(57)【要約】  超音波検査システムの温度変化に対する補正を行うための方法およびシステムが開示される。一実施形態では、飛行時間測定を補正するためにオフセットが決定され、オフセットは第１および第２の較正温度におけるパルス遅延に基づく。別の実施形態では、飛行時間測定を補正するために係数が決定され、係数は第１および第２の較正温度におけるクロック信号誤差に基づく。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
超音波検査ユニット（１２０）の異なる温度によって生じる異なるパルス遅延に対して、前記超音波検査ユニット（１２０）により測定された測定飛行時間を補正するための方法（３００）であって、
既知の材料および既知の厚さに対する正規化飛行時間を決定することによって、正規化較正温度で前記超音波検査ユニット（１２０）を較正するステップ（３１０）と、
前記超音波検査ユニット（１２０）の第１の較正温度で第１のパルス遅延（２２４）を決定するステップ（３２０）と、
前記超音波検査ユニット（１２０）の第２の較正温度で第２のパルス遅延（２３４）を決定するステップ（３３０）と、
前記第２のパルス遅延（２３４）と前記第１のパルス遅延（２２４）との差および前記第２の較正温度と前記第１の較正温度との差に基づいて飛行時間パルス遅延オフセットを決定するステップ（３４０）と、を含む方法（３００）。
【請求項２】
前記超音波検査ユニット（１２０）の前記温度を測定するステップ（３６０）と、
前記飛行時間パルス遅延オフセットおよび前記超音波検査ユニット（１２０）の前記正規化較正温度と前記超音波検査ユニット（１２０）の前記測定温度との差に基づいてパルサー補正飛行時間を決定するステップ（３７０）と、をさらに含む、請求項１に記載の方法（３００）。
【請求項３】
前記第１の較正温度は前記正規化較正温度より低い、請求項１に記載の方法（３００）。
【請求項４】
前記第２の較正温度は前記正規化較正温度より高い、請求項１に記載の方法（３００）。
【請求項５】
飛行時間パルス遅延オフセットを決定する前記ステップ（３４０）は、前記第２のパルス遅延（２３４）と前記第１のパルス遅延（２２４）との差を前記第２の較正温度と前記第１の較正温度との差で除算するステップを含む、請求項１に記載の方法（３００）。
【請求項６】
前記超音波検査ユニット（１２０）の前記温度を測定する前記ステップ（３６０）は、前記超音波検査ユニット（１２０）の論理回路（１２８）の温度を測定するステップを含む、請求項２に記載の方法（３００）。
【請求項７】
前記パルサー補正飛行時間は、前記測定飛行時間から、前記飛行時間パルス遅延オフセットおよび前記超音波検査ユニット（１２０）の前記正規化較正温度と前記超音波検査ユニット（１２０）の前記測定温度との差の積を減算することによって決定される、請求項２に記載の方法（３００）。
【請求項８】
検査対象（１０）を検査するための超音波検査システム（１００）であって、
超音波プローブ（１１０）と、
前記プローブ（１１０）に接続される超音波検査ユニット（１２０）と、を含み、前記超音波検査ユニット（１２０）は、
論理回路（１２８）と、
パルサー（１２２）と、
クロック発振器（１３２）と、
温度測定デバイス（１４０）と、
マイクロコントローラ（１３０）と、を含み、前記マイクロコントローラ（１３０）は、
既知の材料および既知の厚さ対する正規化飛行時間を決定することによって正規化較正温度で前記超音波検査ユニット（１２０）を較正し、
前記超音波検査ユニット（１２０）の第１の較正温度で第１のパルス遅延（２２４）を決定し、
前記超音波検査ユニット（１２０）の第２の較正温度で第２のパルス遅延（２３４）を決定し、
前記第２のパルス遅延（２３４）と前記第１のパルス遅延（２２４）との差および前記第２の較正温度と前記第１の較正温度との差に基づいて飛行時間パルス遅延オフセットを決定するための実行可能命令を含む超音波検査システム（１００）。
【請求項９】
前記論理回路（１２８）は、フィールドプログラマブルゲートアレイ（ＦＰＧＡ）または特定用途向け論理回路（ＡＳＩＣ）の一方である、請求項８に記載の超音波検査システム（１００）。
【請求項１０】
前記温度測定デバイス（１４０）はサーミスタである、請求項８に記載の超音波検査システム（１００）。
【請求項１１】
前記温度測定デバイス（１４０）は熱電対である、請求項８に記載の超音波検査システム（１００）。
【請求項１２】
超音波検査ユニット（１２０）の異なる温度によって生じる異なるクロック信号周波数に対して、前記超音波検査ユニット（１２０）により測定された測定飛行時間を補正するための方法（６００）であって、
既知の材料および既知の厚さに対する正規化飛行時間を決定することによって、正規化較正温度で前記超音波検査ユニット（１２０）を較正するステップ（６１０）と、
前記超音波検査ユニット（１２０）の第１の較正温度において、既知の材料および第１の既知の厚さの第１の試験片について第１の飛行時間を決定するステップ（６２０）と、
前記超音波検査ユニット（１２０）の第２の較正温度において、前記第１の試験片について第２の飛行時間を決定するステップ（６３０）と、
前記第１の試験片の前記第２の飛行時間と前記第１の試験片の前記第１の飛行時間との差に基づいてクロック信号誤差を決定するステップ（６４０）と、
前記クロック信号誤差および前記第２の較正温度と前記第１の較正温度との差に基づいてクロック信号誤差係数を決定するステップ（６５０）と、を含む方法（６００）。
【請求項１３】
前記超音波検査ユニット（１２０）の前記温度を測定するステップ（６７０）と、
前記クロック信号誤差係数および前記超音波検査ユニット（１２０）の前記正規化較正温度と前記超音波検査ユニット（１２０）の前記測定温度との差に基づいて、クロック信号補正飛行時間を決定するステップ（６８０）と、をさらに含む、請求項１２に記載の方法（６００）。
【請求項１４】
前記第１の較正温度は前記正規化較正温度より低い、請求項１２に記載の方法（６００）。
【請求項１５】
前記第２の較正温度は前記正規化較正温度より高い、請求項１２に記載の方法（６００）。
【請求項１６】
クロック信号誤差を決定する前記ステップ（６４０）は、前記第１の試験片の前記第２の飛行時間と前記第１の試験片の前記第１の飛行時間との差を前記第１または第２の飛行時間で除算するステップを含む、請求項１２に記載の方法（６００）。
【請求項１７】
クロック信号誤差係数を決定する前記ステップ（６５０）は、前記クロック信号誤差を前記第２の較正温度と前記第１の較正温度との差で除算するステップを含む、請求項１２に記載の方法（６００）。
【請求項１８】
前記超音波検査ユニット（１２０）の前記温度を測定する前記ステップ（６７０）は、前記超音波検査ユニット（１２０）のクロック発振器（１３２）の温度を測定するステップを含む、請求項１３に記載の方法（６００）。
【請求項１９】
前記クロック信号補正飛行時間は、前記測定飛行時間に、前記クロック信号誤差係数および前記超音波検査ユニット（１２０）の前記正規化較正温度と前記超音波検査ユニット（１２０）の前記測定温度との差の積に１を加えた合計を乗算することによって決定される、請求項１３に記載の方法（６００）。
【請求項２０】
前記超音波検査ユニット（１２０）の前記第１の較正温度において、既知の材料および第２の既知の厚さの第２の試験片について第１の飛行時間を決定するステップと、
前記超音波検査ユニット（１２０）の前記第２の較正温度において、前記第２の試験片について第２の飛行時間を決定するステップと、
前記超音波検査ユニット（１２０）の前記第１の較正温度において、既知の材料および第３の既知の厚さの第３の試験片について第１の飛行時間を決定するステップと、
前記超音波検査ユニット（１２０）の前記第２の較正温度において、前記第３の試験片について第２の飛行時間を決定するステップと、をさらに含み、
前記クロック信号誤差は、前記第１の試験片の前記第２の飛行時間と前記第１の試験片の前記第１の飛行時間との差、前記第２の試験片の前記第２の飛行時間と前記第２の試験片の前記第１の飛行時間との差、および前記第３の試験片の前記第２の飛行時間と前記第３の試験片の前記第１の飛行時間との差の平均に基づいて決定される、請求項１２に記載の方法（６００）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本明細書に開示する発明の主題は、超音波検査システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
いくつかの産業（例えば、石油およびガス、精練所、化学、発電）は、パイプによる流体の輸送を必要とする。パイプ壁の内部の腐食を含むパイプの腐食（または浸食）をモニターするために、非破壊検査システムがこれらのパイプの外面に配置される。いくつかの非破壊検査システムでは、パイプ腐食度を決定して、そのパイプ位置がパイプ故障を防止するための予防的な保守を必要とするかどうかを決定するために、その位置で腐食を連続的にモニターするために、プローブまたは他の非破壊検査デバイスがパイプの外面に恒久的に結合される。他の非破壊検査システムでは、プローブは携帯可能であって、パイプの外面に沿って移動することができる。
【０００３】
パイプの腐食をモニターするために用いる非破壊検査システムの一例は、超音波検査システムである。パイプの超音波検査を行う際には、超音波信号がパイプの外面に結合されたプローブから放射され、パイプを通過する。超音波信号がパイプに入り、それを通過すると、超音波信号がパイプの外面、パイプ内の内部構造、ボイドもしくは閉塞、およびパイプの内面（もしくは後壁）と相互作用して、エコーと呼ばれる様々な反射がプローブへ反射して戻る。エコー信号は、エコー振幅が垂直トレースとして現れ、飛行時間または距離が水平トレースとして現れるように画面に表示することができる。超音波信号の送信とエコーの受信との時間差を追跡することによって、パイプ厚を含むパイプの様々な特性を決定することができる。パイプの外面からパイプの内面に到達し、それからパイプの外面に戻るまでの超音波信号の飛行時間、ならびに、パイプが作られた材料の音速（例えば、ステンレススチール３１６Ｌでは５，８００ｍ／ｓ）が分かれば、パイプの厚さを決定することができる。超音波検査システムがある位置のパイプの厚さが時間とともに減少する（例えば、後壁エコーの飛行時間の減少で示される）場合には、これは腐食の徴候であり得る。
【０００４】
非常に正確な厚さを測定するためには、飛行時間の測定も非常に正確でなければならない。飛行時間測定の精度は、超音波検査ユニットの構成要素の温度変化により生じる性能の変化によって負の影響を受けるおそれがある。例えば、論理回路がパルサーにトリガーを出力する時刻と超音波信号が実際に放射される（パルス遅延）時刻との時間（伝搬）遅延は、論理回路の温度に基づいて変化する（例えば、低い温度では、時間遅延はより高い温度での時間遅延より短い）。同様に、例えば、受信した超音波信号のサンプリングまたは飛行時間測定のタイミングを決定するクロック信号の周波数は、クロック発振器の温度に基づいて変化する（例えば、低い温度では、周波数はより高い温度での周波数より低い（周期はより長い））。これらの温度変化は、結果として論理回路およびクロック発振器の温度に応じて異なる飛行時間測定をもたらし、それは結果として不正確な厚さ測定をもたらすおそれがある。例えば、論理回路が−４０℃のときに測定された飛行時間が、論理回路が＋８５℃のときに測定された飛行時間より３０ｎｓ長い場合には、実際の厚さが変化しなかったとしても、より高い温度での厚さ測定はより低い温度での測定より約０．０８７ｍｍ大きくなるであろう。
【０００５】
論理回路またはクロック発振器の温度変化によって生じる性能変化に起因する飛行時間（および厚さ）測定の差を説明するために、超音波検査システムをしばしば較正しなければならない。頻繁な較正が実際的ではないそれらの常設装置では、超音波検査システムの構成要素の一貫した温度を維持するために、加熱または冷却装置を超音波検査システムに取り付けることができるが、それは検査システムのコストおよびエネルギー需要を増加させる。
【０００６】
上記の説明は、単に一般的な背景情報として提供するものであり、請求する発明の主題の範囲を決定する際の助けとして用いることが目的ではない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】米国特許出願公開第２０１１／２３２３６０号明細書
【発明の概要】
【０００８】
超音波検査システムの温度変化に対する補正を行うための方法およびシステムが開示される。一実施形態では、飛行時間測定を補正するためにオフセットが決定され、オフセットは第１および第２の較正温度におけるパルス遅延に基づく。別の実施形態では、飛行時間測定を補正するために係数が決定され、係数は第１および第２の較正温度におけるクロック信号誤差に基づく。開示された実施形態のいくつかを実施することによって実現できる利点は、超音波検査ユニットの温度変化を補正するより正確な飛行時間測定である。これは、より正確に腐食を識別するための、より正確な厚さ測定を提供する。
【０００９】
一実施形態では、超音波検査ユニットの異なる温度によって生じる異なるパルス遅延に対して、超音波検査ユニットにより測定された測定飛行時間を補正するための方法が開示される。本方法は、既知の材料および既知の厚さに対する正規化飛行時間を決定することによって、正規化較正温度で超音波検査ユニットを較正するステップと、超音波検査ユニットの第１の較正温度で第１のパルス遅延を決定するステップと、超音波検査ユニットの第２の較正温度で第２のパルス遅延を決定するステップと、第２のパルス遅延と第１のパルス遅延との差および第２の較正温度と第１の較正温度との差に基づいて飛行時間パルス遅延オフセットを決定するステップと、を含む。
【００１０】
別の実施形態では、検査対象を検査するための超音波検査システムが開示される。超音波検査システムは、超音波プローブと、プローブに接続される超音波検査ユニットと、を含む。超音波検査ユニットは、論理回路と、パルサーと、クロック発振器と、温度測定デバイスと、マイクロコントローラと、を含み、マイクロコントローラは、既知の材料および既知の厚さ対する正規化飛行時間を決定することによって正規化較正温度で超音波検査ユニットを較正し、超音波検査ユニットの第１の較正温度で第１のパルス遅延を決定し、超音波検査ユニットの第２の較正温度で第２のパルス遅延を決定し、第２のパルス遅延と第１のパルス遅延との差および第２の較正温度と第１の較正温度との差に基づいて飛行時間パルス遅延オフセットを決定するための実行可能命令を含む。
【００１１】
さらに別の実施形態では、超音波検査ユニットの異なる温度によって生じるクロック信号周波数に対して、超音波検査ユニットにより測定された測定飛行時間を補正するための方法が開示される。本方法は、既知の材料および既知の厚さに対する正規化飛行時間を決定することによって、正規化較正温度で超音波検査ユニットを較正するステップと、超音波検査ユニットの第１の較正温度において、既知の材料および第１の既知の厚さの第１の試験片について第１の飛行時間を決定するステップと、超音波検査ユニットの第２の較正温度において、第１の試験片について第２の飛行時間を決定するステップと、第１の試験片の第２の飛行時間と第１の試験片の第１の飛行時間との差に基づいてクロック信号誤差を決定するステップと、クロック信号誤差および第２の較正温度と第１の較正温度との差に基づいてクロック信号誤差係数を決定するステップと、を含む。
【００１２】
本発明の概要は、１つまたは複数の例示的な実施形態により本明細書に開示される発明の主題の簡潔な概要を提供することだけを目的とし、請求項を解釈するための、または、本発明の範囲を定義もしくは限定するための手引きとして用いるものではない。本発明の範囲は、添付した特許請求の範囲のみによって定義される。本発明の概要は、詳細な説明においてさらに説明される概念のうちから例示となる選択したものを簡略化した形式で導入するために提供される。本発明の概要は、請求する発明の主題の重要な特徴または本質的特徴を識別することを目的とせず、また請求する発明の主題の範囲を決定する助けとして用いることを目的としない。請求する発明の主題は、背景技術で言及した不利な点の一部または全部を解決する実施に限定されない。
【００１３】
本発明の特徴が理解できるように、特定の実施形態を参照することにより発明の詳細な説明を行うことができて、それらのいくつかは添付の図面に示されている。しかし、図面は本発明の特定の実施形態だけを示しており、したがって、その範囲を限定するものと考えるべきではないことに留意する必要がある。なぜなら、本発明の範囲は他の等しく有効な実施形態を包含するからである。図面は必ずしも同一スケールではなく、一般に、本発明の特定の実施形態の特徴を示すことに強調が置かれる。図面において、類似の符号は、様々な図面の全体にわたって類似の部品を示すために用いられる。このようにして、本発明のさらなる理解のために、以下の詳細な説明に対して参照することができ、以下の図面に関して読むことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】検査対象を検査するための例示的な超音波検査システムの概略図である。
【図２】超音波検査ユニットの温度の変化によって生じるパルス遅延の例示的な変化を示すグラフである。
【図３】超音波検査ユニットの異なる温度によって生じる異なるパルス遅延に対して、超音波検査ユニットにより測定された飛行時間を補正するための例示的な方法のフローチャートである。
【図４】図２のパルス遅延対温度の例示的なプロットを示すグラフである。
【図５】クロック発振器の温度の変化によって生じるクロック信号の周波数（または周期）の例示的な変化を示すグラフである。
【図６】超音波検査ユニットの異なる温度によって生じる異なるクロック信号周波数に対して、超音波検査ユニットにより測定された飛行時間を補正するための例示的な方法のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
図１は、検査対象１０を検査するための例示的な超音波検査システム１００の概略図である。システム１００は、超音波プローブケーブル１１２によって超音波プローブ１１０に接続される超音波検査ユニット１２０を含む。超音波検査ユニット１２０は、論理回路１２８（例えば、フィールドプログラマブルゲートアレイ（ＦＰＧＡ）または特定用途向け論理回路（ＡＳＩＣ））からトリガー信号を受信した後に、アナログ電気励起パルスを送信して超音波プローブ１１０の圧電素子を駆動し、超音波信号を検査対象１０に送信するパルサー１２２を含む。また例示的な超音波検査ユニット１２０は、超音波プローブ１１０から受信したアナログ電気エコー信号を受信し増幅するための受信器／増幅器１２４を含む。またデジタイザ１２６は、クロック発振器１３２（例えば、５０ＭＨｚ）の周波数により決定されるサンプリングレートで受信したアナログ電気エコー信号をサンプリングして、それを論理回路１２８に入力されるディジタル信号に変換するために設けられる。そして、論理回路１２８は、受信したディジタル信号をバッファして、処理のための１つまたは複数のマイクロコントローラ１３０に信号を出力することができる。超音波検査ユニット１２０は、超音波検査ユニット１２０の温度を測定するための１つまたは複数の温度測定デバイス１４０（例えば、熱電対、サーミスタなど）を含むことができる。
【００１６】
図２は、図１の超音波検査ユニット１２０（例えば、論理回路１２８を含む個別構成要素）の温度の変化によって生じるパルス遅延（および飛行時間）の例示的な変化を示すグラフである。一例では、論理回路１２８は、クロック信号２４０の第１の立ち上がりエッジ２４１でトリガー信号を発生させるように命令され、それによって時刻ゼロ２０２を規定する。この例では、説明の便宜上、クロック信号２４０は５０ＭＨｚの周波数であって、２０ｎｓのクロック信号周期に対応する。図２に示すように、例えば、時刻ゼロ２０２と励起パルス２１２、２２２、２３２が発生する実際の時刻との間のパルス遅延２１４、２２４、２３４は、部分的には、例えば論理回路１２８の温度によって決定される。論理回路１２８の温度がより低い場合には、論理回路１２８の温度がより高い場合よりもパルス遅延は短い。それで、パルス遅延２１４、２２４、２３４は、超音波プローブ１１０（図１）から受信した超音波信号について決定される飛行時間２１９、２２９、２３９に影響を与える。
【００１７】
正規化電気信号２１０を見ると、論理回路１２８が＋２５℃（正規化較正温度）で動作する場合にトリガーされる正規化励起パルス２１２に対する正規化パルス遅延２１４は３０ｎｓである。この正規化パルス遅延２１４は、次に、正規化電気信号２１０の正規化エコー２１６（正規化超音波信号エコーに対応する）の正規化エコーゼロ交差２１７に基づいて決定される正規化飛行時間２１９を遅延させ、それは１５０ｎｓである。超音波検査ユニット１２０のマイクロコントローラ１３０がクロック信号２４０の立ち上がりエッジだけで時間測定を決定する場合には、正規化電気信号２１０についての飛行時間は、クロック信号２４０の第８の立ち上がりエッジ２４８の時刻に基づいて決定され、それは１６０ｎｓの時間に対応する。
【００１８】
第１の電気信号２２０を見ると、論理回路１２８が−４０℃（第１の較正温度）で動作する場合にトリガーされる第１の励起パルス２２２に対する第１のパルス遅延２２４は１５ｎｓである。この第１のパルス遅延２２４は、次に、第１の電気信号２２０の第１のエコー２２６（第１の超音波信号エコーに対応する）の第１のエコーゼロ交差２２７に基づいて決定される第１の飛行時間２２９を遅延させ、それは１３５ｎｓである（正規化飛行時間２１９より１５ｎｓ短い）。超音波検査ユニット１２０のマイクロコントローラ１３０がクロック信号２４０の立ち上がりエッジだけで時間測定を決定する場合には、第１の電気信号２２０についての飛行時間は、クロック信号２４０の第７の立ち上がりエッジ２４７の時刻に基づいて決定され、それは１４０ｎｓの時間に対応する（正規化電気信号２１０についての飛行時間より２０ｎｓ短い）。
【００１９】
第２の電気信号２３０を見ると、論理回路１２８が＋８５℃（第２の較正温度）で動作する場合にトリガーされる第２の励起パルス２３２に対する第２のパルス遅延２３４は４５ｎｓである。この第２のパルス遅延２３４は、次に、第２の電気信号２３０の第２のエコー２３６（第２の超音波信号エコーに対応する）の第２のエコーゼロ交差２３７に基づいて決定される第２の飛行時間２３９を遅延させ、それは１６５ｎｓである（正規化飛行時間２１９より１５ｎｓ長い）。超音波検査ユニット１２０のマイクロコントローラ１３０がクロック信号２４０の立ち上がりエッジだけで時間測定を決定する場合には、第２の電気信号２３０についての飛行時間は、クロック信号２４０の第９の立ち上がりエッジ２４９の時刻に基づいて決定され、それは１８０ｎｓの時間に対応する（正規化電気信号２１０についての飛行時間より２０ｎｓ長い）。
【００２０】
補正をしなければ、超音波検査ユニット１２０の異なる温度で得られた電気信号２１０、２２０、２３０の飛行時間２１９、２２９、２３９の変化によって、厚さに変化がなかった場合であっても、検査対象１０の異なる厚さの測定値が生じる可能性があり、それによって検査対象の腐食を識別することができないか、あるいはそれを誤って識別するおそれがある。例えば、検査対象１０の材料における音速が５，８００ｍ／ｓ（例えば、ステンレススチール３１６Ｌについて）であると仮定すると、第１の飛行時間２２９（１３５ｎｓ）に対応する検査対象１０の第１の厚さは、正規化飛行時間２１９（１５０ｎｓ）に対応する検査対象１０の正規化厚さよりも０．０４３５ｍｍ薄い。同様に、第２の飛行時間２３９（１６５ｎｓ）に対応する検査対象１０の第２の厚さは、正規化飛行時間２１９（１５０ｎｓ）に対応する正規化厚さよりも０．０４３５ｍｍ厚い。これらの変化する厚さは、時刻ゼロ２０２と励起パルスが実際にトリガーされる時刻との間の一貫しないパルス遅延の結果である。
【００２１】
図３は、超音波検査ユニット１２０の異なる温度（例えば、論理回路１２８の異なる温度）によって生じる異なるパルス遅延に対して、超音波検査ユニット１２０により測定された飛行時間を補正するための超音波検査ユニットによって（例えば、マイクロコントローラ１３０の実行可能命令を介して）実行される例示的な方法３００のフローチャートである。いくつかの実施形態では、ステップが異なる順序で実行されてもよく、特定のステップが実行されず、付加的なステップが含まれてもよいことが理解されよう。
【００２２】
ステップ３１０で、正規化較正温度で生成される正規化パルス遅延２１４（ＰＤ1＝３０ｎｓ）および正規化飛行時間２２９（１５０ｎｓ）を決定するために、正規化較正温度（ＴNC）（例えば、＋２５℃）で超音波検査ユニット１２０を較正する。図示する実施形態では、図２の正規化電気信号２１０に示すように、＋２５℃の正規化較正温度（ＴNC）を用いているが、他の正規化較正温度（例えば、＋２２℃）を用いてもよいことが理解されよう。正規化較正温度において、既知の材料および既知の厚さ（例えば、２５ｍｍのガラスブロック）の試験片について、正規化較正温度で既知の厚さ測定値が得られるように正規化飛行時間を決定することによって、超音波検査ユニット１２０を較正することができる。
【００２３】
ステップ３２０で、また図２に示すように、第１の較正温度（ＴC1＝−４０℃）で超音波検査ユニット１２０を用いて第１のパルス遅延２２４（ＰＤ1＝１５ｎｓ）を決定する。ステップ３３０で、また図２に示すように、第２の較正温度（ＴC2＝＋８５℃）で超音波検査ユニット１２０を用いて第２のパルス遅延２３４（ＰＤ2＝４５ｎｓ）を決定する。一実施形態では、第１の較正温度は正規化較正温度（ＴNC＝＋２５℃）より低くて、第１のパルス遅延２２４が正規化パルス遅延２１４より短くなるが、一方、第２の較正温度は正規化較正温度より高くて、第２のパルス遅延２３４が正規化パルス遅延２１４より長くなる。例示的実施形態では第１および第２の較正温度が正規化較正温度と異なり、例示的実施形態では第１および第２のパルス遅延２２４、２３４が正規化パルス遅延２１４と異なっているが、第１または第２の較正温度の一方は正規化較正温度と同じであってもよく、第１または第２のパルス遅延２２４、２３４の一方は正規化パルス遅延２１４と同じであってもよいことが理解されよう。時刻ゼロ２０２と励起パルス２２２、２３２が生成される実際の時刻との間の時間を決定するために、オシロスコープまたは類似のデバイスを用いて、パルス遅延２２４、２３４を決定することができる。
【００２４】
ステップ３４０で、第１のパルス遅延２２４（ＰＤ1＝１５ｎｓ）、第１の較正温度（ＴC1＝−４０℃）、第２のパルス遅延２３４（ＰＤ2＝４５ｎｓ）、および第２の較正温度（ＴC3＝＋８５℃）に基づいて、飛行時間パルス遅延オフセット（ＴＯＦPDOFFSET）を決定する。図４は、超音波検査ユニット１２０の較正温度（＋２５℃、−４０℃、＋８５℃）に対して、図２のパルス遅延２１４（３０ｎｓ）、２２４（１５ｎｓ）、２３４（４５ｎｓ）の例示的なプロットを示すグラフである。超音波検査ユニット１２０の較正温度と結果として生じるパルス遅延２１４、２２４、２３４との間に実質的に線形の関係があるという発見に基づいて、飛行時間パルス遅延オフセット（ＴＯＦPDOFFSET）は、例えば、図４のグラフ上で第１のパルス遅延２２４と第２のパルス遅延２３４との間に延びる飛行時間パルス遅延補正線２５０の勾配として決定することができる。上記の例示的な値を用いると、ＴＯＦPDOFFSETは、以下の方程式に基づいて＋０．２４ｎｓ／℃となる。
【００２５】
【数１】
2015529795.tif 000003
ステップ３５０で、超音波検査ユニット１２０を用いて測定飛行時間（ＴＯＦM）を測定する。ステップ３６０で、超音波検査ユニット１２０（例えば、デジタイザ１２６、論理回路１２８、クロック発振器１３２など）（図１）の温度（例えば、ＴM＝＋６０℃）を、超音波検査ユニット１２０の温度測定デバイス１４０により測定する。一実施形態では、温度測定デバイス１４０は、超音波検査ユニット１２０のプリント回路基板またはプリント回路基板の接地面にあるダイの１つまたは複数の温度を測定することができる。
【００２６】
ステップ３７０で、超音波検査ユニット１２０は、以下の方程式で、飛行時間パルス遅延オフセット（ＴＯＦPDOFFSET）および正規化較正温度（ＴNC）と測定温度（ＴM）との差に基づいて、パルサー補正飛行時間（ＴＯＦPC）を決定することができる。
【００２７】
【数２】
2015529795.tif 000004
ここで、ＴＯＦPC＝パルサー補正飛行時間、ＴＯＦM＝測定飛行時間、ＴNC＝正規化較正温度（例えば、＋２５℃）、ＴM＝超音波検査ユニット１２０の測定温度（例えば、＋６０℃）、およびＴＯＦPDOFFSET＝飛行時間パルス遅延オフセット（例えば、＋０．２４ｎｓ／℃）である。
【００２８】
上記の例示的な値を用いると、＋６０℃の測定温度に対するパルサー補正飛行時間（ＴＯＦPC）は、測定飛行時間（ＴＯＦM）より８．４ｎｓ短くなる。図４に示すように、＋６０℃の測定温度（ＴM）に対応する飛行時間パルス遅延補正線２５０上の点２５４は、超音波検査ユニット１２０が＋６０℃の温度で動作する場合には、予想されるパルス遅延は正規化較正温度に対して決定された正規化パルス遅延２１４（３０ｎｓ）（図２）よりも約８．４ｎｓ長くなり、＋６０℃で得られた測定飛行時間はそのオフセット時間２５６だけ減少させる必要があることを示している。同様に、−１５℃の測定温度（ＴM）に対応する飛行時間パルス遅延補正線２５０上の点で示すように、超音波検査ユニット１２０が−１５℃の測定温度（ＴM）で動作する場合には、予想されるパルス遅延２１４（２１ｎｓ）は正規化パルス遅延（３０ｎｓ）より約９．０ｎｓ短くなり、−１５℃で得られた測定飛行時間はそのオフセット時間２５７だけ増加させる必要がある。
【００２９】
パルス遅延が変化することに加えて、超音波検査ユニット１２０および特にクロック発振器１３２（図２）の温度の変化によって、クロック信号の周波数（または周期）が変化する可能性がある（例えば、より低い温度での周波数はより高い温度での周波数より低くなる（周期はより長くなる））。２点間のクロックパルス数をカウントすることによって飛行時間が決定されるので、クロック信号の周波数（または周期）の変化によって異なる温度では異なる飛行時間測定値が生じる可能性がある。例えば、同じ飛行時間が、より高い温度では、より低い温度でカウントされるクロックパルス数よりも多くのクロックパルス数としてカウントされる可能性がある。
【００３０】
図５は、クロック発振器１３２の温度の変化によって生じるクロック信号４１０、４２０、４３０の周波数（または周期）の例示的な変化を示すグラフである。一例では、論理回路１２８は、クロック信号４１０、４２０、４３０の第１の立ち上がりエッジ４１１、４２１、４３１で励起パルス４４２を発生させるように命令され、それによって時刻ゼロ４０２を規定する。一実施形態では、時刻ゼロ４０２からエコー４４６のエコーゼロ交差４４７までのクロックパルス数（例えば、クロック信号立ち上がりエッジを計数することによって）をカウントすることによって、電気信号４４０の飛行時間４４９を決定する。この例では、超音波検査ユニット１２０は、２０ｎｓのクロック信号周期に対応する５０ＭＨｚの周波数のクロック信号で構成される。図５に示すように、クロック信号４１０、４２０、４３０が超音波検査ユニット１２０の温度に応じて異なるクロック信号周波数を有するので、クロックパルス数をカウントすることによって決定される飛行時間４４９は温度に応じて異なる。
【００３１】
＋２５℃の正規化較正温度（ＴNC）において超音波検査ユニット１２０のクロック発振器１３２で動作する正規化較正クロック信号４１０を見ると、超音波検査ユニット１２０により決定される正規化較正飛行時間４４９は、正規化較正クロック信号４１０（２４０ｎｓ）の第１２の立ち上がりエッジ４１２に基づく。−４０℃の第１のクロック温度（ＴCL1）において超音波検査ユニット１２０のクロック発振器１３２で動作する第１のクロック信号４２０を見ると、超音波検査ユニット１２０により決定される飛行時間４４９は、第１のクロック信号４２０（１８０ｎｓ）の第９の立ち上がりエッジ４２２に基づく（すなわち、正規化較正クロック信号４１０に基づいて決定される飛行時間４４９より６０ｎｓ短い）。＋８５℃の第２のクロック温度（ＴCL2）において超音波検査ユニット１２０のクロック発振器１３２で動作する第２のクロック信号４３０を見ると、超音波検査ユニット１２０により決定される飛行時間４４９は、第２のクロック信号４３０（３６０ｎｓ）の第１８の立ち上がりエッジ４３２に基づく（すなわち、正規化較正クロック信号４１０に基づいて決定される飛行時間４４９より１２０ｎｓ長い）。
【００３２】
補正をしなければ、超音波検査ユニット１２０の異なる温度でクロック信号４１０、４２０、４３０の異なる周波数に基づいて決定される飛行時間４４９の変化によって、厚さに変化がなかった場合であっても、検査対象１０の異なる厚さの測定値が生じる可能性があり、それによって検査対象の腐食（厚さの減少）を識別することができないか、あるいはそれを誤って識別するおそれがある。例えば、検査対象１０の材料の音速が５，８００ｍ／ｓ（例えば、ステンレススチール３１６Ｌについて）であると仮定すると、第１のクロック信号４２０（１８０ｎｓ）に基づいて飛行時間４４９に対応する検査対象１０の第１の厚さは、正規化較正クロック信号（２４０ｎｓ）に基づいて飛行時間４４９に対応する検査対象１０の正規化較正厚さより０．１７４ｍｍ薄い。同様に、第２のクロック信号４３０（３６０ｎｓ）に基づいて飛行時間４４９に対応する検査対象１０の第２の厚さは、正規化較正飛行時間２１９（２４０ｎｓ）に対応する検査対象１０の正規化較正厚さより０．３４８ｍｍ厚い。これらの変化する厚さは、一貫しないクロック信号周波数の結果である（すなわち、＋２５℃における正規化較正クロック信号４１０のクロック信号周波数は−４０℃における第１のクロック信号４２０のクロック信号周波数より大きく、一方、＋２５℃における正規化較正クロック信号４１０のクロック信号周波数は＋８５℃における第２のクロック信号４３０のクロック信号周波数より小さい）。
【００３３】
図６は、超音波検査ユニット１２０の異なる温度（例えば、クロック発振器１３２の異なる温度）によって生じる異なるクロック信号周波数に対して、超音波検査ユニット１２０により測定された飛行時間を補正するための超音波検査ユニットによって（例えば、マイクロコントローラ１３０の実行可能命令を介して）実行される例示的な方法６００のフローチャートである。いくつかの実施形態では、ステップが異なる順序で実行されてもよく、特定のステップが実行されず、付加的なステップが含まれてもよいことが理解されよう。クロック信号周波数の変化によって生じる飛行時間の測定値の変化が検査対象１０の厚さにも依存することが決定されたので、異なるクロック信号周波数によって飛行時間測定に導入される誤差の平均比率を決定するために、２つ以上の較正温度（例えば−４０℃、＋２５℃、＋８５℃）で既知の材料および既知の厚さ（例えば、２５ｍｍ、５０ｍｍ、および７５ｍｍのガラスブロック）の２つ以上の試験片を用いて、クロック信号周波数補正係数を決定することができる。
【００３４】
ステップ６１０で、正規化較正温度で正規化較正飛行時間（ＴＯＦNC）を（例えば、クロックパルス数をカウントすることによって）決定するために、超音波検査ユニット１２０を、正規化較正温度（ＴNC）（例えば、＋２５℃）において超音波検査ユニット１２０を用いて較正する。図示する実施形態では、＋２５℃の正規化較正温度（ＴNC）を用いているが、他の正規化較正温度（例えば、＋２２℃）を用いてもよいことが理解されよう。この較正ステップ６１０は、図３のパルス遅延補正のために用いた較正ステップ３１０と同時に、そして同じ正規化較正温度で実行されてもよい。この正規化較正温度において、正規化較正温度で第１の飛行時間（すなわち、既知のクロック信号立ち上がりエッジ数）を生成するために、既知の材料（例えばガラス）および既知の厚さの試験片を用いて超音波検査ユニット１２０を較正することができる。
【００３５】
ステップ６２０で、第１の較正温度（ＴC1＝−４０℃）で超音波検査ユニット１２０を用いて、既知の材料および第１の既知の厚さ（例えば、第１の厚さ（ＴＨ1）＝２５ｍｍ）の第１の試験片について、第１の飛行時間（ＴＯＦ1）を決定する。ステップ６３０で、第２の較正温度（ＴC2＝＋８５℃）で超音波検査ユニット１２０を用いて、第１の試験片について第２の飛行時間（ＴＯＦ2）を決定する。一実施形態では、第１の較正温度は正規化較正温度（ＴNC＝＋２５℃）より低くて、第１の飛行時間が正規化較正飛行時間より短くなるが、一方、第２の較正温度は正規化較正温度より高くて、第２の飛行時間が正規化較正飛行時間より長くなる。例示的実施形態では第１および第２の較正温度が正規化較正温度と異なり、例示的実施形態では第１および第２の飛行時間が正規化較正飛行時間と異なっているが、第１または第２の較正温度の一方は正規化較正温度と同じであってもよく、第１または第２の飛行時間の一方は正規化較正飛行時間と同じであってもよいことが理解されよう。
【００３６】
第１の飛行時間（ＴＯＦ1）は、第２の厚さ（例えば、ＴＨ2＝５０ｍｍ）を有する第２の試験片および第３の厚さ（例えば、ＴＨ3＝７５ｍｍ）を有する第３の試験片について、第１の較正温度（ＴC1＝−４０℃）で超音波検査ユニット１２０を用いて決定することもできる。同様に、第２の飛行時間（ＴＯＦ2）は、第２の厚さ（例えば、ＴＨ2＝５０ｍｍ）を有する第２の試験片および第３の厚さ（例えば、ＴＨ3＝７５ｍｍ）を有する第３の試験片について、第２の較正温度（ＴC2＝＋８５℃）で超音波検査ユニット１２０を用いて決定することもできる。異なる厚さの３つの試験片を用いる一実施形態では、以下の較正データが決定される。ここでは飛行時間をクロックパルス数として示す。
【００３７】
【表１】
2015529795.tif 000005
ステップ６４０で、異なる厚さの各試験片について、第２の較正温度における第２の飛行時間と第１の較正温度における第１の飛行時間との差を、第１または第２の飛行時間で割ることによって、クロック信号誤差（ＣＳERR）を決定することができる。異なる厚さの各試験片について、クロック信号誤差（ＣＳERR）は、以下の方程式によって決定することができる。
【００３８】
【数３】
2015529795.tif 000006
異なる厚さの複数の試験片を用いる場合には、各試験片について決定された個々のクロック信号誤差（ＣＳERR）に基づいて、平均クロック信号誤差（ＣＳERR）を決定することができる。上記の例示的な較正値を用いると、以下の方程式に基づいて平均ＣＳERRは＋０．００３３３となる。
【００３９】
【数４】
2015529795.tif 000007
ステップ６５０で、クロック信号誤差係数（ＣＳＦERR）は、クロック信号誤差（ＣＳERR）を、第２の較正温度（ＴC2＝＋８５℃）と第１の較正温度（ＴC1＝−４０℃）との差（すなわち、＋１２５℃）で割ることによって決定することができる。上記の例示的な較正値を用いると、以下の方程式に基づいてクロック信号誤差係数（ＣＳＦERR）は＋０．００００２６６４／℃となる。
【００４０】
【数５】
2015529795.tif 000008
ステップ６６０で、超音波検査ユニット１２０を用いて測定飛行時間（ＴＯＦM）を測定する。ステップ６７０で、超音波検査ユニット１２０（例えば、クロック発振器１３２）の温度（例えば、ＴM＝＋６０℃）を、超音波検査ユニット１２０の温度測定デバイス１４０により測定する。ステップ６８０で、超音波検査ユニット１２０は、以下の方程式で、クロック信号誤差係数（ＣＳＦERR）および正規化較正温度（ＴNC）と測定温度（ＴM）との差に基づいて、クロック信号補正飛行時間（ＴＯＦCSC）を決定することができる。
【００４１】
【数６】
2015529795.tif 000009
ここで、ＴＯＦCSC＝クロック信号補正飛行時間、ＴＯＦM＝測定飛行時間、ＴNC＝正規化較正温度（例えば、＋２５℃）、ＴM＝超音波検査ユニット１２０の測定温度（例えば、＋６０℃）、およびＣＳＦERR＝クロック信号誤差係数（例えば、＋０．００００２６６４／℃）である。
【００４２】
上記の例示的な値を用いると、＋６０℃の測定温度（ＴM）に対するクロック信号補正飛行時間（ＴＯＦCSC）は、より高い温度で生じるより多くのクロックパルス数に対して調整するために、測定飛行時間（ＴＯＦM）よりも０．０９３２４％小さくなる。同様に、超音波検査ユニット１２０が−１５℃の測定温度（ＴM）で動作する場合には、クロック信号補正飛行時間（ＴＯＦCSC）は、より低い温度で生じるより少ないクロックパルス数に対して調整するために、測定飛行時間（ＴＯＦM）よりも０．１０６６％大きくなる。別の実施形態では、測定飛行時間（ＴＯＦM）に適用するのではなく、クロック信号誤差係数（ＣＳＦERR）をパルサー補正飛行時間（ＴＯＦPC）に適用することができる。そして、それは超音波検査ユニットの温度の変化によって生じるパルス遅延変化に対する補正をすでに含んでいる。
【００４３】
上述したように、本発明の実施形態は、超音波検査ユニットの温度変化を補正するより正確な飛行時間測定を提供する。技術的な効果は、より正確な厚さの測定を提供し、より正確に腐食を識別することである。
【００４４】
当業者には明らかなように、本発明の態様は、システム、方法、またはコンピュータプログラム製品として具現化することができる。したがって、本発明の態様は、完全にハードウェアの実施形態、完全にソフトウェアの実施形態（ファームウェア、常駐ソフトウェア、マイクロコードなどを含む）、または、本明細書において「サービス」、「回路（ｃｉｒｃｕｉｔ）」、「回路（ｃｉｒｃｕｉｔｒｙ）」、「モジュール」、および／もしくは「システム」と全て一般的に呼ぶことができるソフトウェアおよびハードウェア態様を組み合わせた実施形態の形式をとることができる。さらにまた、本発明の態様は、媒体上に具現化されたコンピュータ可読プログラムコードを有する１つまたは複数のコンピュータ可読媒体で具現化されるコンピュータプログラム製品の形式をとることができる。
【００４５】
１つまたは複数のコンピュータ可読媒体の任意の組み合わせを用いることができる。コンピュータ可読媒体は、コンピュータ可読信号媒体またはコンピュータ可読記憶媒体であってもよい。コンピュータ可読記憶媒体は、例えば、これらに限らないが、電子的な、磁気的な、光学的な、電磁的な、赤外線の、もしくは半導体のシステム、装置、またはデバイス、あるいは上記の任意の好適な組み合わせであってもよい。コンピュータ可読記憶媒体のより具体的な例（包括的でないリスト）として以下のものが挙げられる。すなわち、１つもしくは複数のワイヤを有する電気的接続、携帯用コンピュータディスケット、ハードディスク、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）、読み出し専用メモリ（ＲＯＭ）、消去可能なプログラム可能読み出し専用メモリ（ＥＰＲＯＭもしくはフラッシュメモリ）、光ファイバ、携帯型コンパクトディスク読み取り専用メモリ（ＣＤ−ＲＯＭ）、光学記憶デバイス、磁気記憶デバイス、または上記の任意の好適な組み合わせなどである。この文書の文脈において、コンピュータ可読記憶媒体は、命令実行システム、装置、もしくはデバイスによって、または、それらに関連して用いられるプログラムを含む、あるいは格納することができる任意の有形の媒体であってもよい。
【００４６】
コンピュータ可読媒体に具現化されるプログラムコードおよび／または実行可能命令は、無線、ワイヤライン、光ファイバケーブル、ＲＦなど、または上記の任意の好適な組み合わせを含むがこれに限らない、任意の適切な媒体を用いて送信することができる。
【００４７】
本発明の態様の動作を実行するためのコンピュータプログラムコードは、１つまたは複数のプログラミング言語の任意の組み合わせで書き込むことができ、これらのプログラミング言語としては、Ｊａｖａ(登録商標)、Ｓｍａｌｌｔａｌｋ、Ｃ＋＋などのオブジェクト指向プログラミング言語、および「Ｃ」プログラミング言語もしくは類似のプログラミング言語などの従来の手続きプログラミング言語が挙げられる。プログラムコードは、完全にユーザーのコンピュータ（デバイス）で、部分的にユーザーのコンピュータで、独立したソフトウェアパッケージとして、部分的にユーザーのコンピュータで、部分的にリモートコンピュータで、または、完全にリモートコンピュータもしくはサーバーで実行することができる。後者のシナリオでは、リモートコンピュータは、ローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）または広域ネットワーク（ＷＡＮ）を含む任意のタイプのネットワークを通してユーザーのコンピュータに接続することができ、あるいは、外部コンピュータに（例えば、インターネットサービスプロバイダを用いてインターネットを通して）接続されてもよい。
【００４８】
本発明の態様は、本発明の実施形態による、方法、装置（システム）、およびコンピュータプログラム製品のフローチャートおよび／またはブロック図を参照して本明細書に記載している。フローチャートおよび／またはブロック図の各ブロック、ならびにフローチャートおよび／またはブロック図のブロックの組み合わせは、コンピュータプログラム命令によって実施することができることが理解されよう。これらのコンピュータプログラム命令は、機械を生産するために、汎用コンピュータ、専用コンピュータ、または他のプログラム可能なデータ処理装置のプロセッサに提供することができ、そのようにして、これらの命令がコンピュータまたは他のプログラム可能なデータ処理装置のプロセッサを介して実行されて、フローチャートおよび／またはブロック図の１つもしくは複数のブロックで指定される機能／動作を実行するための手段を生成する。
【００４９】
これらのコンピュータプログラム命令は、コンピュータ、他のプログラム可能なデータ処理装置、または他のデバイスを、特定の方法で機能するように命令することができるコンピュータ可読媒体に格納することもでき、そのようにして、コンピュータ可読媒体に格納された命令は、フローチャートおよび／またはブロック図の１つもしくは複数のブロックで指定される機能／動作を実行する命令を含む製造物を生成する。
【００５０】
コンピュータ、他のプログラム可能な装置、または他のデバイスで一連の動作ステップを実行させてコンピュータ実行処理を生成するために、コンピュータプログラム命令をコンピュータ、他のプログラム可能なデータ処理装置、または他のデバイスにロードすることもでき、そのようにして、コンピュータまたは他のプログラム可能な装置で実行される命令は、フローチャートおよび／またはブロック図の１つもしくは複数のブロックで指定される機能／動作を実行するための処理を提供する。
【００５１】
本明細書は、本発明を開示するために実施例を用いており、最良の形態を含んでいる。また、いかなる当業者も本発明を実施することができるように実施例を用いており、任意のデバイスまたはシステムを製作し使用し、任意の組み込まれた方法を実行することを含んでいる。本発明の特許され得る範囲は、請求項によって定義され、当業者が想到する他の実施例を含むことができる。このような他の実施例が請求項の字義通りの文言と異ならない構造要素を有する場合、または、それらが請求項の字義通りの文言と実質的な差異がない等価な構造要素を含む場合には、このような他の実施例は特許請求の範囲内であることを意図している。
【符号の説明】
【００５２】
１０  検査対象
１００  超音波検査システム
１１０  超音波プローブ
１１２  超音波プローブケーブル
１２０  超音波検査ユニット
１２２  パルサー
１２４  受信器／増幅器
１２６  デジタイザ
１２８  論理回路
１３０  マイクロコントローラ
１３２  クロック発振器
１４０  温度測定デバイス
２０２  時刻ゼロ
２１０  正規化電気信号
２１２  正規化励起パルス
２１４  正規化パルス遅延
２１６  正規化エコー
２１７  正規化エコーゼロ交差
２１９  正規化飛行時間
２２０  第１の電気信号
２２２  第１の励起パルス
２２４  第１のパルス遅延
２２６  第１のエコー
２２７  第１のエコーゼロ交差
２２９  第１の飛行時間
２３０  第２の電気信号
２３２  第２の励起パルス
２３４  第２のパルス遅延
２３６  第２のエコー
２３７  第２のエコーゼロ交差
２３９  第２の飛行時間
２４０  クロック信号
２４１  第１の立ち上がりエッジ
２４７  第７の立ち上がりエッジ
２４８  第８の立ち上がりエッジ
２４９  第９の立ち上がりエッジ
２５０  飛行時間パルス遅延補正線
２５４  点
２５６、２５７  オフセット時間
３００  方法
３１０  ステップ
３２０  ステップ
３３０  ステップ
３４０  ステップ
３５０  ステップ
３６０  ステップ
３７０  ステップ
４０２  時刻ゼロ
４１０  正規化較正クロック信号
４１１  第１の立ち上がりエッジ
４１２  第１２の立ち上がりエッジ
４２０  第１のクロック信号
４２１  第１の立ち上がりエッジ
４２２  第９の立ち上がりエッジ
４３０  第２のクロック信号
４３１  第１の立ち上がりエッジ
４３２  第１８の立ち上がりエッジ
４４０  電気信号
４４２  励起パルス
４４６  エコー
４４７  エコーゼロ交差
４４９  飛行時間
６００  方法
６１０  ステップ
６２０  ステップ
６３０  ステップ
６４０  ステップ
６５０  ステップ
６６０  ステップ
６７０  ステップ
６８０  ステップ
【図１】
2015529795.tif 000010
【図２】
2015529795.tif 000011
【図３】
2015529795.tif 000012
【図４】
2015529795.tif 000013
【図５】
2015529795.tif 000014
【図６】
2015529795.tif 000015
【国際調査報告】
2015529795.tif 000016
2015529795.tif 000017
2015529795.tif 000018
2015529795.tif 000019
2015529795.tif 000020