【手続補正書】
【提出日】平成22年9月30日(2010.9.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  第１の枠に第１の貫通孔を備えるとともに、前記第１の枠の内側の領域に第１の２次元フォトニック結晶を備えた平板状の第１の２次元フォトニック結晶プレートと、
第２の枠に前記第１の貫通孔と位置合わせされた第２の貫通孔を備えるとともに、前記第２の枠の内側の領域に第２の２次元フォトニック結晶を備えた平板状の第２の２次元フォトニック結晶プレートと、
前記第１の貫通孔と前記第２の貫通孔とを連通するように配置される位置合わせ部材と
を有し、
前記第１の２次元フォトニック結晶プレートの前記貫通孔と前記第２の２次元フォトニック結晶プレートの前記貫通孔とを連通するように前記位置合わせ部材を配置して位置合わせして、前記第１の２次元フォトニック結晶プレートと前記第２の２次元フォトニック結晶プレートとを光の波長に応じた周期構造になるように積層した
ものである３次元フォトニック結晶。
【請求項２】  請求項１に記載の３次元フォトニック結晶において、
前記第１の貫通孔と前記第２の貫通孔とはそれぞれ円孔であり、
前記円孔の半径と前記第１の２次元フォトニック結晶プレートおよび前記と前記第２の２次元フォトニック結晶プレートとの厚さとが略一致し、
前記位置合わせ部材は直径が前記円孔の半径の略２倍とされた球体状である
３次元フォトニック結晶。
【請求項３】  互いに種類の異なる２次元フォトニック結晶をそれぞれ備えた複数の２次元フォトニック結晶プレートを、マイクロマニピュレーションによりプローブの先端に付着または把持させてそれぞれ移動し、前記プローブの先端に付着または把持させての移動により、前記複数の２次元フォトニック結晶プレートのそれぞれを位置合わせして、光の波長に応じた周期構造になるように積層して３次元フォトニック結晶を構成する３次元フォトニック結晶の製造方法であって、
前記プローブに所定電圧をかけることによって、前記２次元フォトニック結晶プレートを前記プローブの先端に静電吸着により付着させ、
前記２次元フォトニック結晶プレートは、ブリッジにより外郭領域と連結されて中空に保持され、前記プローブにより前記２次元フォトニック結晶プレートに負荷を加えることにより前記ブリッジを破断して、該破断に伴い前記プローブの先端に前記２次元フォトニック結晶プレートを付着させて移動する
３次元フォトニック結晶の製造方法。
【請求項４】  互いに種類の異なる２次元フォトニック結晶をそれぞれ備えた複数の２次元フォトニック結晶プレートを、マイクロマニピュレーションによりプローブの先端に付着または把持させてそれぞれ移動し、前記プローブの先端に付着または把持させての移動により、前記複数の２次元フォトニック結晶プレートのそれぞれを位置合わせして、光の波長に応じた周期構造になるように積層して３次元フォトニック結晶を構成する３次元フォトニック結晶の製造方法であって、
前記プローブに所定電圧をかけることによって、前記２次元フォトニック結晶プレートを前記プローブの先端に静電吸着により付着させ、
前記２次元フォトニック結晶プレートは、ブリッジにより外郭領域と連結されて中空に保持され、前記プローブにより前記２次元フォトニック結晶プレートに負荷を加えることにより前記ブリッジを破断して、該破断に伴い前記プローブの先端に前記２次元フォトニック結晶プレートを付着させて移動し、
前記複数の２次元フォトニック結晶プレートのそれぞれの位置合わせは、前記プローブにより前記複数の２次元フォトニック結晶プレートのそれぞれを移動し、前記複数の２次元フォトニック結晶プレートのそれぞれを所定の形状の構造体に突き当てて位置合わせする
３次元フォトニック結晶の製造方法。
【請求項５】  互いに種類の異なる２次元フォトニック結晶をそれぞれ備えた複数の２次元フォトニック結晶プレートを、マイクロマニピュレーションによりプローブの先端に付着または把持させてそれぞれ移動し、前記プローブの先端に付着または把持させての移動により、前記複数の２次元フォトニック結晶プレートのそれぞれを位置合わせして、光の波長に応じた周期構造になるように積層して３次元フォトニック結晶を構成する３次元フォトニック結晶の製造方法であって、
前記プローブに所定電圧をかけることによって、前記２次元フォトニック結晶プレートを前記プローブの先端に静電吸着により付着させ、
前記２次元フォトニック結晶プレートは、ブリッジにより外郭領域と連結されて中空に保持され、前記プローブにより前記２次元フォトニック結晶プレートに負荷を加えることにより前記ブリッジを破断して、該破断に伴い前記プローブの先端に前記２次元フォトニック結晶プレートを付着させて移動し、
前記複数の２次元フォトニック結晶プレートのそれぞれの位置合わせは、前記プローブにより前記複数の２次元フォトニック結晶プレートのそれぞれを移動し、前記複数の２次元フォトニック結晶プレートのそれぞれを所定の形状の構造体に突き当てて位置合わせし、
前記複数の２次元フォトニック結晶プレートのそれぞれは、枠部位に貫通孔を形成するとともに、前記枠部位の内側の領域に互いに種類の異なる２次元フォトニック結晶をそれぞれ備えた平板状体であり、前記プローブにより、前記複数の２次元フォトニック結晶プレートのうちの互いに隣り合う２次元フォトニック結晶プレートの前記貫通孔に位置合わせ部材を配置して位置合わせして、前記複数の２次元フォトニック結晶プレートを光の波長に応じた周期構造になるように積層したものである
３次元フォトニック結晶の製造方法。
【請求項６】  請求項５に記載の３次元フォトニック結晶の製造方法において、
前記貫通孔は円孔であり、
前記円孔の半径と前記複数の２次元フォトニック結晶プレートのそれぞれの厚さとが略一致し、
前記位置合わせ部材は直径が前記円孔の半径の略２倍とされた球体状である
３次元フォトニック結晶の製造方法。
【請求項７】  請求項３、請求項４、請求項５または請求項６のいずれか１項に記載の３次元フォトニック結晶の製造方法において、
前記複数の２次元フォトニック結晶プレートを光の波長に応じた周期構造になるように積層する際に、前記プローブにより光位相制御領域を構成するための微小部品を挿入する
３次元フォトニック結晶の製造方法。
【請求項８】  互いに種類の異なる２次元フォトニック結晶をそれぞれ備えた複数の２次元フォトニック結晶プレートを有し、
前記複数の２次元フォトニック結晶プレートのそれぞれを位置合わせして、光の波長に応じた周期構造になるように積層した
ものである３次元フォトニック結晶。
【請求項９】  貫通孔を備えるとともに、互いに種類の異なる２次元フォトニック結晶をそれぞれ備えた複数の２次元フォトニック結晶プレートと、
前記複数の２次元フォトニック結晶プレートの前記貫通孔に配置される複数の位置合わせ部材と
を有し、
前記複数の２次元フォトニック結晶プレートのうちの互いに隣り合う２次元フォトニック結晶プレートの前記貫通孔に前記位置合わせ部材を配置して位置合わせして、前記複数の２次元フォトニック結晶プレートを光の波長に応じた周期構造になるように積層した
ものである３次元フォトニック結晶。
【請求項１０】  互いに種類の異なる２次元フォトニック結晶をそれぞれ備えた複数の２次元フォトニック結晶プレートを、マイクロマニピュレーションによりプローブの先端に付着または把持させてそれぞれ移動し、
前記プローブの先端に付着または把持させての移動により、前記複数の２次元フォトニック結晶プレートのそれぞれを位置合わせして、光の波長に応じた周期構造になるように積層して３次元フォトニック結晶を構成する
３次元フォトニック結晶の製造方法。
【請求項１１】  請求項１０に記載の３次元フォトニック結晶の製造方法において、
前記プローブに所定電圧をかけることによって、前記２次元フォトニック結晶プレートを前記プローブの先端に静電吸着により付着させる
３次元フォトニック結晶の製造方法。
【請求項１２】  金属よりなる内部芯と、
前記内部芯の周囲に形成された絶縁層と、
前記絶縁層の先端部を除く外周上に形成された外部金属膜と
を有し、
前記絶縁層の先端部が平坦面の形状を備えるものであり、
前記内部芯と前記外部金属膜との間に電圧をかけることによって、前記先端部の縁部付近に電界がかかり物体を静電吸着する
プローブ。
【請求項１３】  先端部が平坦面とされた絶縁体針と、
前記絶縁体針の前記先端部の前記平坦面において櫛形電極を構成するように、前記絶縁体針に配設された第１の電極と第２の電極と、
前記第１の電極と第２の電極を配設された前記絶縁体針を被覆する絶縁膜と、
前記絶縁体針の前記平坦面とされた前記先端部側を除く前記絶縁膜の外周上に形成された金属シールドと
を有し、
前記第１の電極と前記第２の電極とに、前記金属シールドに対して異なる電圧をかけることによって、前記絶縁体針の前記先端部の前記平坦面に電界がかかり物体を静電吸着する
プローブ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
即ち、本発明のうち請求項１に記載の発明は、第１の枠に第１の貫通孔を備えるとともに、上記第１の枠の内側の領域に第１の２次元フォトニック結晶を備えた平板状の第１の２次元フォトニック結晶プレートと、第２の枠に上記第１の貫通孔と位置合わせされた第２の貫通孔を備えるとともに、上記第２の枠の内側の領域に第２の２次元フォトニック結晶を備えた平板状の第２の２次元フォトニック結晶プレートと、上記第１の貫通孔と上記第２の貫通孔とを連通するように配置される位置合わせ部材とを有し、上記第１の２次元フォトニック結晶プレートの上記貫通孔と上記第２の２次元フォトニック結晶プレートの上記貫通孔とを連通するように上記位置合わせ部材を配置して位置合わせして、上記第１の２次元フォトニック結晶プレートと上記第２の２次元フォトニック結晶プレートとを光の波長に応じた周期構造になるように積層したものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、本発明のうち請求項２に記載の発明は、本発明のうち請求項１に記載の発明において、上記第１の貫通孔と上記第２の貫通孔とはそれぞれ円孔であり、上記円孔の半径と上記第１の２次元フォトニック結晶プレートおよび上記と上記第２の２次元フォトニック結晶プレートとの厚さとが略一致し、上記位置合わせ部材は直径が上記円孔の半径の略２倍とされた球体状であるようにしたものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、本発明のうち請求項３に記載の発明は、互いに種類の異なる２次元フォトニック結晶をそれぞれ備えた複数の２次元フォトニック結晶プレートを、マイクロマニピュレーションによりプローブの先端に付着または把持させてそれぞれ移動し、上記プローブの先端に付着または把持させての移動により、上記複数の２次元フォトニック結晶プレートのそれぞれを位置合わせして、光の波長に応じた周期構造になるように積層して３次元フォトニック結晶を構成する３次元フォトニック結晶の製造方法であって、上記プローブに所定電圧をかけることによって、上記２次元フォトニック結晶プレートを上記プローブの先端に静電吸着により付着させ、上記２次元フォトニック結晶プレートは、ブリッジにより外郭領域と連結されて中空に保持され、上記プローブにより上記２次元フォトニック結晶プレートに負荷を加えることにより上記ブリッジを破断して、該破断に伴い上記プローブの先端に上記２次元フォトニック結晶プレートを付着させて移動するようにしたものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、本発明のうち請求項４に記載の発明は、互いに種類の異なる２次元フォトニック結晶をそれぞれ備えた複数の２次元フォトニック結晶プレートを、マイクロマニピュレーションによりプローブの先端に付着または把持させてそれぞれ移動し、上記プローブの先端に付着または把持させての移動により、上記複数の２次元フォトニック結晶プレートのそれぞれを位置合わせして、光の波長に応じた周期構造になるように積層して３次元フォトニック結晶を構成する３次元フォトニック結晶の製造方法であって、上記プローブに所定電圧をかけることによって、上記２次元フォトニック結晶プレートを上記プローブの先端に静電吸着により付着させ、上記２次元フォトニック結晶プレートは、ブリッジにより外郭領域と連結されて中空に保持され、上記プローブにより上記２次元フォトニック結晶プレートに負荷を加えることにより上記ブリッジを破断して、該破断に伴い上記プローブの先端に上記２次元フォトニック結晶プレートを付着させて移動し、上記複数の２次元フォトニック結晶プレートのそれぞれの位置合わせは、上記プローブにより上記複数の２次元フォトニック結晶プレートのそれぞれを移動し、上記複数の２次元フォトニック結晶プレートのそれぞれを所定の形状の構造体に突き当てて位置合わせするようにしたものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、本発明のうち請求項５に記載の発明は、互いに種類の異なる２次元フォトニック結晶をそれぞれ備えた複数の２次元フォトニック結晶プレートを、マイクロマニピュレーションによりプローブの先端に付着または把持させてそれぞれ移動し、上記プローブの先端に付着または把持させての移動により、上記複数の２次元フォトニック結晶プレートのそれぞれを位置合わせして、光の波長に応じた周期構造になるように積層して３次元フォトニック結晶を構成する３次元フォトニック結晶の製造方法であって、上記プローブに所定電圧をかけることによって、上記２次元フォトニック結晶プレートを上記プローブの先端に静電吸着により付着させ、上記２次元フォトニック結晶プレートは、ブリッジにより外郭領域と連結されて中空に保持され、上記プローブにより上記２次元フォトニック結晶プレートに負荷を加えることにより上記ブリッジを破断して、該破断に伴い上記プローブの先端に上記２次元フォトニック結晶プレートを付着させて移動し、上記複数の２次元フォトニック結晶プレートのそれぞれの位置合わせは、上記プローブにより上記複数の２次元フォトニック結晶プレートのそれぞれを移動し、上記複数の２次元フォトニック結晶プレートのそれぞれを所定の形状の構造体に突き当てて位置合わせし、上記複数の２次元フォトニック結晶プレートのそれぞれは、枠部位に貫通孔を形成するとともに、上記枠部位の内側の領域に互いに種類の異なる２次元フォトニック結晶をそれぞれ備えた平板状体であり、上記プローブにより、上記複数の２次元フォトニック結晶プレートのうちの互いに隣り合う２次元フォトニック結晶プレートの上記貫通孔に位置合わせ部材を配置して位置合わせして、上記複数の２次元フォトニック結晶プレートを光の波長に応じた周期構造になるように積層したものである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、本発明のうち請求項６に記載の発明は、本発明のうち請求項５に記載の発明において、上記貫通孔は円孔であり、上記円孔の半径と上記複数の２次元フォトニック結晶プレートのそれぞれの厚さとが略一致し、上記位置合わせ部材は直径が上記円孔の半径の略２倍とされた球体状であるようにしたものである。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また、本発明のうち請求項７に記載の発明は、本発明のうち請求項３、請求項４、請求項５または請求項６のいずれか１項に記載の発明において、上記複数の２次元フォトニック結晶プレートを光の波長に応じた周期構造になるように積層する際に、上記プローブにより光位相制御領域を構成するための微小部品を挿入するようにしたものである。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、本発明のうち請求項８に記載の発明は、互いに種類の異なる２次元フォトニック結晶をそれぞれ備えた複数の２次元フォトニック結晶プレートを有し、上記複数の２次元フォトニック結晶プレートのそれぞれを位置合わせして、光の波長に応じた周期構造になるように積層したものである。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また、本発明のうち請求項９に記載の発明は、貫通孔を備えるとともに、互いに種類の異なる２次元フォトニック結晶をそれぞれ備えた複数の２次元フォトニック結晶プレートと、上記複数の２次元フォトニック結晶プレートの上記貫通孔に配置される複数の位置合わせ部材とを有し、上記複数の２次元フォトニック結晶プレートのうちの互いに隣り合う２次元フォトニック結晶プレートの上記貫通孔に上記位置合わせ部材を配置して位置合わせして、上記複数の２次元フォトニック結晶プレートを光の波長に応じた周期構造になるように積層したものである。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また、本発明のうち請求項１０に記載の発明は、互いに種類の異なる２次元フォトニック結晶をそれぞれ備えた複数の２次元フォトニック結晶プレートを、マイクロマニピュレーションによりプローブの先端に付着または把持させてそれぞれ移動し、上記プローブの先端に付着または把持させての移動により、上記複数の２次元フォトニック結晶プレートのそれぞれを位置合わせして、光の波長に応じた周期構造になるように積層して３次元フォトニック結晶を構成するようにしたものである。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また、本発明のうち請求項１１に記載の発明は、本発明のうち請求項１０に記載の発明において、上記プローブに所定電圧をかけることによって、上記２次元フォトニック結晶プレートを上記プローブの先端に静電吸着により付着させるようにしたものである。