(57)【要約】溶融シリコンを含有するためのるつぼは、溶融シリコン混合物を受け入れるための内部を規定する少なくとも1つの内面を有する少なくとも1つの耐火性材料と、コロイド状アルミナを含む当該内面上に蒸着されたライニングとを含む。シリコン精製のための方法は、第一のシリコンとアルミニウムを含む溶媒金属とを、第一の混合物を提供するように十分に接触させる工程；溶融シリコン混合物を提供するために、溶融るつぼの内部で第一の混合物を溶融する工程であって、溶融るつぼが溶融るつぼの内部を規定する内面を有する少なくとも1つの耐火性材料を含む、工程；第一の混合物を溶融する工程に先立って、溶融るつぼの内面の少なくとも一部を、コロイド状アルミナを含むライニングでコーティングする工程；溶融シリコン混合物を、再結晶化されたシリコン結晶および母液を形成するように十分に冷却する工程；ならびに最終の再結晶化されたシリコン結晶と母液とを分離する工程を含む。2015525200.tif 000003
2015525200.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
溶融シリコン混合物を受け入れるための内部を規定する少なくとも1つの内面を有する少なくとも1つの耐火性材料と、
コロイド状アルミナを含む、該内面上に蒸着されたライニングと
を含む、溶融シリコン混合物を含有するためのるつぼ。
【請求項２】
ライニングが、本体の内部に含有される溶融シリコン混合物が少なくとも1つの耐火性材料に汚染されるのを防止または低減する、請求項1に記載のるつぼ。
【請求項３】
ライニングが、溶融シリコンがホウ素およびリンの少なくとも1つに汚染されるのを防止する、請求項2に記載のるつぼ。
【請求項４】
コロイド状アルミナが、水に懸濁されたアルミナ粒子を含み、アルミナ粒子が、20ナノメートル以上50ナノメートル以下のサイズを有する、請求項1に記載のるつぼ。
【請求項５】
ライニングが、2ミリメートル以上10ミリメートル以下の厚さを有する、請求項1に記載のるつぼ。
【請求項６】
少なくとも1つの耐火性材料が、アルミナを含む、請求項1に記載のるつぼ。
【請求項７】
ライニングが、コロイド状アルミナによって結合されたシリコンカーバイド粒子をさらに含む、請求項1に記載のるつぼ。
【請求項８】
シリコンカーバイド粒子が、約3.5ミリメートル未満のサイズを有する、請求項7に記載のるつぼ。
【請求項９】
シリコンとアルミニウムの混合物を溶融して溶融シリコン混合物を形成するように構成される、請求項1に記載のるつぼ。
【請求項１０】
第一のシリコンとアルミニウムを含む溶媒金属とを、第一の混合物を提供するように十分に接触させる工程；
溶融シリコン混合物を提供するために、溶融るつぼの内部で第一の混合物を溶融する工程であって、溶融るつぼが溶融るつぼの内部を規定する内面を有する少なくとも1つの耐火性材料を含む、工程；
第一の混合物を溶融する工程に先立って、溶融るつぼの内面の少なくとも一部を、コロイド状アルミナを含むライニングでコーティングする工程；
溶融シリコン混合物を、再結晶化されたシリコン結晶および母液を形成するように十分に冷却する工程；ならびに
最終の再結晶化されたシリコン結晶と母液とを分離する工程
を含む、シリコンの精製のための方法。
【請求項１１】
ライニングが、溶融シリコン混合物が少なくとも1つの耐火性材料に汚染されるのを防止または低減する、請求項10に記載の方法。
【請求項１２】
ライニングが、溶融シリコン混合物がホウ素およびリンの少なくとも1つに汚染されるのを防止する、請求項11に記載の方法。
【請求項１３】
コロイド状アルミナが、水に懸濁されたアルミナ粒子を含み、アルミナ粒子が、20ナノメートル以上50ナノメートル以下のサイズを有する、請求項12に記載の方法。
【請求項１４】
ライニングが、2ミリメートル以上10ミリメートル以下の厚さを有する、請求項10に記載の方法。
【請求項１５】
ライニングが、コロイド状アルミナによって結合されたシリコンカーバイド粒子をさらに含む、請求項10に記載の方法。
【請求項１６】
シリコンカーバイド粒子が、約3.5ミリメートル未満のサイズを有する、請求項15に記載の方法。
【請求項１７】
少なくとも1つの耐火性材料が、アルミナを含む、請求項10に記載の方法。
【請求項１８】
第一のシリコンと第一の溶媒金属とを、第一の混合物を提供するように十分に接触させる工程；
第一の溶融るつぼの第一の耐火物の第一の内面の少なくとも一部を、コロイド状アルミナを含む第一のライニングでコーティングする工程；
第一の溶融シリコン混合物を提供するために、第一の溶融るつぼの内部で第一の混合物を溶融する工程；
第一の溶融シリコン混合物を、第一のシリコン結晶および第一の母液を形成するように十分に冷却する工程；
第一のシリコン結晶と第一の母液とを分離する工程；
第一のシリコン結晶と第二の溶媒金属とを、第二の混合物を提供するように十分に接触させる工程；
第二の溶融るつぼの第二の耐火物の第二の内面の少なくとも一部を、コロイド状アルミナを含む第二のライニングでコーティングする工程；
第二の溶融シリコン混合物を提供するために、第二の溶融るつぼの内部で第二の混合物を溶融する工程；
第二の溶融シリコン混合物を、第二のシリコン結晶および第二の母液を形成するように十分に冷却する工程；ならびに
第二のシリコン結晶と第二の母液とを分離する工程
を含む、シリコンの精製のための方法。
【請求項１９】
第一の溶媒金属の少なくとも一部が、第一の母液の少なくとも一部および第二の母液の少なくとも一部のうち少なくとも一方を含む、請求項18に記載の方法。
【請求項２０】
第二の溶媒金属の少なくとも一部が、第一の母液の少なくとも一部および第二の母液の少なくとも一部のうち少なくとも一方を含む、請求項18に記載の方法。
【請求項２１】
第二のシリコン結晶と第三の溶媒金属とを、第三の混合物を提供するように十分に接触させる工程；
第三の溶融るつぼの第三の耐火物の第三の内面の少なくとも一部を、コロイド状アルミナを含む第三のライニングでコーティングする工程；
第三の溶融シリコン混合物を提供するために、第三の溶融るつぼの内部で第三の混合物を溶融する工程；
第三の溶融シリコン混合物を、第三のシリコン結晶および第三の母液を形成するように十分に冷却する工程；ならびに
第三のシリコン結晶と第三の母液とを分離する工程
をさらに含む、請求項18に記載の方法。
【請求項２２】
第一の溶媒金属の少なくとも一部が、第三の母液の少なくとも一部を含む、請求項21に記載の方法。
【請求項２３】
第二の溶媒金属の少なくとも一部が、第三の母液の少なくとも一部を含む、請求項21に記載の方法。
【請求項２４】
第三の溶媒金属の少なくとも一部が、第一の母液の少なくとも一部、第二の母液の少なくとも一部、および第三の母液の少なくとも一部のうち少なくとも1つを含む、請求項21に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
関連出願の相互参照
本出願は、2012年6月25日に出願された米国仮出願第61/663,934号に対する優先権の恩典を主張するものであり、参照によりその全体が本明細書に組み入れられる。
【背景技術】
【０００２】
背景
太陽電池は、太陽光を電気エネルギーに変換するその能力を利用することにより、実施可能なエネルギー源であり得る。シリコンは、太陽電池の製造に使用される半導体材料であるが、しかしながら、シリコンの使用における制限は、シリコンをソーラーグレード（SG）へと精製するためのコストに関連している。シリコンから不純物を分離する効率的な方法は、とりわけ大規模においては、しばしば、見出し難くもあり採用も困難である。
【０００３】
シリコンの再結晶化は、望ましくない不純物を除去するために使用され得る1つの方法である。再結晶化プロセスでは、不純物を有するシリコンを溶媒に溶解させて、次に、その溶液から再結晶化させることで、より純粋なシリコンを形成する。
【発明の概要】
【０００４】
概要
現在のエネルギーの需要および供給の制限の観点から、本発明者らは、冶金グレード（MG）シリコン（または、ソーラーグレードより多くの不純物を有する任意の他のシリコン）をソーラーグレードシリコンへと精製するための、よりコスト効率の高い方法の必要性を認識している。本開示は、シリコンの再結晶化のための機器および方法を記載する。機器は、耐火性材料、例えばアルミナから作製される、器、例えばるつぼを含むことができる。シリコンをるつぼ中で溶融するか、またはシリコンをるつぼ内で溶液から再結晶化させて、シリコンの精製を提供することができる。ライニングは、るつぼ内に含有される溶融シリコンまたはシリコンおよびアルミニウム溶液が耐火性材料から汚染される、例えばホウ素またはリンから汚染されるのを防止および低減するために、るつぼの耐火性材料の内面上に蒸着され得る。ライニングは、コロイド状アルミナによって結合されたシリコンカーバイド粒子を含むことができる。ライニングは、特にホウ素およびリン汚染物に関して、結晶化サイクルごとにより純粋な最終シリコンを提供することができる。
【０００５】
本開示は、溶融シリコン混合物を含有するためのるつぼを記載し、るつぼは、溶融シリコン混合物を受け入れるための内部を規定する少なくとも1つの内面を有する少なくとも1つの耐火性材料と当該内面上に蒸着されたコロイド状アルミナを含むライニングとを含む。
【０００６】
本開示はまた、シリコンの精製のための方法を記載し、当該方法は、第一のシリコンとアルミニウムを含む溶媒金属とを、第一の混合物を提供するように十分に接触させる工程；溶融シリコン混合物を提供するために、溶融るつぼの内部で第一の混合物を溶融する工程であって、溶融るつぼが溶融るつぼの内部を規定する内面を有する少なくとも1つの耐火性材料を含む、工程；第一の混合物を溶融する工程に先立って、溶融るつぼの内面の少なくとも一部を、コロイド状アルミナを含むライニングでコーティングする工程；溶融シリコン混合物を、再結晶化されたシリコン結晶および母液を形成するように十分に冷却する工程；および最終の再結晶化されたシリコン結晶と母液とを分離する工程を含む。
【０００７】
本開示はまた、シリコンの精製のための方法を記載し、当該方法は、第一のシリコンと第一の溶媒金属とを、第一の混合物を提供するように十分に接触させる工程、第一の溶融るつぼの第一の耐火物の第一の内面の少なくとも一部を、コロイド状アルミナを含む第一のライニングでコーティングする工程、第一の溶融シリコン混合物を提供するために、第一の溶融るつぼの内部で第一の混合物を溶融する工程、第一の溶融シリコン混合物を、第一のシリコン結晶および第一の母液を形成するように十分に冷却する工程、第一のシリコン結晶と第一の母液とを分離する工程、第一のシリコン結晶と第二の溶媒金属とを、第二の混合物を提供するように十分に接触させる工程、第二の溶融るつぼの第二の耐火物の第二の内面の少なくとも一部を、コロイド状アルミナを含む第二のライニングでコーティングする工程、第二の溶融シリコン混合物を提供するために、第二の溶融るつぼの内部で第二の混合物を溶融する工程、第二の溶融シリコン混合物を、第二のシリコン結晶および第二の母液を形成するように十分に冷却する工程、ならびに第二のシリコン結晶と第二の母液とを分離する工程を含む。
【０００８】
この概要は、本開示の主題の概略を提供することを意図する。それは、本発明の排他的または包括的な説明を提供することを意図していない。詳細な説明は、本開示に関するさらなる情報を提供するために含められる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
図面において、同様の数字は、いくつかの図全体で類似の構成要素を記載するために使用され得る。異なる文字接尾語を伴う同様の数字は、類似の構成要素の異なる例を表すために使用され得る。図面は、概して限定としてではなく例示として、本明細書において説明する様々な例を示す。
【００１０】
【図１】1パス再結晶化プロセスを介した、例示的なシリコンの精製方法のブロック流れ図である。
【図２】2パス再結晶化プロセスを介した、例示的なシリコンの精製方法のブロック流れ図である。
【図３】3パス再結晶化プロセスを介した、例示的なシリコンの精製方法のブロック流れ図である。
【図４】シリコンの精製に使用され得るるつぼの一例の断面図である。
【図５】図4の例示的るつぼの内面上にコーティングされたライニングの第一の例の拡大断面図である。
【図６】図4の例示的るつぼの内面上にコーティングされたライニングの第二の例の拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
詳細な説明
この開示は、結晶化を使用してシリコンを精製するための機器および方法を記載する。当該機器および方法は、溶融シリコンまたは溶融溶媒、例えばアルミニウムの溶液およびシリコンを保持するるつぼ内でのライニングの使用を含むことができ、ここでライニングは、るつぼの耐火性材料からの溶融シリコンまたは溶融溶媒およびシリコンの汚染を防止または低減することができる。本発明の機器および方法を使用して、太陽電池で使用するためのシリコン結晶を作製することができる。
【００１２】
定義
単数形「a」、「an」、および「the」は、文脈が明確に他のことを示していない限り、複数形の指示対象を含むことができる。
【００１３】
本明細書において使用される場合、いくつかの例において、「第一」、「第二」、「第三」等の用語は、「母液」、「結晶」、「溶融混合物」、「混合物」、「すすぎ液」、「溶融シリコン」等の他の用語に適用されるとき、単に工程間で区別する一般用語として使用され、明確に他のことを示していない限り、それ自体が工程の優先度または工程の順番を示すものではない。例えば、いくつかの例において、「第三の母液」は、一つの要素であり得るが、一方で、第一または第二の母液がその例の要素でない場合もあり得る。他の例では、第一、第二、および第三の母液はすべて、1つの例の要素であり得る。
【００１４】
本明細書において使用される場合、「接触させる」は、物質を、触れさせる、接触させる、または密接させる作用を指すことができる。
【００１５】
本明細書において使用される場合、「るつぼ」は、溶融材料を保持することができる容器、例えば、材料が溶融して溶融物となるときに当該材料を保持することができる容器、溶融した材料を受け入れて、当該材料をその溶融状態で維持することができる容器、および溶融材料が凝固または結晶化するときに当該溶融材料を保持することができる容器、またはそれらの組み合わせを指すことができる。
【００１６】
本明細書において使用される場合、「結晶」は、高度に規則的な構造を有する固体を指すことができる。結晶は、元素または分子の凝固によって形成され得る。
【００１７】
本明細書において使用される場合、「結晶性」は、固体中の原子の規則的で幾何学的な配置を指すことができる。
【００１８】
本明細書において使用される場合、「結晶化させる」は、溶液から物質の結晶（結晶性材料）を形成するプロセスを指すことができる。当該プロセスは、供給物を冷却することによってまたは所望の生成物の溶解性を低下させる沈殿剤を添加することによって、液体供給物から生成物を多くの場合非常に純度の高い形態で分離して、結晶を形成する。その後、純粋な固体結晶を、デカンテーション、濾過、遠心、または他の手段によって残留液から分離する。
【００１９】
本明細書において使用される場合、「ドロス］は、溶融金属浴に浮遊している固体不純物の塊を指すことができる。ドロスは、通常、スズ、鉛、亜鉛、またはアルミニウム等の低融点金属または合金の溶融において、または当該金属を酸化することによって生じる。ドロスは、例えば、表面からすくい取ることによって除去され得る。スズおよび鉛では、ドロスは、水酸化ナトリウムペレットを加えて、酸化物を溶解させてスラグを形成することによっても除去され得る。他の金属では、塩フラックスを加えてドロスを分離することができる。ドロスは、固体であるという点で、合金上に浮遊する（粘性の）液体であるスラグとは区別される。
【００２０】
本明細書において使用される場合、「フラックス」は、例えばドロス内の不純物の除去を助けるために溶融金属浴に加えられる化合物を指すことができる。フラックス材料を溶融金属浴に加えることによって、フラックス材料は溶融金属浴中の1つまたは複数の材料または化合物と反応してスラグを形成するが、これは除去することができる。
【００２１】
本明細書において使用される場合、「加熱炉」は、材料を加熱するための区画を有する、機械、装置、機器、または他の構造物を指すことができる。
【００２２】
本明細書において使用される場合、「インゴット」は、鋳造された材料の塊を指すことができる。いくつかの例では、材料の形状によって、インゴットを比較的容易に輸送することが可能になる。例えば、融点を超えて加熱され、棒状またはブロック状に成形された金属をインゴットと呼ぶことができる。
【００２３】
本明細書において使用される場合、「溶融（melt）」または「溶融する（melting）」は、十分な熱に曝露されたとき固体から液体への物質変化を指すことができる。「溶融」という用語はまた、この相転移を受けて溶融液体になった材料を指すこともできる。
【００２４】
本明細書において使用される場合、「混合物」は、相互に物理的に接触している2つ以上の物質の組み合わせを指すことができる。例えば、混合物の成分は、化学的な反応によるのではなく物理的に混ぜ合わされ得る。
【００２５】
本明細書において使用される場合、「溶融された」は、溶融された物質を指すことができ、この場合、溶融することは、固体物質が液体に変わる点（融点と呼ばれる）まで固体物質を加熱するプロセスである。
【００２６】
本明細書において使用される場合、「単結晶シリコン」は、欠陥または不純物がほとんどない単一でかつ連続した結晶格子構造を有するシリコンを指すことができる。
【００２７】
本明細書において使用される場合、「母液（mother liquor）」または「母液（mother liquid）」は、固体が液体に溶けている溶液の混合物から、当該固体（例えば、結晶）が取り除かれた後に得られる液体または溶融液体を指すことができる。除去の徹底性に応じて、母液は、これらの固体を微量に含む可能性がある。
【００２８】
本明細書において使用される場合、「ポリ結晶シリコン（polycrystalline silicon）」または「ポリ-Si」または「多結晶シリコン（multicrystalline silicon）」は、複数の単結晶シリコン結晶を含む材料を指すことができる。
【００２９】
本明細書において使用される場合、「精製する」は、異物または汚染物質から対象の化学物質を物理的または化学的に分離することを指すことができる。
【００３０】
本明細書において使用される場合、「再結晶化」は、不純材料を溶媒に溶解させ、当該材料を溶媒から再び結晶化させるプロセスを指すことができ、それによって、溶媒から再び結晶化された材料は、溶媒に溶解していた不純材料より高い純度を有する。
【００３１】
本明細書において使用される場合、「耐火性材料」は、高温、特にシリコンの溶融および方向性凝固に関わる高温で、化学的および物理的に安定な材料を指すことができる。耐火性材料の例としては、特に限定されないが、酸化アルミニウム、酸化ケイ素、酸化マグネシウム、酸化カルシウム、酸化ジルコニウム、酸化クロム、シリコンカーバイド、グラファイト、またはそれらの組み合わせが挙げられる。
【００３２】
本明細書において使用される場合、「1つの側部（side）」または「複数の側部（sides）」は、1つまたは複数の側部を指すことができ、他のことを示していない限り、物体の1つまたは複数の上部または底部と対比される、物体の1つの側部または複数の側部を指すことができる。
【００３３】
本明細書において使用される場合、「シリコン」は、元素Siを指し、かつ任意の純度のSiを指すことができるが、通常少なくとも50重量％純粋、好ましくは75重量％純粋、より好ましくは85％純粋、より好ましくは90重量％純粋、より好ましくは95重量％純粋、さらにより好ましくは99重量％純粋であるシリコンを指すことができる。
【００３４】
本明細書において使用される場合、「分離する」は、ある物質を別のものから取り出す（例えば、混合物から固体または液体を取り出す）プロセスを指すことができる。当該プロセスは、当業者に公知の任意の適切な技術、例えば、混合物をデカントすること、混合物から1つまたは複数の液体をすくい取ること（skimming）、混合物を遠心すること、混合物から固体を濾過すること、またはそれらの組み合わせを用いることができる。
【００３５】
本明細書において使用される場合、「スラグ」は、鉱石を製錬して金属を精製する際の副生成物を指すことができる。スラグは、金属酸化物の混合物であると考えることができるが、しかしながら、これらは、金属硫化物および元素形態の金属原子を含有し得る。スラグは、通常金属製錬において廃棄物の除去機構として用いられる。自然界においては、鉄、銅、鉛、アルミニウム、および他の金属等の金属の鉱石は、しばしば酸化物としておよび他の金属のケイ酸塩との混合物として、純粋でない状態で見いだされる。製錬過程で鉱石が高温に曝されると、これらの不純物が溶融金属から分離され、除去することができる。除去された化合物の集積物がスラグである。スラグはまた、例えば金属の精製を向上させる設計で作製された、種々の酸化物と他の材料の配合物であり得る。
【００３６】
本明細書において使用される場合、「溶媒」は、固体、液体、または気体を溶解させ得る液体を指すことができる。溶媒の非限定的な例は、溶融金属、シリコーン、有機化合物、水、アルコール、イオン性液体、および超臨界流体である。
【００３７】
本明細書において使用される場合、「溶媒金属」は、加熱することにより、効果的にシリコンを溶解させて溶融液を生じ得る、1つもしくは複数の金属またはその合金を指すことができる。適切で典型的な溶媒金属としては、例えば、銅、スズ、亜鉛、アンチモン、銀、ビスマス、アルミニウム、カドミウム、ガリウム、インジウム、マグネシウム、鉛、その合金、およびそれらの組み合わせが挙げられる。
【００３８】
本明細書において使用される場合、「管」は、空洞のパイプ形状の材料を指すことができる。管は、その外部形状とほぼ一致する内部形状を有し得る。管の内部形状は、円形、正方形、または任意の数の側部を有する形状（非対称形状を含む）を含む、任意の適切な形状であることができる。
【００３９】
シリコンの再結晶化
シリコンの精製方法は、出発物質シリコンを、溶融溶媒、例えば溶融溶媒金属、例えばアルミニウムを含む溶融溶媒金属に溶解させ、溶融溶媒からシリコンを再結晶化させて、再結晶化されたシリコン結晶を提供する工程を含むことができる。再結晶化させる工程は、任意の適切な再結晶化プロセス（再結晶化溶媒は、アルミニウムを含むことができる）であり得、出発物質シリコンよりも純粋な再結晶化されたシリコン結晶を提供することができる。1つの例において、再結晶化を一回実施して、出発物質シリコンを再結晶化されたシリコン結晶として精製することができる。別の例では、出発物質シリコンを複数回再結晶化させた後、最終の再結晶化されたシリコン結晶を提供することができる。アルミニウム溶媒は、純粋であり得るか、または不純物を含む可能性もある。アルミニウム中の不純物は、シリコンまたは他の不純物であり得る。
【００４０】
複数の再結晶化を伴う例では、再結晶化は、カスケードプロセスであり得、ここでアルミニウム溶媒は、プロセスを通ってリサイクルされ得、それによって、第一の再結晶化は、最も純度の低いアルミニウムを再結晶化溶媒として使用し、最終再結晶化は、最も純粋なアルミニウムを再結晶化溶媒として使用する。シリコン結晶がカスケードプロセスを通って前進するにつれて、シリコン結晶はより純粋な溶媒金属から再結晶化され得る。アルミニウム溶媒をリサイクルすることによって、廃棄物が最小限に抑えられ得る。溶媒中および再結晶化されている材料中の不純物の量が生成物の純度に悪影響を及ぼし得るので、最終再結晶化に最も純粋なアルミニウム溶媒を使用することで、最終の再結晶化されたシリコン結晶の純度を最大限に高めることを助けることができる。適切な再結晶化プロセスの例は、2010年3月23日に出願された米国特許出願第12/729,561号および2012年1月26日に出願された米国仮特許出願第61/591,073号（参照によりその全体が本明細書に組み入れられる）に見出すことができる。
【００４１】
図1は、再結晶化を介した例示的なシリコンの精製方法10のブロック流れ図である。再結晶化方法10は、出発物質シリコン14と溶媒金属16とを接触させる工程12を含むことができ、ここで溶媒金属16は、アルミニウムを含むことができる。接触させる工程12は、混合物18を提供するのに十分であり得る。混合物18は、例えばるつぼまたは他の器（以下に記載する）中で、溶融混合物22を提供するように十分に溶融20され得る。再結晶化方法10は、溶融混合物22を、再結晶化されたシリコン結晶26および母液28を形成するように十分に冷却する工程24を含むことができる。再結晶化方法10は、再結晶化されたシリコン結晶26と母液28とを、再結晶化されたシリコン結晶26を提供するように十分に分離する工程30を含むことができる。図1に関して記載した再結晶化方法10は、「1パス」または「単回パス」再結晶化と呼ぶことができる。
【００４２】
図2は、再結晶化を介した別の例示的なシリコンの精製方法40のブロック流れ図である。再結晶化方法40は、出発物質シリコン44と第一の母液46とを、第一の混合物48を提供するように十分に接触させる工程42を含むことができる、カスケードプロセスを含むことができる。再結晶化方法40は、第一の混合物48を、第一の溶融混合物52を提供するように十分に溶融する工程50を含むことができる。当該方法は、第一の溶融混合物52を、第一のシリコン結晶56および第二の母液58を形成するように十分に冷却する工程54を含むことができる。再結晶化方法40は、第一のシリコン結晶56と第二の母液58とを分離60して、第一のシリコン結晶56を提供する工程を含むことができる。
【００４３】
再結晶化方法40は、シリコン結晶56と溶媒金属64とを、第二の混合物66を提供するように十分に接触させる工程62を含むことができ、ここで溶媒金属64は、アルミニウムを含むことができる。再結晶化方法40は、第二の混合物66を、第二の溶融混合物70を提供するように十分に溶融する工程68を含むことができる。再結晶化方法40は、第二の溶融混合物70を、第二の再結晶化されたシリコン結晶74および第一の母液46を形成するように十分に冷却する工程72を含むことができる。当該方法はまた、第二の再結晶化されたシリコン結晶74と第一の母液46とを分離76して、第二の再結晶化されたシリコン結晶74を提供する工程を含むことができる。図2に関して記載した再結晶化方法40は、「2パス」または「二重パス」再結晶化カスケードと呼ぶことができる。
【００４４】
3パスまたはそれより多い再結晶化カスケードおよびその変形例に関する以下のすべての考察はまた、2パス再結晶化カスケード例、例えば図2に説明したものにも適用されることを理解されたい。適用可能な場合、3パスまたはそれより多い再結晶化カスケードおよびその変形例に関する本明細書のすべての考察はまた、1パス再結晶化、例えば図1に説明したものにも適用される。
【００４５】
1つの例において、出発物質シリコンの再結晶化は、出発物質シリコンと第二の母液とを接触させる工程を含むことができる。接触させる工程は、第一の混合物を提供するのに十分であり得る。当該方法は、第一の混合物を、第一の溶融混合物を提供するように十分に溶融する工程を含むことができる。当該方法は、第一の溶融混合物を、第一のシリコン結晶および第三の母液を形成するように十分に冷却する工程を含むことができる。当該方法は、第一のシリコン結晶と第三の母液とを、第一のシリコン結晶を提供するように十分に分離する工程を含むことができる。当該方法は、第一のシリコン結晶と第一の母液とを、第二の混合物を提供するように十分に接触させる工程を含むことができる。当該方法は、第二の混合物を、第二の溶融混合物を提供するように十分に溶融する工程を含むことができる。当該方法は、第二の溶融混合物を、第二のシリコン結晶および第二の母液を形成するように十分に冷却する工程を含むことができる。当該方法は、第二のシリコン結晶と第二の母液とを、第二のシリコン結晶を提供するように十分に分離する工程を含むことができる。当該方法は、第二のシリコン結晶とアルミニウムを含む第一の溶媒金属とを、第三の混合物を提供するように十分に接触させる工程を含むことができる。当該方法は、第三の混合物を、第三の溶融混合物を提供するように十分に溶融する工程を含むことができる。当該方法は、第三の溶融混合物を冷却して、最終の再結晶化されたシリコン結晶および第一の母液を形成する工程を含むことができる。当該方法は、最終の再結晶化されたシリコン結晶と第一の母液とを分離して、最終の再結晶化されたシリコン結晶を提供する工程を含むことができる。
【００４６】
図3は、再結晶化カスケードプロセスを介した、別の例示的なシリコンの精製方法80のブロック流れ図を示す。再結晶化方法80は、出発物質シリコン84（例えば、第一のシリコン）とアルミニウムを含む溶媒金属、例えば第二の母液86とを、第一の混合物88を形成するように十分に接触させる工程82を含むことができる。第一の混合物88を溶融90して、第一の溶融混合物92を形成し、次に、これを冷却および分離94して、第一のシリコン結晶96および母液、例えば第三の母液98にすることができる。第三の母液98は、プロセスから取り出して100、他の産業に使用するために売却してもよく、または第三の母液98のすべてもしくは一部を、第二の母液86と共にリサイクル102してもよい。第三の母液98が価値を有し得る産業の一例として、特に限定されないが、アルミニウム鋳造工業を挙げることができ、鋳造用のアルミニウムシリコン合金に使用される。
【００４７】
原料、例えば、出発物質シリコンは、冶金グレードシリコンを含むことができる。冶金グレードシリコンは、例えば、約15ppmw未満のホウ素、約10ppmw未満のホウ素、または約6ppmw未満のホウ素を含むことができる。溶媒金属は、アルミニウムであることができる。アルミニウムは、P1020アルミニウムであることができ、約1.0ppmw未満、約0.6ppmw未満、または約0.4ppmw未満のホウ素レベルを含むことができる。
【００４８】
シリコンまたはシリコン結晶を母液または溶媒金属に接触させる工程は、任意の適切な手法で行われ得る。接触させる手法は、シリコンまたはシリコン結晶を母液に加える工程を含むことができ、また母液をシリコンまたはシリコン結晶に加える工程を含むことができる。材料が飛び散るのを回避するまたは材料の損失を回避する添加方法が、想定される接触の手法に包含される。接触させる工程は、かき混ぜ（stirring）または撹拌（agitation）を伴ってまたは伴わずに実施され得る。接触させる工程は、撹拌を発生させ得る。接触させる工程は、撹拌を発生させるように設計され得る。接触させる工程は、加熱を伴うか、または伴わずに行うことができる。接触させる工程は、発熱であり得るか、吸熱であり得るか、または発熱も熱の損失もない。
【００４９】
任意のかき混ぜまたは撹拌は、任意の適切な手法で実施され得る。かき混ぜは、羽根または他のかき混ぜ装置を備えた機械的かき混ぜを含むことができる。撹拌は、ガスの注入およびバブリングによる撹拌を含むことができ、または回転もしくは振盪を含む容器の物理的撹拌を含むことができる。ある材料を別の材料へ加えることにより、撹拌を起こし得るが、例えば撹拌が生じるように添加の手法を設計することができる。ある液体を別の液体へ注入することもまた、撹拌を生じさせ得る。
【００５０】
母液または溶媒金属中のシリコンまたはシリコン結晶の混合物を溶融する工程は、任意の適切な手法で行うことができる。溶融する手法は、任意の適切な方法によって混合物に熱を加えて、シリコンまたはシリコン結晶の所望の溶融を起こす工程を含むことができる。加熱は、溶融混合物が得られた後も続けることができる。溶融する手法は、撹拌を伴ってまたは伴わずに実施され得る。溶融する手法はまた、十分に高い温度、例えば、シリコンまたはシリコン結晶の融点温度またはそれを超える温度にある母液または溶媒金属に曝露させることによる、シリコンまたはシリコン結晶の溶融も含むことができ、したがって、シリコンまたはシリコン結晶と母液または溶媒金属とを接触させて混合物を生成する工程は、シリコンまたはシリコン結晶の混合物を溶融して溶融混合物を提供する工程と組み合わせることができる。混合物の溶融温度は、非一貫的または可変であることができ、溶融材料の組成が変化するにつれて変化する。
【００５１】
混合物に熱を加える方法は、任意の適切な方法を含むことができる。これらの方法は、特に限定されないが、加熱炉による加熱、または混合物に高温ガスを注入することによる加熱、または燃焼ガスから発生した炎による加熱を含むことができる。誘導加熱が使用され得る。加熱する方法は、放射熱であり得る。加熱する方法は、加熱すべき材料に電気を通すことによる方法であることができる。また、プラズマを使用して加熱すること、発熱化学反応を使用して加熱すること、または地熱エネルギーを使用して加熱することも含まれる。シリコンまたはシリコン結晶と母液または溶媒金属との混合は、シリコンの不純物および母液含量に依存して、発熱または吸熱であることができ、いくつかの例においては、加熱源を対応するように調整することが有益となり得る。
【００５２】
任意で、冷却する前に、塩素ガス、他のハロゲンガスもしくはハロゲン化物含有ガスまたは任意の適切なガスを含むガスが溶融混合物に注入され得る。溶融混合物の冷却は、当業者に公知の任意の適切な手法で実施され得る。熱源から移動させることによる冷却が含まれ、これは、室温または溶融混合物の温度より低い温度に曝露させることによる冷却を含む。非加熱炉容器に注ぐことによる冷却および加熱炉温度未満で放冷する冷却が含まれる。いくつかの例においては、冷却は急速であり得るが、他の例においては、冷却は緩徐であり得、そのため、冷却する溶融混合物を、溶融混合物の現在の温度よりもわずかに低い冷却源に曝露させることが有利となり得る。冷却源の温度は、溶融混合物が冷却されるにつれ、徐々に低下し得るが、これは、いくつかの場合では、溶融混合物の冷却に伴って溶融混合物の温度を高感度モニタリングまたは通常モニタリングすることによって達成され得る。得られた結晶化されたシリコンの純度は、混合物をできるだけゆっくりと冷却することによって向上することができ、そのため、緩徐冷却のすべての適切な手法が、本発明に包含されると想定される。また、冷却機構を含むより急速な冷却方法も含まれる。溶融物質を保持する容器を、より冷たい材料、例えば、溶融混合物よりも冷たい液体、例えば水もしくは別の溶融金属、または外気もしくは冷却された空気を含むガス等に曝露させることも含まれる。溶融混合物へのより冷たい材料の添加には、例えば、別のより冷たい母液の添加、またはより冷たい溶媒金属の添加、または後で混合物から除去され得るもしくは混合物中に残留し得る別のより冷たい材料の添加が含まれる。
【００５３】
溶融混合物の冷却およびその後のシリコン結晶と母液との分離から得られる母液は、任意で、プロセス中のそれより前の工程に任意でリサイクルされることが想定される。概して、母液からシリコンの結晶化が起こった時点で、少なくともある程度の量のシリコンが、母液中に溶解して留まることが望まれる不純物と共に、母液中に溶解して残留する。シリコンのすべてまたはほとんどが結晶である点まで溶融混合物を冷却することは、いくつかの場合では不可能であり得、または生じたシリコン結晶の純度に負の影響をもたらす可能性があり、または非効率的であり得る。いくつかの例において、シリコンの全量よりも少ない量または過半数量よりも少ない量を溶融混合物から結晶化させることによってのみ生成されたシリコン結晶の純度は、著しくまたは少なくとも部分的に向上し得る。溶媒金属を加熱および溶融するのに必要とされるエネルギーは、熱い母液をそれより前の工程における母液と一緒にすることと比較して、または熱い母液を再利用することと比較して、経済的に非効率となり得る。シリコンのある一定の結晶収量を達成するために、ある一定温度まで溶融混合物を冷却するのに必要とされるエネルギーは、母液をそのような低い温度まで冷却せずにより低い収量のシリコン結晶を許容することなくその後母液をリサイクルすることと比較して、非効率となり得る。
【００５４】
所望の材料および非所望の材料を母液中に残すことが有利となることは、いくつかの例に包含されると想定される。したがって、いくつかの例において、同じ結晶化工程またはそれより前の結晶化工程に再度使用されるように母液をリサイクルすることは、有用な局面となる場合がある。母液をリサイクルすることによって、母液を単に廃棄するかまたは副生成物として売却する場合よりも、母液の混合物中に残留しているシリコンが保存され、無駄が少なくなる。いくつかの例において、リサイクルされた母液を使用して、またはある程度リサイクルされた母液を含む母液を使用することによって、母液がリサイクルされた母液を含まない場合よりも、またはさらに結晶化が起こった溶媒が純粋な溶媒金属であった場合よりも、同じかまたはほぼ同じ純度のシリコン結晶を得ることができる。そのため、母液のリサイクルの程度および変形例のすべてが、本発明の範囲内に包含される。
【００５５】
シリコン固体から母液を分離する工程は、当業者に公知の任意の適切な方法によって行うことができる。所望の固体から液体溶媒を排出させるか、または吸い出す任意の変形例が、本明細書に記載される方法の例の範囲内に包含される。これらの方法には、デカンテーション、すなわち、所望の固体から母液を流し出すことが含まれる。デカンテーションでは、重力によって、所望の固体自体の接着もしくは容器の側壁への接着によって、選択的に固体を担持する格子またはメッシュ様仕切りの使用によって、または固体に物理的圧力をかけてこれらを所定の位置に保持することによって、所望の固体を所定の位置に保持することができる。分離方法には遠心分離が含まれる。また、真空を利用するかまたは利用せずに、および圧力を利用するかまたは利用せずに、任意の濾過媒体を使用した濾過も含まれる。また、化学的手段、例えば、酸または塩基を使用することを含む、溶解または溶媒の化学変換も含まれる。
【００５６】
図3に戻ると、第一のシリコン結晶96を、溶媒金属、例えば第一の母液106と接触104させて、第二の混合物108を形成することができる。第二の混合物108を溶融110して、第二の溶融混合物112を形成することができる。第二の溶融混合物112を冷却および分離114して、第二のシリコン結晶116および第二の母液86にすることができる。次に、第二の母液86のすべてもしくは一部をプロセス中にリサイクル118して、出発物質シリコン84と接触82させてもよく、または第二の母液104のすべてもしくは一部を第一の母液106へリサイクル120してもよい。第一のシリコン結晶96と第一の母液106とを接触させる工程104から第二のシリコン結晶116を得る工程は任意であることができ、これらは省略してもよく、またはこれらの工程を数回（例えば、1、2、3、4回等）実施してもよい。これらの工程を実施しない場合、再結晶化方法80は、図2に関して上述した方法40と同様の2パスプロセスであり得、その後、第一のシリコン結晶96を第一の溶媒金属120と接触させることができる。
【００５７】
第二のシリコン結晶116を、第一の溶媒金属120、例えばアルミニウムを含む溶媒金属126と接触118させて、第三の混合物122を形成することができる。第三の混合物122は、溶融124させて、第三の溶融混合物126を形成することができる。次に、第三の溶融混合物126を冷却および分離128して、最終の再結晶化されたシリコン結晶130（例えば、第三のシリコン結晶130）および第一の母液106にすることができる。次に、第一の母液106のすべてまたは一部をプロセスに戻して132、第一のシリコン結晶96と接触させることができる。第一の母液106のすべてまたは一部は、第一の溶媒金属120へリサイクル134され得る。第一の溶媒金属120への第一の母液106のすべてまたは一部のバッチまたは連続リサイクル134は、母液で希釈されるため、第一の溶媒金属120は完全に純粋ではない溶媒金属に含まれ得る。第一の母液106のすべてまたは一部は、代替的にまたは追加的に、第二の母液86へリサイクル136され得る。母液をリサイクルする工程のすべての変形例が本発明の範囲内に含まれる。
【００５８】
第一のシリコン結晶96を形成する工程は、「第一のパス」と呼ぶことができる。第二のシリコン結晶116を形成する工程は、「第二のパス」と呼ぶことができる。第三のシリコン結晶130、例えば最終の再結晶化されたシリコン結晶130を形成する工程は、「第三のパス」と呼ぶことができる。本発明の方法の範囲内で想定されるパスの回数は限定されない。
【００５９】
母液をより効率的に使用するために、母液から達成される結晶化の回数を増加させることによって、母液から回収されるシリコンの量を増加させることによって、またはプロセス中の次のパスに入る前にシリコン結晶の収量を増加させることによって、パスを繰り返すことができるが、本発明の方法の範囲内で想定されるパスの繰り返し回数は限定されない。パスの繰り返しが実施される場合、それぞれの母液は、そのパスの繰り返しのすべてまたは一部において再利用され得る。パスの繰り返しは、連続的にまたは並行して実施され得る。パスの繰り返しが連続的に実施される場合、一つの単一容器内で実施してもよく、または数個の容器内で順に実施してもよい。パスの繰り返しが並行して実施される場合、数個の容器を使用して、数回の結晶化を並行して行うことが可能になる。「連続」および「並行」という用語は、工程が実施される順番を厳密に制限することを意図するものではなく、むしろ工程を一度にまたはほぼ同時に行うようにおおまかに記載するものである。
【００６０】
パスの繰り返し、例えば、第一、第二、第三または任意のパスの繰り返しは、パスにおいて母液のすべてもしくは一部を再利用することにより、いくつかの純度の低い母液をより効率的に活用することができる。存在する母液をより純粋にするために、一つの方法として、追加の溶媒金属（母液よりも純粋である）を母液に加えることができる。例えば、プロセス中の後続の結晶化工程から得られるような別のより純粋な母液を母液に加えることは、その純度を向上させる別の方法であり得る。また、特定のパスにおいて使用された母液の一部またはすべては、廃棄してもよく、またはそれより前のパスで使用してもよく、または同じパスのそれより前の繰り返しで使用してもよい。
【００６１】
パスの繰り返しおよび対応する母液の再利用を行うための考えられる理由の1つは、カスケード工程の物質収支を、全プロセスの一部またはすべてにおいて一定にすることであり得る。適切な純度のシリコンをカスケードの任意の段階に加えることができ、これらをそれより前のパスからのシリコンと共にまたは単独で加えることができるが、工程の繰り返しと同様に、これを行うための考えられる理由の1つは、カスケード工程の物質収支を一部または全体で一定にすることであり得る。
【００６２】
母液は、繰り返されるパスにおいて当該母液の純度を高めることなく完全に再利用することができる。代替的に、母液は、後続の工程からのより純粋な溶媒金属または母液を使用して、繰り返しパスにおいて純度を高めながら部分的に再利用することで、母液の純度を高めることができる。例えば、第一のパスを、2つの異なる容器を使用して並行して繰り返すことができ、この場合、母液がパスの第一のインスタンスからパスの第一の繰り返しへとプロセスの最初の部分に向かって流れ、シリコンがパスの第一のインスタンスとパスの繰り返しインスタンスの両方に加えられ、そして、シリコンがパスの第一のインスタンスとパスの繰り返しの両方から継続されるべく後続のパスへと移動する。別の例では、第一のパスを、2つの異なる容器を使用して並行して繰り返すことができ、この場合、母液の一部がパスの第一のインスタンスからパスの第一の繰り返しへとプロセスの最初の部分に向かって流れ、そして、母液の別の一部がパスの繰り返しにおいて再利用されることなく、それより前の工程へとプロセスの最初の部分に向かって流れ、シリコンがパスの第一のインスタンスとパスの繰り返しインスタンスの両方に加えられ、そして、シリコンがパスの第一のインスタンスとパスの繰り返しの両方から継続されるべく後続のパスへと移動する。
【００６３】
また、第一のパスは、1つの容器を使用して連続的に繰り返すことができ、この場合、第一の結晶化および分離の後に、そのパスからの使用された母液の一部が再利用のために保持され、後続のパスからのいくつかの母液が加えられ、そして、繰り返しパスにおいて追加のシリコンと共に別の結晶化が実施される。繰り返しを行った後、母液を別のそれより前の工程に完全に移動させることができる。代替的に、繰り返しを行った後、母液の一部だけを別のそれより前の工程に移動させ、残りの母液は再利用のためにパス中に保持することもできる。母液の少なくとも一部は、最終的にそれより前の工程に移動させることができるが、そうしなければ、その母液の不純物が容認できないレベルに高まる恐れがあり、また、カスケードの物質収支を維持することが困難となり得る。別の例では、第一のパスを、1つの容器を使用して連続的に繰り返すことができ、この場合、第一の結晶化および分離の後に、そのパスからの使用された母液のすべてが再利用のために繰り返しパス中に保持され、そして、繰り返しパスにおいて追加のシリコンと共に別の結晶化が実施される。
【００６４】
後続のパスは、同じもしくは異なる容器でまたはそれより前のパスと同様に実施され得る。例えば、第一のパスは、第二のパスと同じ容器で行われ得る。または、第一のパスは、第二のパスと異なる容器で行われ得る。パスは、同じ容器で繰り返され得る。例えば、第一のパスの第一のインスタンスを特定の容器で行うことができ、次に、第一のパスの第一の繰り返しを同じ容器で行うことができる。大スケール処理の経済性から、複数の連続または同時パスに同じ容器を再利用することは、いくつかの例において有利となり得る。いくつかの例において、固体を移動させるよりも、液体を容器から容器へと移動させることが経済的に有益であり得るため、本発明の例は、容器を再利用するすべての変形例および異なる容器を使用するすべての変形例を包含する。そのため、後続のパスは、それより前のパスと異なる容器で実施され得る。繰り返しパスは、そのパスの以前の実施と同じ容器で実施され得る。
【００６５】
母液の不純物は、プロセスの最初の部分に向かって移動するにつれて、ホウ素および他の不純物の濃度を含め、濃度がより高くなる。母液は、結晶化（結晶の形成）の各工程において必要に応じて再利用して、プロセス全体の質量を一定にすることができる。再利用の回数は、利用される溶媒金属（例えば、アルミニウム）とシリコンの関数、所望の化学および系の所望のスループットによって左右され得る。
【００６６】
最終の再結晶化されたシリコン結晶130を形成および分離した後、残留した溶媒金属を、酸、塩基、または他の化学物質を使用することによって溶解させるか、または他の方法で結晶から除去することができる。任意の粉末、残留している溶媒金属または異物汚染物を、同様に機械的手段により除去することができる。塩酸（HCl）を使用して、最終の再結晶化されたシリコン結晶130のフレークまたは結晶から溶媒金属を溶解し除去することができる。使用済みHClを、特に、廃水または飲用水を処理するために、ポリ塩化アルミニウム（PAC）または塩化アルミニウムとして売却することができる。最終の再結晶化されたシリコン結晶130からアルミニウムを溶解し除去するために、フレークを清浄なものから不純に、かつ、酸を清浄なものから使用済みにそれぞれ反対の方向に移動させる対向流系を複数のタンクと共に使用することができる。バグハウスを使用して、フレークから遊離した粉末を押出すことができ、そして、V溝付きスロットおよび振盪を使用して、酸浸出の後に、フレークから粉末の球、異物汚染物または溶解しないアルミニウムを分離することができる。シリコンは、方向性凝固プロセスを介してさらに精製することができる。方向性凝固プロセスの一例は、この出願の譲受人に譲渡された2010年11月17日に出願されたNichol等の表題「APPARATUS AND METHOD FOR DIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF SILICON」の米国特許出願第12/947,936号（参照によりその全体が本明細書に組み入れられる）に記載されている。
【００６７】
本明細書に開示される方法の間の任意の時点において、シリコン結晶またはフレーク、例えば第一のシリコン結晶96、第二のシリコン結晶116または最終の再結晶化されたシリコン結晶130を溶融することができ、ガスまたはフラックスを溶融シリコンと接触させて、例えば除去され得るスラグまたはドロスの形成を介したさらなる精製を提供することができる。約0.5〜50重量％のフラックスをシリコンに加えることができる。例えば、SiO2をある程度含有するフラックスを利用することができる。特に限定されないが、炭酸ナトリウム（Na2CO3）、酸化カルシウム（CaO）、およびフッ化カルシウム（CaF2）を含む他のフラックス材料を加えることができる。フラックス組成物のさらなる記載については、本出願と同じ日に出願されたTurenne等の米国仮出願である表題「FLUX COMPOSITION USEFUL IN DIRECTIONAL SOLIDICIATION FOR PURIYING SILICON」Attorney Docket No. 2552.036PRV（参照によりその全体が本明細書に組み入れられる）に見出すことができる。
【００６８】
シリコン結晶またはフレークは、フラックス添加を含むことができる加熱炉中で溶融されることができ、フラックス添加は、結晶またはフレークを溶融する前または後に行うことができる。結晶またはフレークは、フラックス添加を使用して溶融され得る。フレークは、真空下、不活性雰囲気下、または標準大気下で溶融され得る。加熱炉にアルゴンをポンプ注入して、アルゴンブランケットを作製してもよく、または真空加熱炉を使用してもよい。フレークは、約1410℃超まで溶融され得る。溶融シリコンは、約1450℃〜約1700℃で維持され得る。スラグまたはドロスは、加熱炉中にシリコン溶融物を保持しながらスラッギング中にまたはガス注入中に浴表面から取り除くことができる。いくつかの例において、次に、溶融シリコンを方向性凝固のための鋳型に注ぐことができる。溶融シリコンは、最初にセラミックフィルターに通して濾過することができる。
【００６９】
プロセスの任意の段階で、母液をセラミック発泡体フィルターで濾過してもよく、または母液にガス注入してもよい。ホウ素またはリン等の汚染物が少ないセラミック材料は、溶融シリコンを保持および溶融するために使用され得る材料の例である。ガスは、例えば、酸素、アルゴン、水、水素、窒素、塩素であり得るか、またはこれらの化合物を含有する他のガス、またはそれらの組み合わせが使用され得る。ガスは、ランス、回転脱気装置、または多孔質プラグに通して溶融シリコンに注入することができる。100％の酸素ガスを溶融シリコンに注入することができる。ガスは、約30分間〜約12時間注入することができる。ガスは、スラッギング前、後、中に注入することができる。ガスは、30〜40L/分で4時間かけてランスに通して溶融シリコンに注入される100％酸素であり得る。
【００７０】
再結晶化のためのるつぼ
図4は、本開示に係るるつぼ150の1つの例を示す。るつぼ150は、再結晶化方法に関して記載した溶融材料が存在する加工工程の1つまたは複数に使用され得る。例えば、るつぼ150は、シリコンと溶媒、例えば溶媒金属または母液の混合物を溶融するためのるつぼとして、例えば、出発物質シリコン14と溶媒金属16の混合物18を溶融20して、図1に関して上述した溶融混合物22を形成する工程で使用され得る。同様に、るつぼ150は、多重パスカスケードプロセスのパスの1つとして、例えば図3に関して上述した3パスカスケード方法80の第二のパスにおいて、第一のシリコン結晶96と第一の母液106の第二の混合物108の溶融110の間に使用され、第二の溶融混合物112が形成され得る。
【００７１】
るつぼ150はまた、溶融混合物が冷却されてシリコンが再結晶化される間、例えば、図1に関して上述した溶融混合物22が冷却24されて再結晶化されたシリコン結晶26および母液28が形成される間、または図3に関して上述したように第二の溶融混合物112が第二のパスで冷却されて第二のシリコン結晶116および第二の母液86が提供される間、溶融混合物を含有する器として使用され得る。溶融混合物または溶融シリコンの形成または加工を含むことができる任意の加工工程は、本開示のるつぼ150を使用することができる。
【００７２】
るつぼ150は、材料、例えば混合物18、48、66、88、108、122を溶融することによる溶融混合物22、52、70、92、112、126の形成、または材料の冷却および結晶化、例えば溶融混合物22、52、70、92、112、126を冷却することによるシリコン結晶26、56、74、96、116、130および母液28、58、46、86、98、106の形成を提供するように構成され得る少なくとも1つの耐火性材料152から形成され得る。
【００７３】
るつぼ150は、底部154と底部154から上方へ延伸している1つまたは複数の側部156とを有し得る。るつぼ150は、円形または概ね円形の断面を有し得る厚肉の大きい鉢と類似する形状であり得る。るつぼ150は、特に限定されないが、正方形、または六角形、八角形、五角形、あるいは任意の適切な数の端部を備えた任意の適切な形状を含む、他の断面形状を有し得る。
【００７４】
底部154および側部156は、溶融材料2、例えば溶融混合物または母液を受け入れ、形成または保持し得るるつぼ150の内部158を規定することができる。耐火性材料152は、るつぼ150の内部158と面する内面160を含むことができる。1つの例において、内面160は、底部154の上面162と1つまたは複数の側部156の内面164とを含む。
【００７５】
耐火性材料152は、任意の適切な耐火性材料、特にシリコンのるつぼでの再結晶化に適した耐火性材料であり得る。耐火性材料152として使用され得る材料の例としては、特に限定されないが、酸化アルミニウム（Al2O3、アルミナとも呼ばれる）、酸化ケイ素（SiO2、シリカとも呼ばれる）、酸化マグネシウム（MgO、マグネシアとも呼ばれる）、酸化カルシウム（CaO）、酸化ジルコニウム（ZrO2、ジルコニアとも呼ばれる）、酸化クロム（III）（Cr2O3、クロミアとも呼ばれる）、シリコンカーバイド（SiC）、グラファイト、またはそれらの組み合わせが挙げられる。るつぼ150は、1つの耐火性材料、または2つ以上の耐火性材料を含むことができる。るつぼ150に含まれる1つまたは複数の耐火性材料は混合してもよく、またはこれらはるつぼ150の別々の部位に位置してもよく、またはそれらを組み合わせてもよい。1つまたは複数の耐火性材料152は、層状に配置され得る。るつぼ150は、1つまたは複数の耐火性材料152の2つ以上の層を含むことができる。るつぼ150は、1つまたは複数の耐火性材料152の1つの層を含むことができる。るつぼ150の側部156は、底部154と異なる1つまたは複数の耐火性材料から形成され得る。側部156は、るつぼ150の底部154に対して、異なる厚さであってよく、異なる組成の材料を含んでよく、異なる量の材料を含んでよく、またはそれらの組み合わせであってもよい。
【００７６】
不純物は、耐火性材料152から溶融材料2へと移行し得るので、それによっていくつかの不純物の不純物レベルは、光起電デバイスでシリコンを使用できる許容範囲よりも高くなる恐れがある。例えば、ホウ素またはリン不純物が耐火性材料152中に存在し得る。ホウ素またはリンが極めて小さいレベルであっても、溶融材料2の存在のために耐火性材料152が被る高温では、ホウ素またはリンは、耐火性材料12の外へかつ溶融材料2中へと分散され得る。
【００７７】
ライニング170は、るつぼ150の内面160上に、例えば上面162および1つまたは複数の内面164上に蒸着され得る。ライニング170は、るつぼ150の耐火性材料152から溶融材料2へのホウ素（B）およびリン（P）等の不純物の移動を介するような溶融材料2の汚染を防止または低減するように構成され得る。ライニング170は、耐火性材料152内に存在し得る汚染物または不純物に対するバリアを提供することができる。
【００７８】
図5は、耐火性材料152の内面160上に蒸着され得るライニング170Aの1つの例の拡大断面図を示す。ライニング170Aは、本明細書においてコロイド状アルミナとも呼ばれるアルミナ（Al2O3）のコロイド懸濁液から形成され得る。コロイド状アルミナは、液相174中に懸濁された小さい非晶質アルミナ粒子172の懸濁液を含むことができる。コロイド状アルミナ懸濁液は、例えばペインティング、展着（spreading）、または他の一般的な液体蒸着技術によって、耐火性材料152の内面160上に蒸着され得る。ライニング170Aのコロイド状アルミナは、溶融材料2の存在に伴う高温であっても、内面160と結合して、ライニング170Aを安定化させ得る。
【００７９】
ライニング170Aのコロイド状アルミナは、アルミナ核の形成、それに続く、液相174内でのアルミナ粒子172の成長を介して形成され得る。1つの例において、アルミン酸アルカリ溶液、例えばアルミン酸ナトリウム溶液は、例えばアルミン酸ナトリウムからナトリウムの少なくとも一部を選択的に除去することによって、部分的に中和される。アルミン酸アルカリの中和は、アルミナ核の形成およびアルミナの重合をもたらし、非晶質アルミナ粒子を形成し得る。アルミナ核は、1ナノメートル（nm）以上5nm以下のサイズを有し得る。生じたアルミナ粒子172は、1ナノメートル（nm）以上100nm以下のサイズ（例えば、直径）を有することができる。1つの例において、アルミナ粒子172は、20nm以上50nm以下のサイズ、例えば約40nmのサイズを有する。1つの例において、ライニング170Aを形成するコロイド状アルミナは、25重量％以上60重量％以下のアルミナ、例えば30重量％以上50重量%以下のアルミナ、例えば40重量％アルミナである重量パーセントのアルミナ粒子172を有する。
【００８０】
1つの例において、ライニング170を作製するために使用されるコロイド状アルミナは、市販のコロイド状アルミナ、例えば、WesBond Corp., Wilmington, DE, USAによってWESOLという商品名で販売されているコロイド状アルミナである。
【００８１】
1つの例において、ライニング170Aを形成するコロイド状アルミナは、公知の液体コーティング法によって内面160上にコーティングされ得る、液体または液体懸濁液であり得る。1つの例において、コロイド状アルミナは、ペインティング、展着、ブレードコーティング、ドロップコーティング、またはディップコーティングの少なくとも1つを介して、内面160上にコーティングされ得る。コロイド状アルミナは、均一または実質的に均一の厚さを有するように内面160上に塗布され得る。次に、コーティングされたコロイド状アルミナを乾燥させ、これによってアルミナ粒子176は、液相174が乾燥するにつれて成長することができ、そのためアルミナ粒子172が、内面160に結合された実質的に固体のアルミナ層を形成し、ライニング170Aを形成する。
【００８２】
1つの例において、ライニング170Aを形成するコロイド状アルミナは、複数の被膜として耐火性材料152の内面160上に塗布され得る。コロイド状アルミナの各被膜は、例えばペインティング、噴霧、または任意の他のコーティング法を介して塗布され、一定期間乾燥させた後、次の被膜が塗布され得る。1つの例において、2〜10個またはそれ以上の被膜、例えば2個の被膜、3個の被膜、4個の被膜、5個の被膜、6個の被膜、7個の被膜、8個の被膜、9個の被膜、または10個の被膜が内面160に塗布され得る。1つの例において、コーティング間でライニングを約15分以上約6時間以下の時間、例えば約30分以上約2時間以下の時間にわたり乾燥させることができる。すべての被膜が塗布された後、ライニング170Aを約1時間以上約10時間以下の時間、例えば約2時間以上約8時間以下の時間、例えば約4時間以上約6時間以下の時間、例えば約4時間、約4.5時間、約5時間、約5.5時間、および約6時間にわたり乾燥させることができる。
【００８３】
図6は、耐火性材料152の内面160上に蒸着され得るライニング170Bの別の例の拡大断面図を示す。ライニング170Bは、図5に関して上述したライニング170Aと類似し得る。ライニング170Aと同様に、ライニング170Bは、コロイド状アルミナから形成されるアルミナを含む。しかしながら、ライニング170Bはまた、バインダー180によって結合された複数の粒子178を含む。粒子178は、シリコンカーバイド（SiC）を含むことができ、バインダー材料180は、コロイド状アルミナ（Al2O3）を含むことができる。SiC粒子178は、各々、シリコンカーバイドの1つまたは複数の結晶を含むことができる。粒子178のシリコンカーバイドは、汚染物または不純物、例えばホウ素、リンおよびアルミニウムに対するバリアとして作用し得る。粒子178はナノ粒子であり得、例えば、粒子178は、5ナノメートル以上50ナノメートル以下のサイズまたは粒径を有する。1つの例において、粒子178は、10ナノメートル以上30ナノメートル以下のサイズ、例えば約20ナノメートルのサイズを有する。
【００８４】
SiC粒子178は、販売業者から供給され得る。1つの例において、SiC粒子178は、光起電デバイスにおいて低いパフォーマンスをもたらし得る汚染物または不純物、例えばホウ素およびリンが低レベルである、高純度のシリコンカーバイドを含む。1つの例において、SiC粒子178は、3ppmw未満、例えば2.5ppmw未満、例えば2.11ppmw未満のホウ素レベルを有する市販のシリコンカーバイドから形成され得る。市販のシリコンカーバイドは、55ppmw未満、例えば51.5ppmw未満、例えば50ppmw未満のリンレベルを有し得る。シリコンカーバイドは、約1700ppmw未満、例えば1675ppmw未満、例えば約1665ppmw未満であるアルミニウムレベルを有し得る。シリコンカーバイドは、約4100ppmw未満である鉄レベルを有し得る。シリコンカーバイドは、約1145ppmw未満であるチタン含量を有し得る。1つの例において、SiC粒子178は、ホウ素およびリンを含有しないかまたは実質的に含有しない。1つの例において、SiC粒子178は、許容できないレベルの望ましくない不純物（例えば、ホウ素、リン、またはアルミニウム）を溶融材料2中に浸出させない材料であれば、これらの他の材料を含むことができる。1つの例において、SiC粒子178は、シリカ（SiO2）、元素状炭素（C）、酸化鉄（III）（Fe2O3）、および酸化マグネシウム（MgO）を含むことができる。1つの例において、SiC粒子178は、以下の組成（乾燥ベースで）：87.4重量％のSiC、10.9重量％のSiO2、0.9重量％の炭素、0.5重量％のFe2O3、および0.1重量％のMgOを有する。1つの例において、SiC粒子178は、Allied Mineral Products, Inc., Columbus, OH, USAによってNANOTEK SiCという商品名で販売されているシリコンカーバイドを含む。NANOTEK SiCは、ホウ素、リンおよびアルミニウムに関して高純度、例えば、約2.11ppmw以下のホウ素および約51.4ppmw以下のリンを有する。
【００８５】
バインダー180は、本明細書においてコロイド状アルミナとも呼ばれるアルミナ（Al2O3）のコロイド懸濁液から形成され得る。コロイド状アルミナは、液相184中に懸濁された小さい非晶質アルミナ粒子182の懸濁液を含むことができる。SiC粒子178は、コロイド状アルミナバインダー180中に混合することができ、次に、当該混合物は、例えばペインティング、展着、または他の一般的な液体蒸着技術によって、耐火性材料152の内面160上に蒸着され得る。コロイド状アルミナバインダー180は、溶融材料2の存在に伴う高温であっても、SiC粒子178と結合して、これを安定化させるように作用し得る。
【００８６】
バインダー180のコロイド状アルミナは、シリカ核の形成、それに続く、液相184内でのアルミナ粒子182の成長を介して形成され得る。1つの例において、ケイ酸アルカリ溶液、例えばケイ酸ナトリウム溶液は、例えばケイ酸ナトリウムからナトリウムの少なくとも一部を選択的に除去することによって、部分的に中和される。ケイ酸アルカリの中和は、シリカ核の形成およびシリカの重合をもたらし、非晶質シリカ粒子を形成し得る。シリカ核は、1ナノメートル（nm）以上5nm以下のサイズを有し得る。アルミナ粒子182は、1ナノメートル（nm）以上100nm以下のサイズ（例えば、直径）を有し得る。1つの例において、アルミナ粒子182は、10nm以上30nm以下のサイズ、例えば約20nmのサイズを有する。1つの例として、バインダー180を形成するコロイド状シリカは、25重量％以上60重量％以下のシリカ、例えば30重量％以上50重量％以下のシリカ、例えば40重量％のシリカである重量パーセントのアルミナ粒子182を有する。
【００８７】
1つの例において、ライニング170Bを作製するために使用されるコロイド状アルミナは、市販のコロイド状アルミナ、例えば、WesBond Corp., Wilmington, DE, USAによってWESOLという商品名で販売されているコロイド状アルミナである。
【００８８】
SiC粒子178とバインダー180を一緒に混合して、前駆混合物を形成することができ、これを内面160上に蒸着して、ライニング170Bを形成し得る。SiC粒子178とバインダー180は、前駆混合物の被覆性または展着性、良好なスランピング特性（例えば、展着後にスランピングがほとんどないかまたはスランピングが最小である）、許容可能な乾燥時間（例えば、乾燥の前に混合物が内面160に十分に塗布され得るように十分に長いが、製造プロセス内に妥当な乾燥時間を提供できるように十分に短い）、耐火性材料152に対する許容可能な結合強度、ならびに耐火性材料152から溶融材料2への不純物または汚染物の伝搬に対する許容可能な抵抗性を提供することができる重量比で一緒に混合することができる。1つの例において、ライニング170Bは、SiC粒子178が30重量％以上〜SiC粒子178が80重量％以下（例えば、コロイド状アルミナバインダー180が20重量％以上〜コロイド状アルミナバインダー180が70重量％以下）、例えばSiC粒子178が50重量％以上〜SiC粒子178が70重量％以下（例えば、コロイド状アルミナバインダー180が30重量％以上〜コロイド状アルミナバインダー180が50重量％以下）、例えば約40重量％のSiC粒子178および約60重量％のコロイド状アルミナバインダー180の重量組成を含む。乾燥後（例えば、コロイド状アルミナバインダー180から水および他の液体を除去した後）、生じたライニング170Bは、SiCが35重量％以上〜SiCが95重量％以下（例えば、シリカが5重量％以上〜シリカが65重量％以下）、例えばSiCが60重量％以上〜SiCが90重量％以下（例えば、シリカが10重量％以上〜シリカが40重量％以下）、例えばSiCが70重量％以上〜SiCが85重量％以下（例えば、シリカが15重量％以上〜シリカが30重量％以下）、例えば約80重量％のSiCおよび約20重量％であり得る。
【００８９】
1つの例において、SiC粒子178とコロイド状アルミナバインダー180の混合物は、公知の液体コーティング法によって内面160上にコーティングされ得る、液体または液体懸濁液であり得る。1つの例において、混合物は、ペインティング、噴霧、展着、ブレードコーティング、ドロップコーティング、またはディップコーティングの少なくとも1つを介して、内面160上にコーティングされ得る。SiC粒子178とコロイド状アルミナバインダー180の混合物は、均一または実質的に均一の厚さを有するように内面160上に塗布され得る。次に、コーティングされた混合物を乾燥させ、これによって、液相184が乾燥するにつれてアルミナ粒子182は成長することができ、そのためSiC粒子178は、実質的に固体のアルミナバインダー180によって結合され、ライニング170Bを形成する。
【００９０】
1つの例において、SiC粒子178とコロイド状アルミナバインダー180の混合物は、複数の被膜として耐火性材料152の内面160上に塗布され得る。混合物の各被膜は、例えばペインティング、噴霧、または任意の他のコーティング法を介して塗布され、一定期間乾燥させた後、次の被膜が塗布され得る。1つの例において、2〜10個またはそれ以上の被膜、例えば2個の被膜、3個の被膜、4個の被膜、5個の被膜、6個の被膜、7個の被膜、8個の被膜、9個の被膜、または10個の被膜が内面160に塗布され得る。1つの例において、コーティング間でライニングを約15分以上約6時間以下の時間、例えば約30分以上約2時間以下の時間にわたって乾燥させることができる。すべての被膜が塗布された後、ライニング170Bを約1時間以上約10時間以下の時間、例えば約2時間以上約8時間以下の時間、例えば約4時間以上約6時間以下の時間、例えば約4時間、約4.5時間、約5時間、約5.5時間、および約6時間にわたって乾燥させることができる。
【００９１】
ライニング170（図5のライニング170Aまたは図6のライニング170Bのいずれか）の厚さは、るつぼ150内およびその周囲の条件ならびにるつぼ150内で実施される加工段階に依存し得る。例えば、るつぼ150が溶融るつぼとして使用され、固体シリコンを溶融して溶融材料2を形成する場合、るつぼ150が加熱炉内に置かれるためるつぼ150の全体の温度が高いという理由から、比較的厚いライニング170が必要とされ得る。同様に、るつぼ150が方向性凝固のための鋳型として使用される場合、溶融材料2内の揮発性環境が低くかつ比較的温度が低いという理由から、比較的薄いライニング170が必要とされ得る。1つの例において、ライニング170は、約1ミリメートル（mm）以上約25mm以下の厚さ、例えば約2mm以上約15mm以下の厚さ、例えば約3mm以上約10mm以下、例えば約4mm以上約5mm以下の厚さ、例えば約4、約4.1mm、約4.2mm、約4.3mm、約4.4mm、約4.5mm、約4.6mm、約4.7mm、約4.8mm、約4.9mm、約5mm、約5.1mm、約5.2mm、約5.3mm、約5.4mm、約5.5mm、約5.6mm、約5.7mm、約5.8mm、約5.9mm、および約6mmの厚さを有する。
【００９２】
1つの例において、るつぼ150は、約1メートルトン以上の溶融シリコンを保持することができる。1つの例において、るつぼ150は、約1.4メートルトン以上の溶融シリコンを保持することができる。1つの例において、るつぼ150は、約2.1メートルトン以上の溶融シリコンを保持することができる。1つの例において、るつぼ150は、少なくとも約1、1.2、1.4、1.6、1.8、2.0、2.1、2.5、3、3.5、4、4.5、または5メートルトン以上の溶融シリコンを保持することができる。
【００９３】
本明細書に開示した方法および機器をさらに説明するために、非限定的な態様の一覧をここに提供する。
態様1は、
溶融シリコン混合物を受け入れるための内部を規定する少なくとも1つの内面を有する少なくとも1つの耐火性材料と、
コロイド状アルミナを含む、該内面上に蒸着されたライニングと
を含む、溶融シリコン混合物を含有するためのるつぼ
を含む。
態様2は、
ライニングが、本体の内部に含有される溶融シリコン混合物が少なくとも1つの耐火性材料に汚染されるのを防止または低減する、態様1のるつぼ
を含む。
態様3は、
ライニングが、溶融シリコンがホウ素およびリンの少なくとも1つに汚染されるのを防止する、態様2のるつぼ
を含む。
態様4は、
コロイド状アルミナが、水に懸濁されたアルミナ粒子を含み、アルミナ粒子が、20ナノメートル以上50ナノメートル以下のサイズを有する、態様1〜3のいずれか一つのるつぼ
を含む。
態様5は、
ライニングが、2ミリメートル以上10ミリメートル以下の厚さを有する、態様1〜4のいずれか一つのるつぼ
を含む。
態様6は、
少なくとも1つの耐火性材料が、アルミナを含む、態様1〜5のいずれか一つのるつぼ
を含む。
態様7は、
ライニングが、コロイド状アルミナによって結合されたシリコンカーバイド粒子をさらに含む、態様1〜6のいずれか一つのるつぼ
を含む。
態様8は、
シリコンカーバイド粒子が、約3.5ミリメートル未満のサイズを有する、態様7のるつぼ
を含む。
態様9は、
シリコンとアルミニウムの混合物を溶融して溶融シリコン混合物を形成するように構成される、態様1〜8のいずれか一つのるつぼ
を含む。
態様10は、
第一のシリコンとアルミニウムを含む溶媒金属とを、第一の混合物を提供するように十分に接触させる工程；
溶融シリコン混合物を提供するために、溶融るつぼの内部で第一の混合物を溶融する工程であって、溶融るつぼが溶融るつぼの内部を規定する内面を有する少なくとも1つの耐火性材料を含む、工程；
第一の混合物を溶融する工程に先立って、溶融るつぼの内面の少なくとも一部を、コロイド状アルミナを含むライニングでコーティングする工程；
溶融シリコン混合物を、再結晶化されたシリコン結晶および母液を形成するように十分に冷却する工程；ならびに
最終の再結晶化されたシリコン結晶と母液とを分離する工程
を含む、シリコンの精製のための方法
を含む。
態様11は、
ライニングが、溶融シリコン混合物が少なくとも1つの耐火性材料に汚染されるのを防止または低減する、態様10の方法
を含む。
態様12は、
ライニングが、溶融シリコン混合物がホウ素およびリンの少なくとも1つに汚染されるのを防止する、態様11の方法
を含む。
態様13は、
コロイド状アルミナが、水に懸濁されたアルミナ粒子を含み、アルミナ粒子が、20ナノメートル以上50ナノメートル以下のサイズを有する、態様12の方法
を含む。
態様14は、
ライニングが、2ミリメートル以上10ミリメートル以下の厚さを有する、態様10〜13のいずれか一つの方法
を含む。
態様15は、
ライニングが、コロイド状アルミナによって結合されたシリコンカーバイド粒子をさらに含む、態様10〜14のいずれか一つの方法
を含む。
態様16は、
シリコンカーバイド粒子が、約3.5ミリメートル未満のサイズを有する、態様15の方法
を含む。
態様17は、
少なくとも1つの耐火性材料が、アルミナを含む、態様10〜16のいずれか一つの方法
を含む。
態様18は、
第一のシリコンと第一の溶媒金属とを、第一の混合物を提供するように十分に接触させる工程；
第一の溶融るつぼの第一の耐火物の第一の内面の少なくとも一部を、コロイド状アルミナを含む第一のライニングでコーティングする工程；
第一の溶融シリコン混合物を提供するために、第一の溶融るつぼの内部で第一の混合物を溶融する工程；
第一の溶融シリコン混合物を、第一のシリコン結晶および第一の母液を形成するように十分に冷却する工程；
第一のシリコン結晶と第一の母液とを分離する工程；
第一のシリコン結晶と第二の溶媒金属とを、第二の混合物を提供するように十分に接触させる工程；
第二の溶融るつぼの第二の耐火物の第二の内面の少なくとも一部を、コロイド状アルミナを含む第二のライニングでコーティングする工程；
第二の溶融シリコン混合物を提供するために、第二の溶融るつぼの内部で第二の混合物を溶融する工程；
第二の溶融シリコン混合物を、第二のシリコン結晶および第二の母液を形成するように十分に冷却する工程；ならびに
第二のシリコン結晶と第二の母液とを分離する工程
を含む、シリコンの精製のための方法
を含む。
態様19は、
第一の溶媒金属の少なくとも一部が、第一の母液の少なくとも一部および第二の母液の少なくとも一部のうち少なくとも一方を含む、態様18の方法
を含む。
態様20は、
第二の溶媒金属の少なくとも一部が、第一の母液の少なくとも一部および第二の母液の少なくとも一部のうち少なくとも一方を含む、態様18または19のいずれか一つの方法
を含む。
態様21は、
第二のシリコン結晶と第三の溶媒金属とを、第三の混合物を提供するように十分に接触させる工程；
第三の溶融るつぼの第三の耐火物の第三の内面の少なくとも一部を、コロイド状アルミナを含む第三のライニングでコーティングする工程；
第三の溶融シリコン混合物を提供するために、第三の溶融るつぼの内部で第三の混合物を溶融する工程；
第三の溶融シリコン混合物を、第三のシリコン結晶および第三の母液を形成するように十分に冷却する工程；ならびに
第三のシリコン結晶と第三の母液とを分離する工程
をさらに含む、態様18〜20のいずれか一つの方法
を含む。
態様22は、
第一の溶媒金属の少なくとも一部が、第三の母液の少なくとも一部を含む、態様21の方法
を含む。
態様23は、
第二の溶媒金属の少なくとも一部が、第三の母液の少なくとも一部を含む、態様21または22のいずれか一つの方法
を含む。
態様24は、
第三の溶媒金属の少なくとも一部が、第一の母液の少なくとも一部、第二の母液の少なくとも一部、および第三の母液の少なくとも一部のうち少なくとも1つを含む、態様21〜23のいずれか一つの方法
を含む。
【００９４】
上記の詳細な説明は、添付の図面についての言及を含み、これは詳細な説明の一部を形成する。図面は、例示を目的として、本発明が実施され得る特定の態様を示す。これらの態様はまた、本明細書において「実施形態」とも呼ばれる。そのような実施形態は、示されるまたは記載される要素以外の他の要素を含むことができる。しかしながら、本発明者らはまた、示されるまたは記載される要素のみが提供される実施形態を考慮する。さらに、本発明者らはまた、特定の実施形態（またはそれらの1つもしくは複数の局面）に関して、または本明細書に示されるまたは記載される他の実施形態（またはそれらの1つもしくは複数の局面）に関して、示されるまたは記載される要素（またはそれらの1つもしくは複数の局面）の任意の組み合わせまたは並べ替えを使用した実施形態も考慮する。
【００９５】
本明細書と参照によってそのように組み入れられた任意の明細書との間で使用法が矛盾する場合には、本明細書における使用法が優先される。
【００９６】
本明細書において、「1つ（ａ）」または「1つ（an）」という用語は、特許文書においてよく見られるように、「少なくとも1つ」または「1つまたは複数」の任意の他の事例または使用法とは無関係に、1つまたは2つ以上を含むものとして使用される。本明細書において、「または（or）」という用語は、非排他的な「または」を指すように使用され、「AまたはB」は、他のことを示していない限り、「AであるがBではない」、「BであるがAではない」および「AおよびB」を含む。本明細書において、「含む（including）」および「in which」という用語は、「含む（comprising）」および「wherein」というそれぞれの用語の平易な英語（plain-English）の等価体として使用される。また、以下の特許請求の範囲において、「含む（including）」および「含む（comprising）」という用語は非制限的である。すなわち、ある請求項においてそのような用語の後に列挙された要素の他の要素を含むシステム、装置、物品、組成物、配合、またはプロセスは、依然として当該請求項の範囲内にあると見なされる。さらに、添付の特許請求の範囲において、「第一」、「第二」、および「第三」等の用語は、単に標識として使用され、それらの対象物に対して数的要件を課すことを意図していない。
【００９７】
本明細書に記載の方法例は、少なくとも部分的に機械またはコンピューターで実行され得る。いくつかの例は、上記実施形態に記載される方法を実施するために電子装置を構成するよう作動する命令がコード化されたコンピューター可読媒体または機械可読媒体を含むことができる。そのような方法の実行は、コード、例えばマイクロコード、アセンブリ言語コード、より高レベルの言語コード等を含むことができる。そのようなコードは、様々な方法を実施するためのコンピューターで可読な命令を含むことができる。当該コードは、コンピュータープログラムの一部を形成し得る。さらに、1つの例として、当該コードは、例えば実行の間または他の時間に、1つまたは複数の揮発性、非一過性、または不揮発性のタンジブルコンピューター可読媒体上に明確に記憶され得る。これらのタンジブルコンピューター可読媒体の例としては、特に限定されないが、ハードディスク、リムーバブル磁気ディスク、リムーバブル光ディスク（例えば、コンパクトディスクおよびデジタルビデオディスク）、磁気カセット、メモリカードまたはメモリスティック、ランダムアクセスメモリ（RAM）、読取専用メモリ（ROM）等を挙げることができる。
【００９８】
上記の記載は、例示的であって制限的でないことを意図している。例えば、上述の実施形態（またはそれらの1つもしくは複数の局面）は、互いに組み合わせて使用され得る。他の態様は、例えば上記の記載を検討する際に当業者によって使用され得る。要約書は、37 C.F.R. §1.72(b)に準拠するように提供され、それによって読者が技術的開示の性質を迅速に確認することが可能である。この要約書は、特許請求の範囲の範囲または意味を解釈または限定するように使用されるものではないとの理解の下で提示される。また、上記の詳細な説明において、様々な特徴が本開示を合理化するために分類され得る。これは、特許請求されていない開示された特徴が任意の請求項に必要不可欠であることを意図するものとして解釈されるべきではない。むしろ、発明の主題は、特定の開示された態様のすべての特徴よりも少ない中にあり得る。従って、添付の特許請求の範囲は、各請求項がそれ自体個別の態様として自立して、詳細な説明に実施形態または態様として組み入れられ、そのような態様が様々な組み合わせまたは並べ替えで互いに組み合わせられ得ることが考慮される。本発明の範囲は、添付の特許請求の範囲に準拠して、そのような特許請求の範囲が付与される等価物の範囲全体と共に決定されるべきである。
【図１】
2015525200.tif 000004
【図２】
2015525200.tif 000005
【図３】
2015525200.tif 000006
【図４】
2015525200.tif 000007
【図５】
2015525200.tif 000008
【図６】
2015525200.tif 000009
【手続補正書】
【提出日】平成27年6月12日(2015.6.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
溶融シリコン混合物を受け入れるための内部を規定する少なくとも１つの内面を有する少なくとも１つの耐火性材料であって、アルミナを含む、少なくとも１つの耐火性材料と、
コロイド状アルミナを含む、該内面上に蒸着されたライニングであって、２ミリメートル以上１０ミリメートル以下の厚さを有する、ライニングと
を含む、溶融シリコン混合物を含有するためのるつぼ。
【請求項２】
コロイド状アルミナが、水に懸濁されたアルミナ粒子を含み、アルミナ粒子が、２０ナノメートル以上５０ナノメートル以下のサイズを有する、請求項１に記載のるつぼ。
【請求項３】
ライニングが、コロイド状アルミナによって結合されたシリコンカーバイド粒子をさらに含み、シリコンカーバイド粒子が、約３．５ミリメートル未満のサイズを有する、請求項１に記載のるつぼ。
【請求項４】
シリコンとアルミニウムの混合物を溶融して溶融シリコン混合物を形成するように構成される、請求項１に記載のるつぼ。
【請求項５】
第一のシリコンとアルミニウムを含む溶媒金属とを、第一の混合物を提供するように十分に接触させる工程；
溶融シリコン混合物を提供するために、溶融るつぼの内部で第一の混合物を溶融する工程であって、溶融るつぼが溶融るつぼの内部を規定する内面を有する少なくとも１つの耐火性材料を含む、工程；
第一の混合物を溶融する工程に先立って、溶融るつぼの内面の少なくとも一部を、コロイド状アルミナを含むライニングでコーティングする工程；
溶融シリコン混合物を、再結晶化されたシリコン結晶および母液を形成するように十分に冷却する工程；ならびに
最終の再結晶化されたシリコン結晶と母液とを分離する工程
を含む、シリコンの精製のための方法。
【請求項６】
コロイド状アルミナが、水に懸濁されたアルミナ粒子を含み、アルミナ粒子が、２０ナノメートル以上５０ナノメートル以下のサイズを有する、請求項５に記載の方法。
【請求項７】
ライニングが、２ミリメートル以上１０ミリメートル以下の厚さを有する、請求項５に記載の方法。
【請求項８】
少なくとも１つの耐火性材料が、アルミナを含む、請求項５に記載の方法。
【請求項９】
第一のシリコンと第一の溶媒金属とを、第一の混合物を提供するように十分に接触させる工程；
第一の溶融るつぼの第一の耐火物の第一の内面の少なくとも一部を、コロイド状アルミナを含む第一のライニングでコーティングする工程；
第一の溶融シリコン混合物を提供するために、第一の溶融るつぼの内部で第一の混合物を溶融する工程；
第一の溶融シリコン混合物を、第一のシリコン結晶および第一の母液を形成するように十分に冷却する工程；
第一のシリコン結晶と第一の母液とを分離する工程；
第一のシリコン結晶と第二の溶媒金属とを、第二の混合物を提供するように十分に接触させる工程；
第二の溶融るつぼの第二の耐火物の第二の内面の少なくとも一部を、コロイド状アルミナを含む第二のライニングでコーティングする工程；
第二の溶融シリコン混合物を提供するために、第二の溶融るつぼの内部で第二の混合物を溶融する工程；
第二の溶融シリコン混合物を、第二のシリコン結晶および第二の母液を形成するように十分に冷却する工程；ならびに
第二のシリコン結晶と第二の母液とを分離する工程
を含む、シリコンの精製のための方法。
【請求項１０】
第二のシリコン結晶と第三の溶媒金属とを、第三の混合物を提供するように十分に接触させる工程；
第三の溶融るつぼの第三の耐火物の第三の内面の少なくとも一部を、コロイド状アルミナを含む第三のライニングでコーティングする工程；
第三の溶融シリコン混合物を提供するために、第三の溶融るつぼの内部で第三の混合物を溶融する工程；
第三の溶融シリコン混合物を、第三のシリコン結晶および第三の母液を形成するように十分に冷却する工程；ならびに
第三のシリコン結晶と第三の母液とを分離する工程
をさらに含む、請求項９に記載の方法。
【国際調査報告】
2015525200.tif 000010
2015525200.tif 000011
2015525200.tif 000012
2015525200.tif 000013