(57)【要約】  本発明は、緊急的な対応を行えるようにするために区画化可能な装置を構成するための装置と方法に関する。装置の実施例はワークピースを保管するための複数の取外し可能なコンパートメントを有し、緊急時、例えば電源の障害または装置の障害時には、製造設備の流れを中断させることなく処理を継続させるためにワークピースを装置から取り出すことができる。
2010509785.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークピースストッカにおいて、
複数のコンパートメントに区画化されている、複数のワークピースを保管するためのチャンバと、
前記チャンバからＩＯステーションに前記ワークピースを搬送するロボットメカニズムと、
前記ロボットメカニズムの障害時に前記ワークピースにアクセスするための複数の緊急アクセスポートとを有し、該緊急アクセスポートを用いて、他のコンパートメントの汚染を阻止するために個々のコンパートメントへのアクセスが行われることを特徴とする、ワークピースストッカ。
【請求項２】
１つのコンパートメントが緊急アクセスポートを介して開放されたときに他のコンパートメントの汚染を阻止するために個々のコンパートメントを隔離する閉鎖メカニズムを有する、請求項１記載のワークピースストッカ。
【請求項３】
前記閉鎖メカニズムは前記ロボットメカニズムの障害時に作動される、請求項２記載のワークピースストッカ。
【請求項４】
前記緊急アクセスポートは個々のコンパートメントにアクセスする、請求項１記載のワークピースストッカ。
【請求項５】
前記ロボットメカニズムは前記ワークピースを把持するワンピースの周端エッジグリップを有する、請求項１記載のワークピースストッカ。
【請求項６】
前記ワークピースは２．５ｍｍ以下の間隔で密に保管されており、前記ロボットメカニズムは密に保管されている前記ワークピースを把持するワンピースの周端エッジグリップを有する、請求項１記載のワークピースストッカ。
【請求項７】
前記ロボットメカニズムの障害を検出するセンサメカニズムを有する、請求項１記載のワークピースストッカ。
【請求項８】
前記緊急アクセスポート用のロードロックを有する、請求項１記載のワークピースストッカ。
【請求項９】
ワークピースストッカにおいて、
複数のコンパートメントに区画化されている、複数のワークピースを保管するためのチャンバを有し、前記コンパートメントは通常時には前記チャンバにおいて密閉されており、
前記チャンバからＩＯステーションに前記ワークピースを搬送するロボットメカニズムを有し、該ロボットメカニズムは搬送されるべきワークピースを有する個々のコンパートメントを、前記ワークピースへのアクセスが行われる前に開放し、
前記ロボットメカニズムの障害時に前記ワークピースにアクセスするための複数の緊急アクセスポートを有し、前記ワークピースは、緊急アクセス中に前記チャンバが外部環境にさらされているときに、前記コンパートメント内に密閉されていることにより汚染から保護されていることを特徴とする、ワークピースストッカ。
【請求項１０】
個々のコンパートメントを開放するルックアヘッドメカニズムを有する、請求項９記載のワークピースストッカ。
【請求項１１】
前記ルックアヘッドメカニズムは少なくとも１つのコンパートメントを必要とされる前に開放する、請求項１０記載のワークピースストッカ。
【請求項１２】
開放が必要とされる個々のコンパートメントを決定するコントローラを有する、請求項９記載のワークピースストッカ。
【請求項１３】
個々のコンパートメントを開放するルックアヘッドメカニズムを有する、請求項１２記載のワークピースストッカ。
【請求項１４】
前記ロボットメカニズムは前記ワークピースを把持するワンピースの周端エッジグリップを有する、請求項９記載のワークピースストッカ。
【請求項１５】
前記ワークピースは２．５ｍｍ以下の間隔で密に保管されており、前記ロボットメカニズムは密に保管されている前記ワークピースを把持するワンピースの周端エッジグリップを有する、請求項１４記載のワークピースストッカ。
【請求項１６】
前記ロボットメカニズムの障害を検出するセンサメカニズムを有する、請求項９記載のワークピースストッカ。
【請求項１７】
ワークピースストッカにおいて、
複数のワークピースを保管するためのチャンバと、
前記チャンバからＩＯステーションに前記ワークピースを搬送するロボットメカニズムと、
前記ロボットメカニズムの障害時に前記ワークピースにアクセスするための複数の緊急アクセスポートとを有し、該緊急アクセスポートは移動式のワークピース取出し装置との接合面を有し、該接合面により前記ワークピースは外部環境にさらされることなく取り出されることを特徴とする、ワークピースストッカ。
【請求項１８】
前記接合面に合わせられる移動式のクリーンルームを有する、請求項１７記載のワークピースストッカ。
【請求項１９】
前記緊急アクセスポート用のロードロックを有する、請求項１７記載のワークピースストッカ。
【請求項２０】
前記緊急アクセスポートはオペレータによってアクセスされる、請求項１７記載のワークピースストッカ。
【請求項２１】
複数のコンパートメントに区画化されており、複数のワークピースを保管するためのチャンバと、
前記チャンバからＩＯステーションに前記ワークピースを搬送するロボットメカニズムと、
前記ロボットメカニズムの障害時に前記ワークピースにアクセスするための複数の緊急アクセスポートとを有するワークピースストッカの作業を改善する方法において、
前記ロボットメカニズムの障害を判断し、
他のコンパートメントを汚染することなくコンパートメントに緊急アクセスすることを特徴とする、ワークピースストッカの作業を改善する方法。
【請求項２２】
前記ロボットメカニズムの障害をセンサメカニズムによって検出する、請求項２１記載の方法。
【請求項２３】
前記ロボットメカニズムの障害を検出した後に全てのコンパートメントを個別に密閉する、請求項２１記載の方法。
【請求項２４】
他のコンパートメントを密閉したまま１つのコンパートメントを緊急アクセスのために開放する、請求項２１記載の方法。
【請求項２５】
前記コンパートメントを開放する前に、開放されるコンパートメントの緊急アクセスポートにロードロックを取り付ける、請求項２１記載の方法。
【請求項２６】
開放される前記コンパートメントの前記緊急アクセスポートに連結される移動式のワークピース取り出し装置を取り付ける、請求項２１記載の方法。
【請求項２７】
前記コンパートメントを開放する前に、開放されるコンパートメントの緊急アクセスポートにロードロックを取り付け、
開放される前記コンパートメントの前記緊急アクセスポートに連結される移動式のワークピース取り出し装置を取り付ける、請求項２１記載の方法。
【請求項２８】
複数の密閉されたコンパートメントに区画化されており、複数のワークピースを保管するためのチャンバと、
前記チャンバからＩＯステーションに前記ワークピースを搬送するロボットメカニズムと、
前記ロボットメカニズムの障害時に前記ワークピースにアクセスするための複数の緊急アクセスポートとを有するワークピースストッカの作業を改善する方法において、
アクセスされるべきワークピースを有する目下のコンパートメントを求め、
該目下のコンパートメントを開放し、
該目下のコンパートメント内のワークピースを搬送し、
該目下のコンパートメントを再び密閉し、
緊急アクセス中に前記チャンバが外部環境にさらされているときに、前記ワークピースを前記コンパートメントに密閉することにより該ワークピースを汚染から保護することを特徴とする、ワークピースストッカの作業を改善する方法。
【請求項２９】
前記目下のコンパートメントの後に必要とされる次のコンパートメントを求め、
該次のコンパートメントを開放する、請求項２８記載の方法。
【請求項３０】
前記目下のコンパートメントの後に必要とされる次のコンパートメントを求め、
該次のコンパートメントを開放する、請求項２９記載の方法。
【請求項３１】
前記ワークピースストッカは、開放が必要とされる個々のコンパートメントを決定するコントローラを有する、請求項２８記載の方法。
【請求項３２】
前記ロボットメカニズムの障害をセンサメカニズムによって検出する、請求項２８記載の方法。
【請求項３３】
前記ロボットメカニズムの障害を検出した後に全てのコンパートメントを密閉する、請求項２８記載の方法。
【請求項３４】
複数のワークピースを保管するためのチャンバと、
前記チャンバからＩＯステーションに前記ワークピースを搬送するロボットメカニズムと、
前記ロボットメカニズムの障害時に前記ワークピースにアクセスするための複数の緊急アクセスポートとを有し、該緊急アクセスポートは移動式のワークピース取出し装置との接合面を有する形式のワークピースストッカの作業を改善する方法において、
前記緊急アクセスポートを移動式のワークピース取出し装置に合わせ、
前記ワークピースを外部環境にさらすことなく該ワークピースを取り出すことを特徴とする、ワークピースストッカの作業を改善する方法。
【請求項３５】
前記接合面に合わせられる移動式のクリーンルームを取り付ける、請求項３４記載の方法。
【請求項３６】
前記緊急アクセスポート用のロードロックを取りつける、請求項３４記載の方法。
【請求項３７】
オペレータが前記緊急アクセスポートにアクセスする、請求項３４記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願は、２００６年１１月１５日出願の米国仮出願第６０／８５９，２０１号、２００７年７月２５日出願の米国特許明細書第１１／８８１，０８７号、２００７年７月２５日出願の米国特許明細書第１１／８８１，０８６号、発明の名称「ワークピースストッカ用の取外し可能なコンパートメント」の優先権を主張するものであり、それらの開示内容は参照により本願に取り入れられる。
【０００２】
本発明は、半導体製造装置、より詳細には製造設備における処理を改善するための装置および方法に関する。
【０００３】
背景技術
ストッカは一般的にワークピース、例えばウェハ、フラットパネルディスプレイ、ＬＣＤ、フォトリソグラフィレチクルまたはマスクなどを一時的に保管するために半導体製造設備内に設置されている。半導体デバイス、ＬＣＤパネルなどの製造プロセスにおいては数百の処理装置が存在し、したがって数百の製造ステップが存在する。ステップ毎またツール毎にウェハ、フラットパネルまたはＬＣＤ（以下ではこれらをワークピースと称す）の流れに関してばらつきをなくすことは困難である。プランナが最高であっても、ツールの故障、緊急のロットの提供、計画よりも長く続く周期的なメンテナンスなどの予期せぬシナリオは常に存在するので、所定のツールに関する所定のステップにおいてワークピースが様々に蓄積される。蓄積されたワークピースをストッカに保管し、処理されるまで待機させなければならなくなる。
【０００４】
さらには、多数のフォトリソグラフィマスクまたはレチクル（これらを以下ではレチクルと称する）を有している半導体製造設備においてフォトリソグラフィ処理は非常に重要な処理である。したがって通常の場合、レチクルはストッカに保管されており、必要に応じてリソグラフィ露光装置に運ばれる。
【０００５】
ワークピースおよびレチクル（これらを以下ではアーティクルと称する）の保管は清浄度の要求に基づき一層複雑になる。アーティクルの損傷として粒子による物理的な損傷または汚染による化学的な損傷が考えられる。半導体デバイスのクリティカルディメンジョン（ＣＤ）は０．１ミクロンを上回るので、０．１ミクロンの大きさの粒子および反応活性種のアーティクルへの接近を阻止することが必要となる。一般的に、処理間のより少ないクリーニングを保証するために、保管領域は処理設備よりも一層クリーンであることが必要とされる。
【０００６】
したがって通常の場合、ストッカ保管領域は外部の環境に対して密閉されており、有利には一定のパージングが用いられ、さらには起こり得る化学反応を阻止するために不活性のガス流も用いられる。保管領域へのアクセスはクリーンな保管環境と外部環境との隔離を保証するためにロードロック方式である。
【０００７】
これにより、ストッカの障害時、例えば移送時の誤動作またはロードロックの誤動作の際には、ストッカ保管領域が隔離され、ストッカ保管領域からアーティクルを取り出すことができなくなるという潜在的な問題が生じる。この障害は連鎖反応によって製造設備の大部分をシャットダウンさせる可能性がある。
【０００８】
発明の概要
本発明は、緊急的な対応を行えるようにするために区画化可能な装置を構成するための装置と方法に関する。装置の実施例はワークピースを保管するための複数の取外し可能なコンパートメントを有し、緊急時、例えば電源の障害または装置の障害時には、製造設備の流れを中断させることなく処理を継続させるためにワークピースを装置から取り出すことができる。
【０００９】
１つの実施形態においては、区画化可能な装置がレチクルやウェハのような半導体ワークピースを保管するストッカのために構成されている。本発明の実施形態によるストッカには、ワークピースが保管されている複数の取外し可能なコンパートメントが設けられている。したがって障害時には、適切なコンパートメントを取り外すことによってワークピースにアクセスすることができる。有利には、コンパートメントは他のワークピースの品質を低下させることなく取り外せるよう設計されている。
【００１０】
１つの実施形態においては、コンパートメントが開放されており、且つ取外し可能である。ストッカは例えば、ロボット把持システムによってアクセス可能な棚状に構成されて配置されている、開放された取外し可能な複数のコンパートメントを有する。コンパートメントを、半径方向に移動し且つ回転するロボットを包囲するように環状に構成して配置することができるか、コンパートメントを線形のＸＹロボットに対面するように線形にｘｙ軸に沿って配置することができる。コンパートメントが開放されていることにより、コンパートメントのドアを開かなくても、ストッカ内へのワークピースの配置およびストッカからの取り出しのような作業が容易になる。コンパートメント内にワークピースを保管することにより、装置に障害が発生している間に個々のコンパートメントを迅速に取り外すことができる。ワークピースをコンパートメント内のコンテナに保管することもできる。
【００１１】
１つの実施形態においては、コンパートメントが密閉されており、有利には個別に密閉されている。密閉されたコンパートメントにより、緊急アクセスに起因してその他のワークピースが汚染されることなく緊急的な取外しを行うことができる。さらには、密閉されたコンパートメントは他のコンパートメントに対して相互に密閉されているので、コンパートメント間の相互汚染を阻止する。
【００１２】
１つの実施形態においては、コンパートメントが作業中は開放されており、したがってスループットが改善され、またワークピースへのアクセスが容易になる。１つの態様においては、ワークピースがアクセスされていないときにはコンパートメントを密閉することができる。コンパートメント内に保管されているワークピースにアクセスする必要があるときに、密閉されているコンパートメントを開放することができる。もしくは、コントローラが必要なワークピースのコースを確保することができ、したがって密閉されているコンパートメントを開放が必要とされる直前に開放することができる。別の態様においては、緊急アクセス作業中にコンパートメントを密閉することができる。通常時にコンパートメントは開放されているが、障害状況が検出されたときには密閉される。緊急的な作業によるアクセス前のコンパートメントの自動的な密閉または手動の密閉によってコンパートメントを密閉することができる。１つの態様においては、システムが個々のコンパートメントを隔離するための自動的な密閉メカニズムまたは手動の密閉メカニズムを有する。
【００１３】
１つの実施形態においては、区画化可能な装置はコンパートメントを取り外すための緊急アクセスポートを有する。緊急アクセスポートを装置の１つの側面、つまりクリーンルームに面する前方側または装置チェース領域に面する後方側に位置決めすることができる。緊急アクセスポートにより、障害時にコンパートメントを取り外すために、オペレータは個々のコンパートメントにアクセスすることができ、有利には、他のワークピースまたは他のコンパートメントの品質、例えば清浄度を低下させることなく、または他のワークピースまたは他のコンパートメントを汚染物質にさらすことなくアクセスすることができる。
【００１４】
１つの実施形態においては、緊急アクセスポートが移動式のワークピース取出し装置との接合面を有する。緊急状況下においてワークピース取出し装置はストッカの接合面と連結され、ストッカ内に保管されているワークピースの品質、欠陥および歩留まりに関して妥協することなく、個々のコンパートメントにアクセスすることができる。ワークピース取出し装置は移動式のクリーンルーム領域を有することができ、したがってコンパートメントの移送に関してストッカに対する統合型クリーンルーム拡張部を形成することができる。１つの態様においては、ワークピース取出し装置はコンパートメントにアクセスするためのロボット把持アセンブリを有する。別の態様においては、ワークピース取出し装置はロードロックインタフェースを有し、これによりオペレータはコンパートメントを取り外すためにストッカに入ることができる。またワークピース取出し装置は、ワークピースをクリーンな環境の外部に移動させるために複数のコンパートメントを保管するコンテナボックスを有することができる。
【００１５】
ストッカシステムは、全てのコンパートメントにアクセスするための回転可能な回転コンベヤを有することができる。またシステムは内部のコンパートメントにアクセスするための開放メカニズムまたは移動メカニズムを有することができる。
【００１６】
１つの実施形態においては、システムがコンパートメントの取外しを容易にするための緊急取外し装置を有する。コンパートメントは百個ほどのワークピースを保管することができ、したがって重くなることが考えられる。さらには小さいフットプリントのためにコンパートメントを異なる高さの棚に保管することも考えられ、したがって人間によるアクセスは困難である。
１つの実施形態においては、システムがコンパートメントに関する清浄度を維持するための気流形成部を有する。気流は共通の領域ならびにコンパートメントの内部をカバーすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】発明によるストッカの実施例を示す。
【図２】コンテナを手動で引き出すためにドアが開かれた状態のストッカの実施例を示す。
【図３】ストッカ用のコンテナの断面図（図４における線分ＩＩＩ−ＩＩＩ）を示す。
【図４】コンテナの別の図を示す。
【図５】ロボット把持アセンブリユニットの平面図を示す。
【図６】ロボット把持ユニットの側面図を示す。
【図７】発明によるストッカの別の実施例の平面図を示す。
【図８】発明によるストッカの別の実施例の平面図を示す。
【図９】２つの位置にロボットが設けられているストッカの実施例の側面図を示す。
【図１０】クリーンなガス流形成部を有するストッカの実施例の側面図を示す。
【図１１】発明によるコンピュータシステムの実施例を示す。
【図１２】発明によるコンピュータ環境の実施例を示す。
【００１８】
詳細な説明
マイクロエレクトロニクスの製造において半導体ワークピースの処理中に、数百の処理ステップのために異なる装置が使用される。ワークピースの処理の流れは実質的に連続しており、ツールの大部分が一度に複数のワークピース上で作業している。製造処理における何らかの関係性が途絶えると、処理の流れが著しく中断され、結果として生産能力が低下する可能性がある。本発明は、製造が容易になるようワークピースの連続的な流れを保証するために、装置内に保管されているワークピースへの緊急アクセスも含め、移動する装置を用いて信頼性を改善する装置と方法に関する。
【００１９】
１つの実施例において本発明によれば、部分的な障害が発生している場合であっても、装置内および製造設備内のワークピースの連続的な流れを保証するように、ワークピースが把持または移動される。本発明は、装置の障害が処理の流れに影響を及ぼさないようにするための緊急メカニズムに関する。１つの態様において本発明は、特定の製造装置の障害発生時に修理の待機中であっても製造設備のオペレーションを依然として支援できる製造装置の管理方法および管理装置に関する。
【００２０】
したがって本発明は、１つの実施例において、緊急的な対応を行えるようにするために区画化可能な装置を構成する装置と方法を提供する。装置の実施例はワークピースを保管するための複数の取外し可能なコンパートメントを有し、緊急時、例えば電源の障害または装置の障害時には、製造設備の流れを中断させることなく処理を継続させるためにワークピースを装置から取り出すことができる。
【００２１】
１つの実施形態においては、区画化可能な装置がレチクルやウェハのような半導体ワークピースを保管するストッカのために構成されている。通常の場合ストッカはワークピースを一時的に保管するために設計されており、したがって必要とされるワークピースへのアクセスを阻むことになるストッカの一時的な機能停止は製造設備の流れに著しい影響を及ぼす。本発明の実施形態によるストッカには、ワークピースが保管されている複数の取外し可能なコンパートメントが設けられている。したがって障害時には、適切なコンパートメントを取り外すことによってワークピースにアクセスすることができる。有利には、コンパートメントは他のワークピースの品質を低下させることなく取り外せるよう設計されている。
【００２２】
１つの実施形態においては、コンパートメントが開放されており、且つ取外し可能である。ストッカは例えば、ロボット把持システムによってアクセス可能な棚状に構成されて配置されている、開放された取外し可能な複数のコンパートメントを有する。コンパートメントを、半径方向に移動し且つ回転するロボットを包囲するように環状に構成して配置することができるか、コンパートメントを線形のＸＹロボットに対面するように線形にｘｙ軸に沿って配置することができる。この構成においては、３つの自由度を有するように、例えば半径方向の運動、回転運動、垂直方向の運動をするようにロボットハンドラを設計することができ、これにより速度およびスループットを改善することができる。３つの自由度を有するロボットは最小限の粒子しか生じないように良好に設置されており、したがってこの構成によりワークピースの保管に関してクリーンな環境を提供することができる。さらにストッカ保管領域は固定式であり、移動可能な複数のコンポーネントはロボットアセンブリであるので、これは保管ストッカのクリーンな環境にさらに寄与する。
【００２３】
１つの実施形態において、ストッカには、アクセスを容易にするために裸で保管されているワークピースを有する開放された保管領域が設けられている。裸のワークピースを保管することによりアクセスが速くなり、空間が節約され、またクリーンな空気のパージングが容易になる。ロボット把持アセンブリの周囲に配置されており、また垂直方向にも配置されている複数の開放式のコンパートメントを備えるように保管領域を構成することができる。コンパートメントが開放されていることにより、コンパートメントのドアを開かなくても、ストッカ内へのワークピースの配置およびストッカからの取り出しのような作業が容易になる。コンパートメント内にワークピースを保管することにより、装置に障害が発生している間に個々のコンパートメントを迅速に取り外すことができる。ワークピースをコンパートメント内の複数のコンテナに保管することもできる。
【００２４】
１つの実施形態において、ストッカは垂直の状態または水平の状態でワークピースを高密度に保管することができる。ストッカには周端グリップロボット把持アセンブリが設けられており、このロボット把持アセンブリはワークピースにアクセスし、周端部からワークピースを取り出し、したがって密にワークピースを保管することができる。
【００２５】
本発明の１つの実施例によるストッカは半導体ウェハおよびレチクルのような汚染に敏感なアーティクルを保管するために設計されている。そのように設計されたストッカは有利には空間を節約した保管およびフレキシブルな把持が実現されるよう構成されている。殊に、ストッカはクリーンな状況下での小さい保管空間において３００ｍｍ以上の大きさのウェハを多数保管することに適している。
【００２６】
相互汚染の危険を低減するために、開放式の保管部をキャリアラックまたは棚に区画化することができる。複数のコンパートメントをキャリアラックまたは棚に取外し可能に固定することができ、またそれらのコンパートメントは複数の保管コンテナを有することができる。キャリアラック、保管コンテナ、コンパートメントおよびアーティクルの固定は生じた粒子の動きを防止し、したがって摩耗、移動および相互汚染的な気流によって粒子が発生する危険を低減する。
【００２７】
保管コンパートメントおよび保管コンテナは有利には開放式のボックス状のコンテナとして成形されており、ロボット把持ユニットは保管コンパートメントまたは保管コンテナへのアーティクルの差し込み、またそこからのアーティクルの取り出しに最適に適合させることができる。有利な実施形態においては、コンパートメントまたはコンテナが、アーティクル、例えば半導体ウェハを５ｍｍ以下、有利には約２．５ｍｍ以下の間隔でより高い密度で保管するために設計されている。保管コンパートメントまたは保管コンテナはロボット把持ユニットを包囲するような棚状の構成で、有利には略環状に配置されている。また保管コンパートメントまたは保管コンテナをＸＹアレイで配置することもでき、この場合には棚の開放部がアーティクルを搬送するためのロボットメカニズムと対面する。固定のストッカは、各々が複数のアーティクルを保管する、垂直および水平に間隔をあけて設けられている複数の棚を有する。またこれらの棚を複数のコンパートメントまたはコンテナの保管のために設計することができ、それらのコンパートメントまたはコンテナ内に複数のアーティクルが保管される。
【００２８】
この構成により空間を節約した配置構成を提供することができ、またそれと同時に大きい保管容量も提供することができる。さらにこの構成においては保管されているアーティクルに非常に迅速にアクセスすることができる。保管コンテナの環状の配置の殊に有利な構成は、ＳＣＡＲＡロボットのような３つの自由度を有するロボットに非常に適している。ロボットは関節アームを有し、この関節アームは水平面において中心点について回転し、且つ半径方向に移動する。ロボットは６軸ロボットであってもよい。
【００２９】
ロボットアセンブリはオートメーション、殊に製造設備および製造装置においては重要な構成要素である。例えば、半導体工場においては、ロボットアームが半導体ウェハ、フラットパネルディスプレイ、ＬＣＤ、レチクル、マスクまたはキャリアボックスを把持するために使用される。
【００３０】
半導体製造設備においては、通常の場合キャリアボックスに保管されているワークピースをある場所から別の場所、またある装置から別の装置に運ぶためにロボットを使用することができる。処理システムにおいては、ロボットが典型的にはキャリアボックスからワークピースを取り外し、ロードロックに積み込むために使用される。別のロボットをワークピースのロードロックから処理チャンバへの移動、またある処理チャンバから別の処理チャンバへの移動のために使用することができる。したがって処理システム内には、それぞれが特定のタスクのために設計されている複数のロボットが存在することも考えられる。処理システムとしてデポジションシステム、エッチングシステム、リソグラフィシステム、計測システム、検査システム、注入システム、処理システムまたはいずれかのワークピース処理システムが考えられる。
【００３１】
一般的に、ロボット把持アセンブリは真空システムと大気システムとでは異なる。必要とされるまでワークピースを保管するよう設計されているストッカは通常では大気システムであり、ロボットは通常の場合キャリアボックスからワークピースを取り出し、ロードロックに積み込むために使用される。別のロボットをワークピースのロードロックから保管チャンバへの移動に使用することができ、ワークピースはオリジナルのキャリアボックスを要とすることなく保管される。ボックスストッカシステムに関しては、ワークピースがキャリアボックスと一緒に保管されるので、キャリアボックスからワークピースを取り外す必要はない。
【００３２】
ロボットメカニズムはアーティクルを固定のストッカ内に移動させるため、またアーティクルを固定のストッカから移動させるために関節アームジョイントを有することができる。さらにロボットアームアセンブリは、ストッカの棚に達するよう設計されているフレキシブルな多重連結メカニズムを有する。アームアセンブリはストッカの整列されている空間に達するために半径方向に移動し且つ回転する独立した可動部を有することができる。
【００３３】
本発明のストッカには、ロボット把持デバイスの周囲に実質的に環状のキャビネットを形成する保管コンパートメントまたは保管コンテナを設けることができる。ロボットアセンブリは有利には固定式であり、アーティクルを移送するために固定のストッカの内部に達する関節ジョイントアームを有する。
【００３４】
ロボット把持ユニットは垂直な保管コンパートメントまたは保管コンテナにアクセスするための垂直方向可動部を有する。ストッカはコンパートメントまたはコンテナにアーティクルを移送するため、またはコンパートメントまたはコンテナからアーティクルを移送するための別のロボット把持ユニットを有することもできる。ストッカはアーティクルコンテナの後方にアクセスするための後部ドアを有することができる。後部ドアにより、システムクラッシュのような緊急時にアーティクルにアクセスすることができる。ストッカはコンテナに向かう連続的なクリーンなガス流を形成するための送風機を有することができ、有利には汚染物質を効果的に下方に向かって流す。
【００３５】
１つの実施形態において、本発明は保管されているワークピースを緊急的に取り出すための緊急システムに関する。緊急システムは一般的な障害が発生したときであってもアーティクルの取り出しを可能にする緊急アクセス部を有する。緊急アクセス部は、有利には前部側における緊急ドア、または通常は使用されない装置アクセス部、例えば通常作業時にロボット把持ユニットによって使用されるアクセス部である。緊急アクセス部をオペレータによって、または外部の把持装置によって運ぶことができる。有利には、外部の把持装置は一般的な障害時においても独立して作業することができる。
【００３６】
緊急システムは一般的にロボットによるアクセスのために設計されているので、最小限の空間容量を有する非常に小型のものである。また緊急システムを、ロードロックエントランス用の界面を含め、オペレータによるアクセスのために設計することもできる。
【００３７】
緊急システムは処理装置への緊急的な移送のために設計されており、したがって汚染についても相応に考慮して設計されるべきである。つまり一般的には、緊急システムは移送の問題を考慮したＩＯローダのように扱われる。例えば、搬出のための一時保管領域に保管されているアーティクルは有利には、ＩＯローダに保管されているアーティクルの場合と同様に把持されるか、クリーンルーム環境に搬送されるように保管されている。したがってアーティクルは有利にはキャリアボックスに保管されており、必要なツールに移送している間にアーティクルが汚染または損傷されることはない。キャリアボックスをオペレータによる把持用またはＯＨＴ把持用に設計することができる。
【００３８】
ワークピースストッカまたはレチクルストッカのような保管システムは一般的にＩＯローダセクションが設けられている保管領域を有し、これはロボット把持システムによって連絡される。保管領域は有利には外部環境よりもクリーンであり、したがって保管システムは有利には保管領域をＩＯローダに連結するロードロックを有する。保管領域は裸の形態のアーティクル（例えばアーティクルのみが保管されている）、移送形態のアーティクル（例えば内側のキャリアボックス）または保管形態のアーティクルを保管することができる。通常の場合、保管形態は裸の形態と移送形態の中間形態であり、これは裸の形態よりも良好な被覆および保護を提供するが、移送形態ほどの被覆および保護は提供しない。
【００３９】
保管形態はまた、環境的な問題が発生した際に、保管領域におけるアーティクルに対する緊急的な保護を提供することができる。例えばクリーンな気流に問題が生じた場合には、裸の形態で保管領域に保管されているアーティクル全てが汚染される可能性がある。保管形態は汚染を阻止することができる。保管形態は移送形態よりも単純である。何故ならば、保管形態は移送のために設計されていないからである。したがって保管形態での保管は移送形態での保管に比べて費用効果が高い。
【００４０】
ストッカ１０の実施例が図１に示されている。ストッカ１０はハウジング１２を有し、このハウジング１２内にはロボット把持ユニット１４と、複数のアーティクルコンパートメント（またはコンテナ）１８を支持するためのキャリアラック１６とが収容されている。ハウジング１２はロボット把持ユニット１４、キャリアラック１６およびコンパートメント１８を包囲し、クリーンな環境のための完全なエンクロージャを形成する。ハウジング１２内において頂部から底面へのクリーンな空気の流れを形成するために、ハウジングの頂部に送風機およびフィルタ（図示せず）を設けることができる。各コンパートメント１８は汚染に敏感な複数のアーティクルを保管するよう設計されている。有利な実施形態においてアーティクルは半導体ウェハである。これらの半導体ウェハをコンパートメント１８内に垂直に保管することができる。１つの実施例において、各コンパートメントは３００ｍｍのウェハを１００個保管することができる。保管されているウェハの間隔を最小で２．５ｍｍにすることができる。ロボット把持ユニット１４はハウジング１２の角に配置されており、半径方向および垂直方向への運動および回転運動をするロボットであるか、６軸ロボットである。コンパートメント１８を有するキャリアラック１６はロボット把持ユニット１４を包囲するようにＣ字型の形状を有する。さらにストッカ１０はウェハ２０をアライメントするためのプリアライナ２８を有することができる。ウェハ２０をＦＯＵＰ３２が接続されるドア３０の近傍におけるプリアライナ２８に配置することができるか、プリアライナ２８から取り出すことができる。
【００４１】
例示的なストッカ１０はコンパートメント（またはコンテナ）１８にアクセスするための緊急アクセスポート２２を有する。緊急アクセスポート２２はストッカ１０の背面に配置されており、ストッカのクリーンな環境との界面を規定する。界面を移動式のワークピース取出し環境１１に合わせることができ、この移動式のワークピース取出し環境１１は、残りのワークピースの品質を低下させることなく、ストッカから個々のコンパートメントまたはコンテナ１８を移動できるようにするロードロックとして機能することができる。
【００４２】
緊急アクセスポート２２は、エンクロージャ１１をストッカ１０と連結できるようにするために、ストッカ１０と外部の環境との間のクリーンな界面を提供する接合面を有することができる。緊急状況下では、緊急アクセスポート２２の界面を介して移動式の小型の環境をストッカに連結させ、ストッカから取り出すためにストッカ内のワークピースまたはコンパートメントにアクセスすることができるか、ワークピースまたはコンパートメントを別の適切なコンテナ１８’に配置することができる。
【００４３】
１つの態様においては、空気がパージまたは排気されるクリーンルームが備えられた移動式のエンクロージャ１１はストッカの内部に対するロードロックを提供する。オペレータは移動式のエンクロージャ１１に入ることができ、緊急アクセスポート２２が開かれる前にエンクロージャ１１の僅かなパージおよび排気サイクルによって浄化される。エンクロージャ１１はストッカに対するクリーンルーム拡張部となり、オペレータは残りのワークピースを汚染することなくストッカ内の個々のワークピースにアクセスすることができる。オペレータはワークピースおよびコンパートメントにアクセスするためにツールおよびキャリアボックスを持ち運ぶことができる。ストッカおよびエンクロージャから運び出すために、ワークピースまたはコンパートメントをストッカから取り出し、クリーンルームのキャリアボックスに配置することができる。複数のワークピース（例えば５０〜１００個）が保管されているコンパートメント１８を使用することにより、キャリアボックスへのコンパートメントの移動および保管は個々のワークピースにアクセスする場合よりもはるかに速くなる。キャリアボックスは密閉されており、したがってストッカから外部の環境に運び出し、処理のために再び設備に戻すことができる。他の装置をワークピースのキャリアボックスからクリーンな環境における目的地への搬送のために使用することができる。
【００４４】
別の態様においては、オペレータが移動式のエンクロージャの外に留まり、ワークピースおよびコンパートメントを収集するためにエンクロージャ内の適切な装置を操作して、ワークピースおよびコンパートメントを適切なキャリアボックスに入れていく。装置としてロボット把持アセンブリまたはグローブボックスが考えられる。垂直方向におけるアクセスのために、垂直方向に移動するリフトをエンクロージャの内側または外側に組み込むことができる。
【００４５】
したがって、本発明の実施形態による開放式コンパートメントストッカは緊急アクセスポート、および／または、ワークピースに緊急アクセスするための移動式のクリーンな環境を備えた接合面を有する。開放式のコンパートメント内にワークピースを保管することにより迅速なアクセスが可能になり、また緊急アクセスポートにより装置の障害時にもワークピースまたはコンパートメントにアクセスすることができる。
【００４６】
図３および図４はコンパートメント１８の実施例を示し、このコンパートメント１８は後部壁３８、底部壁４０および２つのサイドパネル４２，４４を有する。有利には、後部壁３８および底部壁４０にはウェハ２０を斜めに横切るクリーンな空気の流れを解放するための開口部が設けられている。空気の流れ４８は個々のウェハ２０間を通り、存在するあらゆる粒子および外部物質がコンテナ１８から斜め下方に向かって除去されることを保証する。
【００４７】
コンポーネント１８内には、スプリット５０，５２，５４，５６を有する櫛状の４つのコンポーネントが配置されている。スプリット５０〜５６はその後方および側方によってウェハを保持するように配置されており、これによりロボット把持ユニット１はウェハを取り外すことができる。
【００４８】
上部の角の領域には、リテーナ６０を挿入するための凹部５８が設けられている。リテーナ６０はコンテナ１８の移動中にウェハを所定の位置に保持するように設計されている。リテーナ６０が凹部５８内に挿入されているときにのみコンテナ１８を引き出せるようにするために、各コンパートメント１８はリテーナ６０に連結されるハンドル（図示せず）を有することができる。
【００４９】
図５および図６は、発明によるロボット把持ユニットの実施例を示す。統合グリップアーム１４は第１のグリップアーム２４および第２のグリップアーム２６を有する。第１のグリップアーム２４は垂直な状態のウェハ２０ａを端部で把持できるグリップアームとして設計されている。グリップアーム２４は例えばＣ字型の形状をしており、その外周部においてウェハ２０ａを包囲する。２つのグリップエレメント６４および６６はグリップアーム２４の自由な端部に設けられている。グリップアーム２４は１８０°以上の円弧「α」に沿ってウェハ２０ａを包囲する。したがってグリップエレメント６４，６６は安定した楔迫めを要することなく、実質的に重力だけでウェハ２０ａを保持することができる。ウェハ２０ａをキャリアボックス１８から取り出し、またキャリアボックス１８に配置するために、グリップエレメント６４，６６を開くことができる。この図においてはグリップエレメント６６のみが可動である。
【００５０】
第２のグリップアーム２６は、端部にグリップエレメント６８，７０が設けられているＹ字型のアームを有する。グリップアーム２６はグリップアーム２４とは異なる平面７２においてウェハを保持している。ウェハ２０ｂは平面７２においてグリップエレメント６８，７０によって保持される。グリップアーム２６は自由端部を有し、したがってウェハを取り出すため、またはウェハを配置するためにＦＯＵＰに入ることができる。
【００５１】
グリップアーム２４および２６は統合グリップアーム１４のＬ字型のアームセグメント７４の自由な端部に設けられている。アームセグメント７４は軸７６に沿って旋回することができ、この軸７６はグリップアーム２４が設置されているアームセグメント７４の脚と同軸である。この配置構成により、ウェハ２０ａは垂直の状態でキャリアボックス１８から取り出されて水平の状態にされるので、軸７６に沿った取出しおよび９０°の回転が可能になる。続いて、統合グリップアームはウェハを水平のステーションに移動させることができる。続いて統合グリップアームはグリップアームを切り替え、グリップアーム２６がウェハを取り出し、ＦＯＵＰに移送する。上記の動作とは逆の動作によってＦＯＵＰからウェハをキャリアボックス１８に運ぶことができる。統合グリップアームはグリップアーム２４および２６を用いてウェハをＦＯＵＰから保管エリアに移動させることができる。
【００５２】
ストッカ１０においては保管されているウェハに無作為にアクセスすることができ、したがってソータは必要とされない。殊に、ロボット把持ユニット１４は任意のコンテナ１８からウェハ２０を選択し、ＦＯＵＰ３２に配置することができる。したがってストッカ１０をＦＯＵＰフロントエンドローダに組み込むことができる。ウェハの垂直状態での保管またそれに伴う高密度の保管配置構成に基づき、ストッカは小さいフットプリントでも高い保管容量を達成することができる。開放式でボックス状のコンパートメントに個々のウェハが別個に保管されることにより、開放式の保管構成にかかわらず、異なるウェハ２０間の相互汚染は殆ど生じないことが保証される。
【００５３】
図７および図８は本発明によるストッカ８０の実施例を示し、このストッカ８０は環状にロボット把持ユニット８２を包囲する複数のコンパートメント８１を有する。ロボット把持ユニット８２は図示されている平面に平行な水平面において放射状に移動できるように、関節アーム８４を備えたＳＣＡＲＡロボットとして表されている。関節アーム８４はコンテナ８１の環状の配置構成を規定する中心点８６について旋回する。したがって関節アーム８４は水平面において、中心点８６について放射状に移動することができ、また回転することができる。関節アーム８４は半径方向においてアーティクル２０をコンテナ８１に配置し、またコンテナ８１から取り出すよう構成されている。
【００５４】
図８は、断面、例えば図９による断面ＶＩＩＩ−ＶＩＩＩに沿ったストッカ８０の平面図を示す。この図においては、環状部の一部にコンテナ８１が設けられていない。その空間に別のロボット把持ユニット９２およびプリアライナ９４を設けることができる。
【００５５】
ロボット把持ユニット８２はウェハをコンパートメント８１からプリアライナ９４に移送するために設計されている。さらにロボット把持ユニット８２は、コンパートメント８１に垂直に保管されているウェハを取り出し、ウェハが水平に保管されるプリアライナ９４の位置にするためにウェハを回転させることができる。別のロボット把持ユニット９２はウェハをプリアライナ９４からＦＯＵＰ３２に移送するために使用される。有利には、ロードロックステーション９６がハウジング１２との密閉式の連結部を有しているので、ウェハ２０を汚染無くＦＯＵＰ３２に移送することができる。
【００５６】
別のロボット把持ユニット９２は、プリアライナとＦＯＵＰとの間でウェハを移動させるために中心位置について半径方向に移動可能な関節アームを備えたロボットでよい。
【００５７】
ロードロック搬入／搬出ステーション９６は２つのＦＯＵＰ３２を有することができる。この構成は、２つのＦＯＵＰ３２間でウェハ２０を再配置およびソートするための手段が設けられているソータの機能を提供することができる。
【００５８】
図９および図１０は、垂直方向におけるコンパートメント８１の例示的な配置構成を示す。ロボット把持ユニット８２は、２つのガイドレール８８に沿って垂直方向（ビューレベルに垂直）に移動することによってコンパートメント８１の異なる垂直方向の高さを達成することができる。この例示的なストッカにおけるコンパートメント８１はクリーンなガスを流すための連結部９０を有する。連結部９０はコンパートメント８１の後方に配置されており、したがってクリーンなガスはコンパートメント８１の後方から前方に向かって流れる。さらに各連結部９０は選択的な開閉のための弁９１を有することができる。したがって、コンパートメントに個別にクリーンなガスを流すことができる。
【００５９】
図９は、相互に重なっており、且つロボット把持ユニット８２の周囲に環状に配置されているコンパートメント８１を示す。図９において、ウェハ２０はコンパートメント１０２内に水平に保管されている。ウェハが水平に保管されているので、ロボット把持ユニット８２はコンパートメントからウェハ２０を取り出す際、またはコンパートメントにウェハ２０を配置する際にウェハ２０を回転させる必要はない。ロボット把持ユニット８２は垂直方向における２つの位置、すなわち参照番号８２が付された最上部と参照番号８２’が付された最低部に示されている。
【００６０】
また図９にはクリーンなガス、有利にはフィルタリングされたクリーンな空気をハウジング１２の内部に供給するための送風機およびフィルタユニット１０４が示されている。送風機およびフィルタユニット１０４は周囲の空気を取り込む。取り込まれた空気は浄化および乾燥され、その後にハウジングの内部へと流される。図１０において、浄化された空気は個々のコンパートメント１０２の後方にある連結部９０を介して流れる。したがって空気流およびクリーンなガスはコンパートメント１０２の後方から、開かれた前方に向かって流れ、その後に下方１０６へと流れる。上述したように、この流れは垂直の保管に対するノズル効果を提供し、したがって浄化効率を高める。良好な流れをこの図に示されているような水平方向での保管によっても達成することができる。択一的に、内側から外側への流れを達成することができる。
【００６１】
ストッカは、垂直方向（上方および下方）に移動可能であり且つ回転するロボットハンドラが設けられている固定のストッカである。ストッカにはアーティクルを保管するための複数の棚が設けられており、またロードロックステーションと固定のストッカとの間でアーティクルを移送するために内向きに配置されている。
【００６２】
ロボットアセンブリはさらに複数のセンサ、例えばワークピース位置決めセンサ、位置エラーの画像センシング、ＲＦ電界センシング、磁気共鳴センシング、レーザスキャニング、光検出器アレイを用いるセンシング、モータ動作センシング、アーム位置センシングまたはオペレーションおよびサービスに関するいずれかのセンサを有する。さらに、センサはロボットアセンブリの状態および場所を提供し、したがってロボットアセンブリの残りの作業部を最適に使用することができ、さらにはロボットアセンブリの機能していない部分を点検するためにオペレータに警告を発することができる。
【００６３】
１つの実施形態においては、コンパートメントが密閉されており、有利には個別に密閉されている。密閉されたコンパートメントにより、緊急アクセスに起因してその他のワークピースが汚染されることなく緊急的な取外しを行うことができる。さらには、密閉されたコンパートメントは他のコンパートメントに対して相互に密閉されているので、コンパートメント間の相互汚染を阻止する。密閉されたコンパートメントを用いることにより、障害時にはコンパートメントを取り外すためにコンテナを開くことができる。密閉されたコンパートメントは有利には搬送を容易にするために取外し可能である。
【００６４】
密閉されたコンパートメントは通常の作業中はアクセスが遅れる可能性がある。何故ならば、全てのワークピースにアクセスするためにコンパートメントのドアを開いて閉じなければならないからである。したがって１つの実施形態においては、コンパートメントは通常の作業中に開かれているように設計されており、これによりスループットが改善され、またワークピースへのアクセスが容易になる。
【００６５】
１つの態様においては、ワークピースがアクセスされていないときにはコンパートメントを密閉することができる。ワークピースの保管のためにワークピースがコンパートメントに達した際、またはワークピースの取り出しのためにロボットハンドラがコンパートメントに近付いた際に、密閉されているコンパートメントを開放することができる。スループットを改善するために、コントローラは作業のコース、ワークピースの移動およびコンパートメントの要求を維持することができ、したがってコンパートメントの開放が必要とされる前に、密閉されているコンパートメントを開放することができる。コンパートメントを事前に開放することができるか、必要なときの直前に開放することができる。
【００６６】
別の態様においては、緊急作業中にコンパートメントを密閉することができる。コンパートメントは通常の作業状況下では開放されており、障害状況が検出されたときには閉鎖または密閉される。また、コンパートメントの緊急的な取外しのためにアクセスの前にコンパートメントを密閉することができる。個々のコンパートメントを分離するためにシステムは自動的な密閉メカニズムまたは手動の密閉メカニズムを有することができる。システムは障害状況を検出した際に密閉メカニズムを自動的に起動することができる。もしくは、オペレータはストッカ保管領域にアクセスする前にコンパートメントの密閉または閉鎖を開始することができる。
【００６７】
ストッカシステムは、全てのコンパートメントにアクセスするための回転可能な回転コンベヤを有することができる。またシステムは内部のコンパートメントにアクセスするための開放メカニズムまたは移動メカニズムを有することができる。システムはコンパートメントの取外しを容易にするための緊急取外し装置を有することができる。コンパートメントは百個ほどのワークピースを保管することができ、したがって重くなることが考えられる。さらには小さいフットプリントのためにコンパートメントを異なる高さの棚に保管することも考えられ、したがって人間によるアクセスは困難である。
【００６８】
また本発明を機械またはコンピュータによって読み取り可能なフォーマットで実施することができ、例えば適切にプログラミングされたコンピュータ、種々のプログラミング言語のうちのいずれかによって記述されたソフトウェアプログラムで実施することができる。ソフトウェアプログラムは本発明の種々の機能動作を実行するよう記述される。さらには、機械またはコンピュータにより読み取り可能な本発明のフォーマットを種々のプログラム記憶装置、例えばフロッピーディスク、ハードディスク、ＣＤ、ＤＶＤ、不揮発性電子メモリなどにおいて実施することができる。ソフトウェアプログラムを種々のデバイス、例えばプロセッサにおいて実行することができる。
【００６９】
図１１を参照すると、本発明による種々の態様を実施するための例示的な環境３００にはコンピュータ３０１が含まれており、このコンピュータ３０１は処理ユニット３３１、システムメモリ３３２およびシステムバス３３０を有する。処理ユニット３３１として入手可能ないずれかのプロセッサ、例えばシングルマイクロプロセッサ、デュアルマイクロプロセッサまたは他のマルチプロセッサアーキテクチャが考えられる。システムバス３３０としてあらゆるタイプのバス構造またはアーキテクチャ、例えば１２ビットバス、インダストリ・スタンダード・アーキテクチャ（ＩＳＡ；Industrial Standard Architecture）、マイクロチャネルアーキテクチャ（ＭＳＡ；Micro Channel Architecture）、拡張ＩＳＡ（ＥＩＳＡ；Extended ISA）、インテリジェント・ドライブ・エレクトロニクス（ＩＤＥ；Intelligent Drive Electronics）、ＶＥＳＡローカルバス（ＶＬＢ；VESA Local Bus）、ペリフェラル・コンポーネント・インターコネクト（ＰＣＩ；Peripheral Component Interconnect）、ユニバーサル・シリアル・バス（ＵＳＢ；Universal Serial Bus）、アドバンスト・グラフィック・ポート（ＡＧＰ；Advanced Graphics Port）、パーソナル・コンピュータ・メモリ・カード国際協会バス（ＰＣＭＣＩＡ；Personal Computer Memory Card International Association bus）または小型計算機システムインタフェース（ＳＣＳＴ；Small Computer Systems Interface）が考えられる。
【００７０】
システムメモリ３３２は揮発性メモリ３３３および不揮発性メモリ３３４を有することができる。不揮発性メモリ３３４には読取専用メモリ（ＲＯＭ）、プログラミング可能なＲＯＭ（ＰＲＯＭ）、電気的にプログラミング可能なＲＯＭ（ＥＰＲＭ）、電気的に消去可能なＲＯＭ（ＥＥＰＲＯＭ）またはフラッシュメモリが含まれる。揮発性メモリ３３３にはランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）、同期ＲＡＭ（ＳＲＡＭ）、ダイナミックＲＡＭ（ＤＲＡＭ）、同期ＤＲＡＭ（ＳＤＲＡＭ）、ダブルデータレートＳＤＲＡＭ（ＤＤＲ  ＳＤＲＡＭ）、エンハンスドＳＤＲＡＭ（ＥＳＤＲＡＭ）、シンクリンクＤＲＡＭ（ＳＬＤＲＡＭ）またはダイレクトランバスＲＡＭ（ＤＲＲＡＭ）が含まれる。
【００７１】
またコンピュータ３０１は記憶媒体３３６、例えば取外し可能／不可能な揮発性／不揮発性の磁気ディスク装置、磁気ディスクドライブ、フロッピディスクドライブ、テープドライブ、Ｊａｚドライブ、Ｚｉｐドライブ、ＬＳ−ＩＤＯドライブ、フラッシュメモリカード、メモリスティック、光学ディスクドライブ、例えばコンパクトディスクＲＯＭ装置（ＣＤ−ＲＯＭ）、ＣＤ記録可能ドライブ（ＣＤ−Ｒドライブ）、ＣＤ再書込み可能ドライブ（ＤＣ−ＲＷドライブ）またはディジタル多用途ディスクＲＯＭドライブ（ＤＶＤ−ＲＯＭ）を有することができる。取外し可能または取外し不可能なインタフェース３３５はコネクションを容易にするために使用することができる。
【００７２】
さらにコンピュータシステム３０１は環境３００において作動させるためのソフトウェア、例えばオペレーティングシステム３１１、システムアプリケーション３１２、プログラムモジュール３１３およびプログラムデータ３１４を有することができ、これらはシステムメモリ３３２または磁気ディスク装置３３６に記憶されている。種々のオペレーティングシステムまたは複数のオペレーティングシステムの組み合わせを使用することができる。
【００７３】
入力装置３２２は命令またはデータの入力に使用され、またインタフェース３３８を介して接続されるポインティングデバイス、例えばマウス、トラックボール、スタイラス、タッチパッド、キーボード、マイクロフォン、ジョイスティック、ゲームパッド、パラボラアンテナ、スキャナ、ＴＶチューナカード、サウンドカード、ディジタルカメラ、ディジタルビデオカメラ、ウェブカメラなどを有することができる。インタフェースポート３３８にはシリアルポート、パラレルポート、ゲームポート、ユニバーサル・シリアル・バス（ＵＳＢ）および１３９４バスが含まれる。またインタフェースポート３３８は出力装置３２１を収容することができる。例えば、ＵＳＢポートはコンピュータ３０１への入力部を提供するために使用することができ、またコンピュータ３０１から出力装置３２１に情報を出力するために使用することができる。出力アダプタ３３９、例えばビデオカードまたはサウンドカードには幾つかの出力装置、例えばモニタ、スピーカおよびプリンタなどを接続することができる。
【００７４】
リモートコンピュータ３２４を備えたネットワーク環境においてコンピュータ３０１を作動させることができる。メモリ記憶装置３２５と共に示されているリモートコンピュータ３２４としてパーソナルコンピュータ、サーバ、ルータ、ネットワークＰＣ、ワークステーション、マイクロプロセッサベースの装置、ピアデバイスまたは他の共通ネットワークノードなどが考えられ、またそのようなリモートコンピュータ３２４は通常の場合コンピュータ３０１に関して説明した多数の構成要素または全ての構成要素を有する。リモートコンピュータ３２４をネットワークインタフェース３２３および通信コネクション３３７を介してコンピュータ３０１に接続することができる。ネットワークインタフェース３２３はローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）および広域ネットワーク（ＷＡＮ）のような通信ネットワークでよい。ＬＡＮテクノロジにはファイバ分布データインタフェース（ＦＤＤＩ；Fiber Distributed Data Interface）、銅線分布データインタフェース（ＣＤＤＩ；Copper Distributed Data Interface）、イーサネット／ＩＥＥＥ１２０２．３、トークンリング／ＩＥＥＥ１２０２．５などが含まれる。ＷＡＮテクノロジにはポイント・ツー・ポイントリンク（point-to-point link）、回線交換ネットワーク、例えば統合サービスディジタルネットワーク（ＩＳＤＮ；Integrated Services Digital Network）およびそれらのヴァリエーション、パケット交換ネットワークおよびディジタル加入者センサ（ＤＳＬ；Digital Subscriber Line）が含まれるが、それらに限定されるものではない。
【００７５】
図１２は、本発明が情報を交換することができる例示的なコンピューティング環境４０の概略的なブロック図を示す。システム４４０は複数のクライアントシステム４４１を有する。システム４４０はまた複数のサーバ４４３を有する。サーバ４４３は本発明を実施するために使用される。システム４４０はクライアント４４１とサーバ４４３との間の通信を容易にするための通信ネットワーク４４５を有する。クライアントシステム４４１に接続されているクライアントデータ記憶装置４４２は情報をローカルに記憶することができる。同様にサーバ４４３はサーバデータ記憶装置４４４を有することができる。
【００７６】
本発明を種々の修正形態および択一形態に適用することができ、それらの実施例を図面に示し、また詳細に説明した。しかしながら、本発明は上記の特定の実施形態に制限されるものではない。むしろ本発明は、特許請求の範囲に規定されている発明の精神および範囲から逸脱することなく、あらゆる修正形態、等価の形態および択一形態を含む。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【国際調査報告】
2010509785.tif 000015
2010509785.tif 000016
2010509785.tif 000017