【手続補正書】
【提出日】平成22年7月8日(2010.7.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光干渉断層法を用いて被検査物の画像を形成するための画像形成方法であって、
被検査物に入射する信号光の光軸方向における第１の焦点位置にて、該被検査物の第１の断層画像情報を取得する工程と、
前記信号光の焦点位置を、前記第１の焦点位置から該第１の焦点位置とは前記光軸方向に深さが異なる第２の焦点位置に変更する工程と、
前記第２の焦点位置にて、前記第１の断層画像情報の一部と前記光軸方向に重複する領域を持つように、前記被検査物の第２の断層画像情報を取得する工程と、
前記第１の断層画像情報と前記第２の断層画像情報との前記光軸方向に前記重複する領域におけるそれぞれの断層画像情報を利用して、前記第１の断層画像情報と前記第２の断層画像情報との位置合わせを行う工程と、
を含むことを特徴とする画像形成方法。
【請求項２】
前記第１及び第２の断層画像情報はそれぞれ、フーリエドメイン法により取得されることを特徴とする請求項１に記載の画像形成方法。
【請求項３】
前記第１及び第２の断層画像情報を取得する工程は、
光源から発した光を信号光と参照光とに分割する工程と、
前記被検査物において、前記信号光を前記光軸方向に対して略垂直な方向に走査する工程と、
前記参照光と前記被検査物で反射あるいは散乱した信号光とを干渉させる工程と、
前記干渉した光を用いて取得された波長ごとの信号強度をフーリエ変換する工程と、から成り、
前記フーリエ変換により取得された前記光軸方向に沿った位置ごとの信号強度を用いて、前記第１及び第２の断層画像情報を取得することを特徴とする請求項１あるいは２に記載の画像形成方法。
【請求項４】
前記重複する領域における、前記第１及び第２の断層画像情報の前記位置ごとの信号強度どうしの相関から、前記第１の断層画像情報と前記第２の断層画像情報との前記光軸方向における位置のずれ量を取得することを特徴とする請求項３に記載の画像形成方法。
【請求項５】
前記波長ごとの信号強度は、
前記干渉した光を分光し、且つ該分光された光を検出することにより取得される、あるいは、
光源から互いに異なる中心波長を有する光を選択的に発生させ、該中心波長の異なる光を切り換える毎に、前記干渉した光の信号強度を検出することにより取得される、ことを特徴とする請求項３あるいは４に記載の画像形成方法。
【請求項６】
前記位置合わせされた第１及び第２の断層画像情報を合成する工程を含み、
前記合成された第１及び第２の断層画像情報から前記被検査物の画像を形成することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の画像形成方法。
【請求項７】
前記第１の焦点位置にて、前記被検査物の該光軸方向に交差する方向における第１の画像情報を取得する工程と、
前記第２の焦点位置にて、前記被検査物の前記光軸方向に交差する方向における第２の画像情報を取得する工程と、を含み、
前記第１の断層画像情報と前記第２の断層画像情報との位置合わせを行うことにより、前記第１の画像情報と前記第２の画像情報との位置合わせを行うことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の画像形成方法。
【請求項８】
前記第１及び第２の画像情報を取得する工程は、
光源から発した光を信号光と参照光とに分割する工程と、
前記被検査物において、前記信号光を前記光軸方向に交差する方向に走査する工程と、
前記参照光と前記被検査物で反射あるいは散乱した信号光とを干渉させる工程と、から成り、
前記干渉した光を用いて、前記第１及び第２の画像情報をタイムドメイン法により取得することを特徴とする請求項７に記載の画像形成方法。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか１項に記載の画像形成方法を行うための装置であって、
光を発生させる光源と、
前記光源からの光を信号光と参照光とに分割する光分割手段と、
前記被検査物において、前記信号光を前記光軸方向に対して略垂直な方向に走査する光走査手段と、
前記参照光と前記被検査物で反射あるいは散乱した信号光との干渉光を用いて取得された波長ごとの信号強度をフーリエ変換する手段と、を有し、
前記フーリエ変換により取得された前記光軸方向に沿った位置ごとの信号強度を用いて、前記第１及び第２の断層画像情報を取得することを特徴とする装置。
【請求項１０】
前記波長ごとの信号強度は、
前記干渉光を分光する分光手段と、前記分光手段により分光された光を検出する分光検出手段とにより取得される、あるいは、
前記光源から互いに異なる中心波長を有する光を選択的に発生させ、該中心波長の異なる光を切り換える毎に、前記干渉光の信号強度を検出することにより取得される、ことを特徴とする請求項９に記載の装置。
【請求項１１】
光干渉断層法を用いて被検査物の画像を形成するための画像形成方法であって、
被検査物に入射する信号光の光軸方向における第１の焦点位置にて、該被検査物の該光軸方向に交差する方向における第１の画像情報を取得する工程と、
前記被検査物の前記第１の焦点位置にて、前記光軸方向に沿った第１の断層画像情報を、フーリエドメイン法により取得する工程と、
前記信号光の焦点位置を、前記第１の焦点位置から該第１の焦点位置とは前記光軸方向に深さが異なる第２の焦点の位置に変更する工程と、
前記第２の焦点位置にて、前記被検査物の前記光軸方向に交差する方向における第２の画像情報を取得する工程と、
前記被検査物の前記第２の焦点位置にて、前記第１の断層画像情報の一部と前記光軸方向に重複する領域を持つように、前記光軸方向に沿った第２の断層画像情報を、フーリエドメイン法により取得する工程と、
前記第１の断層画像情報と前記第２の断層画像情報との前記光軸方向に前記重複する領域におけるそれぞれの断層画像情報を利用して、前記第１の画像情報と前記第２の画像情報との位置合わせを行う工程と、
を含むことを特徴とする画像形成方法。
【請求項１２】
前記第１及び第２の画像情報を取得する工程は、
光源から発した光を信号光と参照光とに分割する工程と、
前記被検査物において、前記信号光を前記光軸方向に交差する方向に走査する工程と、
前記参照光と前記被検査物で反射あるいは散乱した信号光とを干渉させる工程と、から成り、
前記干渉した光を用いて、前記第１及び第２の画像情報をタイムドメイン法により取得することを特徴とする請求項１１に記載の画像形成方法。
【請求項１３】
前記干渉した光を用いて取得された波長ごとの信号強度をフーリエ変換する工程を含み、
前記フーリエ変換により取得された前記光軸方向に沿った位置ごとの信号強度を用いて、前記第１及び第２の断層画像情報を取得することを特徴とする請求項１２に記載の画像形成方法。
【請求項１４】
前記重複する領域における、前記第１及び第２の断層画像情報の前記位置ごとの信号強度どうしの相関から、前記第１の画像情報と前記第２の画像情報との前記光軸方向における位置のずれ量を取得することを特徴とする請求項１３に記載の画像形成方法。
【請求項１５】
前記波長ごとの信号強度は、
前記干渉した光を分光し、且つ該分光された光を検知することにより取得される、あるいは、
光源から互いに異なる中心波長を有する光を選択的に発生され、該中心波長の異なる光を切り換える毎に、前記干渉した光の信号強度を検出することにより取得される、ことを特徴とする請求項１３あるいは１４に記載の画像形成方法。
【請求項１６】
請求項１１乃至１５のいずれか１項に記載の画像形成方法を行うための装置であって、
光を発生させる光源と、
前記光源からの光を信号光と参照光とに分割する第１の光分割手段と、
前記被検査物において、前記信号光を前記光軸方向に交差する方向に走査する光走査手段と、
前記参照光と前記被検査物で反射あるいは散乱した信号光との干渉光を用いて取得される波長ごとの信号強度をフーリエ変換する手段と、を有し、
前記フーリエ変換により取得された前記光軸方向に沿った位置ごとの信号強度を用いて、前記第１及び第２の断層画像情報を取得することを特徴とする装置。
【請求項１７】
前記波長ごとの信号強度は、
前記干渉光を分光する分光手段と、前記分光手段により分光された光を検出する分光検出手段とにより取得される、あるいは、
前記光源から互いに異なる中心波長を有する光を選択的に発生され、該中心波長の異なる光を切り換える毎に、前記干渉光の信号強度を検出することにより取得される、ことを特徴とする請求項１６に記載の装置。
【請求項１８】
前記干渉光を、前記タイムドメイン法による前記第１及び第２の画像情報を取得するための第１の光と、前記スペクトラルドメイン法による前記第１及び第２の断層画像情報を取得するための第２の光とに分割する第２の光分割手段を有し、
前記分光手段により前記第２の光を分光することを特徴とする請求項１７に記載の装置。
【請求項１９】
前記第２の光分割手段は、瞳分割の作用を持つ光束分割手段であることを特徴とする請求項１８に記載の装置。
【請求項２０】
前記第２の光分割手段により分割された前記第２の光を絞るための光束限定手段を有することを特徴とする請求項１８に記載の装置。
【請求項２１】
前記参照光の周波数と前記信号光の周波数とに差を持たせる周波数シフタと、
前記第１及び前記第２の画像情報を取得する際に、前記参照光或いは前記信号光の周波数がシフトするように、前記周波数シフタを制御する制御部と、
を有することを特徴とする請求項１６乃至２０のいずれか１項に記載の装置。
【請求項２２】
前記干渉光が通る経路を変換する光経路変換手段と、
前記第１及び前記第２の画像情報を取得する際には、前記干渉光は、前記タイムドメイン法により画像を取得するための経路を通り、且つ、前記第１及び第２の断層画像情報を取得する際には、前記干渉光は、前記フーリエドメイン法により画像を取得するための経路を通るように、前記光経路変換手段を制御する制御部と、
を有することを特徴とする請求項２１に記載の装置。
【請求項２３】
前記第２の光分割手段を透過する光の偏光を変化させる空間偏光変調器と、
前記第１或いは前記第２の画像情報を取得する際には、前記タイムドメイン法により画像を取得するための光の方が、前記フーリエドメイン法により画像を取得するための光よりも強く、且つ、前記第１及び第２の断層画像情報を取得する際には、前記フーリエドメイン法により画像を取得するための光の方が、前記タイムドメイン法により画像を取得するための光よりも強くなるように、前記空間偏光変調器を制御する制御部と、
を有することを特徴とする請求項２１に記載の装置。
【請求項２４】
前記参照光の周波数と前記信号光の周波数とに差を持たせるための周波数シフタを有し、
前記光源は、互いに異なる中心波長を有する光を選択的に発生させる第１の光源と、単一の中心波長を発生させる第２の光源であって、
前記周波数シフタが、前記第２の光源が照射する光の経路に配置され、
前記第１の光源から発生された光の経路は、前記第２の光源から発生された光の経路とは異なることを特徴とする請求項１６あるいは１７に記載の装置。