(57)【要約】【課題】  真空バルブの運転または制御方法の可能性の拡張を図る。【解決手段】  真空バルブは、バルブ開口部(2)を有するバルブボディ(1)と、真空バルブを密閉するため、開位置と閉位置との間で閉軌道を経て変位可能な閉塞部材(3)と、閉塞部材(3)を駆動するアクチュエータ(5)と、アクチュエータ(5)を制御する制御装置(9)とを備えている。閉軌道において弾性シール(4)がシール面(35)に当接する位置(p)およびその際の閉塞部材(3)の速度(v)のうち一方または両方が制御装置(9)に必要なパラメータとして用いられる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空バルブの運転または制御方法であって、前記真空バルブは、
バルブ開口部(2)を有するバルブボディ(1)と、
前記真空バルブを密閉するため、開位置と、前記バルブ開口部(2)が閉じられるとともに少なくとも１つの弾性シール(4)がシール面(35)に押し付けられる閉位置との間で閉軌道を経て変位可能な閉塞部材(3)と、
前記閉塞部材(3)を駆動するアクチュエータ(5)と、
前記アクチュエータ(5)を制御する制御装置(9)とを備え、
前記閉軌道において前記弾性シール(4)が前記シール面(35)に当接する位置(p)およびその際の前記閉塞部材(3)の速度(v)のうち一方または両方が前記制御装置(9)に必要なパラメータとして用いられることを特徴とする方法。
【請求項２】
請求項１記載の方法において、
前記制御装置(9)により、前記閉塞部材(3)が当接位置(p)に至る際の速度(v)が、少なくとも１つのパラメータまたは少なくとも１つの変数に応じて調節されることを特徴とする方法。
【請求項３】
請求項２記載の方法において、
前記制御装置(9)により、前記閉塞部材(3)が当接位置(p)に到達するときの速度(v)が、前記弾性シール(4)の材料の相違に応じて異なる値に調節されることを特徴とする方法。
【請求項４】
請求項２または３記載の方法において、
前記制御装置(9)により、前記閉塞部材(3)が当接位置(p)に到達するときの速度(v)が、前記弾性シール(4)を接触に至らせるためのプロセスガスの相違に応じて異なる値に調節されることを特徴とする方法。
【請求項５】
請求項１〜４のうちいずれか１つに記載の方法において、
前記制御装置(9)により、少なくとも１つの定められた閉過程が実行され、当該閉過程において前記真空バルブの運転または制御用の少なくとも１つのパラメータの値が計測されることを特徴とする方法。
【請求項６】
請求項１〜５のうちいずれか１つに記載の方法において、
前記制御装置(9)により、前記閉軌道において前記弾性シール(4)のシール面(35)に対する前記当接位置(p)が少なくとも１回、特に繰り返し計測されることを特徴とする方法。
【請求項７】
請求項６記載の方法において、
前記制御装置(9)により、前記当接位置(p)の計測値が境界値と比較されることを特徴とする方法。
【請求項８】
請求項７記載の方法において、
前記比較結果に応じて、前記制御装置(9)によりサービス信号が出力されることを特徴とする方法。
【請求項９】
請求項６〜８のうちいずれか１つに記載の方法において、
前記制御装置(9)により、前記真空バルブの閉塞中に前記当接位置(p)への到達期間が決定されることにより、前記アクチュエータおよび前記アクチュエータの動作を前記閉塞部材(3)に伝達する伝動機構の伝達効率が計測され、当該伝達効率は前記アクチュエータ(5)および前記伝動機構に関連付けられることを特徴とする方法。
【請求項１０】
請求項１〜９のうちいずれか１つに記載の方法において、
前記閉軌道(s)を通じて前記アクチュエータ(5)に供給される運転資源の再現された経歴に基づき、前記弾性シール(4)の前記シール面(35)に対する当接位置(p)が求められることを特徴とする方法。
【請求項１１】
請求項１〜１０のうちいずれか１つに記載の方法において、
前記閉塞部材(3)の閉軌道(s)を通じて電動アクチュエータ(5)に供給される電流の電流強度(I)の経歴に基づき、前記当接位置(p)が求められることを特徴とする方法。
【請求項１２】
請求項１〜１１のうちいずれか１つに記載の方法において、
前記真空バルブが閉じられる際、当接位置(p)から閉位置までの経路の２倍の長さに等しい前記閉軌道の最後の部分に対して、前記閉軌道(s)の全体に対して必要な時間のうち２０％以上、特に４０％以上が割り当てられることを特徴とする方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空バルブの制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
真空バルブの制御装置であって、圧縮空気などの相応の運転資源が供給されることにより作動し、閉塞部材を開閉するアクチュエータを制御する制御装置が知られている。また、運転資源が消失した場合、閉塞部材がばね要素によって開位置または閉位置に維持される自動開閉弁が知られている。さらに、気圧駆動式の真空バルブ、電動式の真空バルブも知られている。安全機能を実現するため、すなわち、真空システムのある状態について真空バルブの開閉を禁止または許可するため、バルブ状態に関するさまざまな入力信号を制御装置に供給することも知られている。
【０００３】
真空バルブの制御方法であって、真空バルブが中間に配置されている２つの真空チャンバの間の差圧の測定値の関数として、弾性シールに作用する圧力が制御装置により設定されるような方法が知られている（特許文献１参照）。これにより、弾性シールの消耗度が低減されうる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】米国特許公報  ＵＳ７，０３６，７９４Ｂ２
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、前記のようなタイプの真空バルブの運転または制御方法の可能性の拡張を図ることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、バルブ開口部を有するバルブボディと、前記真空バルブを密閉するため、開位置と、前記バルブ開口部が閉じられるとともに少なくとも１つの弾性シールがシール面に押し付けられる閉位置との間で閉軌道を経て変位可能な閉塞部材と、前記閉塞部材を駆動するアクチュエータと、前記アクチュエータを制御する制御装置とを備えている真空バルブの運転または制御方法に関する。
【０００７】
前記課題を解決するための本発明の方法は、前記閉軌道において前記弾性シールが前記シール面に当接する位置およびその際の前記閉塞部材の速度のうち一方または両方が前記制御装置にとって必要なパラメータとして用いられることを特徴とする。
【０００８】
本発明は、弾性シールのシール面に対する当接位置および当該位置における閉塞部材の速度のうち一方または両方を用いることにより、制御装置により真空バルブのより適切な運転または制御が実行されることを基本的思想としている。
【０００９】
本明細書では「制御装置」は、特に電子機器など、一または複数の制御ループを有するオープン制御手法の意味において制御処理を実行するあらゆる装置を包含する。
【００１０】
本発明の有利な一実施態様において、閉塞部材の当接位置に対する接近速度が制御装置により制御される。閉塞部材の速度が適応的または適当に制御される。当接位置における閉塞部材の速度は、少なくとも１つの制御用パラメータの関数として異なる値に適当に制御される。制御用のパラメータは、制御装置に入力されうるパラメータ、または、制御装置により自動的に測定されるパラメータ、または、自動的に計測される変数を含む。マニュアル入力される、または、自動的に測定されるパラメータまたは変数の組み合わせも適用可能である。
【００１１】
たとえば、弾性シールのシール面に対する当接速度は、弾性シールの（入力または測定された）材料の関数として異なる値に制御されうる。当接速度は弾性シールにとって重要な負荷パラメータであり、弾性シールの材料が異なる場合、適当な耐久寿命のための最高当接速度は異なる。その一方、真空バルブの最長の工程周期を考慮して、可能な限り高い当接速度が望ましい。異なる材料からなる弾性シールが用いられる場合、本発明によりこれらの条件が満たされる。
【００１２】
たとえば、真空バルブが用いられる真空中の処理実行中に、弾性シールを当接させるプロセスガスの種類は、異なるまたは付加的なパラメータとして、当該パラメータの関数として当接速度がさまざまな値に設定されるように用いられてもよい。このため、プロセスガスが侵食性である場合、適当な耐久寿命を実現するために当接速度は低減される。
【００１３】
閉塞部材の当接位置における当接速度の制御により、アクチュエータまたは閉塞機構（すなわち、閉塞部材にアクチュエータの動力を伝達する伝動機構）など、シールとは異なる部分の消耗度が最適化される。
【００１４】
本発明の他のまたは付加的な態様において、真空バルブの閉塞中に閉軌道または閉行程における当接位置の現在値が、制御装置によってシステムの再起動時などに少なくとも１回、特に繰り返して測定されてもよい。これにより、後述するようにさまざまな制御態様が個別にまたは組み合わせられて実現されうる。
【００１５】
当接位置の現在値が繰り返し測定されることにより、当接位置の各測定値が弾性シールの消耗度に関連付けられうる。このため、シールの消耗度が増加している場合、当接位置は、真空バルブの閉塞中にアクチュエータにより実現される変位の開始位置から徐々に離れるように変化する。許容値を超えた場合、弾性シールの交換が必要であることを示すサービス信号、特に、光学信号および音響信号のうち一方または両方の出力が制御装置により認識される。
【００１６】
たとえば、シールの既存の負荷が、弾性シールのシール面に対する当接位置に関して、閉塞部材の速度制御のためのパラメータとして用いられてもよい。
【００１７】
閉塞部材の閉位置において弾性シールに作用する圧力が、測定された閉塞位置の関数として調節されてもよい。このため、たとえば、シールの消耗度が増加している場合、リーク率を基準値以下に維持するために圧力が強められる。
【００１８】
当接位置の現在値を決定することにより、閉塞部材は、その当接位置における速度を目標速度に維持するため、実際の当接位置の手前で制動される。
【００１９】
本発明のさらに他の実施態様において、真空バルブの閉塞中に当接位置に到達するのに要した時間を測定することにより、アクチュエータと、アクチュエータの動きを閉塞部材の動きに変換する伝動機構との伝達効率が制御装置により算定されてもよい。この伝達効率は、アクチュエータおよび当該構成要素のための伝動機構またはベアリング要素の消耗度に関連付けられ、その消耗度が許容消耗度を超えた場合、制御装置により、アクチュエータ、伝動機構またはベアリング要素のメンテナンスが必要であることを示すサービス信号が光学信号および音響信号のうち一方または両方として出力される。
【００２０】
本発明の方法はさまざまな種類のバルブに適用されうる。たとえば、バルブは、閉塞部材の開位置および閉位置の間の閉塞動作のすべてが、直線的であるように構成されている。このような真空バルブは、米国特許公報ＵＳ６，６８５，１６３Ｂ２または米国特許公報ＵＳ４，９２１，２１３Ａなどにより開示されている。
【００２１】
本発明の方法は、米国特許公報ＵＳ４，０５２，０３６Ａまたは米国特許公報ＵＳ４，４７０，５７６Ａなどにより開示されている、スライドバルブのようなバルブにも適用されうる。
【００２２】
本発明の方法は、バタフライバルブのような真空バルブに適用されてもよい。このようなバタフライバルブは米国特許公報ＵＳ４，６３４，０９４Ａまたは米国特許公報ＵＳ６，４９４，４３９Ｂ１などにより開示されている
さらに、本発明の方法は、Ｌバルブのような真空バルブに適用されてもよい。このようなＬバルブは米国特許公報ＵＳ６，４３１，５１８Ｂ１などにより開示されている。Ｌ形状の動きを構成する個別の動きは、同一または異なるアクチュエータにより実行される。
【００２３】
また、本発明の方法は、米国特許公報ＵＳ６，３６７，７７０Ｂ１などにより開示されている、閉塞部材がＶ形状であって、たとえば、対応するシール面に当接するシールをその両側に有するような真空バルブに適用されてもよい。
【００２４】
本発明のさらなる利点および詳細は、添付図面を参照して以下で説明される。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】２つの真空チャンバの間に配置された、閉塞部材が閉位置にある状態における真空バルブの、バルブ開口部の軸に沿った断面図。
【図２】閉塞部材が開位置にある状態における図１に示されている真空バルブの、バルブ開口部の軸に対して垂直な方向の断面図。
【図３】閉塞部材の経路に応じた閉塞部材の速度およびアクチュエータの電流値に関する説明図。
【図４】２つの真空チャンバの間に配置された、本発明の手法により制御可能な他の実施形態としての真空バルブの説明図。
【図５】本発明の手法により制御可能な更なる実施形態としての真空バルブの断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
本発明の方法が適用されうる真空バルブの実施例が図１および図２に示されている。真空バルブは、導通管状に形成されているバルブ開口部２を有するバルブボディ１と、閉塞部材３とを備えている。閉塞部材３は開位置（図２参照）においてバルブ開口部２を開放し、閉位置（図１参照）においてバルブ開口部２を閉塞する。閉塞部材３の閉位置において弾性シール４がバルブボディ１に設けられているシール面３５に押し付けられる。シール４は閉塞部材３に配置され、シール面３５はバルブボディ１に配置されている。これと逆の配置も可能である。
【００２７】
本実施形態の真空バルブにおけるシール４は、バルブ開口部２の縦軸の方向に相互に離れ、連結部において連結されている２つの平行な平面にある部分を備えている。閉塞部材３およびバルブボディ１のシール面３５の構成は周知であって、たとえば米国特許公報ＵＳ４，８０９，９５０Ｂに開示されている。
【００２８】
閉塞部材３を図２に示されている開位置から図１に示されている閉位置に変位させるためにアクチュエータ５が用いられる。アクチュエータ５は、電動モータ、好ましくはＡＣサーボモータ、ＤＣサーボモータまたはステッピングモータにより構成されている。アクチュエータ５による閉塞部材３の変位は中間に接続されている伝動機構によって実現される。本実施形態では伝動機構はピニオン６およびトゥースラック７により構成されている。ラック７の延長部分は閉塞部材３に固定されている。バルブロッドを形成する、ラック７の延長部分はシールされ（シール８参照）、真空バルブの真空領域に対して進退するように変位可能である。
【００２９】
アクチュエータ５は制御装置９により駆動され、アクチュエータ５の動作が制御装置９によって制御される。
【００３０】
制御装置９により制御される、さらに多数のアクチュエータ５が設けられていてもよい。
【００３１】
本実施形態では、センサ１０により、たとえば、ラック７に配置されているコードが検知されることによって閉塞部材３の位置が検知される。閉塞部材３の検知位置は制御ループを構築するために制御装置９に供給される。本実施形態では前述のように閉塞部材３の変位の制御が実現されている。
【００３２】
制動機または保持装置３６がさらに用いられ、これにより、閉塞部材３が少なくとも閉位置、特に、開位置または閉軌道における任意の位置などの他の位置においても保持されうる。図１に示されている、制御装置９により作動させられる保持装置３６は、好ましくは自動的に閉じるように構成されている。すなわち、電流または圧縮空気などの運転資源の供給によって開かれ、運転資源の供給がない場合に閉じられる。たとえば、摩擦要素３７をラック７など、閉塞部材３に連結されている部材に押し付けるばね装置が用いられてもよい。
【００３３】
たとえば、電気機械式、電磁式の保持装置３６または気圧式の保持装置３６が設けられていてもよい。
【００３４】
真空バルブは、真空チャンバ１１および１２の中間に配置され、真空バルブによって真空チャンバ１１および１２が連通され、または、真空チャンバ１１および１２が気密に遮断されうる。たとえば、真空チャンバ１１において、ウェハー等の加工される少なくとも１つのワークピースの処理が実行される。他方の真空チャンバ１２はたとえば運搬用のチャンバであってもよい。
【００３５】
図１に示されている圧力センサ１３、１４が用いられ、これにより、各真空チャンバ１１、１２における圧力が計測されうる。圧力計測値は制御装置９に供給される。
【００３６】
制御装置９は、好ましくは、入口面積等のデータを入力するためのキーボード等の入力装置１５を備えている。
【００３７】
制御装置９は、好ましくは、ディスプレイまたはスクリーン等の出力装置１６を備えている。音響出力装置が用いられてもよい。
【００３８】
図３において、閉軌道ｓに応じた閉塞部材３の速度ｖが曲線１７として示されている。閉軌道ｓの初期において速度ｖはある値まで増加し、閉軌道の大部分において一定に維持される。閉軌道の終期において速度ｖは、弾性シール４が適当な力でシール面に押し付けられる終点に至るまで低下し、閉塞部材３が停止される。
【００３９】
弾性シール４がシール面に当接する時点が図３に示されている。当該時点ｐまでの閉軌道は閉塞ストローク１８として表わされ、当該時点ｐから停止までの閉軌道は密閉ストローク１９として表わされている。全体の閉軌道は全体ストローク２０として表わされている。
【００４０】
本実施形態では、全体の閉軌道ｓは標準的には５９ｍｍである。
【００４１】
閉塞部材３の当接位置ｐへの接近速度ｖは制御装置９により設定される。当接位置ｐにおける速度（当接速度）ｖは、制御用の少なくとも１つの入力パラメータの関数として設定される。
【００４２】
好ましくは、弾性シール４の材料がそのような入力パラメータとして用いられる。特に、ＦＫＭ（フルオロエラストマー。Ｖｉｔｏｎ（登録商標））、ＦＦＫＭ（パーフルオロエラストマー）またはシリコン製の弾性シールが知られている。たとえば、ＦＦＫＭ材料よりなるシールについて、ＦＫＭまたはシリコンよりなるシールよりも低い当接速度が選択される。
【００４３】
シール４の材料は入力装置１５を通じて制御装置９に入力される。たとえば、センサにより検知される、材料に応じたコードがシール４に付されていてもよい。
【００４４】
当接速度が入力パラメータの関数として異なる値に設定されるところの当該入力パラメータとして、代替的または付加的にプロセスガスの種類が用いられてもよい。プロセスガスが、プロセスチャンバとしての真空チャンバ１１において用いられ、シール４の当接に用いられる。
【００４５】
当接速度はパーティクルの生成許容量に関する入力パラメータの関数として設定されてもよい。当接速度が高くなるほど、パーティクルが多く形成されるが、用途によってはパーティクル生成により影響を受ける。
【００４６】
制御装置９によりアクチュエータ５が制御されることにより真空バルブの閉塞中の閉塞部材３の速度が調節される。好ましくは、本実施形態ではセンサ１０により速度の実際の値が計測され、速度を目標値に調節するための制御ループが構成される。
【００４７】
図３において、閉軌道ｓに対する、アクチュエータにより消費される電流値Ｉが曲線２１により示されている。アクチュエータ５の初期加速後、電流Ｉは閉軌道の大部分を通じてほぼ一定の（好ましくは変動量が１０％以下の）値にまで低下する。閉塞部材３を当接位置ｐの到達直前に制動するため、供給電流値は最初は増加し、その後は低下する。シール４が当接位置ｐにおいてシール面に当接することにより、電流値がピーク２２（比較的短時間で電流値が上昇した後で低下する）を示す。このピークに続き、電流値Ｉは、閉軌道の終期において弾性シール４の圧力の増加とともに増加する。閉位置において、保持装置３６の動作後に電流供給は停止されうる。
【００４８】
また、密閉ストローク１９の２倍以上の閉軌道ｓの最終部分に対して、すべての閉軌道ｓの２０％以上、特に４０％以上が、割り当てられる。
【００４９】
電流値のピーク２２から、当接位置ｐは制御装置９により計測される。
【００５０】
当接位置ｐは閉行程の試験中において少なくともシステムの再起動時と、閉塞部材３、シール４、アクチュエータ５、アクチュエータ５および閉塞部材３の中間に配置されている伝動機構または制御装置９など、当接位置ｐに影響する部品の交換時に測定される。これにより、閉塞部材３の速度制御は最適化されうる。
【００５１】
当接位置ｐが直接的に計測されない場合、閉塞部材３の速度ｖを当接位置ｐにおいて目標値に一致させるための制御が実行されうる。閉軌道の終点位置が計測され、弾性シールの近似的に知られている圧力に基づいて当接位置ｐの近似値が決定される。近似的に求められた当接位置の近辺における適当に広い範囲で速度は目標値において一定に維持される。
【００５２】
その一方、前記のように閉行程の試験が実施され、システムの再起動時または当接位置に影響を及ぼす部品の交換時において、当接位置が当該試験中に決定される。
【００５３】
好ましくは、当接位置ｐは、ｎを１〜１０００の自然数として、第ｎの閉過程において繰り返して測定される。
【００５４】
当接位置ｐの現在値が再び測定される場合、たとえば、当接位置ｐに基づいてシールの消耗度が決定されうる。シールが消耗し、かつ、押圧が繰り返された後に元の径に完全には戻らないため、当接位置ｐは閉軌道の開始位置、または、バルブボディ１に対して固定され、かつ、真空バルブの閉塞時にシールが通過する他の位置から徐々に離れていく。当接位置の現在値が指定制限値と比較されることにより、弾性シール４の消耗度が過大であることが判明した場合、弾性シール４の交換が必要であることを示すサービス信号が制御装置９により出力される。
【００５５】
アクチュエータまたはバルブ機構の一部が変更された場合、定められた閉過程の後にシールの余裕消耗度を決定するためにシールのそれまでの消耗度が保存される。
【００５６】
シールまたはシールを有する閉塞部材が交換された場合、消耗度は０にリセットされ、当接位置ｐを検知するために定められた閉過程が実行される。
【００５７】
閉塞部材３の閉位置における弾性シール４の圧力は、たとえば、当接位置ｐの測定値の関数として調節される。このため、所望の気密性を実現するために消耗度が高くなると圧力は強められる。
【００５８】
真空バルブの閉塞中に当接位置ｐに到達した時点から、アクチュエータ５と、アクチュエータ５および閉塞部材３の中間に連結されている伝動機構との伝達効率が制御装置９により決定される。電流値Ｉが各閉過程において、閉軌道のたとえば８０％を超える大部分を通じて一定値に制御される（図３参照）。伝達効率の関数として、速度ｖの高低およびこれに応じた当接位置ｐまでの所用期間の長短が調節される。伝達効率が過度に低いと判定された場合、サービス信号が制御装置９により出力される。
【００５９】
伝達効率を決定するため、供給電流の制御値を考慮して、閉塞部材３が閉軌道のある部分を通過するのに要する時間が測定される。当該部分はたとえばセンサ１０により測定される。
【００６０】
閉塞部材３の閉位置においてシール４に作用する圧力は目標値に調節される。力または軌道の制御によって圧力が制御される。力制御の場合、アクチュエータの出力は運転資源（ここでは電流値）の供給量により調節される。出力は、たとえばストレインゲージによって測定される。軌道制御の場合、シール４に作用する圧力を実現するために密閉ストローク１９の強度が調節される。この目的のため、当接位置ｐが前述の方法により、あるいは、カメラにより光学的に測定される。当接位置ｐから閉塞部材３はバルブシートに向かう方向に、目標シーリング行程に相当するある部分を越えてなおも動く。
【００６１】
閉塞中、指定の閉位置に到達したとき、調節された圧力を維持するために保持装置（制動機）３６が運転される。この際、運転資源の供給、本実施形態では電流の供給が停止されうる。
【００６２】
運転資源が省略される場合、安全性の観点から、保持装置３６の自動閉塞機構により、閉塞部材３の現在位置が測定される。
【００６３】
閉塞部材３の閉位置において弾性シール４に作用する力は、２つの真空チャンバ１１、１２の間の圧力差の関数として制御装置９により調節されうる。
【００６４】
気圧式の真空バルブの一実施形態が図４に示されている。圧縮空気が運転資源としてアクチュエータ５に供給される。閉塞部材３の効果的な制御を実現するため、アクチュエータ５のピストン２３の両側に同時に圧縮空気が供給される。２つのシリンダチャンバの圧力差が、対応する制御要素２４、２５を用いて制御装置９により制御される。
【００６５】
当接位置ｐは閉軌道ｓにおける圧力の経歴に基づいて測定されてもよい。
【００６６】
用いられるアクチュエータ５の種類によらず、当接位置ｐは、たとえばカメラによって光学的に測定されうる。
【００６７】
当該実施形態では真空バルブの制御は、図１〜図３における制御と類似の方法で実行されうる。電流値の代わりに運転資源の圧力または圧力差を用いて閉塞部材３の調節が実行される。
【００６８】
本発明は、さらに別の構成の真空バルブについても実現される。図５において、Ｌバルブが一例として示されている。ピストンシリンダユニットとして構成されているアクチュエータ２６により、圧縮空気通路２７，２８に圧縮空気が充填かつ供給されることにより、閉塞部材３が開位置と、シール面に対向する一方でシール面から離れている位置との間で動かされる。同様にピストンシリンダユニットにより構成されているアクチュエータ２９により、ピストン３２を動かすために圧縮空気通路３０，３１に圧縮空気が充填供給されることによって、閉塞部材３はシール面を有するバルブシートに押し付けられる。偏向的に配置され、ピストン３２に設けられているトゥースラック３４と相互作用するギヤホイール３３によって、シール４がバルブボディ１に設けられているシール面に押し付けられる。
【００６９】
シール面に対するシール４の当接速度はシール４の材料の関数として変更されうる。
【００７０】
シール４の消耗度が高すぎる場合にサービス信号を出力するため、当接位置の測定結果に基づいてシール４の消耗度が決定されうる。
【００７１】
機構の伝達効率が低すぎる場合にサービス信号を出力するため、当接位置に到達するための所要時間に基づいて機構の伝達効率が決定されうる。
【００７２】
すべての実施形態において、閉塞部材３を調節するために必要な力を監視することにより、外部物体の噛み込みが防止されうる。特に、当接位置ｐが測定される場合、閉塞中に噛み込みを防止するため、当接位置ｐに到達する前に、圧力が指定許容値を超えていないか否かが監視される。
【００７３】
閉塞部材３の位置および速度のうち一方または両方を測定するため、光学式センサまたは誘導式センサなどのさまざまな種類のセンサが用いられうる。
【００７４】
たとえば、アクチュエータ５により伝達される伝動機構（たとえば、自動制動式のスピンドルタイプのリフティングギヤ）もしくはアクチュエータの動き、または、伝動機構が死点を越えて動かされるような動きを自動的に制動する機構によって、閉塞部材３が閉位置に固定されうる。
【符号の説明】
【００７５】
１‥バルブボディ、２‥バルブ開口部、３‥閉塞部材、４‥弾性シール、５‥アクチュエータ、６‥ピニオン、７‥ラック、８‥シール、９‥制御装置、１０‥センサ、１１‥真空チャンバ、１２‥真空チャンバ、１３‥圧力センサ、１４‥圧力センサ、１５‥入力装置、１６‥出力装置、１７‥曲線、１８‥閉塞ストローク、１９‥密閉ストローク、２０‥全体ストローク、２１‥曲線、２２‥ピーク、２３‥ピストン、２４‥調整機構、２５‥調整機構、２６‥アクチュエータ、２７‥圧縮空気通路、２８‥圧縮空気通路、２９‥アクチュエータ、３０‥圧縮空気通路、３１‥圧縮空気通路、３２‥ピストン、３３‥ギア、３４‥ラック、３５‥シール面、３６‥保持装置、３７‥摩擦要素。
【図１】
2010534301.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
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2010534301.tif 000009
2010534301.tif 000010
2010534301.tif 000011