【手続補正書】
【提出日】平成22年3月19日(2010.3.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象物に光を照射する投光手段と、
第１受光素子及び第２受光素子が交互となるように、多数の受光素子を一列に配列させた受光素子列を有し、上記測定対象物からの反射光を受光するラインセンサと、
上記受光素子列の露光制御を行う露光制御手段と、
同時に露光させた第１受光素子の受光量が入力され、当該受光量を順に出力する第１シリアル出力手段と、
同時に露光させた第２受光素子の受光量が入力され、当該受光量を順に出力する第２シリアル出力手段とを備え、
上記露光制御手段が、第１及び第２シリアル出力手段のいずれか一方から出力される同時に露光して求められた受光量に基づいて、上記受光素子列の露光制御を行うことを特徴とする光学式変位計。
【請求項２】
上記露光制御手段が、同時に露光して求められた上記受光量の最大値に基づいて、露光制御を行うことを特徴とする請求項１に記載の光学式変位計。
【請求項３】
上記露光制御手段が、第１及び第２受光素子の一方を同時に露光させて得られた受光量に基づいて、第１及び第２受光素子の他方の露光時間を制御することを特徴とする請求項１又は２に記載の光学式変位計。
【請求項４】
上記露光制御手段が、第１及び第２受光素子を交互に露光させることを特徴とする請求項３に記載の光学式変位計。
【請求項５】
上記露光制御手段が、第１及び第２受光素子に対し互いに異なる露光制御を行って得られた第１受光素子の受光量の最大値と、第２受光素子の受光量の最大値とに基づいて、第１又は第２受光素子の露光制御を行うことを特徴とする請求項１に記載の光学式変位計。
【請求項６】
上記受光素子列が、隣接する複数の受光素子からなる２以上のブロックに区分され、
第１シリアル出力手段が、上記ブロックごとに設けられる手段であって、対応するブロックに属する第１受光素子を同時に露光させて得られた受光量が入力され、当該受光量を順に出力し、
第２シリアル出力手段が、上記ブロックごとに設けられる手段であって、対応するブロックに属する第２受光素子を同時に露光させて得られた受光量が入力され、当該受光量を順に出力し、
上記露光制御手段が、上記ブロックごとに、同じブロックに属する第１及び第２シリアル出力手段の少なくとも一方から出力される同時に露光して得られた受光量の最大値に基づいて、上記同じブロックに属する受光素子の露光制御を行うことを特徴とする請求項２に記載の光学式変位計。
【請求項７】
動作モードとして、上記ブロックごとに異なる露光制御を行う複数スポットモードと、全ての上記ブロックに共通の露光制御を行う単一スポットモードとを切り替える動作モード切替手段を備え、
上記露光制御手段は、複数スポットモードの場合、上記ブロックごとに、同じブロックに属する第１及び第２シリアル出力手段のいずれか一方から出力される同時に露光された受光量の最大値に基づいて、上記同じブロックに属する受光素子の露光制御を行い、
単一スポットモードの場合、全てのブロックに属する第１及び第２シリアル出力手段のいずれか一方から出力される同時に露光された受光量の最大値に基づいて、全てのブロックに属する受光素子の露光制御を行うことを特徴とする請求項１から５のいずれか記載の光学式変位計。
【請求項８】
測定対象物に光を照射する投光手段と、
多数の受光素子が同一の半導体基板上に一列に形成された受光素子列であって、隣接する複数の受光素子からなる２以上のブロックに区分された受光素子列を有し、上記測定対象物からの反射光を受光するラインセンサと、
上記受光素子列の露光制御を行う露光制御手段と、
同じブロックに属する受光素子を同時に露光させて得られた受光量が入力され、当該受光量を順に出力するブロックごとのシリアル出力手段とを備え、
上記露光制御手段が、上記シリアル出力手段から出力される同じブロックに属する受光素子を同時に露光させて得られる受光量に基づいて、上記受光素子列の露光制御を行うことを特徴とする光学式変位計。
【請求項９】
上記露光制御手段が、同時に露光して求められた上記受光量の最大値に基づいて、露光制御を行うことを特徴とする請求項８に記載の光学式変位計。
【請求項１０】
上記露光制御手段が、同じブロックに属する受光素子を同時に露光させて得られた受光量に基づいて、上記同じブロックとは異なるブロックに属する受光素子の露光時間を制御することを特徴とする請求項８又は９に記載の光学式変位計。
【請求項１１】
上記露光制御手段が、各ブロックについて、同じブロックに属する受光素子を同時に露光させて得られた受光量に基づいて、上記同じブロックに属する受光素子の露光時間を制御することを特徴とする請求項８又は９に記載の光学式変位計。
【請求項１２】
測定対象物に光を照射する投光手段と、
多数の受光素子が同一の半導体基板上に一列に形成された受光素子列であって、隣接する複数の受光素子からなる第１ブロック及び第２ブロックに区分された受光素子列を有し、上記測定対象物からの反射光を受光するラインセンサと、
同時に露光させた第１ブロックに属する受光素子の受光量が入力され、当該受光量を順に出力する第１シリアル出力手段と、
同時に露光させた第２ブロックに属する受光素子の受光量が入力され、当該受光量を順に出力する第２シリアル出力手段とを備え、
第１シリアル出力手段から出力される同時に露光して求められた受光量に基づいて第１ブロックに属する受光素子の露光制御を行う第１露光制御手段と、
第２シリアル出力手段から出力される同時に露光して求められた受光量に基づいて第２ブロックに属する受光素子の露光制御を行う第２露光制御手段とを備えたことを特徴とする光学式変位計。
【請求項１３】
上記ラインセンサを構成する受光素子のうち、一部の連続する受光素子を撮影エリアとして指定する撮影エリア指定手段を備え、
第１シリアル出力手段は、上記撮影エリア内の第１ブロックに属する受光素子の受光量を順に出力し、
第２シリアル出力手段は、上記撮影エリア内の第２ブロックに属する受光素子の受光量を順に出力し、
上記撮影エリアは、第１ブロック及び第２ブロックの境界を中心とし、ユーザ操作に基づいて決定された数の受光素子からなることを特徴とする請求項１２に記載の光学式変位計。
【請求項１４】
上記第１ブロック及び第２ブロックが、隣接する複数の受光素子からなる２以上のサブブロックにそれぞれ区分され、
第１シリアル出力手段が、第１ブロックの上記サブブロックごとに設けられる手段であって、対応するサブブロックに属する受光素子を同時に露光させて得られた受光量が入力され、当該受光量を順に出力し、
第２シリアル出力手段が、第２ブロックの上記サブブロックごとに設けられる手段であって、対応するサブブロックに属する受光素子を同時に露光させて得られた受光量が入力され、当該受光量を順に出力し、
第１露光制御手段が、第１シリアル出力手段から出力される同じサブブロックに属する受光素子を同時に露光させて得られる受光量に基づいて、上記第１ブロックに属する受光素子の露光制御を行い、
第２露光制御手段が、第２シリアル出力手段から出力される同じサブブロックに属する受光素子を同時に露光させて得られる受光量に基づいて、上記第２ブロックに属する受光素子の露光制御を行うことを特徴とする請求項１２に記載の光学式変位計。
【請求項１５】
第１露光制御手段及び第２露光制御手段が、同時に露光して求められた上記受光量の最大値に基づいて、露光制御を行うことを特徴とする請求項１４に記載の光学式変位計。
【請求項１６】
第１露光制御手段が、同じサブブロックに属する受光素子を同時に露光させて得られた受光量に基づいて、上記同じサブブロックとは異なるサブブロックに属する受光素子の露光時間を制御し、
第２露光制御手段が、同じサブブロックに属する受光素子を同時に露光させて得られた受光量に基づいて、上記同じサブブロックとは異なるサブブロックに属する受光素子の露光時間を制御することを特徴とする請求項１４又は１５に記載の光学式変位計。
【請求項１７】
第１露光制御手段が、各サブブロックについて、同じサブブロックに属する受光素子を同時に露光させて得られた受光量に基づいて、上記同じサブブロックに属する受光素子の露光時間を制御し、
第２露光制御手段が、各サブブロックについて、同じサブブロックに属する受光素子を同時に露光させて得られた受光量に基づいて、上記同じサブブロックに属する受光素子の露光時間を制御することを特徴とする請求項１４又は１５に記載の光学式変位計。
【請求項１８】
測定対象物に光を照射する投光手段と、
１又は２以上の受光素子からなる第１受光素子ユニット及び１又は２以上の受光素子からなる第２受光素子ユニットが交互となるように、多数の受光素子を一列に配列させた受光素子列を有し、上記測定対象物からの反射光を受光するラインセンサと、
上記受光素子列の露光制御を行う露光制御手段と、
同時に露光させた第１受光素子ユニットに属する受光素子の受光量が入力され、当該受光量を順に出力する第１シリアル出力手段と、
同時に露光させた第２受光素子ユニットに属する受光素子の受光量が入力され、当該受光量を順に出力する第２シリアル出力手段とを備え、
上記露光制御手段が、第１及び第２シリアル出力手段のいずれか一方から出力される同時に露光して求められた受光量に基づいて、上記受光素子列の露光制御を行うことを特徴とする光学式変位計。
【請求項１９】
各第１受光素子ユニットは、それぞれ同じ数の受光素子からなり、各第２受光素子ユニットは、それぞれ同じ数の受光素子からなることを特徴とする請求項１８に記載の光学式変位計。