【手続補正書】
【提出日】平成22年6月28日(2010.6.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）酸解離性基を有する下記一般式（１）で表される構成単位とカルボキシル基と反応して共有結合を形成し得る官能基を有する構成単位を含有し、アルカリ不溶性若しくはアルカリ難溶性であり、且つ、当該酸解離性基が解離したときにアルカリ可溶性となる樹脂、及び、（Ｂ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する下記一般式（２）で表されるオキシムスルホネート基を含む化合物を少なくとも含有するポジ型感光性樹脂組成物。
【化１】
2009098616.tif 000001
一般式（１）に於いて、
Ｒ1は、水素原子、メチル基、ハロゲン原子又はシアノ基を表す。
Ｒ2及びＲ3は、それぞれ独立して、水素原子、直鎖状あるいは分岐状アルキル基、又はシクロアルキル基を表す。但し、Ｒ2及びＲ3の少なくとも一つは、直鎖状あるいは分岐状アルキル基又はシクロアルキル基を表す。
Ｒ4は、置換されていても良い、直鎖状あるいは分岐状アルキル基、シクロアルキル基
、又はアラルキル基を表す。
Ｒ2またはＲ3と、Ｒ4とが連結して環状エーテルを形成してもよい。
【化２】
2009098616.tif 000002
一般式（２）に於いて、
Ｒ5は、置換されていても良い、直鎖状あるいは分岐状アルキル基、シクロアルキル基
、又はアリール基を表す。
【請求項２】
前記（Ｂ）成分が、下記一般式（３）で表される化合物である請求項１に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【化３】
2009098616.tif 000003
一般式（３）に於いて、
Ｒ5は、一般式（２）におけるＲ5と同じである。
Ｘは、直鎖状あるいは分岐状アルキル基、アルコキシ基、又はハロゲン原子を表す。
ｍは、０〜３の整数を表す。ｍが２又は３であるとき、複数のＸは同一でも異なっていてもよい。
【請求項３】
前記カルボキシル基と反応して共有結合を形成し得る官能基を有する構成単位が、オキセタン基を有する構成単位である請求項１又は２に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【請求項４】
前記カルボキシル基と反応して共有結合を形成し得る官能基を有する構成単位が、エポキシ基を有する構成単位である請求項１又は２に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【請求項５】
前記カルボキシル基と反応して共有結合を形成し得る官能基を有する構成単位が、下記一般式（４）で表されるラジカル重合性単量体を用いて形成される、官能基としてエポキシ基を含有する構成単位である請求項１又は２に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【化４】
2009098616.tif 000004
Ｘは２価の有機基を表し、Ｒ7は、水素原子、メチル基又はハロゲン原子を表し、Ｒ11とＲ12はそれぞれ独立して、水素原子又はアルキル基を表す。ｎは、１〜１０の整数である。
【請求項６】
前記カルボキシル基と反応して共有結合を形成し得る官能基を有する構成単位が、３，４−エポキシシクロヘキシルメチルアクリレートまたは３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタアクリレートを用いて形成される構成単位である請求項５に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【請求項７】
(Ｃ)密着助剤を更に含有する請求項１〜６のいずれか一項に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか一項に記載のポジ型感光性樹脂組成物を基板上に塗布、乾燥することで塗膜を形成し、前記塗膜をマスクを介して活性光線又は放射線を用いて露光し、アルカリ現像液を用いて現像することでパターンを形成し、前記パターンを加熱処理することを含む硬化膜形成方法。
【請求項９】
更に、前記パターンを形成した後、前記パターンを加熱処理する前に、全面露光することを含む請求項８に記載の硬化膜形成方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明者は、上記課題を解決する鋭意検討した結果、本発明に到達した。
本発明は、下記の通りである。
＜１＞  （Ａ）酸解離性基を有する下記一般式（１）で表される構成単位とカルボキシル基と反応して共有結合を形成し得る官能基を有する構成単位を含有し、アルカリ不溶性若しくはアルカリ難溶性であり、且つ、当該酸解離性基が解離したときにアルカリ可溶性となる樹脂、及び、（Ｂ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する下記一般式（２）で表されるオキシムスルホネート基を含む化合物を少なくとも含有するポジ型感光性樹脂組成物。
【化１】
2009098616.tif 000005
一般式（１）に於いて、
Ｒ1は、水素原子、メチル基、ハロゲン原子又はシアノ基を表す。
Ｒ2及びＲ3は、それぞれ独立して、水素原子、直鎖状あるいは分岐状アルキル基、又はシクロアルキル基を表す。但し、Ｒ2及びＲ3の少なくとも一つは、直鎖状あるいは分岐状アルキル基又はシクロアルキル基を表す。
Ｒ4は、置換されていても良い、直鎖状あるいは分岐状アルキル基、シクロアルキル基
、又はアラルキル基を表す。
Ｒ2またはＲ3と、Ｒ4とが連結して環状エーテルを形成してもよい。
【化２】
2009098616.tif 000006
一般式（２）に於いて、
Ｒ5は、置換されていても良い、直鎖状あるいは分岐状アルキル基、シクロアルキル基
、又はアリール基を表す。
＜２＞  前記（Ｂ）成分が、下記一般式（３）で表される化合物である前記＜１＞に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【化３】
2009098616.tif 000007
一般式（３）に於いて、
Ｒ5は、式（２）におけるＲ5と同じである。
Ｘは、直鎖状あるいは分岐状アルキル基、アルコキシ基、又はハロゲン原子を表す。
ｍは、０〜３の整数を表す。ｍが２又は３であるとき、複数のＸは同一でも異なっていてもよい。
＜３＞  前記カルボキシル基と反応して共有結合を形成し得る官能基を有する構成単位が、オキセタン基を有する構成単位である前記＜１＞又は＜２＞に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
＜４＞  前記カルボキシル基と反応して共有結合を形成し得る官能基を有する構成単位が、エポキシ基を有する構成単位である前記＜１＞又は＜２＞に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
＜５＞  前記カルボキシル基と反応して共有結合を形成し得る官能基を有する構成単位が、下記一般式（４）で表されるラジカル重合性単量体を用いて形成される、官能基としてエポキシ基を含有する構成単位である前記＜１＞又は＜２＞に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【化４】
2009098616.tif 000008
Ｘは２価の有機基を表し、Ｒ7は、水素原子、メチル基又はハロゲン原子を表し、Ｒ11とＲ12はそれぞれ独立して、水素原子又はアルキル基を表す。ｎは、１〜１０の整数である。
＜６＞  前記カルボキシル基と反応して共有結合を形成し得る官能基を有する構成単位が、３，４−エポキシシクロヘキシルメチルアクリレートまたは３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタアクリレートを用いて形成される構成単位である前記＜５＞に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
＜７＞  (Ｃ)密着助剤を更に含有する前記＜１＞〜＜６＞のいずれか一項に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
＜８＞  前記＜１＞〜＜７＞のいずれか一項に記載のポジ型感光性樹脂組成物を基板上に塗布、乾燥することで塗膜を形成し、前記塗膜をマスクを介して活性光線又は放射線を用いて露光し、アルカリ現像液を用いて現像することでパターンを形成し、前記パターンを加熱処理することを含む硬化膜形成方法。
＜９＞  更に、前記パターンを形成した後、前記パターンを加熱処理する前に、全面露光することを含む前記＜８＞に記載の硬化膜形成方法。
本発明は、上記＜１＞〜＜９＞に係る発明であるが、以下、他の事項も含めて記載している。