(57)【要約】  セラミック材料製のアーク管は窒化アルミニウム（ＡｌＮ）端部構造体（３６）を有し、フィードスルー（３０）が直接ボンディングによって封止されている。前記フィードスルーは、ＷまたはＭｏの耐火性金属から成り、該耐火性金属の表面はアルミニウム化されている。有利には前記フィードスルーはＭｏパイプであり、直接ボンディング前に該ＭｏパイプにＭｏ３１９１Ａｌ層（３６）を設け、アルミニウム化層によってＡｌＮセラミックと耐火性金属フィードスルーとの界面がボンディングされる。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＡｌＮから成る端部構造体を有するセラミックアーク管において、
当該セラミックアーク管に、電極システムとイオン化可能な充填物とが設けられており、
前記電極システムは、前記端部構造体に配置されたフィードスルーを有し、
前記フィードスルーは、ＭｏおよびＷから選択された耐火性金属ＲＭから成り、
前記フィードスルーにＲＭ‐Ａｌ層が設けられ、該ＲＭ‐Ａｌ層と前記端部構造体との間に直接ボンディングが形成されていることを特徴とする、セラミックアーク管。
【請求項２】
前記端部構造体はキャピラリである、請求項１記載のセラミックアーク管。
【請求項３】
前記フィードスルーはＭｏ管である、請求項１記載のセラミックアーク管。
【請求項４】
前記フィードスルーはＭｏから成り、前記ＲＭ‐Ａｌ層は、当初はＭｏ３Ａｌを含むアルミニウム化層である、請求項１記載のセラミックアーク管。
【請求項５】
前記フィードスルーが前記端部構造体に挿入される挿入深さは３〜８ｍｍである、請求項１記載のセラミックアーク管。
【請求項６】
前記ＲＭ‐Ａｌ層の厚さは０．２〜０．４ｍｍである、請求項１記載のセラミックアーク管。
【請求項７】
前記ＲＭ‐Ａｌ層は、当初はＭｏ３Ａｌを含むアルミニウム化層である、請求項３記載のセラミックアーク管。
【請求項８】
前記ＲＭ‐Ａｌ層の厚さは０．２〜０．４ｍｍである、請求項７記載のセラミックアーク管。
【請求項９】
セラミックアーク管に気密封止部を形成する方法において、
（ａ）開口を有しＡｌＮから成る事前焼成された端部構造体を設け、ＭｏまたはＷから成るフィードスルーを設けるステップと、
（ｂ）前記フィードスルーの外表面をアルミニウム化するアルミニウム化ステップと、
（ｃ）前記端部構造体の開口内に前記フィードスルーを配置するフィードスルー配置ステップと、
（ｄ）前記ＡｌＮ端部構造体と前記アルミニウム化されたフィードスルーとを１８００℃〜１９５０℃で３０分〜２０時間にわたって同時焼結することにより、真空密の直接封止部を形成する同時焼結ステップ
とを実施することを特徴とする方法。
【請求項１０】
前記同時焼結ステップをＮ２‐Ｈ２雰囲気中で実施する、請求項９記載の方法。
【請求項１１】
前記同時焼結ステップを１〜４時間にわたって実施する、請求項９記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、端部構造体を有するアーク管と、このようなアーク管の製造方法とに関する。
【０００２】
背景技術
欧州特許出願第３７１３１５号に、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）をメタルハライドランプのアーク管の材料として使用することが記載されている。同文献では、Ｍｏパイプをフィードスルーとして利用することを提案している。
【０００３】
国際特許出願ＷＯ２００３／０６０９５２にも同様の技術が記載されている。ここではＡｌＮアーク管は、ＭｏまたはＷから成る栓によって、Ｍｏ‐Ａｌの種類の化合物から成る溶融接合部を使用して封止される。このＭｏ‐Ａｌの種類の化合物はたとえば、Ａｌ８Ｍｏ３およびＡｌＭｏ３である。
【０００４】
ＤＥ‐Ａｚ１０２００６０５２７６１．５（未公開）に、Ｍｏパイプの表面領域をアルミニウム化してＭｏ３Ａｌ相を形成する反応プロセスによって形成された金属セラミック接合部が開示されている。この反応プロセスでは、このアルミニウム化Ｍｏパイプを同時焼成して、アルミナＭｏサーメットおよびＰＣＡ（透明多結晶アルミナ（translucent polycrystalline alumina））の漸変リングを形成する。しかしこのような技術では、ＭｏとサーメットとＰＣＡとの熱膨張および弾性係数の内在的な不整合による問題が生じることがある。
【０００５】
たとえば米国特許第６７６２４９６号から、焼結されたＡｌＮにＭｏをボンディングするメタライジングによる方式が公知である。このメタライジングは、ＡｌＮ粉末および焼結補助剤と混合されたＭｏ粒子のペーストを使用し、このペーストをＡｌＮ‐Ｍｏのギャップに適用して熱処理する。前記焼結補助剤は、たとえばＣａＯまたはイットリアである。このＭｏ‐ＡｌＮ‐ＣａＯ／Ｙ２Ｏ３ペーストは、長年にわたってＡｌＮ基板で使用されてきた。
【０００６】
発明の概要
本発明の課題は、アーク管の端部構造体と、ＭｏおよびＷの群から選択された耐火性金属ＲＭから成る耐火性金属フィードスルーシステムとの間の長時間耐久性の気密封止部を実現することである。
【０００７】
前記課題は、フィードスルーにＲＭ‐Ａｌ層を設け、端部構造体をＡｌＮから形成することによって解決される。同時焼結後、アルミニウム化ＲＭとＡｌＮ端部構造体とが直接的にボンディングされる。
【０００８】
さらに本発明は、このような直接的なボンディングを設けるための方法を提供することも課題とする。この方法は、
（ａ）開口を有しＡｌＮから成る事前焼成された端部構造体を設け、ＭｏまたはＷから成るフィードスルーを設けるステップと、
（ｂ）前記フィードスルーの外表面をアルミニウム化するステップと、
（ｃ）前記端部構造体の開口内に前記フィードスルーを配置するステップと、
（ｄ）前記ＡｌＮ端部構造体と前記アルミニウム化されたフィードスルーとを１８００℃〜１９５０℃で３０分〜２０時間にわたって同時焼結することにより、真空密の直接封止部を形成するステップ
とによって実現される。
【０００９】
前記直接封止部を形成するために使用されるＡｌＮ端部構造体はしばしば、前記フィードスルーを収容するための開口を有するＡｌＮ製の栓であることが多い。また、アーク管をＡｌＮから形成することもできるが、このことは必須要件ではない。有利な実施形態は、端部構造体としてキャピラリが一体成形されたＡｌＮから成るアーク管である。メタルハライドランプは、このようなＡｌＮアーク管に、ヨウ化Ｎａ、ヨウ化Ｓｃ、希土類ハロゲン化物、ヨウ化Ｃａおよびヨウ化タリウム等の周知のメタルハライドを充填して使用する。
【００１０】
ガラスフリット封止部と比較して、同時焼成されたフリット無しの部材は以下の利点を有する：
（１）端部構造体の温度がフレキシブルであること。その理由は、従来のＤｙ２Ｏ３‐ＳｉＯ２‐Ａｌ２Ｏ３フリット封止部は、希土類ハロゲン化物充填物の場合には８００℃を下回る温度に制限されるからである。
（２）ガラスフリットの溶融／固体化ではなく「低温」封止（溶接）方式を使用することが可能であること。
【００１１】
フィードスルーがモリブデンから成る場合、特に有利な構成が得られる。このような構成の利点には、以下の利点が含まれる：
（１）同時焼成されたＡｌＮ‐アルミニウム化Ｍｏの界面のボンディングおよび気密性が、ＡｌＮと純粋なＭｏとのボンディングおよび気密性より格段に改善されること。
（２）ＡｌＮを管本体として使用し、同時焼成されたアルミニウム化Ｍｏのフリット無しの構造を使用することにより、ランプの耐性が改善され、現在のＰＣＡランプより一層高い温度の新規かつ大量の攻撃性の充填物を使用できるようになること。
（３）同時焼結されたアルミニウム化Ｍｏにより、フリット封止部の上限温度の制約が取り除かれること。
（４）同時焼成されたＡｌＮ管‐アルミニウム化Ｍｏパイプの封止方式に、現在のＰＣＡランプで使用される高温ガラスフリット溶融／固体化処理ではなく、「低温」処理（すなわちＭｏパイプの溶接）を使用できること。
【００１２】
下記で、複数の実施例を使用して本発明を詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】メタルハライドランプの概略図である。
【図２】容器の端部の実施形態を示す。
【図３】容器の端部の詳細の別の実施形態を示す。
【図４】容器の端部の詳細の別の実施形態を示す。
【００１４】
本発明の詳細な説明
本発明の有利な実施形態では、アルミニウム化Ｍｏパイプと、ＡｌＮとの同時焼成とを使用する。ＡｌＮは、ベースのＭｏ金属と有利な膨張整合性を有する。その結果として、純粋なＭｏとＡｌＮ壁とのボンディングと比較して、アルミニウム化ＭｏとＡｌＮとのフリット無しの直接ボンディングに有意な改善が見られると同時に、高い透過率が実現される。これらの部分とこれらの部分の形成方法とは著しく有望であり、透明なＡｌＮと純粋なＭｏとの同時焼成より格段に有利である。
【００１５】
純粋なＭｏパイプをＡｌＮキャピラリに同時焼成することにより、純粋なＭｏとＡｌＮとの締まりボンドにギャップが形成される。このことはおそらく、ＡｌＮが蒸発することと、純粋なＭｏとＡｌＮ中のＣａＯおよび／またはＹ２Ｏ３焼結補助材とが反応することとに起因すると考えられる。これによって、直接同時焼成ボンディングによる気密封止部の形成が阻害される。
【００１６】
この問題を解決するために、Ｍｏパイプを事前処理した後にＡｌＮキャピラリと同時焼成して、Ｍｏ表面上にアルミニウム化層を形成した。最初は前記層は、アルミニウム化Ｍｏパイプの表面上のＭｏ３Ａｌから成る。同時焼成後にはこの層は、２重相の高密度構造のＡｌＮ‐Ｍｏ（Ａｌは最大１％）組成物となる。このことは、Ｍｏ３Ａｌが高温（１８００〜１９５０℃）でＡｌを失い、より小さいレベルのＡｌを含むＭｏとなることに起因すると考えられる。ＡｌＮと同時焼結すると、Ｍｏ３Ａｌから解放されたＡｌが窒素焼結雰囲気と反応して、Ｍｏに隣接する層にＡｌＮ相をインシチュで形成する。この同時焼結が行われるにつれてＡｌＮはアルミニウム化Ｍｏ管の表面で収縮し、約６〜３０％（有利には１７〜２４％）の同時焼成締まり過程が進むことになる。
【００１７】
ＷＯ２００７／０６５８２７に、アルミニウム化Ｍｏフィードスルーを形成するための処理が記載されている。この記載内容は、引用によって本願の開示内容に含まれるものとする。「アリタイジング」（カロライジング）としても知られているアルミニウム化処理により、反応性のアルミニウムはモリブデン製のフィードスルーの表面に気相で導入される。この処理は、外部のＭｏ３Ａｌ８層を形成することによって開始される。このことは、時間と温度とに依存する拡散処理で行われる。こうするためには、Ｍｏ管をアルミニウム含有粉末床配合物中に配置し、８００℃〜１２００℃の間の温度を下回って、保護ガス雰囲気中でこれらをアニールする。このようにして、高アルミニウム含有Ａｌ８Ｍｏ３相から成るＭｏベースの材料の表面上に、アルミニウム含有量が比較的低い相を含む内側層に隣接して漸変構造が生成される。このＭｏベースの材料は、有利にはＭｏ３Ａｌから成り、前記アルミニウム含有量が比較的低い相は、管の純粋なＭｏに繋がる。
【００１８】
図１にメタルハライドランプ１を示す。このメタルハライドランプ１は管状のセラミック放電容器を有し、該セラミック放電容器内に２つの電極１４が挿入されている。電極１４は軸１５とコイル１６とから成る。この放電容器は中央バルジ部分４と２つの端部６とから成る。有利にはこの放電容器はＡｌＮから成る。フィードスルー９は電極１４および該電極１４の軸１５と外部リード線７とを接続する。このフィードスルーは、ＡｌＮ栓１１に保持されるＭｏパイプ内に含まれるＭｏロッドである。フィードスルー９と電極１４とが電極システムを構成する。この容器は外側バルブ２内に、フィルム８が封入されたピンチシールによって封入される。この外側バルブに口金３が設けられる。
【００１９】
図２に容器の端部６の詳細を示す。有利な実施形態ではフィードスルーはＭｏパイプ３０であり、これは栓１１に直接焼結されている。Ｍｏパイプ３０とＡｌＮ栓１１との接合部が処理中に破損する可能性を最小限にするためには、フリットシール１９を該ＡｌＮ栓の外表面にフィルタとして適用することにより、ほぼ垂直な接合部の代わりに滑らかに湾曲する接合部を形成することができる。このようなフリットシールフィルタは、従来技術で公知である。
【００２０】
図３に、ＡｌＮから成る栓との接着性を改善するためにＭｏパイプ３０が表面にアルミニウム化層を有する構成をさらに詳細に示す。ＡｌＮベースの栓の組成は、ＡｌＮ容器と同じにするか、または、ＣａＯおよび／またはＹ２Ｏ３焼結補助材がドープされたＡｌＮ‐Ｍｏ（またはＷ）から成るサーメットとすることができる。アルミニウム含有層３５はＭｏパイプに直接適用され、第２の層３６がその表面に形成される。前記層３６は、アルミニウム化Ｍｏパイプの表面上のＭｏ３Ａｌから成る。同時焼成後、この第２の層は、２重相の高密度構造のＡｌＮとＭｏ（Ａｌは最大１％）との組成物となる。同時焼成締まり過程が進むにつれて、ＡｌＮは、アルミニウム化されたＭｏの表面上で収縮する。栓１１との境界層が第３の層３７となる。
【００２１】
図４に、異なる組成を有する複数の部分３８，３９から成る栓を示す。ＡｌＮベースの栓の組成は、ＣａＯおよび／またはＹ２Ｏ３焼結補助材がドープされＭｏまたはＷの含有量が漸変しないＡｌＮ‐Ｍｏ（またはＷ）から成る単純なサーメットとするか、または、ＣａＯおよび／またはＹ２Ｏ３焼結補助材がドープされＭｏまたはＷの含有量が漸変するＡｌＮ‐Ｍｏ（またはＷ）から成る漸変サーメットとすることにより、容器と同じ単純な組成の場合よりも相互間の熱膨張性の両立性が一層高くなるようにすることができる。
【００２２】
別の実施形態では、異なる端部構造体を使用する。この別の実施形態は、Ｍｏパイプと、放電容器のキャピラリの端部にわたって嵌合された帽子として構成されたプラグとを使用する。この帽子もＡｌＮから成る。この構成の利点は、ＡｌＮ帽子‐Ｍｏパイプを事前収縮して高透過率の焼結されたＡｌＮ容器のキャピラリに嵌合し、その後に組立体全体に第２の焼成を施して最終的な焼結部材を形成できることである。
【００２３】
これらの実施形態は、熱膨張性の整合両立性を考慮することに基づく。ＡｌＮ，ＭｏおよびＷの平均熱膨張係数はそれぞれ、５．１×１０−６／℃、５．６×１０−６／℃、４．６×１０−６／℃である。Ｍｏ３Ａｌの熱膨張率は、５．７×１０−６／℃〜６．６×１０−６／℃の間のどこかであることが知られている。表１に、関連する材料の熱膨張率を挙げる。２０００Ｋデータは、直接ボンディングされたＡｌＮ‐アルミニウム化Ｍｏ管構造体の製造であって、２０７３〜２２２３Ｋに等しい同時焼成温度を必要とするＡｌＮ‐アルミニウム化Ｍｏ管構造体の製造に関する。１０００Ｋデータは、容器温度が最大１３００Ｋに達しキャピラリ端部温度が最大１０００Ｋに達するランプのオンオフ動作に関する。表１に挙げたＭｏ３Ａｌの１０００Ｋ膨張率データは測定値であり、同表中のＭｏ３Ａｌの２０００Ｋデータは外挿によって得られたものである。
【００２４】
【表１】
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【００２５】
表２に、幾つかの実施形態で得られた結果を示す。ＡｌＮ容器の壁厚さは０．８５ｍｍであった。第１列にサンプルの数を示す。第２列および第３列はアルミニウム化Ｍｏパイプに関し、外径ＯＤおよび内径ＩＤを単位ｍｍで示す。第４列は封止性を示す。封止性は、第１サンプルでは５×１０−９ａｔｍ ｃｍ３／ｓ未満であり、第２サンプルから第５サンプルまでは９×１０−９ａｔｍ ｃｍ３／ｓ未満であった。第５列には全透過率を単位％で示す。第６列は、端部構造の種類（付加的にフリットシールを有するか有さないか）を示す。
【００２６】
【表２】
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【００２７】
すべてのサンプルの焼結条件は同じであった。焼結は、Ｎ２‐１０％ Ｈ２で、Ｗ元素のＭｏシールドされた炉内で行われた。典型的な焼結温度は、数時間にわたって１８５０℃〜２０００℃であり、この数時間には、数時間のランプ時間も含まれる。
【００２８】
Ｍｏパイプ（外径ＯＤ ０．９〜１．０ｍｍ、内径ＩＤ ０．７ｍｍ、長さ１２〜１６ｍｍ）の外径（ＯＤ）表面は、アルミニウム化されていた。この表面上のＭｏ３Ａｌ層は０．１〜０．６ｍｍの間の厚さであり、有利には約０．２〜０．４ｍｍ（または２００〜４００μｍ）の厚さであった。このような厚さでは、アルミニウム化Ｍｏの実際の膨張率は約５．９×１０−６／℃であると推定され、純粋なＭｏの膨張率（５．６×１０−６／℃）より僅かに大きいだけである。タングステンパイプもアルミニウム化してＡｌＮ容器に使用することができる。
【００２９】
事前焼成されたＡｌＮ管の形成は、ＣａＯが１〜３質量％でドープされたＡｌＮ粉末ベースの焼結で開始した。このＡｌＮ粉末はワックスと混合されて成形されることにより、０．６〜０．８５ｍｍの焼結壁厚さを有する７０Ｗ ＰＣＡバルジ型セラミック管のバルジ管が形成される。これらの部分はデバインドされ、焼結の前に空気中で事前焼成された。
【００３０】
アルミニウム化Ｍｏパイプをこの事前焼成されたキャピラリ内部に配置した。これはたとえば７０Ｗ型であり、焼結されて０．７６ｍｍのＩＤになり、事前焼成されたＡｌＮ管の両端において所定の位置に垂直に、たとえば同時焼成ボンディングの約６〜８ｍｍの長さに配置された。この位置決めは、アルミニウム化Ｍｏパイプの外側に水平方向に取り付けられたＭｏワイヤによって支援された。組み立てられたこれらの部分をＭｏ固定具内に配置し、Ｍｏカバーを有するＭｏカップ内に配置した。同時焼成はＷ元素のＭｏシールドされた炉内で、Ｎ２‐Ｈ２で１８５０〜１９５０℃で、１〜４時間にわたって行われ、真空密の直接封止部が得られるように行われた。このことにより、ＡｌＮ管‐アルミニウム化Ｍｏパイプの直接的な接合を同時焼結によって実現できることが示される。焼結中には、焼結補助材がドープされたＡｌＮ粒子のセッタ粉末中にサンプルを埋め込むことにより、焼きしまりに決定的なＡｌＮの蒸発を最小限にすることができる。同時焼成締め処理を行うにつれて、このＡｌＮはアルミニウム化Ｍｏ管の表面で収縮していく（キャピラリＩＤは最大１．０５ｍｍから最大０．７６ｍｍに収縮し、アルミニウム化Ｍｏの最大０．９〜１．０ｍｍのＯＤに当接する）。
【００３１】
純粋なＭｏパイプと比較して、アルミニウム化Ｍｏは同時焼成されたＡｌＮとＭｏとの間に、より良好なボンディング部を形成するのを補助する。Ｍｏ３Ａｌが僅かに分解することにより、Ｍｏ３Ａｌから解放されたＡｌ蒸気が、Ｍｏ３Ａｌ‐Ｍｏに直接隣接するＡｌＮの蒸発および分解を低減するのを助長し、Ｎ２‐Ｈ２焼結雰囲気中の窒素と反応してＡｌＮをインシチュで形成することにより、ＡｌＮ‐Ｍｏだけの場合よりもボンディングが良好になると考えられる。
【００３２】
Ｍｏ３Ａｌの厚さ（最大０．４μｍ）が大きすぎて、アルミニウム化Ｍｏパイプの端部でＡｌＮにマイクロクラックが形成される場合がある。アルミニウム化ＭｏパイプがＡｌＮキャピラリ内に挿入される挿入深さも、このようなマイクロクラックが発生する傾向に影響し、重なり部分が短いほど、クラック無しかつ高封止性になる可能性が高くなる。マイクロクラックの発生は、（１）同時焼成ボンディングの深さと、（２）アルミニウム化層の厚さと、（３）アルミニウム化層とＭｏとＡｌＮとの熱膨張率の整合と、（４）加熱速度とに関連する。Ｍｏ３Ａｌの熱膨張率はＭｏの熱膨張率より最大２０％高いか、またはＡｌＮの熱膨張率より最大１０％高く、アルミニウム化層の厚さが小さいほど良い。ランプ時間を４時間に設定し、全体の実施時間は１日（８時間）となった。加熱速度をさらに低減して、クリープ変形速度を焼きしまり速度に対して相対的に高くすることができる。このことにより、マイクロクラック形成の阻止が助長される。
【００３３】
全透過率測定は、ファイバ光源を焼結されたＰＣＡ管内に配置することと、球体にわたって透過および積分された散乱光の総量を測定することとを含む。表２に、０．８５ｍｍの厚さの部材で８６％が実現されたのと等しい透過率を示す。幾何学的に等価である従来技術のＰＣＡランプ部材は、約９５％の全透過率を有する。ＡｌＮ容器の壁が薄くなるほど、透過率は高くなる。Ｎ２‐Ｈ２中で焼結を行うことにより、９２％を上回る透過率のＡｌＮ管を製造できることが判明した。同時焼成を流動窒素ガス中で、炭素元素炉内で行うこともできる。
【００３４】
同時焼成によって得られた構造体の底部ＡｌＮキャピラリ‐アルミニウム化Ｍｏパイプのボンディングは高封止性であるが、頂部ＡｌＮキャピラリ‐アルミニウム化Ｍｏパイプは漏れ性である場合がある。このことは、焼結中の頂部キャピラリにおける質量損失が、底部キャピラリにおける質量損失より高いことに起因すると考えられていた。質量損失が高くなるほど、所望の締まりが失われる可能性が高くなり、漏れが生じる可能性が高くなる。ＡｌＮドーム形シールドとＭｏ管シールドを使用して頂部ＡｌＮ脚部の分解を抑圧する手段が有利であることが判明した。択一的に、界面にＨＣＩフリット（Ｄｙ２Ｏ３‐Ａｌ２Ｏ３‐ＳｉＯ２）を溶融および固体化することにより、漏れ性の頂部キャピラリ‐Ｍｏパイプボンディングを補修することができる。表２では、第１〜３サンプルを同時焼成して両端部をそのまま（in as-made state）封止性にしたのに対し、第４〜５サンプルは同時焼成した後、頂部脚部を（ＭｏパイプとＡｌＮキャピラリとの間で）フリット封止したのを示している。
【００３５】
ＡｌＮキャピラリと同時焼成されたアルミニウム化Ｍｏの断面を研磨し、この断面の走査型電子顕微鏡写真を見ると、アルミニウム化Ｍｏパイプの表面上のＭｏ３Ａｌ層が同時焼結後に、２重相の高密度構造のＡｌＮ‐Ｍｏ組成物（Ａｌは最大１％）になったことが分かる。当初のＭｏ３ＡｌではなくＭｏ相（Ａｌは最大１％）を、電子マイクロプローブ定量分析によって確認した。アルミニウム化ＭｏとＡｌＮとの境界面のボンディングは、ＡｌＮ相とＭｏ相（Ａｌは最大１％）とが混和された組合せを含む。Ｍｏ表面上の当初のＭｏ３Ａｌ層は、Ａｌを失うかまたはＡｌＮと反応して、同時焼成雰囲気中でＡｌ蒸気とＮ２とが窒化反応することによりインシチュで形成された可能性があるＡｌＮ網状組織と相互に拡散したＭｏ含有Ａｌとなったように見えた。
【００３６】
以上に、現時点で本発明の好適な実施形態と見なされるものを図示し説明したが、当業者であれば、添付された請求項により規定される本発明の範囲から逸脱することなく、様々な変更および改良を為しうることは明らかであろう。
【図１】
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【図２】
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【図３】
2010539673.tif 000007
【図４】
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【国際調査報告】
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