【手続補正書】
【提出日】平成22年8月12日(2010.8.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学像を撮像素子に導くための被検レンズと、
エッジ模様が形成されたチャートと、
複数の光電変換素子が並設されて、前記被検レンズを介して導かれた前記チャート像を光電変換して画像信号を出力する前記撮像素子と、を用い、
前記撮像素子から出力する前記画像信号に基づいて、前記エッジ模様を含む所定の画素範囲を走査し、前記披検レンズの性能を評価するための指標となるＭＴＦ（Ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ  Ｔｒａｎｓｆｅｒ  Ｆｕｎｃｔｉｏｎ）を測定するＭＴＦ測定方法であって、
前記所定の画素範囲における欠陥画素を検出する画素欠陥検出ステップと、
前記撮像素子に結像された前記エッジ模様のエッジの、前記撮像素子の画素配置方向に対する傾斜角を検出するエッジ傾斜角検出ステップと、
前記エッジに沿って前記欠陥画素に隣接する正常画素との差分が少なくなるように、前記欠陥画素の画素値を補正する欠陥画素補正ステップと、
を備え、
前記欠陥画素補正ステップで補正された画素値を用い、前記ＭＴＦを測定することを特徴とするＭＴＦ測定方法。
【請求項２】
前記エッジ模様のエッジが、同一方向の画素配列における少なくとも３つ以上の画素を横断するように形成され、
前記欠陥画素補正ステップにおいて、前記エッジに沿って前記欠陥画素の両側に隣接する欠陥画素を用い、この両側の正常画素の画素値の平均値を前記欠陥画素の画素値にして補正する、
ことを特徴とする請求項１に記載のＭＴＦ測定方法。
【請求項３】
前記画素欠陥検出ステップによって前記エッジに沿って欠陥画素が連続して検出された際に、該連続する欠陥画素の補正を不可とする補正可否判定ステップを備えている、
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のＭＴＦ測定方法。
【請求項４】
光学像を撮像素子に導くための被検レンズと、
エッジ模様が形成されたチャートと、
複数の光電変換素子が並設されて、前記被検レンズを介して導かれた前記チャート像を光電変換して画像信号を出力する前記撮像素子と、を備え、
前記撮像素子から出力する前記画像信号に基づいて、前記エッジ模様を含む所定の画素範囲を走査し、前記披検レンズの性能を評価するための指標となるＭＴＦ（Ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ  Ｔｒａｎｓｆｅｒ  Ｆｕｎｃｔｉｏｎ）を測定するＭＴＦ測定装置であって、
前記所定の画素範囲における欠陥画素を検出する画素欠陥検出手段と、
前記撮像素子に結像された前記エッジ模様のエッジの、前記撮像素子の画素配置方向に対する傾斜角を検出するエッジ傾斜角検出手段と、
前記エッジに沿って前記欠陥画素に隣接する正常画素との差分が少なくなるように、前記欠陥画素の画素値を補正する欠陥画素補正手段と、
を備え、
前記欠陥画素補正手段で補正された画素値を用い、前記ＭＴＦを測定することを特徴とするＭＴＦ測定装置。
【請求項５】
前記エッジ模様のエッジが、同一方向の画素配列における少なくとも３つ以上の画素を横断するように形成され、
前記欠陥画素補正手段が、前記エッジに沿って前記欠陥画素の両側に隣接する欠陥画素を用い、この両側の正常画素の画素値の平均値を前記欠陥画素の画素値にして補正するように構成されている、
ことを特徴とする請求項４に記載のＭＴＦ測定装置。
【請求項６】
前記画素欠陥検出手段によって前記エッジに沿って欠陥画素が連続して検出された際に、該連続する欠陥画素の補正を不可とする補正可否判定手段を備えている、
ことを特徴とする請求項４又は請求項５に記載のＭＴＦ測定装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
一方、近年、撮像素子の高画素化に伴って、その製造工程に起因して、入射光に反応しない画素（黒キズ）や、入射光がなくても異常に強い暗電流を発生する画素（白キズ）等の欠陥画素が増加傾向にある。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
かかる目的を達成するためになされた請求項１に記載の発明は、光学像を撮像素子に導くための被検レンズと、エッジ模様が形成されたチャートと、複数の光電変換素子が並設されて、前記被検レンズを介して導かれた前記チャート像を光電変換して画像信号を出力する前記撮像素子と、を用い、前記撮像素子から出力する前記画像信号に基づいて、前記エッジ模様を含む所定の画素範囲を走査し、前記披検レンズの性能を評価するための指標となるＭＴＦ（Ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ  Ｔｒａｎｓｆｅｒ  Ｆｕｎｃｔｉｏｎ）を測定するＭＴＦ測定方法であって、前記所定の画素範囲における欠陥画素を検出する画素欠陥検出ステップと、前記撮像素子に結像された前記エッジ模様のエッジの、前記撮像素子の画素配置方向に対する傾斜角を検出するエッジ傾斜角検出ステップと、前記エッジに沿って前記欠陥画素に隣接する正常画素との差分が少なくなるように、前記欠陥画素の画素値を補正する欠陥画素補正ステップと、を備え、前記欠陥画素補正ステップで補正された画素値を用い、前記ＭＴＦを測定することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、請求項１に記載のＭＴＦ測定方法は、請求項２に記載の発明のように、前記エッジ模様のエッジが、同一方向の画素配列における少なくとも３つ以上の画素を横断するように形成され、前記欠陥画素補正ステップにおいて、前記エッジに沿って前記欠陥画素の両側に隣接する欠陥画素を用い、この両側の正常画素の画素値の平均値を前記欠陥画素の画素値にして補正することにより、これらの画素の一つに欠陥画素を含む際に、残りの正常画素を用いて欠陥画素の補正を行うことができ、撮像素子に欠陥画素が含まれていても精度良くＭＴＦを測定できる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、請求項１又は請求項２に記載のＭＴＦ測定方法は、請求項３に記載の発明のように、前記画素欠陥検出ステップによって前記エッジに沿って欠陥画素が連続して検出された際に、該連続する欠陥画素の補正を不可とする補正可否判定ステップを備えていることにより、無理な補正を行うことがなく、欠陥画素補正の信頼性を高めることができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、請求項１乃至請求項３の何れか記載のＭＴＦ測定方法は、前記補正可否判定ステップの判定結果を報知する報知ステップを備えていることにより、オペレータがその判定結果を得ることができて利便性を向上できる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
次に、請求項４に記載の発明は、光学像を撮像素子に導くための被検レンズと、エッジ模様が形成されたチャートと、複数の光電変換素子が並設されて、前記被検レンズを介して導かれた前記チャート像を光電変換して画像信号を出力する前記撮像素子と、を備え、
前記撮像素子から出力する前記画像信号に基づいて、前記エッジ模様を含む所定の画素範囲を走査し、前記披検レンズの性能を評価するための指標となるＭＴＦ（Ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ  Ｔｒａｎｓｆｅｒ  Ｆｕｎｃｔｉｏｎ）を測定するＭＴＦ測定装置であって、前記所定の画素範囲における欠陥画素を検出する画素欠陥検出手段と、前記撮像素子に結像された前記エッジ模様のエッジの、前記撮像素子の画素配置方向に対する傾斜角を検出するエッジ傾斜角検出手段と、前記エッジに沿って前記欠陥画素に隣接する正常画素との差分が少なくなるように、前記欠陥画素の画素値を補正する欠陥画素補正手段と、を備え、
前記欠陥画素補正手段で補正された画素値を用い、前記ＭＴＦを測定することを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
請求項４に記載のＭＴＦ測定装置によれば、所定の画素範囲における欠陥画素を検出する画素欠陥検出手段と、撮像素子に結像されたエッジ模様のエッジの、撮像素子の画素配置方向に対する傾斜角を検出するエッジ傾斜角検出手段と、エッジに沿って欠陥画素に隣接する正常画素との差分が少なくなるように、欠陥画素の画素値を補正する欠陥画素補正手段と、を備え、前記欠陥画素補正手段で補正された画素値を用い、ＭＴＦを測定するように構成されているので、請求項１に記載の発明と同様に、撮像素子に欠陥画素が含まれていても、精度良く披検レンズのＭＴＦ特性を測定できる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、請求項４に記載の発明は、請求項５に記載の発明のように、前記エッジ模様のエッジが、同一方向の画素配列における少なくとも３つ以上の画素を横断するように形成され、前記欠陥画素補正手段が、前記エッジに沿って前記欠陥画素の両側に隣接する欠陥画素を用い、この両側の正常画素の画素値の平均値を前記欠陥画素の画素値にして補正するように構成されていることにより、請求項２に記載の発明と同様に、これらの画素の一つに欠陥画素を含む際に、残りの正常画素を用いて欠陥画素の補正を行うことができ、撮像素子に欠陥画素が含まれていても精度良くＭＴＦを測定できる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また、請求項４又は請求項５に記載のＭＴＦ測定装置は、請求項６に記載の発明のように、前記画素欠陥検出手段によって前記エッジに沿って欠陥画素が連続して検出された際に、該連続する欠陥画素の補正を不可とする補正可否判定手段を備えていることにより、請求項３に記載の発明と同様に、無理な補正を行うことがなく、欠陥画素補正の信頼性を高めることができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また、請求項４乃至請求項６の何れか記載のＭＴＦ測定装置は、前記補正可否判定手段の判定結果を報知する報知手段を備えていることにより、オペレータがその判定結果を得ることができて利便性を向上できる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
図３（ｂ）において、画像データのエッジを介して左側の輝度が暗く、右側の輝度が明るく発現している。また、図３（ｂ）は、撮像して得られた画像データを表しており、四角い枠の１つ１つが画素を表し、画素内の△、□、●、○等が画素値を表している。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
次に、図３（ｄ）に表したように、各スキャン位置の画素値を一元的に並べ、エッジのステップ応答を得る。図３（ｄ）は、ステップ応答を一元的に展開し、縦軸に輝度値、横軸にスキャン位置を表している。すなわち、ステップ応答算出部３６ｂにおいて、エッジ付近の画素値を垂直方向にサンプリング数Ｐずつスキャンして、スキャンした順番に画素値を並べることにより、エッジのステップ応答を得ることができる。また、図３（ｄ）において、エッジがより明確に捉えられているほど立ち上り又は立下りの勾配が急になって現れる。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５９】
次に、ＭＴＦ算出部３６ｄは、インパルス応答算出部３６ｃにより求められたインパルス応答をフーリエ変換することにより変調伝達関数であるＭＴＦを求める。この際、フーリエ変換することより、周波数毎に実数部分と虚数部分が得られ、この実数部分と虚数部分をベクトル的に加算することによってＭＴＦを取得する。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
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