【手続補正書】
【提出日】平成22年3月1日(2010.3.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理体に対して処理を行う処理室からの排気ガスを排出する排気路に設けられ、前記排気ガス中から排気物を捕捉するためのトラップ装置において、
前記排気路に介設されて透明な照射窓を有する筐体と、
前記筐体内に設けられて前記排気物を捕捉するトラップ手段と、
前記トラップ手段を加熱するために前記照射窓の外側に設けられた赤外線ヒータ部材を有するトラップ加熱手段と、
前記筐体内へ冷媒を導入する冷媒導入手段と、
前記冷媒を排出するための冷媒排出部と、
前記トラップ手段で捕捉した前記排出物を除去するために前記トラップ加熱手段により前記トラップ手段を加熱した状態で前記冷媒導入手段より前記冷媒を導入するように制御する制御部と、
を備えたことを特徴とするトラップ装置。
【請求項２】
前記照射窓の内側には、該照射窓の表面に前記排気物が付着することを防止するための防着シャッタが移動可能に設けられることを特徴とする請求項１記載のトラップ装置。
【請求項３】
前記冷媒導入手段は、前記筐体の天井部に設けた冷媒導入口を有し、該冷媒導入口より前記トラップ手段に前記冷媒を噴射するようになされていることを特徴とする請求項１又は２に記載のトラップ装置。
【請求項４】
前記冷媒排出部は、前記筐体の底部に設置されると共に、該冷媒排出部の冷媒排出口には開閉可能になされた排出開閉弁が設けられることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のトラップ装置。
【請求項５】
前記冷媒排出口には、外周に延びるフランジ状の弁座を有する排出開閉弁が設けられており、前記弁座には弁体と当接して気密にシールするシール部材が設けられることを特徴とする請求項４記載のトラップ装置。
【請求項６】
前記筐体の外周には、冷却ジャケットが設けられていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載のトラップ装置。
【請求項７】
前記筐体内へ大気圧復帰用の気体を導入する大気圧復帰ガス導入部を有することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載のトラップ装置。
【請求項８】
前記トラップ手段は、複数のフィンを有することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一項に記載のトラップ装置。
【請求項９】
前記フィンは回転可能になされていることを特徴とする請求項８記載のトラップ装置。
【請求項１０】
前記フィンは、前記排気物の種類に応じた部材により構成されていることを特徴とする請求項８又は９記載のトラップ装置。
【請求項１１】
被処理体に対して処理を行う処理室からの排気ガスを排出する排気路と、
該排気路に介設された請求項１乃至１０のいずれか一項に記載のトラップ装置と、
前記トラップ装置を通過した排気ガス中の有害物質を無害化する除害装置と、
前記排気路の途中に介設されて前記処理室内の雰囲気を吸引する排気ポンプ手段と、
を備えたことを特徴とする排気系。
【請求項１２】
前記トラップ装置は、前記排気路に取付管を介して接続されており、該取付管は前記排気路が水平方向へ延びる部分において重力方向へ屈曲された状態で介設されていることを特徴とする請求項１１記載の排気系。
【請求項１３】
被処理体に対して処理を行う処理室からの排気ガスを排出する排気路と、
該排気路の途中に、該排気路を複数に分岐するように並列に介設された複数の取付管と、
前記各取付管に介設された請求項１乃至１０のいずれか一項に記載されたトラップ装置と、
前記取付管の分岐部と合流部とに設けられていずれか１つの取付管を選択する切替弁と、
前記トラップ装置を通過した排気ガス中の有害物質を無害化する除害装置と、
前記排気路の途中に介設されて前記処理室内の雰囲気を吸引する排気ポンプ手段と、
前記複数のトラップ装置の内のいずれか１つに付着した排気物を除去する時に他のトラップ装置が稼働状態になるように制御する切替制御部と、
を備えたことを特徴とする排気系。
【請求項１４】
前記切替弁には、該切替弁に前記排気ガス中の排気物が付着することを防止するために加熱する弁加熱手段が設けられていることを特徴とする請求項１３記載の排気系。
【請求項１５】
前記分岐部と合流部の全体を冷却する冷却ジャケットが設けられていることを特徴とする請求項１３又は１４記載の排気系。
【請求項１６】
前記取付管は、前記排気路が水平方向へ延びる部分において重力方向へ屈曲された状態で介設されていることを特徴とする請求項１３乃至１５のいずれか一項に記載の排気系。
【請求項１７】
被処理体に対して処理を行う処理室を有する処理装置と、
請求項１１乃至１６のいずれか一項に記載の排気系とを備えたことを特徴とする処理システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
請求項１に係る発明は、被処理体に対して処理を行う処理室からの排気ガスを排出する排気路に設けられ、前記排気ガス中から排気物を捕捉するためのトラップ装置において、前記排気路に介設されて透明な照射窓を有する筐体と、前記筐体内に設けられて前記排気物を捕捉するトラップ手段と、前記トラップ手段を加熱するために前記照射窓の外側に設けられた赤外線ヒータ部材を有するトラップ加熱手段と、前記筐体内へ冷媒を導入する冷媒導入手段と、前記冷媒を排出するための冷媒排出部と、前記トラップ手段で捕捉した前記排出物を除去するために前記トラップ加熱手段により前記トラップ手段を加熱した状態で前記冷媒導入手段より前記冷媒を導入するように制御する制御部と、を備えたことを特徴とするトラップ装置である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
この場合、例えば請求項２に記載したように、前記照射窓の内側には、該照射窓の表面に前記排気物が付着することを防止するための防着シャッタが移動可能に設けられる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また例えば請求項３に記載したように、前記冷媒導入手段は、前記筐体の天井部に設けた冷媒導入口を有し、該冷媒導入口より前記トラップ手段に前記冷媒を噴射するようになされている。
また例えば請求項４に記載したように、前記冷媒排出部は、前記筐体の底部に設置されると共に、該冷媒排出部の冷媒排出口には開閉可能になされた排出開閉弁が設けられる。
また例えば請求項５に記載したように、前記冷媒排出口には、外周に延びるフランジ状の弁座を有する排出開閉弁が設けられており、前記弁座には弁体と当接して気密にシールするシール部材が設けられる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また例えば請求項６に記載したように、前記筐体の外周には、冷却ジャケットが設けられている。
また例えば請求項７に記載したように、前記筐体内へ大気圧復帰用の気体を導入する大気圧復帰ガス導入部を有する。
また例えば請求項８に記載したように、前記トラップ手段は、複数のフィンを有する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また例えば請求項９に記載したように、前記フィンは回転可能になされている。
また例えば請求項１０に記載したように、前記フィンは、前記排気物の種類に応じた部材により構成されている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項１１に係る発明は、被処理体に対して処理を行う処理室からの排気ガスを排出する排気路と、該排気路に介設された請求項１乃至１０のいずれか一項に記載のトラップ装置と、前記トラップ装置を通過した排気ガス中の有害物質を無害化する除害装置と、前記排気路の途中に介設されて前記処理室内の雰囲気を吸引する排気ポンプ手段と、を備えたことを特徴とする排気系である。
この場合、例えば請求項１２に記載したように、前記トラップ装置は、前記排気路に取付管を介して接続されており、該取付管は前記排気路が水平方向へ延びる部分において重力方向へ屈曲された状態で介設されている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
請求項１３に係る発明は、被処理体に対して処理を行う処理室からの排気ガスを排出する排気路と、該排気路の途中に、該排気路を複数に分岐するように並列に介設された複数の取付管と、前記各取付管に介設された請求項１乃至１０のいずれか一項に記載されたトラップ装置と、前記取付管の分岐部と合流部とに設けられていずれか１つの取付管を選択する切替弁と、前記トラップ装置を通過した排気ガス中の有害物質を無害化する除害装置と、前記排気路の途中に介設されて前記処理室内の雰囲気を吸引する排気ポンプ手段と、前記複数のトラップ装置の内のいずれか１つに付着した排気物を除去する時に他のトラップ装置が稼働状態になるように制御する切替制御部と、を備えたことを特徴とする排気系である。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
この場合、例えば請求項１４に記載したように、前記切替弁には、該切替弁に前記排気ガス中の排気物が付着することを防止するために加熱する弁加熱手段が設けられている。
また例えば請求項１５に記載したように、前記分岐部と合流部の全体を冷却する冷却ジャケットが設けられている。
また例えば請求項１６に記載したように、前記取付管は、前記排気路が水平方向へ延びる部分において重力方向へ屈曲された状態で介設されている。
請求項１７に係る発明は、被処理体に対して処理を行う処理室を有する処理装置と、請求項１１乃至１６のいずれか一項に記載の排気系とを備えたことを特徴とする処理システムである。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
特に請求項１３に係る発明によれば、排気路を分岐させて複数の取付管を設け、各取付管に前記トラップ装置を介設するようにして、上記取付管を切り替えることによりトラップ装置の稼働と再生とを例えば交互に切り替えて行うようにしたので、摺動部分がなくなり、排気ガスや冷媒（洗浄水）等が洩れることを防止できるのみならず、処理装置を連続使用することができる。