(57)【要約】【課題】芯線に電鋳を施した鋳造物から、芯線を抜去して微細管を製造する、電鋳微細管製造において、微細管を変形させること無く芯線を抜去して、より細くより高精度な微細管製造を実現するための方法及び芯線並びに芯抜き装置を提供する。【解決手段】芯線９０１に電鋳を施し鋳造物９０２を生成する工程と、芯線９０１の両端を可動チャック９０３に保持して芯線９０１を引き伸ばし、鋳造物９０２と芯線９０１との界面を剥離する工程と、鋳造物９０２から芯線９０１を抜き取る工程を経ることにより微細管を製造する。【選択図】        図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
芯線に電鋳を施し鋳造物を生成する工程と、前記芯線の両端を保持して芯線を引き伸ばし、前記鋳造物と芯線との界面を剥離する工程と、前記鋳造物から前記芯線を抜き取る工程とを含むことを特徴とする微細管の製造方法。
【請求項２】
芯線に電鋳を施し鋳造物を生成する工程と、前記鋳造物に樹脂又は金属をコーティングする工程と、前記鋳造物から前記芯線を抜き取る工程と、前記抜き取り工程後に前記樹脂又は金属を溶解または除去する工程とを含むことを特徴とする微細管の製造方法。
【請求項３】
請求項１の微細管の製造方法において、前記芯線を引き伸ばして前記鋳造物と芯線の界面を剥離する工程で、少なくとも前記引き伸ばした距離、又は引っ張り加重、もしくは前記芯線の直径、のいずれかを含む、引き伸ばしの状況、を監視する監視ステップと、前記監視ステップに応じて前記芯線に対する引っ張り加重を制御する制御ステップを更に有することを特徴とする微細管の製造方法。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３の微細管製造方法において、前記芯線に電鋳を施す工程で、少なくとも前記芯線より伸びに対する引っ張り強度が強い物質、又は前記芯線よりも前記鋳造物に対して電着親和性の高い物質を予め前記芯線に対して一次電鋳した後、前記一次電鋳による一次鋳造物に前記電鋳を二次的に施すことを特徴とする微細管の製造方法。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４の微細管製造方法において使用可能な芯線であって、引っ張り加重に対する破断臨界が８Ｎから４０Ｎの範囲にあり、かつ直径がφ１００μ以下で、かつ直径及び真円度の誤差がともに１μ以下であることを特徴とする電鋳微細管用芯線。
【請求項６】
請求項５の芯線において、両端の一部に両端から中心に向かって一定の長さの補強用テーパーを施してあることを特徴とする電鋳微細管用芯線。
【請求項７】
請求項１乃至請求項４の微細管製造方法において使用可能な芯線であって、前記芯線の表面には任意選択的に引っ張り強度の補強部を備え前記補強部には表面に電鋳を阻害可能な、皮膜層又は絶縁層をコーティングしたことを特徴とする電鋳微細管用芯線。
【請求項８】
請求項１乃至請求項４の微細管製造方法において、前記芯線に電鋳を施す工程で、予め前記芯線に任意に張力の補強部をもうける工程と当該補強部に電鋳を阻害可能な、皮膜層又は絶縁層をコーティングする工程とを更に含むことを特徴とする微細管の製造方法。
【請求項９】
前記芯線に治具を介して接続され前記芯線をその両端方向に引き伸ばすことが可能な牽引部と、牽引部の引っ張り加重を監視する引っ張り加重監視部と、前記引っ張り加重を任意制御可能に構成された制御部を有することを特徴とする電鋳微細管用芯抜き装置。
【請求項１０】
請求項９の電鋳微細管用芯抜き装置において、前記制御部は、少なくとも前記芯線の伸びが開始される前は引っ張り加重を任意に増加させる制御手段と、前記芯線の伸びが開始された後は前記芯線の伸びの長さに応じて引っ張り加重を徐々に減じる制御手段を有することを特徴とする電鋳微細管用芯抜き装置。
【発明の詳細な説明】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】本発明は電鋳による微細管の製造方法及び電鋳微細管用芯線並びに芯抜き装置に係り、特に製造時に潰れ易い極細径の微細管を電鋳によって製造する際に安定的かつ容易に芯線を抜去し、より高品質な微細管を製造する為の製造方法及び芯線に関する。
【背景技術】
【０００２】近年、集積回路用の導通検査用プローブピンや、小痛注射針、ヒートパイプなど微細管が開発され、それぞれ需要が大きくなっている。またこの微細管は年々細径化が進み、特にプローブピンなどは集積回路の高密度化のために限界まで極細径化が進んでいる。現在１００μ程度の外径に９０μ程度の内径を有する微細管が一般的に作られており、更にこの微細管の中にレーザーによって成型したスプリングなどを挿入し、微細なプローブが製造されている。これら微細管は集積回路の過密化に対応し、現在の製造技術では未到であるレベル以上の更なる極細径化が要求される。【０００３】プローブにおいては、微細な管の内側に金メッキを施し、通電性を高める処理がなされており、内側のみに金メッキ処理をするための高度な加工処理が要求される。【０００４】また、マイクロフェルールなどの高精度が要求されるオプティカル製品も微細化が進んでおり、従来の内径１２５μ、外径２．５ｍｍの標凖規格（ＳＣ規格など）から、外径１．２５ｍｍ（ＭＵ規格又はＬＣ規格など）、更には外形０．７５ｍｍ以下へと細径化している。【０００５】一方でマイクロフェルールの製造においては、従来の射出成型方式から特許第３３０８２６６号に代表されるニッケルデポジット方式（ニッケル電鋳によって任意の外径を鋳造し、芯線の抜去によって内径を形成するマイクロフェルールの製造方法）が開発され、芯線の精度によっては十分な内径精度と同心度が得られ、且つ安価で型に左右されないフレキシブルなマイクロフェルール製造が可能となっている。【０００６】ニッケルデポジット方式を使用しない微細管の製造方法で主なものは、管状の金属を引き伸ばして作る方法と射出成型方式が一般的であったが、引き伸ばし法では内径の高精度化と均質化が難しく、また射出成型方式では型の微細化に限界があるばかりでなく、微細管内部の面粗度などに難点があるなど、場合によってはこれらの問題を解決するために二次加工を必要としてきた。特に極細径の微細管を製造する場合は内径の二次加工がかなり難しく、スラリーを使用して内径を研磨するジェットフィニッシャーなどの装置が登場しているものの高コストの原因となっていた。【０００７】ニッケルデポジット方式では、特殊形状の微細管たとえば注射針や段付変換スリーブなどを製造する際に、一次加工で芯線に最終鋳造物の母型を電鋳し、更に二次加工で最終鋳造物を電鋳し、後に芯線及び母型を抜去する方法が開発され、同心度又は内径精度が要求される複雑な形状の微細管も容易に製造可能となっている。【０００８】ニッケルデポジット方式のフェルール製造における芯線の抜去方法としては、予め芯線に酸化皮膜をコーティングする方法や、同様に芯線に界面活性剤を塗っておく方法、芯線と鋳造物との材質的な特性に大きな差異を設ける方法などがあり、旧来１ｔ以上もの水圧で抜去していたものが現在では数ｋｇ程度の加圧で簡単に抜くことが可能となっている。
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】しかしながら、前者のニッケルデポジット方式で微細管（特に外径が１００μ以下のものや、肉厚が３０μ以下のものなど極細径のもの）を製造するとなると、芯線の芯抜き工程で次のような問題点を有していた。
【００１０】（１）芯線が十分に細径の場合、細さに比例して芯が完全に抜ける歩留まりが低下したり、芯抜きに際して鋳造物と芯線との間の剥離がなされないままに芯線の破断を起こすこともある。
（２）微細管自体が細径の場合、芯抜き工程時に芯線と鋳造物の界面の剥離が多少でも不完全であると、従来の芯抜き方法では鋳造物が芯線に引っ張られる形で、芯抜き後の微細管に変形をきたすことがある。
（３）鋳造物を無理に固定して芯抜きを行うと、固定した部分が僅かに潰れて精度が毀損される。
【００１１】また、前者の芯抜き時に鋳造物を固定する際には、鋳造物の形状やサイズごとに治具の大きさや形状を変えなくてはならず、更には装置自体も調整やユニットの交換が必要となるなど、ニッケルデポジット方式の微細管製造のメリットである、型が要らず多品種対応が可能であるという有用性の実現に対し、大きな妨げになっていた。
【００１２】芯線と鋳造物の膨張率の違いを利用した芯線の抜去方法もあるが、径の大きさやＬ寸によっては十分な剥離を得られない場合が多く、また鋳造物に膨張率の低い素材が要求される場合は利用できない。更に微細管のサイズが小さい場合やはり鋳造物の固定が問題となる。
【００１３】一本の芯線に電鋳を施して鋳造物を製造し、それを切断して複数の鋳造物を製造するという量産対応の場合、各鋳造物から芯線を抜去した後に鋳造物を切断するのではなく、鋳造物を切断してから芯線をそれぞれ抜去しなくてはならず合理的でなかったほか、特にそれが極微細管の場合は、各鋳造物の保持固定など一層の芯線抜去に関する前記課題が問題となってくる。
【課題を解決するための手段】
【００１４】［構成１］本発明は、前記前記課題を解決するため、まず、微細管の製造方法において、芯線に電鋳を施し鋳造物を生成する工程と、前記芯線の両端を保持して芯線を引き伸ばし、前記鋳造物と芯線との界面を剥離する工程と、前記鋳造物から前記芯線を抜き取る工程とを含むという構成にした。前記芯線の両端を保持して芯線を引き伸ばすには、芯線の両端にあるヘッドを芯抜き装置のチャックに装着し、前記鋳造物を保持しない状態で当該チャックを両方向に牽引するか、片側を固定して一方を牽引するなどの方法がある。
【００１５】ここで電鋳とは電解鋳造の略称であるが、微電解、無電解鋳造を含むものとして定義している。特に極細径管を製造する場合は無電解鋳造が主要な製造方法となり、本発明の意図する重要な目的の一つである鋳造物の形状を壊さずに芯抜きを行う趣旨がより一層重要となってくる。
【００１６】［構成２］また本発明は、第二の構成として、芯線に電鋳を施し鋳造物を生成する工程と、前記鋳造物に樹脂又は金属をコーティングする工程と、前記鋳造物から前記芯線を抜き取る工程と、前記抜き取り工程後に前記樹脂又は金属を溶解または除去する工程とを含むことを特徴とした。
【００１７】前記鋳造物に当該コーティングを施すことにより、芯抜きの際の鋳造物の保持による当該鋳造物の変形を防止することが可能となる。
【００１８】本発明に使用される特定の樹脂には鋳造物に影響を及ぼさずに特定の溶剤に溶けやすい性質を持っているものが適している。また、金属のコーティングにおいては、例えば酸やアルカリなどで除去がたやすい金属を、鋳造物の表面に再電鋳する方法も可能である。
【００１９】［構成３］構成１の微細管の製造方法において、前記芯線を引き伸ばして前記鋳造物と芯線の界面を剥離する工程で、少なくとも前記引き伸ばした距離、又は引っ張り加重、もしくは前記芯線の直径、のいずれかを含む引き伸ばしの状況、を監視する監視ステップと、前記監視ステップに応じて前記芯線に対する引っ張り加重を制御する制御ステップを更に有することを特徴とする。
【００２０】前記芯線を引き伸ばす際の引っ張り加重の制御は、一定の初期張力を与え、前記芯線が引っ張り加重に対抗する臨界に達し、前記芯線が急激に伸びを開始するまでは徐々に引っ張り加重を増加させ、逆に急激な伸びを開始した後はその伸びに応じて徐々に引っ張り加重を減少させると、より効果を得られ望ましい。
【００２１】［構成４］構成１乃至構成３の微細管製造方法において、前記芯線に電鋳を施す工程で、少なくとも前記芯線より伸びに対する引っ張り強度が強い物質、又は前記芯線よりも前記鋳造物に対して電着親和性の高い物質を予め前記芯線に対して一次電鋳した後、前記一次電鋳による一次鋳造物に前記電鋳を二次的に施すことを特徴とする。
【００２２】ここで電着親和性が高いとは、素材間に働く臨界面の結合の強さを表す。鋳造物の引っ張り加重に対する強度が、芯線の強度よりも劣る場合も、この２回の電鋳によって芯抜きを効果的に行うことが可能となる。
【００２３】［構成５］構成１乃至構成４の微細管製造方法において使用可能な芯線であって、引っ張り力に対する破断臨界が８Ｎから４０Ｎの範囲にあり、かつ直径がφ１００μ以下で、かつ直径及び真円度の誤差がともに１μ以下であることを特徴とする。
【００２４】ここで使用されている単位１Ｎ（ニュートン）とは、引っ張り加重１００ｇに相当する。また直径の誤差とは芯線の直径の全長における均質さをあらわし、真円度の誤差とは芯線の各断面の真円度の最大の誤差をあらわす。
【００２５】［構成６］構成５の芯線において、両端の一部に両端から中心に向かって一定の長さの補強用テーパーを施してあることを特徴とする。
【００２６】［構成７］構成１乃至構成４の微細管製造方法において使用可能な芯線であって、前記芯線の表面には任意選択的に引っ張り強度の補強部を備え前記補強部には表面に電鋳を阻害可能な皮膜層又は絶縁層をコーティングしたことを特徴とする。
【００２７】引っ張り強度の補強部は、例えば、一つの芯線上に複数の鋳造物を同時に生成させる際に、それぞれの鋳造物と鋳造物との間の芯線部分を引っ張り加重をかけた際に伸びを生じさせないよう保護する為に等間隔に並んだ補強を指す。当該補強に使用される材質と、当該電鋳を阻害可能なコート材が、同一の素材であれば尚好都合である。
【００２８】［構成８］構成１乃至構成４の微細管製造方法において、前記芯線に電鋳を施す工程で、予め前記芯線に任意に張力の補強部をもうける工程と当該補強部に電鋳を阻害可能な、皮膜層又は絶縁層をコーティングする工程とを更に含むことを特徴とする。
【００２９】ここで張力の補強部とは、部分的に芯線の直径を太くするなど前記引き伸ばし工程で芯線を引き伸ばす際、伸びが起こりにくくする為の補強を施した部分をいう。
【００３０】［構成９］本発明にかかる電鋳微細管の製造が可能に構成された芯抜き装置であって、前記芯線に治具を介して接続され前記芯線をその両端方向に引き伸ばすことが可能な牽引部と、牽引部の引っ張り加重を監視する引っ張り加重監視部と、前記引っ張り加重を任意制御可能に構成された制御部を有することを特徴とする。
【００３１】ここで前記制御部が任意制御可能であるとは、例えば予め設定された任意の加重で前記芯線を、設定の通りに引っ張るだけの制御のほか、引っ張り加重監視部が感知した前記芯線の伸びや破断などに応じて、引っ張り加重を増加又は減少若しくは停止させるプロセスのいずれかを含む複雑な制御も当然に含まれる。
【００３２】［構成１０］構成９の電鋳微細管用芯抜き装置において、前記制御部は、少なくとも前記芯線の伸びが開始される前は引っ張り加重を任意に増加させる制御手段と、前記芯線の伸びが開始された後は前記芯線の伸びの長さに応じて引っ張り加重を任意に減じる制御手段を有することを特徴とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】以下、本発明をその実施の形態を示す図面に基づいて詳述する。ここで示す実施の形態は非限定例示であり、ここに示した構成のほか、全ての機能や手段、装置は本発明の範囲において任意に組み合わせ構成できる。また、使用するセンサーやマイコン部やモニター部などの装置や使用するソフト、素材や材質の構成、使用する樹脂や消耗品の類も任意選択が出来き、その構成に限定されない。【００３４】図１は本発明の構成例を示したフローチャートである。以下、各工程のフローをフローチャートにしたがって説明していく。【００３５】Ｓ１００のステップでは治具に固定された規定サイズの芯線を電鋳槽に入れ、電流を管理しながら一定の太さの棒状の鋳造物を生成する。生成された鋳造物は洗浄槽で洗浄され（Ｓ１０１）、治具に固定されていた芯線のヘッド部分を芯抜き機のチャックに保持（Ｓ１０２）する。次に芯抜き機においてヘッドに引っ張り加重を掛け（Ｓ１０３）て、均質に芯線を引き伸ばして径を細くする（Ｓ１０４）。Ｓ１０４のステップによって細くされた芯線が鋳造物の内径より細くなることを利用し、界面の径のズレを故意におこすことによって、鋳造物と芯線の界面を完全に剥離させる（Ｓ１０５）。その後鋳造物から剥離した芯線を抜き取り（Ｓ１０６）微細管を完成させる。【００３６】鋳造物が十分に細径の場合、鋳造物本体を芯抜き機に保持すると保持部分が潰れたり、変形するなどの問題点があるため、本例示では芯線の両端のみを保持し、鋳造物は固定しない方法で実施している。【００３７】また鋳造物と芯線の界面が剥離されたことを確認するために芯線の径を測定するセンサー部を設けて、芯線の径をモニターし、制御することも可能である。【００３８】本構成例では、芯抜き機において、ヘッドの片側を固定し、もう一方のヘッドを固定側のヘッドと逆方向に引っ張り加重をかける方法を想定しているが、もちろんヘッドを両方向に引っ張り加重を掛けて芯線を引き伸ばすことも可能である。また電鋳装置の電鋳槽においては、ニッケルペレット、スルホン酸、ホウ酸のほかピットレスを使用することを想定しているが、これも内容組成に関して自由に組合せが可能である。【００３９】また図２は、本発明の構成例を示す第二の実施態様を示したフローチャートである。本実施態様は、微細なプローブピンを製造する為の製造方法の一例であり、極微細な微細管製造に応用できる。【００４０】まず芯線に電鋳を施し（Ｓ２００）、生成した鋳造物を洗浄する（Ｓ２０１）。次に芯線の露出している部分をマスキング（Ｓ２０２）して鋳造物に樹脂を吹きかけるなど一定の厚みのコーティングを施す（Ｓ２０３）。コーティングが安定したら、芯線両端のヘッドを芯抜き機に保持し（Ｓ２０４）て、ヘッドに引っ張り加重を掛け（Ｓ２０５）均質に芯線を引き伸ばして径を細くし（Ｓ２０６）て鋳造物と芯線の界面を剥離させる（Ｓ２０７）。Ｓ２０７で芯線の剥離を確認したら、鋳造物から芯線を抜き取り（Ｓ２０８）、Ｓ２０３でコーティングした樹脂を有機溶剤で溶かし（Ｓ２０９）て、微細管を完成させる。【００４１】コーティング材はヤング率が高く、硬化に際して収縮が少ない素材を選択するとより効果的である。【００４２】図３は引っ張り加重の制御を伴う実施態様を示したフローチャートである。まず芯線に電鋳を施し（Ｓ３００）、生成した鋳造物を洗浄する（Ｓ３０１）。次に芯線両端のヘッドを芯抜き機に保持し（Ｓ３０２）て、ヘッドに引っ張り加重を掛け（Ｓ３０３）均質に芯線を引き伸ばして径を細くする（Ｓ３０４）。一方芯抜き装置では、芯線の伸びをチャックの移動距離によって監視し（Ｓ３０５）、当該移動距離に応じて引っ張り加重を調整しつつ（Ｓ３０６）、鋳造物と芯線の界面を剥離させる（Ｓ３０７）。Ｓ３０７で芯線の剥離を確認したら、鋳造物から芯線を抜き取り（Ｓ３０８）、微細管を完成させる。【００４３】芯線の伸びの監視はチャックの移動距離のほか、チャックに掛かる引っ張り加重の変化、芯線の径の太さの変化などの監視によっても実現可能である。【００４４】図４は本発明の実施態様を示す鋳造物の断面図である。本構成例ではステンレス製の芯線４００に一次電鋳として金メッキ４０２を施し、更にその周囲にニッケルメッキ４０１を施した。【００４５】金メッキはステンレスよりもニッケルとの界面の結合力が強く、芯抜きに都合が良いばかりでなく、持に、導電テスト用のプローブピンなど導電性の高い金メッキ加工が微細管内部に必要な製品を製造する場合では、別工程である内部金メッキなど二次加工のプロセスを短縮できる。【００４６】図５は本発明の構成例を示す芯線の一例である。芯線部分５００にはヘッド部分５０１から芯線部分５００の中央部分に向かって両端にテーパー部分５０２が設けられている。本構成例では、芯線部分５００はステンレス製で、直径が均質に４０μ、引っ張り加重に対する破断臨界が２８Ｎ、総延長の直径の誤差が０．４μのものを使用することを想定した。【００４７】ヘッド部分５０１には治具に固定する為の穴が設けてあり、ビッカス値の低い素材のＦＲＰをテーパー部分５０２に使用してある。【００４８】この他、テーパー部分５０２には金属や、伸びの少ないケブラーカーボンなどの繊維を織り込んだエポキシなど特定の樹脂を使用することが可能である。【００４９】図６は、図５に記載の芯線に張力の補強部分を設けた、芯線の一例を示す平面図である。芯線部分６００にはヘッド部分６０１と、ステンレスの径を太くした補強部分６０２が設けられ、ヘッド部分６０１と、補強部分６０２には更に電鋳を阻害する皮膜層がコーティングされている。この芯線に電鋳を施すと、鋳造物はヘッド部分６０１と補強部分６０２を除く芯線部分６００にのみ生成される。補強部分６０２の長さと間隔を正確に配置すると、生成される鋳造物のＬ寸が切断や研磨などの後加工なしに正確に製造できる。補強部分６０２はステンレスの補強のほかに、芯線に一次電鋳を施して補強部分６０２を作成することも可能である。【００５０】図７は、前項の芯線を使用して製造した鋳造物から芯線を抜去する際の、引き伸ばし工程（図１：Ｓ１０４）を経て、芯線部分（図６：６００）と補強部分（図６：６０２）が剥離された時の芯線の状態を示す一例である。【００５１】芯線部分７００は、補強がなされている補強部分７０２とヘッド部分７０１を除いて、引き伸ばされて細径化し、鋳造物７０３と芯線部分７００のみが剥離された状態となる。その��芯線部分７００を切断して鋳造物７０３を取り出せば、任意のＬ寸の、複数の微細管を同時に製造することができる。【００５２】図８は、本発明を構成する芯抜き装置の一例を示す構成図である。本例示の芯抜き装置は大きくは芯線牽引部８０１とマイコン部８０２とデータ入出力部８０３によって構成され、芯線牽引部８０１は保持部８１０とケーブル８１２と駆動部８１１に、またマイコン部８０２は監視部８２１と制御部８２０に、またデータ入出力部８０３はモニター８３０と入力部８３１によってそれぞれ構成される。【００５３】更に保持部８１０にはチャック８１３とチャック８１３内部に設けられた加重モニター８１４が、またチャック８１３の下部にはリニアスケール８１５と芯線監視カメラ内臓の移動センサー８１６がそれぞれ設けられ、牽引の状況をマイコン部８０２にフィードバックしながら、芯線の牽引を行う。保持部８１０の牽引はマイコン部８２０からの指示により、駆動部８１１に設けられたモーター８１７によって、ケーブル８１２を牽引することにより実行される。【００５４】また、制御部８２０は初期加重制御手段８２２と、監視情報フィードバック手段８２３と、緊急停止手段８２４とを含む牽引制御手段によって構成される。また、モニター８３０では芯線の直径の画像処理が行われる。【００５５】チャック８１３が芯線の牽引を行うには、まず制御部８２０にある記憶部８２５から、初期加重に関するデータを初期加重制御手段８２２が読み込み、駆動部８１１のモーター８１７に徐々に電圧を掛けていく。チャック８１３にかかる引っ張り加重や芯線の伸びを保持部８１０にある各種センサーが感知し、制御部８２０の監視情報フィードバック手段８２３に情報を送信する。監視情報フィードバック手段８２３では、芯線の急激な伸びや破断を監視しながら、最適な駆動部８１１の引っ張り加重を判断し制御する。ここで芯線の破断がおこった場合は、緊急停止手段８２４から駆動部８１１の運転を停止する命令が出力される。尚、データ入出力部８０３では、モニター８３０によって芯線の伸びの状況を確認できるほか、手動で入力部８３１から引っ張り加重の制御を行うことも可能である。【００５６】図９は、本発明を構成する芯抜き装置の一例を示す概略図である。可動チャック９０３は芯線９０１を駆動部９０６の方向に、駆動部９０６によって牽引され、鋳造物９０２と芯線９０１との界面を剥離させる。当該牽引の状況はリニアスケール９０５及び固定チャックに設けられた加重モニター９０４によって読み取られ、マイコン部９１０にデータが送られる。データの状況はモニタテレビ９２０を介して画像処理されるほか、マイコン部９１０において情報処理され、駆動部９０６に制御情報を伝達する。
【発明の効果】
【００５７】本発明をもちいて微細管の製造をすれば、今まで問題であった芯抜き時の鋳造物の変形が防止できて、製造上の歩留まりが非常に良くなる。
【００５８】また、芯線の伸びをコントロールすることにより、任意のＬ寸で任意の数量の鋳造物を製造できるため、量産に適している。更に、芯抜き時において鋳造物の保持が困難な、極微細管の製造も電鋳方式で可能となる。
【００５９】微細管の精度においては、外径の精度は電鋳の電流によって高度な制御が可能であり、かつ内径精度は芯線の精度によっては、従来の技術に比べて非常に高い品質を確保することが可能である。これらの電鋳の有用性を非常に細径な微細管に応用するためには、スムーズな芯抜きの技術は不可欠であり、本発明ではこれら精度を十分に保持して芯抜きすることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の構成例を示したフローチャートである。
【図２】本発明の構成例を示したフローチャートである
【図３】本発明の構成例を示したフローチャートである
【図４】本発明の実施態様を示す鋳造物の断面図である。
【図５】本発明の構成例である芯線の一例を示す側面図である。
【図６】本発明の構成例である芯線の一例を示す側面図である。
【図７】本発明の構成例を実施した際の芯線の状態を示す側面図である。
【図８】本発明の構成例である芯抜き装置の一例を示す構成図である。
【図９】本発明の構成例である芯抜き装置の一例を示す概略図である。
【符号の説明】
４０２  金メッキ
５０１  ヘッド部分
５０２  テーパー部分
６０２  補強部分
８０１  芯線牽引部
８１０  保持部
８１６  移動センサー
８１７  モーター
８２０  制御部
８２１  監視部
８２２  初期加重制御手段
８２３  監視情報フィードバック手段
８２４  緊急停止手段
８２５  記憶部
８０３  データ入出力部
８３１  入力部
９０１  芯線
９０２  鋳造物
９０３  可動チャック
９０４  加重モニター
９０５  リニアスケール
９０６  駆動部
９１０  マイコン部
９２０  モニター
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2005126810.tif 000006
【図５】
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【図６】
2005126810.tif 000008
【図７】
2005126810.tif 000009
【図８】
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【図９】
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