【手続補正書】
【提出日】平成21年11月30日(2009.11.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明の支持腕は、限られたパッケージの空間の中で固定部と端部との距離をより長く形成する事で、パッケージ外部の温度変化、衝撃、又はパッケージ内部の振動漏れの影響を減少させることができる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
第１支持腕４０は図１（ｂ）で示すようにＺ方向に第１支持腕４０の第２溝部４１を表面と裏面とに交互に刻むことで、第１支持腕４０の距離を長くする。第２溝部４１を表面と裏面とに交互に配置することで、第１支持腕４０はＹＺ平面でジグザグ形状となっている。第２溝部４１はエッチングにより形成し、支持腕型水晶振動片２０の外形と第１溝部２２とを形成すると同時に形成する。第２溝部４１の形成方法の詳細は後述する。直線状の支持腕の距離を単に長くするために、振動腕２１の先端の位置を越えて長くしてしまっては、パッケージＰＫＧの大きさを必要以上に大きくしなければならない。このため、第１支持腕４０のＹ方向に伸びる長さ（Ｚ方向に投影した長さ）は、最大で振動腕２１の先端までの長さと同じ位置までである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
ステップＳ１１９では、第１溝部２２と第２溝部４１と外形とのウエットエッチングを同時に行う。すなわち、エッチング液としてフッ酸溶液を用いて、フォトレジスト層３６と金属膜３２とから露出した水晶材料１０に、第１溝部２２と外形との形成を同時に行う。図３Ｂ（ｉ）に示すように、第１溝部２２の所定の深さになるような時間でウエットエッチングを止めると、Ｗ２≦ｄの関係により外形は貫通することになる。また第２溝部４１は所定の深さｄ２になる。この工程は第２圧電エッチング工程とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
以上のように、支持腕に第２溝部４１を持つ支持腕型水晶振動片２０はステップＳ１１７の第１圧電エッチング工程とステップＳ１１９の第２圧電エッチング工程とで形成される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
支持腕型水晶振動片２０の外形と溝部が形成された後に、振動腕２１および基部２９および第１支持腕４０に、励振電極及び導通電極などを形成する。図１では図を分かりやすくするために図示していない。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
電極は、５０オングストローム〜５０００オングストロームのクロム（Ｃｒ）層の上に１００オングストローム〜５０００オングストロームの金（Ａｕ）層が形成された構成になっている。すなわち、第一層と第二層とを合わせると、１５０オングストローム〜１００００オングストロームの電極パターンの厚さになる。また、クロム（Ｃｒ）層の代わりに、タングステン（Ｗ）層、ニッケル（Ｎｉ）層、ニッケルタングステン層又はチタン（Ｔｉ）層を使用してもよく、また金（Ａｕ）層の代わりに、銀（Ａｇ）層を使用してもよい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
電極の形成は公知のフォトレジスト・エッチング技術を用い、励振電極などを形成する。励振電極などを形成し終えると、支持腕型水晶振動片２０が完成する。完成した支持腕型水晶振動片２０は第１支持腕４０の先端ＴｉｐでパッケージＰＫＧ１と固定される。例えば、第１支持腕４０の先端ＴｉｐはパッケージＰＫＧ１の接続電極（図示しない）に塗布した導電性接着剤ＣＡの上に載置して、導電性接着剤ＣＡを加熱により仮硬化させる。次に、硬化炉で導電性接着剤ＣＡを本硬化することにより接合部２６で支持腕型水晶振動片２０を固定する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
この状態で、支持腕型水晶振動片２０は振動腕２１の先端Ｔｉｐにレーザー光を照射されて、振動腕２１の錘金属層の一部を蒸散・昇華させられる。これにより、質量削減方式による周波数調整が完了する。次に、支持腕型水晶振動片２０を接合したパッケージＰＫＧ１は真空チャンバ内に入れ封止材２７により蓋体２８を接合する。その後、駆動特性などの検査を行い、圧電振動デバイス５０は完成する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
図４（ａ）は、支持腕がＺ方向にＣの字型形状をした圧電デバイスの構造を示した上面図であり、（ｂ）は、（ａ）に描いた圧電デバイスのＢ−Ｂ断面図である。このようなＣの字型形状も便宜上ＹＺ平面でジグザグ形状と呼ぶ。
図４（ａ）は、第１支持腕４０と第２支持腕４２とをＺ方向に２段にすることで、限られたパッケージＰＫＧ１の内部で第１支持腕４０の軸長の距離を長くしている。また、２段の支持腕型水晶振動片２０は第２支持腕４２の先端でパッケージＰＫＧ１と固定する。また振動は第１支持腕４０と第２支持腕４２との角部で反射、および減衰を繰り返すことで効率的に減少する。なお支持腕を２段にすることで支持腕型水晶振動片２０はＺ方向に収容するための空間が必要となる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
本実施例の製造方法は、公知のフォトレジスト・エッチング技術などで第１支持腕４０を持つ支持腕型水晶振動片２０の外形を形成し、別の工程で第２支持腕４２と水晶ブロック４３とを形成する。次に支持腕型水晶振動片２０は、第１支持腕４０と第２支持腕４２と水晶ブロック４３とをシロキサン結合（Ｓｉ−Ｏ―Ｓｉ結合）により接合する。たとえば接合面を鏡面研磨し所定の温度で加熱することで、第１支持腕４０と水晶ブロック４３と第２支持腕４２とが接合し、Ｚ方向にコの字型の形状をもつ支持腕型水晶振動片２０を製造することができる。水晶同士を接合することで熱膨張による変形も考慮することなく、周波数特性の変化しない安定した支持腕型水晶振動片２０を形成することができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
図５に示す支持腕型水晶振動片２０は、圧電デバイス５０の内部で第１支持腕４０が振動腕２１の先端Ｔｉｐで折り返し、パッケージＰＫＧ１と接合している。図５（ａ）で示すように基部２９からＹ方向に伸びた第１支持腕４０は、振動腕２１と同じ方向に伸び、さらに振動腕２１の先端（Ｔｉｐ）付近で内側（Ｘ方向）に伸び、またさらにＹ方向の基部側へ伸びる形状に形成される。このように、第１支持腕４０の軸長さＳＬの距離を長くしている。図５（ｂ）は図５（ａ）の第１支持腕４０部分のＢ−Ｂ断面を示した図である。なお、図５（ｃ）示すように、第１支持腕４０は振動腕２１の先端付近で外側（Ｘ方向）に伸び、またＹ方向の基部側へ伸びる形状でもよい。また、振動は第１支持腕４０の折り返しで反射、および減衰を繰り返して効率的に振動が減少する。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
本実施例の折り返しのある第１支持腕４０は公知のフォトレジスト・エッチング技術などで支持腕型水晶振動片２０の外形として形成することができる。電極を形成した支持腕型水晶振動片２０は第１支持腕４０の先端でパッケージＰＫＧ１と接合することで圧電デバイスを製造することができる。また、折り返しの第１支持腕４０に対して実施例１で示した第２溝部４１をさらに形成してもよい。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
＜＜実施例４＞＞
図６は圧電デバイス５０の内部に第１支持腕４０がジグザクな形状をした支持腕型水晶振動片２０を示している。図６（ａ）に示すように、基部２９から幅方向に伸びた第１支持腕４０は振動腕２１方向に伸び、第１支持腕４０の先端の途中でジグザグ形状を形成することで、限られたパッケージＰＫＧ１内部で第１支持腕４０の軸長さＳＬの距離を長くしている。また、振動は第１支持腕４０のジグザク部で反射及び減衰を繰り返して効率的に振動が減少する。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
本実施例のジグザグ形状の第１支持腕４０は公知のフォトレジスト・エッチング技術などで支持腕型水晶振動片２０の外形として形成することができる。電極を形成した支持腕型水晶振動片２０は第１支持腕４０の先端でパッケージＰＫＧ１と接合することで圧電デバイスを製造することができる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
以上、本発明の好適実施例について詳細に説明したが、当業者に明らかなように、本発明はその技術的範囲内において上記各実施例に様々な変更・変形を加えて実施することができる。たとえば、本発明の支持腕型水晶振動片２０は、水晶以外にニオブ酸リチウム等の様々な圧電単結晶材料を用いることができる。