(57)【要約】【課題】ＳＥＣＳ−Ｉ，ＩＩやＧＥＭ等の装置オンライン仕様に基づく通信制御ソフトを用いることなく、安価に且つ短時間で稼動管理システムを構築する。【解決手段】装置１の稼動表示灯２の各ランプ２ａ，２ｂ，２ｃに対応させて、フォトトランジスタ６ａ，６ｂ，６ｃを配置する。フォトトランジスタ６によりランプ光３ａ，３ｂ，３ｃを電気信号に変換する。電気信号を増幅回路８で増幅し、Ａ／Ｄ変換回路９でデジタル信号に変換した後、記憶回路１１に記憶させる。記憶回路１１は積分回路１０で積分処理された信号も記憶する。ＭＥＳ１７は、一定時間毎に、ＬＡＮ１６、無線基地局１５および無線回路１２を経由して記憶回路１１を参照して、装置１の稼動情報を収集する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
稼動表示灯を有する装置の稼動状況を管理する稼動管理システムであって、
前記稼動表示灯から発せられた光を電気信号に変換するフォトトランジスタと、
前記フォトトランジスタにより変換された前記電気信号を記憶する記憶部と、
前記記憶部に記憶された前記電気信号を参照する工場管理ホストと、
を備えたことを特徴とする稼動管理システム。
【請求項２】
請求項１に記載の稼動管理システムにおいて、
前記工場管理ホストは、無線通信により前記電気信号を参照することを特徴とする稼動管理システム。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の稼動管理システムにおいて、
前記フォトトランジスタの近傍に、特定の光のみを透過させる光フィルタを更に備え、
前記フォトトランジスタは、前記光フィルタを透過した特定の光を電気信号に変換することを特徴とする稼動管理システム。
【請求項４】
請求項１から３の何れかに記載の稼動管理システムにおいて、
前記フォトトランジスタにより変換された前記電気信号を積分処理する積分回路を更に備え、
前記記録部は、前記積分回路により積分処理された電気信号を更に記憶することを特徴とする稼動管理システム。
【請求項５】
請求項１に記載の稼動管理システムにおいて、
前記フォトトランジスタ及び前記記憶部を保持する保持機構を更に備え、
前記保持機構を前記稼動表示灯に装着したことを特徴とする稼動管理システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置または半導体試験装置の稼動管理システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、工場管理ホストであるＭＥＳ（Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ  Ｅｘｅｃｕｔｉｏｎ  Ｓｙｓｔｅｍ：製造実行システム）による半導体製造装置又は半導体試験装置（以下「装置」と総称する。）の稼動管理は、ＳＥＣＳ−Ｉ，ＩＩ（半導体製造装置通信スタンダード１，２）やＧＥＭ（ＳＥＭＩ製造装置の通信及びコントロールのための包括的モデル）等の装置オンライン仕様に基づいて行われていた。
かかる装置オンライン仕様に基づいて装置稼動管理を行うためには、装置側にＭＥＳとの通信を行う通信制御ソフトが必要であり、ＭＥＳ側に装置との通信を行う通信制御ソフトが必要である。すなわち、両者が有する通信制御ソフトにより稼動状態の情報伝達を相互に行っていた。従来の稼動管理システムでは、通信制御ソフトにより装置からＭＥＳに稼動状況が送信されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の稼動管理システムでは、装置を工場に導入する際、その工場の運用仕様および装置の仕様に合わせて、装置個々について通信制御ソフトを開発しなければならない。従って、装置のＭＥＳとの通信制御ソフトと、ＭＥＳの装置との通信制御ソフトの開発に膨大な時間と工数が掛かってしまうという問題があった。
さらに、開発した両者の通信制御ソフトの動作確認にも膨大な時間と工数が掛かってしまうという問題があった。
【０００４】
上述したように、ＳＥＣＳ−Ｉ，ＩＩやＧＥＭ等の装置オンライン仕様に基づく通信制御ソフトを用いて稼動管理システムを構築すると、通信制御ソフトの開発から動作確認まで長時間を要するために、膨大な開発コスト及び工数が必要であった。
【０００５】
本発明は、上記従来の課題を解決するためになされたもので、ＳＥＣＳ−Ｉ，ＩＩやＧＥＭ等の装置オンライン仕様に基づく通信制御ソフトを用いることなく、安価に且つ短時間で稼動管理システムを構築することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決する為の手段】
本発明に係る稼動管理システムは、稼動表示灯を有する装置の稼動状況を管理する稼動管理システムであって、
前記稼動表示灯から発せられた光を電気信号に変換するフォトトランジスタと、
前記フォトトランジスタにより変換された前記電気信号を記憶する記憶部と、
前記記憶部に記憶された前記電気信号を参照する工場管理ホストと、
を備えたことを特徴とするものである。
【０００７】
本発明に係る稼動管理システムにおいて、前記工場管理ホストは、無線通信により前記電気信号を参照することが好適である。
【０００８】
本発明に係る稼動管理システムにおいて、前記フォトトランジスタの近傍に、特定の光のみを透過させる光フィルタを更に備え、
前記フォトトランジスタは、前記光フィルタを透過した特定の光を電気信号に変換することが好適である。
【０００９】
本発明に係る稼動管理システムにおいて、前記フォトトランジスタにより変換された前記電気信号を積分処理する積分回路を更に備え、
前記記録部は、前記積分回路により積分処理された電気信号を更に記憶することが好適である。
【００１０】
本発明に係る稼動管理システムにおいて、前記フォトトランジスタ及び前記記憶部を保持する保持機構を更に備え、
前記保持機構を前記稼動表示灯に装着することが好適である。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図中、同一または相当する部分には同一の符号を付してその説明を簡略化ないし省略することがある。
図１は、本発明の実施の形態による稼動管理システムを説明するための概略図である。
図１に示すように、装置１としての半導体製造装置または半導体試験装置上に、稼動表示灯２が設けられている。稼動表示灯２は、作業者（オペレータ）に対して、稼動中、停止中、警告中等のような装置１の各種状態を知らせるためのものであり、一般に複数色のランプ２ａ，２ｂ，２ｃを有している。稼動表示灯２は、例えば、装置１が稼動中の場合は青色ランプ２ａを、故障等により装置１が停止中の場合は赤色ランプ２ｃを、停止の恐れがある場合は黄色ランプ２ｂを、装置１からの信号により点灯する。また、稼動表示灯２は、各ランプ２ａ，２ｂ，２ｃを連続して点灯させる以外に、例えば、ロットの処理が終了した場合等に点滅させることもできる（後述）。
【００１２】
フォトトランジスタ６（６ａ，６ｂ，６ｃ）の近傍に配置された光フィルタ５（５ａ，５ｂ，５ｃ）は、稼動表示灯２のランプ２ａ，２ｂ，２ｃから発せられる光３（３ａ，３ｂ，３ｃ）のうち、特定の光のみを透過させるものである。ここで、特定の光とは、例えば、特定周波数や特定波長を有する光である。例えば、青色ランプ２ａに対応するフォトトランジスタ６ａの近傍には、青色の光３ａのみを透過させる光フィルタ５ａが配置されている。この光フィルタ５ａは、他のランプ２ｂ，２ｃから発せられた光３ｂ，３ｃを透過しない。他の光フィルタ５ｂ，５ｃについても同様に、それぞれ光３ｂ，３ｃのみを透過させる。
【００１３】
フォトトランジスタ５は、光フィルタ４を透過した特定の光３を電気信号に変換するものである。フォトトランジスタ５は、配線７を介して電気信号を増幅回路８に出力する。増幅回路８は、フォトトランジスタ５から入力された電気信号を増幅し、その増幅された電気信号をアナログ／デジタル変換回路（以下「Ａ／Ｄ変換回路」という。）９に出力する。
Ａ／Ｄ変換回路９は、増幅回路８により増幅された電気信号をデジタル信号に変換し、そのデジタル信号を積分回路１０と記憶回路１１とにそれぞれ出力する。
【００１４】
積分回路１０は、Ａ／Ｄ変換回路９から入力されたデジタル信号を所定時間だけ積分処理して、その積分処理されたデジタル信号を記憶回路１１に出力する。
ここで、積分回路１０を経由した場合のデジタル信号の波形変化について説明する。
図２は、本実施の形態において、積分回路を経由した場合のデジタル信号の波形変化を示す図である。
上述したように、稼動表示灯２は、ランプ２ａ，２ｂ，２ｃを点灯又は点滅させることができる。従って、Ａ／Ｄ変換回路９により変換されたデジタル信号には、点灯した場合のデジタル信号と点滅した場合のデジタル信号との２種類がある。
図２（ａ）に示すように、ランプが点灯した場合、Ａ／Ｄ変換回路９により変換された後のＨｉｇｈレベルのデジタル信号を、積分回路１０によって積分処理しても波形は変化しない。この場合、積分回路１０により積分された信号が、記憶回路１１に入力される。
一方、図２（ｂ）に示すように、ランプが点滅した場合、Ａ／Ｄ変換回路９により変換された後の矩形型のデジタル信号を積分回路１０によって積分処理すると、デジタル信号がなまり（打ち消され）、波形が無くなってしまう。この場合、積分回路１０により積分された信号が、記憶回路１１に入力されない。
【００１５】
記憶部としての記憶回路１１は、Ａ／Ｄ変換回路９から入力されたデジタル信号と、積分回路１０から入力されたデジタル信号とを記憶する。記憶回路１１は、ランプが点灯した場合と点滅した場合の２種類のデジタル信号を記憶する。
上述したように、ランプが点灯した場合、記憶回路１１にはＡ／Ｄ変換回路９と積分回路１０の両方からデジタル信号が入力され、記憶回路１１は２つのデジタル信号を記憶する。一方、ランプが点滅した場合、記憶回路１１にはＡ／Ｄ変換回路９からのみデジタル信号が入力され、記憶回路１１は１つのデジタル信号を記憶する。よって、後述するＭＥＳ１７が記憶回路１１を参照する際、記憶されたデジタル信号の数によりランプの点灯／点滅を判別することができる。
【００１６】
無線回路１２は記憶回路１１に接続され、無線基地局１５との間で電波１４による無線通信を行うものである。
電源回路１３は、上述した増幅回路８、Ａ／Ｄ変換回路９、積分回路１０、記憶回路１１および無線回路１２に電源を供給するためのものである。
【００１７】
無線基地局１５は、ＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ  Ａｒｅａ  Ｎｅｔｗｏｒｋ）１６を介して、工場管理ホスト１７としてのＭＥＳに接続されている。ＭＥＳ１７は、一定時間毎に、記憶回路１１に記憶された電気信号（デジタル信号）を参照する。詳細には、ＭＥＳ１７は、ＬＡＮ１６、無線基地局１５および無線回路１２を経由して記憶回路１１を参照する。また、ＭＥＳ１７が記憶回路１１を参照する際、記憶されたデジタル信号の数によりランプの点灯／点滅を判別することができる。これにより、ＭＥＳ１７は、装置１の稼動情報を非接触で収集することができ、装置１の稼動状況を管理することができる。
【００１８】
また、上述した光フィルタ５、フォトトランジスタ６、配線７、増幅回路８、Ａ／Ｄ変換回路９、積分回路１０、記憶回路１１、無線回路１２および電源回路１３は、保持機構４により一体的に保持され、保持機構４とともに稼動表示灯２に装着されている。
【００１９】
次に、上記稼動管理システムの動作を説明する。
装置１は、稼動状況（稼動中、停止中、警告中等）に応じて、稼動表示灯２の対応するランプを点灯又は点滅させる。以下、停止中の赤ランプ２ｃが点灯した場合について説明する。
赤ランプ２ｃの点灯により発せられた赤色光３ｃが、光フィルタ５ｃを透過してフォトトランジスタ６ｃに達する。このとき、赤色光３ｃは他の光フィルタ５ａ，５ｂを透過しないため、他のフォトトランジスタ６ａ，６ｂに達しない。
フォトトランジスタ６ｃは、赤色光３ｃを電気信号に変換して、変換した電気信号を配線７を介して増幅回路８に出力する。増幅回路８はフォトトランジスタ６ｃから入力された電気信号を増幅して、Ａ／Ｄ変換回路９に出力する。
Ａ／Ｄ変換回路９は、増幅回路８から入力された電気信号をデジタル信号に変換して、積分回路１０と記憶回路１１とに出力する。
積分回路１０は、Ａ／Ｄ変換回路９により変換されたデジタル信号を所定時間だけ積分処理して、その積分処理されたデジタル信号を記憶回路１１に出力する。なお、上述したように、ランプが点滅した場合には、積分処理後の波形が無くなってしまうため、積分回路１０は記憶回路１１に出力しない。
記憶回路１１は、Ａ／Ｄ変換回路９から入力されたデジタル信号と、積分回路１０から入力されたデジタル信号とを記憶する。なお、ランプが点滅した場合には、Ａ／Ｄ変換回路９から入力されたデジタル信号のみを記憶する。
以上のようにして、記憶回路１１に装置１の稼動情報であるデジタル信号が記憶される。
工場管理ホスト１７としてのＭＥＳは、一定時間毎に、ＬＡＮ１６、無線基地局１５および無線回路１２を経由して記憶回路１１を参照する。すなわち、ＭＥＳ１７が記憶回路１１に記憶されたデジタル信号を参照することにより、ＭＥＳ１７並びに工場管理者は、装置１が停止中であるという稼動情報を得る。
【００２０】
以上説明したように、本実施の形態では、装置１の稼動表示灯２のランプ２ａ，２ｂ，２ｃに対応させてフォトトランジスタ６ａ，６ｂ，６ｃを設け、ランプ光３ａ，３ｂ，３ｃを電気信号に変換するようにした。よって、装置１に結線することなく、すなわち非接触な方法で、装置１の稼動状況を収集することができる。
そして、電気信号を記憶回路１１に記憶させて、ＭＥＳ１７が一定時間毎に記憶回路１１を参照することにより、ＭＥＳ１７により装置１の稼動状況を管理することとした。これにより、ＳＥＣＳ−Ｉ，ＩＩやＧＥＭ等の装置オンライン仕様に基づく通信制御ソフトを用いないため、稼動管理システムの開発工数および開発時間を短縮することができ、さらにシステム動作確認時間を短縮することができる。従って、ＳＥＣＳ−Ｉ，ＩＩやＧＥＭ等の装置オンライン仕様に基づく通信制御ソフトを用いることなく、安価に且つ短時間で稼動管理システムを構築することができる。
【００２１】
また、記憶回路１１は、Ａ／Ｄ変換回路９から入力されたデジタル信号とともに、ランプが点灯した場合には積分回路１０を経由したデジタル信号を記憶することとした。これにより、ＭＥＳ１７は、記憶回路１１を参照することにより、ランプが点灯と点滅の何れの状態であるかを容易に判別することができる。
また、無線回路１２と無線基地局１５との間で無線通信を行うことにより、従来よりも配線工数を削減することができる。
また、フォトトランジスタ６の近傍に、特定の光のみを透過させる光フィルタ５を配置した。これにより、ランプ２ａ，２ｂ，２ｃとフォトトランジスタ６ａ，６ｂ，６ｃとの位置関係を厳密に制御しなくても、フォトトランジスタ６により特定の光のみを参照可能とした。
また、光フィルタ５、フォトトランジスタ６、配線７、増幅回路８、Ａ／Ｄ変換回路９、積分回路１０、記憶回路１１、無線回路１２および電源回路１３を、保持機構４により稼動表示灯２に装着することとした。これにより、装置１に機械加工を施す必要がなく、簡単に装着することができる。
【００２２】
なお、本実施の形態では、稼動表示灯２が３つのランプ２ａ，２ｂ，２ｃを有する場合について説明したが、稼動表示灯が４つ以上のランプを有する場合についても適用可能である。
【００２３】
次に、本実施の形態の変形例について説明する。
図３は、本実施の形態の変形例による移動管理システムを説明するための概略図である。
図３に示すように、本実施の形態の変形例では、稼動表示灯２の各ランプ２ａ，２ｂ，２ｃごとに、それぞれ光フィルタ５ａ，５ｂ，５ｃとフォトトランジスタ６ａ，６ｂ，６ｃとを設けた。
これにより、上記実施の形態で得られる効果に加えて、稼動表示灯２のランプのレイアウトに影響されることなくランプから稼動情報を取得可能であるという効果が得られる。
【００２４】
【発明の効果】
本発明によれば、ＳＥＣＳ−Ｉ，ＩＩやＧＥＭ等の装置オンライン仕様に基づく通信制御ソフトを用いることなく、安価に且つ短時間で稼動管理システムを構築することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態による稼動管理システムを説明するための概略図である。
【図２】本発明の実施の形態において、積分回路を経由した場合のデジタル信号の波形変化を示す図である。
【図３】本発明の実施の形態の変形例による移動管理システムを説明するための概略図である。
【符号の説明】
１  装置（半導体製造装置、半導体試験装置）
２  稼動表示灯
２ａ，２ｂ，２ｃ  ランプ
３  光
４  保持機構
５  光フィルタ
６  フォトトランジスタ
７  配線
８  増幅回路
９  Ａ／Ｄ変換回路
１０  積分回路
１１  記憶回路
１２  無線回路
１３  電源回路
１４  電波
１５  無線基地局
１６  ＬＡＮ
１７  工場管理ホスト（ＭＥＳ）
【図１】
2005011971.tif 000003
【図２】
2005011971.tif 000004
【図３】
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