【手続補正書】
【提出日】平成22年8月11日(2010.8.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
多数の被検査チップが配列された基板を、筐体内にて移動可能な載置台に載せ、前記筐体の天板に形成された開口部を塞ぐように設けられたプローブカードのプローブに前記被検査チップの電極パッドを接触させて被検査チップの検査を行うプローブ装置において、
前記天板の上方に設けられ、前記プローブカードに電気的に接触するテストヘッドと、
ガスをイオン化するためのイオナイザーと、
前記テストヘッドと前記天板との間に設けられ、前記イオナイザーにてイオン化されたガスをプローブカードに除電のために供給するノズル部と、を備えたことを特徴とするプローブ装置。
【請求項２】
多数の被検査チップが配列された基板を、筐体内にて移動可能な載置台に載せ、前記筐体の天板に形成された開口部を塞ぐように設けられたプローブカードのプローブに前記被検査チップの電極パッドを接触させて被検査チップの検査を行うプローブ装置において、
前記天板の上方に設けられ、前記プローブカードに電気的に接触するテストヘッドと、
ガスをイオン化するためのイオナイザーと、
前記プローブカードに対向しかつ当該プローブカードの上方に設けられ、前記イオナイザーにてイオン化されたガスをプローブカードに除電のために供給するノズル部と、を備えたことを特徴とするプローブ装置。
【請求項３】
前記テストヘッドは、プローブカードと対向する位置に、上下に貫通する開口部を有し、
前記ノズル部にガスを供給するガス供給管は前記テストヘッドの開口部を通って外部に引き出されていることを特徴とする請求項１または２記載のプローブ装置。
【請求項４】
前記ノズル部にガスを供給するガス供給管は前記テストヘッドと前記天板との間を通って外部に引き出されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載のプローブ装置。
【請求項５】
多数の被検査チップが配列された基板を移動可能な載置台に載せ、プローブカードのプローブに前記被検査チップの電極パッドを接触させて被検査チップの検査を行うプローブ装置において、
前記プローブカードのプローブと載置台上の基板との間の高さ位置において、前記基板の被検査チップの電極パッドを撮像するための撮像手段を備えた、水平方向に移動自在な移動体と、
ガスをイオン化するためのイオナイザーと、
前記移動体に設けられ、前記イオナイザーにてイオン化されたガスをプローブカードに除電のために供給するノズル部と、を備えたことを特徴とするプローブ装置。
【請求項６】
前記イオナイザーは、前記移動体に設けられていることを特徴とする請求項５記載のプローブ装置。
【請求項７】
筐体の天板に形成された開口部を塞ぐように設けられたプローブカードと、前記天板の上方位置にて前記プローブカードに電気的に接触するテストヘッドと、を備え、多数の被検査チップが配列された基板を、筐体内にて移動可能な載置台に載せ、前記プローブカードにより被検査チップの検査を行うプローブ方法において、
前記テストヘッドと前記天板との間から、イオナイザーにてイオン化されたガスを前記プローブカードに供給して当該プローブカードを除電する工程と、
次いで、前記載置台に載置された基板の被検査チップの電極パッドをプローブカードのプローブに接触させて被検査チップの検査を行う工程と、を含むことを特徴とするプローブ方法。
【請求項８】
筐体の天板に形成された開口部を塞ぐように設けられたプローブカードと、前記天板の上方位置にて前記プローブカードに電気的に接触するテストヘッドと、を備え、多数の被検査チップが配列された基板を、筐体内にて移動可能な載置台に載せ、前記プローブカードにより被検査チップの検査を行うプローブ方法において、
前記プローブカードに対向しかつ当該プローブカードの上方から、イオナイザーにてイオン化されたガスを前記プローブカードに供給して当該プローブカードを除電する工程と、
次いで、前記載置台に載置された基板の被検査チップの電極パッドをプローブカードのプローブに接触させて被検査チップの検査を行う工程と、を含むことを特徴とするプローブ方法。
【請求項９】
前記テストヘッドは、プローブカードと対向する位置に、上下に貫通する開口部を有し、
前記イオン化されたガスはノズル部から吐出され、当該ノズル部にガスを供給するガス供給管は前記テストヘッドの開口部を通って外部に引き出されていることを特徴とする請求項７または８記載のプローブ方法。
【請求項１０】
前記ノズル部にガスを供給するガス供給管は前記テストヘッドと前記天板との間を通って外部に引き出されていることを特徴とする請求項７ないし９のいずれか一項に記載のプローブ方法。
【請求項１１】
多数の被検査チップが配列された基板を移動可能な載置台に載せ、プローブカードにより検査を行うプローブ方法において、
前記プローブカードのプローブと載置台上の基板との間の高さ位置において、水平方向に移動自在な移動体に設けられたイオナイザーにより、イオン化されたガスを前記プローブカードに供給して当該プローブカードを除電する工程と、
次いで、前記載置台に載置された基板の被検査チップの電極パッドをプローブカードのプローブに接触させて被検査チップの検査を行う工程と、を含むことを特徴とするプローブ方法。
【請求項１２】
前記移動体は、前記基板の被検査チップの電極パッドを撮像するための撮像手段を備えたことを特徴とする請求項１１記載のプローブ方法。
【請求項１３】
多数の被検査チップが配列された基板を水平方向及び鉛直方向に移動可能な載置台に載せ、プローブカードにより検査を行うプローブ装置に用いられる、コンピュータ上で動作するプログラムを格納した記憶媒体であって、
前記プログラムは、請求項７ないし１２のいずれか一つに記載のプローブ方法を実施するようにステップ群が組まれていることを特徴とする記憶媒体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明は、多数の被検査チップが配列された基板を、筐体内にて移動可能な載置台に載せ、前記筐体の天板に形成された開口部を塞ぐように設けられたプローブカードのプローブに前記被検査チップの電極パッドを接触させて被検査チップの検査を行うプローブ装置において、
前記天板の上方に設けられ、前記プローブカードに電気的に接触するテストヘッドと、
ガスをイオン化するためのイオナイザーと、
前記テストヘッドと前記天板との間に設けられ、前記イオナイザーにてイオン化されたガスをプローブカードに除電のために供給するノズル部と、を備えたことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明のプローブ方法は、筐体の天板に形成された開口部を塞ぐように設けられたプローブカードと、前記天板の上方位置にて前記プローブカードに電気的に接触するテストヘッドと、を備え、多数の被検査チップが配列された基板を、筐体内にて移動可能な載置台に載せ、前記プローブカードにより被検査チップの検査を行うプローブ方法において、
前記テストヘッドと前記天板との間から、イオナイザーにてイオン化されたガスを前記プローブカードに供給して当該プローブカードを除電する工程と、
次いで、前記載置台に載置された基板の被検査チップの電極パッドをプローブカードのプローブに接触させて被検査チップの検査を行う工程と、を含むことを特徴とする。
他の発明のプローブ方法は、筐体の天板に形成された開口部を塞ぐように設けられたプローブカードと、前記天板の上方位置にて前記プローブカードに電気的に接触するテストヘッドと、を備え、多数の被検査チップが配列された基板を、筐体内にて移動可能な載置台に載せ、前記プローブカードにより被検査チップの検査を行うプローブ方法において、
前記プローブカードに対向しかつ当該プローブカードの上方から、イオナイザーにてイオン化されたガスを前記プローブカードに供給して当該プローブカードを除電する工程と、
次いで、前記載置台に載置された基板の被検査チップの電極パッドをプローブカードのプローブに接触させて被検査チップの検査を行う工程と、を含むことを特徴とする。
更に他の発明のプローブ方法は、多数の被検査チップが配列された基板を移動可能な載置台に載せ、プローブカードにより検査を行うプローブ方法において、
前記プローブカードのプローブと載置台上の基板との間の高さ位置において、水平方向に移動自在な移動体に設けられたイオナイザーにより、イオン化されたガスを前記プローブカードに供給して当該プローブカードを除電する工程と、
次いで、前記載置台に載置された基板の被検査チップの電極パッドをプローブカードのプローブに接触させて被検査チップの検査を行う工程と、を含むことを特徴とする。また本発明は、このプローブ方法を実施するための、コンピュータ上で動作するプログラムを格納した記憶媒体においても成立する。