(57)【要約】  投影リソグラフィのための照明光学ユニット（３２）は、結像される物体を配置することができる物体視野（５）を照明光（１４）で照明するように機能する。照明光学ユニットは、照明光（１４）のための光源の放出光を集光するためのコレクターを有する。コレクターは、光源からの照明光（１４）を中間フォーカス（１６）に伝達するように配置される。照明光学ユニット（３２）は、各々が複数のファセット（２２，２３）を有する視野ファセットミラー（２０）と瞳ファセットミラー（２１）とを更に有する。視野ファセット（２２）は、伝達光学ユニット（２１）によって物体視野（５）に結像される。これに加えて、照明光学ユニット（３２）は、個々に駆動される方式で傾斜可能な個々のミラーを有し、照明ビーム経路（２６）内で視野ファセットミラー（２０）の上流かつ中間フォーカス（１６）の下流に配置された個々のミラーアレイ（１７）を有する。中間フォーカス（１６）は、個々のミラーのうちの少なくとも１つと視野ファセット（２２）のうちの少なくとも１つとによって各々が形成され、かつ照明光（１４）の部分ビームを瞳ファセットミラー（２１）が置かれた空間領域（２５）内に案内する照明チャネル（２４）を通じて結像される。これは、柔軟な方式で設計することができ、かつ予め決められた値に容易に適応可能である結像される物体の照明をもたらす。【選択図】図６
2015523720.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
結像される物体（７）を配置することができる物体視野（５）を照明光（１４）で照明するための投影リソグラフィのための照明光学ユニット（４；３２；３７；３９）であって、
前記照明光（１４）のための光源（３）の放出光を集光するためのコレクター（１５）を含み、
前記コレクター（１５）は、それが前記光源（３）からの前記照明光（１４）を中間フォーカス（１６）内に伝達するように配置され、
複数の視野ファセット（２２）を有する視野ファセットミラー（２０）を含み、
複数の瞳ファセット（２３）を有する瞳ファセットミラー（２１）を含み、
前記視野ファセット（２２）は、伝達光学ユニット（２１；３８）によって前記物体視野（５）内に結像され、
個々に駆動される方式で傾斜可能な個々のミラー（１８）を有し、照明ビーム経路（２６）内で前記視野ファセットミラー（２０）の上流に配置された個々のミラーアレイ（１７）を含み、
前記個々のミラーアレイ（１７）は、前記照明ビーム経路（２６）内で前記中間フォーカス（１６）の下流に配置され、
前記個々のミラー（１８）のうちの少なくとも１つと前記視野ファセット（２２）のうちの少なくとも１つとによって各々が形成され、かつ前記照明光（１４）の部分ビームを前記瞳ファセットミラー（２１）が置かれた空間領域（２５）内に案内する照明チャネル（２４）を通じて前記中間フォーカス（１６）が結像されるような構成を有する、
ことを特徴とする照明光学ユニット。
【請求項２】
前記照明ビーム経路（２６）内で前記中間フォーカス（１６）と前記個々のミラーアレイ（１７）の間にある光路（Ａ）が、該照明ビーム経路（２６）内で該個々のミラーアレイ（１７）と前記視野ファセットミラー（２０）の間にある光路（Ｂ）よりも長いことを特徴とする請求項１に記載の結像光学ユニット。
【請求項３】
前記視野ファセット（２２）及び前記瞳ファセット（２３）は、該視野ファセット（２２）のうちの正確に１つと該瞳ファセット（２３）のうちの正確に１つとによって各々が形成され、該ファセット（２２，２３）が前記照明光（１４）の部分ビームを案内するように位置合わせされた照明チャネル（２４）が、各場合に該視野ファセット（２２）と該瞳ファセット（２３）が属するファセット対（２２，２３）に固定的に割り当てられるような配置を有することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の照明光学ユニット。
【請求項４】
視野ファセット対（２２ｉ，２２ｊ）の視野ファセット（２２ｉ，２２ｊ）が、前記瞳ファセットミラー（２１）の中心（Ｚ２１）に関して点対称に配置された瞳ファセット（２３ｉ，２３ｊ）を有する瞳ファセット対（２３ｉ，２３ｊ）に割り当てられることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の照照明光学ユニット。
【請求項５】
前記視野ファセット（２２）の少なくとも一部が、前記個々のミラー（１８）を通じて視野ファセット区画（２２ａから２２ｄ）内で前記照明光（１４）を用いて照明されるような配置を特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の照照明光学ユニット。
【請求項６】
前記照明光（１４）の部分ビームを案内するように位置合わせされた視野ファセット（２２）及び瞳ファセット（２３）によって各々が形成された照明チャネル（２４）に沿った前記照明ビーム経路（２６）の入射角（α，β）が、該視野ファセット（２２）及び該瞳ファセット（２３）上の多層反射コーティングのブリュースター角から最大で２５°だけ偏角することを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の照照明光学ユニット。
【請求項７】
前記視野ファセットミラー（２０）は、前記瞳ファセットミラー（２１）と前記物体視野（５）の間の前記照明ビーム経路（２６）の区画に案内される前記照明光（１４）のための少なくとも１つの通路開口部（３６）を有する視野ファセットミラー担体（３５）上に配置されることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の照照明光学ユニット。
【請求項８】
前記照明光（１４）は、前記中間フォーカス（１６）と前記個々のミラーアレイ（１７）との間で少なくとも１つの通路開口部（３６）を通して案内されることを特徴とする請求項７に記載の結像光学ユニット。
【請求項９】
前記照明光（１４）は、前記瞳ファセットミラー（２１）の下流に配置された前記伝達光学ユニットの構成要素（３８）と前記物体視野（５）との間で前記少なくとも１つの通路開口部（３６）を通して案内されることを特徴とする請求項７又は請求項８に記載の照明光学ユニット。
【請求項１０】
請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の照明光学ユニット（４；３２；３７；３９）と、
露光されるウェーハ（１２）を配置することができる像視野（１０）内に物体視野（５）を結像するための投影光学ユニット（９）と、
を含むことを特徴とする照明系。
【請求項１１】
請求項１０に記載の照明系を含み、
ＥＵＶ光源（３）を含む、
ことを特徴とする投影露光装置（１）。
【請求項１２】
結像される物体（７）を物体視野（５）に装着するための物体ホルダ（８）を含み、
物体変位方向（ｙ）に沿った前記物体ホルダ（８）の制御された変位のための物体変位ドライブ（８ａ）を含み、
ウェーハ（１２）を像視野（１０）に装着するためのウェーハホルダ（１３）を含み、
前記物体変位方向（ｙ）に沿った前記ウェーハホルダ（１３）の制御された変位のためのウェーハ変位ドライブ（１３ａ）を含む、
ことを特徴とする請求項１１に記載の投影露光装置。
【請求項１３】
照明光学ユニット（４；３２；３７；３９）が、照明視野ファセット区画（２２ａから２２ｄ）のファセット区画像（５ａから５ｄ）が前記物体視野の物体視野高さ（５ｘ）全体にわたって前記物体変位方向（ｙ）に関して横断方向に延びる該物体視野（５）内のストリップを表すように具現化されることを特徴とする請求項１２に記載の投影露光装置。
【請求項１４】
構造化構成要素を生成する方法であって、
感光材料からなる層が少なくとも部分的に塗布されたウェーハ（１２）を与える段階と、
結像される構造を有するレチクル（７）を与える段階と、
請求項１１から請求項１３のいずれか１項に記載の投影露光装置（１）を与える段階と、
前記投影露光装置（１）を用いて前記レチクル（７）の少なくとも一部を前記ウェーハ（１２）の前記層の領域上に投影する段階と、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項１５】
請求項１４に記載の方法によって生成された構成要素。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
ドイツ特許出願ＤＥ  １０  ２０１２  ２０９  １３２．７の内容が引用によって組み込まれている。
【０００２】
本発明は、結像される物体を配置することができる物体視野を照明光で照明するための投影リソグラフィのための照明光学ユニットに関する。本発明は、更に、この種の照明光学ユニットを含む照明系、この種の照明系を含む投影露光装置、そのような投影露光装置を用いて微細又はナノ構造化構成要素を生成するための生成方法、及びそのような生成方法によって生成された微細又はナノ構造化構成要素に関する。
【背景技術】
【０００３】
冒頭に示したタイプの照明光学ユニットは、ＤＥ  １０  ２００７  ０４１  ００４  Ａ１、ＷＯ  ２０１０／０４９０７６  Ａ２、及びＷＯ  ２００９／０９５０５２  Ａ１から公知である。ＵＳ  ２０１１／０  ００１  ９４７  Ａ１及びＵＳ  ６  １９５  ２０１  Ｂ１の各々は、物体視野を照明するための投影リソグラフィのための視野ファセットミラー及び瞳ファセットミラーを含む照明光学ユニットを記載している。個々のミラーアレイを含む照明光学ユニットは、ＷＯ  ２００９／１００  ８５６  Ａ１から公知である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】ＤＥ  １０  ２０１２  ２０９  １３２．７
【特許文献２】ＤＥ  １０  ２００７  ０４１  ００４  Ａ１
【特許文献３】ＷＯ  ２０１０／０４９０７６  Ａ２
【特許文献４】ＷＯ  ２００９／０９５０５２  Ａ１
【特許文献５】ＵＳ  ２０１１／０  ００１  ９４７  Ａ１
【特許文献６】ＵＳ  ６  １９５  ２０１  Ｂ１
【特許文献７】ＷＯ  ２００９／１００  ８５６  Ａ１
【特許文献８】ＥＰ  １  ２２５  ４８１  Ａ
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明が対処する問題は、結像される物体の照明を柔軟にし、かつ予め決められた値に容易に適応可能にすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明により、この問題は、照明光のための光源の放出光を集光するためのコレクターを含み、コレクターが、光源からの照明光を中間フォーカスに伝達するように配置され、複数の視野ファセットを有する視野ファセットミラーを含み、複数の瞳ファセットを有する瞳ファセットミラーを含み、視野ファセットが、伝達光学ユニットによって物体視野に結像され、個々に駆動される方式で傾斜可能な個々のミラーを有して照明ビーム経路内で視野ファセットミラーの上流に配置された個々のミラーアレイを含み、個々のミラーアレイが、照明ビーム経路内で中間フォーカスの下流に配置され、個々のミラーのうちの少なくとも１つと視野ファセットのうちの少なくとも１つとによって各々が形成され、かつ照明光の部分ビームを瞳ファセットミラーが置かれた空間領域内に案内する照明チャネルを通じて中間フォーカスが結像されるような構成を有する結像される物体を配置することができる物体視野を照明光で照明するための投影リソグラフィのための照明光学ユニットを用いて解決される。
【０００７】
本発明により、視野ファセットミラーの上流に配置された個々のミラーアレイは、物体視野照明の設計において新しい自由度をもたらすことが認識されている。一例として、視野ファセット及び／又は瞳ファセットにおいて特定のターゲット反射角を達成することが可能である。これは、ファセットで反射中の偏光効果のターゲットを定めた利用に対して使用することができる。個々のミラーアレイは、多ミラーアレイ又はマイクロミラーアレイとして具現化することができ、特にマイクロ電気機械システム（ＭＥＭＳ）として具現化することができる。視野ファセットミラーのファセット及び／又は瞳ファセットミラーのファセットは、固定ファセット、すなわち、異なる傾斜位置の間で傾斜させることができないファセットとして具現化することができる。視野ファセットミラーの視野ファセットは、間隙空間がその間に存在する不連続ファセット領域に配置することができる。互いから分離された個々のファセット領域は、互いに対して大きい自由度数を有するように配置することができる。ファセット領域の不連続配置は、特に、視野ファセットミラーの上流の照明光のビーム経路が予め異なる部分ビームに分割されている場合に使用することができる。視野ファセットミラーの視野ファセットは、全体として、これらの視野ファセットに個々のミラーアレイの個々のミラーが小さい絶対傾斜角を有する個々のミラーの傾斜位置によって到達するように配置することができる。個々のミラーに対して照明光が望ましい視野ファセットに到達するためのそのようなそれぞれの照明幾何学形状を得るのに必要な傾斜角が各場合に可能な限り迅速に得られるように、中間フォーカスを異なる瞳ファセット上に結像する視野ファセットを配置することができる。瞳ファセットミラーの瞳ファセットは、六方最密充填で配置することができる直交配置、すなわち、行列で配置することができ、又は回転対称に配置することができる。瞳ファセットの配置は、例えば、歪曲効果を補正するために変形することができる。瞳ファセットミラーは、伝達光学ユニットの結像組成部分とすることができ、例えば、凹及び／又は凸の瞳ファセットを有することができる。これに代えて、瞳ファセットは、純粋な偏向ミラーとして構成することができる。この場合に、伝達光学ユニットは、瞳ファセットミラーの下流に配置することができる。視野ファセットミラーは、数千個の視野ファセットを有することができる。瞳ファセットミラーは、数千個の瞳ファセットを有することができる。視野ファセットの個数は、瞳ファセットの個数に等しいとすることができる。個々のミラーアレイの個々のミラーは、平面の反射面を有することができる。個々のミラーの個数は、視野ファセットの個数に少なくとも等しいとすることができる。個々のミラーアレイの個々のミラーの個数は、視野ファセットの個数よりもかなり多いとすることができ、例えば、１０倍又は更に多いとすることができる。照明光学ユニットは、個々のミラーアレイが瞳ファセット上に結像されないように構成することができる。照明光学ユニットは、個々のミラーアレイが視野ファセット上に結像されないように構成することができる。個々のミラーアレイの補正の個々のミラーは、物体視野又は内部に物体視野が結像される像視野にわたる強度分布の補正及び／又は照明角度分布の補正に向けて回転させて離すことによって使用することができる。瞳ファセットの反射面は、物体視野内への視野ファセットの結像の結像収差を補正するための補正非球面として構成することができる。この照明光学ユニットを使用することにより、照明光の偏光制御を提供することができる。特に、物体構造で回折される照明光の回折角によって予め決定される回折平面が、照明光の偏光方向に対してそれぞれの回折平面に対する法線から２０°以下、１５°以下、１０°以下、又は更に５°以下だけ偏角する角度を形成するような直線偏光照明光を用いて、物体構造が結像される投影リソグラフィのための照明及び結像の幾何学形状をもたらすことができる。結像を最適化するのに、これを使用することができる。
【０００８】
視野ファセットミラーの視野ファセットは、物体視野内への視野ファセットの結像中の結像効果を少なくとも部分的に補償するために物体視野の形態から逸脱させることができる。この目的のために、視野ファセットミラーは、複数の視野ファセット形態タイプを有することができ、この場合に、個々の視野ファセット形態タイプは互いに異なる。
【０００９】
照明ビーム経路内で中間フォーカスと個々のミラーアレイの間にある光路が、照明ビーム経路内で個々のミラーアレイと視野ファセットミラーの間の光路よりも長い実施形態は、照明光学ユニットの特定のエタンデュを最適化するのに特に適することが見出されている。
【００１０】
視野ファセット及び瞳ファセットが照明光の部分ビームを案内するように位置合わせされる場合に、これらの視野ファセット及び瞳ファセットが視野ファセットのうちの正確に１つと瞳ファセットのうちの正確に１つとによって各々が形成された照明チャネルが、各場合に、視野ファセットと瞳ファセットとが属するファセット対に固定的に割り当てられるような配置を有する固定割り当ては、傾斜可能ファセットを用いない視野ファセットミラー及び／又は瞳ファセットミラーの一体的な設計を可能にする。この場合に、個々のミラーアレイの個々のミラーの傾斜機能を用いて、照明チャネルのうちのどれが照明光による入射を受けるかを選択することができる。この場合に、照明チャネルは、照明光によって完全に充填する必要はなく、例えば、照明チャネルの視野ファセットの一部のみを照明することで十分とすることができる。
【００１１】
視野ファセット対の視野ファセットが、瞳ファセットミラーの中心に関して点対称に配置された瞳ファセットを有する瞳ファセット対に割り当てられる点対称配置は、互いに対応する反射角又はこのファセット対の照明チャネルに対する互いに対応する影響を有する照明チャネルの対形成の可能性を導く。照明を対称化するのに、これを使用することができる。
【００１２】
視野ファセットの少なくとも一部が、個々のミラーを経由した照明光によって視野ファセット区画内で照明されるような配置による区画的照明の場合に、照明視野ファセット区画の像は、物体視野内で重なることができる。しかし、これは必須ではない。照明視野ファセット区画は、例えば、反射面全域の数分の１、例えば、２分の１、３分の１、４分の１、５分の１、又は１０分の１に対応する区域広がりを有することができる。特に、個々のミラーによるストリップ毎の視野ファセットの区画的照明が可能である。予め決められたエタンデュを有する光源の場合に、区画的照明は、駆動可能照明チャネルの数を増加することを可能にし、この場合に、これらの照明チャネルは、各場合に照明視野ファセット区画から反射された照明光による入射を部分的にしか受けない。その結果は、照明中、特に走査積分結像中のより均一な瞳の充填の可能性である。
【００１３】
照明光の部分ビームを案内するように位置合わせされた視野ファセット及び瞳ファセットによって各々が形成された照明チャネルに沿った照明ビーム経路内で視野ファセット及び瞳ファセット上の多層反射コーティングのブリュースター角から最大で２５°だけ偏角する入射角は、直線偏光照明光のターゲットを定めた設定を可能にする。それによって特に照明光線の偏光方向は、各場合に、照明される物体上への照明光線の入射平面に対して垂直である物体視野のタンジェンシャル照明を得ることができる。特に、全ての照明チャネルが、この入射角条件を満たすことができる。
【００１４】
照明ビーム経路のうちで瞳ファセットミラーと物体視野の間の区画内に案内される照明光に対する少なくとも１つの通路開口部を有する視野ファセットミラー担体上での視野ファセットミラーの配置は、視野ファセットミラー装置の変形の可能性の一例である。特定の反射角条件を満たすことを可能にする幾何学形状が生じる。
【００１５】
照明光が、中間フォーカスと個々のミラーアレイとの間で少なくとも１つの通路開口部を通じて案内され、かつ照明光が、瞳ファセットミラーの下流に配置された伝達光学ユニットの構成要素と物体視野との間で少なくとも１つの通路開口部を通じて案内される照明光案内に同じことが相応に適用される。
【００１６】
視野ファセットミラーの視野ファセットは、対称軸に関して回転対称に実施されたファセットミラー担体上に配置することができる。
【００１７】
視野ファセット及び／又は瞳ファセットの各々は、複数の個々のミラーから構成することができる。
【００１８】
ファセットミラー担体又は個々のミラー担体は、リング形方式に具現化することができる。
【００１９】
露光されるウェーハを配置することができる像視野内に物体視野を結像するための照明系の投影光学ユニットは、特に、８倍の縮小を起こすように具現化することができる。それによって特に反射方式からなる物体上への照明光の入射角が制限される。照明系の伝達光学ユニット、特に伝達光学ユニットの中継光学ユニットは、投影光学ユニットの入射瞳が物体視野の上流、特に視野ファセットを物体視野に結像するための伝達光学ユニット（中継光学ユニット）の視野ファセットを結像する要素の上流の照明ビーム経路に配置されるように設計することができる。この場合に、瞳ファセットミラーは、この入射瞳の領域に配置することができる。
【００２０】
そのような照明系とＥＵＶ光源とを含む投影露光装置の利点、及び結像される物体を物体視野内に装着するための物体ホルダを含み、物体変位方向に沿った物体ホルダの制御された変位のための物体変位ドライブを含み、ウェーハを像視野内に装着するためのウェーハホルダを含み、物体変位方向に沿ったウェーハホルダの制御された変位のためのウェーハ変位ドライブを含む投影露光装置の利点は、照明光学ユニット及び照明系に関して上述したものに対応する。投影露光装置の照明光学ユニットは、光源によって相応に予め部分的に事前偏光された照明光が照明光学ユニット内で案内され、それによって特に照明光学ユニットによって生成される直線偏光照明光線がこの事前偏光の可能な最大の部分を含むように光源と協働させることができる。それによって投影露光装置の使用光効率が最適化される。
【００２１】
照明視野ファセット区画のファセット区画像が、物体変位方向を横断して物体視野の全物体視野高さにわたって延びる物体視野内のストリップを表すように具現化された照明光学ユニットは、照明設定の選択において変形が豊富な可能性を有する投影露光装置を生成する。選択された瞳領域の均一な充填を提供することができる。ファセット区画像は、物体視野内で重なることができる。しかし、これは必須ではない。ファセット区画像は、物体視野内で互いに隣接することができる。
【００２２】
感光材料からなる層が少なくとも部分的に塗布されたウェーハを与える段階と、結像される構造を有するレチクルを与える段階と、本発明による投影露光装置を与える段階と、投影露光装置を用いてレチクルの少なくとも一部をウェーハの層の領域上に投影する段階とを含む構造化構成要素を生成する方法の利点、及び本方法に従って生成された構成要素の利点は、投影露光装置を参照して上述したものに対応する。
【００２３】
図面を参照して本発明の例示的実施形態を以下により詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】互いに前後に斜視的に配置されて各々が装置の機能構成要素を示す機能平面によって投影リソグラフィのための投影露光装置を非常に概略的に示す図である。
【図２】図１に記載の投影露光装置の照明光学ユニットの個々のミラーアレイからの抜粋を同じく略例示する側面図である。
【図３】図１に記載の投影露光装置の照明光学ユニットによってストリップ毎に照明される物体視野の平面図である。
【図４】二重極設定の極の範囲にある照明瞳ファセットを個々に例示する図１に記載の投影露光装置の照明光学ユニットの瞳ファセットミラーからの抜粋の平面図である。
【図５】図１に記載の投影露光装置の照明光学ユニットの中間フォーカスと個々のミラーアレイと視野ファセットミラーとの間の距離関係を示す概略図である。
【図６】投影露光装置における中間フォーカスと物体視野又は照明視野との間の照明光ビーム案内領域内での使用のための照明光学ユニットの更に別の実施形態からの抜粋を示す略子午断面図である。
【図７】図６の視線方向ＶＩＩからの照明光学ユニットの視野ファセットミラー及び瞳ファセットミラーの配置の図である。
【図８】照明光学ユニットの更に別の実施形態を示す図６と類似の図である。
【図９】照明光学ユニットの更に別の実施形態を示す図６と類似の図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
図１は、マイクロリソグラフィのための投影露光装置１を非常に概略的に示している。この図は、互いに前後に配置されて機能構成要素が内部に配置された投影露光装置１の複数の機能平面を斜視図に示している。投影露光装置１を通る実際のビーム経路は、機能構成要素の反射効果に起因して、図１に記載の見かけ上透過的な表現とは異なって進むことは言うまでもない。
【００２６】
投影露光装置１の照明系２は、放射線源又は光源３に加えて、物体平面６の物体視野５を露光するための照明光学ユニット４を有する。
【００２７】
図面内の位置関係の説明を簡易化するために、以下では直交ｘｙｚ座標系を使用する。図１では、ｘ軸は右に向けて延びている。図１では、ｙ軸は上方に延びている。ｚ軸は、ｘｙ平面と垂直に延び、図１では、投影露光装置の機能構成要素の中心を相互接続して投影露光装置１の光学構成要素の光軸と区画的に一致することができる中心軸Ｚに沿って斜視的に延びている。ｚ軸は、物体平面６と垂直に延びている。
【００２８】
下記の図のうちの特定の図には局所直交ｘｙｚ座標系を示しており、その場合にｘ軸は、図１に記載のｘ軸と平行に延び、ｙ軸は、このｘ軸と共にそれぞれの光学要素の光学区域を張る。局所ｘｙｚ座標系のｙ軸は、図１に記載の広域直交ｘｙｚ座標系のｙ軸に対して傾斜している場合がある。
【００２９】
物体視野５は、例えば、１３／１のｘ／ｙアスペクト比を有する矩形又は弓形の方式で設計することができる。微細又はナノ構造化半導体構成要素を生成するために投影露光装置１を用いて投影される構造を担持する物体視野５に配置された反射レチクル７は、照明光学ユニット４を用いて露光される。レチクル７は、図１に破線形式に示す物体ホルダ又はレチクルホルダ８によって担持され、物体変位ドライブ８ａを用いて駆動される方式でｙ方向に変位可能である。図１には極めて概略的にしか例示していない投影光学ユニット９は、物体視野５を像平面１１の像視野１０に結像するように機能する。照明光学ユニット４と投影光学ユニット９は、投影露光装置１の光学構成要素の全体としての照明系を形成する。レチクル７上の構造は、像平面１１の像視野１０の領域に配置されたウェーハ１２の感光層上に結像される。ウェーハ１２は、同じく破線形式に示しており、投影露光中にレチクルホルダ８と同期してウェーハ変位ドライブ１３ａを用いて駆動される方式でｙ方向に変位されるウェーハホルダ１３によって担持される。実用上では、レチクル７及びウェーハ１２は、物体視野５及び像視野１０よりも実際にかなり大きい。
【００３０】
投影露光装置１の作動中に、レチクル７とウェーハ１２がｙ方向に同期して走査される。投影光学ユニット９の結像スケールに基づいて、レチクル７をウェーハ１２に対して反対方向に走査することができる。
【００３１】
放射線源３は、５ｎｍと３０ｎｍの間の範囲に放出使用放射線を有するＥＵＶ放射線源である。放射線源３は、プラズマ光源、例えば、ＧＤＰＰ光源（ガス放電生成プラズマ）又はＬＰＰ光源（レーザ生成プラズマ）とすることができる。他のＥＵＶ放射線源、例えば、シンクロトロン又は自由電子レーザ（ＦＥＬ）に基づくものも可能である。
【００３２】
放射線源３から射出され、図１には一点鎖線の主光線によって示すＥＵＶ放射線ビーム１４は、コレクター１５によってフォーカスされる。対応するコレクターは、例えば、ＥＰ  １  ２２５  ４８１  Ａから公知である。以下では、ＥＵＶ放射線ビーム１４を使用放射線、照明光、又は結像光とも表している。
【００３３】
コレクター１５の下流では、ＥＵＶ放射線ビーム１４は、中間フォーカス１６を通って伝播し、その後に個々のミラーアレイ１７上に入射する。個々のミラーアレイ１７は、マイクロ電気機械システム（ＭＥＭＳ）として具現化される。個々のミラーアレイ１７は、行列に似た方式で行と列のアレイに配置された複数の個々のミラー１８を有し、図１にはこれらを略示している。個々のミラー１８は、正方形又は矩形の反射面を有することができる。個々のミラー１８は、各場合にアクチュエータ１９に接続され（図２を参照されたい）、それぞれの個々のミラー１８の反射平面内の互いに垂直な２つの軸の周りに傾斜可能であるように設計される。アクチュエータ１９は、個々のミラー１８の個々の傾斜に向けてアクチュエータを駆動することができる中心制御デバイス１９ａに、例示していない方式で信号接続される。
【００３４】
図面には、個々のミラーアレイ１７の個々のミラー１８の個数を実際の個数よりも極めて少なく示している。全体として、個々のミラーアレイ１７は、約１０００００個の個々のミラー１８を有する。個々のミラー１８のサイズに基づいて、個々のミラーアレイは、例えば、１０００個、５０００個、７０００個、又は更に数十万個、例えば、５０００００個の個々のミラー１８を有することができる。これに代えて、個々のミラー１８の個数は、かなり少ないとすることができ、例えば、数百個の個々のミラー、例えば、２００個、２５０個、３００個、又は５００個の個々のミラーとすることができる。非常に多くの個々のミラー１８が存在する場合に、これらの個々のミラーを群に組み合わせることができ、この場合に、同一の個々のミラーの傾斜角は、各場合に個々のミラー群のうちの１つの範囲に存在する。個々のミラー１８は、ＥＵＶ使用光１４のそれぞれの入射角及び波長に対して最適化された高反射多層を有することができる。
【００３５】
個々のミラーアレイ１７の上流には、放射線源３の放出光のうちで投影露光に使用することができない他の波長成分から使用ＥＵＶ放射線ビーム１４を分離するスペクトルフィルタを配置することができる。スペクトルフィルタは例示していない。
【００３６】
個々のミラーアレイ１７の下流では、ＥＵＶ放射線ビーム１４は、視野ファセットミラー２０上に入射する。視野ファセットミラー２０は、光学平面６に対して光学的に共役な照明光学ユニット４の平面に配置される。
【００３７】
視野ファセットミラー２０の下流では、ＥＵＶ放射線ビーム１４は、瞳ファセットミラー２１から反射される。瞳ファセットミラー２１は、照明光学ユニット４の入射瞳平面内、又はこの平面に対して光学的に共役な平面内のいずれかに位置する。視野ファセットミラー２０及び瞳ファセットミラー２１は、各場合に、フライアイセルとも表し、下記でより詳細に説明する複数のファセットから構成される。視野ファセットミラー２０の視野ファセット２２は、瞳ファセットミラー２１によって形成されるか、又は瞳ファセットミラー２１と物体視野５の間の更に別の構成要素が属するかのいずれかである伝達光学ユニットによって物体視野５に結像される。この場合に、視野ファセット２２の各々は、照明光１４によって完全に照明された場合に、全体の物体視野５に結像される。視野ファセット２２は、図１に略示しており、改めてより具体的な詳細を示すことはしないファセットミラー担体に配置される。
【００３８】
ＥＵＶ放射線ビーム１４は、７０°よりも小さい入射角で、すなわち、かすめ入射ではなく個々のミラーアレイ１７上に入射する。原理的には、かすめ入射も可能である。視野ファセットミラー２０の視野ファセット２２及び瞳ファセットミラー２１の瞳ファセット２３は、使用光１４の波長に同調された多層反射コーティングを担持する。瞳ファセット２３は、丸形、六角形、又は矩形の方式に具現化することができる。
【００３９】
図１には、ファセットミラー２０、２１の視野ファセット２２のうちの一部及び瞳ファセット２３のうちの一部だけを拡大方式で概略的に誇張して例示している。視野ファセットミラー２０は、数千個の視野ファセット２２、例えば、３０００個の視野ファセット２２を有する。瞳ファセットミラー２１は、数千個の瞳ファセット２３、例えば、３０００個の瞳ファセット２３を有する。視野ファセットミラー２０の視野ファセット２２の個数は、瞳ファセットミラー２１の瞳ファセット２３の個数に等しいとすることができる。
【００４０】
２つのファセットミラー２０、２１は、視野ファセット２２及び瞳ファセット２３上の多層反射コーティングのブリュースター角から最大で２５°だけ偏角した入射角での入射を受ける。このブリュースター入射角は、例えば、４３°とすることができる。
【００４１】
瞳ファセットミラー２１は、投影光学ユニット９の瞳平面を構成し、又は光学投影ユニット９の瞳平面に対して光学的に共役な照明光学ユニット４の平面に配置される。瞳ファセットミラー２１及び／又は伝達光学ユニットを用いて、視野ファセットミラー２０の視野ファセット２２は、相互重ね合わせ方式で物体視野５に結像される。
【００４２】
視野ファセットミラー２０の視野ファセット２２は、物体視野５のｘ／ｙアスペクト比に対応するｘ／ｙアスペクト比を有する。従って、視野ファセット２２は、１よりも大きいｘ／ｙアスペクト比を有する。視野ファセット２２のファセット長辺は、ｘ方向に延びている。視野ファセット２２のファセット短辺は、ｙ方向（走査方向）に延びている。
【００４３】
照明光学ユニット４の配置は、各場合に個々のミラー１８のうちの少なくとも１つと視野ファセット２２のうちの少なくとも１つとによって形成され、かつ照明光１４の部分ビームを案内する照明チャネル２４を通じて中間フォーカス１６が、瞳ファセット２３が置かれた空間領域内に結像されるようなものである。すなわち、瞳ファセット２３の各々の上に中間フォーカス像２５が生じる。幾つの個々のミラー１８がそれぞれの照明チャネル２４に寄与するかに応じて、この中間フォーカス像２５は、照明光１４が個々のミラー１８のそれぞれの１を通じてそれぞれの瞳ファセット２３上に案内されることに起因して生じる複数の中間フォーカス像の重ね合わせとして生じる可能性がある。この場合に、中間フォーカス像２５は、正確にそれぞれの照明チャネル２４の瞳ファセット２３上に生じる必要はない。中間フォーカス像２５が、特に完全に瞳ファセット２３上に置かれることになるように、それぞれの瞳ファセット２３が中間フォーカス像２５の領域内に置かれる場合は、それで十分である。
【００４４】
瞳ファセット２３が、視野ファセット２２を物体視野５に結像する伝達光学ユニットの組成部分であるか否かに基づいて、瞳ファセット２３は、結像効果を有し、すなわち、特に凹型で設計されるか、又は純粋な偏向ミラー又は平面ミラーとして具現化されるかのいずれかである。瞳ファセットは、照明光学ユニット４の結像収差の補正のための補正非球面を担持することができる。
【００４５】
個々のミラー１８の個数は、視野ファセット２２の個数に少なくとも等しい。図１に記載の実施形態の場合に、個々のミラー１８の個数は、視野ファセット２２の個数よりも実際にかなり多く、特に１０倍多く、又はそれよりも更に一層多いとすることができる。照明光学ユニット４の構成は、個々のミラーアレイ１７が視野ファセット２２上にも瞳ファセット２３上にも結像されないようなものである。
【００４６】
視野ファセット２２及び瞳ファセット２３は、照明光１４の部分ビームを案内するように位置合わせされた視野ファセット２２のうちの正確に１つと瞳ファセット２３のうちの正確に１つとによって各々形成された照明チャネル２４が、各場合に視野ファセット２２及び瞳ファセット２３が属するファセット対２２、２３に固定的に割り当てられるように配置される。従って、視野ファセットミラー２０から始まる照明ビーム経路２６は、照明光学ユニット４内で固定的に予め決定される。個々のミラーアレイ１７の個々のミラー１８の傾斜によってのみ照明の変化がもたらされ、この場合に、個々のミラーアレイ１７は、視野ファセット２２のうちのどれが相応に区画的に照明光１４による入射を受けるかを選択するのに使用される。
【００４７】
固定照明チャネル割り当ての範囲で、視野ファセット対２２ｉ，ｊの隣接視野ファセット２２は、瞳ファセットミラー２１の中心Ｚ２１に関して点対称に配置された瞳ファセット２３ｉ，ｊを有する瞳ファセット対２３ｉ，ｊに割り当てられる。しかし、そのような隣接割り当ては必須ではない。瞳ファセット対２３ｉ，ｊを視野ファセット対２２ｉ，ｊの視野ファセット２２に割り当てることができ、それによって下記で説明するように、瞳ファセットミラー２１の中心Ｚ２１に隣接して瞳ファセットミラー２１上に投影される方式で進む照明チャネル２４の案内がもたらされる。この目的のために、視野ファセット対２２ｉ，ｊの視野ファセット２２を視野ファセットミラー２０の中心Ｚ２０に関して点対称に配置することができる。
【００４８】
個々のミラーアレイ１７の複数の個々のミラー１８は、対応する個々のミラーの傾斜によって視野ファセット２２の各々に割り当てることができ、特に、ｘ方向に延びる個々のミラーアレイ１７の複数の個々のミラー行は、視野ファセット２２の各々に割り当てることができるので、視野ファセット２２は、個々のミラー１８によって区画的に照明することができる。図１に視野ファセット２２のうちの一例に基づいて示すように、個々のミラーアレイ１７上での個々のミラー１８の対応する行毎の選択により、視野ファセット２２全域にわたってｘ方向に延びるストリップ区画２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄは、それぞれの視野ファセット２２上で互いに独立して、更に視野ファセットミラー２０上でも互いに独立して照明することができる。それによって図３に略示するように、物体視野５上にファセット区画像５ａ、５ｂ、５ｃ、ｔｄがもたらされる。
【００４９】
ファセット区画像５ａから５ｄは、ｘ方向に沿って、すなわち、物体変位方向ｙを横断して物体視野５の全物体視野高さ５ｘにわたって延びる物体視野５内のストリップを表す。ファセット区画像５ａから５ｄは、物体視野５内で重なることができる。しかし、この重ね合わせは必須ではない。ファセット区画像５ａから５ｄは、物体視野５内で互いに直接に隣接する。
【００５０】
照明ファセット区画２２ａから２２ｄは、図示の実施形態では、それぞれの視野ファセット２２の反射面全域の４分の１に対応する区域広がりを有する。照明ファセット区画２２ａから２２ｄは、例えば、それぞれの視野ファセット２２の反射面全域の２分の１、３分の１、４分の１、５分の１、又は他にあらゆる他の割合に対応する異なる区域広がりを有することができる。
【００５１】
図４は、瞳ファセットミラー２１の瞳ファセット担体２７上での瞳ファセット２３の分布に関してスケーリングされた形式でより現実的な配置を示している。瞳ファセットミラー２１の極区画２８の範囲にある瞳ファセット２３のみを示している。極区画２８は、照明光学ユニット４の選択された照明設定のｙ二重極の極のうちの１つを構成する。この照明設定は、物体視野５の照明の照明角度分布を有する。極区画２８内には、合計で１２０個の瞳ファセット２３が配置される。瞳ファセット担体２７の反対側には、対応する極区画が鏡面対称で存在する。従って、「ｙ二重極」照明設定の場合に、合計で２４０個の瞳ファセット２３が、対応する照明チャネル２４を通じて照明され、この場合に、関連付けられた視野ファセット２２が、個々のミラーアレイ１７の対応する傾斜個々のミラー１８を経由する照明光１４による入射を受ける。この場合に、視野ファセット２２の各々は、割り当てられた視野ファセット２２の形態及びｘ／ｙアスペクト比に対応する群形態を有する個々のミラー１８の閉じた群２９による入射を受ける。図１には、そのような個々のミラー群２９は、個々のミラー１８の最上部の行としてハッチング形式で強調表示している。この場合に、それぞれの視野ファセットは、個々のミラー１８によって完全に、すなわち、区画的にではなく照明される。個々のミラー群のうちの１つの範囲にある個々のミラー１８は、照明光１４に対して全て同じ偏向角を有する。
【００５２】
照明光学ユニット４によって同じく生成することができる別の照明設定では、外側担体境界３０とそこから分離した内側担体境界との間の瞳ファセット担体２７上に位置して瞳ファセットミラー２１の中心Ｚ２１に関して同心である瞳ファセット２３のみが照明される。これらの２つの担体境界３０、３１の間の瞳ファセット２３の個数は、例えば、極区画２８内の瞳ファセット２３の個数よりも非常に多く、例えば、２０００個の瞳ファセット２３とすることができる。個々のミラーアレイ１７の個々のミラー１８の対応する傾斜選択により、関連付けられた照明チャネル２４の照明は、この場合に、完全照明視野ファセット２２によって予め決定されず、視野ファセット区画２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、又は２２ｄの領域内でストリップ毎に照明される視野ファセット２２だけによって予め決定される。上述の二重極設定と比較して、環状照明設定の場合に、照明光１４の４分の１のみが照明チャネル２４の各々の中を通過する。担体境界３０、３１の間の瞳ファセットミラー２１の非常に均一な照明が達成される。レチクル７上の物体視野点は、物体視野区画５ａから５ｄを通じての走査中に、各場合に担体境界３０、３１の間に配置された全ての瞳ファセット２３のうちの４分の１に対応する瞳ファセット２３のサブアンサンブルに対応する照明角度分布を「見る」。これら４つの瞳ファセットサブアンサンブルは、互いに相補し合って、担体境界３０と３１の間の全ての瞳ファセット２３の方向からの照明を形成する。従って、走査方向に積分される方式で、考慮されるレチクル点は、担体境界３０と３１の間の瞳ファセット２３の全ての方向からの照明光１４による入射を受ける。
【００５３】
上記に解説した照明の場合に、個々のミラー１８は、物体視野５又は像視野１０にわたる強度分布の補正及び／又は照明角度分布の補正に向けて回転させて離すことによって使用することができる。この場合に、補正の個々のミラー１８は、照明光１４の一部が物体視野５の露光にそれ以降利用可能ではなくなるように、この部分を照明ビーム経路２６の外に目標を定めた方式で案内するように回転されて離される。
【００５４】
図５は、照明ビーム経路内での個々のミラーアレイ１７及び視野ファセットミラー２０の中間フォーカス１６の配置の距離関係を略示している。中間フォーカス１６と個々のミラーアレイ１７の間の光距離Ａは、個々のミラーアレイ１７と視野ファセットミラー２０の間の光距離Ｂよりも大きい。
【００５５】
下記では、図６及び図７を参照して、投影露光装置１の照明光学ユニット４の代わりに使用することができる照明光学ユニットの更に別の実施形態３２の説明を提供する。図１から図５を参照して上述したものに対応する構成要素及び機能は相応に同じ参照番号を伴い、これらに対して再度詳細に解説することはしない。視野ファセットミラー２０は、図６の視線方向ＶＩＩからそれ自体の後部が見える。後部であるにも関わらず、図７は、閲覧者に対面する視野ファセット２２の反射面を有する視野ファセットミラー２０を示している。
【００５６】
照明光学ユニット３２の場合に、個々のミラーアレイ１７は、個々のミラー担体３３の円錐形担持面上に配置される。図６には個々のミラー１８自体を示していない。この担持面の円錐形状は、円錐軸Ｋと担持面の間の円錐角ｋが９０°よりも小さく、特に６０°と８８°の間の範囲にあるようなものである。円錐軸Ｋの交点の領域内にある個々のミラー担体３３の担持面の中心は、担持面の残りの部分に対して最も遠くまで増大している。個々のミラーアレイ１７のこの円錐形配置により、異なる視野ファセット２２の間で切り換えを行う時の個々のミラー１８の最小切り換え角度を達成することが可能である。
【００５７】
下記では、図６に２つの照明チャネル２４ａ、２４ｂに対して示す照明ビーム経路２６を用いて、それぞれの照明チャネル２４ａ、２４ｂのファセット２２及び２３における照明光１４の反射の偏光効果を説明する。視野ファセットミラー２０における反射の前には、照明光１４は、それにも関わらず未偏光状態にあり、又はレチクル照明に関して未定義である部分偏光を有する。
【００５８】
視野ファセット２２における照明光１４の反射は、視野ファセット２２上の多層反射コーティングのブリュースター角度範囲にある入射角αで行われる。この反射角αは、２０°と６５°の間の範囲にある。
【００５９】
照明光１４は、瞳ファセットミラー２１の瞳ファセット２３上でも同じく、瞳ファセット２３上の多層反射コーティングのブリュースター角の範囲、例えば、この場合にも２０°と６５°の間の範囲にある入射角βで入射する。照明チャネル２４が、関連付けられたファセット２２、２３における反射時に中心軸Ｚを含むか又はそれに隣接しているかのいずれかの平面内で案内されるように位置合わせされる場合に、直線偏光光がもたらされる。図６では、これを図６の作図面内で延びる２つの照明チャネル２４ａ及び２４ｂを用いて示しており、この場合に、これらの照明チャネル２４ａ、２４ｂでは、作図面に対して垂直な偏光方向を有する直線偏光照明光がもたらされ、図６ではこれを瞳ファセットミラー２１と物体視野５の間の照明光線上に示す点によって例示している。
【００６０】
図７の概略平面図は、中心軸Ｚに密接する反射平面を有する２つの照明チャネル２４ｃ及び２４ｄにおける偏光効果を示している。各場合の結果は、照明チャネル２４ｃ及び２４ｄのそれぞれの反射平面と垂直に延びる照明光１４の直線偏光である。関連付けられた視野ファセット２２から始まる照明チャネル２４が、中心軸Ｚの近くにある反射平面を予め決定する場合に、中心Ｚの周囲に配置された視野ファセット群３４を用いて対応する偏光Ｐを得ることができる。図７には、それぞれの視野ファセット群３４を用いて得ることができる直線偏光をこれらの視野ファセット群３４に隣接する偏光双方向矢印Ｐに示している。上述のことにより、中心軸Ｚに関して全体的にタンジェンシャルな直線偏光で物体視野５を照明する可能性がもたらされる。
【００６１】
目標を定めた方式で照明チャネル２４を相応に予め決定することにより、それぞれの照明チャネル２４が中心軸Ｚから更に分離して延びる視野ファセット２２と物体視野５の間の照明ビーム経路の反射平面を予め決定することで、楕円形照明偏光又は他に非偏光照明をもたらすことができる。図７には、これを照明チャネル２４ｅに基づいて例示している。
【００６２】
図６及び図７に記載の照明光学ユニット３２の場合に、視野ファセット２２は、照明ビーム経路２６のうちで瞳ファセットミラー２１と物体視野５の間の区画内で案内される照明光１４に対する中心通路開口部３６を有する視野ファセットミラー担体３５上に配置される。
【００６３】
瞳ファセット２３は、照明光学ユニット３２の場合に結像効果を有する。瞳ファセット２３の反射面は、照明光学ユニット３２の場合に図６に例示的に拡大図に抜き出した２つの瞳ファセット２３に基づいて示すように凹型で設計される。
【００６４】
下記では、図８を参照して、投影露光装置１において照明光学ユニット４及び３２それぞれの代わりに使用することができる照明光学ユニットの更に別の実施形態３７の説明を与える。図１から図７、特に図６を参照して上述した構成要素及び機能は同じ参照番号を伴い、これらに対して再度詳細に解説することはしない。
【００６５】
照明光学ユニット３７の場合に、瞳ファセットミラー２１の瞳ファセット２３は、平面方式に具現化される。凹ミラー３８の形態にある中継光学ユニットは、視野ファセットミラー２０の視野ファセットを物体視野５に結像するための伝達光学ユニットとして機能する。
【００６６】
照明光学ユニット３７の場合に、凹ミラー３８による結像の結像収差を補正するために、瞳ファセット２３の反射面を任意的に補正非球面として構成することができる。
【００６７】
下記では、図９を参照して、投影露光装置１において照明光学ユニット４及び３２それぞれの代わりに使用することができる照明光学ユニットの更に別の実施形態３９の説明を与える。図１から図８、特に図６及び図８を参照して上述した構成要素及び機能は同じ参照番号を伴い、これらに対して再度詳細に解説することはしない。
【００６８】
照明光学ユニット３９の照明ビーム経路２６の場合に、照明光１４は、凹ミラー３８と物体視野５の間で通路開口部３６を通じて案内され、この通路開口部３６を通じて、照明光１４は、同じく瞳ファセットミラー２１と凹ミラー３８の間の照明ビーム経路２６内で案内される。
【００６９】
これに加えて、照明光学ユニット３９の場合に、照明光１４は、中間フォーカス１６と個々のミラーアレイ１７との間で通路開口部３６を通じて案内される。
【００７０】
投影露光中に、レチクル７と、ＥＵＶ放射線ビーム１４に対して感光性を有するコーティングを担持するウェーハ１２とが与えられる。露光の前に、照明設定、例えば、上述の二重極設定又は環状設定、又は他に異なる設定、例えば、従来照明設定又は多重極照明設定が設定され、その後に、レチクル７のうちの少なくとも１つの区画が、投影露光装置１を用いてウェーハ１２上に投影される。最後に、ウェーハ１２上でＥＵＶ放射線ビーム１４によって露光された感光層が現像される。微細又はナノ構造化構成要素、例えば、半導体チップ、例えば、メモリチップは、このようにして生成される。
【符号の説明】
【００７１】
１４  ＥＵＶ放射線ビーム
１７  個々のミラーアレイ
２２  視野ファセット
２３  瞳ファセット
３６  中心通路開口部
【図１】
2015523720.tif 000003
【図２】
2015523720.tif 000004
【図３】
2015523720.tif 000005
【図４】
2015523720.tif 000006
【図５】
2015523720.tif 000007
【図６】
2015523720.tif 000008
【図７】
2015523720.tif 000009
【図８】
2015523720.tif 000010
【図９】
2015523720.tif 000011
【手続補正書】
【提出日】平成26年12月4日(2014.12.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
結像される物体（７）を配置することができる物体視野（５）を照明光（１４）で照明するための投影リソグラフィのための照明光学ユニット（４；３２；３７；３９）であって、
前記照明光（１４）のための光源（３）の放出光を集光するためのコレクター（１５）を含み、
前記コレクター（１５）は、それが前記光源（３）からの前記照明光（１４）を中間フォーカス（１６）内に伝達するように配置され、
複数の視野ファセット（２２）を有する視野ファセットミラー（２０）を含み、
複数の瞳ファセット（２３）を有する瞳ファセットミラー（２１）を含み、
前記視野ファセット（２２）は、伝達光学ユニット（２１；３８）によって前記物体視野（５）内に結像され、
個々に駆動される方式で傾斜可能な個々のミラー（１８）を有し、照明ビーム経路（２６）内で前記視野ファセットミラー（２０）の上流に配置された個々のミラーアレイ（１７）を含み、
前記個々のミラーアレイ（１７）は、前記照明ビーム経路（２６）内で前記中間フォーカス（１６）の下流に配置され、
前記個々のミラー（１８）のうちの少なくとも１つと前記視野ファセット（２２）のうちの少なくとも１つとによって各々が形成され、かつ前記照明光（１４）の部分ビームを前記瞳ファセットミラー（２１）が置かれた空間領域（２５）内に案内する照明チャネル（２４）を通じて前記中間フォーカス（１６）が結像されるような構成を有し、
前記照明光（１４）の部分ビームを案内するように位置合わせされた視野ファセット（２２）及び瞳ファセット（２３）によって各々が形成された照明チャネル（２４）に沿った前記照明ビーム経路（２６）の入射角（α，β）が、該視野ファセット（２２）及び該瞳ファセット（２３）上の多層反射コーティングのブリュースター角から最大で２５°だけ偏角する、
ことを特徴とする照明光学ユニット。
【請求項２】
前記照明ビーム経路（２６）内で前記中間フォーカス（１６）と前記個々のミラーアレイ（１７）の間にある光路（Ａ）が、該照明ビーム経路（２６）内で該個々のミラーアレイ（１７）と前記視野ファセットミラー（２０）の間にある光路（Ｂ）よりも長いことを特徴とする請求項１に記載の結像光学ユニット。
【請求項３】
前記視野ファセット（２２）及び前記瞳ファセット（２３）は、該視野ファセット（２２）のうちの正確に１つと該瞳ファセット（２３）のうちの正確に１つとによって各々が形成され、該ファセット（２２，２３）が前記照明光（１４）の部分ビームを案内するように位置合わせされた照明チャネル（２４）が、各場合に該視野ファセット（２２）と該瞳ファセット（２３）が属するファセット対（２２，２３）に固定的に割り当てられるような配置を有することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の照明光学ユニット。
【請求項４】
視野ファセット対（２２ｉ，２２ｊ）の視野ファセット（２２ｉ，２２ｊ）が、前記瞳ファセットミラー（２１）の中心（Ｚ２１）に関して点対称に配置された瞳ファセット（２３ｉ，２３ｊ）を有する瞳ファセット対（２３ｉ，２３ｊ）に割り当てられることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の照明光学ユニット。
【請求項５】
前記視野ファセット（２２）の少なくとも一部が、前記個々のミラー（１８）を通じて視野ファセット区画（２２ａから２２ｄ）内で前記照明光（１４）を用いて照明されるような配置を特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の照明光学ユニット。
【請求項６】
前記照明チャネル（２４）に沿った前記照明ビーム経路（２６）の位置合わせが、各照明チャネル（２４）に対して照明光線の偏光の方向が照明される前記物体（７）上へのこの照明光線の入射平面に垂直である前記物体視野（５）のタンジェンシャル照明が達成されるようなものであることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の照明光学ユニット。
【請求項７】
前記視野ファセットミラー（２０）は、前記瞳ファセットミラー（２１）と前記物体視野（５）の間の前記照明ビーム経路（２６）の区画に案内される前記照明光（１４）のための少なくとも１つの通路開口部（３６）を有する視野ファセットミラー担体（３５）上に配置されることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の照明光学ユニット。
【請求項８】
前記照明光（１４）は、前記中間フォーカス（１６）と前記個々のミラーアレイ（１７）との間で少なくとも１つの通路開口部（３６）を通して案内されることを特徴とする請求項７に記載の結像光学ユニット。
【請求項９】
前記照明光（１４）は、前記瞳ファセットミラー（２１）の下流に配置された前記伝達光学ユニットの構成要素（３８）と前記物体視野（５）との間で前記少なくとも１つの通路開口部（３６）を通して案内されることを特徴とする請求項７又は請求項８に記載の照明光学ユニット。
【請求項１０】
請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の照明光学ユニット（４；３２；３７；３９）と、
露光されるウェーハ（１２）を配置することができる像視野（１０）内に物体視野（５）を結像するための投影光学ユニット（９）と、
を含むことを特徴とする照明系。
【請求項１１】
請求項１０に記載の照明系を含み、
ＥＵＶ光源（３）を含む、
ことを特徴とする投影露光装置（１）。
【請求項１２】
結像される物体（７）を物体視野（５）に装着するための物体ホルダ（８）を含み、
物体変位方向（ｙ）に沿った前記物体ホルダ（８）の制御された変位のための物体変位ドライブ（８ａ）を含み、
ウェーハ（１２）を像視野（１０）に装着するためのウェーハホルダ（１３）を含み、
前記物体変位方向（ｙ）に沿った前記ウェーハホルダ（１３）の制御された変位のためのウェーハ変位ドライブ（１３ａ）を含む、
ことを特徴とする請求項１１に記載の投影露光装置。
【請求項１３】
照明光学ユニット（４；３２；３７；３９）が、照明視野ファセット区画（２２ａから２２ｄ）のファセット区画像（５ａから５ｄ）が前記物体視野の物体視野高さ（５ｘ）全体にわたって前記物体変位方向（ｙ）に関して横断方向に延びる該物体視野（５）内のストリップを表すように具現化されることを特徴とする請求項１２に記載の投影露光装置。
【請求項１４】
構造化構成要素を生成する方法であって、
感光材料からなる層が少なくとも部分的に塗布されたウェーハ（１２）を与える段階と、
結像される構造を有するレチクル（７）を与える段階と、
請求項１１から請求項１３のいずれか１項に記載の投影露光装置（１）を与える段階と、
前記投影露光装置（１）を用いて前記レチクル（７）の少なくとも一部を前記ウェーハ（１２）の前記層の領域上に投影する段階と、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項１５】
請求項１４に記載の方法によって生成された構成要素。
【国際調査報告】
2015523720.tif 000012
2015523720.tif 000013