(57)【要約】【課題】複数の遮熱板を備えた遮熱体において、組立解体性をより向上させる。【解決手段】厚さ方向（上下方向）に互いに隣接する遮熱板２０のうち少なくとも一方に１以上の突出部２１ａ，２２ａが形成されている。具体的には、厚さ方向に互いに隣接する遮熱板２１，２２のうち遮熱板２１に突出部２１ａが形成されている。また、厚さ方向に互いに隣接する遮熱板２２，２３のうち遮熱板２２に突出部２２ａが形成されている。そして、突出部２１ａ，２２ａが隣接する遮熱板２２，２３に接触することで、隣接する遮熱板２０同士（遮熱板２１，２２同士、遮熱板２２，２３同士）が厚さ方向に隙間を有しつつ支持されている。【選択図】図２
0003193059.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
被取付部材に取り付けられた遮熱体であって、
厚さ方向に重ねられた複数の遮熱板と、
前記複数の遮熱板を前記被取付部材に固定する固定具と、
を備え、
前記複数の遮熱板は、厚さ方向に互いに隣接する遮熱板のうち少なくとも一方に１以上の突出部が形成されており、該突出部が隣接する遮熱板に接触することで、該隣接する遮熱板同士が厚さ方向に隙間を有しつつ支持されている、
遮熱体。
【請求項２】
前記突出部は、前記隣接する遮熱板と点接触している、
請求項１に記載の遮熱体。
【請求項３】
前記複数の遮熱板は、隣接する遮熱板同士が複数の前記突出部により複数箇所で支持されている、
請求項１又は２に記載の遮熱体。
【請求項４】
前記複数の遮熱板は、３枚以上の遮熱板であり、
前記突出部は、同方向に突出し且つ互いに隣接する遮熱板に形成された他の突出部がある場合に、該他の突出部と厚さ方向に重ならない位置に形成されている、
請求項１〜３のいずれか１項に記載の遮熱体。
【請求項５】
前記複数の遮熱板は、３枚以上の遮熱板であり、
前記複数の遮熱板のうち少なくとも厚さ方向の一端の１枚以外の遮熱板には、前記１以上の突出部がそれぞれ形成されており、いずれの前記突出部も同方向に突出している、
請求項１〜４のいずれか１項に記載の遮熱体。
【請求項６】
前記突出部は、ハーフパンチである、
請求項１〜５のいずれか１項に記載の遮熱体。
【請求項７】
前記固定具は、前記複数の遮熱板を貫通して前記被取付部材の孔に挿入された軸部と、前記軸部のうち前記複数の遮熱板からみて前記被取付部材とは反対側に取り付けられて前記複数の遮熱板を固定する固定部と、を有する、
請求項１〜６のいずれか１項に記載の遮熱体。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、遮熱体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、被処理物の熱処理を行う熱処理装置において、チャンバの内側又は外側に遮熱板を配置することが知られている。例えば、特許文献１に記載の熱処理装置は、内部に被処理物である基板を配置可能なチャンバと、チャンバの外側に配置されたヒータと、ヒータの外側に配置されアルミニウムなどからなる複数枚の熱シールド層（遮熱板）とを備えている。熱シールド層がヒータからの熱を反射して遮熱することで、ヒータの熱損失を減少させることができるとしている。
【０００３】
こうした遮熱板を複数厚さ方向に重ねてチャンバなどに固定する場合、従来はボルト及びワッシャが用いられていた。図６は、従来の遮熱板９２１〜９２３を固定する様子を示す部分断面図である。図６では、チャンバの壁部などの被取付部材９６０に対して、遮熱板９２１，９２２，９２３が厚さ方向（図の上下方向）でこの順に重ねられている。遮熱板９２１と被取付部材９６０との間には、円筒状の支持部材９４０が配置されている。遮熱板９２１，９２２間、及び遮熱板９２２，９２３間には、それぞれリング状のワッシャ９４１，９４２が配置されている。そして、遮熱板９２１〜９２３はボルト９５０を介して被取付部材９６０に固定されている。ボルト９５０は、遮熱板９２３，ワッシャ９４２，遮熱板９２２，ワッシャ９４１，遮熱板９２１，支持部材９４０をこの順に貫通して先端が被取付部材９６０の孔に挿入されている軸部９５１と、遮熱板９２３を下方向に押圧する頭部９５２と、を備えている。遮熱板９２１は、支持部材９４０が存在することで、被取付部材９６０から離間しつつ支持されている。また、遮熱板９２１，９２２間及び遮熱板９２２，９２３間は、それぞれワッシャ９４１，９４２により離間しつつ支持されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２５１１２６号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、図６のようにワッシャとを用いて複数の遮熱板間の隙間を空けつつ固定する場合、隣接する遮熱板間にワッシャを取り付ける必要があるため、複数の遮熱板を被取付部材に取り付ける際の組立性や解体性（以下、両者を合わせて組立解体性と称する）が悪いという問題があった。また、遮熱板の大きさによっては複数のボルトを用いて固定する必要があるが、その場合は複数のボルトと、各ボルトに取り付けるワッシャとが必要になり、部品点数が増えて組立解体性がさらに悪化するという問題があった。
【０００６】
本考案は、このような課題を解決するためになされたものであり、複数の遮熱板を備えた遮熱体において、組立解体性をより向上させることを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本考案の遮熱体は、
被取付部材に取り付けられた遮熱体であって、
厚さ方向に重ねられた複数の遮熱板と、
前記複数の遮熱板を前記被取付部材に固定する固定具と、
を備え、
前記複数の遮熱板は、厚さ方向に互いに隣接する遮熱板のうち少なくとも一方に１以上の突出部が形成されており、該突出部が隣接する遮熱板に接触することで、該隣接する遮熱板同士が厚さ方向に隙間を有しつつ支持されている、
ものである。
【０００８】
この本考案の遮熱体では、厚さ方向に互いに隣接する遮熱板のうち少なくとも一方に１以上の突出部が形成されている。そして、突出部が隣接する遮熱板に接触することで、隣接する遮熱板同士が厚さ方向に隙間を有しつつ支持されている。このように、遮熱板に形成された突出部により遮熱板同士の隙間を保つため、そのような突出部が形成されていないものと比較して、組立解体性が向上する。例えば、図６のワッシャ９４１，９４２のような離間部材を取り付けないものとしたり、取り付けるワッシャ９４１，９４２及びボルト９５０の数を減らしたりすることができ、これらの少なくとも一方の効果により、部品点数を削減することができ、組立解体性が向上する。ここで、遮熱板とは、断熱性を有する（熱の移動を抑制する）ものであればよく、例えば赤外線を反射可能なものや、熱伝導率が低いものを含む。また、本考案の遮熱体は、前記遮熱板と前記取付部材との間を離間して支持する支持部材を備えていてもよい。本考案の遮熱体において、前記突出部は、ハーフパンチとしてもよい。
【０００９】
本考案の遮熱体において、前記突出部は、前記隣接する遮熱板と点接触していてもよい。こうすれば、例えば突出部が隣接する遮熱板に面接触する場合と比較して、隣接する遮熱板間の熱伝導をより抑制することができ、遮熱の効果がより高まる。
【００１０】
本考案の遮熱体において、前記複数の遮熱板は、隣接する遮熱板同士が複数の前記突出部により複数箇所で支持されていてもよい。こうすれば、隣接する遮熱板同士が突出部により１箇所で支持されている場合と比較して、遮熱板の支持がより安定化する。この場合において、前記複数の遮熱板は、隣接する遮熱板同士が複数の前記突出部により３以上の複数箇所で支持されていてもよい。
【００１１】
本考案の遮熱体において、前記複数の遮熱板は、３枚以上の遮熱板であり、前記突出部は、同方向に突出し且つ互いに隣接する遮熱板に形成された他の突出部がある場合に、該他の突出部と厚さ方向に重ならない位置に形成されていてもよい。ここで、ある突出部と、隣接する遮熱板に形成された他の突出部とが、同方向に突出し且つ厚さ方向に重なる位置に形成されていると、突出方向の根元側の突出部（例えば突出方向が上方向の場合には下側の突出部）は厚さ方向の隙間を十分形成できない場合がある。隣接する遮熱板に形成された他の突出部と厚さ方向に重ならない位置に突出部を形成することで、そのようなことをより抑制できる。
【００１２】
本考案の遮熱体において、前記複数の遮熱板は、３枚以上の遮熱板であり、前記複数の遮熱板のうち少なくとも厚さ方向の一端の１枚以外の遮熱板には、前記１以上の突出部がそれぞれ形成されており、いずれの前記突出部も同方向に突出していてもよい。
【００１３】
本考案の遮熱体において、前記固定具は、前記複数の遮熱板を貫通して前記被取付部材の孔に挿入された軸部と、前記軸部のうち前記複数の遮熱板からみて前記被取付部材とは反対側に取り付けられて前記複数の遮熱板を固定する固定部と、を有していてもよい。この場合において、本考案の遮熱体は、隣接する遮熱板間に配置されて両遮熱板を離間しつつ支持し且つ前記軸部が貫通している離間部材（例えばワッシャなど）、を備えないものとしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】遮熱体１０の上面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ断面図である。
【図４】変形例の遮熱体１１０の断面図である。
【図５】変形例の遮熱体２１０の断面図である。
【図６】従来の遮熱板９２１〜９２３を固定する様子を示す部分断面図である。
【考案を実施するための形態】
【００１５】
次に、本考案を実施するための形態を図面を用いて説明する。図１は、本考案の一実施形態である遮熱体１０の上面図である。図２は、図１のＡ−Ａ断面図である。図３は、図１のＢ−Ｂ断面図である。遮熱体１０は、図１〜３に示すように、複数（本実施形態では３枚）の遮熱板２１〜２３と、固定具５０と、を備えている。この遮熱体１０は、被取付部材６０に取り付けられている。本実施形態では、被取付部材６０は例えば有機ＥＬ用のガラス基板などの被処理物を図示しないヒータにより真空状態で加熱処理する真空熱処理装置のチャンバの壁部であるものとした。また、遮熱体１０はチャンバの内側（ガラス基板を加熱処理する処理空間内）に取り付けられているものとした。本実施形態において、上下方向，左右方向及び前後方向は、図１〜３に示した通りとする。
【００１６】
遮熱板２１〜２３は、上方から見たときに長方形をしており前後左右方向に沿った平面を有する略平板上の部材である。遮熱板２１〜２３は、互いに前後左右の長さが同じであり、図２，３に示すように、被取付部材６０側から上方に向かって遮熱板２１，２２，２３の順に厚さ方向（上下方向）に重ねられている。遮熱板２１〜２３は、遮熱板２３の上側と遮熱板２１の下側との間の熱の移動を抑制するものであり、赤外線を反射可能な材質や、熱伝導率の低い材質などで構成されている。このような遮熱板２１〜２３の材質としては、例えばＳＵＳ材（ステンレス鋼），アルミニウム，モリブデン，タンタルなどの金属が挙げられる。本実施形態では、遮熱板２１〜２３は表面を研磨して赤外線の反射率を高めたＳＵＳ材からなるものとした。なお、遮熱板２１〜２３を特に区別しない場合には、遮熱板２０と表記する場合がある。
【００１７】
遮熱板２１，２２には、上方に突出する突出部２１ａ，２２ａがそれぞれ複数形成されている。なお、図１のように上から遮熱体１０を見た場合には突出部２１ａ，２２ａは遮熱板２３に隠れているため実際には見えないが、図１では遮熱板２３の下方の突出部２２ａやさらに遮熱板２２の下方の突出部２１ａの位置を破線で仮想的に示している。また、突出部２１ａと突出部２２ａとを塗りつぶしの有無で識別可能に図示している。図１に示すように、本実施形態では、突出部２１ａは２０個（前後方向に４個×左右方向に５個）形成され、突出部２２ａは２４個（前後方向に４個×左右方向に６個）形成されている。突出部２１ａと突出部２２ａとは、厚さ方向（上下方向）に互いに重ならない位置に形成されている。すなわち、図１のように上方から見たときに、突出部２１ａの位置と突出部２２ａの位置とがいずれも異なる（前後左右の少なくとも一方向にずれる）ように形成されている。本実施形態では、図１のように上から見たときに、突出部２１ａと突出部２２ａとが、左右方向に交互に配置されているものとした。また、左右方向に隣接する突出部２２ａ同士の中間の位置に突出部２１ａが位置するものとした。なお、遮熱板２１〜２３のうち最も上方に位置する遮熱板２３には、突出部は形成されていない。
【００１８】
突出部２１ａ，２２ａはいずれも略円錐状をしており、図２，３に示すように前後左右方向から見ると中央が盛り上がった山型をしている。複数の突出部２１ａは、いずれもこの中央の頂上部が隣接する遮熱板２２の下面に点接触している。そして、複数の突出部２１ａが遮熱板２１の上方に突出しつつ遮熱板２２の下面に接触していることで、遮熱板２１と遮熱板２２とが厚さ方向に隙間を有しつつ支持されている。換言すると、遮熱板２１のうち突出部２１ａ以外の部分（平板状の部分）と遮熱板２２とは、厚さ方向に離間している。同様に、複数の突出部２２ａは、いずれも中央の頂上部が隣接する遮熱板２３の下面に点接触している。そして、複数の突出部２２ａが遮熱板２２の上方に突出しつつ遮熱板２３の下面に接触していることで、遮熱板２２と遮熱板２３とが厚さ方向に隙間を有しつつ支持されている。換言すると、遮熱板２２のうち突出部２２ａ以外の部分（平板状の部分）と遮熱板２３とは、厚さ方向に離間している。突出部２１ａ，２２ａは、本実施形態では、ハーフパンチ加工で形成されたハーフパンチであるものとした。本実施形態のように略円錐状の突出部２１ａ，２２ａを形成するハーフパンチ加工は、例えば先端の尖ったセンターポンチを遮熱板２１，２２に衝突させて遮熱板２１，２２の一部を上方に押し出すことで行うことができる。
【００１９】
固定具５０は、複数の遮熱板２１〜２３を固定する部材である。固定具５０は、ヒンジピン５１と、割りピン５２，５３とを備えている。ヒンジピン５１は、円柱状の部材であり、図３に示すように、上方から遮熱板２３，２２，２１をこの順に貫通して先端（下端）が被取付部材６０のねじ孔６１に挿入されている。ねじ孔６１の内周面には雌ねじが形成されており、ヒンジピン５１の下端に形成された雄ねじがねじ孔６１の雌ねじと螺合することでヒンジピン５１は被取付部材６０に固定されている。ヒンジピン５１には、複数の遮熱板２１〜２３からみて被取付部材６０とは反対側（図３の上側）に左右方向に沿った貫通孔が形成されており、割りピン５２はこの貫通孔を貫通している（図１，３参照）。同様に、ヒンジピン５１には、複数の遮熱板２１〜２３からみて被取付部材６０側（図３の下側）に左右方向に沿った貫通孔が形成されており、割りピン５３はこの貫通孔を貫通している。遮熱板２１〜２３は、ヒンジピン５１に貫通され且つ割りピン５２，５３が上下に配置されていることで、固定されている。なお、固定具５０は遮熱板２１〜２３を固定できればよい。例えば割りピン５２，５３が遮熱板２１〜２３を厚さ方向（上下方向）に押圧する必要はなく、押圧していないことが好ましい。押圧していると、遮熱板２１〜２３同士の接触面積が増えて熱伝導が生じやすくなるためである。また、割りピン５２，５３は必ずしも遮熱板２０に接触している必要はない。例えば図３では割りピン５３は遮熱板２１に接触して遮熱板２１〜２３を下方から支持することになるが、割りピン５２は遮熱板２３に接触している必要はない。遮熱体１０は、同じ構造の固定具５０を複数備えており、本実施形態では図１に示すように６本（前後方向に２本×左右方向に３本）とした。ねじ孔６１や遮熱板２１〜２３の貫通孔は、複数のヒンジピン５１の数や位置に対応して形成されている。
【００２０】
こうして構成された遮熱体１０の果たす役割について説明する。遮熱体１０を備えたチャンバは、内部の処理空間に被処理物が配置され、処理空間内の図示しないヒータにより真空状態で被処理物を加熱処理する際に用いられる。このとき、遮熱体１０の遮熱板２０がヒータからの赤外線を反射することで、加熱効率を高めることができる。また、遮熱板２０がヒータとは反対側に位置する被取付部材６０への熱の移動を抑制（遮熱）することで、被取付部材６０の過熱を抑制することができる。なお、遮熱板２１〜２３は上述したように上下方向に隙間を有し且つ被取付部材６０とも隙間を有して固定されているため、遮熱板２３側から遮熱板被取付部材６０側への熱伝導がより抑制されて、遮熱板２０による遮熱の効果が高くなっている。
【００２１】
ここで、本実施形態の構成要素と本考案の構成要素との対応関係を明らかにする。本実施形態の遮熱板２０（遮熱板２１〜２３）が本考案の遮熱板に相当し、固定具５０が固定具に相当し、突出部２１ａ，２２ａが突出部に相当する。また、ヒンジピン５１が軸部に相当し、割りピン５２が固定部に相当する。
【００２２】
以上説明した本実施形態の遮熱体１０では、厚さ方向（上下方向）に互いに隣接する遮熱板２０のうち少なくとも一方に１以上の突出部２１ａ，２２ａが形成されている。具体的には、厚さ方向に互いに隣接する遮熱板２１，２２のうち遮熱板２１に突出部２１ａが形成されている。また、厚さ方向に互いに隣接する遮熱板２２，２３のうち遮熱板２２に突出部２２ａが形成されている。そして、突出部２１ａ，２２ａが隣接する遮熱板２２，２３に接触することで、隣接する遮熱板２０同士（遮熱板２１，２２同士、遮熱板２２，２３同士）が厚さ方向に隙間を有しつつ支持されている。このように、遮熱板２１，２２に形成された突出部２１ａ，２２ａにより遮熱板２０同士の隙間を保つため、そのような突出部２１ａ，２２ａが形成されていないものと比較して、遮熱体１０の組立解体性が向上する。例えば、突出部２１ａ，２２ａが形成されていない場合は、隣接する遮熱板２０同士の隙間を保つために図６のワッシャ９４１，９４２のような離間部材を取り付ける必要があるが、そのような部材が不要となる。また、突出部２１ａ，２２ａが形成されていない場合は、その分だけ図６のワッシャ９４１，９４２及びボルト９５０をより多くの箇所に取り付けて複数の遮熱板２０を支持する必要があるが、これらの部材の数（本実施形態では固定具５０の数）を減らすことができる。これらの少なくとも一方の効果により、部品点数を削減することができ、組立解体性が向上する。
【００２３】
また、突出部２１ａ，２２ａは、隣接する遮熱板２２，２３と点接触している。そのため、例えば突出部２１ａ，２２ａが隣接する遮熱板２２，２３に面接触する場合と比較して、隣接する遮熱板２０間の熱伝導をより抑制することができ、遮熱の効果がより高まる。
【００２４】
さらに、複数の遮熱板２０は、隣接する遮熱板２０同士が複数の突出部２１ａ，２２ａにより複数箇所で支持されている。すなわち、隣接する遮熱板２１，２２同士が複数の突出部２１ａにより複数箇所で支持され、隣接する遮熱板２２，２３同士が複数の突出部２２ａにより複数箇所で支持されている。そのため、隣接する遮熱板２０同士が突出部により１箇所で支持されている場合と比較して、遮熱板２０の支持がより安定化する。また、複数の遮熱板２０は、隣接する遮熱板２０同士が複数の突出部２１ａ，２２ａにより３以上の複数箇所で支持されている（突出部２１ａ，２２ａがそれぞれ３以上形成されている）ため、遮熱板２０の支持がさらに安定化する。
【００２５】
さらにまた、複数の遮熱板２０は、３枚の遮熱板であり、突出部２１ａ，２２ａは、同じ上方向に突出し且つ互いに隣接する遮熱板２０に形成された他の突出部２２ａ，２１ａがある場合に、他の突出部２２ａ，２１ａと厚さ方向に重ならない位置に形成されている。ここで、突出部２１ａと、隣接する遮熱板２２に形成された他の突出部２２ａとが、同方向に突出し且つ厚さ方向に重なる位置に形成されている場合を考える。この場合、突出方向の根元側に位置する突出部２１ａは、頂上部分が突出部２２ａの下面の凹みに入り込んでしまう。そのため、突出部２１ａが突出部２２ａと厚さ方向に重なる位置にあると、遮熱板２１と遮熱板２２との厚さ方向の隙間が小さくなってしまう場合がある。また、突出部２２ａと厚さ方向に重なる位置にある突出部２１ａは、遮熱板２２に接触できず遮熱板２１，２２間の支持や厚さ方向の隙間の形成に寄与しない場合がある。これらにより、厚さ方向の隙間を十分形成できない場合がある。隣接する遮熱板２０に形成された他の突出部２２ａ，２１ａと厚さ方向に重ならない位置に突出部２１ａ，２２ａを形成することで、そのようなことをより抑制できる。
【００２６】
そしてまた、複数の遮熱板２０は、３枚の遮熱板であり、複数の遮熱板２０のうち厚さ方向の上端の１枚である遮熱板２３以外の遮熱板２１，２２には、１以上の突出部２１ａ，２２ａがそれぞれ形成されており、いずれの突出部２１ａ，２２ａも同じ上方向に突出している。複数の突出部２１ａがいずれも同じ方向に突出している場合、例えば複数の突出部２１ａをハーフパンチ加工で同時に形成することができ、複数の突出部２１ａを形成しやすい。突出部２２ａについても同様である。
【００２７】
そしてまた、突出部２１ａ，２２ａは、ハーフパンチである。また、固定具５０は、複数の遮熱板２０を貫通して被取付部材６０のねじ孔６１に挿入されたヒンジピン５１と、ヒンジピン５１のうち複数の遮熱板２１〜２３からみて被取付部材６０とは反対側に取り付けられて複数の遮熱板２１〜２３を固定する割りピン５２と、を有する。また、固定具５０は、ヒンジピン５１のうち複数の遮熱板２１〜２３からみて被取付部材６０側に取り付けられて複数の遮熱板２１〜２３を固定する割りピン５３を有する。さらに、遮熱体１０は、隣接する遮熱板２０間に配置されて両遮熱板２０を離間しつつ支持し且つヒンジピン５１が貫通している離間部材（例えばワッシャなど）、を備えていない。
【００２８】
なお、本考案は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本考案の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。
【００２９】
例えば、上述した実施形態では、互いに隣接する遮熱板２１，２２にそれぞれ突出部２１ａ，２２ａが形成されているものとしたが、突出部により互いに隣接する遮熱板２０間の隙間を形成できれば、突出部はいずれの遮熱板２０にどのように形成してもよい。例えば、複数の突出部の方向が同じ方向でなくともよい。また、複数の遮熱板２０のうち上端の１枚である遮熱板２３以外の遮熱板２１，２２にそれぞれ突出部２１ａ，２２ａを形成したが、複数の遮熱板２０のうち下端の１枚である遮熱板２１以外の遮熱板２２，２３にそれぞれ突出部を形成してもよい。あるいは、複数の遮熱板２０の厚さ方向の両端の遮熱板２０にも突出部を形成してもよい。図４は、変形例の遮熱体１１０の断面図である。なお、図４は図２と同じ断面を示している。図４に示すように、遮熱体１１０は、遮熱板２２に代えて遮熱板１２２を有し、遮熱板２３に代えて遮熱板１２３を有しており、それ以外は遮熱体１０と同じ構成をしている。そのため、遮熱体１０と同じ構成要素については同じ符号を付して、詳細な説明や一部の図示（固定具５０など）を省略する。遮熱板１２２は、遮熱体１０の遮熱板２３と同様に突出部が形成されていない。遮熱板１２３は、下方に突出する突出部１２３ａが複数形成されている。この遮熱体１１０では、複数の突出部１２３ａが隣接する遮熱板２２の上面に点接触することで、隣接する遮熱板２２，２３同士が厚さ方向に隙間を有しつつ支持されている。そのため、この遮熱体１１０でも、上述した実施形態と同様に組立解体性が向上する効果が得られる。なお、遮熱体１１０では、図４に示すように、突出部２１ａと突出部１２３ａとが厚さ方向に重ならない位置に形成されているものとした。突出部２１ａと突出部１２３ａとは、間に遮熱板２２が存在し、互いに隣接する遮熱板２０に形成された突出部ではないため、厚さ方向に重なる位置に形成されていてもよい。あるいは、突出部２１ａと突出部１２３ａとで、互いに厚さ方向に重なるものと重ならないものとが混在していてもよい。ただし、遮熱板２１と遮熱板１２３との間の熱伝導の経路を長くできるため、突出部２１ａと突出部１２３ａとが厚さ方向に重ならない位置に形成されていることが好ましい。
【００３０】
上述した実施形態では、遮熱板２１に形成された複数の突出部２１ａはいずれも同じ上方向に突出しており、遮熱板２２の突出部２２ａも同様としたが、これに限らず１枚の遮熱板２０に異なる方向に突出した突出部が形成されていてもよい。図５は、変形例の遮熱体２１０の断面図である。なお、図５は図２と同じ断面を示している。図５に示すように、遮熱体２１０は、遮熱板２１に代えて遮熱板２２１を有し、遮熱板２２に代えて遮熱板２２２を有しており、それ以外は遮熱体１０と同じ構成をしている。そのため、遮熱体１０と同じ構成要素については同じ符号を付して、詳細な説明や一部の図示を省略する。遮熱板２２１は、遮熱体１０の遮熱板２３と同様に突出部が形成されていない。遮熱板２２２は、遮熱板２２の突出部２２ａと同様に上方に突出する複数の突出部２２２ａと、下方に突出する複数の突出部２２２ｂとが形成されている。この遮熱体２１０では、複数の突出部２２２ｂが隣接する遮熱板２２１の上面に点接触し、複数の突出部２２２ａが隣接する遮熱板２３の下面に点接触している。これにより、隣接する遮熱板２２１，２２２同士や隣接する遮熱板２２２，２３同士が厚さ方向に隙間を有しつつ支持されている。そのため、この遮熱体２１０でも、上述した実施形態と同様に組立解体性が向上する効果が得られる。また、１枚の遮熱板２２２に形成した突出部２２２ａ，２２２ｂによって上下に隣接した遮熱板２３，２２１との隙間を形成することができるため、遮熱板２３，２２１には突出部を形成する必要がない。そのため、突出部を形成する遮熱板２０の枚数を減らすことができる。
【００３１】
上述した実施形態では、遮熱体１０は３枚の遮熱板２０（２１〜２３）を有するものとしたが、これに限られず、遮熱板２０は複数枚であればよい。例えば、遮熱板２０は２枚としてもよいし、４枚以上としてもよい。なお、４枚以上の場合、図２，４，５に示した種々の遮熱板２０を適宜組み合わせて重ねてもよい。
【００３２】
上述した実施形態では、突出部２１ａ，２２ａは隣接する遮熱板２２，２３に点接触するものとしたが、これに限らず面接触していてもよい。ただし、点接触することが好ましい。
【００３３】
突出部２１ａ，２２ａ，固定具５０の位置や個数は、上述した実施形態に限られない。例えば遮熱板２０の上下方向の厚さ，前後左右方向の長さ，及び材質などに応じて、複数の遮熱板２０を互いに上下方向に隙間を有しつつ固定できるように、位置や個数を適宜定めればよい。例えば、図１，２に示した突出部２２ａの個数や突出部２２ａ同士の前後左右方向の間隔は、遮熱板２３が自重による垂れによって隣接する遮熱板２２に接触しないように適宜定めればよい。例えば突出部２１ａ，２２ａが１つずつであってもよい。また、複数の突出部２１ａ及び複数の突出部２２ａの形状や大きさは全て同じである必要はなく、異なる形状や大きさの突出部が混在していてもよい。
【００３４】
上述した実施形態では、突出部２１ａ，２２ａはハーフパンチとしたが、これに限られない。ハーフパンチ加工以外の加工により形成してもよいし、平板状の部材に後から加工して突出部２１ａ，２２ａを形成する場合に限らず、最初から突出部２１ａ，２２ａを有する遮熱板２１，２２を例えば鋳型などにより成形してもよい。あるいは、遮熱板２０に三角錐型の部材を溶接する方法で突出部２１ａ，２２ａを形成してもよい。また、突出部２１ａ，２２ａの形状も上述した実施形態に限られない。突出部２１ａ，２２ａは、隣接する遮熱板２２，２３に接触して隣接する遮熱板２０同士が厚さ方向に隙間を有しつつ支持できる形状であればよい。より具体的には、突出部２１ａ，２２ａは、遮熱板２０が自重による垂れにより隣接する遮熱板２０との接触を避けることができる形状であればよい。
【００３５】
上述した実施形態では、ヒンジピン５１と割りピン５２，５３とを有する固定具５０を用いて複数の遮熱板２１〜２３を固定するものとしたが、被取付け部材６０に複数の遮熱板２１〜２３を固定できるものであればよい。例えば図６に示した支持部材９４０及びボルト９５０を固定具として用いて、ワッシャ９４１，９４２を用いずに遮熱板２１〜２３を固定してもよい。この場合、ボルト９５０の軸部９５１が本考案の軸部に相当し、ボルト９５０の頭部９５２が本考案の固定部に相当する。また、固定具が遮熱板２０を前後左右の外側から把持して固定してもよく、固定具は遮熱板２０を貫通するものに限られない。
【００３６】
上述した実施形態では、遮熱板２１と被取付部材６０とは割りピン５３により厚さ方向に隙間を有しつつ支持されているものとしたが、これに限られない。例えば、下方向に突出する突出部が遮熱板２１に形成されており、この突出部が遮熱板２１と被取付部材６０とを厚さ方向に隙間を有しつつ支持してもよい。あるいは、上方向に突出する突出部が被取付部材６０に形成又は取り付けられており、これにより遮熱板２１と被取付部材６０との間を支持してもよい。これらの場合には、固定具５０は割りピン５３を有していなくてもよい。
【００３７】
上述した実施形態では、遮熱板２０は前後左右方向に沿った平面を有する略平板上の部材としたが、湾曲した板などであってもよい。
【００３８】
上述した実施形態では、被取付部材６０の上方に遮熱体１０が取り付けられているものとしたが、これに限らず下方や前後左右方向など、被取付部材６０に対してどのような方向に遮熱体１０が取り付けられてもよい。また、遮熱体１０はチャンバの内側に取り付けるものとしたが、外側に取り付けてもよい。また、被取付部材６０はチャンバの壁部としたが、これに限らず遮熱体１０はどのような部材に取り付けられてもよい。例えば被処理物をチャンバ内で支持する物品支持体（例えば複数の被処理物を載置可能な金属製の枠体など）に遮熱体１０を取り付けてもよい。また、真空加熱装置に限らずどのような装置に遮熱体１０を用いてもよい。
【符号の説明】
【００３９】
１０，１１０，２１０，９１０  遮熱体、２０，２１〜２３，１２２，１２３，２２１，２２２，９２１〜９２３  遮熱板、２１ａ，２２ａ，２３ａ，１２３ａ，２２２ａ，２２２ｂ  突出部、５０  固定具、５１  ヒンジピン、５２，５３  割りピン、６０，９６０  被取付部材、６１，９６１  ねじ孔、９４０  支持部材、９４１，９４２  ワッシャ、９５０  ボルト、９５１  軸部、９５２  頭部。
【図１】
0003193059.tif 000003
【図２】
0003193059.tif 000004
【図３】
0003193059.tif 000005
【図４】
0003193059.tif 000006
【図５】
0003193059.tif 000007
【図６】
0003193059.tif 000008