(57)【要約】本発明はバルブハウジング（１１０）で開口部（１１２）を閉鎖することができるバルブプレート（１２０）と；前記バルブプレート（１２０）に連結され、上下運動及び水平運動ができるバルブロッド（１３０）と；前記バルブハウジング（１１０）の外側に連結され、Ｌモーションブロックガイド溝（１４２）が両側内面に形成されているガイドハウジング（１４）と；前記バルブロッド（１３０）に連結され、両側面に前記Ｌモーションブロックガイド溝（１４２）に挿入されて駆動されるガイドローラー（１５１）が設置されるＬモーションブロック（Ｌ−Ｍｏｔｉｏｎ  Ｂｌｏｃｋ）（１５０）と；前記Ｌモーションブロック（Ｌ−Ｍｏｔｉｏｎ  Ｂｌｏｃｋ）（１５０）の上側と下側にそれぞれ一つ以上のリンク（１５５）を通じて連結される駆動ブロック（１６０）と；前記Ｌモーションブロック（Ｌ−Ｍｏｔｉｏｎ  Ｂｌｏｃｋ）（１５０）と前記駆動ブロック（１６０）との間に一つ以上設置される引張弾性手段（１７０）と；前記駆動ブロック（１６０）を上下に駆動する上下駆動手段（１８０）と；を含んで構成されることを特徴とするゲートバルブ（１００）に関する。【選択図】図５
2015515592.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
バルブハウジング（１１０）で開口部（１１２）の周りに形成されたバルブシート（Ｖａｌｖｅ−ｓｅａｔ）（１１１）に密着されて、内側から前記開口部（１１２）を閉鎖することができるバルブプレート（１２０）と；
前記バルブプレート（１２０）に連結され、前記バルブハウジング（１１０）の内部はベローズ（１３１）を通じて外部と気密を保持し、突出されて上下運動及び水平運動ができるバルブロッド（１３０）と；
前記バルブハウジング（１１０）の外側に連結され、上下に形成された上下駆動区間溝（１４３）及び前記上下駆動区間溝（１４３）の上側に閉鎖方向（ｃ）を向けて連続的に水平方向に形成された開閉駆動区間溝（１４４）で構成されるＬモーションブロックガイド溝（１４２）が両側内面に形成されているガイドハウジング（１４０）と；
前記バルブロッド（１３０）に連結され、両側面に前記Ｌモーションブロックガイド溝（１４２）に挿入されて駆動されるガイドローラー（１５１）が設置されるＬモーションブロック（Ｌ−Ｍｏｔｉｏｎ  Ｂｌｏｃｋ）（１５０）と；
前記Ｌモーションブロック（Ｌ−Ｍｏｔｉｏｎ  Ｂｌｏｃｋ）（１５０）の上側と下側にそれぞれ一つ以上のリンク（１５５）を通じて連結される駆動ブロック（１６０）と；
前記Ｌモーションブロック（Ｌ−Ｍｏｔｉｏｎ  Ｂｌｏｃｋ）（１５０）と前記駆動ブロック（１６０）との間に一つ以上設置される引張弾性手段（１７０）と；
前記駆動ブロック（１６０）を上下に駆動する上下駆動手段（１８０）と；を含んで構成されることを特徴とするゲートバルブ（１００）。
【請求項２】
前記駆動ブロック（１６０）の下側にさらに形成されて、閉鎖状態で、前記Ｌモーションブロック（Ｌ−Ｍｏｔｉｏｎ  Ｂｌｏｃｋ）（１５０）の下面を接触支持する下側突出部（１６１）と；
前記駆動ブロック（１６０）にさらに設置されて、前記ガイドハウジング（１４０）の内側に設置された駆動ブロックガイドレール（１６５）に結合して前記駆動ブロック（１６０）が上下のみに駆動されるようにする駆動ブロックガイド（１６６）と；をさらに含んで構成されることを特徴とする請求項１に記載のゲートバルブ（１００）。
【請求項３】
前記引張弾性手段（１７０）は、
前記Ｌモーションブロック（Ｌ−Ｍｏｔｉｏｎ  Ｂｌｏｃｋ）（１５０）の上側及び下側の２ヶ所以上にそれぞれ形成されるスプリングピン通孔（１５３）にそれぞれ設置される第１スプリングピン（１５４）と；
前記駆動ブロック（１６０）の上側及び下側の２ヶ所以上にそれぞれ形成されるスプリングピン結合孔（１６３）にそれぞれ設置される第２スプリングピン（１６４）と；
前記第１スプリングピン（１５４）の両末端と前記第２スプリングピン（１６４）の両末端にそれぞれ設置されるスプリング（１７１）と；をさらに含んで構成され、
前記上下駆動区間溝（１４３）と前記開閉駆動区間溝（１４４）とを連結する区間の外周縁には曲率を有する湾曲部がさらに形成されていることを特徴とする請求項１に記載のゲートバルブ（１００）。
【請求項４】
前記上下駆動手段（１８０）は、シリンダー（１８１）の内部に設置されて、空圧によって上下に駆動され、上側に前記駆動ブロック（１６０）に連結される駆動ロッド（１８３）が設置されているピストン（１８２）をさらに含んで構成されることを特徴とする請求項１に記載のゲートバルブ（１００）。
【請求項５】
前記駆動ブロック（１６０）の下側にさらに形成されて、閉鎖状態で、前記Ｌモーションブロック（Ｌ−Ｍｏｔｉｏｎ  Ｂｌｏｃｋ）（１５０）の下面を接触支持する下側突出部（１６１）と；
前記駆動ブロック（１６０）にさらに設置されて、前記ガイドハウジング（１４０）の内側に設置された駆動ブロックガイドレール（１６５）に結合して前記駆動ブロック（１６０）が上下のみに駆動されるようにする駆動ブロックガイド（１６６）と；をさらに含んで構成され、  
前記引張弾性手段（１７０）は、
前記Ｌモーションブロック（Ｌ−Ｍｏｔｉｏｎ  Ｂｌｏｃｋ）（１５０）の上側及び下側の２ヶ所以上にそれぞれ形成されるスプリングピン通孔（１５３）にそれぞれ設置される第１スプリングピン（１５４）と；
前記駆動ブロック（１６０）の上側及び下側の２ヶ所以上にそれぞれ形成されるスプリングピン結合孔（１６３）にそれぞれ設置される第２スプリングピン（１６４）と；
前記第１スプリングピン（１５４）の両末端と前記第２スプリングピン（１６４）の両末端にそれぞれ設置されるスプリング（１７１）と；をさらに含んで構成され、
前記上下駆動区間溝（１４３）と前記開閉駆動区間溝（１４４）とを連結する区間の外周縁には曲率を有する湾曲部がさらに形成され、
前記上下駆動手段（１８０）は、シリンダー（１８１）の内部に設置されて、空圧によって上下に駆動され、上側に前記駆動ブロック（１６０）に連結される駆動ロッド（１８３）が設置されているピストン（１８２）をさらに含んで構成されることを特徴とする請求項１に記載のゲートバルブ（１００）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はバルブハウジング１１０で開口部１１２の周りに形成されたバルブシート（Ｖａｌｖｅ−ｓｅａｔ）１１１に密着されて、内側から上記開口部１１２を閉鎖することができるバルブプレート１２０と；上記バルブプレート１２０に連結され、上記バルブハウジング１１０の内部はベローズ１３１を通じて外部と気密を保持し、突出されて上下運動及び水平運動ができるバルブロッド１３０と；上記バルブハウジング１１０の外側に連結され、上下に形成された上下駆動区間溝１４３及び上記上下駆動区間溝１４３の上側に閉鎖方向ｃを向けて連続的に水平方向に形成された開閉駆動区間溝１４４で構成されるＬモーションブロックガイド溝１４２が両側内面に形成されているガイドハウジング１４０と；上記バルブロッド１３０に連結され、両側面に上記Ｌモーションブロックガイド溝１４２に挿入されて駆動されるガイドローラー１５１が設置されるＬモーションブロック（Ｌ−Ｍｏｔｉｏｎ  Ｂｌｏｃｋ）１５０と；上記Ｌモーションブロック（Ｌ−Ｍｏｔｉｏｎ  Ｂｌｏｃｋ）１５０の上側及び下側にそれぞれ一つ以上のリンク１５５を通じて連結される駆動ブロック１６０と；上記Ｌモーションブロック（Ｌ−Ｍｏｔｉｏｎ  Ｂｌｏｃｋ）１５０と上記駆動ブロック１６０との間に一つ以上設置される引張弾性手段１７０と；上記駆動ブロック１６０を上下に駆動する上下駆動手段１８０と；を含んで構成されることを特徴とするゲートバルブ１００に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
本発明は例えば集積回路（ＩＣ）またはその部品のような加工物をある真空処理室から他の真空処理室に移送させるための移送経路を開閉したり、または圧縮流体やガスなどの流体流動経路または排気流動経路を開閉するためのゲートバルブ（ｇａｔｅ  ｖａｌｖｅ）に関するものである。
【０００３】
通常、例えば半導体ウエハーまたは液晶基板を処理するための装置において、半導体ウエハーまたは液晶基板は連通通路（ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ  ｐａｓｓａｇｅｗａｙｓ）を通じて各処理室から挿入及び引き出される（ｗｉｔｈｄｒａｗａｌ）。このような連通通路にはこの通路を開閉するゲートバルブが設置される。
【０００４】
このようなゲートバルブの実施例として非常に多様な実施例が提案されて来た。その中に、従来の発明としては特許文献１の大韓民国登録特許第１０−０３３８１６４号（発明の名称：「ゲートバルブ」）のような構成がある。
【０００５】
上記特許文献１のゲートバルブは、バルブボックスの中のバルブデスクを、バルブボックスの外に設置された操作手段によって、バルブボックスの外に気密的に突出されるバルブロッドを通じてバルブシートに接触または離間する位置に自在に移動させ、このバルブロッドの移動が終わる時に上記バルブロッドが傾斜運動して上記バルブデスクが上記バルブボックスの中のバルブシートに押されるようにしたゲートバルブであって、上記操作手段は、ピストンシリンダー装置のピストンロッドとバルブロッドとの間をローラー及びこのローラーをガイドする傾斜した長孔で連結するか、両者の間にその端部を回転自在に旋回する傾斜リンクで連結する構成を有することを特徴としている。
【０００６】
しかし、このような従来のゲートバルブは、図１ａに示すように、バルブデスクの作動経路が上下方向及び水平方向に対して緩やかな傾斜を描きながら作動するため、ゲートバルブの内部に設置された多様な構成要素と干渉が発生したり、機械的摩耗などによって発生される不純物が上記処理室内に混入される虞が多いという欠点があった。
【０００７】
このように傾斜を描く作動経路を有するゲートバルブの構成を改善して、図１ｂに示すように、閉鎖作動の時、まず上側方向に駆動された後、閉鎖位置に水平移動する駆動を可能にさせるために、特許文献２の大韓民国公開特許第１０−２０１１−００７３４７６号（発明の名称：「真空バルブ」）のような構成が提案された。
【０００８】
上記特許文献２の真空バルブは、バルブシートによって囲まれたバルブ開口部を有する壁と、真空バルブの真空領域に配置された少なくとも一つのバルブプレート（上記バルブプレートは開放位置から縦方向に向かって中間位置に移動され、また、その中間位置から縦方向に対して垂直する横方向に向かって閉鎖位置に移動されることができる）と、バルブプレートを有する少なくとも一つのバルブロッド（上記バルブロッドは真空バルブの真空領域の外に案内され、壁に対して縦方向（上記縦方向はバルブロッドの縦軸に対して平行である）に、また横方向に移動されることができる）と、真空バルブの真空領域の外部に配置された縦−ドライブ装置及び横−ドライブ装置（上記装置によってバルブロッドはバルブプレートを移動させるために縦方向、また横方向に移動されることができる）とを含むことを特徴とする。
【０００９】
しかし、このような特許文献２の真空バルブは、その作動経路は非常に效率的であるが、このような作動をするために、縦−ドライブ装置及び横−ドライブ装置が必要となるため、その構成が非常に複雑で、製造費用がたくさんかかるという問題点があった。また、正確な開閉作動のためには、上記縦−ドライブ装置及び横−ドライブ装置が作動順に従って正確なタイミングに互いに連携して作動されることが要求され、このような連携作動のための複雑な構成要素が必要となるという問題点があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は上述した従来発明の問題点を解決して、一つの駆動手段のみを用いる簡単で信頼性のある構造でも、上記バルブプレートが開放位置から縦方向に向かって中間位置に移動した後、その中間位置から縦方向に対して垂直する横方向に向かって閉鎖位置に移動するようにする閉鎖作動や、その逆順の開放作動を可能にして、ゲートバルブの内部に設置された多様な構成要素と干渉が発生したり、機械的摩耗などによって発生される不純物が上記処理室内に混入される問題を防止することができる效率的な作動が可能なバルブを提供することをその課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上述した課題を達するために、本発明のゲートバルブは、バルブハウジング１１０で開口部１１２の周りに形成されたバルブシート（Ｖａｌｖｅ−ｓｅａｔ）１１１に密着されて、内側から上記開口部１１２を閉鎖することができるバルブプレート１２０と；上記バルブプレート１２０に連結され、上記バルブハウジング１１０の内部はベローズ１３１を通じて外部と気密を保持し、突出されて上下運動及び水平運動ができるバルブロッド１３０と；上記バルブハウジング１１０の外側に連結され、上下に形成された上下駆動区間溝１４３及び上記上下駆動区間溝１４３の上側に閉鎖方向ｃを向けて連続的に水平方向に形成された開閉駆動区間溝１４４で構成されるＬモーションブロックガイド溝１４２が両側内面に形成されているガイドハウジング１４０と；上記バルブロッド１３０に連結され、両側面に上記Ｌモーションブロックガイド溝１４２に挿入されて駆動されるガイドローラー１５１が設置されるＬモーションブロック（Ｌ−Ｍｏｔｉｏｎ  Ｂｌｏｃｋ）１５０と；上記Ｌモーションブロック（Ｌ−Ｍｏｔｉｏｎ  Ｂｌｏｃｋ）１５０の上側及び下側にそれぞれ一つ以上のリンク１５５を通じて連結される駆動ブロック１６０と；上記Ｌモーションブロック（Ｌ−Ｍｏｔｉｏｎ  Ｂｌｏｃｋ）１５０と上記駆動ブロック１６０との間に一つ以上設置される引張弾性手段１７０と；上記駆動ブロック１６０を上下に駆動する上下駆動手段１８０と；を含んで構成されることを特徴とする。
【００１２】
また、上記駆動ブロック１６０の下側にさらに形成されて、閉鎖状態で上記Ｌモーションブロック（Ｌ−Ｍｏｔｉｏｎ  Ｂｌｏｃｋ）１５０の下面を接触支持する下側突出部１６１と；上記駆動ブロック１６０にさらに設置され、上記ガイドハウジング１４０の内側に設置された駆動ブロックガイドレール１６５に結合して上記駆動ブロック１６０が上下のみに駆動されるようにする駆動ブロックガイド１６６と；をさらに含んで構成されることを特徴とする。
【００１３】
また、上記引張弾性手段１７０は、上記Ｌモーションブロック（Ｌ−Ｍｏｔｉｏｎ  Ｂｌｏｃｋ）１５０の上側及び下側の２ヶ所以上にそれぞれ形成されるスプリングピン通孔１５３にそれぞれ設置される第１スプリングピン１５４と；上記駆動ブロック１６０の上側及び下側の２ヶ所以上にそれぞれ形成されるスプリングピン結合孔１６３にそれぞれ設置される第２スプリングピン１６４と；上記第１スプリングピン１５４の両末端と上記第２スプリングピン１６４の両末端にそれぞれ設置されるスプリング１７１と；をさらに含んで構成されることを特徴とし、上記上下駆動区間溝１４３と上記開閉駆動区間溝１４４とを連結する区間の外周縁には曲率を有する湾曲部がさらに形成されていることを特徴とする。
【００１４】
また、上記上下駆動手段１８０は、シリンダー１８１の内部に設置されて、空圧によって上下に駆動され、上側に上記駆動ブロック１６０に連結される駆動ロッド１８３が設置されているピストン１８２をさらに含んで構成されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、一つの駆動手段のみを用いる簡単で信頼性のある構造でも、上記バルブプレートが開放位置から縦方向に向かって中間位置に移動した後、その中間位置から縦方向に対して垂直する横方向に向かって閉鎖位置に移動するようにする閉鎖作動や、その逆順の開放作動が可能にして、ゲートバルブの内部に設置された多様な構成要素と干渉が発生したり機械的摩耗などによって発生される不純物が上記処理室内に混入される問題を防止することができる效率的な作動が可能であるという長所がある。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】従来ゲートバルブの作動経路を比較して示す模式図である。
【図２】本発明の一実施例によるゲートバルブの外形と内部を示す側面投影図である。
【図３】本発明の一実施例によるゲートバルブの外形と内部を示す正面投影図である。
【図４】本発明の一実施例によるゲートバルブの各部分の側断面を示す側面断面図である。
【図５】本発明の一実施例によるゲートバルブの主要構成要素の結合関係を示す分解斜視図である。
【図６】本発明の一実施例によるゲートバルブの作動過程を示す作動過程図である。
【図７】本発明の一実施例によるゲートバルブの駆動ブロックとＬモーションブロックの作動過程及び閉鎖状態での状態を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下では、添付された図面を参照して本発明の一実施例によるゲートバルブを詳しく説明する。まず、図面において、同じ構成要素または部品は同じ参照符号で示している事に留意すべきである。本発明を説明する際に、係わる公知機能若しくは構成に関する具体的な説明は本発明の要旨を明確にするために省略する。
【００１８】
本発明のゲートバルブは、図２及び図５に示すように、大体バルブプレート１２０、バルブロッド１３０、ガイドハウジング１４０、Ｌモーションブロック（Ｌ−Ｍｏｔｉｏｎ  Ｂｌｏｃｋ）１５０、駆動ブロック１６０、引張弾性手段１７０及び上下駆動手段１８０を含んで構成される。
【００１９】
まず、バルブプレート１２０について説明する。上記バルブプレートは、図５に示すように、バルブハウジング１１０で開口部１１２の周りに形成されたバルブシート（Ｖａｌｖｅ−ｓｅａｔ）１１１に密着されて、内側から上記開口部１１２を閉鎖することができる機能を有する。このようなバルブプレート１２０によって上記開口部１１２が開放または閉鎖されることによって、本発明のゲートバルブ１００の開放及び閉鎖作動が具現される。
【００２０】
次に、バルブロッド１３０について説明する。上記バルブロッド１３０は、図５に示すように、上記バルブプレート１２０に連結され、図２及び図４に示すように、上記バルブハウジング１１０の内部は外部でベローズ１３１を通じて外部と気密を保持し、突出されて上下運動及び水平運動可能に設置される。
【００２１】
次に、ガイドハウジング１４０について説明する。上記ガイドハウジング１４０は、図２及び図４に示すように、上記バルブハウジング１１０の外側に連結され、上記Ｌモーションブロック（Ｌ−Ｍｏｔｉｏｎ  Ｂｌｏｃｋ）１５０及び上記駆動ブロック１６０などの主要作動手段を内装して保護する機能を果たす。上記ガイドハウジング１４０の両側内面には、図５に示すように、上下に形成された上下駆動区間溝１４３及び上記上下駆動区間溝１４３の上側に閉鎖方向ｃを向けて連続的に水平方向に形成された開閉駆動区間溝１４４で構成されるＬモーションブロックガイド溝１４２が形成されている。この場合、上記Ｌモーションブロックガイド溝１４２は全体的に「Ｌ」字状の上下を逆様にしたような形状、即ち「Γ」と類似する形状を有する。一方、上記Ｌモーションブロックガイド溝１４２の上記上下駆動区間溝１４３と上記開閉駆動区間溝１４４とを連結する区間の外周縁には、図４ｃに示すように、曲率を有する湾曲部ｒがさらに形成されるようにして、柔らかく作動することができるようにすることがさらに好ましい。
【００２２】
一方、上記ガイドハウジング１４０を構成する実施例としては、一体に成形するなど多様な実施例を通じて実施することができるが、一般的に、図５に示すように、側面ガイドプレート１４１、ハウジング上板１４６及びハウジング下板１４７を含んで互いに結合して製造されることが好ましい。この場合、上記Ｌモーションブロックガイド溝１４２はそれぞれの上記側面ガイドプレート１４１の内面に形成されるようにすることが好ましい。
次に、Ｌモーションブロック（Ｌ−Ｍｏｔｉｏｎ  Ｂｌｏｃｋ）１５０について説明する。
【００２３】
上記Ｌモーションブロック（Ｌ−Ｍｏｔｉｏｎ  Ｂｌｏｃｋ）１５０は、図４及び図５に示すように、上記バルブロッド１３０に連結され、両側面に上記Ｌモーションブロックガイド溝１４２に挿入されて駆動されるガイドローラー１５１が設置されている。
【００２４】
次に、駆動ブロック１６０について説明する。上記駆動ブロック１６０は、図５及び図７に示すように、上記Ｌモーションブロック（Ｌ−Ｍｏｔｉｏｎ  Ｂｌｏｃｋ）１５０の上側と下側にそれぞれ一つ以上のリンク１５５を通じて連結される。このように上側と下側にそれぞれ上記リンク１５５を通じて連結される構成によって、上記Ｌモーションブロック（Ｌ−Ｍｏｔｉｏｎ  Ｂｌｏｃｋ）１５０と上記駆動ブロック１６０は互いに平行を保持した状態で、図６及び図７に示すように、相対的に密着したり離間される作動が可能になる。
【００２５】
この場合、上記リンク１５５を構成する実施例としては非常に多様な実施例が可能であり、このような上記リンク１５５を具現する一実施例としては、図５及び図７に示すように、上記Ｌモーションブロック１５０の上側と下側にそれぞれ側面方向に貫通するように形成されたリンクピン通孔１５２にそれぞれリンクピン１５６が挿入されて設置されるようにし、上記駆動ブロック１６０の上側と下側にもそれぞれ側面方向に貫通するように形成されたリンクピン結合孔１６２にもそれぞれリンクピン１５６が挿入されて設置されるようにした後、上記Ｌモーションブロック１５０の上記リンクピン１５６にそれぞれ対応する位置にある上記駆動ブロック１６０の上記リンクピン１５６の間にリンク１５５が設置されるようにすることが好ましい。
【００２６】
一方、上記駆動ブロック１６０の下側には、図４及び図５に示すように、閉鎖状態で上記Ｌモーションブロック（Ｌ−Ｍｏｔｉｏｎ  Ｂｌｏｃｋ）１５０の下面を接触支持する下側突出部１６１がさらに形成されるようにし、閉鎖状態で上記Ｌモーションブロック（Ｌ−Ｍｏｔｉｏｎ  Ｂｌｏｃｋ）１５０を確実に支持して閉鎖状態を安定的に保持することができるようにすることが好ましい。
【００２７】
また、開放作動の時には、上記Ｌモーションブロック（Ｌ−Ｍｏｔｉｏｎ  Ｂｌｏｃｋ）１５０と上記駆動ブロック１６０との間に上記リンク１５５によっても強い引張力が発生することがあり、この場合、上記駆動ブロック１６０が上記Ｌモーションブロック（Ｌ−Ｍｏｔｉｏｎ  Ｂｌｏｃｋ）１５０の方向に移動して作動不良が発生する虞がある。このような作動不良を防止するために、図４ｂまたは図５に示すように、上記駆動ブロック１６０には上記ガイドハウジング１４０の内側に設置された駆動ブロックガイドレール１６５に結合して上記駆動ブロック１６０が上下のみに駆動されるようにする駆動ブロックガイド１６６がさらに設置されるようにして、上記駆動ブロック１６０が側方に移動して発生する作動不良の問題を根本的に防止するようにすることが好ましい。
【００２８】
次に、引張弾性手段１７０について説明する。上記引張弾性手段１７０は、図６及び図７に示すように、上記Ｌモーションブロック（Ｌ−Ｍｏｔｉｏｎ  Ｂｌｏｃｋ）１５０と上記駆動ブロック１６０との間に一つ以上設置されて、上記Ｌモーションブロック（Ｌ−Ｍｏｔｉｏｎ  Ｂｌｏｃｋ）１５０と上記駆動ブロック１６０との間に引張力を提供する。このような上記引張弾性手段１７０によって、開放作動の開始段階で、上記駆動ブロック１６０の下降作動によって上記Ｌモーションブロック（Ｌ−Ｍｏｔｉｏｎ  Ｂｌｏｃｋ）１５０が上記駆動ブロック１６０の方向に水平移動する作動がさらに円滑に行われる。
【００２９】
この場合、上記引張弾性手段１７０を具現する実施例として非常に多様な実施例が可能である。このような上記引張弾性手段１７０を具現する一実施例としては、図６及び図７に示すように、上記Ｌモーションブロック（Ｌ−Ｍｏｔｉｏｎ  Ｂｌｏｃｋ）１５０の上側及び下側の２ヶ所以上にそれぞれ形成されるスプリングピン通孔１５３にそれぞれ設置される第１スプリングピン１５４と、上記駆動ブロック１６０の上側及び下側の２ヶ所以上にそれぞれ形成されるスプリングピン結合孔１６３にそれぞれ設置される第２スプリングピン１６４と、上記第１スプリングピン１５４の両末端と上記第２スプリングピン１６４の両末端にそれぞれ設置されるスプリング１７１をさらに含んで構成されることが好ましい。
【００３０】
次に、上下駆動手段１８０について説明する。上記上下駆動手段１８０は上記駆動ブロック１６０を上下に駆動する機能を有する。このような上記上下駆動手段１８０を具現する実施例としては非常に多様な実施例が可能である。このような上記上下駆動手段１８０を具現する一実施例としては、図４及び図５に示すように、シリンダー１８１の内部に設置されて、空圧によって上下に駆動され、上側に上記駆動ブロック１６０に連結される駆動ロッド１８３が設置されているピストン１８２をさらに含んで構成されることが好ましい。この場合、上記シリンダー１８１は、一般的に上記ハウジング下板１４７に結合されて設置されるようにして、本発明のゲートバルブ１００のメンテナンスのための分解／結合が容易でありながらも、一体に製作されるようにすることが好ましい。
【００３１】
以下では、本発明の一実施例によるゲートバルブ１００の作動について説明する。
【００３２】
まず、上記ゲートバルブ１００の閉鎖過程について説明する。
【００３３】
図７ａに示すような完全開放状態（図７では作動の主要部を明確に表示するために、バルブハウジング１１０は省略して表示されていることに留意すべきである）で閉鎖過程が始まり、図７ｂに示すように、上記上下駆動手段１８０が上昇しながら上記駆動ブロック１６０を上昇させる。この場合、上記Ｌモーションブロック（Ｌ−Ｍｏｔｉｏｎ  Ｂｌｏｃｋ）はガイドローラー１５１が上記Ｌモーションブロックガイド溝１４２の上記上下駆動区間溝１４３に位置するようになるので、上記リンク１５５によって上記駆動ブロック１６０の駆動力を受けて上側へ上昇する作動をする。
【００３４】
次に、図６ｃに示すように、上記Ｌモーションブロック（Ｌ−Ｍｏｔｉｏｎ  Ｂｌｏｃｋ）が最大上昇位置（中間位置）まで上昇して上記ガイドローラー１５１が上記Ｌモーションブロックガイド溝１４２の上記湾曲部ｒに到逹する場合、上記駆動ブロック１６０はさらに上昇作動をする。
【００３５】
上記駆動ブロック１６０がさらに上昇する作動をすることによって、図６ｄに示すように、上記Ｌモーションブロック（Ｌ−Ｍｏｔｉｏｎ  Ｂｌｏｃｋ）１５０は上記ガイドローラー１５１が上記Ｌモーションブロックガイド溝１４２の上記開閉駆動区間溝１４４によって誘導されながら、上記リンク１５５によって上記駆動ブロック１６０と平行する状態を保持しながら上記駆動ブロック１６０から離れて、図６で閉鎖方向「ｃ」に水平移動する閉鎖作動をする。
【００３６】
従って、このような全閉鎖過程を通じて上記Ｌモーションブロック（Ｌ−Ｍｏｔｉｏｎ  Ｂｌｏｃｋ）１５０は、図１ｂに示すように、「Ｌ」字状の上下を逆様にしたような形状、即ち「Γ」と類似する形状を有する経路を通じて作動するようになり、このような上記Ｌモーションブロック（Ｌ−Ｍｏｔｉｏｎ  Ｂｌｏｃｋ）１５０に上記バルブロッド１３０を通じて連結された上記バルブプレート１２０も図１ｂに示すように「Ｌ」字状の上下を逆様にしたような形状、即ち「Γ」と類似する形状を有する経路を通じて作動するようになるので、ゲートバルブの内部に設置された多様な構成要素と干渉が発生したり、機械的摩耗などによって発生される不純物が上記処理室内に混入される問題を防止することができる效率的な作動が可能になる。
【００３７】
一方、上記ゲートバルブ１００の開放過程は上述した上記ゲートバルブ１００の閉鎖過程と逆順に行われる。この場合、上記引張弾性手段１７０によって、開放作動の開始段階で上記駆動ブロック１６０の下降作動によって上記Ｌモーションブロック（Ｌ−Ｍｏｔｉｏｎ  Ｂｌｏｃｋ）１５０が上記駆動ブロック１６０の方向に水平移動する作動がさらに円滑に行われるようになる。
【００３８】
図面及び明細書に最適な実施例が開示された。ここで特定用語を用いたが、これは本発明を説明するための目的で用いられたものであって、意味の限定や特許請求の範囲に記載された本発明の範囲を制限するためのものではない。従って、本発明が属する技術分野において通常の知識を有する者であれば、これから多様な変形及び均等な他の実施例が可能であることを理解すべきである。また、本発明の真の技術的保護範囲は特許請求の範囲の技術的思想によって定められるべきである。
【図１（ａ）】
2015515592.tif 000003
【図１（ｂ）】
2015515592.tif 000004
【図２】
2015515592.tif 000005
【図３】
2015515592.tif 000006
【図４（ａ）】
2015515592.tif 000007
【図４（ｂ）】
2015515592.tif 000008
【図４（ｃ）】
2015515592.tif 000009
【図５】
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【図６】
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【図７（ａ）】
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【図７（ｂ）】
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【国際調査報告】
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