【手続補正書】
【提出日】平成22年3月2日(2010.3.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
２つの異なる材料より成る第１、第２の回折格子を積層した構造を有する回折光学素子であって、
該第１、第２の回折格子の材料はガラスであり、
該第１、第２の回折格子は互いの格子面が密着されており、
該第１の回折格子の材料の転移点温度と屈伏点温度を各々Ｔｇ２、Ａｔ２、
該第２の回折格子の材料の転移点温度をＴｇ３、
とするとき
Ｔｇ２≦６００℃
Ｔｇ３≦６００℃
Ｔｇ３＞Ａｔ２
を満足することを特徴とする回折光学素子。
【請求項２】
前記第１、第２の回折格子は、
Ｔｇ３−Ａｔ２＞５０℃
を満足する材料より成ることを特徴とする請求項１に記載の回折光学素子。
【請求項３】
前記第１の回折格子に対して前記第２の回折格子とは反対側に第３の回折格子が形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の回折光学素子。
【請求項４】
前記第３の回折格子の材料の屈伏点温度をＡｔ４とするとき
Ａｔ４＜Ｔｇ３
なる条件を満足することを特徴とする請求項３に記載の回折光学素子。
【請求項５】
前記第１、第２の回折格子の格子部の格子厚の合計が２０μｍ以下であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の回折光学素子。
【請求項６】
前記第１の回折格子の材料と前記第２の回折格子の少なくとも一方のアッベ数νｄは、４０以下であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の回折光学素子。
【請求項７】
前記第１の回折格子の材料と前記第２の回折格子の材料の少なくとも一方のアッベ数νｄは５０以上であることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の回折光学素子。
【請求項８】
前記第１、第２の回折格子のうち、一方の回折格子は、金型を用いて成形されたものであり、他方の回折格子は成形した該一方の回折格子をガラス型として、成形されたものであることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の回折光学素子。
【請求項９】
前記第２の回折格子の肉厚は０．５ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の回折光学素子。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれか１項に記載の回折光学素子とレンズとを有することを特徴とする光学系。
【請求項１１】
互いに異なる材料より成る第１、第２の回折格子を積層した構造を有する回折光学素子の製造方法であって、
該第２の回折格子を金型を用いて該第２の回折格子の材料の屈伏点温度以上の成形温度で成形する工程と、
該第２の回折格子と該金型を密着させたまま該第２の回折格子の材料の転移点温度以下まで冷却した後に該金型を離型する工程と、
成形した該第２の回折格子をガラス型として用い、該第１の回折格子を該第２の回折格子の材料の転移点温度以下且つ該第１の回折格子の材料の屈伏点温度以上の成形温度で成形する工程と、
該第１の回折格子と該第２の回折格子を密着させた状態で冷却する工程とを含むことを特徴とする回折光学素子の製造方法。
【請求項１２】
互いに異なる材料より成る第１、第２の回折格子を積層した構造を有する回折光学素子の製造方法であって、
該第２の回折格子を第１の金型を用いて該第２の回折格子の材料の屈伏点温度以上の成形温度で成形する工程と、
該第２の回折格子と該第１の金型を密着させたまま該第２の回折格子の材料の転移点温度以下まで冷却した後に該第１の金型を離型する工程と、
成形した該第２の回折格子をガラス型として用いて、該第２の回折格子の材料の転移点温度以下且つ該第１の回折格子の材料の屈伏点温度以上の成形温度で該第１の回折格子を成形すると共に、該第１の回折格子に対して前記第２の回折格子とは反対側に、第２の金型を用いて、該第２の回折格子の材料の転移点温度以下且つ該第１の回折格子の材料の屈伏点温度以上の成形温度で第３の回折格子を成形する工程と、
該第２の回折格子と該第１の回折格子と該第２の金型を密着させた状態で該第１の回折格子の材料の転移点温度以下まで冷却した後に第２の金型を離型する工程と、
該第１の回折格子と該第２の回折格子を密着させた状態で冷却する工程とを含むことを特徴とする回折光学素子の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
本発明の回折光学素子は、２つの異なる材料より成る第１、第２の回折格子を積層した構造を有する回折光学素子であって、
該第１、第２の回折格子の材料はガラスであり、
該第１、第２の回折格子は互いの格子面が密着されており、
該第１の回折格子の材料の転移点温度と屈伏点温度を各々Ｔｇ２、Ａｔ２、
該第２の回折格子の材料の転移点温度をＴｇ３、
とするとき
Ｔｇ２≦６００℃
Ｔｇ３≦６００℃
Ｔｇ３＞Ａｔ２
を満足することを特徴としている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
本発明の回折光学素子の製造方法は、互いに異なる材料より成る第１、第２の回折格子を積層した構造を有する回折光学素子の製造方法であって、
該第２の回折格子を金型を用いて該第２の回折格子の材料の屈伏点温度以上の成形温度で成形する工程と、
該第２の回折格子と該金型を密着させたまま該第２の回折格子の材料の転移点温度以下まで冷却した後に該金型を離型する工程と、
成形した該第２の回折格子をガラス型として用い、該第１の回折格子を該第２の回折格子の材料の転移点温度以下且つ該第１の回折格子の材料の屈伏点温度以上の成形温度で成形する工程と、
該第１の回折格子と該第２の回折格子を密着させた状態で冷却する工程とを含むことを特徴としている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
この他、本発明の回折光学素子の製造方法は、互いに異なる材料より成る第１、第２の回折格子を積層した構造を有する回折光学素子の製造方法であって、
該第２の回折格子を第１の金型を用いて該第２の回折格子の材料の屈伏点温度以上の成形温度で成形する工程と、
該第２の回折格子と該第１の金型を密着させたまま該第２の回折格子の材料の転移点温度以下まで冷却した後に該第１の金型を離型する工程と、
成形した該第２の回折格子をガラス型として用いて、該第２の回折格子の材料の転移点温度以下且つ該第１の回折格子の材料の屈伏点温度以上の成形温度で該第１の回折格子を成形すると共に、該第１の回折格子に対して前記第２の回折格子とは反対側に、第２の金型を用いて、該第２の回折格子の材料の転移点温度以下且つ該第１の回折格子の材料の屈伏点温度以上の成形温度で第３の回折格子を成形する工程と、
該第２の回折格子と該第１の回折格子と該第２の金型を密着させた状態で該第１の回折格子の材料の転移点温度以下まで冷却した後に第２の金型を離型する工程と、
該第１の回折格子と該第２の回折格子を密着させた状態で冷却する工程とを含むことを特徴としている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
２ｂは第１の回折格子２を形成する格子部、３ｂは第２の回折格子３を形成する格子部である。格子部２ｂ，３ｂは所定の格子ピッチで配置されている。第１、第２の回折格子２，３の格子部２ｂ，３ｂは同心円状の格子形状からなり、格子部２ｂ，３ｂの格子ピッチを中心（光軸）から周辺へ向かって徐々に小さくすることでレンズ作用（収斂作用又は発散作用）を得ている。そして、各回折格子２，３は、全層を通して一つの回折光学素子として作用している。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２４】
ここでＴを転移点温度、Ｔｇ２２、Ｔｇ２４を第１、第３の回折格子２２、２４の転移点温度とする。またＡｔを屈状点温度、Ａｔ２２、Ａｔ２４（Ａｔ４）を第１、第３の回折格子２２、２４の屈折点温度とする。第１の回折格子２２および第３の回折格子２４の材料として株式会社 ＨＯＹＡ製のガラスモールド用材料Ｍ−ＦＤＳ９１０（ｎｄ＝１．８２１、νｄ＝２４．１、Ｔ（Ｔｇ２２、Ｔｇ２４）＝４５５℃、Ａｔ（Ａｔ２２、Ａｔ２４）＝５０５℃）を用いている。第２の回折格子２３の材料として株式会社 オハラ製のガラスモールド用低Ｔｇ光学ガラスＳ−ＬＡＬ１２（ｎｄ＝１．６７８、νｄ＝５４．９、Ｔｇ（Ｔｇ２３）＝５６２℃、Ａｔ（Ａｔ２３）＝６００℃）を用いている。格子高さｄ１は８．１７μｍ、ｄ２は２．１６μｍとする。回折格子の材料のアッベ数が大幅に小さい材料を用いているため、格子高さｄの和は実施例１の格子高さよりも薄くなっている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４８】
第３の回折格子２４の材料の屈伏点温度をＡｔ２４、密着された格子面に対して第３の回折格子２４が形成されていない回折格子（第２の回折格子２３）の材料の転移点温度をＴｇ３ａとするとき
Ａｔ２４＜Ｔｇ３ａ
なる条件を満足するのが良い。換言すると、第２の回折格子３の材料の転移点温度をＴｇ３、第３の回折格子２４の材料の屈状点温度をＡｔ４と表わしたとき
Ａｔ４＜Ｔｇ３
なる条件を満足するのが良い。