【手続補正書】
【提出日】平成22年4月8日(2010.4.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学エレメントを保持するためのデバイスであって、前記デバイスは、
前記光学エレメントをマウントするための少なくとも１つの保持エレメントと、
前記光学エレメントおよび前記保持エレメントの少なくとも一方の少なくとも一部とシーリング接触するための少なくとも１つのシーリング・エレメントを備え、
前記シーリング・エレメントの少なくとも一部が、前記シーリング・エレメントが前記光学エレメントおよび前記保持エレメントの少なくとも一方に当接してシールする第１の位置と、前記シーリング・エレメントが前記光学エレメントおよび前記保持エレメントから離隔される第２の位置の間において変位可能な可動部分であることを特徴とするデバイス。
【請求項２】
前記光学エレメントがレンズであることを特徴とする、請求項１に記載のデバイス。
【請求項３】
前記シーリング・エレメントの可動部分が、調整可能な接触力を伴って前記光学エレメントに当接するように切り替え可能であることを特徴とする、請求項１に記載のデバイス。
【請求項４】
前記接触力が、前記シーリング・エレメントの可動部分の、前記光学エレメントおよび保持エレメントの少なくとも一方に関して異なる位置への移動によって調整可能であることを特徴とする、請求項３に記載のデバイス。
【請求項５】
前記保持エレメントが、１つの面を取り囲む液密マウントであることを特徴とする、請求項１に記載のデバイス。
【請求項６】
前記保持エレメントが、前記光学エレメントのラテラル表面上の光学エレメントを取り囲む液密マウントであることを特徴とする、請求項５に記載のデバイス。
【請求項７】
前記シーリング・エレメントが、前記保持エレメントとともに、前記光学エレメントを支持することを特徴とする、請求項１に記載のデバイス。
【請求項８】
前記シーリング・エレメントが前記第２の位置にあるとき前記光学エレメントを、前記保持エレメントにマウントする少なくとも１つの支持エレメントをさらに備えることを特徴とする、請求項１に記載のデバイス。
【請求項９】
保持エレメントおよびシーリング・エレメントがそれぞれ保持およびシーリング機能を備えることを特徴とする、請求項１に記載のデバイス。
【請求項１０】
液体と接触する光学エレメントを保持するためのデバイスであって、前記デバイスは、
前記光学エレメントをマウントするための少なくとも１つの保持エレメントを備え、
前記少なくとも１つの保持エレメントが前記光学エレメントの低応力保持を提供し、
前記保持エレメントが、複数の保持点または保持面を備え、
前記複数の保持点または保持面のそれぞれの保持点または保持面が互いに離間しており、
前記複数の保持点または保持面が積極的なロックによって前記光学エレメントを収容することを特徴とするデバイス。
【請求項１１】
前記保持エレメントが、前記光学エレメントを取り囲む環状の本体を有し、
前記保持エレメントが、前記環状本体と前記光学エレメントの間に配置された少なくとも１つの保持器を有し、前記少なくとも１つの保持器が、環状の本体と光学エレメントの積極的なロックを提供することを特徴とする、請求項１０に記載のデバイス。
【請求項１２】
液体と接触する光学エレメントを保持するためのデバイスであって、前記デバイスは、
前記光学エレメントをマウントするための少なくとも１つの保持エレメントと、
可動コンポーネントを含む少なくとも１つのシーリング・エレメントを備え、
前記少なくとも１つの保持エレメントが前記光学エレメントの低応力保持を提供し、
前記可動コンポーネントが、前記シーリング・エレメントが前記光学エレメントおよび前記保持エレメントの少なくとも一方に当接してシールする第１の位置と、前記シーリング・エレメントが前記光学エレメントから離隔される第２の位置の間において変位可能であることを特徴とするデバイス。
【請求項１３】
前記少なくとも１つのシーリング・エレメントの前記可動コンポーネントが、調整可能な接触力を伴って前記光学エレメントおよび保持エレメントの少なくとも一方に当接するように切り替え可能であることを特徴とする、請求項１２に記載のデバイス。
【請求項１４】
前記接触力が、前記シーリング・エレメントの前記可動コンポーネントの、前記光学エレメントおよび保持エレメントの少なくとも一方に関して異なる位置への移動によって調整可能であることを特徴とする、請求項１３に記載のデバイス。
【請求項１５】
前記少なくとも１つのシーリング・エレメントの前記可動コンポーネントが、前記第１および第２の位置の間の複数の位置において変位可能であることを特徴とする、請求項１２に記載のデバイス。
【請求項１６】
前記少なくとも１つのシーリング・エレメントが、保持エレメントと光学エレメントの間に配置され、前記保持エレメントに関して、および前記光学エレメントに関して、シーリング表面を有することを特徴とする、請求項１２に記載のデバイス。
【請求項１７】
前記少なくとも１つのシーリング・エレメントが、前記光学エレメントおよび保持エレメントの少なくとも一方の少なくとも１つのシーリング表面の反対側に備えられ、前記シーリング表面が前記光学エレメントの光軸に対して横向きに広がることを特徴とする、請求項１２に記載のデバイス。
【請求項１８】
前記少なくとも１つのシーリング・エレメントの前記可動コンポーネントが、前記光学エレメントの前記光軸と平行に、シーリング位置と非シーリング位置の間において移動可能であることを特徴とする、請求項１７に記載のデバイス。
【請求項１９】
前記少なくとも１つのシーリング・エレメントが、シールされるべきシーリング表面から距離を置いて保持され、その結果ギャップが形成され、前記ギャップは、表面張力効果のために、ベイに保持されるべき液体が通過することが防止されるに充分であることを特徴とする、請求項１７に記載のデバイス。
【請求項２０】
前記少なくとも１つのシーリング・エレメントの前記可動コンポーネントが、少なくとも１つの可動キャリア上に備えられることを特徴とする、請求項１２に記載のデバイス。
【請求項２１】
前記少なくとも１つのシーリング・エレメントが、折りたたみベローズ、弾性体およびラバー弾性コンポーネントの少なくとも１つを備えることを特徴とする、請求項１２に記載のデバイス。
【請求項２２】
少なくとも１つのシーリング・エレメントに接続され、少なくとも１つの可動シーリング表面の移動を提供する少なくとも１つのアクチュエータをさらに有することを特徴とする、請求項１２に記載のデバイス。
【請求項２３】
前記アクチュエータと前記可動シーリング表面の間に、少なくとも１つの補強エレメントが備えられることを特徴とする、請求項２２に記載のデバイス。
【請求項２４】
前記少なくとも１つのシーリング・エレメントがシーリング・リングであることを特徴とする、請求項１２に記載のデバイス。
【請求項２５】
前記シーリング・エレメントが、前記保持エレメントの正面に広がる少なくとも１つのシールディング・エレメントを備えることを特徴とする、請求項１２に記載のデバイス。
【請求項２６】
コントロールユニットおよび検出ユニットをさらに備え、
前記コントロールユニットおよび検出ユニットが、前記少なくとも１つのシーリング・エレメントの前記可動コンポーネントの動作がコントロールされるように相互作用することを特徴とする、請求項１２に記載のデバイス。
【請求項２７】
前記検出ユニットがセンサを包含することを特徴とする、請求項２６に記載のデバイス。
【請求項２８】
前記センサが、位置センサ、液体センサ、光学センサ、振動センサおよび運動センサのうちの少なくとも１つを包含することを特徴とする、請求項２７に記載のデバイス。
【請求項２９】
液体と接触する光学エレメントを保持するためのデバイスであって、前記デバイスは、
前記光学エレメントをマウントするための少なくとも１つの保持エレメントを備え、
前記少なくとも１つの保持エレメントが前記光学エレメントの低応力保持を提供し、
前記光学エレメントが透明保護エレメントであることを特徴とするデバイス。
【請求項３０】
液体と接触する光学エレメントを保持するためのデバイスであって、前記デバイスは、
前記光学エレメントをマウントするための少なくとも１つの保持エレメントを備え、
前記少なくとも１つの保持エレメントが前記光学エレメントの低応力保持を提供し、
前記保持エレメントが、前記光学エレメントを取り囲む環状の本体を有し、
前記保持エレメントが、前記環状本体と前記光学エレメントの間に配置された少なくとも１つの保持器を有し、前記少なくとも１つの保持器が、環状の本体と光学エレメントの積極的なロックを提供することを特徴とするデバイス。
【請求項３１】
前記少なくとも１つの保持エレメントが、液体に対して透過性の保持を提供することを特徴とする、請求項１０または３０に記載のデバイス。
【請求項３２】
前記光学エレメントが、複数の光学エレメントを備えた液浸対物鏡の最終光学エレメントであることを特徴とする、請求項１０または３０に記載のデバイス。
【請求項３３】
前記保持エレメントが、複数の保持点または保持面を備え、
前記複数の保持点または保持面のそれぞれの保持点または保持面が互いに離間しており、
前記複数の保持点または保持面が積極的なロックによって前記光学エレメントを収容することを特徴とする、請求項３０に記載のデバイス。
【請求項３４】
前記保持エレメントがシーリングまたは接着コンパウンドをまったく有していない、請求項１０または３０に記載のデバイス。
【請求項３５】
可動コンポーネントを含む少なくとも１つのシーリング・エレメントを備え、
前記可動コンポーネントが、前記シーリング・エレメントが前記光学エレメントおよび前記保持エレメントの少なくとも一方に当接してシールする第１の位置と、前記シーリング・エレメントが前記光学エレメントから離隔される第２の位置の間において変位可能であることを特徴とする、請求項１０または３０に記載のデバイス。
【請求項３６】
前記保持エレメントとは別々に、かつ独立して備えられた少なくとも１つのシーリング・エレメントをさらに備え、シーリングおよび保持機能が別々に、かつ互いに独立となるように作用することを特徴とする、請求項１０または３０に記載のデバイス。
【請求項３７】
空気圧的に、液圧的に、または電気的に、特に圧電的に作動可能な少なくとも１つの作動可能なシーリング・エレメントが備えられることを特徴とする、請求項１０または３０に記載のデバイス。
【請求項３８】
前記光学エレメントが光学レンズまたは透明保護エレメントであることを特徴とする、請求項３０に記載のデバイス。
【請求項３９】
前記デバイスがマイクロリソグラフィ装置に組み込まれるためのものである、請求項１０または３０に記載のデバイス。
【請求項４０】
前記デバイスが投影対物鏡に組み込まれるためのものである、請求項１０または３０に記載のデバイス。