(57)【要約】  本発明は容量性エネルギー蓄積装置を有するスパークギャップに関する。本発明によれば前記スパークギャップ（１４，１５）にはリング状に設けられた多数のコンデンサ（１９）を介して電力が供給され、当該コンデンサはリング状（２１，２６）および円錐形（２２）、もしくは漏斗形（２７）に形成された導体を介してアノード（１１）およびカソード（１２）と電気的に接続されている。これによりインピーダンスの急激な変化が回避され得る。同時に極めて狭い空間で導体のできる限り大きな断面を実現することが可能である。従って本発明に係るスパークギャップは、当該スパークギャップのフラッシュオーバーが生じるやいなや、電圧パルスの大きな勾配を有する切り替え動作を有する。これにより前記スパークギャップの良好に予測可能な切り替え動作が得られる。前記スパークギャップは例えば、単色Ｘ線のパルスを生じさせるために応用され得る。
2015525441.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アノード（１１）とカソード（１２）の間にあるスパークギャップ（１５，１８）であって、当該スパークギャップ（１８）に点火するために容量性エネルギー蓄積装置が用いられるスパークギャップにおいて、
エネルギー蓄積装置として並列接続された多数のコンデンサ（１９）が設けられており、当該コンデンサは同心状にリング状に、あるいは星形に、コンデンサ電極が軸方向においてそれぞれ同じ向きを有して設けられていることを特徴とするスパークギャップ。
【請求項２】
前記カソード（１２）への電気的接続部は接続リング（２１）を有しており、当該接続リングは全てのコンデンサ（１９）の同じ極性のコンデンサ電極と接続されていることを特徴とする請求項１に記載のスパークギャップ。
【請求項３】
前記接続リング（２１）は当該接続リングの内側において、円錐形領域（２２）に出口を有しており、当該円錐形領域の先端は前記カソード（１２）と接続されているか、または前記カソードを形成していることを特徴とする請求項２に記載のスパークギャップ。
【請求項４】
前記アノード（１１）への電気的接続部は接続リング（２６）を有しており、当該接続リングは全てのコンデンサ（１９）の同じ極性のコンデンサ電極と接続されていることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載のスパークギャップ。
【請求項５】
前記接続リング（２６）が当該接続リングの内側において、漏斗（２７）に出口を有しており、当該漏斗の壁（３０）は電気的接続部として作用するとともに、当該漏斗のより小さな開口部内に前記アノード（１１）が設けられていることを特徴とする請求項４に記載のスパークギャップ。
【請求項６】
前記アノード（１１）は箔状に形成されており、あるいは別のやり方で単色Ｘ線を発生させるために好適なターゲットを備えており、前記アノード（１１）は前記より小さな漏斗開口部を囲む前記漏斗の前記壁の端面に、導電的に固定されていることを特徴とする請求項５に記載のスパークギャップ。
【請求項７】
前記コンデンサは複数の同心円状リングに設けられていることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載のスパークギャップ。
【請求項８】
前記スパークギャップは高圧スパークギャップ（１４）と実用スパークギャップ（１５）を有しており、当該高圧スパークギャップと実用スパークギャップは中間部分（１３）を介して互いに接続されており、
・前記高圧スパークギャップは前記カソード（１２）と前記中間部分（１３）との間に形成されており、
・前記中間部分（１３）は電気的抵抗（１７）が設けられている導線（１６）を介して前記アノード（１１）と接続されており、
・前記実用スパークギャップ（１５）は前記中間部分（１３）と前記アノード（１１）との間に形成されていることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載のスパークギャップ。
【請求項９】
前記スパークギャップ（１５）はＸ線を発生させるために設けられており、前記Ｘ線を発生させるためのターゲットとして前記アノード（１１）が用いられることを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載のスパークギャップ。
【請求項１０】
前記アノード（１１）によって単色Ｘ線が発生可能であることを特徴とする請求項９に記載のスパークギャップ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はアノードとカソードの間にあるスパークギャップであって、当該スパークギャップに点火するために容量性エネルギー蓄積装置が用いられるスパークギャップに関する。
【背景技術】
【０００２】
冒頭に記載された種類のスパークギャップは、非特許文献１から知られている。当該文献において、高速Ｘ線撮影のためのフラッシュＸ線発生装置を作り出すために高電圧源が用いられ、当該高電圧源では高電圧コンデンサがエネルギーを供給する。当該高電圧コンデンサは４個の同軸ケーブルでＸ線管のカソードと接続されている。
【０００３】
Ｘ線を商業的に利用可能な線量で製造すべきとき、Ｘ線のフラッシュを生じさせるために高い容量が利用可能とされなければならない。このとき利用に供されるコンデンサ容量を電気的に接続することが問題となる。従って本発明は、例えばＸ線発生装置に好適であるスパークギャップであって、作り出されるパルスの勾配ができる限り大きいスパークギャップを記載することを課題とする。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００４】
【非特許文献１】佐藤栄一ほか、“Ｋ−ｅｄｇｅ  Ａｎｇｅｏｇｒａｐｈｉｅ  Ｕｔｉｌｉｚｉｎｇ  ａ  Ｔｕｎｇｓｔｅｎ  Ｐｌａｓｍａ  Ｘ−Ｒａｙ  Ｇｅｎｅｒａｔｏｒ  ｉｎ  Ｃｏｎｊｕｎｋｔｉｏｎ  ｗｉｔｈ  Ｇａｄｏｌｉｎｉｕｍ−ｂａｓｅｄ  Ｃｏｎｔｒａｓｔ  Ｍｅｄｉａ”  Ｒａｄｉａｔｉｏｎ  Ｐｈｙｓｉｃｓ  ａｎｄ  Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ  ７５，２００６年，１８４１ページから１８４９ページ
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記の課題は冒頭に記載されたスパークギャップによって、本発明によれば以下のように解決される。すなわち、エネルギー蓄積装置として並列接続された多数のコンデンサが設けられており、当該コンデンサは同心状にリング状に、コンデンサ電極が軸方向においてそれぞれ同じ向きを有して設けられており、コンデンサとアノードとの電気的接続と、コンデンサからカソードへの電気的接続は、それぞれ以下のように形成されている。すなわち、全てのコンデンサは同一のインピーダンスでアノードとカソードとに接続されているのである。本発明による複数のコンデンサの構成により、例えばＸ線管を切り替えるために使用に供される容量を、好適に増大させることが可能である。切換過程が、必要とされる電圧パルスの勾配で行われ得るように、好適に全てのコンデンサの電気的接続のインピーダンスは等しく、スパークギャップの周囲のリング状の構成により、経路ができる限り短く保たれ得るようにされており、それによりインピーダンスは小さく、急激なインピーダンスの変化は発生しない。これにより好適に電圧パルスの大きな勾配が保証され、それによりスパークギャップの短く、迅速な切換動作も実現され得る。この点は特に、スパークギャップの点火挙動の予測可能性にとって第一に重要である。従ってスパークギャップは例えばフラッシュＸ線発生装置を駆動するためにも用いられ得る。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の有利な構成によれば、カソードへの電気的接続部が接続リングを有しており、当該接続リングは全てのコンデンサの同じ極性のコンデンサ電極と接続されていることが行われる。当該接続リングは好適に、極めて狭い空間でコンデンサの接続を可能にし、それによりコンデンサはリング状に、壁と壁を接して設けられ得る。同時に当該リングは電流を伝導させるためのできる限り大きな幾何学的断面を提供しており、それによりリング状の接続領域のインピーダンスは非常に小さくなる。さらに好適に、接続リングが当該接続リングの内側において、円錐形領域に出口を有しており、当該円錐形領域の先端はカソードと接続されているか、またはカソードを形成していることが行われてもよい。さらに円錐形領域は、インピーダンスにおける急激な変化なしに、カソードへの電流の伝導を可能にし、それにより導電経路において、エネルギー搬送挙動に対して負の作用を及ぼすエネルギーの反射がない。同時にこの構成により、非常にコンパクトな構成型式が保証されてもいる。円錐形領域の先端はカソードとして用いられ得る。しかしながら好適にカソードを他の材料から製造し、円錐形領域と結合することも有利である。その場合、円錐形領域は当該円錐形領域の特性に関して設計され得る一方、アノードはスパークギャップの電気的負荷にできるだけ長く耐える材料から製造される。カソードはまた、交換もされ得る。
【０００７】
本発明の他の有利な構成によれば、アノードへの電気的接続部が接続リングを有しており、当該接続リングは全てのコンデンサの同じ極性のコンデンサ電極と接続されていることが行われる。この幾何学的構成は、上記においてすでにカソードへの接続に対して説明されたものと一致する。当該構成においてもコンパクトな構成型式と同時に、導電体のインピーダンスが急激に変化することなく、最大限の断面積が実現される。
【０００８】
最後に挙げた接続リングの構成によれば、当該接続リングが当該接続リングの内側において漏斗に出口を有しており、当該漏斗の壁は電気的接続部として作用するとともに、当該漏斗のより小さな開口部内にアノードが設けられていることが行われる。従ってここでは導電体であって、当該導電体の構造において、漏斗状の先細りする管に比較すべき導電体が扱われている。より小さな漏斗開口部はこの意味において特に、漏斗壁によって形成される端面により、アノードを結合するのに適している。アノードは箔状に形成されており、導電的に固定されている。アノードは例えばＸ線を発生させる際にターゲットとして作用し、ある程度の摩耗を蒙るので、この場合も容易に交換が可能である。
【０００９】
よりコンパクトな構成型式を実現するために、コンデンサが複数の同心円内に設けられていると有利である。この場合も導電体に対してリング状の結合を行うことにより、インピーダンスの急激な変化を有さない電気伝導が実現され得る。
【００１０】
本発明のさらなる構成によれば、スパークギャップが高圧スパークギャップと実用スパークギャップを有しており、当該高圧スパークギャップと実用スパークギャップは中間部分を介して互いに接続されていることが行われる。このときスパークギャップはカソードと中間部分の間に形成されている。中間部分は電気的抵抗が設けられている導線を介してアノードと接続されている。実用スパークギャップは中間部分とアノードの間に形成されている。当該構成は好適に、好ましくは点火電圧の明らかに過剰な増大を有する、非常に確定的な発火点を可能にする。これにより電子流の流れが増大する結果となる。
【００１１】
高圧スパークギャップと実用スパークギャップの構成は、直列接続である。しかしながら中間部分は抵抗を介してアノードと接続されている。実用スパークギャップに点火するために、構成全体に対して、上昇する電圧が印加される。高圧スパークギャップには、高圧下にあるガスが充填されているので、ここでは比較的大きなフラッシュオーバー・ポテンシャルが保証されている。電圧が上昇する間、実用スパークギャップにはまだ、切換に関連するポテンシャル差が生じていない。中間部分もアノードも抵抗を介して接続された状態で、等しいポテンシャルを有しているからである。高圧スパークギャップの比較的確定的な切り替え点に到達するやいなや、当該高圧スパークギャップは点火される。その後、高圧スパークギャップにおける絶縁破壊の際にアークが形成され、当該アークはカソードと中間部分とのローインピーダンス接続に匹敵する。これにより実用スパークギャップには急激に、当該実用スパークギャップの必要とされる点火ポテンシャルを明らかに上回るポテンシャルが供給される。非常に急な傾斜で推移する電圧勾配により、実用スパークギャップにおいて、本来の点火電圧に対して、電圧の明らかに過剰な増大が実現される。従って実用スパークギャップは確実に所定の時刻に、進行中の連鎖反応に基づいて点火される。高圧スパークギャップの点火により、必要とされる電圧はすなわち瞬間的に利用可能となる（電圧の時間的推移の勾配は著しく大きい）。
【００１２】
本発明の一の構成によれば、抵抗は１００ＭΩから１０００ＭΩである。このとき実用スパークギャップの切り替えが行われることは保証されている。印可される電圧が高い抵抗ゆえに、中間部分をアノードと接続している導線を介しては低減され得ないためである。
【００１３】
本発明の他の構成によれば、実用スパークギャップがＸ線を発生させるために設けられていることが行われる。Ｘ線を発生させるためのターゲットとしてアノードが用いられる。これによりＸ線は所定の切換え時刻で使用に供され得る。これは様々なアプリケーションのための重要な前提である。例えばＸ線は画像形成方法のために用いられ得る。
【００１４】
本発明の特別な構成によれば、アノードによって単色Ｘ線が発生可能であることが行われる。単色Ｘ線を発生させるために実用スパークギャップが用いられるとき、当該発生のために好適に、十分に高いパルスが使用に供され得、それにより単色Ｘ線は追及される検査目的に対して十分な大きさで使用に供される。単色Ｘ線は例えば、ターゲットとして例えばアルミニウムまたは他の軽金属から成る非常に薄い金属箔が用いられる場合に生じさせられる。ターゲット材料としてランタノイド元素も用いられ得る。密度が５ｇ／ｃｍ３を下回る金属および当該金属の合金が、本願の意味における軽金属と称されるべきである。この定義は個々において以下の軽金属に該当する。すなわち全てのアルカリ金属、ラジウム以外の全てのアルカリ土類金属、さらにはスカンジウム、イットリウム、チタニウム、およびアルミニウムである。金属箔を形成するための他の好適な材料グループは、タングステン、モリブデン、およびランタノイド元素のグループである。個々にはランタン元素と、周期表においてランタンに続く１４個の元素である。
【００１５】
特に単色Ｘ線源を技術的に実現するために、実用スパークギャップが脱気できるハウジングであって、当該ハウジング内にコレクタも設けられており、当該ハウジングからＸ線が分離され得るハウジングに収容されていると有利である。コレクタは電子流の電子を静電的に制動するとともに当該制動された電子を捕捉するのに役立つ。このようにして高エネルギーの電子が物質に衝突することにより、制動放射を発生させ得ることが防止される。単色Ｘ線はハウジングから分離され得るが、このために例えばＸ線を透過する窓がハウジング壁に設けられる。
【００１６】
さらに、カソードと中間部分とアノードとが同軸的に設けられていると有利である。さらに、カソードと中間部分とアノードとが共通の軸線に対して中心対称に形成されていると有利である。これにより切り替え動作とエネルギーの流れに対して負の影響を及ぼしかねないインダクタンスが回避される。
【００１７】
本発明のさらなる詳細は以下において図面に基づいて説明される。同一または互いに一致する図面の要素には、それぞれ同一の参照番号が付されており、個々の図同士の間に相違点がある場合にのみ、複数回説明される。図に示すのは以下の通りである。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明に係るスパークギャップの実施の形態の構成を切り替え工程の表示によって概略的に示す図であり、高圧スパークギャップと実用スパークギャップが用いられており、コレクタは表示されていない。
【図２】本発明に係るスパークギャップの簡単な実施の形態の幾何学的構成を概略的に断面で示す図である。
【図３】図１による本発明に係るスパークギャップの実施の形態の幾何学的構成を概略的に断面で示す図である。
【００１９】
図１から本発明に係るスパークギャップの構成が明らかとなる。本発明に係るスパークギャップはアノード１１とカソード１２を有している。アノード１１とカソード１２の間に中間部分１３が接続されており、それにより二つのスパークギャップ、すなわち高圧スパークギャップ１４と実用スパークギャップ１５が接続されている。さらに実用スパークギャップ１５のためのカソードとして機能する中間部分１３は導線１６と抵抗１７を介してアノードに電気的に結合されている。
【００２０】
高圧によるガス充填が用いられる高圧スパークギャップに対して、中間部分１３はカソードを形成している。高圧スパークギャップのための充填ガスとして、例えばキセノンのような希ガスが充填ガスとして用いられ得る。高圧スパークギャップは所定の切り替え動作１８を示しており、当該切り替え動作では、所定の電圧上昇Ｕに際して、所定の時間ｔの後に切り替え点が到達される。切り替え点（ｔｓ／Ｕｓ）によって、実用スパークギャップの切り替え時刻は比較的正確に予測され得る。
【００２１】
すでに説明したように高圧スパークギャップが切り替えられるとき、すなわち実用スパークギャップ１５を切り替えるために必要な切り替えポテンシャルは即座に使用可能となる。高圧スパークギャップ１４の低い抵抗特性により、高圧スパークギャップ１４の切替時刻において、中間部分１３はカソードポテンシャルを有している。抵抗１７には今やカソードとアノードの間の全電圧が印可されている。抵抗には、抵抗１７の抵抗値によって規定される電流が流れる。さらに抵抗１７の寄生インダクタンスは、抵抗１７を流れるシステムに規定される電流を減少させる。中間部分１３とアノード１１の間の急勾配の電圧上昇によって、実用スパークギャップ１５のフラッシュオーバー挙動はポジティブに影響され、それにより実用スパークギャップ１５のフラッシュオーバー時刻において、低い電圧上昇勾配による従来の点火によって可能と想定されるよりも明らかに高い電圧が印可される。実用スパークギャップ１５の時刻ｔｓにおける切り替えはおよそｔ０である。構成のインダクタンスが低いことにより、電圧上昇が極端に急勾配であるという理由による。実用スパークギャップ１５の必要とされる切り替えポテンシャルＵｓは、極端に急な電圧勾配により、明らかに超過される。その結果、実用スパークギャップには非常に短い時間（ナノ秒）内で、点火電圧を明らかに上回る電圧が印可される。これによりアノードを貫通して大きなフラッシュオーバーが形成される。実用スパークギャップ１５の破壊電圧は当該構成により、主に幾何形状と真空とに依存しているＵｓにはもはや第一に依存せず、外部から印可されるアノード電圧と高圧スパークギャップ１４の対応する構成とに依存している。実用スパークギャップの放電の持続は、構成の容量と、構成内に蓄積されているエネルギーの容量と、構成内の寄生インダクタンスとによって規定されている。
【００２２】
図２では他の本発明に係るスパークギャップ１８の実施の形態の簡単な構成が示されている。当該スパークギャップは８個のコンデンサ１９により電力を供給されているが、断面表示ゆえに当該コンデンサのうち５個しか見えない。これらのコンデンサは想定される同心円上で構成の中心軸線２０周りに設けられている。これらの極性も同様に中心軸線において配向されている。コンデンサ１９の一方の極はそれぞれ、接続リング２１に接しており、当該接続リングは内面において円錐形領域２２に移行している。円錐形状は様々な周面を有し得る。表示されているのは滑らかな移行であり、当該移行は表示された断面において半径に類似している。このようにすると導電体におけるインピーダンスの急激な変化が最も良好に防止され得るので、特に有利である。円錐形は当該円錐形の「尖った」端部２３が平らにされた接触面２４において終結しており、当該接触面にはカソード１２が固定されている。カソード１２の接触面も、円錐形の平らにされた先端２３の接触面も円形である。カソードはさらに先端２５を有しており、当該先端はスパークギャップ１８のフラッシュオーバーを形成する役割を果たす。当該先端２５に対向して、非常に薄い箔の形で、あるいは別のやり方で単色Ｘ線を発生させるために好適なターゲット内にアノード１１が設けられている。
【００２３】
コンデンサ１９のそれぞれ他方の極は同様に接続リング２６にまとめられている。当該接続リングは内面において漏斗２７に出口を有している。漏斗２７は当該漏斗の小さな開口部に端面２８を有しており、当該端面とアノード１１は導電的に接続されている。漏斗の内部空間２９は当該内部空間の直径の推移によって、円錐形領域２２と漏斗２７の内壁との最小距離ａが保たれるように形成されている。当該距離ａは、円錐形領域２２と漏斗２７の間ではなく、カソード１２の先端２５とアノード１１の間でアークの点火が生じることを保証している。
【００２４】
図３によるスパークギャップは図２によるスパークギャップと以下の点で異なる。すなわち図３によるスパークギャップは、図１に応じて高圧スパークギャップ１４と実用スパークギャップ１５とに区分されている。高圧スパークギャップでは比較的高い圧力が設けられており、それゆえにスパークギャップ同士の間に隔壁３１が挿入されている。当該隔壁は電気的に絶縁を行うように実施されている。さらに抵抗１７が認められ、当該抵抗は導線１６を介して中間部分１３ともアノード１１とも接続されている。図２における構成とは異なり、中間部分１３は当該中間部分の先端２５によって実用スパークギャップのためのカソードを形成すると同時に、平らにされた面３２によって高圧スパークギャップのためのアノードを形成する。
【００２５】
さらに図３において、コンデンサ１９の二つの同心円状リングが設けられているのが認められる。
【００２６】
スパークギャップはＸ線源に組み込まれている。このためにハウジング３４が使用に供されており、当該ハウジングはスパークギャップのほかにコレクタ３５も収容している。コレクタは電子を静電的に制動するとともに当該制動された電子を捕捉し、放出するのに役立つ。これにより制動放射の発生が防止される。発生させられるＸ線２６はハウジング３４内の窓３７を介して分離される。
【符号の説明】
【００２７】
１１  アノード
１２  カソード
１３  中間部分
１４  高圧スパークギャップ
１５  実用スパークギャップ
１６  導線
１７  抵抗
１８  スパークギャップ、切り替え動作
１９  コンデンサ
２０  中心軸線
２１  接続リング
２２  円錐形領域
２３  端部
２４  接触面
２５  先端
２６  接続リング、Ｘ線
２７  漏斗
２８  端面
２９  内部空間
３０  壁
３１  隔壁
３２  平らにされた面
３４  ハウジング
３５  コレクタ
３７  窓
ａ  最小距離
Ｕ  電圧上昇
ｔ  時間
Ｕｓ  切り替えポテンシャル
ｔｓ  時点
【図１】
2015525441.tif 000003
【図２】
2015525441.tif 000004
【図３】
2015525441.tif 000005
【手続補正書】
【提出日】平成27年5月11日(2015.5.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アノード（１１）とカソード（１２）の間にあるスパークギャップ（１５，１８）であって、前記スパークギャップ（１８）に点火するために容量性エネルギー蓄積装置が用いられるスパークギャップであり、
エネルギー蓄積装置として並列接続された多数のコンデンサ（１９）が設けられており、前記コンデンサは同心状にリング状に、あるいは星形に、コンデンサ電極が軸方向においてそれぞれ同じ向きを有して設けられているスパークギャップにおいて、
前記カソード（１２）への電気的接続部は接続リング（２１）を有しており、前記接続リングは全ての前記コンデンサ（１９）の同じ極性のコンデンサ電極と接続されており、
前記アノード（１１）への電気的接続部はさらなる接続リング（２６）を有しており、前記さらなる接続リングは全ての前記コンデンサ（１９）の同じ極性のコンデンサ電極と接続されていることを特徴とするスパークギャップ。
【請求項２】
前記接続リング（２１）は前記接続リングの内側において、円錐形領域（２２）に出口を有しており、前記円錐形領域の先端は前記カソード（１２）と接続されているか、または前記カソードを形成していることを特徴とする請求項１に記載のスパークギャップ。
【請求項３】
前記さらなる接続リング（２６）が前記さらなる接続リングの内側において、漏斗（２７）に出口を有しており、前記漏斗の壁は電気的接続部として作用するとともに、前記漏斗のより小さな開口部内に前記アノード（１１）が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のスパークギャップ。
【請求項４】
前記アノード（１１）は箔状に形成されており、あるいは別のやり方で単色Ｘ線を発生させるために好適なターゲットを備えており、前記アノード（１１）は前記より小さな漏斗開口部を囲む前記漏斗の前記壁の端面に、導電的に固定されていることを特徴とする請求項３に記載のスパークギャップ。
【請求項５】
前記コンデンサは複数の同心円状リングに設けられていることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載のスパークギャップ。
【請求項６】
前記スパークギャップは高圧スパークギャップ（１４）と実用スパークギャップ（１５）を有しており、前記高圧スパークギャップと実用スパークギャップは中間部分（１３）を介して互いに接続されており、
・前記高圧スパークギャップは前記カソード（１２）と前記中間部分（１３）との間に形成されており、
・前記中間部分（１３）は電気的抵抗（１７）が設けられている導線（１６）を介して前記アノード（１１）と接続されており、
・前記実用スパークギャップ（１５）は前記中間部分（１３）と前記アノード（１１）との間に形成されていることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載のスパークギャップ。
【請求項７】
前記実用スパークギャップ（１５）はＸ線を発生させるために設けられており、前記Ｘ線を発生させるためのターゲットとして前記アノード（１１）が用いられることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載のスパークギャップ。
【請求項８】
前記アノード（１１）によって単色Ｘ線が発生可能であることを特徴とする請求項７に記載のスパークギャップ。
【国際調査報告】
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