(57)【要約】【課題】  既存の電子カラムに使用される電子放出源と異なり、電子を安定的に放出することができるＣＮＴを用いる電子放出源と、ＣＮＴを容易に整列付着または蒸着するための方法と、これを用いる電子カラムを提供する。【解決手段】図４は、図２のチップ先端１１にＣＮＴチップ５０が付着された電子放出源１０がチップ先端１１を基準としてソースレンズ２０と整列結合された状態を示し、このように整列された状態で、イオンビームソース１１０からイオンビームがソースレンズ２０のホールを通過してＣＮＴチップ５０に走査され、このイオンビーム（Ｉ）によってＣＮＴチップ５０が垂直に整列され、既存の電子カラムにおいて電子ビームが放出される方向の逆方向にイオンビームを走査し、この際、イオンビームは平行にチップに向かって平行ビームとして進行することもでき、あるいはフォーカシングされてチップ先端１１に向かって走査される。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子放出源及び電子レンズを含む電子カラムにおいて、
前記電子放出源が電子放出のためにＣＮＴを含むことを特徴とする、電子カラム。
【請求項２】
前記ＣＮＴが、ＣＦＥ、ＴＦＥ、またはＴＥチップを含む支持部の鋭い先端に付着または蒸着されたことを特徴とする、請求項１に記載の電子カラム。
【請求項３】
前記電子カラムがマルチ型ウェハー型であり、前記ＣＮＴがウェハー上に形成されたことを特徴とする、請求項１に記載の電子カラム。
【請求項４】
前記ＣＮＴがウェハーの支持部の鋭い先端に形成されたことを特徴とする、請求項３に記載の電子カラム。
【請求項５】
前記支持部の鋭い先端が電子レンズと整列されることを特徴とする、請求項２または４に記載の電子カラム。
【請求項６】
前記ＣＮＴがイオンビームによってイオンビームの走査方向に垂直に整列されることを特徴とする、請求項１〜５のいずれか１項に記載の電子カラム。
【請求項７】
ＣＮＴが付着または蒸着された電子放出源と、前記電子放出源から電子を放出するように電界が対応して形成される電子レンズ層とを整列する段階；及び
前記電子レンズ層の開口を通じて垂直方向にイオンビームをＣＮＴチップに向けて走査する段階；
を含んでなることを特徴とする、ＣＮＴが付着された電子放出源のＣＮＴを整列する方法。
【請求項８】
前記電子放出源が電子カラムに使用される場合、前記電子レンズ層がエクストラクタを含むソースレンズ層であることを特徴とする、請求項７に記載の電子放出源のＣＮＴを整列する方法。
【請求項９】
前記電子放出源がＦＥＤまたはＳＦＥＤに使用される電子放出源であることを特徴とする、請求項７または８に記載の電子放出源のＣＮＴを整列する方法。
【請求項１０】
前記イオンビームが前記チップにフォーカシングされて走査されることを特徴とする、請求項７〜９のいずれか１項に記載の電子放出源のＣＮＴを整列する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は電子放出源及びレンズを含む電子カラムにおいて、ＣＮＴ（Ｃａｒｂｏｎ ｎａｎｏｔｕｂｅ）が付着された電子放出源を使う電子カラムに係り、より詳しくはＣＮＴチップの整列を容易にする方法及びこの方法を使用することができる電子カラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
走査トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）の基本原理の下で作動する電子放出源及び微細構造の電子光学部品に基づくマイクロ電子カラムは１９８０年代に初めに導入された。マイクロ電子カラムは、微細な部品を精巧に組立てて光学収差を最小化して向上した電子カラムを形成し、小さな構造は多数を配列して並列または直列構造のマルチ電子カラム構造に使用することができる。
【０００３】
図１はマイクロ電子カラムの構造を示す図であり、電子放出源、ソースレンズ、デフレクター、及びアイツェルレンズが整列され、電子ビームを走査するものを示す。
【０００４】
一般に、マイクロ電子カラムとして代表的なマイクロカラムは、電子を放出する電子放出源１０、前記放出された電子を制御するソースレンズ２０、前記電子ビームを偏向させるデフレクター３０、及び前記電子ビームを試料（ｓ）にフォーカシングするフォーカスレンズ（アイツェルレンズ）４０でなる。
【０００５】
既存の電子カラムにおいて、核心構成要素の一つとして電子放出源はＣＦＥ（ｃｏｌｄ ｆｉｅｌｄ ｅｍｉｔｔｅｒ）、ＴＥ（ｔｈｅｒｍａｌ ｅｍｉｔｔｅｒ）、ＴＦＥ（ｔｈｅｒｍａｌ ｆｉｅｌｄ ｅｍｉｔｔｅｒ）などが使用された。電子放出源は、安定した電子放出、高輝度（ｈｉｇｈ ｂｒｉｇｈｔｎｅｓｓ）、小さなサイズ、小さなエネルギー広がり（ｌｏｗ ｅｎｅｒｇｙ ｓｐｒｅａｄ）、及び長寿命を要求する。
【０００６】
電子カラムの種類は、一つの電子放出源と前記電子放出源から発生した電子ビームを制御するための電子レンズとからなるシングル電子カラムと、多数の電子放出源から放出された多数の電子ビームを制御するための電子レンズでなるマルチ型電子カラムに区分される。マルチ型電子カラムは、半導体ウェハーのように、単一層に多数の電子放出源チップが備えられた電子放出源と単一層に多数の開口が形成されたレンズ層が積層された電子レンズとを含んでなるウェハー型電子カラムと、シングル電子カラムのように、それぞれの電子放出源から放出された電子ビームを多数の開口を持った単一レンズ層で制御する組合せ型電子カラム、及び単一の電子カラムを一つのハウジングに装着して使用する方式などに区分できる。組合せ型の場合、電子放出源が別個に仕分けされるばかり、レンズはウェハー型と同様に使用することができる。
【０００７】
このような電子放出源はマイクロ電子カラムにおいて重要な構成要素であり、かつ電子ビームを用いる多様な分野で（例えばＦＥＤ、ＳＦＥＤなど）電子放出源は電子ビーム発生源として非常に重要な部分である。
【０００８】
また、電子カラムまたは他の分野において、電子放出源を電子レンズ（特に、ソースレンズ）の光学軸の中央に正確に整列すると、電子カラムまたは電子ビームを用いる装備または装置は最大性能を発揮することができる。このために、電子放出源の電子放出源チップがレンズの光学軸線上によく整列されなければならないだけでなく、チップ自体も光学軸と一致するように製作または形成されなければならない。また、チップ自体が光学軸と一致するように形成されなかった場合、これを修正することはとても難しく、光学収差が大きくなることによって電子カラムの性能が低下する。
【０００９】
特に、半導体、ディスプレイ装備などにおいて、部品の超小型化による電子ビームを用いる多様な装備の必要性が増大しており、生産性の向上のためにいろいろな電子ビームが同時に作動するマルチ型電子カラムの要求が一層増大し、マルチ型に合う電子放出源の必要性がさらに高くなっている。
【００１０】
したがって、電子放出源としての条件を満たし、整列性が良く、マルチ型に使いやすい電子放出源が必要である。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
前記のような問題点を解決するために、本発明は既存の電子カラムに使用される電子放出源と異なり、電子を安定的に放出することができるＣＮＴを用いる電子放出源と、前記ＣＮＴを容易に整列付着または蒸着するための方法、及びこれを用いる電子カラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
前記のような目的を達成するために、本発明は、電子放出源及び電子レンズを含む電子カラムにおいて、前記電子放出源が電子放出のためにＣＮＴを含む電子カラムを提供する。
【００１３】
また、本発明は、ＣＮＴが付着または蒸着された電子放出源と、前記電子放出源から電子を放出するように電界が対応して形成される電子レンズ層とを整列する段階；及び前記電子レンズ層の開口を通じて垂直方向にイオンビームをＣＮＴチップに向けて走査する段階；を含んでなる、ＣＮＴが付着された電子放出源のＣＮＴを整列する方法を提供する。
【００１４】
本発明は、新しい電子放出源としてＣＮＴを使用するための試みとして、既存の電子放出源の中で、ＣＦＥチップのような支持部にＣＮＴを接着または蒸着させたチップを備えた電子放出源を提供しようとするものである。しかし、ＣＮＴはそのサイズがあまり小さいため、ＣＦＥチップのような支持部にＣＮＴを正確に接着または蒸着させてレンズと整列することは容易でない工程であるだけでなく、さらにＣＦＥチップ先端に正確にＣＮＴを垂直に整列することは易くない。
【００１５】
したがって、本発明は、先端が尖ったような支持部としてＣＦＥチップの先端にＣＮＴを付着または蒸着し、ＣＦＥチップの先端を基準としてレンズと整列し、ＣＮＴはイオンビームを用いて再整列する方式を用いる。本発明において、電子放出源としてＣＦＥチップをＣＮＴの使用のための支持部として使用することは、既存のＣＦＥチップとレンズ整列方式をそのまま使用し、さらにイオンビームを用いてＣＮＴを垂直に整列することができるからである。したがって、レンズと整列可能な他の手段があれば、ＣＮＴをＣＦＥのような支持部に蒸着または付着する必要はない。例えば、ウェハー型としてウェハーなどにＣＮＴを蒸着または付着する場合、ＣＮＴとレンズとの整列度があまり正確でなくても良いなら（例えば、ＦＥＤなど）、ウェハーのマーキングを用いてＣＮＴと電子レンズを整列し、ＣＮＴを鋭いチップ先端に蒸着して整列しないで、イオンビームでＣＮＴを垂直に整列するだけで良い。したがって、本発明において、ＣＮＴが蒸着または付着されるＣＦＥチップはレンズとの整列を容易にするための基準となるもので、このような役目が可能な多様な形態の支持部に取り替えることができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によるＣＮＴチップを用いる電子カラムは、電子カラムから電子放出をより容易に誘導することができる。したがって、より容易な電子放出源の製作が可能であり、また電子カラムをマルチ型に製作することがより容易になる。
【００１７】
本発明によるＣＮＴ整列方法を使用すれば、ＣＮＴチップを用いる電子カラムを製作することが容易になる。
【００１８】
本発明によるＣＮＴ整列方法を使用すれば、先がちょっと曲ったＣＮＴを再整列して使用することができる。
【００１９】
本発明によるＣＮＴ整列方法は、電子カラム、ＦＥＤ、ＳＦＥＤなどの電子放出源を使用する多様な分野に使用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】マイクロ電子カラムの構造を示す断面図である。
【図２】既存のＣＦＥ電子放出源チップにＣＮＴを接着したものを示す断面図である。
【図３】（ａ）及び（ｂ）はＣＮＴチップがイオンビームによって再整列される概念を示す断面図である。
【図４】本発明によるマイクロカラムにおいてＣＮＴを垂直整列することを示す断面図である。
【図５】図４のＣＮＴチップ５０が整列された状態を示す断面図である。
【図６】図４の実施例において、ソースレンズに電圧または電流を印加して、イオンビーム（Ｉ）を電子放出源のＣＮＴチップ５０にフォーカシングして走査することを図示する断面図である。
【図７】一般的な電子カラムの構造において、イオンビーム（Ｉ）を電子放出源のＣＮＴチップ５０に印加する実施例を示す断面図である。
【図８】一般的な電子カラムの構造において、イオンビーム（Ｉ）を電子放出源のＣＮＴチップ５０に印加する実施例を示す断面図である。
【図９】一般的な電子カラムの構造において、イオンビーム（Ｉ）を電子放出源のＣＮＴチップ５０に印加する実施例を示す断面図である。
【図１０】本発明による電子カラムがマルチ型の場合にＣＮＴチップを整列することを示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
図２は既存のＣＦＥ電子放出源にＣＮＴを接着させたものを示す図である。
【００２２】
ＣＮＴを電子放出源として使用するための一方法として、ＣＦＥ電子放出源１０はタングステンをＫＯＨ溶液にエッチングしてシャプなチップ先端１１にし、この先端に正確に垂直にＣＮＴ５０を付着させるか蒸着させるものである。しかし、ＣＮＴ５０はチップ先端１１に正確に垂直に付着させるか蒸着させることがとても難しい。よって、図示のようにチップ先端１１にＣＮＴ５０が正確に垂直に付着されずに斜めに付着されている。また、ＣＮＴはそのサイズが小さいため、垂直付着または蒸着を確認しにくいだけでなく、レンズの光学軸との整列を確認することも難しい。したがって、整列が問題になる場合には、再整列の必要がある。
【００２３】
図２において、ＣＮＴを既存のＣＦＥチップを使って付着または蒸着しているが、必ずしも従来のＣＦＥチップのようにチップ先端が鋭くなければならないものではない。ＣＮＴを鋭いチップ先端に付着または蒸着する重要な理由は、電子放出源とレンズ光学軸間の整列の際、ＣＮＴのサイズが小さすぎるため、これを直接確認して整列することが難しいからである。したがって、レンズ開口の中心軸とＣＮＴとの整列を、ＣＮＴの代わりにＣＮＴが付着または蒸着されるチップ先端を用いて整列するためのものである。また、チップ先端が鋭いほど少量のＣＮＴを蒸着して使用することが便利であるので、チップ先端は鋭いほど好ましい。したがって、使用環境または目的によってＣＮＴが多く必要であれば（例えば、ＦＥＤ、ＳＦＥＤなど）蒸着されるチップ先端の鋭さの程度が鈍化できる。使用環境によって違うが、電界放出（Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ）を用いる場合に精巧で安定的な電界放出が要求される場合、マイクロ電子カラムにおいては、一般にチップ先端や支持部先端は既存のＣＦＥの使用可能な範囲内でＣＮＴを付着して使用することが好ましい。
【００２４】
本発明は、電子放出源としてＣＮＴチップを使用する場合、図２のように正確に整列されなかったＣＮＴチップがソースレンズなどと整列された状態でイオンビームを走査して再整列しようとするものである。
【００２５】
本発明は、Ｂｙｏｎｇ Ｃ．Ｐａｒｋの外によって２００６年に発行された論文“Ｂｅｎｄｉｎｇ ｏｆ ａ Ｃａｒｂｏｎ ｎａｎｏｔｕｂｅ ｉｎ Ｖａｃｕｕｍ Ｕｓｉｎｇ ａ Ｆｏｃｕｓｅｄ Ｉｏｎ Ｂｅａｍ” Ａｄｖａｎｃｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ ９５〜９８頁に発表されたように、一端が自由なＣＮＴチップにイオンビームを走査すれば、イオンビームの方向にＣＮＴチップが曲ることを利用したものである。
【００２６】
図３（ａ）及び図３（ｂ）はＣＮＴチップがイオンビームによって再整列されることを示す概念図である。
【００２７】
図３（ａ）を参照すれば、ＣＮＴチップ５０は支持部２００に斜めに付着されているものが点線で表示されている。この状態で、垂直にイオンビームソース１１０からイオンビーム（Ｉ）が走査されれば、ＣＮＴチップ５０がイオンビームによって垂直に再整列されることを示すものである。図３（ｂ）を参照すれば、図３（ａ）で整列されたＣＮＴチップ５０を傾けておいた状態で、さらにイオンビーム（Ｉ）を走査したものである。ＣＮＴチップ５０はマスク（Ｍ）によって一部が遮られ、ＣＮＴチップ５０の端部５１のみがイオンビーム（Ｉ）に露出される。このように露出された部分のチップ端部５１が点線で表示されている。この状態で、イオンビームソース１１０からイオンビーム（Ｉ）が垂直に走査されれば、ＣＮＴチップ５０の端部５２がイオンビームによって垂直に再整列されることを示すものである。
【００２８】
本発明はイオンビームによるＣＮＴチップの再整列原理を電子放出源に応用したもので、本発明は、図２に示すように、電子放出源チップ先端１１にＣＮＴ５０が垂直に整列されなくてずれて付着された場合、ＣＮＴにイオンビームを走査すれば、イオンビームの方向によって再び垂直に整列される性質を用いてＣＮＴを再整列するためのものである。
【００２９】
図４は本発明によるマイクロカラムにおいてＣＮＴを垂直に整列することを示す図である。図４は、図２のチップ先端１１にＣＮＴチップ５０が付着された電子放出源１０がチップ先端１１を基準としてソースレンズ２０と整列結合された状態を示す。このように整列された状態で、イオンビームソース１１０からイオンビームがソースレンズ２０のホールを通過してＣＮＴチップ５０に走査される。このように走査されたイオンビーム（Ｉ）によってＣＮＴチップ５０が垂直に整列されるものである。すなわち、既存の電子カラムにおいて電子ビームが放出される方向の逆方向にイオンビームを走査する。この際、イオンビームは平行にチップに向かって平行ビームとして進行することもでき、あるいはフォーカシングされてチップ先端１１に向かって走査されることも好ましい。
【００３０】
図５は図４のＣＮＴチップ５０が整列された状態を示す。図４において、イオンビーム（Ｉ）が電子放出源のチップに向かって垂直に平行ビームとして入射すれば、図２に示すように、垂直に整列されなかったＣＮＴチップ５０がイオンビームによって、図の円内に示すように、チップ先端１１に垂直に再整列される。
【００３１】
図４及び図５において、電子放出源１０は、前記ＣＮＴチップ５０から放出される電子が通過する電子レンズの開口を基準として前記開口を通じて垂直に入射されるイオンビーム（Ｉ）の方向によって整列されるようにしたものである。
【００３２】
図４及び図５において、電子放出源とレンズの光学軸間の整列をより精密に行うためには、前記チップ先端１１が鋭くて小さいほど好ましい。
【００３３】
図６は、図４の実施例において、ソースレンズに電圧または電流を印加してイオンビーム（Ｉ）を電子放出源のＣＮＴチップ５０にフォーカシングして走査するものを示している。図６に示すように、三つのレンズ層でなるソースレンズ２０とＣＮＴチップ５０が付着された電子放出源１０が整列された状態である。この場合、ソースレンズの中間層に電圧または電流を印加し、残りの上下層を接地した場合、イオンビーム（Ｉ）はＣＮＴチップ５０にフォーカシングされて多くのイオンがぶつかることになる。もちろん、精密にフォーカシングされなかった場合であっても、イオンビーム（Ｉ）のフォーカシングによって、平行ビームに比べて、多いイオンがＣＮＴチップ（Ｉ）に走査され、これとともに電子レンズの光学軸にＣＮＴチップ先端が整列される。したがって、フォーカシングされたイオンビームは平行ビームより正確にＣＮＴチップを再整列することができる。
【００３４】
図７〜図９は、一般的な電子カラムの構造において、イオンビーム（Ｉ）を電子放出源のＣＮＴチップ５０に印加する実施例を示す図である。本実施例において、電子カラムは、ＣＮＴチップ５０を備えた電子放出源１０、ソースレンズ２０、デフレクター３０、及びフォーカスレンズ４０を備える一般型電子カラムであって、ＣＮＴチップを整列する例を説明する。
【００３５】
まず、図７は電子カラムにイオンビーム（Ｉ）を垂直に入射する一般的な方式のことで、レンズ２０、４０に特に電圧や電流を印加しない状態を示す。よって、イオンビーム（Ｉ）のイオンはレンズの中で最小の開口に制限されてＣＮＴチップ（図示せず）に入射される。図８はソースレンズ２０で、そして図９はフォーカスレンズ４０でそれぞれ電子放出源１０に向かってイオンビーム（Ｉ）をフォーカシングしたものを示す。イオンビーム（Ｉ）をフォーカシングする場合、イオンビーム（Ｉ）が集束されてより容易な整列ができるが、フォーカシングが正確でない場合はむしろ図７のようにイオンビーム（Ｉ）の自体平行ビームとして整列することが好ましい。したがって、図８または図９のようなフォーカシングは電子放出源１０と他のレンズ間の整列が正確であるか前記整列に対するデータが正確な場合に好ましいが、電子放出源１０と他のレンズ間の整列に問題があるかデータが正確でない場合には図７のような方式が好ましい。
【００３６】
図７〜図９の整列方式は電子カラムの製造中に行うよりは使用中の電子カラムの修正または点検の際に好ましい。この際、フォーカシングする方法は図６に例示した方法を利用することができ、また出来上がった電子カラムでする場合はその配線を用いてフォーカシング制御を行えば容易にできる。また、特別に示されていないが、イオンビーム（Ｉ）の偏向が必要な場合、中間のデフレクター３０を用いて偏向させることができ、これは電子ビームの偏向と同一の方式でなすことができる。
【００３７】
図１０は本発明による電子カラムがマルチ型の場合にＣＮＴチップを整列することを示す斜視図である。
【００３８】
マルチ型電子カラムは前述したそれぞれの電子カラムがマルチ化されたものである。シングル型とマルチ型は一つの電子カラムから何本の電子ビームが放出されるかによって区分することができる。例えば、シングル型は、一つの電子放出源を使用して一本の電子ビームを形成し、各レンズも一本の電子ビームを制御するために使用される。マルチ型は多数本の電子ビームを形成して走査するもので、多数の電子ビームを形成するように多数の電子放出源を使用し、かつ各電子ビームを制御するように、対応する数の電子レンズを使用する。また、図４〜図９の電子カラムを単位電子カラムの概念で使用し、電子カラムをｎ×ｍ配列にして使用することも可能である。マルチ型として、レンズまたは電子放出源をそれぞれのウェハーの単一層にｎ×ｍ配列して多数形成したウェハー型が図１０のように使用できる。特に、本発明において、マルチ型としてはウェハー型が好適に使用できる。
【００３９】
図１０には、前記シングル型電子カラムとは異なり、多くの単位カラムが一つのマルチ電子カラムであり、各レンズ２０、４０がウェハー型として単一層に多数の単位レンズ層が配列されている。また、前記レンズに対応するように、多数のＣＮＴチップが単一層に形成され、電子放出源１０も単一層としてウェハー型の電子レンズに対応する。したがって、イオンビーム（Ｉ）がそれぞれの電子放出源に対応するように走査される。イオンビームソース１１０は、対応する単位電子カラムの各電子放出源１０の数に対応するように、図示のように、マルチ化されたイオンビームソースとして形成するか、あるいは非常に大きな単一平行ビームを形成してマルチ電子カラムの各電子放出源１０に走査すればよい。図１０は３×３配列の単位電子カラムが一つのマルチ電子カラムを形成するものを示す。しかし、この単位電子カラムの配列は説明の便宜上示すもので、多様な単位電子カラムの配列が可能である。図１０は図４〜図６の方式と同様な方式ですべてのＣＮＴチップを整列することができるが、マルチ型電子カラムが図７〜図９のような方式の電子カラムで出来上がった場合には、図７〜図９のような方式のＣＮＴチップの整列が可能である。図１０において、多数のＣＮＴチップが整列される方式は、前記シングル型電子カラムと同様な方式で、単純平行イオンビームの走査とフォーカシングの二通りの方法が可能である。
【００４０】
単にシングル電子カラムをｎ×ｍに配列する場合も、図１０のような方式でＣＮＴチップ５０を整列することが可能である。
【００４１】
以上でＣＮＴチップ５０は一つのＣＮＴとして説明したが、多数のＣＮＴがチップ先端１１に例えばＣＶＤ方式で成長して商用化できる。この場合においても、一つのＣＮＴと同様な方式で整列される。
【００４２】
図２〜図１０において、チップ先端１１は既存のＣＦＥ、ＴＦＥ、またはＴＥチップをそのまま使用することができるが、別にＣＮＴを付着するために、平面構造の支持部に取り替えて使用することができる。特に、図１０のように、マルチ型電子カラムは、平面構造のウェハーにＣＮＴチップを付着して（または成長させて）使用することができるが、四角錐または円錐のような別の鋭い支持部を形成し、その先端にＣＮＴチップを付着または成長させることが、電子放出源とレンズの整列の際に好ましい。また、ＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｄｉｓｐｌａｙ）またはＳＦＥＤ（Ｓｃａｎｎｉｎｇ Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｄｉｓｐｌａｙ）などの多様な電子放出源が必要な分野にも、かつＣＮＴチップが使用される場合にも、図２〜図１０で説明したＣＮＴ整列方法が使用できる。このような場合、図示のチップ先端１１は一般ＣＮＴを支持する支持部に取り替えられることが好ましい。
【００４３】
図１０のマルチ型電子カラムのＣＮＴチップ整列方法は、特にＦＥＤやＳＦＥＤの場合に容易に適用可能な方法として使用可能である。また、ＣＮＴが付着された電子放出源と前記電子放出源から放出された電子が通過する電子レンズ層の開口を整列するとき、ＣＮＴの位置を確認する必要なしに整列することができるなら、ＣＮＴは平面にそのまま付着または蒸着して使用することもできる。
【００４４】
特に、ＣＮＴの先端部分が曲がった場合、図３のようにイオンビームによって再整列されれば、正常のＣＮＴのように電子カラムに使用できて好ましい。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
本発明によるＣＮＴ整列方法は、電子カラム、ＦＥＤ、ＳＦＥＤなど、電子放出源を使用する多様な分野に使用可能である。
【００４６】
また、本発明による電子カラムは、電子顕微鏡、半導体リソグラフィー、または電子ビームを用いる検査装置、例えば半導体素子のビアホール／コンタクトホール（ｖｉａ ｈｏｌｅ／ｃｏｎｔａｃｔ ｈｏｌｅ）の異常有無検査、試料の表面検査及び分析、そしてＴＦＴ−ＬＣＤ素子におけるＴＦＴの異常有無の検査などに使用される。
【符号の説明】
【００４７】
１０・・・電子放出源    １１・・・チップ先端    ２０・・・ソースレンズ
３０・・・デフレクター    ４０・・・フォーカスレンズ（アイツェルレンズ）
５０・・・ＣＮＴ及びＣＮＴチップ    ５１、５２・・・チップ端部
１１０・・・イオンビームソース    ２００・・・支持部
【図１】
2010528446.tif 000003
【図２】
2010528446.tif 000004
【図３（ａ）】
2010528446.tif 000005
【図３（ｂ）】
2010528446.tif 000006
【図４】
2010528446.tif 000007
【図５】
2010528446.tif 000008
【図６】
2010528446.tif 000009
【図７】
2010528446.tif 000010
【図８】
2010528446.tif 000011
【図９】
2010528446.tif 000012
【図１０】
2010528446.tif 000013
【国際調査報告】
2010528446.tif 000014
2010528446.tif 000015
2010528446.tif 000016