【手続補正書】
【提出日】平成22年10月4日(2010.10.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持部と、
枠状の駆動板と、該駆動板を前記支持部に対してＸ軸まわりに回動可能とするように、前記駆動板と前記支持部とを連結する１対の第１の軸部材とで構成された第１の振動系と、
前記駆動板の内側に設けられた可動板と、該可動板を前記駆動板に対して前記Ｘ軸に直交するＹ軸まわりに回動可能とするように、前記可動板と前記駆動板とを連結する１対の第２の軸部材とで構成された第２の振動系と、
前記駆動板の一方の面側に設けられ、Ｘ−Ｙ平面にて、前記Ｘ軸および前記Ｙ軸のそれぞれの軸に対して傾斜する方向に磁化された永久磁石と、
前記永久磁石が設けられた面側に配置された筒状のコイルと、
前記コイルに電圧を印加する電源回路とを有し、
前記電源回路は、互いに周波数の異なる第１の交番電圧と第２の交番電圧とを発生させる電圧発生部と、前記第１の電圧と前記第２の電圧とを重畳する電圧重畳部とを備え、前記電圧重畳部で重畳された電圧を前記コイルに印加することにより、前記可動板を前記第１の電圧の周波数で前記Ｘ軸まわりに回動させつつ、前記第２の電圧の周波数で前記Ｙ軸まわりに回動させるように構成され、
前記永久磁石の少なくとも一部が、前記コイルの内側に位置していることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
前記支持部は、Ｘ−Ｙ平面にて、前記駆動板の回動を許容しつつ、前記駆動板の外周を囲むように形成されており、前記コイルは、前記支持部の周方向に沿って設けられている請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項３】
前記支持部の内周縁は、前記駆動板の外周縁に沿って形成されており、前記コイルは、前記支持部の内周縁に沿って設けられている請求項２に記載のアクチュエータ。
【請求項４】
前記１対の第１の軸部材は、Ｘ−Ｙ平面にて、前記コイルの内側に位置している請求項３に記載のアクチュエータ。
【請求項５】
前記永久磁石は、前記駆動板の前記一方の面から離間するようにスペーサを介して前記可動板に設けられている請求項１ないし４のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項６】
前記駆動板は、第１のＳｉ層、ＳｉＯ２層および第２のＳｉ層が、この順にて積層してなるＳＯＩ基板の前記第１のＳｉ層から形成され、前記スペーサは、前記ＳＯＩ基板の前記ＳｉＯ２層および前記第２のＳｉ層のうちの少なくとも前記ＳｉＯ２層から形成されている請求項５に記載のアクチュエータ。
【請求項７】
前記支持部の少なくとも一部は、前記ＳＯＩ基板の前記第１のＳｉ層から形成され、前記コイルは、前記第１のＳｉ層から形成された前記支持部の前記ＳｉＯ２層側の面と接触または接合するよう設けられている請求項６に記載のアクチュエータ。
【請求項８】
前記永久磁石は、前記コイルの軸方向の中央部に位置している請求項１ないし７のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項９】
前記可動板の一方の板面には、光反射性を有する光反射部が設けられている請求項１ないし８のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項１０】
前記永久磁石は、前記可動板の前記光反射部と反対の面側に位置している請求項９に記載のアクチュエータ。
【請求項１１】
支持部と、
枠状の駆動板と、該駆動板を前記支持部に対してＸ軸まわりに回動可能とするように、前記駆動板と前記支持部とを連結する１対の第１の軸部材とで構成された第１の振動系と、
前記駆動板の内側に設けられ、光反射性を有する光反射部を備える可動板と、該可動板を前記駆動板に対して前記Ｘ軸に直交するＹ軸まわりに回動可能とするように、前記可動板と前記駆動板とを連結する１対の第２の軸部材とで構成された第２の振動系と、
前記駆動板の前記光反射部と反対の面側に設けられ、Ｘ−Ｙ平面にて、前記Ｘ軸および前記Ｙ軸のそれぞれの軸に対して傾斜する方向に磁化された永久磁石と、
前記永久磁石が設けられた面側に配置された筒状のコイルと、
前記コイルに電圧を印加する電源回路とを有し、
前記電源回路は、互いに周波数の異なる第１の交番電圧と第２の交番電圧とを発生させる電圧発生部と、前記第１の電圧と前記第２の電圧とを重畳する電圧重畳部とを備え、前記電圧重畳部で重畳された電圧を前記コイルに印加することにより、前記可動板を前記第１の電圧の周波数で前記Ｘ軸まわりに回動させつつ、前記第２の電圧の周波数で前記Ｙ軸まわりに回動させ、前記光反射部で反射した光を２次元的に走査するように構成され、
前記永久磁石の少なくとも一部が、前記コイルの内側に位置していることを特徴とする光スキャナ。
【請求項１２】
支持部と、
枠状の駆動板と、該駆動板を前記支持部に対してＸ軸まわりに回動可能とするように、前記駆動板と前記支持部とを連結する１対の第１の軸部材とで構成された第１の振動系と、
前記駆動板の内側に設けられ、光反射性を有する光反射部を備える可動板と、該可動板を前記駆動板に対して前記Ｘ軸に直交するＹ軸まわりに回動可能とするように、前記可動板と前記駆動板とを連結する１対の第２の軸部材とで構成された第２の振動系と、
前記駆動板の前記光反射部と反対の面側に設けられ、Ｘ−Ｙ平面にて、前記Ｘ軸および前記Ｙ軸のそれぞれの軸に対して傾斜する方向に磁化された永久磁石と、
前記永久磁石が設けられた面側に配置された筒状のコイルと、
前記コイルに電圧を印加する電源回路とを有し、
前記電源回路は、互いに周波数の異なる第１の交番電圧と第２の交番電圧とを発生させる電圧発生部と、前記第１の電圧と前記第２の電圧とを重畳する電圧重畳部とを備え、前記電圧重畳部で重畳された電圧を前記コイルに印加することにより、前記可動板を前記第１の電圧の周波数で前記Ｘ軸まわりに回動させつつ、前記第２の電圧の周波数で前記Ｙ軸まわりに回動させ、前記光反射部で反射した光を２次元的に走査するように構成され、
前記永久磁石の少なくとも一部が、前記コイルの内側に位置している光スキャナを備えることを特徴とする画像形成装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明のアクチュエータは、支持部と、
枠状の駆動板と、該駆動板を前記支持部に対してＸ軸まわりに回動可能とするように、前記駆動板と前記支持部とを連結する１対の第１の軸部材とで構成された第１の振動系と、
前記駆動板の内側に設けられた可動板と、該可動板を前記駆動板に対して前記Ｘ軸に直交するＹ軸まわりに回動可能とするように、前記可動板と前記駆動板とを連結する１対の第２の軸部材とで構成された第２の振動系と、
前記駆動板の一方の面側に設けられ、Ｘ−Ｙ平面にて、前記Ｘ軸および前記Ｙ軸のそれぞれの軸に対して傾斜する方向に磁化された永久磁石と、
前記永久磁石が設けられた面側に配置された筒状のコイルと、
前記コイルに電圧を印加する電源回路とを有し、
前記電源回路は、互いに周波数の異なる第１の交番電圧と第２の交番電圧とを発生させる電圧発生部と、前記第１の電圧と前記第２の電圧とを重畳する電圧重畳部とを備え、前記電圧重畳部で重畳された電圧を前記コイルに印加することにより、前記可動板を前記第１の電圧の周波数で前記Ｘ軸まわりに回動させつつ、前記第２の電圧の周波数で前記Ｙ軸まわりに回動させるように構成され、
前記永久磁石の少なくとも一部が、前記コイルの内側に位置していることを特徴とする。
これにより、省電力化を図りつつ、大きい駆動力で駆動板および可動板を回動させることができるアクチュエータを提供することができる。また、異なる周波数で、可動板をＸ軸およびＹ軸のそれぞれの軸まわりに回動させることができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
本発明の光スキャナは、支持部と、
枠状の駆動板と、該駆動板を前記支持部に対してＸ軸まわりに回動可能とするように、前記駆動板と前記支持部とを連結する１対の第１の軸部材とで構成された第１の振動系と、
前記駆動板の内側に設けられ、光反射性を有する光反射部を備える可動板と、該可動板を前記駆動板に対して前記Ｘ軸に直交するＹ軸まわりに回動可能とするように、前記可動板と前記駆動板とを連結する１対の第２の軸部材とで構成された第２の振動系と、
前記駆動板の前記光反射部と反対の面側に設けられ、Ｘ−Ｙ平面にて、前記Ｘ軸および前記Ｙ軸のそれぞれの軸に対して傾斜する方向に磁化された永久磁石と、
前記永久磁石が設けられた面側に配置された筒状のコイルと、
前記コイルに電圧を印加する電源回路とを有し、
前記電源回路は、互いに周波数の異なる第１の交番電圧と第２の交番電圧とを発生させる電圧発生部と、前記第１の電圧と前記第２の電圧とを重畳する電圧重畳部とを備え、前記電圧重畳部で重畳された電圧を前記コイルに印加することにより、前記可動板を前記第１の電圧の周波数で前記Ｘ軸まわりに回動させつつ、前記第２の電圧の周波数で前記Ｙ軸まわりに回動させ、前記光反射部で反射した光を２次元的に走査するように構成され、
前記永久磁石の少なくとも一部が、前記コイルの内側に位置していることを特徴とする。
これにより、省電力化を図りつつ、大きい駆動力で可動板を回動させることができる光スキャナを提供することができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
本発明の画像形成装置は、支持部と、
枠状の駆動板と、該駆動板を前記支持部に対してＸ軸まわりに回動可能とするように、前記駆動板と前記支持部とを連結する１対の第１の軸部材とで構成された第１の振動系と、
前記駆動板の内側に設けられ、光反射性を有する光反射部を備える可動板と、該可動板を前記駆動板に対して前記Ｘ軸に直交するＹ軸まわりに回動可能とするように、前記可動板と前記駆動板とを連結する１対の第２の軸部材とで構成された第２の振動系と、
前記駆動板の前記光反射部と反対の面側に設けられ、Ｘ−Ｙ平面にて、前記Ｘ軸および前記Ｙ軸のそれぞれの軸に対して傾斜する方向に磁化された永久磁石と、
前記永久磁石が設けられた面側に配置された筒状のコイルと、
前記コイルに電圧を印加する電源回路とを有し、
前記電源回路は、互いに周波数の異なる第１の交番電圧と第２の交番電圧とを発生させる電圧発生部と、前記第１の電圧と前記第２の電圧とを重畳する電圧重畳部とを備え、前記電圧重畳部で重畳された電圧を前記コイルに印加することにより、前記可動板を前記第１の電圧の周波数で前記Ｘ軸まわりに回動させつつ、前記第２の電圧の周波数で前記Ｙ軸まわりに回動させ、前記光反射部で反射した光を２次元的に走査するように構成され、
前記永久磁石の少なくとも一部が、前記コイルの内側に位置している光スキャナを備えることを特徴とする。
これにより、優れた描画特性を発揮することのできる画像形成装置を提供することができる。