【手続補正書】
【提出日】平成22年5月18日(2010.5.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板製造ラインの基板搬送路により搬送される基板の表面に照明光を照射する照明部と、
前記照明部により照射された前記基板の表面を撮影する撮影部と、
前記基板搬送路の前記基板の搬送方向に交差する方向に前記照明部および前記撮影部を一体に往復移動させる第１の移動機構と、
前記第１の移動機構または前記基板を前記基板の搬送方向に移動させる第２の移動機構とを備え、
前記照明部及び撮影部と前記基板を相対移動させて、前記撮像部により前記基板全面を撮影することを特徴とする基板外観検査装置。
【請求項２】
前記照明部は、照明光軸が前記基板面に対して傾くように配置され、前記撮影部は、前記照明部により照射された前記基板の照射範囲に対して光軸を傾けて配置されることを特徴とする請求項１に記載の基板外観検査装置。
【請求項３】
前記撮影部は、前記照明部により照射される基板の照射範囲の中心を回転支点にして回動する回動機構を備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載の基板外観検査装置。
【請求項４】
前記撮影部は、前記前記照明部により照射される基板の照射範囲の中心を向くように回動することを特徴とする請求項１又は２に記載の基板外観検査装置。
【請求項５】
前記撮影部は、撮影位置を回転支点にして回動することを特徴とする請求項１又は２に記載の基板外観検査装置。
【請求項６】
前記撮像部は、撮影位置を回転支点にして回動する回動機構と、前記基板の表面を拡大するズーム機構とを有し、前記回動機構により前記基板上の欠陥が視野内に入るように前記撮影部を回動させることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板外観検査装置。
【請求項７】
前記撮像部は、前記基板の表面を拡大するズーム機構を有し、前記ズーム機構により拡大して撮影した画像を記憶部に記憶することを特徴とする請求項１又は２に記載の基板外観検査装置。
【請求項８】
前記撮像部により前記基板の照射範囲を撮影した画像の座標位置と、前記ズーム機構により拡大して撮影した画像の座標位置とを前記基板の座標位置に対応付けて記憶部に記憶することを特徴とする請求項７に記載の基板外観検査装置。
【請求項９】
前記撮像部により前記基板の照射範囲を撮影した画像と、前記基板の照射範囲を撮影した画像の座標位置を前記基板の座標位置に対応付けて記憶部に記憶することを特徴とする請求項１又は２に記載の基板外観検査装置。
【請求項１０】
前記撮像部により撮影された画像を表示するモニタと、前記モニタ上に表示された前記画像中の欠陥位置を指定するポインタとを備え、前記ポインタで指定した欠陥の座標を前記基板の座標に対応付けて記憶部に記憶することを特徴とする請求項１又は２に記載の基板外観検査装置。
【請求項１１】
前記撮像部により撮影された画像を表示するモニタを備え、前記第１の移動機構は、モニタ上に表示される画像が観察者により確認できる流れとなるように前記撮像部を一定の速度で移動させるとともに、前記観察者が欠陥を発見した位置に前記撮像部を停止させることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板外観検査装置。
【請求項１２】
前記第１の移動機構と前記第２の移動機構は、互いに直交するように組み合わされたＸＹステージで構成され、前記第２に移動機構は、前記製造ラインの基板搬送路の両側に沿って配置され高さ調整が可能なベース上に取り付けられることを特徴とする請求項１に記載の基板外観検査装置。
【請求項１３】
前記第１の移動機構は、前記製造ラインの搬送方向と交差する方向に前記基板搬送路を跨ぐように架け渡される一対の第１のレールと、前記第１のレールに移動可能に設けられ前記照明部と前記撮影部を搭載する第１のスライダと、前記第１のスライダを前記第１のレールに沿って移動させる第１の駆動装置とを備え、
前記第２に移動機構は、前記基板を搬送方向に搬送する基板搬送路を兼用したことを特徴とする請求項１に記載の基板外観検査装置。
【請求項１４】
前記第１の移動機構は、前記製造ラインの搬送方向と交差する方向に前記基板搬送路を跨ぐように架け渡される一対の第１のレールと、前記第１のレールに移動可能に設けられ前記照明部と前記撮影部を搭載する第１のスライダと、前記第１のスライダを前記第１のレールに沿って移動させる第１の駆動装置とを備え、
前記第２の移動機構は、前記製造ラインの基板搬送路の両側に沿って配置される一対の第２のレールと、前記第２のレールに移動可能に設けられ前記第１の移動機構を搭載する第２のスライダと、前記第１のスライダを前記第２のレールに沿って移動させる第２の駆動装置とを備え、
前記製造ラインの基板搬送路の両側に沿って配置され高さ調整が可能なベース上に前記第２のレールを取り付けたことを特徴とする請求項１に記載の基板外観検査装置。
【請求項１５】
基板製造ラインの基板搬送路は、前記基板を回転させず搬送方向を９０°変えて搬送するコーナ部分を有し、前記９０°に折り曲げられた前記コーナ部分の搬入側の基板搬送路及び搬出側の基板搬送路にそれぞれ前記第１の移動機構を設置し、一方の基板搬送路に設置された第１の移動機構に搭載された前記撮影部と、  他方の基板搬送路に設置された第１の移動機構に搭載された前記撮影部により前記基板に形成された長方形のパターンの配列方向に対して９０°の異なった方向から撮影することを特徴とする請求項１に記載の基板外観検査装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
上記課題を解決するために、本発明は以下の手段を採用する。
本発明は、基板製造ラインの基板搬送路により搬送される基板の表面に照明光を照射する照明部と、前記照明部により照射された前記基板の表面を撮影する撮影部と、前記基板搬送路の前記基板の搬送方向に交差する方向に前記照明部および前記撮影部を一体に往復移動させる第１の移動機構と、前記第１の移動機構または前記基板を前記基板の搬送方向に移動させる第２の移動機構とを備え、前記照明部及び撮影部と前記基板を相対移動させて、前記撮像部により前記基板全面を撮影する基板外観検査装置を提供する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
また、検査装置ユニット３の照明走査領域となる検査領域をローラコンベアから基板５０を所定の高さに浮上させるエアー浮上ステージに代えることもできる。この場合、基板５０の浮上高さを一定に保つためにステージ上面にエアーを噴出させる噴出孔と、エアーを吸引する吸引孔とを設け、エアーの噴出圧と吸引圧により基板５０を一定の高さに浮上させる。このように、基板５０を浮上させることにより、基板５０を完全に非接触で支持することができるため、マザーグラスのように透明な基板の裏面下の背景に起因する影響を小さくすることができ、擬似欠陥による誤検出を防止できる。
本願発明は、以下の手段を採用することができる。
本発明は、ライン上を搬送されてくる基板の表面に照射する照明光を発生する照明部と、該照明部から発せられ前記基板の表面において反射した反射光を撮影する撮影部と、これら照明部および撮影部を、前記ライン上の前記基板の搬送方向に交差する方向に一体的に移動させる移動機構とを備え、前記撮影部が、前記照明部からの照明光の、前記基板の表面における正反射光の光束の範囲外に配置されている基板外観検査装置を提供する。
本発明によれば、照明部から発生された照明光が基板の表面に照射され、その反射光が撮影部の作動により撮影される。これにより、例えば、撮影した基板表面の画像をモニタに表示させて、モニタ上で目視観察することができる。
この場合に、撮影部が、正反射光の光束の範囲外に配置されているので、モニタ上に表示される画像に輝度の飽和する領域が発生しない。したがって、観察者は、画像の全体に表示された基板の外観を漏れなく観察することができる。
また、移動機構の作動により、ラインの搬送方向に交差する方向に照明部および撮影部を一体的に移動させることによって、基板の幅方向全体にわたる詳細な観察を行うことができる。    また、ラインの搬送方向については、ラインによって基板を移動させることにより、搬送方向全体にわたる基板の詳細な観察を行うことができる。したがって、基板が大型化しても、容易に基板全体の詳細な検査を行うことができる。
また、ライン上に配置された状態の基板を観察するので、基板をラインから取り出す必要がない。したがって、タクトタイムの短縮を図ることができる。また、基板取り出し機構等の別個の装置が不要となり、設置スペースを低減して設備のコンパクト化を図ることができる。
上記発明においては、前記照明部および前記撮影部を、前記ライン上の前記基板の搬送方向に一体的に移動させる第２の移動機構を備えることとしてもよい。このように構成することで、第２の移動機構の作動により、ライン上に基板が停止している場合においても、照明部および撮影部を基板の搬送方向に一体的に移動させて、基板の全体にわたる詳細な観察を行うことができる。
また、上記発明においては、前記第２の移動機構が、前記ラインの搬送方向に沿って配置される第２のレールと、前記照明部および前記撮影部を搭載して、前記第２のレール上に移動可能に支持された第２のスライダと、該第２のスライダを前記第２のレールに沿って駆動する第２の駆動装置とを備えることとしてもよい。このように構成することで、第２の駆動装置の作動により、第２のスライダをラインの搬送方向に沿って配置される第２のレール上を移動させることによって、照明部および撮影部をラインの搬送方向に一体的に移動させることができる。また、第２のレールをラインの搬送方向に沿って配置することとしたので、第２の移動機構をラインの位置を選ばずに設置することができる。また、すでに構築されたラインに第２の移動機構を後付することが可能となる。
また、上記発明においては、前記移動機構が、前記ラインの幅方向に架け渡されるレールと、前記照明部および前記撮影部を搭載して、前記レール上に移動可能に支持されたスライダと、該スライダを前記レールに沿って駆動する駆動装置とを備えることとしてもよい。このように構成することで、駆動装置の作動により、スライダをラインの幅方向に架け渡されるレール上を移動させることによって、照明部および撮影部をラインの幅方向へ一体的に移動させることができる。また、レールをラインの幅方向に架け渡すこととしたので、移動機構をラインの位置を選ばずに設置することができる。また、すでに構築されたラインに移動機構を後付することが可能となる。
また、上記発明においては、前記照明部から照射する照射光の照射範囲の中心位置回りに前記撮影部を回転させる回転機構を備えることとしてもよい。このように構成することで、回転機構の作動により、撮影部が照明部から照射される照射光の照射範囲の中心位置回りに回転させられる。したがって、撮影部の視点を変えながら基板検査を行うことができる。これにより、直接的な目視観察に近い観察を行うことができる。