(57)【要約】  トラックリソグラフィツールでのウェハ臨界寸法（ＣＤ）の均一性を制御する方法が、ウェハのＣＤマップを獲得するステップを含む。ＣＤマップは、マルチゾーンヒータ幾何マップと相関された複数のＣＤデータ点を含む。マルチゾーンヒータは、複数のヒータゾーンを含む。この方法はまた、ＣＤデータ点の１つ以上に基づいて、複数のヒータゾーンの第１のヒータゾーンのＣＤ値を決定するステップと、第１のヒータゾーンの決定されたＣＤ値と、第１のヒータゾーンのターゲットＣＤ値との差を計算するステップとを含む。この方法は、計算された差と、ウェハ上に堆積されたフォトレジストの温度感度とに一部基づいて、第１のヒータゾーンの温度変化を決定するステップと、温度変化に一部基づいて、第１のヒータゾーンの温度を修正するステップをさらに含む。【選択図】  図４Ａ
2010500762.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
トラックリソグラフィツールでのウェハ臨界寸法（ＣＤ）の均一性を制御する方法であって、
複数のヒータゾーンを含むマルチゾーンヒータの幾何マップと相関された複数のＣＤデータ点を含むウェハのＣＤマップを獲得するステップと、
前記ＣＤデータ点の１つ以上に基づいて、前記複数のヒータゾーンの第１のヒータゾーンのＣＤ値を決定するステップと、
前記第１のヒータゾーンの前記決定されたＣＤ値と、前記第１のヒータゾーンのターゲットＣＤ値との差を計算するステップと、
前記計算された差と、前記ウェハ上に堆積されたフォトレジストの温度感度とに一部基づいて、前記第１のヒータゾーンの温度変化を決定するステップと、
前記温度変化に一部基づいて、前記第１のヒータゾーンの温度を修正するステップと、
を備える方法。
【請求項２】
前記獲得ステップ、ＣＤ値を決定するステップ、計算ステップ、温度変化を決定するステップ、修正ステップを１回以上繰り返すステップをさらに備える、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記繰り返しステップが、測定されたウェハＣＤを修正して、ターゲットウェハＣＤの所定の値内のウェハＣＤを獲得する、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記ウェハの前記ＣＤマップが、ＯＣＤ計測ツールを使用して獲得される、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記複数のＣＤデータ点が、前記複数のヒータゾーンより多いか、または等しい数のＣＤデータ点を備える、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記ＣＤデータ点の数が、２９以上である、請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記ＣＤデータ点の数が、６６以上である、請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記温度感度が、ＣＤと温度との間の関数関係に関連する、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
前記ＣＤ値を決定するステップが、前記第１のヒータゾーンと重なり合うＣＤデータ点を平均化する工程を備える、請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
前記ＣＤ値を決定するステップが、前記第１のヒータゾーンと重なり合う第１のＣＤデータ点セットと、前記第１のヒータゾーンと重なり合わない第２のＣＤデータ点セットとを含む加重平均値を計算する工程を備える、請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
半導体ウェハの処理中にＣＤを制御する方法であって、
第１の半導体ウェハのＣＤプロファイルを測定するステップと、
前記測定されたＣＤプロファイルとターゲットＣＤプロファイルとを比較するステップと、
前記測定されたＣＤプロファイルが、前記ターゲットＣＤプロファイルの所定の公差内にないことを決定するステップと、
前記決定ステップに基づいて、マルチゾーンベークプレートのゾーンの温度オフセットを算出するステップと、
前記マルチゾーンベークプレートのゾーンの温度設定点を修正するステップと、
前記修正された温度設定点を用いて、第２の半導体ウェハを処理するステップと、
を備える方法。
【請求項１２】
前記決定ステップに基づいて、前記マルチゾーンベークプレートの第２のゾーンの第２の温度オフセットを算出するステップと、
前記マルチゾーンベークプレートの前記第２のゾーンの第２の温度設定点を修正するステップと、
をさらに備える請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記ＣＤプロファイルが、ＯＣＤまたはＣＤ−ＳＥＭ計測ツールの少なくとも１つを用いて獲得される、請求項１１に記載の方法。
【請求項１４】
前記ＣＤプロファイルの数が、前記マルチゾーンベークプレートのヒータゾーンの数より多いか、または等しい数のＣＤデータ点を備える、請求項１１に記載の方法。
【請求項１５】
前記測定されたＣＤプロファイルが、前記ターゲットＣＤプロファイルの所定の公差内にないことを決定するステップが、前記ゾーンと重なり合う第１のＣＤデータ点セットと、前記ゾーンと重なり合わない第２のＣＤデータ点セットとを含む加重平均値を計算する工程を備える、請求項１１に記載の方法。
【請求項１６】
ウェハを受けるように構成されたファクトリインタフェースと、
複数のコートステーション、
複数の現像ステーション、および、
複数のヒータゾーンを含み、マルチゾーンベークプレートの幾何マップを特徴とするマルチゾーンベークプレートを含む熱処理ユニットを備える前記ファクトリインタフェースに連結されたプロセスモジュールと、
前記マルチゾーンベークプレート幾何マップと相関された複数のＣＤデータ点を含むウェハのＣＤマップを受けるように構成され、ウェハＣＤプロファイルを修正するために、データプロセッサを制御するための複数の命令を格納するコンピュータ可読媒体を含むコントローラと、
を備え、前記複数の命令が、
前記ＣＤデータ点の１つ以上に基づいて、前記データプロセッサに前記複数のヒータゾーンの第１のヒータゾーンのＣＤ値を決定させる命令と、
前記データプロセッサに、前記第１のヒータゾーンの前記決定されたＣＤ値と、前記第１のヒータゾーンのターゲットＣＤ値との差を計算させる命令と、
前記計算された差および前記ウェハに堆積されたフォトレジストの温度感度に一部基づいて、前記第１のヒータゾーンの温度変化を前記データプロセッサに決定させる命令と、
前記温度変化に一部基づいて、前記データプロセッサに前記第１のヒータゾーンの温度を修正させる命令とを備えるトラックリソグラフィツール。
【請求項１７】
前記ウェハの前記ＣＤマップが、前記トラックリソグラフィツールに一体化された計測ツールを用いて獲得される、請求項１６に記載のトラックリソグラフィツール。
【請求項１８】
前記ウェハの前記ＣＤマップが、前記マルチゾーンベークプレートのヒータゾーンの数より多いか、または等しい数のＣＤデータ点を備える、請求項１６に記載のトラックリソグラフィツール。
【請求項１９】
前記第１のヒータゾーンの前記決定されたＣＤ値が、前記第１のヒータゾーンと重なり合う第１のＣＤデータ点セットと、前記第１のヒータゾーンと重なり合わない第２のＣＤデータ点セットとを含む加重平均値を計算することによって決定される、請求項１６に記載のトラックリソグラフィツール。
【請求項２０】
前記第２のＣＤデータ点セットが、前記第１のヒータゾーンに隣接した境界領域と重なり合う、請求項１９に記載のトラックリソグラフィツール。
【発明の詳細な説明】
【関連出願の相互参照】
【０００１】
[0001]本出願は、２００６年８月７日に出願された米国仮特許出願第６０／８３６，３１０号および２００６年８月７日に出願された米国仮特許出願第６０／８３６，２４８号の優先権を主張し、上記出願は、あらゆる目的のために参照により本明細書に組み込まれる。
【発明の背景】
【０００２】
[0002]本発明は、一般に、基板処理機器の分野に関する。特に、本発明は、リソグラフィプロセス中に臨界寸法の制御を行うための方法および装置に関する。一例にすぎないが、本発明の実施形態は、ゾーン化されたヒータプレートを制御することによって、半導体ウェハにわたる臨界寸法の制御に応用されてきた。しかしながら、本発明の応用範囲はさらに広く、本発明は、例えば、測定ウェハに基づいたベークプレート温度の修正など、半導体基板の他のプロセスにも適用可能である。
【０００３】
[0003]最新の集積回路には、個々の素子が数百万個あり、これらの素子は、１マイクロメートルよりもはるかに小さなサイズに、集積回路を構成するシリコン、金属、および／または誘電体層などの材料をパターン化することによって形成される。このようなパターンを形成するために業界で用いられている技術は、フォトリソグラフィである。典型的なフォトリソグラフィプロセスシーケンスは、一般に、基板の表面に１つ以上の均一のフォトレジスト（レジスト）層を堆積するステップと、堆積層を乾燥し硬化するステップと、露光された層を修正するのに適した電磁放射にフォトレジスト層を露光することによって、基板をパターン化するステップと、パターン化されたフォトレジスト層を現像するステップとを含む。
【０００４】
[0004]半導体産業において、制御下で半導体ウェハを連続処理する能力を備えたマルチチャンバ処理システム（例えば、クラスタツール）において、フォトリソグラフィプロセスに関連するステップの多くが実行されることは一般的である。フォトレジスト材料を堆積（すなわち、コーティング）および現像するために使用されるクラスタツールの１つの例は、一般に、トラックリソグラフィツールと呼ばれる。
【０００５】
[0005]トラックリソグラフィツールは、典型的に、リソグラフィ処理の前後に関連するさまざまなタスクを実行するための複数のチャンバ（本明細書において、ステーションまたはモジュールと呼ばれることもある）を収容するメインフレームを含む。典型的に、トラックリソグラフィツール内には、湿式と乾式の両方の処理チャンバがある。湿式チャンバは、コートおよび／または現像ボウルを含むのに対して、乾式チャンバは、ベークおよび／またはチルプレートを収容する熱制御ユニットを含む。トラックリソグラフィツールはまた、クリーンルームから基板を受け取り、かつクリーンルームに基板を戻すための業界標準ＦＯＵＰ（正面開口式一体型ポッド）などの１つ以上のポッド／カセット搭載デバイスと、トラックツールのさまざまなチャンバ／ステーション間に基板を移送するための複数の基板移送ロボットと、基板を露光ツール内に移送して、基板が露光ツール内で処理された後に露光ツールから基板を受け取るために、ツールをリソグラフィ露光ツールに動作可能に連結させるインタフェースとを含むことが多い。
【０００６】
[0006]長年にわたり、半導体業界には半導体デバイスのサイズの縮小化という強い要望がある。特徴サイズが縮小することで、プロセス変動に対する業界の許容範囲が縮小してしまい、プロセスの均一性および反復性に対する半導体製造の仕様の要件が益々厳しいものとなった。トラックリソグラフィ処理シーケンス中のプロセス変動を最小限に抑えるさいの重要な要因は、トラックリソグラフィツールのチャンバ内で処理された基板が、基板表面全体の制御可能な（通常、空間的に均一の）臨界寸法（ＣＤ）によって特徴付けられることである。ウェハＣＤが変動すると、信頼性の問題が生じ、デバイスの歩留まりに悪影響を及ぼす可能性がある。
【０００７】
[0007]これらの要求に関して、トラックリソグラフィツールおよび他のタイプのクラスタツールを用いて、半導体処理動作中に制御可能なウェハＣＤを提供するための方法および技術が必要とされている。
【発明の概要】
【０００８】
[0008]本発明の１つの実施形態によれば、トラックリソグラフィツールでのウェハ臨界寸法（ＣＤ）の均一性を制御する方法が提供される。この方法は、ウェハのＣＤマップを獲得するステップを含む。ＣＤマップは、マルチゾーンヒータの幾何マップと相関された複数のＣＤデータ点を含む。本発明の実施形態において、マルチゾーンヒータは、複数のヒータゾーンを含む。この方法はまた、ＣＤデータ点の１つ以上に基づいて、複数のヒータゾーンの第１のヒータゾーンのＣＤ値を決定するステップと、第１のヒータゾーンの決定されたＣＤ値と、第１のヒータゾーンのターゲットＣＤ値との差を計算するステップと、計算された差およびウェハに堆積されたフォトレジストの温度感度に一部基づいて、第１のヒータゾーンの温度変化を決定するステップとを含む。この方法は、温度変化に一部基づいて、第１のヒータゾーンの温度を修正するステップをさらに含む。
【０００９】
[0009]本発明の別の実施形態によれば、半導体ウェハの処理中にＣＤを制御する方法が提供される。この方法は、第１の半導体ウェハのＣＤプロファイルを測定するステップと、測定したＣＤプロファイルとターゲットＣＤプロファイルとを比較するステップと、測定したＣＤプロファイルが、ターゲットＣＤプロファイルの所定の公差内にないことを決定するステップとを含む。この方法はまた、決定ステップに基づいて、マルチゾーンベークプレートのゾーンの温度オフセットを算出するステップと、マルチゾーンベークプレートのゾーンの温度設定点を修正するステップと、修正された温度設定点を用いて第２の半導体ウェハを処理するステップとを含む。
【００１０】
[0010]本発明のさらなる別の実施形態によれば、トラックリソグラフィツールが提供される。トラックリソグラフィツールは、ウェハを受けるように構成されたファクトリインタフェースと、ファクトリインタフェースに連結されたプロセスモジュールとを含む。プロセスモジュールは、複数のコートステーションと、複数の現像ステーションと、熱処理ユニットとを含み、この熱処理ユニットは、複数のヒータゾーンを含み、かつマルチゾーンベークプレート幾何マップによって特徴付けられたマルチゾーンベークプレートを含む。トラックリソグラフィツールはまた、ウェハのＣＤマップを受けるように構成されたコントローラを含む。ＣＤマップは、マルチゾーンベークプレート幾何マップと相関された複数のＣＤデータ点を含む。コントローラはまた、ウェハＣＤプロファイルを修正するためにデータプロセッサを制御するための複数の命令を格納するコンピュータ可読媒体を含む。複数の命令は、ＣＤデータ点の１つ以上に基づいて、複数のヒータゾーンの第１のヒータゾーンのＣＤ値をデータプロセッサに決定させる命令と、第１のヒータゾーンの決定されたＣＤ値と、第１のヒータゾーンのターゲットＣＤ値との差をデータプロセッサに計算させる命令とを含む。複数の命令はまた、計算された差およびウェハに堆積されたフォトレジストの温度感度に一部基づいて、第１のヒータゾーンの温度変化をデータプロセッサに決定させる命令と、温度変化に一部基づいて、第１のヒータゾーンの温度をデータプロセッサに修正させる命令とを含む。
【００１１】
[0011]本発明の別の実施形態によれば、トラックリソグラフィツールでウェハ臨界寸法の均一性を制御する方法が提供される。この方法は、ウェハのＣＤマップを獲得するステップを含む。ＣＤマップは、ＯＣＤ計測ツールを用いて獲得されてもよい。ＣＤマップは、複数のＣＤデータ点（例えば、６６以上のデータ点）を含む。この方法はまた、ゾーン化ヒータの幾何マップにＣＤマップを重ね合わせるステップを含む。実施形態において、ゾーン化ヒータの幾何学的形状は、複数のゾーンを含むゾーン化されたヒータに基づいたものである。この方法は、複数のＣＤデータ点の各々を複数のゾーンの少なくとも１つに割り当てるステップと、ウェハに関連付けられたフォトレジストの温度感度を決定するステップと、複数のＣＤデータ点の１つ以上に一部基づいて、複数のゾーンの少なくとも１つの温度変化を決定するステップとをさらに含む。温度感度は、ＣＤ対温度曲線の傾きに関連付けられてもよい。さらに、この方法は、温度変化に一部基づいて、複数のゾーンの１つ以上の温度を修正するステップを含む。
【００１２】
[0012]別の具体的な実施形態によれば、この方法は、獲得ステップ、重ね合わせステップ、割り当てステップ、温度変化の決定ステップ、および修正ステップを１回以上繰り返すステップをさらに含む。一例として、繰り返しステップでは、ターゲットウェハＣＤの所定の値内のウェハＣＤを獲得するために、測定されたウェハＣＤを修正する。さらに、この方法は、複数のゾーンのゾーンに関連付けられた複数のＣＤデータ点のサブセットを平均化することによって、ゾーンＣＤ平均値を与えるステップを含んでもよい。
【００１３】
[0013]本発明によって、従来の技術よりも多数の利益が達成される。例えば、本発明の実施形態により、従来の技術と比較してＣＤの均一性が高められる。さらに、実施形態により、ロット間、さらにはウェハ間レベルでの高度なプロセス制御のためのフレームワークとして使用され得るウェハ内ＣＤの均一性を調節する方法が提供される。さらに、この技術は、最適なＣＤ均一性を達成することに限定されるわけではなく、ウェハにわたった特に不均一のＣＤ分布を達成するために使用され得る。また、本明細書に記載する方法およびアルゴリズムにより、手動調節よりも少ない反復回数で、最適化された均一性プロファイルを達成できる。実施形態に応じて、これらの利益のうちの１つ以上および他の利益が達成されてもよい。これらおよび他の利益に関して、本明細書にわたってより詳細に記載し、以下の図面と関連してより具体的に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の１つの実施形態によるトラックリソグラフィツールの簡略平面図である。
【図２】本発明の１つの実施形態による集積熱ユニットの簡略斜視図である。
【図３Ａ】本発明の１つの実施形態による６つの異なる電気的に独立した加熱ゾーンを含むマルチゾーンベークプレートの一例の平面図である。
【図３Ｂ】本発明の特定の実施形態において使用される加重平均の計算を示すマルチゾーンヒータプレートの一部分の簡略図である。
【図４Ａ】本発明の１つの実施形態によるウェハＣＤプロファイルの制御方法を示す簡略フローチャートである。
【図４Ｂ】本発明の１つの実施形態による別のＣＤ制御方法を示す簡略フローチャートである。
【図５Ａ】第１の例示的なフォトレジストであるレジスト１の温度感度の簡略グラフである。
【図５Ｂ】第２の例示的なフォトレジストであるレジスト２の温度感度の簡略グラフである。
【図６】本発明の１つの実施形態によるマルチゾーンヒータプレートの簡略断面図である。
【図７】本発明の別の実施形態によるマルチゾーンヒータプレートの簡略断面図である。
【図８】本発明の１つの実施形態による適応ヒータ表面を示す簡略図である。
【図９】本発明の１つの実施形態による、加熱ガスをベークチャンバに導入するための装置の簡略図である。
【図１０Ａ】本発明の１つの実施形態による、第１の位置でペデスタルに連結された容器を示す簡略図である。
【図１０Ｂ】本発明の１つの実施形態による、第２の位置でペデスタルに連結された容器を示す簡略図である。
【図１１Ａ】本発明の別の実施形態による、ペデスタルに連結された容器を示す簡略図である。
【図１１Ｂ】本発明のさらなる別の実施形態による、ペデスタルに連結された容器を示す簡略図である。
【図１２】本発明の１つの実施形態による集積熱制御システムを示す簡略図である。
【図１３】本発明の１つの実施形態による、ヒータプレートを急冷するための別のシステムを示す簡略図である。
【特定の実施形態の詳細な記載】
【００１５】
[0032]図１は、本発明の１つの実施形態によるトラックリソグラフィツールの平面図である。図１に示す実施形態において、トラックリソグラフィツールは、液浸スキャナに連結される。図１に、ＸＹＺの方向関係を明確にするために、ＸＹ平面が水平面として画成され、Ｚ軸が垂直方向に延びるるように画成されたＸＹＺ直交座標系がさらに示されている。
【００１６】
[0033]特定の実施形態において、トラックリソグラフィツールは、コーティングプロセスを用いることによって、反射防止（ＡＲ）およびフォトレジストフィルムを基板、例えば、半導体ウェハ上に形成するために使用される。トラックリソグラフィツールは、基板がパターン露光プロセスを受けた後に基板に現像プロセスを実行するためにも使用される。液浸スキャナに連結されてもよいトラックリソグラフィツールに実行されるさらなるプロセスは、ＰＥＢなどを含む。トラックリソグラフィツールによって処理される基板は、半導体ウェハに限定されるわけではなく、液晶ディスプレイデバイスなどのガラス基板を含んでもよい。
【００１７】
[0034]図１に示すトラックリソグラフィツール１００は、ファクトリインタフェースブロック１と、ＢＡＲＣ（底部反射防止コーティング）ブロック２と、レジストコーティングブロック３と、現像処理ブロック４と、スキャナインタフェースブロック５とを含む。トラックリソグラフィツールには、５つの処理ブロック１〜５が並列に配設されている。トラックリソグラフィツールとは別の外部装置である露光ユニット（またはステッパ）ＥＸＰが設けられ、スキャナインタフェースブロック５に連結される。さらに、トラックリソグラフィツールおよび露光ユニットＥＸＰは、ＬＡＮ線１６２を介してホストコンピュータ１６０に接続される。
【００１８】
[0035]ファクトリインタフェースブロック１は、トラックリソグラフィツールの外側から受け取った未処理基板をＢＡＲＣブロック２およびレジストコーティングブロック３に移送するための処理ブロックである。ファクトリインタフェースブロック１は、現像処理ブロック４から受け取った処理済み基板をトラックリソグラフィツールの外側へ搬送するためにも有用である。ファクトリインタフェースブロック１は、多数の（例示した実施形態の場合、４つの）カセット（またはキャリア）Ｃを受けるように構成されたテーブル１１２と、カセットＣの各々から未処理基板Ｗを取り込み、カセットＣの各々に処理済み基板Ｗを格納するための基板移送機構１１３とを含む。基板移送機構１１３は、テーブル１１２に沿ってＹ方向（水平方向）に移動可能である可動ベース１１４と、可動ベース１１４上に搭載されたロボットアーム１１５とを含む。
【００１９】
[0036]ロボットアーム１１５は、ウェハ移送動作中、基板Ｗを水平位置に支持するように構成される。さらに、ロボットアーム１１５は、可動ベース１１４に対してＺ方向に（垂直方向に）移動可能であり、水平面内で旋回可能であり、旋回半径の方向に前後に並進可能である。このように、基板移送機構１１３を使用して、保持アーム１１５は、カセットＣの各々へ接近でき、各カセットＣから未処理基板Ｗを取り込み、各カセットＣに処理済み基板Ｗを格納することができる。カセットＣは、ＳＭＩＦ（標準機械インタフェース）ポッド、格納された基板Ｗを大気に露出するＯＣ（オープンカセット）、または密閉または封止空間に基板Ｗを格納するＦＯＵＰ（正面開口式一体型ポッド）を含むタイプの１つまたは複数のタイプであってもよい。
【００２０】
[0037]ＢＡＲＣブロック２は、ファクトリインタフェースブロック１に隣接した位置に設けられる。ファクトリインタフェースブロック１とＢＡＲＣブロック２との間を大気封止するために、仕切り２０が使用されてもよい。仕切り２０には、一対の垂直方向に配設された基板レスト部３０および３１が設けられ、基板レスト部の各々は、ファクトリインタフェースブロック１とＢＡＲＣブロック２との間に基板Ｗを移送するときの移送位置として使用される。
【００２１】
[0038]再度図１を参照すると、ＢＡＲＣブロック２は、基板Ｗの表面をＡＲ膜でコーティングするように構成されたボトムコーティングプロセッサ１２４と、ＡＲ膜の形成を伴う１つ以上の熱プロセスを実行するための一対の熱処理タワー１２２と、底部コーティングプロセッサ１２４および一対の熱処理タワー１２２との間での基板Ｗの移送および受け取りを行うさいに使用される搬送ロボット１０１とを含む。コーティング処理ユニットの各々は、吸引により基板Ｗをほぼ水平位置に保持したまま、ほぼ水平面で基板Ｗを回転させるスピンチャック１２６を含む。各コーティング処理ユニットはまた、ＡＲ膜用のコーティング溶液を、スピンチャック１２６に保持された基板Ｗに塗布するために使用されるコーティングノズル１２８と、スピンチャック１２６を回転可能に駆動するように構成されたスピンモータ（図示せず）と、スピンチャック２２に保持された基板Ｗの周囲にあるカップ（図示せず）などを含む。
【００２２】
[0039]レジストコーティングブロック３は、ＢＡＲＣブロック２においてＡＲ膜を形成した後、基板Ｗにレジスト膜を形成するための処理ブロックである。特定の実施形態において、フォトレジストとして、化学増幅レジストが使用される。レジストコーティングブロック３は、ＡＲ膜の上部にレジスト膜を形成するために使用されるレジストコーティングプロセッサ１３４と、レジストコーティングプロセスを伴う１つ以上の熱プロセスを実行するための一対の熱処理タワー１３２と、レジストコーティングプロセッサ１３４および一対の熱処理タワー１３２との間での基板Ｗの移送および受け取りを行うために使用される搬送ロボット１０２とを含む。コーティング処理ユニットの各々は、スピンチャック１３６と、レジストコーティングを基板Ｗに塗布するためのコーティングノズル１３８と、スピンモータ（図示せず）と、カップ（図示せず）などを含む。
【００２３】
[0040]熱処理タワー１３２は、多数の垂直方向に積み重ねたベークチャンバおよび冷却プレートを含む。特定の実施形態において、ファクトリインタフェースブロック１に最も近い熱処理タワーは、ベークチャンバを含み、ファクトリインタフェースブロック１から最も遠い熱処理タワーは、冷却プレートを含む。図１に示す実施形態において、ベークチャンバは、垂直方向に積み重ねたベークプレートと、一時的基板ホルダを含むとともに、垂直および水平に移動してベークプレートと一時的基板ホルダとの間で基板Ｗを搬送するように構成された局所搬送機構１３４を含み、能動冷却型の搬送アームを含んでもよい。搬送ロボット１０２は、いくつかの実施形態において、搬送ロボット１０１と同一の構造のものである。搬送ロボット１０２は、基板レスト部３２および３３、熱処理タワー１３２、レジストコーティングプロセッサ１３４に設けられたコーティング処理ユニット、基板レスト部３４および３５に独立してアクセス可能である。
【００２４】
[0041]現像処理ブロック４は、レジストコーティングブロック３とスキャナインタフェースブロック５との間に位置付けられる。レジストコーティングブロック３の大気から現像処理ブロックを封止するための仕切り２２が設けられる。現像処理ブロック４は、スキャナＥＸＰ、一対の熱処理タワー１４１および１４２、および搬送ロボット１０３に露光した後に、現像溶液を基板Ｗに塗布するための現像プロセッサ１４４を含む。現像処理ユニットの各々は、スピンチャック１４６と、現像液を基板Ｗに塗布するためのノズル１４８と、スピンモータ（図示せず）と、カップ（図示せず）などを含む。
【００２５】
[0042]インタフェースブロック５は、コーティング済み基板ＷをスキャナＥＸＰに移送し、露光済み基板を現像処理ブロック５に移送するために使用される。例示した実施形態のインタフェースブロック５は、露光ユニットＥＸＰ、コーティング済み基板の周辺を露光するための一対のエッジ露光ユニットＥＥＷ、および搬送ロボット１０４との間での基板Ｗの移送および受け取りを行うための搬送機構１５４を含む。基板レスト部３９および３９は、スキャナと現像処理ユニット４との間で基板を移送するための一対のエッジ露光ユニットＥＥＷとともに設けられる。
【００２６】
[0043]搬送機構１５４は、可動ベース１５４Ａと、可動ベース１５４Ａ上に搭載された保持アーム１５４Ｂとを含む。保持アーム１５４Ｂは、垂直方向に移動し、旋回し、可動ベース１５４Ａに対して旋回半径の方向に前後に移動可能である。センドバッファＳＢＦは、露光ユニットＥＸＰが、基板Ｗを受け入れることができなければ、露光プロセス前に基板Ｗを一時的に格納するために設けられ、複数の基板Ｗを段状に格納可能なキャビネットを含む。
【００２７】
[0044]コントローラ１６０は、コンポーネントのすべておよびクラスタツールにおいて実行されるプロセスを制御するために使用される。コントローラ１６０は、一般に、スキャナ５と通信し、クラスタツールにおいて実行されるプロセスの態様をモニタおよび制御するようになっており、完全な基板処理シーケンスの全態様を制御するようになっている。典型的に、マイクロプロセッサベースのコントローラであるコントローラ１６０は、ユーザおよび／または処理チャンバの１つにあるさまざまなセンサからの入力を受信し、さまざまな入力およびコントローラメモリに保持されたソフトウェア命令に応じて、処理チャンバコンポーネントを適切に制御するように構成される。コントローラ１６０は、一般に、さまざまなプログラムを保持するためにコントローラによって利用され、プログラムを処理し、必要に応じて、プログラムを実行するメモリおよびＣＰＵ（図示せず）を含む。メモリ（図示せず）は、ＣＰＵに接続され、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）、読み出し専用メモリ（ＲＯＭ）、フロッピーディスク、ハードディスク、またはローカルまたはリモートタイプの任意の他の形態のディジタルストレージなどの容易に入手可能なメモリの１つ以上であってもよい。ソフトウェア命令およびデータは、ＣＰＵに命令を出すために、メモリ内にコード化され格納され得る。支援回路（図示せず）はまた、従来のようにプロセッサを支持するために、ＣＰＵに接続される。支援回路は、当業者によく知られているように、キャッシュ、電源、クロック回路、入出力回路、サブシステムなどを含んでもよい。コントローラ１６０によって読み出し可能なプログラム（またはコンピュータ命令）が、処理チャンバにおいてどのタスクが実行可能であるかを決定する。好ましくは、プログラムは、コントローラ１６０によって読み出し可能なソフトウェアであり、所定の規則および入力データに基づいて、プロセスをモニタおよび制御するための命令を含む。
【００２８】
[0045]本発明の実施形態による基板処理装置については、“Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ａｐｐａｒａｔｕｓ”という発明の名称の米国特許出願公開第２００６／０２４５８５５号にさらに記載されており、上記出願の内容全体は、参照により本明細書に組み込まれる。本明細書において本発明の実施形態について、図１に示すトラックリソグラフィツールに関連して記載しているが、トラックリソグラフィツールの他のアーキテクチャが、本発明の実施形態の範囲内に含まれる。例えば、デカルト座標を用いたアーキテクチャを利用したトラックリソグラフィツールは、本明細書にわたって記載するような実施形態とともに使用するのに適している。特定の実施形態において、日本国、京都のＳｏｋｕｄｏ  Ｃｏ．，Ｌｔｄ．から入手可能なＲＦ３ｉに対して実装が実行される。
【００２９】
[0046]図２は、本発明の１つの実施形態による集積熱ユニットの簡略斜視図である。集積熱ユニット２１０は、図１に示す熱処理タワーにおいて利用されてもよく、単一の集積ユニットにベークプロセスおよびチルプロセスの両方を行う。図２を参照すると、集積熱ユニット２１０は、ベークステーション２２０と、移送シャトル２３０と、チルプレート２４０とを含む。明確にするために、図２には、制御電子機器、外部ハウジング、電動式リフトなどを含む集積熱ユニット２１０のさまざまなコンポーネントは図示していない。
【００３０】
[0047]図２には完全に示していないが、集積熱ユニット２１０は、アルミニウムまたは別の適切な材料から構成される外部ハウジングを含む。ハウジングの部分が、パネル２１５によって示されている。外部ハウジングには、さまざまなベークステーションコンポーネントがコンパクトな構造で収容されたユニットが設けられる。また、外部ハウジングにより、図１に関して上述したように、トラックリソグラフィツールにおいて、複数の集積熱ユニットを互いに上下に積み重ねることができる。ハウジングは、熱ユニットとの間で基板の移送を行うことができる１つ以上の細長い開口（図示せず）を含む。１つ以上の細長い開口を封止するために、シャッタが設けられてもよい。
【００３１】
[0048]移送シャトル２３０は、ベークステーション２２０と、チルプレート２４０と、中央ロボット（図示せず）との間で基板を移送するように動作可能である。いくつかの実施形態では、チルプレート２４０に直接アクセスし、集積熱ユニット内の複数の位置で基板をロードおよびアンロードできるようにするための中央ロボットが設けられる。他の実施形態において、移送シャトル２３０は、チルプレートの上方にあるピンから、主ロボットによって置かれたウェハを取り外し、ベークプレートにウェハを移動して戻す。これらの実施形態において、移送シャトル２３０は、主ロボットによってアクセス可能である必要はない。一般に、移送シャトルは、垂直アクチュエータ２５０を作動することによって、熱ユニットの長さに沿って線形移動し、熱ユニット内で垂直方向に移動することができる。
【００３２】
[0049]一般に、図２に示すように、基板は、移送シャトル２３０の位置に対応する細長い開口を通過した後、移送シャトル２３０上に配置されることによって熱ユニットに入る。本発明の実施形態は、チルプレートの上方のピン上に配置されることによって、チャンバとの間でウェハの移送が行われてもよいため、この移送構造に限定されるわけではない。シャトルは、基板上に実行される特定の熱プロセスに応じて適切に、チルプレート２４０およびベークステーション２２０に基板を送り出す。ウェハを支持するリフトピンがシャトルの本体を貫通できるように、移送シャトル２３０に、リフトピンスロット２３２Ａおよび２３２Ｂが設けられる。移送シャトルは、集積熱ユニット内で移送シャトルを垂直方向に移動可能な垂直アクチュエータ２５０上に搭載される。
【００３３】
[0050]ベークステーション２２０は、本明細書にわたってより詳細に記述するようなクラムシェル筐体内にベークプレートを収容し、ベークプレートは、ベークプレート上に搭載された基板のさまざまな部分に制御下の加熱を与えるようになっているマルチゾーンヒータプレートであってもよい。
【００３４】
[0051]本発明の実施形態は、塗布後ベーク（ＰＡＢ）および／または露光後ベーク（ＰＥＢ）プロセスに使用するベークプレートを利用して実行される温度制御式プロセスにおいて利用される。本発明の実施形態の範囲内に温度制御構造の冷却が含まれるため、用途がこれらのプロセスに限定されるわけではない。これらの他の温度制御構造は、チルプレート、現像プレートなどを含む。当業者であれば、多くの変形例、修正例、代替例を認識する。
【００３５】
[0052]図３Ａは、本発明の１つの実施形態による電気的に独立した６つの異なる加熱ゾーンを含むマルチゾーンベークプレートの一例の平面図である。本発明の実施形態によれば、ベークプレート３１０は、図２に示す集積熱ユニット２１０に利用される。図３Ａに示すように、ベークプレート３１０は、６つの独立したヒータゾーン３１２１〜３１２６を含み、ヒータゾーン３１２１〜３１２６の各々に１つずつ、対応する数の温度センサ３１４１〜３１４６がある。
【００３６】
[0053]特定の用途に応じて、さまざまなタイプの温度センサ（例えば、抵抗温度検出器（ＲＴＤ））が利用されてもよい。さまざまなヒータゾーン３１２１〜３１２６の温度に対して制御を行うために、フィードバックループに、コントローラ（図示せず）が利用される。例えば、具体的な実施形態において、ベークプレート３１０は、カプトン層を絶縁層間に挟めた２つ以上の絶縁層を含む。次いで、さまざまなヒータゾーン３１２１〜３１２６を抵抗加熱するために、パターン化された配線層内に形成された金属トレースが使用される。当業者であれば、多くの変形例、修正例、代替例を認識する。マルチゾーンヒータプレートについては、本出願と同一の譲受人に譲渡され、２００６年７月７日に出願された米国特許出願第１１／４８３，８３２号にさらに記載されており、同出願の内容全体は、あらゆる目的で本明細書に参照により組み込まれる。
【００３７】
[0054]図３Ａに示すベークプレート３１０は、１つのゾーンに１つの温度センサしか利用していないが、これは、本発明の実施形態により要求されるものではない。別の実施形態において、温度ゾーンの１つ以上に複数の温度センサが利用されてもよい。さらに、ベークプレート３１０は、６つの温度ゾーンを利用しているが、例示した幾何学的配置とともに、このような特定の数のゾーンは、本発明の実施形態により要求されているものではない。他の実施形態において、ゾーンの数の増減、さまざまなゾーンの空間レイアウトの修正などが行われる。当業者であれば、多くの変形例、修正例、代替例を認識する。
【００３８】
[0055]図４Ａは、本発明の１つの実施形態によるウェハＣＤプロファイルの制御方法４００を示す簡略フローチャートである。図４Ａに示すように、この方法４００は、ステップ４０２から始まる。ステップ４０４において、マルチゾーンベークプレート（ＢＨＰ）を用いて、ＣＤプロセスによってウェハ（またはウェハセット）が処理される。次いで、ステップ４０６において、ウェハ全体のＣＤ分布のマッピングを獲得するために、計測ツールが利用される。例えば、計測ツールは、カリフォルニア州、ミルピタスのＮａｎｏｍｅｔｒｉｃｓ，Ｉｎｃ．から入手可能なＮａｎｏｍｅｔｒｉｃｓ  Ａｔｌａｓ計測ツール、カリフォルニア州、サンノゼのＫＬＡ−Ｔｅｎｃｏｒ  ＣｏｒｐのＳｐｅｃｔｒａＣＤ  ２００、または他の適切な計測ツールであってもよい。ウェハにリソグラフィプロセスが実行された後、またはエッチング、堆積、アニーリングなどの他の処理ステップの後に、ステップ４０６において獲得されてもよいＣＤマップが獲得されてもよいことに留意されたい。
【００３９】
[0056]ウェハＣＤマップに含まれるＣＤデータ点の数は、一般に、計測ツールに対して選択した特定の操作パラメータに応じたものになる。一般に、これらの特定の操作パラメータは、生産依存のものである。例えば、計測ツールのスループットは、一般に、収集されるＣＤデータ点の数と反比例するため、高スループットを実現すると、ＣＤデータ点の数が低減することになる。いくつかの実施形態において、ＣＤデータ点の数は、マルチゾーンベークプレートによって与えられるヒータゾーンの数より多いか、または等しい。このように、いくつかの実施形態におけるＣＤデータ点の数は、６、２９、６６個程度である。
【００４０】
[0057]当業者に明らかなように、ＣＤデータ点が収集される密度は、ＣＤデータ点（測定点）と、マルチゾーンベークプレートのゾーンの幾何学的形状との間の相関関係に影響する。いくつかの実施例において、ＣＤデータ点は、各点間の距離が所定の距離、例えば、約２０〜３０ｍｍである、グリッド形状に収集される。この距離は、特定の用途に応じて適切に、ウェハの中心、エッジなどで密度を増減させながら、位置に応じて変動するものであってもよい。
【００４１】
[0058]マルチゾーンヒータプレートの幾何学的形状に応じて、ヒータゾーン当たりの測定点の数およびさまざまなヒータゾーンの各々におけるさまざまな測定点の位置は変動してもよい。このように、ＣＤデータ点が、ヒータゾーンの幾何学的形状に相関されると、１つ以上のＣＤデータ点が、ヒータゾーンの各々に割り当てられる。典型的に、各ヒータゾーンにいくつかの測定点が割り当てられ、各ヒータゾーンのさまざまな場所に、さまざまな割り当て測定点が分布する。
【００４２】
[0059]ＣＤデータ点は、いくつかの実施形態において、ヒータゾーンの各々に対して平均ＣＤ値を計算するために平均化される。この平均値は、特定のヒータゾーンのＣＤデータ点の各々を考慮することによって計算されてもよく、または、以下により完全に記載するように、加重平均値であってもよい。さらに、特定の用途に適切であれば、いくつかの実施形態において、ゾーン平均値を計算するさいに、ＣＤデータ点のサブセットが利用されてもよい。このように、測定点の密度は、ＣＤ測定プロセスに関連付けられた本来の密度と比較して変動または修正されてもよい。一般に、図３Ａに示すベークプレートの周辺に位置した４つのヒータゾーン３１２３〜３１２６など、より小さなヒータゾーンのデータ密度がより高いものであることが好ましい。
【００４３】
[0060]一例にすぎないが、光学ＣＤ（ＯＣＤ）、走査型電子顕微鏡（ＣＤ−ＳＥＭ）などを用いて測定されたＣＤであってもよい特定の計測プロセスでは、６０個のＣＤデータ点が測定される。これらの６０個の測定は、グリッドパターンで半導体ウェハの表面上に均一に分布される。図３Ａに示すマルチゾーンベークプレートに対して、ヒータゾーン３１２１には、約１０個の測定点があり、ヒータゾーン３１２２には、約３０個の測定点があり、ヒータゾーン３１２３〜３１２６には、約５個の測定点がある。
【００４４】
[0061]この方法はまた、測定したＣＤプロファイルと所望のＣＤプロファイルとを比較するステップを含む（４０８）。測定したＣＤプロファイルが、所定の範囲内または許容範囲内であれば（４１０）、ステップ４１６で、ＣＤ制御プロセスが終了する。許容範囲のＣＤプロファイルの決定は、所定の規格または他の基準との比較を含んでもよい。
【００４５】
[0062]測定したＣＤプロファイルが許容範囲外であれば、ステップ４１２において、測定したＣＤプロファイルと所望のＣＤプロファイルとの間のオフセットが算出される。ステップ４１２におけるオフセットの算出方法については、本明細書にわたって、以下にさらに詳細に記述される。さまざまなヒータゾーンが異なる温度になるように、算出したオフセットに基づいて、マルチゾーンベークプレートのさまざまなヒータゾーンの温度が修正される。あるゾーンの温度を修正することで影響を受けるのは、典型的に、修正されたゾーンのＣＤだけではなく、特に、ヒータゾーン間でクロストークが生じることで、他のゾーンのＣＤにも影響が及ぶ。このように、図４Ａに示すように、ウェハ位置の関数として測定されたＣＤが、所定の公差内または許容範囲内でターゲットＣＤプロファイルと整合するまで、プロセス４００の１つ以上のステップを複数回繰り返す反復プロセスが利用される。
【００４６】
[0063]ステップ４１４において、各ヒータゾーンに適した温度修正量を決定するために、リソグラフィプロセスで使用される特定のフォトレジストの温度感度プロファイル（例えば、ＣＤ対温度のグラフの傾き）が利用される。
【００４７】
[0064]図５Ａは、第１の例示的なフォトレジストであるレジスト１の温度感度の簡略グラフである。グラフに示すように、レジスト１の場合、ＣＤ対温度の曲線は、一般に線形である。ターゲットＣＤが値Ｂであり、ヒータゾーンの測定した平均ＣＤが値Ａであれば、ヒータゾーンの温度は、温度ＴＡから温度ＴＢに上昇する。このように、図５Ａに示す温度感度プロファイルに類似したグラフを用いて、各ヒータゾーンのΔＣＤを、各ヒータゾーンのΔＴに変換する。図５Ｂは、第２の例示的なフォトレジストであるレジスト２の温度感度の簡略グラフである。図５Ｂに示すように、レジスト温度感度が線形である必要はない。いくつかの実施形態において、レジスト温度感度は、多項式フィッティングまたは他のモデリング技術を用いてモデル化される。当業者であれば、多くの変形例、修正例、代替例を認識する。
【００４８】
[0065]図４Ａに示すステップ４１２を再度参照すると、ＣＤオフセットの計算は、さまざまな方法で実行されてもよい。上述したように、各ヒータゾーンでの重なり合う複数のＣＤ値は、各ヒータゾーンに対して１つの平均ＣＤを与えるために平均化されてもよい。さらに、ヒータゾーンと隣接するゾーンとにある点に対して、ＣＤ測定値を用いて加重平均値が計算されてもよい。特定の実装において、特定のヒータゾーンの点および／または隣接するゾーンにある点に加重が適用され得る。
【００４９】
[0066]図３Ｂは、本発明の特定の実施形態において使用される加重平均値の計算を示すマルチゾーンヒータプレートの一部分の簡略図である。図３Ｂに示すように、図３Ａに示すマルチゾーンベークプレートの一部分が、多数のＣＤ測定点と重ね合わせられている。明確に示すために、測定点のすべてを図示しているわけではない。特定の実施形態において、ヒータゾーン３１２６に対する境界領域３４０内の測定点は、ヒータゾーン３１２６の加重ＣＤ平均値を決定する際に利用される。測定点のうち１０個、すなわち、測定点３３０〜３３６および３６６〜３７０が、ヒータゾーン３１２６と重なり合う。
【００５０】
[0067]他の測定点、例えば、６個の測定点３５０、３５２、３６０、３６２、３６４、および３７２（「境界点」）は、着目するヒータゾーンの外側にあるが、境界領域３４０の内側にある。これらの境界点は、ヒータゾーンに重なり合っていないが、ヒータゾーン３１２６の「平均」ＣＤを計算するさいに、これらの境界点に関連付けられたＣＤ値を含むことが望ましいこともある。このように、これらの６個の境界点に関連付けられたＣＤ値は、ゾーン平均値への寄与を含むように加重される（すなわち、１以下の加重値）。重み付けは、各点とゾーンの中心またはゾーンの縁との距離、隣接するヒータゾーンへの点の近接度などを含むいくつかの要因に応じて、同じものであっても、異なるものであってもよい。いくつかの測定点、例えば、３５４および３５８は、境界ゾーンの縁にある。これらの値は、選択した特定のアルゴリズムに応じて、重み付けしても、無視してもよい。以下の例においては、これらの値は無視しているが、これは必須ではない。最後に、測定点３５６などのいくつかの点は、境界ゾーンの外側にあり、この特定の実施形態において無視する。
【００５１】
[0068]一例として、すべての境界点に均等加重値ｗをかけた以下のアルゴリズムを用いて、ヒータゾーンの加重平均値を計算する。
【数１】
2010500762.tif 000003
式中、分母の値１０は、ヒータゾーン３１２６に重なり合う測定点の数に等しく、値６は、境界点として分類された測定点の数に等しい。特定の実装に応じて、測定値に他の加重値が適用可能であることは言うまでもない。上記アルゴリズムにおいて、境界ゾーン３４０の外側にある点は無視しているが、これは本発明により要求されていることではない。このような点を重み付けし、計算に含んでもよい。
【００５２】
[0069]当業者に明らかなように、境界ゾーン点を重み付けする上記例は、ウェハ上での位置にかかわらず、さらなるＣＤ測定点を含む計算にも及び得る。このようにして、あるヒータゾーンが別のヒータゾーンに及ぼす影響（すなわち、ヒータゾーン間のクロストーク）が、マルチゾーンベークプレートのＣＤプロファイルを決定するさいに補償され得る。一例にすぎないが、６ゾーンベークプレートの場合、各ヒータゾーンの変化をあらゆる他のヒータゾーンに関係付ける６×６のマトリックスが使用されてもよい。一例として、このマトリックスベースの計算では、第１のゾーンの温度が０．５℃上昇すれば、隣接するゾーンの温度は０．２℃上昇し、ベークプレートの反対側のゾーンの温度は０．０３℃降下するなどの関係がある。実際の値は、経験的、計算によって、またはそれらの組み合わせによって決定されることは言うまでもない。
【００５３】
[0070]さらに、プレートの物理モデルが利用されてもよく、この場合、オフセットの関数としてプレート上のあらゆるＣＤ点で温度を決定し、計算した温度を用いて、推定ＣＤを算出するように算出が実行される。次いで、予測ＣＤと望ましいＣＤとの間の平方差の合計を最小限に抑えて、最適な予測オフセットを得るために、最適化手法が用いられる。このようなモデルでは、オフセットは調節可能なパラメータであってもよい。さらに、プレート全体での平方和の最小化の他にも、本発明の実施形態には、より複雑なモデルが含まれる。当業者であれば、多くの変形例、修正例、代替例を認識する。
【００５４】
[0071]図４Ａに示す具体的なステップにより、本発明の１つの実施形態による所望のＣＤプロファイルを獲得する特定の方法が得られることを認識されたい。別の実施形態によれば、他のステップシーケンスが実行されてもよい。例えば、本発明の別の実施形態は、上記に列挙したステップを異なる順序で実行してもよい。さらに、図４Ａに示す個々のステップは、個々のステップに適切なようにさまざまなシーケンスで実行されてもよい複数のサブステップを含んでもよい。さらに、特定の用途に応じて、さらなるステップが追加または除去されてもよい。当業者であれば、多くの変形例、修正例、代替例を認識する。
【００５５】
[0072]別の実施形態において、ＣＤを制御する別の方法が提供される。図４Ｂの簡略フローチャートに示すこの方法４３０は、以下のステップを含む。
【００５６】
[0073]１）多数のＣＤデータ点を含むウェハＣＤマップを獲得する（４３２）。ＣＤウェハマップは、上述したように、いくつかの入手可能な計測ツールの１つを用いて獲得されてもよい。
【００５７】
[0074]２）ＣＤデータ点（例えば、１枚のウェハにつき６６個のＣＤデータ点）とヒータプレートゾーンの幾何学的形状とを相関させる（４３４）。
【００５８】
[0075]３）少なくとも１つのＣＤデータ点をヒータプレートの各ゾーンに割り当てる（４３６）。
【００５９】
[0076]４）ヒータゾーンの１つ以上の測定ＣＤ値と、ヒータゾーンのターゲットＣＤとを比較し、ヒータゾーンの１つ以上のΔＣＤを得る（４３８）。特定の実施形態において、測定ＣＤ値の比較ステップは、上述したように、さまざまなヒータゾーンの平均ＣＤ値を算出する工程と、これらの値と各ヒータゾーンのターゲットＣＤ値とを比較して、ＣＤオフセットを生成する工程とを含む。上述したように、平均値は、単純平均値、隣接ゾーンまたはすべてのゾーンの加重平均値などであってもよい。
【００６０】
[0077]５）計算したＣＤオフセットに基づいて、ヒータゾーンの１つ以上の温度を修正する（４４０）。
【００６１】
[0078]６）場合により、ステップ（１）〜（５）を１回以上（例えば、３〜５回）繰り返す（４４２）。本発明のいくつかの実施形態によれば、ウェハ位置の関数としてのＣＤ均一性は、図４Ｂに示す方法を利用して反復して制御され得る。例えば、ステップ４４２は、１つ以上のヒータゾーンのΔＣＤが、所定のしきい値より小さいかを決定する工程を含んでもよい。
【００６２】
[0079]いくつかの実施形態において、温度の関数としてＣＤの線形関数を利用するが、これは、本発明の実施形態により要求されるものではない。本明細書において、ＣＤの変化を温度または他のプロセスパラメータに関係付ける多項式フィッティングまたは他のモデルを含む他の関数関係が与えられる。このように、ステップ４３８において、差分を例示したが、計算は、利用される特定のプロセスに応じて適切に、微分計算または他のフィッティングルーチンを含んでもよい。当業者であれば、多くの変形例、修正例、代替例を認識する。
【００６３】
[0080]図４Ｂに示す具体的なステップにより、本発明の１つの実施形態による測定したＣＤプロファイルをターゲットＣＤプロファイルの所定の公差内にするためにＣＤを制御する特定の方法が得られることを認識されたい。別の実施形態によれば、他のステップシーケンスが実行されてもよい。例えば、本発明の別の実施形態は、上記に列挙したステップを異なる順序で実行してもよい。さらに、図４Ｂに示す個々のステップは、個々のステップに適するように、さまざまなシーケンスで実行されてもよい複数のサブステップを含んでもよい。さらに、特定の用途に応じて、さらなるステップが追加または除去されてもよい。当業者であれば、多くの変形例、修正例、代替例を認識する。
【００６４】
[0081]本発明の実施形態によって得られる手法を利用することで、ＣＤの不均一性は、ウェハ位置の関数として低減され、または最小限に抑えられる。一般に、ウェハロットに先立って、１つ以上の較正ウェハが処理される。したがって、較正ウェハは、システムを較正し、最小のＣＤ不均一性を決定するために利用される。さらに、本発明の実施形態により得られる手法が、プロセス制御アルゴリズム（例えば、自動プロセス制御（ＡＰＣ））などの一環として現場で使用されてもよい。
【００６５】
[0082]本発明の実施形態により、特定の半導体プロセスの臨界寸法（ＣＤ）制御を調整するさいに利用されたアルゴリズムが提供される。一例として、ベークプレートの温度プロファイルは、ウェハ位置の関数として、ＣＤの不均一性を最小限に抑えるために制御され調整されてもよい。別の実施形態において、ＣＤ調整アルゴリズムは、以下のステップを含む。
【００６６】
[0083]１）ウェハＣＤプロファイルを測定する。
【００６７】
[0084]２）ウェハ温度マップを獲得する。
【００６８】
[0085]３）ｄ（ＣＤ）／ｄＴを測定する。
【００６９】
[0086]４）ヒータゾーンの設定値を決定する。
【００７０】
[0087]５）必要に応じて、他のステップを実行する。
【００７１】
[0088]１つの実施形態において、ウェハ温度マップは、処理されるウェハの温度マップを獲得するために、カリフォルニア州、サンタクララのＳｅｎｓＡｒｒａｙ  Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎから入手可能なＳｅｎｓＡｒｒａｙ  Ｐｒｏｃｅｓｓ  Ｐｒｏｂｅ（登録商標）を搭載した基板、カリフォルニア州、サンタクララのＯｎｗａｆｅｒ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓから入手可能なＢａｋｅＴｅｍｐ  ＳｅｎｓｏｒＷａｆｅｒ、または同様のデバイスなどの測定ウェハを用いて獲得される。ステップ３において、温度の関数としてのＣＤの変化が測定される。ｄ（ＣＤ）／ｄＴは、位置の関数として測定されてもよく、多変数関数を与える。ＣＤと温度との関数関係は、一般に、非線形関数であってもよく、当業者に公知のさまざまなモデリング手法を用いてモデル化されてもよい。
【００７２】
[0089]散乱計を使用するシステムにおいて、ウェハに実行される反応プロセスを観察するために、温度変化に基づいた散乱計プロファイルの光学的変化が使用される。ヒータゾーンの設定値は、ｄ（ＣＤ）／ｄＴ測定値の結果に一部基づいて決定される。
【００７３】
[0090]他の実施形態において、ウェハ位置の関数としてＣＤの不均一性を最小限に抑えるのではなく、ウェハ位置の関数として所定のＣＤプロファイルを達成するために、本明細書に与えられた手法が利用される。一例にすぎないが、ウェハ半径の関数としてＣＤプロファイルが低減することが望ましい場合もある。この実施形態において、ウェハ半径の関数としてのＣＤが解析されてもよく、ウェハ半径の関数としての測定したＣＤと所望のＣＤとの差が最小限に抑えられてもよい。本発明の実施形態を利用して、ＣＤと位置との間の他の関数関係が与えられてもよいことは言うまでもない。
【００７４】
[0091]ベークプレートを較正したり、ベークプレートの温度プロファイルを最適化したりするために、本発明のいくつかの実施形態が利用される。この実施形態において、ベークプレートの幾何学的形状の関数としてベークプレート温度を測定するために、測定ウェハまたは他の温度測定デバイス（例えば、上述したようなＳｅｎｓＡｒｒａｙ  Ｐｒｏｃｅｓｓ  Ｐｒｏｂｅ（登録商標）を備えた基板）が使用される。ベークプレートの幾何学的形状の関数として、測定温度とターゲットと温度との温度差を決定するための計算が実行される。次いで、ベークプレートのヒータゾーンは、決定された温度差に応答して調節される。このプロセスは、位置の関数としてのベークプレート温度が所定の公差内になるまで繰り返される。
【００７５】
[0092]このベークプレート較正プロセスのステップは、以下のように実行されてもよい。
【００７６】
[0093]１）ウェハＣＤプロファイルを決定する。
【００７７】
[0094]２）マルチゾーンベークプレート上に測定ウェハを配置する。
【００７８】
[0095]３）位置の関数としてベークプレート温度プロファイルを測定する。
【００７９】
[0096]４）位置の関数としてＴｍｅａｓｕｒｅｄ−Ｔｔａｒｇｅｔ（すなわち、ΔＴ（位置））を計算する。
【００８０】
[0097]５）位置の関数としてＣＤｍｅａｓｕｒｅｄ−ＣＤｔａｒｇｅｔ（すなわち、ΔＣＤ（位置））を計算する。
【００８１】
[0098]６）計算した温度差に応答してヒータゾーン設定値を調節する。
【００８２】
[0099]７）ΔＴ（位置）が、所定の公差未満であるかを決定する。
【００８３】
[0100]８）ΔＴ（位置）が、所定の公差未満になるまで、ステップ２）〜５）を繰り返す。
【００８４】
[0101]一例として、別のＣＤ調整プロセスについて記載する。ウェハの平均温度および位置の関数としての温度を含むウェハ温度マップを与えるために、測定ウェハまたは他の温度測定デバイスが利用される。位置の関数としての温度は、ヒータプレートのさまざまなゾーンの温度に関係付けられる。半導体プロセスが実行された後、例えば、現像後、トラックリソグラフィツールに設けられるか（一体型計測）、またはトラックリソグラフィツールの外部に設けられる（独立型計測）ツールを用いて、ウェハのＣＤが測定される。各ヒータゾーンに対して、対応するウェハゾーンは、各ゾーンに対して平均ＣＤおよびＣＤ値を与えるように測定される。このように、各ゾーンに対して、平均温度および平均ＣＤが与えられる。
【００８５】
[0102]ゾーンの温度は変動し、測定プロセスは、Δ（ＣＤ）／ΔＴの測定値を与えるように繰り返される。ｄ（ＣＤ）／ｄＴのマッピングを与えるように、ゾーン温度の関数として複数の測定値を得る。明らかなように、ゾーン間には相互作用があるため、ｄ（ＣＤ）／ｄＴ測定値に対してマトリックスが展開され、最初に、一次元列を与えるためにあるゾーンを変更した後、別のゾーンが変更されて、両方が変更される。当業者であれば、多くの変形例、修正例、代替例を認識する。所望のＣＤを達成するために、ｄ（ＣＤ）／ｄＴ測定値のマトリックスが得られると、ヒータゾーンの温度は、所望のＣＤを達成するように設定される。
【００８６】
[0103]上述した具体的なステップにより、本発明の１つの実施形態によるＣＤ調整を実行する特定の方法が提供されることを認識されたい。別の実施形態によれば、他のステップシーケンスが実行されてもよい。例えば、本発明の別の実施形態は、上記に列挙したステップを異なる順序で実行してもよい。さらに、上記に示す個々のステップは、個々のステップに適するように、さまざまなシーケンスで実行されてもよい複数のサブステップを含んでもよい。さらに、特定の用途に応じて、さらなるステップが追加または除去されてもよい。当業者であれば、多くの変形例、修正例、代替例を認識する。
【００８７】
[0104]上述したＣＤ調整アルゴリズムはまた、半導体ウェハのリソグラフィ処理中に利用される１つ以上のプロセスを最適化するために使用されてもよい。これらのプロセスは、ベークプロセス、現像プロセス、フォトレジストコートまたは他のコーティングプロセス、堆積プロセスなどを含むが、これらに限定されるものではない。ベークプロセスにおいて、本発明の１つの実施形態により与えられる方法は、以下のステップを含む。
【００８８】
[0105]１）ウェハプロファイルを測定する。
【００８９】
[0106]２）ウェハ温度マップを獲得する。
【００９０】
[0107]３）ｄ（ＣＤ）／ｄＴを測定する。
【００９１】
[0108]４）ヒータゾーンの設定値を決定する。
【００９２】
[0109]５）ベークプロセスを実行する。
【００９３】
[0110]６）ウェハＣＤを測定する。
【００９４】
[0111]７）ヒータゾーンの設定を最適化する。
【００９５】
[0112]８）必要に応じて、他のステップを実行する。
【００９６】
[0113]上述した具体的なステップにより、本発明の１つの実施形態によるリソグラフィプロセス用にＣＤ調整を実行する特定の方法が提供されることを認識されたい。別の実施形態によれば、他のステップシーケンスが実行されてもよい。例えば、本発明の別の実施形態は、上記に列挙したステップを異なる順序で実行してもよい。さらに、上記に示す個々のステップは、個々のステップに適するように、さまざまなシーケンスで実行されてもよい複数のサブステップを含んでもよい。さらに、特定の用途に応じて、さらなるステップが追加または除去されてもよい。当業者であれば、多くの変形例、修正例、代替例を認識する。
【００９７】
[0114]図６は、本発明の１つの実施形態によるマルチゾーンヒータプレートの簡略断面図である。図６に示すように、空間的に独立したヒータゾーンを提供するように、多数の放射ランプが利用される。赤外線放射または他の波長の放射を放出するものであってもよいランプは、基板に対して垂直に整列された平面に二次元パターンで配列されてもよい。例示したように、ランプが放出する放射を吸収するようになっている石英や他の適切な材料で作られてもよいヒータプレートは、近接ピンを用いてウェハを支持する。特定の用途に応じて適切に、真空チャックおよびＥチャックを含むチャック機構が利用されてもよい。
【００９８】
[0115]個々のランプの強度を変更するために、フィードバックループ（図示せず）にコントローラが利用されることによって、空間的に変化する熱負荷をヒータプレートへ供給する。いくつかの実施形態において、コンピュータ（図示せず）が、ウェハまたは基板の温度を測定するセンサ（図示せず）と相互作用して、コントローラへ入力を供給する。ランプをピクセルとして利用して、ヒータプレート上に二次元強度パターンを発生し得ることで、多数の制御可能なゾーンが得られる。セグメント化したヒータ素子を含む上述したヒータプレート構造と組み合わせて、平面の横方向での熱伝導性を、図１に示す放射加熱と組み合わせることで、ヒータプレートの温度プロファイルがさらに制御される。
【００９９】
[0116]図７は、本発明の別の実施形態によるマルチゾーンヒータプレートの簡略断面図である。図７に示すように、ヒータプレートでの放射エネルギーの強度を空間的に変化させるために、空間光変調器、例えば、ディジタルマイクロミラーデバイスが利用される。
【０１００】
[0117]空間光変調器へ放射を供給するために、赤外線ランプなどの放射源が利用される。図７に示す実施形態において、ヒータプレートの裏側にピクセルベースのイメージを作り出すために、ディジタル光プロジェクタ（ＤＬＰ）が利用される。ＤＬＰアレイを制御するために、一般に、フィードバックループ（図示せず）において、コントローラが利用される。図７に示す本発明の実施形態を利用することで、ヒータプレートの表面に二次元強度パターンが与えられて、ウェハ上に空間的に変化する温度プロファイルが得られる。
【０１０１】
[0118]１つの実施形態において、ヒータプレートは、ランプによって供給され、ＤＬＰを用いてヒータプレートに向けられた放射熱を吸収する材料の他に、抵抗加熱素子を含む。このように、ヒータプレートの温度プロファイルは、電気ヒータと放射加熱素子の両方によって制御される。放射加熱と抵抗加熱とを組み合わせることで、ヒータプレートの厚みが従来のヒータプレートと比較して薄いものであってもよい構造が得られる。
【０１０２】
[0119]特定の実施形態において、セグメント化された構造に配設されてもよい抵抗加熱素子により、ヒータプレートが動作温度に達すると、ＤＬＰピクセルベースの放射を用いて、温度プロファイルが調整される。図７に示す実施形態によって与えられるピクセルベースの制御は、上述したようなヒータ構造と組み合わされてもよい。当業者であれば、多くの変形例、修正例、代替例を認識する。
【０１０３】
[0120]ヒータプレートの熱損失を空間的に変化させるために、ヒータプレート（例えば、ベークプレート）に、調節可能な熱損失機構が物理的に取り付けられてもよい。一例として、熱損失的を空間的に変化させるために、流体（例えば、水や油など）を収容した多数の独立制御可能な銅管網が使用されてもよい。
【０１０４】
[0121]本発明の別の実施形態によれば、トラックリソグラフィツールの応用において熱制御を行うために、ウェハとペデスタルとの間のギャップを制御するための方法およびシステムが利用される。これらの方法およびシステムは、静電チャック（Ｅチャック）の使用を含む。２００６年１０月２６日に公開され、「Ｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃ  Ｃｈｕｃｋ  ｆｏｒ  Ｔｒａｃｋ  Ｔｈｅｒｍａｌ  Ｐｌａｔｅｓ」という発明の名称の米国特許出願公開第２００６／０２３８９５４号において、Ｅチャックについてさらに記載されており、同出願の内容全体は、あらゆる目的のために本明細書に参照により組み込まれる。Ｅチャックを使用すると、チャックまたはペデスタル表面に対してウェハが平坦化することで、ウェハとペデスタルとの間のギャップの不均一性が低減することに留意されたい。
【０１０５】
[0122]別の実施形態において、ヒータゾーンが物理的に分離されることで（例えば、環状配置、四分円ベースの配置など）、ペデスタルセクションの高さが独立して調節可能になる。したがって、ウェハの部分とペデスタルとの間のギャップは、個々のペデスタルセクションの高さを修正することによって変更可能である。
【０１０６】
[0123]さらなる別の実施形態において、背面ガス圧力は、ウェハとペデスタルとの間の制御可能なギャップを維持するように空間的に変更される。一般に、背面ガスは、ペデスタルとウェハとの間に熱を伝導する伝導媒体を供給する。具体的な実施形態において、ガス圧力は、ウェハとペデスタルとの間のギャップがより小さくなるように、ペデスタルの選択された部分において低減される。他の形態において、ガス圧力を局所的に増大して、ウェハとペデスタルとの間のギャップを局所的に増大する。いくつかの実施形態において、背面ガス圧力の変数と、より薄型のヒータと組み合わせることが利用される。
【０１０７】
[0124]図８は、本発明の１つの実施形態による適応ヒータ表面を示す簡略図である。図３に示す実施形態において、ヒータの表面は、ペデスタルの中心で上向きの方向に湾曲している。他の実施形態において、湾曲は、中心で下向きになったものや、ペデスタルの表面にわたってばらつきがあるもので、局所的に上向きに湾曲した場所もあれば、局所的に下向きに湾曲した場所もあり、さらに他に変化がない場所もあることは言うまでもない。特定の実施形態において、平坦からのウェハの変数が測定され、湾曲量の変数が、ウェハの変数と一致させて、ペデスタルに導入される。したがって、ウェハとヒータとの間のギャップは、位置の関数として実質的に一定である（すなわち、ｄ１≒ｄ２≒ｄ３）。
【０１０８】
[0125]本発明の実施形態により、トラックリソグラフィツールのモジュールにあるウェハを加熱するための方法およびシステムが提供される。図９は、本発明の１つの実施形態による、加熱ガスをベークチャンバ内に導入するための装置の簡略図である。図９に示すように、シャワーヘッドに、ウェハと向かい合わせの面に多数のオリフィスが設けられる。加熱ガス、例えば、窒素が、シャワーヘッドのオリフィスを通ってチャンバ内に分配される。加熱ガスの流量は、記号Ｑ１、Ｑ２、Ｑ３およびＱ１’、Ｑ２’、Ｑ３’で図９に表されている。具体的な実施形態において、流量は均斉のとれたものであるが（すなわち、Ｑ１＝Ｑ１’）、これは本発明により要求されていることではない。いくつかの実施形態において、流量は、半径の関数として変動するように制御可能である。したがって、より温度が高い基板の部分では、加熱ガスの流量が低減する。特定の実施形態において、流量を半径方向に制御することで、位置の関数として基板からの蒸発が均一になる。
【０１０９】
[0126]本発明の実施形態では、ペデスタルを加熱することと、シャワーヘッドを通って加熱ガスを流すことが組み合わされる。さらに、本明細書にわたってより完全に記載するようなさまざまな方法およびシステムの組み合わせが、本発明の実施形態により提供される。
【０１１０】
[0127]ウェハ表面の上方にあるシャワーヘッドの他にも、ペデスタルの下面に、流体ジェット付きの加熱シャワーヘッドが使用され得る。ウェハの上部と加熱シャワーヘッドとの間のギャップは、加熱速度および均一性を制御するために変更され得る。当業者であれば、多くの変形例、修正例、代替例を認識する。
【０１１１】
[0128]本発明の実施形態では、トラックリソグラフィツールで熱制御を行うために、伝導プロセスが利用される。一例として、１つの実施形態において、ウェハを加熱する目的でウェハの背面にガスが導入される。具体的な実施形態において、基板の背面に加熱および／または冷却ガスを供給するために、基板を貫通する多孔性プラグが利用される。多孔性プラグの数、位置、寸法などは、背面ガスを制御可能に分布させるように選択される。特定の実施形態において、背面ガスの分布は、位置の関数として均一であるのに対して、他の実施形態において、分布は、特定の用途に応じて適切に変動する。別の実施形態において、背面ガスの分布を均一化できるように、ペデスタルにチャネルが設けられる。本発明の実施形態により、上述した多孔性プラグまたはチャネルのいずれかを利用して、ウェハ表面に向かう方向と、ウェハから離れる方向の両方にガスが流れる。
【０１１２】
[0129]本発明の別の実施形態では、「熱ピクセル」アレイを含むヒータプレートが利用される。２００７年１月４日に公開され、「Ｓｃａｌａｂｌｅ  Ｕｎｉｆｏｒｍ  Ｔｈｅｒｍａｌ  Ｐｌａｔｅ」という発明の名称の米国特許出願公開第２００７／００００４４１号には、熱ピクセルについてのさらなる記載があり、同出願の内容全体は、本明細書に参照により組み込まれる。
【０１１３】
[0130]１つの実施形態において、ウェハを加熱するために放射が使用され、位置の関数として均一な加熱を確保するために、ウェハ表面の放射率が修正される。他の実施形態において、例えば、湾曲したウェハを均一に加熱できるように、位置の関数として加熱が変更される。
【０１１４】
[0131]１つの実施形態において、ペデスタルを加熱する目的で、ペデスタルの背面に熱的に結合された燃料電池アレイが利用される。例えば、水素と酸素を消費して水を生成する燃料電池は、ペデスタルを加熱するために有用に熱を生成する。燃料電池に供給された材料の流量は、所望の熱生成およびそれに関連するペデスタルの加熱を達成するために制御され得る。いくつかの実施形態において、燃料電池のサイズ、位置などは、ペデスタルの位置の関数として均一な加熱になるように選択される。燃料電池アレイによって得られる１つの利点は、応答時間が速いことである。
【０１１５】
[0132]本発明の実施形態により、ウェハを急冷するためのいくつかの方法およびシステムが得られる。一般に、いくつかの半導体プロセス中に、ウェハ温度を高速かつ均一に急冷することが望ましい。例えば、ウェハを急冷するために、ヒータの下側に、調節可能な熱損失機構が取り付けられてもよい。一例にすぎないが、加熱されたペデスタルを迅速に冷却するために、ペデスタルと熱的に接触した状態で、銅管または他の熱伝導性材料が設けられてもよい。別の実施形態において、急冷効果を与えるように、ペデスタルの下側に取り付けられたフィンで、空気の流れが方向付けられる。
【０１１６】
[0133]さらに、ペデスタルの下側に結合され、熱伝達流体（例えば、「ガルデン（Ｇａｌｄｅｎ）」）で満たされた容器が急冷用に使用されてもよい。具体的な実施形態において、容器は、ペデスタルの下側に直接取り付けられる。図１０Ａは、本発明の１つの実施形態による、第１の位置でペデスタルに結合された容器を示す簡略図である。図１０Ａに示すように、シリンダの底部を形成するプランジャ付きシリンダに、熱伝達流体が支持される。プランジャは、冷却機（図示せず）に接触させた冷却されたプレートである。別の実施形態において、容器の底部は、冷却プレートを収容する。
【０１１７】
[0134]図１０Ｂは、本発明の１つの実施形態による、第２の位置でペデスタルに結合された容器を示す簡略図である。図１０Ｂに示すように、プランジャは、第１の位置より高い第２の位置へ移動した状態にある。したがって、熱伝達流体は、ヒータプレートの下側と接触するように、シリンダから多量に放出された。したがって、ヒータプレートは、熱伝達流体と接触することによって冷却される。図１０Ａおよび図１０Ｂに示す実施形態において、熱伝達流体は、相変化（例えば、液体から気体へ、および気体から液体へ）しない。別の実施形態において、相変化材料が利用されてもよいことは言うまでもない。プランジャが、図１０Ａに示す位置に戻った後、熱伝達流体は、シリンダに戻される。熱伝達流体は、用途に応じて、容器の底部に結合された冷却されたプランジャまたはチルプレートのいずれかを利用して、元の温度まで冷却される。
【０１１８】
[0135]図１１Ａは、本発明の別の実施形態によるペデスタルに結合された容器を示す簡略図である。図１１Ａに示すように、超音波振動子が、熱伝達液体に接触させて設けられる。超音波作動中、液体は、破線で描いたピークで示すように、液溜まりから突き出て、ヒータプレートの下方側に接触する。ヒータプレートは、冷却液によって急冷される。液溜まりに戻ると、液体は、冷却プレートと相互作用することによって再度冷却される。
【０１１９】
[0136]図１１Ｂは、本発明のさらなる別の実施形態によるペデスタルに結合された容器を示す簡略図である。図１１Ｂに示すように、ポンプを利用して、ヒータプレートの下側に液体を吹き付けることによって、ヒータプレートを急冷するために、ポンプが利用される。ポンプに印加された電圧は、特定の用途に応じて、定数または変数（例えば、正弦波状、三角波状、パルス状など）であり得る。図１１Ａに示す実施形態のように、循環プロセス中、液体は、冷却プレートによって冷却され、接触中にヒータプレートから熱を除去し、冷却プレートによって再度冷却される。特定の用途に応じて、非相変化材料または相変化材料が利用されてもよい。当業者であれば、多くの変形例、修正例、代替例を認識する。
【０１２０】
[0137]図１２は、本発明の１つの実施形態による集積熱制御システムを示す簡略図である。図１２に示すように、単一のユニットに、複数の熱制御手法およびシステムが一体化される。一例にすぎないが、ベーク／急冷プレートの組み合わせが、マルチゾーンペデスタルと一体化される。図１２を参照すると、ヒータ／冷却プレートが、熱入力を供給するようになっている複数の伝導性構造を含む。具体的な実施形態において、流体が、オリフィス１２１０でヒータ／冷却プレートに流入し、オリフィス１２１２で流出する。流体の代わりに、抵抗ヒータが利用されてもよいことは言うまでもない。加熱／冷却プレートは、特定の用途に応じて加熱または冷却され得る。当業者であれば、多くの変形例、修正例、代替例を認識する。
【０１２１】
[0138]ヒータ／冷却プレートと熱接触させた装置に、熱伝達液体（例えば、ガルデン）が配置される。ポンプ（例えば、圧電ポンプ）が、熱伝達液体と接触させて設けられ、ペデスタルの下側に熱伝達液体を吹き付けるために使用されることによって、特定の用途に応じてペデスタルを加熱または冷却する。液溜まりに戻ると、熱伝達液体は、プレートとの相互作用を介して、ヒータ／冷却プレートと関連する温度に再度戻る。
【０１２２】
[0139]図１２に示すように、圧電ポンプに印加された電圧は、特定の用途に応じて、定数または変数（例えば、正弦波状、三角波状、パルス状など）であり得る。ヒータ／冷却プレートが急冷プロセスにおいて利用される応用において、循環プロセス中、熱伝達液体は、ヒータ／冷却プレートによって冷却され、接触中、ペデスタルから熱を除去し、ヒータ／冷却プレートによって再度冷却される。特定の用途に応じて、非相変化材料または相変化材料が利用されてもよい。当業者であれば、多くの変形例、修正例、代替例を認識する。
【０１２３】
[0140]図１２を参照すると、ポンプ構造はまた、熱伝達流体の温度を調整するために使用されてもよいヒータ素子を含む。ペデスタルの厚みは、ゾーンセクション間が断熱されるように、位置に応じて変動する。図１２に示すように、第１の部分にあるペデスタルの厚みはｄ１であり、第２の部分の厚みは、ｄ１より小さいｄ２である。平面図で見ると、ペデスタルは、放射状に、円周に、およびそれらを組み合わせるなどして画成された多数のゾーンを含む。第２の部分（厚みｄ２）の熱伝導性が低減すると、ゾーン間が部分的に熱分離され、例えば、ウェハの中心をウェハの周囲部分よりも低い温度に維持できるようになる。図７には、２つのゾーンしか示されていないが、同図は、例示的なものにすぎず、本発明の実施形態の範囲を限定するように意図されたものではない。
【０１２４】
[0141]別の実施形態において、さらなる加熱または冷却素子、例えば、抵抗ヒータ（図示せず）が、ペデスタルに接合され、またはペデスタルに一体化されて、ペデスタル温度プロファイルをさらにゾーンベースで制御する。当業者であれば、多くの変形例、修正例、代替例を認識する。さらに、本発明のいくつかの実施形態において、組み合わせペデスタルが提供される。例えば、ある実施形態では、ペデスタルと、所定のサイズのギャップだけペデスタルの下面から分離された熱素子とを含む２部構成のヒータプレートを利用する。ギャップは、ペデスタルと熱素子との間の熱伝導性を変更するために、制御ループの制御したで調節可能であってもよい。
【０１２５】
[0142]一例にすぎないが、熱素子は、流体、抵抗ヒータ、熱電素子、およびそれらの組み合わせなどを受けるようになっているオリフィスを含んでもよい。ウォータージェットが、ウェハベークプロセス中、熱素子を加熱するために、熱素子のオリフィスに蒸気を供給してもよい。所定のサイズのギャップは、プロセス中に温度制御を行うために、いくつかのプロセス中に変更される。例えば、露光後ベーク（ＰＥＢ）プロセス中、ギャップは、熱素子とペデスタルとの間の熱伝導性、ひいては、ＰＥＢプロセス中のウェハ温度を変更するために、時間に応じて変調されてもよい。設定点を変更する動作の間、ペデスタルの温度がすぐに変化するように、熱素子とペデスタルとの間のギャップを小さくしてもよい。具体的な実施形態において、熱素子がペデスタルと接触した状態になるにつれ、ギャップはなくなっていく。
【０１２６】
[0143]図１３は、本発明の１つの実施形態によるヒータプレートを急冷するための別のシステムを示す簡略図である。図１３に示すように、冷却液（例えば、ＤＩ水）の供給源が設けられたボウルに、冷却用「スポンジ」が支持される。スポンジは、流体吸収機能を備えた可撓性材料から作られる。ボウルは、ペデスタルの下側とスポンジとが接触するように垂直方向に移動可能であることによって、ペデスタル、ひいては、ペデスタルに支持されたウェハを急冷する。図８において、ペデスタルの背面にポリイミド層が接合され、支持体とポリイミド層との間を封止するために、Ｏリングが利用される。冷却用スポンジには、いくつかの実施形態において循環される冷却流体が供給される。他の実施形態において、スポンジは、周期的に、冷却流体と接触した状態にされるか、または冷却液の流れが供給される。当業者であれば、多くの変形例、修正例、代替例を認識する。スポンジ／ポリイミド層の境界面にある液体または蒸気を取り除くことができるように、ボウルの外縁部と支持体との間に空間が設けられる。１つの実施形態において、スポンジにあるＤＩ水は気化し、蒸気は、図１３に示すように、通気口の方へ流れる。
【０１２７】
[0144]特定の実施形態およびその具体例を参照しながら本発明について記載してきたが、他の実施形態も本発明の趣旨および範囲内にあることを理解されたい。したがって、本発明の範囲は、本発明の全範囲に伴う添付の特許請求の範囲を参照しながら決定されるべきである。
【図１】
2010500762.tif 000004
【図２】
2010500762.tif 000005
【図３Ａ】
2010500762.tif 000006
【図３Ｂ】
2010500762.tif 000007
【図４Ａ】
2010500762.tif 000008
【図４Ｂ】
2010500762.tif 000009
【図５Ａ】
2010500762.tif 000010
【図５Ｂ】
2010500762.tif 000011
【図６】
2010500762.tif 000012
【図７】
2010500762.tif 000013
【図８】
2010500762.tif 000014
【図９】
2010500762.tif 000015
【図１０Ａ】
2010500762.tif 000016
【図１０Ｂ】
2010500762.tif 000017
【図１１Ａ】
2010500762.tif 000018
【図１１Ｂ】
2010500762.tif 000019
【図１２】
2010500762.tif 000020
【図１３】
2010500762.tif 000021
【国際調査報告】
2010500762.tif 000022