(57)【要約】【課題】  半導体製造工程に使われる接着剤製造時、所定の真空圧を用いて遠心分離器を動作させることで、シリンジに充填された接着剤内に存在する微細気泡を完全に除去するようにしたシリンジ充填物の気泡を除去する遠心分離装置を提供すること。【解決手段】円筒状の本体と、本体の上部に密閉して取り付けられる密閉蓋と、モーターの駆動によって回転される回転軸及び回転体と、前記回転体の４面に形成されたヒンジ軸に結合される取付部と、前記取付部に載置台を介在して設けられるシリンジと、前記本体の下端に連設される真空管及び真空解除管と、前記真空管に設置される真空センサーとを備える遠心分離機と、前記真空管を介して本体内部の圧力を所定圧力に下げる真空駆動部と、前記真空センサーにより検出された圧力値を制御部に入力するセンサー感知部と、前記モーターを駆動させて前記回転軸を回転させるモーター駆動部と、前記遠心分離機を作動・制御し、前記本体の内部圧力を所定値に一定に保持し、その設定されたＲＰＭおよび駆動時間に前記モーターを駆動制御する制御部とを含んでなることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
円筒状の本体と、本体の上部に密閉して取り付けられる密閉蓋と、モーターの駆動によって回転される回転軸及び回転体と、前記回転体の４面に形成されたヒンジ軸に結合される取付部と、前記取付部に載置台を介在して設けられるシリンジと、前記本体の下端に連設される真空管及び真空解除管と、前記真空管に設置される真空センサーとを備える遠心分離機と、
前記真空管を介して本体内部の圧力を所定圧力に下げる真空駆動部と、
前記真空センサーにより検出された圧力値を制御部に入力するセンサー感知部と、
前記モーターを駆動させて前記回転軸を回転させるモーター駆動部と、
前記遠心分離機を作動・制御し、前記本体の内部圧力を所定値に一定に保持し、その設定されたＲＰＭおよび駆動時間に前記モーターを駆動制御する制御部とを含んでなることを特徴とするシリンジ充填物の気泡を除去する遠心分離装置。
【請求項２】
前記遠心分離機の運転時、本体の内部圧力は５０〜６０トール（ｔｏｒｒ）であることを特徴とする請求項１に記載のシリンジ充填物の気泡を除去する遠心分離装置。
【請求項３】
前記遠心分離機の運転時、前記モーターのＲＰＭは７００〜１，２００であることを特徴とする請求項１に記載のシリンジ充填物の気泡を除去する遠心分離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はシリンジ充填物に存在する微細気泡を除去するための方法及び装置に関し、より詳しくは、半導体製造工程に使われる接着剤製造時、所定の真空圧を用いて遠心分離器を動作させることにより、シリンジに充填された接着剤内に存在する微細気泡を完全に除去するようにしたシリンジ充填物の気泡を除去する遠心分離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程において、液状の接着剤の製造時に発生することができる予想値内の気泡（Ａｉｒ  ｂｕｂｂｌｅ）が引き起こす不良、特に、フィリップチップパッケージ（Ｆｉｌｐ  ｃｈｉｐ  ｐａｃｋａｇｅ）の場合、チップと基板との間を接着剤で付着してから半田付けをするが、この時前記接着剤に微細気泡が存在する場合、前記気泡へ半田が流れ込んで、その結果、チップ配線に電気的エラーが発生するようになる。
【０００３】
したがってこのような接着剤内の微細気泡による製品不良を防止するために、製造された接着剤をそれぞれのシリンジに充填し、遠心分離機の載置台に前記シリンジを取り付けて駆動させることで、遠心分離によって内部に存在する微細気泡を除去している実情がある。
【０００４】
しかし、このような遠心分離機を用いた場合にも、シリンジに充填された接着剤の内部の微細なマイクロ単位の気泡は事実上除去し難く、接着剤吐出時に多量の気泡が発見されるなどのような問題点が生じている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は前記のような問題点を解決するために案出されたものであって、本発明の目的は、半導体製造工程に使われる接着剤製造時、所定の真空圧を用いて遠心分離器を動作させることで、シリンジに充填された接着剤内に存在する微細気泡を完全に除去するようにしたシリンジ充填物の気泡を除去する遠心分離装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このような目的を達成するための本発明は円筒状の本体と、本体の上部に密閉して取り付けられる密閉蓋と、モーターの駆動によって回転される回転軸及び回転体と、前記回転体の４面に形成されたヒンジ軸に結合される取付部と、前記取付部に載置台を介在して設けられるシリンジと、前記本体の下端に連設される真空管及び真空解除管と、前記真空管に設置される真空センサーとを備える遠心分離機と、前記真空管を介して本体内部の圧力を所定圧力に下げる真空駆動部と、前記真空センサーにより検出された圧力値を制御部に入力するセンサー感知部と、前記モーターを駆動させて前記回転軸を回転させるモーター駆動部と、前記遠心分離機を作動・制御し、前記本体の内部圧力を所定値に一定に保持し、その設定されたＲＰＭおよび駆動時間に前記モーターを駆動制御する制御部とを含んでなることを特徴とする。
【０００７】
また本発明による前記遠心分離機の運転時、本体の内部圧力は５０〜６０トール（ｔｏｒｒ）であることを特徴とする。
【０００８】
さらに本発明による前記遠心分離機の運転時、前記モーターのＲＰＭは７００〜１，２００であることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、所定の真空圧を用いて遠心分離器を動作させることで、シリンジに充填された接着剤内に存在する微細気泡を完全に除去することで、半導体組立における危険要素中の一つである、不測の気泡によって発生し得る電気的欠陷を予防することができるという長所がある。
【００１０】
また本発明によれば、接着剤内の気泡が除去されることにより一層正確な量の接着剤吐出が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明によるシリンジ充填物の気泡を除去する遠心分離装置の構成図である。
【図２】図１の回転体及び載置台の拡大構成図である。
【図３】図１の回転体及び載置台の作動状態の構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、添付された図面を参照して本発明の望ましい実施例をより詳しく説明する。
【００１３】
図１は本発明によるシリンジ充填物の気泡を除去する遠心分離装置の構成図である。
【００１４】
同図に示されたように、本発明によるシリンジ充填物の気泡を除去する遠心分離装置は、遠心分離機１００、真空駆動部２１０、センサー感知部２２０、モーター駆動部２３０、表示部２４０、キー入力部２５０、及び制御部２６０を含む。
【００１５】
前記遠心分離機１００は、円筒状の本体１１０と、前記本体１１０を支持する支持部１２０と、前記本体１１０の上部に密閉して取り付けられる密閉蓋１３０とを含む。
【００１６】
前記本体１１０の内部には、図２に示したように、モーター１２１の駆動によって回転される回転軸１１１と、前記回転軸１１１の上端に連結される回転体１１２と、前記回転体１１２の４面に形成されたヒンジ軸１１３に結合される取付部１１４とを含む。
【００１７】
前記取付部１１４には、複数個の載置溝１１６の形成された載置台１１５が取り付けられ、前記載置溝１１６には接着剤の充填されたシリンジ１１７が設けられる。
【００１８】
ここで前記シリンジ１１７は、１０ｃｃまたは３０ｃｃのシリンジが望ましく、より大きなシリンジにも適用可能であり、必ずこれらに限定されるものではない。
【００１９】
また前記本体１１０の下端には、連結管１４０が構成され、前記連結管１４０は真空管１４１と真空解除管１４２とに分けられるように構成される。
【００２０】
前記真空管１４１の内部には真空圧力を感知する真空センサー１４３が設置される。
【００２１】
前記真空解除管１４２には、開閉弁１４４、エアフィルター１４５、消音器１４６などが設置され、前記密閉蓋１３０には圧力計１３１がさらに付着してなる。
【００２２】
また前記真空駆動部２１０は、真空管１４１を介して本体１１０内部の空気を吸い込んで本体の内部の圧力を所定圧力に下げる。
【００２３】
本発明によれば、前記本体１１０の内部圧力は、運転時５０〜６０トール（ｔｏｒｒ）に保持することが好ましい。
【００２４】
また前記センサー感知部２２０は、前記真空センサー１４３により検出された圧力値を信号処理して制御部２６０に入力する。
【００２５】
前記モーター駆動部２３０は、モーター１２１を駆動させて本体１１０内の回転軸１１１を回転させる。
【００２６】
本発明によれば前記モーター１２１のＲＰＭは、運動時７００〜１，２００ＲＰＭを保持し、駆動時間は３〜７分が望ましい。
【００２７】
前記表示部２４０は、現在の本体１１０の内部圧力およびシリンジ１１７の回転速度ＲＰＭなどを表示する。
【００２８】
前記キー入力部２５０は、複数個の機能スイッチを備え、本体１１０の内部圧力、モーター１２１の回転速度、モーター１２１の駆動時間などをキー入力する。
【００２９】
前記制御部２６０は、前記遠心分離機１００を作動・制御する回路であって、前記キー入力部２５０により設定された値をもって前記本体１１０の内部圧力を設定値に一定に保持し、その設定されたＲＰＭおよび駆動時間にモーター１２１を駆動制御する。
【００３０】
以下、このように構成された本発明の動作について説明する。
【００３１】
まず、ユーザは遠心分離機本体１１０の密閉蓋１３０を開いて、接着剤が充填されたシリンジ１１７を載置台１１５の載置溝１１６に挿入した後、前記載置台１１５を回転体１１２の取付部１１４に固着する。
【００３２】
それから、前記密閉蓋１３０を覆い、真空解除管１４２の開閉弁１４４を閉じる。
【００３３】
このように接着剤の充填されたシリンジ１１７の遠心分離機１００への取り付けを完了すれば、キー入力部２５０により、遠心分離機本体１１０の内部圧力と、モーター１２１の回転ＲＰＭおよびモーターの駆動時間を設定する。
【００３４】
ここでは一例として、本体内部の圧力を６０トール（ｔｏｒｒ）に設定し、モーター１２１のＲＰＭを９００に設定し、モーターの駆動時間を５分に設定する。
【００３５】
このようなキー入力が制御部２６０に入力されれば、前記制御部２６０は真空駆動部２１０を駆動させて本体１１０の内部圧力を下げる。
【００３６】
前記振動駆動部２１０は真空管１４１を介して本体１１０内部の空気を吸い込んで圧力を下げるが、このとき、真空センサー１４３及びセンサー感知部２２０により入力される圧力を検出し、本体１１０の内部圧力を設定値、すなわち６０トール（ｔｏｒｒ）に保持させる。
【００３７】
このように本体１１０の内部圧力が設定値に至ると、前記制御部２６０はモーター駆動部２３０を制御してモーター１２１を駆動させる。
【００３８】
ここで前記モーター駆動部２３０は、前記制御部２６０の制御によって前記モーター１２１が設定されたＲＰＭを保持するように駆動制御する。
【００３９】
したがって、前記モーター１２１が回転駆動すれば、ここに連動して回転軸１１１が回転し、前記回転軸１１１の回転によって回転体１１２が回転する。
【００４０】
前記回転体１１２の回転によって、４面のヒンジ軸１１３に連結された取付部１１４は回転され、これと同時に上下運動するようになる。
【００４１】
すなわち、図３に示したように、回転体１１２が回転しながら取付部１１４は遠心力および回転運動によってａ→ｂ→ｃのようにヒンジ軸１１３を中心に上下運動するようになる。
【００４２】
したがって、シリンジ１１７に充填された接着剤は、強い回転遠心力を受けるようになり、内部に存在する微細気泡が抜け、ここで重要な本発明の特徴は圧力である。
【００４３】
すなわち、このような遠心分離により、接着剤内に存在する微細気泡は本体１１０内部の圧力が大気圧よりも低いから、非常に抜けやすい。
【００４４】
つまり、シリンジ１１７に充填された接着剤内に存在するマイクロ単位の微細気泡も、本体１１０内部圧力、および遠心分離による物理的現象により接着剤の外部へ抜けるようになる。
【００４５】
このようにモーター１２１が駆動して設定された時間、すなわち５分を経過すれば、前記制御部２６０はモーター駆動部２３０への出力を中止させ、モーター１２１の駆動を中止させ、真空駆動部２１０の出力も遮断する。
【００４６】
これにより、回転軸１１１および回転体１１２は停止する。
【００４７】
ユーザは真空解除管１４２の開閉弁１４４を開放して本体１１０の内部圧力を常圧に戻し、このような過程が終わると密閉弁１３０を開放してシリンジ１１７を取り出すことで接着剤の気泡除去過程を完了するようになる。
【００４８】
なお、本発明によれば、前記真空遠心分離過程を通じて気泡が除去されたシリンジ１１７は冷凍（−４０℃以下）保管されて、後で使用時には内部に再度発生した気泡を除去するために、再び前記のような真空遠心分離の過程を行った後に使用する。
【符号の説明】
【００４９】
１００  遠心分離機        
１１０  本体
２１０  真空駆動部        
２２０  センサー感知部
２３０  モーター駆動部    
２４０  表示部
２５０  キー入力部        
２６０  制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【国際調査報告】
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