【手続補正書】
【提出日】平成22年7月1日(2010.7.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物上の塵埃を除去する塵埃除去装置であって、
前記対象物と、前記対象物に設けられた第１電気機械エネルギ変換素子および第２電気機械エネルギ変換素子と、を有する振動体と、
前記第１および第２電気機械エネルギ変換素子に印加される交番電圧を制御する制御回路とを備え、
前記制御回路は、
前記振動体に、次数の異なる第１の曲げ振動および第２の曲げ振動を重ね合わせた振動を発生させるべく、前記交番電圧の周波数を設定するとともに、前記第１および第２電気機械エネルギ変換素子に印加される前記各交番電圧の位相を異ならせることを特徴とする塵埃除去装置。
【請求項２】
前記第１の曲げ振動の複数の節が並ぶ方向と前記第２の曲げ振動の複数の節が並ぶ方向とは同じ方向であることを特徴とする請求項１に記載の塵埃除去装置。
【請求項３】
前記第１電気機械エネルギ変換素子および前記第２電気機械エネルギ変換素子は、前記複数の節が並ぶ方向において位置をずらして配置されたことを特徴とする請求項２に記載の塵埃除去装置。
【請求項４】
前記第１の曲げ振動と前記第２の曲げ振動とは、次数が１つ異なることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の塵埃除去装置。
【請求項５】
前記制御回路は、前記交番電圧の周波数を、前記第１の曲げ振動の共振周波数と前記第２の曲げ振動の共振周波数との間の周波数に設定することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の塵埃除去装置。
【請求項６】
前記制御回路は、前記第１電気機械エネルギ変換素子に印加される交番電圧と前記第２電気機械エネルギ変換素子に印加される交番電圧との位相差を、１８０°以外に設定することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の塵埃除去装置。
【請求項７】
前記制御回路は、前記塵埃の前記対象物上の位置に応じて、前記第１電気機械エネルギ変換素子に印加される交番電圧に対する前記第２電気機械エネルギ変換素子に印加される交番電圧の位相差を、０°より大きく１８０°より小さい値と、−１８０°より大きく０°より小さい値とで、切り替えることを特徴とする請求項６に記載の塵埃除去装置。
【請求項８】
前記制御回路は、前記塵埃の重心位置と、前記塵埃の前記対象物との接触部の位置とに応じて、前記第１電気機械エネルギ変換素子に印加される交番電圧に対する前記第２電気機械エネルギ変換素子に印加される交番電圧の位相差を、０°より大きく１８０°より小さい値と、−１８０°より大きく０°より小さい値とで、切り替えることを特徴とする請求項６に記載の塵埃除去装置。
【請求項９】
前記制御回路は、
前記第１電気機械エネルギ変換素子に印加される交番電圧と前記第２電気機械エネルギ変換素子に印加される交番電圧との位相差を、１８０°以外に設定し、前記振動体に次数の異なる第１の曲げ振動および第２の曲げ振動を重ね合わせた振動を発生させる駆動と、
前記振動体に１つの曲げ振動を発生させる駆動とを、切り替えることを特徴とする請求項６に記載の塵埃除去装置。
【請求項１０】
前記制御回路は、
前記第１電気機械エネルギ変換素子に印加される交番電圧と前記第２電気機械エネルギ変換素子に印加される交番電圧との位相差を、１８０°以外に設定し、前記振動体に次数の異なる第１の曲げ振動および第２の曲げ振動を重ね合わせた振動を発生させることで、前記対象物上の塵埃を移動させてから、前記振動体に１つの曲げ振動を発生させることで、前記対象物上の塵埃を飛散させることを特徴とする請求項９に記載の塵埃除去装置。
【請求項１１】
前記第１電気機械エネルギ変換素子および前記第２電気機械エネルギ変換素子にそれぞれ形成され、前記次数の異なる２つの曲げ振動の振幅をそれぞれ検出する第１および第２のセンサ電極を備え、
前記制御回路は、前記第１のセンサ電極の出力と前記第２のセンサ電極の出力との比に応じて、前記交番電圧の周波数、振幅および位相差の少なくとも１つを制御することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の塵埃除去装置。
【請求項１２】
前記振動体の姿勢を検知する姿勢センサを備え、
前記制御回路は、前記振動体に次数の異なる第１の曲げ振動および第２の曲げ振動を重ね合わせた振動を発生させることで前記対象物上の塵埃を移動させる際、前記検知された姿勢から決定される、前記対象物上の塵埃を移動させる方向が重力方向に対して９０°未満となるように、前記交番電圧の位相を設定することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の塵埃除去装置。
【請求項１３】
前記対象物は、光を透過する光学部材であることを特徴とする請求項１乃至１２のいずれかに記載の塵埃除去装置。
【請求項１４】
前記対象物は、矩形の光学部材であることを特徴とする請求項１乃至１２のいずれかに記載の塵埃除去装置。
【請求項１５】
対象物上の塵埃を除去する塵埃除去装置の駆動方法であって、
制御回路が、前記対象物に設けられた第１電気機械エネルギ変換素子および第２電気機械エネルギ変換素子に印加する交番電圧を制御する制御ステップを有し、
前記制御ステップでは、前記対象物と前記第１及び第２電気機械エネルギ変換素子を有する振動体に、次数の異なる第１の曲げ振動および第２の曲げ振動を同時に発生させるべく、前記交番電圧の周波数を設定するとともに、前記第１および第２電気機械エネルギ変換素子に印加される前記各交番電圧の位相を異ならせることを特徴とする塵埃除去装置の駆動方法。
【請求項１６】
前記制御ステップでは、前記交番電圧の周波数を、前記第１の曲げ振動の共振周波数と前記第２の曲げ振動の共振周波数との間の周波数に設定することを特徴とする請求項１５に記載の塵埃除去装置の駆動方法。
【請求項１７】
前記制御ステップでは、前記第１電気機械エネルギ変換素子に印加される交番電圧と前記第２電気機械エネルギ変換素子に印加される交番電圧との位相差を、１８０°以外に設定することを特徴とする請求項１５又は１６に記載の塵埃除去装置の駆動方法。
【請求項１８】
前記制御ステップでは、
前記第１電気機械エネルギ変換素子に印加される交番電圧と前記第２電気機械エネルギ変換素子に印加される交番電圧との位相差を、１８０°以外に設定し、前記振動体に次数の異なる第１の曲げ振動および第２の曲げ振動を同時に発生させる駆動と、
前記振動体に１つの曲げ振動を発生させる駆動とを、切り替えることを特徴とする請求項１７に記載の塵埃除去装置の駆動方法。
【請求項１９】
前記制御ステップでは、
前記第１電気機械エネルギ変換素子に印加される交番電圧と前記第２電気機械エネルギ変換素子に印加される交番電圧との位相差を、１８０°以外に設定し、前記振動体に次数の異なる第１の曲げ振動および第２の曲げ振動を同時に発生させることで、前記対象物上の塵埃を移動させてから、前記振動体に１つの曲げ振動を発生させることで、前記対象物上の塵埃を飛散させることを特徴とする請求項１８に記載の塵埃除去装置の駆動方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】塵埃除去装置および塵埃除去装置の駆動方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、対象物上の塵埃を除去する塵埃除去装置および塵埃除去装置の駆動方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
そこで、本発明は、高い除去効率で塵埃を所望の方向に移動させることができる塵埃除去装置および塵埃除去装置の駆動方法を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
上記目的を達成するために、本発明の塵埃除去装置は、対象物上の塵埃を除去する塵埃除去装置であって、前記対象物と、前記対象物に設けられた第１電気機械エネルギ変換素子および第２電気機械エネルギ変換素子と、を有する振動体と、前記第１および第２電気機械エネルギ変換素子に印加される交番電圧を制御する制御回路とを備え、前記制御回路は、前記振動体に、次数の異なる第１の曲げ振動および第２の曲げ振動を重ね合わせた振動を発生させるべく、前記交番電圧の周波数を設定するとともに、前記第１および第２電気機械エネルギ変換素子に印加される前記各交番電圧の位相を異ならせることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明の塵埃除去方法は、対象物上の塵埃を除去する塵埃除去装置の駆動方法であって、制御回路が、前記対象物に設けられた第１電気機械エネルギ変換素子および第２電気機械エネルギ変換素子に印加する交番電圧を制御する制御ステップを有し、前記制御ステップでは、前記対象物と前記第１及び第２電気機械エネルギ変換素子を有する振動体に、次数の異なる第１の曲げ振動および第２の曲げ振動を同時に発生させるべく、前記交番電圧の周波数を設定するとともに、前記第１および第２電気機械エネルギ変換素子に印加される前記各交番電圧の位相を異ならせることを特徴とする。