(57)【要約】  本発明は、容器の内部及び外部を隔てることに関して密閉機能を向上させ、溝特徴部におけるシールの保持を向上させ、また、シール溝係合部を通した漏れを排除するとともに水が洗浄中に溝に入ることを最小限に抑えるか又は排除するように、シールによる溝の密閉を向上させた、エラストマシールを提供することによって、当業界における、ウェハ容器のより高性能且つより長持ちするシール構造の必要性に対処するものである。ウェハ容器は、容器部分及びドアを含む正面開口式ウェハ容器であるものとすることができ、容器部分及びドアのうちの一方は径方向に取り付けられるシールを有し、当該シールは、シールが溝内に取り付けられると、通常の位置から、取り付け方向から離れる方向に撓む複数の対向する横方向突起を有し、当該横方向突起は、シールが溝内に着座した後でシールの取り外しに抵抗する。ドアが容器部分に着座すると、コア部分及び片持ち梁式のフィンガ部材が、ドア及び容器部分のうちの他方に係合する。シールの他の横方向突起は、シールと溝の面との間の経路を効果的に密閉する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口側を画定するドアフレームを有する容器部分、及び、前記ドアフレームにラッチして前記開口側を閉じるドアを有する基板容器であって、前記ドア及び前記ドアフレームのうちの一方は、その外周の周りに延びる溝を、シールが該溝内に取り付けられた状態で有し、前記シールは、前記ドアを前記容器部分に密閉するために前記ドア及び前記ドアフレームのうちの他方に係合可能であり、前記シールは、前記溝の底部に着座する台座部分、該台座部分から該シールの上部に延びるコア部分、該コア部分から延びる、前記溝の対向する側壁に係合する複数の対向する対の突起を有し、少なくとも１つの対の突起は、その対応する位置において前記溝よりも大きいように寸法決めされ、それによって、前記突起は上向きに角度を付けられ、前記溝からの前記シールの取り外しを阻止する、基板容器。
【請求項２】
容器部分及びドアを含む正面開口式ウェハ容器であって、前記容器部分及び前記ドアのうちの一方は径方向に取り付けられるシールを有し、該シールは、該シールが溝内に取り付けられると、通常の位置から、取り付け方向から離れる方向に撓む複数の対向する横方向突起を有し、該横方向突起は、前記シールが前記溝内に着座した後で前記シールの取り外しに抵抗する、正面開口式ウェハ容器。
【請求項３】
前記対向する突起は、前記シールを前記溝から取り外すために前記取り付け方向に向かう方向に撓むには圧縮及び反転を必要とするように構成されている、請求項１又は２に記載の正面開口式ウェハ容器。
【請求項４】
前記シールは、前記溝の底部に着座する台座部分を有し、前記溝は、前記底部に向かってテーパ状になっている側壁面を有する、請求項１〜３のいずれか一項に記載の正面開口式ウェハ容器。
【請求項５】
前記シールは前記ドア内にあり、前記ドアフレームに係合するＣ字形の部分を有する、請求項１又は２に記載の正面開口式ウェハ容器。
【請求項６】
少なくとも３００ｍｍの大径のウェハを保持する正面開口式ウェハ容器であって、ドアフレームによって画定される開口正面を有する容器部分、前記ドアフレームにおいて該容器部分に密閉ラッチするドアを含み、該ドアは、内部にシールを有する、該ドアの外周の周りに延びる、シールを受け入れる溝を有し、前記シールは、前記ドアフレームにおいて前記ドアと接触する少なくとも５つの別個の離れた領域を有する、正面開口式ウェハ容器。
【請求項７】
前記シールは、前記溝内に挿入されると該シールを適所に解放可能にロックする舌部を有する、請求項６に記載の正面開口式ウェハ容器。
【請求項８】
前記シールを受け入れる溝は、前記ドアが前記ドアフレーム内に挿入されると前記容器部分に面する、請求項６に記載の正面開口式ウェハ容器。
【請求項９】
前記シールは、前記ドアが前記容器部分に密閉係合してラッチされると圧縮されるＣ字形部分を有する、請求項６に記載の正面開口式ウェハ容器。
【請求項１０】
前記溝は内側壁及び外側壁によって画定され、該外側壁は、前記シールの上部の下の肩部を有し、前記シールは、該肩部の面に係合する横方向突起を有する、請求項６に記載の正面開口式ウェハ容器。
【請求項１１】
前記シールと、前記溝を画定する前記面との間には７つの別個の離れた密閉係合部がある、請求項６に記載の正面開口式ウェハ容器。
【請求項１２】
複数のウェハを保持する密閉可能な容器であって、
前記ウェハを受け入れる内部スペースを画定する上部、底部、左側及び右側を有する容器部分であって、前記左側及び前記右側に隣接して内部に対向する棚部を有し、該容器部分は、該容器部分の前記底部に位置決めされるキネマティックカップリングを有し、該容器部分は、ドアフレームによって画定される開口側を有し、前記ドアフレームは、前記上部、前記底部、前記左側及び前記右側に隣接するとともに、角部密閉部分を有するフレームの外周を呈し、前記角部密閉部分は、前方に面する平面的な面、及び該前方に面する平面的な面から後方に延びる内方に面する面を含むとともに角部を画定する、容器部分、
前記容器部分の前記開口側を密閉して閉じるように前記ドアフレームに受け入れ可能なドアであって、内面を有するとともにドアの外周を呈し、該ドアの外周に隣接して該ドア内に内方に延びる溝を有し、該溝は、該ドアが前記ドアフレームに嵌まると前記容器部分の内部に面し、前記溝は、チャネルとして構成され、底部着座面、２つの対向する側面、及び上側レッジ部分によって画定され、該上側レッジ部分は、角部において前記２つの対向する側面のうちの一方に隣接する、ドア、並びに
前記ドアの外周の周りかつ内部で前記ドアの内面に配置されるエラストマシールであって、前記溝内に保持されるように寸法決めされ、該エラストマシールは、断面では、中心コア部分を有し、該中心コア部分は該シールの底部から該シールの上部まで延び、該シールは、前記中心コア部分の底部に位置決めされる底部台座部分、前記中心コア部分から横方向外方に突出する一対の対向する舌部であって、該シールが前記溝内に挿入されると上方に撓むように前記溝に対して寸法決めされ、それによって、前記側面を圧縮により把持し、該シールを前記溝から取り外すことに抗する抵抗力を提供する、一対の対向する舌部、第１の横方向に突出する上側の溝係合突起及び第２の横方向に突出する上側の溝係合突起であって、該第１の溝係合突起は前記溝の側面に係合し、該第２の溝係合部分は切欠き部分を有し、該切欠き部分において前記溝の反対側の側面及び前記上側レッジに係合し、該第１の溝係合突起、該第２の溝係合部分、及び、該第１の溝係合部分と該第２の溝係合部分との中間に位置決めされる前記中心コア部分は、前記溝の前記２つの対向する側面間で横方向に圧縮される、第１の横方向に突出する上側の溝係合突起及び第２の横方向に突出する上側の溝係合突起を有し、前記シールは、前記中心コア部分から斜めかつ横方向に延びるとともに前記上側レッジの上に位置決めされる、フィンガ部材を更に含む、エラストマシール、
を備え、
前記ドアが前記ドアフレーム内に受け入れられて前記容器部分の開口正面を閉じると、前記角部密閉部分は、斜めに延びる前記フィンガ部材と係合し、該フィンガ部材を下方に撓ませ、前記中心コア部分において前記シールの前記上部に更に係合し、
前記溝は、チャネルとして構成され、底部着座面、２つの対向する側面、及び上側レッジ部分によって画定され、該上側レッジ部分は、角部において前記２つの対向する側面のうちの一方に隣接する、密閉可能な容器。
【請求項１３】
シールを、大径のウェハ容器のドアの溝内に取り付ける方法であって、前記シールを、挿入方向から離れる方向に撓み、前記溝を画定する側壁に係合することによって前記シールを前記溝内に解放可能にロックする横方向舌部とともに挿入することを含む、方法。
【請求項１４】
ウェハ容器のシールであって、ループとして構成され、断面では、溝の底部に着座する台座部分、前記台座部分から延びるコア部分であって、内面及び外面を有する、コア部分、前記内面から延びる複数の突起、及び前記外面から延びる複数の突起を含み、該シールはエラストマ材料から形成され、その全ての部分が一体的である、シール。
【請求項１５】
前記外面から延びる２つの突起が、ドアフレームと密閉係合する上側脚部を有するＣ字形の部分を含む、請求項１４に記載のシール。
【請求項１６】
前記コア部分の内面は、前記台座部分を含む、３つの内方に延びる突起を有する、請求項１４に記載のシール。
【請求項１７】
前記コア部分の内面は、前記台座部分を含む、４つの内方に延びる突起を有する、請求項１４に記載のシール。
【請求項１８】
前記コア部分の外面は、前記台座部分を含む３つの突起を有する、請求項１４〜１７のいずれか一項に記載のシール。
【請求項１９】
前記台座部分から最も離れた前記突起はフィンガを含む、請求項１８に記載のシール。
【請求項２０】
前記台座部分は、支柱及び２つの対向するフィンガ部分のうちの一方として構成される、請求項１４に記載のシール。
【請求項２１】
ウェハ容器のシールであって、４つの角部分によって接合される４つのセグメント部分を有するループとして構成され、断面では、溝の底部に着座するベース部分、前記ベース部分から延びるコア部分であって、内面及び外面を有するコア部分、前記内面から延びる複数の突起、及び前記外面から延びる複数の突起を含み、該シールはエラストマ材料から形成され、その全ての部分は一体的である、シール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願は容器に関し、より詳細には、密閉して取り付けられる前部ドアを有するウェハ容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェハは、加工中に多くのステップに供される。これは通常、複数のウェハをワークステーション間で運搬することを伴うか、加工を容易にすることを伴う。半導体ウェハはデリケートであり、物理的な接触又は衝撃、及び静電気によって損傷を受けやすい。さらに、半導体製造工程は、微粒子又は化学物質による汚染に対して極めて敏感である。その結果、ウェハに対する汚染物質の有害作用を低減するために、汚染物質の発生を最小限に抑えるとともに、ウェハを、容器の外部の汚染物質から隔離するように専用の容器が開発されている。これらの容器は通常、取り外し可能なドアを含み、これは、ドアと容器本体との密封を提供するガスケット手段又は他の手段を有する。
【０００３】
半導体は寸法がより小型化しており、すなわち、単位面積あたりの回路の数が増えてきているため、微粒子状の汚染物質が、以前よりもさらに問題となっている。回路を使えなくする可能性がある微粒子の大きさは減少しており、分子レベルに近づいている。したがって、半導体ウェハの製造、加工、運搬及び保管の全ての段階において、より効果的な微粒子制御が望まれている。
【０００４】
ウェハ担持体は通常、熱可塑性材料から作られる。例えば特許文献１に開示されている容器である初期の容器は、ポリエチレン等のかなり成形しやすいプラスチックから作られていた。特許文献２に開示されているような後の容器は、剛性のＨバー担持体を保持するものであり、多くの場合に、スロットに成形されるポリカーボネートから作られ、例えば特許文献３に開示されているような、より柔らかくより弾力性のあるカバーを有するものである。特許文献１、特許文献２及び特許文献３のそれぞれは、参照により全体が本明細書に援用される。
【０００５】
従来の容器の幾つかは、容器部分のシールに対するドアを有し、加工機器に密閉可能に係合することもできる。そのような容器は、「ＳＭＩＦポッド」（標準機械的インタフェース）と称されて、ドアは容器部分の開口底部を閉じ、又は、ＦＯＵＰ（正面開口式一体型ポッド）及びＦＯＳＢ（正面開口式搬送箱）と称されて、ドアは開口正面を閉じる。これらの容器は、非常に要求が厳しい構造要件及び性能要件を受ける。例えば、これらの容器は、ロボット手段及び手動手段の双方によって機械的に密閉可能にラッチ可能でなければならず、単にドアを閉じて容器の適所にラッチすることによって密封可能でなければならない。
【０００６】
ＳＭＩＦポッド及び運搬モジュール双方の従来のシールは通常、ドアと容器部分との間で軸方向に単純に圧縮されて密閉を提供する、比較的単純なエラストマシールであった。そのようなシールは、特にポリカーボネート材料にエラストマシールが接触する場合、過度にくっつき、一貫性のない開放、シールの平均寿命の短縮、及び不適切な密閉を提供する傾向にある。ロボットによるドアの開放中に、シールがドアフレームにくっつき、シールがドア内に着座している場所である保持溝から引っ張り出されるという問題があった。さらに、シールとドアフレームとの間、及びシールとドアの保持溝との間の双方の漏れが望ましいものではなかった。
【０００７】
その上、既知のシールはウェハ容器の洗浄中に問題を生じるものであった。既知のシールは、洗浄前に取り外される必要があるか、又は、シールと保持溝との間に捕捉された水を保持する可能性がある。そのような捕捉された水は、ウェハ加工作業中の汚染物質であり、許容可能ではない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】米国特許第４，２４８，３４６号明細書
【特許文献２】米国特許第５，２７３，１５９号明細書
【特許文献３】米国特許第５，５８６，６５８号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
当業界で必要とされているのは、ドアとウェハ容器のエンクロージャとを密閉する、より高性能のより長持ちするシール構造であり、このシール構造は、洗浄作業中に適所に留まることができ、通常の作業中に保持溝から離脱しない。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、容器の内部及び外部を隔てることに関して密閉機能を向上させ、溝特徴部におけるシールの保持を向上させ、また、シール−溝係合部を通した漏れを排除するとともに水が洗浄中に溝に入ることを最小限に抑えるか又は排除するように、シールによる溝の密閉を向上させた、エラストマシールを提供することによって、当業界における、ウェハ容器のより高性能且つより長持ちするシール構造の必要性に対処するものである。
【００１１】
本発明によると、ウェハ容器は、ウェハを軸方向に挿入及び取り出しするための開口部を画定するドアフレームを有する容器部分、並びに、開口正面を閉じて容器部分を密閉するためにドアフレーム内に軸方向に挿入可能であるとともに嵌合可能であるドアを含む。本発明の一実施形態では、連続的なエラストマシールがドアの周りで外周の内方に延びる。シールは、ドアの周縁に近接して軸方向に延びる保持溝内に位置決めされる。
【００１２】
本発明の実施形態の特徴及び利点は、複数の横方向突起が、溝の対向する側面、すなわち内面及び外面に係合するように、中央コア部分の各側面、すなわち内面及び外面から延びることである。本明細書において記載及び特許請求される特徴は、通常は、断面図において見られるような特徴に言及するものであることが理解され、それらの特徴部が連続的なシールの周りに連続的に延びることが明らかである。例えば、シールの全周に延びるコア部分からの薄い突起は、断面図におけるその見た目に言及して「フィンガ」として記載及び特許請求される。突起を有するコアは、突起を有しない単体部分と比較して、横方向突起、台座及び舌部が挿入中にシールの有効幅を低減するように容易に撓んで圧縮され、次に、特に僅かに上向きに角度を付けることができる舌部によってシールの取り外しに抵抗することができるため、溝内に容易に挿入される。取り外しには、挿入力よりも強い力を必要とする取り外しのために、舌部を圧縮し、次に僅かに下向きの角度に反転させることを必要とする。さらに、第１の突起及び第２の突起が横方向の密閉を提供し、洗浄中に水が溝に入らないようにするか又は最小限に抑える。これは、シールを取り外すことなくドアを洗浄することを可能にし、従来の、特に径方向に取り付けられるシールに勝る利点を提供する。
【００１３】
代替的には、フレームは、ドアが着座しているときに、エラストマシールのブリッジ部分がドアの密閉面とドアフレームの密閉面との間の隙間で圧縮されるように寸法決めすることができる。
【００１４】
本発明の特徴及び利点は、取り付け及び取り外しの容易さである。取り付けは、単純な圧入による「軸方向」の取り付けであり、「径方向」の取り付けにおいて必要であるようなガスケットの変形を伴わない。
【００１５】
本発明の特徴及び利点は、非対称な設計が、シールが溝に嵌まる方法が１つしかないため、フェイルセーフの取り付けを提供することである。
本発明の特徴及び利点は、過剰な閉じる圧力を用いることなく向上した密閉が提供されることである。Ｃ字形の部分がシールの上部にあり、最小限の圧縮力で効果的な密閉を提供する。Ｃ字の上側脚部がドアフレームに密閉係合し、下側脚部が、シール溝を画定する壁の肩部に係合する。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明によるウェハ容器の斜視図である。
【図２】ドアの内部に面する面及びシールを示す、図１のウェハ容器のドアの斜視図である。
【図３】本発明によるシールの取り付けの断面図である。
【図４】シールがシール保持溝内に着座した状態の、図３において開始されたような取り付けの断面図である。
【図５】ドアをドアフレーム内に挿入して着座させる前のドアのシール及びドアフレームの断面詳細図である。
【図６】容器部分にラッチされたドアに対応する完全に着座した位置にある、図５のドア及びドアフレームの断面詳細図である。
【図７】ドアのシールが容器部分と係合した状態の、容器部分に完全に係合したドアを示す詳細断面斜視図である。
【図８】洗浄中の水の反発を改善するように改良された、更なる実施形態におけるドアのシール及びドアフレームを示す図である。
【図９】本明細書における本発明の更なる実施形態の断面詳細図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
図１、図２及び図７を参照すると、複数のウェハを保持する密閉可能な容器が示されている。ウェハ容器２０は概して容器部分２２及びドア２４を含む。容器部分は、ロボットフランジ３０を有する上部２６、３つの溝用のキネマティックカップリング（図示せず）を有する底部３２、左側３４、右側３６及びドアフレーム４０を有し、ウェハ４８を支持するウェハ棚部４６を有する開口内部４４につながるドア開口部４２を画定する。容器部分は、前方に面する平面的な面５０、内方に面する平面的な面５１及び角部５３を有する密閉角部分４９として構成されているシール係合部分を有する。
【００１８】
図２〜図７を参照すると、ドア２４は、キー穴５４を有する一対のラッチ機構５２、ウェハクッション５８を有する内面５６、外周６０、及びシール受け入れ溝６４に保持されるシール６２を有する。シール受け入れ溝は、ドアの外周に隣接してドアの中へ内向きに延びる。溝は、ドアがドアフレームに嵌まると、容器部分の内面に面する。溝は概して、底部着座面６８、２つの対向する側面７０、７２、及び上側レッジ部分７３又は肩部、及び上側レッジ又は肩面７４を有するチャネルとして構成される。溝は、内側壁６５及び外側壁６６によって画定される。外側壁は、ドアフレームの内方に面する面６７．２に直面する外側壁面６７．１を有する。内側壁面７２及び外側壁面７０は、溝の底部６８に向かってテーパ状になっている。上側レッジ部分が角部７６において２つの対向する側面のうちの一方に隣接する。
【００１９】
引き続き図２〜図９を参照すると、エラストマシール６２は、ドアの外周の周りかつ内部でドアの内面に配置される。シールは、４つの側部セグメント部分６２．３、４つの角部分６２．５を有する。シールは溝内に保持されるように寸法決めされており、エラストマシールは、断面では、コアの内面８０．６及びコアの外面８０．７を有する中心コア部分８０を有する。中心コア部分はベース部分８０．８及びベース部分の面８０．９を有し、コアはシールの底部８２からシールの上部８４まで延びる。シールは複数の横方向突起８５を有する。横方向突起は、ドアフレーム、及び容器の外側に向かって外方に、又はドアの中央８５．２に向かって内方に延びる。突起は、中心コア部分の底部に位置決めされる底部台座部分８６、一対の対向する舌部９０を画定する。舌部は、シールが図４に示されているように溝内に挿入されると上方に撓むように溝に対して寸法決めされており、それによって、舌部は側壁を圧縮により把持し、シールを溝から取り外すことに抗する抵抗力を提供する。第１の横方向に突出する上側の溝係合突起９２及び第２の横方向に突出する上側の溝係合突起９４であって、第１の溝係合突起９２は溝の側面７２に係合し、第２の溝係合部分は切欠き部分９８を有し、当該切欠き部分において溝の反対側の側面７０及び肩部又は上側レッジ７３に係合する。第１の溝係合突起及び第２の溝係合部分、並びに、第１の溝係合部分と第２の溝係合部分との中間に位置決めされる中心コアは、溝の２つの対向する側面間で横方向に圧縮される。シールは、中心コア部分から斜めかつ横方向に延びるとともに上側レッジ部分の上に位置決めされる、片持ち梁式のフィンガ部材１００を更に含む。フィンガ及び突出部はコア部分８０から延び、図５の点線は概してコア部分の好適な境界を示す。
【００２０】
図５、図６及び図７を参照すると、ドアが、ドアフレームに受け入れられて容器部分の開口正面を閉じると、角部密閉部分が、斜めに延びるフィンガ部材と係合し、当該フィンガ部材を下方に撓ませ、コア部分８０においてシールの上部８４に更に係合する。これによってＣ字形の部分８１を圧縮する。シールは、断面で示されているようにシールコアの長さにわたって延びる中心軸を有する。この軸は、シールを、外側部分１１２及び内側部分１１３に分ける。なお、シールがドアフレームに係合すると、外側部分のみがドアフレームによって圧縮され、シールの上側部分１１５に対する回転力を生じ、これによってシールを肩部７３に対して押しやり、シールとドアとの間の密閉を高めるとともに、Ｃ字の上側脚部を撓ませることによってＣ字形の部分を圧潰させ、コア部分を圧縮する。シールは、密閉特徴部と、溝を画定する面１１６との間に、６つの画定された密閉係合領域を有する。
【００２１】
図８を参照すると、通常位置１１０を有する更なるフィンガが、撓んだ位置では内側壁に沿って延び、洗浄中にシールキャビティ１１４に水が侵入することに対する向上した保護を提供する。
【００２２】
図９を参照すると、この実施形態は、溝面との５つの別個の離れた密閉部分、及びシールの取り外しに抵抗する舌部１１８を有する。
容器部分の構成要素は、例えばポリカーボネートである射出成形ポリマーから形成することができる。シールは、３０〜６０のデュロメータのショアＡ硬度を有することができる熱可塑性エラストマから形成される。
【００２３】
本願の全ての項における上記参考文献は、全ての目的でそれらの全体が参照により本明細書に援用される。
（いずれかの添付の特許請求の範囲、要約書及び図面を含め、参照により援用される参考文献を含む）本明細書において開示されている特徴の全て、及び／又は、そのように開示される任意の方法若しくは工程のステップの全ては、そのような特徴及び／又はステップの少なくとも幾つかが互いに矛盾する組み合わせを除いて、任意の組み合わせで組み合わせることができる。
【００２４】
（参照により援用される参考文献、いずれかの添付の特許請求の範囲、要約書及び図面を含む）本明細書において開示されている各特徴は、別途明記されない限り、同じ、均等な又は同様の目的を果たす代替的な特徴によって置き換えることができる。したがって、別途明記されない限り、開示されている各特徴は、包括的な一連の均等な又は同様の特徴のうちの１つの例に過ぎない。
【００２５】
本発明は、前述の実施形態（複数の場合もあり）の詳細に限定されない。本発明は、（参照により援用される任意の参考文献、いずれかの添付の特許請求の範囲、要約書及び図面を含む）本明細書において開示されている特徴のうちのいずれかの新規の特徴若しくは任意の新規の組み合わせ、又は、そのように開示される任意の方法若しくは工程のステップのうちのいずれかの新規のもの若しくは任意の新規の組み合わせに及ぶ。本願の全ての項における上記参考文献は、全ての目的でそれらの全体が参照により本明細書に援用される。
【００２６】
特定の例が本明細書において図示及び記載されているが、当業者には、同じ目的を達成するように予測される任意の構成を、示されている特定の例の代わりに用いることができることが認識されるであろう。本願は、本発明の主題の適合又は変形を包含することが意図される。したがって、本発明は添付の特許請求の範囲、及びそれらの法的な均等物、並びに以下の例示的な態様によって規定されることが意図される。本発明の上記で記載した態様の実施形態は、単にその原理を説明するものであり、限定的であるものとみなされるべきではない。本明細書において開示されている本発明の更なる変更形態が当業者には想起され、全てのそのような変更形態は本発明の範囲内にあるものとみなされる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【国際調査報告】
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