Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成22年2月12日(2010.2.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
吐出口から液体を吐出するために用いられるエネルギーを発生するエネルギー発生手段と、該エネルギー発生手段の上側に設けられ、前記エネルギー発生手段を保護するためのイリジウムまたは白金からなる保護膜と、が設けられた基板と、前記吐出口と連通する流路の壁を有し、前記基板の前記保護膜が設けられた側と接することで、前記流路を形成する流路構成部材と、を備えたインクジェット記録ヘッドであって、
前記保護膜と前記流路構成部材との間には、チタン、窒化チタン、窒化タンタルおよび窒化クロムの中から選ばれる少なくとも１つの材料からなる無機材料層と、有機材料からなる樹脂材料層とが、前記保護膜、前記無機材料層、前記樹脂材料層、前記流路構成部材の順に接して設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記樹脂材料層は、ポリエーテルアミドからなることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記流路構成部材は、エポキシ樹脂からなることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記基板には、前記エネルギー発生手段を保護するための絶縁性保護膜と、無機材料からなる更なる無機材料層と、が前記エネルギー発生手段と前記保護膜との間に設けられていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記更なる無機材料層が、チタン、窒化チタン、窒化タンタルおよび窒化クロムの中から選ばれる少なくとも１つの材料からなることを特徴とする請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記無機材料層と前記更なる無機材料層とが、同じ材料からなることを特徴とする請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記無機材料層と前記更なる無機材料層とが、チタンからなることを特徴とする請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記無機材料層と前記更なる無機材料層とのうち、一方がチタンからなり、他方が窒化チタンからなることを特徴とする請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】液体吐出ヘッド
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、液体吐出装置に搭載される液体吐出ヘッドに関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明の液体吐出ヘッドは、吐出口から液体を吐出するために用いられるエネルギーを発生するエネルギー発生手段と、該エネルギー発生手段の上側に設けられ、前記エネルギー発生手段を保護するためのイリジウムまたは白金からなる保護膜と、が設けられた基板と、前記吐出口と連通する流路の壁を有し、前記基板の前記保護膜が設けられた側と接することで、前記流路を形成する流路構成部材と、を備えたインクジェット記録ヘッドであって、前記保護膜と前記流路構成部材との間には、チタン、窒化チタン、窒化タンタルおよび窒化クロムの中から選ばれる少なくとも１つの材料からなる無機材料層と、有機材料からなる樹脂材料層とが、前記保護膜、前記無機材料層、前記樹脂材料層、前記流路構成部材の順に接して設けられていることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
有機材料からなる流路構成部材とイリジウムまたは白金からなる保護膜との間に、チタン、窒化チタン、窒化タンタル、窒化クロムの中から選ばれた少なくとも一つの材料からなる無機材料層を入れることにより、液体吐出ヘッドの耐久性を向上させることができる。これにより、ヘッドを構成する部材同士がインクの作用などにより剥離することを防ぎ、かつ、インク等による保護膜の耐久性の劣化を防ぐ。この結果、長期にわたり高い信頼性で良好に動作可能な液体吐出ヘッドを実現することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、電気熱変換素子（エネルギー発生手段）の発熱部上において無機材料層は駆動初期に溶解除去されるため、液体吐出ヘッドの製造工程で絶縁性保護膜上に付着した汚れをともに除去する効果があり、吐出性能の安定化に貢献できるという効果もある。また、無機材料層はパターニングを要さないため、液体吐出ヘッドの製造が簡易となる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
図１に示すように、基板１の表面に、吐出口１１から液体を吐出するために用いられるエネルギーを発生する、発熱抵抗体層２からなるエネルギー発生手段（電気熱変換素子）が形成され、基板裏面側にはマスク３が接合される。基板１の表面には、吐出エネルギー発生手段を保護するための絶縁性保護膜である第１の保護膜４が被着され、さらに、無機材料からなる無機材料層である第１の密着層（更なる密着層）５を介して、保護膜である第２の保護膜６が積層（接合）される。そして、第２の保護膜６上には、第２の密着層（無機材料層）７が形成される。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
一方、有機材料からなる樹脂材料層（樹脂密着層）８を有する流路構成部材１０は、その流路に連通する吐出口１１を有する天板部を備え、樹脂密着層８を介して、基板１上の第２の密着層７に接合される。流路構成部材１０は、吐出口１１に連通する流路の壁を構成する。
【手続補正書】
【提出日】平成22年2月25日(2010.2.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の型のキャビティ内に少なくとも強化繊維基材を配置し、前記キャビティ内に樹脂を注入し硬化させる繊維強化樹脂の製造方法であって、前記強化繊維基材の少なくとも片面に、少なくとも一方の型内表面に直接接触させる表層形成用基材と、該表層形成用基材と前記強化繊維基材との間に位置し前記表層形成用基材との含浸係数比率が１．５〜１０であるメッシュからなる樹脂拡散媒体とを、カバーファクターが９０％〜１００％である少なくとも１枚の織物からなる中間層を介して配置することを特徴とする繊維強化樹脂の製造方法。
【請求項２】
樹脂拡散媒体の少なくとも一端部が、少なくとも一方の隣接層よりも外側に向けて延長されている、請求項１に記載の繊維強化樹脂の製造方法。
【請求項３】
前記樹脂拡散媒体の含浸係数が１×１０−１０ｍ２以上である、請求項１または２に記載の繊維強化樹脂の製造方法。
【請求項４】
前記樹脂拡散媒体の厚みが２００〜２０００μｍである、請求項１〜３のいずれかに記載の繊維強化樹脂の製造方法。
【請求項５】
前記樹脂拡散媒体の少なくとも片面側にコア材を配置し、該コア材の少なくとも樹脂注入側の端部に厚み５０〜２０００μｍの樹脂流動基材を設ける、請求項１〜４のいずれかに記載の繊維強化樹脂の製造方法。
【請求項６】
前記樹脂流動基材の含浸係数が１×１０−１０ｍ２以上である、請求項５に記載の繊維強化樹脂の製造方法。
【請求項７】
前記コア材の少なくとも片面に溝加工が施されている、請求項５または６に記載の繊維強化樹脂の製造方法。
【請求項８】
請求項１〜７に記載の製造方法により得られた繊維強化樹脂が用いられてなるＣＦＲＰ部材。
【請求項９】
自動車用部材として用いられる請求項８に記載のＣＦＲＰ部材。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
すなわち、本発明に係る繊維強化樹脂の製造方法は、一対の型のキャビティ内に少なくとも強化繊維基材を配置し、前記キャビティ内に樹脂を注入し硬化させる繊維強化樹脂の製造方法（つまり、ＲＴＭ成形法による繊維強化樹脂の製造方法）であって、前記強化繊維基材の少なくとも片面に、少なくとも一方の型内表面に直接接触させる表層形成用基材と、該表層形成用基材と前記強化繊維基材との間に位置し前記表層形成用基材との含浸係数比率が１．５〜１０であるメッシュからなる樹脂拡散媒体とを、カバーファクターが９０％〜１００％である少なくとも１枚の織物からなる中間層を介して配置することを特徴とする方法からなる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成22年1月29日(2010.1.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する液体吐出エネルギー発生素子と、液体を吐出する液体吐出口と、該液体吐出口に連通する液体流路と、前記液体吐出エネルギー発生素子を駆動するための電気回路と、外部と電気信号を授受するための第一の電極パッドと、前記電気回路をテストするための第二の電極パッドと、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記第一の電極パッドの一部となる第一の配線層と、前記第二の電極パッドである第二の配線層とが形成された基板を用意する第１工程と、
前記第二の配線層の上に、前記第二の配線層を被覆する保護層を設ける第２工程と、
前記第一の配線層の表面に無電解めっき法により金属膜を形成して前記第一の電極パッドとする第３工程と、
前記第３工程の後に、前記保護層を除去する第４工程と、
前記第４工程の後に、前記第二の配線層の上に、前記第二の配線層を被覆する樹脂からなる層を設ける第５工程と、
を有する液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記第５工程の後に、さらに前記液体流路の壁を形成する部材である流路壁形成部材を前記基板上に設ける第６工程を行うことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記樹脂からなる層は、前記基板と前記流路壁形成部材との密着層として用いられることを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記樹脂からなる層は、熱可塑性のポリエーテルアミド樹脂からなることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記第一の配線層および前記第二の配線層は、それぞれアルミニウムもしくはアルミニウム合金のいずれかからなる請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記金属膜は、前記第一の配線層上に、無電解ニッケル・リン層、無電解置換金層および無電解還元金層をこの順に設けて形成することを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記保護層は、スクリーン印刷によって形成されることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記保護層は、前記金属膜を形成する部分を除いて設けられていることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項９】
液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する液体吐出エネルギー発生素子と、液体を吐出する液体吐出口と、該液体吐出口に連通する液体流路と、前記液体吐出エネルギー発生素子を駆動するための電気回路と、を有する液体吐出ヘッドであって、
第一の配線層、無電解ニッケル・リン層、無電解置換金層および無電解還元金層をこの順に設けて形成される、外部と電気信号を授受するための第一の電極パッドと、
第二の配線層で形成される、前記電気回路をテストするための第二の電極パッドと、
前記第二の配線層の上に樹脂からなる密着層を介して形成される、前記液体流路を形成するための流路壁形成部材と、
を含む液体吐出ヘッド。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明は、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する液体吐出エネルギー発生素子と、液体を吐出する液体吐出口と、該液体吐出口に連通する液体流路と、前記液体吐出エネルギー発生素子を駆動するための電気回路と、外部と電気信号を授受するための第一の電極パッドと、前記電気回路をテストするための第二の電極パッドと、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記第一の電極パッドの一部となる第一の配線層と、前記第二の電極パッドである第二の配線層とが形成された基板を用意する第１工程と、
前記第二の配線層の上に、前記第二の配線層を被覆する保護層を設ける第２工程と、
前記第一の配線層の表面に無電解めっき法により金属膜を形成して前記第一の電極パッドとする第３工程と、
前記第３工程の後に、前記保護層を除去する第４工程と、
前記第４工程の後に、前記第二の配線層の上に、前記第二の配線層を被覆する樹脂からなる層を設ける第５工程と、
を有する液体吐出ヘッドの製造方法である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また本発明は、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する液体吐出エネルギー発生素子と、液体を吐出する液体吐出口と、該液体吐出口に連通する液体流路と、前記液体吐出エネルギー発生素子を駆動するための電気回路と、を有する液体吐出ヘッドであって、
第一の配線層、無電解ニッケル・リン層、無電解置換金層および無電解還元金層をこの順に設けて形成される、外部と電気信号を授受するための第一の電極パッドと、
第二の配線層で形成される、前記電気回路をテストするための第二の電極パッドと、
前記第二の配線層の上に樹脂からなる密着層を介して形成される、前記液体流路を形成するための流路壁形成部材と、
を含む液体吐出ヘッドである。
【手続補正書】
【提出日】平成22年2月24日(2010.2.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
顔料を含むブラックインク１、染料を含むブラックインク２、及び前記ブラックインク１中の顔料の分散状態を不安定化する反応性カラーインクを用いる画像形成方法であって、
前記ブラックインク１を付与する領域の少なくとも一部の領域において、前記反応性カラーインク、前記ブラックインク１、前記ブラックインク２、の順序でインクを重ねて記録媒体に付与する工程、又は、前記ブラックインク２、前記ブラックインク１、前記反応性カラーインクの順序でインクを重ねて記録媒体に付与する工程、の何れか一方の工程を有することを特徴とする画像形成方法。
【請求項２】
顔料を含むブラックインク１、染料を含むブラックインク２、及び前記ブラックインク１中の顔料の分散状態を不安定化する反応性カラーインクを用いて、往復記録で画像を形成する画像形成方法であって、
前記ブラックインク１を付与する領域の少なくとも一部の領域において、前記反応性カラーインク、前記ブラックインク１、前記ブラックインク２の順序でインクを重ねて記録媒体に付与する工程１、及び、前記ブラックインク２、前記ブラックインク１、前記反応性カラーインクの順序でインクを重ねて記録媒体に付与する工程２、を有し、
往記録が、前記工程１及び前記工程２の何れか一方の工程を有し、
復記録が、他方の工程を有することを特徴とする画像形成方法。
【請求項３】
前記ブラックインク１、前記ブラックインク２、及び前記反応性カラーインクにおける、水の含有量（質量％）が、それぞれ７８．０質量％以下である請求項１又は２に記載の画像形成方法。
【請求項４】
前記反応性カラーインクの色材が染料である請求項１〜３の何れかに記載の画像形成方法。
【請求項５】
顔料を含むブラックインク１、染料を含むブラックインク２、及び前記ブラックインク１中の顔料の分散状態を不安定化する反応性カラーインクを用いる画像形成装置であって、
前記ブラックインク１を付与する領域の少なくとも一部の領域において、前記反応性カラーインク、前記ブラックインク１、前記ブラックインク２、の順序でインクを重ねて記録媒体に付与するための手段、又は、前記ブラックインク２、前記ブラックインク１、前記反応性カラーインクの順序でインクを重ねて記録媒体に付与するための手段、の何れか一方の手段を有することを特徴とする画像形成装置。
【請求項６】
前記ブラックインク１、前記ブラックインク２、及び前記反応性カラーインクにおける、水の含有量（質量％）が、それぞれ７８．０質量％以下である請求項５に記載の画像形成装置。
【請求項７】
前記反応性カラーインクの色材が染料である請求項５又は６に記載の画像形成装置。
【請求項８】
往復記録で画像を形成する手段を有し、且つ、顔料を含むブラックインク１、染料を含むブラックインク２、及びブラックインク１の顔料の分散状態を不安定化する反応性カラーインクを用いるインクジェット記録装置であって、
前記ブラックインク１を付与する領域の少なくとも一部の領域において、前記反応性カラーインク、前記ブラックインク１、前記ブラックインク２の順序でインクを重ねて記録媒体に付与するための手段１、及び、前記ブラックインク２、前記ブラックインク１、前記反応性カラーインクの順序でインクを重ねて記録媒体に付与するための手段２、を少なくとも有し、
往記録が、前記手段１及び前記手段２の何れか一方の手段を有し、
復記録が、他方の手段を有することを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項９】
前記ブラックインク１、前記ブラックインク２、及び前記反応性カラーインクにおける、水の含有量（質量％）が、それぞれ７８．０質量％以下である請求項８に記載のインクジェット記録装置。
【請求項１０】
前記反応性カラーインクの色材が染料である請求項８又は９に記載のインクジェット記録装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
又、本発明の別の実施態様にかかる画像形成装置は、顔料を含むブラックインク１、染料を含むブラックインク２、及び前記ブラックインク１中の顔料の分散状態を不安定化する反応性カラーインクを用いる画像形成装置であって、前記ブラックインク１を付与する領域の少なくとも一部の領域において、前記反応性カラーインク、前記ブラックインク１、前記ブラックインク２、の順序でインクを重ねて記録媒体に付与するための手段、又は、前記ブラックインク２、前記ブラックインク１、前記反応性カラーインクの順序でインクを重ねて記録媒体に付与するための手段、の何れか一方の手段を有することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
又、本発明の別の実施態様にかかるインクジェット記録装置は、往復記録で画像を形成する手段を有し、且つ、顔料を含むブラックインク１、染料を含むブラックインク２、及びブラックインク１の顔料の分散状態を不安定化する反応性カラーインクを用いるインクジェット記録装置であって、前記ブラックインク１を付与する領域の少なくとも一部の領域において、前記反応性カラーインク、前記ブラックインク１、前記ブラックインク２の順序でインクを重ねて記録媒体に付与するための手段１、及び、前記ブラックインク２、前記ブラックインク１、前記反応性カラーインクの順序でインクを重ねて記録媒体に付与するための手段２、を少なくとも有し、往記録が、前記手段１及び前記手段２の何れか一方の手段を有し、復記録が、他方の手段を有することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成22年3月29日(2010.3.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パッチを取付けるためのタイヤ処理装置であって、
タイヤを受ける支持面を有するテーブルと、
上記支持面から延び、上記支持面に対してほぼ直角な平面内で選択的に回転し、取付け端を規定するツールポストと、
上記ツールポストの取付け端に相補的に連結され、上記テーブルの支持面に対してほぼ直角な軸線回りを選択的に回転可能なシャフトと、
上記シャフトに連結され、タイヤまで延び、上記シャフトと一緒に回転するツールと、
上記テーブルの支持面から延びる第１のストッパー及び第２のストッパーとを備え、該第１のストッパーと第２のストッパーは、上記シャフトおよび上記ツールの上記テーブルの支持面に対して略直角な軸線に沿った回転を制限するように位置決めされている、タイヤ処理装置。
【請求項２】
上記第１と第２のストッパーの間の距離が選択的に調節可能である請求項１に記載の装置。
【請求項３】
さらに、上記ツールポストと機械的に連通し、上記ツールの相対位置を表示するゲージを有する請求項１に記載の装置。
【請求項４】
上記ツールが、タイヤの内側表面から材料を除去するための砥石車を有する請求項１に記載の装置。
【請求項５】
さらに、上記ツールに連結され、上記ツールの操作で生じた粒状物質を除去するようになったバキュームを備える請求項４に記載の装置。
【請求項６】
タイヤを支持面に載せるのを容易にするために、上記テーブルの支持面は、上記テーブルに対して傾け可能である、請求項１に記載の処理装置。
【請求項７】
上記テーブルは、上記テーブルの支持面にタイヤを載せる前にタイヤを転がすための一対のローラを有する請求項６に記載の装置。
【請求項８】
パッチを取付けるためのタイヤ内側表面の処理装置であって、
フレームと、
上記フレームに連結され、略水平方向位置と傾斜位置との間で選択的に回転する、タイヤを支持するための支持面と、
上記支持面に対して略直角な平面内で選択的に回転する、上記支持面から突出したツールポストと、
上記ポストによって支持されたツールとを備え、
このツールは、上記支持面とほぼ直角な平面内での上記ツールポストの選択的な回転が、タイヤの内面に対する上記ツールの径方向位置を変えるようにタイヤ内まで延びており、さらにタイヤの週報光に沿ってツールポスト回りを回転するようになっており、
さらに、上記支持面から突出する、一対のツールストッパーを備え、このツールストッパーは、上記ツールのタイヤの内側表面に対する周方向の動作を制限するように、上記支持面に沿って位置決めされる、タイヤ内側表面の処理装置。
【請求項９】
上記一対のツールストッパーはレール上に取り付けられており、このレールは上記ツールがタイヤの周方向に沿って回転できる量を制限するように、上記一対のツールストッパーの間隔を調節するのを可能にする複数の孔を規定する請求項８に記載の装置。
【請求項１０】
さらに、上記ツールストッパーの少なくとも一方に配置され、上記ツールを保持するヨークを備える請求項９に記載の装置。
【請求項１１】
タイヤの内側表面に沿った上記ツールの相対位置を表示するための、上記ツールポストと一緒に形成されるゲージをさらに備える請求項８に記載の装置。
【請求項１２】
上記支持面が上記ゲージを見ることができる開口部を規定している請求項１１に記載の装置。
【請求項１３】
さらに、上記フレームに取り付けられた２つのローラを備え、これらローラは、タイヤの内側表面が上記支持表面に沿って正しく位置決めされるようにタイヤを回転させるように位置決めされている請求項８に記載の装置。
【請求項１４】
半径方向と周方向の両方を規定するタイヤにパッチを取付けるためのタイヤの処理装置であって、
タイヤを受ける支持テーブルと、
上記支持テーブルから延び、第１端を有するマストとを備え、このマストは、マストが上記支持テーブルに垂直な面内で選択的に回転可能となるように上記支持テーブルに回動可能に取り付けられ、且つ第１端がタイヤの半径方向に沿って選択的に移動可能となっており、
さらに、上記マストの第１端に沿って着脱自在に支持され、タイヤの周方向に沿って上記マストを中心として回転するツールを備える、タイヤの処理装置。
【請求項１５】
さらに、上記マストに連結され、タイヤの半径方向に沿ったタイヤに対する上記ツールの相対位置を視覚的に表示する測定装置を備える請求項１４に記載の装置。
【請求項１６】
第１端と第２端とを有するシャフトをさらに備え、上記シャフトの上記第１端が上記ツールに連結され、
上記マストは、上記マストの第一端に開口部を規定し、該開口部は、上記シャフトの第２端を受けるようになっている、請求項１４に記載の装置。
【請求項１７】
上記ツールは、砥石車からなる、請求項１４に記載の装置。
【請求項１８】
さらに、上記ツールと一緒に形成され、上記砥石車の操作によって生じた粒状物質を除去するためのバキュームを備える、請求項１７に記載の装置。
【請求項１９】
上記支持テーブルは、上記支持テーブル上にタイヤを正しく位置決めできるようにタイヤを配置して転がすことができる少なくとも２つのローラを有する請求項１４に記載の装置。
【請求項２０】
さらに、上記支持テーブル上に選択的に位置決め可能な第１と第２のツールストッパーを備える請求項１４に記載の装置。
【手続補正書】
【提出日】平成21年11月12日(2009.11.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
さらに、Ａｒ１〜Ａｒ４が置換基を有する場合、その置換基としては、１以上１０以下の炭素原子を有し、かつＨａｍｍｅｔｔ則における置換基定数σＰが０．２０以下である置換基が好ましい。その置換基はヘテロ原子を有していてもよい。ここで、Ｈａｍｍｅｔｔ則は、芳香族化合物における置換基が芳香環の電子状態に与える効果を説明するために用いられる経験則であって、置換ベンゼンの置換基定数σＰは、置換基の電子供与／求引の程度を定量化した値といえる。σＰ値が正であれば置換安息香酸の方が無置換のものより酸性が強い、つまり電子求引性置換基となる。逆にσＰ値が負であると電子供与性置換基となる。表１は、代表的な置換基のσＰ値である（日本化学会編、「化学便覧  基礎編II  改訂４版」、丸善株式会社、平成５年９月３０日発行、p.364〜365）。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４５】
【表２】
2007269785.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成22年9月28日(2010.9.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
自車両と先行車との車間距離を検出する先行車検出手段と、
アクセルの操作量を検出するアクセル操作量検出手段と、
前記先行車検出手段によって検出される前記車間距離に基づいて、前記アクセルに発生させる操作反力を演算するアクセル操作反力演算手段と、
前記アクセル操作反力演算手段で演算された操作反力を前記アクセルに発生させる操作反力発生手段と、
自車両の走行状況を検出する走行状況検出手段と、
前記アクセル操作量検出手段で検出された前記アクセルの操作量に基づいて自車両の駆動トルクを決定する駆動トルク決定手段と、
前記駆動トルク決定手段で決定された駆動トルクを出力するように駆動源の出力を制御する駆動源制御手段と、
前記走行状況検出手段の検出結果に基づいて、前記アクセル操作反力をドライバが認識し易くなるように、前記駆動トルク決定手段で決定される前記アクセルの操作量と前記自車両の駆動トルクとの関係を補正する補正手段とを備え、
前記補正手段は、前記走行状況検出手段の検出結果に基づいて、前記アクセル操作量に対する前記駆動トルクが減少するように前記アクセル操作量と前記駆動トルクとの関係を補正することを特徴とする車間維持支援装置。
【請求項２】
請求項１に記載の車間維持支援装置において、
前記補正手段は、前記アクセル操作量検出手段で検出された前記アクセルの操作量にオフセット量を設定することで、前記駆動トルク決定手段で決定される前記アクセルの操作量と前記自車両の駆動トルクとの関係を補正することを特徴とする車間維持支援装置。
【請求項３】
請求項２に記載の車間維持支援装置において、
前記補正手段は、前記アクセル操作量検出手段で検出された前記アクセルの操作量が前記オフセット量よりも少ない場合には、前記駆動トルク決定手段で決定された駆動トルクが零となるように補正することを特徴とする車間維持支援装置。
【請求項４】
請求項２または請求項３に記載の車間維持支援装置において、
前記補正手段は、前記走行状況検出手段で検出された自車両の走行状況に応じて、前記オフセット量の大きさを変更することを特徴とする車間維持支援装置。
【請求項５】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の車間維持支援装置において、
前記補正手段は、前記アクセル操作量検出手段で検出された前記アクセルの操作量が所定の値を超える場合には、前記アクセル操作量と前記駆動トルクとの関係を補正しないことを特徴とする車間維持支援装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の車間維持支援装置において、
走行状況検出手段は、前記先行車検出手段からの検出信号に基づいて自車両と先行車との接近度合いを求め、
前記補正手段は、前記接近度合いが大きくなるほど、前記アクセル操作量に対する前記駆動トルクがより小さくなるように、前記アクセル操作量と前記駆動トルクとの関係を補正することを特徴とする車間維持支援装置。
【請求項７】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の車間維持支援装置において、
前記走行状況検出手段は、車速、前記駆動源の出力軸の回転数、前記駆動源の出力を減速して駆動輪に伝達する伝達手段の状態、路面勾配のうち、少なくとも１つを検出し、
前記補正手段は、前記走行状況検出手段の検出結果に基づいて前記補正量を変更することを特徴とする車間維持支援装置。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか一項に記載の車間維持支援装置において、
前記補正手段は、前記駆動トルク決定手段で求められる駆動トルクを補正することを特徴とする車間維持支援装置。
【請求項９】
請求項１〜７のいずれか一項に記載の車間維持支援装置において、
前記補正手段は、前記アクセル操作量検出手段によって検出されるアクセル操作量を補正し、補正後のアクセル操作量を前記駆動トルク決定手段に出力することを特徴とする車間維持支援装置。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか一項に記載の車間維持支援装置において、
前記走行状況検出手段は、前記操作反力発生手段が作動可能な状態か否かを判断し、
前記補正手段は、前記走行状況検出手段において前記操作反力発生手段が作動可能な状態と判断された場合、前記アクセルの操作量と前記自車両の駆動トルクとの関係を補正することを特徴とする車間維持支援装置。
【請求項１１】
請求項１〜９のいずれか一項に記載の車間維持支援装置において、
前記走行状況検出手段は、前記先行車検出手段からの検出信号に基づいて自車両と先行車とが所定の位置関係にあるか否か判断し、
前記補正手段は、前記走行状況検出手段が自車両と先行車とが所定の位置関係にあると判断した場合、前記アクセルの操作量と前記自車両の駆動トルクとの関係を補正することを特徴とする車間維持支援装置。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれか一項に記載の車間維持支援装置において、
前記走行状況検出手段は、車速、先行車との車間距離、先行車との相対速度のうちの少なくとも一つを検出し、
駆動源制御手段は、前記アクセルの操作量と前記自車両の駆動トルクとの関係が補正されたとき、又は元に戻された時の駆動トルクの変化率を、前記走行状況検出手段の検出結果に応じて補正することを特徴とする車間維持支援装置。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれか一項に記載の車間維持支援装置において、
駆動源制御手段は、前記アクセルの操作量と前記自車両の駆動トルクとの関係が補正されたときの駆動トルクの変化率よりも、元に戻された時の駆動トルクの変化率を小さく設定することを特徴とする車間維持支援装置。
【請求項１４】
自車両の走行状況、及びアクセルの操作量を検出し、
前記自車両の走行状況に基づいて、予め定められたアクセルの操作量と前記自車両の駆動トルクとの関係を、前記アクセル操作量に対する前記駆動トルクが減少するように補正し、
前記補正された駆動トルクを出力するように駆動源の出力を制御し、
自車両と先行車との車間距離を検出し、
検出された前記車間距離に基づいて、前記アクセルに発生させる操作反力を演算し、
演算された操作反力を前記アクセルに発生させることを特徴とする車間維持支援方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明は、自車両の走行状況、及びアクセルの操作量を検出し、自車両の走行状況に基づいて、予め定められたアクセルの操作量と前記自車両の駆動トルクとの関係を、アクセル操作量に対する駆動トルクが減少するように補正する。このような補正を行った状態で、自車両と先行車との車間距離を検出し、検出された車間距離に基づいて、アクセルに発生させる操作反力を演算し、演算された操作反力を前記アクセルに発生させる車間維持支援装置である。また、自車両の走行状況、及びアクセルの操作量を検出し、検出されたアクセルの操作量に基づいて自車両の駆動トルクを決定し、決定された駆動トルクを出力するように駆動源の出力を制御する。そして、検出した自車両の走行状況に基づいて、アクセル操作反力をドライバが認識し易くなるように、決定されたアクセル操作量と自車両の駆動トルクとの関係を補正することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成22年7月27日(2010.7.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
具体的には、図１３に示すように、移動局＃ａ及び＃ｂは、プールエリア＃１とプールエリア＃２との間の境界１や、プールエリア＃２とプールエリア＃３との間の境界２を越えて移動する場合には、どちらも、タイミングＴ１、Ｔ２において、ＴＡＵ信号を送信してしまうため、交換局ＭＭＥにおける位置登録処理による負荷が著しく増加するという事態を引き起こしてしまうという問題点があった。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
ステップ２において、当該無線基地局ｅＮＢは、ＮＡＳ信号（例えば、ＴＡＵ信号）に含まれているＭＭＥカラーコードをチェックする。ここで、第２層に属する移動局＃ｂは、プールエリア＃１内のＴＡリスト＃１に対して位置登録処理が行われているため、当該無線基地局ｅＮＢは、ＭＭＥカラーコード「＃１」を抽出する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
ステップ３において、当該無線基地局ｅＮＢは、当該ＮＡＳ信号（例えば、ＴＡＵ信号）を、ＭＭＥカラーコード「＃１」によって識別される交換機ＭＭＥ＃ａに転送する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
図８に示すように、ステップ１において、ＴＡリスト＃４内で電源を再投入された第２層に属する移動局＃ｂが、当該ＴＡリスト＃４内のＴＡを管理する無線基地局ｅＮＢに対して、ＮＡＳ信号（例えば、ＴＡＵ信号）を送信する。ここで、第２層に属する移動局＃ｂは、プールエリア＃１内のＴＡリスト＃１に対して位置登録処理が行われているままであるため、当該無線基地局ｅＮＢは、ＭＭＥカラーコード「＃１」を抽出する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
ステップ３において、当該無線基地局ｅＮＢは、ＭＭＥカラーコード「＃１」によって交換機ＭＭＥを識別することができないため、当該ＮＡＳ信号（例えば、ＴＡＵ信号）を、所定の交換機（すなわち、ＴＡリスト＃４を含むプールエリア＃２を制御する交換機）ＭＭＥ＃ｄ或いはＭＭＥ＃ｅ（図８の例では、交換機ＭＭＥ＃ｄ）に転送する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図７】
2009188664.tif 000001
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図８】
2009188664.tif 000002
【手続補正書】
【提出日】平成22年7月27日(2010.7.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
３ＧＰＰでは、ＵＴＲＡＮ（Ｕｎｉｖｅｒｓａｌ  Ｔｅｒｒｅｓｔｒｉａｌ  Ｒａｄｉｏ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｎｅｔｗｏｒｋ）方式の移動通信システムで用いられるホーム基地局（第２無線基地局）Ｈｏｍｅ  ＮｏｄｅＢの仕様について検討されている（非特許文献１乃至５）。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
例えば、無線基地局情報管理部１１は、各無線基地局が、「マクロ無線基地局ＮｏｄｅＢ」或いは「ホーム無線基地局  Ｈｏｍｅ  ＮｏｄｅＢ」のいずれであるのかについて管理するように構成されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
ホーム無線基地局Ｈｏｍｅ  ＮｏｄｅＢに対する状態管理は、マクロ無線基地局ＮｏｄｅＢに対する状態管理ほど、厳密に行わなくてもよいと判断される可能性が高いため、ＳＣＴＰコネクション監視部１２は、このように構成されていてもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６５】
【図２】本発明の第１の実施形態に係るホーム無線基地局Ｈｏｍｅ  ＮｏｄｅＢの機能ブロック図である。
【図３】本発明の第１の実施形態に係るマクロ無線基地局ＮｏｄｅＢの機能ブロック図である。
【手続補正書】
【提出日】平成22年9月29日(2010.9.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持ボード上に固定されて基板搬送治具を構成する粘着ゴムシートであって、
フッ素ゴム１００質量部と、
有機過酸化物０．２〜０．６質量部と、
共架橋剤０．５〜１．５質量部と、
カーボンナノチューブ１．０〜５．０質量部とを含有し、ポリマー純度が９０．０質量％以上であるゴム配合物を成形加工して得られる基板搬送治具用粘着ゴムシート。
【請求項２】
支持ボード上に固定されて基板搬送治具を構成する粘着ゴムシートであって、
フッ素ゴム１００質量部と、
有機過酸化物０．２〜０．５質量部と、
共架橋剤０．５〜１．２質量部と、
カーボンナノチューブ１．０〜３．０質量部とを含有し、ポリマー純度が９５．０質量％以上であるゴム配合物を成形加工して得られる基板搬送治具用粘着ゴムシート。
【請求項３】
前記有機過酸化物が２，５−ジメチル−２，５−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）ヘキサンであり、前記共架橋剤がトリアリルイソシアヌレートである請求項１または請求項２に記載の基板搬送治具用粘着ゴムシート。
【請求項４】
前記フッ素ゴムが、側鎖を有する共重合体からなる請求項１乃至請求項３の何れかに記載の基板搬送治具用粘着ゴムシート。
【請求項５】
前記フッ素ゴムが、ビニリデンフルオライド／パーフルオロアルキルビニルエーテル／テトラフルオロエチレン系共重合体からなる請求項４に記載の基板搬送治具用粘着ゴムシート。
【請求項６】
前記フッ素ゴムが、ビニリデンフルオライド／ヘキサフルオロプロピレン／テトラフルオロエチレン系共重合体からなる請求項４に記載の基板搬送治具用粘着ゴムシート。
【請求項７】
表面抵抗が１０8 Ω以下である請求項１乃至請求項６の何れかに記載の基板搬送治具用粘着ゴムシート。
【請求項８】
耐熱性のある支持ボードと、請求項１乃至請求項７の何れかに記載の粘着ゴムシートとを積層してなる基板搬送治具。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
しかしながら、フッ素ゴム系のエラストマーシートは、半田リフロー温度（通常２００〜２６０℃）において、被着体であるＦＰＣ基板および支持ボードに対して十分な粘着力を有するものとならない（高温環境下における粘着性に劣る）。このため、半田リフロー工程において、エラストマーシートに保持されているＦＰＣ基板が剥離したり、エラストマーシートが支持ボードから剥離したりすることがある。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
請求項７に係る基板搬送治具用粘着ゴムシートは、表面抵抗が１０8 Ω以下であることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成22年4月14日(2010.4.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
３次元フォトニック結晶を用いた発光素子として、特許文献２にて開示されたものがある。特許文献２で開示された構造では、３次元フォトニック結晶中に活性層を形成し、フォトニック結晶外部に設けた金属電極からコンタクト層を介してフォトニック結晶中にキャリアを注入する。注入されたキャリアは、フォトニック結晶構造中を伝導し、線状欠陥で形成されたキャリア伝導路に接続され、活性部分に導かれる。さらに、３次元フォトニック結晶の構造としては、特許文献３，４にて開示されたものがある。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
特許文献２で開示された構造では、電極から注入されたキャリアが、３次元フォトニック結晶構造中を伝導する。特許文献２で開示された構造では、井桁形状に配置された柱状体内部をキャリアが伝導するため、従来の半導体発光素子に比べ、キャリアの伝導経路の断面積が小さく、かつ長さが長いため、キャリアの伝導経路における直列抵抗が大きくなってしまう。そのため、注入効率の低下を招く。この影響は、特に電気伝導度の低いＰクラッド層で顕著である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
３次元フォトニック結晶１０１中には、活性媒質により形成された点欠陥としての共振器が設けられており、活性層１０４は該共振器の内部に配置されている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
通常、半導体においては、価電子帯の有効質量の方が伝導帯の有効質量よりも大きいため、Ｐ型半導体の方がＮ型半導体よりもキャリア移動度が低く、この結果、電気伝導度が低い。したがって、Ｐクラッド層にて発生するジュール熱が注入効率を決める主要因となっている。例えば、ＧａＮの場合は、ＳｉをドープしたＮ型半導体の電気伝導度は１ｅ３〜１ｅ４（Ｓ／ｍ）程度であり、ＭｇをドープしたＰ型半導体の電気伝導度は１ｅ１〜１ｅ２（Ｓ／ｍ）程度である。すなわち、Ｐ型半導体の電気伝導度の方がＮ型半導体のそれに比べて１／１０〜１／１０００倍程度小さい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
図３には、本実施例及び特許文献３の３次元フォトニック結晶における点欠陥共振器１１４の近傍を拡大して示す。図３では、各層に平行な方向（各層の面内方向）にｘ軸及びｙ軸をとり、積層方向にｚ軸をとっている。３次元フォトニック結晶は図３に示すように、互いに直交する方向に延びる複数の柱状構造体１１５を井桁状に積層した構造を有する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
以下、実施例１の変形例としての発光素子１００Ａ〜１００Ｅについて説明する。該変形例において、図１と同じ構成部分については、図１と同じ符号を付す（ただし、３次元フォトニック結晶の部分には異なる構造を有する場合でも符号１０１を付す）。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
（変形例１）
図４に示す発光素子１００Ａでは、Ｎ導電層１０７の外周側の部分にさらに３次元フォトニック結晶（以下、この３次元フォトニック結晶層を誘電体層１１２とする）を積層することによって、十分な光閉じ込め作用を実現している。すなわち、発光素子１００Ａでは、Ｎ導電層１０７に対してトンネル接合層１０６とは反対側に誘電体層１１２を有する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
Ｐ型半導体を、ＭｇドープのＧａＮや、ＡｌＧａＮや、Ｉｎの比率が０．２以下のＩｎＧａＮとする。また、Ｎ型半導体を、ＳｉドープのＧａＮや、ＡｌＧａＮや、Ｉｎの比率が０．２以下のＩｎＧａＮとする。さらに、Ｎ型導電体を、ＮｂドープのＴｉＯ２や、ＡｌドープのＺｎＯとする。ＧａＮの電子親和力は３．４（ｅＶ）程度、ＴｉＯ２の電子親和力は４．２（ｅＶ）程度、ＺｎＯの電子親和力は４．４（ｅＶ）程度であり、ＮｂドープのＴｉＯ２、ＡｌドープのＺｎＯの電気伝導度はともに１ｅ５（Ｓ／ｍ）程度である。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
図１０には、本発明の実施例３である３次元フォトニック結晶の断面を示している。なお、図１と同じ構成部分については、図１と同じ符号を付している（ただし、３次元フォトニック結晶の部分には３０１を付している）。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
図１１には、本実施例及び特許文献４での３次元フォトニック結晶の構造を立体的に示す。３次元フォトニック結晶３０１は、それぞれｙ方向（第１の方向）に延びる複数の柱状構造体（第１の構造体）３５１，３５５が互いに間隔をあけて、ｙ方向に直交するｘ方向（第２の方向）に周期的に配置された第１層及び第３層を有する。また、それぞれｘ方向に延びる複数の柱状構造体（第２の構造体）３５３，３５７が互いに間隔をあけてｙ方向に周期的に配置された第２層及び第４層を有する。そして、第１層から第４層は、各層に平行な面内において平板形状等の形状を有する構造体（第３の構造体：離散構造体ともいう）３５２，３５４，３５６，３５８が離散的に配置された付加層を間に挟んで第１層から第４層の順にｚ方向に積層されている。なお、付加層においては、離散構造体が１つの層を形成していてもよいし、複数層を形成していてもよい。
【手続補正書】
【提出日】平成22年6月4日(2010.6.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
一般に、閉じた導体２９が第一のトロイダルコア２７を巻く回数Ｍと、第二のトロイダルコア２８を巻く回数Ｌと、第一のトロイダルコア２７と第二のトロイダルコア２８とを共通に巻く回数Ｋとは、Ｋ＝＜Ｍ，Ｋ＝＜Ｌが満たされている。これらの式が満たされている範囲であれば、Ｍ，Ｌ，Ｋともに任意の回数とすることができる。
【手続補正書】
【提出日】平成22年2月8日(2010.2.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
例えば、素子形成のための活性層に歪みを印加する技術が注目されている。活性層に歪みを印加すると、そのエネルギーバンド構造が変化し、２重縮退バレーの電子の割合が増大する効果とキャリア散乱の抑制効果とによって、移動度の向上が期待できる。具体的には、Ｓｉ基板上にＳｉよりも格子定数の大きな材料からなる混晶層、例えばＧｅ濃度２０％の歪み緩和ＳｉＧｅ混晶層（以降、単に「ＳｉＧｅ層」と称する）を形成し、このＳｉＧｅ層上にＳｉ層を形成すると、格子定数の差によって歪みが印加された歪みＳｉ層が形成される。このような歪みＳｉ層を半導体デバイスのチャネルに用いると、無歪みＳｉ層を用いた場合の約１．７６倍と大幅な電子移動度の向上を達成できることが知られている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特許第３７９０２３８号
【非特許文献１】Masanari Shoji、外１名、「Phonon-limited inversion layer electron mobility in extremely thin Si layer of silicon-on-insulator metal-oxide-semiconductor field-effect transistor」、American Institute of Physics、Journal of Applied Physics、1997年12月15日、82巻12号、p.6096-6101
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６】
2009188130.tif 000001