【手続補正書】
【提出日】平成22年10月12日(2010.10.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基準マークが形成された透光性基板からなるアライメントマスクと、
接合部品の位置決め基準および前記基準マークを認識する第１画像認識手段と、
前記第１画像認識手段とは反対の方向から、被接合部品の位置決め基準および前記基準マークを認識する第２画像認識手段と、
を用い、
接合面に接合位置決め基準が形成された前記接合部品と、被接合面に被接合位置決め基準が形成された前記被接合部品とを、前記アライメントマスクの前記基準マークを基準にして、前記接合面と前記被接合面を対向させた状態でアライメントする接合対象物のアライメント方法であって、
前記接合部品の前記接合位置決め基準が形成された面を、前記アライメントマスクの前記基準マークが形成された面に向かい合わせて重ね合わせ且つ押圧する工程と、
前記接合部品が前記アライメントマスクと重ね合わせた状態で、前記アライメントマスクを挟んで前記接合部品と対向する側から前記アライメントマスクの前記基準マークおよび前記接合部品の前記接合位置決め基準を、前記第１画像認識手段により位置認識する第１認識工程と、
前記接合部品を前記アライメントマスクから離した後、前記接合部品と前記アライメントマスクの間の位置に前記第２画像認識手段を挿入させる工程と、
前記第２画像認識手段を用いて、前記アライメントマスクの前記基準マークが形成された面側から、前記アライメントマスクの前記基準マークを位置認識する第２認識工程と、
前記アライメントマスクの位置に、前記被接合部品を移動させる工程と、
前記第２画像認識手段により、前記被接合部品の前記被接合位置決め基準が形成された面側から前記被接合部品の前記被接合位置決め基準を位置認識する第３認識工程と、
前記第１認識工程の認識結果から前記基準マークと前記接合位置決め基準とのずれ量を接合位置決めずれ量として取得する接合位置決めずれ量取得工程と、
前記第２認識工程の認識結果および前記第３認識工程の認識結果から前記基準マークと前記被接合位置決め基準とのずれ量を被接合位置決めずれ量として取得する被接合位置決めずれ量取得工程と、
前記接合位置決めずれ量および、前記被接合位置決めずれ量から前記接合部品と前記被接合部品の相互の位置ずれ量を取得する相互の位置ずれ量取得工程と、
取得した前記相互の位置ずれ量に基づいて、前記接合部品と前記被接合部品とを相対的に位置補正する位置補正工程と、
を備えたことを特徴とする接合対象物のアライメント方法。
【請求項２】
前記第１認識工程、前記第２認識工程および前記第３認識工程が、前記接合部品を前記被接合部品に接合する接合位置で実施されることを特徴とする請求項１に記載の接合対象物のアライメント方法。
【請求項３】
前記接合部品と前記被接合部品とは、いずれも遮光性材料を含むことを特徴とする請求項１または２に記載の接合対象物のアライメント方法。
【請求項４】
前記基準マーク、前記接合位置決め基準および前記被接合位置決め基準は、いずも相互に離間して配設した一対のものでそれぞれ構成され、
前記第１画像認識手段および前記第２画像認識手段は、いずれも相互に離間して配設した一対のものでそれぞれ構成されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の接合対象物のアライメント方法。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載の接合対象物のアライメント方法と、
前記位置補正工程の後、前記接合部品を前記被接合部品に対し重ね合せ且つ押圧した状態で接合する接合工程と、を備えたことを特徴とする部品接合方法。
【請求項６】
透光性基板からなるアライメントマスクに形成された基準マークと、
接合部品の接合面に形成された接合位置決め基準と、
被接合部品の被接合面に形成された被接合位置決め基準と、に基づいて、
前記接合部品と前記被接合部品をアライメントし、
前記接合部品と前記被接合部品を接合する部品接合装置であって、
接合姿勢の前記接合部品を保持する保持ヘッドと、
前記保持ヘッドを介して、接合位置と前記接合位置から離間した接合部品待機位置との間で、前記接合部品を前記接合面と垂直な方向に往復移動させると共に、前記接合位置において前記接合部品を前記被接合部品に押圧する昇降機構と、
接合姿勢の前記被接合部品と前記アライメントマスクとがそれぞれセットされると共に、セットした前記被接合部品および前記アライメントマスクをそれぞれ接合位置と移動待機位置との間で前記接合面と水平な方向に交互に移動させる移動テーブルと、
前記接合位置に移動した前記アライメントマスクの前記基準マーク、および前記接合位置に移動した前記接合部品の前記接合位置決め基準を、前記アライメントマスクを挟んで前記接合部品と対向する側からそれぞれ画像認識する第１画像認識手段と、
前記接合位置に移動した前記アライメントマスクの前記基準マーク、および前記接合位置に移動した前記被接合部品の前記被接合位置決め基準を、それぞれ画像認識すると共に、前記接合位置および前記接合部材の間の第２画像認識位置と、前記第２画像認識位置から離間した退避位置との間で、前記接合面と水平な方向に移動自在に構成された第２画像認識手段と、
前記接合面と水平な面内において、前記接合部品に対し前記被接合部品を相対的に移動させて、位置補正を行う補正手段と、
前記昇降機構、前記移動テーブル、前記第１画像認識手段、前記第２画像認識手段および前記補正手段を制御する制御手段と、を含み、
前記制御手段は、前記接合位置に移動させた前記接合部品を、前記接合位置に移動させた前記アライメントマスクに重ね合せ押圧した状態で、前記第１画像認識手段により、前記基準マークと前記接合位置決め基準とを位置認識する第１認識動作と、
前記接合部品を前記待機位置に移動させた後、前記第２画像認識位置に移動した前記第２画像認識手段により、前記基準マークを位置認識する第２認識動作と、
前記アライメントマスクを移動待機位置に移動させると同時に前記被接合部品を前記接合位置に移動させ、前記第２画像認識手段により、前記被接合位置決め基準を位置認識する第３認識動作と、を実施し、
前記第１認識動作の認識結果から前記基準マークと前記接合位置決め基準とのずれ量を接合位置決めずれ量として取得し、前記第２認識動作の認識結果および前記第３認識動作の認識結果から前記基準マークと前記被接合位置決め基準とのずれ量を被接合位置決めずれ量としてそれぞれ取得し、前記接合位置決めずれ量と前記被接合位置決めずれ量との相互の位置ずれ量を取得し、取得した前記相互の位置ずれ量に基づいて、前記接合部品と前記被接合部品とを位置補正することを特徴とする部品接合装置。
【請求項７】
前記保持ヘッドには、ヒータおよび紫外線ランプのいずれかが組み込まれており、
前記制御手段は、前記接合部品と前記被接合部品とを位置補正した後、前記接合部品を前記被接合部品に重ね合せ押圧した状態で、前記ヒータおよび前記紫外線ランプのいずれかを駆動し、前記接合部品を前記被接合部品に接合することを特徴とする請求項６に記載の部品接合装置。
【請求項８】
前記補正手段は、前記被接合部品を、Ｘ軸方向に移動させるＸ軸テーブル、Ｙ軸方向に移動させるＹ軸テーブルおよびθ方向に回動させるθテーブルから成り、
前記移動テーブルが、前記Ｘ軸テーブルおよび前記Ｙ軸テーブルの一方を兼ねていることを特徴とする請求項６または７に記載の部品接合装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明の接合対象物のアライメント方法は、基準マークが形成された透光性基板からなるアライメントマスクと、接合部品の位置決め基準および基準マークを認識する第１画像認識手段と、第１画像認識手段とは反対の方向から、被接合部品の位置決め基準および基準マークを認識する第２画像認識手段と、を用い、接合面に接合位置決め基準が形成された接合部品と、被接合面に被接合位置決め基準が形成された被接合部品とを、アライメントマスクの基準マークを基準にして、接合面と被接合面を対向させた状態でアライメントする接合対象物のアライメント方法であって、接合部品の接合位置決め基準が形成された面を、アライメントマスクの基準マークが形成された面に向かい合わせて重ね合わせ且つ押圧する工程と、接合部品がアライメントマスクと重ね合わせた状態で、アライメントマスクを挟んで接合部品と対向する側からアライメントマスクの基準マークおよび接合部品の接合位置決め基準を、第１画像認識手段により位置認識する第１認識工程と、接合部品をアライメントマスクから離した後、接合部品とアライメントマスクの間の位置に前記第２画像認識手段を挿入させる工程と、第２画像認識手段を用いて、アライメントマスクの基準マークが形成された面側から、アライメントマスクの基準マークを位置認識する第２認識工程と、アライメントマスクの位置に、被接合部品を移動させる工程と、第２画像認識手段により、被接合部品の被接合位置決め基準が形成された面側から被接合部品の被接合位置決め基準を位置認識する第３認識工程と、第１認識工程の認識結果から基準マークと接合位置決め基準とのずれ量を接合位置決めずれ量として取得する接合位置決めずれ量取得工程と、第２認識工程の認識結果および第３認識工程の認識結果から基準マークと被接合位置決め基準とのずれ量を被接合位置決めずれ量として取得する被接合位置決めずれ量取得工程と、接合位置決めずれ量および、被接合位置決めずれ量から接合部品と被接合部品の相互の位置ずれ量を取得する相互の位置ずれ量取得工程と、取得した相互の位置ずれ量に基づいて、接合部品と被接合部品とを相対的に位置補正する位置補正工程と、を備えたことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
これらの場合、接合部品と被接合部品とは、いずれも遮光性材料を含むことが好ましい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
一方、本発明の部品接合装置は、透光性基板からなるアライメントマスクに形成された基準マークと、接合部品の接合面に形成された接合位置決め基準と、被接合部品の被接合面に形成された被接合位置決め基準と、に基づいて、接合部品と被接合部品をアライメントし、接合部品と被接合部品を接合する部品接合装置であって、接合姿勢の接合部品を保持する保持ヘッドと、保持ヘッドを介して、接合位置と接合位置から離間した接合部品待機位置との間で、接合部品を接合面と垂直な方向に往復移動させると共に、接合位置において接合部品を被接合部品に押圧する昇降機構と、接合姿勢の被接合部品とアライメントマスクとがそれぞれセットされると共に、セットした被接合部品およびアライメントマスクをそれぞれ接合位置と移動待機位置との間で接合面と水平な方向に交互に移動させる移動テーブルと、接合位置に移動したアライメントマスクの基準マーク、および接合位置に移動した接合部品の接合位置決め基準を、アライメントマスクを挟んで接合部品と対向する側からそれぞれ画像認識する第１画像認識手段と、接合位置に移動したアライメントマスクの基準マーク、および接合位置に移動した被接合部品の被接合位置決め基準を、それぞれ画像認識すると共に、接合位置および接合部材の間の第２画像認識位置と、第２画像認識位置から離間した退避位置との間で、接合面と水平な方向に移動自在に構成された第２画像認識手段と、接合面と水平な面内において、接合部品に対し被接合部品を相対的に移動させて、位置補正を行う補正手段と、昇降機構、移動テーブル、第１画像認識手段、第２画像認識手段および補正手段を制御する制御手段と、を含み、制御手段は、接合位置に移動させた接合部品を、接合位置に移動させたアライメントマスクに重ね合せ押圧した状態で、第１画像認識手段により、基準マークと接合位置決め基準とを位置認識する第１認識動作と、接合部品を待機位置に移動させた後、第２画像認識位置に移動した第２画像認識手段により、基準マークを位置認識する第２認識動作と、アライメントマスクを移動待機位置に移動させると同時に被接合部品を接合位置に移動させ、第２画像認識手段により、被接合位置決め基準を位置認識する第３認識動作と、を実施し、第１認識動作の認識結果から基準マークと接合位置決め基準とのずれ量を接合位置決めずれ量として取得し、第２認識動作の認識結果および前記第３認識動作の認識結果から基準マークと被接合位置決め基準とのずれ量を被接合位置決めずれ量としてそれぞれ取得し、接合位置決めずれ量と被接合位置決めずれ量との相互の位置ずれ量を取得し、取得した相互の位置ずれ量に基づいて、接合部品と被接合部品とを位置補正することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
これらの場合、補正手段は、被接合部品を、Ｘ軸方向に移動させるＸ軸テーブル、Ｙ軸方向に移動させるＹ軸テーブルおよびθ方向に回転させるθテーブルから成り、移動テーブルが、Ｘ軸テーブルおよびＹ軸テーブルの一方を兼ねていることが好ましい。