【手続補正書】
【提出日】平成22年3月16日(2010.3.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
オゾナイザで生成されたオゾンガスをオゾン沸点以下の温度まで冷却し液体オゾンと非凝縮気体とに分離する冷却手段と、
前記冷却手段により分離された前記液体オゾンを加熱して気化し濃縮オゾンを得る気化部と、
前記液体オゾンと前記非凝縮気体との分離境界面と前記気化部との間を液封する液封部と、
前記分離境界面の液位に関する情報を取得する第１の情報取得手段と、
前記液封部の気化部側の液位に関する情報を取得する第２の情報取得手段と、を備えたことを特徴とするオゾン濃縮装置。
【請求項２】
前記情報取得手段は、液位によって変化する静電容量を測定する静電容量式レベル計であることを特徴とする請求項１記載のオゾン濃縮装置。
【請求項３】
前記情報取得手段は、液位に比例する圧力を測定する差圧式レベル計であることを特徴とする請求項１記載のオゾン濃縮装置。
【請求項４】
オゾナイザで生成されたオゾンガスをオゾン沸点以下の温度まで冷却し液体オゾンと非凝縮気体とに分離する冷却手段と、
前記冷却手段により分離された前記液体オゾンを加熱して気化し濃縮オゾンを得る気化部と、
前記液体オゾンと前記非凝縮気体との分離境界面と前記気化部との間を液封する液封部と、
前記分離境界面に対する圧力を調整するための圧力調整手段と、を備えたことを特徴とするオゾン濃縮装置。
【請求項５】
前記非凝縮気体を導出する気体配管を備え、
前記冷却手段の冷却部により冷却されるオゾンの流路の出口に対して、前記液封部及び前記気体配管がそれぞれ分岐して接続され、
前記圧力調整手段は前記気体配管に対して設けられ、
前記気体配管の前記圧力調整手段より上流側に圧力調整チャンバが接続されていることを特徴とする請求項４記載のオゾン濃縮装置。
【請求項６】
前記オゾナイザで生成されたオゾンガスをオゾン沸点以下の温度まで冷却し液体オゾンと非凝縮気体とに分離する冷却手段と、
前記冷却手段により分離された前記液体オゾンを加熱して気化し濃縮オゾンを得る気化部と、
前記液体オゾンと前記非凝縮気体との分離境界面と前記気化部との間を液封する液封部と、を具備するオゾン濃縮装置の運転方法であって、
前記液封部の前記分離境界面側の圧力と、前記液封部の前記気化部側の圧力を調整しながら前記液封部に前記液体オゾンを充満させることを特徴とするオゾン濃縮装置の運転方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
そこで、本発明によるオゾン濃縮装置は、オゾナイザで生成されたオゾンガスをオゾン沸点以下の温度まで冷却し液体オゾンと非凝縮気体とに分離する冷却手段と、冷却手段により分離された液体オゾンを加熱して気化し濃縮オゾンを得る気化部と、液体オゾンと非凝縮気体との分離境界面と気化部との間を液封する液封部と、分離境界面の液位に関する情報を取得する第１の情報取得手段と、液封部の気化部側の液位に関する情報を取得する第２の情報取得手段と、を備えたことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
このようなオゾン濃縮装置によれば、第１の情報取得手段が分離境界面の液位に関する情報（液面の高さや、規定位置における液の有無等）を取得するため、例えば液封部に液体オゾンを充満させる際等にあって、液封部の分離境界面に対する圧力のかけすぎなどにより液封部の分離境界面側の液位に急激な変動がないか否かをモニタすることができると共に、液封部の分離境界面側の液体オゾンの液位が一定に保たれているか否かもモニタすることができる。また、第２の情報取得手段が気化部側の液位に関する情報を取得するため、気化部側の液封部に分離境界面側の液体オゾンが良好に流れ込んでいるか否かをモニタできると共に、気化部側の液体オゾンの液位に急激な変動がないか否かや、液封部に対する液体オゾンの充満時に気化部側の液位が一定に保たれているか否かをモニタすることができる。このようにして取得したモニタ情報に基づいて分離境界面側の圧力の調整などを行うことにより、分離境界面側での異常貯留及び気化部での液体オゾンの吐噴が防止され、これにより安定した液体オゾンの生成が可能とされ、万が一、液体オゾンの異常分解が発生しても、その影響を小さくすることができる。さらに、液封部に充填され毛細管力を発現する充填材を充填すると、液封部内の充填材の毛細管力により液体オゾンは気化部に良好に導かれて気化する一方で、オゾン分解が生じても、発生する熱は液封部内にあっては充填材の熱容量により吸収されると共に当該充填材により液体オゾンの量が低減されることになり、液体オゾンの気化による連鎖的なオゾン分解が抑制される。従って、安定した液体オゾンの生成が可能とされると共に、装置の破壊の虞が無くされる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、本発明によるオゾン濃縮装置は、オゾナイザで生成されたオゾンガスをオゾン沸点以下の温度まで冷却し液体オゾンと非凝縮気体とに分離する冷却手段と、冷却手段により分離された液体オゾンを加熱して気化し濃縮オゾンを得る気化部と、液体オゾンと非凝縮気体との分離境界面と気化部との間を液封する液封部と、分離境界面に対する圧力を調整するための圧力調整手段と、を備えていることを特徴としている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
このようなオゾン濃縮装置によれば、圧力調整手段によって、分離境界面に対する圧力が調整されるため、例えば、分離境界面に対する圧力を増加させることにより、液封部に液体オゾンを送り込むことが可能とされ、更に、分離境界面の液位を一定に保ち入口側に液体オゾンが規定以上に貯まること（異常貯留）を防止することが可能とされる。また、圧力調整手段によって、分離境界面に対する圧力を減少させることにより、分離境界面に対する圧力のかかりすぎによる気化部での液体オゾンの吐噴が防止される。以上により、分離境界面側での異常貯留及び気化部での液体オゾンの吐噴が防止され、これにより、安定した液体オゾンの生成が可能とされ、万が一、液体オゾンの異常分解が発生しても、その影響を小さくすることができる。さらに、液封部に充填され毛細管力を発現する充填材を充填すると、液封部内の充填材の毛細管力により液体オゾンは気化部に良好に導かれて気化する一方で、オゾン分解が生じても、発生する熱は液封部内にあっては充填材の熱容量により吸収されると共に当該充填材により液体オゾンの量が低減されることになり、液体オゾンの気化による連鎖的なオゾン分解が抑制される。従って、安定した液体オゾンの生成が可能とされると共に、装置の破壊の虞が無くされる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、本発明によるオゾン濃縮装置の運転方法は、オゾナイザで生成されたオゾンガスをオゾン沸点以下の温度まで冷却し液体オゾンと非凝縮気体とに分離する冷却手段と、冷却手段により分離された液体オゾンを加熱して気化し濃縮オゾンを得る気化部と、液体オゾンと非凝縮気体との分離境界面と気化部との間を液封する液封部と、を具備するオゾン濃縮装置の運転方法であって、液封部の分離境界面側の圧力と、液封部の気化部側の圧力を調整しながら液封部に液体オゾンを充満させることを特徴としている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
このようなオゾン濃縮装置の運転方法によれば、分離境界面側の圧力と気化部側の圧力の差を徐々に減少させながら液体オゾンを液封部に充満させることによって、分離境界面側での異常貯留及び気化部での液体オゾンの吐噴が防止され、安定した液体オゾンの生成が可能となり、万が一、液体オゾンの異常分解が発生しても、その影響を小さくすることができる。さらに、液封部に充填され毛細管力を発現する充填材を充填すると、液封部内の充填材の毛細管力により液体オゾンは気化部に良好に導かれて気化する一方で、オゾン分解が生じても、発生する熱は液封部内にあっては充填材の熱容量により吸収されると共に当該充填材により液体オゾンの量が低減されることになり、液体オゾンの気化による連鎖的なオゾン分解が抑制される。従って、安定した液体オゾンの生成が可能とされると共に、装置の破壊の虞が無くされる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
このように本発明によれば、液封部に対する液位の調整等により、分離境界面側での異常貯留及び気化部での液体オゾンの吐噴を防止できるため、安定した液体オゾンの生成が可能となる。その結果、万が一、液体オゾンの異常分解が発生しても、そのダメージを少なくすることができる。さらに、液封部に充填され毛細管力を発現する充填材を充填すると、充填材の毛細管力により液体オゾンを気化部に良好に導いて気化させることができると共に、充填材の熱容量及び充填材による液体オゾンの減少により液体オゾンの気化による連鎖的なオゾン分解が抑制でき、その結果、安定した液体オゾンの生成が可能となると共に、装置の破壊の虞を無くすことが可能となる。