(57)【要約】【解決手段】  イオン注入装置で利用されるターミナル絶縁技術を開示する。特定の一実施形態例によると、当該技術は、ターミナル空間を画定しているターミナル構造を備えるイオン注入装置として実現され得る。当該イオン注入装置はさらに、接地空間を画定している接地筐体を備え、ターミナル構造は、少なくとも一部分が接地空間の内部に配設されている。当該イオン注入装置はさらに、ターミナル構造の外側部分に近接して配設されている中間ターミナル構造を備え、中間ターミナル構造は、少なくとも一部分が接地空間の内部に配設されている。【選択図】  図１
2010538427.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ターミナル空間を画定しているターミナル構造と、
接地空間を画定している接地筐体と、
前記ターミナル構造の外側部分に近接して配設されている中間ターミナル構造と
を備え、
前記ターミナル構造は、少なくとも一部分が前記接地空間の内部に配設されており、
前記中間ターミナル構造は、少なくとも一部分が前記接地空間の内部に配設されているイオン注入装置。
【請求項２】
前記中間ターミナル構造は、前記ターミナル構造の周囲を取り囲んでいる請求項１に記載のイオン注入装置。
【請求項３】
前記中間ターミナル構造は、前記ターミナル構造の外側部分の角に近接して配設されている請求項１に記載のイオン注入装置。
【請求項４】
前記中間ターミナル構造は、第１の電圧まで電力が供給され、前記ターミナル構造は、第２の電圧まで電力が供給される請求項１に記載のイオン注入装置。
【請求項５】
前記第１の電圧は、前記第２の電圧の略半分である請求項４に記載のイオン注入装置。
【請求項６】
前記中間ターミナル構造の半径は少なくとも、前記ターミナル構造と前記中間ターミナル構造との間の空隙の距離、または、前記中間ターミナル構造と前記接地筐体との間の空隙の距離に一致している請求項１に記載のイオン注入装置。
【請求項７】
前記ターミナル構造または前記接地筐体の少なくとも一部分に結合されているブラケットをさらに備える請求項１に記載のイオン注入装置。
【請求項８】
前記ブラケットは、前記ターミナル構造の前記外側部分に近接して前記中間ターミナル構造を支持する請求項７に記載のイオン注入装置。
【請求項９】
前記中間ターミナル構造は、前記接地筐体の天井または前記接地筐体の床の周囲に配設される請求項１に記載のイオン注入装置。
【請求項１０】
前記中間ターミナル構造は、誘電材料から形成される請求項８に記載のイオン注入装置。
【請求項１１】
前記誘電材料は、ポリ四フッ化エチレン（ＰＴＦＥ）、塩素化ポリ塩化ビニル（ＣＰＶＣ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、エチレン−クロロトリフルオロエチレン（ＥＣＴＦＥ）のうち少なくとも１つを含む請求項９に記載のイオン注入装置。
【請求項１２】
前記中間ターミナル構造は、誘電材料と組み合わせられた調整用導体を有する請求項１に記載のイオン注入装置。
【請求項１３】
前記誘電材料は、内側部分を画定している管状部材を含み、前記調整用導体は前記内側部分の内部に配設されている請求項１２に記載のイオン注入装置。
【請求項１４】
前記中間ターミナル構造は少なくとも、前記接地筐体の床部分に配設されている請求項１２に記載のイオン注入装置。
【請求項１５】
前記中間ターミナル構造は、前記ターミナル構造の前記外側部分に近接して懸架されている請求項１２に記載のイオン注入装置。
【請求項１６】
前記中間ターミナル構造は、前記ターミナル構造の前記外側部分に近接して配設されている誘電フィンを少なくとも１つ有する請求項１に記載のイオン注入装置。
【請求項１７】
前記ターミナル構造は、前記接地筐体の床部分よりも前記接地筐体の天井部分により近接して配設されている請求項１に記載のイオン注入装置。
【請求項１８】
前記中間ターミナル構造は少なくとも、前記ターミナル構造に最も近い位置にある、前記接地筐体の前記床部分、前記天井部分、または、側壁部分に配設されている請求項１７に記載のイオン注入装置。
【請求項１９】
前記中間ターミナル構造はさらに、前記ターミナル構造の外側部分に近接して配設される１以上の層を有する請求項１に記載のイオン注入装置。
【請求項２０】
ターミナル空間を画定しているターミナル構造と、
前記ターミナル構造の外側部分に近接して配設されており、第１の電圧まで電力が供給される中間ターミナル構造と
を備えるイオン注入装置。
【請求項２１】
前記ターミナル構造は、第２の電圧まで電力が供給される請求項２０に記載の方法。
【請求項２２】
前記第１の電圧は、前記第２の電圧の略半分である請求項２１に記載のイオン注入装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は概して、イオン注入に関する。特に、イオン注入装置におけるターミナル絶縁技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
イオン注入技術は、半導体ウェハに不純物を導入する技術として標準的に利用されている。イオン注入プロセスは、所望の不純物材料をイオン源でイオン化して、イオン源から供給されるイオンを加速して所定のエネルギーを持つイオンビームを形成して、当該イオンビームを半導体ウェハ等の処理対象物の表面に向ける、といった工程を含み得る。イオンビームを形成しているエネルギーイオンは、半導体ウェハのバルク部分に入り込んで、半導体材料の結晶格子に埋め込まれる。イオンビームは、当該イオンビームを移動させることによって、ウェハを移動させることによって、または、ビームおよびウェハを移動させることによって、半導体ウェハの一部の領域に与えられるとしてよい。
【０００３】
イオン注入装置は、ターミナル構造を備え得る。当該ターミナル構造は、「ターミナル」または「高圧ターミナル」とも呼ばれ、金属等の導電材料を用いて製造され得る。ターミナル構造は、さまざまな形状を取り、空間を画定しており、イオン源は少なくとも部分的に当該空間の内部に配設されているとしてよい。ターミナル構造は、ターミナル電圧に到達するまで電力が与えられて、イオン源から供給されるイオンの加速を支援する。ターミナル構造は通常、イオン注入装置のその他の構成要素およびサブシステムと同様に、接地筐体によって周りを取り囲まれている。このように接地筐体は、イオン注入装置稼働中の高圧の危険性から人々を保護している。
【０００４】
接地筐体からターミナル構造を絶縁するべく従来は、空気が用いられている。しかし、半導体ウェハを大量生産する際には接地筐体のサイズが限られるので、ターミナル構造と接地筐体との間の空隙の距離には制限がある場合がある。したがって、従来のイオン注入装置の大半では、ターミナル構造の電圧を約２００ｋＶまでに制限している。
【０００５】
上記より、現在利用されているターミナル構造関連技術には、大きな問題および欠点があることが分かる。
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００６】
イオン注入装置で利用されるターミナル絶縁技術を開示する。特定の一実施形態例によると、当該技術は、ターミナル空間を画定しているターミナル構造を備えるイオン注入装置として実現され得る。当該イオン注入装置はさらに、接地空間を画定している接地筐体を備え、ターミナル構造は、少なくとも一部分が接地空間の内部に配設されている。当該イオン注入装置はさらに、ターミナル構造の外側部分に近接して配設されている中間ターミナル構造を備え、中間ターミナル構造は、少なくとも一部分が接地空間の内部に配設されている。
【０００７】
この特定の実施形態例のその他の側面によると、中間ターミナル構造は、ターミナル構造の周囲を取り囲んでいるとしてよい。
【０００８】
この特定の実施形態例の別の側面によると、中間ターミナル構造は、ターミナル構造の外側部分の角に近接して配設されているとしてよい。
【０００９】
この特定の実施形態例の更なる側面によると、中間ターミナル構造は、第１の電圧まで電力が供給され、ターミナル構造は、第２の電圧まで電力が供給されるとしてよい。
【００１０】
この特定の実施形態例のさらに別の側面によると、第１の電圧は、第２の電圧の略半分である。
【００１１】
この特定の実施形態例のまた別の側面によると、中間ターミナル構造の半径は少なくとも、ターミナル構造と中間ターミナル構造との間の空隙の距離、または、中間ターミナル構造と接地筐体との間の空隙の距離に一致しているとしてよい。
【００１２】
この特定の実施形態例の他の側面によると、当該イオン注入装置は、ターミナル構造または接地筐体の少なくとも一部分に結合されているブラケットをさらに備えるとしてよい。
【００１３】
この特定の実施形態例の更なる側面によると、ブラケットは、ターミナル構造の外側部分に近接して中間ターミナル構造を支持するとしてよい。
【００１４】
この特定の実施形態例の別の側面によると、中間ターミナル構造は、接地筐体の天井または接地筐体の床の周囲に配設されるとしてよい。
【００１５】
この特定の実施形態例のさらに別の側面によると、中間ターミナル構造は、誘電材料から形成されるとしてよい。
【００１６】
この特定の実施形態例のまた別の側面によると、誘電材料は、ポリ四フッ化エチレン（ＰＴＦＥ）、塩素化ポリ塩化ビニル（ＣＰＶＣ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、エチレン−クロロトリフルオロエチレン（ＥＣＴＦＥ）のうち少なくとも１つを含むとしてよい。
【００１７】
この特定の実施形態例の他の側面によると、中間ターミナル構造は、誘電材料の内部に配設される調整用導体を有するとしてよい。
【００１８】
この特定の実施形態例の更なる側面によると、誘電材料は、内側部分を画定している管状部材を含み、調整用導体は内側部分の内部に配設されているとしてよい。
【００１９】
この特定の実施形態例の別の側面によると、中間ターミナル構造は少なくとも、接地筐体の床部分に配設されているとしてよい。
【００２０】
この特定の実施形態例のさらに別の側面によると、中間ターミナル構造は、ターミナル構造の外側部分に近接して懸架されているとしてよい。
【００２１】
この特定の実施形態例のまた別の側面によると、中間ターミナル構造は、ターミナル構造の外側部分に近接して配設されている誘電フィンを少なくとも１つ有するとしてよい。
【００２２】
この特定の実施形態例の他の側面によると、ターミナル構造は、接地筐体の天井部分よりも接地筐体の床部分により近接して配設されているとしてよい。
【００２３】
この特定の実施形態例の別の側面によると、中間ターミナル構造は少なくとも、ターミナル構造に最も近い位置にある、接地筐体の床部分、天井部分、または、側壁部分に配設されているとしてよい。
【００２４】
別の特定の実施形態例によると、当該技術は、ターミナル空間を画定しているターミナル構造を備えるイオン注入装置として実現され得る。当該イオン注入装置はさらに、ターミナル構造の外側部分に近接して配設されており、第１の電圧まで電力が供給される中間ターミナル構造を備えるとしてよい。
【００２５】
この特定の実施形態例の他の側面によると、ターミナル構造は、第２の電圧まで電力が供給されるとしてよい。
【００２６】
この特定の実施形態例の別の側面によると、第１の電圧は、第２の電圧の略半分であるとしてよい。
【００２７】
以下では、添付図面に図示している本開示の実施形態例を参照しつつ、本開示をより詳細に説明する。本開示は、以下で実施形態例に基づいて説明されるが、それらに限定されるものではないと理解されたい。当業者であれば、本明細書の教示内容を参考にしつつ、その他の実装例、変形例、および実施形態例、ならびに他の利用分野に想到するものである。これらの実装例、変形例、および実施形態例、ならびに他の利用分野は、本明細書に記載する本開示の範囲に含まれるものであり、本開示に大きな有用性を付与する。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
本開示をさらに詳細に説明することを目的として、以下では添付図面について記載する。添付図面では、同様の参照番号を用いて同様の構成要素を指し示すものとする。添付図面は、本開示を限定するものと解釈されるべきではなく、例示を目的とするに過ぎない。
【００２９】
【図１】本開示の一実施形態に係るイオン注入装置を示す上面ブロック図である。
【００３０】
【図２】本開示の一実施形態に係る図１のイオン注入装置のターミナル構造を示す斜視図である。
【００３１】
【図３】本開示の一実施形態において、中間ターミナル構造の一実施形態を図２のラインＡ−Ａに沿って示す断面図である。
【００３２】
【図４】本開示の一実施形態において、中間ターミナル構造の別の実施形態を図２のラインＡ−Ａに沿って示す断面図である。
【００３３】
【図５】本開示の一実施形態において、中間ターミナル構造の別の実施形態を図２のラインＡ−Ａに沿って示す断面図である。
【００３４】
【図６】本開示の一実施形態において、中間ターミナル構造の別の実施形態を図２のラインＡ−Ａに沿って示す断面図である。
【００３５】
【図７】本開示の一実施形態において、中間ターミナル構造の別の実施形態を図２のラインＡ−Ａに沿って示す断面図である。
【００３６】
【図８】本開示の一実施形態において、中間ターミナル構造の別の実施形態を図２のラインＡ−Ａに沿って示す断面図である。
【００３７】
【図９】本開示の一実施形態において、中間ターミナル構造の別の実施形態を図２のラインＡ−Ａに沿って示す断面図である。
【００３８】
【図１０】本開示の一実施形態において、中間ターミナル構造の別の実施形態を図２のラインＡ−Ａに沿って示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３９】
本開示の実施形態は、ターミナル構造を、中間ターミナル構造および／または中間誘電障壁の内部に封入することによって、イオン注入装置で利用されている従来のターミナル構造の欠点および不備を克服するものである。中間ターミナル構造は、ターミナル構造と接地筐体との間の空隙を２つの空隙に分割することによって、空気の絶縁破壊電圧を改善するとしてよい。一の空隙をより小サイズの複数の空隙に分割することによって、空気の１インチ当たりの絶縁破壊強度が高まるので、絶縁破壊が防止されると共にイオン注入装置を確実に適切に動作させ得る。空隙を分割するべく、ターミナル構造と接地筐体との間に１以上の中間ターミナル構造を配設するとしてよい。さらに、中間ターミナル構造は、中間ターミナル構造および／またはターミナル構造の半径と間隙の半径とを一致させることによって、ターミナル形状を最適化し得る。また、中間ターミナル構造は、空隙における電圧降下を低減し得る。さらに、中間誘電障壁を設けることによって、アークが接地電位を見出さないので、空気の絶縁破壊を防止し得る。以下に記載する説明はイオン注入装置が備えるターミナル構造に言及しているが、本明細書で開示する概念は、導電構造の周囲における空気の絶縁破壊強度を向上させることを目的として別の環境下に置いても利用可能であることに留意されたい。このため、本開示は以下に記載する実施形態に限定されない。
【００４０】
図１は、本開示の一実施形態に係るイオン注入装置１００の一例を示すブロック図である。イオン注入装置１００は、「ターミナル」または「高圧ターミナル」とも呼ばれる、ターミナル構造１０４を備えるとしてよい。ターミナル構造１０４は、金属等の導電材料を用いて製造されるとしてよい。イオン注入装置１００はさらに、ターミナル構造１０４と接地筐体１１２との間の空隙１１１を分割するべく、ターミナル構造１０４の外側部分に近接して配設されている１以上の中間ターミナル構造（図示しているのは１つのみ）１０３を備えるとしてよい。中間ターミナル構造１０３は、誘電材料および／または導体を用いて製造するとしてよい。ターミナル構造１０４および中間ターミナル構造１０３は、当業者に公知のさまざまなイオン注入装置において利用し得る。このため、図１に示すイオン注入装置１００はイオン注入装置の一実施形態に過ぎない。
【００４１】
イオン注入装置１００はさらに、イオン源１０２と、ガスボックス１０６と、質量分析器１２０と、分析スリット１２２と、スキャナ１２４と、角度補正マグネット１２６と、エンドステーション１２８と、コントローラ１１８とを備えるとしてよい。イオン源１０２は、イオンビーム１５２を供給する。イオン源１０２は、イオンを生成するように構成されており、ガスボックス１０６から与えられるガスを受け取るイオンチャンバを有するとしてよい。ガスボックス１０６は、イオン化されるべきガスをイオンチャンバに供給するとしてよい。また、ガスボックス１０６はさらに、電源等のその他の構成要素を有するとしてよい。電源は、イオン源１０２を稼動させるために設けられるアーク、フィラメント、および、バイアス電源を含むとしてよい。イオン源およびガスボックスの構造および動作は、当業者には公知である。
【００４２】
質量分析器１２０は、分析マグネットを有するとしてよい。当該分析マグネットは、所望の種のイオンは分析スリット１２２を通過するが、所望されない種のイオンは分析スリット１２２を通過しないように、イオンを偏向する。分かりやすいように約４５度偏向する様子を図示しているが、質量分析器１２０は、所望の種のイオンを９０度偏向して、所望されない種のイオンを、質量および帯電状態の差異に応じて、異なる量だけ偏向するとしてもよい。スキャナ１２４は、分析スリット１２２の下流に配置されており、イオンビーム１５２をスキャンするためのスキャン電極を有するとしてよい。角度補正マグネット１２６は、所望のイオン種のイオンを偏向して、広がっているイオンビーム経路を、イオン軌道が略平行になっている略コリメートされたイオンビーム経路に変換する。一実施形態によると、角度補正マグネット１２６は、所望のイオン種のイオンを４５度偏向するとしてよい。
【００４３】
エンドステーション１２８は、所望の種のイオンが各処理対象物１４０（例えば、ウェハおよび／またはその他の注入対象の材料）に注入されるように、イオンビーム１５２の経路に１以上の処理対象物１４０を支持するとしてよい。各処理対象物１４０は、プラテン１４２によって支持されているとしてよい。エンドステーション１２８はこれ以外にも、公知の構成要素およびサブシステムを有するとしてよい。例えば、さまざまな保持領域とプラテン１４２との間で処理対象物１４０を物理的に移動させるウェハハンドリングシステム１５０を有するとしてよい。ウェハハンドリングシステム１５０がある保持領域からプラテン１４２まで処理対象物１４０を移動させると、公知の技術、例えば、静電力でプラテンにウェハを固定する静電ウェハ固定技術を利用して処理対象物１４０をプラテン１４２に固定されるとしてよい。エンドステーション１２８はさらに、プラテン１４２を所望の方法で移動させる公知のプラテン駆動システム１５２を有しているとしてよい。プラテン駆動システム１５２は、メカニカルスキャンシステムと呼ばれる場合がある。
【００４４】
コントローラ１１８は、イオン注入装置１００の各構成要素から入力データを受信して、各構成要素を制御するとしてよい。分かりやすく図示することを目的として、コントローラ１１８とイオン注入装置１００の構成要素との間の入出力経路は、図１には図示していない。コントローラ１１８は、所望の入出力機能を実行するようにプログラムされる一の汎用コンピュータまたは複数の汎用コンピュータから成るコンピュータネットワークであってもよいし、または、そのような一の汎用コンピュータまたは複数の汎用コンピュータから成るコンピュータネットワークを含むとしてもよい。コントローラ１１８はさらに、他の電子回路または電子部品を有するとしてよく、例えば、特定用途向け集積回路、その他のハードワイヤード電子デバイスまたはプログラム可能電子デバイス、個別素子回路等を有するとしてよい。コントローラ１１８はさらに、ユーザによるコマンドおよび／あるいはデータの入力、ならびに／または、イオン注入システム１００の監視が可能となるように、タッチスクリーン、ユーザポインティングデバイス、ディスプレイ、プリンタ等のユーザインターフェースデバイスを有するとしてよい。コントローラ１１８はさらに、通信デバイスおよびデータ格納デバイスを有するとしてよい。
【００４５】
処理対象物１４０の表面に与えられるイオンビーム１５２は、スキャンされたイオンビームであってよい。別のイオン注入システムで与えるイオンビームは、スポットビームまたは帯状イオンビームであってよい。例えば、スポットビームは、断面が略円状で、当該スポットビームの特性に応じた特定の直径を持つとしてよい。帯状ビームは、幅／高さのアスペクト比が大きく、幅は少なくとも処理対象物１４０の幅と同じであるとしてよい。帯状ビームまたは静止スポットビームを用いるシステムでは、スキャナ１２４は必要でない。イオンビーム１５２は、任意の種類の荷電粒子ビームであって、例えば、処理対象物１４０に注入を行うべく利用されるエネルギーイオンビームであってよい。処理対象物１４０の物理的形状は、さまざまな形状であってよく、例えば、一般的なディスク状であってよい。処理対象物１４０は、任意の種類の半導体材料、例えば、シリコン、または、イオンビーム１５２によって注入を行うべきその他の任意の材料から製造される半導体ウェハであってよい。
【００４６】
イオン源１０２、ガスボックス１０６、および、ターミナル用電子機器１０５は、ターミナル構造１０４が画定している空間１１０の内部に配置されるとしてよい。ターミナル用電子機器１０５は、ターミナル構造１０４内の構成要素の動作を制御し、コントローラ１１８と通信するとしてよい。引出電源１０７は、イオン源１０２に結合されているとしてよい。引出電源１０７は、イオン源１０２からイオンを引き出して加速するべく、電圧レベル（Ｖｘ）を供給するとしてよい。一実施形態によると、引出電源が供給する電圧（Ｖｘ）は、２０ｋＶから１２０ｋＶの範囲内としてよい。
【００４７】
接地を基準として正の電圧（Ｖｔ）をターミナル構造１０４にバイアスするべく、ターミナル構造１０４と接地筐体１１２との間に、加速電源１０９が追加で結合されるとしてよい。一実施形態によると、加速電源１０９は、追加の電圧レベル（Ｖｔ）を供給するとしてよく、この電圧レベル（Ｖｔ）の最高電圧は、２００ｋＶから１，０００ｋＶの範囲内であってよく、一実施形態では約４００ｋＶであってよい。したがって、ターミナル構造１０４は、例えば、２００ｋＶから１，０００ｋＶの範囲内の高圧に到達するまで電力が与えられるとしてよい。または、ターミナル構造１０４には、まったく電力が与えられないか、または、イオンビーム１５２の所望のエネルギーのみによって公称値に到達するまで電力が与えられるとしてもよい。図１に示している加速電源１０９は、図示の便宜上、１つのみであるが、２つ以上の電源を用いて所望の最高電圧レベル（Ｖｔ）を供給するとしてもよい。
【００４８】
さらに、接地を基準として正の電圧（Ｖｇ）を中間ターミナル構造１０３にバイアスするべく、中間ターミナル構造１０３と接地筐体１１２との間に、調整電源１６５が追加で結合されるとしてよい。一実施形態によると、調整電源１６５は、追加の電圧レベル（Ｖｇ）を供給するとしてよく、この電圧レベル（Ｖｇ）の最高電圧は１００ｋＶから１，０００ｋＶの範囲内にあり、一実施形態では少なくとも２００ｋＶであるとしてよい。したがって、中間ターミナル構造１０３は、例えば、１００ｋＶから１，０００ｋＶの範囲内の高圧に到達するまで電力が与えられるとしてよい。または、中間ターミナル構造１０３には、まったく電力が与えられないか、または、イオンビーム１５２の所望のエネルギーのみによって公称値に到達するまで電力が与えられるとしてもよい。図１に示している調整電源１６５は、図示の便宜上、１つのみであるが、２つ以上の電源を用いて所望の最高電圧レベル（Ｖｇ）を供給するとしてもよい。
【００４９】
イオン注入装置１００の動作中、ターミナル構造１０４には、例えば、少なくとも４００ｋＶに到達するまで、一実施形態例では６７０ｋＶに到達するまで、電力が供給されるとしてよい。中間ターミナル構造１０３には、少なくとも１００ｋＶに到達するまで、一実施形態例では３００ｋＶに到達するまで、電力が供給されるとしてよい。中間ターミナル構造１０３は、ターミナル構造１０４の外側部分に近接して配設されるとしてよい。例えば、中間ターミナル構造１０３は、ターミナル構造１０４と接地筐体１１２との間の中間地点に配設されるとしてよい。
【００５０】
また、中間ターミナル構造１０３は、テフロン（登録商標）および／またはＣＰＶＣ等の、ＦＭ４９１０規格に適合する誘電材料を含むとしてよい。中間ターミナル構造１０３は、金属材料および／または誘電材料を用いて形成されており、単一の連続部材、または、複数の分割部分から構成されるとしてもよい。また、中間ターミナル構造１０３は、ターミナル構造１０４の周囲を取り囲んでおり、および／または、ターミナル構造１０４に近接した電気応力が高い部分に配置されるとしてよい。中間ターミナル構造１０３は、絶縁破壊に対する障壁として機能することと、発生し得るアークの接地電位への経路を短くすることとによって、ターミナル構造１０４の耐圧を高めるとしてよい。また、中間ターミナル構造１０３を設けることによって、ターミナル構造１０４と接地筐体１１２との間の直線距離が最大となる、ターミナル構造１０４と接地筐体１１２との間のトラッキング距離が大きくなるとしてよい。また、中間ターミナル構造１０３は、空隙１１１を分割して、中間ターミナル構造１０３の半径と空隙１１１の半径とをより良好に一致させることによって、幾何学的応力係数を低減するとしてよい。さらに、中間ターミナル構造１０３には、電界応力を変更するべく、調整電圧に到達するまで電力が加えられるとしてよい。つまり、中間ターミナル構造１０３は、電気応力遮蔽体として機能するとしてよい。このため、ターミナル構造１０４には、同様の合理的にサイズが決められた接地筐体１１２の内部で、２００ｋＶよりも高い電圧レベル、例えば少なくとも６００ｋＶに到達するまで、電力が供給されるとしてよい。これに代えて、ターミナル電圧を同様に約２００ｋＶ以下と低く設定して動作させる場合、中間ターミナル構造１０３は、絶縁体として空気のみを用いる場合よりも、空隙１１１を小さくすることができる。
【００５１】
図２は、本開示の一実施形態に係る、ターミナル構造１０４（点線で示す）の周囲を取り囲むように設けられている中間ターミナル構造１０３の一例を示す斜視図である。中間ターミナル構造１０３は、１以上の直立側壁２０４に結合されている底面２７２および上面２０２を有するとしてよい。１つの直立側壁２０４は、ハンドル２４２が備えられたドア２４０を有するとしてよく、中間ターミナル構造１０３の内部空間へと人がアクセスできるようになっている。中間ターミナル構造１０３が備える１つの直立側壁は、固体材料から成る１つの部材として製造されるとしてもよいし、または、任意の数の別個の部材として製造されるとしてもよい。中間ターミナル構造１０３の上面２０２は、固体部材として図示されているが、互いから離間されて複数の導体が設けられて一種の導体メッシュとして構成され、メッシュの開口部分から空気を流入させ得るとしてもよい。中間ターミナル構造１０３の内部に封入されているターミナル構造１０４は、上述した中間ターミナル構造１０３と同様の構成要素で同様に構成されるとしてよい。
【００５２】
概して、中間ターミナル構造１０３は、ターミナル構造１０４を取り囲むように設けられ、および／または、ターミナル構造１０４のうち電気応力が過剰になっている外部表面の部分の周囲に配設されるとしてよい。図２に示すように、中間ターミナル構造１０３は、ターミナル構造１０４の外周に近接して全周にわたって配設されているので、内部にターミナル構造１０４を封入している。中間ターミナル構造１０３はターミナル構造１０４の外周の周囲に全周にわたって配設されているが、別の実施形態によると、中間ターミナル構造１０３は、ターミナル構造１０４の外側外周部分に近接して配設されるとしてもよい。このような外側外周部分には、これらに限定されないが、水平端縁、垂直端縁、角、および、ターミナル構造１０４と外部部品とがインターフェースしている箇所である開口または界面等が挙げられる。外部部品には、生成器、または系統連系が含まれるとしてよい。一例を挙げると、曲線状の中間ターミナル構造１０３が、ターミナル構造１０４の角の周囲に配置されるとしてよい。
【００５３】
ターミナル構造１０４および中間ターミナル構造１０３には、複数のブラケット２０８（図２には不図示）が結合されており、ターミナル構造１０４の外側外周部分に近接して中間ターミナル構造１０３を支持するとしてよい。また、複数のブラケット２０８は、接地筐体１１２および中間ターミナル構造１０３にも結合されて、ターミナル構造１０４の外側外周部分に近接して中間ターミナル構造１０３を懸架するとしてよい。ブラケット２０８の数および位置は、中間ターミナル構造１０３の特徴、ターミナル構造１０４の形状、およびブラケットの種類に応じて変わる。ブラケット２０８の長さは、ターミナル構造１０４の外側部分から所望の距離だけ離間して中間ターミナル構造１０３を配置できるような長さであってよい。所望の距離の範囲は、略ゼロ（略接触している状態）から周囲を取り囲んでいる接地筐体１１２が許容する最大距離までとしてよい。一実施形態によると、所望の距離はおよそ１２インチから１５インチである。ブラケット２０８の形成材料は、導電材料であってもよいし、または、非導電材料であってもよい。
【００５４】
図３は、本開示の一実施形態において、中間ターミナル構造１０３の一実施形態を図２のラインＡ−Ａに沿って示す断面図である。中間ターミナル構造１０３は、断面が中実である高圧導体から製造されているとしてよい。例えば、中間ターミナル構造１０３は、ターミナル構造１０４と同じ高圧導電材料によって形成されているとしてよい。別の実施形態によると、中間ターミナル構造１０３は、ＦＭ４９１０規格に適合する誘電材料から形成されているとしてよい。例えば、中間ターミナル構造１０３を形成する誘電材料は、固相誘電材料であってよい。固相誘電材料は、これらに限定されないが、シンタクチック・フォーム、プラスチック、テフロン（登録商標）、ポリ四フッ化エチレン（ＰＴＦＥ）、塩素化ポリ塩化ビニル（ＣＰＶＣ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、エチレン−クロロトリフルオロエチレン（ＥＣＴＦＥ）、または、ポリイミド（例えば、カプトン）を含むとしてよい。シンタクチック・フォームは、エポキシ樹脂またはシリコーン等の充填用コンパウンドの周囲に中空のガラス球および／またはポリマーペレットが分散させられているものとしてよい。一実施形態によると、中間ターミナル構造１０３は、ターミナル構造１０４の周囲を取り囲むプラスチック誘電材料から形成されるとしてよい。他の実施形態によると、中間ターミナル構造１０３は、ターミナル構造１０４の角の外側外周部分を取り囲むように設けられる誘電材料から形成されるとしてよい。これに代えて、中間ターミナル構造１０３は、内部空間を画定するチャンバ壁を有するとしてよく、当該内部空間にターミナル構造１０４を配設するとしてよい。中間ターミナル構造１０３の内部空間は、液体状の絶縁体または気体状の絶縁体で充填されるとしてよい。液体状の絶縁体は、これに限定されないが、油を含むとしてよい。気体状の絶縁体は、これらに限定されないが、二酸化炭素（ＣＯ２）、六フッ化硫黄（ＳＦ６）、または圧搾空気を含むとしてよい。気体によっては、圧搾しない状態での絶縁耐力に応じて、圧搾する必要がないものもあるとしてよい。また、真空絶縁、および／または、複合絶縁を実現するための任意の組み合わせを利用するとしてもよい。中間ターミナル構造１０３は、単一部材として製造されるとしてもよいし、または、複数の導電部材および／または非導電部材を組み合わせて構成されるとしてもよい。
【００５５】
電源３１０は、ターミナル構造１０４および中間ターミナル構造１０３に電力を供給するとしてよい。一実施形態によると、電源３１０は、中間ターミナル構造１０３に第１の電圧、例えば調整電圧（Ｖｇ）に到達するまで電力を供給して、ターミナル構造１０４に第２の電圧、例えばターミナル電圧（Ｖｔ）に到達するまで電力を供給する。一実施形態によると、調整電圧（Ｖｇ）は、約２００ｋＶであって、ターミナル電圧は少なくとも４００ｋＶであってよい。調整電圧および／またはターミナル電圧は、一例を挙げると、ＤＣ電圧であってよい。導体３０８は、電源３１０と中間ターミナル構造１０３とを電気接続するとしてよい。ブラケット２０８は、非導電材料から形成されるとしてよく、導体３０８にはブラケット２０８の開口を通って電力が供給されるとしてよい。このため、導体３０８によれば、電力が供給される結果中間ターミナル構造１０３が到達する電圧レベルを、ターミナル電圧（Ｖｔ）とは異なる電圧レベルにできるとしてよい。
【００５６】
接地筐体１１２の内部において、ターミナル構造１０４および中間ターミナル構造１０３の周囲には、非圧搾空気が存在するとしてよい。非圧搾空気の絶縁耐力は、所定の仮定条件の下では、約７５ｋＶ／インチ以下であってよい。この絶縁耐力は、相対湿度、イオン注入装置の所定の位置の海抜高度（つまり、大気圧）、離間距離、および、電極表面品質に応じて変動し得る。また、温度も空気の絶縁破壊強度に影響を与える。基本的に、温度および圧力（ＰＶ＝ｎＲＴ）の変化から、実際に変化しているのは空気の密度であることが分かる。空気の密度の変動は、圧力および温度の変動に変換されて、絶縁破壊強度に影響を与える。
【００５７】
このような変動に対する安全策として、一実施形態では、設計ルールとして空気について約４５kＶ／インチ以下の絶縁耐力を設定するとしてよい。どのような場合であっても、ターミナル構造１０４が６００kＶから１，０００kＶの範囲まで電力供給を受けるとしても、中間ターミナル構造１０３の外面における電界応力が空気についての選択設計ルールに対応する値まで低減されていることが望ましい。空隙１１１は、中間ターミナル構造１０３によって、第１の空隙および第２の空隙に分割されるとしてよい。第１の空隙は、ターミナル構造１０４と中間ターミナル構造１０３との間に位置しており（例えば、距離Ｄ２）、空隙の長さが短くなったことに起因して、ターミナル構造１０４の絶縁破壊強度電圧が高くなり得る。空隙は、長さが短くなると、インチ当たりの絶縁破壊耐圧が高くなり得る。このため、中間ターミナル構造１０３と接地筐体１１２との間に位置している第２の空隙（例えば、距離Ｄ１）によって、電気絶縁破壊（例えば、アーク放電）を発生させることなく、ターミナル構造１０４を適切に絶縁し得る。
【００５８】
このため、中間ターミナル構造１０３の形状は、中間ターミナル構造１０３の外面における電界応力が空気に関する選択設計ルール未満となるように、選択されるとしてよい。また、電界応力は、応力の原因となっている形状に関する要因を無くすことによって低減されるとしてよい。例えば、応力の原因となっている形状に関する要因を無くす方法の１つとして、中間ターミナル構造１０３の半径および／またはターミナル構造１０４の半径と、空隙１１１の距離とを一致させることが挙げられる。ある実施形態例によると、空隙１１１は約３０インチであって、ターミナル構造１０４の半径は約１５インチである。半径が約１５インチの中間ターミナル構造１０３を空隙１１１の半径の中間地点に配設することによって、空隙１１１が分割される第１および第２の空隙の距離はそれぞれ１５インチとなり得る。このため、ターミナル構造１０４の半径および中間ターミナル構造１０３の半径は、分割後の空隙１１１の距離に一致し得る。他の実施形態によると、ターミナル構造１０４の半径および／または中間ターミナル構造１０３の半径は、空隙１１１およびその他の設計仕様に応じて、変動し得る。さらに、中間ターミナル構造１０３の位置は、空隙１１１および空気の絶縁破壊強度に応じて変動し得る。一部の実施形態によると、中間ターミナル構造１０３の半径（Ｒ１）は、空隙１１１の長さおよび空気内での電気応力に関して選択される設計ルールに応じて、約８インチから約２５インチの範囲内で変動し得る。ブラケット２０８の長さは、中間ターミナル構造１０３をターミナル構造１０４から、約８インチから約２５インチの範囲内の距離（Ｄ２）で離間させて配置することができる長さである。
【００５９】
図４は、本開示の別の実施形態において、中間ターミナル構造１０３の一実施形態を図２のラインＡ−Ａに沿って示す断面図である。ターミナル構造１０４は、接地筐体１１２の床部分の上方に、支持部材４０２によって支持されているとしてよい。中間ターミナル構造１０３は、ターミナル構造１０４の床部分に近接して配設されているとしてよい。中間ターミナル構造１０３は、誘電材料から形成されており、接地筐体１１２の床部分に配設されるとしてよい。誘電材料から形成される中間ターミナル構造１０３を接地筐体１１２の床部分に配設することによって、表面トラッキング距離を大きくするとしてよい。中間ターミナル構造１０３は、接地筐体１１２からターミナル構造１０４を分離させると共に接地筐体１１２までのアーク経路を低減する障壁として設計されるとしてよい。中間ターミナル構造１０３は、接地筐体１１２の床の全面または一部分を被覆するとしてよい。別の実施形態では、中間ターミナル構造１０３の複数の層を、アークが接地電位に到達しないように、ターミナル構造１０４の床部分に近接して配設するとしてよい。
【００６０】
図５は、本開示の別の実施形態において、中間ターミナル構造１０３の一実施形態を図２のラインＡ−Ａに沿って示す断面図である。ターミナル構造１０４は、接地筐体１１２の床部分の上方に、支持部材５０２によって支持されているとしてよい。複数のブラケット２０８が、接地筐体１１２および中間ターミナル構造１０３に結合されて、中間ターミナル構造１０３をターミナル構造１０４の外側外周部分に近接させて懸架するとしてよい。また、中間ターミナル構造１０３は、内部にターミナル構造１０４を封入するように、懸架されるとしてよい。中間ターミナル構造１０３は、トラッキング距離を大きくすると共にアークの接地筐体１１２への経路を低減することによって、絶縁破壊の発生を防止するべく、誘電フィン５０１を含むとしてよい。また、中間ターミナル構造１０３は、ターミナル構造１０４のうち、電気応力が大きい外側外周部分に近接して懸架されるとしてよい。懸架されている中間ターミナル構造１０３は、トラッキング距離を大きくすると共にアークの接地筐体１１２への経路を低減することによって、絶縁破壊の発生を防止するべく、ターミナル構造１０４と接地筐体１１２との間に配設されているとしてよい。また、懸架されている中間ターミナル構造１０３の位置は、空隙１１１および電気応力の存在に応じて、調整されるとしてよい。ブラケット２０８および中間ターミナル構造１０３は、同じ誘電材料から形成されるとしてもよいし、または、異なる誘電材料から形成されるとしてもよい。別の実施形態によると、中間ターミナル構造１０３は、複数の層で、アークが接地電位に到達しないように、ターミナル構造１０４の外側外周部分に近接して配設するとしてよい。
【００６１】
図６は、本開示の別の実施形態において、中間ターミナル構造１０３の一実施形態を図２のラインＡ−Ａに沿って示す断面図である。ターミナル構造１０４は、接地筐体１１２の床部分の上方に、支持部材６０２によって支持されているとしてよい。複数のブラケット２０８が、接地筐体１１２および中間ターミナル構造１０３に結合されて、中間ターミナル構造１０３をターミナル構造１０４の外側部分に近接させて懸架するとしてよい。また、中間ターミナル構造１０３は、ターミナル構造１０４のうち、電気応力が大きい外側部分に近接して、懸架されるとしてよい。中間ターミナル構造１０３は、接線電界および法線電界を変更するべく、２つの誘電フィン６０１を含むとしてよい。中間ターミナル構造１０３の表面上での荷電粒子の移動は、接線電界および法線電界を変更することによって抑制され得るので、沿面フラッシュオーバーが抑制され得る。懸架されている中間ターミナル構造１０３は、ターミナル構造１０４の周囲における接線電界および法線電界の分布を変更するべく、ターミナル構造１０４と接地筐体１１２との間に配設されているとしてよい。また、懸架されている中間ターミナル構造１０３の位置は、空隙１１１および電気応力の存在に応じて、調整されるとしてよい。ブラケット２０８および中間ターミナル構造１０３は、同じ誘電材料から形成されるとしてもよいし、または、異なる誘電材料から形成されるとしてもよい。別の実施形態によると、中間ターミナル構造１０３は、複数の層で、アークが接地電位に到達しないように、ターミナル構造１０４の外側外周部分に近接して配設するとしてよい。
【００６２】
図７は、本開示の別の実施形態において、中間ターミナル構造１０３の一実施形態を図２のラインＡ−Ａに沿って示す断面図である。ターミナル構造１０４は、接地筐体１１２の床部分の上方に、支持部材７０２によって支持されているとしてよい。ターミナル構造１０４は、接地筐体１１２の床から、距離（Ｄ３）だけ離間させて配置されているとしてよい。例えば、距離（Ｄ３）は、３０インチより大きいとしてよい。また、ターミナル構造１０４は、接地筐体１１２の天井から距離（Ｄ４）だけ離間させて配設されているとしてよい。例えば、距離（Ｄ４）は、３０インチ未満としてよい。図７に示すように、ターミナル構造１０４は、接地筐体１１２の床よりも天井に近くなるように配設されている。このため、接地筐体１１２の天井は、ターミナル構造１０４のより近くに配設されているので、電界応力および空気の絶縁破壊がより大きくなり得る。このため、中間ターミナル構造１０３は、接地筐体１１２の天井に配設されるとしてよい。中間ターミナル構造１０３は、非導電材料から形成されるとしてよく、例えば、誘電材料から形成されるとしてよい。別の実施形態によると、中間ターミナル構造１０３は、誘電材料上に配設される導体を含むとしてよく、調整電圧に到達するまで電力供給されるとしてよい。
【００６３】
さらに、ターミナル構造１０４は、接地筐体１１２の天井よりも床に近くなるように配設されるとしてもよく、または、接地筐体１１２の複数の側壁のうち１以上の側壁までの距離が他の側壁までの距離よりも小さくなるように配設されるとしてもよい。このため、中間ターミナル構造１０３は、ターミナル構造１０４により近接しているために発生する電界応力を低減することと、接地筐体１１２までのアークの経路を低減することとを目的として、接地筐体１１２の床または側壁に配設するとしてもよい。別の実施形態では、中間ターミナル構造１０３は、複数の層で、電界応力を低減すると共に表面トラッキング距離を大きくするべく、接地筐体１１２の内側部分に配設するとしてよい。
【００６４】
図８は、本開示の別の実施形態において、中間ターミナル構造１０３の一実施形態を図２のラインＡ−Ａに沿って示す断面図である。ターミナル構造１０４は、接地筐体１１２の床部分の上方に、支持部材８０２によって支持されているとしてよい。中間ターミナル構造１０３は、導体８０２の周囲に配設されている誘電材料８０５を含む。中間ターミナル構造１０３は、ターミナル構造１０４を内部に封入するとしてよい。また、中間ターミナル構造１０３は、ターミナル構造１０４の外側部分に近接して配設されているとしてよい。一実施形態によると、誘電材料８０５は固体誘電体であってよい。これに代えて、誘電材料８０５は、内部空間を画定するチャンバ壁を持つとしてよく、内部空間には液体状の絶縁体または気体状の絶縁体が充填されているとしてよい。液体状の絶縁体は、これに限定されないが、油を含むとしてよい。気体状の絶縁体は、これらに限定されないが、二酸化炭素（ＣＯ２）、六フッ化硫黄（ＳＦ６）、または圧搾空気を含むとしてよい。気体によっては、圧搾しない状態での絶縁耐力に応じて、圧搾する必要がないものもあるとしてよい。また、真空絶縁、および／または、複合絶縁を実現するための任意の組み合わせを利用するとしてもよい。導体８０２は、断面が中実である高圧導体であるとしてよい。
【００６５】
電源３１０（図３に図示）は、ターミナル構造１０４および中間ターミナル構造１０３に電力を供給するとしてよい。一実施形態によると、電源３１０は、中間ターミナル構造１０３に第１の電圧、例えば調整電圧（Ｖｇ）に到達するまで電力を供給して、ターミナル構造１０４に第２の電圧、例えばターミナル電圧（Ｖｔ）に到達するまで電力を供給するとしてよい。導体３０８（図３に図示）は、電源３１０と中間ターミナル構造１０３とを電気接続するとしてよい。ブラケット２０８は、非導電材料から形成されるとしてよく、導体３０８にはブラケット２０８の開口を通って電力が供給されるとしてよい。ブラケット２０８の長さは、中間ターミナル構造１０３をターミナル構造１０４の外側部分から、所望の距離で離間させて配置することができる長さである。
【００６６】
図９は、本開示の別の実施形態において、中間ターミナル構造１０３の一実施形態を図２のラインＡ−Ａに沿って示す断面図である。ターミナル構造１０４は、接地筐体１１２の床部分の上方に、支持部材９０２によって支持されているとしてよい。中間ターミナル構造１０３は、ターミナル構造１０４の床部分に近接して配設されているとしてよい。中間ターミナル構造１０３は、接地筐体１１２の床に配設されるとしてよい。中間ターミナル構造１０３は、接地筐体１１２からターミナル構造１０４を分離させる障壁として設計されるとしてよい。中間ターミナル構造１０３は、接地筐体１１２の床の全面または一部分を被覆するとしてよい。別の実施形態では、中間ターミナル構造１０３は、複数の層で、アークが接地電位に到達しないように、ターミナル構造１０４の床部分に近接して配設するとしてよい。
【００６７】
中間ターミナル構造１０３は、導体９０３の周囲に配設されている誘電材料９０５を含む。一実施形態によると、誘電材料９０５は固体誘電体であってよい。これに代えて、誘電材料９０５は、内部空間を画定するチャンバ壁を持つとしてよく、内部空間には液体状の絶縁体または気体状の絶縁体が充填されているとしてよい。液体状の絶縁体は、これに限定されないが、油を含むとしてよい。気体状の絶縁体は、これらに限定されないが、二酸化炭素（ＣＯ２）、六フッ化硫黄（ＳＦ６）、または圧搾空気を含むとしてよい。気体によっては、圧搾しない状態での絶縁耐力に応じて、圧搾する必要がないものもあるとしてよい。また、真空絶縁、および／または、複合絶縁を実現するための任意の組み合わせを利用するとしてもよい。導体９０３は、断面が中実である高圧導体であるとしてよい。
【００６８】
電源３１０（図３に図示）は、ターミナル構造１０４および中間ターミナル構造１０３に電力を供給するとしてよい。一実施形態によると、電源３１０は、中間ターミナル構造１０３に第１の電圧、例えば調整電圧（Ｖｇ）に到達するまで電力を供給して、ターミナル構造１０４に第２の電圧、例えばターミナル電圧（Ｖｔ）に到達するまで電力を供給するとしてよい。中間ターミナル構造１０３に調整電圧まで電力を供給することによって、ターミナル構造１０４と中間ターミナル構造１０３との間の電圧の差を低減するとしてよい。このように電圧の差を低減することによって、ターミナル構造１０４と中間ターミナル構造１０３との間の電界応力を抑制して、ターミナル構造１０４の耐圧を高くするとしてよい。中間ターミナル構造１１２と接地筐体１１２との間の残りの電圧は、誘電材料の耐圧となるとしてよい。
【００６９】
図１０は、本開示の別の実施形態において、中間ターミナル構造１０３の一実施形態を図２のラインＡ−Ａに沿って示す断面図である。ターミナル構造１０４は、接地筐体１１２の床部分の上方に、支持部材１００２によって支持されているとしてよい。中間ターミナル構造１０３は、ターミナル構造１０４の床部分に近接して配設されているとしてよい。中間ターミナル構造１０３は、接地筐体１１２の床に配設されるとしてよい。また、中間ターミナル構造１０３は、接地筐体１１２の天井部分および／または側壁部分に配設されるとしてよい。中間ターミナル構造１０３は、接地筐体１１２からターミナル構造１０４を分離させる障壁として設計されるとしてよい。中間ターミナル構造１０３は、接地筐体１１２の床の全面または一部分を被覆するとしてよい。別の実施形態では、中間ターミナル構造１０３は、複数の層で、アークが接地電位に到達しないように、ターミナル構造１０４の床部分に近接して配設するとしてよい。
【００７０】
中間ターミナル構造１０３は、導体１００３の周囲に配設されている誘電材料１００５を含むとしてよい。一実施形態によると、誘電材料１００５は、固体誘電体であってよく、導体１００３と接地筐体１１２との間に配設されるとしてよい。これに代えて、誘電材料１００５は、内部空間を画定するチャンバ壁を持つとしてよく、内部空間には液体状の絶縁体または気体状の絶縁体が充填されているとしてよい。液体状の絶縁体は、これに限定されないが、油を含むとしてよい。気体状の絶縁体は、これらに限定されないが、二酸化炭素（ＣＯ２）、六フッ化硫黄（ＳＦ６）、または圧搾空気を含むとしてよい。気体によっては、圧搾しない状態での絶縁耐力に応じて、圧搾する必要がないものもあるとしてよい。また、真空絶縁、および／または、複合絶縁を実現するための任意の組み合わせを利用するとしてもよい。導体１００３は、断面が中実である高圧導体であるとしてよい。
【００７１】
電源３１０（図３に図示）は、ターミナル構造１０４および中間ターミナル構造１０３に電力を供給するとしてよい。一実施形態によると、電源３１０は、中間ターミナル構造１０３に第１の電圧、例えば調整電圧（Ｖｇ）に到達するまで電力を供給して、ターミナル構造１０４に第２の電圧、例えばターミナル電圧（Ｖｔ）に到達するまで電力を供給する。中間ターミナル構造１０３に調整電圧まで電力を供給することによって、ターミナル構造１０４と接地筐体１１２との間の電圧の差を低減するとしてよい。また、このように電圧の差を低減することによって、電界応力を抑制して、ターミナル構造１０４の耐圧を高くするとしてよい。電気応力は、導体１００３と接地筐体１１２との間に発生し得る。このため、導体１００３と接地筐体１１２との間における絶縁破壊の発生を抑制するべく、誘電材料１００５が導体１００３と接地筐体１１２との間に配設されるとしてよい。誘電材料１００５は、接地筐体１１２までの表面トラッキング距離を大きくするべく、２つの誘電フィンを有するとしてよい。
【００７２】
本開示の範囲は、本明細書に記載した具体的な実施形態に限定されるものではない。本開示が、本明細書で説明した例以外にも、さまざまな実施形態を含み、変更され得ることは、上述の説明および添付した図面から当業者には明らかである。このため、上記以外の実施形態および変更点は、本開示の範囲に含まれるものとする。また、本明細書では特定の目的のための特定の環境における特定の実施例に基づいて本開示を説明しているが、当業者であれば、本開示の有用性は本明細書に記載した内容に限定されるものではなく、本開示はどのような目的のためにどのような環境において実施しても有用であり得ることを認めるであろう。したがって、本願特許請求の範囲は、本明細書に記載した本開示の範囲および精神を最大限に広く鑑みて解釈されるべきである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【国際調査報告】
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