【手続補正書】
【提出日】平成22年2月26日(2010.2.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に支持された微小ミラーを物理的作用力によって揺動させる光走査素子であって、
前記基板上で該基板の面に平行な第１の軸を中心として揺動変位可能に支持された第１可動部と、
前記第１可動部上に一体に配置され、前記第１の軸とは直交する第２の軸を中心として揺動変位可能に支持されるともに、上面に前記微小ミラーを備えた第２可動部と、
前記第１可動部および前記第２可動部に物理的作用力を印加することで、前記微小ミラーを前記第１の軸及び前記第２の軸方向を中心とする２軸方向に揺動変位させる駆動手段と、
を具備した光走査素子。
【請求項２】
請求項１記載の光走査素子であって、
前記駆動手段が、前記第１可動部と前記第２可動部の少なくともいずれかに対して、各可動部の厚み方向に重なり合う範囲内に配置された光走査素子。
【請求項３】
請求項１または請求項２記載の光走査素子であって、
前記駆動手段が、
前記第１可動部に前記第1の軸を中心とする第１の回転方向に物理的作用力を加える第１駆動部と、
前記第１可動部に前記第１の回転方向とは反対の第２の回転方向に物理的作用力を加える第２駆動部と、
前記第２可動部に前記第２の軸を中心とする第３の回転方向に物理的作用力を加える第３駆動部と、
前記第２可動部に前記第３の回転方向とは反対の第４の回転方向に物理的作用力を加える第４駆動部と、
を備えた光学走査素子。
【請求項４】
請求項３記載の光走査素子であって、
前記第３駆動部および前記第４駆動部が、前記第１可動部と前記第２可動部との間の高さ位置に配置された光学走査素子。
【請求項５】
請求項１〜請求項４のいずれか１項記載の光走査素子であって、
前記第２可動部の厚み方向に重なり合う領域内に配置され、該第２可動部に対して弾性変位可能に接続された支持部材を有する光走査素子。
【請求項６】
請求項１〜請求項５のいずれか１項記載の光走査素子であって、
前記第２可動部の前記第２の軸に直交する方向の最大寸法は、前記第１可動部の前記第１の軸に沿った方向の最大寸法に略等しい光走査素子。
【請求項７】
請求項１〜請求項６のいずれか１項記載の光走査素子であって、
少なくとも前記第１可動部および前記第２可動部が減圧状態で封止される封止構造を備えた光走査素子。
【請求項８】
請求項１〜請求項７のいずれか１項記載の光走査素子であって、
前記物理的作用力が静電気力である光走査素子。
【請求項９】
請求項８記載の光走査素子であって、
前記第１可動部と前記第２可動部は、少なくとも一部に導電性を有し、互いに電気的に接続されている光走査素子。
【請求項１０】
請求項１〜請求項９のいずれか１項記載の光走査素子の駆動方法であって、
前記第２可動部を第１の周波数で主走査駆動し、
前記第１可動部が１回揺動する間に複数回揺動するように、前記第１可動部を前記第１の周波数より低い第２の周波数で副走査駆動する光走査素子の駆動方法。
【請求項１１】
請求項１０記載の光走査素子の駆動方法であって、
前記第１可動部と前記第２可動部とが一方の回転方向から他方の回転方向へ遷移する際に、前記一方の回転方向の最終変位位置で前記可動部の下端が下方の部材に接触する前に前記他方の回転方向への変位を開始させる光走査素子の駆動方法。
【請求項１２】
請求項１０または請求項１１記載の光走査素子の駆動方法であって、
前記第２可動部を、該第２可動部の共振周波数に略等しい周波数で揺動駆動する光走査素子の駆動方法。
【請求項１３】
請求項１０または請求項１１記載の光走査素子の駆動方法であって、
前記第２可動部を、該第２可動部の共振周波数より高い周波数で揺動駆動する光走査素子の駆動方法。
【請求項１４】
請求項１０または請求項１１記載の光走査素子の駆動方法であって、
前記第２可動部を、該第２可動部の共振周波数より低い周波数で揺動駆動する光走査素子の駆動方法。
【請求項１５】
請求項１３または請求項１４記載の光走査素子の駆動方法であって、
前記第１可動部を、該第１可動部に一体とされた構造体の共振周波数に略等しい周波数で揺動させる光走査素子の駆動方法。
【請求項１６】
被検体の体内に挿入されるプローブと、
前記被検体に光を照射するための光を発生する光源と、
前記光源からの光を前記プローブの先端部に導く光伝達手段と、
請求項１〜請求項９のいずれか１項記載の光走査素子が前記プローブの先端部に搭載され、前記光走査素子に導かれた前記光源からの光を前記被検体に向けて二次元走査する光走査部と、
前記光走査部の前記光走査素子に前記微小ミラーを揺動駆動する駆動信号を供給する走査駆動部と、
前記光走査部によって二次元走査された光の前記被検体からの反射光を基端部に導く反射光伝達手段と、
を備えた光走査プローブ。
【請求項１７】
請求項１６記載の光走査プローブであって、
前記光源と前記光走査部との間にピンホールが形成され、該ピンホールを通過する光が実質的に点光源となり、前記被検体との間に共焦点光学系が構成される共焦点ピンホールを備えた光走査プローブ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
（１５）  （１３）または（１４）記載の光走査素子の駆動方法であって、
前記第１可動部を、該第１可動部に一体とされた構造体の共振周波数に略等しい周波数で揺動させる光走査素子の駆動方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
また、第２可動板１３は、その全体が導電性材料からなるか、表面が導電性膜で覆われている。また、第２可動板１３上の各領域のうち、少なくとも第２固定電極３５，３６，３７，３８と対向する領域は導電性材料で形成してもよい。これにより、第２可動板１３が実質的に導電性を有する可動電極となる。上記の第２固定電極３５，３６，３７，３８は、第２可動板１３に第２の軸Ａｘ１を中心とする第３の回転方向および第４の回転方向に物理的作用力を加える第３、第４の駆動部として機能する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６４】
図７に光走査素子の第１可動板を回転変位させた様子（ａ）、第２可動板を回転変位させた様子（ｂ）を表す説明図を示した。
図７（ａ）に示すように、光走査素子の第２可動板１３は回転軸Ａｘ１を中心に傾斜（傾斜角θ２）し、図７（ｂ）に示すように、第１可動板１１は回転軸Ａｘ２を中心に傾斜（傾斜角θ１）する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６９】
次に、上記構成の光走査素子１００の第２可動板１３を回転変位させるための基本的な動作について説明する。
図９は光走査素子を図４と同じ方向から見た場合の各動作状態（ａ）〜（ｄ）を示す説明図である。
ここで、第２可動板１３は導電性材料からなり、その板面全体が電極として機能するものとする。
第２可動板１３と第２固定電極３５，３６、第２可動板１３と第２固定電極３７，３８との間の電位差が０である定常状態においては、図９（ａ）に示すように、基板１５の面と、第２可動板１３の面（微小ミラー２９の反射面）は、互いに平行な状態で配置されている。なお、第１可動板１１の面は、基板１５の面に平行な状態にされているものとする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７５】
また、駆動信号φＶ１，φＶ２は、第１可動板１１を回転変位させる駆動信号であり、これも交互にパルス印加することで、図８に示すように第１可動板１１を一方の側、他方の側へ吸引して傾斜させる。駆動信号φＶ１，φＶ２は、パルス幅Ｔ３と周波数が双方で等しくされ、パルスの印加タイミングが互いに半周期分ずれている。この駆動信号φＶ１，φＶ２の印加により、第１可動板１１の傾斜角θ１は、初期状態から＋Δθ１，０，−Δθ１と、２Δθ１を振幅としてサインカーブを描きながら変化する。回転変位の周期Ｔ４は、第１の周波数ｆ１の逆数に相当する周期となっている。なお、本例においては、駆動信号φＶ１，φＶ２のパルス幅Ｔ３は、φＶ３，φＶ４のパルス幅よりも大きく設定し、発生させる静電吸引力の印加時間を増やしている。これにより、第２可動板１３よりも大きな構造体となる第１可動板１１側を必要なタイミングおよび速度で駆動させることができる。なお、第１可動板１１の周期Ｔ４は周期Ｔ２の整数倍の長さになっている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８８】
図１３は光走査素子を駆動する駆動信号及びこれによる動作のタイムチャートである。
図１３に示す例では、第１可動板１１の駆動は前述の第２の周波数（ｆ２）で行い、第２可動板１４の駆動を前述の共振周波数である第２の周波数（ｆ２）よりも低い第４の周波数（ｆ４）の駆動信号を用いて行う場合を想定している。なお、第１可動板１１の駆動については、既に説明した図１０の例と同様であるので、その説明は省略する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０２】
図１８、図１９に示すように、光走査素子３００は、前述の光走査素子２００の構成と比較すると、第２可動板１３等の主要な構成は同一とされるが、基板１５上に配置され第２固定電極３５，３６，３７，３８を頂部に有する支持台の構成、および第１可動板１１の形状が異なっている。
支持台４０は、基板１５の上面１５ａに立設され、それぞれの頂部に第２固定電極３５，３６，３７，３８を配置している。第２固定電極３５，３６，３７，３８の高さは、図２０，図２１に示すように、第１可動板１１と第２可動板１４との間の高さ位置、すなわち弾性支持梁５１の高さと略同一とされ、第１可動板１１の設置面高さから突出した高さにされている。そして、第１可動板１１を跨ぐ第２固定電極３５−３７間の距離、同じく第２固定電極３６−３８間の距離は、第１可動板１１のＹ方向の幅が狭くなっている凹領域の幅を更に細くすることで、前述の第２実施形態の場合より短くされている。つまり、第２可動板１４の回転軸Ａｘ２と第２固定電極３５，３６，３７，３８との距離が近くなっている。
【手続補正９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１０】
2009075309.tif 000001
【手続補正１０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１２】
2009075309.tif 000002
【手続補正１１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１３】
2009075309.tif 000003