(57)【要約】  中空体の中において境界層の蒸着を行なうよう中空体の中にコールドプラズマを作り出すためのマグネトロン（１６）のための高電圧電力供給発電機を制御するための方法であって、当該方法は、複数の動作モード（モード１，モード２，モード３）から発電機動作モードを選択（Ｅ２）することと、マグネトロン（１６）の設定供給電力Ｐmoyに従ってマグネトロン（１６）の供給電力の波形の最大電力Ｐmaxを規定する少なくとも１つの係数（（ａ，ｂ，ｃ）；（ａ１，ｂ１，ｃ１））を変動させることにより発電機の動作モード（モード１，モード２，モード３）を修正することを含み、マグネトロン（１６）の供給波形が、設定平均電力Ｐmoyおよび／または最大電力Ｐmaxに依存して、周期通流率Ｔｈで再帰的に繰返されることを特徴とする。
2010500473.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中空体の中において障壁層の蒸着を行なうよう中空体の中にコールドプラズマを作り出すためのマグネトロン（１６）のための高電圧電力供給発電機を制御するための方法であって、複数の動作モード（モード１，モード２，モード３）から発電機動作モードを選択（Ｅ２）することと、発電機の動作モード（モード１，モード２，モード３）の修正により、マグネトロン（１６）の平均電力セットポイントＰavgに関連してマグネトロン（１６）の供給電力の波形の最大電力Ｐmaxを規定する少なくとも１つの係数（（ａ，ｂ，ｃ）；（ａ１，ｂ１，ｃ１））を変動させることからなり、マグネトロン（１６）の供給波形が、平均電力セットポイントＰavgおよび／または最大電力Ｐmaxに依存して、周期通流率Ｔｈで再帰的に繰返されることを特徴とする、方法。
【請求項２】
波形の最大電力Ｐmaxは、電力セットポイントＰavgに関連して事前に決定されることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
平均電力Ｐavgと最大電力Ｐmaxとの間の前記関連は、多項式
【数１】
2010500473.tif 000038
を有し、式中、ｎおよびｐは整数であり、ｎはｐ以上であり、（ａ，ｂ，ｃ，…ｋ）は変数係数であることを特徴とする、請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】
前記多項式は、
【数２】
2010500473.tif 000039
のような放射の形を有し、式中、ａ、ｂ、ｃは変数係数であることを特徴とする、請求項３に記載の方法。
【請求項５】
周期通流率Ｔｈは、パーセントで、式
【数３】
2010500473.tif 000040
によって決定されることを特徴とする、請求項３または４に記載の方法。
【請求項６】
周期通流率Ｔｈは、パーセントで、式
【数４】
2010500473.tif 000041
を有する多項式を介して平均電力セットポイントＰavgに依存し、式中、ｎおよびｐは整数であり、ｎはｐ以上であり、（ａ１，ｂ１，ｃ１，…ｋ１）は変数係数であることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記多項式は、放射の形
【数５】
2010500473.tif 000042
を有し、式中、ａ１，ｂ１，ｃ１は変数係数であることを特徴とする、先行する請求項に記載の方法。
【請求項８】
最大電力Ｐmaxは、式
【数６】
2010500473.tif 000043
により求められることを特徴とする、請求項６または７に記載の方法。
【請求項９】
ある動作モード（モード１）では、係数（（ａ，ｂ，ｃ）；（ａ１，ｂ１，ｃ１））のいずれもが０でないことを特徴とする、請求項３から８のいずれか１つに記載の方法。
【請求項１０】
ある動作モード（モード２，モード３）では、少なくとも２つの係数（（ａ，ｂ，ｃ）；（ａ１，ｂ１，ｃ１））が０であることを特徴とする、請求項３から８のいずれか１つに記載の方法。
【請求項１１】
ある動作モード（モード２）では、最大電力Ｐmaxが一定に固定されることを特徴とする、請求項１から８および１０のいずれか１つに記載の方法。
【請求項１２】
周期率Ｔｈは平均電力Ｐavgに線形に依存することを特徴とする、先行する請求項に記載の方法。
【請求項１３】
最大電力は、マグネトロン（１６）についての最大電力の最大許容可能値Ｐmax, maxと、マグネトロン（１６）およびその電源の設計によって与えられる最大周期通流率Ｔｈmaxによって決定される最大電力値の低値Ｐmax, minとによって境界が与えられる安全領域に基づき決定および変動可能であることを特徴とする、請求項１０から１２のいずれか１つに記載の方法。
【請求項１４】
ある発電機動作モード（モード３）では、最大電力Ｐmaxは、平均電力セットポイントＰavgの値に線形に依存することを特徴とする、請求項１から８および１０のいずれか１つに記載の方法。
【請求項１５】
周期的通流率Ｔｈは固定されることを特徴とする、先行する請求項に記載の方法。
【請求項１６】
波形の周期通流率Ｔｈは、最大許容可能周期通流率Ｔｈmaxの値と、最大許容可能電力Ｐmax, maxの上限に従って決定され、マグネトロン（１６）およびその電源の特性に依存する最小周期通流率Ｔｈminの低値とによって境界が与えられる安全領域に基づき決定および選択可能であることを特徴とする、請求項１０、１４、または１５のいずれか１つに記載の方法。
【請求項１７】
前記係数（（ａ，ｂ，ｃ）；（ａ１，ｂ１，ｃ１））は、中空体の一回分の処理テストによって決定され、そこから平均電力セットポイントＰavgと、最大電力Ｐmaxと、周期通流率Ｔｈとの間の関係が導出されることを特徴とする、請求項３から１６のいずれか１つに記載の方法。
【請求項１８】
係数ａは（−０．００２０）と０．００２０との間であり、係数ｂは０と４との間であり、係数ｃは０と３０００との間であることを特徴とする、請求項３から１６のいずれか１つに記載の方法。
【請求項１９】
この発明の障壁層のコールドプラズマ蒸着のためのマグネトロンのための高電圧電力発電機を制御するための以下のタイプの装置であって、このタイプの前記装置は、
高電圧電力供給発電機を制御するための回路と、
電力波形セットポイントに関連して、電力スイッチブリッジの制御電極を制御するため
の回路とを含み、前記制御装置は、先行する請求項のいずれか１つに記載の方法を用いるとともに、
事前に規定された動作モードに関連して通流の最大電力のパラメータを記憶するための手段と、
平均電力セットポイントＰavgを選択するための手段と、
動作周波数を決定するための手段と、
発電機動作モード（モード１，モード２，モード３）を選択するための手段と、
蒸着の間にその温度上昇を制御しつつ、中空体上に形成される蒸着物の性能とそのインテグリティの観点とにおいて示される動作目標について電力波を規定するすべての瞬間セットポイント特性を決定するための手段とを含む、装置。
【請求項２０】
先行する請求項において記載される制御装置によって制御される高電圧発電機によって与えられたマグネトロン（１６）によって励起されるコールドプラズマを用いて、ボトルのようなプラスチックの中空体の内壁上に障壁層を蒸着するための機械。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、障壁層のコールドプラズマ蒸着のためのマグネトロンのための高電圧電力供給発電機を制御するための方法および装置に関する。この発明はさらに、このような装置を用いる、障壁層のコールドプラズマ蒸着のための機械に関する。
【背景技術】
【０００２】
先行技術において、前駆ガスまたはたとえばカーボンおよび／またはシリコンベースのガス混合物をＰＥＴのようなプラスチックからなる中空体に注入した後、障壁層の形成に繋がるコールドプラズマを作り出すために好適な方法が既に記載されている。これらの層は中空体が容器の場合に特に好適である。これは、容器の中に後で充填されることになる内容物が外部、詳細には空気中の酸素とのガス交換から層により保護されることが可能になるからである。このような保護はたとえば、容器に充填される製品が食べ物である場合に特に有利であるが、これに限定されない。
【０００３】
先行技術では、このような方法は、キャビティおよびマグネトロン生成マイクロ波を有する少なくとも１つの処理ステーションを含む、障壁層のコールドプラズマ蒸着のための機械を用いて実現される。処理されることになる少なくとも１つの中空体が、当該キャビティの中に導入され、事前に注入された前駆ガスを含む中空体の内部体積における簡便な位置に加えられるマイクロ波電力により、中空体の壁に対して活性種が投射されるコールドプラズマが作り出される。これらの活性種のすべては、中空体の内部と外部との間のガス交換に抗して障壁蒸着を形成する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、受取った電力を、放射するマイクロ波電力に変換する、マグネトロンの電源を作り出すための先行技術の装置は、このような内部障壁層の蒸着のために最適化された性能を有していない。
【０００５】
高い生産速度を得るために、障壁層蒸着機械は複数のワークステーション（現在の公知の機械上では４８個まで）を含み、当該ワークステーションの各々は、少なくとも１つのマグネトロン、またはマグネトロンに接続される１つの放射アンテナを含むことは公知である。この結果、これらのマグネトロンの１つでも不良になれば生産量の低減が引き起こされることになる。さらに、マグネトロンの電力供給（電力波形）の低品質により、処理の性能およびこのマグネトロンの寿命が制限される。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明は、先行技術のこれらの欠点に対する改善を提供し、中空体の中に障壁層が蒸着されるように中空体の内部でコールドプラズマを作り出すためのマグネトロンのための高電圧電力供給発電機を制御するための方法に関する。
【０００７】
本発明の第１の局面に従えば、本発明は、中空体の中において障壁層の蒸着を行なうよう中空体の中にコールドプラズマを作り出すためのマグネトロンのための高電圧電力供給発電機を制御するための方法に関し、当該方法は、複数の動作モードから発電機動作モードを選択することと、発電機の動作モードの修正により、マグネトロンの平均電力セットポイントＰavgに関連してマグネトロンの供給電力の波形の最大電力Ｐmaxを規定する少なくとも１つの係数を変動させることからなり、マグネトロンの供給波形が、平均電力セッ
トポイントＰavgおよび／または最大電力Ｐmaxに依存して、周期通流率Ｔｈで再帰的に繰返されることを特徴とする。
【０００８】
有利なことに、波形の最大電力Ｐmaxは、電力セットポイントＰavgに従って事前に決定される。
【０００９】
この発明に従った方法の動作モードの第１の実施の形態に従うと、平均電力Ｐavgと最大電力Ｐmaxとの間の当該関連は、多項式
【００１０】
【数１】
2010500473.tif 000003
【００１１】
を有し、式中、ｎおよびｐは整数であり、ｎはｐ以上であり、（ａ，ｂ，ｃ，…ｋ）は変数係数である。
【００１２】
有利なことに、当該多項式は、
【００１３】
【数２】
2010500473.tif 000004
【００１４】
のような放射の形を有し、式中、ａ、ｂ、ｃは変数係数である。
好ましくは、周期通流率Ｔｈは、パーセントで、式
【００１５】
【数３】
2010500473.tif 000005
【００１６】
によって決定される。
この発明に従った方法の動作モードの第２の実施の形態に従うと、周期通流率Ｔｈは、パーセントで、式
【００１７】
【数４】
2010500473.tif 000006
【００１８】
を有する多項式を介して平均電力セットポイントＰavgに依存し、式中、ｎおよびｐは整数であり、ｎはｐ以上であり、（ａ１，ｂ１，ｃ１，…ｋ１）は変数係数である。
【００１９】
有利なことに、当該多項式は、放射の形
【００２０】
【数５】
2010500473.tif 000007
【００２１】
を有し、式中、ａ１，ｂ１，ｃ１は変数係数である。
好ましくは、最大電力Ｐmaxは、式
【００２２】
【数６】
2010500473.tif 000008
【００２３】
により求められる。
有利なことに、１つの動作モードでは、係数のいずれもが０ではない。
【００２４】
代替的には、別の動作モードでは、少なくとも２つの係数が０である。
より正確には、１つの動作モードでは、最大電力Ｐmaxが一定に固定される。
【００２５】
同様に、周期率Ｔｈは平均電力Ｐavgに線形に依存する。
有利なことに、最大電力は、マグネトロンについての最大電力の最大許容可能値Ｐmax,
maxと、マグネトロンおよびその電源の設計によって与えられる最大周期通流率Ｔｈmaxによって決定される最大電力値の低値Ｐmax, minとによって境界が与えられる安全領域に基づき決定および変動するために適合される。
【００２６】
有利なことに、１つのさらなる発電機動作モードでは、最大電力Ｐmaxは、平均電力セットポイントＰavgの値に線形に依存する。
【００２７】
さらに別の動作モードでは、周期的通流率Ｔｈは固定される。
さらに同じ他の動作モードでは、波形の周期通流率Ｔｈは、最大許容可能周期通流率Ｔｈmaxの値と、最大許容可能電力Ｐmax, maxの上限に従って決定され、マグネトロンおよびその電源の特性に依存する最小周期通流率Ｔｈminの低値とによって境界が与えられる安全領域に基づき決定および選択可能である。
【００２８】
有利なことに、当該係数は、中空体の一回分の処理テストによって決定され、そこから平均電力セットポイントＰavgと、最大電力Ｐmaxと、周期通流率Ｔｈとの間の関係が導出される。
【００２９】
有利なことに、係数ａは（−０．００２０）と０．００２０との間であり、係数ｂは０と４との間であり、係数ｃは０と３０００との間である。
【００３０】
本発明の第２の局面に従えば、本発明は、この発明の障壁層のコールドプラズマ蒸着のためのマグネトロンのための高電圧電力発電機を制御するための以下のタイプの装置に関し、このタイプの当該装置は、
高電圧電力供給発電機を制御するための回路と、
電力波形セットポイントに関連して、電力スイッチブリッジの制御電極を制御するための回路とを含み、当該制御装置は、上記の方法を用いるとともに、
事前に規定された動作モードに関連して通流の最大電力のパラメータを記憶するための手段と、
平均電力セットポイントＰavgを選択するための手段と、
動作周波数を決定するための手段と、
発電機動作モードを選択するための手段と、
蒸着の間にその温度上昇を制御しつつ、中空体上に形成される蒸着物の性能とそのインテグリティの観点とにおいて示される動作目標について電力波を規定するすべての瞬間セットポイント特性を決定するための手段とを含む。
【００３１】
本発明の第３の局面に従えば、本発明は、上述されるような制御装置によって制御される高電圧発電機によって与えられたマグネトロンによって励起されるコールドプラズマを用いて、ボトルのようなプラスチックの中空体の内壁上に障壁層を蒸着するための機械に
関する。
【００３２】
この発明の他の特徴および利点は、この発明の範囲の全く説明的かつ非限定的な例の説明から、かつ添付の図面に関連してより明確に理解されるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】コールドプラズマ障壁層蒸着機械のためのマグネトロンを供給するための高電圧電力供給発電機を制御するための装置を説明する、３つの部分１ａ，１ｂ，１ｃのそれぞれの概略図であり、コールドプラズマは電力が与えられたマグネトロンのマイクロ波放射により励起される図である。
【図２】瞬間電力波の２つの例を示す図である。
【図３】この発明に従った方法の一実施の形態のフローチャートを示す図である。
【図４ａ】この発明に従った電力供給発電機の第１の動作モード（モード１）の２つの代替例に従ってマグネトロンの電力供給を決定することについて、平均電力Ｐavgに関連して最大電力Ｐmaxの変動を示す関数を示す図である。
【図４ｂ】この発明に従った電力供給発電機の第１の動作モード（モード１）の２つの代替例に従ってマグネトロンの電力供給を決定することについて、平均電力Ｐavgに関連して周期通流率Ｔｈの変動を示す関数の図である。
【図５】この発明に従った電力供給発電機の第２の動作モード（モード２）においてマグネトロンの電力供給を決定するのに有用である平均電力の関数として、マグネトロン電力供給波形の最大値Ｐmaxが変動し得る安全領域を示す図である。
【図６】この発明に従った電力供給発電機の第３の動作モード(モード３）におけるマグネトロン電源供給波形を決定するよう働く平均電力の関数として、マグネトロン電源供給波形の周期通流率Ｔｈが選択され得る安全領域を示す図である。
【図７】マグネトロン電力波の特性を決定するために、電力供給発電機の複数の動作モードの間で切換えを行なうための回路を示す図である。
【図８】第１の発電機動作モードで得られる波形の概略図である。
【図９】第２の発電機動作モードで得られる波形の概略図である。
【図１０】第３の発電機動作モードで得られる波形の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
図１は、マグネトロンのための高電圧電力供給発電機の供給を制御するための装置を概略的に示す。この発明の当該制御装置は、
−第１の部分１ａにおいて、マグネトロンのための高電圧電力供給発電機を制御するための装置を処理および制御するための部材を含み、
−第２の部分１ｂにおいて、電力変換部を含み、
−第３の部分１ｃにおいて、電源ならびにマグネトロン１６の電流および電圧計測の高電圧部分を含む。
【００３５】
この発明の制御装置は、少なくとも２つの計測信号と１つのセットポイント信号とを受取るマイクロコントローラ１０の周りに構築される部分１ａに示される処理部材１ａを含む。これらの信号は以下のとおりである。
【００３６】
−電流Ｉｓ計測信号。この信号は、マグネトロン１６のアノードに供給する電流の像であり、変圧器１５によって電力が与えられる部分１ｃ、マグネトロン１６、より正確にはそのフィラメントによって送達される。
【００３７】
−電圧Ｕｓ計測信号。この信号は、マグネトロン１６のアノード、回路１ｃからの電力供給、塊（mass)の間の電源電圧の像である。
【００３８】
−部材１１によって供給される、電力セットポイントを決定するためのセットポイント信号Ｐavg（平均電力セットポイント）。
【００３９】
この発明の制御装置は、マイクロコントローラ１０のメモリに記録されるプログラムの形態で実現される。マグネトロン１６のための高電圧電力供給発電機に適合されるこの発明に従った制御方法の１つの実施の形態を以下に詳細に記載する。この記録されたプログラムは、特に部分１ａから１ｃを含む制御装置のマイクロコントローラ１０の「ＤＳＰ」回路によって実行される際に、部材１１によって供給される平均セットポイントＰavgならびに電流Ｉｓおよび電圧Ｕｓの計測値を検出し、ＰＷＭ（Pulse Width Modulation；パルス幅変調）技術を用いて、電源１９が供給したエネルギを変調する、電源スイッチＱ１からＱ４を制御するための２つの回路１３ａおよび１３ｄに送られる制御信号ＩＧ１からＩＧ４の４つの信号をそれぞれ決定する。電力伝達が、レゾナンスフィルタからなる回路１２によって与えられる。回路１３ａおよび１３ｂによって制御される変調は、高周波数において高電力レベルをスイッチングすることができる電力スイッチＱ１からＱ４によって行なわれる。高電圧変圧器の主な部分は共振回路１２に統合される。
【００４０】
好適な前駆ガス（単一のガスまたはガス混合物）がプラスチックの中空体の中に導入される際に、マグネトロンが作り出すマイクロ波放射により励起および維持されるコールドプラズマを用いてプラスチックの中空体上に障壁層を蒸着するための装置を提供することは、先行技術において既に公知である。マグネトロンは、高電圧発電機に接続されていなければならない。部分１ｂ（すなわち共振変換部分）において作り出されるＡＣ電圧をＡＣ高電圧に変換するには、高電圧ステップアップ変圧器１７を用いることが公知である。高電圧ステップアップ変圧器１７では、フィルタ１２に統合される一次回路が、４つの電源スイッチＱ１からＱ４の間に位置する電流ブランチにおいて接続され、かつ二次回路が高電圧整流ブリッジ１８に接続される。高電圧整流ブリッジ１８は、たとえば（グレーツブリッジ（Graetz bridge）のような）公知の態様で搭載される４つのダイオードからなる。さらに、整流ブリッジ１８の出力で送達される高電圧波の最大値を調整するようフィルタリングを行なうには、マグネトロン１６の端子にて電流をフィルタリングするための磁気コアコイル（図示せず）を用いることが公知である。
【００４１】
当該フィルタリングの下流では、マグネトロン１６は、「高電圧」密集電極（mass electrode）および「高電圧」フィラメントを接続するのに用いられる「負の高電圧」−ＨＴおよび「正の高電圧」＋ＨＴ接続を介して接続される。第３のフィラメント加熱接続も与えられ、「負の高電圧」−ＨＴ電力供給およびフィラメント加熱電圧が、マグネトロン１６に適合される電源変圧器１５によって供給される。「正の高電圧」＋ＨＴ端子は本発明の装置の高電圧の塊に接続される。
【００４２】
高電圧電力供給発電機の２つの「負の高電圧」および「正の高電圧」の端子の間のバイパスにおいて、瞬間電圧を計測するための回路が設けられる。「負の高電圧」の電位Ｕｓは、マグネトロンのアノードとその塊との間の供給電圧の像であり、これがマグネトロン１６に供給されて計測され、その瞬間的な計測により放射マイクロ波エネルギを示すことが可能になる。放射マイクロ波エネルギは、ガスにおいて分子種を励起し、かつ障壁層を作り出すコールドプラズマを維持するよう加えられる。
【００４３】
さらに、共振変換部分１ｂによって送達される、マグネトロン１６のアノードに供給する電流の像である電流Ｉｓの計測が高電圧整流ブリッジ１８の出力にて行なわれる。
【００４４】
結果として、共振変換部分１ｂによって送達される電流とマグネトロン１６に加えられる電圧との正確な制御により、マグネトロン１６の瞬間的な電力消費を示したものを作り出すことができる。電力をマグネトロン１６により与えられるマイクロ波電力に変換する
事前に規定された関係により、導入された前駆ガスにおいて作り出されるコールドプラズマの状態を制御することが可能になる。
【００４５】
先行するステップでは、多くのテストの間、プラスチックの中空体を過度に加熱することなく満足のいく障壁層を作り出すべく、マグネトロン１６に加えられる電力波の最適な特性（形、周波数、ピーク値）の判断が行なわれる。実際、正確な特性を有する障壁層を作り出すとともに、中空体のプラスチック壁の温度上昇を制御し、その外見の変形または変化を避けることが必須である。この結果、波を規定する特性の制御と、ガス混合物が中空体の中で流通する圧力の制御とにより、適切な障壁層が作り出される。中空体がコールドプラズマの過度に高い温度にさらされることなく、均一な障壁層で正しくコーティングされる中空体を得るよう、かつ特にその均一性および厚みに関する所望の障壁特性を有する層を蒸着物が有するようマグネトロンの高電圧電力供給波の生成をより容易および良好に制御可能にするために、この発明は複数の動作モードに従って制御される電力波を生成するための方法を提案する。これにより、中空体と注入されるガスとの特性に関連して、マグネトロンの電力供給波形を作り出すためのモードを容易に変更することが可能になるとともに、一般的なマグネトロン供給波形のいくつかの特性に関連して発電機の最良の動作モードを選択することが可能になる。
【００４６】
図２は、この発明の特定の実施の形態における連続した２つの波形２０および２１のタイミング図を示す。ｘ軸上には時間がプロットされ、ｙ軸上には瞬間電力Ｐがプロットされる。本発明の方法に従うと、活性持続期間Ｔｍｏを有し、繰返し期間Ｔが周期通流率Ｔｈ＝Ｔｍｏ／Ｔに関連付けられる、正の正弦アーチの形状を有する波形の最大振幅特性、すなわち最大供給電力Ｐmaxをパラメータ化することが可能になる。本発明の方法は、たとえば三角形のピークタイプの波形または波高タイプの波形といった他の波形にも関係することは明らかである。
【００４７】
一般的には、周期通流率Ｔｈは、Ｔｈ＝Ｔｍｏ／Ｔという比によって規定される。式中、Ｔｍｏは基本波の活性時間であり、Ｔは繰返し期間である。電力Ｐavgの平均は、期間Ｔに亘って規定される。これは、平均電力を０からＴまで計算することにより得られる。
【００４８】
【数７】
2010500473.tif 000009
【００４９】
正弦アーチの形をとる波の場合、この式は以下のようになる。
【００５０】
【数８】
2010500473.tif 000010
【００５１】
この発明に従った方法は、波形、その周期通流率Ｔｈ、１つの繰返しから別の繰返しへのその修正のパーセンテージ（言い換えれば、その相似変換）を選択し、処理される中空体の着色、マイクロ波プラズマ適用の間の中空体の温度、および障壁層の均一性の点において規定される障壁層蒸着による処理の目的に適合することを可能とする。当該均一性は、蒸着物の厚みの点において特に示される。
【００５２】
したがって、図２は時間ｔに亘るマグネトロンの供給電力Ｐの変動を示す。これにより、正弦アーチ波の２つの例が形成されるとともに、新しい電力セットポイントについて第
１の波形２０から波２１の第１の繰返しまでの波の相似的に減少することにより、期間Ｔは一定のままであるが活性継続期間Ｔｍｏは結果としてＴ′ｍｏに低減される。
【００５３】
特に、この発明は、平均的な電力セットポイントＰavg、最大電力Ｐmax、および波形の周期通流または繰返し率Ｔｈの間の事前規定状態を設定する。たとえば、十分に長い期間の間、波形が正弦アーチ波形に固定される場合、このような事前規定状態は次の形を有する式によって示され得る。
【００５４】
【数９】
2010500473.tif 000011
【００５５】
式中、
【００５６】
【数１０】
2010500473.tif 000012
【００５７】
は、角度単位を示す。
図２における例示的な実施の形態では、第１の正弦アーチ２０は、波形繰返し期間Ｔの第１の部分である活性継続期間Ｔｍｏを有する。この波をマグネトロン１６に供給するのを意図すると完全に決定するよう、瞬間電力エンベロープの最大値も決定されなければならない。そのため、マグネトロン１６によりマイクロ波プラズマに加えられるエネルギを制御するよう、特に、最大電力Ｐmaxと、マイクロ波の適用の活性継続期間Ｔｍｏを構成する当該第１の部分の継続時間とを、波形の完全な繰返し期間Ｔに亘って波形により調整するための手段が利用可能である。
【００５８】
マグネトロン１６の高電圧電力供給発電機の動作を制御するよう、動作モードが決定される。当該動作モードにおいて、以下の記載ではＰavgと示されることになる平均電力セットポイントが決められる。この発明の制御装置は、選択された動作モードに従って、以下のものを決定するための手段を含むということが理解される。
【００５９】
−好ましくは正弦アーチ波形のような実際の波形。
−波形繰返し期間Ｔに対するマイクロ波の周期通流率Ｔｈおよび最大電力Ｐmaxのような波を決定するパラメータ。この波は、その形状（好ましくは正の正弦の半分のアーチ）と、その自然周期および通流率Ｔｈに関連付けられる繰返し期間と、最大電力Ｐmaxとにより規定される。
【００６０】
言い換えると、本発明は、中空体の中に障壁層を蒸着するよう中空体の中にコールドプラズマを作り出すためのマグネトロン１６のための高電圧電源供給発電機を制御するための方法を提案し、この方法は、複数の動作モードから発電機動作モードを選択することからなり、当該発電機動作モードの修正が、マグネトロン１６の平均電力セットポイントＰavgと関連してマグネトロン１６の供給電力の波形の最大電力Ｐmaxを規定する少なくとも１つの係数の変動を引き起こし、マグネトロン１６に供給する波形は期間Ｔを有する繰返しで繰返されることを特徴とする。
【００６１】
図３は、この発明に従った方法のフローチャートを示す。ステップＥ１の間、実際の電力波形、好ましくは正弦波アーチ形、が選択される。ステップＥ２の間、複数の事前に規定されるモードから動作モードが選択される。この選択されたモードに従って、ステップＥ３では、パラメータ（ＰmaxまたはＴｈ）の値を入力し、このパラメータの値が適用に
用いられることを意図するＰavgセットポイント範囲に対応するとチェックする必要があり得る。限界を計算するための方法は後で規定される（動作範囲）。中空体の処理を始める前に、ステップＥ４では、平均電力セットポイントＰavgをオペレータが取得することを可能にするプロセスが規定される。マイクロコントローラ１０を含む制御装置は、必要ならば、ステップＥ５の間、最大電力Ｐmaxのパラメータおよび／または周期通流率Ｔｈのパラメータを計算するためのアルゴリズムを含むシーケンス（たとえばコンピュータプログラム）を実行する。平均電力セットポイントを満足する波形が次いで規定される。１つの実施の形態において、マイクロコントローラ１０はさらに、マグネトロン１６の電力供給の調整を可能にする瞬間電力セットポイントを決定するための手段を含む。最後に、ステップＥ６の間、ブロック１ａにより制御されるマグネトロン１６の供給装置は、先行するステップＥ１からＥ５により規定される波に従って生成および調整を行なう。
【００６２】
図４ａは、マグネトロン１６の平均電力セットポイントＰavgの関数として、マグネトロン１６の供給波の最大電力Ｐmaxの値における変動（言い換えれば、マグネトロン１６の電力消費）を示す。
【００６３】
多くのテストの間、１ｋＷより低い容量を有し、約２．４５ＧＨｚの定格周波数とで動作するマグネトロンと正弦波形とを用いると、定格周波数について、最大電力Ｐmaxは、
【００６４】
【数１１】
2010500473.tif 000013
【００６５】
のような式によって決定される放射のセクションによって正確に示される。式中、定数ａ、ｂ、およびｃはこの発明の障壁層蒸着機械において用いられる中空体の重要な範囲上で実行されるテストから決定される。
【００６６】
より一般的には、平均電力Ｐavgと最大電力Ｐmaxとの間の式は以下の多項式であると分かっている。
【００６７】
【数１２】
2010500473.tif 000014
【００６８】
式中、ｎおよびｐは整数であり、ｎはｐ以上であり、（ａ，ｂ，ｃ，…，ｋ）は変数係数である。この式の優先的な形は放射形状である。
【００６９】
図４ａはしたがって、第１の動作モードに従った発電機の２つの限界動作ポイントの間、すなわち、平均電力が最小Ｐavg, minであるとともに最大電力が低境界値Ｐmax, minを有する点と、平均電力が最大Ｐavg, maxであるとともに最大電力が高境界値Ｐmax, maxを有する点との間の放射カーブのセクションを示す。
【００７０】
周期通流率が、正弦波形について、以下の式によって与えられ得るということは既に示されている。
【００７１】
【数１３】
2010500473.tif 000015
【００７２】
一般的には、周期通流率はＴｈ＝Ｆ（Ｐavg）というタイプの式によって与えられ得る
。
【００７３】
したがって、２つの特性カーブＰmax＝ｆ（Ｐavg）およびＴｈ＝Ｆ（Ｐavg）を有するので、ユーザにとって所望のセットポイント値Ｐavgを規定するのに十分である。特定の実施の形態では、マイクロコントローラはさらに、他の必須のパラメータ（周波数など）を知った上で、当該必須のパラメータに従って変動する、上述した２つのカーブに統合されるマップ記憶に基づき自動的に値ＰmaxおよびＴｈを決定するための手段を含む。マイクロ波の調整の間（マグネトロンの供給の間）用いられることになる正弦アーチ波の特性はこれにより正確に計算される。
【００７４】
これらの２つの特性カーブｆ（Ｐavg）およびＦ（Ｐavg）は組合せると、中空体とコールドプラズマによって蒸着されるその障壁層とについての上述した目的を得るための第１の動作モードを確立することが可能になる。
【００７５】
代替的には、周期通流率Ｔｈが、式
【００７６】
【数１４】
2010500473.tif 000016
【００７７】
を有する方程式によってモデル化されない場合（すなわち波形が正弦タイプでない場合）、平均電力Ｐavgに関連して周期通流率Ｔｈの変動をモデル化することも可能である。
【００７８】
これを行なうために、多くのテストの間、１ｋＷより低い容量を有するとともに約２．４５ＧＨｚの定格周波数で動作するマグネトロンを用いて、座標点（Ｐavg, min；Ｔｈmin）および（Ｐavg, max；Ｔｈmax）によって制限される
【００７９】
【数１５】
2010500473.tif 000017
【００８０】
のような式によって決定される放射のセクションによっても周期通流率Ｔｈがモデル化され得るということが決定された。式中、定数ａ１、ｂ１、およびｃ１は、この発明の障壁層蒸着機械において用いられる中空体のかなりの領域に対して行なわれるテストから確立される。
【００８１】
より一般的には、周期通流率Ｔｈが、パーセンテージとして、以下の式を有する多項式により、平均電力セットポイントＰavgに依存するということが分かっている。
【００８２】
【数１６】
2010500473.tif 000018
【００８３】
式中ｎおよびｐは整数であり、ｎはｐ以上であり、（ａ１，ｂ１，ｃ１…ｋ１）は変数係数である。
【００８４】
波が正弦形を有する場合、最大電力Ｐmaxはしたがって、以下の式を有する方程式から計算される。
【００８５】
【数１７】
2010500473.tif 000019
【００８６】
これにより、２つの特性カーブＰmax＝ｇ（Ｐavg）およびＴｈ＝Ｇ（Ｐavg）がわかるので、ユーザにとって所望のセットポイントＰavgを規定するのに十分であり、これによりこの発明の第１の動作モードに従って発電機を動作させる。
【００８７】
したがって、端的に言えば、第１の発電機動作モードは、正弦波形の利用の場合には２つの代替例を含む。当該代替例では、以下の式の対
【００８８】
【数１８】
2010500473.tif 000020
【００８９】
が適用されるか、または以下の式の対
【００９０】
【数１９】
2010500473.tif 000021
【００９１】
が適用されるかのいずれかである。適用されることになる式の対の選択は、障壁層のプラズマ蒸着のための装置の制御パラメータ（たとえば、前駆ガス注入速度、内部体積など）に依存する。
【００９２】
図５は、この発明に従った発電機の第２の動作モード（モード２）を示すグラフを示す。
【００９３】
最大電力Ｐmaxにおける変動が、平均マイクロ波電力Ｐavgの関数として示される。第２の動作モードの最大電力Ｐmaxは、処理の後の容器の所望の特性に従って決定される。それは、最小平均電力Ｐavg, minおよび最大平均電力Ｐavg, maxに対応する垂直線と、マグネトロン１６およびその電源が超えることはない最大電力Ｐmax, maxの上境界値に対応する水平線３３と、ポイント（Ｐavg, min；Ｐmax, min）と（Ｐavg, max；Ｐ１）との間にある傾斜線３４とによって境界が与えられる台形領域において選択される。Ｐmax, minの値は、最小平均電力Ｐavg, minに関連する最大電力の値に対応し、Ｐ１の値は、最大平均電力Ｐavg, maxに関連するとともに線３４を通る最大電力のとり得る最低の値に対応する。これら２つのポイントを関係付ける式は、
【００９４】
【数２０】
2010500473.tif 000022
【００９５】
のような式である。式中、係数ａ２およびｂ２は、Ｐavgが周期率Ｔｈの限界値を超えないように決定される。これにより、平均電力セットポイントＰavgに拘らず一定である限界値が、マグネトロン１６およびその電源の設計によって与えられる。
【００９６】
好ましい動作モードでは、人間−機械インターフェイス上に設けられる、最大電力値を入力するための手段に、オペレータがＰmaxの値、すなわち値Ｐmax, xを入力する。発電機は、上述した台形の中に存在する電力セットポイントＰavgのとり得る範囲ＰＰ′を生成するとともに、それを人間−機械インターフェイス上に示すための手段を含む。図５において与えられる範囲ＰＰ′は２つの制限最大電力Ｐmaxに関連付けられる、すなわち最大電力はＰmax, minとＰmax, maxとの間で変動する。
【００９７】
端的に言えば、この第２の動作モードに従うと、Ｐmax, xは事前に選択され、Ｐavgの値は線ＰＰ′上に選択される。
【００９８】
第２の動作モードを実現するために、この発明の制御装置は、計算シーケンスを実行するための手段を含み、当該手段の出力は、数値を得るための手段にオペレータが入力した値Ｐmaxの関数としてＰavgの利用の可能性のある範囲をオペレータに示すための手段に接続される。ステップＥ４の間、値Ｐavgがこれらの限界の外にある場合、すなわち図５に示される台形の外にある場合、平均電力Ｐavgの値をテストするための手段と、コールドプラズマの励起のステップを抑制するための手段とを含む制御装置は、ステップＥ６への通過を禁止する。この発明の制御装置は、プラズマ励起の抑制のステータスを示すための手段を含む。次いで、ステップＥ４の間に入手可能である値Ｐavgの窓を広げるよう、Ｐavgの値を修正するか、またはＰmaxの値を再考するかのいずれかが必要である。この目的のために、この発明の制御装置はしたがって、プラズマ励起の抑制のステータスを示すための手段の活性化に応答して平均電力Ｐavgの新しい値を入力するための手段、および／または特に最大電力Ｐmaxの新しい値を入力するための手段により最大電力値Ｐmaxの窓を広げるための手段とを含む。
【００９９】
図６は、中空体とコールドプラズマによって蒸着されるその障壁層とについて規定される目的を得るための第３の動作モードを説明するグラフを示す。
【０１００】
マグネトロン１６が消費する平均電力セットポイントＰavgの関数としての周期通流率Ｔｈの選択の領域が示される。第３の動作モードにおける周期率Ｔｈは、処理の後の容器の所望の特性に従って決定される。それは、（最小の周期率Ｔｈminの値に関連する）最小平均電力消費Ｐavg, minおよび最大平均電力消費Ｐavg, maxに対応する垂直線と、この発明の障壁層蒸着機械において用いられるマグネトロン１６およびその電力供給回路の動作安全性のために超られるべきでない最大周期率Ｔｈmaxの値に対応する水平線３５と、式が
【０１０１】
【数２１】
2010500473.tif 000023
【０１０２】
のようである傾斜線３６とによって境界が与えられる台形領域において選択される。式中、係数ｃおよびｄは、平均電力Ｐavgが最小値Ｐavg, minと最大値Ｐavg, maxとの間にある状態で、マグネトロンおよびその電力供給の特性によって与えられる最大電力Ｐmaxを超えてはならないようにマグネトロンのタイプについて決定される。したがって、図６に示されるこの台形を用いて、所与の平均電力Ｐavg, xについて周期率Ｔｈxが変動し得る範囲ＱＱ′を求めることが可能である。
【０１０３】
したがって、この第３の動作モードでは、Ｔｈxの値が選択されると、値Ｐavgの変動の起こり得る範囲が、ｘ軸値Ｐavg, minとｙ軸値Ｔｈxとを有するポイントＲから、線３６上に位置するとともにｙ軸値Ｔｈxを有するポイントＲ′までの水平線に対応する図６における線ＲＲ′によって示される。
【０１０４】
端的に言えば、この第３の動作モードでは、Ｔｈxが事前に選択され、Ｐavgが線ＲＲ′上にて選択される。
【０１０５】
第３の動作モードを実現するために、この発明の制御装置は、計算シーケンスを実行するための手段を含み、当該手段の出力は、数値を得るための手段にオペレータが入力した値Ｔｈxの関数としてＰavgの利用の可能性のある範囲をオペレータに示すための手段に接続される。ステップＥ４の間、値Ｐavgがこれらの限界の外にある場合、制御装置は、ステップＥ６への通過を禁止する手段を含み、これを活性化する。次いで、ステップＥ４の間に入手可能である値Ｐavgの窓を広げるよう、Ｐavgの値を修正するか、またはＴｈの値を再考するかのいずれかが必要である。この結果、この発明の装置はさらに、波形の周期通流率（または繰返し）Ｔｈの値を修正するための手段と、電力セットポイントＰavgの値を修正するための手段と、上述した第１の手段または第２の手段を選択するための手段とを含む。
【０１０６】
図７において、この発明の装置はさらに、ステップＥ２に示される動作モードを選択するための回路、マイクロコントローラに統合されるとともに動作モード要求に対応するモード選択回路７１を含む回路を含む。電子スイッチ７２が、動作モードであるモード１（図４）、モード２（図５）、およびモード３（図６）にそれぞれ対応する３つの回路７２、７３、および７４に接続される。
【０１０７】
したがって、この発明は、その局面の１つに従うと、この発明の障壁層のコールドプラズマ蒸着のためのマグネトロンのための高電圧電力発電機を制御するための以下のタイプの装置に関する。すなわち、当該装置は、
−高電圧電力供給発電機を制御するための回路と、
−電力波形セットポイントに関連して、高周波数電力スイッチブリッジの制御電極を制御するための回路とを含み、当該制御装置は、この発明の方法を実現するとともに、
−事前に規定された動作モードに従って通流の最大電力のパラメータを記憶するための手段と、
−平均電力セットポイントＰavgを選択するための手段と、
−繰返しＴの、動作周波数を決定するための手段と、
−発電機動作モード（モード１，モード２，モード３）を選択するための手段と、
−蒸着の間にその温度上昇を制御しつつ、中空体上に形成される蒸着物の性能とそのインテグリティの観点とにおいて示される動作目標について電力波を規定するすべての瞬間セットポイントパラメータ（ピーク電力、周波数、繰返し周波数）を決定するための手段とを含む。
【０１０８】
この発明の局面のうち別の局面に従えば、この発明は、中空体伝達メカニズムと、少なくとも１つのワークステーションとをアセンブリングすることにより得られるコールドプラズマを用いてプラスチックの中空体の内壁上に障壁層を蒸着するための機械に関し、当該ワークステーションは、機械の伝達メカニズムの各々の動作ステップにて、中に挿入される中空体に対してコールドプラズマを加える。
【０１０９】
この処理は、少なくとも１つのマグネトロン１６と、それに関連付けられる高電圧発電機との各々のワークステーションでの組合せを必要とする。
【０１１０】
この記載の残りの部分は、この発明の方法の適用例および実際的な実現例の例を示す。
上述したように、この発明に従った方法は、中空体の中において障壁層の蒸着を行なうよう中空体の中にコールドプラズマを作り出すためのマグネトロン１６のために生成された高電圧電力供給を制御するための方法に関する。当該方法は、複数の動作モード（モー
ド１，モード２，モード３）から発電機動作モードを選択（ステップＥ２）することと、発電機の動作モード（モード１，モード２，モード３）の修正によりマグネトロン１６の平均電力セットポイントＰavgに関連してマグネトロン１６の供給電力の波の最大電力Ｐmaxを規定する少なくとも１つの係数（（ａ，ｂ，ｃ）；（ａ１，ｂ１，ｃ１））を変動させることとからなり、マグネトロン１６の供給波は、平均電力セットポイントＰavgおよび／または最大電力Ｐmaxに依存して、周期通流率Ｔｈで再帰的に繰返されることを特徴とする。
【０１１１】
この発明の方法の第１の動作モードに従うと、波の最大電力Ｐmaxは、電力セットポイントＰavgに従って事前に規定される。
【０１１２】
この第１の動作モードを実現するための代替例の１つに従うと、平均電力Ｐavgと最大電力Ｐmaxとの間の式は、以下のような放射の形を有する。
【０１１３】
【数２２】
2010500473.tif 000024
【０１１４】
式中ａ、ｂ、およびｃは変数係数であり、周期通流率Ｔｈは以下の式によって決定される。
【０１１５】
【数２３】
2010500473.tif 000025
【０１１６】
一般的には、発電機動作モードに拘らず、係数ａは（−０．００２）と０．００２との間であり、係数ｂは０と４との間であり、係数ｃは０と３０００との間である。
【０１１７】
より正確には、第１の発電機動作モードの場合、ａ＝（−０．００１２）、ｂ＝３．２２、およびｃ＝２４７．６である。
【０１１８】
したがって、平均電力Ｐavgが３５０Ｗの場合、最大電力Ｐmaxは、約１２３０Ｗであり、計算される周期率は約４５％である。
【０１１９】
図８は、したがって、第１の発電機動作モードについてのこれらの設定パラメータから得られる波形を示すものを示す。
【０１２０】
代替的には、以下の式を有する方程式により、平均電力セットポイントＰavgに依存する周期通流率Ｔｈで発電機動作モードを設定することも可能である。
【０１２１】
【数２４】
2010500473.tif 000026
【０１２２】
式中、ａ１，ｂ１，ｃ１は変数係数であり、最大電力Ｐmaxは、式
【０１２３】
【数２５】
2010500473.tif 000027
【０１２４】
により決定される。係数ａ１、ｂ１、およびｃ１はしたがって、最大電力Ｐmaxと平均電力Ｐavgとの間の関係も規定する。
【０１２５】
例示として、ａ１の値は（−１０-7）と（−１０-4）との間であってよく、ｂ１の値は０．０３と０．０６との間であってよく、ｃ１の値は２５と３０との間であってもよい。好ましくは、ａ１は（−５＊１０-6）であり、ｂ１は０．０５２９であり、ｃ１は２７．８５である。
【０１２６】
好ましくは、たとえばモード１のような動作モードでは、係数（（ａ，ｂ，ｃ）；（ａ１，ｂ１，ｃ１））のいずれもが０でないのが好ましい。
【０１２７】
発電機の別の動作モード（モード２，モード３）では、係数ａ，ｂ，およびｃの少なくとも２つが０である。
【０１２８】
より正確には、第２の動作モード（モード２）では、最大電力Ｐmaxが一定に固定され、好ましくは周期率の上限値Ｔｈmaxが９０％である状態で、２１００Ｗの値に固定されるのが好ましい。
【０１２９】
この第２の動作モードに従うと、係数ａおよびｂの値は０であり、ｃの値はしたがって２１００である。
【０１３０】
これにより、平均電力Ｐavgに線形に依存する周期率Ｔｈが得られ、好ましくは波が正弦タイプのものである場合、このＴｈは約０．０７Ｐavgである。Ｔｈの値は、波が正弦タイプの場合、次の式で計算される。
【０１３１】
【数２６】
2010500473.tif 000028
【０１３２】
したがって、平均電力Ｐavgが３５０Ｗの場合、最大電力Ｐmaxは２１００Ｗであり、周期率Ｔｈは２５％であり、図９に示されるような波形が得られる。
【０１３３】
この第２の実施の形態に従えば、最大電力Ｐmaxは、マグネトロン１６についての最大電力の最大許容可能値Ｐmax, maxと、マグネトロン１６およびその電源の設計によって与えられる最大周期通流率Ｔｈmaxによって決定される低最大電力値Ｐmax, minとによって境界が与えられる安全領域に基づき決定および変動可能であるということが上述され、図５において示された。
【０１３４】
第３の発電機動作モードに従えば、最大電力Ｐmaxは、平均電力セットポイントＰavgの値に線形に依存する。
【０１３５】
この場合、係数ａおよびｃは０であり、好ましくはｂの値が１．７４５に設定される。したがって、Ｐmax＝１．７４５Ｐavgである。
【０１３６】
この第３の実施の形態に従えば、周期通流率Ｔｈが固定され、好ましくは９０％で固定される。
【０１３７】
したがって、平均電力Ｐavgが３５０Ｗの場合、最大電力Ｐmaxは６１０Ｗであり、図１０に示されるような波形が得られる。
【０１３８】
この第３の実施の形態に従うと、波形の周期通流率Ｔｈは、最大許容可能周期通流率Ｔｈmaxの値と、当該最大許容可能電力Ｐmax, maxの上限境界の関数として決定され、マグネトロン１６およびその電源の特性に依存する最大周期通流率Ｔｈminの低値とによって境界が与えられる安全表面に基づき決定され、変動可能である。
【０１３９】
一般的には、係数（（ａ，ｂ，ｃ）；（ａ１，ｂ１，ｃ１））は、中空体の一回分に対する処理テストによって決定される。それから、平均電力セットポイントＰavgと、最大電力Ｐmaxと、周期通流率Ｔｈとの間の最良の式が導出される。
【０１４０】
さまざまな発電機制御モードで形成される内部障壁層の耐漏洩性をテストするために、キャビティ内に配置されるボトルのような中空体の内部体積にアセチレンガスＣ2Ｈ2を注入することにより３つのモードについて比較テストを行った。実際、プラズマの形成による障壁層の蒸着のための装置は、中空体が配置され得る円筒形状の金属キャビティと、電力発電機に接続されるマイクロ波アンテナを含むマイクロ波導波路とからなる。このキャビティ自身は、真空システムと、アセチレンのようなガスを注入するためのシステムとに接続される。設定パラメータは、平均電力Ｐavgが２００Ｗと４５０Ｗとの間であり、中空体の内部体積に注入されるアセチレンガスの流量が６０ｓｃｃｍと１６０ｓｃｃｍ（standard cubic centimeters per minute；立方センチメートル毎秒）との間であり、蒸着時間が１．２秒と４秒との間である。蒸着圧力およびパルス周波数といった他のパラメータは一定に保たれる。
【０１４１】
以下の実施例の各々では、一回分である５つのボトルが、３つの動作モードの各々についてテストされた。得られた酸素への透過性の値は、Ｏｘ−Ｔｒａｎ（登録商標）計測システムを用いて計測され、値をｃｃ／ボトル／２４ｈで提供する。
【０１４２】
用いられたボトルは、容量が５２０ｍｌであり、重さが２８ｇのＰＥＴボトルであった。コーティングのないＰＥＴボトルの透過性の値は、０．０４ｃｃ／ボトル／２４ｈであることが公知である。
【０１４３】
・実施例１
設定パラメータは以下のとおりである。
【０１４４】
−アセチレン流量  １６０ｓｃｃｍ
−平均電力セットポイント  ３５０Ｗ
−蒸着時間  １．４ｓ
−パルス周波数  １００Ｈｚ
【０１４５】
【表１】
2010500473.tif 000029
【０１４６】
これらの設定パラメータに従うと、障壁改善因数（barrier improvement factor；ＢＩＦ）がモード１および２の場合に最もよいということが観察され得る。
【０１４７】
・実施例２
設定パラメータは以下のとおりである。
【０１４８】
−アセチレン流量  ６０ｓｃｃｍ
−平均電力セットポイント  ２００Ｗ
−蒸着時間  ４ｓ
−パルス周波数  １００Ｈｚ
【０１４９】
【表２】
2010500473.tif 000030
【０１５０】
これらの設定パラメータに従うと、障壁改善因数（barrier improvement factor；ＢＩＦ）がモード１および２の場合に最もよいということも観察され得る。
【０１５１】
・実施例３
設定パラメータは以下のとおりである。
【０１５２】
−アセチレン流量  １２０ｓｃｃｍ
−平均電力セットポイント  ２１０Ｗ
−蒸着時間  １．４ｓ
−パルス周波数  １００Ｈｚ
【０１５３】
【表３】
2010500473.tif 000031
【０１５４】
これらの設定パラメータに従うと、障壁改善因数（barrier improvement factor；ＢＩＦ）がモード２の場合に最もよいということが観察され得る。
【０１５５】
同様に、内部障壁層の蒸着のための、この発明に従った発電機の３つの動作モードの効率性を、２つの異なる層の連続的な蒸着によりテストした。第１の蒸着は、ＨＭＤＳＯ（hexamethyldisiloxane；ヘキサメチルチシロキサン）と窒素Ｎ2とのガス混合物を中空体の内部体積に注入することにより得られ、第２の蒸着は、ＨＭＤＳＯと、窒素ガスＮ2と、酸素Ｏ2とのガス混合物を中空体の内部体積に注入することにより得られた。
【０１５６】
テストされた変数パラメータは、２００Ｗと４５０Ｗとの間で変動する平均電力Ｐavgと、４から２０ｓｃｃｍに変動するＨＭＤＳＯガスの流量と、１０から１００ｓｃｃｍに変動する窒素流量と、４０から２００ｃｓｓｍ秒に変動する酸素流量と、０．５秒と２秒との間で変動する第１の層についての蒸着時間と、２秒から４秒の間で変動する第２の層についての蒸着時間とに関する。
【０１５７】
ボトルは、前述のものと同じ特性を有した。すなわち、容量が５２０ｍｌであり、重さが２８ｇであった。得られた酸素への透過性の値は、Ｏｘ−Ｔｒａｎ（登録商標）計測システムを用いて計測され、値をｃｃ／ボトル／２４ｈで提供する。コーティングのないＰＥＴボトルの透過性の値は、０．０４ｃｃ／ボトル／２４ｈであることが公知である。
【０１５８】
このような２層の障壁層蒸着の３つの動作モードについて、比較テストの３つの例が以下に示される。ステップ１は第１の層の蒸着についてであり、ステップ２は第２の層の蒸着についてである。
【０１５９】
・実施例４
動作条件
【０１６０】
【表４】
2010500473.tif 000032
【０１６１】
得られた結果は以下の表において与えられる。
【０１６２】
【表５】
2010500473.tif 000033
【０１６３】
・実施例５
動作条件（実施例４の動作条件と比較すると、その平均電力Ｐavgよりも平均電力Ｐavgは低い）
【０１６４】
【表６】
2010500473.tif 000034
【０１６５】
得られた結果は以下の表において与えられる。
【０１６６】
【表７】
2010500473.tif 000035
【０１６７】
・実施例６
動作条件（実施例４の動作条件と比較すると、ステップ１についてのみ、平均電力Ｐavg-の減少がある）
【０１６８】
【表８】
2010500473.tif 000036
【０１６９】
得られた結果が以下の表において与えられる。
【０１７０】
【表９】
2010500473.tif 000037
【０１７１】
実施例４から実施例６では、モード２は実施例４でのＢＩＦにおいて、モード３は実施例６でのＢＩＦにおいて、他よりも満足が行っていないが、３つの動作モードはほぼ均等である。
【０１７２】
したがって、この発明に従った方法によると、中空体における内部障壁層の形成と、最大電力Ｐmax、平均電力Ｐavg、および周期繰返し率Ｔｈに関連する変数係数を変動させることとについて、最適な波の特性パラメータを高速かつ単純に選択することができる。
【図１】
2010500473.tif 000044
【図２】
2010500473.tif 000045
【図３】
2010500473.tif 000046
【図４ａ】
2010500473.tif 000047
【図４ｂ】
2010500473.tif 000048
【図５】
2010500473.tif 000049
【図６】
2010500473.tif 000050
【図７】
2010500473.tif 000051
【図８】
2010500473.tif 000052
【図９】
2010500473.tif 000053
【図１０】
2010500473.tif 000054
【国際調査報告】
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