【手続補正書】
【提出日】平成22年8月9日(2010.8.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
排気および大気開放を繰り返す真空チャンバと、
それぞれが前記真空チャンバに連結された複数の真空リザーバータンクと、
複数の前記真空リザーバータンクの各々と前記真空チャンバとの連通を制御する連通バルブと、
前記真空チャンバに連結されたベントバルブとを備え、
前記連通バルブを制御することにより、前記真空チャンバは、複数の前記真空リザーバータンクのいずれか一つに連通せしめられると共に、当該真空リザーバータンクの圧力と前記真空チャンバの圧力とが略同一になるとその連通が解除されるという動作が可能であり、
大気圧状態の前記真空チャンバを排気する際には、前記動作が、最も圧力が高い前記真空リザーバータンクから最も圧力が低い前記真空リザーバータンクまで順に切り替えながら行われ、
真空状態の前記真空チャンバを大気圧に戻す際には、前記動作が、最も圧力が低い前記真空リザーバータンクから最も圧力が高い前記真空リザーバータンクまで順に切り替えながら行われ、その後、前記ベントバルブが開放されることを特徴とする真空排気幇助装置。
【請求項２】
請求項１に記載の真空排気幇助装置において、
前記真空チャンバの排気用の真空ポンプを、前記真空リザーバータンクに連通させることが可能な補助排気バルブをさらに備えており、前記真空ポンプがアイドリング状態にあるときに、当該真空ポンプにより前記補助排気バルブを介して前記真空リザーバータンクを排気することが可能であることを特徴とする真空排気幇助装置。
【請求項３】
請求項２に記載の真空排気幇助装置において、
前記補助排気バルブにより、前記真空ポンプが、圧力が最も低い前記真空リザーバータンクに連通せしめられることを特徴とする真空排気幇助装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の真空排気幇助装置において、
前記真空チャンバが複数個設けられていると共に、それら真空チャンバの各々が複数の前記真空リザーバータンクに連結されていて、前記連通バルブを制御することにより、それら真空チャンバの各々に対して前記動作が可能であることを特徴とする真空排気幇助装置。
【請求項５】
排気および大気開放を繰り返す真空チャンバと、
それぞれが前記真空チャンバに連結された複数の真空リザーバータンクと、
複数の前記真空リザーバータンクの各々と前記真空チャンバとの連通を制御する連通バルブと、
前記真空チャンバに連結されたベントバルブとを備え、
前記連通バルブを制御することにより、前記真空チャンバは、複数の前記真空リザーバータンクのいずれか一つに連通せしめられると共に、当該真空リザーバータンクの圧力と前記真空チャンバの圧力とが略同一になるとその連通が解除されるという動作が可能な真空排気装置において、
最も圧力が高い前記真空リザーバータンクから最も圧力が低い前記真空リザーバータンクまで順に切り替えながら前記動作を行い、もって大気圧状態の前記真空チャンバを排気する排気幇助工程と、
最も圧力が低い前記真空リザーバータンクから最も圧力が高い前記真空リザーバータンクまで順に切り替えながら前記動作を行ってから、前記ベントバルブを開放し、もって真空状態の前記真空チャンバを大気圧に戻す大気開放工程とを備えてなることを特徴とする真空排気幇助方法。
【請求項６】
請求項５に記載の真空排気幇助方法において、
前記真空チャンバの排気用の真空ポンプがアイドリング状態にあるときに、当該真空ポンプにより、補助排気バルブを介して前記真空リザーバータンクを排気することを特徴とする真空排気幇助方法。
【請求項７】
請求項６に記載の真空排気幇助方法において、
前記補助排気バルブにより、前記真空ポンプが、圧力が最も低い前記真空リザーバータンクに連通せしめられることを特徴とする真空排気幇助方法。
【請求項８】
請求項５〜７のいずれか１項に記載の真空排気幇助方法において、
前記真空チャンバが複数個設けられていると共に、それら真空チャンバの各々が複数の前記真空リザーバータンクに連結されており、それら真空チャンバの各々に対して前記排気幇助工程と前記大気開放工程が実施されることを特徴とする真空排気幇助方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
従来、真空チャンバ内を大気圧から排気して真空状態にするときには、真空チャンバに連結された排気バルブを開いて真空ポンプで直接真空チャンバから排気し、真空チャンバを真空状態から大気圧に戻すときには、真空チャンバに連結されたベントバルブを開いて直接空気またはガスを真空チャンバに導入する真空排気装置が一般的に使用されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
上記の一般的な真空排気装置以外には、真空チャンバ内を大気圧から排気するときに、予め排気しておいた真空リザーバータンクを真空チャンバと連通させて真空チャンバの圧力を低下させた後、真空チャンバのみを排気するようにして、真空チャンバの排気時間を短くする真空排気装置がある（例えば、特許文献１参照）。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
また、真空チャンバを複数の真空リザーバータンクと連結して相互に連通可能にしておき、真空チャンバを大気圧から排気するときには、予め排気しておいた複数の真空リザーバータンクを順次切り替えながら真空チャンバに連通させることで、速やかに真空チャンバ内を排気して所望の圧力にする真空排気装置もある（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２００５−１３９９１１号公報
【特許文献２】特開２００６−７５８５０号公報
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
上述した従来の真空排気装置は、いずれも、真空チャンバを真空状態から大気圧に戻すときに、真空チャンバに直接、空気またはガスを導入している。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明は、真空チャンバを真空状態から大気圧に戻すときに、真空チャンバに直接空気またはガスを導入するのではなく、真空チャンバと真空リザーバータンクとを連通させ、真空リザーバータンクの圧力を低下させた後、真空チャンバを大気圧に戻し、圧力が低下した真空リザーバータンクを次に実行する真空チャンバの排気工程で利用する真空排気幇助装置と真空排気幇助方法を提供しようとするものである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
また、本発明は、真空チャンバの排気時間が短縮でき、排気エネルギーが低減できる真空排気幇助装置と真空排気幇助方法を提供しようとするものである。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
請求項１に記載の発明は、
排気および大気開放を繰り返す真空チャンバと、
それぞれが前記真空チャンバに連結された複数の真空リザーバータンクと、
複数の前記真空リザーバータンクの各々と前記真空チャンバとの連通を制御する連通バルブと、
前記真空チャンバに連結されたベントバルブとを備え、
前記連通バルブを制御することにより、前記真空チャンバは、複数の前記真空リザーバータンクのいずれか一つに連通せしめられると共に、当該真空リザーバータンクの圧力と前記真空チャンバの圧力とが略同一になるとその連通が解除されるという動作が可能であり、
大気圧状態の前記真空チャンバを排気する際には、前記動作が、最も圧力が高い前記真空リザーバータンクから最も圧力が低い前記真空リザーバータンクまで順に切り替えながら行われ、
真空状態の前記真空チャンバを大気圧に戻す際には、前記動作が、最も圧力が低い前記真空リザーバータンクから最も圧力が高い前記真空リザーバータンクまで順に切り替えながら行われ、その後、前記ベントバルブが開放されることを特徴とする真空排気幇助装置である。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の真空排気幇助装置において、
前記真空チャンバの排気用の真空ポンプを、前記真空リザーバータンクに連通させることが可能な補助排気バルブをさらに備えており、前記真空ポンプがアイドリング状態にあるときに、当該真空ポンプにより前記補助排気バルブを介して前記真空リザーバータンクを排気することが可能であることを特徴とする真空排気幇助装置である。
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の真空排気幇助装置において、
前記補助排気バルブにより、前記真空ポンプが、圧力が最も低い前記真空リザーバータンクに連通せしめられることを特徴とする真空排気幇助装置である。
請求項４に記載の発明は、請求項１〜３のいずれか１項に記載の真空排気幇助装置において、
前記真空チャンバが複数個設けられていると共に、それら真空チャンバの各々が複数の前記真空リザーバータンクに連結されていて、前記連通バルブを制御することにより、それら真空チャンバの各々に対して前記動作が可能であることを特徴とする真空排気幇助装置である。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
請求項５に記載の発明は、
それぞれが前記真空チャンバに連結された複数の真空リザーバータンクと、
複数の前記真空リザーバータンクの各々と前記真空チャンバとの連通を制御する連通バルブと、
前記真空チャンバに連結されたベントバルブとを備え、
前記連通バルブを制御することにより、前記真空チャンバは、複数の前記真空リザーバータンクのいずれか一つに連通せしめられると共に、当該真空リザーバータンクの圧力と前記真空チャンバの圧力とが略同一になるとその連通が解除されるという動作が可能な真空排気装置において、
最も圧力が高い前記真空リザーバータンクから最も圧力が低い前記真空リザーバータンクまで順に切り替えながら前記動作を行い、もって大気圧状態の前記真空チャンバを排気する排気幇助工程と、
最も圧力が低い前記真空リザーバータンクから最も圧力が高い前記真空リザーバータンクまで順に切り替えながら前記動作を行ってから、前記ベントバルブを開放し、もって真空状態の前記真空チャンバを大気圧に戻す大気開放工程とを備えてなることを特徴とする真空排気幇助方法である。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の真空排気幇助方法において、
前記真空チャンバの排気用の真空ポンプがアイドリング状態にあるときに、当該真空ポンプにより、補助排気バルブを介して前記真空リザーバータンクを排気することを特徴とする真空排気幇助方法である。
請求項７に記載の発明は、請求項６に記載の真空排気幇助方法において、
前記補助排気バルブにより、前記真空ポンプが、圧力が最も低い前記真空リザーバータンクに連通せしめられることを特徴とする真空排気幇助方法である。
請求項８に記載の発明は、請求項５〜７のいずれか１項に記載の真空排気幇助方法において、
前記真空チャンバが複数個設けられていると共に、それら真空チャンバの各々が複数の前記真空リザーバータンクに連結されており、それら真空チャンバの各々に対して前記排気幇助工程と前記大気開放工程が実施されることを特徴とする真空排気幇助方法である。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
請求項１および請求項５に記載の発明によれば、前記連通バルブを制御することにより、前記真空チャンバが複数の前記真空リザーバータンクのいずれか一つに連通せしめられると共に、当該真空リザーバータンクの圧力と前記真空チャンバの圧力とが略同一になるとその連通が解除されるという動作が可能である。そして、大気圧状態の前記真空チャンバを排気する際には、前記動作が、最も圧力が高い前記真空リザーバータンクから最も圧力が低い前記真空リザーバータンクまで順に切り替えながら行われ、真空状態の前記真空チャンバを大気圧に戻す際には、前記動作が、最も圧力が低い前記真空リザーバータンクから最も圧力が高い前記真空リザーバータンクまで順に切り替えながら行われ、その後、前記ベントバルブが開放される。ここで、前記真空チャンバを真空ポンプで排気するよりも、前記真空チャンバと複数の前記真空リザーバータンクのいずれか一つとの連通による気体が拡散する時間の方が大幅に短いため、排気時間が短縮でき、排気エネルギーが低減できる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、請求項２および請求項６に記載の発明よれば、前記真空ポンプが前記真空チャンバの排気を実行していないとき、換言すれば、前記真空ポンプがアイドリング状態にあるときに、前記真空リザーバータンクを排気することができるから、排気時間がより短縮でき、排気エネルギーがより低減できる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
図１は、Ｍ個（Ｍは１以上の整数）の真空チャンバとＮ個（Ｎは１以上の整数）の真空リザーバータンクを連結した構成を示す説明図である。
１ａ、１ｂ、・・、１ｍ（ｍはＭ番目のアルファベット）は真空チャンバであり、これら真空チャンバ１ａ、１ｂ、・・、１ｍには、それぞれ、排気バルブ４ａ、４ｂ、・・、４ｍと、真空ポンプ２ａ、２ｂ、・・、２ｍと、ベントバルブ３ａ、３ｂ、・・、３ｍとが連結されている。
図１に明瞭に示すように、真空チャンバ１ａには、連通バルブ６ａａと配管９ａと真空リザーバータンク２０ａ、連通バルブ６ａｂと配管９ｂと真空リザーバータンク２０ｂ、・・、及び連通バルブ６ａｎ（ｎはＮ番目のアルファベット）と配管９ｎと真空リザーバータンク２０ｎが連結されている。真空チャンバ１ｂには、連通バルブ６ｂａと配管９ａと真空リザーバータンク２０ａ、連通バルブ６ｂｂと配管９ｂと真空リザーバータンク２０ｂ、・・、及び連通バルブ６ｂｎと配管９ｎと真空リザーバータンク２０ｎが連結されている。真空チャンバ１ｍには、連通バルブ６ｍａと配管９ａと真空リザーバータンク２０ａ、連通バルブ６ｍｂと配管９ｂと真空リザーバータンク２０ｂ、・・、及び連通バルブ６ｍｎと配管９ｎと真空リザーバータンク２０ｎが連結されている。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
大気圧状態の真空チャンバ１ａを排気する際には、まず、連通バルブ６ａａを開いて真空チャンバ１ａと真空リザーバータンク２０ａとを連通させ、真空チャンバ１ａの圧力と真空リザーバータンク２０ａの圧力が略同一になれば連通バルブ６ａａを閉じる。次いで、連通バルブ６ａｂを開いて真空チャンバ１ａと真空リザーバータンク２０ｂとを連通させ、真空チャンバ１ａの圧力と真空リザーバータンク２０ｂの圧力が略同一になれば連通バルブ６ａｂを閉じる。最後に、連通バルブ６ａｎを開いて真空チャンバ１ａと真空リザーバータンク２０ｎとを連通させ、真空チャンバ１ａの圧力と真空リザーバータンク２０ｎの圧力が略同一になれば連通バルブ６ａｎを閉じる。このようにして、真空チャンバ１ａの排気を幇助する排気幇助工程を実行する。
上記排気幇助工程では、真空ポンプ２ａで排気するよりも、真空チャンバ１ａと真空リザーバータンク２０ａ、２０ｂ、・・、及び２０ｎとの連通によって気体が拡散する時間の方が大幅に短いため、短時間で所望の圧力（真空状態）に排気することができ、排気エネルギーを低減することができる。
真空状態の真空チャンバ１ａを大気圧に戻す際には、まず、連通バルブ６ａｎを開いて真空チャンバ１ａと真空リザーバータンク２０ｎとを連通させ、真空チャンバ１ａの圧力と真空リザーバータンク２０ｎの圧力が略同一になれば連通バルブ６ａｎを閉じる。次いで、連通バルブ６ａｂを開いて真空チャンバ１ａと真空リザーバータンク２０ｂとを連通させ、真空チャンバ１ａの圧力と真空リザーバータンク２０ｂの圧力が略同一になれば連通バルブ６ａｂを閉じる。次いで、連通バルブ６ａａを開いて真空チャンバ１ａと真空リザーバータンク２０ａとを連通させ、真空チャンバ１ａの圧力と真空リザーバータンク２０ａの圧力が略同一になれば連通バルブ６ａｂを閉じる。最後に、ベントバルブ３ａを開く。このようにして、真空チャンバ１ａを大気圧に戻す大気開放工程を実行する。
真空チャンバ１ｂ、・・、及び１ｍの各々についても、真空チャンバ１ａの場合と同様にして、上記排気幇助工程および上記大気開放工程を実行することができる。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
上記排気幇助工程と上記大気開放工程は交互に実行される。毎回同じ圧力で上記排気幇助工程と上記大気開放工程が繰返し実行されると、真空リザーバータンク２０ａ、２０ｂ、・・、及び２０ｎの各々の圧力は、上記排気幇助工程終了後の圧力と上記大気開放工程終了後の圧力の２値に収束する。その圧力値は、真空リザーバータンク２０ａが最も高く、真空リザーバータンク２０ｂ、・・、真空リザーバータンク２０ｎの順に低くなる。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
図２は、図１に示した実施例１の真空ポンプ２ａ、２ｂ、・・、及び２ｍと配管９ｎとの間に、補助排気バルブ５ａ、５ｂ、・・、及び５ｍをそれぞれ追加した構成を示す説明図である。
真空チャンバ１ａ、１ｂ、・・、及び１ｍの真空ポンプ２ａ、２ｂ、・・、及び２ｍが真空チャンバ１ａ、１ｂ、・・、及び１ｍの排気を実行していないとき、換言すれば、真空ポンプ２ａ、２ｂ、・・、及び２ｍが本来アイドリング状態にあるときに、補助排気バルブ５ａ、５ｂ、・・、及び５ｍを開き、真空ポンプ２ａ、２ｂ、・・、及び２ｍを用いて真空リザーバータンク２０ｎを排気する。このようにして、真空ポンプ２ａ、２ｂ、・・、及び２ｍを有効に利用して真空リザーバータンク２０ｎを排気することで、真空リザーバータンク２０ｎの圧力を低下せしめることができる。このため、真空チャンバ１ａ、１ｂ、・・、及び１ｍを排気するときに上記排気幇助工程を実行することにより、実施例１よりさらに短時間で所望の圧力（真空状態）に排気することができる。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
図３は、１個の真空チャンバに３個の真空リザーバータンクを連結した構成を示す説明図である。
１は真空チャンバであり、これには排気バルブ４と真空ポンプ２とベントバルブ３が連結されている。真空チャンバ１には、さらに、連通元バルブ７と配管９を介して、連通バルブ６ａと真空リザーバータンク２０ａ、連通バルブ６ｂと真空リザーバータンク２０ｂ、及び連通バルブ６ｃと真空リザーバータンク２０ｃが、図３に示すように連結されている。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
大気圧状態の真空チャンバ１を排気する際には、まず、連通元バルブ７と連通バルブ６ａを開いて真空チャンバ１と真空リザーバータンク２０ａとを連通させ、真空チャンバ１の圧力と真空リザーバータンク２０ａの圧力が略同一になれば連通バルブ６ａを閉じる。次いで、連通バルブ６ｂを開いて真空チャンバ１と真空リザーバータンク２０ｂとを連通させ、真空チャンバ１の圧力と真空リザーバータンク２０ｂの圧力が略同一になれば連通バルブ６ｂを閉じる。最後に、連通バルブ６ｃを開いて真空チャンバ１と真空リザーバータンク２０ｃとを連通させ、真空チャンバ１の圧力と真空リザーバータンク２０ｃの圧力が略同一になれば連通バルブ６ｃと連通元バルブ７とを閉じる。このようにして、真空チャンバ１の排気を幇助する排気幇助工程を実行する。
真空状態の真空チャンバ１を大気圧に戻す際には、まず、連通元バルブ７と連通バルブ６ｃを開いて真空チャンバ１と真空リザーバータンク２０ｃとを連通させ、真空チャンバ１の圧力と真空リザーバータンク２０ｃの圧力が略同一になれば連通バルブ６ｃを閉じる。次いで、連通バルブ６ｂを開いて真空チャンバ１と真空リザーバータンク２０ｂとを連通させ、真空チャンバ１の圧力と真空リザーバータンク２０ｂの圧力が略同一になれば連通バルブ６ｂを閉じる。次いで、連通バルブ６ａを開いて真空チャンバ１と真空リザーバータンク２０ａとを連通させ、真空チャンバ１の圧力と真空リザーバータンク２０ａの圧力が略同一になれば連通バルブ６ａと連通元バルブ７とを閉じる。最後に、ベントバルブ３を開く。このようにして、真空チャンバ１を大気圧に戻す大気開放工程を実行する。
上記排気幇助工程と上記大気開放工程は交互に実行される。毎回同じ圧力で上記排気幇助工程と上記大気開放工程が繰返し実行されると、真空リザーバータンク２０ａ、２０ｂ及び２０ｃの各々の圧力は、上記排気幇助工程終了後の圧力と上記大気開放工程終了後の圧力の２値に収束する。
たとえば、真空チャンバ１と真空リザーバータンク２０ａ、２０ｂ及び２０ｃの容積がそれぞれ略同一で、かつ配管９の容積を無視し、かつ真空チャンバ１が大気圧の状態から上記排気幇助工程を開始し、かつ真空チャンバ１が略真空の状態から上記大気開放工程を開始する場合、上記排気幇助工程後には、真空リザーバータンク２０ａの圧力は略８０ＫＰａ、真空リザーバータンク２０ｂの圧力は略６０ＫＰａ、真空リザーバータンク２０ｃの圧力は略４０ＫＰａとなる。上記大気開放工程後には、真空リザーバータンク２０ａの圧力は略６０ＫＰａ、真空リザーバータンク２０ｂの圧力は略４０ＫＰａ、真空リザーバータンク２０ｃの圧力は略２０ＫＰａとなる。従って、この場合、大気圧から略４０ＫＰａまで、真空ポンプ２を使用しないで真空チャンバ１を排気することができる。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
図４は、図３に示した実施例３の真空ポンプ２と配管９との間に、補助排気バルブ５を追加した構成を示す説明図である。
真空チャンバ１の真空ポンプ２が真空チャンバ１の排気を実行していないとき、換言すれば、真空ポンプ２が本来アイドリング状態にあるときに、補助排気バルブ５と連通バルブ６ｃを開いて真空リザーバータンク２０ｃを排気する。このようにして、真空ポンプ２を有効に利用して真空リザーバータンク２０ｃを排気することで、真空リザーバータンク２０ｃの圧力を低下せしめることができる。このため、真空チャンバ１を排気するときに上記排気幇助工程を実行することにより、実施例３よりさらに短時間で所望の圧力（真空状態）に排気することができる。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
１、１ａ、１ｂ、・・、１ｍ  真空チャンバ
２、２ａ、２ｂ、・・、２ｍ  真空ポンプ
３、３ａ、３ｂ、・・、３ｍ  ベントバルブ
４、４ａ、４ｂ、・・、４ｍ  排気バルブ
５、５ａ、５ｂ、・・、５ｍ  補助排気バルブ
６、６ａａ、６ａｂ、・・、６ａｎ、６ｂａ、６ｂｂ、・・、６ｂｎ、・・６ｍａ、６ｍｂ、・・、６ｍｎ  連通バルブ
７  連通元バルブ
９、９ａ、９ｂ、・・、９ｎ  配管
２０、２０ａ、２０ｂ、・・、２０ｎ  真空リザーバータンク