【誤訳訂正書】
【提出日】平成22年9月2日(2010.9.2)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フッ素発生器から生じる、水素と残留量のＨＦとエアゾール電解質とを含んでいる流体中の水素を処理するのに使用される装置において、
ａ）エアゾール除去組成物を入れた電解質エアゾール除去ユニットであって、そのユニットを通って流体が流れる電解質エアゾール除去ユニットと、
ｂ）触媒活性化燃焼面を備えた触媒ユニットであって、強制対流ダクトの内側に配置されるようになっており、導管で前記エアゾール除去ユニットに流体連通しており、前記触媒活性化燃焼面が、前記強制対流ダクトを通って流れる空気又は空気を含んでいる排出ガスである酸素を含む気流中で前記水素を燃焼させる、触媒ユニットと、を備えている装置。
【請求項２】
前記触媒活性化燃焼面は、１つ又は複数のワイヤスクリーンの層を備えている、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記触媒活性化燃焼面は、水素の着火温度を下げる、請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記ワイヤスクリーンの各ワイヤは、組成、直径、及び向きが同じでも異なっていてもよい、請求項２又は３に記載の装置。
【請求項５】
前記触媒活性化燃焼面は、１０プライ層の、プラチナ９５パーセントとレニウム５パーセントの合金スクリーンである、請求項２乃至４の何れか１項に記載の装置。
【請求項６】
前記触媒活性化燃焼面を加熱するためのヒーターを備えている、請求項１乃至５の何れか１項に記載の装置。
【請求項７】
前記装置はモジュールになっている、請求項１乃至６の何れか１項に記載の装置。
【請求項８】
前記装置は可搬式である、請求項１乃至７の何れか１項に記載の装置。
【請求項９】
前記エアゾール除去組成物は床の形態をしている、請求項１乃至８の何れか１項に記載の装置。
【請求項１０】
前記エアゾール除去組成物は、ソーダ石灰、フッ化ナトリウム、加熱活性化酸化アルミニウム、微粉化ニッケル、又はこれらの組み合わせから成る群より選択される組成物を含んでいる、請求項１乃至９の何れか１項に記載の装置。
【請求項１１】
前記エアゾール除去ユニットと前記触媒ユニットを流体連通している前記導管は、ニッケル管とニッケル被覆管から成る群より選択される、請求項１乃至１０の何れか１項に記載の装置。
【請求項１２】
前記エアゾール除去ユニットは、２５℃から２００℃の範囲の温度に保たれる、請求項１乃至１１の何れか１項に記載の装置。
【請求項１３】
前記触媒ユニットは少なくとも７０℃の温度に維持される、請求項１乃至１２の何れか１項に記載の装置。
【請求項１４】
前記触媒ユニットは少なくとも２００℃の温度に維持される、請求項乃至１２の何れか１項に記載の装置。
【請求項１５】
前記触媒活性化燃焼面は、少なくとも７０℃の温度に維持される、請求項１乃至１４の何れか１項に記載の装置。
【請求項１６】
前記触媒活性化燃焼面は、少なくとも２００℃の温度に維持される、請求項乃至１４の何れか１項に記載の装置。
【請求項１７】
前記エアゾール除去ユニットと前記触媒ユニットは、前記フッ素発生器から離して配置されている、請求項１乃至１６の何れか１項に記載の装置。
【請求項１８】
前記エアゾール除去ユニットと前記触媒ユニットは、前記フッ素発生器の上で且つ前記フッ素発生器のフットプリント内に取り付けられている、請求項１乃至１６の何れか１項に記載の装置。
【請求項１９】
フッ素発生器から生じる、水素と残留量のＨＦとエアゾール電解質とを含んでいる流体中の水素を処理するための方法において、
ａ）エアゾール除去組成物を備えている電解質エアゾール除去部に流体を流し、前記流体を前記エアゾール除去組成物に接触させて、エアゾールが減少した高濃度の水素流体を形成する段階と、
ｂ）前記エアゾールが減少した高濃度の水素流体を、強制対流ダクトの内側に配置された触媒活性化燃焼面に接触させると共に、酸素を含むガスを前記強制対流ダクト内に流して、前記酸素を含むガスの気流内の酸素で前記水素を燃焼させる段階と、を有する方法。
【請求項２０】
フッ素を生成するのに使用される装置において、
ａ）高濃度水素流体を生成するように作られているフッ素発生器と、
ｂ）請求項１乃至１８の何れか１項に記載の装置と、を備えており、前記エアゾール除去ユニットが前記フッ素発生器に流体連通され、前記高濃度水素流体を受け入れる、フッ素を生成するのに使用される装置。
【請求項２１】
フッ素を生成し、フッ素発生器から生じる、水素と残留量のＨＦとエアゾール電解質とを含んでいる流体内の副生成物である水素を処理するための方法において、
ａ）高濃度フッ素流と、少量の電解質とフッ化水素とを含む高濃度水素流と、を生成する段階と、
ｂ）前記高濃度フッ素流を浄化列に送って精製されたフッ素流を製造する段階と、
ｃ）前記高濃度水素流を請求項１乃至１８の何れか１項に記載の装置に送って前記エアゾール成分を実質的に減少させ、前記水素を燃焼させる段階と、を有する方法。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００８】
本発明によれば、これまでに知られているフッ素生成装置と方法に伴う問題の多くを低減又は解消した装置及び使用法が提案されている。
本発明の第１の態様は、フッ素発生器から生じる、水素と、残留量のＨＦとエアゾール電解質とを含んでいる流体中の水素を処理するのに使用される装置に関しており、同装置は、
ａ）流体が接触するように作られた、エアゾール除去組成物、望ましくはソーダ石灰、フッ化ナトリウム、加熱活性化酸化アルミニウム、微粉化ニッケル、又は上記を組み合わせた床を備えている電解質エアゾール除去部と、
ｂ）導管によってエアゾール除去部に流体連通されている強制対流ダクトの内側に配置され、酸素を含む気流中の、代表的には強制対流ダクト内を流れる空気又は空気を含んでいる排出ガス中の水素を燃焼させるように作られた触媒活性化燃焼面と、
を備えている。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１０】
本発明の他の好適な装置としては、エアゾール除去部が床の形態、即ち、粒状材料の床として設けられ、望ましくは約０℃から２００℃の温度範囲に保たれ、一方で触媒ユニットは最低７０℃に、更に、理由は後述するが、望ましくは最低でも約２００℃に維持される装置である。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１２】
本発明の第２の態様は、フッ素発生器から生じる、水素と、残留量のＨＦとエアゾール電解質とを含んでいる流体中の水素を処理するための方法であって、同方法は、
ａ）望ましくは、ソーダ石灰、フッ化ナトリウム、加熱活性化酸化アルミニウム、微粉化ニッケル、又は上記の組み合わせの床を含むエアゾール除去組成物を備えている電解質エアゾール除去部に流体を流し、流体をエアゾール除去組成物に接触させて、エアゾールが減少した流体を形成する段階と、
ｂ）エアゾールが減少した流体を、強制対流ダクトの内側に配置された触媒活性化燃焼面に接触させると共に、酸素を含むガスを強制対流ダクト内に流して、酸素を含む流れの中の酸素で水素を燃焼させる段階と、
から成る方法である。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１６】
「触媒活性化燃焼面」という用語は、面が水素と酸素に触れると、水素の燃焼を開始、促進する、触媒的に活性化する面を意味している。
本願に使用する「床(bed)」という用語は、流体を通過させることのできる流路を有する、固体の塊、望ましくは粒状の材料をいう。
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２２】
導管１０３は、高濃度水素流を、エアゾール除去組成物が入っているエアゾール除去ユニット１０４に送る。エアゾール除去組成物は、望ましくは粒状の床の形態(bed form)をしており、ソーダ石灰、フッ化ナトリウム、加熱活性化酸化アルミニウム、微粉化ニッケル、又はこれらの組み合わせから成る群から選択されるのが望ましい。ソーダ石灰（ＣＡＳ：８００６−２８−８）は、酸化カルシウムと水酸化ナトリウム又は水酸化カリウムとの混合物であり、通常は二酸化炭素と水蒸気の吸着剤として使用されている。ソーダ石灰には、或る程度のＨＦを除去する（ＨＦの一部が酸化カルシウムの一部と反応してフッ化カルシウムを形成することによると考えられる）という付加的な利点があるが、これは厳密な要件ではない。
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２８】
図３に示す装置は、半導体製造プラントにとって重要な考慮点であるが、追加装置に必要なフットプリントが少なくて済む。ここに概略説明した条件で適正な流量を維持するには、別個の強制対流ダクトが必要になるかもしれない。エアゾール低減ユニットがソーダ石灰の床を有している場合、この床はかなり長期間ＨＦを除去することができる。しかしながら、交換しないでいると、ＨＦがエアゾール除去ユニットを通過することになるが、それでも触媒燃焼ユニットの作動に影響を及ぼすことはない。従って、エアゾール除去ユニットは、交換する必要はないが、本発明の装置を非常に長期に使用する場合には交換するほうが望ましい。長期運転の場合には、ソーダ石灰が柔らかくなるほどＨＦを吸収して、流路２０３及び２０５が詰まり始める。活性化酸化アルミニウムの床は、符号２１５で示すヒーターで約１００℃から約２００℃の範囲に加熱すると、ＨＦが床の粒子を完全に飽和させた後のソーダ石灰よりも長くその粒状の性状を維持することができる。