(57)【要約】  （ｉ）（１）〜（７）から選択される２つ以上の繰返し単位（式中、Ｒ６１、Ｒ６２、Ｒ６３およびＲｅｓのそれぞれは、水素またはＣ１〜４アルキルから個別に選択され、Ｒ６４はＣ１〜４アルキルである）、および（ｉｉ）（８）〜（１９）から選択される少なくとも１つの追加の繰返し単位（式中、各Ｒ６１、Ｒ６２、Ｒ６３、Ｒ６４およびＲ６５は、水素またはＣ１〜４アルキルから個別に選択され、ｎは０〜３の数である）を含むポリマーは、フォトレジスト組成物の成分として有用である。2010536977.tif 0000152010536977.tif 000016
2010536977.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ｉ）
【化１】
2010536977.tif 000013
（式中、Ｒ６１、Ｒ６２、Ｒ６３およびＲ６５のそれぞれは、水素またはＣ１〜４アルキルから個別に選択され、Ｒ６４はＣ１〜４アルキルである）から選択される２つ以上の繰返し単位、ならびに
（ｉｉ）
【化２】
2010536977.tif 000014
（式中、各Ｒ６１、Ｒ６２、Ｒ６３、Ｒ６４およびＲ６５は、水素またはＣ１〜４アルキルから個別に選択され、ｎは０〜３の数である）から選択される少なくとも１つの追加の繰返し単位
を含むポリマー。
【請求項２】
（ｉ）に関して、前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）
の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり、ならびにそれらの混合物である、請求項１に記載のポリマー。
【請求項３】
（ｉｉ）に関して、前記追加の繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（８）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（８）の化合物；Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（９）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（９）の化合物；Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１０）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１０）の化合物；Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１１）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１１）の化合物；Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１２）の化合物；Ｒ６１およびＲ６２が水素である式（１２）の化合物；Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１３）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１３）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６４が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１４）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２、Ｒ６３およびＲ６４が水素である式（１４）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６５が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１５）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２、Ｒ６３およびＲ６５が水素である式（１５）の化合物；Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１６）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１６）の化合物；Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１７）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１７）の化合物；Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１８）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１８）の化合物；Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１９）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１９）の化合物、ならびにそれらの混合物から選択される、請求項１または２に記載のポリマー。
【請求項４】
（ｉｉ）に関して、前記追加の繰返し単位が、Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１０）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１１）の化合物；Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１２）の化合物；Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１３）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６４が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１４）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２、Ｒ６３およびＲ６５が水素である式（１５）の化合物、ならびにそれらの混合物から選択される、請求項１〜３のいずれか一つに記載のポリマー。
【請求項５】
（ｉｉ）に関して、前記追加の繰返し単位が、Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１０）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１３）の化合物の混合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１０）の化合物ならびにＲ６１、Ｒ６２、Ｒ６３およびＲ６５が水素である式（１５）の化合物の混合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１０）の化合物、Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１１）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１３）の化合物の混合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１０）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１３）の化合物の混合物；またはＲ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１０）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１３）の化合物ならびにＲ６１、Ｒ６２およびＲ６４が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１４）の化合物の混合物である、請求項１〜３のいずれか一つに記載のポリマー。
【請求項６】
ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−メチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−５−メタクリロイルオキシ−２，６−ノルボルナンカルボラクトン−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−トリシクロ［５，２，１，０２，６］デカ−８−イルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−５−アクリロイルオキシ−２，６−ノルボルナンカルボラクトン）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−トリシクロ［５，２，１，０２，６］デカ−８−イルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−５−アクリロイルオキシ−２，６−ノルボルナンカルボラクトン）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−トリシクロ［５，２，１，０２，６］デカ−８−イルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−５−アクリロイルオキシ−２，６−ノルボルナンカルボラクトン）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−５−アクリロイルオキシ−２，６−ノルボルナンカルボラクトン）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−トリシクロ［５，２，１，０２，６］デカ−８−イルメタクリレート）、ポリ（エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−５−アクリロイルオキシ−２，６−ノルボルナンカルボラクトン）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロ
キシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−トリシクロ［５，２，１，０２，６］デカ−８−イルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−５−アクリロイルオキシ−２，６−ノルボルナンカルボラクトン）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−５−アクリロイルオキシ−２，６−ノルボルナンカルボラクトン）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート���ｃｏ−２−アダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−トリシクロ［５，２，１，０２，６］デカ−８−イルメタクリレート）、ポリ（エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロ���クトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、およびポリ（エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）からなる群から選択される、請求項１〜５のいずれか一つに記載のポリマー。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一つに記載のポリマーを含むフォトレジスト組成物。
【請求項８】
少なくとも１つの光酸発生剤をさらに含む、請求項７に記載の組成物。
【請求項９】
少なくとも１つの塩基をさらに含む、請求項７または８に記載の組成物。
【請求項１０】
ポリマーに関して、前記繰返し単位（ｉ）が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである
式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり、ならびにそれらの混合物である、請求項７〜９のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項１１】
ポリマーに関して、前記追加の繰返し単位（ｉｉ）が、Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１０）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１１）の化合物；Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１２）の化合物；Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１３）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６４が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１４）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２、Ｒ６３およびＲ６５が水素である式（１５）の化合物、ならびにそれらの混合物から選択される、請求項７〜１０のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項１２】
ポリマーに関して、前記追加の繰返し単位（ｉｉ）が、Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１０）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１３）の化合物の混合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１０）の化合物ならびにＲ６１、Ｒ６２、Ｒ６３およびＲ６５が水素である式（１５）の化合物の混合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１０）の化合物、Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１１）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１３）の化合物の混合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１０）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１３）の化合物の混合物；またはＲ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１０）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１３）の化合物ならびにＲ６１、Ｒ６２およびＲ６４が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１４）の化合物の混合物である、請求項７〜１０のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項１３】
ａ）請求項７〜１２のいずれか一つに記載のフォトレジスト組成物で基板を被覆するステップ、ｂ）前記基板をベークして、溶媒を実質的に除去するステップ、ｃ）前記フォトレジスト被膜を、像様露光するステップ、ｄ）像様露光後に前記フォトレジスト被膜をベークするステップ、およびｅ）前記フォトレジスト被膜をアルカリ水溶液で現像するステップを含む、フォトレジストに像を形成する方法。
【請求項１４】
ａ）請求項７〜１２のいずれか一つに記載のフォトレジスト組成物を提供するステップ、ｂ）前記ステップａ）のフォトレジスト組成物で適切な基板を被覆するステップ、およびｃ）前記フォトレジスト溶媒の実質的に全てが除去されるまで、前記ステップｂ）の被覆基板を熱処理し、前記フォトレジスト組成物を像様露光し、かかる組成物の像様露光した領域を、適切な現像液で除去するステップを含む、基板上に画像を形成することによってマイクロ電子デバイスを製造する方法。
【請求項１５】
フォトレジスト組成物の成分としての、請求項１〜６のいずれか一つに記載のポリマーの使用。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
フォトレジスト組成物は、コンピューター・チップおよび集積回路などの製作における小型電子部品の製造のためのマイクロリソグラフィ法に使用される。一般にこれらの方法では、まず、フォトレジスト組成物フィルムの薄い被膜を、集積回路を製造するために使用されるシリコン・ウェハなどの基板材料に塗布する。次いで、被覆した基板をベークして、フォトレジスト組成物中の任意の溶媒を蒸発させ、基板上に被膜を固定する。次に、基板上に被覆されたフォトレジストを、放射線で像様露光する。
【背景技術】
【０００２】
放射線露光は、被膜表面の露光領域に化学的変化を引き起こす。可視光、紫外（ＵＶ）光、電子ビームおよびＸ線の放射線エネルギーは、マイクロリソグラフィ法において今日一般的に使用されている放射線種である。この像様露光後、被覆した基板を現像液で処理して、放射線に露光された、または露光されていないフォトレジスト領域のいずれかを溶解、除去する。半導体デバイスの小型化傾向によって、ますます小さい波長の放射線に感受性がある新しいフォトレジストが使用されるようになり、またかかる小型化に関連する困難を克服するための高性能マルチレベル系が使用されるようになってきた。
【０００３】
フォトレジスト組成物には、ネガ型およびポジ型の２種類がある。リソグラフィ処理のある特定の点で使用されるフォトレジストの種類は、半導体デバイスの設計によって決定される。ネガ型フォトレジスト組成物が、放射線で像様露光される場合、放射線に曝されたフォトレジスト組成物の領域は、現像液に溶解しにくくなるが（例えば、架橋反応が生じる）、フォトレジスト被膜の非露光領域は、依然としてかかる溶液に比較的溶解する。したがって、露光されたネガ型レジストを現像液で処理することによって、フォトレジスト被膜の非露光領域を除去し、被膜内にネガ型画像を作製し、したがってフォトレジスト組成物が付着した下層基板表面の所望の部分が裸出される。
【０００４】
一方、ポジ型フォトレジスト組成物が放射線で像様露光される場合、放射線で露光されたフォトレジスト組成物の領域は、現像液に溶解するようになるが（例えば、転位反応が生じる）、非露光領域は、依然として現像液に比較的溶解しにくい。したがって、露光したポジ型フォトレジストを現像液で処理することによって、被膜の露光領域が除去され、フォトレジスト被膜内にポジ型画像を作製される。この場合もまた下層表面の所望の部分が裸出される。
【０００５】
フォトレジスト解像度は、レジスト組成物が、露光および現像後にフォトマスクから高度な画像エッジ鋭さで基板へと転写し得る最小の図形（ｆｅａｔｕｒｅ）と定義される。今日、多くの最先端の製造用途においては、約２分の１ミクロン（マイクロメートル）未満のフォトレジスト解像度が必要とされる。さらにほとんどの場合、現像したフォトレジスト壁のプロファイルが基板に対してほぼ垂直になることが望ましい。レジスト被膜の現像領域と非現像領域のかかる境界は、基板上へのマスク画像の正確なパターン転写につながる。このことは、小型化の推進によってデバイス上の微小寸法（ＣＤ）が小さくなるにつれて、さらに重大になる。フォトレジスト寸法が１５０ナノメートル（ｎｍ）未満に低減されている場合、フォトレジスト・パターンの粗さが重大な問題になってくる。通常ライン・エッジラフネスとして公知のエッジの粗さは、一般に、ライン・アンド・スペースパターンの場合はフォトレジスト・ラインに沿った粗さとして、ならびにコンタクト・ホールの場合は側壁粗さとして観測される。エッジ粗さは、フォトレジストのリソグラフ性能に対して、特に許容限界寸法を低減し、またフォトレジストのライン・エッジ粗さを基板に転写するという悪影響を及ぼす可能性がある。したがって、エッジ粗さを最小限に抑えるフォトレジストが非常に望ましい。
【０００６】
サブハーフミクロンの幾何形状が必要とされる場合には、約１００ｎｍおよび約３００ｎｍの間の短い波長に感受性のあるフォトレジストが使用されることが多い。
【０００７】
高分解の化学的に増幅された深紫外線（１００  ３００ｎｍ）のポジ型およびネガ型フォトレジストは、４分の１ミクロン未満の幾何形状のパターン形成画像に利用することができる。今まで、小型化に著しい進展をもたらしてきた３つの主な深紫外線（ＵＶ）露光技術があり、これらは２４８ｎｍ、１９３ｎｍ（乾燥および浸漬）および１５７ｎｍの放射線を放射するレーザーを使用する。深ＵＶに使用されるフォトレジストは一般に、酸に不安定な基を有し、酸の存在下で脱保護され得るポリマー、光吸収時に酸を発生する光活性成分、および溶媒を含む。
【０００８】
２４８ｎｍ用のフォトレジストは一般に、米国特許第４，４９１，６２８号（特許文献１）および同第５，３５０，６６０号（特許文献２）に記載のものなどの置換ポリヒドロキシスチレンおよびそのコポリマーをベースにしている。一方、１９３ｎｍ露光用のフォトレジストは、芳香族がこの波長で不透明であることから、非芳香族ポリマーを必要とする。米国特許第５，８４３，６２４号（特許文献３）および英国特許第２，３２０，７１８号（特許文献４）には、１９３ｎｍ露光用に有用なフォトレジストが開示されている。一般に、脂環式炭化水素を含有するポリマーは、２００ｎｍ未満の露光用のフォトレジストに使用される。脂環式炭化水素は、主にそれらが、エッチング耐性を改善する比較的高い炭素：水素比を有し、また低波長で透明性を付与し、比較的高いガラス転移温度を有することから、多くの理由でポリマーに組み込まれる。１５７ｎｍに感受性のあるフォトレジストは、その波長で実質的に透明であることが知られているフッ素化ポリマーをベースにしている。フッ素化基を含有するポリマー由来のフォトレジストは、国際特許第００／６７０７２号（特許文献５）および国際特許第００／１７７１２号（特許文献６）に記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】米国特許第４，４９１，６２８号
【特許文献２】米国特許第５，３５０，６６０号
【特許文献３】米国特許第５，８４３，６２４号
【特許文献４】英国特許第２，３２０，７１８号
【特許文献５】国際特許第００／６７０７２号
【特許文献６】国際特許第００／１７７１２号
【特許文献７】米国特許出願第１１／１７９，８８６号
【特許文献８】米国特許出願第１１／３５５，７６２号
【特許文献９】米国特許出願公開第２００７／０１１１１３８号
【特許文献１０】米国特許出願公開第２００４／０２２９１５５号
【特許文献１１】米国特許出願公開第２００５／０２７１９７４号
【特許文献１２】米国特許第５，８３７，４２０号
【特許文献１３】米国特許第６，１１１，１４３号
【特許文献１４】米国特許第６，３５８，６６５号
【特許文献１５】米国特許第６，９９１，８８８号
【特許文献１６】米国特許出願第２００３／０２３５７８２号
【特許文献１７】米国特許出願第２００５／０２７１９７４号
【特許文献１８】米国特許出願公開第２００３／０２３５７８２号
【特許文献１９】米国特許出願公開第２００７／００１５０８４号
【非特許文献】
【００１０】
【非特許文献１】H.-G.Elias、Macromolecules、Vol.2、Wiley-VCH、Weinheim 2007
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【００１１】
（ｉ）
【化１】
2010536977.tif 000003
（式中、Ｒ６１、Ｒ６２、Ｒ６３およびＲ６５のそれぞれは、水素またはＣ１〜４アルキルから個別に選択され、Ｒ６４はＣ１〜４アルキルである）から選択される２つ以上の繰返し単位、ならびに
（ｉｉ）
【化２】
2010536977.tif 000004
（式中、各Ｒ６１、Ｒ６２、Ｒ６３およびＲ６５は、水素またはＣ１〜４アルキルから個別に選択され、ｎは０〜３の数である）から選択される少なくとも１つの追加の繰返し単位を含むポリマーが開示される。
【００１２】
例えば、ポリマーは、（ｉ）に関して、前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４が
エチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり、ならびにそれらの混合物であるものであることができる。
【００１３】
別の例は、（ｉｉ）に関して、前記追加の繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（８）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（８）の化合物；Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（９）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（９）の化合物；Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１０）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１０）の化合物；Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１１）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１１）の化合物；Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１２）の化合物；Ｒ６１およびＲ６２が水素である式（１２）の化合物；Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１３）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１３）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６４が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１４）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２、Ｒ６３およびＲ６４が水素である式（１４）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６５が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１５）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２、Ｒ６３およびＲ６５が水素である式（１５）の化合物；Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１６）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１６）の化合物；Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１７）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１７）の化合物；Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１８）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１８）の化合物；Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１９）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１９）の化合物、ならびにそれらの混合物から選択されるポリマーである。
【００１４】
別の例は、（ｉｉ）に関して、前記追加の繰返し単位が、Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１０）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１１）の化合物；Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１２）の化合物；Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１３）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６４が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１４）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２、Ｒ６３およびＲ６５が水素である式（１５）の化合物、ならびにそれらの混合物から選択されるポリマーである。
【００１５】
別の例は、（ｉｉ）に関して、前記追加の繰返し単位が、Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１０）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１３）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１０）の化合物ならびにＲ６１、Ｒ６２、Ｒ６３およびＲ６５が水素である式（１５）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１０）の化合物、Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１１）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１３）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１０）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１３）の化合物；またはＲ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１０）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１３）の化合物ならびにＲ６１、Ｒ６２およびＲ６４が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１４）の化合物の混合物であるポリマーである。
【００１６】
かかるポリマーの例を、以下に示す。
【００１７】
さらに、先のポリマーを含むフォトレジスト組成物も開示される。フォトレジスト組成物は、少なくとも１つの光酸発生剤（ＰＡＧ）および少なくとも１つの塩基を含有することができ、好ましくは含有する。
【００１８】
さらに、ａ）先のフォトレジスト組成物で基板を被覆するステップ、ｂ）基板をベークして、溶媒を実質的に除去するステップ、ｃ）フォトレジスト被膜を、像様露光するステップ、ｄ）フォトレジスト被膜を露光後ベークするステップ、およびｅ）フォトレジスト被膜をアルカリ水溶液で現像するステップを含む、フォトレジストの像形成方法も開示される。
【００１９】
さらに、ａ）先のフォトレジスト組成物を提供するステップ、ｂ）ステップａ）のフォトレジスト組成物で適切な基板を被覆するステップ、およびｃ）フォトレジスト溶媒の実質的に全てが除去されるまで、ステップｂ）の被覆基板を熱処理し、フォトレジスト組成物を像様露光し、かかる組成物の像様露光された領域を、適切な現像液で除去するステップを含む、基板上に画像を形成することによってマイクロ電子デバイスを製造する方法も開示される。
【００２０】
さらに、フォトレジスト組成物の成分としての、先のポリマーの使用が開示される。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
（ｉ）
【化３】
2010536977.tif 000005
（式中、Ｒ６１、Ｒ６２、Ｒ６３およびＲ６５のそれぞれは、水素またはＣ１〜４アルキルから個別に選択され、Ｒ６４はＣ１〜４アルキルである）から選択される２つ以上の繰返し単位、ならびに
（ｉｉ）
【化４】
2010536977.tif 000006
（式中、各Ｒ６１、Ｒ６２、Ｒ６３、Ｒ６４およびＲ６５は、水素またはＣ１〜４アルキルから個別に選択され、ｎは０〜３の数である）から選択される少なくとも１つの追加の繰返し単位
を含むポリマーが開示される。
【００２２】
例えば、ポリマーは、（ｉ）に関して、前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４が
エチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（１）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（３）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（４）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（５）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり；または前記繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６４がエチルである式（２）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルであり、Ｒ６５が水素である式（６）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３およびＲ６４がメチルである式（７）の化合物の混合物であり、ならびにそれらの混合物であるものであることができる。
【００２３】
別の例は、（ｉｉ）に関して、前記追加の繰返し単位が、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（８）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（８）の化合物；Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（９）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（９）の化合物；Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１０）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１０）の化合物；Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１１）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１１）の化合物；Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１２）の化合物；Ｒ６１およびＲ６２が水素である式（１２）の化合物；Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１３）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１３）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６４が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１４）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２、Ｒ６３およびＲ６４が水素である式（１４）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６５が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１５）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２、Ｒ６３およびＲ６５が水素である式（１５）の化合物；Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１６）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１６）の化合物；Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１７）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１７）の化合物；Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１８）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１８）の化合物；Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１９）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１９）の化合物、ならびにそれらの混合物から選択されるポリマーである。
【００２４】
別の例は、（ｉｉ）に関して、前記追加の繰返し単位が、Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１０）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１１）の化合物；Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１２）の化合物；Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１３）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６４が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１４）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２、Ｒ６３およびＲ６５が水素である式（１５）の化合物、ならびにそれらの混合物から選択されるポリマーである。
【００２５】
別の例は、（ｉｉ）に関して、前記追加の繰返し単位が、Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１０）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１３）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１０）の化合物ならびにＲ６１、Ｒ６２、Ｒ６３およびＲ６５が水素である式（１５）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１０）の化合物、Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１１）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１３）の化合物；Ｒ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１０）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１２）の化合物ならびにＲ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１３）の化合物；またはＲ６１、Ｒ６２およびＲ６３が水素である式（１０）の化合物、Ｒ６１およびＲ６２が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１３）の化合物ならびにＲ６１、Ｒ６２およびＲ６４が水素であり、Ｒ６３がメチルである式（１４）の化合物の混合物であるポリマーである。
【００２６】
別の好ましい実施形態では、ポリマーは、繰返し単位（１）、（５）、（１０）および（１３）を含み、好ましくはそれらからなり、ここで、好ましくは、Ｒ６１およびＲ６２のそれぞれは水素であり、Ｒ６３は水素またはメチルであり、Ｒ６４はＣ１〜４アルキルである。
【００２７】
かかるポリマーの例には、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−メチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−５−メタクリロイルオキシ−２，６−ノルボルナンカルボラクトン−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−トリシクロ［５，２，１，０２，６］デカ−８−イルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−５−アクリロイルオキシ−２，６−ノルボルナンカルボラクトン）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−トリシクロ［５，２，１，０２，６］デカ−８−イルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−５−アクリロイルオキシ−２，６−ノルボルナンカルボラクトン）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−トリシクロ［５，２，１，０２，６］デカ−８−イルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−５−アクリロイルオキシ−２，６−ノルボルナンカルボラクトン）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−５−アクリロイルオキシ−２，６−ノルボルナンカルボラクトン）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−トリシクロ［５，２，１，０２，６］デカ−８−イルメタクリレート）、ポリ（エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−５−アクリロイルオキシ−２，６−ノルボルナンカルボラクトン）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタ
クリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−トリシクロ［５，２，１，０２，６］デカ−８−イルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−５−アクリロイルオキシ−２，６−ノルボルナンカルボラクトン）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−５−アクリロイルオキシ−２，６−ノルボルナンカルボラクトン）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチ���ラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−トリシクロ［５，２，１，０２，６］デカ−８−イルメタクリレート）、ポリ（エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルメタクリレート）、ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）、ポリ（エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−エチル−２−ジアマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）などが含まれる。
【００２８】
一般に、繰返し単位（ｉ）は、全ポリマーの約２５〜約５０モルパーセント、さらには約３５〜約５０モルパーセントを含むことになる（約２５〜約４５モルパーセントの繰返し単位（ｉ）を構成するモノマー供給物に対して）。幾つかの場合、繰返し単位（ｉｉ）は、α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレートおよび／またはβ−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレートを含有することになる。全ポリマーに関して、α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレートおよび／またはβ−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレートの量は、約３５〜約５５モルパーセントの範囲であり、さらに幾つかの場合、約４０〜約５０モルパーセントの範囲である。
【００２９】
本発明のポリマーの合成は、当業者に周知であり、例えばH.-G.Elias、Macromolecules、Vol.2、Wiley-VCH、Weinheim 2007（非特許文献１）に記載のラジカル重合などのアクリレートコポリマーの通常の合成方法を使用して実施することができる。さらに、例に開示の方法を参照のこと。
【００３０】
さらに、先のポリマーを含むフォトレジスト組成物も開示される。フォトレジスト組成物は、少なくとも１つの光酸発生剤および少なくとも１つの塩基を含有することができ、好ましくは含有する。
【００３１】
さらに、ａ）先のフォトレジスト組成物で基板を被覆するステップ、ｂ）基板をベークして、溶媒を実質的に除去するステップ、ｃ）フォトレジスト被膜を、像様露光するステップ、ｄ）フォトレジスト被膜を露光後ベークするステップ、およびｅ）フォトレジスト被膜をアルカリ水溶液で現像するステップを含む、フォトレジストに像を形成する方法も開示される。
【００３２】
さらに、ａ）先のフォトレジスト組成物を提供するステップ、ｂ）ステップａ）のフォトレジスト組成物で適切な基板を被覆するステップ、およびｃ）フォトレジスト溶媒の実質的に全てが除去されるまで、ステップｂ）の被覆基板を熱処理し、フォトレジスト組成物を像様露光し、かかる組成物の像様露光された領域を、適切な現像液で除去するステップを含む、基板上に画像を形成することによってマイクロ電子デバイスを製造する方法も開示される。
【００３３】
さらに、フォトレジスト組成物の成分としての、先のポリマーの使用が開示される。フォトレジスト組成物は、好ましくは少なくとも１つの光酸発生剤および／または少なくとも１つの塩基を含む。好ましくは、少なくとも１つの光酸発生剤は、先に記載の光酸発生剤の混合物である。
【００３４】
好ましい一実施形態では、フォトレジスト組成物は、ポリマーと一緒に、（ｉ）式
（Ａｉ）２Ｘｉ１
の化合物
［式中、各Ａｉは個別に、
【００３５】
【化５】
2010536977.tif 000007
および
Ｙ−Ａｒから選択される有機オニウムカチオンであり
｛式中、Ａｒは、
【００３６】
【化６】
2010536977.tif 000008
ナフチルまたはアントリルから選択され、
Ｙは、
【００３７】
【化７】
2010536977.tif 000009
（式中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ１Ａ、Ｒ１Ｂ、Ｒ２Ａ、Ｒ２Ｂ、Ｒ３Ａ、Ｒ３Ｂ、Ｒ４Ａ、Ｒ４Ｂ、Ｒ５ＡおよびＲ５Ｂは、それぞれ独立に、Ｚ、水素、ＯＳＯ２Ｒ９、ＯＲ２０、１つもしくは複数のＯ原子を場合によって含有している直鎖もしくは分岐アルキル鎖、１つもしくは複数のＯ原子を場合によって含有しているモノシクロアルキルもしくはポリシクロアルキル基、モノシクロアルキル−もしくはポリシクロアルキルカルボニル基、アリール、アラルキル、アリールカルボニルメチル基、アルコキシアルキル、アルコキシカルボニルアルキル、アルキルカルボニル、シクロアルキル環が１つもしくは複数のＯ原子を場合によって含有しているモノシクロアルキル−もしくはポリシクロアルキルオキシカルボニルアルキル、シクロアルキル環が１つもしくは複数のＯ原子を場合によって含有しているモノシクロアルキル−もしくはポリシクロアルキルオキシアルキル、直鎖もしくは分岐ペルフルオロアルキル、モノシクロペルフルオロアルキルもしくはポリシクロペルフルオロアルキル、直鎖もしくは分岐アルコキシ鎖、ニトロ、シアノ、ハロゲン、カルボキシル、ヒドロキシル、サルフェート、トレシル、またはヒドロキシルから選択され、
Ｒ６およびＲ７は、それぞれ独立に、１つもしくは複数のＯ原子を場合によって含有している直鎖もしくは分岐アルキル鎖、１つもしくは複数のＯ原子を場合によって含有しているモノシクロアルキルもしくはポリシクロアルキル基、モノシクロアルキル−もしくはポリシクロアルキルカルボニル基、アリール、アラルキル、直鎖もしくは分岐ペルフルオロアルキル、モノシクロペルフルオロアルキルもしくはポリシクロペルフルオロアルキル、アリールカルボニルメチル基、ニトロ、シアノ、またはヒドロキシルから選択され、あるいはＲ６およびＲ７は、それらが結合するＳ原子と一緒になって、１つまたは複数のＯ原子を場合によって含有している５員、６員または７員の飽和または不飽和環を形成し、
Ｒ９は、アルキル、フルオロアルキル、ペルフルオロアルキル、アリール、フルオロアリール、ペルフルオロアリール、シクロアルキル環が１つもしくは複数のＯ原子を場合によって含有しているモノシクロアルキルもしくはポリシクロアルキル基、シクロアルキル環が１つもしくは複数のＯ原子を場合によって含有しているモノシクロフルオロアルキルもしくはポリシクロフルオロアルキル基、またはシクロアルキル環が１つもしくは複数のＯ原子を場合によって含有しているモノシクロペルフルオラルキルもしくはポリシクロペルフルオロアルキル基から選択され、
Ｒ２０は、アルコキシアルキル、アルコキシカルボニルアルキル、アルキルカルボニル、シクロアルキル環が１つもしくは複数のＯ原子を場合によって含有しているモノシクロアルキル−もしくはポリシクロアルキルオキシカルボニルアルキル、またはシクロアルキル環が１つもしくは複数のＯ原子を場合によって含有しているモノシクロアルキル−もしくはポリシクロアルキルオキシアルキルであり、
Ｔは、直接結合、１つまたは複数のＯ原子を場合によって含有している二価の直鎖または分岐アルキル基、二価のアリール基、二価のアラルキル基、または１つもしくは複数のＯ原子を場合によって含有している二価のモノシクロアルキルもしくはポリシクロアルキル基であり、
Ｚは、−（Ｖ）ｊ−（Ｃ（Ｘ１１）（Ｘ１２））ｎ−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−Ｒ８であり（式中、（ｉ）Ｘ１１またはＸ１２の一方は、少なくとも１つのフッ素原子を含有する直鎖または分岐アルキル鎖であり、他方は、水素、ハロゲン、または直鎖もしくは分岐アルキル鎖であり、あるいは（ｉｉ）Ｘ１１およびＸ１２の両方は、少なくとも１つのフッ素原子を含有する直鎖または分岐アルキル鎖である）、
Ｖは、直接結合、１つまたは複数のＯ原子を場合によって含有している二価の直鎖または分岐アルキル基、二価のアリール基、二価のアラルキル基、または１つもしくは複数のＯ原子を場合によって含有している二価のモノシクロアルキルもしくはポリシクロアルキル基から選択される結合基であり、
Ｘ２は、水素、ハロゲン、または１つもしくは複数のＯ原子を場合によって含有している直鎖もしくは分岐アルキル鎖であり、
Ｒ８は、１つもしくは複数のＯ原子を場合によって含有している直鎖もしくは分岐アルキル鎖、１つもしくは複数のＯ原子を場合によって含有しているモノシクロアルキルもしくはポリシクロアルキル基、またはアリールであり、
Ｘ３は、水素、直鎖もしくは分岐アルキル鎖、ハロゲン、シアノまたは−Ｃ（＝Ｏ）−Ｒ５０（式中、Ｒ５０は、１つもしくは複数のＯ原子を場合によって含有している直鎖もしくは分岐アルキル鎖から選択される）または−Ｏ−Ｒ５１（式中、Ｒ５１は、水素または直鎖もしくは分岐アルキル鎖である）であり、
ｉおよびｋのそれぞれは、独立に０または正の整数であり、
ｊは０〜１０であり、
ｍは０〜１０であり、
ｎは０〜１０であり、
該１つもしくは複数のＯ原子を場合によって含有している直鎖もしくは分岐アルキル鎖、直鎖もしくは分岐アルキル鎖、直鎖もしくは分岐アルコキシ鎖、１つもしくは複数のＯ原子を場合によって含有しているモノシクロアルキルもしくはポリシクロアルキル基、モノシクロアルキル−もしくはポリシクロアルキルカルボニル基、アルコキシアルキル、アルコキシカルボニルアルキル、アルキルカルボニル、シクロアルキル環が１つもしくは複数のＯ原子を場合によって含有しているモノシクロアルキル−もしくはポリシクロアルキルオキシカルボニルアルキル、シクロアルキル環が１つもしくは複数のＯ原子を場合によって含有しているモノシクロアルキル−もしくはポリシクロアルキルオキシアルキル、アラルキル、アリール、ナフチル、アントリル、１つもしくは複数のＯ原子を場合によって含有している５員、６員もしくは７員の飽和もしくは不飽和環、またはアリールカルボニルメチル基は、非置換であり、またはＺ、ハロゲン、アルキル、Ｃ１〜８ペルフルオロアルキル、モノシクロアルキルまたはポリシクロアルキル、ＯＲ２０、アルコキシ、Ｃ３〜２０環状アルコキシ、ジアルキルアミノ、二環式ジアルキルアミノ、ヒドロキシル、シアノ、ニトロ、トレシル、オキソ、アリール、アラルキル、酸素原子、ＣＦ３ＳＯ３、アリールオキシ、アリールチオ、および式（ＩＩ）〜（ＶＩ）の基からなる群から選択される１つまたは複数の基によって置換されている
【００３８】
【化８】
2010536977.tif 000010
（式中、Ｒ１０およびＲ１１は、それぞれ独立に、水素原子、１つもしくは複数のＯ原子を場合によって含有している直鎖もしくは分岐アルキル鎖、または１つもしくは複数のＯ原子を場合によって含有しているモノシクロアルキルもしくはポリシクロアルキル基を表し、あるいはＲ１０およびＲ１１は一緒になって、アルキレン基を表して、５員または６員環を形成することができ、
Ｒ１２は、１つもしくは複数のＯ原子を場合によって含有している直鎖もしくは分岐アルキル鎖、１つもしくは複数のＯ原子を場合によって含有しているモノシクロアルキルもしくはポリシクロアルキル基、またはアラルキルを表し、あるいはＲ１０およびＲ１２は一緒になって、−Ｃ−Ｏ−挿入基と一緒になって５員または６員環を形成するアルキレン基を表し、環中の炭素原子は、酸素原子によって場合によって置換されており、
Ｒ１３は、１つもしくは複数のＯ原子を場合によって含有している直鎖もしくは分岐アルキル鎖、または１つもしくは複数のＯ原子を場合によって含有しているモノシクロアルキルもしくはポリシクロアルキル基を表し、
Ｒ１４およびＲ１５は、それぞれ独立に、水素原子、１つもしくは複数のＯ原子を場合によって含有している直鎖もしくは分岐アルキル鎖、または１つもしくは複数のＯ原子を場合によって含有しているモノシクロアルキルもしくはポリシクロアルキル基を表し、
Ｒ１６は、１つもしくは複数のＯ原子を場合によって含有している直鎖もしくは分岐アルキル鎖、１つもしくは複数のＯ原子を場合によって含有しているモノシクロアルキルもしくはポリシクロアルキル基、アリール、またはアラルキルを表し、
Ｒ１７は、１つもしくは複数のＯ原子を場合によって含有している直鎖もしくは分岐アルキル鎖、１つもしくは複数のＯ原子を場合によって含有しているモノシクロアルキルもしくはポリシクロアルキル基、アリール、アラルキル、基−Ｓｉ（Ｒ１６）２Ｒ１７、または基−Ｏ−Ｓｉ（Ｒ１６）２Ｒ１７を表し、該１つもしくは複数のＯ原子を場合によって含有している直鎖もしくは分岐アルキル鎖、１つもしくは複数のＯ原子を場合によって含有しているモノシクロアルキルもしくはポリシクロアルキル基、アリール、およびアラルキルは、先のように非置換または置換である））から選択される｝、
Ｘｉ１は、式
Ｑ−Ｒ５００−ＳＯ３−
のアニオンである
（式中、Ｑは、−Ｏ３Ｓおよび−Ｏ２Ｃから選択され、
Ｒ５００は、懸垂Ｏ、ＳもしくはＮを場合によって含有する直鎖もしくは分岐アルキル、シクロアルキル、アリール、またはそれらの組合せから選択される基であり、該アルキル、シクロアルキルおよびアリール基は、非置換であり、またはハロゲン、非置換もしくは置換アルキル、非置換もしくは置換Ｃ１〜８ペルフルオロアルキル、ヒドロキシル、シアノ、サルフェートおよびニトロからなる群から選択される１つもしくは複数の基によって置換されている）］、および
（ｉｉ）式
ＡｉＸｉ２
の化合物
（式中、Ａｉは、先に定義の有機オニウムカチオンであり、Ｘｉ２はアニオンである）、ならびにそれらの混合物から選択される光酸発生剤の混合物を含有する。
【００３９】
アニオンＸｉ２の例には、ＣＦ３ＳＯ３−、ＣＨＦ２ＳＯ３−、ＣＨ３ＳＯ３−、ＣＣｌ３ＳＯ３−、Ｃ２Ｆ５ＳＯ３−、Ｃ２ＨＦ４ＳＯ３−、Ｃ４Ｆ９ＳＯ３−、カンファースルホネート、ペルフルオロオクタンスルホネート、ベンゼンスルホネート、ペンタフルオロベンゼンスルホネート、トルエンスルホネート、ペルフルオロトルエンスルホネート、（Ｒｆ１ＳＯ２）３Ｃ−および（Ｒｆ１ＳＯ２）２Ｎ−（式中、各Ｒｆ１は、高度にフッ素化されたもしくはペルフルオロ化（ｐｅｒｆｌｕｏｒｉｎａｔｅｄ）アルキルまたはフッ素化アリール基からなる群から独立に選択され、環状であってよく、任意の２個のＲｆ１基の組合せが結合して架橋を形成している場合、さらにＲｆ１アルキル鎖は、１〜２０個の炭素原子を含有し、直鎖、分岐または環状であってよく、したがって二価の酸素、三価の窒素または六価の硫黄は骨格鎖を遮断することができ、さらにＲｆ１が環状構造を含有する場合、かかる構造は、場合によってその１つまたは２つがヘテロ原子である５員または６員環を有する）、ならびにＲｇ−Ｏ−Ｒｆ２−ＳＯ３−（式中、Ｒｆ２は、直鎖または分岐の（ＣＦ２）ｊ（式中ｊは、４〜１０の整数である）および場合によって置換されているペルフルオロＣ１〜１０アルキルである二価のＣ１〜Ｃ１２シクロペルフルオロアルキル基からなる群から選択され、Ｒｇは、Ｃ１〜Ｃ２０直鎖、分岐のモノシクロアルキルまたはポリシクロアルキル、Ｃ１〜Ｃ２０直鎖、分岐のモノシクロアルケニルまたはポリシクロアルケニル、アリール、およびアラルキルからなる群から選択され、該アルキル、アルケニル、アラルキルおよびアリール基は、非置換、置換の、場合によって１つまたは複数の懸垂酸素原子を含有し、部分的にフッ素化またはペルフルオロ化されている）から選択されるものが含まれる。さらなる例には、（Ｃ２Ｆ５ＳＯ２）２Ｎ−、（Ｃ４Ｆ９ＳＯ２）２Ｎ−、（Ｃ８Ｆ１７ＳＯ２）３Ｃ−、（ＣＦ３ＳＯ２）３Ｃ−、（ＣＦ３ＳＯ２）２Ｎ−、（ＣＦ３ＳＯ２）２（Ｃ４Ｆ９ＳＯ２）Ｃ−、（Ｃ２Ｆ５ＳＯ２）３Ｃ−、（Ｃ４Ｆ９ＳＯ２）３Ｃ−、（ＣＦ３ＳＯ２）２（Ｃ２Ｆ５ＳＯ２）Ｃ−、（Ｃ４Ｆ９ＳＯ２）（Ｃ２Ｆ５ＳＯ２）２Ｃ−、（ＣＦ３ＳＯ２）（Ｃ４Ｆ９ＳＯ２）Ｎ−、［（ＣＦ３）２ＮＣ２Ｆ４ＳＯ２］２Ｎ−、（ＣＦ３）２ＮＣ２Ｆ４ＳＯ２Ｃ−（ＳＯ２ＣＦ３）２、（３，５−ビス（ＣＦ３）Ｃ６Ｈ３）ＳＯ２Ｎ−ＳＯ２ＣＦ３、Ｃ６Ｆ５ＳＯ２Ｃ−（ＳＯ２ＣＦ３）２、Ｃ６Ｆ５ＳＯ２Ｎ−ＳＯ２ＣＦ３、
【００４０】
【化９】
2010536977.tif 000011
ＣＦ３ＣＨＦＯ（ＣＦ２）４ＳＯ３−、ＣＦ３ＣＨ２Ｏ（ＣＦ２）４ＳＯ３−、ＣＨ３ＣＨ２Ｏ（ＣＦ２）４ＳＯ３−、ＣＨ３ＣＨ２ＣＨ２Ｏ（ＣＦ２）４ＳＯ３−、ＣＨ３Ｏ（ＣＦ２）４ＳＯ３−、Ｃ２Ｈ５Ｏ（ＣＦ２）４ＳＯ３−、Ｃ４Ｈ９Ｏ（ＣＦ２）４ＳＯ３−、Ｃ６Ｈ５ＣＨ２Ｏ（ＣＦ２）４ＳＯ３−、Ｃ２Ｈ５ＯＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３）ＳＯ３−、ＣＨ２＝ＣＨＣＨ２Ｏ（ＣＦ２）４ＳＯ３−、ＣＨ３ＯＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３）ＳＯ３−、Ｃ４Ｈ９ＯＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３）ＳＯ３−、Ｃ８Ｈ１７Ｏ（ＣＦ２）２ＳＯ３−、およびＣ４Ｈ９Ｏ（ＣＦ２）２ＳＯ３−から選択されるものが含まれる。
【００４１】
組成物において有用な光酸発生剤のさらなる例には、群ビス（４−ｔ−ブチルフェニル）ヨードニウムトリフェニルスルホニウムペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート、ビス（４−ｔ−ブチルフェニル）ヨードニウムトリフェニルスルホニウムペルフルオロプロパン−１，３−ジスルホネート、ビス（４−ｔ−ブチルフェニル）ヨードニウムトリフェニルスルホニウムペルフルオロプロパン−１−カルボキシレート−３−スルホネート、ビス（４−ｔ−ブチルフェニル）ヨードニウムトリフェニルスルホニウムペルフルオロブタン−１−カルボキシレート−４−スルホネート、ビス（４−ｔ−ブチルフェニル）ヨードニウムトリフェニルスルホニウムペルフルオロメタンジスルホネート、ビス（４−ｔ−ブチルフェニル）ヨードニウムトリフェニルスルホニウムメタンジスルホネート、ビス（４−ｔ−ブチルフェニル）ヨードニウムトリフェニルスルホニウムペルフルオロエタンジスルホネート、ビス（４−ｔ−ブチルフェニル）ヨードニウムトリフェニルスルホニウムエタンジスルホネート、ビス（トリフェニルスルホニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート、ビス（トリフェニルスルホニウム）ペルフルオロプロパン−１，３−ジスルホネート、ビス（ベンゾイルテトラメチレンスルホニウム）ペルフルオロプロパン−１，３−ジスルホネート、ビス（ベンゾイルテトラメチレンスルホニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート、ビス（トリス（４−ｔ−ブチルフェニル）スルホニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート、ビス（トリス（４−ｔ−ブチルフェニル）スルホニウム）ペルフルオロプロパン−１，３−ジスルホネート、ビス（４−ｔ−ブチルフェニルジフェニルスルホニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート、ビス（４−ｔ−ブチルフェニルジフェニルスルホニウム）ペルフルオロプロパン−１，３−ジスルホネート、ビス（トリフェニルスルホニウム）ペルフルオロプロパン−１−カルボキシレート−３−スルホネート、ビス（トリフェニルスルホニウム）ペルフルオロブタン−１−カルボキシレート−４−スルホネート、ビス（ベンゾイルテトラメチレンスルホニウム）ペルフルオロプロパン−１−カルボキシレート−３−スルホネート、ビス（ベンゾイルテトラメチレンスルホニウム）ペルフルオロブタン−１−カルボキシレート−４−スルホネート、ビス（トリス（４−ｔ−ブチルフェニル）スルホニウム）ペルフルオロプロパン−１−カルボキシレート−３−スルホネート、ビス（トリス（４−ｔ−ブチルフェニル）スルホニウム）ペルフルオロブタン−１−カルボキシレート−４−スルホネート、ビス（４−ｔ−ブチルフェニルジフェニルスルホニウム）ペルフルオロプロパン−１−カルボキシレート−３−スルホネート、ビス（４−ｔ−ブチルフェニルジフェニルスルホニウム）ペルフルオロブタン−１−カルボキシレート−４−スルホネート、ビス（４−ｔ−ブチルフェニルヨードニウム）メタンジスルホネート、ビス（トリフェニルスルホニウム）メタンジスルホネート、ビス（４−ｔ−ブチルフェニルヨードニウム）ペルフルオロメタンジスルホネート、ビス（トリフェニルスルホニウム）ペルフルオロメタンジスルホネート、ビス（ベンゾイルテトラメチレンスルホニウム）ペルフルオロメタンジスルホネート、ビス（ベンゾイル−テトラメチレンスルホニウム）メタンジスルホネート、ビス（トリス（４−ｔ−ブチルフェニル）スルホニウム）ペルフルオロメタンジスルホネート、ビス（トリス（４−ｔ−ブチルフェニル）スルホニウム）メタンジスルホネート、ビス（４−ｔ−ブチルフェニルジフェニルスルホニウム）ペルフルオロメタンジスルホネート、ビス（４−ｔ−ブチルフェニルジフェニルスルホニウム）メタンジスルホネート、ビス（４−オクチルオキシフェニル）ヨードニウムペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート、ビス（４−オクチルオキシフェニル）ヨードニウムエタンジスルホネート、ビス（４−オクチルオキシフェニル）ヨードニウムペルフルオロエタンジスルホネート、ビス（４−オクチルオキシフェニル）ヨードニウムペルフルオロプロパン−１，３−ジスルホネート、ビス（４−オクチルオキシフェニル）ヨードニウムペルフルオロプロパン−１−カルボキシレート−３−スルホネート、ビス（４−オクチルオキシフェニル）ヨードニウムペルフルオロブタン−１−カルボキシレート−４−スルホネート、ビス（４−オクチルオキシフェニル）ヨードニウムメタンジスルホネート、ビス（４−オクチルオキシフェニル）ヨードニウムペルフルオロメタンジスルホネート、ビス（４−オクチルオキシフェニル）フェニルスルホニウムペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート、ビス（４−オクチルオキシフェニル）フェニルスルホニウムエタンジスルホネート、ビス（４−オクチルオキシフェニル）フェニルスルホニウムペルフルオロエタンジスルホネート、ビス（４−オクチルオキシフェニル）フェニルスルホニウムペルフルオロプロパン−１，３−ジスルホネート、ビス（４−オクチルオキシフェニル）フェニルスルホニウムペルフルオロプロパン−１−カルボキシレート−３−スルホネート、ビス（４−オクチルオキシフェニル）フェニルスルホニウムペルフルオロブタン−１−カルボキシレート−４−スルホネート、ビス（４−オクチルオキシフェニル）フェニルスルホニウムメタンジスルホネート、ビス（４−オクチルオキシフェニル）フェニルスルホニウムペルフルオロメタンジスルホネート、ビス［ビス［４−ペンタフルオロベンゼンスルホニルオキシ−フェニル］フェニルスルホニウム］ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート、ビス［ビス［４−ペンタフルオロ−ベンゼン−スルホニルオキシフェニル］フェニルスルホニウム］エタンジスルホネート、ビス［ビス［４−ペンタフルオロベンゼンスルホニルオキシフェニル］フェニル−スルホニウム］ペルフルオロエタンジスルホネート、ビス［ビス［４−ペンタフルオロベンゼン−スルホニルオキシフェニル］フェニルスルホニウム］ペルフルオロプロパン−１，３−ジスルホネート、ビス［ビス［４−ペンタフルオロベンゼンスルホニルオキシフェニル］フェニルスルホニウム］ペルフルオロプロパン−１−カルボキシレート−３−スルホネート、ビス［ビス［４−ペンタフルオロベンゼンスルホニルオキシ−フェニル］フェニルスルホニウム］ペルフルオロブタン−１−カルボキシレート−４−スルホネート、ビス［ビス［４−ペンタフルオロベンゼンスルホニルオキシフェニル］フェニルスルホニウム］メタンジスルホネート、ビス［ビス［４−ペンタフルオロベンゼンスルホニルオキシフェニル］フェニルスルホニウム］ペルフルオロメタンジスルホネート、ビス［ビス［４−（３，５−ジ（トリフルオロメチル）ベンゼンスルホニルオキシ）−フェニル］フェニルスルホニウム］ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート、ビス［ビス［４−（３，５−ジ（トリフルオロメチル）−ベンゼンスルホニルオキシ）フェニル］フェニルスルホニウム］エタンジスルホネート、ビス［ビス［４−（３，５−ジ（トリフルオロメチル）ベンゼンスルホニルオキシ）フェニル］フェニルスルホニウム］ペルフルオロエタンジスルホネート、ビス［ビス［４−（３，５−ジ（トリフルオロメチル）ベンゼンスルホニルオキシ）フェニル］フェニルスルホニウム］ペルフルオロプロパン−１，３−ジスルホネート、ビス［ビス［４−（３，５−ジ（トリフルオロ−メチル）−ベンゼンスルホニルオキシ）フェニル］フェニルスルホニウム］ペルフルオロプロパン−１−カルボキシレート−３−スルホネート、ビス［ビス［４−（３，５−ジ（トリフルオロメチル）ベンゼンスルホニルオキシ）−フェニル］フェニルスルホニウム］ペルフルオロブタン−１−カルボキシレート−４−スルホネート、ビス［ビス［４−（３，５−ジ（トリフルオロメチル）ベンゼンスルホニルオキシ）フェニル］フェニルスルホニウム］メタンジスルホネート、ビス（４−ｔ−ブチルフェニルヨードニウム）エタンジスルホネート、ビス（４−ｔ−ブチルフェニルヨードニウム）ペルフルオロエタンジスルホネート、ビス（トリフェニルスルホニウム）エタンジスルホネート、ビス（トリフェニルスルホニウム）ペルフルオロエタンジスルホネート、ビス（ベンゾイルテトラメチレン−スルホニウム）ペルフルオロエタンジスルホネート、ビス（ベンゾイルテトラメチレンスルホニウム）エタンジスルホネート、ビス（トリス（４−ｔ−ブチルフェニル）スルホニウム）ペルフルオロエタンジスルホネート、ビス（トリス（４−ｔ−ブチルフェニル）スルホニウム）エタンジスルホネート、ビス（４−ｔ−ブチルフェニルジフェニル−スルホニウム）ペルフルオロエタンジスルホネート、ビス（４−ｔ−ブチルフェニルジフェニルスルホニウム）エタンジスルホネート、ビス［ビス［２−メチルアダマンチルアセチルオキシメトキシフェニル］フェニル−スルホニウム］ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート、ビス［ビス［２−メチルアダマンチルアセチル−オキシメトキシフェニル］フェニルスルホニウム］エタンジスルホネート、ビス［ビス［２−メチル−アダマンチルアセチルオキシメトキシフェニル］フェニルスルホニウム］ペルフルオロエタンジスルホネート、ビス［ビス［２−メチルアダマンチルアセチルオキシメトキシフェニル］フェニルスルホニウム］ペルフルオロ−プロパン−１，３−ジスルホネート、ビス［ビス［２−メチルアダマンチルアセチルオキシメトキシフェニル］フェニルスルホニウム］ペルフルオロプロパン−１−カルボキシレート−３−スルホネート、ビス［ビス［２−メチル−アダマンチルアセチルオキシメトキシフェニル］フェニルスルホニウム］ペルフルオロブタン−１−カルボキシレート−４−スルホネート、ビス［ビス［２−メチルアダマンチルアセチルオキシメトキシフェニル］フェニルスルホニウム］メタンジスルホネート、ビス［ビス［２−メチルアダマンチルアセチルオキシ−メトキシフェニル］フェニルスルホニウム］ペルフルオロメタンジスルホネート、ビス［ビス［４，４−ビス（トリフルオロメチル）−３−オキサトリシクロ［４．２．１．０２，５］−ノニルメトキシフェニル］フェニルスルホニウム］ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート、ビス［ビス［４，４−ビス（トリフルオロメチル）−３−オキサトリシクロ−［４．２．１．０２，５］−ノニルメトキシ−フェニル］フェニルスルホニウム］エタンジスルホネート、ビス［ビス［４，４−ビス（トリフルオロメチル）−３−オキサトリシクロ［４．２．１．０２，５］−ノニルメトキシフェニル］フェニルスルホニウム］−ペルフルオロエタンジスルホネート、ビス［ビス［４，４−ビス（トリフルオロメチル）−３−オキサトリシクロ［４．２．１．０２，５］−ノニルメトキシ−フェニル］フェニルスルホニウム］ペルフルオロプロパン−１，３−ジスルホネート、ビス［ビス［４，４−ビス（トリフルオロ−メチル）−３−オキサトリシクロ［４．２．１．０２，５］−ノニルメトキシフェニル］フェニルスルホニウム］−ペルフルオロプロパン−１−カルボキシレート−３−スルホネート、ビス［ビス［４，４−ビス（トリフルオロ−メチル）−３−オキサトリシクロ［４．２．１．０２，５］−ノニルメトキシフェニル］フェニルスルホニウム］ペルフルオロ−ブタン−１−カルボキシレート−４−スルホネート、ビス［ビス［４，４−ビス（トリフルオロメチル）−３−オキサトリシクロ−［４．２．１．０２，５］−ノニルメトキシフェニル］フェニルスルホニウム］メタンジスルホネート、ビス［ビス［４，４−ビス（トリフルオロメチル）−３−オキサトリシクロ［４．２．１．０２，５］−ノニルメトキシフェニル］フェニルスルホニウム］ペルフルオロメタンジスルホネート、ビス（４−ｔ−ブチルフェニル）ヨードニウムビス−ペルフルオロエタンスルホンイミド、ジフェニルヨードニウムトリフルオロメタンスルホネート、ジフェニルヨードニウムノナフルオロブタンスルホネート、トリフェ
ニルスルホニウムトリフルロメタンスルホネート、４−メトキシ−３，５−ジメチルフェニル）ジメチルスルホニウムペルフルオロブタンスルホネート、ビス（ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニル）ヨードニウムシクロ（１，３−ペルフルオロプロパンジスルホン）イミデート、トリフェニルスルホニウムノナフルオロブタンスルホネート、トリフェニルスルホニウムペルフルオロエタンスルホニルイミド、４−（１−ブトキシフェニル）ジフェニルスルホニウムビス−（ペルフルオロブタンスルホニル）イミド、４−（１−ブトキシフェニル）ジフェニルスルホニウムビス−（ペルフルオロエタンスルホニル）イミド、２，４，６−トリメチルフェニルジフェニルスルホニウムビス−ペルフルオロブタンスルホニル）イミド、２，４，６−トリメチルフェニルジフェニルスルホニウムビス−（ペルフルオロエタンスルホニル）イミド、トルエンジフェニルスルホニウムビス−（ペルフルオロブタンスルホニル）イミド、トルエンジフェニルスルホニウムビス−（ペルフルオロエタンスルホニル）イミド、トルエンジフェニルスルホニウム−（トリフルオロメチルペルフルオロブチルスルホニル）イミド、トリス−（ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）スルホニウム−（トリフルオロメチルペルフルオロブチルスルホニル）イミド、トリス−（ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）スルホニウムビス−（ペルフルオロブタンスルホニル）イミド、およびトリス−（ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）スルホニウム−ビス−（トリフルオロメタンスルホニル）イミドのものが含まれる。
【００４２】
式（Ａｉ）２Ｘｉ１の光酸発生剤は、その内容が参照によって本明細書に組み込まれる２００５年７月１２日出願の米国特許出願第１１／１７９，８８６号（特許文献７）および２００６年２月１６日出願の米国特許出願第１１／３５５，７６２号（特許文献８）に示されている手順に従って製造することができる。他の例は、その内容が参照によって本明細書に組み込まれる米国特許出願公開第２００７／０１１１１３８号（特許文献９）、米国特許出願公開第２００４／０２２９１５５号（特許文献１０）および米国特許出願公開第２００５／０２７１９７４号（特許文献１１）、米国特許第５，８３７，４２０号（特許文献１２）、米国特許第６，１１１，１４３号（特許文献１３）、ならびに米国特許第６，３５８，６６５号（特許文献１４）に見られる。式ＡｉＸｉ２の光酸発生剤は当業者に周知であり、例えばその内容が参照によって本明細書に組み込まれる米国特許第６，９９１，８８８号（特許文献１５）、米国特許出願第２００３／０２３５７８２号（特許文献１６）および米国特許出願第２００５／０２７１９７４号（特許文献１７）から公知のものである。
【００４３】
本明細書で使用される場合、アルキルという用語は、直鎖または分岐鎖の炭化水素を意味する。アルキルの代表的な例には、それに限定されるものではないが、メチル、エチル、ｎ−プロピル、イソ−プロピル、ｎ−ブチル、ｓｅｃ−ブチル、イソ−ブチル、ｔｅｒｔ−ブチル、ｎ−ペンチル、イソペンチル、ネオペンチル、ｎ−ヘキシル、３−メチルヘキシル、２，２−ジメチルペンチル、２，３−ジメチルペンチル、ｎ−ヘプチル、ｎ−オクチル、ｎ−ノニルおよびｎ−デシルが含まれる。
【００４４】
アルキレンは、例えば、メチレン、エチレン、プロピレン、ブチレンなどの直鎖または分岐であってよい二価のアルキル基を指す。
【００４５】
アリールという用語は、１つの水素原子を排除することによって芳香族炭化水素から生じる基を意味し、置換であっても非置換であってもよい。芳香族炭化水素は、単核または多核であってよい。単核種のアリールの例には、フェニル、トリル、キシリル、メシチル、クメニル等が含まれる。多核種のアリールの例には、ナフチル、アントリル、フェナントリル等が含まれる。アリール基は、先に示されている通り、非置換であっても置換であってもよい。
【００４６】
アルコキシという用語は、アルキルが本明細書に定義の通りのアルキル−Ｏ−基を指す。アルコキシの代表例には、それに限定されるものではないが、メトキシ、エトキシ、プロポキシ、２−プロポキシ、ブトキシ、ｔｅｒｔ−ブトキシ、ペンチルオキシおよびヘキシルオキシが含まれる。
【００４７】
アリールオキシという用語は、アリールが本明細書に定義の通りのアリール−Ｏ−基を指す。
【００４８】
アラルキルという用語は、アリール基を含有するアルキル基を意味する。アラルキルは、芳香族および脂肪族構造の両方を有する炭化水素基であり、即ち低級アルキル水素原子が単核または多核アリール基によって置換されている炭化水素基である。アラルキル基の例には、それに限定されるものではないが、ベンジル、２−フェニル−エチル、３−フェニル−プロピル、４−フェニル−ブチル、５−フェニル−ペンチル、４−フェニルシクロヘキシル、４−ベンジルシクロヘキシル、４−フェニルシクロヘキシルメチル、４−ベンジルシクロヘキシルメチル、ナフチルメチル等が含まれる。
【００４９】
本明細書で使用される場合、モノシクロアルキルという用語は、場合によって置換されている、飽和または部分的に不飽和のモノシクロアルキル環系を指し、その環が部分的に不飽和である場合、モノシクロアルキルはモノシクロアルケニル基である。本明細書で使用される場合、ポリシクロアルキルという用語は、２つ以上の環を含有する、場合によって置換されている、飽和または部分的に不飽和のポリシクロアルキル環系を指し、その環が部分的に不飽和である場合、ポリシクロアルキルはポリシクロアルケニル基である。１つまたは複数のＯ原子を場合によって含有しているモノシクロアルキルまたはポリシクロアルキル基の例は当業者に周知であり、それには、例えばシクロプロピル、シクロブチル、シクロペンチル、シクロヘプチル、シクロヘキシル、２−メチル−２−ノルボルニル、２−エチル−２−ノルボルニル、２−メチル−２−イソボルニル、２−エチル−２−イソボルニル、２−メチル−２−アダマンチル、２−エチル−２−アダマンチル、１−アダマンチル−１−メチルエチル、アダマンチル、トリシクロデシル、３−オキサトリシクロ［４．２．１．０２，５］ノニル、テトラシクロドデカニル、テトラシクロ［５．２．２．０．０］ウンデカニル、ボルニル、イソボルニルノルボルニルラクトン、アダマンチルラクトン等が含まれる。
【００５０】
アルコキシカルボニルアルキルという用語は、本明細書に定義のアルコキシカルボニル基で置換されているアルキル基を包含する。アルコキシカルボニルアルキル基の例には、メトキシカルボニルメチル［ＣＨ３Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−ＣＨ２−］、エトキシカルボニルメチル［ＣＨ３ＣＨ２Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−ＣＨ２−］、メトキシカルボニルエチル［ＣＨ３Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−ＣＨ２ＣＨ２−］およびエトキシカルボニルエチル［ＣＨ３ＣＨ２Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−ＣＨ２ＣＨ２−］が含まれる。
【００５１】
本明細書で使用される場合、アルキルカルボニルという用語は、本明細書に定義のカルボニル基を介して親分子部分に結合している本明細書に定義のアルキル基を意味し、これは一般に、アルキル−Ｃ（Ｏ）−と表すことができる。アルキルカルボニルの代表例には、それに限定されるものではないがアセチル（メチルカルボニル）、ブチリル（プロピルカルボニル）、オクタノイル（ヘプチルカルボニル）、ドデカノイル（ウンデシルカルボニル）等が含まれる。
【００５２】
アルコキシカルボニルは、アルキルが先に記載の通りのアルキル−Ｏ−Ｃ（Ｏ）−を意味する。非限定的な例には、メトキシカルボニル［ＣＨ３Ｏ−Ｃ（Ｏ）−］およびエトキシカルボニル［ＣＨ３ＣＨ２Ｏ−Ｃ（Ｏ）−］、ベンジルオキシカルボニル［Ｃ６Ｈ５ＣＨ２Ｏ−Ｃ（Ｏ）−］等が含まれる。
【００５３】
アルコキシアルキルは、末端のアルキル基がエーテル酸素原子を介してアルキル部分に結合していることを意味し、これは一般にアルキル−Ｏ−アルキルと表すことができ、該アルキル基は直鎖または分岐であってよい。アルコキシアルキルの例には、それに限定されるものではないが、メトキシプロピル、メトキシブチル、エトキシプロピル、メトキシメチルが含まれる。
【００５４】
モノシクロアルキル−またはポリシクロアルキルオキシカルボニルアルキルは、末端のモノシクロアルキルまたはポリシクロアルキル基が、−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−を介してアルキル部分に結合していることを意味し、一般にモノシクロアルキル−またはポリシクロアルキル−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−アルキルと表される。
【００５５】
モノシクロアルキル−またはポリシクロアルキルオキシアルキルは、末端のモノシクロアルキルまたはポリシクロアルキル基が、エーテル酸素原子を介してアルキル部分に結合していることを意味し、これは一般に、モノシクロアルキル−またはポリシクロアルキル−Ｏ−アルキルと表すことができる。
【００５６】
モノシクロフルオロアルキル−またはポリシクロフルオロアルキルは、１つまたは複数のフッ素原子で置換されているモノシクロアルキル−またはポリシクロアルキル基を意味する。
【００５７】
アルキル、アリール、アラルキルならびにＲ３０、Ｒ３１、Ｒ３２、Ｒ３３、Ｒ５、Ｒ４０、Ｒ４１およびＲ４２として定義の基上のものを含む前述の他の基上に位置することができる置換基の例には、それに限定されるものではないが、ハロゲン、ヒドロキシル、サルフェート、ニトロ、ペルフルオロアルキル、オキソ、アルキル、アルコキシ、アリール等が含まれる。
【００５８】
本発明の固体成分は、有機溶媒に溶解する。溶媒または溶媒混合物中の固体の量は、約１重量％〜約５０重量％の範囲である。ポリマーは、固体の５重量％〜９０重量％の範囲であり得、光酸発生剤は、固体の０．４重量〜約５０重量％の範囲であり得る。かかるフォトレジスト用の適切な溶媒には、例えばアセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、イソホロン、メチルイソアミルケトン、２−ヘプタノン４−ヒドロキシおよび４−メチル２−ペンタノンなどのケトン；メタノール、エタノールおよびプロパノールなどのＣ１〜Ｃ１０脂肪族アルコール；ベンジルアルコールなどのアルコール含有芳香族基；炭酸エチレンおよび炭酸プロピレンなどの環状炭酸エステル；脂肪族または芳香族炭化水素（例えば、ヘキサン、トルエン、キシレン等）；ジオキサンおよびテトラヒドロフランなどの環状エーテル；エチレングリコール；プロピレングリコール；ヘキシレングリコール；エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテルなどのエチレングリコールモノアルキルエーテル；メチルセロソルブアセテートおよびエチルセロソルブアセテートなどのエチレングリコールアルキルエーテルアセテート；エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールメチルエチルエーテルなどのエチレングリコールジアルキルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルおよびジエチレングリコールジメチルエーテルなどのジエチレングリコールモノアルキルエーテル；プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールエチルエーテル、プロピレングリコールプロピルエーテルおよびプロピレングリコールブチルエーテルなどのプロピレングリコールモノアルキルエーテル；プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテートおよびプロピレングリコールブチルエーテルアセテートなどのプロピレングリコールアルキルエーテルアセテート；プロピレングリコールメチルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールエチルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールプロピルエーテルプロピオネートおよびプロピレングリコールブチルエーテルプロピオネートなどのプロピレングリコールアルキルエーテルプロピオネート；２−メトキシエチルエーテル（ジグライム）、メトキシブタノール、エトキシブタノール、メトキシプロパノール、およびエトキシプロパノール；エステル、例えば酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、およびブチルアセテートメチル−ピルバート、ピルビン酸エチル；エチル２−ヒドロキシプロピオネート、メチル２−ヒドロキシ２−メチルプロピオネート、エチル２−ヒドロキシ２−メチルプロピオネート、メチルヒドロキシアセテート、エチルヒドロキシアセテート、ブチルヒドロキシアセテート、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸プロピル、乳酸ブチル、メチル３−ヒドロキシプロピオネート、エチル３−ヒドロキシプロピオネート、プロピル３−ヒドロキシプロピオネート、ブチル３−ヒドロキシプロピオネート、メチル２−ヒドロキシ３−メチルブタン酸、メチルメトキシアセテート、エチルメトキシアセテート、プロピルメトキシアセテート、ブチルメトキシアセテート、メチルエトキシアセテート、エチルエトキシアセテート、プロピルエトキシアセテート、ブチルエトキシアセテート、メチルプロポキシアセテート、エチルプロポキシアセテート、プロピルプロポキシアセテート、ブチルプロポキシアセテート、メチルブトキシアセテート、エチルブトキシアセテート、プロピルブトキシアセテート、ブチルブトキシアセテート、メチル２−メトキシプロピオネート、エチル２−メトキシプロピオネート、プロピル２−メトキシプロピオネート、ブチル２−メトキシプロピオネート、メチル２−エトキシプロピオネート、エチル２−エトキシプロピオネート、プロピル２−エトキシプロピオネート、ブチル２−エトキシプロピオネート、メチル２−ブトキシプロピオネート、エチル２−ブトキシプロピオネート、プロピル２−ブトキシプロピオネート、ブチル２−ブトキシプロピオネート、メチル３−メトキシプロピオネート、エチル３−メトキシプロピオネート、プロピル３−メトキシプロピオネート、ブチル３−メトキシプロピオネート、メチル３−エトキシプロピオネート、エチル３−エトキシプロピオネート、プロピル３−エトキシプロピオネート、ブチル３−エトキシプロピオネート、メチル３−プロポキシプロピオネート、エチル３−プロポキシプロピオネート、プロピル３−プロポキシプロピオネート、ブチル３−プロポキシプロピオネート、メチル３−ブトキシプロピオネート、エチル３−ブトキシプロピオネート、プロピル３−ブトキシプロピオネート、およびブチル３−ブトキシプロピオネート；オキシイソ酪酸エステル、例えば、メチル−２−ヒドロキシイソブチレート、メチルα−メトキシイソブチレート、エチルメトキシイソブチレート、メチルα−エトキシイソブチレート、エチルα−エトキシイソブチレート、メチルβ−メトキシイソブチレート、エチルβ−メトキシイソブチレート、メチルβ−エトキシイソブチレート、エチルβ−エトキシイソブチレート、メチルβ−イソプロポキシイソブチレート、エチルβ−イソプロポキシイソブチレート、イソプロピルβ−イソプロポキシイソブチレート、ブチルβ−イソプロポキシイソブチレート、メチルβ−ブトキシイソブチレート、エチルβ−ブトキシイソブチレート、ブチルβ−ブトキシイソブチレート、メチルα−ヒドロキシイソブチレート、エチルα−ヒドロキシイソブチレート、イソプロピルα−ヒドロキシイソブチレート、およびブチルα−ヒドロキシイソブチレート；などのエーテルおよびヒドロキシ部分の両方を有する溶媒；メトキシブタノール、エトキシブタノール、メトキシプロパノールおよびエトキシプロパノールなどのエーテルおよびヒドロキシ部分の両方を有する溶媒；ならびに二塩基性エステルなどの他の溶媒；ジアセトンアルコールメチルエーテルなどのケトンエーテル誘導体；アセトールまたはジアセトンアルコールなどのケトンアルコール誘導体；ブチロラクトンおよびガンマ−ブチロラクトンなどのラクトン；ジメチルアセトアミドまたはジメチルホルムアミドなどのアミド誘導体、アニソールならびにそれらの混合物が含まれ得る。
【００５９】
組成物の別の成分は、１つまたは複数の塩基である。
【００６０】
塩基の例には、置換または非置換グアニジン、置換または非置換アミノピリジン、置換または非置換アミノアルキルピリジン、置換または非置換アミノピロリジン、置換または非置換アセトアミド、置換または非置換インダゾール、置換または非置換ピラゾール、置換または非置換ピラジン、置換または非置換ピリミジン、置換または非置換プリン、置換または非置換イミダゾリン、置換または非置換ピラゾリン、置換または非置換ピペラジン、置換または非置換アミノモルホリン、置換または非置換アミノアルキルモルホリン、モノ−、ジ−またはトリアルキルアミン、置換または非置換アニリン、置換または非置換ピペリジンおよびモノ−またはジエタノールアミンが含まれる。置換基の例には、アミノ基、アミノアルキル基、アルキルアミノ基、アミノアリール基、アリールアミノ基、アルキル基、アルコキシ基、アシル基、アシルオキシ基、アリール基、アリールオキシ基、ニトロ基、ヒドロキシ基およびシアノ基が含まれる。
【００６１】
塩基の例には、グアニジン、１，１−ジメチルグアニジン、１，１，３，３−テトラメチルグアニジン、２−アミノピリジン、３−アミノピリジン、４−アミノピリジン、２−ジメチルアミノピリジン、４−ジメチルアミノピリジン、２−ジエチルアミノピリジン、２−（アミノメチル）ピリジン、２−アミノ−３−メチルピリジン、２−アミノ−４−メチルピリジン、２−アミノ−５−メチルピリジン、２−アミノ−６−メチルピリジン、３−アミノエチルピリジン、４−アミノエチルピリジン、３−アミノピロリジン、ピペラジン、Ｎ−（２−アミノエチル）ピペラジン、Ｎ−（２−アミノエチル）ピペリジン、４−アミノ−２，２，６，６−テトラメチルピペリジン、４−ピペリジノピペリジン、２−イミノピペリジン、１−（２−アミノエチル）ピロリジン、ピラゾール、３−アミノ−５−メチルピラゾール、５−アミノ−３−メチル−１−ｐ−トリルピラゾール、Ｎ−（１−アダマンチル）アセトアミド、ピラジン、２−（アミノメチル）−５−メチルピラジン、ピリミジン、２，４−ジアミノピリミジン、４，６−ジヒドロキシピリミジン、２−ピラゾリン、３−ピラゾリン、Ｎ−アミノモルホリン、Ｎ−（２−アミノエチル）モルホリン、１，５−ジアザビシクロ［４．３．０］ノン−５−エン、１，８−ジアザビシクロ［５．４．０］ウンデカ−７−エン、２，４，５−トリフェニルイミダゾール、トリ（ｎ−ブチル）アミン、トリ（ｎ−オクチル）アミン、Ｎ−フェニルジエタノールアミン、Ｎ−ヒドロキシエチルピペリジン、２，６−ジイソプロピルアニリン、Ｎ−シクロヘキシル−Ｎ’−モルホリノエチルチオ尿素、ヘキシルアミン、ヘプチルアミン、オクチルアミン、ノニルアミン、デシルアミン、アニリン、２−、３−または４−メチルアニリン、４−ニトロアニリン、１−または２−ナフチルアミン、エチレンジアミン、テトラメチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、４，４’−ジアミノ−１，２−ジフェニルエタン、４，４’−ジアミノ−３，３’−ジメチルジフェニルメタン、４，４’−ジアミノ−３，３’−ジエチルジフェニルメタン、ジブチルアミン、ジペンチルアミン、ジヘキシルアミン、ジヘプチルアミン、ジオクチルアミン、ジノニルアミン、ジデシルアミン、Ｎ−メチルアニリン、ピペリジン、ジフェニルアミン、トリエチルアミン、トリメチルアミン、トリプロピルアミン、トリブチルアミン、トリペンチルアミン、トリヘキシルアミン、トリヘプチルアミン、トリオクチルアミン、トリノニルアミン、トリデシルアミン、メチルジブチルアミン、メチルジペンチルアミン、メチルジヘキシルアミン、メチルジシクロヘキシルアミン、メチルジヘプチルアミン、メチルジオクチルアミン、メチルジノニルアリン、メチルジデシルアミン、エチルジブチルアミン、エチルジペンチルアミン、エチルジヘキシルアミン、エチルジヘプチルアミン、エチルジオクチルアミン、エチルジノニルアミン、エチルジデシルアミン、ジシクロヘキシルメチルアミン、トリス［２−（２−メトキシエトキシ）エチル］アミン、トリイソプロパノールアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリン、２，６−ジイソプロピルアニリン、イミダゾール、ピリジン、４−メチルピリジン、４−メチルミダゾール、ビピリジン、２，２’−ジピリジルアミン、ジ−２−ピリジルケトン、１，２−ジ（２−ピリジル）エタン、１，２−ジ（４−ピリジル）エタン、１，３−ジ（４−ピリジル）プロパン、１，２−ビス（２−ピリジル）エチレン、１，２−ビス（４−ピリジル）エチレン、１，２−ビス（２−ピリジルオキシ）エタン、４，４’−ジピリジルスルフィド、４，４’−ジピリジルジスルフィド、１，２−ビス（４−ピリジル）エチレン、２，２’−ジピコリルアミン、３，３’−ジピコリルアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトライソプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、テトラ−ｎ−ヘキシルアンモニウムヒドロキシド、テトラ−ｎ−オクチルアンモニウムヒドロキシド、フェニルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、３−トリフルオロメチルフェニルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、（２−ヒドロキシエチル）トリメチルアンモニウムヒドロキシド（いわゆる「コリン」）、Ｎ−メチルピロリドン、ジメチルイミダゾールなどが含まれる。
【００６２】
他の例には、例えば２−アミノプロパン酸、２−アミノ−５−グアニジノペンタン酸、２−アミノ−３−カルバモイルプロパン酸、２−アミノブタン二酸、２−アミノ−３−メルカプトプロパン酸、２−アミノ−４−カルバモイルブタン酸、２−アミノペンタン二酸、アミノエタン酸、２−アミノ−３−（１Ｈ−イミダゾール−４−イル）−プロパン酸、２−アミノ−３−メチルペンタン酸、２−アミノ−４−メチルペンタン酸、２，６−ジアミノヘキサン酸、２−アミノ−４−（メチルチオ）ブタン酸、２−アミノ−３−フェニルプロパン酸、ピロリジン−２−カルボン酸、２−アミノ−３−ヒドロキシプロパン酸、２−アミノ−３−ヒドロキシブタン酸、２−アミノ−３−（１Ｈ−インドール−３−イル）−プロパン酸、２−アミノ−３−（４−ヒドロキシフェニル）−プロパン酸、２−アミノ−３−メチルブタン酸などのアミノ酸のＮ−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル誘導体が含まれる。
【００６３】
先の塩基の混合物も可能であり、例えば以下の例に示されるものである。
【００６４】
着色剤、非化学線作用染料、抗ストライエーション（ｓｔｒｉａｔｉｏｎ）剤、可塑剤、接着促進剤、溶解抑制剤、被覆助剤、感光速度促進剤、追加の光酸発生剤および溶解度増強剤（例えば、主溶媒の一部として使用されない幾つかの低レベルの溶媒（その例には、グリコールエーテルおよびグリコールエーテルアセテート、バレロラクトン、ケトン、ラクトン等が含まれる）、ならびに界面活性剤などの様々な他の添加剤を、フォトレジスト組成物に添加することができ、その後その溶液を基板上に被覆する。
【００６５】
調製したフォトレジスト組成物溶液は、浸漬、スプレーおよびスピン・コーティングを含むフォトレジスト分野で使用される任意の方法によって基板に塗布することができる。スピン・コーティングの場合、例えば利用するスピン装置の種類およびスピンプロセスに十分な時間を鑑み、フォトレジスト液を固体含量の割合に対して調節して、所望の厚さの被膜を提供することができる。適切な基板は、シリコン、アルミニウム、ポリマー樹脂、二酸化ケイ素、ドープした二酸化ケイ素、窒化ケイ素、タンタル、銅、ポリシリコン、セラミック、アルミニウム／銅の混合物；ガリウムヒ素およびかかる他の群ＩＩＩ／Ｖ化合物を含む。フォトレジストは、反射防止被膜上に被覆することもできる。
【００６６】
記載の手順によって生成したフォトレジスト被膜は、特にシリコン／二酸化ケイ素ウェハへの塗布に適しており、マイクロプロセッサおよび他の小型化集積回路部品などの製造に利用される。アルミニウム／酸化アルミニウムウェハを使用することもできる。基板は、様々なポリマー樹脂、特にポリエステルなどの透明なポリマーを含むこともできる。
【００６７】
次いでフォトレジスト組成物溶液を基板上に被覆し、その基板を、ホット・プレート上で約３０秒〜約１８０秒間または対流式オーブン内で約１５〜約９０分間、約７０℃〜約１５０℃の温度で処理（ベーク）する。この温度処理は、固体成分の大幅な熱分解を生じずにフォトレジスト内の残りの溶媒の濃度を低減するように選択される。一般に、溶媒の濃度およびこの最初の温度を最小限に抑えることが望ましい。処理（ベーク）は、実質的に溶媒の全てが蒸発し、厚さ約２分の１ミクロン（マイクロメートル）のフォトレジスト組成物の薄い被膜が基板上に残るまで実施される。好ましい一実施形態では、温度は約９５℃〜約１２０℃である。この処理は、溶媒除去の変化速度が相対的に有意でなくなるまで実施される。フィルムの厚さ、温度および時間の選択は、使用者が望むフォトレジスト特性、ならびに使用する装置および商業的に望ましい被覆時間に依存して決まる。次いで被覆基板を、化学線、例えば約１００ｎｍ（ナノメートル）〜約３００ｎｍの波長の紫外線、Ｘ線、電子ビーム、イオンビームまたはレーザー光線に、適切なマスク、ネガ、ステンシル、テンプレート等を使用することによって生成した任意の所望のパターンで、像様露光することができる。
【００６８】
次いでフォトレジストを、現像の前に、露光後の第２のベークまたは熱処理にかける。加熱温度は、約９０℃〜約１５０℃、より好ましくは約１００℃〜約１３０℃の範囲であり得る。加熱は、ホット・プレートで約３０秒〜約２分間、より好ましくは約６０秒〜約９０秒間、または対流式オーブンで約３０〜約４５分間実施することができる。
【００６９】
露光したフォトレジスト被膜基板を、現像液に浸漬することによって現像して、像様露光した領域を除去し、またはスプレー現像法によって現像する。溶液は、好ましくは例えば窒素バースト撹拌によって撹拌される。基板は、フォトレジスト被膜の全てまたは実質的に全てが露光領域から溶解するまで、現像液に入れたままにする。現像液には、アンモニウムまたはアルカリ金属水酸化物の水溶液が含まれる。ある好ましい現像液は、水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液である。現像液から被覆ウェハを除去した後、現像後の任意選択の熱処理またはベークを実施して、被膜の接着性ならびにエッチング条件および他の物質に対する耐化学性を増大することができる。現像後の熱処理は、被膜および被膜の軟化点の下の基板をオーブンでベークし、またはＵＶ硬化するプロセスを含むことができる。工業用途において、特にシリコン／二酸化ケイ素型の基板上の超小型回路装置の製造において、現像した基板は、フッ化水素酸系のエッチング緩衝溶液または乾燥エッチングで処理することができる。乾燥エッチングの前に、フォトレジストを電子ビームで硬化処理して、フォトレジストの乾燥エッチング耐性を増大することができる。
【００７０】
本発明はさらに、適切な基板をフォトレジスト組成物で被覆して基板上にフォト画像を形成することによって半導体デバイスを製造する方法を提供する。本方法は、適切な基板をフォトレジスト組成物で被覆するステップ、およびフォトレジスト溶媒の実質的に全てが除去されるまで、被覆基板を熱処理するステップ、組成物を像様露光するステップ、およびかかる組成物の像様露光された領域を、適切な現像液で除去するステップを含む。
【００７１】
以下の例は、本発明の生成方法および利用方法を例示している。しかしこれらの例は、いかなる方法でも本発明の範囲を限定または制限するものではなく、本発明を実施するために排他的に利用しなければならない条件、パラメータまたは値を提供するものとして解釈されるべきではない。別段の指定がない限り、全ての部およびパーセントは重量による。
【００７２】
例Ａ−ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−３−オキソ−１−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）の合成
撹拌機、温度計、還流冷却器および窒素ガスを導入するための管を備えた反応容器に、窒素ブランケット下で、テトラヒドロフラン、開始剤としてのジ（４−ｔｅｒｔ−ブチルシクロヘキシル）パーオキシジカーボネート、ならびに以下のモノマー、２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート、３−オキソ−１−アダマンチルオキシメチルメタクリレート、ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレートおよびα−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート（モル供給比１５／１５／４０／３０）を入れた。反応物が溶液に完全に溶解したら、反応フラスコを、テトラヒドロフランの沸点まで加熱した。反応混合物を、還流下、窒素雰囲気下で５時間撹拌する。次いで熱源を除去し、ポリマー溶液を静置して室温に冷却した。メタノール約６５０ｍｌをブレンダーに入れ、テトラヒドロフラン中ポリマー溶液１００ｍｌをブレンダーに入れ、そのブレンダーを約３０〜６０秒間稼働する。得られたポリマー懸濁液を、焼結ガラス漏斗に注いだ。テトラヒドロフラン中ポリマー溶液の全てが処理されるまで、これを繰り返した。懸濁液を、それが乾燥するまで、真空下、フィルター上で乾燥させた。乾燥固体を秤量し、撹拌機を備えた三角フラスコに移した。適量のテトラヒドロフランを、固体を入れたフラスコに添加して、最大３０％の固体含量にした。次いで、全ての固体が溶解するまで混合物を混合した。第２の沈殿を、前述と同じようにしてメタノールで実施した。懸濁液を濾過し、メタノールで２回洗浄した。次いで固体を真空下で乾燥させた。沈殿をメタノールではなくヘキサンで実施したことを除き、これを繰り返した。懸濁液を濾過し、真空下、フィルター上で乾燥させた。得られたポリマー生成物を、真空オーブン中６０℃でさらに乾燥させた。
【００７３】
本明細書の他のポリマーは、類似の方法で製造することができる。
【００７４】
例Ｂ−トリフェニルスルホニウムトリス−ペルフルオロメタンスルホンメチド（ｓｕｌｆｏｎｍｅｔｈｉｄｅ）の合成
この材料は、米国特許出願公開第２００７／０１１１１３８号（特許文献９）の例５に概説の手順に従って、トリフェニルスルホニウムペルフルオロブタンスルホネートおよびリチウムトリス−ペルフルオロメタンスルホンメチドを反応物として使用して製造することができる。
【００７５】
例Ｃ−ビス（ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニル）ヨードニウムペルフルオロエタンスルホニルイミドの合成
この材料は、米国特許出願公開第２００３／０２３５７８２号（特許文献１８）の例１０に概説の手順に従って、４−ヒドロキシ−３，５−ジメチルフェニルジメチルスルホニウム塩酸塩の代わりにビス（ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニル）ヨードニウム塩酸塩を使用して製造することができる。
【００７６】
例Ｄ−ビス（トリフェニルスルホニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネートの合成
この材料は、米国特許出願公開第２００７／００１５０８４号（特許文献１９）の例１に従って製造することができる。
【００７７】
例Ｅ−ビス（４−ｔｅｒｔブチルフェニルヨードニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネートの合成
この材料は、米国特許出願公開第２００７／００１５０８４号（特許文献１８）の例３３に概説の手順によって、ビス（４−オクチルオキシフェニル）ヨードニウムアンチモナイトの代わりにビス（４−ｔｅｒｔブチルフェニル）ヨードニウム塩酸塩を使用して製造することができる。
【００７８】
配合例１
例Ａのコポリマー（ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−３−オキソ−１−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート））０．４７２５ｇ、３０／３０／４７の比（ポリマーに対してマイクロモルで）のビス（ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニル）ヨードニウムペルフルオロエタンスルホニルイミド／ビス（トリフェニルスルホニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート／ビス（ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニルヨードニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート、２，６−ジイソプロピルアニリン（総ＰＡＧモルに対して３１％）およびフェニルジエタノールアミン（総ＰＡＧモルに対して８％）、メチルα−ヒドロキシイソブチレート１１．５７８２ｇ、プロピレングリコールモノメチルエーテル２．８４４７ｇおよびガンマバレロラクトン０．０５０３ｇを、金属を含まない６０ｍｌのプラスチック瓶中、周囲条件下で混合した。混合物を少なくとも１２時間ローリングさせ、０．２μｍフィルターを介して濾過した。透明溶液が形成された。
【００７９】
配合例２
ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）１．８９０１ｇ、２，６−ジイソプロピルアニリン（総ＰＡＧモルに対して３８．６％）、３０／３０／４７の比（ポリマーに対してマイクロモルで）のビス（ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニル）ヨードニウムペルフルオロエタンスルホニルイミド／ビス（トリフェニルスルホニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート／ビス（ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニルヨードニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート、メチルα−ヒドロキシイソブチレート４６．３１２８ｇ、プロピレングリコールモノメチルエーテル１１．３７８８ｇおよびガンマバレロラクトン０．２０１２ｇを、金属を含まない６０ｍｌのプラスチック瓶中、周囲条件下で混合した。混合物を少なくとも１２時間ローリングさせ、０．２μｍフィルターを介して濾過した。透明溶液が形成された。
【００８０】
配合例３
ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）０．７８７５ｇ、３０／３０／４７の比（ポリマーに対してマイクロモルで）のビス（ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニル）ヨードニウムペルフルオロエタンスルホニルイミド／ビス（トリフェニルスルホニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート／ビス（ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニルヨードニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート、２，６−ジイソプロピルアニリン（総ＰＡＧモルに対して３１％）およびフェニルジエタノールアミン（総ＰＡＧモルに対して８％）、メチルα−ヒドロキシイソブチレート１９．２９７０ｇ、プロピレングリコールモノメチルエーテル４．７４１２ｇおよびガンマバレロラクトン０．０８３８ｇを、金属を含まない６０ｍｌのプラスチック瓶中、周囲条件下で混合した。混合物を少なくとも１２時間ローリングさせ、０．２μｍフィルターを介して濾過した。透明溶液が形成された。
【００８１】
配合例４
ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）０．７８７２ｇ、３０／３０／４７の比（ポリマーに対してマイクロモルで）のビス（ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニル）ヨードニウムペルフルオロエタンスルホニルイミド／ビス（トリフェニルスルホニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート／ビス（ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニルヨードニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート、２，６−ジイソプロピルアニリン（総ＰＡＧモルに対して１９．３％）およびＮ−（ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル）−Ｌ−アラニンメチルエステル（総ＰＡＧモルに対して１９．３％）、メチルα−ヒドロキシイソブチレート１９．２９７０ｇ、プロピレングリコールモノメチルエーテル４．７４１２ｇおよびガンマバレロラクトン０．０８３８ｇを、金属を含まない６０ｍｌのプラスチック瓶中、周囲条件下で混合した。混合物を少なくとも１２時間ローリングさせ、０．２μｍフィルターを介して濾過した。透明溶液が形成された。
【００８２】
配合例５
ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート）０．７８７５ｇ、３０／３０／４７の比（ポリマーに対してマイクロモルで）のビス（ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニル）ヨードニウムペルフルオロエタンスルホニルイミド／ビス（トリフェニルスルホニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート／ビス（ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニルヨードニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート、２，６−ジイソプロピルアニリン（総ＰＡＧモルに対して１９．３％）およびフェニルジエタノールアミン（総ＰＡＧモルに対して８％）、メチルα−ヒドロキシイソブチレート１９．２９７０ｇ、プロピレングリコールモノメチルエーテル４．７４１２ｇおよびガンマバレロラクトン０．０８３８ｇを、金属を含まない６０ｍｌのプラスチック瓶中、周囲条件下で混合した。混合物を少なくとも１２時間ローリングさせ、０．２μｍフィルターを介して濾過した。透明溶液が形成された。
【００８３】
配合例６
ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）１．２５６５ｇ、トリフェニルスルホニウムトリス−ペルフルオロメタンスルホンメチド（ポリマーに対して１４２．７マイクロモル）、２，６−ジイソプロピルアニリン（総ＰＡＧモルに対して３１％）およびフェニルジエタノールアミン（総ＰＡＧモルに対して８％）、メチルα−ヒドロキシイソブチレート３０．８７５２ｇ、プロピレングリコールモノメチルエーテル７．５２７０ｇおよびガンマバレロラクトン０．１９３０ｇを、金属を含まない６０ｍｌのプラスチック瓶中、周囲条件下で混合した。混合物を少なくとも１２時間ローリングさせ、０．２μｍフィルターを介して濾過した。透明溶液が形成された。
【００８４】
配合例７
ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルメタクリレート）０．９４５４ｇ、３０／３０／４７の比（ポリマーに対してマイクロモルで）のビス（ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニル）ヨードニウムペルフルオロエタンスルホニルイミド／ビス（トリフェニルスルホニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート／ビス（ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニルヨードニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート、２，６−ジイソプロピルアニリン（総ＰＡＧモルに対して１３％）およびトリス［２−（２−メトキシエトキシ）エチル］アミン（総ＰＡＧモルに対して１３％）、メチルα−ヒドロキシイソブチレート２３．１５６４ｇ、プロピレングリコールモノメチルエーテル５．６８９４ｇおよびガンマバレロラクトン０．１００６ｇを、金属を含まない６０ｍｌのプラスチック瓶中、周囲条件下で混合した。混合物を少なくとも１２時間ローリングさせ、０．２μｍフィルターを介して濾過した。透明溶液が形成された。
【００８５】
配合例８
ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−オキソアダマンチルメタクリレート）０．９５１９ｇ、６０／４７の比（ポリマーに対してマイクロモルで）のトリフェニルスルホニウムトリス−ペルフルオロメタンスルホンメチド／ビス（ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニルヨードニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート、２，６−ジイソプロピルアニリン（総ＰＡＧモルに対して１３％）およびＮ−（ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル）−Ｌ−アラニンメチルエステル（総ＰＡＧモルに対して１３％）、メチルα−ヒドロキシイソブチレート２３．１５６４ｇ、プロピレングリコールモノメチルエーテル５．６４５３ｇおよびガンマバレロラクトン０．１４４８ｇを、金属を含まない６０ｍｌのプラスチック瓶中、周囲条件下で混合した。混合物を少なくとも１２時間ローリングさせ、０．２μｍフィルターを介して濾過した。透明溶液が形成された。
【００８６】
配合例９
ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルメタクリレート）１．８９０１ｇ、３０／３０／４７の比（ポリマーに対してマイクロモルで）のビス（ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニル）ヨードニウムペルフルオロエタンスルホニルイミド／ビス（トリフェニルスルホニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート／ビス（ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニルヨードニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート、２，６−ジイソプロピルアニリン（総ＰＡＧモルに対して３８．６％）、メチルα−ヒドロキシイソブチレート４６．３１２８ｇ、プロピレングリコールモノメチルエーテル１１．３７８８ｇおよびガンマバレロラクトン０．２０１２ｇを、金属を含まない６０ｍｌのプラスチック瓶中、周囲条件下で混合した。混合物を少なくとも１２時間ローリングさせ、０．２μｍフィルターを介して濾過した。透明溶液が形成された。
【００８７】
配合例１０
ポリ（エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）０．９４５０ｇ、３０／３０／４７の比（ポリマーに対してマイクロモルで）のビス（ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニル）ヨードニウムペルフルオロエタンスルホニルイミド／ビス（トリフェニルスルホニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート／ビス（ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニルヨードニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート、２，６−ジイソプロピルアニリン（総ＰＡＧモルに対して３１％）およびフェニルジエタノールアミン（総ＰＡＧモルに対して８％）、メチルα−ヒドロキシイソブチレート２３．１５６４ｇ、プロピレングリコールモノメチルエーテル５．６８９４ｇおよびガンマバレロラクトン０．１００６ｇを、金属を含まない６０ｍｌのプラスチック瓶中、周囲条件下で混合した。混合物を少なくとも１２時間ローリングさせ、０．２μｍフィルターを介して濾過した。透明溶液が形成された。
【００８８】
配合例１１
ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）０．９４６９ｇ、３０／３０／４７の比（ポリマーに対してマイクロモルで）のビス（ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニル）ヨードニウムペルフルオロエタンスルホニルイミド／ビス（トリフェニルスルホニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート／ビス（ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニルヨードニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート、２，６−ジイソプロピルアニリン（総ＰＡＧモルに対して１３％）およびＮ−（１−アダマンチル）アセトアミド（総ＰＡＧモルに対して１３％）、メチルα−ヒドロキシイソブチレート２３．１５６４ｇ、プロピレングリコールモノメチルエーテル５．６８９４ｇおよびガンマバレロラクトン０．１００８ｇを、金属を含まない６０ｍｌのプラスチック瓶中、周囲条件下で混合した。混合物を少なくとも１２時間ローリングさせ、０．２μｍフィルターを介して濾過した。透明溶液が形成された。
【００８９】
配合例１２
ポリ（２−メチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−５−メタクリロイルオキシ−２，６−ノルボルナンカルボラクトン−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）１．２９３２ｇ、１５／３７．５／７．５の比（ポリマーに対してマイクロモルで）のトリフェニルスルホニウムペルフルオロブタンスルホネート／ビス（ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニル）ヨードニウムペルフルオロエタンスルホニルイミド／４−メトキシ−３，５−ジメチルフェニル）ジメチルスルホニウムペルフルオロブタンスルホネート、２，６−ジイソプロピルアニリン（総ＰＡＧモルに対して２６％）、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルの混合物（７０／３０ｗ／ｗ）２８．６４６４ｇを、金属を含まない６０ｍｌのプラスチック瓶中、周囲条件下で混合した。混合物を少なくとも１２時間ローリングさせ、０．２μｍフィルターを介して濾過した。透明溶液が形成された。
【００９０】
配合例１３
ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）０．９４５０ｇ、３０／３０／４７の比（ポリマーに対してマイクロモルで）のビス（ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニル）ヨードニウムペルフルオロエタンスルホニルイミド／ビス（トリフェニルスルホニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート／ビス（ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニルヨードニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート、２，６−ジイソプロピルアニリン（総ＰＡＧモルに対して３１％）およびフェニルジエタノールアミン（総ＰＡＧモルに対して８％）、メチルα−ヒドロキシイソブチレート２３．１５６４ｇ、プロピレングリコールモノメチルエーテル５．６８９４ｇおよびガンマバレロラクトン０．１００６ｇを、金属を含まない６０ｍｌのプラスチック瓶中、周囲条件下で混合した。混合物を少なくとも１２時間ローリングさせ、０．２μｍフィルターを介して濾過した。透明溶液が形成された。
【００９１】
配合例１４
ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）０．７８９０ｇ、３０／３０／４７の比（ポリマーに対してマイクロモルで）のビス（ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニル）ヨードニウムシクロ（１，３−ペルフルオロプロパンジスルホン）イミダート／ビス（トリフェニルスルホニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート／ビス（ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニルヨードニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート、２，６−ジイソプロピルアニリン（総ＰＡＧモルに対して１９．３％）およびＮ−（ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル）−Ｌ−アラニンメチルエステル（総ＰＡＧモルに対して１９．３％）、メチルα−ヒドロキシイソブチレート１９．２９７ｇ、プロピレングリコールモノメチルエーテル４．７４１ｇおよびガンマバレロラクトン０．０８４ｇを、金属を含まない６０ｍｌのプラスチック瓶中、周囲条件下で混合した。混合物を少なくとも１２時間ローリングさせ、０．２μｍフィルターを介して濾過した。透明溶液が形成された。
【００９２】
配合例１５
ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）０．９５２２ｇ、６０／４７の比（ポリマーに対してマイクロモルで）のトリフェニルスルホニウムペルフルオロエタンスルホニルイミド／ビス（ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニルヨードニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート、２，６−ジイソプロピルアニリン（総ＰＡＧモルに対して２０．８％）およびフェニルジエタノールアミン（総ＰＡＧモルに対して５．２％）、メチルα−ヒドロキシイソブチレート２３．１５６４ｇ、プロピレングリコールモノメチルエーテル５．６４５３ｇおよびガンマバレロラクトン０．１４４８ｇを、金属を含まない６０ｍｌのプラスチック瓶中、周囲条件下で混合した。混合物を少なくとも１２時間ローリングさせ、０．２μｍフィルターを介して濾過した。透明溶液が形成された。
【００９３】
配合例１６
ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）１．８１７９ｇ、１６／４０の比（ポリマーに対してマイクロモルで）のトリフェニルスルホニウムペルフルオロブタンスルホネート／ビス（ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニル）ヨードニウムペルフルオロエタンスルホニルイミド、２，６−ジイソプロピルアニリン（総ＰＡＧモルに対して１７．５％）およびトリオクチルアミン（総ＰＡＧモルに対して１７．５％）、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルの混合物（重量比７０：３０）１７．１３ｇを、金属を含まない６０ｍｌのプラスチック瓶中、周囲条件下で混合した。混合物を少なくとも１２時間ローリングさせ、０．２μｍフィルターを介して濾過した。透明溶液が形成された。
【００９４】
配合例１７
ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルメタクリレート）０．９１８６ｇ、２，６−ジイソプロピルアニリン（総ＰＡＧモルに対して３５％）、３０／１８／２３の比（ポリマーに対してマイクロモルで）のビス（ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニル）ヨードニウムペルフルオロエタンスルホニルイミド／ビス（トリフェニルスルホニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート／ビス（ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニルヨードニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート、ベンゾイルメチルドデシルメチルスルホニウムペルフルオロエタンスルホニルイミド（ポリマーに対して１０％）、メチルα−ヒドロキシイソブチレート１６．８０５４ｇ、プロピレングリコールモノメチルエーテル４．１４３３ｇおよびガンマバレロラクトン０．０５８７ｇを、金属を含まない６０ｍｌのプラスチック瓶中、周囲条件下で混合した。混合物を少なくとも１２時間ローリングさせ、０．２μｍフィルターを介して濾過した。透明溶液が形成された。
【００９５】
配合例１８
ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−トリシクロ［５，２，１，０２，６］デカ−８−イルメタクリレート）０．０９４５ｇ、３０／３０／４７の比（ポリマーに対してマイクロモルで）のビス（ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニル）ヨードニウムペルフルオロエタンスルホニルイミド／ビス（トリフェニルスルホニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート／ビス（ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニルヨードニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート、２，６−ジイソプロピルアニリン（総ＰＡＧモルに対して３１％）およびフェニルジエタノールアミン（総ＰＡＧモルに対して８％）、メチルα−ヒドロキシイソブチレート２３．１５６４ｇ、プロピレングリコールモノメチルエーテル４５．６８９４ｇおよびガンマバレロラクトン０．１００６ｇを、金属を含まない６０ｍｌのプラスチック瓶中、周囲条件下で混合した。混合物を少なくとも１２時間ローリングさせ、０．２μｍフィルターを介して濾過した。透明溶液が形成された。
【００９６】
配合例１９
ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）０．９４５０ｇ、３０／３０／４７の比（ポリマーに対してマイクロモルで）のビス（ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニル）ヨードニウムペルフルオロエタンスルホニルイミド／ビス（トリフェニルスルホニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート／ビス（ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニルヨードニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート、２，６−ジイソプロピルアニリン（総ＰＡＧモルに対して３１％）およびフェニルジエタノールアミン（総ＰＡＧモルに対して８％）、メチルα−ヒドロキシイソブチレート２３．１５６４ｇ、プロピレングリコールモノメチルエーテル５．６８９４ｇおよびガンマバレロラクトン０．１００６ｇを、金属を含まない６０ｍｌのプラスチック瓶中、周囲条件下で混合した。混合物を少なくとも１２時間ローリングさせ、０．２μｍフィルターを介して濾過した。透明溶液が形成された。
【００９７】
配合例２０
ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）［モノマーの供給比−２０／１０／／３０／４０］０．９４５０ｇ、３０／３０／４７の比（ポリマーに対してマイクロモルで）のビス（ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニル）ヨードニウムペルフルオロエタンスルホニルイミド／ビス（トリフェニルスルホニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート／ビス（ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニルヨードニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート、２，６−ジイソプロピルアニリン（総ＰＡＧモルに対して３１％）およびフェニルジエタノールアミン（総ＰＡＧモルに対して８％）、メチルα−ヒドロキシイソブチレート２３．１５６４ｇ、プロピレングリコールモノメチルエーテル５．６８９４ｇおよびガンマバレロラクトン０．１００６ｇを、金属を含まない６０ｍｌのプラスチック瓶中、周囲条件下で混合した。混合物を少なくとも１２時間ローリングさせ、０．２μｍフィルターを介して濾過した。透明溶液が形成された。
【００９８】
配合例２１
ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート）［モノマーの供給比−１５／１５／３０／４０］０．７２００ｇ、３０／３０／４７の比（ポリマーに対してマイクロモルで）のビス（ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニル）ヨードニウムペルフルオロエタンスルホニルイミド／ビス（トリフェニルスルホニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート／ビス（ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニルヨードニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート、２，６−ジイソプロピルアニリン（総ＰＡＧモルに対して３１％）およびフェニルジエタノールアミン（総ＰＡＧモルに対して８％）、メチルα−ヒドロキシイソブチレート１９．３５７０ｇ、プロピレングリコールモノメチルエーテル４．７６３４ｇおよびガンマバレロラクトン０．０７６６ｇを、金属を含まない６０ｍｌのプラスチック瓶中、周囲条件下で混合した。混合物を少なくとも１２時間ローリングさせ、０．２μｍフィルターを介して濾過した。透明溶液が形成された。
【００９９】
配合例２２
ポリ（２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート−ｃｏ−エチルシクロペンチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−５−アクリロイルオキシ−２，６−ノルボルナンカルボラクトン）０．７８７５ｇ、３０／３０／４７の比（ポリマーに対してマイクロモルで）のビス（ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニル）ヨードニウムペルフルオロエタンスルホニルイミド／ビス（トリフェニルスルホニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート／ビス（ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニルヨードニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート、２，６−ジイソプロピルアニリン（総ＰＡＧモルに対して３１％）およびフェニルジエタノールアミン（総ＰＡＧモルに対して８％）、メチルα−ヒドロキシイソブチレート１９．２９７０ｇ、プロピレングリコールモノメチルエーテル４．７４１２ｇおよびガンマバレロラクトン０．０８３８ｇを、金属を含まない６０ｍｌのプラスチック瓶中、周囲条件下で混合した。混合物を少なくとも１２時間ローリングさせ、０．２μｍフィルターを介して濾過した。透明溶液が形成された。
【０１００】
比較配合例１
ポリ（２−アダマンチルオキシメチルメタクリレート−ｃｏ−ヒドロキシ−１−アダマンチルアクリレート−ｃｏ−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−ｃｏ−２−アダマンチルメタクリレート）０．９１８６ｇ、２，６−ジイソプロピルアニリン（総ＰＡＧモルに対して３５％）、３０／１８／２３の比（ポリマーに対してマイクロモルで）のビス（ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニル）ヨードニウムペルフルオロエタンスルホニルイミド／ビス（トリフェニルスルホニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート／ビス（ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニルヨードニウム）ペルフルオロブタン−１，４−ジスルホネート、ベンゾイルメチルドデシルメチルスルホニウムペルフルオロエタンスルホニルイミド（ポリマーに対して１０％）、メチルα−ヒドロキシイソブチレート１６．８０５４ｇ、プロピレングリコールモノメチルエーテル４．１４３３ｇおよびガンマバレロラクトン０．０５８７ｇを、金属を含まない６０ｍｌのプラスチック瓶中、周囲条件下で混合した。混合物を少なくとも１２時間ローリングさせ、０．２μｍフィルターを介して濾過した。透明溶液が形成された。
【０１０１】
先の配合物を以下の手順を使用して評価した。底部反射防止被膜（Ｂ．Ａ．Ｒ．Ｃ．）で被覆したシリコン基板は、底部反射防止被膜溶液（ＡＺ（登録商標）ＡｒＦ−３８、ＡＺ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ  Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ、ニュージャージ州サマービル（ｓｏｍｅｒｖｉｌｌｅ）から利用可能なＢ．Ａ．Ｒ．Ｃ．）をシリコン基板上にスピン・コーティングし、２２５℃で９０秒間ベークすることによって調製した。Ｂ．Ａ．Ｒ．Ｃフィルムの厚さは８７ｎｍであった。次いで、先に調製したフォトレジスト液を、Ｂ．Ａ．Ｒ．Ｃで被覆したシリコン基板上に被覆した。スピン速度を、フォトレジスト・フィルムの厚さが１２０ｎｍになるように調節し、９０〜１００℃［例えば表１参照］／６０秒で穏やかにベークし、６％ハーフトーン・マスクを使用するＮｉｋｏｎ  ３０６Ｄ  ０．８５ＮＡ＆ダイポール照明で露光した。露光したウェハを、露光後に９５〜１１０℃［例えば表１参照］／６０秒でベークし、２．３８重量％水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液を使用して３０秒間現像した。次いで、ラインおよびスペース・パターンをＡＭＡＴ  ＣＤ  ＳＥＭ（測長走査型電子顕微鏡）で測定した。配合例の評価データを、以下の表１に示す。
【０１０２】
【表１】
2010536977.tif 000012
【０１０３】
本発明の先の説明は、本発明を例示し記載するものである。さらに本開示は、本発明の幾つかの実施形態を単に示し、説明するものであるが、前述の通り本発明は、様々な他の組合せ、改変形態および環境において使用することができ、本明細書に示した本発明の概念の範囲内で、先の教示および／または関連分野の技術もしくは知識に相当する変更形態または改変形態を加え得ることを理解されたい。本明細書に先に記載の実施形態は、さらに、本発明を実施する公知の最良の形態を説明すること、およびこのようなまたは他の実施形態において、当業者が本発明の特定の用途または使用に必要な様々な改変形態を用いて本発明を利用できるようにすることを企図している。したがって本説明は、本発明を本明細書に開示の形態に制限するものではない。また、添付の特許請求の範囲は、代替実施形態を含むと解釈されることを企図している。
【国際調査報告】
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