(57)【要約】  上部給電用分配電極６２の表面が、例えば、リブ６２１でテキスチャ化されているために、それら上部給電用分配電極６２と透明導電層１１との間の電気的接触が改善されている、ダイオードの透明導電層１１に接続されたダイオードの上部給電用分配電極６２のアレイを組み込んだアクティブマトリックス式パネル。
2010511983.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
各ダイオードが下部電極（８３２）及び上部電極（１３２）を備え、それらの間に前記電極（８３２，１３２）と電気的に接触する有機電界発光層（１０）が挿入されている有機発光ダイオードからなるパネルであって、
前記ダイオードの前記下部電極（８３２）に電気的に接続されている前記ダイオードの下部給電手段、及び前記ダイオードの前記上部電極に電気的に接続されている前記ダイオードの上部給電用分配電極（６２）の回路網と、
前記ダイオードの前記下部給電手段及び前記ダイオードの前記上部給電用分配電極（６２）の前記回路網を覆う少なくとも１つの電気的絶縁層（７，９）と、
前記ダイオードの前記上部給電用分配電極（６２）を前記電気的絶縁層（７，９）から少なくとも部分的に露出させるために前記少なくとも１つの電気的絶縁層（７，９）内に作成された接続トレンチ（９２）及び／又は接続ホールと、
１つ又は複数のゾーンにおいて、ゾーンを覆う透明導電層（１１）であって、前記ゾーン中で、有機電界発光層（１０）が前記ダイオードの前記下部電極（８３２）と電気接触し、前記透明導電層（１１）のそれぞれが、前記接続トレンチ（９２）のうちの少なくとも１つ及び／又は前記接続ホールのうちの少なくとも１つ中に延び、それにより前記ダイオードの前記上部給電用分配電極（６２）のうちの少なくとも１つと電気的接触を確保する、透明導電層とを支持する基板（１）を備えるパネルにおいて、
前記ダイオードの前記上部給電用分配電極（６２）が、前記上部給電用分配電極（６２）の、前記透明導電層（１１）と電気的に接触している面上に、起伏、特にリブ（６２１）を有することを特徴とするパネル。
【請求項２】
前記起伏は、前記ダイオードの前記上部給電用分配電極（６２）と前記透明導電層（１１）との間で前記電気的接触面積を増加させるようになされることを特徴とする請求項１に記載のパネル。
【請求項３】
前記起伏、特に前記リブ（６２１）の深さは、前記ダイオードの前記上部給電用分配電極（６２）の厚さの少なくとも２分の１であることを特徴とする請求項１又は２に記載のパネル。
【請求項４】
前記ダイオードの前記下部電極（８３２）は、前記少なくとも１つの電気的絶縁層（７）を介して前記ダイオードの前記下部給電手段に電気的に接続され、前記接続トレンチ（９２）及び／又は接続ホールもこの同じ電気的絶縁層（９）を貫通することを特徴とする請求項１，２又は３に記載のパネル。
【請求項５】
前記接続トレンチ（９２）及び／又は接続ホールは、前記上部給電用分配電極（６２）をその厚さ全体にわたって露出させ、前記接続トレンチ（９２）及び／又は接続ホールの幅は、前記接続トレンチ（９２）及び／又は前記ホールの底部のところで測るが、各上部給電用分配電極（６２）のいずれの側にも空洞（９２２，９２３）を形成できるように前記上部給電用分配電極（６２）の幅より少なくとも３分の１大きいことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のパネル。
【請求項６】
前記接続トレンチ（９２）及び／又は接続ホールの深さは、前記ダイオードの前記上部給電用分配電極（６２）の厚さより大きいことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載のパネル。
【請求項７】
各ダイオードの前記下部電極（８３２）と前記上部電極（１３２）との間に挿入された前記有機電界発光層（１０）は、１つ又は複数のゾーンにおいて、パネルの活性表面全体を覆い、前記接続トレンチ（９２）及び／又は前記接続ホールをも覆うことを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載のパネル。
【請求項８】
前記有機電界発光層（１０）の厚さは、前記起伏、特に前記リブ（６２１）の深さ未満であることを特徴とする請求項７に記載のパネル。
【請求項９】
前記ダイオードの前記下部給電手段は、前記ダイオードの下部給電電極の回路網を含めた少なくとも１つの電極回路網とダイオードの駆動回路からなり、該駆動回路は、それ自体がトランジスタ及び／又はコンデンサなどの素子と、これらの素子を接続するための導電性パッド（６１，６３１，６３２）とを備えていることを特徴とする請求項１乃至８のいずれかに記載のパネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、上部給電用集積電極を備えた有機発光ダイオード（ｏｒｇａｎｉｃ  ｌｉｇｈｔ−ｅｍｉｔｔｉｎｇ  ｄｉｏｄｅ）からなるパネルに関し、より詳細には、それぞれが下部電極と上部電極とを備える有機発光ダイオードからなるパネルに関する。特に、これらのパネルは画像表示を目的としている。
【背景技術】
【０００２】
トップエミッション式ＯＬＥＤパネル（ｔｏｐ−ｅｍｉｔｔｉｎｇ  ＯＬＥＤｐａｎｅｌ）は、透明上部電極を必要とし、この電極は、光透過と導電性との間でうまく折り合いをつけなければならない。いわゆる、トップエミッションは、アクティブマトリックス式パネル向けに強く勧められるが、それは、特に、同パネルが画素の開口率を大きくすることができ、したがって、発光ゾーンの全体面積を増加させることができるからである。ＯＬＥＤディスプレイパネルの表面積が増大し続け、通常は、ＩＴＯ製の透明上部電極の導電性が制限されるため、この透明電極内で電位降下が生じ、それが表示される画像の均一性に重大な欠陥をもたらしている。こうした欠陥を克服するために、この透明上部電極を、画素間に不透光性導体が配設されてなるグリッドによって電気的に補強することができる。これらの欠点を克服する他の方法は、上部電極を電気的に補強するための導体を、特許文献１に記載のように、パネルのアクティブマトリックス内に、または特許文献２，３，４に記載のように、アクティブマトリックスの上方でダイオードの下部電極と同じ高さのところに挿入することである。
【０００３】
これらの各特許文献に記載されたパネルの１つの欠点は、電気的補強用の導体と透明電極との間の接触面積が、満足できる電気的接触を確保するのに、すなわち、低抵抗を得るのに必ずしも十分な大きさではないことである。
【０００４】
また、特許文献５には、その図７Ａ乃至図７Ｆを参照すると、アクティブなディスプレイ内に電気的補強材が組み込まれた、そのようなパネルを製作するための方法であって、ダイオードの下部給電手段およびダイオードの上部給電用分配電極（３２４）の網を基板上に堆積させるステップと、少なくとも１つの電気的絶縁層（ＰＬＮ１）を、パネルの活性表面全体に堆積させ、ダイオードの下部電極（３０４−１２，３０４−２２）をそれらがダイオードの前記下部給電手段に電気的に接続されるように堆積させるステップと、少なくとも１つの電気的絶縁層（７，９）内でのアブレーションにより、接続トレンチを形成することにより、または当該電極（３２４）に沿って一連の接続ホール（３２１）を形成することによって、それらダイオードの下部給電電極（３２４）を少なくとも部分的に露出させるステップと、少なくとも１つの有機電界発光層（ＥＬ）を、１つまたは複数のゾーン内で、前記接続トレンチ又は前記接続ホール（３２１）を含めたパネルの活性表面全体を覆うように堆積させ、それによりこの層（ＥＬ）をダイオードの下部電極（３０４−１２，３０４−２２）に直接接触させるステップと、透明導電層（３４０）を、少なくとも、有機電界発光層（ＥＬ）がダイオードの下部電極（３０４−１２，３０４−２２）に直接接触しているゾーン上に堆積させ、それにより透明導電層（３４０）の各ゾーンが、ダイオードの前記下部給電電極（６２）の少なくとも１つとの電気的接触を確保するために、前記接続トレンチの少なくとも１つ又は前記接続ホールの少なくとも１つ中まで延びるようにするステップとを含む方法について記載されている。
【０００５】
上述した特許文献５においては、ダイオードの下部給電手段は、ダイオードの下部給電電極網を含めた少なくとも１つの電極網、ならびに同特許文献のケースでは、それ自体がトランジスタ及び／又はコンデンサなどの素子と、これらの素子を接続するための導電性パッドとを備える、ダイオード駆動回路（３０１−１２，３０１−２２）を具備している。
【０００６】
また、上述した特許文献５においては、ダイオードの上部給電用分配電極（３２４）の網は、上部電極を電気的に補強し、それらの補強電極は、ダイオードの上部電極内の電位分布をより均一なものにする。また、それら補強電極は、アクティブマトリックス内に組み込まれるので、パネルの発光表面積をほとんど制限しない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】米国特許出願公開第２００４／２５６６２０号明細書
【特許文献２】米国特許出願公開第２００５／０１２４５４号明細書
【特許文献３】米国特許出願公開第２００５／０７７８１６号明細書
【特許文献４】米国特許出願公開第２００５／１７９３７４号明細書
【特許文献５】欧州特許出願公開第１４８９６７１号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上述した特許文献５の図７Ｅに示しているように、この方法では、有機電界発光層が電極（３２４）と透明導電層（３４０）との間の電気的接触を妨げないように、電気的絶縁層（ＰＬＮ１）を堆積させるステップと透明導電層（３４０）を堆積させるステップとの間に有機電界発光層内でアブレーション（ａｂｌａｔｉｏｎ）を行うステップを必要とする。
【０００９】
本発明の目的は、上述したような欠点の少なくとも１つを回避することである。
【００１０】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、上部給電用集積電極を備えた有機発光ダイオードからなるパネルを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
この目的を達成するために、本発明は、第１に、それぞれが下部電極と上部電極とを備える有機発光ダイオードからなるパネルの製作方法であって、
ダイオードの下部給電手段およびダイオードの上部給電用分配電極の回路網（ｎｅｔｗｏｒｋ）を基板上に堆積させ、
少なくとも１つの電気的絶縁層を、パネルの活性表面全体に堆積させ、ダイオードの下部電極を、それらがダイオードの前記下部給電手段に電気的に接続されるように堆積させ、
少なくとも１つの電気的絶縁層内でのアブレーションにより、接続トレンチを形成することにより、またはこれらの電極に沿って一連の接続ホールを形成することによって、上部給電用分配電極を少なくとも部分的に露出させ、
前記接続トレンチ又は前記接続ホールを含めたパネルの活性表面全体を覆うように、少なくとも１つの有機電界発光層を１つ又は複数のゾーンに堆積させ、それによりその層をダイオードの下部電極に直接接触させ、
透明導電層を、少なくとも、有機電界発光層がダイオードの下部電極に直接接触しているゾーン上に堆積させ、それにより透明導電層の各ゾーンが、ダイオードの前記下部給電電極の少なくとも１つとの電気的接触を確保するために、前記接続トレンチの少なくとも１つ又は前記接続ホールの少なくとも１つ中に延びるようにするパネルの製作方法に関する。
【００１２】
本発明によると、ダイオードの上部給電用前記分配電極は、それら分配電極の上面上で少なくとも前記接続トレンチまたは前記接続ホールの高さのところに、起伏、特にリブを有する。
【００１３】
好ましくは、前記トレンチ又は接続ホールは、当該電極をその厚み全体にわたって露出させ、前記トレンチ及び／又は接続ホールの幅は、それらのトレンチ及び／又はそれらの接続ホールの底部のところで測るが、各電極のいずれの側にも空洞が形成されるように、前記電極の幅より少なくとも３分の１大きい。
【００１４】
要約すると、本発明は、ダイオードの上部給電用分配電極の網を組み込んだアクティブマトリックス式パネルの製作方法に関し、この分配電極は、ダイオードの透明上部電極に接続され、有機層を堆積させるステップと上部電極を堆積させるステップとの間でそれらの有機層の剥離が行われることはない。本発明によると、特に、ダイオードの上部給電用分配電極の表面上に作製されたリブ及び／又は空洞による適切な構造化によりこの剥離ステップを回避することが可能である。パネルの製作方法はこのようにして単純化される。
【００１５】
さらには、それらのリブ及び／又は空洞は、有機層が堆積されるときにその材料を受け容れ、それにより当該の層を局所的に遮断することを可能にし、上部給電用分配電極の上部表面にその層が堆積されないようにするのに十分なボリュームを提供する。つまり、有機電界発光層がダイオードの上部給電用分配電極と透明導電層との間の電気的接触を妨げる危険はもはや存在しないので、従来技術における有機層を除去するステップを回避することができる。
【００１６】
したがって、本発明のパネルの製作方法は、特に少なくとも１つの電気的絶縁層を堆積させるステップと透明導電層を堆積させるステップとの間に、有機電界発光層においてアブレーションを行うステップをもはや含まない。
【００１７】
本発明は、第２に、各ダイオードが下部電極と上部電極とを備え、それらの間に前記電極と接触する有機電界発光層素子（ｏｒｇａｎｉｃ  ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ  ｌａｙｅｒ  ｅｌｅｍｅｎｔ）が挿入されている、有機発光ダイオードからなるパネルに関し、前記パネルは、
ダイオードの下部電極（８３２）に電気的に接続されているダイオードの下部給電手段、及びダイオードの上部電極に電気的に接続されているダイオードの上部給電用分配電極（６２）の回路網と、
ダイオードの前記下部給電手段及びダイオードの上部給電用分配電極の前記回路網、すなわち、特にパネルの活性表面全体を覆う少なくとも１つの電気的絶縁層であって、ダイオードの下部電極が前記電気的絶縁層を介してダイオードの前記下部給電手段に好ましくは電気的に接続されている、少なくとも１つの電気的絶縁層と、
前記電気的絶縁層から前記層のダイオードの上部給電用分配電極を少なくとも部分的に露出させるために、少なくとも１つの電気的絶縁層内に作製されたトレンチ又は接続ホールと、
１つ又は複数のゾーンにおいて、前記ゾーンを覆う透明導電層であって、前記ゾーン中で、有機電界発光層がダイオードの下部電極と好ましくは直接に電気接触し、前記ゾーンのそれぞれが、前記トレンチのうちの少なくとも１つ及び／又は前記接続ホールのうちの少なくとも１つ中に延び、それによりダイオードの上部給電用前記分配電極のうちの少なくとも１つとの電気的接触を確保する透明導電層とを支持する基板を備え、
ダイオードの上部給電用前記分配電極が、これらの分配電極（６２）の、前記透明導電層（１１）と電気的に接触している面上ですなわち具体的には上面上で、少なくとも前記接続トレンチ及び／又は接続ホールの高さのところに、起伏、特にリブを有する。
【００１８】
したがって、ダイオードの電極間に挿入された層素子を含む有機電界発光層は、１つ又は複数のゾーン内で、好ましくは前記トレンチ又は前記接続ホールを含めたパネルの活性表面全体を覆い、ダイオードの下部電極と好ましくは直接に電気接触する。
【００１９】
好ましくは、起伏は、ダイオードの上部給電用分配電極と透明導電層との間の電気的接触面積を、それ自体公知の方式で増加させるようになされている。
【００２０】
好ましくは、前記起伏、特にリブの深さは、ダイオードの上部給電用前記分配電極の厚さの少なくとも２分の１である。例えば、起伏が上部給電用前記分配電極内に形成されたリブである場合、これらのリブの深さは、好ましくは前記電極の厚さの少なくとも２分の１であり、これらのリブの幅は好ましくはこれらの電極の幅の少なくとも３分の１である。
【００２１】
分配電極の表面のうち少なくとも透明導電層と接触しているゾーンにおいて、起伏、特にリブがその表面を構造化しているので、分配電極と透明導電層との間の接触面積を増加させることによって、ダイオードの上部給電用電流の分布が改善される。
【００２２】
好ましくは、ダイオードの下部電極を、少なくとも１つの電気的絶縁層を介してダイオードの前記下部給電手段に電気的に接続し、前記トレンチ及び／又は接続ホールも同じ電気的絶縁層を貫通させる。その際、通常、電気的絶縁層は２つある。その場合、第１の電気的絶縁層は例えばアクティブマトリックスなどのダイオードの下部給電手段を、ダイオードの下部電極及びダイオードの上部給電用分配電極の網から絶縁する。そして、第２の電気的絶縁層はダイオードの下部電極をダイオードの上部電極から絶縁する。次に、通常、ダイオードの下部電極を、ダイオードの上部給電用分配電極の網と同じ平面内に配置する。これらの２つの電気的絶縁層は、ダイオードの下部給電手段をもダイオードの上部給電用分配電極の網をも均一に覆う。
【００２３】
好ましくは、前記トレンチ又は接続ホールはこれらの電極をその厚さ全体にわたって露出させ、前記トレンチ及び／又は接続ホールの幅は、これらのトレンチ及び／又はこれらのホールの底部のところで測るが、各電極のいずれの側にも空洞を形成することができるように前記電極の幅より少なくとも３分の１大きい。有利なことに、そのような空洞は、また、分配電極と透明導電層との間の接触面積を増加させるのに寄与する。
【００２４】
好ましくは、前記トレンチ及び／又は接続ホールの深さの値はダイオードの上部給電用前記分配電極の厚さの値より大きい。好ましくは、各ダイオードの電極の間に挿入された前記層素子を含む前記有機電界発光層は、１つ又は複数のゾーン内のパネルの活性表面全体を覆い、かつ前記トレンチ及び／又は接続ホールをも覆う。起伏、特にリブ及び／又はトレンチ及び／又は接続ホールの底部の空洞によって電極表面の構造化がもたらされるので、有機電界発光層がダイオードの上部給電用分配電極の表面を完全に覆うことはない、すなわち、有機電界発光層が局部的に遮断されて、当該電極と透明導電層との間に電気的接続が直接行われるゾーンが形成されていることが認められるであろう。電極の表面を構造化する手段として、リブ又は空洞以外のどんな手段も、その手段が本発明の非被覆又は遮断の技術的効果を提供する限り、本発明から逸脱することなく使用してよい。
【００２５】
好ましくは、前記有機電界発光層の厚さは、前記起伏、具体的には前記リブ、及び／又は場合によっては前記空洞の深さより小さい。好ましくは、ダイオードの前記下部給電手段は、ダイオードの下部給電電極網を含めた少なくとも１つの電極網、ならびに、場合によっては、それ自体がトランジスタ及び／又はコンデンサなどの素子と、これらの素子を接続するための導電性パッドとを備える、ダイオード駆動回路を具備している。
【００２６】
要約すると、本発明は、ダイオードの上部給電用分配電極の網を組み込んだアクティブマトリックス式パネルであって、それらの分配電極がそれらダイオードの透明上部電極に接続され、これらの分配電極と透明上部電極との間の電気的接触が、これら分配電極の表面のテキスチャ化、具体的にはリブによって改善されているパネルに関する。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明に係る有機発光ダイオードからなるパネルの製作方法を説明するための工程図（その１）である。
【図２】本発明に係る有機発光ダイオードからなるパネルの製作方法を説明するための工程図（その２）である。
【図３】本発明に係る有機発光ダイオードからなるパネルの製作方法を説明するための工程図（その３）である。
【図４】本発明に係る有機発光ダイオードからなるパネルの製作方法を説明するための工程図（その４）である。
【図５】本発明に係る有機発光ダイオードからなるパネルの製作方法を説明するための工程図（その５）である。
【図６】本発明に係る有機発光ダイオードからなるパネルの製作方法を説明するための工程図（その６）である。
【図７】本発明に係る有機発光ダイオードからなるパネルの製作方法を説明するための工程図（その７）である。
【図８】本発明に係る有機発光ダイオードからなるパネルの製作方法を説明するための工程図（その８）である。
【図９】本発明に係る有機発光ダイオードからなるパネルの製作方法を説明するための工程図（その９）である。
【図１０】本発明に係る有機発光ダイオードからなるパネルの製作方法を説明するための工程図（その１０）である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
本発明は、非限定的な例により、かつ本発明の実施形態による、ダイオードからなるパネルを製作する際の連続するステップを示す添付の図１乃至図１０を参照して行う以下の説明を読むことにより、より明瞭に理解されるであろう。
【００２９】
次に、有機発光ダイオードからなるパネルに関する本発明による一実施形態について説明する。パネルの各ダイオードは、特に２つの「電界効果トランジスタ」（ＦＥＴ）を備える、関連する駆動回路を有する。そのような回路はそれ自体公知であり、ここでは詳細には説明しない。各ダイオードは、下部電極８３２及び透明な上部電極１３２、ならびにそれらの電極の間に挿置された有機電界発光層ゾーンを備えている。パネルは、また、特に駆動回路をアドレスし、駆動回路を選択し、ダイオードに給電するための、複数の電極網を備える。パネルは、具体的にはダイオードの下部給電電極の網を含むか、この網はそれ自体公知であり、ここでは詳細には説明しない。パネルは、また、以下で詳細に説明するダイオードの上部給電用分配電極の網を含み、この分配電極はダイオードの上部電極に接続される。それら駆動回路のすべて、特にそれらのトランジスタ及びそれらダイオードの網のすべてが、基板１とダイオード自体の間に挿置されるダイオードの駆動／給電マトリックス中に集積される。したがって、この駆動／給電マトリックスは、駆動回路を組み込んであるので、いわゆる、「アクティブ」マトリックスである。
【００３０】
図１乃至図１０は、本発明に係る有機発光ダイオードからなるパネルの製作方法を説明するための工程図である。
【００３１】
図１を参照すると、良好な平坦性を有する絶縁基板１上の電界効果トランジスタＴＦＴ１、ＴＦＴ３の位置に半導体パッドＳＣ１、ＳＣ３を堆積させた後、それらのトランジスタのドレインパッドおよびソースパッド、すなわち、トランジスタＴＦＴ１用には２１１及び２１２を堆積させ、トランジスタＴＦＴ３用には２３１及び２３２を堆積させ、かつ駆動／給電マトリックス中に集積された網のうちの１つの網の電極２２を堆積させる。そうした堆積には、例えば適切なマスクを用いて電極の金属を真空蒸着することによる、それ自体公知の手順を利用する。
【００３２】
次いで、図２を参照すると、それ自体が公知の方式で、例えば、窒化シリコンからなるゲート絶縁体層３を堆積させ、それによりアクティブマトリックス全体をほぼ均一の厚さで覆う。
【００３３】
図３を参照すると、適切な真空蒸着マスクを再挿置することにより、トランジスタ用の、すなわち、トランジスタＴＦＴ１用にはゲート導電体パッド（ｇａｔｅ  ｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  ｐａｄ）４１及びトランジスタＴＦＴ３用にはゲート導電体パッド４３と、電極２２の上方に配置される電極４２（又は導電性パッド（ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ  ｐａｄ））とを単一ステップで堆積させる。この電極４２（又は導電性パッド）は駆動／給電マトリックス中に集積された導体である。
【００３４】
次いで、図４を参照すると、例えば、シリカからなる誘電体被覆層５をそれ自体が公知の方式で堆積させ、それによりアクティブマトリックス全体をほぼ均一の厚さで覆う。すなわち、この工程中に、電極４２（又は導電性パッド）を絶縁パッド５２で覆う。
【００３５】
図５を参照すると、それ自体公知の方式で、誘電体被覆層５を貫通してトランジスタＴＦＴ１のゲート導電体パッド４１まで、ならびに誘電体被覆層５及びゲート絶縁体層３を貫通してトランジスタＴＦＴ３のソースパッド２３１及びドレインパッド２３２まで単一の工程で接続ホールを開いた後、他の工程において、一方では、当該ホールの導電性「ビア」パッド、すなわち、トランジスタＴＦＴ１のゲート接続部用には導電性「ビア」パッド６１、またトランジスタＴＦＴ３のソース及びドレイン接続部用には導電性「ビア」パッド６３１及び導電性「ビア」パッド６３２を堆積させ、他方では、ここでは電極６２で表されるダイオードの上部給電用分配電極の回路網を堆積させる。それらの導電性パッド及び電極の厚さは、好ましくは３５０から６００ナノメートルの間である。電極（上部給電用分配電極）６２の上面の中心に、ウェットエッチングによりリブ６２１を形成する。その機能については以下に説明する。電極６２の接触面積が増加するという条件で、本発明から逸脱することなく、リブ以外に電極６２をどのように構造化してもよい。このリブ６２１の深さの値は、電極上面に形成される「段」が、後で堆積される有機電界発光層１０を遮断し、その結果、この上面に当該電極の金属を部分的に露出したままにするのに十分であるように、好ましくは電極６２の厚さの少なくとも２分の１である。このリブ６２１の幅は、特に、有機電界発光層１０が、堆積された後に剥離されない場合に、有機電界発光層１０の材料を受け容れるのに十分なボリュームをもたらすように、かつこの電極が上部電極１３２に対して、十分な接触面積を提供するように、好ましくは電極６２の幅の少なくとも３分の１である。
【００３６】
次いで、図６を参照すると、電気絶縁性であり、駆動／給電マトリックス中に集積された電極、回路及びトランジスタによって形成される起伏を平坦化するように、特に厚さについて、なされた平坦化層７を、アクティブマトリックスの表面全体にわたって堆積させる。
【００３７】
次いで、図７を参照すると、それ自体公知の方式で、平坦化層７を貫通して、トランジスタＴＦＴ３のドレイン２３２に接続された導電性ビアパッド６３２まで単一の工程で接続ホールを開いた後、それら接続ホールを充填するダイオード８３２の下部電極を、適切なマスクを用いることによって堆積させる。この堆積用マスクは、これらの下部電極の必要な表面積を得るようになされている。
【００３８】
次いで、図８を参照すると、ダイオードの下部電極及び上部電極を電気的に絶縁するための絶縁層９を、アクティブマトリックスの表面全体に堆積させる。次いで、一方では、ダイオードの上部給電用分配電極６２を完全に露出させるために接続トレンチ９２を、また他方では、各ダイオードに必要な発光ゾーン領域に相当する表面全体にわたってダイオードの下部電極８３２を露出させるためにスペース９３をこの層内に形成する。平坦化層７及び絶縁層９の合計厚さを考えると、トレンチ９２の深さは電極６２の厚さよりはるかに大きい。接続トレンチ９２は、電極６２をその厚さ全体にわたって露出させ、これら接続トレンチ９２の幅は、底部のところで測るが、特に有機電界発光層１０が堆積された後で剥離されない場合に、電極６２と接続トレンチ９２の側壁との間にある各電極６２のいずれの側にも空洞９２２，９２３を形成できるように、かつ有機電界発光層１０の材料を受け容れるのに十分なボリュームを形成できるように、かつ上部電極用の十分な接触面積をも形成できるように、電極６２の幅より少なくとも３分の１大きいことが好ましい。
【００３９】
次いで、図９を参照すると、特に、スペース９３を介してダイオードの下部電極８３２の覆われていない部分を覆うように、有機電界発光層１０をアクティブマトリックスの表面全体に堆積させる。通常、この有機電界発光層１０を複数のサブ層（ｓｕｂｌａｙｅｒ）に分割し、特に発光サブ層と、この発光サブ層のいずれかの側にある、電荷の輸送及び注入のためのサブ層とに分割する。これらのダイオードが異なる発光色を有する場合は、パネルの様々なゾーンの発光色に従って異なる有機電界発光層１０を堆積させる。有機電界発光層１０の厚さは、一般的に１５０ナノメートル未満であり、すなわち、平坦化層７及び絶縁層９の合計厚さよりはるかに薄く、つまり、ダイオードの上部給電用分配電極６２の厚さよりも薄い。図９に示すように、有機電界発光層１０の材料が、電極６２とそれら電極６２が挿入される接続トレンチ９２の側壁との間に形成された空洞９２２，９２３中に溢れ出し、及び／又はそれが、それら電極６２の厚さ以内で形成されたリブ６２１中に溢れ出し、電極６２の表面の大部分は電界発光有機層１０で覆われない。空洞９２２，９２３、リブ６２１及び接続トレンチ９２の側壁の斜面によってもたらされる表面の構造化により、有機電界発光層１０が遮断され、電極６２の表面の大部分が露出したままにされることがわかる。したがって、覆われず、「露出された」ままの電極のこの部分が、上部電極の層との電気的接触に直ちに利用可能である。したがって、上述した特許文献５（特に図７Ｅを参照されたい）に記載の方法とは対照的に、これらの電極の位置の有機電界発光層１０が直ちに除去されるのを回避しながら、上部電極層を堆積させることが可能になる。非被覆及び「露出」の技術的効果を上げるためには、有機電界発光層１０の厚さがそれらの空洞９２２，９２３及び／又はリブ６２１の深さより小さいことが好ましい。電極６２の表面を構造化する、リブ又は空洞以外のどのような手段も、それが接触面積を増加させ、特に非被覆及び「露出」を増大させる技術的効果を提供する限り、本発明から逸脱せずに使用することができる。
【００４０】
次いで、図１０を参照すると、例えば、ＩＴＯ（「酸化インジウムスズ」）からなる透明導電層１１を、真空カソードスパッタリングによって堆積させ、それによりアクティブマトリックス全体を、特に、トレンチ９２及びスペース９３を実質上均一な厚さで覆う。図１０に示すものとは対照的に、この透明導電層１１の厚さは、通常、有機電界発光層１０の厚さより薄い。このようにして、スペース９３の位置に、透明導電層１１のゾーン内の上部電極１３２と、下部電極８３２と、これらの電極に挿置された有機電界発光層１０のゾーンとを含む発光ダイオードが形成される。トレンチ９２の位置に、電気的接触部１１１が、アクティブマトリックス内に集積された電極６２と透明導電層１１との間に、これらの電極の露出部分を介して確立される。一変形によると、接続トレンチ９２を、電極６２に沿って配列された一連の接続ホールで置き換える。次いで、透明導電層１１と電極６２との間の接触をこれらの接続ホール内で確立する。本実施形態においては、パネルのダイオードの上部電極はすべて同じ電位に接続されることが理解できる。一変形によると、ダイオードの上部給電用分配電極６２と平行に延びる電気的絶縁帯域に分割された透明導電層１１を得ることが可能である。各電極６２により、所与の透明導電帯域で覆われるすべてのダイオードの給電を、他の帯域で覆われたダイオードとは独立に、制御することが可能になる。
【００４１】
透明導電層１１を堆積した後、ここでは詳細には説明されない従来のカプセル化操作を実行する。
【００４２】
このようにして、ダイオードの下部給電手段及びダイオードの上部給電用分配電極６２の網を備える、本発明による有機発光ダイオードからなるパネルが得られるが、これらの電極６２は、電気的絶縁層７，９の厚さ以内に形成されたトレンチ９２の底部に挿入され、各ダイオードは、電極６２に電気的に接続されるようにトレンチ９２の底部まで延びる透明上部電極を備え、トレンチ９２の外側では、有機電界発光層１０が透明上部電極を電気的絶縁層７，９から分離している。ここで、ダイオードの下部給電手段は、ダイオードの駆動回路及びダイオードの下部給電電極の網を備えている。
【００４３】
本発明をアクティブマトリックス式ダイオードパネルに関して説明してきたが、本発明が、添付の特許請求の範囲から逸脱することなく、他のタイプのダイオードパネル、特に、パッシブマトリックス式パネルに適用できることは、当業者には明らかである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【国際調査報告】
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