(57)【要約】  真空室（３）と、真空室（３）内に配置された電極（４００〜４０９）とを含む、基板（２）、特にプレス板をプラズマコーティングするための装置（１００〜１０３）が提供され、前記電極はセグメント化され、電極セグメント（５００〜５１２）のそれぞれは電気エネルギー源（７００〜７０２）に対する固有の接続部（６）を備える。さらに、上記装置（１００〜１０３）を運転するための方法が提供され、前記方法においてコーティングすべき基板（２）に向い合わせに上記電極（４００〜４０９）が位置決めされ、１つの電極セグメント（５００〜５１２）に割当てられた少なくとも１つのエネルギー源（７００〜７０６）が作動される。さらに、プラズマ励起化学気相成長を基板（２）に生じさせるガスが導入される。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空室（３）と、前記真空室内に配置された電極（４００〜４０９）とを含み、前記電極は運転時に基板（２）に対して実質的に平行に、かつコーティングすべき前記基板の面に向い合わせに位置決めされる、基板（２）をプラズマコーティングするための装置（１００〜１０３）において、
前記電極（４００〜４０９）はセグメント化され、かつ前記電極セグメント（５００〜５１２）のそれぞれは電気エネルギー源（７００〜７０２）に対する固有の接続部（６）を備えることを特徴とする装置（１００〜１０３）。
【請求項２】
個別の電極セグメント（５０１、５０４、５０５）は、互いに絶縁されていることを特徴とする請求項１に記載の装置（１００〜１０３）。
【請求項３】
個別の電極セグメント（５０２、５０３）は、狭いウェブ（９）を介して、又は限定されたオーム抵抗を介して互いに接続されていることを特徴とする請求項１に記載の装置（１００〜１０３）。
【請求項４】
個別の電極セグメント（５１０）は、狭いウェブを介して、又は限定されたオーム抵抗を介して少なくとも１つのエネルギー源（７００）に接続されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の装置（１００〜１０３）。
【請求項５】
上記接続部（６）を介して電極セグメント（５００〜５１２）に接続され、互いに独立して制御／調整可能な複数のエネルギー源（７０１、７０２）を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の装置（１００〜１０３）。
【請求項６】
各電極セグメント（５１０）は、その他のエネルギー源（７０１〜７０６）から独立して制御／調整可能な１つの個別のエネルギー源（７０１〜７０６）に接続されていることを特徴とする請求項５に記載の装置（１００〜１０３）。
【請求項７】
エネルギー源（７０１、７０２）を電極セグメント（５０８）のグループ（１３０１、１３０２）の１つの個別の電極セグメント（５０８）へ交互に切り替え、前記グループ（１３０１、１３０２）のその他の前記電極セグメント（５０８）の前記接続部（６）を最初に挙げた前記電極セグメント（５０８）から絶縁された開状態に切り替えるように構成された制御部（１１０１）を有することを特徴とする請求項５に記載の装置（１００〜１０３）。
【請求項８】
電極セグメント（５００〜５１２）の面積は１ｍ２以下であることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の装置（１００〜１０３）。
【請求項９】
エネルギー源（７００〜７０６）は電流源として構成されていることを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の装置（１００〜１０３）。
【請求項１０】
電極セグメント（５００〜５１２）毎の最大電流強度は１５０Ａ以下であることを特徴とする請求項９に記載の装置（１００〜１０３）。
【請求項１１】
電極セグメント（５０３）は格子状に形成されていることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか一項に記載の装置（１００〜１０３）。
【請求項１２】
電極（４０５）はその周縁領域においてコーティングすべき基板（２）の方向に湾曲していることを特徴とする請求項１〜１１のいずれか一項に記載の装置（１００〜１０３）。
【請求項１３】
基板（２）を製造する方法であって、
ａ）真空室（３）内においてコーティングすべき基板（２）を、真空室（３）内に配置されてセグメント化された電極（４００〜４０９）に向い合わせに、かつ前記電極に対して実質的に平行に配置する、
ｂ）電極（４００〜４０９）の電極セグメント（５００〜５１２）に割当てられた少なくとも１つのエネルギー源（７０１〜７０６）を作動させる、
ｃ）基板ブランク（２）上にプラズマ励起化学気相成長を生じさせるガスを導入する、
各ステップを有することを特徴とする方法。
【請求項１４】
電極セグメント（５００〜５１２）毎に１つのエネルギー源（７０１〜７０６）がそれぞれ作動され、その他のエネルギー源（７０１〜７０６）から独立して制御／調整されることを特徴とする請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
エネルギー源（７０１、７０２）は電極セグメント（５０８）のグループ（１３０１、１３０２）の１つの個別の電極セグメント（５０８）に交互に切り替えられ、前記グループ（１３０１、１３０２）のその他の前記電極セグメント（５０８）の前記接続部（６）は最初に挙げた前記電極セグメント（５０８）から絶縁された開状態に切り替えられることを特徴とする請求項１３に記載の方法。
【請求項１６】
作動された前記エネルギー源（７０１、７０２）に割当てられる前記電極セグメント（５０８）の選択はランダムに行われることを特徴とする請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
市松模様の白色区画に対応するよう配置された電極セグメント（５０９）と市松模様の黒色区画に対応するよう配置された電極セグメント（５０９）とに交互に電気エネルギーが供給されることを特徴とする請求項１５に記載の方法。
【請求項１８】
電極セグメント（５１１）とコーティングすべき前記基板（２）との間の電圧が測定され、前記電圧の降下が検出された場合、前記エネルギー供給は制限されるか、又は遮断されることを特徴とする請求項１３〜１７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１９】
前記電極（４０９）の周縁に設置された電極セグメント（５１２）は、内側にある電極セグメント（５１２）よりも高い電位に設定されることを特徴とする請求項１３〜１８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２０】
前記電極（４０９）の周縁に設置された電極セグメント（５１２）は、内側にある電極セグメント（５１２）よりも高い電流強度に設定／制御されることを特徴とする請求項１３〜１９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２１】
プレス板（２）をプラズマコーティングするための請求項１〜１２のいずれか一項に記載の装置（１００〜１０３）及び／又は請求項１３〜２０のいずれか一項に記載の方法の使用。
【請求項２２】
単層又は複層の板状材料、特にプラスチック材料、木質材料、及びオーバーレイ紙付及びオーバーレイ紙なし積層体の製造方法であって、
請求項１３〜２０のいずれか一項に記載の方法を用いて製造された基板又はプレス板（２）が使用されることを特徴とする方法。
【請求項２３】
製造される前記板の面積は１ｍ２以上であることを特徴とする請求項２２に記載の方法。
【請求項２４】
板状材料は、特にプレス板（２）に面する表面領域に、１０００〜１８００のビッカース硬度を有する粒子を含むことを特徴とする請求項２２又は２３のいずれかに記載の方法。
【請求項２５】
板状材料は、特にプレス板（２）に面する表面領域に、コランダム又は酸化アルミニウムＡｌ２Ｏ３を含むことを特徴とする請求項２２又は２３のいずれかに記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は基板、特にプレス板をプラズマコーティングするための装置に関し、真空室と真空室内に配置される電極とを含み、該電極は運転時において上記基板に対して実質的に平行に、かつ基板のコーティングされる面に向い合わせに位置決めされる。さらに基板、特にプレス板の製造方法が提供される。最後に本発明は単層又は複層の板状材料、特にプラスチック材料、木質材料、及びオーバーレイ紙付及びオーバーレイ紙なし積層体の製造方法にも関する。
【背景技術】
【０００２】
上記方式の装置及び方法は原理的に公知である。例えば特許文献１は、再現可能な光沢度を有する材料の表面を加工するための、及び製作するための方法、及びこの方法を使用するためのプレス工具を開示している。プレス工具の安定性を高めるために、プレス工具にダイヤモンド類似層を有する炭素によって構成されるコーティングが付与される。それによって、高耐摩性材料の加工の際の、例えば表面層にコランダム粒子を有する床材を製作する際のプレス工具表面の磨耗は著しく軽減される。
【０００３】
上記のダイヤモンド状の層は「ダイヤモンド状炭素」（ＤＬＣ）としても知られている。これは高い硬度と高い耐摩耗性により特徴づけられており、例えばプラズマ励起化学気相成長法（plasma enhanced chemical vapour deposition-PECVD）を用いて生成することができる。その場合、コーティングすべき加工品の上でプラズマが点火され、そこからイオン化された成分がコーティングすべき加工品の上に到達する。
【０００４】
先に述べた加工品（例えば床板、合板、繊維板等）の型は常に大きくなる傾向にあるので、それに応じてこれらの材料の製作に対して大きなプレス板が必要になる。その場合、プレス板上に適用される層は狭い許容差範囲において製作することが極めて難しく、したがって再現性も限定されることが問題になる。これに対する１つの理由は不均一な、又は深刻な影響を受けやすいプロセス条件にある。例えば、プレス板上のプラズマ中のイオン濃度は大きく異なりかつ制御が難しく、したがって電極上の電場強度と電流強度が一定であったとしても、プラズマの堆積速度に差異が生じる。いずれにしても、実際には一定の又は狭い許容差範囲内で広がる電場分布と電流分布を得ることはできないので、それによっても適用される層の堆積速度に望ましくない差異が生じる。
【０００５】
上記の変動はさらに、運の悪い場合、プロセスにおける不安定性、及び振動現象をもたらす。例えばプラズマ中の局所的に高められたイオン濃度は、高められた導電性に起因して局所的に高められた電流強度をもたらし、これは適用される層の堆積速度を高めるだけでなく極端な場合にはフラッシュオーバーをも引き起こす可能性がある。通常は、この高電流によってプレス板の表面が廃棄処分にしなければならないほどに破壊される。プレス板の基礎材料もその加工（例えば表面構造のフォトリソグラフィ生成、又はインクジェット印刷法、スクリーン印刷法、オフセット印刷法又はカレンダー印刷法を用いるフォトリソグラフィに対する表面構造又はマスクの生成）も極めて高価なので、このことは高度の経済的損失をもたらす。プレス板が大きければ大きいほど、上記の欠陥の発生に対する確率は大きくなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】欧州特許第１４１７０９０号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
したがって、本発明の課題は、基板、特にプレス板をプラズマコーティングするための改良された装置及び改良された方法を提供することである。特に、基板上の層が狭い許容差範囲内において適用され、かつプラズマ中の電気的フラッシュオーバーが防止される、あるいはその影響が緩和される可能性が作られなければならない。本発明の別の課題は、単層又は複層の板状材料に対する改良された製造方法を提供することにある。特に大型の板の製造を容易にし、又は可能にしなければならない。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の課題は、電極がセグメント化され、かつ電極セグメントのそれぞれが電気エネルギー源に対する固有の接続部を備える冒頭で述べた方式の装置によって解決される。
【０００９】
さらに本発明の課題は、以下のステップを含む基板、特にプレス板を製造する方法によって解決される。
ａ）真空室内に配置されているセグメント化された電極に向い合わせに、かつ電極に対して実質的に平行に位置決めして、コーティングすべき基板を真空室内に配置する、
ｂ）１個の電極セグメントに割当てられた少なくとも１つのエネルギー源を作動させる、
ｃ）プラズマ励起化学気相成長を基板（例えばプレス板ブランク）に生じさせるガスを導入する。
【００１０】
最後に本発明の課題は、上記の方法を用いて製造される基板又はプレス板を使用する、単層又は複層の板状材料、特にプラスチック材料、木質材料、及びオーバーレイ紙付及びオーバーレイ紙なし積層体の製造方法によって解決される。
【００１１】
本発明の文脈において、１個の電極セグメントは、大量の過渡電流を流すことなくその他のセグメントとは明確に異なる電位に到達することが可能であるという点において定義される。換言すれば個別のセグメント間には高い絶縁抵抗が提供される。本発明の意図において、セグメント化は、電気的な観点から認識されるべきであり、必ずしも構造上の観点から認識されなくてもよい。用語「接続部」は広義に解釈されるべきであり、原則としてあらゆるタイプの設計の電気的接続に対する可能性として解釈されるべきである。
【００１２】
本発明において、電極に局所的に異なる電気エネルギーを供給できること、あるいは電気エネルギー供給が差別化されて影響されうることがセグメント化によって達成される。それによって電場強度又は電流強度の分布を基板上に設定することができるだけでなく、電極のセグメント化によって狭い許容差範囲における設定値を容易に維持することもできる。例えば電極セグメント毎にエネルギー供給を独立して制御することができる。さらに個別のセグメント間の隙間によってプロセスガスをより良好に基板へ導くことができ、その結果、基板上のイオン濃度を一定に、又は狭い許容範囲に維持することができる。
【００１３】
最後に、プラズマ中の電気的フラッシュオーバーの発生確率も明らかに減少し、あるいはその影響は明らかに軽減される。セグメント化によって電気エネルギーは電極の他領域から「流出」せず、セグメント化されていない電極を用いた場合のような一点への集中もない。この場合、フラッシュオーバーは、基板全体のコーティングに対して利用できるエネルギー又は電力を一点に集中させ、それによって重度の損傷が基板にもたらされる。
【００１４】
電極セグメントが提供される場合、その領域における基板のコーティングに対して提供される電気エネルギー又は電力を一点に集中させることができ、このエネルギー又は電力は当然に基板全体のコーティングに対して提供されるエネルギー／電力より小さい。セグメント化が微細なほど、上記のエネルギー又は電力の量は少なくなる。相応の微細なセグメント化によって、面積当たり一定の電力における電極セグメント当たりの電力は、セグメント内の電気エネルギーがフラッシュオーバーを引き起こすのにもはや十分でないような程度に著しく減少させることができる。いずれにせよ、フラッシュオーバーの影響は緩和することが可能であり、したがって基板表面が受ける損傷は僅かなので、基板を即座に使用することができるか、あるいは僅かな手間で基板を修理することができる。
【００１５】
一般的に、大部分のケースにおいて、その目的は基板をできるだけ一様にコーティングすることである。その場合、上記の方策を、プラズマ中の電流強度、電場強度、及びイオン濃度の分布をできる限り均一とするために使用することができる。代わりに、プロセスの目的が基板を不均一にコーティングすることであることも可能である。その場合、上記の方策は、プラズマ中の電流強度、電場強度、及びイオン濃度の不均一な分布を得るために使用することができるが、その不均一な分布は狭い許容差範囲内にある。
【００１６】
上記基板又はプレス板を用意することによって、大形状の板材料の製造が容易又は可能になる。大形状の板とは、本発明の範囲において１ｍ２以上の大きさを有する板、特に５ｍ２以上の大きさを有する板、及び特定の場合１０ｍ２以上の大きさを有する板を意味する。したがって、例えば２×５ｍの標準寸法を有するボード状の材料も作業工程において製造可能である。
【００１７】
本発明の有利な形態と変更は、下位請求項及び図面と関連した記載によって明らかにされる。
【００１８】
個別の電極セグメントが互いに絶縁されることが有利である。それによってセグメント間に過渡電流を実質的に流さないことが可能となる。
【００１９】
しかし、個別の電極セグメントが狭いウェブ又は限定されたオーム抵抗を介して互いに接続されることもまた有利である。それによって低い、限定された過渡電流がセグメント間に許容され、あるいはセグメント間に狭いウェブが設けられている場合には、電極はそのセグメント化にも拘わらず一体に組立てることができる。
【００２０】
加えて、個別の電極セグメントが狭いウェブ又は限定されたオーム抵抗を介して少なくとも１つのエネルギー源に接続されることが有利である。この態様では有利なことに、個別の電極セグメントに関して異なる抵抗を設けることによって、唯一のエネルギー源のみを用いて電極セグメントに異なるエネルギーを供給することが可能である。加えて、抵抗は１つの個別の電極セグメントのみへの電気エネルギーの集中を妨げるので、プラズマ中の電気的フラッシュオーバーの発生確率は顕著に減少し、あるいはその影響は明らかに緩和される。
【００２１】
装置が、上記の接続部を介して電極セグメントに接続される、互いに独立して制御可能／調整可能な複数のエネルギー源を含むことが特に有利である。この態様において、複数の電極セグメントに互いに独立してエネルギーを供給することが可能である。例えば、電極セグメントに対して特定の電流強度及び／又は特定の電位を供給することができ、エネルギー源が調整される場合、異なるプロセス条件下に維持することもできる。
【００２２】
各電極セグメントがそれぞれ、その他のエネルギー源から独立して制御可能／調整可能なエネルギー源に接続されることも特に有利である。それによって電極セグメント毎にそれぞれ１つのエネルギー源が作動され、かつその他のエネルギー源から独立して制御／調整される。この態様において、全ての電極セグメントに互いに独立してエネルギーを供給することができる。例えば、各電極セグメントに対して固有の電流強度及び／又は固有の電位を供給することができ、エネルギー源が調整される場合、異なるプロセス条件下に維持することもできる。
【００２３】
さらに、装置は、エネルギー源が電極セグメントのグループの１つの個別の電極セグメントへ交互に切り替えられ、このグループのその他の電極セグメントの接続部が最初に挙げた電極セグメントから絶縁される開状態に切り替えられるように適合した制御部を含むことが特に有利である。この態様において、エネルギー源は電極セグメントのグループの各電極セグメントへ交互に切り替えられ、このグループのその他の電極セグメントの接続部は最初に挙げた電極セグメントから絶縁される開状態に切り替えられる。それによって、全ての電極セグメントに極めて少数のエネルギー源を用いて互いに独立してエネルギーを供給することが可能になる。その場合、電極セグメントのグループの１つの電極セグメントはそれぞれエネルギー源に接続され、これらに対して電流強度及び／又は電位が設定される。このグループのその他の電極セグメントは開状態に切り替えられ、それによってその他の電極セグメントはエネルギー源又はエネルギー源に接続された電極セグメントから絶縁される。したがってこれらの電極セグメントに対する電流強度はゼロになるか、又はセグメント間に流れる過渡電流をごく僅かとすることが可能である。したがって、電位は実質的にそれぞれ任意の値をとることができる（「浮遊電位」）。一定時間後にエネルギー源はグループの別の電極セグメントに接続され、かつその前に接続されていた電極セグメントは同様に開状態に切り替えられる。これにより、グループの全ての電極セグメントを順々にエネルギー源に接続することができる。このことは、電極セグメントを各サイクルにおいて同じ順番でエネルギー源に接続することを必ずしも要求しない。また、例えば基板上にコーティングを厚く適用するために、１つの電極セグメントを１つのサイクル内で複数回エネルギー源に接続することも可能である。
【００２４】
例えば、作動されたエネルギー源に割当てられる電極セグメントの選択はランダムに行うことも可能である。それによって、同一サイクルを連続して繰り返すことによって発生する可能性がある影響を回避することができる。
【００２５】
市松模様の白色区画の種類に基づいて配置される電極セグメントと市松模様の黒色区画の種類に基づいて配置される電極セグメントとに、交互に電気エネルギーが供給されることも特に有利である。この変形においては、マトリクスに配置された電極セグメントが交互に作動される。第１の時間部分において、行番号と列番号の和が偶数になるセグメントが作動される。次に第２の時間部分において、行番号と列番号の和が奇数になるセグメントが作動される。その後、再び第１の時間部分が行われる。
【００２６】
電極セグメントの面積が１ｍ２以下であることが有利である。上記面積が０．２５ｍ２以下であることがさらに有利である。これらの値は、電極の極端過ぎないセグメント化において基板のコーティングがうまくできるよい妥協点を示している。上記の値が有利な値として際立っているが、本発明は当然ながらこれに限られるものではない。当然ながら、別の値も本発明において得られる利点に照らして選択することが可能である。
【００２７】
エネルギー源が電流源として提供されることが有利である。この態様において、基板上に適用されるコーティングの成長速度を設定することができる。
【００２８】
これに関連して、電極セグメント毎の最大電流強度（ピーク電流）が１５０Ａ以下であることが有利である。上記電流強度が１５Ａ以下であることがさらに有利である。これらの値は、電極と基板間の破壊的な電気的フラッシュオーバーの危険性が極端過ぎない場合において、基板のコーティングがうまくできるよい妥協点を示している。上記の値が有利な値として際立っているが、本発明は当然ながらこれに限られるものではない。当然ながら、別の値も本発明において得られる利点に照らして選択することが可能である。
【００２９】
電極セグメントが格子状に形成されることも有利である。それによってプロセスガスを特に良好にコーティングすべき基板に導くことができる。
【００３０】
加えて、電極がその周縁領域においてコーティングすべき基板の方向に曲げられることが有利である。この態様において、どの個所も基板に対して距離が同じ板状電極において生じるような電極の周縁領域におけるプラズマ中の電場強度の低下を補償することができる。
【００３１】
基板をコーティングする方法の有利な変形として、電極セグメントとコーティングすべき基板との間の電圧を測定し、かつ上記電圧の降下が確認された場合、エネルギー供給を制限する、又は遮断することが提供される。上記電圧が極めて急速に相対的に小さな値に降下した場合、加工品と電極との間に電気的フラッシュオーバーが生じていることに由来している可能性がある。このフラッシュオーバーの有害な作用を阻止する、あるいは終わらせるために、当該電極セグメントのエネルギー供給は制限されるか、あるいはさらに遮断される。
【００３２】
電極の周縁部にある電極セグメントに、内側にある電極セグメントよりも高い電位が印加されることが有利である。この態様において、基板に平行に位置合わせされた板状の電極において生じるようなプラズマ中の電場強度の降下を補償することができる。
【００３３】
電極の周縁部にある電極セグメントが、内側にある電極セグメントよりも高い電流強度に設定される、あるいは制御されることも有利である。この態様において、基板の周縁部を厚い層で被覆することができる。一般的に、基板のその位置が板状の材料の製造において最もよく利用される。
【００３４】
最後に、板状材料が、特にプレス板に面する表面領域に、１０００〜１８００の間のビッカース硬度を有する粒子又はコランダム若しくは酸化アルミニウムＡｌ２Ｏ３を含むことが有利である。製造する材料中の研磨材成分の存在にも拘わらず、コーティングによってプレス板の長い耐用期間を保証することができるので、この点においてコーティングされたプレス板の利点は特に際立っている。従来技術に基づく大型の板状材料に対するプレス板は、そのように長い耐用期間を提供することができない。
【００３５】
この点においてコーティング装置に関して記載される変形とそれによって得られる利点とは、基板をコーティングするための方法にも同様に当てはめることができ、またその逆も成り立つことに留意すべきである。
【００３６】
本発明をさらによく理解するために、本発明を以下の図面を参照してより詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】基板をプラズマコーティングするための装置を模式的に示す。
【図２】互いに完全に絶縁されたセグメントを有する電極の第１の例を模式的に示す。
【図３】互いに接続されたセグメントを有する電極の第２の例を模式的に示す。
【図４】格子状の電極の別の例を模式的に示す。
【図５】異なる形状のセグメントを有する電極の別の例を模式的に示す。
【図６】周縁領域において湾曲する電極の別の例を模式的に示す。
【図７】制御部がエネルギー源を異なる電極セグメントに切り替える図解例を示す。
【図８】セグメントが市松模様のパターンに基づいて配置され制御される電極の例を示す。
【図９】１つの電極セグメントがそれぞれ１つのエネルギー源に接続される図解例を示す。
【図１０】電極セグメントと基板との間の電圧が測定される別の図解例を示す。
【図１１】電極の周縁部にあるセグメント内側にあるセグメントよりも高い電位に設定される、及び／又は高い電流強度に設定／調整される例を模式的に示す。
【図１２】電極セグメントが抵抗を介してエネルギー供給部に接続される例を模式的に示す。
【発明を実施するための形態】
【００３８】
はじめに、異なる実施形態において記載された同一部材は同一符号又は同一部品名で表記され、記載全体に含まれる開示事項は同一符号又は同一部品名を有する同一部材に同様に適用されることに留意されたい。また記載において使用される、例えば上、下、側方等のような位置表示は、現在説明され提示された図面に関するものであり、位置変更の際は新しい位置に調整されなければならない。さらに、図示され記載された異なる実施形態における個別の特徴又は特徴の組合せも、他に依拠せずに、独立した創造的な解決策又は本発明により提案される解決策と見なすことができる。
【００３９】
本明細書における値の範囲に対する表示は全て、これらの任意かつ全ての部分範囲もまた含むものとして理解すべきである。例えば１〜１０の表示は、下限の１から始まって上限の１０を含む全ての部分範囲、すなわち例えば１〜１．７、又は３．２〜８．１、又は５．５〜１０のように下限の１以上で始まり上限の１０以下で終わる全ての部分範囲を含むものとして理解すべきである。
【００４０】
図１は、基板２のプラズマコーティング装置１００を示し、真空室３と真空室３内に配置された電極４００とを含み、該電極４００は運転時に上記基板２に対して実質的に平行に、かつコーティングすべき基板２の面に向い合わせに位置決めされる。以下の考察に関して基板はプレス板２であると仮定される。しかし当然ながら以下の教示はその他の基板にも適用することができる。
【００４１】
電極４００はセグメント化され、セグメント５００のそれぞれは、この例においては電流源として構成されている電気エネルギー源７００に対する固有の接続部６を備える。当然ながらエネルギー源は例えば電圧源としても製作することができる。最後に図１はさらに、真空室３内を例えば約１ミリバールの圧力にするプロセスガス（例えばＣＨ４）を真空室３内に導入するための接続部８を表示している。
【００４２】
電極セグメント５００の面積は１ｍ２以下であり、電流源７００の電流強度は１５０Ａ以下であることが好ましい。これらの値は、電極４００の極端過ぎないセグメント化においてプレス板２のコーティングが良好に行われ、かつ電極４００とプレス板２との間の破壊的な電気的フラッシュオーバーの危険性が極端には高くない、よい妥協点を表している。
【００４３】
一般的にエネルギー源７００は直流又は交流を供給することができる。特にプレス板２のコーティングはパルス状の電流を用いて良好に行われる。この場合、パルスの電流振幅は１５０Ａ以下であることが好ましい。例えば電気絶縁性の層が適用される場合、適用される層における電荷を放電させるために、パルスの極性を時々逆にすることも可能である。例えば１０パルスの１つが別の極性を有してもよい。
【００４４】
図２は、電極４０１のセグメント５０１が完全に互いに絶縁されている電極４０１の例を示す。個別のセグメント５０１は互いに間隔を開けた導電板の形状で提供される。このプレートは例えば非導電性の基板に取り付けることが可能であり、それによって電極４０１の取り扱いが容易になる。電極４０１には孔を開けることもでき、それによってプロセスガスは、特にセグメント５０１間の領域における上記基板中の空洞を通って、プレス板２に容易に到達することができる。例えばこれは長孔の形状を持つことができる（これに関しては図３も参照されたい。）。
【００４５】
図３は、電極４０２のセグメント５０２が狭いウェブ９を介して、したがって（高い）オーム抵抗を介して互いに接続される電極４０２の別の例を示す。したがって電極４０２は、例えばシートから対応する空洞１０をフライス盤で削ること、打ち抜くこと、削り取ること、又はレーザーを用いて切断することによって一体で提供することが原理的に可能である。
【００４６】
図４は、電極４０３の別の例を示し、この例において電極セグメント５０３は格子状に構成される。この態様において、プロセスガスは容易にプレス板２に到達することができる。
【００４７】
図５は、電極４０４が円形の電極セグメント５０４と菱形の電極セグメント５０５によって構成される電極４０４の別の例を示す。この例は単なる図解例であり、電極４００は矩形の電極セグメント５００の形状で提供される必要がないことのみを説明している。当然に、図５に示された形状以外に多数の非矩形の形状を使用することが可能である。
【００４８】
図６は、電極４０５がその周縁領域においてコーティングすべきプレス板２の方向に湾曲している電極４０５の例を示す。具体的には、電極セグメント５０６はプレス板２に対して平行に配置され、それに対して電極セグメント５０７はプレス板２の方向に傾斜し、又はこの例におけるようにプレス板２の方向に湾曲している。この態様において、プレス板２の周縁領域において、それに対して平行に位置決めされた板状の電極において生じるようなプラズマ中の電場強度の低下を補償することができる。
【００４９】
図６に示された実施形態に対して代りに、又は追加で、例えば、電極４００の周縁領域にあるセグメント５００（図１１も参照されたい。）は内側にあるセグメントよりもプレス板２の近くに配置されることも考えられる。特に全てのセグメント５００をプレス板２に対して平行に配置することもできる。
【００５０】
プレス板２の製造方法は以下のステップを含む。
ａ）真空室３内においてコーティングすべきプレス板２を、真空室３内に配置されてセグメント化された電極４００に向い合わせて、かつ実質的に電極に対して平行に配置する、
ｂ）電極セグメント５００に割当てられた少なくとも１つのエネルギー源７００を作動させる、
ｃ）プレス板ブランク２上にプラズマ励起化学気相成長を生じさせるガスを導入する。
念のために、当然ながらステップｃ）はステップｂ）の前に実施できることも、ここで注記しておく。
【００５１】
図１において、１つの電極セグメント５００に接続されている唯一のエネルギー源７００のみが単に図解的に示されている。エネルギー源を基本的には異なる電極セグメント５００に順々に接続することができる。しかし代りに、プレス板２をプラズマコーティングするための装置は、電極セグメント５００に接続部６を介して接続可能な、互いに独立して制御可能／調整可能な複数のエネルギー源７００を含むことも考えられる。
【００５２】
そのために、図７は、装置１０１（ここでは真空室３は示されていない）の制御部１１０１が、エネルギー源７０１、７０２をスイッチ１２０１と１２０２を用いて交互に、電極セグメント５０８のグループ１３０１、１３０２の各電極セグメント５０８に切り替えるように、及びこのグループ１３０１、１３０２のその他の電極セグメント５０８の接続部を最初に挙げた電極セグメント５０８から絶縁された開状態に切り替えるように構成される、図解例を示す（この例と他の例においてプレス板２は接地されている。）。具体的には、図７に例として示された実施形態における電極セグメント５０８は、２つのグループ１３０１と１３０２に分割されており、ここで第１のグループ１３０１は同じ大きさの３つの電極セグメント５０８を含み、第２のグループ１３０２は異なる大きさの５つの電極セグメント５０８を含む。分割は単に図解上のものであり、例えば、電極４０６の電極セグメント５０８は同じ大きさである必要はないことは言うまでもない。さらに図７は、電極セグメント５０８が正方形である必要はなく、概ね矩形であってもよいことを示す。特に電極セグメント５０８は帯状、棒状及び／又は縞状に製作することもできる。次に、第１のエネルギー源７０１はグループ１３０１の１つの電極セグメント５０８へ、第２のエネルギー源７０２はグループ１３０２の１つの電極セグメント５０８へ切り替えられる。その他の電極セグメント５０８は開状態に切り替えられる。
【００５３】
一定時間後エネルギー源７０１、７０２と電極セグメント５０８の間の割当ては変更される。すなわち、エネルギー源７０１はグループ１３０１の別の電極セグメント５０８に接続され、前に接続されていた電極セグメント５０８は開状態に切り替えられる。これと同様にエネルギー源７０２はグループ１３０２の別の電極セグメント５０８に接続され、前に接続されていた電極セグメント５０８は開状態に切り替えられる。この態様において、グループ１３０１と１３０２の全電極セグメント５０８を、順々にエネルギー源７０１と７０２に接続することができる。このことは、全ての電極セグメント５０８に、僅かな数のエネルギー源７０１、７０２のみによって互いに独立してエネルギーを供給することを可能にする。
【００５４】
作動されたエネルギー源７０１、７０２に割当てられる電極セグメント５０８の選択は、ランダムに、又は設定されたスキームに基づいて行われる。その場合、電極セグメント５０８は、各サイクルにおいて同じ順番でエネルギー源７０１、７０２に接続される必要はない。また電極セグメント５０８は、１サイクル内で複数回エネルギー源７０１、７０２に接続されることも可能である。
【００５５】
市松模様の白色区画に対応するよう配置された電極セグメントと市松模様の黒色区画に対応するよう配置された電極セグメントとに交互に電気エネルギーが供給されることにより、特に有利な方法が提供される。図８は、電極セグメント５０９は市松模様の場合におけるような８×８のマトリクスに配置する必要はないことを明らかにするため、６×９のマトリクスに配置された電極セグメント５０９を有する図解例を示す。この変形に対応して第１の時間部分において、「白色」のセグメント５０９を作動させ、第２の時間部分において「黒色」のセグメント５０９（ここではハッチングで示されている。）を作動させる。
【００５６】
１つの電極セグメント５０８にエネルギー源７０１、７０２を割当てる場合、一般的にそれに対する電流強度及び／又は電位を設定することができる。エネルギー源７０１、７０２に割当てられないその他の電極セグメント５０８は開状態に切り替えられ、該開状態においてエネルギー源７０１、７０２から、又はエネルギー源に接続された電極セグメント５０８から絶縁される。したがってこれらの電極セグメント５０８に対する電流強度はゼロであり、又はセグメント５０８間に僅かな過渡電流のみが流れる。したがって電位は実質的にそれぞれ任意の値をとることができる（「浮遊電位」）。
【００５７】
次に図９は、各電極セグメント５１０がそれぞれ、その他のエネルギー源７０１〜７０６と無関係に制御可能／調整可能である１つのエネルギー源７０１〜７０６に接続される例を示す。すなわちエネルギー源７０１はエネルギー源７０２〜７０６と無関係に制御可能／調整可能であり、その他も同様である。したがって各エネルギー源７０１〜７０６は電極セグメント５１０毎に作動され、その他のエネルギー源７０１〜７０６と無関係に制御／調整される。この態様において、殆ど全ての電極セグメント５１０に互いに独立してエネルギーを供給することができる。例えば各電極セグメント５１０に対して固有の電流強度及び／又は電位を提供することができ、エネルギー源７０１〜７０６が調整される場合、異なるプロセス条件を維持することもできる。
【００５８】
図１０に示した別の例において、電極セグメント５１１とコーティングすべきプレス板２との間の電圧が電圧測定器１４を用いて測定され、かつエネルギー供給部７００は制御部１１０２によって制御され、及び／又は電極セグメント５１１への電流供給は、上記電圧の降下が検出された場合、制御部１１０２によって操作されるスイッチ１２００を用いて遮断される。電圧測定器１４は、例えば制御部１１０２を組み込むこともできるマイクロコントローラに接続されるアナログ・デジタルコンバータとして提供することができる。この態様において、電極セグメント５１１とプレス板との間の電気的フラッシュオーバーを検出することができ、その破壊的な作用を緩和させることができる。さらにフラッシュオーバーを上記処置によって能動的に終了させることも可能である。当然ながら、図７に示した制御部１１０１と図１０に示した制御部１１０２の機能に対して共通の制御部を提供することもできる。
【００５９】
図１１はプレス板２のプラズマコーティングのための本方法の別の変形を図示しており、電極４０９の周縁にあるセグメント５１２（ハッチングで示した）は、内側にあるセグメント５１２（白色で示した）よりも高い電圧に設定され、及び／又は高い電流強度に設定／制御される。これにより、プレス板２に対して平行に位置調整された板状電極４０９において生じるような（図６も参照されたい。）プラズマ中の電場強度の降下を補償することができ、及び／又はプレス板２のその周縁に厚い層を付与することができる。一般的に、基板のその位置が板状の材料の製造において最もよく利用される。
【００６０】
最後に図１２は、電極セグメント５１０が抵抗１５を介してエネルギー源７００に接続される例を模式的に示す。この態様において、異なる抵抗１５を提供することによって、電極セグメント５１０に、唯一のエネルギー源７００のみによって別々にエネルギーを有利に供給することができる。しかし当然ながら同一の抵抗１５を提供することもできる。加えて、抵抗１５は１つの個別の電極セグメント５１０のみへの電気エネルギーの集中を妨げるので、プラズマ中の電気的フラッシュオーバーの発生確率は顕著に減少し、あるいはその影響は明らかに緩和される。当然ながら図１２に示した配置１０３は既に示した配置と組合わせて使用することができる。例えば一つのエネルギー源７００の代りに複数のエネルギー源を配置することもできる。さらに例えば、電極４０８が図３及び図４におけるように製作される場合、電極セグメント５１０の間にさらなる不図示の抵抗を配置することも考えられる。最後に抵抗１５は、特に比較的高い電流を電極セグメント５１０に導かねばならない場合、狭い接続部６の形態で提供されることも考えられる。
【００６１】
例として図示した実施形態は、基板をプラズマコーティングするための本発明に係る装置１００〜１０３の可能な変形を示し、ここで、本発明は特別に示した変形に制限されるものではなく、むしろ個別の変形の種々の組合わせも可能であり、本開示の技術内容の教示に基づくこれらの可能な変形は当業者の技術の範囲内にあることに留意すべきである。したがって、ここに記載され図示された設計変形の個々の詳細事項の組合わせによって可能になる全ての考えられる設計変形も本発明の保護範囲に含まれる。
【００６２】
特に、上記装置１００〜１０３は、実際には示されたものよりも多くの構成要素を含むことができることも注記しておく。特に、開示された教示は実際に特にプレス板に関して特に有利であるが、例えば深絞り工具、押出成形工具、及び一般的なプレス工具に対するような他の基板にも制約なしに適用できることを指摘しておく。
【００６３】
記載された基板２又はプレス板は、単層又は複層の板状材料の製造に特に適している。特に、例えばエポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、フェノール樹脂のような熱可塑性プラスチック及び熱硬化性プラスチックには、耐摩性を高めるために少なくともプレス板２に面するその表面に１０００〜１８００の間のビッカース硬度を有する粒子、又はコランダム粒子（Ａｌ２Ｏ３）を混合することができる、と理解されるべきである。同様に、例えば合板、中密度繊維板（ＭＤＦ）及び高密度繊維板（ＨＤＦ）のような木材繊維材料を製造することができる。特に、積層体を製造するために、これらの木質材料を、上記種類のプラスチックの層又は紙でコーティングすることができる。さらに、ガラス繊維強化プラスチック又は炭素繊維強化プラスチックにも容易に表面構造を付与することができる。最後に人造石又は「人工石（Engineered Stone）」（石と樹脂によって構成される複合材料）の製造も可能である。特に、例えば花崗岩のような固い岩石の使用によって、開示された基板２又はプレス板の長い耐用期間の有利性が実証される。
【００６４】
形式上最後になるが、基板２をプラズマコーティングするための装置１００〜１０３の構造をよりよく理解するために、これらの構成要素は部分的に縮尺不同で、及び／又は拡大して、及び／又は縮小して表示されていることに注意願いたい。
【００６５】
本発明の創造的な解決手段の根底にある課題は本明細書に見出すことができる。
【符号の説明】
【００６６】
１００〜１０３    プラズマコーティング装置
２    基板（プレス板）
３    真空室
４００〜４０９    電極
５００〜５１２    電極セグメント
６    電極接続部
７００〜７０２    エネルギー源
８    ガス接続部
９    ウェブ
１０    空洞
１１０１、１１０２    制御部
１２０１、１２０２    スイッチ
１３０１、１３０２    電極セグメントのグループ
１４    電圧測定器
１５    （オーム）抵抗
【図１】
2015531820.tif 000003
【図２】
2015531820.tif 000004
【図３】
2015531820.tif 000005
【図４】
2015531820.tif 000006
【図５】
2015531820.tif 000007
【図６】
2015531820.tif 000008
【図７】
2015531820.tif 000009
【図８】
2015531820.tif 000010
【図９】
2015531820.tif 000011
【図１０】
2015531820.tif 000012
【図１１】
2015531820.tif 000013
【図１２】
2015531820.tif 000014
【手続補正書】
【提出日】平成27年4月8日(2015.4.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６５】
本発明の創造的な解決手段の根底にある課題は本明細書に見出すことができる。本発明の実施態様の一部を以下の項目［１］−［２５］に記載する。
［１］
真空室（３）と、前記真空室内に配置された電極（４００〜４０９）とを含み、前記電極は運転時に基板（２）に対して実質的に平行に、かつコーティングすべき前記基板の面に向い合わせに位置決めされる、基板（２）をプラズマコーティングするための装置（１００〜１０３）において、
前記電極（４００〜４０９）はセグメント化され、かつ前記電極セグメント（５００〜５１２）のそれぞれは電気エネルギー源（７００〜７０２）に対する固有の接続部（６）を備えることを特徴とする装置（１００〜１０３）。
［２］
個別の電極セグメント（５０１、５０４、５０５）は、互いに絶縁されていることを特徴とする項目１に記載の装置（１００〜１０３）。
［３］
個別の電極セグメント（５０２、５０３）は、狭いウェブ（９）を介して、又は限定されたオーム抵抗を介して互いに接続されていることを特徴とする項目１に記載の装置（１００〜１０３）。
［４］
個別の電極セグメント（５１０）は、狭いウェブを介して、又は限定されたオーム抵抗を介して少なくとも１つのエネルギー源（７００）に接続されていることを特徴とする項目１〜３のいずれか一項に記載の装置（１００〜１０３）。
［５］
上記接続部（６）を介して電極セグメント（５００〜５１２）に接続され、互いに独立して制御／調整可能な複数のエネルギー源（７０１、７０２）を有することを特徴とする項目１〜４のいずれか一項に記載の装置（１００〜１０３）。
［６］
各電極セグメント（５１０）は、その他のエネルギー源（７０１〜７０６）から独立して制御／調整可能な１つの個別のエネルギー源（７０１〜７０６）に接続されていることを特徴とする項目５に記載の装置（１００〜１０３）。
［７］
エネルギー源（７０１、７０２）を電極セグメント（５０８）のグループ（１３０１、１３０２）の１つの個別の電極セグメント（５０８）へ交互に切り替え、前記グループ（１３０１、１３０２）のその他の前記電極セグメント（５０８）の前記接続部（６）を最初に挙げた前記電極セグメント（５０８）から絶縁された開状態に切り替えるように構成された制御部（１１０１）を有することを特徴とする項目５に記載の装置（１００〜１０３）。
［８］
電極セグメント（５００〜５１２）の面積は１ｍ２以下であることを特徴とする項目１〜７のいずれか一項に記載の装置（１００〜１０３）。
［９］
エネルギー源（７００〜７０６）は電流源として構成されていることを特徴とする項目１〜８のいずれか一項に記載の装置（１００〜１０３）。
［１０］
電極セグメント（５００〜５１２）毎の最大電流強度は１５０Ａ以下であることを特徴とする項目９に記載の装置（１００〜１０３）。
［１１］
電極セグメント（５０３）は格子状に形成されていることを特徴とする項目１〜１０のいずれか一項に記載の装置（１００〜１０３）。
［１２］
電極（４０５）はその周縁領域においてコーティングすべき基板（２）の方向に湾曲していることを特徴とする項目１〜１１のいずれか一項に記載の装置（１００〜１０３）。
［１３］
基板（２）を製造する方法であって、
ａ）真空室（３）内においてコーティングすべき基板（２）を、真空室（３）内に配置されてセグメント化された電極（４００〜４０９）に向い合わせに、かつ前記電極に対して実質的に平行に配置する、
ｂ）電極（４００〜４０９）の電極セグメント（５００〜５１２）に割当てられた少なくとも１つのエネルギー源（７０１〜７０６）を作動させる、
ｃ）基板ブランク（２）上にプラズマ励起化学気相成長を生じさせるガスを導入する、
各ステップを有することを特徴とする方法。
［１４］
電極セグメント（５００〜５１２）毎に１つのエネルギー源（７０１〜７０６）がそれぞれ作動され、その他のエネルギー源（７０１〜７０６）から独立して制御／調整されることを特徴とする項目１３に記載の方法。
［１５］
エネルギー源（７０１、７０２）は電極セグメント（５０８）のグループ（１３０１、１３０２）の１つの個別の電極セグメント（５０８）に交互に切り替えられ、前記グループ（１３０１、１３０２）のその他の前記電極セグメント（５０８）の前記接続部（６）は最初に挙げた前記電極セグメント（５０８）から絶縁された開状態に切り替えられることを特徴とする項目１３に記載の方法。
［１６］
作動された前記エネルギー源（７０１、７０２）に割当てられる前記電極セグメント（５０８）の選択はランダムに行われることを特徴とする項目１５に記載の方法。
［１７］
市松模様の白色区画に対応するよう配置された電極セグメント（５０９）と市松模様の黒色区画に対応するよう配置された電極セグメント（５０９）とに交互に電気エネルギーが供給されることを特徴とする項目１５に記載の方法。
［１８］
電極セグメント（５１１）とコーティングすべき前記基板（２）との間の電圧が測定され、前記電圧の降下が検出された場合、前記エネルギー供給は制限されるか、又は遮断されることを特徴とする項目１３〜１７のいずれか一項に記載の方法。
［１９］
前記電極（４０９）の周縁に設置された電極セグメント（５１２）は、内側にある電極セグメント（５１２）よりも高い電位に設定されることを特徴とする項目１３〜１８のいずれか一項に記載の方法。
［２０］
前記電極（４０９）の周縁に設置された電極セグメント（５１２）は、内側にある電極セグメント（５１２）よりも高い電流強度に設定／制御されることを特徴とする項目１３〜１９のいずれか一項に記載の方法。
［２１］
プレス板（２）をプラズマコーティングするための項目１〜１２のいずれか一項に記載の装置（１００〜１０３）及び／又は項目１３〜２０のいずれか一項に記載の方法の使用。
［２２］
単層又は複層の板状材料、特にプラスチック材料、木質材料、及びオーバーレイ紙付及びオーバーレイ紙なし積層体の製造方法であって、
項目１３〜２０のいずれか一項に記載の方法を用いて製造された基板又はプレス板（２）が使用されることを特徴とする方法。
［２３］
製造される前記板の面積は１ｍ２以上であることを特徴とする項目２２に記載の方法。
［２４］
板状材料は、特にプレス板（２）に面する表面領域に、１０００〜１８００のビッカース硬度を有する粒子を含むことを特徴とする項目２２又は２３のいずれかに記載の方法。
［２５］
板状材料は、特にプレス板（２）に面する表面領域に、コランダム又は酸化アルミニウムＡｌ２Ｏ３を含むことを特徴とする項目２２又は２３のいずれかに記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空室（３）と、前記真空室内に配置された電極（４００〜４０９）とを含み、前記電極は運転時にプレス板（２）に対して実質的に平行に、かつコーティングすべき前記プレス板の面に向い合わせに位置決めされる、プレス板（２）をプラズマコーティングするための装置（１００〜１０３）を使用する方法であって、
前記電極（４００〜４０９）はセグメント化され、かつ前記電極セグメント（５００〜５１２）のそれぞれは電気エネルギー源（７００〜７０２）に対する固有の接続部（６）を備えることを特徴とする方法。
【請求項２】
前記装置（１００〜１０３）の個別の電極セグメント（５０１、５０４、５０５）は、互いに絶縁されていることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記装置（１００〜１０３）の個別の電極セグメント（５０２、５０３）は、狭いウェブ（９）を介して、又は限定されたオーム抵抗を介して互いに接続されていることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記装置（１００〜１０３）の個別の電極セグメント（５１０）は、狭いウェブを介して、又は限定されたオーム抵抗を介して少なくとも１つのエネルギー源（７００）に接続されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項５】
上記接続部（６）を介して電極セグメント（５００〜５１２）に接続され、互いに独立して制御／調整可能な複数のエネルギー源（７０１、７０２）を前記装置（１００〜１０３）が有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項６】
前記装置（１００〜１０３）の電極セグメント（５１０）は、その他のエネルギー源（７０１〜７０６）から独立して制御／調整可能な１つの個別のエネルギー源（７０１〜７０６）に接続されていることを特徴とする請求項５に記載の方法。
【請求項７】
エネルギー源（７０１、７０２）を電極セグメント（５０８）のグループ（１３０１、１３０２）の１つの個別の電極セグメント（５０８）へ交互に切り替え、前記グループ（１３０１、１３０２）のその他の前記電極セグメント（５０８）の前記接続部（６）を最初に挙げた前記電極セグメント（５０８）から絶縁された開状態に切り替えるように構成された制御部（１１０１）を前記装置（１００〜１０３）が有することを特徴とする請求項５に記載の方法。
【請求項８】
前記装置（１００〜１０３）の電極セグメント（５００〜５１２）の面積は１ｍ２以下であることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項９】
前記装置（１００〜１０３）のエネルギー源（７００〜７０６）は電流源として構成されていることを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１０】
電極セグメント（５００〜５１２）毎の最大電流強度は１５０Ａ以下であることを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記装置（１００〜１０３）の電極セグメント（５０３）は格子状に形成されていることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１２】
前記装置（１００〜１０３）の電極（４０５）はその周縁領域においてコーティングすべきプレス板（２）の方向に湾曲していることを特徴とする請求項１〜１１のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１３】
プレス板（２）をプラズマコーティングする方法であって、
ａ）真空室（３）内においてコーティングすべきプレス板（２）を、真空室（３）内に配置されてセグメント化された電極（４００〜４０９）に向い合わせに、かつ前記電極に対して実質的に平行に配置する工程、
ｂ）電極（４００〜４０９）の電極セグメント（５００〜５１２）に割当てられた少なくとも１つのエネルギー源（７０１〜７０６）を作動させる工程、及び
ｃ）プレス板ブランク（２）上にプラズマ励起化学気相成長を生じさせるガスを導入する工程を有することを特徴とする方法。
【請求項１４】
電極セグメント（５００〜５１２）毎に１つのエネルギー源（７０１〜７０６）がそれぞれ作動され、その他のエネルギー源（７０１〜７０６）から独立して制御／調整されることを特徴とする請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
エネルギー源（７０１、７０２）は電極セグメント（５０８）のグループ（１３０１、１３０２）の１つの個別の電極セグメント（５０８）に交互に切り替えられ、前記グループ（１３０１、１３０２）のその他の前記電極セグメント（５０８）の前記接続部（６）は最初に挙げた前記電極セグメント（５０８）から絶縁された開状態に切り替えられることを特徴とする請求項１３に記載の方法。
【請求項１６】
作動された前記エネルギー源（７０１、７０２）に割当てられる前記電極セグメント（５０８）の選択はランダムに行われることを特徴とする請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
市松模様の白色区画に対応するよう配置された電極セグメント（５０９）と市松模様の黒色区画に対応するよう配置された電極セグメント（５０９）とに交互に電気エネルギーが供給されることを特徴とする請求項１５に記載の方法。
【請求項１８】
電極セグメント（５１１）とコーティングすべき前記プレス板（２）との間の電圧が測定され、前記電圧の降下が検出された場合、前記エネルギー供給は制限されるか、又は遮断されることを特徴とする請求項１３〜１７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１９】
前記電極（４０９）の周縁に設置された電極セグメント（５１２）は、内側にある電極セグメント（５１２）よりも高い電位に設定されることを特徴とする請求項１３〜１８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２０】
前記電極（４０９）の周縁に設置された電極セグメント（５１２）は、内側にある電極セグメント（５１２）よりも高い電流強度に設定／制御されることを特徴とする請求項１３〜１９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２１】
単層又は複層の板状材料、特にプラスチック材料、木質材料、及びオーバーレイ紙付及びオーバーレイ紙なし積層体の製造方法であって、
請求項１３〜２０のいずれか一項に記載の方法を用いて
ａ）真空室（３）内においてコーティングすべき基板／プレス板（２）を、真空室（３）内に配置されてセグメント化された電極（４００〜４０９）に向い合わせに、かつ前記電極に対して実質的に平行に配置する工程、
ｂ）電極（４００〜４０９）の電極セグメント（５００〜５１２）に割当てられた少なくとも１つのエネルギー源（７０１〜７０６）を作動させる工程、及び
ｃ）基板／プレス板ブランク（２）上にプラズマ励起化学気相成長を生じさせるガスを導入する工程により製造された基板又はプレス板（２）が使用されることを特徴とする方法。
【請求項２２】
製造される前記板の面積は１ｍ２以上であることを特徴とする請求項２１に記載の方法。
【請求項２３】
板状材料は、特にプレス板（２）に面する表面領域に、１０００〜１８００のビッカース硬度を有する粒子を含むことを特徴とする請求項２１又は２２のいずれかに記載の方法。
【請求項２４】
板状材料は、特にプレス板（２）に面する表面領域に、コランダム又は酸化アルミニウムＡｌ２Ｏ３を含むことを特徴とする請求項２１又は２２のいずれかに記載の方法。
【国際調査報告】
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