(57)【要約】      （修正有）【課題】製造及び設置がスピーディで簡単で、コストが低く、且つウエハー罫書き線検査を行う時に、十分な浸潤液体によって薄膜が形成され、余った浸潤液体をスムーズに排出し、操作もしくは収率に影響を与えない浸潤液体補充装置と、その浸潤液体補充装置を備えたウエハー罫書き線検査機を提供する。【解決手段】浸潤液体補充装置は、筐体、蓋体２０、透明片３０、薄膜４０及び環形納置槽５０を備え、蓋体の第一管部品２３で浸潤液体を注入し、環形納置槽の第二管部品５２で浸潤液体を流出させる。浸潤液体補充においては、浸潤液体補充装置を提供し、浸潤液体を注入する。第一間隙２１及び第二間隙３１を経て、透明片上で薄膜を形成する。余った浸潤液体を流出させる。【選択図】図６
0003188880.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
ウエハー罫書き線検査に応用する浸潤液体補充装置において、該浸潤液体補充装置は、 
上筐部、該上筐部と相互に対応する下筐部及び該上筐部外縁から該下筐部外縁へ延びる側筐部を含み、そのうち該上筐部中央は第一穿孔を備え、また該下筐部中央は第二穿孔を備える筐体と、
該筐体に固定結合し、該上筐部を被せて該上筐部との間に第一間隙を備え、該蓋体は第三穿孔及び第一管部品を備えて該蓋体の一辺に結合し、そのうち該第三穿孔と該第一穿孔は相互に連通し，該第三穿孔は該第一穿孔より大きく且つ該第一穿孔に被せ、該第一管部品は第一端口を備えて該蓋体の外まで延び第二端口は該第一間隙まで延びる蓋体と、
該上筐部と固定結合し、該第一穿孔を遮蔽し、該透明片の大きさは該第三穿孔より小さく該第三穿孔と第二間隙を形成する透明片と、
浸潤液体から形成し、該透明片上で形成し且つ該透明片を被せる薄膜と、
該側筐部に固定設置し、凹陷部及び第二管部品を備え、そのうち該蓋体は該凹陷部の一内側辺まで延び、該第二管部品は該凹陷部の一底面から通過して該環形納置槽の外まで延びる環形納置槽を含むことを特徴とする浸潤液体補充装置。
【請求項２】
前記第一端口は、該浸潤液体を注入し、該第二端口から該浸潤液体排出することを特徴とする請求項１記載の浸潤液体補充装置。
【請求項３】
前記浸潤液体は、該透明片及び該蓋体上方から該凹陷部へ流入することを特徴とする請求項１記載の浸潤液体補充装置。
【請求項４】
前記浸潤液体は、該第二管部品から該環形納置槽の外へ流出させることを特徴とする請求項１記載の浸潤液体補充装置
【請求項５】
浸潤液体補充装置を備えたウエハー罫書き線検査機において、それは浸潤液体補充装置を含み、そのうち、
上筐部、該上筐部と相互に対応する下筐部及び該上筐部外縁から該下筐部外縁まで延びる側筐部を含み、そのうち該上筐部中央は第一穿孔を備え、また該下筐部中央は第二穿孔を備える筐体と、
該筐体に固定結合し，該上筐部を被せて該上筐部との間に第一間隙を備え，該蓋体は第三穿孔及び第一管部品を備えて該蓋体の一辺に結合し、そのうち該第三穿孔と該第一穿孔は相互に連通し、該第三穿孔は該第一穿孔より大きく、且つ該第一穿孔に被せ，該第一管部品は第一端口を備えて該蓋体の外まで延び、第二端口は該第一間隙まで延びる蓋体と、
該上筐部と固定結合し、該第一穿孔を遮蔽し，該透明片の大きさは該第三穿孔より小さく該第三穿孔と第二間隙を形成する透明片と、
該浸潤液体から形成し、該透明片上に形成し、該透明片を被せる薄膜と、
該側筐部に固定設置し，凹陷部及び第二管部品を備え、そのうち該蓋体は該凹陷部の一内側辺まで延び、該第二管部品は該凹陷部の一底面から通過して該環形納置槽の外まで延びる環形納置槽と、
該下筐部に固定設置し、該第二穿孔を通過し、且つ該第一穿孔との間に間隔を備える対物レンズモジュールを含むことを特徴とする浸潤液体補充装置を備えたウエハー罫書き線検査機。
【請求項６】
前記ウエハー罫書き線検査機は、更に台座を含み、該側筐部と相互に固定設置し，該ウエハー罫書き線検査機を固定することを特徴とする請求項５記載の浸潤液体補充装置を備えたウエハー罫書き線検査機。
【請求項７】
前記薄膜上は更に計測待ちウエハーを設置し、且つ該薄膜と該計測待ちウエハーのダイシングテープ(dicing tape)は相互に密着することを特徴とする請求項５記載の浸潤液体補充装置を備えたウエハー罫書き線検査機。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、浸潤液体補充装置、及び、浸潤液体補充装置を備えたウエハー罫書き線検査機に関するもので、特に第一管部品、第二管部品及び環形納置槽を備えた浸潤液体補充装置の補充と浸潤液体補充装置を備えたウエハー罫書き線検査機に係わる。
【背景技術】
【０００２】
半導体の製造過程において、ウエハー検査の総体結果と半導体関連企業全体の品質形象は密接に関連している。但し、ウエハー罫書き線の検査は、ほとんどがウエハー面上方から行うため、ウエハー下表面が隠されて欠陥を完全に検出できない。
【０００３】
一部の検査機はウエハー下方からウエハー下表面の欠陥を検査することを試しているが、ウエハー下方に貼り付けたダイシングテープが障害となり、検査影像の明晰度をずっと向上させることができないでいる。
本考案の考案者は浸潤液体を向上させて光線をダイシングテープに通過させ、ウエハー下方からダイシングテープを通してウエハー罫書き線に対して有効な検査をするアーキテクチャを提出し、ウエハー罫書き線に対して難しかった検査の問題を改善した。この従来例として特許文献１を掲げることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】台湾特許申請２０１２年１０１１４７５１３号
【特許文献２】特開２０１３−３３７３９号公報
【特許文献３】特開２００６−１８４８３０号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
本考案の解決しようとする問題点は、前述の検査アーキテクチャは、その浸潤液体が必ず検査回数の増加に従い減っていくので、そのため、如何にして有効に浸潤液体補充装置を発展させた補充の構成、ウエハー罫書き線検査の品質を安定させた浸潤液体補充装置を備えたウエハー罫書き線検査機を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本考案の浸潤液体補充装置は、筐体、蓋体、透明片、薄膜及び環形納置槽を備え、蓋体の第一管部品で浸潤液体を注入し、環形納置槽の第二管部品で浸潤液体を流出させる。浸潤液体補充は以下のステップを含む浸潤液体補充装置を提供し、浸潤液体補充装置に浸潤液体を注入して薄膜を形成し、及び、浸潤液体を流出させる潤液体補充装置を特徴とする。
本考案の浸潤液体を補充する浸潤液体補充装置を備えたウエハー罫書き線検査機は、ウエハー罫書き線検査を行う時、十分な浸潤液体を確保して薄膜を形成し、余った浸潤液体を排出させることを最も主要な特徴とする。
【考案の効果】
【０００７】
本考案の浸潤液体を補充する浸潤液体補充装置、及び、その浸潤液体補充装置を備えたウエハー罫書き線検査機は、少なくとも以下三点の長所がある。
一に、製造及び設置がスピーディで簡単であり、コストが低い。二に、ウエハー罫書き線検査を行う時に、十分な浸潤液体によって薄膜が形成される。三に、余った浸潤液体をスムーズに排出し、操作もしくは収率に影響を与えない。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本考案の実施例の浸潤液体補充装置の断面図である。
【図２】本考案の実施例の浸潤液体補充装置の浸潤液体流動断面指示図である。
【図３】本考案の実施例の浸潤液体補充装置を備えたウエハー罫書き線検査機で、ダイシングテープが検査待ちウエハーに対応した断面指示図である。
【図４】本考案の実施例の浸潤液体補充装置を備えたウエハー罫書き線検査機で、それに更に台座を結合した断面図である。
【図５】本考案の実施例のウエハー罫書き線検査の浸潤液体補充のフローチャート図である。
【図６】本考案の実施例の浸潤液体流動方向指示図である。
【考案を実施するための形態】
【０００９】
当該領域に習熟した者が本考案の技術内容を理解して実施できるように、説明書の内容、請求範囲及び図式を提示する。習熟者は本考案の関連の目的及び長所を簡単に理解できるように、実施方式を詳述に説明する。
【００１０】
本考案は、浸潤液体を補充する浸潤液体補充装置、及び、浸潤液体補充装置を備えたウエハー罫書き線検査機である。浸潤液体補充装置は筐体、蓋体、透明片、薄膜及び環形納置槽を備え、蓋体の第一管部品で浸潤液体を注入し、環形納置槽の第二管部品で浸潤液体を流出させる。
浸潤液体補充は以下のステップを含み、浸潤液体補充装置を提供し、浸潤液体を注入し、薄膜を形成し、及び浸潤液体を流出させる。本考案の浸潤液体補充装置を備えたウエハー罫書き線検査機は、ウエハー罫書き線検査を行う時、十分な浸潤液体を確保して薄膜を形成し、余った浸潤液体を排出する。
【００１１】
本考案は、浸潤液体を補充する浸潤液体補充装置を提供し、それはウエハー罫書き線検査に応用される。浸潤液体補充装置は筐体を含み、それは上筐部、上筐部と相互に対応する下筐部及び上筐部外縁から下筐部外縁へ延びる測筐部を含む。
そのうち上筐部中央は第一穿孔を備え、下筐部中央は第二穿孔を備える。蓋体は筐体に固定結合し、上筐部に被せ、且つ上筐部とで第一間隙を形成する。蓋体は、第三穿孔を備え、第一管部品は蓋体の一辺に結合する。
そのうち第三穿孔と第一穿孔は相互に連通し，第三穿孔は第一穿孔より大きく且つ第一穿孔に被せる。第一管部品は第一端口を備えて蓋体外まで延び、更に第二端口は第一間隙まで延びる。
前記透明片は上筐部と固定結合し第一穿孔を遮蔽する。透明片の大きさは第三穿孔より小さく第三穿孔と第二間隙を形成する。薄膜は浸潤液体によって形成し、透明片上で形成し透明片を被せる。
更に、環形納置槽は側筐部に固定し、それは凹陷部及び第二管部品を備える。そのうち蓋体は凹陷部の一内側辺まで延び、第二管部品は凹陷部の一底面から通り抜けて該環形槽の外へ延びる。
【００１２】
本考案は、前記浸潤液体補充装置を備えたウエハー罫書き線検査機を提供するが、それは前述の浸潤液体補充装置を含み、対物レンズモジュールは、浸潤液体補充装置の下筐部に固定設置し、浸潤液体補充装置の第二穿孔を通過し、且つ浸潤液体補充装置の第一穿孔との間に間隔を備える。
【００１３】
本考案は、更にウエハー罫書き線検査の浸潤液体補充を提供し、ウエハー罫書き線検査に応用する。浸潤液体補充は以下のステップを含む。浸潤液体補充装置を提供する。そのうち浸潤液体補充装置は筐体、蓋体、環形納置槽及び透明片を含む。
前記筐体は上筐部、下筐部及び側筐部を含み、且つ上筐部中央は第一穿孔を備え、下筐部中央は第二穿孔を備える。
前記蓋体は筐体に固定結合し、上筐部を被せて且つ上筐部都の間に第一間隙を備える。蓋体は第三穿孔及び第一管部品を備え、且つ第三穿孔と第一穿孔は相互に連通し、第三穿孔は第一穿孔より大きく且つ第一穿孔を覆う。前記第一管部品は第一端口を備えて蓋体外まで延び、更に第二端口は第一間隙まで延びる。環形納置槽は側筐部に固定設置し、凹陷部及び第二管部品を備える。
そのうち蓋体は凹陷部の一内側辺まで延び、第二管部品は凹陷部の一底面から通過して環形納置槽の外まで延びる。透明片は上筐部と固定結合し第一穿孔を遮蔽する。透明片の大きさは第三穿孔より小さく、第三穿孔との間に第二間隙を形成する。浸潤液体を注入する。それは第一管部品から浸潤液体を注入し、第二間隙を経て透明片上へ流れる。薄膜を形成する。
該薄膜は浸潤液体から透明片上で形成して透明片を被せる。及び浸潤液体を流出させる。そのうち該浸潤液体は該上筐部から該凹陷部へ流入して該第二管部品から該浸潤液体が該環形納置槽の外へ流出させる。
【実施例】
【００１４】
図１及び図２に示すとおり、本考案の浸潤液体補充装置１００は、筐体１０、蓋体２０、透明片３０、薄膜４０及び環形納置槽５０を含む。
【００１５】
図１から図４に示す筐体１０は、上筐部１１、上筐部１１と相互に対応する下筐部１２、及び上筐部１１外縁から下筐部１２外縁へ延びる側筐部１３を含む。そのうち上筐部１１中央には第一穿孔１１１を備え、また下筐部１２中央には第二穿孔１２１を備え、また筐体１０の形状に制限はなく、本実施例の筐体１０形状は中空桶形とする。
【００１６】
図１から図４に示す蓋体２０は、筐体１０に固定結合し、筐体１０の上筐部１１を被せ、且つ蓋体２０と上筐部１１の上端は緊密に合わさることがなく、第一間隙２１を備え、蓋体２０には第三穿孔２２を備える。更に第一管部品２３は蓋体２０の一辺に結合し、そのうち第三穿孔２２と該第一穿孔１１１は相互に連通し、更に第三穿孔２２は第一穿孔１１１より大きく、且つ第一穿孔１１１を被せる。第一管部品２３は蓋体２０の一辺に結合し、蓋体２０外まで延びる第一端口２３１及び第一間隙２１まで延びる第二端口２３２を備える。
【００１７】
浸潤液体は浸潤液体補充装置１００の外部から加圧もしくは引導の方式で第一管部品２３の第一端口２３１から注入し、第一管部品２３の第二端口２３２から第一間隙２１で排出する。
【００１８】
図１から図４に示す透明片３０は上筐部１１と固定結合し、上筐部１１の第一穿孔１１１を遮蔽する。透明片３０の大きさは蓋体２０の第三穿孔２２より小さく、第三穿孔２２と第二間隙３１を形成する。浸潤液体は、第一間隙２１から第二間隙３１へ流れ、透明片３０を被覆する。
【００１９】
図１から図４に示す薄膜４０は、浸潤液体で透明片３０上に被せて形成し、薄膜４０は透明片３０を間隙なしで被覆する。
【００２０】
図１から図４に示す環形納置槽５０は側筐部１３に固定して側筐部１３の一部を囲んで被覆する。環形納置槽５０は凹陷部５１及び第二管部品５２を備え、凹陷部５１は内側辺５１１を備える。環形納置槽５０と蓋体２０の関係は蓋体２０が凹陷部５１の内側辺５１１まで伸びたもので、薄膜４０にして透明片３０上に形成した後，余った浸潤液体をスムーズに蓋体２０から凹陷部５１の内へ流出させる。
【００２１】
図１から図４に示す環形納置槽５０の第二管部品５２は、凹陷部５１の一底面５１２を通り抜けて環形納置槽５０の外へ延び、凹陷部５１内の浸潤液体は第二管部品５２から環形納置槽５０の外へ流出させる。
【００２２】
図１から図４に示すとおり、浸潤液体は浸潤液体補充装置１００の外部から第一管部品２３を経て透明片３０上に流入し、透明片３０上で薄膜４０を形成する。余った浸潤液体は透明片３０及び蓋体２０から環形納置槽５０の凹陷部５１内へ流れ、続いて第二管部品５２から浸潤液体補充装置１００の外部へ流出させる。このようにして浸潤液体は補充機能を備える他に、余った浸潤液体をスムーズに排出する。
【００２３】
図３に示すとおり、本考案実施例の浸潤液体補充装置１００を備えたウエハー罫書き線検査機３００は、浸潤液体補充装置１００及び対物レンズモジュール６０を含む。
【００２４】
図３に示すウエハー罫書き線検査機３００の浸潤液体補充装置１００は前述のとおりであり、ここで改めて説明しない。
【００２５】
図３に示す対物レンズモジュール６０は、顯微鏡モジュールもしくは顯微鏡カメラモジュールでもよく、詳細検査に用い、抜き取り検査の画像データで処理する。
対物レンズモジュール６０は、下筐部１２に固定して下筐部１２の第二穿孔１２１に差し込み、対物レンズモジュール６０は第一穿孔１１１共に間隔６１を備え、対物レンズモジュール６０は詳細検査を進める時の焦点調整もしくは自動微調整に便利である。
【００２６】
図４に示すとおり、ウエハー罫書き線検査機３００は、更に台座９０を含む。台座９０は浸潤液体補充装置１００の側筐部１３と相互に固定設置し，ウエハー罫書き線検査機３００を固定する。台座９０は一個大型測試用機に連接した一部であり、ウエハー罫書き線検査機３００を大型試用機に固定して検査する。
【００２７】
図３及び図４に示すとおり、薄膜４０上には更に計測待ちウエハー７０を設置し、且つ薄膜４０と計測待ちウエハー７０のダイシングテープ(dicing tape)８０は相互に密着する。
このようにしてウエハー罫書き線検査機３００上の薄膜４０と計測待ちウエハー７０のダイシングテープ８０は相互に密着した後、光線はダイシングテープ８０を通過し、ウエハー罫書き線検査機３００でダイシングテープ８０を隔てて計測待ちウエハー７０のウエハーに対して罫書き線を入れて精密検査及び成像を行う。
【００２８】
図５に示すのは、本考案実施例の浸潤液体補充(S２００)のフローチャート図である。本実施例のウエハー罫書き線検査の浸潤液体補充(S２００)のフローチャートは以下のステップを含む。浸潤液体補充装置を提供する(ステップS１０)。浸潤液体を注入する(ステップS２０)。薄膜を形成する(ステップS３０)。浸潤液体を取り出す(ステップS４０)。
【００２９】
図５に示す浸潤液体補充装置を提供する(ステップS１０)は、前述各実施例及び図１から図４中に示す浸潤液体補充装置１００のように提供する。
【００３０】
図５に示す浸潤液体を注入する(ステップS２０)は、浸潤液体が浸潤液体補充装置１００の外部から加圧もしくは引導の方式で第一管部品２３を通して注入し、第一間隙２１及び第二間隙３１を経て流れ透明片３０を被覆する。
【００３１】
図５に示す薄膜を形成する(ステップS３０)は、浸潤液体が透明片３０を無間隙で被覆し、薄膜４０を形成する。そのうち薄膜４０は計測待ちウエハー７０のダイシングテープ８０と相互に密着し、光線はダイシングテープ８０を通過する。
【００３２】
図５に示す浸潤液体を取り出す(ステップS４０)は、余った浸潤液体が透明片３０及び蓋体２０から浸潤液体補充装置１００の環形納置槽５０の凹陷部５１内に流れ、次に凹陷部５１の底面５１２に連通する第二管部品５２を経て、スムーズに浸潤液体補充装置１００の外部へ排出する。
【００３３】
図５に示す本考案の実施例の浸潤液体補充(S２００)のうち、浸潤液体は、第一管部品２３から補充注入するだけでなく、余った浸潤液体を第二管部品５２からスムーズに排出する。
【００３４】
図６に示すとおり、本考案の実施例の浸潤液体補充装置１００を備え、もしくは本考案の実施例の浸潤液体補充装置１００を備えたウエハー罫書き線検査機３００、もしくは本考案の実施例の浸潤液体補充(S２００)において、浸潤液体は、第一管部品２３から注入し、第一間隙２１及び第二間隙３１を経て、透明片３０上で薄膜４０を形成し、且つ余った浸潤液体は蓋体２０上方から環形納置槽５０の凹陷部５１へ注入し、次に凹陷部５１の底面５１２から第二管部品５２へ流出させる。
【００３５】
前述の各実施例及び浸潤液体補充(S２００)中の浸潤液体の色は透明でも良い。浸潤液体は、光線の屈折率並びに検査の必要に応じて各種異なる屈折率の浸潤液体を選択使用する。
【００３６】
上述の各実施例は、本考案の特徴に基づき説明し、その目的は当領域に習熟した者が本考案の内容を以って実施した時、本考案の請求範囲を制限するものではないことを示すためである。本考案の創作精神に基いて完成した同効果の修飾もしくは修正は、すべて本考案の請求項に含まれる。
【符号の説明】
【００３７】
１００  浸潤液体補充装置（immersion liquid replenishing apparatus）
３００  ウエハー罫書き線検査機（wafer scribing lines inspection machine）
１０    筐体（casing）   
１１    上筐部（upper case portion）    
１１１    第一穿孔（first through hole）         
１２    下筐部（lower case portion）
１２１    第二穿孔（second through hole）
１３    側筐部 （lateral case portion）
２０    蓋体（cover）
２１    第一間隙（first gap）      
２２    第三穿孔（third through hole）       
２３    第一管部品（first pipe）
２３１    第一端口（first end aperture）          
２３２    第二端口（second end aperture）
３０    透明片（transparent plate）
３１    第二間隙（second gap）
４０    薄膜（film）
５０    環形納置槽（cylindrical storage chamber） 
５１    凹陷部（recess portion）
５１１    内側辺（inner lateral side）  
５１２    底面（bottom side）
５２    第二管部品（second pipe）  
６０    対物レンズモジュール（object lens module）
６１    間隔（distance） 
７０    計測待ちウエハー （wafer under test）
８０    ダイシングテープ （dicing tape）
９０    台座（base）
Ｓ２００    浸潤液体補充（immersion liquid replenishing method）
Ｓ１０      浸潤液体補充装置を提供する（providing an immersion liquid replenishing apparatus）
Ｓ２０    浸潤液体を装填する（feeding the immersion liquid）
Ｓ３０    薄膜を形成する（forming a film）
Ｓ４０    浸潤液体を取り出す（discharging the immersion liquid）
【図１】
0003188880.tif 000003
【図２】
0003188880.tif 000004
【図３】
0003188880.tif 000005
【図４】
0003188880.tif 000006
【図５】
0003188880.tif 000007
【図６】
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