(57)【要約】  本発明は、積み込みの難しいシリコンベースのウエハ（２）のような二次元的な部品を非接触で保持するベルヌーイ・グリッパ（１）からなるグリッパであって、制御可能なロボットアーム（３）に接続されたクランプ・リング（４）と、ラッパ状部品（５）によってクランプ・リング（４）に接続され且つラッパ状部品（５）とバッフル・プレート（６）を通る流系（８）とつながるグリップ・フェイス（７）を有し、ベルヌーイ・グリッパ（１）に対して過剰圧力がかかると、グリップされるウエハ（２）を吸着させるために、バッフル・プレート（６）のグリップ・フェイス（７）に負圧が生じるバッフル・プレート（６）と、グリップ・フェイス（７）で一体化され且つグリップ・フェイス（７）に吸着されたウエハ（２）を滑らないようにする支持リング（１０）のゴム引きされた支持面（９）と、グリップ・フェイス（７）に吸着されたウエハ（２）を検知するセンサ（１１）とを備えるグリッパにに関するものである。グリッパのグリップ・フェイスにグリップされるウエハの極めて衝撃かからないアタッチメントを可能にするために、本発明は、グリッパ（１）に周方向に合わされたダンピング・デバイス（１２）を更に備え、ダンピング・デバイス（１２）の輪郭が、グリッパ（１）を平面方向から見た場合に、周方向にグリッパ（１）の輪郭を越えて突出し、ダンピング・デバイス（１２）が、グリップ・フェイス（７）に向かってウエハを近付ける吸引の間、ウエハ（２）が支持リング（１０）のゴム引きされた支持面（９）に対して衝撃のかからない方法で支持されるように、グリップされるウエハ（２）のためにダンピング抵抗を形成する。【選択図】  図１
2010527805.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコンベースのウエハ（２）のような二次元的な部品を非接触で保持するベルヌーイ・グリッパ（１）からなるグリッパであって、
制御可能なロボットアーム（３）に接続されたクランプ・リング（４）を有し；
ラッパ状部品（５）によって前記クランプ・リング（４）に接続されたバッフル・プレート（６）を有し、前記バッフルプレート（６）は前記ラッパ状部品（５）と前記バッフル・プレート（６）を通る流系（８）と連通するグリップ・フェイス（７）を有し、前記バッフル・プレート（６）はベルヌーイ・グリッパ（１）に対して過剰圧力がかかると、グリップされる前記ウエハ（２）を吸着するために、前記バッフル・プレート（６）の前記グリップ・フェイス（７）に負圧を生じさせ；
ゴム引きされた支持面（９）を備えた支持リング（１０）を有し、前記ゴム引きされた支持面（９）は、前記グリップ・フェイス（７）に組み込まれ且つ前記グリップ・フェイス（７）に吸着された前記ウエハ（２）の動きに滑り抵抗を与え；
前記グリップ・フェイス（７）に吸着された前記ウエハ（２）を検知するセンサ（１１）を有し、
前記グリッパ（１）に周方向に合わされたダンピング・デバイス（１２）を更に備え、
前記ダンピング・デバイス（１２）の輪郭が、前記グリッパ（１）を平面方向から見た場合に、周方向に前記グリッパ（１）の輪郭を越えて突出し、
前記ダンピング・デバイス（１２）は、前記グリップ・フェイス（７）に向かって前記ウエハを近付ける吸引の間、前記ウエハ（２）が前記支持リング（１０）の前記ゴム引きされた支持面（９）に対して衝撃のかからない態様で支持されるように、グリップされる前記ウエハのためのダンピング抵抗を形成することを特徴とするグリッパ。
【請求項２】
前記グリッパ（１）のダンピング・デバイスが、複数の弾力性ブリッスル（１３）を有するブラシ（１２）からなり、
前記複数の弾力性ブリッスル（１３）は、前記グリッパ（１）を平面方向から見た場合に、前記グリッパ（１）の他の全ての構成要素（４，５，６）を越えて所定の寸法（ｄ）だけ突出し、前記グリップ・フェイス（７）に向かって前記ウエハを近付ける吸引の間、グリップされるウエハのためのダンピング抵抗を最初の接触として形成することを特徴とする請求項１に記載のグリッパ。
【請求項３】
固定されていないブリッスル端部（１４）とは反対側のブリッスル端部（１５）が、周囲のブラシ縁部（１６）に取り付けられており、
前記ブラシ縁部（１６）が、前記グリッパ（１）の周囲のクランプ溝部（１７）に交換可能に保持されており、
前記クランプ溝部（１７）が、前記クランプ（４）及びラッパ状部品（５）によって形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載のグリッパ。
【請求項４】
前記グリッパ（１）を平面方向から見た場合に、前記バッフル・プレート（６）の前記グリップ・フェイス（７）の輪郭及び前記ブラシ（１２）の外周は円形であり、
前記バッフル・プレート（６）及び前記ブラシ（１２）が前記グリッパ（１）の長軸（１８）と同軸になるように配置されていることを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか１項に記載のグリッパ。
【請求項５】
前記グリッパ（１）を平面方向から見た場合に、前記ブラシ（１２）の前記複数の弾力性ブリッスル（１３）は、前記ブラシ（１２）のブリッスルのない区分（１９）が、吸着される前記ウエハ（２）を検知する静電容量センサ（１１）と空間的に関連付けられることで、約３４０°の一部開口リングを形成していることを特徴とする請求項１乃至４のうちいずれか１項に記載のグリッパ。
【請求項６】
前記ブラシ（１２）の前記複数の弾力性ブリッスル（１３）が、下向きに前記バッフル・プレート（６）の前記グリップ・フェイス（７）に対して１６．５°±１傾いて伸びることを特徴とする請求項１乃至５のうちいずれか１項に記載のグリッパ。
【請求項７】
前記グリッパ（１）を平面方向から見た場合に、前記ブラシ（１２）の前記複数の弾力性ブリッスル（１３）が前記グリッパ（１）の他の全ての構成要素（４，５，６）を越えて突出する前記所定の寸法（ｄ）が、１．５ｍｍから３．５ｍｍの範囲であることを特徴とする請求項１乃至６のうちいずれか１項に記載のグリッパ。
【請求項８】
前記ブラシ（１２）の前記複数の弾力性ブリッスル（１３）が、ポリアミドからなることを特徴とする請求項１乃至７のうちいずれか１項に記載のグリッパ。
【請求項９】
前記ダンピング・デバイス（１２）が、超軟質の素材でできた一体化したシール状ゴム製リングであり、周方向に前記グリッパ（１）に合わされ且つ前記グリッパ（１）の輪郭を越えて周方向に突出しており、
前記ゴム製リングによって、前記支持面（９）が前記グリップ・フェイス（７）に組み込まれている、前記支持リング（１０）の前記ゴム引きされた支持面（９）に対して吸引によって支持されている前記ウエハ（２）は、前記流系（８）が通る前記バッフル・プレート（６）から周方向に密封されていることを特徴とする請求項１に記載のグリッパ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリコンベースのウエハ（wafer）のような二次元的な部品（two-dimensional components）を非接触（non-contacting manner）で保持するベルヌーイ・グリッパ（Bernoulli gripper）からなるグリッパであって、制御可能なロボットアームに接続されたクランプ・リング（clamping ring）を有し；ラッパ状部品（funnel-shaped component）によってクランプ・リングに接続されたバッフル・プレート（baffle plate）を有し、バッフル・プレートは、ラッパ状部品とバッフル・プレートを通る流系（flow system）と連通するグリップ・フェイス（gripping face）を有し、ベルヌーイ・グリッパに対して過剰圧力がかかると、グリップされるウエハを吸着（attach by suction）するために、バッフル・プレートのグリップ・フェイスに負圧（negative pressure）を生じさせ；ゴム引きされた支持面（rubberized bearing surface）を備えた支持リング（bearing ring）を有し、ゴム引きされた支持面は、グリップ・フェイスに組み込まれ（integrated）且つグリップ・フェイスに吸着されたウエハの動きに滑り抵抗を与え、グリップ・フェイスに吸着されたウエハを検知するセンサとを有するグリッパに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、壊れやすいシリコンベースのウエハや太陽電池の自動生産におけるさまざまな搬送作業において、ベルヌーイの法則（Bernoulli's principle）に基づいたグリッパを含むグリッパシステムを使用することは知られていることである。グリッパは、グリッパのグリップ・フェイスに負圧を生じさせることで、そのときに位置に存在するウエハを個々に非接触でピックアップすることが可能である。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、グリップされるウエハに対する、グリッパのグリップ・フェイスにおける吸引による減速なしの衝撃（suction-induced non-declerated impact）は、ウエハを損傷する危険の原因であることが判明した。
【０００４】
本発明の目的は、導入部において言及したタイプのグリッパを提供することである。グリッパは、廃棄物を減らすため、シリコンベースのウエハのような二次元的な部品を非接触でピックアップしている間、グリップされるウエハに対して、グリッパのグリップ・フェイスにおいて可能な限り、極めて衝撃を与えにくいアタッチメントを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の目的は、グリッパに周方向（circumferentially）に合わされたダンピング・デバイス（damping device）により達成される。ダンピング・デバイスの輪郭（contour）は、グリッパを平面方向から見た場合に、周方向にグリッパの輪郭を越えて突出し、ダンピング・デバイスが、グリップ・フェイスに向かってウエハを近付ける吸引の間（during suction-induced approach towards the gripping face）、ウエハが支持リングのゴム引きされた支持面に対して衝撃のかからない態様で支持されるように、グリップされるウエハのためのダンピング抵抗（damping resistance）を形成するようになっている。
【０００６】
グリッパのダンピング・デバイスは、複数の弾力性ブリッスル（elastic bristles）を有するブラシ（brush）からなり、複数の弾力性ブリッスルは、グリッパを平面方向から見た場合に、グリッパの他の全ての構成要素を越えて所定の寸法だけ突出し（protrude）、グリップ・フェイスに向かってウエハを近付ける吸引の間、グリップされるウエハのためのダンピング抵抗を最初の接触（first contact）として形成することが好ましい。固定されていないブリッスル端部（free bristle ends）とは反対側のブリッスル端部は、周囲の（circumferential）ブラシ縁部（brush edge）に取り付けられ、ブラシ縁部は、グリッパの周囲のクランプ溝部（clamping groove）に交換可能に保持され、クランプ溝部は、クランプ及びラッパ状部品によって形成されていてもよい。
【０００７】
グリッパのダンピング・デバイスを、プラスチック製のカットアウト（cutout）された、円形フォイル（circular foil）の形に設計することも可能である。この円形フォイルは、カットアウトされるフォイルが複数のスリットにより互いに分離され且つフォイルの外周から径方向内側に延びる複数の弾力性薄片（ラメラ、lamellae）を有している。これらの弾力性薄片により、グリップされる二次元的な部品を近付ける吸引の間、必要なダンピングを提供する。もちろん、他の同等の実施の態様も可能である。
【０００８】
グリッパを平面方向から見た場合に、バッフル・プレートのグリップ・フェイスの輪郭及びブラシの外周（circumference）は円形であり、バッフル・プレート及びブラシがグリッパの軸と同軸になるように配置されていることが好ましい。さらに、グリッパを平面方向から見た場合に、ブラシの複数の弾力性ブリッスルが、ブラシのブリッスルのない区分（bristle-free annular section）が、吸着されるウエハを検知する静電容量センサ（capacitive sensor）と空間的に関連付けられることで、約３４０°の一部開口リングを形成していてもよい。また、ブラシの複数のブリッスルが、下向きにバッフル・プレートのグリップ・フェイスに対して１６．５°±１傾いて伸び、グリッパを平面方向から見た場合に、ブラシの複数の弾力性ブリッスルがグリッパの他の全ての構成要素を越えて突出する所定の寸法が、１．５ｍｍから３．５ｍｍの範囲であってもよい。ブラシの複数の弾力性ブリッスルは、ポリアミド（polyamide）からなることが好ましい。
【０００９】
本発明のグリッパは、いずれの場合にも、吸着されるウエハが、最初にブラシの複数の弾力性ブリッスルと接触することを確実にする。したがって、ある意味では、グリッパのグリップ・フェイスへウエハを近付ける吸引は、衝撃のかからない方法で支持される前に、支持リングのゴム引きされた支持面に対して機械的な方法で静かにダンピングされることになる。この配置によって、二次元的な部品が、ゴム引きされた支持面に対して平行に並べられているか否かは重要ではなくなり、いずれの場合にも、搬送作業中に壊れやすいウエハを損傷してしまう危険を減らすことができ、廃棄物を大幅に減らすことができる。ゴム引きされた支持面は、グリップされるウエハとグリッパのグリップ・フェイスの間の摩擦を確実にする。この摩擦は、迅速な横方向の動作（lateral movement）に必要である。
【００１０】
ダンピング・デバイスは、超軟質（very soft）の素材でできた一体化したシール状ゴム製リング（sealing-like rubber ring）であり、周方向にグリッパに合わされ且つグリッパの輪郭を越えて周方向に突出しており、ゴム製リングによって、支持面がグリップ・フェイスに組み込まれている、支持リングのゴム引きされた支持面に対して吸引によって支持されているウエハが、流系が通るバッフル・プレートから周方向に密封されていてもよい（hermetically sealed）。この実施例では、ベルヌーイ・グリッパの運転（operation）は、ウエハをゴム引きされた支持面に対して吸引によって位置決め（suction-induced placement）した直後に、流系のエアコネクション（air connection）に接続されている真空ポンプのスイッチを入れて、同時に流系の第２のエアコネクションのスイッチを切ることにより真空運転（vacuum operation）に切り替える必要がある。第２のエアコネクションは、ウエハを吸着するために圧力差を生じさせるためのものであり、空気によって影響を受ける。ベルヌーイ・グリッパにウエハが吸着されると、シールリング状ゴム製リング（sealing-ring-like rubber ring）が収縮し、これにより、ウエハと円状の完全なシールが形成される。円状のシールの中では、真空が形成され、且つ、結果として、ウエハは、大気圧によりゴム引きされた支持面に対して押され、滑ることなく保持される。この方法により、ウエハを支持リングのゴム引きされた支持面に対して確実に保持しつつ、空気の消費量を大幅に減らすことができる。
【００１１】
以下には、図面を参照して、本発明によるグリッパの好適な実施形態が示されている。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図式的に示された、グリップされるウエハと結合されたベルヌーイ・グリッパの側面図である。
【図２】グリップされるウエハを有さないベルヌーイ・グリッパの底面斜視図である。
【図３】グリップされるウエハを有さないベルヌーイ・グリッパの上面斜視図である。
【図４】グリッパのダンピング・デバイスが組み込まれたゴム製リングによって形成された、図２に対応するベルヌーイ・グリッパの斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図１乃至図３に示されているように、シリコンベースのウエハ２のような二次元的な部品を、非接触で保持するために、ベルヌーイ・グリッパ１は、基本的に、少なくとも１つの制御可能なロボットアーム３に接続されたクランプ・リング４と、ラッパ状部品５によってクランプ・リング４に接続され、且つ、支持リング１０のゴム引きされた支持面９が組み込まれたグリップ・フェイス７からなるバッフル・プレート６と、ラッパ状部品５及びバッフル・プレート６を流れ、グリッパ１のグリップ・フェイス７と連通する流系８と、グリッパ１に周方向に合わされた、複数の弾力性ブリッスルを有するブラシ状のダンピング・デバイス１２と、グリッパ１によって保持されるウエハ２を検出する静電容量センサ７とからなる。
【００１４】
圧力差によってベルヌーイ・グリッパ１に対して過剰圧力がかかると、グリップされるウエハ２を吸着させるために、バッフル・プレート６のグリップ・フェイス７には負圧が生じる。図１に明示されているように、ダンピング・デバイスを形成するバッフル・プレート６及びブラシ１２は、グリッパ１の長軸１８と同軸になるように配置されている。また、グリッパ１を平面方向から見た場合に、ブラシの周方向の輪郭はグリッパ１の輪郭を越えて突出し、且つ、いずれの場合においてもウエハ２が吸着されるバッフル・プレート６の円形のグリップ・フェイス７が、グリップ・フェイス７に向かってウエハ２を近付ける間、最初にブラシ１２の複数の弾力性ブリッスル１３と接触する。ブリッスル１３は、グリッパ１を側面方向から見た場合に、１．５ｍｍから３．５ｍｍの寸法の範囲内でクランプ・リング４、ラッパ状部品５及びグリッパ１のバッフル・プレート６を越えて突出する。ブラシ１２の複数のブリッスル１３は、図１に示されているように、下向きにバッフル・プレート６のグリップ・フェイス７に対して１６．５°±１°傾いて伸びて、ウエハ２を近付ける吸引においてダンピング抵抗をかけることで、ウエハ２は支持リング１０のゴム引きされた支持面９に対して、衝撃のない方法で支持される。したがって、ウエハ２の破壊に対する感受性が機械的なものとなり、また同時に、大幅にエネルギーを節約することができる。
【００１５】
図１にさらに示されているように、固定されていないブリッスル端部１５の反対側のブリッスル端部１４は、周囲のブラシ縁部１６に取り付けられている。ブラシ縁部１６は、グリッパ１の周囲のクランプ溝部１７に交換可能に保持されており、クランプ溝部１７は、クランプ・リング４及びラッパ状部品５によって形成されている。グリップされるウエハ２の大きさ（area size）に応じてダンピング・デバイスを交換する必要がある場合には、適切な方法で行えばよい。
【００１６】
図２及び図３は、グリッパ１の実施例において、ブラシ１２の複数の弾力性ブリッスル１３が、グリッパ１の平面図で、約３４０°の一部開口リングを形成しており、ブラシ１２のブリッスルのない区分１９は、吸着されるウエハ２を検知するための静電容量センサ１１と空間的に関連付けられていることを示している。
【００１７】
図４によれば、グリッパ１のダンピング・デバイス１２は、超軟質の素材でできた一体化されたシールリング状ゴム製リングであり、グリッパ１に周方向に合わされ且つグリッパ１の輪郭を越えて周方向に突出している。そして、このゴム製リングによって、支持面がグリップ・フェイスに組み込まれている、支持リング１０のゴム引きされた支持面９に対して吸引によって支持されているウエハ２は、流系８が通るバッフル・プレート６から周方向に密閉されている。ベルヌーイ・グリッパ１の運転は、ウエハ２を支持リング１０のゴム引きされた支持面９に対して吸引によって位置決めした直後に、流系８のエアコネクションに接続されている真空ポンプのスイッチを入れて、同時に流系の第２のエアコネクションのスイッチを切ることにより真空運転に切り替える必要がある。第２のエアコネクションは、ウエハ２を吸着するために圧力差を生じさせるためのものであり、空気によって影響を受ける。ベルヌーイ・グリッパ１にウエハ２が吸着されると、シールリング状ゴム製リング１２が収縮し、これにより、ウエハ２と円状の完全なシールが形成される。円状のシールの中では、真空が形成され、且つ、結果として、ウエハ２は、大気圧によりゴム引きされた支持面９に対して押され、滑ることなく保持される。この方法により、ウエハ２を支持リング１０のゴム引きされた支持面９に対して確実に保持しつつ、空気の消費量を大幅に減らすことができる。
【００１８】
［参照符号のリスト］
１  グリッパ、ベルヌーイグリッパ
２  二次元的な部品、シリコンベースのウエハ
３  ロボットアーム
４  クランプ・リング
５  ラッパ状部品
６  バッフル・プレート
７  グリップ・フェイス
８  流系
９  ゴム引きされた支持面
１０  支持リング
１１  センサ
１２  ダンピング・デバイス、ブラシ、ゴム製リング
１３  ブリッスル
１４  固定していないブリッスル端部
１５  取り付けられたブリッスル端部
１６  ブラシ縁部
１７  クランプ溝部
１８  グリッパの長軸
１９  ブリッスルのない区分
ｄ  所定の寸法
【図１】
2010527805.tif 000003
【図２】
2010527805.tif 000004
【図３】
2010527805.tif 000005
【図４】
2010527805.tif 000006
【手続補正書】
【提出日】平成20年12月8日(2008.12.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコンベースのウエハ（２）のような二次元的な部品を保持するベルヌーイ・グリッパ（１）からなるグリッパであって、
制御可能なロボットアーム（３）に接続されたクランプ・リング（４）を有し；
ラッパ状部品（５）によって前記クランプ・リング（４）に接続されたバッフル・プレート（６）を有し、前記バッフルプレート（６）は前記ラッパ状部品（５）と前記バッフル・プレート（６）を通る流系（８）と連通するグリップ・フェイス（７）を有し、前記バッフル・プレート（６）はベルヌーイ・グリッパ（１）に対して過剰圧力がかかると、グリップされる前記ウエハ（２）を吸着するために、前記バッフル・プレート（６）の前記グリップ・フェイス（７）に負圧を生じさせ；
支持面（９）を備えた支持リング（１０）を有し、前記支持面（９）は、前記グリップ・フェイス（７）に組み込まれ且つ前記グリップ・フェイス（７）に吸着された前記ウエハ（２）の動きに滑り抵抗を与え；
前記グリッパ（１）に周方向に合わされたダンピング・デバイス（１２）を有し、
前記ダンピング・デバイス（１２）の輪郭が、前記グリッパ（１）を平面方向から見た場合に、周方向に前記グリッパ（１）の他の全ての構成要素（４，５，６）の輪郭を越えて突出し、
前記ダンピング・デバイス（１２）は、前記グリップ・フェイス（７）に向かって前記ウエハを近付ける吸引の間、前記ウエハ（２）が前記支持リング（１０）の前記ゴム引きされた支持面（９）に対して衝撃のかからない態様で支持されるように、グリップされる前記ウエハのためのダンピング抵抗を形成し；
前記支持リング（１０）の支持面（９）が、ゴム引きされており、
前記グリッパ（１）に周方向に合わされた前記ダンピング・デバイス（１２）が、複数の弾力性ブリッスル（１３）を有するブラシ（１２）からなり、前記複数の弾力性ブリッスル（１３）は、前記グリッパの平面方向から見た場合に、前記グリッパ（１）の他の全ての構成要素（４，５，６）を越えて１．５ｍｍから３．５ｍｍの範囲の寸法（ｄ）だけ突出し、前記グリップ面（７）に向かって前記ウエハを近付ける吸引の間、グリップされるウエハのためのダンピング抵抗を最初の接触として形成し、
前記グリッパ（１）に、前記グリップ面（７）に吸着された前記ウエハ（２）を検知するセンサ（１１）を有していることを特徴とするグリッパ。
【請求項２】
固定されていないブリッスル端部（１４）とは反対側のブリッスル端部（１５）が、周囲のブラシ縁部（１６）に取り付けられており、
前記ブラシ縁部（１６）が、前記グリッパ（１）の周囲のクランプ溝部（１７）に交換可能に保持されており、
前記クランプ溝部（１７）が、前記クランプ（４）及びラッパ状部品（５）によって形成されていることを特徴とする請求項１に記載のグリッパ。
【請求項３】
前記グリッパ（１）を平面方向から見た場合に、前記バッフル・プレート（６）の前記グリップ・フェイス（７）の輪郭及び前記ブラシ（１２）の外周は円形であり、
前記バッフル・プレート（６）及び前記ブラシ（１２）が前記グリッパ（１）の長軸（１８）と同軸になるように配置されていることを特徴とする請求項１または２に記載のグリッパ。
【請求項４】
前記グリッパ（１）を平面方向から見た場合に、前記ブラシ（１２）の前記複数の弾力性ブリッスル（１３）は、前記ブラシ（１２）のブリッスルのない区分（１９）が、吸着される前記ウエハ（２）を検知する静電容量センサ（１１）と空間的に関連付けられることで、約３４０°の一部開口リングを形成していることを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか１項に記載のグリッパ。
【請求項５】
前記ブラシ（１２）の前記複数の弾力性ブリッスル（１３）が、下向きに前記バッフル・プレート（６）の前記グリップ・フェイス（７）に対して１６．５°±１傾いて伸びることを特徴とする請求項１乃至４のうちいずれか１項に記載のグリッパ。
【請求項６】
前記ブラシ（１２）の前記複数の弾力性ブリッスル（１３）が、ポリアミドからなることを特徴とする請求項１乃至５のうちいずれか１項に記載のグリッパ。
【請求項７】
シリコンベースのウエハ（２）のような二次元的な部品を保持するベルヌーイ・グリッパ（１）からなるグリッパであって、
制御可能なロボットアーム（３）に接続されたクランプ・リング（４）を有し；
ラッパ状部品（５）によって前記クランプ・リング（４）に接続されたバッフル・プレート（６）を有し、前記バッフルプレート（６）は前記ラッパ状部品（５）と前記バッフル・プレート（６）を通る流系（８）と連通するグリップ・フェイス（７）を有し、前記バッフル・プレート（６）はベルヌーイ・グリッパ（１）に対して過剰圧力がかかると、グリップされるウエハ（２）を吸着するために、前記バッフル・プレート（６）の前記グリップ・フェイス（７）に負圧を生じさせ；
支持面（９）を備えた支持リング（１０）を有し、前記支持面（９）は、前記グリップ・フェイス（７）に組み込まれ且つ前記グリップ・フェイス（７）に吸着された前記ウエハ（２）の動きに滑り抵抗を与え；
前記グリッパ（１）に周方向に合わされたダンピング・デバイス（１２）を有し、
前記ダンピング・デバイス（１２）の輪郭が、前記グリッパ（１）を平面方向から見た場合に、周方向に前記グリッパ（１）の他の全ての構成要素（４，５，６）の輪郭を越えて突出し、
前記ダンピング・デバイス（１２）は、前記グリップ・フェイス（７）に向かって前記ウエハを近付ける吸引の間、前記ウエハ（２）が前記支持リング（１０）の前記ゴム引きされた支持面（９）に対して衝撃のかからない態様で支持されるように、グリップされる前記ウエハのためのダンピング抵抗を形成し；
前記支持リング（１０）の支持面（９）が、ゴム引きされており、
前記グリッパ（１）の前記ダンピング・デバイス（１２）が、軟質の素材でできた一体化したシール状ゴム製リングからなり、周方向に前記グリッパ（１）に合わされており、前記ゴム製リングによって、前記支持面（９）が前記グリップ・フェイス（７）に組み込まれている、前記支持リング（１０）の前記ゴム引きされた支持面（９）に対して吸引によって支持されている前記ウエハ（２）は、前記流系（８）が通る前記バッフル・プレート（６）から周方向に密封され、
前記グリッパ（１）に、前記グリップ面（７）に吸着された前記ウエハ（２）を検知するセンサ（１１）を有していることを特徴とするグリッパ。
【国際調査報告】
2010527805.tif 000007
2010527805.tif 000008
2010527805.tif 000009
2010527805.tif 000010
2010527805.tif 000011
2010527805.tif 000012