【手続補正書】
【提出日】平成22年6月7日(2010.6.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材上の少なくとも一部の領域に設けられた導電性成分を含むプラズマ重合膜を備える第１の被着体の前記プラズマ重合膜のうち、少なくとも一部の所定領域に対してエネルギーを付与して、前記プラズマ重合膜を活性化させ、前記プラズマ重合膜に導電性を発現させる第１の工程と、
前記プラズマ重合膜と前記第２の被着体とを密着させ、前記第１の被着体と前記第２の被着体とを貼り合わせ、接合体を得る第２の工程とを有することを特徴とする接合方法。
【請求項２】
前記第１の被着体は、前記基材と、該基材上の全部の領域に設けられた導電性成分を含むプラズマ重合膜とを備えており、
前記第１の工程において、前記プラズマ重合膜のうち、一部の所定領域に対してエネルギーを付与することにより、前記所定領域に位置する前記プラズマ重合膜を部分的に活性化させるとともに、前記所定領域に位置する前記プラズマ重合膜に部分的に導電性を発現させる請求項１に記載の接合方法。
【請求項３】
前記第２の被着体のうち、前記第１の被着体のプラズマ重合膜と密着する面には、水酸基が存在しており、
前記第２の工程において、前記プラズマ重合膜と、前記第２の被着体の前記水酸基が存在する面とが密着するように、前記第１の被着体と前記第２の被着体とを貼り合わせる請求項１または２に記載の接合方法。
【請求項４】
前記第２の被着体の少なくとも前記プラズマ重合膜と密着する面は、酸化膜で覆われており、
前記第２の工程において、前記プラズマ重合膜と、前記第２の被着体の前記酸化膜で覆われた面とが密着するように、前記第１の被着体と前記第２の被着体とを貼り合わせる請求項１ないし３のいずれかに記載の接合方法。
【請求項５】
基材上に導電性成分を含むプラズマ重合膜を備えた第１の被着体の前記プラズマ重合膜の表面と、基材上に導電性成分を含むプラズマ重合膜を備えた第２の被着体の前記プラズマ重合膜の表面と、にそれぞれエネルギーを付与して、前記各プラズマ重合膜の表面を活性化させるとともに、前記各プラズマ重合膜に導電性を発現させる第１の工程と、
該活性化させた各プラズマ重合膜の表面同士を密着させるように、前記第１の被着体と前記第２の被着体とを貼り合わせ、接合体を得る第２の工程とを有することを特徴とする接合方法。
【請求項６】
前記第１の被着体および前記第２の被着体は、それぞれ、あらかじめ前記各基材上にプラズマによる下地処理を施した後、該下地処理を施した領域に前記プラズマ重合膜を形成してなるものである請求項５に記載の接合方法。
【請求項７】
前記第１の被着体が備える基材と、前記第２の被着体が備える基材とは、それぞれ剛性が異なっている請求項５または６に記載の接合方法。
【請求項８】
前記導電性成分を含むプラズマ重合膜は、有機金属ポリマーを主材料として構成されている請求項１ないし７のいずれかに記載の接合方法。
【請求項９】
前記有機金属ポリマーは、トリメチルガリウムまたはトリメチルアルミニウムの重合物を主成分とするものである請求項８に記載の接合方法。
【請求項１０】
前記プラズマ重合膜の平均厚さは、１〜１０００ｎｍである請求項１ないし９のいずれかに記載の接合方法。
【請求項１１】
前記第１の工程における前記エネルギーの付与は、前記プラズマ重合膜を加熱する方法により行われる請求項１ないし１０のいずれかに記載の接合方法。
【請求項１２】
前記加熱の温度は、２５〜１００℃である請求項１１に記載の接合方法。
【請求項１３】
前記第１の工程における前記エネルギーの付与は、前記プラズマ重合膜に、エネルギー線を照射する方法により行われる請求項１ないし１２のいずれかに記載の接合方法。
【請求項１４】
前記エネルギー線は、波長１５０〜３００ｎｍの紫外光である請求項１３に記載の接合方法。
【請求項１５】
前記第１の工程は、大気雰囲気中で行われる請求項１ないし１４のいずれかに記載の接合方法。
【請求項１６】
前記第２の工程の後、前記接合体に熱処理を施す工程を有する請求項１ないし１５のいずれかに記載の接合方法。
【請求項１７】
前記熱処理の温度は、２５〜１００℃である請求項１６に記載の接合方法。
【請求項１８】
前記第２の工程の後、前記接合体を加圧する工程を有する請求項１ないし１７のいずれかに記載の接合方法。
【請求項１９】
前記接合体を加圧する際の圧力は、０．２〜１０ＭＰａである請求項１８に記載の接合方法。
【請求項２０】
前記第１の工程の終了後、６０分以内に、前記第２の工程を開始する請求項１ないし１９のいずれかに記載の接合方法。
【請求項２１】
２つの基材同士が、請求項１ないし２０のいずれかに記載の接合方法により接合されていることを特徴とする接合体。
【請求項２２】
２つの基材と、
導電性を有するプラズマ重合膜とを有し、
前記２つの基材同士が、前記プラズマ重合膜を介して接合されていることを特徴とする接合体。
【請求項２３】
前記導電性を有するプラズマ重合膜は、前記２つの基材上にそれぞれあらかじめ形成された導電性成分を含むプラズマ重合膜に、それぞれエネルギーを付与することにより、前記導電性成分を含むプラズマ重合膜に導電性を発現させるとともに、該各プラズマ重合膜同士を接合してなるものである請求項２２に記載の接合体。
【請求項２４】
前記２つの基材間の接合強度は５ＭＰａ以上である請求項２１ないし２３のいずれかに記載の接合体。
【請求項２５】
当該接合体中の前記導電性が発現したプラズマ重合膜の抵抗率は、１×１０−３Ω・ｃｍ以下である請求項２１ないし２４のいずれかに記載の接合体。
【請求項２６】
請求項２１ないし２５のいずれかに記載の接合体を有することを特徴とする配線基板。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の接合方法は、基材上の少なくとも一部の領域に設けられた導電性成分を含むプラズマ重合膜を備える第１の被着体の前記プラズマ重合膜のうち、少なくとも一部の所定領域に対してエネルギーを付与して、前記プラズマ重合膜を活性化させ、前記プラズマ重合膜に導電性を発現させる第１の工程と、
前記プラズマ重合膜と前記第２の被着体とを密着させ、前記第１の被着体と前記第２の被着体とを貼り合わせ、接合体を得る第２の工程とを有することを特徴とする。
これにより、２つの部材同士を、高い寸法精度で強固にかつ効率よく接合可能であるとともに、２つの部材間に導電性を有する層を形成することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の接合方法では、前記第１の被着体は、前記基材と、該基材上の全部の領域に設けられた導電性成分を含むプラズマ重合膜とを備えており、
前記第１の工程において、前記プラズマ重合膜のうち、一部の所定領域に対してエネルギーを付与することにより、前記所定領域に位置する前記プラズマ重合膜を部分的に活性化させるとともに、前記所定領域に位置する前記プラズマ重合膜に部分的に導電性を発現させることが好ましい。
これにより、例えば、プラズマ重合膜の一部に配線を作り込むことができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明の接合方法では、前記第２の被着体のうち、前記第１の被着体のプラズマ重合膜と密着する面には、水酸基が存在しており、
前記第２の工程において、前記プラズマ重合膜と、前記第２の被着体の前記水酸基が存在する面とが密着するように、前記第１の被着体と前記第２の被着体とを貼り合わせることが好ましい。
これにより、プラズマ重合膜に存在する水酸基と、第２の被着体に存在する水酸基との間に水素結合に基づく引力が発生し、プラズマ重合膜と第２の被着体との間が強固に接合される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明の接合方法では、前記第２の被着体の少なくとも前記プラズマ重合膜と密着する面は、酸化膜で覆われており、
前記第２の工程において、前記プラズマ重合膜と、前記第２の被着体の前記酸化膜で覆われた面とが密着するように、前記第１の被着体と前記第２の被着体とを貼り合わせることが好ましい。
酸化膜の表面には水酸基が結合しているので、この水酸基とプラズマ重合膜に存在する水酸基とが、水素結合によって互いに引き合い、プラズマ重合膜と第２の被着体との間が強固に接合される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明の接合方法は、基材上に導電性成分を含むプラズマ重合膜を備えた第１の被着体の前記プラズマ重合膜の表面と、基材上に導電性成分を含むプラズマ重合膜を備えた第２の被着体の前記プラズマ重合膜の表面と、にそれぞれエネルギーを付与して、前記各プラズマ重合膜の表面を活性化させるとともに、前記各プラズマ重合膜に導電性を発現させる第１の工程と、
該活性化させた各プラズマ重合膜の表面同士を密着させるように、前記第１の被着体と前記第２の被着体とを貼り合わせ、接合体を得る第２の工程とを有することを特徴とする。
これにより、２つの基材同士を、高い寸法精度で強固にかつ効率よく接合することができ、かつ、２つの基材間に導電性を有する層を形成することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明の接合方法では、前記第１の工程における前記エネルギーの付与は、前記プラズマ重合膜を加熱する方法により行われることが好ましい。
これにより、プラズマ重合膜に対して比較的簡単に効率よくエネルギーを付与することができる。
本発明の接合方法では、前記加熱の温度は、２５〜１００℃であることが好ましい。
これにより、基材が熱によって変質・劣化するのを確実に防止しつつ、プラズマ重合膜を確実に活性化し、プラズマ重合膜に接着性を発現させることができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明の接合方法では、前記第１の工程における前記エネルギーの付与は、前記プラズマ重合膜に、エネルギー線を照射する方法により行われることが好ましい。
これにより、プラズマ重合膜の表面を効率よく活性化させることができる。また、プラズマ重合膜中の分子構造を必要以上に切断しないので、プラズマ重合膜の特性が低下してしまうのを避けることができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
本発明の接合方法では、前記第１の工程は、大気雰囲気中で行われることが好ましい。
これにより、雰囲気を制御することに手間やコストをかける必要がなくなり、活性化処理をより簡単に行うことができる。
本発明の接合方法では、前記第２の工程の後、前記接合体に熱処理を施す工程を有することが好ましい。
これにより、接合体における接合強度をより高めることができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
本発明の接合方法では、前記熱処理の温度は、２５〜１００℃であることが好ましい。
これにより、接合体が熱によって変質・劣化するのを確実に防止しつつ、接合強度を確実に高めることができる。
本発明の接合方法では、前記第２の工程の後、前記接合体を加圧する工程を有することが好ましい。
これにより、２つのプラズマ重合膜の一体化がより進行して、接合体における接合強度をより高めることができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
本発明の接合方法では、前記接合体を加圧する際の圧力は、０．２〜１０ＭＰａであることが好ましい。
これにより、基材に損傷等を生じさせることなく、接合体の接合強度を確実に高めることができる。
本発明の接合方法では、前記第１の工程の終了後、６０分以内に、前記第２の工程を開始することが好ましい。
これにより、プラズマ重合膜の表面を十分な活性状態に維持することができ、貼り合せたときに十分な接合強度を得ることができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
本実施形態にかかる接合方法は、２つの基材２の表面上に、それぞれ導電性成分を含むプラズマ重合膜３を形成する工程と、プラズマ重合膜３の表面にエネルギーを付与して、表面を活性化させるとともに、前記各プラズマ重合膜３に導電性を発現させる工程（第１の工程）と、活性化させた表面同士が接触するように、２つの基材２同士を貼り合わせ、接合体を得る工程（第２の工程）と、接合体を加熱しつつ加圧する工程とを有する。以下、各工程について順次説明する。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
［２］次に、図２（ａ）〜（ｃ）に示すように、２つの基材２上（基材２の一方の面）に、それぞれ導電性成分を含むプラズマ重合膜３を形成する。これにより、基材２上に導電性成分を含むプラズマ重合膜３を備える２つの被着体（第１の被着体４１および第２の被着体４２）を得る。
かかるプラズマ重合膜３は、強電界中に、原料ガスとキャリアガスとの混合ガスを供給することにより、原料ガス中の分子を重合して得ることができる。
具体的には、まず、チャンバー１０１内に基材２を収納して封止状態とした後、排気ポンプ１７０の作動により、チャンバー１０１内を減圧状態とする。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６５】
［３］次に、得られたプラズマ重合膜３の表面３１に、それぞれエネルギーを付与する。これにより、表面３１付近の分子結合の一部が切断され、表面３１を活性化させるとともに、各プラズマ重合膜３に導電性を発現させる（第１の工程）。
プラズマ重合膜３の表面３１にエネルギーを付与する方法としては、表面３１を活性化し得る方法であれば、いかなる方法であってもよく、例えば、エネルギー線を照射する方法、プラズマ重合膜３を加熱する方法、プラズマ重合膜３をプラズマに曝す（プラズマエネルギーを付与する）方法、オゾンガスに曝す（化学的エネルギーを付与する）方法等が挙げられるが、特にエネルギー線を照射する方法が好ましい。エネルギー線によれば、プラズマ重合膜３の表面３１を効率よく活性化させる。また、この方法によれば、プラズマ重合膜３中の分子構造を必要以上に（例えば、基材２の界面に至るまで）切断しないので、プラズマ重合膜３の特性が低下してしまうのを避けることができる。エネルギー線としては、例えば、紫外光、レーザー光のような光、Ｘ線、γ線のような電磁波、電子線、粒子線等が挙げられる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８８】
以上のようなメカニズムにより、図３（ｆ）に示すように接合体１を得る（第２の工程）。
なお、前記工程［３］で活性化されたプラズマ重合膜３の表面は、その活性状態が経時的に緩和してしまう。このため、前記工程［３］の終了後、できるだけ早く本工程［４］を行うようにする。具体的には、前記工程［３］の終了後、６０分以内に本工程［４］を行うようにするのが好ましく、５分以内に行うのがより好ましい。かかる時間内であれば、プラズマ重合膜３の表面が十分な活性状態を維持しているので、貼り合せたときに十分な接合強度を得ることができる。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０４】
すなわち、本実施形態にかかる接合方法は、第１の基材２１上にプラズマ重合膜３を形成し、第１の被着体４１を作製する工程と、プラズマ重合膜３にエネルギーを付与して活性化させるとともに、プラズマ重合膜３に導電性を発現させる工程（第１の工程）と、プラズマ重合膜３と第２の基材２２とが接触するように、２つの被着体４１、４２を貼り合わせ、接合体を得る工程（第２の工程）とを有する。以下、各工程について順次説明する。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０５】
［１］まず、第１の基材２１および第２の基材２２（第２の被着体４２）を用意する。そして、前記第１実施形態と同様にして、図４（ａ）〜（ｃ）に示すように、第１の基材２１上に、導電性成分を含むプラズマ重合膜３を形成する。これにより、第１の被着体４１を得る。
なお、第２の基材２２には、第１の基材２１と同様、接合面２４（後述する工程において、プラズマ重合膜３と密着する面）にも、必要に応じて、あらかじめプラズマ重合膜３との密着性を高める表面処理を施してもよい。これにより、接合面２４を清浄化および活性化する。その結果、後述する工程において、接合面２４とプラズマ重合膜３とを密着させ、これらを接合したとき、接合面２４とプラズマ重合膜３との接合強度を高めることができる。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１１】
［２］次に、図４（ｄ）に示すように、得られたプラズマ重合膜３の表面３１にエネルギーを付与する。これにより、プラズマ重合膜３の分子結合の一部が切断され、プラズマ重合膜３が活性化される。また、それとともに、プラズマ重合膜３に導電性が発現する（第１の工程）。
［３］次に、図５（ｅ）に示すように、プラズマ重合膜３と第２の基材２２の接合面２４とが密着するように、２つの被着体４１、４２を貼り合わせる。これにより、第１の被着体４１と第２の被着体４２とが接合され、図５（ｆ）に示す接合体１が得られる（第２の工程）。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１５】
以下、接合方法の第３実施形態について説明するが、前記第１実施形態および前記第２実施形態にかかる接合方法との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
本実施形態にかかる接合方法では、第１の工程において、プラズマ重合膜３の一部の所定領域（以下、「第１の領域３１１」と言う。）にエネルギーを付与することにより、プラズマ重合膜３の第１の領域３１１を部分的に活性化させるとともに、この第１の領域３１１に位置するプラズマ重合膜３に導電性を発現させるようにした以外は、前記第２実施形態と同様である。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１６】
すなわち、本実施形態にかかる接合方法は、第１の基材２１と、第２の基材２２（第２の被着体４２）とを用意し、第１の基材２１の接合面２３上に、プラズマ重合膜３を形成し、第１の被着体４１を作製する工程と、プラズマ重合膜３の第１の領域３１１にエネルギーを付与して活性化させるとともに、第１の領域３１１に位置するプラズマ重合膜３に導電性を発現させる工程（第１の工程）と、プラズマ重合膜３と第２の基材２２とが接触するように、２つの被着体４１、４２を貼り合わせ、接合体を得る工程（第２の工程）とを有する。以下、各工程について順次説明する。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１７】
［１］まず、前記第２実施形態と同様にして、図６（ａ）〜（ｃ）に示すように、第１の基材２１上に、導電性成分を含むプラズマ重合膜３を形成する。また、前記第１実施形態と同様の第２の基材２１（第２の被着体４２）を用意する。これにより、第１の被着体４１を得る。
［２］次に、図６（ｄ）に示すように、プラズマ重合膜３の表面３１の第１の領域３１１に対して選択的にエネルギーを付与する。これにより、第１の領域３１１に位置するプラズマ重合膜３の分子結合の一部が切断され、プラズマ重合膜３が活性化される。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１９】
具体的には、例えば、図６（ｄ）に示すように、プラズマ重合膜３の紫外線を照射すべき第１の領域３１１の形状に対応する形状をなす窓部６１を有するマスク６を設け、このマスク６を介して紫外線を照射するようにすればよい。このようにすれば、プラズマ重合膜３のうち、図６（ｄ）に示す第１の領域３１１に対して紫外線を選択的に照射することができる。
以上のようにしてエネルギーが付与されると、プラズマ重合膜３の第１の領域３１１に接着性が発現する。また、それとともに、プラズマ重合膜３の第１の領域３１１には導電性が発現する（第１の工程）。
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２９】
すなわち、本実施形態にかかる接合方法は、第１の基材２１上にプラズマ重合膜３０１を形成し、第１の被着体４１を作製するとともに、第２の基材２２上にプラズマ重合膜３０２を形成し、第２の被着体４２を作製する工程と、各プラズマ重合膜３０１、３０２のそれぞれの第１の領域３１１にエネルギーを付与して活性化させるとともに、第１の領域３１１に導電性を発現させる工程（第１の工程）と、プラズマ重合膜３０１とプラズマ重合膜３０２とが密着するように、２つの被着体４１、４２を貼り合わせ、接合体を得る工程（第２の工程）とを有する。以下、各工程について順次説明する。
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３０】
［１］まず、前記第１実施形態と同様にして、図８（ａ）〜（ｃ）に示すように、第１の基材２１上に、導電性成分を含むプラズマ重合膜３０１を形成する。また、それと同様に、第２の基材２２上に、導電性成分を含むプラズマ重合膜３０２を形成する。これにより、第１の被着体４１と第２の被着体４２とを得る。
［２］次に、図８（ｄ）に示すように、プラズマ重合膜３０１の表面３０３の第１の領域３１１に対して選択的にエネルギーを付与する。これにより、第１の領域３１１に位置するプラズマ重合膜３０１の分子結合の一部が切断され、プラズマ重合膜３０１が活性化される。また、それと同様に、プラズマ重合膜３０２の表面３０４の第１の領域３１１に対して選択的にエネルギーを付与する。これにより、第１の領域３１１に位置するプラズマ重合膜３０２の分子結合の一部が切断され、プラズマ重合膜３０２が活性化される。
以上のようにしてエネルギーが付与されると、各プラズマ重合膜３０１、３０２のそれぞれの第１の領域３１１に接着性が発現する。また、それとともに、各プラズマ重合膜３０１、３０２のそれぞれの第１の領域３１１には導電性が発現する（第１の工程）。
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３１】
［３］次に、図９（ｅ）に示すように、プラズマ重合膜３０１とプラズマ重合膜３０２とが密着するように、２つの被着体４１、４２を貼り合わせる。これにより、第１の被着体４１と第２の被着体４２とが第１の領域３１１において部分的に接合される。その結果、図９（ｆ）に示すような接合体１が得られる（第２の工程）。
本実施形態にかかる接合方法では、前記第１実施形態ないし前記第３実施形態にかかる接合方法と同様の作用・効果が得られる。
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３９】
すなわち、本実施形態にかかる接合方法は、第１の基材２１と、第２の基材２２（第２の被着体４２）とを用意し、第１の基材２１の接合面２３の一部の第１の領域３１１にプラズマ重合膜３ａを形成するとともに、第１の基材２１の接合面２３の第２の領域３１２にプラズマ重合膜３ｂを形成して、第１の被着体４１を作製する工程と、各プラズマ重合膜３ａ、３ｂにエネルギーを付与して活性化させるとともに、プラズマ重合膜３ａに導電性を発現させる工程（第１の工程）と、各プラズマ重合膜３ａ、３ｂと第２の基材２２とが密着するように、２つの被着体４１、４２を貼り合わせ、接合体を得る工程（第２の工程）とを有する。以下、各工程について順次説明する。
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４２】
以上のようにして、図１１（ｄ）に示すように、第１の基材２１と、第１の基材２１の接合面２３の第１の領域３１１に設けられたプラズマ重合膜３ａと、第１の基材２１の接合面２３の第２の領域３１２に設けられたプラズマ重合膜３ｂとを備える第１の被着体４１が作製される。
ここで、導電性成分を含まないプラズマ重合膜３ｂは、特に、ポリオルガノシロキサンを主材料として構成されているのが好ましい。これにより、プラズマ重合膜３ｂは、第１の基材２１と第２の基材２２とをより強固に接合することができる。また、ポリオルガノシロキサンは、導電性成分を含まず、優れた絶縁性を有するものであるため、プラズマ重合膜３ｂに絶縁体としての優れた機能を付与することができる。
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５０】
［２］次に、図１２（ｅ）に示すように、各プラズマ重合膜３ａ、３ｂに対してエネルギーを付与する。これにより、各プラズマ重合膜３ａ、３ｂの分子結合の一部が切断され、活性化される。
具体的には、図１２（ｅ）に示すように、紫外線を照射することにより、エネルギーを付与する。その結果、各プラズマ重合膜３ａ、３ｂにそれぞれ接着性が発現する。そして、この接着性により、各プラズマ重合膜３ａ、３ｂと第２の基材２２とが接合される。また、それとともに、プラズマ重合膜３ａには導電性が発現する（第１の工程）。
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５１】
［３］次に、図１２（ｆ）に示すように、各プラズマ重合膜３ａ、３ｂと第２の基材２２の接合面２４とが密着するように、２つの被着体４１、４２を貼り合わせる。これにより、図１２（ｇ）に示すような接合体１が得られる（第２の工程）。
本実施形態にかかる接合方法では、前記第１実施形態ないし前記第４実施形態にかかる接合方法と同様の作用・効果が得られる。
なお、接合体１を得た後、この接合体１に対して、必要に応じて、前記第１実施形態における３つの工程（［５Ａ］、［５Ｂ］および［５Ｃ］）のうちの少なくとも１つの工程を行うようにしてもよい。これにより、接合体１の接合強度のさらなる向上を図ることができる。
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５４】
すなわち、本実施形態にかかる接合方法は、第１の基材２１と、第２の基材２２とを用意し、第１の基材２１の接合面２３の第１の領域３１１と第２の領域３１２に、それぞれプラズマ重合膜３ａとプラズマ重合膜３ｂとを形成して、第１の被着体４１を作製するとともに、第２の基材２２の接合面２４の全面にプラズマ重合膜３ｃを形成して、第２の被着体４２を作製する工程と、各プラズマ重合膜３ａ、３ｂ、３ｃにエネルギーを付与して活性化させるとともに、プラズマ重合膜３ａに導電性を発現させる工程（第１の工程）と、各プラズマ重合膜３ａ、３ｂとプラズマ重合膜３ｃとが密着するように、２つの被着体４１、４２を貼り合わせ、接合体を得る工程（第２の工程）とを有する。以下、各工程について順次説明する。
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５５】
［１］まず、図１３（ａ）〜（ｄ）に示すように、前記第５実施形態と同様にして、第１の被着体４１を作製する。
一方、図１３（ａ）〜（ｂ）に示すように、前記第１実施形態と同様の方法により、第２の基材２２の接合面２４の全面に、導電性成分を含まないプラズマ重合膜３ｃを形成する。これにより、第２の基材２２とプラズマ重合膜３ｃとを備える第２の被着体４２を得る。
ここで、導電性成分を含まないプラズマ重合膜３ｃは、前記第５実施形態におけるプラズマ重合膜３ｂと同様の構成とされる。すなわち、プラズマ重合膜３ｃは、ポリオルガノシロキサンを主材料として構成されているのが好ましい。これにより、プラズマ重合膜３ｃに絶縁体としての優れた機能を付与することができる。
【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５６】
［２］次に、図１４（ｅ）に示すように、各プラズマ重合膜３ａ、３ｂ、３ｃに対してエネルギーを付与する。これにより、各プラズマ重合膜３ａ、３ｂ、３ｃの分子結合の一部が切断され、活性化される。
具体的には、図１４（ｅ）に示すように、紫外線を照射することにより、エネルギーを付与する。その結果、各プラズマ重合膜３ａ、３ｂ、３ｃにそれぞれ接着性が発現する。そして、この接着性により、各プラズマ重合膜３ａ、３ｂとプラズマ重合膜３ｃとが接合される。また、それとともに、プラズマ重合膜３ａには導電性が発現する（第１の工程）。
【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５７】
［３］次に、図１４（ｆ）に示すように、各プラズマ重合膜３ａ、３ｂとプラズマ重合膜３ｃとが密着するように、２つの被着体４１、４２を貼り合わせる。これにより、図１４（ｇ）に示すような接合体１が得られる（第２の工程）。
本実施形態にかかる接合方法では、前記第１実施形態ないし前記第５実施形態にかかる接合方法と同様の作用・効果が得られる。
なお、接合体１を得た後、この接合体１に対して、必要に応じて、前記第１実施形態における３つの工程（［５Ａ］、［５Ｂ］および［５Ｃ］）のうちの少なくとも１つの工程を行うようにしてもよい。これにより、接合体１の接合強度のさらなる向上を図ることができる。
【手続補正３４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６０】
すなわち、本実施形態にかかる接合方法は、第１の基材２１と、第２の基材２２とを用意し、第１の基材２１の接合面２３の第１の領域３１１と第２の領域３１２に、それぞれプラズマ重合膜３ａとプラズマ重合膜３ｂとを形成して、第１の被着体４１を作製するとともに、第２の基材２２の接合面２４の第１の領域３１１と第２の領域３１２に、それぞれプラズマ重合膜３ａとプラズマ重合膜３ｂとを形成して、第２の被着体４２を作製する工程と、第１の被着体４１の各プラズマ重合膜３ａ、３ｂと、第２の被着体４２の各プラズマ重合膜３ａ、３ｂとに、それぞれエネルギーを付与して活性化させるとともに、第１の被着体４１のプラズマ重合膜３ａと第２の被着体４２のプラズマ重合膜３ａとにそれぞれ導電性を発現させる工程（第１の工程）と、各プラズマ重合膜３ａ、３ｂ同士が密着するように、２つの被着体４１、４２を貼り合わせ、接合体を得る工程（第２の工程）とを有する。以下、各工程について順次説明する。
【手続補正３５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６１】
［１］まず、図１５（ａ）〜（ｄ）に示すように、前記第５実施形態と同様にして、第１の被着体４１を作製する。
一方、図１５（ａ）〜（ｄ）に示すように、この第１の被着体４１の作製方法と同様にして、第２の基材２２と、この第２の基材２２の接合面２４の第１の領域３１１と第２の領域３１２にそれぞれ設けられたプラズマ重合膜３ａとプラズマ重合膜３ｂとを備える第２の被着体４２を作製する。