(57)【要約】      （修正有）【課題】各種の液体材料や固体材料にも適用可能で、簡便な構成で、作業性がよく、作業安全性が高く、かつ大きな操作空間や大掛かりな装置が不要な材料充填用グローブボックスを提供する。【解決手段】固体材料等が載置されるトレイ２２が複数段に積層されて収容され、トレイ２２の取出しおよび取付けが可能な開口部，トレイ２２の積層部に内挿されたディップチューブおよび開口部に設けられたフランジ２１を有する材料容器２０に対して、材料容器２０の開放および閉止操作や固体材料等の充填操作等各操作が可能な操作空間１１と、材料容器２０の本ボックス１０内部への搬入，搬出および操作空間１１での移動を担う昇降機１２と、フランジ２１との接続とフランジ２１の操作空間１１上部への移動および保持を担うフック１３を備える。【選択図】図１
0003190913.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
パージガス雰囲気下，減圧条件下または外気が遮断された環境下で、材料容器に液体材料または固体材料を充填する操作が行われるグローブボックスであって、
該液体材料または固体材料が載置されるトレイが複数段に積層されて収容され、密閉された状態で移送されるとともに、該トレイの取出しおよび取付けが可能な開口部，該トレイの積層部に内挿されたディップチューブおよび該開口部に設けられ、取付けおよび取外しが可能または開口部の開閉が可能なフランジを有する前記材料容器に対して、
前記フランジの開放および閉止操作、前記ディップチューブの脱着および装着操作，前記トレイの各段ごとの取出しおよび取付け操作，および前記トレイへの該液体材料または固体材料の充填操作、が可能な操作空間と、
前記材料容器のグローブボックス内部への搬入，搬出および前記操作空間での移動を担う昇降機と、
前記フランジとの接続と前記フランジの前記操作空間上部への移動および保持を担うフックと、
を備えたことを特徴とする材料充填用グローブボックス。
【請求項２】
前記フックが、前記操作空間を移動できるように、手動式または機械式の移動機構に接続され、前記開口部から取外された前記フランジの保持および移動操作、前記ディップチューブ単独あるいは該フランジに接続された状態での脱着および装着操作、および前記トレイの各段ごとの取出し・取付け操作を担うことを特徴とする請求項１記載の材料充填用グローブボックス。
【請求項３】
前記開口部が開放された状態で、前記ディップチューブが内挿された空隙部にその一端部を嵌挿することによって前記トレイと接合可能となり、各段ごとの前記トレイの取出し・取付け操作用に用いられる治具が、前記操作空間に配設されることを特徴とする請求項１または２に記載の材料充填用グローブボックス。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、材料充填用グローブボックスに関し、例えば、薄膜形成用の原子層成長（ＡＬＤ），化学気相成長（ＣＶＤ）材料等を特定の材料容器に充填する操作が行われる操作空間を備えた材料充填用グローブボックスに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体や太陽電池等を生産する製造装置や新たな素材を開発する研究設備において、高純度品が要求される半導体の成膜形成用ＡＬＤ，ＣＶＤ材料等として、種々の液体材料や固体材料（以下「固体材料等」ということがある）が多用されている。こうした固体材料等は、所定温度で加熱し液体材料を蒸発、固体材料を昇華させることによって（以下固体材料等の「気化」ということがある）、気相で使用されることが多く、ヘリウムやアルゴン等の希ガス等の反応性が低く安定性の高い不活性ガスによって気化・搬送され、上記製造装置等に供給されて消費される。
【０００３】
こうした固体材料等は、反応性，可燃性，自然発火性あるいは有毒性等の特性を有することがあり、その取り扱いの特殊性から種々の取扱い容器（以下「材料容器」という）および供給装置や取扱い装置が提案されている。例えば、図５（Ａ），（Ｂ）に示すような、化学気相成長（ＣＶＤ）法、原子層化学気相成長（ＡＬＣＶＤ）法およびイオン注入法において用いられる液体および固体ソース試薬などの液体および固体材料の蒸発のために、拡大した表面積を提供する多数の容器を有する蒸発器配送システム１１０の構成例を挙げることができる（例えば特許文献１参照）。アンプル１１２には、内室を形成する底部１１４および側壁１１６が含まれる複数の垂直に積重された容器１２２が、アンプルの内室内に配置されている。積重された容器は、容易な洗浄および補充のために互いに分離可能でアンプルから着脱自在である。内部キャリヤガス部材１２３がアンプル内に配置されているが、この内部キャリヤガス部材１２３は、キャリヤガス入口１２０に接続（溶接）され、内室の底部および垂直に積重された容器における最も下側の容器の下にキャリヤガスを導く。内部キャリヤガス部材１２３は、各容器キャビティ１２７および容器底部１２４を通過している。個別容器１２２は、それぞれ、底部１２４および側壁１２６を備えて、好ましいソース材料１２８を配置するための容器キャビティ１２７を形成する。個別容器のそれぞれには、複数の突出部１３０が含まれ、各突出部には、突出部を通してキャリヤガスが移動するための通路１３２が含まれる（特許文献１段落００１８〜００２３参照）。ここで、１３８は封止用Ｏ−リング、１４０はガス出口バルブを示す。
【０００４】
また、上記のような材料容器に固体材料等を充填する場合には、反応性や有毒性あるいは外気との接触による変質性等の特性を有する固体材料等を外気から遮断されたグローブボックスでの操作が必要となることがある。例えば、ガス中の金属不純物をサンプリングする際に求められる清浄度と気密性とを確保しながら、低コストで製作でき、可搬型にすることも可能な金属不純物サンプリング用ボックスを提供することを目的として、図６に例示するようなグローブボックスが提案されている（特許文献２参照）。具体的には、非金属性の材料により形成されたボックス本体２１０と、ボックス本体の側壁に設けられた気密開閉扉２１５，２１６と、ボックス本体の天板部に設けられたフィルターボックス２１８と、ボックス本体の底板上方に設けられた多孔板からなる床板２２０と、底板２１９に設けた排気口２２１に接続した排気管２２３と、排気管に設けられた排気ファン２２２と、側壁又は気密開閉扉に設けられた操作用のグローブ２１７とを備えている。ボックス本体２１０の下部には、搬送台車２１１が一体的に設けられ、ボックス本体２１０の底板２１９を支持する支持脚２２６と、該支持脚２２６に装着したキャスター２７と、排気ファン２２２等を支持する中間棚２２８とを有している。ボックス本体２１０の内部には、サンプリング操作を行うための操作室２１２と、該操作室２１２の側方に連設された前室２１３とが設けられている。排気管２２３には、排気量を調節するためのダンパー２２４と、排気状態を確認するための差圧計２２５とが設けられている（特許文献２段落０００８〜００１３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−５０３１７８号公報
【特許文献２】特開２００１−０１２３１８号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、上記のような材料充填用グローブボックスには、以下の課題が生じることがあった。
（ｉ）上記材料容器は、充填される固体材料等が上記のような特殊な特性を有することに加え、所定濃度の気相の材料ガスとして供給される場合には所定の温度まで加熱されること、また固体材料等が使用される事業所と充填される事業所との間を移動することが多いこと等から、堅牢で熱容量が大きく耐蝕性の金属製の構造体が利用される。従って、上記グローブボックスにおいて、こうした重量のある材料容器を手動により水平を保ったまま水平方向に移動させることは不安全であり、実質的に作業不可能である。
（ii）また、材料容器が傾いた状態で充填操作が行われた場合には、充填後の固体材料等の均等性が損なわれ、製造装置等において使用された時に、その局部的に固体材料等の気化量の均等性が欠けて供給濃度が不安定になる。
（iii）一方、グローブボックス内での材料容器の移送や材料容器からの固体材料等の出し入れに機械式の搬送装置を用いた場合には、大掛かりなグローブボックスとなり、ボックス内でのグローブを使って行う手動操作の妨げになる。
（iｖ）また、固体材料等の出し入れに用いられる材料容器の開口部の開閉に用いられる上蓋部は、上記（ｉ）の場合には、重量物となり、円滑な充填操作の妨げとなるとともに、その操作には所定の操作空間が必要となる。特に材料容器に多段のトレイを用いて所定量の固体材料等を充填する場合には、そのトレイの取付けや取外し操作にも操作空間が必要となる。
【０００７】
本考案の目的は、各種の液体材料や固体材料にも適用可能で、簡便な構成で、重量のある材料容器の搬送が可能で、グローブからの操作が容易で作業性がよく、作業安全性が高く、かつ大きな操作空間や大掛かりな装置が不要な材料充填用グローブボックスを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本考案者らは、上記課題を解決するために鋭意研究を重ねた結果、以下に示す材料充填用グローブボックスによって上記目的を達成できることを見出し、本考案を完成するに到った。
【０００９】
本考案は、パージガス雰囲気下，減圧条件下または外気が遮断された環境下で、材料容器に液体材料または固体材料を充填する操作が行われるグローブボックスであって、
該液体材料または固体材料が載置されるトレイが複数段に積層されて収容され、密閉された状態で移送されるとともに、該トレイの取出しおよび取付けが可能な開口部，該トレイの積層部に内挿されたディップチューブおよび該開口部に設けられ、取付けおよび取外しが可能または開口部の開閉が可能なフランジを有する前記材料容器に対して、前記フランジの開放および閉止操作、前記ディップチューブの脱着および装着操作，前記トレイの各段ごとの取出しおよび取付け操作，および前記トレイへの該液体材料または固体材料の充填操作、が可能な操作空間と、前記材料容器のグローブボックス内部への搬入，搬出および前記操作空間での移動を担う昇降機と、前記フランジとの接続と前記フランジの前記操作空間上部への移動および保持を担うフックと、を備えたことを特徴とする。
【００１０】
こうした構成の材料充填用グローブボックスによって、各種の薄膜形成用ＡＬＤ，ＣＶＤ材料等にも適用可能で、簡便な構成で、重量のある材料容器の搬送が可能で、作業安全性が高く、グローブからの操作が容易で作業性がよい操作空間を確保することが可能となった。特に大きな操作空間や大掛かりな装置を必要とせずに、複数段に積層されて収容されるトレイが水平を維持された状態で、固体材料等を充填し材料容器内に密閉することができ、さらにこの状態を維持して搬送することが可能となった。
【００１１】
本考案は、上記材料充填用グローブボックスであって、前記フックが、前記操作空間を移動できるように、手動式または機械式の移動機構に接続され、前記開口部から取外された前記フランジの保持および移動操作、前記ディップチューブ単独あるいは該フランジに接続された状態での脱着および装着操作、および前記トレイの各段ごとの取出し・取付け操作を担うことを特徴とする。
上記のように、強固な重量のある材料容器への固体材料等の充填操作においては、限定された操作空間の作業性は非常に悪くなる。特に、材料容器の開口部を介したトレイやディップチューブ等の取出し・取付け等の操作においては、その垂直方向の操作が多いことからグローブを通しての作業性が悪い。さらに、グローブを通しての該開口部の開閉を担うフランジの取扱い操作は、フランジの重量によって大きく妨げられる。本考案は、操作空間に設けられたフックを有効に利用し、垂直方向の操作を補助することによって、各操作における負担を大幅に軽減し、作業性の向上を図ることが可能となった。
【００１２】
本考案は、上記材料充填用グローブボックスであって、前記開口部が開放された状態で、前記ディップチューブが内挿された空隙部にその一端部を嵌挿することによって前記トレイと接合可能となり、各段ごとの前記トレイの取出し・取付け操作用に用いられる治具が、前記操作空間に配設されることを特徴とする。
複数段に積層されて収容されたトレイに対して、水平を維持した状態で垂直方向の操作を行うことは非常に難しい。本考案は、トレイの積層部にディップチューブが内挿された空隙部を利用し、該空隙部にその一端部を嵌挿することができる専用の治具が操作空間内に配設されることによって、水平を維持した状態を確保しながら、各操作における負担を大幅に軽減し、作業性の向上を図ることが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本考案に係る材料充填用グローブボックスの基本構成例を示す概略図
【図２】材料容器の実施形態の１つを例示する概略図
【図３】材料容器に対する操作内容を例示する説明図
【図４】トレイの取出しおよび取付け操作用に用いられる治具を例示する説明図
【図５】従来技術に係る材料充填用グローブボックスを例示する概略図
【図６】従来技術に係る材料容器を例示する概略図
【考案を実施するための形態】
【００１４】
本考案に係る材料充填用グローブボックス（以下「本ボックス」ということがある）は、液体材料または固体材料（固体材料等）が載置されるトレイが複数段に積層されて収容され、密閉された状態で移送されるとともに、該トレイの取出しおよび取付けが可能な開口部，該トレイの積層部に内挿されたディップチューブおよび該開口部に設けられ、取付けおよび取外しが可能または開口部の開閉が可能なフランジを有する材料容器に対して、フランジの開放および閉止操作、ディップチューブの脱着および装着操作，トレイの各段ごとの取出しおよび取付け操作，およびトレイへの固体材料等の充填操作、が可能な操作空間と、材料容器のグローブボックス内部への搬入，搬出および操作空間での移動を担う昇降機と、フランジとの接続とフランジの操作空間の上部への移動および保持を担うフックと、を備えたことを特徴とする。以下、図面を参照しながら説明する。
【００１５】
＜本材料充填用グローブボックスの基本構成例＞
図１（Ａ），（Ｂ）は、本ボックス１０の基本的な構成を例示する。図１（Ａ）は、本ボックス１０の平面図を例示し、図１（Ｂ）は、本ボックス１０の正面図を例示する。本ボックス１０には、材料容器２０の開放および閉止操作や固体材料等の充填操作等各操作が可能な操作空間１１と、材料容器２０の本ボックス１０内部への搬入，搬出および操作空間１１での移動を担う昇降機１２と、フランジ２１との接続とフランジ２１の操作空間１１上部への移動および保持を担うフック１３が備えられる。操作空間１１には、準備室１４を介して固体材料等（図示せず）および充填操作等各操作に必要となる器材が搬入される。各操作は、グローブ１６を介して作業者Ｍ１〜Ｍ４によって行われるとともに、操作の一部は、機械式あるいは自動的に行われる。
【００１６】
材料容器２０が搬入搬出室１５の開閉扉１５ａを介して昇降機１２の台座に載置された後、本ボックス１０内が封鎖される。材料容器２０は、搬入搬出室１５と操作空間１１を仕切る開閉扉１１ａを開にした状態で持ち上げられ、フランジ２１を含む材料容器２０の一部または全体が、操作空間１１に搬入される。搬入された材料容器２０のフランジ２１が開放され、内部に収容されていたトレイ２２が取出される。取出されたトレイ２２は、作業台１７に移動され、固体材料等（図示せず）が充填された後、再度材料容器２０に取付けられ、該材料容器２０は、フランジ２１によって密閉される。密閉された材料容器２０は、昇降機１２によって搬入搬出室１５まで降下され、開閉扉１１ａを閉にした状態で開閉扉１５ａを介して搬出される。こうした構成によって、重量のある材料容器２０の操作空間１１までの搬送や本ボックス１０からの搬出等の操作が容易となり、作業安全性が高く、作業者Ｍ１〜Ｍ４によるグローブ１６からの操作が容易で、作業性がよい操作空間１１を確保することができる。各操作の詳細は後述する。
【００１７】
このとき、固体材料等Ｓが反応性，可燃性，自然発火性あるいは有毒性等の特性を有する場合には、本ボックス１０内は不活性ガスによってパージ処理されることが好ましい。例えば減圧ポンプ（図示せず）等によって本ボックス１０内を減圧し、不活性ガス（例えば窒素やアルゴン等）による置換を繰り返すことによって、操作空間１１のみならず不活性雰囲気とすることによって、安全性を確保することができる。また、材料容器２０や固体材料等Ｓ等の搬入時等外気との接触のある場合には、その操作ごとに、連続操作を行なう場合には定期的にパージ処理を行うことが好ましい。
【００１８】
ここでいう「固体材料等」は、広く工業的に用いられる所定の温度で気化する液体または固体の材料をいう。具体的には、液体材料として例えば四塩化チタニウム（ＴｉＣＬ４）等の無機金属化合物、トリメチルアルミニウム（（ＣＨ３）３ＡＬ）、テトラ（エチルメチルアミノ）チタニウム（Ｔｉ［Ｎ（Ｃ２Ｈ５）（ＣＨ３）］４）等の液体有機金属化合物を挙げることができる。また、固体材料として例えば塩化ハフニウム（ＨｆＣＬ４）や塩化ジルコニウム（ＺｒＣＬ４）等の無機金属化合物、トリメチルインジウム（（ＣＨ３）３Ｉｎ）、ビスシクロペンタジエニルマグネシウム（ＭｇＨ２[（ＣＨ２）５]２）等の固体有機金属化合物、あるいは無水ピロメリット酸二無水物（ＰＭＤＡ、Ｏ（ＯＣ）２Ｃ６Ｈ２（ＣＯ）２Ｏ）、３，４−ジアミノジフェニルエーテル（ＮＨ２Ｃ６Ｈ４ＯＣ６Ｈ３ＮＨ２）、３−（アミノメチル）アニリン（ＮＨ２ＣＨ２Ｃ６Ｈ４ＮＨ２）、１，３−ジアミノベンゼン（１，３−Ｃ６Ｈ４（ＮＨ２）２）、４，４’−ジアミノジフェニルエーテル（４，４’−［Ｃ６Ｈ４（ＮＨ２）］２Ｏ）、フタル酸（Ｃ６Ｈ４（ＣＯＯＨ）２）やナフタレン（Ｃ１０Ｈ８）あるいはアントラセン（Ｃ１４Ｈ１０）等の固体有機化合物を挙げることができる。下表１に、固体材料、設定温度およびそのときの蒸気圧を例示する。むろん、これらの物質および設定条件に限定されるものではない。
【００１９】
【表１】
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【００２０】
〔材料容器〕
材料容器２０は、図２に例示するように、固体材料等Ｓが載置されるトレイ２２が複数段に積層されて収容され、フランジ２１によって密閉された状態で移送される。材料容器２０は、トレイ２２の取出しおよび取付けが可能な開口部２３を有し、開口部２３に取付けおよび取外しが可能なフランジ２１によって封止される。あるいは取付けおよび取外し構造のフランジ２１ではなく、蝶番等を用いた開閉可能な構造とすることもできる。フランジ２１には、開口部２３の開封時におけるフランジ２１の保持用あるいは固定用の取手部２４が設けられる。材料容器２０内部には、トレイ２２の積層部に内挿されたディップチューブ２５が設けられる。ディップチューブ２５を例えば図中のような中央部に配設することによって、キャリアガス導入部２６を介して供給されたキャリアガスと接触する各トレイ２２中の固体材料等Ｓが均一に加熱されて気化し、安定した所定の濃度の個体材料ガスとして導出部２７から供出することができる。
【００２１】
材料容器２０が本ボックス１０の操作空間１１に搬入された場合には、取手部２４がフック１３と接続され、フランジ２１の保持，固定あるいは移動の基点となる。本ボックス１０の操作空間１１内において、フランジ２１の開放および閉止操作、ディップチューブ２５の脱着および装着操作，トレイ２２の各段ごとの取出しおよび取付け操作，およびトレイ２２への固体材料等Ｓの充填操作が行われる。限られた操作空間１１において、複数段に積層されて収容されるトレイ２２が水平を維持された状態で、固体材料等Ｓを充填し材料容器２０内に密閉することができる。さらに、この状態を維持して材料容器２０を搬送することができる。
【００２２】
〔フック〕
本ボックス１０内において、フック１３は、操作空間１１を移動できるように、手動式または機械式の移動機構１３ａに接続されることによって、非常に機能的に利用することができる。つまり、フック１３は、操作空間１１に搬入された材料容器２０の取手部２４と接続され、開口部２３から取外されたフランジ２１の保持および移動操作、ディップチューブ２５単独あるいはフランジ２１に接続された状態での脱着および装着操作、およびトレイ２２の各段ごとの取出し・取付け操作を担うことができる。重量物であるフランジ２１やトレイ２２あるいはディップチューブ２５に係る操作をフック１３の機能を活用することによって、作業者の限定された操作空間１１での作業性の悪さを改善することができる。具体的な操作方法を、図３（Ａ），（Ｂ）を基に例示する。
【００２３】
図３（Ａ）は、搬入搬出室１５から操作空間１１に搬入された材料容器２０について、フランジ２１が開口部２３から取外し可能であって、かつディップチューブ２５がフランジ２１から取外し可能な構造を有する場合について例示する。フック１３は、取手部２４と接続され、フランジ２１を開口部２３から平行的に移動させることによって、開口部２３の上部空間が開放され、ディップチューブ（図示せず）およびトレイ（図示せず）の脱着および装着が非常に容易に行なうことができる。このとき、フック１３に保持機能あるいは保持具を取付け、ディップチューブ（図示せず）およびトレイ（図示せず）単独と接続させることによって、その脱着および装着についても、垂直方向の操作を補助することによって、グローブ１６を通しての各操作における負担を軽減し、作業性の向上を図ることができる。
【００２４】
図３（Ｂ）は、フランジ２１が開口部２３から取外し可能であって、かつディップチューブ２５とフランジ２１が一体として取外し可能な構造を有する場合について例示する。フック１３は、取手部２４と接続され、フランジ２１を開口部２３から垂直方向に移動させることによって、フランジ２１とともにディップチューブ２５の取外しができる。開口部２３の上部空間が開放されることによって、トレイ（図示せず）の脱着および装着が非常に容易に行なうことができる。また、フック１３に保持機能あるいは保持具を取付け、トレイ（図示せず）単独と接続させることによって、その脱着および装着についても、垂直方向の操作を補助することによって、グローブ１６を通しての各操作における負担を軽減し、作業性の向上を図ることができる。さらに、材料容器２０が縦長で上部空間での操作が難しい場合には、フック１３を最上部で固定し、昇降機１２を操作して材料容器２０の載置面を降下させることによって、開口部２３の上部空間を拡大して利用することができる。
【００２５】
〔トレイの取出しおよび取付け〕
上記のように、材料容器２０内のトレイ２２は、ディップチューブ２５から供給されるキャリアガスを均等に下部から上部に移動させ、充填された固体材料等Ｓから気化する成分を均等に同伴することが要求されるため、ショートパスの要因となる材料容器２０の内壁とトレイ２２の隙間あるいはトレイ２２間の隙間は、嵌合に近い状態にまで狭い構造となっている。従って、操作空間１１における材料容器２０からのトレイ２２の取出しおよび取付けは、所定の大きさの上部空間を必要とするだけではなく、こうした嵌合状を解して行う必要があり、特に垂直方向への移送が難しい。本ボックス１０においては、専用の治具３０を操作空間１１に配設されることによって、こうした課題を解消した。具体的には、図４（Ａ），（Ｂ）に例示するように、ディップチューブ（図示せず）が内挿された空隙部２２ａに専用の治具３０の一端部３１ａ，３１ｂを嵌挿することによって、強固にトレイ２２と接合し、水平を維持した状態を確保しながらトレイ２２の取出し・取付け操作を行うことができる。図４（Ａ）に係るトレイ２２と図４（Ｂ）に係るトレイ２２は、上下で対となり、空隙部２２ａに設けられた分散素子２２ｂを介して接合される。分散素子２２ｂによってキャリアガスが均等に分散され、下部から上部に移動する。図４（Ａ）においては、一端部３１ａが、嵌合状にディップチューブ（図示せず）が内挿された分散素子２２ｂの中心部２５ａに内挿され、垂直方向に引き上げることによって、水平を維持した状態を確保しながらトレイ２２の取出し・取付け操作を行うことができる。図４（Ｂ）においては、一端部３１ｂが、分散素子２２ｂの外周面が内挿されたトレイ２２の空隙部２２ａの外周壁２５ｂに内挿され、垂直方向に引き上げることによって、水平を維持した状態を確保しながらトレイ２２の取出し・取付け操作を行うことができる。
【００２６】
＜本ボックスを用いた操作方法＞
本ボックス１０を用いた固体材料等Ｓの充填操作を含む、材料容器２０の搬入からの一連の操作は、以下の手順で行われることが好ましい。
予め、本ボックス１０内が不活性ガス等によってパージされた状態において、以下の各操作が行われる。
（１）材料容器の操作空間への搬入
（１−１）材料容器２０の搬入搬出室１５への搬入
（１−２）搬入搬出室１５内のパージ
（１−３）材料容器２０の操作空間１１への搬入
（２）固体材料等の充填
（２−１）材料容器２０のフランジ２１の取外し
（２−２）フランジ２１の移動
（２−３）ディップチューブ２５の取外し
（２−４）トレイ２２の取出し
（２−５）固体材料等Ｓの充填
（２−６）トレイ２２の取付け
（２−７）ディップチューブ２５の取付け
（２−８）フランジ２１の取付け
（３）材料容器の搬出
（３−１）材料容器２０の搬入搬出室１５への移送
（３−２）材料容器２０の搬出
【００２７】
次に、上記操作について、本ボックス１０の機能との関係を詳述する。
（１）材料容器の操作空間への搬入
（１−１）材料容器２０の搬入搬出室１５への搬入
搬入搬出室１５の開閉扉１５ａを開にし、準備された材料容器２０を搬入搬出室１５に搬入する。材料容器２０を搬入搬出室１５内の昇降機１２の台座に載置した後、開閉扉１５ａを閉にする。本ボックス１０内が封鎖される。
（１−２）搬入搬出室１５内のパージ
開閉扉１５ａおよび開閉扉１１ａを閉にした状態で、搬入搬出室１５内のパージ処理を行う。具体的には、材料容器２０が搬入された搬入搬出室１５内および昇降機１２と接続する空間内を「減圧状態」−「窒素等不活性ガスによる置換」の繰返し操作を行う。
（１−３）材料容器２０の操作空間１１への搬入
パージ完了後、開閉扉１１ａを開にし、昇降機１２を駆動して材料容器２０を操作空間１１に搬入する。操作空間１１には、材料容器２０全体を搬入することは必要ではなく、以降の操作において材料容器２０の一部で必要な部分のみを搬入することによって、操作空間１１を広く利用することができる。
【００２８】
（２）固体材料等の充填
（２−１）材料容器２０のフランジ２１の取外し
グローブ１６を利用して、操作空間１１に搬入された材料容器２０のフランジ２１の取外し操作を行い、材料容器２０の開口部２３を開放する。フランジ２１の取手部２４にフック１３を掛けて、フランジ２１をフック１３に保持させる。
（２−２）フランジ２１の移動
取り外されたフランジ２１を、フック１３に保持させた状態で材料容器２０の上部から横方向へずらして、あるいは上部方向に引き上げて移動し、いずれも開口部２３を開放するように移動する。
（２−３）ディップチューブ２５の取外し
図３（Ａ）に例示した操作方法の場合には、開口部２３が開放されることから、ディップチューブ２５を材料容器２０の上部方向に引き上げることによって、取り外すことができる。図３（Ｂ）に例示した操作方法の場合には、ディップチューブ２５とフランジ２１が一体として取外しができることから、フランジ２１を材料容器２０の上部方向へ移動させることによって、ディップチューブ２５の取外しを同時に行うことができる。
（２−４）トレイ２２の取出し
開放された開口部２３から、専用の冶具３０を使用して材料容器２０内部に積層されたトレイ２２を順次取り出して、操作空間１１内の作業台１７に移動させる。図４（Ａ），（Ｂ）のように、各段のトレイ２２の構造が異なる場合には、それぞれ専用の治具３０が用いられる。このとき、主要部品がない状態となった材料容器２０の内部を清浄化することが好ましい。
（２−５）固体材料等Ｓの充填
作業台１７において、取り出されたトレイ２２に、固体材料等Ｓを充填する。このとき、トレイ２２を水平方向に保持した状態で充填することによって、充填された固体材料等Ｓの表面を均等な状態にすることができ、実際に使用されたときに安定した気化量を確保することができる。
（２−６）トレイ２２の取付け
固体材料等Ｓが充填されたトレイ２２を、順次専用の冶具３０を用いて、材料容器２０内に入れて固定位置に取り付ける。
（２−７）ディップチューブ２５の取付け
取り外されたディップチューブ２５を、トレイ２２の積層部に挿入し、取り付ける。図３（Ｂ）に例示した操作方法の場合には、ディップチューブ２５とフランジ２１が一体として取外しができることから、フランジ２１を材料容器２０に取付けるときに、同時にディップチューブ２５を取り付けることができる。
（２−８）フランジ２１の取付け
フランジ２１を、フック３から取り外して、材料容器２０に取り付ける。このとき、必要に応じて、不活性ガス等によって材料容器２０の内部空間をパージすることが好ましい。
【００２９】
（３）材料容器の搬出
（３−１）材料容器２０の搬入搬出室１５への移送
昇降機１２を駆動し、材料容器２０を降下させて、搬入搬出室１５に移送する。移送後、開閉扉１１ａを閉にする。
（３−２）材料容器２０の搬出
搬入搬出室１５の開閉扉１５ａを開にし、昇降機１２の台座から材料容器２０を取り出して搬出する。
【符号の説明】
【００３０】
１０  料充填用グローブボックス
１１  操作空間
１１ａ，１５ａ  開閉扉
１２  昇降機
１３  フック
１４  準備室
１５  搬入搬出室
１６  グローブ
１７  作業台
２０  材料容器
２１  フランジ
２２  トレイ
２３  開口部
Ｍ１〜Ｍ４  作業者
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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