(57)【要約】  本発明は、真空蒸着によって薄膜を堆積するデバイスのための噴射システムに関し、該噴射システムは、蒸着材料を収容するためのコンテナ（４）と、材料を蒸発させるように構成されたコンテナ加熱手段と、蒸着材料を受け入れるようにコンテナに接続する内部導管と、各々が蒸着材料を真空蒸着チャンバ内に拡散するための少なくとも１つの連通チャネルを含む複数のノズル（３）とを含む少なくとも１つの噴射装置とを備える。本発明によれば、噴射装置（１）は、長手方向（５）に沿って互いに機械的に直列に結合され、各々が複数の噴射ノズルを有する複数の噴射モジュール（２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ、２ｅ）を含み、該噴射装置は、噴射ノズルを、長手方向（５）に平行な軸線に沿って位置合わせするために、長手方向についての噴射モジュールの方向を調節する手段を含む。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空蒸着チャンバに配置することが意図された、真空蒸着によって薄膜を堆積するデバイスのための噴射システムであって、該噴射システムは、
蒸着材料を収容するためのコンテナ（４）と、
前記材料を蒸発させるように構成されたコンテナ加熱手段と、
前記コンテナ（４）からの蒸着材料を受け入れるように前記コンテナ（４）に接続する内部導管と、各々が前記蒸着材料を前記真空蒸着チャンバ内に拡散するための前記内部導管と前記装置の外部との間の少なくとも１つの連通チャネルを含む複数のノズル（３）とを含む少なくとも１つの噴射装置（１）と、
を備え、
前記噴射装置（１）は、長手方向（５）に沿って互いに機械的に直列に結合され、各々が複数の噴射ノズル（３）を有する複数の噴射モジュール（２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ、２ｅ）を含み、
前記噴射装置（１）は、前記噴射モジュール（２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ、２ｅ）の前記噴射ノズル（３）を、前記噴射装置（１）の長手方向（５）に平行な軸線に沿って位置合わせするために、前記長手方向（５）についての前記噴射モジュール（２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ、２ｅ）の方向を調節する手段を含むことを特徴とする噴射システム。
【請求項２】
前記噴射モジュール（２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ、２ｅ）は円筒形であり、前記噴射モジュール（２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ、２ｅ）の前記噴射ノズル（３）は、前記円筒の母線に沿って配置されている、請求項１に記載の噴射システム。
【請求項３】
前記噴射モジュール（２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ、２ｅ）は同一構造であり、前記噴射装置は、前記噴射装置の端部をしっかり閉じるように構成されたシャッターモジュール（６）をさらに備える、請求項２に記載の噴射システム。
【請求項４】
前記コンテナは、前記噴射装置の第１の開口端において第１の噴射モジュールに取り付けられるように構成された少なくとも１つの第１の円筒形コンテナモジュール及び／又は前記噴射装置の第２の開口端で最後の噴射モジュールに取り付けられるように構成された第２の円筒形コンテナモジュールから形成される、請求項１から３のいずれかに記載の噴射システム。
【請求項５】
前記噴射モジュール（２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ、２ｅ）の材質は、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）、黒鉛状炭素、ガラス状炭素、熱分解黒鉛被覆炭素、純化炭素、炭化ケイ素被覆炭素、又は熱分解窒化ホウ素のうちの１つである、請求項１から４のいずれかに記載の噴射システム。
【請求項６】
２つの隣接する噴射モジュール（２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ、２ｅ）の間、及び／又は前記コンテナモジュール（４）と前記第１の噴射モジュール（２ａ）との間、及び／又は前記最後の噴射モジュール（２ｅ）とシャッターモジュール（６）との間に配置された少なくとも１つ圧縮シールガスケットを更に備え、前記少なくとも１つのシールガスケットは、圧縮時に前記ノズルの位置合わせを保証するように構成されている、請求項１から５のいずれかに記載の噴射システム。
【請求項７】
各噴射モジュール及び／又は前記コンテナモジュールに関連する独立した加熱手段（１４）を更に備え、前記加熱手段（１４）は、前記噴射モジュール（２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ、２ｅ）のそれぞれ及び前記コンテナモジュール（４）を覆うように構成されている２つの半円形のハーフシェルフを備える、請求項１から６のいずれかに記載の噴射システム。
【請求項８】
前記ハーフシェルは、前記加熱手段（１４）の周りに配置されている熱シールド手段（１５）と、該熱シールド手段（１５）の周りに配置されている冷却手段（１６）とを更に備える、請求項７に記載の噴射システム。
【請求項９】
フレーム（１１）と、前記複数の噴射モジュール（２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ、２ｅ）及び／又は前記コンテナモジュール（４）を前記フレームに対して機械的に固定する手段（１３）を更に備える、請求項１から８のいずれかに記載の噴射システム。
【請求項１０】
前記フレームは、１つ又は複数の直線棒（１１）を備え、前記固定手段は、前記直線棒（１１）に沿ってスライド可能に取り付けられる、請求項９に記載の噴射システム。
【請求項１１】
複数の噴射装置を備え、該噴射装置の長手方向軸線（５）は互いに平行であり、材料の均一な同時蒸着が可能になっている、請求項１から１０のいずれかに記載の噴射システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物理蒸着ＰＶＤとも呼ばれる真空蒸着のデバイスのための噴射システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
材料固体ソースから蒸発する材料の真空蒸着のためのデバイスが知られている。当該デバイスは、特に、大型基板上に薄膜層を作るために使用される。例えば、当該デバイスは、ＣＩＧＳ（銅・インジウム・ガリウム・セレン）型又はＯＬＥＤ（有機発光デバイス）型の太陽電池パネルを製造するために使用される。一般に、ＰＶＤ真空蒸着デバイスは、真空蒸着チャンバに接続される蒸発源を含む。蒸発源によって材料を蒸発させること又は昇華させることができ、この材料はガス状態で真空蒸着チャンバに移送されて基板上に蒸着される。
【０００３】
一般に知られている真空蒸着デバイスは、蒸発源と基板との間に配置されるインジェクタを備える。インジェクタによって大型基板上に均一な堆積物を得るために蒸着材料を拡散することができる。インジェクタの形状寸法は、基板の形状及び寸法に依存する。大型の矩形基板に対して、噴射ノズルとも呼ばれ、インジェクタに沿って蒸着材料を均一に拡散するための開口部を備える細長い導管の形状を成すインジェクタが使用される。インジェクタの長さは少なくとも基板の幅又は長さに等しい。基板とインジェクタとの間の相対運動によって、非常に大きな表面（１ｍ２よりも大きい）上への堆積が可能になる。
【０００４】
インジェクタに沿って配置される噴射ノズルを備えたインジェクタが知られている。一般に各ノズルは、インジェクタの内部導管を真空蒸着チャンバに接続するチャンネルを備える。ノズルの形状及び寸法により、基板の表面上への蒸着材料の流量及びその流れ分配を改良することができる。
【０００５】
真空蒸着チャンバは、単一の基板又は同じ堆積チャンバ内に配置される複数の基板上への堆積を可能にするように構成することができる。しかしながら、一般に処理される基板の寸法又は基板の数が変わると、基板の形態に適合して、真空蒸着チャンバ内で基板以外への堆積による材料損失を避けるためにインジェクタを変える必要がある。
【０００６】
この場合、各々が特定の形態に適合する複数のインジェクタを備える必要がある。従って、例えば基板の幅に対応して多数のインジェクタを備えることになる。しかし、各インジェクタは高価である。さらに、インジェクタを定期的に清浄化して、インジェクタ及び／又はノズル内の内面被膜の蓄積を防止するする必要がある。この清浄化作業には真空蒸着機械の運転停止が必要となるが、この期間はできるだけ短くする必要がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の１つの目的は、厚さ均一性及び１．５から１．８ｍの幅の各層の物理化学的組成物を含むＰＶＤによる薄膜堆積の良好な品質を保証することにある。真空蒸着の堆積チャンバの構成をデバイスのコスト増を伴うことなく異なる寸法の基板を受け入れるように簡単に適合させることが望ましい。
また、真空蒸着チャンバの運転停止期間を最小にして蒸着デバイスの効率を改善することが望ましい。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、従来の問題点を解消することを目的としており、詳細には、真空蒸着によって薄膜を堆積するデバイスのための噴射システムに関し、該噴射システムは真空蒸着チャンバに配置することが意図され、該噴射システムは、蒸着材料を収容するためのコンテナと、材料を蒸発させるように構成されたコンテナ加熱手段と、コンテナからの蒸着材料を受け入れるようにコンテナに接続する内部導管と、各々が蒸着材料を真空蒸着チャンバ内に拡散するための内部導管と装置の外部との間の少なくとも１つの連通チャネルを含む複数のノズルとを含む少なくとも１つの噴射装置とを備える。
【０００９】
本発明によれば、噴射装置は、長手方向に沿って互いに機械的に直列に結合され、各々が複数のノズルを有する複数の噴射モジュールを含み、該噴射装置は、噴射モジュールの噴射ノズルを、噴射装置の長手方向に平行な軸線に沿って位置合わせするために、噴射モジュールの長手方向についての方向を調節する手段を含む。
【００１０】
本発明の特定の実施形態によれば、噴射モジュールは円筒形であり、噴射モジュールの噴射ノズルは、円筒の母線に沿って配置されている。
【００１１】
本発明の他の態様によれば、
−噴射モジュールは同一構造であり、噴射装置は、該噴射装置の端部をしっかり閉じるように構成されたシャッターモジュールをさらに備え、
−コンテナは、噴射装置の第１の開口端において第１の噴射モジュールに取り付けられるように構成された少なくとも１つの第１の円筒形コンテナモジュール及び／又は噴射装置の第２の開口端で最後の噴射モジュールに取り付けられるように構成された第２の円筒形コンテナモジュールから形成され、
−噴射モジュールの材質は、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）、黒鉛状炭素、ガラス状炭素、熱分解黒鉛被覆炭素、純化炭素、炭化ケイ素被覆炭素、又は熱分解窒化ホウ素（ＰＢＮ）のうちの１つである。
【００１２】
本発明の実施形態の別の態様によれば、噴射システムは、
−圧縮時にノズルの位置合わせを保証するように構成される少なくとも１つの圧縮シールガスケットを更に備え、
−少なくとも１つのシールガスケットは、可撓性黒鉛で作られ、
−少なくとも１つのシールガスケットは、２つの隣接する噴射モジュールの間、及び／又はコンテナモジュールと第１の噴射モジュールとの間、及び／又は最後の噴射モジュールとシャッターモジュールとの間に配置され、
噴射システムは、
−噴射モジュールのそれぞれ及びコンテナモジュールを覆うように構成される２つの半円形のハーフシェルフを含む、各噴射モジュール及び／又はコンテナモジュールに関連する独立した加熱手段と、
−加熱手段の周りに配置されている熱シールド手段と、熱シールド手段の周りに配置されている冷却手段と、
−フレームと、複数の噴射モジュール及び／又はコンテナモジュールをフレームに対して機械的に固定する手段と、
を更に備え、
−フレームは、１つ又は複数の直線棒を備え、固定手段は、直線棒に沿ってスライド可能に取り付けられる。
【００１３】
また、本発明は、上述の実施形態の１つによる複数の噴射装置を備え、該噴射装置の長手方向軸線は互いに平行であり、材料の均一な同時蒸着が可能になっている噴射システムに関する。
【００１４】
本発明は、真空蒸着堆積システムのための、特にＯＬＥＤの製作のための噴射デバイスの特定の好都合な用途を見出すことが可能である。
【００１５】
また、本発明は、以下の説明でより明白になり、さらに単独で又は何らかの技術的に可能性のある組み合わせに照らして考慮する必要がある特徴に関連する。
【００１６】
非限定的に例示される本説明により、添付図面を参照して本発明の実施方法を理解することができるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第１の実施形態による噴射装置の正面図及び縦断面図を示す。
【図２】本発明の第２の実施形態による噴射装置の底面図及び縦断面図を示す。
【図３】噴射装置の正面図、側面図、軸方向断面図、及び縦断面図を示す。
【図４】本発明の特定の実施形態による噴射装置のモジュールを包み込むことが意図された熱シェルフの正面図及び斜視図を示す。
【図５】特定の実施形態によるコンテナの取り付け／取り外し時の噴射装置の斜視図を概略的に示す。
【図６】他の特定の実施形態によるコンテナの取り付け／取り外し時の噴射装置の斜視図を概略的に示す。
【図７】それぞれ単一蒸着のための単一の噴射装置、及び同時蒸着のための２つ及び３つの噴射装置の使用に基づく異なる堆積構成の側面図を概略的に示す。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明は、真空蒸着堆積システムのための噴射装置に関し、噴射装置は、蒸発源で蒸発した材料を受け取るように構成されている。これ自体は公知の方法であり、装置は蒸発した材料を真空蒸着チャンバに拡散させる複数のノズルを有する拡散器を備える。図１から６には基板及び噴射装置が配置される蒸着チャンバは示されていない。
【００１９】
図１は、本発明の第１の実施形態による噴射装置を概略的に示す。図１の右側には噴射装置１の正面図が示されている。図１の左側には方向ＡＡ’に沿った縦断面図において、材料が堆積されることが望ましい基板１０及び噴射装置１が示されている。図１の左側には、装置の詳細な拡大断面図が挿入されている。
【００２０】
最初に図１の噴射装置の正面図を詳細に説明する。噴射装置は、長手方向軸線５に沿って延びている。噴射装置１は、蒸着材料を収容するためのコンテナモジュール４を備える。蒸着材料は、種々の形態（液体、固体、粉体等）とすることができる。特に、コンテナは、銀（Ａｇ）、マグネシウム（Ｍｇ）、ガリウム（Ｇａ）、インジウム（Ｉｎ）、フッ化リチウム（ＬｉＦ）、硫化インジウム（Ｉｎ２Ｓ３）、亜鉛（Ｚｎ）、カドミウム（Ｃｄ）、錫（Ｓｎ）、アルミニウム（Ａｌ）、又は銅（Ｃｕ）等の材料を蒸発させるものである。図１の実施形態において、噴射装置１は、主として垂直方向に取り付けるようになっている。この場合、コンテナモジュール４は、重力により非蒸着材料を収容するように装置の下端部に配置されている。図１に示す実施例において、コンテナモジュールは装置と一直線になっている。しかしながら、コンテナモジュール４は、動作（水平又は垂直）、蒸着材料、噴射システムの製造期間、又は蒸着材料の消費量に応じて、特異な形状寸法、配置（長手方向軸線５に対して４５°、９０°で一直線になる）、又は容積（長さ、直径）を有することができる。
【００２１】
また、噴射装置１は、直列に取り付けられた複数の噴射モジュール２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ、２ｅを含む。図示の実施例は５個の噴射モジュールを含む。しかしながら、当然、噴射モジュールの数は制限されない。第１の噴射モジュール２ａはコンテナモジュール４に固定されている。噴射モジュール２ｂは噴射モジュール２ａに固定されている。同様に、噴射モジュール２ｃは噴射モジュール２ｂ等に固定されている。最後にシャッターモジュール６は、噴射モジュール２ｅに固定されている。装置１の端部はコンテナモジュール４の反対側であり、シャッターモジュール６によって蒸着材料の気化ガスに対してしっかり閉鎖されている。シャッターモジュール６は、噴射モジュールが一端のみで閉鎖されるように端部の噴射モジュールに一体化することができる。装置を形成する複数の別の噴射モジュールは、例えば、入れ子式で又はねじ留めで互いに固定することができる。各噴射モジュールは、角度調節のために自身の軸線に対して方向付け可能である。この方向調節によって、装置に沿ったノズルの位置合わせが確実になり、この位置合わせは、コーティング品質にとって重要である。各噴射モジュールがねじ留めされる場合、各噴射モジュールは、適合するねじ山７を含む。モジュールの加工時、ねじ山の開始点は、ノズルの位置に関して調整されるが、これは粗い位置合わせをもたらし、微妙な位置合わせはシールガスケットの圧縮により保証される。好ましくは、シールガスケット８は２つの噴射モジュールの間に設けられる。ガスケットにより、真空蒸着チャンバに対する結合気密性を維持しながら、噴射モジュールの方向調節が可能になる。
【００２２】
図１の断面図から分かるように、コンテナモジュール４及び噴射モジュール２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ、２ｅは、中空管体形状である。噴射モジュールは円筒形であり、ノズルは、円筒の母線に一直線になっている。好ましい実施形態において、噴射モジュールは、ほぼ円形の断面を有するが、ノズルを支える平坦部を含む。
【００２３】
噴射モジュール２ａは中央開口部を経由してコンテナ４と連通する。また、噴射モジュール２ｂは、中央開口部を経由して噴射モジュール２ａと連通し、噴射モジュール２ｅ及びシャッターモジュール６まで同様である。コンテナから出てくる蒸着材料は、次に噴射装置からシャッターモジュールまでの全てのモジュールの内部で自由に拡散することができる。噴射装置の別々のモジュールの内径は、コンダクタンスが小さな又は無視できる電荷損失を保証するのに十分な大きさであり、各ノズルでの流れが確実に同じになる。
【００２４】
各噴射モジュール２ａ、２ｂ、…２ｅは、複数の噴射ノズル３を備える。一般に、ノズル３は、装置の内部を蒸着チャンバに接続するチャンネルを備え、基板１０に向かう蒸着材料の拡散が可能になる。好ましくは、別個のモジュールの各ノズル３は、装置の軸線５に平行な軸線沿って位置合わせされている。。例示的な実施形態において、各噴射モジュール２は、約２０個のノズル３を含む。好ましい実施形態では、各ノズルは、連続するノズルの間が一定の間隔となるように配置され、軸線５に平行な軸線に沿ってノズル３が均一に分布する。好ましい実施形態では、各ノズルは、付加要素によって、例えばねじ留めによって噴射モジュールに対して組み付けられる。この場合、ノズルは異なる開口の他のノズルに交換することができる。従って、装置１に沿ったノズル３の位置に応じて異なる開口を有するノズル３を取り付けて、基板１０の全面にわたる堆積特性を調整することが可能である。例示的な実施形態では、噴射モジュール２ａの長さは４００ｍｍに等しく、長手方向軸線の周りの回転による方向精度は２度以下であり、内部ノズルの空間は２０ｍｍに等しく、ねじ山７は１０ｍｍの長さにわたって広がる。
【００２５】
好ましくは、噴射モジュール、シャッターモジュール、及び／又はコンテナモジュールは、所望の蒸着温度において蒸着材料と化学的適合性を有する材料で作ることができる。例えば、コンテナモジュール及び／又はシャッターモジュールの噴射モジュールの材料は、炭素、黒鉛、熱分解黒鉛、ガラス状炭素、窒化ホウ素、アルミナ等とすることができる。可撓性黒鉛の厚さ１ｍｍ程度のシールワッシャ８は、２つの隣接するモジュールの間に配置することができ、気密性を確保すると共に別個の噴射モジュール２ａ、２ｂ、…の方向を調節してノズル３の位置合わせを可能にする。
【００２６】
前記で詳細に説明したように、装置１は、直列に連結されて軸線５に沿って直線状の部屋を形成する別個のモジュール、つまりンテナモジュール、噴射モジュール、及びシャッターモジュールから構成されている。。噴射モジュールの個数によって装置の長さが決まるが、これを再構成するのは容易である。
【００２７】
図２は、噴射装置の第２の実施形態を示し、詳細には軸線５に沿って水平方向に備え付けることが意図されている。図２の右側部分は噴射装置１の底面図を示す。図２の左側部分には、その上に材料が堆積される基板１０と噴射装置１とが断面ＡＡ’に沿った縦断面図で示されている。挿入部分には装置の断面図の詳細な拡大図が示されている。図１と同じ参照番号は同じ要素を示す。また、図２の装置は、コンテナモジュール４、直列に取り付けられ噴射ノズル３を備える複数の噴射モジュール２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ、２ｅ、及びシャッターモジュール６を含む。挿入部分にはコンテナモジュール４と第１の噴射モジュール２ａとの間に配置される中間モジュールの断面図が示されている。中間モジュールの一方側はコンテナの開口に取り付けられ、他方側は第１の噴射モジュール２ａに取り付けられる。コンテナ内に非蒸着材料を収容するために、中間モジュール９は装置の内部開口を部分的に閉鎖する内壁を含む。内壁は、蒸着材料の流れを通過させる（図２の挿入部分に矢印で模式的に示す）開口を含む。この内壁を備える中間モジュール９は、コンテナモジュールが水平方向に整列されて非蒸着材料をコンテナモジュール４内に保持できるようになった場合に特に適合する。中間モジュールは、ノズルが上向きに向かう場合に挿入部分に示すように内壁の開口が装置の上部に位置するように、装置の軸線５の周りで回転させることで方向付け可能である。
【００２８】
図３は、材料の蒸発及び拡散を可能にする加熱手段を備えた噴射装置の別の図を示す。図３の中央には装置の正面図を示し、左側は側面図、右側は軸線５に沿った縦断面図、左上は断面ＢＢ’に沿った軸方向断面図を示す。装置は、図１に関連して説明したように個別のモジュールを備え、特に、コンテナモジュール４、複数の噴射モジュール２ａ…２ｅ、及び端部モジュール６である。コンテナモジュール４、並びに各噴射モジュールは、熱シェルで覆われる。各熱シェルは、対象のコンテナモジュール又は噴射モジュールと同じ長さである。正面図及び側面図には熱シェルの外部冷却手段が示されており、これは冷却水等の冷却流体の循環を可能にするコイル１６の形態である。噴射装置は、２つの円筒棒１１を備えるフレーム上に取り付けられ、各円筒棒１１は互いに平行であり軸線５に対しても平行である。装置１は、固定タブ１３を用いてフレームに取り付けられる。好都合には、固定タブ１３は、円筒棒１１の軸線に沿ってスライドさせることで調節可能である。
【００２９】
好ましくは、熱シェルは略半円筒形の２つのハーフシェルから構成され、やはり外形が円筒形の装置を覆うことが意図されている。熱シェルを形成する２つのハーフシェルは、装置の長手方向軸線５を通る平面に対して対称である。図４は、特定の実施形態による噴射装置のモジュールを覆うことが意図された熱ハーフシェルの正面図、背面図、及び斜視図である。ハーフシェル１７の内面には装置のモジュールを輻射によって加熱することが意図されたフィラメント１４が設けられている。フィラメント１４によって、噴射装置を１２００℃から１５００℃の温度まで昇温することができる。ハーフシェル１７は、フィラメント１４の両端に電気コネクタ１４ａ、１４ｂを含む。各熱ハーフシェルは、他の熱シェルとは独立的に電源に接続することができる。また、各熱ハーフシェルは、他の熱シェルに対して直列状態で、単一の電源に接続することができる。フィラメントは、熱シールド１５によって装置の周囲環境から保護されている。。シェル１７の外部に設けられた水冷システム１６によって、装置の外面温度を低くすることができる。冷却システム１６は、ハーフシェルの冷却回路の２つの端部に流体接続するためのコネクタ１６ａ、１６ｂを含む。その結果、各熱ハーフシェルは、他の熱ハーフシェルとは独立的に冷却水源に接続することができる。また、各熱ハーフシェルは、他の熱ハーフシェルに対して直列状態で、単一の冷却水源に接続することができる。
【００３０】
材料が消費されるとコンテナモジュールに充填する必要がある。保守作業でコンテナの交換を必要とする場合がある。図５は、特定の実施形態によるコンテナの取り付け／取り外し中の噴射装置の斜視図を概略的に示す。本実施形態において、コンテナモジュールを覆う２つの熱ハーフシェル１７は分離している。従って、コンテナモジュール４はアクセス可能である。コンテナモジュールは、入れ子式に又は第１の噴射モジュール２ａのねじ山７によってねじ留めされている。。このシステムにより噴射装置を蒸着チャンバ内の所定位置に置くことができる。さらに、コンテナは即座に交換することができる。
【００３１】
図６は、他の特定の実施形態によるコンテナ取り付け／取り外し中の噴射装置の斜視図を概略的に示す。この場合、コンテナモジュールを覆う熱シェルは取り外されていないが、単純に固定タブ１３を取り外した後にフレームの円筒棒１１に沿ってスライドさせることで移動させる。空いた空間からコンテナにアクセスして、コンテナを満たすこと又はこれを交換することができる。再組み立て時には、コンテナモジュール４を第１の噴射モジュール２ａに取り付けて、コンテナモジュール４を覆うようにシェル１７を円筒棒１１に沿ってスライドするだけで十分である。固定タブはねじで保持できる。
【００３２】
また、コンテナモジュール又は熱シェルを取り外すことなくコンテナを満たすことが想定されている。例えば、熱シェルを取り外すことなく端部モジュール６を取り外すことが可能である。従って、注ぎ口又は「充填管路」等の適切な手段によって、噴射装置の他端からコンテナを満たすことが可能である。別の解決策は、噴射装置の無蓋コンテナ（一般に「ボート」と呼ばれる）をコンテナモジュールの反対側の端部からスライドさせる。後者の構成は、装置の水平動作にはより適切と思われる。このコンテナは蒸着材料を収容する。
【００３３】
フレームは、噴射装置１全体の剛性を確保する。さらに、フレームは、噴射装置を移動システムに結合して、大型基板に対する装置の移動を引き起こすことができる。最後に、フレームにより、基板平面に対する１つ又は複数の噴射装置の方向を定めることが容易になる。従って、図７は蒸着の異なる構成を示す。図７の上部には材料コンテナからの単一蒸着のために単一の噴射装置の使用が示されている。図７の中央部には２つの噴射装置１及び１’を備えるシステムが示されている。２つの噴射装置１、１’の各々は適切な材料コンテナを含む。２つの噴射装置を備えるシステムにより異なる材料の同時蒸着が容易になり、各材料は基板上に同時に堆積される。各装置の円筒棒１１によって、例えば、基板の法線に対して対称な様態で円筒棒の周りで単に回転させることで、各装置の向きを定めることができる。２つの装置は好都合には同じ長さであり、また互いに平行かつ基板平面に対して平行であり、これにより装置１、１’の全長にわたっての均一な同時蒸着を行うことができる。同様に、図７の下部には３つの噴射装置１、１’、１”を備えるシステムが示されている。３つの噴射装置１、１’、１”の各々は、自身の材料コンテナを含むので３つの異なる材料の同時蒸着が可能であり、各材料は基板１０上に同時に堆積される。好都合には、３つの装置は同じ長さであり、また互いに平行かつ基板１０の平面に対して平行に配置され、均一な同時蒸着が可能になる。
【００３４】
異なるモジュール（噴射モジュール、コンテナモジュール）を組み合わせた噴射装置の構成により、処理される基板サイズ、特に大型基板への適合が容易になる。特定の長さの装置の製作は所定数の噴射モジュールの組み合わせに基づくが、検討又は特別な工具は必要なく低コストである。一方で、コンテナモジュールの充填及び充填物の取り出しは容易であり、デバイスの運転停止期間が短くなるので真空蒸着機械の効率が向上する。噴射装置の直線状構成により、２つ又は３つ、又はそれ以上の噴射装置を備える均一な同時蒸着構成を検討することができる。
【符号の説明】
【００３５】
１  噴射装置
２ａ  噴射モジュール
２ｂ  噴射モジュール
２ｃ  噴射モジュール
２ｄ  噴射モジュール
２ｅ  噴射モジュール
３  噴射ノズル
４  コンテナ
５  長手方向軸線
６  シャッターモジュール
７  ねじ山
８  シールガスケット
１０  基板
【図１】
2015501379.tif 000003
【図２】
2015501379.tif 000004
【図３】
2015501379.tif 000005
【図４】
2015501379.tif 000006
【図５】
2015501379.tif 000007
【図６】
2015501379.tif 000008
【図７】
2015501379.tif 000009
【国際調査報告】
2015501379.tif 000010
2015501379.tif 000011
2015501379.tif 000012
2015501379.tif 000013