【誤訳訂正書】
【提出日】平成22年3月19日(2010.3.19)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ゲルマニウムを含有するフィルムを基体上に堆積させる方法であって：
ａ）気相の２以上のゲルマニウム化合物を、基体を含む堆積チャンバーに輸送する工程
〔ここにおいて、
第一のゲルマニウム化合物は式Ｘ１４−ａＧｅＲａ（式中、ａ＝０〜３であり、各Ｘ１は独立してハロゲンであり、各Ｒは独立して、Ｈ、アルキル、アルケニル、アルキニル、アリール、およびＮＲ３Ｒ４から選択され、各Ｒ３およびＲ４は独立して、Ｈ、アルキル、アルケニル、アルキニルおよびアリールから選択される）のハロゲルマニウム化合物であり、
第二のゲルマニウム化合物は式：
【化１】
2004349684.tif 000001
（式中、各Ｒ１およびＲ２は独立して、Ｈ、アルキル、アルケニル、アルキニルおよびアリールから選択され；各Ｒ３は独立して、アルキル、アルケニル、アルキニルおよびアリールから選択され；Ｘはハロゲンであり；ａ’＝０〜４；ｂ’＝０〜４；ｃ’＝１〜３；ｄ’＝０〜４であり、およびａ’＋ｂ’＋ｃ’＋ｄ’＝４である；ただし、Ｘ１＝Ｃｌ、Ｒ＝Ｈ、およびＸ＝Ｃｌである場合、ａ’＋ｂ’≦３であるとする）を有する〕；
ｂ）２以上のゲルマニウム化合物を堆積チャンバー中で分解する工程；および
ｃ）ゲルマニウムを含有するフィルムを基体上に堆積させる工程
を含む方法。
【請求項２】
２以上のゲルマニウム化合物が一つの蒸気送達装置から提供される請求項１記載の方法。
【請求項３】
第一のゲルマニウム化合物が第一の蒸気送達装置から提供され、第二のゲルマニウム化合物が第二の蒸気送達装置から提供される請求項１記載の方法。
【請求項４】
第一のゲルマニウム化合物が、ゲルマニウムテトラクロリドおよびゲルマニウムテトラブロミドから選択される請求項３記載の方法。
【請求項５】
断面がある内部表面を有する伸長した円筒形部分、トップクロージャー部分およびボトムクロージャー部分を有する容器を含む蒸気送達装置であって、
ここにおいて、該トップクロージャー部分がキャリアガスを導入するためのインレット開口部およびアウトレット開口部を有し、伸長した円筒形部分が２以上のゲルマニウム化合物を含むチャンバーを有し；該インレット開口部が該チャンバーと流体が流通し、さらに該チャンバーは該アウトレット開口部と流体が流通し；
第一のゲルマニウム化合物が式Ｘ１４−ａＧｅＲａ（式中、ａ＝０〜３であり、各Ｘ１は独立してハロゲンであり、各Ｒは独立して、Ｈ、アルキル、アルケニル、アルキニル、アリール、およびＮＲ３Ｒ４から選択され、各Ｒ３およびＲ４は独立して、Ｈ、アルキル、アルケニル、アルキニルおよびアリールから選択される）のハロゲルマニウム化合物であり、
第二のゲルマニウム化合物は式：
【化２】
2004349684.tif 000002
（式中、各Ｒ１およびＲ２は独立して、Ｈ、アルキル、アルケニル、アルキニルおよびアリールから選択され；各Ｒ３は独立して、アルキル、アルケニル、アルキニルおよびアリールから選択され；Ｘはハロゲンであり；ａ’＝０〜４；ｂ’＝０〜４；ｃ’＝１〜３；ｄ’＝０〜４であり、およびａ’＋ｂ’＋ｃ’＋ｄ’＝４である；ただし、Ｘ１＝Ｃｌ、Ｒ＝Ｈ、およびＸ＝Ｃｌである場合、ａ’＋ｂ’≦３であるとする）を有する、
前記蒸気送達装置。
【請求項６】
請求項５記載の蒸気送達装置を含む金属フィルムの蒸着用装置。
【請求項７】
第一のゲルマニウム化合物を含む第一の蒸気送達装置および第二のゲルマニウム化合物を含む第二の蒸気送達装置を含む装置であって、第一および第二の蒸気送達装置が、気相の第一および第二のゲルマニウム化合物を堆積チャンバーに提供でき、第一のゲルマニウム化合物が式Ｘ１４−ａＧｅＲａ（式中、ａ＝０〜３であり、各Ｘ１は独立してハロゲンであり、各Ｒは独立して、Ｈ、アルキル、アルケニル、アルキニル、アリール、およびＮＲ３Ｒ４から選択され、各Ｒ３およびＲ４は独立して、Ｈ、アルキル、アルケニル、アルキニルおよびアリールから選択される）のハロゲルマニウム化合物であり、第二のゲルマニウム化合物は式：
【化３】
2004349684.tif 000003
（式中、各Ｒ１およびＲ２は独立して、Ｈ、アルキル、アルケニル、アルキニルおよびアリールから選択され；各Ｒ３は独立して、アルキル、アルケニル、アルキニルおよびアリールから選択され；Ｘはハロゲンであり；ａ’＝０〜４；ｂ’＝０〜４；ｃ’＝１〜３；ｄ’＝０〜４であり、およびａ’＋ｂ’＋ｃ’＋ｄ’＝４である；ただし、Ｘ１＝Ｃｌ、Ｒ＝Ｈ、およびＸ＝Ｃｌである場合、ａ’＋ｂ’≦３であるとする）を有する装置。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】発明の名称
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【発明の名称】ゲルマニウムを含有するフィルムを堆積させる方法、及び蒸気送達装置
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１３】
さらに、本発明は、断面がある内部表面を有する伸長した円筒形部分、トップクロージャー部分およびボトムクロージャー部分を有する容器を含む化学蒸着システムに、ゲルマニウムを含有するフィルムを堆積させるために好適なゲルマニウム化合物で飽和させた流体流れを供給するために好適な蒸気送達装置を提供し、ここにおいて該トップクロージャー部分がキャリアガスを導入するためのインレット開口部およびアウトレット開口部を有し、伸長した円筒形部分が２以上のゲルマニウム化合物を含むチャンバーを有し；該インレット開口部がチャンバーと流体が流通し、該チャンバーはアウトレット開口部と流体が流通している。一態様において、２以上のゲルマニウム化合物は、式Ｘ１４−ａＧｅＲａ（式中、ａ＝０〜３であり、各Ｘ１は独立してハロゲンであり、各Ｒは独立して、Ｈ、アルキル、アルケニル、アルキニル、アリール、およびＮＲ３Ｒ４から選択され、各Ｒ３およびＲ４は独立して、Ｈ、アルキル、アルケニル、アルキニルおよびアリールから選択される）の第一ハロゲルマニウム化合物、および式：
【化４】
2004349684.tif 000004
（式中、各Ｒ１およびＲ２は独立して、Ｈ、アルキル、アルケニル、アルキニルおよびアリールから選択され；各Ｒ３は独立して、アルキル、アルケニル、アルキニルおよびアリールから選択され；Ｘはハロゲンであり；ａ’＝０〜４；ｂ’＝０〜４；ｃ’＝０〜３；ｄ’＝０〜４であり、およびａ’＋ｂ’＋ｃ’＋ｄ’＝４である；ただし、Ｘ１＝Ｃｌ、Ｒ＝Ｈ、およびＸ＝Ｃｌである場合、ａ’＋ｂ’≦３であるとする）の第二ゲルマニウム化合物を含む。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４６】
従って、本発明は、ゲルマニウムを含有するフィルムを堆積させるために好適なゲルマニウム化合物で飽和された流体流れを、断面がある内部表面を有する伸長した円筒形部分、トップクロージャー部分およびボトムクロージャー部分を有する容器を含む化学蒸着システムに供給するための蒸気送達装置を提供し、該トップクロージャー部分は、キャリアガスを導入するためのインレット開口部とアウトレット開口部を有し、伸長した円筒形部分は前記のような２以上のゲルマニウム化合物を含むチャンバーを有し；インレット開口部はチャンバーと流体が流通し、さらにチャンバーはアウトレット開口部と流体が流通する。