【手続補正書】
【提出日】平成22年3月23日(2010.3.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水平方向および垂直方向に行列状に配置された複数の受光部と、
前記受光部に蓄積された信号電荷を垂直方向に転送するための複数列の転送チャネルと、
前記受光部の垂直方向の中央部に隣接した前記転送チャネル上に設けられ、前記受光部に蓄積された信号電荷を読み出して垂直方向に転送するための第１の転送電極と、
前記第１の転送電極と同一の層の前記転送チャネル上に設けられ、第１の転送電極により転送された信号電荷を垂直方向に転送するための第２の転送電極と、
前記行列の同行の前記第１の転送電極を水平方向に連結する第１の配線と、
前記行列の同行の前記第２の転送電極を水平方向に連結する第２の配線とを備え、
前記第１および第２の転送電極の膜厚は、前記第１および第２の配線をポリシリコンで構成した場合の前記第１および第２の配線の膜厚より薄く構成され、
前記第２の配線は、前記第２の転送電極上に設けられ、
前記第１の配線は、前記第２の配線の上層に設けられ水平方向に延びる水平部と、前記水平部から延長して枝状に垂直方向に延びて前記第１の転送電極上に延びる枝葉部とを有し、
前記枝葉部は、第１の転送電極上に延びる前記枝葉部の上方に透明な層間絶縁膜の空間を作るように前記水平部から前記第１の転送電極に向かって折れ曲がり前記第１の転送電極上に延びる、
固体撮像装置。
【請求項２】
前記第１の転送電極および前記第２の転送電極は、ポリシリコンからなる請求項１記載の固体撮像装置。
【請求項３】
前記第１の配線および前記第２の配線は、ポリシリコンからなる請求項１記載の固体撮像装置。
【請求項４】
前記第１の配線は、ポリシリコンからなり、
前記第２の配線は、Ｗ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｃｕ、Ｔａ、Ｐｔ、ＩｒもしくはＲｕの金属、Ｗ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｃｕ、Ｔａ、Ｐｔ、ＩｒおよびＲｕの少なくとも２つ以上の合金、珪化物、窒化物または珪化物もしくは窒化物の積層物からなる請求項１記載の固体撮像装置。
【請求項５】
前記第１の配線は、Ｗ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｃｕ、Ｔａ、Ｐｔ、ＩｒもしくはＲｕの金属、Ｗ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｃｕ、Ｔａ、Ｐｔ、ＩｒおよびＲｕの少なくとも２つ以上の合金、珪化物、窒化物または珪化物もしくは窒化物の積層物からなり、
前記第２の配線は、ポリシリコンからなる請求項１記載の固体撮像装置。
【請求項６】
前記第１の配線は、前記第１の転送電極および前記第２の転送電極を覆うように形成され、前記受光部の開口を形成する遮光膜を兼ねる請求項５記載の固体撮像装置。
【請求項７】
前記第１の配線および前記第２の配線は、Ｗ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｃｕ、Ｔａ、Ｐｔ、ＩｒもしくはＲｕの金属、Ｗ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｃｕ、Ｔａ、Ｐｔ、ＩｒおよびＲｕの少なくとも２つ以上の合金、珪化物、窒化物または珪化物もしくは窒化物の積層物からなる請求項１記載の固体撮像装置。
【請求項８】
前記第１の配線および前記第２の配線は、前記第１の転送電極および前記第２の転送電極を覆うように形成され、前記受光部の開口を形成する遮光膜を兼ねる請求項７記載の固体撮像装置。
【請求項９】
前記行列の同行の前記第２の転送電極は、水平方向に連結されている請求項１記載の固体撮像装置。
【請求項１０】
水平方向および垂直方向に行列状に配置された複数の受光部と、前記受光部に蓄積された信号電荷を垂直方向に転送するための複数列の転送チャネルとを半導体基板に形成する工程と、
前記受光部の垂直方向の中央部に隣接した前記転送チャネル上に前記受光部に蓄積された信号電荷を読み出して垂直方向に転送するための第１の転送電極を形成し、同時に、前記第１の転送電極と同一の層の前記転送チャネル上に前記第１の転送電極により転送された信号電荷を垂直方向に転送するための第２の転送電極を形成する転送電極形成工程と、
前記行列の同行の前記第２の転送電極を水平方向に連結する第２の配線を形成する第２の配線形成工程と、
前記行列の同行の前記第１の転送電極を水平方向に連結する第１の配線を形成する第１の配線形成工程とを含み、
前記転送電極形成工程は、前記第１および第２の転送電極の膜厚を前記第１および第２の配線をポリシリコンで構成した場合の前記第１および第２の配線の膜厚より薄く形成し、
前記第２の配線形成工程は、前記第２の配線を前記第２の転送電極上に形成し、
前記第１の配線形成工程は、前記第１の配線を、前記第２の配線の上層に設けられ水平方向に延びる水平部と、前記水平部から延長して枝状に垂直方向に延びて前記第１の転送電極上に延びる枝葉部とで形成し、
前記枝葉部を、前記第１の転送電極に延びる前記枝葉部の上方に透明な層間絶縁膜の空間を作るように前記水平部から前記第１の転送電極に向かって折れ曲がり前記第１の転送電極上に延びるように形成する、
固体撮像装置の製造方法。
【請求項１１】
水平方向および垂直方向に行列状に配置された複数の受光部と、
前記受光部に蓄積された信号電荷を垂直方向に転送するための複数列の転送チャネルと、
前記受光部の垂直方向の中央部に隣接した前記転送チャネル上に設けられ、前記受光部に蓄積された信号電荷を読み出して垂直方向に転送するための第１の転送電極と、
前記第１の転送電極と同一の層の前記転送チャネル上に設けられ、前記第１の転送電極により転送された信号電荷を垂直方向に転送するための第２の転送電極と、
前記行列の同行の前記第１の転送電極を水平方向に連結する第１の配線と、
前記第１の配線と同一の層で形成され、前記行列の同行の前記第２の転送電極を水平方向に連結する第２の配線とを備え、
前記第１および第２の転送電極の膜厚は、前記第１および第２の配線をポリシリコンで構成した場合の前記第１および第２の配線の膜厚に比べ薄く構成され、
前記第２の配線は、前記第２の転送電極上に設けられ、
前記第１の配線は、前記第２の配線に近接して水平方向に延びる水平部と、前記水平部から延長して枝状に垂直方向に延びて前記第１の転送電極上に延びる枝葉部とを有し、
前記枝葉部は、コンタクトを介して前記第１の転送電極に接続される、
固体撮像装置。
【請求項１２】
水平方向および垂直方向に行列状に配置された複数の受光部と、前記受光部に蓄積された信号電荷を垂直方向に転送するための複数列の転送チャネルとを半導体基板に形成する工程と、
前記受光部の垂直方向の中央部に隣接した前記転送チャネル上に前記受光部に蓄積された信号電荷を読み出して垂直方向に転送するための第１の転送電極を形成し、同時に、前記第１の転送電極と同一の層の前記転送チャネル上に前記第１の転送電極により転送された信号電荷を垂直方向に転送するための第２の転送電極を形成する転送電極形成工程と、
前記行列の同行の前記第１の転送電極を水平方向に連結する第１の配線と、前記行列の同行の前記第２の転送電極を水平方向に連結する第２の配線とを同時に形成する配線形成工程とを含み、
前記転送電極形成工程は、前記第１および第２の転送電極の膜厚を前記第１および第２の配線をポリシリコンで構成した場合の前記第１および第２の配線の膜厚より薄く形成し、
前記配線形成工程は、前記第２の配線を前記第２の転送電極上に形成し、同時に、前記第１の配線を前記第２の配線に近接して水平方向に延びる水平部と、前記水平部から延長して枝状に垂直方向に延びて前記第１の転送電極上に延びる枝葉部とで形成し、
前記枝葉部をコンタクトを介して前記第１の転送電極に接続する、
固体撮像装置の製造方法。
【請求項１３】
水平方向および垂直方向に行列状に配置された複数の受光部と、
前記受光部に蓄積された信号電荷を垂直方向に転送するための複数列の転送チャネルと、
前記受光部の垂直方向の中央部に隣接した前記転送チャネル上に設けられ、前記受光部に蓄積された信号電荷を読み出して垂直方向に転送するための第１の転送電極と、
前記第１の転送電極と同一の層の前記転送チャネル上に設けられ、前記第１の転送電極により転送された信号電荷を垂直方向に転送するための第２の転送電極と、
前記第１の転送電極と同一の層の前記転送チャネル上に設けられ、前記第２の転送電極により転送された信号電荷を垂直方向に転送するための第３の転送電極と、
前記行列の同行の前記第１の転送電極を水平方向に連結する第１の配線と、
前記行列の同行の前記第２の転送電極を水平方向に連結する第２の配線と、
前記行列の同行の前記第３の転送電極を水平方向に連結する第３の配線とを備え、
前記第１、第２および第３の転送電極の膜厚は、前記第１、第２および第３の配線をポリシリコンで構成した場合の前記第１、第２および第３の配線の膜厚に比べ薄く構成され、
前記第２の配線は、前記第２の転送電極上に設けられ、
前記第３の配線は、前記第２の配線と同層で前記第３の転送電極上に設けられ、
前記第１の配線は、前記第２の配線および前記第３の配線の上層に設けられ水平方向に延びる水平部と、前記水平部から延長して枝状に垂直方向に延びて前記第１の転送電極上に延びる枝葉部とを有し、
前記枝葉部は、第１の転送電極上に延びる前記枝葉部の上方に透明な層間絶縁膜の空間を作るように前記水平部から前記第１の転送電極に向かって折れ曲がり前記第１の転送電極上に延びる、
固体撮像装置。
【請求項１４】
水平方向および垂直方向に行列状に配置された複数の受光部と、前記受光部に蓄積された信号電荷を垂直方向に転送するための複数列の転送チャネルとを半導体基板に形成する工程と、
前記受光部の垂直方向の中央部に隣接した前記転送チャネル上に前記受光部に蓄積された信号電荷を読み出して垂直方向に転送するための第１の転送電極を形成し、同時に、前記第１の転送電極と同一の層の前記転送チャネル上に、前記第１の転送電極により転送された信号電荷を垂直方向に転送するための第２の転送電極と、前記第２の転送電極により転送された信号電荷を垂直方向に転送するための第３の転送電極とを形成する転送電極形成工程と、
前記行列の同行の前記第２の転送電極を水平方向に連結する第２の配線と、前記行列の同行の前記第３の転送電極を水平方向に連結する第３の配線とを同時に形成する第１の配線形成工程と、
前記行列の同行の前記第１の転送電極を水平方向に連結する第１の配線を形成する第２の配線形成工程とを含み、
前記転送電極形成工程は、前記第１、第２および第３の転送電極の膜厚を前記第１、第２および第３の配線をポリシリコンで構成した場合の前記第１、第２および第３の配線の膜厚より薄く形成し、
前記第１の配線形成工程は、前記第２の配線を前記第２の転送電極上に、前記第３の配線を前記第３の転送電極上に形成し、
前記第２の配線形成工程は、第１の配線を、前記第２の配線および前記第３の配線の上層に設けられ水平方向に延びる水平部と、前記水平部から延長して枝状に垂直方向に延びて前記第１の転送電極上に延びる枝葉部とで形成し、
前記枝葉部を、前記第１の転送電極に延びる前記枝葉部の上方に透明な層間絶縁膜の空間を作るように前記水平部から前記第１の転送電極に向かって折れ曲がり前記第１の転送電極上に延びるように形成する、
固体撮像装置の製造方法。
【請求項１５】
水平方向および垂直方向に行列状に配置された複数の受光部と、
前記受光部に蓄積された信号電荷を垂直方向に転送するための複数列の転送チャネルと、
前記受光部の垂直方向の中央部に隣接した前記転送チャネル上に設けられ、前記受光部に蓄積された信号電荷を読み出して垂直方向に転送するための第１の転送電極と、
前記第１の転送電極と同一の層の前記転送チャネル上に設けられ、前記第１の転送電極により転送された信号電荷を垂直方向に転送するための第２の転送電極と、
前記第１の転送電極と同一の層の前記転送チャネル上に設けられ、前記第２の転送電極により転送された信号電荷を垂直方向に転送するための第３の転送電極と、
前記行列の同行の前記第１の転送電極を水平方向に連結する第１の配線と、
前記行列の同行の前記第２の転送電極を水平方向に連結する第２の配線と、
前記行列の同行の前記第３の転送電極を水平方向に連結する第３の配線とを備え、
前記第１、第２および第３の転送電極の膜厚は、前記第１、第２および第３の配線をポリシリコンで構成した場合の前記第１、第２および第３の配線の膜厚より薄く構成され、
前記第２の配線は、前記第２の転送電極上に設けられ、
前記第１の配線は、前記第２の配線の上層に設けられ水平方向に延びる第１の水平部と、前記第１の水平部から延長して枝状に垂直方向に延びて前記第１の転送電極上に延びる第１の枝葉部とを有し、
前記第３の配線は、前記第１の配線と同層に設けられ水平方向に延びる第３の水平部と、前記第３の水平部から延長して枝状に垂直方向に延びて前記第３の転送電極上に延びる第３の枝葉部とを有し、
前記第１の枝葉部は、前記第１の転送電極上に延びる前記第１の枝葉部の上方に透明な層間絶縁膜の空間を作るように第１の水平部から前記第１の転送電極に向かって折れ曲がり前記第１の転送電極上に延びる、
固体撮像装置。
【請求項１６】
水平方向および垂直方向に行列状に配置された複数の受光部と、前記受光部に蓄積された信号電荷を垂直方向に転送するための複数列の転送チャネルとを半導体基板に形成する工程と、
前記受光部の垂直方向の中央部に隣接した前記転送チャネル上に設けられ、前記受光部に蓄積された信号電荷を読み出して垂直方向に転送するための第１の転送電極を形成し、同時に、前記第１の転送電極と同一の層の前記転送チャネル上に、前記第１の転送電極により転送された信号電荷を垂直方向に転送するための第２の転送電極と、前記第２の転送電極により転送された信号電荷を垂直方向に転送するための第３の転送電極とを形成する転送電極形成工程と、
前記行列の同行の前記第２の転送電極を水平方向に連結する第２の配線を形成する第１の配線形成工程と、
前記行列の同行の前記第１の転送電極を水平方向に連結する第１の配線と、前記行列の同行の前記第３の転送電極を水平方向に連結する第３の配線とを同時に形成する第２の配線形成工程とを含み、
前記転送電極形成工程は、前記第１、第２および第３の転送電極の膜厚を前記第１、第２および第３の配線をポリシリコンで構成した場合の前記第１、第２および第３の配線の膜厚より薄く形成し、
前記第１の配線形成工程は、前記第２の配線を前記第２の転送電極上に形成し、
前記第２の配線形成工程は、前記第１の配線を、前記第２の配線の上層に設けられ水平方向に延びる第１の水平部と、前記第１の水平部から延長して枝状に垂直方向に延びて前記第１の転送電極上に延びる第１の枝葉部とで形成するとともに、前記第３の配線を、前記第１の配線と同層に設けられ水平方向に延びる第３の水平部と、前記第３の水平部から延長して枝状に垂直方向に延びて前記第３の転送電極上に延びる第３の枝葉部とで形成し、
前記第１の枝葉部を、前記第１の転送電極に延びる前記第１の枝葉部の上方に透明な層間絶縁膜の空間を作るように第１の水平部から前記第１の転送電極に向かって折れ曲がり前記第１の転送電極上に延びるように形成する、
固体撮像装置の製造方法。
【請求項１７】
固体撮像装置を用いた撮像部と、前記撮像部を制御する制御部と、前記撮像部を操作する操作部とを有し、
前記固体撮像装置は、
水平方向および垂直方向に行列状に配置された複数の受光部と、
前記受光部に蓄積された信号電荷を垂直方向に転送するための複数列の転送チャネルと、
前記受光部の垂直方向の中央部に隣接した前記転送チャネル上に設けられ、前記受光部に蓄積された信号電荷を読み出して垂直方向に転送するための第１の転送電極と、
前記第１の転送電極と同一の層の前記転送チャネル上に設けられ、第１の転送電極により転送された信号電荷を垂直方向に転送するための第２の転送電極と、
前記行列の同行の前記第１の転送電極を水平方向に連結する第１の配線と、
前記行列の同行の前記第２の転送電極を水平方向に連結する第２の配線とを備え、
前記第１および第２の転送電極の膜厚は、前記第１および第２の配線をポリシリコンで構成した場合の前記第１および第２の配線の膜厚より薄く構成され、
前記第２の配線は、前記第２の転送電極上に設けられ、
前記第１の配線は、前記第２の配線の上層に設けられ水平方向に延びる水平部と、前記水平部から延長して枝状に垂直方向に延びて前記第１の転送電極上に延びる枝葉部とを有し、
前記枝葉部は、第１の転送電極上に延びる前記枝葉部の上方に透明な層間絶縁膜の空間を作るように前記水平部から前記第１の転送電極に向かって折れ曲がり前記第１の転送電極上に延びる、
撮像装置。
【請求項１８】
水平方向および垂直方向に行列状に配置された複数の受光部と、
前記受光部に蓄積された信号電荷を垂直方向に転送するための複数列の転送チャネルと、
前記受光部の垂直方向の中央部に隣接した前記転送チャネル上に設けられ、前記受光部に蓄積された信号電荷を読み出して垂直方向に転送するための第１の転送電極と、
前記第１の転送電極と同一の層の前記転送チャネル上に設けられ、第１の転送電極により転送された信号電荷を垂直方向に転送するための第２の転送電極と、
前記行列の同行の前記第１の転送電極を水平方向に連結する第１の配線と、
前記行列の同行の前記第２の転送電極を水平方向に連結する第２の配線とを備え、
前記第１および第２の転送電極の膜厚は、前記第１および第２の配線をポリシリコンで構成した場合の前記第１および第２の配線の膜厚より薄く構成され、
前記第２の配線は、前記第２の転送電極上に設けられ、
前記第１の配線は、同行または隣の行の前記第２の配線に近接して設けられ水平方向に延びる第１の水平部と、前記第１の水平部から延長して枝状に垂直方向に延びて前記第１の転送電極上に延びる第１の枝葉部とを有し、
前記第１の枝葉部は、第１の転送電極上に延びる前記第１の枝葉部の上方に透明な層間絶縁膜の空間を作るように前記第１の水平部から前記第１の転送電極に向かって折れ曲がり前記第１の転送電極上に延び、
前記第１の配線および前記第２の配線は、それぞれ金属からなり、前記第１の転送電極および前記第２の転送電極を覆うように形成され、前記受光部の開口を形成する遮光膜を兼ねる、
固体撮像装置。
【請求項１９】
前記第１の配線は、同行の前記第２の配線に近接して設けられた第１の水平部と、隣の行の前記第２の配線に近接して設けられ水平方向に延びる第２の水平部と、第１の水平部から前記第１の転送電極上経て前記第２の水平部に延びる第１の枝葉部とを有し、前記第１の水平部、隣接する２つの前記第１の枝葉部および前記第２の水平部により格子状に形成される請求項１８記載の固体撮像装置。
【請求項２０】
前記第１の配線の前記第１の水平部は、隣の行の前記第２の配線に近接して設けられ、
前記第２の配線は、前記第２の転送電極上の水平方向に延びる第３の水平部と、第３の水平部から延長して垂直方向に延びて前記第１の配線の前記第１の枝葉部の下の第１および第２の転送電極の垂直方向の両辺に沿って延びる２本の第２の枝葉部とを有する請求項１８記載の固体撮像装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
この固体撮像装置を例えば、画素のユニットセル２μｍの１／２．５インチ型とする。第１の転送電極１１１、第１の配線１２１および第２の転送電極１１２は、一般にポリシリコンからなる。第１の配線１２１および第２の転送電極１１２（第２の配線）の配線幅は３００ｎｍ程度になる。第１の転送電極１１１、第１の配線１２１および第２の転送電極１１２の膜厚は、光のけられを低減する観点からそれぞれ２００ｎｍ程度になる。ゲート酸化膜１０３からの第１の配線１２１の高さは、図２６（Ｂ）に示すように、例えば４５０ｎｍ程度になり、受光部１０１の四方（水平方向および垂直方向）は、第１の転送電極１１１、第１の配線１２１および第２の転送電極１１２により高さ４５０ｎｍ程度の壁に囲まれることになる。この四方を囲む壁により受光部１０１に斜めから入る入射光が遮られてしまい、受光部１０１の感度が低下するといった問題を残していた。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
上記目的を達成するため、本発明の固体撮像装置は、水平方向および垂直方向に行列状に配置された複数の受光部と、前記受光部に蓄積された信号電荷を垂直方向に転送するための複数列の転送チャネルと、前記受光部の垂直方向の中央部に隣接した前記転送チャネル上に設けられ、前記受光部に蓄積された信号電荷を読み出して垂直方向に転送するための第１の転送電極と、前記第１の転送電極と同一の層の前記転送チャネル上に設けられ、第１の転送電極により転送された信号電荷を垂直方向に転送するための第２の転送電極と、前記行列の同行の前記第１の転送電極を水平方向に連結する第１の配線と、前記行列の同行の前記第２の転送電極を水平方向に連結する第２の配線とを備え、前記第１および第２の転送電極の膜厚は、前記第１および第２の配線をポリシリコンで構成した場合の前記第１および第２の配線の膜厚より薄く構成され、前記第２の配線は、前記第２の転送電極上に設けられ、前記第１の配線は、前記第２の配線の上層に設けられ水平方向に延びる水平部と、前記水平部から延長して枝状に垂直方向に延びて前記第１の転送電極上に延びる枝葉部とを有し、前記枝葉部は、第１の転送電極上に延びる前記枝葉部の上方に透明な層間絶縁膜の空間を作るように前記水平部から前記第１の転送電極に向かって折れ曲がり前記第１の転送電極上に延びることを特徴とする。
また、本発明の固体撮像装置の製造方法は、水平方向および垂直方向に行列状に配置された複数の受光部と、前記受光部に蓄積された信号電荷を垂直方向に転送するための複数列の転送チャネルとを半導体基板に形成する工程と、前記受光部の垂直方向の中央部に隣接した前記転送チャネル上に前記受光部に蓄積された信号電荷を読み出して垂直方向に転送するための第１の転送電極を形成し、同時に、前記第１の転送電極と同一の層の前記転送チャネル上に前記第１の転送電極により転送された信号電荷を垂直方向に転送するための第２の転送電極を形成する転送電極形成工程と、前記行列の同行の前記第２の転送電極を水平方向に連結する第２の配線を形成する第２の配線形成工程と、前記行列の同行の前記第１の転送電極を水平方向に連結する第１の配線を形成する第１の配線形成工程とを含み、前記転送電極形成工程は、前記第１および第２の転送電極の膜厚を前記第１および第２の配線をポリシリコンで構成した場合の前記第１および第２の配線の膜厚より薄く形成し、前記第２の配線形成工程は、前記第２の配線を前記第２の転送電極上に形成し、前記第１の配線形成工程は、前記第１の配線を、前記第２の配線の上層に設けられ水平方向に延びる水平部と、前記水平部から延長して枝状に垂直方向に延びて前記第１の転送電極上に延びる枝葉部とで形成し、前記枝葉部を、前記第１の転送電極に延びる前記枝葉部の上方に透明な層間絶縁膜の空間を作るように前記水平部から前記第１の転送電極に向かって折れ曲がり前記第１の転送電極上に延びるように形成することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、本発明の固体撮像装置は、水平方向および垂直方向に行列状に配置された複数の受光部と、前記受光部に蓄積された信号電荷を垂直方向に転送するための複数列の転送チャネルと、前記受光部の垂直方向の中央部に隣接した前記転送チャネル上に設けられ、前記受光部に蓄積された信号電荷を読み出して垂直方向に転送するための第１の転送電極と、前記第１の転送電極と同一の層の前記転送チャネル上に設けられ、前記第１の転送電極により転送された信号電荷を垂直方向に転送するための第２の転送電極と、前記行列の同行の前記第１の転送電極を水平方向に連結する第１の配線と、前記第１の配線と同一の層で形成され、前記行列の同行の前記第２の転送電極を水平方向に連結する第２の配線とを備え、前記第１および第２の転送電極の膜厚は、前記第１および第２の配線をポリシリコンで構成した場合の前記第１および第２の配線の膜厚に比べ薄く構成され、前記第２の配線は、前記第２の転送電極上に設けられ、前記第１の配線は、前記第２の配線に近接して水平方向に延びる水平部と、前記水平部から延長して枝状に垂直方向に延びて前記第１の転送電極上に延びる枝葉部とを有し、前記枝葉部は、コンタクトを介して前記第１の転送電極に接続されることを特徴とする。
また、本発明の固体撮像装置の製造方法は、水平方向および垂直方向に行列状に配置された複数の受光部と、前記受光部に蓄積された信号電荷を垂直方向に転送するための複数列の転送チャネルとを半導体基板に形成する工程と、前記受光部の垂直方向の中央部に隣接した前記転送チャネル上に前記受光部に蓄積された信号電荷を読み出して垂直方向に転送するための第１の転送電極を形成し、同時に、前記第１の転送電極と同一の層の前記転送チャネル上に前記第１の転送電極により転送された信号電荷を垂直方向に転送するための第２の転送電極を形成する転送電極形成工程と、前記行列の同行の前記第１の転送電極を水平方向に連結する第１の配線と、前記行列の同行の前記第２の転送電極を水平方向に連結する第２の配線とを同時に形成する配線形成工程とを含み、前記転送電極形成工程は、前記第１および第２の転送電極の膜厚を前記第１および第２の配線をポリシリコンで構成した場合の前記第１および第２の配線の膜厚より薄く形成し、前記配線形成工程は、前記第２の配線を前記第２の転送電極上に形成し、同時に、前記第１の配線を、前記第２の配線に近接して水平方向に延びる水平部と、前記水平部から延長して枝状に垂直方向に延びて前記第１の転送電極上に延びる枝葉部とで形成し、前記枝葉部をコンタクトを介して前記第１の転送電極に接続することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、本発明の固体撮像装置は、水平方向および垂直方向に行列状に配置された複数の受光部と、前記受光部に蓄積された信号電荷を垂直方向に転送するための複数列の転送チャネルと、前記受光部の垂直方向の中央部に隣接した前記転送チャネル上に設けられ、前記受光部に蓄積された信号電荷を読み出して垂直方向に転送するための第１の転送電極と、前記第１の転送電極と同一の層の前記転送チャネル上に設けられ、前記第１の転送電極により転送された信号電荷を垂直方向に転送するための第２の転送電極と、前記第１の転送電極と同一の層の前記転送チャネル上に設けられ、前記第２の転送電極により転送された信号電荷を垂直方向に転送するための第３の転送電極と、前記行列の同行の前記第１の転送電極を水平方向に連結する第１の配線と、前記行列の同行の前記第２の転送電極を水平方向に連結する第２の配線と、前記行列の同行の前記第３の転送電極を水平方向に連結する第３の配線とを備え、前記第１、第２および第３の転送電極の膜厚は、前記第１、第２および第３の配線をポリシリコンで構成した場合の前記第１、第２および第３の配線の膜厚に比べ薄く構成され、前記第２の配線は、前記第２の転送電極上に設けられ、前記第３の配線は、前記第２の配線と同層で前記第３の転送電極上に設けられ、前記第１の配線は、前記第２の配線および前記第３の配線の上層に設けられ水平方向に延びる水平部と、前記水平部から延長して枝状に垂直方向に延びて前記第１の転送電極上に延びる枝葉部とを有し、前記枝葉部は、第１の転送電極上に延びる前記枝葉部の上方に透明な層間絶縁膜の空間を作るように第１の水平部から前記第１の転送電極に向かって折れ曲がり前記第１の転送電極上に延びることを特徴とする。
また、本発明の固体撮像装置の製造方法は、水平方向および垂直方向に行列状に配置された複数の受光部と、前記受光部に蓄積された信号電荷を垂直方向に転送するための複数列の転送チャネルとを半導体基板に形成する工程と、前記受光部の垂直方向の中央部に隣接した前記転送チャネル上に前記受光部に蓄積された信号電荷を読み出して垂直方向に転送するための第１の転送電極を形成し、同時に、前記第１の転送電極と同一の層の前記転送チャネル上に、前記第１の転送電極により転送された信号電荷を垂直方向に転送するための第２の転送電極と、前記第２の転送電極により転送された信号電荷を垂直方向に転送するための第３の転送電極とを形成する転送電極形成工程と、前記行列の同行の前記第２の転送電極を水平方向に連結する第２の配線と、前記行列の同行の前記第３の転送電極を水平方向に連結する第３の配線とを同時に形成する第１の配線形成工程と、前記行列の同行の前記第１の転送電極を水平方向に連結する第１の配線を形成する第２の配線形成工程とを含み、前記転送電極形成工程は、前記第１、第２および第３の転送電極の膜厚を前記第１、第２および第３の配線をポリシリコンで構成した場合の前記第１、第２および第３の配線の膜厚より薄く形成し、前記第１の配線形成工程は、前記第２の配線を前記第２の転送電極上に、前記第３の配線を前記第３の転送電極上に形成し、前記第２の配線形成工程は、第１の配線を、前記第２の配線および前記第３の配線の上層に設けられ水平方向に延びる水平部と、前記水平部から延長して枝状に垂直方向に延びて前記第１の転送電極上に延びる枝葉部とで形成し、前記枝葉部を、前記第１の転送電極に延びる前記枝葉部の上方に透明な層間絶縁膜の空間を作るように第１の水平部から前記第１の転送電極に向かって折れ曲がり前記第１の転送電極上に延びるように形成することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、本発明の固体撮像装置は、水平方向および垂直方向に行列状に配置された複数の受光部と、前記受光部に蓄積された信号電荷を垂直方向に転送するための複数列の転送チャネルと、前記受光部の垂直方向の中央部に隣接した前記転送チャネル上に設けられ、前記受光部に蓄積された信号電荷を読み出して垂直方向に転送するための第１の転送電極と、前記第１の転送電極と同一の層の前記転送チャネル上に設けられ、前記第１の転送電極により転送された信号電荷を垂直方向に転送するための第２の転送電極と、前記第１の転送電極と同一の層の前記転送チャネル上に設けられ、前記第２の転送電極により転送された信号電荷を垂直方向に転送するための第３の転送電極と、前記行列の同行の前記第１の転送電極を水平方向に連結する第１の配線と、前記行列の同行の前記第２の転送電極を水平方向に連結する第２の配線と、前記行列の同行の前記第３の転送電極を水平方向に連結する第３の配線とを備え、前記第１、第２および第３の転送電極の膜厚は、前記第１、第２および第３の配線をポリシリコンで構成した場合の前記第１、第２および第３の配線の膜厚より薄く構成され、前記第２の配線は、前記第２の転送電極上に設けられ、前記第１の配線は、前記第２の配線の上層に設けられ水平方向に延びる第１の水平部と、前記第１の水平部から延長して枝状に垂直方向に延びて前記第１の転送電極上に延びる第１の枝葉部とを有し、前記第３の配線は、前記第１の配線と同層に設けられ水平方向に延びる第３の水平部と、前記第３の水平部から延長して枝状に垂直方向に延びて前記第３の転送電極上に延びる第３の枝葉部とを有し、前記第１の枝葉部は、前記第１の転送電極上に延びる前記第１の枝葉部の上方に透明な層間絶縁膜の空間を作るように第１の水平部から前記第１の転送電極に向かって折れ曲がり前記第１の転送電極上に延びることを特徴とする。
また、本発明の固体撮像装置の製造方法は、水平方向および垂直方向に行列状に配置された複数の受光部と、前記受光部に蓄積された信号電荷を垂直方向に転送するための複数列の転送チャネルとを半導体基板に形成する工程と、前記受光部の垂直方向の中央部に隣接した前記転送チャネル上に設けられ、前記受光部に蓄積された信号電荷を読み出して垂直方向に転送するための第１の転送電極を形成し、同時に、前記第１の転送電極と同一の層の前記転送チャネル上に、前記第１の転送電極により転送された信号電荷を垂直方向に転送するための第２の転送電極と、前記第２の転送電極により転送された信号電荷を垂直方向に転送するための第３の転送電極とを形成する転送電極形成工程と、前記行列の同行の前記第２の転送電極を水平方向に連結する第２の配線を形成する第１の配線形成工程と、前記行列の同行の前記第１の転送電極を水平方向に連結する第１の配線と、前記行列の同行の前記第３の転送電極を水平方向に連結する第３の配線とを同時に形成する第２の配線形成工程とを含み、前記転送電極形成工程は、前記第１、第２および第３の転送電極の膜厚を前記第１、第２および第３の配線をポリシリコンで構成した場合の前記第１、第２および第３の配線の膜厚より薄く形成し、前記第１の配線形成工程は、前記第２の配線を前記第２の転送電極上に形成し、前記第２の配線形成工程は、前記第１の配線を、前記第２の配線の上層に設けられ水平方向に延びる第１の水平部と、前記第１の水平部から延長して枝状に垂直方向に延びて前記第１の転送電極上に延びる第１の枝葉部とで形成するとともに、前記第３の配線を、前記第１の配線と同層に設けられ水平方向に延びる第３の水平部と、前記第３の水平部から延長して枝状に垂直方向に延びて前記第３の転送電極上に延びる第３の枝葉部とで形成し、前記第１の枝葉部を、前記第１の転送電極に延びる前記第１の枝葉部の上方に透明な層間絶縁膜の空間を作るように第１の水平部から前記第１の転送電極に向かって折れ曲がり前記第１の転送電極上に延びるように形成することを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、本発明の撮像装置は、固体撮像装置を用いた撮像部と、前記撮像部を制御する制御部と、前記撮像部を操作する操作部とを有し、前記固体撮像装置は、水平方向および垂直方向に行列状に配置された複数の受光部と、前記受光部に蓄積された信号電荷を垂直方向に転送するための複数列の転送チャネルと、前記受光部の垂直方向の中央部に隣接した前記転送チャネル上に設けられ、前記受光部に蓄積された信号電荷を読み出して垂直方向に転送するための第１の転送電極と、前記第１の転送電極と同一の層の前記転送チャネル上に設けられ、第１の転送電極により転送された信号電荷を垂直方向に転送するための第２の転送電極と、前記行列の同行の前記第１の転送電極を水平方向に連結する第１の配線と、前記行列の同行の前記第２の転送電極を水平方向に連結する第２の配線とを備え、前記第１および第２の転送電極の膜厚は、前記第１および第２の配線をポリシリコンで構成した場合の前記第１および第２の配線の膜厚より薄く構成され、前記第２の配線は、前記第２の転送電極上に設けられ、前記第１の配線は、前記第２の配線の上層に設けられ水平方向に延びる水平部と、前記水平部から延長して枝状に垂直方向に延びて前記第１の転送電極上に延びる枝葉部とを有し、前記枝葉部は、第１の転送電極上に延びる前記枝葉部の上方に透明な層間絶縁膜の空間を作るように前記水平部から前記第１の転送電極に向かって折れ曲がり前記第１の転送電極上に延びることを特徴とする。
また、本発明の固体撮像装置は、水平方向および垂直方向に行列状に配置された複数の受光部と、前記受光部に蓄積された信号電荷を垂直方向に転送するための複数列の転送チャネルと、前記受光部の垂直方向の中央部に隣接した前記転送チャネル上に設けられ、前記受光部に蓄積された信号電荷を読み出して垂直方向に転送するための第１の転送電極と、前記第１の転送電極と同一の層の前記転送チャネル上に設けられ、第１の転送電極により転送された信号電荷を垂直方向に転送するための第２の転送電極と、前記行列の同行の前記第１の転送電極を水平方向に連結する第１の配線と、前記行列の同行の前記第２の転送電極を水平方向に連結する第２の配線とを備え、前記第１および第２の転送電極の膜厚は、前記第１および第２の配線をポリシリコンで構成した場合の前記第１および第２の配線の膜厚より薄く構成され、前記第２の配線は、前記第２の転送電極上に設けられ、前記第１の配線は、同行または隣の行の前記第２の配線に近接して設けられ水平方向に延びる第１の水平部と、前記第１の水平部から延長して枝状に垂直方向に延びて前記第１の転送電極上に延びる第１の枝葉部とを有し、前記第１の枝葉部は、第１の転送電極上に延びる前記第１の枝葉部の上方に透明な層間絶縁膜の空間を作るように前記第１の水平部から前記第１の転送電極に向かって折れ曲がり前記第１の転送電極上に延び、前記第１の配線および前記第２の配線は、それぞれ金属からなり、前記第１の転送電極および前記第２の転送電極を覆うように形成され、前記受光部の開口を形成する遮光膜を兼ねることを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明の固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法及び撮像装置によれば、第１および第２の転送電極が第１および第２の配線をポリシリコンで構成した場合に比べ薄い膜厚で形成される。第２の配線は、第２の転送電極上に設けられる。第１の配線は、第２の配線の上層に設けられ水平方向に延びる水平部と、水平部から延長して枝状に垂直方向に延びて第１の転送電極上に延びる枝葉部とを有し、枝葉部は、第１の転送電極上に延びる第１の配線上に透明な層間絶縁膜の空間を作るように水平部から第１の転送電極に向かって折れ曲がり第１の転送電極上に延びる。
このため、第１の配線の水平部と同じ高さにある部分で第１の配線の枝葉部の第１の転送電極上にある部分に透明な層間絶縁膜の空間を作ることができる。このため、受光部への水平方向の斜めからの入射光の遮りを低減することができる。したがって、受光部の感度を向上させることができる。一般にＣＣＤの受光部は垂直方向に長い矩形状に形成されるので、垂直方向の広角から光が入射しても感度低下は少ない。これに対し、水平方向の広角からの光は感度低下の影響が大きく、本発明のように、水平方向の入射光の遮りを低減することは、受光部の感度の向上に大きく貢献する。
また、第１および第２の転送電極が第１および第２の配線をポリシリコンで構成した場合に比べ薄い膜厚で形成される。第１および第２の転送電極の膜厚が薄いため、これらの間を層間絶縁膜で埋めるのが容易になり、第１の転送電極と第２の転送電極との間の間隔をできるだけ短くすることができ、これにより第１および第２の転送電極の面積をそれぞれ大きくすることができる。したがって、第１および第２の転送電極のキャパシタ容量を向上させ、より多くの電子の転送が可能になる。
また、第１および第２の転送電極の膜厚が薄いため、これらの対向する面積が小さくなる。したがって、第１および第２の転送電極間の容量を低減することができるので、ＲＣ時定数が低減され、高速駆動が可能となる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、本発明の固体撮像装置及びその製造方法によれば、第１および第２の転送電極は、第１および第２の配線をポリシリコンで構成した場合に比べ薄い膜厚で構成される。第２の配線は、第２の転送電極上に設けられる。第１の配線は、第２の配線に近接して水平方向に延びる水平部と、水平部から延長して枝状に垂直方向に延びて第１の転送電極上に延びる枝葉部とを有し、枝葉部は、コンタクトを介して第１の転送電極に接続される。
このため、受光部の垂直方向の開口は短くなるものの、第１および第２の配線を同層に同じ高さに形成することができるので、受光部の四方（水平方向および垂直方向）周囲の壁の高さを低くすることができる。したがって、受光部への広角の入射光の遮りを低減して受光部の感度を向上させることができる。また、第１および第２の配線を同層に形成することができるので、工程数を削減することができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また、本発明の固体撮像装置及びその製造方法によれば、第１、第２および第３の転送電極が第１、第２および第３の配線をポリシリコンで構成した場合に比べ薄い膜厚で形成される。第２の配線は、第２の転送電極上に設けられる。第３の配線は、第３の転送電極上に設けられる。第１の配線は、第２および第３の配線の上層に設けられ水平方向に延びる水平部と、水平部から延長して枝状に垂直方向に延びて第１の転送電極上に延びる枝葉部とを有し、枝葉部は、第１の転送電極上に延びる第１の配線上に透明な層間絶縁膜の空間を作るように水平部から第１の転送電極に向かって折れ曲がり第１の転送電極上に延びる。
このため、第１の配線の水平部と同じ高さにある部分で第１の配線の枝葉部の第１の転送電極上にある部分に透明な層間絶縁膜の空間を作ることができる。このため、受光部への水平方向の斜めからの入射光の遮りを低減することができる。したがって、受光部の感度を向上させることができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、本発明の固体撮像装置及びその製造方法によれば、第１、第２および第３の転送電極が第１、第２および第３の配線をポリシリコンで構成した場合に比べ薄い膜厚で形成される。第２の配線は、第２の転送電極上に設けられる。第１の配線は、第２および第３の配線の上層に設けられ水平方向に延びる第１の水平部と、第１の水平部から延長して枝状に垂直方向に延びて第１の転送電極上に延びる枝葉部とを有し、枝葉部は、第１の転送電極上に延びる第１の配線上に透明な層間絶縁膜の空間を作るように第１の水平部から第１の転送電極に向かって折れ曲がり第１の転送電極上に延びる。第３の配線は、第１の配線と同層に設けられ水平方向に延びる第３の水平部と、第３の水平部から延長して枝状に垂直方向に延びて第３の転送電極上に延びる第３の枝葉部とを有する。
このため、第１の配線の水平部と同じ高さにある部分で第１の配線の枝葉部の第１の転送電極上にある部分に透明な層間絶縁膜の空間を作ることができる。このため、受光部への水平方向の斜めからの入射光の遮りを低減することができる。したがって、受光部の感度を向上させることができる。
また、本発明の固体撮像装置によれば、第１の配線および第２の配線が遮光膜を兼ねるので、工程が削減される。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
以下、本発明の固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法及び撮像装置について図面を参照して説明する。
（実施の形態１）
図１は実施の形態１の固体撮像装置を示す図であり、図１（Ａ）は平面図、図１（Ｂ）は図１（Ａ）のＡ−Ａ’断面図、図１（Ｃ）は図１（Ａ）の転送電極の部分の説明図、図１（Ｄ）は図１（Ａ）の第２の配線部分の説明図である。
図２（Ａ）は図１に示される実施の形態１の固体撮像装置を示す平面図であり、図２（Ｂ）は図２（Ａ）のＢ−Ｂ’断面図である。図２（Ｃ）は図２６に示される従来の固体撮像装置を示す平面図であり、図２（Ｄ）は図２（Ｃ）のＢ−Ｂ’断面図である。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
第２の転送電極１２は、第２の転送電極１２上に設けられた第２の配線２２により行毎に水平方向に連結されている。第２の配線２２は、その下方に形成されたコンタクト部２２Ｃにより第２の転送電極１２に接続される。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
第１の転送電極１１は、第１の配線２１により行毎に水平方向に連結されている。第１の配線２１は、第２の配線２２の上層に水平方向に延びる水平部２１Ａと、水平部２１Ａから延長して転送チャネル２上に垂直方向に延びる枝葉部２１Ｂとからなる。枝葉部２１Ｂは、第１の転送電極１１上に延びる枝葉部２１Ｂの上方に図示しない透明な層間絶縁膜の空間を作るように水平部２１Ａから第１の転送電極１１に向かって折れ曲がり第１の転送電極上１１に延びる。枝葉部２１Ｂは、その下方のコンタクト部２１Ｃを介して第１の転送電極１１１に接続されている。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
実施の形態１によれば、第１の転送電極１１および第２の転送電極１２の膜厚は、第１の配線２１や第２の配線２２に比べ十分に薄くすることができる。このため、第１の転送電極１１の上方のゲート酸化膜３からの第１の配線２１の枝葉部２１Ｂの高さは、第１の転送電極１１の膜厚４０ｎｍに第１の配線２１の膜厚２００ｎｍを加えた２４０ｎｍとなり、図２６、図２（Ｃ）および図２（Ｄ）に示される従来の固体撮像装置のゲート酸化膜１０３からの第１の配線１１１の高さ４５０ｎｍに比べ格段に低くなる。このため、水平方向の広角からの光の入射のけられが低減され、受光部１の感度を向上させることができる。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
一般に固体撮像装置は、ＬＣＤやＣＲＴなどの表示装置と同様の画面サイズにするため、垂直方向に比べ水平方向の画面サイズが大きい。このため、第１の配線２１および第２の配線２２が水平方向に延びる固体撮像装置では、水平方向の最外周の画素のほうが垂直方向の最外周の画素より光が広角に入射してくる。水平方向の最外周の画素のほうが転送電極や配線によりけられてしまう光の量が多く、その感度低下が大きい。したがって、第１の転送電極１１上の第１配線２１の枝葉部２１Ｂの上方に図示しない透明な層間絶縁膜の空間を作り、水平方向からの広角の光を取り入れる実施の形態１の固体撮像装置は、水平方向の最外周の画素の感度を向上させるのに大きく寄与する。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
前述のように、第１の配線２１の水平部２１Ａのゲート酸化膜３からの高さは、従来にくらべ若干高くなる。一般に受光部１の開口部は垂直方向に長い。このため、垂直方向から入射してくる光は、広角から入射してきても、受光部１の感度低下は小さい。実施の形態１の固体撮像装置のように水平方向からの広角の入射光を効率良く取り入れたほうが、受光部１の感度を向上させる上で改善効果が大きい。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
次に、図１０に示すように、層間絶縁膜３１の上に第１の配線２１となるポリシリコン４１を成膜する。次に、図１１に示すように、ポリシリコン４１の上にフォトレジストで第１の配線２１をパターニングし、そのフォトレジストをマスクにドライエッチッグ法によりポリシリコン４１を除去し、第１の配線２１を形成する。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
図２６、図２（Ｃ）および図２（Ｄ）に示される従来の固体撮像装置では、ゲート酸化膜１０３上に第１の転送電極１１１および第２の転送電極１１２を形成するためにドライエッチング法でポリシリコンを除去する際、特に受光部１０１の４隅の部分のゲート酸化膜１０３にダメージを与え、膜減りを起こしてしまう。膜減りが大きく半導体基板１００に達すると、受光部１０１の欠陥となり、欠陥から電子が湧き出ることになる。このゲート酸化膜１０３の膜減り量の制御は非常に難しい。
これに対し、実施の形態１によれば、第１の転送電極１１および第２の転送電極１２の膜厚を４０ｎｍ程度に薄くできるので、受光部１の４隅の部分のゲート酸化膜３のダメージが軽減され、受光部１の欠陥を有効に防止することができる。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
図１４は実施の形態３の第１の変形例の固体撮像装置を示す図であり、図１４（Ａ）は平面図、図１４（Ｂ）は図１４（Ａ）のＡ−Ａ’断面図、図１４（Ｃ）は図１４（Ａ）のＢ−Ｂ’断面図、図１４（Ｄ）は図１４（Ａ）の第２の配線の部分の説明図、図１４（Ｅ）は図１４（Ａ）の第１の配線の部分の説明図である。
図１４に示すように、この固体撮像装置は、図１３に示される第１の配線２３および第２の配線２４をそれぞれ第１の配線７１および第２の配線７２に置き換えたものである。第１の配線７１および第２の配線７２の配線幅は、第１の転送電極１１および第２の転送電極１２を覆うように広くされている。また、第１の配線７１の枝葉部７１Ｂは、隣の行の第２の配線７２上に重なるように第１の転送電極１１からさらに延長されている。第１の配線７１の枝葉部７１Ｂは、第１の転送電極１１の両側面を覆っている。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
図１８は実施の形態３の第５の変形例の固体撮像装置を示す図であり、図１８（Ａ）は平面図、図１８（Ｂ）は図１８（Ａ）のＡ−Ａ’断面図、図１８（Ｃ）は図１８（Ａ）のＢ−Ｂ’断面図、図１８（Ｄ）は図１８（Ａ）の第２の配線の部分の説明図、図１８（Ｅ）は図１８（Ａ）の第１の配線の部分の説明図である。
図１８に示すように、この固体撮像装置は、第１の転送電極１１に接続される第１の配線８１と第２の転送電極に接続される第２の配線８２とを備える。第２の配線８２は、第２の電極上に水平方向に設けられた水平部８２Ａを有する。第１の配線８１は隣の行の第２の配線８２の水平部８２Ａに近接して水平方向に設けられた水平部８１Ａと、水平部８１Ａから枝状に垂直方向に延び第１の転送電極１１に達する枝葉部８１Ｂとを有する。第１の配線８１の枝葉部８１Ｂは、第１の転送電極１１とほぼ同じ幅で広がり、水平部８１Ａから第１の転送電極１１を通り第２の配線８２の水平部８２Ａに近づくように延びる。第２の配線８２は、その水平部８２Ａから延長して延びて第１の配線の枝葉部８１Ｂの下の第１の転送電極１１および第２の転送電極１２の垂直方向の両辺に沿って延びる２本の枝葉部８２Ｂおよび８２Ｃを有する。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
第２の配線２６は、第２の転送電極１２上に設けられ、第２の配線２６の下方のコンタクト部２６Ｃにより第２の転送電極１２に接続されている。第１の配線２５は、第２の配線に近接して並列に設けられ、第２の転送電極１２の上方に水平方向に延びる水平部２５Ａと、水平部２５Ａから延長して転送チャネル２上に垂直方向に延びる枝葉部２５Ｂとからなる。枝葉部２５Ｂは、その下方のコンタクト部２５Ｃを介して第１の転送電極１１１に接続されている。
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
第２の配線５２は、第２の転送電極１２上に設けられ、水平方向に延び、その下方のコンタクト部５２Ｃを介して第２の転送電極１２に接続される。第３の配線５３は、第３の転送電極１３上に設けられ、水平方向に延び、その下方のコンタクト部５３Ｃを介して第３の転送電極１３に接続される。
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６８】
第１の配線５１は、第２の配線５２および第３の配線５３の上層に水平方向に延びる水平部５１Ａと、水平部５１Ａから延長して転送チャネル２上に垂直方向に延びる枝葉部５１Ｂとからなる。枝葉部５１Ｂは、第１の転送電極１１上に延びる枝葉部５１Ｂの上方に図示しない透明な層間絶縁膜の空間を作るように水平部５１Ａから第１の転送電極１１に向かって折れ曲がり第１の転送電極上１１に延びる。枝葉部５１Ｂは、その下方のコンタクト部５１Ｃを介して第１の転送電極１１に接続されている。
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
実施の形態７によれば、実施の形態１と同様に、第１の転送電極上の第１の配線５１の枝葉部５１Ｂの上方に透明な層間絶縁膜の空間を作り、水平方向の広角からの光のけられを低減している。したがって、受光部１の感度を向上させることができる。
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７２】
第１の配線６１は、同行の第１の転送電極１１を水平方向に連結する。第２の配線６２は、同行の第２の転送電極１２を水平方向に連結する。第３の配線６３は、同行の第３の転送電極１３を水平方向に連結する。
第２の配線６２は、第２の転送電極１２上に設けられ、水平方向に延び、その下方のコンタクト部６２Ｃを介して第２の転送電極１２に接続されている。
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
第１の配線６１は、第２の配線６２の上層に水平方向に延びる水平部６１Ａと、水平部６１Ａから延長して転送チャネル２上に垂直方向に延びる枝葉部６１Ｂとからなる。枝葉部６１Ｂは、第１の転送電極１１上に延びる枝葉部６１Ｂの上方に図示しない透明な層間絶縁膜の空間を作るように水平部６１Ａから第１の転送電極１１に向かって折れ曲がり第１の転送電極１１上に延びる。枝葉部６１Ｂは、その下方のコンタクト部６１Ｃを介して第１の転送電極１１に接続されている。
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７４】
第３の配線６３は、第２の配線６２の上層に水平方向に延びる水平部６３Ａと、水平部６３Ａから延長して転送チャネル２上に垂直方向に延びる枝葉部６３Ｂとからなる。枝葉部６３Ｂは、水平部６３Ａから第１の転送電極１１に向かって折れ曲がり第３の転送電極１３上に延びる。枝葉部６３Ｂは、第３の転送電極１３に接続されている。
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７６】
実施の形態８によれば、実施の形態７と同様に、第１の転送電極上の第１の配線６１の枝葉部６１Ｂの上方に透明な層間絶縁膜の空間を作り、水平方向の広角からの光のけられを低減している。したがって、受光部１の感度を向上させることができる。
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８２】
また、本発明の固体撮像装置及び撮像装置において、撮像対象（被写体）としては、人や景色等の一般的な映像に限らず、偽札検出器や指紋検出器等の特殊な微細画像パターンの撮像にも適用できるものである。この場合の装置構成としては、図２５に示した一般的なカメラ装置ではなく、さらに特殊な撮像光学系やパターン解析を含む信号処理系を含むことになり、この場合にも本発明の作用効果を十分発揮して、精密な画像検出を実現することが可能となる。
さらに、遠隔医療や防犯監視、個人認証等のように遠隔システムを構成する場合には、上述のようにネットワークと接続した通信モジュールを含む装置構成とすることも可能であり、幅広い応用が実現可能である。
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８３】
【図１】実施の形態１の固体撮像装置を示す図であり、図１（Ａ）は平面図、図１（Ｂ）は図１（Ａ）のＡ−Ａ’断面図、図１（Ｃ）は図１（Ａ）の転送電極の部分の説明図、図１（Ｄ）は図１（Ａ）の第２の配線の部分の説明図である。
【図２】図２（Ａ）は図１に示される実施の形態１の固体撮像装置を示す平面図であり、図２（Ｂ）は図２（Ａ）のＢ−Ｂ’断面図である。図２（Ｃ）は図２６に示される従来の固体撮像装置を示す平面図であり、図２（Ｄ）は図２（Ｃ）のＢ−Ｂ’断面図である。
【図３】実施の形態１の固体撮像装置の製造方法を示す図であり、図３（Ａ）は平面図、図３（Ｂ）は図３（Ａ）のＡ−Ａ’断面図、図３（Ｃ）は図３（Ａ）のＢ−Ｂ’断面図、図３（Ｄ）は図３（Ａ）のＣ−Ｃ’断面図である。
【図４】実施の形態１の固体撮像装置の製造方法を示す図であり、図４（Ａ）は平面図、図４（Ｂ）は図４（Ａ）のＡ−Ａ’断面図、図４（Ｃ）は図４（Ａ）のＢ−Ｂ’断面図、図４（Ｄ）は図４（Ａ）のＣ−Ｃ’断面図である。
【図５】実施の形態１の固体撮像装置の製造方法を示す図であり、図５（Ａ）は平面図、図５（Ｂ）は図５（Ａ）のＡ−Ａ’断面図、図５（Ｃ）は図５（Ａ）のＢ−Ｂ’断面図、図５（Ｄ）は図５（Ａ）のＣ−Ｃ’断面図である。
【図６】実施の形態１の固体撮像装置の製造方法を示す図であり、図６（Ａ）は平面図、図６（Ｂ）は図６（Ａ）のＡ−Ａ’断面図、図６（Ｃ）は図６（Ａ）のＢ−Ｂ’断面図、図６（Ｄ）は図６（Ａ）のＣ−Ｃ’断面図である。
【図７】実施の形態１の固体撮像装置の製造方法を示す図であり、図７（Ａ）は平面図、図７（Ｂ）は図７（Ａ）のＡ−Ａ’断面図、図７（Ｃ）は図７（Ａ）のＢ−Ｂ’断面図、図７（Ｄ）は図７（Ａ）のＣ−Ｃ’断面図である。
【図８】実施の形態１の固体撮像装置の製造方法を示す図であり、図８（Ａ）は平面図、図８（Ｂ）は図８（Ａ）のＡ−Ａ’断面図、図８（Ｃ）は図８（Ａ）のＢ−Ｂ’断面図、図８（Ｄ）は図８（Ａ）のＣ−Ｃ’断面図である。
【図９】実施の形態１の固体撮像装置の製造方法を示す図であり、図９（Ａ）は平面図、図９（Ｂ）は図９（Ａ）のＡ−Ａ’断面図、図９（Ｃ）は図９（Ａ）のＢ−Ｂ’断面図、図９（Ｄ）は図９（Ａ）のＣ−Ｃ’断面図である。
【図１０】実施の形態１の固体撮像装置の製造方法を示す図であり、図１０（Ａ）は平面図、図１０（Ｂ）は図１０（Ａ）のＡ−Ａ’断面図、図１０（Ｃ）は図１０（Ａ）のＢ−Ｂ’断面図、図１０（Ｄ）は図１０（Ａ）のＣ−Ｃ’断面図である。
【図１１】実施の形態１の固体撮像装置の製造方法を示す図であり、図１１（Ａ）は平面図、図１１（Ｂ）は図１１（Ａ）のＡ−Ａ’断面図、図１１（Ｃ）は図１１（Ａ）のＢ−Ｂ’断面図、図１１（Ｄ）は図１１（Ａ）のＣ−Ｃ’断面図である。
【図１２】実施の形態２の固体撮像装置を示す図であり、図１２（Ａ）は平面図、図１２（Ｂ）は図１２（Ａ）のＡ−Ａ’断面図である。
【図１３】実施の形態３の固体撮像装置を示す図であり、図１３（Ａ）は平面図、図１３（Ｂ）は図１３（Ａ）のＡ−Ａ’断面図、図１３（Ｃ）は図１３（Ａ）のＢ−Ｂ’断面図、図１３（Ｄ）は図１３（Ａ）の第２の配線の部分の説明図、図１３（Ｅ）は図１３（Ａ）の第１の配線の部分の説明図である。
【図１４】実施の形態３の第１の変形例の固体撮像装置を示す図であり、図１４（Ａ）は平面図、図１４（Ｂ）は図１４（Ａ）のＡ−Ａ’断面図、図１４（Ｃ）は図１４（Ａ）のＢ−Ｂ’断面図、図１４（Ｄ）は図１４（Ａ）の第２の配線の部分の説明図、図１４（Ｅ）は図１４（Ａ）の第１の配線の部分の説明図である。
【図１５】実施の形態３の第２の変形例の固体撮像装置を示す図であり、図１５（Ａ）は平面図、図１５（Ｂ）は図１５（Ａ）のＡ−Ａ’断面図、図１５（Ｃ）は図１５（Ａ）のＢ−Ｂ’断面図、図１５（Ｄ）は図１５（Ａ）の第１の配線の部分の説明図、図１５（Ｅ）は図１５（Ａ）の第２の配線の部分の説明図である。
【図１６】実施の形態３の第３の変形例の固体撮像装置を示す図であり、図１６（Ａ）は平面図、図１６（Ｂ）は図１６（Ａ）のＡ−Ａ’断面図、図１６（Ｃ）は図１６（Ａ）のＢ−Ｂ’断面図、図１６（Ｄ）は図１６（Ａ）の第１の配線の部分の説明図、図１６（Ｅ）は図１６（Ａ）の第２の配線の部分の説明図である。
【図１７】実施の形態３の第４の変形例の固体撮像装置を示す図であり、図１７（Ａ）は平面図、図１７（Ｂ）は図１７（Ａ）のＡ−Ａ’断面図、図１７（Ｃ）は図１７（Ａ）のＢ−Ｂ’断面図、図１７（Ｄ）は図１７（Ａ）の第２の配線の部分の説明図、図１７（Ｅ）は図１７（Ａ）の第１の配線の部分の説明図である。
【図１８】実施の形態３の第５の変形例の固体撮像装置を示す図であり、図１８（Ａ）は平面図、図１８（Ｂ）は図１８（Ａ）のＡ−Ａ’断面図、図１８（Ｃ）は図１８（Ａ）のＢ−Ｂ’断面図、図１８（Ｄ）は図１８（Ａ）の第２の配線の部分の説明図、図１８（Ｅ）は図１８（Ａ）の第１の配線の部分の説明図である。
【図１９】実施の形態４の固体撮像装置を示す図であり、図１９（Ａ）は平面図、図１９（Ｂ）は図１９（Ａ）のＡ−Ａ’断面図、図１９（Ｃ）は図１９（Ａ）の転送電極の部分の説明図、図１９（Ｄ）は図１９（Ａ）の第２の配線の部分の説明図である。
【図２０】実施の形態５の固体撮像装置を示す図であり、図２０（Ａ）は平面図、図２０（Ｂ）は図２０（Ａ）のＡ−Ａ’断面図、図２０（Ｃ）は図２０（Ａ）の転送電極の部分の説明図、図２０（Ｄ）は図２０（Ａ）の第２の配線の部分の説明図である。
【図２１】実施の形態６の固体撮像装置を示す図であり、図２１（Ａ）は平面図、図２１（Ｂ）は図２１（Ａ）のＡ−Ａ’断面図、図２１（Ｃ）は図２１（Ａ）の転送電極の部分の説明図、図２１（Ｄ）は図２１（Ａ）の第１および第２の配線の部分の説明図である。
【図２２】図２２（Ａ）は実施の形態６の固体撮像装置を示す平面図であり、図２２（Ｂ）は図２２（Ａ）のＢ−Ｂ’断面図である。図２２（Ｃ）は図２６に示される従来の固体撮像装置を示す平面図であり、図２２（Ｄ）は図２２（Ｃ）のＢ−Ｂ’断面図である。
【図２３】実施の形態７の固体撮像装置を示す図であり、図２３（Ａ）は平面図、図２３（Ｂ）は図２３（Ａ）のＡ−Ａ’断面図、図２３（Ｃ）は図２３（Ａ）の転送電極の部分の説明図、図２３（Ｄ）は図２３（Ａ）の第２および第３の配線の部分の説明図である。
【図２４】実施の形態８の固体撮像装置を示す図であり、図２４（Ａ）は平面図、図２４（Ｂ）は図２４（Ａ）のＡ−Ａ’断面図、図２４（Ｃ）は図２４（Ａ）の転送電極の部分の説明図、図２４（Ｄ）は図２４（Ａ）の第１および第２の配線の部分の説明図である。
【図２５】ＣＣＤイメージセンサを用いたカメラ装置の構成例を示すブロック図である。
【図２６】従来の固体撮像装置の一例を示す図であり、図２６（Ａ）は平面図、図２６（Ｂ）は図２６（Ａ）のＡ−Ａ’断面図、図２６（Ｃ）は図２６（Ａ）の転送電極の部分の説明図である。
【手続補正３２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2009081402.tif 000001
【手続補正３３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１３】
2009081402.tif 000002
【手続補正３４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１４】
2009081402.tif 000003
【手続補正３５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１５】
2009081402.tif 000004
【手続補正３６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１６】
2009081402.tif 000005
【手続補正３７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１７】
2009081402.tif 000006
【手続補正３８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１８】
2009081402.tif 000007
【手続補正３９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１９】
2009081402.tif 000008
【手続補正４０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２０】
2009081402.tif 000009