【手続補正書】
【提出日】平成22年1月22日(2010.1.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１５】
以下、本発明を実施例によって詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。尚、本実施例に用いたモノマーは、下記の通りである。以下、特に断らない場合は、部は重量部を表す。また、得られた樹脂の平均分子量は、ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィによって算出した。尚、測定条件は下記のとおりである。
カラム：TOSOH TSKgel Multipore HXL-M x 3 + guardcolumn（東ソー社製）
溶離液：テトラヒドロフラン
流量：1.0mm／min
検出器：RI検出器
カラム温度：40℃
注入量：100μl
分子量標準：標準ポリスチレン（東ソー社製）
2007249192.tif 000001
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４１】
実施例１〜２７、比較例１〜１０
以下にＡｒＦ露光の手順と結果を示す。
表１の各成分を記載された比率で混合して溶解し、さらに孔径０．２μｍのフッ素樹脂製フィルターで濾過して、レジスト液を調製した。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４４】
〔表１〕
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
例  No.      樹脂(B)   樹脂(A)    酸発生剤   クエンチャー    溶剤
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実施例１    A8/2.5部   A1/7.5部   P1/0.40部    Q1/0.05部      S1
実施例２    A9/1.0部   A1/9.0部   P1/0.40部    Q1/0.05部      S1
実施例３    A9/2.5部   A1/7.5部   P1/0.40部    Q1/0.05部      S1
実施例４    A4/0.5部   A1/9.5部   P1/0.25部    Q2/0.03部      S2
実施例５    A4/1.0部   A1/9.0部   P1/0.25部    Q2/0.03部      S2
実施例６    A4/2.5部   A1/7.5部   P1/0.25部    Q2/0.03部      S2
実施例７   A19/0.5部  A18/9.5部   P1/0.25部    Q2/0.03部      S2
実施例８   A19/1.0部  A18/9.0部   P1/0.25部    Q2/0.03部      S2
実施例９   A19/2.5部  A18/7.5部   P1/0.25部    Q2/0.03部      S2
実施例１０ A20/0.5部  A18/9.5部   P1/0.25部    Q2/0.03部      S2
実施例１１ A20/1.0部  A18/9.0部   P1/0.25部    Q2/0.03部      S2
実施例１２ A20/2.5部  A18/7.5部   P1/0.25部    Q2/0.03部      S2
実施例１３ A21/0.5部   A2/9.5部   P1/0.25部    Q2/0.03部      S2
実施例１４ A21/1.0部   A2/9.0部   P1/0.25部    Q2/0.03部      S2
実施例１５ A21/2.5部   A2/7.5部   P1/0.25部    Q2/0.03部      S2
実施例１６ A11/1.0部   A3/9.0部   P2/0.75部    Q2/0.08部      S3
実施例１７ A12/1.0部   A3/9.0部   P2/0.75部    Q2/0.08部      S3
実施例１８ A12/3.0部   A3/7.0部   P2/0.75部    Q2/0.08部      S3
実施例１９ A13/1.0部   A3/9.0部   P2/0.75部    Q2/0.08部      S3
実施例２０ A16/0.5部   A3/9.5部   P2/0.75部    Q2/0.08部      S3
実施例２１ A17/1.0部   A3/9.0部   P2/0.75部    Q2/0.08部      S3
実施例２２ A22/0.5部   A3/9.5部   P2/0.75部    Q2/0.08部      S3
実施例２３ A23/0.5部   A3/9.5部   P2/0.75部    Q2/0.08部      S3
実施例２４ A24/1.0部   A3/9.0部   P2/0.75部    Q2/0.08部      S3
実施例２５ A15/2.5部   A2/7.5部   P2/0.50部    Q2/0.06部      S2
実施例２６ A15/1.0部   A2/9.0部   P2/0.50部    Q2/0.06部      S2
実施例２７ A15/0.5部   A2/9.5部   P2/0.50部    Q2/0.06部      S2
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
（樹脂(A)のみ）
比較例１     ――      A1/10部    P1/0.40部    Q1/0.05部      S1
比較例２     ――      A1/10部    P1/0.25部    Q2/0.03部      S2
比較例３     ――     A18/10部    P1/0.25部    Q2/0.03部      S2
比較例４     ――      A2/10部    P1/0.25部    Q2/0.03部      S2
比較例５     ――      A2/10部    P2/0.50部    Q2/0.06部      S2
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
（樹脂(B)のみ）
比較例６     A4/10部     ――     P1/0.25部    Q2/0.03部      S2
比較例７    A19/10部     ――     P1/0.25部    Q2/0.03部      S2
比較例８    A12/10部     ――     P2/0.75部    Q2/0.08部      S3
比較例９    A11/10部     ――     P2/0.75部    Q2/0.08部      S3
比較例１０  A15/10部     ――     P2/0.50部    Q2/0.06部      S2
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【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４５】
〔表２〕
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
例  No.      評価条件  ＰＢ／ＰＥＢ
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
実施例１      Ｈ３      100℃/115℃
実施例２      Ｈ３      100℃/115℃
実施例３      Ｈ３      100℃/115℃
実施例４      Ｈ１      130℃/130℃
実施例５      Ｈ１      130℃/130℃
実施例６      Ｈ１      130℃/130℃
実施例７      Ｈ１      115℃/115℃
実施例８      Ｈ１      115℃/115℃
実施例９      Ｈ１      115℃/115℃
実施例１０    Ｈ１      115℃/115℃
実施例１１    Ｈ１      115℃/115℃
実施例１２    Ｈ１      115℃/115℃
実施例１３    Ｈ１      115℃/115℃
実施例１４    Ｈ１      115℃/115℃
実施例１５    Ｈ１      115℃/115℃
実施例１６    Ｈ２       95℃/ 95℃
実施例１７    Ｈ２       95℃/ 95℃
実施例１８    Ｈ２       95℃/ 95℃
実施例１９    Ｈ２       95℃/ 95℃
実施例２０    Ｈ３       95℃/ 95℃
実施例２１    Ｈ３       95℃/ 95℃
実施例２２    Ｈ３       95℃/ 95℃
実施例２３    Ｈ３       95℃/ 95℃
実施例２４    Ｈ２       95℃/ 95℃
実施例２５    Ｈ１      100℃/105℃
実施例２６    Ｈ１      100℃/105℃
実施例２７    Ｈ１      100℃/105℃
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
（樹脂(A)のみ）
比較例１      Ｈ３      100℃/115℃
比較例２      Ｈ１      130℃/130℃
比較例３      Ｈ１      115℃/115℃
比較例４      Ｈ１      115℃/115℃
比較例５      Ｈ１      100℃/105℃
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
（樹脂(B)のみ）
比較例６      Ｈ１      130℃/130℃
比較例７      Ｈ１      115℃/115℃
比較例８      Ｈ２       95℃/ 95℃
比較例９      Ｈ２       95℃/ 95℃
比較例１０    Ｈ１      100℃/105℃
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４６】
〔表３〕
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
例  No.      実効感度      解像度      パターン    
(mJ/cm2)     (ｎｍ)        形状        
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
実施例２      １６        ８５          ○
実施例４      ２４        ９０          ○
実施例５      ２４        ９０          ○
実施例６      ２４        ９０          ○
実施例７      ２１        ９０          ○
実施例８      ２１        ９０          ○
実施例９      ２１        ９０          ○
実施例１０    １８        ９０          ○
実施例１１    １９        ９０          ○
実施例１２    １８        ９０          ○
実施例１３    ２６        ９０          ○
実施例１４    ２６        ９０          ○
実施例１５    ２４        ９０          ○
実施例１６    ３６        ８５          ○
実施例１７    ３６        ８５          ○
実施例１８    ３４        ８５          ○
実施例１９    ４０        ８５          ○
実施例２０    ３６        ８５          ○
実施例２１    ３５        ８５          ○
実施例２２    ３６        ８５          ○
実施例２３    ３７        ８５          ○
実施例２４    ４１        ８５          ○
実施例２５    ３７        ９０          ○
実施例２６    ３７        ９０          ○
実施例２７    ３７        ９０          ○
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
（樹脂(A)のみ）
比較例１      １６        ８５          ○
比較例２      ２４        ９０          ○
比較例３      ２１        ９０          ○
比較例４      ２７        ９０          ○
比較例５      ３８        ９０          ○
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
（樹脂(B)のみ）
比較例６      解像せず
比較例７      ２２        ９０          ×
比較例８      ３０        ８５          △
比較例９      ２９        ８５          ×
比較例１０    ３７        ９５          ×
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４９】
〔表４〕
━━━━━━━━━━━━━━━━━
例  No.            未露光
後退角    接触角
━━━━━━━━━━━━━━━━━
実施例１      ６０      ７７
実施例２      ５９      ７５
実施例３      ６２      ７９
実施例４      ５８      ７７
実施例５      ６１      ７９
実施例６      ６４      ７９
実施例７      ６３      ７９
実施例８      ６５      ８１
実施例９      ６６      ８２
実施例１０    ６７      ８１
実施例１１    ６８      ８１
実施例１２    ６９      ８２
実施例１３    ６５      ８１
実施例１４    ６７      ８２
実施例１５    ６８      ８１
実施例１６    ６８      ８３
実施例１７    ６３      ８０
実施例１８    ６７      ８１
実施例１９    ６６      ８１
実施例２０    ６０      ７９
実施例２１    ６２      ８０
実施例２２    ６２      ８１
実施例２３    ６１      ８１
実施例２４    ６１      ７９
実施例２５    ７２      ８５
実施例２６    ７４      ８５
実施例２７    ７４      ８６
━━━━━━━━━━━━━━━━━
（樹脂(A)のみ）
比較例１      ５１      ６９
比較例２      ５２      ７０
比較例３      ５７      ７３
比較例４      ５７      ７３
比較例５      ５５      ７４
━━━━━━━━━━━━━━━━━
（樹脂(B)のみ）
比較例６      ６６      ８０
比較例７      ６７      ８１
比較例８      ６８      ８４
比較例９      ６９      ８３
比較例１０    ７５      ８６
━━━━━━━━━━━━━━━━━
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５０】
〔表５〕
━━━━━━━━━━━━━━━━━
例  No.        露光＋ＰＥＢ後
後退角    接触角
━━━━━━━━━━━━━━━━━
実施例４      ５５      ７８
実施例５      ５８      ７９
実施例６      ６１      ８０
実施例７      ５９      ７９
実施例８      ６２      ８２
実施例９      ６２      ８１
━━━━━━━━━━━━━━━━━
（樹脂(A)のみ）
比較例２      ４７      ６９
比較例３      ５２      ７３
━━━━━━━━━━━━━━━━━
（樹脂(B)のみ）    
比較例６      ６２      ８０
比較例７      ６２      ８０
━━━━━━━━━━━━━━━━━
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５１】
実施例２８、比較例１１〜１３
以下に樹脂の１９３ｎｍ波長、および１５７ｎｍ波長での吸光度測定の手順と結果を示す。表６の各成分を記載された比率で混合して溶解し、さらに孔径０．２μｍのフッ素樹脂製フィルターで濾過して、樹脂液を調製した。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５４】
〔表６〕
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
例  No.        樹脂(B)     樹脂(A)    溶剤
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
実施例２８     A11/1.0部   A2/9.0部    S2
比較例１１       ――      A2/9.0部    S2
比較例１２     A11/1.0部     ――      S2
比較例１３     A15/1.0部     ――      S2
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５５】
〔表７〕
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
例  No.                吸光度（１／μｍ）
波長    １９３ｎｍ    １５７ｎｍ
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
実施例２８            ０．４９      ７．０
比較例１１            ０．４５      ７．０
比較例１２            ０．３８      ４．８
比較例１３            ０．４１      ４．７
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５７】
〔表８〕
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
モノマー        ＬｏｇＰ値
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
Ａ            ３．７０
Ｂ            １．５１
Ｃ            ０．５３
Ｄ            ３．７２
Ｅ            １．１６
Ｆ            ０．６９
Ｈ            ４．３５
Ｉ            ３．２４
Ｊ            ３．８９
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５８】
〔表９〕
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
モノマー（組成比）
樹脂  例      Ａ      Ｂ       Ｄ      Ｇ      樹脂のＬｏｇＰ
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
樹脂Ａ８     40.8    35.7    23.5       0.0      ２．９２
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５９】
〔表１０〕
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
樹脂  例        樹脂のＬｏｇＰ
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
樹脂(B)
樹脂Ａ４          ２．９７
樹脂Ａ８          ２．９２
樹脂Ａ９          ３．０３
樹脂Ａ１１        ３．３１
樹脂Ａ１２        ２．８６
樹脂Ａ１３        ３．０３
樹脂Ａ１５        ３．３６
樹脂Ａ１６        ２．５８
樹脂Ａ１９        ２．８７
樹脂Ａ２０        ３．２０
樹脂Ａ２１        ３．２３
樹脂Ａ２２        ２．７５
樹脂Ａ２３        ２．８３
樹脂Ａ２４        ２．４８
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
樹脂(A)
樹脂Ａ１          １．９５
樹脂Ａ２          １．８８
樹脂Ａ３          １．８０
樹脂Ａ１８        １．９４
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━