(57)【要約】  本発明は、誘電性ケーブルキャリアに装着される複数の導体を有して、導体の各々が接点フィンガと接続接点との両方に接続される、電子部品を測定するための装置において、導体の少なくとも一つにスイッチが組み込まれ、スイッチを介して導体がアース結線に追加的に接続されうることを特徴とする電子部品を測定するための装置に関する。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
誘電性導体キャリア（１）に装着される複数の導体（２）を有し、前記導体（２）の各々が、一方では接点フィンガ（３）に、他方では接続接点（４）に接続される、電子部品を測定するための装置において、
前記導体（２）の少なくとも一つにスイッチ（５）が組み込まれ、前記スイッチを介して、前記導体（２）が、アース結線（６）に追加で接続されうる
ことを特徴とする電子部品を測定するための装置。
【請求項２】
請求項１に記載の電子部品を測定するための装置において、
前記導体（２）の各々がそれぞれのスイッチ（５）を介してアース結線（６）に接続されうる
ことを特徴とする電子部品を測定するための装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の電子部品を測定するための装置において、
前記アース結線（６）への接続が少なくとも一つのバッファ部材を介して行われる
ことを特徴とする電子部品を測定するための装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の電子部品を測定するための装置において、
前記スイッチ（５）が少なくとも三つの切換位置を有し、その場合に関連の導体（２）が、
第１切換位置ではアース結線（６）に接続されず、
第２切換位置では前記アース結線（６）に直接的に接続され、
第３切換位置では少なくとも一つのバッファ部材を介して前記アース結線（６）に接続される、
ことを特徴とする電子部品を測定するための装置。
【請求項５】
請求項３または請求項４に記載の電子部品を測定するための装置において、
前記バッファ部材は、コンデンサ（７）とレジスタ（８）とを有する
ことを特徴とする電子部品を測定するための装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、誘電性導体キャリアに装着される複数の導体を有して、導体の各々が一方では接点フィンガに、他方では接続接点に接続される、電子部品を測定するための装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウェハプローブと称されるものの形の一般的な種類の装置は、例えば特許文献１から周知である。この種のウェハプローブは、例えば、ウェハから形成される電子回路の動作および電気特性を検査するために使用され、その目的のため、この回路は、接続接点を介して適切な測定装置に接続される。これを行うため、ウェハプローブは、その接点フィンガが規定の点でプリント導体と接触するようにウェハに装着される。
【０００３】
検査される電子部品の異なる接触点で接触するように各々が設けられるとともに、当該の導体を介して適切な接続接点に接続される複数の接点フィンガを有するようにこの種のウェハプローブ（「多接点ウェハプローブ」）が設計されることは、周知である。ウェハプローブのこれら個別接点の各々について、接点を介して伝導される電気エネルギーまたは接点を介して伝導される信号が辿る経路は、検査される電子部品の接点レイアウトに応じて異なるものでありうる。
【０００４】
周知の多接点ウェハプローブでは、各個別接点での電気エネルギーまたは信号のための機能または経路は、検査される電子部品の接点レイアウトに合わせて調整される。そのため、異なる接点レイアウトを有する部品を検査するには、このレイアウトに合わせて調整された新規のウェハプローブが生産されなければならない。
【０００５】
合計三つの異なる経路が備えられることが周知であり、接点フィンガと関連の接続接点との間の直接的または排他的結線である第１経路として備えられるものを含む。別の第２経路は、この一つの接点フィンガを接続接点に接続する導体を有するこの接点フィンガにアース結線を追加で設けるように備えられる。第３経路の場合には、特にコンデンサおよびレジスタなどのバッファ部材を介してアース結線が設けられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】独国特許発明第１９９４５１７８Ｃ２号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記の先行技術を出発点と考えると、本発明の基礎となる目的は、異なる接点レイアウトを有する電子部品を検査する費用および複雑性を軽減することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この目的は、独立請求項１に記載の装置によって達成される。本発明による装置の有利な実施形態は従属請求項の主題を成し、以下に見られる本発明の説明から明らかとなりうる。
【０００９】
本発明の基礎となる概念は、装置の少なくとも一つの個別接点を介して伝導される電気エネルギーまたは信号の辿る経路の可変性によって、この個別接点、好ましくはあらゆる個別接点の機能を可変にすることにより、電子部品を測定するための一般的な種類の装置（多接点ウェハプローブ）をより柔軟にすることである。これは、異なる接点レイアウトを有する複数の電子部品を検査するのに装置が使用されることを可能にする。この目的のため、検査される電子部品の特定の接点レイアウトに合わせて個別接点の機能が調整されるのみでよい。
【００１０】
そのため、誘電性導体キャリアに装着される複数の導体を包含してこの導体の各々が接点フィンガと接続接点とに接続される、電子部品を測定するための一般的な種類の装置は、本発明によれば、スイッチ（好ましくは機械的なもの）が少なくとも一つ、好ましくはすべての導体に組み込まれ、このスイッチを介して関連の導体がアース結線に追加で接続されうることを特徴とする。アース結線への接続が直接的または少なくとも一つのバッファ部材を介して行われるための備えが、この場合に設けられることが好ましい。
【００１１】
特に好ましいものとして、スイッチが少なくとも三つの切換位置を有するように備えが設けられ、この場合に、関連の導体が第１切換位置ではアース結線に接続されず、第２切換位置ではアース結線に直接的に接続され、第３切換位置では少なくとも一つのバッファ部材を介してアース結線に接続される。これは、検査される電子部品の異なる接点レイアウトに合わせて調整するための特に高い柔軟性を与える電子部品の検査に関連する機能を、個別接点の各々が備えることを可能にする。
【００１２】
バッファ部材は好ましくは、（少なくとも）一つのコンデンサ（特に一つのコンデンサ）と、（少なくとも）一つのレジスタとを有する。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
本発明による装置が、図面に示された実施形態を参照して以下で詳しく説明される。
【図１】本発明による装置の平面図である。
【図２】図１に示された本発明による装置の各個別接点で可能な切換位置を、これから生じる経路とともに示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
図１に示された本発明による装置は、プリント導体の形の複数の導体２が下面に装着される誘電性導体キャリア１を有する。これらのプリント導体は相互にある間隔で配置され、こうして相互に電気絶縁されている。個別接点を形成するため、導体２の各々は、導電性材料で製作される（弾性）接点フィンガ３に一方で接続されている。検査される電子部品（不図示）の上のプリント導体または他の電気部品と接触するために設けられる接点フィンガ３は、導体キャリア１よりも突出して、実質的に直線上に終端を持つ。導体２の各々は、ＤＣピンと称されるものの形の接続接点４にも接続される。装置はこれらの接続接点４を介して測定装置（不図示）に接続される。
【００１５】
本発明によれば、スイッチ５（従来の小型スイッチ）が導体２の各々に組み込まれる。これらのスイッチ５の各々は、三つの択一的な切換位置を有する。図１および２に「Ｄ」で示された第１切換位置では、所与の接点フィンガ３と関連の接続接点４との間に直接的または排他的な電気接続が設けられる。図１および２に「Ｇ」で示された（第２）切換位置へスイッチ５が動かされると、アース結線６への追加的接続が設けられる。図１および２に「Ｐ」で示された切換位置の場合には、アース結線６への追加的接続のための備えが同様に設けられるが、これは介在バッファ部材を介して行われる。このバッファ部材は、（好ましくは明確に規定された）コンデンサ７（例えば１０ｎＦ）と、（好ましくは明確に規定された）レジスタ８（例えば２．２Ω）とを包含する。
【００１６】
検査される電子部品の接点レイアウトの機能に応じて、接点レイアウトに合わせて調整される経路が個別接点の各々について設定されるようにして複数のスイッチ５の各々が切り換えられうる。
【図１】
2015511004.tif 000003
【図２】
2015511004.tif 000004
【手続補正書】
【提出日】平成25年10月1日(2013.10.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
誘電性導体キャリア（１）に装着される複数の導体（２）を有し、前記導体（２）の各々が、一方では接点フィンガ（３）に、他方では測定装置への接続のための接続接点（４）に接続される、電子部品を測定するための装置において、
前記導体（２）の少なくとも一つにスイッチ（５）が組み込まれ、前記スイッチを介して、前記接点フィンガと前記接続接点とを接続する導体（２）である接点フィンガと接続接点との間の前記導体（２）が、アース結線（６）に追加で接続されうる
ことを特徴とする電子部品を測定するための装置。
【請求項２】
請求項１に記載の電子部品を測定するための装置において、
前記導体（２）の各々がそれぞれのスイッチ（５）を介してアース結線（６）に接続されうる
ことを特徴とする電子部品を測定するための装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の電子部品を測定するための装置において、
前記アース結線（６）への接続が少なくとも一つのバッファ部材を介して行われる
ことを特徴とする電子部品を測定するための装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の電子部品を測定するための装置において、
前記スイッチ（５）が少なくとも三つの切換位置を有し、その場合に関連の導体（２）が、
第１切換位置ではアース結線（６）に接続されず、
第２切換位置では前記アース結線（６）に直接的に接続され、
第３切換位置では少なくとも一つのバッファ部材を介して前記アース結線（６）に接続される、
ことを特徴とする電子部品を測定するための装置。
【請求項５】
請求項３または請求項４に記載の電子部品を測定するための装置において、
前記バッファ部材は、コンデンサ（７）とレジスタ（８）とを有する
ことを特徴とする電子部品を測定するための装置。
【国際調査報告】
2015511004.tif 000005
2015511004.tif 000006
2015511004.tif 000007
2015511004.tif 000008