【手続補正書】
【提出日】平成22年8月18日(2010.8.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
走査ユニットとこの走査ユニットに対して少なくとも１つの測定方向（ｘ）に移動する反射スケール本体との相対位置を検出するエンコーダにあって、この場合、走査ユニットは、多数の光学要素、すなわち少なくとも１つの逆反射要素，少なくとも１つの結合格子，少なくとも１つの走査格子及び多数の検出要素を有し、この場合、走査ユニット内の光学要素は、
−走査ビーム路のビーム束及び／又は部分ビーム束が、反射スケール本体に少なくとも２回照射し、この場合、一方では入射するビーム束及び／又は部分ビーム束によって、他方では反射する部分ビーム束によって、反射スケール本体の平面に対して垂直にある平面がその都度形成されること、
−逆反射要素上に入射した部分ビーム束が、この逆反射要素によって測定方向（ｘ）に対して垂直に反射スケール本体に向かって回折すること、及び
−一対の部分ビーム束が、結合格子上に非平行に照射し、この結合格子は、この結合格子上に入射した部分ビーム束を干渉させ、その結果、検出要素が、移相している信号を検出するように配置されているエンコーダ。
【請求項２】
一対の部分ビーム束が、光学軸線（ＯＡ）に対して同じ角度（α１，α２）で対称に結合格子上に照射する請求項１に記載のエンコーダ。
【請求項３】
走査ユニットは、多数の走査格子及び少なくとも１つの結合格子を有し、これらの格子は、ミラー対称に配置されていて、この場合、対称面は、測定方向に対して垂直にかつ光学軸線に対して平行に指向されている請求項１に記載のエンコーダ。
【請求項４】
屋根型プリズムとして形成された逆反射要素が、走査ユニット内に配置されていて、この逆反射要素の稜線が、測定方向（ｘ）に対して平行に指向されている請求項１〜３のいずれか１項に記載のエンコーダ。
【請求項５】
逆反射要素は、走査ユニット内に多数の組み合わせられた回折要素／レンズ要素及び少なくとも１つの平坦な反射要素を有し、レンズ要素の焦点面が、少なくとも１つの平坦な反射要素の平面内にある請求項１〜４のいずれか１項に記載のエンコーダ。
【請求項６】
両部分ビーム束が、結合格子の照射地点で一緒に照射する請求項１に記載のエンコーダ。
【請求項７】
少なくとも１つの逆反射要素が、一体構造として支持要素上に構成されている請求項１に記載のエンコーダ。
【請求項８】
走査ユニットは、多数の走査格子及び少なくとも１つの結合格子を有し、これらの格子は、ミラー対称に配置されていて、この場合、対称面は、測定方向（ｘ）に対して垂直にかつ光学軸線（ＯＡ）に対して平行に指向されている請求項１に記載のエンコーダ。
【請求項９】
光源（１１）から放出され、コリメータ光学系（１２）によるコリメーション後のビーム束が、
−反射スケール本体（２０）上に最初に照射し、この反射スケール本体（２０）で走査ユニット（１０）に向かって再反射する２つの部分ビーム束に分割し、これらの部分ビーム束は、２つの異なる回折次数に対応し、
−これらの反射した両部分ビーム束は、走査ユニット（１０）内で逆反射要素によって反射スケール本体（２０）の方向に再反射し、この場合、これらの部分ビーム束はそれぞれ、走査格子（１４．１，１４．２，１４．３，１４．４）を再び通過し、
−反射スケール本体（２０）上に再び照射した部分ビーム束が、新たに回折し、走査ユニット（１０）の方向に再反射し、
−反射した少なくとも一対の部分ビーム束が、走査ユニット（１０）内で光学軸線（ＯＡ）に対して対称な角度（α１，α２）で結合格子（１４．５）の同じ地点に照射するように、走査ユニット（１０）が構成されている請求項１〜７のいずれか１項に記載のエンコーダ。
【請求項１０】
光源（１１１；２１１；３１１；７１１）から放出され、コリメータ光学系（１１２；２１２；３１２；７１２）によるコリメーション後のビーム束が、
−走査ユニット（１１０；２１０；３１０；７１０）内の分割格子（１１４．６；２１４．６；３１４．６；７１４．６）によって少なくとも２つの部分ビーム束に分割し、これらの部分ビーム束は、２つの異なる回折次数に対応し、これらの部分ビーム束が、反射スケール本体（１２０；２２０；３２０；７２０）の方向に伝播し、
−次いでこれらの部分ビーム束が、反射スケール本体（１２０；２２０；３２０；７２０）の異なる地点上に最初に照射し、これらの異なる地点でそれぞれ走査ユニット（１１０；２１０；３１０；７１０）に向かって反射する多数の部分ビーム束に分割し、これらの部分ビーム束は、異なる回折次数に対応し、
−これらの少なくとも２つの反射した部分ビーム束が、走査ユニット（１１０；２１０；３１０；７１０）内で逆反射要素によって反射スケール本体（１２０；２２０；３２０；７２０）の方向に反射し、この場合、これらの部分ビーム束が、走査格子（１１４．１〜１１４．４；２１４．１〜２１４．４；３１４．１〜３１４．４；７１４．１〜７１４．４）を再び通過し、
−反射スケール本体（１２０；２２０；３２０；７２０）の異なる地点上に再び照射した部分ビーム束が、走査ユニット（１１０；２１０；３１０；７１０）の方向に新たに回折して再反射し、
−少なくとも一対の反射した部分ビーム束が、走査ユニット（１１０；２１０；３１０；７１０）内で光学軸線（ＯＡ）に対して対称な角度（α１，α２）で結合格子（１１４．５；２１４．５；３１４．５；７１４．５）の同じ地点上に照射するように、走査ユニット（１１０；２１０；３１０；７１０）が構成されている請求項１〜８のいずれか１項に記載のエンコーダ。
【請求項１１】
光源（４１１）から放出され、コリメータ光学系（４１２）によるコリメーション後のビーム束が、
−分割格子（４１４．６）によって２つの部分ビーム束に分割され、
−次いでこれらの部分ビーム束が、分割補助格子（４１４．７）上に達し、反射スケール本体（４２０）の方向に伝播する部分ビーム束が、反射スケール本体（４２０）の同じ照射地点上に照射するように、これらの部分ビーム束の少なくとも一部が、この分割補助格子によって回折され、
−反射スケール本体（４２０）上に照射する部分ビーム束がそれぞれ、走査ユニット（４１０）に向かって反射する多数の部分ビーム束に分割され、これらの部分ビーム束が、異なる回折次数に対応し、
−反射した少なくとも２つの部分ビーム束が、走査ユニット（４１０）内で逆反射要素によって反射スケール本体（４２０）の方向に再反射し、この場合、これらの部分ビーム束がそれぞれ、走査格子（４１４．１，４１４．２，４１４．３，４１４．４）を再び通過し、
−反射スケール本体（４２０）の同じ地点上に再び照射した部分ビーム束が、走査ユニット（４１０）の方向に新たに回折して再反射し、
−反射した少なくとも一対の部分ビーム束が、走査ユニット（４１０）内で結合補助格子（４１４．４）の異なる地点上に照射し、これらの異なる地点で新たに回折して分割し、その結果、伝播する少なくとも２つの部分ビーム束が、光学軸線に対する対称な角度で結合格子（４１４．８）の同じ地点上に照射するように、走査ユニット（４１０）が構成されている請求項１〜８のいずれか１項に記載のエンコーダ。
【請求項１２】
光源（５１１）から放出され、コリメータ光学系（５１２）によるコリメーション後のビーム束が、
−照射回折格子として構成されている反射スケール本体（５２０）上に最初に照射し、この反射スケール本体（５２０）で走査ユニット（５１０）に向かって反射する２つの部分ビーム束に分割し、これらの部分ビーム束は、２つの異なる回折次数に対応し、
−反射した両部分ビーム束が、走査ユニット（５１０）内で逆反射要素によって反射スケール本体（５２０）の方向に反射し、この場合、これらの部分ビーム束がそれぞれ、走査格子（５１４．１，５１４．２，５１４．３，５１４．４）を再び通過し、この走査格子（５１４．１，５１４．２，５１４．３，５１４．４）を最初に通過した時に、これらの部分ビーム束を平坦な反射要素（５１５）の同じ照射地点上に焦点合わせし、
−反射スケール本体（５２０）上に再び照射した部分ビーム束が、走査ユニット（５１０）の方向に新たに回折して反射し、
−反射した少なくとも一対の部分ビーム束が、走査ユニット内で光学軸線（ＯＡ）に対して対称な角度で結合格子（５１４．５）の同じ地点に照射するように、走査ユニット（５１０）が構成されている請求項１〜７のいずれか１項に記載のエンコーダ。