【手続補正書】
【提出日】平成22年6月15日(2010.6.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
図形の描画に供されるランレングスデータの欠陥を検査する欠陥検査装置であって、
描画すべき図形を記述した入力データを取得する入力データ取得手段と、
前記入力データがＲＩＰ処理されることによって取得された前記ランレングスデータを取得するランレングスデータ取得手段と、
前記入力データと前記ランレングスデータとを比較して、差異領域がある場合に当該差異領域を前記ランレングスデータの欠陥領域として検出する欠陥検出手段と、
前記ランレングスデータに前記欠陥領域が検出された場合に、当該欠陥領域を修復して修復ランレングスデータを取得する修復手段と、
を備えることを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の欠陥検査装置であって、
前記欠陥検出手段が、
前記入力データと前記ランレングスデータとのうちの少なくとも一方のデータに対して所定の変換処理を実行して両データを互いに比較可能なデータ形式に揃えるデータ形式変換手段、
を備えることを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項３】
請求項２に記載の欠陥検査装置であって、
前記データ形式変換手段が、
前記ランレングスデータに図形化処理を実行して、前記ランレングスデータを図形化した図形化ランレングスデータを取得する図形化手段、
を備え、
前記欠陥検出手段が、
前記図形化ランレングスデータと前記入力データとの排他的論理和を演算することによって、前記差異領域を特定した差異領域データを取得する差異領域特定手段、
をさらに備えることを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項４】
請求項３に記載の欠陥検査装置であって、
前記欠陥検出手段が、
前記差異領域データと前記図形化ランレングスデータとの論理積を演算することによって、前記ランレングスデータにおいて前記入力データが存在しないのにランデータが生成されている領域である余分欠陥領域を特定する余分欠陥領域特定手段、
をさらに備えることを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項５】
請求項３または４に記載の欠陥検査装置であって、
前記欠陥検出手段が、
前記差異領域データと前記入力データとの論理積を演算することによって、前記ランレングスデータにおいて前記入力データが存在するのにランデータが生成されていない領域である欠落欠陥領域を特定する欠落欠陥領域特定手段、
をさらに備えることを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項６】
請求項２に記載の欠陥検査装置であって、
前記データ形式変換手段が、
前記ランレングスデータに図形化処理を実行して、前記ランレングスデータを図形化した図形化ランレングスデータを取得する図形化手段、
を備え、
前記欠陥検出手段が、
前記図形化ランレングスデータにより規定される図形領域から、前記入力データにより規定される図形領域を差し引いて第１の差分領域データを取得する第１差分領域取得手段と、
前記第１の差分領域データにおける正の値の領域を抽出することによって、前記ランレングスデータにおいて前記入力データが存在しないのにランデータが生成されている領域である余分欠陥領域を特定する余分欠陥領域特定手段、
をさらに備えることを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項７】
請求項２に記載の欠陥検査装置であって、
前記データ形式変換手段が、
前記ランレングスデータに図形化処理を実行して、前記ランレングスデータを図形化した図形化ランレングスデータを取得する図形化手段、
を備え、
前記欠陥検出手段が、
前記入力データにより規定される図形領域から、前記図形化ランレングスデータにより規定される図形領域を差し引いて第２の差分領域データを取得する第２差分領域取得手段と、
前記第２の差分領域データにおける正の値の領域を抽出することによって、前記ランレングスデータにおいて前記入力データが存在するのにランデータが生成されていない領域である欠落欠陥領域を特定する欠落欠陥領域特定手段、
をさらに備えることを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項８】
請求項３に記載の欠陥検査装置であって、
前記欠陥検出手段が、
前記差異領域データにより規定される図形領域から、前記入力データにより規定される図形領域を差し引いて第１の差異差分領域データを取得する第１差異差分領域取得手段と、
前記第１の差異差分領域データにおける正の値の領域を抽出することによって、前記ランレングスデータにおいて前記入力データが存在しないのにランデータが生成されている領域である余分欠陥領域を特定する余分欠陥領域特定手段、
をさらに備えることを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項９】
請求項３に記載の欠陥検査装置であって、
前記欠陥検出手段が、
前記差異領域データにより規定される図形領域から、前記図形化ランレングスデータにより規定される図形領域を差し引いて第２の差異差分領域データを取得する第２差異差分領域取得手段と、
前記第２の差異差分領域データにおける正の値の領域を抽出することによって、前記ランレングスデータにおいて前記入力データが存在するのにランデータが生成されていない領域である欠落欠陥領域を特定する欠落欠陥領域特定手段、
をさらに備えることを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項１０】
請求項２に記載の欠陥検査装置であって、
前記データ形式変換手段が、
前記ランレングスデータに第１の画像化処理を実行して、前記ランレングスデータを画像化した画像化ランレングスデータを取得するランレングスデータ画像化手段と、
前記入力データに第２の画像化処理を実行して、前記入力データを画像化した画像化入力データを取得する入力データ画像化手段と、
を備え、
前記欠陥検出手段が、
前記画像化ランレングスデータと前記画像化入力データとを画素単位で比較することによって、前記差異領域を特定する差異領域特定手段、
をさらに備えることを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の欠陥検査装置であって、
前記差異領域特定手段が、
前記画像化ランレングスデータと前記画像化入力データとを画素単位で比較して、前記画像化ランレングスデータにのみ画素が存在する領域を、前記ランレングスデータにおいて前記入力データが存在しないのにランデータが生成されている領域である余分欠陥領域として特定することを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項１２】
請求項１０または１１に記載の欠陥検査装置であって、
前記差異領域特定手段が、
前記画像化ランレングスデータと前記画像化入力データとを画素単位で比較して、前記画像化入力データにのみ画素が存在する領域を、前記ランレングスデータにおいて前記入力データが存在するのにランデータが生成されていない領域である欠落欠陥領域として特定することを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項１３】
請求項２に記載の欠陥検査装置であって、
前記データ形式変換手段が、
前記入力データに座標値化処理を実行して、前記入力データに含まれる１以上の図形のそれぞれを座標値の集合によって記述した座標値化入力データを取得する入力データ座標値化手段、
を備え、
前記欠陥検出手段が、
前記ランレングスデータに含まれる複数のランの始点および終点の位置と、前記座標値化入力データに含まれる複数の座標値のうちの所定の座標値とを比較することによって、前記ランレングスデータにおいて前記入力データが存在しないのにランデータが生成されている領域である余分欠陥領域と、前記ランレングスデータにおいて前記入力データが存在するのにランデータが生成されていない領域である欠落欠陥領域とをそれぞれ特定する差異領域特定手段、
をさらに備えることを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項１４】
請求項４、６、８、１１および１３のいずれかに記載の欠陥検査装置であって、
前記余分欠陥領域が特定された場合に、前記ランレングスデータにおける前記余分欠陥領域に生成されているランデータを削除する余分欠陥修復手段、
を備えることを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項１５】
請求項５、７、９、１２および１３のいずれかに記載の欠陥検査装置であって、
前記欠落欠陥領域が特定された場合に、前記ランレングスデータにおける前記欠落欠陥領域に新たにランデータを生成する欠落欠陥修復手段、
を備えることを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項１６】
請求項１から１５のいずれかに記載の欠陥検査装置であって、
前記入力データが基板に描画すべきパターンのＣＡＤデータであり、
前記ランレングスデータが、基板に前記パターンを描画するのに供されることを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項１７】
コンピュータによって実行されることにより、前記コンピュータに、
描画すべき図形を記述した入力データを取得する入力データ取得機能と、
前記入力データがＲＩＰ処理されることによって取得されたランレングスデータを取得するランレングスデータ取得機能と、
前記入力データと前記ランレングスデータとを比較して、差異領域がある場合に当該差異領域を前記ランレングスデータの欠陥領域として検出する欠陥検出機能と、
前記ランレングスデータに前記欠陥領域が検出された場合に、当該欠陥領域を修復して修復ランレングスデータを取得する修復機能と、
を実現させることができる欠陥検査プログラム。
【請求項１８】
ランレングスデータに基づいて出力媒体に対する図形の描画を行う図形描画装置であって、
描画すべき図形を記述した入力データを取得する入力データ取得手段と、
前記入力データがＲＩＰ処理されることによって取得された前記ランレングスデータを取得するランレングスデータ取得手段と、
前記入力データと前記ランレングスデータとを比較して、差異領域がある場合に当該差異領域を前記ランレングスデータの欠陥領域として検出する欠陥検出手段と、
前記ランレングスデータに前記欠陥領域が検出された場合に、当該欠陥領域を修復して修復ランレングスデータを取得する修復手段と、
前記ランレングスデータに前記欠陥領域が検出された場合には、前記修復ランレングスデータを描画用ランレングスデータとして取得し、前記ランレングスデータに前記欠陥領域が検出されなかった場合には、前記ランレングスデータをそのまま描画用ランレングスデータとして取得する描画用ランレングスデータ取得手段と、
前記描画用ランレングスデータに基づいて、前記出力媒体に図形を描画する描画手段と、
を備えることを特徴とする図形描画装置。
【請求項１９】
請求項１８に記載の図形描画装置であって、
前記入力データが基板に描画すべきパターンのＣＡＤデータであり、
前記描画手段が、前記ＣＡＤデータがＲＩＰ処理されることによって取得された前記ランレングスデータに基づいて基板に前記パターンを描画することを特徴とする図形描画装置。
【請求項２０】
ランレングスデータに基づいて出力媒体に対する図形の描画を行う図形描画システムであって、
前記ランレングスデータの欠陥を検査する欠陥検査装置と、
前記欠陥検査装置から描画用ランレングスデータを取得し、前記描画用ランレングスデータに基づいて前記出力媒体に図形を描画する描画装置と、
を備え、
前記欠陥検査装置が、
描画すべき図形を記述した入力データを取得する入力データ取得手段と、
前記入力データがＲＩＰ処理されることによって取得された前記ランレングスデータを取得するランレングスデータ取得手段と、
前記入力データと前記ランレングスデータとを比較して、差異領域がある場合に当該差異領域を前記ランレングスデータの欠陥領域として検出する欠陥検出手段と、
前記ランレングスデータに前記欠陥領域が検出された場合に、当該欠陥領域を修復して修復ランレングスデータを取得する修復手段と、
前記ランレングスデータに前記欠陥領域が検出された場合には、前記修復ランレングスデータを描画用ランレングスデータとして取得し、前記ランレングスデータに前記欠陥領域が検出されなかった場合には、前記ランレングスデータをそのまま描画用ランレングスデータとして取得する描画用ランレングスデータ取得手段と、
前記描画用ランレングスデータを前記描画装置に送信する描画用ランレングスデータ送信手段と、
を備えることを特徴とする図形描画システム。
【請求項２１】
請求項２０に記載の図形描画システムであって、
前記入力データが基板に描画すべきパターンのＣＡＤデータであり、
前記描画装置が、前記ＣＡＤデータがＲＩＰ処理されることによって取得された前記ランレングスデータに基づいて基板に前記パターンを描画することを特徴とする図形描画システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
請求項１の発明は、図形の描画に供されるランレングスデータの欠陥を検査する欠陥検査装置であって、描画すべき図形を記述した入力データを取得する入力データ取得手段と、前記入力データがＲＩＰ処理されることによって取得された前記ランレングスデータを取得するランレングスデータ取得手段と、前記入力データと前記ランレングスデータとを比較して、差異領域がある場合に当該差異領域を前記ランレングスデータの欠陥領域として検出する欠陥検出手段と、前記ランレングスデータに前記欠陥領域が検出された場合に、当該欠陥領域を修復して修復ランレングスデータを取得する修復手段と、を備える。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
請求項２の発明は、請求項１に記載の欠陥検査装置であって、前記欠陥検出手段が、前記入力データと前記ランレングスデータとのうちの少なくとも一方のデータに対して所定の変換処理を実行して両データを互いに比較可能なデータ形式に揃えるデータ形式変換手段、を備える。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
請求項３の発明は、請求項２に記載の欠陥検査装置であって、前記データ形式変換手段が、前記ランレングスデータに図形化処理を実行して、前記ランレングスデータを図形化した図形化ランレングスデータを取得する図形化手段、を備え、前記欠陥検出手段が、前記図形化ランレングスデータと前記入力データとの排他的論理和を演算することによって、前記差異領域を特定した差異領域データを取得する差異領域特定手段、をさらに備える。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
請求項４の発明は、請求項３に記載の欠陥検査装置であって、前記欠陥検出手段が、前記差異領域データと前記図形化ランレングスデータとの論理積を演算することによって、前記ランレングスデータにおいて前記入力データが存在しないのにランデータが生成されている領域である余分欠陥領域を特定する余分欠陥領域特定手段、をさらに備える。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
請求項５の発明は、請求項３または４に記載の欠陥検査装置であって、前記欠陥検出手段が、前記差異領域データと前記入力データとの論理積を演算することによって、前記ランレングスデータにおいて前記入力データが存在するのにランデータが生成されていない領域である欠落欠陥領域を特定する欠落欠陥領域特定手段、をさらに備える。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
請求項６の発明は、請求項２に記載の欠陥検査装置であって、前記データ形式変換手段が、前記ランレングスデータに図形化処理を実行して、前記ランレングスデータを図形化した図形化ランレングスデータを取得する図形化手段、を備え、前記欠陥検出手段が、前記図形化ランレングスデータにより規定される図形領域から、前記入力データにより規定される図形領域を差し引いて第１の差分領域データを取得する第１差分領域取得手段と、前記第１の差分領域データにおける正の値の領域を抽出することによって、前記ランレングスデータにおいて前記入力データが存在しないのにランデータが生成されている領域である余分欠陥領域を特定する余分欠陥領域特定手段、をさらに備える。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
請求項７の発明は、請求項２に記載の欠陥検査装置であって、前記データ形式変換手段が、前記ランレングスデータに図形化処理を実行して、前記ランレングスデータを図形化した図形化ランレングスデータを取得する図形化手段、を備え、前記欠陥検出手段が、前記入力データにより規定される図形領域から、前記図形化ランレングスデータにより規定される図形領域を差し引いて第２の差分領域データを取得する第２差分領域取得手段と、前記第２の差分領域データにおける正の値の領域を抽出することによって、前記ランレングスデータにおいて前記入力データが存在するのにランデータが生成されていない領域である欠落欠陥領域を特定する欠落欠陥領域特定手段、をさらに備える。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
請求項８の発明は、請求項３に記載の欠陥検査装置であって、前記欠陥検出手段が、前記差異領域データにより規定される図形領域から、前記入力データにより規定される図形領域を差し引いて第１の差異差分領域データを取得する第１差異差分領域取得手段と、前記第１の差異差分領域データにおける正の値の領域を抽出することによって、前記ランレングスデータにおいて前記入力データが存在しないのにランデータが生成されている領域である余分欠陥領域を特定する余分欠陥領域特定手段、をさらに備える。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
請求項９の発明は、請求項３に記載の欠陥検査装置であって、前記欠陥検出手段が、前記差異領域データにより規定される図形領域から、前記図形化ランレングスデータにより規定される図形領域を差し引いて第２の差異差分領域データを取得する第２差異差分領域取得手段と、前記第２の差異差分領域データにおける正の値の領域を抽出することによって、前記ランレングスデータにおいて前記入力データが存在するのにランデータが生成されていない領域である欠落欠陥領域を特定する欠落欠陥領域特定手段、をさらに備える。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
請求項１０の発明は、請求項２に記載の欠陥検査装置であって、前記データ形式変換手段が、前記ランレングスデータに第１の画像化処理を実行して、前記ランレングスデータを画像化した画像化ランレングスデータを取得するランレングスデータ画像化手段と、前記入力データに第２の画像化処理を実行して、前記入力データを画像化した画像化入力データを取得する入力データ画像化手段と、を備え、前記欠陥検出手段が、前記画像化ランレングスデータと前記画像化入力データとを画素単位で比較することによって、前記差異領域を特定する差異領域特定手段、をさらに備える。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
請求項１１の発明は、請求項１０に記載の欠陥検査装置であって、前記差異領域特定手段が、前記画像化ランレングスデータと前記画像化入力データとを画素単位で比較して、前記画像化ランレングスデータにのみ画素が存在する領域を、前記ランレングスデータにおいて前記入力データが存在しないのにランデータが生成されている領域である余分欠陥領域として特定する。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
請求項１２の発明は、請求項１０または１１に記載の欠陥検査装置であって、前記差異領域特定手段が、前記画像化ランレングスデータと前記画像化入力データとを画素単位で比較して、前記画像化入力データにのみ画素が存在する領域を、前記ランレングスデータにおいて前記入力データが存在するのにランデータが生成されていない領域である欠落欠陥領域として特定する。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
請求項１３の発明は、請求項２に記載の欠陥検査装置であって、前記データ形式変換手段が、前記入力データに座標値化処理を実行して、前記入力データに含まれる１以上の図形のそれぞれを座標値の集合によって記述した座標値化入力データを取得する入力データ座標値化手段、を備え、前記欠陥検出手段が、前記ランレングスデータに含まれる複数のランの始点および終点の位置と、前記座標値化入力データに含まれる複数の座標値のうちの所定の座標値とを比較することによって、前記ランレングスデータにおいて前記入力データが存在しないのにランデータが生成されている領域である余分欠陥領域と、前記ランレングスデータにおいて前記入力データが存在するのにランデータが生成されていない領域である欠落欠陥領域とをそれぞれ特定する差異領域特定手段、をさらに備える。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
請求項１４の発明は、請求項４、６、８、１１および１３のいずれかに記載の欠陥検査装置であって、前記余分欠陥領域が特定された場合に、前記ランレングスデータにおける前記余分欠陥領域に生成されているランデータを削除する余分欠陥修復手段、を備える。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
請求項１５の発明は、請求項５、７、９、１２および１３のいずれかに記載の欠陥検査装置であって、前記欠落欠陥領域が特定された場合に、前記ランレングスデータにおける前記欠落欠陥領域に新たにランデータを生成する欠落欠陥修復手段、を備える。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
請求項１６の発明は、請求項１から１５のいずれかに記載の欠陥検査装置であって、前記入力データが基板に描画すべきパターンのＣＡＤデータであり、前記ランレングスデータが、基板に前記パターンを描画するのに供される。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
請求項１７の発明は、コンピュータによって実行されることにより、前記コンピュータに、描画すべき図形を記述した入力データを取得する入力データ取得機能と、前記入力データがＲＩＰ処理されることによって取得されたランレングスデータを取得するランレングスデータ取得機能と、前記入力データと前記ランレングスデータとを比較して、差異領域がある場合に当該差異領域を前記ランレングスデータの欠陥領域として検出する欠陥検出機能と、前記ランレングスデータに前記欠陥領域が検出された場合に、当該欠陥領域を修復して修復ランレングスデータを取得する修復機能と、を実現させる。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
請求項１８の発明は、ランレングスデータに基づいて出力媒体に対する図形の描画を行う図形描画装置であって、描画すべき図形を記述した入力データを取得する入力データ取得手段と、前記入力データがＲＩＰ処理されることによって取得された前記ランレングスデータを取得するランレングスデータ取得手段と、前記入力データと前記ランレングスデータとを比較して、差異領域がある場合に当該差異領域を前記ランレングスデータの欠陥領域として検出する欠陥検出手段と、前記ランレングスデータに前記欠陥領域が検出された場合に、当該欠陥領域を修復して修復ランレングスデータを取得する修復手段と、前記ランレングスデータに前記欠陥領域が検出された場合には、前記修復ランレングスデータを描画用ランレングスデータとして取得し、前記ランレングスデータに前記欠陥領域が検出されなかった場合には、前記ランレングスデータをそのまま描画用ランレングスデータとして取得する描画用ランレングスデータ取得手段と、前記描画用ランレングスデータに基づいて、前記出力媒体に図形を描画する描画手段と、を備える。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
請求項１９の発明は、請求項１８に記載の図形描画装置であって、前記入力データが基板に描画すべきパターンのＣＡＤデータであり、前記描画手段が、前記ＣＡＤデータがＲＩＰ処理されることによって取得された前記ランレングスデータに基づいて基板に前記パターンを描画する。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
請求項２０の発明は、ランレングスデータに基づいて出力媒体に対する図形の描画を行う図形描画システムであって、前記ランレングスデータの欠陥を検査する欠陥検査装置と、前記欠陥検査装置から描画用ランレングスデータを取得し、前記描画用ランレングスデータに基づいて前記出力媒体に図形を描画する描画装置と、を備え、前記欠陥検査装置が、描画すべき図形を記述した入力データを取得する入力データ取得手段と、前記入力データがＲＩＰ処理されることによって取得された前記ランレングスデータを取得するランレングスデータ取得手段と、前記入力データと前記ランレングスデータとを比較して、差異領域がある場合に当該差異領域を前記ランレングスデータの欠陥領域として検出する欠陥検出手段と、前記ランレングスデータに前記欠陥領域が検出された場合に、当該欠陥領域を修復して修復ランレングスデータを取得する修復手段と、前記ランレングスデータに前記欠陥領域が検出された場合には、前記修復ランレングスデータを描画用ランレングスデータとして取得し、前記ランレングスデータに前記欠陥領域が検出されなかった場合には、前記ランレングスデータをそのまま描画用ランレングスデータとして取得する描画用ランレングスデータ取得手段と、前記描画用ランレングスデータを前記描画装置に送信する描画用ランレングスデータ送信手段と、を備える。
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
請求項２１の発明は、請求項２０に記載の図形描画システムであって、前記入力データが基板に描画すべきパターンのＣＡＤデータであり、前記描画装置が、前記ＣＡＤデータがＲＩＰ処理されることによって取得された前記ランレングスデータに基づいて基板に前記パターンを描画する。
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
請求項１〜２１に記載の発明によると、ＲＩＰ処理前後のデータ、すなわち、入力データとランレングスデータとを比較することによって、ランレングスデータの欠陥を検出するので、ランレングスデータに基づく描画を実行しなくても、ランレングスデータに生じている欠陥を検出することができる。また、ランレングスデータに欠陥が検出された場合に、当該欠陥を修復するので、欠陥のないランレングスデータを取得することができる。
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
特に、請求項１６に記載の発明によると、ランレングスデータに基づいて基板に対するパターンの描画を実行する前に、ランレングスデータに生じている欠陥を検出することができる。したがって、欠陥のあるランレングスデータに基づいて基板に対する描画処理が実行されて無駄な試料が生じてしまう、といった事態を未然に防止することができる。
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
特に、請求項１８〜２１に記載の発明によると、ランレングスデータに欠陥が検出された場合には、修復ランレングスデータに基づいて図形の描画を実行する。したがって、欠陥の修復されたランレングスデータに基づいて正しく図形の描画を実行することができる。
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６６】
〔第１の変形例〕
上記の第１の形態に係る欠陥検出部３３は、余分欠陥領域特定部３３３、欠落欠陥領域特定部３３４のそれぞれが、差異領域データＤ３と比較ランレングスデータＦ２との論理積、差異領域データＤ３と比較ＣＡＤデータＦ１との論理積をそれぞれ演算して、余分欠陥領域Ａｅ、欠落欠陥領域Ａｆをそれぞれ特定する余分欠陥領域データＤ３ａ、欠落欠陥領域データＤ３ｂと取得している（図３，図４参照）が、次の態様で各データＳ３ａ，Ｄ３ｂを取得してもよい。