【手続補正書】
【提出日】平成22年1月29日(2010.1.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを吐出するためのエネルギー発生素子、及び、該エネルギー発生素子にインクを供給するための供給口を有する基板と、
該基板上に形成され、インクを吐出するための吐出口、及び、該吐出口と前記供給口とを連通する流路を形成するための流路形成部材と、
該流路形成部材の一部である流路の側壁と基板との間に設けられた密着層とを備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、
前記基板上に前記密着層を形成するための密着材料を積層する工程と、
該密着材料上に感光性材料を積層し、露光及び現像により前記流路形成部材の一部となる流路の側壁を成形する工程と、
成形した該流路の側壁をマスクとして、前記密着材料をパターニングして密着層を成形する工程と、
前記流路の側壁上に、流路形成部材の一部となる層を貼り合わせる工程と、
該層に吐出口を形成する工程とを有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記流路の側壁を成形する感光性材料と、前記流路の側壁上に貼り合わせる層とが同じ組成の材料であることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記密着材料のパターニングはドライエッチングにより行うことを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記密着材料が、ポリエーテルアミド樹脂を含有することを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記密着材料が、エポキシ樹脂を含有することを特徴とする請求項１から３のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項６】
インクを吐出するためのエネルギー発生素子、及び、該エネルギー発生素子にインクを供給するための供給口を有する基板と、
該基板上に形成され、インクを吐出するための吐出口、及び、該吐出口と前記供給口とを連通する流路を形成するための流路形成部材と、
該流路形成部材の一部である流路の側壁と基板との間に設けられた密着層とを備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、
前記基板上に前記密着層を形成するための感光性を有する密着材料を積層する工程と、
該密着材料上に前記流路形成部材の一部となる流路の側壁を成形するための感光性材料を積層する工程と、
該感光性材料と前記密着材料とを一括してパターニングして密着層及び流路の側壁を成形する工程と、
該流路の側壁上に、流路形成部材の一部となる層を貼り合わせる工程と、
該層に吐出口を形成する工程とを有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記流路の側壁を形成する感光性材料と、前記流路の側壁上に貼り合わせる層とが同じ組成の材料であることを特徴とする請求項６に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記密着材料が、ポリエーテルアミド樹脂を含有することを特徴とする請求項６又は７に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記密着材料が、エポキシ樹脂を含有することを特徴とする請求項６又は７に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明は、インクを吐出するためのエネルギー発生素子、及び、該エネルギー発生素子にインクを供給するための供給口を有する基板と、該基板上に形成され、インクを吐出するための吐出口、及び、該吐出口と前記供給口とを連通する流路を形成するための流路形成部材と、該流路形成部材の一部である流路の側壁と基板との間に設けられた密着層とを備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、前記基板上に前記密着層を形成するための密着材料を積層する工程と、該密着材料上に感光性材料を積層し、露光及び現像により前記流路形成部材の一部となる流路の側壁を成形する工程と、成形した該流路の側壁をマスクとして、前記密着材料をパターニングして密着層を成形する工程と、前記流路の側壁上に、流路形成部材の一部となる層を貼り合わせる工程と、該層に吐出口を形成する工程とを有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法に関する。
また、本発明は、インクを吐出するためのエネルギー発生素子、及び、該エネルギー発生素子にインクを供給するための供給口を有する基板と、該基板上に形成され、インクを吐出するための吐出口、及び、該吐出口と前記供給口とを連通する流路を形成するための流路形成部材と、該流路形成部材の一部である流路の側壁と基板との間に設けられた密着層とを備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、前記基板上に前記密着層を形成するための感光性を有する密着材料を積層する工程と、該密着材料上に前記流路形成部材の一部となる流路の側壁を成形するための感光性材料を積層する工程と、該感光性材料と前記密着材料とを一括してパターニングして密着層及び流路の側壁を成形する工程と、該流路の側壁上に、流路形成部材の一部となる層を貼り合わせる工程と、該層に吐出口を形成する工程とを有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法に関する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
基板上に設けられる密着層６は、流路側壁９ａと基板との密着性を向上させるために、流路側壁９ａが設けられる基板部分にパターニングして設けることが可能である。密着層は流路側壁との密着性が高いポリエーテルアミド樹脂で成形することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
上記密着層６を介して基板１の表面側に設けられる流路形成部材９は、上記密着層６に密着される流路側壁９ａと、天井部材を構成する後述する層９ｂとを有し、流路１２ａを形成し、層９ｂに設けられるインクの吐出口１１に流路１２ａが接続される。流路１２ａは上記保護膜４を介してエネルギー発生素子２が発生するエネルギーが伝達されるように設けられる。吐出口１１はエネルギー発生素子に対向した位置の層９ｂに設けられる。流路側壁は感光性材料で形成されるものであるが、感光性樹脂と光重合開始剤を含有する感光性材料で  形成されることがパターニング精度の観点から好ましいが、これに限定されるものではない。天井を構成する層９ｂは樹脂材料、金属材料を選択可能であるが、流路側壁９ａと同じ材質のものが、製造工程や、製造後の環境などから受ける影響が同一であるため好ましい。層９ｂはその上面に撥水剤層１０が設けられていることが、吐出口から吐出したインクの飛沫の付着を抑制できることから好ましい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
流路形成部材は感光性樹脂を含有する感光性材料を用いて形成する。これにより、フォトリソグラフィーによるパターニングが可能となる。かかる感光性材料は、例えば、スピンコートなどにより、密着材料６ａ上に塗布する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
基板１の裏面のＳｉＯ2膜３を、樹脂層７をマスクとしてエッチングして、供給口を形成するための基板の貫通孔を穿設するエッチングの開始面となる部分の基板を露出させる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
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