(57)【要約】【課題】  真空バルブの運転または制御方法の可能性の拡張を図る。【解決手段】  真空バルブは、バルブ開口部(2)を有するバルブボディ(1)と、真空バルブを密閉するため、開位置と閉位置との間で閉軌道を経て変位可能な閉塞部材(3)と、閉塞部材(3)を駆動するアクチュエータ(5)と、アクチュエータ(5)を制御する制御装置(9)とを備えている。制御装置(9)により閉塞部材(3)の閉位置において弾性シール(4)に作用する圧力が調節される。ユーザにより入力されうる少なくとも１つのパラメータの関数としてシール部材(4)に作用する圧力が制御される。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空バルブの運転または制御方法であって、前記真空バルブは、
バルブ開口部(2)を有するバルブボディ(1)と、
前記真空バルブを密閉するため、開位置と閉位置との間で変位可能であり、少なくとも１つの弾性シール(4)がシール面(35)に押し付けられる前記閉位置において前記バルブ開口部(2)を閉じる閉塞部材(3)と、
前記閉塞部材(3)を駆動するアクチュエータ(5)と、
前記アクチュエータ(5)を作動させ、前記閉塞部材(3)の閉位置において前記弾性シール(4)に作用する圧力を調節する制御装置(9)とを備え、
前記弾性シール(4)に作用する前記圧力が、ユーザにより入力される少なくとも１つのパラメータの関数として調節されることを特徴とする方法。
【請求項２】
真空バルブの運転または制御方法であって、前記真空バルブは、
バルブ開口部(2)を有するバルブボディ(1)と、
前記真空バルブを密閉するため、開位置と閉位置との間で変位可能であり、少なくとも１つの弾性シール(4)がシール面(35)に押し付けられる前記閉位置において前記バルブ開口部(2)を閉じる閉塞部材(3)と、
前記閉塞部材(3)を駆動するアクチュエータ(5)と、
前記アクチュエータ(5)を作動させ、前記閉塞部材(3)の閉位置において前記弾性シール(4)に作用する前記圧力を、特に請求項１の方法にしたがって調節する制御装置(9)とを備え、
前記弾性シール(4)に作用する前記圧力が、前記真空バルブの複数の採用可能な構成のうち１つ、または、前記真空バルブの複数の採用可能な開放モードのうち１つを表わす少なくとも１つのパラメータの関数として調節されることを特徴とする方法。
【請求項３】
請求項２記載の方法において、
少なくとも１つのプロセスモードおよび１つのサービスモードが運転モードとして設けられ、前記サービスモードにおいて、前記制御装置(9)により設定される、前記弾性シール(4)に作用する圧力が、前記処理モードよりも高圧に調節されることを特徴とする方法。
【請求項４】
請求項２または３記載の方法において、
２以上の運転モードの中から１つの運転モードを選択するための入力が前記ユーザによって行われ、前記制御装置(9)により、前記弾性シール(4)に作用する圧力が前記入力の関数として調節されることを特徴とする方法。
【請求項５】
請求項２〜４のうちいずれか１つに記載の方法において、
前記弾性シール(4)および前記閉塞部材(3)のうち一方または両方に対して２つ以上の異なる構成が採用されうる場合、前記弾性シール(4)に作用する前記圧力が、前記弾性シール(4)または前記閉塞部材(3)の構成の関数として調節されることを特徴とする方法。
【請求項６】
請求項５記載の方法において、
前記弾性シール(4)および前記閉塞部材(3)のうち一方または両方の２以上の異なる構成の中から１つの構成を選択するための入力が前記ユーザによって行われ、前記弾性シール(4)に作用する圧力が前記入力の関数として調節されることを特徴とする方法。
【請求項７】
請求項１〜６のうちいずれか１つに記載の方法において、
前記弾性シール(4)に作用する前記圧力が、前記弾性シールに接触するプロセスガスの種類の関数として調節されることを特徴とする方法。
【請求項８】
請求項７記載の方法において、
前記プロセスガスの種類は、前記ユーザにより入力されうることを特徴とする方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空バルブの制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
真空バルブの制御装置であって、圧縮空気などの相応の運転資源が供給されることにより作動し、閉塞部材を開閉するアクチュエータを制御する制御装置が知られている。また、運転資源が消失した場合、閉塞部材がばね要素によって開位置または閉位置に維持される自動開閉弁が知られている。さらに、気圧駆動式の真空バルブ、電動式の真空バルブも知られている。安全機能を実現するため、すなわち、真空システムのある状態について真空バルブの開閉を禁止または許可するため、バルブ状態に関するさまざまな入力信号を制御装置に供給することも知られている。
【０００３】
真空バルブの制御方法であって、真空バルブが中間に配置されている２つの真空チャンバの間の差圧の測定値の関数として、弾性シールに作用する圧力が制御装置により設定されるような方法が知られている（特許文献１参照）。これにより、弾性シールの消耗度が低減されうる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】米国特許公報  ＵＳ７，０３６，７９４Ｂ２
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、前記のようなタイプの真空バルブの運転または制御方法の可能性の拡張を図ることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、バルブ開口部を有するバルブボディと、前記真空バルブを密閉するため、開位置と閉位置との間で変位可能であり、少なくとも１つの弾性シールがシール面に押し付けられる前記閉位置において前記バルブ開口部を閉じる閉塞部材と、前記閉塞部材を駆動するアクチュエータと、前記アクチュエータを作動させ、前記閉塞部材の閉位置において前記弾性シールに作用する圧力を調節する制御装置とを備えている真空バルブの運転または制御方法に関する。
【０００７】
前記課題を解決するための本発明の方法は、前記弾性シールに作用する前記圧力が、ユーザにより入力される少なくとも１つのパラメータの関数として調節されることを特徴とする。
【０００８】
本発明は、弾性シールに作用する圧力が、ユーザによる少なくとも１つの入力オプションの関数として調節されることを基本的思想としている。たとえば、真空バルブの複数の採用可能な構成を、ユーザの入力により指定されるパラメータに反映させることができる。当該採用可能な構成は、たとえば、材料または形状に関する弾性シールの構成であってもよい。このため、異なる構成のシールが採用される場合、必要な気密性を確保するとともに、シールに作用する最低限の圧力に関して、シールを保護するため、シールに作用する圧力が最適化される。
【０００９】
真空バルブの構成に関する入力オプションに代えてまたは加えて、複数の運転モードの中から１つの運転モードをユーザが選択することができる入力オプションが設けられ、選択された運転モードの関数として弾性シールに作用する圧力が調節されてもよい。たとえば、少なくとも１つの「プロセスモード」および１つの「サービスモード」が設けられ、サービスモードのほうがプロセスモードよりも高い圧力が弾性シールに作用する。このため、サービスモードにおいてリーク率が低い安全なシールが実現される一方、プロセスモードにおいてシールが保護される。
【００１０】
真空バルブの複数の採用可能な構成の少なくとも１つ、または、真空バルブの複数の採用可能な運転モードのうち１つを表わすパラメータのマニュアル入力に代えて、制御装置により当該パラメータが検知されてもよい。弾性シールに作用する圧力は、本発明の範囲を考察する際には無関係であるマニュアル入力および自動検知の別を問わず、少なくとも１つの当該パラメータの関数として調節される。
【００１１】
本明細書では「制御装置」は、特に電子機器など、一または複数の制御ループを有するオープン制御手法の意味において制御処理を実行するあらゆる装置を包含する。
【００１２】
本発明の有利な一実施態様において、アクチュエータの出力が制御され、すなわち、当該出力による閉塞力が制御ユニットにより制御され、真空バルブの閉状態においてシールに作用する圧力が、アクチュエータの閉塞力の調節によって制御されてもよい。
【００１３】
アクチュエータによる閉塞力に応じて弾性シールに作用する圧力、または、２つの真空チャンバの間の差圧により生じる力に対してアクチュエータによる閉塞力が重ねられることによる圧力が、用いられる真空バルブの種類の関数として生成される。
【００１４】
本発明の他の実施態様において、シール面に当接するアクチュエータが位置を制御し、すなわち、閉塞部材の閉位置が制御ユニットにより調節され、真空バルブの閉状態においてシールに作用する圧力が、閉塞部材の閉位置の調節によって制御されてもよい。
【００１５】
本発明の方法はさまざまな種類のバルブに適用されうる。たとえば、バルブは、閉塞部材の開位置および閉位置の間の閉塞動作のすべてが、直線的であるように構成されている。このような真空バルブは、米国特許公報ＵＳ４，８０９，９５０Ａ、米国特許公報ＵＳ６，６８５，１６３Ｂ２または米国特許公報ＵＳ４，９２１，２１３Ａなどにより開示されている。
【００１６】
本発明の方法は、米国特許公報ＵＳ４，０５２，０３６Ａまたは米国特許公報ＵＳ４，４７０，５７６Ａなどにより開示されている、スライドバルブのようなバルブにも適用されうる。
【００１７】
本発明の方法は、バタフライバルブのような真空バルブに適用されてもよい。このようなバタフライバルブは米国特許公報ＵＳ４，６３４，０９４Ａまたは米国特許公報ＵＳ６，４９４，４３９Ｂ１などにより開示されている
さらに、本発明の方法は、Ｌバルブのような真空バルブに適用されてもよい。このようなＬバルブは米国特許公報ＵＳ６，４３１，５１８Ｂ１などにより開示されている。Ｌ形状の動きを構成する個別の動きは、同一または異なるアクチュエータにより実行される。
【００１８】
また、本発明の方法は、米国特許公報ＵＳ６，３６７，７７０Ｂ１などにより開示されている、閉塞部材がＶ形状であって、たとえば、対応するシール面に当接するシールをその両側に有するような真空バルブに適用されてもよい。
【００１９】
本発明のさらなる利点および詳細は、添付図面を参照して以下で説明される。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】２つの真空チャンバの間に配置された、閉塞部材が閉位置にある状態における真空バルブの、バルブ開口部の軸に沿った断面図。
【図２】閉塞部材が開位置にある状態における図１に示されている真空バルブの、バルブ開口部の軸に対して垂直な方向の断面図。
【図３】閉塞部材の経路に応じた閉塞部材の速度およびアクチュエータの電流値に関する説明図。
【図４】２つの真空チャンバの間に配置された、本発明の手法により制御可能な他の実施形態としての真空バルブの説明図。
【図５】本発明の手法により制御可能な更なる実施形態としての真空バルブの断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
本発明の方法が適用されうる真空バルブの実施例が図１および図２に示されている。真空バルブは、導通管状に形成されているバルブ開口部２を有するバルブボディ１と、閉塞部材３とを備えている。閉塞部材３は開位置（図２参照）においてバルブ開口部２を開放し、閉位置（図１参照）においてバルブ開口部２を閉塞する。閉塞部材３の閉位置において弾性シール４がバルブボディ１に設けられているシール面３５に押し付けられる。シール４は閉塞部材３に配置され、シール面３５はバルブボディ１に配置されている。これと逆の配置も可能である。
【００２２】
本実施形態の真空バルブにおけるシール４は、バルブ開口部２の縦軸の方向に相互に離れ、連結部において連結されている２つの平行な平面にある部分を備えている。閉塞部材３およびバルブボディ１のシール面３５の構成は周知であって、たとえば米国特許公報ＵＳ４，８０９，９５０Ｂに開示されている。
【００２３】
閉塞部材３を図２に示されている開位置から図１に示されている閉位置に変位させるためにアクチュエータ５が用いられる。アクチュエータ５は、電動モータ、好ましくはＡＣサーボモータ、ＤＣサーボモータまたはステッピングモータにより構成されている。アクチュエータ５による閉塞部材３の変位は中間に接続されている伝動機構によって実現される。本実施形態では伝動機構はピニオン６およびトゥースラック７により構成されている。ラック７の延長部分は閉塞部材３に固定されている。バルブロッドを形成する、ラック７の延長部分はシールされ（シール８参照）真空バルブの真空領域に対して進退するように変位可能である。
【００２４】
アクチュエータ５は制御装置９により駆動され、アクチュエータ５の動作が制御装置９によって制御される。制御装置９は、制御用のパラメータなどのデータを入力するための、キーボード等の入力装置１５を備えている。制御装置９は、ディスプレイまたはスクリーン等の出力装置１６をさらに備えている。音響出力装置が設けられてもよい。
【００２５】
制御装置９により制御される、さらに多数のアクチュエータ５が設けられていてもよい。
【００２６】
本実施形態では、センサ１０により、たとえば、ラック７に配置されているコードが検知されることによって閉塞部材３の位置が検知される。閉塞部材３の検知位置は制御ループを構築するために制御装置９に供給される。本実施形態では前述のように閉塞部材３の変位の制御が実現されている。
【００２７】
制動機または保持装置３６がさらに用いられ、これにより、閉塞部材３が少なくとも閉位置、特に、開位置または閉軌道における任意の位置などの他の位置においても保持されうる。図１に示されている、制御装置９により作動させられる保持装置３６は、好ましくは自動的に閉じるように構成されている。すなわち、電流または圧縮空気などの運転資源の供給によって開かれ、運転資源の供給がない場合に閉じられる。たとえば、摩擦要素３７をラック７など、閉塞部材３に連結されている部材に押し付けるばね装置が用いられてもよい。
【００２８】
たとえば、電気機械式、電磁式の保持装置３６または気圧式の保持装置３６が設けられていてもよい。
【００２９】
真空バルブは、真空チャンバ１１および１２の中間に配置され、真空バルブによって真空チャンバ１１および１２が連通され、または、真空チャンバ１１および１２が気密に遮断されうる。たとえば、真空チャンバ１１において、ウェハー等の加工される少なくとも１つのワークピースの処理が実行される。他方の真空チャンバ１２はたとえば運搬用のチャンバであってもよい。
【００３０】
図１に示されている圧力センサ１３、１４が用いられ、これにより、各真空チャンバ１１、１２における圧力が計測されうる。圧力計測値は制御装置９に供給される。
【００３１】
閉塞部材３の閉位置において真空バルブのバルブ開口部２を気密に閉じるため、アクチュエータ５により閉塞力が出力される。この閉塞力により、閉位置においてバルブボディ１に設けられているバルブシートに対して閉塞部材３が押し付けられ、弾性シール８がシール面３５に押し付けられる。シール４をシール面に対して押し付けるためにシール４に作用する圧力は、本実施形態では基本的にアクチュエータ５により出力される閉塞力（真空チャンバ１１，１２の間の差圧を除く。）によってのみ生成される。シール４をシール面３５に対して押し付ける圧力は「密閉力」と記述される。
【００３２】
入力装置１５を用いてユーザによりさまざまな入力が行われる。当該入力のうち少なくとも１つは、制御装置９により調節され、シール４に作用する密閉力に影響する、制御装置９のパラメータを表わしている。密閉力に影響するユーザの入力は、次に示す入力のそれぞれまたは任意の組み合わせを含んでいる。
【００３３】
制御装置９により実現される複数の運転モードのうち１つが、入力装置１５に対するユーザの入力によって指定される。
【００３４】
当該複数の運転モードのうち１つは、閉塞部材３の閉位置において真空バルブにより閉じられる真空領域におけるサービスを実行するサービスモードである。特に、この真空領域は、中間に真空バルブが配置されている２つの真空チャンバ１１，１２のうち一方の内部において生成される。サービスモードにおいて、真空チャンバ１１，１２の他方が開放状態であるときに、一方の真空を維持しながら真空チャンバ１１，１２のリーク率が低い確実なシールを実現するため、弾性シール４に対して比較的高い圧力がかけられる。
【００３５】
制御装置９によりプロセスモードが実現される。当該モードにおいて、プロセスガスを用いて真空チャンバ１１，１２の一方（または異なるプロセスガスを用いて真空チャンバ１１，１２の両方）において真空プロセスが実行されうる。プロセスガスの剰余分が一方のチャンバから他方のチャンバに流入することが回避される。この目的のため、シール４に作用する圧力が低く調節される。
【００３６】
真空バルブの閉塞プロセスの大部分は、一般的には、半導体プロセスシステム等のシステムにより実行されるプロセスにしたがって実行される。プロセスモードにおける低い圧力によって、特に、侵食性のプロセスガスが用いられる場合、弾性シール４の耐久寿命の延長が図られる。
【００３７】
サービスモードにおいてシール４にかかる圧力は、シール長さ１［ｍｍ］あたり３［Ｎ］など、２［Ｎ］以上であってもよい。プロセスモードにおいてシール４にかかる圧力は、シール長さ１［ｍｍ］あたり０．３［Ｎ］など、０．１〜１［Ｎ］の範囲内であってもよい。
【００３８】
他の運転モードとして、真空バルブが運搬される運搬モードが実行されてもよい。閉塞部材を閉位置に固定するために固定システムが駆動されてもよい。
【００３９】
異なる構成に対して複数の入力オプションまたは選択オプションが設けられ、真空バルブの構成がユーザにより入力装置１５に対して入力されてもよい。構成は、使用中の弾性シール４の材料および形状のうち一方または両方に関する構成等であってもよい。ＦＫＭ（フルオロエラストマー。Ｖｉｔｏｎ（登録商標））、ＦＦＫＭ（パーフルオロエラストマー）またはシリコン製の弾性シールの中からの選定が可能であり、シールの各材料に応じて密閉力が調節される。たとえば、ＦＦＫＭまたはシリコンからなるシールについて、ＦＫＭからなるシール４よりも圧力が低く調節される。使用中のシールの形状に応じて圧力が調節されてもよい。
【００４０】
代替的にまたは付加的に使用中の閉塞部材３の構成の関数として圧力が調節されてもよい。ここで、閉塞部材３の形状と、閉塞部材３に対して配置（固定）されたまたは交換可能な弾性シール４の形状および材料のうち一方または両方とのうち一方または両方に関して相違する、異なる閉塞部材３が選択されてもよい。
【００４１】
さらに、弾性シール４が接触するプロセスガスの種類（すなわち化学組成）が制御装置９の入力装置１５に対してユーザにより入力され、閉塞部材３の閉状態において弾性シール４に作用する圧力がプロセスガスの関数として調節されてもよい。異なるプロセスガスに対して、たとえば、異なるリーク率が定められる。したがって、弾性シール４の耐久寿命の延長が図られる。閉状態において弾性シール４に作用する圧力はプロセスガスの圧力の関数として調節されてもよい。
【００４２】
また、制御装置９の入力装置１５を用いて、真空バルブの閉塞プロセスにおいて生じるパーティクルの数量に影響するパラメータが入力されてもよい。シール４に作用する圧力に応じてパーティクルの発生数量が変化するので、当該パラメータの関数としてシール４にかかる圧力が調節される。ここで、発生したパーティクルにより大きな影響を受けるプロセスに関して、閉状態における真空バルブの高いリーク率が考慮されてもよい。シール４がシール面３５に当接する閉塞速度は、パーティクルの発生許容数量の関数として調節されてもよい。
【００４３】
弾性シール４に作用する圧力の調整基礎となるパラメータのユーザの入力に代えて、そのようなパラメータが制御装置９により自動的に検知されてもよい。このため、たとえば、弾性シール４がその材料などの構成を示す情報を含むコードを有していてもよい。このコードはセンサにより検知され、入力信号として制御装置９に供給される。
【００４４】
図３において、閉軌道ｓに応じた閉塞部材３の速度ｖが曲線１７として示されている。閉軌道ｓの初期において速度ｖはある値まで増加し、閉軌道の大部分において一定に維持される。閉軌道の終期において速度ｖは、弾性シール４が適当な力でシール面に押し付けられる終点に至るまで低下し、閉塞部材３が停止される。
【００４５】
弾性シール４がシール面に当接する時点が図３に示されている。当該時点ｐまでの閉軌道は閉塞ストローク１８として表わされ、当該時点ｐから停止までの閉軌道は密閉ストローク１９として表わされている。全体の閉軌道は全体ストローク２０として表わされている。
【００４６】
本実施形態では、全体の閉軌道ｓは標準的には５９［ｍｍ］である。
【００４７】
閉塞部材３の当接位置ｐへの接近速度ｖは制御装置９により設定される。当接位置ｐにおける速度（当接速度）ｖは、弾性シール４の材料など、制御用の少なくとも１つの入力パラメータの関数として設定される。具体的には、ＦＫＭ（Ｖｉｔｏｎ）、ＦＦＫＭまたはシリコンからなる弾性シールが知られている。たとえば、ＦＦＫＭ材料からなるシールについては、ＦＫＭまたはシリコンからなるシールよりも低い当接速度が選択される。
【００４８】
図３において、閉軌道ｓに対する、アクチュエータにより消費される電流値Ｉが曲線２１により示されている。アクチュエータ５の初期加速後、電流Ｉは閉軌道の大部分を通じてほぼ一定の（好ましくは変動量が１０％以下の）値にまで低下する。閉塞部材３を当接位置ｐの到達直前に制動するため、供給電流値は、最初は増加し、その後は低下する。シール４が当接位置ｐにおいてシール面に当接することにより、電流値がピーク２２（比較的短時間で電流値が上昇した後で低下する）を示す。このピークに続き、電流値Ｉは、シール経路の終期において弾性シール４の圧力の増加とともに増加する。閉位置において、保持装置３６の動作後に電流供給は停止されうる。
【００４９】
また、密閉ストローク１９の２倍以上である閉軌道ｓの最終部分に対して、すべての閉軌道ｓの２０％以上、特に４０％以上が割り当てられる。
【００５０】
電流値のピーク２２から、当接位置ｐは制御装置９により計測される。
【００５１】
当接位置ｐの現在値が再び測定される場合、たとえば、当接位置ｐに基づいてシールの消耗度が決定されうる。シールが消耗し、かつ、押圧が繰り返された後に元の径に完全には戻らないため、当接位置ｐは閉軌道の開始位置、または、バルブボディ１に対して固定され、かつ、真空バルブの閉塞時にシールが通過する他の位置から徐々に離れていく。当接位置の現在値が指定制限値と比較されることにより、弾性シール４の消耗度が過大であることが判明した場合、弾性シール４の交換が必要であることを示すサービス信号が制御装置９により出力される。
【００５２】
閉塞部材３の閉位置における弾性シール４の圧力は、たとえば、当接位置ｐの測定値の関数として調節される。このため、所望の気密性（リーク率）を実現するために消耗度が高くなると圧力は強められる。
【００５３】
前述の力の制御に代えて、弾性シールに作用する圧力の制御、すなわち、位置の制御が実行されてもよい。この目的のため、たとえば、シール面３５に対する弾性シール４の当接位置ｐが前記のように測定され、閉塞部材３が当該閉塞位置ｐまでシール面３５に向かう方向に目標距離だけさらに動かされ、すなわち、目標とする密閉ストロークが実行されてもよい。
【００５４】
閉塞中、指定の閉位置に到達したとき、調節された圧力を維持するために保持装置（制動機）３６が作動される。この際、運転資源の供給、本実施形態では電流の供給が停止されうる。
【００５５】
運転資源が省略される場合、安全性の観点から、保持装置３６の自動閉鎖機構により、閉塞部材３の現在位置が測定される。
【００５６】
閉塞部材３の閉位置において弾性シール４に作用する圧力は、２つの真空チャンバ１１，１２の間の圧力差の関数として制御装置９により調節されうる。
【００５７】
気圧式の真空バルブの一実施形態が図４に示されている。圧縮空気が運転資源としてアクチュエータ５に供給される。閉塞部材３の効果的な制御を実現するため、アクチュエータ５のピストン２３の両側に同時に圧縮空気が供給される。２つのシリンダチャンバの圧力差が、対応する制御要素２４，２５を用いて制御装置９により制御される。
【００５８】
当接位置ｐは閉軌道ｓにおける圧力の経歴から測定されてもよい。
【００５９】
用いられるアクチュエータ５の種類によらず、当接位置ｐは、たとえばカメラによって光学的に測定されうる。
【００６０】
当該実施形態では真空バルブの制御は、図１〜図３における制御と類似の方法で実行されうる。電流値の代わりに運転資源の圧力または圧力差を用いて閉塞部材３の調節が実行される。
【００６１】
本発明は、さらに別の構成の真空バルブについても実現される。図５において、Ｌバルブが一例として示されている。ピストンシリンダユニットとして構成されているアクチュエータ２６により、圧縮空気通路２７，２８に圧縮空気が充填かつ供給されることにより、閉塞部材３が開位置と、シール面に対向する一方でシール面から離れている位置との間で動かされる。同様にピストンシリンダユニットにより構成されているアクチュエータ２９により、ピストン３２を動かすために圧縮空気通路３０，３１に圧縮空気が充填供給されることによって、閉塞部材３はシール面を有するバルブシートに押し付けられる。偏向的に配置され、ピストン３２に設けられているトゥースラック３４と相互作用するギヤホイール３３によって、シール４がバルブボディ１に設けられているシール面に押し付けられる。
【００６２】
圧縮空気通路３０を通じて供給される圧縮空気の圧力が調節されることにより、アクチュエータ２９により出力される閉塞力は制御装置９により制御される。ここで、弾性シール４にかかる圧力を目標値に調節するため、閉塞部材３の両側の差圧が考慮されてもよい。図１〜図３に関する実施形態に関して詳細を前述したように、少なくとも１つのパラメータの関数として、シール４に作用する圧力が調節されうる。
【００６３】
閉塞力が調節可能なアクチュエータに代えて、本発明の方法が適用可能な異なる種類の真空バルブについて、図１および図２に関する実施形態として説明したように、閉位置を調節するアクチュエータが用いられてもよい。ここで、閉位置が（閉位置の実際値が逐次測定されながら）調節されうる場合、シールの圧力は、閉塞部材３の両側の差圧とは基本的に無関係に、調節された閉位置から直接的に求められる。
【００６４】
たとえば、閉塞部材３の閉状態における弾性シール４の全体の押圧ストローク、すなわち、閉塞ストロークは、シールの直径の５〜１０％の範囲内であってもよい。弾性シールの直径が５．３［ｍｍ］である場合、全体の押圧ストロークは０．３［ｍｍ］の範囲内にある。全体の押圧ストロークはシールのサービスモードにおいて実行される。プロセスモードにおいて、押圧ストロークは好ましくは３０％未満であり、理想的には１０％未満である。
【００６５】
閉塞ストロークの当該比率は、好ましくは圧力の制御に用いられる。
【００６６】
すべての実施形態において、閉塞部材３を調節するために必要な力を監視することにより、外部物体の噛み込みが防止されうる。特に、当接位置ｐが測定される場合、閉塞中に噛み込みを防止するため、当接位置ｐに到達する前に、圧力が指定許容値を超えていないか否かが監視される。
【００６７】
閉塞部材３の位置および速度のうち一方または両方を測定するため、光学式センサまたは誘導式センサなどのさまざまな種類のセンサが用いられうる。
【００６８】
たとえば、アクチュエータ５により伝達される伝動機構（たとえば、自動制動式のスピンドルタイプのリフティングギヤ）もしくはアクチュエータの動き、または、伝動機構が死点を越えて動かされるような動きを自動的に制動する機構によって、閉塞部材３が閉位置に固定されうる。
【符号の説明】
【００６９】
１‥バルブボディ、２‥バルブ開口部、３‥閉塞部材、４‥弾性シール、５‥アクチュエータ、６‥ピニオン、７‥ラック、８‥シール、９‥制御装置、１０‥センサ、１１‥真空チャンバ、１２‥真空チャンバ、１３‥圧力センサ、１４‥圧力センサ、１５‥入力装置、１６‥出力装置、１７‥曲線、１８‥閉塞ストローク、１９‥密閉ストローク、２０‥全体ストローク、２１‥曲線、２２‥ピーク、２３‥ピストン、２４‥調整機構、２５‥調整機構、２６‥アクチュエータ、２７‥圧縮空気通路、２８‥圧縮空気通路、２９‥アクチュエータ、３０‥圧縮空気通路、３１‥圧縮空気通路、３２‥ピストン、３３‥ギヤ、３４‥ラック、３５‥シール面、３６‥保持装置、３７‥摩擦要素。
【図１】
2010534302.tif 000003
【図２】
2010534302.tif 000004
【図３】
2010534302.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
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