(57)【要約】製造システムにおけるネットワークインターフェースデバイスは、データベースクエリ言語で、リモートユーザからの通信を受信し得る。ネットワークインターフェースデバイスは、ポンプでサポートされている言語で、コマンドおよびクエリを翻訳または転送し得る。ネットワークインターフェースデバイスは、ポンプでサポートされている言語を使用して、製造プロセスにおいてポンプおよび他の構成要素へコマンドおよびクエリを通信し得る。コマンドまたはクエリの結果は、ネットワークインターフェースデバイスへ返送され得、該デバイスは、情報をデータベースに送信し得る。ＧＵＩは、リモートユーザがポンプまたは他の機能の状態をチェックすることを可能にする。
2010526381.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ネットワークインターフェースデバイスであって、
１つ以上のポンプ通信ポートと、
少なくとも１つのコンピュータネットワーク通信ポートと、
一式のコンピュータ実行可能命令を記憶するための不揮発性コンピュータメモリと、
該一式のコンピュータ実行可能命令を実行するためのプロセッサであって、
該一式のコンピュータ実行可能命令は、
該１つ以上のポンプ通信ポートを介して１つ以上のポンプコントローラでサポートされるコマンドプロトコルを使用して、該ネットワークインターフェースデバイスに連結された該１つ以上のポンプコントローラと通信するように動作可能であり、該１つ以上のポンプコントローラと対話することは、該１つ以上のポンプコントローラに連結された１つ以上のポンプについての情報を取得することを含み、
該少なくとも１つのコンピュータネットワーク通信ポートを介して該ポンプ・コンピュータネットワークインターフェース装置に連結されたデータベースサーバと通信するように動作可能であり、該データベースサーバと対話することは、該１つ以上のポンプコントローラから受信された情報を該データベースサーバでサポートされるクエリ言語に従って、該データベースサーバに転送することを含む、
プロセッサと
を含む、ネットワークインターフェースデバイス。
【請求項２】
前記１つ以上のポンプ通信ポートは少なくとも１つのシリアルポートを含む、請求項１に記載のネットワークインターフェースデバイス。
【請求項３】
前記少なくとも１つのコンピュータネットワーク通信ポートは、イーサネット（登録商標）ポートを含む、請求項１に記載のネットワークインターフェースデバイス。
【請求項４】
ワイヤレスネットワークインターフェースをさらに含む、請求項１に記載のネットワークインターフェースデバイス。
【請求項５】
前記一式の命令はさらに、前記１つ以上のポンプコントローラへのリモートアクセスを提供するように動作可能である、請求項１に記載のネットワークインターフェースデバイス。
【請求項６】
前記リモートアクセスは、前記少なくとも１つのコンピュータネットワーク通信ポートを介して前記ネットワークインターフェースデバイスに連結される、クライアントマシン上で作動するウェブブラウザアプリケーションを介して取得可能である、請求項５に記載のネットワークインターフェースデバイス。
【請求項７】
前記１つ以上のポンプについての前記情報は、サイクル数、デバイス識別子、タイムスタンプ、レシピ番号、レシピ量、分注確認スコア、分注プロファイル、またはそれらの組み合わせのうちの１つ以上を含む、請求項１に記載のネットワークインターフェースデバイス。
【請求項８】
前記ネットワークインターフェースデバイスは、前記１つ以上のポンプコントローラと通信して前記１つ以上のポンプコントローラを構成するように動作可能である、請求項１に記載のネットワークインターフェースデバイス。
【請求項９】
前記ネットワークインターフェースデバイスは、前記１つ以上のポンプについての前記情報を前記データベースサーバへプッシュ配信するように動作可能である、請求項１に記載のネットワークインターフェースデバイス。
【請求項１０】
前記ネットワークインターフェースデバイスはさらに、アラーム、エラーメッセージ、通知、またはそれらの組み合わせを、前記ネットワークインターフェースデバイスと通信可能に連結されるユーザデバイスに提供するように動作可能である、請求項１に記載のネットワークインターフェースデバイス。
【請求項１１】
前記データベースサーバは、工場オートメーションシステムの一部であり、前記ネットワークインターフェースデバイスはさらに、アラーム、エラーメッセージ、通知、またはそれらの組み合わせを、該工場オートメーションシステムに提供するように動作可能である、請求項１に記載のネットワークインターフェースデバイス。
【請求項１２】
前記ネットワークインターフェースデバイスは、構造化照会言語（ＳＱＬ）で前記データベースサーバと対話するように動作可能である、請求項１に記載のネットワークインターフェースデバイス。
【請求項１３】
前記ネットワークインターフェースデバイスは、ハイパーテキスト転送プロトコル（ＨＴＴＰ）および動的ホスト構成プロトコル（ＤＨＣＰ）をサポートするように動作可能である、請求項１に記載のネットワークインターフェースデバイス。
【請求項１４】
ネットワークインターフェースデバイスであって、
１つ以上のポンプと通信するための複数のポートと、
少なくとも１つのネットワーク通信ポートと、
一式のコンピュータ実行可能命令を記憶するための不揮発性コンピュータメモリと、
該一式の命令を実行するためのプロセッサであって、
該一式のコンピュータ実行可能命令は、
該１つ以上のポンプでサポートされるコマンドプロトコルを使用して、該１つ以上のポンプに連結される１つ以上のポンプコントローラと通信するように動作可能であり、該１つ以上のポンプコントローラと通信することは、該１つ以上のポンプについての情報を取得することを含み、
リモートコンピューティングデバイスと通信するように動作可能であり、該コンピュータデバイスと通信することは、該１つ以上のポンプについての該情報を該リモートコンピュータデバイスへ通信することを含む、
プロセッサと
を含む、ネットワークインターフェースデバイス。
【請求項１５】
前記ネットワークインターフェースデバイスは、ワイヤレスネットワークインターフェースを介してリモートコンピュータデバイスと通信するように動作可能である、請求項１４に記載のネットワークインターフェースデバイス。
【請求項１６】
前記ネットワークインターフェースデバイスは、アラーム、エラーメッセージ、通知、またはそれらの組み合わせを、前記リモートコンピュータデバイスに提供するように動作可能である、請求項１４に記載のネットワークインターフェースデバイス。
【請求項１７】
前記ネットワークインターフェースデバイスは、構造化照会言語（ＳＱＬ）でデータベースサーバと通信するように動作可能である、請求項１４に記載のネットワークインターフェースデバイス。
【請求項１８】
前記ネットワークインターフェースデバイスは、前記リモートコンピューティングデバイスにおいてウェブブラウザと協働して作用し、前記１つ以上のポンプを制御するためのグラフィカルユーザインターフェースを提供するように動作可能である、請求項１４に記載のネットワークインターフェースデバイス。
【請求項１９】
前記ネットワークインターフェースデバイスは、第１のトランスポートプロトコルに従って前記リモートコンピューティングデバイスからコマンドを受信し、第２のトランスポートプロトコルに従って前記１つ以上のポンプへ該コマンドを転送するように動作可能である、請求項１４に記載のネットワークインターフェースデバイス。
【請求項２０】
前記ネットワークインターフェースデバイスは、第１のトランスポートプロトコルから前記１つ以上のポンプでサポートされる第２のコマンドプロトコルへと前記コマンドを翻訳するように動作可能である、請求項１９に記載のネットワークインターフェースデバイス。
【請求項２１】
第１のトランスポートプロトコルに従ってリモートコンピューティングデバイスからコマンドを受信することと、
第２のトランスポートプロトコルに従って１つ以上のポンプコントローラへ該コマンドを転送することと、
該１つ以上のポンプコントローラでサポートされるコマンドプロトコルを使用して該１つ以上のポンプコントローラと通信することであって、該１つ以上のポンプコントローラと対話することは、該１つ以上のポンプコントローラに接続される１つ以上のポンプについての情報を取得することを含む、ことと、
該ネットワークインターフェースデバイスに連結されるデータベースサーバと通信することであって、該データベースサーバと対話することは、該１つ以上のポンプコントローラからの受信情報を該データベースサーバでサポートされるクエリ言語に従って該データベースサーバへ転送することを含む、ことと
を含む、方法。
【請求項２２】
前記第１のプロトコルに従って前記リモートコンピューティングデバイスから受信された前記コマンドを、前記１つ以上のポンプでサポートされる前記第２のコマンドプロトコルへ翻訳することをさらに含む、請求項２１に記載の方法。
【請求項２３】
前記リモートコンピュータデバイスへ、アラーム、エラーメッセージ、通知、またはそれらの組み合わせを送信することをさらに含む、請求項２１に記載の方法。
【請求項２４】
前記クエリ言語は、構造化照会言語（ＳＱＬ）を含む、請求項２１に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
（著作権の告知）
本特許文書の開示内容の一部、含まれる付録には、著作権の請求対象となる資料を含む。本著作権者は、特許商標庁の特許ファイルまたは記録に記載されるように、特許文書または特許開示による複製のいずれに対しても異議を唱えないが、その他全てのあらゆる著作権を留保する。
【０００２】
（関連出願）
本願は、２００７年５月４日に出願された米国仮特許出願第６０／９２７，６４４号、「ＩＮＴＥＬＬＩＧＥＮ  ＭＩＮＩ  ＮＥＴＷＯＲＫ  ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ」の優先権を主張するものであり、その全内容は、あらゆる意図のために、明示的に参照することによって本明細書に組み込まれる。
【０００３】
本発明は概してインターフェースデバイスに関し、より具体的には、流体構成要素のコンピュータネットワークとのインターフェースを提供し、データベースクエリ言語に従うクエリに対し応答が可能な、ネットワークインターフェースデバイスに関する。
【背景技術】
【０００４】
半導体製造技術が進化するにつれ、ポンプの動作および性能を監視するシステムの高機能化も拡大してきた。半導体メーカー等のポンプの顧客からは、顧客の工場オートメーション（ＦＡ）システムに、ポンプまたはポンプシステムから詳細情報を得る機能を統合したいという要望が高まっている。既存のアプローチにおいては、各顧客の工場オートメーションシステムは、ポンプ監視のためにＰＣベースのマン・マシンインターフェース（ＭＭＩ）ソフトウェアまたはＰＣプラットフォーム上で実行されるカスタムソフトウェアを実行していることが多いため、こうした統合は手動で行われており、多くの場合非常に単調なプロセスとなっている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
したがって、工場のポンプインターフェースデバイスは、顧客の工場オートメーションシステム上で実行するように特に書かれたカスタムソフトウェアによって修正されることになる。こうしたカスタムソリューションはコスト高、非効率であり、時間のかかるものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
一実施形態では、ネットワークインターフェースデバイスは、コンピュータ機器のデバイスである。一実施形態では、ネットワークインターフェースデバイスは、これに接続される流体構成要素の無人の監視および報告を行い、特定のコンピュータおよび／またはソフトウェアを必要としない。一実施形態では、ネットワークインターフェースデバイスは、ＳＱＬプラットフォーム上で実行されるスタンドアロンデバイスである。ほとんどの工場オートメーションシステムは情報の処理および記憶にデータベースサーバを利用しているため、データベース言語を使用することで、カスタムまたは特化した顧客ソフトウェアなしでネットワークインターフェースデバイスがデータベースサーバと対話し、データベースクエリに応答することが可能となる。このように、構成要素についての特化した情報を、一般的な方法でアクセスおよび取得できる。
【０００７】
一実施形態では、ネットワークインターフェースデバイスは、流体制御システムに特定の複数の機能を実行し、クエリ言語で通信するために翻訳可能なソフトウェア命令でコード化された一ハードウェアである。一実施形態では、クエリ言語は、リレーショナルデータベース管理システムからデータを作成、修正および検索するために使用できる。一実施形態では、クエリ言語は構造化照会言語（ＳＱＬ）である。一実施形態では、ネットワークインターフェースデバイスは、ほぼ全ての顧客データベースまたは工場オートメーションシステムに単純および一貫したインターフェースを提供するために、適切なネットワークソフトウェアと共にＳＱＬを使用する。
【０００８】
本明細書中に開示されるいくつかの実施形態は、通信ポート、コンピュータネットワーク通信ポート、一式のコンピュータ実行可能命令を記憶するための不揮発性コンピュータメモリおよび一式のコンピュータ実行可能命令を実行するためのプロセッサを含むネットワークインターフェースデバイスに関し得る。一式のコンピュータ実行可能命令は、１つ以上のポンプ通信ポートを介してネットワークインターフェースデバイスに連結される１つ以上のポンプと通信し、コンピュータネットワーク通信ポートを介してネットワークインターフェースデバイスに連結されるデータベースサーバと通信するように動作し得る。いくつかの実施形態では、１つ以上のポンプコントローラとの対話は、１つ以上のポンプコントローラに接続される１つ以上のポンプについての情報の取得を含む。いくつかの実施形態では、データベースサーバとの対話はデータベースサーバからのクエリへの応答を含む。いくつかの実施形態では、１つ以上のポンプ通信ポートは少なくとも１つのシリアルポートを含む。いくつかの実施形態では、コンピュータネットワーク通信ポートはイーサネット（登録商標）ポートを含む。いくつかの実施形態では、システムはワイヤレスネットワークインターフェースを含む。いくつかの実施形態では、一式の命令はさらに、１つ以上のポンプコントローラへリモートマン・マシンインターフェース（ＭＭＩ）アクセスを提供するように動作可能である。いくつかの実施形態では、リモートＭＭＩアクセスは、コンピュータネットワーク通信ポートを介してネットワークインターフェースデバイスに連結されるクライアントマシン上で実行されるウェブブラウザアプリケーションによって実行可能である。いくつかの実施形態では、１つ以上のポンプについての情報は、サイクル数、デバイスＩＤ、タイムスタンプ、レシピ番号、レシピ量、分注確認スコア、分注プロファイル、またはそれらの組み合わせのうちの１つ以上を含む。いくつかの実施形態では、一式のコンピュータ実行可能命令は、ポンプと通信してポンプを構成するように動作可能である。いくつかの実施形態では、一式のコンピュータ実行可能命令は、データベースサーバへポンプについての情報をプッシュ配信するように動作可能である。いくつかの実施形態では、一式の命令はさらに、ネットワークインターフェースデバイスに通信可能に連結されるユーザデバイスに、アラーム、エラーメッセージ、通知、またはそれらの組み合わせを提供するように動作可能である。いくつかの実施形態では、データベースサーバは工場オートメーションシステムの一部であり、一式の命令はさらに、アラーム、エラーメッセージ、通知、またはそれらの組み合わせを工場オートメーションシステムに提供するために動作可能である。いくつかの実施形態では、一式のコンピュータ実行可能命令は、構造化照会言語（ＳＱＬ）でデータベースと対話するように動作可能である。いくつかの実施形態では、一式のコンピュータ実行可能命令は、ハイパーテキスト転送プロトコル（ＨＴＴＰ）および動的ホスト構成プロトコル（ＤＨＣＰ）をサポートするように動作可能である。
【０００９】
本明細書中に開示されるいくつかの実施形態は、１つ以上のポンプと通信するための通信ポート、少なくとも１つのネットワーク通信ポート、一式のコンピュータ実行可能命令を記憶するための不揮発性コンピュータメモリ、一式のコンピュータ実行可能命令を実行するためのプロセッサを有するネットワークインターフェースデバイスに関し得る。一式のコンピュータ実行可能命令は、１つ以上のポンプと通信可能に連結される１つ以上のポンプコントローラと通信し、リモートユーザによってアクセスされるコンピュータデバイスと通信するように動作可能であり得る。いくつかの実施形態では、コンピュータデバイスとの通信は、コンピュータデバイスへの１つ以上のポンプについての情報の通信を含む。いくつかの実施形態では、１つ以上のポンプコントローラとの通信は、１つ以上のポンプについての情報の取得を含む。
【００１０】
本明細書中に開示されるいくつかの実施形態は、第１のトランスポートプロトコルに従ったリモートコンピューティングデバイスからのコマンドの受信、第２のトランスポートプロトコルに従った１つ以上のポンプコントローラへのコマンドの転送、１つ以上のポンプコントローラによってサポートされるコマンドプロトコルを使った１つ以上のポンプコントローラとの通信、およびネットワークインターフェースデバイスに連結されるデータベースサーバとの通信を含む、方法に関し得る。いくつかの実施形態では、１つ以上のポンプコントローラとの対話は、１つ以上のポンプコントローラに連結される１つ以上のポンプについての情報の取得を含む。いくつかの実施形態では、データベースサーバとの対話は、データベースサーバでサポートされるクエリ言語に従った、１つ以上のポンプコントローラから受信される情報のデータベースサーバへの転送を含む。いくつかの実施形態では、方法はさらに、第１のプロトコルに従ってリモートコンピューティングデバイスから受信したコマンドの、１つ以上のポンプによってサポートされる第２のコマンドプロトコルへの翻訳を含む。いくつかの実施形態では、方法はさらに、リモートコンピュータデバイスへのアラーム、エラーメッセージ、通知、またはそれらの組み合わせの送信を含む。いくつかの実施形態では、クエリ言語は構造化照会言語（ＳＱＬ）を含む。
【００１１】
いくつかの実施形態では、一式のコンピュータ実行可能命令は、ワイヤレスネットワークインターフェースを介してコンピュータデバイスと通信するように動作可能である。いくつかの実施形態では、一式のコンピュータ実行可能命令は、コンピュータデバイスへのアラーム、エラーメッセージ、通知、またはそれらの組み合わせを提供するように動作可能である。
【００１２】
いくつかの実施形態では、一式のコンピュータ実行可能命令は、クエリ言語を使ってデータベースと通信するように動作可能である。本明細書中に開示されている実施形態は多くの利点を提供できる。例えば、ネットワークインターフェースデバイスは、設定および構成のためのポンプへのリモートアクセス、これをオンサイトで行うための必要性／コストの排除または低減を実現できる。別の例として、ネットワークインターフェースデバイスは、無人のデータ収集および顧客の工場オートメーションデータベースへの提示を提供し、これを手動で行う必要性／コストを排除または低減できる。さらに別の例として、ネットワークインターフェースデバイスは、改良の目的において有益である、ポンプ機能のより容易な診断および可視性を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、ネットワークインターフェースデバイスを有するシステムの図を示す。
【図２】図２は、ネットワークインターフェースを提供するための方法の実施形態の工程図である。
【図３】図３は、ネットワークインターフェースを提供するための方法の実施形態の工程図である。
【図４】図４は、ネットワーク設定アプリケーションの一実施形態のスクリーンショットを示す。
【図５】図５は、単純なネットワークＭＭＩの一実施形態のスクリーンショットを示す。
【図６】図６は、リモートポンプを選択するための一実施形態のスクリーンショットを示す。
【図７】図７は、製造システムのためのリモートＭＭＩ接続を示すＧＵＩの一実施形態のスクリーンショットを示す。
【図８】図８は、リモートポンプの状態スクリーンの一実施形態のスクリーンショットを示す。
【図９】図９は、リモートポンプのリアルタイム表示の一実施形態のスクリーンショットを示す。
【図１０】図１０は、インターフェースの一実施形態のハードウェア構成の図を示す。
【図１１】図１１は、一実施形態による、命令を有するソフトウェアコードを含むコンピュータ媒体の図を示す。
【図１２Ａ】図１２Ａは、データをデータベース言語を使用してデータベースサーバに転送するためのコードを有するファイルの部分を示す。
【図１２Ｂ】図１２Ｂは、データをデータベース言語を使用してデータベースサーバに転送するためのコードを有するファイルの部分を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
実施形態および種々の特徴ならびにその有利な詳細を、付随の図面に図示され、以下の説明においておよび詳細に説明されている非制限的な実施例を参照して、より完全に説明する。公知の出発材料、加工技術、構成要素および装置の記載は、詳細な開示内容が不必要にも不明確となることのないよう、省略されている。当業者は、しかしながら、発明を実施するための形態および特定の実施例は、好適な実施形態を開示するものである一方で、説明のみを意図して記載されているのであり、制限することを意図して記載されているものではないことを理解されよう。基本的な本発明の概念の範囲内における種々の代用、変更、追加または再構成が、本開示内容を一読後、当業者に明らかであろう。
【００１５】
本明細書中で使用しているように、「含む（ｃｏｍｐｒｉｓｅｓ、ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ、ｉｎｃｌｕｄｅｓ、ｉｎｃｌｕｄｉｎｇ）」「有する（ｈａｓ、ｈａｖｉｎｇ）」という用語またはそのいずれかのその他の変形は、非排他的な包含を意味することを意図されている。例えば、要素のリストを含む方法、プロセス、物品、または装置は、必ずしもこれらの要素のみに制限されるとは限らず、明示的にリストされていないまたはこうした方法、プロセス、物品、または装置に固有であるその他の要素を含み得る。さらに、反対に明示的に述べられていない限り、「または（ｏｒ）」は、包括的な「または（ｏｒ）」を指し、排他的な「または（ｏｒ）」を指さない。例えば、状態ＡまたはＢは、Ａは真（または存在する）でありＢは偽（または存在しない）である、Ａは偽（または存在しない）でありＢは真（または存在する）である、ＡおよびＢの両方が真（または存在する）である、のいずれのものよっても満たされる。
【００１６】
半導体製造において、種々の流体構成要素を、ウエハへの化学物質の混合物の分注と同様に、化学物質の混合のために使用し得る。構成要素の実施例はポンプ、弁、ヒーター、熱交換器、タンク、フィルタおよびセンサを含み得るが、これに制限されない。Ｅｎｔｅｇｒｉｓ  ＩｎｔｅｌｌｉＧｅｎ  Ｍｉｎｉｆフォトリソグラフィローリングエッジ（ｒｏｌｌｉｎｇ  ｅｄｇｅ）ダイヤフラムポンプ等の高性能のポンプを、化学物質を直接混合および分注するために使用可能である（ＥｎｔｅｇｒｉｓおよびＩｎｔｅｌｌｉＧｅｎはＥｎｔｅｇｒｉｓ，Ｉｎｃ．ｏｆ  Ｃｈａｓｋａ，Ｍｉｎｎｅｓｏｔａの商標である）。米国特許出願番号第１１／０５１，５７６号、第１１／６０２，４７２号、第１１／０５４，４６７号、第１１／２２９，９１２号、第１０／９１５，８５３号、第１１／５０２，０４８号、第１１／６５９，７１０号、第１１／６６６，１２４号、第１０／５２１，６９７号、第１１／２９２，５５９号、第１１／３６４，２８６号、第６０／８６１，８５６号、第１１／３６５，３９５号、第１１／３８６，４２７号、第１１／２７３，０９１号、第１１／６０２，４６４号、第１１／６０２，４６５号、第１１／６０２，４８５号、第１１／６０２，５１３号、第１１／６０２，４５７号、第１１／６０２，５０７号、第１１／６０２，５０８号、第１１／６０２，４４９号、第１１／３５３，２９４号、第１１／５０２，７２９号、および第１１／４５２，７５４号は、ネットワークインターフェースデバイス７０が遠隔通信し得るポンプについて記載しており、これらは、本明細書に参照として全てが組み込まれる。例えば、ＩｎｔｅｌｌｉＧｅｎ  Ｍｉｎｉポンプは、混合および分注動作、さらにその他の動作（アイドル時間を含む）についてのデータを提供できる。ＩｎｔｅｌｌｉＧｅｎ  Ｍｉｎｉの場合、ポンプ動作中にデータを収集できる。ポンプから収集できるデータの実施例には、タイムスタンプ、サイクル数、全サイクル数、容積容量、ポンプの収容容積、流入速度、排出速度、最大流入速度、最大排出速度またはポンプコントローラによって提供可能なその他のデータを含む。収集されたデータは、エラー検知、システム性能の分析、プロセスの向上、ポンプ故障の検知およびポンプ保守サイクルの予知等の異なる目的で有用となり得る。
【００１７】
製造システムで通常みられる工場のポンプインターフェースデバイスは、リモートアクセスまたはデータベース能力を有しないか、あるいはアクセスはＭＭＩに制限され得る。半導体製造の場合、製造プロセス中のポンプを遠隔監視できないということは、システムにアクセスする必要がある要員が専用の作業着を着込んでクリーンルームへ入室しなければならないことを意味する。対照的に、本明細書中に開示される実施形態では、ユーザが製造システムのポンプに遠隔アクセスできることを可能にし、これは、クリーンルームのすぐ外から、何千マイルも離れた部屋までであり得る。システムをインターネット等の公衆ネットワークへ接続することによって、その他の建物、部署等からアクセスできる。例えば、ある建物にいる保守要員が、別の建物のポンプに定期的にアクセスし得る。保守要員は、ポンプの保守履歴、ポンプで実行されるサイクル数についての情報、またはその他の情報を判断するためにポンプにアクセスし得る。この情報は、業務の優先順位を決定するために保守要員によって使用され得、保守スタッフが持ってくるべきツールまたはパーツについての情報を提供し得、保守スタッフが作業中のエリア付近のマシンの予防的保守を実行できるように、付近の構成要素の情報を提供し得る。
【００１８】
いくつかの実施形態は、所定のポンプの情報を自動的にデータベースまたは工場オートメーションシステムにプッシュ配信するまたはプル配信することを可能にする。工場オートメーションシステムは製造ロボットのワークフローを監視するためにデータベースを使用し、これによって、リモートユーザが、特別なソフトウェアなしにまたは各顧客のためにサーバを設定することなしに、工場オートメーション（ＦＡ）システムとのインターフェースを得ることができる。本明細書中で開示されている実施形態は、顧客の工場オートメーション（ＦＡ）と統合し得る。本明細書中に記載されている種々の実施形態はポンプ制御プロトコルに従って、ポンプのためのリモートネットワークインターフェースデバイスを提供し、データベースのクエリプロトコルに従ってデータベースへデータを提供する。これによって、ポンプの無人のポーリングおよびポンプデータのデータベースへの統合が可能になる。データは、ネットワークインターフェースデバイスによって開始されるプッシュ配信またはコマンドに応答するプル配信として、データベースに提供可能である。本明細書中に開示されている実施形態はさらに、研究用アプリケーションまたは特別な顧客アプリケーションで有用であり得るモジュラー開発プラットフォームを提供でき、さらに抽象レイヤを提供でき、これは、ユーザが、再構成の必要なく、半導体製造プロセスに関連するその他の装置、構成要素、およびプロダクトと通信できるようにすることで、業界標準の統合を可能にする。
【００１９】
本明細書中に開示されている実施形態は、ネットワークインターフェースデバイスに一般的なソリューションを提供することで、顧客ソリューションの必要性を排除または低減させる。一実施形態では、ネットワークインターフェースデバイスは、高性能のポンプまたはＩｎｔｅｌｌｉＧｅｎ  Ｍｉｎｉポンプシステム等のポンプシステムをコンピュータにリンクさせ、これによって、非公開または公衆コンピュータネットワークに常駐するデータベースサーバを介してネットワーク展開できる。ユーザがユーザ名およびパスワードによってネットワークインターフェースデバイスにログインすることを可能にする、ウェブベースのアプリケーションによってアクセスし得る。ユーザは、ポンプの状態をチェックする等のために、ネットワークインターフェースデバイスと直接対話し得、または情報を自動的にデータベースにプッシュ配信またはプル配信できるように、データベースサーバ言語を使用してコマンドを送信し得る。
【００２０】
本発明のシステムおよび方法の実施形態は、図１を参照してより詳細に説明することができ、これは、ネットワーク５０に連結され、さらに製造システム１００のポンプ７５に接続されるポンプ・コンピュータネットワークインターフェースデバイス７０の一実施形態を示す。いくつかの実施形態では、デバイス７０の他の実施形態はネットワーク５０に接続し得る。デバイス７０は埋め込みサーバであり得る。ネットワーク５０に接続されるリモートユーザ１５０は、製造システム１００に配置されるネットワークインターフェースデバイスにコマンドを送信し得る。リモートユーザ１５０によって送信されるコマンドは、ポンプ７５との直接通信を実現し得る。例えば、リモートユーザ１５０によって送信されるコマンドは、ポンプ７５をオンにし、ポンプ７５の状態をリクエストし、ポンプ７５をオフにする等し得る。リモートユーザ１５０によって送信されるコマンドは、各ポンプ７５のデータを毎日送信する命令、ポンプ７５が所定のプロセスを開始した時を知らせる命令等を含み得る。データベースサーバ１５５は、製造システム１００に関連する情報のデータベースを保守できる。
【００２１】
いくつかの実施形態では、ネットワークインターフェースデバイス７０は、流体の流れの特性、温度および構成を制御するために、プロセス中にポンプ７５と通信するために使用し得る。一実施形態では、ネットワークインターフェースデバイス７０は、ＩｎｔｅｌｌｉＧｅｎ  Ｍｉｎｉポンプシステムまたはその他のポンプシステムおよびプロダクトへのリモートネットワークベースのアクセスを提供するように動作可能である。一実施形態では、ネットワーク５０へアクセスできるユーザ１５０はネットワークインターフェースデバイス７０にアクセスでき、ポンプ７５について、またはシステム１００がどのように動作しているかの特化した情報をリモート位置から取得できる。ネットワークインターフェースデバイス７０によって情報を「プッシュ配信」し得、またはネットワークインターフェースデバイス７０に連結されるサーバによって「プル配信」し得る。情報には、分注サイクル、サイクル数、ポンプ名またはその他のＩＤ、タイムスタンプ、レシピ番号、レシピ量、分注確認スコア、および分注プロファイルのそれぞれについての情報を含み得るが、これに限定されない。アラーム、警告および通知は、ポンプ７５からネットワークインターフェースデバイス７０へプッシュ配信可能な情報のいくつかの例である。情報は、電子メールまたはインスタントメッセージングを介してユーザ１５０にプッシュ配信し得る。例えば、ポンプ７５が選択した流体量を排出しなかったということを示す情報を、リモートユーザ１５０へのインスタントメッセージングを介して送信し得る。いくつかの実施形態では、ネットワークインターフェースデバイス７０は、第１の通信を介して選択した情報を送信し、その他の選択した情報を第２の通信を介して送信するように構成し得る。情報は、１つ以上のウェブアプリケーションにアクセスするユーザ１５０によってプル配信し得る。いくつかの実施形態では、リモートユーザ１５０は、ウェブページを使用し、およびこれをナビゲーションして、ネットワークインターフェースデバイス７０にログオンし、これと通信し得る。
【００２２】
動作において、ネットワークインターフェースデバイス７０は、ポンプ７５によって使用されるコマンドプロトコルに従って、ポンプ７５にクエリを実行できる。ある場合には、ネットワークインターフェースデバイス７０は、リモートユーザ１５０またはデータベースサーバ１５５からネットワーク５０を介して通信を受信し得る。通信はコマンドまたはクエリを含み得る。例えば、コマンドはポンプ７５から流体を分注する命令を含んでもよく、クエリはポンプ７５における流体の量を決定する命令を含み得る。コマンドはポンプ７５に関連付けられたプロトコルに従ってサポートし得、またはいくつかのその他のプロトコルに従ってサポートし得る。その他の場合、ネットワークインターフェースデバイス７０はポンプ７５によって使用されるコマンドプロトコルに従ってポンプ７５からデータをリクエストでき、ユーザ１５０またはデータベースサーバ１５５へデータをプッシュ配信できる。データをデータベースサーバ１５５へプッシュ配信する実施例において、ネットワークインターフェースデバイス７０は、ＳＱＬ、．ＱＬ、ＣＱＬ、ＣＯＤＡＳＹＬ、Ｄ、ＩＳＢＬ、ＯＱＬ、ＱＵＥＬまたはその他のクエリ言語を含むがこれに制限されない、データベースサーバ１５５によってサポートされるクエリ言語を使用してデータをプッシュ配信するように構成できる。その結果、ネットワークインターフェースデバイス７０はポンプ７５から自動的にデータを収集し、リモートデータベースに投入できる。
【００２３】
いくつかの実施形態では、リモートユーザ１５０は、コマンドをポンプ７５に直接送信し、ポンプ７５から直接応答を受信するために、ネットワークインターフェースデバイス７０を使用し得る。図２は、ポンプ７５のプロトコルを使用して、ポンプ７５と直接通信するために、ネットワークインターフェースデバイス７０を使用する方法の一実施形態の工程図を示す。したがって、リモートユーザ１５０は、ポンププロトコルに従ってコマンドを生成するように動作可能なコンピュータを使用し得る。ステップ２１０において、ポンプ７５に適切なプロトコルを使用するコマンドがリモートユーザ１５０によって生成され、適切なネットワークプロトコルを使ってネットワークインターフェースデバイス７０に送信され得る。インターネットプロトコルバージョン４（ＩＰｖ４）は、リモートユーザ１５０からネットワークインターフェースデバイス７０へコマンドを送信するために使用し得るネットワークプロトコルの一例である。
【００２４】
ステップ２２０において、ネットワークインターフェースデバイス７０はコマンドを受信し、適切なトランスポートプロトコルを使ってコマンドをポンプ７５に転送し得る。したがって、インターネットプロトコルを利用してユーザ１５０によってコマンドが送信される場合、データは、種々のインターネットプロトコルレイヤから抽出、アンラップ（ｕｎｗｒａｐｐｅｄ）、または分離され、製造システム１００に関連付けられたプロトコルを使用して転送され得る。いくつかの実施形態では、シリアルトランスポートプロトコルを、一実施形態によってコマンドをポンプ７５に転送するために使用し得る。いくつかの実施形態では,ネットワークインターフェースデバイス７０は、コマンドまたはクエリを、選択した時刻に、ある時間間隔で、選択した回数、またはいくつかのその他の基準で選択したポンプ７５に送信し得る。例えば、リモートユーザ１５０は、プロセスにおいて特定の間隔で情報を受信するためにコマンドを送信し得る。ネットワークインターフェースデバイス７０は、ＭＭＩコマンドを構築し、プロセスが生じるたびに同時にコマンドを送信し得る。情報は各プロセスと同時に記録されるため、情報は製造プロセスの分析に有用であり得る。同様に、ネットワークインターフェースデバイス７０は、システム１００において流体を充填、混合、分注または加工するようにポンプ７５に通信するために、選択した間隔で一式のコンピュータ実行可能命令を実行するように動作可能であり得る。
【００２５】
ステップ２３０において、ポンプ７５は、コマンドを受信し、コマンドに応答し得る。コマンドはポンプ７５の状態の情報のリクエストであり得、ポンプ７５はポンプ７５の状態の情報を提供することで応答し得る。コマンドはポンプ７５をオフにするリクエストであり得、ポンプ７５はオフにすることで応答し得る。その他のコマンドは、排出速度、流入速度等のポンプパラメータの変えること、気体通気させること、ポンプ７５に取り込まれるかまたはここから排出される量を変えることを含み得る。
【００２６】
図３は、コマンドをポンププロトコルコマンドに翻訳することによって、ポンプ７５と直接通信するためにネットワークインターフェースデバイス７０を使用する方法の一実施形態を示す。
【００２７】
ステップ３１０において、第１のプロトコルを使用するコマンドをリモートユーザ１５０によって生成し、適切なネットワークプロトコルを使ってネットワークインターフェースデバイス７０に送信し得る。インターネットプロトコルバージョン４（ＩＰｖ４）は、コマンドをリモートユーザ１５０からネットワークインターフェースデバイス７０へ送信するために使用し得るネットワークプロトコルの一例である。
【００２８】
ステップ３２０において、ネットワークインターフェースデバイス７０は、コマンドを受信し、ポンプ７５の適切なＭＭＩプロトコルにコマンドを翻訳し、適切なトランスポートプロトコルを使ってコマンドをポンプ７５に転送し得る。したがって、ユーザ１５０によって、インターネットプロトコルを使ってコマンドが送信された場合、データは、種々のインターネットプロトコルレイヤから抽出、アンラップ、または分離し得る。データは次いで、ポンプコマンドプロトコルで１つ以上のコマンドを生成し、適切なトランスポートプロトコルを使ってポンプ７５に転送するために、ネットワークインターフェースデバイス７０によって使用され得る。
【００２９】
ステップ３３０において、ポンプ７５はコマンドを受信し、コマンドに応答し得る。前述のように、コマンドはポンプ７５の状態についての情報のリクエストであり得、ポンプ７５はポンプ７５の状態についての情報を提供することで応答し得る。コマンドはポンプ７５をオフにするリクエストであり得、ポンプ７５はオフにすることで応答し得る。その他のコマンドは、排出速度、流入速度等のポンプパラメータを変えること、気体通気すること、ポンプ７５への吸入または排出量を変えること、データがデータベースサーバ１５５へ送信される時を設定すること等を含み得る。
【００３０】
図４乃至図９は、グラフィカルユーザインターフェース（「ＧＵＩ）の実施形態のスクリーンショットを示す。リモートユーザ１５０は、テキスト、グラフィックアイコン、視覚的なインジケータ、ウィンドウおよびテキストボックスによって、ネットワークインターフェースデバイス７０と対話するために、ＧＵＩを使用し得る。図４は、動的ホスト構成プロトコル（ＤＨＣＰ）４１０の選択による等、ユーザが設定を自動的に決定し得る、または、ポート４１２、ＩＰアドレス４１４、ネットマスク４１６、ホスト名４１８またはゲートウェイ４２２を指定することによって静的ネットワーク設定４２０を手動で決定し得る、ネットワークセットアップアプリケーションＧＵＩの一実施形態のスクリーンショットを示す。ＧＵＩは、ユーザが、ＩＤ（Ｅｎｔｅｇｒｉｓ．ｃｏｍ等）４２４またはコンピュータ認識可能ＩＤにＩＤをマップ可能な名前サーバ４２６を検索することを可能にし得る。
【００３１】
図５は、単純なネットワークＭＭＩの一実施形態のスクリーンショットを示す。いくつかの実施形態では、ＧＵＩは、テキストを含むメニュー５０１を有し得る。各テキストは関連付けられたリンクを有し得る。例えば、メニュー５０１の「バージョン」というテキスト５０３を選択（すなわち、「クリック」）することにより、対応するＧＵＩがＧＵＩのウィンドウ５０４に表示される。ウィンドウ５０４のＧＵＩはテキストボックス５１２、５１３、５１４および５１５を含み得る、またはその他のドロップダウンボックス、ウィンドウ等（図示せず）を有し得る。図５に示されるように、テキストボックス５１２は、ユーザがポンプＩＤまたはハードウェア製造番号を入力することを可能にし、テキストボックス５１４は、ユーザが電子機器ＩＤまたは電子機器ボード製造番号を指定することを可能にし、テキストボックス５１６は、ユーザがモデルまたはモデル名を指定することを可能にし、テキストボックス５１５は、ユーザがバージョンまたはバージョン文字列を指定することを可能にする。その他の名前、番号またはその他のＩＤも可能である。
【００３２】
図６は、リモートポンプを選択するための一実施形態を示すＧＵＩのスクリーンショットを示す。いくつかの実施形態では、ユーザは、テキストボックス６０１へのテキスト入力等の情報の手動入力によって、ネットワークインターフェースデバイス７０のアドレスを指定し得、または、ネットワークインターフェースデバイス７０を配置するためにネットワークをブラウズし得る。いくつかの実施形態では、テキストボックス６０２のネットワークポート（すなわち、８８８８）等の情報は、手動で入力し得る。いくつかの実施形態では、ＧＵＩは、ドロップダウンボックス６０３からの通信ポート（すなわち、ＣＯＭ１）の選択のため等、ドロップダウンメニューからの情報の選択を可能にし得る。同様に、アドレスは、ドロップダウンメニュー６０４から選択し得る。したがって、ポンプは、ネットワークインターフェースデバイス７０と通信するためにシステム１００に追加され得る。
【００３３】
図７は、システム１００の現在のリモートＭＭＩを表示するＧＵＩの一実施形態のスクリーンショットを示す。ＧＵＩは、各構成要素７２０の名前７１０および接続７３０を表示し得る。したがって、ユーザは、「Ｓｉｎｇｌｅ  Ｓｔａｇｅ  Ｌ」という名前のＩｎｔｅｌｌｉＧｅｎ  Ｍｉｎｉポンプ７２０は接続「ｂｉｌ−ｌｉｆｅｔｅｓｔ：８８８８／ＣＯＭ３−９」を使用して通信できることがわかる。
【００３４】
図８は、リモートポンプの状態のＧＵＩの一実施形態のスクリーンショットを示す。いくつかの実施形態では、図８のスクリーンショットに示されるもの等のＧＵＩをリモートユーザ１５０に送信（電子メールによる等）し得、またはユーザ１５０によってアクセスできるように表示し得る。実施形態は、エラーコード８１０、テキストボックス８２０および８３０を表示し得、ボタン８５０、ウィジェットまたはユーザがシステム１００と通信するためにＧＵＩを直接操作できるようにするその他のグラフィカルな要素を含み得る。エラーコード８１０は、システムの状態またはシステムの構成要素の素早い視覚的表示を提供し得る。テキストボックス８２０および８３０は、システム情報、レシピ情報、性能等に関連する情報を提供し得る。ボタン８５０は、ユーザがレシピまたはシステム、ポンプ７５をプライミングし、リアルタイムの状態を表示し、アラーム等を表示することを可能にし得る。
【００３５】
任意のＧＵＩ（「ページ」とも称される）へのアクセスを、システムの望ましくない修正を防止するために制限し得る。その他のページにナビゲートするためにメインページにアクセスし得る。全てのポンプ７５のリストおよび各ポンプの状態についての情報を表示するために、メインページにアクセスし得る。
【００３６】
選択したポンプ７５の情報を表示するために、ポンプページにアクセスし得る。情報には、名前、ポート／アドレス、状態およびアラーム状態を含み得る。いくつかの実施形態では、ユーザ１５０は、メインページからポンプ７５にアクセスし、ポンプ７５をセットアップし、プロセス時のポンプ７５を監視し、ポンプ７５のパラメータを変更し、ポンプ７５を作動させ得る。実施例として、本明細書中に開示されている実施形態によって、ユーザ１５０は、レシピをプログラムするためにポンプ７５を選択し、ポンプ７５が動作するシステムおよびポンプ７５を表示し、およびプライミングすることが可能になる。
【００３７】
プロセスに関連するプロセスについての情報を伝達するために、レシピページを使用し得る。ユーザ１５０は、化学物質を各ポンプに取り入れる際、および各化学物質を各ポンプから排出させる際、関連するプロセスについての情報を表示し得、プロセスに関連する各化学物質の量を指定するためにレシピをプログラムし得る。レシピは、その他の化学物質を作成するための化学物質の混合、その他の濃度を作成するための異なる濃度の同一の化学物質の混合、熱を追加するまたは化学物質から熱を抽出するための異なる温度の化学物質の混合、および流体からの気体の放出を含み得る。レシピページは、さらに手動動作を可能にし得、化学物質を分注するためのオプションを含み得る。
【００３８】
システムページは、システムについての情報を通信するためにアクセスし得、システムパラメータについての情報を含み、ユーザ１５０がコードをリセットし、情報をクリアすること等を可能にするための機能を提供し得る。図９は、リモートポンプのリアルタイム表示の一実施形態のスクリーンショットを示す。図９は、ユーザが、リアルタイムのディスプレイにおいてポンプ動作を確認し、リモート位置からポンプと対話的に通信することを可能にする、コンピュータインターフェース１００の一実施形態のスクリーンショットを示す。システムページ２０１は、増分２１２によって示される量を有し得る流体２１３を有するポンプ２１０を示す。製造プロセスのシステム１００に流入する流体は、流入弁２４０を介してシステム１００に流入し得る。図９において、流入口２４０は、ボックス２４０の「Ｘ」によって閉じた状態に示されている（すなわち、流体はシステム１００に流入できない）。流体はポンプ２１０によって排出し、遮断弁２５０を通過してフィルタ２８０に流入し得る。遮断弁２５０はさらに、「Ｘ」で閉じた状態で示されている。フィルタ２８０は、液面を表示するための別の方法を示す。増分（ポンプ２１０の増分２１２等）を使用する代わりに、フィルタ２８０内の容量を、テキスト２８６で表し得る（すなわち０．１０リットル）。フィルタ２８０は、名前２８２、サイクル数２８４またはいくつかのその他の情報等のその他の情報を有し得る。流体は、フィルタ２８０から出て、通気弁２３０またはタンク２２０へのバリア２６０のいずれかを通過して流れ出得る。システムページ２０１に示されているように、通気弁２３０は閉じられ、バリア２６０はボックス２６０内の丸で開いた状態で示されている。ポンプ２２０の容量は、流体２２３の液面を増分２２２の読み取りによって示すことができるように、ポンプ２１０と同様に示されている。流体は、ポンプ２２０から流体が排出され、システムページ２０１では閉じた状態で示されている、流出口２７０を通じてシステム１００から排出され得る。システムページ２０１は、リモートユーザに有用となり得るその他の情報を示す。準備完了のインジケータ２０２、エラーインジケータ２０４および警告インジケータ２０６は、ユーザにシステム１００の状態を告げることができるように、システム１００の状態についての情報を提供し得る。いくつかの実施形態では、エラーインジケータ２０４または警告インジケータ２０６が作動している場合、さらなる情報を提供し得、これは、ウィンドウ２９５内のテキストまたはウィンドウ２９０内のグラフィカル表示を含み得る。システム１００は、ユーザが関連する情報を表示できるようにするために、オプション２１４、２１６、２１８または２１９を提供し得る。オプション２１４は、ユーザが過去のアラームを表示すること、またはシステム１００の履歴を見直すことを可能にし得る。オプション２１６は、ユーザが分注プロファイルまたはシステム１００に関するその他のプロセスをグラフ表示することを可能にし得る。オプション２１８は、システム１００をテストするため等、ユーザがシステム１００をナビゲートすることを可能にし得る。オプション２１９は、ユーザがホームページに戻ることを可能にするか、またはその他の高レベルのオプションにナビゲートすることを可能にし得る。したがって、本明細書中に開示されている実施形態は、リモートユーザ１５０が状態またはその他の情報のためにシステム１００の構成要素と通信することを可能にし得、レシピまたはその他のプロセスをセットアップ、修正または削除するために、またはシステム１００の構成要素をテストまたは較正するために、構成要素と通信し得る。
【００３９】
プライミングページはプライミング動作の状態を提供でき、さらに、プライミング動作の修正を可能にし得る。プライミング動作は、プライミングページから開始し得る。
【００４０】
ユーザ５０がポンプ７５に直接アクセスすることを可能にするのに加えて、ネットワークインターフェースデバイス７０は、ユーザ５０によってアクセスできるリモートデータベースサーバへ異なる種類のデータをプッシュ配信し得る。種々の種類のデータが、ポンプ７５によってネットワークインターフェースデバイス７０へプッシュ配信されるデータに含まれ得る。タイムスタンプは、ユーザ５０が、情報が記録された時点またはデータベースサーバ１５５にプッシュ配信された時点を知ることを可能にする任意のデータであり得る。サイクル、名前、イベントコード、イベントテキスト、およびトリガは、ポンプ７５についての情報がポーリングされるべき時を示すデータを含み得る。例えば、ユーザは、ポンプ７５が０．１０リットルより多く排出する場合は常に、ポンプ７５の性能についての情報がポーリングされるように、イベントコードを設定し得る。トリガは、既定のデータがネットワークインターフェースデバイス７０に送信され得るように、有効化され得る。トリガは、サイクルカウント増分、最近のログイベント増分、パワーアップイベント、リセットイベント、プライミングイベント、警告イベントおよびエラーアラームを含み得るが、これに限定されない。例えば、各分注サイクルにおいて、ネットワークインターフェースデバイス７０は、サイクルカウンタの変化を認識し、タイムスタンプ、サイクル数、レシピおよびレシピ量等の情報を得るようにポンプ７５に指示し得る。複数のトリガをネットワークインターフェースデバイス７０によって提供されるページにおいて確立し得、不揮発性ストレージに記憶し得る。
【００４１】
レシピ、レシピ名、レシピ量、最大分注圧力、ＤＣ値、および分注プロファイルという用語は、概して、ポンプ７５の性能についての情報を指し得る。例えば、分注プロファイルを、レシピのためにプログラムされたものに対する最大分注圧力と比較することにより、ユーザは、ポンプ７５に較正が必要なことを決定し得る。
【００４２】
製造番号、モデル、ファームウェアバージョン、総容量、フィルタ容量、フィルタサイクルおよびプライミングシーケンスという用語は、概してポンプ７５についての情報を指し得る。例えば、製造番号および型番は、ポンプ７５を、ポンプ７５の予想される寿命を推定するためにほぼ同一時期に製造されたその他のポンプとの比較のために使用し得る。
【００４３】
無人モードにおいて、ネットワークインターフェースデバイス７０は、ポンプ７５の性能についての情報を得るためにポンプ７５をポーリングし得る。情報にはタイムスタンプを含み得る。タイムスタンプが変っていない場合、その他の情報は必要でない場合がある。タイムスタンプが変更っている場合、レシピ、ポンプ７５がオンであるサイクル等のその他の情報およびレシピ量を、ネットワークインターフェースデバイス７０に送信し得る。
【００４４】
ネットワークインターフェースデバイス７０は、コマンドを生成するか、またはポンプ７５へコマンドを転送し、ポンプ７５から情報を取得し、データベースに投入するために適切なクエリ言語に従って情報をフォーマット化し得る。図１０は、データベースサーバおよびその他のオプションへデータを転送するためのコードを含む例示的なファイルを示す。本実施形態において、データベースサーバはＳＱＬサーバであり得る。
【００４５】
図１０は、ネットワークインターフェースデバイス７０の一実施形態のハードウェア構成の概要を示す。ネットワークインターフェースデバイス７０は、中央処理装置（「ＣＰＵ」）１１２、読み出し専用メモリ（「ＲＯＭ」）１１４、ランダムアクセスメモリ（「ＲＡＭ」）１１６、およびハードドライブメモリ（「ＨＤ」）１１８を含み得る。一実施形態では、ネットワークインターフェースデバイス１００は、フラッシュメモリ等の少なくとも１つの不揮発性メモリ、一式の命令を記憶するため等の読み出し専用メモリ、それらを実行するための少なくとも１つのプロセッサを含む。
【００４６】
ネットワークインターフェースデバイス７０は、監視対象のシステムのポンプ７５との通信またはネットワーク５０とのインターフェースのための１つ以上の通信ポート１４０を含み得る。ネットワークインターフェースデバイス７０は、製造プロセスにおけるポンプまたはその他のデバイスとの通信のための通信ポート１４０を含み得る。通信ポート１４０は、ＲＳ−２３２およびＲＳ−４２２ポートまたはいくつかのその他のシリアルまたはパラレル通信ポートであり得る。通信ポート１４０はイーサネット（登録商標）インターフェース等のネットワーク通信ポートまたはその他のネットワーク通信ポートにすることができる。一実施形態では、ネットワークインターフェースデバイス７０は、パラレルポートまたはユニバーサルシリアルバスポート等のさらなるポート、プロセッサ、またはデータストレージデバイスを含み得る。
【００４７】
本明細書中に開示されている方法の一部は、ＲＯＭ１１４、ＲＡＭ１１６またはＨＤ１１８内に常駐し得る、適したソフトウェアコードで実装し得る。命令は、ＨＤ１１８等のデータストレージデバイスに含み得る。図１１は、ＨＤ１１８上のデータ処理システム読み取り可能媒体２０２内で具体化されるソフトウェアコードエレメント２０４、２０６、および２０８の組み合わせを示す。代替として、命令は、ＤＡＳＤアレイ、磁気テープ、フロッピー（登録商標）ディスケット、光ストレージデバイス、またはその他の適切なデータ処理システム読み取り可能媒体またはストレージデバイス上のソフトウェアコードのエレメントとして記憶し得る。
【００４８】
本発明の例示的な実施形態において、コンピュータ実行可能命令は、コンパイルされたＣ＋＋、Ｊａｖａ（登録商標）またはその他の言語コードの文字列であり得る。図１２は、データベース言語を使用してデータベースサーバへとデータを転送するためのコードを有するファイルを示す。また、その他のアーキテクチャを使用し得る。例えば、いずれか１つのコンピュータの機能を、図１０に示される異なるコンピュータによって実行し得る。加えて、こうしたコードを有するコンピュータプログラムまたはそのソフトウェア構成要素は、２つ以上のコンピュータにおいて２つ以上のデータ処理システムで読み込み可能な媒体に埋め込みし得る。
【００４９】
種々のハードウェア構成において、種々のソフトウェア構成要素は、単一のサーバコンピュータまたは別個のサーバコンピュータの任意の組み合わせで常駐し得る。別の実施形態において、ソフトウェア構成要素のうちのいくつかまたは全ては、同一のサーバコンピュータに常駐し得る。
【００５０】
前述の明細書において、本発明は特定の実施形態を参照して記載されている。しかしながら、当業者は、本発明の精神および範囲から逸脱することなく種々の修正および変更が実行可能であることを理解されよう。従って、付録を含む、明細書および本明細書中に開示される図は、限定的意味ではなく例示の目的と解釈すべきであり、かかる全修正は、本発明の範囲内に含まれることを意図している。
【００５１】
効果、その他の利点および課題の解決法について、特定の実施形態に関し、上に記載した。しかしながら、利点、または問題の解決法、およびいずれかの効果、利点、または解決法をより明確にし得る要素は、いずれかのまたは全ての請求項の決定的、必須、または本質的な特徴または要素として解釈すべきではない。
【図１】
2010526381.tif 000003
【図２】
2010526381.tif 000004
【図３】
2010526381.tif 000005
【図４】
2010526381.tif 000006
【図５】
2010526381.tif 000007
【図６】
2010526381.tif 000008
【図７】
2010526381.tif 000009
【図８】
2010526381.tif 000010
【図９】
2010526381.tif 000011
【図１０】
2010526381.tif 000012
【図１１】
2010526381.tif 000013
【図１２Ａ】
2010526381.tif 000014
【図１２Ｂ】
2010526381.tif 000015
【手続補正書】
【提出日】平成22年1月5日(2010.1.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
いくつかの実施形態では、一式のコンピュータ実行可能命令は、クエリ言語を使ってデータベースと通信するように動作可能である。本明細書中に開示されている実施形態は多くの利点を提供できる。例えば、ネットワークインターフェースデバイスは、設定および構成のためのポンプへのリモートアクセス、これをオンサイトで行うための必要性／コストの排除または低減を実現できる。別の例として、ネットワークインターフェースデバイスは、無人のデータ収集および顧客の工場オートメーションデータベースへの提示を提供し、これを手動で行う必要性／コストを排除または低減できる。さらに別の例として、ネットワークインターフェースデバイスは、改良の目的において有益である、ポンプ機能のより容易な診断および可視性を提供できる。
（項目１）
ネットワークインターフェースデバイスであって、
１つ以上のポンプ通信ポートと、
少なくとも１つのコンピュータネットワーク通信ポートと、
一式のコンピュータ実行可能命令を記憶するための不揮発性コンピュータメモリと、
該一式のコンピュータ実行可能命令を実行するためのプロセッサであって、
該一式のコンピュータ実行可能命令は、
該１つ以上のポンプ通信ポートを介して１つ以上のポンプコントローラでサポートされるコマンドプロトコルを使用して、該ネットワークインターフェースデバイスに連結された該１つ以上のポンプコントローラと通信するように動作可能であり、該１つ以上のポンプコントローラと対話することは、該１つ以上のポンプコントローラに連結された１つ以上のポンプについての情報を取得することを含み、
該少なくとも１つのコンピュータネットワーク通信ポートを介して該ポンプ・コンピュータネットワークインターフェース装置に連結されたデータベースサーバと通信するように動作可能であり、該データベースサーバと対話することは、該１つ以上のポンプコントローラから受信された情報を該データベースサーバでサポートされるクエリ言語に従って、該データベースサーバに転送することを含む、
プロセッサと
を含む、ネットワークインターフェースデバイス。
（項目２）
前記１つ以上のポンプ通信ポートは少なくとも１つのシリアルポートを含む、項目１に記載のネットワークインターフェースデバイス。
（項目３）
前記少なくとも１つのコンピュータネットワーク通信ポートは、イーサネット（登録商標）ポートを含む、項目１に記載のネットワークインターフェースデバイス。
（項目４）
ワイヤレスネットワークインターフェースをさらに含む、項目１に記載のネットワークインターフェースデバイス。
（項目５）
前記一式の命令はさらに、前記１つ以上のポンプコントローラへのリモートアクセスを提供するように動作可能である、項目１に記載のネットワークインターフェースデバイス。
（項目６）
前記リモートアクセスは、前記少なくとも１つのコンピュータネットワーク通信ポートを介して前記ネットワークインターフェースデバイスに連結される、クライアントマシン上で作動するウェブブラウザアプリケーションを介して取得可能である、項目５に記載のネットワークインターフェースデバイス。
（項目７）
前記１つ以上のポンプについての前記情報は、サイクル数、デバイス識別子、タイムスタンプ、レシピ番号、レシピ量、分注確認スコア、分注プロファイル、またはそれらの組み合わせのうちの１つ以上を含む、項目１に記載のネットワークインターフェースデバイス。
（項目８）
前記ネットワークインターフェースデバイスは、前記１つ以上のポンプコントローラと通信して前記１つ以上のポンプコントローラを構成するように動作可能である、項目１に記載のネットワークインターフェースデバイス。
（項目９）
前記ネットワークインターフェースデバイスは、前記１つ以上のポンプについての前記情報を前記データベースサーバへプッシュ配信するように動作可能である、項目１に記載のネットワークインターフェースデバイス。
（項目１０）
前記ネットワークインターフェースデバイスはさらに、アラーム、エラーメッセージ、通知、またはそれらの組み合わせを、前記ネットワークインターフェースデバイスと通信可能に連結されるユーザデバイスに提供するように動作可能である、項目１に記載のネットワークインターフェースデバイス。
（項目１１）
前記データベースサーバは、工場オートメーションシステムの一部であり、前記ネットワークインターフェースデバイスはさらに、アラーム、エラーメッセージ、通知、またはそれらの組み合わせを、該工場オートメーションシステムに提供するように動作可能である、項目１に記載のネットワークインターフェースデバイス。
（項目１２）
前記ネットワークインターフェースデバイスは、構造化照会言語（ＳＱＬ）で前記データベースサーバと対話するように動作可能である、項目１に記載のネットワークインターフェースデバイス。
（項目１３）
前記ネットワークインターフェースデバイスは、ハイパーテキスト転送プロトコル（ＨＴＴＰ）および動的ホスト構成プロトコル（ＤＨＣＰ）をサポートするように動作可能である、項目１に記載のネットワークインターフェースデバイス。
（項目１４）
ネットワークインターフェースデバイスであって、
１つ以上のポンプと通信するための複数のポートと、
少なくとも１つのネットワーク通信ポートと、
一式のコンピュータ実行可能命令を記憶するための不揮発性コンピュータメモリと、
該一式の命令を実行するためのプロセッサであって、
該一式のコンピュータ実行可能命令は、
該１つ以上のポンプでサポートされるコマンドプロトコルを使用して、該１つ以上のポンプに連結される１つ以上のポンプコントローラと通信するように動作可能であり、該１つ以上のポンプコントローラと通信することは、該１つ以上のポンプについての情報を取得することを含み、
リモートコンピューティングデバイスと通信するように動作可能であり、該コンピュータデバイスと通信することは、該１つ以上のポンプについての該情報を該リモートコンピュータデバイスへ通信することを含む、
プロセッサと
を含む、ネットワークインターフェースデバイス。
（項目１５）
前記ネットワークインターフェースデバイスは、ワイヤレスネットワークインターフェースを介してリモートコンピュータデバイスと通信するように動作可能である、項目１４に記載のネットワークインターフェースデバイス。
（項目１６）
前記ネットワークインターフェースデバイスは、アラーム、エラーメッセージ、通知、またはそれらの組み合わせを、前記リモートコンピュータデバイスに提供するように動作可能である、項目１４に記載のネットワークインターフェースデバイス。
（項目１７）
前記ネットワークインターフェースデバイスは、構造化照会言語（ＳＱＬ）でデータベースサーバと通信するように動作可能である、項目１４に記載のネットワークインターフェースデバイス。
（項目１８）
前記ネットワークインターフェースデバイスは、前記リモートコンピューティングデバイスにおいてウェブブラウザと協働して作用し、前記１つ以上のポンプを制御するためのグラフィカルユーザインターフェースを提供するように動作可能である、項目１４に記載のネットワークインターフェースデバイス。
（項目１９）
前記ネットワークインターフェースデバイスは、第１のトランスポートプロトコルに従って前記リモートコンピューティングデバイスからコマンドを受信し、第２のトランスポートプロトコルに従って前記１つ以上のポンプへ該コマンドを転送するように動作可能である、項目１４に記載のネットワークインターフェースデバイス。
（項目２０）
前記ネットワークインターフェースデバイスは、第１のトランスポートプロトコルから前記１つ以上のポンプでサポートされる第２のコマンドプロトコルへと前記コマンドを翻訳するように動作可能である、項目１９に記載のネットワークインターフェースデバイス。
（項目２１）
第１のトランスポートプロトコルに従ってリモートコンピューティングデバイスからコマンドを受信することと、
第２のトランスポートプロトコルに従って１つ以上のポンプコントローラへ該コマンドを転送することと、
該１つ以上のポンプコントローラでサポートされるコマンドプロトコルを使用して該１つ以上のポンプコントローラと通信することであって、該１つ以上のポンプコントローラと対話することは、該１つ以上のポンプコントローラに接続される１つ以上のポンプについての情報を取得することを含む、ことと、
該ネットワークインターフェースデバイスに連結されるデータベースサーバと通信することであって、該データベースサーバと対話することは、該１つ以上のポンプコントローラからの受信情報を該データベースサーバでサポートされるクエリ言語に従って該データベースサーバへ転送することを含む、ことと
を含む、方法。
（項目２２）
前記第１のプロトコルに従って前記リモートコンピューティングデバイスから受信された前記コマンドを、前記１つ以上のポンプでサポートされる前記第２のコマンドプロトコルへ翻訳することをさらに含む、項目２１に記載の方法。
（項目２３）
前記リモートコンピュータデバイスへ、アラーム、エラーメッセージ、通知、またはそれらの組み合わせを送信することをさらに含む、項目２１に記載の方法。
（項目２４）
前記クエリ言語は、構造化照会言語（ＳＱＬ）を含む、項目２１に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ネットワークインターフェースデバイスであって、
１つ以上のポンプ通信ポートと、
少なくとも１つのコンピュータネットワーク通信ポートと、
一式のコンピュータ実行可能命令を記憶するための不揮発性コンピュータメモリと、
該一式のコンピュータ実行可能命令を実行するためのプロセッサであって、
該一式のコンピュータ実行可能命令は、
該１つ以上のポンプ通信ポートを介して１つ以上の搭載されたポンプコントローラでサポートされるコマンドプロトコルを使用して、該ネットワークインターフェースデバイスに連結された該１つ以上のポンプコントローラと通信するように動作可能であり、該１つ以上のポンプコントローラと対話することは、該１つ以上のポンプコントローラに連結された１つ以上のポンプについての情報を取得することを含み、
データベースサーバでサポートされるクエリ言語に従って１つ以上のデータベースコマンドを形成して、データベーススキーマに従って該情報を格納するように動作可能であり、
該少なくとも１つのコンピュータネットワーク通信ポートを介して該ポンプ・コンピュータネットワークインターフェース装置に連結された該データベースサーバと通信するように動作可能であり、該データベースサーバと対話することは、該データベースコマンドを該データベースサーバでサポートされるクエリ言語で該データベースサーバに転送することを含む、
プロセッサと
を含む、ネットワークインターフェースデバイス。
【請求項２】
前記１つ以上のポンプ通信ポートは少なくとも１つのシリアルポートを含む、請求項１に記載のネットワークインターフェースデバイス。
【請求項３】
前記少なくとも１つのコンピュータネットワーク通信ポートは、イーサネット（登録商標）ポートを含む、請求項１に記載のネットワークインターフェースデバイス。
【請求項４】
ワイヤレスネットワークインターフェースをさらに含む、請求項１に記載のネットワークインターフェースデバイス。
【請求項５】
前記一式の命令はさらに、前記１つ以上のポンプコントローラへのリモートアクセスを提供するように動作可能である、請求項１に記載のネットワークインターフェースデバイス。
【請求項６】
前記リモートアクセスは、前記少なくとも１つのコンピュータネットワーク通信ポートを介して前記ネットワークインターフェースデバイスに連結される、クライアントマシン上で作動するウェブブラウザアプリケーションを介して取得可能である、請求項５に記載のネットワークインターフェースデバイス。
【請求項７】
前記１つ以上のポンプについての前記情報は、サイクル数、デバイス識別子、タイムスタンプ、レシピ番号、レシピ量、分注確認スコア、分注プロファイル、またはそれらの組み合わせのうちの１つ以上を含む、請求項１に記載のネットワークインターフェースデバイス。
【請求項８】
前記ネットワークインターフェースデバイスは、前記１つ以上のポンプコントローラと通信して前記１つ以上のポンプコントローラを構成するように動作可能である、請求項１に記載のネットワークインターフェースデバイス。
【請求項９】
前記ネットワークインターフェースデバイスは、前記１つ以上のポンプについての前記情報を前記データベースサーバへプッシュ配信するように動作可能である、請求項１に記載のネットワークインターフェースデバイス。
【請求項１０】
前記ネットワークインターフェースデバイスはさらに、アラーム、エラーメッセージ、通知、またはそれらの組み合わせを、前記ネットワークインターフェースデバイスと通信可能に連結されるユーザデバイスに提供するように動作可能である、請求項１に記載のネットワークインターフェースデバイス。
【請求項１１】
前記データベースサーバは、工場オートメーションシステムの一部であり、前記ネットワークインターフェースデバイスはさらに、アラーム、エラーメッセージ、通知、またはそれらの組み合わせを、該工場オートメーションシステムに提供するように動作可能である、請求項１に記載のネットワークインターフェースデバイス。
【請求項１２】
前記ネットワークインターフェースデバイスは、構造化照会言語（ＳＱＬ）で前記データベースサーバと対話するように動作可能である、請求項１に記載のネットワークインターフェースデバイス。
【請求項１３】
前記ネットワークインターフェースデバイスは、ハイパーテキスト転送プロトコル（ＨＴＴＰ）および動的ホスト構成プロトコル（ＤＨＣＰ）をサポートするように動作可能である、請求項１に記載のネットワークインターフェースデバイス。
【請求項１４】
ネットワークインターフェースデバイスであって、
複数のポンプと通信するための複数のポートと、
少なくとも１つのネットワーク通信ポートと、
一式のコンピュータ実行可能命令を記憶するための不揮発性コンピュータメモリと、
該一式の命令を実行するためのプロセッサであって、
該一式のコンピュータ実行可能命令は、
該複数のポンプコントローラでサポートされるコマンドプロトコルを使用して、該１つ以上のポンプに連結される複数の搭載されたポンプコントローラと通信するように動作可能であり、複数のポンプコントローラと通信することは、該複数のポンプについての情報を取得することを含み、
リモートコンピュータデバイスと通信するように動作可能であり、該コンピュータデバイスと通信することは、該複数のポンプについての該情報を、該リモートコンピューティングデバイスによってサポートされるプロトコルに従って、該リモートコンピュータデバイスへ通信することを含み、
該ネットワークインターフェースデバイスはネットワーク装置として構成されている、
プロセッサと
を含む、ネットワークインターフェースデバイス。
【請求項１５】
前記ネットワークインターフェースデバイスは、ワイヤレスネットワークインターフェースを介してリモートコンピュータデバイスと通信するように動作可能である、請求項１４に記載のネットワークインターフェースデバイス。
【請求項１６】
前記ネットワークインターフェースデバイスは、アラーム、エラーメッセージ、通知、またはそれらの組み合わせを、前記リモートコンピュータデバイスに提供するように動作可能である、請求項１４に記載のネットワークインターフェースデバイス。
【請求項１７】
前記ネットワークインターフェースデバイスは、構造化照会言語（ＳＱＬ）でデータベースサーバと通信するように動作可能である、請求項１４に記載のネットワークインターフェースデバイス。
【請求項１８】
前記ネットワークインターフェースデバイスは、前記リモートコンピューティングデバイスにおいてウェブブラウザと協働して作用し、前記複数のポンプを制御するためのグラフィカルユーザインターフェースを提供するように動作可能である、請求項１４に記載のネットワークインターフェースデバイス。
【請求項１９】
前記ネットワークインターフェースデバイスは、第１のトランスポートプロトコルに従って前記リモートコンピューティングデバイスからコマンドを受信し、第２のトランスポートプロトコルに従って複数のポンプへ該コマンドを転送するように動作可能である、請求項１４に記載のネットワークインターフェースデバイス。
【請求項２０】
前記ネットワークインターフェースデバイスは、第１のトランスポートプロトコルから前記複数のポンプでサポートされる第２のコマンドプロトコルへと前記コマンドを翻訳するように動作可能である、請求項１９に記載のネットワークインターフェースデバイス。
【請求項２１】
第１のトランスポートプロトコルに従ってリモートコンピューティングデバイスからネットワークインターフェースデバイスにおいてコマンドを受信することと、
第２のトランスポートプロトコルに従って１つ以上の搭載されたのポンプコントローラへ該コマンドを転送することと、
該１つ以上のポンプコントローラでサポートされるコマンドプロトコルを使用して該１つ以上のポンプコントローラと通信することであって、該１つ以上のポンプコントローラと対話することは、該１つ以上のポンプコントローラに接続される１つ以上のポンプについての情報を取得することと、該情報をネットワークインターフェースデバイスに格納することとを含む、ことと、
該ネットワークインターフェースデバイスにおいて、データベースサーバでサポートされるクエリ言語に従って１つ以上のデータベースコマンドを形成して、データベーススキーマに従って該情報を格納することと、
該ネットワークインターフェースデバイスに連結される該データベースサーバと通信することであって、該データベースサーバと対話することは、該１つ以上のデータベースコマンドを該データベースサーバでサポートされる該クエリ言語で、該ネットワークインターフェースデバイスから該データベースサーバへ転送することを含む、ことと
を含む、方法。
【請求項２２】
前記第１のプロトコルに従って前記リモートコンピューティングデバイスから受信された前記コマンドを、前記１つ以上のポンプでサポートされる前記第２のコマンドプロトコルへ翻訳することをさらに含む、請求項２１に記載の方法。
【請求項２３】
前記リモートコンピュータデバイスへ、アラーム、エラーメッセージ、通知、またはそれらの組み合わせを送信することをさらに含む、請求項２１に記載の方法。
【請求項２４】
前記クエリ言語は、構造化照会言語（ＳＱＬ）を含む、請求項２１に記載の方法。
【国際調査報告】
2010526381.tif 000016