【手続補正書】
【提出日】平成22年4月13日(2010.4.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
観察する試料と対物レンズとの間に介在する透過性を有する試料保持部材と、
前記試料保持部材の光学的な厚さの誤差に起因して発生する収差を補正する補正環機構を備えた補正環付き対物レンズと、
前記試料保持部材の光学的な厚さを検出する光学的厚さ検出手段と、  
前記光学的厚さ検出手段により検出された前記試料保持部材の光学的な厚さをもとに、収差補正量を求める演算手段と、  
前記演算手段で求めた前記収差補正量に基づいて前記補正環機構を駆動させる駆動手段と、
前記対物レンズと前記試料との距離を変える合焦手段と、
前記対物レンズを通った前記試料の像を撮像する撮像手段と、
を備えたことを特徴とする拡大撮像装置。
【請求項２】
前記補正環付き対物レンズの前記収差補正量に基づいて、前記補正環機構の駆動量と、焦点位置の移動量を決定するために、前記対物レンズ固有の情報を識別する対物レンズ識別手段を更に備えたことを特徴とする請求項１に記載の拡大撮像装置。  
【請求項３】
前記光学的厚さ検出手段は、瞳分割方式の測長器であり、前記試料保持部材の空気と接する面と、前記試料と接する面との距離を検出することにより、前記試料保持部材の光学的な厚さを検出することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の拡大撮像装置。  
【請求項４】
前記光学的厚さ検出手段は、瞳分割方式の測長器にて、前記試料保持部材の空気と接する面から所定の検索範囲内に前記試料保持部材と試料と接する面を検出できなかった場合に、前記撮像手段により得た画像を用いたコントラスト検出法にて前記試料への合焦を行い、  
試料保持部材の空気と接する面と、試料面との距離を検出し、  
これを前記試料保持部材の光学的な厚さとして検出することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の拡大撮像装置。  
【請求項５】
前記合焦手段は、前記補正環機構の駆動に伴い生じる焦点位置の変化量に応じて、前記試料と前記対物レンズとの距離を変更することを特徴とする請求項１から請求項４の何れかに記載の拡大撮像装置。  
【請求項６】
前記光学的厚さ検出手段は、前記試料保持部材の厚さを直接入力する入力装置を備えたことを特徴とする請求項１に記載の拡大撮像装置。  
【請求項７】
観察する試料と対物レンズとの間に介在する透過性を有する試料保持部材と、
前記試料保持部材の厚さ及び屈折率の違いや誤差に起因して発生する収差を補正する補正環機構を備えた対物レンズと、  
前記試料保持部材の機械的な厚さを検出する機械的厚さ検出手段と、  
前記試料保持部材の屈折率を識別する屈折率識別手段と、  
前記機械的厚さ検出手段により検出された前記試料保持部材の機械的な厚さと前記屈折率識別手段により識別された屈折率をもとに、補正量を求める演算手段と、  
前記演算手段で求めた前記補正量に基づいて前記補正環機構を駆動させる駆動手段と、
前記対物レンズと前記試料との距離を変える合焦手段と、  
前記対物レンズを通った前記試料の像を撮像する撮像手段と、  
を備えたことを特徴とする拡大撮像装置。  
【請求項８】
前記屈折率識別手段は、少なくとも吸収フィルタと、励起フィルタと、ダイクロイックミラーとを備え、  
前記試料保持部材に励起光を当てて前記試料保持部材が自家蛍光を発するかどうかを前記撮像手段で検出して、前記試料保持部材の素材がプラスチックかガラスかを判断し屈折率を選択する選択手段を備えることを特徴とする請求項７に記載の拡大撮像装置。
【請求項９】
前記屈折率識別手段は、前記試料保持部材の素材がプラスチックかガラスかのいずれかの場合は、前記機械的厚さ検出手段で得られた前記試料保持部材の厚さからプラスチックとガラスを判断してその屈折率を選択することを特徴とする請求項７に記載の拡大撮像装置。  
【請求項１０】
前記屈折率識別手段は、ユーザーが前記試料保持部材の屈折率を直接入力することを特徴とする請求項７に記載の拡大撮像装置。  
【請求項１１】
前記瞳分割方式の測長器は、焦点検出機能と自動焦点調整機能を兼ね備えることを特徴とする請求項３に記載の拡大撮像装置。  
【請求項１２】
観察する試料と対物レンズとの間に介在する透過性を有する試料保持部材と、
前記試料保持部材の光学的な厚さの誤差に起因して発生する収差を補正する補正環機構を備えた補正環付き対物レンズと、
前記試料保持部材の光学的な厚さを検出する光学的厚さ検出手段と、
前記対物レンズの固有情報を識別する識別手段と、
前記試料保持部材の前記光学的な厚さ及び前記固有情報をもとに、収差を補正するための前記補正環機構の駆動量と、前記駆動量及び前記固有情報をもとに焦点位置を補正するための焦点位置補正量とを求める演算手段と、
前記演算手段で求めた前記駆動量に基づいて前記補正環機構を駆動させる駆動手段と、
前記演算手段で求めた前記焦点位置補正量に基づいて前記対物レンズと前記試料との距離を変える焦点位置補正機構と、
前記対物レンズを通つた前記試料の像を撮像する撮像手段と、
を備えたことを特徴とする拡大撮像装置。
【請求項１３】
前記光学的厚さ検出手段は、前記試料保持部材と空気の接する第１の界面と前記試料保持部材と前記試料と接する第２の界面とを検出し、
前記第１の界面から前記第２の界面までの、前記対物レンズあるいは前記試料の駆動量を検出することにより、前記試料保持部材の光学的な厚さを得ることを特徴とする請求項１２に記載の拡大撮像装置。
【請求項１４】
試料保持部材の光学的な厚さの誤差に起因する収差を補正する補正環を有する対物レンズを備えた拡大撮像装置を使つて試料を撮像する方法において、
前記試料保持部材の光学的な厚さを検出するステップと、
前記対物レンズの固有情報を識別するステップと、
前記光学的な厚さと前記固有情報をもとに、収差を補正するための前記補正環の駆動量を求めるステップと、
前記駆動量に基づいて前記補正環を駆動させるステップと、
前記駆動量及び前記固有情報をもとに焦点位置を補正するための焦点位置補正量を求めるステップと、
前記焦点位置補正量に基づいて、前記対物レンズと試料との距離を変えるステップと、
前記対物レンズを通つた前記試料の像を撮像するステップと、
を備えたことを特徴とする撮像方法。
【請求項１５】
前記光学的な厚さを検出するステップは、前記対物レンズを用いた瞳分割方式の測長機を利用し、前記試料保持部材と空気の接する第１の界面と前記試料保持部材と前記試料と接する第２の界面とを検出するステップと、
前記第１の界面から前記第２の界面までの、前記対物レンズあるいは前記試料の駆動量を計算するステップとを含むことにより、前記試料保持部材の光学的な厚さを得ることを特徴とする請求項１４に記載の撮像方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の上記課題は、観察する試料と対物レンズとの間に介在する透過性を有する試料保持部材と、前記試料保持部材の光学的な厚さの誤差に起因して発生する収差を補正する補正環機構を備えた補正環付き対物レンズと、前記試料保持部材の光学的な厚さを検出する光学的厚さ検出手段と、前記光学的厚さ検出手段により検出された前記試料保持部材の光学的な厚さをもとに、収差補正量を求める演算手段と、前記演算手段で求めた前記収差補正量に基づいて前記補正環機構を駆動させる駆動手段と、前記対物レンズと前記試料との距離を変える合焦手段と、前記対物レンズを通った前記試料の像を撮像する撮像手段を備えることによって解決される。