【手続補正書】
【提出日】平成22年1月28日(2010.1.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板本体と、前記基板本体の主面に設けられたパッドと、を有する支持基板と、前記パッドと電気的に接続され、外部から照射された光を受光する受光素子と、前記受光素子と電気的に接続された外部接続端子と、を備えた照度検出部品であって、
前記基板本体は、シリコンからなり、前記基板本体の前記主面側に前記受光素子をアレイ状に複数配置し、
透光性部材を前記基板本体に設けることにより、該透光性部材と前記基板本体との間に前記複数の受光素子を収容する気密な空間を形成したことを特徴とする照度検出部品。
【請求項２】
前記複数の受光素子は、前記外部から照射された光を受光する受光部を有し、
前記透光性部材の前記受光素子と対向する面に前記外部から照射された光を遮光する遮光部材を設けると共に、前記複数の受光素子の前記受光部と対向する部分の前記遮光部材に前記外部から照射された光を通過させる開口部を設けたことを特徴とする請求項１記載の照度検出部品。
【請求項３】
前記開口部の直径は、前記受光部の有効エリアの直径よりも小さいことを特徴とする請求項２記載の照度検出部品。
【請求項４】
前記パッドは、めっき膜からなることを特徴とする請求項１ないし３のうち、いずれか一項記載の照度検出部品。
【請求項５】
前記透光性部材に前記受光素子を収容するための凹部を形成すると共に、
前記支持基板を平板形状としたことを特徴とする請求項１ないし４のうち、いずれか一項記載の照度検出部品。
【請求項６】
前記支持基板に前記受光素子を収容するための凹部を形成すると共に、
前記透光性部材を平板形状としたことを特徴とする請求項１ないし４のうち、いずれか一項記載の照度検出部品。
【請求項７】
前記透光性部材は、ガラスからなり、
前記基板本体と前記透光性部材とを陽極接合したことを特徴とする請求項１ないし６のうち、いずれか一項記載の照度検出部品。
【請求項８】
前記基板本体を貫通し、前記パッドと電気的に接続された貫通ビアを設けると共に、前記基板本体の前記主面とは反対側に位置する前記貫通ビアの端部と前記外部接続端子とを電気的に接続したことを特徴とする請求項１ないし７のうち、いずれか一項記載の照度検出部品。
【請求項９】
前記透光性部材の前記受光素子と対向する面と反対側の面に、前記透光性部材の面において前記外部から照射された光が反射されることを防止する反射防止部材を設けたことを特徴とする請求項１ないし８のうち、いずれか一項記載の照度検出部品。
【請求項１０】
請求項１ないし９のうち、いずれか一項記載の照度検出部品を複数有すると共に、
平面視した状態において、露光装置により露光される配線基板と略等しい外形を有する板体と、前記板体に設けられ、前記照度検出部品に設けられた前記外部接続端子と電気的に接続される配線パターンと、を有する照度検出部品配設板を備えたことを特徴とする照度検出装置。
【請求項１１】
支持基板と、
該支持基板に配設されており、外部から照射された光を受光する受光部を有する受光素子と、
外部から照射された光を透過させる材質により形成されており、前記支持基板に接合されることにより、前記支持基板との間で前記受光素子を気密に封止する透光性部材と、
前記受光素子と電気的に接続された外部接続端子とを有しており、
前記受光素子を、前記複数の受光部が同一チップ上にアレイ状に形成された構成としたことを特徴とする照度検出部品。
【請求項１２】
前記透光性部材の前記受光素子と対向する面に、前記外部から照射された光を遮光する遮光部材を設けると共に、前記受光部と対向する部分に前記外部から照射された光を通過させる開口部を設けたことを特徴とする請求項１１記載の照度検出部品。
【請求項１３】
前記開口部の直径は、前記受光部の有効エリアの直径よりも小さいことを特徴とする請求項１２記載の照度検出部品。
【請求項１４】
前記支持基板と前記透光性部材とを陽極接合したことを特徴とする請求項１１ないし１３のうち、いずれか一項記載の照度検出部品。
【請求項１５】
前記透光性部材に前記受光素子を封止するための凹部を形成すると共に、
前記支持基板を平板形状としたことを特徴とする請求項１１ないし１４のうち、いずれか一項記載の照度検出部品。
【請求項１６】
前記支持基板に前記受光素子を封止するための凹部を形成すると共に、
前記透光性部材を平板形状としたことを特徴とする請求項１１ないし１４のうち、いずれか一項記載の照度検出部品。
【請求項１７】
前記支持基板の基板本体はシリコンからなり、前記透光性部材はガラスからなることを特徴とする請求項１１ないし１６のうち、いずれか一項に記載の照度検出部品。
【請求項１８】
前記透光性部材の前記受光素子と対向する面と反対側の面に、前記透光性部材の面において前記外部から照射された光が反射されることを防止する反射防止部材を設けたことを特徴とする請求項１１ないし１７のうち、いずれか一項記載の照度検出部品。
【請求項１９】
請求項１１ないし１８のうち、いずれか一項記載の照度検出部品を複数有すると共に、
平面視した状態において、露光装置により露光される配線基板と略等しい外形を有する板体と、
前記板体に設けられ、前記照度検出部品に設けられた前記外部接続端子と電気的に接続される配線パターンと、を有する照度検出部品配設板を備えたことを特徴とする照度検出装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
本発明の一観点によれば、基板本体と、前記基板本体の主面に設けられたパッドと、を有する支持基板と、前記パッドと電気的に接続され、外部から照射された光を受光する受光素子と、前記受光素子と電気的に接続された外部接続端子と、を備えた照度検出部品であって、前記基板本体は、シリコンからなり、前記基板本体の前記主面側に前記受光素子をアレイ状に複数配置し、透光性部材を前記基板本体に設けることにより、該透光性部材と前記基板本体との間に前記複数の受光素子を収容する気密な空間を形成したことを特徴とする照度検出部品が提供される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
本発明によれば、１つの支持基板に複数の受光素子をアレイ状に配置することにより、受光素子の配設ピッチを狭くすることが可能となるため、外部から照射された光の照度の詳細な分布を検出することができる。また、基板本体をシリコンから構成することにより、基板本体に反りが発生しにくくなるため、所望の支持基板上の位置に複数の受光素子を高精度に配置することが可能となるため、複数の受光素子により検出される光の照度の信頼性を向上させることができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
また、前記開口部の直径を前記受光部の有効エリアの直径よりも小さくしてもよい。これにより、有効エリア以外の受光部に光が照射されることがなくなるため、複数の受光素子が検出する光の照度の信頼性を向上させることができる。
また、前記パッドとしてめっき膜を用いてもよい。これにより、パッドを導体が形成されたグリーンシートを焼結することで形成した場合（基板本体がセラミックの場合）と比較して、パッドのサイズを小さく形成することが可能となるため、複数の受光素子の配設ピッチを更に狭くすることができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
本発明の他の観点によれば、前記請求項１ないし９のうち、いずれか一項記載の照度検出部品を複数有すると共に、平面視した状態において、露光装置により露光される配線基板と略等しい外形を有する板体と、前記板体に設けられ、前記照度検出部品に設けられた前記外部接続端子と電気的に接続される配線パターンと、を有する照度検出部品配設板を備えたことを特徴とする照度検出装置が提供される。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
本発明によれば、支持基板に配設された受光素子の一チップ上に、複数の受光部がアレイ状に形成されるため、受光部の配設ピッチを更に狭くすることが可能となり、よって外部から照射された光の照度の詳細な分布を検出することができる。また、基板に対して複数の受光素子を位置決めして搭載する必要はなく、１チップの受光素子を支持基板に搭載すればいいため、組み立て作業の簡単化を図ることができる。
また、前記透光性部材の前記受光素子と対向する面に、前記外部から照射された光を遮光する遮光部材を設けると共に、前記受光部と対向する部分に前記外部から照射された光を通過させる開口部を設けてもよい。これにより、複数の受光素子がそれぞれの受光素子の配設位置に照射された光の照度のみを検出することが可能となるため、狭い範囲の光の照度を検出することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】削除
【補正の内容】