(57)【要約】  基準構造体１１０と、基準構造体に対する回転運動を行うために配置された出力部材１１３と、概して直線方向に沿って離れるように第１のモータ部材１１９及び第２のモータ部材１２２を動かす出力を選択的に加えるように配置され、第１の方向に、出力部材と基準構造体との間でトルクを引き起こすように構成且つ配置された、第１のリニア・モータ１１６と、概して直線方向に沿って離れるように第２のリニア・モータの第１の部材１３４及び第２のモータ部材１３７を動かす出力を選択的に加えるように配置され、第１の方向とは反対方向に、出力部材と基準構造体との間でトルクを引き起こすように構成且つ配置された、第２のリニア・モータ１３７と、を有するロータリー・アクチュエータ１００が提供される。
2015507158.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基準構造体と、
軸線を中心にした前記基準構造体に対する回転運動を行うために配置された出力部材と、
第１の部材及び第２の部材を有するリニア・モータであって、前記第１の部材及び前記第２の部材を概して直線方向に沿って離れるように動かす出力を選択的に加えるように構成及び配置された第１のリニア・モータと、
前記基準構造体に結合された前記第１のリニア・モータの前記第１の部材と、
前記出力部材に結合された前記第１のリニア・モータの前記第２の部材であって、前記第１のリニア・モータが前記出力を加えると、前記軸線を中心にして、前記出力部材と前記基準構造体との間で第１の方向にトルクを引き起こすように構成及び配置された前記第１のリニア・モータの前記第２の部材と、
第１の部材及び第２の部材を有する第２のリニア・モータであって、前記第２のリニア・モータの前記第１の部材及び前記第２のリニア・モータの前記第２の部材を概して直線方向に沿って離れるように動かす出力を選択的に加えるように構成及び配置された第２のリニア・モータと、
前記基準構造体に結合された前記第２のリニア・モータの前記第１の部材と、
前記出力部材に結合された前記第２のリニア・モータの前記第２の部材であって、前記第２のリニア・モータの出力が加えられると、前記軸線を中心にして、前記出力部材と前記基準構造体との間で前記第１の方向とは反対方向にトルクを引き起こすように構成及び配置された前記第２のリニア・モータの前記第２の部材と
を有するロータリー・アクチュエータ。
【請求項２】
前記第１のリニア・モータが単動油圧モータを有する、請求項１に記載のロータリー・アクチュエータ。
【請求項３】
前記第１のリニア・モータの前記第１の部材が角柱状チャンバを有し、また前記第１のリニア・モータの前記第２の部材がピストンを有する、請求項２に記載のロータリー・アクチュエータ。
【請求項４】
前記角柱状チャンバがシリンダである、請求項３に記載のロータリー・アクチュエータ。
【請求項５】
前記第１のリニア・モータが、前記ピストンと前記出力部材との間に配置されたピストン・リンクを有する、請求項３に記載のロータリー・アクチュエータ。
【請求項６】
前記第１のリニア・モータの前記第１の部材が前記基準構造体に堅く装着される、請求項３に記載のロータリー・アクチュエータ。
【請求項７】
前記ピストン・リンク及び前記ピストンが玉継手を通して連結される、請求項５に記載のロータリー・アクチュエータ。
【請求項８】
前記ピストン・リンク及び前記出力部材が、ピボット継手又はピン継手を通して連結される、請求項５に記載のロータリー・アクチュエータ。
【請求項９】
前記第１のリニア・モータ及び前記第２のリニア・モータがそれぞれ、概して平行な作用方向を有する、請求項１に記載のロータリー・アクチュエータ。
【請求項１０】
前記出力部材が、シャフトと、前記第１のモータの前記第２の部材に結合される第１のピボット軸受と、前記第２のモータの第２の部材に結合される第２のピボット軸受と有する、請求項１に記載のロータリー・アクチュエータ。
【請求項１１】
前記第１のピボット軸受及び前記第２のピボット軸受が、前記軸線に平行なディメンションにおいて所定のオフセットだけ分離されている、請求項１０に記載のロータリー・アクチュエータ。
【請求項１２】
前記第１のピボット軸受、前記第２のピボット軸受、及び前記軸線が同一直線上にある、請求項１０に記載のロータリー・アクチュエータ。
【請求項１３】
前記第１のリニア・モータの前記第１の部材がシリンダを有し、前記第１のリニア・モータの前記第２の部材がピストンを有し、前記ピストンが第１の表面及び第２の表面を有し、前記第１の表面が前記シリンダと共に第１のチャンバを形成し、前記第２の表面が前記シリンダと共に第２のチャンバを形成する、請求項１に記載のロータリー・アクチュエータ。
【請求項１４】
前記シリンダが概して円筒の円筒面を含み、前記円筒面が、前記ピストンの前記第１の表面と前記ピストン前記の第２の表面との間に穴を有する、請求項１３に記載のロータリー・アクチュエータ。
【請求項１５】
前記ピストンに結合され、且つ前記穴を横断するドライブ・リンクをさらに有する、請求項１４に記載のロータリー・アクチュエータ。
【請求項１６】
前記第２のリニア・モータが単動油圧モータを有する、請求項２に記載のロータリー・アクチュエータ。
【請求項１７】
前記第１のリニア・モータ及び前記第２のリニア・モータが、所定のリニア・モータ作動直線距離のために等しい押しのけ油圧容積を有する、請求項１６に記載のロータリー・アクチュエータ。
【請求項１８】
前記第１のリニア・モータ及び前記第２のリニア・モータが油圧で平衡を保たれる、請求項１６に記載のロータリー・アクチュエータ。
【請求項１９】
前記出力部材が航空機操縦翼面に結合される、請求項１に記載のロータリー・アクチュエータ。
【請求項２０】
前記出力部材と前記基準構造体との間の角度を測定するように構成及び配置されたポジション・センサをさらに有する、請求項１に記載のロータリー・アクチュエータ。
【請求項２１】
サーボ制御装置をさらに有する、請求項２０に記載のロータリー・アクチュエータ。
【請求項２２】
軸線を中心にしてシャフトを回転させるアクチュエータであって、
筐体と、
前記筐体内に配置され、且つ内部に第１のピストン及び第１の連結リンクを有する第１の単動シリンダと、
前記シャフト上に配置されたクランクと、
前記筐体内に配置され、且つ内部に第２のピストン及び第２の連結リンクを有する第２の単動シリンダと
を有するアクチュエータであって、
前記第１及び第２の連結リンクが前記クランク上の異なる場所に取り付けられ、また
前記アクチュエータは、前記第１の単動シリンダの作動によって前記クランクが第１の方向に回転するように、また前記第２の単動シリンダの作動によって前記クランクが前記第１の方向とは反対の第２の方向に回転するように構成且つ配置される、アクチュエータ。
【請求項２３】
前記第１及び第２のシリンダが実質的に平行に方向付けられる、請求項２２に記載のアクチュエータ。
【請求項２４】
前記第１及び第２のシリンダはどちらも、それぞれが、バックラッシュを除去するために同じ一般的な方向に力を与える予荷重を有するように構成及び配置される、請求項２２に記載のアクチュエータ。
【請求項２５】
前記シャフトが、前記筐体内に配置された一組の軸受上で回転する、請求項２２に記載のアクチュエータ。
【請求項２６】
前記シャフトが航空機操縦翼面に連結される、請求項２２に記載のアクチュエータ。
【請求項２７】
前記アクチュエータは、第１の圧力チャンバ及び第２の圧力チャンバのうちの１つに追加の圧力を加えることによって前記クランクを第１の位置から第２の位置まで移動させるように構成及び配置される、請求項２２に記載のアクチュエータ。
【請求項２８】
前記アクチュエータは、前記第１及び第２の圧力チャンバ内に実質的に等しい圧力を与えることによって前記クランクの位置を維持することができるように構成及び配置される、請求項２７に記載のアクチュエータ。
【請求項２９】
前記アクチュエータは、油圧油が前記第１の圧力チャンバ若しくは前記第２の圧力チャンバ内に、又はそれらから流れないようにすることによって、前記クランクの位置を維持するように構成及び配置される、請求項２７に記載のアクチュエータ。
【請求項３０】
前記第１及び第２の単動シリンダが円形ではない断面を有する、請求項２２に記載のアクチュエータ。
【請求項３１】
前記第１の連結リンクが玉継手を通して前記第１のピストンに連結される、請求項２２に記載のアクチュエータ。
【請求項３２】
前記第１の連結リンク及び前記出力部材が、ピボット継手又はピン継手を通して連結される、請求項２２に記載のアクチュエータ。
【請求項３３】
前記第１及び第２の単動シリンダが、前記軸線に対して平行なディメンションにおいて所定のオフセットだけ分離される、請求項２２に記載のアクチュエータ。
【請求項３４】
前記第１及び第２の単動シリンダが共通のボアを共用する、請求項２２に記載のアクチュエータ。
【請求項３５】
前記アクチュエータは、前記シャフトを移動させるために、前記第２の単動シリンダによって引き込まれる油圧油の量に実質的に等しい量の油圧油を前記第１の単動シリンダが放出するように構成及び配置される、請求項２２に記載のアクチュエータ。
【請求項３６】
前記シャフトと前記筐体との間の角度を測定するように構成及び配置されたポジション・センサをさらに有する、請求項２２に記載のアクチュエータ。
【請求項３７】
サーボ制御装置をさらに有する、請求項３６に記載のアクチュエータ。
【請求項３８】
基準構造体と、
軸線を中心にした前記基準構造体に対する回転運動を行うために配置された出力部材と、
第１の部材及び第２の部材を有する第１のリニア・モータであって、前記第１の部材及び前記第２の部材を概して直線方向に沿って離れるように動かす出力を選択的に加えるように構成及び配置された第１のリニア・モータと、
前記基準構造体に結合された前記第１のリニア・モータの前記第１の部材と、
前記出力部材に結合された前記第１のリニア・モータの前記第２の部材であって、前記第１のリニア・モータが前記出力を加えると、前記軸線を中心にして、前記出力部材と前記基準構造体との間で第１の方向にトルクを引き起こすように構成及び配置された第１のリニア・モータの前記第２の部材と、
第１の部材及び第２の部材を有する第２のリニア・モータであって、前記第２のリニア・モータの第１の部材及び前記第２のリニア・モータの第２の部材を概して直線方向に沿って離れるように動かす出力を選択的に加えるように構成及び配置された第２のリニア・モータと、
前記基準構造体に結合された前記第２のリニア・モータの前記第１の部材と、
前記出力部材に結合された前記第２のリニア・モータの前記第２の部材であって、前記第２のリニア・モータの出力が加えられると、前記軸線を中心にして、前記出力部材と前記基準構造体との間で前記第１の方向とは反対方向にトルクを引き起こすように構成及び配置された前記第２のリニア・モータの前記第２の部材と
を有するアクチュエータを動作させる方法であって、
前記第１のリニア・モータに第１の非ゼロの力を加えさせ、また前記第２のリニア・モータに第２の非ゼロの力を加えさせるステップと、
それによってバックラッシュが低減されるステップと
を含む方法。
【請求項３９】
要求された出力部材特性を受け取るステップと、
前記出力部材が、前記要求された出力部材特性にマッチしない実際の特性を有する時、前記第１の非ゼロの力を前記第２の非ゼロの力に対して調整するステップと
をさらに含む、請求項３８に記載の方法。
【請求項４０】
前記出力部材特性が前記基準構造体に対する角度である、請求項３９に記載の方法。
【請求項４１】
前記出力部材が前記要求された出力部材の角度位置よりも小さい角度を有する時、前記第２の非ゼロの力を前記第１の非ゼロの力に対して大きくし、それによって前記出力部材と前記基準構造体との間にトルクが加えられるステップをさらに含む、請求項４０に記載の方法。
【請求項４２】
長手方向軸線を備えた概して円柱形状の内面、第１の端部、及び第２の端部を有するシリンダと、
前記第１の端部と前記第２の端部との間に配置された穴を有する前記内面と、
前記シリンダ内の滑り運動を行うように構成及び配置されたピストンであって、第１の表面及び第２の表面を有し、前記第１の表面及び前記第２の表面が前記長手方向軸線に沿って概して反対方向を向いたピストンと、
前記シリンダと共に第１のチャンバを形成する前記第１の表面、及び前記シリンダと共に第２のチャンバを形成する前記第２の表面と、
前記第１のチャンバと流体連通する第１の油圧ポートと、
前記第２のチャンバと流体連通する第２の油圧ポートと、
第１の端部及び第２の端部を有し、且つ前記穴を通るように配置されたドライブ・リンクであって、前記ドライブ・リンクの第１の端部が、前記第１の表面と前記第２の表面との間で前記ピストン上の位置に結合されるドライブ・リンクと
を有する油圧アクチュエータであって、
前記アクチュエータは、前記ピストンが前記シリンダに対して移動する時、前記シリンダに対する前記ドライブ・リンクの運動を引き起こすように構成及び配置される、油圧アクチュエータ。
【請求項４３】
前記ドライブ・リンクが前記第１のチャンバ又は前記第２のチャンバを通らない、請求項４２に記載の油圧アクチュエータ。
【請求項４４】
基準構造体と、前記ドライブ・リンクと前記基準構造体との間のピボット継手であって、軸線を中心にして、前記ドライブ・リンクと前記基準構造体との間の回転運動を可能にするように構成及び配置されたピボット継手とをさらに有し、前記シリンダが前記基準構造体に装着される、請求項４２に記載の油圧アクチュエータ。
【請求項４５】
前記シリンダに対する回転運動を行うように構成及び配置されたドライブ・シャフトをさらに有し、前記ドライブ・シャフトが前記ドライブ・リンクに結合される、請求項４２に記載の油圧アクチュエータ。
【請求項４６】
前記シリンダが非円形の断面を有する、請求項４２に記載の油圧アクチュエータ。
【請求項４７】
前記ドライブ・リンクがピボット継手又はピン継手を通して前記ピストンに結合される、請求項４２に記載の油圧アクチュエータ。
【請求項４８】
前記ドライブ・リンクが自在継手を通して前記ピストンに結合される、請求項４２に記載の油圧アクチュエータ。
【請求項４９】
前記ドライブ・リンクが玉継手を通して前記ピストンに結合される、請求項４２に記載の油圧アクチュエータ。
【請求項５０】
前記第１のチャンバ及び前記第２のチャンバが油圧で平衡を保たれる、請求項４２に記載の油圧アクチュエータ。
【請求項５１】
前記アクチュエータは、前記シリンダに対する前記ピストンの運動を行うために、第２のチャンバによって引き込まれる油圧油の量に実質的に等しい量の油圧油を前記第１のチャンバが放出するように構成及び配置される、請求項４２に記載の油圧アクチュエータ。
【請求項５２】
前記ドライブ・リンクと前記シリンダとの間の角度を測定するように構成及び配置されたポジション・センサをさらに有する、請求項４２に記載の油圧アクチュエータ。
【請求項５３】
サーボ制御装置をさらに有する、請求項５２に記載の油圧アクチュエータ。
【請求項５４】
第１の油圧ポート、第２の油圧ポート及び入力ドライブ・シャフトを有する斜軸式油圧ポンプと、
前記斜軸式ポンプの入力ドライブ・シャフトに機械的に結合されたギア・シャフトであって、前記斜軸式ポンプを前記ギア・シャフトより遅い速度で回転させるメカニカル・アドバンテージを与えるためのギア・シャフトを有するギア組立体と
を有するアクチュエータ電力系統であって、
前記ギア・シャフトが回転されると、前記第１の油圧ポートと前記第２の油圧ポートとの間に流体の流れを引き起こすように構成及び配置されたアクチュエータ電力系統。
【請求項５５】
前記ギア・シャフトに結合される電気モータをさらに有する、請求項５４に記載のアクチュエータ電力系統。
【請求項５６】
前記斜軸式油圧ポンプから電力が供給されるように構成及び配置された、油圧で平衡が保たれるロータリー・アクチュエータをさらに有する、請求項５５に記載のアクチュエータ電力系統。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本出願は、参照により本明細書に組み込まれる、２０１２年２月９日に出願した米国仮特許出願第６１／５９７，１４１号の優先権を主張するものである。
【０００２】
本発明は概して、ロータリー・アクチュエータの分野に関し、より具体的には、高性能小型ロータリー・アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００３】
概して、いくつかのタイプのロータリー・アクチュエータが知られている。例えば、ベーンベースのロータリー油圧アクチュエータが、純電気モータベースのロータリー・アクチュエータと同様に生産されている。
【発明の概要】
【０００４】
限定ではなく、単に例示を目的とする開示された実施例の部品、部分、又は表面に対応する括弧付き符号を参照すると、基準構造体（１１０）と、軸線を中心にした基準構造体に対する回転運動を行うために配置された出力部材（１１３）と、第１の部材（１１９）及び第２の部材（１２２）を有する第１のリニア・モータ（１１６）であって、概して直線方向に沿って離れるように第１の部材及び第２の部材を動かす出力を選択的に加えるように構成且つ配置され、第１のリニア・モータの第１の部材は基準構造体に結合され、第１のリニア・モータの第２の部材は、出力部材に結合されて、第１のリニア・モータが出力を加えると、第１の方向に、軸線を中心にして、出力部材と基準構造体との間でトルクを引き起こすように構成且つ配置された、第１のリニア・モータ（１１６）と、第１の部材（１３４）及び第２の部材（１３７）を有する第２のリニア・モータ（１３１）であって、概して直線方向に沿って離れている第２のリニア・モータの第１の部材及び第２のリニア・モータの第２の部材を動かす出力を選択的に加えるように構成且つ配置され、第２のリニア・モータの第１の部材は基準構造体に結合され、第２のリニア・モータの第２の部材は、出力部材に結合されて、第２のリニア・モータの出力が加えられると、軸線を中心にして第１の方向とは反対方向に、出力部材と基準構造体との間でトルクを引き起こすように構成且つ配置された、第２のリニア・モータ（１３１）と、を有するロータリー・アクチュエータ（１００）が提供される。
【０００５】
第１のリニア・モータ（２１６）は、単動油圧モータを備えることができる。第１のリニア・モータの第１の部材は、角柱状チャンバを有することができ、及び／又は、第１のリニア・モータの第２の部材は、ピストン（２２２）を有することができる。角柱状チャンバはシリンダ（２１９）であってよい。第１のリニア・モータは、ピストンと出力部材との間に配置されたピストン・リンク（２４８）を有することができる。第１のリニア・モータの第１の部材を、基準構造体に堅く（リジッドに）装着させることができる。ピストン・リンク及び／又はピストンは、玉継手を通して連結されてよい。ピストン・リンク及び出力部材は、ピボット継手（２２８）又はピン継手を通して連結されてよい。第１のリニア・モータ及び第２のリニア・モータはそれぞれ、概して平行とすることができる作用方向を有することができる。出力部材は、シャフトを有することができる。出力部材は、第１のモータの第２の部材に結合される第１のピボット軸受（２２８）、及び／又は、第２のモータの第２の部材に結合される第２のピボット軸受（２４０）を有することができる。第１のピボット軸受及び第２のピボット軸受は、軸線に平行なディメンション（次元；ｄｉｍｅｎｔｉｏｎ）において所定のオフセットだけ分離されてよい。
【０００６】
第１のピボット軸受、第２のピボット軸受、及び、軸線は、同一直線上にあってよい。第１のリニア・モータの第１の部材はシリンダを有することができ、第１のリニア・モータの第２の部材はピストンを有することができ、ピストンは第１の表面及び第２の表面を有する。第１の表面は、シリンダと共に第１のチャンバ（２４５）を形成することができ、第２の表面は、シリンダと共に第２のチャンバ（２５５）を形成することができる。シリンダは、概して円筒面を有することができる。円筒面は、ピストンの第１の表面とピストンの第２の表面との間に穴を有することができる。ロータリー・アクチュエータはさらに、ピストンに結合されたドライブ・リンクを有することができる。ドライブ・リンクは穴を横断してよい。
【０００７】
第２のリニア・モータ（２３１）は、単動油圧モータを有することができる。所定のリニア・モータの作動直線距離で変位する、第１のリニア・モータ及び第２のリニア・モータは、同等の油圧油量を有することができる。第１のリニア・モータ及び第２のリニア・モータは、油圧で平衡を保つことができる。出力部材は、航空機操縦翼面に結合されてよい。ロータリー・アクチュエータはさらに、出力部材と基準構造体との間の角度を測定するように構成且つ配置されたポジション・センサを有することができる。ロータリー・アクチュエータはさらに、サーボ制御装置を有することができる。
【０００８】
別の態様では、軸線（３１９）を中心にしてシャフト（３１３）を回転させるアクチュエータ（３００）が提供される。当該アクチュエータ（３００）は、筐体（３０３）と、筐体に配され、中に第１のピストン（３２８）及び第１の連結リンク（３４９）を有する第１の単動シリンダ（３２２）と、軸線に取り付けられたクランク（３３４）と、筐体に配され、中に第２のピストン（３３１）及び第２の連結リンク（３４９）を有する第２の単動シリンダ（３２５）と、を有する。ここで、第１及び第２の連結リンクは、クランク上の異なる場所に取り付けられてよく、アクチュエータは、第１の単動シリンダの作動によって、クランクが第１の方向に回転するように、且つ、第２の単動シリンダの作動によって、クランクが第１の方向とは反対の第２の方向に回転するように、構成且つ配置される。
【０００９】
第１及び第２のシリンダは、実質的に平行に向けられてよい。第１及び第２のシリンダは両方とも、それぞれが、バックラッシュを除去するために同じ一般的な方向に力を与える予荷重を有するように構成且つ配置されてよい。シャフトは、筐体内に配された軸受のセット上を回転することができる。シャフトは、航空機操縦翼面に連結可能である。アクチュエータは、第１の圧力チャンバ及び第２の圧力チャンバのうちの１つに追加の圧力を加えることによって、クランクを第１の位置から第２の位置まで移動させるように構成且つ配置されてよい。アクチュエータは、第１及び第２の圧力チャンバ内に実質的に等しい圧力を与えることによって、クランクの位置を維持することができるように、構成且つ配置されてよい。
【００１０】
アクチュエータは、油圧油が、第１の圧力チャンバ若しくは第２の圧力チャンバ内に又はそれらから流れないようにすることによってクランクの位置を維持するように、構成且つ配置可能である。第１及び第２の単動シリンダは、円形ではない場合がある断面を有することができる。第１の連結リンクは、玉継手（３５２）を通して第１のピストンに連結されてよい。第１の連結リンク及び出力部材は、ピボット継手又はピン継手を通して連結可能である。第１及び第２の単動シリンダは、軸線に対して平行なディメンションにおいて所定のオフセットだけ分離されてよい。第１及び第２の単動シリンダは、共通のボアを共用することができる。第１の単動シリンダが、シャフトを移動させるために、第２の単動シリンダによって引き込まれる油圧油の量に実質的に等しい量の油圧油を放出するように、アクチュエータを構成且つ配置することができる。アクチュエータはさらに、シャフトと筐体との間の角度を測定するように配置且つ構成されたポジション・センサを有することができる。アクチュエータはさらに、サーボ制御装置を有することができる。
【００１１】
別の態様では、基準構造体（１１０）と、軸線を中心にした基準構造体に対する回転運動を行うために配置された出力部材（１１３）と、第１の部材（１１９）及び第２の部材（１２２）を有する第１のリニア・モータ（１１６）であって、概して直線方向に沿って離れるように第１の部材及び第２の部材を動かす出力を選択的に加えるように構成且つ配置され、第１のリニア・モータの第１の部材は基準構造体に結合され、第１のリニア・モータの第２の部材は、出力部材に結合されて、第１のリニア・モータが出力を加えると、第１の方向に、軸線を中心にして、出力部材と基準構造体との間でトルクを引き起こすように構成且つ配置された、第１のリニア・モータ（１１６）と、第１の部材（１３４）及び第２の部材（１３７）を有する第２のリニア・モータ（１３１）であって、概して直線方向に沿って離れるように第２のリニア・モータの第１の部材及び第２のリニア・モータの第２の部材を動かす出力を選択的に加えるように構成且つ配置され、第２のリニア・モータの第１の部材は基準構造体に結合され、第２のリニア・モータの第２の部材は、出力部材に結合されて、第２のリニア・モータの出力が加えられると、軸線を中心にして第１の方向とは反対方向に、出力部材と基準構造体との間でトルクを引き起こすように構成且つ配置された、第２のリニア・モータ（１３１）と、を有するアクチュエータを動作させる方法であって、第１のリニア・モータに第１の非ゼロの力を加えさせ、第２のリニア・モータに第２の非ゼロの力を加えさせ、それによって、バックラッシュを低減することができるステップを有する方法が提供される。
【００１２】
方法は、要求された出力部材特性を受け取るステップと、出力部材が、要求された出力部材特性にマッチしない実際の特性を有する時、第１の非ゼロの力を第２の非ゼロの力に対して調整するステップとをさらに有することができる。出力部材特性は、基準構造体に対する角度であってよい。方法は、出力部材が、要求された出力部材の角度位置よりも小さい角度を有する時、第２の非ゼロの力を第１の非ゼロの力に対して大きくし、それによって、出力部材と基準構造体との間にトルクを加えることができるステップをさらに有することができる。
【００１３】
別の態様では、長手方向軸線を中心とした概して円柱形状の内面、第１の端部、及び第２の端部を有するシリンダ（４１９）であって、当該内面は、第１の端部と第２の端部との間に配置された穴（４７０）を有する、シリンダ（４１９）と、シリンダ内の滑り運動を行うように構成且つ配置されたピストン（４２２）であって、第１の表面及び第２の表面を有し、第１の表面及び第２の表面は、長手方向軸線に沿って概して相対する方向に対向し、第１の表面はシリンダと共に第１のチャンバ（４９４）を形成し、第２の表面はシリンダと共に第２のチャンバ（４９５）を形成する、ピストン（４２２）と、第１のチャンバと流体連通する第１の油圧ポート（４９２）と、第２のチャンバと流体連通する第２の油圧ポート（４９３）と、第１の端部及び第２の端部を有し、穴を通るように配置されたドライブ・リンク（４４８）であって、ドライブ・リンクの第１の端部は、第１の表面と第２の表面との間でピストン上の位置に結合される、ドライブ・リンク（４４８）と、を有する油圧アクチュエータ（４００）であって、当該アクチュエータは、ピストンがシリンダに対して移動する時、シリンダに対するドライブ・リンクの運動を引き起こすように構成且つ配置されてよい、油圧アクチュエータ（４００）が提供される。
【００１４】
ドライブ・リンクは、第１のチャンバ又は第２のチャンバを通らない。油圧アクチュエータは、基準構造体と、軸線を中心にして、ドライブ・リンクと基準構造体との間の回転運動を可能にするように構成且つ配置された、ドライブ・リンクと基準構造体との間のピボット継手とをさらに有することができる。シリンダを基準構造体に装着することができる。油圧アクチュエータは、シリンダに対する回転運動を行うように構成且つ配置されたドライブ・シャフト（４１３）をさらに有することができる。ドライブ・シャフトをドライブ・リンクに結合することができる。シリンダは、非円形の断面を有することができる。ドライブ・リンクは、ピボット継手又はピン継手を通してピストンに結合されてよい。ドライブ・リンクは、自在継手を通してピストンに結合されてよい。ドライブ・リンクは、玉継手を通してピストンに結合されてよい。第１のチャンバ及び第２のチャンバは、油圧で平衡を保つことができる。
【００１５】
第１のチャンバが、シリンダに対するピストンの運動を行うために、第２のチャンバによって引き込まれる油圧油の量に実質的に等しい量の油圧油を放出するように、アクチュエータを構成且つ配置することができる。油圧アクチュエータは、ドライブ・リンクとシリンダとの間の角度を測定するように構成且つ配置されたポジション・センサをさらに有することができる。油圧アクチュエータは、サーボ制御装置をさらに有することができる。
【００１６】
別の態様では、第１の油圧ポート（７３３）、第２の油圧ポート（７３５）及び入力ドライブ・シャフトを有する斜軸式油圧ポンプ（７４０）と、斜軸式ポンプの入力ドライブ・シャフトに機械的に結合されたギア・シャフトであって、斜軸式ポンプをギア・シャフトより遅い速度で回転させるメカニカル・アドバンテージを与えるためのギア・シャフトを有するギア組立体（７５０）と、を有するアクチュエータ電力系統が提供され、この場合、アクチュエータ電力系統は、ギア・シャフトが回転可能である時、第１の油圧ポートと第２の油圧ポートとの間に流体の流れを引き起こすように構成且つ配置可能である。アクチュエータ電力系統は、ギア・シャフトに結合される電気モータ（７６０）をさらに有することができる。アクチュエータ電力系統は、斜軸式油圧ポンプから電力が供給されるように構成且つ配置される、油圧で平衡が保たれたロータリー・アクチュエータをさらに有することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】ロータリー・アクチュエータの第１の実施例の側面図である。
【図２】ロータリー・アクチュエータの第２の実施例の側面図である。
【図３】ロータリー・アクチュエータの第３の実施例の透視図である。
【図４】図３に示されたロータリー・アクチュエータの正面図である。
【図５】図３に示されたロータリー・アクチュエータの側面図である。
【図６】ケースが除去された、図３に示された実施例の透視図である。
【図７】図６に示された実施例の正面図である。
【図８】図６に示された実施例の側面図である。
【図９】図６に示されたロータリー・アクチュエータのピストン及び連接棒の組立体の立面図である。
【図１０Ａ】図９の線１０Ａ−１０Ａによる断面図である。
【図１０Ｂ】図１０Ａに示された組立体の一部の分解透視図である。
【図１１】図１２の線１１−１１によるロータリー・アクチュエータの第４の実施例の側面断面図である。
【図１２】ロータリー・アクチュエータの第４の実施例の正面図である。
【図１３】図１２に示されたロータリー・アクチュエータのピストン組立体の透視図である。
【図１４】図１３に示されたピストン組立体の側面断面図である。
【図１５】図１４に示された破線の円で囲んだ部位の拡大図である。
【図１６】ロータリー・アクチュエータの第５の実施例の正面図である。
【図１７】図１６に示されたロータリー・アクチュエータの側面断面図である。
【図１８】代替のピストン組立体の等角図である。
【図１９】図１８に示された代替のピストン組立体の上面図である。
【図２０】図１８に示された代替のピストン組立体の側面図である。
【図２１】図１８に示された代替のピストン組立体の側面断面図である。
【図２２】ケースが除去されたロータリー・アクチュエータの別の実施例の側面図である。
【図２３】ロータリー・アクチュエータ・システムの系統図である。
【図２４】図２３に示された第１のバージョンのポンプの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
最初に、同様の参照符号は、いくつかの図面を通じて一貫して同じ構造要素、部分、又は表面を特定することを意図され、要素、部分、又は表面を、明細書全体によってさらに記載又は説明することができ、そのうちのこの詳細な説明は不可欠な部分である。別段指定のない限り、図面は、明細書と共に読まれることを意図され（例えば、クロス・ハッチング、部品の配置、比率、度合いなど）、本発明の記載された説明全体のうちの一部と考えられるべきである。以下の説明において用いられる場合の、「水平」、「垂直」、「左」、「右」、「上」、及び「下」という用語、並びに、それらの形容詞形及び副詞形の派生語（例えば、「水平方向に」、「右方向に」、「上方に」、など）は、単に、特定の図面が読者に面する場合の例示された構造の向きのことを指す。同様に、「内方に」及び「外方に」という用語は、概して、必要に応じて、その伸長軸線又は回転軸線に対する表面の向きのことを指す。
【００１９】
開示された実施例は、リニア・モータによって駆動する高性能ロータリー・アクチュエータ及びロータリー・アクチュエータ・システムを提供する。ここで図面を、より詳細には図１を参照すると、ロータリー・アクチュエータの第１の実施例の側面図が開示されている。ロータリー・アクチュエータ１００は、基準構造体１１０、第１のリニア・モータ１１６、第２のリニア・モータ１３１、及び出力部材１１３を含む。図１に示されるように、基準構造体１１０は概して、ラーメン又は筐体である。出力部材１１３はまた、概して剛構造である。出力部材１１３は、ピボット継手１１４を通して基準構造体１１０に結合される。ピボット継手１１４は、軸線１１５（図１に示される軸線１１５は、ページに垂直の方向を有する）を中心として、基準構造体１１０と出力要素１１３との間の回転運動を可能にする。ピボット継手１１４はまた、基準構造体１１０と出力部材１１３との間の角度及び／又はトルクを測定するセンサを含む。
【００２０】
リニア・モータ１１６は、第１の部材１１９及び第２の部材１２２を含む２つの主要部分を有する。第１の部材１１９及び第２の部材１２２は、互いに対して直線運動を行うように結合される。リニア・モータ１１６を作動させると、方向１６０に沿って離れるように第１の部材１１９及び第２の部材１２２を動かす力が加えられる。
【００２１】
リニア・モータ１３１はリニア・モータ１１６と同様である。リニア・モータ１３１は、第１の部材１３４及び第２の部材１３７の２つの主要部分を有する。第１の部材１３４及び第２の部材１３７は、互いに対して直線運動を行うように結合される。リニア・モータ１３１を稼動させると、方向１６３に沿って離れるように第１の部材１３４及び第２の部材１３７を動かす力が加えられる。
【００２２】
リニア・モータ１１６の第１の部材１１９は、カップリング１２５において基準構造体１１０に結合される。第２の部材１２２は、カップリング１２８において出力部材１１３に結合される。カップリング１２５及び１２８は、ピボット継手、自在継手、又は玉継手を含むことができる。カップリング１２５及び１２８は、第１の部材１１９及び第２の部材１２２の一部が互いに対して回転可能である場合、剛性取り付け部であってよい。リニア・モータ１１６を作動させて、線１６０に沿って第１の部材１１９に対して右方向に駆動されるように第２の部材１２２を動かす。この作動によって、カップリング１２５及びカップリング１２８は効果的に離される。別の方法で述べると、リニア・モータ１１９は、箇所１２５における基準構造体１１０と箇所１２８における出力部材１１３との間に、その２つが離される方向に加えられる力を引き起こす。カップリング１２８は、カップリング１２５とピボット継手１１４との間に形成された線１６５より上にあるため、リニア・モータ１１６によって加えられた力は、基準構造体１１０と出力部材１１３との間にトルク１６９を引き起こす。
【００２３】
リニア・モータ１３１は、基準構造体１１０と出力要素１１３との間に同様に連結されるが、リニア・モータ１３１は、基準構造体１１０と出力要素１１３との間に加えられる、トルク１６９とは反対方向のトルク１６６を選択的に引き起こすように配置される。より具体的には、リニア・モータ１３１の第１の部材１３４は、カップリング１４３において基準構造体１１０に結合される。第２の部材１３７は、カップリング１４０において出力部材１１３に結合される。カップリング１４３及び１４０は、ピボット継手、自在継手、玉継手を含むことができ、又は、第１の部材１３４及び第２の部材１３７の一部が互いに対して回転可能である場合、剛性取り付け部であってもよい。リニア・モータ１３１を作動させて、第１の部材１３４に対して右方向に駆動されるように第２の部材１３７を動かす。この作動によって、カップリング１４３及びカップリング１４０は効果的に離される。別の方法で述べると、リニア・モータ１３１は、箇所１４３における基準構造体１１０と箇所１４０における出力部材１１３との間に、その２つが離される方向に加えられる力を引き起こす。ピボット継手１４０は、カップリング１４３とピボット継手１１４との間に形成された線１６７より下にあるため、リニア・モータ１３１によって加えられた力は、基準構造体１１０と出力部材１１３との間にトルク１６６を引き起こす。
【００２４】
ピボット継手１４０は、線１６５より上にあるピボット継手１２８と比較すると、線１６７より下にあるため、それぞれ各リニア・モータによって加えられたトルク１６６、１６９は、相対する方向にある。リニア・モータ１１６及び１３１は、基準構造体１１０と出力要素１１３との間に一方向に力をもたらすことができることを必要とするだけである。リニア・モータ１１６及び１３１が両方向、すなわち、「押す」及び「引く」力をもたらすことができることは必要とされない。リニア・モータ１１６及び１３１が、基準構造体１１０と出力要素１１３との間に加えられる、相対する方向のトルクを引き起こすように配置されることだけが必要である。単動リニア・モータだけがロータリー・アクチュエータ１１０にとって必要であるが、本発明の趣旨から逸脱することなく、複動リニア・モータをロータリー・アクチュエータ１１０において使用することができる。また、リニア・モータ１１６及び１３１が依然、相対するトルクをもたらすことができることになるため、当該両モータを、双方が「押す」力の代わりに「引く」力だけをもたらす単動リニア・モータと置き換えることができる。
【００２５】
リニア・モータ１１６及び１３１は、電気モータ、単動油圧アクチュエータ、空気圧式アクチュエータ、直線駆動ねじ、又は、何か他の同様のモータ・タイプであってよい。ロータリー・アクチュエータ１１０はまた、サーボ制御装置を含むことができる。
【００２６】
ロータリー・アクチュエータ１００を、複数の異なる動作モードで動作させることができる。動作の第１の方法は、低バックラッシュ・モードである。低バックラッシュ・モードでは、ロータリー・アクチュエータ１００が使用されている間、各リニア・モータ１１６、１３１によって最小閾値力が常に加えられる。このモード下では、システムの機械的リンク機構が常に加圧されるため、継手１１４、１２５、１２８、１４０及び１４３におけるいずれの公差又は「遊び」も、それらの「遊び」の領域において「片寄る」ことになり、効果的には、バックラッシュを引き起こさないようになる。例えば、ロータリー・アクチュエータ１００が最初に、出力部材１１３に対して時計回りのトルクを加えて、その後反時計回りのトルクを加えるように要求された場合、ロータリー・アクチュエータ１００における機械的リンク機構は常に加圧されるため、かなりのバックラッシュが生じないことになる。より具体的には、時計回りのトルク１６９を出力部材１１３に加えるために、リニア・モータ１１６は、２０Ｎの力を加えるように要求される場合がある一方、リニア・モータ１３１は、１０Ｎの最小閾値力を加えるように要求される。よって、１０Ｎの力は、モータ間で相殺されており、この１０Ｎの反作用力は、モータ間の機械的リンク機構を通る。従って、ロータリー・アクチュエータ１００の各要素は、反作用力によって引き起こされる加圧下にあるため、ロータリー・アクチュエータ１００の継手はどれも自由に「揺れる」ことはない。次に、ロータリー・アクチュエータ１００が反時計回りのトルク１６６を加えるように要求された場合、リニア・モータ１１６は、１０Ｎの最小閾値力を加えるように要求される一方、リニア・モータ１３１は、２０Ｎの力を加えるように要求される。これによって、出力部材１１３に対して正味トルクが引き起こされて、時計回りから反時計回りへと移行するが、ロータリー・アクチュエータ１００の継手の全ては、加圧されたままである。単複動のモータを有する典型的な従来技術のロータリー・アクチュエータは、時計回りのトルクと反時計回りのトルクとを切り換えて加える場合、加圧されたその機械的リンク機構の全ての継手を維持することができないため、個々の機械的リンク機構の継手が加圧及び伸長された状態から切り換えられる時、バックラッシュにより損なわれる。
【００２７】
ロータリー・アクチュエータ１００を、低摩擦モードでも動作することができ、この場合、一回につき１つのモータのみが稼動する。低バックラッシュモードの動作において存在する機械的リンク機構における連続的な伸張を防ぐことによって、個々のリンク機構の継手に生じる摩擦が低減する。低摩擦モードの動作は、継手及びリニア・モータの摩耗率を低減するのに役立つ。また、各モータは連続的に作動しないので、低バックラッシュモードの動作に比べて、低摩擦モードによって、効率を高めることもできる。
【００２８】
また、ある時間におけるシステムの特定の必要性によっては、ロータリー・アクチュエータ１００の動作モードを選択的に調整することができる。
【００２９】
図２は、ロータリー・アクチュエータの第２の実施例の側面部分断面図である。ロータリー・アクチュエータ２００は、基準フレーム２１０、第１の単動油圧モータ２１６、第２の単動油圧モータ２３１、及び出力部材２１３の主要構成要素を含む。ロータリー・アクチュエータ２００は、出力部材２１３に堅く結合される従動部材２５０を駆動するように配置される。
【００３０】
第１の油圧モータ２１６は、シリンダ２１９及びピストン２２２を有する。シリンダ２１９は、基準フレーム２１０に堅く装着されている。ピストン２２２は、シリンダ２１９内で左右に摺動できるように、シリンダ２１９内に構成且つ配置され、ピストン２２２の外面と、シリンダ２１９の内部の円筒状壁との間の密封を維持する。ピストン２２２及びシリンダ２１９は、油圧ポート２４６と流体連通するチャンバ２４５を形成する。ピストン２２２は、連結リンク２４８の左端に結合されるピボット継手２４７を有する。連結リンク２４８の右端は、ピボット継手２２８を通して出力部材２１３に結合される。
【００３１】
出力部材２１３は、ピボット継手２１４を通して基準構造体２１０に結合され、これによって、出力部材２１３は、軸線２１５を中心にして基準フレーム２１０に対して回転することができる。ピボット継手２１４は、ロータリー・ポジション・センサ２１７を有し、このロータリー・ポジション・センサ２１７は、基準フレーム２１０と出力部材２１３との間の角度を検知し、出力線２１８においてこの角度情報を出力する。従動部材２５０は、基準フレーム２１０に対して出力部材２１３と共に回転するように、出力部材２１３及びピボット継手２１４に堅く結合される。
【００３２】
第２の油圧モータ２３１は、基準フレーム２１０に堅く装着されるシリンダ２３４と、ピストン２３７とを有する。ピストン２３７は、シリンダ２３４内で左右に摺動できるように、シリンダ２３４内に構成且つ配置され、ピストン２３７の外面と、シリンダ２３４の内部の円筒状壁との間の密封を維持する。ピストン２３７及びシリンダ２３４は、油圧ポート２５６と流体連通するチャンバ２５５を形成する。ピストン２３７は、連結リンク２５８の左端に結合されるピボット継手２５７を有する。連結リンク２５８の右端は、ピボット継手２４０を通して出力部材２１３に結合される。
【００３３】
ポート２４６及び２５６によって、単動リニア油圧モータ２１６及び２３１のそれぞれに、油圧油が供給される。リニア・モータ２１６及び２３１によって引き起こされた出力は、ポート２４６及び２５６における流体の圧力それぞれに、直接依存する。ポート２４６及び２５６における圧力を標準の油圧弁によって制御することができる。
【００３４】
ロータリー・アクチュエータ２００の動作は実質的に、ロータリー・アクチュエータ１００と同様である。より実際的には、油圧モータ２１６及び２３１の両方が、基準構造体２１０と出力部材２１３との間に加えられる異極性のトルクをそれぞれ引き起こす、基準構造体２１０と出力部材２１３との間の「押す」力をもたらす。同様に、ロータリー・アクチュエータ１００の動作において、モータ１１９及び１３１は、基準構造体１１０と出力部材１１３との間に相対するトルクをもたらす。また、ロータリー・アクチュエータ２００を、ロータリー・アクチュエータ１００の動作モードと同様に、低バックラッシュ・モード及び低摩擦モードで動作させることができる。
【００３５】
リニア油圧モータ２１６及び２３１の寸法は実質的に同じである。より具体的には、シリンダ２１９の断面積は実質的に、シリンダ２３４の断面積と同じである。これらの寸法によって、ピストン２２２が右方向に変位した場合の、ポート２４６を通って流れ込む油圧油の量を、ピストン２３７が同じ右方向に変位した場合の、ポート２５６内へ流れる油圧油の量と同等になる。ピストン２２２がピストン２３７と同程度に変位するという意味で、ロータリー・アクチュエータ２００が「芯出し」されると、出力部材２１３の回転によって、ピストン２３７が左方向に変位した場合と実質的に同等に、ピストン２２２を右方向に変位させる。ロータリー・アクチュエータ２００の「平衡が保たれた変位」という特性は、ロータリー・アクチュエータ２００を駆動させるために使用される油圧システム全体に対してかなり肯定的な意味合いを有する。貯油槽を除いて、油圧システム内の稼動時の全油圧量は概して、ロータリー・アクチュエータ２００などの「平衡が保たれて変位」するアクチュエータのみを有するシステムにおいて一定のままとなるため、システムの効率はかなり向上する。平衡の保たれていない油圧システムと比較して、高圧流体の作業可能性は、システムの油圧量全体が減少する度に失われることはない。
【００３６】
図３〜１０に移り、最初に図３を参照すると、第３の実施例のロータリー・アクチュエータ３００は、シャフト３１３を取り囲む本体３０６が形成された筐体３０３を有する（図６及び８において最も良く示されている）。シャフト３１３は、両端部において軸受（図示せず）に装着されてよく、出力部材３１６を備えることができ、この出力部材３１６をシャフト３１３に対して一体化して形成する、又は、取り付けることができることで、出力部材３１６が中央の長手方向シャフト軸線３１９を中心にして回転する。筐体３０３はまた、本体３０６から伸長する２つのシリンダ３２２及び３２５を含む。シリンダ３２２及び３２５は、ピストン３２８、３３１のためのチャンバを画定する（図６及び８に示される）。ピストン３２８及び３３１は、シリンダ３２２及び３２５において使用されるのに適した円形の断面を有する。この実施例におけるシリンダ３２２及び３２５は、以下で詳細に説明するような単動油圧シリンダである。本開示に基づいて、シリンダという用語は、リニア・モータの胴を説明するために使用され、任意の特定の形状に限定することを意図しておらず、異なる形状のピストンを受けるチャンバの他の形状も適することは、当業者には理解されるであろう。例えば、シリンダは、非円形断面を有する胴、又は、概して角柱形状を有する胴を指す場合がある。シリンダ３２２及び３２５は、図４において最も良く示されるように、それぞれ、シャフト軸線３１９の両側に配された長手方向軸線３２３、３２４を有する。
【００３７】
図６において、筐体３０３は、ピストン３２８及び３３１の配置を明確に示すために除去されている。ピストン３２８及び３３１は、中央の長手方向シャフト軸線３１９の両端部に配されたクランクピン３３４及び３３７に連結される。それに応じて、ピストン３２８の下方への移動によって、シャフト３１３は、図６の方向付けに対して、軸線３１９を中心にして反時計回りに回転し、ピストン３３１の下方への移動によって、シャフト３１３は、図６の方向付けに対して、軸線３１９を中心にして時計回りに回転する。図５に最も良く示されているように、シリンダ３２２及び３２５を、シャフト３１３の長さに沿って、異なる位置に装着することができる。さらに、図４に最も良く示されるように、ピストン３２２及び３２５を、互いに対してジグザグに又はずらして配置３２７することができる。
【００３８】
ピストン３２８は、第１の端部３４３において実質的に平面３４０を有し、これによって、ピストン３２８がシリンダ３２２内に設置されると、圧力チャンバの端壁が形成される。シリンダ３２２は、表面３４０に隣接したチャンバの部分が、作動流体にさらされた唯一の部分であるため単動する。それに応じて、ピストン３２８のみが、１つの圧力チャンバに対して密封されなければならず、ピストン３２８及び連接棒３４９は第２の端部３４６において密封されない。連接棒３４９は、以下でより詳細に説明する、玉及びピン構造３５２によってピストン３２８に取り付けられる。連接棒３４９の支持部３６２、３６５は、以下でより詳細に説明するように、シャフト３１３上のクランクピン３３４に連結される。ピストン３３１は、平面３３２を有し、シリンダ３３１に設置され、ピストン３２８と同様に、連接棒３４９によってクランクピン３３７に連結される。
【００３９】
図９に移ると、ピストン３２８及び連接棒３４９がより詳細に示されている。ピストン３２８の上面３４０が作動流体にさらされる。ピストン３２８は、当業者には既知のように、シリンダ内で密封係合して摺動するためのリング３５０、３５３を有する。連接棒３４９は、第２の端部３５７、３５８に対して下方へ且つわずかに外方へ伸長する一対の支持部３６２、３６５を有する。支持部３６２、３６５は、開口部３６３、３６６を配して、それらを通してクランクピン３３４又は３３７を受ける。開口部３６３、３６６は、典型的には、当業者には理解されるように、ブッシングなどの軸受表面３６７（図１０Ａ）を備える。図１０Ａに移ると、連接棒３４９が、球体３５９内に装着されたピン３５６によってピストン３２８に連結される。連接棒３４９は、球体３５９を受けるための開口部３５４を有する。球体３５９は、ピン３５６を受けるための中央開口部を有する。ピストン３２８は、連接棒３４９の第１の端部３５１を受けるための中央軸線方向開口部３２９を有し、当該ピストン３２８には、ピストン軸線３７０に対して（矢印３６９によって示される）横方向にピン３５６を受けるために、ピストン３２８の両側に、一対の横方向開口部３６４、３６８が配されている。ピン３５６は、球体３５９内の開口部を通り、且つ、ピストン３２８内の横方向開口部３６４、３６８を通って配され、連結部材３７３によって適所に固定される。図１０Ｂにおいて最も良く示されているように、連結部材３７３は、一端部３７９においてフランジ３７７を有する主要部３７５と、一端部３８５においてフランジ３８３を有するキャップ３８１とを有する。連結部材３７３の２つの部分が取り付けられると、フランジ３７７、３８３は、ピストン３２８内の球体３５９及び横方向開口部３６４、３６８からピン３５６が滑り出さないようにする。連結部材３７３の主要部３７５は、長手方向軸線３８８の方向に伸長する長手部３８７を有する。長手部３８７は、末端部３９０の方に位置する縮幅部３８９を有する。縮幅部３８９は、部位３９２に対して長手部３８７の残部と同じ幅を有する指状部分３９１へと、その後、末端部３９０において終止する角度が付けられた部位３９３へと伸長する。キャップ３８１周辺には、開口部３９６を有する円筒状部３９３が配されている。リング３９７は、開口部３９６の反対側に形成され、リング３９７は、末端部３９９において終止する。
【００４０】
中空ピン３５６が、ピストン３２８の両側において横方向開口部３６４、３６８を通して、及び、球体３５９を通して設置され、ピン３５６を通して連結部材３７３の主要部３７５を据えることによって、及び、キャップ３８１を主要部３７５の末端部３９０に取り付けることによって固定される。キャップ３８１が主要部３７５に係合されている場合、指状部分３９１の向きが内方にそれ、その後、開口部３９６にはめ込まれ、リング３９９は、主要部３７５上の縮幅部３８９に組み込まれる。
【００４１】
上述された玉及びピン構造３５２によって、メカニカル・アドバンテージがもたらされ、連接棒３４９及びピン３５６のサイズ並びに重量が低減される。ピン３５６は、圧力チャンバから受けた力を球体３５９内へ送り、球体３５９は、ピン３５６からの力をクランクシャフト３１３内へ送る。ピボット継手の代わりに球体３５９を使用することによって、いずれのミスアライメントからの応力も解放するのに有用なさらなる自由度が可能になる。
【００４２】
当業者には明白となるように、連接棒３４９をピストン３２８に接合するための他の構造も適している場合がある。
【００４３】
第１、第２及び第３の実施例によって、いくつかの意外な利点がもたらされる。ロータリー・アクチュエータ１００、２００及び３００は、低バックラッシュ・モードで選択的に動作可能であるという利点を有し、これによって、出力部材を制御する際のより高い精度がもたらされる。さらには、低バックラッシュ・モードの動作は任意であるため、その代わりに低摩耗モードの動作による精密な動作が可能である。
【００４４】
さらに、ロータリー・アクチュエータ１００、２００及び３００は、油圧アクチュエータの平衡が保たれているという利点を有する。さらに具体的には、平衡が保たれた油圧アクチュエータ・システムにおいて、小さくなるチャンバから出ていく流体の量と同等量の油圧油が、拡張するチャンバに入る。流体及び力の平衡が保たれたアクチュエータ・システムを有することによって、複数の利点が与えられる。平衡の保たれた油圧システムはより大きい油圧ポンプの効率をもたらす。さらには、平衡の保たれた油圧動作により適した斜軸式の油圧ポンプなどの油圧ポンプを使用することができる。また、サーボ制御アルゴリズム及び油圧制御弁は、必ずしも右／左の力の差異の原因となるわけではないため、均衡した力によって、より簡易なサーボ制御装置の設計が可能となる。
【００４５】
ロータリー・アクチュエータ１００、２００及び３００は、非常に細い筐体を有するという利点も有する。より具体的には、図７に示されるように、ロータリー・アクチュエータ３００の横幅は類似の従来技術のシステムよりずっと小さい。シリンダ３２８及び３３１は、互いに対してジグザグに及びずらして配置されるため、シリンダ３２８、３３１がジグザグに及びずらして配置されない場合は不可能である、細いアクチュエータ筐体が実現される。さらには、ロータリー・アクチュエータ３００内の各ピストンの連接棒３４９は、複式の支持部（図６の３６２及び３６５）のピボット継手によって連結され、且つ、高表面積を有するため、玉継手（３５２）の非常に大きな力を、継手を損傷せずに加えることができ、さらには、レバーをより短くし、筐体を細くすることができる。
【００４６】
また、リニア・アクチュエータは、単動のみを必要とするため、従来技術の複動リニア・アクチュエータと比べて、部品の数が少なく、安価で、より簡易な設計となる。アクチュエータ１００、２００及び３００において使用される単動リニア・モータはまた、低油圧漏れ量を有するという利点をもたらす。より具体的には、従来技術の複動油圧ピストンは、典型的には、ピストンの片側で作動する高圧チャンバを通るピストン・リンクを有する。このような従来技術のシステムは、ピストン・リンク表面にわたって高圧密封を必要とし、これは、設計且つ維持するのに問題点が多く、かなりの漏れに至ることが多い。開示された実施例では高圧密封のみが、ピストンの外面とシリンダの内面との間に施されているため、従来技術のピストン・リンクの密封において生じてしまうような、高レベルの油圧油の漏れはない。
【００４７】
図１１〜１５によって、ロータリー・アクチュエータの第４の実施例の観点が提供される。図１１は、図１２の正面図における、断面線１１−１１によるロータリー・アクチュエータ４００の側面断面図である。図１１〜１２に示されるように、ロータリー・アクチュエータ４００は、筐体４１０、出力シャフト４１３、シリンダ４１９、ピストン４２２、連結リンク４４８、及び滑り軸受４４７を含む。図１１はまた、左端板４９０及び右端板４９１を示している。端板４９０は図１２において除去されている。
【００４８】
筐体４１０は、鋳鉄、鋼鉄、複合材料、高強度プラスチック、又は、その他の同様の材料から形成される。筐体４１０によって、基準構造体にアクチュエータ４００をボルト留めする、又は装着する表面がもたらされる。シリンダ４１９は、筐体４１０の貫通孔として形成される。シリンダ４１９は、第１の端部４７１及び第２の端部４７２によって、概して中空の円筒形状を有する。第１の端部４７１と第２の端部４７２との間のほぼ中間において、シリンダ４１９の上壁は穴４７０を有する。
【００４９】
ピストン４２２は、シリンダ４１９内の摺動係合のために配置且つ構成される。図１１に示されるように、ピストン４２２は、シリンダに切り込まれた概して矩形角柱状領域４０１を有する概して円筒形状を有する。より具体的には、図１１の方向付けにおいて示されるように、ピストン４２２は、その側面に配置された一般的な形状のシリンダを有する。ピストン４２２は、シリンダ４１９の内径と実質的に同様の直径を有する左縦円形端面４７３を有する。シリンダ４２２の時計回りの外周をたどると、表面４７３の上縁端が水平円筒面４７５に連結する。水平円筒面４７５は、シリンダ４１９に対向する隆起部を有し、ピストン４２２とシリンダ４１９との間の密封を保持するように構成される。このような密封はリング形状であり、テフロン（登録商標）又は何か他の同様の材料からできている。円筒面４７５は右方向に伸長して、環状垂直面４７６に連結する。管状垂直面４７６は、平坦な水平面４７７へと下方に伸長する。平坦な水平面４７７は右方向に伸長して、図１１に示されるように、ページに垂直に向けられた円筒軸線を有する半円筒面４７８に連結する。表面４７８は最初、下方へ、その後右方向に、そして、平坦な水平面４７９へと上方へと戻るように伸長する。表面４７９は表面４７７と平行であり、同じ平面にある。表面４７９は、環状垂直面４８０へと右方向に伸長する。環状面４８０は外径を有する。この外径は、シリンダ４１９の直径と実質的に等しい。表面４８０は上方に伸長して、水平円筒面４８１に連結する。水平円筒面４８１はまた、シリンダ４１９に対向する隆起部を有し、密封を保持するように構成される。表面４８１は、垂直円形面４７４へと右方向に伸長する。表面４７４は下方に伸長し、４８２における円筒面４８１へと戻って連結する。図１１に示されるように、４８１及び４８２は、切断面による同じ円筒面を指している。４８１及び４８２によって指し示された表面はまた、４７５及び４８３で指し示されるのと同じ表面である。４８２における表面は４８３へと左方向に伸長する。４８３における表面は、垂直円形面４７３の下端と接触し、ピストン４２２を中心にして回る時計回りの外周を完了する。
【００５０】
円筒面４７８の中央領域を貫通しているのは、垂直方向の貫通孔４８５である。円筒状滑り軸受４４７が、円筒面４７８内に精密公差で配置される。滑り軸受４４７は、（図１１において方向付けられるように）ページ内外への縦方向の摺動と、また、円筒面４７８の軸線を中心にした回転とを含む２つの自由度において、ピストン表面４７８に対して自由に摺動する。
【００５１】
滑り軸受４４７は、表面４７８の円筒軸線と同軸の円筒軸線を有する、概して円筒形状を有する。滑り軸受４４７は円筒状の貫通孔４８６を有し、これによって、摺動係合において棒状の連結リンク４４８の下端４４８ａが保持される。より具体的には、リンク４４８は、線４８７に沿って滑り軸受４４７に対して摺動することができる。連結リンク４４８は、貫通孔４７０を通って伸張し、そこで、出力部材４１３に連結し、その上端４４８ｂをチャンバ４０３内へと続けて伸長させる。チャンバ４０３は、筐体４１０の上壁、端板４９０及び４９１、並びに、シリンダ４１９の上壁によって画定される。チャンバ４０３は、穴４７０、領域４０１、及び、筐体４１０の上壁に配置される流体ポート４９９と流体連通している。
【００５２】
出力部材４１３は、穴４７０にわたって配置され、ピボット継手４１４に結合される。ピボット継手４１４によって、出力部材４１３は、図１１に示されるようにページに垂直に向けられた軸線４１５を中心にして、筐体４１０に対して回転することができる。出力部材４１３は円筒状貫通孔４８８を有し、これによって、密な非移動係合においてリンク４４８を保持するリンク部材４４８周りのスリーブが形成される。ピボット継手４１４はまた、リンク４４８に結合されて、軸線４１５を中心にした回転運動に限定されるリンク４４８の運動を引き起こす。
【００５３】
端板４９０及び４９１はそれぞれ、シリンダ４１９の左右端において配置され、且つ、筐体４１０に取り付けられる。油圧ポート４９２は、端板４９０を通って、シリンダ４１９及びピストン表面４７３によって形成されるチャンバ４９４に連結する。同様に、油圧ポート４９３は端板４９１を通って、シリンダ４１９及びピストン表面４７４によって形成されるチャンバ４９５に連結する。リンク４４８の上端４４８ｂの周りには、滑り軸受４４７’がある。滑り軸受４４７’は滑り軸受４４７と実質的に同様であり、図１１〜１５において例証目的のためだけに示される。この実施例は滑り軸受４４７’を有さないが、図１１〜１５は、いかに容易く、滑り軸受４４７’を、チャンバ４０３内のピストン４２２に対して対称である第２のピストンと共に加えることができるかを示す。
【００５４】
図１３〜１５は、図１１に示されるピストン組立体の観点を示し、このピストン組立体は、ピストン４２２、連結リンク４４８、ピボット継手４１４、及び、滑り軸受４４７を含む。図１３〜１５において、連結リンク４４８は垂直に方向付けられているのに対して、図１１及び１２では、連結リンク４４８は回転させた構成にあることに留意されたい。
【００５５】
図１１から図１５までの変化を比較すると、どのように滑り軸受４４７が反時計回りに回転したか、及び、連結リンクの下端４４８ａが滑り軸受４４７に対して下方に摺動して、ボア４８６へと貫入することを目にすることができる。
【００５６】
ロータリー・アクチュエータ４００は概して、ポート４９２及び４９３内の油圧を調整することによって動作して、ピストン４２２を左方向に又は右方向に移動させ、次いで、連結リンクを回転レバーとして作動させ、その後、出力リンク４１３も回転させる。
【００５７】
実例として、出力部材４１３を反時計回りに回転させるように所望された、図１１に示されるような状態におけるロータリー・アクチュエータ４００を考察する。第１に、ポート４９２及び４９３は、油圧制御線に連結されることになり、筐体４１０は、基準構造体に装着されることになり、出力シャフト／リンク４１３は、回転駆動される部材に連結されることになる。そして、ポート４９２内の油圧を増加させることになるが、ポート４９３内の油圧は減少させる。これによって、チャンバ４９４内の圧力は増加し、チャンバ４９５内の圧力は減少する。チャンバ４９４内の圧力がチャンバ４９５内の圧力を下回ると、正味の右方向の力は、ピストン４２２に対して効果的に加えられる。より実際的には、チャンバ４９４内の流体によってかかる圧力は、右方向の力を円筒面４７３に与える。同様の左方向の力が、円筒面４７４上でチャンバ４９５内の圧力によってもたらされる。４９４内の圧力は４９５より大きいため、右方向の力は左方向の力より大きく、その結果、正味の右方向の力がピストン４２２に加えられる。この力は、筐体４１０、並びに端板４９０及び４９１を通して、ピストン４２２上に効果的に介在する。
【００５８】
ピストン４２２における右方向の力は、滑り軸受４４７を通して連結リンク４４８ａの下端において右方向の力として伝達される。連結リンク４４８は出力シャフト４１３に堅く結合されるため、並びに、リンク４４８及び出力シャフト４１３はピボット継手４１４に結合されるため、連接棒４４８はピボット継手４１４を中心にして回転するように移動することのみ可能である。連結リンク４４８に加えられた右方向の力は、連結リンク４４８を、ピボット継手４１４における支点を有するレバーとしての機能を果たす。従って、ピストン４２２によって加えられる右方向の力は、連結リンク４４８上の反時計回りのトルクに変換され、その後、出力シャフト４１３へと送られる。
【００５９】
ピストン４２２が筐体４１０に対して右方向に摺動するため、連結リンク４４８は、筐体４１０に対して反時計回りに回転する。連結リンク４４８が反時計回りに回転するため、リンク４４８の下端部４４８ａは、滑り軸受４４７に対して下方に摺動しなければならい。換言すれば、リンクの下端部４４８ａは、ピボット継手４１４に対して弧状に進まなければならないため、ピストン４２２に対する下端部４４８ａの鉛直高さは、連結リンク４４８の回転角度が変化するにつれて、必ず変化する。また、連結リンク４４８が筐体４１０に対して反時計回りに回転するため、滑り軸受４４７はまた、ピストン４２２に対して反時計回りに必ず回転するが、これは、連結リンク４４８が滑り軸受４４７によって低い耐性で囲まれているからである。
【００６０】
連結リンク４４８、ピストン４２２、及びシリンダ４１９の間のアライメントにおいて何らかの誤りがある場合、滑り軸受４４７は、このようなミスアライメントを軽減するために、図１１に示されるページ内へ又はページ外へ自由に摺動する。例えば、シリンダ４１９の右端がページ外へ、わずかに上へ傾く場合など、シリンダ４１９が、連結リンク４４８が回転する平面に完全に直交しない場合、滑り軸受４４７は、連結リンク４４８との緩んだ接触を維持するために、ピストン４２２が左右に移動するのにつれて、上方に／下方に摺動することができる。
【００６１】
シリンダ４１９の断面は、ピストン４２２の左側とピストン４２２の右側とで同じであるため、ポート４９２を通って流れ込むべき流体の量は、ピストン４２２が右方向に運動するために、ポート４９３から流れ出る流体の量と必ず等しくなる。よって、ロータリー・アクチュエータ４００は、平衡が保たれた油圧アクチュエータである。
【００６２】
４７５及び４８１におけるピストン４２２とシリンダ４１９との間に配置された密封材は、チャンバ４９４及び４９５からの高圧が領域４０１及び４０３内を通らないようにする。よって、出力シャフト４１３は、いずれの高圧チャンバとも接触しない。ポート４９９を使用して、出力シャフト４１３及び連結リンク４４８に注油する必要がある場合がある油を供給する、又は、ピストン４２２とシリンダ４１９との間の密封材にわたって漏れるいずれの油も徐々に排出する。
【００６３】
図１８〜２１は、円筒状の滑り軸受４４７が球状の滑り軸受５４７と置き換えられた、第２のバージョンのピストン組立体５０５を有するロータリー・アクチュエータ４００の変形を示す。図１８は、連結リンク５４８を取り巻く玉滑り軸受５４７を保持するピストン５２２を示す、第２のバージョンのピストン組立体５０５の透視図である。図１９は、ピストン５２２内の玉滑り軸受５４７の配置を示す組立体５０５の上面図である。図２０は、ピストン組立体５０５の側面図であり、図２１は、図１９における線２１−２１による断面側面図である。図２１に示されるように、玉滑り軸受５４７は、レース５０７を通してピストン５２２に対する二次元回転係合で保持される。レース５０７は、フランジを付けた環状端止め５０６によってピストン５２２内に保持される。玉滑り軸受５４７によって、連結リンク５４８の下端５４８ａは、玉滑り軸受５４７の中央貫通孔の内外へ直線的に摺動することができる。
【００６４】
玉滑り軸受５４７は、ロータリー・アクチュエータ４００内の円筒状滑り軸受４４７に非常に類似して動作する。しかしながら、図２１に見られるように、滑り軸受４４７のようなピストンに対するページの内外への自由度を与える代わりに、玉滑り軸受５４７は、玉滑り軸受５４７とピストン５２２との間の回転運動という、二自由度を与える。この第２の自由度は、連結リンク５４８が図２１に示されるページの平面において完全に配置されない、連結リンク５４８のいずれのミスアライメントも軽減する。
【００６５】
図１６〜１７は、ロータリー・アクチュエータ４００と同様であるが、４つのシリンダ及び４つのピストンを有するロータリー・アクチュエータの別の実施例を示す。図１６は、平行なシリンダ６１９ａ、６１９ｂ、６１９ｃ、及び６１９ｄを示す、端板が除去されたアクチュエータ６００の上面図である。図１７は、図１６における線１７−１７による側面断面図である。図１７に示されるように、ピストン６２２ａ及び６２２ｂは、それぞれのシリンダ６１９ａ及び６１９ｂにおいて配置される。ピストン６２２ａ及びピストン６２２ｂは、ピボット継手６１４の軸線を中心にして実質的に対称である。時計回りのトルクが出力シャフト６１３において所望される時、ピストン６２２ａは右方向に駆動されるが、ピストン６２２ｂは左方向に駆動される。油圧ポートの駆動ピストン６２２ａ及び６２２ｂは、油圧で結合されてもよいし、されなくてもよい。それらピストン６２２ａ及び６２２ｂが油圧で結合される場合、油圧位相調整はより容易くなる。それらピストン６２２ａ及び６２２ｂが油圧で結合されず、位相調整がより困難である場合、システムは、ピストン−シリンダ対のうちの１つが油圧によって危険にさらされる場合は二重化されるようにする。図示されないが、ピストン６２２ｃ及び６２２ｄは、ピストン６２２ａ及び６２２ｂに対称である平面を有する。４つのピストン全てが出力軸６１３に結合される。
【００６６】
実施例４００及び６００は、従来技術のロータリー・アクチュエータ・システムに対していくつかの意外な利点を有する。ロータリー・アクチュエータ４００及び６００は、アクチュエータ１００、２００及び３００のように、平衡が保たれた油圧アクチュエータであるという利点を有する。例えば、図１１を参照すると、ピストン４２２が右方向に移動するため、チャンバ４９４に入る流体の量は、チャンバ４９５を出る流体の量と実質的に等しい。１つのチャンバを通るピストン棒を有する従来技術の複動ピストンにおいて、ピストン棒側のチャンバに入る／を出る流体の量は、ピストン棒の断面積によって、ピストン棒のないチャンバを出る／に入る流体よりも少なくなる。さらに、ピストン棒の断面積によって、一定の油圧に対してピストンに加えられる力は、ピストン棒のないピストン側において異なることになる。ロータリー・アクチュエータ４００には、チャンバ４９４又は４９５を通るピストン棒がないため、チャンバ４９４内の一定の圧力に対してピストン４２２に加えられる力の大きさは、同等の圧力をかけられるチャンバ４９５によって加えられることになる反対方向の力と同等である。流体及び力の平衡が保たれたアクチュエータ・システムを有することによって、複数の利点が与えられる。平衡の保たれた油圧システムは、より大きい油圧ポンプの効率をもたらす。さらには、平衡の保たれた油圧動作により適した斜軸式の油圧ポンプなどの油圧ポンプを使用することができる。また、サーボ制御アルゴリズム及び油圧制御弁は、必ずしも右／左の力の差異の原因となるわけではないため、均衡した力によって、より簡易なサーボ制御装置の設計が可能となる。
【００６７】
さらには、ロータリー・アクチュエータ４００及び６００は、アクチュエータ１００、２００及び３００で見られるように、薄型であり、部品の数が少ないという利点を有する。薄型によって、これらのアクチュエータを、薄翼の航空機設計、又は、その他の薄型を必要とする環境において使用することができる。
【００６８】
図２２に示されるように、複数のロータリー・アクチュエータ３００を組み合わせて、高い駆動トルク、又は、耐故障性／冗長システムを実現するために、同じ出力部材３１６を駆動することができる。アクチュエータ３００が示されるが、それらの筐体は明確にするために除去される。２つのアクチュエータ３００のアクチュエータ・シャフト３１３が、４つのピストン全てによって同時に作用可能である単一のユニットを形成するように連結される。
【００６９】
図２３は、アクチュエータ・システム７００を示し、アクチュエータ・システム７００は、１つ又は複数のロータリー・アクチュエータ７２０及び電気油圧式の斜軸式ポンプ・システム７３０を含む。システム７００はまた、貯油槽７２５及びサーボ弁システム７２２を含む。ポンプ７３０は、具体的に、平衡の保たれた油圧システムにおける効率的な動作のために設計される。
【００７０】
図２４には、電気油圧式の斜軸式ポンプ・システム７３０の側面断面図が示されている。ポンプ・システム７３０は、斜軸式ポンプ７４０、ギア・ボックス７５０、電気モータ７６０、及び、他の構成要素のそれぞれを共に保持する筐体７３１の主要構成要素を含む。ポンプ・システム７３０は、駆動されると、油圧ポート７３３と７３５との間に圧力差及び流体の流れをもたらす。
【００７１】
斜軸式ポンプ７４０は、ピストン・リンク７３８ａ及び７３８ｂそれぞれに連結されるピストン・ヘッド７３７ａ及び７３７ｂを含む。ピストン・ヘッド７３７ａ及び７３７ｂは、軸受７３９によって支持されるポンプ主要部内に配置される。ピストン・リンク７３８ａ及び７３８ｂは、軸受７４１で吊り下げたロータ７４４に結合される。
【００７２】
ギア・ボックス７５０は、ギア７５１、７５２、及び７５３を含む。ギア７５１、７５２及び７５３は、筐体７３１内に保持される。ギア・ボックス７５０はロータ７４４に機械的に結合される。モータ７６０は、ギア・ボックス７５０に結合される出力シャフト７６１を有する。モータ７６０はまた、ステータ７６２及びロータ７６３を有する。ギア・ボックス７５０は、斜軸式ポンプ・ロータを、モータ・シャフト７６１より遅い速度で回転させるメカニカル・アドバンテージが与えられるように構成される。
【００７３】
ポンプ・システム７３０は、詳細には、平衡の保たれた油圧アクチュエータと共に使用するのに適している。斜軸式ポンプ７４０は２つのポートのみを有するため、詳細には、システムの油圧油の量を増加させる又は減少させるための第３の油圧ポートに対する必要性が生じない平衡の保たれた油圧アクチュエータに適している。さらに、メカニカル・アドバンテージを与えるギア・ボックスの使用によって、ポンプ・システムの寿命は長期にわたることが可能となり、これは特に航空機の用途には適切である。
【００７４】
示された特定の実施例を、サーボ制御装置と組み合わせることもできる。標準的なサーボ制御装置を使用して、要求された出力部材のトルク／位置、及び、測定された出力部材のトルク／位置に基づいて出力された力又は位置を調整するように、リニア・モータを制御することができる。
【００７５】
従って、ロータリー・アクチュエータ、ロータリー・アクチュエータ・システム、及びロータリー・アクチュエータを動作させる方法についての本発明の好ましい形態が開示且つ説明され、それらのいくつかの修正が説明されたが、当業者は、本発明の趣旨から逸脱することなく、種々の付加的な変更がなされてもよいことを容易に認識するであろう。
【図１】
2015507158.tif 000003
【図２】
2015507158.tif 000004
【図３】
2015507158.tif 000005
【図４】
2015507158.tif 000006
【図５】
2015507158.tif 000007
【図６】
2015507158.tif 000008
【図７】
2015507158.tif 000009
【図８】
2015507158.tif 000010
【図９】
2015507158.tif 000011
【図１０Ａ】
2015507158.tif 000012
【図１０Ｂ】
2015507158.tif 000013
【図１１】
2015507158.tif 000014
【図１２】
2015507158.tif 000015
【図１３】
2015507158.tif 000016
【図１４】
2015507158.tif 000017
【図１５】
2015507158.tif 000018
【図１６】
2015507158.tif 000019
【図１７】
2015507158.tif 000020
【図１８】
2015507158.tif 000021
【図１９】
2015507158.tif 000022
【図２０】
2015507158.tif 000023
【図２１】
2015507158.tif 000024
【図２２】
2015507158.tif 000025
【図２３】
2015507158.tif 000026
【図２４】
2015507158.tif 000027
【国際調査報告】
2015507158.tif 000028
2015507158.tif 000029
2015507158.tif 000030
2015507158.tif 000031
2015507158.tif 000032