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【手続補正書】
【提出日】平成22年11月4日(2010.11.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも顔料を含有するインクを用いてインクジェット方式により記録媒体に画像を形成する画像形成工程、及び少なくとも前記画像を含む領域にコート液を付与して、少なくとも一部における膜厚が０．１０μｍ以上１．０μｍ以下のコート層を形成するコート層形成工程、を有するインクジェット記録方法に用いるコート液であって、
前記コート液が、滑り性化合物、水、及び水溶性有機溶剤を少なくとも含有してなり、
前記コート層の動摩擦係数が、０．４０以下であることを特徴とするコート液。
【請求項２】
前記滑り性化合物が、ポリジメチルシロキサン系化合物である請求項１に記載のコート液。
【請求項３】
前記ポリジメチルシロキサン系化合物が、ポリジメチルシロキサン変性樹脂である請求項２に記載のコート液。
【請求項４】
前記ポリジメチルシロキサン変性樹脂の５０％累積体積平均粒子径が、０ｎｍより大きく３００ｎｍ以下である請求項３に記載のコート液。
【請求項５】
前記ポリジメチルシロキサン変性樹脂の含有量（質量％）が、コート液全質量を基準として１．０質量％以上２０．０質量％以下である請求項３又は４に記載のコート液。
【請求項６】
前記ポリジメチルシロキサン変性樹脂が、アクリルシリコーン共重合体である請求項３乃至５のいずれか１項に記載のコート液。
【請求項７】
前記ポリジメチルシロキサン系化合物がシリコーンオイルであり、さらに、樹脂を含有する請求項２に記載のコート液。
【請求項８】
前記シリコーンオイルが、ポリアルキレンオキサイド変性シリコーンオイルである請求項７に記載のコート液。
【請求項９】
前記樹脂の酸価が、５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上２５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下である請求項７又は８に記載のコート液。
【請求項１０】
前記樹脂のガラス転移温度が、２０℃以上１００℃以下である請求項７乃至９のいずれか１項に記載のコート液。
【請求項１１】
前記樹脂の含有量Ａ（質量％）が、コート液全質量を基準として１．０質量％以上２０．０質量％以下である請求項７乃至１０のいずれか１項に記載のコート液。
【請求項１２】
コート液全質量を基準とした、前記樹脂の含有量Ａ（質量％）及び前記シリコーンオイルの含有量Ｂ（質量％）の比率Ｂ／Ａが、下記数式（１）の関係を満たす請求項７乃至１１のいずれか１項に記載のコート液。
2008162265.tif 000001
【請求項１３】
前記コート層のヤング率が、１．５ＧＰａ以上である請求項１乃至１２のいずれか１項に記載のコート液。
【請求項１４】
顔料を含有するインクを用いてインクジェット方式により記録媒体に画像を形成する画像形成工程、
滑り性化合物、水、並びに水溶性有機溶剤を含有するコート液を用意する工程、及び、
前記コート液を前記記録媒体の少なくとも前記画像を含む領域に付与して、少なくとも一部における膜厚が０．１０μｍ以上１．０μｍ以下であり、かつ、動摩擦係数が０．４０以下であるコート層を形成するコート層形成工程、
を有することを特徴とするインクジェット記録方法。
【請求項１５】
前記コート液を付与する方式が、インクジェット方式又はロールコート方式である請求項１４に記載のインクジェット記録方法。
【請求項１６】
インク用とコート液用のそれぞれの吐出データに基づいてインクジェット方式によってインクとコート液とを吐出する記録ヘッドを用い、該記録ヘッドの複数回の走査によって、記録媒体の単位領域に、少なくとも顔料を含有するインクを用いての画像形成と、請求項１乃至１３のいずれか１項に記載のコート液を用いてのコート層の形成と、を行うインクジェット記録方法であって、
前記インクを用いての画像形成が終了している単位領域に対して前記コート液の吐出が行われるようにコート液用吐出データを生成する吐出データの生成工程と、
該吐出データの生成工程で生成したコート液用吐出データに基づいて前記記録ヘッドから前記コート液の吐出が行われるように制御する制御工程と、
を有し、かつ、
前記吐出データの生成工程で、記録ヘッドの複数回の走査のうち、前記単位領域に対してされる最終の走査を含む少なくとも１回の走査時に、前記コート液が吐出されるようにコート液用吐出データを生成することを特徴とするインクジェット記録方法。
【請求項１７】
インク用とコート液用のそれぞれの吐出データに基づいてインクジェット方式によってインクとコート液とを吐出する記録ヘッドを有し、該記録ヘッドの複数回の走査によって、記録媒体の単位領域に、少なくとも顔料を含有するインクを用いての画像形成と、請求項１乃至１３のいずれか１項に記載のコート液を用いてのコート層の形成とが行われるインクジェット記録装置であって、
前記インクを用いての画像形成が終了している単位領域に対して前記コート液の吐出が行われるようにコート液用吐出データの生成が行われる吐出データの生成手段と、
該吐出データの生成手段で生成したコート液用吐出データに基づいて、前記記録ヘッドから前記コート液の吐出が行われるようにする制御が行われる制御手段と、
を備え、かつ、
前記吐出データの生成手段で、記録ヘッドの複数回の走査のうち、前記単位領域に対してされる最終の走査を含む少なくとも１回の走査時に、前記コート液が吐出されるようにコート液用吐出データの生成が行われることを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項１８】
さらに、インク用の吐出データに基づいて、単位領域毎に、前記インクによる画像の形成が終了するときの画像形成終了走査が前記複数回の走査のうちの何回目の走査になるかの検出が行われる検出手段を備え、
該検出手段からの検出結果に基づき前記吐出データの生成手段で、前記画像形成終了走査以降における記録ヘッドの複数回の走査のうち、前記単位領域に対してされる最終の走査を含む少なくとも１回の走査時に、前記コート液が吐出されるようにコート液用吐出データの生成が行われる請求項１７に記載のインクジェット記録装置。
【請求項１９】
前記インク用の吐出データは、マスクパターンを用いて前記記録ヘッドの複数回の走査に振り分けられ、
前記吐出データの生成手段で、前記マスクパターンを用いて前記コート液用吐出データの生成が行われる請求項１７又は１８に記載のインクジェット記録装置。
【請求項２０】
前記吐出データの生成手段で、コート液用のマスクパターンを用いて、複数の単位領域に対応する前記コート液用吐出データを所定の割合で間引くことが行われる請求項１７乃至１９のいずれか１項に記載のインクジェット記録装置。
【手続補正書】
【提出日】平成21年11月18日(2009.11.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
印刷に用いられる媒体にインクを吐出してドットを印字するノズルを有する印字ヘッドと、
階調数Ｍ（Ｍは、Ｍ≧２の自然数）の画像情報を有する印刷用画像データを取得する印刷用画像データ取得手段と、
前記印刷用画像データの画像を構成する画像要素の種類を示す情報と、前記画像要素の種類毎に予め設定された印字濃度の情報である印字濃度情報とに基づき、前記印刷用画像データの画像の印字濃度を変更する印字濃度変更手段と、
前記印字濃度を変更後の印刷用画像データに基づき、前記印字ヘッドによって前記画像を前記媒体に印刷する印刷手段と、を備え、
前記印字濃度情報を、前記種類が文字に属する前記画像要素の最大印字濃度が、前記種類が文字以外に属する画像要素の最大印字濃度よりも高い印字濃度に設定された情報としたことを特徴とする印刷装置。
【請求項２】
前記印字濃度変更手段は、前記印刷用画像データの画像が前記種類が背景を有する文字に属する画像要素を含むときに、前記印字濃度情報と前記背景の濃度とに基づき、前記印刷用画像データの画像における、前記背景を有する文字に属する画像要素部分の印字濃度を変更することを特徴とする請求項１記載の印刷装置。
【請求項３】
前記印字濃度情報は、前記画像要素の種類毎に設定された、前記印刷用画像データの色変換処理に用いる色変換情報テーブルであり、
前記印字濃度変更手段は、前記印刷用画像データに対する色変換処理時において、前記色変換情報テーブルに基づき、前記印刷用画像データの画像の印字濃度を変更することを特徴とする請求項１又は請求項２記載の印刷装置。
【請求項４】
前記印字濃度変更手段は、前記印刷用画像データの色変換処理前又は色変換処理後に、
前記印刷用画像データに対して、前記印字濃度の変更処理を実行することを特徴とする請求項１又は請求項２記載の印刷装置。
【請求項５】
前記印字濃度情報は、前記画像要素の種類毎に設定された、前記印刷用画像データの階調数Ｍの画像情報を階調数Ｎ（Ｍ≧Ｎ≧２）の画像情報に変換する処理であるＮ値化処理に用いる閾値の情報であり、
前記印字濃度変更手段は、前記印刷用画像データに対するＮ値化処理時において、前記閾値の情報に基づき、前記印刷用画像データの画像の印字濃度を変更することを特徴とする請求項１又は請求項２記載の印刷装置。
【手続補正書】
【提出日】平成22年9月2日(2010.9.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の記録素子と、前記複数の記録素子を駆動するための駆動電圧を印加するための電圧印加端子と、前記記録素子を制御する論理回路と、前記論理回路に前記駆動電圧よりも低い論理電圧で論理信号を入力するための信号入力端子とを有する、記録装置に着脱可能な記録ヘッド用の素子基板であって、
前記電圧印加端子と前記信号入力端子に前記駆動電圧と前記論理電圧をそれぞれ、異なるタイミングで印加することにより、前記記録装置と、前記電圧印加端子及び前記信号入力端子との間の電気的接続状態を反映した接続信号を接続状態出力端子から出力する接続状態出力回路を有することを特徴とする素子基板。
【請求項２】
前記接続状態出力回路は、
前記電圧印加端子から印加される駆動電圧が所定の閾値を超えたときに、前記接続信号の論理を反転するインバータと、
前記インバータからの出力信号と前記論理信号との論理和を演算して該演算結果を前記接続信号として出力するＯＲ回路とを有することを特徴とする請求項１に記載の素子基板。
【請求項３】
前記駆動電圧を降圧させるために用いられる分圧抵抗をさらに有し、
前記インバータは、前記分圧抵抗により降圧された電圧に基づいて、前記接続信号の論理を反転することを特徴とする請求項２に記載の素子基板。
【請求項４】
前記インバータは、前記論理電圧よりも高い前記駆動電圧が前記電圧印加端子から印加されたときに、前記接続信号の論理を反転することを特徴とする請求項２または３に記載の素子基板。
【請求項５】
前記論理電圧の印加開始のタイミングは、前記駆動電圧の印加開始のタイミングよりも早いことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の素子基板。
【請求項６】
複数の記録素子と、前記複数の駆動素子と、前記複数の記録素子それぞれをＯＮ／ＯＦＦ制御する前記複数の駆動素子を駆動するために第１の駆動電圧を印加するための第１の電圧印加端子と、前記複数の記録素子に電流を供給し、前記複数の記録素子を駆動するために前記複数の記録素子に第２の駆動電圧を印加するための第２の電圧印加素子と、前記記録素子を制御する論理回路と、前記論理回路に前記第１及び第２の駆動電圧よりも低い論理電圧で論理信号を入力するための信号入力端子とを有する、記録装置に着脱可能な記録ヘッド用の素子基板であって、
前記第１の電圧印加端子と前記第２の電圧印加素子と前記信号入力端子に、前記第１の駆動電圧と前記第２の駆動電圧と前記論理電圧をそれぞれ、異なるタイミングで印加することにより、前記記録装置と、前記第１の電圧印加端子、前記第２の電圧印加素子、及び前記信号入力端子との間の電気的接続状態を反映した接続信号を接続状態出力端子から出力する接続状態出力回路を有することを特徴とする素子基板。
【請求項７】
前記接続状態出力回路は、
前記第２の電圧印加端子から印加される第２の駆動電圧が第１の閾値を超えたときに、前記接続信号の論理を反転する第１のインバータと、
前記第１のインバータからの出力信号の論理を反転する第２のインバータと、
前記第１の電圧印加端子から印加される第１の駆動電圧が第２の閾値を超えたときに、前記接続信号の論理を反転する第３のインバータと、
前記第３のインバータからの出力信号と前記論理信号との論理積を演算する第１のＡＮＤ回路と、
前記第２のインバータからの出力信号と前記第１の電圧印加端子から印加される第１の駆動電圧の分圧した電圧との論理積を演算する第２のＡＮＤ回路と、
前記第１のＡＮＤ回路からの出力信号と前記第２のＡＮＤ回路からの出力信号との論理和を演算して該演算結果を前記接続信号として出力するＯＲ回路とを有することを特徴とする請求項６に記載の素子基板。
【請求項８】
前記複数の記録素子それぞれは、液体を吐出するための熱エネルギーを発生するための電気熱変換素子であることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の素子基板。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか１項に記載の素子基板を有することを特徴とする記録ヘッド。
【請求項１０】
請求項９に記載の記録ヘッドと、インクを内包したインクタンクとを有することを特徴とするヘッドカートリッジ。
【請求項１１】
請求項９に記載の記録ヘッドまたは請求項１０に記載のヘッドカートリッジを用いる記録装置であって、
前記接続信号を入力する入力手段と、
前記入力手段に入力された接続信号に基づいて、前記電気的接続状態を判断する判断手段と、
前記判断手段により前記電気的接続状態が異常であると判断された場合には、前記記録ヘッドに印加する電圧が前記論理回路の耐圧を超える前に、前記記録ヘッドへの電圧の印加を中止するよう制御する制御手段とを有することを特徴とする記録装置。
【請求項１２】
前記判断手段により前記電気的接続状態が異常であると判断された場合には、前記電気的接続が異常であると通知する通知手段をさらに有することを特徴とする請求項１１に記載の記録装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
上記の目的を達成させるための本発明は、
複数の記録素子と、前記複数の記録素子を駆動するための駆動電圧を印加するための電圧印加端子と、前記記録素子を制御する論理回路と、前記論理回路に前記駆動電圧よりも低い論理電圧で論理信号を入力するための信号入力端子とを有する、記録装置に着脱可能な記録ヘッド用の素子基板であって、
前記電圧印加端子と前記信号入力端子に前記駆動電圧と前記論理電圧をそれぞれ、異なるタイミングで印加することにより、前記記録装置と、前記電圧印加端子及び前記信号入力端子との間の電気的接続状態を反映した接続信号を接続状態出力端子から出力する接続状態出力回路を有することを特徴とする。
また、複数の記録素子と、前記複数の駆動素子と、前記複数の記録素子それぞれをＯＮ／ＯＦＦ制御する前記複数の駆動素子を駆動するために第１の駆動電圧を印加するための第１の電圧印加端子と、前記複数の記録素子に電流を供給し、前記複数の記録素子を駆動するために前記複数の記録素子に第２の駆動電圧を印加するための第２の電圧印加素子と、前記記録素子を制御する論理回路と、前記論理回路に前記第１及び第２の駆動電圧よりも低い論理電圧で論理信号を入力するための信号入力端子とを有する、記録装置に着脱可能な記録ヘッド用の素子基板であって、
前記第１の電圧印加端子と前記第２の電圧印加素子と前記信号入力端子に、前記第１の駆動電圧と前記第２の駆動電圧と前記論理電圧をそれぞれ、異なるタイミングで印加することにより、前記記録装置と、前記第１の電圧印加端子、前記第２の電圧印加素子、及び前記信号入力端子との間の電気的接続状態を反映した接続信号を接続状態出力端子から出力する接続状態出力回路を有することを特徴としても良い。
【手続補正書】
【提出日】平成22年7月6日(2010.7.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項９】
請求項８に記載の記録ヘッドと、該記録ヘッドに供給するためのインクを収容したインクタンクとを一体化したヘッドカートリッジ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１０】
請求項８に記載の記録ヘッド又は請求項９に記載のヘッドカートリッジを搭載した記録装置。
【手続補正書】
【提出日】平成22年6月29日(2010.6.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロール紙として供給される記録媒体を搬送経路の上流から下流に搬送する搬送手段と、
前記搬送経路の上流から下流に沿って順に配置され、搬送される記録媒体に対してインクを吐出するノズルが配列されるインクジェット方式の第１の記録ヘッド及び第２の記録ヘッドと、
前記搬送経路において前記第１の記録ヘッドの近傍においてレーザドップラ方式で記録媒体の表面を検出することで記録媒体の速度の情報を取得する第１の速度計測部と、
前記搬送経路において前記第２の記録ヘッドの近傍においてレーザドップラ方式で記録媒体の表面を検出することで記録媒体の速度の情報を取得する第２の速度計測部と、
前記第１の記録ヘッド及び前記第２の記録ヘッドのインクの吐出を制御する制御手段と
を備え、
前記制御手段は、前記第１の速度計測部と前記第２の速度計測部のそれぞれで取得する速度の情報の差分に応じて、前記第１の記録ヘッドの吐出タイミングに対する前記第２の記録ヘッドの吐出タイミングを調整することを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項２】
前記搬送手段は、前記搬送経路において、前記第１の記録ヘッドの上流で記録媒体をニップする第１のローラ対、前記第１の記録ヘッドと前記第２の記録ヘッドの間で記録媒体をニップする第２のローラ対、前記第２の記録ヘッドの下流で記録媒体をニップする第３のローラ対を有し、前記第１の速度計測部は記録媒体の搬送方向において前記第１の記録ヘッドの記録位置と前記第２のローラ対のニップ位置の間で記録媒体の表面を検出することを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録装置。
【請求項３】
前記制御手段は、前記第１の速度計測部と前記第２の速度計測部のそれぞれで取得する速度の情報の差分と、前記第１の記録ヘッドと前記第２の記録ヘッドの搬送方向についての距離の情報とに基づいて、記録媒体の搬送方向において前記第１の記録ヘッドにより記録した位置に前記第２のヘッドによる記録が行なわれるように、前記第２の記録ヘッドの吐出タイミングを遅延させることを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェット記録装置。
【請求項４】
前記搬送経路において前記第２の記録ヘッドの下流に配置されたインクジェット方式の第３の記録ヘッドと、前記搬送経路において前記第３の記録ヘッドの近傍においてレーザドップラ方式で記録媒体の表面を検出することで記録媒体の速度の情報を取得する第３の速度計測部と、をさらに有し、
前記制御手段は、前記第２の速度計測部と前記第３の速度計測部のそれぞれで取得する速度の情報の差分とともに前記第１の速度計測部で取得する速度の情報を用いて、前記第３の記録ヘッドの吐出タイミングを調整することを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のインクジェット記録装置。
【請求項５】
前記搬送経路において前記第２の記録ヘッドの下流に配置されたインクジェット方式の第３の記録ヘッドをさらに有し、前記前記第３の記録ヘッドはイエロー色のインク、ライトシアン色のインク又はライトマゼンタ色のインクを吐出するものであり、前記第３の記録ヘッドに対応した速度計測部は設けられていないことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のインクジェット記録装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】インクジェット記録装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
そのために本発明においては、ロール紙として供給される記録媒体を搬送経路の上流から下流に搬送する搬送手段と、前記搬送経路の上流から下流に沿って順に配置され、搬送される記録媒体に対してインクを吐出するノズルが配列されるインクジェット方式の第１の記録ヘッド及び第２の記録ヘッドと、前記搬送経路において前記第１の記録ヘッドの近傍においてレーザドップラ方式で記録媒体の表面を検出することで記録媒体の速度の情報を取得する第１の速度計測部と、前記搬送経路において前記第２の記録ヘッドの近傍においてレーザドップラ方式で記録媒体の表面を検出することで記録媒体の速度の情報を取得する第２の速度計測部と、前記第１の記録ヘッド及び前記第２の記録ヘッドのインクの吐出を制御する制御手段とを備え、前記制御手段は、前記第１の速度計測部と前記第２の速度計測部のそれぞれで取得する速度の情報の差分に応じて、前記第１の記録ヘッドの吐出タイミングに対する前記第２の記録ヘッドの吐出タイミングを調整することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成21年11月20日(2009.11.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
小物を収納する引き出しと、この引き出しを水平スライド可能に収納する収納ケースと、前記引き出しが乗員側へ引き出される際に中間位置で前記引き出しを一旦停止させる中開停止機構からなる、車両に装備される物入れにおいて、
前記収納ケースに、全閉位置にある前記引き出しを開放側に、全開位置に至るまで弾発付勢する弾発機構と、
前記中開停止機構により、中開位置で停止した前記引き出しを、閉じる方向に操作せしめることで、前記中開停止機構を解除させる停止解除機構を備え、
前記引き出しは、閉じる方向に操作され、前記中開停止機構を解除された後に全開位置で停止することを特徴とする車両に装備される物入れ。
【請求項２】
前記中開停止機構は、前記引き出し若しくは収納ケースに水平旋回可能に設けられ先端にピン状突起を備えているアーム部材と、前記ピン状突起を案内するために前記収納ケース若しくは前記引き出しに、前記引き出しのスライド方向に延設された溝群とからなり、
この溝群は、前記引き出しの全開位置から全閉位置まで前記ピン状突起を案内する第１ガイド溝と、全閉位置を起点として前記第１ガイド溝とは別個にほぼ直線的に延ばされ、引き出しの全閉位置から中開位置まで前記ピン状突起を案内する第２ガイド溝と、この第２ガイド溝の端部に設けられ前記ピン状突起を中開位置で一旦停める袋小路部と、この袋小路部から全閉位置側へ傾斜して延ばされ前記第１ガイド溝の途中に交叉する連絡溝と、からなり、
前記引き出しを開けると、前記ピン状突起が直線状の前記第２ガイド溝を進むため前記袋小路部で一旦停められ、次に前記引き出しを少し戻すことで前記ピン状突起が前記連絡溝を進んで前記第１ガイド溝に移り、次に前記引き出しが引き出されることで前記ピン状突起は前記第１ガイド溝を進み全開位置に到り、前記引き出しを閉じるときには前記ピン状突起が前記第１ガイド溝を進むことで全開位置から全閉位置に到るように構成したことを特徴とする請求項１記載の車両に装備される物入れ。
【請求項３】
前記第２ガイド溝を全閉位置から中開位置へ向かって進むピン状突起の通過は許容するが、前記ピン状突起が全閉位置へ戻ることは妨げる逆止機構を、前記袋小路部の入口に付設したことを特徴とする請求項２記載の車両に装備される物入れ。
【請求項４】
前記袋小路部を平面視でＶ字状にするとともに前記第１ガイド溝と第２ガイド溝と連絡溝とで囲われる部分を三角形部にし、この三角形部の袋小路部に面する頂点よりも、袋小路部のＶ字底が前記第１ガイド溝寄りに位置するように前記袋小路部を定めたことを特徴とする請求項２又は請求項３記載の車両に装備される物入れ。
【請求項５】
前記溝群は、前記収納ケースに設け、前記アーム部材は、前記引き出しに設けることを特徴とする請求項２又は請求項４記載の物入れ。
【請求項６】
前記第２ガイド溝の端部又は前記第１ガイド溝の端部は、前記収納ケースの端部まで延出して開放される開放端を有し、この開放端を末広がりに形成することを特徴とする請求項２〜５のいずれか１項記載の物入れ。
【請求項７】
前記収納ケースに前記弾発機構が設けられ、この弾発機構により前記引き出しが全閉状態から全開状態になるように力が加わるように構成され、
前記ピン状突起が一旦袋小路部にて止められた後に、前記引き出しを少し戻すと、前記ピン状突起は前記連絡溝を通って前記第１ガイド溝に進入して前記引き出しが全開となることを特徴とする請求項２〜６のいずれか１項記載の物入れ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
請求項６に係る発明では、第２ガイド溝の端部又は第１ガイド溝の端部は、収納ケースの端部まで延出して開放される開放端を有し、この開放端を末広がりに形成することを特徴とする。
請求項７に係る発明では、収納ケースに弾発機構が設けられ、この弾発機構により引き出しが全閉状態から全開状態になるように力が加わるように構成され、ピン状突起が一旦袋小路部にて止められた後に、引き出しを少し戻すと、ピン突起は連絡溝を通って第１ガイド溝に進入して引き出しが全開となることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
請求項６に係る発明では、第２ガイド溝の端部又は第１ガイド溝の端部は、収納ケースの端部まで延出して開放される開放端を有するので、ピン状突起を有するアーム部材を溝群に容易に嵌合させることができる。従って、引き出しを収納ケースに容易に組み付けることができる。
請求項７に係る発明では、引き出しを中間位置から全開位置に開けるときは、引き出しを少し戻すと、ピン状突起は連絡溝を通って第１ガイド溝に進入して引き出しが全開となるように構成したので、運転者は、中開位置にある引き出しを全開位置まで開く操作を極めて容易に行うことができる。押し引きする操作のみで引き出しを中開位置から全開位置に開くことができるので、運転者の体格によって引き出しの開く操作が煩雑となることもない。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
弾発機構９３は、小ポケット９２に配置されており、収納ケース８１側に取り付ける軸部９４と、この軸部９４に回動自在に取り付けるドラム９５と、このドラム９５に巻掛けられる薄板状のスパイラルスプリング９６と、このスパイラルスプリング９６の先端部９６ａに取り付けられているフック部材９７と、からなる。
【手続補正書】
【提出日】平成21年12月15日(2009.12.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を露光する露光装置であって、
基板を保持する基板保持部と、
基板の露光時間を制御するシャッタと、
前記シャッタの動作を制御する制御部とを備え、
基板の適正な露光量は、前記基板保持部によって保持された基板及び前記基板保持部からの反射光の強度に依存し、
前記制御部は、前記基板保持部によって保持された基板及び前記基板保持部からの反射光の強度に相関のある情報に基づいて前記シャッタの動作を制御する、
ことを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記反射光の強度に相関のある情報は、基板上のショット領域の面積に関する情報、基板の反射率に関する情報、及び、前記基板保持部の反射率に関する情報を含むことを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記制御部は、更に、既に露光がなされたショット領域に対する露光量に基づいて前記シャッタの動作を制御する、
ことを特徴とする請求項１または２に記載の露光装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記シャッタの速度を制御することを特徴とする請求項３に記載の露光装置。
【請求項５】
基板に対する露光量を検知する露光量センサを更に備え、
前記制御部は、第１モードでは、前記露光量センサの出力に基づいて前記シャッタを閉じるタイミングを制御し、第２モードでは、前記反射光の強度に相関のある情報に基づいて前記シャッタの動作を制御する、
ことを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項６】
デバイス製造方法であって、
感光剤が塗布された基板を請求項１乃至５のいずれか１項に記載の露光装置を用いて露光する工程と、
該露光された基板を現像する工程と、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の１つの側面は、基板を露光する露光装置に係り、前記露光装置は、基板を保持する基板保持部と、基板の露光時間を制御するシャッタと、前記シャッタの動作を制御する制御部とを備え、基板の適正な露光量は、前記基板保持部によって保持された基板及び前記基板保持部からの反射光の強度に依存し、
前記制御部は、前記基板保持部によって保持された基板及び前記基板保持部からの反射光の強度に相関のある情報に基づいて前記シャッタの動作を制御する。
【手続補正書】
【提出日】平成21年12月14日(2009.12.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発信を行なう発信手段と、
着信を受ける着信手段と、
着信情報を表示する表示手段と、
発信した先の電話番号と発信日時とを対応付けて記憶する発信履歴記録手段と、
氏名と電話番号とを対応付けて記憶する電話帳データ記憶手段と、
を備える通信端末装置において、
着信時に、当該着信の着信番号が前記発信履歴記憶手段に記憶されている電話番号と一致するか否かを判断し、
一致する場合は、前記表示手段に着信番号を表示するとともに前記発信履歴記録手段に記憶されている電話番号からの着信であることを報知することを特徴とする、通信端末装置。
【請求項２】
着信時に、当該着信の着信番号が前記電話帳データ記憶手段に記憶されている電話番号と一致するか否かを判断し、一致する場合は、前記電話帳データ記憶手段に記憶されている電話番号からの着信であることを報知することを特徴とする、請求項１に記載の通信端末装置。
【請求項３】
着信時に、当該着信の着信番号が前記発信履歴記憶手段に記憶されている電話番号と一致するか否かを判断し、さらに、当該着信時の時刻が当該電話番号に対応付けられた発信日時から所定の時間以上経過しているときは、前記発信履歴記録手段に記憶されている電話番号からの着信であることを報知しないことを特徴とする、請求項１に記載の通信端末装置。
【請求項４】
着信時に、当該着信の着信番号が前記発信履歴記憶手段に記憶されている電話番号と一致するか否かを判断し、一致する場合は、前記表示手段に着信番号を表示するとともに、当該番号に対応付けられた発信日時を表示することを特徴とする、請求項１に記載の通信端末装置。
【請求項５】
着信報知をするために、コンピュータを
発信を行なう発信手段、
着信を受ける着信手段、
着信情報を表示する表示手段、
発信した先の電話番号と発信日時とを対応付けて記憶する発信履歴記録手段、
氏名と電話番号とを対応付けて記憶する電話帳データ記憶手段、
着信時に、当該着信の着信番号が前記発信履歴記憶手段に記憶されている電話番号と一致するか否かを判断する判断手段、
一致を判断された場合は、前記表示手段に着信番号を表示するとともに前記発信履歴記録手段に記憶されている電話番号からの着信であることを報知する報知手段として機能させるための、着信報知プログラム。
【手続補正書】
【提出日】平成21年12月9日(2009.12.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
荷電粒子源から試料に向かって荷電粒子線を照射している状態で、当該荷電粒子源から放出される荷電粒子線の加速エネルギーより、高い電圧を試料に印加したときに検出される荷電粒子に基づいて得られる情報と、所定の試料電位で得られた前記情報との違いに基づいて、前記試料の電位に関する情報を検出することを特徴とする試料電位情報検出方法。
【請求項２】
請求項１において、
前記情報は、前記印加電圧により形成される電界によって、反射した荷電粒子の到達位置に関するものであることを特徴とする試料電位情報検出方法。
【請求項３】
請求項２において、
前記荷電粒子の到達位置と、前記所定の試料電位で得られた前記到達位置との違いに基づいて、前記試料電位に関する情報を検出することを特徴とする試料電位情報検出方法。
【請求項４】
請求項１において、前記情報は、前記印加電圧により形成される電界によって反射した荷電粒子に基づいて形成される画像に関するものであることを特徴とする試料電位情報検出方法。
【請求項５】
請求項４において、前記荷電粒子に基づいて形成される画像と、前記所定の試料電位で得られた画像間の移動量，ぼけ量、及び／又は回転量の違いに基づいて、前記試料電位に関する情報を検出することを特徴とする試料電位情報検出方法。
【請求項６】
請求項１において、
前記所定の試料電位にて得られる情報と、前記試料電位との関係を予め求めておき、当該関係に基づいて、前記試料電位を検出することを特徴とする試料電位情報検出方法。
【請求項７】
荷電粒子源と、当該荷電粒子源より放出された荷電粒子線を集束する対物レンズと、試料に印加する電圧を制御する制御装置を備えた荷電粒子線装置において、
前記制御装置は、荷電粒子源から試料に向かって荷電粒子線を照射している状態で、当該荷電粒子源から放出される荷電粒子線の加速エネルギーより、高い電圧を試料に印加したときに検出される荷電粒子に基づいて得られる情報と、所定の試料電位で得られた前記情報との違いに基づいて、前記試料の電位に関する情報を検出することを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項８】
荷電粒子源と、当該荷電粒子源より放出された荷電粒子線を集束する対物レンズと、試料に印加する電圧を制御する制御装置を備えた荷電粒子線装置において、
前記荷電粒子源から放出され前記試料に到達することなく反射した荷電粒子の検出位置、当該荷電粒子によって形成される輝度分布位置、或いは画像位置を演算する演算装置を備え、当該演算装置は予め用意された前記検出位置に関する情報、或いは画像位置情報と、前記検出位置、或いは画像位置との比較に基づいて、前記荷電粒子線の調整パラメータを求めることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項９】
請求項８において、
前記調整パラメータは、対物レンズの励磁電流、前記試料に印加される電圧，加速電圧の少なくとも１つであることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項１０】
請求項８において、
前記反射した荷電粒子を検出する検出器を備え、当該検出器は、二次元的に拡がる複数の検出素子を備えていることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項１１】
請求項８において、
前記画像には、前記試料と検出器との間に配置される荷電粒子線装置内の構造物が表示されることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項１２】
請求項１１において、
前記構造物は、前記試料と検出器との間に配置されるメッシュであることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項１３】
荷電粒子源と、当該荷電粒子源より放出された荷電粒子線を集束する対物レンズと、試料に印加する電圧を制御する制御装置を備えた荷電粒子線装置において、
前記荷電粒子源から放出され前記試料に到達することなく反射した荷電粒子が、荷電粒子線装置内の構造物を通過することによって得られる荷電粒子を検出する検出器と、
当該検出器によって検出された荷電粒子に基づいて得られる前記構造物の位置，面積，角度或いは輝度に関する情報と、予め用意された前記構造物の位置，面積，角度、或いは輝度に関する情報との比較に基づいて、前記荷電粒子線の調整パラメータを求める演算装置を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項１４】
請求項１３において、
前記調整パラメータは、対物レンズの励磁電流、前記試料に印加される電圧、加速電圧の少なくとも１つであることを特徴とする荷電粒子線装置。
【手続補正書】
【提出日】平成22年2月25日(2010.2.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハンドルパイプ上に装着する電熱ヒータ付きグリップ部材において、円筒体から成る合成樹脂製のコア本体の表面に凹部を形成し、前記コア本体表面上に金属導板を貼り付け、該金属導板に電流を通電して発熱させることを特徴とする電熱ヒータ付きグリップ部材。
【請求項２】
前記凹部は多数個の穴部としたことを特徴とする請求項１に記載の電熱ヒータ付きグリップ部材。
【請求項３】
前記凹部は溝部としたことを特徴とする請求項１又は２に記載の電熱ヒータ付きグリップ部材。
【請求項４】
前記コア本体及び前記金属導板を合成ゴムにより被覆したことを特徴とする請求項１〜３の何れか１つの請求項に記載の電熱ヒータ付きグリップ部材。
【請求項５】
ハンドルパイプ上に装着する電熱ヒータ付きグリップ部材において、円筒体から成る合成樹脂製のコア本体内に多数個の気泡を形成し、前記コア本体上に金属導板を貼り付け、該金属導板に電流を通電して発熱させることを特徴とする電熱ヒータ付きグリップ部材。
【手続補正書】
【提出日】平成21年12月15日(2009.12.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性を有する触媒層上に、カーボン材料を含み繊維状または管状を成すとともに側部にグラフェンシートの端面が露出している電子放出部を形成することを特徴とする電子放出素子の製造方法であって、
前記触媒層を加熱し、
減圧雰囲気下において、前記触媒層の周囲に混合ガスを導入し、
プラズマを発生させてＣＶＤを行い、前記電子放出部を形成することを特徴とする電子放出素子の製造方法。
【請求項２】
導電性を有する触媒層上に、カーボン材料を含み繊維状または管状を成す電子放出部を形成することを特徴とする電子放出素子の製造方法であって、
前記触媒層を加熱し、
減圧雰囲気下において、前記触媒層の周囲に混合ガスを導入し、
プラズマを発生させてＣＶＤを行うとともに、
前記電子放出部を形成するに際して、前記触媒層の触媒の核の大きさまたは形状を調整することを特徴とする電子放出素子の製造方法。
【請求項３】
前記加熱の際の温度と前記混合ガスの混合比のうち少なくともいずれか１つを制御することにより、前記触媒の核の形状又は大きさを制御することを特徴とする請求項２記載の電子放出素子の製造方法。
【請求項４】
前記触媒の核の大きさを５０ｎｍ以上とし、前記電子放出部としてグラファイトナノチューブを形成することを特徴とする請求項３記載の電子放出素子の製造方法。
【請求項５】
前記触媒の核の大きさを１０ｎｍ以上、かつ、５０ｎｍ未満とし、前記電子放出部としてグラファイトナノファイバを形成することを特徴とする請求項３記載の電子放出素子の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】電子放出素子の製造方法
【手続補正書】
【提出日】平成22年7月16日(2010.7.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
モールド材料からなる第１の絶縁層を備えており、
第１の導電層によって形成された複数のパッケージトレースレイアウトユニットが前記第１の絶縁層に配置されており、前記パッケージトレースレイアウトユニットが複数のパッケージトレースによって形成されており、
第２の導電層が前記第１の導電層の下ではなく前記第１の絶縁層に配置され、前記第１の導電層および前記第２の導電層が電気的に接続されている半導体パッケージ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１２】
モールド材料からなる第１の絶縁層であって、複数のホールが前記第１の絶縁層の第１の表面に配置される第１の絶縁層と、
第１の導電層によって形成された複数のパッケージトレースレイアウトユニットであって、前記絶縁層に埋め込まれ、かつ前記ホールの他方の端に接続されている複数のパッケージトレースによって形成されている複数のパッケージトレースレイアウトユニット
とを備える半導体パッケージ。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２４】
前記絶縁材料の弾性率が１．０ＧＰａより大きい第１の絶縁層と、
前記第１の絶縁層上に配置された複数の位置決めユニットと、
前記第１の導電層によって形成された複数のパッケージトレースレイアウトユニットであって、前記絶縁層に埋め込まれ、かつ前記位置決めユニットの下に配置されている複数のパッケージトレースによって形成される複数のパッケージトレースレイアウトユニットと
を備える半導体パッケージ。
【手続補正４】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２７】
半導体パッケージの製造方法であって、
キャリアを提供するステップと、
複数のパッケージトレースレイアウトユニットを形成するステップであって、前記パッケージトレースレイアウトユニットが複数のパッケージトレースによって形成されるステップと、
前記パッケージトレースレイアウトユニット上に第１の絶縁層を形成するステップと、
前記第１の絶縁層の第１の表面に複数の位置決めユニットを形成するステップであって、前記位置決めユニットが前記パッケージトレースに直接接触しているステップと、
を備える方法。
【手続補正５】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項３３】
半導体パッケージの製造方法であって、
キャリアを提供するステップと、
第１の導電層によって形成された複数のパッケージトレースレイアウトユニットを形成するステップであって、前記パッケージトレースレイアウトユニットが複数のパッケージトレースによって形成されるステップと、
前記第１の導電層上にパターン化された第２の導電層を形成するステップと、
モールド材料によって形成され、かつ前記第１の導電層および前記第２の導電層に埋め込まれた第１の絶縁層を形成するステップと、
前記キャリアを除去するステップと、
を備える方法。
【手続補正６】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項３５】
前記パッケージトレースレイアウトユニットが、まずパターン化された第１のフォトレジスト層を前記キャリア上に形成するステップと、次に前記第１の導電層を電気メッキするステップとに従って形成される、請求項３３に記載の半導体パッケージの製造方法。
【手続補正７】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項３７】
前記パッケージトレースレイアウトユニットが、まずパターン化されたフォトレジスト層を前記キャリア上に形成するステップと、次に前記第１の導電層を電気メッキするステップとに従って形成される、請求項３３に記載の半導体パッケージの製造方法。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
[0003]例えば、半導体パッケージは、米国特許第６８０３６６４号明細書に開示されている。従来のパッケージの金属トレースの厚さは通常１２０〜２５０マイクロメートルに及び、パッケージトレースは、マイクロフィルム化、暴露およびエッチングのプロセスの後に形成される。しかしながら、エッチングプロセスは回路のピッチおよび幅を制約し、アンダーカット効果はパッケージトレースの信頼性に影響する。従って、パッケージトレースの従来のリードフレームは半導体要素の小型化に適していない。
【手続補正書】
【提出日】平成22年5月14日(2010.5.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
（第１の実施の形態）
図１（Ａ）〜図３は、本発明の第１の実施の形態に係る半導体装置の製造方法を説明する図である。本実施の形態では、半導体基板（例えばＳｉ（シリコン）からなる半導体ウエハ）１０を使用する。半導体基板１０には集積回路１９を形成する。詳しくは、半導体基板１０の一方の面に、周知の半導体プロセスによって集積回路１９を形成する。集積回路１９は、半導体基板１０の一方の表層に作りこまれる。また、集積回路１９に半導体基板１０に形成された内部配線を介して電気的に接続されるように電極１２を形成し、電極１２の少なくとも一部が露出する様にパッシベーション膜１４を形成する。言い換えると、集積回路１９から接続された内部配線のうち、パッシベーション膜１４から露出する部分が電極１２である。パッシベーション膜１４は無機材料（例えばＳｉ等の無機酸化物）で形成されてもよい。
【手続補正書】
【提出日】平成22年9月7日(2010.9.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】レーザ照射装置及び半導体装置の作製方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザビームを射出するレーザ発振器と、
マーカーが設けられた基板を載置するステージと、
前記レーザ発振器から射出されるレーザビームを線状に加工して、前記ステージ上の前記基板に照射する光学系と、
前記ステージ上に載置された前記基板の前記マーカーを検出するカメラと、を有するレーザ照射装置であって、
前記基板は、前記マーカーが設けられた第１の領域と、前記マーカーが設けられていない第２の領域とを有し、前記第１の領域と前記第２の領域とは赤外光に対する反射の特性が異なり、前記カメラは前記赤外光を検知して前記マーカーを検出することを特徴とするレーザ照射装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記ステージは、赤外光透過材料で形成されていることを特徴とするレーザ照射装置。
【請求項３】
レーザビームを射出するレーザ発振器と、
マーカーが設けられた基板を載置し、前記マーカーと重なる領域に設けられた開口部を有するステージと、
前記レーザ発振器から射出されるレーザビームを線状に加工して、前記ステージ上の前記基板に照射する光学系と、
前記ステージ上に載置された前記基板の前記マーカーを検出するカメラと、を有するレーザ照射装置であって、
前記基板は、前記マーカーが設けられた第１の領域と、前記マーカーが設けられていない第２の領域とを有し、前記第１の領域と前記第２の領域とは赤外光に対する反射の特性が異なり、前記カメラは前記赤外光を検知して前記マーカーを検出することを特徴とするレーザ照射装置。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか一において、
前記第１の領域のマーカーは、前記基板に設けられたマーカー形成膜の開口部の縁からなり、
前記カメラは、前記第２の領域の前記マーカー形成膜で反射した赤外光を検知して前記マーカーを検出することを特徴とするレーザ照射装置。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか一において、
前記カメラの画像信号をもとに、前記ステージを移動させる手段を有することを特徴とするレーザ照射装置。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれか一において、
前記レーザビームの光路上に配置され、前記レーザビームが照射されるときに開くシャッターを有することを特徴とするレーザ照射装置。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６のいずれか一において、
前記カメラとして、第１のカメラと前記第１のカメラよりも倍率の高い第２のカメラとを有し、
前記第１のカメラは、前記マーカーを検出して前記基板の位置のアライメントを行い、
前記第２のカメラは、前記マーカーを検出して前記アライメントされた基板の位置を微調整することを特徴とするレーザ照射装置。
【請求項８】
請求項１乃至請求７のいずれか一において、
前記基板は前記赤外光を透過することを特徴とするレーザ照射装置。
【請求項９】
請求項１乃至請求項８のいずれか一において、
前記マーカーは二つ形成され、
前記二つのマーカーを結んだ線分が、前記ステージを用いて走査される前記基板の走査方向と概略平行となるように、前記二つのマーカーが配置されていることを特徴とするレーザ照射装置。
【請求項１０】
請求項１乃至請求項９のいずれか一に記載のレーザ照射装置を用いた半導体装置の作製方法であって、
前記基板上に半導体膜を形成し、
前記半導体膜が形成された基板を前記ステージに載置し、
前記カメラによって前記基板の前記マーカーを検出して、前記ステージの位置を制御し、
前記線状に加工されたレーザビームを前記半導体膜に照射して、前記半導体膜を結晶化することを特徴とする半導体装置の作製方法。
【手続補正書】
【提出日】平成21年12月14日(2009.12.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可溶合金の両端部に端子を形成する工程と、前記可溶合金の表面にフラックスを塗布する工程と、前記可溶合金を覆うように絶縁体を形成する工程とを備え、前記フラックスを、フラックスの融点以上で、かつ前記可溶合金の融点以下の温度で加熱処理するようにした温度ヒューズの製造方法。
【請求項２】
可溶合金を非共晶の合金で構成し、加熱処理の温度を前記可溶合金の固相線以上の温度、かつ前記可溶合金の融点以下の温度とした請求項１記載の温度ヒューズの製造方法。
【請求項３】
可溶合金をＳｎ、Ｉｎ、Ｂｉを含む合金で構成した請求項２記載の温度ヒューズの製造方法。
【請求項４】
可溶合金をＳｎ、Ｉｎ、Ｂｉ、Ｚｎを含む合金で構成した請求項２記載の温度ヒューズの製造方法。
【請求項５】
可溶合金と、この可溶合金の両端部に設けられた端子と、前記可溶合金の表面に塗布されたフラックスと、前記可溶合金を覆うように設けられた絶縁体とを備え、前記フラックスを、フラックスの融点以上で、かつ前記可溶合金の融点以下の温度で加熱処理するようにした温度ヒューズ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の請求項１に記載の発明は、可溶合金の両端部に端子を形成する工程と、前記可溶合金の表面にフラックスを塗布する工程と、前記可溶合金を覆うように絶縁体を形成する工程とを備え、前記フラックスを、フラックスの融点以上で、かつ前記可溶合金の融点以下の温度で加熱処理するようにしたもので、この製造方法によれば、可溶合金の表面に塗布されたフラックスを、フラックスの融点以上で、かつ前記可溶合金の融点以下の温度で加熱処理するようにしているため、この加熱処理によりフラックスが可溶合金の表面の酸化膜をあらかじめ除去することになり、これにより、可溶合金が空気にさらされている時間が長くても、速断性に優れかつ動作温度のばらつきを低減できる温度ヒューズが得られるという作用効果が得られるものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の請求項２に記載の発明は、特に、可溶合金を非共晶の合金で構成し、かつ加熱処理の温度を前記可溶合金の固相線以上の温度としたもので、この製造方法によれば、加熱処理温度を可溶合金の固相線以上の温度としているため、可溶合金は半溶融状態となり、これにより、可溶合金の表面の酸化膜の除去を確実に行うことができるため、速断性に優れかつ動作温度のばらつきを確実に低減できる温度ヒューズが得られるという作用効果が得られるものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の請求項３に記載の発明は、特に、可溶合金をＳｎ、Ｉｎ、Ｂｉを含む合金で構成したもので、この製造方法によれば、可溶合金をＳｎ、Ｉｎ、Ｂｉを含む合金で構成しているため、可溶合金が空気にさらされている時間が長く、可溶合金中に含まれるＩｎが強固な酸化膜を生成したとしても、その酸化膜を除去することができ、これにより、Ｐｂフリーの温度ヒューズであっても速断性に優れかつ動作温度のばらつきを低減できるという作用効果が得られるものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の請求項４に記載の発明は、特に、可溶合金をＳｎ、Ｉｎ、Ｂｉ、Ｚｎを含む合金で構成したもので、この製造方法によれば、可溶合金をＳｎ、Ｉｎ、Ｂｉ、Ｚｎを含む合金で構成しているため、可溶合金が空気にさらされている時間が長く、可溶合金中に含まれるＺｎが強固な酸化膜を生成したとしても、その酸化膜を除去することができ、これにより、Ｐｂフリーの温度ヒューズであっても速断性に優れかつ動作温度のばらつきを低減できるという作用効果が得られるものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の請求項５に記載の発明は、可溶合金と、この可溶合金の両端部に設けられた端子と、前記可溶合金の表面に塗布されたフラックスと、前記可溶合金を覆うように設けられた絶縁体とを備え、前記フラックスを、フラックスの融点以上で、かつ前記可溶合金の融点以下の温度で加熱処理するようにしたもので、この構成によれば、可溶合金の表面に塗布されたフラックスを、フラックスの融点以上で、かつ前記可溶合金の融点以下の温度で加熱処理するようにしているため、この加熱処理によりフラックスが可溶合金の表面の酸化膜をあらかじめ除去することになり、これにより、可溶合金が空気にさらされている時間が長くても、速断性に優れかつ動作温度のばらつきを低減できる温度ヒューズが得られるという作用効果が得られるものである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
以上のように本発明の温度ヒューズは、可溶合金の両端部に端子を形成する工程と、前記可溶合金の表面にフラックスを塗布する工程と、前記可溶合金を覆うように絶縁体を形成する工程とを備え、前記フラックスを、フラックスの融点以上で、かつ前記可溶合金の融点以下の温度で加熱処理するようにしているため、この加熱処理によりフラックスが可溶合金の表面の酸化膜をあらかじめ除去することになり、これにより、可溶合金が空気にさらされている時間が長くても、速断性に優れかつ動作温度のばらつきを低減できる温度ヒューズが得られるという優れた効果を奏するものである。