【手続補正書】
【提出日】平成22年10月13日(2010.10.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
振動板と、圧電体膜と、該圧電体膜を挟む様に設けられた一対の電極層と、を有し、該圧電体膜と該一対の電極層とが該振動板上に設けられている圧電アクチュエータであって、
前記一対の電極層と前記圧電体膜と前記振動板とのそれぞれの弾性率が三次元に関して等方であるとし、電界に対する前記圧電体膜の歪量が該圧電体膜の面内方向において等方であるとし、前記一対の電極層間に一定電界を加え前記圧電体膜に歪を発生させ該歪により前記振動板が撓んだときの該振動板の主面上の最も大きな変位量となる点をＰδMAX、点ＰδMAXを中心とする該振動板の端部までの距離よりも小さな半径の基準円周上に位置し最も点ＰδMAXにおける変位量との差の少ない該振動板面上の点をＰδAとしたとき、前記振動板が、撓んでいないときの該振動板の主面上にあり点ＰδMAXと点ＰδAとを結ぶ直線方向の軸Ａ1を一義的に決定できる形状を有し、前記軸Ａ1と直交し前記振動板の主面上にある軸Ａ2に垂直な面が｛１１０｝である単一配向材料または単結晶材料で構成されたものであり、前記圧電体膜が、前記軸Ａ2に垂直な面が｛１００｝である単一配向膜または単結晶膜であることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】
振動板と、圧電体膜と、該圧電体膜を挟む様に設けられた一対の電極層と、を有し、該圧電体膜と該一対の電極層とが該振動板上に設けられている圧電アクチュエータであって、
前記振動板が、１本以上の対称軸を持つ円以外の形状を有しており、該振動板の形状を切る最も長い方向の対称軸を軸Ａ1'とし、該振動板の平面上にあって軸Ａ1'に直交する軸を軸Ａ2'としたとき、前記軸Ａ2'に垂直な面が｛１１０｝である単一配向材料または単結晶材料で構成されたものであり、
前記圧電体膜が、前記軸Ａ2'に垂直な面が｛１００｝である単一配向膜または単結晶膜であることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項３】
振動板と、圧電体膜と、該圧電体膜を挟む様に設けられた一対の電極層と、を有し、該圧電体膜と該一対の電極層とが該振動板上に設けられている圧電アクチュエータであって、
前記振動板が、対称軸を持たず、かつ、対称中心を持つ形状を有しており、該対称中心から最も近い振動板端面上の対となる点を結ぶ直線方向を軸Ａ2'とし、該振動板の平面上にあって軸Ａ2'に直交する軸を軸Ａ1'としたとき、前記軸Ａ2'に垂直な面が｛１１０｝である単一配向材料または単結晶材料で構成されたものであり、
前記圧電体膜が、前記軸Ａ2'に垂直な面が｛１００｝である単一配向膜または単結晶膜であることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
上記課題を解決した本発明には以下のものが含まれる。
（１）振動板と、圧電体膜と、該圧電体膜を挟む様に設けられた一対の電極層と、を有し、該圧電体膜と該一対の電極層とが該振動板上に設けられている圧電アクチュエータであって、
前記一対の電極層と前記圧電体膜と前記振動板とのそれぞれの弾性率が三次元に関して等方であるとし、電界に対する前記圧電体膜の歪量が該圧電体膜の面内方向において等方であるとし、前記一対の電極層間に一定電界を加え前記圧電体膜に歪を発生させ該歪により前記振動板が撓んだときの該振動板の主面上の最も大きな変位量となる点をＰδMAX、点ＰδMAXを中心とする該振動板の端部までの距離よりも小さな半径の基準円周上に位置し最も点ＰδMAXにおける変位量との差の少ない該振動板面上の点をＰδAとしたとき、前記振動板が、撓んでいないときの該振動板の主面上にあり点ＰδMAXと点ＰδAとを結ぶ直線方向の軸Ａ1を一義的に決定できる形状を有し、前記軸Ａ1と直交し前記振動板の主面上にある軸Ａ2に垂直な面が｛１１０｝である単一配向材料または単結晶材料で構成されたものであり、前記圧電体膜が、前記軸Ａ2に垂直な面が｛１００｝である単一配向膜または単結晶膜であることを特徴とする圧電アクチュエータ。
（２）振動板と、圧電体膜と、該圧電体膜を挟む様に設けられた一対の電極層と、を有し、該圧電体膜と該一対の電極層とが該振動板上に設けられている圧電アクチュエータであって、
前記振動板が、１本以上の対称軸を持つ円以外の形状を有しており、該振動板の形状を切る最も長い方向の対称軸を軸Ａ1'とし、該振動板の平面上にあって軸Ａ1'に直交する軸を軸Ａ2'としたとき、前記軸Ａ2'に垂直な面が｛１１０｝である単一配向材料または単結晶材料で構成されたものであり、
前記圧電体膜が、前記軸Ａ2'に垂直な面が｛１００｝である単一配向膜または単結晶膜であることを特徴とする圧電アクチュエータ。
（３）振動板と、圧電体膜と、該圧電体膜を挟む様に設けられた一対の電極層と、を有し、該圧電体膜と該一対の電極層とが該振動板上に設けられている圧電アクチュエータであって、
前記振動板が、対称軸を持たず、かつ、対称中心を持つ形状を有しており、該対称中心から最も近い振動板端面上の対となる点を結ぶ直線方向を軸Ａ2'とし、該振動板の平面上にあって軸Ａ2'に直交する軸を軸Ａ1'としたとき、前記軸Ａ2'に垂直な面が｛１１０｝である単一配向材料または単結晶材料で構成されたものであり、
前記圧電体膜が、前記軸Ａ2'に垂直な面が｛１００｝である単一配向膜または単結晶膜であることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明の第１の実施形態の圧電アクチュエータは、２つの電極層に挟まれた圧電体膜と振動板とを有する圧電アクチュエータであって、前記振動板及び圧電体膜が、下記の（ａ）〜（ｄ）の条件下で（ｅ）〜（ｇ）の要件を満たすものであることを特徴とする。すなわち、
（ａ）前記一対の電極層と前記圧電体膜と前記振動板とのそれぞれの弾性率が三次元に関して等方であるとする。
（ｂ）電界に対する前記圧電体膜の歪量が該圧電体膜の面内方向において等方であるとする。
（ｃ）前記一対の電極層間に一定電界を加え前記圧電体膜に歪を発生させ該歪により前記振動板が撓んだときの該振動板の主面上の最も大きな変位量となる点をＰδMAXとする。（ｄ）点ＰδMAXを中心とする該振動板の端部までの距離よりも小さな半径の基準円周上に位置し最も点ＰδMAXにおける変位量との差の少ない該振動板面上の点をＰδAとする。
（ｅ）前記振動板が、撓んでいないときの該振動板の主面上にあり点ＰδMAXと点ＰδAとを結ぶ直線方向の軸Ａ1を一義的に決定できる形状を有する。
（ｆ）前記軸Ａ1と直交し前記振動板の主面上にある軸Ａ2に垂直な面が｛１１０｝である単一配向材料または単結晶材料で構成されたものである。
（ｇ）前記圧電体膜が、前記軸Ａ2に垂直な面が｛１００｝である単一配向膜または単結晶膜である。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明の第２の実施形態の圧電アクチュエータは、２つの電極層に挟まれた圧電体膜と振動板とを有する圧電アクチュエータであって、前記振動板及び圧電体膜が、下記の（ａ）〜（ｃ）の要件を満たすものであることを特徴とする。すなわち、
（ａ）前記振動板が、１本以上の対称軸を持つ円以外の形状を有している。
（ｂ）前記振動板が、該振動板の形状を切る最も長い方向の対称軸を軸Ａ1'とし、該振動板の平面上にあって軸Ａ1'に直交する軸を軸Ａ2'としたとき、前記軸Ａ2'に垂直な面が｛１１０｝である単一配向材料または単結晶材料で構成されたものである。
（ｃ）前記圧電体膜が、前記軸Ａ2'に垂直な面が｛１００｝である単一配向膜または単結晶膜である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明の第３の実施形態の圧電アクチュエータは、２つの電極層に挟まれた圧電体膜と振動板とを有する圧電アクチュエータであって、前記振動板及び圧電体膜が、下記の（ａ）〜（ｃ）の要件を満たすものであることを特徴とする。すなわち、
（ａ）前記振動板が、対称軸を持たず、かつ、対称中心を持つ形状を有している。
（ｂ）前記振動板が、該対称中心から最も近い振動板端面上の対となる点を結ぶ直線方向を軸Ａ2'とし、該振動板の平面上にあって軸Ａ2'に直交する軸を軸Ａ1'としたとき、前記軸Ａ2'に垂直な面が｛１１０｝である単一配向材料または単結晶材料で構成されたものである。（ｃ）前記圧電体膜が、前記軸Ａ2'に垂直な面が｛１００｝である単一配向膜または単結晶膜である。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
また、本発明の第３の実施形態の圧電アクチュエータも、２つの電極層に挟まれた圧電体膜と振動板とを有する圧電アクチュエータである。この実施形態における前記振動板は、対称軸を持たず、かつ、対称中心を持つ形状を有している。該対称中心から最も近い振動板端面上の対となる点を結ぶ直線方向を軸Ａ2'とし、該振動板の平面上にあって軸Ａ2'に直交する軸Ａ1'とする。このとき、該振動板は、前記軸Ａ2'に垂直な面が｛１１０｝である単結晶材料で構成されている。また、前記圧電体膜は、前記軸Ａ2'に垂直な面が｛１００｝である単結晶圧電体膜である。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１２】
２０１  振動板
２０２  下部電極層
２０３  圧電体膜
２０４  上部電極層
２０５  カンチレバー固定部
２１１  振動板
２１２  下部電極層
２１３  圧電体膜
２１４  上部電極層
２１５  アクチュエータ保持基体
４０１  吐出口
４０２  連通孔
４０３  個別液室
４０４  共通液室
４０５  絞り部
４０７  振動板
４０８  下部電極層
４０９  圧電体膜
４１０  上部電極層
４１４  バッファ層
７０１  自動給送部
７０２  排出口
７０３  搬送部
７０４  回復部
７０５  キャリッジ
９０１  ＳＯＩ基板
９０２  Ｓｉ（１００）層
９０３  ＳｉＯ2層
９０４  Ｓｉ（１００）層
９０５  第１の下部電極層
９０６  第２の下部電極層
９０７  圧電体膜
９０８  上部電極層
９１１  個別液室
９１２  絞り部
９１３  共通液室
９１４  吐出口
９１５  ノズルプレート
１０ａ  ＳＯＩ基板９０１のオリフラ面
１０ｂ  液体吐出ヘッド
１０ｃ  振動板
１２０１  ＹＳＺ｛１００｝単結晶膜
１２０２  セリア｛１００｝単結晶膜
１２０３  ＬＮＯ｛１００｝単結晶膜
１２０４  ＳＲＯ｛１００｝単結晶膜
１２０５  ＰＺＴ｛１００｝（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ3）単結晶圧電体膜またはＰＭＮ−ＰＴ｛１００｝単結晶圧電体膜
１３０１  Ｓｉ（１００）基板
１３０２  ＳＴＯ｛１００｝単結晶膜
１３０３  ＳＲＯ｛１００｝単結晶膜
１３０４  ＰＺＴ｛１００｝単結晶圧電体膜
【手続補正１０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１２】
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