【手続補正書】
【提出日】平成22年9月29日(2010.9.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光切断法による被検物の形状測定方法であって、
前記光切断を行うためのシート光を前記被検物に投影する第１のステップと、
前記第１のステップで前記シート光が投影された前記被検物の表面を撮像する第２のステップと、
前記第２のステップで撮像した画像に対し前記シート光の延在方向と交差する方向に走査して輝度のピーク位置を検出する第３のステップと、
前記第３のステップにおいて前記ピーク位置が複数検出されたとき、前記複数のピーク位置から前記画像における前記シート光の多重反射による像を特定する第４のステップとを有していることを特徴とする形状測定方法。
【請求項２】
前記第４のステップでは、前記第３のステップで検出された前記ピーク位置から前記シート光が投影された前記被検物の表面の概略形状を求め、該概略形状に基づいて前記シート光の多重反射による像を特定することを特徴とする請求項１に記載の形状測定方法。
【請求項３】
前記第４のステップでは、前記複数検出された前記ピーク位置から光線追跡することにより、前記シート光の多重反射による像を特定することを特徴とする請求項１または２に記載の形状測定方法。
【請求項４】
前記第４のステップで特定された前記シート光の多重反射による像を除外して、前記被検物の三次元形状を測定する第５のステップを有していることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の形状測定方法。
【請求項５】
前記第２のステップで撮像した前記画像に基づいて、前記被検物の三次元形状を測定する第５のステップと、
前記第４のステップで特定した前記多重反射による像に対応する部分の前記シート光を選択的に減光もしくは消光させる設定を行う第６のステップと、
前記第６のステップで前記減光もしくは消光させた前記シート光を前記被検物に投影する第７のステップと、
前記第７のステップで前記シート光が投影された前記被検物の表面を撮像する第８のステップと、
前記第８のステップで撮像した前記画像に基づいて、前記第５のステップで測定した前記被検物の三次元形状の補正を行う第９のステップとを有していることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の形状測定方法。
【請求項６】
光切断法による被検物の形状測定方法であって、
既知である前記被検物の形状データから、前記被検物表面で多重反射が生じるおそれのあるシート光の部分を選択的に減光もしくは消光させる設定を行う第１のステップと、
前記第１のステップで前記減光もしくは消光させた前記シート光を前記被検物に投影する第２のステップと、
前記第２のステップで前記シート光が投影された前記被検物を撮像する第３のステップと、
前記シート光における前記多重反射が生じるおそれのある部分を除く他の部分を減光もしくは消光させる設定を行う第４のステップと、
前記第４のステップで前記減光もしくは消光させた前記シート光を前記被検物に投影する第５のステップと、
前記第５のステップで前記シート光が投影された前記被検物を撮像する第６のステップと、
前記第３のステップおよび前記第６のステップでそれぞれ撮像した画像に基づいて、前記被検物の三次元形状を測定する第７のステップとを有していることを特徴とする形状測定方法。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか一項に記載の形状測定方法を実行可能であることを特徴とするプログラム。
【請求項８】
被検物にシート光を照射する照射部と、
前記シート光が照射された前記被検物を観察する観察部と、
前記観察部の観察結果に基づいて前記シート光が前記被検物で多重反射したことを検出する検出部と、
前記検出部で前記多重反射を検出した場合に、前記多重反射の原因となる部分の前記シート光を他の部分と判別可能にするシート光制御部と、
前記観察部の観察結果に基づいて前記被検物の形状を測定する測定部とを備えることを特徴とする形状測定装置。
【請求項９】
前記シート光制御部は、前記多重反射の原因となる部分の前記シート光を選択的に減光もしくは消光させることを特徴とする請求項８に記載の形状測定装置。
【請求項１０】
被検物にシート光を照射する照射部と、
前記シート光が照射された前記被検物を観察する観察部と、
前記観察部の観察結果に基づいて前記シート光が前記被検物で多重反射したことを検出する検出部と、
前記観察部の観察結果から前記シート光が照射された前記被検物の概略形状を求め、該概略形状に基づいて前記シート光における前記多重反射の原因となる部分を特定し、前記被検物の形状を測定する測定部とを備えることを特徴とする形状測定装置。
【請求項１１】
前記測定部は、前記特定した前記多重反射の原因となる部分を除外して前記被検物の形状を測定することを特徴とする請求項１０に記載の形状測定装置。
【請求項１２】
前記検出部で前記多重反射を検出した場合に、前記多重反射の原因となる部分の前記シート光を他の部分と判別可能にするシート光制御部をさらに備えることを特徴とする請求項１０または１１に記載の形状測定装置。
【請求項１３】
前記被検物を前記シート光の延在方向と略直角な方向に移動させる駆動部をさらに備えることを特徴とする請求項１０から１２のいずれか一項に記載の形状測定装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
このような目的達成のため、第１の発明に係る形状測定方法は、光切断法による被検物の形状測定方法であって、前記光切断を行うためのシート光を前記被検物に投影する第１のステップと、前記第１のステップで前記シート光が投影された前記被検物の表面を撮像する第２のステップと、前記第２のステップで撮像した画像に対し前記シート光の延在方向と交差する方向に走査して輝度のピーク位置を検出する第３のステップと、前記第３のステップにおいて前記ピーク位置が複数検出されたとき、前記複数のピーク位置から前記画像における前記シート光の多重反射による像を特定する第４のステップとを有している。
なお、前記第４のステップでは、前記第３のステップで検出された前記ピーク位置から前記シート光が投影された前記被検物の表面の概略形状を求め、該概略形状に基づいて前記シート光の多重反射による像を特定することが好ましい。
また、前記第４のステップでは、前記複数検出された前記ピーク位置から光線追跡することにより、前記シート光の多重反射による像を特定することが好ましい。
さらに、前記第４のステップで特定された前記シート光の多重反射による像を除外して、前記被検物の三次元形状を測定する第５のステップを有してもよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
なお、上述の発明において、前記シート光制御部は、前記多重反射の原因となる部分の前記シート光を選択的に減光もしくは消光させることが好ましい。
また、本発明に係る形状測定装置は、被検物にシート光を照射する照射部と、前記シート光が照射された前記被検物を観察する観察部と、前記観察部の観察結果に基づいて前記シート光が前記被検物で多重反射したことを検出する検出部と、前記観察部の観察結果から前記シート光が照射された前記被検物の概略形状を求め、該概略形状に基づいて前記シート光における前記多重反射の原因となる部分を特定し、前記被検物の形状を測定する測定部とを備えるようにしてもよい。
なおこの場合、前記測定部は、前記特定した前記多重反射の原因となる部分を除外して前記被検物の形状を測定することが好ましい。
また、前記検出部で前記多重反射を検出した場合に、前記多重反射の原因となる部分の前記シート光を他の部分と判別可能にするシート光制御部をさらに備えることが好ましい。
また、前記被検物を前記シート光の延在方向と略直角な方向に移動させる駆動部をさらに備えることが好ましい。