【手続補正書】
【提出日】平成22年6月17日(2010.6.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
強誘電性材料からなり、第一の主面、第二の主面、一対の側面、光の入射面および出射面を備える光導波路基板、
前記第一の主面に形成されたチャンネル光導波路であって、少なくとも一対の分岐部、前記分岐部の合波部およびこの合波部の下流側の出射部を含んでいるチャンネル光導波路、
前記分岐部を伝搬する光を変調する信号電圧を印加するための変調用電極であって、前記光導波路基板の前記第一の主面に形成された変調用電極、
補強基板、
前記光導波路基板の前記第二の主面を前記補強基板に接着する接着層、
前記光導波路基板の前記第一の主面に設けられた受光器、および
前記合波部からのＯＦＦモードの漏れ光を反射し、前記第一の主面から出射させるための反射溝を備えており、前記反射溝が前記光導波路基板を前記第一の主面と前記第二の主面との間で貫通し、かつ前記接着層内まで延びており、前記ＯＦＦモードの漏れ光の光出力に基づいて、前記変調用電極に加わる直流バイアスを変化させることによって、前記光変調器の動作点を制御することを特徴とする、光変調器。
【請求項２】
前記光導波路基板の厚さが０．５μｍ以上、３０μｍ以下であることを特徴とする、請求項１記載の光変調器。
【請求項３】
強誘電性材料からなり、第一の主面、第二の主面、一対の側面、光の入射面および出射面を備える光導波路基板、
前記第一の主面に形成されたチャンネル光導波路であって、少なくとも一対の分岐部、前記分岐部の合波部およびこの合波部の下流側の出射部を含んでいるチャンネル光導波路、
前記分岐部を伝搬する光を変調する信号電圧を印加するための変調用電極であって、前記光導波路基板の前記第一の主面に形成された変調用電極、
前記合波部からの信号光またはＯＦＦモードの漏れ光を伝搬するガイド光導波路、
補強基板、
前記光導波路基板の前記第二の主面を前記補強基板に接着する接着層、
前記光導波路基板の前記第一の主面に設けられた受光器、および
前記ガイド光導波路の出射端に接するように形成されており、前記信号光または前記ＯＦＦモードの漏れ光を前記第一の主面から前記光導波路基板外に出射させる反射溝を備えており、前記反射溝が前記光導波路基板を前記第一の主面と前記第二の主面との間で貫通し、かつ前記接着層内まで延びており、前記ＯＦＦモードの漏れ光の光出力に基づいて、前記変調用電極に加わる直流バイアスを変化させることによって、前記光変調器の動作点を制御することを特徴とする、光変調器。
【請求項４】
前記光導波路基板の厚さが０．５μｍ以上、３０μｍ以下であることを特徴とする、請求項３記載の光変調器。
【請求項５】
強誘電性材料からなり、第一の主面、第二の主面、一対の側面、光の入射面および出射面を備える光導波路基板、
前記第一の主面側に形成されたチャンネル光導波路であって、少なくとも一対の分岐部、前記分岐部の合波部およびこの合波部の下流側の出射部を含んでいるチャンネル光導波路、
前記分岐部を伝搬する光を変調する信号電圧を印加するための変調用電極であって、前記光導波路基板の前記第一の主面に形成された変調用電極、
前記合波部からの信号光またはＯＦＦモードの漏れ光を伝搬するガイド光導波路、
補強基板、
前記光導波路基板の前記第二の主面を前記補強基板に接着する接着層、
前記光導波路基板の前記第一の主面に設けられた受光器、
前記ガイド光導波路の出射端に接するように形成されている溝であって、前記光導波路基板を前記第一の主面と前記第二の主面との間で貫通し、かつ前記接着層内まで延びている溝、および
前記溝に設けられており、前記信号光または前記ＯＦＦモードの漏れ光を前記第一の主面から前記光導波路基板外に出射させる反射板を備えており、前記ＯＦＦモードの漏れ光の光出力に基づいて、前記変調用電極に加わる直流バイアスを変化させることによって、前記光変調器の動作点を制御することを特徴とする、光変調器。
【請求項６】
前記溝が、前記光導波路基板内において前記主面に対して垂直であることを特徴とする、請求項５記載の光変調器。
【請求項７】
前記光導波路基板の厚さが０．５μｍ以上、３０μｍ以下であることを特徴とする、請求項５または６記載の光変調器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
第一の発明に係る光変調器は、
強誘電性材料からなり、第一の主面、第二の主面、一対の側面、光の入射面および出射面を備える光導波路基板、
第一の主面に形成されたチャンネル光導波路であって、少なくとも一対の分岐部、分岐部の合波部およびこの合波部の下流側の出射部を含んでいるチャンネル光導波路、
分岐部を伝搬する光を変調する信号電圧を印加するための変調用電極であって、光導波路基板の前記第一の主面に形成された変調用電極、
補強基板、
光導波路基板の第二の主面を補強基板に接着する接着層、
光導波路基板の第一の主面に設けられた受光器、および
合波部からのＯＦＦモードの漏れ光を反射し、第一の主面から出射させるための反射溝を備えており、反射溝が光導波路基板を第一の主面と第二の主面との間で貫通し、かつ接着層内まで延びており、ＯＦＦモードの漏れ光の光出力に基づいて、変調用電極に加わる直流バイアスを変化させることによって、光変調器の動作点を制御することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
第二の発明に係る光変調器は、
強誘電性材料からなり、第一の主面、第二の主面、一対の側面、光の入射面および出射面を備える光導波路基板、
第一の主面に形成されたチャンネル光導波路であって、少なくとも一対の分岐部、分岐部の合波部およびこの合波部の下流側の出射部を含んでいるチャンネル光導波路、
分岐部を伝搬する光を変調する信号電圧を印加するための変調用電極であって、光導波路基板の第一の主面に形成された変調用電極、
合波部からの信号光またはＯＦＦモードの漏れ光を伝搬するガイド光導波路、
補強基板、
光導波路基板の第二の主面を補強基板に接着する接着層、
光導波路基板の第一の主面に設けられた受光器、および
ガイド光導波路の出射端に接するように形成されており、信号光またはＯＦＦモードの漏れ光を第一の主面から光導波路基板外に出射させる反射溝を備えており、反射溝が光導波路基板を第一の主面と第二の主面との間で貫通し、かつ接着層内まで延びており、ＯＦＦモードの漏れ光の光出力に基づいて、変調用電極に加わる直流バイアスを変化させることによって、光変調器の動作点を制御することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
第三の発明に係る光変調器は、
強誘電性材料からなり、第一の主面、第二の主面、一対の側面、光の入射面および出射面を備える光導波路基板、
第一の主面側に形成されたチャンネル光導波路であって、少なくとも一対の分岐部、分岐部の合波部およびこの合波部の下流側の出射部を含んでいるチャンネル光導波路、
分岐部を伝搬する光を変調する信号電圧を印加するための変調用電極であって、光導波路基板の第一の主面に形成された変調用電極、
合波部からの信号光またはＯＦＦモードの漏れ光を伝搬するガイド光導波路、
補強基板、
光導波路基板の第二の主面を補強基板に接着する接着層、
光導波路基板の第一の主面に設けられた受光器、
ガイド光導波路の出射端に接するように形成されている溝であって、光導波路基板を前記第一の主面と前記第二の主面との間で貫通し、かつ前記接着層内まで延びている溝、および
溝に設けられており、信号光またはＯＦＦモードの漏れ光を第一の主面から光導波路基板外に出射させる反射板を備えており、ＯＦＦモードの漏れ光の光出力に基づいて、変調用電極に加わる直流バイアスを変化させることによって、光変調器の動作点を制御することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
第一の発明によれば、基板に反射溝を形成し、反射溝内は、空気もしくは基板屈折率よりも低屈折率の材料を充填する。これによって、マッハツェンダー型光導波路の合波部から基板内部へと出射するＯＦＦモードの漏れ光を反射溝で反射させ、基板の上面から取り出し、基板表面側に実装された光学部品によって受光することができる。この方法によれば、光学部品と光導波路とが近いので、ＯＦＦモードの漏れ光の受光効率が高く、ＯＦＦモードの漏れ光を安定して受光し、動作点の制御に利用できる。
更に、溝が基板を貫通していない場合には、溝の底辺エッヂにおいて、温度環境変動等により応力集中が発生しやすくなる。これにより該応力集中部を起点としたクラック等が伸展し、特性を害する懸念がある。このため、予め溝を基板の厚さ方向にて貫通させておくことで、エッジ部を起点とするクラック発生の可能性を払拭できる。

【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
図２（ａ）は、本発明外の参考例に係る光変調器２１を模式的に示す平面図であり、図２（ｂ）は、光変調器２１の部分拡大図である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
図３は、本発明外の参考例に係る光変調器２２を模式的に示す平面図である。本例では、出射部４ｃからガイド光導波路１２が分岐しており、合波後の信号光は、出射部４ｃからガイド光導波路１２へと伝搬し、ガイド光導波路１２内を矢印Ｅのように伝搬する。そして、基板１に形成された反射溝１０によって反射され、矢印Ｃのように側面１ｂへと伝搬し、側面１ｂから射出する。基板側面１ｂ側に受光素子８を配置し、受光する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
第一の発明、第二の発明、第三の発明において、補強基板、および光導波路基板を他方の主面側で補強基板と接着する接着層を設ける。例えば、図５に示す例では、補強基板１４上に接着層１３を介して光導波路基板１の他方の主面１ｃを支持している。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
第一の発明、第二の発明において、反射溝は、光導波路基板を貫通している。また、第三の発明において、反射板を設置する溝は、光導波路基板を貫通している。例えば、図６の例では、反射溝７は基板１を貫通しており、反射溝７Ａは基板１を貫通していない。反射溝７Ａが基板１を貫通していない場合には、溝７Ａの底辺エッヂ１５において、温度環境変動等により応力集中が発生しやすくなる。これにより該応力集中部を起点としたクラック等が伸展し、特性を害する懸念がある。このため、反射溝７のように、予め反射溝を基板の厚さ方向にて貫通させておくことで、エッジ部１５を起点とするクラック発生の可能性を払拭できる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７１】
【図１】（ａ）は、第一の発明に係る光変調器２０を模式的に示す正面図であり、（ｂ）は、光変調器２０を模式的に示す正面図である。
【図２】（ａ）は、第二の発明に係る光変調器２１を模式的に示す正面図であり、（ｂ）は、光変調器２１の部分拡大図である。
【図３】参考例に係る光変調器２２を模式的に示す平面図である。
【図４】（ａ）は、参考例に係る光変調器３０を模式的に示す正面図であり、（ｂ）は、光変調器３０を模式的に示す正面図である。
【図５】図１の基板１を接着層１３を介して補強基板１４へと接着した状態を模式的に示す図である。
【図６】反射溝７、７Ａの断面形状を示す図である。
【図７】ＯＦＦモードの漏れ光用のガイド光導波路９と光導波路４との位置関係を示す平面図である。
【図８】分岐型のガイド光導波路１２とチャンネル光導波路との位置関係を示す平面図である。
【図９】曲折したガイド光導波路２３とチャンネル光導波路４との位置関係を示す平面図である。
【図１０】反射溝１０から側面１ｂへと至る第二のガイド光導波路を形成した状態を示す平面図である。
【図１１】溝のカケと受光感度との関係を示すグラフである。
【図１２】（ａ）は、第三の発明に係る光変調器の構成を示す模式的正面図であり、（ｂ）は、（ａ）の光変調器の溝および反射板を示す断面図である。
【図１３】他の実施形態に係る溝および反射板の形態を示す断面図である。