(57)【要約】圧力センサーは基体部（1）と弾性測定膜（2）を含み、弾性測定膜（2）は基体部（1）の表面に接合し、エッジで密封された測定室（3）を形成する。基体部（1）および／または測定膜（2）は、セラミック、ガラス、もしくは単結晶材料を含む。測定膜は基体部（2）の表面に面する少なくとも一つの第一の電極（6）を持ち、基体部（1）の表面は測定膜（2）の表面に面する少なくとも一つの第二の電極（5）を持つ。第一の電極と第二の電極の間の静電容量は測定される圧力の尺度である。さらに第一の電極と第二の電極のうちの少なくとも一方は、金属とガラスを含む導電層を持ち、金属は少なくとも二つの貴金属元素を含む。
2010538242.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一つの基体部（1）と少なくとも一つの弾性測定膜（2）とを含む圧力センサーであって、前記少なくとも一つの弾性測定膜（2）は前記基体部の表面に接合し、エッジで密封された測定室（3）を形成し、
前記基体部（1）および／または測定膜（2）は、セラミック、ガラス、もしくは単結晶材料を含み、
前記測定膜（2）は前記基体部（1）の表面に面する少なくとも一つの第一の電極（6）を含み、
前記基体部（1）の表面は前記測定膜（2）に面する少なくとも一つの第二の電極（5）を含み、
前記第一の電極と前記第二の電極の間の静電容量は測定される圧力の尺度である、
圧力センサーにおいて、
前記第一の電極と前記第二の電極のうちの少なくとも一方が、金属およびガラスを含む導電層を含み、前記金属は少なくとも一つの貴金属元素を含み、
前記ガラスは900℃で高真空下において安定である
ことを特徴とする、圧力センサー。
【請求項２】
前記金属が二つの貴金属元素の合金として存在することを特徴とする、請求項１に記載の圧力センサー。
【請求項３】
前記金属が貴金属元素の共存ドメインを含むことを特徴とする、請求項１もしくは２に記載の圧力センサー。
【請求項４】
前記導電層が、4:1以下、好ましくは3:1以下、さらに好ましくは2.5:1以下、特に好ましくは2.3:1以下の金属対ガラスの体積比を持つことを特徴とする、先行する請求項のいずれか一項に記載の圧力センサー。
【請求項５】
前記導電層が、1.5:1以上、好ましくは1.8:1以上、さらに好ましくは2.1:1以上の金属対ガラスの体積比を持つことを特徴とする、先行する請求項のいずれか一項に記載の圧力センサー。
【請求項６】
前記貴金属元素が、いわゆる新表記法に従う元素周期表の10族もしくは11族由来であり、特にAu、Ag、Pdおよび／またはPtであることを特徴とする、先行する請求項のいずれか一項に記載の圧力センサー。
【請求項７】
前記貴金属元素が少なくとも一つの11族の貴金属と少なくとも一つの10族の貴金属を含み、特にPtと組み合わせてAuを含むか、もしくはPdと組み合わせてAgを含むことを特徴とする、先行する請求項のいずれか一項に記載の圧力センサー。
【請求項８】
11族の金属対10族の金属の化学量論比が、20:1以下、好ましくは10:1以下、さらに好ましくは5:1以下であることを特徴とする、先行する請求項のいずれか一項に記載の圧力センサー。
【請求項９】
第一の実施形態に従う11族の金属対10族の金属の化学量論比が、1.5:1以上、好ましくは2:1以上、さらに好ましくは3:1以上であることを特徴とする、先行する請求項のいずれか一項に記載の圧力センサー。
【請求項１０】
10族の金属対11族の金属の化学量論比が、3.5:1以上、好ましくは4:1以上、さらに好ましくは5:1以上であることを特徴とする、請求項１から８のいずれか一項に記載の圧力センサー。
【請求項１１】
前記導電層が、場合によっては存在し得る不純物を除き、鉛および／またはホウ素を含まないガラスを含むことを特徴とする、先行する請求項のいずれか一項に記載の圧力センサー。
【請求項１２】
前記導電層が、バリウム、ケイ素、および／またはアルミニウムの酸化物、特に45質量%以上かつ60質量%以下のSiO2、30質量%以上かつ40質量%以下のBaO、および8質量%以上かつ16質量%以下のAl2O3を含むガラスを含むことを特徴とする、先行する請求項のいずれか一項に記載の圧力センサー。
【請求項１３】
前記導電層が、50質量%以上かつ56質量%以下のSiO2、33質量%以上かつ37質量%以下のBaO、および10質量%以上かつ14質量%以下のAl2O3を含むガラスを含むことを特徴とする、請求項１３に記載の圧力センサー。
【請求項１４】
前記導電層が、8μm以下、好ましくは6μm以下、特に好ましくは4μm以下の厚さを持つことを特徴とする、先行する請求項のいずれか一項に記載の圧力センサー。
【請求項１５】
前記圧力センサーが、絶対圧センサー、相対圧センサー、もしくは差圧センサーであることを特徴とする、先行する請求項のいずれか一項に記載の圧力センサー。
【請求項１６】
前記導電層の材料が、前記基体部の表面上もしくは前記測定膜の表面上にスクリーン印刷を用いてペーストとして塗布されることを特徴とする、先行する請求項のいずれか一項に記載の圧力センサーの製造方法。
【請求項１７】
前記ペーストが例えば質量分率で1/4から2/5の有機結合剤と約3/4から3/5の金属‐ガラス混合物であることを特徴とする、請求項１７に記載の方法。
【請求項１８】
前記ペーストが、0.08 m2/g以上、好ましくは0.12 m2/g以上、さらに好ましくは約0.25 m2/g以上のBET表面積を持つ貴金属粒子を含むことを特徴とする、請求項１７もしくは１８に記載の方法。
【請求項１９】
前記有機結合剤がテルピネオール中のエチルセルロース、もしくはフタル酸ジブチルを含むことを特徴とする、請求項１７から１９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２０】
前記ペースト中のガラス成分の粒径が5μm以下であることを特徴とする、請求項１７から２０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２１】
前記ペーストの塗布後、約100℃から200℃の温度で乾燥を行うことを特徴とする、請求項１７から２１のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２２】
前記導電層が、少なくとも900℃、好ましくは少なくとも約930℃から960℃、特に好ましくは約950℃の最大温度で燃料プロセスで燃焼されることを特徴とする、請求項１７から２２のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２３】
製造された前記導電層を有する圧力センサーのセラミック部品が、約10-6 mbar以下の圧力、約900℃以上の温度で、高真空はんだ付けプロセスにおいて活性硬ろうで接合されることを特徴とする、請求項１７から２３のいずれか一項に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静電容量式圧力センサーに関する。
【背景技術】
【０００２】
静電容量式圧力センサーは、曲げ耐性の基体部と、弾性測定膜もしくはダイヤフラムとを含み、弾性測定膜は基体部の表面に接合され、外縁部（エッジ）で密封された測定室を形成する。
【０００３】
基体部および／または測定膜は、セラミック、ガラス、もしくは単結晶材料を含む。
【０００４】
測定膜は、基体部の表面に面する少なくとも一つの第一の電極を含む。
【０００５】
基体部の表面は、測定膜の表面に面する少なくとも一つの第二の電極を含む。
【０００６】
第一の電極と第二の電極の間の静電容量は、測定される圧力の尺度である。
【０００７】
典型的な電極材料は金属であり、これは基体部または測定膜上に堆積され、特に蒸着もしくはスパッタ成膜される。これについて例えばタンタルが考えられ、タンタルは、例えば活性硬ろう（はんだ）を用いて基体部および測定膜を接続するために使用される高真空はんだ付けプロセスに適合する。
【０００８】
そうした種類の圧力センサーは多かれ少なかれ感湿性であるため、巨視的に滑らかなセラミック表面上であっても、水分子の吸着に対して多くの欠陥がある。湿度依存性を軽減するために、測定室内の表面を疎水性にすることができ、および／またはガラス層で覆うことができる。
【０００９】
このようにして、基本的には許容可能な感湿性を持つ圧力センサーを製造できる。しかしながら、感湿性にさらに寄与するものとして、上述の対策を用いて条件付きでしか制御できないものがある。つまり、より精密な研究が示すところでは、電極のエッジ領域では、電極と光沢基板の間に明確な境界がないが、その代わりに、電極材料の絶縁された島もしくはクラスターが、電極表面の望ましいエッジの外側に生じる可能性がある。この、電極表面の望ましいエッジの外側でのクラスター形成の原因の一つは、電極材料のスパッタ成膜もしくは蒸着の最中に基体部もしくは測定膜が覆われるマスクに関連する。マスクが十分に密封しないと、マスクで覆われた表面の領域に電極材料が達し、そこで凝集してクラスターを生じる可能性がある。
【００１０】
クラスター自体は分離しているが、少量の吸収された水分子によって連結している可能性がある。これが電極の総電気容量に寄与し、ひいては測定精度の低下につながる。
【００１１】
さらに、タンタル電極は例えば180℃を超える高温で酸化しやすく、これも同様に電極の有効表面積を変化させ、その結果、測定精度を低下させる。
【発明の概要】
【００１２】
従って本発明の目的は従来技術と比べて改良された圧力センサーを提供することである。
【００１３】
この目的は、本発明に従い独立請求項１に記載の圧力センサーによって実現される。
【００１４】
本発明の圧力センサーは、基本的に曲げ耐性の基体部と、少なくとも一つの弾性測定膜とを含み、少なくとも一つの弾性測定膜は基体部の表面に接合され、エッジで密封された測定室を形成する。
【００１５】
基体部および／または測定膜は、セラミック、ガラス、もしくは単結晶材料を含む。
【００１６】
測定膜は、基体部の表面に面する少なくとも一つの第一の電極を含む。
【００１７】
基体部の表面は、測定膜の表面に面する少なくとも一つの第二の電極を含む。
【００１８】
第一の電極と第二の電極の間の静電容量は、測定される圧力の尺度である。
【００１９】
第一の電極と第二の電極のうちの少なくとも一方が、金属およびガラスを含む導電層を含み、金属は少なくとも一つの貴金属元素を含む。
【００２０】
本発明の一実施形態では、導電層は例えば4:1以下、好ましくは3:1以下、さらに好ましくは2.5:1以下、特に好ましくは2.3:1以下の金属対ガラスの体積比を持つ。さらに導電層は、例えば1.5:1以上、好ましくは1.8:1以上、さらに好ましくは2.1:1以上の金属対ガラスの体積比を持つ。
【００２１】
本発明の、この場合の好ましい実施形態では、導電層は約2.2:1の貴金属対ガラスの体積比を持つ。
【００２２】
貴金属はとりわけ、いわゆる新表記法（Chemical and Engineering News, 63(5), 27, 1985を参照）に従う元素周期表の10族もしくは11族の貴金属元素であり得る。この場合、Au、Ag、PdおよびPtが好ましい。本発明の一実施形態では、導電層は少なくとも一つの11族の貴金属および／または少なくとも一つの10族の貴金属を含む。
【００２３】
貴金属は導電層内で合金および／または元素形態で存在し得る。
【００２４】
本発明の第一の実施形態では、11族の金属対10族の金属の化学量論比、すなわち11族の金属の原子数対10族の金属の原子数の比は、例えば20:1以下、好ましくは10:1以下、さらに好ましくは5:1以下である。第一の実施形態に従う11族の金属対10族の金属の化学量論比は、例えば1.5:1以上、好ましくは2:1以上、さらに好ましくは3:1以上に達する。本発明の、この場合の好ましい実施形態では、11族の金属対10族の金属の化学量論比は約4:1に達する。
【００２５】
本発明の別の実施形態では、10族の金属対11族の金属の化学量論比は例えば3.5:1以上、好ましくは4:1以上、さらに好ましくは5:1以上に達する。
【００２６】
本発明の一実施形態では、導電層は、場合によっては存在し得る不純物を除き、鉛および／またはホウ素を含まないガラスを含む。B含有ガラスおよび／またはPb含有ガラスは、真空・高温下で熱分解するため、あるいは一部の成分が蒸発するため、適さないことがわかっている。
【００２７】
本発明の一実施形態では、導電層は例えばバリウム、ケイ素、および／またはアルミニウムの酸化物を含むガラスからなる。
【００２８】
例えばガラスは、45質量%以上かつ60質量%以下のSiO2、30質量%以上かつ40質量%以下のBaO、および8質量%以上かつ16質量%以下のAl2O3を含む。
【００２９】
ガラスは、好ましくは、50質量%以上かつ56質量%以下のSiO2、33質量%以上かつ37質量%以下のBaO、および10質量%以上かつ14質量%以下のAl2O3を含む。
【００３０】
この場合の好ましい実施形態では、ガラスは53.1質量%のSiO2、35.1質量%のBaO、および11.8質量%のAl2O3を含む。
【００３１】
際立った結晶性ドメインは結合強度を損ない、感湿性の増加につながり得るので、燃焼中に過剰な結晶形成が起こらないようなガラスが使用されることが好ましい。
【００３２】
導電層の材料は、基体部の表面上もしくは測定膜の表面上にスクリーン印刷を用いてペーストとして塗布できる。ペーストは導電層の成分だけでなく、有機結合剤と溶媒も含み、これらはスクリーン印刷後の乾燥ステップ、もしくはその後の燃焼ステップにおいて材料から蒸発する。
【００３３】
ペーストは例えば質量分率で約1/4から2/5の有機結合剤と約3/4から3/5の金属‐ガラス混合物であり得る。この場合の好ましいペーストは、質量分率で約1/3の有機結合剤と約2/3の金属‐ガラス混合物である。
【００３４】
ペーストは例えば0.08 m2/g以上、好ましくは0.12 m2/g以上、さらに好ましくは約0.25 m2/g以上のBET表面積を持つ貴金属粒子を持ち得る。この場合の好ましいペーストでは、Au粒子が約0.3 m2/gのBET表面積を持つ。これは約1μmの平均粒径に相当する。対応する粒径要件がPtにも当てはまる。
【００３５】
より微細な粒子もまた利用できる。例えばあるペーストでは8 m2/gのBET表面積を持つPt粒子が使用された。
【００３６】
ガラス成分、すなわちペースト中のガラスの粒径は、例えば最大で5μmであり得る。平均粒径は約0.5μmから5μmであることが好ましい。
【００３７】
有機結合剤として使用できるものは、例えばテルピネオール中のエチルセルロース、もしくはフタル酸ジブチルである。
【００３８】
スクリーン印刷法を用いてペーストを塗布するために、例えば400メッシュ、もしくは約37μmのメッシュサイズのステンレス鋼スクリーンを利用できる。少なくとも二つの層の適用が、この場合、好ましい。リフトオフは例えば0.15 mmから0.5 mmであり得る。
【００３９】
スクリーン印刷で塗布されるペーストは、例えば100μm以下、好ましくは50μm以下、特に好ましくは25μm以下のコーティング厚さを持ち得る。
【００４０】
ペーストの塗布後、例えば約100℃から200℃のやや高い温度で乾燥を行う。140℃から160℃の乾燥温度が、この場合、好ましい。乾燥時間は、とりわけペーストのコーティング厚さと選択温度に依存する。しかしながら、経験に基づき、数分から最大で15分の乾燥時間で十分である。
【００４１】
乾燥後、層を燃焼させる。このため、温度は最大温度まで上げられ、冷却が始まる前に、予め設定可能な時間にわたって層をその温度で保持する。燃焼中の最大温度は少なくとも900℃、好ましくは少なくとも約930℃から960℃、特に好ましくは約950℃に達する。燃料時間は例えば1時間から2時間であってよいが、最大温度が約10分から20分間維持されれば十分である。
【００４２】
結果として得られる、燃焼させた層のコーティング厚さは、好ましくは8μm以下、さらに好ましくは6μm以下、特に好ましくは4μm以下に達する。
【００４３】
このようにしてセラミック体上に備えられた導電層は、特に、損傷されたり分解生成物を放出することなく、その後に続く約10-6 mbarの圧力で約910℃の温度での高真空はんだ付け（ろう付け）プロセスに耐えられるという事実により、卓越している。そうした高真空はんだ付けプロセスは、例えばセンサーのセラミック部品を活性硬ろうで接合するために利用される。このため、吸収されたガラスの分解生成物は、接合されるセラミック体の自由表面部分の湿潤性を変化させ、高真空プロセス中にこうした表面部分に活性硬ろうが流れ込んでしまう可能性があることから、上記のような要件は重要である。このような場合、高真空はんだ付けプロセスはもはや使用できない。そうした分解生成物は、特にPb含有ガラスもしくはB含有ガラスの場合に観察されていた。
【００４４】
結果として、本発明の圧力センサーは、耐熱性で、かつセラミック基板に安全に付着する導電層を有する。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
ここで本発明を、図示された一実施形態例に基づいて説明していく。図面中の各図は以下を示す。
【図１】本発明の静電容量式絶対圧センサーの縦断面。
【図２】本発明の静電容量式二室型差圧センサーの縦断面。
【図３】本発明の静電容量式一室型差圧センサーの縦断面。
【発明を実施するための形態】
【００４６】
図１に示す静電容量式圧力センサーは絶対圧センサーである。これは基本的に円筒形のセラミック基体部1と、円形円盤型のセラミック測定膜2を含み、測定膜2は基体部1の末端で基体部1に接続し、耐圧測定室3を形成する。このため測定膜2は910℃の高真空はんだ付けプロセスにおいて活性はんだリング4を用いて基体部1に接合される。その場合、活性はんだリングの材料厚さにより、測定膜2と基体部1の端部との間の距離が予め決定される。はんだ付けプロセス後、距離は例えば20から100μmになり得る。
【００４７】
圧力室3内には、基体部1の端面に第一の電極5が配置され、測定室に面する測定膜2の表面には第二の電極6が配置される。測定動作では、測定膜2が圧力依存的に変形し、それによって第一の電極と第二の電極の間の静電容量が変化する。電極は本発明の電極材料の導電層を含む。
【００４８】
電極の接続は当業者に既知のいかなるフィードスルー（貫通端子）を用いて実現されてもよい。例えば、基体部1を貫通する適切な穴の中に金属ピン7を導入でき、金属ピン7は活性硬ろうのシールで補助的に密封し適所に固定できる。さらに、電極のうちの一方は活性硬ろうを用いて圧力センサーの外側面から接触されてもよい。
【００４９】
本発明の圧力センサーはさらに、相対圧センサーもしくは差圧センサーとして具体化できる。
【００５０】
絶対圧センサーとは対照的に、相対圧センサーは基準空気路を含み、これは例えば基体部を貫通する穴を含むことができる。
【００５１】
差圧センサーは、二室型差圧センサーもしくは一室型差圧センサーとして実装できる。
【００５２】
二室型差圧センサーが図２に示される。これは第一の円筒基体部11と第二の円筒基体部12、および測定膜13を含み、測定膜13は第一の基体部と第二の基体部の端面に活性硬ろう17を用いて接合され、第一の測定室14と第二の測定室15を形成する。測定室の各々は少なくとも一つの測定静電容量を与え、この静電容量はそれぞれ測定膜側の電極16と各基体部の端面側の電極16との間で形成され、適切なフィードスルーを介して記録される。電極は本発明の電極材料の導電層を含む。二つの測定室はそれぞれ、関連する基体部を通る穴を介して媒体圧力を供給される。
【００５３】
最後に図３は、静電容量式単室型差圧センサーを示す。円筒基体部21の二つの端面には、活性硬ろう28を用いて測定膜が接合され、それにより、第一の測定膜22と基体部の間に第一の測定室部分24が形成され、第二の測定膜23と基体部の間に第二の測定室部分25が形成される。二つの測定室部分は基体部21を通る導管26を介して連通し、例えばシリコーンオイルなどの移送液で充填される。測定室部分の各々の中には、それぞれ測定膜側の電極と基体部の末端側の電極を持つ電極のペアが配置される。基体部側の電極は、例えば基体部の外側面から基体部の端面へとのびる導体を介して接触される。
【００５４】
電極は本発明の電極材料の導電層を含み、これはガラスと金属を含む。金属は少なくとも一つの貴金属元素であるか、もしくは二つの貴金属元素である。
【００５５】
この場合の好ましい実施形態では、本発明の圧力センサーの電極材料は約2.2対1の金属対ガラスの体積比を持つ。金属の割合が増加するにつれ、導電性が増加するが、層の接着強度は低下する。接着能力のいくらかの減少は許容できる。金属の割合が減少すると、それに応じて導電性が減少する。
【００５６】
この場合の好ましいガラスは、質量分率で次の組成を持つ。すなわち、50%から56%のSiO2、33%から37%のBaO、および10%から14%のAl2O3。
【００５７】
金属は約4:1の質量比でAuとPtの混合物を含み、金粒子は約0.5μmから約1.2μmの平均サイズを持ち、Pt粒子は約0.03μmから約0.05μｍの平均サイズを持つ。
【００５８】
電極の製造の際には、固体（ガラスと金属）に有機結合剤を混合し、質量分率で約2/3の固体と約1/3の結合剤からなるペーストを形成する。
【００５９】
電極の導電層を形成するために、1サイクルもしくは2サイクルでスクリーン印刷を用いてコランダムセラミック基板上にペーストを塗布する。コランダムセラミック基板は基体部と測定膜である。
【００６０】
約150℃で約15分間乾燥させた後、層を燃焼させる。燃焼処理の最大温度は約950℃に達する。
【００６１】
本発明の圧力センサーの製造のために、本発明の電極を有する基体部と膜は、活性硬ろうを用いて高真空はんだ付けプロセスで接合される。
【図１】
2010538242.tif 000003
【図２】
2010538242.tif 000004
【図３】
2010538242.tif 000005
【手続補正書】
【提出日】平成22年1月22日(2010.1.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一つの基体部（1）と少なくとも一つの弾性測定膜（2）とを含む圧力センサーであって、前記少なくとも一つの弾性測定膜（2）は前記基体部の表面に接合し、エッジで密封された測定室（3）を形成し、
前記基体部（1）および／または測定膜（2）は、セラミック、ガラス、もしくは単結晶材料を含み、
前記測定膜（2）は前記基体部（1）の表面に面する少なくとも一つの第一の電極（6）を含み、
前記基体部（1）の表面は前記測定膜（2）に面する少なくとも一つの第二の電極（5）を含み、
前記第一の電極と前記第二の電極の間の静電容量は測定される圧力の尺度である、
圧力センサーにおいて、
前記第一の電極と前記第二の電極のうちの少なくとも一方が、金属およびガラスを含む導電層を含み、前記金属は少なくとも一つの貴金属元素を含み、
前記ガラスは900℃で高真空下において安定である
ことを特徴とする、圧力センサー。
【請求項２】
前記金属が二つの貴金属元素の合金として存在することを特徴とする、請求項１に記載の圧力センサー。
【請求項３】
前記金属が貴金属元素の共存ドメインを含むことを特徴とする、請求項１もしくは２に記載の圧力センサー。
【請求項４】
前記導電層が、4:1以下、好ましくは3:1以下、さらに好ましくは2.5:1以下、特に好ましくは2.3:1以下の金属対ガラスの体積比を持つことを特徴とする、請求項１から３のいずれか一項に記載の圧力センサー。
【請求項５】
前記導電層が、1.5:1以上、好ましくは1.8:1以上、さらに好ましくは2.1:1以上の金属対ガラスの体積比を持つことを特徴とする、請求項１から４のいずれか一項に記載の圧力センサー。
【請求項６】
前記貴金属元素が、いわゆる新表記法に従う元素周期表の10族もしくは11族由来であり、特にAu、Ag、Pdおよび／またはPtであることを特徴とする、請求項１から５のいずれか一項に記載の圧力センサー。
【請求項７】
前記貴金属元素が少なくとも一つの11族の貴金属と少なくとも一つの10族の貴金属を含み、特にPtと組み合わせてAuを含むか、もしくはPdと組み合わせてAgを含むことを特徴とする、請求項１から６のいずれか一項に記載の圧力センサー。
【請求項８】
11族の金属対10族の金属の化学量論比が、20:1以下、好ましくは10:1以下、さらに好ましくは5:1以下であることを特徴とする、請求項１から７のいずれか一項に記載の圧力センサー。
【請求項９】
第一の実施形態に従う11族の金属対10族の金属の化学量論比が、1.5:1以上、好ましくは2:1以上、さらに好ましくは3:1以上であることを特徴とする、請求項１から８のいずれか一項に記載の圧力センサー。
【請求項１０】
10族の金属対11族の金属の化学量論比が、3.5:1以上、好ましくは4:1以上、さらに好ましくは5:1以上であることを特徴とする、請求項１から８のいずれか一項に記載の圧力センサー。
【請求項１１】
前記導電層が、場合によっては存在し得る不純物を除き、鉛および／またはホウ素を含まないガラスを含むことを特徴とする、請求項１から１０のいずれか一項に記載の圧力センサー。
【請求項１２】
前記導電層が、バリウム、ケイ素、および／またはアルミニウムの酸化物、特に45質量%以上かつ60質量%以下のSiO2、30質量%以上かつ40質量%以下のBaO、および8質量%以上かつ16質量%以下のAl2O3を含むガラスを含むことを特徴とする、請求項１から１１のいずれか一項に記載の圧力センサー。
【請求項１３】
前記導電層が、50質量%以上かつ56質量%以下のSiO2、33質量%以上かつ37質量%以下のBaO、および10質量%以上かつ14質量%以下のAl2O3を含むガラスを含むことを特徴とする、請求項１２に記載の圧力センサー。
【請求項１４】
前記導電層が、8μm以下、好ましくは6μm以下、特に好ましくは4μm以下の厚さを持つことを特徴とする、請求項１から１３のいずれか一項に記載の圧力センサー。
【請求項１５】
前記圧力センサーが、絶対圧センサー、相対圧センサー、もしくは差圧センサーであることを特徴とする、請求項１から１４のいずれか一項に記載の圧力センサー。
【請求項１６】
前記導電層の材料が、前記基体部の表面上もしくは前記測定膜の表面上にスクリーン印刷を用いてペーストとして塗布されることを特徴とする、請求項１から１５のいずれか一項に記載の圧力センサーの製造方法。
【請求項１７】
前記ペーストが例えば質量分率で1/4から2/5の有機結合剤と約3/4から3/5の金属‐ガラス混合物であることを特徴とする、請求項１６に記載の方法。
【請求項１８】
前記ペーストが、0.08 m2/g以上、好ましくは0.12 m2/g以上、さらに好ましくは約0.25 m2/g以上のBET表面積を持つ貴金属粒子を含むことを特徴とする、請求項１６もしくは１７に記載の方法。
【請求項１９】
前記有機結合剤がテルピネオール中のエチルセルロース、もしくはフタル酸ジブチルを含むことを特徴とする、請求項１６から１８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２０】
前記ペースト中のガラス成分の粒径が5μm以下であることを特徴とする、請求項１６から１９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２１】
前記ペーストの塗布後、約100℃から200℃の温度で乾燥を行うことを特徴とする、請求項１６から２０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２２】
前記導電層が、少なくとも900℃、好ましくは少なくとも約930℃から960℃、特に好ましくは約950℃の最大温度で燃料プロセスで燃焼されることを特徴とする、請求項１６から２１のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２３】
製造された前記導電層を有する圧力センサーのセラミック部品が、約10-6mbar以下の圧力、約900℃以上の温度で、高真空はんだ付けプロセスにおいて活性硬ろうで接合されることを特徴とする、請求項１６から２２のいずれか一項に記載の方法。
【国際調査報告】
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