(57)【要約】  本発明は、２つの基板を界面において分離するための装置に関し、該装置は、ホルダ（１）と、構造体を保持するための、ホルダ（１）上に取付けられた部材（２）と、２つの基板を分離するための、同じくホルダ（１）上に取付けられた工具（３）と、ホルダに対して分離用工具（３）を移動させるための手段（４）及び／又は保持部材（２）を移動させるための手段（５）であって、それらを、好ましくは限定された移動範囲にわたって、互いに近づけるか又は遠ざける、手段（４）及び／又は手段（５）とを含む。この装置は、分離用工具が、リーディングエッジ（３０）を含み、該リーディングエッジが、断面において、その先端又はその前縁（３２３）からその後方へ連続して、テーパ部分（３２）と、それを延長するフレア部分（３３）とを有することが、注目に値する。電子工学、光学、光電子工学及び／又は光起電力工学に使用される基板に適用される。【選択図】  図８
2015534723.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
２つの基板を分離界面において分離するための装置であって、
これら２つの基板のうちの少なくとも１つは、電子工学、光学、光電子工学及び／又は光起電力工学において使用するためのものであり、これら２つの基板は協働して１つの構造体を形成し、
当該装置は、
ホルダ（１）と、
前記構造体を保持するための、前記ホルダ（１）上に取り付けられた保持部材（２、２’）と、
前記２つの基板を分離するための、同じく前記ホルダ（１）上に取り付けられた分離用工具（３、３’、３’’、３’’’）と、
前記分離用工具（３、３’、３’’、３’’’）を移動させるための移動手段（４）及び／又は前記保持部材（２、２’）を移動させるための移動手段（５）であり、前記分離用工具（３、３’、３’’、３’’’）及び／又は前記保持部材（２、２’）を、好ましくは限定された移動範囲にわたって、互いに近づけるか又は遠ざけるように前記ホルダ（１）に対して移動させることを可能にする、移動手段（４）及び／又は移動手段（５）と
を含む装置において、
前記分離用工具（３、３’、３’’、３’’’）がリーディングエッジ（３０、３０’、３０’’、３０’’’）を含み、前記リーディングエッジが、断面において、その先端（３２０’、３２０’’）又はその前縁（３２３、３０３’’）から後方へ連続して、テーパ部分（３２、３２’、３２’’、３２’’’）と、該テーパ部分を延長するフレア部分（３３、３３’、３３’’、３３’’’）とを有することを特徴とする装置。
【請求項２】
前記分離用工具（３、３’）の前記テーパ部分（３２、３２’）は、その先端での角度（α）が３０°より小さい２等辺３角形の断面を有し、前記フレア部分（３３、３３’）はその先端での角度（β）が３０°より大きい等脚台形の断面を有することを特徴とする、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記テーパ部分（３２、３２’）の前記２等辺３角形の高さ（Ｈ１）が２ｍｍと２０ｍｍとの間にあり、前記フレア部分（３３、３３’）の前記等脚台形の高さ（Ｈ２）が１０ｍｍと１００ｍｍとの間にあり、前記フレア部分（３３、３３’）の前記台形の底辺の高さで計測された前記分離用工具（３、３’）の厚さ（ｅ）が、前記テーパ部分（３２、３２’）の前記先端の角度（α）の半分の正接と、前記テーパ部分（３２、３２’）の高さ（Ｈ１）との積の２倍より大きいことを特徴とする、請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記分離用工具（３’’、３’’’）は、各々が凹形の２つの側部（３０２’’、３２’’’、３３’’’）によって断面が縁取られたリーディングエッジ（３０’’、３０’’’）を有することを特徴とする、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記２つの側部（３０２’’、３２’’’、３３’’’）の凹形は、半放物線プロファイルに追従することを特徴とする、請求項４に記載の装置。
【請求項６】
前記分離用工具（３、３’’）の前記リーディングエッジ（３０、３０’’）は、細長い直線的要素であることを特徴とする、請求項１〜５のいずれか一項に記載の装置。
【請求項７】
前記分離用工具（３、３’、３’’、３’’’）は、ポリテトラフルオロエチレンのような低摩擦係数を有する材料、又は潤滑剤で覆われた材料で作られることを特徴とする、請求項１〜６のいずれか一項に記載の装置。
【請求項８】
前記保持部材（２、２’）は、底部（２１０、２１０’）と、上向きかつ外向きに傾斜して互いの間で８°以上の角度（γ）を成す２つの横壁（２１１、２１１’；２１２、２１２’）とを含む、好ましくは円弧形の垂直保持溝（２１、２１’）を含み、前記溝は、前記構造体又は前記２つの基板を垂直又は実質的に垂直な位置に保持することを可能にし、前記移動手段（４）及び／又は前記移動手段（５）は、垂直面内での前記分離用工具（３、３’、３’’、３’’’）及び／又は前記保持部材（２、２’）の移動を保証することを特徴とする、請求項１〜６のいずれか一項に記載の装置。
【請求項９】
前記保持溝（２１、２１’）は、その底部（２１０、２１０’）を通る長手方向垂直対称面（Ｐ５、Ｐ６）を有し、
前記分離用工具（３、３’、３’’、３’’’）は、その先端（３２０’、３２０’’’）又は前縁（３２３、３０３’’）を通る長手方向垂直対称面（Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４））を有し、
前記保持部材（２、２’）及び前記分離用工具（３、３’、３’’、３’’’）は、該分離用工具（３、３’、３’’、３’’’）が該保持部材（２、２’）の上に配置され、かつ、それぞれの垂直対称面（Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、Ｐ６）が一致するように、前記ホルダ（１）上に取り付けられる
ことを特徴とする、請求項８に記載の装置。
【請求項１０】
前記保持部材（２、２’）は、幅（L１、L２）が約１．５ｍｍと約４ｍｍとの間にある、及び／又は、深さ（Ｈ４、Ｈ５）が少なくとも１０ｍｍである底部（２１０、２１０’）を有することを特徴とする、請求項８又は９に記載の装置。
【請求項１１】
前記保持部材（２、２’）の前記底部（２１０、２１０’）に、垂直に突き出た中央架台（２１３）が装備されたことを特徴とする、請求項８〜１０のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１２】
前記架台（２１３）は、５０μｍと６００μｍとの間の高さ（Ｈ６）、及び５０μｍと３００μｍとの間の幅（L３）を有することを特徴とする、請求項１１に記載の装置。
【請求項１３】
前記架台（２１３）は、前記溝（２１、２１’）の底部内に設けられた間隙（２１５）内に収容されたバネ（２１４）の上に、垂直に可動に取り付けられたことを特徴とする請求項１１又は１２に記載の装置。
【請求項１４】
前記分離用工具（３、３’、３’’、３’’’）は、その中央部分に、分離を促進する脱イオン水のような液体の供給源に接続された噴射ノズル（６）が設けられたことを特徴とする、請求項１〜１３のいずれか一項に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、２つの基板を「分離」界面において分離するための装置に関し、これら２つの基板のうちの少なくとも１つは電子工学、光学、光電子工学及び／又は光起電力工学に使用するためのものであり、これら２つの基板は一緒に１つの構造体を形成する。
【背景技術】
【０００２】
この機械的分離は、種々のタイプの分離界面に沿って行うことができる。
【０００３】
第１のタイプの分離界面は、接合界面、例えば直接接合（分子接合としても知られる）界面である。
【０００４】
「直接接合」という表現は、主としてファンデルワールス力である接着力が関与し、いかなる接着層も使用しない、２つの表面間の密接な接触による接合を意味するものと理解される。
【０００５】
例えば直接接合界面などの接合界面に沿って分離することが可能な構造体は、当業者には「剥離可能」構造体として知られている。
【０００６】
限定することは望まないが、このタイプの剥離可能構造体は、主として以下の４つの異なる用途に使用することができると言うことができる。
【０００７】
ａ）機械的補強材の接合：基板又は脆弱な薄層が特定の製造工程の間に損傷を受けること又は破損することを防ぐために、かかる基板又は薄層に機械的補強材を接合すること、及び、この機械的補強材をそれの存在がもはや必要なくなったときに除去することができることが望ましい場合がある。
【０００８】
ｂ）接合不良の修正：剥離は、製造プロセスの採算性を向上させて例えば接合不良基板が廃棄されることを防ぐために、正しく接合されていない２つの基板を剥離して洗浄した後に再接合することを可能にする。
【０００９】
ｃ）一時的保護：基板を特にプラスチック製の箱の中で保管し又は輸送する特定の工程において、あらゆる汚染のリスクを防ぐためには、特に後で電子部品の製造のために使用されることが意図される基板表面を一時的に保護することが有用であり得る。簡単な解決策は、２つの基板を、保護すべき側同士がそれぞれ互いに接合されるように接合し、次いで、これら２つの基板を使用するときに剥離するようにすることにある。
【００１０】
ｄ）層の二段階移送：これは、活性層と第１の担体基板（随意に高価な材料で作られたもの）との間に可逆的な接合界面を生成し、次に、この活性層を、可逆的接合界面を剥離することによって第２の最終基板に移送することにある。
【００１１】
第２のタイプの分離界面は、「弱化」界面とよばれるものであり、これは例えば原子種を注入することによって得られる区域を示す。かかる界面による分離は、層を第１の基板から第２の基板に移送するためのプロセスにおいて用いられ、その一例は「Ｓｍａｒｔ  Ｃｕｔ（登録商標）」という商品名で知られるプロセスである。
【００１２】
弱化界面は、また多孔質区域とすることもできる。
【００１３】
第３のタイプの分離界面は、第１の材料と第２の材料との間の界面であり、これらは、例えばＣＶＤ又エピタキシャル堆積技術など堆積技術を用いて、第２の材料を第１の材料に付加することによって互いに結合されたものとすることができる。
【００１４】
想定される用途がいかなるものであっても、この分離は、分離界面の両側にある２つの基板の表面を損傷、擦傷又は汚染せずに、かつ、これら２つの基板を破損せずに行うことが必要である。当該用途に応じて、これら２つの「被分離基板」は所与の基板の２つの層であってもよく、又は２つの別々の基板であってもよい。
【００１５】
さらに、被分離構造体の２つの基板のサイズが大きいほど、又はそれらの分離エネルギー（即ち、それらを分離するのに必要なエネルギー）が大きいほど、それらを分離すること、特に損傷せずに分離することがより難しくなる。
【００１６】
さらに、２つの基板を分離するのに必要なエネルギーを主題とするＭａｓｚａｒａの研究から、基板の間にその接合界面の高さに合わせて薄いブレードを挿入することによって、これら２つの基板間の接合エネルギーを計測することが可能であることが知られている（Ｗ．Ｐ．Ｍａｓｚａｒａ，Ｇ．Ｇｏｅｔｚ，Ａ．Ｃａｖｉｇｌｉａ及びＪ．Ｂ．ＭｃＫｉｔｔｅｒｉｃｋによる論文：Ｊ．Ａｐｐｌ  Ｐｈｙｓ．６４（１９８８）４９４３参照）。
【００１７】
この主題について、読者は添付の図１を参照することができ、これは、厚さｄの薄いブレードを２つの基板間に挿入することを示す略図であり、これは、２つの基板間に長さＬにわたる隙間を生じさせる効果を有する。
【００１８】
Ｍａｓｚａｒａは、次の関係式を確立した。
【数１】
2015534723.tif 000003
式中、ｄは２つの接合された基板間に挿入されたブレードの厚さを表し、ｔは２つの接合された基板の各々の厚さを表し、Ｅは剥離軸線に沿ったヤング率を表し、γは接合エネルギーを表し、Ｌは平衡状態における２つの基板間の隙間の長さを表す。
【００１９】
上記の式において、２つの基板は同じサイズを有するものと仮定する。
【００２０】
上記の関係式により、Ｌを計測することによって接合エネルギーγを決定することが可能である。
【００２１】
しかしながら、この論文においては、ブレードによって生じる剥離は、それ自体を目的として用いられるものではなく、単に接合エネルギーを計測するためのものであることに留意されたい。従って、使用されるブレードは薄く（厚さが０．０５ｍｍと０．５ｍｍの間）、２つの基板の接合された側を擦傷するリスクがある。Ｍａｓｚａｒａの試みでは目的は接合エネルギーを計測することであったので、このことは重要ではなかった。
【００２２】
分離される基板又は層がブレードで分離するのに十分に剛性である限りにおいて、それらを、その面取り縁において互いに十分に引き離すことによって分離することが可能であり、これは分離波を生じさせる効果を有する。分離波は、波がそこから開始した基板の縁部上の点から、それら基板の残りの領域に向かって伝搬する。
【００２３】
しかし、ブレードは２つの基板の面取り部の間に挿入されるが、実際の分離は、実際上、接合エネルギーが最も小さい分離界面、即ち、分離を生じさせるのに必要なエネルギー量が最小であるところにおいて起ることに留意されたい。
【００２４】
接合界面を介して互いに接合された２つのウェハのうちの１つが弱化区域を含む構造体を劈開するための装置は、米国特許第７，４０６，９９４号により既に公知である。
【００２５】
この劈開装置は、２つの静止部及び１つの可動中央部を含むフレームと、接合界面の面内で並進移動可能な劈開ブレードと、ブレードに対向してフレーム上に配置された静止位置決め要素とを含む。被切断構造体は、フレーム上に水平に配置され、その縁部の一部分が位置決め要素によって保持される。
【００２６】
ブレードが十分に前進して、２つのウェハ間の接合界面に存在する溝の中に挿入されると、フレームの中央可動部が引っ込められ、その結果、２つのウェハは互いに分かれる。分離は、弱化区域に沿って生じる。
【００２７】
この装置は、ひとたび２つのウェハが分離されるとこれらウェハは支持されず、損傷するか又は互いに再び接合するリスクがあるという欠点を有する。
【００２８】
使用される劈開ブレードは、凹形円弧形状を有し、そのリーディングエッジは、一定角度の三角形断面を有する（即ち、１つの縁部及び２つの傾斜側部を有する）。
【００２９】
さらに、この文献の第７欄、２２及び２３行目、並びに第６欄、２３及び２４行目に明記されているように、ブレードの厚さは数ミリメートルであり、好ましくは約５ｍｍである。
【００３０】
しかしながら、この文献は、大きい直径の基板、又は、例えば少なくとも１Ｊ／ｍ２、さらには１．５Ｊ／ｍ２といった大きい接合エネルギーを有する基板を分離する可能性について何ら教示していない。このような薄いブレードでは、かかる基板を十分に引き離すことができないので分離を行うことはできない。
【００３１】
さらに、このようなブレードによる表面の擦傷のリスクは無視できない。
【００３２】
その上、ブレードのリーディングエッジの角度は大きい（約６０°であると示されている）。従って、このブレードを引き離される２つの基板のそれぞれの面取り部の高さに合わせて挿入したときに２つの基板に及ぼされる合力は、主として接合界面に平行な方向であり、接合界面に垂直な方向ではない。従って、２つの基板を互いに引き離すことは難しい。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００３３】
本発明の目的は、従来技術の上記の欠点を解決すること、特に、分離界面によって互いに接続された２つの基板（又は２つの層）を、これら基板の大きさが場合により直径３００ｍｍもの大きさであっても、又は、その界面での接合エネルギーが例えば少なくとも１Ｊ／ｍ２ほどに高くても、基板を擦傷せず、汚染せず、破損せず、又は基板同士を意図せずに再接合させずに引き離すことができる装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００３４】
この目的のために、本発明は、２つの基板を「分離」界面において分離するための装置に関し、これら２つの基板のうちの少なくとも１つは、電子工学、光学、光電子工学及び／又は光起電力工学において使用するためのものであり、これら２つの基板は、一緒に１つの構造体を形成し、この装置は、
ホルダと、
構造体を保持するための、ホルダ上に取り付けられた部材と、
２つの基板を分離するための、同じくホルダ上に取り付けられた工具と、
分離用工具を移動させるための手段及び／又は保持部材を移動させるための手段と、
を含み、これらの移動手段は、工具及び／又は部材を、好ましくは限定された移動範囲にわたって、互いに近づけるか又は遠ざけるようにホルダに対して移動させることを可能にする。
【００３５】
本発明によれば、この装置は、分離用工具がリーディングエッジ（ｌｅａｄｉｎｇ  ｅｄｇｅ）を含み、このリーディングエッジが、断面において、その先端（ｔｉｐ）又は前縁（ｆｒｏｎｔ  ｅｄｇｅ）から後方へ連続して、テーパ部分と、それを延長するフレア部分とを有することを特徴とする。
【００３６】
以下の説明及び特許請求の範囲において、「基板」という用語は、単層又は多層の基板を包含する。
【００３７】
本発明のその他の利点及び非限定的な特徴によれば、下記事項が個々に又は組み合せて採用される。
・分離用工具のテーパ部分は、先端の角度αが３０°より小さい二等辺三角形の断面を有し、フレア部分は、その先端の角度βが３０°より大きい等脚台形の断面を有する。
・テーパ部分の二等辺三角形の高さは２ｍｍと２０ｍｍとの間であり、フレア部分の等脚台形の高さは１０ｍｍと１００ｍｍとの間であり、フレア部分の台形の底辺の高さで計測された分離用工具の厚さは、テーパ部分の先端の角度αの半分の正接と、テーパ部分の高さとの積の２倍より大きい。
・分離用工具は、各々が凹形の２つの側部によって断面が縁取られたリーディングエッジを有する。
・２つの側部の凹形は半放物線プロファイルに追従する。
・分離用工具のリーディングエッジは、細長い直線的要素である。
・分離用工具は、ポリテトラフルオロエチレンのような低摩擦係数を有する材料、又は潤滑剤で覆われた材料で作られる。
・保持部材は、底部と、上向きかつ外向きに傾斜して互いの間で８°以上の角度γを成す２つの横壁とを含む、好ましくは円弧形の垂直保持溝を含み、この溝は、構造体又は２つの基板を垂直又は実質的に垂直な位置に保持することを可能にし、移動手段は、垂直面内での分離用工具及び／又は保持部材の移動を保証する。
・保持溝は、その底部を通る長手方向垂直対称面を有する。
・分離用工具は、その先端又はその前縁を通る長手方向垂直対称面を有する。
・保持部材及び分離用工具は、分離用工具が保持部材の上に配置され、かつ、それぞれの垂直対称面が一致するように、ホルダ上に取り付けられる。
・保持部材は、幅が約１．５ｍｍと４ｍｍの間にある、及び／又は、深さが少なくとも１０ｍｍである底部を有する。
・保持部材の底部に、垂直に突き出た中央架台が装備される。
・架台は、５０μｍと６００μｍとの間の高さ、及び５０μｍと３００μｍとの間の幅を有する。
・架台は、溝の底部内に設けられた間隙内に収容されたバネの上に、垂直に可動に取り付けられる。
・分離用工具には、その中央部分に、分離を促進する脱イオン水のような液体の供給源に接続された噴射ノズルが装備される。
【００３８】
本発明の他の特徴及び利点は、以下の説明から、非限定的な表示のためにその１つの可能な実施形態を示す添付の図面を参照して、明らかになる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】２つの基板間の接合エネルギーを決定するためにＭａｓｚａｒａによって用いられた方法を示す略図である。
【図２】本発明による装置の分離用工具の実施形態の略断面図であり、さらに２つの基板が概略的に示されている。
【図３】分離用工具の他の実施形態の斜視図である。
【図４】本発明による装置の分離用工具の実施形態の略断面図である。
【図５】分離用工具の他の実施形態の斜視図である。
【図６】本発明による分離装置の保持部材の変形実施形態の縦断面図を示す略図である。
【図７】本発明による分離装置の保持部材の変形実施形態の縦断面図を示す略図である。
【図８】本発明による分離装置の実施形態の正面図である。
【図９】本発明による分離装置の実施形態の側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００４０】
次に、本発明による２つの基板を分離するための装置の１つの可能な実施形態を、図８及び図９を参照しながら説明する。
【００４１】
一般に、この装置は、ホルダ１と、被分離構造体を保持するための部材２と、分離用工具３と、分離用工具３及び保持部材２をそれぞれホルダ１に対して移動させるための手段４及び５とを含む。
【００４２】
しかし、本装置は、２つの移動手段４又は５のうちの一方のみを含むことができることに留意されたい。
【００４３】
ホルダ１は、平担な矩形の板である。これは、部材２及び工具３を以下で説明するように取り付けて操作することを可能にする限りにおいて、別の形状を有することができる。
【００４４】
図８及び図９に示す分離装置は、垂直に配置された被分離構造体を受けることを意図しており、分離が垂直面内で行われることを可能にする。従って、ホルダ１の板は垂直に直立しており、本説明の残りの部分及び特許請求の範囲において、「垂直」、「水平」、「上部」、「下部」、「頂部」及び「底部」という用語は、図８及び図９に示す分離装置の位置に関して考えるものとする。
【００４５】
しかし、この分離装置は、水平にして使用することができる。
【００４６】
次に、図３を参照しながら、分離用工具３の第１の実施形態を説明する。
【００４７】
分離用工具３は、後部３１で延長された、前部３０又は「リーディングエッジ」を含む。
【００４８】
後部３１は、好ましくは直方体の形状を有し、ホルダ１に固定する役割を果たす。
【００４９】
リーディングエッジ３０自体は、前方から後方へ（即ち、図３の右から左へ）連続してテーパ部分３２及びフレア部分３３を含む。
【００５０】
テーパ部分３２は、底面が二等辺三角形の三角柱の形状を有する。２つの二等辺三角形端面は３２１で示され、他方、２つの二等辺三角形３２１の同じ長さの辺の延長部に位置する２つの長手方向矩形面は３２２で示される。２つの面３２２の交わるところに位置する角柱の自由稜線又は前縁は３２３で示される。
【００５１】
以下「先端角度」と呼ばれる、２つの側面３２２間の角度αは、３０°未満であり、好ましくは１０°に等しい。
【００５２】
端面３２１の高さＨ１は、２ｍｍと２０ｍｍとの間にあることが有利であり、好ましくは１０ｍｍに等しい。
【００５３】
フレア部分３３は、６面体の形状を有し、その２つの端面３３１は等脚台形である。２つの等脚台形３３１の同じ長さの辺の延長部に位置する２つの長手方向矩形面は、３３２で示される。
【００５４】
２つの長手方向面３３２間の角度βは、３０°より大きく、好ましくは６０°に等しい。
【００５５】
端面３３１の高さＨ２は、１０ｍｍと１００ｍｍとの間にあることが有利であり、好ましくは５０ｍｍに等しい。
【００５６】
最後に、台形面３３１の底辺の高さで計測した分離用工具３の厚さｅは、テーパ部分３２の先端の角度αの半分の正接と、同じ部分の高さＨ１との積の２倍より大きいことが有利であり、好ましくは５０ｍｍに等しい。
【００５７】
さらに、リーディングエッジ３０は、前縁３２３を含む長手方向対称面Ｐ１を有することに留意されたい。
【００５８】
リーディングエッジ３０は、細長い直線状要素の概略的形状を有する。
【００５９】
次に、図２を参照しながら、分離用工具（３’で示す）の変形実施形態を説明する。
【００６０】
分離用工具３’は、そのリーディングエッジ３０’のテーパ部分３２’が、先端（３２０’で示す先端）の角度αの円錐形状を有する点、及びフレア部分３３’が角度βの円錐台の形状を有する点で、上述の工具３と異なる。後部３１’は、好ましくは円筒形状を有する。
【００６１】
他の寸法は、同一のままである。
【００６２】
分離用工具３’は、その回転軸線Ｘ−Ｘ’を通る多数の対称面を有する。Ｐ２で示す１つのみを図２に示した。
【００６３】
従って、工具３及び３’のリーディングエッジの外壁の勾配は、突然変化する。
【００６４】
次に図５を参照しながら、分離用工具（３’’で示す）の第２の実施形態を説明する。
【００６５】
これは、そのリーディングエッジ３０’’が、底面が二等辺三角形の形状を有する角柱の概略的形状を有するが、２つの等辺が凹形である点で、工具３と異なる。後部３１’’は、好ましくは直方体形状を有する。
【００６６】
２つの端面は３０１’’で示され、２つの凹面は３０２’’で示され、それらが交わる辺は３０３’’で示される。
【００６７】
また、好ましくは、各面３０２’’は、放物線の頂点が後部３１’’の交点の高さに合わせて配置された半放物線のプロファイルを有する。
【００６８】
従って、リーディングエッジ３０’’は、同じくテーパ部分３２’’及びフレア部分３３’’を有するが、その勾配は突然に変化しない。さらに、これは細長い直線状要素の概略的形状を有する。
【００６９】
面３０１’’の高さＨ３は、１０ｍｍと１２０ｍｍとの間にあることが好ましく、６０ｍｍに等しいことがさらにより好ましい。その厚さｅ１は、１ｍｍより大きいことが好ましく、１ｍｍと６５ｍｍとの間にあることがより好ましく、又は５０ｍｍに等しいことがさらにより好ましい。
【００７０】
最後に、リーディングエッジ３０’’は、前縁３０３’’を含む長手方向対称面Ｐ３を有する。
【００７１】
面３０２’’の凹形（さらには該面の半放物線形）は、分離用工具の前進を、被分離構造体の２つの基板を分離する分離波の前進に比例したものとすることを可能にするので、特に有利である。
【００７２】
具体的には、２つの基板間の分離波の長さＬは、２つの基板が引き離された距離の平方根に比例することが知られている。
【００７３】
３’’’で示される分離用工具の変形実施形態を、以下で図４によって説明する。
【００７４】
工具３’’’は、テーパ部分３２’’’及びフレア部分３３’’’から構成されるリーディングエッジ３０’’’が、周壁が凹形、好ましくは放物線形である円錐の形状を有する点で、工具３’’と異なる。後部３１’’’は、好ましくは円筒形である。円錐の先端は、３２０’’’で示される。
【００７５】
その回転軸線Ｘ１−Ｘ’１を通る対称面Ｐ４のうちの１つを図４に示した。
【００７６】
分離用工具３、３’、３’’、３’’’又は少なくともそのリーディングエッジ３０、３０’、３０’’、３０’’’は、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）のような低摩擦係数を有する材料、又は潤滑剤で覆われた材料で作られることが好ましい。
【００７７】
次に、保持部材２の第１の実施形態を図６、図８及び図９を参照しながら説明する。
【００７８】
被分離構造体を保持するための部材２は、上部の長手方向面２０が好ましくは約７０°の円弧状に湾曲した直方体の概略的形状を有する。従って、正面から見ると、この保持部材は、凹部が上向きの凹形を有する。
【００７９】
上面２０は、その全長にわたって、上方に開放された長手方向溝２１を含む。
【００８０】
図６の詳細図でより明白に分かるように、この溝２１は、２つの傾斜壁２１１及び２１２に境を接する底部２１０を有する。
【００８１】
これらの傾斜した横壁２１１及び２１２は、角度γを成し、この角度は、好ましくは８°以上である。
【００８２】
底部２１０の幅L１は、１．５ｍｍと４ｍｍとの間にあることが好ましい。１．５ｍｍより狭いと、市場で一般的に見られるような２つの基板で構成された構造体をその中に挿入することが難しくなる。
【００８３】
さらに、溝２１の高さＨ４は、直径が大きいときには３００ｍｍになることもある構造体の縁部を正確に保持するためには、少なくとも１０ｍｍであることが好ましい。
【００８４】
溝２１は、さらに、底部２１０に追従する垂直長手方向対称面Ｐ５を有する。
【００８５】
次に、図７を参照しながら保持部材の変形実施形態を説明する。
【００８６】
この保持部材は、２’で示される。これは、その溝２１’の形状のみが保持部材２と異なる。
【００８７】
溝２１’は、上向きかつ外向きに傾斜して互いの間で好ましくは８°以上の角度γを成す２つの長手方向横壁２１１’、２１２’に境を接する、底部２１０’を有する。底部２１０’は、上面２０’の円弧状輪郭に追従する。
【００８８】
好ましくは、底部２１０’の幅L２は、１．５ｍｍと４ｍｍとの間にあり、その高さＨ５は、少なくとも１０ｍｍである。
【００８９】
さらに、前述の実施形態とは対照的に、底部２１０’には中央架台２１３が装備され、該架台は、垂直断面において頂点２１６が上向きの二等辺三角形の形状を有することが有利である。好ましくは、架台の高さＨ６は５０μｍと６００μｍとの間にあり、その幅L３は５０μｍと３００μｍとの間にある。この理由で、架台２１３は、溝２１’の残りの部分の縮尺よりも大きい縮尺で図示されていることに留意されたい。
【００９０】
この架台は、長手方向垂直断面において、保持部材２’の上面２０’の輪郭に追従する円弧の一部の形状を有する。
【００９１】
架台２１３は、底部２１０’内に設けられた間隙２１５内に収容されたバネ２１４の上に取り付けられることが有利である。
【００９２】
バネ２１４は、恒常的に架台２１３を上方に押しやる傾向がある。
【００９３】
最後に、溝２１’は、Ｐ６で示される長手方向垂直対称面を有する。
【００９４】
図８及び図９で分かるように、分離用工具３及び保持部材２は、工具３が部材２の上に配置されて、それぞれの対称面Ｐ１及びＰ５が一致し、かつ垂直方向を向くように、ホルダ１上に取り付けられる。同じことが、保持部材２を、対称面Ｐ６を有する保持部材２’で置き換えた場合、及び／又は、分離用工具３を、それぞれの対称面Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４を有する分離用工具３’、３’’又は３’’’で置き換えた場合にも同様に当てはまる。
【００９５】
分離用工具３、３’、３’’、３’’’には、それを、好ましくは限定された移動範囲にわたって、保持部材２、２’に近づけるか又は反対に遠ざけるようにホルダ１に対して垂直に移動させる手段４が装備されることが有利である。
【００９６】
図８及び図９に示す実施形態において、これらの手段４は、クランク４０から成る手動手段であり、そのネジ棒４２は、ホルダ１にしっかりと固定された部品４１内に垂直に形成された、ねじ立てされた長手方向オリフィスの内部を移動する。クランク４０を回転させると、分離用工具３、３’、３’’又は３’’’は、垂直対称面Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３又はＰ４内を軸線Ｚ−Ｚ’及び矢印Ｆ（図８参照）で示される方向に移動する。
【００９７】
工業用の装置では、これらの手段４は、例えば油圧シリンダで構成することができる。
【００９８】
保持部材２、２’にも、それを、好ましくは限定された移動範囲にわたって、分離用工具３、３’、３’’、３’’’に近づけるか又は反対に遠ざけるようにホルダ１に対して垂直に移動させる手段５を装備することができる。この移動は、垂直対称面Ｐ５又はＰ６内で、軸線Ｚ−Ｚ’及び矢印Ｇ（図８参照）で示される方向に行われる。移動範囲は、およそ数センチメートルに限定される。
【００９９】
これら手段５は、図８及び図９に単に図式的に示されている。これらは、移動手段４と同じにすることができる。
【０１００】
最後に、装置はまた、前縁３２３、３０３’’又は円錐３２０’、３２０’’の先端に高さを合わせて開放されるように分離用工具３、３’、３’’又は３’’’内に配置された、軸線Ｚ−Ｚ’の噴射ノズル６を含むことが有利である。
【０１０１】
この噴射ノズル６は、基板の分離を促進する脱イオン水のような液体の供給源に接続され、この供給源は図中に示されていない。
【０１０２】
分離装置は以下のように動作する。
【０１０３】
２つの基板を含む被分離構造体が、その縁部の一部分がそれぞれ保持部材２の溝２１、保持部材２’の溝２１’の中で支えられるように分離装置内に挿入される。保持部材２、２’の円弧形状は、円盤形の被分離構造体の縁部の輪郭に、忠実に追従する。
【０１０４】
図８に単に図式的に示された一時的保持手段７は、平面Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５及び／又はＰ６と一致する垂直面内に被分離構造体を保持することを可能にする。これは、例えば、内側又は外側に向かって横方向（矢印Ｈ）に可動な伸縮自在フィンガの問題である。
【０１０５】
ひとたび保持部材２、２’と分離用工具３、３’、３’’、３’’’とが互いに十分に近づけられて、それぞれ前縁３２３、３０３’’又は分離用工具３’若しくは３’’’の先端３２０’、３２０’’’が、被分離構造体を構成する２つの基板を縁取る面取り部に接触するようになったら、これらの一時的保持手段７は、引っ込められる。
【０１０６】
保持部材２、２’及び／又は分離用工具３、３’、３’’、３’’’の移動は、上述のように、２つの基板の間に侵入する分離用工具がコーナー効果を及ぼし、構造体を分離界面に沿って分離させるまで続けられる。
【０１０７】
本発明の特徴により、そして特に分離用工具３、３’、３’’、３’’’のリーディングエッジの形状により、分離プロセスが改善される。
【０１０８】
テーパ部分３２、３２’、３２’’、３２’’’は、その侵入距離が、少し引き離された２つの基板に対応するので、２つの基板間への工具の挿入の開始時の工具の前進をより良好に制御することを保証することができる。さらに、テーパ部分によって基板Ｓの縁部に及ぼされる合力Ｊ（図２参照）は、２つの基板の分離面にほぼ直角であり、それにより分離の有効性を向上させる。
【０１０９】
その部品のフレア部分３３、３３’、３３’’、３３’’’は、分離波を伝搬すること、分離の際の「コーナー」効果を強化すること、及び分離界面の両側に位置する基板の面を擦傷するリスクを制限することを可能にする。具体的には、ひとたび分離用工具が２つの基板間にさらにもう少し先まで侵入すると、基板は、その境界がフレア部分の面にのみ支えられるようになり、もはやテーパ部分３２、３２’、３２’’、３２’’’とは接触しなくなる。
【０１１０】
さらに、分離装置の優先的には垂直の配置が、傾斜横壁２１１、２１１’及び２１２、２１２’を備えた溝２１、２１’の形状と組み合わされることにより、被分離構造体は分離中に（工具３、３’、３’’、３’’’の作用を除いて）いかなる外部応力も受けない。従って、２つの基板は、ひとたび分離が開始されると、それらの自重の効果の下で互いに自由に離れていき、各々が傾斜壁２１１、２１１’及び２１２、２１２’のうちの一方に寄りかかるようになる。これは、前述の米国特許第７，４０６、９９４号に記載の従来技術の装置の場合には当てはまらない。
【０１１１】
そのため、２つの基板は、不用意に再接触しないように互いに十分に離れた位置にあることになる。
【０１１２】
保持部材２’が用いられる場合、架台２１３は、構造体の重量の作用の下で、バネ２１４の力に抗して間隙２１５の中に押し込まれる傾向があることに留意されたい。ひとたび分離が実行されると、架台は元の位置に戻る傾向があり、この架台もまた、既に分離された２つの基板が互いに再接触するのを防ぐことに関与する。
【０１１３】
最後に、分離用工具の形状によって得られる、分離に対する有益な効果は、分離装置が水平に配置された場合にも同様に得られることに留意されたい。
【０１１４】
噴射ノズル６は、ひとたび２つの基板の分離が開始されたときに分離用液体を注入するために用いられ、これが分離波の伝搬を促進する。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【国際調査報告】
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