【手続補正書】
【提出日】平成22年1月21日(2010.1.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属からなる反応器の表面に設けられた第１の絶縁膜と、
前記第１の絶縁膜の表面に形成された薄膜ヒータと、
前記薄膜ヒータを覆う第２の絶縁膜と、
前記第２の絶縁膜上に設けられた輻射防止膜と、を備え、
前記第１の絶縁膜は、結晶構造を有するＲ2Ｏ3（Ｒは希土類元素）膜又はＲＦｅＯ3（Ｒは希土類元素）で形成され、
前記薄膜ヒータは、前記第１の絶縁膜側から順に、密着層、拡散防止層、発熱抵抗層、拡散防止層を積層して形成され、前記密着層はＴａ、Ｍｏ、Ｔｉ、Ｃｒのいずれかからなり、前記拡散防止層はＷからなり、前記発熱抵抗層はＡｕからなり、
前記輻射防止膜は、Ａｕ、Ａｇのいずれかからなり、
前記第２の絶縁膜は結晶構造を有するＲＦｅＯ3（Ｒは希土類元素）からなることを特徴とする反応器加熱装置。
【請求項２】
前記第２の絶縁膜は、薄膜ヒータの形成された反応器の表面に、Ｆｅ（ＮＯ3）3及びＲ（ＮＯ3）3の混合溶液を塗布し、溶媒を蒸発させた後、熱分解させることにより形成されることを特徴とする請求項１に記載の反応器加熱装置。
【請求項３】
前記第１の絶縁膜は、ビクスバイト結晶構造を有するＹ2Ｏ3であることを特徴とする請求項１または２に記載の反応器加熱装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の反応器加熱装置を備えることを特徴とする反応器。
【請求項５】
燃料ガスの電気化学反応により電力を取り出す燃料電池部を備える燃料電池装置であって、
前記燃料電池部の表面には第１の絶縁膜と、前記第１の絶縁膜の表面に形成された薄膜ヒータが設けられ、
前記薄膜ヒータを覆う第２の絶縁膜と、
前記第２の絶縁膜上に設けられた輻射防止膜と、を備え、
前記第１の絶縁膜は、結晶構造を有するＲ2Ｏ3（Ｒは希土類元素）膜又はＲＦｅＯ3（Ｒは希土類元素）で形成され、
前記薄膜ヒータは、前記第１の絶縁膜側から順に、密着層、拡散防止層、発熱抵抗層、拡散防止層を積層して形成され、前記密着層はＴａ、Ｍｏ、Ｔｉ、Ｃｒのいずれかからなり、前記拡散防止層はＷからなり、前記発熱抵抗層はＡｕからなり、
前記輻射防止膜は、Ａｕ、Ａｇのいずれかからなり、
前記第２の絶縁膜は結晶構造を有するＲＦｅＯ3（Ｒは希土類元素）からなることを特徴とする燃料電池装置。
【請求項６】
燃料ガスの電気化学反応により電力を取り出す発電セルと、
原燃料が供給されて燃料ガスを生成し前記発電セルに供給する改質器と、を備える燃料電池装置であって、
前記改質器の表面には第１の絶縁膜と、前記第１の絶縁膜の表面に形成された薄膜ヒータが設けられ、
前記薄膜ヒータを覆う第２の絶縁膜と、
前記第２の絶縁膜上に設けられた輻射防止膜と、を備え、
前記第１の絶縁膜は、結晶構造を有するＲ2Ｏ3（Ｒは希土類元素）膜又はＲＦｅＯ3（Ｒは希土類元素）で形成され、
前記薄膜ヒータは、前記第１の絶縁膜側から順に、密着層、拡散防止層、発熱抵抗層、拡散防止層を積層して形成され、前記密着層はＴａ、Ｍｏ、Ｔｉ、Ｃｒのいずれかからなり、前記拡散防止層はＷからなり、前記発熱抵抗層はＡｕからなり、
前記輻射防止膜は、Ａｕ、Ａｇのいずれかからなり、
前記第２の絶縁膜は結晶構造を有するＲＦｅＯ3（Ｒは希土類元素）からなることを特徴とする燃料電池装置。
【請求項７】
前記第２の絶縁膜は、薄膜ヒータの形成された反応器の表面に、Ｆｅ（ＮＯ3）3及びＲ（ＮＯ3）3の混合溶液を塗布し、溶媒を蒸発させた後、熱分解させることにより形成されることを特徴とする請求項５または６に記載の燃料電池装置。
【請求項８】
請求項５〜７のいずれか一項に記載の燃料電池装置と、
前記燃料電池装置によって発電された電気により動作する電子機器本体と、を備えることを特徴とする電子機器。 
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
薄膜ヒータの表面に設ける絶縁膜は、例えばＳｉＯ2を薄膜ヒータの凹凸を埋めるように塗布することで平坦に形成され、その表面に輻射防止膜が形成される。
【特許文献１】特開２００４−２５６３８７号公報
【特許文献２】特開平８−１６６２６９号公報
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
以上の課題を解決するため、請求項１に記載の発明は、金属からなる反応器の表面に設けられた第１の絶縁膜と、前記第１の絶縁膜の表面に形成された薄膜ヒータと、前記薄膜ヒータを覆う第２の絶縁膜と、前記第２の絶縁膜上に設けられた輻射防止膜と、を備え、前記第１の絶縁膜は、結晶構造を有するＲ2Ｏ3（Ｒは希土類元素）膜又はＲＦｅＯ3（Ｒは希土類元素）で形成され、前記薄膜ヒータは、前記第１の絶縁膜側から順に、密着層、拡散防止層、発熱抵抗層、拡散防止層を積層して形成され、前記密着層はＴａ、Ｍｏ、Ｔｉ、Ｃｒのいずれかからなり、前記拡散防止層はＷからなり、前記発熱抵抗層はＡｕからなり、前記輻射防止膜は、Ａｕ、Ａｇのいずれかからなり、前記第２の絶縁膜は結晶構造を有するＲＦｅＯ3（Ｒは希土類元素）からなることを特徴とする反応器加熱装置である。 
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の反応器加熱装置であって、前記第２の絶縁膜は、薄膜ヒータの形成された反応器の表面に、Ｆｅ（ＮＯ3）3及びＲ（ＮＯ3）3の混合溶液を塗布し、溶媒を蒸発させた後、熱分解させることにより形成されることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の反応器加熱装置であって、前記第１の絶縁膜は、ビクスバイト結晶構造を有するＹ2Ｏ3であることを特徴とする。 
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項５に記載の発明は、燃料ガスの電気化学反応により電力を取り出す燃料電池部を備える燃料電池装置であって、前記燃料電池部の表面には第１の絶縁膜と、前記第１の絶縁膜の表面に形成された薄膜ヒータが設けられ、前記薄膜ヒータを覆う第２の絶縁膜と、前記第２の絶縁膜上に設けられた輻射防止膜と、を備え、前記第１の絶縁膜は、結晶構造を有するＲ2Ｏ3（Ｒは希土類元素）膜又はＲＦｅＯ3（Ｒは希土類元素）で形成され、前記薄膜ヒータは、前記第１の絶縁膜側から順に、密着層、拡散防止層、発熱抵抗層、拡散防止層を積層して形成され、前記密着層はＴａ、Ｍｏ、Ｔｉ、Ｃｒのいずれかからなり、前記拡散防止層はＷからなり、前記発熱抵抗層はＡｕからなり、前記輻射防止膜は、Ａｕ、Ａｇのいずれかからなり、前記第２の絶縁膜は結晶構造を有するＲＦｅＯ3（Ｒは希土類元素）からなることを特徴とする。 
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
請求項６に記載の発明は、燃料ガスの電気化学反応により電力を取り出す発電セルと、原燃料が供給されて燃料ガスを生成し前記発電セルに供給する改質器と、を備える燃料電池装置であって、前記改質器の表面には第１の絶縁膜と、前記第１の絶縁膜の表面に形成された薄膜ヒータが設けられ、前記薄膜ヒータを覆う第２の絶縁膜と、前記第２の絶縁膜上に設けられた輻射防止膜と、を備え、前記第１の絶縁膜は、結晶構造を有するＲ2Ｏ3（Ｒは希土類元素）膜又はＲＦｅＯ3（Ｒは希土類元素）で形成され、前記薄膜ヒータは、前記第１の絶縁膜側から順に、密着層、拡散防止層、発熱抵抗層、拡散防止層を積層して形成され、前記密着層はＴａ、Ｍｏ、Ｔｉ、Ｃｒのいずれかからなり、前記拡散防止層はＷからなり、前記発熱抵抗層はＡｕからなり、前記輻射防止膜は、Ａｕ、Ａｇのいずれかからなり、前記第２の絶縁膜は結晶構造を有するＲＦｅＯ3（Ｒは希土類元素）からなることを特徴とする。 
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項７に記載の発明は、請求項５または６に記載の燃料電池装置であって、前記第２の絶縁膜は、薄膜ヒータの形成された反応器の表面に、Ｆｅ（ＮＯ3）3及びＲ（ＮＯ3）3の混合溶液を塗布し、溶媒を蒸発させた後、熱分解させることにより形成されることを特徴とする。 
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
熱交換器４２，６２には、燃料供給流路８４を通過した改質ガス（排気ガス１）及び酸素供給流路８５を通過した空気（排気ガス２）の排出流路が形成されている。排気ガス１及び排気ガス２は、熱交換器４２，６２に形成された排出流路を通して断熱パッケージ１０外へ放出される。熱交換器４２，６２は排気ガス１及び排気ガス２が通過する際に放出される熱により、改質器６１及び気化器４１を昇温させる。 
【手続補正１０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2008183530.tif 000001
【手続補正１１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５】
2008183530.tif 000002