(57)【要約】【課題】熱性能の向上のためにフタをはんだ付けされた集積回路パッケージ【解決手段】集積回路ダイは、回路面と該回路面の反対側の裏面とを含む。裏面に、バンプ下地金属が形成される。バンプ下地金属に、はんだの層が形成される。【選択図】図６
2010528472.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
集積回路パッケージであって、
回路面と前記回路面の反対側の裏面とを有する集積回路ダイと、
前記裏面に形成されるバンプ下地金属と、
前記バンプ下地金属に形成されるはんだの層と、
を備える集積回路パッケージ。
【請求項２】
請求項１に記載の集積回路パッケージであって、さらに、
前記はんだの層によって前記バンプ下地金属にはんだ付けされる金属製のフタを備える集積回路パッケージ。
【請求項３】
請求項２に記載の集積回路パッケージであって、さらに、
前記金属製のフタに固定されるパッケージ基板を備える集積回路パッケージ。
【請求項４】
請求項３に記載の集積回路パッケージであって、さらに、
前記金属製のフタと前記パッケージ基板との間に形成される電気的接続部を備える集積回路パッケージ。
【請求項５】
請求項３に記載の集積回路パッケージであって、さらに、
前記金属製のフタと集積回路ダイの裏側との間に形成される電気的接続部を備える集積回路パッケージ。
【請求項６】
請求項３に記載の集積回路パッケージであって、さらに、
前記パッケージ基板を前記金属製のフタに固定させるための接着剤を備える集積回路パッケージ。
【請求項７】
請求項１に記載の集積回路パッケージであって、
前記はんだの層は、連続的なはんだ層を含む、集積回路パッケージ。
【請求項８】
請求項１に記載の集積回路パッケージであって、
前記はんだの層は、複数のはんだバンプを含む、集積回路パッケージ。
【請求項９】
請求項８に記載の集積回路パッケージであって、さらに、
前記はんだバンプ間に熱化合物を備える集積回路パッケージ。
【請求項１０】
請求項１に記載の集積回路パッケージであって、さらに、
前記集積回路ダイの前記裏面に形成される前記バンプ下地金属にはんだ付けされるヒートシンク構造を備える集積回路パッケージ。
【請求項１１】
集積回路パッケージを作成する方法であって、
回路面と前記回路面の反対側の裏面とを有する集積回路ダイを用意するステップと、
前記裏面にバンプ下地金属を形成するステップと、
前記バンプ下地金属にはんだの層を形成するステップと、
を備える方法。
【請求項１２】
請求項１１に記載の方法であって、さらに、
前記はんだの層によって前記バンプ下地金属に金属製のフタをはんだ付けするステップを備える方法。
【請求項１３】
請求項１２に記載の方法であって、さらに、
前記金属製のフタにパッケージ基板を固定させるステップ備える方法。
【請求項１４】
請求項１３に記載の方法であって、さらに、
前記金属製のフタと前記パッケージ基板との間に電気的接続部を形成するステップを備える方法。
【請求項１５】
請求項１３に記載の方法であって、さらに、
前記金属製のフタと集積回路ダイの裏側との間に電気的接続部を形成するステップを備える方法。
【請求項１６】
請求項１３に記載の方法であって、さらに、
導電性接着剤によって前記パッケージ基板を前記金属製のフタに固定させるステップを備える方法。
【請求項１７】
請求項１１に記載の方法であって、さらに、
前記はんだの層を連続的なはんだ層として形成するステップを備える方法。
【請求項１８】
請求項１１に記載の方法であって、さらに、
前記はんだの層を複数のはんだバンプとして形成するステップを備える方法。
【請求項１９】
請求項１１に記載の方法であって、さらに、
前記はんだバンプ間に熱化合物を形成するステップを備える方法。
【請求項２０】
請求項１１に記載の方法であって、さらに、
前記集積回路ダイの前記裏面に形成される前記バンプ下地金属にヒートシンク構造をはんだ付けするステップを備える方法。
【請求項２１】
集積回路ダイであって、
回路面、および前記回路面の反対側の裏面と、
前記裏面に形成されるバンプ下地金属と、
前記バンプ下地金属に形成されるはんだの層と、
を備える集積回路ダイ。
【請求項２２】
集積回路ダイを作成する方法であって、
ダイ基板に回路面と前記回路面の反対側の裏面とを形成するステップと、
前記裏面にバンプ下地金属を形成するステップと、
前記バンプ下地金属にはんだの層を形成するステップと、
を備える方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、集積回路の設計および製造に関するものである。より具体的には、ただし非制限的なものとして、本発明は、集積回路パッケージに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
フリップチップ集積回路ダイをパッケージ化するための従前の構築手法では、ダイとフタとの間の熱伝導性接着剤によって、ダイの裏側にフタが取り付けられる。集積回路ダイ技術によってシリコンが小サイズ化されるにつれて、より高密度で且つより小サイズのチップでより高速の処理性能が実現されるようになった。より高速の処理性能は、電力消費の増大につながるので、より大量の熱をより小面積のチップおよびパッケージから放散させる必要がある。
【発明の概要】
【０００３】
１つの実施形態では、集積回路ダイは、回路面と該回路面の反対側の裏面とを含む。裏面に、バンプ下地金属（バンプの基礎部分になる金属膜のこと）が形成される。バンプ下地金属に、はんだの層が形成される。
【０００４】
別の実施形態では、集積回路ダイを作成する方法は、ダイ基板に回路面と該回路面の反対側の裏面とを形成することを含む。裏面に、バンプ下地金属が形成される。バンプ下地金属に、はんだの層が形成される。
【０００５】
本発明は、添付の図面に例示的なものとして非限定的に示されている。図中、類似の参照符号は、幾つかの図面を通してずっと類似の要素を指すものとする。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】熱伝導性接着剤をともなう先行技術のフリップチップ集積回路パッケージの側面図である。
【図２】フタをともなわない図１のフリップチップ集積回路パッケージの側面図である。
【図３】裏に追加のバンプ下地金属を形成された集積回路ダイの拡大側面図である。
【図４】フォトレジストおよびエッチングの後における図３の集積回路ダイの拡大側面図である。
【図５】回路面にはんだバンプを、裏面のバンプ下地金属構造に連続的なはんだの層を形成された後における図４の集積回路ダイの拡大側面図である。
【図６】図５の集積回路ダイの裏に金属製のフタをはんだ付けされた集積パッケージの側面図である。
【図７】回路面にはんだバンプを、裏面のバンプ下地金属構造に複数のはんだバンプを形成された後における図４の集積回路ダイの拡大側面図である。
【図８】図７の集積回路ダイの裏にヒートシンク構造をはんだ付けされた集積パッケージの側面図である。
【図９】図６または図８の集積回路パッケージを作成するためのフローチャートである。
【図１０】接地されたフタをともなう図６の集積回路パッケージの側面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
図中の要素は、簡潔性および明瞭性を期して描かれており、必ずしも縮尺どおりではない。例えば、図中の幾つかの要素の寸法は、図示されている本発明の実施形態における際立つ特徴を指し示すために、その他の要素と比べて誇張して示されていている場合がある。
【０００８】
図１は、熱伝導性接着剤をともなう先行技術のフリップチップ集積回路パッケージの側面図１００を示している。図１に示されているのは、集積回路ダイ１０２、熱接着化合物１０４、フタ１０６、アンダーフィル・エポキシ１０８、フタ封止エポキシ１１０、はんだバンプ１１２、基板１１４、およびはんだボール１１６である。
【０００９】
フリップチップ・パッケージ１００に熱伝導性接着剤１０４を使用することの不利益は、熱伝導性接着剤１０４が一般におよそ１〜３Ｗ／ｍＫ（ワット毎メートル毎ケルビン）のバルク熱伝導率を有することにある。さらに、熱接着剤の接触抵抗は、熱伝導性接着剤１０４の熱放散能力をおよそ５０％減少させる。その結果、集積回路ダイ１０２とフタ１０６との間の熱伝導率は、集積回路ダイ１０２を電力仕様内で動作させる際のフリップチップ・パッケージの熱放散要件を満たすのに不十分になる。電力の増した、より小型のダイおよびパッケージの熱放散を増大させるには、より高い熱伝導率と、より低い接触抵抗とが必要である。
【００１０】
先行技術で開発された、熱伝導率を増大させる方法は、１つには、熱伝導性接着剤１０４の充填材含有量を増加させることである。しかしながら、充填材含有量の増加は、熱接着化合物１０４の流動特性および分配特性を大幅に低下させる。また、充填材含有量が大きいと、熱接着化合物１０４がフタからまたは集積回路ダイ１０２から剥離する可能性が高まる。さらに、充填材含有量の増加は、熱接着化合物１０４の接触抵抗を向上させず、これは、ダイとフタとの間の有効熱伝導率を低下させる。充填材含有量の増加に関連したもう１つの問題は、熱接着化合物１０４の厚さをおよそ５０ミクロン未満に低減させられないことである。熱接着化合物１０４に関連して生じる問題を回避するには、集積回路パッケージからフタを省けばよい。
【００１１】
図２は、フタをともなわない図１のフリップチップ集積回路パッケージの側面図２００を示している。図２に示されているのは、集積回路ダイ１０２、アンダーフィル・エポキシ１０８、はんだバンプ１１２、基板１１４、およびはんだボール１１６である。
【００１２】
図２では、集積回路ダイ１０２の熱放散性能を向上させるために、図１のパッケージからフタ１０６およびフタ封止エポキシ１１０が省かれている。しかしながら、フタが取り付けられていないと、集積回路ダイ１０２は、ボードレベルの組み立てプロセスおよびテストプロセスでの取り扱いによる損傷、並びにエンドユーザによる誤った破損による損傷を受けやすい。また、集積回路ダイ１０２には、フリップチップ・パッケージの構築に由来する引張応力も作用する。集積回路ダイ１０２は、概して非常に脆いので、小さな外力／外部応力が集積回路ダイ１０２を破損する可能性がある。また、一般的に集積回路ダイ１０２の裏面に作成される識別マークは、ダイが破壊する危険性を増大させる応力集中点を形成する可能性がある。
【００１３】
フリップチップ集積回路パッケージの製造に使用されるのと同じ手法を活用することによって先行技術の不利益を克服する好ましい方法が、以下で説明される。また、後述される方法は、添付の特許請求の範囲内で、他のタイプの集積回路パッケージにおいて熱伝導率を高めるためにも使用されてよい。
【００１４】
図３は、裏に追加のバンプ下地金属（underbump metallurgy）を形成された集積回路ダイの拡大側面図３００を示している。図３に示されているのは、集積回路ダイ１０２、およびバンプ下地金属（underbump metallurgy：ＵＢＭ）構造３０２，３０４である。
【００１５】
各バンプ下地金属（ＵＢＭ）構造３０２，３０４は、チタン、銅、およびニッケル等の薄膜界面金属の多層堆積、即ち積層体である。先行技術による代表的なフリップチップ・パッケージでは、集積回路ダイ１０２の回路面に、バンプ下地金属（ＵＢＭ）構造３０２が堆積される。バンプ下地金属（ＵＢＭ）構造３０２は、次いで、図１に示されるように集積回路ダイ１０２と集積回路パッケージとの間に電気接点を形成するはんだバンプを形成するためにエッチングされる。
【００１６】
１つの実施形態では、集積回路ダイ１０２の回路面に堆積されるバンプ下地金属（ＵＢＭ）構造３０２に加えて、回路面の反対側の集積回路ダイ１０２の裏面にバンプ下地金属（ＵＢＭ）構造３０４が堆積される。集積回路ダイ１０２の裏面のバンプ下地金属（ＵＢＭ）構造３０４は、例えば、バンプ下地金属（ＵＢＭ）構造３０２を形成するために使用されるのと同じ手法で形成されてよい。回路面とは対照的に、集積回路ダイ１０２の裏面は、集積回路ダイの内側の回路に電気的に接続されるのが一般的ではない。しかしながら、一部の実施形態では、例えば接地または電磁波妨害（ＥＭＩ）シールドとして裏面への電気的接続が使用されてもよい。
【００１７】
図４は、フォトレジストおよびエッチングの後における図３の集積回路ダイの拡大側面図４００を示している。図４に示されているのは、集積回路ダイ１０２、バンプ下地金属（ＵＢＭ）構造３０２，３０４、フォトレジスト層４０２、およびホール４０４である。
【００１８】
図４では、フォトレジスト層４０２がバンプ下地金属構造３０２に形成され、集積回路ダイ１０２の回路面にホール４０４を形成するためにエッチングされる。ダイ１０２の裏面のバンプ下地金属構造３０４には、フォトレジスト層は不要である。バンプ下地金属構造３０４には、しかしながら、添付の特許請求の範囲内でその他の実施形態を実施するために、フォトレジスト層が形成されてもよい。
【００１９】
図５は、回路面にはんだバンプを、裏面のバンプ下地金属構造に連続的なはんだの層を形成された後における図４の集積回路ダイの拡大側面図５００を示している。図５に示されているのは、集積回路ダイ１０２、バンプ下地金属（ＵＢＭ）構造３０２，３０４、フォトレジスト層４０２、はんだバンプ５０２、およびはんだ層５０４である。
【００２０】
図５では、はんだバンプ５０２は、集積回路ダイ１０２と集積回路パッケージ基板との間に電気接点を形成するために、例えばバンプ形成プロセスによって、フォトレジスト層内のホールを通してバンプ下地金属（ＵＢＭ）構造３０２にめっきされる。同じプロセスは、フォトレジストをともなわないバンプ下地金属（ＵＢＭ）構造３０４に連続的なはんだの層５０４をめっきするためにも使用されてもよい。バンプ形成プロセス後は、例えばエッチングプロセスによってフォトレジスト層４０２が除去される。
【００２１】
パッケージの組み立てでは、集積回路ダイ１０２の裏に、例えばパッケージ組み立てプロセスで使用されたのと同じボール取り付けリフロープロセスによって、はんだ層５０４を用いて図１のフタ１０６がはんだ付けされる。フタ１０６は、集積回路ダイ１０２の裏面に、例えば５ミクロン未満の厚さのはんだ層を使用してはんだ付けされてよい。はんだ層５０４は、およそ５０〜６０Ｗ／ｍＫの熱伝導率と、低い接触抵抗とを有する。その結果、図１のフリップチップ・パッケージの熱放散能力は、一桁またはそれを上回る規模で向上させられる。
【００２２】
１つの実施形態では、集積回路パッケージは、回路面と該回路面の反対側の裏面とを有する集積回路ダイを含む。裏面に、バンプ下地金属が形成される。バンプ下地金属に、はんだの層が形成される。
【００２３】
図６は、図５の集積回路ダイの裏に金属製のフタをはんだ付けされた集積パッケージの側面図６００を示している。図６に示されているのは、集積回路ダイ１０２、金属製のフタ１０６、アンダーフィル接着剤１０８、フタ封止１１０、基板１１４、はんだボール１１６、はんだバンプ５０２、およびはんだ層５０４である。
【００２４】
図６では、図５のダイ１０２が回路面を下向きにするようにひっくり返されており、したがって、「フリップチップ」と称される。図１の熱化合物は、はんだ層５０４に置き換えられ、これは、接触抵抗を低減させつつ熱伝導率を有利に増大させる。その結果、図６の集積回路パッケージは、図１のそれより優れた熱放散性能を有する。１つの実施形態では、はんだの層は、図５におけるはんだ層５０４の例のように、連続的なはんだの層である。その他の実施形態では、はんだの層は、図７における個々のはんだバンプ７０４のように、不連続であってよい。
【００２５】
図７は、回路面にはんだバンプを、裏面のバンプ下地金属構造に複数のはんだバンプを形成された後における図４の集積回路ダイの拡大側面図７００を示している。図７に示されているのは、集積回路ダイ１０２、バンプ下地金属（ＵＢＭ）構造３０２，３０４、フォトレジスト層４０２，７０２、および個々のはんだバンプ５０２，７０４である。
【００２６】
図７の実施形態では、はんだの層は、複数のはんだバンプ７０４で構成される。はんだバンプ７０４は、例えばバンプ下地金属（ＵＢＭ）構造３０２にはんだバンプ５０２を形成したのと同じ手法で、集積回路ダイ１０２の裏面のバンプ下地金属（ＵＢＭ）構造３０４にめっきされる。バンプ形成プロセス後、フォトレジスト層４０２，７０２は、例えばエッチングプロセスによって除去される。パッケージの組み立てでは、図１のフタ１０６は、例えばパッケージ組み立てプロセスで使用されたのと同じボール取り付けリフロープロセスによって、集積回路ダイ１０２の裏にはんだ付けされる。
【００２７】
図８は、図７の集積回路ダイの裏にヒートシンク構造をはんだ付けされた集積パッケージの側面図８００を示している。図８に示されているのは、集積回路ダイ１０２、アンダーフィル接着剤１０８、フタ封止１１０、基板１１４、はんだボール１１６、はんだバンプ５０２，７０４、およびヒートシンク構造８０２である。
【００２８】
図８では、図７の集積回路ダイ１０２が回路面を下向きにするようにひっくり返されている。この実施形態では、集積回路ダイ１０２を覆うフタは、ヒートシンク構造８０２である。ヒートシンク構造８０２は、集積回路ダイ１０２から熱を放散させるための表面積が、図１のフタ１０６と比べて大きい。ヒートシンク構造８０２は、個々のはんだバンプ７０４によって、集積回路ダイ１０２の裏にはんだ付けされる。別の実施形態では、熱伝導率を高めるために、図１で使用されたのと同じ熱化合物がはんだバンプ７０４間に追加される。これらの改良の結果、図８の集積回路パッケージは、図１および図２のそれらよりも優れた熱放散性能を有する。ヒートシンク構造８０２は、例えば、例えば銅または銅合金で作成されたフィン付きヒートシンクであってよい。この実施形態では、集積回路ダイ１０２の裏面に形成されるはんだの層は、図７のバンプ下地金属（ＵＢＭ）構造３０４に形成される複数のはんだバンプ７０４で構成される。
【００２９】
別の実施形態では、集積回路パッケージを作成する方法は、以下のステップを含む。回路面と該回路面の反対側の裏面とを有する集積回路ダイが提供される。裏面に、バンプ下地金属が形成される。バンプ下地金属に、はんだの層が形成される。
【００３０】
図９は、図６または図８の集積回路パッケージを作成するためのフローチャート９００を示している。
【００３１】
ステップ９０２は、フローチャート９００の入口点である。
【００３２】
ステップ９０４では、例えば図１のフリップチップ・パッケージにおいて回路面にバンプ下地金属を形成するのに使用されたのと同じプロセスによって、回路面の反対側の集積回路ダイの裏面にバンプ下地金属３０４が形成される。
【００３３】
ステップ９０６では、例えばめっきプロセスによって、バンプ下地金属３０４にはんだの層が形成される。はんだの層は、例えば、図５の連続的なはんだ層または図７の複数のはんだバンプ７０４であってよい。
【００３４】
ステップ９０８は、フローチャート９００の出口点である。
【００３５】
図１０は、接地されたフタをともなう図６の集積回路パッケージの側面図を示している。図１０に示されているのは、集積回路ダイ１０２、金属製のフタ１０６、アンダーフィル接着剤１０８、パッケージ基板１１４、はんだボール１１６、はんだバンプ５０２、はんだの層１００２、非伝導性接着剤１００４、および電気的接続１００６である。
【００３６】
図１０では、はんだの層１００２は、図５の連続的なはんだ層である。その他の実施形態では、はんだの層１００２は、図７の複数のはんだバンプ７０４であってよい。金属製のフタ１０６は、非伝導性接着剤１００４によってパッケージ基板に接続される。伝導性材料１００６は、金属製のフタ１０６を、電気的接続、接地、またはパッケージ基板１１４の最上金属層内の他の回路接続に接続する。或いは、金属製のフタ１０６を地板にまたはパッケージ基板１１４の内側の接続に電気的に接続するために、パッケージ基板１１４上の特定の領域において、電気的接続１００６の代わりにまたはその追加として導電性のフタ取り付けエポキシまたはその他の伝導性材料が使用されてよい。
【００３７】
集積回路ダイ１０２と金属製のフタ１０６との間にはんだの層１００２を使用することによって、接地された金属製のフタを、集積回路ダイ１０６の裏側の地板として使用することができる
【００３８】
更なる実施形態では、集積回路ダイは、例えば図３に示されるように、回路面と該回路面の反対側の裏面とを含む。裏面に、バンプ下地金属が形成される。バンプ下地金属に、はんだの層が形成される。はんだの層は、例えば、集積回路ダイ用の地板としてはもちろん、ダイを様々なパッケージ化方式に取り入れるために使用することができる。
【００３９】
別の実施形態では、集積回路ダイを作成する方法は、例えば図３に示されるように、ダイに回路面と該回路面の反対側の裏面とを形成することを含む。裏面に、バンプ下地金属が形成される。バンプ下地金属に、はんだの層が形成される。
【００４０】
上述のフローチャートの説明によって示されたこの方法は、特定の順序で実施される具体的なステップを参照にして説明および図示されているが、これらのステップは、特許請求の範囲から逸脱することなく組み合わせる、細分する、または並べ替えることが可能である。本明細書において具体的に指摘されない限り、ステップの順序およびグループ分けは、本発明に対する制限にならない。
【００４１】
本明細書で開示される発明は、具体的な実施形態およびそれらの応用を用いて説明されているが、当業者ならば、以下の特許請求の範囲に定められた発明の範囲から逸脱することなく数々の修正および変更を加えることが可能である。
【００４２】
上述の具体的な実施形態およびそれらの応用は、例示目的のために過ぎず、以下の特許請求の範囲内でなされえる修正および変更を排除しない。
【図１】
2010528472.tif 000003
【図２】
2010528472.tif 000004
【図３】
2010528472.tif 000005
【図４】
2010528472.tif 000006
【図５】
2010528472.tif 000007
【図６】
2010528472.tif 000008
【図７】
2010528472.tif 000009
【図８】
2010528472.tif 000010
【図９】
2010528472.tif 000011
【図１０】
2010528472.tif 000012
【国際調査報告】
2010528472.tif 000013