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【手続補正書】
【提出日】平成21年11月20日(2009.11.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
結晶性極性高分子シートを、該結晶性極性高分子シートとの接触下での相対移動が可能な程度に表面摩擦係数を低減した直径が３０ｍｍ以上の導電性延伸ロールに接触させつつ移送し且つ延伸する過程で、該高分子シートと非接触で対向する尖端電極と、前記導電性延伸ロールとの間に分極電圧を印加して、前記結晶性極性高分子シートを分極処理することを特徴とする高分子圧電体フィルムの製造方法。
【請求項２】
導電性延伸ロールとの接触下での結晶性極性高分子シートの延伸がネッキング延伸である請求項１に記載の製造方法。
【請求項３】
結晶性極性高分子シートと接触する導電性延伸ロールの孤のなす中心角が３０°以上である請求項１に記載の製造方法。
【請求項４】
前記導電性延伸ロールが滑剤の塗布により表面摩擦係数を低減したロールである請求項１〜３のいずれかに記載の製造方法。
【請求項５】
前記導電性延伸ロールが表面を粗面化することにより表面摩擦係数を低減したロールである請求項１〜４のいずれかに記載の製造方法。
【請求項６】
前記導電性延伸ロールが、表面を粗面化した金属ロールである請求項５に記載の製造方法。
【請求項７】
前記導電性延伸ロールが粗表面を有する導電性セラミックロールである請求項５に記載の製造方法。
【請求項８】
表面の粗さ係数Ｒａが０．１〜３０μｍである導電性延伸ロールを用いる請求項５〜７のいずれかに記載の製造方法。
【請求項９】
前記延伸−分極同時処理後に、再度同一電界方向に追加分極処理を施す請求項１〜８のいずれかに記載の製造方法。
【請求項１０】
結晶性極性高分子がポリフッ化ビニリデン系樹脂である請求項１〜９のいずれかに記載の製造方法。
【請求項１１】
ｄ３１圧電係数の温度分散のピーク温度が１２０℃以上であり、且つ一方向に延長する表面擦過傷を有する高分子圧電体フィルム。
【請求項１２】
ｄ３１圧電係数の温度分散のピーク温度が１２０℃以上である領域が、ｄ３１係数の発現方向と直交する方向の全幅且つｄ３１係数の発現方向の長さ１ｍ以上に亘る請求項１１に記載の高分子圧電体フィルム。
【請求項１３】
ｄ３１圧電係数が、平均値として１５〜３５ｐＣ／Ｎであり、局所的な平均値からのずれが±２０％以下である請求項１１または１２に記載の高分子圧電体フィルム。
【請求項１４】
結晶性極性高分子がポリフッ化ビニリデン系樹脂である請求項１１〜１３のいずれかに記載の高分子圧電体フィルム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
本発明の高分子圧電体フィルムの製造方法は、上述の目的を達成するために開発されたものであり、より詳しくは、結晶性極性高分子シートを、該結晶性極性高分子シートとの接触下での相対移動が可能な程度に表面摩擦係数を低減した直径が３０ｍｍ以上の導電性延伸ロールに接触させつつ移送し且つ延伸する過程で、該高分子シートと非接触で対向する尖端電極と、前記導電性延伸ロールとの間に分極電圧を印加して、前記結晶性極性高分子シートを分極処理することを特徴とするものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
（実施例４）
概ね図４に示す構成を有する装置を用い、厚さ１０００μｍのＰＶＤＦシートのネッキング延伸−分極同時処理を行った。図４を参照して、該装置において、ロール２２および２２ａは、いずれも実施例３で用いたものと同じ外径２００ｍｍのセラミック被覆ロールとした。また針電極２３および２３ａは、それぞれ２本／ｃｍ２の針電極を含むものとし、針電極（２３，２３ａ）−ロール（２２，２２ａ）間間隔は、いずれも１０ｍｍとした。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６３】
上記実施例および比較例における製造条件および得られた圧電体フィルムの性状の概容をまとめて、下表１に記す。
【表１】
2008171935.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成21年12月25日(2009.12.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光軸を有し、該光軸に関して対称な２つの光束を基板に入射させる投光光学系と、
受光部と、
前記投光光学系から射出し該基板で反射した該２つの光束を前記受光部に導く受光光学系と、
前記受光光学系から射出した該２つの光束が前記受光部に入射した位置をそれぞれ検出する検出部と、
前記検出部によって検出された位置に基づいて該基板の面位置を計算する計算部と、
を有し、
前記投光光学系及び前記受光光学系の少なくとも一方は、該２つの光束に対して共通化されている
ことを特徴とする位置検出装置。
【請求項２】
前記計算部は、該２つの光束それぞれの位置の間隔に基づいて該基板の面位置を計算する
ことを特徴とする請求項１に記載の位置検出装置。
【請求項３】
前記投光光学系は、
計測用のパターンが形成されたパターン板と、
前記パターン板を透過する光束及び前記パターン板で反射する光束のいずれか一方に対して設けられていて、該２つの光束を通過させるフィルタと、
を含む
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の位置検出装置。
【請求項４】
原版を介して基板を露光する露光装置であって、
照明された該原版からの光を基板へ投影する投影光学系と、
該基板を保持する基板ステージと、
前記投影光学系の光軸の方向における、前記基板ステージに保持された該基板の面位置を検出する請求項１から３のいずれか１項に記載の位置検出装置と、
を有することを特徴とする露光装置。
【請求項５】
前記位置検出装置は、該光軸に垂直な面内における、該基板に形成されたマークの位置をさらに検出する
ことを特徴とする請求項４に記載の露光装置。
【請求項６】
前記位置検出装置により検出された該基板の面位置に基づいて前記基板ステージを制御する制御部をさらに有する
ことを特徴とする請求項４に記載の露光装置。
【請求項７】
前記位置検出装置により検出された該マークの位置に基づいて前記基板ステージの位置を制御する制御部をさらに有する
ことを特徴とする請求項５に記載の露光装置。
【請求項８】
前記投影光学系は、反射光学素子を含み
前記位置検出装置は、前記投影光学系の前記反射光学素子を介して該基板の面位置を検出する
ことを特徴とする請求項４に記載の露光装置。
【請求項９】
前記投影光学系は、該原版により反射された極端紫外光を該基板に投影する
ことを特徴とする請求項８に記載の露光装置。
【請求項１０】
請求項４から９のいずれか１項に記載の露光装置を用いて基板を露光する露光工程と、
前記露光工程において露光された基板を現像する現像工程と、
を有することを特徴とするデバイスの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】位置検出装置、露光装置、及びデバイスの製造方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、位置検出装置、露光装置、及びデバイスの製造方法に関する。
【手続補正書】
【提出日】平成22年10月14日(2010.10.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
そこで、特許文献１においては、モータに流れる電流が所定値を超えているかを検出し、所定値を超えている状態が所定時間継続すると、モータに短絡が生じていると判定する手段が開示されている。また、特許文献２においては、パルス信号をオンまたはオフさせることにより、モータに電圧を印加する装置において、この電圧がパルス信号に追従しているか否かを判定し、電圧がパルス信号に追従していない状態が所定時間継続すると、モータに短絡が生じていると判定する手段が開示されている。また、特許文献３においては、モータを駆動する電流変化を検知し、その周期に基づいてモータの故障を検出する手段が開示されている。また、特許文献４においては、電源から印加される電圧に加算または減算することにより、回生効率を高めるモータ制御装置が開示されている。また、特許文献５には、ＢＴＬ方式の駆動回路によって制御される直流モータに直列となるように検出抵抗を挿入し、検出抵抗の電圧降下を帰還増幅器によって駆動回路に正帰還する光ディスク装置が開示されている。さらに、非特許文献１には、ＤＣモータと接続される第１の電圧供給線（ＳＰ＋）に接続される１７ピンと、ＤＣモータと接続される第２の電圧供給線（ＳＰ−）に接続される１８ピンと、ＤＣモータを駆動するためのリファレンス電圧（ＶＲＥＦ）に接続される２７ピンと、ＤＣモータを駆動するためのオフセット電圧（Ｖｆ）に接続される２３ピンとが開示されている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
しかしながら、特許文献１及び特許文献２に示される技術においては、電流や電圧の異常状態が所定時間継続していることに基づいてモータが短絡しているか否かを判定するため、モータが常に短絡している状態を検出することはできるが、モータの一部分が短絡しており、モータが回転することによって、短絡している状態と短絡してない状態とが交互に生じる状態を検出することができなかった。また、特許文献３に示される技術においては、モータを駆動する電流変化を検知し、その周期に基づいてモータの故障を検出するものであり、モータが回転している様々な状態における検出電圧値に基づいて、モータが故障しているか否かを判定するものではなかった。さらに、特許文献４及び５、ならびに非特許文献１に示される技術においては、モータのショートを適切に検出するものではなかった。
【特許文献１】特開平１０−１９１５５１号公報
【特許文献２】特開２００１−２９８９８８号公報
【特許文献３】特開２００１−９５１４７号公報
【特許文献４】特開２００６−２３００６８号公報
【特許文献５】特開平１０−１４２８０号公報
【非特許文献１】ＨＡＮＧＺＨＯＵ  ＳＩＬＡＮ  ＭＩＣＲＯＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣＳ  ＪＯＩＮＴ−ＳＴＯＣＫ  ＣＯ，ＬＴＤ、ＳＡ５６９４仕様書、２００２年５月２１日
【手続補正書】
【提出日】平成22年11月2日(2010.11.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
情報処理装置内外の複数のモジュール相互間を接続する信号バスであって、
Ｍ値レベル信号を伝送する１つ又は複数のデータ線と、
前記Ｍ値レベル信号の情報位置を示す信号伝送クロックを伝送するクロック線と、を備え、
前記情報処理装置のシステムクロック信号は非離散的な波形の周期信号であり、
前記信号伝送クロック信号は、前記システムクロック信号の波形の最大振幅値を前記Ｍ値に応じて分割し、各分割値に対応する前記システムクロック信号の各位相を信号波形の立ち上がり又は立ち下がり位置としてなる、多値信号バス。
【請求項２】
前記Ｍ値レベル信号の最大値及び前記システムクロック信号波形の最大振幅値が前記モジュールに供給される可変供給電圧に応じて設定される、請求項１に記載の多値信号バス。
【請求項３】
前記システムクロック信号が正弦波である、請求項１に記載の多値信号バス。
【請求項４】
前記Ｍ値が自然数である、請求項１又は２に記載の多値信号バス。
【請求項５】
Ｍ値レベル信号を伝送する１つ又は複数のデータ線と、前記Ｍ値レベル信号の情報位置を示す信号伝送クロックを伝送するクロック線とを含む信号バスに接続される多値入力インタフェースであって、
レベル可変な供給電圧に応じた複数の電圧出力を複数の可変比較基準出力として発生する閾値発生部と、
前記信号伝送クロックに同期して、前記Ｍ値レベル信号と前記複数の可変比較基準出力とを比較して前記Ｍ値レベル信号の瞬時値に対応した論理出力を発生するレベル判定部と、
前記論理出力をデータ信号に変換する論理回路部と、
を備える多値入力インタフェース。
【請求項６】
前記レベル判定部は複数のレベル比較器を含む、請求項５記載の多値入力インタフェース。
【請求項７】
前記論理回路部は前記複数のレベル比較器の出力に基づいて前記Ｍ値レベル信号のレベルに対応したＭ値よりも少ない値のＮ値のデータ信号を出力する、請求項５又は６に記載の多値入力インタフェース。
【請求項８】
前記Ｍ，Ｎは自然数である、請求項５乃至７のいずれかに記載の多値入力インタフェース。
【請求項９】
前記レベル判定部及び前記論理回路はＭＯＳトランジスタを含み、該ＭＯＳトランジスタには前記レベル可変な供給電圧に応じたバックゲート電圧が印加されてその閾値が可変に調整される、請求項５乃至８に記載の多値入力インタフェース。
【請求項１０】
請求項１乃至４のいずれかに記載の多値信号バスを備える情報処理装置。
【請求項１１】
請求項５乃至９のいずれかに記載の多値入力インタフェースを備える情報処理装置。
【請求項１２】
前記情報処理装置が携帯電話機である、請求項１０又は１１に記載の情報処理装置。
【請求項１３】
情報処理装置内外の複数のモジュール相互間をデータ線とクロック線で接続する多値信号バスの形成方法であって、
前記情報処理装置のシステムクロック信号を正弦波信号で形成し、
前記正弦波信号の波形の最大振幅値を伝送すべき多値レベル信号のレベル数に応じて分割し、各分割値に対応する前記正弦波信号の各位相を信号波形の立ち上がり又は立ち下がり位置として伝送クロック信号を形成し、
前記多値レベル信号の時間軸上における情報位置と前記伝送クロック信号とを同期し、
前記多値レベル信号を前記データ線に伝送し、
前記伝送クロック信号を前記クロック線に伝送する、多値信号バスの形成方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】多値信号バス、多値入力インタフェース、情報処理装置及び多値信号バスの形成方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
上記レベル判定部及び上記論理回路はＭＯＳトランジスタを含み、該ＭＯＳトランジスタには上記レベル可変な供給電圧に応じたバックゲート電圧が印加されてその閾値が可変に調整されることが望ましい。モジュールへの供給電圧の変更に対応して論理素子を構成するトランジスタの閾値が適切に変更されることによって、供給電圧を連続的に可変として省電力を図る情報処理装置の可変電圧範囲の拡大及びトランジスタ動作の安定を図ることが可能となる。
また、本発明の多値信号バスの形成方法は、情報処理装置内外の複数のモジュール相互間をデータ線とクロック線で接続する多値信号バスの形成方法であって、上記情報処理装置のシステムクロック信号を正弦波信号で形成し、上記正弦波信号の波形の最大振幅値を伝送すべき多値レベル信号のレベル数に応じて分割し、各分割値に対応する上記正弦波信号の各位相を信号波形の立ち上がり又は立ち下がり位置として伝送クロック信号を形成し、上記多値レベル信号の時間軸上における情報位置と前記伝送クロック信号とを同期し、上記多値レベル信号を上記データ線に伝送し、上記伝送クロック信号を上記クロック線に伝送する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
図４は、閾値基準発生部４１０の構成例を示しており、可変電圧供給源１０から供給される（可変）電圧Ｖｄｄからブリーダ抵抗による抵抗分圧回路によって比較基準電圧Ｌ１〜Ｌｎを形成して、多値入力インタフェース４２０、論理回路部４３０、多値出力インタフェース４４０に供給する。図４（Ａ）は、多値信号が二値の場合、同図（Ｂ）は多値信号が三値の場合、同図（Ｃ）は多値信号が四値の場合を示している。可変電圧Ｖｄｄの各レベルに応じて比較基準電圧Ｌ１〜Ｌｎは設定される。
【手続補正書】
【提出日】平成22年11月5日(2010.11.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のフォルダを階層構造で表示制御する情報処理装置であって、
表示画面上に表示される前記階層構造に含まれるフォルダの１つを開くフォルダ開手段と、
前記表示画面内で現在表示されているフォルダの数と、前記フォルダ開手段によって開かれるフォルダの下位階層に含まれるフォルダの数と、前記複数のフォルダが表示されるウィンドウの高さとに基づいて、該フォルダ開手段によって開かれるフォルダの下位階層で表示されるフォルダの数を決定する決定手段と、
前記決定手段により決定されたフォルダの数に従って、前記下位階層のフォルダを表示する階層表示手段と
を備えることを特徴とする情報処理装置。
【請求項２】
前記階層表示手段によって現在表示されている前記下位階層のフォルダを、該フォルダの前あるいは後にある該下位階層の現在表示されていないフォルダの表示に遷移させるための遷移指示手段を更に備える
ことを特徴とする請求項１に記載の情報処理装置。
【請求項３】
現在表示されているフォルダよりも前あるいは後にある現在表示されていないフォルダの数を表示するフォルダ数表示手段を更に備える
ことを特徴とする請求項２に記載の情報処理装置。
【請求項４】
前記決定手段は、前記現在表示されているフォルダの数と前記フォルダ開手段によって開かれるフォルダの下位階層に含まれるフォルダの数との合計と、前記ウィンドウの高さを比較することにより、前記現在表示されているフォルダと前記フォルダ開手段によって開かれるフォルダの下位階層のフォルダとの表示が、前記ウィンドウ内に収まるか否か判定し、
収まらないと判定した場合は、前記フォルダ開手段によって開かれるフォルダの下位階層で表示されるフォルダの数を制限するようにして決定する
ことを特徴とする請求項１に記載の情報処理装置。
【請求項５】
前記決定手段は、前記現在表示されているフォルダの数と前記フォルダ開手段によって開かれるフォルダの下位階層に含まれるフォルダの数と前記ウィンドウの高さとに基づいて計算したフォルダの数が、予め設定された最小数以下の場合は、当該最小数を、前記フォルダ開手段によって開かれるフォルダの下位階層で表示されるフォルダの数として決定する
ことを特徴とする請求項１に記載の情報処理装置。
【請求項６】
前記階層表示手段によって表示されるフォルダの数が制限された階層表示状態と、前記階層表示手段によって表示されるフォルダの数が制限されない通常表示状態との切替を指示する表示切替手段を更に備える
ことを特徴とする請求項１に記載の情報処理装置。
【請求項７】
前記階層表示手段によって表示されるフォルダの数が制限された階層とは異なる下位階層が開かれた場合に、前記決定手段は、前記制限された階層で表示されているフォルダの数を予め定められた最小数に変更する
ことを特徴とする請求項１に記載の情報処理装置。
【請求項８】
前記階層表示手段は、前記通常表示状態で表示されている階層のフォルダの内の任意のフォルダが選択された場合、前記決定手段により決定されたフォルダの数で、前記階層上のフォルダを表示する
ことを特徴とする請求項６に記載の情報処理装置。
【請求項９】
前記階層表示手段によって現在表示されているフォルダの階層に対する操作に基づいて、前記フォルダ数表示手段は、前記表示されていないフォルダの数を更新する
ことを特徴とする請求項３に記載の情報処理装置。
【請求項１０】
複数のフォルダを階層構造で表示制御する情報処理装置の制御方法であって、
フォルダ開手段が、表示画面上に表示される前記階層構造に含まれるフォルダの１つを開くフォルダ開工程と、
決定手段が、前記表示画面内で現在表示されているフォルダの数と、前記フォルダ開工程によって開かれるフォルダの下位階層に含まれるフォルダの数と、前記複数のフォルダが表示されるウィンドウの高さとに基づいて、該フォルダ開工程によって開かれるフォルダの下位階層で表示されるフォルダの数を決定する決定工程と、
階層表示手段が、前記決定工程により決定されたフォルダの数に従って、前記下位階層のフォルダを表示する階層表示工程と
を備えることを特徴とする情報処理装置の制御方法。
【請求項１１】
複数のフォルダを階層構造で表示制御する情報処理装置の制御をコンピュータに実行させるための、コンピュータ可読記憶媒体に記憶されたプログラムであって、
表示画面上に表示される前記階層構造に含まれるフォルダの１つを開くフォルダ開工程と、
前記表示画面内で現在表示されているフォルダの数と、前記フォルダ開工程によって開かれるフォルダの下位階層に含まれるフォルダの数と、前記複数のフォルダが表示されるウィンドウの高さとに基づいて、該フォルダ開工程によって開かれるフォルダの下位階層で表示されるフォルダの数を決定する決定工程と、
前記決定工程により決定されたフォルダの数に従って、前記下位階層のフォルダを表示する階層表示工程と
をコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
【手続補正書】
【提出日】平成22年11月2日(2010.11.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
単一の周波数成分からなる第１クロック信号を出力する信号発生部と、
前記第１クロック信号の振幅値内に設定された複数の閾値と前記第１クロック信号の瞬時値とを比較して前記第１クロック信号の位相を判別し、当該位相に対応して信号の立ち上がり又は立ち下がりを決定して第２クロック信号を形成する位相角度検出部と、を備え、
前記位相角度検出部は、前記第１クロック信号の前半周期においては第１の閾値群を使用し、前記第１クロック信号の後半周期においては当該第１の閾値群と閾値にずれがある第２の閾値群を使用して前記第２クロック信号の立ち上がり又は前記立ち下がりを決定する、クロック信号発生装置。
【請求項２】
前記複数の閾値と前記第１クロック信号の瞬時値との比較がウインドコンパレータによって行われる、請求項１に記載のクロック信号発生装置。
【請求項３】
前記第２クロック信号は信号バスの伝送クロック信号として使用され、
前記第１クロック信号の波形の最大振幅値が前記信号バスのデータ線を伝送する多値レベル信号の最大値に応じて設定される、請求項１に記載のクロック信号発生装置。
【請求項４】
前記第１クロック信号が正弦波である、請求項１乃至３のいずれかに記載のクロック信号発生装置。
【請求項５】
請求項１乃至３のいずれかに記載のクロック信号発生装置を備える情報処理装置。
【請求項６】
前記情報処理装置が携帯電話機である、請求項５に記載の情報処理装置。
【手続補正書】
【提出日】平成22年1月4日(2010.1.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のセンサ端末と、前記複数のセンサ端末に接続される管理装置とからなる集団解析システムであって、
前記センサ端末の各々は、相対的な位置検出を行う第一のセンサと、周囲の環境情報を取得する第二のセンサとを有し、
前記管理装置は、
前記センサ端末の各々から、前記第一のセンサと前記第二のセンサからのセンサ信号を取得する入出力部と、
前記第一のセンサのセンサ信号を用いて前記センサ端末の初期グループを設定し、
前記初期グループを形成する前記センサ端末の各々から受信した、前記第二のセンサのセンサ信号から前記初期グループの特徴量を抽出し、
前記初期グループの前記特徴量と、前記初期グループに属さない前記センサ端末の前記第二のセンサのセンサ信号から抽出された、前記初期グループの前記特徴量に対応する特徴量とを比較することにより、前記初期グループに属さない前記センサ端末が属するグループを決定する解析部とを有する
集団解析システム。
【請求項２】
請求項１記載の集団解析システムであって、
前記第一のセンサは指向性が高いセンサである
集団解析システム。
【請求項３】
請求項２記載の集団解析システムであって、
前記第一のセンサは赤外線センサであり、
前記管理装置は、前記初期グループの決定に際し、前記赤外線センサのセンサ信号を用いて前記センサ端末間の対面検知を行う
集団解析システム。
【請求項４】
請求項１記載の集団解析システムであって、
前記第二のセンサは音を検出するセンサである
集団解析システム。
【請求項５】
請求項４記載の集団解析システムであって、
前記初期グループの前記特徴量は、前記初期グループを形成する前記センサ端末の各々から受信した前記音を検出するセンサのセンサ信号の平均である
集団解析システム。
【請求項６】
複数のセンサ端末の集団解析を行う集団解析装置であって、
前記センサ端末の各々から、相対的な位置検出を行う第一のセンサのセンサ信号と、周囲の環境情報を取得する第二のセンサのセンサ信号を取得する入出力部と、
前記第一のセンサのセンサ信号に基づき前記センサ端末の初期グループを設定し、
前記初期グループを形成する前記センサ端末の各々から受信した、前記第二のセンサのセンサ信号から前記初期グループの特徴量を抽出し、
前記初期グループに属さない前記センサ端末の前記第二のセンサのセンサ信号から、前記初期グループの前記特徴量に対応する特徴量を抽出し、
前記初期グループの前記特徴量と前記初期グループの前記特徴量に対応する前記特徴量とを比較することにより、前記初期グループに属さない前記センサ端末が属するグループを決定する解析部と
を有する集団解析装置。
【請求項７】
請求項６記載の集団解析装置であって、
前記第一のセンサは赤外線センサであり、
前記解析部は前記初期グループの決定に際し、前記赤外線センサのセンサ信号を用いて前記センサ端末間の対面検知を行う
集団解析装置。
【請求項８】
請求項６記載の集団解析装置であって、
前記第二のセンサは音を検出するセンサである
集団解析装置。
【請求項９】
請求項８記載の集団解析装置であって、
前記初期グループの前記特徴量は、前記初期グループを形成する前記センサ端末の各々から受信した前記音を検出するセンサのセンサ信号の時系列毎の平均である
集団解析装置。
【請求項１０】
請求項６記載の集団解析装置であって、
前記入出力部より入力される前記周囲の環境情報を取得する第二のセンサのセンサ信号は、前記センサ端末から送信される前記センサ信号の送信周期より短い期間サンプリングされた信号である
集団解析装置。
【請求項１１】
請求項１０記載の集団解析装置であって、
前記解析部は、前記初期グループの前記特徴量を抽出する際、サンプリングされた前記センサ信号が時間軸上で重なる部分の平均を求める
集団解析装置。
【請求項１２】
複数のセンサ端末と、前記複数のセンサ端末に接続される管理装置とからなる集団解析システムであって、
前記センサ端末はそれぞれ、前記センサ端末を保有する人物間の相対的な位置情報を取得する第一のセンサと、前記センサ端末を保有する人物の環境情報を取得する第二のセンサとを有し、
前記管理装置は、
前記センサ端末それぞれから送信される、前記相対的な位置情報と前記環境情報を取得する入出力部と、
前記相対的な位置情報を用いて前記複数のセンサ端末で形成される初期グループを検出し、前記初期グループを形成する前記センサ端末の前記環境情報から、場の環境を示す前記初期グループの特徴量を抽出し、
前記初期グループに属さない前記センサ端末の前記環境情報から、場の環境を示す特徴量を抽出し、
前記初期グループの特徴量と前記初期グループに属さないセンサ端末の特徴量を比較して前記初期グループに属さない前記センサ端末が属するグループを決定する解析部とを有する集団解析システム。
【請求項１３】
請求項１２記載の集団解析システムであって、
前記第一のセンサは赤外線センサであり、
前記解析部は、前記初期グループの決定に際し、前記赤外線センサのセンサ信号を用いて前記センサ端末間の対面検知を行う集団解析システム。
【請求項１４】
請求項１２記載の集団解析システムであって、
前記第二のセンサは音を検出するセンサであり、
前記解析部は、前記初期グループの特徴量として、前記初期グループを形成するセンサ端末により検出された前記音の値を示すセンサ信号の平均値を算出する集団解析システム。
【請求項１５】
請求項１２記載の集団解析システムであって、
前記管理装置に接続される表示部に、時系列上に、前記センサ端末を保有する人物が他の人物と同じグループに属しているか否かを表示する集団解析システム。
【請求項１６】
請求項１２記載の集団解析システムであって、
前記管理装置に接続される表示部に、前記複数のセンサ端末で形成される複数のグループを識別して表示する集団解析システム。
【手続補正書】
【提出日】平成21年12月14日(2009.12.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
位置及び速度のフィードバックループと速度及び加減速トルクのフィードフォワードによりサーボトルクのトルク指令値を決定する構成を持ち、上位装置からの位置指令値に従って、数値制御機械の回転軸の回転角をサーボモータにより制御する位置制御装置であって、
前記回転軸の実際の運動に基づき、その角加速度および回転角に基づく信号ベクトルを生成する信号ベクトル生成部と、
前記回転軸の角加速度に関する項と回転角に関する項とからなる回転軸を含む対象プラントの運動方程式に基づく同定モデルに対し、前記信号ベクトルと回転軸換算のトルク指令値とから適応同定を行い、同定モデルの角加速度に関する項の係数に係る要素と、回転角に関する項の係数に係る要素とからなるパラメータベクトルの推定値を算出する適応ループ演算部と、
前記パラメータベクトルの推定値の、角加速度に関する項の係数に係る要素に基づき、慣性モーメント係数を算出する慣性モーメント係数演算部と、
前記パラメータベクトルの推定値の、回転角に関する項の係数に係る要素と、回転軸の回転角とに基づき、非線形要素トルク補償量を算出する非線形要素演算部と、
を有し、
前記慣性モーメント係数および前記非線形トルク補償量により前記トルク指令値を修正する、位置制御装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】
請求項１に記載の位置制御装置であって、
さらに、前記適応ループ演算部の適応同定を行うか否かを制御するパラメータ同定制御部を有し、
前記パラメータ同定制御部は、速度フィードフォワード量の絶対値が所定値以下であり、かつ加速度フィードフォワード量が０でないとき、適応同定を行うよう制御する、
位置制御装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
［付記］
［１］
位置及び速度のフィードバックループと速度及び加減速トルクのフィードフォワードによりサーボトルクのトルク指令値（τ）を決定する構成を持ち、上位装置からの位置指令値（θｃ）に従って、数値制御機械の回転軸の回転角をサーボモータにより制御する位置制御装置であって、
前記回転軸の実際の運動に基づき、その角加速度（ｄω／ｄｔ）および回転角（θ）に基づく信号ベクトル（ξ）を生成する信号ベクトル生成部（１）と、
前記回転軸の角加速度に関する項と回転角に関する項とからなる回転軸を含む対象プラント（５０）の運動方程式（数式１）に基づく同定モデルに対し、前記信号ベクトルと回転軸換算のトルク指令値（τｃ）とから適応同定を行い、同定モデル（数式４）の角加速
度に関する項の係数に係る要素（ＭＬ2＋Ｉｚ＋Ｉｍ）と、回転角に関する項の係数に係る要素（ＭｇＬＳｂＣａ，ＭｇＬＳｂＳａ）とからなるパラメータベクトルの推定値（γID）を算出する適応ループ演算部（２）と、
前記パラメータベクトルの推定値の、角加速度に関する項の係数に係る要素に基づき、慣性モーメント係数（ＧID）を算出する慣性モーメント係数演算部（５）と、
前記パラメータベクトルの推定値の、回転角に関する項の係数に係る要素と、回転軸の回転角とに基づき、非線形要素トルク補償量（τfn）を算出する非線形要素演算部（６）と、
を有し、
前記慣性モーメント係数および前記非線形トルク補償量により前記トルク指令値を修正する。
［２］
［１］に記載の位置制御装置であって、
さらに、前記適応ループ演算部の適応同定を行うか否かを制御するパラメータ同定制御部（３）を有し、
前記パラメータ同定制御部は、速度フィードフォワード量（Ｖｆ）の絶対値が所定値以下であり、かつ加速度フィードフォワード量（Ａｆ）が０でないとき、適応同定を行うよう制御する。
［３］
［１］に記載の位置制御装置であって、
さらに、前記パラメータベクトルの推定値の各要素と、あらかじめ定められた前記サーボモータの発生トルク制限値（τLIM）とに基づき、現在の条件下で、当該位置制御装置が達成可能な最大角速度（ＡLIM）を算出し、この達成可能な最大角速度を当該位置制御装置の上位装置に出力する制約情報演算部（７）、
を有する位置制御装置。
［４］
［１］に記載の位置制御装置であって、
さらに、前記パラメータベクトルの推定値の回転角に関する項に係る要素と、重力加速度（ｇ）と、回転軸の傾き角（ｂ）とに基づき、対象プラントの質量と、重心と回転中心軸の距離との積を算出し、これを制約情報として上位装置に出力する制約情報演算部、
を有する。
【手続補正書】
【提出日】平成22年3月9日(2010.3.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
多機能処理装置であって、
原稿を読み取って画像データを生成する画像読み取り手段と、
記憶媒体を着脱可能で、装着された記憶媒体にアクセス可能なインターフェース手段と、
画像を印刷する印刷手段と、
前記インターフェース手段に装着された記憶媒体にデータが記憶されているか否かを判断し、前記印刷手段によって印刷可能なデータが記憶されていないと判断すると、前記画像読み取り手段による原稿の読取り処理に移行するように制御する制御手段と、
を有することを特徴とする多機能処理装置。
【請求項２】
前記制御手段は、前記画像読み取り手段の原稿台に原稿が置かれて、当該原稿を読取り可能になっていることを条件に、前記画像読み取り手段による原稿の読取り処理に移行するように制御することを特徴とする請求項１に記載の多機能処理装置。
【請求項３】
前記制御手段は、前記インターフェース手段に装着された前記記憶媒体が前記多機能処理装置に登録されていることを条件に、前記画像読み取り手段による原稿の読取り処理に移行するように制御することを特徴とする請求項１に記載の多機能処理装置。
【請求項４】
前記制御手段は更に、前記インターフェース手段に装着された前記記憶媒体が書き込み可能であることを条件に、前記画像読み取り手段による原稿の読取り処理に移行するように制御することを特徴とする請求項２又は３に記載の多機能処理装置。
【請求項５】
前記画像読み取り手段で生成した画像データを前記記憶媒体に記憶する記憶制御手段を更に有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の多機能処理装置。
【請求項６】
前記原稿の読取り処理では、前記画像読み取り手段で読取る解像度の選択、及び、読取り処理の開始指示を行うための画面を操作部に表示することを特徴とする請求項３に記載の多機能処理装置。
【請求項７】
前記制御手段は、前記インターフェース手段に装着された記憶媒体に前記印刷手段によって印刷可能なデータが記憶されていると判断すると、前記記憶媒体に記憶されている前記印刷手段によって印刷可能なデータを前記印刷手段により印刷させる印刷処理に移行することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の多機能処理装置。
【請求項８】
前記印刷処理では、前記印刷手段で印刷される画像データの選択、及び、前記印刷処理における印刷モードの選択画面を操作部に表示することを特徴とする請求項７に記載の多機能処理装置。
【請求項９】
多機能処理装置の制御方法であって、
前記多機能処理装置の画像読み取り手段が、原稿を読み取って画像データを生成する画像読み取り工程と、
前記多機能処理装置の印刷手段が、画像を印刷する印刷工程と、
前記多機能処理装置の制御手段が、装着された記憶媒体にデータが記憶されているか否かを判断し、前記多機能処理装置が印刷可能なデータが記憶されていないと判断すると、前記画像読み取り工程による原稿の読取り処理に移行するように制御する制御工程と、
を有することを特徴とする多機能処理装置の制御方法。
【請求項１０】
前記制御工程は、原稿台に原稿が置かれて、当該原稿を読取り可能になっていることを条件に、前記画像読み取り工程による原稿の読取り処理に移行するように制御することを特徴とする請求項９に記載の多機能処理装置の制御方法。
【請求項１１】
前記制御工程は、前記装着された前記記憶媒体が前記多機能処理装置に登録されていることを条件に、前記画像読み取り工程による原稿の読取り処理に移行するように制御することを特徴とする請求項９に記載の多機能処理装置の制御方法。
【請求項１２】
前記制御工程は更に、前記装着された前記記憶媒体が書き込み可能であることを条件に、前記画像読み取り工程による原稿の読取り処理に移行するように制御することを特徴とする請求項１０又は１１に記載の多機能処理装置の制御方法。
【請求項１３】
前記画像読み取り工程で生成した画像データを前記記憶媒体に記憶する記憶制御工程を更に有することを特徴とする請求項９乃至１２のいずれか１項に記載の多機能処理装置の制御方法。
【請求項１４】
前記原稿の読取り処理では、前記画像読み取り工程で読取る解像度の選択、及び、読取り処理の開始指示を行うための画面を操作部に表示することを特徴とする請求項１１に記載の多機能処理装置の制御方法。
【請求項１５】
前記制御工程は、前記装着された記憶媒体に前記多機能処理装置が印刷可能なデータが記憶されていると判断すると、前記記憶媒体に記憶されている前記多機能処理装置が印刷可能なデータを前記印刷工程により印刷させる印刷処理に移行することを特徴とする請求項９乃至１４のいずれか１項に記載の多機能処理装置の制御方法。
【請求項１６】
前記印刷処理では、前記印刷工程で印刷される画像データの選択、及び、前記印刷処理における印刷モードの選択画面を操作部に表示することを特徴とする請求項１５に記載の多機能処理装置の制御方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記目的を達成するために本発明の一態様に係る多機能処理装置は以下のような構成を備える。即ち、
多機能処理装置であって、
原稿を読み取って画像データを生成する画像読み取り手段と、
記憶媒体を着脱可能で、装着された記憶媒体にアクセス可能なインターフェース手段と、
画像を印刷する印刷手段と、
前記インターフェース手段に装着された記憶媒体にデータが記憶されているか否かを判断し、前記印刷手段によって印刷可能なデータが記憶されていないと判断すると、前記画像読み取り手段による原稿の読取り処理に移行するように制御する制御手段と、を有することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上記目的を達成するために本発明の一態様に係る多機能処理装置の制御方法は以下のような工程を備える。即ち、
多機能処理装置の制御方法であって、
前記多機能処理装置の画像読み取り手段が、原稿を読み取って画像データを生成する画像読み取り工程と、
前記多機能処理装置の印刷手段が、画像を印刷する印刷工程と、
前記多機能処理装置の制御手段が、装着された記憶媒体にデータが記憶されているか否かを判断し、前記多機能処理装置が印刷可能なデータが記憶されていないと判断すると、前記画像読み取り工程による原稿の読取り処理に移行するように制御する制御工程と、を有することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成22年3月8日(2010.3.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カメラユニットと光学機構を含むレンズユニットとを備える撮影装置において、前記光学機構は、ズームレンズと、該ズームレンズよりも前記カメラユニット側に設けられたフォーカスレンズとを有しており、前記レンズユニットは、前記カメラユニットからの前記光学機構の状態を変化させるための駆動指令を受信する受信手段と、前記駆動指令により前記光学機構を駆動させる駆動手段と、前記光学機構の位置情報を検出する検出手段と、該検出した位置情報又は前記駆動指令の何れかを前記カメラユニットに送信する送信手段とを有することを特徴とする撮影装置。
【請求項２】
前記レンズユニットは前記ズームの位置により前記フォーカスレンズの移動量が変化するように構成されており、前記光学機構の状態は前記フォーカスレンズの位置とする請求項１に記載の撮影装置。
【請求項３】
前記送信手段は、前記駆動する手段が前記光学機構を駆動している場合には前記位置情報を検出する手段による前記位置情報を前記カメラユニットに送信し、前記駆動手段が前記光学機構を駆動していない場合には前記駆動指令を前記カメラユニットに送信することを特徴とする請求項１又は２に記載の撮影装置。
【請求項４】
前記駆動手段は離散的に駆動及び停止を行うことを特徴とする請求項１〜３の何れか１つの請求項に記載の撮影装置。
【請求項５】
前記検出手段は離散的に位置情報を検出することを特徴とする請求項１〜４の何れか１つの請求項に記載の撮影装置。
【請求項６】
前記レンズユニットを前記カメラユニットに着脱可能としたことを特徴とする請求項１〜５の何れか１つの請求項に記載の撮影装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
上記目的を達成するための本発明に係る撮影装置の技術的特徴は、カメラユニットと光学機構を含むレンズユニットとを備える撮影装置において、前記光学機構は、ズームレンズと、該ズームレンズよりも前記カメラユニット側に設けられたフォーカスレンズとを有しており、前記レンズユニットは、前記カメラユニットからの前記光学機構の状態を変化させるための駆動指令を受信する受信手段と、前記駆動指令により前記光学機構を駆動させる駆動手段と、前記光学機構の位置情報を検出する検出手段と、該検出した位置情報又は前記駆動指令の何れかを前記カメラユニットに送信する送信手段とを有することにある。
【手続補正書】
【提出日】平成21年11月25日(2009.11.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
図７は、ランプシリアルコードの構造例を示している。図７に示されるように、ランプシリアルコードは、「Check sum/manufacturer code/max watt/min watt/life hour/lamp serial/check sum」という各テキスト情報が配列されて構成される。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
「manufacturer code」とは、ランプ情報の１つであって、対象ランプのランプ製造者（製造メーカ）を特定するためのコード、いわゆるメーカIDである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９８】
ログ設定とは、ステップＳ３の処理で入力されたランプシリアルコードの内容を、今回ランプ５８として交換された対象ランプについてのログ履歴情報に含めてメモリ５２に格納することをいう。具体的には、「manufacturer code」、「max watt」、「min watt」、「life hour」、および「lamp serial」の内容がログ履歴情報に含まれる。なお、以下、「life hour」の内容を、公称寿命時間T(life)と称する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０５】
即ち、本実施の形態では、ランプタイマTが自動的にリセットされたとき、ステップＳ３１において、処理の終了が指示されたと判定されて、交換前のランプ５８についてのランプタイマ運用処理は終了となる。そして、図５のステップＳ１２が実行されることで、交換後のランプ５８についてのランプタイマ運用処理が新たに開始される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３９】
ここで、ランプ情報とは、ランプシリアルコードに含まれる情報のうちの、「Check sum」/「check sum」を除く情報、例えば上述した図７の構造のランプシリアルコードが採用されている場合には、図１２のステップＳ５１のボックス中に記載されているように、「manufacturer code」，「max watt」，「min watt」，「life hour」，「lamp serial」を指す。この場合の各ランプ情報は、必ずしも同一手法で入力される必要は無く、必ずしも同一タイミングで入力される必要も無く、また、その入力順番も特に限定されない。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４１】
ステップＳ５２において、装置は、ランプ情報の並べ替えを行う。この並べ替えは、ランプシリアルコードの構造に従う。従って、上述した図７の構造のランプシリアルコードが採用されている場合には、「manufacturer code」，「max watt」，「min watt」，「life hour」，「lamp serial」の順に並び替えられることになる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４３】
ステップＳ５４において、装置は、ランプシリアルコードを生成する。即ち、ステップＳ５２の処理で並び替えられた各ランプ情報に対して、ステップＳ５３の処理で計算されたチェックサムが付加されることで、ランプシリアルコードが生成される。例えば、図７の構造のランプシリアルコードが採用されている場合には、「Check sum/manufacturer code/max watt/min watt/life hour/lamp serial/check sum」という各テキスト情報が配列されて構成される情報が、ランプシリアルコードとして生成されることになる。
【手続補正書】
【提出日】平成22年2月22日(2010.2.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
かかるＩＭＴ-２０００システムにおいて、移動局が、同一のＳＧＳＮ配下のＲＮＣを跨るハンドオーバを行う場合、即ち、「ＳＧＳＮ  ｒｅｌｏｃａｔｉｏｎ」を行う場合には、ＳＧＳＮが、ＲＡＮＡＰ（Ｒａｄｉｏ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｎｅｔｗｏｒｋ  Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ  Ｐａｒｔ）にて、「Ｒｅｌｏｃａｔｉｏｎ  Ｒｅｑｕｅｓｔメッセージ」を送信し、ＳＧＳＮ側のＧＴＰトンネルエンドポイントＩＤが再設定される。
【手続補正書】
【提出日】平成22年7月12日(2010.7.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
二次元アレイ状に配列形成された複数の光電変換素子及び複数の第１垂直電荷転送路を有するセンサ部と、水平電荷転送路と、該水平電荷転送路と前記センサ部との間に設けられ前記第１垂直電荷転送路に連続する複数の第２垂直電荷転送路を有する蓄積部とを備え、前記光電変換素子、前記第１，第２垂直電荷転送路、前記水平電荷転送路が半導体基板の表面側に形成され、該半導体基板の裏面側から被写界光が入射する裏面照射型であるフレームインターライントランスファー型のＣＣＤ固体撮像素子において、前記第１垂直電荷転送路の幅に対し前記第２垂直電荷転送路の幅を幅広に形成すると共に、転送休止期間に前記第２垂直電荷転送路の埋め込みチャネル表面を非空乏化する電圧を該第２垂直電荷転送路の全転送電極に印加したとき該第２垂直電荷転送路上の信号電荷を蓄積する蓄積領域を前記埋め込みチャネルに形成し、前記第１垂直電荷転送路を構成するｎ領域でなる埋め込みチャネルの下にｐ層が設けられ、該ｐ層は、前記第１垂直電荷転送路に信号電荷を読み出す前記光電変換素子のｎ層の表面上まで延びて形成され、前記第１垂直電荷転送路の読出電極兼用の転送電極膜が前記ｎ層の表面上の前記ｐ層を介して該ｎ層とオーバーラップする構成になっていることを特徴とするＣＣＤ固体撮像素子。
【請求項２】
前記第２垂直電荷転送路の転送速度に対して前記第１垂直電荷転送路の転送速度を少なくとも１０倍以上に制御したことを特徴とする請求項１に記載のＣＣＤ固体撮像素子。
【請求項３】
前記センサ部に設けられる前記光電変換素子が前記蓄積部に設けられていない分だけ前記第２垂直電荷転送路の幅を幅広に設けたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のＣＣＤ固体撮像素子。
【請求項４】
前記第１垂直電荷転送路及び前記第２垂直電荷転送路の転送駆動電圧を同じ電圧としたことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のＣＣＤ固体撮像素子。
【請求項５】
前記センサ部に設ける光電変換素子の画素サイズを２μｍ□以下としマルチフィールド読み出しする構成としたことを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載のＣＣＤ固体撮像素子。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明のＣＣＤ固体撮像素子は、二次元アレイ状に配列形成された複数の光電変換素子及び複数の第１垂直電荷転送路を有するセンサ部と、水平電荷転送路と、該水平電荷転送路と前記センサ部との間に設けられ前記第１垂直電荷転送路に連続する複数の第２垂直電荷転送路を有する蓄積部とを備え、前記光電変換素子、前記第１，第２垂直電荷転送路、前記水平電荷転送路が半導体基板の表面側に形成され、該半導体基板の裏面側から被写界光が入射する裏面照射型であるフレームインターライントランスファー型のＣＣＤ固体撮像素子において、前記第１垂直電荷転送路の幅に対し前記第２垂直電荷転送路の幅を幅広に形成すると共に、転送休止期間に前記第２垂直電荷転送路の埋め込みチャネル表面を非空乏化する電圧を該第２垂直電荷転送路の全転送電極に印加したとき該第２垂直電荷転送路上の信号電荷を蓄積する蓄積領域を前記埋め込みチャネルに形成し、前記第１垂直電荷転送路を構成するｎ領域でなる埋め込みチャネルの下にｐ層が設けられ、該ｐ層は、前記第１垂直電荷転送路に信号電荷を読み出す前記光電変換素子のｎ層の表面上まで延びて形成され、前記第１垂直電荷転送路の読出電極兼用の転送電極膜が前記ｎ層の表面上の前記ｐ層を介して該ｎ層とオーバーラップする構成になっていることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
垂直電荷転送路１２の埋め込みチャネル１２ａの下に形成されたｐ層２３は、図示の例では左隣のｎ層３５の表面端部の上まで延び、この端部分のｐ＋表面層３８は、ｎ層３５の右端面位置より後退した位置になっている。そして、転送電極膜１２ｂの左端面は、ｐ層２３の左端面まで重なる様に延設され、ｎ層３５と、転送電極膜１２ｂ及びｐ層２３の表面端部とが若干オーバーラップする構成になっている。
【手続補正書】
【提出日】平成22年3月11日(2010.3.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】基板処理装置及び半導体装置の製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を熱処理する処理室と、  
前記処理室内にある前記基板を加熱する加熱手段と、  
前記処理室内に処理ガスを供給するガス供給系と、
前記処理室内の雰囲気を排気する排気系と、 
前記処理室と開口を介して気密に連通するように配置される予備室と、  
前記基板を載置すると共に、前記処理室と前記予備室との間で前記開口を経て前記基板を移動させる基板載置手段と、  
前記予備室内に不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段と、  
前記予備室内の雰囲気を排気する予備室排気手段と、  
前記予備室内に配置され、予備室内のガス流れの乱れを抑制するための整流手段と、  
前記整流手段を前記予備室内の基板冷却時位置とそれ以外の時の位置との間で移動させるための移動手段と、を備え、  
前記移動手段は、熱処理後の基板を前記予備室にて冷却する際、前記整流手段を前記基板冷却時位置であって、前記基板の周辺の位置に移動させることを特徴とする基板処理装置。  
【請求項２】
基板載置手段により基板を載置し、処理室の開口を経て該処理室内に前記基板を移動する工程と、
前記処理室内に処理ガスを供給しつつ排気し、該処理室内にある基板を加熱処理する工程と、
前記基板載置手段により前記処理室の開口を経て前記処理室から該処理室と気密に連通する予備室へ前記基板を移動する工程と、
移動手段により前記予備室内に配置された整流手段を、基板冷却時位置以外から基板冷却位置としての前記基板の周辺の位置へ移動させ、前記予備室内に供給された不活性ガスのガス流れの乱れを前記整流手段により抑制しつつ前記基板を冷却する工程とを
有することを特徴とする半導体装置の製造方法。