(57)【要約】層の間に隙間が発生するという課題を解決する。本発明は、導電性ポリマー層３１、常温溶融塩層３５、対向電極層３４を備えたアクチュエータを提供する。常温溶融塩層３５は、導電性ポリマー層３１と対向電極層３４との間に配置され、かつ、内部に接着層３３を含む。接着層３３の一方の面は、導電性ポリマー層３１に付着し、接着層３３の他方の面は、対向電極層３４に付着する。
2015507453.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性ポリマー層３１、
常温溶融塩層３５、
対向電極層３４を備え、
常温溶融塩層３５は、導電性ポリマー層３１と対向電極層３４との間に配置され、かつ、内部に接着層３３を含み、
接着層３３の一方の面は、導電性ポリマー層３１に付着し、
接着層３３の他方の面は、対向電極層３４に付着する
アクチュエータ。
【請求項２】
常温溶融塩層３５は、内部に複数の接着層３３を含み、
複数の接着層３３は、透視平面図で常温溶融塩層３５内に分散している
請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項３】
アクチュエータを駆動する方法であって、
（ａ）アクチュエータを準備する工程、ここでアクチュエータは、
導電性ポリマー層３１、
常温溶融塩層３５、
対向電極層３４を備え、
常温溶融塩層３５は、導電性ポリマー層３１と対向電極層３４との間に配置され、かつ、内部に接着層３３を含み、
接着層３３の一方の面は、導電性ポリマー層３１に付着し、
接着層３３の他方の面は、対向電極層３４に付着するものであり、
（ｂ）導電性ポリマー層３１と対向電極層３４に、それぞれ負電圧と正電圧を印加して、導電性ポリマー層３１の厚さを増加させる工程、
（ｃ）導電性ポリマー層３１と対向電極層３４に、それぞれ正電圧と負電圧を印加して、導電性ポリマー層３１の厚さを減少させる工程を含む
方法。
【請求項４】
常温溶融塩層３５は、内部に複数の接着層３３を含み、
複数の接着層３３は、透視平面図で常温溶融塩層３５内に分散している
請求項３に記載の方法。
【請求項５】
流路８を通過する流体の流れを制御する方法であって、
（ａ）アクチュエータを準備する工程、ここでアクチュエータは、
導電性ポリマー層３１、
常温溶融塩層３５、
対向電極層３４を備え、
常温溶融塩層３５は、導電性ポリマー層３１と対向電極層３４との間に配置され、かつ、内部に接着層３３を含み、
接着層３３の一方の面は、導電性ポリマー層３１に付着し、
接着層３３の他方の面は、対向電極層３４に付着するものであり、
（ｂ）導電性ポリマー層３１と対向電極層３４に、それぞれ正電圧と負電圧を印加し、導電性ポリマー層３１の厚さを増加させることにより、流路８を通過する流体の流れを停止させる工程、
（ｃ）導電性ポリマー層３１と対向電極層３４に、それぞれ負電圧と正電圧を印加し、導電性ポリマー層３１の厚さを減少させることにより、流体に流路８を通過させる工程を含む
方法。
【請求項６】
常温溶融塩層３５は、内部に複数の接着層３３を含み、
複数の接着層３３は、透視平面図で常温溶融塩層３５内に分散している
請求項５に記載の方法。
【請求項７】
アクチュエータ１は、基板９の上に設け、
工程（ｂ）では、アクチュエータ１の底面をアクチュエータ１に接触させ、
工程（ｃ）では、アクチュエータ１の底面をアクチュエータ１から離す
請求項５に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、導電性ポリマー層、常温溶融塩層および電極層を備えたアクチュエータが開示されている。特に、特許文献１の図１３Ｂを参照されたい。
【０００３】
図１は、非特許文献１のアクチュエータ１の概略断面図を示す。アクチュエータ１は、積層体２１を備える。図１に示すアクチュエータ１は、２つの積層体２１ａ，２１ｂを備える。
【０００４】
積層体２１ａは、導電性ポリマー層３１、対向電極層３４および常温溶融塩層３５を備える。図１に示す積層体２１ａは、第１導電性ポリマー層３１ａ、第１常温溶融塩層３５ａ、対向電極層３４、第２常温溶融塩層３５ｂおよび第２導電性ポリマー層３１ｂを備える。
【０００５】
積層体２１ａのおもて面と裏面には、支持層３２が形成されている。より詳細に説明すると、積層体２１ａのおもて面と裏面に、それぞれ第１支持層３２ａと第２支持層３２ｂが形成されている。
【０００６】
積層体２１ａ（以下、「第１積層体２１ａ」という）は、積層体２１ｂ（以下、「第２積層体２１ｂ」という）の上に積層されている。２つの積層体２１ａと２１ｂの間には、接着膜３６が介在している。接着膜３６は、第１積層体２１ａに含まれる第２支持層３２ｂと、第２積層体２１ｂに含まれる第１支持層３２ａとの間に、これらの層を互いに接着するように介在している。
【０００７】
各導電性ポリマー層３１は、アクチュエータ１の一方の側に設けられた第１電極２６に電気的に接続されている。各対向電極層３４は、アクチュエータ１の他方の側に設けられた第２電極２７に電気的に接続されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】米国特許出願第７６７９２６８号明細書（対応する特許第３９５９１０４号公報）
【非特許文献】
【０００９】
【非特許文献１】M. Hiraoka et al. "HIGH PRESSURE PUMP AS LAB ON CHIP COMPONENT FOR MICRO-FLUIDIC INTEGRATED SYSTEM", IEEE MEMS 2011 Technical Journal, 1139-1142
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
導電性ポリマー層３１と対向電極層３４には、それぞれ第１電極２６と第２電極２７を通じて負電圧と正電圧が印加される。この電圧差が印加されると、導電性ポリマー層３１の厚さが増加する。これは、常温溶融塩層３５から導電性ポリマー層３１へカチオンが移動するからである。
【００１１】
次に、導電性ポリマー層３１と対向電極層３４に、それぞれ正電圧と負電圧が印加される。この電圧差が印加されると、アクチュエータ１を元の状態に戻すように導電性ポリマー層３１の厚さが減少する。これは、導電性ポリマー層３１から常温溶融塩層３５へカチオンが移動するからである。アクチュエータ１はこのようにして機能する。
【００１２】
しかし、導電性ポリマー層３１の厚さの増減が繰り返されると、図２に示すように、これらの層の間に隙間が発生する。この隙間に起因して、導電性ポリマー層３１と常温溶融塩層３５との間でカチオンが移動しにくくなる。その結果、アクチュエータ１は機能しなくなる。
【００１３】
本発明の目的は、このような課題を解決するアクチュエータを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
以下の項目１から６に関する本発明は、上記課題を解決しようとするものである。
[第１項]
導電性ポリマー層３１、
常温溶融塩層３５、
対向電極層３４を備え、
常温溶融塩層３５は、導電性ポリマー層３１と対向電極層３４との間に配置され、かつ、内部に接着層３３を含み、
接着層３３の一方の面は、導電性ポリマー層３１に付着し、
接着層３３の他方の面は、対向電極層３４に付着する
アクチュエータ。
[第２項]
常温溶融塩層３５は、内部に複数の接着層３３を含み、
複数の接着層３３は、透視平面図で常温溶融塩層３５内に分散している
第１項に記載のアクチュエータ。
[第３項]
アクチュエータを駆動する方法であって、
（ａ）アクチュエータを準備する工程、ここでアクチュエータは、
導電性ポリマー層３１、
常温溶融塩層３５、
対向電極層３４を備え、
常温溶融塩層３５は、導電性ポリマー層３１と対向電極層３４との間に配置され、かつ、内部に接着層３３を含み、
接着層３３の一方の面は、導電性ポリマー層３１に付着し、
接着層３３の他方の面は、対向電極層３４に付着するものであり、
（ｂ）導電性ポリマー層３１と対向電極層３４に、それぞれ負電圧と正電圧を印加して、導電性ポリマー層３１の厚さを増加させる工程、
（ｃ）導電性ポリマー層３１と対向電極層３４に、それぞれ正電圧と負電圧を印加して、導電性ポリマー層３１の厚さを減少させる工程を含む
方法。
[第４項]
常温溶融塩層３５は、内部に複数の接着層３３を含み、
複数の接着層３３は、透視平面図で常温溶融塩層３５内に分散している
第３項に記載の方法。
[第５項]
流路８を通過する流体の流れを制御する方法であって、
（ａ）アクチュエータを準備する工程、ここでアクチュエータは、
導電性ポリマー層３１、
常温溶融塩層３５、
対向電極層３４を備え、
常温溶融塩層３５は、導電性ポリマー層３１と対向電極層３４との間に配置され、かつ、内部に接着層３３を含み、
接着層３３の一方の面は、導電性ポリマー層３１に付着し、
接着層３３の他方の面は、対向電極層３４に付着するものであり、
（ｂ）導電性ポリマー層３１と対向電極層３４に、それぞれ正電圧と負電圧を印加し、導電性ポリマー層３１の厚さを増加させることにより、流路８を通過する流体の流れを停止させる工程、
（ｃ）導電性ポリマー層３１と対向電極層３４に、それぞれ負電圧と正電圧を印加し、導電性ポリマー層３１の厚さを減少させることにより、流体に流路８を通過させる工程を含む
方法。
[第６項]
常温溶融塩層３５は、内部に複数の接着層３３を含み、
複数の接着層３３は、透視平面図で常温溶融塩層３５内に分散している
第５項に記載の方法。
[第７項]
アクチュエータ１は、基板９の上に設け、
工程（ｂ）では、アクチュエータ１の底面をアクチュエータ１に接触させ、
工程（ｃ）では、アクチュエータ１の底面をアクチュエータ１から離す
第５項に記載の方法。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係るアクチュエータでは、接着層３３により、アクチュエータの故障を引き起こす層間の隙間の発生が防止される。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】従来のアクチュエータの断面図を示す。
【図２】従来のアクチュエータの断面図を示す。
【図３】実施の形態によるアクチュエータの断面図を示す。
【図４】実施の形態によるアクチュエータの断面図を示す。
【図５】実施の形態によるバルブの断面図を示す。
【図６Ａ】実施の形態によるアクチュエータを製造する方法の一工程での断面図を示す。
【図６Ｂ】図６Ａに続く工程での断面図を示す。
【図６Ｃ】図６Ｂに続く工程での断面図を示す。
【図６Ｄ】図６Ｃに続く工程での断面図を示す。
【図７Ａ】実施の形態によるアクチュエータを製造する方法の一工程での断面図を示す。
【図７Ｂ】図６Ｄに続く工程での断面図を示す。
【図７Ｃ】図７Ａに続く工程での断面図を示す。
【図７Ｄ】図７Ｂと図７Ｃに続く工程での断面図を示す。
【図８Ａ】図７Ｄに続く工程での断面図を示す。
【図８Ｂ】図８Ａに続く工程での断面図を示す。
【図８Ｃ】図８Ｂに続く工程での断面図を示す。
【図８Ｄ】図８Ｃに続く工程での断面図を示す。
【図９】常温溶融塩層３５の内部の透視平面図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明の実施の形態について、以下で説明する。以下の説明では、同じ構成要素には同じ参照符号を付して、繰り返しとなる説明は省略する。
【００１８】
図３に示すように、アクチュエータ１に含まれる常温溶融塩層３５に、接着層３３が追加されている。言い換えると、常温溶融塩層３５は、内部に接着層３３を含む。接着層３３は、電気絶縁性を有していてもよい。
【００１９】
接着層３３の一方の面は、導電性ポリマー層３１に付着している。接着層３３の他方の面は、対向電極層３４に付着している。接着層３３の数は、１つまたはそれ以上であってよい。
【００２０】
導電性ポリマー層３１と対向電極層３４には、それぞれ第１電極２６と第２電極２７を通じて負電圧と正電圧が印加される。図４に示すように、この電圧差が印加されると、導電性ポリマー層３１の厚さが当該導電性ポリマー層３１の法線方向に増加する。次に、導電性ポリマー層３１と対向電極層３４に、それぞれ正電圧と負電圧が印加されると、図３に示す元の状態へアクチュエータ１を戻すように導電性ポリマー層３１の厚さが減少する。
【００２１】
図２の場合とは異なり、接着層３３に起因する隙間は発生しない。
【００２２】
導電性ポリマー層３１、支持層３２および接着膜３６は、図４に示すように導電性ポリマー層３１の厚さの増加、減少に追随するように、それぞれ可撓性を有することが好ましい。
【００２３】
図９に示すように、常温溶融塩層３５の透視平面図(perspective top-view)で、複数の接着層３３が常温溶融塩層３５の内部に分散して配置されていることが好ましい。
【００２４】
導電性ポリマー層３１の好適な材料の例は、ポリピロール／ビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミドである。好適な接着層３３の例は、エポキシ系の接着剤である。常温溶融塩層３５の好適な材料の例は、１−エチル−３−メチルイミダゾリウム／ビス（トリフルオロメタンスルホニル）イミドである。対向電極層３４の好適な材料の例は、ポリピロール／ドデシルベンゼンスルホン酸である。
【００２５】
次に、アクチュエータを用いて流体の流れを制御する方法について説明する。
【００２６】
図５に示すように、基板９の上に２つの壁４を配置する。これら２つの壁４の間に、アクチュエータ１を固定する。基板９とアクチュエータ１の底面との間に流路８が形成される。図５の例の代わりに、基板の表面の上に溝部を形成して、基板に流路を設けることもできる。図５は、アクチュエータ１の詳細（導電性ポリマー層３１など）を示していないことに留意されたい。
【００２７】
導電性ポリマー層３１と対向電極層３４に、それぞれ負電圧と正電圧を印加し、導電性ポリマー層３１の厚さを増加させる。アクチュエータ１の底面は基板９と接触しているので、流路８を通過する流体の流れが停止する。
【００２８】
次に、導電性ポリマー層３１と対向電極層３４に、それぞれ正電圧と負電圧を印加し、導電性ポリマー層３１の厚さを減少させる。導電性ポリマー層３１の底面が基板から離れるので、流体が流路８を流れる。
【００２９】
（実施例）
以下の実施例は、本発明をより詳細に説明するものである。
【００３０】
（実施例１）
図６Ａに示すように、導電性ポリマー層３１を準備した。この導電性ポリマー層３１は、１−エチル−３−メチルイミダゾリウム／ビス（トリフルオロメタンスルホニル）イミド（以下、ＥＭＩ／ＴＦＳＩという）からなるイオン液体を溶媒として使用して、非特許文献１に開示された方法によって製造した。導電性ポリマー層３１を製造するための化学試薬は、Sigma Aldrich Corporationから購入した。
【００３１】
導電性ポリマー層３１は、ポリピロール／ビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド（以下、ＰＰｙ／ＴＦＳＩという）により作成した。導電性ポリマー層３１は、厚さが２０ミリメートル、幅が２０ミリメートル、厚さが７０マイクロメートルであった。
【００３２】
次に、図６Ｂに示すように、導電性ポリマー層３１の上に支持層３２を形成した。より詳細に説明すると、導電性ポリマー層３１の上に、タングステンとチタンからなる合金層（厚さ２０ナノメートル）をスパッタリングで形成した。続いて、厚さ１５０ナノメートルの金層をスパッタリングで積層させた。このようにして、支持層３２を形成した。
【００３３】
図６Ｃに示すように、エポキシ系接着剤（Namics Companyから購入）を使用して、
それぞれ支持層３２を有する２つの導電性ポリマー層３１を、２つの支持層３２が互いに面するように接着した。この接着層は、接着膜３６に相当する。続いて、図６Ｄに示すように、ＹＡＧレーザ素子を用いて導電性ポリマー層３１の両端部を切断した。
【００３４】
一方、図７Ａに示すように、対向電極層３４を準備した。この対向電極層３４は、導電性ポリマー層３１と同様の方法で製造した。
【００３５】
対向電極層３４は、ポリピロール／ドデシルベンゼンスルホン酸（以下、ＰＰｙ／ＤＢＳという）により作成した。
【００３６】
次に、図７Ｂに示すように、導電性ポリマー層３１の上に接着層３３を形成した。図７Ｂの場合と同様に、対向電極層３４の上にも接着層３３を形成した（図７Ｃ参照）。接着層３３の形成の詳細については、以下で説明する。
【００３７】
各接着層３３は、ステンシル印刷法により形成した。ステンシル法では、図９に対応するニッケルマスク（厚さ２０マイクロメートル）を使用した。このマスクは、複数の円形スルーホールを有する。各円形スルーホールの半径を４０マイクロメートルとした。隣接する２つのスルーホールの中心間距離を２６０マイクロメートルとした。
【００３８】
ステンシル印刷法により、導電性ポリマー層３１と対向電極層３４の上に液状接着剤を塗布した。続いて、１２０℃に保ったオーブン内で１分間、仮硬化(provisionally cure)させた。この段階で、接着層３３の半径は４５マイクロメートルから５０マイクロメートルであり、高さは約１６マイクロメートルであった。
【００３９】
次に、図７Ｂに示す複数の導電性ポリマー層３１と図７Ｃに示す複数の対向電極層３４を交互に積層し、図７Ｄに示す積層構造を形成した。
【００４０】
積層構造の上面に２５０グラムの加重をかけた。次に、１２０℃に保ったオーブン内に積層構造を９分間保持し、接着剤を完全に硬化させた。続いて、上面から加重を取り除いた。
【００４１】
図８Ａに示すように、得られた積層構造の両面に銀ペーストを塗布し、第１電極２６と第２電極２７を形成した。第１電極２６を導電性ポリマー層３１に電気的に接続した。第２電極２７を対向電極層３４に電気的に接続した。
【００４２】
次に、図８Ｂに示すように、ケース２０内に積層構造を配置した。続いて、接着剤（Namics Companyから購入）を使用して、積層構造の底面の上にプレート２２とゴムシート２３を固定した。プレート２２は、厚さ０．５ミリメートルの石英ガラスにより作成した。ゴムシート２３は、厚さ０．１ミリメートルのシリコーンゴムシートにより作成した。
【００４３】
図８Ｃに示すように、接着剤（Huntsman Advanced Materialsから購入。商品名：Araldite Standard）を使用して、蓋２４をケース２０に固定した。蓋２４は、石英ガラスからなる。接着剤（Namics Companyから購入）を使用して、積層構造を蓋２４に固定した。
【００４４】
最後に、蓋２４内に形成されたスルーホール２５を介して、図８Ｄに示すように、ＥＭＩ／ＴＦＳＩ常温溶融塩層３５（Sigma Aldrich Corporationから購入）をケース２０に注入した。ケース２０は、このＥＭＩ／ＴＦＳＩ常温溶融塩で充填された。このようにして、常温溶融塩層３５を形成した。
【００４５】
第１電極２６と第２電極２７を通じて、導電性ポリマー層３１と対向電極層３４との間に電圧差を印加した。より詳細に説明すると、導電性ポリマー層３１と対向電極層３４との間に、−３．０ボルト（１００秒間）と＋３．７ボルト（１２０秒）の周期的なバイアス電圧を交互に１０時間印加した。２時間後、層の間に隙間は観察されなかった。
【００４６】
（比較例）
接着層３３が形成されないことを除いて実施例と同じようにアクチュエータを構成した。続いて、このアクチュエータに、実施例と同じようにパルス波を印加したところ、パルス波の印加後、層の間に隙間が観察された。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明に係るアクチュエータは、バイオセンサ内で利用できる。
【符号の説明】
【００４８】
１  アクチュエータ
２１  積層体（２１ａ  第１積層体、  ２１ｂ  第２積層体）
２６  第１電極
２７  第２電極
３１  導電性ポリマー層（３１ａ  第１導電性ポリマー層、  ３１ｂ  第２導電性ポリマー層）
３２  支持層（３２ａ  第１支持層、  ３２ｂ  第２支持層）
３３  接着層
３４  対向電極層
３５  常温溶融塩層
３６  接着膜
４  壁
８  流路
９  基板
１１  バルブ
２０  ケース
２２  プレート
２３  ゴムシート
２４  蓋
２５  スルーホール
【図１】
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【図２】
2015507453.tif 000004
【図３】
2015507453.tif 000005
【図４】
2015507453.tif 000006
【図５】
2015507453.tif 000007
【図６Ａ】
2015507453.tif 000008
【図６Ｂ】
2015507453.tif 000009
【図６Ｃ】
2015507453.tif 000010
【図６Ｄ】
2015507453.tif 000011
【図７Ａ】
2015507453.tif 000012
【図７Ｂ】
2015507453.tif 000013
【図７Ｃ】
2015507453.tif 000014
【図７Ｄ】
2015507453.tif 000015
【図８Ａ】
2015507453.tif 000016
【図８Ｂ】
2015507453.tif 000017
【図８Ｃ】
2015507453.tif 000018
【図８Ｄ】
2015507453.tif 000019
【図９】
2015507453.tif 000020
【手続補正書】
【提出日】平成26年6月23日(2014.6.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性ポリマー層３１、
常温溶融塩層３５、
対向電極層３４を備え、
常温溶融塩層３５は、導電性ポリマー層３１と対向電極層３４との間に配置され、かつ、内部に接着層３３を含み、
接着層３３の一方の面は、導電性ポリマー層３１に付着し、
接着層３３の他方の面は、対向電極層３４に付着する
アクチュエータ。
【請求項２】
常温溶融塩層３５は、内部に複数の接着層３３を含み、
複数の接着層３３は、透視平面図で常温溶融塩層３５内に分散している
請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項３】
アクチュエータを駆動する方法であって、
（ａ）アクチュエータを準備する工程、ここでアクチュエータは、
導電性ポリマー層３１、
常温溶融塩層３５、
対向電極層３４を備え、
常温溶融塩層３５は、導電性ポリマー層３１と対向電極層３４との間に配置され、かつ、内部に接着層３３を含み、
接着層３３の一方の面は、導電性ポリマー層３１に付着し、
接着層３３の他方の面は、対向電極層３４に付着するものであり、
（ｂ）導電性ポリマー層３１と対向電極層３４に、それぞれ負電圧と正電圧を印加して、導電性ポリマー層３１の厚さを増加させる工程、
（ｃ）導電性ポリマー層３１と対向電極層３４に、それぞれ正電圧と負電圧を印加して、導電性ポリマー層３１の厚さを減少させる工程を含む
方法。
【請求項４】
常温溶融塩層３５は、内部に複数の接着層３３を含み、
複数の接着層３３は、透視平面図で常温溶融塩層３５内に分散している
請求項３に記載の方法。
【請求項５】
流路８を通過する流体の流れを制御する方法であって、
（ａ）アクチュエータを準備する工程、ここでアクチュエータは、
導電性ポリマー層３１、
常温溶融塩層３５、
対向電極層３４を備え、
常温溶融塩層３５は、導電性ポリマー層３１と対向電極層３４との間に配置され、かつ、内部に接着層３３を含み、
接着層３３の一方の面は、導電性ポリマー層３１に付着し、
接着層３３の他方の面は、対向電極層３４に付着するものであり、
（ｂ）導電性ポリマー層３１と対向電極層３４に、それぞれ負電圧と正電圧を印加し、導電性ポリマー層３１の厚さを増加させることにより、流路８を通過する流体の流れを停止させる工程、
（ｃ）導電性ポリマー層３１と対向電極層３４に、それぞれ正電圧と負電圧を印加し、導電性ポリマー層３１の厚さを減少させることにより、流体に流路８を通過させる工程を含む
方法。
【請求項６】
常温溶融塩層３５は、内部に複数の接着層３３を含み、
複数の接着層３３は、透視平面図で常温溶融塩層３５内に分散している
請求項５に記載の方法。
【請求項７】
アクチュエータ１は、基板９の上に設け、
工程（ｂ）では、アクチュエータ１の底面を基板９に接触させ、
工程（ｃ）では、アクチュエータ１の底面を基板９から離す
請求項５に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
以下の項目１から７に関する本発明は、上記課題を解決しようとするものである。
[第１項]
導電性ポリマー層３１、
常温溶融塩層３５、
対向電極層３４を備え、
常温溶融塩層３５は、導電性ポリマー層３１と対向電極層３４との間に配置され、かつ、内部に接着層３３を含み、
接着層３３の一方の面は、導電性ポリマー層３１に付着し、
接着層３３の他方の面は、対向電極層３４に付着する
アクチュエータ。
[第２項]
常温溶融塩層３５は、内部に複数の接着層３３を含み、
複数の接着層３３は、透視平面図で常温溶融塩層３５内に分散している
第１項に記載のアクチュエータ。
[第３項]
アクチュエータを駆動する方法であって、
（ａ）アクチュエータを準備する工程、ここでアクチュエータは、
導電性ポリマー層３１、
常温溶融塩層３５、
対向電極層３４を備え、
常温溶融塩層３５は、導電性ポリマー層３１と対向電極層３４との間に配置され、かつ、内部に接着層３３を含み、
接着層３３の一方の面は、導電性ポリマー層３１に付着し、
接着層３３の他方の面は、対向電極層３４に付着するものであり、
（ｂ）導電性ポリマー層３１と対向電極層３４に、それぞれ負電圧と正電圧を印加して、導電性ポリマー層３１の厚さを増加させる工程、
（ｃ）導電性ポリマー層３１と対向電極層３４に、それぞれ正電圧と負電圧を印加して、導電性ポリマー層３１の厚さを減少させる工程を含む
方法。
[第４項]
常温溶融塩層３５は、内部に複数の接着層３３を含み、
複数の接着層３３は、透視平面図で常温溶融塩層３５内に分散している
第３項に記載の方法。
[第５項]
流路８を通過する流体の流れを制御する方法であって、
（ａ）アクチュエータを準備する工程、ここでアクチュエータは、
導電性ポリマー層３１、
常温溶融塩層３５、
対向電極層３４を備え、
常温溶融塩層３５は、導電性ポリマー層３１と対向電極層３４との間に配置され、かつ、内部に接着層３３を含み、
接着層３３の一方の面は、導電性ポリマー層３１に付着し、
接着層３３の他方の面は、対向電極層３４に付着するものであり、
（ｂ）導電性ポリマー層３１と対向電極層３４に、それぞれ負電圧と正電圧を印加し、導電性ポリマー層３１の厚さを増加させることにより、流路８を通過する流体の流れを停止させる工程、
（ｃ）導電性ポリマー層３１と対向電極層３４に、それぞれ正電圧と負電圧を印加し、導電性ポリマー層３１の厚さを減少させることにより、流体に流路８を通過させる工程を含む
方法。
[第６項]
常温溶融塩層３５は、内部に複数の接着層３３を含み、
複数の接着層３３は、透視平面図で常温溶融塩層３５内に分散している
第５項に記載の方法。
[第７項]
アクチュエータ１は、基板９の上に設け、
工程（ｂ）では、アクチュエータ１の底面を基板９に接触させ、
工程（ｃ）では、アクチュエータ１の底面を基板９から離す
第５項に記載の方法。
【国際調査報告】
2015507453.tif 000021
2015507453.tif 000022
2015507453.tif 000023