【手続補正書】
【提出日】平成21年12月17日(2009.12.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上のマークの像を信号として検出して前記マークの位置を計測する計測装置であって、
前記像を形成する検出光学系と、
前記検出光学系の伝達特性を記憶する記憶部と、
前記伝達特性に基づく復元処理を行って前記信号を補正する演算部と、
を備えることを特徴とする計測装置。
【請求項２】
前記像は、前記伝達特性が互いに異なる複数の領域を含み、
前記記憶部は、前記複数の領域のそれぞれに対応する前記伝達特性を記憶し、
前記演算部は、該複数の領域のそれぞれに対応する前記伝達特性に基づいて前記復元処理を行うことを特徴とする請求項１に記載の計測装置。
【請求項３】
基板上のマークの像を信号として検出して前記マークの位置を計測する計測方法であって、
前記像を形成する検出光学系の伝達特性を求めて記憶する第１の工程と、
前記伝達特性に基づく復元処理を行って前記信号を補正する第２の工程と、
前記第２の工程で補正された信号に基づいてマークの位置を求める第３の工程と、
を含む、ことを特徴とする計測方法。
【請求項４】
前記第１の工程では、前記検出光学系により形成された反射ピンホール又は反射スリットの像の信号から点応答関数を算出することにより、前記伝達特性を求めることを特徴とする請求項３に記載の計測方法。
【請求項５】
前記像は、前記伝達特性が互いに異なる複数の領域を含み、
前記第１の工程では、前記複数の領域のそれぞれに対応する前記伝達特性を求めて記憶し、
前記第２の工程では、前記複数の領域のそれぞれに対応する前記伝達特性に基づいて前記復元処理を行うことを特徴とする請求項３に記載の計測方法。
【請求項６】
前記第１の工程は、
前記像が形成される面内を区分し、各区分に反射ピンホール又は反射スリットがそれぞれ含まれるように前記基板を移動させて前記反射ピンホール又は反射スリットの像を形成すること、
前記各区分に関して、前記像から点応答関数を算出すること、
前記各区分に関して算出された前記点応答関数に基づいて、点応答関数が共通とみなせる複数の区分を集めることにより、前記複数の領域を決定すること、及び、
前記各区分に関して算出された前記点応答関数に基づいて、決定された前記複数の領域のそれぞれを代表する点応答関数を算出すること
を含むことを特徴とする請求項５に記載の計測方法。
【請求項７】
前記各区分に関して算出された前記点応答関数のフーリエパワースペクトルの固有ベクトルを基底とする固有空間上での前記パワースペクトルの距離の差が閾値以下の区分を集めることによって、前記複数の領域を決定することを特徴とする請求項６に記載の計測方法。
【請求項８】
基板上のマークの像を信号として検出して前記マークの位置を求め、求められた前記位置に基づいて前記基板を移動して前記基板を露光する露光装置であって、
前記基板を保持し、かつ移動するステージと、
前記像を形成する検出光学系と、
前記検出光学系の伝達特性を記憶する記憶部と、
前記伝達特性に基づく復元処理を行って前記信号を補正する演算部と、
前記演算部により補正された前記信号に基づいて前記マークの位置を求め、求められた前記位置に基づいて前記ステージの位置を制御する制御部と、
を備えることを特徴とする露光装置。
【請求項９】
前記像は、前記伝達特性が互いに異なる複数の領域を含み、
前記記憶部は、前記複数の領域のそれぞれに対応する前記伝達特性を記憶し、
前記演算部は、前記複数の領域のそれぞれに対応する前記伝達特性に基づいて前記復元処理を行うことを特徴とする請求項８に記載の露光装置。
【請求項１０】
請求項８又は請求項９に記載される露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で該露光された基板を現像する工程と、
を備えることを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
撮像部６は、マークＷＭの像の光電変換を行う。光電変換されたマークＷＭの像は、Ａ／Ｄ変換部７において、２次元のデジタル信号列に変換され、次いで、積算部８によって、図１８に示すｙ方向に積算処理され、図１９に示すように２次元のデジタル信号列が１次元のデジタル信号列Ｓ0(x)に変換される。その変換された１次元のデジタル信号列を用いてマークＷＭの中心位置を計測していた。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明の第１の側面は、基板上のマークの像を信号として検出してマークの位置を計測する計測装置であって、像を形成する検出光学系と、検出光学系の伝達特性を記憶する記憶部と、伝達特性に基づく復元処理を行って信号を補正する演算部と、を備える。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明の実施形態によれば、像は、伝達特性が互いに異なる複数の領域を含み、記憶部は、複数の領域のそれぞれに対応する伝達特性を記憶し、演算部は、複数の領域のそれぞれに対応する伝達特性に基づいて復元処理を行う。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明の第２の側面は、基板上のマークの像を信号として検出してマークの位置を計測する計測方法であって、像を形成する検出光学系の伝達特性を求めて記憶する第１の工程と、伝達特性に基づく復元処理を行って信号を補正する第２の工程と、第２の工程で補正された信号に基づいてマークの位置を求める第３の工程と、を含む。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明の実施形態によれば、第１の工程では、検出光学系により形成された反射ピンホール又は反射スリットの像の信号から点応答関数を算出することにより、伝達特性を求める。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明の実施形態によれば、像は、前記伝達特性が互いに異なる複数の領域を含み、第１の工程では、複数の領域のそれぞれに対応する伝達特性を求めて記憶し、第２の工程では、複数の領域のそれぞれに対応する伝達特性に基づいて復元処理を行う。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明の実施形態によれば、第１の工程は、像が形成される面内を区分し、各区分に反射ピンホール又は反射スリットがそれぞれ含まれるように基板を移動させて反射ピンホール又は反射スリットの像を形成すること、各区分に関して、像から点応答関数を算出すること、各区分に関して算出された点応答関数に基づいて、点応答関数が共通とみなせる複数の区分を集めることにより、複数の領域を決定すること、及び、各区分に関して算出された点応答関数に基づいて、決定された複数の領域のそれぞれを代表する点応答関数を算出することを含む。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明の実施形態によれば、各区分に関して算出された点応答関数のフーリエパワースペクトルの固有ベクトルを基底とする固有空間上でのパワースペクトルの距離の差が閾値以下の区分を集めることによって、複数の領域を決定する。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
本発明の第３の側面は、基板上のマークの像を信号として検出してマークの位置を求め、求められた位置に基づいて基板を移動して基板を露光する露光装置であって、基板を保持し、かつ移動するステージと、像を形成する検出光学系と、検出光学系の伝達特性を記憶する記憶部と、伝達特性に基づく復元処理を行って信号を補正する演算部と、演算部により補正された信号に基づいてマークの位置を求め、求められた位置に基づいてステージの位置を制御する制御部と、を備える。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
本発明の第４の側面は、デバイス製造方法であって、そのような露光装置を用いて基板を露光する工程と、前記工程で露光された基板を現像する工程とを備える。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
撮像部で取り込まれた２次元画像をImg(x,y)、点応答関数をh(x,y)、２次元復元画像をｓ(x,y)とすると、これらの関係は、一般的にImg(x,y)=ｓ(x,y)*h(x,y)で表現できる。ここで、*は畳み込み積分、x,yは座標を意味する。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
本実施形態に係わる、基板上のマークを用いてレクチルと基板との相対位置を調整してレクチル上のパターンを介し基板を露光する露光装置の構成は図９のとおりである。この露光装置は演算部９１４及び記憶部９１５をさらに備える点で、図１７に示した従来の半導体露光装置と異なる。また、照明部９２、投影光学系９１及び結像光学系９４，９５、撮像部９６はマークを信号として検出する検出光学系を構成する。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
図１８はマークWMの例である。撮像対象領域ROIは、マークWMの全体又は一部である。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
以上のステップ０からステップ４により、図２１の１次元画像S1(x)よりも矩形波に近い波形を得ることができ、コントラストも向上する。