(57)【要約】  【課題】  ＤＶＤ、ＣＤなどの光ディスクを、蓋の裏側に保持してディスクの取り替え作業が容易に行うことができ、内部に設けられた研磨具を回転させて研磨が可能な研磨装置１を提供する。  【解決手段】  上記の課題を解決するため、モータの回転力によって回転する研磨具２０、２１、２２と、モータの回転動力によって回転するディスク押さえ部材１９とが設けられ、研磨装置１を閉じた状態にすると、研磨対象とディスク押さえ部材１９に接触する。そして、モータを回転させると、研磨具２０、２１、２２と研磨対象９０が回転する。また、ディスク押さえ部材１９によって、研磨対象の中心孔から研磨粉が浸入するのを防ぐ。【選択図】  図１
2005122819.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体部と開閉可能な蓋部とが設けられた容器部材と、前記蓋部の内側に取り付けられ、研磨対象であるディスクを回転可能に保持することができるディスク保持部材と、本体部の内部に配置されディスク保持部材に対して進退可能であって容器部材を閉じた状態で前進するとディスクとの接触が可能となる研磨具とを有し、前記研磨具をモータの回転力によって回転してディスクの研磨を行うことのできる研磨装置において、前記モータの回転動力によって回転するディスク押さえ部材が設けられ、容器部材を閉じた状態では前記ディスク押さえ部材はディスクと接触してモータの回転動力によりディスクが回転することを特徴とするディスク研磨装置。
【請求項２】
前記ディスク保持部材は回転中心に位置する突起部が設けられて、前記突起部は研磨対象に設けられた中心孔に挿入することが可能であって前記中心孔に突起部を挿入して研磨対象を保持するものであり、容器部材を閉じた状態ではディスク押さえ部材は前記中心孔を覆うように研磨対象に接触するものであることを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
【請求項３】
研磨具の回転速度とディスク押さえ部材と回転速度とが同じであることを特徴とする請求項１又は２に記載のディスク研磨装置。
【請求項４】
前記ディスク押さえ部材の回転軸はモータに連結され、かつ、第１の歯車を有しており、前記研磨具の回転軸には第２の歯車が設けられて、第１の歯車と第２の歯車とがかみ合っているものであることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のディスク研磨装置。
【請求項５】
前記容器部材を閉じた状態では、研磨具は容器部材の内部に形成される研磨空間に配置され、研磨空間から外部に排出する排出手段が設けられていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のディスク研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はディスクの表面を研磨する装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、光ディスクなどと呼ばれている記録媒体が用いられている。この光ディスクは主として円盤状であり、ＣＤ（コンパクトディスク）、ＤＶＤ（デジタルビデオディスク）などの形式がある。さらに、光ディスクには、データの読み取りのみが可能なタイプ、データの書き込みと読み取りができるタイプ、データの書き込み及び読み取りができてさらにデータを消去した部分に再度書き込みできるタイプなど、様々な形式の光ディスクが存在する。
そして、この光ディスクは、用途（映像、音楽、コンピュータ用のデータ）になど応じて使い分けられている。
【０００３】
これらの光ディスクは、レーザ光などの光をディスクの表面に当て、この光の反射等を検出して記録された情報を読み取るものである。そして、光ディスクは、内部に設けられた円盤状の記録部分をアクリル系樹脂やポリカーボネイト系樹脂などの透明な樹脂で覆っている。また、光ディスクの表面は外部から記録部分に光を正確な位置に当てるために平滑である。
【０００４】
しかしながら、使用や持ち運びの際、表面に傷が付く場合ある。かかる場合には、データの読込の際に内部のデータの読み取りにエラーが生じたり、読み取り不能になってしまう。
このため、研磨装置を用いて光ディスクの表面を研磨することにより、このようなディスクの読み取りを可能することができる。そして、この研磨装置として、例えば、下記の特許文献１に記載されているディスク研磨機等が用いられている。
【特許文献１】特開２００２−８６３３８号公報
【０００５】
そして、特許文献１に記載のディスク研磨装置では、ディスクは蓋の裏側に回転可能に保持し、蓋をした状態で研磨面を下向きとし、ディスクの下側に配置された研磨具を上側に向かって接触させる。そして、研磨具を回転させ、研磨具とディスクの摩擦力によりディスクが回転して、ディスク全体を研磨することができる。また、ディスクの保持は蓋の裏側であるので、蓋を開いた状態でディスクの取り替え作業がしやすい。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記した研磨装置では、研磨具とディスクの摩擦力によりディスクが回転するので、摩擦力を大きく、すなわち、押しつけ力を大きくしないと、ディスクが回転しないので摩耗が不必要に大きくなってしまうおそれがあった。また、研磨の進行や表面状態の変化によって摩擦力が変化し、ディスクの回転速度が変化してしまうので、研磨が不安定となることがあった。
【０００７】
また、一般に、上記した光ディスクの表面の傷の方向は、径方向、周方向に関係なくランダムな方向となる。そして、研磨により傷をきれいにするには、傷の方向に対する研磨具の摺動方向は相対角度が大きく、できれば直交する方向が望ましい。
【０００８】
そして、ディスクの回転速度が研磨具の回転速度より遅くなると、図５に示されるように、研磨具１０１の相対的な移動方向が偏ってしまう。すなわち、ディスク１０２の回転速度は小さいと、研磨具１０１とディスク１０２の摺動方向は、研磨具１０１の回転方向（周方向）に近似することとなる。したがって、研磨具１０１の中心付近を通過する部分１０５の研磨方向はディスク１０２の径方向に近くなり、この部分１０５の研磨方向が偏ってしまう。
一方、ディスク１０２の回転速度が研磨具１０１の回転速度に近いと、ディスク１０２の回転により、図６に示されるように、摺動する位置によって研磨具１０１の相対的な移動方向が変化する。
このように、色々な方向に傷がある場合には、研磨方向が変化しやすい後者の方が望ましい。
【０００９】
しかしながら、ディスクは蓋の裏側に保持されているので、ディスクを回転させるためのモータなどを取り付けにくかった。また、蓋にモータを取り付けると蓋が大きくかつ重くなって、蓋の回動操作が行いにくくなる。
【００１０】
そこで、本発明の目的は、蓋の裏側にディスクを保持することにより、ディスクの取り替え作業が容易に行うことができ、研磨がより安定する研磨装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の課題を解決するための請求項１に記載の発明は、本体部と開閉可能な蓋部とが設けられた容器部材と、前記蓋部の内側に取り付けられ、研磨対象であるディスクを回転可能に保持することができるディスク保持部材と、本体部の内部に配置されディスク保持部材に対して進退可能であって容器部材を閉じた状態で前進するとディスクとの接触が可能となる研磨具とを有し、前記研磨具をモータの回転力によって回転してディスクの研磨を行うことのできる研磨装置において、前記モータの回転動力によって回転するディスク押さえ部材が設けられ、容器部材を閉じた状態では前記ディスク押さえ部材はディスクと接触してモータの回転動力によりディスクが回転することを特徴とするディスク研磨装置である。
【００１２】
請求項１に記載の発明によれば、モータの回転動力によって回転するディスク押さえ部材がディスクと接触してモータの回転動力によりディスクが回転するので、単純な構造でディスクを回転させることができ、ディスクの研磨が安定する。
【００１３】
請求項２に記載の発明は、前記ディスク保持部材は回転中心に位置する突起部が設けられて、前記突起部は研磨対象に設けられた中心孔に挿入することが可能であって前記中心孔に突起部を挿入して研磨対象を保持するものであり、容器部材を閉じた状態ではディスク押さえ部材は前記中心孔を覆うように研磨対象に接触するものであることを特徴とする請求項１に記載の研磨装置である。
【００１４】
請求項２に記載の発明によれば、前記ディスク保持部材には、研磨対象の中心孔に挿入することができ、回転中心に位置する突起部が設けられて、容器部材を閉じた状態ではディスク押さえ部材は前記中心孔を覆うように研磨対象に接触するものであるので、中心孔が設けられた研磨対象の研磨に使用することができ、中心孔から研磨粉の浸入を防止することができる。
【００１５】
請求項３に記載の発明は、研磨具の回転速度とディスク押さえ部材と回転速度とが同じであることを特徴とする請求項１又は２に記載のディスク研磨装置である。
【００１６】
請求項３に記載の発明によれば、研磨具の回転速度とディスク押さえ部材と回転速度とが同じであるので、研磨が安定しやすい。
【００１７】
請求項４に記載の発明は、前記ディスク押さえ部材の回転軸はモータに連結され、かつ、第１の歯車を有しており、前記研磨具の回転軸には第２の歯車が設けられて、第１の歯車と第２の歯車とがかみ合っているものであることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のディスク研磨装置である。
【００１８】
請求項４に記載の発明によれば、モータに連結されたディスク押さえ部材の回転軸に第１の歯車が設けられ、研磨具の回転軸には第２の歯車が設けられて、第１の歯車と第２の歯車とがかみ合っているので、モータからの回転動力をディスク押さえ部材及び研磨具に伝えることができる。研磨具の回転軸はモータに直結していないので、モータを上下動させることなく、研磨具を上下動させることができる。
【００１９】
請求項５に記載の発明は、前記容器部材を閉じた状態では、研磨具は容器部材の内部に形成される研磨空間に配置され、研磨空間から外部に排出する排出手段が設けられていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のディスク研磨装置である。
【００２０】
請求項５に記載の発明によれば、研磨空間から外部に排出する排出手段が設けられているので、研磨粉を取り除くことができ、また、研磨によって発生した熱を排出することができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明の研磨装置によれば、ディスクの取り替え作業が容易に行うことができ、研磨がより安定することできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下に、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照しながら説明する。図１は、本実施形態における研磨装置の蓋を開いた状態で示した斜視図である。図２は
研磨装置の蓋を開いた状態で上から見た模式図である。図３は、図２の矢印方向に見た研磨装置の内部の機構を示した模式図である。図４は研磨対象である光ディスクの斜視図である。
【００２３】
本発明の第１の実施形態における研磨装置１は、図１に示されている。研磨装置１には、容器部材１１、ディスク保持部材１５、ディスク押さえ部材１９、研磨具２０、２１、２２及び研磨具回転機構５５が設けられている。
【００２４】
以下に示す実施形態では、研磨装置１を用いて研磨する研磨対象９０は図４に示されるディスクである。具体的には研磨対象９０はＤＶＤであり、２枚の光ディスクを重ねて一体化したものを用いている。なお、研磨対象９０は、これに限られるものでなく、ＣＤなどのディスクであってもよい。
【００２５】
容器部材１１は蓋部１２と本体部１３とが設けられ、蓋部１２はヒンジ部１４を介して本体部１３と回転可能に接続されており、開閉することができる。そして、蓋部１２を閉じると、本体部１３に設けられた研磨空間４０を上側から封鎖することができる。本体部１３には、図１に示されるように、トレイ４１が設けられており、トレイ４１と蓋部１２によって、研磨空間４０が形成される。トレイ４１によって、研磨空間４０と、研磨空間４０の下側に配置されているモータ５６や歯車５８、６５などとが仕切られている。
さらに、ディスク押さえ部材１９、研磨具２０、２１、２２を取り外した状態で、トレイ４１を取り外すことができ、トレイ４１に付着した研磨粉などを取り除く作業がしやすい。
【００２６】
また、本体部１３には操作部３２が外部に露出するように設けられ、操作ボタン３５を操作して研磨装置１の稼働、停止、条件設定などを行うことができ、また、表示部３３が設けられ、条件や作動状況などの確認をすることができる。
【００２７】
図１に示されているように、ディスク保持部材１５は蓋部１２の裏側に設置され、言い換えると研磨空間４０側に設けられている。そして、蓋部１２によって閉じた状態にすると、研磨空間４０の上方に位置する。
【００２８】
図１、図３に示されるように、ディスク保持部材１５は、突起部１６、平面部１７及び軸受け部１８を有している。
突起部１６は平面部１７よりも下向きに突出した部分である。突起部１６の外形は円状であり、外径は図４に示される研磨対象９０の中心孔９１に合わせており、具体的な外径は１５ｍｍである。そして、突起部１６は、一般に用いられているＣＤドライブやＣＤケースの固定構造と同様の構造を採用することができる。そして、突起部１６を研磨対象９０であるＤＶＤの中心孔９１に挿入すると、回転した場合でも確実に保持することができる。
【００２９】
平面部１７は、平面状であって研磨対象９０の外形よりやや大きく、研磨対象９０を保持すると、研磨対象９０の研磨面９２の裏側面９４と接触し、研磨面９２が蓋部１２の内側に向く。そして、研磨の際には、研磨具２０、２１、２２から研磨対象９０に対して受ける上向きの力を支える。平面部１７の材質は、研磨対象９０を傷つけない程度に軟らかいものが用いられている。
【００３０】
軸受け部１８は、平面部１７と蓋部１２との間に位置している。そして、突起部１６と平面部１７とを回転可能としている。軸受け部１８の軸は、突起部１６の外形の円の中心に位置している。
【００３１】
ディスク押さえ部材１９は、図１〜図３に示されるように、全体が筒状の部材であり、上側筒部５０と下側筒部５１とが接続された構造である。
上側筒部５０の材質はゴムである。したがって、研磨対象９０に接触した状態で上側筒部５０が回転すると、それに伴って研磨対象９０が回転する。また、研磨対象９０をディスク保持部材１５に保持して、容器部材１１を閉じると上側筒部５０が研磨対象９０の中心孔９１を覆うように接触する。さらに、上側筒部５０の内側には空間５０ａが設けられており、容器部材１１を閉じると、ディスク保持部材１５の突起部１６が入る。
【００３２】
下側筒部５１は金属製であり、下側筒部５１の下側にはスリット１９ｂと縮径部１９ｃが設けられている。そして、縮径部１９ｃに挿通されるコイル状のばね４２が設けられており、このばね４２によってディスク押さえ部材１９に対して下向きの力が加わると上向きに反発する。
【００３３】
したがって、ディスク押さえ部材１９は、回転力を研磨対象９０に伝達する役割と、研磨対象９０の中心孔９１を塞いで、研磨粉などの異物が境界部９３から浸入することを防止する役割を持っている。
【００３４】
研磨具２０、２１、２２は、図１〜図３に示されている。そして、研磨具２０、２１、２２は上側に円柱状の表面層２０ａ、２１ａ、２２ａが設けられ、下側にそれぞれ支持部４５が設けられている。表面層２０ａ、２１ａ、２２ａは互いに種類の異なるものが用いられている。具体的には、表面層２０ａは比較的粗い研磨材を用いたものであり、表面層２１ａは比較的細かい研磨材を用いたものであり、表面層２２ａはさらに細かい仕上げ用の研磨材が用いられている。
【００３５】
研磨具２０、２１、２２の配置は、ディスク押さえ部材１９の中心を基準として、回転対称の位置に配置されている。したがって、いずれかの研磨具２０、２１、２２の中心とディスク押さえ部材１９の中心とを結ぶ直線は、他の直線となす角は１２０°となる。
【００３６】
支持部４５は、上側に面ファスナーが設けられた円板部４５ａと、円板部４５ａに接続してスリット４５ｂと縮径部４５ｃが設けられた金属製の筒状部４５ｄにより構成されている。そして、円板部４５ａの面ファスナーに表面層２０ａ、２１ａ、２２ａの裏側に設けられている面ファスナーを取り付けることにより、表面層２０ａ、２１ａ、２２ａを支持部４５に固定することができる。したがって、消耗などによって表面層２０ａ、２１ａ、２２ａを取り替える場合には容易に作業することができる。
【００３７】
また、筒状部４５ｄは、ディスク押さえ部材１９の下側筒部５１と同様の構造である。そして、筒状部４５ｄにはスリット４５ｂと縮径部４５ｃを有しており、縮径部４５ｃに挿通されるコイル状のばね４２が設けられ、このばね４２によって支持部４５に対して下向きの力が加わると上向きに反発する。
【００３８】
研磨具回転機構５５は、図３に示されるように、モータ５６、ソレノイド５７、第１の歯車５８、第２の歯車６５、モータ軸棒５９及び軸棒６０が設けられている。
【００３９】
モータ５６は外部の電力により接続されたモータ軸棒５９を回転させることができるものである。モータ５６、モータ軸５９、ディスク保持部材１５の突起部１６と軸受け部１８、ディスク押さえ部材１９の全ての中心軸は同じとなるように配置される。
【００４０】
モータ軸棒５９の上側先端にはピン６２が設けられている。そして、ピン６２をスリット１９ｂに入れながら、モータ軸棒５９の上側先端をディスク押さえ部材１９の下側筒部５１の穴に挿入する。したがって、軸方向の移動を可能としながら、モータ軸棒５９の回転をディスク押さえ部材１９に伝達することができ、ディスク押さえ部材１９の回転軸はモータ軸棒５９となる。
また、モータ軸棒５９には、フランジ部６１を有しており、フランジ部６１の上側にばね４２が配置されている。さらに、モータ軸棒５９には第１の歯車５８が固定されており、モータ軸棒５９の回転によって第１の歯車５８が回転する。
【００４１】
モータ軸棒５９に固定された第１の歯車５８は、第２の歯車６５とかみ合っている。第２の歯車６５は、研磨具２０、２１、２２に対応して設けられており、本実施形態では３枚設けられている。そして、第２の歯車６５に伝えられた回転力は、第２の歯車６５の軸心に設けられている軸棒６０を介して回転を伝達する。
ここで、第１の歯車５８と第２の歯車６５は同じ歯数であり、第１の歯車５８の回転速度と第２の歯車６５の回転速度は同じであり、回転方向は反対向きとなる。なお、第１の歯車５８と第２の歯車６５との歯数を異なるものとして、第１の歯車５８の回転速度と第２の歯車６５の回転速度とを変えることもできる。
【００４２】
具体的には、軸棒６０は研磨具２０、２１、２２に設けられている支持部４５に挿入されている。そして、軸棒６０のピン６６を支持部４５のスリット４５ｂに入れながら、軸棒６０の上側先端を支持部４５の下側の穴に挿入する。そうして、軸方向の移動を可能としながら、軸棒６０の回転を支持部４５に伝達させることができ、研磨具２０、２１、２２に軸棒６０の回転力を伝達することができる。
【００４３】
したがって、モータ５６を回転させると、モータ軸棒５９が回転してディスク押さえ部材１９が回転する一方、第１の歯車５８が回転して、第２の歯車６５、軸棒６０を介して研磨具２０、２１、２２の支持部４５が回転する。
【００４４】
また、第２の歯車６５にはソレノイド５７が連結しており、ソレノイド５７を作動することによって上下に移動させることができる。そして、支持部４５は、ばね４２を介して第２の歯車６５により支えられているので、第２の歯車６５の上昇・下降に合わせて支持部４５が上昇・下降する。そして、ソレノイド５７が上昇して、支持部４５の上部の表面層２０ａ、２１ａ、２２ａが研磨対象９０に接触し、さらにソレノイド５７が上昇するとばね４２が圧縮されソレノイド５７が上昇しても支持部４５は上昇しない。
また、このばね４２の圧縮によって、表面層２０ａ、２１ａ、２２ａと研磨対象９０との接触圧力が所定の値となる。
【００４５】
図３では、ソレノイド５７の状態は、左側に図示したものは上昇位置であり、右側に図示したものは下降状態である。そして、左側のソレノイド５７に接続する研磨具２０が上昇し、研磨具２０の表面層２０ａが研磨対象９０に接触している。また、右側のソレノイド５７に接続する研磨具２１は下降しており、研磨具２１の表面層２１ａが研磨対象９０に接触していない。また、ソレノイド５７の上昇・下降の位置によらず、第１の歯車５８と第２の歯車６５とは常にかみ合っている。
【００４６】
そして、本実施形態では３個のソレノイド５７の内、１個のみが上昇し、他のソレノイド５７は下降する。研磨装置１の使用時における上昇の順番は、研磨具２０に対応するソレノイド５７、研磨具２１に対応するソレノイド５７、研磨具２２に対応するソレノイド５７であり、これは、研磨を行う順番である。
また、ソレノイド５７が上昇する時間は、操作部３２による条件設定により所定の時間に設定することができる。
【００４７】
本実施形態では、ソレノイド５７はモータ５６を上昇させることはないので、比較的小さいソレノイド５７を用いることができる。
【００４８】
また、研磨装置１には図示しない排出手段が設けられている。この排出手段は、研磨空間４０の空気や粉体などを外部へと排出することができるものであり、研磨空間４０につながる管が吸引手段に接続されており、研磨粉や研磨による熱などを外部に排出することができる。
【００４９】
次に、本発明の研磨装置１を用いて、研磨対象９０の研磨面９２を研磨する方法について説明する。
最初に、研磨対象９０をディスク保持部材１５に保持し、蓋部１２により、容器部材１１を閉じる。なお、容器部材１１の閉じた状態を保持するため、蓋部１２には係止部材３０が設けられ、本体部１３には突起部材３１が設けられ、容器部材１１を閉じると突起部材３１が係止部材３０に係止される。
【００５０】
そして、操作部３２の操作ボタン３５を操作して、起動と条件設定とを行う。研磨装置１では、各研磨具２０、２１、２２で研磨を行う時間をそれぞれ任意の時間に設定することができる。なお、この時間は、研磨対象９０の状態などによって設定される。
【００５１】
さらに、操作部３２の操作ボタン３５を操作して研磨を開始する。そうすると、モータ５６が回転する。また、図示しない排出手段も稼働させる。
上記したように、モータ５６が回転すると、モータ軸棒５９が回転してディスク押さえ部材１９が回転する。容器部材１１を閉じた状態では、研磨対象９０とディスク押さえ部材１９の上側筒部５０が接触しているので、ディスク押さえ部材１９の回転に伴って、研磨対象９０が回転する。
そして、研磨対象９０の中心孔９１は、ディスク押さえ部材１９によって覆われているので、研磨粉等が中心孔９１側へと浸入することがない。特に、研磨対象９０は、図４に示されるように２枚重ねで境界部９３があるので、研磨粉がこのディスク同士の間の境界部９３に入り込んで、中心孔９１の内周面から遠心力によって境界部９３から隙間に侵入するのを確実に防止できる。
【００５２】
また、一方で、モータ５６が回転すると、研磨具２０、２１、２２の支持部４５が回転する。そして、この状態で、研磨具２０に対応するソレノイド５７が上昇させる。そうすると、研磨具２０の表面層２０ａが研磨対象９０の研磨面９２に接触する。
【００５３】
そうして、研磨具２０及び研磨対象９０が回転しながら接触することとなり、安定した研磨を行うことができる。
【００５４】
設定時間の経過後、研磨具２０に対応するソレノイド５７が下降して、研磨具２１に対応するソレノイド５７が上昇する。その後、同様にソレノイド５７を上昇・下降させて、所定の時間だけ研磨具２１により研磨し、さらに、所定の時間だけ研磨具２２により研磨する。
【００５５】
全ての研磨が終わると、モータ５６及び排出手段は自動的に停止する。そして、容器部材１１の蓋部１２を開いて、研磨対象９０を取り出す。
【００５６】
研磨装置１を使用すると研磨空間４０が研磨粉などによって汚れるが、本実施形態の研磨装置１では、掃除などが容易である。すなわち、研磨具２０、２１、２２は軸棒６０のピン６６によって回転力を伝えるが、軸方向は容易に移動させることができるので、研磨具２０、２１、２２を上向きに移動させて外して裏側の汚れの除去を容易に行うことができる。また、ディスク押さえ部材１９も同様に、モータ軸棒５９のピン６２よって回転力を伝えるが、軸方向は容易に移動させることができるので、ディスク押さえ部材１９を上向きに移動させて外して裏側の汚れの除去を容易に行うことができる。
【００５７】
なお、上記実施形態においては、研磨具が３つ設置される場合を例に挙げて説明したが、研磨具が１つ、２つ又は４つ以上設置することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本実施形態における研磨装置の蓋を開いた状態で示した斜視図である。
【図２】研磨装置の蓋を開いた状態で上から見た模式図である。
【図３】図２の矢印方向に見た研磨装置の内部の機構を示した模式図である。
【図４】研磨対象である光ディスクの斜視図である。
【図５】ディスクの回転が研磨具の回転に比べて遅い場合の研磨方向を示した模式図である。
【図６】ディスクの回転が研磨具の回転と同じの場合の研磨方向を示した模式図である。
【符号の説明】
【００５９】
１  研磨装置
１１  容器部材
１２  蓋部
１３  本体部
１５  ディスク保持部材
１６  突起部
１９  ディスク押さえ部材
２０、２１、２２  研磨具
４０  研磨空間
５６  モータ
５８  第１の歯車
５９  モータ軸棒
６０  軸棒
６５  第２の歯車
９０  研磨対象
９１  中心孔
【図１】
2005122819.tif 000003
【図２】
2005122819.tif 000004
【図３】
2005122819.tif 000005
【図４】
2005122819.tif 000006
【図５】
2005122819.tif 000007
【図６】
2005122819.tif 000008