【手続補正書】
【提出日】平成22年8月25日(2010.8.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動板と、該可動板を支持する１対の軸部材とを備えた振動部と、
前記振動部を支持する支持部と、
前記振動部に設けられ、前記可動板の挙動を検出するためのピエゾ抵抗素子と、
前記支持部に設けられた電極と、
一部が前記振動部および前記支持部に接合され、残部が前記各軸部材に対し離間するように形成された樹脂層と、
前記樹脂層上に成膜され、前記ピエゾ抵抗素子と前記電極とを電気的に接続する配線と、
前記可動板を前記各軸部材の捩れ変形を伴って回動させる駆動手段とを有し、
前記配線は、その少なくとも一部が前記各軸部材に対し離間するように配設されていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
前記樹脂層は、その前記配線側の面を前記振動部側とするように設けられ、前記配線は、導電性を有するバンプを介して前記ピエゾ抵抗素子に接合されている請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項３】
前記ピエゾ抵抗素子は、前記１対の軸部材のうちの少なくとも一方の軸部材上に設けられ、前記配線は、当該少なくとも一方の軸部材に沿って設けられている請求項１または２に記載のアクチュエータ。
【請求項４】
前記ピエゾ抵抗素子は、前記軸部材上に設けられたピエゾ抵抗領域と、該ピエゾ抵抗領域に互いに離間して設けられた少なくとも１対の端子とを有する請求項３に記載のアクチュエータ。
【請求項５】
前記少なくとも１対の端子は、前記軸部材の軸線方向に互いに離間して並設された１対の第１の端子と、前記軸部材の軸線に直交する方向に互いに離間して並設された１対の第２の端子とを含む請求項４に記載のアクチュエータ。
【請求項６】
前記ピエゾ抵抗素子は、前記各軸部材に設けられており、前記配線は、前記１対の軸部材に対する影響が互いに等しくなるように設けられている請求項３ないし５のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項７】
前記ピエゾ抵抗素子は、前記軸部材の前記支持部側の端部に設けられている請求項３ないし６のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項８】
前記可動板および前記各軸部材は、シリコンで一体的に形成されている請求項１ないし７のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項９】
前記配線は、金属で構成されている請求項１ないし８のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項１０】
光反射部が設けられた可動板と、該可動板を支持する１対の軸部材とを備えた振動部と、
前記振動部を支持する支持部と、
前記振動部に設けられ、前記可動板の挙動を検出するためのピエゾ抵抗素子と、
前記支持部に設けられた電極と、
一部が前記振動部および前記支持部に接合され、残部が前記各軸部材に対し離間するように形成された樹脂層と、
前記樹脂層上に成膜され、前記ピエゾ抵抗素子と前記電極とを電気的に接続する配線と、
前記可動板を前記各軸部材の捩れ変形を伴って回動させる駆動手段とを有し、
前記光反射部で反射した光を走査するように構成され、
前記配線は、その少なくとも一部が前記各軸部材に対し離間するように配設されていることを特徴とする光スキャナ。
【請求項１１】
光反射部が設けられた可動板と、該可動板を支持する１対の軸部材とを備えた振動部と、
前記振動部を支持する支持部と、
前記振動部に設けられ、前記可動板の挙動を検出するためのピエゾ抵抗素子と、
前記支持部に設けられた電極と、
一部が前記振動部および前記支持部に接合され、残部が前記各軸部材に対し離間するように形成された樹脂層と、
前記樹脂層上に成膜され、前記ピエゾ抵抗素子と前記電極とを電気的に接続する配線と、
前記可動板を前記各軸部材の捩れ変形を伴って回動させる駆動手段とを有し、
前記光反射部で反射した光を走査して、画像を形成するように構成され、
前記配線は、その少なくとも一部が前記各軸部材に対し離間するように配設されていることを特徴とする画像形成装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明のアクチュエータは、可動板と、該可動板を支持する１対の軸部材とを備えた振動部と、
前記振動部を支持する支持部と、
前記振動部に設けられ、前記可動板の挙動を検出するためのピエゾ抵抗素子と、
前記支持部に設けられた電極と、
一部が前記振動部および前記支持部に接合され、残部が前記各軸部材に対し離間するように形成された樹脂層と、
前記樹脂層上に成膜され、前記ピエゾ抵抗素子と前記電極とを電気的に接続する配線と、
前記可動板を前記各軸部材の捩れ変形を伴って回動させる駆動手段とを有し、
前記配線は、その少なくとも一部が前記各軸部材に対し離間するように配設されていることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
これにより、各軸部材の幅が小さい場合でも、配線を簡単に引き回すことができる。また、各軸部材の幅方向においてピエゾ抵抗素子の両側に配線を引き回すためのスペースを要しないため、ピエゾ抵抗素子のレイアウトの自由度が高い。そのため、アクチュエータの小型化を図りつつ、ピエゾ抵抗素子による検出精度を優れたものとすることができる。
さらに、各軸部材の捩れ変形によって配線に生じる応力を低減することができる。そのため、配線の断線が生じにくく、アクチュエータの信頼性を向上させることができる。
また、樹脂層が配線を補強するため、配線の断線を防止することができる。また、樹脂層および配線をそれぞれ柔軟なものとし、各軸部材に対する配線の影響を少なくすることができる。
さらに、樹脂層による配線の補強を強固なものとすることができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明のアクチュエータでは、前記樹脂層は、その前記配線側の面を前記振動部側とするように設けられ、前記配線は、導電性を有するバンプを介して前記ピエゾ抵抗素子に接合されていることが好ましい。
これにより、配線を樹脂層上に予め形成したものを振動部および支持部に貼り付けるだけで、簡単に配線を設置することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明の光スキャナは、光反射部が設けられた可動板と、該可動板を支持する１対の軸部材とを備えた振動部と、
前記振動部を支持する支持部と、
前記振動部に設けられ、前記可動板の挙動を検出するためのピエゾ抵抗素子と、
前記支持部に設けられた電極と、
一部が前記振動部および前記支持部に接合され、残部が前記各軸部材に対し離間するように形成された樹脂層と、
前記樹脂層上に成膜され、前記ピエゾ抵抗素子と前記電極とを電気的に接続する配線と、
前記可動板を前記各軸部材の捩れ変形を伴って回動させる駆動手段とを有し、
前記光反射部で反射した光を走査するように構成され、
前記配線は、その少なくとも一部が前記各軸部材に対し離間するように配設されていることを特徴とする。
これにより、本発明の光スキャナは、可動板の挙動検知のためのピエゾ抵抗素子を有する構成において、小型化を図りつつ検出精度を優れたものとするとともに、優れた信頼性を発揮することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明の画像形成装置は、光反射部が設けられた可動板と、該可動板を支持する１対の軸部材とを備えた振動部と、
前記振動部を支持する支持部と、
前記振動部に設けられ、前記可動板の挙動を検出するためのピエゾ抵抗素子と、
前記支持部に設けられた電極と、
一部が前記振動部および前記支持部に接合され、残部が前記各軸部材に対し離間するように形成された樹脂層と、
前記樹脂層上に成膜され、前記ピエゾ抵抗素子と前記電極とを電気的に接続する配線と、
前記可動板を前記各軸部材の捩れ変形を伴って回動させる駆動手段とを有し、
前記光反射部で反射した光を走査して、画像を形成するように構成され、
前記配線は、その少なくとも一部が前記各軸部材に対し離間するように配設されていることを特徴とする。
これにより、本発明の画像形成装置は、高画質な画像が得られるとともに、優れた信頼性を発揮することができる。