(57)【要約】  非平面状ウェハに実施される平坦化の方法は、除去可能な材料を貫通する導電性ポスト（各ポストは、各ポストの上端が、ウェハ最大の偏りの位置を規定する平面よりも上方に位置するような長さを有する）を形成すること、上記材料とポストとを同時に平滑化して実質的に平坦な面を形成すること、および上記材料を除去することを含む。装置は、非平面状ウェハを含み、ウェハ上には接点を有する。ウェハは、ウェハ上の少なくとも１つの接点の高さを超える長さ分だけ平面から偏っている。一連の導電性ポストはウェハの表面から離れるように延びている。各ポストは遠位端を有し、ポストの遠位端は集合的に、実質平坦な面を画成する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
高さのある接点を面上に有する非平面状ウェハに対して行われる平坦化方法であって、前記ウェハは前記高さを超える分だけ平面から偏っており、前記方法は： 
前記ウェハの前記面に材料を塗付する工程であって、前記材料は平面からの前記偏りを超える厚さとなる工程と； 
前記材料を貫通して前記面上の接続点まで延びる開口を前記材料に形成する工程と； 
前記開口を導電性材料で充填する工程と； 
前記材料および導電性材料を実質的に平面状になるまで平滑化する工程と； 
前記材料を除去する工程とを備える；
方法。
【請求項２】
前記材料の除去により露出したポストを使用して、チップを前記ウェハに接合し、前記ウェハと前記チップとの間の電気接続を形成する工程を更に備える；
請求項１の方法。 
【請求項３】
前記接合は、ポスト−ペネトレーション接続を形成する工程を備える；
請求項２の方法。
【請求項４】
前記材料の除去により露出したポストを使用して、他のウェハを前記ウェハに接合し、前記ウェハ間に電気接続を形成する工程を更に備える；
請求項１の方法。 
【請求項５】
前記ウェハの面に前記材料を塗付する工程は、前記面に流動性材料を塗付する工程を備える；
請求項１の方法。
【請求項６】
前記ウェハの面に前記材料を塗付する工程は、前記面に固体材料を塗付する工程を備える；
請求項１の方法。
【請求項７】
高さのある接点を面上に有する非平面状ウェハに対して行われる平坦化方法であって、前記ウェハは前記高さを超える分だけ平面から偏っており、前記方法は： 
前記面から、前記面に配置される除去可能な材料を貫通して延びる複数の導電性ポストを形成する工程であって、前記ポストの各々は、各ポストの上面が前記ウェハに対して最大の偏り点を規定する平面の上方に位置するような長さを有する工程と；
前記材料およびポストを同時に平滑化して、前記面の上方に実質的に平面状の表面を形成する工程と；
前記材料を除去する工程とを備える；
方法。
【請求項８】
前記ポストを使用して前記ウェハ上に他のウェハをスタックし、前記ウェハ間に電気接続を形成する工程を更に備える；
請求項７の方法。
【請求項９】
前記ポストを使用して前記ウェハ上にチップをスタックして、前記ウェハと前記チップとの間に電気接続を形成する工程を更に備える；
請求項７の方法。 
【請求項１０】
接点を上に有する非平面状ウェハであって、前記ウェハはウェハ上の少なくとも１つの接点の高さを超える分だけ平面から偏っている、非平面状ウェハと； 
前記ウェハの表面から離れるように延びる一連の導電性ポストであって、前記ポストの各々は遠位端を有し、前記ポストの前記遠位端が実質的に平坦な面を集合的に画成する導電性ポストとを備える；
装置。 
【請求項１１】
前記ポストが、導電性材料を備える；
請求項１０の装置。
【請求項１２】
前記ポストが、金属を備える；
請求項１１の装置。
【請求項１３】
前記ウェハが、半導体材料を備える；
請求項１０の装置。
【請求項１４】
前記ウェハが、セラミックを備える；
請求項１０の装置。
【請求項１５】
前記ポストのうちの少なくとも１つは、前記偏りより大きい、前記遠位端から前記ウェハの表面までの長さを有する、
請求項１０の装置。
【請求項１６】
前記ポストのうちの少なくとも１つは、前記偏りに等しい、前記遠位端から前記ウェハの表面までの長さを有する、
請求項１０の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はウェハ処理に関し、より詳細には、電気接続のためのウェハ処理に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェハは、通常、非常に滑らかな表面（すなわち、１ｎｍ未満の偏り（ｄｅｖｉａｔｉｏｎ））になるまで高度に研磨される。しかし、それらは必ずしもウェハ全体に亘って均一に平坦とは限らない。同じことは、セラミックや他の材料のウェハについても言える。平坦度の変動（量）は、「ウェハのバウ（ｗａｆｅｒ  ｂｏｗ）」と呼ばれ、ウェハの製造工程自体またはウェハ処理（例えば、金属または誘電材料の堆積による）に起因し、凸および／または凹側において約２５μｍ以上になることもある。研磨面が凹状である場合、ウェハは「ディッシュ状」（ｄｉｓｈｅｄ）と呼ばれ、凸状である場合、ウェハは「バウ状」（ｂｏｗｅｄ）と呼ばれる。しかし、個々のウェハが両方の種類の非平面性を同時に持つこともある（すなわち、一部分がバウ状で、別の一部分がディッシュ状である）点に注意しなければならない。
【０００３】
本明細書では単純化のため、用語「ディッシュ状」、「バウ状」および「非平面状」を区別せずに用いることにより、非平坦ウェハ、例えば半導体やセラミックをそれが正しくはディッシュ状と称されるかバウ状と称されるかにかかわらず、総称的にこのように呼ぶ。図１は、従来の非平面状ウェハ１００を略図で示す。図示のように、ウェハ１００の厚さは５００μｍ乃至７５０μｍであり、端部において平面から２５μｍの最大の偏り「δ」がある。その結果、図１の例では、両面間の最高位置から最低位置までの偏りは４０μｍである。ほとんどの場合、チップを形成してそれらのチップと他のチップを相互接続する従来プロセスによれば、バウのこの量は通常の接続サイズに対して相対的に十分に小さく、無視できる。しかし、こうした変動は、個々の接点のピッチおよび／または高さが２５μｍ以下である場合、可能であればもっと費用のかかる研磨作業を実施して、バウを許容レベルまで減らさない限り、ウェハを使用できないものにしてしまう。その上、同じ種類の接続を使用して、チップを別のチップに重ねる（スタックする）場合、バウは約５０μｍに（すなわち、両チップおよび／または両面それぞれの最大の偏り２５μｍを考慮すると）達することになる。
【０００４】
従って、バウを有する面にバウより低い高さの接点を有していたり、バウが接点接続を不可能にしてしまうピッチで接点を有していたりするウェハを、個々に活用できる方法に対するニーズがある。
【発明の概要】
【０００５】
本発明者は、バウが最大２０μｍである各ウェハを、バウの性質にかかわらず、小さなピッチおよび／または高さを持つ接点とともに使用できるようにし、また積み重ねる（スタックする）ことができるようにすることにより、上記問題を克服する方法を発明した。
【０００６】
本発明の１つの態様は、非平面状ウェハに実施される平坦化の方法を含む。この方法は、除去可能な材料を貫通する導電性ポスト（各ポストは、各ポストの上端が、ウェハ最大の偏りの位置を規定する平面よりも上方に位置するような長さを有する）を形成すること、上記材料とポストとを同時に平滑化して実質的に平坦な面を形成すること、および上記材料を除去することを含む。
【０００７】
本発明の別の態様は装置を含む。その装置は、非平面状ウェハを含み、ウェハ上には接点を有する。上記ウェハは、ウェハ上の少なくとも１つの接点の高さを超える長さ分だけ平面から偏っている。一連の導電性ポストはウェハの表面から離れるように延びている。ポストの遠位端は集合的に、実質平坦な面を画成する。
【０００８】
本明細書に記載する方法を使用することにより、バイアの密度、ピッチ、配置を可能にする様々な手法とともにバウ状ウエハを使用することができ、たとえ接点の高さまたは密度がウェハのバウに対して相対的に小さくても、チップ、ダイ、およびウェハ規模で、ウェハ内における小さくて深いバイアの形成およびウェハ用電気接点の形成を可能にする。
【０００９】
本明細書で説明する利点および特長は、代表的な実施例から得られる多くの利点および特長の内の僅かでしかなく、本発明の理解を助けるために提示するに過ぎない。言うまでもなく、それらは特許請求の範囲によって定義される本発明を制限したり、特許請求の範囲の均等物を制限したりするものと解釈すべきではない。例えば、これら利点のいくつかが相互に矛盾し、単一の実施例に同時にあてはまらないことがある。同様に、いくつかの利点が本発明の一の態様にあてはまるものの、他の態様にはあてはまらない場合がある。従って、特長および利点についてこの概要が、均等を判定する際の手掛かりになると考えるべきではない。本発明の更なる特長および利点は、以下の説明、図面、および特許請求の範囲から明らかになろう。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】従来の非平坦ウェハを略図で示す。
【００１１】
【図２】「ディッシュ状」と見なされるバウ状ウェハへの本発明者の方法の使用を略図で示す。
【図３】「ディッシュ状」と見なされるバウ状ウェハへの本発明者の方法の使用を略図で示す。
【図４】「ディッシュ状」と見なされるバウ状ウェハへの本発明者の方法の使用を略図で示す。
【図５】「ディッシュ状」と見なされるバウ状ウェハへの本発明者の方法の使用を略図で示す。
【図６】「ディッシュ状」と見なされるバウ状ウェハへの本発明者の方法の使用を略図で示す。
【００１２】
【図７】一連のチップが接続された後の、図６のウェハを略図で示す。
【００１３】
【図８】「バウ状」と見なされるバウ状ウェハ１００への本発明者の方法の使用を略図で示す。
【図９】「バウ状」と見なされるバウ状ウェハ１００への本発明者の方法の使用を略図で示す。
【図１０】「バウ状」と見なされるバウ状ウェハ１００への本発明者の方法の使用を略図で示す。
【図１１】「バウ状」と見なされるバウ状ウェハ１００への本発明者の方法の使用を略図で示す。
【図１２】「バウ状」と見なされるバウ状ウェハ１００への本発明者の方法の使用を略図で示す。
【図１３】「バウ状」と見なされるバウ状ウェハ１００への本発明者の方法の使用を略図で示す。
【図１４】「バウ状」と見なされるバウ状ウェハ１００への本発明者の方法の使用を略図で示す。
【図１５】「バウ状」と見なされるバウ状ウェハ１００への本発明者の方法の使用を略図で示す。
【００１４】
【図１６】プロセスに従って形成された平坦化ポストを使用して一連のチップが接続された後の、図１５のウェハを略図で示す。
【００１５】
【図１７】本明細書に記載の方法で平坦化され、互いに接合された一対のディッシュ状ウェハを略図で示す。
【００１６】
【図１８】本明細書に記載の方法で平坦化され、互いに接合された一対のバウ状ウェハを略図で示す。
【００１７】
見た目の便宜上、どの図も大幅に変形され、縮尺も一様ではないことに注意されたい。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
参照することにより、本明細書に組み込まれる米国特許出願第１１／３２９，４８１号、１１／３２９，５０６号、１１／３２９，５３９号、１１／３２９，５４０号、１１／３２９，５５６号、１１／３２９，５５７号、１１／３２９，５５８号、１１／３２９，５７４号、１１／３２９，５７５号、１１／３２９，５７６号、１１／３２９，８７３号、１１／３２９，８７４号、１１／３２９，８７５号、１１／３２９，８８３号、１１／３２９，８８５号、１１／３２９，８８６号、１１／３２９，８８７号、１１／３２９，９５２号、１１／３２９，９５３号、１１／３２９，９５５号、１１／３３０，０１１号、および１１／４２２，５５１号は、半導体ウェハの小さく深いバイアや、電気接点を形成するさまざまな手法を説明している。その手法は、以前には達成できなかったバイア密度、ピッチ、および配置を可能にし、チップ、ダイ、ウェハ規模で実施可能である。一部の例では、上記出願に記載される手法をウェハに実施することが望ましい。しかし、接点の高さまたは密度がウェハのバウに比べて小さい場合は除かれる。有利なことに、本発明者は、それを行う方法を開発したのである。図２〜６は、「ディッシュ状」と見なされるバウ状ウェハ１００への本発明者の方法の使用を略図で示す。そのプロセスは以下の通りである。
【００１９】
最初に、図２に示すように、ウェハ１００のディッシュ状側２０２に、少なくともその側の最大の偏りδ（破線２０４で示す）と等しいか、通常はそれより大きな厚さとなるまで材料２００を塗付する。
【００２０】
個々の実施に応じて、材料２００は流動性材料であっても、完全な固体材料であってもよい。一般に、処理ステップ数を減らすために、材料をフォトレジストすなわち感光性誘電材料にするが、これによりパターン化が可能になる。または、機械加工可能な材料や成形加工可能な材料を使用してもよい。実質的な固体材料の場合、好適な材料例としてはＲｉｓｔｏｎ（登録商標、以下同様）ドライフィルムフォトレジストシリーズのフォトレジストがあり、これらはＥ．Ｉ．ｄｕ  Ｐｏｎｔ  ｄｅ  Ｎｅｍｏｕｒｓ  ＆  Ｃｏが市販している。特に、Ｒｉｓｔｏｎ  ＰｌａｔｅＭａｓｔｅｒ、ＥｔｃｈＭａｓｔｅｒおよび ＴｅｎｔＭａｓｔｅｒシリーズのフォトレジストが好適であり、厚さはそれぞれ約３８μｍ、３３μｍ、３０μｍであり、問題の偏りを扱うには申し分ない。
【００２１】
デバイス搭載ウェハの場合、パターン化可能な材料２００を使用することにより、ウェハ１００上の接点またはデバイスパッドの位置の上方に開口を合わせて作成することが容易になる。更に、実質的な固体材料２００を使用する場合、ウェハは未充填バイアつまりウェハ内に延びる特徴を含むことも可能であり、それらのバイアには材料２００によって充填されるリスクがないか、あっても僅かであり、実際、材料２００は必要に応じてバイアを後続のステップによる充填から保護することができる。
【００２２】
図３は、上記材料をパターン化してウェハの予め形成された接続点上に開口３００−１，３００−２，３００−３，３００−４，３００−５，３００−６，３００−７，３００−８，３００−９，３００−１０を形成した後のウェハ１００を略図で示す。 
【００２３】
その次に、開口を導電性材料、通常は金属、で充填するが、例えば金属の場合であれば、堆積、めっき（電気めっきもしくは非電解めっき）、またはそれらの組合せを含む好適なプロセスが用いられる。
【００２４】
図４は、開口３００−１，３００−２，３００−３，３００−４，３００−５，３００−６，３００−７，３００−８，３００−９，３００−１０のそれぞれを導電性材料４０２で充填した後の、図３のウェハ１００を略図で示す。
【００２５】
次に、従来の研磨法、またはでき上がりの偏りを可能な限り小さくする平滑化仕上法を用いてウェハ１００の表面４００を滑らかに研磨し、最大の偏りを接点の高さよりも小さく、典型的には±０μｍから約１０μｍにする。しかし、ポスト−ペネトレーション接続が用いられる実施によっては、その接続がもたらす固有の順応性ゆえに上記方法はより大きな偏りを許容できる。
【００２６】
図５は、研磨作業完了後のウェハ１００を略図で示す。
【００２７】
次に、図６に示すように、選択した材料２００に適合するプロセスを用いて材料２００を除去した後には、一連の起立した導電性「ポスト」６００，６０２，６０４，６０６，６０８，６１０，６１２，６１４，６１６，６１８が残り、ポスト６００，６０２，６０４，６０６，６０８，６１０，６１２，６１４，６１６，６１８は高さが異なるものの、それらの上面は実質的に平坦となる（すなわち、研磨法または平滑化仕上法の最大偏り以内）。その結果、上記の従来技術における問題に直面することなく、ウェハ１００上の接続点同士が接続可能となり、あるいは、別のチップ、ダイ、またはウェハを重ねることが可能となる。 
【００２８】
図７は、本プロセスを使用して形成された平坦化ポスト６００，６０２，６０４，６０６，６０８，６１０，６１２，６１４，６１６，６１８を使用して、一連のチップ７０２，７０４，７０６，７０８を接続した後の、図６のウェハ１００を略図で示す。
【００２９】
図８は、「バウ状」と見なされるウェハ８００を略図で示す。
【００３０】
図９〜図１５は、図８の「バウ状」のバウ状ウェハ８００への本発明者の方法の使用を略図で示す。そのプロセスは以下の通りである：
【００３１】
先ず、図９に示すように、図２と同様に、図２に関連して説明した材料２００をウェハ８００に塗付する。但し、この場合、材料２００はウェハ１００のバウ状側８０２に塗付される。
【００３２】
図１０に示すように、材料２００が、この場合も、少なくともその側の最大の偏りδ（破線１００２で示す）と等しいか、通常はそれより大きな厚さとなるまで塗付される。
【００３３】
図１１は、上記材料をパターン化して、ウェハの予め形成された接続点上に開口１１００−１，１１００−２，１１００−３，１１００−４，１１００−５，１１００−６，１１００−７，１１００−８，１１００−９，１１００−１０を形成した後のウェハ８００を略図で示す。
【００３４】
その次に、上記のように、例えば、堆積、めっき（電気めっきまたは非電解めっき）、またはそれらの組合せを含む好適なプロセスを用いて、開口を導電性材料、通常は金属、で充填する。
【００３５】
図１２は、開口を充填した後の図１１のウェハ８００を略図で示す。
【００３６】
次に、図１３に示すように、従来の研磨法、またはウェハを実質的に平坦（すなわち、０μｍから約１０μｍの間という商業ベースで達成可能な「完全に平坦な」偏りを有する）に仕上げる平滑化仕上法を用いて、ウェハ８００を、この場合、破線１３００で示す高さまで滑らかに研磨する。
【００３７】
図１４は、研磨作業完了後のウェハ８００を略図で示す。
【００３８】
次に、図１５に示すように、選択した材料２００に適合するプロセスを用いて材料２００を除去した後には、一連の起立した導電性「ポスト」１５００，１５０２，１５０４，１５０６，１５０８，１５１０，１５１２，１５１４，１５１６，１５１８が残り、ポスト１５００，１５０２，１５０４，１５０６，１５０８，１５１０，１５１２，１５１４，１５１６，１５１８は高さが異なるものの、それらの上面は実質的に平坦となる（すなわち、研磨法または平滑化仕上法の最大偏り以内）。その結果、上記の従来技術における問題に直面することなく、ウェハ８００上の接続点同士が接続可能となり、あるいは、別のチップ、ダイ、またはウェハを重ねることが可能となる。
【００３９】
図１６は、本プロセスを使用して形成された平坦化ポスト１５００，１５０２，１５０４，１５０６，１５０８，１５１０，１５１２，１５１４，１５１６，１５１８を使用して一連のチップ１６０２，１６０４，１６０６を接続した後の、図１５のウェハ８００を略図で示す。
【００４０】
このように、上記方法により、ウェハの形状がディッシュ状かバウ状かにかかわらず、最大のバウ状の偏りを持つ一対のウェハをウェハベースで容易に接続することが可能になることは言うまでもない。
【００４１】
図１７は、本明細書に記載する方法により平坦化され、互いに接合された一対のディッシュ状ウェハ１７００，１７０２を略図で示す。
【００４２】
図１８は、本明細書に記載する方法により平坦化され、互いに接合された一対のバウ状ウェハ１７００，１７０２を略図で示す。 
【００４３】
同じ方法を用いてディッシュ状ウェハをバウ状ウェハへ、あるいはバウ状ウェハをディッシュ状ウェハへ接続できることは言うまでもない。
【００４４】
このように、ここでの記載（図含む）は、説明に役立つ代表的な実施例にすぎないと解されるべきである。読み手の便宜のため、上記記載は、あらゆる可能な実施例のうちの代表的な例に専心したものである。例は、本発明の原理を教授するものである。上記記載は、包括的にあらゆる可能な変形例を列挙しているわけではない。このような代替の実施例は、本発明の特定の部分のためには提示されていないかもしれない、もしくは、さらに不記載の代替の実施例が、（本発明の特定の）部分のためには有用であるかもしれないが、これらの代替の実施例についての権利の放棄とみなされるものではない。当業者は、こうした不記載の実施例の多くが、本発明および他の均等物の原理と同一の原理を包含していることを認識するであろう。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
2010519739.tif 000018
【図１７】
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【図１８】
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【国際調査報告】
2010519739.tif 000021
2010519739.tif 000022
2010519739.tif 000023