【手続補正書】
【提出日】平成22年1月14日(2010.1.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】水晶振動子の製造方法と水晶ユニットの製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
音叉基部と、前記音叉基部に接続された少なくとも第１音叉腕と第２音叉腕とを備えて構成され、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の各々は、上面と下面と内側側面と外側側面とを有し、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の各々の一端部は前記音叉基部に接続され、他端部は自由である音叉型屈曲水晶振動子の製造方法で、
水晶ウエハを準備し、前記水晶ウエハの上面と下面の各々に金属膜を蒸着又はスパッタリングにより形成する工程と、
前記水晶ウエハの上面と下面の各々に形成された前記金属膜の上にレジストを塗布する工程と、
前記音叉基部と、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕を備えた音叉形状を形成する工程と、
前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の各々の上面と下面の少なくとも一面に溝を形成する工程と、
前記溝の中と、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の各々の上面と下面と内側側面と外側側面の各々の面の上と、前記音叉基部の面の上に金属膜を形成し、その金属膜の上にレジストを塗布する工程と、
前記第１音叉腕の上面と下面の各々の溝に形成された電極が、前記第２音叉腕の内側側面と外側側面の各々に形成された電極に接続され、かつ、前記第２音叉腕の上面と下面の各々の溝に形成された電極が、前記第１音叉腕の内側側面と外側側面の各々に形成された電極に接続されるように、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の各々の上面と下面の各々に形成された溝の中と前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の各々の内側側面と外側側面の各々に電極を形成する工程と、
前記電極を備えた音叉型屈曲水晶振動子の周波数を調整する工程と、を含み、前記音叉型屈曲水晶振動子は基本波モード振動と２次高調波モード振動を備え、前記基本波モード振動の等価直列抵抗Ｒ１が、前記２次高調波モード振動の等価直列抵抗Ｒ２より小さくなるように、前記溝の長さ寸法と前記音叉型屈曲水晶振動子の全長の寸法を決定する工程を備えていることを特徴とする水晶振動子の製造方法。
【請求項２】
前記水晶ウエハの上面と下面の各々に形成された前記金属膜の上にレジストを塗布する工程の後に、フォトリソ工程により、前記レジストと前記金属膜とが音叉形状のレジストと金属膜を残して除去された後に、エッチング加工により、前記音叉形状は形成され、前記音叉形状を形成した後に、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の各々の上面と下面の各々に溝が形成され、前記溝を形成した後に、前記溝の中と、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の各々の上面と下面と内側側面と外側側面の各々の面の上と、前記音叉基部の面の上に金属膜を形成し、その金属膜の上にレジストを塗布する工程がなされ、そのレジストを塗布する工程の後に、前記第１音叉腕の上面と下面の各々の溝に形成された電極が、前記第２音叉腕の内側側面と外側側面の各々に形成された電極に接続され、かつ、前記第２音叉腕の上面と下面の各々の溝に形成された電極が、前記第１音叉腕の内側側面と外側側面の各々に形成された電極に接続されるように、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の各々の上面と下面の各々に形成された溝の中と前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の各々の内側側面と外側側面の各々に電極を形成する工程がなされ、その電極を形成する工程の後に、前記電極を備えた前記音叉型屈曲水晶振動子の周波数が調整されることを特徴とする請求項１に記載の水晶振動子の製造方法。
【請求項３】
前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の各々の上面と下面の少なくとも一面に形成された溝の上面図の形状は四角形と異なる多角形をしていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の水晶振動子の製造方法。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の水晶振動子の製造方法と、ケースとを少なくとも備えた水晶ユニットの製造方法で、前記電極を備えた音叉型屈曲水晶振動子をケース内に収納する工程と、蓋を前記ケースに接続する工程と、を含み、前記音叉型屈曲水晶振動子は導電性接着剤によって前記ケースの固定部に固定され、前記ケースは貫通穴を備えていて、蓋を前記ケースに接続する工程の後に、前記ケースの貫通穴を金属を用いて封止する工程と、蓋を前記ケースに接続する工程の後に、かつ、前記ケースの貫通穴を金属を用いて封止する工程の前に、前記音叉型屈曲水晶振動子の周波数を真空中で調整する工程とを備えていることを特徴とする水晶ユニットの製造方法。
【請求項５】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の水晶振動子の製造方法と、ケースとを少なくとも備えた水晶ユニットの製造方法で、前記電極を備えた音叉型屈曲水晶振動子をケース内に収納する工程と、蓋を前記ケースに接続する工程と、を含み、前記電極を備えた音叉型屈曲水晶振動子をケース内に収納する工程の後に、かつ、蓋を前記ケースに接続する工程の前に、前記音叉型屈曲水晶振動子の周波数を調整する工程がなされることを特徴とする水晶ユニットの製造方法。
【請求項６】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の水晶振動子の製造方法と、ケースとを少なくとも備えた水晶ユニットの製造方法で、前記電極を備えた音叉型屈曲水晶振動子をケース内に収納する工程と、蓋を前記ケースに接続する工程と、を含み、前記ケースは貫通穴を備えていて、蓋を前記ケースに接続する工程の後に、前記ケースの貫通穴を金属を用いて真空中で封止する工程と、前記ケースの貫通穴を金属を用いて真空中で封止する工程の後に、前記音叉型屈曲水晶振動子の周波数を調整する工程とを備えていることを特徴とする水晶ユニットの製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】  即ち、本発明の水晶振動子の製造方法の第１の態様は、音叉基部と、前記音叉基部に接続された少なくとも第１音叉腕と第２音叉腕とを備えて構成され、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の各々は、上面と下面と内側側面と外側側面とを有し、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の各々の一端部は前記音叉基部に接続され、他端部は自由である音叉型屈曲水晶振動子の製造方法で、水晶ウエハを準備し、前記水晶ウエハの上面と下面の各々に金属膜を蒸着又はスパッタリングにより形成する工程と、前記水晶ウエハの上面と下面の各々に形成された前記金属膜の上にレジストを塗布する工程と、前記音叉基部と、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕を備えた音叉形状を形成する工程と、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の各々の上面と下面の少なくとも一面に溝を形成する工程と、前記溝の中と、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の各々の上面と下面と内側側面と外側側面の各々の面の上と、前記音叉基部の面の上に金属膜を形成し、その金属膜の上にレジストを塗布する工程と、前記第１音叉腕の上面と下面の各々の溝に形成された電極が、前記第２音叉腕の内側側面と外側側面の各々に形成された電極に接続され、かつ、前記第２音叉腕の上面と下面の各々の溝に形成された電極が、前記第１音叉腕の内側側面と外側側面の各々に形成された電極に接続されるように、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の各々の上面と下面の各々に形成された溝の中と前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の各々の内側側面と外側側面の各々に電極を形成する工程と、前記電極を備えた音叉型屈曲水晶振動子の周波数を調整する工程と、を含み、前記音叉型屈曲水晶振動子は基本波モード振動と２次高調波モード振動を備え、前記基本波モード振動の等価直列抵抗Ｒ１が、前記２次高調波モード振動の等価直列抵抗Ｒ２より小さくなるように、前記溝の長さ寸法と前記音叉型屈曲水晶振動子の全長の寸法を決定する工程を備えている水晶振動子の製造方法である。
本発明の水晶振動子の製造方法の第２の態様は、前記水晶ウエハの上面と下面の各々に形成された前記金属膜の上にレジストを塗布する工程の後に、フォトリソ工程により、前記レジストと前記金属膜とが音叉形状のレジストと金属膜を残して除去された後に、エッチング加工により、前記音叉形状は形成され、前記音叉形状を形成した後に、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の各々の上面と下面の各々に溝が形成され、前記溝を形成した後に、前記溝の中と、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の各々の上面と下面と内側側面と外側側面の各々の面の上と、前記音叉基部の面の上に金属膜を形成し、その金属膜の上にレジストを塗布する工程がなされ、そのレジストを塗布する工程の後に、前記第１音叉腕の上面と下面の各々の溝に形成された電極が、前記第２音叉腕の内側側面と外側側面の各々に形成された電極に接続され、かつ、前記第２音叉腕の上面と下面の各々の溝に形成された電極が、前記第１音叉腕の内側側面と外側側面の各々に形成された電極に接続されるように、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の各々の上面と下面の各々に形成された溝の中と前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の各々の内側側面と外側側面の各々に電極を形成する工程がなされ、その電極を形成する工程の後に、前記電極を備えた前記音叉型屈曲水晶振動子の周波数が調整される第１の態様に記載の水晶振動子の製造方法である。
本発明の水晶振動子の製造方法の第３の態様は、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の各々の上面と下面の少なくとも一面に形成された溝の上面図の形状は四角形と異なる多角形をしている第１の態様または第２の態様に記載の水晶振動子の製造方法である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】  本発明の水晶ユニットの製造方法の第１の態様は、第１の態様から第３の態様のいずれかに記載の水晶振動子の製造方法と、ケースとを少なくとも備えた水晶ユニットの製造方法で、前記電極を備えた音叉型屈曲水晶振動子をケース内に収納する工程と、蓋を前記ケースに接続する工程と、を含み、前記音叉型屈曲水晶振動子は導電性接着剤によって前記ケースの固定部に固定され、前記ケースは貫通穴を備えていて、蓋を前記ケースに接続する工程の後に、前記ケースの貫通穴を金属を用いて封止する工程と、蓋を前記ケースに接続する工程の後に、かつ、前記ケースの貫通穴を金属を用いて封止する工程の前に、前記音叉型屈曲水晶振動子の周波数を真空中で調整する工程とを備えている水晶ユニットの製造方法である。
本発明の水晶ユニットの製造方法の第２の態様は、第１の態様から第３の態様のいずれかに記載の水晶振動子の製造方法と、ケースとを少なくとも備えた水晶ユニットの製造方法で、前記電極を備えた音叉型屈曲水晶振動子をケース内に収納する工程と、蓋を前記ケースに接続する工程と、を含み、前記電極を備えた音叉型屈曲水晶振動子をケース内に収納する工程の後に、かつ、蓋を前記ケースに接続する工程の前に、前記音叉型屈曲水晶振動子の周波数を調整する工程がなされる水晶ユニットの製造方法である。
本発明の水晶ユニットの製造方法の第３の態様は、第１の態様から第３の態様のいずれかに記載の水晶振動子の製造方法と、ケースとを少なくとも備えた水晶ユニットの製造方法で、前記電極を備えた音叉型屈曲水晶振動子をケース内に収納する工程と、蓋を前記ケースに接続する工程と、を含み、前記ケースは貫通穴を備えていて、蓋を前記ケースに接続する工程の後に、前記ケースの貫通穴を金属を用いて真空中で封止する工程と、前記ケースの貫通穴を金属を用いて真空中で封止する工程の後に、前記音叉型屈曲水晶振動子の周波数を調整する工程とを備えている水晶ユニットの製造方法である。