【誤訳訂正書】
【提出日】平成22年9月13日(2010.9.13)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の開口側部と、前記第１の開口側部に対向する第２の開口側部と、２つの対向する平坦な側壁とを有する矩形形状の中央ピースと、
前記中央ピースの第１の開口側部と結合するように適合され、円筒の一部の形状を有する側壁を有する第１の側部ピースと、
前記中央ピースの第２の開口側部と結合するように適合され、円筒の一部の形状を有する側壁を有する第２の側部ピースと、
を備え、
前記中央ピース、第１の側部ピース及び第２の側部ピースが、移送チャンバとして組み立てられたときに、円筒形の内部チャンバ領域を形成する、マルチピースチャンバ。
【請求項２】
前記中央ピース、第１の側部ピース及び第２の側部ピースは、一緒に結合されたときに、移送チャンバを形成する、請求項１に記載のマルチピースチャンバ。
【請求項３】
第１の開口側部と、
前記第１の開口側部と対向する第２の開口側部と、
前記第１の開口側部と第２の開口側部との間の平坦な第１のファセットであって、チャンバに結合するように適合され、かつ基板が開口部を通過できるような大きさに形成された開口部を有する第１のファセットと、
前記第１のファセットと対向し、かつ前記第１の開口側部と第２の開口側部との間の平坦な第２のファセットであって、チャンバに結合するように適合され、かつ各々が、基板が開口部を通過できるような大きさに形成された少なくとも２つの垂直方向に積層された開口部を有する第２のファセットとを有する、矩形形状の中央ピースと、
中央ピースの前記第１の開口側部と結合するように適合され、円筒の一部の形状を有する側壁を有する第１の側部ピースであって、基板が開口部を通過できるような大きさに形成された開口部を有する第１のファセットを少なくとも有する第１の側部ピースと、
中央ピースの前記第２の開口側部と結合するように適合され、円筒の一部の形状を有する側壁を有する第２の側部ピースであって、基板が開口部を通過できるような大きさに形成された開口部を有する第１のファセットを少なくとも有する第２の側部ピースと、
を備え、
前記第１の側部ピースの第１のファセットの開口部、前記第２の側部ピースの第１のファセットの開口部及び前記中央ピースの第２のファセットの第１の開口部が、前記第１のピース、第２のピース及び中央ピースが一緒に結合されたときに、同じ高さにあり、
前記中央ピース、第１の側部ピース及び第２の側部ピースが、移送チャンバとして組み立てられたときに、円筒形の内部チャンバ領域を形成する、マルチピースチャンバ。
【請求項４】
円筒の一部の形状を有する側壁を有する第１のピースと、
少なくとも、前記第１のピースに結合され、それによりマルチピース電子デバイス製造チャンバを形成し、円筒の一部の形状を有する側壁を有する第２のピースと、
を備え、
前記ピースの各々の寸法が、３ｍ以下であり、
前記マルチピース電子デバイス製造チャンバの全体の寸法が、３ｍより大きく、
前記第１のピース及び第２のピースが、移送チャンバとして組み立てられたときに、円筒形の内部チャンバ領域を形成する、マルチピース電子デバイス製造チャンバ。
【請求項５】
第１の開口側部と、前記第１の開口側部に対向する第２の開口側部と、２つの対向する平坦な側壁と、ドーム状部分を有する底部とを有する矩形形状の中央ピースと、
前記中央ピースの第１の開口側部に結合するように適合され、円筒の一部の形状を有する側壁を有する第１の側部ピースと、
前記中央ピースの第２の開口側部と結合するように適合され、円筒の一部の形状を有する側壁を有する第２の側部ピースと、
を備え、
前記中央ピース、第１の側部ピース及び第２の側部ピースが、移送チャンバとして組み立てられたときに、円筒形の内部チャンバ領域を形成する、マルチピースチャンバ。
【請求項６】
第１の開口側部と、前記第１の開口側部に対向する第２の開口側部と、２つの対向する平坦な側壁と、ドーム状部分及び平坦部分を有する底部とを有する矩形形状の中央ピースであって、前記平坦部分が第１の厚さを有し、前記ドーム状部分が、前記第１の厚さよりも小さい第２の厚さを有する、中央ピースと、
前記中央ピースの第１の開口側部と結合するように適合され、円筒の一部の形状を有する側壁を有する第１の側部ピースと、
前記中央ピースの第２の開口側部と結合するように適合され、円筒の一部の形状を有する側壁を有する第２の側部ピースとを備え、
前記中央ピース、第１の側部ピース及び第２の側部ピースが、移送チャンバとして組み立てられたときに、円筒形の内部チャンバ領域を形成する、マルチピースチャンバ。
【請求項７】
第１の開口側部と、
前記第１の開口側部に対向する第２の開口側部と、
基板が開口部を通過できるような大きさに形成された少なくとも１つの開口部を含む平坦な第１のファセットと、
各々が、基板が開口部を通過できるような大きさに形成された少なくとも３つの開口部を含み、前記第１のファセットに対向する平坦な第２のファセットとを有する矩形形状の中央ピースと、
前記中央ピースの第１の開口側部と結合するように適合され、円筒の一部の形状を有する側壁を有する第１の側部ピースと、
前記中央ピースの第２の開口側部と結合するように適合され、円筒の一部の形状を有する側壁を有する第２の側部ピースとを備え、
前記中央ピース、第１の側部ピース及び第２の側部ピースが、移送チャンバとして組み立てられたときに、円筒形の内部チャンバ領域を形成する、マルチピースチャンバ。
【請求項８】
第１の開口側部と、前記第１の開口側部に対向する第２の開口側部と、２つの対向する平坦な側壁とを有する矩形形状の中央ピースと、
前記中央ピースの第１の開口側部に結合するように適合され、円筒の一部の形状を有する側壁を有する第１の側部ピースと、
前記中央ピースの第２の開口側部に結合するように適合され、円筒の一部の形状を有する側壁を有する第２の側部ピースと、
を備え、
前記中央ピースの第１の開口側部は、基板を、マルチピースチャンバ内で回転させることができるように、かつ前記マルチピースチャンバから、前記マルチピースチャンバの第１の側部ピースに結合されたチャンバへ移送できるように適合された第１の切り欠きを少なくとも含み、
前記中央ピース、第１の側部ピース及び第２の側部ピースが、移送チャンバとして組み立てられたときに、円筒形の内部チャンバ領域を形成する、マルチピースチャンバ。
【請求項９】
第１の開口側部と、前記第１の開口側部に対向する第２の開口側部と、２つの対向する平坦な側壁とを有する矩形形状の中央ピースと、
前記中央ピースの第１の開口側部に結合するように適合され、円筒の一部の形状を有する側壁を有する第１の側部ピースであって、前記第１の側部ピースの側壁の動きを低減するように適合された少なくとも１つのフィン構造を含む、第１の側部ピースと、
前記中央ピースの第２の開口側部と結合するように適合され、円筒の一部の形状を有する側壁を有する第２の側部ピースと、
を備え、
前記中央ピース、第１の側部ピース及び第２の側部ピースが、移送チャンバとして組み立てられたときに、円筒形の内部チャンバ領域を形成する、マルチピースチャンバ。
【請求項１０】
第１の開口側部と、前記第１の開口側部に対向する第２の開口側部と、２つの対向する平坦な側壁とを有する矩形形状の中央ピースと、
前記中央ピースの第１の開口側部と結合するように適合され、円筒の一部の形状を有する側壁を有する第１の側部ピースであって、前記第１の側部ピースの側壁の動きを低減するように適合された少なくとも１つの支持構造を含む、第１の側部ピースと、
前記中央ピースの第２の開口側部と結合するように適合され、円筒の一部の形状を有する側壁を有する第２の側部ピースであって、前記第２の側部ピースの側壁の動きを低減するように適合された少なくとも１つの支持構造を含む、第２の側部ピースと、
を備え、
前記中央ピース、第１の側部ピース及び第２の側部ピースが、移送チャンバとして組み立てられたときに、円筒形の内部チャンバを形成する、マルチピースチャンバ。
【請求項１１】
第１の開口側部と、前記第１の開口側部に対向する第２の開口側部と、２つの対向する平坦な側壁とを有する矩形形状の中央ピースと、
前記中央ピースの第１の開口側部と結合するように適合され、円筒の一部の形状を有する側壁を有する第１の側部ピースと、
前記中央ピースの第２の開口側部と結合するように適合され、円筒の一部の形状を有する側壁を有する第２の側部ピースと、
前記中央ピースを少なくとも覆うように適合された蓋であって、平坦部分と、前記平坦部分の垂直方向の動きを低減するように適合された複数の支持部材とを備える、蓋とを備え、
前記中央ピース、第１の側部ピース及び第２の側部ピースが、移送チャンバとして組み立てられたときに、円筒形の内部チャンバ領域を形成する、マルチピースチャンバ。
【請求項１２】
第１の開口側部と、前記第１の開口側部に対向する第２の開口側部と、２つの対向する平坦な側壁とを有する矩形形状の中央ピースと、
前記中央ピースの第１の開口側部に結合するように適合され、円筒の一部の形状を有する側壁を有する第１の側部ピースと、
前記中央ピースの第２の開口側部に結合するように適合され、円筒の一部の形状を有する側壁を有する第２の側部ピースと、
前記中央ピースを少なくとも覆うように適合された蓋であって、マルチピースチャンバの内部領域へのアクセスを、前記蓋を外すことを要することなく可能にするように適合された少なくとも１つのハッチを備える、蓋とを備え、
前記中央ピース、第１の側部ピース及び第２の側部ピースが、移送チャンバとして組み立てられたときに、円筒形の内部チャンバ領域を形成する、マルチピースチャンバ。
【請求項１３】
マルチピースチャンバの第１の側部ピースであって、円筒の一部の形状を有する側壁を有する第１の側部ピースと、
前記マルチピースチャンバの第２の側部ピースであって、前記第１及び第２の側部ピースが、前記マルチピースチャンバを形成するために矩形形状の中央ピースに結合されるように適合され、円筒の一部の形状を有する側壁を有する第２の側部ピースと、
前記第１の側部ピースに結合された第１のベースフレームピースと、
前記第２の側部ピースに結合された第２のベースフレームピースとを有するユニットを備え、
前記ユニットの寸法が、３ｍ以下であり、
前記中央ピースが、第１の開口側部と、前記第１の開口側部に対向する第２の開口側部と、２つの対向する平坦な側壁とを有し、
前記中央ピース、第１の側部ピース及び第２の側部ピースが、移送チャンバとして組み立てられたときに、円筒形の内部チャンバ領域を形成する、装置。
【請求項１４】
第１の開口側部と、前記第１の開口側部に対向する第２の開口側部と、２つの対向する平坦な側壁とを有する矩形形状の中央ピースと、
前記中央ピースの第１の開口側部と結合するように適合され、円筒の一部の形状を有する側壁を有する第１の側部ピースと、
前記中央ピースの第２の開口側部と結合するように適合され、円筒の一部の形状を有する側壁を有する第２の側部ピースと、
を備え、
前記中央ピース、第１の側部ピース及び第２の側部ピースが、移送チャンバとして組み立てられたときに、円筒形の内部チャンバ領域を形成し、
前記第１の側部ピースが、複数の処理チャンバに結合するように形成され、
前記第２の側部ピースが、複数の処理チャンバに結合するように形成される、マルチピースチャンバ。
【請求項１５】
第１の開口側部と、前記第１の開口側部に対向する第２の開口側部と、２つの対向する平坦な側壁とを有する矩形形状の中央ピースと、
前記中央ピースの第１の開口側部と結合するように適合され、円筒の一部の形状を有する側壁を有する第１の側部ピースと、
前記中央ピースの第２の開口側部と結合するように適合され、円筒の一部の形状を有する側壁を有する第２の側部ピースと、
を備え、
前記中央ピース、第１の側部ピース及び第２の側部ピースが、移送チャンバとして組み立てられたときに、円筒形の内部チャンバ領域を形成し、
前記第１の側部ピースが台形形状であり、
前記第２の側部ピースが台形形状である、マルチピースチャンバ。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２７】
従来の移送チャンバ（例えば、１ピース移送チャンバ）の幅は、一般に、地上及び／又は航空輸送規制、輸送容量又は建物のデザインによって、約３ｍ以下に制限されている。例えば、約３ｍより大きい移送チャンバは、ローカル規制により、最も一般的な容量である７４７貨物運送飛行機での輸送が禁止されており、標準的な電子デバイス製造設備の入口ドアをうまく通過させるには大き過ぎる可能性がある。対照的に、本発明の１つ以上の実施形態においては、該マルチピース移送チャンバの幅Ｗ１は、組立てたときに（例えば、全体の幅）、４．２ｍとなる。そのため、本電子デバイス製造チャンバ１０１は、従来の１ピース移送チャンバが収容できるものよりも大きな基板を収容することができる。電子デバイス製造チャンバ１０１は、４．２ｍよりも大きな又は小さな幅であってもよい。