【手続補正書】
【提出日】平成22年3月17日(2010.3.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物に塗布された樹脂に対してモールドを押印して離型し、前記対象物上に前記モールドのパターンを転写する加工装置であって、
前記モールドを保持する第１駆動部と、
バネを介して、前記第１駆動部に連結された第２駆動部と、
前記第２駆動部が離型方向に駆動され始め、前記第１駆動部が停止し、前記モールドが前記樹脂に接触している状態の、前記モールドと前記樹脂の間に発生する荷重の変化率を第１荷重変化率とし、前記第２駆動部が前記離型方向に駆動され続け、前記第１駆動部が前記離型方向に駆動され始め、前記モールドが前記樹脂から乖離する状態の、前記モールドと前記樹脂の間に発生する荷重の変化率を第２荷重変化率としたとき、前記第１荷重変化率の絶対値よりも前記第２荷重変化率の絶対値が小さくなるように前記第２駆動部を制御する制御系と、を有することを特徴とする加工装置。
【請求項２】
前記バネは、荷重センサであり、
前記制御系は、前記荷重センサの出力に基づいて、前記第２駆動部を制御することを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
【請求項３】
前記制御系は、離型工程の開始からの経過時間に基づいて、前記第２駆動部を制御することを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
【請求項４】
対象物に塗布された樹脂に対してモールドを押印して離型し、前記対象物上に前記モールドのパターンを転写する加工装置であって、
前記モールドを保持する第１駆動部と、
バネを介して、前記第１駆動部に連結された第２駆動部と、
前記第２駆動部が離型方向に駆動され始め、前記第１駆動部が停止し、前記モールドが前記樹脂に接触している状態の、前記対象物に対する前記第２駆動部の速度を第１速度とし、前記第２駆動部が前記離型方向に駆動され続け、前記第１駆動部が前記離型方向に駆動され始め、前記モールドが前記樹脂から乖離する状態の、前記対象物に対する前記第２駆動部の速度を第２速度としたとき、前記第１速度よりも前記第２速度が小さくなるように前記第２駆動部を制御する制御系と、を有することを特徴とする加工装置。
【請求項５】
前記第２駆動部および前記第１駆動部が前記離型方向に駆動され、前記モールドが前記樹脂に接触していない状態の、前記対象物に対する前記第２駆動部の速度を第３速度としたとき、前記制御系は、前記第２速度よりも前記第３速度が大きくなるように、前記第２駆動部を制御であることを特徴とする請求項４に記載の加工装置。
【請求項６】
前記バネは、荷重センサであり、
前記制御系は、前記荷重センサの出力に基づいて、前記第２駆動部を制御することを特徴とする請求項４に記載の加工装置。
【請求項７】
前記制御系は、離型工程の開始からの経過時間に基づいて、前記第２駆動部を制御することを特徴とする請求項４に記載の加工装置。
【請求項８】
対象物に塗布された樹脂に対してモールドを押印して離型し、前記対象物上に前記モールドのパターンを転写する加工装置であって、
前記モールドを保持するステージと、
離型工程の開始時の前記モールドと前記樹脂の間に発生する荷重の変化率の絶対値よりも、前記モールドが前記樹脂から乖離する瞬間の前記モールドと前記樹脂の間に発生する荷重の変化率の絶対値が小さくなるように前記ステージを駆動制御する駆動制御系と、を有することを特徴とする加工装置。
【請求項９】
前記駆動制御系は、前記モールドが前記樹脂から乖離する瞬間の前記対象物に対する前記モールドの速度よりも、前記離型工程の完了時の前記対象物に対する前記モールドの速度が大きくなるように前記ステージを駆動制御することを特徴とする請求項８に記載の加工装置。
【請求項１０】
対象物に塗布された樹脂に対してモールドを押印して離型し、前記対象物上に前記モールドのパターンを転写する加工装置であって、
前記モールドを保持するステージと、
前記モールドが前記樹脂から乖離する瞬間の前記対象物に対する前記モールドの速度よりも、前記離型工程の完了時の前記対象物に対する前記モールドの速度が大きくなるように前記ステージを駆動制御する駆動制御系と、を有することを特徴とする加工装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての加工装置は、対象物に塗布された樹脂に対してモールドを押印して離型し、前記対象物上に前記モールドのパターンを転写する加工装置であって、前記モールドを保持する第１駆動部と、バネを介して、前記第１駆動部に連結された第２駆動部と、前記第２駆動部が離型方向に駆動され始め、前記第１駆動部が停止し、前記モールドが前記樹脂に接触している状態の、前記モールドと前記樹脂の間に発生する荷重の変化率を第１荷重変化率とし、前記第２駆動部が前記離型方向に駆動され続け、前記第１駆動部が前記離型方向に駆動され始め、前記モールドが前記樹脂から乖離する状態の、前記モールドと前記樹脂の間に発生する荷重の変化率を第２荷重変化率としたとき、前記第１荷重変化率の絶対値よりも前記第２荷重変化率の絶対値が小さくなるように前記第２駆動部を制御する制御系と、を有することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明の別の側面としての加工装置は、対象物に塗布された樹脂に対してモールドを押印して離型し、前記対象物上に前記モールドのパターンを転写する加工装置であって、前記モールドを保持する第１駆動部と、バネを介して、前記第１駆動部に連結された第２駆動部と、前記第２駆動部が離型方向に駆動され始め、前記第１駆動部が停止し、前記モールドが前記樹脂に接触している状態の、前記対象物に対する前記第２駆動部の速度を第１速度とし、前記第２駆動部が前記離型方向に駆動され続け、前記第１駆動部が前記離型方向に駆動され始め、前記モールドが前記樹脂から乖離する状態の、前記対象物に対する前記第２駆動部の速度を第２速度としたとき、前記第１速度よりも前記第２速度が小さくなるように前記第２駆動部を制御する制御系と、を有することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明の更に別の側面としての加工装置は、対象物に塗布された樹脂に対してモールドを押印して離型し、前記対象物上に前記モールドのパターンを転写する加工装置であって、前記モールドを保持するステージと、離型工程の開始時の前記モールドと前記樹脂の間に発生する荷重の変化率の絶対値よりも、前記モールドが前記樹脂から乖離する瞬間の前記モールドと前記樹脂の間に発生する荷重の変化率の絶対値が小さくなるように前記ステージを駆動制御する駆動制御系と、を有することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明の更に別の側面としての加工装置は、対象物に塗布された樹脂に対してモールドを押印して離型し、前記対象物上に前記モールドのパターンを転写する加工装置であって、前記モールドを保持するステージと、前記モールドが前記樹脂から乖離する瞬間の前記対象物に対する前記モールドの速度よりも、前記離型工程の完了時の前記対象物に対する前記モールドの速度が大きくなるように前記ステージを駆動制御する駆動制御系と、を有することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
図１は、本発明の一側面としての加工装置１の概略断面図である。加工装置１は、パターンが形成されたモールドを、被転写体（対象物）上に塗布した樹脂（レジストを含む）に押し付けて、被写体にパターンを転写するナノインプリント装置である。ここで、モールドを被転写体上に塗布した樹脂に押し付ける、と言うのは、モールドと樹脂は接触させるが、モールドを被転写体に接触させても接触させなくても構わない。樹脂の形状が、モールドを押し付ける前と押し付けた後とで変化する程度にモールドを樹脂に押し付ければ良い。また、ここで言う樹脂は、モールドによってパターンを転写する際にレジストとして機能するもの、或いは転写した後にそのまま被転写体上に残ってパターンを形成するもの、のいずれかであり、樹脂以外の材料で代替しても構わない。加工装置１は、本実施形態では、ＵＶ硬化型のステップ・アンド・リピート方式のナノインプリント装置である。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
押印機構１０は、モールドステージ１０１と、第１のモールド駆動部（第１駆動部）１０２と、第１のガイド１０３と、荷重センサ１０４と、第２のモールド駆動部（第２駆動部）１０５と、第２のガイド１０６と、ボールナット１０７と、ボールネジ１０８と、モータ１０９とを有する。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７１】
即ち、モールドＭＰが樹脂と接触したままの状態でモールドＭＰが樹脂から離れる方向に移動し始めてからモールドＭＰと樹脂とが乖離するまでの状態を順に、第１の状態と第２の状態とに分けた場合を考えればよい。この場合、第１の状態におけるモールドＭＰと樹脂との間に発生する荷重の変化率（荷重変化量／時間、第１荷重変化率）の絶対値よりも、第２の状態におけるモールドＭＰと樹脂との間に発生する荷重の変化率（第２荷重変化率）の絶対値の方が小さくなるように、第２のモールド駆動部１０５を制御（駆動）する。換言すれば、第１の状態におけるモールドＭＰとウェハＷＦとの相対速度の変化率（速度変化量／時間）よりも、第２の状態におけるモールドＭＰとウェハＷＦとの相対速度の変化率の方が小さくなるように、第２のモールド駆動部１０５を制御（駆動）する。