(57)【要約】【課題】  観察倍率を変更する際に、筒偏芯や同焦点のずれが発生することなく、低倍率から高倍率まで良好な像を観察できる顕微鏡光学系を提供すること。【解決手段】  対物レンズＯＬと、前記対物レンズＯＬの像側の直後に中間変倍部ＶＬを配置してなる顕微鏡光学系。【選択図】  図１
2005122046.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対物レンズと、
前記対物レンズの像側の直後に中間変倍部を配置してなることを特徴とする顕微鏡光学系。
【請求項２】
前記中間変倍部は、正屈折力レンズ群と負屈折力レンズ群とを有し、
高変倍率の際には、前記正屈折力レンズ群を前記対物レンズの像側の直後に配置し、低変倍率の際には、前記負屈折力レンズ群を前記対物レンズの像側の直後に配置することを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡光学系。
【請求項３】
前記中間変倍部は、光軸に略直交する軸を回転軸として光学系を回転可能に形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の顕微鏡光学系。
【請求項４】
前記高変倍率時の倍率はαであり、前記低変倍率時の倍率は１／αであることを特徴とする請求項２に記載の顕微鏡光学系。
【請求項５】
前記倍率αは、1.２５≦α≦２．５であることを特徴とする請求項４に記載の顕微鏡光学系。
【請求項６】
前記中間変倍部の像側に連結部を有し、前記連結部により顕微鏡本体へ連結可能であることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の顕微鏡光学系。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、顕微鏡光学系に関し、特に中間変倍部を有する顕微鏡光学系に関する。
【背景技術】
【０００２】
生物の細胞を観察する場合、まず低倍率で比較的広い視野でステージを移動しながら癌細胞等の観察対象を視野に入れるようにし、次に高倍率に切り替えて観察対象を詳細に観察する方法が一般的に行われている。倍率を変更するためには、通常、対物レンズを切り替えて行う。このように、対物レンズを交換する方法では、切り替えの際に筒偏芯や同焦点のずれが発生するため、レボルバに調整機構を付加したりステージを移動したりしてこれらを調整することが必要である。また、顕微鏡のアームに取り付けられた変倍部を操作することによって観察する倍率を変更する方法が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２００１−１６６２１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、上記特許文献に開示された方式での変倍では、低倍率の対物レンズに拡大系の変倍部を組み合わせた場合には、対物レンズのＮＡが小さいために高解像度での観察が出来ないという問題がある。一方、高倍率の対物レンズに縮小系の変倍部を組み合わせた場合には、視野の周辺部での収差が悪化するという問題がある。このような不都合を解消するために、対物レンズからの像を一旦結像させ、さらに変倍部で拡大又は縮小するような光学系の配置が取られている。しかし、顕微鏡に中間変倍装置を組み合わせた場合、アイポイントが高くなったり装置が大型化したりするなど、長時間の観察に対して観察者の疲労度が高くなる虞がある。また、対物レンズと結像レンズとの距離が長くなることで像周辺の光量が低下し、ビグネッティングも発生する虞がある。
【０００４】
本発明は、上記課題に鑑みて行われたものであり、観察倍率を変更する際に、筒偏芯や同焦点のずれが発生することなく、低倍率から高倍率まで良好な像を観察できる顕微鏡光学系を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、本発明は、対物レンズと、前記対物レンズの像側の直後に中間変倍部を配置してなることを特徴とする顕微鏡光学系を提供する。
【０００６】
また、本発明にかかる顕微鏡光学系では、前記中間変倍部は、正の屈折力のレンズ群と負の屈折力のレンズ群とを有し、高変倍率の際には、前記正屈折力のレンズ群を前記対物レンズの像側の直後に配置し、低変倍率の際には、前記負の屈折力のレンズ群を前記対物レンズの像側の直後に配置することが好ましい。
【０００７】
また、本発明にかかる顕微鏡光学系では、前記中間変倍部は、光軸に略直交する軸を回転軸として光学系を回転可能に形成されていることが好ましい。
【０００８】
また、本発明にかかる顕微鏡光学系では、前記高変倍率時の倍率はαであり、前記低変倍率時の倍率は１／αであることが好ましい。
【０００９】
また、本発明にかかる顕微鏡光学系では、前記倍率αは、1.２５≦α≦２．５であることが好ましい。
【００１０】
また、本発明にかかる顕微鏡光学系では、前記中間変倍部の像側に連結部を有し、前記連結部により顕微鏡本体へ連結可能であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明は、対物レンズの像側の直後に中間変倍部を配置し、対物レンズを交換することなく観察する倍率を変更することにより、観察倍率を変更する際に筒偏芯や同焦点のずれが発生せず、低倍率から高倍率まで良好な像を観察できる顕微鏡光学系が提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態にかかる顕微鏡光学系に関し説明する。
【００１３】
本発明の実施の形態では、対物レンズＯＬと、対物レンズＯＬの像側の直後に配置された中間変倍部ＶＬとから顕微鏡光学系が構成されている。
【００１４】
対物レンズＯＬは、物体側から順に第１レンズ群Ｇ１と、第２レンズ群Ｇ２とを有し、第１レンズ群Ｇ１は物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１と少なくとも１つの接合レンズを有し、全体として正の屈折力を有し、接合レンズの少なくとも１つはアッベ数が８０以上の材料からなる両凸形状の正レンズを含む構成であって、以下の条件式（１）、（２）を満たしている。
【００１５】
（１）  ０．３≦ｗｄ／ｆ≦０．４５
（２）  ０．６≦ＮＡ
但し、ｆは対物レンズＯＬの焦点距離、ｗｄは対物レンズＯＬの作動距離、ＮＡは対物レンズＯＬの開口数である。
【００１６】
本発明の実施の形態にかかる顕微鏡光学系の対物レンズは、最も物体に近いレンズ面を凹面にすることで、ペッツバール和の値を小さくし、像の平坦性を確保している。
【００１７】
条件式(１)は、対物レンズＯＬの動作距離ｗｄを規定する条件式である。下限値より小さい値では、対物レンズＯＬと標本間の距離が狭くなり過ぎ操作性が悪くなるので好ましくない。上限値より大きい値では、像の平坦度が悪化すると共に、色収差が悪化するので好ましくない。
【００１８】
条件式（２）は、対物レンズＯＬの開口数ＮＡを規定する条件式である。開口数ＮＡが０．６未満では所望の解像度が得られないので好ましくない。
【００１９】
接合レンズに用いられるアッベ数が８０以上の材料として蛍石を採用している。アッベ数が８０未満の材料のレンズでは色収差が悪化するので好ましくない。
【００２０】
中間変倍部ＶＬは、正屈折力レンズ群ＶＬ１と負屈折力レンズ群ＶＬ２とを有し、高変倍率時には正屈折力レンズ群ＶＬ１が対物レンズＯＬの像側に、負屈折力レンズ群ＶＬ２が像面側に配置され、対物レンズＯＬの倍率βに中間変倍部の倍率αが掛け合わされて顕微鏡光学系の総合倍率（β×α）が決められている。また、低変倍率時には、負屈折力レンズ群ＶＬ２が対物レンズＯＬの像側に、正屈折力レンズ群ＶＬ１が像面側に配置されて、対物レンズＯＬの倍率βに中間変倍部の倍率１／αが掛け合わされて顕微鏡光学系の総合倍率（β×１／α）が決められている。
【００２１】
ここで対物レンズＯＬの倍率βは、実際の顕微鏡で用いられる結像レンズの焦点距離と顕微鏡対物レンズＯＬの焦点距離の比（β＝結像レンズの焦点距離／顕微鏡対物レンズＯＬの焦点距離）で表される。
【００２２】
また、中間変倍部の倍率αは以下の条件式（３）を満たしていることが好ましい。
【００２３】
（３）  1.２５≦α≦２．５
条件式（３）の下限値を超えると、変倍の効果が小さくなり、観察倍率が低くなりすぎるため好ましくない。条件式（３）の上限値を超えると、対物レンズＯＬを含めた顕微鏡光学系の総合倍率が高くなりすぎ、諸収差を良好に補正することが困難となるため好ましくない。
【００２４】
本実施の形態にかかる顕微鏡光学系では、中間変倍部ＶＬは、その光学系を正屈折力レンズ群ＶＬ１の最も外側（図１（ａ）において、対物レンズＯＬ側）のレンズ面と、第２レンズ群ＶＬ２最も外側（図１（ａ）において、像面側）のレンズ面との軸上距離の略中間近傍で、光軸に直交する軸Ｏを回転軸として、回転可能に構成されている。
【００２５】
この結果、高変倍率時には、正屈折力レンズ群ＶＬ１を対物レンズＯＬの像側の直後に配置し、低変倍率時には、軸Ｏを回転軸として中間変倍部ＶＬの光学系を１８０度回転させることによって負屈折力レンズ群ＶＬ２を対物レンズＯＬの像側の直後に配置することが可能となる。
【００２６】
このように、中間変倍部ＶＬの光学系を１８０度回転することによって、同一の対物レンズＯＬで、高倍率の観察と低倍率の観察が、筒偏心や同焦点ずれなく切り替えて観察することが可能となる。
【００２７】
また、中間変倍部の像面側には、連結部が設けられ顕微鏡本体に着脱可能に構成されている。また、対物レンズＯＬと中間変倍部ＶＬとの間に連結部を設け、対物レンズＯＬを交換可能に構成することで、種々の倍率の対物レンズを用いることも可能となる。
【００２８】
なお、低変倍率時に、対物レンズＯＬの周辺光束を制限するために虹彩絞りＳ（アイリス）を対物レンズＯＬと中間変倍部ＶＬとの間に配置することが好ましい。
【００２９】
なお、中間変倍部ＶＬは、上述のように回転させるのみならず、光学系を光軸に対して挿脱可能に構成し、高変倍率と低変倍率とを切り替えるようにしても同様の効果を奏する。さらに、中間変倍ＶＬにズーム機構を有する光学系を設けても良い。
【００３０】
以下、本発明にかかる顕微鏡光学系の実施例について説明する。
【００３１】
（第１実施例）
図１は、本発明の第１実施例に係る顕微鏡光学系のレンズ構成を示す図であり、図１（ａ）は高変倍時（２倍）を、図１（ｂ）は低変倍時（０．５倍）をそれぞれ示している。
【００３２】
図１において、対物レンズＯＬと、対物レンズＯＬの像側の直後に配置された中間変倍部ＶＬとから顕微鏡光学系が構成されている。
【００３３】
対物レンズＯＬは、物体側から順に正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２とからなり、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凹面を向け正の屈折力を有する正メニスカスレンズＬ１、Ｌ２と、両凸形状の正レンズＬ３と両凹形状の負レンズＬ４と両凸形状の正レンズＬ５との接合レンズと、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ６と両凸形状の正レンズＬ７と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ８との接合レンズとから構成され、第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に両凸形状の正レンズＬ９と両凹形状の負レンズＬ１０との接合レンズから構成されている。
【００３４】
中間変倍部ＶＬは、正屈折力レンズ群ＶＬ１と負屈折力レンズ群ＶＬ２とを有し、２倍の高変倍率時には正屈折力レンズ群ＶＬ１が対物レンズＯＬの像側の直後に、負屈折力レンズ群ＶＬ２が像面Ｉ側に配置され、０．５倍の低変倍率時には、中間変倍部ＶＬの軸Ｏを回転軸として光学系を１８０度回転し、負屈折力レンズ群ＶＬ２が対物レンズＯＬの像側の直後に、正屈折力レンズ群ＶＬ１が像面Ｉ側に配置されるように構成されている。また、低倍率時には、対物レンズＯＬの周辺光束を制限する虹彩絞りＳが、対物レンズＯＬと中間変倍部ＶＬとの間に挿入される。
【００３５】
表１に本第１実施例の諸元値を掲げる。全体諸元において、ｆはｄ線（波長５８７．６ｎｍ）の光線に対する無限遠時の対物レンズＯＬの焦点距離であり、ＮＡは物体側の開口数、βは倍率、ｗｄは物体面と最前レンズ面頂点との距離で示される作動距離、αは中間変倍部の倍率、総合倍率は対物レンズＯＬの倍率と中間変倍部ＶＬの倍率とを合わせた倍率をそれぞれ表している。レンズデータにおいて、面番号は光線の入射順に沿った順序を、ｒはレンズ面の曲率半径を、ｄはレンズ面の間隔を、ｎｄはｄ線に対する屈折率を、νｄはｄ線に対するアッベ数をそれぞれ示している。空気の屈折率は１．００００００として記載を省略している。
【００３６】
なお、以下の全ての諸元値において、掲載されている焦点距離ｆ、作動距離ｗｄ、曲率半径ｒ、面間隔ｄその他の長さ等は、特記の無い場合一般に「ｍｍ」が使われるが、光学系は比例拡大または比例縮小しても同等の光学性能が得られるので、これに限られるものではない。また、単位は「ｍｍ」に限定されること無く他の適当な単位を用いることもできる。また、低変倍時において、対物レンズＯＬ部のレンズデータおよび条件式対応値は高変倍時のレンズデータおよび条件式対応値と同様であるので記載を省略している。さらに、これらの記号の説明および低変倍時の対物レンズＯＬのレンズデータおよび条件式対応値は、以降の他の実施例においても同様とし記載を省略する。
【００３７】
（表１）
「高変倍時」
（全体諸元）
ｆ＝１０
ＮＡ＝０．６５
β＝２０
ｗｄ＝４
α＝２
総合倍率＝４０
（レンズデータ）
面番号    ｒ        ｄ      nd      νd
1     ∞        0.17                     カバーガラス
2     ∞        5.1
3   -7.800      6.5    1.804     46.6
4   -9.4004     0.1
5  -22.997      4.2    1.6204    60.3
6  -14.498      0.2
7   37.996      4.3    1.569     71.3
8  -37.996      1.8    1.6133    44.3
9   19.29       8.4    1.4978    82.5
10  -23.34       0.1
11   24.04       2      1.8466    23.8
12   13.67       9      1.4978    82.5
13  -18.46       1.8    1.6133    44.3
14  218.7       11.05 
15   42.003      5.5    1.8052    25.4
16  -18.48       1.7    1.6133    44.3
17   13.51      10
18   44.99       3      1.4875    70.2
19    ∞         0.2
20   64.65       4      1.6024    60.3
21  -28.87       2      1.6200    36.3
22  332.96      20
23  -44.99       3.5    1.8052    25.4
24  -14.09       2      1.744     44.8
25   33.01      ∞
（条件対応値）
ｗｄ／ｆ＝０．４
「低変倍時」
（全体諸元）
ｆ＝１０
ＮＡ＝０．６５
β＝２０
ｗｄ＝４
α＝０．５
総合倍率＝１０
（レンズデータ）
面番号    ｒ        ｄ      nd      νd
17   13.51       5
18    ∞         5                        虹彩絞りＳ
19  -33.01       2      1.744      44.8
20   14.09       3.5    1.8052     25.4
21   44.99      20
22 -332.96       2      1.6200     36.3
23   28.87       4      1.6024     60.3
24  -64.65       0.2
25    ∞         3      1.4875     70.2
26  -44.99      ∞
【００３８】
図２、図３は、本第１実施例に係る顕微鏡光学系の諸収差図であり、図２は高変倍時（２倍）の諸収差図を、図３は低変倍時（０．５倍）の諸収差図をそれぞれ示している。各収差図において、ＮＡは開口数を、Ｙは像高を示す。球面収差図において、ＣはＣ線（波長６５６．３ｎｍ）を、ｄはｄ線（波長５８７．６ｎｍ）を、ＦはＦ線（波長４８６．１ｎｍ）を、ｇはｇ線（波長４３５．６ｎｍ）をそれぞれ示している。非点収差図において、Ｓはｄ線におけるサジタル像面を、Ｍはｄ線におけるメリディオナル像面をそれぞれ示している。歪曲収差図はｄ線について示している。また、全ての実施例における収差図は、後述する結像レンズを使用して結像したものである。なお、以下全ての実施例の収差図において、本第１実施例と同様の符号を用い説明を省略する。
【００３９】
各収差図から明らかなように、諸収差が良好に補正されていることがわかる。
【００４０】
（第２実施例）
図４は、本発明の第２実施例に係る顕微鏡光学系のレンズ構成を示す図であり、図４（ａ）は高変倍時（１．２５倍）を、図４（ｂ）は低変倍時（０．８倍）をそれぞれ示している。
【００４１】
図４において、対物レンズＯＬと、対物レンズＯＬの像側の直後に配置された中間変倍部ＶＬとから顕微鏡光学系が構成されている。
【００４２】
対物レンズＯＬは、物体側から順に正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２とからなり、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凹面を向け正の屈折力を有する正メニスカスレンズＬ１、Ｌ２と、両凸形状の正レンズＬ３と両凹形状の負レンズＬ４と両凸形状の正レンズＬ５との接合レンズと、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ６と両凸形状の正レンズＬ７と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ８との接合レンズとから構成され、第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に両凸形状の正レンズＬ９と両凹形状の負レンズＬ１０との接合レンズから構成されている。
【００４３】
中間変倍部ＶＬは、正屈折力１レンズ群ＶＬ１と負屈折力２レンズ群ＶＬ２とを有し、１．２５倍の高変倍率時には正屈折力レンズ群ＶＬ１が対物レンズＯＬの像側の直後に、負屈折力レンズ群ＶＬ２が像面Ｉ側に配置され、０．８倍の低変倍率時には、中間変倍部ＶＬの軸Ｏを回転軸として光学系を１８０度回転し、負屈折力レンズ群ＶＬ２が対物レンズＯＬの像側の直後に、正屈折力レンズ群ＶＬ１が像面Ｉ側に配置されるように構成されている。また、低倍率時には、対物レンズＯＬの周辺光束を制限する虹彩絞りＳが、対物レンズＯＬと中間変倍部ＶＬとの間に挿入される。
【００４４】
表２に本第２実施例の諸元値を掲げる。
【００４５】
（表２）
「高変倍時」
（全体諸元）
ｆ＝１０
ＮＡ＝０．６５
β＝２０
ｗｄ＝４
α＝１．２５
総合倍率＝２５
（レンズデータ）
面番号    ｒ        ｄ      nd      νd
1     ∞        0.17                     カバーガラス
2     ∞        5.1
3   -7.800      6.5    1.804     46.6
4   -9.4004     0.1
5  -22.997      4.2    1.6204    60.3
6  -14.498      0.2
7   37.996      4.3    1.569     71.3
8  -37.996      1.8    1.6133    44.3
9   19.29       8.4    1.4978    82.5
10  -23.34       0.1
11   24.04       2      1.8466    23.8
12   13.67       9      1.4978    82.5
13  -18.46       1.8    1.6133    44.3
14  218.7       11.05 
15   42.003      5.5    1.8052    25.4
16  -18.48       1.7    1.6133    44.3
17   13.51      10.0
18   87.27       4      1.6204    60.1
19  -78.17       3      1.7400    28.2
20 -241.38      19
21 -134.2        3      1.7847    25.8
22  -61.01       2      1.6516    58.5
23   92.56      ∞
（条件対応値）
ｗｄ／ｆ＝０．４
「低変倍時」
（全体諸元）
ｆ＝１０
ＮＡ＝０．６５
β＝２０
ｗｄ＝４
α＝０．８
総合倍率＝１６
（レンズデータ）
面番号    ｒ        ｄ      nd      νd
17   13.51      5 
18    ∞        5                       虹彩絞りＳ
19  -92.56      2      1.6516     58.5
20   61.01      3      1.7847     25.8
21  134.2      19 
22  241.38      3      1.7400     28.2
23   78.17      3      1.6204     60.1
24  -87.27     ∞
【００４６】
図５、図６は、本第３実施例に係る顕微鏡光学系の諸収差図であり、図５は高変倍率時（1.２５倍）の諸収差図を、図６は低変倍率時（０．８倍）の諸収差図をそれぞれ示している。
【００４７】
各収差図から明らかなように、諸収差が良好に補正されていることがわかる。
【００４８】
（第３実施例）
図７は、本発明の第３実施例に係る顕微鏡光学系のレンズ構成を示す図であり、図７（ａ）は高変倍時（１．５倍）を、図７（ｂ）は低変倍時（０．６６倍）をそれぞれ示している。
【００４９】
図７において、対物レンズＯＬと、対物レンズＯＬの像側の直後に配置された中間変倍部ＶＬとから顕微鏡光学系が構成されている。
【００５０】
対物レンズＯＬは、物体側から順に正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２とからなり、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凹面を向け正の屈折力を有する正メニスカスレンズＬ１、Ｌ２と、両凸形状の正レンズＬ３と両凹形状の負レンズＬ４と両凸形状の正レンズＬ５との接合レンズと、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ６と両凸形状の正レンズＬ７と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ８との接合レンズとから構成され、第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に両凸形状の正レンズＬ９と両凹形状の負レンズＬ１０との接合レンズから構成されている。
【００５１】
中間変倍部ＶＬは、正屈折力を有するレンズ群ＶＬ１と負屈折力レンズ群ＶＬ２とを有し、１．５倍の高変倍率時には正屈折力レンズ群ＶＬ１が対物レンズＯＬの像側の直後に、負屈折力レンズ群ＶＬ２が像面Ｉ側に配置され、０．６６倍の低変倍率時には、中間変倍部ＶＬの軸Ｏを回転軸として光学系を１８０度回転し、負屈折力レンズ群ＶＬ２が対物レンズＯＬの像側の直後に、正屈折力レンズ群ＶＬ１が像面Ｉ側に配置されるように構成されている。また、低倍率時には、対物レンズＯＬの周辺光束を制限する虹彩絞りＳが、対物レンズＯＬと中間変倍部ＶＬとの間に挿入される。
【００５２】
表３に本第３実施例の諸元値を掲げる。
【００５３】
（表３）
「高変倍時」
（全体諸元）
ｆ＝１０
ＮＡ＝０．６５
β＝２０
ｗｄ＝４
α＝１．５
総合倍率＝３０
（レンズデータ）
面番号    ｒ        ｄ      nd      νd
1     ∞        0.17                     カバーガラス
2     ∞        5.1
3   -7.800      6.5    1.804     46.6
4   -9.4004     0.1
5  -22.997      4.2    1.6204    60.3
6  -14.498      0.2
7   37.996      4.3    1.569     71.3
8  -37.996      1.8    1.6133    44.3
9   19.29       8.4    1.4978    82.5
10  -23.34       0.1
11   24.04       2      1.8466    23.8
12   13.67       9      1.4978    82.5
13  -18.46       1.8    1.6133    44.3
14  218.7       11.05 
15   42.003      5.5    1.8052    25.4
16  -18.48       1.7    1.6133    44.3
17   13.51      10.0
18   55.63       5      1.6204    60.1
19  -44.24       2.5    1.7552    27.6
20 -114.23      18.5
21  -69.38       3      1.7847    25.8
22  -26.01       2      1.7199    50.2
23   56.66      ∞
（条件対応値）
ｗｄ／ｆ＝０．４
「低変倍時」
（全体諸元）
ｆ＝１０
ＮＡ＝０．６５
β＝２０
ｗｄ＝４
α＝０．６６
総合倍率＝１３．２
（レンズデータ）
面番号    ｒ        ｄ      nd      νd
17   13.51      5 
18    ∞        5                       虹彩絞りＳ
19  -56.66      2      1.7199     50.2
20   26.01      3      1.7847     25.8
21   69.38     18.5 
22  114.23      2.5    1.7552     27.6
23   44.24      5      1.6204     60.1
24  -55.63      ∞
【００５４】
図８、図９は、本第３実施例に係る顕微鏡光学系の諸収差図であり、図８は高変倍率時（１．５倍）の諸収差図を、図９は低変倍率時（０．６６倍）の諸収差図をそれぞれ示している。
【００５５】
各収差図から明らかなように、諸収差が良好に補正されていることがわかる。
【００５６】
（第４実施例）
図１０は、本発明の第４実施例に係る顕微鏡光学系のレンズ構成を示す図であり、図１０（ａ）は高変倍時（２倍）を、図１０（ｂ）は低変倍時（０．５倍）をそれぞれ示している。
【００５７】
図１０において、対物レンズＯＬと、対物レンズＯＬの像側の直後に配置された中間変倍部ＶＬとから顕微鏡光学系が構成されている。
【００５８】
対物レンズＯＬは、物体側から順に正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２とからなり、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凹面を向け正の屈折力を有する正メニスカスレンズＬ１、Ｌ２と、両凸形状の正レンズＬ３と両凹形状の負レンズＬ４と蛍石で形成された両凸形状の正レンズＬ５との接合レンズと、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ６と両凸形状の正レンズＬ７と両凹形状の負レンズＬ８との接合レンズとから構成され、第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に両凸形状の正レンズＬ９と両凹形状の負レンズＬ１０との接合レンズからから構成されている。
【００５９】
中間変倍部ＶＬは、正屈折力１レンズ群ＶＬ１と負屈折力レンズ群ＶＬ２とを有し、２倍の高変倍率時には正屈折力レンズ群ＶＬ１が対物レンズＯＬの像側の直後に、負屈折力レンズ群ＶＬ２が像面Ｉ側に配置され、０．５倍の低変倍率時には、中間変倍部ＶＬの軸Ｏを回転軸として光学系を１８０度回転し、負屈折力レンズ群ＶＬ２が対物レンズＯＬの像側の直後に、正屈折力レンズ群ＶＬ１が像面Ｉ側に配置されるように構成されている。また、低倍率時には、対物レンズＯＬの周辺光束を制限する虹彩絞りＳが、対物レンズＯＬと中間変倍部ＶＬとの間に挿入される。
【００６０】
表４に本第４実施例の諸元値を掲げる。
【００６１】
（表４）
「高変倍時」
（全体諸元）
ｆ＝１０
ＮＡ＝０．６５
β＝２０
ｗｄ＝４
α＝２
総合倍率＝４０
（レンズデータ）
面番号    ｒ        ｄ      nd      νd
1     ∞        0.17                      カバーガラス
2     ∞        5
3   -7.603      7.4    1.804      46.6
4   -9.816      0.1
5  -46.767      4.3    1.569      71.3
6  -17.85       0.2
7   41.984      4      1.569      71.3 
8  -44.998      1.8    1.6126     44.4
9   20.543      8.5    1.43385    95.25   蛍石
10  -20.543      0.1
11   22.761      2      1.8052     25.4
12   13.612      9      1.4978     82.5
13  -18.458      1.8    1.6126     44.4
14  117.68      10.9
15   34.91       5.3    1.6889     31.1
16  -15.359      1.7    1.5688     56.3
17   12.863      10 
18   44.99       3      1.4875     70.2
19    ∞         0.2
20   64.65       4      1.6024     60.3
21  -28.87       2      1.6200     36.3
22  332.96      20
23  -44.99       3.5    1.8052     25.4
24  -14.09       2      1.744      44.8
25   33.01      ∞
（条件対応値）
ｗｄ／ｆ＝０．４
「低変倍時」
（全体諸元）
ｆ＝１０
ＮＡ＝０．６５
β＝２０
ｗｄ＝４
α＝０．５
総合倍率＝１０
（レンズデータ）
面番号    ｒ        ｄ      nd      νd
17   12.863      5
18    ∞         5                       虹彩絞りＳ
19  -33.01       2      1.744      44.8
20   14.09       3.5    1.8052     25.4
21   44.99      20
22 -332.96       2      1.6200     36.3
23   28.87       4      1.6024     60.3
24  -64.65       0.2
25    ∞         3      1.4875     70.2
26  -44.99      ∞
【００６２】
図１１、図１２は、本第４実施例に係る顕微鏡光学系の諸収差図であり、図１１は高変倍率時（２倍）の諸収差図を、図１２は低変倍率時（０．５倍）の諸収差図をそれぞれ示している。
【００６３】
各収差図から明らかなように、諸収差が良好に補正されていることがわかる。
【００６４】
（第５実施例）
図１３は、本発明の第５実施例に係る顕微鏡光学系のレンズ構成を示す図であり、図１３（ａ）は高変倍時（２倍）を、図１３（ｂ）は低変倍時（０．５倍）をそれぞれ示している。
【００６５】
図１３において、対物レンズＯＬと、対物レンズＯＬの像側の直後に配置された中間変倍部ＶＬとから顕微鏡光学系が構成されている。
【００６６】
対物レンズＯＬは、物体側から順に正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２とからなり、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凹面を向け正の屈折力を有する正メニスカスレンズＬ１、Ｌ２と、平凹形状の正レンズＬ３と蛍石で形成された両凸形状の正レンズＬ４との接合レンズと、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ５と両凸形状の正レンズＬ６と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ７との接合レンズとから構成され、第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ９と両凹形状の負レンズＬ１０との接合レンズから構成されている。
【００６７】
中間変倍部ＶＬは、正屈折力レンズ群ＶＬ１と負屈折力レンズ群ＶＬ２とを有し、２倍の高変倍率時には正屈折力レンズ群ＶＬ１が対物レンズＯＬの像側の直後に、負屈折力レンズ群ＶＬ２が像面Ｉ側に配置され、０．５倍の低変倍率時には、中間変倍部ＶＬの軸Ｏを回転軸として光学系を１８０度回転し、負屈折力レンズ群ＶＬ２が対物レンズＯＬの像側の直後に、正屈折力レンズ群ＶＬ１が像面Ｉ側に位置するように配置されるように構成されている。また、低倍率時には、対物レンズＯＬの周辺光束を制限する虹彩絞りＳが、対物レンズＯＬと中間変倍部ＶＬとの間に挿入される。
【００６８】
表５に本第５実施例の諸元値を掲げる。
【００６９】
（表５）
「高変倍時」
（全体諸元）
ｆ＝１０
ＮＡ＝０．６
β＝２０
ｗｄ＝３．５
α＝２
総合倍率＝４０
（レンズデータ）
面番号    ｒ        ｄ      nd      νd
1     ∞        0.17                    カバーガラス
2     ∞        4.1 
3   -8.301      8.3    1.7727    49.5
4  -10.602      0.1
5  -56.82       4.3    1.4978    82.5
6  -14.983      0.2
7     ∞        2      1.6126    44.4
8   23.57       7      1.43385   95.25   蛍石
9  -18.137      0.1
10   25.286      2      1.7552    27.6
11   13.67       7.5    1.4978    82.5
12  -20.894      2      1.6126    44.4
13 -174.644     16.9
14   42.654      5      1.7495    35.2
15  -16.113      2      1.5688    56.3
16   12.655     10
17   44.99       3      1.4875    70.2
18    ∞         0.2
19   64.65       4      1.6024    60.3
20  -28.87       2      1.6200    36.3
21  332.96      20
22  -44.99       3.5    1.8052    25.4
23  -14.09       2      1.744     44.8
24   33.01      ∞
（条件対応値）
ｗｄ／ｆ＝０．４
「低変倍時」
（全体諸元）
ｆ＝１０
ＮＡ＝０．６
β＝２０
ｗｄ＝３．５
α＝０．５
総合倍率＝１０
（レンズデータ）
面番号    ｒ        ｄ      nd      νd
16   12.655      5
17    ∞         5                       虹彩絞りＳ
18  -33.01       2      1.744      44.8
19   14.09       3.5    1.8052     25.4
20   44.99      20
21 -332.96       2      1.6200     36.3
22   28.87       4      1.6024     60.3
23  -64.65       0.2
24    ∞         3      1.4875     70.2
25  -44.99      ∞
【００７０】
図１４、図１５は、本第５実施例に係る顕微鏡光学系の諸収差図であり、図１４は高変倍率時（２倍）の諸収差図を、図１５は低変倍率時（０．５倍）の諸収差図をそれぞれ示している。
【００７１】
各収差図から明らかなように、諸収差が良好に補正されていることがわかる。
【００７２】
（第６実施例）
図１６は、本発明の第６実施例に係る顕微鏡光学系のレンズ構成を示す図であり、図１６（ａ）は高変倍時（２倍）を、図１６（ｂ）は低変倍時（０．５倍）をそれぞれ示している。
【００７３】
図１６おいて、対物レンズＯＬと、対物レンズＯＬの像側の直後に配置された中間変倍部ＶＬとから顕微鏡光学系が構成されている。
【００７４】
対物レンズＯＬは、物体側から順に正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２とからなり、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凹面を向け正の屈折力を有する正メニスカスレンズＬ１、Ｌ２と、両凸形状の正レンズＬ３と両凹形状の負レンズＬ４と蛍石で形成された両凸形状の正レンズＬ５との接合レンズと、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ６と蛍石で形成された両凸形状の正レンズＬ７と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ８との接合レンズとから構成され、第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ９と両凹形状の負レンズＬ１０との接合レンズから構成されている。
【００７５】
中間変倍部ＶＬは、正屈折力レンズ群ＶＬ１と負屈折力レンズ群ＶＬ２とを有し、２倍の高変倍率時には正屈折力レンズ群ＶＬ１が対物レンズＯＬの像側の直後に、負屈折力レンズ群ＶＬ２が像面Ｉ側に配置され、０．５倍の低変倍率時には、中間変倍部ＶＬの軸Ｏを回転軸として光学系を１８０度回転し、負屈折力レンズ群ＶＬ２が対物レンズＯＬの像側の直後に、正屈折力レンズ群ＶＬ１が像面Ｉ側に配置されるように構成されている。また、低倍率時には、対物レンズＯＬの周辺光束を制限する虹彩絞りＳが、対物レンズＯＬと中間変倍部ＶＬとの間に挿入される。
【００７６】
表６に本第６実施例の諸元値を掲げる。
【００７７】
（表６）
「高変倍時」
（全体諸元）
ｆ＝１０
ＮＡ＝０．６５
β＝２０
ｗｄ＝３．４
α＝２
総合倍率＝４０
（レンズデータ）
面番号    ｒ        ｄ      nd      νd
1     ∞        0.17                     カバーガラス
2     ∞        4.2
3   -7.603      7.4    1.804     46.6
4   -9.816      0.1
5  -26.52       4.3    1.569     71.3
6  -15.102      0.2
7   37          4      1.569     71.3
8  -45          1.8    1.6126    44.4
9   19.81       8.5    1.43385   95.25   蛍石
10  -19.81       0.1
11   23.666      2      1.8052    25.4
12   14.392      9      1.43385   95.25   蛍石
13  -18.5        1.8    1.6126    44.4
14  -68.199     10.9
15   42.995      5.3    1.6889    31.1
16  -15.375      1.7    1.5688    56.3
17   13.216     10
18   44.99       3      1.4875    70.2
19    ∞         0.2
20   64.65       4      1.6024    60.3
21  -28.87       2      1.6200    36.3
22  332.96      20
23  -44.99       3.5    1.8052    25.4
24  -14.09       2      1.744     44.8
25   33.01      ∞
（条件対応値）
ｗｄ／ｆ＝０．３４
「低変倍時」
（全体諸元）
ｆ＝１０
ＮＡ＝０．６５
β＝２０
ｗｄ＝３．４
α＝０．５
総合倍率＝１０
（レンズデータ）
面番号    ｒ        ｄ      nd      νd
17   13.216      5
18    ∞         5                       虹彩絞りＳ
19  -33.01       2      1.744      44.8
20   14.09       3.5    1.8052     25.4
21   44.99      20
22 -332.96       2      1.6200     36.3
23   28.87       4      1.6024     60.3
24  -64.65       0.2
25    ∞         3      1.4875     70.2
26  -44.99      ∞
【００７８】
図１７、図１８は、本第６実施例に係る顕微鏡光学系の諸収差図であり、図１７は高変倍率時（２倍）の諸収差図を、図１８は低変倍率時（０．５倍）の諸収差図をそれぞれ示している。
【００７９】
各収差図から明らかなように、諸収差が良好に補正されていることがわかる。
【００８０】
図１９は、各実施例において収差評価時に用いた結像レンズのレンズ構成を示す図である。この結像レンズの諸元値を表７に掲げる。
【００８１】
（表７）
（全体諸元）
ｆ＝２００
（レンズデータ）
面番号    ｒ        ｄ      nd      νd
1    75.04      5.1   1.6228     57
2   -75.04      2     1.7495     35.2
3  1600.5       7.5
4    50.26      5.1   1.6675     42
5   -84.54      1.8   1.6126     44.4
6    39.91
【００８２】
なお、第４実施例から第６実施例において、中間変倍部ＶＬに第２実施例、第３実施例に用いた中間倍率部ＶＬを用いることで同様の効果を奏することができる。
【００８３】
なお、上述の実施の形態は例に過ぎず、上述の構成や形状に限定されるものではなく、本発明の範囲内において適宜修正、変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００８４】
【図１】本発明の第１実施例に係る顕微鏡光学系のレンズ構成を示す図であり、（ａ）は高変倍時（２倍）を、（ｂ）は低変倍時（０．５倍）をそれぞれ示している。
【図２】本第１実施例に係る顕微鏡光学系の諸収差図であり、高変倍時（２倍）の諸収差図を示している。
【図３】本第１実施例に係る顕微鏡光学系の諸収差図であり、低変倍時（０．５倍）の諸収差図を示している。
【図４】本発明の第２実施例に係る顕微鏡光学系のレンズ構成を示す図であり、（ａ）は高変倍時（１．２５倍）を、（ｂ）は低変倍時（０．８倍）をそれぞれ示している。
【図５】本第２実施例に係る顕微鏡光学系の諸収差図であり、高変倍時（１．２５倍）の諸収差図を示している。
【図６】本第２実施例に係る顕微鏡光学系の諸収差図であり、低変倍時（０．８倍）の諸収差図を示している。
【図７】本発明の第３実施例に係る顕微鏡光学系のレンズ構成を示す図であり、（ａ）は高変倍時（１．５倍）を、（ｂ）は低変倍時（０．６６倍）をそれぞれ示している。
【図８】本第３実施例に係る顕微鏡光学系の諸収差図であり、高変倍時（１．５倍）の諸収差図を示している。
【図９】本第３実施例に係る顕微鏡光学系の諸収差図であり、低変倍時（０．６６倍）の諸収差図を示している。
【図１０】本発明の第４実施例に係る顕微鏡光学系のレンズ構成を示す図であり、（ａ）は高変倍時（２倍）を、（ｂ）は低変倍時（０．５倍）をそれぞれ示している。
【図１１】本第４実施例に係る顕微鏡光学系の諸収差図であり、高変倍時（２倍）の諸収差図を示している。
【図１２】本第４実施例に係る顕微鏡光学系の諸収差図であり、低変倍時（０．５倍）の諸収差図を示している。
【図１３】本発明の第５実施例に係る顕微鏡光学系のレンズ構成を示す図であり、（ａ）は高変倍時（２倍）を、（ｂ）は低変倍時（０．５倍）をそれぞれ示している。
【図１４】本第５実施例に係る顕微鏡光学系の諸収差図であり、高変倍時（２倍）の諸収差図を示している。
【図１５】本第５実施例に係る顕微鏡光学系の諸収差図であり、低変倍時（０．５倍）の諸収差図を示している。
【図１６】本発明の第６実施例に係る顕微鏡光学系のレンズ構成を示す図であり、（ａ）は高変倍時（２倍）を、（ｂ）は低変倍時（０．５倍）をそれぞれ示している。
【図１７】本第６実施例に係る顕微鏡光学系の諸収差図であり、高変倍時（２倍）の諸収差図を示している。
【図１８】本第６実施例に係る顕微鏡光学系の諸収差図であり、低変倍時（０．５倍）の諸収差図を示している。
【図１９】各実施例における結像レンズのレンズ構成図を示す。
【符号の説明】
【００８５】
ＯＬ      対物レンズ
ＶＬ      中間変倍部
Ｇ１      第１レンズ群
Ｇ２      第２レンズ群
ＶＬ１    正屈折力レンズ群
ＶＬ２    負屈折力レンズ群
Ｉ        像面
Ｓ        虹彩絞り（アイリス）
【図１】
2005122046.tif 000003
【図２】
2005122046.tif 000004
【図３】
2005122046.tif 000005
【図４】
2005122046.tif 000006
【図５】
2005122046.tif 000007
【図６】
2005122046.tif 000008
【図７】
2005122046.tif 000009
【図８】
2005122046.tif 000010
【図９】
2005122046.tif 000011
【図１０】
2005122046.tif 000012
【図１１】
2005122046.tif 000013
【図１２】
2005122046.tif 000014
【図１３】
2005122046.tif 000015
【図１４】
2005122046.tif 000016
【図１５】
2005122046.tif 000017
【図１６】
2005122046.tif 000018
【図１７】
2005122046.tif 000019
【図１８】
2005122046.tif 000020
【図１９】
2005122046.tif 000021