【手続補正書】
【提出日】平成22年2月10日(2010.2.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルを有するヘッドを用いて前記ノズルから液滴吐出を行う液滴吐出方法において、
液滴吐出を停止する際、前記ヘッドにおける前記ノズルを有する面に耐溶剤性の材料からなり溶媒が浸されたキャップを圧着し、
前記ノズルを有する面とは反対の面のヘッドに配置された圧電素子にレーザ光を照射し、前記圧電素子からの反射光を受光することにより前記圧電素子の変位を計測し、
前記計測された変位をあらかじめ設定された基準変位と比較して、前記キャップが前記ヘッドに密着しているか否かを判断する、
ことを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項２】
前記ヘッドに前記キャップを圧接する際の圧力を１５〜８０ｇｆ/ｃｍ２に設定して圧着することを特徴とする請求項１記載の液滴吐出方法。
【請求項３】
前記キャップの形状は板状であることを特徴とする請求項１または２記載の液滴吐出方法。
【請求項４】
前記キャップをチューブから構成したことを特徴とする請求項１または２記載の液滴吐出方法。
【請求項５】
前記ヘッドにおける前記ノズルを有する面には、撥水処理がなされていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項記載の液滴吐出方法。
【請求項６】
ノズルを有するヘッドと、
耐溶剤性の材料からなり、溶媒が浸されるキャップと、
前記キャップが固定され、該キャップを前記ヘッドにおける前記ノズルを有する面の方向に移動させて、該ノズルを有する面に前記キャップを圧着させる圧接台と、
前記ヘッドにおける前記ノズルを有する面とは反対の面に設けられた圧電素子と、
前記圧電素子に対向設置されたレーザ発光・受光装置と、
前記レーザ発光・受光装置から発光されたレーザ光を前記圧電素子に照射し、該圧電素子からの反射光を受光し、前記圧電素子の変位を測定する変位測定装置と、
を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項７】
前記ヘッドに前記キャップを圧接する際の圧力を、１５〜８０ｇｆ/ｃｍ２に設定したことを特徴とする請求項６記載の液滴吐出装置。
【請求項８】
前記キャップの形状は板状であることを特徴とする請求項６または７記載の液滴吐出装置。
【請求項９】
前記キャップをチューブから構成したことを特徴とする請求項６または７記載の液滴吐出装置。
【請求項１０】
前記ヘッドのうち前記ノズルを有する面には、撥水処理がなされていることを特徴とする請求項６〜９いずれか１項記載の液滴吐出装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明は、前記従来の課題に鑑みなされたものであり、長時間停止した場合でも、ノズルを外気から遮断し、液滴材料の蒸発，目詰まりの発生を防ぎ、液滴材料の安定吐出を実現できる液滴吐出方法および装置を提供することを目的とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
前記目的を達成するため、請求項１に記載の発明は、ノズルを有するヘッドを用いて前記ノズルから液滴吐出を行う液滴吐出方法において、液滴吐出を停止する際、前記ヘッドにおける前記ノズルを有する面に耐溶剤性の材料からなり溶媒が浸されたキャップを圧着し、前記ノズルを有する面とは反対の面のヘッドに配置された圧電素子にレーザ光を照射し、前記圧電素子からの反射光を受光することにより前記圧電素子の変位を計測し、
前記計測された変位をあらかじめ設定された基準変位と比較して、前記キャップが前記ヘッドに密着しているか否かを判断することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１記載の液滴吐出方法において、ヘッドにキャップを圧接する際の圧力を１５〜８０ｇｆ/ｃｍ２に設定して圧着することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
請求項３に記載の発明は、請求項１または２記載の液滴吐出方法において、キャップの形状は板状であることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
請求項４に記載の発明は、請求項１または２記載の液滴吐出方法において、キャップをチューブから構成したことを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項５に記載の発明は、請求項１〜４のいずれか１項記載の液滴吐出方法において、ヘッドにおけるノズルを有する面には、撥水処理がなされていることを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
請求項６に記載の発明は、液滴吐出装置において、ノズルを有するヘッドと、耐溶剤性の材料からなり、溶媒が浸されるキャップと、前記キャップが固定され、該キャップを前記ヘッドにおける前記ノズルを有する面の方向に移動させて、該ノズルを有する面に前記キャップを圧着させる圧接台と、前記ヘッドにおける前記ノズルを有する面とは反対の面に設けられた圧電素子と、前記圧電素子に対向設置されたレーザ発光・受光装置と、前記レーザ発光・受光装置から発光されたレーザ光を前記圧電素子に照射し、該圧電素子からの反射光を受光し、前記圧電素子の変位を測定する変位測定装置とを備えたことを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項７に記載の発明は、請求項６記載の液滴吐出装置において、ヘッドにキャップを圧接する際の圧力を、１５〜８０ｇｆ/ｃｍ２に設定したことを特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
請求項８に記載の発明は、請求項６または７記載の液滴吐出装置において、キャップの形状は板状であることを特徴とする。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
請求項９に記載の発明は、請求項６または７記載の液滴吐出装置において、キャップをチューブから構成したことを特徴とする。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
請求項１０に記載の発明は、請求項６〜９いずれか１項記載の液滴吐出装置において、ヘッドのうちノズルを有する面には、撥水処理がなされていることを特徴とする。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
本発明によれば、長時間停止した場合でも、キャップがヘッドに密着して、ノズルを外気から遮断し、液滴材料の蒸発，目詰まりの発生を防ぐことができるため、液滴材料の消費をすることなく、液滴材料の安定吐出を実現することができる。