(57)【要約】  本発明は、であって、反射光学素子（３）が取り付けられた光学素子ホルダ（２）を有する光学ユニット（１）に関し、前記光学素子ホルダ（２）は、前記反射光学素子（３）を取り付けるための、少なくとも２つの保持部材（８，１３）を有しており、これらの保持部材（８，１３）のうちの少なくとも１つは、弾性変位可能である。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
反射光学素子（３）が取り付けられた光学素子ホルダ（２）を有する光学ユニット（１）であって、
前記光学素子ホルダ（２）は、前記反射光学素子（３）を取り付けるための、少なくとも２つの保持部材（８，１３）を有しており、これらの保持部材（８，１３）のうちの少なくとも１つは、弾性変位可能であることを特徴とする、光学ユニット。
【請求項２】
弾性変位可能な複数の保持部材が設けられており、前記複数の保持部材は、保持面（９）を備えた保持アーム（８）として形成されており、前記反射光学素子（３）は、前記保持面（９）に取り付けられている、請求項１記載の光学ユニット。
【請求項３】
前記保持アーム（８）の長手方向軸線（１２）は、前記反射光学素子（３）に対して垂直に延びる軸線（５）に関して等間隔に配置されている、請求項２記載の光学ユニット。
【請求項４】
前記保持面（９）は、前記保持アーム（８）の、特に円形の端部によって形成されている、請求項２又は３記載の光学ユニット。
【請求項５】
前記保持面（９）は、前記反射光学素子（３）の反射面（７）に対して平行（１０）に、又は前記光学素子（３）の裏面（１１）に対して接面方向に変位可能である、請求項２から４までのいずれか１項記載の光学ユニット。
【請求項６】
前記保持面（９）は、前記反射光学素子（３）に対して垂直に延びる軸線に関して回転対称的に配置されている、請求項２から５までのいずれか１項記載の光学ユニット。
【請求項７】
前記光学素子ホルダ（２）の全ての保持部材（８）が、弾性変位可能である、請求項１から６までのいずれか１項記載の光学ユニット。
【請求項８】
前記少なくとも２つの保持部材（８，１３）のうちの１つは、前記反射光学素子（３）を取り付ける支持面（１４）を備えた不動の支持体（１３）として形成されている、請求項１から６までのいずれか１項記載の光学ユニット。
【請求項９】
前記支持体（１３）は、別の弾性変位可能な複数の前記保持部材（８）の中心に、特に前記反射光学素子（３）の光学中心に配置されている、請求項８記載の光学ユニット。
【請求項１０】
前記反射光学素子（３）は、その裏面（１１）を介して前記保持面（９）及び／又は前記支持面（１４）に取り付けられている、請求項１から９までのいずれか１項記載の光学ユニット。
【請求項１１】
前記反射光学素子（３）は、接着手段を介して前記保持面（９）及び／又は前記支持面（１４）に取り付けられている、請求項１から１０までのいずれか１項記載の光学ユニット。
【請求項１２】
前記光学素子ホルダ（２）は、少なくとも３つの弾性変位可能な保持部材（８）を有している、請求項１から１１までのいずれか１項記載の光学ユニット。
【請求項１３】
前記光学素子ホルダ（２）は、アルミニウム合金から形成されている、請求項１から１２までのいずれか１項記載の光学ユニット。
【請求項１４】
前記光学素子ホルダ（２）は、一体的に形成されている、請求項１から１３までのいずれか１項記載の光学ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学素子ホルダを有する光学ユニットであって、前記光学素子ホルダに、光学素子に入射するレーザビームを偏向させる反射光学素子が取り付けられているものに関する。公知の光学ユニットの場合、反射光学素子（例えば鏡）は、この反射光学素子の片面（例えば鏡の裏面）を介して全面的に、光学素子ホルダ（鏡ホルダ）に結合される。択一的に、反射光学素子は、縁部側（例えば鏡の周側）の部分、又は表面の部分を介しても、光学素子ホルダに取り付けられる。
【０００２】
しかしながら、前記のように反射光学素子の片面側を全面的に光学素子ホルダに結合することは、様々な問題を抱えている。反射光学素子に対して入射点に入射するレーザビームによって、反射光学素子の加熱を招く熱が、反射光学素子内にもたらされる（以下、光学中心と云う）。もたらされた熱は、結合箇所を介して光学素子ホルダに供給されるか、若しくは光学素子ホルダに伝導され、これにより、熱源と見なされるべきレーザビームの入射点から、ヒートシンクと見なされるべき光学素子ホルダまで、熱流が生ぜしめられる。最初の過渡状態（例えばレーザの接続直後若しくは反射光学素子にレーザビームが入射した直後）においても、定常状態（レーザが比較的長時間継続して作動した後）においても、上述した熱源とヒートシンクとの間には、熱伝導に基づいて温度差（温度勾配）が生じるので、光学的な構成部材（反射光学素子及び光学素子ホルダ）は、それぞれその局所的な温度に相応して、且つ通常は異なる熱膨張係数に関連して、それぞれ局所的に異なって膨張することになる。
【０００３】
これらの異なる幾何学的な膨張は、一方では、構成部材の変形を招く恐れのある応力を、構成部材内に生ぜしめる。他方では、構成部材、特に片面が全面的に光学素子ホルダに固定された反射光学素子の幾何学的な膨張若しくは変形に伴い、熱の影響により反射光学素子の空間位置が変化して、レーザビームの目標位置からの逸脱を招く恐れがある。例えば、上述した熱の影響によって、反射光学素子の湾曲や並進的な移動若しくはずれが生じることがあり、これによって反射光学素子上のレーザビームの入射点並びに対応する入射垂線が、空間内での位置及び方向に関して変化させられる。但しこのことはレーザの作動にとって欠点である。それというのも、これによりレーザビームが、場合によっては望ましくない方向に益々偏向される恐れがあるからである。更に、熱に起因した構成部材の異なる膨張は、２つの構成部材の結合箇所において最も顕著であり、このことは、結合箇所の特に大きな機械的負荷につながる。
【０００４】
これらの欠点若しくは問題に対処するためには、反射光学素子と、光学素子ホルダとを結合する、特に厚い、弾性的な接着層を用いることが知られている。このような（厚い、弾性的な）接着層は、両構成部材の結合箇所における膨張の差を、少なくとも部分的に補償することができる。しかしながら、この解決手段は、光学素子の精度に対する要求が高い場合には適さない。それというのも、厚い接着層は、湿度や温度の変化に反応するからである。更に、この接着層は、正確に同じ厚さを一貫して有しているわけではないので、非対称的に作用する別の複数の影響が生じる。更に不都合なのは、厚い接着層の長い硬化時間である。更に、厚い接着層は光学素子ホルダ内への熱伝導を阻止し、延いては反射光学素子内に望ましくない熱の滞留を生ぜしめる恐れがある。２つの構成部材の、熱に起因した膨張の差に対処する別の公知の手段は、光学素子ホルダ用の材料としてチタンを選択することであり、これにより、熱膨張の差が一般には減じられている。しかしながら、チタンは材料として調達すると比較的高価であるばかりか、比較的加工し難い。別の解決手段としては、相対運動するガイドとばね弾性部材とを用いて機械的に手間をかけて、光学素子ホルダに反射光学素子を相対運動可能に支持することが想定される。但しこの解決手段には不都合にも、正確には検出不可能な摩擦作用が付随する。
【０００５】
本発明の課題は、従来技術の前記欠点を簡単に克服するか、又は少なくとも緩和することのできる光学ユニットを提供することにある。特に、支持及び熱に起因した、レーザビームの望ましくない偏向は、低減若しくは阻止されることが望ましい。
【０００６】
この課題は本発明に基づき、光学素子ホルダが、反射光学素子を取り付けるための、少なくとも２つの保持部材を有しており、これらの保持部材のうちの少なくとも１つは弾性変位可能であることを特徴とする、冒頭で述べた形式の光学ユニットにより解決される。
【０００７】
本発明による少なくとも２つの保持部材によって、公知の接着結合の場合よりも薄い接着層が実現され、更に、支持力並びに変形の結果生じる力を、弾性的な保持部材に伝達することができるようになっている。つまり、本発明では少なくとも１つの弾性的な保持部材によって、有利には反射光学素子の熱に起因した膨張が、光学素子ホルダによって相殺若しくは補償され得る。光学素子ホルダの複数の、保持を行う保持部材若しくは支持部として働く保持部材が、少なくとも１つの保持部材の（例えば保持部材の旋回又は曲がりとして現れる）弾性変位によって互いに相対運動するようになっていることにより、少なくとも１つの弾性変位可能な保持部材は、局所的に変形することができるようになっており、延いては反射光学素子の局所的な膨張運動に追従することができるようになっている。つまり、この膨張運動が、反射光学素子の顕著な３次元移動（例えば並進運動又は回転運動）を生ぜしめること無しに、反射光学素子が（局所的又は全体的に）膨張することができるようになっている。特に、反射光学素子上のレーザビームの入射点は、有利には反射光学素子の熱に起因した膨張にもかかわらず、空間的に同じ位置に留まるようになっていて、入射点の３次元方向が変わることはないので、レーザビームの望ましくない偏向が回避される。少なくとも、入射点の位置若しくは方向の３次元的な変化が大幅に低減されているので、光学ユニットのレーザを作動させるにあたり、レーザビームの偏向は、無視し得る程度に僅かである。反射光学素子の膨張若しくは変形には、有利には、公知の専ら固定的な取付けにおいて生じるような膨張に相応した反射光学素子の移動若しくはずれ、湾曲又は回転は、伴わない。
【０００８】
本発明による利点からは、特に反射光学素子へのレーザ入射中と、その前後の時間（例えば膨張により、反射光学素子内の温度分布が室温における温度分布とは異なる場合）にも、恩恵を受けることができる。光学素子を複数の点（２つ又は任意の数）で保持することにより、反射光学素子の材料（典型的にはガラス材料）と、光学素子ホルダの材料（一般に金属材料）の、異なる熱膨張を補償することができる。つまり、本発明による光学ユニットによって、変形作用の働かない、（光学的な）構成部材の支持が可能である。反射光学素子は、例えば鏡として形成されていてよい。本発明による光学ユニットは、特にレーザの共振器において、共振器と加工ヘッド若しくはトランスポートファイバとの間の光路において、又はレーザ機械の加工ヘッドにおいて使用可能である。光学ユニットの適用性は、レーザビームに限定されるものではなく、基本的には他の電磁放射線との関連においても使用可能である。
【０００９】
好適な構成では、保持面を備える保持アームとして形成された、複数の弾性変位可能な保持部材が設けられており、この場合、反射光学素子は、保持面に取り付けられている。弾性変位可能な保持部材若しくは弾性変位可能な保持アームが複数設けられている場合、これらは個別に変位可能であり、延いては相対的に変位可能なので、対応する保持面も、それぞれ相対運動可能である。このことは、有利には、（例えば反射光学素子内の不均一な温度場により）反射光学素子内に局所的に異なる膨張が生じた場合に、反射光学素子の、応力の生じない支持及び保持を支援する。
【００１０】
上述した構成の好適な改良では、保持アームの長手方向軸線が、反射光学素子に対して垂直に延びる軸線に関して等間隔に配置されている。これにより、場合によっては熱に起因する保持アームの長さ変化は、単に、反射光学素子に対して垂直に延びる軸線若しくは入射垂線を中心とした反射光学素子の回動運動を生ぜしめるに過ぎないので、（平坦では、例えば球面状に湾曲されて形成された光学素子における）望ましくないビーム偏向は行われないか、又は大幅に低減され得る。特に、長手方向軸線の前記配置形式により、反射光学素子の並進運動が阻止される、若しくは少なくとも大幅に減少される。このために保持アームの長手方向軸線は、好適にはそれぞれ１つの共通の平面内に延在している。反射光学素子に対して垂直に延びる軸線は、典型的にはレーザ作動中、反射光学素子上のレーザビームの入射点を貫いている。
【００１１】
別の好適な改良では、保持面は、保持アームの特に円形の端部によって形成されている。保持アームの円形の端部は、例えば（細長い）保持アームの平均的な横断面に比べてより大きな直径を有しているので、保持アーム内への良好な力伝達が可能である。
【００１２】
別の好適な改良では、保持面は、反射光学素子の反射面に対して平行に、又は光学素子の裏面に対して接面方向に変位可能である。これにより有利には、保持面は、一般には反射光学素子の主膨張方向と一致する方向に運動若しくは移動することができるようになっている。（平坦な鏡の場合、典型的には鏡面内における）このような主膨張方向に反射光学素子が膨張すると、この膨張は、保持部材の弾性変位（若しくは変形、旋回又は曲がり）、延いてはこれに伴う、保持部材に形成された保持面の可動性によって相殺される、即ち、反射光学素子を保持若しくは支持している保持面は、膨張運動に追従することができる。反射光学素子が、例えば凹面鏡若しくは球面状に湾曲された鏡である場合は、保持面は相応して、反射光学素子の裏面に対して接面方向に（つまり前記のように形成された鏡の相応する主膨張方向にもやはり）変位可能なので、このような反射光学素子においても、上述の有利な相殺（レーザビームの入射点の位置又は方向変化無しでの保持部材の移動）が可能である。
【００１３】
保持面が、反射光学素子に対して垂直に延びる軸線に関して回転対称的に配置されている改良も、好適である。このような、反射光学素子に対して若しくは光学素子の反射面に対して垂直に延びる軸線は、特に光学素子における反射によって偏向されるレーザビームの入射垂線を成している。これにより、レーザビームによって反射光学素子内にもたらされた熱量は、時間的及び空間的に、保持面及び保持アームを介してより均一に導出されるので、反射光学素子内に、より均一な温度差若しくはより一様な温度場が生じることになる。このこともやはり、一方では反射光学素子により均一な膨張延いてはより少ない変形をもたらし、且つ他方では（特にレーザビームの入射点の）反射光学素子の空間位置や向きの、変形に起因した変化の減少をもたらす。保持面のこのような配置によって、反射光学素子の変形（若しくは膨張）が最小限に抑えられるか、又は完全に阻止されるように、熱導出が制御される。好適には、このために保持アーム及び／又は保持面は更に、同じ大きさで且つ／又は同じ材料から製造されている。
【００１４】
更に好適な構成では、光学素子ホルダの全ての保持部材が、弾性変位可能である。この場合、反射光学素子は、有利には特にフレキシブルに支持されているので、反射光学素子に（僅かな）変形又は（僅かな）位置変化を生ぜしめることなく、比較的小さな局所的な温度差をも補償することができるようになっている。
【００１５】
更に好適な別の構成では、少なくとも２つの保持部材のうちの１つが、反射光学素子を取り付ける支持面を備えた不動の支持体として形成されている。不動の支持体を介して、有利には導出されるべき熱の大部分が導出され得る。更にこの支持体は、反射光学素子を比較的強力に機械的に支持し且つ固定する、反射光学素子のための特に確実な固定支持部を成している。
【００１６】
前記構成の有利な改良では、支持体は、別の弾性変位可能な複数の保持部材の中心に、特に反射光学素子の光学中心に配置されている。これにより、入熱が典型的に行われる箇所、即ち反射されるべきレーザビームの入射点の領域における熱の大部分が導出される。支持体が別の箇所に（例えば中心を外れて）配置されているとすると、入熱箇所（つまりレーザビームの入射点若しくは光学中心）から支持体（つまり「メインヒートシンク」）に向かって、反射光学素子内に熱流が生じ、この熱流は、不都合にも反射光学素子の非対称的な膨張延いては変形をもたらす恐れがある。このことは、支持体を中心に配置することにより、有利に阻止される。
【００１７】
好適な構成では、反射光学素子は、その裏面を介して保持面及び／又は支持面に取り付けられている。反射光学素子を、その裏面を介して取り付けることにより、有利には、反射光学素子の、レーザビームが入射しない側が、保持若しくは取扱いに利用される。このことは、反射光学素子における保持面及び／又は支持面の、より均等な配置を可能にする。反射光学素子の裏面は、一般には反射面若しくは鏡面とは反対の側に位置している。
【００１８】
別の好適な構成では、反射光学素子は、接着手段を介して保持面及び／又は支持面に取り付けられている。例えばＵＶ接着剤又は２成分接着剤等の接着手段（典型的には接着剤）は、反射光学素子のための、簡単且つ効果的な結合若しくは取付け手段を成すものである。反射光学素子は接着剤によって、光学素子ホルダに確実且つ好適に取り付けることができる。本発明では、接着結合部若しくは接着層は特に薄く生ぜしめられてよい。それというのも、接着層は、単に結合若しくは取付け機能だけを担っているに過ぎず、それに加えて相殺機能（結合箇所における応力若しくは異なる膨張の相殺）を担ってはいないからである。薄い接着層は、妨害されない熱流に有利に作用し、接着層が湿分を吸収することにより生じるネガティブな結果も、やはり減少されている。
【００１９】
更に別の好適な構成では、光学素子ホルダは、少なくとも３つの弾性変位可能な保持部材を有している。単に３つの、比較的少数の弾性的な保持部材において既に、上述した本発明による利点が生じており、この場合、光学素子ホルダの製造手間が、有利に低減されている。但し基本的には、本発明による反射光学素子のフレキシブルで均等な支持という利点は、弾性的な保持部材の数が増えるに連れ（且つこれに相応して縮小された弾性的な保持部材の数が増えるに連れ）、より一層活用され得る。
【００２０】
好適には、光学素子ホルダは、アルミニウム合金から形成されている。アルミニウム合金は、本発明による弾性的な保持部材の弾性変位若しくは変形に関して特に良好なばね特性を示すばかりでなく、簡単に加工することができると共に、比較的調達しやすい。
【００２１】
更に好適な構成では、反射光学素子の外側輪郭が円形に形成されている。これにより、反射光学素子の形状は、（一般にはやはり円形の）レーザビームのビーム横断面に有利に適合されているので、反射光学素子内に、より一様な温度分布延いては応力分布が生じることになる。
【００２２】
最後に、光学素子ホルダが一体的に形成されている構成が好適である。特に、弾性変位可能な保持部材が舌片状に形成されていて、光学素子ホルダの基体と一体的に成形されている。光学素子ホルダ内への放熱には、適合された幾何学形状を有する弾性的な保持部材の構成を介して、影響を及ぼすことができる。これは例えば、個々の保持部材の幅、形状、材料量又は横断面を変化させることにより、行うことができる。
【００２３】
本発明の別の利点は、以下の説明及び図面から明らかである。上述し且つ更に詳しく説明する特徴は、それぞれが単独で用いられるか、又は複数の任意の組み合わせで用いられてよい。図示して説明する実施形態は、完結したものとして挙げたのではなく、むしろ本発明を詳細に説明するための特徴を例示したものであるにすぎない。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明による光学ユニットの正面側の斜視図である。
【図２】図１に示した光学ユニットの裏面の斜視図である。
【図３】図１に示した光学ユニットの裏面を示した図である。
【図４】図１に示した光学ユニットの側面を示した図である。
【図５】図１に示した光学素子ホルダの正面図を、反射光学素子無しで示した図である。
【図６】本発明による別の光学ユニットの正面側の斜視図を、反射光学素子無しで示した図である。
【図７】図６に示した光学ユニットの正面図を、反射光学素子と共に示した図である。
【００２５】
以下に、本発明を実施するための形態を図面につき詳しく説明する。
【００２６】
図１には、光学素子ホルダ２と、この光学素子ホルダ２に取り付けられた反射光学素子３とを備える光学ユニット１が示されている。反射光学素子３により、入射するレーザビーム４が偏向される。このレーザビーム４は、反射光学素子３に対して垂直な入射垂線５に対して所定の入射角αで、反射光学素子３の入射点６に入射して方向転換され、次いで出射角αで反射光学素子３から出射される。図１では、レーザビーム４は１本の線で表されているが、反射されたレーザビーム４は、より広幅のビーム横断面を有していてよいということは自明なので、入射点６は、相応して拡張されている（若しくは入射領域である）。反射光学素子３は反射面７を有しており、この場合、反射光学素子３は、例えば基板と反射コーティングとを有していてよい。典型的には、反射光学素子３（例えば１つの鏡）は、ガラス材料から形成されている。光学ユニット１は、レーザビーム４（又は別の電磁放射線）のマニピュレーションが所望されるところではどこでも使用可能であり、例えばレーザ加工機に使用することができる。
【００２７】
一般に、入射レーザビーム４の全放射パワーが反射されることはなく、特定の量が反射光学素子３によって吸収されるので、レーザビーム４は、加熱を生ぜしめ、これにより反射光学素子３の局所的及び／又は全体的な変形を生ぜしめる恐れのある入熱を生ぜしめる。
【００２８】
図２には、光学素子ホルダ２において保持アーム８として形成された複数の保持部材を介した、光学ユニット１の光学素子ホルダ２に対する反射光学素子３の取付け若しくは保持が示されている。光学素子ホルダ２は、弾性変位可能な３つの保持アーム８を有しており、これらの保持アーム８の各自由端部には、それぞれ円形の保持面９が形成されている。保持アーム８並びに保持アーム８に形成された保持面９は、弾性変位可能であることに基づいて、特に反射面７に対して平行な各方向１０に可動であり、延いては有利には反射光学素子３の局所的及び／又は全体的な膨張運動に追従することができるので、反射面７上の入射点６若しくは入射領域の空間位置に影響が及ぶことはないと共に、レーザビーム４が不都合に偏向されることもない。保持面９若しくは保持アーム８は、反射面７に対して垂直な方向にも、少なくとも僅かに弾性変位可能であるということは自明であり、この方向での反射光学素子３の膨張運動（例えば熱に起因した反射光学素子３の湾曲）も、保持アーム８若しくは保持面９によって補償（相殺）され得る。反射光学素子３が放物面鏡若しくは曲面鏡として形成されている場合（図示せず）には、保持面９若しくは保持アーム８が相応して、反射光学素子３の湾曲された裏面１１に対して接面方向に補償運動を行うことができるようになっている。反射光学素子３は、典型的にはその裏面１１を介して、保持面９に取り付けられている。
【００２９】
図３には、光学ユニット１の反射光学素子３の裏面１１における、保持面９若しくは弾性変位可能な保持アーム８の幾何学的な配置形式が示されている。一方では、保持面９は、レーザビーム４の入射垂線５に対して回転対称的に配置されているので、熱導出若しくは放熱は、保持面９と保持アーム８とを介して光学素子ホルダ２内へ、レーザビーム４の入射点６若しくは入射領域に対して対称的に（つまり熱源若しくは入熱箇所に対して対称的に）行われる。これにより、反射光学素子３に、より一様な温度場が生じることで、有利には、反射光学素子３の熱に起因した変形若しくは膨張が、少なくともより一様に行われることになる。他方では、保持アーム８の長手方向軸線１２が、レーザビーム４の入射点６に対して、若しくは入射垂線５に対して等距離に（同一間隔Ｄをおいて）配置されている。これにより、熱に起因した保持アーム８の長さ変化に伴って、反射光学素子３は入射垂線の軸線５を中心として僅かに回動するに過ぎないので、反射光学素子３が湾曲された形状若しくは球面形状を有している場合に、光学素子ホルダ２における反射光学素子３の保持若しくは取付けが、不都合なビーム偏向をもたらすことはない。
【００３０】
図４には、光学ユニット１が側面図で示されている。反射光学素子３は、保持面９に付与された接着剤を介して、保持面９に取り付けられている。保持面９と反射光学素子３の裏面１１との間の接着層は、膨張運動を補償するためではなく、単に固定のために用いられるに過ぎないので、接着層は、有利には特に薄く付与されてよい。弾性変位可能な保持アーム８は、細長いウェブとして、光学素子ホルダ２において一体的に形成されている。光学素子ホルダ２は、適当な固定手段を介して、（例えばレーザ加工機の）別の機械部分（図示せず）に固定することができる。
【００３１】
図５には、保持アーム８の円形の自由端部に形成された保持面９を備える光学素子ホルダ２が示されている。この光学素子ホルダ２は、保持アーム８の適当な弾性変位を可能にするアルミニウム合金から成っている。固定のためには、接着剤が反射光学素子３の保持面９に付与され、次いで反射光学素子３に接着される。
【００３２】
図６に示した別の光学素子ホルダ２は、図１〜図５に示した光学素子ホルダ２と同様に、弾性変位可能な保持アーム８として形成された３つの保持部材を有しており、この場合、これらの保持部材の各自由端部には、それぞれ反射光学素子３を取り付けるための円形の保持面９が形成されている。図１〜図５に示した光学素子ホルダ２とは異なり、図６に示した光学素子ホルダ２は、各保持面９の中心に配置された、不動の支持体１３として形成された別の保持部材を有している。支持体１３は、反射光学素子３を取り付けるための支持面１４を有している。保持アーム８及び／又は保持面９は、支持体１３の周りに特に回転対称的に配置されている。
【００３３】
最後に図７には、反射光学素子３（ここでは透明に図示）が、保持アーム８として形成された３つの保持部材と、支持体１３として形成された保持部材とを介して取り付けられている、図６に示した光学素子ホルダ２が示されている。取付けは、特に保持面９及び支持面１４と、反射光学素子３の裏面１１との間に付与される接着層を介して行われる。支持面１４を介した接着結合により、光学素子ホルダ２における反射光学素子３の確実な基底部取付けが保証されており、保持面９も、光学素子ホルダ２における反射光学素子３の機械的な安定化に寄与する。
【００３４】
図７に示す、反射光学素子３と光学素子ホルダ２とから形成された光学ユニット１の場合、レーザビーム４によってもたらされた熱は、大部分が、中心に配置された支持体１３を介して光学素子ホルダ２内へ導出され、その後、光学素子ホルダ２内にもたらされた熱は、レーザビーム４の入射点６の領域の半径方向外側に位置する反射光学素子３の領域内へ伝搬可能である。このことは更に、図７に示した保持アーム８の保持面９（及びこれに相応して接着層）を、図１〜図５に示した保持面９よりも小さく形成することを可能にする。入熱箇所にもたらされた熱の主要部分は既に光学素子ホルダ２内へ導出されることにより、熱に起因した反射光学素子３の膨張が全体的に低下され、その結果、反射光学素子３に発生する、熱に起因したひずみも、より少なくなる。それにも関わらず、前記のような膨張が（減少した程度で）反射光学素子３に生じた場合には、弾性変位可能な保持アーム８が、有利には前記膨張運動に追従するか、若しくは前記膨張運動を補償すると共に、その安定化機能を引き続き保持することができるようになっている。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2015533229.tif 000009
【国際調査報告】
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2015533229.tif 000011
2015533229.tif 000012
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