(57)【要約】  従来の圧電共振器に対して改善を行うための方法および装置が提供される。圧電共振器を有するフィルタに対して改善を行うための装置および方法も提供される。或る例では、圧電共振器は、基板と、基板上に配置された圧電材料とを含む。第１の電極および第２の電極は、圧電材料上に配置される。圧電共振器は或る通過帯域を有し、圧電材料の外周の一部分は、圧電材料の帯域内スプリアスモードを抑制するように、基板に固定される。この部分は、固定されなければ、共振する際に、最大の、最大に近い、かつ／または過剰な変位たわみを示してしまう。圧電共振器は、半導体ダイと一体化され得る。それぞれ異なる通過帯域を伴う圧電共振器を有する複数のフィルタは、基板上に配置され得る。
2015502088.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
圧電材料と、
前記圧電材料に結合された第１の電極と、
前記圧電材料に結合された第２の電極とを含む圧電共振器であって、
前記圧電共振器が或る通過帯域を有し、前記圧電材料の外周の一部分が、前記圧電材料の帯域内スプリアスモードを抑制するように、前記基板に固定され、
前記一部分が、固定されなければ、共振する際に実質的に最大の変位を示す部分である、
圧電共振器。
【請求項２】
半導体ダイと一体化された請求項１に記載の圧電共振器。
【請求項３】
請求項１に記載の圧電共振器を含むフィルタ。
【請求項４】
前記通過帯域の中心周波数が、略４００ＭＨｚから略２７００ＭＨｚの間の範囲にある、請求項３に記載のフィルタ。
【請求項５】
基板上に配置された複数のフィルタであって、各フィルタが請求項１の圧電共振器を含み、各圧電共振器が異なる通過帯域を有する、複数のフィルタ。
【請求項６】
受信機、セットトップボックス、音楽プレーヤ、ビデオプレーヤ、エンターテインメントユニット、ナビゲーションデバイス、通信デバイス、携帯情報端末（ＰＤＡ）、固定位置データユニット、およびコンピュータからなるグループから選択されたデバイスをさらに含み、前記デバイスと一体化された請求項１に記載の圧電共振器。
【請求項７】
リソグラフィデバイスによって実行されると、前記リソグラフィデバイスに圧電共振器の少なくとも一部を作製させるように記憶された命令を含む非一時的コンピュータ可読媒体であって、前記圧電共振器が、
基板と、
圧電材料と、
前記圧電材料に結合された第１の電極と、
前記圧電材料に結合された第２の電極とを含み、
前記圧電共振器が或る通過帯域を有し、前記圧電材料の外周の一部分が、前記圧電材料の帯域内スプリアスモードを抑制するように、前記基板に固定され、
前記一部分が、固定されなければ、共振する際に最大の変位を示す部分である、
非一時的コンピュータ可読媒体。
【請求項８】
前記圧電共振器が半導体ダイの中で作製される、請求項７に記載の非一時的コンピュータ可読媒体。
【請求項９】
リソグラフィデバイスによって実行されると、前記リソグラフィデバイスに請求項７に記載の前記圧電共振器を含むフィルタの少なくとも一部を作製させるように記憶された命令をさらに含む請求項７に記載の非一時的コンピュータ可読媒体。
【請求項１０】
前記通過帯域の中心周波数が、略４００ＭＨｚから略２７００ＭＨｚの間の範囲にある、請求項７に記載の非一時的コンピュータ可読媒体。
【請求項１１】
リソグラフィデバイスによって実行されると、前記リソグラフィデバイスに、基板上に配置された複数のフィルタの少なくとも一部を作製させるように記憶された命令をさらに含み、各フィルタが請求項７に記載の前記圧電共振器を含み、各圧電共振器が異なる通過帯域を有する、請求項７に記載の非一時的コンピュータ可読媒体。
【請求項１２】
或る通過帯域を有する圧電共振器を作製するための方法であって、
基板上に圧電材料を配置するステップと、
前記基板上に、前記圧電材料と接触して、第１の電極を配置するステップと、
前記基板上に、前記圧電材料と接触して、第２の電極を配置するステップと、
前記圧電材料の帯域内スプリアスモードを抑制するように、前記圧電材料の外周の一部分を前記基板に固定するステップであって、前記一部分が、固定されなければ、共振する際に最大の変位を示す部分である、ステップとを含む方法。
【請求項１３】
前記通過帯域の中心周波数が、略４００ＭＨｚから略２７００ＭＨｚの間の範囲にある、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
或る通過帯域を有する圧電共振器であって、
基板と、
圧電材料と、
前記圧電材料に結合された第１の電極と、
前記圧電材料に結合された第２の電極と、
前記圧電材料の帯域内スプリアスモードを抑制するように、前記圧電材料の外周の一部分を前記基板に固定するための手段であって、前記一部分が、固定されなければ、共振する際に最大の変位を示す部分である、手段とを含む圧電共振器。
【請求項１５】
半導体ダイと一体化された請求項１４に記載の圧電共振器。
【請求項１６】
請求項１４に記載の前記圧電共振器を含むフィルタ。
【請求項１７】
前記通過帯域の中心周波数が、略４００ＭＨｚから略２７００ＭＨｚの間の範囲にある、請求項１６に記載のフィルタ。
【請求項１８】
基板上に配置された複数のフィルタであって、各フィルタが請求項１４の前記圧電共振器を含み、各圧電共振器が異なる通過帯域を有する、複数のフィルタ。
【請求項１９】
受信機、セットトップボックス、音楽プレーヤ、ビデオプレーヤ、エンターテインメントユニット、ナビゲーションデバイス、通信デバイス、携帯情報端末（ＰＤＡ）、固定位置データユニット、およびコンピュータからなるグループから選択されたデバイスをさらに含み、前記デバイスと一体化された請求項１４に記載の圧電共振器。
【請求項２０】
基板と、
圧電材料と、
前記圧電材料に結合される第１の電極と、
前記圧電材料に結合される第２の電極とを含む圧電共振器であって、
前記圧電共振器が或る通過帯域を有し、前記圧電材料の外周の一部分が、前記圧電材料の帯域内スプリアスモードを抑制するように除去され、
前記一部分が、固定されなければ、共振する際に実質的に最大の変位を示す部分である、
圧電共振器。
【請求項２１】
基板と、
圧電材料と、
前記圧電材料に結合される第１の電極と、
前記圧電材料に結合される第２の電極とを含む圧電共振器であって、
前記圧電共振器が或る通過帯域を有し、前記圧電材料の外周の一部分が、前記圧電材料の帯域内スプリアスモードを抑制するように形状変更され、
前記一部分が、固定されなければ、共振する際に実質的に最大の変位を示す部分である、
圧電共振器。
【請求項２２】
基板と、
圧電材料と、
前記圧電材料に結合される第１の電極と、
前記圧電材料に結合される第２の電極とを含む圧電共振器であって、
前記圧電共振器が或る通過帯域を有し、前記圧電材料の外周の一部分が、前記圧電材料の帯域内スプリアスモードを抑制するように、余剰の材料によって荷重をかけられ、
前記一部分が、固定されなければ、共振する際に実質的に最大の変位を示す部分である、
圧電共振器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は全般に電子回路に関し、より詳細には、圧電共振器を改善するための装置および方法に関するが、これらに限定されるものではない。
【背景技術】
【０００２】
圧電輪郭モード共振器（ＣＭＲ，ｃｏｎｔｏｕｒ  ｍｏｄｅ  ｒｅｓｏｎａｔｏｒ）は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換し、一部の周波数の機械エネルギーを減衰させ、次いで機械エネルギーを電気エネルギーに戻す。圧電材料（通常、ＡｌＮ、ＺｎＯ、ＰＺＴなど）の一片に接触する入力電極に入力される電気エネルギーは、圧電材料中の振動を引き起こす。圧電材料は或る特定の形状を有するので、圧電材料中で機械的な定在波が発生する少なくとも１つの共振周波数を有する。圧電材料と接触する出力電極が次いで、振動を電気エネルギーへと変換する。圧電材料における共振モードの中でも、１）電気信号が第１の方向（たとえば、Ｚ軸）に加えられ、圧電共振器の動きが第１の方向に垂直の第２の方向（たとえば、Ｘ軸）である、「ｄ３１モード」と、２）加えられる電気信号と圧電共振器の動きの両方の方向が同じである、「ｄ３３モード」という、２つの別個の共振モードが圧電材料において存在する。輪郭モードの振動はｄ３１モードを使用して励振され得るので、従来はＣＭＲがフィルタにおいて利用されている。
【０００３】
図１は、従来の圧電ＣＭＲ  １００と、動作１０５Ａ〜Ｃの間の従来の共振器の変位と、従来の圧電共振器の周波数応答１１０とを図示する。従来の圧電ＣＭＲ  １００を使用する従来のＣＭＲフィルタでは、帯域内の（すなわち、フィルタの設計において重要なすべての周波数スペクトルの）スプリアスモードは、フィルタの重大な動作不良を引き起こす。それは、従来の圧電共振器の周波数応答１１０において複数の狭い間隔の共振ピークによって示されるように、帯域内のスプリアスモードが異なる周波数における複数の共振周波数をもたらすからである。言い換えると、従来のＣＭＲフィルタは複数の通過帯域を有し、いくつかの通過帯域が意図せずに発生する。圧電ＣＭＲが、狭い固有モードの間隔、したがってスプリアス共振モードを有する機械的な共振器なので、フィルタの動作不良が発生する。したがって、従来の圧電ＣＭＲから、クリーンな単一の基本共振応答を得ることは難しい。スプリアス共振モードは、従来のフィルタの基本共振の位相および振幅の応答を大幅に低減し、これは、通過帯域の大きな脈動につながり、さらには帯域外除去の性能低下につながる。より高い周波数ではモード間隔がより狭くなるので、スプリアスモードの影響は、高周波の従来の圧電ＣＭＲが使用される場合には大きくなる。
【０００４】
図２Ａは、入力櫛型電極２０５Ａと出力櫛型電極２０５Ｂとを有する従来の圧電ＣＭＲフィルタ２００を図示し、各櫛型電極２０５Ａ、２０５Ｂは、共振デバイス２００の圧電部分２１０のための固定具として機能する。図２Ａにおいて、入力櫛型電極２０５Ａは、入力される電気エネルギーを受け取り、圧電部分２１０は、電気エネルギーを圧電部分２１０の機械的振動に変換する。次いで、圧電部分２１０は、機械的振動を出力櫛型電極２０５Ｂにおける電気エネルギーへと戻す。従来の圧電ＣＭＲフィルタ２００は、通過帯域の中心が７００ＭＨｚとなるような長さと幅で設計される。
【０００５】
図２Ｂは、従来の圧電ＣＭＲフィルタ２００の周波数応答２５０を図示する。周波数応答２５０において理解され得るように、従来の圧電ＣＭＲフィルタ２００の通過帯域は、７００ＭＨｚに中心がある適切な設計の通過帯域以外の、いくつかの通過帯域を有する。従来の圧電ＣＭＲフィルタ２００の複数のスプリアス共振モードにより、クリーンな単一の通過帯域は達成され得ない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
したがって、従来の圧電共振器に対して改善を行うための装置および方法が、長年にわたって産業上必要とされている。圧電共振器を有するフィルタおよび圧電共振器が実装され得るデバイスに対して改善を行うための装置および方法も、長年にわたって産業上必要とされている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の例示的な実施形態は、圧電共振器、圧電共振器を有するフィルタ、および圧電共振器が実装され得るデバイスを改善するための、装置および方法を対象とする。
【０００８】
例示的な実施形態では、圧電共振器は、スプリアス共振モードを抑制し、クリーンな基本モード周波数応答を維持する。それは、本来は最大の、最大に近い、かつ／または過剰な変位を示してしまう共振器の部分が、固定され、かつ／または除去され、かつ／または形状変更され、かつ／または余剰の材料によって荷重をかけられて、変位を除去し、かつ／または軽減するからである。例示的な圧電共振器は、動きに対する抵抗を低くするために、１つの次元におけるより高次のモード間隔を伴って構築される。従来の設計と比較すると、提供される圧電共振器は、より高次のモードに関連する圧電共振器の側面の境界端において異なる形状を有する。この異なる形状が、有害な帯域内スプリアスモードを抑制する。異なる通過帯域および中心周波数を有するフィルタは、圧電共振器を使用して単一のウェア上で実装され得る。
【０００９】
或る例では、圧電共振器は、基板と、基板上に配置された圧電材料とを含む。第１の電極および第２の電極は、圧電材料上に配置される。圧電共振器は或る通過帯域を有し、圧電材料の外周の一部分は、圧電構造物を支持するように、かつ／または圧電材料の帯域内スプリアスモードを抑制するように、基板に固定される。圧電材料の外周の一部分を基板に固定して圧電材料の帯域内スプリアスモードを抑制するための手段も提供され得る。外周の固定される部分は、固定されなければ、スプリアスモードの共振において、最大の、最大に近い、かつ／または過剰な、変位たわみを示してしまう。圧電共振器は、半導体ダイと一体化され得る。略４００ＭＨｚから略２７００ＭＨｚの間の範囲に通過帯域の中心周波数を有するフィルタは、フィルタリングコンポーネントとして圧電共振器を有し得る。それぞれ異なる通過帯域を伴う圧電共振器を有する複数のフィルタは、基板上に配置され得る。受信機、セットトップボックス、音楽プレーヤ、ビデオプレーヤ、エンターテインメントユニット、ナビゲーションデバイス、通信デバイス、携帯情報端末（ＰＤＡ）、固定位置データユニット、およびコンピュータからなるグループから選択されるデバイスは、一体のコンポーネントとして圧電共振器を有し得る。或る例では、リソグラフィデバイスによって実行されると、リソグラフィデバイスに圧電共振器の少なくとも一部を作製させる、記憶された命令を有する非一時的コンピュータ可読媒体も提供される。
【００１０】
さらなる例では、圧電共振器を作製するための方法が提供される。圧電材料は、基板上に配置される。第１の電極および第２の電極は、圧電材料上に配置される。圧電材料の外周の一部分は、圧電構造物を支持するように、かつ／または共振器の通過帯域内の圧電材料の帯域内スプリアスモードを抑制するように、基板に固定される。その部分は、固定されなければ、スプリアスモードの共振において、最大の、最大に近い、かつ／または過剰な変位を示すような部分であるように、選択される。通過帯域の中心周波数は、略４００ＭＨｚから略２７００ＭＨｚの間の範囲にあり得る。
【００１１】
上記は、以下の詳細な説明がよりよく理解され得るように、本教示の特徴および技術的利点を広く概説したものである。特許請求の範囲の主題を形成する、さらなる特徴および利点が本明細書で説明される。本教示の同じ目的を実施するために他の構造を修正または設計する際の基礎として、開示される概念および特定の実施形態が容易に利用され得る。そのような等価な構成は、添付の特許請求の範囲に記載された本教示の技術から逸脱しない。本教示の構成と動作方法の両方に関して本教示の特徴と考えられる新規の特徴は、さらなる目的および利点とともに、以下の説明が添付の図面に関連して検討されればよりよく理解される。しかし、図面の各々は例示および説明のみのために与えられ、本教示の限定事項を規定しない。
【００１２】
添付の図面は、本教示の例を説明するために提示され、限定するものとして提供されない。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】従来の圧電共振器と、動作の間の従来の共振器の変位と、従来の圧電共振器の周波数応答とを示す図である。
【図２】第２の従来の圧電共振器と、第２の従来の圧電共振器の周波数応答とを示す図である。
【図３】例示的な通信システムを示す図である。
【図４】固定された部分を有する例示的なＣＭＲと、動作の間のＣＭＲの変位と、ＣＭＲの周波数応答とを示す図である。
【図５】固定された部分を有する別の例示的なＣＭＲと、動作の間のＣＭＲの変位と、ＣＭＲの周波数応答とを示す図である。
【図６】固定された部分を有するさらに別の例示的なＣＭＲと、動作の間のＣＭＲの変位と、ＣＭＲの周波数応答とを示す図である。
【図７】図４〜図６の例示的なＣＭＲの追加の例を示す図である。
【図８】圧電共振器を作製するための方法を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
慣例に従って、図面に示される様々な特徴は、一定の縮尺で描かれていない可能性がある。したがって、様々な特徴の寸法は、明快のために、適宜拡大または縮小されていることがある。慣例に従って、いくつかの図は明快のために簡略化されている。したがって、図面は、所与の装置（たとえば、デバイス）または方法のすべてのコンポーネントを示すとは限らない。最後に、同様の参照番号は、本明細書および図を通して同様の特徴を示すために使用される。
【００１５】
本発明の特定の実施形態を対象とする以下の説明および関連する図面で、本発明の態様が開示される。本発明の範囲から逸脱することなく、代替の実施形態が考案され得る。さらに、本発明の関連する詳細を不明瞭にしないように、本発明のよく知られている要素は詳細に記載されないか、または省略される。
【００１６】
「例示的な」という言葉は、「例、実例、または例示として機能すること」を意味するために本明細書で使用される。「例示的な」として本明細書で説明される任意の実施形態は、必ずしも他の実施形態よりも好ましいか、または有利であると解釈されるべきではない。同様に、「本発明の実施形態」という用語は、本発明のすべての実施形態が、論じられた特徴、利点または動作モードを含むことを必要としない。
【００１７】
「接続される」、「結合される」という用語、またはそれらのいかなる変形も、２つ以上の要素の間での直接的または間接的な任意の接続または結合を意味し、互いに「接続」または「結合」される２つの要素間に１つまたは複数の仲介する要素の存在を含み得ることに留意されたい。要素間の結合または接続は、物理的、論理的、またはそれらの組合せであってよい。本明細書で利用される場合、２つの要素は、いくつかの非限定的かつ非網羅的な例として、１つまたは複数の電線、ケーブル、および／またはプリントされた電気接続の使用によって、かつ、無線周波数領域、マイクロ波領域、および光（可視と不可視の両方の）領域の波長を有する電磁エネルギーなどの電磁エネルギーの使用によって、互いに「接続」または「結合」されるものと考えられ得る。
【００１８】
「信号」という用語は、データ信号、オーディオ信号、ビデオ信号、マルチメディア信号などの任意の信号を含み得ることを理解されたい。多種多様な技術および技法のうちのいずれかを使用して、情報および信号は表され得る。たとえば、本明細書の説明全体にわたって言及され得るデータ、命令、コマンド、情報、信号、ビット、シンボル、およびチップは、電圧、電流、電磁波、磁場または磁性粒子、光場または光学粒子、あるいはそれらの任意の組合せによって表され得る。
【００１９】
本明細書で「第１の」、「第２の」などの指定を使用した要素へのいかなる参照も、それらの要素の量または順序を全般的に限定するものではないことを理解されたい。むしろ、これらの指定は、２つ以上の要素、または要素の例を区別する都合のよい方法として本明細書で使用されている。したがって、第１および第２の要素への参照は、２つの要素のみが利用され得ること、または第１の要素が第２の要素に先行しなければならないことを意味しない。また、別段に記載されていない限り、１組の要素は、１つまたは複数の要素を含み得る。加えて、説明または特許請求の範囲で使用される「Ａ、Ｂ、Ｃのうちの少なくとも１つ」という形態の用語は、「ＡまたはＢまたはＣ、あるいはこれらの要素の任意の組合せ」を意味する。
【００２０】
本明細書で使用される用語は、特定の実施形態の説明のみを目的とするものであり、本発明の実施形態を限定するものではない。本明細書で使用する単数形の表記は、文脈が別段に明確に示さない限り、複数形をも含むものとする。「備える」、「有する」、「含む」という用語は、本明細書で使用される場合、記述される特徴、整数、ステップ、動作、要素および／またはコンポーネントの存在を明示するものであって、１つまたは複数の他の特徴、整数、ステップ、動作、要素、コンポーネントおよび／またはそのグループの存在または追加を排除するものではないことがさらに理解されよう。
【００２１】
本明細書で使用される空間的説明（たとえば、「上部」、「中間部」、「下部」、「左」、「中央」、「右」、「上方」、「下方」、「垂直」、「水平」など）は、説明のためだけのものであり、限定的な記述ではない。これによって説明される構造の実際の実装形態は、これによって説明される機能を実現する任意の方向で空間的に配置され得る。加えて、集積回路要素間の空間的関係を説明するために本明細書で「隣接する」という用語を使用するとき、隣接する集積回路要素は、直接物理的に接触している必要はなく、他の集積回路要素が、隣接する集積回路要素間に配置されていてよい。
【００２２】
さらに、多くの実施形態が、たとえばコンピューティングデバイスおよび／またはリソグラフィデバイスの要素によって実行されるべき、一連のアクションに関して説明される。本明細書で説明される様々なアクションは、特定の回路（たとえば、特定用途向け集積回路（ＡＳＩＣ，ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ  ｓｐｅｃｉｆｉｃ  ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  ｃｉｒｃｕｉｔ））によって、１つまたは複数のプロセッサによって実行されるプログラム命令によって、あるいは両方の組合せによって実行され得ることが認識されよう。さらに、本明細書で説明されるこれらの一連のアクションは、実行されると、関連するプロセッサに本明細書で説明される機能を実行させるコンピュータ命令の対応するセットを記憶した、任意の形式のコンピュータ可読記憶媒体内で全体が具現化されるものと見なされ得る。したがって、本発明の様々な態様は、請求する主題の範囲内にすべて入ることが企図されているいくつかの異なる形式で具現化され得る。さらに、本明細書で説明される実施形態ごとに、任意のそのような実施形態の対応する形式は、本明細書では、たとえば、説明されるアクションを実行する「ように構成された論理」として説明されることがある。
【００２３】
［序論］
【００２４】
例示的な実施形態では、圧電共振器は、スプリアス共振モードを抑制し、クリーンな基本モード周波数応答を維持する。それは、本来は最大の、最大に近い、かつ／または過剰な変位を示してしまう共振器の部分が、固定され、かつ／または形状変更され、かつ／または余剰の材料によって荷重をかけられて、変位を除去し、かつ／または軽減するからである。例示的な圧電共振器は、動きに対する抵抗を低くするために、１つの次元におけるより高次のモード間隔を伴って構築される。従来の設計と比較すると、提供される圧電共振器は、より高次のモードに関連する圧電共振器の側面の境界端において異なる形状を有する。この異なる形状が、有害な帯域内スプリアスモードを抑制する。異なる通過帯域および中心周波数を有するフィルタは、圧電共振器を使用して単一のウェア上で実装され得る。
【００２５】
或る例では、圧電共振器は、基板と、基板上に配置された圧電材料とを含む。第１の電極および第２の電極は、圧電材料と接触して配置される。圧電共振器は或る通過帯域を有し、圧電材料の外周の一部分は、圧電材料の帯域内スプリアスモードを抑制するように、基板に固定される。その部分は、固定されなければ、共振する際に最大の変位を示してしまう。
【００２６】
［図面の説明］
【００２７】
図３は、本開示の実施形態が有利に利用され得る例示的な通信システム３００を図示する。説明のために、図３は、３つの遠隔ユニット３２０、３３０、３５０および２つの基地局３４０を示す。従来のワイヤレス通信システムは、これより多くの遠隔ユニットおよび基地局を有し得ることが理解されよう。遠隔ユニット３２０、３３０、３５０は、以下でさらに論じられるように、本開示の実施形態３２５Ａ〜Ｃの少なくとも一部を含む。図３は、基地局３４０から遠隔ユニット３２０、３３０、および３５０への順方向リンク信号３８０、ならびに遠隔ユニット３２０、３３０、および３５０から基地局３４０への逆方向リンク信号３９０を示す。
【００２８】
図３では、遠隔ユニット３２０は携帯電話として示され、遠隔ユニット３３０はポータブルコンピュータとして示され、遠隔ユニット３５０はワイヤレスローカルループシステム中の固定位置の遠隔ユニットとして示されている。たとえば、遠隔ユニットは、送信機、受信機、携帯電話、ハンドヘルドパーソナル通信システム（ＰＣＳ，ｐｅｒｓｏｎａｌ  ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ  ｓｙｓｔｅｍ）ユニット、携帯情報端末のようなポータブルデータユニット、ナビゲーションデバイス（たとえば、ＧＰＳ対応デバイス）、セットトップボックス、音楽プレーヤ、ビデオプレーヤ、エンターテインメントユニット、固定位置データユニット（メータ読取り機器）、またはデータもしくはコンピュータ命令の記憶もしくは取出しを行う任意の他のデバイス、またはそれらの任意の組合せであってよい。図３は、本開示の教示による遠隔ユニットを示すが、本開示は、これらの例示的な示されたユニットに限定されない。本開示の実施形態は、任意のデバイスにおいて適切に利用され得る。
【００２９】
図４〜図７は、本発明の実施形態による例示的な輪郭モード共振器（ＣＭＲ）と、動作の間の例示的なＣＭＲのそれぞれの変位と、例示的なＣＭＲのそれぞれの周波数応答とを図示する。図４〜図７の例示的なＣＭＲは、より複雑度が低く、より設計が簡単であり、かつ／または小型の形状を有する、通信デバイスを実装することを可能にする。図４〜図７の例示的なＣＭＲはまた、単一チップ上に、異なる通過帯域周波数を有する高性能フィルタのアレイを作製することを可能にする。
【００３０】
図４は、例示的な第１のＣＭＲ  ４００を図示する。第１のＣＭＲ４００では、圧電材料４１０の２つの実質的に対向する面４０５Ａ、４０５Ｂが基板に固定される（すなわち、固着される）。或る例では、対向する面４０５Ａ、４０５Ｂは、実質的に全体が固定される。第１のＣＭＲ  ４００の固定される部分は、固定されなければ、共振する際に、最大の、最大に近い、かつ／または過剰な変位たわみを示してしまう。第１の電極４１５Ａおよび第２の電極４１５Ｂは、固定された対向する面４０５Ａ、４０５Ｂに実質的に垂直な面と接触している。或る例では、第１のＣＭＲ  ４００は、ｄ３３共振モードで動作する。第１のＣＭＲ  ４００の別の図が図７において見出され得る。
【００３１】
図４はまた、動作４２０Ａ、４２０Ｂの間の第１のＣＭＲの変位を図示する。変位の像４２０Ａ、４２０Ｂは、第１のＣＭＲ  ４００が固定された実質的に対向する面４０５Ａ、４０５Ｂを有することを反映する。動作１０５Ａ〜Ｃの間の従来の共振器の変位と比較すると、動作４２０Ａ、４２０Ｂの間の第１のＣＭＲの変位は、第１のＣＭＲ  ４００が、スプリアス共振モードを軽減するように、より制約され制御された変位を有することを示す。第１のＣＭＲ  ４００を固定した効果は、第１のＣＭＲ  ４００の周波数応答４２５が、従来の圧電共振器の周波数応答１１０と比較すると、第１のＣＭＲ  ４００がスプリアス共振モードを軽減し、したがって通過帯域の数がより少ないことを示しているところに、反映されている。
【００３２】
図５は、例示的な第２のＣＭＲ  ５００を図示する。第２のＣＭＲ  ５００では、圧電材料５１５の２つの実質的に対向する面５１０Ａ、５１０Ｂの外側部分５０５Ａ〜Ｄが基板に固定され（すなわち、固着され）、一方、２つの実質的に対向する面５１０Ａ、５１０Ｂの内側部分５２０は固定されない。或る例では、固定された部分は、圧電材料５１５の本体から延びる。第２のＣＭＲ  ５００の固定される部分は、固定されなければ、共振する際に、最大の、最大に近い、かつ／または過剰な変位たわみを示してしまう。第１の電極５２５Ａおよび第２の電極５２５Ｂは、固定された対向する面５１０Ａ、５１０Ｂに実質的に垂直な面と接触している。或る例では、第２のＣＭＲ  ５００は、ｄ３３共振モードで動作する。第２のＣＭＲ  ５００の別の図が図７において見出され得る。
【００３３】
図５はまた、動作５３０Ａ、５３０Ｂの間の第２のＣＭＲの変位を図示する。変位の像５３０Ａ、５３０Ｂは、第２のＣＭＲ  ５００が固定された実質的に対向する面５１０Ａ、５１０Ｂの外側部分を有することを反映する。動作１０５Ａ〜Ｃの間の従来の共振器の変位と比較すると、動作５３０Ａ、５３０Ｂの間の第２のＣＭＲの変位は、第２のＣＭＲ  ５００が、スプリアス共振モードを軽減するように、より制約され制御された変位を有することを示す。第２のＣＭＲ  ５００を固定した効果は、第２のＣＭＲ  ５００の周波数応答５３５が、従来の圧電共振器の周波数応答１１０と比較すると、第２のＣＭＲ  ５００がスプリアス共振モードを軽減し、したがって通過帯域の数がより少ないことを示しているところに、反映されている。
【００３４】
図６は、例示的な第３のＣＭＲ  ６００を図示する。第３のＣＭＲ  ６００において、圧電材料６１５の２つの実質的に対向する面６１０Ａ、６１０Ｂの外側部分６０５Ａ〜Ｄが、それぞれのフィルタ６２０Ａ〜Ｄを介して基板に固定される（すなわち、固着される）。第３のＣＭＲ  ６００の固定された部分は、固定されなければ、共振する際に、最大の、最大に近い、かつ／または過剰な変位たわみを示してしまう。第１の電極６２５Ａおよび第２の電極６２５Ｂは、固定された対向する面６１０Ａ、６１０Ｂに実質的に垂直な面と接触している。或る例では、第３のＣＭＲ  ６００は、ｄ３３共振モードで動作する。第３のＣＭＲ  ６００の別の図が図７において見出され得る。
【００３５】
図６はまた、動作６３０Ａ、６３０Ｂの間の第２のＣＭＲの変位を図示する。変位の像６３０Ａ、６３０Ｂは、第３のＣＭＲ  ６００が固定された実質的に対向する面６１０Ａ、６１０Ｂの外側部分を有することを反映する。動作１０５Ａ〜Ｃの間の従来の共振器の変位と比較すると、動作６３０Ａ、６３０Ｂの間の第３のＣＭＲの変位は、第３のＣＭＲ  ６００が、スプリアス共振モードを軽減するように、より制約され制御された変位を有することを示す。第３のＣＭＲ  ６００を固定した効果は、第３のＣＭＲ  ６００の周波数応答６３５が、従来の圧電共振器の周波数応答１１０と比較すると、第３のＣＭＲ  ６００がスプリアス共振モードを軽減し、したがって通過帯域の数がより少ないことを示しているところに、反映されている。
【００３６】
図７は、図４〜図６の例示的なＣＭＲの追加の例を図示する。「延長モード付き」（ＷＥＭ）デバイス７００は、第１のＣＭＲ  ４００の例である。ＷＥＭデバイス７００は、ＷＥＭデバイス７００の長さがＷＥＭデバイス７００の幅の１０倍に等しいときに第１の周波数応答７０５を有し、これは、従来のデバイスと比較すると、スプリアス共振モードの軽減と、単一の明確な通過帯域とを示す。ＷＥＭデバイスの形状が極限まで押し潰されて、ＷＥＭデバイス７００の長さがＷＥＭデバイス７００の幅の２０倍に等しくなると、第２の周波数応答７１０が得られ、これは帯域内スプリアスモードを示し始める。
【００３７】
図７はまた、「延長モード付き、Ｏ形状」（ＷＥＭＯ，ｗｉｔｈ  ｅｘｔｅｎｓｉｏｎ  ｍｏｄｅ，Ｏ−ｓｈａｐｅ）デバイス７１５を図示し、これは第２のＣＭＲ  ５００の例である。ＷＥＭＯデバイス７１５は、ＷＥＭＯデバイス７１５の長さがＷＥＭＯデバイス７１５の幅の２０倍に等しいときに周波数応答７２０を有し、これは、従来のデバイスと比較すると、スプリアス共振モードの軽減と、単一の明確な通過帯域と、さらには帯域内スプリアス共振モードの抑制とを示す。
【００３８】
図７はさらに、「延長モード付き、Ｉ形状」（ＷＥＭＩ，ｗｉｔｈ  ｅｘｔｅｎｓｉｏｎ  ｍｏｄｅ，Ｉ−ｓｈａｐｅ）デバイス７２５を図示し、これは第３のＣＭＲ  ６００の例である。ＷＥＭＩデバイス７２５は、ＷＥＭＩデバイス７２５の長さがＷＥＭＯデバイス７１５の幅の２０倍に等しいときに周波数応答７３０を有し、これは、従来のデバイスと比較すると、スプリアス共振モードの軽減と、単一の明確な通過帯域と、さらには帯域内スプリアス共振モードの抑制とを示す。
【００３９】
図８は、圧電共振器を作製するための方法８００を図示する。方法８００は、リソグラフィデバイスを使用して実施され得る。
【００４０】
ステップ８０５において、圧電材料が基板上に配置される。
【００４１】
ステップ８１０において、第１の電極が、基板上に、圧電材料と接触して配置される。
【００４２】
ステップ８１５において、第２の電極が、基板上に、圧電材料と接触して配置される。
【００４３】
ステップ８２０において、圧電材料の外周の一部分が、圧電材料の帯域内スプリアスモードを抑制するように、基板に固定され、かつ／または形状変更され、かつ／または余剰の材料によって荷重をかけられる。帯域内とは、圧電共振器の通過帯域を指す。この部分は、固定などがされなければ、共振する際に、最大の、最大に近い、かつ／または過剰な変位たわみを示してしまう。通過帯域の中心周波数は、略４００ＭＨｚから略２７００ＭＨｚの間の範囲にあり得る。
【００４４】
［結論］
【００４５】
本明細書で開示された実施形態に関連して説明された様々な例示的な論理ブロック、モジュール、回路、およびアルゴリズムステップは、電子ハードウェア、コンピュータソフトウェア、または両者の組合せとして実装され得ることを当業者は諒解されよう。ハードウェアとソフトウェアのこの互換性を明確に示すために、様々な例示的なコンポーネント、ブロック、モジュール、回路、およびステップは、上では全般にそれらの機能に関して説明された。そのような機能をハードウェアとして実装するか、ソフトウェアとして実装するかは、具体的な適用例および全体的なシステムに課される設計制約に依存する。当業者は、説明された機能を具体的な適用例ごとに様々な方法で実装することができるが、そのような実装の決定は、本発明の範囲からの逸脱を生じるものと解釈すべきではない。
【００４６】
いくつかの態様では、本明細書の教示は、利用可能なシステム資源を共有することによって（たとえば、帯域幅、送信電力、コーディング、インターリービングなどのうちの１つまたは複数を指定することによって）複数のユーザとの通信をサポートすることができる多元接続システムにおいて利用され得る。たとえば、本明細書の教示は、符号分割多元接続（ＣＤＭＡ）システム、多重キャリアＣＤＭＡ（ＭＣＣＤＭＡ）、広帯域ＣＤＭＡ（Ｗ−ＣＤＭＡ）、高速パケットアクセス（ＨＳＰＡ、ＨＳＰＡ＋）システム、時分割多元接続（ＴＤＭＡ）システム、周波数分割多元接続（ＦＤＭＡ）システム、シングルキャリアＦＤＭＡ（ＳＣ−ＦＤＭＡ）システム、直交周波数分割多元接続（ＯＦＤＭＡ）システム、または他の多元接続技法のいずれか１つまたは組合せに適用され得る。本明細書の教示を利用するワイヤレス通信システムは、ＩＳ−９５、ｃｄｍａ２０００、ＩＳ−８５６、Ｗ−ＣＤＭＡ、ＴＤＳＣＤＭＡ、および他の規格など、１つまたは複数の規格を実装するように設計され得る。ＣＤＭＡネットワークは、Ｕｎｉｖｅｒｓａｌ  Ｔｅｒｒｅｓｔｒｉａｌ  Ｒａｄｉｏ  Ａｃｃｅｓｓ  （ＵＴＲＡ）、ｃｄｍａ２０００、または何らかの他の技術などの無線技術を実装することができる。ＵＴＲＡは、Ｗ−ＣＤＭＡおよびＬｏｗ  Ｃｈｉｐ  Ｒａｔｅ  （ＬＣＲ）を含む。ｃｄｍａ２０００技術は、ＩＳ−２０００、ＩＳ−９５およびＩＳ−８５６規格をカバーする。ＴＤＭＡネットワークは、Ｇｌｏｂａｌ  Ｓｙｓｔｅｍ  ｆｏｒ  Ｍｏｂｉｌｅ  Ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎｓ（ＧＳＭ（登録商標））などの無線技術を実装することができる。ＯＦＤＭＡネットワークは、Ｅｖｏｌｖｅｄ  ＵＴＲＡ（Ｅ−ＵＴＲＡ）、ＩＥＥＥ８０２．１１、ＩＥＥＥ８０２．１６、ＩＥＥＥ８０２．２０、Ｆｌａｓｈ−ＯＦＤＭ．ＲＴＭ．などの無線技術を実装することができる。ＵＴＲＡ、Ｅ−ＵＴＲＡ、およびＧＳＭ（登録商標）は、Ｕｎｉｖｅｒｓａｌ  Ｍｏｂｉｌｅ  Ｔｅｌｅｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ  Ｓｙｓｔｅｍ  （ＵＭＴＳ）の一部である。本明細書の教示は、３ＧＰＰ  Ｌｏｎｇ  Ｔｅｒｍ  Ｅｖｏｌｕｔｉｏｎ（ＬＴＥ）システム、Ｕｌｔｒａ−Ｍｏｂｉｌｅ  Ｂｒｏａｄｂａｎｄ  （ＵＭＢ）システム、および他のタイプのシステムにおいて実装され得る。ＬＴＥは、Ｅ−ＵＴＲＡを使用するＵＭＴＳのリリースである。ＵＴＲＡ、Ｅ−ＵＴＲＡ、ＧＳＭ（登録商標）、ＵＭＴＳ、およびＬＴＥは、「第３世代パートナーシッププロジェクト」（３ＧＰＰ）という名称の組織の文書に記載されており、ｃｄｍａ２０００は、「第３世代パートナーシッププロジェクト２」（３ＧＰＰ２）という名称の組織の文書に記載されている。本開示のいくつかの態様は、３ＧＰＰ用語を使用して説明され得るが、本明細書の教示は、３ＧＰＰ（たとえば、Ｒｅ１９９、Ｒｅ１５、Ｒｅ１６、Ｒｅ１７）技術、および３ＧＰＰ２（たとえば、１×ＲＴＴ、１×ＥＶ−ＤＯ、ＲｅｌＯ、ＲｅｖＡ、ＲｅｖＢ）技術、ならびに他の技術に適用され得ることを理解されたい。これらの技術は、Ｌｏｎｇ  Ｔｅｒｍ  Ｅｖｏｌｕｔｉｏｎ（ＬＴＥ）を含む、新生のおよび将来のネットワークおよびインターフェースに使用され得る。
【００４７】
本明細書で開示された実施形態と関連して説明された方法、シーケンス、および／またはアルゴリズムは、ハードウェアで、プロセッサによって実行されるソフトウェアモジュールで、またはその２つの組合せで直接具現化され得る。ソフトウェアモジュールは、ＲＡＭメモリ、フラッシュメモリ、ＲＯＭメモリ、ＥＰＲＯＭメモリ、ＥＥＰＲＯＭメモリ、レジスタ、ハードディスク、リムーバブルディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、または当技術分野で知られている任意の他の形態の記憶媒体中に常駐し得る。例示的な記憶媒体は、プロセッサが記憶媒体から情報を読み取り、記憶媒体に情報を書き込むことができるように、プロセッサに結合される。代替として、記憶媒体はプロセッサと一体であり得る。
【００４８】
本発明の或る実施形態は、本明細書で説明された方法、および／または本明細書で説明されたデバイスの少なくとも一部を作製するための方法を具現化する、コンピュータ可読媒体を含み得る。したがって、本発明は示された例に限定されず、本明細書で説明された機能を実行するためのいかなる手段も、本発明の実施形態中に含まれる。
【００４９】
開示されるデバイスおよび方法は、コンピュータ可読記憶媒体に記憶されるＧＤＳＩＩおよびＧＥＲＢＥＲコンピュータファイルへと、設計および構成され得る。次いで、これらのファイルは、リソグラフィデバイスにより、これらのファイルに基づいてデバイスを製造する製造担当者に与えられる。得られる製品は半導体ウェハであり、このウェハは次いで、半導体ダイに切断され、半導体チップにパッケージングされる。次いで、このチップが、本明細書で説明されるデバイスで利用される。
【００５０】
記述されまたは図示されたものは、それが特許請求の範囲に記載されているかどうかにかかわらず、任意のコンポーネント、ステップ、特徴、物体、利益、利点、または等価物を公にもたらすものではない。
【００５１】
本開示は本発明の例示的な実施形態を示すが、添付の特許請求の範囲によって規定される本発明の範囲から逸脱することなく、本明細書において様々な変更および修正を行うことができることに留意されたい。本明細書で説明された本発明の実施形態による方法クレームの機能、ステップおよび／またはアクションは、任意の特定の順序で実行されなくてもよい。
【符号の説明】
【００５２】
１００  従来の圧電ＣＭＲ
１０５Ａ  動作
１０５Ｂ  動作
１０５Ｃ  動作
２００  従来の圧電ＣＭＲフィルタ
２０５Ａ  入力櫛型電極
２０５Ｂ  出力櫛型電極
２１０  圧電部分
２５０  周波数応答
３００  通信システム
３２０  遠隔ユニット
３２５Ａ  実施形態
３２５Ｂ  実施形態
３２５Ｃ  実施形態
３３０  遠隔ユニット
３４０  基地局
３５０  遠隔ユニット
３８０  順方向リンク
３９０  逆方向リンク
４００  第１のＣＭＲ
４０５Ａ  面
４０５Ｂ  面
４１０  圧電材料
４１５Ａ  第１の電極
４１５Ｂ  第２の電極
４２０Ａ  変位の像
４２０Ｂ  変位の像
４２５  周波数応答
５００  第２のＣＭＲ
５０５Ａ  外側部分
５０５Ｂ  外側部分
５０５Ｃ  外側部分
５０５Ｄ  外側部分
５１０Ａ  面
５１０Ｂ  面
５１５  圧電材料
５２０  内側部分
５２５Ａ  第１の電極
５２５Ｂ  第２の電極
５３０Ａ  変位の像
５３０Ｂ  変位の像
５３５  周波数応答
６００  第３のＣＭＲ
６１０Ａ  面
６１０Ｂ  面
６１５  圧電材料
６２０Ａ  フィルタ
６２０Ｂ  フィルタ
６２０Ｃ  フィルタ
６２０Ｄ  フィルタ
６２５Ａ  第１の電極
６２５Ｂ  第２の電極
６３０Ａ  変位の像
６３０Ｂ  変位の像
６３５  周波数応答
７００  ＷＥＭデバイス
７０５  第１の周波数応答
７１０  第２の周波数応答
７１５  ＷＥＭＯデバイス
７２０  周波数応答
７２５  ＷＥＭＩデバイス
７３０  周波数応答
８００  方法
【図１】
2015502088.tif 000003
【図２】
2015502088.tif 000004
【図３】
2015502088.tif 000005
【図４】
2015502088.tif 000006
【図５】
2015502088.tif 000007
【図６】
2015502088.tif 000008
【図７】
2015502088.tif 000009
【図８】
2015502088.tif 000010
【手続補正書】
【提出日】平成26年5月13日(2014.5.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電共振器を含む装置であって、
前記圧電共振器が、
基板と、
前記基板に固定された圧電材料と、
前記圧電材料に結合された第１の電極と、
前記圧電材料に結合された第２の電極とを含み、
前記圧電共振器が或る通過帯域を有し、前記圧電材料の外周の一部分が、前記圧電材料の帯域内スプリアスモードを抑制するように、余剰の圧電材料によって荷重をかけられ、
前記一部分が、荷重をかけられなければ、前記通過帯域中の他の周波数に対応する変位と比べて、前記スプリアスモードに対応する周波数において実質的に最大の変位を示す部分である、装置。
【請求項２】
前記圧電共振器が半導体ダイと一体化されている、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記圧電共振器を含むフィルタをさらに含む請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記通過帯域の中心周波数が、略４００ＭＨｚから略２７００ＭＨｚの間の範囲にある、請求項３に記載の装置。
【請求項５】
基板上に配置された複数のフィルタをさらに含む請求項１に記載の装置であって、各フィルタが、前記圧電共振器のそれぞれのバージョンを含み、各圧電共振器が異なる通過帯域を有する、請求項１に記載の装置。
【請求項６】
受信機、セットトップボックス、音楽プレーヤ、ビデオプレーヤ、エンターテインメントユニット、ナビゲーションデバイス、通信デバイス、携帯情報端末（ＰＤＡ）、固定位置データユニット、およびコンピュータからなるグループから選択されたデバイスをさらに含み、前記圧電共振器が前記デバイスと一体化されている、請求項１に記載の装置。
【請求項７】
リソグラフィデバイスによって実行されると、前記リソグラフィデバイスに装置の少なくとも一部を作製させるように記憶された命令を含む非一時的コンピュータ可読媒体であって、
前記装置が、
基板と、
前記基板に固定された圧電材料と、
前記圧電材料に結合された第１の電極と、
前記圧電材料に結合された第２の電極と
を含む圧電共振器
を含み、
前記圧電共振器が或る通過帯域を有し、前記圧電材料の外周の一部分が、前記圧電材料の帯域内スプリアスモードを抑制するように、余剰の圧電材料によって荷重をかけられ、
前記一部分が、荷重をかけられなければ、前記通過帯域中の他の周波数に対応する変位と比べて、前記スプリアスモードに対応する周波数において最大の変位を示す部分である、非一時的コンピュータ可読媒体。
【請求項８】
前記圧電共振器が半導体ダイ上で作製される、請求項７に記載の非一時的コンピュータ可読媒体。
【請求項９】
リソグラフィデバイスによって実行されると、前記リソグラフィデバイスに前記圧電共振器を含むフィルタの少なくとも一部を作製させるように記憶された命令をさらに含む、請求項７に記載の非一時的コンピュータ可読媒体。
【請求項１０】
前記通過帯域の中心周波数が、略４００ＭＨｚから略２７００ＭＨｚの間の範囲にある、請求項７に記載の非一時的コンピュータ可読媒体。
【請求項１１】
リソグラフィデバイスによって実行されると、前記リソグラフィデバイスに、基板上に配置された複数のフィルタの少なくとも一部を作製させる命令をさらに記憶し、各フィルタが前記圧電共振器のそれぞれのバージョンを含み、各圧電共振器が異なる通過帯域を有する、請求項７に記載の非一時的コンピュータ可読媒体。
【請求項１２】
或る通過帯域を有する圧電共振器を作製するための方法であって、
基板上に圧電材料を配置するステップと、
前記基板上に、前記圧電材料と接触して、第１の電極を配置するステップと、
前記基板上に、前記圧電材料と接触して、第２の電極を配置するステップと、
前記圧電材料の帯域内スプリアスモードを抑制するように、余剰の圧電材料によって前記圧電材料の外周の一部分に荷重をかけるステップであって、前記一部分が、荷重をかけられなければ、前記通過帯域中の他の周波数に対応する変位と比べて、前記スプリアスモードに対応する周波数において最大の変位を示す部分である、ステップとを含む方法。
【請求項１３】
前記通過帯域の中心周波数が、略４００ＭＨｚから略２７００ＭＨｚの間の範囲にある、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
基板と、
前記基板に固定された圧電材料と、
前記圧電材料に結合された第１の電極と、
前記圧電材料に結合された第２の電極と
を含み、或る通過帯域を有する、圧電共振器と、
前記圧電材料の帯域内スプリアスモードを抑制するように、余剰の圧電材料によって前記圧電材料の外周の一部分に荷重をかけるための手段であって、前記一部分が、荷重をかけられなければ、前記通過帯域中の他の周波数に対応する変位と比べて、前記スプリアスモードに対応する周波数において最大の変位を示す部分である、手段とを含む、装置。
【請求項１５】
前記共振器が半導体ダイと一体化されている、請求項１４に記載の装置。
【請求項１６】
前記圧電共振器を含むフィルタをさらに含む請求項１４に記載の装置。
【請求項１７】
前記通過帯域の中心周波数が、略４００ＭＨｚから略２７００ＭＨｚの間の範囲にある、請求項１６に記載の装置。
【請求項１８】
基板上に配置された複数のフィルタをさらに含み、各フィルタが、前記圧電共振器のそれぞれのバージョンを含み、各圧電共振器が異なる通過帯域を有する、請求項１に記載の装置。
【請求項１９】
受信機、セットトップボックス、音楽プレーヤ、ビデオプレーヤ、エンターテインメントユニット、ナビゲーションデバイス、通信デバイス、携帯情報端末（ＰＤＡ）、固定位置データユニット、およびコンピュータからなるグループから選択されたデバイスをさらに含み、前記圧電共振器が前記デバイスと一体化されている、請求項１４に記載の装置。
【請求項２０】
基板と、
圧電材料と、
前記圧電材料に結合される第１の電極と、
前記圧電材料に結合される第２の電極と
を含む、圧電共振器であって、
前記圧電共振器が或る通過帯域を有し、前記圧電材料の外周の一部分が、前記圧電材料の帯域内スプリアスモードを抑制するように、前記圧電材料の対向する面上の面取りされた固定具によって前記基板に固定され、
前記一部分が、固定されなければ、前記通過帯域中の他の周波数に対応する変位と比べて、前記スプリアスモードに対応する周波数において実質的に最大の変位を示す部分である、圧電共振器。
【国際調査報告】
2015502088.tif 000011
2015502088.tif 000012
2015502088.tif 000013