【手続補正書】
【提出日】平成21年10月1日(2009.10.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
外部接続用の基部電極が設けられた振動基部と、
前記振動基部から音叉状に突設された振動子腕部と、
前記振動子腕部の表面および裏面の少なくとも一方に形成された溝部と、
前記溝部に設けられた溝電極と、
前記振動子腕部の前記溝部が形成されていない側面に設けられた側面電極と、
前記基部電極と前記側面電極若しくは前記溝電極とを接続する第一の接続用電極と、
前記溝電極と前記側面電極とを接続する第二の接続用電極と、を含む音叉型圧電振動片であって、
前記側面電極は、前記振動基部における音叉又部の底面から所定の距離をおいて設けられていることを特徴とする音叉型圧電振動片。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】
前記所定の距離は、前記音叉型圧電振動片の製造工程における製品歩留り率を該距離決定のパラメータの一つとして、その最適値が決定されることを特徴とする請求項１に記載の音叉型圧電振動片。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項３】
前記所定の距離は、前記音叉型圧電振動片固有の等価直列抵抗値の増加率を該距離決定のパラメータの一つとして、その最適値が決定されることを特徴とする請求項１に記載の音叉型圧電振動片。
【手続補正４】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項４】
前記圧電振動片は、水晶振動子であることを特徴とする請求項１に記載の音叉型圧電振動片。
【手続補正５】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項５】
前記圧電振動片は、セラミック振動子であることを特徴とする請求項１に記載の音叉型圧電振動片。
【手続補正６】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項６】
請求項１に記載の音叉型圧電振動片を所定のパッケージの内部に備え、かつ、該音叉型圧電振動片の基部電極が前記パッケージの外部出力端子に接続されていることを特徴とする圧電振動デバイス。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】音叉型圧電振動片、圧電振動デバイス、及び圧電発振器
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、例えば、水晶振動子等を用いた音叉型圧電振動片、当該振動子を用いた圧電振動デバイス、及び当該圧電振動デバイスを用いた圧電発振器に関するものである。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
従来の一般的な音叉型水晶振動子の構造を図６（ａ）、（ｂ）に示す。ここで、図６（ａ）は音叉型水晶振動片１００の斜視図であり、図６（ｂ）は図６（ａ）におけるＡ−Ａ’方向の断面図である。なお、これらの図面においては説明の便宜上、音叉型水晶振動子の各面上に設けられている励振用電極の表示を省略している。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
図６（ａ）に示されるように、音叉型水晶振動片１００は、振動基部１０３と、かかる基部から音叉状に突設された２本の振動子腕部１０１及び１０２より構成されている。また、振動子腕部１０１、１０２の表面及び裏面には、該腕部の長手方向に沿ってそれぞれ溝部１０１ａ、１０２ａが形成されている。したがって、振動子腕部１０１、１０２の断面形状は、図６（ｂ）の断面図に示されるように略Ｈ型となる。このような略Ｈ型断面の腕部を有する音叉型水晶振動子は、従来の平面型の水晶振動子に比べて、水晶振動片の大きさを小型化しても電気機械変換係数を高くすることができるので、そのＣＩ値を低く保つことができるというメリットを有している。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
音叉型水晶振動片１００を所定の周波数で振動させるためには、振動子腕部１０１、１０２に励振用の電界を印加する必要がある。このため、溝部１０１ａ、１０２ａには、溝部の長手方向に沿ってそれぞれ溝電極が設けられており、また、溝部が設けられていない腕部の側面部１０１ｂ、１０２ｂには、腕部側面の長手方向に沿ってそれぞれ側面電極が設けられている（何れも図示せず）。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
音叉型水晶振動片１００に励振用の電界を形成するには振動子の外部から励振用の駆動電流を供給する必要がある。このため、振動基部１０３の面上には、外部電流源との接続を担う基部電極が設けられている。また、かかる基部電極と上記の溝電極或いは側面電極とを接続する接続用電極、及び溝電極と側面電極とを接続する接続用電極も振動基部１０３等の面上に設けられている（何れも図示せず）。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
外部電流源から音叉型水晶振動片１００に励振用の駆動電流が供給されると、以上に説明した各電極を介して、振動子腕部１０１、１０２のそれぞれの溝電極と側面電極に駆動電流が印加されて各電極間に励振電界が生じる。これによって、振動子腕部の略Ｈ型断面の左右壁部は圧電現象により互いに逆方向の伸縮を生じ、振動子腕部１０１、１０２は互いに反対方向の屈曲振動を為す。かかる屈曲振動によって、音叉型水晶振動片１００はＱ値（周波数選択度）の高い共振素子となり得るのである。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
次に、音叉型水晶振動片１００における電極配置の一例を図７に示す。なお、同図は音叉型水晶振動片１００の表面のみを示すものであり、その裏面の表示については説明の重複を避けるため省略する。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
図７において、１０３ｅ１及び１０３ｅ２は振動基部１０３の表面に設けられた基部電極である。また、１０１ａｅは振動子腕部１０１の溝部１０１ａに設けられた溝電極であり、１０２ａｅは振動子腕部１０２の溝部１０２ａに設けられた溝電極である。また、１０１ｂｅ及び１０２ｂｅは、それぞれの腕部の側面部１０１ｂ、１０２ｂに設けられた側面電極である。なお、図７によれば側面電極１０１ｂｅ、１０２ｂｅは、それぞれの振動子腕部の溝部を有する面の音叉状先端部の近傍にも設けられているが、これは各腕部の両側面に設けられた側面電極同士を接続するためである。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
音叉型水晶振動子の場合は、その外形を形成する際に音叉状の２本の腕部の間を素子の表・裏の両面からエッチングを行っている。このため、その音叉又部はエッチングの異方性により複雑な形状が表裏反転して形成される。ところで、かかる外形形成が為された素子に各種の電極を形成する際に、音叉又部の複雑な構造から音叉又部の底面近傍にはフォトレジストが堆積され易く、また、その複雑な形状からエッチング処理の露光時における紫外線の感光が不十分になりがちである。このため、音叉又部においては、本来エッチング処理によって除去されるべき不要な金属皮膜が残留し易い傾向があり、音叉又部近傍の電極間において電極パターンの接触・短絡が生じ易いという問題があった。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明は、上述したような問題を解決することを目的とするものであり、具体的には、音叉又部の底面近傍においてエッチング処理の不良による電極間の短絡・接触不具合の発生を防止して、信頼性の高い音叉型圧電振動片を提供することを目的とする。さらに、本発明は、当該音叉型圧電振動片を用いた圧電振動デバイス、並びに当該圧電振動デバイスを用いた圧電発振器を提供することを目的とする。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明の第１の観点による音叉型圧電振動片は、外部接続用の基部電極が設けられた振動基部と、この振動基部から音叉状に突設された振動子腕部と、振動子腕部の表面および裏面の少なくとも一方に形成された溝部と、この溝部に設けられた溝電極と、振動子腕部の溝部が形成されていない側面に設けられた側面電極と、基部電極と側面電極若しくは溝電極とを接続する第一の接続用電極と、溝電極と側面電極とを接続する第二の接続用電極と含み、側面電極は振動基部における音叉又部の底面から所定の距離をおいて設けられている。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
上記の構成によれば、振動子腕部の側面に設けられた側面電極が音叉又部の底面から所定の距離だけ隔離されているため、エッチング不良などによって音叉又部の底面近傍に金属皮膜が残留しても、かかる残留金属皮膜によって側面電極が他の電極と短絡・接触することを防ぐことができる。これによって、信頼性の高い音叉型圧電振動片を従来と同様の製造処理工程と製造コストによって実現することができる。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
本発明の第２の観点による音叉型圧電振動片は、上記第１の観点において、所定の距離の最適値が、音叉型圧電振動片の製造工程における製品歩留り率を該距離決定のパラメータの一つとして決定される。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
音叉型圧電振動片の製造工程における製品の歩留り率は、上記所定の距離（側面電極端部と音叉又部の底面からの距離）と相関関係を有している。すなわち、かかる距離が長ければ、側面電極の端部と音叉又部の底面とが確実に分離されるので、残留金属皮膜による短絡の可能性が低下して製品の歩留まり率が増加する。一方、かかる距離が短ければ、残留金属皮膜による短絡不具合の可能性が増大して製品の歩留まり率が減少する。したがって、上記の構成によれば、製造工程における製品の歩留り率を所望の値以上に維持しつつ、信頼性の高い音叉型圧電振動片を実現することができる。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
本発明の第３の観点による音叉型圧電振動片は、上記第１の観点において、所定の距離の最適値が、音叉型圧電振動片固有の等価直列抵抗値の増加率を該距離決定のパラメータの一つとして決定される。
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
音叉型圧電振動片固有の等価直列抵抗の値は、上記所定の距離（側面電極端部と音叉又部の底面からの距離）と相関関係を有している。かかる距離が長ければ、即ち、側面電極を短くすれば、振動子腕部に対する励振電界の印加範囲面積が減少するため振動子固有の等価直列抵抗の値が上昇して振動子としての性能の低下を招く。一方、かかる距離を短くすれば、即ち、側面電極を伸ばせば、上記と反対の理由から等価直列抵抗の値は減少して振動子としての性能向上を図ることができる。したがって、上記の構成によれば、音叉型圧電振動片固有の等価直列抵抗値を所望の値以下に維持しつつ、信頼性の高い音叉型圧電振動片を実現することができる。
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
本発明の第４の観点による音叉型圧電振動片では、上記第１の観点において、圧電振動片が水晶振動子で構成される。かかる構成によれば、技術的に実績の豊富な水晶振動子を用いて信頼性の高い音叉型圧電振動片を実現することができる。
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
本発明の第５の観点による音叉型圧電振動片では、上記第１の観点において、圧電振動片がセラミック振動子で構成される。かかる構成によれば、比較的に低コストのセラミック振動子を用いて信頼性の高い音叉型圧電振動片を実現することができる。
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
本発明の第６の観点による圧電振動デバイスは、上記第１の観点における音叉型圧電振動片を所定のパッケージの内部に備え、かつ、該音叉型圧電振動片の基部電極がパッケージの外部出力端子に接続されている。かかる構成によれば、上記第１の観点における音叉型圧電振動片を内蔵した圧電振動デバイスを、電子機器等のプリント基板等に実装可能な電気部品として実現することができる。
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
本発明の第７の観点による圧電発振器は、増幅回路と、この増幅回路の入出力間に設けられた帰還回路とを含み、帰還回路は、該帰還ループ中における共振周波数を特定する共振素子として上記第６の観点による圧電振動デバイスを備えている。このような構成によれば、発振器の発振周波数を決定するデバイスとして上記第６の観点による圧電振動デバイスを用いられるため、信頼性の高い圧電発振器を実現することができる。
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
本発明によれば、新たな製造処理工程の追加や製造コストの上昇を招くことなく、音叉又部の底面近傍における電極間の短絡・接触を防止した音叉型圧電振動片、当該振動子を用いた圧電振動デバイス、及び当該圧電振動デバイスを用いた圧電発振器を実現することができる。以下、添付図面を参照しながら本発明の実施形態について説明を行う。
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
（第１の実施の形態）図１は、本発明の第１の実施の形態である音叉型水晶振動片１０において、励振用の各電極や、各電極間の接続用電極の配置の一例を示す説明図である。因みに、本発明による音叉型水晶振動片１０の構造は、前述の図６に示されたものと同様であるため、その構造を示す振動子全体の斜視図や振動子腕部の断面図は省略する。すなわち、図１に示される音叉型水晶振動片１０は、振動基部１３と、かかる振動基部から音叉状に突設された２本の振動子腕部１１及び１２から構成されているものとする。
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
また、振動子腕部１１、１２の表面及び裏面には、該腕部の長手方向に沿ってそれぞれ溝部１１ａ、及び１２ａが形成されている。したがって、振動子腕部１１、１２の断面形状は、前述の図６（ｂ）に示されるＡ−Ａ’方向断面図と同様に略Ｈ型となっている。因みに、このような略Ｈ型断面の腕部を有する音叉型水晶振動子は、従来の平面型の水晶振動子に比べて、水晶振動片自体の大きさを小型化しても電気機械変換係数を高くすることができるので、その性能の一指標であるＣＩ値を低く保つことができるというメリットを有している。
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
図１において、１３ｅ１及び１３ｅ２は振動基部１３の表面に設けられた基部電極である。また、１１ａｅは振動子腕部１１の溝部１１ａに設けられた溝電極であり、１２ａｅは振動子腕部１２の溝部１２ａに設けられた溝電極である。また、１１ｂｅ及び１２ｂｅは、それぞれの腕部の側面部１１ｂ、１２ｂに設けられた側面電極である。なお、側面電極は、振動子腕部の両側面（音叉状腕部の内側と外側）、及び溝部が有る面の音叉状腕頂部近傍に設けられている。
【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
次に、各電極間の接続関係を説明すれば以下のとおりである。先ず、基部電極１３ｅ１は、接続用電極１３ｅ３を介して側面電極１１ｂｅに接続されており、同じく基部電極１３ｅ１は、接続用電極１３ｅ５を介して溝電極１２ａｅに接続されている。一方、基部電極１３ｅ２は、接続用電極１３ｅ４を介して側面電極１２ｂｅに接続されており、更に基部電極１３ｅ２は、側面電極１２ｂｅ及び接続用電極１３ｅ６を介して溝電極１１ａｅに接続されている。
【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
外部の電流源から基部電極１３ｅ１及び１３ｅ２を介して、音叉型水晶振動片１０に励振用の駆動電流が供給されると、以上に説明した各電極を経由して振動子腕部１１、１２のそれぞれの溝電極と側面電極に駆動電流が印加され、電極間の各々に励振電界が生じる。これによって、腕部の略Ｈ型断面の左右壁部は圧電現象により互いに逆方向の伸縮を生じ、振動子腕部１１、１２は互いに反対方向の屈曲振動を為し、Ｑ値（周波数選択度）の高い振動子を実現することが出来る。
【手続補正３４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
次に、音叉型水晶振動片１０の面上に上記の各電極が形成される工程を簡単に説明すれば、以下の通りである。
【手続補正３５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
本発明の第１の実施の形態による音叉型水晶振動片１０では、側面電極１１ｂｅ、及び１２ｂｅが図３に示されるような構造となっており、音叉状腕部の内側の各側面電極が音叉又部の底面から十分に隔離されている。したがって、フォトレジストパターンの形成処理時における露光不足によって、音叉又部の底面に余分な金属皮膜が残留しても、かかる残留金属皮膜によって側面電極が他の電極と接触・短絡することを防ぐことができる。
【手続補正３６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
なお、以上に説明した実施の形態では、音叉型圧電振動片の部材として水晶圧電振動片を例にとって説明を行ったが、本発明の実施はかかる事例に限定されるものではなく、例えば、セラミック振動子やその他の圧電振動部材を用いて、本発明の第１の実施の形態である音叉型圧電振動片を構成するようにしても良い。
【手続補正３７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
（第２の実施の形態）
図４は、本発明の第２の実施の形態による圧電振動デバイスの構造を示す断面模式図である。先ず、図４（ａ）は、本実施形態の第１の実施例に係るセラミック製パッケージによる圧電振動デバイス４０ａの構造を示す断面図である。圧電振動デバイス４０ａのセラミックパッケージ４１は、ベース部４１ａ及び掩蓋部４２から構成されており、その内部に上述の実施形態を有する音叉型水晶振動片１０が内蔵されている。音叉型水晶振動片１０は、ボンディング部４３を介してベース部４１ａに電気的に接続され、かつ機械的にもベース部４１ａによって担持される。また、セラミックパッケージ４１のベース部４１ａと掩蓋部４２とは、シール部４４によって密封・封止されている。
【手続補正３８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
次に、本実施形態の第２の実施例によるセラミック製パッケージによる圧電振動デバイス４０ｂの構造を図４（ｂ）の断面図に示す。この圧電振動デバイス４０ｂは、上述のセラミック製パッケージによる圧電振動デバイス４０ａと多くの部分でその構成が共通している。したがって、圧電振動デバイス４０ａと音叉型水晶振動片１０の構成、作用等については、同一符号を付する等して、その説明を省略する。
【手続補正３９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
図４（ｂ）に示す圧電振動デバイス４０ｂは、図４（ａ）に示すセラミック製パッケージの圧電振動デバイス４０ａにおいて、音叉型水晶振動片１０の下方で、ベース部４１ａの上に複数の集積回路４５を配置したものである。すなわち、圧電振動デバイス４０ｂでは、その内部に配置された音叉型水晶振動片１０からの出力信号が一旦集積回路４５に供給され、かかる集積回路４５において種々の処理が施された後に、所定の周波数信号として圧電振動デバイス４０ｂから外部に出力される。
【手続補正４０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
次に、本実施形態の第３の実施例によるシリンダータイプによる圧電振動デバイス４０ｃの構造を図４（ｃ）に示す。この圧電振動デバイス４０ｃは、上述の音叉型水晶振動片１０を、例えば、金属製のキャップ（シリンダー）部４６の内部に納めたものである。このキャップ部４６の開口端には、ステム部４７が圧入されており、キャップ４６部の内部が真空状態に保持されるようになっている。
【手続補正４１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
また、キャップ４６部の内部に格納された音叉型水晶振動片１０を保持し、かつ音叉型水晶振動片１０との電気的な接続を図るため、ステム部４７を貫通して２本の外部出力端子４８が設けられている。そして、外部出力端子４８の各々は、音叉型水晶振動片１０の基部電極１３ｅ１及び１３ｅ２に接続されている（図示せず）。外部出力端子４８並びに基部電極１３ｅ１、１３ｅ２を介して、外部の電流源から、駆動電流が音叉型水晶振動片１０に供給されると、音叉型水晶振動片１０は所定の周波数で励振される。
【手続補正４２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
本発明の第２の実施の形態による各実施例の圧電振動デバイスは、以上に説明したような構成を有し、上記の第１の実施の形態による音叉型圧電水晶振動片１０を圧電振動片として内蔵するため、周波数の安定度が高く、かつ信頼性の高い圧電振動デバイスを実現することができる。
【手続補正４３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
以上に説明した、本発明の実施による音叉型圧電振動片、圧電振動デバイス、及び圧電発振器は、圧電振動片を高精度周波数信号の供給源として用いる各種の通信機器や制御機器等の全ての電子機器において利用することが可能である。
【手続補正４４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６３】
１０、１００  …音叉型水晶振動子
１１、１２、１０１、１０２  …振動子腕部
１３、１０３  …振動基部
１１ａ、１２ａ、１０１ａ、１０２ａ  …  振動子腕部溝部
１１ｂ、１２ｂ、１０１ｂ、１０２ｂ  …  腕部側面部
１１ａｅ、１２ａｅ、１０１ａｅ、１０２ａｅ  …  溝部電極
１１ｂｅ、１２ｂｅ、１０１ｂｅ、１０２ｂｅ  …  側面電極
１３ｅ１、１３ｅ２、１３ｅ３、１３ｅ４、１３ｅ５、１３ｅ６、１０３ｅ１、
１０３ｅ２、１０３ｅ３、１０３ｅ４、１０３ｅ５、１０３ｅ６  …  接続用電極
１１０  …  金属皮膜
１１１  …  フォトレジスト膜
１１２  …  フォトレジストパターン
１１３  …  電極部金属皮膜
４０ａ、４０ｂ  …  セラミックパッケージ製圧電振動デバイス
４０ｃ  …  シリンダータイプ圧電振動デバイ
４１  …  セラミックパッケージ
４１ａ  …  ベース部
４２  …  掩蓋部
４３  …  ボンディング部
４４  …  シール部
４５  …  集積回路
４６  …  キャップ部
４７  …  ステム部
４８  …  外部端子
５０  …  圧電発振器
５１  …  増幅回路
５２  …  帰還回路
Ｃ０  …  並列キャパシタ
Ｌ１  …  等価直列インダクタ
Ｃ１  …  等価直列キャパシタ
Ｒ１  …  等価直列抵抗
ＣＬ１、ＣＬ２  …  負荷キャパシタ