(57)【要約】  本発明は、透明基板の欠陥を検出するための照射システムであって、棒状の光源レセプタクルと、それぞれの第１の光を放射し、それぞれの第１の光は、互いに実質的に平行であって、レセプタクルの前後方向に沿ったスポット光源の第１の列に配置した複数の第１のスポット光源と、それぞれの第２の光を放射し、それぞれの第２の光は、互いに実質的に平行であって、レセプタクルの前後方向に沿ったスポット光源の第２の列に配置した複数の第２のスポット光源と、を含み、スポット光源の第１の列及び第２の列は、実質的に一列に配置され、前後方向にレセプタクルの半分ずれて位置し、走査ラインを通過する平面Ｐにおいて、透明基板に垂直で、走査ライン上のそれぞれの点に集中する第１の光及び第２の光の投射は、点を通過し、走査ラインに垂直な平面Ｐの列の異なる側に位置する照射システムに関する。【選択図】図５
2015506470.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検出領域で透明基板の欠陥を検出するための検出システムであって、
第１の照射システムであって、
それぞれの第１の光を放射する複数の第１のスポット光源からなるスポット光源の第１の組であって、前記ぞれぞれの第１の光は、互いに実質的に平行であって、前記検出領域で走査ラインに集中し、前記スポット光源の第１の組及び前記走査ラインは、第１の光平面を規定する前記スポット光源の第１の組と、
それぞれの第２の光を放射する複数の第２のスポット光源からなるスポット光源の第２の組であって、前記それぞれの第２の光は、互いに実質的に平行であって、前記走査ラインに集中し、前記スポット光源の第２の組及び前記走査ラインは、第２の光平面を規定する前記スポット光源の第２の組と、を含む第１の照射システムと、
第２の照射システムであって、
それぞれの第３の光を放射する複数の第３のスポット光源からなるスポット光源の第３の組であって、前記それぞれの第３の光は、互いに実質的に平行であって、前記走査ラインに集中し、前記スポット光源の第３の組及び前記走査ラインは、第３の光平面を規定する前記スポット光源の第３の組と、
それぞれの第４の光を放射する複数の第４のスポット光源からなるスポット光源の第４の組であって、前記それぞれの第４の光は、互いに実質的に平行であって、前記走査ラインに集中し、前記スポット光源の第４の組及び前記走査ラインは、第４の光平面を規定する前記スポット光源の第４の組と、を含む第２の照射システムと、
前記走査ラインに集中した前記第１の光、前記第２の光、前記第３の光、及び前記第４の光を受け取り、これらの光に基づいて撮像する撮像部と、
を含み、
前記検出領域の範囲の走査ライン上のそれぞれの点は、前記第１の光から前記第４の光までの全てによって照射され、
前記走査ラインを通過する平面Ｐにおいて、前記透明基板に垂直で、前記走査ライン上のそれぞれの点に集中する、前記第１の光及び前記第３の光と、前記第２の光及び前記第４の光との投射は、前記点を通過し、前記走査ラインに垂直な平面Ｐの列ｌの異なる側に位置し、
前記第１の光平面及び前記第２の光平面と、前記第３の光平面及び前記第４の光平面は、前記平面Ｐの異なる側に位置し、
前記第２の光平面及び前記第３の光平面は、前記第１の光平面及び前記第４の光平面にそれぞれ重ね合わさり、前記第１の光平面及び前記第４の光平面のそれぞれよりも前記平面Ｐに近くに位置する検出システム。
【請求項２】
前記平面Ｐでの前記第１の光及び前記第３の光の投射と前記列ｌの間の角度は、３７．５°から５２．５°であり、前記平面Ｐでの前記第２の光及び前記第４の光の投射と前記列ｌの間の角度は、３７．５°から５２．５°である、請求項１に記載の検出システム。
【請求項３】
前記第１の光平面及び前記第４の光平面と、前記平面Ｐの間の最大角度は、５２．５°であり、前記第１の光平面と前記第２の光平面の間の角度は、０°から１５°であり、前記第３の光平面と前記第４の光平面の間の角度は、０°から１５°であり、前記第２の光平面及び前記第３の光平面と、前記平面Ｐの間の最小角度は、３７．５°である、請求項１又は２に記載の検出システム。
【請求項４】
前記第１の照射システムは、棒状の第１の光源レセプタクルと、前記第１の光源レセプタクルに取り付けられた、前記複数の第１のスポット光源及び前記複数の第２のスポット光源と、を含み、
前記第２の照射システムは、棒状の第２の光源レセプタクルと、前記第２の光源レセプタクルに取り付けられた、前記複数の第３のスポット光源及び前記複数の第４のスポット光源と、を含む、請求項１に記載の検出システム。
【請求項５】
前記スポット光源の第１の組及び前記スポット光源の第２の組は、前記第１の光源レセプタクルに平行に配置され、前記スポット光源の第３の組及び前記スポット光源の第４の組は、前記第２の光源レセプタクルに平行に配置される、請求項４に記載の検出システム。
【請求項６】
前記第１のスポット光源及び前記第２のスポット光源は、前記第１の光源レセプタクルに一列に交互に配置され、前記スポット光源の第３の組及び前記スポット光源の第４の組は、前記第２の光源レセプタクルに一列に交互に配置される、請求項４に記載の検出システム。
【請求項７】
前記第１のスポット光源及び前記第２のスポット光源は、前記第１の光源レセプタクルに一列に配置され、前記スポット光源の第３の組及び前記スポット光源の第４の組は、前記第２の光源レセプタクルに一列に配置され、
前記第１のスポット光源は、前記第１の光源レセプタクルの前半に位置し、前記第２のスポット光源は、前記第１の光源レセプタクルの後半に位置し、
前記スポット光源の第３の組は、前記第２の光源レセプタクルの前半に位置し、前記スポット光源の第４の組は、前記第２の光源レセプタクルの後半に位置する、請求項４に記載の検出システム。
【請求項８】
透明基板の欠陥を検出するための照射システムであって、
棒状の光源レセプタクルと、
互いに実質的に平行にそれぞれの第１の光を放射し、前記レセプタクルの前後方向に沿ったスポット光源の第１の列に配置される、複数の第１のスポット光源と、
互いに実質的に平行にそれぞれの第２の光を放射し、前記レセプタクルの前後方向に沿ったスポット光源の第２の列に配置される、複数の第２のスポット光源と、
を含み、
前記スポット光源の第１の列及び前記スポット光源の第２の列は、実質的に一列に配置され、前記スポット光源の第１の列及び前記スポット光源の第２の列は、前後方向に前記レセプタクルの半分ずれて位置し、
前記第１の光及び前記第２の光は、走査ラインに集中し、
前記走査ラインを通過する平面Ｐにおいて、透明基板に垂直で、前記走査ライン上のそれぞれの点に集中する、前記第１の光及び前記第２の光の投射は、前記点を通過し、前記走査ラインに垂直な、前記平面Ｐの列の異なる側に位置する照射システム。
【請求項９】
前記平面Ｐの第１の光の前記投射と前記列ｌの間の角度は、３７．５°から５２．５°であり、前記平面Ｐの前記第２の光の前記投射と前記列ｌの間の角度は、３７．５°から５２．５°である、請求項８に記載の照射システム。
【請求項１０】
前記第１のスポット光源は、直線に沿って実質的に前記レセプタクルに配置され、前記第２のスポット光源は、前記直線に沿って実質的に前記レセプタクルに配置される、請求項８に記載の照射システム。
【請求項１１】
前記第１のスポット光源は、曲線に沿って実質的に前記レセプタクルに配置され、前記第２のスポット光源は、前記曲線に沿って実質的に前記レセプタクルに配置される、請求項８に記載の照射システム。
【請求項１２】
透明基板の欠陥を検出するための照射システムであって、
棒状の光源レセプタクルと、
互いに実質的に平行にそれぞれの第１の光を放射し、前記レセプタクルの前後方向に沿ったスポット光源の第１の列に配置される、複数の第１のスポット光源と、
互いに実質的に平行にそれぞれの第２の光を放射し、前記レセプタクルの前後方向に沿ったスポット光源の第２の列に配置される、複数の第２のスポット光源と、
を含み、
前記スポット光源の第１の列及び前記スポット光源の第２の列は、実質的に平行に配置され、
前記第１の光及び前記第２の光は、走査ラインに集中し、
前記走査ラインを通過する平面Ｐにおいて、前記透明基板に垂直で、前記走査ライン上のそれぞれの点に集中する、前記第１の光及び前記第２の光の投射は、前記点を通過し、前記走査ラインに垂直な平面Ｐの列の異なる側に位置する照射システム。
【請求項１３】
前記平面Ｐでの前記第１の光の前記投射と前記列ｌの間の角度は、３７．５°から５２．５°であり、前記平面Ｐでの前記第２の光の前記投射と前記列ｌの間の角度は、３７．５°から５２．５°である、請求項１２に記載の照射システム。
【請求項１４】
前記第１のスポット光源は、直線に沿って実質的に前記レセプタクルに配置され、前記第２のスポット光源は、直線に沿って実質的に前記レセプタクルに配置される、請求項１２に記載の照射システム。
【請求項１５】
前記第１のスポット光源は、曲線に沿って実質的に前記レセプタクルに配置され、前記第２のスポット光源は、曲線に沿って実質的に前記レセプタクルに配置される、請求項１２に記載の照射システム。
【請求項１６】
透明基板の欠陥を検出するための検出システムにおいて、
検出されるための透明基板を検出領域に搬送するための透明基板搬送部と、
第１の照射システムであって、
第１の放射方向に沿った第１の光を放射する第１のライン光源と、
第２の放射方向に沿った第２の光を放射する第２のライン光源と、を含み、
前記第１の光及び前記第２の光は、前記検出領域で走査ラインに投射及び集中し、前記第１のライン光源及び前記走査ラインは、第１の光平面を規定し、前記第２のライン光源及び前記走査ラインは、第２の光平面を規定する、第１の照射システムと、
第２の照射システムであって、
第３の放射方向に沿った第３の光を放射する第３のライン光源と、
第４の放射方向に沿った第４の光を放射する第４のライン光源と、を含み、
前記第３の光及び前記第４の光は、前記走査ラインに投射及び集中し、前記第３のライン光源及び前記走査ラインは、第３の光平面を規定し、前記第４のライン光源及び前記走査ラインは、第４の光平面を規定する、第２の照射システムと、
前記走査ラインに集中した、前記第１の光、前記第２の光、前記第３の光、及び前記第４の光を受け取り、これらの光に基づいて撮像を実行する撮像部と、
を含み、
前記検出領域の範囲の前記走査ライン上のそれぞれの点は、前記第１の光から前記第４の光までの全てによって照射され、
前記走査ラインを通過する平面Ｐにおいて、前記透明基板に垂直で、前記走査ライン上のそれぞれの点に集中する、前記第１の光及び前記第３の光と、前記第２の光及び前記第４の光の前記投射は、前記点を通過し、前記走査ラインに垂直な平面Ｐの列の異なる側に位置し、
前記第１の光平面及び前記第２の光平面と、前記第３の光平面及び前記第４の光平面は、前記平面Ｐの異なる側に位置し、前記第２の光平面及び前記第３の光平面は、前記第１の光平面及び前記第４の光平面にそれぞれ重ね合わされ、又は前記第１の光平面及び前記第４の光平面のそれぞれよりも前記平面Ｐに近くに位置する検出システム。
【請求項１７】
前記平面Ｐでの前記第１の光及び前記第３の光の投射と前記列ｌの間の角度は、３７．５°から５２．５°であり、前記平面Ｐでの前記第２の光及び前記第４の光の投射と前記列ｌの間の角度は、３７．５°から５２．５°である、請求項１６に記載の検出システム。
【請求項１８】
前記第１の光平面及び前記第４の光平面と、前記平面Ｐの間の最大角度は、５２．５°であり、前記第１の光平面と前記第２の光平面の間の角度は、０°から１５°であり、前記第３の光平面と前記第４の光平面の間の角度は、０°から１５°であり、前記第２の光平面及び前記第３の光平面と、前記平面Ｐの間の最小角度は、３７．５°である、請求項１６に記載の検出システム。
【請求項１９】
前記第１のライン光源、前記第２のライン光源、前記第３のライン光源、及び前記第４のライン光源は、複数のスポット光源をそれぞれ含む、請求項１６に記載の検出システム。
【請求項２０】
透明基板の欠陥を検出するための照射システムであって、
棒状の光源レセプタクルと、
前記レセプタクルの前後方向に沿ってスポット光源（１ａ，２ａ，．．．ｋａ，．．．ｎａ）の第１の列に実質的に一列に配置された、複数の第１の光源ａを含み、
ｎは、２よりも大きい整数であり、ｋは、１とｎの間の整数であり、それぞれの第１の光源は、第１の光を放射する、スポット光源の第１の組と、
前記レセプタクルの前後方向に沿ってスポット光源（１ｂ，２ｂ，．．．ｋｂ，．．．ｎｂ）の第２の列に実質的に一列に配置された、複数の第２の光源ｂを含み、
それぞれの第２の光源ｂが第２の光を放射する、スポット光源の第２の組と、
を含み、
前記第１の光源１ａによって放射された前記第１の光と、対応する前記第２の光源１ｂによって放射された前記第２の光は、第１の走査ドット１ｓに集中し、前記第１の光源ｋａによって放射された前記第１の光と、対応する前記第２の光源ｋｂによって放射された前記第２の光は、ｋ番目の走査ドットｋｓに集中し、前記第１の光源ｎａによって放射された前記第１の光と、対応する前記第２の光源ｎｂによって放射された前記第２の光は、ｎ番目の走査ドットｎｓに集中し、前記第１の走査ドットｌｓ，．．．前記ｋ番目の走査ドットｋｓ，．．．及びｎ番目の走査ドットｎｓは、連続直線又は連続曲線に実質的に配置され、走査ラインを通過する平面Ｐにおいて、前記透明基板に垂直で、前記走査ライン上のそれぞれの点に集中する、前記第１の光及び前記第２の光の投射は、前記点を通過し、前記走査ラインに垂直な平面Ｐの列の異なる側に位置する照射システム。
【請求項２１】
前記スポット光源の第１の組及び前記スポット光源の第２の組が配置される列は、互いに実質的に平行である、請求項２０に記載の照射システム。
【請求項２２】
前記スポット光源の第１の組が配置される列は、前記スポット光源の第２の組が配置される列の延長線に配置される、請求項２０に記載の照射システム。
【請求項２３】
前記平面Ｐでの前記第１の光の投射と、前記列ｌの間の角度は、３７．５°から５２．５°であり、前記平面Ｐでの前記第２の光の投射と前記列ｌの間の角度は、３７．５°から５２．５°である、請求項２０に記載の照射システム。
【請求項２４】
前記第１の光源１ａと前記第２の光源１ｂの間の距離は、前記第１の光源ｋａと前記第２の光源ｋｂとの間の距離と同一である、請求項２０に記載の照射システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、準等方性（ｎｅａｒ  ｉｓｏｔｒｏｐｉｃ）の照射を提供するための照射装置、特に、透明基板（ｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔ  ｓｕｂｓｔｒａｔｅ）の欠陥（ｄｅｆｅｃｔ）を検出するための照射システム（ｉｌｌｕｍｉｎａｔｉｏｎ  ｓｙｓｔｅｍ）及びこれを備えた検出システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
本発明は、例えば、ガラス基板（ｇｌａｓｓ  ｓｕｂｓｔｒａｔｅ）等の透明基板の欠陥を検出するためのＡＯＩシステムにおいて、気泡等の方向性欠陥の検出可能性を向上するように設計された照射システムに関する。
【０００３】
ライン走査ＡＯＩシステム（ｌｉｎｅ  ｓｃａｎ  ＡＯＩ  ｓｙｓｔｅｍ）において、ライン状のＬＥＤバー（ｌｉｎｅａｒ  ＬＥＤ  ｂａｒ）は、照明として通常用いられる。これらのライン状のＬＥＤバーの照射を伴うほとんどの欠陥は、ＣＣＤカメラによって検出できる。しかしながら、気泡等の方向性欠陥は、欠陥の方向が異なるとき、信号強度（ｓｉｇｎａｌ  ｉｎｔｅｎｓｉｔｙ）における大差（ｇｒｅａｔ  ｄｉｆｆｅｒｅｎｃｅ）を提示（ｐｒｅｓｅｎｔ）する。気泡がライン状のＬＥＤバーによって放射され、ＡＯＩシステムによって検出されるとき、ＣＣＤ走査ラインに沿って配置（ｓｅｔ）した短軸（ｍｉｎｏｒ  ａｘｉｓ）の気泡の検出可能性は、相当低い（ｑｕｉｔｅ  ｌｏｗ）。一方、ＣＣＤ走査ラインに沿って配置した長軸（ｍａｊｏｒ  ａｘｉｓ）の気泡の検出可能性は、とても高い。
【０００４】
図１ａに示すように、気泡が走査ラインの一側面のみに配置される一つのライン状の光（ｌｉｎｅａｒ  ｌｉｇｈｔｉｎｇ）による走査ラインに沿って配置され、気泡の一部分のみが十分強力な強度で照射される。その理由は、（ａ）気泡の一端において、光が入り、光のエネルギーのほとんどがＣＣＤカメラに向かって反射されるように、全反射が空気ガラス境界面（ａｉｒ−ｇｌａｓｓ  ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）で生じた。（ｂ）気泡のもう一つの端において、光は、ガラス空気境界面（ｇｌａｓｓ−ａｉｒ  ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）で主に反射し、限定されたエネルギーは、伝達され、ＣＣＤカメラによって最終的に受け取られる。走査ラインの両側の二つの光をそれぞれ配置する間、図１ｂに示すように、気泡のより多い部分は、十分強力な強度で照射できる。この場合、気泡のより多い部分は十分強力な強度で照射され、気泡は、簡単に検出され分類（ｃｌａｓｓｉｆｉｅｄ）できる。
【０００５】
しかしながら、気泡がライン状の光で走査ラインに垂直に配置される場合、図１ｃに示すように、気泡のより少ない部分は、十分強力な強度で照射できる。二つのライン状の光は、走査ラインの両側に配置され、図１ｄに示すように、気泡からの光は、まだ、良い検出及び分類に十分強力ではない。
【０００６】
領域走査ＡＯＩシステムにおいて、丸型ＬＥＤ又は長方形型ＬＥＤは、照明のように配置される。気泡の検出可能性は、そのような種類のシステムにおいて、気泡の方向に依存しない。領域照明（ａｒｅａ  ｌｉｇｈｔｉｎｇ）及びライン照明（ｌｉｎｅ  ｌｉｇｈｔｉｎｇ）の間の相違は、明らかである。ライン照明によって、気泡は、図２ａに示すように、ほとんど一つの方向からの光によって照射される。領域照明によって、気泡は、図２ｂに示すように、全ての方向からの光によって照射される。この相違は、気泡の検出可能性がライン走査システム内のその方向に依存する理由を示す。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、ライン走査システムに領域照明を採用することは、大きな寸法（ｂｉｇ  ｄｉｍｅｎｓｉｏｎ）の透明基板のためのライン走査システムの大きな寸法（ｌａｒｇｅ  ｄｉｍｅｎｓｉｏｎ）が原因で、難しい。数メートルの長さの領域照明を有することは、ほとんど不可能である。
【０００８】
したがって、準等方性の照射を実現するための新規の照射システムは、この発明の開示で記載した問題を解決するために設計される。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、検出システムの走査ライン上のそれぞれの点（ｐｏｉｎｔ）が走査ラインに沿って両方向からの光を有し、低コストで準等方性の照射システムを実現することに基づいている。即ち、走査ライン上の全ての点は、走査ラインに沿って両方向から照射される。さらに、走査ライン上の全ての点は、走査ラインに沿った短軸の大部分の気泡である欠陥がよく照射されるように、走査ラインに垂直に両方向からの光を同様に有するべきである。
【００１０】
上記目的を達成するために、検出システムのために用いられる照射光源は、四つの方向からの光を実現できる光の少なくとも四つの組（ｓｅｔ）を提供するべきである。即ち、光の四つの組は、走査ラインに沿った両方向及び走査ラインに垂直な両方向の光成分（ｌｉｇｈｔ  ｏｆ  ｃｏｍｐｏｎｅｎｔｓ）を有する。
【００１１】
実際には、走査ラインに垂直な両方向の光成分は、ライン走査ＡＯＩシステムの走査ラインの両側に配置される二つの照射システムを採用することによって実装できる。さらに、それぞれの照射システムは、二つの光の組を実現する光源の二つの組を有してもよく、光のそれぞれの組は、互いに実質的に平行であって、走査ラインに沿って両方向のうちの一つの光を提供する。このように、ライン走査ＡＯＩシステムの検出可能性の気泡方向の効果は、消去される。
【００１２】
本発明に従って、それぞれの照射システムの光源の二つの組は、走査ライン上のそれぞれの点が走査ラインに沿った両方向からの光を有する限り、互いに平行に配置されてもよく、一列や他の形状に交互に配置されてもよい。
【００１３】
本発明の一実施態様によると、透明基板の欠陥を検出するための照射システムであって、棒状の光源レセプタクル（ｌｉｇｈｔ  ｓｏｕｒｃｅ  ｒｅｃｅｐｔａｃｌｅ）と、互いに実質的に平行にそれぞれの第１の光を放射し、レセプタクルの前後方向（ｌｏｎｇｉｔｕｄｉｎａｌ  ｄｉｒｅｃｔｉｏｎ）に沿ったスポット光源の第１の列（ｆｉｒｓｔ  ｌｉｎｅ）に配置される、複数の第１のスポット光源と、互いに実質的に平行にそれぞれの第２の光を放射し、レセプタクルの前後方向に沿ったスポット光源の第２の列に配置される、複数の第２のスポット光源と、を含み、スポット光源の第１の列及びスポット光源の第２の列（ｓｅｃｏｎｄ  ｌｉｎｅ）は、実質的に一列に配置され、スポット光源の第１の列及びスポット光源の第２の列は、前後方向にレセプタクルの半分ずれて（ｉｎ  ｄｉｆｆｅｒｅｎｔ  ｈａｌｆ  ｏｆ  ｔｈｅ  ｒｅｃｅｐｔａｃｌｅ）位置し、第１の光及び第２の光は、走査ラインに集中し、走査ラインを通過する平面Ｐにおいて、透明基板に垂直で、走査ライン上のそれぞれの点に集中する、第１の光及び第２の光の投射（ｐｒｏｊｅｃｔｉｏｎ）は、点を通過し、走査ラインに垂直な、平面Ｐの列の異なる側に位置する照射システムを実現する。
【００１４】
実施形態において、平面Ｐでの第１の光の投射と列ｌの間の角度は、３７．５°から５２．５°であり、平面Ｐでの第２の光の投射と列ｌの間の角度は、３７．５°から５２．５°である。
【００１５】
実施形態において、第１のスポット光源は、直線に沿って実質的にレセプタクルに配置され、第２のスポット光源は、直線に沿って実質的にレセプタクルに配置される。
【００１６】
別の実施形態において、第１のスポット光源は、曲線に沿って実質的にレセプタクルに配置され、第２のスポット光源は、曲線に沿って実質的にレセプタクルに配置される。
【００１７】
本発明の別の実施態様によると、透明基板の欠陥を検出するための照射システムであって、棒状の光源レセプタクルと、互いに実質的に平行にそれぞれの第１の光を放射し、レセプタクルの前後方向に沿ったスポット光源の第１の列に配置される、複数の第１のスポット光源と、互いに実質的に平行にそれぞれの第２の光を放射し、レセプタクルの前後方向に沿ったスポット光源の第２の列に配置される、複数の第２のスポット光源と、を含み、スポット光源の第１の列及びスポット光源の第２の列は、実質的に平行に配置され、第１の光及び第２の光は、走査ラインに集中し、走査ラインを通過する平面Ｐにおいて、透明基板に垂直で、走査ライン上のそれぞれの点に集中する、第１の光及び第２の光の投射は、点を通過し、走査ラインに垂直な平面Ｐの列の異なる側に位置する照射システムを実現する。
【００１８】
実施形態において、平面Ｐでの第１の光の投射と列ｌの間の角度は、３７．５°から５２．５°であり、平面Ｐでの第２の光の投射と列ｌの間の角度は、３７．５°から５２．５°である。
【００１９】
実施形態において、第１のスポット光源は、直線に沿って実質的にレセプタクルに配置され、第２のスポット光源は、直線に沿って実質的にレセプタクルに配置される。
【００２０】
別の実施形態において、第１のスポット光源は、曲線に沿って実質的にレセプタクルに配置され、第２のスポット光源は、曲線に沿って実質的にレセプタクルに配置される。
【００２１】
本発明の別の実施態様によると、透明基板の欠陥を検出するための照射システムであって、棒状の光源レセプタクルと、レセプタクルの前後方向に沿ってスポット光源（１ａ，２ａ，．．．ｋａ，．．．ｎａ）の第１の列に実質的に一列に配置された、複数の第１の光源ａを含み、ｎは、２よりも大きい整数であり、ｋは、１とｎの間の整数であり、それぞれの第１の光源は、第１の光を放射する、スポット光源の第１の組と、レセプタクルの前後方向に沿ってスポット光源（１ｂ，２ｂ，．．．ｋｂ，．．．ｎｂ）の第２の列に実質的に一列に配置された、複数の第２の光源ｂを含み、それぞれの第２の光源ｂが第２の光を放射する、スポット光源の第２の組と、を含み、第１の光源１ａによって放射された第１の光と、対応する第２の光源１ｂによって放射された第２の光は、第１の走査ドット１ｓ，．．．に集中し、第１の光源ｋａによって放射された第１の光と、対応する第２の光源ｋｂによって放射された第２の光は、ｋ番目の走査ドットｋｓ，．．．に集中し、第１の光源ｎａによって放射された第１の光と、対応する第２の光源ｎｂによって放射された第２の光は、ｎ番目の走査ドットｎｓに集中し、第１の走査ドットｌｓ，．．．ｋ番目の走査ドットｋｓ，．．．及びｎ番目の走査ドットｎｓは、連続直線又は連続曲線に実質的に配置され、走査ラインを通過する平面Ｐにおいて、透明基板に垂直で、走査ライン上のそれぞれの点に集中する、第１の光及び第２の光の投射は、点を通過し、走査ラインに垂直な平面Ｐの列の異なる側に位置する照射システムを実現する。
【００２２】
実施形態において、スポット光源の第１の組及びスポット光源の第２の組が配置される列は、互いに実質的に平行である。
【００２３】
別の実施形態において、スポット光源の第１の組が配置される列は、スポット光源の第２の組が配置される列の延長線に配置される。
【００２４】
別の実施形態において、平面Ｐでの第１の光の投射と、列ｌの間の角度は、３７．５°から５２．５°であり、平面Ｐでの第２の光の投射と列ｌの間の角度は、３７．５°から５２．５°である。
【００２５】
別の実施形態において、第１の光源１ａと第２の光源１ｂの間の距離は、第１の光源ｋａと第２の光源ｋｂとの間の距離と同一である。
【００２６】
本発明の別の実施態様によると、検出領域で透明基板の欠陥を検出するための検出システムであって、第１の照射システムであって、それぞれの第１の光を放射する複数の第１のスポット光源からなるスポット光源の第１の組であって、ぞれぞれの第１の光は、互いに実質的に平行であって、検出領域で走査ラインに集中し、スポット光源の第１の組及び走査ラインは、第１の光平面（ｌｉｇｈｔ  ｐｌａｎｅ）を規定（ｄｅｆｉｎｅ）するスポット光源の第１の組と、それぞれの第２の光を放射する複数の第２のスポット光源からなるスポット光源の第２の組であって、それぞれの第２の光は、互いに実質的に平行であって、走査ラインに集中し、スポット光源の第２の組及び走査ラインは、第２の光平面を規定するスポット光源の第２の組と、を含む第１の照射システムと、第２の照射システムであって、それぞれの第３の光を放射する複数の第３のスポット光源からなるスポット光源の第３の組であって、それぞれの第３の光は、互いに実質的に平行であって、走査ラインに集中し、スポット光源の第３の組及び走査ラインは、第３の光平面を規定するスポット光源の第３の組と、それぞれの第４の光を放射する複数の第４のスポット光源からなるスポット光源の第４の組であって、それぞれの第４の光は、互いに実質的に平行であって、走査ラインに集中し、スポット光源の第４の組及び走査ラインは、第４の光平面を規定するスポット光源の第４の組と、を含む第２の照射システムと、走査ラインに集中した第１の光、第２の光、第３の光、及び第４の光を受け取り、これらの光に基づいて撮像する撮像部と、を含み、検出領域の範囲の走査ライン上のそれぞれの点は、第１の光から第４の光までの全てによって照射され、走査ラインを通過する平面Ｐにおいて、透明基板に垂直で、走査ライン上のそれぞれの点に集中する、第１の光及び第３の光と、第２の光及び第４の光との投射は、点を通過し、走査ラインに垂直な平面Ｐの列ｌの異なる側に位置し、第１の光平面及び第２の光平面と、第３の光平面及び第４の光平面は、平面Ｐの異なる側に位置し、第２の光平面及び第３の光平面は、第１の光平面及び第４の光平面にそれぞれ重ね合わさり、第１の光平面及び第４の光平面のそれぞれよりも平面Ｐに近くに位置する（ａｒｅ  ｃｌｏｓｅｒ）検出システムを実現する。
【００２７】
実施形態において、平面Ｐでの第１の光及び第３の光の投射と、列ｌの間の角度は、３７．５°から５２．５°であり、平面Ｐでの第２の光及び第４の光の投射と列ｌの間の角度は、３７．５°から５２．５°である。
【００２８】
実施形態において、第１の光平面及び第４の光平面と、平面Ｐの間の最大角度は、５２．５°であり、第１の光平面と第２の光平面の間の角度は、０°から１５°であり、第３の光平面と第４の光平面の間の角度は、０°から１５°であり、第２の光平面及び第３の光平面と、平面Ｐの間の最小角度は、３７．５°である。
【００２９】
実施形態において、第１の照射システムは、棒状の第１の光源レセプタクルと、第１の光源レセプタクルに取り付けられた、複数の第１のスポット光源及び複数の第２のスポット光源と、を含み、第２の照射システムは、棒状の第２の光源レセプタクルと、第２の光源レセプタクルに取り付けられた、複数の第３のスポット光源及び複数の第４のスポット光源と、を含む。
【００３０】
この実施形態において、複数の第１のスポット光源及び複数の第２のスポット光源は、第１の光源レセプタクルに取り付けられる。言い換えれば、これらのスポット光源は、同一の平面にある。確かに、スポット光源のそれぞれの組と複数の第２のスポット光源は、光源レセプタクルに取り付けられなくてもよいものの、光の組が互いに実質的に平行であって、走査ラインに沿った両方の方向のうちの一つの光を提供する限り、異なる平面に任意に分布してもよいことは、当業者が容易に理解できる。
【００３１】
別の実施形態において、スポット光源の第１の組及びスポット光源の第２の組は、第１の光源レセプタクルに平行に配置され、スポット光源の第３の組及びスポット光源の第４の組は、第２の光源レセプタクルに平行に配置される。
【００３２】
別の実施形態において、第１のスポット光源及び第２のスポット光源は、第１の光源レセプタクルに一列に交互に配置され、スポット光源の第３の組及びスポット光源の第４の組は、第２の光源レセプタクルに一列に交互に配置される。
【００３３】
別の実施形態において、第１のスポット光源及び第２のスポット光源は、第１の光源レセプタクルに一列に配置され、スポット光源の第３の組及びスポット光源の４の組は、第２の光源レセプタクルに一列に配置され、第１のスポット光源は、第１の光源レセプタクルの前半に（ｉｎ  ｔｈｅ  ｆｉｒｓｔ  ｈａｌｆ）位置し、第２のスポット光源は、第１の光源レセプタクルの後半に（ｉｎ  ｔｈｅ  ｓｅｃｏｎｄ  ｈａｌｆ）位置し、スポット光源の第３の組は、第２の光源レセプタクルの前半に位置し、スポット光源の第４の組は、第２の光源レセプタクルの後半に位置する。
【００３４】
本発明の別の実施態様によると、透明基板の欠陥を検出するための検出システムにおいて、検出されるための透明基板を検出領域に搬送するための透明基板搬送部と、第１の照射システムであって、第１の放射方向に沿った第１の光を放射する第１のライン光源と、第２の放射方向に沿った第２の光を放射する第２のライン光源と、を含み、第１の光及び第２の光は、検出領域で走査ラインに投射及び集中し、第１のライン光源及び走査ラインは、第１の光平面を規定し、第２のライン光源及び走査ラインは、第２の光平面を規定する、第１の照射システムと、第２の照射システムであって、第３の放射方向に沿った第３の光を放射する第３のライン光源と、第４の放射方向に沿った第４の光を放射する第４のライン光源と、を含み、第３の光及び第４の光は、検出領域で走査ラインに投射及び集中し、第３のライン光源及び走査ラインは、第３の光平面を規定し、第４のライン光源及び走査ラインは、第４の光平面を規定する、第２の照射システムと、走査ラインに集中した、第１の光、第２の光、第３の光、及び第４の光を受け取り、これらの光に基づいて撮像を実行する撮像部と、を含み、検出領域の範囲の走査ライン上のそれぞれの点は、第１の光から第４の光までの全てによって照射され、走査ラインを通過する平面Ｐにおいて、透明基板に垂直で、走査ライン上のそれぞれの点に集中する、第１の光及び第３の光と、第２の光及び第４の光の投射は、点を通過し、前記走査ラインに垂直な平面Ｐの列の異なる側に位置し、前記第１の光平面及び前記第２の光平面と、前記第３の光平面及び第４の光平面は、平面Ｐの異なる側に位置し、第２の光平面及び第３の光平面は、第１の光平面及び第４の光平面にそれぞれ重ね合わされ、又は第１の光平面及び第４の光平面のそれぞれよりも平面Ｐに近くに位置する検出システムを実現する。
【００３５】
実施形態において、平面Ｐでの第１の光及び第３の光の投射と列ｌの間の角度は、３７．５°から５２．５°であり、平面Ｐでの第２の光及び第４の光の投射と列ｌの間の角度は、３７．５°から５２．５°である。
【００３６】
実施形態において、第１の光平面及び第４の光平面と、平面Ｐの間の最大角度は、５２．５°であり、第１の光平面と第２の光平面の間の角度は、０°から１５°であり、第３の光平面と第４の光平面の間の角度は、０°から１５°であり、第２の光平面及び第３の光平面と、平面Ｐの間の最小角度は、３７．５°である。
【００３７】
別の実施形態において、第１のライン光源、第２のライン光源、第３のライン光源、及び第４のライン光源は、複数のスポット光源をそれぞれ含む。
【００３８】
本発明の他の目的及び効果は、添付した図面とともに明細書を参照して、より明らかになり、容易に理解できる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
本発明は、以下により詳細に実施形態と共に図面を参照して記述及び説明する。
【図１】光、ライン状の光とともに気泡画像、及び先行技術に基づいたライン走査ＣＣＤカメラ（ｌｉｎｅ  ｓｃａｎ  ＣＣＤ  ｃａｍｅｒａ）の例を示す。
【図２】図２ａは、先行技術のライン走査ＣＣＤカメラ用のライン状のＬＥＤバー照明（ｌｉｎｅａｒ  ＬＥＤ  ｌｉｇｈｔｉｎｇ  ｂａｒ）を示し、図２ｂは、領域ＣＣＤカメラ用のリング状のＬＥＤ照明（ｒｉｎｇ  ＬＥＤ  ｌｉｇｈｔｉｎｇ）を示す。
【図３】本発明の実施形態に従った透明基板の欠陥を検出するための照射システムを示す。
【図４】本発明の別の実施形態に従った透明基板の欠陥を検出するための照射システムを示す。
【図５】本発明の実施形態に従った検出領域で透明基板の欠陥を検出するための検出システムを示す。
【００４０】
図面の同一の参照符号は、同様の又は対応する、特徴及び／又は機能を示す。
【発明を実施するための形態】
【００４１】
本発明の実施形態を、図面を参照してより詳細に以下に説明する。
【実施例１】
【００４２】
図３は、本発明の第１の実施形態に従った透明基板の欠陥を検出するための照射システムを示す。照射システムは、ＬＥＤ素子等のスポット光源の二つの組からなる。
【００４３】
図３に示すように、スポット光源の二つの組は、棒状の光源レセプタクルの前後方向に沿って、棒状の光源レセプタクルに実質的に平行に配置される。第１の組のそれぞれのＬＥＤ素子は、それぞれの第１の光を放射し、それぞれの第１の光は、互いに実質的に平行である。同様に、第２の組のそれぞれのＬＥＤ素子は、それぞれの第２の光を放射し、それぞれの第２の光は、互いに実質的に平行である。
【００４４】
図３を参照すると、透明基板上のライン又はドットは、ライン走査ＣＣＤカメラの走査ラインを示す。ＣＣＤカメラは、走査ラインを含む、上面図の紙（ｐａｐｅｒ）に平行な表面に焦点を合わせる。側面図において、走査ラインは、ドットであるため、ドキュメント表面に垂直である。二つの平行なＬＥＤラインの方向は、全ての走査ラインが照射できるように、走査ラインに平行である。
【００４５】
図３の上面図及び前面図に示すように、二つの組のＬＥＤ素子は、ＬＥＤラインに沿って異なる方向に傾く。第１の組のＬＥＤ素子は、左に傾き、第２の組のＬＥＤ素子は、右に傾く。言い換えれば、走査ラインを通過する平面Ｐ（即ち、紙面（ｐａｐｅｒ  ｐｌａｎｅ））において、光源レセプタクルに垂直で、走査ライン上のそれぞれの点に集中する第１の光及び第２の光の投影（ｐｒｏｊｅｃｔｉｏｎ）は、平面Ｐの列の異なる側に位置する。平面Ｐは、点を通過し、走査ラインに垂直である。平面Ｐでの第１の光の投射と列ｌの間の角度αは、３７．５°から５２．５°が好ましい。平面Ｐでの第２の光の投射と列ｌの間の角度αは、３７．５°から５２．５°が好ましい。
【００４６】
これにより、走査ライン上の全ての点は、走査ラインに沿った両方向からの光を有することができる。
【００４７】
さらに、ＣＣＤカメラの焦点を合わせた表面の走査ラインに垂直な光も、走査ラインに沿った短軸の欠陥、主に気泡がよく照射されるように必要とされる。
【００４８】
そこで、ＬＥＤ素子は、図３の側面図に示すように、異なる角度β及び角度γの上面図の走査ラインに垂直な方向にも傾く。言い換えれば、ＬＥＤ素子の二つの組を含む照射システムは、走査ラインのすぐ近く（ｒｉｇｈｔ  ｄｏｗｎ）に位置すべきではない。走査ラインの異なる側に配置される、二つの照射システムが検出システムに用いられる照明光源（ｉｌｌｕｍｉｎａｔｉｏｎ  ｓｏｕｒｃｅ）として採用されているから、上述した少なくとも四つの光の組は、準等方性の照射を実現できる。
【００４９】
したがって、これにより、ＣＣＤカメラの焦点を合わせた表面に位置する欠陥は、どんな軸が走査ラインに平行でも、よく照射できる。
【００５０】
本実施形態において、透明基板の欠陥を検出するための照射システムは、ＬＥＤ素子の二つの組（ｓｅｔ）（列（ｌｉｎｅ））からなる。しかしながら、それは、一例を挙げる目的のみである。周知技術のように、特定の用途及び詳細な必要条件に依存して、列の数は、２，３などにできる。
【００５１】
本実施形態において、ＬＥＤ素子等の第１のスポット光源は、直線に沿って実質的にレセプタクルに配置され、第２のスポット光源は、直線に沿って実質的にレセプタクルに配置される。
【００５２】
しかしながら、図に示していないものの、例えば、自動車に用いられるガラスなどの弧状のガラスを検出するために用いられるとき、レセプタクルは、平面的でなく、弧状であってもよいことは、当業者が第１の実施形態の変形例として容易に考えうる（ｏｃｃｕｒ）ことである。
【００５３】
この場合、二つの曲線が互いに平行であって、弧状の走査ラインに適合する限り、第１のスポット光源は、曲線に沿って実質的に弧状レセプタクルに配置され、第２のスポット光源は、曲線に沿って実質的に弧状レセプタクルに配置される。
【実施例２】
【００５４】
本発明の第２の実施形態に従って、図４に示すように、第２の実施形態の基本理念は、第１の実施形態の基本理念と同一である。第２の実施形態と第１の実施形態の相違は、第２の実施形態において、スポット光源の二つの組は、平行に配置されるのではなく、一列に配置されることだけである。
【００５５】
図４を参照すると、スポット光源の第１の組及びスポット光源の第２の組は、前後方向にレセプタクルの半分ずれて位置する。
【００５６】
第１の実施形態と同様に、第１の組のＬＥＤ素子は、左に傾き、第２の組のＬＥＤ素子は右に傾く。言い換えれば、走査ラインを通過する平面Ｐ（即ち、紙面）において、光源レセプタクルに垂直で、走査ライン上のそれぞれの点に集中する第１の光及び第２の光の投射は、平面Ｐの列の異なる面に位置する。平面Ｐは、点を通過し、走査ラインに垂直である。平面Ｐでの第１の光の投射と列ｌの間の角度αが３７．５°から５２．５°であることが好ましい。平面Ｐでの第２の光の投射と列ｌの間の角度αが３７．５°から５２．５°であることが好ましい。
【００５７】
これによると、走査ライン上のそれぞれの点は、走査ラインに沿った両方の方向からの光を有することができる。
【００５８】
本実施形態において、ＬＥＤ素子等の第１のスポット光源は、直線に沿って実質的にレセプタクルに配置され、第２のスポット光源は、同一の直線に沿って、実質的に配置される。
【００５９】
しかしながら、図に示していないものの、例えば、自動車に用いられるガラス等の弧状のガラスを検出することに用いられるとき、レセプタクルが平面的でなくても、弧状であってもよいことは、当業者が第２の実施形態の変形例として容易に考えうることである。
【００６０】
その場合、曲線が弧状の走査ラインに適合する限り、第１のスポット光源は、曲線に沿って実質的に弧状のレセプタクルに配置され、第２のスポット光源は、同一の曲線に沿って実質的に配置される。
【実施例３】
【００６１】
本発明の第３の実施形態に従って、図には示していないものの、第３の実施形態の基本理念は、第１の実施形態及び第２の実施形態の基本理念と同一である。第３の実施形態と前の二つの実施形態の相違は、第３の実施形態において、第１のスポット光源及び第２のスポット光源は、一列の光源レセプタクルに交互に（ａｌｔｅｒｎａｔｅｌｙ）配置される。
【００６２】
本実施形態において、ＬＥＤ素子等の第１のスポット光源は、直線に沿って実質的にレセプタクルに配置され、第２の光源は、同一の直線に沿って実質的に配置される。
【００６３】
しかしながら、前の二つの実施形態と同様に、例えば、自動車に用いられるガラス等の弧状のガラスを検出するために用いられるとき、レセプタクルは、平面的でなく、弧状であってもよいことは、当業者が第３の実施形態の変形例として容易に考えうることである。
【００６４】
この場合、第１のスポット光源及び第２のスポット光源は、曲線が弧状の走査ラインに適合する限り、曲線に沿って弧状のレセプタクルに交互に実質的に配置される。
【実施例４】
【００６５】
本発明の第４の実施形態に従って、図に示していないものの、第４の実施形態の基本理念は、前の実施形態の基本理念と同一である。
【００６６】
第４の実施形態の照射システムは、棒状の光源レセプタクルに配置されたスポット光源の２組を含む。
【００６７】
スポット光源の第１の組は、複数の第１の光源ａを含み、それらは、レセプタクルの前後方向に沿って、スポット光源１ａ，２ａ，．．．ｋａ，．．．ｎａの第１の列になるように、実質的に一列に配置される。スポット光源の数ｎは、２より大きい数であってもよく、それぞれの第１の光源ａは、第１の光を放射する。
【００６８】
スポット光源の第２の組は、複数の第２の光源ｂを含み、それらは、レセプタクルの前後方向に沿って、スポット光源１ｂ，２ｂ，．．．ｋｂ，．．．ｎｂの第２の列になるように、実質的に一列に配置される。スポット光源の数ｎは、２より大きくてもよく、それぞれの第２の光源ｂは、第２の光を放射する。
【００６９】
第１の光源１ａによって放射された第１の光及び対応する第２の光源１ｂによって放射された第２の光は、第１の走査ドット（ｓｃａｎ  ｄｏｔ）１ｓに集中する。第１の光源ｋａによって放射された第１の光及び対応する第２の光源ｋｂによって照射された第２の光は、ｋ番目の走査ドットｋｓに集中する。第１の光源ｎａによって照射された第１の光及び対応する第２の光源ｎｂによって照射された第２の光は、ｎ番目の走査ドットｎｓに集中する。そして、第１のドット１ｓ、ｋ番目の走査ドットｋｓ、及びｎ番目の走査ドットｎｓは、照射システムを含む検出システムの走査ラインであってもよい、連続直線（ｃｏｎｔｉｎｕｏｕｓ  ｓｔｒａｉｇｈｔ  ｌｉｎｅ）又は連続曲線を構成する。
【００７０】
走査ラインを通過する平面Ｐにおいて、透明基板に垂直で、走査ライン上のそれぞれの点に集中する第１の光及び第２の光の投射は、平面Ｐの列の異なる側に位置する。平面Ｐは、点を通過し、走査ラインに垂直である。
【００７１】
本実施形態において、スポット光源の第１の組及びスポット光源の第２の組が配置される複数の列は、互いに実質的に平行である。本実施形態の変形例として、スポット光源の第１の組が配置される列は、スポット光源の第２の組が配置される列の延長線にある。
【００７２】
本発明の実施形態において、平面Ｐでの第１の光の投射と列ｌの間の角度は、３７．５°から５２．５°であることが好ましい。平面Ｐでの第２の光の投射と列ｌの間の角度は、３７．５°から５２．５°であることが好ましい。
【００７３】
本実施形態において、第１の光源１ａと第２の光源１ｂの間の距離は、第１の光源ｋａと第２の光源ｋｂの間の距離と同一である。好ましい実施形態において、対応する第１の光源と第２の光源の間の距離は、同一である。
【実施例５】
【００７４】
図５は、本発明の第５の実施形態に従って、検出領域（ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ  ｒｅｇｉｏｎ）で透明基板の欠陥を検出するための検出システムを示す。
【００７５】
図５に示すように、検出システムは、第１の実施形態に従った二つの照射システムと、ＣＣＤカメラであってもよい撮像部を含む。示したように、二つの照射システムは、ＣＣＤカメラの走査ラインの異なる側に配置される。
【００７６】
走査ラインの左側の第１の照射システムは、スポット光源の二つの組を含む。
【００７７】
スポット光源の第１の組は、それぞれ第１の光を放射する複数の第１のスポット光源からなる。それぞれ第１の光は、互いに実質的に平行であって、走査ラインに集中し、スポット光源の第１の組と走査ラインは、第１の光平面（ｌｉｇｈｔ  ｐｌａｎｅ）を規定する（ｄｅｆｉｎｅ）。
【００７８】
スポット光源の第２の組は、それぞれ第２の光を放射する複数の第２のスポット光源からなる。それぞれ第２の光は、互いに実質的に平行であって、走査ラインに集中し、スポット光源の第２の組と走査ラインは、第２の光平面を規定する。
【００７９】
本実施形態において、第１の光平面と第２の光平面の間の角度は、０°から１５°である。
【００８０】
同様に、走査ラインの右側の第２の照射システムは、スポット光源の二つの組を含む。
【００８１】
スポット光源の第３の組は、それぞれ第３の光を放射する複数の第３のスポット光源からなる。それぞれの第３の光は、互いに実質的に平行であって、走査ラインに集中し、スポット光源の第３の組と走査ラインは、第３の光平面を規定する。
【００８２】
スポット光源の第４のセットは、それぞれ第４の光を放射する複数の第４のスポット光源からなる。それぞれの第４の光は、互いに実質的に平行であって、走査ラインに集中し、スポット光源の第４の組と走査ラインは、第４の光平面を規定する。
【００８３】
本実施形態において、第３の平面と第４の平面の間の角度は、０°から１５°である。
【００８４】
第１及び第４の光平面と、平面Ｐの間の最大角度は、５２．５°である。第２及び第３の光平面と平面Ｐの最小角度は、３７．５°である。検出領域の範囲の走査ライン上のそれぞれの点は、第１の光から第４の光までの全ての光によって照射されることを留意すべきである。
【００８５】
図５に示すように、撮像部は、走査ラインに集中した第１の光、第２の光、第３の光、及び第４の光を受け取り、透明基板の欠陥を検出するためにこれらの光に基づいた撮像を実行する。
【００８６】
さらに、図５は、本発明に従って検出システムの一例として図示されたことを留意すべきである。検出システムは、第１の実施形態の照射システム以外の照射システムを含んでもよいことは、当業者が容易に考えうることである。
【００８７】
例えば、検出システムは、第２の実施形態から第４の実施形態までに従った照射システムを含んでもよい。代わりに、ＣＣＤカメラの走査ラインの異なる側に配置された二つの照射システムは、異なってもよい。例えば、走査ラインの左側の第１の照射システムは、本発明の第１の実施形態に従った照射システムであってもよい。走査ラインの右側の第２の照射システムは、本発明の第２の実施形態に従った照射システムであってもよい。
【００８８】
さらに、スポット光源の第４の組は、上述した第１の実施形態から第４の実施形態までの組のように、レセプタクルに取り付けられていなくてもよい。例えば、それぞれの組のスポット光源は、同一の平面になくてもよく、即ち、一つの組のそれぞれのスポット光源によって放射されたそれぞれの光が互いに実質的に平行であって、走査ラインに集中する限り、それぞれの組のスポット光源は、任意に分布（ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｅ）してもよい。
【００８９】
当業者は、検出システムに用いられる二つの照射システムの多様な組み合わせを考えうる。
【実施例６】
【００９０】
本発明の第６の実施形態に従った検出システムは、第５の実施形態の検出システムと同一である。
【００９１】
検出システムは、検出される透明基板を検出領域及び二つの照射システムに搬送するための透明基板搬送部を含む。
【００９２】
第１の照射システムは、第１の放射方向に沿った第１の光を放射する第１のライン光源（ｌｉｎｅ  ｌｉｇｈｔ  ｓｏｕｒｃｅ）と、第２の放射方向に沿った第２の光を放射する第２のライン光源とを含む。第１の光及び第２の光は、検出領域の走査ラインに投影及び集中し、第１のライン光源及び走査ラインは、第１の光平面を規定し、第２のライン光源及び走査ラインは、第２の光平面を規定する。
【００９３】
第２の照射システムは、第３の放射方向に沿った第３の光を放射する第３のライン光源と、第４の放射方向に沿った第４の光を放射する第４のライン光源とを含む。第３の光及び第４の光は、走査ラインに投影及び集中し、第３のライン光源及び走査ラインは、第３の光平面を規定し、第４のライン光源及び走査ラインは、第４の光平面を規定する。
【００９４】
同様に、検出領域の範囲の走査ライン上のそれぞれの点は、第１の光から第４の光までの全てによって照射される。さらに、走査ラインを通過する平面Ｐにおいて、透明基板に垂直で、走査ライン上のそれぞれの点に集中する、第１の光及び第３の光と、第２の光及び第４の光は、平面Ｐの列の異なる側に位置する。平面Ｐは、点を通過し、走査ラインに垂直である。第１の光平面及び第２の光平面と、第３の光平面及び第４の光平面とは、平面Ｐの異なる側に位置し、第２の光平面及び第３の光平面は、第１の光平面及び第４の光平面にそれぞれ重ね合わされ、又は、第１の光平面及び第４の光平面のそれぞれよりも平面Ｐに近くに位置する。
【００９５】
検出システムは、走査ラインに集中する、第１の光、第２の光、第３の光、及び第４の光を受け取り、これらの光に基づく撮像を実行する撮像部を含む。
【００９６】
上記から理解できるように、第６の実施形態の検出システムと第５の実施形態の検出システムとの間の相違は、本実施形態において用いられる光源がスポット光源ではなく、ライン光源であることである。
【００９７】
確かに、本実施形態の変形例として、第１のライン光源、第２のライン光源、第３のライン光源、及び第４のライン光源は、複数のスポット光源をそれぞれ含んでもよい。
【００９８】
上述した実施形態は、発明を限定するよりも図示することと、当業者が添付された特許請求の範囲から逸脱しない代替実施形態を設計できることに留意すべきである。請求項において、括弧の間に位置する、任意の参照符号は、請求項を限定するとみなされない。「含む」という言葉は、素子の存在、又は、請求項若しくは明細書に列挙されないステップの存在を排除しない。単数の構成要素は、その構成要素の複数の存在を排除しない。複数の構成単位を列挙するシステムの請求項において、これら複数の構成単位は、ソフトウェア及び／又はハードウェアの全く同一の項目によって実現できる。第１、第２、及び第３等の単語の利用は、順番を示していない。これらの単語は、名前として解釈されるべきである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
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