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【手続補正書】
【提出日】平成22年9月24日(2010.9.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
式（Ｉ）：
【化１】
2008169373.tif 000001
〔式中
Ｒ１は、２〜１８個の炭素原子を有する脂肪族または脂環族基であり、および
Ｒ２は、３〜５個の炭素原子を有する脂肪族基である〕
で示される少なくとも１つの構造単位を含んでなる、水希釈性ヒドロキシ官能性ポリウレタン。
【請求項２】
ポリウレタンは、
Ａ１）３１４〜５０００Ｄａの数平均分子量Ｍｎを有する少なくとも１つのアミド基含有ポリオール２５重量％〜８０重量％、
Ａ２）ポリエステル、ポリカーボネートおよびポリエーテルの群から選択される４００〜６０００Ｄａの数平均分子量Ｍｎを有する少なくとも１つのポリオール０重量％〜６０重量％、
Ａ３）６２〜４００Ｄａの数平均分子量を有し、少なくとも２つのヒドロキシル基を有する少なくとも１つの低分子量ポリオール０重量％〜２０重量％、
Ａ４）イソシアネート基に対して反応性の少なくとも２つの基、および陰イオンを形成し得る少なくとも１つの基を有する少なくとも１つの化合物２重量％〜１０重量％、および
Ａ５）ポリイソシアネート５重量％〜５０重量％
〔成分Ａ１）〜Ａ５）の合計は１００％である〕
の反応生成物である、請求項１に記載の水希釈性ヒドロキシ官能性ポリウレタン。
【請求項３】
水希釈性ポリウレタン固形分は、３５重量％〜７０重量％であり、および１００重量％までの残りのものは、水、有機溶媒および必要に応じて助剤および添加剤を含んでなる、請求項１に記載の水希釈性ヒドロキシ官能性ポリウレタンを含んでなる分散体。
【請求項４】
請求項３に記載の分散体および少なくとも１つの架橋剤を含んでなる、水性コーティング組成物。
【請求項５】
最上位トップ層として請求項１に記載の水希釈性ヒドロキシ官能性ポリウレタンを含んでなる、クリアコートまたはトップコート材料を有する多層コーティング組成物。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７２】
本発明を上記で例示の目的をもって詳細に説明したが、このような詳説が単にその目的のためであって、本発明は、特許請求の範囲によって限定され得る場合を除いて、本発明の精神および範囲を逸脱することなく、当業者によって変形がなされ得ると理解されるべきである。
本発明の好ましい態様は、以下を包含する。
［１］  式（Ｉ）：
【化１】
2008169373.tif 000002
〔式中
Ｒ１は、２〜１８個の炭素原子を有する脂肪族または脂環族基であり、および
Ｒ２は、３〜５個の炭素原子を有する脂肪族基である〕
で示される少なくとも１つの構造単位を含んでなる、水希釈性ヒドロキシ官能性ポリウレタン。
［２］  ポリウレタンは、（ＣＯ）ＮＨとして計算して２．０重量％〜２０重量％のアミド基含量を有する、［１］に記載の水希釈性ヒドロキシ官能性ポリウレタン。
［３］  ポリウレタンは、
Ａ１）３１４〜５０００Ｄａの数平均分子量Ｍｎを有する少なくとも１つのアミド基含有ポリオール２５重量％〜８０重量％、
Ａ２）ポリエステル、ポリカーボネートおよびポリエーテルの群から選択される４００〜６０００Ｄａの数平均分子量Ｍｎを有する少なくとも１つのポリオール０重量％〜６０重量％、
Ａ３）６２〜４００Ｄａの数平均分子量を有し、少なくとも２つのヒドロキシル基を有する少なくとも１つの低分子量ポリオール０重量％〜２０重量％、
Ａ４）イソシアネート基に対して反応性の少なくとも２つの基、および陰イオンを形成し得る少なくとも１つの基を有する少なくとも１つの化合物２重量％〜１０重量％、および
Ａ５）ポリイソシアネート５重量％〜５０重量％
〔成分Ａ１）〜Ａ５）の合計は１００％である〕
の反応生成物である、［１］に記載の水希釈性ヒドロキシ官能性ポリウレタン。
［４］  成分Ａ１）は、ａ）１，６−ヘキサメチレン−ジアミン、２−メチル−１，５−ジアミノペンタン、１−アミノ−３，３，５−トリメチル−５−アミノメチルシクロヘキサン（イソホロンジアミン）、ビス（４−アミノシクロヘキシル）メタンの異性体、およびそれらの混合物からなる群から選択される１以上の化合物と、ｂ）ε−カプロラクトンとの反応生成物を含んでなる、［１］に記載の水希釈性ヒドロキシ官能性ポリウレタン。
［５］  成分Ａ１）はアミド基含有ポリエステルポリオールである、［１］に記載の水希釈性ヒドロキシ官能性ポリウレタン。
［６］  成分Ａ１）は、式（Ｉ）で示される構造単位を含んでなり、および（ＣＯ）ＮＨとして計算して少なくとも７．５重量％のアミド基含量を有する、［１］に記載の水希釈性ヒドロキシ官能性ポリウレタン。
［７］  水希釈性ポリウレタン固形分は、５０重量％〜９０重量％であり、および１００重量％までの残りのものは、有機溶媒および必要に応じて助剤および添加剤を含んでなる、［１］に記載の水希釈性ヒドロキシ官能性ポリウレタンを含んでなる有機溶液。
［８］  水希釈性ポリウレタン固形分は、３５重量％〜７０重量％であり、および１００重量％までの残りのものは、水、有機溶媒および必要に応じて助剤および添加剤を含んでなる、［１］に記載の水希釈性ヒドロキシ官能性ポリウレタンを含んでなる分散体。
［９］  ［８］に記載の分散体および少なくとも１つの架橋剤を含んでなる、水性コーティング組成物。
［１０］  架橋剤はポリイソシアネートである、［９］に記載の水性コーティング組成物。
［１１］  ポリイソシアネートは、ブロックされていない形態である、［１０］に記載の水性コーティング組成物。
［１２］  最上位トップ層として［１］に記載の水希釈性ヒドロキシ官能性ポリウレタンを含んでなる、クリアコートまたはトップコート材料を有する多層コーティング組成物。
【手続補正書】
【提出日】平成21年11月17日(2009.11.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下部に移動用のキャスターと固定用ジャッキタイプの支柱を複数箇所に設け、かつ踏み板を設けたベース台車と、踏み板を有しベース台車から一つの側方に突出する突出部分を有する斜め建て枠を複数段設け、斜め建て枠の突出部分に複数段の垂直建て枠を設け、垂直建て枠の最上段に踏み板と手摺枠を設けるとともに、ベース台車上に斜め建て枠の突出部分と複数段の垂直建て枠との重量に対応する重量を有するバランスウエイトを設けたことを特徴とするバラ積船用保全足場。
【請求項２】
バラ積船の積み荷室の底面に踏み板を設けたベース台車を固定して支持させ、次にベース台車の上に、斜め建て枠の突出部分と複数段の垂直建て枠との重量に対応する重量を有するバランスウエイトを設け、次にベース台車から積み荷室の作業壁面方向にホッパー部の傾斜壁面に干渉しないように突出させて斜め建て枠をベース台車上に取り付け、次に斜め建て枠の突出部分に垂直方向に垂直建て枠を複数段設け、垂直建て枠の最上段に踏み板と手摺枠を設けることを特徴とするバラ積船用保全足場の組立方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
このようなバラ積船も、積み荷による汚れ等を除去するために定期的に積み荷室の壁面の洗浄等の保全作業（メインテナンス作業）が必要であった。それぞれの積み荷室Ａの大きさは、船の規模によって異なるが、少なくとも作業のために組立足場等が必要な高さがある。
【特許文献１】特開２００６−２７３３０７号公報
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上記の課題を解決するために、下部に移動用のキャスターと固定用ジャッキタイプの支柱を複数箇所に設け、かつ踏み板を設けたベース台車と、踏み板を有しベース台車から一つの側方に突出する突出部分を有する斜め建て枠を複数段設け、斜め建て枠の突出部分に複数段の垂直建て枠を設け、垂直建て枠の最上段に踏み板と手摺枠を設けるとともに、ベース台車上に斜め建て枠の突出部分と複数段の垂直建て枠との重量に対応する重量を有するバランスウエイトを設けたことを特徴とするバラ積船用保全足場を提案する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、バラ積船の積み荷室の底面に踏み板を設けたベース台車を固定して支持させ、次にベース台車の上に、斜め建て枠の突出部分と複数段の垂直建て枠との重量に対応する重量を有するバランスウエイトを設け、次にベース台車から積み荷室の作業壁面方向にホッパー部の傾斜壁面に干渉しないように突出させて斜め建て枠をベース台車上に取り付け、次に斜め建て枠の突出部分に垂直方向に垂直建て枠を複数段設け、垂直建て枠の最上段に踏み板と手摺枠を設けることを特徴とするバラ積船用保全足場の組立方法を提案する。
【手続補正書】
【提出日】平成22年1月7日(2010.1.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板の上に配置されたブラックマトリックスと、
前記基板及びブラックマトリックスの上に配置された複数のカラーフィルターと、
前記複数のカラーフィルターの上に配置された平坦化層と、
前記平坦化層の上に配置され、液晶のセルギャップを維持するための第１のカラムスペーサーと、
前記平坦化層及び第１のカラムスペーサーの上に配置された共通電極と、を備え、
前記第１のカラムスペーサーは前記共通電極と前記平坦化層との間で、かつ前記基板の表示領域内に配置されていることを特徴とするカラーフィルター基板。
【請求項２】
前記第１のカラムスペーサーは、前記ブラックマトリックスに対応する領域内に配置されていることを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルター基板。
【請求項３】
前記基板の非表示領域内に配置されている第２のカラムスペーサーを備えることを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルター基板。
【請求項４】
基板と、
前記基板の上に配置されたブラックマトリックスと、
前記基板及びブラックマトリックスの上に配置された複数のカラーフィルターと、
前記複数のカラーフィルターの上に配置された共通電極と、
前記共通電極の上に形成され、液晶のセルギャップを維持するための第１のカラムスペーサーと、を備え、
前記共通電極は前記第１のカラムスペーサーと前記カラーフィルターとの間に配置され、前記第１のカラムスペーサーは導電性材料を含むと共に、前記基板の表示領域内に配置されていることを特徴とするカラーフィルター基板。
【請求項５】
前記第１のカラムスペーサーは、前記ブラックマトリックスに対応する領域内に配置されていることを特徴とする請求項４に記載のカラーフィルター基板。
【請求項６】
前記基板の非表示領域内に配置されている第２のカラムスペーサーを備えることを特徴とする請求項４に記載のカラーフィルター基板。
【請求項７】
第１の導電性カラムスペーサーを備える第１の基板と、
前記第１の基板と対向する第２の基板と、
前記第１の基板と第２の基板との間に注入された液晶と、を備え、
前記第１の導電性カラムスペーサーは、前記第１の基板の表示領域内に配置されていることを特徴とする液晶表示パネル。
【請求項８】
前記第２の基板は、
透明な絶縁基板と、
前記透明な絶縁基板の上に配置された複数のストレージ電極と、
前記ストレージ電極の上に配置されていると共に、前記ストレージ電極の一部を露出させるコンタクトホールを有する絶縁膜と、
前記コンタクトホールの上に配置されていると共に、隣設するストレージ電極同士を接続するためのコンタクトと、を備えることを特徴とする請求項７に記載の液晶表示パネル。
【請求項９】
前記第１の導電性カラムスペーサーは、前記コンタクトと接触することを特徴とする請求項８に記載の液晶表示パネル。
【請求項１０】
前記第１の基板は、
透明な絶縁基板と、
前記透明な絶縁基板の上に配置されたブラックマトリックスと、
前記基板及びブラックマトリックスの上に配置された複数のカラーフィルターと、
前記複数のカラーフィルターの上に配置された平坦化層と、
前記平坦化層と第１の導電性カラムスペーサーの上に配置された共通電極と、を備え、
前記第１の導電性カラムスペーサーは前記共通電極と前記平坦化層との間に配置され、かつ液晶のセルギャップを維持するために前記平坦化層の上に配置されていることを特徴とする請求項８に記載の液晶表示パネル。
【請求項１１】
前記第１の基板は、
透明な絶縁基板と、
前記透明な絶縁基板の上に配置されたブラックマトリックスと、
前記透明な絶縁基板及び前記ブラックマトリックスの上に配置された複数のカラーフィルターと、
前記複数のカラーフィルターの上に配置された共通電極と、を備え、
前記共通電極は第１の導電性カラムスペーサーと前記複数のカラーフィルターとの間に配置され、前記第１の導電性カラムスペーサーは導電性材料を含むと共に、液晶のセルギャップを維持するために前記共通電極の上に配置されていることを特徴とする請求項８に記載の液晶表示パネル。
【請求項１２】
前記第１の導電性カラムスペーサーは、前記ブラックマトリックスに対応する領域内に
配置されていることを特徴とする請求項１０に記載の液晶表示パネル。
【請求項１３】
前記第１の基板は第２の導電性カラムスペーサーをさらに備え、前記第２の導電性カラムスペーサーは前記第１の基板の非表示領域内に配置されていることを特徴とする請求項１２に記載の液晶表示パネル。
【請求項１４】
前記第２の基板は、前記第１の基板の共通電極に電圧を印加するための共通電圧印加端子をさらに備えることを特徴とする請求項１３に記載の液晶表示パネル。
【請求項１５】
前記共通電圧印加端子は、前記第２の基板の周縁部に配置されていると共に、前記第２の導電性カラムスペーサーと電気的に接続されていることを特徴とする請求項１４に記載の液晶表示パネル。
【手続補正書】
【提出日】平成22年1月12日(2010.1.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板、
前記基板の上にマトリックス状に形成された複数の画素からなり、隣接する第１の画素行と第２の画素行とを含む画素マトリックス、
前記基板の上で前記画素マトリックスの行方向に延び、前記第１の画素行に含まれる画素のいずれかに接続されている第１のゲート線、
前記基板の上で前記画素マトリックスの行方向に延び、前記第１の画素行に含まれる画素のいずれかと、前記第２の画素行に含まれる画素のいずれかとに接続されている第２のゲート線及び、
前記基板の上で前記画素マトリックスの行方向に延び、前記第２の画素行に含まれる画素のいずれかに接続されている第３のゲート線を備えている液晶表示装置。
【請求項２】
前記第１のゲート線に接続される第１のゲート駆動部、
前記第２のゲート線に接続される第２のゲート駆動部及び、
前記第３のゲート線に接続される第３のゲート駆動部をさらに備える請求項１に記載の液晶表示装置。
【請求項３】
前記第１ないし第３のゲート駆動部が前記基板に集積化されている請求項２に記載の液晶表示装置。
【請求項４】
前記第１のゲート駆動部と前記第２のゲート駆動部とが前記画素マトリックスの行方向で前記画素マトリックスを隔てて互いに対向している請求項２に記載の液晶表示装置。
【請求項５】
前記第１ないし第３のゲート駆動部が、水平周期の２倍に等しい期間中に、ゲートオン電圧を前記第１ないし第３のゲート線に順番に供給する請求項２に記載の液晶表示装置。
【請求項６】
前記第１ないし第３のゲート線のそれぞれに対するゲートオン電圧の印加期間が水平周期の１／３倍〜１倍ずつ互いに重なっている請求項５に記載の液晶表示装置。
【請求項７】
前記第１の画素行に含まれる３つの隣接する画素のうち、２つは前記第１のゲート線に接続され、残り１つは前記第２のゲート線に接続され、
前記第２の画素行に含まれる３つの隣接する画素のうち、１つは前記第２のゲート線に接続され、残り２つは前記第３のゲート線に接続されている請求項１に記載の液晶表示装置。
【請求項８】
前記基板の上で前記画素マトリックスの列方向に延び、各画素にデータ電圧を供給する第１のデータ線と第２のデータ線、を前記液晶表示装置が更に備え、
前記第１の画素行に含まれる３つの隣接する画素のうち、少なくとも１つは前記第１のデータ線に接続され、残りは前記第２のデータ線に接続され、
前記第２の画素行に含まれる３つの隣接する画素のうち、少なくとも１つは前記第２のデータ線に接続され、残りは前記第１のデータ線に接続されている請求項１に記載の液晶表示装置。
【請求項９】
前記第１の画素行に含まれる３つの隣接する画素を、第１の画素、第２の画素及び第３の画素、とし、
前記第２の画素行に含まれる３つの隣接する画素であり、前記第１の画素、前記第２の画素及び前記第３の画素、のそれぞれに前記画素マトリックスの列方向で隣接する３つの画素を、第４の画素、第５の画素、及び第６の画素とするとき、
前記第１の画素は前記第１のデータ線に接続され、第２の画素は前記第２のデータ線に接続され、前記第３の画素は前記第２のデータ線に接続され、
前記第４の画素は前記第１のデータ線に接続され、前記第５の画素は前記第１のデータ線に接続され、前記第６の画素は前記第２のデータ線に接続されている請求項８に記載の液晶表示装置。
【請求項１０】
前記第１の画素行に含まれる３つの隣接する画素を、第１の画素、第２の画素及び第３の画素とし、
前記第２の画素行に含まれる３つの隣接する画素であり、前記第１の画素、前記第２の画素、及び前記第３の画素、のそれぞれに前記画素マトリックスの列方向で隣接する３つの画素を、第４の画素、第５の画素及び第６の画素とするとき、
前記第１の画素は前記第２のデータ線に接続され、前記第２の画素は前記第１のデータ線に接続され、前記第３の画素は前記第２のデータ線に接続され、
前記第４の画素は前記第１のデータ線に接続され、前記第５の画素は前記第２のデータ線に接続され、前記第６の画素は前記第１のデータ線に接続されている請求項８に記載の液晶表示装置。
【請求項１１】
前記第１の画素行と前記第２の画素行とのそれぞれに含まれる３つの隣接する画素が、赤色画素、緑色画素、及び青色画素からなる請求項７または請求項８に記載の液晶表示装置。
【請求項１２】
基板、
前記基板の上にマトリックス状に形成された複数の画素からなり、隣接する第１の画素行と第２の画素行とを含む画素マトリックス、
前記基板の上で前記画素マトリックスの行方向に延び、前記第１の画素行に含まれる画素のいずれかに接続されている第１のゲート線、
前記基板の上で前記画素マトリックスの行方向に延び、前記第１の画素行に含まれる画素のいずれかと、前記第２の画素行に含まれる画素のいずれかとに接続されている第２のゲート線及び、
前記基板の上で前記画素マトリックスの行方向に延び、前記第２の画素行に含まれる画素のいずれかに接続されている第３のゲート線を備えている液晶表示装置を駆動する方法であり、
ゲートオン電圧を、水平周期の２倍に等しい期間中に、前記第１ないし第３のゲート線に対して順番に印加する段階を含む液晶表示装置の駆動方法。
【請求項１３】
前記第１ないし第３のゲート線のそれぞれに対し、短くとも水平周期の２／３倍に等しい時間ずつゲートオン電圧を印加する請求項１２に記載の液晶表示装置の駆動方法。
【請求項１４】
前記第１ないし第３のゲート線のそれぞれに対するゲートオン電圧の印加期間を水平周期の１／３倍〜１倍ずつ互いに重ねる請求項１２に記載の液晶表示装置の駆動方法。
【手続補正書】
【提出日】平成21年12月4日(2009.12.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のフリップフロップ回路を有するシフトレジスタ、及び前記各フリップフロップ回路に一つずつ電気的に接続されたラッチ回路を有する信号線駆動回路と、
前記各ラッチ回路に一本ずつ電気的に接続された信号線と、を有し、
前記シフトレジスタは、クロック信号に従って映像信号を前記各フリップフロップ回路に順次入力し、
前記ラッチ回路は、前記各フリップフロップ回路に入力された前記映像信号を取り込んだ後、ラッチパルスに従って、取り込んだ前記映像信号をデジタル信号として前記信号線に出力することを特徴とするデジタル駆動型表示装置。
【請求項２】
ｍ（ｍは自然数）個のフリップフロップ回路を有するシフトレジスタ、及び前記各フリップフロップ回路に一つずつ電気的に接続されたｍ個のラッチ回路を有する信号線駆動回路と、
前記各ラッチ回路に一本ずつ電気的に接続されたｍ本の信号線と、を有し、
前記シフトレジスタは、クロック信号に従って映像信号を前記各フリップフロップ回路に順次入力し、
前記ラッチ回路は、前記各フリップフロップ回路に入力された前記映像信号を取り込んだ後、ラッチパルスに従って、取り込んだ前記映像信号をデジタル信号として前記信号線に出力することを特徴とするデジタル駆動型表示装置。
【請求項３】
複数のフリップフロップ回路を有するシフトレジスタ、及び前記各フリップフロップ回路に二つずつ電気的に接続されたラッチ回路を有する信号線駆動回路と、
前記ラッチ回路に一本ずつ電気的に接続された信号線と、を有し、
前記シフトレジスタは、クロック信号に従って映像信号を前記各フリップフロップ回路に順次入力し、
前記ラッチ回路は、前記各フリップフロップ回路に入力された前記映像信号を取り込んだ後、ラッチパルスに従って、取り込んだ前記映像信号をデジタル信号として前記信号線に出力することを特徴とするデジタル駆動型表示装置。
【請求項４】
ｍ／２（ｍは２以上の自然数）個のフリップフロップ回路を有するシフトレジスタ、及び前記各フリップフロップ回路に二つずつ電気的に接続されたｍ個のラッチ回路を有する信号線駆動回路と、
前記ラッチ回路に一本ずつ電気的に接続されたｍ本の信号線と、を有し、
前記シフトレジスタは、クロック信号に従って映像信号を前記各フリップフロップ回路に順次入力し、
前記ラッチ回路は、前記各フリップフロップ回路に入力された前記映像信号を取り込んだ後、ラッチパルスに従って、取り込んだ前記映像信号をデジタル信号として前記信号線に出力することを特徴とするデジタル駆動型表示装置。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか一において、
前記信号線駆動回路は、画素部に前記映像信号を線順次に書き込むことを特徴とするデジタル駆動型表示装置。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれか一において、
前記映像信号は、デジタル信号であることを特徴とするデジタル駆動型表示装置。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６のいずれか一において、
前記フリップフロップ回路は、Ｄ型フリップフロップであることを特徴とするデジタル駆動型表示装置。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７のいずれか一において、
前記ラッチ回路は、レベルセンシティブラッチであることを特徴とするデジタル駆動型表示装置。
【請求項９】
請求項１乃至請求項８のいずれか一において、
前記信号線駆動回路からの前記映像信号が前記信号線を介して入力される画素部を有し、
前記画素部は、前記信号線と交差するように設けられた走査線と、
前記信号線及び前記走査線と電気的に接続された第１のトランジスタと、
前記第１のトランジスタに電気的に接続された第２のトランジスタと、
前記第２のトランジスタに電気的に接続された発光素子と、を有することを特徴とするデジタル駆動型表示装置。
【手続補正書】
【提出日】平成22年1月12日(2010.1.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のゲート線を駆動するためのゲートドライバーであって、
前記ゲートドライバーは、ゲート駆動信号を出力する複数のステージより構成されるシフトレジスターを備え、
前記ステージは、第１のクロック信号及び第２のクロック信号に基づいて、ゲート駆動信号を出力端子に与えるためのプルアップ回路と、ゲートオフ信号を前記出力端子に与えるためのプルダウン回路と、第１の制御信号に基づいて前記プルアップ回路を駆動するプルアップ駆動回路と、第２の制御信号に基づいて前記プルダウン回路を駆動するプルダウン駆動回路と、複数のスイッチング素子とを備え、
前記第１のクロック信号、第２のクロック信号、第１の制御信号または第２の制御信号が印加される信号線と前記スイッチング素子が電気的に接続されるノードのうち少なくとも１つのノードは、少なくとも２つのコンタクトを備えることを特徴とするゲートドライバー。
【請求項２】
前記スイッチング素子は、非晶質シリコン活性層を備える薄膜トランジスターであることを特徴とする請求項１に記載のゲートドライバー。
【請求項３】
前記少なくとも１つのノードは、前記第１の制御信号が印加される信号線と前記スイッチング素子が電気的に接続されるノードであることを特徴とする請求項１に記載のゲートドライバー。
【請求項４】
前記第１の制御信号は、直前のステージのゲート駆動信号であることを特徴とする請求項３に記載のゲートドライバー。
【請求項５】
前記少なくとも２つのコンタクトは、透明導電体を備えることを特徴とする請求項１に記載のゲートドライバー。
【請求項６】
前記少なくとも２つのコンタクトは、異なる個所に形成されることを特徴とする請求項１に記載のゲートドライバー。
【請求項７】
前記ノードのうち前記少なくとも２つのコンタクトを備えるノードの電流値が最も高いことを特徴とする請求項１に記載のゲートドライバー。
【請求項８】
前記少なくとも２つのコンタクトを備えるノードの電流値は、約７５μＡであることを特徴とする請求項１に記載のゲートドライバー。
【請求項９】
複数のゲート線を駆動するためのゲートドライバーであって、
前記ゲートドライバーは、ゲート駆動信号を出力する複数のステージより構成されるシフトレジスターを備え、
前記ステージは、第１のクロック信号及び第２のクロック信号に基づいてゲート駆動信号を出力端子に与えるためのプルアップ回路と、ゲートオフ信号を前記出力端子に与えるためのプルダウン回路と、第１の制御信号に基づいて前記プルアップ回路を駆動するプルアップ駆動回路と、第２の制御信号に基づいて前記プルダウン回路を駆動するプルダウン駆動回路とを備え、複数のスイッチング素子及び前記複数のスイッチング素子のうち第１のスイッチング素子に接続されている冗長スイッチング素子を備え、
前記冗長スイッチング素子は、前記プルダウン駆動回路に作り込まれる少なくとも１つのスイッチング素子に接続されていることを特徴とするゲートドライバー。
【請求項１０】
複数のゲート線を駆動するためのゲートドライバーであって、
前記ゲートドライバーは、ゲート駆動信号を出力する複数のステージより構成されるシフトレジスターを備え、
前記ステージは、第１のクロック信号及び第２のクロック信号に基づいてゲート駆動信号を出力端子に与えるためのプルアップ回路と、ゲートオフ信号を前記出力端子に与えるためのプルダウン回路と、第１の制御信号に基づいて前記プルアップ回路を駆動するプルアップ駆動回路と、第２の制御信号に基づいて前記プルダウン回路を駆動するプルダウン駆動回路とを備え、複数のスイッチング素子及び前記複数のスイッチング素子のうち第１のスイッチング素子に接続されている冗長スイッチング素子を備え、
前記第１のクロック信号、第２のクロック信号、第１の制御信号または第２の制御信号が印加される信号線と前記スイッチング素子が電気的に接続されるノードのうち第１のノードは、少なくとも２つのコンタクトを備えることを特徴とするゲートドライバー。
【手続補正書】
【提出日】平成22年6月8日(2010.6.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
このような背景から、発明者等は、既に特許文献１において高速高精度なトラッキングを実現する為の微動アクチュエータを提案しているが、更に、この微動アクチュエータを高速高精度に位置決め制御する為の制御系の改良が要請されている。制御系としてＰＩＤ制御装置が適用されるが、ＰＩＤ制御装置は、比例要素（Ｐ）、微分要素（Ｄ）及び積分要素（Ｉ）の３つの要素を組み合わせて構成され、一般的には、これら３つの要素のゲインが仕様として与えられるサーボ帯域を実現するように試行錯誤して決定される。このように制御要素を決定するには、サーボ帯域を制限する機構の共振特性を打ち消すように、ＰＩＤ制御装置に反共振特性を与えて広帯域化を実現している。また、位置決めにおけるオーバーシュート量を抑制するようにゲインを決定している。サーボ帯域を制限する機構の共振特性を打ち消すように、ＰＩＤ制御装置に反共振特性を与える為にノッチフィルタを利用する制御系があるが、高速での応答実現の妨げになる場合がある。
【特許文献１】特開２００５−２６１１６７
【手続補正書】
【提出日】平成22年10月27日(2010.10.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
防振のために移動可能な可動ユニットおよび該可動ユニットの移動に伴い移動可能なボールを有する防振ユニットと、
前記可動ユニットの動作を制御する制御手段とを有する光学機器であって、
前記制御手段は、前記可動ユニットに、前記防振ユニットの防振動作と、該防振動作とは別の動作であって前記ボールを可動中心位置に移動させるためのリセット動作とを行わせ、
該光学機器は、該光学機器により形成される被写体像を観察するためのファインダを有する撮像装置に装着可能であり、
前記制御手段は、該光学機器が前記撮像装置に装着されたことに応じて、該撮像装置の電源がオフであっても、前記可動ユニットに前記リセット動作を行わせることを特徴とする光学機器。
【請求項２】
前記ファインダが、被写体の画像を表示する電子ビューファインダであることを特徴とする請求項１に記載の光学機器。
【請求項３】
防振のために移動可能な可動ユニットおよび該可動ユニットの移動に伴い移動可能なボールを有する防振ユニットを有するとともに、前記可動ユニットの動作を制御する制御手段を有する光学機器と、
前記光学機器の装着が可能であり、該光学機器により形成される被写体像を観察するためのファインダを有する撮像装置とを備えた撮像システムであって、
前記制御手段は、前記可動ユニットに、前記防振ユニットの防振動作と、該防振動作とは別の動作であって前記ボールを可動中心位置に移動させるためのリセット動作とを行わせ、
前記制御手段は、前記光学機器が前記撮像装置に装着されたことに応じて、該撮像装置の電源がオフであっても、前記可動ユニットに前記リセット動作を行わせることを特徴とする撮像システム。
【請求項４】
前記ファインダが、被写体の画像を表示する電子ビューファインダであることを特徴とする請求項３に記載の撮像システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の一側面としての光学機器は、防振のために移動可能な可動ユニットおよび該可動ユニットの移動に伴い移動可能なボールを有する防振ユニットと、可動ユニットの動作を制御する制御手段とを有する。制御手段は、可動ユニットに、防振ユニットの防振動作と、該防振動作とは別の動作であってボールを可動中心位置に移動させるためのリセット動作とを行わせる。該光学機器は、該光学機器により形成される被写体像を観察するためのファインダを有する撮像装置に装着可能である。そして、制御手段は、該光学機器が撮像装置に装着されたことに応じて、該撮像装置の電源がオフであっても、可動ユニットにリセット動作を行わせることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
さらに、本発明の他の側面としての撮像システムは、防振のために移動可能な可動ユニットおよび該可動ユニットの移動に伴い移動可能なボールを有する防振ユニットを有するとともに、可動ユニットの動作を制御する制御手段を有する光学機器と、該光学機器の装着が可能であり、該光学機器により形成される被写体像を観察するためのファインダを有する撮像装置とを備えた撮像システムである。制御手段は、可動ユニットに、防振ユニットの防振動作と、該防振動作とは別の動作であってボールを可動中心位置に移動させるためのリセット動作とを行わせる。そして、制御手段は、光学機器が撮像装置に装着されたことに応じて、該撮像装置の電源がオフであっても、可動ユニットにリセット動作を行わせることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明によれば、該光学機器の撮像装置への装着に応じて、該撮像装置の電源がオフであっても、可動ユニットにリセット動作を行わせる。このため、リセット動作による被写体像の変位が、ファインダを通して撮影者に見えないようにすることができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８０】
図９には、本発明の参考技術例としての実施例３である一眼レフ撮像システムの構成を示している。本実施例の撮像システムの基本的な構成は実施例１の撮像システムと同じである。このため、共通する構成要素には、実施例１と同符号を付す。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９３】
図１１のフローチャートには、本発明の別の参考技術例としての実施例４である一眼レフ撮像システムにおける防振ユニットのイニシャライズ動作シーケンスを示している。本実施例の撮像システムの基本的な構成は実施例１の撮像システムと同じである。このため、共通する構成要素には、実施例１と同符号を付す。
【手続補正書】
【提出日】平成22年2月5日(2010.2.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円筒形の保持体の中心に、十字状に配置した断面四角形の４本のスポーク柱によって荷重受部を支持した同形の２つのロードセル半部を、前記保持体の端部同士を向き合わせて上下対称に配置して前記保持体の端縁同士を接続し、前記スポーク柱の各面に歪ゲージを貼付したことを特徴とする多軸力ロードセル。
【請求項２】
前記スポーク柱の一面には、高々１素子の歪ゲージを貼付するようにした請求項１に記載の多軸力ロードセル。
【請求項３】
前記保持体の厚みを薄くしたことを特徴とする請求項１又は２に記載の多軸力ロードセル。
【手続補正書】
【提出日】平成21年12月3日(2009.12.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に空洞（１２）が設けられ、かつ、試験される衣料品（Ａ）を装着するように輪郭が付けられ、その表面に前記空洞（１２）へ開口する複数の貫通孔（１３）を有しているマネキン状本体（１１）と、
蒸気透過性であって水蒸気吸着特性および水蒸気放出特性を有している、前記マネキン状本体（１１）のための外面被覆物（１４）と、
前記空洞（１２）へ蒸気を直接供給するように適合された水蒸気発生手段（１５）と
を備えてなることを特徴とする、人体の発汗を模擬実験するとともに衣料品の蒸気透過性および快適性を評価するための装置。
【請求項２】
前記水蒸気発生手段（１５）が、蒸気を発生させるために使用された水の量を測定するための手段（２２）を備えていることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記水蒸気発生手段（１５）は、
前記空洞（１２）へ直接接続され、かつ、その中に水位を測定するための第１手段（１８）と存在している水を加熱するための手段（１６）とがある第１水タンク（１７）と、
第２水位測定手段（２６）が結び付けられた第２の補給用水タンク（２１）と
を備え、
前記第２タンク（２１）は、ポンプ（２０）によって前記第１タンク（１７）へ機能的に接続され、前記第２タンク（２１）における水位を測定するための前記第２手段（２６）は、蒸気を発生するために使用された水の量を測定するための前記手段（２２）を構成していることを特徴とする請求項１または２に記載の装置。
【請求項４】
前記空洞（１２）の内部に配置された温度感知手段（２７）および湿度感知手段（２８）を備えていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の装置。
【請求項５】
前記温度感知手段（２７）は、熱電対センサによって構成され、前記湿度感知手段（２８）は、容量センサによって構成されていることを特徴とする請求項４に記載の装置。
【請求項６】
前記水蒸気発生手段（１５）の作動のために使用された電力を測定するための手段（３１）を備えていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載の装置。
【請求項７】
前記電力測定手段（３１）は、前記第１タンク（１７）に存在している水を加熱するための前記手段（１６）を構成する少なくとも１つの抵抗加熱要素（１９）によって消散した電力を測定するための電力計からなっていることを特徴とする請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記水加熱手段（１６）が温度調整器（３０）を備えていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１つに記載の装置。
【請求項９】
付加的な温度感知手段（３２）および湿度感知手段（３３）を備え、これらが、前記外面被覆物（１４）の外面に接するかあるいは同外面からある一定距離を置いて配置されていることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１つに記載の装置。
【請求項１０】
前記第１タンク（１７）は、前記マネキン状本体（１１）の下方に配置され、前記空洞（１２）は、前記第１タンク（１７）の上部を形成していることを特徴とする請求項１〜９のいずれか１つに記載の装置。
【請求項１１】
前記マネキン状本体（１１）は、前記第１タンク（１７）によって構成された足部が結び付けられている剛性材料のネットから作られていることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１つに記載の装置。
【請求項１２】
前記マネキン状本体（１１）のための前記外面被覆物（１４）は、織物材料から作られていることを特徴とする請求項１〜１１のいずれか１つに記載の装置。
【請求項１３】
この装置の構成要素からの電気信号を受けるように適合された少なくとも１つの中央電子管理・制御ユニット（２９）を備えていることを特徴とする請求項１〜１２のいずれか１つに記載の装置。
【請求項１４】
温度感知手段（２７，３２）、湿度感知手段（２８，３３）、前記温度調整器（３０）が結び付けられた前記第１タンク（１７）の中に設けられた少なくとも１つの抵抗加熱要素（１９）、前記少なくとも１つの抵抗加熱要素（１９）の作動のために使用された電力を測定するための前記電力計（３１）は、前記少なくとも１つの中央電子管理・制御ユニット（２９）に接続されていることを特徴とする請求項１３に記載の装置。
【請求項１５】
前記マネキン状本体（１１）に前記外面被覆物（１４）を着衣させかつ同本体（１１）から同被覆物（１４）を脱衣させるための手段を備えていることを特徴とする請求項１〜１４のいずれか１つに記載の装置。
【手続補正書】
【提出日】平成22年4月26日(2010.4.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１２】
管体周方向に配置された一又は二以上のアレイ探触子上の異なる振動子群からなる送波部および受波部とから構成される管体の超音波探傷装置を用い、
前記管体の管軸方向溶接部の溶接面と前記管体の内面に対し、
それぞれ３３．２°から５６．８°の範囲内の角度で入射するように前記送波部により超音波を送波し、
前記溶接面における正反射方向に対して−１２°から１６°の範囲内の方向に反射した一部または全部の反射波を前記受波部により受波し、
前記アレイ探触子上で前記送波部及び前記受波部に対応する振動子群を変更する、または前記アレイ探触子の角度を変更するように制御して前記管体の厚さ方向に走査するとともに、
前記溶接面と前記内面への入射角度および前記溶接面での反射波の角度が前記それぞれの範囲に維持されるように、各送波および受波における管体に対する超音波の入射角を制御すること
を特徴とする管体の超音波探傷方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
また本発明の請求項１２に係る発明は、管体周方向に配置された一又は二以上のアレイ探触子上の異なる振動子群からなる送波部および受波部とから構成される管体の超音波探傷装置を用い、前記管体の管軸方向溶接部の溶接面と前記管体の内面に対し、それぞれ３３．２°から５６．８°の範囲内の角度で入射するように前記送波部により超音波を送波し、
前記溶接面における正反射方向に対して−１２°から１６°の範囲内の方向に反射した一部または全部の反射波を前記受波部により受波し、前記アレイ探触子上で前記送波部及び前記受波部に対応する振動子群を変更する、または前記アレイ探触子の角度を変更するように制御して前記管体の厚さ方向に走査するとともに、前記溶接面と前記内面への入射角度および前記溶接面での反射波の角度が前記それぞれの範囲に維持されるように、各送波および受波における管体に対する超音波の入射角を制御することを特徴とする管体の超音波探傷方法である。
【手続補正書】
【提出日】平成21年12月11日(2009.12.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャビティと、前記キャビティを開閉するドアと、前記キャビティの内部に提供されるヒーターとが含まれるオーブンにおいて、
前記ドアは、
前記キャビティを遮蔽した時に前記キャビティの内部空間に露出する内側パネルと、
外部空間に露出する外側パネル及び前記内側パネルと外側パネルとの間で離隔するように配置される複数の中間パネルを含むパネルアセンブリーと、
前記外側パネルの後面の縁部に固定されて、前記内側パネル及び中間パネルを支持する側面フレームと、を含み、
前記側面フレームと前記外側パネルとの間には外気吸入ホールが形成され、
前記外気吸入ホールは、前記側面フレームに形成された中空部によって、前記外側パネルと該外側パネルと隣接する中間パネルとの間に定義される空間、及び前記複数の内側パネルの間に形成される１つ又は１つ以上の空間と流動的に連通する、
ことを特徴とするオーブン。
【請求項２】
前記中空部は、前記外気吸入ホールと前記各ドアのパネルとの間の空間を連結する、ことを特徴とする請求項１に記載のオーブン。
【請求項３】
前記外気吸入ホールを通じて吸入される外気は、前記各ドアのパネル間の空間及び前記中空部に分かれて流れる、ことを特徴とする請求項１に記載のオーブン。
【請求項４】
前記外気吸入ホールを通じて吸入される外気は、前記複数のパネルを冷却させた後ドアの外部に排出される、ことを特徴とする請求項３に記載のオーブン。
【請求項５】
前記側面フレームは、
前記内側パネルを支持する支持部と、
前記中間パネルを支持する固定部と、
前記側面フレームに伝達される熱を放出する放熱部と、
前記外側パネルに固定されるフレーム固定部と、
を含む、ことを特徴とする請求項１に記載のオーブン。
【請求項６】
前記放熱部は、多数回折曲される折曲部と、所定の曲率で湾曲される湾曲リブと、を含み、  前記外気吸入ホールを通じて吸入される空気の少なくとも一部は前記折曲部及び湾曲リブと接触する、ことを特徴とする請求項５に記載のオーブン。
【請求項７】
前記側面フレームの内部には所定の中空部が形成され、
前記折曲部と湾曲リブは前記中空部の内部に露出する、ことを特徴とする請求項６に記載のオーブン。
【請求項８】
前記キャビティから前記側面フレームへの熱伝達が減少されるように、前記側面フレームの一側には前記内側パネルにより遮蔽される空気収容ホールが形成される、ことを特徴とする請求項１に記載のオーブン。
【手続補正書】
【提出日】平成21年12月28日(2009.12.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の薄膜トランジスタ形成領域に、横断面形状が略細長方形状のイオンビームを短手方向に順次位置を変えながら照射して所定のイオンを注入するイオン注入工程を有するイオンビームの照射方法において、
前記イオン注入工程は、前記薄膜トランジスタ形成領域を前記イオンビームの長手方向に分割した分割領域を、各領域毎に順次位置を変えながら前記イオンビームで照射するものであると共に、前記イオンビームが長手方向両側部分のそれぞれの端部に向けて減少する開口量減少部分を有し前記基板から距離を置いたマスクを通過するものであって、隣合う前記分割領域をそれぞれ照射する際、前記開口量減少部分の一方を通過した前記イオンビームの断面積減少部分で照射された照射減少領域を、次の前記開口量減少部分の他方を通過した前記イオンビームの断面積減少部分を用いて重ねて照射することを特徴とするイオンビームの照射方法。
【請求項２】
前記断面積減少部分を重ねて照射した時の前記照射減少領域におけるイオン量の積分値が、前記イオンビームで照射された該照射減少領域以外の領域におけるイオン量に略等しくなっていることを特徴とする請求項１記載のイオンビームの照射方法。
【請求項３】
基板の薄膜トランジスタ形成領域を横断面形状が略細長方形状のイオンビームの長手方向に分割して形成した各分割領域に、該分割領域毎に前記イオンビームを短手方向の位置を順次変えながら照射して所定イオンを注入する薄膜トランジスタをもつ基板の製造装置であって、
前記イオンビームを放射するイオン源と前記基板表面の間に、該イオンビームの断面形状を成形するマスクを備えると共に、前記マスクが両端部に開口量減少部分を有する細長方形状の開口を備えたものであり、隣合う前記分割領域を前記イオンビームでそれぞれ照射する際に、前記開口量減少部分の一方で照射した照射減少領域を、前記開口量減少部分の他方を用いて少なくとも一部重ねて照射するよう形成されていることを特徴とする薄膜トランジスタをもつ基板の製造装置。
【請求項４】
前記開口量減少部分は、前記開口の両端部の長さが等しく、各端部先端に向けて開口量が漸減していることを特徴とする請求項３記載の薄膜トランジスタをもつ基板の製造装置。
【請求項５】
前記開口量減少部分は、両端部で開口量が等しくなっていることを特徴とする請求項３記載の薄膜トランジスタをもつ基板の製造装置。
【請求項６】
前記開口は、少なくとも一部が複数の小開口によって形成されていることを特徴とする請求項３記載の薄膜トランジスタをもつ基板の製造装置。
【請求項７】
前記基板を基板支持台に載置し、該基板支持台を移動させることによって、前記分割領域毎の順次位置を変えながらの前記イオンビームの照射が行われるものであることを特徴とする請求項３記載の薄膜トランジスタをもつ基板の製造装置。
【請求項８】
前記マスクの開口量減少部分が少なくとも複数の小開口で形成されていることを特徴とする請求項１記載のイオンビームの照射方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】イオンビーム照射方法および薄膜トランジスタをもつ基板の製造装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、イオンビームの照射方法、さらに薄膜トランジスタをもつ基板の製造装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記のような状況に鑑みて本発明はなされたもので、その目的とするところは、基板のＴＦＴ形成領域を分割した分割領域を、各分割領域毎にイオン注入を行っても、ＴＦＴ形成領域全面にわたってイオン注入量を均一なものとすることができ、また大型設備とならず、高額なものとならないイオンビームの照射方法、薄膜トランジスタをもつ基板の製造装置を提供することにある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明のイオンビームの照射方法および薄膜トランジスタをもつ基板の製造装置は、
イオンビームの照射方法が、
基板の薄膜トランジスタ形成領域に、横断面形状が略細長方形状のイオンビームを短手方向に順次位置を変えながら照射して所定のイオンを注入するイオン注入工程を有するイオンビームの照射方法において、
前記イオン注入工程は、前記薄膜トランジスタ形成領域を前記イオンビームの長手方向に分割した分割領域を、各領域毎に順次位置を変えながら前記イオンビームで照射するものであると共に、前記イオンビームが長手方向両側部分のそれぞれの端部に向けて減少する開口量減少部分を有し前記基板から距離を置いたマスクを通過するものであって、隣合う前記分割領域をそれぞれ照射する際、前記開口量減少部分の一方を通過した前記イオンビームの断面積減少部分で照射された照射減少領域を、次の前記開口量減少部分の他方を通過した前記イオンビームの断面積減少部分を用いて重ねて照射することを特徴とするイオンビームの照射方法であり、
また、薄膜トランジスタをもつ基板の製造装置が、
基板の薄膜トランジスタ形成領域を横断面形状が略細長方形状のイオンビームの長手方向に分割して形成した各分割領域に、該分割領域毎に前記イオンビームを短手方向の位置を順次変えながら照射して所定イオンを注入す薄膜トランジスタをもつ基板の製造装置であって、
前記イオンビームを放射するイオン源と前記基板表面の間に、該イオンビームの断面形状を成形するマスクを備えると共に、前記マスクが両端部に開口量減少部分を有する細長方形状の開口を備えたものであり、隣合う前記分割領域を前記イオンビームでそれぞれ照射する際に、前記開口量減少部分の一方で照射した照射減少領域を、前記開口量減少部分の他方を用いて少なくとも一部重ねて照射するよう形成されていることを特徴とするものである。
【手続補正書】
【提出日】平成22年2月3日(2010.2.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体を収容する流体収容体と、
前記流体収容体に連結され、前記流体収容体に収容された流体を外部に導出するための流体導出部材であって、フランジ部を有する流体導出部材と、
前記流体収容体及び前記流体導出部材を収容する筐体と、
前記筐体の壁部に設けられた孔部に装着される環状のシール部材と、
前記筐体に設けられ、前記流体導出部材を支持するためのリブと、
前記リブの第１端部に近接配置される規制部材と、
を有し、
前記流体導出部材は、前記フランジ部の第１面が前記シール部材に対向し、前記フランジ部の前記第１面と反対の第２面が前記リブの前記第１端部と反対の第２端部に対向するように、前記筐体内に配置されて、前記シール部材と前記リブの前記第２端部とにより挟持されることを特徴とする流体収容容器。
【請求項２】
請求項１において、
前記規制部材は、前記筐体とは別の部材により形成され、かつ、前記筐体に対して位置決め支持されていることを特徴とする流体収容容器。
【請求項３】
請求項２において、
前記流体収容体は、前記筐体と当該筐体の開口を封止する封止フィルムとにより形成され外部から加圧流体が導入される加圧室内に収容され、
前記流体収容体は、前記流体導出部材が連結される第１封止部から、当該第１封止部に対向する第２封止部に向かうに従い厚さが変化する厚さ変化領域を有し、
前記規制部材は、前記流体収容体の前記厚さ変化領域と前記封止フィルムとの間に配置されるスペーサ部材に一体的に形成されていることを特徴とする流体収容容器。
【請求項４】
請求項３において、
前記スペーサ部材が前記封止フィルムと対向する面と、前記封止フィルムとの間に空間部が形成されていることを特徴とする流体収容容器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】流体収容容器