【手続補正書】
【提出日】平成22年9月1日(2010.9.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
反応室内に使用済みのアルカリ過マンガン酸エッチング溶液を収容すると共に、該反応室内にアルカリ土類水酸化物を添加する工程と、
該反応室の内部の液体を攪拌する工程と、
該反応室の側部または上部からフィルタを介して再生されたアルカリ過マンガン酸エッチング溶液を含む液体を排出する工程と、
該フィルタを通過できずに反応室の底部に蓄積された難溶性または不溶性物質を含む沈殿物を反応室から排出する工程と、
を含むことを特徴とするアルカリ過マンガン酸エッチング溶液の再生方法。
【請求項２】
前記反応室内に添加するアルカリ土類水酸化物として、水酸化カルシウム又は水酸化バリウムを使用することを特徴とする請求項１に記載のエッチング溶液の再生方法。
【請求項３】
前記フィルタに付着した難溶性または不溶性物質の一部は、前記液体排出部の遮蔽壁を兼ねたスキージ扉により掻き落されることを特徴とする請求項１又は２に記載のエッチング溶液の再生方法。
【請求項４】
前記反応室の液体排出部から排出された液体を第２の処理槽に収容する工程と、
前記第２の反応室内の液体に含まれる難溶性または不溶性物質を含む沈殿物を沈降させる工程と、
該第２の反応室の側部から第２のフィルタを介して液体を排出する工程と、
該第２のフィルタを通過できずに第２の反応室の底部に蓄積された難溶性または不溶性物質を含む沈殿物を反応室から排出する工程と、を含むことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のエッチング溶液の再生方法。
【請求項５】
前記第２のフィルタに付着した難溶性または不溶性物質は、前記第２の液体排出部の遮蔽壁を兼ねた第２のスキージ扉により掻き落とされることを特徴とする請求項４に記載のエッチング溶液の再生方法。
【請求項６】
使用済みのアルカリ過マンガン酸エッチング溶液を受け入れると共に、アルカリ土類水酸化物が添加される反応室と、該反応室の内部の液体を攪拌する手段と、該反応室の側部または上部から再生されたアルカリ過マンガン酸エッチング溶液を含む液体をフィルタを介して排出する液体排出部と、該フィルタを通過できずに反応室の底部に蓄積された難溶性または不溶性物質を含む沈殿物を反応室から排出する沈殿物排出部と、を具備することを特徴とするアルカリ過マンガン酸エッチング溶液の再生装置。
【請求項７】
前記フィルタに付着した難溶性または不溶性物質の一部を掻き落とす、前記液体排出部の遮蔽壁を兼ねたスキージ扉が設けられていることを特徴とする請求項６に記載のエッチング溶液の再生装置。
【請求項８】
前記反応室の液体排出部から排出された液体を受け入れる第２の処理槽と、該第２の反応室の側部または上部から液体を第２のフィルタを介して排出する第２の液体排出部と、該第２のフィルタを通過できずに第２の反応室の底部に蓄積された難溶性または不溶性物質を含む沈殿物を反応室から排出する第２の沈殿物排出部と、を具備することを特徴とする請求項６又は７に記載のエッチング溶液の再生装置。
【請求項９】
前記第２のフィルタに付着した難溶性または不溶性物質を掻き落とす、前記第２の液体排出部の遮蔽壁を兼ねた第２のスキージ扉が設けられていることを特徴とする請求項８に記載のエッチング溶液の再生装置。
【請求項１０】
前記フィルタは、アルカリ過マンガン酸エッチング溶液及びアルカリ土類水酸化物に耐性を有するステンレス又はトリテトラフロオロエチレン等のフッ素系樹脂素材から作製され、且つ０．１〜１００μｍ程度の孔径を有することを特徴とする請求項６〜９のいずれか１項に記載のエッチング溶液の再生装置。
【請求項１１】
反応室内に使用済みのデスミア液を収容すると共に、該反応室内にアルカリ土類酸化物を添加する工程と、
該反応室の内部の液体を攪拌する工程と、
該反応室の側部または上部からフィルタを介して再生されたデスミア液を含む液体を排出する工程と、
該フィルタを通過できずに反応室の底部に蓄積された難溶性または不溶性物質を含む沈殿物を反応室から排出する工程と、
を含むことを特徴とするデスミア液の再生方法。
【請求項１２】
前記反応室内に添加するアルカリ土類酸化物として、酸化バリウムを使用することを特徴とする請求項１１に記載のデスミア液の再生方法。
【請求項１３】
使用済みのデスミア液を受け入れると共に、アルカリ土類酸化物が添加される反応室と、該反応室の内部の液体を攪拌する手段と、該反応室の側部または上部から再生されたデスミア液を含む液体をフィルタを介して排出する液体排出部と、該フィルタを通過できずに反応室の底部に蓄積された難溶性または不溶性物質を含む沈殿物を反応室から排出する沈殿物排出部と、を具備することを特徴とするデスミア液の再生装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
上記の課題を達成するために、本発明によれば、反応室内に使用済みのアルカリ過マンガン酸エッチング溶液を収容すると共に、該反応室内に水酸化カルシウムに代表されるアルカリ土類水酸化物を添加する工程と、該反応室の内部の液体を攪拌する工程と、該反応室の側部または上部からフィルタを介して再生されたアルカリ過マンガン酸エッチング溶液を含む液体を排出する工程と、該フィルタを通過できずに反応室の底部に蓄積された難溶性または不溶性物質を含む沈殿物を反応室から排出する工程と、を含むことを特徴とするアルカリ過マンガン酸エッチング溶液を再生し延命化する方法が提供される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
また、本発明によると、使用済みのアルカリ過マンガン酸エッチング溶液を受け入れると共に、アルカリ土類水酸化物が添加される反応室と、該反応室の内部の液体をポンプで攪拌する手段と、該反応室の側部から再生されたアルカリ過マンガン酸エッチング溶液を含む液体をフィルタを介して排出する液体排出部と、該フィルタを通過できずに反応室の底部に蓄積された難溶性または不溶性物質を含む沈殿物を反応室から排出する沈殿物排出部と、を具備することを特徴とするアルカリ過マンガン酸エッチング溶液の再生装置が提供される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
また、本発明によると、反応室内に使用済みのデスミア液を収容すると共に、該反応室内にアルカリ土類酸化物を添加する工程と、該反応室の内部の液体を攪拌する工程と、該反応室の側部または上部からフィルタを介して再生されたデスミア液を含む液体を排出する工程と、該フィルタを通過できずに反応室の底部に蓄積された難溶性または不溶性物質を含む沈殿物を反応室から排出する工程と、を含むことを特徴とするデスミア液の再生方法が提供される。この場合において、前記反応室内に添加するアルカリ土類酸化物として、酸化バリウムを使用することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
更にまた、本発明によると、使用済みのデスミア液を受け入れると共に、アルカリ土類酸化物が添加される反応室と、該反応室の内部の液体を攪拌する手段と、該反応室の側部または上部から再生されたデスミア液を含む液体をフィルタを介して排出する液体排出部と、該フィルタを通過できずに反応室の底部に蓄積された難溶性または不溶性物質を含む沈殿物を反応室から排出する沈殿物排出部と、を具備することを特徴とするデスミア液の再生装置が提供される。