(57)【要約】加工材取扱いシステムにおいて加工材を取り扱うシステム及び方法が開示されている。このシステムは、３個のコンベヤベルトを利用する。一実施形態において、第１のコンベヤベルトは、装荷ベルト（ローディングベルト）であり、未加工の加工材を関連する加工材キャリアから加工システムに供給する。第２のコンベヤベルトは、除荷ベルト（アンローディングベルト）であり、加工済みの加工材を加工システムから受け取り、関連する加工材キャリアに装荷する。第３のコンベヤベルトは、その間に加工材キャリアを交換し、一旦、全ての加工材が第１のコンベヤベルトに関連する加工材キャリアから取り出されると、装荷ベルトとしての作動を開始可能とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工材取扱いシステムであって、
３個のコンベヤベルトと、
それぞれのコンベヤベルトに関連し、それぞれが加工材キャリアを保持可能とした３個のインデクサーと、
前記インデクサーの一つに配置された加工材キャリアを交換する貯蔵ロボットと、を備え、
前記３個のコンベヤベルトは、進行方向をそれぞれ変更することができ、別の時間に、それぞれ装荷ベルト及び除荷ベルトとして作動することができる加工材取扱いシステム。
【請求項２】
請求項１に記載の加工材取扱いシステムであって、
特定の時刻に、第１のコンベヤベルトが装荷ベルトとして作動し、第２のコンベヤベルトが除荷ベルトとして作動し、前記貯蔵ロボットが第３のコンベヤベルトに関連するインデクサーに配置された加工材キャリアを交換する、加工材取扱いシステム。
【請求項３】
請求項２に記載の加工材取扱いシステムであって、
前記第１のコンベヤベルトは、前記除荷ベルトとして作動したあとすぐに、前記装荷ベルトとして作動する、加工材取扱いシステム。
【請求項４】
請求項２に記載の加工材取扱いシステムであって、
前記第３のコンベヤベルトは、前記第１のコンベヤベルトが前記関連するインデクサーの加工材キャリアを空にしたあと、前記装荷ベルトとして作動する、加工材取扱いシステム。
【請求項５】
請求項１に記載の加工材取扱いシステムであって、丁度３個のコンベヤベルトを備えた加工材取扱いシステム。
【請求項６】
加工材の取扱い方法において、
第１の未加工の加工材セットが装荷された第１の加工材キャリアを第１のコンベヤベルトに関連する第１のインデクサーに配置し、
第２の未加工の加工材セットが装荷された第２の加工材キャリアを第２のコンベヤベルトに関連する第２のインデクサーに配置し、
前記第１の加工材セットを前記第１の加工材キャリアから取り出して前記第１のコンベヤベルトに載せ、該第１の加工材セットを前記第１のコンベヤベルトの遠位端部で加工システムに投入し、
前記第３のコンベヤベルトの遠位端部で前記加工システムから前記第１の加工材セットを受け取り、
該第１の加工材セットを前記第３のインデクサーに移動させ、
前記第３のコンベヤベルトに関連する第３のインデクサーに配置されている第３の加工材キャリアに前記第１の加工材セットを装荷し、
一旦、前記加工システムにより最後の加工材が前記第１のコンベヤベルトから取り出されると、前記第１のコンベヤベルトの進行方向を反転させ、
前記第２の加工材セットを前記第２の加工材キャリアから取り出して前記第２のコンベヤベルトに載せ、該第２の加工材セットを前記第２のコンベヤベルトの遠位端部で前記加工システムに投入し、
前記第１のコンベヤベルトの遠位端部で前記加工システムから前記第２の加工材セットを受け取り、
該第２の加工材セットを前記第１のコンベヤベルトに関連する前記インデクサーに移動させ、
前記第１の加工材キャリアを前記第２の加工材セットで装荷する、
一連の工程を含む加工材の取扱い方法。
【請求項７】
請求項６に記載の方法であって、さらに、
前記第１の加工材セットが装荷された後に前記第３のインデクサーから前記第３の加工材キャリアを取外し、
前記第２の加工材セットが加工されている間、第３の未加工の加工材セットが装荷された第４の加工材キャリアを前記第３のインデクサーに配置する、
工程を含む方法。
【請求項８】
請求項７記載に記載の方法であって、さらに、
一旦、前記加工システムにより最後の加工材が前記第２の加工材キャリアから取り出されると、前記第２のコンベヤベルトの進行方向を反転させ、
前記第３の加工材セットを前記第４の加工材キャリアから取り出して前記第３のコンベヤベルトに載せ、該第３の加工材セットは前記第３のコンベヤベルトの遠位端部で加工材システムに投入し、
前記第２のコンベヤベルトの遠位端部で前記加工システムから前記第３の加工材セットを受け取り、
該第３の加工材セットを前記第２のコンベヤベルトに関連する前記第２のインデクサーに移動させ、
前記第２の加工材キャリアを前記第３の加工材セットで装荷する、
工程を含む方法。
【請求項９】
請求項８記載に記載の方法であって、さらに、
前記第２の加工材セットが装荷された後に前記第１のインデクサーから前記第１の加工材キャリアを取外し、
前記第３の加工材セットが加工されている間、第４の未加工の加工材セットが装荷された第５の加工材キャリアを前記第１のインデクサーに配置する、
工程を含む方法。
【請求項１０】
加工材取扱いシステムであって、
第１、第２及び第３のコンベヤベルトと、
それぞれのコンベヤベルトと関連し、それぞれが加工材キャリアを保持する可能とした３個のインデクサーと、
前記インデクサーの一つに配置された加工材キャリアを交換する貯蔵ロボットと、
前記コンベヤベルト、前記インデクサー及び前記貯蔵ロボット、と通信する制御装置と、を備え、
前記制御装置は記憶素子を備え、該記憶素子は命令を備え、該命令は、実行されると、
・第１の未加工の加工材セットが装荷された第１の加工材キャリアを前記第１のコンベヤベルトに関連する第１のインデクサーに配置するよう前記貯蔵ロボットを作動し、
・第２の未加工の加工材セットが装荷された第２の加工材キャリアを前記第２のコンベヤベルトに関連する第２のインデクサーに配置するよう前記貯蔵ロボットを作動させ、
装荷ベルトとして作動する進行方向に前記第１のコンベヤベルトを作動させ、
・前記第１の加工材セットを前記第１の加工材キャリアから取り出して前記第１のコンベヤベルトに載せるよう前記インデクサーを作動させ、該第１の加工材セットを第１のコンベヤベルトの遠位端部で加工システムに投入し、
・前記第３のコンベヤベルトを除荷ベルトとして作動する進行方向に作動させ、
・前記第３のコンベヤベルトが除荷ベルトとして作動している間、前記第３のコンベヤベルトの遠位端部で前記加工システムから前記第１の加工材セットを受け取り、
・前記第３のインデクサーに配置された第３の加工材キャリアを前記第１の加工材セットで装荷するよう前記第３のコンベヤベルトと関連する第３のインデクサーを作動させ、
・一旦、前記加工システムにより最後の加工材が前記第１のコンベヤベルトから取り出されると、前記第１のコンベヤベルトの進行方向を除荷ベルトとして作動するように反転し、
・前記第２のコンベヤベルトを装荷ベルトとして作動する進行方向に作動させ、
・前記第２の加工材セットを前記第２の加工材キャリアから取り出して前記第２のコンベヤベルトに載せるよう前記第２のインデクサーを作動させ、該第２の加工材セットを前記第２のコンベヤベルトの遠位端部で前記加工システムに投入し、
・前記第１のコンベヤベルトが除荷ベルトとして作動している間、前記第１のコンベヤベルトの遠位端部で前記加工システムから前記第２の加工材セットを受け取り、
・前記第１の加工材キャリアを前記第２の加工材セットで装荷するよう前記第１のインデクサーを作動させる、
加工材取扱いシステム。
【請求項１１】
請求項１０に記載の加工材取扱いシステムであって、
前記記憶素子は更なる命令を備え、該命令は、実行されると、
・前記第１の加工材セットが装荷された後に前記第３のインデクサーから前記第３の加工材キャリアを取外すよう前記貯蔵ロボットを作動させ、
・前記第２の加工材セットが加工されている間、第３の未加工の加工材セットが装荷された第４の加工材キャリアを前記第１のインデクサーに配置するよう前記貯蔵ロボットを作動させる、
加工材取扱いシステム。
【請求項１２】
請求項１１に記載の加工材取扱いシステムであって、
前記記憶素子は追加的な命令を備え、該命令は、実行されると、
・一旦、前記加工システムにより最後の加工材が前記第２のコンベヤベルトから取り出されると、前記第２のコンベヤベルトの進行方向を除荷ベルトとして作動するように反転させ、
・装荷ベルトとして作動する進行方向に前記第３のコンベヤベルトを作動させ、
・前記第３の加工材セットを前記第４の加工材キャリアから取り出して前記第３のコンベヤベルトに載せるよう前記第３のインデクサーを作動させ、該第３の加工材セットを前記第３のコンベヤベルトの遠位端部で前記加工システムに投入し、
・前記第２のコンベヤベルトが除荷ベルトとして作動している間、前記第２のコンベヤベルトの遠位端部で前記加工システムから前記第３の加工材セットを受け取り、
・前記第２の加工材キャリアを前記第３の加工材セットで装荷するよう前記第２のインデクサーを作動させる、
加工材取扱いシステム。
【請求項１３】
請求項１２に記載の加工材取扱いシステムであって、前記記憶素子は更なる追加的な命令を備え、該命令は、実行されると、
・前記第２の加工材セットが装荷された後に前記第１のインデクサーから前記第１の加工材キャリアを取外すよう前記貯蔵ロボットを作動させ、
・前記第３の加工材セットが加工されている間、第４の未加工の加工材セットが装荷された第５の加工材キャリアを前記第１のインデクサーに配置するよう前記貯蔵ロボットを作動させる、
加工材取扱いシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この出願は、２０１２年９月１８日に提出された米国の仮出願番号６１／７０２、３６１の優先権を主張する。ここに開示された内容は参照によって本明細書にそのまま組入れられる。
【０００２】
本発明は、加工材の加工に関し、より具体的には、加工材の加工に使用するコンベヤベルトに関する。
【背景技術】
【０００３】
イオン注入は、導電率を変化させる不純物を加工材に導入するための標準技術である。望ましい不純物材料はイオン源でイオン化され、このイオンが加速されて所定のエネルギーのイオンビームを形成し、このイオンビームは加工材の表面に照射される。ビーム中の高エネルギーを有するイオンは、加工材材料のバルクの内に貫入し、加工材材料の結晶格子内に埋設されて、所望の導電率の領域を形成する。
【０００４】
太陽電池製造産業における２つの関心事は、製造処理能力及びセル効率である。セル効率は、電気素子に変換されたエネルギーの量を測定する。競合力を維持するにはより高い電池効率が必要である。しかし、セル効率の向上の見返りとして製造処理能力を犠牲にすることはできない。
【０００５】
イオン注入は、太陽電池をドーピングする実行可能な方法として実証されてきた。イオン注入の使用により、拡散炉のような既存技術に必要とされる処理工程が排除される。例えば、拡散炉の代わりにイオン注入を使用すれば、イオン注入は単に所望の表面をドーピングするだけであるため、レーザエッジ分離工程を排除することができる。処理工程を排除することの他に、イオン注入を使用することにより、セル効率がより高くなることが実証されている。また、イオン注入によれば、太陽電池の表面全体のブランケット注入または太陽電池の一部のみの選択的な（パターン化した）注入を実行する能力が得られる。イオン注入を使用して高い製造処理能力で選択的に注入することにより、拡散炉に使用される、コストがかかり、時間を消費するフォトリソグラフィまたはパターン化工程が排除される。また、選択的注入は新しい太陽電池設計を可能にする。イオン注入装置の製造処理能力またはその信頼性に対する何らかの改善は、世界中の太陽電池製造者にとって有益となる。このようにして、代替エネルギー源として太陽電池を採用することが促進されている。
【発明の概要】
【０００６】
加工材加工システムで加工材を取り扱うシステム及び方法が開示される。このシステムは３個のコンベヤベルトを利用する。第１のコンベヤベルトは、装荷ベルト（ローディングベルト）であり、未加工の加工材をその関連する加工材キャリアから加工システムに供給する。第２のコンベヤベルトは、除荷ベルト（アンローディングベルト）であり、加工済みの加工材を加工システムから受け取り、関連する加工材キャリアに装荷する。第３のコンベヤベルトは、この間に加工材キャリアを交換する。そして、一旦、第１のコンベヤベルトに関連する加工材キャリアから全ての加工材が取り出されると、第３のコンベヤベルトは装荷ベルトとしての作動が開始可能となる。
【０００７】
第１の実施態様によれば、加工材取扱いシステムが開示される。その加工材取扱いシステムは：３個のコンベヤベルトと；それぞれのコンベヤベルトに関連し、それぞれが加工材キャリアを保持可能とした３個のインデクサーと；前記インデクサーの一つに配置された加工材キャリアを交換する貯蔵ロボットと；を備える。上記３個のコンベヤベルトは、進行方向をそれぞれ変更することができ、別の時間に、それぞれ装荷ベルト及び除荷ベルトとして作動することができる。
【０００８】
第２の実施態様によれば、加工材の取扱い方法が開示される。その方法は：第１の未加工の加工材セットが装荷された第１の加工材キャリアを第１のコンベヤベルトに関連する第１のインデクサーに配置し；第２の未加工の加工材セットが装荷された第２の加工材キャリアを第２のコンベヤベルトに関連する第２のインデクサーに配置し；前記第１の加工材セットを前記第１の加工材キャリアから取り出して前記第１のコンベヤベルトに載せ、前記第１の加工材セットを前記第１のコンベヤベルトの遠位端部で加工システムに投入し；前記第３のコンベヤベルトの遠位端部で前記加工システムから前記第１の加工材セットを受け取り；該第１の加工材セットを前記第３のインデクサーに移動させ；前記第３のコンベヤベルトに関連する第３のインデクサーに配置されている第３の加工材キャリアに前記第１の加工材セットを装荷し；一旦、前記加工システムにより最後の加工材が前記第１のコンベヤベルトから取り出されると、前記第１のコンベヤベルトの進行方向を反転させ；前記第２の加工材セットを前記第２の加工材キャリアから取り出して前記第２のコンベヤベルトに載せ、前記第２の加工材セットを前記第２のコンベヤベルトの遠位端部で前記加工システムに投入し；前記第１のコンベヤベルトの遠位端部で前記加工システムから前記第２の加工材セットを受け取り；該第２の加工材セットを前記第１のコンベヤベルトに関連する前記インデクサーに移動させ；前記第１の加工材キャリアに前記第２の加工材セットを装荷する、一連の工程を含む。
【０００９】
第３の実施態様によれば、加工材取扱いシステムが開示される。その加工材取扱いシステムは、第１、第２及び第３のコンベヤベルトと、それぞれのコンベヤベルトと関連し、それぞれが加工材キャリアを保持可能とした３個のインデクサーと、前記インデクサーの一つに配置された加工材キャリアを交換する貯蔵ロボットと、前記コンベヤベルト、前記インデクサー及び前記貯蔵ロボット、と通信する制御装置と、を備える。前記制御装置は記憶素子を備え、該記憶素子は命令を備え、該命令は、実行されると、第１の未加工の加工材セットが装荷された第１の加工材キャリアを前記第１のコンベヤベルトに関連する第１のインデクサーに配置するよう前記貯蔵ロボットを作動させ、第２の未加工の加工材セットが装荷された第２の加工材キャリアを前記第２のコンベヤベルトに関連する第２のインデクサーに配置するよう前記貯蔵ロボットを作動させ、装荷ベルトとして作動する進行方向に前記第１のコンベヤベルトを作動させ、前記第１の加工材セットを前記第１の加工材キャリアから取り出して前記第１のコンベヤベルトに載せるよう前記インデクサーを作動させ、前記第１の加工材セットを第１のコンベヤベルトの遠位端部で加工システムに投入し、前記第３のコンベヤベルトを除荷ベルトとして作動する進行方向に作動させ、前記第３のコンベヤベルトが除荷ベルトとして作動している間、前記第３のコンベヤベルトの遠位端部で前記加工システムから前記第１の加工材セットを受け取り、前記第３のインデクサーに配置された第３の加工材キャリアに前記第１の加工材セットを装荷するよう前記第３のコンベヤベルトと関連する第３のインデクサーを作動させ、一旦、前記加工システムにより最後の加工材が前記第１のコンベヤベルトから取り出されると、除荷ベルトとして作動するように前記第１のコンベヤベルトの進行方向を反転し、装荷ベルトとして作動するような進行方向に前記第２のコンベヤベルトを作動させ、前記第２の加工材セットを前記第２の加工材キャリアから取り出して前記第２のコンベヤベルトに載せるよう前記第２のインデクサーを作動させ、前記第２の加工材セットを前記第２のコンベヤベルトの遠位端部で前記加工システムに投入し、前記第１のコンベヤベルトが除荷ベルトとして作動している間、前記第１のコンベヤベルトの遠位端部で前記加工システムから前記第２の加工材セットを受け取り、前記第１の加工材キャリアに前記第２の加工材セットを装荷するよう前記第１のインデクサーを作動させる。
【００１０】
本発明をより良く理解するために、参照によって本明細書に組入れられる添付図面につき説明する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】加工材取扱いシステムのブロックダイアグラムである。
【図２】２個の加工材取扱いシステムを使用する一実施形態を示す。
【図３】２個の加工材取扱いシステムを使用する一実施形態を示す。
【図４】２個の加工材取扱いシステムを使用する一実施形態を示す。
【図５】２個の加工材取扱いシステムを使用する一実施形態を示す。
【図６】２個の加工材取扱いシステムを使用する一実施形態を示す。
【図７】２個の加工材取扱いシステムを使用する一実施形態を示す。
【図８】２個の加工材取扱いシステムを使用する一実施形態を示す。
【図９】２個の加工材取扱いシステムを使用する一実施形態を示す。
【図１０】２個の加工材取扱いシステムを使用する一実施形態を示す。
【図１１】２個の加工材取扱いシステムを使用する一実施形態を示す。
【図１２】２個の加工材取扱いシステムを使用する一実施形態を示す。
【図１３】２個の加工材取扱いシステムを使用する一実施形態を示す。
【図１４】２個の加工材取扱いシステムを使用する一実施形態を示す。
【図１５】２個の加工材取扱いシステムを使用する一実施形態を示す。
【図１６】一実施形態に係る加工材取扱いシステムにより実行される動作のシーケンスを示すチャートを示す。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明に係る加工取扱いシステムをイオン注入装置に関連して説明する。しかし、加工取扱いシステムは、太陽電池または半導体の製造に含まれる他のシステム及び加工、または加工材を加工する他のシステムに使用することができる。従って、本発明は、以下に説明する特定の実施形態に限定されるものではない。
【００１３】
太陽電池のような多くの加工材にとって、加工材取扱いシステムの目的の一つは、高処理能力を維持することである。装荷専用のコンベヤベルト及び除荷専用のコンベヤベルトを備えることは、加工材キャリアを装荷コンベヤベルトから除荷コンベヤベルトに移動する必要がある。これにより、空の加工材キャリア（または「カセット」）を加工された加工材に対して使用することが可能ではあるが、余分な動作が必要となるために処理能力が低減する。
【００１４】
本明細書で開示される実施形態では、各コンベヤベルトは、装荷方法及び除荷方法の両方で機能することができる。これにより、加工材の装荷及び除荷のために加工材キャリアを他の異なる位置に移動することが回避され、コンベヤベルトのアイドル時間が省かれる。例えば、加工材キャリアが１００個の加工材を保持し、目標が毎時２，０００個の加工材を加工することである場合、２０個の加工材キャリアが必要となる。加工材キャリアを装荷位置と除荷位置との間で移動するために例えば１０秒を要する場合、この動作を削減すると、１時間当たり追加的に７５個の加工材の加工を増やすことができる。さらに、３個のベルトを使用すると、加工材の加工システムへの流れに、一時停止または中断が生じない。対照的に、２個のベルトを使用するときは、バッファリングの手段が導入されていなければ、新規の加工材キャリアが装荷されるときに、一時的に枯渇する状態が必ず生じる。
【００１５】
図１は、加工材取扱いシステムのブロックダイアグラムである。加工材取扱いシステム１００は、加工材キャリアを運ぶのに使用される貯蔵ロボット１０７を備える。加工材キャリアは、外部フレームと、該外部フレームの内側に水平に向けられた複数のスロットと、を備えた容器であり、各スロットは一つの加工材を保持可能とされている。これらの加工材キャリアは、貯蔵ロボット１０７により、収納ステーションまたは移動ステーションから移動させることができる。貯蔵ロボット１０７は、インデクサー１０１、１０２及び１０３に加工材キャリアを配置し、またはインデクサー１０１、１０２及び１０３から加工材キャリアを取外すことができる。このようにして、貯蔵ロボット１０７は、加工材キャリアを交換することができる。他の実施形態においては，追加的な貯蔵ロボット１０７を
使用することができる。これらのインデクサー１０１、１０２及び１０３は、加工材キャリアの加工材を装荷または除荷可能とする昇降機を備える。各インデクサー１０１、１０２及び１０３は、コンベヤベルト１０４、１０５及び１０６と接続する。各コンベヤベルト１０４、１０５及び１０６は、インデクサーの付近に設置された近位端部と、遠位端部とを備える。
【００１６】
加工材キャリアは、スロットの底部がコンベヤベルト１０４と同じ高さレベルにあるか、またはコンベヤベルト１０４に対して同一面内に位置するように、インデクサー１０１に装荷される。装荷／除荷機構は、インデクサー１０１の一部であってもよく、該機構は、同一面内にあるスロットに配置された加工材をコンベヤベルト１０４の近位端部に、またはコンベヤベルト１０４の近位端部から移動可能とされている。一旦、加工材が装荷／除荷機構によって取り出されると、１スロットに等しい距離分、昇降機が下方に移動し、または下方向に動作する。そして、装荷／除荷機構は、次の加工材を取り出すことができる。加工材を取り出し昇降機を動作する処理は、すべての加工材がその加工材キャリアから取り出されるまで繰り返される。もちろん、加工材キャリアは、一番上のスロットがコンベヤベルト１０１と同一面になるように、インデクサー１０１に装荷してもよい。この実施形態では、各加工材が取り出された後は、昇降機が上方向に動作する。加工材キャリアの装荷は同様の方法で動く。装荷／除荷機構が加工材をコンベヤベルトと同一面内にあるスロットに配置する。そして、昇降機は次の開いているスロットに向けて（上向きまたは下向きに）移動する。いくつかの実施形態では、約１００個の加工材が加工材キャリアに保持される。
【００１７】
コンベヤベルト１０１、１０２及び１０３は、イオン注入装置のような加工材を加工材が加工される位置に加工材を運ぶ他の追加的なロボットまたは加工材取扱いシステムによって提供されてもよい。一実施形態では、ガントリーロボットが加工材をマトリクス状のエンドエフェクタ運ぶ。これらの追加的なロボットまたは加工材取扱いシステムは、インデクサー１０１、１０２及び１０３から最も離れたコンベヤベルトの遠位端部の付近に設置されてもよい。
【００１８】
本明細書においては、加工材を加工材キャリアから取り出してコンベヤベルトに載せることを、「装荷処理」と呼ぶ。なぜなら、コンベヤベルトが遠位端部で加工されるよう未加工の加工材を運ぶからである。このようにして、未加工の加工材がシステムに投入される。これらの未加工の加工材を運ぶコンベヤベルトを「装荷ベルト」と呼ぶ。このように、装荷ベルトとして作動するとき、コンベヤベルトの進行方向は近位端部から遠位端部の方向である。コンベヤベルトから加工済みの加工材を取り出し、加工材キャリアに戻す処理を「除荷処理」と呼ぶ。これらの加工済みの加工材を運ぶコンベヤベルトを「除荷ベルト」と呼ぶ。このように、除荷ベルトとして作動するとき、コンベヤベルトの進行方向は遠位端部から近位端部の方向である。
【００１９】
このようにして、加工材取扱いシステム１００は、コンベヤベルト１０４、１０５及び１０６を備え、それぞれ装荷ベルト及び除荷ベルトとして作動することができる。また、加工材取扱いシステムは、３個のインデクサーを備え、それぞれのコンベヤベルトに関連する。これらのインデクサーは、未加工の加工材を装荷ベルトに供給するのに使用され、除荷ベルトで加工済みの加工材の貯蔵庫としての機能を果たす。いくつかの実施形態では、加工材取扱いシステムは、専用の貯蔵ロボット１０７と相互作用する。しかし、以下に説明するように、いくつかの実施形態では、ただ一つの貯蔵ロボットを複数の加工材取扱いシステムで使用することができる。
【００２０】
上述したように、多くのシステムは２個のコンベヤベルトのセット、装荷処理に専用の第１のコンベヤベルト（装荷ベルト）と、除荷処理に専用の第２のコンベヤベルト（除荷ベルト）とを備える。
【００２１】
３個のコンベヤベルト１０４、１０５及び１０６には複数の利点がある。一つは、コンベヤベルト１０４、１０５及び１０６の一つを、他の２個のコンベヤベルト１０４、１０５及び１０６が装荷ベルト及び除荷ベルトとして作動している間、常時、新規の未加工の加工材を並べるのに使用することができる。例えば、他の２個のインデクサー１０２及び１０３が他の２個の加工材キャリアを装荷及び除荷するのに使用されている間、第１のインデクサー１０１の加工材キャリアを交換することができる。このようにして、３個のコンベヤベルト１０４、１０５及び１０６を使用することで、新規の加工材キャリアの導入により引き起こされる加工材の流れの中断を防ぐことができる。そのうえ、３個のコンベヤベルト１０４、１０５及び１０６を使用しても、加工材取扱いシステム１００の全体的なコストまたは設置面積には大きな影響は与えない。さらに、以下に説明するように、丁度３個のベルトを用いることで処理能力が最大化され、４個目のベルトを導入してもさらなる処理能力の向上は達成できない。
【００２２】
図２〜１５に、１個または２個の加工材取扱いシステムを使用する一実施形態を示す。特定の実施形態が図２〜１５に示されているが、１個または２個の加工材取扱いシステムを使用することで、この方法の他のバリエーションが可能である。これらの加工材取扱いシステムは、１個の貯蔵ロボット、加工材取扱いシステム毎に１個の貯蔵ロボットまたは異なる数のロボットにより提供されてもよい。一実施形態では、これらの加工材取扱いシステムは、イオン注入装置の同様のロードロックまたは異なるロードロックに供給してもよい。
【００２３】
図２に第１の加工材取扱いシステム１００及び第２の加工材取扱いシステム２００の使用方法を示す。第１の加工材取扱いシステム１００は、インデクサー１０１、１０２及び１０３と、コンベヤベルト１０４、１０５及び１０６と、貯蔵ロボット１０７とを備える。第２の加工材取扱いシステム１００は、インデクサー２０１、２０２及び２０３と、コンベヤベルト２０４、２０５及び２０６と、貯蔵ロボット２０７とを備える。後述するように、いくつかの実施形態では、１個の貯蔵ロボットは第１及び第２の加工材取扱いシステム１００及び２００で共通に使用することができる。
【００２４】
制御装置（図示せず）は、インデクサー１０１、１０２及び１０３の動作を制御するために、インデクサー１０１、１０２及び１０３と通信してもよい。また、制御装置は、各ベルトの進行方向を変更するために、ベルト１０４、１０５及び１０６と通信してもよい。また、制御装置は、インデクサーに対して加工材キャリアを交換する際に貯蔵ロボット１０７の作動を制御するために、貯蔵ロボット１０７と通信してもよい。また、制御装置は、それに電気的に結合する記憶素子を備えてもよい。記憶素子は、命令及び他の情報を備えてもよい。この命令により、制御装置が、本明細書に記載したすべての工程、処理及び方法を実行することが可能になる。
【００２５】
この処理を開始するには、図２に示すように、インデクサー１０１、１０２、２０１及び２０２は、ハッチングで表される未加工の加工材が装荷された加工材キャリアを備える。インデクサー１０３及び２０３は、散点模様で表される空の加工材キャリアを備える。コンベヤベルト１０４及び２０４は、矢印３００で表されるように、例えばイオン注入装置での加工のために加工材を装荷する。コンベヤベルト１０６及び２０６は、矢印３０１で表されるように、加工材を除荷してインデクサー１０３及び２０３の加工材キャリアに戻す。このようにして、加工材は、インデクサー１０１に配置された加工材キャリアから取り出され、コンベヤベルト１０４に載せられる。加工材は矢印３００が示す方向に、加工ステーション（図示せず）まで運ばれる。加工後、加工材は、加工材ハンドラー（図示せず）によりコンベヤベルト１０６に載せられてから矢印３０１の示す方向に移動し、インデクサー１０３に向かって戻される。そして、加工材は、インデクサー１０３に配置された加工材キャリアに載せられる。この処理は、インデクサー１０１に配置された加工材キャリアが加工材を有している間継続する。このように、この一連のシーケンスにおけるこの工程の間、コンベヤベルト１０４は装荷ベルトであり、コンベヤベルト１０６は除荷ベルトである。
【００２６】
加工材取扱いシステムの作動をより良く説明するために、図２〜１５に示す第１の加工材取扱いシステム１００の作動のみを説明する。第２の加工材取扱いシステム２００の作動並びに第１及び第２加工材取扱いシステム１００及び２００の相互作用ついては後述する。
【００２７】
図３では、インデクサー１０１の加工材キャリアが散点模様で表されるように空にされ、コンベヤベルト１０５が矢印３００で表されるように加工材の装荷を開始する。いくつかの実施形態では、コンベヤベルト１０５は、インデクサー１０１の加工材キャリアを空にすることに先立って装荷を開始してもよい。特に、インデクサー１０１の加工材キャリアは、この時点において、加工済みの加工材を除荷することができる。加えて、コンベヤベルト１０６は、コンベヤベルト１０４からすべての加工材が加工されコンベヤベルト１０６に戻されるまで、まだ除荷ベルトとして作動している。コンベヤベルト１０５はこの時点において装荷ベルトとして作動を開始し、その結果、最後の加工材がコンベヤベルト１０４から取り出された直後に、未加工の加工材が遠位端部で利用できるようになる。
【００２８】
図４では、クロスハッチングで表されるように、インデクサー１０３の加工材キャリアに加工済みの加工材が装荷され、矢印３０２で表されるように、未加工の加工材が装荷された加工材キャリアに交換される。コンベヤベルト１０４は、矢印３０１で表されるように、加工材の除荷を開始する。このように、この処理工程の間、コンベヤベルト１０５は装荷ベルトであり、コンベヤベルト１０４は除荷ベルトである。コンベヤベルト１０６は、この間、新規の加工材キャリアを設置できるようアイドリングしている。
【００２９】
図５では、インデクサー１０３の加工材キャリアが、ハッチングで表されるように、未加工の加工材が装荷された新規の加工材キャリアと交換される。コンベヤベルト１０６は、この時点では、加工材を装荷もせず、インデクサー１０３の加工材キャリアに加工材を除荷することもしない。一つ前の図に示したように、コンベヤベルト１０４は除荷ベルトとしての機能を果たし、コンベヤベルト１０５は装荷ベルトとしての機能を果たす。
【００３０】
図６では、クロスハッチングで表されるように、インデクサー１０１の加工材キャリアが装荷され、矢印３０２で表されるように、未加工の加工材が装荷された加工材キャリアに交換される。散点模様で表されるインデクサー１０２の加工材キャリアが空にされ、矢印３０１で表されるように、コンベヤベルト１０５が加工材の除荷を開始する。さらに、矢印３００で表されるように、コンベヤベルト１０６が加工材の装荷を開始する。このように、コンベヤベルト１０６は装荷ベルトであり、一方コンベヤベルト１０５は除荷ベルトである。
【００３１】
図７では、インデクサー１０１の加工材キャリアが交換され、この時点において、ハッチングで表される未加工の加工材で満杯である。コンベヤベルト１０４は、この時点では、加工材を装荷もせず、インデクサー１０１の加工材キャリアに加工材を除荷することもない。むしろ、コンベヤベルト１０６は装荷ベルトとして作動を継続し、コンベヤベルト１０５は除荷ベルトとして作動を継続する。
【００３２】
図８では、クロスハッチングで表されるインデクサー１０２の加工材キャリアに加工済みの加工材が装荷され、矢印３０２で表されるように、未加工の加工材が装荷された加工材キャリアに交換される。散点模様で表されるインデクサー１０３の加工材キャリアは空にされている。コンベヤベルト１０４は、矢印３００で表されるように、加工材の装荷を開始する。インデクサー１０３の加工材キャリアは空なので、コンベヤベルト１０６は除荷ベルトしての機能を果たす。
【００３３】
図９では、インデクサー１０２の加工材キャリアが、ハッチングで表される未加工の加工材が装荷された加工材キャリアと交換される。コンベヤベルト１０５は、この間、アイドリングしている。一連のシーケンスのこの工程により、コンベヤベルト１０４は除荷ベルトとしての機能を果たし、コンベヤベルト１０６は装荷ベルトとしての機能を果たす。第１の加工材取扱いシステム１００は、この時点において、サイクルを完成させ、図２に示した構成に戻っている。
【００３４】
図２〜８に示した一連のシーケンスは、第１の加工材取扱いシステムの１つの完全なサイクルを表している。図１６は、この一連のシーケンスにおける各工程を示す表を示している。完全なサイクルの間、各コンベヤベルト１０４、１０５及び１０６は、一度、装荷ベルト及び除荷ベルトとして作動する。換言すれば、各コンベヤベルトは、このサイクルの間、それぞれの進行方向（矢印３００及び３０１）に動く。さらに、各コンベヤベルトに関連する加工材キャリアは、同様に一度交換される。例えば、図１６では、加工材キャリアは工程３、６及び９で交換される。特に、交換は、加工材キャリアが完全に装荷された後に行われる。毎時２，０００個の加工材が加工されるとすれば、１００個の加工材を保持する加工材キャリアは約３分で装荷される。これらの工程間の時間により、３個のコンベヤベルト１０４、１０５及び１０６すべてを提供する一つの貯蔵ロボットを使用することが可能となる。図１６は、特定の時刻での各コンベヤベルトの機能を示している。さらに、グラフ中の数字は、その工程にどの加工材セット（すなわち、第１のセット、第２のセット）が含まれるかを示している。
【００３５】
工程１では、第１の未加工の加工材セットが装荷された第１の加工材キャリアが第１のインデクサー１０１に配置される。また、第２の未加工の加工材セットが装荷された第２の加工材キャリアが第２のインデクサー１０２に配置される。空の加工材キャリアは第３のインデクサー１０３に配置される。第１の加工材セットが第１のインデクサー１０１の第１の加工材キャリアから取り出され、第１のコンベヤベルト１０４に載せられる。これらは加工システムによって、コンベヤベルト１０４の遠位端部で取り出される。加工された後、加工システムはこの第１の加工材セットを、第３のコンベヤベルト１０６の遠位端部に戻す。そして、第１の加工材セットは第３のインデクサー１０３に戻るよう動く。このように、第１のコンベヤベルト１０４は、第１の加工材セットに対して装荷ベルトであり、一方第３のコンベヤベルト１０６は除荷ベルトである。
【００３６】
工程２では、加工システムにより最後の加工材が第１のコンベヤベルト１０４から取り出されるとすぐに、第１のコンベヤベルト１０４が方向を変更する。さらに、第３の加工材キャリアは、この時点において、加工済みの加工材の第１のセットが装荷されている。第２のインデクサー１０２は、第２の加工材キャリアから第２の加工材セットを取り出し、第２のコンベヤベルト１０５に載せることを開始する。このように、第２のコンベヤベルト１０５は、第２の加工材セットに対して装荷ベルトであり、一方第１のコンベヤベルト１０４は除荷ベルトである。
【００３７】
工程３では、第３のインデクサー１０３に配置された第３の加工材キャリアが、第４の加工材キャリアのために交換される。第４の加工材キャリアは、工程４に示すように、第３の未加工の加工材セットが装荷されている。第２のコンベヤベルト１０５は、まだ第２の加工材セットに対する装荷ベルトであり、一方第１のコンベヤベルト１０４は、これらの工程の間、まだ除荷ベルトである。
【００３８】
工程５では、加工システムにより最後の加工材が第２のコンベヤベルト１０５から取り出されるとすぐに、第２のコンベヤベルト１０５が方向を変更する。さらに、第１の加工材キャリアは、この時点において、加工済みの加工材の第２のセットが装荷されている。第３のインデクサー１０３は、第４の加工材キャリアから第３の加工材セットを取り出し、第３のコンベヤベルト１０６に載せることを開始する。このように、第３のコンベヤベルト１０６は、第３の加工材セットに対して装荷ベルトであり、一方第１のコンベヤベルト１０５は除荷ベルトである。
【００３９】
工程６では、第１のインデクサー１０１に配置された第１の加工材キャリアが、第５の加工材キャリアのために交換される。第５の加工材キャリアは、工程７に示すように、第４の未加工の加工材セットが装荷されている。第３のコンベヤベルト１０６は、まだ第３の加工材セットに対する装荷ベルトであり、一方第２のコンベヤベルト１０５は、これらの工程の間、まだ除荷ベルトである。
【００４０】
工程８では、加工システムにより最後の加工材が第３のコンベヤベルト１０６から取り出されるとすぐに、第３のコンベヤベルト１０６が方向を変更する。さらに、第２の加工材キャリアは、この時点において、加工済みの加工材の第３のセットが装荷されている。第１のインデクサー１０１は、第５の加工材キャリアから第４の加工材セットを取り出し、第１のコンベヤベルト１０４に載せることを開始する。このように、第１のコンベヤベルト１０４は、第４の加工材セットに対して装荷ベルトであり、一方第３のコンベヤベルト１０６は除荷ベルトである。
【００４１】
工程９では、第２のインデクサー１０２に配置された第２の加工材キャリアが、第６の加工材キャリアのために交換される。第６の加工材キャリアは、工程１０に示すように、第５の未加工の加工材セットが装荷されている。第１のコンベヤベルト１０４は、まだ第４の加工材セットに対する装荷ベルトであり、一方第３のコンベヤベルト１０６は、これらの工程の間、まだ除荷ベルトである。
【００４２】
工程１０で、加工材取扱いシステム１００は、工程１のときと同じ状態となる。そして、そのサイクルが繰り返される。
【００４３】
さらに、いくつかの実施形態では、コンベヤベルトは装荷ベルトとして機能したあとすぐに除荷ベルトとして機能してもよい。換言すれば、一旦全ての未加工の加工材が特定の加工材キャリアから出されると、その加工材キャリアは加工済みの加工材の保管を開始するのに使用される。
【００４４】
いつくかの実施形態では、例えばインデクサー１０１のキャリアのような、第１の加工材キャリアから取り出されたすべての加工材が加工され、そして、例えばインデクサー１０３のキャリアのような、第２の加工材キャリアに全てが保管されてもよい。換言すれば、一つのコンベヤベルトは他のコンベヤベルトに対して除荷ベルトとして機能する。もちろん、他の実施形態では、単一の加工材キャリアからの加工材が加工され他の一つ以上の加工材キャリアに保管されてもよい。
【００４５】
いくつかの実施形態では、第２のコンベヤベルトは、もう一方のキャリアから最後の加工材が取外された直後に、その加工材キャリアからの未加工加工材の取外しを開始してもよい。これにより加工時間の遅れが最小化される。
【００４６】
図１０〜１５では、第１の加工材取扱いシステム１００が、上述の図に示す工程を繰り返す。例えば、図１０では、図１０は図４と同じであるが、インデクサー１０３の加工材キャリアはクロスハッチングで表される加工済みの加工材が装荷され，矢印３０２で表されるように，未加工の加工材が装荷されたものと交換される。コンベヤベルト１０５は、矢印３００で表されるように，加工材の装荷を開始する。インデクサー１０１の加工材キャリアが散点模様で表されるように空にされ，コンベヤベルト１０４が矢印３０１で表されるように加工材の除荷を開始する。このように、この処理工程の間、コンベヤベルト１０５は装荷ベルトであり、コンベヤベルト１０４は除荷ベルトである。コンベヤベルト１０６は、この間、新規の加工材を設置できるようアイドリングしている。
【００４７】
図１１では、図５のように、インデクサー１０３の加工材キャリアが、ハッチングで表されるように未加工の加工材が装荷された新規の加工材キャリアと交換される。コンベヤベルト１０６は、この時点では、加工材を装荷もせず、インデクサー１０３の加工材キャリアに加工材を除荷することもしない。図１０に示したように、コンベヤベルト１０４は除荷ベルトとしての機能を果たし、コンベヤベルト１０５は装荷ベルトとしての機能を果たす。
【００４８】
図１２では、図６のように、インデクサー１０２の加工材キャリアが散点模様で表されるように空にされ，矢印３０１で表されるようにコンベヤベルト１０５が加工材の除荷を開始する。コンベヤベルト１０６は，矢印３００で表されるように加工材の装荷を開始する。インデクサー１０１の加工材キャリアは，クロスハッチングで表される加工済みの加工材で満杯である。一例として、この時点では、貯蔵ロボット１０７により提供される収納ステーションまたは移動ステーションは、未加工の加工材の加工材キャリアが再装荷されていてもよい。
【００４９】
図１３は、矢印３０２で表されるようにインデクサー１０１に対する加工材キャリアの交換を示す。
【００５０】
図１４では、図８のように、インデクサー１０２の加工材キャリアにクロスハッチングで表される加工済みの加工材が装荷され，矢印３０２で表されるように，未加工の加工材が装荷された加工材キャリアに交換される。インデクサー１０３の加工材キャリアは散点模様で表されるように空にされる。コンベヤベルト１０６は，矢印３０１で表されるように，加工材の除荷を開始する。さらに，コンベヤベルト１０４は，矢印３００で表されるように，加工材の装荷を開始する。
【００５１】
図１５では、図１０と同様に、インデクサー１０３の加工材キャリアはクロスハッチングで表される加工済みの加工材が装荷され，矢印３０２で表されるように，未加工の加工材が装荷されたキャリアと交換される。インデクサー１０１の加工材キャリアが散点模様で表されるように空にされ，コンベヤベルト１０４が矢印３０１で表されるように加工材の除荷を開始する。さらに，コンベヤベルト１０５は矢印３００で表されるように加工材の装荷を開始する。
【００５２】
上述したように、図２〜１５に示す処理は加工材取扱いシステム１００を使用してのみ起こる。このように、この処理はコンベヤベルト１０４、１０５及び１０６を使用してのみ起こる。この処理は、図１５から図４または図１２に示す工程に折り返して戻ってもよく、また、図４〜１０に示すように連続して繰り返してもよい。さらに、上記で説明したように、図２〜９に示す工程を繰り返してもよい。いくつかの実施形態では、図１６に示す一連のシーケンスを繰り返す。
【００５３】
単一の加工材取扱いシステム１００の作動を説明してきたが、並行して作動する第２の加工材取扱いシステム２００の作動を示して、図を今一度説明する。
【００５４】
図２は、第１の加工材取扱いシステムのように構成された第２の加工材取扱いシステムを示す。特に、コンベヤベルト２０４は装荷ベルトで、コンベヤベルト２０６は除荷ベルトである。ハッチングで表されるようにインデクサー２０１及び２０２の加工材キャリアは未加工の加工材が装荷されている。加工材キャリア２０３は、散点模様で表されるように空である。
【００５５】
いくつかの実施形態では、２個の加工材取扱いシステム１００及び２００の作動が交互になされる。例えば、図３は、第２の加工材取扱いシステム２００がアイドリングしている一方で第１の加工材取扱いシステム１００は作動を開始していることを示す。図４は、コンベヤベルト２０４が装荷ベルトとして機能している一方でコンベヤベルト２０６は除荷ベルトであることを示す。インデクサー２０２の加工材キャリアはまだ未加工の加工材が装荷されている。インデクサー２０１の加工材キャリアは、散点模様で表されるように空にされている。
【００５６】
図４はコンベヤベルト２０４が装荷ベルトとして機能する一方でコンベヤベルト２０６が除荷ベルトであることを示している。インデクサー２０２の加工キャリアは未だ未加工の加工材が装荷されている。インデクサー２０１の加工材キャリアは、散点模様で表されるように空にされている。
【００５７】
図５では、クロスハッチングで表されるように、インデクサー２０３の加工材キャリアには加工済みの加工材が装荷され、矢印３０２で表されるように未加工の加工材が装荷された加工材キャリアに交換される。コンベヤベルト２０４は、矢印３０１で表されるように加工材の除荷を開始する、一方コンベヤベルト２０５は装荷ベルトとして機能する。
【００５８】
図６では、コンベヤベルト２０５がその最後の加工材を装荷したあと、矢印３００で表されるようにコンベヤベルト２０６が加工材の装荷を開始する。コンベヤベルト２０４はコンベヤベルト２０５に対して除荷ベルトである。最後の加工材がコンベヤベルト２０５から取り出されるとすぐに、コンベヤベルト２０６に対して除荷ベルトになる。
【００５９】
図７では、クロスハッチングで表されるようにインデクサー２０１の加工材キャリアに加工済みの加工材が装荷され、矢印３０２で表されるように未加工の加工材が装荷された加工材キャリアに交換される。インデクサー２０２の加工材キャリアは、散点模様で表されるように空にされ、矢印３０１で表されるようにコンベヤベルト２０５は加工材の除荷を開始する。コンベヤベルト２０６は装荷ベルトである。
【００６０】
図８では、矢印３０１で表されるようにコンベヤベルト２０５が加工材の除荷を継続する。矢印３００で表されるように最後の加工材がコンベヤベルト２０６によって装荷されるとすぐにコンベヤベルト２０４が加工材の装荷を開始するよう準備ができている。
【００６１】
図９では、クロスハッチングで表されるようにインデクサー２０２の加工材キャリアに加工済みの加工材が装荷され、矢印３０２で表されるように未加工の加工材が装荷された加工材キャリアに交換される。矢印３０１で表されるようにインデクサー２０３の加工材キャリアは空にされ、コンベヤベルト２０６は加工材の除荷を開始する。コンベヤベルト２０４は装荷ベルトである。
【００６２】
図１０では、矢印３００で表されるように最後の加工材がコンベヤベルト２０４に装荷されるとすぐにコンベヤベルト２０５が加工材の装荷を開始するよう準備ができている。コンベヤベルト２０６はコンベヤベルト２０４に対して除荷ベルトである。
【００６３】
図１１では、矢印３０２で表されるようにインデクサー２０３の加工材キャリアが装荷され、未加工の加工材が装荷された加工材キャリアに交換される。矢印３０１で表されるようにインデクサー２０１の加工材キャリアは空にされ、コンベヤベルト２０４は加工材の除荷を開始する。コンベヤベルト２０５は装荷ベルトである。
【００６４】
図１２では、矢印３００で表されるように最後の加工材がコンベヤベルト２０５に装荷されるとすぐにコンベヤベルト２０６が加工材の装荷を開始する。インデクサー０２０２の加工材キャリアは、この工程の最後に空にされる。一例として、この時点では、貯蔵ロボット１０７及び２０７により提供される収納ステーションまたは移動ステーションは、未加工の加工材の加工材キャリアが再装荷されていてもよい。
【００６５】
図１３では、矢印３０２で表されるようにインデクサー２０１の加工材キャリアが装荷され、未加工の加工材が装荷された加工材キャリアに交換される。矢印３０１で表されるようにインデクサー２０２の加工材キャリアは空にされ、コンベヤベルト２０５は加工材の除荷を開始する。
【００６６】
図１４では、矢印３０２で表されるようにインデクサー２０２の加工材キャリアが装荷され、未加工の加工材が装荷された加工材キャリアに交換される。矢印３０１で表されるようにインデクサー２０３の加工材キャリアは空にされ、コンベヤベルト２０６は加工材の除荷を開始する。矢印３００で表されるようにコンベヤベルト２０４は加工材の装荷を開始する。
【００６７】
図１５では、矢印３０２で表されるようにインデクサー２０３の加工材キャリアが装荷され、未加工の加工材が装荷された加工材キャリアに交換される。矢印３０１で表されるようにインデクサー２０１の加工材キャリアは空にされ、コンベヤベルト２０４は加工材の除荷を開始する。矢印３００で表されるようにコンベヤベルト２０５は加工材の装荷を開始する。
【００６８】
そして、この処理は、図１５から図４または図１２に示す工程に折り返して戻ってもよい。もう一方の実施形態では、図１１〜１５に示す工程を回避し、図４〜１０に示す処理を連続して繰り返してもよい。図面を簡略化するために、図１３〜１５は様々な工程を簡約した。図１３〜１５に示すこれらの様々な工程は同時よりはむしろ順番に起こってもよい。
【００６９】
図３〜１０で、第２の加工材取扱いシステム２００により実行されている処理は、第１の加工材取扱いシステムにより実行されている処理に遅れることに留意されたい。特に、第２の加工材取扱いシステム２００は、その一つ前の図で第１の加工材取扱いシステムにより実行される作動を実行する。例えば、第２の加工材取扱いシステム２００は、図４の第１の加工材取扱いシステム１００によって実行された作動を図５で実行する。このようにして、２個のシステムは、お互いに関してわずかに位相がずれた状態で作動する。２個の加工材取扱いシステム１００及び２００を作動させる一つの有利な点は、この方法は減少した構成要素であってもよい。例えば、図４と図１０との間、丁度１個の加工材キャリアが各図で交換されていることに留意されたい。このように、いくつかの実施形態では、ただ一つの貯蔵ロボット１０７を加工材取扱いシステム１００及び２００の両方に使用してもよい。
【００７０】
例えば、各加工材取扱いシステムが図１６に示す一連のシーケンスで実行してもよい。しかし、第１の加工材取扱いシステムが先に始動されてもよい。第１の加工材取扱いシステム１００が第１の加工材キャリアから半分の加工材を除荷すると、第２の加工材取扱いシステムの一連のシーケンスが開始する。このようにして、貯蔵ロボット１０７は、各加工材キャリアがそれぞれの加工材取扱いシステム１００及び２００により装荷されたときに、各加工材キャリアを交換する最長時間を有する。いくつかの実施形態では、ただ一つの貯蔵ロボット１０７を３個またはそれ以上の加工材取扱いシステムで使用してもよい。Ｎ個の加工材取扱いシステムの場合、第１の加工材キャリアが第１のキャリアの加工材の１／Ｎを出したあとに、第２の加工材取扱いシステムが作動を開始する。第１の加工材キャリアが第１のキャリアの加工材の２／Ｎを出したあとに、第３の加工材取扱いシステムが作動を開始する。すべてのＮ個の加工材取扱いシステムが作動をするまで、これが継続する。この実施形態では、貯蔵ロボットは、先述したように加工材キャリアが３分で空になるものと仮定すると、３／Ｎ分ごとに加工材キャリアを交換しなければならない。
【００７１】
このように、３個のコンベヤベルトを備える加工材取扱いシステムが開示される。３個のコンベヤベルトのそれぞれは装荷ベルト及び除荷ベルトとして作動することができ、それゆえベルトの進行方向は必要に応じて変更できる。さらに、各コンベヤベルトは関連するインデクサーを備える。このインデクサーは、加工材キャリアを加工材キャリアに装荷するため、及び加工材キャリアを空にするために使用される。
【００７２】
制御装置（図示せず）は、加工材取扱いシステムの作動を制御するのに使用される。制御装置は記憶素子を備え、図２〜１６に示すシーケンスを実行するのに使用される命令を備えるのに使用される。いくつかの実施形態では、制御装置は複数の加工材取扱いシステムの作動を制御するのに使用される。また、いくつかの実施形態では、制御装置は１個以上の貯蔵ロボット１０７の作動を制御してもよい。特殊な例では、制御装置は、全体でただ一つの貯蔵ロボットを利用する２個以上の加工材取扱いシステムの作動を制御してもよい。
【００７３】
本発明は、本明細書に記載した特定の実施形態によって範囲を限定されるものではない。実際、本明細書に記載した実施形態の外に、他の様々な実施形態及び変更例があることは、当業者にとって、上述の説明及び添付図面から明らかである。これら他の実施形態及び変更例は本発明の範囲内であることを意図する。さらに、本発明は特定目的のための特定環境における特定実施における文脈で説明したが、当業者であれば、その有用性は特定環境における特定実施に限定されるものではなく、本発明が、任意な多数の目的に対する任意な多数の環境で有利に実施できることは言うまでもない。したがって、特許請求の範囲が、本明細書に記載した本発明の範囲及び本発明の範囲及び精神として解釈すべきである。
【符号の説明】
【００７４】
１００：第１の加工材取扱いシステム
１０１：第１のインデクサー
１０２：第２のインデクサー
１０３：第３のインデクサー
１００：第２の加工材取扱いシステム
１０４：第１のコンベヤベルト
１０５：第２のコンベヤベルト
１０６：第３のコンベヤベルト
１０７、２０７：貯蔵ロボット
２０１、２０２、２０３：インデクサー
２０４、２０５、２０６：コンベヤベルト
３００、３０１、３０２：矢印
【図１】
2015535785.tif 000003
【図２】
2015535785.tif 000004
【図３】
2015535785.tif 000005
【図４】
2015535785.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2015535785.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
2015535785.tif 000013
【図１２】
2015535785.tif 000014
【図１３】
2015535785.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【国際調査報告】
2015535785.tif 000019
2015535785.tif 000020