(57)【要約】      （修正有）【課題】安定性に優れ、誤差を抑制した光学結像装置を提供する。【解決手段】新規な光源としてレーザ光束を利用する結像装置であり、光源装置１と光源調整装置２及び結像装置３から構成され、光源装置に、所定のレーザアレイ１０が設置され、光源調整装置に、所定の数の反射鏡２０が設置され、光源装置のレーザ光束を集中し、均一的に結像装置に反射し、結像装置に、ディジタルマイクロ反射鏡素子（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｍｉｃｒｏｍｉｒｒｏｒ  Ｄｅｖｉｃｅ、ＤＭＤとも称される）３０とレンズ３１が設けられてあり、レーザ光束を露光源として、ＤＭＤ結像装置により、基板４に結像され、高パワーであり、安定性に優れ、誤差の発生を抑制した高精密露光源を結像に供する。【選択図】図１
0003193258.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
所定のレーザアレイが設けられた光源装置と、
所定の数の反射鏡を有し、光源装置のレーザ光束を集中して、均一的に結像装置に反射する光源調整装置と、
ディジタルマイクロ反射鏡素子とレンズを有し、レーザ光束を、露光源として、基板に結像する結像装置と
からなることを特徴とする光学結像装置。
【請求項２】
光源装置に設置のレーザアレイが、更に、角度調整機構を有し、上記角度調整機構が、玉体を有し、玉体の先端に、レーザ素子が設けられ、レーザ光束の角度を調整して、所定位置に合わせることを特徴とする請求項１に記載の光学結像装置。
【請求項３】
レーザ素子の先端に、レーザ光束整形装置が設けられ、レーザ光束整形装置が、前後に変位するように、調整できる透鏡を有し、レーザ光束の集中位置を調整して、光源均一の効果が得られることを特徴とする請求項２に記載の光学結像装置。
【請求項４】
光源調整装置に、
曲面鏡であり、光源装置の発射面の前方にある適当な位置に設置され、均一的にレーザ光束を引き受けて、集中した後、第二反射鏡に反射する第一反射鏡と、
第一反射鏡に対して、適当な角度で、第一反射鏡からのレーザ光束を引き受けて、レーザ光束の方向を変化させて、第三反射鏡に反射する第二反射鏡と、
第二反射鏡に対して、適当な角度を有し、第二反射鏡からのレーザ光束を引き受けて、均一的に結像装置のディジタルマイクロ反射鏡素子の集光レンズに反射する第三反射鏡とが含有されることを特徴とする請求項１に記載の光学結像装置。
【請求項５】
光源調整装置に、
光源装置の発射面の前方にある適当な位置に設置され、発射面に対して適当な角度を有し、均一的に、レーザ光束を引き受けて、集中した後、方向を変化させて第二平面反射鏡に反射する第一平面反射鏡と、
第一平面反射鏡に対して、適当な角度を有し、第一平面反射鏡からのレーザ光束を引き受け、レーザ光束の方向を変換して、均一的に結像装置のディジタルマイクロ反射鏡素子の集光レンズに反射する第二平面反射鏡とが含有されることを特徴とする請求項１に記載の光学結像装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、光学結像装置に関するものであり、さらに詳しくは、レーザ光束を光源とし、高パワーであり、安定性に優れ、誤差の発生を抑制した高精密露光源の結像に供する新規な結像装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プリント配線基板、液晶素子、ＰＤＰ用素子基板等の平面基材表面に、パターンが形成される露光結像技術は、例えば、携帯電話や各種の行動装置及びパソコン等の装置に設置されるプリント配線基板に適用される。上記の装置に設置された基材のパターンは、解析度が高く、その連接用面の口径、アパチャ等が精密な構成になる。上記の要請に応じて、パターンの形成露光工程において、露光装置の光量を増大する必要があり、また、光の均一性や精度等は、向上させなければならない。
【０００３】
従来の結像技術には、フイルムを作成して露光する方式がある。しかし、フイルムを露光する方法は、フイルム材料自体に、熱膨張冷収縮の問題があり、現在の高精密を要求する製品においては、僅かの膨張収縮の誤差も許されない。また、従来の結像技術は、ＬＥＤやバルブ等を光源とするものがあるが、従来のＬＥＤやバルブを光源とするものは、マスク等の装置で、光を集中することが必要である。背景技術のフイルムを露光するもの及び光源としてＬＥＤやバルブを利用するものについては、改善しなければならない課題が残されている。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
従って、本考案の目的は、光学結像装置を提供することにあり、特に、光源としてレーザ光束を利用する結像装置を提供するものであり、光源装置と光源調整装置及び結像装置から構成され、上記光源装置には、所定のレーザアレイが設置され、光源調整装置は、所定の反射鏡を有して、光源装置のレーザ光束を集中させて、均一的に結像装置に反射し、上記結像装置は、ディジタルマイクロ反射鏡素子とレンズを有し、レーザ光束を露光源として、ＤＭＤ結像装置により、基板に結像され、高パワーであり、安定性に優れ、誤差の発生を抑制した高精密露光源を結像に供する新規な結像装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
かくして、請求項１の考案によれば、所定のレーザアレイが設けられた光源装置と、
所定の数の反射鏡を有し、光源装置のレーザ光束を集中して、均一的に、結像装置に反射する光源調整装置と、
ディジタルマイクロ反射鏡素子とレンズを有し、レーザ光束を、露光源として、基板に結像する結像装置とからなることを特徴とする光学結像装置が提供される。
【０００６】
請求項２の考案によれば、光源装置設置のレーザアレイが、更に、角度調整機構を有し、上記角度調整機構が、玉体があり、玉体の先端に、レーザ素子が設けられ、レーザ光束の角度を調整して、所定位置に合わせることを特徴とする請求項１に記載の光学結像装置が提供される。
【０００７】
請求項３の考案によれば、レーザ素子の先端に、レーザ光束整形装置が設けられ、レーザ光束整形装置が、前後に変位するように、調整できる透鏡を有し、レーザ光束の集中位置を調整して、光源均一の効果が得られることを特徴とする請求項２に記載の光学結像装置が提供される。
【０００８】
請求項４の考案によれば、光源調整装置に、曲面鏡であり、光源装置の発射面の前方にある適当な位置に設置され、均一的に、レーザ光束を引き受けて、集中した後、第二反射鏡に反射する第一反射鏡と、第一反射鏡に対して、適当な角度で、第一反射鏡からのレーザ光束を引き受けて、レーザ光束の方向を変化して、第三反射鏡に反射する第二反射鏡と、第二反射鏡に対して、適当な角度を有し、第二反射鏡からのレーザ光束を引き受けて、均一的に、結像装置のディジタルマイクロ反射鏡素子の集光レンズに反射する第三反射鏡とが含有されることを特徴とする請求項１に記載の光学結像装置が提供される。
【０００９】
請求項５の考案によれば、光源調整装置に、光源装置の発射面の前方にある適当な位置に設置され、発射面に対して適当な角度を有し、均一的に、レーザ光束を引き受けて、集中した後、方向を変化させて第二平面反射鏡に反射する第一平面反射鏡と、第一平面反射鏡に対して、適当な角度を有し、第一平面反射鏡からのレーザ光束を引き受け、レーザ光束の方向を変換して、均一的に結像装置のディジタルマイクロ反射鏡素子の集光レンズに反射する第二平面反射鏡とが含有されることを特徴とする請求項１に記載の光学結像装置が提供される。
【考案の効果】
【００１０】
本考案は、前記の通りの構成からなるものであり、レーザ光束を露光源とし、ディジタルマイクロ反射鏡素子により分散されるため高パワーであり、安定性にも優れ、誤差を抑制した露光源の結像装置を提供することができる。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、図面を参照しながら、本考案の特徴や技術内容について、詳しく説明するが、それらの図面等は、参考や説明のためであり、本考案は、それらによって限定されるものではない。
【００１２】
本考案に係る光学結像装置は、レーザ光束を光源とする結像装置の新規な設計によるものであり、例えば、プリント配線基板や液晶素子及びＰＤＰ用素子基板等の平面基材の表面にパターンが形成される。
【００１３】
図１に示すように、本考案は、光源装置１と光源調整装置２及び結像装置３から構成される。図２に示すように、上記光源装置１には、所定のレーザアレイ１０が設置される。光源調整装置２は、所定の数の反射鏡２０を有し、光源装置１のレーザ光束を集中して、均一的に、結像装置３に反射する。上記結像装置３は、ディジタルマイクロ反射鏡素子３０と、例えば、ズームレンズや定焦点レンズであるレンズ３１とを有し、所定の画像データが、予め、ディジタルマイクロ反射鏡素子３０に伝送され、レーザ光束を露光源として、ＤＭＤ結像装置３により、基板４に結像される。レーザ光束が、平均的にディジタルマイクロ反射鏡素子３０により分散されるため、高パワーであり、安定性に優れ、誤差の発生を抑制した高精密露光源を結像に供することが実現される。
【００１４】
図３に示すように、本考案によれば、前述光源装置１に設置されたレーザアレイ１０は、更に、角度調整機構１１を有する。上記角度調整機構１１には、玉体１２が設けられてあり、玉体１２の先端に、レーザ素子１３が設置され、レーザ光束の角度が調整されて、所定位置に合わせられる。レーザ素子１３の先端に、レーザ光束整形装置１４があり、レーザ光束整形装置１４には、前後に変位するように、調整される透鏡１５が設けられてあって、レーザ光束の集中位置を調整して、光源を均一化する効果が実現される。
【００１５】
また、図１のように、本考案によれば、前述光源調整装置２は、第一反射鏡２１と第二反射鏡２２及び第三反射鏡２３から構成され、上記第一反射鏡２１は、曲面鏡で、光源装置１の発射面の前方にある適当な位置に設置され、均一的に、レーザ光束を引き受けて集中した後、第二反射鏡２２に反射する。上記第二反射鏡２２は、第一反射鏡２１に対して、適当な角度で、第一反射鏡２１のレーザ光束を引き受けて、レーザ光束の方向を変化させて、第三反射鏡２３に反射する。上記第三反射鏡２３は、第二反射鏡２２に対して、適当な角度を有し、第二反射鏡２２のレーザ光束を引き受けて、均一的に、結像装置３のディジタルマイクロ反射鏡素子の集光レンズ３２に反射する。
【００１６】
また、図４に示すように、本考案によれば、前記光源調整装置５は、第一平面反射鏡５０と第二平面反射鏡５１とから構成されてもよい。上記第一平面反射鏡５０は、光源装置１の発射面の前方にある適当な位置に設置され、また、発射面に対して、適当な角度を有し、均一的に、レーザ光束を引き受けて集中した後、方向を変化させて、第二平面反射鏡５１に反射する。上記第二平面反射鏡５１は、第一平面反射鏡５０に対して、適当な角度を有し、第一平面反射鏡５０のレーザ光束を引き受けて、レーザ光束の方向を変化させ、均一的に、結像装置３のディジタルマイクロ反射鏡素子の集光レンズ３２に反射するように構成される。
【００１７】
以上の説明は、本考案の好適な実施形態の一つについてのものであり、本考案は、それらによって限定されるものではなく、本考案に係わる実用新案登録請求の範囲や明細書の内容に基づいて行った等価の変更や修正は、全てが、本考案の範囲内に含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本考案の一実施形態による光学結像装置の設置図である。
【図２】本考案の一実施形態による光学結像装置の光源装置の正面図である。
【図３】本考案の一実施形態による光学結像装置の角度調整機構の断面図である。
【図４】本考案の他の実施形態による光学結像装置の設置図である。
【符号の説明】
【００１９】
１  光源装置
１０  レーザアレイ
１１  角度調整機構
１２  玉体
１３  レーザ素子
１４  レーザ光束整形装置
１５  透鏡
２  光源調整装置
２０  反射鏡
２１  第一反射鏡
２２  第二反射鏡
２３  第三反射鏡
３  結像装置
３０  ディジタルマイクロ反射鏡素子
３１  レンズ
３２  集光レンズ
４  基板
５  光源調整装置
５０  第一平面反射鏡
５１  第二平面反射鏡
【図１】
0003193258.tif 000003
【図２】
0003193258.tif 000004
【図３】
0003193258.tif 000005
【図４】
0003193258.tif 000006