【手続補正書】
【提出日】平成21年12月9日(2009.12.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属ナノ粒子の焼結方法であって、前記方法は、
基板上の、被覆された金属ナノ粒子と分散溶媒とを含む金属ナノ粒子ペーストに、極性溶媒または溶解補助剤を含む極性溶媒溶液を作用させる工程および
前記基板を乾燥させる工程とを含み、
前記金属ナノ粒子の被覆が、複素環およびアルキル置換された複素環ならびに、−ＣＯＯＨ、−ＳＨ、−ＳＯＨ、−ＳＯ2Ｈ、―ＳＯ3Ｈ、―ＮＨ2、―ＮＯＨ、−ＮＯ2Ｈ、―ＯＨ、−ＳｉＯＨ、−Ｓｉ（ＯＨ）2、―Ｓｉ（ＯＨ）3、―ＰＯ2Ｈ2、―ＰＯ3Ｈ2、―ＰＯ4Ｈ、−ＣＯＯ−、−ＣＯＮ―、―ＣＯＮＨ−、−ＣＯＮＨ2、−Ｓ−、−ＳＯ−、−ＳＯ2−、−ＮＨ−、−ＮＯ−、−Ｏ−、−ＳｉＯ−、−ＰＨ−、−ＰＨ2−、−ＰＯ−、−ＰＯＨ−、−ＰＯＨ2−、−ＰＯ2−、−ＰＯ2Ｈ−、−ＰＯ3−、−ＰＯ3Ｈ−、−ＰＯ4−、−Ｎ（−）−、−Ｓｉ（Ｏ−）2および−Ｓｉ（Ｏ−）3からなる群から選択される１以上を含むアルカン、アルケン、アルキン、芳香族炭化水素、アルキル置換された芳香族炭化水素、複素環およびアルキル置換された複素環からなる群から選択される１以上から形成され、
前記極性溶媒または溶解補助剤を含む極性溶媒溶液を作用させる工程が、−２０℃〜１５０℃の範囲の温度で行われ、
前記基板を乾燥させる工程が、−２０℃〜１５０℃の範囲の温度で行われる方法。
【請求項２】
前記金属ナノ粒子が、銀、銅、金、白金、ロジウム、ニッケル、白金−金合金、白金−パラジウム合金、金−銀合金、銀−パラジウム合金、パラジウム−金合金、白金−金合金、ロジウム−パラジウム合金、銀−ロジウム合金、銅−パラジウム合金、ニッケル−パラジウム合金、鉄−白金合金、鉄−白金−銅合金、鉄−白金−スズ合金、鉄−白金−ビスマス合金および鉄−白金−鉛合金からなる群から選択される１以上の金属から形成される粒子、または銀、銅、金、白金、ロジウム、ニッケル、白金−金合金、白金−パラジウム合金、金−銀合金、銀−パラジウム合金、パラジウム−金合金、白金−金合金、ロジウム−パラジウム合金、銀−ロジウム合金、銅−パラジウム合金、ニッケル−パラジウム合金、鉄−白金合金、鉄−白金−銅合金、鉄−白金−スズ合金、鉄−白金−ビスマス合金および鉄−白金−鉛合金からなる群から選択される２以上の金属から形成されるコアシェル構造を持つ粒子である請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記分散溶媒が、アルカン、アルケン、アルキン、脂環式炭化水素、芳香族炭化水素、アルキル置換された芳香族炭化水素、および−ＯＨを１以上含むテルペン炭化水素からなる群から選択される１以上を含む請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】
前記極性溶媒または前記溶解補助剤を含む極性溶媒溶液の前記極性溶媒が、複素環、アルキル置換された複素環、水、−ＣＯＯＨ、−ＳＨ、−ＳＯＨ、−ＳＯ2Ｈ、―ＳＯ3Ｈ、―ＮＨ2および―ＯＨからなる群から選択される１以上で置換されたアルカン、アルケン、アルキン、芳香族炭化水素、アルキル置換された芳香族炭化水素、複素環および、アルキル置換された複素環、ならびに下記式（Ｘ）で表される化合物からなる群から選択される１以上の極性溶媒である請求項１〜３のいずれかに記載の方法。
Ｒ21−Ｙ−Ｒ22      （Ｘ）
前記式（Ｘ）中、Ｒ21およびＲ22は、互いに独立して、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、アルキル置換されたアリール基、ヘテロアリール基もしくはアルキル置換されたヘテロアリール基であり、
Ｙは、−ＣＯＮＨ−、−Ｃ（＝Ｏ）−または−ＳＯ−で表される基である。
【請求項５】
前記溶解補助剤が、ポリビニルピロリドンおよびポリビニルアルコールからなる群から選択される１以上である請求項１〜４のいずれかに記載の方法。
【請求項６】
前記基板が、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、ガラス、紙、金属、シリコンおよびセラミックスからなる群から選択される１以上の材料から形成される請求項１〜５のいずれかに記載の方法。
【請求項７】
基板上に配線を形成する方法であって、前記方法は、
被覆された金属ナノ粒子と分散溶媒とを含む金属ナノ粒子ペーストを用いて、配線前駆体となるパターンを基板上に形成する工程と、
前記基板上のパターンに、極性溶媒または溶解補助剤を含む極性溶媒溶液を作用させる工程と、
前記基板を乾燥させて前記金属ナノ粒子を焼結させ、配線を形成する工程とを含み、
前記金属ナノ粒子の被覆が、複素環およびアルキル置換された複素環ならびに、−ＣＯＯＨ、−ＳＨ、−ＳＯＨ、−ＳＯ2Ｈ、―ＳＯ3Ｈ、―ＮＨ2、―ＮＯＨ、−ＮＯ2Ｈ、―ＯＨ、−ＳｉＯＨ、−Ｓｉ（ＯＨ）2、―Ｓｉ（ＯＨ）3、―ＰＯ2Ｈ2、―ＰＯ3Ｈ2、―ＰＯ4Ｈ、−ＣＯＯ−、−ＣＯＮ―、―ＣＯＮＨ−、−ＣＯＮＨ2、−Ｓ−、−ＳＯ−、−ＳＯ2−、−ＮＨ−、−ＮＯ−、−Ｏ−、−ＳｉＯ−、−ＰＨ−、−ＰＨ2−、−ＰＯ−、−ＰＯＨ−、−ＰＯＨ2−、−ＰＯ2−、−ＰＯ2Ｈ−、−ＰＯ3−、−ＰＯ3Ｈ−、−ＰＯ4−、−Ｎ（−）−、−Ｓｉ（Ｏ−）2および−Ｓｉ（Ｏ−）3からなる群から選択される１以上を含むアルカン、アルケン、アルキン、芳香族炭化水素、アルキル置換された芳香族炭化水素、複素環およびアルキル置換された複素環からなる群から選択される１以上から形成され、
前記極性溶媒または溶解補助剤を含む極性溶媒溶液を作用させる工程が、−２０℃〜１５０℃の範囲の温度で行われ、
前記基板を乾燥させる工程が、−２０℃〜１５０℃の範囲の温度で行われる方法。
【請求項８】
前記金属ナノ粒子が、銀、銅、金、白金、ロジウム、ニッケル、白金−金合金、白金−パラジウム合金、金−銀合金、銀−パラジウム合金、パラジウム−金合金、白金−金合金、ロジウム−パラジウム合金、銀−ロジウム合金、銅−パラジウム合金、ニッケル−パラジウム合金、鉄−白金合金、鉄−白金−銅合金、鉄−白金−スズ合金、鉄−白金−ビスマス合金および鉄−白金−鉛合金からなる群から選択される１以上の金属から形成される粒子、または銀、銅、金、白金、ロジウム、ニッケル、白金−金合金、白金−パラジウム合金、金−銀合金、銀−パラジウム合金、パラジウム−金合金、白金−金合金、ロジウム−パラジウム合金、銀−ロジウム合金、銅−パラジウム合金、ニッケル−パラジウム合金、鉄−白金合金、鉄−白金−銅合金、鉄−白金−スズ合金、鉄−白金−ビスマス合金および鉄−白金−鉛合金からなる群から選択される２以上の金属から形成されるコアシェル構造を持つ粒子である請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記分散溶媒が、アルカン、アルケン、アルキン、脂環式炭化水素、芳香族炭化水素、アルキル置換された芳香族炭化水素、および−ＯＨを１以上含むテルペン炭化水素からなる群から選択される１以上を含む請求項７または８に記載の方法。
【請求項１０】
前記極性溶媒または前記溶解補助剤を含む極性溶媒溶液の前記極性溶媒が、複素環、アルキル置換された複素環および、水ならびに−ＣＯＯＨ、−ＳＨ、−ＳＯＨ、−ＳＯ2Ｈ、―ＳＯ3Ｈ、―ＮＨ2および―ＯＨからなる群から選択される１以上で置換されたアルカン、アルケン、アルキン、芳香族炭化水素、アルキル置換された芳香族炭化水素、複素環および、アルキル置換された複素環からなる群から選択される１以上の極性溶媒である請求項７〜９のいずれかに記載の方法。
【請求項１１】
前記溶解補助剤が、ポリビニルピロリドンおよびポリビニルアルコールからなる群から選択される１以上である請求項７〜１０のいずれかに記載の方法。
【請求項１２】
前記基板が、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、ガラス、紙、金属、シリコンおよびセラミックスからなる群から選択される１以上の材料から形成される請求項７〜１１のいずれかに記載の方法。