(57)【要約】【課題】試験データがデータ分析のために容易に操作することのできる書式でない場合には、製造者が試験データの分析に専念するのに利用できるリソースまたは時間がなくなることもある。よって、問題が明示されない場合、試験データは、製造環境で問題が生じない限り分析されない。【解決手段】  ＡＴＡＣ装置は、製造システム制御ソフトウェアを表すシステム制御ソフトウェアパッケージ（ＳＣＳ）と、コンピュータネットワークを介してデータベースから仕様データを獲得するように構成されたデータマネージャモジュールと、構成部品を試験するように設計された１組の試験を実行するように構成された試験マネージャモジュールと、その１組の試験をＳＣＳに提供するように構成されたＳＣＳインターフェースエンジンと、構成部品の試験から得られる試験データを分析するためにコンピュータによるデータ分析ツールを提供するように構成されたデータ分析モジュールとを含む。【選択図】  図２Ｂ
2010508649.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
製造時に製造システム制御ソフトウェアを用いて制御されるプラズマ処理システムにインストールされるように構成された第１の構成部品を試験する方法であって、
少なくとも、
前記製造システム制御ソフトウェアを表す第１のシステム制御ソフトウェアパッケージ（「第１のＳＣＳ」）と、
コンピュータネットワークを介して第１のデータベースから仕様データを獲得するように構成されたデータマネージャモジュールと、
前記第１のＳＣＳを使って、前記構成部品を試験するように設計された１組の試験を実行するように構成された試験マネージャモジュールと、
前記第１のＳＣＳに少なくとも前記１組の試験を提供するように構成されたＳＣＳインターフェースエンジンと、
前記第１の構成部品の前記試験から獲得される試験データを分析するためにユーザにコンピュータによるデータ分析ツールを提供するように構成されたデータ分析モジュールと
を含むＡＴＡＣ（自動化試験および特性決定）装置を設けること、および
前記ＡＴＡＣ装置を前記第１の構成部品に結合して、前記ＡＴＡＣ装置内の前記第１のＳＣＳが、前記１組の試験と前記仕様データの少なくとも１部分とを利用して前記第１の構成部品を試験することを可能にすること
を含み、前記第１の構成部品を試験する間に存在しない前記プラズマ処理システムの欠損構成部品が前記欠損構成部品をシミュレートするようにスタブアウトされ、それによって、あたかも前記第１の構成部品を試験する間に前記欠損構成部品が存在するかのように、前記第１のＳＣＳを使ってシミュレートされた環境で前記第１の構成部品を試験させることができる方法。
【請求項２】
前記コンピュータネットワークがインターネットを表す、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記仕様データが、各ベンダのいずれが前記第１の構成部品と同じ種類の構成部品の試験を実際に行うかにかかわらず、前記ベンダによって前記第１の構成部品と同じ種類の前記構成部品を試験するのに用いられるデータを表すものである、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記第１のデータベースがウェブサーバを使って前記試験マネージャモジュールからアクセスできるようになされる、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記仕様データが、各ベンダのいずれが前記第１の構成部品と同じ種類の構成部品の試験を実際に行うかにかかわらず、前記プラズマ処理システムの製造者により、前記第１の構成部品と同じ種類の前記構成部品を試験するすべての前記ベンダに提供される、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記データマネージャモジュールを使って、前記第１の構成部品の前記試験から試験結果を獲得すること、および
後で分析するためにインターネットを介して第２のデータベースに前記試験結果をアップロードすること
をさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記試験結果が、各ベンダのいずれが前記第１の構成部品と同じ種類の構成部品の試験を実際に行うかにかかわらず、前記第１の構成部品と同じ種類の前記構成部品を試験するすべての前記ベンダにとって整合性を有する既定の形式を使って格納される、請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記第１のＳＣＳが前記製造システム制御ソフトウェアの正確なコピーを表す、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
前記データ分析モジュールがさらに、前記試験データに通知イベントをトリガする条件がないか監視するように構成されている、請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
前記データ分析モジュールが、前記通知イベントをトリガする前記条件が満たされた場合に通知を送信するように構成された自動通知モジュールをさらに含む、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
製造時に製造システム制御ソフトウェアを用いて制御されるプラズマ処理システムにインストールされるように構成された第１の構成部品を試験するように構成された試験装置であって、
前記製造システム制御ソフトウェアを表す第１のシステム制御ソフトウェアパッケージ（「第１のＳＣＳ」）と、
コンピュータネットワークを介して第１のデータベースから仕様データを獲得するように構成されたデータマネージャモジュールと、
前記第１のＳＣＳを使って、前記構成部品を試験するように設計された１組の試験を実行するように構成された試験マネージャモジュールと、
前記第１のＳＣＳに少なくとも前記１組の試験を提供するように構成されたＳＣＳインターフェースエンジンと、
前記第１の構成部品の前記試験から獲得される試験データを分析するためにユーザにコンピュータによるデータ分析ツールを提供するように構成されたデータ分析モジュールと
を備え、
前記第１の構成部品に結合されると、前記試験装置内の前記第１のＳＣＳが、前記１組の試験と前記仕様データの少なくとも１部分とを利用して前記第１の構成部品を試験することを可能にするように構成されており、
前記第１の構成部品を試験する間に存在しない前記製造プラズマ処理システムの欠損構成部品が前記欠損構成部品をシミュレートするようにスタブアウトされ、それによって、あたかも前記第１の構成部品を試験する間に前記欠損構成部品が存在するかのように、前記第１のＳＣＳを使ってシミュレートされた環境で前記第１の構成部品を試験させることができる試験装置。
【請求項１２】
前記コンピュータネットワークがインターネットを表す請求項１１に記載の試験装置。
【請求項１３】
前記仕様データが、各ベンダのいずれが前記第１の構成部品と同じ種類の構成部品の試験を実際に行うかにかかわらず、前記ベンダによって前記第１の構成部品と同じ種類の前記構成部品を試験するのに用いられるデータを表す、請求項１１に記載の試験装置。
【請求項１４】
前記第１のデータベースがウェブサーバを使って前記試験マネージャモジュールからアクセスできるようになされる、請求項１１に記載の試験装置。
【請求項１５】
前記仕様データが、各ベンダのいずれが前記第１の構成部品と同じ種類の構成部品の試験を実際に行うかにかかわらず、前記プラズマ処理システムの製造者により、前記第１の構成部品と同じ種類の前記構成部品を試験するすべての前記ベンダに提供される、請求項１１に記載の試験装置。
【請求項１６】
前記データマネージャモジュールがさらに、前記第１の構成部品の前記試験から試験結果を獲得し、後で分析するためにインターネットを介して第２のデータベースに前記試験結果をアップロードするように構成されている、請求項１１に記載の試験装置。
【請求項１７】
前記試験結果が、各ベンダのいずれが前記第１の構成部品と同じ種類の構成部品の試験を実際に行うかにかかわらず、前記第１の構成部品と同じ種類の前記構成部品を試験するすべての前記ベンダにとって整合性を有する既定の形式を使って格納される、請求項１６に記載の試験装置。
【請求項１８】
前記第１のＳＣＳが前記製造システム制御ソフトウェアの正確なコピーを表す、請求項１１に記載の試験装置。
【請求項１９】
前記データ分析モジュールがさらに、前記試験データに通知イベントをトリガする条件がないか監視するように構成されている、請求項１１に記載の試験装置。
【請求項２０】
前記データ分析モジュールが、前記通知イベントをトリガする前記条件が満たされた場合に通知を送信するように構成された自動通知モジュールをさらに含む、請求項１９に記載の試験装置。
【請求項２１】
製造時に製造システム制御ソフトウェアを用いて制御されるプラズマ処理システムにインストールされるように構成された第１の構成部品を試験する方法であって、
１組の試験と、ＡＴＡＣ（自動化試験および特性決定）装置によりコンピュータネットワークを介してデータベースから獲得される仕様データとを用いて前記第１の構成部品を試験することができるような、プラズマ処理システムをシミュレートするように構成された前記ＡＴＡＣ装置を設けること、
前記ＡＴＡＣ装置を前記第１の構成部品に結合して前記第１の構成部品の前記試験を円滑に行わせること、
前記１組の試験と前記仕様データとを用いて前記第１の構成部品を試験すること、および
前記ＡＴＡＣ装置を使って前記第１の構成部品の前記試験から獲得される試験データを分析して通知をトリガする条件を検出すること
を含み、
前記第１の構成部品を試験する間に存在しない前記プラズマ処理システムの欠損構成部品が前記欠損構成部品をシミュレートするようにスタブアウトされ、それによって、あたかも前記第１の構成部品を試験する間に前記欠損構成部品が存在するかのように、シミュレートされた環境で前記第１の構成部品を試験させることができる方法。
【請求項２２】
前記コンピュータネットワークがインターネットを表す、請求項２１に記載の方法。
【請求項２３】
前記第１のデータベースがウェブサーバを使って試験マネージャモジュールからアクセスできるようになされる、請求項２１に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、自動化試験及び特性決定データ分析の方法及び構成に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマ処理における前進が半導体産業の成長をもたらしている。プラズマ処理システム（プラズマクラスタツールなど）が顧客の現場に設置される前には、一連の品質制御試験が行われる。これらの品質制御試験のデータは収集され、後で分析するために記録される。一般に、プラズマクラスタツールが製造者から顧客に送られる前には、プラズマクラスタツールとその様々な構成部品に対して多数の品質制御試験が行われる。本明細書で論じる場合、プラズマクラスタツールとは、複数のモジュール（処理モジュール、搬送モジュールなど）を備え、複数のサブシステム（ＲＦ整合、ガスボックス、ＴＣＰ整合、バイアス整合など）を備え得るプラズマ処理システムをいう。考察を容易にするために、プラズマクラスタツール内の原子部品または多部分からなる部品を指すのに「構成部品」という用語を使用する。よって構成部品は、ガスラインのように単純なものとすることもでき、プロセスモジュール全体のように複雑なものとすることもできる。（プロセスモジュールのような）多部分からなる構成部品は（真空システム、ガスシステム、電力供給システムなどのような）他の多部分からなる構成部品から構成されていてもよく、他の構成部品はさらに他の多部分からなる構成部品または原子構成部品から構成されていてもよい。
【０００３】
プラズマクラスタツールの様々な構成部品は複数の当事者によって製造され得る。例えば、米国カリフォルニア州フリーモント所在のラムリサーチコーポレーションなどのプラズマクラスタツールの製造者は、プラズマクラスタツールの製造に際して通常はいくつかの第三者供給元からの構成部品を利用する。実際、半導体処理装置分野ではそのような実施の仕方が標準的である。というのは、そうすることにより各企業は自社の強みに集中すると同時に、自社の利益外または専門外の作業を他社に委ねることができるからである。
【０００４】
目下のところ、構成部品のための標準的な試験の枠組みは存在しない。試験は、製造者および／または第三者によって行われる。社内で行われる試験については製造者が試験方法をある程度制御することができる。しかし、第三者に外部委託されている試験については、製造者は実施される試験をほとんど、または全く制御することができない。
【０００５】
考察を容易にするために、図１Ａに、プロセスモジュール１０２と搬送モジュール１１１とを備えるプラズマクラスタツールの一例を示す。プロセスモジュール１０２内には構成部品１０６および１０８（ガスボックスやＲＦ整合など）がある。プロセスモジュール１０２には試験装置１１２（ＬａｍＷｏｒｋｓなど）が取り付けられており、試験装置１１２はプロセスモジュール１０２全体を試験させることができる。別の試験装置（ＬａｍＷｏｒｋｓベースの試験装置１０４やＮｙｋｅｒ  Ｌａｂｖｉｅｗ試験装置１１０など）が構成部品１０６および１０８に取り付けられている。
【０００６】
本明細書で論じる場合、試験装置とは、シミュレートされた処理環境において構成部品が試験されることを可能にするソフトウェアインターフェースを備えるハードウェアをいう。例えばＡＣ／ＤＣボックスの試験装置は、試験者が、配線接続、電力構成部品などを試験することを可能にする。場合によっては、構成部品のための試験装置が存在しないこともある。図１Ａでは搬送モジュール１１１に利用できる試験装置がない。よって、試験搬送モジュール１１１の試験は、書面による手順を使って手作業で行われる必要がある。書面による手順を用いる場合、試験の品質は試験者の技能と裁量に委ねられる。さらに、書面による手順は試験者の解釈にも左右され得る。場合によっては、試験者が必ずしもすべてのステップを完全に行うとは限らない。試験者がデータを偽造することもある。よって試験結果は、つじつまが合わず、完全性を欠いたものになる。
【０００７】
図１Ｂに図１Ａの各構成部品と、これらの構成部品と関連付けられる試験アーキテクチャの表を示す。プロセスモジュール１０２には、製造者により社内で製造された試験装置１１２（ＬａｍＷｏｒｋｓなど）が取り付けられる。製造者の製作した試験装置を使って行われる試験は、製造者が使用される試験方法をある程度制御することを可能にする。一例では製造者は、各試験装置が構成部品を試験する際に用いる制御論理を決定することができる。さらに、各試験装置は試験装置上に（ＳＱＬデータベースなどとして）データを記録し、格納することができるため、製造者は収集されるデータの電子バージョンにアクセスすることができ、よって製造者が分析のためにデータを操作することが可能になる。しかし、報告、または報告書へのアクセス権は、イントラネットまたは紙印刷出力だけに限定され得る。
【０００８】
別の例では、構成部品１０６（ＲＦ整合など）に取り付けられる試験装置１０４（ＬａｍＷｏｒｋｓなど）は社内で製作されるが、その構成部品を試験するために社外の第三者に送られている。製造者は、たとえ試験装置を提供し得たとしても、一般には、社外の第三者によって行われる試験をほとんど、または全く制御することができない。さらに製造者は、社外で行われる試験の試験データに容易にアクセスすることもできない。そうではなく製造者は、試験データの紙印刷出力や画像コピーを受け取るにすぎない。
【０００９】
状況によっては、試験が第三者供給元によって製作された試験装置を利用して行われる場合もある。一例では、構成部品１０８（ガスボックスなど）に取り付けられる試験装置１１０（ＬａｂＶｉｅｗを使ったＮｙｋｅｒなど）が第三者によって製作される。試験装置が第三者によって製作されるため、製造者が試験装置に用いられる制御論理を制御することができない可能性もある。このような状況では、製造者は普通、試験者に頼って、第三者供給元の製作した試験装置を使って構成部品に対する適切な試験を行い、関連データを収集する。さらに製造者は普通、特にデータが書面または画像形式で製造者に提供される場合には、社外で行われる試験データに限られた形でアクセスすることしかできない。その結果製造者は、分析のためにデータを操作するのに困難をきたすことがある。
【００１０】
一般に、制御システムは、試験環境と製造環境とで異なる制御論理を用いる。その結果、製造環境において生じ得ることを試験環境で再現することができなくなることもある。例えば、プラズマクラスタツールが製造される際には制御システムに変化が生じることもまれではない。しかし、こうした変化は必ずしもすべての試験者に伝えられるとは限らない。その結果試験者には、製造環境に類似した環境を作り出すためのすべてのデータがないことになる。さらに、様々な構成部品に変化が生じているが、製造者にはそうした変化に対応するよう知らされていないこともある。その結果、プラズマクラスタツールが現場に置かれるまで変化に気付かれないことになり得る。
【００１１】
場合によっては、搬送モジュール１１１などの構成部品に、その構成部品と関連付けられた試験装置がないこともある。試験装置のない状況では、試験者は書面による手順を利用して構成部品の試験を行う必要がある。この状況での試験方法は普通、試験者の技能と知識に依存する。さらに各手順は試験者による解釈に左右される。また、試験者は必ずしもすべてのステップを完全に行うとは限らない。よって、収集されるデータは試験者の裁量に依存するものになる。例えば、試験者が試験全体を通して行わないことにする（ステップのうちのいくつかを飛ばすなど）こともあり、試験者が試験を回避してデータを偽造しようとすることもある。よって試験結果は、つじつまが合わず、完全性を欠いたものになる。製造者は、特に試験データが紙に記録されているために、試験データの正確さを検証するのに困難をきたす。
【００１２】
広範な試験方法が用いられるため、製造者はその顧客に、プラズマクラスタツールおよび構成部品を試験するに際して、一貫した品質が用いられているという保証を提供することができない。試験標準を欠く場合、収集され得るデータは、試験方法および試験者によって、その内容と品質の異なるものとなり得る。また、試験者は普通その試験者が試験する構成部品だけに限られるため、統合試験も不可能である。さらに、試験から生成される報告書の書式および内容もばらばらなものとなり得る。一例では、試験が社内で行われる場合、製造者は電子試験データにアクセスすることができる。別の例では、試験が社外で行われる場合、製造者は試験データの紙コピーまたは画像コピーにしかアクセスすることができない。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【００１３】
【非特許文献１】ｗｗｗ．ｓｍａｌｌｔａｌｋ．ｏｒｇ
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
試験データがデータ分析のために容易に操作することのできる書式でない場合には、製造者が試験データの分析に専念するのに利用できるリソースまたは時間がなくなることもある。よって、問題が明示されない場合、試験データは、製造環境で問題が生じない限り分析されない。たとえ問題が生じたとして、データを分析するのに有効なツールがなければ、問題をデバッグすることが圧倒的な量の作業になり、追跡可能性が難しい課題となる。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は、一実施形態では、製造時に製造システム制御ソフトウェアを用いて制御されるプラズマ処理システムにインストールされるように構成された第１の構成部品を試験する方法に関するものである。この方法は、ＡＴＡＣ（自動化試験および特性決定）装置を設けることを含む。ＡＴＡＣ装置は少なくとも、製造システム制御ソフトウェアを表す第１のシステム制御ソフトウェアパッケージ（「第１のＳＣＳ」）を含む。またＡＴＡＣ装置は、コンピュータネットワークを介して第１のデータベースから仕様データを獲得するように構成された少なくとも１つのデータマネージャモジュールも含む。ＡＴＡＣ装置はさらに、第１のＳＣＳを使って、構成部品を試験するように設計された１組の試験を実行するように構成された少なくとも１つの試験マネージャモジュールも含む。ＡＴＡＣ装置はさらに、第１のＳＣＳに少なくとも１組の試験を提供するように構成された少なくとも１つのＳＣＳインターフェースエンジンも含む。またＡＴＡＣ装置は、第１の構成部品の試験から獲得される試験データを分析するためにユーザにコンピュータによるデータ分析ツールを提供するように構成された少なくとも１つのデータ分析モジュールも含む。またこの方法は、第１の構成部品にＡＴＡＣ装置を結合して、ＡＴＡＣ装置内の第１のＳＣＳが、１組の試験と仕様データの少なくとも１部分とを利用して第１の構成部品を試験することを可能にすることも含む。第１の構成部品を試験する間に存在しないプラズマ処理システムの欠損構成部品は、それらの欠損構成部品をシミュレートするようにスタブアウトされ、それによって、あたかも第１の構成部品を試験する間にそれらの欠損構成部品が存在するかのように、第１のＳＣＳを使ってシミュレートされた環境において第１の構成部品を試験させることができる。
【００１６】
別の実施形態では、本発明は、製造時に製造システム制御ソフトウェアを用いて制御されるプラズマ処理システムにインストールされるように構成された第１の構成部品を試験するように構成された試験装置に関するものである。試験装置は製造システム制御ソフトウェアを表す第１のシステム制御ソフトウェアパッケージ（「第１のＳＣＳ」）を含む。また試験装置はコンピュータネットワークを介して第１のデータベースから仕様データを獲得するように構成されたデータマネージャモジュールも含む。試験装置はさらに、第１のＳＣＳを使って、構成部品を試験するように設計された１組の試験を実行するように構成された試験マネージャモジュールも含む。試験装置はさらに、第１のＳＣＳに少なくとも１組の試験を提供するように構成されたＳＣＳインターフェースエンジンも含む。また試験装置は、第１の構成部品の試験から獲得される試験データを分析するためにユーザにコンピュータによるデータ分析ツールを提供するように構成されたデータ分析モジュールも含む。試験装置は、第１の構成部品に結合されると、試験装置内の第１のＳＣＳが、１組の試験と仕様データの少なくとも１部分とを利用して第１の構成部品を試験することを可能にするように構成されている。第１の構成部品を試験する間に存在しない製造プラズマ処理システムの欠損構成部品は、それらの欠損構成部品をシミュレートするようにスタブアウトされ、それによって、あたかも第１の構成部品を試験する間にそれらの欠損構成部品が存在するかのように、第１のＳＣＳを使ってシミュレートされた環境において第１の構成部品を試験させることができる。
【００１７】
別の実施形態では、本発明は、製造時に製造システム制御ソフトウェアを用いて制御されるプラズマ処理システムにインストールされるように構成された第１の構成部品を試験する方法に関するものである。この方法は、ＡＴＡＣ（自動化試験および特性決定）装置を設けることを含む。ＡＴＡＣ装置は、１組の試験と、ＡＴＡＣ装置によりコンピュータネットワークを介してデータベースから獲得される仕様データとを用いて第１の構成部品を試験することができるようなプラズマ処理システムをシミュレートするように構成されている。またこの方法は、ＡＴＡＣ装置を第１の構成部品に結合して第１の構成部品の試験を円滑に行わせることも含む。この方法はさらに、１組の試験と仕様データとを用いて第１の構成部品を試験することも含む。さらにこの方法は、ＡＴＡＣ装置を使った第１の構成部品の試験から獲得される試験データを分析して通知をトリガする条件を検出することも含む。第１の構成部品を試験する間に存在しないプラズマ処理システムの欠損構成部品は、それらの欠損構成部品をシミュレートするようにスタブアウトされ、それによって、シミュレートされた環境において第１の構成部品を試験させることができる。
【００１８】
本発明の上記その他の特徴を、以下の本発明の詳細な説明において、以下の各図と併せてより詳細に説明する。
【００１９】
添付図面の各図に本発明を限定のためではなく例として示す。図面において類似の参照番号は類似の要素を指す。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１Ａ】考察を容易にするためにプロセスモジュールと搬送モジュールとを備えるプラズマクラスタツールの一例を示す図である。
【図１Ｂ】図１Ａの各構成部品と、これらの構成部品と関連付けられる試験アーキテクチャとを示す表である。
【図２Ａ】本発明の一実施形態における、ＡＴＡＣ試験装置が取り付けられたプラズマクラスタツールを示す図である。
【図２Ｂ】本発明の一実施形態における、ＡＴＡＣ試験枠組みのアーキテクチャを示す図である。
【図３】一実施形態における、ＡＴＡＣシステムを使ってプラズマクラスタツールの構成部品を試験する簡略化された流れ図である。
【図４】一実施形態における、データベースと関連付けたＡＴＡＣシステムの全般的環境を示す簡略化した図である。
【図５】一実施形態における、データ分析モジュールを示すブロック図である。
【図６】一実施形態における、データ分析モジュールによって生成されるグラフの例を示す図である。
【図７】一実施形態における、データ分析モジュールによって生成されるグラフの例を示す図である。
【図８】一実施形態における、ＡＴＡＣシステムを使って問題解決を実行する簡略化された流れ図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
次に本発明を、添付の図面に示す本発明のいくつかの実施形態を参照して詳細に説明する。以下の説明には、本発明の十分な理解を提供するために多数の具体的詳細が示されている。しかし、当分野の技術者には、本発明がこれらの具体的詳細の一部または全部がなくても実施され得ることが明らかであろう。場合によっては、本発明が不必要にあいまいになることのないように、公知の工程段階および／または構造が詳細に説明されないこともある。
【００２２】
以下では、方法および技法を含めて様々な実施形態を説明する。また本発明は、本発明の技法の実施形態を実行するコンピュータ可読命令が格納されたコンピュータ可読媒体を含む製造品もカバーし得るものであることに留意すべきである。コンピュータ可読媒体には、例えば、半導体、磁気、光磁気、光、またはその他の形態のコンピュータ可読コードを格納するコンピュータ可読媒体などが含まれる。さらに本発明は、本発明の実施形態を実施する装置もカバーし得る。そのような装置は、本発明の実施形態に関連するタスクを実行する、専用の、および／またはプログラム可能な回路を含む。そのような装置の例には、汎用コンピュータおよび／または適切にプログラムされたときの専用計算装置が含まれ、コンピュータ／計算装置と、本発明の実施形態に関連する様々なタスクのために適合された専用／プログラム回路との組み合わせが含まれていてもよい。
【００２３】
本発明の各実施形態によれば、プラズマクラスタツールなどのプラズマ処理システムを試験するための試験方法およびデータ収集の標準化を可能にする試験構成が提供される。この試験枠組みは、自動化試験および特性決定（ＡＴＡＣ）システムとも呼ばれ、システム制御ソフトウェア（ＳＣＳ）、製造環境をシミュレートする。ＡＴＡＣシステムを用いれば、製造者は試験方法および仕様の制御を維持することができる。
【００２４】
本明細書ではプラズマクラスタツールを使った様々な実装形態について論じる。しかし本発明は、プラズマクラスタツールだけに限定されるものではなく、任意のプラズマ処理システムと共に用いられてもよい。
【００２５】
例えば、プラズマクラスタツールとその様々な構成部品が試験される状況を考える。一実施形態において、試験者は、ＡＴＡＣシステムを用い、試験されない構成部品をスタブアウトすることにより製造をシミュレートする。試験環境は製造環境を反映するため、試験はハードウェアレベルだけで行われるのではない。そうではなく、プラズマクラスタツール全体およびそのシステム制御ソフトウェア（ＳＣＳ）を、統合されたものとして試験することができる。さらに、本発明の一実施形態では、ＡＴＡＣシステムは、試験時に収集されたデータを、ほぼリアルタイム環境で製造者システムに送信する。結果として製造者は、試験データに容易にアクセスすることができる。
【００２６】
前述のように、ＡＴＡＣシステムは、製造時にプラズマクラスタツールを制御するＳＣＳを備えるプラズマクラスタツールとその構成部品を試験する試験構成である。ＡＴＡＣシステムは、プラズマクラスタツールの構成部品に関連する仕様データ（試験方法、試験仕様、関連する試験仕様データなど）を獲得するデータマネージャモジュールを含む。このように、各種の構成部品の試験者は、その試験者が社内の試験者であるか、それとも第三者ベンダで働く試験者であるかにかかわらず、同じ仕様データを利用する。
【００２７】
データマネージャモジュールは、コンピュータネットワークにアクセスして仕様データを獲得する。本発明の一実施形態では、コンピュータネットワークはインターネットおよび／または製造者の情報技術インフラストラクチャを表す。一実施形態では、データマネージャは、米国ワシントン州レドモンド所在のマイクロソフトコーポレーションによって提供され、維持されている．ＮＥＴインフラストラクチャ内で実施される。また、同じデータマネージャは、試験の完了時に、試験装置から製造者の中央試験データアーカイブサーバへの試験結果データおよび／またはファイルの転送も行う。
【００２８】
またＡＴＡＣシステムは、構成部品を試験する１組の試験を実行するように構成された試験マネージャモジュールも含む。本明細書で論じる場合、１組の試験とは１つまたは複数の試験を含む。１組の試験は、データマネージャモジュールによってダウンロードされる試験仕様および関連する試験仕様データを含む。実行される試験の数は試験者により決定される。試験マネージャモジュールを用いれば、同じ試験方法がすべての試験者に配布される。
【００２９】
またＡＴＡＣシステムは、１組の試験をプラズマクラスタツールのＳＣＳとやりとりするように構成されたＳＣＳインターフェースエンジンも含む。ＳＣＳインターフェースエンジンは、試験スクリプトで符号化されたコマンドを処理し、ＳＣＳにコマンドを発行する。本発明の一実施形態では、ＳＣＳインターフェースエンジンは、オブジェクト指向プログラミング言語であるＳｍａｌｌｔａｌｋを使って実施される。Ｓｍａｌｌｔａｌｋに関する情報はｗｗｗ．ｓｍａｌｌｔａｌｋ．ｏｒｇに記載されている。試験スクリプトは、ＡＴＡＣコマンド構文に従ったコマンドからなるプレーンテキストファイルで書かれる。
【００３０】
データマネージャモジュール、試験マネージャモジュール、およびＳＣＳインターフェースエンジンはホストコンピュータに置かれ、ホストコンピュータは、製造時にプラズマクラスタツールを制御するＳＣＳも含む。これらの異なる部品が協働して、構成部品を試験し、試験結果を収集する環境を作り出す。本発明の一実施形態では、試験結果は、コンピュータネットワークを介して製造者の試験データアーカイブサーバに（適切なソフトウェアおよび／またはハードウェア構成部品を使って）転送される。試験結果は、アーカイブサーバ上に格納され、許可された者がアクセスできるようになる。
【００３１】
プラズマクラスタツールは多くの構成部品を有する。これらの部品の中には社内で製造されるものもあり、供給元に外部委託される構成部品もある。社内と社外両方の試験者が、構成部品を試験するのに使用する試験枠組みがＡＴＡＣシステムである。構成部品に試験を行うために、試験者は、試験者が社内にいるかそれとも社外にいるかにかかわらず、試験される構成部品にＡＴＡＣ試験装置を固定する。ＡＴＡＣ試験装置は、本明細書で論じる場合、ＡＴＡＣシステムを内蔵している試験装置である。試験される構成部品がＡＴＡＣ試験装置に固定されると、試験者は、製造者のサイトにアクセスし、試験される構成部品を指示することができる。プラズマクラスタツールに見られるその他の構成部品はスタブアウトされる（あたかもこれらの構成部品が存在し、動作しているかのようにシミュレートされるなど）。
【００３２】
正しい試験仕様および方法がＡＴＡＣシステム上にダウンロードされる。試験が開始し、試験から収集されたデータが（試験が行われている間に試験者の要求に応じて、または試験が完了したときに一挙に）製造者試験データアーカイブサーバ上にアンロードされる。この後データは、製造者、試験者、および供給元が分析を行うために容易に利用することができる。さらにデータは、問題が生じたときにサービス技術員および顧客が利用することもできる。
【００３３】
試験時に収集される大量のデータを分析するために、製造者の中央試験データアーカイブサーバ（ＡＴＡＣ収集データベースなど）にデータ分析モジュールが接続される。データ分析モジュールは、統計的工程管理（ＳＰＣ）論理を備えるユーザインターフェースを含む。このユーザインターフェースを用いて、ユーザはＡＴＡＣ収集データベース上に格納された試験データに問い合わせを行い、ユーザの使いやすい報告書を作成する。一実施形態では、データ分析モジュールにカスタム規則データベースも接続され、ユーザが報告書および図表の構成を、後で報告書を即座に提示するのに利用されるテンプレートとして保存することを可能にする。また、カスタム規則データベースは、ユーザが、試験結果に変更が生じていることをシステムがユーザに通知するための条件を構成することを可能にする通知規則も含む。
【００３４】
本発明の特徴および利点は、各図および以下の考察を参照すればより適切に理解されるであろう。図２Ａに、ＡＴＡＣ試験装置が取り付けられたラズマクラスタツールの一例を示す。プラズマクラスタツールは、プロセスモジュール２１０と搬送モジュール２０２とを示している。搬送モジュール２０２には、制御ラック２０４、真空搬送モジュール（ＶＴＭ）２０６、および大気搬送モジュール（ＡＴＭ）２０８がある。ＶＴＭ２０６とＡＴＭ２０８とにはそれぞれ、ＡＴＡＣ試験装置２３２と２３０とが取り付けられている。この例には、制御ラック２０４用のＡＴＡＣ試験装置は示されていない。制御ラック２０４は、制御コンピュータおよび配電ハードウェアが置かれる場所である。本発明の一実施形態では、ＡＴＡＣ試験装置がすべての構成部品に存在する。しかし、あまり複雑な機能および／または制御論理のない構成部品（制御ラックなど）にはＡＴＡＣ試験装置がなくてもよい。
【００３５】
プロセスモジュール２１０に置かれる構成部品には（それだけに限らないが）、ＴＣＰ整合２１８（ＡＴＡＣ試験装置２３４を伴う）、バイアス整合２２０（ＡＴＡＣ試験装置２３６を伴う）、ガスボックス２２２（ＡＴＡＣ試験装置２３８を伴う）、バイアス電極２１４（ＡＴＡＣ試験装置２４０を伴う）および天板２１６（ＡＴＡＣ試験装置２４２を伴う）が含まれる。またプロセスモジュール２１０に取り付けられたＡＴＡＣ試験装置２１２もある。ＡＴＡＣ試験装置を除いて、クラスタツールの上記その他の主要構成部品は当分野の技術者には公知のものである。よって本明細書ではこれらの主要構成部品について詳細な記述や考察を行わない。
【００３６】
図２Ｂに、本発明の一実施形態における、ＡＴＡＣ試験枠組みのアーキテクチャを示す。メインホストコンピュータ２５２はその上でシステム制御ソフトウェア（ＳＣＳ）２５４を走らせている。ＳＣＳ２５４は、製造環境でプラズマクラスタツールのために実施されるのと同じシステム制御ソフトウェアである。結果として試験は、シミュレートされた製造環境という有利な状況で行われる。
【００３７】
またメインホストコンピュータ２５２には、データマネージャモジュール２５６も置かれる。データマネージャモジュール２５６は、インターネットを介することのできるパス２５３を介して、メインホストコンピュータ２５２と試験データアーカイブサーバ（ウェブサーバ２６６など）との間で仕様データをロードさせ、結果試験データをアンロードさせるデータ転送エージェントである。ＡＴＡＣウェブサービス２６８は、ウェブサーバ２６６上に置かれ、セキュアなインターネット環境を実現する。よって、ＡＴＡＣウェブサービス２６８にアクセスするには、ユーザは認証データ（ユーザ名とパスワードなど）を提供する必要がある。
【００３８】
データマネージャモジュール２５６が製造者から仕様データを取得しようとする場合、パス２５３を介してＡＴＡＣウェブサービス２６８に要求が出される。ＡＴＡＣウェブサービス２６８は、パス２５５を介してファイルサーバ２６２から、および／またはパス２５７を介してデータベースサーバ２６４から仕様データを取得する。例えば、製法などがファイルサーバ２６２上のファイルとして格納されていてもよい。他方、データベース２６４には最小および最大のキャパシタンスが格納されていてもよい。一実施形態では、ファイルサーバ２６２およびデータベースサーバ２６４が、製造者の社内インフラストラクチャに置かれる。仕様データはパス２５３を介してデータマネージャモジュール２５６に送られる。データマネージャモジュール２５６は仕様データを（パス２５９を介して）ファイルシステム２６２と、（パス２６１を介して）データベース２６０とに格納する。ファイルシステム２６２およびデータベース２６０はローカルでメインホストコンピュータ２５２上に位置する。
【００３９】
またメインホストコンピュータ２５２には試験マネージャモジュール２５８も置かれている。試験者は試験マネージャモジュール２５８を用いて、試験される構成部品の試験シナリオ（標準試験を行う、トラブルシューティングを行う、診断を行うなど）を選択する。各試験シナリオごとに、利用可能な１組の試験（試験機能など）がある。１組の試験は１つまたは複数の試験を含む。試験者は、これらの試験のうちの全部または一部を実行するよう選択する。試験シナリオおよび１組の試験は、データマネージャモジュール２５６によりＡＴＡＣウェブサービス２６８からダウンロードされ、ファイルシステム２６２とデータベース２６０とに格納されている試験仕様および関連する試験仕様データから導出される。試験マネージャ２５８は、一実施形態では、（米国カリフォルニア州マウンテンビュー所在のサン・マイクロシステムズ株式会社から入手可能な）Ｊａｖａ（登録商標）で実施される。
【００４０】
試験シーケンスが活動化された後、試験マネージャ２５８は、パス２６７を介してＳＣＳインターフェースエンジン２６９と対話する。ＳＣＳインターフェースエンジン２６９は、プラズマクラスタツールのＳＣＳ２５４と１組の試験をやりとりする。ＳＣＳインターフェースエンジン２６９は、試験スクリプトで符号化されているコマンドを処理し、ＳＣＳ２５４にコマンドを発行する。本発明の一実施形態では、ＳＣＳインターフェースエンジン２６９が、オブジェクト指向プログラミング言語であるＳｍａｌｌｔａｌｋを使って実施される。
【００４１】
試験結果が収集され、ファイルシステム２６２とデータベース２６０とに保存される。ファイルシステム２６２に保存され得る試験結果の一例がデータログファイルである。データベース２６０に保存され得る試験結果の例が、プロセスモジュールにおける圧力測定値である。
【００４２】
試験結果は、試験が行われた直後、試験シナリオが完了した後、または構成部品に関してすべての試験が行われた後でＡＴＡＣウェブサービス２６８にアンロードされる。本発明の一実施形態では、試験マネージャモジュール２５８は、試験結果がＡＴＡＣウェブサービス２６８にアンロードされるときにシャットダウンされる。試験マネージャモジュール２５８がシャットダウンされて潜在的データ矛盾が防止される。試験結果をアンロードするために、データマネージャモジュール２５６はファイルシステム２６２とデータベース２６０とに格納された試験結果を取得し、その試験結果をＡＴＡＣウェブサービス２６８にアンロードする。ＡＴＡＣウェブサービス２６８は試験結果をファイルサーバ２６２とデータベースサーバ２６４とに格納する。
【００４３】
試験結果には、その結果がＡＴＡＣウェブサービス２６８にアンロードされ次第アクセスすることができ、ユーザがデータを閲覧し、報告書を作成することを可能にする報告アプリケーションであるデータビューア（ＡＴＡＣウェブ報告プログラム２７０など）を使って閲覧される。アクセス許可を付与されているユーザは試験結果にアクセスし得る。
【００４４】
図３に、一実施形態における、ＡＴＡＣシステムを使ってプラズマクラスタツールの構成部品を試験する簡略化された流れ図を示す。図３を図２Ｂとの関連で論じる。例えば、プロセスモジュール２１０内の構成部品（バイアス電極２１４、ＴＣＰ整合２１８、バイアス整合２２０、ガスボックス２２２、天板２１６など）のうちの１つを試験する必要がある状況を考える。ＡＴＡＣ試験装置は、試験する必要のある構成部品に接続される。例えば、メインホストコンピュータ２５２が、プロセスモジュール２１０とその構成部品とを制御するコンピュータ２５０（ＶＭＥなど）に接続される。ＡＴＡＣシステムが組み込まれたメインホストコンピュータ２５２がコンピュータ２５０に接続されると、ＡＴＡＣシステムは試験枠組みとインターフェースを提供する。
【００４５】
第１のステップ３０２でデータマネージャモジュールが起動される。構成部品の試験を開始するために、コンピュータ２５０がパス２５１を介してメインホストコンピュータ２５２とやりとりして試験工程を開始し、データマネージャモジュール２５６を起動する。
【００４６】
次のステップ３０４で試験者は、仕様データを更新させることを可能にするボタンを押す。データマネージャ２５６は製造者のコンピュータネットワーク（ＡＴＡＣウェブサービス２６４など）に接続し、すべての仕様データ（一実施形態における仕様データの異なるバージョンなど）をダウンロードする。前述のように、試験者が認証情報（ユーザ名とパスワードなど）を提供した後で、コンピュータネットワーク（ＡＴＡＣウェブサービス２６４など）へのアクセス権が付与される。一実施形態では、構成部品の試験が複数回行われる場合、後のダウンロードでは、仕様データの差分だけがダウンロードされる。
【００４７】
仕様データをデータマネージャモジュール２５６にダウンロードするために、コンピュータネットワーク（ＡＴＡＣウェブサービス２６４など）はファイルサーバ２６２とデータベースサーバ２６４とから仕様データを取得する。ファイルサーバ２６２とデータベースサーバ２６４とから取得される仕様データは、データマネージャモジュール２５６にダウンロードされ、ファイルシステム２６２とデータベース２６０とに格納される。
【００４８】
仕様データが更新されると、次にステップ３０６でユーザは、構成部品に関する識別情報（製造番号、装置ＩＤなど）を入力し、仕様データのバージョンを選択する。次のステップ３０８で、仕様データの選択されたバージョンが、すべての実行時ディレクトリにコピーすることによって適用される。次にステップ３１０で試験者は構成部品に特有の選択肢を構成する。例えばガスボックスは、ガスラインが何本あるか（１２本など）、ボックスが何個あるか（１６個など）、またはガスボックスが備える供給ラインの数（二重ガス供給か否かなど）に基づいて構成される。
【００４９】
次のステップ３１２で試験者は、試験マネージャモジュールを起動して（１つまたは複数の）試験シナリオを選択する（ステップ３１４）。一例では、試験者は、ガスボックスに対して標準的な１組の試験を行おうとする。試験シナリオが選択されると、試験シナリオと関連付けられた１組の試験を試験者が利用できるようになる。次のステップ３１６で試験者は実行すべき試験を選択する。一例ではガスボックスに対する標準的な１組の試験には、実行され得る４０項目の試験が含まれる。これら４０項目の試験のうち、試験者はすべてを実行するよう選択しても、少数の項目だけを選択してもよい。試験マネージャモジュール２５８は、ファイルシステム２６２とデータベース２６０とに格納された仕様データを利用して、試験シナリオと、実行される１組の試験を選択する。
【００５０】
次のステップ３１８で各試験が実行される。ＳＣＳインターフェースエンジン２６９は試験マネージャモジュール２５８とやりとりして試験シーケンスを取得する。ＳＣＳインターフェースエンジン２６９は試験スクリプトで符号化されたコマンドを処理し、ＳＣＳ２５４に試験を開始するコマンドを発行する。受け取られた情報に基づき、ＳＣＳ２５４は、試験されないすべての構成部品をスタブアウトし、試験シーケンスを開始する。本発明の一実施形態では、ＳＣＳインターフェースエンジン２６９が、オブジェクト指向プログラミング言語であるＳｍａｌｌｔａｌｋを使って実施される。
【００５１】
各試験時に収集されたデータは試験マネージャモジュール２５８を介してファイルシステム２６２とデータベース２６０とに送られる。次のステップ３２０で次の試験が求められる場合、試験者はステップ３１６に戻り、新しい試験を選択する。この工程は、試験者が実行しようとするすべての試験が完了するまで続く。すべての試験が完了すると、試験者は次のステップ３２２で試験マネージャをシャットダウンする。
【００５２】
本発明の一実施形態では、試験の完了後に、または試験シナリオの完了後に、試験結果がＡＴＡＣウェブサービス２６８にアンロードされる。例えば、ある試験シナリオのために実行される試験は４０項目ある。各試験の終了時に試験者は試験マネージャモジュールをシャットダウンしてデータをアンロードする。試験者が試験マネージャモジュールを再起動すると、システムは試験者に各試験の状況を示し、試験を継続する機会を与える。結果として、試験結果のより頻繁なアンロードが可能になることにより、試験者と他の試験結果に関心を有する者とが、ほぼリアルタイムで試験結果にアクセスできるようになり、これにより分析を実行し、トラブルシューティングを行うことが可能になる。
【００５３】
次のステップ３２４で、データマネージャモジュールが活動化されてデータをアンロードする（ステップ３２６）。例えば、データマネージャモジュール２５６はファイルシステム２６２とデータベース２６０とから試験結果を取得し、その試験結果をＡＴＡＣウェブサービス２６８に送る。試験結果はファイルサーバ２６２とデータベースサーバ２６４とに格納され、結果を閲覧する許可を受けた任意のユーザ（サービス技術員、供給元、顧客など）からこれにアクセスすることができる。次のステップ３２８で、構成部品の試験が完了し、試験者がＡＴＡＣウェブ報告プログラム２５４を使ってデータを閲覧する。
【００５４】
図４に、一実施形態における、データベースと関連付けたＡＴＡＣシステムの全般的環境の簡略化した図を示す。例えば、ベンダ４０２、４０４および４０６がＡＴＡＣシステム４０８を使って試験結果を収集し、そのデータを、ＡＴＡＣシステム４０８を介して上流のＡＴＡＣ収集データベース４１０に送っている状況を考える。データはＡＴＡＣ収集データベース４１０上に格納され、その後の分析に利用することができる。大量のデータが格納され、データ分析モジュールは、それらの収集試験データを操作して読み取り可能な報告書および図表にすることが求められる。
【００５５】
図５に、一実施形態におけるデータ分析モジュールのブロック図を示す。データ分析モジュール５０２はＡＴＡＣ収集データベース５０４に接続されている。一実施形態では、データ分析モジュール５０２にはカスタム規則データベース５０６も接続されている。
【００５６】
一実施形態では、データ分析５０２は、統計的工程管理（ＳＰＣ）バックエンド５１０を含む。ＳＰＣバックエンドを用いて、ＡＴＡＣ収集データベース５０４上に格納された試験データに対する統計分析が行われる。ユーザにデータを取得し、分析するのに使いやすいインターフェースを提供するために、データ分析モジュール５０２はユーザインターフェース５１２を含む。ユーザインターフェース５１２を用いてユーザはＳＰＣバックエンド５１０にアクセスし、ＡＴＡＣ収集データベース５０４上に格納された試験データに問い合わせを行う。問い合わせの結果は、ユーザがカスタム規則データベース５０６にアクセスすることにより構成される、ユーザの使いやすい報告書および図表として提示される。
【００５７】
カスタム規則データベース５０６は、一実施形態では、ファイル格納領域とＳＱＬデータベースとを含む。ファイル格納領域は、報告書および図表がどのようにして作成され、カスタマイズされるかについての規則を含む。カスタム規則データベース５０６を使ってユーザは、ユーザが後で適用するために保存する図表および報告書のテンプレートを作成する。別の実施形態では、カスタム規則データベース５０６は、通知情報が置かれるデータベースも含む。
【００５８】
一実施形態では、ユーザは、特定のアクティビティが発生したときに通知を受け取ろうとする。データ分析モジュール５０２の自動通知５１４を使って、ユーザに特定のアクティビティが通知される。通知の規則を定義するために、自動通知はカスタム規則データベース５０６にアクセスする。前述のように、カスタム規則データベース５０６は、試験結果に変更が生じていることをシステムがユーザに通知するための条件をユーザが構成することを可能にする通知規則を含む。一例ではユーザは、搬送モジュールの構成部品の試験データが所定の割合を超えて変化したときにシステムがユーザに通知する自動通知規則を設定する。この自動通知規則がトリガされると、ユーザに通知が行われる。一実施形態では、試験データの変化を示す事前定義のテンプレートを使って報告書が生成される。
【００５９】
図６および図７に、一実施形態における、生成され得る種類の図表を示す。図６には構成部品の位置オフセットのグラフが示されている。この例では、２００５年１０月の間に、位置オフセットの傾向を変化させるイベントが発生した。データ分析モジュールで、ユーザは自動通知機能を用いて図６に示す変化と同様の変化をユーザに通知させて、製造処理における変化を検出する。
【００６０】
別の例として、図７に構成部品の耐熱値のグラフの例を示す。この例では、耐熱値がゆっくりと漸増する傾向にある。一日ごとの単位では、ユーザは上昇傾向を特定することができない可能性もある。しかし、データ分析モジュールを用いれば、ユーザはグラフ上に耐熱値を記入し、この傾向を迅速に特定することもできる。またユーザは現在の傾向を用いて今後の試験結果を予測することもでき、その予測を利用して障害を防止することもできる。
【００６１】
図６にも図７にも、構成部品が顧客の現場に送られる前に、データ分析モジュールを用いて問題を生じ得る変化をどのようにして検出するかについての例が示されている。一実施形態では、データ分析モジュールのような効率的で効果的なツールを用いて、製造者は障害が発生するのを防止することができるだけでなく、試験結果をより適切に制御するために試験標準を変更することもできる。一例では、ある範囲の上限と下限を、構成部品がより適切に作られるのに有効な範囲に狭めることができれば、顧客の現場で生じ得るハードウェア障害がより少なくなる。
【００６２】
以下の例で、試験データの閲覧を許可されている者が容易にデータにアクセスすることのできるＡＴＡＣ収集データベース上に格納されている試験データを使って、どのようにして問題解決が行われ得るかを例示する。図８に、一実施形態における、ＡＴＡＣシステムを使って問題解決を行う簡略化された流れ図を示す。例えば、プラズマクラスタツールがサービス技術員により顧客の現場で設置されている状況を考える。第１のステップ８０２で、顧客の現場においてプラズマクラスタツールに問題が発生する。一例では、設置時に、プラズマクラスタツールはＶＣＩ  ＮＯプラズマ試験に合格しない。ＶＣＩは、処理モジュールの電圧制御方式を監視する処理モジュール上の装置である。ＶＣＩ  ＮＯプラズマ試験は、勾配が設定範囲内であることを必要とする。しかし、顧客現場における試験結果はその範囲の下端のところにある。
【００６３】
次のステップ８０４で、ユーザ（サービス技術員など）がＡＴＡＣウェブサイトにログオンする。次のステップ８０６でユーザはユーザ名とパスワードを入力してＡＴＡＣウェブサイトにアクセスする。次のステップ８０８でユーザはＡＴＡＣから試験結果を取得する。次のステップ８１０でユーザは試験データを分析することにより問題解決を行う。データ分析モジュールを使えば、ユーザはＡＴＡＣ収集データベースに問い合わせてＶＣＩ  ＮＯプラズマ試験の試験データを収集することができる。分析すると、サービス技術員は、試験中に勾配が（たとえその範囲内にはあったとしても）すでに範囲の下端に向かう傾向にあったことを検出することができる。またサービス技術員は、同じ構成と関連付けられた試験データを分析し、勾配が下降傾向をたどり始めた時刻を突き止めることもできる。データに基づき、サービス技術員は、問題の原因がその時刻に発生したイベントにあったことを突き止めることができる。さらに調査すると、問題の原因は電極を供給していた供給元にあることが分かる。データはＡＴＡＣウェブサービスを介して容易に利用することができるため、サービス技術員は問題を迅速に突き止めることができる。以前は、分析に何週間または何か月をも要した。
【００６４】
本発明の実施形態から分かるように、ＡＴＡＣシステムは標準的な試験枠組みを提供し、それによって、試験が不正確に行われる可能性が大幅に低減される。試験を標準化することにより製造者は、顧客の現場に設置されるプラズマ処理システムが、製造者の承認した試験方法および仕様に従って試験されているという保証を得る。加えてＡＴＡＣシステムはデータのほぼリアルタイムでのアンロードも可能にする。よって、データへのアクセス権を付与されている者が、試験結果に容易にアクセスしてデータ分析およびトラブルシューティングを行うことができる。
【００６５】
以上、本発明をいくつかの実施形態との関連で説明したが、代替形態、置換形態、および均等物があり、それらは本発明の範囲内に含まれる。また、本明細書には便宜上、発明の名称、概要、および要約書を示すが、これらは本発明の特許請求の範囲を解釈するのに使用すべきではない。さらに本出願において、ａ  ｓｅｔ  ｏｆ  ”ｎ”（１組の「ｎ」）とは、その組（ｓｅｔ）の中の１つまたは複数の「ｎ」を指すものである。また、本発明の方法および装置を実施する多くの代替のやり方があることにも留意すべきである。したがって、添付の特許請求の範囲は、かかるすべての変更形態、置換形態、および均等物を、本発明の真の精神および範囲に包含されるものとして含むものであると解釈すべきである。
【図１Ａ】
2010508649.tif 000003
【図１Ｂ】
2010508649.tif 000004
【図２Ａ】
2010508649.tif 000005
【図２Ｂ】
2010508649.tif 000006
【図３】
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【図４】
2010508649.tif 000008
【図５】
2010508649.tif 000009
【図６】
2010508649.tif 000010
【図７】
2010508649.tif 000011
【図８】
2010508649.tif 000012
【国際調査報告】
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