(57)【要約】  ソーラーウエハ（２）のマウントディバイスであって、細長いウエブ（３）を有する少なくとも１つの櫛状ホルダ（１）を有し、細長いウエブ（３）の長手方向に延びる部分に沿って等間隔に配置された複数の櫛歯要素（４）が備えられており、互いに向き合う隣接する２つの櫛歯要素（４）の間に、少なくとも１つの凹部（５または６）が形成されており、凹部は、ソーラーウエハ（２）を挿入する接触表面（７）及びガイド表面（８）からなる。マウントディバイスにソーラーウエハを確実に保持且つマウントするために、少なくとも１つの櫛状ホルダ（１）の細長いウエブ（３）の隣接する２つの櫛歯要素（４）の間に、マウント・ギャップ（９）が備えられている。マウント・ギャップの輪郭は、互いにズレた２つの凹部（５または６）による任意の間隔（ｂH）と、櫛歯要素（４）の総奥行き（ｔges）よりも短い奥行き（ｔ1）または奥行き（ｔ2）を有する接触表面（７）及びガイド表面（８）からなり、奥行き（ｔ1）及び奥行き（ｔ2）は、合わせて櫛歯要素（４）の個々の総奥行き（ｔges）を形成し、輪郭（ｕA1またはｕA2）は、マウント・ギャップ（９）の輪郭（ｕS）の接触表面（７）を含む平面（１３）に対して鋭角（α）をもって傾斜して延びる平面（１２）内に位置するウエブ寄りに傾斜表面（１１）を有する溝部（１０）を有し、ソーラーウエハ（２）の下端縁（２１）が、輪郭（ｕA1またはｕA2）に含まれる溝部（１０）の傾斜表面（１１）と接触するまで、重力によって滑って予め決められた位置に移動する。この位置において、マウント・ギャップ（９）の輪郭（ｕS）に含まれる接触表面（７）の垂線を中心にして櫛状ホルダ（１）を予め決められた鋭角（φ）回転させている間、接触表面（７）と平面接触するように、ソーラーウエハ（２）の表面（１３）が接触表面（７）と向かい合わされている。このとき、ソーラーウエハ（２）の接触表面（７）から離れた側の表面（２２）と、接触表面（７）と平行に延びるマウント・ギャップ（９）の輪郭（ｕS）に含まれるガイド表面（８）との間には公差（１４）が同じ位置に形成される。【選択図】  図１
2010537440.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ソーラーウエハ（２）等のディスク形基板のためのマウントディバイスであって、
細長いウエブ（３）を有する少なくとも１つの櫛状ホルダ（１）を有し、
前記細長いウエブ（３）の長手方向に延びる部分（Ｘ軸という）に沿って等間隔に配置され、前記ウエブの長手方向に延びる部分に対して直交する方向（Ｚ軸という）に一定の長さ突出し且つＸ軸及びＺ軸によって形成された平面に対して直交する方向（Ｙ軸という）の総奥行きｔgesが前記細長いウエブの厚みと一致する複数の櫛歯要素（４）を備え、
互いに向き合う隣接する２つの前記櫛歯要素（４）の間に、前記ソーラーウエハ（２）をマウントするために少なくとも１つの凹部（５または６）が、輪郭（ｕA）を備えて形成されており、
前記凹部（５または６）は、中間軸（Ａ）がＺ軸方向に延び、互いに対して且つ前記凹部（５または６）の前記中間軸（Ａ）に対して平行に配置された接触表面（７）及びガイド表面（８）を定め、前記凹部（５または６）により前記ソーラーウエハ（２）がマウントされるマウントディバイスであって；
前記少なくとも１つの櫛状ホルダ（１）の前記細長いウエブ（３）に設けられた隣接する２つの前記櫛歯要素（４）の間にマウント・ギャップ（９）が形成されており、
前記マウント・ギャップ（９）の輪郭（ｕS）は、前記マウント・ギャップ（９）に受け入れられる前記ソーラーウエハ（２）のための前記接触表面（７）及び前記ガイド表面（８）を構成し、
前記接触表面（７）及び前記ガイド表面（８）は、２つの前記凹部（５または６）がＸ軸方向にズレることによって、Ｘ軸方向に任意の間隔（ｂH）をあけて形成され、２つの前記凹部は輪郭（ｕA1またはｕA2）を有し且つ前記櫛歯要素（４）の総奥行き（ｔges）よりも短い個々の奥行き（ｔ1）及び奥行き（ｔ2）を有し、
前記奥行き（ｔ1）及び前記奥行き（ｔ2）により、前記櫛歯要素（４）の個々の総奥行き（ｔges）が定まり、
前記輪郭（ｕA1またはｕA2）は、前記マウント・ギャップ（９）の前記輪郭（ｕS）の前記接触表面（７）を含む平面（１３）に対して鋭角（α）を持って傾斜して延びる平面（１２）内に位置するウエブ寄りの傾斜表面（１１）を有するウエブ寄りの溝部（１０）を含み、
前記ソーラーウエハ（２）の下端縁（２１）が、前記輪郭（ｕA1またはｕA2）に含まれる前記溝部（１０）の前記傾斜表面（１１）と接触するまで、前記マウント・ギャップ（９）に差し込まれた前記ソーラーウエハ（２）が重力によって滑って予め決められた位置に移動し、
前記ソーラーウエハ（２）は、前記マウント・ギャップ（９）の前記輪郭（ｕS）に含まれる前記接触表面（７）の垂線を中心にして前記櫛状ホルダ（１）を予め決められた鋭角（φ）回転させている間、前記接触表面（７）と平面接触するように、前記ソーラーウエハ（２）の表面（１３）が前記接触表面（７）と向かい合わされており、
このとき、前記ソーラーウエハ（２）の前記接触表面（７）から離れた側の表面（２２）と、前記接触表面（７）と平行に延びる前記マウント・ギャップ（９）の前記輪郭（ｕS）に含まれる前記ガイド表面（８）との間には公差（１４）が形成されることを特徴とするマウントディバイス。
【請求項２】
前記２つの凹部を構成する第１の凹部（５）及び第２の凹部（６）の前記奥行き（ｔ1）及び前記奥行き（ｔ2）は、同一であることを特徴とする請求項１に記載のマウントディバイス。
【請求項３】
前記マウント・ギャップ（７）の前記輪郭（ｕS）に含まれる前記接触表面（７）の前記平面（１３）と、前記第１及び第２の凹部（５または６）の前記輪郭（ｕA1またはｕA2）によって形成される前記ウエブ寄りの溝部（１０）内の前記ウエブ寄りの前記傾斜表面（１１）が含まれる前記平面（１２）との間の前記鋭角（α）は、前記ウエブ（３）の材料と前記ソーラーウエハ（１）の材料の組み合わせに応じて、４６°から５０°の範囲の角度であることを特徴とする請求項１または２に記載のマウントディバイス。
【請求項４】
Ｘ軸方向に測定した前記マウント・ギャップ（９）の間隔（ｂH）は、前記ソーラーウエハ（２）の厚み（ｄ）に前記公差（１４）を加えたものと同一であることを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか１項に記載のマウントディバイス。
【請求項５】
前記マウント・ギャップ（９）の前記輪郭（ｕS）は、隣接する２つの前記櫛歯要素（１４）の表面部分（１６または１７）を含んでおり、これら表面部分は前記マウント・ギャップ（９）に前記ソーラーウエハ（２）を挿入する方向（ＲE）とは逆の方向に向かって漏斗のように広がって開口部（１５）を形成し、
前記表面部分（１６または１７）は、前記マウント・ギャップ（９）の前記輪郭（ｕS）に含まれる前記ガイド表面（８）及び前記接触表面（７）とそれぞれ連続し且つ前記開口部（１５）を囲んでおり、前記開口部（１５）において、前記櫛状ホルダ（１）の側面側から見た場合に、前記表面部分（１７）と前記ガイド表面（８）との間の鋭角（β）が１８°から２２°の角度となり、前記表面部分（１６）と前記接触表面（７）との間の鋭角（γ）が１３°から１７°の範囲の角度となるように定められていることを特徴とする請求項１乃至４のうちいずれか１項に記載のマウントディバイス。
【請求項６】
前記ウエブ（３）の長手方向に延びる下端縁（１８）は、前記マウント・ギャップ（９）の前記輪郭（ｕS）の前記接触表面（７）の垂線に対して鋭角（φ）＝３°傾いていることを特徴とする請求項１乃至５のうちいずれか１項に記載のマウントディバイス。
【請求項７】
長手方向に沿って複数の前記櫛歯要素（１４）が互いに等間隔で備えられている前記ウエブ（３）は、前記櫛状ホルダ（１）の外形の特徴を有する素材を機械加工して製造されており、
機械加工ではまず、前記素材の一方の側面からＹ軸方向に奥行き（ｔ1）までフライス加工し、一部フライス加工した前記素材をＺ軸を中心に１８０°回転してから、他方の側面からＹ軸方向に奥行き（ｔ2）までフライス加工して輪郭を完全に形成することにより、前記櫛状ホルダ（１）のフライス加工された輪郭を完全に加工するために、１つのフライスカッターだけを使用することを特徴とする請求項１乃至６のうちいずれか１項に記載のマウントディバイス。
【請求項８】
前記素材は、プラスチック、軽金属または軽金属の合金からなることを特徴とする請求項７に記載のマウントディバイス。
【請求項９】
別々に且つ同時にフライス加工される２つのコンポーネント（１９及び２０）が用意され、
前記２つのコンポーネントの輪郭（ｕ19及びｕ20）は、縦断面が、ｙ＝ｔ1またはｙ＝ｔges−ｔwを有し、Ｘ軸と平行に延びる２枚のシート金属素材からなり、対向する側面が平面的に当接している間は、分離可能に互いに固定されてその輪郭ｕSchnittの縦断面が、前記櫛状ホルダ（１）の輪郭ｕSchnittに一致することを特徴とする請求項１乃至６のうちいずれか１項に記載のマウントディバイス。
【請求項１０】
前記２つのコンポーネント（１９及び２０）は、互いにネジ止めされていることを特徴とする請求項９に記載のマウントディバイス。
【請求項１１】
少なくとも１組の前記櫛状ホルダ（１）からなり、
同一に設計された２つの前記櫛状ホルダ（１）の前記細長いウエブ（３）が、互いに平行に且つ一定距離を隔てて配置され、且つ長手方向の位置を揃えて正確に整列していることを特徴とする請求項１乃至１０のうちいずれか１項に記載のマウントディバイス。
【請求項１２】
少なくとも１つの移動可能な追加櫛状ホルダ（２７）を更に備え、
前記移動可能な追加櫛状ホルダ（２７）は、対応する前記マウント・ギャップ（９）の前記輪郭（ｕS）に含まれる前記接触表面（７）と前記移動可能な追加櫛状ホルダ（２７）の前記マウント・ギャップ（９）の前記輪郭（ｕS）に含まれる前記ガイド表面（８）とによって、固定状態にある２つの前記櫛状ホルダ（１）の相互に対応する２つの前記マウント・ギャップ（９）にマウントされた前記ソーラーウエハ（２）が、バックラッシュ無し位置に固定されるように、前記櫛状ホルダ（１）に対して前記移動可能な櫛状ホルダが長手方向に制御されて移動することを特徴とする請求項１１に記載のマウントディバイス。
【請求項１３】
相互に間隔をあけて配置され且つ同一に設計される２つの前記櫛状ホルダ（１）は、それぞれの前記細長いウエブ（３）が、２つの前記櫛状ホルダ（１）の間を長手に延びるガイドを上面に含み、前記細長いウエブの端部どうしを接続するベース部（２４）を備えた１つの部品として設計され、
前記移動可能な追加櫛状ホルダ（２７）の前記細長いウエブ（３）は、前記長手方向に延びる下端縁（１８）が、外側に位置する２つの前記櫛状ホルダ（１）のそれぞれの前記細長いウエブ（３）に対して、平行に且つ長手方向の位置を揃えて整列し、制御可能に前後に移動することを特徴とする請求項１１または１２に記載のマウントディバイス。
【請求項１４】
櫛状ホルダ（１；２８）によってバックラッシュ無しで前記ソーラーウエハ（２）を位置決めする際には、前記移動可能な追加櫛状ホルダ（２８）が、前記ソーラーウエハ（２）を受け入れるために、前記移動可能な追加櫛状ホルダ（２７）の対応する前記マウント・ギャップ（９）を、外側の２つの前記櫛状ホルダ（１）の前記マウント・ギャップ（９）のそれぞれと整列するベース位置にあり、そのベース位置から、前記移動可能な追加櫛状ホルダを２つの前記櫛状ホルダに対して、前記接触表面（７）と離れた側の前記ソーラーウエハ（２）の平面（２２）と前記櫛状ホルダ（１）のそれぞれの前記マウント・ギャップ（９）の前記輪郭（ｕS）に含まれる前記接触表面（７）と平行に延びる前記ガイド表面（８）との間に存在する間隔（１４）と等しい距離だけ移動することを特徴とする請求項１２または１３に記載のマウントディバイス。
【請求項１５】
前記櫛状ホルダ（１）の前記細長いウエブ（３）と前記移動可能な追加櫛状ホルダ（２８）の前記細長いウエブ（３）は、同じ設計であることを特徴とする請求項１２乃至１４のうちいずれか１項に記載のマウントディバイス。
【請求項１６】
前記移動可能な追加櫛状ホルダ（２８）の前記細長いウエブ（３）の前記マウント・ギャップ（９）は、長手方向と直交する方向の断面形状がＵ字形状をしていることを特徴とする請求項１２乃至１４のうちいずれか１項に記載のマウントディバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ソーラーウエハ（solar wafer）等のディスク形基板（disk-shaped substrates）のためのマウントディバイス（mounting device）であって、細長いウエブ（elongated web）を有する少なくとも１つの櫛状ホルダ（comb-like holder）を有し、細長いウエブの長手方向に延びる部分（Ｘ軸という）に沿って等間隔に配置され、ウエブの長手方向に延びる部分に対して直交する方向（Ｚ軸という）に一定の長さ突出し且つＸ軸及びＺ軸によって形成された平面に対して直交する方向（Ｙ軸という）総奥行き（total depth）ｔgesが細長いウエブの厚みと一致する複数の櫛歯要素（comb elements）を備え、互いに向き合う隣接する２つの櫛歯要素の間に、ソーラーウエハをマウントするために少なくとも１つの凹部（recess）が、輪郭（outer contour）を備えて形成されており、凹部は、中間軸（middle axis）がＺ軸方向に延び、互いに対して且つ凹部の中間軸に対して平行に配置された接触表面（contact surface）及びガイド表面（guiding surface）を定め、凹部によりソーラーウエハがマウントされるマウントディバイスに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ドイツ特許ＤＥ１９９  １３  １３４  Ａ１（特許文献１）で知られる、矩形の直方体形状（rectangular cuboid）のチップ部品（chip components）用の移載ディバイス（transfer device）の１つは、移載円板（transfer disk）の形をしたマウントディバイスを提供する。移載円板の外周（periphery）は、移載溝部（transfer grooves）の形をした互いから等間隔に配置された複数の凹部を定め、直方体のチップ部品（chip element）は、移載溝部に吸引されたエアーによって保持され且つ移載円板が回転したときに他の動作位置に移動される。各移載溝部の外周の端部（peripheral edge section）は、チップ部品を１つだけ保持することができる段穴状のキャビティ（stepped hole-shaped cavity）を組み込んでいる。キャビティの半径方向の長さがチップ部品の長い方の側面よりも短いため、キャビティに収納されているチップ部品の一部が移載円板の外周面の側面から突出する。キャビティと移載溝部の間の低い方の面における第１の段が、チップ部品の短い方の側面の幅よりも小さい。これにより、移載円板の外径（outer diameter）に向かう連続した（sequential）チップ部品の動きがコントロールされる。
【０００３】
ドイツ特許ＤＥ１９９  ０６  ８０５  Ｂ４（特許文献２）で知られる、例えばウエハなどの機械加工される基板を搬送するディバイスは、更に、ウエハがその間に配置される互いに間隔をあけた基本的に矩形状の一対の保持体を有する位置変換ディバイスを備えている。各ホルダは、他のホルダと面する側に設けられており、ウエハを個々に保持するために適当に間隔をあけて複数の保持溝部（retaining grooves）を有している。保持溝部は、完全なＶ字形の横断面を有しており、開口部側は、可能な限り保持溝部とウエハが接触しないように広がっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】ドイツ特許ＤＥ１９９  １３  １３４  Ａ１
【特許文献２】ドイツ特許ＤＥ１９９  ０６  ８０５  Ｂ４
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、櫛状ホルダ内で定められた高さでマウントするだけでなく、櫛歯要素の両方の定められた側面に、ソーラーウエハを確実に保持及びマウントするために、隣接する２つの櫛歯要素の間が望ましいだけ高い精度で（tightly）加工されている、マウント・ギャップ（mounting gap）を有する、技術的に単純で安価に設計された、ソーラーウエハ等のディスク形基板のための、少なくとも１つの櫛状ホルダを有するマウントディバイスを提供することにある。さらに、本発明によるマウントディバイスは、保持するソーラーウエハをバックラッシュ無く固定する（backlash-free fixation）ことにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この目的は、少なくとも１つの櫛状ホルダの細長いウエブに設けられた隣接する２つの櫛歯要素の間にマウント・ギャップが形成されており、マウント・ギャップの輪郭ｕsは、マウント・ギャップに受け入れられるソーラーウエハのための接触表面及びガイド表面を構成し、接触表面及びガイド表面は、２つの凹部がＸ軸方向にズレること（offset）によって、Ｘ軸方向に任意の間隔をあけて形成され、２つの凹部は輪郭ｕA1またはｕA2を有し且つ櫛歯要素の総奥行きｔgesよりも短い個々の奥行きｔ1または奥行きｔ2を有し、奥行きｔ1及び奥行きｔ2により、櫛歯要素の個々の総奥行きｔgesが定まり、輪郭ｕA1またはｕA2は、マウント・ギャップの輪郭ｕSの接触表面を含む平面（plane）に対して鋭角（acute angle）αを持って傾斜して延びる平面内に位置するウエブ寄りの傾斜表面を有するウエブ寄りの溝部（groove）を含み、ソーラーウエハの下端縁（lower edge）が、輪郭ｕA1またはｕA2に含まれる溝部の傾斜表面と接触するまで、マウント・ギャップに差し込まれたソーラーウエハが重力によって滑って予め決められた位置に移動し、ソーラーウエハは、マウント・ギャップの輪郭ｕSに含まれる接触表面の垂線を中心にして櫛状ホルダを予め決められた鋭角回転させている間、接触表面と平面接触（planar contact）するように、ソーラーウエハの表面が接触表面と向かい合わされており、このとき、ソーラーウエハの接触表面から離れた側の表面と、接触表面と平行に延びるマウント・ギャップの輪郭ｕSに含まれるガイド表面との間には公差（tolerance）が形成されることを特徴とするマウントディバイスによって達成される。
【０００７】
隣接する２つの櫛歯要素の第１の凹部及び第２の凹部の奥行きｔ1及び奥行きｔ2は、同一であることが望ましい。また、鋭角αは、ウエブの材料及びソーラーウエハの材料の組み合わせによって、４６°から５０°の範囲の角度であることが望ましい。Ｘ軸方向に測定したマウント・ギャップの間隔は、ソーラーウエハの厚みに公差を加えたものと同一である。
【０００８】
マウント・ギャップの輪郭ｕSは、櫛状ホルダの長手方向と直交する平面において、マウント・ギャップの輪郭ｕSのガイド表面及び接触表面と接する（abut）、開口部と接する（bordering）複数の表面部分を含んでおり、これらの表面部分はソーラーウエハが挿入される方向とは逆の方向に、漏斗（funnel）のように広がって開口部を形成している。表面部分の１つはガイド表面との間の角度が１８°から２２°の範囲の角度の鋭角β、もう１つは接触表面との間の角度が１３°から１７°の範囲の角度の鋭角γとなるように定められている。また、ウエブ寄りに溝部を有する第１または第２の凹部の輪郭の開口部は、段のある孔（stepped hole）として設計されている。
【０００９】
各ソーラーウエハが、対応するマウント・ギャップの輪郭ｕSの接触表面と適切に確実に平面的に当接するようにするために、ウエブの長手方向に延びる下端縁（lower longitudinal edge）は、マウント・ギャップの輪郭ｕSの接触表面の垂線に対して３°の鋭角で傾いていてもよい。
【００１０】
マウントディバイスの各櫛状ホルダは、素材（blank）を機械加工することによって製造される。素材は、プラスチック、軽金属または軽金属の合金からなり、櫛状ホルダの外形の特徴を有する。機械加工では、櫛状ホルダのフライス加工による輪郭（milled contour）を完全に形成するのに、１つのフライスカッター（milling cutter）を使用し、まず、素材の一方の側面からＹ軸方向に奥行きｔ1までフライス加工し（milled）、一部フライス加工した素材をＺ軸を中心に１８０°回転してから、他方の側面からＹ軸方向に奥行きｔ2までフライス加工して輪郭を完全に加工することができる。櫛状ホルダを製造するために、対応する位置にあるそれぞれのフライスによって側面の両側から素材を機械加工することも可能である。
【００１１】
本発明による櫛状ホルダは、同時に加工される２つのコンポーネント（components）が用意されていてもよく、２つのコンポーネントの輪郭は、縦断面が、ｙ＝ｔ1またはｙ＝ｔges−ｔwを有し、Ｘ軸と平行に延びる２枚のシート金属素材（two defined sheet metal blanks）からなり、対向する側面が平面的に（planar manner）当接している間は、分離可能に互いにネジ止めされて、その輪郭ｕSchnittの縦断面が、櫛状ホルダ１のシート金属素材の個々の輪郭ｕSchnittに一致する。
【００１２】
シリコンウエハなどの薄く平行に配置された基板のためのホルダの従来のフライス加工による輪郭の加工に対して、本発明によるマウントディバイスの櫛状ホルダは、フライスカッターによる工程によって、各シリコンウエハのマウント・ギャップの間隔が、フライスカッターの厚みにって定められるため、望ましいだけマウント・ギャップと同じくらい高い精度で（tight）加工することができることになる。さらに、櫛状ホルダのフライス加工による輪郭によって、両方ともマウント・ギャップの輪郭ｕSの定められた側と同じく定められた高さで、櫛状ホルダによって保持されるソーラーウエハが平面的に当接することを確実にすることができる。本発明による結果として、技術的な観点から、望ましい間隔のマウント・ギャップを有するソーラーウエハ等のディスク形基板のためのマウントディバイスの櫛状ホルダを比較的容易に且つ安価に製造することが可能になる。
【００１３】
本発明によるマウントディバイスは、１組の櫛状ホルダを配置していてもよく、ソーラーウエハを受け入れるために、同一に設計された２つの櫛状ホルダの細長いウエブが、互いに平行に且つ一定距離を隔てて配置され、長手方向の位置を揃えて正確に整列している。少なくとも１つの追加櫛状ホルダを適切に備えてもよく、移動可能な（shiftable）追加櫛状ホルダは、対応するマウント・ギャップの輪郭に含まれる接触表面と移動可能な追加櫛状ホルダのマウント・ギャップの輪郭に含まれるガイド表面とによって、固定状態にある２つの櫛状ホルダの相互に対応する２つのマウント・ギャップにマウントされたソーラーウエハが、バックラッシュ無し位置（backlash-free position）に固定されるように、櫛状ホルダに対して移動可能な櫛状ホルダが長手方向に制御されて移動する。
【００１４】
相互に間隔をあけて配置され且つ同一に設計される２つの櫛状ホルダは、それぞれの細長いウエブが、２つの櫛状ホルダの間を長手に延びるガイドを上面に含み、細長いウエブの端部どうしを接続するベース部（final connecting base section）を備えた１つの部品として設計され、移動可能な追加櫛状ホルダの細長いウエブは、長手方向に延びる下端縁が、外側に位置する２つの櫛状ホルダのそれぞれの細長いウエブに対して、平行に且つ長手方向の位置を揃えて整列し、制御可能に移動するようにしてもよい。
【００１５】
櫛状ホルダによってバックラッシュ無しでソーラーウエハを位置決めする際に、移動可能な追加櫛状ホルダが、他の櫛状ホルダに対して、接触表面と離れた側のソーラーウエハの平面と櫛状ホルダのそれぞれのマウント・ギャップの輪郭ｕSの接触表面と平行の延びるガイド表面との間に存在する間隔（clearance）と等しい距離だけ移動する。
【００１６】
移動可能な追加櫛状ホルダの細長いウエブは、固定された櫛状ホルダの細長いウエブと同じように設計されていてもよい。代わりに、移動可能な追加櫛状ホルダの細長いウエブのマウント・ギャップは、長手方向と直交する方向の断面形状がＵ字形状であってもよい。
【００１７】
以下には、図面を参照して、本発明によるマウントディバイスの好適な実施形態が示されている。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明によるマウントディバイスの櫛状ホルダの側面の平面図である。
【図２】マウント・ギャップ内にソーラーウエハが描かれている状態の、図１の櫛状ホルダの左端に示された部分の詳細図である。
【図３】図１に示された櫛状ホルダの櫛状ホルダの側面の左前から見た場合の斜視図である。
【図４】図１に示された櫛状ホルダの櫛状ホルダの側面の右前から見た場合の斜視図である。
【図５】２つのコンポーネントよりなる他の実施の態様の櫛状ホルダの長手方向に直交する方向の断面図である。
【図６】ソーラーウエハがマウントする位置に存在し、バックラッシュ無しで固定された状態の他の実施の態様のマウントディバイスの斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
ソーラーウエハ２等のディスク形基板のマウントディバイスの第１の実施の形態は、２つの同一に設計された、図１乃至図４に図示するような櫛状ホルダ１から成る。２つの櫛状ホルダ１は、間隔をあけて平行に配置され、且つ、長手方向の位置を揃えて整列している。２つの櫛状ホルダの間の距離は、２つの櫛状ホルダ１のウエブ３の相互に対応するマウント・ギャップ９にマウントされるソーラーウエハ２の下端縁２１の長さよりも短くてもよい。
【００２０】
図１乃至図４から明らかなように、櫛状ホルダ１は、長手方向に延びるＸ軸方向に等間隔で配置されている複数の櫛歯要素４が設けられているウエブ３を有している。長手方向に延びるウエブ３に対して、櫛歯要素４は、Ｚ軸方向に一定の長さを超えて突出し、且つ、Ｘ軸及びＺ軸によって形成された平面に対して垂直な（すなわち、Ｙ軸方向の）細長いウエブ３の幅ｂと一致する総奥行きｔgesを定めている。
【００２１】
図２に詳細に図示してあるように、輪郭ｕA1を有する第１の凹部５と輪郭ｕA2を有する第２の凹部６は、隣接する２つの櫛歯要素４の間に、Ｘ軸方向にずらして設けられている。第１の凹部５及び第２の凹部６の奥行きｔ1及び奥行きｔ2のそれぞれは、櫛歯要素４の総奥行きｔgesよりも小さく、且つ、合わせて櫛歯要素４の総奥行きｔgesを形成する。第１の凹部５及び第２の凹部６の奥行きｔ1及び奥行きｔ2は、同一でもよい。
【００２２】
第１の凹部４及び第２の凹部５を互いに対してＸ軸方向にずらすことで、隣接する２つの櫛歯要素４の間に、任意の間隔ｂHの輪郭ｕSのマウント・ギャップ９が形成される。マウント・ギャップ９は、マウント・ギャップ９に受け入れられるソーラーウエハ２のための接触表面７及びガイド表面８を有している。接触表面７及びガイド表面８は、互いに対して、及び、第１の凹部５または第２の凹部５または６の輪郭ｕA1及び輪郭ｕA2の中間軸Ａに対して平行に配置されている。中間軸Ａは、ほぼＺ軸方向に延びている。Ｘ軸方向に測定したマウント・ギャップ９の間隔ｂHは、ソーラーウエハ２の厚みｄに公差１４を加えたものと等しい。
【００２３】
第２の凹部６の輪郭ｕA2は、ウエブ寄りに溝部１０を有している。溝部１０は、ウエブ寄りに、マウント・ギャップ９の輪郭ｕSの接触表面７を含む平面１３に対して予め定められた鋭角αをもって傾斜して延びる平面１２内に横たわる傾斜表面１１を有している。角度αは、ウエブ３の材料と及びソーラーウエハ２の材料の組み合わせによって、４６°から５０°の角度の範囲で選択することができる。
【００２４】
図２及び図４に最もよく図示されているように、マウント・ギャップ９の輪郭ｕSは、マウント・ギャップ９にソーラーウエハ２を挿入する方向ＲEとは逆の方向に向かって漏斗のように広がって、対応する隣接する櫛歯要素４の間の第１の凹部５の輪郭ｕA1の開口部１５を形成している。櫛状ホルダ１の側面の一部拡大図（図２）によれば、開口部１５は、マウント・ギャップ９の輪郭ｕSのガイド表面８または接触表面７と接する、隣接する櫛歯要素の表面部分１６及び表面部分１７によって囲まれている。表面部分１６及び表面１７は、鋭角βまたはγで、ガイド表面８または接触表面７に対して外側に向かってガイドされていることが望ましい。鋭角βは１８°から５０°の範囲、鋭角γは１３°から１７°の範囲の角度である。ウエブ寄りに溝部１０を有する第２の凹部６の輪郭ｕA2の開口部は、段のある孔として設計されている。
【００２５】
マウント・ギャップ９に差し込まれるソーラーウエハ２の下端縁２１が、第２の凹部６の輪郭ｕA2の溝部１０の傾斜表面１１と接触するとき、傾斜表面１１上のソーラーウエハ２は、静止摩擦を超えている間、重力により、予め決められた位置に、滑って下方向に移動する。マウント・ギャップ９の輪郭ｕSの接触表面７の垂線に対して、櫛状ホルダ１を予め決められた鋭角φ回転させる際、ソーラーウエハ２は、接触表面７と平面接触するように、表面１３が接触表面７と向かい合わされている。このとき、接触表面７と面していない（facing away）ソーラーウエハ２の面２２と接触表面７と平行に延びているマウント・ギャップ９の輪郭ｕSのガイド表面８の間には、公差１４が備えられている。鋭角φの角度は、通常は、３°である。櫛状ホルダ１のウエブ３の長手方向に延びる下端縁１８を、前もって第２の凹部６の輪郭ｕSの接触表面７の垂線に対して鋭角φ＝３°で傾斜させて加工することで、第２の凹部６の溝部１０の傾斜表面１１上のソーラーウエハの下端縁２１を移動させる間、ソーラーウエハ２と接触表面７の間の平面接触を確実にすることも可能である。
【００２６】
図５に示した櫛状ホルダ１の実施の態様では、別々に且つ同時にフライス加工される２つのコンポーネント１９及び２０が存在する。２つのコンポーネントの輪郭ｕ19及びｕ20は、縦断面が、ｙ＝ｔ1またはｙ＝ｔges−ｔwでＸ軸と平行に延びる２枚のシート金属素材からなり、対向する側面が平面的に当接している間は、その輪郭ｕSchnittの縦断面が、櫛状ホルダ１の輪郭ｕSchnittと一致する。２つのコンポーネントは、面している対向する側面が平面的に当接している間、分離可能に互いに固定されている。
【００２７】
図６は、マウントディバイスによって保持されるソーラーウエハ２を、バックラッシュ無し位置に固定することができるマウントディバイスの実施の態様を示している。この実施の態様では、互いに間隔をあけて平行に配置された複数の同一の櫛状ホルダ１を備え、櫛状ホルダの細長いウエブ３は、細長いウエブの端部どうしを接続するベース部２４を備え、平面の底部２５を有する、１つの部品として設計されている。ベース部２４の上面の２つの固定された櫛状ホルダ１の間を、長手に延びるガイドが配置されている。このガイドによって、移動可能な追加櫛状ホルダ２７の細長いウエブ３は、図６に二重矢印２６によって示されているように、前後に（to and fro）操作可能にガイドされる。移動可能な追加櫛状ホルダ２７の長手方向に延びる下端縁１８は、２つの外側の（outer）櫛状ホルダ１の個々の細長いウエブ３に対して、平行に且つ長手方向の位置を揃えて整列している。移動可能な追加櫛状ホルダ２７をベース位置から長手方向に移動させるために、例えば、ロボットを使用することができる。ソーラーウエハ２を受け入れるために、移動可能な追加櫛状ホルダ２７の対応するマウント・ギャップ９は、２つの外側の櫛状ホルダ１の個々の対応するマウント・ギャップ９と整列しており、ソーラーウエハ２が２つの櫛状ホルダ１及び移動可能な櫛状ホルダ２７によってバックラッシュ無しで固定される位置に移動し、それからベース位置に戻る。ソーラーウエハ２のバックラッシュ無しの固定位置において、移動可能な櫛状ホルダ２７は、ベース位置から、２つの櫛状ホルダ１の対応する個々のマウント・ギャップ９の接触表面７によってマウントされた平面に向かって、２つの櫛状ホルダ１に関して長手方向に、接触表面７から離れた側のソーラーウエハ２の表面２２と、２つの櫛状ホルダ１のそれぞれのマウント・ギャップ９の輪郭ｕSの個々の接触表面７と平行のガイド表面８との間に存在する間隔１４と等しい距離だけ移動する。
【００２８】
［参照符号のリスト］
１  櫛状ホルダ
２  ソーラーウエハ
３  ウエブ
４  櫛歯要素
５  第１の凹部
６  第２の凹部
７  接触表面
８  ガイド表面
９  マウント・ギャップ
１０  ウエブ寄りの溝部
１１  溝部のウエブ寄り傾斜表面
１２  溝部のウエブ寄り表面
１３  接触表面と面するソーラーウエハの表面
１４  公差
１５  開口部
１６  接触表面と接する表面
１７  ガイド表面と接する表面
１８  ウエブの長手方向に延びる下端縁
１９  第１のコンポーネント
２０  第２のコンポーネント
２１  ソーラーウエハの下端縁
２２  溝部のウエブ寄り傾斜表面内の予め決められた位置
２３  接触表面から離れた側のソーラーウエハの表面
２４  ベース部
２５  ベース部の底面
２６  移動可能な櫛状ホルダの移動方向を示す二重矢印
２６  移動可能な櫛状ホルダ
ｕA  凹部の輪郭
Ａ  輪郭ｕAを有する凹部の中間軸
ｕA1  第１の凹部の輪郭
ｕA2  第２の凹部の輪郭
ｕS  マウント・ギャップの輪郭
ｕSchnitt  シート状金属素材の輪郭
ｕ19  第１のコンポーネントの輪郭
ｕ20  第２のコンポーネントの輪郭
ｔ1  第１の凹部の奥行き
ｔ2  第２の凹部の奥行き
ｔges  櫛歯要素の総奥行き
ｂ  ウエブの幅
ｂH  マウント・ギャップの間隔
ｄ  ソーラーウエハの厚み
ＲE  マウント・ギャップにソーラーウエハを挿入する方向
α  ウエブ寄り表面の平面の角度
β  ガイド表面と隣接する表面の角度
γ  接触表面と隣接する表面の角度
φ  ウエブの長手方向に延びる下端縁の角度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
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