【手続補正書】
【提出日】平成22年6月7日(2010.6.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材上にプラズマ重合膜を備える第１の被着体の前記プラズマ重合膜と、基材上にプラズマ重合膜を備える第２の被着体の前記プラズマ重合膜と、を密着させ、仮接合体を得る第１の工程と、
前記各プラズマ重合膜に対してエネルギーを付与することにより、前記各プラズマ重合膜同士を接合して、接合体を得る第２の工程とを有することを特徴とする接合方法。
【請求項２】
前記各プラズマ重合膜は、それぞれポリオルガノシロキサンを材料として構成されている請求項１に記載の接合方法。
【請求項３】
前記ポリオルガノシロキサンは、オクタメチルトリシロキサンの重合物を成分とするものである請求項２に記載の接合方法。
【請求項４】
前記各プラズマ重合膜の平均厚さは、それぞれ１〜１０００ｎｍである請求項１ないし３のいずれかに記載の接合方法。
【請求項５】
前記第２の工程における前記エネルギーの付与は、前記仮接合体を加熱する方法、および、前記仮接合体に圧縮力を付与する方法のうちの少なくとも１つの方法により行われる請求項１ないし４のいずれかに記載の接合方法。
【請求項６】
前記加熱の温度は、２５〜１００℃である請求項５に記載の接合方法。
【請求項７】
前記圧縮力は、０．２〜１０ＭＰａである請求項５または６に記載の接合方法。
【請求項８】
前記第１の被着体が備える基材および前記第２の被着体が備える基材のうちの少なくとも一方は、エネルギー線の透過性を有しており、
前記第２の工程における前記エネルギーの付与は、前記仮接合体の前記透過性を有する基材側から、前記エネルギー線を照射する方法により行われる請求項１ないし７のいずれかに記載の接合方法。
【請求項９】
前記第１の被着体が備える基材および前記第２の被着体が備える基材のうちの少なくとも一方は、透光性を有しており、
前記第２の工程における前記エネルギーの付与は、前記仮接合体の前記透光性を有する基材側から、紫外線を照射する方法により行われる請求項１ないし８のいずれかに記載の接合方法。
【請求項１０】
前記紫外線の波長は、１５０〜３００ｎｍである請求項９に記載の接合方法。
【請求項１１】
前記第２の工程は、大気雰囲気中で行われる請求項１ないし１０のいずれかに記載の接合方法。
【請求項１２】
前記第２の工程の後、前記接合体を加熱する工程を有する請求項１ないし１１のいずれかに記載の接合方法。
【請求項１３】
前記加熱温度は、２５〜１００℃である請求項１２に記載の接合方法。
【請求項１４】
前記第２の工程の後、前記接合体を加圧する工程を有する請求項１ないし１３のいずれかに記載の接合方法。
【請求項１５】
前記接合体を加圧する際の圧力は、０．２〜１０ＭＰａである請求項１４に記載の接合方法。
【請求項１６】
前記第１の被着体または前記第２の被着体は、あらかじめ、前記基材上に前記プラズマ重合膜との密着性を高める表面処理を施した後、該表面処理を施した領域に前記プラズマ重合膜を形成してなるものである請求項１ないし１５のいずれかに記載の接合方法。
【請求項１７】
前記表面処理は、プラズマ処理である請求項１６に記載の接合方法。
【請求項１８】
前記第１の被着体が備える基材および前記第２の被着体が備える基材は、それぞれ剛性が異なっている請求項１ないし１７のいずれかに記載の接合方法。
【請求項１９】
２つの基材が、請求項１ないし１８のいずれかに記載の接合方法により接合されたことを特徴とする接合体。
【請求項２０】
前記２つの基材間の接合強度は５ＭＰａ以上である請求項１９に記載の接合体。
【請求項２１】
請求項１９または２０に記載の接合体を有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２２】
請求項２１に記載の液滴吐出ヘッドを備えることを特徴とする液滴吐出装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の接合方法は、基材上にプラズマ重合膜を備える第１の被着体の前記プラズマ重合膜と、基材上にプラズマ重合膜を備える第２の被着体の前記プラズマ重合膜と、を密着させ、仮接合体を得る第１の工程と、
前記各プラズマ重合膜に対してエネルギーを付与することにより、前記各プラズマ重合膜同士を接合して、接合体を得る第２の工程とを有することを特徴とする。
これにより、プラズマ重合膜同士の間に接着性が発現し、２つの被着体同士を、高い寸法精度で強固に、かつ低温で効率よく接合することができる。また、仮接合体の状態では、各プラズマ重合膜同士の間は接合されていないので、第１の被着体と第２の被着体とをずらし、これらの相対的な位置を容易に微調整することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の接合方法では、前記各プラズマ重合膜は、それぞれポリオルガノシロキサンを材料として構成されていることが好ましい。
これにより、プラズマ重合膜の撥水性と親水性の制御を容易に行うことができ、その結果、接着性の制御を容易に行うことができる。また、ポリオルガノシロキサンは、比較的柔軟性に富んでいるので、基材間に生じる熱膨張率差に伴う応力を緩和することができる。その結果、接合体の剥離を確実に防止することができる。さらに、耐久性に優れた接合体が得られる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の接合方法では、前記ポリオルガノシロキサンは、オクタメチルトリシロキサンの重合物を成分とするものであることが好ましい。
これにより、接着性に特に優れたプラズマ重合膜が得られる。また、オクタメチルトリシロキサンを主成分とする原料は、常温で液状をなし、適度な粘性を有するため、取り扱いが容易であるという利点もある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明の接合方法では、前記第２の工程における前記エネルギーの付与は、前記仮接合体を加熱する方法、および、前記仮接合体に圧縮力を付与する方法のうちの少なくとも１つの方法により行われることが好ましい。
これにより、プラズマ重合膜に対して比較的簡単に効率よくエネルギーを付与することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明の接合方法では、前記第１の被着体が備える基材および前記第２の被着体が備える基材のうちの少なくとも一方は、エネルギー線の透過性を有しており、
前記第２の工程における前記エネルギーの付与は、前記仮接合体の前記透過性を有する基材側から、前記エネルギー線を照射する方法により行われることが好ましい。
これにより、プラズマ重合膜を効率よく活性化させることができる。また、短時間で大きなエネルギーを付与することができる。したがって、プラズマ重合膜中の分子構造を必要以上に切断しないので、プラズマ重合膜の特性が低下してしまうのを避けることができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明の接合方法では、前記第１の被着体が備える基材および前記第２の被着体が備える基材のうちの少なくとも一方は、透光性を有しており、
前記第２の工程における前記エネルギーの付与は、前記仮接合体の前記透光性を有する基材側から、紫外線を照射する方法により行われることが好ましい。
これにより、簡単な設備を用いて、プラズマ重合膜の広い範囲をムラなく、より短時間に活性化させることができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明の接合方法では、前記紫外線の波長は、１５０〜３００ｎｍであることが好ましい。
これにより、プラズマ重合膜の特性が著しく低下するのを防止しつつ、プラズマ重合膜を活性化させることができる。
本発明の接合方法では、前記第２の工程は、大気雰囲気中で行われることが好ましい。
これにより、雰囲気を制御することに手間やコストをかける必要がなくなり、エネルギーの付与をより簡単に行うことができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明の接合方法では、前記第２の工程の後、前記接合体を加熱する工程を有することが好ましい。
これにより、各プラズマ重合膜の界面において、水酸基の脱水縮合がより進行する。その結果、接合体における接合強度をより高めることができる。
本発明の接合方法では、前記加熱温度は、２５〜１００℃であることが好ましい。
これにより、接合体が熱によって変質・劣化するのを確実に防止しつつ、接合体の接合強度を確実に高めることができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明の接合方法では、前記第２の工程の後、前記接合体を加圧する工程を有することが好ましい。
これにより、各プラズマ重合膜の表面同士がより近接し、脱水縮合や結合活性手の再結合が促進される。その結果、２つのプラズマ重合膜の一体化がより進行して、接合体における接合強度をより高めることができる。
本発明の接合方法では、前記接合体を加圧する際の圧力は、０．２〜１０ＭＰａであることが好ましい。
これにより、基材に損傷等を生じさせることなく、接合体の接合強度を確実に高めることができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
次に、本発明の接合方法の実施形態について、上記のプラズマ重合装置１００を用いた場合を例に説明する。
図２および図３は、本発明の接合方法を説明するための図（縦断面図）である。なお、以下の説明では、図２および図３中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
本実施形態にかかる接合方法は、２つの基材２の接合面２１上に、それぞれプラズマ重合膜３を形成し、第１の被着体４１と第２の被着体４２とを得る工程と、各プラズマ重合膜３同士を密着させるように、２つの被着体４１、４２を重ね合わせて、仮接合体を得る工程（第１の工程）と、仮接合体中の各プラズマ重合膜３に対してエネルギーを付与することにより、各プラズマ重合膜３同士を接合して、接合体を得る工程（第２の工程）とを有する。以下、各工程について順次説明する。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
［２］次に、図２（ａ）〜（ｃ）に示すように、２つの基材２上（基材２の一方の面）に、それぞれプラズマ重合膜３を形成する。
かかるプラズマ重合膜３は、強電界中に、原料ガスとキャリアガスとの混合ガスを供給することにより、原料ガス中の分子を重合して得ることができる。
具体的には、まず、チャンバー１０１内に基材２を収納して封止状態とした後、排気ポンプ１７０の作動により、チャンバー１０１内を減圧状態とする。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
このような原料ガスを用いて得られるプラズマ重合膜３は、これらの原料が重合してなるもの（重合物）、すなわち、ポリオルガノシロキサン、有機金属ポリマー、炭化水素系ポリマー、フッ素系ポリマー等で構成されることとなる。
このうち、プラズマ重合膜３は、特に、ポリオルガノシロキサンを主材料として構成されているのが好ましい。ポリオルガノシロキサンは、通常、撥水性（非接着性）を示すが、後述するエネルギー付与工程（第２の工程）を経ることにより、容易に有機基を脱離させることができ、親水性に変化し、接着性が発現する。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
［３］次に、各プラズマ重合膜３の表面３１同士が密着するように、２つの被着体４１、４２を重ね合わせる（図２（ｄ）参照）。これにより、図３（ｅ）に示す仮接合体５を得る（第１の工程）。
なお、この仮接合体５の状態では、各プラズマ重合膜３同士の間は接合されていない。このため、第１の被着体４１と第２の被着体４２をずらし、これらの相対的な位置を調整することができる。このようにすれば、２つの被着体４１、４２を重ね合わせた後、これらの位置を容易に微調整することができるので、位置の調整の作業性が向上し、最終的に得られる接合体１の面方向における寸法精度を高めることができる。
特に、プラズマ重合膜３がポリオルガノシロキサンを主材料として構成されている場合、プラズマ重合膜３の表面３１は、前述したように、十分な非接着性を示すことから、２つの被着体４１、４２は、その位置を自在に調整することができる。このため、２つの被着体４１、４２の位置を特に容易に微調整することができる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
［４］次に、得られた仮接合体５にエネルギーを付与する。これにより、仮接合体５において、各プラズマ重合膜３の分子結合の一部が切断され、活性化される（第２の工程）。
なお、この「活性化」とは、プラズマ重合膜３の表面３１付近および内部の分子結合が切断されて、終端化されていない結合手（未結合手またはダングリングボンド）が生じた状態や、その切断された結合手に水酸基が結合した状態、または、これらの状態が混在した状態のことを言う。