【手続補正書】
【提出日】平成22年1月25日(2010.1.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
欠陥修正されるべき基板を支持するステージと、
基板上に存在する欠陥を、熱転写方式により修正する修正ヘッドと、
修正ヘッドをＸ方向及びこれと直交するＹ方向に駆動する修正ヘッド駆動機構とを具えるパターン修正装置において、
前記修正ヘッドは、異なるカラーの修正テープをそれぞれ収納した複数のテープカセットと、テープカセットを移動させるカセット移動機構とを有し、
前記テープカセットは、
修正テープを収納した供給リール、修正テープを巻き取る巻取リール、及び、修正テープを所定の経路に沿って移動させるテープ移動機構を含むテープユニットと、
修正テープの着色層を基板の欠陥部に熱転写させる熱転写ロッド、熱転写ロッドに内蔵され熱転写ロッドを所定の温度に加熱するヒータ、及び、熱転写ロッドを転写位置と退避位置との間で上下動させるロッド駆動機構を含む熱転写ユニットと、
前記テープユニットと熱転写ユニットとを収納するカセットとを具えることを特徴とするパターン修正装置。
【請求項２】
基台上に配置され、欠陥修正されるべき基板を支持するステージと、
基板上に存在する欠陥を、熱転写方式により修正する修正ヘッドと、
修正ヘッドをＸ方向及びこれと直交するＹ方向に駆動する修正ヘッド駆動機構とを具え、
前記修正ヘッドは、
異なるカラーの修正テープをそれぞれ収納した複数のテープカセット、及び、テープカセットを移動させるカセット移動機構を有するテープカセットユニットと、
修正すべき欠陥の周囲をマスキングするマスクテープ、及び、マスクテープを駆動する駆動機構を有するマスクテープユニットと、
欠陥を観察する観察光学系と、
前記マスクテープにマスキング開口を形成するレーザ加工装置とを含み、
前記テープカセットは、
修正テープを収納した供給リール、修正テープを巻き取る巻取リール、修正テープを所定の経路に沿って移動させるテープ移動機構を含むテープユニットと、
修正テープの着色層を基板の欠陥部に熱転写させる熱転写ロッド、熱転写ロッドに内蔵され熱転写ロッドを所定の温度に加熱するヒータ、及び、熱転写ロッドを転写位置と退避位置との間で上下動させるロッド駆動機構を含む熱転写ユニットと、
前記テープユニットと熱転写ユニットとを収納するカセットとを具えることを特徴とするパターン修正装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のパターン修正装置において、各テープカセットにそれぞれ収納された熱転写ロッドは、当該テープカセットに収納されている修正テープの着色層の最適熱転写温度にそれぞれ設定されることを特徴とするパターン修正装置。
【請求項４】
請求項３に記載のパターン修正装置において、前記熱転写ロッドは修正テープの移動経路中に配置され、熱転写ロッドが退避位置に位置する期間中に修正テープが熱転写ロッドと接触し、修正テープが熱転写ロッドにより予備加熱されることを特徴とするパターン修正装置。
【請求項５】
請求項１、２、３又は４に記載のパターン修正装置において、前記修正テープは、ベースフィルムと、熱可塑性樹脂により構成され、熱転写ロッドにより予備加熱されることにより軟化するクッション層と、所定のカラーの顔料を含む感光性着色層と、感光性着色層を保護するカバーフィルムとを含むことを特徴とするパターン修正装置。  
【請求項６】
請求項２、３、４又は５に記載のパターン修正装置において、前記修正テープは第１の方向に移動し、前記マスクテープは前記第１の方向と直交する第２の方向に移動し、欠陥を修正する欠陥修正位置において修正テープとマスクテープとは、第１の方向及び第２の方向と直交する第３の方向に見て、互いにほぼ直交するように重なり合うことを特徴とするパターン修正装置。
【請求項７】
請求項６に記載のパターン修正装置において、前記欠陥修正位置において、前記基板の表面上にマスクテープが位置し、その後前記レーザ加工装置によりマスクテープにマスキング開口が形成され、その後選択されたカラーの修正テープを収納したテープカセットが前記第１の方向に移動し、修正テープがマスクテープ上に位置し、その後熱転写ロッドが下降してマスクテープに対して修正テープを圧着することを特徴とするパターン修正装置。
【請求項８】
請求項７に記載のパターン修正装置において、前記修正ヘッドには、マスクテープを基板の表面に対して密着させるためのスキージが搭載され、当該スキージをマスクテープに対して圧接移動させて、基板表面とマスクテープとの間の空気層が除去されるように構成したことを特徴とするパターン修正装置。
【請求項９】
請求項１から８までのいずれか１項に記載のパターン修正装置において、前記欠陥修正されるべき基板をカラーフィルタ基板とし、
前記修正ヘッドは、Ｒ，Ｇ，Ｂ，Ｋの修正テープをそれぞれ収納した４個のテープカセットを有することを特徴とするパターン修正装置。
【請求項１０】
請求項１から９までのいずれか１項に記載のパターン修正装置において、前記欠陥修正されるべき基板を支持するステージとして光学的に透明なガラス基板を用い、当該ガラス基板の下側に、基板に熱転写された着色剤を硬化させるための光源が配置されていることを特徴とするパターン修正装置。
【請求項１１】
基板上に形成された各種パターンの欠陥を、熱転写方式により修正するパターン修正装置又はカラーフィルタ修正装置に用いられる修正テープを収納したテープカセットであって、
感光性着色層を含む修正テープを収納した供給リールと、修正テープを巻き取る第１の巻取リールと、修正テープを所定の経路に沿って移動させるテープ移動機構とを含むテープユニット、
修正テープの感光性着色層を基板の欠陥部に熱転写させる熱転写ロッドと、熱転写ロッドを所定の温度に加熱するヒータと、熱転写ロッドを、感光性着色剤を基板に転写させる転写位置と退避位置との間で上下動させるロッド駆動機構とを含む熱転写ユニット、及び
前記テープユニットと熱転写ユニットとを収納するカセットを具え、
前記熱転写ロッドは修正テープの移動経路中に配置され、熱転写ロッドが退避位置に位置する期間中に修正テープが熱転写ロッドと接触し、修正テープが熱転写ロッドにより予備加熱されるように構成したことを特徴とするテープカセット。
【請求項１２】
請求項１１に記載のテープカセットにおいて、前記巻取リールは、熱転写処理が終了した後、修正テープを所定の長さだけ巻取り、その後次の熱転写処理が開始されるまでの期間中修正テープの新たな部分が熱転写ロッドの先端に設けたヒータチィプと接触して予備加熱が行われることを特徴とするテープカセット。
【請求項１３】
請求項１１又は１２に記載のテープカセットにおいて、前記テープ移動機構は、前記供給リールを回転自在に支持する第１の回転軸と、前記第１の巻取リールを回転自在に支持する第２の回転軸と、第２の回転軸に連結されたサーボモータとを有し、供給リール及び巻取リールは、それぞれ第１の回転軸及び第２の回転軸に対して着脱自在に装着され、修正テープが交換可能となるように構成したことを特徴とするテープカセット。
【請求項１４】
請求項１１、１２、又は１３に記載のテープカセットにおいて、前記カセットは紫外光を遮断する材料で構成され、前記修正テープの感光性着色剤が感光しないように構成したことを特徴とするテープカセット。
【請求項１５】
請求項１２、１３、又は１４に記載のテープカセットにおいて、前記修正テープの移動経路中の供給リールと熱転写ロッドとの間に、修正テープからカバーフィルムを分離する手段を設け、分離されたカバーフィルムを第２の巻取リールに巻き取ることを特徴とするテープカセット。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明による欠陥修正装置は、走行する研磨テープによりワークの表面に存在する突起欠陥を修正又は除去する欠陥修正装置であって、
ワークを保持するステージと、
ワークに対して研磨処理を行う研磨ユニットと、
研磨ユニットを、ステージ上のワークに対して、研磨テープの走行方向であるテープ走行方向と直交する第１の方向に相対移動させる第１の移動手段とを具え、前記研磨ユニットは、
前記研磨テープを走行させる研磨テープ走行手段と、
前記研磨ユニットに対して前記第１の方向に相対移動可能に装着され、前記研磨テープをワーク表面に対して当接させるヘッドチップと、
前記ヘッドチップを、研磨ユニットに対して前記第１の方向に沿って相対移動させる第２の移動手段とを有することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明による別の欠陥修正装置は、走行する研磨テープによりワークの表面に存在する突起欠陥を修正又は除去する欠陥修正装置であって、
ワークを保持するステージと、
ステージに対して一方向に沿って相対移動するガントリー構造体と、
ガントリー構造体を移動させる第１の移動手段と、
ガントリー構造体に、その移動方向と直交する方向に移動可能に装着された修正ヘッドと、
修正ヘッドを移動させる第２の移動手段とを具え、前記修正ヘッドは、
ワークに対して研磨処理を行う研磨ユニットと、ワークに存在する欠陥を観察する光学ヘッドとを有し、前記研磨ユニットは、
前記研磨テープを走行させる研磨テープ走行手段と、
前記研磨テープをワーク表面に対して当接させるヘッドチップと
前記ヘッドチップを、研磨テープの走行方向であるテープ走行方向と直交する方向にガイドするガイド手段と、
ヘッドチップを前記ガイド手段に沿って研磨ユニットに対して相対移動させる第３の移動手段とを有し、
研磨処理中に、研磨ユニットは、前記第１の移動手段又は第２の移動手段により研磨テープの走行方向と直交する第１の方向に移動し、前記ヘッドチップは、前記第３の移動手段により、研磨ユニットに対して前記第１の方向に沿って研磨ユニットの移動方向とは反対向きの方向に相対移動し、
研磨処理中、前記ヘッドチップは修正されるべき欠陥に対してほぼ静止状態に維持されることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明による別の欠陥修正装置は、走行する研磨テープによりワークの表面に存在する突起欠陥を修正又は除去する欠陥修正装置であって、
ワークを保持するステージと、
ステージに対して一方向に相対移動するガントリー構造体と、
ガントリー構造体に対して相対移動可能に装着された修正ヘッドとを具え、前記修正ヘッドは、
ワークに対して研磨処理を行う研磨ユニットと、研磨ユニットを第１の方向に沿って移動させる第１の移動機構とを有し、前記研磨ユニットは、
前記研磨テープを前記第１の方向と直交する第２の方向に沿って走行させる研磨テープ走行手段と、
研磨ユニットに前記第１の方向に相対移動可能に装着され、前記研磨テープをワーク表面に対して当接させるヘッドチップと
前記ヘッドチップを、第１の方向に沿って研磨ユニットに対して相対移動させる第２の移動機構とを有し、
研磨処理中に、研磨テープは第２の方向に走行し、研磨ユニットは第１の方向に移動すると共にヘッドチップは第１の方向に沿って研磨ユニットの移動方向とは反対向きの方向に相対移動し、当該ヘッドチップは、修正されるべき欠陥に対してほぼ静止状態に維持されることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明によるテープ研磨装置は、走行する研磨テープによりワークの表面に存在する突起欠陥を修正又は除去する欠陥修正装置に用いられるテープ研磨装置であって、
研磨テープを巻き上げる巻き上げリールと、研磨テープが収納されている供給リールと、前記巻き上げリールを研磨テープを巻き上げる方向に駆動して研磨テープを巻き上げながら走行させる第１の回転駆動手段と、前記供給リールを巻き上げ方向と反対の巻き戻し方向に駆動する第２の回転駆動手段と、研磨テープをワークの表面に当接させるヘッドチップと、ヘッドチップをテープ走行方向と直交する方向に沿って移動させるヘッドチップ移動手段とを具えることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明による欠陥修正方法は、走行する研磨テープによりワークの表面に存在する突起欠陥を修正又は除去する欠陥修正方法であって、
研磨テープを走行させる研磨テープ走行手段、研磨テープをワーク表面に存在する突起欠陥に当接させるヘッドチップ、ヘッドチップを研磨テープの走行方向であるテープ走行方向と直交する第１の方向に移動させるヘッドチップ移動手段が搭載されている研磨ユニットを降下させ、研磨テープを突起欠陥に当接させる工程と、
研磨テープを走行させてワーク表面の突起欠陥を修正する工程と、
前記研磨テープの走行中に、前記研磨ユニットを前記第１の方向に移動させると共に、前記ヘッドチップを前記第１の方向に沿って研磨ユニットに対してその移動方向とは反対向きの方向に相対移動させる工程と、
研磨処理が終了した後、前記研磨ユニットを所定の位置まで上昇させる工程とを具えることを特徴とする。