【手続補正書】
【提出日】平成22年5月13日(2010.5.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子回路基板上に発振回路、磁気インピーダン素子および検出回路が搭載されている磁気インピーダンスセンサを複数個並設した磁気センサにおいて、
前記磁気インピーダンスセンサが周波数情報を供給又は取得するための周波数信号端子と、
前記周波数信号端子を相互に接続する導線とを備えることを特徴とする磁気センサ。
【請求項２】
請求項１において、
前記周波数信号端子が前記発振回路に結合されていることを特徴とする磁気センサ。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記磁気インピーダンスセンサとは独立に設けられて前記周波数信号端子に接続された外部発振回路をさらに備えることを特徴とする磁気センサ。
【請求項４】
電子回路基板上にパルス増幅器、磁気インピーダン素子および検出回路が搭載されている磁気インピーダンスセンサ部材を複数個並設した磁気センサ部材と、
前記磁気インピーダンスセンサ部材に接続された周波数信号端子を介して前記パルス増幅器にパルスまたは高周波を印加する外部発振回路とを備えることを特徴とする磁気センサ。
【請求項５】
電子回路基板上に発振回路、磁気インピーダン素子および検出回路が搭載されている磁気インピーダンスセンサと、
電子回路基板上にパルス増幅器、磁気インピーダン素子および検出回路が搭載されている磁気インピーダンスセンサ部材と、
前記磁気インピーダンスセンサが周波数情報を供給又は取得するための周波数信号端子と、
前記磁気インピーダンスセンサ部材が周波数情報を取得するための周波数信号端子と、
前記周波数信号端子を相互に接続する導線とを備えることを特徴とする磁気センサ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−１８５５７９号公報
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
通常、検出回路Ｄ２は発振回路Ｇ２の周波数ｆ２に基づいて周囲磁場の検出作用を行い、検出した磁場信号を電圧として出力端子Ｐ２から出力する。上記磁界Ｈ１が感受されると前記検出回路Ｄ２において、磁界Ｈ１の周波数ｆ１と検出回路Ｄ２で検出作用する周波数ｆ２との差の絶対値｜ｆ１−ｆ２｜を周波数とする新たな信号が生成され、この信号が出力端子Ｐ２に現れる。この周波数｜ｆ１−ｆ２｜の信号は本来検出するべき磁気信号ではなく不要信号成分である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
第１発明の磁気センサは、電子回路基板上に発振回路、磁気インピーダン素子および検出回路が搭載されている磁気インピーダンスセンサを複数並設した磁気センサにおいて、前記磁気インピーダンスセンサが周波数情報を供給又は取得するための周波数信号端子と、前記周波数信号端子を相互に接続する導線とを備えることを特徴とする（請求項１）。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
さらに、上記発明の磁気センサは、前記磁気インピーダンスセンサとは独立に設けられて前記周波数信号端子に接続された外部発振回路をさらに備えることを特徴とする（請求項３）。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
上記の構成において、ＭＩセンサとは独立に設けられている外部発振回路の周波数を個々のＭＩセンサに搭載されているいずれの発振回路の周波数よりも高くしておくと、ＭＩセンサに搭載されている全ての発振回路の周波数を外部発振回路の周波数と同一にすることができ、個々のＭＩ素子に印加するパルス等の周波数を全て同じ周波数とすることができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
第２発明の磁気センサは、電子回路基板上にパルス増幅器、磁気インピーダン素子および検出回路が搭載されている磁気インピーダンスセンサ部材を複数個並設した磁気センサ部材と、前記インピーダンスセンサ部材に接続された周波数信号端子を介して前記パルス増幅器にパルスまたは高周波を印加する外部発振回路とを備えることを特徴とする（請求項４）。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
よって、個々のＭＩ素子に印加されるパルス等により生成される磁界の周波数と前記検出回路で検出作用する周波数との差を０Ｈｚ、すなわち直流成分にすることができるので、複数のＭＩセンサを近接して配設しても、ノイズとなる不要信号成分の影響を受けず、高感度、高精度で磁気変動を検出できる磁気計測システムを実現する磁気センサを得ることができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
第３発明の磁気センサは、電子回路基板上に発振回路、磁気インピーダン素子および検出回路が搭載されている磁気インピーダンスセンサと、電子回路基板上にパルス増幅器、磁気インピーダン素子および検出回路が搭載されている磁気インピーダンスセンサ部材がともに周波数情報を供給又は取得するための周波数信号端子を有し、該周波数信号端子を相互に接続する導線とを備えることを特徴とする（請求項５）。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
上記の構成により、磁気センサを構成する複数のＭＩセンサへそれぞれの周波数信号端子を介して供給又は取得する周波数信号が同一となり、個々のＭＩ素子に印加するパルス等の周波数を全てひとつの周波数とすることができる。
また、上記ＭＩセンサから周波数信号端子を介して取得した周波数情報に対応して、ＭＩセンサ部材を構成しているパルス増幅器からＭＩ素子に印加されるパルス等の周波数は上記ＭＩセンサの周波数と同一となる。
よって、個々のＭＩ素子に印加されるパルス等により生成される磁界の周波数と前記検出回路で検出作用する周波数との差を０Ｈｚ、すなわち直流成分にすることができるので、複数のＭＩセンサを近接して配設しても、ノイズとなる不要信号成分の影響を受けず、高感度、高精度で磁気変動を検出できる磁気計測システムを実現する磁気センサを得ることができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
次に実施例５として、発振回路１を有するＭＩセンサおよび発振回路の代わりにパルス増幅器６を有するＭＩセンサ部材を有し、上記ＭＩセンサには、ＭＩセンサ部材に周波数情報を供給するための周波数信号端子を備え、その供給された周波数情報を流す導線と、導線を通じて流れる周波数情報を取得する上記ＭＩセンサ部材に結合されている周波数信号端子を備えた実施例について、図６により説明する。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
図２に示す実施例における磁気センサは、１個のＭＩセンサおよびＭＩセンサを構成する発振回路１から周波数情報を供給するための周波数信号端子Ｑ１と、図５に示す実施例において使用した(ｎ−１)個のＭＩセンサ部材および該ＭＩセンサ部材中のパルス増幅器６が周波数情報を取得するための周波数信号端子Ｑ２〜Ｑｎ−１を有し、かつ全ての周波数信号端子を接続する導線Ｗ１とを備えている。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６３】
この構造により、ＭＩセンサＭ１の発振回路１からの１つの周波数情報は、ＭＩセンサＭ１のＭＩ素子３およびＭＩセンサ部材Ｌ１、Ｌ２、・・・、Ｌｎ−１のパルス増幅器６を介して各ＭＩ素子３に同じ周波数のパルス等を印加することができる。
したがって、増幅回路５の高周波フィルタ回路の働きにより磁気信号から直流成分が排除されるため、ＭＩセンサＭ１および各ＭＩセンサ部材の出力端子Ｖ１、Ｖ２・・・、Ｖｎは不要信号成分すなわちノイズに影響されない高精度な磁気信号を出力することができる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2009025280.tif 000001
【手続補正１５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５】
2009025280.tif 000002
【手続補正１６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６】
2009025280.tif 000003