【手続補正書】
【提出日】平成22年2月25日(2010.2.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、圧電基板を用いて、サポート台座を備えた圧電振動デバイスを製造する技術に関する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
特許文献１に開示される圧電振動片は、パッケージベースにサポート台座を介して保持されている。つまり、特許文献１は、サポート台座を備えることで圧電振動片がベースに固定される際の応力や、パッケージングの際の応力が圧電振動片にかかるのを抑制している技術を開示している。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
第１の観点の圧電デバイスは、外部電極に導通する第１接続電極を有するベースと、第１面に第１接続と接続する第２接続電極と、第１面の反対面に形成されて第２接続電極と導通する第３接続電極とを有しベース上に固定されるサポート材と、励振電極を有するとともに第３接続電極に塗布された接着剤を介してサポート部材に固定される圧電振動片とを備えている。そして、圧電デバイスは接着材が圧電振動片の所定領域に広がらないように、第３接続電極の所定方向に凹み部が形成されている。
この構成により、接着剤が多く塗布された場合であっても、接着剤が凹み部に流れ落ちる。したがって圧電振動片の励振電極側に接着剤が広がることがない。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
ＡＴカットは、結晶軸（ＸＹＺ）のＹ軸に対して、主面（ＹＺ面）がＸ軸を中心としてＺ軸からＹ軸方向に３５度１５分傾斜した切断角度である。以降、ＡＴカット水晶振動片の軸方向を表す際には通常、傾斜した新たな軸をＹ´軸及びＺ´軸とし、これらを用いる。図１（ａ）及び（ｂ）に示すように、ＡＴカット水晶振動片４０は、Ｘ方向両端部がベベル、コンベクス等の端面処理がなされ、第１主面に第１励振電極４１及び第２主面に第２励振電極４３を形成している。第１励振電極４１は引出電極４５と接続しており、第２励振電極４３も第２主面側に形成された引出電極４５に接続している。これらに電圧が加えられるとＡＴカット水晶振動片４０は所定の周波数で振動する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
ベース３は例えばセラミックからなり、複数枚のセラミックシートを積層して箱状になった状態で焼結される。ベース３の内面底部には第１接続電極３５が形成され、ベース３の外側底部には外部電極３１が形成される。第１接続電極３５と外部電極３１とは導通している。このようなベース３を使用することにより、第１圧電振動デバイス５０は表面実装（ＳＭＤ：Surface Mount Device）できるタイプとなる。ベース３の大きさは、Ｘ方向の長さが５．０ｍｍ程度、Ｚ′方向の長さが３．０ｍｍ程度である。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
サポート台座６ａは矩形形状の水晶からできており、図１（ｂ）に示すように、四隅に凸部６５を形成されている。サポート台座６ａの大きさは、Ｘ方向の長さが３．４ｍｍ程度、Ｚ′方向の長さが１．８ｍｍ程度である。サポート台座６ａの厚み（Ｙ′方向）は約０．１６ｍｍで凸部の高さは０．０６ｍｍ程度である。サポート台座６ａは一対の凸部６５の上面に第３接続電極３７を備え、サポート台座６ａの底面に第２接続電極３６を備える。これら第２接続電極３６及び第３接続電極３７はクロム層の上に金層を重ねた金属層からなり、それぞれが導通している。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
この固定に際しては、例えば、サポート台座６ａはベース３上に塗布した２点の導電性接着剤６２と１点のベース用接着剤６３との上に載置した状態で、導電性接着剤６２とベース用接着剤６３とが硬化させられる。ベース３とＡＴカット水晶振動片４０とサポート台座６ａとは、導電性接着剤６１及び導電性接着剤６２を用いて電気的機械的に接合し、ベース用接着剤６３により接合する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また、図１（ｂ）に示されるように、第１接続電極３５の導電性接着剤６１と第３接続電極３７の導電性接着剤６２の接合位置は、Ｘ方向に距離ＪＬだけ離れている。距離ＪＬは０．５ｍｍ以上取ることが好ましく、ベース３の長さを基準とすると１０パーセント以上離れていることが好ましい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
ベース３は例えばセラミックからなり、ベース３の大きさは、Ｙ方向の長さが５．０ｍｍ程度、Ｘ方向の長さが３．２ｍｍ程度である。また、サポート台座６ａは矩形形状の水晶からできており、図２（ａ）に示すように、四隅に凸部６５を形成されている。サポート台座６ａの大きさは、Ｙ方向の長さが３．４ｍｍ程度、Ｘ方向の長さが１．８ｍｍ程度である。図２（ｂ）に示すサポート台座６ａは二対の凸部６５の上面に第３接続電極３７を備えている。このため、サポート台座６ａの底面に形成された第２接続電極３６は、両側に伸びている。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
第１引出電極２３ａ及び第２引出電極２５ａはベース３の外部電極３１と電気的に接続される。図２で説明した方法ではなく、導電性接着剤６１に非導電性接着剤を使い、第３接続電極３７と音叉型水晶振動片２０がワイヤーボンディングで接続することで、音叉型水晶振動片２０がベース３の外部電極３１に導通するように構成してもよい。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
第１接続電極３５と第３接続電極３７との距離ＪＬが近すぎると、音叉型水晶振動片２０をベース３に装着する際の導電性接着剤６１、導電性接着剤６２及びベース用接着剤６３の本硬化時に生じる歪応力を音叉型水晶振動片２０が受けやすくなる。第１接続電極３５と第３接続電極３７との距離ＪＬを十分に取ることにより、歪応力を緩和することができる。距離ＪＬは０．５ｍｍ以上取ることが好ましい。距離ＪＬが０．５ｍｍ以上であれば、周波数の変化量に違いがあるが大きな変化はない。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
図６は、凸部６５を形成したサポート台座６ａと凸部なしのサポート台座１０６を用いた第１圧電振動デバイス５０のＤＬＤ(Drive level dependency、励振レベル依存性)特性を比較したグラフである。横軸は、第１圧電振動デバイス５０に５０μＡから電流を最大５ｍＡまで与え再び５０μＡに戻した際に、最初の５０μＡ時のＣＩ値と５０μＡに戻した際のＣＩ値との差異を示す△ＣＩ値である。縦軸はデバイスの個数を示している。なお、第１圧電振動デバイス５０を製造するに際して、特にディスペンサーから導電性接着剤６１が多く塗布されるように制御しておらず、適正量の導電性接着剤６１が塗布するようにした。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
１２０個の第１圧電振動デバイス５０に対して、個々に５０μＡから５０ｍＡの電流を流し再び５０μＡに戻した。変動した△ＣＩ値は０．２Ωが７１個と多くほとんどの第１圧電振動デバイス５０は、△ＣＩ値が０．４Ω以下であった。
一方、凸部加工なしのサポート台座１０６を用いた１２０個の圧電振動デバイスに対しても同じ電流を流した。凸部加工なしのサポート台座１０６を用いた１２０個の圧電振動デバイスは、０．２Ωから０．９Ωの範囲でばらついており、全体の平均も悪くばらつきも大きい。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
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【手続補正１５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
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