【手続補正書】
【提出日】平成22年2月16日(2010.2.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】構造体の製造方法、および液体吐出ヘッドの製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のポジ型感光性材料からなる第１の層と前記第１のポジ型感光性材料と組成が異なる第２のポジ型感光性材料からなる第２の層とがこの順に積層された基板を用意する工程と、
前記第２のポジ型感光性材料が分解する分解反応を前記第２のポジ型感光性材料に起こさせ、前記第１のポジ型感光性が分解する分解反応を前記第１のポジ型感光性材料に実質的に起こさせないように前記第２の層を露光し、前記第２の層の露光により分解された部分を除去して前記第２の層から第２のパターンを形成する工程と、
第１のパターンの形状に対応したマスクを使用し、該マスクにより前記第２のパターンを遮光して、前記第１の層を露光し、現像を行うことで前記第１の層の一部を除去して前記第１のパターンを形成する工程と、
を有することを特徴とする構造体の製造方法。
【請求項２】
前記第１の層を露光する際に、前記第１の層の前記第２のパターンの外側の部分のみを露光することを特徴とする請求項１に記載の構造体の製造方法。
【請求項３】
前記基板上に形成された前記構造体は凸形状であることを特徴とする請求項１または２に記載の構造体の製造方法。
【請求項４】
前記第２の層を露光するために使用される光の波長域と、前記第２のパターンを遮光して前記第１の層を露光するために使用される光の波長域と、は重ならないことを特徴とする請求項１または３に記載の構造体の製造方法。
【請求項５】
前記第１のポジ型感光性材料が感光する第１の波長域は、前記第２のポジ型感光性材料が感光する第２の波長域と異なることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の構造体の製造方法。
【請求項６】
前記第１のポジ型感光性材料がメタクリル酸エステルを主成分とし、前記第２のポジ型感光性材料がポリメチルイソプロペニルケトンを主成分とすることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の構造体の製造方法。
【請求項７】
第１のポジ型感光性材料からなる第１の層と前記第１のポジ型感光性材料と組成が異なる第２のポジ型感光性材料からなる第２の層とがこの順に積層された基板を用意する工程と、
前記第２のポジ型感光性材料が分解する分解反応を前記第２のポジ型感光性材料に起こさせ、前記第１のポジ型感光性が分解する分解反応を前記第１のポジ型感光性材料に実質的に起こさせないように前記第２の層を露光し、前記第２の層の露光により分解された部分を除去して前記第２の層から第２のパターンを形成する工程と、
前記第１の層を露光し、現像を行うことで前記第１の層の一部を除去して、凸部としての第１のパターンを前記第２のパターン上に形成する工程と、
を有することを特徴とする構造体の製造方法。
【請求項８】
第１のポジ型感光性材料からなる第１の層と前記第１のポジ型感光性材料と組成が異なる第２のポジ型感光性材料からなる第２の層とがこの順に積層された基板を用意する工程と、
前記第２のポジ型感光性材料が分解する分解反応を前記第２のポジ型感光性材料に起こさせ、前記第１のポジ型感光性が分解する分解反応を前記第１のポジ型感光性材料に実質的に起こさせないように前記第２の層を露光し、前記第２の層の露光により分解された部分を除去して前記第２の層から第２のパターンを形成する工程と、
前記第１の層を露光し、現像を行うことで前記第１の層の一部を除去して、第１のパターンを形成する工程と、を有し、
前記基板上に形成された前記構造体は凸形状であることを特徴とする構造体の製造方法。
【請求項９】
液体を吐出口から吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子を備えた基板と、前記吐出口と連通する液体の流路の壁を有する流路壁部材と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法において、
第１のポジ型感光性材料からなる第１の層と前記第１のポジ型感光性材料と組成が異なる第２のポジ型感光性材料からなる第２の層とがこの順に積層された前記基板を用意する工程と、
前記第２のポジ型感光性材料が分解する分解反応を前記第２のポジ型感光性材料に起こさせ、前記第１のポジ型感光性が分解する分解反応を前記第１のポジ型感光性材料に実質的に起こさせないように前記第２の層を露光し、前記第２の層の露光により分解された部分を除去して前記第２の層から第２のパターンを形成する工程と、
第１のパターンの形状に対応したマスクを使用し、該マスクにより前記第２のパターンを遮光して、前記第１の層を露光し、現像を行うことで前記第１の層の一部を除去して前記第１のパターンを形成する工程と、
前記流路壁部材を形成するための被覆層を、前記第１および第２のパターンを被覆するように設ける工程と、
前記第１および第２のパターンを除去して前記流路を形成する工程と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記第１および前記第２のパターンを除去する前に、前記吐出口となる開口を前記被覆層に形成する工程を有することを特徴とする請求項９に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１１】
前記第２のパターン上に前記開口を形成することを特徴とする請求項１０に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１２】
前記第１のパターン上に前記開口を形成することを特徴とする請求項１０に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１３】
前記被覆層はエポキシ樹脂を含むことを特徴とする請求項９乃至１２のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
すなわち、第１の発明は、第１のポジ型感光性材料からなる第１の層と前記第１のポジ型感光性材料と組成が異なる第２のポジ型感光性材料からなる第２の層とがこの順に積層された基板を用意する工程と、
前記第２のポジ型感光性材料が分解する分解反応を前記第２のポジ型感光性材料に起こさせ、前記第１のポジ型感光性が分解する分解反応を前記第１のポジ型感光性材料に実質的に起こさせないように前記第２の層を露光し、前記第２の層の露光により分解された部分を除去して前記第２の層から第２のパターンを形成する工程と、
第１のパターンの形状に対応したマスクを使用し、該マスクにより前記第２のパターンを遮光して、前記第１の層を露光し、現像を行うことで前記第１の層の一部を除去して前記第１のパターンを形成する工程と、
を有することを特徴とする構造体の製造方法を提案する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
第２の発明は、第１のポジ型感光性材料からなる第１の層と前記第１のポジ型感光性材料と組成が異なる第２のポジ型感光性材料からなる第２の層とがこの順に積層された基板を用意する工程と、
前記第２のポジ型感光性材料が分解する分解反応を前記第２のポジ型感光性材料に起こさせ、前記第１のポジ型感光性が分解する分解反応を前記第１のポジ型感光性材料に実質的に起こさせないように前記第２の層を露光し、前記第２の層の露光により分解された部分を除去して前記第２の層から第２のパターンを形成する工程と、
前記第１の層を露光し、現像を行うことで前記第１の層の一部を除去して、凸部としての第１のパターンを前記第２のパターン上に形成する工程と、
を有することを特徴とする構造体の製造方法である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
第３の発明は、第１のポジ型感光性材料からなる第１の層と前記第１のポジ型感光性材料と組成が異なる第２のポジ型感光性材料からなる第２の層とがこの順に積層された基板を用意する工程と、
前記第２のポジ型感光性材料が分解する分解反応を前記第２のポジ型感光性材料に起こさせ、前記第１のポジ型感光性が分解する分解反応を前記第１のポジ型感光性材料に実質的に起こさせないように前記第２の層を露光し、前記第２の層の露光により分解された部分を除去して前記第２の層から第２のパターンを形成する工程と、
前記第１の層を露光し、現像を行うことで前記第１の層の一部を除去して、第１のパターンを形成する工程と、を有し、
前記基板上に形成された前記構造体は凸形状であることを特徴とする構造体の製造方法である。
第４の発明は、液体を吐出口から吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子を備えた基板と、前記吐出口と連通する液体の流路の壁を有する流路壁部材と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法において、
第１のポジ型感光性材料からなる第１の層と前記第１のポジ型感光性材料と組成が異なる第２のポジ型感光性材料からなる第２の層とがこの順に積層された前記基板を用意する工程と、
前記第２のポジ型感光性材料が分解する分解反応を前記第２のポジ型感光性材料に起こさせ、前記第１のポジ型感光性が分解する分解反応を前記第１のポジ型感光性材料に実質的に起こさせないように前記第２の層を露光し、前記第２の層の露光により分解された部分を除去して前記第２の層から第２のパターンを形成する工程と、
第１のパターンの形状に対応したマスクを使用し、該マスクにより前記第２のパターンを遮光して、前記第１の層を露光し、現像を行うことで前記第１の層の一部を除去して前記第１のパターンを形成する工程と、
前記流路壁部材を形成するための被覆層を、前記第１および第２のパターンを被覆するように設ける工程と、
前記第１および第２のパターンを除去して前記流路を形成する工程と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法である。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】