【手続補正書】
【提出日】平成22年11月8日(2010.11.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ１）下記一般式（１）で表される構成単位を含有し、アルカリ不溶性若しくはアルカリ難溶性であり、且つ、酸解離性基が解離したときにアルカリ可溶性となる樹脂、（Ａ２）エポキシ基含有ラジカル重合性単量体から誘導される構成単位を有する重合体或いは共重合体、（Ｂ）分子内に２個以上のエポキシ基を有する化合物（但し、前記Ａ２を除く）及び（Ｃ）波長３００ｎｍ以上の活性光線の照射により酸を発生する化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。
【化１】
2009258722.tif 000001
一般式（１）に於いて、
Ｒ１は、水素原子、メチル基、ハロゲン原子又はシアノ基を表す。
Ｒ２及びＲ３は、それぞれ独立して、水素原子、直鎖状あるいは分岐状アルキル基を表す。但し、Ｒ２及びＲ３が同時に水素原子の場合を除く。
Ｒ４は、置換されても良い直鎖状、分岐状あるいは環状アルキル基又はアラルキル基を表す。
Ｒ２とＲ４が連結して環状エーテルを形成しても良い。
【請求項２】
（Ａ２）成分が、エポキシ基含有ラジカル重合性単量体から誘導される構成単位と一般式（１）で表される構成単位を含有することを特徴とする請求項１に記載のポジ型感光性組成物。
【請求項３】
（Ａ２）成分におけるエポキシ基含有ラジカル重合性単量体が、下記一般式（３）〜（５）のいずれかで表される、請求項１又は２に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【化２】
2009258722.tif 000002
一般式（３）〜（５）中、Ｘは２価の連結基を表す。  
Ｒ７は、水素原子、メチル基又はハロゲン原子を表す。
Ｒ８、Ｒ９、Ｒ１０、Ｒ１１、Ｒ１２、Ｒ１3、Ｒ１4及びＲ１5は、それぞれ独立して、水素原子又はアルキル基を表す。  
ｎは、１〜１０の整数を表す。
【請求項４】
（Ｃ）成分が、下記一般式（２）で表されるオキシムスルホネート基を含む化合物を含有することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【化３】
2009258722.tif 000003
一般式（２）に於いて、
Ｒ５は、置換されてもよい直鎖状、分岐状、環状アルキル基、あるいは置換されてもよいアリール基を表す。
【請求項５】
（Ｃ）成分が、下記一般式（２Ａ）で表される化合物を含有することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【化４】
2009258722.tif 000004
一般式（２Ａ）に於いて、
Ｒ５は、置換されてもよい直鎖状、分岐状、環状アルキル基、あるいは置換されてもよいアリール基を表す。
Ｘは、アルキル基、アルコキシ基、又はハロゲン原子を表す。
ｍは、０〜３の整数を表す。ｍが２又は３であるとき、複数のＸは同一でも異なっていてもよい。
【請求項６】
(Ｄ)密着助剤を更に含有することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載のポジ型感光性樹脂組成物を基板上に塗布、乾燥し、塗膜を形成する工程、マスクを介して波長３００ｎｍ以上の活性光線を用いて露光する工程、アルカリ現像液を用いて現像し、パターンを形成する工程及び得られたパターンを加熱処理する工程を含むことを特徴とする硬化膜形成方法。
【請求項８】
更に、アルカリ現像液を用いて現像し、パターンを形成する工程後、得られたパターンを加熱処理する工程前に、全面露光する工程を含むことを特徴とする請求項７に記載の硬化膜形成方法。
【請求項９】
請求項７又は８に記載の方法により得られた硬化膜。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
一般式（１）に於いて、
Ｒ１は、水素原子、メチル基、ハロゲン原子又はシアノ基を表す。  
Ｒ２及びＲ３は、それぞれ独立して、水素原子、直鎖状あるいは分岐状アルキル基を表す。但し、Ｒ２及びＲ３が同時に水素原子の場合を除く。  
Ｒ４は、置換されても良い直鎖状、分岐状あるいは環状アルキル基又はアラルキル基を表す。  
Ｒ２とＲ４が連結して環状エーテルを形成しても良い。
（２）  （Ａ２）成分が、エポキシ基含有ラジカル重合性単量体から誘導される構成単位と一般式（１）で表される構成単位を含有することを特徴とする上記（１）に記載のポジ型感光性組成物。
（３）  （Ａ２）成分におけるエポキシ基含有ラジカル重合性単量体が、下記一般式（３）〜（５）のいずれかで表される、上記（１）又は（２）に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【化５】
2009258722.tif 000005
一般式（３）〜（５）中、Ｘは２価の連結基を表す。  
Ｒ７は、水素原子、メチル基又はハロゲン原子を表す。
Ｒ８、Ｒ９、Ｒ１０、Ｒ１１、Ｒ１２、Ｒ１3、Ｒ１4及びＲ１5は、それぞれ独立して、水素原子又はアルキル基を表す。  
ｎは、１〜１０の整数を表す。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
（４）  （Ｃ）成分が、下記一般式（２）で表されるオキシムスルホネート基を含む化合物を含有することを特徴とする上記（１）〜（３）のいずれかに記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【化６】
2009258722.tif 000006
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
（５）  （Ｃ）成分が、下記一般式（２Ａ）で表される化合物を含有することを特徴とする上記（１）〜（３）のいずれかに記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【化７】
2009258722.tif 000007
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
一般式（２Ａ）に於いて、
Ｒ５は、置換されてもよい直鎖状、分岐状、環状アルキル基、あるいは置換されてもよいアリール基を表す  
Ｘは、アルキル基、アルコキシ基、又はハロゲン原子を表す。  
ｍは、０〜３の整数を表す。ｍが２又は３であるとき、複数のＸは同一でも異なっていてもよい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
（６）  （Ｄ）密着助剤を更に含有することを特徴とする上記（１）〜（５）のいずれ
かに記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
（７）  上記（１）〜（６）のいずれかに記載のポジ型感光性樹脂組成物を基板上に塗布、乾燥し、塗膜を形成する工程、マスクを介して波長３００ｎｍ以上の活性光線を用いて露光する工程、アルカリ現像液を用いて現像し、パターンを形成する工程及び得られたパターンを加熱処理する工程を含むことを特徴とする硬化膜形成方法。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
（８）  更に、アルカリ現像液を用いて現像し、パターンを形成する工程後、得られたパターンを加熱処理する工程前に、全面露光する工程を含むことを特徴とする上記（７）に記載の硬化膜形成方法。
（９）  上記（７）又は（８）に記載の方法により得られた硬化膜。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
（１０）  （Ａ１）及び（Ａ２）成分の総量１００質量部に対して、（Ｂ）成分を、１〜５０質量部含有することを特徴とする上記（１）〜（６）のいずれかに記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
（１１）  （Ａ１）及び（Ａ２）成分の総量１００質量部に対して、（Ｃ）成分を、０．１〜１０質量部含有することを特徴とする上記（１）〜（６）及び（１０）のいずれかに記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
（１２）  （Ａ１）及び（Ａ２）成分の総量１００質量部に対して、（Ｄ）成分を、０．１〜２０質量部含有することを特徴とする上記（６）、（１０）及び（１１）のいずれかに記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
一般式（２）に於いて、
Ｒ５は、置換されても良い直鎖状、分岐状、環状アルキル基、あるいは置換されてもよいアリール基を表す。  
Ｒ５のアルキル基としては、炭素数１〜１０の直鎖状若しくは分岐状アルキル基が好ましい。Ｒ５のアルキル基は、炭素数１〜１０のアルコキシ基あるいは脂環式基（７，７−ジメチル−２−オキソノルボルニル基などの有橋式脂環基を含む、好ましくはビシクロアルキル基等）で置換されてもよい。  
Ｒ５のアリール基としては、炭素数６〜１１のアリール基が好ましく、フェニル基あるいはナフチル基が更に好ましい。Ｒ５のアリール基は、炭素数１〜５のアルキル基、アルコキシ基あるいはハロゲン原子で置換されてもよい。  
一般式（２）で表されるオキシムスルホネート基を含有する上記化合物は、下記一般式（２Ａ）で現されるオキシムスルホネート化合物であることが更に好ましい。
【化８】
2009258722.tif 000008
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
一般式（２Ａ）に於いて、
Ｒ５は、式（２）におけるＲ５と同じである。  
Ｘは、アルキル基、アルコキシ基、又はハロゲン原子を表す。  
ｍは、０〜３の整数を表す。ｍが２又は３であるとき、複数のＸは同一でも異なっていてもよい。  
Ｘとしてのアルキル基は、炭素数１〜４の直鎖状若しくは分岐状アルキル基が好ましい。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
Ｘとしてのアルコキシ基は、炭素数１〜４の直鎖状若しくは分岐状アルコキシ基が好ましい。  
Ｘとしてのハロゲン原子は、塩素原子若しくはフッ素原子が好ましい。  
ｍは、０又は１が好ましい。  
特に、一般式（２Ａ）において、ｍが１、Ｘがメチル基であり、Ｘの置換位置がオルトである化合物が好ましい。