(57)【要約】  本発明は電子部品（１００）の製造方法に関する。この方法は、電極（２）を備えた圧電基体（１）を準備すること、第１の分極方向を有する第１の分極電界（Ｅ１）をこの圧電基体（１）に電極（２）間で印加すること、第１の分極界（Ｅ１）の印加後、この第１の分極方向と反対方向の第２の分極方向に、第２の分極電界（Ｅ２）を圧電基体（１）に電極（２）間で印加することを含む。第２の分極界（Ｅ２）の大きさは、第１の分極電界（Ｅ１）の大きさと異なっている。【選択図】  図２
2015536580.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品（１００）の製造方法であって、
電極（複数）（２）を有する圧電基体（１）を準備するステップと、
第１の分極方向を有する第１分極電界（Ｅ１）を前記圧電基体（１）に前記電極（２）間で印加するステップと、
前記第１の分極電界（Ｅ１）の印加後、前記第１の分極方向と反対の第２の分極方向に、第２の分極電界（Ｅ２）を前記圧電基体（１）に前記電極（２）間で印加し、当該第２の分極電界（Ｅ２）の大きさが前記第１の分極電界（Ｅ１）の大きさとは異なるステップと、
前記電子部品（１００）を完成させるステップと、
を備えることを特徴とする方法。
【請求項２】
請求項１に記載の方法において、
前記電子部品（１００）の動作のために前記電極（２）間に印加される、前記電子部品（１００）の所定の動作電界に対して、前記第１の分極方向が正であり、前記第２の分極方向が負であることを特徴とする方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の方法において、
前記第１の分極電界（Ｅ１）の大きさが１〜４ｋＶ／ｍｍであることを特徴とする方法。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の方法において、
前記第１の分極電界（Ｅ１）の大きさが前記第２の分極電界（Ｅ２）の大きさよりも大きいことを特徴とする方法。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の方法において、
前記第１の分極電界を用いた分極過程の終了時点で、前記圧電基体の変位は、印加された電界に依存して、抗電界強度（Ｅｋ）を決定するヒステリシス曲線に従い、前記第２の分極電界（Ｅ２）の大きさは当該抗電界強度（Ｅｋ）の大きさよりも小さいことを特徴とする方法。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の方法において、
前記第１の分極電界（Ｅ１）および／または前記第２の分極電界（Ｅ２）が１つまたは複数の電界パルスを有する電界の時間変化パターンを備えることを特徴とする方法。
【請求項７】
請求項６に記載の方法において、
前記第１の分極電界（Ｅ１）および／または前記第２の分極電界（Ｅ２）の電界パルスが、それぞれ方形、三角形、台形及び正弦形のパルス形状のうち少なくとも１つを有することを特徴とする方法。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか１項に記載の方法において、
前記圧電基体（１）は複数の圧電層を備え、かつ複数の内部電極層（３）が設けられ、当該圧電基体（１）の外側に配設される外部電極（２）が形成され、それぞれの内部電極層（３）は、当該外部電極の１つと電気的に導通して接続されることを特徴とする方法。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか１項に記載の方法において、
前記第１の分極電界（Ｅ１）および前記第２の分極電界（Ｅ２）は、動作時の前記電子部品の達成可能な変位を、従来技術の製造または分極方法に対応した、かつ機械的な力の印加なしに分極された電子部品と比較して、最大６０％大きくされるように設定されていることを特徴とする方法。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれか１項に記載の方法により製造された電子部品（１００）の動作方法であって、
当該方法は、前記電子部品（１００）に機械的な力を印加することを含むことを特徴とする方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載の方法において、
前記機械的な力を前記電子部品（１００）に印加した後、動作電界が前記電子部品（１００）の電極（２）間に印加され、当該動作電界は前記第１の分極方向に対応する極性となっていることを特徴とする方法。
【請求項１２】
請求項１乃至９のいずれか１項に記載の方法によって製造された電子部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は電子部品の製造方法に関する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００２】
本発明の解決すべき課題は、電子部品の改善された製造方法を示すことである。
【課題を解決するための手段】
【０００３】
この課題は請求項１の特徴を有する方法により解決される。有利な実施形態および変形実施例は従属請求項に示されている。
【０００４】
本発明が提示する方法は、電極（複数）が設けられた圧電基体を準備することと、第１の分極方向を有する第１の分極電界を、当該圧電基体にこれらの電極間で印加することを含む。さらに、本発明が提示する方法は、第１の分極電界の印加の後、第２の分極電界を第２の分極方向に、当該圧電基体にこれらの電極間で印加することを含む。この第１の分極方向は第２の分極方向と反対方向に分極されており、この第２の分極電界の大きさは、第１の分極電界の大きさと異なっている。さらにこの方法は、電子部品を完成することを含む。
【０００５】
上記の圧電基体は、好ましくは上記電極と電気的に導通して接続されている。好ましくはこの圧電基体は２つの電極を含み、たとえばこの圧電基体の反対側にある２つの側面にそれぞれ１つの電極を備える。好ましくはこれらの電極は外部電極である。これらの電極を介して動作電界を圧電基体に有利に印加することができる。動作電界とは、動作時に動作電圧が電極間に印加されて形成される電界のことである。動作電界は、動作時にこの電子部品の内部電極層の間にも印加することができ、これらの内部電極層はそれぞれ上記外部電極の１つと接続されている。
【０００６】
上述の方法により、特に圧電性の、動作時に有利に極めて大きな変位を示す電子部品を製造することができる。この電子部品の動作時のこのような圧電基体の変位は、実質的に圧電効果の大きさ、すなわち電界を印加した際の結晶格子の変形、の寄与によって決定される一方、他方では動作電界を印加した際のこの圧電基体における強誘電体ドメインの反転の寄与によって決定される。この圧電基体は圧電セラミックであってよく、またはこのような材料を含有してよい。この圧電セラミックの個々の結晶粒は各々、それぞれ一様な誘電分極を有する１つ以上の強誘電体ドメインを含み得る。
【０００７】
強誘電体ドメインの反転とは、動作電界の印加の際の強誘電体ドメインの分極方向の変化のことである。またドメイン反転の２つのタイプ、すなわち１８０°のドメイン反転と「非１８０°」のドメイン反転とが区別されている。１８０°のドメイン反転とは、電界の印加の際にそれぞれの強誘電体ドメインの分極方向が１８０°変わることを意味する。「非１８０°」のドメイン反転とは、動作電界の印加の際にそれぞれの強誘電体ドメインの分極方向が１８０°とは異なる角度変化することを意味する。
【０００８】
「非１８０°」のドメイン反転は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）をベースとする圧電セラミックでは、室温では総変位の少なくとも８０％以上に寄与する。
【０００９】
従って、特に「非１８０°」のドメイン反転を促進することにより、圧電セラミックの変位を改善することができる。「非１８０°」のドメイン反転は、たとえば圧電セラミックの材料組成、圧電セラミックのキュリー温度、圧電セラミックの分極状態または結晶粒サイズにより影響される。さらに「非１８０°」のドメイン反転は、機械的な力または応力を、特に分極中に圧電基体に印加することによって促進できる。
【００１０】
本製造方法により、動作時に動作電界が電極間に印加され、これによって強誘電体ドメインの「非１８０°」のドメイン反転の寄与が著しく高められた圧電基体の分極状態を達成でき有利であるが、これは、好ましくは逆平行に揃えられた異なる大きさの第１および第２の分極電界を印加することにより、「非１８０°」のドメイン反転を促進できるからである。この結果、従来技術の部品に比べて動作時により大きな変位を示す電子部品を製造することができ、あるいは変位が同等な場合、より容易に電子部品を製造することができる。
【００１１】
ここで提案される、この第１および第２の分極電界の印加により、さらにこの圧電基体は、分極中に機械的な力を印加せずに、動作時に達成可能な変位を減少させることなく、分極することができ有利である。これは特に有利である、というのも上述の機械的な力の印加のための機械装置は、関連する機械部品の精度に高い要求を課し、従って極めてコストがかかるからである。
【００１２】
こうして上述の製造方法、あるいはむしろ圧電基体の分極には、電圧発生装置しか必要でなく、有利である。
【００１３】
本方法の１つの好ましい実施形態においては、第１および第２の分極電界は、動作時の電子部品の達成可能な変位を、従来技術の製造または分極方法に対応した、かつ／または機械的な力の印加なしに分極された電子部品と比較して、最大７５％大きくされるように設定されている。
【００１４】
第１の分極電界の印加の前は、圧電基体は好ましくは分極されていない。この場合たとえばこの圧電基体は、燒結直後の状態であってよい。この観点からこの圧電基体は、自発誘電分極を全く有していないか、ほとんど有していなくてよい。
【００１５】
電界、たとえば分極電界の印加は、強誘電体ドメインのドメイン構造を変えることができる。この時強誘電体ドメインの分極は、印加された電界に沿って揃い、主に「非１８０°」のドメイン反転が起こる。電界の遮断後、圧電セラミックは分極している、つまり自発誘電分極が存在する。すべての強誘電体ドメインが電界の遮断後反転して初期状態に戻るわけではない、なぜなら電荷および弾性応力の分布が分極によって変化しているからである。
【００１６】
本方法の１つの好ましい実施形態においては、動作のために電極間に印加される電子部品の所定の動作電界に対し、第の分極電界は正であり、第２の分極電界は負である。圧電部品の変位は通常、部品に印加される電界の大きさに比例する。この実施形態によって、この電子部品が動作され、また大きな変位を示すことになる、電界の方向、あるいこの電子部品の分極電界の極性が、電極の接続あるいはレイアウトを考慮して予め決められ、有利である。第１の分極電界は動作電界に平行な向きに揃えられていてよい。第２の分極電界は、動作電界に逆平行な向きに揃えられていてよい。
【００１７】
本方法の１つの好ましい実施形態においては、この第１の分極電界の大きさは４ｋＶ／ｍｍよりも小さい。
【００１８】
本方法の１つの好ましい実施形態においては、この第１分極電界の大きさは１ｋＶ／ｍｍよりも大きい。
【００１９】
本方法の１つの好ましい実施形態においては、この第１の分極電界の大きさは１〜４ｋＶ／ｍｍである。
【００２０】
これらの実施形態により電子部品の動作時にフラッシュオーバ（Uberschlag）を防止でき、にもかかわらす電子部品の最大限の変位を達成できて有利である。
【００２１】
本方法の１つの好ましい実施形態においては、第１の分極電界の大きさは第２の分極電界の大きさよりも大きい。
【００２２】
本方法の１つの好ましい実施形態においては、第１の分極電界を用いた分極過程の終了時点で、圧電基体の変位は、印加される電界に依存して、抗電界強度を決定するヒステリシス曲線に従い、ここで第２の分極電界の大きさはこの抗電界強度の大きさよりも小さく設定されている。ここで抗電界強度とは、特に、第１の分極電界によって分極されているが、まだ第２の分極電界によって分極されていない圧電基体の変位がゼロに等しくなる電界強度を言う。この実施形態により、動作時の電界、あるいは動作電圧が正方向に印加される場合、この電子部品の正方向の大きな変位を達成でき、有利である。これについては１つの実施例におけるヒステリシス曲線（いわゆる「バタフライ曲線」）を参照してより詳しく説明する。
【００２３】
本方法の１つの好ましい実施形態においては、第１および／または第２の分極電界は１つまたは複数の電界パルスを有する電界の時間変化パターンを有する。分極の際のこの分極電界のパルシングにより、電荷の移動によるジュール熱が発生し、このジュール熱が、静的あるいはパルシングしない分極に対して、分極の効果を約２０％まで改善することができ、有利である。分極電界の大きさは電界パルスの最大値であってよい。
【００２４】
本方法の１つの好ましい実施形態においては、第１および／または第２の分極電界の電界パルスは、それぞれ方形、三角形、台形および正弦形のパルス形状のうち少なくとも１つを有する。
【００２５】
本方法の１つの好ましい実施形態においては、上記の圧電基体は複数の圧電層を備え、かつ複数の内部電極層が設けられ、ここでこの圧電基体の外側に配設される外部電極が形成され、それぞれの内部電極層は、これら外部電極の１つと電気的に導通して接続される。これら複数の圧電層並びに複数の内部電極層により、とりわけ電子部品の大きな変位を達成することができ、有利である。これは、１つの単一の圧電層に印加される電界強度は、原理的に１つの圧電層の変位に比例しているからであり、このようにして変位を著しく大きくすることができるからである。
【００２６】
本方法の１つの好ましい実施形態においては、上記の圧電基体は、たとえばチタン酸ジルコン酸鉛を含有するセラミックを備えている。
【００２７】
本出願の発明はさらに、上述の方法により製造された電子部品の動作方法を含む。この動作方法は、この電子部品に機械的な力を印加することを含む。この実施形態により、動作時の電子部品の大きな変位という利点を利用することでき、あるいはこの変位をさらに大きくすることができ、有利である。その理由は、機械的な力の印加することにより、電子部品の動作のために本製造方法が達成しようとする分極状態を、少なくとも部分的に保持することができ、有利だからである。というのも圧電基体に印加される機械的な力は、圧電基体の脱分極に反対に作用し得るからである。このためにこの電子部品は機械的な力の印加前に、この電子部品のアプリケーションのための装置に組み込まれてよい。この装置は例えばバルブ、特に自動車エンジンの燃料噴射バルブであってよい。
【００２８】
本動作方法の１つの好ましい実施形態においては、機械的な力を電子部品に印加した後、動作電界がこの電子部品の電極間に印加され、ここでこの動作電圧は上記の第１の分極方向に対応する極性となっている。この実施形態により電子部品の動作時の大きな変位を利用することができ、有利である。
【００２９】
本発明によればさらに、上述の方法に従って製造される電子部品が提示される。
【００３０】
この電子部品では、動作電界が印加されると分極方向が１８０°異なる角度に変化する強誘電体ドメインの数が、従来技術による、一般的にかつ／または機械的な力の印加なしに分極された電子部品に比べ、増加されており、有利である。
【００３１】
特に、方法について開示されているすべての特徴は、電子部品および／または動作方法についても開示されるものであり、逆もまた同様である。
【００３２】
本発明のさらに別な利点、有利な実施形態および好適な点は、図を参照した以下の実施例の説明から明らかになる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】概略側面図により、上述の方法の第１の方法ステップを示し、あるいは上述の方法で製造される電子部品を示す。
【図２】第１および第２の分極電界を含む電界の時間変化パターンを単純化して示す。
【図３】強誘電体ドメインの概略図を示し、（ａ）は１８０°のドメイン反転を示し、（ｂ）は  「非１８０°」のドメイン反転を示している。
【図４】（ａ），（ｂ）は、分極された圧電セラミックのヒステリシス曲線（バタフライ曲線）を示す。
【図５】（ａ）〜（ｄ）は、それぞれ第１および第２の分極電界を含む分極電界の電界時間変化パターンの別な実施形態を単純化して示す。
【００３４】
これらの図中で同じ要素、同様な要素、および同等に機能する要素には、同じ参照符号が付されている。これらの図、およびこれらの図に示された要素相互の大きさの関係は、縮尺通りとはなっていない。むしろ個々の要素は、より見易いように、および／またはより理解しやすいように、誇張して大きく図示されている場合がある。
【００３５】
図１は圧電基体１を準備することを示す。圧電基体１は２つの外部電極２と複数の内部電極層３を備えている。これら２つの外部電極２は、好ましくは圧電基体１の反対側にある側面（複数）で、機械的に圧電基体１に接続され、あるいは機械的に圧電基体１と結合される。この圧電基体は好ましくは、たとえばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）またはチタン酸バリウムから成る圧電セラミックを含んでいる。内部電極層３は例えば銀、パラジウム、銅、プラチナおよび／またはこれらの材料の合金または組み合わせを含んでよい。
【００３６】
図２は分極電界の時間的変化の概略図である。製造または分極方法においては、時間的にまず最初に第１の分極電界Ｅ１が、次いで第２の分極電界Ｅ２が、電極２の間で圧電基体１（図１参照）に印加される。第１の分極電界Ｅ１および第２の分極電界Ｅ２は、各々が電極２の間に印加されている間は、それぞれ一定なものとして、あるいは方形パルスとして示されている。第１の分極電界Ｅ１は正で、第２の分極電界Ｅ２は負である。さらに第１の分極電界Ｅ１の大きさは第２の分極電界Ｅ２の大きさよりも大きい。第１の分極電界Ｅ１の大きさは好ましくは１〜４ｋＶ／ｍｍである。電界強度がさらに大きいと、特に多数の圧電層をもつ電子部品を製造する場合、フラッシュオーバの虞がある。反対に電界強度が小さいと、圧電基体１の分極が不十分となりかねない。好適には当該電子部品は、第１の分極電界よりも小さい、つまり例えば４ｋＶ／ｍｍよりも小さい動作電界で動作される。
【００３７】
圧電セラミック中には、例えば焼結温度からキュリー温度より下まで冷却すると強誘電体ドメインが発生する。冷却後、強誘電体ドメインは圧電セラミック中でランダムに配向しているため、総分極は小さいかまたはゼロに等しい。
【００３８】
図３は強誘電体ドメインの１８０°のドメイン反転（図３ａ）、および「非１８０°」のドメイン反転（図３ｂ）の概略図を示す。本製造方法によって実施可能な第１および第２分極電界による分極では、電子部品１００の動作時にできるだけ大きな変位を達成するために、この圧電基体１の分極状態が好ましく達成されることができ、この方法では「非１８０°」のドメイン反転が促進される。図３にて矩形（複数）は強誘電体ドメイン４を表し、その分極方向Ｐは、左側に、強誘電体ドメイン４中にそれぞれ書き込まれている矢印により示されている。印加される電界Ｅの方向は、右側に、強誘電体ドメイン４の外に示された矢印により表されている。上側の強誘電体ドメイン（複数）４および下側の強誘電体ドメイン（複数）４それぞれの間に示された矢印は、電界Ｅによって引き起こされる分極Ｐの変化を示す。図３（ａ）には１８０°のドメイン反転が表されており、ここでこれらの上側の強誘電体ドメインの分極方向は正に逆方向となっている。図３（ｂ）には「非１８０°」のドメイン反転が表されており、これらの下側の強誘電体ドメインの分極方向は、１８０°とは異なる角度で相違している。
【００３９】
図４ａは圧電セラミック、あるいは圧電基体１のヒステリシス曲線を示す。座標原点から出ている曲線Ｋは、圧電基体１の初期曲線を示し、この初期曲線から、第１の分極電界Ｅ１による分極後、図示のヒステリシス曲線が生じる。図４ｂは、１つのヒステリシス曲線を示し、見易くするためにこのヒステリシス曲線の原点Ｏを座標系の原点に移している。このヒステリシス曲線は、第１の分極電界Ｅ１による分極終了後の、印加される外部電界（ｋＶ／ｍｍ）に依存する圧電基体１の変位（μｍ）のヒステリシスを表す。ここで圧電基体１の変位のヒステリシスは抗電界Ｅｋを有する。
【００４０】
たとえば一般的に機械的応力を印加せずに分極された従来技術の電子部品の分極または分極状態の通常の初期状態は、図４ｂの点Ｏ（原点）に対応する。これに対応して正の動作電界の下で達成可能な最大変位はＸ１である。抗電界Ｅｋは原点外で変位がゼロに等しくなる電界強度に当たる。抗電界はおよそ１．２ 〜１．３ｋＶ／ｍｍであり、従って点Ｂにおける電界強度にほぼ近い。ここで１８０°のドメイン反転はたとえば点Ｂと点Ｃの間で生じる。これに対し点Ｏと点Ｂの間または点Ｃと点Ｄとの間の変位は、本来の、つまりドメイン反転によらない圧電効果の寄与と、「非１８０°」のドメイン反転の寄与を含む。
【００４１】
本製造方法により、具体的には第１の分極電界Ｅ１と反対の向きの第２の分極電界Ｅ２により、特に分極の初期状態を点Ｏから点Ｎに移すことができる。初期状態が点Ｂに近いほど、動作時に正の動作電界が印加されたときの電子部品１００の達成可能な変位が、より大きくなる。これに対応して本発明による電子部品の達成可能な最大変位はＸ２またはおよそＸ２である。こうして動作時に電子部品１００が達成可能な変位を、従来技術の製造方法または分極方法に従い、かつ／また機械的な力を印加せずに分極された電子部品に比べて、最大７５％大きくすることができる。
【００４２】
圧電セラミックの変位の増大は、目的に合わせたドーパントの添加によってセラミックレセプタを改質することによっても、または圧電セラミックのキュリー温度を下げることによっても達成可能であり、圧電セラミックのキュリー温度を下げることもセラミックレセプタを改質することによって達成可能である。他の可能性は、圧電セラミック中の結晶粒成長の促進であり、これもセラミックレセプタ、あるいはセラミックの組成または対応する燒結過程に変更を加えることによる。特に高い温度で、強い機械的な力または応力を加えて圧電セラミックを分極させることによっても、圧電セラミックの変位を大きくすることができる。本出願が提示する方法は、この方法を用いることによって可能な最大変位を、さらに大きくすることができる。
【００４３】
本出願の範囲においては、第１の分極電界が負で第２の分極電界が正であってもよい。この実施形態は特に負の動作電界の場合に好適である。その場合対称なバタフライ曲線が在る限り、上術の実施形態が同様に有効である。
【００４４】
図５は第１および第２の分極電界Ｅ１およびＥ２の時間的変化の代替の実施形態を簡略化して示す。図５の（ａ）は図２に示す第１および第２の分極電界Ｅ１およびＥ２の電界パターンを示す。第１および第２の分極電界Ｅ１およびＥ２はそれぞれ１つの方形パルス５から成る。
【００４５】
図５の（ｂ）はそれぞれ１つの単一の三角パルス６から成る第１および第２の分極電界Ｅ１およびＥ２を示す。この場合、図２あるいは図５（ａ）のように、第２の分極電界Ｅ２は第１の分極電界Ｅ１の後に印加され、さらに第１の分極電界Ｅ１の大きさは第２の分極電界Ｅ２の大きさよりも大きい。さらに第１の分極電界Ｅ１は正で、第２の分極電界Ｅ１は負である。
【００４６】
第２の分極電解Ｅ２が印加される期間に対する第１の分極電界Ｅ１が印加される期間の比は１０：１〜１：１０であってよい。好ましくは上記の比は２：１〜１：２である。
【００４７】
図５（ｃ）は第１の分極電界Ｅ１および第２の分極電界Ｅ２の時間的変化をそれぞれ示し、この場合は図５（ｂ）の図示と異なり、分極電界Ｅ１およびＥ２，あるいはこれらの電界パターンはともに複数の三角パルスを含んでいる。換言すれば、第１および第２の分極電界Ｅ１およびＥ２のそれぞれの印加時、圧電基体１が時間的に変化して分極されるように、両方の分極電界Ｅ１およびＥ２はそれぞれパルシングされている。
【００４８】
図５（ｄ）では、第１の分極電界Ｅ２も三角パルスでパルシングされている図５（ｃ）とは異なり、第２の分極電界Ｅ２は一定の分極電界Ｅ２から成る。
【００４９】
第１および第２の分極電界Ｅ１およびＥ２のパルス幅は好ましくは１ミリ秒より大きく、例えば１０ミリ秒以上である。さらに第１および第２の分極電界Ｅ１およびＥ２のパルス幅は好ましくは１０分より小さく、例えば１分以下である。
【００５０】
一部は明示されていないが、分極電界、並びに第１および第２の分極電界の電界パルスは、方形、三角形、台形および正弦形のパルス形状のうち１つ以上を有していてよい。
【００５１】
分極の間は分極電界Ｅ１およびＥ２のパルシングにより損失熱が生じ、この損失熱は分極の効果を、変化しない、またはパルシングしない分極に比べ、最大２０％高めることができ、有利である。つまり、その時々に印加される分極電界に沿って各強誘電体ドメイン４の分極を揃えることが促進され、有利である。
【００５２】
図には明示されていないが、本出願の範囲においては、圧電基体および電子部品に機械的な力を印加する装置が設けられていてよい。本発明は実施例を参照した説明によって限定されない。むしろ本発明は、特に請求項中の特徴の組み合わせそれぞれが含むいかなる新規な特徴、並びにいかなる新規な特徴の組み合わせをも、たとえその特徴またはその組み合わせがそれ自体として請求項または実施例に明示されていなくとも、含むものである。
【符号の説明】
【００５３】
１      圧電基体
２      電極
３      内部電極
４      強誘電体ドメイン
５      方形パルス
６      三角パルス
１００      電子部品
Ｘ１，Ｘ２  変位
Ｅ      電界
Ｅ１    第１の分極電界
Ｅ２    第２の分極電界
【図１】
2015536580.tif 000003
【図２】
2015536580.tif 000004
【図３ａ】
2015536580.tif 000005
【図３ｂ】
2015536580.tif 000006
【図４ａ】
2015536580.tif 000007
【図４ｂ】
2015536580.tif 000008
【図５（ａ）】
2015536580.tif 000009
【図５（ｂ）】
2015536580.tif 000010
【図５（ｃ）】
2015536580.tif 000011
【図５（ｄ）】
2015536580.tif 000012
【国際調査報告】
2015536580.tif 000013
2015536580.tif 000014
2015536580.tif 000015
2015536580.tif 000016