【手続補正書】
【提出日】平成22年5月28日(2010.5.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を露光する露光装置と、前記露光装置に流路を介して流体を供給する流体供給装置と、を有する露光システムであって、
前記流体供給装置は、
前記露光装置を介して前記流体を流すための送流手段と、
前記流体の温度を調整する第１の温度調整手段と、
前記流体供給装置内において前記第１の温度調整手段の下流に配され、前記流体中の不要物を除去する除去手段と、
前記第１の温度調整手段と前記除去手段との間に配され、前記流体の温度を計測し、該計測された温度の情報を前記第１の温度調整手段の制御に供する第１の温度計測手段と、
前記流体供給装置内において前記除去手段の下流に配され、前記流体の温度を調整する第２の温度調整手段と、
を有し、
前記露光装置は、
前記第２の温度調整手段の下流に配されて前記流体供給装置から供給される前記流体の温度を計測する第２の温度計測手段、
を有し、
前記露光システムは、
前記第１の温度計測手段により計測された温度の情報に基づいて前記第１の温度調整手段の動作を制御する第１の制御演算部と、
前記第２の温度計測手段により計測された温度の情報に基づいて前記第２の温度調整手段の動作を制御する第２の制御演算部と、
前記第２の制御演算部の出力に応じた出力を行う第３の制御演算部と、
を有し、
前記第１の制御演算部は、前記第１の温度計測手段により計測された温度の情報と、前記第３の制御演算部の出力とに基づき、前記第１の温度調整手段の動作を制御する、
ことを特徴とする露光システム。
【請求項２】
前記第２の制御演算部の出力は、前記第２の制御演算部の操作量であることを特徴とする請求項１に記載の露光システム。
【請求項３】
前記第１の温度調整手段は、前記流体を冷却する冷却手段を有し、
前記第２の温度調整手段は、前記流体を加熱する加熱手段を有する、
ことを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の露光システム。
【請求項４】
前記露光装置は、
前記露光装置における前記第２の温度計測手段の下流に配され、該流体の温度を調整する第３の温度調整手段と、
前記露光装置における前記第３の温度調整手段の下流に配され、該流体の温度を計測する第３の温度計測手段と、
を有し、
前記制御手段は、
前記第３の温度計測手段により計測された温度の情報に基づき、前記第３の温度調整手段の動作を制御する第４の制御演算部、
を有する、
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の露光システム。
【請求項５】
前記流体は、気体であり、前記除去手段は、ケミカルフィルタを含む、ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の露光システム。
【請求項６】
前記露光装置は、クリーンルーム内に設置され、前記流体供給装置は前記クリーンルーム外に設置されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の露光システム。
【請求項７】
基板を露光する露光装置と、前記露光装置に流路を介して流体を供給する流体供給装置と、を有する露光システムであって、
前記流体供給装置は、
前記露光装置を介して前記流体を流すための送流手段と、
前記流体の温度を調整する第１の温度調整手段と、
前記流体供給装置内において前記第１の温度調整手段の下流に配され、前記流体の温度を計測し、該計測された温度の情報を前記第１の温度調整手段の制御に供する第１の温度計測手段と、
を有し、
前記露光装置は、
前記第１の温度調整手段の下流に配されて前記流体供給装置から供給される前記流体の温度を計測する第２の温度計測手段と、
前記露光装置内において前記第２の温度計測手段の下流に配され、前記流体の温度を調整する第２の温度調整手段と、
前記露光装置内において前記第２の温度調整手段の下流に配され、前記流体の温度を計測し、該計測された温度の情報を前記第２の温度調整手段の制御に供する第３の温度計測手段と、
を有し、
前記第１の温度調整手段は、前記第１の温度計測手段により計測された温度の情報と前記第２の温度計測手段により計測された温度の情報とに基づき、前記流体の温度を調整し、
前記第２の温度調整手段は、前記第３の温度計測手段により計測された温度の情報に基づき、前記流体の温度を調整する、
ことを特徴とする露光システム。
【請求項８】
前記第１の温度調整手段は、前記流体を冷却する冷却手段を有し、
前記第２の温度調整手段は、前記流体を加熱する加熱手段を有する、
ことを特徴とする請求項７に記載の露光システム。
【請求項９】
前記流体は、液体である、
ことを特徴とする請求項７または８に記載の露光システム。
【請求項１０】
前記露光装置はクリーンルーム内に設置され、前記流体供給装置はクリーンルーム外に設置されている、
ことを特徴とする請求項７乃至９のいずれか１項に記載の露光システム。
【請求項１１】
基板を露光する露光装置と、前記露光装置に流路を介して流体を供給する流体供給装置と、を有する露光システムであって、
前記流体供給装置は、
前記露光装置を介して前記流体を流すための送流手段と、
前記流体の温度を調整する第１の温度調整手段と、
前記流体供給装置内において前記第１の温度調整手段の下流に配され、前記流体の温度を計測する第１の温度計測手段と、
を有し、
前記露光装置は、
前記第１の温度調整手段の下流に配されて前記流体供給装置から供給される前記流体の温度を調整する第２の温度調整手段と、
前記第２の温度調整手段の下流に配されて、前記流体の温度を計測する第２の温度計測手段と、
を有し、
前記露光システムは、
前記第１の温度計測手段により計測された温度の情報に基づいて前記第１の温度調整手段の動作を制御する第１の制御演算部と、
前記第２の温度計測手段により計測された温度の情報に基づいて前記第２の温度調整手段の動作を制御する第２の制御演算部と、
前記第２の制御演算部の出力に応じた出力を行う第３の制御演算部と、
を有し、
前記第１の制御演算部は、前記第１の温度計測手段により計測された温度の情報と、前記第３の制御演算部の出力とに基づき、前記第１の温度調整手段の動作を制御する、
ことを特徴とする露光システム。
【請求項１２】
前記第２の制御演算部の出力は、前記第２の制御演算部の操作量であることを特徴とする請求項１１に記載の露光システム。
【請求項１３】
請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の露光システムを用いて基板を露光する工程と、
該露光された基板を現像する工程と、
を有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記課題を解決するための本発明の露光装置システムは、基板を露光する露光装置と、前記露光装置に流路を介して流体を供給する流体供給装置と、を有する露光システムであって、前記流体供給装置は、前記露光装置を介して前記流体を流すための送流手段と、前記流体の温度を調整する第１の温度調整手段と、前記流体供給装置内において前記第１の温度調整手段の下流に配され、前記流体中の不要物を除去する除去手段と、前記第１の温度調整手段と前記除去手段との間に配され、前記流体の温度を計測し、該計測された温度の情報を前記第１の温度調整手段の制御に供する第１の温度計測手段と、前記流体供給装置内において前記除去手段の下流に配され、前記流体の温度を調整する第２の温度調整手段と、を有し、前記露光装置は、前記第２の温度調整手段の下流に配されて前記流体供給装置から供給される前記流体の温度を計測する第２の温度計測手段、を有し、前記露光システムは、前記第１の温度計測手段により計測された温度の情報に基づいて前記第１の温度調整手段の動作を制御する第１の制御演算部と、前記第２の温度計測手段により計測された温度の情報に基づいて前記第２の温度調整手段の動作を制御する第２の制御演算部と、前記第２の制御演算部の出力に応じた出力を行う第３の制御演算部と、を有し、前記第１の制御演算部は、前記第１の温度計測手段により計測された温度の情報と、前記第３の制御演算部の出力とに基づき、前記第１の温度調整手段の動作を制御する、ことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
さらに、本発明の露光装置システムは、基板を露光する露光装置と、前記露光装置に流路を介して流体を供給する流体供給装置と、を有する露光システムであって、前記流体供給装置は、前記露光装置を介して前記流体を流すための送流手段と、前記流体の温度を調整する第１の温度調整手段と、前記流体供給装置内において前記第１の温度調整手段の下流に配され、前記流体の温度を計測し、該計測された温度の情報を前記第１の温度調整手段の制御に供する第１の温度計測手段と、を有し、前記露光装置は、前記第１の温度調整手段の下流に配されて前記流体供給装置から供給される前記流体の温度を計測する第２の温度計測手段と、前記露光装置内において前記第２の温度計測手段の下流に配され、前記流体の温度を調整する第２の温度調整手段と、
前記露光装置内において前記第２の温度調整手段の下流に配され、前記流体の温度を計測し、該計測された温度の情報を前記第２の温度調整手段の制御に供する第３の温度計測手段と、を有し、前記第１の温度調整手段は、前記第１の温度計測手段により計測された温度の情報と前記第２の温度計測手段により計測された温度の情報とに基づき、前記流体の温度を調整し、前記第２の温度調整手段は、前記第３の温度計測手段により計測された温度の情報に基づき、前記流体の温度を調整する、ことを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
さらに、本発明の露光装置システムは、基板を露光する露光装置と、前記露光装置に流路を介して流体を供給する流体供給装置と、を有する露光システムであって、前記流体供給装置は、前記露光装置を介して前記流体を流すための送流手段と、前記流体の温度を調整する第１の温度調整手段と、前記流体供給装置内において前記第１の温度調整手段の下流に配され、前記流体の温度を計測する第１の温度計測手段と、を有し、前記露光装置は、前記第１の温度調整手段の下流に配されて前記流体供給装置から供給される前記流体の温度を調整する第２の温度調整手段と、前記第２の温度調整手段の下流に配されて、前記流体の温度を計測する第２の温度計測手段と、を有し、前記露光システムは、前記第１の温度計測手段により計測された温度の情報に基づいて前記第１の温度調整手段の動作を制御する第１の制御演算部と、前記第２の温度計測手段により計測された温度の情報に基づいて前記第２の温度調整手段の動作を制御する第２の制御演算部と、前記第２の制御演算部の出力に応じた出力を行う第３の制御演算部と、を有し、前記第１の制御演算部は、前記第１の温度計測手段により計測された温度の情報と、前記第３の制御演算部の出力とに基づき、前記第１の温度調整手段の動作を制御する、ことを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
次に、図６により温度制御手段２３０の演算について説明を行う。
一点鎖線で囲まれた部分は温度制御手段２３０における制御演算部のブロック図である。
第１の制御演算部４００は、熱交換器２０の下流に配置された第１の温度センサ１１０の値をフィードバックし目標値と加減算器４１０により加減算される。
このため、制御部４２０によりＰＩＤ演算が行われ冷却制御部２６４を駆動して第１の温度センサ１１０の値を所定値となるよう制御する。
その後、タンク３２とポンプ１２および供給配管６２を通過した後、露光装置３００に配置された第２の温度センサ１３０の値をフィードバックし、第２の制御演算部５００において目標値と加減算器５１０により加減算される。
このため、制御部５２０によりＰＩＤ演算が行われ駆動部２６８を駆動して第２の温度センサ１３０の値を所定値となるよう制御する。
ここで、制御部５２０の出力、すなわち操作量（ＭＶ）５３０は、第３の制御演算部６００において目標値と加減算器６１０により加減算される。
制御部６２０によりＰ演算またはＰＩ演算またはＰＩＤ演算が行われ第１の制御演算部４００の加減算器４１０に印加される。
さらに、第３の制御演算部６００により第２の制御演算部５００の操作量（ＭＶ）５３０が所定値となるよう冷却制御部２６４への操作量を制御するよう構成されてもよい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６】
2008300702.tif 000001