【手続補正書】
【提出日】平成22年2月9日(2010.2.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外側容器壁および底部を有する容器と、該容器に密閉結合するように構成された蓋とを有する膜前駆体蒸発システムに使用される、交換式の膜前駆体支持組立体であって、
前記蓋は、基板上に薄膜を設置するように構成された処理チャンバに密閉結合するように構成された出口を有し、
当該交換式の膜前駆体支持組立体は、
前記膜前駆体蒸発システムにおいて、膜前駆体を支持し、１または２以上の追加の積層可能なトレーと積層させることができるように構成された交換式のトレーを有し、
前記交換式のトレーは、内端部と外端部の間に定められた底部支持表面と、前記１または２以上の追加の積層可能なトレーを支持するため、前記内端部から上方に延伸し、上部支持端部で終端する積層可能な内壁と、該積層可能な内壁よりも短く、前記底部支持表面の前記外端部から上方に延伸する外壁と、を有し、
前記膜前駆体は、前記底部支持表面上の前記積層可能な内壁と前記外壁の間にあり、
前記積層可能な内壁は、前記容器および前記外壁に中央フローチャンネルを形成し、前記底部支持表面および前記積層可能な内壁は、トレー空間を形成し、
前記交換式のトレーは、前記積層可能な内壁に、１または２以上のトレー開口を有し、
該１または２以上のトレー開口は、キャリアガス供給システムからのキャリアガスが、前記中央フローチャンネルから、前記１または２以上のトレー開口を介して流れるように構成され、
キャリアガスは、前記積層可能な内壁から、前記膜前駆体および前記外壁の上方、および前記蓋の前記出口を介して、膜前駆体蒸気ととともに排出されることを特徴とする交換式の膜前駆体支持組立体。
【請求項２】
さらに、
前記交換式のトレー内に、前記底部支持表面上の前記積層可能な内壁と前記外壁の間に支持された膜前駆体を有することを特徴とする請求項１に記載の交換式の膜前駆体支持組立体。
【請求項３】
前記膜前駆体は、前記交換式のトレーに支持された固体金属前駆体であることを特徴とする請求項２に記載の交換式の膜前駆体支持組立体。
【請求項４】
前記膜前駆体は、固体粉末状または固体タブレット状の形態であることを特徴とする請求項３に記載の交換式の膜前駆体支持組立体。
【請求項５】
前記膜前駆体は、前記交換式のトレーに支持されたカルボニル金属前駆体であることを特徴とする請求項３または４に記載の交換式の膜前駆体支持組立体。
【請求項６】
前記カルボニル金属前駆体は、Ｗ（ＣＯ）６、Ｍｏ（ＣＯ）６、Ｃｏ２（ＣＯ）８、Ｒｈ４（ＣＯ）１２、Ｒｅ２（ＣＯ）１０、Ｃｒ（ＣＯ）６、Ｒｕ３（ＣＯ）１２またはＯｓ（ＣＯ）１２を含むことを特徴とする請求項５に記載の交換式の膜前駆体支持組立体。
【請求項７】
前記膜前駆体は、ＴａＦ５、ＴａＣｌ５、ＴａＢｒ５、ＴａＩ５、Ｔａ（ＣＯ）５、Ｔａ［Ｎ（Ｃ２Ｈ５ＣＨ３）］５（ＰＥＭＡＴ）、Ｔａ［Ｎ（ＣＨ３）２］５（ＰＤＭＡＴ）、Ｔａ［Ｎ（Ｃ２Ｈ５）２］５（ＰＤＥＡＴ）、Ｔａ（ＮＣ（ＣＨ３）３）（Ｎ（Ｃ２Ｈ５）２）３（ＴＢＴＤＥＴ）、Ｔａ（ＮＣ２Ｈ５）（Ｎ（Ｃ２Ｈ５）２）３、Ｔａ（ＮＣ（ＣＨ３）２Ｃ２Ｈ５）（Ｎ（ＣＨ３）２）３、Ｔａ（ＮＣ（ＣＨ３）３）（Ｎ（ＣＨ３）２）３、Ｔａ（ＥｔＣｐ）２（ＣＯ）Ｈ、ＴｉＦ４、ＴｉＣｌ４、ＴｉＢｒ４、ＴｉＩ４、Ｔｉ［Ｎ（Ｃ２Ｈ５ＣＨ３）］４（ＴＥＭＡＴ）、Ｔｉ［Ｎ（ＣＨ３）２］４（ＴＤＭＡＴ）、Ｔｉ［Ｎ（Ｃ２Ｈ５）２］４（ＴＤＥＡＴ）、Ｒｕ（Ｃ５Ｈ５）２、Ｒｕ（Ｃ２Ｈ５Ｃ５Ｈ４）２、Ｒｕ（Ｃ３Ｈ７Ｃ５Ｈ４）２、Ｒｕ（ＣＨ３Ｃ５Ｈ４）２、Ｒｕ３（ＣＯ）１２、Ｃ５Ｈ４Ｒｕ（ＣＯ）３、ＲｕＣｌ３、Ｒｕ（Ｃ１１Ｈ１９Ｏ２）３、Ｒｕ（Ｃ８Ｈ１３Ｏ２）３もしくはＲｕ（Ｃ５Ｈ７Ｏ）３のうちの１もしくは２以上を含み、またはこれらの２もしくは３以上の組み合わせを含むことを特徴とする請求項３または４に記載の交換式の膜前駆体支持組立体。
【請求項８】
薄膜成膜システムに結合されるように構成された膜前駆体蒸発システムであって、
外側容器壁、容器底部、および前記外側容器壁に密閉結合される取り外し可能な容器蓋を有する容器であって、前記蓋は、薄膜成膜システムの入口に密閉結合可能である、容器と、
前記容器内に積層された、請求項１に記載の複数の交換式のトレーと、
を有する、膜前駆体蒸発システム。
【請求項９】
基板上に薄膜を形成するための薄膜成膜システムであって、
請求項８に記載の膜前駆体蒸発システムを有し、
さらに、
前記基板を支持し、該基板を加熱するように構成された基板ホルダを有する処理チャンバと、
前記基板の上方に、膜前駆体蒸気を導入するように構成された蒸気分配システムと、
前記処理チャンバを減圧するように構成された排気システムと、
を有し、
前記容器の前記出口は、前記蒸気分配システムに接続されていることを特徴とする薄膜成膜システム。
【請求項１０】
薄膜成膜システムに結合されるように構成された膜前駆体蒸発システムであって、
外側容器壁および底部を有し、ヒータに結合され昇温されるように構成された容器；
該容器と密閉結合されるように構成された蓋であって、前記薄膜成膜システムと密閉結合されるように構成された出口を有する蓋；
トレーのスタックであって、
前記容器の前記底部に支持されたベーストレーであって、１または２以上の追加の積層可能なトレーを支持するためのベース支持端部を有する積層可能な内壁と、前記積層可能な内壁よりも短い外壁と、を有し、前記外壁および前記積層可能な内壁は、両者の間に膜前駆体を保持するように構成された、ベーストレーと、
前記ベース支持端部に支持された第１の上部トレーを含む、１または２以上の上部トレーであって、各前記１または２以上の上部トレーは、
前記第１の上部トレーもしくは下段の追加の上部トレーの一つの上に配置されるように構成された、１または２以上の追加の上部トレーを支持する上部支持端部を有する上部積層可能な内壁と、
前記上部積層可能な内壁よりも短い上部外壁と、
を有し、前記各１または２以上の上部トレーの前記上部外壁および前記上部積層可能な内壁は、前記膜前駆体を両者の間に保持するように構成され、前記ベーストレーの前記積層可能な内壁、および前記１または２以上の上部トレーの前記上部積層可能な内壁は、前記容器内に中央フローチャンネルを形成する、１または２以上の上部トレーと、
を有するトレーのスタック；
前記トレーのスタックの前記外壁と前記外側容器壁との間の環状空間であって、前記薄膜成膜システムと結合するように構成された環状空間；
前記ベーストレーの前記積層可能な内壁に配置され、前記中央フローチャンネルに結合された１または２以上の開口であって、キャリアガスの第１の部分を、前記中央フローチャンネルから、前記ベーストレー内の前記膜前駆体の上方および前記ベーストレーを介して、前記環状空間に向かって流し、前記膜前駆体蒸気とともに、前記蓋の前記出口を介してキャリアガスを排気するように構成された、１または２以上の開口；
前記１または２以上の上部トレーの各々の前記上部積層可能な内壁に配置され、前記中央フローチャンネルに結合された１または２以上の上部開口；
を有し、
前記１または２以上の上部トレーの前記１または２以上の上部開口は、キャリアガスの第２の部分を、前記中央フローチャンネルから、前記第１の上部トレーを介して、前記第１の上部トレーの前記外側壁の上方、および前記第１の上部トレー内の前記膜前駆体の上方を通り、前記環状空間に向かって流し、前記膜前駆体蒸気とともに、前記蓋の前記出口を介して、キャリアガスを排気するように構成され、
前記ベーストレーおよび前記第１の上部トレーは、キャリアガスの前記第１の部分が前記１または２以上の上部トレーのいずれかを介しては流れず、キャリアガスの前記第２の部分が前記１または２以上の上部トレーの別のもの、あるいは前記ベーストレーを介しては流れないように構成されることを特徴とする膜前駆体蒸発システム。
【請求項１１】
前記請求項１０に記載の膜前駆体蒸発システムを有する薄膜成膜システムであって、
さらに、
前記容器に結合され、前記容器を加熱昇温するように構成されたヒータと、
前記容器の前記出口に結合された入口を有する成膜チャンバと、
を有する薄膜成膜システム。
【請求項１２】
請求項１０に記載の膜前駆体蒸発システムを有する、基板上に薄膜を形成する成膜システムであって、
さらに、
処理チャンバであって、前記基板を支持し、前記基板を加熱するように構成された基板ホルダ、前記基板の上部に、膜前駆体蒸気を導入するように構成された蒸気分配システム、および前記処理チャンバを減圧するように構成された排気システムを有する処理チャンバと、
前記容器の前記出口に密閉結合された第１の端部、および前記処理チャンバの前記蒸気分配システムの入口に密閉結合された第２の端部を有する蒸気供給システムと、
を有する成膜システム。