Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成22年3月3日(2010.3.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
遊技球が入賞可能な始動口と、
前記始動口への遊技球の入賞に基づいて大当たり抽選を行う大当たり抽選手段と、
複数の図柄列が表示される表示手段と、
所定の変動条件が成立したことに基づいて、前記複数の図柄列の変動表示を行い、当該複数の図柄列を、前記大当たり抽選の結果を把握できるように停止表示する表示制御手段と、
前記大当たり抽選において当選されたことに基づいて、遊技者に有利な大当たり遊技を実行する大当たり遊技実行手段と
を備え、
前記表示制御手段は、
前記複数の図柄列を表示するにあたり、当該複数の図柄列のうち一列の図柄列のみが変動状態にあるリーチ状態において、当該一列の図柄列について停止表示と変動表示とを複数回にわたって繰り返し表示する繰り返し表示制御手段と、
前記一列の図柄列について停止表示と変動表示とを複数回にわたって繰り返し表示するにあたり、前記一列の図柄列についての前記複数回分の図柄列領域を、当該複数回分の図柄列領域のうち最初に停止表示される図柄列領域の図柄のみが視認できるものでありながらも、前記一列の図柄列について停止表示と変動表示とが繰り返し行われる回数を把握できるかたちで重ねて表示する重畳表示制御手段と
を有し、前記大当たり抽選にて当選されたときは、前記複数回分の図柄列領域のうちいずれか一の図柄列領域において変動表示されている図柄が停止表示されたときに、前記大当たり抽選にて当選されたことを把握できるかたちで表示する
ことを特徴とする遊技機。
【請求項２】
前記複数の図柄列は、左列と中列と右列とからなる３列の図柄列であり、
前記一列の図柄列は、前記３列の図柄列のうち中列である
請求項１に記載の遊技機。
【請求項３】
前記重畳表示制御手段は、
前記一列の図柄列についての前記複数回分の図柄列領域を表示するにあたり、前記大当たり抽選にて当選されている可能性が高くなるにつれて表示される図柄列領域数が多くなるように表示する
請求項１または２に記載の遊技機。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
請求項１に記載の遊技機は、遊技球が入賞可能な始動口と、前記始動口への遊技球の入賞に基づいて大当たり抽選を行う大当たり抽選手段と、複数の図柄列が表示される表示手段と、所定の変動条件が成立したことに基づいて、前記複数の図柄列の変動表示を行い、当該複数の図柄列を、前記大当たり抽選の結果を把握できるように停止表示する表示制御手段と、前記大当たり抽選において当選されたことに基づいて、遊技者に有利な大当たり遊技を実行する大当たり遊技実行手段とを備え、前記表示制御手段は、前記複数の図柄列を表示するにあたり、当該複数の図柄列のうち一列の図柄列のみが変動状態にあるリーチ状態において、当該一列の図柄列について停止表示と変動表示とを複数回にわたって繰り返し表示する繰り返し表示制御手段と、前記一列の図柄列について停止表示と変動表示とを複数回にわたって繰り返し表示するにあたり、前記一列の図柄列についての前記複数回分の図柄列領域を、当該複数回分の図柄列領域のうち最初に停止表示される図柄列領域の図柄のみが視認できるものでありながらも、前記一列の図柄列について停止表示と変動表示とが繰り返し行われる回数を把握できるかたちで重ねて表示する重畳表示制御手段とを有し、前記大当たり抽選にて当選されたときは、前記複数回分の図柄列領域のうちいずれか一の図柄列領域において変動表示されている図柄が停止表示されたときに、前記大当たり抽選にて当選されたことを把握できるかたちで表示することを要旨とする。
請求項２に記載の遊技機は、請求項１に記載の遊技機において、前記複数の図柄列は、左列と中列と右列とからなる３列の図柄列であり、前記一列の図柄列は、前記３列の図柄列のうち中列であることを要旨とする。
請求項３に記載の遊技機は、請求項１または２に記載の遊技機において、前記重畳表示制御手段は、前記一列の図柄列についての前記複数回分の図柄列領域を表示するにあたり、前記大当たり抽選にて当選されている可能性が高くなるにつれて表示される図柄列領域数が多くなるように表示することを要旨とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
（課題を解決するための手段）
課題を解決するための手段１は、複数の図柄からなる図柄群を変動または停止して表示する複数の変動領域を有する表示部を備え、変動後に特定図柄の組み合わせで停止すると遊技者に特典を与える遊技機において、前記複数の変動領域を第１グループと第２グループとに区分し、前記第１グループの変動領域に第１図柄が所定図柄で停止すると、前記第２グループに属する変動領域で図柄群を変動した後に停止する変動回数を報知し、前記変動回数内で前記第２グループに属する変動領域に停止した第２図柄と前記第１図柄との組み合わせが特定図柄の組み合わせになると遊技者に特典を与える態様を有するものである。ここで、請求項１に記載した用語については以下のように解釈する。これらの解釈は他の請求項および発明の詳細な説明についても同様である。
（１）「表示部」は一つの図柄表示器のみならず、複数の図柄表示器をも含む。そのため、「複数の変動領域を有する」という場合には、一つの図柄表示器で複数の変動領域を有する態様と、複数の図柄表示器について複数の変動領域を任意に振り分ける態様とがある。
（２）複数の変動領域を区分した結果として、「第１グループ」と「第２グループ」にはそれぞれ少なくとも一つの変動領域を有する。「複数の変動領域」を三つの変動領域とする例では、二つの変動領域を第１グループに区分し、残りの一つの変動領域を第２グループに区分するか、あるいはその逆の態様で区分する。また、いずれかのグループに区分した変動領域は固定してもよく、遊技機の種類や遊技状態等に応じて変えてもよい。また、複数の変動領域を常に表示部に表示する必要はなく、任意の変動領域について任意のタイミングで表示したりあるいは表示しなくてもよい。
（３）「停止」には完全に停止する場合のみならず、基準位置を中心に任意の方向に任意の距離範囲で動かす場合をも含む。
（４）「変動回数」は第２グループに属する変動領域が複数ある場合には、全ての変動領域で行う回数としてもよく、個々の変動領域で行う回数としてもよく、あるいはこれらを混在させてもよい。
（５）「報知」には、表示体（表示部や他の表示器，表示灯等）に変動回数を表示して視覚的に報知する態様に限らず、音（音楽や効果音，音声等）を出して変動回数を聴覚的に報知する態様や、ハンドルや椅子等の遊技機に付属する部材を通じて変動回数を触覚的に報知する態様をも含む。
当該手段１によれば、第１グループの変動領域に第１図柄が所定図柄で停止すると、第２グループに属する変動領域で図柄群を変動した後に停止する変動回数を報知する。そして、当該変動回数内で第２グループに属する変動領域に停止した第２図柄と第１図柄との組み合わせが特定図柄の組み合わせになると、遊技者に特典を与える。そのため、現在行われている変動態様によって特典を期待する期待感を持てるだけでなく、次回以降に確実に行われる変動態様に対しても特典を期待する期待感を持つことができる。
【手続補正書】
【提出日】平成22年10月20日(2010.10.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８３】
【表２】
2010094580.tif 000001
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８８】
＜引張強さ＞
引張強さは、JIS P8113:2006「紙及び板紙―引張特性の試験方法―第２部:定速伸張法」に準拠して測定した。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９０】
４級アンモニウム含有量が同じである条件において、Ｒ１の炭素数１６の実施例１、Ｒ１の炭素数１２の実施例４、Ｒ１の炭素数１８の実施例５の４級アンモニウム塩はＲ１の炭素数２２の実施例の実施例６の４級アンモニウム塩に比べＰＦ値及びＤＯＰ透過率に高い向上効果が認められる。しかし実施例６の４級アンモニウムも実用範囲内にある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９２】
比較例４、５においては４級アンモニウムの含有量が少ないとフィルタ性能の向上効果がほとんどなく、逆に含有量が多すぎるとフィルタ性能の向上効果はあったが引張強さが大きく低下した。
【手続補正書】
【提出日】平成22年9月17日(2010.9.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
印刷機構で印刷された連続紙を切断する用紙切断機構を有する印刷装置において、
連続紙を挟持して前記印刷機構へ送り出す第１の搬送部と、
前記第１の搬送部で送り出され、前記印刷機構で印刷された連続紙を挟持して前記用紙切断機構へ送り出す第２の搬送部と、
前記用紙切断機構で切断された後の連続紙の先端を、前記印刷機構と前記第１の搬送部との間まで戻した後、前記印刷機構と前記第２の搬送部の方向へ送り出す制御手段とを設けたことを特徴とする印刷装置。
【請求項２】
請求項１の印刷装置において、
前記制御手段は、前記連続紙の先端を前記印刷機構と前記第１の搬送部との間まで戻した後、該連続紙を前記第２の搬送部が搬送するまで送り出すことを特徴とする印刷装置。
【請求項３】
請求項１の印刷装置において、
前記連続紙は、複数枚の用紙が重なった複写紙であることを特徴とする印刷装置。
【請求項４】
印刷機構で印刷された連続紙を切断する用紙切断機構を有する印刷装置において、
連続紙を挟持して前記印刷機構へ送り出す第１の搬送部と、
前記第１の搬送部で送り出され、前記印刷機構で印刷された連続紙を挟持して前記用紙切断機構へ送り出す第２の搬送部と、
前記用紙切断機構で切断された後の連続紙の先端を、前記印刷機構と前記第１の搬送部との間まで戻した後、少なくとも前記第２の搬送部まで送り出す制御手段とを設けたことを特徴とする印刷装置。
【請求項５】
請求項４の印刷装置において、
前記制御手段は、前記連続紙の先端を送り出す移動量を、前記印刷機構と前記第１の搬送部との間まで戻す移動量より少なくしたことを特徴とする印刷装置。
【請求項６】
請求項５の印刷装置において、
前記制御手段は、前記連続紙の先端が、前記第２の搬送部と前記用紙切断機構の間に位置するとき、前記連続紙の先端を送り出す移動量を、前記印刷機構と前記第１の搬送部との間まで戻す移動量と等しくしたことを特徴とする印刷装置。
【請求項７】
請求項４、請求項５または請求項６の印刷装置において、
前記制御手段は、前記印刷機構と前記用紙切断機構との距離が異なる装置における該距離の差を切断位置調整値とし、予め記憶部に記憶された該切断位置調整値に基づいて連続紙を送り出した後、前記用紙切断機構で連続紙を切断するようにしたことを特徴とする印刷装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
そのため、本発明は、印刷機構で印刷された連続紙を切断する用紙切断機構を有する印刷装置において、連続紙を挟持して前記印刷機構へ送り出す第１の搬送部と、前記第１の搬送部で送り出され、前記印刷機構で印刷された連続紙を挟持して前記用紙切断機構へ送り出す第２の搬送部と、前記用紙切断機構で切断された後の連続紙の先端を、前記印刷機構と前記第１の搬送部との間まで戻した後、前記印刷機構と前記第２の搬送部の方向へ送り出す制御手段とを設けたことを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成22年4月23日(2010.4.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可視光あるいは赤外光を用いて被検眼を照明する照明光学系と、
前記可視光と前記赤外光とを切り換える切換手段と、
前記可視光で照明して被検眼を撮影する散瞳撮影モードと、前記赤外光で照明して被検眼を撮影する無散瞳撮影モードとを選択する撮影モード選択手段と、
前記散瞳撮影モードで被検眼を撮影した後に、前記切換手段を制御して前記可視光から前記赤外光に切り換える第１の制御手段と、
前記第１の制御手段で制御した後に、前記散瞳撮影モードが選択された場合、前記切換手段を制御して前記赤外光から前記可視光に切り換える第２の制御手段と、
を有することを特徴とする眼科撮像装置。
【請求項２】
前記第１の制御手段で制御した後に、前記無散瞳撮影モードが選択された場合、前記赤外光で維持することを特徴とする請求項１に記載の眼科撮像装置。
【請求項３】
前記撮影モード選択手段が、被検眼への散瞳剤の点眼の有無を入力する散瞳情報入力手段を有することを特徴とする請求項１あるいは２に記載の眼科撮像装置。
【請求項４】
撮影光を用いて被検眼を撮影する撮影手段を有し、
前記照明光学系が、
前記赤外光を用いて被検眼を照明する赤外光観察手段と、
前記可視光を用いて被検眼を照明する可視光観察手段と、
を有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の眼科撮像装置。
【請求項５】
被検眼を誘導するために前記撮影光の光軸上から固視標を提示する内部固視灯と、
前記撮影光の光軸外から固視標を提示する外部固視灯とを有し、
前記撮影モード選択手段が、被検眼への散瞳剤の点眼の有無を入力する散瞳情報入力手段を有し、
前記散瞳情報入力手段により前記散瞳剤の点眼なしと入力されたときに前記内部固視灯を点灯し、前記散瞳剤の点眼ありと入力されたとき、前記赤外光観察に切り換えるときは前記内部固視灯を点灯し、前記可視光観察に切り換えるときは前記外部固視灯を点灯することを特徴とする請求項４に記載の眼科撮像装置。
【請求項６】
被検眼の左右を検知する左右眼検知手段と、
左右眼ごとに少なくとも前記赤外光観察と前記可視光観察の何れの観察であるかを記憶する観察状態記憶手段とを有し、
前記散瞳情報入力手段が、左右眼別に、被検眼への前記散瞳剤の点眼の有無を入力する手段を有し、
前記左右眼検知手段が左右眼の切り換えを検知したときに、前記観察状態記憶手段に記憶している切り換え先の被検眼の観察状態にすることを特徴とする請求項５に記載の眼科撮像装置。
【請求項７】
可視光あるいは赤外光で被検眼を照明する照明光学系と、
前記可視光あるいは前記赤外光を選択する選択手段と、
前記可視光が選択された場合に前記赤外光で照明した後に前記可視光に前記照明光学系で照明に用いる光を切り換える制御をする制御手段と、
を有することを特徴とする眼科撮像装置。
【請求項８】
被検眼への可視光照明を選択する選択工程と、
前記選択工程の後に被検眼に赤外光照明する照明工程と、
前記照明工程の後に前記赤外光照明から前記可視光照明に切り換える切換工程と、
を含むことを特徴とする眼科撮像方法。
【請求項９】
可視光で被検眼を照明する照明工程と、
散瞳撮影モードで該被検眼を撮影する撮影工程と、
前記照明工程及び前記撮影工程の後に、照明光を前記可視光から赤外光に切り換える第１の切換工程と、
前記第１の切換工程の後に、前記散瞳撮影モードが選択された場合、前記照明光を前記赤外光から前記可視光に切り換える第２の切換工程と、
を含むことを特徴とする眼科撮像方法。
【請求項１０】
前記第１の切換工程の後に、無散瞳撮影モードが選択された場合、前記照明光を前記赤外光で維持することを特徴とする請求項９に記載の眼科撮像方法。
【請求項１１】
前記撮影モードの選択を、被検眼への散瞳剤の点眼の有無を入力する散瞳情報入力することにより行うことを特徴とする請求項９あるいは１０に記載の眼科撮像方法。
【手続補正書】
【提出日】平成22年5月19日(2010.5.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検眼の動画を撮影する動画撮影手段と、
前記被検眼の静止画を撮影する静止画撮影手段と、
前記被検眼の蛍光状態が蛍光初期から蛍光後期になったことを判断する判断手段と、
前記蛍光後期と判断された期間であり且つ撮影中の前記動画の表示中に前記静止画が撮影された場合に、該動画に対して該静止画を優先して表示手段に表示させる表示制御手段と、
を有することを特徴とする眼科撮像装置。
【請求項２】
前記表示制御手段が、前記蛍光初期であり且つ撮影中の前記動画の表示中に前記静止画が撮影された場合に、該動画の表示を維持して前記表示手段に表示させることを特徴とする請求項１に記載の眼科撮像装置。
【請求項３】
前記動画の表示を前記静止画の表示に変更する手段と、前記静止画の表示を前記動画の表示よりも大きくする手段とのいずれかを有することを特徴とする請求項１あるいは２に記載の眼科撮像装置。
【請求項４】
前記蛍光初期の前記静止画の撮影時に、該蛍光初期に撮影中の前記動画の表示を該静止画の表示よりも小さくすることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の眼科撮像装置。
【請求項５】
前記動画及び前記静止画を前記表示手段に同時に表示することを特徴とする請求項３あるいは４に記載の眼科撮像装置。
【請求項６】
前記判断手段が、タイマと蛍光量を検知するセンサとのいずれかであることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の眼科撮像装置。
【請求項７】
被検眼の動画を撮影する工程と、
前記被検眼の静止画を撮影する工程と、
前記被検眼の蛍光状態が蛍光初期から蛍光後期になったことを判断する工程と、
前記蛍光後期と判断された期間であり且つ撮影中の前記動画の表示中に前記静止画が撮影された場合に、該動画に対して該静止画を優先して表示する工程と、
を含むことを特徴とする眼科撮像方法。
【請求項８】
前記蛍光初期であり且つ撮影中の前記動画の表示中に前記静止画が撮影された場合に、該動画の表示を維持して表示する工程を含むことを特徴とする請求項７に記載の眼科撮像方法。
【手続補正書】
【提出日】平成22年6月18日(2010.6.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明の電話番号秘匿可能な電話装置は、電話帳機能を有する電話装置において、電話帳データを蓄積する電話帳データ蓄積手段と、着信時に発信元の電話番号を受信する発信元電話番号受信手段と、前記発信元電話番号受信手段が受信した発信元電話番号を名称等の付帯情報と関連付けて前記電話帳データ蓄積手段に登録する電話帳データ登録手段と、前記電話帳データ蓄積手段に蓄積された電話帳データを表示する電話帳データ表示手段と、特定のコマンドを受信する特定コマンド受信手段と、を具備し、前記特定コマンド受信手段が、着信処理中または通話中に相手装置から電話番号秘匿化を要求する予め定められた特定コマンドを受信した場合に、前記電話帳データ登録手段は、前記発信元電話番号受信手段が受信した電話番号が秘匿である旨を識別可能にして前記電話帳データ蓄積手段に登録し、前記電話帳データ表示手段は、前記電話番号が秘匿である旨を識別したならば、当該電話番号と関連付けられた付帯情報の一部又は全部を表示すると共に、当該電話番号は表示しないことを特徴とする。
また、本発明の電話番号秘匿可能な電話装置は、外線及び内線を収容する主装置と前記内線に繋がる内線電話機から成る電話装置において、前記主装置は、電話帳データを蓄積する電話帳データ蓄積手段と、相手電話番号を名称等の付帯情報と関連付けて前記電話帳データ蓄積手段に登録する電話帳データ登録手段と、前記電話帳データ蓄積手段に蓄積された電話帳データを前記内線電話機に表示させる電話帳データ表示手段と、特定のコマンドを受信する特定コマンド受信手段と、を具備し、前記特定コマンド受信手段が、前記外線または前記内線から電話番号秘匿化を要求する予め定められた特定コマンドを受信した場合に、前記電話帳データ登録手段は、当該特定コマンドが指定する相手電話番号が秘匿である旨を識別可能にして前記電話帳データ蓄積手段に登録し、前記電話帳データ表示手段は、前記電話番号が秘匿である旨を識別したならば、当該電話番号と関連付けられた付帯情報の一部又は全部を前記内線電話機に表示させると共に、当該電話番号は前記内線電話機に表示させないことを特徴とする。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
通常の電話帳１３へ記憶された電話番号・名前等の情報は使用者が自由に編集・消去等を行うことが可能であるが、秘匿電話帳１４へ記憶された情報は自由に編集を行うことができないように制御部１２によって制御される。秘匿電話帳１４へ記憶された電話番号は表示されないため、電話番号の編集は不可能である。しかし、名前等のほかの情報は編集可能、また、番号自体の消去は可能であるように、制御部１２によって制御される。
なお、上記実施例では電話機として説明したが、本発明は電話装置への適用、及び、外線及び内線を収容する主装置と前記内線に繋がる内線電話機から成る電話装置への適用が可能である。
【手続補正書】
【提出日】平成22年3月10日(2010.3.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
現行の無線システムでは、消費電力優先の立場から、ＡＤＣに対して、サンプルレートまたは分解能のどちらか一方のみに高性能を課すことが一般的であるが、次世代無線ＬＡＮのような、高スループットかつ妨害波干渉に強い無線システムを実現するには、消費電力懸念から従来避けられていた、高サンプルレート（数１００ＭＳ／ｓ〜１ＧＳ／ｓ）かつ高分解能（１０〜１２ｂ）のＡＤＣを、低消費電力（数１００ｍＷ以下）で実現する技術が必要となる。また、デジタルキャリブレーション型ＡＤＣでは、消費電流低減のため、数百ｆＦ以下の容量素子を使用するので、容量値比精度バラツキが顕在化し、有効ビット数（ＥＮＯＢ）、線形性（ＤＮＬ／ＩＮＬ）を低下させるという問題がある。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
図７に、第二の実施例におけるスイッチ群制御部１１７による容量バンクの各容量素子ユニットＣ３１５１０からＣ３Ｎ５１２の選択方法、つまり、図５や図６で述べたＳＷｃｔｒｌ１信号からＳＷｃｔｒｌＮ信号を生成する方法の一例を示す。なお、サンプルモードとアンプモードを切換えるＰｈｉ１、Ｐｈｉ２信号もあわせて示した。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８５】
一方、選択されていない容量素子ユニットＣ１１０２は、その両端がスイッチ１０６およびスイッチ１０７を介して、基準電圧に接続されている。また、選択されていない容量素子ユニットＣＮ１０４も、スイッチ１１２およびスイッチ１１３を介して、その両端が基準電圧に接続されている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９０】
例えば、図１２Ｃでは、参照電圧−Ｖｒｅｆに接続された各スイッチがＯＮになっている。この時接続される参照電圧値に応じて、第２の容量Ｃ２０９０３上にさらに移動する電荷量が変化する、つまり、粗い量子化結果に応じた電荷の引き算が行われる。換言すると、同図の構成例では、アンプモードでは、サンプルモード時のアナログ入力電圧Ｖｉｎと粗い量子化結果の引き算である量子化誤差を２倍した電圧をオペアンプ９０１の出力に得ることができ、上記のＭＤＡＣの所望動作となっていることがわかる。
【手続補正書】
【提出日】平成22年7月8日(2010.7.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のアンテナと接続する情報処理装置と、基地局とを備える通信システムであって、
前記情報処理装置は、
前記複数のアンテナの受信状態を評価する評価手段と、
前記評価手段により評価を行う際に、前記基地局による情報の送信を停止させる停止指示手段と、
を有することを特徴とする通信システム。
【請求項２】
情報処理装置であって、
複数のアンテナの受信状態を評価する評価手段と、
前記評価手段により評価を行う際に、通信相手による情報の送信を停止させる停止指示手段と、
を有することを特徴とする情報処理装置。
【請求項３】
前記通信相手は、周期的に報知する報知信号の送信と、前記情報処理装置に対する情報の送信を行い、
前記停止指示手段は、前記情報処理装置に対する情報の送信の停止を指示することを特徴とする請求項２に記載の情報処理装置。
【請求項４】
前記停止指示手段は、省電力モードであることを通知する情報を前記通信相手に送信することにより、前記通信相手による情報の送信を停止させることを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の情報処理装置。
【請求項５】
前記評価手段は、
第１のアンテナにおいて受信した信号のレベルと第２のアンテナにおいて受信した信号のレベルとの比較に基づいて、いずれかのアンテナを選択する選択手段を更に有することを特徴とする請求項２乃至請求項４のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項６】
前記評価手段は、使用中のアンテナにおいて受信した信号のレベルが予め定められた閾値を下回った場合に、前記複数のアンテナの評価を開始することを特徴とする請求項２乃至請求項５のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項７】
前記評価手段は、使用中のアンテナにおいて受信した信号のレベルが予め定められた閾値を下回った場合に、他のアンテナに切り替える切替手段を有し、
前記切替手段によるアンテナ切り替え後に、切り替え前のアンテナでの信号の受信レベルと、切り替え後のアンテナでの信号の受信レベルとに基づいて、前記複数のアンテナの評価を行うことを特徴とする請求項２乃至請求項６のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項８】
前記評価手段による評価の結果に基づくアンテナの選択が完了すると、前記通信相手による情報の送信の停止を解除する解除手段を更に有することを特徴とする請求項２乃至請求項７のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項９】
前記切替手段によるアンテナ切り替え後に、切り替えたアンテナによる受信状態に基づいて、前記通信相手による情報の送信の停止を解除する解除手段を更に有することを特徴とする請求項７に記載の情報処理装置。
【請求項１０】
情報処理装置における通信制御方法であって、
前記情報処理装置が複数のアンテナの受信状態を評価する際に、通信相手による情報の送信を停止させることを特徴とする通信制御方法。
【手続補正書】
【提出日】平成22年6月30日(2010.6.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）光透過性部を有し、内部空間に圧電振動片が配置され、貫通孔によって前記内部空間と外部が連通するパッケージを用意する工程と、
（ｂ）前記内部空間を、酸素プラズマで洗浄する工程と、
（ｃ）前記洗浄を行った後に前記内部空間を真空にする工程と、
（ｄ）前記貫通孔を塞いで前記内部空間を真空封止する工程と、
（ｅ）前記真空封止した後に、前記圧電振動片の振動腕に形成された金属膜に前記光透過性部を通してレーザービームを照射して、前記金属膜の一部を除去することで、前記圧電振動片の駆動周波数を調整する工程と、
を含み、
前記パッケージは、前記貫通孔が形成され、かつ、前記圧電振動片が接着剤によって固定されたベースと、前記ベースに接合され、前記光透過性部を有する蓋と、を有し、
前記圧電振動片は、基部と、前記基部に接続された複数の振動腕と、を有し、
前記酸素プラズマは、前記貫通孔から前記内部空間に導入される、圧電振動子の製造方法。
【請求項２】
（ａ）光透過性部を有し、内部空間に圧電振動片が配置され、貫通孔によって前記内部空間と外部が連通するパッケージを用意する工程と、
（ｂ）前記内部空間を、紫外線で洗浄する工程と、
（ｃ）前記洗浄を行った後に前記内部空間を真空にする工程と、
（ｄ）前記貫通孔を塞いで前記内部空間を真空封止する工程と、
（ｅ）前記真空封止した後に、前記圧電振動片の振動腕に形成された金属膜に前記光透過性部を通してレーザービームを照射して、前記金属膜の一部を除去することで、前記圧電振動片の駆動周波数を調整する工程と、
を含み、
前記パッケージは、前記貫通孔が形成され、かつ、前記圧電振動片が接着剤によって固定されたベースと、前記ベースに接合され、前記光透過性部を有する蓋と、を有し、
前記圧電振動片は、基部と、前記基部に接続された複数の振動腕と、を有し、
前記紫外線は、前記光透過性部を通して前記内部空間に照射される、圧電振動子の製造方法。
【請求項３】
請求項２に記載された圧電振動子の製造方法において、
前記紫外線を前記内部空間に照射した後に、酸素プラズマを前記貫通孔から前記内部空間に導入する圧電振動子の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
特許文献１には、圧電振動片が取り付けられたパッケージをガラスリッドで塞ぎ、パッケージ空間を真空封止した圧電振動子が開示されており、真空封止後に、ガラスリッドを通してレーザービームによって振動腕の金属膜の一部を除去して周波数を調整する工程も開示されている。圧電振動子は、リフロー工程によって回路基板に実装すると、高温下にさらされるため、封止されたパッケージ空間でガスが発生し、真空度が低下し、ＣＩ値が上昇してしまうという問題があった。このＣＩ値上昇の問題は、特に真空封止後に、レーザービームをガラスリッド越しに照射して金属膜を除去することで、駆動周波数を調整した圧電振動片において顕著であった。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
（１）本発明に係る圧電振動子の製造方法は、
（ａ）光透過性部を有し、内部空間に圧電振動片が配置され、貫通孔によって前記内部空間と外部が連通するパッケージを用意する工程と、
（ｂ）前記内部空間を、酸素プラズマ及び紫外線の少なくとも一方で洗浄する工程と、
（ｃ）前記洗浄を行った後に前記内部空間を真空にする工程と、
（ｄ）前記貫通孔を塞いで前記内部空間を真空封止する工程と、
（ｅ）前記真空封止した後に、前記圧電振動片の振動腕に形成された金属膜に前記光透過性部を通してレーザービームを照射して、前記金属膜の一部を除去することで、前記圧電振動片の駆動周波数を調整する工程と、
を含む。真空封止後に、レーザービームをガラスリッド越しに照射して金属膜を除去することで、駆動周波数を調整した圧電振動子を、リフロー工程などで高温下にさらすと、ＣＩ値が上昇することが、発明者の実験で明らかになった。本発明によれば、酸素プラズマ及び紫外線の少なくとも一方でパッケージの内部空間を洗浄するので、この洗浄を行わない場合と比べて、リフロー工程などで高温下にさらされてもＣＩ値の上昇が小さいことが発明者の実験により明らかになった。酸素プラズマによれば有機物をアッシングし、紫外線によれば有機物の分子結合を切断するので、内部空間で露出する有機物を減らすことができる。有機物が減少すれば、熱によって発生するガスが減少するので真空度の低下を避けられる。また、酸素プラズマ又は紫外線によって無機物も減らすことができる。
（２）この圧電振動子の製造方法において、
前記酸素プラズマを、前記貫通孔から前記内部空間に導入してもよい。
（３）この圧電振動子の製造方法において、
前記紫外線を、前記光透過性部を通して前記内部空間に照射してもよい。
（４）この圧電振動子の製造方法において、
前記紫外線を前記内部空間に照射した後に、前記酸素プラズマを前記内部空間に導入してもよい。
（５）この圧電振動子の製造方法において、
酸素を含む雰囲気ガスを前記貫通孔から前記内部空間に導入し、前記内部空間の前記雰
囲気ガスに前記紫外線を照射してもよい。
（６）この圧電振動子の製造方法において、
前記（ｃ）工程を、前記パッケージを加熱しながら行ってもよい。
【手続補正書】
【提出日】平成22年7月8日(2010.7.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
前述の積層コンデンサ２０にあっては、前記中心間隔ｂ１，ｂ３を前記中心間隔ｂ２よりも狭くすることによって、一方極性の引出部２４ａから他方極性の引出部２５ａへの電流経路の長さを短くして該電流経路で生じ得るインダクタンスを低下させることができ、しかも、一方極性の引出部２４ａと他方極性の引出部１５ａを近づけて該引出部２４ａ，２５ａに逆向きに流れる電流により得られる磁界相殺作用を効果的に行うことができ、これにより積層コンデンサ２０のＥＳＬをより一層低減することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成22年9月6日(2010.9.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
非常押しボタン（１０）であって、
少なくとも１つのガイド面（９４）を有するハウジング（１２）と、
該ハウジング（１２）によって支持され、作動位置と解放位置の間を略直線軸に沿って往復するアクチュエータ（１８）であって、その上に位置する少なくとも１つの表示窓（１０８）を有する該アクチュエータ（１８）と、
該アクチュエータ（１８）のヘッドに近接して配置され、それに対して移動するように付勢される表示器（２０）であって、該非常押しボタンの状態を提示し、該アクチュエータ（１８）のヘッドの該表示窓（１０８）から選択的に視認できるように構成されるしるしを備えた表示面を有しており、そこから延在し、該少なくとも１つのガイド面（９４）と係合する少なくとも１つのアーム（８０）を有する該表示器（２０）とからなり、該アクチュエータ（１８）のヘッドが該作動位置へ往復すると、該少なくとも１つのアーム（８０）が該ハウジング（１２）の該少なくとも１つのガイド面（９４）によってある位置まで付勢されるように構成されることによって、該表示器（２０）、さらには該しるしが移動して、該少なくとも１つの窓（１０８）から視認できるように状態変化を表すことができ、
該表示器（２０）が回転可能に配置され、該しるしが該表示窓（１０８）から視認できる位置まで回転するものであり、
該アクチュエータ（１８）が操作面を有しており、該少なくとも１つの表示窓（１０８）が該操作面上に位置し、
該ハウジング（１２）がハウジングキャビティ（２４）を有しており、
前記非常押しボタンは、さらに、
該ハウジングキャビティ（２４）の内部に付勢され、該アクチュエータ（１８）の該直線軸にほぼ平行な回転軸のまわりを回転可能なロータと、
ピン（４４）と、
これもまた該ハウジングキャビティ（２４）の内部に位置しており、該ピン（４４）を介して該ロータと相互接続し、該ピン（４４）のらせん経路を形成するように寸法決めして構成されたキャビティを有するプランジャ（１４）と、
該プランジャ（１４）と係合可能で、該プランジャ（１４）を支持するピストン（３２）とを有する、非常押しボタン。
【請求項２】
前記しるしは、色、文字および構造フラグからなるグループの少なくとも１つである、請求項１に記載の非常押しボタン。
【請求項３】
該アクチュエータ（１８）と該表示器（２０）の間に位置する表示スクリーンをさらに有している、請求項１に記載の非常押しボタン。
【請求項４】
前記表示スクリーンが、少なくとも１つの開口を有する一般的な薄いディスクであり、ポリアミド、ポリエチレンおよびポリカーボネートからなるグループの少なくとも１つである低摩擦材料からなっている、請求項３に記載の非常押しボタン。
【請求項５】
該ハウジング（１２）が略円筒状の形状で、該ハウジングキャビティを画定するハウジング壁（２２）を有し、該ハウジング壁（２２）がその上に該ハウジングガイド面（９４）が延在するハウジング壁の外面を有しており、
該アクチュエータ（１８）が略円筒状の形状で、該ハウジング壁（２２）に嵌合するように寸法決めして構成されるアクチュエータ壁を有している、請求項１に記載の非常押しボタン。
【請求項６】
前記少なくとも１つのガイド面（９４）が傾斜部分と略平坦部分とを有する、請求項５に記載の非常押しボタン。
【請求項７】
該少なくとも１つの表示アーム（８０）が一対の表示アームからなり、
該少なくとも１つのガイド面（９４）が一対のガイド面（９４）からなり、
各表示アーム（８０）が各ガイド面（９４）を支えるように構成されている、請求項６に記載の非常押しボタン。
【請求項８】
該傾斜部分が、該直線軸に対して４５度〜７５度の範囲の角度をなして配置される、請求項６に記載の非常押しボタン。
【請求項９】
該傾斜部分が、該直線軸に対し略６０度の角度をなして配置される、請求項８に記載の非常押しボタン。
【請求項１０】
該ハウジング壁（２２）の外面が略円筒状であり、各ガイド面（９４）が該ハウジング壁（２２）の外面から半径方向にほぼ垂直に延在し、該ハウジング壁（２２）の縮径部分で終端する、請求項７に記載の非常押しボタン。
【請求項１１】
該ハウジング壁（２２）が、一対のディボット部分（１０２）を有するハウジング壁（２２）の端面で終端し、
該表示器（２０）が、一般的に段付ディスク形状と、表示開口と、第１直径部分と、第２直径部分とを有しており、各アーム（８０）が該第１直径部分に接続するショルダ部分９０から延在しており、各ショルダ部分が該ハウジング（１２）の壁（２２）の各ディボット部分（１０２）と噛み合うように寸法決めして構成されており、各アーム（８０）が該ハウジング（１２）の壁（２２）の各縮径部分に隣接して嵌合するように寸法決めして構成されている、請求項１０に記載の非常押しボタン。
【請求項１２】
前記アクチュエータ、表示器及びハウジングはそれぞれ、高分子物質からなる、請求項１に記載の非常押しボタン。
【手続補正書】
【提出日】平成22年3月11日(2010.3.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板上に設けられた第１の電極と、
前記第１の電極と対向して設けられ、第２の金属を含む少なくとも２つの第２の電極と、
前記第１の電極と前記少なくとも２つの第２の電極との間に介在する第１及び第２固体電解質膜とを有し、
前記第２固体電解質膜は、前記第２の金属とは異なる第３の金属を含み、
前記第３の金属が、電圧印加によりイオン化し、前記第１固体電解質膜中を移動し前記移動経路に沿って堆積することで、前記第１固体電解質膜中に低抵抗な導電パスを生成する金属であることを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
前記低抵抗な導電パスは、前記第３の金属を含んでなる金属フィラメントからなることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置。
【請求項３】
前記導電パスが、前記第１および第２の電極間に電圧を印加することなく持続的に保持される不揮発性を有することを特徴とする請求項２に記載の半導体装置。
【請求項４】
前記第３の金属が、銅であることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置。
【請求項５】
前記第３の金属が、銀であることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置。
【請求項６】
前記第１の電極は、第１の金属を含み、
前記第１の金属がタングステンまたはタンタルであり、前記第３の金属が銅または銀であることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置。
【請求項７】
前記第１の電極下部の少なくとも一部が、前記第２固体電解質膜と接していることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置。
【請求項８】
前記第１の電極および前記第２の電極の少なくともいずれか一つの電極が、前記半導体基板上に設けられた絶縁膜への埋め込み配線またはプラグで形成されていることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置。
【請求項９】
前記第１の電極および前記第２の電極の少なくともいずれか一つの電極が、前記電極と接して設けられた絶縁膜との界面に、前記第１および第２の電極に含まれる金属の前記絶縁膜への拡散を抑制するバリアメタルを含むことを特徴とする請求項１に記載の半導体装置。
【請求項１０】
前記バリアメタルが、Ti、TiN、Ta、あるいはTaNであることを特徴とする請求項９に記載の半導体装置。
【請求項１１】
前記第２の電極のそれぞれの側壁の少なくとも一部が、前記第１固体電解質膜に接しており、
前記第１の電極の側壁の少なくとも一部が、前記第２固体電解質膜に接していることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置。
【請求項１２】
半導体基板上に設けられた少なくとも３つの電極を有し、
前記少なくとも３つの電極のいずれか２つの第１および第２の電極間に印加される電圧により、前記第１および第２の電極間に形成された導電パスを、前記第１および第２の電極とは異なる第３の電極と前記第１または第２の電極との間に電圧を印加することで、前記第１および第２の電極間に電圧を印加することなく、前記第３の電極と前記第１または第２の電極との間に形成された前記導電パスとは別の導電パスに切り替えることを特徴とする半導体装置。
【請求項１３】
請求項１２に記載の半導体装置を具備してなる複数のセルで構成されたアレイを有し、
前記セルの各々は、電極間に導電パスを生成する時に陽電圧が印加される陽極電極と、負電圧が印加される陰極電極とを備え、
前記セルの一つが有する陰極電極の一つと、前記セルの一つとは別のセルが有する陽極電極の一つとが金属配線で電気的に接続されていることを特徴とする半導体装置。
【請求項１４】
前記セルの一つが有する陰極電極の一つと、前記セルの一つが有する陽極電極の一つとの間に電圧印加して導電パスを形成することにより、前記セルの一つが有する陽極電極と、前記別のセルが有する陽極電極とを電気的に接続し、
該電圧印加を別の複数のセルに適用することにより、前記アレイ内の複数のセルが所望の経路で電気的に接続されることを特徴とする請求項１３に記載の半導体装置。
【手続補正書】
【提出日】平成22年7月6日(2010.7.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の導電層と、前記導電層と交互に積層された複数の絶縁層と、前記絶縁層を貫通し前記導電層同士を電気的に接続する導電体と、各絶縁層にＸ線検査用の検査クーポンとを備え、
前記検査クーポンは導電体と前記導電体の上下両側に位置する導電層に形成したランドからなり、前記導電体の中心と前記ランドの中心は水平位置が略同一位置になるように形成され、前記導電体の上側のランドと下側のランドとは、大きさが異なり、各絶縁層の検査クーポンのランドは、Ｘ線画像においてランドの周辺が互いに重なり合わない位置に形成されることを特徴とするプリント配線板。
【請求項２】
前記導電体の両側に接続された前記ランドは、一方が円形であり他方が正多角形であることを特徴とする請求項１に記載のプリント配線板。
【請求項３】
各絶縁層の検査クーポンは、Ｘ線画像において検査クーポン群を有し、一定エリア内に配列されていることを特徴とする請求項１に記載のプリント配線板。
【請求項４】
複数の導電層と、前記導電層と交互に積層された複数の絶縁層と、前記絶縁層を貫通し前記導電層同士を電気的に接続する導電体と、各絶縁層にＸ線検査用の検査クーポンとを備え、
前記検査クーポンは導電体と前記導電体の上下両側に位置する導電層に形成したランドからなり、
前記ランドは両端が半円形状となる配線回路からなり、
上側に位置するランドと下側に位置するランドの配線回路は互いに１８０°反対の方向に配線され、
各絶縁層の検査クーポンのランドは、Ｘ線画像においてランドの半円の弧の部分が互いに重なり合わない位置に形成されることを特徴とするプリント配線板。
【請求項５】
複数の導電層と、前記導電層と交互に積層された複数の絶縁層と、前記絶縁層を貫通し前記導電層同士を電気的に接続する導電体と、各絶縁層に少なくとも２つのＸ線検査用の検査クーポンからなる検査クーポン群とを備え、
前記検査クーポンのうちの一方は導電体と前記導電体の上側に位置するランドの組み合わせであり、他方は導電体と前記導電体の下側に位置するランドの組み合わせであって、
前記導電体の中心と前記ランドの中心は水平位置が略同一位置になるように形成され、各絶縁層の検査クーポンのランドは、Ｘ線画像において互いに重なり合わない位置に形成されることを特徴とするプリント配線板。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】プリント配線板
【手続補正書】
【提出日】平成22年6月29日(2010.6.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上のセンサエリアに複数のフォトセンサが配列され、
読取対象物が接触する接触面として静電気保護用導電膜が前記複数のフォトセンサに重なるように前記センサエリアに設けられた画像読取装置であって、
一端が前記基板の所定の側面で露出するとともに、他端が前記フォトセンサに接続された第１の配線を備え、
前記基板は、前記所定の側面と前記センサエリアとの間に、複数の第２の配線が前記所定の側面に平行に並設された配線エリアを有し、
前記静電気保護用導電膜は、該静電気保護用導電膜の各周端のうち前記所定の側面に平行な周端が前記所定の側面よりも前記センサエリアに近い側に位置するように、前記センサエリアから前記配線エリアに向かって延出されていることを特徴とする画像読取装置。
【請求項２】
前記静電気保護用導電膜及び前記第１の配線はＩＴＯからなることを特徴とする請求項１記載の画像読取装置。
【請求項３】
前記フォトセンサは、ダブルゲート型の薄膜トランジスタからなり、
前記第１の配線は、前記薄膜トランジスタのトップゲートに電気的に接続されていることを特徴とする請求項２記載の画像読取装置。
【請求項４】
前記静電気保護用導電膜は、前記所定の側面に平行な周端が前記配線エリアに位置するように配置されていることを特徴とする請求項１から３の何れかに記載の画像読取装置。
【請求項５】
前記静電気保護用導電膜は、前記所定の側面に平行な周端が前記所定の側面から２．４４ｍｍ以上離間するように配置されていることを特徴とする請求項１から４の何れかに記載の画像読取装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
前記課題を解決するため、請求項１の発明は、
基板上のセンサエリアに複数のフォトセンサが配列され、
読取対象物が接触する接触面として静電気保護用導電膜が前記複数のフォトセンサに重なるように前記センサエリアに設けられた画像読取装置であって、
一端が前記基板の所定の側面で露出するとともに、他端が前記フォトセンサに接続された第１の配線を備え、
前記基板は、前記所定の側面と前記センサエリアとの間に、複数の第２の配線が前記所定の側面に平行に並設された配線エリアを有し、
前記静電気保護用導電膜は、該静電気保護用導電膜の各周端のうち前記所定の側面に平行な周端が前記所定の側面よりも前記センサエリアに近い側に位置するように、前記センサエリアから前記配線エリアに向かって延出されていることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
前記静電気保護用導電膜及び前記第１の配線はＩＴＯからなってもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
前記フォトセンサは、ダブルゲート型の薄膜トランジスタからなってもよく、
前記第１の配線は、前記薄膜トランジスタのトップゲートに電気的に接続されていてもよい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
前記静電気保護用導電膜は、前記所定の側面に平行な周端が前記配線エリアに位置するように配置されていてもよい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
前記静電気保護用導電膜は、前記所定の側面に平行な周端が前記所定の側面から２．４４ｍｍ以上離間するように配置されていてもよい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成22年7月12日(2010.7.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レチクルのパターンを基板に投影する投影光学系と、
前記基板を移動させるステージと、
前記ステージに配置され、前記投影光学系を通過した光を受光するセンサユニットとを有し、
前記センサユニットは、
異なる光学特性の測定に用いられ、互いに異なる形状又はサイズの複数の開口パターンが形成された開口板と、
前記開口パターンからの光束を光電変換する光電変換センサとを有し、
前記複数の開口パターンは、前記光学特性として前記投影光学系の波面収差を測定する際に用いられる短手方向の幅が互いに異なる一対のスリットと、前記光学特性として前記レチクルのパターンによって発生する回折光分布を測定する際に用いられるスリットと、円形形状の開口パターンとを含むことを特徴とする露光装置。
【請求項２】
レチクルのパターンを基板に投影する投影光学系と、
前記基板を移動させるステージと、
前記ステージに配置され、前記投影光学系を通過した光を受光するセンサユニットとを有し、
前記センサユニットは、
異なる光学特性の測定に用いられ、互いに異なる形状又はサイズの複数の開口パターンが形成された開口板と、
前記開口パターンからの光束を光電変換する光電変換センサとを有し、
前記複数の開口パターンは、矩形形状の開口パターンと、前記光学特性として前記レチクルを照明する照明光学系で形成される有効光源分布を測定する際に用いられる円形形状の開口パターンとを含むことを特徴とする露光装置。
【請求項３】
前記矩形形状の開口パターンは、前記光学特性として前記投影光学系の波面収差を測定する際に用いられる短手方向の幅が互いに異なる一対のスリットを含むことを特徴とする請求項２記載の露光装置。
【請求項４】
レチクルのパターンを基板に投影する投影光学系と、
前記基板を移動させるステージと、
前記ステージに配置され、前記投影光学系を通過した光を受光するセンサユニットとを有し、
前記センサユニットは、
異なる光学特性の測定に用いられ、互いに異なる形状又はサイズの複数の開口パターンが形成された開口板と、
前記開口パターンからの光束を光電変換する光電変換センサとを有し、
前記複数の開口パターンは、矩形形状の開口パターン及び円形形状の開口パターンを含み、
前記光電変換センサは、複数の画素を含み、
前記投影光学系の波面収差、前記レチクルを照明する照明光学系で形成される有効光源分布、前記レチクルのパターンによって発生する回折光分布及び前記投影光学系の瞳透過率分布の各々を測定する場合に応じて、前記複数の画素のうち使用される画素、前記画素の蓄積時間、出力ゲイン及び階調数が変更されることを特徴とする露光装置。
【請求項５】
レチクルを照明する照明光学系と、
前記レチクルのパターンを、ステージに支持された基板に投影する投影光学系と、
センサユニットとを有し、
前記センサユニットは、
前記ステージに配置されて前記投影光学系からの光束を透過する開口パターンを含む測定基板と、
前記ステージに配置されて前記開口パターンからの光束を受光する光電変換センサとを有し、
前記投影光学系の波面収差、前記照明光学系で形成される有効光源分布、前記レチクルのパターンによって発生する回折光分布及び前記投影光学系の瞳透過率分布の各々を測定する場合に応じて、前記光電変換センサからの出力を切り替えることを特徴とする露光装置。
【請求項６】
前記開口パターンは、前記投影光学系の解像限界以下の径の第１のピンホールと、前記投影光学系の解像限界よりも大きい径の第２のピンホールとを含み、
前記センサユニットは、前記照明光学系で形成される有効光源分布、前記レチクルのパターンによって発生する回折光分布及び前記投影光学系の瞳透過率分布のうちいずれか１つを測定する際に、前記第１のピンホールに光束が入射することを防止する遮蔽板を有することを特徴とする請求項５記載の露光装置。
【請求項７】
前記レチクルを照明する照明光学系と、
前記照明光学系及び前記投影光学系の少なくとも一方を調整する調整部と、
前記センサユニットの測定結果に基づいて、前記調整部を制御する制御部とを更に有することを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【請求項８】
前記照明光学系及び前記投影光学系の少なくとも一方を調整する調整部と、
前記センサユニットの測定結果に基づいて、前記調整部を制御する制御部とを更に有することを特徴とする請求項２乃至６のうちいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項９】
請求項１乃至８のうちいずれか１項に記載の露光装置を用いて基板を露光するステップと、
露光された前記基板を現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての露光装置は、レチクルのパターンを基板に投影する投影光学系と、前記基板を移動させるステージと、前記ステージに配置され、前記投影光学系を通過した光を受光するセンサユニットとを有し、前記センサユニットは、異なる光学特性の測定に用いられ、互いに異なる形状又はサイズの複数の開口パターンが形成された開口板と、前記開口パターンからの光束を光電変換する光電変換センサとを有し、前記複数の開口パターンは、前記光学特性として前記投影光学系の波面収差を測定する際に用いられる短手方向の幅が互いに異なる一対のスリットと、前記光学特性として前記レチクルのパターンによって発生する回折光分布を測定する際に用いられるスリットと、円形形状の開口パターンとを含むことを特徴とする。