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【手続補正書】
【提出日】平成21年11月13日(2009.11.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子が衝突することにより発光する蛍光体と、
該蛍光体を挟持する第１電極及び第２電極と、
該第１電極と第２電極との間に電圧を印加する電圧印加手段と、
を備えた電子励起発光体であって、
前記第１電極は、前記電圧印加手段による電圧の印加によって、前記蛍光体の内部にホールを注入するホール注入電極である
ことを特徴とする電子励起発光体。
【請求項２】
前記第２電極は、前記蛍光体の電子が入射する側に配置され、
前記第１電極は、前記蛍光体の電子が入射する側とは反対側に配置される
ことを特徴とする請求項１に記載の電子励起発光体。
【請求項３】
前記電圧印加手段は、前記第２電極の電位より前記第１電極の電位が高くなるように、前記第１電極と前記第２電極との間に電圧を印加する
ことを特徴とする請求項１または２に記載の電子励起発光体。
【請求項４】
前記第１電極は、Ｐ型の透明電極である
ことを特徴とする請求項１，２または３に記載の電子励起発光体。
【請求項５】
前記第１電極は、その素材が酸水酸化イリジウムである
ことを特徴とする請求項１，２または３に記載の電子励起発光体。
【請求項６】
前記第１電極は、その素材がＣｕＡｌＯ３である
ことを特徴とする請求項１，２または３に記載の電子励起発光体。
【請求項７】
電子を放出する電子放出部と、
該電子放出部により放出された電子の衝突により発光し、画像を形成する画像形成部と、
を備えた画像表示装置であって、
該画像形成部が、請求項１〜６のいずれか一つに記載の電子励起発光体で構成される
ことを特徴とする画像表示装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明の電子励起発光体にあっては、電子が衝突することにより発光する蛍光体と、該蛍光体を挟持する第１電極及び第２電極と、該第１電極と第２電極との間に電圧を印加する電圧印加手段と、を備えた電子励起発光体であって、前記第１電極は、前記電圧印加手段による電圧の印加によって、前記蛍光体の内部にホールを注入するホール注入電極であることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９０】
前記第２電極は、前記蛍光体の電子が入射する側に配置され、前記第１電極は、前記蛍光体の電子が入射する側とは反対側に配置されることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９１】
前記電圧印加手段は、前記第２電極の電位より前記第１電極の電位が高くなるように、前記第１電極と前記第２電極との間に電圧を印加することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９５】
また、本発明の画像形成装置にあっては、電子を放出する電子放出部と、該電子放出部により放出された電子の衝突により発光し、画像を形成する画像形成部と、を備えた画像表示装置であって、該画像形成部が、上記の電子励起発光体で構成されることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成21年11月16日(2009.11.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に設けられる、複数の行配線及び列配線と、これらにそれぞれ接続された複数の電子放出素子とを備えた電子源の製造方法であって、
前記電子放出素子に電子放出部を形成する形成工程と、前記形成工程の後に、活性化ガスの雰囲気中で前記電子放出素子に電圧を印加することで、前記電子放出部を含む領域に炭素あるいは炭素化合物を堆積させる活性化工程を有する電子源の製造方法において、
前記活性化工程においては、行配線と列配線のうちの一方の配線にパルス電圧を印加しつつ、前記一方の配線の配線抵抗によって生ずる電圧降下分を補償する補償電圧を他方の配線に印加する通電動作を、所定の中断時間をあけて複数段階に分けて行い、
二段階目以降の通電動作では、通電動作の開始から所定時間の間は前記補償電圧の印加を制限する
ことを特徴とする電子源の製造方法。
【請求項２】
前記活性化工程の中で活性化ガスの分圧が多段階に切り替えられ、各段階の分圧で前記通電動作が行われるものであり、
前記中断時間は、前記活性化ガスの分圧を変更するための時間である
ことを特徴とする請求項１に記載の電子源の製造方法。
【請求項３】
前記活性化工程の中で前記通電動作の対象となる配線が順番に切り替えられるものであり、
前記中断時間は、他の配線に対する通電動作が行われている時間である
ことを特徴とする請求項１に記載の電子源の製造方法。
【請求項４】
前記補償電圧の所定時間の制限は、各電子放出素子における前記補償電圧を、当該電子放出素子における電圧降下分よりも小さな値とする
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の電子源の製造方法。
【請求項５】
前記補償電圧の所定時間の制限は、前記補償電圧を０とすることにより行う
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の電子源の製造方法。
【請求項６】
二段目以降の通電動作において補償電圧の制限を行わなかった場合に前記電子放出素子
に流れる素子電流は、通電動作の開始初期は減少し、その後上昇するという挙動を示すものであり、
前記所定時間は、通電動作の開始初期における前記電子放出素子の素子電流が減少する時間を含むように設定される
ことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の電子源の製造方法。
【請求項７】
二段目以降の通電動作において補償電圧の制限を行わなかった場合に前記電子放出素子に流れる素子電流は、通電動作の開始初期は減少し、その後上昇するという挙動を示すものであり、
前記所定時間は、通電動作の開始初期における前記電子放出素子の素子電流の時間微分値が負である時間を含むように設定される
ことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の電子源の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１８】
上記目的を達成するため、本発明の電子源の製造方法は以下のように構成される。すなわち、基板上に設けられる、複数の行配線及び列配線と、これらにそれぞれ接続された複数の電子放出素子とを備えた電子源の製造方法であって、前記電子放出素子に電子放出部を形成する形成工程と、前記形成工程の後に、活性化ガスの雰囲気中で前記電子放出素子に電圧を印加することで、前記電子放出部を含む領域に炭素あるいは炭素化合物を堆積させる活性化工程を有する電子源の製造方法において、前記活性化工程においては、行配線と列配線のうちの一方の配線にパルス電圧を印加しつつ、前記一方の配線の配線抵抗によって生ずる電圧降下分を補償する補償電圧を他方の配線に印加する通電動作を、所定の中断時間をあけて複数段階に分けて行い、二段階目以降の通電動作では、通電動作の開始から所定時間の間は前記補償電圧の印加を制限することを特徴とする電子源の製造方法である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成22年2月22日(2010.2.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
操舵トルクを検出するトルクセンサと、舵取り機構に操舵力を付与する操舵アクチュエータと、前記トルクセンサの出力に基づいて前記操舵アクチュエータを制御する制御装置とを備えるステアリング装置のための試験装置であって、前記ステアリング装置が車両に組み付けられた状態で試験操作を行う、ステアリング装置の試験装置において、
前記トルクセンサの出力信号を模擬したサインスィープ波形の試験信号を発生する試験信号発生手段と、
この試験信号発生手段が発生する試験信号に応じた駆動信号を発生して前記操舵アクチュエータに供給する駆動信号発生手段と、
前記トルクセンサの出力信号を取得するトルク信号モニタ手段とを含む、ステアリング装置の試験装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記の目的を達成するための請求項１記載の発明は、操舵トルクを検出するトルクセンサ（５）と、舵取り機構（３）に操舵力を付与する操舵アクチュエータ（Ｍ）と、前記トルクセンサの出力に基づいて前記操舵アクチュエータを制御する制御装置（１０）とを備えるステアリング装置のための試験装置であって、前記ステアリング装置が車両に組み付けられた状態で試験操作を行う、ステアリング装置の試験装置において、前記トルクセンサの出力信号を模擬したサインスィープ波形の試験信号を発生する試験信号発生手段（５１，３０）と、この試験信号発生手段が発生する試験信号に応じた駆動信号を発生して前記操舵アクチュエータに供給する駆動信号発生手段（１０Ｍ）と、前記トルクセンサの出力信号を取得するトルク信号モニタ手段（５２）とを含む、ステアリング装置の試験装置（５０）である。サインスィープ波形とは、周波数を変動（たとえば単調に増加または減少）させながら生成される正弦波波形である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
位相補償部２１，２１Ｍは、トルク信号入力部７，７Ｍからのトルク信号に対して位相補償処理を行って、位相補償されたトルク信号（操舵トルク値を表す）を生成する。
車速演算部２２，２２Ｍは、車速信号入力部１５，１５Ｍから入力される車速信号に基づき当該電動パワーステアリング装置が搭載された車両の車速値を演算する。
基本アシスト制御部２３，２３Ｍは、位相補償部２１，２１Ｍで位相補償されたトルク信号と、車速演算部２２，２２Ｍで演算された車速値とに基づいて，基本目標駆動値としての基本目標電流値を求める。より具体的には、基本アシスト制御部２３，２３Ｍは、操舵トルク値および車速値に対応した基本目標電流値を定めた基本アシスト特性（アシストマップ）に従い、基本目標電流値を設定する。すなわち、位相補償部２１，２１Ｍによって位相補償されたトルク信号で表される操舵トルク値および車速演算部２２，２２Ｍによって求められる車速値を基本アシスト特性に当てはめて、基本目標電流値が求められる。
【手続補正書】
【提出日】平成21年12月14日(2009.12.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
したがって、上記式（３）は、各ゲートの基準電源電圧ＶDDRでのｔGDRとＲDを各々、ｔGDRiとＲDiにすれば、次のようになる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
上記式（９）より、各ゲートが同じ閾値電圧ＶTHと係数αを持つと仮定すれば、各ゲートは同じ遅延比ＲDを持ち、次のようになる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７７】
次に、以上の原理を踏まえた処理を行う図１の機能ブロックによる処理を、図１１に関連付けて説明する。
なお、図１１は、本実施形態に係る半導体評価装置のより具体的な処理の流れを示す図である。図１１において、１０１．１は試験装置を、１０１．２は測定装置を、１０２は対象ＬＳＩをそれぞれ示している。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７８】
対象ＬＳＩ［１０２］の電源電圧ＶDDとクロック周波数を変えて良／不良を観測する試験装置［１０１．１］、または、対象ＬＳＩ［１０２］の動作速度と電源電圧ＶDDとの関係を観測する測定装置［１０１．２］に対し、異なる２つ以上の電源電圧ＶDDで良品となる最大クロック周波数［１０１．１］、または動作周波数［１０１．２］の周期時間ｔPDを得る。
最初の値（ＶDD1，ｔPD1）と算出条件［１０５］から他の点のｔPDを算出し上限、下限を決め［１０４］、これから逸脱する（ＶDD，ｔPD）が得られた場合、対象ＬＳＩ［１０２］を不良と判断する［１０６］。
全ての測定点が限界内にあった場合、保存されていた（ＶDD，ｔPD）［１０３］と推定条件［１０５］から、最大遅延経路の配線遅延時間ｔPWD、ゲート遅延時間ｔPGD、ゲートを構成するトランジスタの閾値電圧ＶTHと係数αを推定する［１０７］。
推定係数［１０８］が指定されていた範囲外ならば不良、範囲内なら良と判定する［１０９］。
良、不良にかかわらず推定係数［１０８］を、対象ＬＳＩ［１０２］を区別する情報と共に内部または外部に保存する［１１０］。
保存された推定係数郡［１１１］を用いて、分析する［１１２］。別途得られた、（ＶDD，ｔPD）の組を外部から入力し［１１３］、内部［１０３］に変換し遅延算出［１０４］，エラー判定［１０６］，係数推定［１０７］，範囲判定［１０９］，保存［１１０］，および分析［１１２］を行う。
【手続補正書】
【提出日】平成22年2月9日(2010.2.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
その表面に、半導体装置を載せる領域と、該半導体装置を載せる領域に設けられる第１配線と、該半導体装置を載せる領域に隣接して設けられる接地用の第２配線とを備える基板と、
導電性材料からなる部位を備える押さえ治具であって、該導電性材料からなる部位に凹部が備えられ、該凹部の中に絶縁性部材を備える押さえ治具と、
を備えることを特徴とする半導体装置の押さえ機構。
【請求項２】
前記押さえ治具の前記凹部の周縁の部位に、該凹部の開口方向と略平行な方向に向かって尖る先鋭部を備えることを特徴とする請求項１記載の半導体装置の押さえ機構。
【請求項３】
前記押さえ治具が備える前記凹部は底部と側壁とを有してなり、該側壁がばね部材とされていることを特徴とする請求項１または２記載の半導体装置の押さえ機構。
【請求項４】
前記第１配線が、前記半導体装置を載せる領域から前記基板の内部を通って延び、該基板の表面の前記押さえ治具との接触位置の外側の領域に露出していることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載の半導体装置の押さえ機構。
【請求項５】
前記絶縁性部材が弾性層を備え、前記凹部の開口方向に弾性変形可能とされることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項記載の半導体装置の押さえ機構。
【請求項６】
その表面に、半導体装置を載せる領域と、該半導体装置を載せる領域に設けられる第１配線を備える基板を準備する工程と、
前記基板の前記半導体装置を載せる領域に、前記第１配線と接続するように半導体装置を載せる工程と、
前記基板に載せられた前記半導体装置を導電性部材が覆い、該導電性部材と該半導体装置との間に絶縁性部材が介在し、該導電性部材が該絶縁性部材を介して該半導体装置を前記基板に押付けている状態であって、かつ、該導電性部材が接地電位とされた状態で、前記第１配線を介して前記半導体装置を検査する検査工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の検査方法。
【請求項７】
前記基板は、前記半導体装置を載せる領域に隣接して設けられる第２配線をさらにその表面に備え、
前記検査工程は、
前記導電性部材としての導電性材料からなる部位を備える押さえ治具であって、該導電性材料からなる部位が凹部を備え、該凹部の中に前記絶縁性部材を備える押さえ治具を準備する工程と、
前記押さえ治具が、前記導電性材料からなる部位を該第２配線に接触させつつ、前記凹部の中の前記絶縁性部材を介して半導体装置を前記基板に押付けている状態で、前記第２配線を接地して前記半導体装置に対して検査を行う工程と、
を含むことを特徴とする請求項６記載の半導体装置の検査方法。
【請求項８】
前記押さえ治具の前記凹部の周縁の部位に先鋭部が備えられ、該先鋭部が前記第２配線に接触することを特徴とする請求項７記載の半導体装置の検査方法。
【請求項９】
前記押さえ治具が備える前記凹部は底部と側壁とを有してなり、該側壁がばね部材とされていることを特徴とする請求項７または８記載の半導体装置の検査方法。
【請求項１０】
前記第１配線が、前記半導体装置を載せる領域から前記基板の内部を通って延び、該基板表面の前記押さえ治具との接触位置の外側の領域に露出していることを特徴とする請求項６乃至９のいずれか１項記載の半導体装置の検査方法。
【請求項１１】
前記絶縁性部材が弾性層を備え、前記凹部の開口方向に弾性変形可能とされることを特徴とする請求項７乃至１０のいずれか１項記載の検査方法を用いた半導体装置試験装置。
【手続補正書】
【提出日】平成22年2月25日(2010.2.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに平行に対向し鉛直方向に延在する平板状の第１及び第２の側壁と互いに対向し該第１及び第２の側壁と実質的に直角な稜線を形成するように接する第３及び第４の側壁とを有し、上端及び下端にそれぞれ上開口及び下開口を有する筒状のハウジングと、前記ハウジングの内部に前記第１及び第２の側壁に垂直な仮想の回転軸を中心に前記第１乃至第４の側壁と所定の隙間を有して回動可能なように配設され、前記回転軸から均等な中心角を有して放射状に延びる複数の羽根を有する羽根車状のロータリーゲートと、を有するホッパと、
前記ロータリーゲートを、前記回転軸を中心に回転させる回転装置と、を備え、
各々の前記羽根が、前記回転軸の延在方向に一様な断面形状を有し、所定の回転方向におけるその後面が該所定の回転方向に窪み、その先端面が実質的に前記回転軸を中心とする円筒面の一部を構成し、かつその先端部の前記所定の回転方向における前面が該所定の回転方向と反対方向に窪むように形成されており、
かつ前記上開口は、平面視におけるその中心線（以下、平面視中心線）と前記ロータリーゲートの前記羽根の先端面の回転軌道面との上側の交点が、前記回転軸を含む鉛直な平面から前記所定の回転方向に偏倚するように配設されている、ホッパ装置。
【請求項２】
前記第３及び第４の側壁のうちの前記上開口の平面視中心線に近い方の側壁に、該側壁の略全幅に渡って延在し、かつその上面が斜め下方に傾斜するとともにその下面が前記羽根の先端面の回転軌道面に沿うようにその内側に突出する案内凸部が形成されている、請求項１に記載のホッパ装置。
【請求項３】
前記ロータリーゲートの前記複数の羽根が、順次、該羽根の前記後面が上を向きかつ該後面の先端と前記回転軸とを含む平面（以下、羽根基準面）が水平な回転位置又は該水平な回転位置から所定の回転角度下がった回転位置（以下、受け取り回転位置）で停止して前記上開口から投入される被測定物を受け取り、その後、前記所定の方向に回転移動して前記受け取った被測定物を前記下開口に向けて排出するように、前記回転装置によって前記ロータリーゲートを回転させる制御器を備える、請求項１に記載のホッパ装置。
【請求項４】
仮想の水平な回転軸と同軸状にかつ互いに平行に対向する１対の円板状の側壁と該１対の側壁に挟持され前記回転軸から均等な中心角を有して放射状に前記側壁の外周に至るように延びる複数の羽根を有する羽根車状の仕切り部材とを有するロータリーホッパと、
前記ロータリーホッパを、前記回転軸を中心に回転させる回転装置と、を備え、
各々の前記羽根が、前記回転軸の延在方向に一様な断面形状を有し、所定の回転方向におけるその後面が該所定の回転方向に窪み、その先端面が実質的に前記回転軸を中心とする円筒面の一部を構成し、かつその先端部の前記所定の回転方向における前面が該所定の回転方向と反対方向に窪むように形成されている、ホッパ装置。
【請求項５】
互いに平行に対向し鉛直方向に延在する平板状の第１及び第２の側壁と互いに対向し該第１及び第２の側壁と実質的に直角な稜線を形成するように接する第３及び第４の側壁とを有し、上端及び下端にそれぞれ上開口及び下開口を有する筒状のハウジングをさらに有し、
前記ハウジングの第１及び第２の側壁の互い対向する部分に１対の円形の側開口が形成され、該１対の側開口に前記１対の側壁が遊嵌されるようにして前記ロータリーホッパが配設され、
前記上開口は、平面視におけるその中心線（以下、平面視中心線）と前記ロータリーホッパの前記羽根の先端面の回転軌道面との上側の交点が、前記回転軸を含む鉛直な平面から前記所定の回転方向に偏倚するように配設されている、請求項４に記載のホッパ装置。
【請求項６】
前記ロータリーホッパの上方に配置され、互いに平行に対向し鉛直方向に延在する平板状の第１及び第２の側壁と互いに対向し該第１及び第２の側壁と実質的に直角な稜線を形成するように接する第３及び第４の側壁とを有し、上端及び下端にそれぞれ上開口及び下開口を有する筒状の上側ガイドと、前記ロータリーホッパの下方に配置され、４角形の断面を有する筒状の下側ガイドとをさらに有し、
前記上側ガイドは、前記下開口が前記ロータリーホッパの回転軌道面に沿うように形成され、かつ該下開口の平面視における中心線と前記ロータリーホッパの回転軌道面との上側の交点が、前記回転軸を含む鉛直な平面から前記所定の回転方向に偏倚するように配設されており、
前記下側ガイドは、その上端の開口が前記ロータリーホッパの回転軌道面に沿うように形成されている、請求項４に記載のホッパ装置。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかに記載のホッパ装置を供給ホッパ及び計量ホッパの少なくともいずれかとして備える、組合せ秤。 
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
前記ロータリーゲートの前記複数の羽根が、順次、該羽根の前記後面が上を向きかつ該後面の先端と前記回転軸とを含む平面（以下、羽根基準面）が水平な回転位置又は該水平な回転位置から所定の回転角度下がった回転位置（以下、受け取り回転位置）で停止して前記上開口から投入される被測定物を受け取り、その後、前記所定の方向に回転移動して前記受け取った被測定物を前記下開口に向けて排出するように、前記回転装置によって前記ロータリーゲートを回転させる制御器を備えていてもよい。
【手続補正書】
【提出日】平成22年3月15日(2010.3.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力を受けて変形するダイヤフラムと、
力の検出方向を検出軸とするセンサ振動片とを有し、
前記検出軸が前記ダイヤフラムと垂直になるよう前記センサ振動片の一端をダイヤフラムに接続したことを特徴とする圧力センサ。
【請求項２】
圧力を受ける受圧面を備え、前記受圧面に圧力を受けて変形するダイヤフラムと、
力の検出方向を検出軸とするセンサ振動片と、を有しており、
前記受圧面に対して前記検出軸を直交させて、前記センサ振動片の一端を前記ダイヤフラムの中央部に接合した、
ことを特徴とする圧力センサ。
【請求項３】
前記ダイヤフラムには、これの中央部と同心にした周回状の溝を少なくとも１つ設けたことを特徴とする請求項１または２に記載の圧力センサ。
【請求項４】
前記ダイヤフラムには、前記センサ振動片を構成する材料の線膨張係数以下の材料を用いていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載の圧力センサ。
【請求項５】
前記センサ振動片を絶縁性の保護膜で覆ったことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか一項に記載の圧力センサ。
【請求項６】
前記センサ振動片は、双音叉水晶振動片であることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか一項に記載の圧力センサ。
【請求項７】
開口部を備えた筐体を有し、前記開口部に前記ダイヤフラムを配設するとともに、前記筐体の内部に前記センサ振動片を配設して、前記センサ振動片の他端を前記筐体に接合したことを特徴とする請求項１ないし６のいずれか一項に記載の圧力センサ。
【請求項８】
前記センサ振動片に発振回路を接続し、前記発振回路に周波数測定演算手段を接続したことを特徴とする請求項１ないし７のいずれか一項に記載の圧力センサ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明に係る圧力センサは、圧力を受けて変形するダイヤフラムと、力の検出方向を検出軸とするセンサ振動片とを有し、前記検出軸が前記ダイヤフラムと垂直になるよう前記センサ振動片の一端をダイヤフラムに接続したことを特徴としている。また、圧力を受ける受圧面を備え、前記受圧面に圧力を受けて変形するダイヤフラムと、力の検出方向を検出軸とするセンサ振動片と、を有しており、前記受圧面に対して前記検出軸を直交させて、前記センサ振動片の一端を前記ダイヤフラムの中央部に接合した、ことを特徴とする構成とすることもできる。
これらの場合において、前記ダイヤフラムには、これの中央部と同心にした周回状の溝を少なくとも１つ設けるようにすればよい。また、前記ダイヤフラムには、前記センサ振動片を構成する材料の線膨張係数以下の材料を用いるとよい。  前記センサ振動片を絶縁性の保護膜で覆った構成とすることができる。更に、  前記センサ振動片は、双音叉水晶振動片とすればよい。開口部を備えた筐体を有し、前記開口部に前記ダイヤフラムを配設するとともに、前記筐体の内部に前記センサ振動片を配設して、前記センサ振動片の他端を前記筐体に接合するように構成できる。前記センサ振動片に発振回路を接続し、前記発振回路に周波数測定演算手段を接続した構成とすればよい。
本発明に係る圧力センサは、圧力を受けて変形するダイヤフラムと、励振電極を備えたセンサ振動片とを有し、ダイヤフラムと励振電極の主面とを垂直にしてセンサ振動片の一端をダイヤフラムに接合したことを特徴としている。圧力センサは、ダイヤフラムとセンサ振動片が接合しているので、ダイヤフラムで受けた圧力をそのままセンサ振動片に伝達でき、圧力を正確に求めることができる。また励振電極が伸び縮みする方向にセンサ振動片が変形すれば、センサ振動片の発振周波数が変化する。そして圧力センサは、ダイヤフラムに対して励振電極の主面が垂直になるようにセンサ振動片を配設しているので、センサ振動片には検出軸に沿った一方向の力のみが加わる。このため圧力センサの特性を出しやすくなり、圧力を高精度に測定できる。さらに圧力センサは、圧力の伝達媒体としてオイルを用いていない。したがって圧力センサは、圧力を安定して測定することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成22年4月12日(2010.4.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の材料からなる基板上に局在プラズモン共鳴を生ずる金属材料を配して構成される局在プラズモン共鳴を利用する光学素子の製造方法であって、
表面に複数の、突起部もしくは窪み部、を有する前記基板を用意する工程と、
前記基板の表面に対し、該表面の法線の方向に対して斜めの方向から第２の材料からなる膜を形成する工程と、を有し、
（１）第２の材料を前記金属材料として、前記基板上に前記金属材料からなる膜を部分的に形成すること、または、
（２）第２の材料を前記基板面から除去可能な材料として、第２の材料からなる膜を前記基板上に形成後、第３の材料としての金属材料からなる膜を前記第２の材料からなる膜が形成された前記基板上に形成し、第２の材料からなる膜を除去して、前記基板上に前記金属材料からなる膜を部分的に残すこと、
を特徴とする局在プラズモン共鳴を利用する光学素子の製造方法。
【請求項２】
前記工程（１）における金属材料からなる膜が前記基板上に形成されずに第１の材料からなる基板が露出して構成される開口の大きさが、１０ｎｍから５００ｎｍの範囲にある請求項１に記載の局在プラズモン共鳴を利用する光学素子の製造方法。
【請求項３】
前記工程（２）における第２の材料からなる膜がエッチングで除去可能な膜である請求項１に記載の局在プラズモン共鳴を利用する光学素子の製造方法。
【請求項４】
前記工程（２）における金属材料からなる膜の大きさが、１０ｎｍから５００ｎｍの範囲にある請求項３に記載の局在プラズモン共鳴を利用する光学素子の製造方法。
【請求項５】
前記工程（２）における金属材料からなる膜は該膜を形成するための材料を前記基板の表面に対して垂直方向から供給することにより形成される請求項１、３及び４のいずれかに記載の局在プラズモン共鳴を利用する光学素子の製造方法。
【請求項６】
前記金属材料が、金、銀、銅およびアルミニウムからなる群から選ばれた金属材料、あるいは、前記群から選ばれた２以上の金属材料からなる合金である請求項１〜５のいずれかに記載の局在プラズモン共鳴を利用する光学素子の製造方法。
【請求項７】
前記基板の有する突起部もしくは窪み部は、型の押し付けにより形成されている請求項１〜６のいずれかに記載の局在プラズモン共鳴を利用する光学素子の製造方法。
【請求項８】
前記基板の表面の法線の方向に対して斜めの方向から成膜用材料を斜め蒸着により、供給する請求項１〜７のいずれかに記載の局在プラズモン共鳴を利用する光学素子の製造方法。
【請求項９】
前記光学素子はセンサである請求項１〜８のいずれかに記載の局在プラズモン共鳴を利用する光学素子の製造方法。
【請求項１０】
前記光学素子はフィルタである請求項１〜８のいずれかに記載の局在プラズモン共鳴を利用する光学素子の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の光学素子の製造方法は、
第１の材料からなる基板上に局在プラズモン共鳴を生ずる金属材料を配して構成される局在プラズモン共鳴を利用する光学素子の製造方法であって、
表面に複数の、突起部もしくは窪み部、を有する前記基板を用意する工程と、
前記基板の表面に対し、該表面の法線の方向に対して斜めの方向から第２の材料からなる膜を形成する工程と、を有し、
（１）第２の材料を前記金属材料として、前記基板上に前記金属材料からなる膜を部分的に形成すること、または、
（２）第２の材料を前記基板面から除去可能な材料として、第２の材料からなる膜を前記基板上に形成後、第３の材料としての金属材料からなる膜を前記第２の材料からなる膜が形成された前記基板上に形成し、第２の材料からなる膜を除去して、前記基板上に前記金属材料からなる膜を部分的に残すこと、
を特徴とする局在プラズモン共鳴を利用する光学素子の製造方法である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
図５は第２の工程の説明図である。第１の工程で作製した窪み構造５０１を有する基板部材５０２（図５（ａ）参照）に対し、基板法線方向と４５°程度の斜めの方向から金、銀等のプラズモンを励起しやすい金属材料５０３を蒸着する（図５（ｂ）参照）。これにより、窪み構造５０１の内部に金属微小開口５０４が形成される（図５（ｃ）参照）。
【手続補正書】
【提出日】平成21年11月24日(2009.11.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
ロータ枠（１）、（４）を間を設けて間の１方を吸入口（１５）とし、他方を排出口（１６）とし、各各のロータ枠（１）、（４）の中に凸面が２面以上で凹面が２面以上で凸面と凹面が交互になるロータを２個設け、１方のロータの凹面に他方のロータの凸面が接しそしてロータ枠に各各のロータの凸面の先端が接っし各各のロータに直結する回転軸を各各ロータのロータ側枠外へ出して各各のロータの凸部の数に比例したギアの歯の数のギアを各各設けて噛み合せ各各のロータの接触する所で各各のロータの凹面の所にに出止手段と反発手段を設けて外力により出入可としたシール板（１０）を設ける事を特徴とした容積形流体モータ及び容積形圧縮機
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】
各各のシール板（１０）に傾き防止手段を設ける事を特徴とした請求項１記載の容積形流体モータ及び容積形圧縮機。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項３】
各各のロータの凸部の先端にシール板（１０）を設ける事を特徴とした請求項１、２記載の容積形流体モータ及び容積形圧縮機。
【手続補正４】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項４】
各各のロータの凸部の先端に設けたシール板の先端に円状の空部を設けてローラ（２１）、（２２）、（２３）、（２４）、（２５）、（２６）、（４４）、（４５）、（４６）、（４７）を設ける事を特徴とした請求項３記載の容積形流体モータ及び容積形圧縮機。
【手続補正５】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項５】
ローラ（２１）、（２２）、（２３）、（２４）、（２５）、（２６）（４４）、（４５）、（４６）、（４７）を収容するローラ内壁に通じる空間部（２１Ａ）、（２２Ａ）、（２３Ａ）、（２４Ａ）、（２５Ａ）、（２６Ａ）（４４Ａ）、（４５Ａ）、（４６Ａ）にクリーム状の半流体を入れる事によりローラの廻りから流休を逃さない手段摩擦の防止手段とする事を特徴とした請求項４記載の容積形流体モータ及び容積形圧縮機。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】容積形流体モータ及び容積形圧縮機。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】金属性で作られたシール板に奥の方にひっかかり付の足を固着し、ロータ基体に奥の方に広がりをもたせた溝を設ける１番奥に空部１０を設ける。奥の方の広がりの外側をいくらか狭くしさらにその外側にバネスペースを設け、バネスペース内の奥側のロータ基体とシール板の間の足にらせんに圧縮をかけたバネを設ける。シール板をする所はロータの略凹面及びロータ先端とする。
１方のロータのシール板のない所と他方のロータのシール板のない所は重らない事とする。バネは耐熱に強いバネ又はバネを熱により熱くならない手段としたバネ例えばバネをバネ囲いで囲んで水を通す。等とする、シール板に足を設けるか又はシール板を厚くするか又はシール板を厚くして穴を設けて穴に傾き防止レールを嵌合してスライド可とするか穴の直径より穴の深さ大きくする。外力によりシール板の端を押されてもシール板の両側に大きな摩擦が生じないので出入時スムーズに出入する。ロータの先端のシール板の先端にローラを設ける事によりロータとロータ枠の間の摩擦がかなり低くなる。そしてローラに通じて空間部を設けて耐熱グリス又はピッチ等を入れる事によりローラとシール板の摩擦が少なくないロラとシール板の間から燃焼ガス又は空気又は気体が漏れない。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
【図１】容積形流体モータ及び容積形圧縮図の全体図。
【図２】２葉の容積形流体モータ及び２葉の容積形圧縮機の全体図。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】ロータ枠          １、４、３０、３８
足                ２、５、７、３３
シール            ３
ひっかけ          ６、９、３１
バネ              ８、３５
シール板          １０、３４
バネスペース      １１、３２
空部              １２、３６
プレート          １３
隙間補助          １４、４２
吸入口            １５、３９
排出口            １０、３７
ロータ基体        ４０、４１、１９、２０
ローラ            ２１、２２、２３、２４、２５、２６  ４４、４５、４６、４７
空間部            ２１Ａ、２２Ａ、２３Ａ、２４Ａ、２５Ａ、２６Ａ  ４４Ａ、４５Ａ、４６Ａ、４７Ａ
傾き防止レール    ２７  ４８
【手続補正１０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2008232129.tif 000001
【手続補正１１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2008232129.tif 000002
【手続補正書】
【提出日】平成22年4月23日(2010.4.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検体中の標的物質の有無もしくは濃度を検出する標的物質検出素子であって、
前記標的物質検出素子が、少なくとも、複数の層からなる検出基板と、該検出基板の表面
に固定された標的物質捕捉体とからなり、
前記標的物質捕捉体が、前記標的物質を捕捉するための標的物質捕捉部位と、前記検出基板を構成する複数の層のうちの第一の層を特異的に認識して結合する第一のペプチド領域と、前記複数の層のうちの前記第一の層とは異なる第二の層を特異的に認識して結合する第二のペプチド領域とを少なくとも有し、
前記第一の層と前記第二の層は隣接していることを特徴とする標的物質検出素子。
【請求項２】
前記第一の層と前記第二の層は層を構成する材料が異なることを特徴とする請求項１に
記載の標的物質検出素子。
【請求項３】
前記標的物質捕捉体は、前記第一のペプチド領域と前記第二のペプチド領域との間に、
一以上のアミノ酸からなるリンカーを有していることを特徴とする請求項１または２に記
載の標的物質検出素子。
【請求項４】
前記第一のペプチド領域と第二のペプチド領域とはアミノ酸配列が異なることを特徴と
する請求項１乃至３のいずれかに記載の標的物質検出素子。
【請求項５】
前記第一の層が検出部であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の標的
物質検出素子。
【請求項６】
標的物質検出素子の製造方法であって、
前記標的物質を捕捉するための標的物質捕捉部位と、検出基板を構成する複数の層のうちの第一の層を特異的に認識して結合する第一のペプチド領域と、前記複数の層のうちの前記第一の層とは異なる第二の層を特異的に認識して結合する第二のペプチド領域とを有する標的物質捕捉体を用意する工程と、
前記標的物質捕捉体を、前記検出基板に接触させることで、前記標的物質捕捉体が有する
第一のペプチド領域を前記検出基板が有する第一の層に結合させ、かつ前記標的物質捕捉
体が有する第二のペプチド領域を前記検出基板が有する第二の層に結合させる工程と、
前記標的物質捕捉体が少なくとも前記第一の層および第二の層の両方を特異的に認識して
結合している場合の結合強度と、前記標的物質捕捉体が前記第一の層もしくは前記第二の
層のいずれかのみを特異的に認識して結合している場合の結合強度の差を利用して、前記
第一の層のみもしくは第二層のみを特異的に認識して結合している標的物質捕捉体を取り
除く工程と、
を有することを特徴とする標的物質検出素子の製造方法。
【請求項７】
検体中の標的物質の有無もしくは濃度を検出する標的物質検出方法であって、
少なくとも、複数の層からなる検出基板と、該検出基板の表面に固定された標的物質捕捉
体とからなる前記標的物質検出素子に検体を接触させる工程と、
前記標的物質検出素子からシグナルを得る工程と、
を有し、
前記標的物質検出素子が有する前記標的物質捕捉体が、前記標的物質を捕捉するための標的物質捕捉部位と、前記検出基板を構成する複数の層のうちの第一の層を特異的に認識して結合する第一のペプチド領域と、前記複数の層のうちの前記第一の層とは異なる第二の層を特異的に認識して結合する第二のペプチド領域とを有し、
前記第一の層と前記第二の層は隣接していることを特徴とする標的物質検出方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明は、
検体中の標的物質の有無もしくは濃度を検出する標的物質検出素子であって、
前記標的物質検出素子が、少なくとも、複数の層からなる検出基板と、該検出基板の表面
に固定された標的物質捕捉体とからなり、
前記標的物質捕捉体が、前記標的物質を捕捉するための標的物質捕捉部位と、前記検出基板を構成する複数の層のうちの第一の層を特異的に認識して結合する第一のペプチド領域と、前記複数の層のうちの前記第一の層とは異なる第二の層を特異的に認識して結合する第二のペプチド領域とを少なくとも有し、
前記第一の層と前記第二の層は隣接していることを特徴とする標的物質検出素子である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また、別の本発明は、
標的物質検出素子の製造方法であって、
前記標的物質を捕捉するための標的物質捕捉部位と、検出基板を構成する複数の層のうちの第一の層を特異的に認識して結合する第一のペプチド領域と、前記複数の層のうちの前記第一の層とは異なる第二の層を特異的に認識して結合する第二のペプチド領域とを有する標的物質捕捉体を用意する工程と、
前記標的物質捕捉体を、前記検出基板に接触させることで、前記標的物質捕捉体が有する
第一のペプチド領域を前記検出基板が有する第一の層に結合させ、かつ前記標的物質捕捉
体が有する第二のペプチド領域を前記検出基板が有する第二の層に結合させる工程と、
前記標的物質捕捉体が少なくとも前記第一の層および第二の層の両方を特異的に認識して
結合している場合の結合強度と、前記標的物質捕捉体が前記第一の層もしくは前記第二の
層のいずれかのみを特異的に認識して結合している場合の結合強度の差を利用して、前記
第一の層のみもしくは第二層のみを特異的に認識して結合している標的物質捕捉体を取り
除く工程と、
を有することを特徴とする標的物質検出素子の製造方法である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また、別の本発明は、
検体中の標的物質の有無もしくは濃度を検出する標的物質検出方法であって、
少なくとも、複数の層からなる検出基板と、該検出基板の表面に固定された標的物質捕捉
体とからなる前記標的物質検出素子に検体を接触させる工程と、
前記標的物質検出素子からシグナルを得る工程と、
を有し、
前記標的物質検出素子が有する前記標的物質捕捉体が、前記標的物質を捕捉するための標的物質捕捉部位と、前記検出基板を構成する複数の層のうちの第一の層を特異的に認識して結合する第一のペプチド領域と、前記複数の層のうちの前記第一の層とは異なる第二の層を特異的に認識して結合する第二のペプチド領域と
を有し、
前記第一の層と前記第二の層は隣接していることを特徴とする標的物質検出方法である。
【手続補正書】
【提出日】平成22年2月5日(2010.2.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
湯水を貯える貯湯タンクと、湯水をミスト状に噴出するミスト発生装置と、浴槽と、前記浴槽へ前記貯湯タンク内の高温水を供給する浴槽給湯管と、前記ミスト発生装置へ前記貯湯タンク内の高温水を供給するミスト配管とを備え、前記ミスト配管は、前記浴槽給湯管から分岐したことを特徴とする貯湯式給湯機。
【請求項２】
ミスト配管の断面積の方が、端末給湯管の断面積よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載の貯湯式給湯機。
【手続補正書】
【提出日】平成22年3月3日(2010.3.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項６】
推定装置が行う推定方法であって、
前記推定装置が有する画像入力手段が、ユーザの画像データを入力する画像入力工程と、
前記推定装置が有する音声入力手段が、前記ユーザの音声データを入力する音声入力工程と、
前記推定装置が有する生体情報入力手段が、前記ユーザの生体情報を入力する生体情報入力工程と、
前記推定装置が有する第１の推定手段が、前記画像データ、前記音声データ、前記生体情報に基づく前記ユーザの周囲環境を推定する第１の推定工程と、
前記推定装置が有する保持手段が、前記ユーザの心理状態を推定するために基準となる基準データを保持する保持工程と、
前記推定装置が有する第２の推定手段が、前記画像データ、前記音声データ、前記生体情報のうち１つ以上と前記基準データとを比較して、前記ユーザの心理状態を推定する第２の推定工程と、
前記推定装置が有する第３の推定手段が、前記第２の推定工程で推定した心理状態が所定の状態である場合には、前記第１の推定工程で推定した前記周囲環境に基づいて、前記ユーザの心理状態の原因を推定する第３の推定工程と
を備えることを特徴とする推定方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項７】
コンピュータを請求項１乃至５の何れか１項に記載の推定装置が有する各手段として機能させる為のコンピュータプログラム。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】推定装置、及び推定方法
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
即ち、推定装置が行う推定方法であって、
前記推定装置が有する画像入力手段が、ユーザの画像データを入力する画像入力工程と、
前記推定装置が有する音声入力手段が、前記ユーザの音声データを入力する音声入力工程と、
前記推定装置が有する生体情報入力手段が、前記ユーザの生体情報を入力する生体情報入力工程と、
前記推定装置が有する第１の推定手段が、前記画像データ、前記音声データ、前記生体情報に基づく前記ユーザの周囲環境を推定する第１の推定工程と、
前記推定装置が有する保持手段が、前記ユーザの心理状態を推定するために基準となる基準データを保持する保持工程と、
前記推定装置が有する第２の推定手段が、前記画像データ、前記音声データ、前記生体情報のうち１つ以上と前記基準データとを比較して、前記ユーザの心理状態を推定する第２の推定工程と、
前記推定装置が有する第３の推定手段が、前記第２の推定工程で推定した心理状態が所定の状態である場合には、前記第１の推定工程で推定した前記周囲環境に基づいて、前記ユーザの心理状態の原因を推定する第３の推定工程と
を備えることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成22年2月16日(2010.2.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
継手１６ａ、１６ｂは、図３、図４、図５及び図８に示されるように、矩形状に形成されたベース部４２と、該ベース部４２の中心に設けられ、該ベース部４２の両側面からそれぞれ軸線方向に突出した一組の筒部４４ａ、４４ｂとから構成され、前記筒部４４ａ、４４ｂ及びベース部４２の内部を貫通するように貫通孔４６が一直線上に形成される。この継手１６ａ、１６ｂをボディ１２に装着する際、ベース部４２を装着孔２６の凹部３６に挿入すると共に、一方の筒部４４ｂが継手孔３８に挿通し、複数の取付ボルト４８によって前記ベース部４２をボディ１２に対して締結する。この場合、他方の筒部４４ａは、ボディ１２の両端部から突出するように配置される。なお、他方の筒部４４ａには、その内周面にねじが刻設され、例えば、図示しない配管等が接続される。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
すなわち、パイプ５０に装着された電極５２ａ、５２ｂは、該パイプ５０の上下方向（矢印Ｃ１、Ｃ２方向）が、一対のシールドカバー６６ａ、６６ｂによって覆われ、該上下方向（矢印Ｃ１、Ｃ２方向）と直交する水平方向（矢印Ｄ１、Ｄ２方向）が一対のシールド板８２ａ、８２ｂによって覆われることとなる。一般的に、このようなシールド部材からなるシールド構造は、該シールド部材でパイプ５０を挟んだ状態でテープ等で固定することが多いが、上述したように、パイプ５０を覆うように一対のシールドカバー６６ａ、６６ｂ及びシールド板８２ａ、８２ｂを配置し、互いにボルト８４で強固に締結することにより、該シールドカバー６６ａ、６６ｂ及びシールド板８２ａ、８２ｂからなるシールド構造が安定し、且つ、電気的なシールドも万全とすることができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
一方、パイプ５０に対して基板ホルダ６４ａ、６４ｂと直交する方向（矢印Ｄ１、Ｄ２方向）から一対のシールド板８２ａ、８２ｂを装着し、その上端部及び下端部をそれぞれ前記基板ホルダ６４ａ、６４ｂに対してボルト８４で固定する。これにより、図４〜図６に示されるように、パイプ５０の上下方向（矢印Ｃ１、Ｃ２方向）に電極５２ａ、５２ｂ、基板６２ａ、６２ｂ及びシールドカバー６６ａ、６６ｂが設けられ、且つ、前記基板６２ａ、６２ｂと直交する前記パイプ５０の側方にシールド板８２ａ、８２ｂが装着された管体ユニット１４が構成される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2009258003.tif 000001
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2009258003.tif 000002
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６】
2009258003.tif 000003
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図７】
2009258003.tif 000004
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図８】
2009258003.tif 000005
【手続補正書】
【提出日】平成22年3月17日(2010.3.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
ラインセンサ４７をスライドさせるスライド機構４８は、例えば図２に示すピエゾアクチュエータ５４と、レバー部材５５とを備える。ピエゾアクチュエータ５４は、制御部１５によって対物レンズ２に応じてラインセンサ４７をスライドさせるために必要な電圧が印加される。レバー部材５５は、光検出部４１の筐体に回動自在に支持されるとともに、一端をピエゾアクチュエータ５４と当接され、他端をスライダ５１の当接部５３に当接されている。レバー部材５５は、当接部５３を介してスプリング５２の付勢力を受けて、常時図２中矢印Ｒ方向へ回動付勢されている。