【手続補正書】
【提出日】平成22年3月24日(2010.3.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数本の配線が平面上に並列されてなり、
前記配線は、左右方向に一定間隔で配置された複数のパッドと、隣り合うパッド同士を接続する該パッドよりも細幅の導線とからなり、
一のパッドから互いに反対方向且つ平行に二本の導線が延出し、
該二本の導線において、一の導線の上辺は該一のパッドの最上端部と同一直線上にあり、他の導線の下辺は該一のパッドの最下端部と同一直線上にあり、
一の配線における全パッドの重心を結ぶ線は前記導線の延出方向と非平行な直線をなし、前記重心を結ぶ線同士は互いに平行であり、隣り合う配線同士が最小配線間隔以上となる配線構造を有する集積回路であって、
前記集積回路は、前記配線構造を有する二以上の素子を含み、
一の素子の該配線構造のパッドと他の素子の配線構造のパッドが互いに接続されていることを特徴とする集積回路。
【請求項２】
前記パッドが上辺及び下辺を有する四角形状であり、
一のパッドから延出する二本の導線において、一の導線の下辺が該一のパッドの下辺と同一直線上にあり、
他の導線の上辺が該一のパッドの上辺と同一直線上にあることを特徴とする請求項１記載の集積回路。
【請求項３】
前記配線構造と接続している第二配線構造を有し、
該第二配線構造が、前記配線構造の一の配線における全パッドの重心を結んだ線と平行又は直角に配した配線が複数並列することを特徴とする請求項１又は２記載の集積回路。
【請求項４】
前記一の素子と前記他の素子が互いに重ね合わされており、夫々の素子の配線構造のパッドが互いにバンプにより接続されていることを特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載の集積回路。
【請求項５】
複数の素子が互いに重ね合わされており、
夫々の素子の配線構造のパッドの接続が、該バットを貫通するように設けられたピアにより行われていることを特徴とする請求項１乃至４いずれかに記載の集積回路。
【請求項６】
駆動信号が出力される駆動信号出力部と接続されたバスライン部を有する固体撮像素子であって、
該バスライン部の配線構造は、
複数本の配線が平面上に並列されてなり、
前記配線は、左右方向に一定間隔で配置された複数のパッドと、隣り合うパッド同士を接続する該パッドよりも細幅の導線とからなり、
一のパッドから互いに反対方向且つ平行に二本の導線が延出し、
該二本の導線において、一の導線の上辺は該一のパッドの最上端部と同一直線上にあり、他の導線の下辺は該一のパッドの最下端部と同一直線上にあり、
一の配線における全パッドの重心を結ぶ線は前記導線の延出方向と非平行な直線をなし、前記重心を結ぶ線同士は互いに平行であり、隣り合う配線同士が最小配線間隔以上である
ことを特徴とする固体撮像素子。
【請求項７】
前記パッドが上辺及び下辺を有する四角形状であり、
一のパッドから延出する二本の導線において、一の導線の下辺が該一のパッドの下辺と同一直線上にあり、
他の導線の上辺が該一のパッドの上辺と同一直線上にあることを特徴とする請求項６記載の固体撮像素子。
【請求項８】
前記配線構造と接続している第二配線構造を有し、
該第二配線構造が、前記配線構造の一の配線における全パッドの重心を結んだ線と平行又は直角に配した配線が複数並列することを特徴とする請求項６又は７記載の固体撮像素子。
【請求項９】
前記固体撮像素子が裏面照射型固体撮像素子であって、
前記バスライン部からの駆動信号を画素列に入力するための駆動信号伝達線を有し、
該駆動信号伝達線がバスライン部を横断するバスライン部駆動信号伝達線と、
画素が配列された画素部を横断する画素部駆動信号伝達線からなり、
該画素部駆動信号伝達線が該バスライン部駆動信号伝達線よりも太く、且つ一本の画素部駆動信号伝達線に複数のバスライン部駆動信号伝達線が接続されていることを特徴とする請求項６乃至８いずれかに記載の固体撮像素子。
【請求項１０】
請求項６乃至９いずれかに記載の固体撮像素子を有することを特徴とする撮影装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】集積回路及び固体撮像素子、並びに該固体撮像素子を有する撮影装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、外部の素子と接続するパッドを備えた配線構造を有する集積回路並びに該配線構造を有する固体撮像素子、さらには該固体撮像素子を有する撮影装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明は上記問題に鑑みてなされたものであり、配線面積を小さくし、素子の高集積化を図ることのできる、パッドを備えた配線構造を有する集積回路並びに該配線構造を有する固体撮像素子、さらには該固体撮像素子を有する撮影装置を提供することを解決課題とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
請求項１に係る発明は、複数本の配線が平面上に並列されてなり、前記配線は、左右方向に一定間隔で配置された複数のパッドと、隣り合うパッド同士を接続する該パッドよりも細幅の導線とからなり、一のパッドから互いに反対方向且つ平行に二本の導線が延出し、該二本の導線において、一の導線の上辺は該一のパッドの最上端部と同一直線上にあり、他の導線の下辺は該一のパッドの最下端部と同一直線上にあり、一の配線における全パッドの重心を結ぶ線は前記導線の延出方向と非平行な直線をなし、前記重心を結ぶ線同士は互いに平行であり、隣り合う配線同士が最小配線間隔以上となる配線構造を有する集積回路であって、前記集積回路は、前記配線構造を有する二以上の素子を含み、一の素子の該配線構造のパッドと他の素子の配線構造のパッドが互いに接続されていることを特徴とする集積回路に関する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
請求項２に係る発明は、前記パッドが上辺及び下辺を有する四角形状であり、一のパッドから延出する二本の導線において、一の導線の下辺が該一のパッドの下辺と同一直線上にあり、他の導線の上辺が該一のパッドの上辺と同一直線上にあることを特徴とする請求項１記載の集積回路に関する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
請求項３に係る発明は、前記配線構造と接続している第二配線構造を有し、該第二配線構造が、前記配線構造の一の配線における全パッドの重心を結んだ線と平行又は直角に配した配線が複数並列することを特徴とする請求項１又は２記載の集積回路に関する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項４に係る発明は、前記一の素子と前記他の素子が互いに重ね合わされており、夫々の素子の配線構造のパッドが互いにバンプにより接続されていることを特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載の集積回路に関する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
請求項５に係る発明は、複数の素子が互いに重ね合わされており、夫々の素子の配線構造のパッドの接続が、該バットを貫通するように設けられたピアにより行われていることを特徴とする請求項１乃至４いずれかに記載の集積回路に関する。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項６に係る発明は、駆動信号が出力される駆動信号出力部と接続されたバスライン部を有する固体撮像素子であって、該バスライン部の配線構造は、複数本の配線が平面上に並列されてなり、前記配線は、左右方向に一定間隔で配置された複数のパッドと、隣り合うパッド同士を接続する該パッドよりも細幅の導線とからなり、一のパッドから互いに反対方向且つ平行に二本の導線が延出し、該二本の導線において、一の導線の上辺は該一のパッドの最上端部と同一直線上にあり、他の導線の下辺は該一のパッドの最下端部と同一直線上にあり、一の配線における全パッドの重心を結ぶ線は前記導線の延出方向と非平行な直線をなし、前記重心を結ぶ線同士は互いに平行であり、隣り合う配線同士が最小配線間隔以上であることを特徴とする固体撮像素子に関する。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
請求項７に係る発明は、前記パッドが上辺及び下辺を有する四角形状であり、一のパッドから延出する二本の導線において、一の導線の下辺が該一のパッドの下辺と同一直線上にあり、他の導線の上辺が該一のパッドの上辺と同一直線上にあることを特徴とする請求項６記載の固体撮像素子に関する。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
請求項８に係る発明は、前記配線構造と接続している第二配線構造を有し、該第二配線構造が、前記配線構造の一の配線における全パッドの重心を結んだ線と平行又は直角に配した配線が複数並列することを特徴とする請求項６又は７記載の固体撮像素子に関する。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
請求項９に係る発明は、前記固体撮像素子が裏面照射型固体撮像素子であって、前記バスライン部からの駆動信号を画素列に入力するための駆動信号伝達線を有し、該駆動信号伝達線がバスライン部を横断するバスライン部駆動信号伝達線と、画素が配列された画素部を横断する画素部駆動信号伝達線からなり、該画素部駆動信号伝達線が該バスライン部駆動信号伝達線よりも太く、且つ一本の画素部駆動信号伝達線に複数のバスライン部駆動信号伝達線が接続されていることを特徴とする請求項６乃至８いずれかに記載の固体撮像素子に関する。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
請求項１０に係る発明は、請求項６乃至９いずれかに記載の固体撮像素子を有することを特徴とする撮影装置に関する。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
請求項１に係る発明によれば、一のパッドから互いに反対方向且つ平行に二本の導線が延出し、該二本の導線において、一の導線の上辺は該一のパッドの最上端部と同一直線上にあり、他の導線の下辺は該一のパッドの最下端部と同一直線上にあり、一の配線における全パッドの重心を結ぶ線は前記導線の延出方向と非平行な直線をなし、前記重心を結ぶ線同士は互いに平行であり、隣り合う配線同士が最小配線間隔以上となる配線構造を有していることにより、配線間のスペースを削減し、配線面積を小さくすることができる。そのため、当該配線構造を有する素子の高集積化を図ることができる。
前記配線構造を有する二以上の素子が接続された集積回路であって、一の素子の該配線構造のパッドと他の素子の配線構造のパッドが互いに接続されていることにより、集積回路を複雑な構造としても実装面積を小さくすることができる。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
請求項４に係る発明によれば、前記一の素子と前記他の素子が互いに重ね合わされており、夫々の素子の配線構造のパッドが互いにバンプにより接続されていることにより、同一平面上に素子が並ばないため、実装面積をさらに小さくすることができる。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
請求項５に係る発明によれば、複数の素子が互いに重ね合わされており、夫々の素子の配線構造のパッドの接続が、該バットを貫通するように設けられたピアにより行われていることにより、複数の素子を重ね合わせて接続することができ、実装面積をより小さくすることができる。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
請求項６に係る発明によれば、駆動信号が出力される駆動信号出力部と接続されたバスライン部を有する固体撮像素子であって、該バスライン部の配線構造は、複数本の配線が平面上に並列されてなり、前記配線は、左右方向に一定間隔で配置された複数のパッドと、隣り合うパッド同士を接続する該パッドよりも細幅の導線とからなり、一のパッドから互いに反対方向且つ平行に二本の導線が延出し、該二本の導線において、一の導線の上辺は該一のパッドの最上端部と同一直線上にあり、他の導線の下辺は該一のパッドの最下端部と同一直線上にあり、一の配線における全パッドの重心を結ぶ線は前記導線の延出方向と非平行な直線をなし、前記重心を結ぶ線同士は互いに平行であり、隣り合う配線同士が最小配線間隔以上である固体撮像素子であることにより、固体撮像素子の面積を小さくすることができる。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
請求項７に係る発明によれば、パッドが上辺及び下辺を有する四角形状であり、一のパッドから延出する二本の導線において、一の導線の下辺が該一のパッドの下辺と同一直線上にあり、他の導線の上辺が該一のパッドの上辺と同一直線上にあることにより、配線同士のスペースを容易に削減することができる。それにより、配線面積を小さくすることができる。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
請求項８に係る発明によれば、配線構造の一の配線における全パッドの重心を結んだ線と平行又は直角に配した配線が複数並列する第二配線構造が接続されていることにより、複雑な構造を有する素子を作成することができる。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
本発明にて使用される配線構造について説明する。
図１は本発明にて使用される配線構造の第一実施例を示す平面図であり、図２は第一実施例に係る配線構造のうち一の配線のみを示した平面図である。以下、第一実施例に係る配線構造（１００）を、図１を主として、適宜図２を用いて説明する。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
配線構造（１００）において、配線（１０）の重心線（ＣＬ）は互いに平行である。換言すると、配線（１０）同士は、一の配線（１０）を斜めに平行移動させた場合、他の配線（１０）と重なり合うような位置関係にある。具体的には、図１に示す配線（１０ｂ）は、配線（１０ａ）を紙面左方向に（Ｘ１＋Ｍ）、紙面上方向に（Ｙ２＋Ｍ）だけ平行移動した位置にある。
このような位置関係であることにより、配線（１０）同士の間隔を（Ｍ）とすることができる。
また、配線（１０）同士の間隔（Ｍ）は、技術上できる限り小さい間隔（最小配線間隔）であることが好ましい。（Ｍ）が最小配線間隔であることにより、配線の高集積化を図ることができ、配線面積を小さくすることができるからである。なお、最小配線間隔は隣り合う配線（１０）同士で電気的接続が行われない間隔である。但し、露光装置等の性能で当該間隔まで（Ｍ）を小さくできない場合は、露光装置等の性能で実現できる最小の間隔を最小配線間隔とする。
なお、上記説明では、配線（１０）同士の間隔（Ｍ）を一定としたが、配線（１０）同士の間隔（Ｍ）は一定でなくてもよく、最小配線間隔以上であればよい。つまり、実際の配線（１０）の幅や長さ、形等により適宜設計すればよい。また、配線（１０）は、レイアウト設計の都合上、長さ方向の中途部で切れていてもよい。
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
次いで、固体撮像素子と駆動回路素子からなる集積回路を例として、本発明にて使用される配線構造を有する集積回路を説明する。なお、集積回路とは複数の素子を有する電子回路である。
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６５】
本発明に係る集積回路及び固体撮像素子は、撮影装置をはじめ様々な装置に利用可能である。
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６６】
【図１】本発明にて使用される配線構造の第一実施例を示す図である。
【図２】第一実施例に係る配線構造のうち一の配線のみを示した図である。
【図３】第一配線構造と第二配線構造の接続を示した図である。
【図４】本発明にて使用される配線構造の第二実施例を示す図である。
【図５】固体撮像素子と駆動回路素子を有する集積回路の図である。
【図６】固体撮像素子と駆動回路素子の接続部分を示す図である。
【図７】垂直駆動信号伝達線が第一垂直駆動信号伝達線と第二垂直駆動信号伝達線からなる固体撮像素子を説明するための説明図である。
【図８】第一重ね合わせ構造の集積回路を示す図である。
【図９】本発明に係る撮影装置を示す図である。
【図１０】第二重ね合わせ構造の集積回路を示す図である。
【図１１】固体撮像素子のパッドと駆動回路素子のパッドをバンプで接続する方法を説明するための説明図である。
【図１２】パッドと導線からなる配線が並列された従来の配線構造を示した図である。