【手続補正書】
【提出日】平成22年8月20日(2010.8.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
テラヘルツ波を用いて検査するための検査装置であって、
テラヘルツ波を発生して検査対象物に照射する電磁波発生・照射部と、複数の検出部を備える電磁波検出部と、を有し、
前記複数の検出部は、
前記電磁波発生・照射部によって発せられ検査対象物の異なる部位と相互作用して透過または反射したテラヘルツ波を検出する様に配置され、且つ
前記異なる部位からのテラヘルツ波を夫々異なる検出時間或いは検出周波数で検出する様に構成され、
前記複数の検出部からの検出信号に基づいて、検査対象物からのテラヘルツ波の応答の情報を取得する、
ことを特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記テラヘルツ波は、30GHz乃至30THzの周波数領域における複数の周波数の成分を含み、前記複数の周波数の成分は、夫々、検査対象物の異なる部位に照射され、
前記複数の周波数の成分夫々の透過強度比を取得する請求項1に記載の検査装置。 
【請求項３】
複数のミラーと、
前記電磁波発生・照射部に光を照射すると共に前記複数のミラーを経由して前記電磁波検出部に光を照射するためのレーザと、を有し、
前記複数のミラーで反射した光をそれぞれ前記複数の検出部に照射することにより検出した前記透過または反射したテラヘルツ波の検出信号に基づいて、検査対象物の平均的なテラヘルツ波の分光情報を取得する請求項1に記載の検査装置。
【請求項４】
長さの異なる複数のファイバと、
前記電磁波発生・照射部に光を照射すると共に前記複数のファイバを経由して前記電磁波検出部に光を照射するためのファイバレーザと、を有し、
前記複数のファイバを経由した光をそれぞれ前記複数の検出部に照射することにより検出した前記透過または反射したテラヘルツ波の検出信号に基づいて、検査対象物の平均的なテラヘルツ波の分光情報を取得する請求項1に記載の検査装置。
【請求項５】
テラヘルツ波を用いて検査するための検査方法であって、
テラヘルツ波を発生して検査対象物の異なる部位に亘って照射する工程と、
検査対象物の異なる部位と相互作用して透過または反射したテラヘルツ波を、夫々異なる検出時間或いは検出周波数で、複数の検出部で検出する工程と、
複数の検出部からの検出信号に基づいて、検査対象物からのテラヘルツ波の応答の情報を取得する工程と、
を含むことを特徴とする検査方法。
【請求項６】
前記検査対象物は、同種の複数の検体が並んだもの或いは均質的な検体である請求項5に記載の検査方法。
【請求項７】
前記検査対象物は移動し、検査対象物の異なる部位は、検査対象物が移動するに従って逐次変化する請求項5または6に記載の検査方法。
【請求項８】
前記取得したテラヘルツ波の応答の情報が、均質的な検体或いは同種の検体が満たすべき基準値範囲外である場合に、前記検体をスクリーニングする工程を含む請求項6または7に記載の検査方法。
【請求項９】
前記取得したテラヘルツ波の応答の情報が、均質的な検体或いは同種の検体が満たすべき基準値範囲外である場合に、前記基準値範囲内に調整される様に前記検体の製造装置の製造条件をフィードバック制御する工程を含む請求項6乃至8の何れかに記載の検査方法。
【請求項１０】
テラヘルツ波を用いて検査するための検査装置であって、
テラヘルツ波を発生させるための複数の発生部と、
前記複数の発生部が夫々発生したテラヘルツ波が検査対象物で透過あるいは反射したテラヘルツ波を検出するための複数の検出部と、を有し、
前記複数の検出部は、前記透過あるいは反射したテラヘルツ波を夫々異なる検出時間で検出するように配置され、該複数の検出部が検出したテラヘルツ波に関する情報を用いて該透過あるいは反射したテラヘルツ波の時間波形を取得することを特徴とする検査装置。
【請求項１１】
前記複数の発生部及び前記複数の検出部が、夫々１次元アレイ状に並べられた複数の光伝導素子で構成され、
レーザ光を矩形状ビームにして前記複数の発生部の複数の光伝導素子に同時に照射し、前記複数の発生部から発生するテラヘルツ波を線状に集光して検査対象物に照射することを特徴とする請求項１０に記載の検査装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
そこで、例えば塗装の検査装置として、次の技術が検討されている（非特許文献1参照）。すなわち、THz-TDSにおいて、THz波のビームをスポット状ではなく線状に広げて、広い領域の情報を同時に取得し、それにより2次元領域からのデータの取得を高速化する技術が検討されている。さらに、電気光学結晶を用いてテラヘルツ波を2次元的に取得し、電気光学結晶の表面上でテラヘルツ波と励起光の入射角度を異なる様にして遅延時間を場所的に変化させる。こうして、遅延ステージのスキャンなしに情報を取得できる様にしている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記課題に鑑み、本発明のテラヘルツ波を用いて検査するための検査装置は、テラヘルツ波を発生して検査対象物に照射する電磁波発生・照射部と、複数の検出部を備える電磁波検出部と、を有する。前記複数の検出部は、電磁波発生・照射部で発せられ検査対象物の異なる部位と相互作用して透過または反射したテラヘルツ波を検出する様に配置され、且つ異なる部位からのテラヘルツ波を夫々異なる検出時間或いは検出周波数で検出する様に構成される。こうした構成により、本発明の検査装置は、複数の検出部からの検出信号に基づいて、検査対象物からのテラヘルツ波の応答の情報を取得する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、上記課題に鑑み、本発明のテラヘルツ波を用いて検査するための検査方法は、以下の第1乃至第3の工程を少なくとも含む。第1の工程では、テラヘルツ波を発生して検査対象物の異なる部位に亘って照射する。第2の工程では、検査対象物の異なる部位と相互作用して透過または反射したテラヘルツ波を、夫々異なる検出時間或いは検出周波数で、複数の検出部で検出する。第3の工程では、複数の検出部からの検出信号に基づいて、検査対象物からのテラヘルツ波の応答の情報を取得する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
フェムト秒レーザ1からのレーザ光はハーフミラー3によって2つの光路に分けられ、一方は、電磁波発生・照射手段をなす光伝導素子9に照射される。この光伝導素子9は図1に示す様に素子が1次元アレイ状に並べられており、レンズ7でレーザ光は矩形状のビームにされる。こうして、レーザ光は、光伝導素子9であるアレイ素子の全体に同時に照射される。バイアス電源18は、パルス発生器25の信号によって変調された電圧を光伝導素子9のアレイ素子の全ての電極に供給する。典型的には、±10Vで5kHzの信号をアレイ素子の全ての電極に与える。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
例えば、前記の例のシメチジンの場合の各ピークの吸光度から、図4の様にプロットして検量線を作成すると、濃度に比例して吸光度が変化する。よって、ランベルト・ベールの法則に従って濃度が求められる。図4において、2.17THzの場合の線が0点を通過していないのは、高濃度領域で誤差が大きいためと考えられる。なお、本データは吸光度測定のためのサンプルからのものであり、実際の医薬品ではポリエチレンではなく、製剤に用いられる添加剤、例えば、ステアリン酸マグネシウム、マクロゴール、ヒドロプロキシセルロース、タルクなどを用いている。