(57)【要約】  表示領域と周辺領域とを有するタッチパネルであって、タッチパネルは、カバー基板と、カバー基板上に形成され、パターン領域を有するパターンマスク層を備えている。周辺領域はパターンマスク層によって規定されている。第１電極パターンは、複数の第１ジャンパーを備え、カバー基板上に形成されている。第２電極パターンは、複数の第２ジャンパーを備え、第１ジャンパーと第２ジャンパーとが異なる材料を有しており、前記パターン領域に対応してパターンマスク層上に設けられている。【選択図】図１３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示領域と周辺領域とを有するタッチパネルであって、
カバー基板と、
前記カバー基板上に形成されたパターンマスク層であって、パターン領域を有し、前記周辺領域を規定するパターンマスク層と、
複数の第１ジャンパーを備え、前記表示領域に対応して前記カバー基板上に形成された第１電極パターンと、
第２ジャンパーを複数備えた少なくとも１つの第２電極パターンであって、前記第１ジャンパーと前記第２ジャンパーとが異なる材料を有しており、前記パターン領域に対応して前記パターンマスク層上に設けられた少なくとも１つの第２電極パターンと、を備えたタッチパネル。
【請求項２】
前記第２電極パターンが前記第１電極パターンと電気的に接続され、前記第１電極パターンの延長として機能する請求項１に記載のタッチパネル。
【請求項３】
前記パターン領域が中空パターンを有している請求項１に記載のタッチパネル。
【請求項４】
前記パターンマスク層に対応するカラーフィルムをさらに備える請求項１に記載のタッチパネル。
【請求項５】
前記第１電極パターンと前記第２電極パターンがセンシング電極層に分類される請求項１に記載のタッチパネル。
【請求項６】
前記センシング電極層上に設けられた保護層をさらに備える請求項５に記載のタッチパネル。
【請求項７】
前記第１電極パターンが
第１の軸方向に沿って延びる複数の平行な第１センシング電極と、
第２の軸方向に沿って設けられ、互いに平行な複数の第２センシング電極と、を備え、
前記第１センシング電極は前記第２センシング電極から電気的に分離され、
前記第２電極パターンが、
前記第１の軸方向に沿って延びる複数の平行な第３センシング電極と、
前記第２の軸方向に沿って設けられ、互いに平行な複数の第４センシング電極と、を備え、
前記第３センシング電極は前記第４センシング電極から電気的に分離されている請求項１に記載のタッチパネル。
【請求項８】
複数の前記第２センシング電極のそれぞれが、
前記第２の軸方向に沿って設けられ、互いに離間した複数の第２導電部を備え、
前記第１ジャンパーを介して、隣接する２つの前記第２導電部が互いに電気的に接続されている請求項７に記載のタッチパネル。
【請求項９】
前記第４センシング電極のそれぞれが、
前記第２の軸方向に沿って設けられ、互いに離間した複数の第４導電部を備え、
前記第２ジャンパーを介して、隣接する２つの前記第４導電部が互いに電気的に接続されている請求項７に記載のタッチパネル。
【請求項１０】
前記第１ジャンパーが透明導電材料を有し、
前記第２ジャンパーが金属材料を有している請求項１に記載のタッチパネル。
【請求項１１】
前記センシング電極層は、さらに、前記第１センシング電極と前記第２センシング電極との間、及び、前記第３センシング電極と前記第４センシング電極との間に配置された絶縁層を備える請求項５に記載のタッチパネル。
【請求項１２】
前記周辺領域に対応するトレースをさらに備え、
前記トレースは、前記第１電極パターン及び前記第２電極パターンに電気的に接続されている請求項５に記載のタッチパネル。
【請求項１３】
表示領域と、前記表示領域を囲む周辺領域とを備えたタッチパネルの製造方法であって、
パターン領域を備え、前記周辺領域を規定するパターンマスク層をカバー基板上に形成するステップと、
前記表示領域に対応する第１電極パターンと、前記パターン領域に対応する第２電極パターンとを有するセンシング電極層を形成するステップと、を備え
前記第１電極パターンは複数の第１ジャンパーを備え、
前記第２電極パターンは複数の第２ジャンパーを備え、
前記第１ジャンパーと前記第２ジャンパーが異なる材料を有している、製造方法。
【請求項１４】
前記第２ジャンパーが前記パターンマスク層上に形成され、前記パターンマスク層と直接接触している請求項１３に記載の製造方法。
【請求項１５】
さらに、前記パターンマスク層に対応するカラーフィルムを形成する請求項１３に記載の製造方法。
【請求項１６】
さらに、前記センシング電極層上に保護層を形成する請求項１３に記載の製造方法。
【請求項１７】
前記センシング電極層を形成するステップが、
前記カバー基板と前記パターンマスク層との上に導電層を形成するステップと、
前記表示領域内において第１の軸方向に沿った複数の平行な第１センシング電極と、前記周辺領域において前記第１の軸方向に沿った複数の平行な第３センシング電極と、第２の軸方向に沿って設けられ、前記表示領域内において互いに離間した複数の第２センシング電極と、前記第２の軸方向に沿って設けられ、前記周辺領域内において互いに離間した複数の第４センシング電極と、を形成するために前記導電層をパターニングするステップと、
絶縁層を形成して、前記第１センシング電極の一部の領域、及び前記第３センシング電極の一部の領域でパターニングするステップと、
前記第１センシング電極上に設けられた前記絶縁層上に、隣接する２つの第２導電部を電気的に接続する前記第１ジャンパーを形成するステップと、
前記第３センシング電極上に設けられた前記絶縁層上に、隣接する２つの第５導電部を電気的に接続する前記第２ジャンパーを形成するステップと、を備えた請求項１３に記載の製造方法。
【請求項１８】
前記センシング電極層を形成するステップが、
前記表示領域内において、前記カバー基板上に第１ジャンパーを形成するステップと、
前記周辺領域内において、前記パターンマスク層上に第２ジャンパーを形成するステップと、
前記カバー基板、前記パターンマスク層、前記第１ジャンパー、及び前記第２ジャンパーの上に、絶縁層を成膜するステップと、
前記第１ジャンパー及び前記第２ジャンパーの両端にそれぞれ対応して、前記第１ジャンパー及び前記第２ジャンパーの一部を露出させるビアホールを複数形成するため、前記絶縁層をパターニングするステップと、
前記絶縁層、及び前記ビアホールの上に導電層を形成するステップと、
前記表示領域内において第１の軸方向に沿った複数の平行な第１センシング電極と、前記周辺領域において前記第１の軸方向に沿った複数の平行な第３センシング電極と、第２の軸方向に沿って設けられ、前記表示領域内において互いに離間した複数の第２導電部と、前記第２の軸方向に沿って設けられ、前記周辺領域内において互いに離間した複数の第４導電部と、を形成するために、前記導電層をパターニングするステップと、を備え、
前記ビアホールは、前記第１ジャンパー及び前記第２ジャンパーを介して、隣接する２つの導電部、及び隣接する２つの第４導電部を電気的に接続するため、前記第２導電部と前記第４導電部の上に設けられている請求項１３に記載の製造方法。
【請求項１９】
前記第１ジャンパーが透明導電材料を有し、
前記第２ジャンパーが金属材料を有している請求項１３に記載の製造方法。
【請求項２０】
前記周辺領域に対応するトレースが設けられ、
前記トレースは、前記第１電極パターン及び前記第２電極パターンに電気的に接続されている請求項１３に記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はタッチ入力技術分野に関し、特に詳しくは、単一基板のタッチパネルとその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、パーソナルデータアシスタント（ＰＤＡ）、携帯電話、ノートパソコン、タブレットＰＣやその他の携帯電子機器は、現代生活において広く使用されている。これらの電子機器は、薄型化及び軽量化が必要とされるため、キーボードやマウスなどの伝統的な入力装置は、他の入力装置に置き換えられている。加えて、タブレットＰＣの必要性が、大きく増加しているので、タッチパネル技術が電子機器の重要技術の一つになっている。
【０００３】
タッチパネルは一般的に、表示領域と周辺領域とを備えている。表示領域は、一又は複数のタッチによる対象を検出して、制御するタッチスクリーンとして機能する。周辺領域は、押しボタンを設けるために必要な空間を提供する。しかしながら、タッチパネルの表面に形成された切れ目が、そのような押しボタンを配置するための必要があり、それは、タッチパネルの全体外観の平坦性を損なうだけでなく、製造工程を複雑にしてしまう。
【発明の概要】
【０００４】
本発明は、改良されたタッチパネルの電極パターンと構造の設計を通じて、タッチパネルの同一面状の様々なタッチ応答を提供するタッチパネルとその製造方法を提供する。さらに、タッチパネルの表示領域内と周辺領域の電極パターンのジャンパー材料が異なっているため、周辺領域内の電極パターンのジャンパーの信頼性が高くなる。
【０００５】
本発明は、表示領域と周辺領域とを有するタッチパネルであって、カバー基板と、前記カバー基板上に形成されたパターンマスク層であって、パターン領域を有し、前記周辺領域を規定するパターンマスク層と、複数の第１ジャンパーを備え、前記カバー基板上に形成された第１電極パターンと、第２ジャンパーを複数備えた少なくとも１つの第２電極パターンであって、前記第１ジャンパーと前記第２ジャンパーとが異なる材料を有しており、前記パターン領域に対応して前記パターンマスク層上に設けられた少なくとも１つの第２電極パターンと、を備えたタッチパネルを提供する。
【０００６】
一実施形態では、前記第２電極パターンが前記第１電極パターンと電気的に接続され、前記第１電極パターンの延長として機能する。
【０００７】
一実施形態では、前記パターン領域が中空パターンを有している。
【０００８】
一実施形態では、タッチパネルが前記パターンマスク層に対応するカラーフィルムをさらに備える。
【０００９】
一実施形態では、前記第１電極パターンと前記第２電極パターンがセンシング電極層に分類される。
【００１０】
一実施形態では、タッチパネルが、前記センシング電極層上に設けられた保護層をさらに備える。
【００１１】
一実施形態では、前記第１電極パターンが、第１の軸方向に沿って延びる複数の平行な第１センシング電極と、第２の軸方向に沿って設けられ、互いに平行な複数の第２センシング電極と、を備え、前記第１センシング電極は前記第２センシング電極から電気的に分離され、前記第２電極パターンが、前記第１の軸方向に沿って延びる複数の平行な第３センシング電極と、前記第２の軸方向に沿って設けられ、互いに平行な複数の第４センシング電極と、を備え、前記第３センシング電極は前記第４センシング電極から電気的に分離されている。
【００１２】
一実施形態では、複数の前記第２センシング電極のそれぞれが、前記第２の軸方向に沿って設けられ、互いに離間した複数の第２導電部を備え、前記第１ジャンパーを介して、隣接する２つの前記第２導電部が互いに電気的に接続されている。
【００１３】
一実施形態では、前記第４センシング電極のそれぞれが、前記第２の軸方向に沿って設けられ、互いに離間した複数の第４導電部を備え、前記第２ジャンパーを介して、隣接する２つの前記第４導電部が互いに電気的に接続されている。
【００１４】
一実施形態では、前記第１ジャンパーが透明導電材料を有し、前記第２ジャンパーが金属材料を有している。
【００１５】
一実施形態では、前記センシング電極層は、さらに、前記第１センシング電極と前記第２センシング電極との間、及び、前記第１センシング電極と前記第２センシング電極との間に配置された絶縁層を備える。
【００１６】
一実施形態では、前記周辺領域に対応するトレースをさらに備え、前記トレースは、前記第１電極パターン及び前記第２電極パターンに電気的に接続されている。
【００１７】
本発明は、また、表示領域と、前記表示領域を囲む周辺領域とを備えたタッチパネルの製造方法であって、パターン領域を備え、前記周辺領域を規定するパターンマスク層をカバー基板上に形成するステップと、前記表示領域に対応する第１電極パターンと、前記パターン領域に対応する第２電極パターンとを有するセンシング電極層を形成するステップと、を備え、前記第１電極パターンは複数の第１ジャンパーを備え、前記第２電極パターンは複数の第２ジャンパーを備え、前記第１ジャンパーと前記第２ジャンパーが異なる材料を有している、製造方法を提供する。
【００１８】
一実施形態では、前記第２ジャンパーが前記パターンマスク層上に形成され、前記パターンマスク層と直接接触している。
【００１９】
一実施形態では、さらに、前記パターンマスク層に対応するカラーフィルムを形成する。
【００２０】
一実施形態では、さらに、前記センシング電極層上に保護層を形成する。
【００２１】
一実施形態では、前記センシング電極層を形成するステップが、前記カバー基板と前記パターンマスク層との上に導電層を形成するステップと、前記表示領域内において第１の軸方向に沿った複数の平行な第１センシング電極と、前記周辺領域において前記第１の軸方向に沿った複数の平行な第３センシング電極と、第２の軸方向に沿って設けられ、前記表示領域内において互いに離間した複数の第２センシング電極と、前記第２の軸方向に沿って設けられ、前記周辺領域内において互いに離間した複数の第４センシング電極と、を形成するために前記導電層をパターニングするステップと、絶縁層を形成して、前記第１センシング電極の一部の領域、及び前記第３センシング電極の一部の領域でパターニングするステップと、前記第１センシング電極上に設けられた前記絶縁層上に、隣接する２つの第２導電部を電気的に接続する前記第１ジャンパーを形成するステップと、前記第３センシング電極上に設けられた前記絶縁層上に、隣接する２つの第５導電部を電気的に接続する前記第２ジャンパーを形成するステップと、を備えている。
【００２２】
一実施形態では、前記センシング電極層を形成するステップが、前記表示領域内において、前記カバー基板上に第１ジャンパーを形成するステップと、前記周辺領域内において、前記パターンマスク層上に第２ジャンパーを形成するステップと、前記カバー基板、前記パターンマスク層、前記第１ジャンパー、及び前記第２ジャンパーの上に、絶縁層を成膜するステップと、
前記第１ジャンパー及び前記第２ジャンパーの両端にそれぞれ対応して、前記第１ジャンパー及び前記第２ジャンパーの一部を露出させるビアホールを複数形成するため、前記絶縁層をパターニングするステップと、前記絶縁層、及び前記ビアホールの上に導電層を形成するステップと、前記表示領域内において第１の軸方向に沿った複数の平行な第１センシング電極と、前記周辺領域において前記第１の軸方向に沿った複数の平行な第３センシング電極と、第２の軸方向に沿って設けられ、前記表示領域内において互いに離間した複数の第２導電部と、前記第２の軸方向に沿って設けられ、前記周辺領域内において互いに離間した複数の第４導電部と、を形成するために、前記導電層をパターニングするステップと、を備え、前記ビアホールは、前記第１ジャンパー及び前記第２ジャンパーを介して、隣接する２つの導電部、及び隣接する２つの第４導電部を電気的に接続するため、前記第２導電部と前記第４導電部の上に設けられている。
【００２３】
一実施形態では、前記第１ジャンパーが透明導電材料を有し、前記第２ジャンパーが金属材料を有している。
【００２４】
一実施形態では、前記周辺領域に対応するトレースが設けられ、前記トレースは、前記第１センシング電極及び前記第２センシング電極に電気的に接続されている。
【００２５】
上記の開示に基づき、本発明にかかるタッチパネルとその製造方法は、タッチパネルの表示領域と周辺領域におけるタッチ機能を提供するため、表示領域と周辺領域の両方に電極を有している。したがって、タッチパネルの表面に切れ目を形成する必要がなくなり、タッチパネルの表面の平坦化、及び簡便なクリーニングを実現することができる。また、本発明にかかるタッチパネルは、表示領域内、及び周辺領域内の電極パターンにそれぞれに設けられたジャンパーに様々な材料を用いているので、表示領域は良好な透光性を、周辺領域はより信頼性の高いジャンパーを実現できる。
【００２６】
本発明のこれらとその他の目的は、様々な図面に記載された、以下の好適な実施形態の詳細な説明を読むことで、疑いなく当業者にとって自明となることであろう。
【００２７】
以上の一般的な記述及び以下の詳細な記述は、例示のものに過ぎず、本開示を限定するものではないと理解すべきである。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】図１は一実施形態にかかるタッチパネルを図示した上面図である。
【図２】図２は、図１のＩ−Ｉ‘断面に沿った断面図である。
【図３】図３は、本発明の第１の好適な実施形態にかかるタッチパネルの製造方法を示すフローチャートである。
【図４】図４は本発明の第１の好適な実施形態にかかるタッチパネルを示す上面図である。
【図５】図５は本発明の第１の好適な実施形態にかかるタッチパネルを示す上面図である。
【図６】図６は本発明の第１の好適な実施形態にかかるタッチパネルを示す上面図である。
【図７】図７は本発明の第１の好適な実施形態にかかるタッチパネルを示す上面図である。
【図８】図８は、本発明の第２の好適な実施形態にかかるタッチパネルの製造方法を示すフローチャートである。
【図９】図９は第２の好適な実施形態にかかるタッチパネルの断面図である。
【図１０】図１０は本発明の第２の好適な実施形態にかかるタッチパネルを示す上面図である。
【図１１】図１１は本発明の第２の好適な実施形態にかかるタッチパネルを示す上面図である。
【図１２】図１２は本発明の第２の好適な実施形態にかかるタッチパネルを示す上面図である。
【図１３】図１３は本発明の第２の好適な実施形態にかかるタッチパネルを示す上面図である。
【図１４】図１４は本発明の第３の好適な実施形態にかかるタッチパネルを示す上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
本発明の技術分野におけるユーザへの本発明のより良い理解を提供するため、好適な実施形態を以下に説明する。本発明の好適な実施形態は、内容を達成する効果を明らかにするため、符号を付した図面において図示されている。
【００３０】
図面は、例示のためだけのものであり、実寸法となっているものではない。寸法は異なる設計考慮によって修正されてもよい。文章において構成要素間の関係を記述するため「上」、又は「下」という文言を参照するとき、これらは理解を明確にするために、相対的な位置関係を示すものであり、同様な構造を得るために置き換わってもよく、これらの構成は本発明の技術的範囲から除外されるものではない。
【００３１】
図１は、本発明の第１の好適な実施形態にかかるタッチパネルの上面図である。タッチパネル１は、コンピュータ、携帯電話、カメラ、音響機器、自動機器などのディスプレイスクリーンを有する種々の電子機器において、よく知られている。以下に詳述される本実施の形態のタッチパネル１は後ろ側から図１に示されている。タッチパネル１の背面は、タッチパネル１が使用されるときに、ユーザがタッチしない面である。タッチパネル１は、図１に示されるように、カバー基板１０と、第１電極パターン２０と、少なくとも一つの第２電極パターン３０と、パターンマスク層５０と、を備えている。
【００３２】
タッチパネル１は、表示領域Ａと、表示領域Ａに応じた周辺領域Ｂを備えている。周辺領域Ｂは、表示領域Ａの側部に配置されている。本実施形態では、周辺領域Ｂは、表示領域Ａの周辺に配置されている。表示領域Ａは周辺領域Ｂで囲まれている。具体的には、電子機器の動作領域は、表示領域Ａによって整列される。周辺領域Ｂは、カバー基板１０に設けられたパターンマスク層５０によって規定され、表示領域Ａの周辺の特性を隠すために設けられている。本実施形態において、パターンマスク層５０は、例えば、黒色のフォトレジストなどの不透明な材料を有しており、印刷又は塗布によって形成することができる。さらに、本実施形態のパターンマスク層５０は、パターン領域５１を有している。パターン領域５１は、少なくとも一つの中空パターンを有している。例えば、中空パターン５１ａ、５１ｂは、リターンボタンとホームボタンとして機能している。パターン領域５１の中空パターン５１ａ、５１ｂは上記のタイプ、及び数に限定されるものではなく、実用に基づき、メニューボタンやスイッチボタンなどの他のボタンとして形成されることも可能である。
【００３３】
第１電極パターン２０は、表示領域Ａが画像を重ねるためのウィンドウとして機能するだけでなく、そのタッチ応答を検出と制御の手段として機能するために表示領域２０内に配置されている。第２電極パターン３０は、周辺領域が仮想ボタンのようタッチ応答を実行するよう、パターンマスク層５０のパターン領域５１に対応して周辺領域Ｂ内に配置されている。
【００３４】
本実施形態にかかるタッチパネル１の構造を説明するため、図２を参照する。図２は、Ｉ−Ｉ‘線に沿った図１の断面図である。本実施形態の第１電極パターン２０とパターンマスク層５０はともに、カバー基板１０の上に設けられており、第２電極パターン３０は、パターンマスク層５０の上に設けられている。カバー基板１０は、ガラスのような透明材料を有している。さらに、本実施形態のカバー基板１０は、強化、アンチグレア、抗菌等の表面処理が行われていてもよい。本実施形態のカバー基板１０は、保護基板として利用され、単なるタッチスクリーンのための基板以上の機能を奏する。
【００３５】
製造工程中において、第１電極パターン２０と第２電極パターン３０は、同じプロセスにより製造されたセンシング電極層とみなすことができる。第１電極パターン２０は、第１の軸方向（本実施形態ではＸ軸）に沿って延びる複数の平行な第１センシング電極２２と。第２の軸方向（本実施形態ではＹ軸）に沿って設けられた互いに平行な複数の第２センシング電極２４と、を有している。第１センシング電極２２は、第２センシング電極２４と電気的に分離されている。第２電極パターン３０は、第１の軸方向（本実施形態ではＸ軸）に沿って延びる複数の第３センシング電極３２と、第２の軸方向（本実施形態ではＹ軸）に沿って設けられた互いに平行な第４センシング電極３４とを備えている。第３センシング電極３２は、第４センシング電極３４と電気的に分離されている。
【００３６】
より具体的には、第１センシング電極２２のそれぞれは、第３センシング電極３２のそれぞれと同様に、連続的な構造体、すなわち、間に空間のない一体的な構造体のようになっている。第２センシング電極２４のそれぞれは、複数の第２導電部２５と、複数の第１ジャンパー２６とを備えている。第４センシング電極３４のそれぞれは、複数の第４導電部４５と、複数の第２ジャンパー３６とを備えている。第１センシング電極２２、第３センシング電極３２、第２導電部２５、及び第４導電部３５は、同フォトリソグラフィープロセスを通じた全て同じ導電層により形成されている。つまり、第１センシング電極２２、第３センシング電極３２、第２導電部２５、及び第４導電部３５は、導電層に分類される。さらに、第１ジャンパー２６は、第２の軸方向において隣接する２つの第２導電部２５をそれぞれ電気的に接続するように、第１センシング電極２２を乗り越えている。第２ジャンパー３６は、第２の軸方向において隣接する２つの第４導電部４５をそれぞれ電気的に接続するように、第３センシング電極３２を乗り越えている。
【００３７】
第１ジャンパー２６は、フォトリソグラフィーを通じた配線層により形成され、第２ジャンパー３６はフォトリソグラフィーを通じた別の配線層により形成される。つまり、第１ジャンパー２６と第２ジャンパー３６は、配線層に属するが、本実施の形態では、異なるプロセスを通じて製造された異なる材料を有している。例えば、第１ジャンパー２６は、表示領域Ａの透過率を維持するため、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ）、インジウム亜鉛酸化物（ＩＺＯ），カドミウム錫酸化物（ＣＴＯ）、アルミニウム錫酸化物（ＡＺＯ￥），インジウムガリウム亜鉛酸化物（ＩｎＧａＺｎＯ）、インジウムガリウム亜鉛マグネシウム酸化物（ＩｎＧａＺｎＭｇＯ），インジウムガリウムマグネシウム酸化物（ＩｎＧａＭｇＯ），又はインジウムガリウムアルミニウム酸化物（ＩｎＧａＡｌＯ）のような透明導電材料を有している。周辺領域Ｂ内の第２ジャンパー３６は、破砕の発生を抑制し、信頼性を向上するため、好ましくは銀、アルミニウム、金、又は銅のような金属を有している。しかあしながら、第１ジャンパー２６と、第２ジャンパー３６の材料は、上記したものに限定されるものではなく、実際の要求に応じて修正され得る。
【００３８】
そして、タッチパネル１は、さらに、絶縁層４１を有している。本実施形態では、絶縁層４１は、第１センシング電極２２と第２センシング電極２４との間、及び第３センシング電極３２と第４センシング電極３４との間に設けられている。これにより、第１センシング電極２２は、第２センシング電極２４と電気的に分離され、第３センシング電極３２は、第４センシング電極３４と電気的に分離されている。上記した積層順を用いることで、本実施の形態の配線層、絶縁層４１、及びセンシング電極層によって積層されたセンシング電極層が開示される。
【００３９】
本実施形態１のタッチパネル１は、さらに、周辺領域Ｂ内に配置されたトレース４０を有している。トレース４０は第１電極パターン２０と第２電極パターン３０とに電気的に接触している。トレース４０は、さらに、コントローラと第１及び第２電極パターン２０、３０との間の情報伝達を可能にするため、タッチパネル１の外側のコントローラ（図示せず）と電気的に接続されている。本実施形態のトレース４０は、第２ジャンパー３６と同じ材料を有しており、同じフォトリソグラフィープロセスを通じて製造される。これにより、タッチパネルの製造を簡素化することができる。本実施形態のトレース４０は、配線層に分類される。
【００４０】
より詳細には、第２電極パターン３０は、第１電極パターン２０と電気的に接続されており、第１電極パターン２０の延長とみなすことができる。したがって、第１電極パターン２０は、第１電極パターン２０と第２電極パターン３０は、一体的に製造される。これにおり、第１電極パターン２０と第２電極パターン３０のタッチ応答が実行される。本実施形態では、第１電極パターン２０のジャンパーのみが第２電極パターン３０と異なる材料を有している。本発明において、第１ジャンパー２６と第２ジャンパー３６の製造工程は、先の実施形態に開示された順番に限れるものではなく、特定の要求に応じて、自由に変更可能である。
【００４１】
最後に、本実施形態のタッチパネル１は、保護膜８０を有することできる。保護膜８０は、浸食や物理的なダメージからパネルを保護するために、センシング電極層の全体を覆うように、センシング電極層上に設けられている。
【００４２】
さらに、本実施形態のパターンマスク層５０のパターン領域５１は、中空パターン５１ａ、５１ｂ、つまり光が通過することができる部分を有している。本実施形態のタッチパネル１は、保護膜８０の上に設けられたカラーフィルム７０を有しており、カラーフィルム７０はパターンマスク層５０に対応する。これにより、パターン領域５１の中空パターン５１ａ、５１ｂにおいて、色を表示することができる。カラーフィルム７０は、カラーインク、カラーフォトレジスト、又は導光インクの塗装や印刷、あるいは、粘着フィルムの粘着によって形成することができる。カラーフィルム７０は、単色に限られるものではない。したがって、本実施形態のタッチパネル１は、望ましくはよりカラフルな外観を有していてもよい。
【００４３】
このように、カラーフィルム７０の色のバリエーションにより、特定かつ独特の製品を容易に作り出すことができる。なお、カラーフィルム７０は、保護膜８０の上に限られるものではなく、パターンマスク層５０に対応して、タッチパネル１の他の層に形成することもできる。
【００４４】
本発明の好適な実施形態にしたがって、タッチパネル１の製造方法を、図２の断面図に基づく図３を参照して詳細に説明する。さらに、第１実施形態にかかるタッチパネルの製造方法を示す図４〜図７の上面図を参照する。
【００４５】
本実施形態では、カバー基板１０を用意し（Ｓ１）、カバー基板１０の上にパターンマスク層５０を形成する。図４を参照すると、パターンマスク層５０の形成を通じて、タッチパネル１を取り付けるモニターのサイズに基づいて表示領域Ａと周辺領域Ｂがカバー基板１０上に規定される。表示領域Ａは周辺領域Ｂに囲まれている。パターンマスク層５０は、塗装や印刷によって形成することができる。本実施形態のパターンマスク層５０は、パターン領域５１を有している。パターン領域５１は、仮想ボタンとして機能する２つの中空パターン５１ａ、５１ｂのような、少なくとも一つの中空パターンを有しているがこれに限られるものではない。
【００４６】
ステップＳ２の後、導電層が成膜されて（Ｓ３）、パターニングされる（Ｓ４）。図５を参照すると、本実施形態の導電層は、カバー基板１０の表示領域Ａと、パターンマスク層５０のパターン領域５１の両方に成膜される。パターニングを通じて、導電層は、表示領域Ａにおいて第１の軸方向（本実施形態のＸ軸）に延びた複数の平行な第１センシング電極２２を形成し、周辺領域Ｂにおいて第１の軸方向（本実施形態のＸ軸）に延びた複数の平行な第３センシング電極３２を形成する。さらに、導電層は、表示領域Ａ内に複数の第２導電部２５と、周辺領域Ｂ内に複数の第４導電部３５とを形成する。複数の第２導電部２５は、第２の軸方向（本実施形態のＹ軸）に沿って設けられ、互いに離間している。複数の第４導電部３５は、第２の軸方向（本実施形態のＹ軸）に沿って設けられ、互いに離間している。
【００４７】
次のステップにおいて、絶縁層４１が成膜されて、パターニングされる（Ｓ５）。図６を参照すると、絶縁層４１は、第１及び第３センシング電極２２、３２の部分的な領域でのパターニングプロセスを通じて形成される。絶縁層４１は、第２の軸方向において、隣接する２つの第２導電部２５の間、及び隣接する２つの第４導電部３５の間にそれぞれ形成される。
【００４８】
ステップＳ５の後、第１ジャンパー２６が形成され（Ｓ６）、同様に第２ジャンパー３６が形成される（Ｓ７）。図７を参照すると、第１ジャンパー２６が、第２の軸方向において、全ての隣接する２つの第２導電部２５を電気的に接続するため、表示領域Ａ内において第１センシング電極２２上に設けられた絶縁層４１上に形成される。第２ジャンパー３６は第２の軸方向において、全ての隣接する２つの第４導電部３５を電気的に接続するため、周辺領域Ｂ内において第３センシング電極３２上に設けられた絶縁層４１上に形成される。本実施の形態いでは、第１ジャンパー２６、及び第２ジャンパー３６がそれぞれ種々の材料を有しているので、第１ジャンパー２６、及び第２ジャンパー３６がそれぞれ異なるプロセスを通じて製造される。第１ジャンパー２６は、透明導電材料を有しており、第２ジャンパー３６は、金属のようなより良好な導電性を有する材料を有している。本実施形態において、第１ジャンパー２６と第２ジャンパー３６の製造ステップは、上記した実施形態の順に限られるものでなく、ステップＳ６がステップＳ７の前又は後に実行されてもよい。
【００４９】
具体的には、第１ジャンパー２６は、第２の軸方向に隣接する２つの第２導電部２５をそれぞれ電気的に接続するため、絶縁層４１を介して、第１センシング電極２２を乗り越えている。これにより、複数の平行な第２センシング電極２４は第２の軸方向に沿って設けられている。同様に、第２ジャンパー３６は、第２の軸方向に隣接する２つの第４導電部３５をそれぞれ電気的に接続するため、絶縁層４１を介して、第３センシング電極３２を乗り越えている。これにより、複数の平行な第４センシング電極４４は第２の軸方向に沿って設けられている。これにより、導電層、絶縁層４１、及び配線層を用いて形成されたセンシング電極層が、カバー基板１０の表示領域Ａ内の第１電極パターン２０を形成し、パターンマスク層５０が第２電極パターン３０を形成する。
【００５０】
さらに、第１電極パターン２０と第２電極パターン３０とを電気的に接続するため、本実施形態のステップＳ７の第２ジャンパー３６の製造工程において、カバー基板１０の周辺領域Ｂ内のトレース４０をパターンマスク層５０の上に設けることも可能である。しかしながら、本実施形態のトレース４０は、第１ジャンパー２６と同世のプロセス中又は第１ジャンパー２６及び第２ジャンパー３６と異なるプロセス中において、選択的に製造されることも可能である。
【００５１】
そして、保護膜がセンシング電極層の上に形成される（Ｓ８）。保護膜８０は、窒化シリコン、酸化シリコン又は酸窒化シリコンなどの無機材料、あるいは、アクリル樹や他の透明材料のような無機材料を有している。
【００５２】
最後に、カラーフィルム７０は保護膜８０の上に形成される（Ｓ９）。カラーフィルム７０は、周辺領域Ｂ内に設けられ、パターンマスク層５０に対応して設けられている。カラーフィルム７０は、カラーインク、カラーフォトレジスト、又は導光インクの塗装又は印刷によって形成される。さらに、カラーフィルム７０は様々な色を表示するように、塗装又は印刷プロセスは、複数回実行されてもよい。加えて、本実施の形態において、カラーフィルム７０は保護膜８０の上に形成されているが、これに限られるものではないことは当業者によって理解可能である。カラーフィルム７０は、パターンマスク層５０に対応するどのような場所にも設けられ、タッチパネル１を前から視認した時に、パターンマスク層５０のパターン領域５１の中空パターン５１ａ、５１ｂでのカラー表示を可能とする。
【００５３】
以下の記載は、本発明のタッチパネルの別の実施形態を説明するものである。説明の簡素化のため、以下の記載では、異なる実施形態の相違点を説明し、一致する特徴に繰り返し記載しない。実施形態間の違いを簡単に比較するため、以下の実施形態のそれぞれにおいて同一の構成要素は同じ符号を付している。
【００５４】
好適な実施形態の製造方法において、センシング電極層上に第１電極パターンと第２電極パターンを完成するため、センシング電極層は、最初にパターン導電層を形成し、絶縁膜をその上に形成し、そして複数の第１ジャンパー２６と複数の第２ジャンパー３６とを絶縁層の上に形成することで、製造される。したがって、センシング電極層は、標準的な工程として規定される上記した製造方法を通じて製造される。しかしながら、センシング電極層は、最初に複数のジャンパーを形成し、絶縁層をその上に形成し、その後に導電層を形成することによる逆の順番のプロセスを通じて製造されてもよい。以下において、本発明の第２の好適な実施形態にかかるタッチパネルの製造方法は、図９の断面図に基づく図８を参照して説明される。また、本発明の好適な第２の実施形態にかかるタッチパネル２を図示した図１０〜１３の上面図もまた参照される。
【００５５】
表示領域Ａと周辺領域Ｂは、本実施形態において、タッチパネル２が設けられるモニターのサイズに基づいて、カバー基板１０上に規定されている。表示領域Ａと周辺領域Ｂの定義は上記の実施形態に開示されており、ここでは詳述しない。本実施形態では、表示領域Ａは周辺領域Ｂに囲まれている。
【００５６】
最初に、カバー基板１０を用意して（Ｓ１０）、複数の第１ジャンパー２６を表示領域Ａ内に形成し（Ｓ１１），そして、カバー基板１０にパターンマスク層５０をそれぞれ形成する（Ｓ１２）。本実施形態において、表示領域Ａ内の第１ジャンパー２６の形成は、周辺領域Ｂ内のパターンマスク層５０の形成より前に行われている。このようにして、パターンマスク層５０は、第１ジャンパー２６の形成中に生じる高温により破壊されなくなる。しかしながら、本実施形態のパターンマスク層５０の製造は、上記したものに限られるものではなく、実際の要求に応じて、第１ジャンパー２６の形成の後に行われてもよい。さらに、第１の実施形態と同様に、パターンマスク層５０は、ｔｐ氏ｕａ塗布工程により形成される黒色フォトレジスト等のような不透明な材料を有していてもよい。さらに、本実施形態のパターンマスク層５０は、パターン領域５１を有していてもよい。パターン領域５１は、本実施形態において、リターンボタンとホームボタンとして機能する中空パターン５１ａ、５１のような少なくとも１つの中空パターンを有していてもよく、これに限られるものではない。パターン領域５１の中空パターンのタイプと数は、実際の要求に応じて修正されてもよく、メニューボタンやスイッチボタンのような他のボタンを有していてもよい。
【００５７】
図１１を参照すると、周辺領域Ｂ内においてパターンマスク層５０上に複数の第２ジャンパー３６が形成される（Ｓ１３）。第２ジャンパー３６は、金属材料を有している。このような金属材料は、特に周辺領域Ｂにおいて，タッチパネル２の透過率を増加させるだけでなく、周辺領域Ｂでの電極パターンの剥離や破損を避けるため、パターンマスク層５０（一般的には黒色のフォトレジスト又はインク）に対して好適な密着性（ＩＴＯのような透明導電材料と比較して）を提供する。加えて、第２ジャンパー３６を形成するとき、全体の製造工程を簡素化するため、同時に複数のトレース４０を形成することが好ましい。本実施形態の第２ジャンパー３６の製造とトレース４０の製造は、上記した工程に限られるものではない、異なるプロセス又は異なる順番が使用可能である。本発明によれば、第２ジャンパー３６の材料特性と製造方法は、ほとんど、第１の好適な実施形態で説明されたものと同様であるため、ここでは詳細に説明しない。
【００５８】
図１２を参照すると、表示領域Ａと周辺領域Ｂに、絶縁層４３が形成される（Ｓ１４）。絶縁層４３は、一体となったフィルムとして形成され、カバー基板１０、パターンマスク層５０、第１ジャンパー２６のそれぞれ、第２ジャンパー３６のそれぞれが絶縁層４３で覆われる。絶縁層４３は、ビアホール４４を形成するためにパターニングされる。第１ジャンパー２６と第２ジャンパー３６は両端において、ビアホール４４によって露出される。本実施形態の絶縁層４３は、第１の実施形態と異なる形状を有しているが、次に続く電極パターンに対して保護することができ、様々な方向からの様々な磁気軸間の影響を防ぐことができる。本実施形態の絶縁層４３は上記に限られるものではなく、他の実施形態においても使用可能である。第１の実施形態の絶縁層４１は本実施の形態でも使用可能であり、例えば、第１ジャンパー２６と第２ジャンパー３６は、絶縁層４１に覆われている。本発明によれば、第１の好適な実施形態の絶縁層４１は、第２の好適な実施形態の絶縁層４３と置換可能である。
【００５９】
図１３を参照すると、導電層が絶縁層４３とそれぞれのビアホール４４の上に形成される（Ｓ１５）。そして、導電層は、表示領域Ａと周辺領域Ｂにおいて、第１電極パターンと第２電極パターンをそれぞれ形成するためにパターニングされる（Ｓ１６）。導電層は、表示領域Ａにおいて、第１の軸方向（本実施形態ではＸ方向）に沿って延びる複数の平行な第１センシング電極２２と、周辺領域Ｂにおいて、第１の軸方向（本実施形態ではＸ方向）に沿って延びる複数の平行な第３センシング電極３２と、を形成する。加えて、導電層はさらに、表示領域Ａにおいて複数の第２導電部２５を形成する。第２導電部は、第２の軸方向（本実施の形態ではＹ方向）に沿って互いに離間している。本実施形態では、絶縁層４３上のそれぞれのビアホール４４が第２導電部２５で覆われている。隣接する２つの導電部は、全て、第１ジャンパー２６を介して電気的に接続されている。このように、互いに平行で、第２の軸方向に沿って設けられた複数の第２センシング電極２４は、導電層上に形成される。同様に、絶縁層４３上のビアホール４４は、第４導電部３５で覆われている。隣接する２つの導電部は、全て、第２ジャンパー３６を介して電気的に接続されている。このように、互いに平行で、第２の軸方向に沿って設けられた複数の第４センシング電極４４は、導電層上に形成される。
【００６０】
最後に、本実施の形態のタッチパネル２を得るために、保護膜８０が形成され（Ｓ１７）、周辺領域Ｂ内とパターン領域５１に対応してカラーフィルム７０が形成される。図９を参照すると、タッチパネル２は、逆の順番で、つまり、最初にジャンパー（第１ジャンパー２６と第２ジャンパー０３６を含む）を形成し、次に電極パターン（第１電極パターン２０と第２電極パターン３０を含む）を形成することで、製造される。このように、第２ジャンパー３６は、直接パターンマスク層５０に接触している。これによって、層間における高い密着性を得ることができ、周辺領域Ｂにおける第２電極パターンの剥離は破損を防ぐことができる。本実施形態において、タッチパネルの製造法は、第１実施形態と比較して、異なるプロセス順で行われてもよい。しかしながら、本実施の形態の残りは、他の部分の特性、材料特性と製造方法と同様に、実施の形態１で記載されたものとほとんど同様であり、ここでは説明しない。
【００６１】
本発明の他の実施形では、電極パターンの分布が修正されている。図１４は、第３の好適な実施の形態にかかるタッチパネル３を示す上面図である。図１４に示されているように、本実施形態のタッチパネル３は、特には構造及び材料特性において、図７に示す第１の実施形態のタッチパネル１と同様である。第１の好適な実施形態のタッチパネル１と対比して、第３の好適な実施形態は周辺領域Ｂ内において第３電極パターン６０を有している。第３電極パターン６０は、第１電極パターン２０と独立設計で区別できる。第１電極パターン２０と第３電極パターン６０の間に、直接的な関係はない。
【００６２】
第３電極パターン６０は、第１の軸方向（本実施形態ではＸ方向）に沿って設けられた複数の第５センシング電極６２と、第２の軸方向（本実施形態ではＹ方向）に沿って設けられ、互いに離間した複数の第６センシング電極６５と、を備えている。複数の第２ジャンパー３６は、隣接する２つの第６センシング電極６５を電気的に接続し、さらにトレース４０を介して外部のプロセッサと接続するため、絶縁層４１を介して第５センシング電極６２を乗り越えている。加えて、本実施形態では、第３電極パターン６０は、他の場所に設けられることなく、中空パターン５１ａ、５１ｂに対応して周辺領域Ｂにのみ設けられている。さらに、本実施形態にかかる第３電極パターン６０は、上記に限られるものではなく、他の実施形態に使用することができる。第３電極パターン６０は、第１及び第２の好適な実施形態に使用することができ、例えば、本発明の第２の好適な実施形態の逆のプロセスで組み込まれる。
【００６３】
要約すると、本発明のタッチパネルとその製造方法は、タッチパネルの表示領域と周辺領域のそれぞれにおいて種々のタッチ応答を実施するため、表示領域と周辺領域内における電極形成によって特徴づけられ、同様に、パターンマスク層を介した周辺領域の下層ボタンを形成によって特徴づけられる。このように、本発明は、タッチパネルの表面の平坦化と、簡便なクリーニングを達成することができる。さらに、本発明のタッチパネルは表示領域と周辺領域のそれぞれの電極パターン上のジャンパーが様々な材料を有しているので、表示領域は高い光透過性を提供することができ、周辺領域はより申請できるジャンパーを有している。
【００６４】
当業者は、本発明の教示を維持したまま、多々の改良、及び装置と方法の入れ替えを容易に気づくことができる。従って、上記の開示は、添付されたクレームの境界と範囲によってのみ限定されると解釈されるべきである。
【００６５】
本願は、出願番号が中国特許出願番号２０１３１０１４７８１４．３であって、出願日が２０１３年４月２４日である中国特許出願に基づき優先権を主張し、当該中国特許出願のすべての内容を本願に援用する。
【図１】
2015535637.tif 000003
【図２】
2015535637.tif 000004
【図３】
2015535637.tif 000005
【図４】
2015535637.tif 000006
【図５】
2015535637.tif 000007
【図６】
2015535637.tif 000008
【図７】
2015535637.tif 000009
【図８】
2015535637.tif 000010
【図９】
2015535637.tif 000011
【図１０】
2015535637.tif 000012
【図１１】
2015535637.tif 000013
【図１２】
2015535637.tif 000014
【図１３】
2015535637.tif 000015
【図１４】
2015535637.tif 000016
【手続補正書】
【提出日】平成27年5月29日(2015.5.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示領域と周辺領域とを有するタッチパネルであって、
カバー基板と、
前記カバー基板上に形成されたパターンマスク層であって、パターン領域を有し、前記周辺領域を規定するパターンマスク層と、
複数の第１ジャンパーを備え、前記表示領域に対応して前記カバー基板上に形成された第１電極パターンと、
第２ジャンパーを複数備えた少なくとも１つの第２電極パターンであって、前記第１ジャンパーと前記第２ジャンパーとが異なる材料を有しており、前記パターン領域に対応して前記パターンマスク層上に設けられた少なくとも１つの第２電極パターンと、を備えたタッチパネル。
【請求項２】
前記第２電極パターンが前記第１電極パターンと電気的に接続され、前記第１電極パターンの延長として機能する請求項１に記載のタッチパネル。
【請求項３】
前記パターン領域が中空パターンを有している請求項１、又は２に記載のタッチパネル。
【請求項４】
前記パターンマスク層に対応するカラーフィルムをさらに備える請求項１〜３のいずれか１項に記載のタッチパネル。
【請求項５】
前記第１電極パターンと前記第２電極パターンがセンシング電極層に分類される請求項１〜４のいずれか１項に記載のタッチパネル。
【請求項６】
前記センシング電極層上に設けられた保護層をさらに備える請求項５に記載のタッチパネル。
【請求項７】
前記第１電極パターンが
第１の軸方向に沿って延びる複数の平行な第１センシング電極と、
第２の軸方向に沿って設けられ、互いに平行な複数の第２センシング電極と、を備え、
前記第１センシング電極は前記第２センシング電極から電気的に分離され、
前記第２電極パターンが、
前記第１の軸方向に沿って延びる複数の平行な第３センシング電極と、
前記第２の軸方向に沿って設けられ、互いに平行な複数の第４センシング電極と、を備え、
前記第３センシング電極は前記第４センシング電極から電気的に分離されている請求項１〜６のいずれか１項に記載のタッチパネル。
【請求項８】
複数の前記第２センシング電極のそれぞれが、
前記第２の軸方向に沿って設けられ、互いに離間した複数の第２導電部を備え、
前記第１ジャンパーを介して、隣接する２つの前記第２導電部が互いに電気的に接続されている請求項７に記載のタッチパネル。
【請求項９】
複数の前記第４センシング電極のそれぞれが、
前記第２の軸方向に沿って設けられ、互いに離間した複数の第４導電部を備え、
前記第２ジャンパーを介して、隣接する２つの前記第４導電部が互いに電気的に接続されている請求項７、又は８に記載のタッチパネル。
【請求項１０】
前記第１ジャンパーが透明導電材料を有し、
前記第２ジャンパーが金属材料を有している請求項１〜９のいずれか１項に記載のタッチパネル。
【請求項１１】
さらに、前記第１センシング電極と前記第２センシング電極との間、及び、前記第３センシング電極と前記第４センシング電極との間に配置された絶縁層を備える請求項７〜９のいずれか１項に記載のタッチパネル。
【請求項１２】
前記周辺領域に対応するトレースをさらに備え、
前記トレースは、前記第１電極パターン及び前記第２電極パターンに電気的に接続されている請求項１〜１１のいずれか１項に記載のタッチパネル。
【請求項１３】
表示領域と、前記表示領域を囲む周辺領域とを備えたタッチパネルの製造方法であって、
パターン領域を備え、前記周辺領域を規定するパターンマスク層をカバー基板上に形成するステップと、
前記表示領域に対応する第１電極パターンと、前記パターン領域に対応する第２電極パターンとを有するセンシング電極層を形成するステップと、を備え
前記第１電極パターンは複数の第１ジャンパーを備え、
前記第２電極パターンは複数の第２ジャンパーを備え、
前記第１ジャンパーと前記第２ジャンパーが異なる材料を有している、製造方法。
【請求項１４】
前記第２ジャンパーが前記パターンマスク層上に形成され、前記パターンマスク層と直接接触している請求項１３に記載の製造方法。
【請求項１５】
さらに、前記パターンマスク層に対応するカラーフィルムを形成する請求項１３、又は１４に記載の製造方法。
【請求項１６】
さらに、前記センシング電極層上に保護層を形成する請求項１３〜１５のいずれか１項に記載の製造方法。
【請求項１７】
前記センシング電極層を形成するステップが、
前記カバー基板と前記パターンマスク層との上に導電層を形成するステップと、
前記表示領域内において第１の軸方向に沿った複数の平行な第１センシング電極と、前記周辺領域において前記第１の軸方向に沿った複数の平行な第３センシング電極と、第２の軸方向に沿って設けられ、前記表示領域内において互いに離間した複数の第２センシング電極と、前記第２の軸方向に沿って設けられ、前記周辺領域内において互いに離間した複数の第４センシング電極と、を形成するために前記導電層をパターニングするステップと、
絶縁層を形成して、前記第１センシング電極の一部の領域、及び前記第３センシング電極の一部の領域でパターニングするステップと、
前記第１センシング電極上に設けられた前記絶縁層上に、隣接する２つの第２導電部を電気的に接続する前記第１ジャンパーを形成するステップと、
前記第３センシング電極上に設けられた前記絶縁層上に、隣接する２つの第５導電部を電気的に接続する前記第２ジャンパーを形成するステップと、を備えた請求項１３〜１６のいずれか１項に記載の製造方法。
【請求項１８】
前記センシング電極層を形成するステップが、
前記表示領域内において、前記カバー基板上に第１ジャンパーを形成するステップと、
前記周辺領域内において、前記パターンマスク層上に第２ジャンパーを形成するステップと、
前記カバー基板、前記パターンマスク層、前記第１ジャンパー、及び前記第２ジャンパーの上に、絶縁層を成膜するステップと、
前記第１ジャンパー及び前記第２ジャンパーの両端にそれぞれ対応して、前記第１ジャンパー及び前記第２ジャンパーの一部を露出させるビアホールを複数形成するため、前記絶縁層をパターニングするステップと、
前記絶縁層、及び前記ビアホールの上に導電層を形成するステップと、
前記表示領域内において第１の軸方向に沿った複数の平行な第１センシング電極と、前記周辺領域において前記第１の軸方向に沿った複数の平行な第３センシング電極と、第２の軸方向に沿って設けられ、前記表示領域内において互いに離間した複数の第２導電部と、前記第２の軸方向に沿って設けられ、前記周辺領域内において互いに離間した複数の第４導電部と、を形成するために、前記導電層をパターニングするステップと、を備え、
前記ビアホールは、前記第１ジャンパー及び前記第２ジャンパーを介して、隣接する２つの導電部、及び隣接する２つの第４導電部を電気的に接続するため、前記第２導電部と前記第４導電部の上に設けられている請求項１３〜１７のいずれか１項に記載の製造方法。
【請求項１９】
前記第１ジャンパーが透明導電材料を有し、
前記第２ジャンパーが金属材料を有している請求項１３〜１８のいずれか１項に記載の製造方法。
【請求項２０】
前記周辺領域に対応するトレースが設けられ、
前記トレースは、前記第１電極パターン及び前記第２電極パターンに電気的に接続されている請求項１３〜１９のいずれか１項に記載の製造方法。
【国際調査報告】
2015535637.tif 000017
2015535637.tif 000018
2015535637.tif 000019
2015535637.tif 000020