(57)【要約】  本発明は、製品を担持して搬送するための装置に関する。本発明による装置は、表面を有するコンベヤを有する。表面は、使用中に製品に差し向けられ、製品を支持して牽引する媒体用の入口開口及び出口開口を有する。表面は、隣接した表面部分に分割される。入口開口及び出口開口は、表面部分の近傍に設けられる。上記隣接した表面部分の高さ及び／又は形態又は形状は、調整可能であり、それにより、入口開口から出口開口への媒体の流量を制御する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
製品（２）を担持して搬送するための装置（１）であって、
表面（４）を有するコンベヤ（３）を有し、前記表面（４）は、使用中に製品（２）に差し向けられ、製品（２）を支持して牽引する媒体用の入口開口（５）及び出口開口（６）を有し、且つ、隣接した表面部分（４’、４’’、４’’’；１４’、１４’’、１４’’’）に分割され、
前記入口開口（５）は、前記表面（４）内に及び／又は前記隣接した表面部分（４’、４’’、４’’’、１４’、１４’’、１４’’’）の中に又はその間に定置に配置され、
前記出口開口（６）は、前記表面（４）内に及び／又は前記隣接した表面部分（４’、４’’、４’’’、１４’、１４’’、１４’’’）の中に又はその間に定置に配置され、
前記隣接した表面部分（４’、４’’、４’’’；１４’、１４’’、１４’’’）の高さ及び／又は形態及び／又は形状は、調整可能であり、それにより、前記隣接した表面部分（４’、４’’、４’’’；１４’、１４’’、１４’’’）の各々と製品（２）の間に残される空間を操作して、前記隣接した表面部分（４’、４’’、４’’’；１４’、１４’’、１４’’’）と製品（２）の間の媒体の流れ抵抗を修正して、前記隣接した表面部分（４’、４’’、４’’’、１４’、１４’’、１４’’’）に沿う前記入口開口（５）から前記出口開口（６）への媒体の流量を制御して、製品（２）に対する制御された牽引を行う、装置。
【請求項２】
前記隣接した表面部分は、一緒になって、単一の変形可能なホイル又はシートを構成し、前記隣接した表面部分（４’、４’’、４’’’）は、個々に作動可能である、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記隣接した表面部分（４’、４’’、４’’’）は、媒体の流れ方向を制御するように調整可能である、請求項１又は２に記載の装置。
【請求項４】
前記隣接した表面部分（４’、４’’、４’’’）の各々の高さは、一様に調整可能である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の装置。
【請求項５】
前記隣接した表面部分（４’、４’’、４’’’）は、製品（２）に向かって又は製品（２）から離れる向きに前記表面（４）の平面の外に少なくとも部分的に曲げられるように調整可能である、請求項１〜４のいずれか１項に記載の装置。
【請求項６】
前記隣接した表面部分（４’、４’’、４’’’）の隣り合う２つの側部は、前記表面（４）の平面の外に逆方向に曲げられる、請求項５に記載の装置。
【請求項７】
前記隣接した表面部分（４’、４’’、４’’’）の各々は、可撓性軸部（９’、９’’、９’’’）に個々に取付けられ、前記可撓性軸部（９’、９’’、９’’’）は、曲げ可能であり、前記可撓性軸部（９’、９’’、９’’’）に取付けられた前記隣接した表面部分の曲げを生じさせる、請求項１〜６のいずれか１項に記載の装置。
【請求項８】
前記可撓性軸部（９’、９’’、９’’’）の各々は、媒体用のチャネル（１０）を有する、請求項７に記載の装置。
【請求項９】
前記チャネル（１０）は、媒体用の入口開口（５）を有する、請求項８に記載の装置。
【請求項１０】
前記隣接した表面部分（４’、４’’、４’’’）の各々は、媒体用の出口開口（６）を、前記隣接した表面部分（４’、４’’、４’’’）の両側において且つ前記隣接した表面部分の近傍に有する、請求項５〜９のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１１】
前記隣接した表面部分（４’、４’’、４’’’）の各々は、媒体用の１又は複数のチャネル（１０）に隣接する軸部（９’、９’’、９’’’）に取付けられ、前記隣接した表面部分（４’、４’’、４’’’）は、媒体用の入口開口として作動するように多孔質である、請求項５〜７及び１０のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１２】
前記隣接した表面部分（４’、４’’、４’’’）の作動により、前記隣接した表面部分と製品（２）の間の媒体の流れ抵抗が修正され、媒体が前記隣接した表面部分（４’、４’’、４’’’）と製品（２）の間の比較的狭い部分に小さい抵抗で流れることができる、請求項１１に記載の装置。
【請求項１３】
多孔質である前記隣接した表面部分（４’、４’’、４’’’）の中を流れる媒体を、前記出口開口（６）の中を流れる媒体から分離する可撓性で気密な接続部（１２）を有する、請求項１１又は１２に記載の装置。
【請求項１４】
前記隣接した表面部分（４’、４’’、４’’’）の作動は、熱的作動手段、機械的作動手段及び電気機械的作動手段を含む群から選択された作動手段を用いて行なわれる、請求項１〜１３のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１５】
前記隣接した表面部分（４’、４’’、４’’’）は、一緒に操作される隣接した表面部分のグループに分割され、前記グループの各々に個別の作動手段が適用される、請求項１〜１４のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１６】
前記隣接した表面部分（１４’、１４’’、１４’’’）は、介在する壁によって分離され、媒体用の前記入口開口（５）及び前記出口開口（６）は、前記隣接した表面部分（１４’、１４’’、１４’’’）内に設けられる、請求項１に記載の装置。
【請求項１７】
前記壁の高さ及び／又は形態又は形状は、前記入口開口（５）から前記出口開口（６）への媒体の流量を制御するように調整可能である、請求項１６に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、製品を担持して搬送する装置に関し、この装置は、表面を有するコンベヤを有し、表面は、使用中に製品に差し向けられ、製品を支持して牽引する媒体用の入口開口及び出口開口を有し、隣接した表面部分に分割される。
【背景技術】
【０００２】
このような装置は、本出願人名義の特許文献１によって知られている。
【０００３】
既知の装置は、表面部分の近傍に設けられた媒体用の入口開口及び出口開口を有し、薄く壊れやすい製品を搬送するように設計されている。かかる製品は、ウェハ、ガラス基板、シリコン太陽電池、ガラス板、ディスプレイ、及び印刷版を含み、これらの寸法及び厚さは、広範に変化してもよい。一例として、１００×１００ミリメートルの寸法と約１ミリメートルの厚さを有する基板が記載されている。
【０００４】
特許文献２は、ガラス基板又は半導体素子などの移送物を搬送するための移送装置を教示している。この移送装置では、移送物を適所に保持するために、複数の空気ノズルが空気を噴出して、空気ノズルは、移送物に接触しない。空気ノズルの向きを操作して、空気ノズルを移送物に対して垂直に位置決めしたとき、移送物の位置を静止させ、空気ノズルを特定の角度に傾斜させることによって、移送物を所望の方向に移動させる牽引力を生じさせる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】国際公開第２００８／０２６９２４号
【特許文献２】米国特許出願公開第２００５／００５０７５２号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、既知の装置の特性及び幅広い適用可能性を損なうことなしに、製品を担持して搬送するための別の手段を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この目的のために、本発明の装置は、特許請求の範囲の請求項の特徴によって特徴付けられる。
【０００８】
本発明の第１の実施形態では、入口開口及び出口開口が、表面内に及び／又は隣接した表面部分の中に内に又は間に定置に配置され、隣接した表面部分の高さ及び／又は形態及び／又は形状は調整可能であり、それにより、隣接した表面部分の各々と製品の間に残される空間を操作して、隣接した表面部分と製品の間の媒体の流れ抵抗を修正して、隣接した表面部分に沿う入口開口から出口開口への媒体の流量を制御して、製品に対する制御された牽引を行う。入口開口と出口開口とは、直接的に関係し、入口開口と出口開口の間の流れ抵抗は、入口開口と出口開口の間の表面部分を調整することによって制御される。これにより、媒体の流量及び流れ方向を、非常に直接的に且つ正確に制御できるという利点が得られ、媒体の方向が可変である出口を有する入口開口を採用する必要はなく、入口開口に向かう媒体の供給ラインに（正確な）制御弁を設ける必要はない。入口開口と出口開口の間の流量及び流れ方向の制御は、隣接した表面部分と製品の間に残される空間を単に操作することによって直接的な影響を受ける。本発明による装置の１つの特徴的な利点は、入口開口から出口開口に流れる媒体が、閉回路内で出口開口から入口開口に戻るように流れる点である。このことは、異物を排除したままにすることが重要なクリーンルーム環境において有益である。この場合、隣接した表面部分は、任意の形状を有することができることに注意すべきであり、かかる形状は、限定するわけではないが、細長い形状、正方形、三角形、六角形、円形又はこれらの任意の組合せである。
【０００９】
隣接した表面部分は、互いに物理的に分離していることが可能であるが、このことは必須ではなく、１つの実施形態では、隣接した表面部分は、一緒になって、単一の変形可能なホイル又はシートを構成し、隣接した表面部分は、個々に作動可能である。
【００１０】
本発明の１つの実施形態では、隣接した表面部分の各々の高さは、一様に調整可能である。
【００１１】
本発明の別のさらに好ましい実施形態では、隣接した表面部分は、製品に向かって又は製品から離れる向きに表面の平面の外に少なくとも部分的に曲げられるように調整可能である。
【００１２】
さらに好ましい実施形態では、隣接した表面部分の隣り合う２つの側部は、表面の平面の外に逆方向に曲げられることが好ましい。このことは、出口開口又は入口開口が、隣接した表面部分の間に配置されるときに有益である。この場合、出口開口又は入口開口の開口程度を変化させるとき、隣接した表面部分は、一緒に作動するのがよい。
【００１３】
さらに別の好ましい実施形態では、隣接した表面部分の各々は、可撓性軸部に個々に取付けられ、可撓性軸部は、可撓性軸部に取付けられた隣接した表面部分を表面の平面の外に曲げるように、曲げ可能である。このことは、表面部分をその平面の外に曲げる制御を容易にする利点を有する。表面の平面の外への所望の程度の曲げを行うために、機械的、熱機械的又は電気機械的な力を可撓性軸部に付与することが容易である。上述したように、隣接した表面部分の形状は、特定の適用例の必要性及び要望に合せられるのがよい。
【００１４】
可撓性軸部の各々は、媒体用のチャネルを有することが適当である。可撓性軸部のチャネルは、媒体用の入口開口を有することが好ましい。
【００１５】
さらに、いくつかの実施形態では、隣接した表面部分の各々は、媒体用の出口開口を、隣接した表面部分の両側に有することが好ましい。この場合、出口開口は、例えば、媒体の流れを引き寄せる真空チャンバ又は低圧チャンバに接続されるのがよい。
【００１６】
さらに別の実施形態では、隣接した表面部分の各々は、媒体用の１又はそれ以上のチャネルに隣接する軸部に取付けられ、隣接した表面部分は、媒体用の入口開口として作動するように多孔質であることが好ましい。この場合、隣接した表面部分の作動により、隣接した表面部分と製品の間の媒体の流れ抵抗が修正され、媒体が隣接した表面部分と製品の間の空間の比較的狭い部分に小さい抵抗で流れることができる。この実施形態では、多孔質である隣接した表面部分の中を流れる媒体を、出口開口の中を流れる媒体から分離する可撓性で気密な接続部をさらに有することが好ましい。表面部分と製品の間の領域における流量の分配は、機械的手段、電気機械的手段、又はその他の好適な手段によって制御され、かかる手段は、軸部に直接的に作用して、軸部に取付けられた表面部分を表面の平面の外に曲げる。これにより、表面部分と製品の間の媒体の非対称な流量を構成し、意図した牽引力を製品に適用する。
【００１７】
上記では、隣接した表面部分を制御するために適用できる作動手段について言及してない。一般には、任意の種類の実現可能な作動手段を適用することができるが、隣接した表面部分の作動は、熱的作動手段、機械的作動手段及び電気機械的作動手段を含む群から選択された作動手段を用いて行なわれることが好ましい。機械的作動手段は、非常に単純であり、機械的作動手段を低コストで行うことができる。電気機械的作動手段も、低コストで利用可能であり、高精度である。特に、圧電セラミックアクチュエータが有効である。
【００１８】
本発明によるさらなる選択肢として、隣接した表面部分を、一緒に操作される隣接した表面部分のグループに分割され、グループの各々に個別の作動手段を適用されてもよい。このようにして、装置の制御の複雑さを低く保つことができる。
【００１９】
本発明の装置の別の実施形態では、隣接した表面部分は、介在する壁によって分離され、媒体用の入口開口及び出口開口は、隣接した表面部分内に設けられる。この実施形態では、壁部の高さ及び／又は形態又は形状は、入口開口から出口開口への媒体の流量を制御するように調整可能であることが好ましい。
【００２０】
以下、本発明による装置の実施形態を表す図１〜６を参照しながら、本発明をさらに説明する。図において同じ参照番号が与えられている場合、常にこれらの数字は同じ部品を示す。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明による第１の実施形態を示す斜視図及び側面図である。
【図２】本発明による第２の実施形態を示す斜視図及び側面図である。
【図３】本発明による幾つかの実施形態を示す斜視図及び側面図である。
【図４】本発明による幾つかの実施形態を示す斜視図及び側面図である。
【図５】本発明による他の実施形態を示す側面図である。
【図６】本発明による他の実施形態を示す斜視図及び側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
最初に図１及び図２を参照すると、図１及び図２は、製品２を担持して搬送するための装置１の２つの異なる実施形態の斜視図及び側面図であり、装置１は、表面４を有するコンベヤ３を含み、表面４は、使用中に製品２（図１及び図２の側面図にのみ図示）に差し向けられ、製品２を支持して製品２を牽引する媒体用の入口開口５及び出口開口６を有する。表面４は、隣接した表面部分４’、４’’、４’’’に分割される。入口開口５及び出口開口６は、表面部分４’、４’’、４’’’の近傍に設けられ、図１及び図２による実施形態において、隣接した表面部分４’、４’’、４’’’の高さは、入口開口５から出口開口６への媒体の流量を制御するように調整可能である。図１の実施形態では、一連の入口開口５及び出口開口６は、入口開口５及び出口開口６の境界を定める固定部分７を有し、製品２に適用される牽引方向を逆転させることが望ましいとき、入口開口５及び出口開口６の機能を交換することを必要とする。図２の実施形態では、製品２に適用される牽引方向の変更は、隣接した表面部分４’、４’’、４’’’の高さレベルを変更することによって、より単純に達成される。このことは、表面部分４’、４’’、４’’’を実線で示す位置から破線で示す位置に移動させたり、その逆に移動させたりすることを意味する。図１及び図２の実施形態は、隣接した表面部分４’、４’’、４’’’の高さを一様に調整可能であるという特徴により、入口開口５から出口開口６への媒体の流量を制御するのに非常に適している。
【００２３】
図３及び図４は、入口開口５から出口開口６への媒体の流量を制御するために、表面４の平面に対する高さに少なくとも部分的に影響を与える隣接した表面部分４’、４’’、４’’’の形態及び／又は形状が調整可能である実施形態に関する。図３及び図４のこれらの実施形態は、媒体の流れ方向を制御するのに特に適している。図３及び図４の実施形態において、隣接した表面部分４’、４’’、４’’’が、表面４の平面の外に製品２に向かって又は製品２から離れるように少なくとも部分的に曲げられるように調整可能であるという特徴が存在する。特に、この結果、隣接した表面部分４’、４’’、４’’’の隣り合う２つの側部８’、８’’が、表面４の平面に対して逆方向に曲げられ、従って、開口６を大きくすることが分かる。さらに、図３及び図４の実施形態では、隣接した表面部分４’、４’’、４’’’の各々が、軸部９’、９’’、９’’’に個々に取付けられるように構成される。
【００２４】
図３の実施形態と図４の実施形態の相違は、図３では、軸部９’、９’’、９’’’が剛性であるのに対し、図４では、軸部９’、９’’、９’’’が可撓性であるという点である。従って、図３の実施形態では、表面４の平面の外への曲げは、隣接した表面部分４’、４’’、４’’’自体を作動させることを必要とし、かかる作動は、例えば、隣接した表面部分４’、４’’、４’’’を適当な圧電セラミック材料で構成することによって行われる。この場合、適切な電圧を印加することによって、隣接した表面部分４’、４’’、４’’’を所望の形状にすることができる。
【００２５】
図４は、隣接した表面部分４’、４’’、４’’’自体は剛性であるが、隣接した表面部分４’、４’’、４’’’の各々が可撓性軸部９’、９’’、９’’’に個々に取付けられた実施形態に関する。可撓性軸部９’、９’’、９’’’の曲げにより、可撓性軸部９’、９’’、９’’’に取付けられた表面部分４’、４’’、４’’’が表面４の平面の外に曲げられる。この実施形態では、かかる作動を、可撓性軸部９’、９’’、９’’’に直接作用する機械的又は電気機械的手段によって簡単に実行することができる。
【００２６】
図３の実施形態及び図４の実施形態の両方において、各軸部９’、９’’、９’’’は更に、媒体用のチャネル１０を有し、このチャネル１０は、表面４のところに媒体用の入口開口５を有する。また、図３及び図４の両方の実施形態において、隣接した表面部分４’、４’’、４’’’の各々は、その両側に、媒体用の出口開口６を有する。
【００２７】
図４の上側の図は、異なる実施形態を表す３つの異なる斜視図であり、各実施形態は、表面部分４’、４’’、４’’’の異なる構成／形状を示す。この斜視図は、本発明の装置の構成に対する多くの変形例が、特許請求の範囲において具体化される本発明の精神から逸脱することなしに可能であることを例示する。
【００２８】
図５は、隣接した表面部分４’、４’’、４’’’の各々が、媒体用の１又は複数のチャネル１０に隣接した軸部９’、９’’、９’’’に取付けられ、媒体用の入口開口として機能するように多孔質であるという特徴を有する実施形態を示す。この実施形態は、多孔質の隣接した表面部分４’、４’’、４’’’の中を流れる媒体を、出口開口６の中を流れる媒体から分離する可撓性で気密な接続部１２を有することが適当である。
【００２９】
表面部分４’、４’’、４’’’と製品２の間の領域における流量の分配は、機械的な、電気機械的な、又はその他の好適な手段によって制御され、かかる手段は、軸部９’、９’’、９’’’に直接的に作用し、且つ、軸部９’、９’’、９’’’に取付けられた表面部分４’、４’’、４’’’を表面４の平面の外に曲げる。
【００３０】
上述したそれぞれの実施形態における最も正確かつ万能な制御は、表面部分４’、４’’、４’’’の各々が個々に制御されるように構成されることによって得られる。しかしながら、隣接した表面部分４’、４’’、４’’’を、一緒に作動する隣接した表面部分のグループに分け、グループの各々に対して個別である作動手段を適用することも有利である。これにより、装置を作動させるのに必要とされる制御手段の量を減少させる。また、本発明の装置の複雑さも比較的低く保たれる。
【００３１】
図６に示す別の実施形態では、装置は、介在する壁によって分離された隣接した表面部分１４’、１４’’、１４’’’を有し、媒体用の入口開口５及び出口開口６が、隣接した表面部分１４’、１４’’、１４’’’に設けられる。この実施形態では、好ましくは、壁部の高さ及び／又は形態及び／又は形状は、入口開口５から出口開口６への媒体の流量を制御するように調整可能である。この実施形態は、いくつかの制御可能性を有する。かかる制御可能性は、
・大きい揚力を有するように構成された、入口開口５を有する表面部分のみの作動、
・揚力が減少するように構成された、出口開口６を有する表面部分のみの作動、
・製品の支持においてより大きい剛性を有するように構成された、入口開口を有する表面部分と出口開口を有する表面部分の両方の作動、
・入口開口及び出口開口を有する２つの隣り合う表面部分の作動、及び、入口開口から出口開口への媒体の流量の制御を行うように構成された介在壁の作動、である。
【００３２】
特許請求の範囲及び本発明の範囲内で、数多くの変形形態が可能であることを明確に指摘しておく。例えば、上述した図の実質的に全てには、本発明による装置の左右対称な構成を示しているが、同様に装置を非対称的に具体化することも可能である。この非対称性は、例えば媒体用の入口を隣接する出口に対して偏心して配置することに関連し得る。しかしながら、図示の構成の対称性から逸脱した他の変形形態も可能である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
2015533751.tif 000009
2015533751.tif 000010
2015533751.tif 000011