【手続補正書】
【提出日】平成22年7月14日(2010.7.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
参照面を有する光学系を用いて、被検面からの反射光と前記参照面からの反射光との干渉パターンに基づいて前記被検面の形状を測定する方法であって、
前記光学系の光軸と前記被検面の中心軸とが第１角度をなす第１位置で前記被検面を前記被検面の中心軸に対して複数の回転角度回転させた位置で測定された複数の第１データを取得する第１工程と、
前記光学系の光軸と前記被検面の中心軸とが第２角度をなす第２位置で前記被検面を前記被検面の中心軸に対して複数の回転角度回転させた位置で測定された複数の第２データを取得する第２工程と、
前記複数の第１データを平均して前記被検面の第１回転平均形状データを算出し、前記複数の第２データを平均して前記被検面の第２回転平均形状データを算出する第３工程と、
前記複数の第１データ、前記第１回転平均形状データ及び前記第２回転平均形状データから前記参照面の形状データと前記被検面の形状データとを算出する第４工程と、
を含み、
前記第４工程は、
前記第１回転平均形状データと前記第２回転平均形状データとの差分から前記第１位置又は前記第２位置での前記被検面の回転対称成分を算出し、算出された前記第１位置での前記被検面の回転対象成分を前記第１回転平均形状データから減算するか、又は、算出された前記第２位置での前記被検面の回転対象成分を前記第２回転平均形状データから減算することによって前記参照面の形状データを算出する工程と、
前記複数の第１データと前記算出された参照面の形状データとから前記第１位置での前記複数の回転角度位置における被検面の形状データを算出する工程と、
前記算出された前記第１位置での前記複数の回転角度位置における被検面の形状データを同一の回転角度位置における被検面の複数の形状データに変換する工程と、
前記変換された被検面の複数の形状データの平均を算出する工程と、
を備えることを特徴とする方法。
【請求項２】
前記第１工程及び前記第２工程において、前記被検面の回転軸が前記被検面の中心軸と一致するように前記被検面を駆動することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記複数の第１データ、第１回転平均形状データ及び第２回転平均形状データを、前記光学系のディストーション誤差を低減するように補正する工程をさらに含み、
前記補正された複数の第１データ、前記補正された第１回転平均形状データ及び前記補正された第２回転平均形状データを前記第４工程で使用することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の方法。
【請求項４】
参照面を有する光学系と、被検面を駆動するステージと、前記被検面からの反射光と前記参照面からの反射光との干渉パターンを撮像する撮像素子と、前記光学系、前記ステージ及び前記撮像素子を制御するとともに、前記撮像された干渉パターンに基づいて前記被検面の形状を算出する制御部とを備え、前記被検面の形状を測定する装置であって、
前記制御部は、
前記光学系の光軸と前記被検面の中心軸とが第１角度をなす第１位置で前記被検面を前記被検面の中心軸に対して複数の回転角度回転させた位置で測定された複数の第１データを取得する第１取得手段と、
前記光学系の光軸と前記被検面の中心軸とが第２角度をなす第２位置で前記被検面を前記被検面の中心軸に対して複数の回転角度回転させた位置で測定された複数の第２データを取得する第２取得手段と、
前記複数の第１データを平均して前記被検面の第１回転平均形状データを算出し、前記複数の第２データを平均して前記被検面の第２回転平均形状データを算出する第１算出手段と、
前記複数の第１データ、前記第１回転平均形状データ及び前記第２回転平均形状データから前記参照面の形状データと前記被検面の形状データとを算出する第２算出手段と、
を含み、
前記第２算出手段は、
前記第１回転平均形状データと前記第２回転平均形状データとの差分から前記第１位置又は前記第２位置での前記被検面の回転対称成分を算出し、算出された前記第１位置での前記被検面の回転対象成分を前記第１回転平均形状データから減算するか、又は、算出された前記第２位置での前記被検面の回転対象成分を前記第２回転平均形状データから減算することによって前記参照面の形状データを算出する手段と、
前記複数の第１データと前記算出された参照面の形状データとから前記第１位置での前記複数の回転角度位置における被検面の形状データを算出する手段と、
前記算出された前記第１位置での前記複数の回転角度位置における被検面の形状データを同一の回転角度位置における被検面の複数の形状データに変換する手段と、
前記変換された被検面の複数の形状データの平均を算出する手段と、
を備えることを特徴とする装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記被検面の回転軸が前記被検面の中心軸と一致するように前記ステージの駆動を制御することを特徴とする請求項４に記載の装置。
【請求項６】
前記複数の第１データ、第１回転平均形状データ及び第２回転平均形状データを、前記光学系のディストーション誤差を低減するように補正する補正手段をさらに含み、
前記第２算出手段は、前記補正された第１データ、前記補正された第１回転平均形状データ及び前記補正された第２回転平均形状データを使用することを特徴とする請求項４又は請求項５に記載の装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の第１の側面は、参照面を有する光学系を用いて、被検面からの反射光と参照面からの反射光との干渉パターンに基づいて被検面の形状を測定する方法である。被検面の形状を測定する方法は、光学系の光軸と被検面の中心軸とが第１角度をなす第１位置で被検面を被検面の中心軸に対して複数の回転角度回転させた位置で測定された複数の第１データを取得する第１工程と、光学系の光軸と被検面の中心軸とが第２角度をなす第２位置で被検面を被検面の中心軸に対して複数の回転角度回転させた位置で測定された複数の第２データを取得する第２工程と、複数の第１データを平均して前記被検面の第１回転平均形状データを算出し、複数の第２データを平均して被検面の第２回転平均形状データを算出する第３工程と、第１データ、第１回転平均形状データ及び第２回転平均形状データから参照面の形状データと被検面の形状データとを算出する第４工程と、を含む。第４工程は、第１回転平均形状データと第２回転平均形状データとの差分から第１位置又は第２位置での被検面の回転対称成分を算出し、算出された第１位置での被検面の回転対象成分を第１回転平均形状データから減算するか、又は、算出された第２位置での被検面の回転対象成分を第２回転平均形状データから減算することによって参照面の形状データを算出する工程と、複数の第１データと算出された参照面の形状データとから第１位置での複数の回転角度位置における被検面の形状データを算出する工程と、算出された第１位置での複数の回転角度位置における被検面の形状データを同一の回転角度位置における被検面の複数の形状データに変換する工程と、変換された被検面の複数の形状データの平均を算出する工程と、を備えることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の第２の側面は、参照面を有する光学系と、被検面を駆動するステージと、被検面からの反射光と参照面からの反射光との干渉パターンを撮像する撮像素子と、光学系、ステージ及び撮像素子を制御するとともに、撮像された干渉パターンに基づいて被検面の形状を算出する制御部とを備え、被検面の形状を測定する装置である。制御部は、記光学系の光軸と被検面の中心軸とが第１角度をなす第１位置で被検面を被検面の中心軸に対して複数の回転角度回転させた位置で測定された複数の第１データを取得する第１取得手段と、光学系の光軸と被検面の中心軸とが第２角度をなす第２位置で被検面を被検面の中心軸に対して複数の回転角度回転させた位置で測定された複数の第２データを取得する第２取得手段と、複数の第１データを平均して被検面の第１回転平均形状データを算出し、複数の第２データを平均して被検面の第２回転平均形状データを算出する第１算出手段と、複数の第１データ、第１回転平均形状データ及び第２回転平均形状データから参照面の形状データと被検面の形状データとを算出する第２算出手段と、を含む。第２算出手段は、第１回転平均形状データと第２回転平均形状データとの差分から第１位置又は第２位置での被検面の回転対称成分を算出し、算出された第１位置での被検面の回転対象成分を第１回転平均形状データから減算するか、又は、算出された第２位置での被検面の回転対象成分を第２回転平均形状データから減算することによって参照面の形状データを算出する手段と、複数の第１データと算出された参照面の形状データとから第１位置での複数の回転角度位置における被検面の形状データを算出する手段と、算出された第１位置での複数の回転角度位置における被検面の形状データを同一の回転角度位置における被検面の複数の形状データに変換する手段と、変換された被検面の複数の形状データの平均を算出する手段と、を備えることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
ステップ５では、制御部７のディストーション手段７５が、第１データＡ１〜Ａｎ、第１回転平均形状データＡ及び第２回転平均形状データＢを、光学系のディストーション誤差を低減するように補正する。ディストーション補正値は予め測定して得られている値か、設計値を用い得る。制御部７の分離手段７４（第２算出手段）は、第１データＡ１〜Ａｎ、第１回転平均形状データＡ及び第２回転平均形状データＢから参照面１の形状データと被検面２の形状データを分離して算出する第４工程において、ディストーション誤差が補正されたデータを使用する。