【手続補正書】
【提出日】平成22年4月7日(2010.4.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
耐熱性、耐酸化性が高い母材と、前記母材のガラス成形面に形成された中間層であって、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｎｂ、Ｐｄ及びＡｕからなる群より選ばれた少なくとも一種、または、これらの合金からなる中間層と、前記中間層の上に形成された、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｒｅ及びＡｕからなる群より選ばれた少なくとも一種と、Ｉｒ、Ｐｔからなる群より選ばれた少なくとも一種と、Ｗ、Ｍｏからなる群より選ばれた少なくとも一種との合金からなる保護膜と、からなることを特徴とする光学ガラス素子成形型。
【請求項２】
前記保護膜が、Ｗ、Ｍｏからなる群より選ばれた少なくとも一種を１〜６０重量％含有することを特徴とする請求項１に記載の光学ガラス素子成形型。
【請求項３】
前記保護膜が、Ｉｒ、Ｐｔからなる群より選ばれた少なくとも一種を２０〜８０重量％含有していることを特徴とする請求項１または２に記載の光学ガラス素子成形型。
【請求項４】
前記保護膜が、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｒｅ及びＡｕからなる群より選ばれた少なくとも一種を１０〜４０重量％含有していることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の光学ガラス素子成形型。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の光学ガラス素子成形型は、耐熱性、耐酸化性が高い母材と、前記母材のガラス成形面に形成された中間層であって、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｎｂ、Ｐｄ及びＡｕからなる群より選ばれた少なくとも一種、または、これらの合金からなる中間層と、前記中間層の上に形成された、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｒｅ及びＡｕからなる群より選ばれた少なくとも一種と、Ｉｒ、Ｐｔからなる群より選ばれた少なくとも一種と、Ｗ、Ｍｏからなる群より選ばれた少なくとも一種との合金からなる保護膜と、からなることを特徴とするものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、本発明の光学ガラス素子成形型の好適例としては、中間層の厚さが０．０５〜２μｍであること、保護膜が、Ｗ 、Ｍｏからなる群より選ばれた少なくとも一種を１〜６０重量％含有すること、Ｉｒ、Ｐｔからなる群より選ばれた少なくとも一種を２０〜８０重量％含有していること、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｒｅ及びＡｕからなる群より選ばれた少なくとも一種を１０〜４０重量％含有していること、保護膜の膜厚が、０．０５〜１０μｍであること、がある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明者は、ガラス成形面に保護膜が設けられた光学ガラス素子の成形時における保護膜の組成について鋭意検討をした結果、中間層を設け、さらに中間層がＺｒ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｎｂ、Ｐｂ及びＡｕからなる群より選ばれた少なくとも一種、または、これらの合金からなり、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、ＲｅおよびＡｕからなる群より選ばれた少なくとも一種と、Ｉｒ、Ｐｔからなる群より選ばれた少なくとも一種と、Ｗ、Ｍｏからなる群より選ばれた少なくとも一種との合金からなる保護膜を用いたところ、例えばリン酸塩ガラスからなるガラス素子の成形を行った場合にもリン酸塩ガラスが成形面に付着しにくいのみならず、ガラス素子の成形時において発生するＨ２Ｏなどの揮発物による保護膜の劣化、及び変色が効果的に抑制できるとの知見を得た。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
保護膜５は、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｒｅ及びＡｕからなる群より選ばれた少なくとも一種と、Ｉｒ、Ｐｔからなる群より選ばれた少なくとも一種と、Ｗ、Ｍｏからなる群より選ばれた少なくとも一種との合金からなる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
Ｗ、Ｍｏからなる群から選ばれた少なくとも一種の含有量は、１〜６０重量％、好ましくは２〜４０重量％とする。何れかの含有量が１重量％よりも少なくても、また、６０重量％より多すぎても、成形時のガラス加熱により発生するＨ２Ｏ等の揮発物による膜劣化や変色の抑制効果が得られない。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
中間層４、保護膜５の形成方法としては、特に制限されず種々の方法が採用できるが、例えば、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｒｅ及びＡｕからなる群より選ばれた少なくとも一種と、Ｉｒ、Ｐｔからなる群から選ばれた少なくとも一種と、Ｗ、Ｍｏからなる群より選ばれた少なくとも一種との各金属粉末を焼結してターゲットを作成し、スパッタリングする方法、１つの構成成分の金属からなるターゲットの上に他の成分チップを配置し、スパッタリングする方法、イオンプレーティング法などを採用することができる。中間層４、保護膜５の組成は、例えば、スパッタリングする方法による場合にはターゲットを調製する際の原料となる各金属粉末の配合比によって調整し、オンチップの場合はチップ数量を所望の数量に変更することによって調整することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
＜実施例１〜１０＞
直径１２ｍｍの超硬合金（ＷＣ９９wt％、残りＣｏ及び不可避成分）からなるガラス成形型基材を、それぞれ曲率半径１０ｍｍ（ガラス成形型基材３）および２０ｍｍ（ガラス成形型基材２）の凹面に加工し、０．５μｍ粒度のダイヤモンドペーストにより研磨し、成形面を鏡面とした。これにより上下一対のガラス成形型基材２、３を作製した。
一方、以下の表１に示す実施例１〜１０のコーティング組成でそれぞれ焼結または溶解加工した保護膜形成用のターゲットを作製し、さらに以下の表１の中間層の組成でそれぞれ焼結または溶解加工した中間層形成用の金属ターゲットを準備した。次に、前記のようにして作製した上下一対の光学ガラス素子成形型基材２、３をスパッタ装置にセットし、中間層形成用の金属ターゲットを用いてガラス成形型基材２、３のそれぞれの成形面に０．５μｍ厚みの中間層４を形成し、さらに前記組成で焼結した保護膜形成用のターゲットを用いて中間層４の表面に図１に示す保護膜５を２μｍ厚みで形成することにより、実施例１〜１０の光学ガラス素子成形型を製造した。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
前記のようにして製造した実施例１〜１０の光学ガラス素子成形型を用いて、リン酸系高融点ガラスＫ−ＰＳＫＦｎ１｛商品名、住田光学製、屈折率（ｎｄ）：１．９０６８、アッベ数（νｄ）：２１．２、転移点（Ｔｇ）：４９８℃、屈伏点（Ａｔ）：５４３℃｝を直径７ｍｍのボールプリフォームに加工したプリフォームを原料とし、図２に示す成形機を用いて光学ガラスレンズを下記の要領で成形した。
なお、図２において、１０はチャンバーで、内部にヒータ１１が円筒体状にセットされ、該円筒体状ヒータ１１の内側に下軸１２と、チャンバー１０の天部外側に設けられているエアーシリンダー１４に連結された上軸１３とがセットされ、該上下軸１３、１２の各々の成形面に保護膜５が積層された光学ガラス素子成形型基材２、３を夫々固定し、上型、及び下型としている。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
この成形機の上型と下型の間に、前記のボールプリフォームを配置し、チャンバー１０内に窒素を１０Ｌ／分で注入しつつ、該チャンバー１０内を５５５℃に加熱し、３０００Ｎの荷重でプレス成形した。プレス終了後、２５０℃の温度まで冷却し、成形品であるレンズを取り出した。
これを３０００回行ったときの、実施例１〜１０の上型の光学ガラス素子成形型基材２、および下型の光学ガラス素子成形型基材３の各保護膜５面へのガラスの付着と、劣化並びに変色を目視により確認されなかった。
なお、評価において、「劣化」とは離型性や耐熱性等の本来保護膜５に必要とされる性能を有さなくなった場合や、該保護膜５に変色が認められ本来保護膜５に必要とされる性能は未だ保持しているが変色した場合をいう。
結果を以下の表１に示す。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
＜比較例１〜２＞
表１に示す比較例１〜２の組成比でそれぞれ焼結したターゲットを作成し、実施例１〜１０のようにして作製した上下一対の光学ガラス素子成形型基材２、３をスパッタ装置にセットし、ガラス成形型基材２、３のそれぞれの成形面に前記組成のターゲットを用いて、中間層４を設けずに図１に示す保護膜５を２μｍ厚みで成形することにより、比較例１〜２の光学ガラス素子成形型を製造した。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
前記実施例１〜１０と同様にプレス成形を行うと、１５００回迄に成形型の成形面へのガラスの付着や成形面保護膜へのガラス付着や保護膜の劣化が認められた。 
結果を以下の表１に示す。 
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
【表１】
2009046320.tif 000001