【手続補正書】
【提出日】平成22年6月11日(2010.6.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに波長の異なる複数の光線のうち、前記複数の光線を全て透過する第１の領域と、所定の波長の光線の透過を阻止する第２の領域と、を有する開口フィルタの製造方法であって、
透光性基板の表面上に第１のレジストを塗布し、パターンニングを行って前記第２の領域のみに前記第１のレジストを残留させる工程と、
前記透光性基板及び前記第１のレジストの表面上に第１の成膜により、第１屈折率材料として、Ｔａ2Ｏ5、ランタンチタネート、Ａｌ2Ｏ3、ランタンアルミネートから何れかを選択し、第２の屈折率材料として、ＭｇＦ2又はＳｉＯ2を選択し、前記第１屈折率材料と前記第２の屈折率材料とを順に交互に積層して第１の多層膜を形成する工程と、
前記第１のレジストを剥離することにより、前記第１の領域に第１の光学多層膜を形成する工程と、
前記透光性基板の表面上に第２のレジストを塗布し、パターニングを行って前記第１の領域のみに前記第２のレジストを残留させる工程と、
前記透光性基板及び前記第２のレジストの表面上に第２の成膜により、第３屈折率材料として、Ｔａ2Ｏ5、ランタンチタネート、Ａｌ2Ｏ3、ランタンアルミネートから何れかを選択し、第４の屈折率材料として、ＭｇＦ2又はＳｉＯ2を選択し、前記第３屈折率材料と前記第４の屈折率材料とを順に交互に積層して第２の多層膜を形成する工程と、
前記第２のレジストを剥離することにより、前記第２の領域に第二の光学多層膜を形成する工程と、
を含み、
前記波長の異なる複数の光線のうち、任意の２つの波長における前記第１屈折率材料の屈折率差Δｎ１と、前記任意の２つの波長における前記第２屈折率材料の屈折率差Δｎ２との差（｜Δｎ１−Δｎ２｜）である波長分散差Δｎ１２が０．０９以下となるように、前記第１屈折率材料と前記第２屈折率材料とを選択し、
前記波長の異なる複数の光線のうち、任意の２つの波長における前記第３屈折率材料の屈折率差Δｎ３と、前記任意の２つの波長における前記第４屈折率材料の屈折率差Δｎ４との差（｜Δｎ３−Δｎ４｜）である波長分散差Δｎ３４が０．０９以下となるように、前記第３屈折率材料と前記第４の屈折率材料とを選択した、
ことを特徴とする開口フィルタの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の開口フィルタの製造方法において、
前記第１の領域および前記第２の領域を構成する屈折率材料の組み合わせが同じである
ことを特徴とする開口フィルタの製造方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の開口フィルタの製造方法において、
前記第１の領域および前記第２の領域の少なくともいずれか一方を構成する光学多層膜
の層数が１２〜３０層であることを特徴とする開口フィルタの製造方法。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の開口フィルタの製造方法において、
前記任意の２つの波長の光線のうち、一つの光線の波長が４０５ｎｍ付近であることを特徴とする開口フィルタの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】開口フィルタの製造方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、開口フィルタの製造方法に関し、詳しくは、３波長以上の光源を使用して、一つのレンズで光ディスクに複数の波長の光線を集光する際に使用され、入射する複数の光線に対して絞り機能を有する開口フィルタの製造方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
しかしながら、特許文献２に記載の開口フィルタでは、フォトリソグラフィ技法とエッチング技法とからなる従来の製造方法において、波長選択膜と位相調整膜のいずれか一方の最上層の光学薄膜をエッチングするエッチング工程が更に追加されるので、製造コストが過大となる問題がある。また、波長４０５ｎｍが追加されたことにより、位相差（δ）による波面収差の抑圧がより困難となるが、位相調整膜や波長選択膜を構成するための、より好ましい屈折率材料の組み合わせに関しては開示されていない。
そこで、本発明は、２波長以上の多波長対応の開口フィルタにおいて、多層薄膜を形成する高屈折率材料と低屈折率材料の波長分散差が極めて大きくなる場合でも、位相差（δ）を抑えて光学系の波面収差を効果的に抑圧することができ、製造上簡便な開口フィルタの製造方法を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の第１の形態に係る開口フィルタの製造方法は、互いに波長の異なる複数の光線のうち、前記複数の光線を全て透過する第１の領域と、所定の波長の光線の透過を阻止する第２の領域と、を有する開口フィルタの製造方法であって、透光性基板の表面上に第１のレジストを塗布し、パターンニングを行って前記第２の領域のみに前記第１のレジストを残留させる工程と、前記透光性基板及び前記第１のレジストの表面上に第１の成膜により、第１屈折率材料として、Ｔａ2Ｏ5、ランタンチタネート、Ａｌ2Ｏ3、ランタンアルミネートから何れかを選択し、第２の屈折率材料として、ＭｇＦ2又はＳｉＯ2を選択し、前記第１屈折率材料と前記第２の屈折率材料とを順に交互に積層して第１の多層膜を形成する工程と、前記第１のレジストを剥離することにより、前記第１の領域に第１の光学多層膜を形成する工程と、前記透光性基板の表面上に第２のレジストを塗布し、パターニングを行って前記第１の領域のみに前記第２のレジストを残留させる工程と、前記透光性基板及び前記第２のレジストの表面上に第２の成膜により、第３屈折率材料として、Ｔａ2Ｏ5、ランタンチタネート、Ａｌ2Ｏ3、ランタンアルミネートから何れかを選択し、第４の屈折率材料として、ＭｇＦ2又はＳｉＯ2を選択し、前記第３屈折率材料と前記第４の屈折率材料とを順に交互に積層して第２の多層膜を形成する工程と、前記第２のレジストを剥離することにより、前記第２の領域に第二の光学多層膜を形成する工程と、を含み、前記波長の異なる複数の光線のうち、任意の２つの波長における前記第１屈折率材料の屈折率差Δｎ１と、前記任意の２つの波長における前記第２屈折率材料の屈折率差Δｎ２との差（｜Δｎ１−Δｎ２｜）である波長分散差Δｎ１２が０．０９以下となるように、前記第１屈折率材料と前記第２屈折率材料とを選択し、前記波長の異なる複数の光線のうち、任意の２つの波長における前記第３屈折率材料の屈折率差Δｎ３と、前記任意の２つの波長における前記第４屈折率材料の屈折率差Δｎ４との差（｜Δｎ３−Δｎ４｜）である波長分散差Δｎ３４が０．０９以下となるように、前記第３屈折率材料と前記第４屈折率材料とを選択した、ことを特徴とする。
本発明の第２の形態に係る開口フィルタの製造方法は、前記第１の領域および前記第２の領域を構成する屈折率材料の組み合わせが同じであることを特徴とする。
本発明の第３の形態に係る開口フィルタの製造方法は、前記第１の領域および前記第２の領域の少なくともいずれか一方を構成する光学多層膜の層数が１２〜３０層であることを特徴とする。
本発明の第４の形態に係る開口フィルタの製造方法は、前記任意の２つの波長の光線のうち、一つの光線の波長が４０５ｎｍ付近であることを特徴とする。
［適用例１］適用例１に係る開口フィルタは、互いに波長の異なる複数の光線のうち、全ての波長の光線を透過する第１の領域と、所定の波長の光線の透過を阻止する第２の領域とを有する開口フィルタであって、前記第１の領域は、屈折率の異なる第１の屈折率材料と第２の屈折率材料とを交互に積層してなる第１の光学多層膜からなり、前記第２の領域は、屈折率の異なる第３の屈折率材料と第４の屈折率材料とを交互に積層してなる第２の光学多層膜からなり、前記波長の異なる複数の光線のうち、任意の２つの波長における第１の屈折率材料の屈折率差Δｎ１と、前記任意の２つの波長における第２の屈折率材料の屈折率差Δｎ２との差（｜Δｎ１−Δｎ２｜）である波長分散差Δｎ１２と、前記波長の異なる複数の光線のうち、任意の２つの波長における第３の屈折率材料の屈折率差Δｎ３と、前記任意の２つの波長における第４の屈折率材料の屈折率差Δｎ４との差（｜Δｎ３−Δｎ４｜）である波長分散差Δｎ３４とがともに０．０９以下であることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
適用例１に係る開口フィルタによれば、互いに波長の異なる複数の光線のうち、全ての波長の光線を透過する第１の領域と、所定の波長の光線の透過を阻止する第２の領域とがともに、屈折率の異なる屈折率材料を交互に積層してなる光学多層膜から構成されており、任意の２つの波長において、第１および第２の屈折率材料の屈折率差から求められる波長分散差と、第３および第４の屈折率材料の屈折率差から求められる波長分散差とがともに０．０９以下であるので、位相差（δ）をゼロ付近に設定できるだけでなく、位相差（δ）の波長依存性（波長分散）を小さくすることが可能となる。しかも、既存の屈折率材料の中から波長分散差を所定の値以下にする組み合わせを選定すればよいだけであるので、開口フィルタの製造も簡便である。
このような適用例１に係る開口フィルタは、例えば、第１の領域を位相調整膜として構成し、第２の領域を波長選択膜として構成することにより、ＣＤとＤＶＤの２波長のみならず、ＢＤも含めた３波長対応の開口フィルタとして優れた性能を発揮する。多波長対応の開口フィルタとして使用する場合、好ましい波長分散差は０．０６以下であり、より好ましくは０．０４以下である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
［適用例２］適用例２に係る開口フィルタにおいては、前記第１〜第４の屈折率材料が、Ｔａ2Ｏ5、ランタンチタネート、Ａｌ2Ｏ3、ランタンアルミネート、ＭｇＦ2、ＳｉＯ2のいずれかであることが好ましい。
適用例２によれば、多層膜を形成するための屈折率材料を前記した既存の屈折率材料の中から適宜選べばよいので、前記した第１の領域や第２の領域を構成する光学多層膜の製造が容易となり、結果的に開口フィルタの製造も簡便となる。特に、屈折率材料としてランタンアルミネートとＭｇＦ2の組み合わせであると、前記した第１の領域や第２の領域における波長分散差を非常に小さくできるので、開口フィルタの位相差（δ）の波長依存性も極めて小さくでき、光ピックアップ用として非常に好ましい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
［適用例３］適用例３に係る開口フィルタにおいては、前記第１の領域および前記第２の領域を構成する屈折率材料の組み合わせが同じであることが好ましい。
第１の領域と第２の領域は、ともに低屈折率材料と高屈折率材料とを交互に積層した多層膜であるが、これらの屈折率材料を同じ組み合わせに設定すると、例えば、蒸着により多層膜を製造する際に同じ製造装置を有効に活用することができ、製造コスト的に有利である。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
［適用例４］適用例４に係る開口フィルタにおいては、前記第１の領域および前記第２の領域の少なくともいずれか一方を構成する光学多層膜の層数が１２〜３０層であることが好ましい。
適用例４によれば、第１の領域あるいは第２の領域における光学多層膜の層数が所定の範囲内であるので、製造の簡便さと開口フィルタの光学特性とのバランスがとれており好ましい。特に、第１の領域として、位相調整膜のより好ましい層数は１２〜１６層であり、第２の領域として、波長選択膜の好ましい層数は、１４〜２０層である。なお、波長選択膜の層数が少ないと、光線透過率が過大となり、波長選択性が低下する。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
［適用例５］適用例５に係る開口フィルタにおいては、前記互いに波長の異なる複数の光線のうち、一つの光線の波長が４０５ｎｍ付近であることが好ましい。
適用例５では、複数の光線のうち一つの光線の波長が４０５ｎｍ付近であるので、ＣＤ、ＤＶＤおよびＢＤ用の３波長対応開口フィルタとして好適に使用可能である。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
［適用例６］適用例６に係る開口フィルタにおいては、該開口フィルタが対物レンズと一体化されていることが好ましい。
［適用例７］適用例７に係る開口フィルタにおいては、位相差板と一体化されていることが好ましい。
開口フィルタは、通常、ガラス基板の上に位相調整膜と波長選択膜とを蒸着等の手段に
より形成して製造されるが、該開口フィルタを対物レンズと一体化すると光ピックアップ
の光学系を簡素化できる。また、光ピックアップで用いられる１／４波長板等の位相差板
をガラス基板の代わりに用いることで、光ピックアップの光学系を簡素化できる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
［適用例８］適用例８に係る光ピックアップは、互いに波長の異なる複数の光線をそれぞれ出射する光源と、当該複数の光線を光記録媒体に集光するための対物レンズと、集光し光記録媒体で反射した前記複数の光線を検出する光検出器とを備える光ピックアップであって、前記光源と対物レンズとの間の光路中に上述したいずれかの開口フィルタが配設されることを特徴とする。
適用例８に係る光ピックアップによれば、光源と対物レンズとの間の光路中に上述したいずれかの開口フィルタが配設されているので、２波長以上の多波長を用いた場合でも、位相差（δ）を抑えて光学系の波面収差を効果的に抑圧することの可能な光ピックアップを提供できる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
本発明に係る開口フィルタの製造方法により製造される開口フィルタは、３波長以上の光源を使用する光ピックアップ用として好適に利用できる。