【手続補正書】
【提出日】平成22年4月2日(2010.4.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状の樹脂組成物をノズルから基板に塗布する樹脂組成物塗布装置において、
樹脂組成物塗布装置本体に固定され前記樹脂組成物を保持するシリンジと、
前記シリンジ内で樹脂組成物に圧力を加える加圧機構と、
前記シリンジ内に位置するネジ部を有し前記ネジ部を回転可能なシャフト部とを備え、
前記ノズルは、
前記シリンジの先端に設けられ、
前記加圧機構が前記樹脂組成物を加圧するとともに前記シャフト部が前記ネジ部を回転することにより、
前記樹脂組成物を吐出するよう構成した
ことを特徴とする樹脂組成物塗布装置。
【請求項２】
前記樹脂組成物塗布装置本体から、前記シリンジが分離可能であることを特徴とする請求項１に記載の樹脂組成物塗布装置。
【請求項３】
前記シリンジは、その上部の径が下部の径より大きく、前記下部において、前記シャフト部の回転により前記樹脂組成物を前記ノズルから吐出するよう構成した
ことを特徴とする請求項１または請求項２のいずれかに記載の樹脂組成物塗布装置。
【請求項４】
前記シリンジ内の前記樹脂組成物に定常的に加えられる圧力は０．１〜０．３ＭＰａであることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の樹脂組成物塗布装置。
【請求項５】
前記ネジ部のネジ山の頂と前記シリンジの下部に形成された吐出部の内面との距離は０．１〜０．２ｍｍであることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の樹脂組成物塗布装置。
【請求項６】
前記ネジ部は、長さが１０〜２０ｍｍ、ネジ山の高さが０．１〜０．５ｍｍ、ピッチが１〜２ｍｍであることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の樹脂組成物塗布装置。
【請求項７】
前記加圧機構は、加圧により前記シリンジ内を下方向に移動して前記シリンジ内の樹脂組成物に圧力を加える蓋部を有する請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の樹脂組成物塗布装置。
【請求項８】
前記蓋部は、その中心部に前記シャフト部との距離が０．０１〜０．１ｍｍの穴部を設け、
前記シャフト部は、前記穴部に前記ネジ部を通した状態で回転するよう構成したことを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の樹脂組成物塗布装置。
【請求項９】
液状の樹脂組成物をノズルから基板に塗布する樹脂組成物塗布方法であって、
前記樹脂組成物をシリンジで保持し、
前記シリンジ内で樹脂組成物に一定の圧力を加えながら、
前記シリンジ内に位置するネジ部を有するシャフト部で前記ネジ部を回転させることにより、
前記シリンジの先端に設けられた前記ノズルから、前記樹脂組成物を吐出させる
ことを特徴とする樹脂組成物塗布方法。
【請求項１０】
前記シリンジに前記樹脂組成物を充填し、樹脂組成物塗布装置に固定することを特徴とする請求項９に記載の樹脂組成物塗布方法。
【請求項１１】
前記シリンジ内の前記樹脂組成物に定常的に加えられる圧力を０．１〜０．３ＭＰａとすることを特徴とする請求項９または請求項１０のいずれかに記載の樹脂組成物塗布方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記の課題を解決するために、本発明の請求項１に記載の樹脂組成物塗布装置は、液状の樹脂組成物をノズルから基板に塗布する樹脂組成物塗布装置において、樹脂組成物塗布装置本体に固定され前記樹脂組成物を保持するシリンジと、前記シリンジ内で樹脂組成物に圧力を加える加圧機構と、前記シリンジ内に位置するネジ部を有し前記ネジ部を回転可能なシャフト部とを備え、前記ノズルは、前記シリンジの先端に設けられ、前記加圧機構が前記樹脂組成物を加圧するとともに前記シャフト部が前記ネジ部を回転することにより、前記樹脂組成物を吐出するよう構成したことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、本発明の請求項２に記載の樹脂組成物塗布装置は、請求項１に記載の樹脂組成物塗布装置であって、前記樹脂組成物塗布装置本体から、前記シリンジが分離可能であることを特徴とする。
また、本発明の請求項３に記載の樹脂組成物塗布装置は、請求項１または請求項２に記載の樹脂組成物塗布装置であって、前記シリンジは、その上部の径が下部の径より大きく、前記下部において、前記シャフト部の回転により前記樹脂組成物を前記ノズルから吐出するよう構成したことを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、本発明の請求項４に記載の樹脂組成物塗布装置は、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の樹脂組成物塗布装置であって、前記シリンジ内の前記樹脂組成物に定常的に加えられる圧力は０．１〜０．３ＭＰａであることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、本発明の請求項５に記載の樹脂組成物塗布装置は、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の樹脂組成物塗布装置であって、前記ネジ部のネジ山の頂と前記シリンジの下部に形成された吐出部の内面との距離は０．１〜０．２ｍｍであることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、本発明の請求項６に記載の樹脂組成物塗布装置は、請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の樹脂組成物塗布装置であって、前記ネジ部は、長さが１０〜２０ｍｍ、ネジ山の高さが０．１〜０．５ｍｍ、ピッチが１〜２ｍｍであることを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、本発明の請求項７に記載の樹脂組成物塗布装置は、請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の樹脂組成物塗布装置であって、前記加圧機構は、加圧により前記シリンジ内を下方向に移動して前記シリンジ内の樹脂組成物に圧力を加える蓋部を有することを特徴とする。
また、本発明の請求項８に記載の樹脂組成物塗布装置は、請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の樹脂組成物塗布装置であって、前記蓋部は、その中心部に前記シャフト部との距離が０．０１〜０．１ｍｍの穴部を設け、前記シャフト部は、前記穴部に前記ネジ部を通した状態で回転するよう構成したことを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、本発明の請求項９に記載の樹脂組成物塗布方法は、液状の樹脂組成物をノズルから基板に塗布する樹脂組成物塗布方法であって、前記樹脂組成物をシリンジで保持し、前記シリンジ内で樹脂組成物に一定の圧力を加えながら、前記シリンジ内に位置するネジ部を有するシャフト部で前記ネジ部を回転させることにより、前記シリンジの先端に設けられた前記ノズルから、前記樹脂組成物を吐出させることを特徴とする。
また、本発明の請求項１０に記載の樹脂組成物塗布方法は、請求項９記載の樹脂組成物塗布方法であって、前記シリンジに前記樹脂組成物を充填し、樹脂組成物塗布装置に固定することを特徴とする。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、本発明の請求項１１に記載の樹脂組成物塗布方法は、請求項９または請求項１０のいずれかに記載の樹脂組成物塗布方法であって、前記シリンジ内の前記樹脂組成物に定常的に加えられる圧力を０．１〜０．３ＭＰａとすることを特徴とする。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】