第２のクリーニング装置と、を有し、非画像形成時に現像剤を現像装置から像担持体に強制的に転移させる現像装置リフレッシュ動作を行う画像形成装置において、
前記現像装置リフレッシュ動作において像担持体に転移させた現像剤は、前記中間転写体を介して前記第２のクリーニング装置に回収され、前記複数の画像形成部の隣接する画像形成部で前記像担持体から前記中間転写体に現像装置リフレッシュ動作によるトナーを転移させる時に、前記複数の画像形成部の中間転写体周上のピッチをＬとし、１回の現像装置リフレッシュ動作にて前記中間転写体に転移させる現像剤の中間転写体周方向の最大長さをＤとして、
Ｄ≦Ｌ
を満たすように現像装置リフレッシュ動作を行なうことを特徴とする画像形成装置。
【請求項２】
前記現像装置の使用頻度に応じて前記現像装置リフレッシュ動作を行うことを特徴とする請求項１に記載の画像形成装置。
【請求項３】
前記現像装置リフレッシュ動作は、前記像担持体に全面露光による静電潜像を形成し、その静電潜像を前記現像装置で現像することで行わせることを特徴とする請求項１または２に記載の画像形成装置。
【請求項４】
前記像担持体から１次転写残現像剤を除去する第１のクリーニング手段を有し、前記現像装置リフレッシュ動作により像担持体に転移させた現像剤を、前記第１のクリーニング装置と、前記第２のクリーニング装置の両方に回収することを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の画像形成装置。
【請求項５】
前記像担持体と前記中間転写体を接離出来る機構を持ち、現像装置リフレッシュ動作時において、前記像担持体と前記中間転写体が当接している状態とすることにより前記現像装置から前記像担持体に転移した現像剤を前記中間転写体に転移させて前記第２のクリーニング装置に回収し、前記像担持体と前記中間転写体が離間している状態とすることにより前記現像装置から前記像担持体に転移した現像剤を前記中間転写体に転移させずに前記第１のクリーニング装置に回収することを特徴とする請求項４に記載の画像形成装置。
【請求項６】
現像装置リフレッシュ動作時において、前記１次転写手段に対して前記像担持体から現像剤が前記中間転写体に転移する電圧を印加することにより前記現像装置から前記像担持体に転移した現像剤を前記中間転写体に転移させて前記第２のクリーニング装置に回収し、前記１次転写手段に対して前記像担持体から現像剤が前記中間転写体に転移しにくくなる電圧を印加することにより前記現像装置から前記像担持体に転移した現像剤を前記中間転写体に転移させずに前記第１のクリーニング装置に回収することを特徴とする請求項４に記載の画像形成装置。
【請求項７】
現像装置リフレッシュ動作において前記像担持体に転移させるべき量の現像剤の一部量を前記現像装置から前記像担持体に転移させ、更に前記中間転写体に転移させ、その後残余量の現像剤を前記現像装置から前記像担持体に転移させて前記中間転写体に転移させずに像担持体に残留させ、前記一部量の現像剤を前記第２のクリーニング装置に、前記残余量の現像剤を前記第１のクリーニング装置に回収することを特徴とする請求項４に記載の画像形成装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
上記目的を達成するための本発明に係る画像形成装置の代表的な構成は、回転する像担持体と前記像担持体に形成された潜像を現像剤により現像して現像像とする現像装置とを有する複数の画像形成部と、複数の画像形成部が周上に周に沿って並列に配置されている中間転写体であって、前記像担持体に接触して回転して１次転写手段により前記現像像の１次転写を受ける中間転写体と、前記中間転写体に１次転写された現像像を記録材に２次転写させる２次転写手段と、前記中間転写体から２次転写残現像剤を除去する第２のクリーニング装置と、を有し、非画像形成時に現像剤を現像装置から像担持体に強制的に転移させる現像装置リフレッシュ動作を行う画像形成装置において、前記現像装置リフレッシュ動作において像担持体に転移させた現像剤は、前記中間転写体を介して前記第２のクリーニング装置に回収され、前記複数の画像形成部の隣接する画像形成部で前記像担持体から前記中間転写体に現像装置リフレッシュ動作によるトナーを転移させる時に、前記複数の画像形成部の中間転写体周上のピッチをＬとし、１回の現像装置リフレッシュ動作にて前記中間転写体に転移させる現像剤の中間転写体周方向の最大長さをＤとして、Ｄ≦Ｌを満たすように現像装置リフレッシュ動作を行なうことを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成22年5月13日(2010.5.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光軸と瞳近軸光線の交わる点をＰとするとき、点Ｐよりも拡大側で近軸軸上光線がレンズ面を通過する光軸からの高さの最大値が、点Ｐよりも縮小側で近軸軸上光線がレンズ面を通過する光軸からの高さの最大値よりも小さい光学系において、点Ｐよりも拡大側又は縮小側の少なくとも一方に、光入射面と光出射面が共に屈折面で固体材料より成る第１、第２光学素子を有し、該第１、第２光学素子の材料のｇ線とＦ線に関する異常部分分散性をそれぞれΔθｇＦ１、ΔθｇＦ２、該第１、第２光学素子の光入出射面が共に空気に接する面としたときの屈折力をそれぞれφ１、φ２とするとき、
ΔθｇＦ１＞０．０２７２
ΔθｇＦ２＜−０．０２７８
φ１×φ２＜０
なる条件を満足することを特徴とする光学系。
【請求項２】
前記光学系の全系の焦点距離をｆｔ、レンズ全長をＬｔとするとき、
２＜Ｌｔ／ｆｔ＜１５
なる条件式を満足することを特徴とする請求項１に記載の光学系。
【請求項３】
前記第１、第２光学素子の材料のｇ線とｄ線に関する異常部分分散性を各々Δθｇｄ１、Δθｇｄ２とするとき、
Δθｇｄ１＞０．０３８
Δθｇｄ２＜−０．０３７
なる条件式を満足することを特徴とする請求項１又は２に記載の光学系。
【請求項４】
前記第１、第２光学素子の材料のアッベ数をそれぞれνｄ１、νｄ２とするとき、
νｄ１＜６０
νｄ２＜６０
なる条件式を満足することを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の光学系。
【請求項５】
前記第１、第２光学素子は共に点Ｐよりも縮小側に配置されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の光学系。
【請求項６】
点Ｐよりも縮小側に配置された前記第１、第２光学素子の前記屈折力をφ１ａ、φ２ａとするとき、
φ１ａ＞０
φ２ａ＜０
なる条件式を満足することを特徴とする請求項５に記載の光学系。
【請求項７】
点Ｐよりも縮小側に配置された前記第１、第２光学素子の屈折力をφ１ａ、φ２ａ、材料のアッベ数をνｄ１ａ、νｄ２ａ、ｇ線とＦ線に関する異常部分分散性をΔθｇＦ１ａ、ΔθｇＦ２ａとするとき
（φ１ａ×ΔθｇＦ１ａ／νｄ１ａ）／（φ２ａ×ΔθｇＦ２ａ／νｄ２ａ）＞０．８
なる条件式を満足することを特徴とする請求項５又は６に記載の光学系。
【請求項８】
前記第１、第２光学素子は、共に点Ｐに対し、拡大側に配置されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項の光学系。
【請求項９】
点Ｐよりも拡大側に配置されている前記第１、第２光学素子の屈折力をφ１ｂ、φ２ｂとするとき、
φ１ｂ＜０
φ２ｂ＞０
なる条件を満足することを特徴とする請求項８の光学系。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれか１項の光学系を備えていることを特徴とする光学機器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
本発明の光学系は、光軸と瞳近軸光線の交わる点をＰとするとき、点Ｐよりも拡大側で近軸軸上光線がレンズ面を通過する光軸からの高さの最大値が、点Ｐよりも縮小側で近軸軸上光線がレンズ面を通過する光軸からの高さの最大値よりも小さい光学系において、点Ｐよりも拡大側又は縮小側の少なくとも一方に、光入射面と光出射面が共に屈折面で固体材料より成る第１、第２光学素子を有し、該第１、第２光学素子の材料のｇ線とＦ線に関する異常部分分散性をそれぞれΔθｇＦ１、ΔθｇＦ２、該第１、第２光学素子の光入出射面が共に空気に接する面としたときの屈折力をそれぞれφ１、φ２とするとき、
ΔθｇＦ１＞０．０２７２
ΔθｇＦ２＜−０．０２７８
φ１×φ２＜０
なる条件を満足することを特徴としている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
図１２の光学系ＯＬはレンズ全長（第１レンズ面から像面までの距離）が焦点距離よりも長いレトロフォーカスタイプの光学系である。図１２において、Ｇｎ，Ｇｐは、それぞれレトロフォーカスタイプの光学系ＯＬを構成する負の屈折力の前群と正の屈折力の後群である。ＧＮＬ１、ＧＬ１は、それぞれ後群Ｇｐに導入した、後述する条件式（２）〜（１１）を満足する材料より成る第１、第２屈折光学素子（第１、第２光学素子）である。
【手続補正書】
【提出日】平成21年12月25日(2009.12.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
作業者の安全、及び、装置内部を保護するために設けられているカバーと、前記カバーの開閉に連動してオン・オフ動作するインターロックスイッチと、感光体や用紙搬送部を駆動させるためのステッピングモータを有する駆動負荷部と、前記インターロックスイッチがオン時に電源から前記駆動負荷部に給電される回路部と、カバー開閉検知回路で前記カバーが開閉されたことを監視している制御部を有した電子写真装置において、モータ駆動回路は前記制御部からのモータドライブ信号、モータ回転方向信号、モータ駆動パルス信号、モータ相電流設定回路により前記ステッピングモータを駆動し、前記モータ相電流設定回路は、トランジスタと複数の抵抗器で構成された基準電圧により前記ステッピングモータの相電流を設定し、前記基準電圧は、前記制御部からのモータ相電流制御信号により２段階に設定され、前記インターロックスイッチを介して給電されている前記ステッピングモータが停止しているとき、前記制御部は、前記モータ駆動回路のモータドライブ信号をオンとして前記ステッピングモータをホールド状態とするとともに、前記モータ相電流設定回路へのモータ相電流制御信号により前記２段階の基準電圧の低い方に設定され前記ステッピングモータに電流を流すことを特徴とする電子写真装置。
【請求項２】
前記インターロックスイッチを介して給電されている前記ステッピングモータが停止しているとき、前記ステッピングモータに流す電流が、前記インターロックスイッチの最小定格以上となるように前記モータ相電流設定回路の抵抗器の定数を決めたことを特徴とする請求項１記載の電子写真装置。
【手続補正書】
【提出日】平成22年3月25日(2010.3.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
燃料及び空気が共に空気孔を通過する際に前記燃料及び前記空気が混合されるバーナプレートと、該バーナプレートの一部でかつ燃焼室側に伸びているバーナプレート延長部と、該バーナプレート延長部に前記空気孔から噴出した燃料流及び空気流を阻害するように突出する突起部とを有し、前記バーナプレートと前記バーナプレート延長部と前記突起部との間で火種形成領域を形成することを特徴とする燃焼装置。
【請求項２】
燃料及び空気が共に空気孔を通過する際に前記燃料及び前記空気が混合されるバーナプレートと、該バーナプレートの外周側でかつ燃焼室側に伸びているバーナプレート延長部と、該バーナプレート延長部に前記空気孔から噴出した燃料流及び空気流の一部を阻害するように突出する鋭角状突起部とを有し、対向する前記突起部の間隙が前記空気孔の直径よりも大であり、前記バーナプレートと前記バーナプレート延長部と前記突起部との間で火種形成領域を形成することを特徴とする燃焼装置。
【請求項３】
請求項１記載の燃焼装置であって、
前記バーナプレート延長部は、前記バーナプレートの外周側に対して軸中心側における前記バーナプレートの厚みを厚くした段差形状によって形成され、
前記バーナプレート延長部の外周側に前記突起部が設けられたことを特徴とする燃焼装置。
【請求項４】
請求項１記載の燃焼装置であって、
前記空気孔の流路長さを一定とし、
前記バーナの軸中心側に配置された前記空気孔から噴出した前記燃料流と前記空気流を阻害する前記バーナプレートの突起部を、前記空気孔の噴出部より下流側に設けたことを特徴とする燃焼装置。
【請求項５】
請求項１記載の燃焼装置であって、
前記空気孔が前記バーナの軸中心に対して傾斜していることを特徴とする燃焼装置。
【請求項６】
請求項１記載の燃焼装置であって、
前記突起部が四角形の突起部であることを特徴とする燃焼装置。
【請求項７】
請求項１記載の燃焼装置であって、
前記バーナプレートを備えたバーナを複数個備えたことを特徴とする燃焼装置。
【請求項８】
請求項６記載の燃焼装置であって、
前記燃焼装置の軸中心に、段差形状のバーナプレートを有した前記バーナを配置すると共に、
前記燃焼装置の外周側に、前記バーナプレートの厚みを一定としたバーナを配置することを特徴とする燃焼装置。
【請求項９】
バーナプレートに設けられた空気孔の内部で、燃料流の外周側に空気流が形成された同軸噴流が形成される第１の工程と、
前記空気孔から燃焼室に該同軸噴流が噴出する第２の工程と、
前記空気孔より離れた燃焼室側に伸びたバーナプレート延長部の突起部に前記同軸噴流が衝突し、火種を形成する第３の工程とを備えたことを特徴とするバーナの燃焼方法。
【請求項１０】
請求項９記載のバーナの燃焼方法であって、
前記空気孔から噴出した燃料流と空気流は、前記バーナの中心軸に対して旋回する速度成分を有することを特徴とするバーナの燃焼方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明は、燃料及び空気が共に空気孔を通過する際に前記燃料及び前記空気が混合されるバーナプレートと、該バーナプレートの一部でかつ燃焼室側に伸びているバーナプレート延長部と、該バーナプレート延長部に前記空気孔から噴出した燃料流及び空気流を阻害するように突出する突起部とを有し、前記バーナプレートと前記バーナプレート延長部と前記突起部との間で火種形成領域を形成することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成22年5月20日(2010.5.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
従来から、図１に示すように、回転レーザー装置１等の測量機では、回転プリズム（図示を略す）を例えば１秒間に３回転（１分間に180回転）させ、ファンビームＢＰをターゲット２に向けて照射し、ターゲット２からの反射光ＢＰ’を受光して、そのターゲット２の回転レーザー装置１の基準角度位置Ｑに対する絶対角度位置θを検出する構成のものが知られている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
各パターンＰ１〜Ｐ３は一定のピッチ幅Ｐで形成され、パターンＰ１のパターン幅は固定幅とされ、パターン幅Ｐ２、Ｐ３はその幅が所定の規則に従って変調されている（例えば、特許文献１参照。）。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
また、マイクロコンピュータ１２は、設定時間ｔ毎に前回分保存回路に保存されている光電変換信号列と今回分保存回路に保存されている光電変換信号列とのずれ量を相関法により検出するために、制御タイミング信号ＳＴによって、保存回路１４Ａ、保存回路１４Ｂに保存されている各光電変換信号列を相関検出回路１５Ａに向けて出力させる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
相関検出回路１５Ａは、例えば、保存回路１４Ａに保存されている５１２個の光電変換信号列ｔｒ１（図５（ａ）参照）と、保存回路１４Ｂに保存されている光電変換信号列ｔｒ２（図５（ｂ）参照）とを相関法に基づいて比較し、ずれ量Δを検出する。この図５では、図５（ａ）の符号ｘ１で示す光電変換信号は、図５（ｂ）の符号ｘ２に示す光電変換信号に対応しており、８素子（画素）分だけずれている状態が示されている。従って、ここでは、Δ＝８である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
ここで、パターン間のピッチ間隔Ｐは例えば１４画素に相当し、このピッチ間隔Ｐは角度に換算すると１０２９秒（約７３秒×１４画素＝約１０２２秒）。ここでは、内挿演算回路１５Ｂは、０．１秒又は１秒単位で内挿値を演算する。例えば、ずれ量Δ＝８の場合、内挿値Ａは（８／１４）×１０２９秒に相当する値である。また、ずれ量Δが１４以上の場合、ずれ量Δの数値（画素数）を符号Ｍで表すとしてこの数値Ｍ×７３秒を１０２９で除した値（ピッチ個数）Ｍ’の剰余を符号Ｍ”で表す。この符号Ｍ”は、Ｍ’番目のパターンと（Ｍ’＋１）番目のパターンとの間の画素の個数であってＭ’番目のパターンから数えた値を示している。従って、Ｍ’番目のパターンと（Ｍ’＋１）番目のパターンとの間の内挿値Ａ’は、Ａ’＝（Ｍ”／１４）×７３の式を用いて求められる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
従って、絶対角度取得時点からの内挿値Ａは、
Ａ＝（１０２９×Ｍ’）＋Ａ’
すなわち、
Ａ＝（１０２９×Ｍ’）＋（Ｍ”／１４）×７３
の式を用いて求められる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
相関検出回路１５には、前回分の光電変換信号列ｔｒ１のデータと今回分の光電変換信号列ｔｒ２のデータとが入力され、相関検出回路１５はその光電変換信号列ｔｒ１、ｔｒ２に基づいて相関演算法によりずれ量Δを検出する（Ｓ．８）。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
ついで、マイクロコンピュータ１２は、Ｎが２００であるか否かを判断し（Ｓ．１０）、Ｎが２０でない場合には、Ｓ．３に移行して、カウントを続行し、再び除算値Ｎが整数であるか否かを判断する（Ｓ．５）。例えば、Ｎ＝２の場合、マイクロコンピュータ１２は、スイッチ素子１７の切替を実行する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
マイクロコンピュータ１２は、この処理をＮ＝２００になるまで繰り返す。ここでは、除算値Ｎが偶数の場合、保存回路１４Ａは今回分の光電変換信号列を保存する機能を果たし、かつ、保存回路１４Ｂは前回分の光電変換信号列を保存する機能を果たすことになる。また、除算値Ｎが奇数の場合、保存回路１４Ａは前回分の光電変換信号列を保存する機能を果たし、かつ、保存回路１４Ｂは今回分の光電変換信号列を保存する機能を果たすことになる。マイクロコンピュータ１２は、保存回路１４Ａ又は１４Ｂに保存されている光電変換信号列に基づいて、１００ｍｓ毎に空間変調成分に基づいて基準角度位置Ｑからの絶対角度位置θを演算することを繰り返す。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
マイクロコンピュータ１２は、Ｎ＝２００であると判断すると、Ｓ．１１に移行して、ロータリエンコーダ３のスイッチがオフされたか否かを判断し、スイッチがオンの場合には、Ｓ．１に移行して、Ｓ．１ないしＳ．１１の処理を続行する。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
この発明の実施例では、相関検出回路１５Ａは、生の光電変換信号列ｔｒ１、ｔｒ２を用いて、相関検出を行ったが、図８（ａ）、（ｂ）に示すように、６４個の光電変換信号を閾値Ｑｒを用いて二値化して得られた二値化後の光電変換信号列ｔｒ１’、ｔｒ２’をしてずれ量Δを検出する構成としても良い。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2008292389.tif 000001
【手続補正１３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2008292389.tif 000002
【手続補正１４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６】
2008292389.tif 000003
【手続補正１５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図７】
2008292389.tif 000004
【手続補正書】
【提出日】平成22年5月18日(2010.5.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に形成された蛍光体のストライプ状パターンを撮像する撮像手段と、
前記撮像手段による撮像結果をもとに前記ストライプ状パターンにおける予め定められた範囲の各ブロックの画像を生成する画像処理部と、
前記画像処理部により生成した画像に前記ストライプ状パターンの端部が含まれるか否かを判別する端部判別手段と、
前記端部判別手段による判別結果をもとに、前記各ブロックを前記基板上のストライプ状パターンの端部より内側である第１の領域に属するブロックと前記ストライプ状パターンにおける前記第１の領域より外側である第２の領域に属するブロックとに区分する区分手段と、
前記画像処理部により生成し、前記区分手段により区分した前記第１の領域に属するブロックの画像と、当該第１の領域内の他のブロックの画像とを比較する第１の比較手段と、
前記画像処理部により生成し、前記区分手段により区分した前記第２の領域に属するブロックの画像と、当該第２の領域内の他のブロックの画像とを比較する第２の比較手段と、
前記第１の比較手段による比較結果に基づいて前記基板上のパターンの欠陥を検出する第１の欠陥検出部と、
前記第２の比較手段による比較結果に基づいて前記基板上のパターンの欠陥を検出する第２の欠陥検出部と
を備えたことを特徴とするパターン欠陥検査装置。
【請求項２】
請求項１記載のパターン欠陥検査装置において、前記端部判別手段は、ブロック毎にストライプ状パターンの投影加算処理を行い、投影加算結果で現れる帯の長さが所定の閾値を越えるか否かを判別することにより、当該ブロックに前記ストライプ状パターンの端部が含まれるか否かを判別することを特徴とするパターン欠陥検査装置。
【請求項３】
基板上に形成された蛍光体のストライプ状パターンの撮影画像をブロック分割した各画像を、当該ストライプ状パターンの境界部分の内側の領域に属する画像と外側の領域に属する画像とに区分し、それぞれ区分した領域内での複数の画像の差画像をもとに、パターン欠陥があるか否かを判別することを特徴とするパターン欠陥検査方法。

【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】パターン欠陥検査装置およびパターン欠陥検査方法