(57)【要約】監視対象装置（１１０）において静電気放電現象を検出するシステム（１００）は電流測定装置（１４０）を備え、かかる電流測定装置は、該監視対象装置を電源に接続する電力供給接続（１２０）に流れる電流を測定し、電流または電流成分を表す電流測定信号を得るように構成される。代替的には、該監視対象装置を保護接地に接続する保護接地接続（１８０）に流れる電流を測定し、測定信号を得る。該システムは、電流測定信号のパルスに応じて静電気放電現象を検出するように構成された静電気放電現象検出器を備える。該システムは、電流測定信号または値のデータ処理を任意で有してもよい。【選択図】図１ａ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
監視対象装置（１１０）において静電気放電現象を検出するシステム（１００；３００）であって、前記システムは、
電力供給接続（１２０）を介して電源（１３０）に接続される監視対象装置（１１０）と、
前記電力供給接続を介して流れる電流、またはその電流成分を、前記電流または前記電流成分を表す電流測定信号（１４２）を得るために測定するように構成される電流測定装置（１４０）と、
前記電流測定信号（１４２）のパルスに応じて静電気放電現象を検出するように構成された静電気放電現象検出器（１５０）と、
を備えることを特徴とするシステム。
【請求項２】
前記電力供給接続（１２０）は、少なくとも２つの電力供給線路（２２０、２２２、２２４；２７２、２７４、２７６、２７８）を備え、
前記電流測定装置（１４０）は、少なくとも２つの前記電力供給線路に流れるコモンモード電流成分を測定するように構成されること、
を特徴とする請求項１に記載のシステム（１００）。
【請求項３】
前記電力供給接続（１２０）は、１つ以上の順方向導体（２２０；２７２、２７４、２７６）と前記順方向導体に対応する１つ以上の復帰導体（２２２；２７８）とからなるセットを備え、
前記監視対象装置（１１０）は、所定の電流方向基準で前記１つ以上の順方向導体と対応する前記１つ以上の復帰導体とに流れる電流の符号補正和がＥＳＤ現象のない平常運転で略ゼロとなるように構成され、
前記電流測定装置は、前記電流測定信号（１４２）を得るため電流の前記和を測定するように構成されること、
を特徴とする請求項１または２に記載のシステム（１００）。
【請求項４】
前記電力供給接続（１２０）は、前記装置１１０に直流電流の形で電気エネルギーを提供するように構成された少なくとも２つの直流導体（２２０、２２２）を備え、
前記測定装置（１４０）は、前記測定信号（１４２）を得るため前記少なくとも２つの直流導体で電流の符号付き和を測定するように構成されること、
を特徴とする請求項１から３の一項に記載のシステム（１００）。
【請求項５】
前記電力供給接続（１２０）は、相導体（２２０）と中性導体（２２２）とを有する単相交流本線電力接続を備え、前記単相交流本線電力接続は、前記監視対象装置（１１０）に交流電流の形で電気エネルギーを提供するように構成され、
前記電流測定装置（１４０）は、前記電流測定信号を得るため前記相導体と前記中性導体とで電流の符号付き和を測定するように構成される、
を特徴とする請求項１から３の一項に記載のシステム（１００）。
【請求項６】
前記電力供給接続（１２０）は、複数の相導体（２７２、２７４、２７６）と少なくとも１つの中性導体（２７８）とを有する多相交流本線電力接続を備え、
前記多相交流本線電力接続は、前記監視対象装置（１１０）に交流電流の形で電気エネルギーを提供するように構成され、
前記電流測定装置（１４０）は、前記電流測定信号（１４２）を得るため、前記複数の相導体と前記中性導体とで電流の符号付き和を測定するように構成されること、
を特徴とする請求項１から３の一項に記載のシステム（１００）。
【請求項７】
前記電力供給接続（１２０）は、前記監視対象装置（１１０）に電気エネルギーを提供するように構成された複数の電力供給導体（２２０、２２２；２７２、２７４、２７６）と、前記監視対象装置（１１０）を保護接地と接続するように構成される少なくとも１つの保護接地導体（２２４；２８０）とを備え、
前記電流測定装置（１４０）は、前記複数の電力供給導体と前記保護接地導体とで電流の符号付き和を測定するように構成されること、
を特徴とする請求項１から３の一項に記載のシステム（１００）。
【請求項８】
前記電力供給導体は、少なくとも１つの相導体（２２０；２７２、２７４、２７６）と少なくとも１つの中性導体（２２２；２７８）とを備える、ことを特徴とする請求項７に記載のシステム（１００）。
【請求項９】
前記システムは、デバイステストシステム（３００）であって、
前記システムは、サプライラック（３１０）とテストヘッド（３２０）とを備え、
前記テストヘッド（３２０）は、前記テストラック（３１０）の外部に配置され、
前記テストヘッド（３２０）は、前記装置（１１０）であって、
前記テストヘッド（３２０）は、前記電力供給接続（３３０；１２０）を介して前記サプライラック（３１０）に接続され、
前記サプライラック（３１０）は、前記電力供給接続を介して前記ヘッドテスト（３２０）にエネルギー供給信号を提供するように構成されること、
を特徴とする請求項１から８の一項に記載のシステム（１００）。
【請求項１０】
前記電力供給接続（３３０）は、前記サプライラック（３１０）から前記テストヘッド（３２０）へ延在する１束のケーブルを備え、
前記電流測定装置（３６０；１４０）は、前記サプライラック（３１０）と前記テストヘッド（３２０）との間を流れる電流または電流成分を測定するように構成されること、
を特徴とする請求項９に記載のシステム（３００）。
【請求項１１】
前記テストヘッド（３２０）は、導電性筐体（３２０）または導電性機械式担架構造を備え、
前記導電性筐体または前記機械式担架構造は、前記電力供給接続（１２０；３３０）の少なくとも１つの導体（２２２；２２４；２８０；４５４）に接続されること、
を特徴とする請求項９または１０に記載のシステム（３００）。
【請求項１２】
前記テストヘッド（３２０）は被試験装置ポート（４３０）を備え、
前記被試験装置ポートは、前記電力供給接続（１２０；３３０）の少なくとも１つの導体（２２０、２２２、２２４；２７２、２７４、２７６、２７８、２８０、４５０、４５２、４５４）へ、少なくとも寄生容量により、電気的に結合されること、
を特徴とする請求項９から１１の一項に記載のシステム（３００）。
【請求項１３】
前記電流測定装置（１４０）は、前記電流または電流成分によって発生する磁場を検出し、前記磁場に基づき前記電流測定信号（１４２）を得るように構成されること、を特徴とする請求項１から１２の一項に記載のシステム（３００）。
【請求項１４】
前記電流測定装置（１４０）は、前記電力供給接続（１２０）の１つ以上の導体の周囲に配置された電流クランプを備えること、を特徴とする請求項１から１３の一項に記載のシステム（１００）。
【請求項１５】
前記電流クランプは、前記テストラックまたは前記テストヘッドに電気エネルギーを供給する集中電力線路の周囲に配置されること、を特徴とする請求項１４に記載のシステム（１００）。
【請求項１６】
ＥＳＤ現象を検出するシステム（１７０；３７０）であって、前記システムは、
保護接地接続（１８０；３８０）を介して保護接地と接続される監視対象装置（１１０；３２０）と、
前記接地接続を介して流れる電流を、前記電流を表す電流測定信号（１４２’；３９２）を得るために測定するように構成される電流測定装置（１４０’；３９０）と、
前記電流測定信号に基づき静電気放電現象を検出するように構成された静電気放電現象検出器（１５０）とを備えること、
を特徴とするシステム。
【請求項１７】
前記システムは、テストシステムであって、
前記システムは、サプライラック（３１０）とテストヘッド（３２０）とを備え、
前記テストヘッド（３２０）は、前記監視対象装置（１１０）であって、
前記テストヘッドは、前記サプライラックの外部に配置され、
前記テストヘッドは、電力供給接続（３３０）を介して前記サプライラックに接続され、
前記テストヘッドは、前記保護接地接続を介して前記保護接地と接続されること、
を特徴とする請求項１６に記載のシステム（１７０；３７０）。
【請求項１８】
前記保護接地接続（１８０；３８０）は、前記テストヘッド（３２０）から保護接地端子（３９４）にかけて敷設された保護接地ケーブルを備えること、を特徴とする請求項１７に記載のシステム（１７０；３７０）。
【請求項１９】
前記テストシステムは、前記テストヘッド（３２０）から前記サプライラック（３１０）を介して前記保護接地端子（３９４）まで延在する保護接地経路の保護接地経路インピーダンスが、前記テストヘッド（３２０）から前記保護接地ケーブル（３８０）を介して前記保護接地端子（３９４）まで延在する保護接地経路の保護接地経路インピーダンスより少なくとも１０倍は大きくなるように構成されること、
を特徴とする請求項１８に記載のシステム（１７０；３７０）。
【請求項２０】
前記保護接地接続は、前記テストヘッド（３２０）から前記サプライラック（３１０）へ敷設されること、を特徴とする請求項１７に記載のシステム（１７０；３７０）。
【請求項２１】
前記電流測定装置（１４０’；３９０）は、前記保護接地接続（１８０；３８０）の周囲に配置された電流クランプを備えること、を特徴とする請求項１７から２０の一項に記載のシステム（１７０；３７０）。
【請求項２２】
前記電流クランプは、前記テストヘッド（３２０）内に配置されること、を特徴とする請求項２１に記載のシステム（１７０；３７０）。
【請求項２３】
前記電流測定装置（１４０；１４０’；３６０、３９０）は、前記電流または電流成分を表す前記電流測定信号、またはそこから導出される信号をサンプルするように構成されるサンプリング装置に結合され、
前記サンプリング装置は、ネットワーク接続を介して制御コンピュータと接続されること、
を特徴とする請求項１から２２の一項に記載のシステム（１００；１７０；３００；３７０）。
【請求項２４】
前記サンプリング装置は、所定のトリガー閾値に達するか、または超過する前記入力信号に応じてトリガーイベントを生成するように構成され、
前記サンプリング装置は、前記トリガーイベントに応じて前記制御コンピュータへサービス要求メッセージを送信するように構成され、
前記サンプリング装置は、前記トリガーイベントに応じて前記入力信号の波形の少なくとも一部分を捕捉するように構成される、
ことを特徴とする請求項２３に記載のシステム（１００；１７０；３００；３７０）。
【請求項２５】
前記制御コンピュータは、前記サンプリング装置から前記波形の前記捕捉部分を取得し、前記波形の前記捕捉部分をデータベースに保存するように構成される、ことを特徴とする請求項２４に記載のシステム（１００；１７０；３００；３７０）。
【請求項２６】
前記システムは、被試験装置テストシステムであって、
前記監視対象装置（１１０；３２０）は、前記被試験装置テストシステムの要素であって、
前記システムは、前記静電気放電現象検出器から前記静電気放電現象に関する情報を受信し、前記静電気放電現象の前後または最中の前記ＥＳＤ現象に関する、及び／またはテストの状態に関する情報を記録するように構成されるコンピュータを備える、
ことを特徴とする請求項１から２５の一項に記載のシステム（１００；１７０；３００；３７０）。
【請求項２７】
前記コンピュータは、
静電気放電現象の日付、
静電気放電現象の時刻、
複数の監視対象装置（１１０；３２０）の内、いずれの装置に静電気放電現象が発生したかを伝える情報、
静電気放電現象が発生した前記テストシステムの、前記静電気放電現象の前後または最中の状態を表す情報、
前記静電気放電現象の際に前記監視対象装置（１１０；３２０）に結合されていた被試験装置に関する情報、
前記静電気放電現象の際に前記テストシステムによって実行されたテストプログラムに関する情報、
前記静電気放電現象の際に前記監視対象装置の近傍に配置されていた被試験装置のロットに関する情報、
前記静電気放電現象の際に前記監視対象装置（１１０；３２０）の近傍に配置されていたウェハに関する情報、
前記静電気放電現象の最中、または前記静電気放電現象前の所定の期間内に、または前記静電気放電現象後の所定の期間内に、テストされた被試験装置のビニングに関する情報、または
前記静電気放電現象前の、または前記静電気放電現象後の収率に関する情報を記録するように構成されること、
を特徴とする請求項２６に記載のシステム（１００；１７０；３００；３７０）。
【請求項２８】
前記静電気放電現象検出器（１５０）、または前記静電気放電現象検出器（１５０）に結合されたコンピュータは、前記電流測定信号（１４２）から実際の静電気放電現象、または可能性としての静電気放電現象を抽出するように構成されること、
を特徴とする請求項１から２７の一項に記載のシステム（１００；１７０；３００；３７０）。
【請求項２９】
前記静電気放電現象検出器（１５０）、または前記測定装置に結合されたコンピュータは、前記静電気放電現象の電荷を判定するように構成されること、を特徴とする請求項２８に記載のシステム（１００；１７０；３００；３７０）。
【請求項３０】
前記静電気放電現象検出器（１５０）、または前記電流測定装置（１４０）に結合されたコンピュータは、時間の経過に従って電流測定信号（１４２）によって表される放電電流を集積することによって静電気放電現象の電荷を判定するように構成されること、
を特徴とする請求項２８または２９に記載のシステム（１００；１７０；３００；３７０）。
【請求項３１】
前記静電気放電現象検出器（１５０）、または前記電流測定装置（１４０）に結合されたコンピュータは、前記電流測定信号（１４２）に基づき、可能性としての、または実際の静電気放電現象の電力を判定するように構成されること、
を特徴とする請求項２８から３０の一項に記載のシステム（１００；１７０；３００；３７０）。
【請求項３２】
前記静電気放電現象検出器（１５０）、または前記電流測定装置（１４０）に結合されたコンピュータは、時間の経過に従って前記静電気放電現象によって伝達される前記電力を集積することにより、前記実際の、または可能性としての静電気放電現象のエネルギーを判定するように構成されること、
を特徴とする請求項３１に記載のシステム（１００；１７０；３００；３７０）。
【請求項３３】
前記静電気放電現象検出器（１５０）、または前記電流測定装置（１４０）に結合されたコンピュータは、前記電流測定信号（１４２）の波形を解析することによって非静電気放電現象から静電気放電現象を区別するように構成されること、
を特徴とする請求項１から３２の一項に記載のシステム（１００；１７０；３００；３７０）。
【請求項３４】
前記静電気放電現象検出器（１５０）、または前記電流測定装置（１４０）に結合されたコンピュータは、可能性としての静電気放電現象に対応する前記電流測定信号（１４２）の時間領域表現を時間領域基準と比較し、前記可能性としての静電気放電現象に対応する前記電流測定信号の前記時間領域表現と前記時間領域基準との差異が所定の閾値を下回る場合に、前記可能性としての静電気放電現象を実際の静電気放電現象として認識するように構成されること、
を特徴とする請求項３３に記載のシステム（１００；１７０；３００；３７０）。
【請求項３５】
前記静電気放電現象検出器（１５０）、または前記電流測定装置（１４０）に結合されたコンピュータは、可能性としての静電気放電現象に対応する前記電流測定信号（１４２）の周波数領域表現を取得し、
前記可能性としての静電気放電現象に対応する前記電流測定信号（１４２）の前記周波数領域表現を時間領域基準と比較し、
前記可能性としての静電気放電現象に対応する前記電流測定信号の前記周波数領域表現と前記周波数領域基準との差異が所定の閾値を下回る場合に、前記可能性としての静電気放電現象を実際の静電気放電現象として認識するように構成される、
ことを特徴とする請求項３３に記載のシステム（１００；１７０；３００；３７０）。
【請求項３６】
前記システムは、被試験装置テストシステムであって、
前記監視対象装置は、被試験装置のテストに使用されるように構成され、
前記システムは、前記監視対象装置を使ってテストした被試験装置のテスト結果に関する情報に基づき収率に関する情報を取得するように構成されたシステムコントローラを備え、
前記システムコントローラは、静電気放電現象の検出と収率との相関を解析するように構成され、
前記システムコントローラは、静電気放電現象の検出と前記収率の変化との間に著しい相関が見られる場合に警告を発するように構成されること、
を特徴とする請求項１から３５の一項に記載のシステム（１００；１７０；３００；３７０）。
【請求項３７】
前記システムは、被試験装置テストシステムであって、
前記監視対象装置は、被試験装置のテストに使用されるように構成され、
前記システムは、前記監視対象装置の自己テスト結果または較正結果を評価することによって前記監視対象装置の自己テスト状態に関する情報を取得するように構成されたシステムコントローラを備え、
前記システムコントローラは、静電気放電現象の検出と前記監視対象装置の前記自己テスト状態の変化との相関を解析するように構成され、
前記システムコントローラは、静電気放電現象の検出と前記自己テスト状態の変化との間に著しい相関が見られる場合に警告を発するように構成されること、
を特徴とする請求項１から３６の一項に記載のシステム（１００；１７０；３００；３７０）。
【請求項３８】
前記システムは、静電気放電現象を検出するため前記電流測定信号を連続的に監視するように構成されること、を特徴とする請求項１から３７の一項に記載のシステム（１００；１７０；３００；３７０）。
【請求項３９】
監視対象装置において静電気放電現象を検出する方法であって、前記方法は、
前記監視対象装置を電源に接続する電力供給接続を介して流れる電流、またはその電流成分を、前記電流または前記電流成分を表す電流測定信号を得るために測定すること（１７１０）と、
前記電流測定信号のパルスに応じて静電気放電現象を検出すること（１７２０）と、
を有することを特徴とする方法。
【請求項４０】
監視対象装置において静電気放電現象を検出する方法（１８００）であって、前記方法は、
前記監視対象装置を保護接地に接続する保護接地接続を介して流れる電流を、前記電流を表す電流測定信号を得るために測定すること（１８１０）と、
前記電流測定信号に基づき静電気放電現象を検出すること（１８２０）と、
を有することを特徴とする方法。
【請求項４１】
コンピュータでの動作の際に、請求項３９または４０に記載の方法を実行するコンピュータプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、監視対象装置において静電気放電現象を検出するシステム、方法、及びコンピュータプログラムに関する。
【０００２】
また、本発明は静電気放電（ＥＳＤ）モニターソリューションに関する。
【背景技術】
【０００３】
静電気放電は現代の電子コンポーネントの欠陥の重大な原因となっている。例えば、電界効果トランジスタを備える現代の集積回路は多くの場合、そのゲート酸化物が過度の電界強度によっては簡単に壊れてしまうため、静電気放電現象に非常に敏感である。現代の半導体装置用電子コンポーネントの生産、テスト、取り扱いは、静電気放電現象の検出が望まれる多くの技術分野の一例である。
【０００４】
静電気放電を検出するいくつかの従来の概念を以下に説明する。技術文献には静電気放電（ＥＳＤ）現象をとらえる物理現象として放電の電気アークからの光／火花、放電の音／クラックリング、電流場及び過渡電場、放電電流、静電場が記載されている。
【０００５】
上述した物理現象に基づき半導体テストシステム（例えばＶｅｒｉｇｙ  Ｖ９３０００半導体テストシステム）でＥＳＤ現象を検出する場合の不利な点のいくつかを以下に説明する。詳細については、非特許文献１の３０５から３２０ページ及び非特許文献２を参照されたい。
【０００６】
放電の電気アークからの光／火花に関しては、この物理現象の原因がほかにもあることに留意されたい。換言すると、この現象は静電気放電現象に特有のものではない。
【０００７】
放電の音／クラックリングに関しては、この現象の原因がほかにもあることに留意されたい。換言すると、この現象は静電気放電現象に特有のものではない。
【０００８】
電流場と過渡電場に関し、Ｓｔｅｐｈａｎ  Ｆｒｅｉの発表によると「過渡電流・電場と大きな静電場の原因はほかにごく僅かしかない。一定の限度を超える電流と電場のみを考慮するのであれば、殆どの場合、静電気放電のみが原因として浮上する」ことに留意されたい。ただし電流場と過渡電場の現象を利用する場合は、ＥＳＤ現象と非ＥＳＤ現象の区別がない。また、電流場及び／または過渡電場を検出するにはアンテナを設置する必要がある。電磁波は半導体の被試験装置（ＤＵＴ）インターフェイスの複雑な幾何学的配置により反射、吸収、遮蔽される。また、アンテナは半導体テストシステムと交信して、望ましくない影響をもたらすことがある。システムに設置されたアンテナとセンサはスペースを取り、「パッケージング」問題を引き起こす。
【０００９】
放電電流の物理現象に関し、上述のＳｔｅｐｈａｎ  Ｆｒｅｉの文献は「ＥＳＤの最も重大な作用は電流であるため、考慮する環境で放電のたびに放電電流の時間的移転を正確につかむことが望まれる」と指摘している。
【００１０】
ただし、放電電流に基づきＥＳＤ現象を検出する従来のソリューションは多大な労力を要する。例えば、ＥＳＤ現象を検出するにあたって十分な帯域幅を持つ電流センサを、放電が起こりうる全ての場所（すなわち放電経路）に装備する必要があろう。広範囲にわたって監視するには多数の「電流センサ」を設置することになり、多大な労力をともなうであろう。この多大な労力のため、場合によっては広範囲の監視は不可能となるであろう。多数の「電流センサ」を設置することで環境を阻害することになるであろう。場合によっては環境を大いに阻害することになろう。場合によっては測定が現実を反映しないものとなり、有意義でなくなることもあろう。
【００１１】
ただし放電電流の監視は静電気放電現象についての重要な情報を提供する。
【００１２】
静電場に基づくＥＳＤ現象の検出に関しては、静電場測定の実施が技術的に容易であり、電荷発生についての情報を提供するということに留意されたい。測定する静電場強度の急速な低下は放電と解釈できる。静電場の測定はＥＳＤ現象の発生頻度についての情報を提供する。ただし、大きな静電場が必ずしもＥＳＤ現象に結び付くとは限らないことを知ることが大切である。したがって、「静電場」現象はＥＳＤ現象に特有のものではない。また、静電場の測定は放電の強度についての情報を提供しない（非特許文献２の２８ページを参照されたい）。
〔先行技術文献〕
〔非特許文献〕
【００１３】
〔非特許文献１〕タカイ  トシミツ等著（Ｔｏｓｈｉｍｉｔｓｕ  Ｔａｋａｉら），「電子機器周辺でＥＳＤを観察する一方法（Ｏｎｅ  ｏｆ  ｔｈｅ  ｍｅｔｈｏｄｓ  ｏｆ  ｏｂｓｅｒｖｉｎｇ  ＥＳＤ  ａｒｏｕｎｄ  ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ  ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ）」，電子ジャーナル（Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ），４２巻，１９９８年
〔非特許文献２〕
2010518412.tif 000003
〔非特許文献３〕  チャン−ユ等著（Ｃｈａｎｇ−Ｙｕ  Ｗｕら），「ＥＳＤ波形の周波数領域仕様について（Ｏｎ  ｔｈｅ  ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ  ｄｏｍａｉｎ  ｓｐｅｃｉｆｉｃａｔｉｏｎ  ｏｆ  ＥＳＤ  ｗａｖｅｆｏｒｍｓ）」，電子ジャーナル（Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ），２４巻，１９９０年，１９７から２０６ページ
〔非特許文献４〕  「９３６８６型直列電流プローブマニュアル（Ｍｏｄｅｌ  ９３６８６  Ｓｅｒｉｅｓ  Ｃｕｒｒｅｎｔ  Ｐｒｏｂｅｓ  ＭＡＮＵＡＬ）」，エーティーエス−リンドグレン（ＥＴＳ−Ｌｉｎｄｇｒｅｎ），２００５年２月，Ｒｅｖ  Ｃ−ＰＮ  ３９９２６７
〔非特許文献５〕
2010518412.tif 000004
〔非特許文献６〕  ジョン  ベンジャミン（Ｊｏｈｎ  Ｂｅｎｄｊａｍｉｎ），「電流、光、及び磁気放射場に基づく静電気放電（ＥＳＤ）の特性（Ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓ  ｏｆ  ｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃ  ｄｉｓｃｈａｒｇｅｓ  （ＥＳＤ）  ｂａｓｅｄ  ｏｎ  ｃｕｒｒｅｎｔ，  ｏｐｔｉｃａｌ  ａｎｄ  ｍａｇｎｅｔｉｃ  ｒａｄｉａｔｉｏｎ  ｆｉｅｌｄｓ）」，ウプサラ  理工学部の論文（ＵＰＰＳＡＬＡ  ｄｉｓｓｅｒｔａｔｉｏｎｓ  ｆｒｏｍ  ｔｈｅ  ｆａｃｕｌｔｙ  ｏｆ  ｓｃｉｅｎｃｅ  ａｎｄ  ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ）,  ２３,  ＩＳＢＮ：  ９１−５５４−４６５７−４
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
上記の検討を鑑みると、効率的に実施可能な静電気放電現象検出の概念が求められている。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明の実施形態は、請求項１と請求項１６に記載の静電気放電現象を検出するシステムと、請求項３９と請求項４０に記載の静電気放電現象を検出する方法と、請求項４１に記載のコンピュータプログラムとを提供する。
【００１６】
以下に開示するいくつかの実施形態は、監視対象装置を電源に接続する電力供給接続に流れる電流または電流成分を測定することによって、監視対象装置において静電気放電現象を効率的に検出できるという基本的考えに基づく。静電気放電現象が監視対象装置の電力供給コンポーネントに即座に（あるいは直接的に）作用しない場合でも、殆どの静電気放電現象は電力供給接続に結合するため、前記の電流または電流成分を表す電流測定信号を評価することにより、監視対象装置に作用する静電気放電現象は効率的に検出できる。換言すると、電力供給接続は静電気放電電流にとって好適な経路であることが分かっている。このため、電力供給接続に流れる電流または電流成分を表す電流測定信号を評価することにより、様々なＥＳＤ現象を適度のハードウェアの作用で検出できる。
【００１７】
本発明による別のいくつかの実施形態は、監視対象装置を保護接地と接続する保護接地接続に流れる電流を評価することで静電気放電現象を効率的に検出できるとする所見に基づく。静電気放電現象によって生じる放電電流が保護接地接続を介して保護接地へ流れる場合でも、監視対象装置が静電気放電現象の影響を受けることは分かっている。
【００１８】
換言すると、保護接地接続に流れる電流または電流成分の測定は、監視対象装置が静電気放電現象の影響を受けダメージを被ったか否かに関して確かな指標となることが分かっている。
【００１９】
以下に説明する本発明のいくつかの実施形態は、電力供給接続に流れる電流または電流成分の測定のみを頼りに、監視対象装置が静電気放電現象の影響を受けたか否かを確実に検出できるという所見に基づく。換言すると、本発明のいくつかの実施形態によれば、電力供給接続に流れる電流または電流成分を表す電流測定信号のみを評価し、それ以外の電流測定信号は評価しない、静電気放電現象検出器を構成する。
【００２０】
本発明のいくつかの他の実施形態によれば、保護接地接続に流れる電流を表す電流測定信号のみを評価し、それ以外の電流を特徴付ける電流測定信号は評価しない、静電気放電現象検出器を構成する。
【００２１】
本発明のいくつかの他の実施形態によれば、電力供給接続に流れる電流または電流成分を表す電流測定信号と、保護接地接続に流れる電流を表す別の電流測定信号のみを評価し、それ以外の電流測定信号は評価しない、静電気放電現象検出器を構成する。
【００２２】
本発明の一実施形態においては、電力供給接続が２つ以上の電力供給線路を備え、２つ以上の電力供給線路に流れるコモンモード電流成分を測定する電流測定装置を構成する。本発明のいくつかの実施形態は、２つ以上の電力供給線路に流れる電流のコモンモード電流成分の測定が、静電気放電現象を検出して、静電気放電現象と他のパルス信号とを区別するにあたって特に効率的な概念を提供するという所見に基づく。多くの状況で、干渉信号が、例えばスイッチングによる電流変化が、供給線路上にディファレンシャルモード電流パルスをもたらすことは分かっている。ただし静電気放電現象の場合は、通常であれば供給線路上にコモンモード電流パルスが発生する。したがって、コモンモード電流成分を測定することにより、ディファレンシャルモード電流パルスの影響は最小限に抑えることができる。結果的に、電力供給線路上のディファレンシャルモード電流パルスに起因する静電気放電現象の誤検出は回避できる。加えて、２つ以上の電力供給線路でコモンモード電流成分を測定することにより、測定の手間をさらに抑えることができる。なぜなら、複数の電力供給線路を流れる電流のコモンモード電流成分は１台の電流測定装置を使用すること、例えば１台の電流クランプ中に複数の電力供給線路を通すことによって測定できるためである。
【００２３】
本発明の一部の実施形態は直流（ＤＣ）電源に応用でき、本発明の他の実施形態は交流（ＡＣ）電源に応用できる。
【００２４】
本発明の一実施形態において、システムはテストシステムである。システムはサプライラックとテストヘッドとを備え、テストヘッドはテストラックの外部に配置される。テストヘッドは監視対象装置であって、電力供給接続を介してサプライラックに接続する。
【００２５】
前述の実施形態は、テストシステムの２つの単独要素間の、具体的にはサプライラックとテストヘッドとの間の、電力供給接続が、静電気放電現象の検出に用いる電流測定信号を得るにあたってとりわけ良好な場所であるとする所見に基づく。サプライラックとテストヘッドとの間の電力供給接続に流れる電流を監視することにより、テストヘッドの装置インターフェイスまたは被試験装置インターフェイスに作用する静電気放電現象を十分な精度と信頼性で検出できることが分かっている。テストヘッドに取り付けられた被試験装置に、またはテストヘッドの被試験装置インターフェイスに、作用する静電気放電現象は、（例えば１つ以上のチャネルモジュール及び／または１つ以上の電力変換器を備える）電子回路を通じてテストヘッド及びサプライラック間の電力供給接続へ伝搬する。テストヘッドをサプライラックに接続する１つ以上の電力供給線路で電流を監視すれば、被試験装置インターフェイスの接続をことごとく監視しなくても、かかる静電気放電現象を非常に簡単な方法で確実に識別できることが分かっている。
【００２６】
以上のように、本発明で開示するいくつかの実施形態はテストシステムで極めて効率的な静電気放電現象検出を可能にする。ＤＵＴインターフェイスの各導体で電流を個別に監視する代わりに、集中型のＥＳＤ現象検出を導入する。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１ａ】本発明の一実施形態に係る静電気放電現象を検出するシステムのブロック概略図である。
【図１ｂ】本発明の別の実施形態に係る静電気放電現象を検出するシステムを示す図である。
【図２ａ】本発明の一実施形態に係る電力供給接続構成の第１の可能性の概略図である。
【図２ｂ】本発明の一実施形態に係る電力供給接続構成の第２の可能性の概略図である。
【図２ｃ】本発明の一実施形態に係る電力供給接続構成の第３の可能性の概略図である。
【図２ｄ】本発明の一実施形態に係る電力供給接続構成の第４の可能性の概略図である。
【図２ｅ】本発明の一実施形態に係る電力供給接続構成の第５の可能性の概略図である。
【図３ａ】本発明の一実施形態に係るテストシステムの概略図である。
【図３ｂ】本発明の一実施形態に係る別のテストシステムの概略図である。
【図４ａ】デバイステストシステムにおける静電気放電電流の電流経路の一例の概略図である。
【図４ｂ】デバイステストシステムにおける放電電流の電流経路の別の例の概略図である。
【図５】デバイステストシステムのテストヘッドにおける電流測定装置の配置の概略図である。
【図６ａ】オシロスコープで捕捉された放電電流波形の図解を示す図である。
【図６ｂ】再構成された放電電流波形の図解を示す図である。
【図７】捕捉放電電流の周波数スペクトルの図解を示す図である。
【図８】本発明の一実施形態に係る静電気放電モニターの構成の図解を示す図である。
【図９】本発明の一実施形態に係るデバイステストシステムの図解を示す図である。
【図１０】本発明の一実施形態に係る装置テスタまたはデバイステストシステムにおける放電電流の概略図である。
【図１１】図１０に示すデバイステストシステムに等価回路図である。
【図１２】静電気放電現象検出のための実験的ハードウェア構成の図解を示す図である。
【図１３】静電気放電現象検出のための実験的ハードウェア構成の図解を示す図である。
【図１４】電流クランプを使って放電電流を引き出す概念の図解を示す図である。
【図１５】本発明の一実施形態に係る静電気放電現象と非静電気放電現象とを区別する概念の図解を示す図である。
【図１６】本発明の一実施形態に係る静電気放電現象によって放出される電荷を判定する概念の図解を示す図である。
【図１７】本発明の一実施形態に係る静電気放電現象を検出する第１の方法のフローチャートである。
【図１８】本発明の一実施形態に係る静電気放電現象を検出する第２の方法のフローチャートである。
【図１９】本発明の一実施形態に係るテストシステムの概略図である。
【図２０】本発明の一実施形態で使用可能な単巻変圧器の概略図である。
【図２１】本発明の一実施形態に係るコンパクトテストヘッドを備えるテストシステムのブロック概略図である。
【図２２ａ】本発明の一実施形態に係るコンパクトテストヘッドにおける一次配電のブロック概略図である。
【図２２ｂ】本発明の別の実施形態に係るコンパクトテストヘッドにおける一次配電のブロック概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以降の詳細な説明では、本発明によるいくつかの実施形態の更なる態様を説明する。
【００２９】
本発明のいくつかの実施形態は、静電気放電を検出する方法を提供する。更なる実施形態は、静電気放電現象を検出するコンピュータプログラムを提供する。
【００３０】
本発明の実施形態を、添付の図面を参照しつつ、以下に説明する。
【００３１】
図１ａは、監視対象装置において静電気放電現象を検出するシステム（または装置）のブロック概略図である。図１ａに示すシステムは、その全体を１００で表す。システム１００は監視対象装置１１０を備える。システム１００はさらに電力供給接続１２０を備え、電力供給接続１２０を通じて監視対象装置を電源１３０に接続する。電源１３０はシステム１００の一部であってもなくてもよい。システム１００は電流測定装置１４０を備え、この電流測定装置は電力供給接続１２０を介して流れる電流、またはその電流成分を測定し、電流または電流成分を表す電流測定信号１４２を得るように構成される。システム１００はさらに静電気放電現象検出器１５０を備える。この静電気放電現象検出器は電流測定信号１４２を受信し、電流測定信号１４２のパルスに応じて静電気放電現象を検出するように構成される。
【００３２】
システム１００の機能を簡単に以下に説明する。ここでは監視対象装置１１０が、ここで矢印１６０で示す静電気放電現象の影響を受けると仮定する。ＥＳＤ現象１６０にともなう放電電流は、例えば監視対象装置１１０の電子コンポーネントまで運ばれる。例えば監視対象装置１１０がデバイステストシステムのテストヘッドであれば、被試験装置（ｄｕｔ）ポートの導体と、テストヘッドのチャネルモジュールの１つ以上の要素の中を放電電流が流れる。ただし放電電流は多くの場合、最終的には電力供給接続１２０まで運ばれる。その結果、電力供給接続１２０の１つ以上の線路で静電気放電現象による電流ピークまたは電流パルスが生じる。電力供給接続を介して流れる電流（またはその電流成分）を表す電流測定信号１４２を提供するように構成された電流測定装置１４０は、静電気放電現象１６０による電流パルスまたは電流ピークを電流測定信号１４２のパルスまたはピークに変換する。そして静電気放電現象検出器１５０が電流測定信号１４２を解析することにより、さらにＥＳＤ現象１６０による電流測定信号１４２のパルスまたはピークを識別することにより、静電気放電現象を検出する。その結果、静電気放電現象検出器１５０は、ＥＳＤ現象の発生を指摘する信号または警報を提供する。
【００３３】
以上を要約すると、監視対象装置１１０に作用するＥＳＤ現象は電力供給接続１２０上の電流パルスに変換される。電流測定装置１４０は電力供給接続１２０上でこの電流パルスまたは電流ピークを検出して、ＥＳＤ現象による電力供給接続１２０上の電流パルスを表す電流測定信号１４２を提供するように構成される。その結果、静電気放電現象検出器１５０はＥＳＤ現象１６０を遠隔的に検出できる。
【００３４】
図１ａから分かるように、システム１００のシステムトポロジは非常に簡単である。従来の監視対象装置１１０は変えずに残すこともできる。例えば監視対象装置１１０に作用するＥＳＤ現象を検出するにあたって、従来の監視対象装置１１０に追加の回路を挿入せずにすむ。監視対象装置１１０に作用するＥＳＤ現象を検出するには、監視対象装置１１０の電力供給接続１２０にアクセスできれば十分である。
【００３５】
しかも、電力供給接続１２０に流れる電流の測定にあたっては様々な方法を用いることができる。ガルバニックコンセプトとガルバニック分離コンセプトの両方を用いることができる。例えば、電力供給接続に流れる電流は１つ以上のシャント抵抗を使って測定できる。シャント抵抗による電流測定は当業者にとって周知であり、ここでは詳しく説明しない。代替的に、電力供給接続１２０の１つ以上の導体に流れる電流を電流クランプで測定することもできる。電流クランプの使用には好ましい効果がいくつかある。一方では、例えばシャント抵抗で生じる損失を回避できる。電流クランプはまた、例えば監視対象装置１１０の稼働中に電力供給接続１２０を遮断することなく電力供給接続１２０へ取り付けることができる。電流クランプを使えば、電力供給接続の複数の導体でコモンモード電流を測定することもできる。本発明の一実施形態によれば、電流クランプを使用し、監視対象装置１１０を電源１３０に接続する全ての電力供給導体でコモンモード電流を測定することもできる。電力供給接続１２０の２つ以上の導体に流れるコモンモード電流に基づき電流測定信号１４２を得ることにより、監視対象装置１１０の平常動作によって電力供給接続１２０の導体上に生じる電流パルスは平均化できる。（例えば電流クランプを使用する）コモンモード電流測定で電流測定信号１４２を得ることにより、監視対象装置１１０の稼働によって生じる電流パルスに関しては、ＥＳＤ現象の検出感度を大幅に抑えることができる。その結果、ＥＳＤ現象の検出信頼性は大幅に向上させることができる。
【００３６】
ただし本発明の簡易な実施形態において、電力供給接続１２０の１導体の電流に基づき電流測定信号１４２を生成すれば十分である。
【００３７】
図１ｂを参照しつつ代替システム構成を以下に説明する。図１ｂは、本発明のさらに別の実施形態に係る被試験装置において静電気放電現象を検出するシステムのブロック概略図である。図１ｂに示すシステムは、その全体を１７０で表す。システム１７０は、図１ａに示すシステム１００に類似する。したがって、ここでは同じ手段及び信号については同じ参照番号で示す。
【００３８】
システム１７０は監視対象装置１１０を備える。監視対象装置１１０は保護接地接続１８０を介して保護接地１９０に接続する。保護接地１９０は、例えば接地ボックス、接地端子、接地板、アースクリップ、アースバー、接地バス、接地ネジ、アースネジ、接地レセプタクル、アースシステム等である。いくつかの実施形態によれば、導電性床被覆によって保護接地１９０を形成する。いくつかの実施形態によれば、保護接地は導電性か金属性のラックまたは筐体が接続された電位接続である。「保護接地」という用語は電気設備の技術分野で周知である。
【００３９】
システム１７０は電流測定装置１４０’を備える。システム１７０の電流測定装置１４０’はシステム１００の電流測定装置１４０に類似する。電流測定装置１４０’は、保護接地接続１８０に流れる電流を測定して、電流を表す電流測定信号１４２’を得る（または提供する）ように構成される。
【００４０】
システム１７０はまた、静電気放電現象検出器１５０を備える。
【００４１】
システム１７０はＥＳＤ現象の検出にあたって、電力供給接続１２０に流れる電流または電流成分ではなく、保護接地接続１８０に流れる電流を評価する点がシステム１００と異なる。保護接地接続１８０に流れる電流もまた静電気放電現象の優れた指標となることが分かっている。多くのＥＳＤ現象が保護接地接続１８０に結合することが分かっている。換言すると、ＥＳＤ現象１６０を構成する放電電流の少なくとも一部は、保護接地接続１８０を介して保護接地１９０へ流れる。したがって、多くのＥＳＤ現象はシステム１７０によって検出できる。ここでも保護接地接続１８０に流れる電流の測定はわずかな労力で実施でき、例えば監視対象装置１１０に対する修正は皆無か最小限ですむ。にもかかわらず図１ｂに示すシステム１７０により、信頼性の高いＥＳＤ現象検出を達成できる。例えば電流クランプを使用すれば、監視対象装置１１０の稼働を中断させずに保護接地接続１８０に流れる電流を測定できる。こうしてＥＳＤ現象検出設備のコストを最小限に抑えることができるほか、監視対象装置１１０の稼働時間を最適化できる。
【００４２】
ここで説明するシステムは、いくつかの実施形態によれば、電流測定信号を連続的に監視して静電気放電現象を検出するように構成される。例えば、いくつかの実施形態によれば、監視対象装置が作動可能である限り連続的に監視を行い、他の実施形態によれば、ＥＳＤ現象を記録してＥＳＤ現象履歴を得る。いくつかの実施形態によれば、ＥＳＤ現象履歴は、間隔を空けずに一定の期間におよび、例えば勤務シフト、１日、１週、またはそれ以上の期間におよぶ。いくつかの実施形態によれば、上記のような構成にすることで高度な信頼性を達成できる。
【００４３】
ＥＳＤ現象を検出し損なう確率は大幅に抑えることができ、例えば５％まで、あるいは１％にまで抑えることができる。いくつかの実施形態によれば、監視対象装置の稼働時間中に発生するＥＳＤ現象を検出し逃すことを回避することも可能である。いくつかの実施形態によれば、ＥＳＤ現象の発生について最大限の確実性を実現するため、１日２４時間、週７日間にわたって電流測定信号を監視することさえも可能である。
【００４４】
電力供給接続に流れる電流の測定についての、いくつかの構成を以下に示す。図２ａは、本発明の一実施形態に係る第１の電力供給接続構成の概略図である。図２ａの概略図は、その全体を２００で表す。概略図２００は、図１ａ及び１ｂを参照しつつ説明したシステム１００、１７０のいずれか１つの抜粋である。概略図２００は監視対象装置１１０と電力供給接続１２０とを示す。監視対象装置１１０は負荷回路２１０、例えば電力変換器を備える。例えば負荷回路２１０は、交流−直流変換器（ＡＣ／ＤＣ変換器）、または直流−直流変換器（ＤＣ／ＤＣ変換器）を備える。ＡＣ／ＤＣ変換器またはＤＣ／ＤＣ変換器（総じて負荷回路２１０）は、例えば電力供給接続１２０に結合する。電力供給接続１２０は、例えば第１の導体すなわち順方向導体２２０と、第２の導体すなわち復帰導体２２２とを備える。電力供給接続１２０の第１の導体２２０と第２の導体２２２は、例えば負荷回路２１０の入力に結合する。負荷回路がＡＣ／ＤＣ変換器であれば、負荷回路２１０に交流信号を供給するよう第１の導体２２０と第２の導体２２２（総じて電力供給接続１２０）を構成する。ただし負荷回路２１０がＤＣ／ＤＣ変換器を備えるとすれば、その入力は電力供給接続１２０に結合し、第１の導体２２０と第２の導体２２２は負荷回路２１０に直流信号を供給するように構成する。図２ａに示す実施形態では、電力供給接続１２０は専用の保護接地導体を備えていない。監視対象装置１１０の筐体または担架構造は、２つの導体２２０、２２２のいずれか一方、例えば図２ａに示す第２の導体すなわち復帰導体２２２に接続できる。
【００４５】
本発明の一実施形態では、導体２２０、２２２でコモンモード電流を測定するよう電流測定装置１４０を構成する。例えば、電流Ｉｍｅａｓ＝Ｉ１＋Ｉ１’を測定するよう電流測定装置１４０を構成する。電流方向を考慮に入れると次の通りに表すことができる。
【数１】
2010518412.tif 000005
【００４６】
ここでＩｃｏｕｐは、例えば負荷回路２１０の入力と負荷回路２１０の出力との寄生（容量）結合を介して負荷回路２１０に結合する電流である。電流Ｉｈｏｕｓは、監視対象装置１１０の導電性筐体から、または監視対象装置１１０の導電性担架構造から第２の導体２２０へ向かって結合する電流である。総合すると以下の関係が成り立つ。
【数２】
2010518412.tif 000006
【００４７】
さらに多くの場合、少なくとも凡そは、以下の関係が成り立つ。
【数３】
2010518412.tif 000007
【００４８】
したがって、測定電流Ｉｍｅａｓ、少なくとも凡そは放電電流ＩＥＳＤを表す。
【００４９】
電流測定装置１４０は図２ａに示す実施形態では、第１の導体２２０と第２の導体２２２に流れる電流のコモンモード成分を測定するように構成される。このコモンモード成分は、例えば第１の導体２２０と第２の導体２２２の周囲に配置された電流クランプで測定できる。換言すると、第１の導体２２０と第２の導体２２２はいずれも、図２ａに示すように電流クランプ中を通る。
【００５０】
上記の説明から分かるように、ディファレンシャルモード電流供給成分Ｉ１は、少なくとも凡そは、排除され、電流測定装置１４０によって提供される電流測定信号に大きく寄与しない。したがって、上記の測定の概念はディファレンシャルモード電流Ｉ１のパルスまたはピークに影響されない。換言すると、負荷回路２１０の電力供給電流における変化は（すなわちディファレンシャルモード電流Ｉ１の変化は）、電流測定信号１４２の生成に影響しない。
【００５１】
ここで、図２ａに示す構成２００の使用により多大な利点が得られることに留意されたい。一方では、複数の導体２２０、２２２で電流を監視するにあたって単一の電流測定装置１４０で十分である。他方、複数の導体２２０、２２２でコモンモード電流を測定することにより、ＥＳＤ現象によるものではない供給電流の変動は電流測定信号１４２に寄与しない（少なくとも著しく寄与することはない）。つまり二重の利点を得ることができる。
【００５２】
図２ｂを参照しつつ、さらに別の構成を以下に説明する。図２ｂは本発明の一実施形態に係る電力供給接続構成の第２の可能性の概略図である。
【００５３】
図２ｂは、図１ａに示すシステム１００の、または図１ｂに示すシステム１７０の、抜粋を示す。図２ｂに示す要素は、その全体を２３０で表す。図２ｂに示す監視対象装置１１０は負荷回路２１０を備える。図２ｂに示す負荷回路２１０は図２ａに示す負荷回路２１０と同じであってよい。ただし、電力供給接続１２０は図２ｂに示す実施形態では、順方向導体とも称する第１の導体２２０と、復帰導体とも称する第２の導体２２２と、保護接地導体２２４とを備える。図２ｂに示す通り、第１の導体２２０と第２の導体２２２は負荷回路２１０の供給電力入力に接続される。例えば保護接地導体２２４は、例えば異なるガルバニック方式により図示された監視対象装置１１０の導電性筐体または導電性担架構造に結合される。電流測定装置１４０は、例えば（少なくとも第１の導体２２０と、第２の導体２２２と、保護接地導体２２４とを備える）電力供給接続１２０に流れるコモンモード電流成分を測定するように構成される。例えば電流測定装置１４０は、電流のコモンモード成分を表す電流測定信号１４２を生成するように構成される。例えば、測定信号１４２は測定電流Ｉｍｅａｓを表す。
【数４】
2010518412.tif 000008
【００５４】
換言すると、図２ｂに示す構成で電流測定信号１４２は、例えば少なくとも凡そは、放電電流を表す。
【００５５】
ここで、図２ｂに示す実施形態においては、順方向導体２２０と、復帰導体２２２と、保護接地導体２２４とが電流測定装置１４０を形成する単一の電流クランプ中を通っていることに留意されたい。この場合、電流クランプの出力信号は電流測定信号１４２に相当する。
【００５６】
ここで、第１の導体２２０が例えば単相（または多相）交流本線電源の相導体であること、そして第２の導体２２２が単相（または多相）本線電源の中性導体であることに留意されたい。第１の導体は別の実施形態では直流電源の正導体であって、第２の導体２２２は直流電源の負導体である。また、第２の導体２２２は例えば監視対象装置１１０の内部で、あるいは監視対象装置１１０の外部で、保護接地導体２２４に接続する。
【００５７】
別の構成を以下で説明する。例えば図２ｃは本発明の一実施形態に係る電力供給接続構成の第３の可能性の概略図である。図２ｃに示す構成は、その全体を２４０で表す。構成２４０は監視対象装置１１０と、例えば上述した負荷回路２１０と、電力供給接続１２０とを備える。電力供給接続１２０は、例えば少なくとも第１の導体すなわち順方向導体２２０と、第２の導体すなわち復帰導体２２２とを備える。電力供給接続はさらに保護接地導体２２４を備える。例えば第１の導体２２０と第２の導体２２２は、例えば交流の、あるいは直流の、電気エネルギーを、負荷回路２１０に提供するように構成される。保護接地導体２２４は、例えば監視対象装置１１０の導電性または金属性筐体へ、あるいは装置１１０の担架構造へ、接続する。上記に加えて、もしくは上記の代わりに、保護接地導体２２４は、監視対象装置１１０の回路の遮蔽または筐体と接続することもある。
【００５８】
構成２４０は電流測定装置１４０を備え、この電流測定装置は、例えば保護接地導体２２４に流れる電流を測定し、保護接地導体２２４に流れる電流を表す電流測定信号１４２を提供するように構成される。図２ｃから分かるように、電流測定装置１４０は、例えば保護接地接続１８０に流れる電流のみに基づき電流測定信号１４２を生成するように構成される。換言すると電流測定装置１４０は、少なくとも一部の状況下では、第１及び第２の導体２２０、２２２に（総じて負荷回路２１０へ、または監視対象装置１１０へ、電気エネルギーを提供するように構成された導体に）流れる電流または電流成分が電流測定信号１４２に大きく影響することがないように構成される。換言すると、本発明の実施形態によれば、例えば監視対象装置１１０へ電気エネルギーを提供する導体に流れる電流は考慮せず、あるいは監視対象装置１１０へ電気エネルギーを提供する導体に流れる電流とは無関係に、保護接地導体に流れる電流を静電気放電の存在を伝える現象として解釈する。
【００５９】
ここで、以下に詳述するように保護接地導体２２４には様々な構成があることに留意されたい。例えば保護接地導体２２４は、電力供給接続１２０の一部であってよい。例えば電力供給接続１２０は、多数の導体が分離不能な状態で結束されたケーブルを備える。例えば第１の導体２２０と、第２の導体２２２と、保護接地導体２２４は、分離不能な状態で１本のケーブルに一体化される。代替的には、第１の導体２２０と、第２の導体２２２と、保護接地導体２２４を１本のケーブル管路内に配置することもできる。図３ｂを参照しつつ後述するように、保護接地導体２２４を第１の導体２２０及び第２の導体２２２と分けて敷設することもできる。
【００６０】
電流測定装置１４０は、本発明のいくつかの実施形態によれば、保護接地導体２２４の周囲に配置された電流クランプを備え、第１の導体２２０と第２の導体２２２は電流クランプから離れた位置に敷設され、電流クランプ中には通さない。
【００６１】
図２ｄは構成の第４の可能性の概略図である。図２ｂに示す構成は、その全体を２５０で表す。構成２５０は監視対象装置１１０を備え、監視対象装置１１０は負荷回路２１０を備える。構成２５０は電力供給接続１２０を備える。電力供給接続１２０は、例えば第１の導体２２０と、第２の導体２２２と、保護接地導体２２４とを備える。第１及び第２の導体２２０、２２２は、例えば状況次第では保護接地導体２２４と併せて敷設することもあれば、保護接地導体２２４とは別に敷設することもある。ただし、１つ以上の第１の導体２２０及び第２の導体２２２に流れる電流を表す第１の電流測定信号２５４は、第１の電流測定装置２５２を使って提供する。構成２５０は第２の電流測定装置２５６をさらに備え、第２の電流測定装置は、保護接地導体２２４に流れる電流を表す電流測定信号２５８を提供するように構成される。構成２５０は混合器２６０をさらに備え、この混合器は、例えば第１の電流測定信号２５４と第２の電流測定信号２５８とに基づき、前記第１及び第２の電流測定信号２５４、２５８を混合することにより、合同電流測定信号２６２を提供するように構成される。合同電流測定信号２６２は、例えば静電気放電現象検出器１５０による静電気放電現象の検出に使用される。
【００６２】
図２ｄに示す構成では、電気エネルギーを供給する導体が保護接地導体から分離されている場合でも、ＥＳＤ現象の検出にあたっては、負荷回路２１０へ、または監視対象装置１１０へ、電気エネルギーを供給する導体に流れる電流と、保護接地導体２２４に流れる電流の両方を考慮することができる。
【００６３】
図２ｅは、電力供給接続構成の第５の可能性の概略図である。図２ｅに示す構成は、その全体を２７０で表す。構成２７０は監視対象装置１１０を備える。監視対象装置１１０は、例えば多相負荷回路または３相負荷回路の形をとる負荷回路２１０を備える。構成２７０は電力供給接続１２０を備える。電力供給接続１２０は、例えば複数の相導体２７２、２７４、２７６を備え、さらに任意で１つ以上の中性導体２７８を備える。相導体２７２、２７４、２７６は例えば順方向導体とみなされ、任意の中性導体は復帰導体とみなされる。相導体と任意の中性導体は、例えば負荷回路２１０へ、及び／または監視対象装置１１０へ、電気エネルギーを提供するように構成される。
【００６４】
構成２７０は、例えば保護接地導体２８０を任意で備える。構成２７０は少なくとも１つの電流測定装置１４０をさらに備え、この電流測定装置は、例えば２つ以上の相導体２７２、２７４、及び２７６に流れるコモンモード電流を表す電流測定信号１４２を提供するように構成される。任意的に、電流測定装置１４０は、任意の中性導体２７８に流れる電流を、及び／または任意の保護接地導体２８０に流れる電流を考慮するように構成されることもある。
【００６５】
例えば、電流を考慮に入れる導体は、いずれも１つの電流クランプ中に通すことができる。この場合の電流クランプは、その中を通る導体のコモンモード電流成分を表す信号（すなわち電流クランプ中を通る導体上の電流の符号補正和）を、電流測定信号１４２として提供する。
【００６６】
以上を要約し、様々な電力供給接続構成を使用できる。電流測定信号の生成にあたっては、１つ以上の導体に流れる電流または電流成分を考慮する。いくつかの実施形態によれば、監視対象装置１１０へ、または負荷回路２１０へ、電気エネルギーを提供する導体に流れる電流または電流成分のみを考慮する。いくつかの実施形態によれば、１つ以上の保護接地導体に流れる電流のみを考慮する。いくつかの実施形態によれば、電気エネルギーを提供する導体に流れる電流と１つ以上の保護接地導体に流れる電流とを電流測定信号の生成にあたって考慮する。いくつかの実施形態によれば、ただ１つの電流測定装置、例えば複数の導体の周囲に配置された電流クランプを使用し、複数の導体に流れる電流を測定する。いくつかの実施形態によれば、２つ以上の電流測定装置（例えば電流クランプ）を使って電流成分を測定し、２つ以上の電流測定装置によって生成される電流測定信号を混合する。
【００６７】
図３ａは、本発明の一実施形態に係るデバイステストシステムのテストシステムの概略図である。図３ａに示すデバイステストシステムは、その全体を３００で表す。デバイステストシステム３００はサプライラック３１０とテストヘッド３２０とを備え、このテストヘッドは、例えばサプライラック３１０の外部に配置される。サプライラック３１０は電力供給接続３３０を介してテストヘッド３２０に接続する。サプライラック３１０は、例えば電力変換器３１２を備え、この電力変換器は、例えば本線電力接続３１４を介して本線電力網に接続する。本線電力網は、例えば（例えば約１１０Ｖ、１２０Ｖ、２２０Ｖ、または２３０Ｖの実効値を持つ）単相供給電圧を電力変換器３１２に提供する。本線電力網は、別の実施形態では、３相本線供給電圧を電力変換器３１２に提供する。電力変換器３１２は、例えば本線電力接続３１４を介して提供される本線供給電圧を異なる電圧レベルに変換するように構成される。加えて電力変換器３１２は、例えば交流本線供給電圧を直流テストヘッド供給電圧に変換する。この場合の電力変換器３１２は、電力供給接続３３０を介してテストヘッド３２０へテストヘッド供給電圧を提供する。テストヘッド供給電圧は様々な形をとる。例えばテストヘッド供給電圧は、単相交流供給電圧、多相交流供給電圧、単一の直流供給電圧であってよく、あるいは複数の直流供給電圧を備えてよい。
【００６８】
電力供給接続３３０は、図１ａ及び２ａ乃至２ｅを参照しつつ説明した電力供給接続１２０と同じであってよい。
【００６９】
要約すると、サプライラック３１０は電力供給接続３３０を介して１つ以上の供給電圧をテストヘッド３２０へ提供するように構成される。
【００７０】
機械的構成については、例えばオプションのキャリアアーム３４０によってテストヘッド３２０をサプライラック３１０に取り付ける。オプションのキャリアアーム３４０は、例えばサプライラック３１０に対するテストヘッド３２０の相対的移動を可能にするように構成される。オプションのアーム３４０は、いくつかの実施形態によれば、テストヘッド３２０の筐体または担架構造とサプライラック３１０の筐体または担架構造との間に導電接続を提供する。
【００７１】
ただし、いくつかの他の実施形態によれば、テストヘッド３２０を単独のラックまたはカート３５０上に置くこともある。
【００７２】
システム３００は電流測定装置３６０を備え、この電流測定装置は、電力供給接続３３０に流れる電流または電流成分を測定して、電力供給接続３３０に流れる電流または電流成分を表す電流測定信号３６２を提供するように構成される。
【００７３】
いくつかの実施形態によれば、電流測定装置３６０はケーブルまたはケーブルツリーの周囲、または電力供給接続３３０の複数の導体を備える１束の導線の周囲に配置された電流クランプを備える。いくつかの実施形態によれば、電力供給接続３３０の複数の導体を通したケーブル管路の周囲に電流クランプを配置する。
【００７４】
電流測定装置または電流クランプ３６０は、例えばサプライラック３１０内に配置され（図３ａには図示せず）、テストヘッド３２０内に配置され（図３ａには図示せず）、あるいはサプライラック３１０のケーブル出口とテストヘッド３２０のケーブル入口との間に配置される。サプライラック３１０とテストヘッド３２０との間に電流測定装置または電流クランプ３６０を配置する場合は、電流測定装置または電流クランプをとりわけ容易に設置できるという利点がある。また、ケーブルツリーは通常、サプライラック３１０とテストヘッド３２０の間で強固に束ねられる。さらに、電流測定装置または電流クランプ３６０をサプライラック３１０とテストヘッド３２０の間に配置すると、いくつかの実施形態によれば、静電気放電に対する電流測定装置の感度が非常に良くなる。
【００７５】
図３ｂを参照しつつ、異なるデバイステストシステム構成を以下に説明する。図３ｂは、本発明の別の実施形態に係るデバイステストシステムの概略図である。図３ｂに示すデバイステストシステムは、その全体を３７０で表す。ただし、デバイステストシステム３７０はデバイステストシステム３００によく類似しているため、図３ａ及び３ｂと同じ手段及び信号については同じ参照番号で示す。ただしデバイステストシステム３７０のテストヘッドは、保護接地導体３８０を介して保護接地または保護接地端子と接続する（これはデバイステストシステム３００でも可能であるが必須ではない）。保護接地導体３８０は、例えばテストヘッドから、例えば保護接地端子、保護接地バー、接地部品、または接地レセプタクルに至る、保護接地（ＰＥ）ケーブルを備える。
【００７６】
デバイステストシステム３７０は電流測定装置３９０を備え、この電流測定装置は、保護接地導体３８０に流れる電流を測定して、測定電流を表す電流測定信号３９２を提供するように構成される。電流測定信号３９２は静電気放電現象検出器の（例えば静電気放電現象検出器１５０の）入力として使用できる。
【００７７】
電流測定装置３９０は、例えば保護接地導体３８０の周囲に配置された電流クランプを備え、テストヘッド３２０の中に配置される。別の実施形態では、テストヘッド３２０と保護接地端子３９４との間に電流測定装置３９０を配置する。
【００７８】
図４ａ及び４ｂを参照しつつテストヘッドの詳細を以下に説明する。図４ａは、電力供給接続によってサプライラックに接続されるデバイステストシステムでテストヘッドの概略図である。ここで、既に説明した類似する信号については同じ参照番号で示しており、それらは繰り返し説明しないことに留意されたい。
【００７９】
図４ａの構成は、その全体を４００で表す。構成４００は、例えば上述したテストヘッド３２０を備える。テストヘッド３２０はテスト回路４１０を備え、このテスト回路は、前述の負荷回路２１０と同じであってよい。テストヘッド３２０を監視対象装置とみなしてもよい。テスト回路４１０は、例えば１つ以上のチャネルモジュールを備え、このチャネルモジュールは、被試験装置へテストパターンを出力し、及び／または被試験装置から信号を受信し受信信号を所期の基準信号と比較するように構成される。テスト回路は、例えば負荷回路２１０との関係で上述した１つ以上の電力変換器をさらに備える。電力変換器は、例えば電力供給接続３３０を介して電気エネルギーを受け付け、さらに１つ以上のチャネルモジュールへ電気エネルギーを提供するように構成される。ここで、チャネルモジュールの形をとるテスト回路構成が必須ではないことに留意されたい。これとは別の形をとるパターン生成器またはパターン受信器を使用することもできる。
【００８０】
ここで、いくつかの実施形態によれば、例えばテスト回路４１０を遮蔽するため導電性の筐体４２０内にテスト回路４１０が収容されることに留意されたい。テストヘッド３２０はさらに被試験装置（ｄｕｔ）インターフェイス４３０を備え、このｄｕｔインターフェイスは、テスト回路４１０と被試験装置４４０との間で接続を確立するように構成される。例えばｄｕｔインターフェイス４３０は、テスト回路４１０と被試験装置４４０との間で、例えばチャネルモジュールのチャネル出力ポートと被試験装置の入力ピンとの間で、あるいは被試験装置４４０の出力ピンとチャネルモジュールの入力ポートとの間で、分離可能な接続を確立する。
【００８１】
さらに、テスト回路４１０は電力供給接続３３０を介して電源（例えばサプライラック３１０に配置された電源）に接続してもよい。電力供給接続３３０は２つ以上の電力供給導体を備え、さらにオプションとして１つ以上の保護接地導体を備える。（テスト回路４１０へ電気エネルギーを供給する）電力供給導体は４５０及び４５２で表し、保護接地導体は４５４で表す。さらに電力供給導体で、または保護接地導体４５４で、電流を測定するため、１つ以上の電流測定装置（例えば電流クランプ）を配置する。１つ以上の電流測定装置の配置は４６０ａ乃至４６０ｅで表す。ただし、ここで説明する別構成を使用することもできる。
【００８２】
図４ａを参照しつつ静電気放電現象に対する反応を以下に説明する。矢印４７０で示す静電気放電が発生することで、放電電流ＩＥＳＤが被試験装置４４０へ誘導されると仮定する。放電電流ＩＥＳＤ（または少なくともその大部分）は被試験装置４４０から被試験装置インターフェイス４３０を通じてテスト回路４１０まで流れる。放電電流ＩＥＳＤは、少なくとも部分的にはテスト回路４１０の電力供給入力４１２に結合する。この結合は、例えばガルバニック結合であり、もしくは寄生容量による結合である。例えば、結合経路はテスト回路４１０の１つ以上の半導体素子（例えばトランジスタ）を備え、さらに誘導性、抵抗性、または容量性経路を備える。一実施形態においては、被試験装置４４０からテスト回路４１０の電力供給入力４１２にかけて放電電流ＩＥＳＤの大部分が結合する。簡潔さを期すため、ここでは全ての放電電流が結合すると仮定するが、勿論これは必須ではない。図４ａから理解されるように、放電電流は２つ以上の電力供給導体に分配される。ただし、ただ１つの電力供給導体によって放電電流が誘導されることもある。また、放電電流が複数の電力供給導体へ均一に分配されるとは限らない。むしろ、電力供給導体のいずれか１つに他の電力供給導体より多くの放電電流が結合することがある。
【００８３】
ただし、図４ａから分かるように、放電電流（またはその一部分）は被試験装置４４０から電力供給接続３３０に結合する。放電電流のうち電力供給接続３３０に結合する部分は、電力供給接続３３０によりコモンモード電流として電源まで（例えばサプライラック３１０に配置された電源まで）誘導される。
【００８４】
ここで、状況によっては静電気放電現象の大部分が電力供給導体によって運ばれ、放電電流のごく一部分（または取るに足りないほどの部分）が保護接地導体に流れることに留意されたい。したがって、保護接地導体に流れる電流を監視しなくてもある程度の静電気放電現象は検出できる。ただし多くの実施形態において、保護接地導体４５４と電力供給導体４５０、４５２を監視しても弊害はない。
【００８５】
放電電流を筐体まで誘導する静電気放電現象を、図４ｂを参照しつつ以下に説明する。図４ｂに示す構成は、その全体を４８０で表すが、図４ａに示す構成に類似しているため、同じ信号または手段については同じ参照番号で示す。
【００８６】
図４ｂは矢印４９０で示した静電気放電現象を示す図である。静電気放電現象４９０は筐体４２０まで電流を誘導する。ただし、放電電流ＩＥＳＤによって生じる磁場が閉ループで電圧を誘導することがある。放電電流によって生じる磁場の急速な変化によって起こる誘導電圧は、被試験装置４４０を損傷することがあり、テスト回路４１０を損傷することもある。したがって、たとえ放電がテスト回路４１０に直接作用しない場合でも、静電気放電現象は極めて有害である。ただし、図４ｂから分かるように、放電電流（または少なくともその一部分）は保護接地導体４５４を介して保護接地まで運ばれる。したがって、静電気放電現象がテスト回路４１０に直接作用しない場合でも、保護接地導体４５４に流れる電流を検出することで静電気放電現象を検出することは可能である。
【００８７】
当然ながら、保護接地導体４５４は電力供給導体４５０、４５２と一緒に敷設されることもあれば、図３ｂに示すように、単独で保護接地導体まで敷設されることもある。
【００８８】
図５を参照しつつ電流測定装置の構成を説明する。図５は、デバイステストシステムのテストヘッドの図解を示す。図５の図解は、その全体を５００で表す。図解５００にはテストヘッド３２０が示してあり、テスト回路４１０は筐体４２０内に配置されている。保護接地導体４５４はテストヘッド３２０に接続する。保護接地導体４５４は、例えば筐体５２０の開口部５１０を通じて筐体４２０内に入る。保護接地導体４５４は、例えば筐体４２０中に、テスト回路４１０の保護接地接続に取り付けられる。上記の代わりに、または上記に加えて、テスト回路４１０の遮蔽体に、あるいはテスト回路４１０の接地導体に、保護接地導体４５４を取り付けることもある。この場合は、開口部５１０とテスト回路４１０との間で保護接地導体４５４に流れる電流を測定するよう電流測定装置、例えば電流クランプを配置する。換言すると、テストヘッド３２０の筐体４２０内に電流測定装置または電流クランプを配置する。
【００８９】
さらに別の実施形態では、筐体４２０の外側から開口部５１０を通じて筐体４２０の内側へ保護接地導体４５４を敷設する。この場合の保護接地導体４５４は筐体４２０の内側から筐体４２０と接続する。そして開口部５１０と、筐体４２０の内側に保護接地導体４５４を取り付ける位置５２０との間で、保護接地導体４５４に流れる電流を測定するよう電流測定装置または電流クランプを配置する。電流測定装置または電流クランプは、例えばテストヘッド３２０の筐体４２０内で遮蔽された場所に配置できる。
【００９０】
本発明のいくつかの実施形態の更なる態様を以下に説明する。図８を参照しつつ、最新ＥＳＤモニタープロトタイプの構成を説明する。換言すると、図８は本発明の一実施形態に係るＥＳＤモニターシステムの概略図である。図８に示すシステムは、その全体を８００で表す。システム８００はデバイステストシステム８１０（例えばｄｕｔテスタまたは装置テスタまたはチップテスタ）を備える。デバイステストシステム（ｄｕｔテスタまたはチップテスタ）８１０はテストヘッド８２２（上述したもの等）にサプライラック８２０（上述したもの等）を備える。電力供給接続は、例えば電力ケーブルは、上述した通りテストヘッド８２２をサプライラック８２０に接続する。さらに、電力ケーブルのまわりに高周波（ＨＦ）電流プローブを圧着する。ＥＳＤモニターシステム８００はオシロスコープ８３０を備え、このオシロスコープは、その入力のいずれか１つでＨＦ電流プローブから電流測定信号を受信するように構成される。
【００９１】
オシロスコープ８３０の代わりに様々な代替装置を使用できることに留意されたい。例えば、オシロスコープ８３０の代わりに過渡現象記録装置を使用できる。さらに別の実施形態ではデータ収集ユニット（「ＤＡＱ」とも略称する）をオシロスコープの代替として使用できる。データ収集ユニット（ＤＡＱ）は、例えばアナログ／デジタル変換器（ＡＤＣ）を備える。放電電流波形の記録、蓄積、デジタル化にあたってはオシロスコープやかかる代替装置を使用できる。
【００９２】
いくつかの実施形態によれば、例えばＵＳＢインターフェイスを通じてパーソナルコンピュータと接続できるデータ収集ユニットを、オシロスコープ８３０の代替として使用できる。いくつかの実施形態によれば、データ収集カードをパーソナルコンピュータ内に設置し、オシロスコープの代替として使用できる。
【００９３】
以上を要約すると、放電電流波形の収集にあたっては、例えばこれの記録、蓄積、デジタル化にあたっては、様々な種類のデータ収集ソリューションを利用できる。オシロスコープは一実施形態において、システムコントローラまたはシステムコンピュータから独立している。例えばオシロスコープは、ＨＰ−ＵＸ及びＬｉｎｕｘコントローラから独立している。オシロスコープ（「スコープ」と称することもある）は、いくつかの実施形態によれば可搬型である。したがってオシロスコープは、いくつかの実施形態によればテスタからテスタにかけて簡単に移動できる。いくつかの実施形態によれば、制御ソフトウェアデータベース（例えば、所謂「Ｖｅｒｉｇｙ  Ｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎ  Ｄａｓｈｂｏａｒｄ」データベースすなわち「ＶＰＤ」データベース）で目下のテスタ（すなわち、例えばＨＦ電流プローブ経由でオシロスコープが結合されているテスタに）にインターネットプロトコルアドレス（「ｉｐ＿アドレス」）を割り振る。オシロスコープ８３０は、例えばローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）８４０を通じてシステムコントローラまたはシステムコンピュータ（例えばＨＰ−ＵＸシステムコントローラまたはＬｉｎｕｘシステムコントローラ）と接続する。ローカルエリアネットワーク８４０は（少なくともオシロスコープ８３０とシステムコントローラとの接続は）、例えば当業者にとって公知の所謂「ＶＸＩ１１プロトコル」を用いて操作できる。
【００９４】
オシロスコープ８３０の接続先にあたるシステムコントローラで実行するソフトウェアについての詳細を以下に説明する。
【００９５】
いくつかの実施形態によれば、オシロスコープ８３０が実際のＥＳＤ現象や可能性としてのＥＳＤ現象を検出する場合にオシロスコープからデータを引き出すように構成されたソフトウェアをシステムコントローラで実行する。例えばオシロスコープ８３０は、所定の（または調整可能な）トリガーレベルに設定されるトリガー手段を持つ。電流測定装置から（例えば電流クランプから）得る電流測定信号がこのトリガーレベルを超過するとオシロスコープがトリガーされ、電流測定信号の波形を捕捉する。オシロスコープは、例えばデジタル蓄積オシロスコープであり、この場合のオシロスコープ８３０は、トリガーイベントに応じて電流測定信号のデジタル波形表現を得ることができる。いくつかの実施形態によれば、電流測定信号の波形でトリガーイベントより前の（すなわちトリガー閾値レベルに到達する前の）波形部分を捕捉するようオシロスコープ８３０を構成する。「プレトリガー」とも称されるこの機能は、最先端サンプリングオシロスコープのいくつかに実装されており、当業者にとっては周知である。オシロスコープ８３０は、システムコントローラで実行するソフトウェアにトリガーイベントの発生を報告または通知する。例えばシステムコントローラは、（例えばローカルエリアネットワーク経由で）トリガーイベントの有無に関してオシロスコープを定期的に照会する。ただしいくつかの実施形態によれば、オシロスコープを照会せず、オシロスコープからシステムサーバ上で実行するソフトウェアにトリガーイベントの発生を通知することもある。例えばオシロスコープは、例えばトリガーイベントに応じて、システムサーバ上で実行するソフトウェアにサービス要求メッセージを送る。システムサーバ上で実行するソフトウェアは、オシロスコープ８３０と通信するためのサブルーチン、スレッド、デーモン、その他のソフトウェア単位を備える。システムコントローラで実行するソフトウェアは、いくつかの実施形態によれば、例えば所謂「スコープデーモン」を、すなわちバックグランドで（例えばマルチタスクオペレーティングシステムで）作動するユーティリティ機能を備える。いくつかの実施形態によれば、システムコントローラが所謂「Ｖｅｒｉｇｙ  Ｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎ  Ｄａｓｈｂｏａｒｄサーバ」（「ＶＰＤサーバ」と称することもある）を備え、このサーバがスコープデーモンを実行する。図８では所謂「ＶＰＤサーバ」が８５０で示してある。いくつかの実施形態によれば、複数のテスタまたはデバイステストシステム（あるいは、複数のテスタまたはデバイステストシステムに接続された複数のオシロスコープ）をサポートするため、多数のデーモンを同時に（少なくともほぼ同時に）実行できることに留意されたい。ＶＰＤサーバとスコープデーモンの機能についての詳細を以下に説明する。ここで、デバイステストシステム８１０の活動と状態についての情報を収集し、蓄積するようにＶＰＤサーバが構成されることは既に指摘した。いくつかの実施形態によれば、デバイステストシステム８１０の活動の一部または全部を制御する形にＶＰＤサーバを構成することもある。いくつかの実施形態によれば、クライアントソフトウェアが、（例えば「Ｖｅｒｉｇｙ  Ｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎ  Ｄａｓｈｂｏａｒｄクライアント」または「ＶＰＤクライアント」と称するクライアントソフトウェアが、ＶＰＤサーバと通信する形に構成される。ＶＰＤサーバは、例えばデバイステストシステム８１０の活動及び状態に関するタイミング情報を提供する。例えばＶＰＤサーバは、ＥＳＤ現象が発生したこと（またはＥＳＤ現象がいつ発生したか）を伝える情報を提供する。ＶＰＤサーバまたはＶＰＤクライアントはこの情報をもとに、例えば時間の経過に従って並べられた、あるいは時間の経過に従って書式が組まれたイベントリストまたは表の形で、テスタカレンダーを提供する。例えばテストカレンダーは、ＶＰＤクライアントによってユーザ（または別のソフトウェアコンポーネント）へ表示または提示される。
【００９６】
いくつかの実施形態によれば、テスタカレンダーから静電気放電現象を閲覧、解析できる。いくつかの実施形態によれば、テスタの活動、またはテストシステムの活動に、ＥＳＤ現象を相関させることができる。例えば、ＥＳＤ現象の発生とテスタ故障またはテストシステム故障との相関を計算できる。
【００９７】
例えば、デバイステストシステム８１０の故障イベントとＥＳＤ現象についての情報を取得する形にＶＰＤサーバを、ＶＰＤクライアント、または（例えばＶＰＤサーバ及び／またはＶＰＤクライアントと通信する）補助プログラムを構成する。デバイステストシステム８１０の故障イベントが時間的にＥＳＤ現象の近傍で（例えば所定の期間内に）発生したことをこの情報が伝える場合、ＶＰＤクライアント、ＶＰＤサーバ、または補助プログラムは、デバイステストシステム８１０の故障イベントの原因としてＥＳＤ現象が考えられることを示唆、または警告を発することができる。
【００９８】
さらにＶＰＤサーバ、ＶＰＤクライアント、または補助プログラムは、上記に加えて、または上記の代わりに、テスト結果に関する情報を取得する。例えば担当プログラム（ＶＰＤサーバ、ＶＰＤクライアント、及び／または補助プログラム）は、テスト収率または故障率を記述する情報を取得する。さらに担当プログラムは、時間的にＥＳＤ現象の近傍で（例えば所定の期間内に）テスト収率の、または故障率の、著しい低下があるか否かを判断する。担当プログラムは著しい低下がある場合に警告を発し、テスタまたはテストシステムが、または被試験装置のロットが、ＥＳＤ現象によるダメージを被った可能性を伝える。
【００９９】
ただし担当プログラムは、上記に加えて、または上記の代わりに、デバイステストシステム８１０の状態やテスト結果に関するその他の情報をＥＳＤ現象に関する情報に相関させ、ＥＳＤ現象に対し特定のイベントまたは状態変化に強い相関（例えば所定の閾値レベルを超過する相関）がある場合には、警告を発することもある。
【０１００】
要約すると、いくつかの実施形態によれば、（例えばＶＰＤクライアントによって表示される）テスタカレンダーからＥＳＤ現象を閲覧、解析し、テスト活動に相関させることができる。波形（例えばオシロスコープ８３０で捕らえた電流測定信号の波形）は、更なる解析のため、例えばＣＳＶファイル形式に、エクスポートできる。更なる解析は、例えば高速フーリエ変換（ＦＦＴ）（非特許文献３を参照されたい）や離散フーリエ変換（ＤＦＴ）を用いて実施可能である。ここで、「ＣＳＶ」という用語は「文字区切り値」、「カンマ区切り値」、または「コロン区切り値」を備えるファイル形式を意味し、個々の値が専用の区切り記号によって区切られることに留意されたい。
【０１０１】
以下において、本発明による一実施形態の更なる詳細を説明する。具体的にはソリューションの原理を説明する。
【０１０２】
図９は、本発明の一実施形態に係るＥＳＤモニターシステムの概略図である。図９は、本発明の一実施形態によるソリューションの原理を図解する図である。図９に示すＥＳＤモニターシステム（デバイステストシステムの一部であってよい）は、その全体を９００で表す。図９に示すＥＳＤモニターシステム９００は図８に示すＥＳＤモニターシステム８００に類似しているため、同じ手段及び信号については同じ参照番号で示す。図８に示すシステムと同様、ＥＳＤモニターシステム９００は、システムコントローラで実行するソフトウェアによって実装されるＶＰＤサーバ９１０を備える。本発明の一実施形態ではオシロスコープ８３０が初期状態でトリガーを待機する（参照番号９２２）。この初期状態で（例えばＶＰＤサーバで実行する、またはＶＰＤサーバに結合された）スコープデーモンはサービス要求を待機する（参照番号９２２）。換言すると、スコープデーモンは一実施形態においてオシロスコープ８３０のポーリングを行わないため、ローカルエリアネットワーク上で不必要なネットワークトラフィックは回避できる。上述した通り、オシロスコープ８３０は、サプライラック８２０をテストヘッド８２２に接続する電力ケーブルに圧着されたＨＦ電流プローブから電流測定信号を受信する。ただし実施形態によれば、プローブを電力線路に接続することもできる。ある時に参照番号９３０におけるＥＳＤ現象がテストヘッド８２２に作用し、例えばテストヘッド８２２に放電電流が送りこまれる。ＥＳＤ現象９３０によってテストヘッド８２２に放電電流が印加されることによって電力ケーブルに電流パルスが発生し、電力ケーブルに圧着された電流プローブによって電流測定信号のパルスに変換される。したがって、オシロスコープ８３０によって受信される電流測定信号はパルスを備える。オシロスコープ８３０は、このパルスがトリガーレベルを超過する場合にトリガーイベントを生成する。参照番号９４０で示すように、トリガー（実際のＥＳＤ現象、または可能性としてのＥＳＤ現象）を検出したオシロスコープ８３０は、ローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）からサービス要求を発する。オシロスコープ８３０によって生成されるサービス要求は、例えば汎用インターフェイスバス（ＧＲＩＢ）システムで知られるサービス要求ＳＲＱに類似する。参照番号９５０で示す通り、トリガーを受けてオシロスコープ８３０からＶＰＤサーバ９１０へサービス要求が送信される。ＶＰＤサーバ、または関連スコープデーモンは、参照番号９５０で送信されたサービス要求を受信し、サービス要求の受信を意味する所謂「割り込み」を生成する。割り込みが検出されるとＶＰＤサーバまたは関連スコープデーモンがＥＳＤ波形を捕捉する。例えばスコープデーモンまたはＶＰＤサーバは、（例えばトリガーの検出に応じて）オシロスコープによって捕捉された波形をシステムサーバへ（またはＶＰＤサーバへ、またはスコープデーモンへ）ダウンロードする。任意的に、スコープデーモンまたはＶＰＤサーバは捕捉波形（例えばオシロスコープ８３０によって捕捉され、ＶＰＤサーバまたはスコープデーモンへダウンロードされる波形）をデータベースに、例えばＶＰＤデータベースに、蓄積する。この波形の捕捉と蓄積は参照番号９６０の箇所に示す。ステップ９７０では次のイベントに向けて再びオシロスコープ８３０を準備する。例えばＶＰＤサーバまたはスコープデーモンは、次のトリガーイベントに応じて波形を捕捉することをオシロスコープ８３０に指示する信号をオシロスコープに送信する。オシロスコープの再準備は、オシロスコープの能力に応じて適当な時に行うことができる。また、参照番号９７０で示すオシロスコープの再準備は当然ながら任意のものとみなすべきであり、例えばトリガーイベントのたびに波形を捕捉するようオシロスコープを構成する場合がこれに該当する。
【０１０３】
ここで、ＶＰＤサーバ、スコープデーモン、または補助プログラムは、例えば捕捉ＥＳＤ波形を解析し、捕捉ＥＳＤ波形が実際のＥＳＤ現象なのか、それとも「誤報」（例えば、ＥＳＤ現象に起因しないトリガー）なのかを判断できることに留意されたい。ただしＶＰＤサーバまたはスコープデーモンは、別の実施形態においては、全てのトリガーイベントをＥＳＤ現象の表れとみなす。換言すると、ＶＰＤサーバまたはスコープデーモンは、トリガーイベントに応じてオシロスコープで捕捉される全ての捕捉波形を、ＥＳＤ現象を示す波形として解釈する。代替的に、ＶＰＤサーバまたはスコープデーモンは、いくつかの条件（後述）を満たす波形のみをＥＳＤ現象とみなすこともある。
【０１０４】
この場合は、例えばＥＳＤ現象の有無を判断する際に波形の形状を考慮に入れることができる。時間領域における放電電流波形の形状をもとにＥＳＤ現象の原因を「ヒトによる放電」（ＨＢＭ）、「機械による放電」（ＭＭ）、「装置による放電」（ＣＤＭ）、または他の何らかの既知放電モデルとして識別（または区別）することができる。
【０１０５】
スコープデーモンは一実施形態において、規則的または不規則的な時間間隔で、例えば１５秒毎に、オシロスコープ８３０を「ピン」するように構成される。この場合「ピン」を受信したオシロスコープ８３０はスコープデーモンに応答し、オシロスコープに電源が入っていること、そしてオシロスコープとスコープデーモンとのローカルエリアネットワーク接続が稼働していることを伝える。オシロスコープが予測した（または所定の期間内に）「ピン」に応答しない場合、スコープデーモンはオシロスコープに、またはオシロスコープとスコープデーモンとの接続に、問題があると認識する。例えば電力（または電力供給）やローカルエリアネットワーク接続が失われた場合（または停止した場合、または欠陥がある場合）、スコープデーモンは、例えばオシロスコープ８３０がオンラインに復帰した時点で（例えばオシロスコープ８３０との）再接続を試みる。
【０１０６】
ここで、上述した機能、あるいは少なくともその一部を、例えば所謂「プロダクションダッシュボード」または「プロダクションダッシュボード」ソフトウェアで実装できることに留意されたい。
【０１０７】
また、図８を参照しつつ説明した機能は、例えば所謂「プロダクションダッシュボード」で、少なくとも部分的には実装可能である。
【０１０８】
「放電電流」を考慮に入れるソリューションについて、図１０を参照しつつその詳細を以下に説明する。図１０はＥＳＤモニターソリューションの概略図である。
【０１０９】
図１０は、本発明の一実施形態に係る装置テスタまたはデバイステストシステムの概略図である。図１０に示すデバイステストシステムは、その全体を１０００で表す。デバイステストシステム１０００は、例えばサプライラック１０１０とテストヘッド１０３０とを備える。テストヘッドは、例えばサプライラック１０１０の外部に配置される。テストヘッド１０３０はまた、例えばアーム１０４０によって機械的にサプライラックと接続される。サプライラック１０１０は、例えば１つ以上の交流−直流（ＡＣ／ＤＣ）電力モジュール１０１２と、システムコントローラ１０１４と、ラックインターフェイスボード１０１６とを備える。サプライラック１０１０は、例えば本線電力ケーブル１０１８を備える。一実施形態においてＡＣ／ＤＣ電力モジュール１０１２と、システムコントローラ１０１４と、ラックインターフェイスボード１０１６は、例えばいずれも本線電力ケーブル１０１８に結合する。１つ以上のＡＣ／ＤＣ電力モジュールは、例えばテストヘッド用の供給電圧として２４Ｖ乃至１０００ＶのＤＣ電圧を提供するように構成される。ＡＣ／ＤＣ電力モジュールは図１０に示す実施形態で、例えば約３５５ＶのＤＣ電圧を提供するように構成される。このＡＣ／ＤＣ電力モジュールによって提供される約３５５ＶのＤＣ供給電圧は、２つ以上のＤＣ供給導体１０４２、１０４４を介してテストヘッド１０３０へ提供される。ＤＣ供給電圧導体１０４２、１０４４は、例えば上述した所謂電力供給接続の一部である。
【０１１０】
システムコントローラ１０１４は、例えば光ファイバリンク１０４６を介してテストヘッドの１つ以上の制御ボードと結合する。システムコントローラ１０１４はさらに、ＣＡＮバス１０４８を介して１つ以上の電力制御ボードにある、及び／またはテストヘッド１０３０の１つ以上の制御ボードにある、ＣＡＮノードと結合する。この目的のため、例えばラックインターフェイスボード１０１６には（例えばオプトカプラを備える）光アイソレータが存在する。光アイソレータ１０１６ｂは、例えばシステムコントローラ１０１４によって提供されるＲＳ２３２シリアルインターフェースと、サプライラック１０１０及びテストヘッド１０３０間に延在するＣＡＮバス１０４８との間で、分離を提供する。
【０１１１】
テストヘッド１０３０は、例えば１つ以上の直流−直流電力モジュール（ＤＣ／ＤＣ電力モジュール）を備える。１つ以上のＤＣ／ＤＣ電力モジュールは、例えばＡＣ／ＤＣ電力モジュール１０１２によって提供される比較的高い電圧を１つ以上の低い電圧に、例えばＤＣ電圧に変換するように構成される。一実施形態においては、所謂「超低電圧」がＤＣ／ＤＣ電力モジュール１０３２によって生成される。いくつかの実施形態によれば、ＤＣ／ＤＣ電力モジュールはまた、ＡＣ／ＤＣ電力モジュール１０１２によって提供される電圧とＤＣ／ＤＣ電力モジュールの出力電圧との間にガルバニック分離を提供する。テストヘッドはまた、例えば１つ以上の電力制御ボードを備え、この電力制御ボードは、例えば（被試験装置の給電のため）テストヘッド１０３０の被試験装置インターフェイスへ提供される電力供給を調整するように構成される。テストヘッド１０３０はまた、光ファイバリンク１０４６を１つ以上のチャネルモジュールに結ぶ１つ以上の制御ボードを備える。テスト対象デバイスを励起するテスト信号を生成するため、及び／またはテスト対象デバイスから信号または応答信号を受信し評価するため、チャネルモジュールを設ける。このためチャネルモジュールは通常、テストヘッド１０３０のｄｕｔインターフェイスに接続される。
【０１１２】
テストヘッドと保護接地との接続を以下に説明する。
【０１１３】
「ＦＰ」で示す基準電位は基準電位接続１０５０を介してラックインターフェイスボード１０１６の基準電位１０１６ｃに接続する。さらに、ラックインターフェイスボード１０１６の基準電位１０１６ｃは、例えば約５ｋΩの抵抗１０１６ｄを介して保護接地１０７０と接続する。ＤＣ電力供給導体１０４２、１０４４のいずれか１つに接続された１つ以上のＡＣ／ＤＣ電力モジュール１０１２のＤＣ出力のいずれか１つは、例えば保護接地と接続する。一実施形態において、ＡＣ／ＤＣ電力モジュールの負出力（例えば負「−」の電位を保持する出力）は、抵抗を介して保護接地１０７０と接続する。抵抗１０１２ｄの値は、例えば１００ｋΩ／ｎの範囲内で、ｎは並列に接続されるＡＣ／ＤＣ電力モジュール１０１２の数である。例えば、ｎは１乃至１２の範囲内の整数である。
【０１１４】
さらにテストヘッド１０３０（例えばその筐体、またはその担架構造）は、低抵抗保護接地接続１０８０を介して保護接地１０７０に接続する。低抵抗保護接地接続１０８０は、例えば低抵抗ケーブル、例えば銅ケーブルを備える。テストヘッド１０３０と保護接地１０７０との間で低抵抗保護接地接続を形成する上記ケーブルの断面は、例えば１．５ｍｍ２以上ある。ただし、この段面積はさらに大きいほうが好ましい。いくつかの実施形態によれば、上記ケーブルの長さは２０ｍに満たない。また他の実施形態によれば、上記保護接地ケーブル１０８０の長さは１０ｍより短く、５ｍより短いこともある。
【０１１５】
いくつかの実施形態によれば、サプライラック１０１０（またはこれの金属部分）もまた低抵抗接続またはケーブル１０８２を介して保護接地１０７０と接続する。
【０１１６】
ここで、第１の放電経路がテストヘッド１０３０から保護接地接続または保護接地ケーブル１０８０を介して保護接地１０７０まで延在することに留意されたい。
【０１１７】
また、デバイステストシステム１０００は導電性の床に配置されると仮定する。例えばサプライラック１０１０は、導電性床上で支持脚またはローラーの上に立てる。
【０１１８】
したがって、テストヘッド１０３０から保護接地に至る（または少なくとも環境電位に至る）第２の放電経路がある。第２の放電経路は、例えばテストヘッド１０３０からアーム１０４０を介してサプライラック１０１０まで延在する。第２の放電経路はさらに、サプライラック１０１０（またはこれの導電性構造）とサプライラック１０１０の支持脚またはローラーとを介して床に向かう。換言すると、第２の放電経路はシャシ−床経由の放電経路である。
【０１１９】
例えば、ＥＳＤ放電電流の検出にあたっては保護接地ケーブルを使用できる。保護接地（ＰＥ）ケーブルに加えて、電源ケーブル全体（例えば、相、中性、及びＰＥ線路）、あるいは相ケーブルのみをＥＳＤ放電電流の検出に使用することができる。
【０１２０】
図１０に示す構成の等価回路図を以下に説明する。図１１は図１０に示す構成の等価回路図である。換言すると、図１１は「放電電流」を用いるソリューションの詳細を示す図である。
【０１２１】
換言すると、図１１はＥＳＤモニターソリューションの詳細を示す図である。図１０に示す構成の等価回路は、例えばテストシステム（または装置テスタ）と放電経路を表す。（例えばサプライラック１０１０と、アーム１０４０と、テストヘッド１０３０とを備える）テストシステムまたは装置テスタ、またはその一部分は、例えばレジスタＲｔ１１１０と、インダクタンスＬｔ１１１２と、キャパシタンスＣｔ１１１４とを備える直列共振回路によって表される。また、直列共振回路１１０８は放電電流によって予め励起されていると仮定する。保護接地ケーブルを経由する第１の放電経路は、抵抗ＲＰＥ１１２０によって表すことができる。シャシ−床を経由する第２の放電経路は、抵抗ＲＣｈＦ１１２２によって表すことができる。保護接地経路の抵抗１１２０とシャシ−床の抵抗１１２２は並列に接続されているとみなすことができる。したがって総放電電流ＩＤｉｓは２つの電流成分に、具体的には保護接地ケーブルに流れる放電電流ＩＰＥと、シャシ−床に流れる放電電流ＩＣｈＦとに分かれる。この電流配分はキルヒホッフの法則とオームの法則１１３２を使って計算できる。保護接地経路の抵抗１１２０がシャシ−床経路の抵抗１１２２を大幅に下回ると仮定すると、オームの法則により、保護接地ケーブル経由の放電電流はシャシ−床経由の放電電流を大幅に上回ると結論づけることができる。したがって、保護接地ケーブル経由の放電電流は総放電電流ＩＤｉｓにほぼ等しいと仮定できる。
【０１２２】
したがって、いくつかの実施形態によれば、保護接地接続または保護接地ケーブルに流れる電流を監視することによって、良好な総放電電流推定を得ることができる。
【０１２３】
以下において「放電電流」を用いるソリューションの更なる詳細を説明する。図１２は、ＥＳＤモニターソリューションの実験的ハードウェア構成の態様を示す図である。第１の図解１２１０は、電力供給接続または電力供給ケーブルの周囲、あるいは保護接地接続または保護接地ケーブルの周囲に装着できる例示的電流クランプを示す。図解１２１０に示す電流クランプは、例えばケーブルを遮ることなくケーブル上に嵌着できる。電流クランプ１２２０は、例えば高周波または無線周波数範囲で作動するように構成される。いくつかの実施形態によれば、例えば１ＭＨｚまで、３ＭＨｚまで、１０ＭＨｚまで、または１０００ＭＨｚまでの周波数で電流を検出するように電流クランプを構成する。
【０１２４】
電流クランプは、一実施形態によれば１０ｋＨｚ乃至１０００ＭＨｚの帯域幅を持つ。プローブ帯域幅（ＢＷ）と静電気放電現象の最小立ち上がり時間（ｔＲｉｓｅ）との関係は、次式によって与えられる。
【数５】
2010518412.tif 000009
（非特許文献４の１０ページを参照されたい）
【０１２５】
例えば立ち上がり時間ｔＲｉｓｅ＝１ｎｓの場合、帯域幅はＢＷ＝３００ＭＨｚである。
【０１２６】
したがって、最小立ち上がり時間が約３００ｐｓの静電気放電現象を検出するには、１０００ＭＨｚまでの帯域幅を持つ電流プローブを使用しなければならない。
【０１２７】
この条件を満たす電流プローブは、例えば「ＨＦ電流プローブ」と称する。ただし、実際の所要条件次第ではこれとは別の帯域幅を持つ電流プローブも使用できる。
【０１２８】
電流プローブ（または電流測定装置）の帯域幅については、一実施形態においては、プローブが１０ｋＨｚ以上の最小遮断周波数を持つことに留意されたい。この場合は電力線路雑音から雑音を除去できる。
【０１２９】
いくつかの実施形態によれば、立ち上がり時間が０．３ナノ秒に満たないパルスを検出するため、プローブは１０００ＭＨｚまでの最大遮断周波数を持つ。
【０１３０】
したがっていくつかの実施形態によれば、所謂「高周波」（ＨＦ）電流プローブを使用する。
【０１３１】
第２の図解１２２０は、第１の図解１２１０で示した電流クランプがデバイステストシステム（例えば装置テスタまたはチップテスタ）のテストヘッドに装着された状態を示す。第３の図解１２３０は、テストヘッドに装着された電流クランプの拡大図を示す。第３の図解から分かるように、第１の図解１２１０に描かれた電流クランプはテストヘッドの保護接地ケーブルに巻きつけてある。電流クランプの測定信号出力はオシロスコープに接続するが、これは第４の図解１２４０に描かれている。より具体的には、電流クランプの出力はオシロスコープの入力チャネルに接続する。
【０１３２】
第４の図解に示すオシロスコープは、例えばローカルエリアネットワークを介して（または汎用インターフェイスバスを介して、または他の何らかの計装バスまたはインターフェイスを介して）ソフトウェアと接続する。第５の図解１２５０には、一例として所謂「Ｖｅｒｉｇｙ  Ｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎ  Ｄａｓｈｂｏａｒｄ」ソフトウェアが示してある。Ｖｅｒｉｇｙ  Ｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎ  Ｄａｓｈｂｏａｒｄは、例えば上述したプロダクションダッシュボードサーバを備える。
【０１３３】
図１２に示す構成に関し（上記に加えて、または上記の代わりに）本線電力ケーブル全体（相導線、中性導線、ＰＡ導線からなる）に、または本線電力ケーブルの一部に、例えば相導線のみに、電流クランプを巻きつけることもできることに留意されたい。
【０１３４】
また、スコープすなわちオシロスコープの代わりに、時間の経過に従って放電電流を捕捉する別の手段を（上記に加えて、もしくは上記の代わりに）使用できることに留意されたい。
【０１３５】
「放電電流」を用いるソリューションの更なる詳細を以下に説明する。図１３は実験的構成、例えば静電気放電現象用ハードウェアモニターの図解を示す。
【０１３６】
ここで、図１３に示す図解が図１２に示す図解によく類似していることに留意されたい。そのため、図１２の説明を参照することもある。
【０１３７】
第１の図解１３１０は電流クランプを示す。
【０１３８】
電流クランプは一実施形態においてＨＦ変流器として機能する。放電電流を誘導する導体またはケーブルにこのプローブを圧着すると、その導体またはケーブルが変流器の一次巻線を形成する。この変流器の一次巻線は、例えば１巻きである。
【０１３９】
2010518412.tif 000010
【０１４０】
2010518412.tif 000011
【０１４１】
第２及び第３の図解１３２０、１３３０は、（例えば装置テスタまたはチップテスタの）テストヘッドで保護接地ケーブルに巻きつけられた電流クランプを示す。
【０１４２】
（例えば保護接地ケーブルに巻きつけられた）電流クランプの出力をオシロスコープのチャネル入力に接続する場合は、第４の図解１３４０に示すように、電流クランプによって提供される出力電圧の波形がスコープすなわちオシロスコープによってデジタル化される。
【０１４３】
スコープすなわちオシロスコープは一実施形態においては、ローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）インターフェイスによって、所謂「ダッシュボード」、または「ダッシュボードソフトウェア」に接続する。第５の図解１３５０には「Ｖｅｒｉｇｙ  Ｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎ  Ｄａｓｈｂｏａｒｄ」というダッシュボードソフトウェアのスクリーンショットを示す。ダッシュボードまたはダッシュボードソフトウェアは、例えば上述した所謂「プロダクションダッシュボードサーバ」を備える。デジタル化された（例えばスコープすなわちオシロスコープによってデジタル化された）波形は、例えばプロダクションダッシュボードサーバまたはプロダクションダッシュボードサーバソフトウェアによって受信される。いくつかの実施形態によれば、デジタル化された波形をデータベースに保存する。他の実施形態によれば、デジタル化波形をさらに解析することで、デジタル化波形がＥＳＤ現象に相当するか否かを判断する。いくつかの実施形態によれば、解析結果に応じてデジタル化波形の更なる処理を制御する。いくつかの実施形態によれば、デジタル化波形が実際にＥＳＤ現象に相当することがデジタル化波形の解析から判明する場合に限り、デジタル化波形をデータベースに保存する。他の実施形態によれば、デジタル化波形を常にデータベースに保存してもよい。
【０１４４】
以上を要約すると、ＥＳＤモニターソリューションの実験的構成の詳細を図１３を参照しつつ説明した。
【０１４５】
2010518412.tif 000012
【０１４６】
2010518412.tif 000013
【０１４７】
したがって（少なくとも凡そは、例えば少なくともＶｏｕｔ及びＩＤｉｓの大きさについて、及び／または少なくとも所定の周波数範囲については）以下の関係が成り立つ。
【数６】
2010518412.tif 000014
【０１４８】
電流プローブの伝達インピーダンスＺＴは次の通りに定義できる。
【数７】
2010518412.tif 000015
（非特許文献５の４ページを参照されたい）
【０１４９】
対数形式で、またはｄＢで、以下の関係が成り立つ。
【数８】
2010518412.tif 000016
（非特許文献５の４ページを参照されたい）
【０１５０】
ここで、Ｖｏｕｔは電流プローブの出力電圧を表し、ＩＤｉｓは放電電流を表し、ＺＴは電流プローブの伝達インピーダンスを表す。プローブ帯域幅におけるプローブの伝達インピーダンスＺＴは、プローブのデータシートに表示されている。
【０１５１】
スコープすなわちオシロスコープは、いくつかの実施形態によれば時間の経過に従って電流クランプの出力電圧を捕捉し、デジタル化する。換言すると、いくつかの実施形態によればオシロスコープは、時間領域内で電流クランプの出力電圧Ｖｏｕｔを捕捉する。
【０１５２】
放電電流はプローブの（または電流クランプの）「感度」比＝ＺＴを使って計算できる。例えば上の式（３）で定義した所謂「プローブの感度」＝ＺＴを使用し、電流クランプ（または他の電流プローブ）の出力電圧Ｖｏｕｔに基づき放電電流ＩＤｉｓを計算できる。
【０１５３】
例えば図解１４１０は、電流クランプの出力電圧の時間的進化を示す。横座標１４１２は時間を表し、縦座標１４１４はボルト単位の出力電圧Ｖｏｕｔを表す。曲線１４１６は出力電圧の時間的進化を示す。図解１４２０は放電電流ＩＤｉｓを表す。横座標１４２２は時間を表し、縦座標１４２４は放電電流を表す。曲線１４２６は放電電流の時間的進化を示す。図解１４２０に示す放電電流表現は、図解１４１０に示す出力電圧表現からプローブの「感度」比を使った計算によって得ることができる。換言すると、時間の経過に従った放電電流表現は、時間の経過に従った出力電圧表現からプローブまたは電流プローブの感度比を利用し縦座標を再スケールすることによって得られる。
【０１５４】
「放電電流」を利用する静電気放電（ＥＳＤ）モニターソリューションの更なる詳細を以下に説明する。
【０１５５】
本発明のいくつかの実施形態によれば、放電電流の測定（またはその捕捉波形）から１つ以上の情報を導き出すことができる。一実施形態によるソリューションで捕捉される情報に関しては、時間の経過に従った放電電流が分かれば、ＥＳＤ現象についての極めて重要な情報を引き出すことができることに留意されたい。
１．ＥＳＤ現象と非ＥＳＤ現象との区別、及び／または、
２．ＥＳＤ現象によって放出される電荷の量、及び／または、
３．ＥＳＤ現象によって放出される電力及びエネルギーの量。
【０１５６】
時間の経過に従って放電電流から引き出す情報についての詳細を以下に説明する。
【０１５７】
かかるソリューションであればＥＳＤ現象と非ＥＳＤ現象とを区別してＥＳＤ現象のみに着目し、非ＥＳＤ現象は無視してもよい。いくつかの実施形態によれば、波形の（例えば放電電流の捕捉波形の）解析をＥＳＤ現象と非ＥＳＤ現象の区別に役立てることができる。例えば、高速フーリエ変換（ＦＦＴ）や離散フーリエ変換（ＤＦＴ）を使った解析をこの目的に役立てることができる。
【０１５８】
非静電気放電現象から静電気放電現象をどのように区別するかについての詳細を以下で説明する。静電気放電の原因をどのように識別するかも説明する。本発明の一実施形態においては、テストセルの光学的監視（例えばカメラの使用）によって静電気放電現象の原因を識別できる（非特許文献２の４４ページを参照されたい）。テストセルは、例えばテストシステムが配置される領域を備える。テストセルは、実際の環境次第ではテストシステムまたはテストヘッドを取り巻くエリアとして定義できる。
【０１５９】
静電気放電の原因を識別するには以下の構成を使用する。
・テストセル全体を見渡す位置に（例えば「サプライラック」上に）カメラを置く。
・放電電流波形が捕捉された後（例えばサービス要求によって）、カメラをトリガーしてテストセルの写真を撮影する。カメラは別の実施形態で連続写真を提供し、それらの写真は放電電流波形が捕捉されない場合に破棄してかまわない。こうして静電気放電現象が起きた時の（あるいは少なくとも時間的に放電現象が起きた時に近い）テストセルの画像を得る。
・放電電流波形のデータ解析
・ケース１：放電を静電気放電現象と分類する：放電中に（あるいは、例えば放電の直前または直後に）撮影したテストセルの写真は、静電気放電の原因を高い確実性で識別するのに役立つ。例えばテストセルを撮影した写真は、オペレータ、ハンドラ、プローバ、ＤＵＴボード、または他の何らかの衝撃から、放電現象の原因を（高確度で）判断するのに役立つ。
・ケース２：放電を非ＥＳＤ現象と分類する。写真は削除または破棄する。
【０１６０】
以上を要約すると、電流測定信号を用いた実際の、または可能性としての、静電気放電現象検出に応じて、テストセルの写真（またはテストシステムで静電気放電の危険が最も高い手段の写真）を撮影する。撮影画像は、時間的に静電気放電現象に近い、例えば静電気放電現象の直前の、静電気放電現象の最中の、または静電気放電現象の直後の、テストセル（またはテストシステムで最も危うい要素）を表示するよう撮影する。撮影された（静電気放電現象の検出に応じて撮影された）画像はその後の解析のため、例えばテストシステムのオペレータによって、データベースに投入してもよい。
【０１６１】
ＥＳＤ現象によって放出される電荷については、ＥＳＤ現象によって放出される電荷の情報がＥＳＤ現象の原因特定に役立つことに留意されたい。いくつかの実施形態によれば、ＥＳＤ現象によって放出される電荷についての情報を得る方法として、時間の経過に従った放電電流の集積を使用する。
【０１６２】
ＥＳＤ現象によって放出される電力及びエネルギーについては、エネルギーがＥＳＤ現象のダメージポテンシャルを特徴付ける究極的情報であることに留意されたい。いくつかの実施形態によれば、ＥＳＤ現象によって放出されるエネルギーについての情報を得る方法として、時間の経過に従って伝達される電力の集積を使用する。
【０１６３】
放電電流を使用するＥＳＤモニターソリューションで捕捉される情報をもとにＥＳＤ現象と非ＥＳＤ現象を区別する方法を以下で説明する。
【０１６４】
本発明のいくつかの実施形態によれば、波形（例えばオシロスコープによって捕捉される放電電流の時間領域波形）の高速フーリエ変換、または離散フーリエ変換を（あるいは他の何らかの適当な変換を）実行し、時間領域から周波数領域に変換する。例えば図１５は、時間領域と周波数領域で波形の図解を示す。第１の図解１５１０は、時間領域でオシロスコープによって捕捉された放電電流を表す。横座標１５１２は時間を表し、縦座標１５１４は、例えば時間測定信号の電圧レベルを表し、これは例えば測定される電流または電流成分に比例し、例えばＥＳＤの放電電流を反映する。曲線１５１６は時間領域で電流測定信号を（または、少なくとも凡そはＥＳＤ電流を）表す。
【０１６５】
図解１５２０は周波数領域で電流測定信号を表す。横座標１５２２は周波数を表し、縦座標１５２４は、例えばパワースペクトル密度を表す。曲線１５２６は、例えば電流測定信号の（または、少なくとも凡そはＥＳＤ放電電流の）パワースペクトル密度を表す。ＥＳＤ放電電流の周波数依存パワースペクトル密度を得るには、例えば高速フーリエ変換や離散フーリエ変換等の時間領域−周波数領域変換を電流測定信号（またはＥＳＤ電流）の時間領域表現に適用する。電流測定信号（またはＥＳＤ電流）の周波数領域表現を基づき、電流測定信号の一部がＥＳＤ現象に相当するか否かを判断できる。例えば電流測定信号の周波数領域表現にテンプレートを適用し、電流測定信号の周波数領域表現がテンプレートで定める限度内（例えば周波数依存限度内）に入るか否かをチェックできる。電流測定信号の周波数領域表現がテンプレートの限度内であれば、その電流測定信号はＥＳＤ現象に相当すると判断できる。もしくは、電流測定信号は非ＥＳＤ現象に相当すると判断できる。代替的に、もしくは上記に加えて、複数の既定周波数におけるパワースペクトル密度の比が所定の範囲内にあるか否かをチェックできる。２つのパワースペクトル密度（または周波数スペクトルを特徴付ける同様の数量）の比が所定の範囲内にあれば、電流測定信号はＥＳＤ現象に相当すると結論づけることができる。もしくは、電流測定信号は非ＥＳＤ現象に相当すると判断できる。
【０１６６】
いくつかの実施形態によれば、捕捉された電流測定信号の周波数領域解析をオシロスコープで実行できる。他の実施形態によれば、システムコントローラにおける解析は、例えばプロダクションダッシュボードソフトウェアにより、あるいはオシロスコープデーモンにより実行できる。
【０１６７】
また、捕捉された電流測定波形の上記の解析に応じて捕捉波形の更なる処理を制御できる。例えば実施形態によれば、捕捉電流測定信号が非ＥＳＤ現象に相当すると判定する場合に捕捉電流測定波形を破棄する。
【０１６８】
以上を要約すると、曲線１５１６は時間領域で電流測定信号の（または、少なくとも凡そは放電電流の）波形を表す。曲線１５２６は、周波数領域で電流測定信号の（または、少なくとも凡そは放電電流の）波形を表す。一部の実施形態は、周波数領域においてＥＳＤ現象の波形が非ＥＳＤ現象の波形と違って見えるという考えに基づく。したがって、一部の実施形態によれば周波数領域における波形がＥＳＤ現象と非ＥＳＤ現象の区別に役立つ。
【０１６９】
放電電流を使用するＥＳＤモニターソリューションで捕捉する情報として、ＥＳＤ現象によって放出される電荷をどのように割り出すかを以下に説明する。
【０１７０】
いくつかの実施形態によれば、例えば時間の経過に従った放電電流（ＩＤｉｓ）の集積を用いて、ＥＳＤ現象によって放出される電荷（ＱＤｉｓ）を計算できる。いくつかの実施形態では次式を評価する。
【数９】
2010518412.tif 000017
（非特許文献５の２５ページを参照されたい）
【０１７１】
いくつかの実施形態によれば、ＥＳＤ現象の始まりからＥＳＤ現象の終わりにかけて時間の経過に従って放電電流を集積する。ＥＳＤ現象の始まりは、例えば電流測定信号がトリガー閾値に達する時間に基づいて定義する。ただし、いくつかの実施形態によれば、トリガーイベントより前にＥＳＤ現象の始まりを定義する。ＥＳＤ現象の終わりの定義の方法はかなり異なる。例えばＥＳＤ現象には、トリガーイベントから、またはＥＳＤ現象の始まりから、計算した一定の最大持続時間があると定義する。いくつかの他の実施形態によれば、電流測定信号が少なくとも所定の期間にわたって一定の閾値を下回る場合にＥＳＤ現象が終わったと仮定する。
【０１７２】
以下において、時間に対する電流測定信号（または電力供給接続に流れる、あるいは保護接地接続に流れる、電流または電流成分）の図解を示す図１６を参照する。横座標１６１２は、（例えばトリガーイベントを基準に−１００ナノ秒から１００ナノ秒までの範囲内の）時間を表す。縦座標１６１４は、電流測定装置によって測定される電流または電流成分（例えばＥＳＤ放電電流に近似）を表す。曲線１６１６は、時間関数としての放電電流を示す。曲線１６１６より下のエリアは（例えば曲線１６１６と定常電流値（例えばＩＤｉｓ＝０の値）との間は網掛け１６１８でマークしてある。ここで、ＥＳＤ現象の始まりがトリガーイベントより前の時間に、例えば時間ｔｂｅｇｉｎに、なっていることに留意されたい。ＥＳＤ現象の終わりは終了時間ｔｅｎｄになっている。換言すると、網掛けは静電気放電によって放出された電荷の量を意味する。換言すると、時間の経過に従って（例えば開始時間ｔｂｅｇｉｎと終了時間ｔｅｎｄとの間に）集積される放電電流ＩＤｉｓは、グラフの下のエリアに等しい。この集積放電電流は、場合によっては電荷または放電電荷に等しい。
【０１７３】
放電電流を使用するＥＳＤモニターソリューションで捕捉する情報として、ＥＳＤ現象によって放出される電力及びエネルギーをどのように割り出すかを以下に説明する。
【０１７４】
第１のステップとして、ＥＳＤ現象によって伝達される電力ＰＤｉｓを計算できる。例えば、電力の計算にあたっては次式を適用できる。
【数１０】
2010518412.tif 000018
（非特許文献５の２５ページを参照されたい）
式中、ＲＤｉｓは放電経路のインピーダンス（または抵抗）を表す。ＩＤｉｓは、（例えば時間に対する）放電電流を表す。
【０１７５】
ここで、放電経路のインピーダンスまたは抵抗を、例えば経験値に基づき測定、計算、または推定できることに留意されたい。状況次第では放電経路のインピーダンスの一部、例えば放電にとりわけ敏感な部分を考慮すれば十分である。
【０１７６】
第２のステップでは、ＥＳＤ現象によって伝達されるエネルギーＷＤｉｓを求めることができる。いくつかの実施形態によれば、時間の経過に従った電力の（例えば電力ＰＤｉｓの）集積を適用できる。いくつかの実施形態においては次式を評価できる。
【数１１】
2010518412.tif 000019
（非特許文献５の２６ページを参照されたい）
【０１７７】
集積の評価を行う期間は、例えば総電荷計算との関係で上述した通りに割り出すことができる。換言すると、ＥＳＤ現象の始まりと終わりを得ること、計算すること、または推定することができる。
【０１７８】
いくつかの実施形態によれば、エネルギーがＥＳＤ現象のダメージポテンシャルを特徴付ける究極的情報となる。
【０１７９】
いくつかの実施形態によれば、放電経路のインピーダンスＲＤｉｓがシステムハードウェアに固有のものであることに留意されたい。換言すると、インピーダンスＲＤｉｓはシステム固有、構成固有、及び／または周波数依存である。
【０１８０】
本発明のいくつかの実施形態の更なる態様を以下に開示する。本発明のいくつかの実施形態によれば、半導体テストシステムで（例えばＶｅｒｉｇｙ  Ｖ９３０００テストシステムで）電流クランプを使ってＥＳＤ現象の放電電流を捕捉することにより、以下の問題を解決する。
【０１８１】
ソリューションのスケーラビリティ：
一態様によれば、ここで説明するソリューションのいくつかの実施形態はテスト構成にかかわらず数多くのテストシステム（例えばＶ９３０００テストシステム）で通用し、もしくはいかなるテストシステムでも通用する。それは、本発明のいくつかの実施形態では保護接地または電力ケーブルに電流クランプを圧着して使用するためである（保護接地ケーブルまたは電力線路はどのシステムにも存在する）。
【０１８２】
対照的に、所謂「過渡法」を用いる実験で過渡電場を使用するＥＳＤ検出法がシステム構成（例えばＶ９３０００テストシステム）の幾何学的配置に非常に敏感であることが分かっている。「過渡法」を適用すると、Ｖ９３０００テストシステムのＤＵＴ  ＩＦで電磁波の反射、吸収、遮断等が起こる。これらの現象はソリューションの検出・定量化能力に悪影響をおよぼす。
【０１８３】
また、「過渡法」を用いる実験では、過渡電場を使用するソリューションを個々のシステムに合わせて調整するのが困難であることも分かっている。換言すると、過渡法を用いるソリューションはある一つのシステムで通用しても（例えばシステム構成の幾何学的配置の違いのため）別のシステムでは通用しないことがある。
【０１８４】
ソリューションの設置：
ここで説明するソリューションの設置は、いくつかの実施形態によればテストシステムの妨げにはならない（妨げになるとしても取るに足りない）。換言すると、いくつかの実施形態によればソリューションの設置にあたってテストシステムの稼働を止める必要がない。それは、いくつかの実施形態によれば、保護接地ケーブルの周囲に電流クランプを圧着させ、データ収集装置（ＤＡＱ）は、及び／またはスコープすなわちオシロスコープは、差し込み口とローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）接続に接続し、「Ｖｅｒｉｇｙ  Ｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎ  Ｄａｓｈｂｏａｒｄ」ソフトウェアパッケージ（または上述した同等のソフトウェアパッケージ）はサーバにインストールするためである。
【０１８５】
当然ながら、ケーブル接続を開かずにケーブルの周囲に設置できるのは「圧着式」の電流プローブのみである。「密閉式電流プローブ」の場合はケーブルに割り込んで（例えば切断して）プローブの開口部にケーブルを通す必要がある。
【０１８６】
対照的に、「過渡法」を用いる実験で過渡電場を使用するソリューションをテストシステム（例えばＶ９３０００テストシステム）に取り込むには、システムハードウェアへの多大な介入をともなうことが分かっている。「過渡法」を用いる構成では、例えばアンテナとセンサを設置し、アンテナのケーブルをテストヘッド等の中に通す必要がある。
【０１８７】
ソリューションの稼働：
ここで説明するソリューションの稼働は、いくつかの実施形態によれば、システム稼働の妨げにならない（妨げになるとしても取るに足りない）。それは、一部の実施形態で使用する電流クランプは「受動的」要素であるためである。
【０１８８】
ＥＳＤ現象の解析：
「Ｖｅｒｉｇｙ  Ｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎ  Ｄａｓｈｂｏａｒｄ」（ＶＰＤ）か上述した機能を果たす同等のソフトウェアまたはハードウェアを使ってＥＳＤ現象を解析すれば、１回のＥＳＤ現象から（またはＥＳＤ現象のたびに）以下の情報を導き出すことができる。
一般情報
・ＥＳＤ現象が発生した日付
・ＥＳＤ現象が発生した時刻
テスタ固有情報
・ＥＳＤ現象が発生したテストシステム
・ＥＳＤ現象が発生した際のテストシステムの状態
稼働固有情報
・システムを使用するオペレータに関する情報
・被試験装置に関する情報
・テストプログラムに関する情報
・ロットとウェハに関する情報
・収率とビニングに関する情報
ＥＳＤ固有現象情報
・ＥＳＤ現象の検出
・ＥＳＤ現象の大きさの定量化
・ＥＳＤ現象の持続時間
【０１８９】
ここで、上記の情報のすべてを導き出す必要はないことに留意されたい。いくつかの実施形態によれば上記の情報項目のいずれか１つを導き出せば十分である。いくつかの実施形態によれば上記の情報項目を一切取得しない。また、いくつかの実施形態によれば上記の情報項目をＥＳＤ現象に関連付けたり、相互に関連付けることができ、関連付けた１組の情報から詳しい解析が可能となることに留意されたい。
【０１９０】
「ＥＳＤモニターソリューション」のＥＳＤ現象検出・定量化能力を、テストデータ収集ソフトウェアによって収集されるデータ、例えば「Ｖｅｒｉｇｙ  ｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎ  ｄａｓｈｂｏａｒｄ」によって収集されるデータに組み合わせることで、以下に記す成果の一部または全部を得ることができる。
・ＥＳＤ現象をリアルタイムで検出できる。
・ＥＳＤ現象を製造工程データに（例えばＥＳＤ現象後の生産収率低下に）相関させることができる。
・ＥＳＤ現象をシステム状態（例えばＥＳＤ現象後のシステム不具合、例えば診断／較正不具合）に相関させることができる。
【０１９１】
本発明の実施形態で達成できる有利な効果を以下に説明する。既に述べた有利な効果に加え、本発明のいくつかの実施形態によれば捕捉データからＥＳＤ現象についての極めて重要な情報を抽出できる。
【０１９２】
いくつかの実施形態によれば、かかるソリューションによって捕捉される情報は、時間領域におけるＥＳＤ現象の放電電流である。例えば、オシロスコープ（または他の何らかの波形捕捉装置）で波形（例えば放電電流の波形）を捕捉する。
【０１９３】
図６ａを参照すると、例示的な波形を示してある。図６ａの図解は、その全体を６００で表す。横座標６１０は時間を表し、縦座標６１２は捕捉波形の信号レベルを表す。曲線６１４は放電電流を時間領域で表し、曲線６１６は放電電流を周波数領域で表す。
【０１９４】
図６ｂは再構成された波形の図解を示す。図６ｂの図解は、その全体を６５０で示す。換言すると、図６ｂは（少なくとも凡そは）図６ａと同じ波形を示す。波形（例えば時間領域の波形）はオシロスコープによってデジタル化され、データベースに蓄積される。横座標６６０は時間（例えば−５５０ナノ秒乃至５５０ナノ秒範囲）を表し、縦座標６６２は、ＥＳＤ放電電流に相当するか、もしくは例えばＥＳＤ放電電流に少なくとも凡そは比例する、再構成波形のレベルを表す。曲線６６４は再構成波形を表す。
【０１９５】
捕捉情報（例えば時間領域でＥＳＤ現象の放電電流を表す情報）は、ＥＳＤ現象をある程度詳しく、あるいは非常に詳しく、解析するのに役立てることができる。本発明のいくつかの実施形態によれば、以下に記す１つ以上の成果を得ることができる。
・ＥＳＤ現象の検出：全てのＥＳＤ現象が捕捉され、補足し逃すことはない（補足し逃したとしてもその数は取るに足りない）。
・ＥＳＤ現象の定量化：放電電流を時間領域で捕捉することにより、ＥＳＤ現象の大きさを定量化できる。ＥＳＤ現象から得ることができるデータは次の通りである。
・放電電流のピーク・トゥ・ピーク値。
・ＥＳＤ現象中に放出される電荷の計算（ＥＳＤ現象の原因特定に有益）。
・ＥＳＤ現象中に伝達される電力及びエネルギーの計算（ＥＳＤ現象のダメージポテンシャルを特徴付けるのに有益）。
・ＥＳＤ現象の周波数スペクトル解析：
図７を参照しつつ周波数スペクトルを説明する。図７の図解は、その全体を７００で表す。横座標７１０は時間を表し、縦座標７１２は電流クランプから提供される出力信号のレベルを表す。第１の曲線６１４は、電流クランプの出力を時間領域で表す（＝放電電流）。曲線６１６は、電流クランプの出力を周波数領域で表す（＝高速フーリエ変換（ＦＦＴ）か離散フーリエ変換（ＤＦＴ）で処理された時間領域データ）。
【０１９６】
周波数領域情報または周波数領域表現を得る一方法では、高速フーリエ変換（ＦＦＴ）か離散フーリエ変換（ＤＦＴ）を行って時間領域から周波数領域にかけて放電電流を変換する。
【０１９７】
いくつかの実施形態によれば、周波数領域情報をもとに「信号形状」を捕捉できるほか（非特許文献３を参照されたい）、ＥＳＤ現象の原因特定に役立つＥＳＤ現象の「指紋」を捕捉できる。換言すると、ＥＳＤ現象の原因に対応する基準指紋として指紋（例えば周波数領域）を保存できる。そして、実際の捕捉ＥＳＤ現象の指紋を１つ以上の基準指紋と比較できる。捕捉ＥＳＤ現象の指紋と基準指紋との一致度が十分に大きければ、あるいは捕捉ＥＳＤ現象の指紋と基準指紋との差異が所定の差異限界を下回るとすれば、そのＥＳＤ現象の原因が基準指紋のそれであることが分かる。
【０１９８】
いくつかの実施形態によれば、周波数領域における放電電流波形の「形状」をもとにＥＳＤ現象の原因を特徴付けることができる。周波数領域における放電電流の形状をもとにＥＳＤ現象の原因を「ヒトによる放電」（ＨＢＭ）、「機械による放電」（ＭＭ）、「装置による放電」（ＣＤＭ）、または他の何らかの既知放電モデルとして識別（または区別）することができる。
【０１９９】
「ＥＳＤモニターソリューション」のいくつかの態様を以下に要約する。
【０２００】
いくつかの実施形態によれば、以下の応用が可能である。
・半導体テストシステムにおける連続リアルタイムＥＳＤ現象検出、及び／または
・集中電力線路を使用するＥＳＤに敏感なあらゆる（もしくは少なくとも一部の）計器／システムにおける連続リアルタイムＥＳＤ検出。
【０２０１】
本発明のいくつかの実施形態は、設置に関して以下に記す１つ以上の効果または利点をもたらす。
・システム稼働を中断しない、
・テストヘッド（たとえばＶ９３０００テスタのテストヘッド）に追加のハードウェアを設置しない。
【０２０２】
本発明のいくつかの実施形態は、ＥＳＤ現象の検出に関して以下に記す１つ以上の効果または利点をもたらす。
・測定手法により費用効果と信頼性に優れるＥＳＤ現象検出、
・ＥＳＤ現象を検出し逃さない（ＥＳＤ現象の検出し逃しがあるとしても、その数は取るに足りない）、
・ＥＳＤ現象の大きさの定量化、
・ＥＳＤ現象の閾値レベルはプログラム可能。
【０２０３】
本発明のいくつかの実施形態は、ＥＳＤ現象の解析について以下に記す１つ以上の特性を判断できる。
・例えば静電気放電現象の最初のパルスの（または後続パルスの）立ち上がり時間（ｔ１０／ｔ９０）。立ち上がり時間の情報をもとに、ＥＳＤ現象の原因を「ヒトによる放電」（ＨＢＭ）、「機械による放電」（ＭＭ）、「装置による放電」（ＣＤＭ）、または他の何らかの既知放電モデルとして識別（または区別）できる、
・ＥＳＤ放電電流の振幅（例えばピーク電流Ｉｍａｘ）、
・ＥＳＤ放電電流の極性。静電気放電電流の極性をもとに、例えば静電気放電現象の種類や原因を判断できる、
・ＥＳＤ現象の持続時間。持続時間の情報をもとに、ＥＳＤ現象の原因を「ヒトによる放電」（ＨＢＭ）、「機械による放電」（ＭＭ）、「装置による放電」（ＣＤＭ）、または他の何らかの既知放電モデルとして識別（または区別）できる、
・ＥＳＤ現象の電荷、
・ＥＳＤ現象の電力、
・ＥＳＤ現象のエネルギー、
・時間領域におけるＥＳＤ放電電流、及び／または
・周波数領域におけるＥＳＤ放電電流。
【０２０４】
本発明のいくつかの実施形態によれば、ＥＳＤ現象に関する情報をシステム稼働（例えば装置テスタのシステム稼働）情報に相関させ、相関が所定の閾値を超過する場合には警告を得ることができる。
【０２０５】
いくつかの実施形態によれば「Ｖｅｒｉｇｙ  ｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎ  ｄａｓｈｂｏａｒｄ」（または他の何らかの同等のソフトウェア）を用いてシステム稼働との相関を取得または計算できる。
【０２０６】
相関を得るにあたっては、以下に記す１つ以上の情報を検討できる。
・一般情報：
・ＥＳＤ現象が発生した日付、及び／または
・ＥＳＤ現象が発生した時刻。
・テスタ固有情報：
・ＥＳＤ現象が発生したテストシステム、及び／または
・ＥＳＤ現象が発生した際のテスタの状態、及び／または
・静電気放電現象が発生した際のテストシステム構成。例えば静電気放電現象の際にシステムにあるハードウェアの識別情報を確認できる。ハードウェアの識別は、例えばハードウェアシリアル番号に基づく。
・稼働固有情報：
・システムを使用するオペレータに関する情報、
・被試験装置に関する情報、
・テストプログラムに関する情報、
・ロット及び／またはウェハに関する情報、
・収率とビニングに関する情報。
・テスタ及び製造工程状態との相関：
・製造工程データ（例えばＥＳＤ現象後の生産収率低下）に対するＥＳＤ現象の相関、及び／または
・システム状態（例えばＥＳＤ現象後のシステム故障）に対するＥＳＤ現象の相関。
【０２０７】
本発明のいくつかの実施形態は、例えば自動テスト装置（ＡＴＥ）業界において以下に記載の１つ以上の利点をもたらす：
・ＥＳＤ現象を検出／防止する費用効果的ソリューション、
・（顧客及び／または自動テスト装置供給元にとっての）費用節約、
・（自動テスト装置システム及び／または装置に関わる）損失の防止、
・自動テスト装置システムの稼働時間向上、
・品質保証−ＥＳＤ現象と被試験装置ロットとの相関、
・不良製品の出荷防止、
・異なるテストシステムに拡張可能、及び／または
・システム稼働の妨げとならない（「受動的」要素）。
【０２０８】
非ＥＳＤ現象からＥＳＤ現象を区別するアプローチを以下に説明する。上述した通り、本発明のいくつかの実施形態によれば、電流測定信号を用いて静電気放電現象を検出する。いくつかの実施形態によれば、例えば時間領域による、または周波数領域による、電流測定信号の解析により非静電気放電現象から静電気放電現象を区別する。ただし、いくつかの実施形態によれば、非静電気放電現象から静電気放電現象を区別するため静電場か静電電圧を追加で評価することもできる。換言すると、静電場や静電電圧を追加のパラメータとして監視できる。バックグランドに基づく静電場または静電電圧の評価から、静電気放電現象に先立ち静電場または静電電圧が増加することが分かっている。（静電）電圧がブレークダウン電圧に遭遇するとＥＳＤ現象が起こる。
【０２０９】
したがって、半導体テストシステムのテストセル内で静電場か、または静電電圧を監視することは次の事柄に役立つ。
・「起ころうとしているＥＳＤ現象」を予測し、それをユーザに「警告」する。例えば静電場または静電電圧が増加し、所定の閾値に達するか、または超過する場合は、警告を発することができる。
・テストセル内で静電気の発生源を検出する。１つの静電気発生源から１つのＥＳＤ現象が起こることもあれば、多数のＥＳＤ現象が起こることもある。さらに、静電気保護区域（ＥＰＡ）内の最大許容静電電位及び静電場強度は工業規格で定められている。また、多くの実施形態では１つ以上のテストシステムがＥＰＡに設置される。
・放電波形の捕捉と並行して静電場または静電電圧の（急速な）変化をＥＳＤ現象に照合する。
・テストセル内で静電場、静電電圧、または静電電位を監視するには、様々な種類の計器を使用できる。例えば静電電圧計、電界計、Ｅフィールドプローブ等を使用できる。当然ながら、必要であればそれらの計器のいくつかを組み合わせて使用することもできる。
【０２１０】
以上を要約すると、いくつかの実施形態によれば静電電位を監視する装置がＥＳＤモニター構成の一部をなす。
【０２１１】
いくつかの実施形態によれば、静電気放電の検出及び／または特徴付けにあたって更なるパラメータを使用できる。
・光放射場。
・磁気放射場
【０２１２】
詳細については非特許文献６を参照されたい。
【０２１３】
上記の論文においては、電流、磁場、光放射場等、静電気放電を特徴付けるパラメータについて検討している。ＥＳＤによって発生する光放射場と磁場を、時間領域における電流シグネチャと併せて測定している。初期発達中に光パルスの時間的変動が電流のそれに類似することは観察から明らかになっている。ピーク電流は約０．９の相関係数でピーク光放射とほぼ相関する。これらの結果から、光放射と磁場を用いることで直接的に測定することが困難な静電気放電の電流を遠隔的に感知できることが明らかである。
【０２１４】
以上を要約すると、放電電流に加えて静電電位、光放射場、磁気放射場を測定できる。静電気放電現象の認識、及び／または特徴付け、及び／または分類は、上記特性（ＥＳＤ電流の波形、及び／または静電場及び／または光放射場及び／または磁気放射場の大きさまたは時間的進化）のいずれかを用いて果たすことができる。
【０２１５】
ここで、ソリューションの概念を説明していることに留意されたい。しかし、かかるソリューションは、当然ながら当業者にとって周知の様々な方法で変形または改良することができる。
【０２１６】
図１７及び１８を参照しつつ本発明による方法の実施形態を以下に説明する。図１７は、監視対象装置において静電気放電現象を検出する方法のフローチャートである。図１７に示す方法は、その全体を１７００で示す。方法１７００は、電流かその電流成分を表す電流測定信号を得るため、電力供給接続に流れる電流かその電流成分を測定すること１７１０を備える。方法１７００はさらに、電流測定信号のパルスに応じて静電気放電現象を検出すること１７２０を備える。
【０２１７】
図１８は、本発明の一実施形態に係る静電気放電を検出する更に別の方法のフローチャートを示す。図１８に示す方法は、その全体を１８００で表す。方法１８００は、電流を表す電流測定信号を得るため、監視対象装置を保護接地に接続する保護接地接続に流れる電流を測定すること１８１０を備える。方法１８００はさらに、電流測定信号に基づき静電気放電現象を検出すること１８２０を備える。
【０２１８】
図１７及び１８を参照しつつ説明した方法１７００、１８００は、本発明の他の実施形態との関係でここに開示するステップまたは特徴で補うことができることに留意されたい。加えて、本発明の一部の実施形態はコンピュータプログラムを使って実装できる。
【０２１９】
本発明の方法は、実装要求に応じてハードウェアかソフトウェアで実施できる。かかる実装は、プログラム可能コンピュータシステムと協働しつつ本発明の方法を実行する電子的に読み取りが可能な制御信号を蓄積するデジタル蓄積媒体を使って、例えばフロッピーディスク、ＤＶＤ、ＣＤ、ＲＯＭ、ＰＲＯＭ、ＥＰＲＯＭ、ＥＥＰＲＯＭ、またはフラッシュメモリを使って、達成することができる。このため本発明は、通常であれば機械可読担体にプログラムコードを蓄積するコンピュータプログラム製品であって、コンピュータでコンピュータプログラム製品が実行するとプログラムコードが本発明の方法を実行する。換言すると、本発明の方法は、コンピュータで実行された時に本発明の方法を実行するプログラムコードを有するコンピュータプログラムである。
【０２２０】
単巻変圧器
図１９を参照しつつ本発明のさらに別の実施形態を以下に説明する。図１９は、本発明の一実施形態に係るテストシステムの概略図である。図１９に示すテストシステムは、その全体を１９００で表す。テストシステム１９００は図３ａに示すテストシステムに類似するため、同じ手段及び信号については同じ参照番号で示す。
【０２２１】
ただしテストシステム１９００で、電力変換器３１２に電気エネルギーを供給する本線電力接続３１４は本線電力網に直結しない。本線電力網１９２０と電力変換器３１２の本線電力接続３１４との間には本線電力結合装置１９１０が接続されている。
【０２２２】
本線電力結合装置１９１０は、例えば本線電力網１９２０から提供される電圧レベルを電力変換器３１２の作動に使える電圧レベルに変換することに適する。上記の代わりに、または上記に加えて、本線電力結合装置１９１０は本線電力網１９２０から電力変換器３１２へ提供される電圧または電流をフィルタすることに、及び／または安定させることに適する。例えばローパスフィルタ特性を備える本線電力結合装置により、本線電力網１９２０に存在する高周波歪を本線電力接続３１４にて低減または解消する。一実施形態においては、本線電力網１９２０に存在するインパルス歪を本線電力接続３１４で低減または抑制するよう本線電力結合装置１９１０を構成する。
【０２２３】
一実施形態において、本線電力結合装置は例えば単相または多相（例えば３相）本線供給電圧を異なる電圧レベルに変換するように構成された変圧器または単巻変圧器を備える。例示的単巻変圧器の詳細は後述する。
【０２２４】
さらに別の実施形態において、本線電力結合装置は本線電力フィルタを備える。この本線電力フィルタは、例えば本線電力網１９２０の相と本線電力接続３１４の相との間に接続されたローパスフィルタを備える。当然ながら、いくつかの実施形態によれば本線電力網１９２０の全ての相につき、あるいは本線電力接続３１４の全ての相につき、フィルタが存在することもある。
【０２２５】
さらに別の実施形態において、本線電力結合装置１９１０は能動的または受動的本線電力安定器を備える。（モーターと発電器とを備える）電気機械式本線電力安定器から（能動電子回路等を備える）電子式本線電力安定器まで、様々な種類の本線電力安定器が当技術分野において知られている。
【０２２６】
システム１９００は、いくつかの実施形態によれば本線電力接続３１４に流れる電流または電流成分を測定して、本線電力接続３１４に流れる電流または電流成分を表す電流測定信号３６２を提供するように構成された電流測定装置を備える。
【０２２７】
電流測定装置３６０は、いくつかの実施形態によればケーブルまたはケーブルツリーの周囲、または本線電力接続３１４の複数の導体を備える１束の導線の周囲に配置された電流クランプを備える。
【０２２８】
上述した通り、電流測定信号３６２を評価することで静電気放電現象を検出する。
【０２２９】
ここで、電流測定装置３６０に様々な構成があることに留意されたい。例えば電流測定装置３６０は、１つ以上の相導体と、１つ以上の中性導体と、１つ以上の保護接地導体とを含む全本線電力接続３１４で電流を測定するように構成される。
【０２３０】
いくつかの他の実施形態によれば、本線電力接続３１４の一部の導体に流れる電流のみを測定するよう電流測定装置３６０を構成する。図２ａ乃至２ｅにはあらゆる可能な構成が示してある。
【０２３１】
ここで、本線電力結合装置１９１０が存在することで、本線電力網１９２０に接続された他の装置から発生する歪が本線電力接続３１４で抑えられることに留意されたい。例えば、本線電力網１９２０に接続された伝導性または容量性負荷によって本線電力網１９２０に歪が生じる。特に、本線電力網１９２０に接続された他の装置のスイッチングによって本線電力網に歪が生じることもある。本線電力結合装置１９１０がなければ、本線電力網の歪は、例えば電流測定装置３６０によって提供される電流測定信号３６２に大きく影響する。本線電力結合装置１９１０が存在することで、本線電力網１９２０から発生する歪が抑えられる。いくつかの実施形態によれば、ローパスフィルタ特性を備える本線電力結合装置１９１０によってインパルス歪を低減または抑止する。いくつかの実施形態によれば、本線電力結合装置１９１０が本線電力網１９２０と本線電力接続３１４との間にガルバニック分離を提供することで、本線電力網１９２０での電圧ピークは本線電力接続３１４から（少なくともある程度は）分離される。ここでも電流測定信号３６２の歪の減少が検出される。
【０２３２】
その結果、信頼性に優れる静電気放電現象検出に電流測定信号３６２を役立てることができる。
【０２３３】
本線電力結合装置１９１０の一例として、単巻変圧器を以下に説明する。図２０は、本発明の一実施形態に係る単巻変圧器のブロック概略図である。図２０に示す単巻変圧器は、その全体を２０００で表す。単巻変圧器２０００は単巻変圧器入力２０１０を備える。単巻変圧器入力２０１０は、例えば本線電力網に結合する。例えば単巻変圧器入力２０１０は、単相または多相（すなわち３相）接続を備える。３相は、例えばＬ１、Ｌ２、及びＬ３で示す。単巻変圧器入力２０１０はさらに、例えばＰＥで示す保護接地入力を備える。単巻変圧器２０００はさらに、例えば単相または多相（例えば３相）接続を備える単巻変圧器出力２０２０を備える。例えば相はＬ１、Ｌ２、及びＬ３で示すことができる。単巻変圧器出力２０２０はさらに、例えば中性導体出力接続（例えばＮで示す）と保護接地接続（例えばＰＥで示す）とを備える。
【０２３４】
一実施形態においては、変圧器または単巻変圧器が、例えば単巻変圧器２０３０が、単巻変圧器入力２０１０と外部変圧器出力２０２０との間に接続されることで、単巻変圧器出力２０２０の１つ以上の相導体における電圧振幅は、単巻変圧器入力２０１０の１つ以上の導体における電圧の電圧振幅と異なる。
【０２３５】
例えば変圧器または単巻変圧器２０３０は、２００ボルト、２０８ボルト、４４０ボルト、または４８０ボルトの入力電圧を４００ボルトの出力電圧に変換するように構成される。ただし、上記以外の変圧比も当然ながら可能である。
【０２３６】
いくつかの実施形態によれば、単巻変圧器が変圧器鉄心上に配置された１つ以上の変圧器巻線を備えることに留意されたい。この場合は１つ以上の変圧器巻線が、少なくともある程度は本線電力フィルタとして機能し、本線入力２０１０からの歪は少なくとも本線出力２０２０にて減衰する。いくつかの他の実施形態によれば、単巻変圧器入力２０１０と単巻変圧器出力２０２０との間でガルバニック分離を提供するよう変圧器２０３０を構成する。この場合、いくつかの実施形態によればさらに良好な本線歪減衰を得ることができる。
【０２３７】
ここで単巻変圧器入力２０１０が、例えば図１９に示す本線電力網１９２０に結合することに留意されたい。また、単巻変圧器出力２０２０は、例えば図１９に示す本線電力接続３１４に結合する。
【０２３８】
当然ながら、単相単巻変圧器として単巻変圧器を実装することもできる。
【０２３９】
当然ながら、単巻変圧器が他の実施形態と組み合わせて使用されることもあることに留意されたい。例えば、単巻変圧器は図１ａ、１ｂ、２ａ、２ｂ、３ａ、３ｂ、４ａ、４ｂ、５、８、９、及び１０に示す構成と組み合わせることができる。
【０２４０】
単巻変圧器（または変圧器、または種類の異なる本線電力フィルタ、または本線電力安定器）を備える一実施形態は次の通りに説明できる。
【０２４１】
テストシステムは外部変圧器によって給電される。この構成では、本線電力接続（または本線電力網）とテストシステムとの間に（例えば本線電力網とサプライラックとの間、または本線電力網とテストヘッドとの間に）変圧器がある。いくつかの実施形態によれば、単巻変圧器（または別の変圧器、または本線電力フィルタ、または本線電力安定器）とサプライラックとの間に、あるいはサプライラックとテストヘッドとの間に、プローブ（例えば電流プローブまたは電流クランプ）を配置する。単巻変圧器を使用する構成は、例えば「Ｖ９３０００単巻変圧器」として知られている。
【０２４２】
上記の記載を鑑み、電流プローブまたは電流測定装置は様々な配置が可能であり、それぞれ長所と短所とがある。
【０２４３】
サプライラックに対する電流測定装置または電流プローブの配置に関し、いくつかの実施形態によれば、サプライラック３１０内の電力変換器３１２が本線電力接続３１４からのガルバニック絶縁を構成すると言える。例えば、（例えば図２ａ乃至２ｅに示す）電力変換器３１２より手前の電力供給接続沿いに（例えば本線電力接続３１４沿いに）配置された電流プローブまたは電流測定装置は、例えば電力線路から、または本線電力網から、雑音を拾う。このためプローブは非ＥＳＤ現象に由来する信号を拾う。しかも、この場合のプローブ（または電流測定装置）は電力線路上の（または本線電力網上の）「スイッチング操作」を拾う。このためプローブは非ＥＳＤ現象に由来する信号を拾う。ここで、本線における（または本線電力網における）大きなインダクタンス（例えば変圧器、継電器、モーター等）の接続または切断によって「スイッチング操作」が起こることに留意されたい（非特許文献２の５８ページを参照されたい）。これらの操作によって例えば電圧ピークが生じ、電流プローブ（または電流測定装置）によって検出される。
【０２４４】
（例えば図３ａ及び３ｂに示す）「電力変換器」３１２よりも後ろの電力供給接続沿いに（例えばサプライラック３１０とテストヘッド３２０との間に）配置されたプローブは、（非ＥＳＤ現象による）雑音を電力線路から拾わない（もしくは、少なくとも電力線路から拾う雑音は減る）。つまりプローブは、非ＥＳＤ現象に由来する信号を一切拾わないか、さほど拾わない。このプローブはまた、電力線路または本線電力網上で（非ＥＳＤ現象による）「スイッチング操作」を拾わない（もしくは電力線路上で、少なくともさほど盛んには「スイッチング操作」を拾わない）。つまりプローブは、例えば非ＥＳＤ現象に由来する信号をさほど拾わない。
【０２４５】
要約すると、プローブを電力供給接続３３０沿いに（例えば電力変換器３１２のテストヘッド側に）配置すれば本線電力網から発生する歪は抑えられ、本線電力網における非ＥＳＤ歪の影響は抑えられる。
【０２４６】
コンパクトテストヘッド
図２１、２２ａ、及び２２ｂを参照しつつ、所謂「コンパクトテストヘッド」を備えるシステム構成を以下に説明する。所謂「コンパクトテストヘッド」とは、電力変換器が一体化されたテストシステムのテストヘッドであることに留意されたい。換言すると、コンパクトテストヘッドを備えるテストシステムは、図３ａ、３ｂ、８、９、及び１０を参照しつつ説明したテストシステムに類似する。ただし、サプライラックの機能の少なくとも一部（例えば電力変換器３１２、または構成要素１０１２、１０１４、１０１６の一部または全部）はテストヘッドに組み込まれる。このため、コンパクトテストヘッドを使用するテストシステムによっては、サプライラック３１０、１０１０が不要となる。ただし、後述する通り、説明する概念はコンパクトテストヘッドを備えるテストシステムにも応用できる。
【０２４７】
図２１はコンパクトテストヘッドの電源サブシステムのブロック概略図である。図２１に示すコンパクトテストヘッドは、その全体を２１００で表す。コンパクトテストヘッド２１００は、本線電力を受け取るため本線電力接続２１２０に結合された一次電源ボックスまたはＡＣ配電ボックス２１１０を備える。本線電力は、例えばＡＣ２０８ボルト乃至４００ボルトの範囲内で、例えば単相または多相（例えば３相）交流電圧を備える。当然ながら、上記以外の電圧が使用されることもある。一次電源ボックスまたはＡＣ配電ボックスは、例えばＡＣ２００ボルト乃至２４０ボルト範囲の交流電圧を電源バックプレーン２１３０へ提供するように構成される。当然ながら、いくつかの実施形態によれば、上記以外の電圧レベルが使用されることもある。
【０２４８】
コンパクトテストヘッド２１００はさらに１つ以上のＡＣ／ＤＣ電源ユニット２１４０を備える。このＡＣ／ＤＣ電源ユニットは、例えば一次電源ボックスまたはＡＣ配電ボックス２１１０から提供される供給電圧２１１２を電源バックプレーン２１３０を介して受け付けるように構成される。１つ以上のＡＣ／ＤＣ電源ユニット２１４０は、例えば一次電源ボックスまたはＡＣ配電ボックス２１１０から得たＡＣ電圧２１１２に基づきＤＣ電圧を生成するように構成される。１つ以上のＡＣ／ＤＣ電源ユニット２１４０は本発明の一実施形態において、例えば約ＤＣ３５５ボルトの１つ以上のＤＣ電圧を提供するように構成される。ＡＣ／ＤＣ電源ユニット２１４０によって提供される１つ以上のＡＣ電圧２１４２は、例えば１つ以上のＤＣ／ＤＣ電源ユニット２１５０へ提供されるように構成され、１つ以上のＤＣ／ＤＣ電源ユニット２１５０は、ＤＣ電圧２１４２に基づき１つ以上のＤＣ電圧２１５２を生成するように構成される。換言すると、ＤＣ／ＤＣ電源ユニット２１５０は１つ以上のＤＣ電圧２１５２を生成するように構成され、１つ以上のＤＣ電圧２１５２は１つ以上のカードスロットへ提供され、１つ以上のカードスロットへ提供される１つ以上のＤＣ電圧２１５２の電圧レベルは、ＡＣ／ＤＣ電源ユニットから提供されるＤＣ電圧と異なる。
【０２４９】
さらに、コンパクトテストヘッド２１００は所謂ラックインターフェイスボード２１６０と所謂電力制御ボード２１７０とを備える。ラックインターフェイスボード２１６０は、例えばＡＣ／ＤＣ電源ユニット２１４０を監視して、電力制御ボード２１７０と通信するように構成される。さらにラックインターフェイスボード２１６０は、例えばＡＣ／ＤＣ電源ユニット２１４０、及び／またはＤＣ／ＤＣ電源ユニット２１５０をオンに切り替えるため、またはオフに切り替えるため、オン／オフユニット２１８０に接続する。電力制御ボード２１７０は、例えば温度情報、及び／または電圧情報を得るためＤＣ／ＤＣ電源ユニット２１５０に結合する。さらに電力制御ボード２１７０は、例えば図２１にしめすようにＤＣ／ＤＣ電源ユニット２１５０から提供されるＤＣ出力電圧をトリムするように構成される。加えて、更なる電圧監視を用いることもある。例えば１つ以上の圧力センサ、及び／または１つ以上の温度センサを使用し、コンパクトテストヘッド２１００の状態をさらに監視する。
【０２５０】
ここで説明する電源サブシステムの要素または電源サブシステムの主要構成要素２１１０、２１３０、２１４０、２１５０、２１６０、２１７０に加えて、コンパクトテストヘッドがここで説明するテスト回路を備えることもあることに留意されたい。例えばコンパクトテストヘッドは、図４ａ及び４ｂに示すテスト回路４１０を備える。加えてコンパクトテストヘッドは、図１０を参照しつつ説明した１つ以上の（または全ての）構成要素を備える。例えばテストヘッドは、１つ以上の被試験装置のため刺激信号を生成するように構成された、及び／または１つ以上の被試験装置から応答信号を受信するように構成された、１つ以上のピンモジュールを備える。
【０２５１】
ここで図２２ａ及び２２ｂを参照し、コンパクトテストヘッドの一次配電について詳細を説明する。
【０２５２】
図２２ａは、２００ボルト／１１５ボルトのデルタ接続で構成された配電ユニット２２００のブロック概略図である。図２２ａに示す配電ユニットは、その全体を２２００で表す。
【０２５３】
配電ユニット２２００は、例えば図２１に示す一次電源ボックスまたはＡＣ配電ボックス２１１０の機能を引き継ぐ。配電ユニット２２００は、例えば本線電力接続２２２０を介して本線電力網に接続する。例えば本線電力接続２２２０は、例えばＬ１、Ｌ２、Ｌ３で示す３つの相と、例えばＰＥで示す保護接地導体とを備える。例えば本線電力接続２２２０は、本線電力接続２１２０と同じであってよい。本線電力接続２２２０はまた、例えば図２ａ乃至２ｂに示す電力供給接続１２０、図３ａ、３ｂ、４ａ、及び４ｂに示す電力供給接続３３０と同じであってもよい。
【０２５４】
図２２ａに示すように、配電ユニット２２００は、例えばスイッチ２２３０と、接触器２２４０と、更なるスイッチ２２５０ａ、２２５０ｂ、及び２２５０ｃとを備える。図２２ａから分かるように、１つ以上のスイッチ２２３０、２２５０ａ、２２５０ｂ、２２５０ｃはヒューズ機能を備える。１つ以上のＡＣ／ＤＣ変換器２２６０ａ、２２６０ｂは配電ユニット２２００に接続できる。ＡＣ／ＤＣ変換器２２６０ａ、２２６０ｂは、例えば図２１に示すＡＣ／ＤＣ電源ユニット２２４０と同じであってもよい。
【０２５５】
配電ユニットは一実施形態において電流測定装置２２７０を備え、これは例えば本線電力接続２２２０の保護接地接続に流れる電流を測定して、電流を表す電流測定信号２２７０を生成するように構成される。電流測定装置２２７０は、例えば配電ユニットの中に配置され、あるいは例えばコンパクトテストヘッドの中に、例えばコンパクトテストヘッド２１００の外装と配電ユニット（または一次電源ボックスまたはＡＣ配電ボックス）との間に配置される。更なる実施形態においては、コンパクトテストヘッド２１００の外装の外部に電流測定装置２２７０を配置することもある。
【０２５６】
電流測定信号２２７２は、例えばここで説明するように静電気放電現象を認識するために使用する。
【０２５７】
上記以外の構成も使用できることに留意されたい。いくつかの実施形態によれば、例えば図２ａ乃至２ｅを参照して説明したように本線電力接続２２２０の１つ以上の相導体Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３に流れる電流を電流測定信号の生成にあたって考慮する。
【０２５８】
図２２ｂを参照すると、異なる配電構成が示してある。図２２ｂは４００ボルト／２３０ボルト用接続を示す図である。配線は若干変更されているが、上記の説明は引き続き当てはまる。ただし、図２２ｂに示す構成で本線電力接続２２２０の中性導体が使用されていることに留意されたい。したがって、電流測定信号２２７２の提供にあたっては中性導体を考慮することもあれば考慮しないこともある。
【０２５９】
以下において「コンパクトテストヘッド」を簡略に要約するが、これは「サプライラック」がない追加構成と考えることができる。いくつかの実施形態によれば、サプライラックのハードウェアの一部または全部（例えば電力変換器、配電、その他）がテストヘッドに組み込まれる。いくつかの実施形態によれば、車輪付きカートにテストヘッドを設置する。いくつかの実施形態によれば、本線電力ケーブルまたは保護接地ケーブルに沿って（あるいは本線電力ケーブルまたは保護接地ケーブルの周囲に）プローブ（すなわち、電流クランプ等の電流測定装置）を配置する。ここで説明した構成は、例えば「Ｖ９３０００コンパクトＴＨ」と称する。
【０２６０】
ＥＳＤ現象の非ＥＳＤ現象の区別
非ＥＳＤ現象を排除するためのオプションを以下に要約する。
・プローブ帯域幅の選択：いくつかの実施形態によれば、電力線路から雑音「雑音」を排除するにあたって十分に高いプローブ下限周波数を選択するのが望ましい。換言すると、本線電力網上の雑音の殆どは低周波数範囲内にある。そこで、１０ｋＨｚ（あるいは例えば１ｋＨｚ乃至１００ｋＨｚ）範囲の下限周波数を持つプローブを選んで電力線路からの雑音排除に役立てることができる。
・放電波形の解析：少なくとも可能性としての静電気放電現象に相当する捕捉放電波形で、パルスの長さ、パルスの振幅、パルスの立ち上がり時間、パルスの数（非特許文献２の４５ページを参照されたい）、時間領域におけるパルス形状、及び／または周波数領域におけるパルス形状（非特許文献３を参照されたい）を評価することで、非ＥＳＤ現象からＥＳＤ現象を区別し、非ＥＳＤ現象を排除する。
・電流プローブの配置：本線電力接続（または本線電力網）からガルバニック分離を有する電力供給接続沿いに電流プローブ（または電流測定装置）を配置すれば、（例えば本線電力網上に存在する）雑音及び／または「スイッチング操作」を（例えばガルバニック分離により）排除できる。その結果、電流プローブから提供される測定信号に対する「スイッチング操作」の影響は抑えることができる。そして、電流プローブから提供される電流測定信号によって信頼性の高いＥＳＤ現象識別が可能となる。
・テストセルの光学的監視（非特許文献２の４４ページを参照されたい）：（例えばカメラによる）テストセルの光学的監視により、放電波形または放電電流波形（例えば電流プローブまたは電流測定装置から提供される放電波形）をテストセル内の活動に相関させることができる。これは、静電気放電の原因のみならず非静電気放電現象を識別するのにも役立つ。例えばオペレータ、ハンドラ、プローバ、ＤＵＴボード等を静電気放電現象の原因として識別できる。
・時間領域及び／または周波数領域における放電波形のパターン認識（非特許文献２の６１ページｆｆを参照されたい）：データ（例えば放電波形を表すデータ）の分類と解析は、例えば所謂「ファジー論理」（非特許文献２の６２ページｆｆを参照されたい）により、及び／または「神経回路網」（非特許文献２の６３ページｆｆを参照されたい）により、実行できる。
・「結合回路網」を使った「スイッチング操作」検出（非特許文献２の５７ページｆｆを参照されたい）：結合回路網の使用は、静電気放電によって大抵は所謂「コモンモード干渉」が生じるという考えに基づいている（非特許文献２の４６ページを参照されたい）。対照的に、スイッチング操作の場合は、大抵は相線路と中性線路との間で「アンチコモンモード干渉」が生じる（非特許文献２の４６ページを参照されたい）。
【０２６１】
いくつかの実施形態によれば結合回路網を区別に役立てることができる。換言すると、いくつかの実施形態によれば、電流クランプの代替としてレジスタ−キャパシタ回路を使用して１つ以上の測定信号を提供できる。いくつかの実施形態によれば、「コモンモード干渉」には敏感で「アンチコモンモード干渉」には鈍感な信号（例えば電流測定信号）を提供するようレジスタ−キャパシタ回路を設計できる。この出力信号はＥＳＤ現象に相当する。
【０２６２】
別の実施形態では「アンチコモンモード干渉」に敏感なレジスタ−キャパシタ回路を設計できる。（例えば電流測定信号の形をとる）この出力信号を使って非ＥＳＤ現象を識別する。
【０２６３】
要約すると、結合回路網を区別に役立てることができる。
【０２６４】
以上を要約するが、ここで説明する概念を様々な構成で使用できることに留意されたい。
【０２６５】
例えば、ここで説明する概念を所謂「コンパクトテストヘッド」構成と結び付けて使用することもできる。この場合は「サプライラック」のハードウェア（例えば電力変換器、配電等）をテストヘッド（ＴＨ）に組み込むことができる。テストヘッドは、例えば車輪付きカートに設置する。この構成は「Ｖ９３０００コンパクトテストヘッド」として知られている。
【０２６６】
かかる構成では、例えば本線電力ケーブル沿いに電流プローブまたは電流測定装置を設置する。
【０２６７】
本発明のいくつかの実施形態は単巻変圧器と組み合わせて使用できる。かかる実施形態では外部変圧器によってテストヘッドを給電できる。この構成では、本線電力接続（または本線電力網）とテストシステム（例えば「サプライラック」）との間に変圧器がある。かかる構成は「Ｖ９３０００単巻変圧器」として知られている。かかる構成では、単巻変圧器とサプライラックとの間に、またはサプライラックとテストヘッドとの間に、電流プローブ（または電流測定装置）を配置できる。
【０２６８】
いくつかの実施形態によればオシロスコープ、すなわちスコープの代替を使用できる。例えば、過渡現象記録装置を使って放電電流波形を捕捉する。この代わりに（またはこれに加えて）、ＡＤＣ変換器を使って放電電流波形を捕捉することもできる。
【０２６９】
いくつかの実施形態によれば、波形の解析で「時間領域情報」を「周波数領域情報」に変換する。いくつかの実施形態によれば、高速フーリエ変換（ＦＦＴ）の代わりに離散フーリエ変換（ＤＦＴ）を使用する。
【０２７０】
いくつかの実施形態によれば、静電気放電の原因特定に下記を盛り込む。
・Ｖｅｒｉｇｙ  ｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎ  ｄａｓｈｂｏａｒｄ（ＶＰＤ）はＥＳＤ現象と工程／製造データとの相関を可能にする。
・ＥＳＤ現象の原因（例えばオペレータ、またはＤＵＴボード、ハンドラ、プローバ等の外部機器）を特定するには、テストシステム／テストセルの光学的監視が有益である。例えば「サプライラック」にデジタルカメラを配置し、放電電流波形が捕捉された時点でテストセルの写真を撮影する。その放電が静電気放電として分類されるとすれば、撮影した写真をもとに静電気放電の原因を高い確実性で特定することができる。
【符号の説明】
【０２７１】
１００  静電気放電現象検出システム（システム）
１１０  監視対象装置
１２０  電力供給接続
１３０  電源
１４０  電流測定装置
１４２  電流測定信号
１５０  検出器
１６０  静電気放電現象（ＥＳＤ現象）
【図１Ａ】
2010518412.tif 000020
【図１Ｂ】
2010518412.tif 000021
【図２Ａ】
2010518412.tif 000022
【図２Ｂ】
2010518412.tif 000023
【図２Ｃ】
2010518412.tif 000024
【図２Ｄ】
2010518412.tif 000025
【図２Ｅ】
2010518412.tif 000026
【図３Ａ】
2010518412.tif 000027
【図３Ｂ】
2010518412.tif 000028
【図４Ａ】
2010518412.tif 000029
【図４Ｂ】
2010518412.tif 000030
【図５】
2010518412.tif 000031
【図６Ａ】
2010518412.tif 000032
【図６Ｂ】
2010518412.tif 000033
【図７】
2010518412.tif 000034
【図８】
2010518412.tif 000035
【図９】
2010518412.tif 000036
【図１０】
2010518412.tif 000037
【図１１】
2010518412.tif 000038
【図１２】
2010518412.tif 000039
【図１３】
2010518412.tif 000040
【図１４】
2010518412.tif 000041
【図１５】
2010518412.tif 000042
【図１６】
2010518412.tif 000043
【図１７】
2010518412.tif 000044
【図１８】
2010518412.tif 000045
【図１９】
2010518412.tif 000046
【図２０】
2010518412.tif 000047
【図２１】
2010518412.tif 000048
【図２２Ａ】
2010518412.tif 000049
【図２２Ｂ】
2010518412.tif 000050
【手続補正書】
【提出日】平成21年6月23日(2009.6.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
監視対象装置（１１０）において静電気放電現象を検出するシステムであって、前記システムは、
電力供給接続（１２０）を介して電源（１３０）に接続される監視対象装置（１１０）と、
前記電力供給接続を介して流れる電流、またはその電流成分を、前記電流または前記電流成分を表す電流測定信号（１４２）を得るために測定するように構成される電流測定装置（１４０）と、
前記電流測定信号（１４２）のパルスに応じて静電気放電現象を検出するように構成された静電気放電現象検出器（１５０）と、を備え、
前記電力供給接続（１２０）は、前記装置（１１０）に直流電流の形で電気エネルギーを提供するように構成された少なくとも２つの直流導体（２２０、２２２）を備え、
前記測定装置（１４０）は、前記測定信号（１４２）を得るため前記少なくとも２つの直流導体で電流の符号付き和を測定するように構成されること、
を特徴とするシステム。
【請求項２】
監視対象装置（１１０）において静電気放電現象を検出するシステムであって、前記システムは、
電力供給接続（１２０）を介して電源（１３０）に接続される監視対象装置（１１０）と、
前記電力供給接続を介して流れる電流、またはその電流成分を、前記電流または前記電流成分を表す電流測定信号（１４２）を得るために測定するように構成される電流測定装置（１４０）と、
前記電流測定信号（１４２）のパルスに応じて静電気放電現象を検出するように構成された静電気放電現象検出器（１５０）と、を備え、
前記電力供給接続（１２０）は、相導体（２２０）と中性導体（２２２）とを有する単相交流本線電力接続を備え、前記単相交流本線電力接続は、前記監視対象装置（１１０）に交流電流の形で電気エネルギーを提供するように構成され、
前記電流測定装置（１４０）は、前記電流測定信号を得るため前記相導体と前記中性導体とで電流の符号付き和を測定するように構成されること、
を特徴とするシステム。
【請求項３】
監視対象装置（１１０）において静電気放電現象を検出するシステムであって、前記システムは、
電力供給接続（１２０）を介して電源（１３０）に接続される監視対象装置（１１０）と、
前記電力供給接続を介して流れる電流、またはその電流成分を、前記電流または前記電流成分を表す電流測定信号（１４２）を得るために測定するように構成される電流測定装置（１４０）と、
前記電流測定信号（１４２）のパルスに応じて静電気放電現象を検出するように構成された静電気放電現象検出器（１５０）と、を備え、
前記電力供給接続（１２０）は、複数の相導体（２７２、２７４、２７６）と少なくとも１つの中性導体（２７８）とを有する多相交流本線電力接続を備え、
前記多相交流本線電力接続は、前記監視対象装置（１１０）に交流電流の形で電気エネルギーを提供するように構成され、
前記電流測定装置（１４０）は、前記電流測定信号（１４２）を得るため、前記複数の相導体と前記中性導体とで電流の符号付き和を測定するように構成されること、
を特徴とするシステム。
【請求項４】
監視対象装置（１１０）において静電気放電現象を検出するシステムであって、前記システムは、
電力供給接続（１２０）を介して電源（１３０）に接続される監視対象装置（１１０）と、
前記電力供給接続を介して流れる電流、またはその電流成分を、前記電流または前記電流成分を表す電流測定信号（１４２）を得るために測定するように構成される電流測定装置（１４０）と、
前記電流測定信号（１４２）のパルスに応じて静電気放電現象を検出するように構成された静電気放電現象検出器（１５０）と、を備え、
前記電力供給接続（１２０）は、前記監視対象装置（１１０）に電気エネルギーを提供するように構成された複数の電力供給導体（２２０、２２２；２７２、２７４、２７６）と、前記監視対象装置（１１０）を保護接地と接続するように構成される少なくとも１つの保護接地導体（２２４；２８０）とを備え、
前記電流測定装置（１４０）は、前記複数の電力供給導体と前記保護接地導体とで電流の符号付き和を測定するように構成されること、
を特徴とするシステム。
【請求項５】
前記電力供給導体は、少なくとも１つの相導体（２２０；２７２、２７４、２７６）と少なくとも１つの中性導体（２２２；２７８）とを備える、ことを特徴とする請求項４に記載のシステム。
【請求項６】
前記電流測定装置（１４０）は、前記電流または電流成分によって発生する磁場を検出し、前記磁場に基づき前記電流測定信号（１４２）を得るように構成されること、を特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載のシステム。
【請求項７】
前記電流測定装置（１４０）は、前記電力供給接続（１２０）の１つ以上の導体の周囲に配置された電流クランプを備えること、を特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載のシステム。
【請求項８】
前記監視対象装置は、保護接地接続（１８０；３８０）を介して保護接地と更に接続され、
前記電流測定装置（１４０’；３９０）は、前記接地接続を介して流れる電流を測定するように構成されること、
を特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載のシステム。
【請求項９】
前記電流測定装置（１４０；１４０’；３６０、３９０）は、前記電流または電流成分を表す前記電流測定信号、またはそこから導出される信号をサンプルするように構成されるサンプリング装置に結合され、
前記サンプリング装置は、ネットワーク接続を介して制御コンピュータと接続されること、
を特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載のシステム。
【請求項１０】
前記サンプリング装置は、所定のトリガー閾値に達するか、または超過する前記入力信号に応じてトリガーイベントを生成するように構成され、
前記トリガーイベントに応じて前記制御コンピュータへサービス要求メッセージを送信するように構成され、
前記トリガーイベントに応じて前記入力信号の波形の少なくとも一部分を捕捉するように構成されること、
を特徴とする請求項９に記載のシステム。
【請求項１１】
前記制御コンピュータは、前記サンプリング装置から前記波形の前記捕捉部分を取得し、前記波形の前記捕捉部分をデータベースに保存するように構成される、ことを特徴とする請求項１０に記載のシステム。
【請求項１２】
前記静電気放電現象検出器から前記静電気放電現象に関する情報を受信し、前記静電気放電現象の前後または最中の前記ＥＳＤ現象に関する、及び／またはテストの状態に関する情報を記録するように構成されるコンピュータを備えること、
を特徴とする請求項１から１１のいずれか一項に記載のシステム。
【請求項１３】
前記コンピュータは、
静電気放電現象の日付、
静電気放電現象の時刻、
複数の監視対象装置（１１０；３２０）の内、いずれの装置に静電気放電現象が発生したかを伝える情報、
静電気放電現象が発生した前記テストシステムの、前記静電気放電現象の前後または最中の状態を表す情報、
前記静電気放電現象の際に前記監視対象装置（１１０；３２０）に結合されていた被試験装置に関する情報、
前記静電気放電現象の際に前記テストシステムによって実行されたテストプログラムに関する情報、
前記静電気放電現象の際に前記監視対象装置の近傍に配置されていた被試験装置のロットに関する情報、
前記静電気放電現象の際に前記監視対象装置（１１０；３２０）の近傍に配置されていたウェハに関する情報、
前記静電気放電現象の最中、または前記静電気放電現象前の所定の期間内に、または前記静電気放電現象後の所定の期間内に、テストされた被試験装置のビニングに関する情報、または
前記静電気放電現象前の、または前記静電気放電現象後の収率に関する情報を記録するように構成されること、
を特徴とする請求項１２に記載のシステム。
【請求項１４】
前記静電気放電現象検出器（１５０）は、時間の経過に従って電流測定信号（１４２）によって表される放電電流を集積することによって静電気放電現象の電荷を判定するように構成されること、または、
時間の経過に従って前記静電気放電現象によって伝達される前記電力を集積することにより、前記実際の、または可能性としての静電気放電現象のエネルギーを判定するように構成されること、
を特徴とする請求項１から１３のいずれか一項に記載のシステム。
【請求項１５】
前記静電気放電現象検出器（１５０）は、前記電流測定信号（１４２）の波形を解析することによって非静電気放電現象から静電気放電現象を区別するように構成されること、
を特徴とする請求項１から１４のいずれか一項に記載のシステム。
【請求項１６】
前記静電気放電現象検出器（１５０）は、可能性としての静電気放電現象に対応する前記電流測定信号（１４２）の時間領域表現を時間領域基準と比較し、前記可能性としての静電気放電現象に対応する前記電流測定信号の前記時間領域表現と前記時間領域基準との差異が所定の閾値を下回る場合に、前記可能性としての静電気放電現象を実際の静電気放電現象として認識するように構成されること、
を特徴とする請求項１５に記載のシステム。
【請求項１７】
サプライラック（３１０）を備え、
前記監視対象装置（１１０）は、前記テストラック（３１０）の外部に配置され、前記電力供給接続（３３０；１２０）を介して前記サプライラック（３１０）に接続されるテストヘッド（３２０）を備え、
前記サプライラック（３１０）は、前記電力供給接続を介して前記ヘッドテスト（３２０）にエネルギー供給信号を提供するように構成されること、
を特徴とする請求項１から１６のいずれか一項に記載のシステム。
【請求項１８】
前記電力供給接続（３３０）は、前記サプライラック（３１０）から前記テストヘッド（３２０）へ延在する１束のケーブルを備えること、
を特徴とする請求項１７に記載のシステム。
【請求項１９】
前記テストヘッド（３２０）は、前記電力供給接続（１２０；３３０）の少なくとも１つの導体（２２２；２２４；２８０；４５４）に接続される、導電性筐体（３２０）または導電性機械式担架構造を備えること、
を特徴とする請求項１７または１８に記載のシステム。
【請求項２０】
前記テストヘッド（３２０）は、前記電力供給接続（１２０；３３０）の少なくとも１つの導体（２２０、２２２、２２４；２７２、２７４、２７６、２７８、２８０、４５０、４５２、４５４）へ、少なくとも寄生容量により、結合される、被試験装置ポート（４３０）を備えること、
を特徴とする請求項１７から１９のいずれか一項に記載のシステム。
【請求項２１】
前記監視対象装置を使ってテストした被試験装置のテスト結果に関する情報に基づき収率に関する情報を取得するように構成され、
静電気放電現象の検出と収率との相関を解析するように構成され、
静電気放電現象の検出と前記収率の変化との間に著しい相関が見られる場合に警告を発するように構成された、システムコントローラを備えること、
を特徴とする請求項１７から２０のいずれか一項に記載のシステム。
【請求項２２】
前記システムコントローラは、前記監視対象装置の自己テスト結果または較正結果を評価することによって前記監視対象装置の自己テスト状態に関する情報を取得するように構成され、
静電気放電現象の検出と前記監視対象装置の前記自己テスト状態の変化との相関を解析するように構成され、
静電気放電現象の検出と前記自己テスト状態の変化との間に著しい相関が見られる場合に警告を発するようにさらに構成されること、
を特徴とする請求項２１に記載のシステム。
【請求項２３】
監視対象装置（１１０）において静電気放電現象を検出する方法であって、前記監視対象装置（１１０）は、前記監視対象装置（１１０）に直流電流の形で電気エネルギーを提供するように構成された少なくとも２つの直流導体（２２０、２２２）を備える電力供給接続（１２０）を介して電源（１３０）に接続され、前記方法は、
測定信号（１４２）を得るため前記少なくとも２つの直流導体で電流の符号付き和を測定し、
前記電流測定信号（１４２）のパルスに応じて静電気放電現象を検出すること、
を備える方法。
【請求項２４】
監視対象装置（１１０）において静電気放電現象を検出する方法であって、前記装置（１１０）は、相導体（２２０）と中性導体（２２２）とを有する単相交流本線電力接続を備える電力供給接続（１２０）を介して電源（１３０）に接続され、前記単相交流本線電力接続は、前記監視対象装置（１１０）に交流電流の形で電気エネルギーを提供するように構成され、前記方法は、
前記電流測定信号を得るため前記相導体と前記中性導体とで電流の符号付き和を測定し、
前記電流測定信号（１４２）のパルスに応じて静電気放電現象を検出すること、
を備える方法。
【請求項２５】
監視対象装置（１１０）において静電気放電現象を検出する方法であって、前記監視対象装置は、複数の相導体（２７２、２７４、２７６）と少なくとも１つの中性導体（２７８）とを有する多相交流本線電力接続を備える電力供給接続（１２０）を介して電源（１３０）に接続され、前記多相交流本線電力接続は、前記監視対象装置（１１０）に交流電流の形で電気エネルギーを提供するように構成され、前記方法は、
前記電流測定信号（１４２）を得るため前記複数の相導体と前記中性導体とで電流の符号付き和を測定し、
前記電流測定信号（１４２）のパルスに応じて静電気放電現象を検出すること、
を備える方法。
【請求項２６】
監視対象装置（１１０）において静電気放電現象を検出する方法であって、前記監視対象装置は、前記監視対象装置（１１０）に電気エネルギーを提供するように構成された複数の電力供給導体（２２０、２２２；２７２、２７４、２７６）と、前記監視対象装置（１１０）を保護接地と接続するように構成される少なくとも１つの保護接地導体（２２４；２８０）とを備える電力供給接続（１２０）を介して電源（１３０）に接続され、前記方法は、
前記複数の電力供給導体と前記保護接地導体とで電流の符号付き和を測定し、
前記電流測定信号（１４２）のパルスに応じて静電気放電現象を検出すること、
を備える方法。
【請求項２７】
コンピュータでの動作の際に、請求項２３から２７のいずれか一項に記載の前記方法を実行するコンピュータプログラム。
【国際調査報告】
2010518412.tif 000051
2010518412.tif 000052