(57)【要約】  遊離砥粒加工プロセス用の水性スラリー組成物、特にワイヤソープロセス用の水性砥粒スラリー。これらの水性スラリー組成物は潤滑剤中に均一に安定して分散した砥粒を含み、潤滑剤はビヒクルと水の組み合わせ、特にＰＥＧと水の組み合わせを含む。
2010502456.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
遊離砥粒加工スラリー形成用の流体組成物であって、ポリエチレングリコール及び水を含み、その際該組成物が少なくとも１０ｖｏｌ％の水を含む、流体組成物。
【請求項２】
約１５ｖｏｌ％〜約８０ｖｏｌ％のポリエチレングリコール（ＰＥＧ）及び約２０ｖｏｌ％〜８５ｖｏｌ％の水を含む、請求項１に記載の組成物。
【請求項３】
約２０ｖｏｌ％〜約７５ｖｏｌ％のＰＥＧを含む、請求項１に記載の組成物。
【請求項４】
該水が脱イオン化される、請求項１に記載の組成物。
【請求項５】
１以上の粘度調整剤をさらに含む、請求項１に記載の組成物。
【請求項６】
該粘度調整剤は、合成粘土、自然粘土、Ｃａｒｂｏｐｏｌｓ（登録商標）、カルボキシメチルセルロース、エチルセルロース、ゼラチン、ハイドロキシエチルセルロース、ハイドロキシプロピルセルロース、メチルセルロース、プロビニルアルコール、及びキサンタンゴムから選択される、請求項５に記載の組成物。
【請求項７】
該粘度調整剤を加えて約５ｃｐｓ〜約１００ｃｐｓの範囲の粘度を有する組成物を提供する、請求項５に記載の組成物。
【請求項８】
約１０ｖｏｌ％以下の１以上の粘度調整剤を含む、請求項５に記載の組成物。
【請求項９】
１以上の活性剤をさらに含む、請求項１に記載の組成物。
【請求項１０】
該活性剤はトリエタノールアミン及びアミンボレートから選択される、請求項９に記載の組成物。
【請求項１１】
約５ｖｏｌ％以下の１以上の活性剤を含む、請求項９に記載の組成物。
【請求項１２】
１以上のさび止め剤をさらに含む、請求項１に記載の組成物。
【請求項１３】
該さび止め剤はトリエタノールアミン及びカルボン酸から選択される、請求項１２に記載の組成物。
【請求項１４】
ポリエチレングリコールと水を混合して組成物が少なくとも１０ｖｏｌ％の水を含むようにすることを含む、遊離砥粒加工スラリーの形成用に好適な流体組成物の形成方法。
【請求項１５】
流体組成物を提供すること；
作業用スラリーを形成するために該流体組成物中に砥粒を均一に分散させること；
及び
ワイヤソープロセスに該作業用スラリーを供給すること；
を含む、請求項１に記載の流体組成物のワイヤソープロセスにおける使用方法。
【請求項１６】
ワイヤソーによる往復切断用に好適な流体組成物であって、ポリエチレングリコール及び水を含み、その際該組成物が少なくとも１０ｖｏｌ％の水を含む、流体組成物。
【請求項１７】
往復ワイヤソー切断用に好適な流体組成物の提供方法であって、
ポリエチレングリコール及び水を含み、その際該組成物が少なくとも１０ｖｏｌ％の水を含む流体組成物を提供すること；
作業用スラリーを形成するために該流体組成物中に砥粒を均一に分散させること；
及び
往復切断のために必要に応じて水を加えることで該作業用スラリーの粘度を調整すること；
を含む、流体組成物の提供方法。
【請求項１８】
加工プロセス中に熱を放散させる方法であって、
ポリエチレングリコール、少なくとも１０ｖｏｌ％の水、並びにポリエチレングリコール及び水の中に均一に分散した砥粒、を含んだ作業用スラリーを該加工プロセスに供給すること；
その際、該水の少なくとも一部が蒸発して熱を放散させること；
及び
さらに熱を放散させるために該加工プロセスの間、作業用流体に水を補充すること；
を含む方法。
【請求項１９】
遊離砥粒加工スラリー形成用の流体組成物であって、
ポリエチレングリコール及び水を含み、
その際、該流体組成物中に砥粒を分散させて形成する作業用スラリーの粘度が２分の１以下に減少するような量で、水が流体組成物中に存在する、流体組成物。
【請求項２０】
該粘度が３分の１以下に減少する、請求項１９に記載の流体組成物。
【請求項２１】
該粘度が１０分の１以下に減少する、請求項１９に記載の流体組成物。
【請求項２２】
遊離砥粒加工スラリー形成用の流体組成物であって、
ポリエチレングリコール及び水を含み、
その際、該流体組成物中に２０体積パーセントの固形分で砥粒を分散させて形成する作業用スラリーの粘度が、ＰＥＧ及び２０体積パーセントの固形分の砥粒を含むスラリー組成物の粘度の２分の１以下になるように、水の添加によって減少する、流体組成物。
【請求項２３】
該作業用スラリーの該砥粒が、ＰＥＧと砥粒を含む該スラリー組成物の該砥粒と同じグリッドサイズを有する、請求項２２に記載の流体組成物。
【請求項２４】
該作業用スラリーの該砥粒が、ＰＥＧと砥粒を含む該スラリー組成物の該砥粒よりも小さいグリッドサイズを有する、請求項２２に記載の流体組成物。
【請求項２５】
該作業用スラリーの該砥粒が、ＰＥＧと砥粒を含む該スラリー組成物の該砥粒よりも大きいグリッドサイズを有する、請求項２２に記載の流体組成物。
【請求項２６】
該作業用スラリーの粘度が、ＰＥＧと２０体積パーセントの固形分の砥粒を含むスラリー組成物の４分の１以下の粘度を有する、請求項２２に記載の流体組成物。
【請求項２７】
遊離砥粒加工スラリー形成用の流体組成物であって、
ポリエチレングリコールと水を含み、
その際、加工プロセス中に、該流体組成物に砥粒を分散させて形成する作業用スラリーの温度が２℃以上減少するような量で、水が該流体組成物中に存在する、流体組成物。
【請求項２８】
温度が８℃以上減少する、請求項２７に記載の流体組成物。
【請求項２９】
遊離砥粒加工スラリー形成用の流体組成物であって、
ポリエチレングリコールと水を含み、
その際、加工プロセス中に、該流体組成物中に２０体積パーセントの固形分で砥粒を分散させて形成する作業用スラリーの温度が、ＰＥＧ及び２０体積パーセントの固形分の砥粒を含むスラリー組成物の温度より２℃以上低くなるように、水の添加によって減少する、流体組成物。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本出願は、参照としてその全体がここに組み込まれる２００６年８月３０日に出願された米国仮特許出願第６０／８４１，５８０号の利益を請求するものである。
【０００２】
本発明は一般的に、砥粒スラリーの形成に用いる水性流体組成物に関する。本水性流体組成物は遊離砥粒加工スラリーに有用であり、さらに詳しくはワイヤソースラリーに有用である。
【背景技術】
【０００３】
ワイヤソーは、ソーラー及びエレクトロニクスの用途に用いられるシリコンのスライスに広く使われている。ワイヤソーはサファイア、ＧａＡｓ、ＩｎＰ、及びＳｉＣを含む様々な他の化合物半導体材料、例えば石英ガラス及びクリスタルのような光学材料、並びに例えばセラミックスのような硬くもろい材料のスライスにも使用される。
【０００４】
ワイヤソーは一般的に張力を受けて配向する複数のワイヤを含む。これらのワイヤは、砥粒スラリーがワイヤと加工対象物の間に供給されるときに同時に駆動される。加工対象物を磨耗して複数の部片を形成するようにスラリーが作用するときワイヤを介して加工対象物が付勢下に送られる。この方法は、特定の厚み、平坦度、及び表面の滑らかさを有するスライス部片の大量生産を可能とする。
【０００５】
ワイヤソー切断の間、ワイヤは切断を行わず、むしろ砥粒スラリーを運ぶ役割を果たし、その砥粒スラリーが切断を行う。このプロセスのタイプを「遊離砥粒加工（ｌｏｏｓｅ−ａｂｒａｓｉｖｅ  ｍａｃｈｉｎｉｎｇ）」という。遊離砥粒加工の他の例は、超音波加工、ウォータージェット切断、及びサンドブラスト加工を含む。
【０００６】
スラリーは流体組成物中の砥粒の懸濁液であり、しばしば「潤滑剤」、「ビヒクル」または「キャリア」とも言われる。砥材には、例えば炭化ケイ素（ＳｉＣ）、ダイヤモンド、及び炭化ホウ素（Ｂ4Ｃ）のような材料が使われている。非水性スラリーが使用されているが、その際流体組成物は主にミネラルオイル（鉱油）を含み、砥材が質量ベースで約１：１の比で分散される。水溶性スラリーも使用されており、その際流体組成物は主に水溶性グリコール（例えばポリエチレングリコール（ＰＥＧ）、エチレングリコール、及びポリオキシエチレングリコール）を含み、その中に砥粒が分散される。
【０００７】
ミネラルオイルは良好な潤滑性と切断特性を提供するが、貧弱な冷却性能を有する。さらにミネラルオイルは水溶性ではないために、切断片からミネラルオイルをクリーニングで除去するために有機溶媒と特別な洗浄剤が必要である。貧弱な冷却性能、処分規制、及び後クリーニング処理の困難さのために、ミネラルオイルに代わるものが必要とされる。
【０００８】
例えばＰＥＧのようなグリコールはミネラルオイルに対していくつかの利点があるが、これらの材料は非常にコストが高く、そして処分量と方法の有効性に問題がある。さらに、グリコールは高粘度を有しウエハに増加した抗力をもたらす。そのような高い抗力は薄いスライスの作製中に切断片が破損する原因となり得る。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
このように、砥粒スラリー、特にワイヤソースラリーの形成に用いる改良した流体組成物を開発することが強く望まれている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、遊離砥粒加工スラリーの形成に用いる流体組成物を提供する。砥粒は流体組成物中に分散して、遊離砥粒加工プロセスに有用な作業用スラリー組成物を提供することができる。本明細書で用いるとき、「作業用（ｗｏｒｋｉｎｇ）スラリー組成物」または「作業用砥粒スラリー」とは、流体組成物中に分散した砥粒を含む任意のスラリー組成物であり、その際砥粒は、所定の遊離砥粒加工プロセスに好適な濃度で存在する。本発明の流体組成物は、優れた潤滑性及び加工／切断特性を提供する。成分の濃度は所望の用途に応じて調整して加工中の製造物の破損を最小化できる。流体組成物はさらに費用効率が高く、改善された熱放散特性を有し、より簡単で制限が少ない切断後の処分の選択性を提供する。
【００１１】
一形態において、本発明は一般的にポリエチレングリコールと水を含む遊離砥粒加工スラリーの形成に用いる流体組成物に関係し、その際組成物は少なくとも１０ｖｏｌ％の水を含む。
【００１２】
本発明のこの形態による実施態様は次の特徴を含み得る。組成物は約１５ｖｏｌ％〜約８０ｖｏｌ％のポリエチレングリコール（ＰＥＧ）及び約２０ｖｏｌ％〜８５ｖｏｌ％の水を含むことができる。いくつかの実施態様で組成物は約２０ｖｏｌ％〜約７５ｖｏｌ％のＰＥＧ、約２５ｖｏｌ％〜約７０ｖｏｌ％のＰＥＧ、約３０ｖｏｌ％〜約６５ｖｏｌ％のＰＥＧ、約３５ｖｏｌ％〜約６０ｖｏｌ％のＰＥＧ、または約４０ｖｏｌ％〜約５５ｖｏｌ％のＰＥＧを含む。いくつかの実施態様で組成物は約２５ｖｏｌ％〜約８０ｖｏｌ％の水、約３０ｖｏｌ％〜約７５ｖｏｌ％の水、約４０ｖｏｌ％〜約７０ｖｏｌ％の水、または約５０ｖｏｌ％〜約６０ｖｏｌ％の水を含む。水を脱イオン化することができる。組成物はさらに１以上の粘度調整剤を含むことができる。粘度調整剤は、例えば合成粘土、自然粘土、Ｃａｒｂｏｐｏｌｓ（登録商標）、カルボキシメチルセルロース、エチルセルロース、ゼラチン、ハイドロキシエチルセルロース、ハイドロキシプロピルセルロース、メチルセルロース、ポリビニルアルコール、及びキサンタンゴムのような常用の粘度調整剤から選ぶことができる。粘度調整剤を添加して約５ｃｐｓ〜約１００ｃｐｓの範囲の粘度を有する組成物を提供することができる。いくつかの実施態様では組成物は約１０ｖｏｌ％以下の１以上の粘度調整剤を含み、また、いくつかの実施態様では約０．１ｖｏｌ％〜約１０ｖｏｌ％の１以上の粘度調整剤を含む。組成物はさらに１以上の活性剤を含むことができる。いくつかの実施態様では組成物は約５ｖｏｌ％以下の１以上の活性剤を含み、また、いくつかの実施態様では組成物は約０．２ｖｏｌ％〜約５ｖｏｌ％の１以上の活性剤を含む。活性剤は、例えばトリエタノールアミン及びアミンボレートのような常用の活性剤から選ぶことができる。組成物はさらに１以上のさび止め剤を含むことができる。さび止め剤は、例えばトリエタノールアミン及びカルボン酸塩のような常用のさび止め剤から選ぶことができる。いくつかの実施態様で組成物は約０．１ｖｏｌ％〜約５ｖｏｌ％の１以上のさび止め剤を含む。
【００１３】
他の形態では、本発明は一般的に遊離砥粒加工スラリーの形成に用いるのに好適な流体組成物の形成方法に関する。本方法は、組成物が少なくとも１０ｖｏｌ％の水を含むように、ポリエチレングリコールと水を混合することを含む。
【００１４】
他の形態では、本発明は一般的にワイヤソープロセスにポリエチレングリコールと少なくとも１０ｖｏｌ％の水を含む流体組成物を使用する方法に関する。本方法は流体組成物を提供すること、作業用スラリーを形成するために流体組成物中に砥粒を均一に分散させること、及びワイヤソープロセスに作業用スラリーを供給することを含む。
【００１５】
他の形態では、本発明は一般的にワイヤソーによる往復切断に用いるのに好適なポリエチレングリコールと少なくとも１０ｖｏｌ％の水を含む流体組成物に関する。
【００１６】
他の形態では、本発明は一般的に往復ワイヤソー切断に用いるのに好適な流体組成物の提供方法に関する。本方法は、ポリエチレングリコールと少なくとも１０％の水を含む流体組成物を提供すること、作業用スラリーを形成するために流体組成物中に砥粒を均一に分散させること、及び往復切断のために必要に応じて水を加えることで作業用スラリーの粘度を調整することを含む。
【００１７】
他の形態では、本発明は一般的に加工プロセス中の熱放散方法に関する。本熱放散方法は、ポリエチレングリコール、少なくとも１０％の水、並びにポリエチレングリコール及び水に均一に分散した砥粒、を含む作業用スラリーを加工プロセスに供給して、その際、水の少なくとも一部が蒸発して熱を放散すること、及びさらに熱を放散するために加工プロセス中に作業用流体に水を補充することを含む。
【００１８】
他の形態では、本発明は一般的にポリエチレングリコールと水を含む遊離砥粒加工スラリーの形成に用いる流体組成物に関する。本組成物では、流体組成物中に砥粒を分散させて形成する作業用スラリーの粘度が１．５分の１以下に減少するような量で流体組成物中に水が存在する。
【００１９】
本発明のこの形態による実施態様は次の特徴を含むことができる。流体組成物中に砥粒を分散させて形成する作業用スラリーの粘度が２分の１以下、２．５分の１以下、３分の１以下、３．５分の１以下、４分の１以下、４．５分の１以下、５分の１以下、５．５分の１以下、６分の１以下、６．５分の１以下、７分の１以下、７．５分の１以下、８分の１以下、８．５分の１以下、９分の１以下、９．５分の１以下、及びさらに１０分の１に減少するような量で、流体組成物中に水が存在することができる。
【００２０】
他の形態では、本発明は一般的に、ポリエチレングリコールと水を含む遊離砥粒加工スラリーの形成に用いる流体組成物に関する。本組成物では、砥粒を固形分Ｃ％で流体組成物中に分散させて形成する作業用スラリーの粘度が水の添加によって低減し、作業用スラリーの粘度は、ＰＥＧと固形分Ｃ％での砥粒を含むスラリー組成物の粘度の１．５分の１以下となる。
【００２１】
本発明のこの形態による実施態様は次の特徴を含むことができる。作業用スラリー中の砥粒は、ＰＥＧと砥粒を含むスラリー組成物中の砥粒と同一のグリッドサイズを有することができる。作業用スラリー中の砥粒は、ＰＥＧと砥粒を含むスラリー組成物中の砥粒よりも小さいグリッドサイズを有することができる。作業用スラリー中の砥粒は、ＰＥＧと砥粒を含むスラリー組成物中の砥粒よりも大きいグリッドサイズを有することができる。作業用スラリーの粘度は、少なくとも６０体積パーセントのポリエチレングリコールと２０体積パーセントの固形分の砥粒を含むスラリー組成物の粘度の２分の１以下、２．５分の１以下、３分の１以下、３．５分の１以下、４分の１以下、４．５分の１以下、５分の１以下、５．５分の１以下、６分の１以下、６．５分の１以下、７分の１以下、７．５分の１以下、８分の１以下、８．５分の１以下、９分の１以下、９．５分の１以下、及びさらに１０分の１となり得る。
【００２２】
他の形態では、本発明は一般的に、ポリエチレングリコールと水を含む遊離砥粒加工スラリーの形成に用いる流体組成物に関する。本組成物では、流体組成物中に砥粒を分散させて形成する作業用スラリーの温度が加工プロセス中に２℃以上減少するような量で水が流体組成物に存在する。
【００２３】
本発明のこの形態にしたがった実施態様は次の特徴を含むことができる。流体組成物中に砥粒を分散させて形成する作業用スラリーの温度を、３℃以上、４℃以上、５℃以上、６℃以上、７℃以上、８℃以上、９℃以上、１０℃以上、１１℃以上、１２℃以上、１３℃以上、及びさらに１４℃減少させることができる。
【００２４】
他の形態では、本発明は一般的にポリエチレングリコールと水を含む遊離砥粒加工スラリーの形成に用いる流体組成物に関する。本組成物では、砥粒を固形分Ｃ％で流体組成物中に分散させて形成する作業用スラリーの温度が、加工プロセス中に水の添加によって低減し、作業用スラリーの温度は、ＰＥＧと固形分Ｃ％での砥粒を含むスラリー組成物より２℃以上低くなる。
【００２５】
本発明のこの形態による実施態様は次の特徴を含むことができる。作業用スラリー中の砥粒は、ＰＥＧと砥粒を含むスラリー組成物中の砥粒と同一のグリッドサイズを有することができる。作業用スラリー中の砥粒は、ＰＥＧと砥粒を含むスラリー組成物中の砥粒よりも小さいグリッドサイズを有することができる。作業用スラリー中の砥粒は、ＰＥＧと砥粒を含むスラリー組成物中の砥粒よりも大きいグリッドサイズを有することができる。加工プロセスの間、作業用スラリーの温度は、少なくとも６０体積パーセントのポリエチレングリコールと２０体積パーセントの固形分での砥粒を含むスラリー組成物の温度より３℃以上低い、４℃以上低い、５℃以上低い、６℃以上低い、７℃以上低い、８℃以上低い、９℃以上低い、１０℃以上低い、１１℃以上低い、１２℃以上低い、１３℃以上低い、及びさらに１４℃低い。
【００２６】
理解されるように、特定の組成物について本明細書に言及する体積パーセントとはその組成物の全体積に基づいている。また、本明細書に参照するとき、粘度の値は２５℃で測定されるものである。好適には粘度の値はブルックフィールドのスピンドル（例えば＃２または＃４）を６０ｒｐｍで使用して測定される。
【００２７】
本発明の他の形態及び利点は、ほんの一例として本発明の原理を説明する以下の記述と併用する添付図から明確となるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】以下に示す例２の試験試料の粘度プロファイルを図示したものである。
【図２】以下に示す例３の試験試料の温度プロファイルを図示したものである。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
本発明によって提供される流体組成物は、ワイヤソー加工、超音波加工、ウォータージェット切断、及びサンドブラスト加工を含む様々な遊離砥粒加工プロセス用に好適である。そのようなプロセスは、以下のものに制限されるものではないが、シリコン、例えばサファイア、ＧａＡｓ、ＩｎＰ、及びＳｉＣのような半導体材料、例えば石英ガラス及びクリスタルのような光学材料、並びに例えばセラミックスのような硬くもろい材料を含む様々な材料の切断と加工に使用できる。以下の開示は制限する意味ではなくむしろ説明に役立つものと解釈すべきである。例えば、特定の材料と濃度の組み合わせが提供されてもよいが、そのような材料と濃度の組み合わせはワイヤソー切断をベースとして、遊離砥粒加工プロセスの他のタイプ及び様々な材料の切断と加工のために好適に調整され得る。
【００３０】
本明細書で様々な成分の割合を言及するときは、特に断りのない限り、全ての割合は体積％を指しており、濃縮スラリー組成物の全体積に基づいている。
【００３１】
本発明の流体組成物は１以上の水溶性グリコールを含む。遊離砥粒加工スラリーに好適な任意の常用の水溶性グリコールを本発明の実施に際して使用することができる。これらのグリコールはポリエチレングリコール（ＰＥＧ）、エチレングリコール、及びポリオキシエチレングリコールを含むがそれらに制限されるものではない。一実施態様においてグリコールはＰＥＧである。
【００３２】
水溶性グリコールは一般的に、流体組成物の全体積を基にして約１５ｖｏｌ％〜約８０ｖｏｌ％の範囲の量で流体組成物に含まれる。いくつかの実施態様では流体組成物は約２０ｖｏｌ％〜約７５ｖｏｌ％、いくつかの実施態様では約２５ｖｏｌ％〜約７０ｖｏｌ％、いくつかの実施態様では約３０ｖｏｌ％〜約６５ｖｏｌ％、いくつかの実施態様では約３５ｖｏｌ％〜約６０ｖｏｌ％、及びいくつかの実施態様では約４０ｖｏｌ％〜約５５ｖｏｌ％のグリコールを含む。
【００３３】
流体組成物はさらに水を含む。いくつかの実施態様では、非常に低い導電率を有する脱イオン水が使用される。脱イオン水の使用はスラリーの導電率を低く保つことに役立ち、ほとんどのワイヤソーで使用されるワイヤ破損警告システムを妨害しないと考えられる。
【００３４】
流体組成物へ水を添加すると流体組成物の粘度が変わるので、流体組成物に含まれる水の量を選択して所望の粘度を提供することができる。いくつかの実施態様では、流体組成物に加える水の量は、ワイヤソーを使用して薄いウエハをスライスするために好適な粘度の流体組成物を提供する量となる。いくつかの実施態様では、流体組成物に含まれる水の量は、例えば２５０マイクロメートル未満のウエハのような薄いウエハをスライスするときに、ウエハ破損の可能性を減少または最小化するのに効果的な量となる。
【００３５】
特に、従来の水溶性スラリー組成物は、主に水溶性グリコール（例えばＰＥＧ）を含み、ウエハに増加した抗力をもたらす高粘度を有する。従来の水溶性グリコールと比較したとき、本発明の流体組成物は減少した粘度を提供する。例えば、従来のＰＥＧスラリーと本発明の流体組成物を比較すると、従来のＰＥＧスラリーと本発明の流体組成物の両方が同一の固形物濃度で同一の砥粒を含むとき、本発明の流体組成物を用いて形成するスラリーはより低い粘度を有する。さらに、本発明の流体組成物を用いて形成するスラリーが、従来のスラリーに用いられる砥粒よりも微細なグリッドサイズの砥粒を含むときでも、本発明の流体組成物を用いて形成するスラリーはより低い粘度を依然として有する。
【００３６】
いくつかの実施態様で、本発明の流体組成物を用いて形成するスラリーは従来のスラリーの１．５分の１以下の粘度を有し、いくつかの実施態様では従来のスラリーの約１０分の１以下である。なお、その際同種の砥粒が同一の固形分で使用され、本発明の流体組成物中に分散した砥粒のグリッドサイズは従来のスラリー中に分散した粒子よりも大きいか、同一であるか、または小さい。例えば、従来のスラリーは一般的に約２００〜３００ｃｐの範囲の粘度を有する。本発明のスラリーは約３０ｃｐ以下、約４０ｃｐ以下、約５０ｃｐ以下、約６０ｃｐ以下、約７０ｃｐ以下、約８０ｃｐ以下、約９０ｃｐ以下、約１２０ｃｐ以下、または約１５０ｃｐ以下の低い粘度を有することができる。本発明のスラリーは３０ｃｐ〜１５０ｃｐ、または３０ｃｐ〜１００ｃｐの粘度を好適に有してもよい。
【００３７】
さらに、本発明の流体組成物で形成するスラリーを用いて遊離砥粒加工を行うときに、本発明の流体組成物で形成するスラリーは、さらに良好なことには、加工を進めているときに従来のスラリーよりも低い粘度を提供することができる。
【００３８】
流体組成物への水の添加は、加工プロセス中の熱の放散をさらに補助することができる。いくつかの実施態様では、ワイヤソー切断中に熱の放散に効果的に貢献する量で水を流体組成物に添加する。ワイヤソーが加工対象物を切断しているときに、水が切断ゾーンで蒸発し、それによって熱を放散して加工対象物の応力に関連した熱を低減する。水が蒸発しても必要に応じて容易に補充できる。加工対象物と切断片の応力に関連した熱を低減することで、切断片の反りと切断中の破損が減少することとなるであろう。
【００３９】
例えば、従来のスラリーは加工プロセス中に貧弱なせいぜい適切な熱放散を提供するが、本発明の流体組成物は作業用スラリーの形成に使用されるとき、改善した熱放散を提供する。いくつかの実施態様で、従来のスラリーと本発明の流体組成物を用いて形成するスラリーを同様の条件下で加工プロセスに使用するとき、本発明の流体組成物を用いて形成するスラリーは、加工プロセス中に、従来のＰＥＧで形成するスラリーよりも２℃以上低く、最大１４℃低い温度を提供する。例えば加工プロセスで従来のスラリーを使用するとき、スラリーは一般的に室温（２２℃）でプロセスに加えられる。プロセス中に、従来のスラリーの温度は３６℃の高さに到達し得る。いくつかのプロセスでシステムから熱を取り除くのに冷却装置が使用され、そのようなプロセス中に、従来のスラリーの温度はある場合には約２８℃〜３０℃に保たれる。しかしながら従来のスラリーの温度は、冷却装置を使用するときでさえ、プロセス中にしばしば依然として３６℃に到達し得る。したがって、従来のスラリーの温度はプロセス中に最大１４℃上昇し得る。本発明の流体組成物を用いて形成するスラリーが利用される加工プロセス中に、スラリーが室温（２２℃）でプロセスに加えられるとき、スラリーの温度を室温の約５℃以内に保つことができ、いくつかの実施態様では約４℃以内、いくつかの実施態様では約３℃以内、いくつかの実施態様では約２℃以内、いくつかの実施態様では約１℃以内に保つことができる。特定の実施態様では、本発明の流体組成物を用いて形成するスラリーの温度は、プロセス中に室温（２２℃）に保たれる。
【００４０】
本発明にしたがって、流体組成物は約２０ｖｏｌ％〜約８５ｖｏｌ％の水を含む。いくつかの実施態様では流体組成物は約２５ｖｏｌ％〜約８０ｖｏｌ％の水、いくつかの実施態様では約３０ｖｏｌ％〜約７５ｖｏｌ％の水、いくつかの実施態様では約４０ｖｏｌ％〜約７０ｖｏｌ％の水、及びいくつかの実施態様では約５０ｖｏｌ％〜約６０ｖｏｌ％の水を含む。
【００４１】
流体組成物はさらに１以上の粘度調整剤を含むことができる。砥粒スラリー用の任意の常用の粘度調整剤を使用することができ、例えば合成粘土、自然粘土、シリカ、Ｃａｒｂｏｐｏｌｓ（登録商標）（カルボマーともよばれ化学式Ｃ3Ｈ4Ｏ2を有する）、カルボキシメチルセルロース、エチルセルロース、ゼラチン、ハイドロキシエチルセルロース、ハイドロキシプロピルセルロース、メチルセルロース、ポリビニルアルコール、及びキサンタンゴムのような粘度調整剤である。本発明の実施に際して有益な合成粘土の一例はＬａｐｏｎｉｔｅ（登録商標）、合成層状シリケート（含水のナトリウムリチウムマグネシウムシリケート）である。粘度調整剤は、所望に応じて流体組成物の粘度を変更する量で加えられ得る。
【００４２】
粘度調整剤が加えられるとき、１以上の粘度調整剤が流体組成物中に約１０ｖｏｌ％以下の量で含まれる。いくつかの実施態様で、流体組成物が約５ｖｏｌ％以下の１以上の粘度調整剤を含み、いくつかの実施態様で約１ｖｏｌ％以下を含む。他の実施態様で、流体組成物は約０．１ｖｏｌ％〜約１０ｖｏｌ％の１以上の粘度調整剤を含み、いくつかの実施態様で約０．２ｖｏｌ％〜約５ｖｏｌ％、いくつかの実施態様で約０．３ｖｏｌ％〜約４ｖｏｌ％、及びいくつかの実施態様で約０．３ｖｏｌ％〜約２ｖｏｌ％を含む。
【００４３】
流体組成物はさらに１以上の活性剤を含むことができる。砥粒スラリー用の任意の常用の活性剤が使用でき、例えばアミンボレート及びトリエタノールアミンを使用できる。活性剤は一般的に粘度調整剤と併用して使われるが、粘度調整剤の添加と共にまたは添加を伴わずに添加することもできる。活性剤は一般的に、粘度調整剤が流体中にマトリックスを構成できるようになる量で加えられる。このマトリックスは流体の降伏応力または全動的粘度を増加させることができる。例えばトリエタノールアミンのような多くの活性剤は、例えば腐食抑制のような付加的な利益を提供し、粘度調整剤の活性化に必要な量を超えて使用されてもよい。例えばいくつかの実施態様では、約５ｖｏｌ％以下の１以上の活性剤が添加される。付加的な利益が所望されるときにこれらの多機能活性剤は粘度調整剤を伴わずに用いられてもよい。
【００４４】
流体組成物はさらに１以上の防かび剤を含むことができる。遊離砥粒加工スラリーに用いられる任意の常用の防かび剤を使用できる。防かび剤は一般的に、かびの成長を最小化または制御することに効果的な量が加えられる。例えばいくつかの実施態様では、約２ｖｏｌ％以下の１以上の防かび剤が加えられる。
【００４５】
細菌の成長を制御するために、流体組成物はさらに１以上の殺生物剤を含むことができる。いくつかの殺生物剤はさらにかびの成長を制御できる。これらの殺生物剤は、例えばＢｉｏｂａｎTMＰ−１４８、Ｇｒｏｔａｎ（登録商標）、Ｋａｔｈｏｎ（登録商標）、メタルオマジン（ｍｅｔａｌ  ｏｍａｄｉｎｅｓ）、またはグルタルアルデヒドのような遊離砥粒加工スラリーに用いられる任意の常用の殺生物剤から選ぶことができる。ＢｉｏｂａｎTMＰ−１４８はダウケミカルカンパニーから購入することができ、２つの有効成分４−（２−ニトロブチル）−モルフォリン及び４，４’−（２−エチル−２−ニトロトリメチレン）ジモルフォリンを含む。Ｇｒｏｔａｎ（登録商標）は２−［３，５−ビス（２−ハイドロキシエチル）−１，３，５−トリアジナン−１−イル］エタノールであり、化学式Ｃ9Ｈ21Ｎ3Ｏ3を有する。Ｋａｔｈｏｎは２−オクチルチアゾール−３−オンであり、化学式Ｃ11Ｈ19ＮＯＳを有する。細菌の成長を最小化または制御するのに効果的な量で殺生物剤を本発明の組成物に加えることができ、いくつかの実施態様では殺生物剤はさらにかびの成長を最小化または制御することができる。いくつかの実施態様では、殺生物剤の混合物は細菌とかびの成長の両方を制御するのに使用される。
【００４６】
殺生物剤が加えられるとき、１以上の殺生物剤が流体組成物に約２ｖｏｌ％以下の量で含まれる。いくつかの実施態様で流体組成物は約０．０５ｖｏｌ％〜約２ｖｏｌ％の１以上の殺生物剤を含み、いくつかの実施態様で約０．０６ｖｏｌ％〜約１．５ｖｏｌ％、いくつかの実施態様で約０．０７ｖｏｌ％〜約１ｖｏｌ％、及びいくつかの実施態様で約０．０８ｖｏｌ％〜約０．５ｖｏｌ％を含む。
【００４７】
遊離砥粒加工部品（例えばワイヤとワイヤソー）の腐食を抑制するため、流体組成物はさらに１以上のさび止め剤を含むことができる。さび止め剤は、例えばトリエタノールアミン、アミンボレート、トリアゾール、シリケート、またはカルボン酸塩のような遊離砥粒加工スラリーに用いられる任意の常用のさび止め剤を含むことができる。さび止め剤は、効果的に腐食を抑制する量で濃縮スラリー組成物に含まれ得る。
【００４８】
さび止め剤が加えられるとき、１以上のさび止め剤が流体組成物に約５ｖｏｌ％以下の量で含まれる。いくつかの実施態様では流体組成物は約０．１ｖｏｌ％〜約５ｖｏｌ％の１以上のさび止め剤を含み、いくつかの実施態様で約０．２ｖｏｌ％〜約４ｖｏｌ％、いくつかの実施態様で約０．３ｖｏｌ％〜約３ｖｏｌ％、いくつかの実施態様で約０．４ｖｏｌ％〜約２ｖｏｌ％、及びいくつかの実施態様で約０．５ｖｏｌ％〜約１ｖｏｌ％を含む。
【００４９】
一実施態様において、流体組成物は約２０ｖｏｌ％〜約８５ｖｏｌ％の水、約１５ｖｏｌ％〜約８０ｖｏｌ％のＰＥＧ、及び任意には１以上の以下の成分：粘度調整剤、活性剤、防かび剤、殺生物剤、及びさび止め剤を含む。例えば一実施態様において、流体組成物は約２０ｖｏｌ％〜約８５ｖｏｌ％の水、約１５ｖｏｌ％〜約８０ｖｏｌ％のＰＥＧ、約０．１ｖｏｌ％〜約１０ｖｏｌ％の粘度調整剤、約０．２ｖｏｌ％〜約５ｖｏｌ％の活性剤、約０．１ｖｏｌ％〜約２ｖｏｌ％の防かび剤、約０．０５ｖｏｌ％〜約２ｖｏｌ％の殺生物剤、及び５ｖｏｌ％以下のさび止め剤を含む。典型的な実施態様では、流体組成物は約５３ｖｏｌ％の水、約４４．５ｖｏｌ％のＰＥＧ、約０．４ｖｏｌ％の合成粘土、約１．１ｖｏｌ％の活性剤、約０．４ｖｏｌ％の防かび剤、約０．１ｖｏｌ％の殺生物剤、及び約０．５ｖｏｌ％のさび止め剤を含む。
【００５０】
本発明はさらに、砥粒スラリーの形成用に好適な流体組成物の調整方法を提供する。本方法は、１以上の水溶性グリコールと水を混合して流体組成物を提供することを含む。本発明の方法によれば、約１５ｖｏｌ％〜約８０ｖｏｌ％の１以上の水溶性グリコールを２０ｖｏｌ％〜約８５ｖｏｌ％の水と混合して流体組成物を形成する。特定の実施態様では水溶性グリコールはＰＥＧである。
【００５１】
いくつかの実施態様では、本方法はさらに１以上の粘度調整剤をグリコールと水に加えることを含む。本発明の方法によれば、約５ｖｏｌ％以下の１以上の粘度調整剤が加えられる。
【００５２】
いくつかの実施態様では、本方法はさらに１以上の活性剤をグリコールと水に加えることを含む。粘度調整剤の添加と共にまたは添加を伴わずに活性剤を添加することができる。いくつかの実施態様では約３ｖｏｌ％以下の１以上の活性剤が加えられる。いくつかの実施態様では所望の粘度を与えるために粘度調整剤を活性化する量で活性剤が加えられ、本発明の方法は１以上の活性剤を１以上の粘度調整剤と併用して添加することを含む。粘度調整剤が流体中にマトリックスを構成してマトリックスが流体の降伏応力または全動的粘度を増加させるように働くことが可能となる量で、１以上の活性剤を添加することができる。
【００５３】
いくつかの実施態様で、本方法はさらに１以上の防かび剤をグリコールと水に添加することを含む。防かび剤は粘度調整剤及び／または活性剤の添加と共にまたは添加を伴わずに添加され得る。防かび剤は一般的にかびの成長を最小化及び制御するのに効果的な量で添加される。例えばいくつかの実施態様で約２ｖｏｌ％以下の１以上の防かび剤が添加される。
【００５４】
いくつかの実施態様で、本方法はさらに１以上の殺生物剤をグリコールと水に添加することを含む。殺生物剤は粘度調整剤、活性剤、及び／または防かび剤の添加と共にまたは添加を伴わずに添加され得る。殺生物剤は一般的に細菌の成長を最小化及び制御するのに効果的な量で添加される。いくつかの殺生物剤はさらにかびの成長を最小化及び制御するのにも効果的であり、したがってそのような環境では、１以上の殺生物剤を加えてかびと細菌の両方の成長を効果的に最小化及び制御することができ、かびの成長を最小化及び制御するために１以上の防かび剤の添加を要しない。いくつかの実施態様では約２ｖｏｌ％以下の１以上の殺生物剤が添加される。
【００５５】
いくつかの実施態様で、本方法はさらに１以上のさび止め剤をグリコールと水に添加することを含む。さび止め剤は粘度調整剤、活性剤、防かび剤、及び／または殺生物剤の添加と共にまたは添加を伴わずに添加され得る。さび止め剤は一般的に腐食を抑制するのに効果的な量で添加される。例えばいくつかの実施態様で、約５ｖｏｌ％以下の１以上のさび止め剤が添加される。
【００５６】
次いで、このようにして形成した流体組成物を顧客に届けることができる。使用者が遊離砥粒加工プロセスに流体組成物を使用したいときは、使用者は単に砥粒を加えて流体組成物中に分散させて作業用砥粒スラリーを提供する。使用者は簡単な計算で、得られるスラリー中の所望の固形分を基にして流体組成物にどのぐらいの量の砥粒を加えるか決定することができる。一般的には、作業用ワイヤソー組成物中の所望の固形物濃度は、作業用ワイヤソー組成物の全体積を基にして約２０〜２８ｖｏｌ％の範囲である。したがって、所望の作業用スラリーを得るために流体組成物にどのくらいの量の砥粒を添加すべきか、容易に決定することができる。任意の常用の砥粒を本発明の流体組成物中に添加及び分散することができる。砥粒には炭化ケイ素（ＳｉＣ）、ダイヤモンド、及び炭化ホウ素（Ｂ4Ｃ）が含まれるが、これらに制限されない。本発明の流体組成物は、したがって、適切な量と種類の砥粒の添加によって任意の所望の固形分と特定の特性を有する砥粒スラリー組成物の形成に使用することができる。
【００５７】
本発明の流体組成物は従来の流体組成物よりも高い含水量を有する。この高い含水量は多くの利益をもたらす。所望の粘度を有する組成物を提供するために必要とするグリコールの量が減少するが、一部のグリコールの代わりに追加の水をこの目的のために使用することができるからである。グリコールは高価な材料であり、したがって流体組成物に存在するグリコール量の減少はコストを低減する。流体組成物中のグリコール量の減少はさらにグリコールの処分に関連した問題の影響を低減する。例えば、廃棄規制のために、使用済みスラリーの処分前に使用済みスラリー組成物中のグリコールの少なくとも一部を除去することがたびたび要求されている。本発明の組成物はグリコール含有量がより少ないので、この除去や洗浄ステップを削減し、ときどき完全に廃止することもできる。さらに水は優れた熱放散剤であり、したがって本発明の流体組成物中で高い含水量を使用することは高められた熱放散を提供する。高められた熱放散は改良した切断と加工形状と小さいゆがみを提供することでスラリーの切断能力を改良する。それでもさらに、グリコールは加工切断片の破損の原因となり得る加工中の加工対象物に加わる抗力を増加させがちである。流体組成物中により多い水量と少ないグリコール量を提供することで、流体組成物の粘度とウエハに加わる抗力が低減し、それによって加工切断片の破損が減少する。
【００５８】
本発明にしたがって水を添加することで提供される減少粘度は往復ワイヤ動作を可能にできることがさらに分かった。現在、例えばソーラー産業では、現在利用可能な流体組成物の高い粘度のために一方向のワイヤ動作が必須となる。本発明にしたがって流体組成物の粘度を低減することで往復切断が可能となり、必要なワイヤ使用量が減少することになるであろう。
【００５９】
本発明は以下の例によってさらに説明されるが、以下の例は多少なりとも制限するものとして解釈するべきではない。本出願全体にわたり挙げられているような全ての引例（参照文献、発行特許、公開特許公報を含む）の内容は、参照することによって明確に本明細書中に組み込まれたものとする。本発明の実施は、特に断りのない限り、慣用技術の範囲内にある常用技術を用いることとなる。そのような技術は文献で完全に説明される。
【実施例】
【００６０】
例１
５１．６７ｖｏｌ％の水、４７．１１ｖｏｌ％のＰＥＧ、０．２６ｖｏｌ％のＬａｐｏｎｉｔｅ、１．１ｖｏｌ％のアミンボレート、０．１ｖｏｌ％のＢｉｏｂａｎＰ−１４８７、及び０．５４ｖｏｌ％のトリエタノールアミンを混合して流体組成物を調整した。得られた溶液をＪＩＳ１２００炭化ケイ素と混合して２４ｖｏｌ％の固形物濃度を有するスラリーを作った。そのスラリーは以下の特性を有した：
密度：１．５６９ｇ／ｍｌ；
粘度：４８．１センチポイズ、ブルックフィールドのスピンドル＃２を使用して６０ｒｐｍで測定；
導電率：５０．２μｓ；
ｐＨ：９．０５。
【００６１】
そのスラリーを使用して１２５ｍｍ×１２５ｍｍの多結晶のインゴットを２５０μｍ厚のウエハにワイヤソーでスライスした。
【００６２】
例２
表１に示すように、３つの従来の炭化ケイ素スラリー（以下「従来のスラリー」）を形成した。それらのスラリーは、固形物２２ｖｏｌ％でポリエチレングリコール（ＰＥＧ２００）で形成した。それぞれのスラリーには炭化ケイ素の異なるグリッドサイズ（ＪＩＳ８００、ＪＩＳ１２００、ＪＩＳ１５００）が提供された。
【００６３】
例１に示す水性スラリー組成物に炭化ケイ素を添加することで第４の炭化ケイ素スラリー組成物（以下「本発明のスラリー」）を形成した。ＪＩＳ１２００のグリッドサイズを有する炭化ケイ素を水性スラリー組成物に添加して固形物２２ｖｏｌ％の作業用スラリー組成物を形成した。
【００６４】
スラリーの粘度は粘度計、＃２のスピンドル、を使用して６０ＲＰＭで測定した。これらの粘度を表１に示す。
【００６５】
【表１】
2010502456.tif 000003
【００６６】
明確に立証されるように、本発明のスラリーの粘度は従来のスラリーの粘度よりも大幅に低かった。特に本発明のスラリーの粘度は、同一の固形分でＰＥＧ２００を用いた従来のスラリーの粘度の４分の１以下であった。そのような低い粘度レベルでも、本発明のスラリーは固形物の沈降を抑制することができた。
【００６７】
次いで、表１に示すグリッドサイズＪＩＳ８００の炭化ケイ素を有するスラリー組成物をワイヤソーの運転に使用してシリコンのインゴットをスライスし、粘度プロファイルを運転中に測定した。本発明による水性スラリー組成物（表１、グリッドサイズＪＩＳ１２００の炭化ケイ素）を用いて形成した作業用スラリーもまたワイヤソーの運転に使用し、粘度プロファイルを運転中に測定した。２つのスラリーの粘度プロファイルを図１に示す。
【００６８】
本発明と従来のスラリーは同一の固形分を有する。本発明のスラリーは、従来のスラリーと比較して非常に低い粘度を明確に立証した。本発明のスラリーによって提供される低い粘度は固形物の沈降を生じなかった。この低い粘度はワイヤに対する抗力を低減して薄いウエハの破損を低減することが期待される。
【００６９】
例３：運転温度評価
次いで、例２に示し図１に参照する示す２つのスラリー（すなわち水性内容物を伴う「本発明のスラリー」及び高ＰＥＧ内容物を伴う「従来のスラリー」）を用いてＥＴＣＨ  ＣＴワイヤソーを使用してソーラーウエハセル用の１２５ｍｍ四方のシリコンインゴットを切断した。
【００７０】
本発明のスラリーは従来のスラリーよりも熱を多く放散することが示された。結果を図２に示す。両方のスラリーは切断前に室温で供給されて同一の動作条件にさらされた。プロセス全体をとおして、同一の運転条件の下（例えばワイヤ速度と切断レート）、本発明のスラリーは従来のスラリーよりも３〜４℃低くなった。さらに切断プロセス中に従来のスラリーの温度が最高５℃以上増加しても、本発明のスラリーは切断プロセスを通して約２℃以内を保った。この減少した温度プロファイルは、本発明のスラリーによって提供されたものであり、ウエハに対する熱応力を低減してウエハの反りを小さくし、また、薄いウエハの破損率やクラック率をも低減することとなるであろう。
【００７１】
以上、本発明の多くの実施態様を記述したが、開示した発明の範囲内及び精神内で、本発明の他の実施態様、並びに／または変更、組み合わせ、及び置き換えが可能であることが当業者には明確であろう。
【図１】
2010502456.tif 000004
【図２】
2010502456.tif 000005
【手続補正書】
【提出日】平成21年8月18日(2009.8.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
遊離砥粒加工スラリー形成用の流体組成物であって、ポリエチレングリコール及び水を含み、該組成物が少なくとも１０ｖｏｌ％の水を含む、流体組成物。
【請求項２】
１５ｖｏｌ％〜８０ｖｏｌ％のポリエチレングリコール（ＰＥＧ）及び２０ｖｏｌ％〜８５ｖｏｌ％の水を含む、請求項１に記載の組成物。
【請求項３】
１以上の粘度調整剤、１以上の活性剤、及び／または１以上のさび止め剤をさらに含む、請求項１または２に記載の組成物。
【請求項４】
ポリエチレングリコールと水とを混合して組成物が少なくとも１０ｖｏｌ％の水を含むようにすることを含む、遊離砥粒加工スラリーの形成用に好適な流体組成物の形成方法。
【請求項５】
流体組成物を提供すること；
作業用スラリーを形成するために該流体組成物中に砥粒を均一に分散させること；及び
ワイヤソープロセスに該作業用スラリーを供給すること、
を含む、ワイヤソープロセスにおける請求項１〜３のいずれか一項に記載の流体組成物の使用方法。
【請求項６】
ワイヤソーによる往復切断用に好適な流体組成物であって、ポリエチレングリコール及び水を含み、該組成物が少なくとも１０ｖｏｌ％の水を含む、流体組成物。
【請求項７】
往復ワイヤソー切断用に好適な流体組成物を提供する方法であって、
ポリエチレングリコール及び水を含み、該組成物が少なくとも１０ｖｏｌ％の水を含む流体組成物を提供すること；
作業用スラリーを形成するために該流体組成物中に砥粒を均一に分散させること；及び
往復切断のために必要に応じて水を加えることで該作業用スラリーの粘度を調整すること、
を含む流体組成物の提供方法。
【請求項８】
加工プロセスの際に熱を放散させる方法であって、
ポリエチレングリコール、少なくとも１０ｖｏｌ％の水、並びにポリエチレングリコール及び水の中に均一に分散した砥粒を含んだ作業用スラリーを該加工プロセスに供給すること；
その際、該水の少なくとも一部が蒸発して熱を放散させること；及び
さらに熱を放散させるために該加工プロセスの際に、作業用流体に水を補充すること、
を含む方法。
【請求項９】
遊離砥粒加工スラリー形成用の流体組成物であって、
ポリエチレングリコール及び水を含み、
該流体組成物中に砥粒を分散させて形成する作業用スラリーの粘度が２分の１以下に減少するような量で、水が該流体組成物中に存在する、流体組成物。
【請求項１０】
遊離砥粒加工スラリー形成用の流体組成物であって、
ポリエチレングリコール及び水を含み、
該流体組成物中に２０ｖｏｌ％の固形分で砥粒を分散させて形成する作業用スラリーの粘度が、ＰＥＧ及び２０ｖｏｌ％の固形分の砥粒を含むスラリー組成物の粘度の２分の１以下になるように、水の添加によって減少された、流体組成物。
【請求項１１】
遊離砥粒加工スラリー形成用の流体組成物であって、
ポリエチレングリコール及び水を含み、
加工プロセスの際に、該流体組成物に砥粒を分散させて形成する作業用スラリーの温度が２℃以上減少するような量で、水が該流体組成物中に存在する、流体組成物。
【請求項１２】
遊離砥粒加工スラリー形成用の流体組成物であって、
ポリエチレングリコール及び水を含み、
加工プロセスの際に、該流体組成物中に２０ｖｏｌ％の固形分で砥粒を分散させて形成する作業用スラリーの温度が、ＰＥＧ及び２０ｖｏｌ％の固形分の砥粒を含むスラリー組成物の温度より２℃以上低くなるように、水の添加によって減少された、流体組成物。
【請求項１３】
ポリエチレングリコール（ＰＥＧ）及び水を含むキャリア組成物を含む遊離砥粒加工スラリーであって、
該キャリア組成物が少なくとも１０ｖｏｌ％の水、及び１５ｖｏｌ％〜８０ｖｏｌ％のポリエチレングリコール（ＰＥＧ）、並びに２０ｖｏｌ％〜２８ｖｏｌ％の砥粒を含み、
該スラリーが１５０ｃｐ以下である、２５℃で測定された粘度を有する、
遊離砥粒加工スラリー。
【請求項１４】
該粘度が１２０ｃｐ以下である、請求項１３に記載のスラリー。
【請求項１５】
ｐＨが９である、請求項１３または１４に記載のスラリー。
【国際調査報告】
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2010502456.tif 000007
2010502456.tif 000008
2010502456.tif 000009
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