(57)【要約】本開示は、少なくとも部分的に金属から構成される及び／又は少なくとも部分的に金属から成る多結晶シリコン接触面を有する容器内で保持又は保管される際の、多結晶シリコンの金属汚染低減又は緩和に関する。具体的には、容器金属表面との接触による多結晶シリコンの金属汚染を、微孔質エラストマーポリウレタンを含む保護層を表面に設けることにより緩和する方法に関する。
2015535512.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
保管中又は運搬中、容器の内側金属表面と接触することによる粒状多結晶シリコンの汚染を低減又は回避する方法であって、
微孔質エラストマーポリウレタンを含む保護ライナーが内側金属表面の少なくとも一部に設けられた容器に、粒状多結晶シリコンを入れるステップ
を含み、
前記保護ライナーは、前記粒状多結晶シリコンを前記内側金属表面との接触から遮断するように配されている方法。
【請求項２】
請求項１記載の方法において、前記ポリウレタンのショア硬度は６５Ａ〜９０Ａであり、バルク密度は８００〜１１５０ｋｇ／ｍ３である方法。
【請求項３】
請求項１又は２記載の方法において、前記保護ライナーの全厚は、０．１〜１０ミリメートルである方法。
【請求項４】
請求項１又は２記載の方法において、前記粒状多結晶シリコンは、基本的に回転楕円形状で、最大寸法における平均サイズは０．０１ミクロン〜１５ミリメートルであり、尖端構造又は鋭端構造を有さない方法。
【請求項５】
粒状多結晶シリコンの保持に適した容器であって、
粒状多結晶シリコンの収容領域を画定する内側金属表面を有する容器と、
前記収容領域に対向する前記内側金属表面の少なくとも一部に設けられた、微孔質エラストマーポリウレタンを含む保護ライナーと
を備え、
前記粒状多結晶シリコンは、前記収容領域に存在する際は、前記保護ライナーと接触し、前記ポリウレタンのショア硬度は６５Ａ〜９０Ａであり、バルク密度は８００〜１１５０ｋｇ／ｍ３である容器。
【請求項６】
請求項５記載の容器において、前記保護ライナーの全厚は、０．１〜１０ミリメートルである容器。
【請求項７】
請求項５又は６記載の容器において、前記粒状多結晶シリコンは、基本的に回転楕円形状で、最大寸法における平均サイズは０．０１ミクロン〜１５ミリメートル程度であり、実質的に尖端構造又は鋭端構造を有さない容器。
【請求項８】
請求項５又は６記載の容器を形成する方法であって、
微孔質エラストマーポリウレタンを含む保護ライナーを、内側金属表面を有する容器内に設け、前記内側金属表面の少なくとも一部を前記保護ライナーで覆うステップ
を含む方法。
【請求項９】
請求項８記載の方法において、前記保護ライナーを前記容器内に設けるステップは、（ａ）前記内側金属表面の前記一部に、ポリウレタンを吹き付け塗布するステップ又は（ｂ）前記保護ライナーをｉｎ  ｓｉｔｕ鋳造により作成するステップを含む方法。
【請求項１０】
請求項８記載の方法において、前記保護ライナーを前記容器内に設けるステップはさらに、
エラストマー微孔質ポリウレタンのシートを用意するステップと、
前記シートを切断し、前記容器の前記内側金属表面により画定された前記収容領域の内側サイズ及び形状に合わせて形状付けられた１又は複数のエラストマー微孔質ポリウレタン部分を形成するステップと、
前記容器の前記内側金属表面に接着剤を塗布するステップと、
前記１又は複数のエラストマー微孔質ポリウレタン部分を前記接着剤と接触させ、金属／接着剤／ポリウレタンの積層構造を形成するステップと
を含む方法。
【請求項１１】
請求項８記載の方法において、前記保護ライナーを前記容器内に設けるステップはさらに、
エラストマー微孔質ポリウレタンのシートを用意するステップと、
前記シートを切断し、前記容器の前記内側金属表面により画定された前記収容領域の内側サイズ及び形状に合わせて形状付けられた１又は複数のエラストマー微孔質ポリウレタン部分を形成するステップと、
前記１又は複数のエラストマー微孔質ポリウレタン部分に接着剤を塗布し、接着剤コーティングされた１又は複数のポリウレタン部分を形成するステップと、
前記接着剤コーティングされた１又は複数のポリウレタン部分を前記容器の前記内側金属表面と接触させ、金属／接着剤／ポリウレタンの積層構造を形成するステップと
を含む方法。
【請求項１２】
物品であって、
（ａ）多結晶シリコンの収容領域を画定する内側金属表面を有し、微孔質エラストマーポリウレタンを含む保護ライナーが前記内側金属表面の少なくとも一部に設けられた多結晶シリコンの保持に適した容器と、
（ｂ）前記容器内に配された粒状多結晶シリコンと
を備え、
前記多結晶シリコンは、前記保護ライナーにより、前記内側金属表面との接触から遮断されている物品。
【請求項１３】
請求項１２記載の物品において、前記粒状多結晶シリコンは、基本的に回転楕円形状で、最大寸法における平均サイズは０．０１ミクロン〜１５ミリメートル程度であり、実質的に尖端構造又は鋭端構造を有さない物品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
［関連出願の相互参照］
本発明は、２０１２年１１月９日出願の米国仮特許出願第６１／７２４，８４４号の優先権を主張するものであり、その全内容を参照により本明細書に組み込むものとする。
【０００２】
本開示は、改変された多結晶シリコン容器及びその中に収容された多結晶シリコンの金属汚染を緩和する方法に関する。
【背景技術】
【０００３】
超高純度のシリコンは、電子産業及び太陽電池産業の用途に広く使用されている。こうした用途向けに産業上必要とされる純度は非常に高く、しばしば、十億分の一（ｐｐｂ）のレベルで測定される極微量の汚染のみを含む材料が許容範囲とされる。こうした高純度の多結晶シリコンは、多結晶シリコンの製造に用いる反応物質純度を厳密に規制することにより製造可能ではあるが、製造後の汚染を防止するためには、あらゆる取り扱い、梱包又は運搬といった作業に厳重な注意を払わなければならない。多結晶シリコンの表面との接触時には必ず、多結晶シリコンがその表面材料で汚染される危険が伴う。汚染の程度が所定の産業基準を上回った場合、材料を上記の最終用途用に販売できる可能性は制限又は喪失することさえあり得る。こうした観点から、接触による金属汚染を最小限に抑えることは、半導体産業のシリコン性能基準を満たす上で重要な関心事である。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
金属接触汚染の問題に対処すると共に、稼働寿命が長く、容器の取り換え及び／又は樹脂部材の交換を頻繁に行う必要がない容器を提供する必要がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
一側面によれば、本開示は、保管中又は運搬中、容器の内側金属表面と接触することによる粒状多結晶シリコンの汚染を低減又は回避する方法であって、微孔質エラストマーポリウレタンを含む保護ライナーが内側金属表面の少なくとも一部に設けられた容器に、多結晶シリコンを入れるステップを含み、保護ライナーは、多結晶シリコンを内側金属表面との接触から遮断するように配されている方法に関する。
【０００６】
別の側面によれば、本開示は、粒状多結晶シリコンの保持に適した容器に関する。容器は、少なくとも部分的に金属から成り、多結晶シリコンの収容領域を画定する内側金属表面を有する。内側面の多結晶シリコンと接触する部分には、微孔質エラストマーポリウレタンを含む保護ライナーが設けられており、それにより、多結晶シリコンの金属汚染が低減又は回避される。
【０００７】
さらに別の側面によれば、本開示は、物品であって、
（ａ）多結晶シリコンの保持領域を画定する内側金属表面を有し、微孔質エラストマーポリウレタンを含む保護ライナーが内側金属表面の部分に設けられた多結晶シリコンの保持に適した容器と、
（ｂ）容器内に配された粒状多結晶シリコンと
を備え、
多結晶シリコンは、保護ライナーと接触しており、それにより、多結晶シリコンの金属汚染が低減又は回避される物品に関する。
【０００８】
上述した及びその他の目的、特徴及び効果は、以下の詳細な説明から一層明白になるであろう。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】多結晶シリコンの保持に適したライナーが設けられた容器を示す概略断面図である。
【図２】多結晶シリコンの保持及び排出に適したライナーが設けられたホッパー及び排出シュートを示す概略斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
特に断りがない限り、本明細書中に記載の数値及び範囲は全て、そうした数値及び範囲を特定するために必要な試験の科学的不確定値の範囲内の概値である。
【００１１】
本開示の文脈で「保管容器」という表現は、少なくとも部分的に金属から構成される及び／又は少なくとも部分的に金属から成る多結晶シリコン接触面を有するビン、ドラム、シュート、ホッパー又は圧搾ベッドを包含し得る。容器は、多結晶シリコンの処理及び製造作業並びに／又は多結晶シリコンの梱包及び運搬に関連し得る。また、容器は、多結晶シリコンが容器内に保持されている商品であり得る。
【００１２】
容器内に保持される多結晶シリコンは、特定の原料源に特定されず、多結晶シリコンの製造方法で流動床反応器中の種として用いられる微粒子状又は粒状のシリコン又はそうした方法から得られる生成物を含み得る。また、容器内に収容される多結晶シリコンは、シーメンス法により得られるものであっても、米国特許出願公開第２００３／０１５０３７８号に記載の方法により得られるシリコンデンドライトであってもよい。
【００１３】
一実施形態では、多結晶シリコンの保管容器は、流動床による結晶ポリシリコン製造プロセスに関連の多結晶シリコン、典型的には、顆粒状シリコン又は粒状シリコンと呼称されるものに用いられる容器である。顆粒状シリコンは、最大寸法における平均サイズが約０．０１ミクロン〜１５ミリメートル程度の物質を含む。より典型的には、多くの顆粒状シリコンは、平均粒径が０．１〜約５ミリメートルで、基本的に回転楕円形状であり、尖端構造又は鋭端構造を有さないと考えられる。
【００１４】
容器内に保持されたシリコンの金属汚染は、シリコンと金属表面とが直接接触すること、又は、腐食生成物又は摩耗生成物が離散金属分子としてシリコン塊（例えば、微粒子状多結晶シリコン）のバルク内に組み入れられることにより生じる。開示の実施形態では、容器の１又は複数の内側金属表面を少なくとも部分的に覆う保護ライナーを設けることにより汚染を低減又は回避することができる。ここで、保護ライナーは、微孔質エラストマーポリウレタンを含む。本明細書中の文脈では、「ポリウレタン」という用語は、重合骨格にポリウレタン類又はポリウレタン架橋結合を有する物質も包含し得る。いくつかの実施形態では、表面の少なくとも５０％又は少なくとも７５％が本明細書中で開示の保護ライナーで覆われる。特定の実施形態では、表面は、保護ライナーで完全に覆われる。「完全に」という用語は、現実的に考えて実質的に不足がないという意味で解釈されるべきである。多結晶シリコンを容器に入れると、多結晶シリコンは露出した金属表面ではなく、保護ライナーに接触する。
【００１５】
図１は、例示的な多結晶シリコン保管容器１０を示す概略断面図である。多結晶シリコン保管容器１０は、少なくとも部分的に金属から構成されている容器２０と、容器２０の１又は複数の内側表面２２を少なくとも部分的に覆う保護ライナー３０とを備える。容器２０に配された微粒子状又は粒状の多結晶シリコン４０は、保護ライナー３０と接触している。
【００１６】
図２は、例示的な多結晶シリコン容器システム１００を示す概略斜視図である。多結晶シリコン容器システム１００は、保管ホッパー１１０及び排出シュート１２０を備える。保管ホッパー１１０及びシュート１２０の一方又は両方は少なくとも部分的に金属から構成されている。保護ライナー１３０は、ホッパー１１０の１又は複数の内側金属表面１１２及び／又はシュート１２０の１又は複数の内側金属表面１２２を少なくとも部分的に覆っている。ホッパー１１０及びシュート１２０内に配された微粒子状又は粒状の多結晶シリコン１４０は、保護ライナー１３０と接触している。
【００１７】
「エラストマー」という用語は、例えば、硬化天然ゴムのような弾性を有する重合体を指す。すなわち、エラストマー重合体は、伸張可能であり、緩めると略元の長さ及び形状に収縮される。
【００１８】
「微孔質」という用語は一般的に、孔サイズが１〜１００μｍの発泡構造を指す。微孔質物質は通常、表面的には固体に見え、高倍率の顕微鏡で観察しない限り網状構造を認識することはできない。エラストマーポリウレタンに関して言えば、「微孔質」は典型的には、例えば、バルク密度が６００ｋｇ／ｍ３超のエラストマーポリウレタンであるというように、密度により定義される。ポリウレタンは、通常はバルク密度が低くなれば網状構造を持ち始め、一般的には本明細書中に記載の保護コーティングへの利用に適さなくなる。
【００１９】
開示の用途への使用に適した微孔質エラストマーポリウレタンは、バルク密度が１１５０ｋｇ／ｍ３以下で、ショア硬度が６５Ａ以上のものである。一実施形態では、エラストマーポリウレタンのショア硬度は、９０Ａ以下、例えば、８５Ａ以下、かつ、７０Ａ以上である。したがって、ショア硬度は、６５Ａ〜９０Ａ、例えば、７０Ａ〜８５Ａの範囲であり得る。また、適切なエラストマーポリウレタンのバルク密度は、６００ｋｇ／ｍ３以上、例えば、７００ｋｇ／ｍ３以上、より好ましくは８００ｋｇ／ｍ３以上、かつ、１１５０ｋｇ／ｍ３以下、例えば、１１００ｋｇ／ｍ３以下又は１０５０ｋｇ／ｍ３以下であると考えられる。したがって、バルク密度は、６００〜１１５０ｋｇ／ｍ３、例えば、８００〜１１５０ｋｇ／ｍ３又は８００〜１１００ｋｇ／ｍ３の範囲であり得る。固体ポリウレタンのバルク密度は、１２００〜１２５０ｋｇ／ｍ３の範囲であると考えられる。一実施形態では、エラストマーポリウレタンのショア硬度は６５Ａ〜９０Ａで、バルク密度は８００〜１１００ｋｇ／ｍ３である。
【００２０】
エラストマーポリウレタンは、熱硬化性重合体であっても熱可塑性重合体であってもよいが、ここで開示の用途には熱硬化性ポリウレタンを用いることが適切である。上述した物理的属性を有する微孔質エラストマーポリウレタンは、特に頑強であることが分かっており、他の材料に比べ、摩耗環境及び微粒子状・顆粒状シリコンに晒されることに対して著しく耐性が高い。
【００２１】
容器内側金属表面の保護ライナー又はコーティングは、典型的には、０．１ミリメートル以上、例えば、０．５ミリメートル以上、１．０ミリメートル以上又は３．０ミリメートル以上の全厚、かつ、約１０ミリメートル以下、例えば、約７ミリメートル以下又は約６ミリメートル以下の厚さで存在すると考えられる。保護ライナーは、外側のポリウレタンのラメラをシリコンに接触した状態で有するプラスチック積層構造とすることができる。ただし、一実施形態では、保護ライナーの大部分又は全体がエラストマー微孔質ポリウレタンとすることもできる。
【００２２】
保護ライナーは、以下のステップ、つまり、エラストマー微孔質ポリウレタンのシートを用意するステップと、シートを切断し、容器の空洞の内側サイズ及び形状に合わせて形状付けられた１又は複数の部分を形成するステップと、容器の内側金属表面の少なくとも一部に接着剤を塗布するステップと、その後ポリウレタンシートを接着剤と接触させ、金属／接着剤／ポリウレタンの積層構造を形成するステップとにより容器内に設けることができる。別の実施形態では、ポリウレタン材料の外側表面（すなわち、容器の内側金属表面に対向する面）に接着剤を塗布し、ポリウレタン／接着剤を容器の内側金属表面に接触させる。さらに別の実施形態では、内側金属表面及びポリウレタン材料表面の両方に接着剤を塗布する。接着剤として、金属及びポリウレタンに適合性があるものを選択し、十分に接着すると共に後の剥離及び／又は破損を防ぐことが好ましい。適切な接着剤として、以下に限定されるわけではないが、ポリウレタン、イソシアネート又はエポキシ系接着剤が挙げられる。任意選択的に、接着剤に接触させる金属表面及び／又はポリウレタンシートの裏側表面を粗面化及び／又はプライマー物質で処理し、接着剤結合の強度と安全性を高めてもよい。
【００２３】
別の実施形態、例えば、容器の内側構造及び形状が複雑である場合には、微孔質ポリウレタン保護ライナーは、吹き付け塗布法により設けることができる。この方法では、ポリウレタンの前駆物質を混合し、反応集合体（ｒｅａｃｔｉｖｅ  ｍａｓｓ）として露出金属表面に直接塗布し、その反応及び硬化により所望の保護ライナーを得る。保護ライナーをこのように作成することで、ポリウレタンを金属表面に良好に接着させることができると共に、前述した切断シートにより設ける方法で生じる継ぎ目を防ぐことができるという利点がある。また、吹き付け塗布の代替となる塗布方法として、ポリウレタンのｉｎ  ｓｉｔｕ鋳造が挙げられる。この方法には、鋳造品に略円滑な切れ目のないポリウレタン表面を与えることができるという別の利点がある。
【００２４】
微孔質ポリウレタンエラストマーの作成方法は、当業者には周知であり、一般的には、ポリイソシアネートをポリエーテルポリオールと反応させてポリエーテルポリオール系ポリウレタン（「Ｐｅ−ＰＵ」）を生成するステップ、又は、ポリイソシアネートをポリエステルポリオールと反応させてポリエステルポリオール系ポリウレタン（「Ｐｓｔ−ＰＵ」）を生成するステップを含む。ポリエステルポリオール系ポリウレタンエラストマーは通常、ポリエーテルポリオール系ポリウレタンエラストマーよりも本明細書中で開示の用途に適した物性を有することが知られるため、ここでの使用に好適なエラストマーポリウレタンである。微孔質ポリウレタンエラストマーの調製を教示する例示的な文献として、米国特許第４，６４７，５９６号、米国特許第５，９６８，９９３号、米国特許第５，２３１，１５９号、米国特許第６，５７９，９５２号、米国特許出願公開第２００２／１１１，４５３号及び米国特許出願公開第２０１１／００３１０３号が挙げられる。ポリウレタンのライナーが設けられた金属製物品の製造方法は当業者には周知であり、例えば、米国特許出願公開第２００５／１８９，０２８号、英国特許出願公開第２，０３０，６６９号、米国特許第５，３３０，２３８号又は日本国実用新案出願広告第５２−２０４５２号等の文献により例示されている。ポリウレタン又はポリウレタンウレア及びこれらを用いた物品の吹き付け方法による製造方法は、当業者には周知であり、例えば、米国特許出願公開第２００８／３０５，２６６号、国際特許出願公開第２０１２／００５３５１号、米国特許第６，３９９，７３６号、米国特許第６，７４７，１１７号、米国特許第７，７３６，７４５号及び米国特許第６，７３０，３５３号等の文献に例示されている。
【００２５】
ポリウレタンのライナーが設けられた容器は、保管及び／又は運搬される際の粒状多結晶シリコンの金属汚染を十分に緩和できることが分かっている。顆粒状多結晶シリコンが運搬される際、ポリウレタンライナーが摩耗により破損又は破壊される可能性は驚くほど少ないか又は無い。また、多結晶シリコンの有機汚染又は炭素汚染は最小限に抑えられ、多結晶シリコンの全体的な品質に影響を与えないことが分かっている。
【００２６】
本明細書中に記載の実施例は例示のみを目的としており、本開示はこれらに限定されないものとして認識されるべきである。
【実施例】
【００２７】
容器の保護ライナーとして、微孔質エラストマーポリウレタンを選択することが他の可能なライナー材料と比較して効果的である点を、そうした可能なライナー材料の耐摩耗性を調べることにより示す。摩耗は、保護ライナーの破損の大きな要因と考えられている。そこで、選択すべき材料を特定するために、摩耗促進試験を行った。
【００２８】
本明細書中に開示の用途の保護コーティング層に用いることが可能と考えられる様々なプラスチック樹脂に対して摩耗促進試験を行った。試験の手順は、顆粒状多結晶シリコンの製造、運搬及び保管に関連の典型的作業において生じ得る厳しい条件を摸倣するように作成した。一般的な手順は、プラスチック樹脂クーポン（３”×３”×０．５”（７．６×７．６×１．３ｃｍ）を微粒子状多結晶シリコンの摩耗や衝撃による腐食に晒すステップと、所定時間後にクーポン表面の変化を観察するステップとを含む。用いた微粒子状又は粒状の多結晶シリコンは、基本的に円滑な回転楕円形粒子で、平均（９５％）粒径が０．９〜１．２ｍｍのものである。多結晶シリコン粒子は、約１５ｐｓｉ（１０３，４２０Ｐａ）の圧力で流れ、４５〜５５フィート／秒（１３．７〜１６．８ｍ／秒）の粒子速度を生成すると推定される吹き出し気流に運ばれることにより、プラスチッククーポンの大きな表面に中心点で衝撃を与える。吹き出し気流の向きは、クーポン表面に対して所定の一定の衝撃角度をなすように設定した。こうした構成により、クーポン表面は、約２４ｋｇ／時間の粒状多結晶シリコン材料の流れに晒される。多結晶シリコンに対する設定連続露出時間の後、表面に形成されたクレーターの深さを測定し、摩耗によるクーポンの破損を調べた。
【００２９】
次の表１に考察を示す。エラストマーポリウレタンは、クレーターの形成が抑制されたことから判るように、より良い性能を有することが明らかに見て取れる。
【表１】
2015535512.tif 000003
【００３０】
多結晶シリコンを保管及び／又は運搬するための、ライナーが設けられた容器の実施形態を中心にここまで説明してきたが、当業者には理解されるように、例えば、ゲルマニウムといった半導体産業で重要な材料は他にも存在し、金属異物との接触による汚染を回避するための管理は同様に非常に必要とされている。
【００３１】
保管中又は運搬中、容器の内側金属表面と接触することによる粒状多結晶シリコンの汚染を低減又は回避する方法は、微孔質エラストマーポリウレタンを含む保護ライナーが内側金属表面の少なくとも一部に設けられた容器に、粒状多結晶シリコンを入れるステップを含み、保護ライナーは、粒状多結晶シリコンを内側金属表面との接触から遮断するように配されている。いくつかの実施形態では、ポリウレタンのショア硬度は６５Ａ〜９０Ａであり、バルク密度は８００〜１１５０ｋｇ／ｍ３である。
【００３２】
上記実施形態のいずれか又は全てにおいて、保護ライナーの全厚は、０．１〜１０ミリメートルとすることができる。上記実施形態のいずれか又は全てにおいて、粒状多結晶シリコンは、基本的に回転楕円形状で、最大寸法における平均サイズは０．０１ミクロン〜１５ミリメートルであり、尖端構造又は鋭端構造を有さないこととすることができる。
【００３３】
粒状多結晶シリコンの保持に適した容器は、粒状多結晶シリコンの収容領域を画定する内側金属表面を有する容器と、収容領域に対向する内側金属表面の少なくとも一部に設けられた、微孔質エラストマーポリウレタンを含む保護ライナーとを備え、粒状多結晶シリコンは、収容領域に存在する際は、保護ライナーと接触し、ポリウレタンのショア硬度は６５Ａ〜９０Ａであり、バルク密度は８００〜１１５０ｋｇ／ｍ３である。いくつかの実施形態では、保護ライナーの全厚は、０．１〜１０ミリメートルである。上記実施形態のいずれか又は全てにおいて、粒状多結晶シリコンは、基本的に回転楕円形状で、最大寸法における平均サイズは０．０１ミクロン〜１５ミリメートルであり、尖端構造又は鋭端構造を有さないこととすることができる。
【００３４】
容器を形成する方法は、微孔質エラストマーポリウレタンを含む保護ライナーを、内側金属表面を有する容器内に設け、内側金属表面の少なくとも一部を保護ライナーで覆うステップを含む。一実施形態では、保護ライナーを容器内に設けるステップは、（ａ）内側金属表面の一部に、ポリウレタンを吹き付け塗布するステップ又は（ｂ）保護ライナーをｉｎ  ｓｉｔｕ鋳造により作成するステップを含む。別の実施形態では、保護ライナーを容器内に設けるステップはさらに、（ｉ）エラストマー微孔質ポリウレタンのシートを用意するステップと、（ｉｉ）シートを切断し、容器の内側金属表面により画定された収容領域の内側サイズ及び形状に合わせて形状付けられた１又は複数のエラストマー微孔質ポリウレタン部分を形成するステップと、（ｉｉｉ）容器の内側金属表面に接着剤を塗布するステップと、（ｉｖ）１又は複数のエラストマー微孔質ポリウレタン部分を接着剤と接触させ、金属／接着剤／ポリウレタンの積層構造を形成するステップとを含む。さらに別の実施形態では、保護ライナーを容器内に設けるステップはさらに、（ｉ）エラストマー微孔質ポリウレタンのシートを用意するステップと、（ｉｉ）シートを切断し、容器の内側金属表面により画定された収容領域の内側サイズ及び形状に合わせて形状付けられた１又は複数のエラストマー微孔質ポリウレタン部分を形成するステップと、（ｉｉｉ）１又は複数のエラストマー微孔質ポリウレタン部分に接着剤を塗布し、接着剤コーティングされた１又は複数のポリウレタン部分を形成するステップと、（ｉｖ）接着剤コーティングされた１又は複数のポリウレタン部分を容器の内側金属表面と接触させ、金属／接着剤／ポリウレタンの積層構造を形成するステップとを含む。
【００３５】
物品は、（ａ）多結晶シリコンの収容領域を画定する内側金属表面を有し、微孔質エラストマーポリウレタンを含む保護ライナーが内側金属表面の少なくとも一部に設けられた多結晶シリコンの保持に適した容器と、（ｂ）容器内に配された粒状多結晶シリコンとを備え、多結晶シリコンは、保護ライナーにより、内側金属表面との接触から遮断されている。いくつかの実施形態では、粒状多結晶シリコンは、基本的に回転楕円形状で、最大寸法における平均サイズは０．０１ミクロン〜１５ミリメートル程度であり、実質的に尖端構造又は鋭端構造を有さない。
【００３６】
開示の本発明の原理を適用することができる多くの可能な実施形態に鑑みて、記載の実施形態はあくまで本発明の好適な一例であり、本発明の範囲を限定するものとして解釈されるべきではないことを認識すべきである。むしろ、本発明の範囲は添付の請求の範囲で規定されるものである。
【図１】
2015535512.tif 000004
【図２】
2015535512.tif 000005
【国際調査報告】
2015535512.tif 000006
2015535512.tif 000007
2015535512.tif 000008