(57)【要約】  光学フィルムの機械検査用照明技術。一実施形態では、透明又は半透明の構造化シート材料を受光装置で検査するために照明する照明システムが説明される。
2010519516.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明又は半透明の構造化シート材料を受光装置で検査するために照明するシステムであって、前記シート材料が第１の面及び第２の面を有し、該システムが、
前記シート材料の一部を通過して拡散光を送る第１の光源と、
前記第１の光源と同時に前記シート材料の同じ部分に向けて光を送る第２の光源と、を含む、システム。
【請求項２】
前記第１の面及び第２の面が構造化されている、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記構造化シート材料が内部構造を有する、請求項１に記載のシステム。
【請求項４】
前記第１の面が構造化されている、請求項１に記載の照明システム。
【請求項５】
前記第１の光源が前記シート材料の第１の面に向けて光を送り、前記受光装置が前記シート材料の第２の面から光を受容するよう配置されている、請求項４に記載のシステム。
【請求項６】
前記シート材料が構造化光学フィルムである、請求項１に記載のシステム。
【請求項７】
前記構造化光学フィルムがプリズム状フィルムである、請求項６に記載のシステム。
【請求項８】
前記第１の光源及び第２の光源と同時に、
前記シート材料の同じ部分に向けて光を送る第３の光源を更に含む、請求項４に記載のシステム。
【請求項９】
前記第１の光源、第２の光源、及び第３の光源と同時に、
前記シート材料の同じ部分に向けて光を送る第４の光源を更に含む、請求項８に記載のシステム。
【請求項１０】
前記第１の光源、第２の光源、第３の光源、及び第４の光源と同時に、
前記シート材料の同じ部分に向けて光を送る第５の光源を更に含む、請求項９に記載のシステム。
【請求項１１】
前記第１の光源、第２の光源、第３の光源、第４の光源、又は第５の光源と同時に、
前記シート材料の同じ部分に向けて光を送る１つ以上の別の光源を更に含む、請求項１０に記載のシステム。
【請求項１２】
前記第１の光源が、前記受光装置とは反対側のウェブの面に拡散光を送る、請求項１に記載のシステム。
【請求項１３】
前記第２の光源が、前記受光装置とは反対側の前記ウェブの面に遠暗視野光を提供する、請求項１２に記載のシステム。
【請求項１４】
前記第１の光源が、前記受光装置とは反対側のウェブの面に拡散光を送り、前記第２の光源が、前記受光装置とは反対側のウェブの面に暗視野透過光を送り、前記第３の光源が暗視野透過光又は暗視野反射光のいずれかを送る、請求項４に記載のシステム。
【請求項１５】
光学フィルムの表面の検査領域から光を感知するよう配置された光感知装置と、
ウェブの検査領域で前記ウェブを通過して前記光感知装置に拡散透過光を送るものであって、前記ウェブの縦方向に対して第１の角度で光を提供する第１の光源と、
前記ウェブの検査領域に光を送るものであって、前記ウェブの縦方向に対して第２の角度で光を提供し、その際、前記第２の角度が前記第１の角度とは異なる第２の光源と、を含む、光学フィルムを検査するシステム。
【請求項１６】
前記光感知装置がカメラである、請求項１５に記載のシステム。
【請求項１７】
前記光感知装置がラインスキャンカメラである、請求項１６に記載のシステム。
【請求項１８】
前記光学フィルムが前記光感知装置、前記第１の光源、及び前記第２の光源のいずれか又はすべてに対して移動している、請求項１５に記載のシステム。
【請求項１９】
前記システムが前記光学フィルムの製造中に前記光学フィルムを検査する、請求項１６に記載のシステム。
【請求項２０】
前記検査領域に向けて光を送る第３の光源を更に含み、
前記第３の光源が前記ウェブの縦方向に対して第３の角度で光を提供し、前記第３の角度が前記第１又は第２の角度とは異なる、請求項１６に記載のシステム。
【請求項２１】
前記検査領域に向けて光を送る１つ以上の追加的な光源を更に含み、
前記１つ以上の追加的な光源が前記ウェブの方向に対して他の光源の角度とは異なる角度で光を提供する、請求項２０に記載のシステム。
【請求項２２】
透明又は半透明の構造化シート材料を照明する方法であって、
前記シート材料の一部を通過して拡散光を送る第１の光源を提供する工程と、
前記第１の光源と同時に前記シート材料の同じ部分に向けて光を送る第２の光源を提供する工程と、を含む、方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本出願は、米国特許仮出願第６０／８９０４１５号公報（２００７年２月１６日出願）の利益を請求するものであり、この開示内容全体は本明細書に参照することで組み込まれたものとする。
【０００２】
本開示は、マシンビジョンに関し、より詳細には、異常を最大限に認識するようにするための、例えば構造化光学フィルムの照明に関する。
【背景技術】
【０００３】
近年では、有用なコンピュータ処理の補助を得て、以前は熟練検査員を必要とした検査作業の一部を実行する自動装置が使用できるようになってきた。このような「マシンビジョン」技術は、より高性能になってきており、特に、長さ不定の材料のウェブの検査に使用されるようになってきた。
【０００４】
マシンビジョンシステムを適切に運用するには、適切なウェブの照明技術が必要である。特に需要のある例は、構造化光学フィルム上の表面欠陥の検査である。使用されている技術の１つは、いわゆる「拡散透過光」技術である。構造化光学フィルムに拡散透過光技術を使用する場合、拡散光源は、フィルムの表面に対して多くの異なる角度から光学フィルムの構造化側を照明する。カメラは、フィルムの非構造化側に配置され、フィルムの照明領域上に焦点が合わされる。特定の種類の異常が照明領域を通過する場合、異常な部分はフィルムの異常のない部分とは異なるように光を透過することがあり、この違いがカメラによって検出される。フィルムの傷などの特定の表面異常は、カメラによってフィルムの他の部分より明るく又は暗く観察されることがある。
【０００５】
別の技術、いわゆる「遠暗視野（far dark field）」技術は、光を強度に散乱させる異常を検出するために使用される。遠暗視野技術を使用する場合、１つ又は２つの光源が配置され、カメラの視線に対して角度を付けて検査されるようにフィルム上に光が当てられる。カメラからは、通常、これらの光源の光は見えない。特定の表面異常が１つ以上の光線を通過する場合のみ、光はカメラの方向に散乱され、欠陥が通常は暗い画像上に明るい領域として見られる。遠暗視野技術は、暗視野照明の一種である。別の種類としては、近暗視野が挙げられる。近及び遠の表記は、照明される表面の平面に入射する角度を意味する。
【０００６】
これらの照明技術はそれぞれ構造化光学フィルム上の特定の種類の異常を強調する幾つかの利点を有するが、これらの方法のどれか１つでは検出を妨げる幾つかの欠点が存在する。
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００７】
拡散透過光技術を少なくとも１種類の別の照明技術と組み合わせ、単一の画像化カメラでモニターされる単一の台として照明の構成を調整し得ることが発見されている。一実施形態では、追加的な照明技術は遠暗視野光源である。特定の実施形態では、この組み合わされた照明技術は、いずれか単独の照明技術よりも着実に異常を検出できる。わずか又はごくわずかに、いずれかの単一の方法で検出可能な異常の事例が容易に検出可能になるよう向上されることがある。
【０００８】
様々な実施形態において、本発明は以下のいずれか又はすべてを目的とすることがある。
【０００９】
１．透明又は半透明の構造化シート材料を受光装置で検査するために照明するシステムであって、シート材料が第１の面及び第２の面を有し、該システムが、
シート材料の一部を通過して拡散光を送る第１の光源と、
第１の光源と同時にシート材料の同じ部分に向けて光を送る第２の光源と、を含む、システム。
【００１０】
２．第１の面及び第２の面が構造化されている、実施形態１に記載のシステム。
【００１１】
３．構造化シート材料が該内部構造を有する、実施形態１に記載のシステム。
【００１２】
４．第１の面が構造化されている、実施形態１に記載の照明システム。
【００１３】
５．第１の光源が該シート材料の第１の面に向けて光を送り、受光装置がシート材料の第２の面から光を受容するよう配置されている、実施形態１〜４のいずれかに記載のシステム。
【００１４】
６．シート材料が構造化光学フィルムである、実施形態１〜５のいずれかに記載のシステム。
【００１５】
７．構造化光学フィルムがプリズム状フィルムである、実施形態１〜６のいずれかに記載のシステム。
【００１６】
８．第１の光源及び第２の光源と同時に、シート材料の同じ部分に向けて光を送る第３の光源を更に含む、実施形態１〜７のいずれかに記載のシステム。
【００１７】
９．第１の光源、第２の光源、及び第３の光源と同時に、シート材料の同じ部分に向けて光を送る第４の光源を更に含む、実施形態８に記載のシステム。
【００１８】
１０．第１の光源、第２の光源、第３の光源、及び第４の光源と同時に、シート材料の同じ部分に向けて光を送る第５の光源を更に含む、実施形態９に記載のシステム。
【００１９】
１１．第１の光源、第２の光源、第３の光源、第４の光源、又は第５の光源と同時に、シート材料の同じ部分に向けて光を送る１つ以上の別の光源を更に含む、実施形態１０に記載のシステム。
【００２０】
１２．第１の光源が、受光装置とは反対側のウェブの面に拡散光を送る、実施形態１〜１１のいずれかに記載のシステム。
【００２１】
１３．第２の光源が、受光装置とは反対側のウェブの面に遠暗視野光を提供する、実施形態１〜１２のいずれかに記載のシステム。
【００２２】
１４．第１の光源が受光装置とは反対側のウェブの面に向けて拡散光を送り、第２の光源が、受光装置とは反対側のウェブの面に暗視野透過光を送り、第３の光源が暗視野透過光又は暗視野反射光のいずれかを送る、実施形態１〜１３のいずれかに記載のシステム。
【００２３】
１５．光学フィルムの表面の検査領域から光を感知するよう配置された光感知装置と、
ウェブの検査領域でウェブを通過して光感知装置に拡散透過光を送るものであって、ウェブの縦方向に対して第１の角度で光を提供する第１の光源と、
ウェブの検査領域に向けて光を送るものであって、ウェブの縦方向に対して第２の角度で光を提供し、その際、第２の角度が第１の角度とは異なる第２の光源と、を含む、光学フィルムを検査するシステム。
【００２４】
１６．光感知装置がカメラである、実施形態１５に記載のシステム。
【００２５】
１７．光感知装置がラインスキャンカメラである、実施形態１５〜１６に記載のシステム。
【００２６】
１８．光学フィルムが光感知装置、第１の光源、及び第２の光源のいずれか又はすべてに対して移動している、実施形態１５〜１７に記載のシステム。
【００２７】
１９．システムが光学フィルムの製造中に光学フィルムを検査する、実施形態１５〜１８に記載のシステム。
【００２８】
２０．検査領域に向けて光を送る第３の光源を更に含み、前記第３の光源がウェブの縦方向に対して第３の角度で光を提供し、前記第３の角度が第１又は第２の角度とは異なる、実施形態１５〜１９に記載のシステム。
【００２９】
２１．検査領域に向けて光を送る１つ以上の追加的な光源を更に含み、前記１つ以上の追加的な光源がウェブの方向に対して他の光源の角度とは異なる角度で光を提供する、請求項２０に記載のシステム。
【００３０】
２２．透明又は半透明の構造化シート材料を照明する方法であって、
シート材料の一部を通過して拡散光を送る第１の光源を提供する工程と、
第１の光源と同時に、シート材料の同じ部分に向けて光を送る第２の光源を提供する工程と、を含む、方法。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】検査台の概略的側面図である。
【図２】検査台の概略的側面図である。
【図３Ａ】ウェブの同一部分の３つの異なる通過状態の１つを示すコンピュータ画面の画面印刷である。
【図３Ｂ】ウェブの同一部分の３つの異なる通過状態の１つを示すコンピュータ画面の画面印刷である。
【図３Ｃ】ウェブの同一部分の３つの異なる通過状態の１つを示すコンピュータ画面の画面印刷である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
構造化光学フィルムは、本明細書で使用するとき、フィルムが反射又は屈折によって光の方向を変えられるように一連のプリズムがフィルムの表面又は内部に配置された、光透過性材料からなるフィルムを指す。構造化光学フィルムは、一般に米国特許第４，９０６，０７０号明細書（コッブ（Cobb））に記載されている。
【００３３】
輝度向上フィルムは、本明細書で使用するとき、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）に通常使用されるようなランベルト（Lambertian）バックライトの軸上の見掛け輝度を向上し得るフィルムの種類を指す。輝度向上フィルムは、構造化光学フィルムであってもよい。代表的な輝度向上フィルムは、米国特許第５，９１７，６６４号明細書（オニール（O’Neill））に記載されている。一実施形態における輝度向上フィルムは、縦方向に相互に平行に配向された微小複製プリズムを含んでいてもよく、欠陥マスキングパターンを含むこともある。この欠陥マスキングパターンは、微小複製プリズムに意図的にランダムな又は見掛け上ランダムな変化を含むことがある。代表的な欠陥マスキングパターンは、米国特許第６，３５４，７０９号明細書（キャンベル（Campbell））に記載されている。一部の輝度向上フィルムは、フィルムの平面にほぼ垂直の角度（軸上）から見ると不透明さが増して見えるが、ほぼ垂直以外の角度から見ると不透明さが少なく（例えば、部分的又は完全に透明に）見える。この特性は、本明細書でより詳しく説明するように、特定の照明技術、又は照明技術の組み合わせに役立つ。
【００３４】
完全な鏡面では、一定の角度で入射した光は入射面で同じ角度に反射し、反射光を形成する。実際の表面では、この光の一部は散乱する（吸収される、回折する、ないしは別の方法で反射光以外の角度に向けられる）であろう。粒子、傷、表面粗さ、部分的な表面トポグラフィー、又は異なる材料間の境界面は、光を散乱させることがある。この散乱は、感知機器で検出され、光学フィルムに存在する異常を同定するよう分析されることができる。異常は、本明細書で使用するとき、光学収差が存在するフィルムの領域を指す。一般的な異常には、傷、表面粗さ、くぼみ、微小複製パターンの構造異常（光学フィルムにこのようなパターンが存在する場合）、連行気泡、及び混入が挙げられる。これら及びその他の異常により、光学フィルムが特定用途に使用できなくなることがある。
【００３５】
図１は、拡散透過光照明技術を追加的な技術（この場合は遠暗視野照明技術）と共に使用した検査台の概略的側面図である。この組み合わせは、幾つかの実施形態で、フィルムの表面上に存在する異常のコントラストを向上させることがある。更に、幾つかの実施形態で、この検査技術の組み合わせは、別の方法では検出不能な（又は検出困難な）異常を検出できる。更に別の実施形態では、この組み合わせは、特定の種類の構造化光学フィルムの検査に伴う視覚的ノイズを減らすことができる。
【００３６】
ウェブＩ１は光透過性フィルムである。単なる非限定例として、ウェブＩ１は、光学フィルム、構造化光学フィルム、又は輝度向上フィルムであってもよい。図１に示されるように、ウェブＩ１は製造プロセス中であり、左から右又は右から左のいずれかの横方向に移動し、この移動方向は「ダウンウェブ」方向、つまり「機械」方向と考えられるであろう。本明細書では製造中として図示及び記載しているが、本明細書に記載の照明及び検査技術は、例えばウェブが製造された後も同様に使用することができる。更に、連続又は半連続ウェブの照明及び検査に関して記載しているが、製造環境で起こり得る場合には、本明細書に記載の技術は、必要に応じてスケールアップ若しくはダウンされ得ること、又は製造以外の環境に合わせて変更され得ることを、当業者は理解するであろう。
【００３７】
本開示内における（制限のない）説明の目的で、ウェブＩ１は輝度向上フィルムとみなしてもよい。ウェブＩ１は、一実施形態において、構造化側及び非構造化側を含む。ウェブＩ１の構造化側は、この実施例では、微小複製プリズムを有し、この構造化側が拡散透過光源Ｉ３に面する（ウェブＩ１の下面が構造化面）。光源Ｉ３はレンズＩ４に向けて光を提供し、レンズＩ４はディフューザーＩ６に光を提供する。光源Ｉ３、レンズＩ４、及びディフューザーＩ６は、拡散透過光源Ｉ９を構成する。拡散透過光源Ｉ９は、ウェブＩ１の平面のほぼ軸上に配置される。ディフューザーＩ６は、ウェブＩ１の構造化側のクロスウェブセクション（以降、ウェブの照明領域と呼ぶ）を照らすよう配置される。当業者には理解されるであろうが、図１に示される例示的実施形態以外にも、拡散照明を提供するために使用可能な方法は無数に存在する。例えば、発光ダイオード（ＬＥＤ）アレイ又は蛍光ランプは、ディフューザーの有無にかかわらず、拡散照明を提供するために使用可能である。レンズＩ７は、ウェブＩ１の非構造化側に配置され、ウェブＩ７を通過した透過光を受容する。レンズＩ７は、感知装置（この場合はカメラＩ８）に光を通過させる。ディフューザーＩ６からの光は、ウェブＩ１を通過する際に屈折し（ある種の輝度向上フィルムの特性）、ウェブの照明領域がカメラ８の視角から暗く見える（カメラ８がウェブの平面の軸上の一定角度内にある限り）。ウェブの照明領域を通過する異常は、光を均等に屈折しない傾向にあり、その結果、背景より明るく見えることがある。
【００３８】
第２の照明技術の構成（この場合は遠暗視野透過光源Ｉ１０）は、光源Ｉ２及びレンズＩ５により提供され、ウェブ平面に対して垂直入射からおよそ３５°の角度で光を提供するよう配置される。特定の用途では、５°〜８５°の角度がある程度の有用性を有する。遠暗視野透過光源Ｉ１０からの光は、一実施形態では、拡散透過光源Ｉ９によって照明された同じウェブの照明領域に沿って集束される。遠暗視野透過光は、ダウンウェブ（すなわち機械）方向に光を散乱する異常を強調する傾向がある。このような異常は、微小複製プリズム若しくはパターン、及び／又は微小複製構造と裏材間の境界面にばらつきを含むか、又は裏材自体に欠陥を含むことがある。
【００３９】
したがって、２種類の照明技術（拡散透過及び遠暗視野）を組み合わせ、ウェブの照明領域からの信号を受容するように構成された、単一の感知装置（ラインスキャンカメラなど）を配置してもよい。
【００４０】
光源Ｉ２及びＩ３は、従来の白熱灯、蛍光灯、若しくはハロゲン電球、ＬＥＤ、又はレーザーなどの、発光する任意の装置であってもよい。あるいは、光源Ｉ２及び／又はＩ３は、それ自体は全く発光しない代わりに別の光源の導管であってもよい。例えば、光源Ｉ２及び／又はＩ３は、別の光源（多くの場合、近くに配置された別の装置）から光ファイバー線を介して光を伝送する、いわゆる「ファイバーラインライト」であってもよい。幾つかの実施形態では、光源Ｉ２及びＩ３は種類が異なる（１つは蛍光灯、もう１つはレーザー又はファイバーラインなど）。
【００４１】
レンズＩ４及びＩ５は、任意の種類の集光装置であってもよい。幾つかの実施形態では、光源の性質によって、レンズＩ４及びＩ５を省略してもよい。一実施形態では、レンズＩ４及びＩ５はアクリル製円筒形レンズである。
【００４２】
ディフューザーＩ６は、光を分散又は散乱させる任意の装置であってもよい。一実施形態では、ディフューザーＩ６は１枚のオパールガラスである。別の実施形態では、コネチカット州フェアフィールド（Fairfield）のゼネラル・エレクトリック（General Electric）社製の種々のポリカーボネートフィルムのいずれかのような、１枚の拡散フィルムである。
【００４３】
レンズＩ７は、任意の種類のレンズであってもよい。一実施形態では、レンズＩ７は、８５ｍｍの延長チューブを備えたシュナイダー・コンポノン（Schneider Componon）ｆ５．６／１５０ｍｍである。
【００４４】
図２は、拡散透過光照明技術を追加的な照明技術と共に使用した検査台の概略的側面図である。図２は、図１と同じ構成要素を含むが、更に別の遠暗視野透過光源（Ｊ１）及び暗視野反射光源（Ｊ２）も含む。特に、図２は、２種類だけよりも多くの異なる照明技術を光学的に組み合わせ、単一のカメラ又は単一の検査台で感知し得ることを実証している。この場合、例えば、図３に示される４つのすべての光源は、カメラ８で検査されるウェブの同じ照明部分に光を集中させる。４種類を超える照明技術を使用した別の照明技術も同様に使用することができる。
【００４５】
第２の遠暗視野透過光源（Ｊ１）は、ウェブの異常が照明領域を通過する際に第１の遠暗視野透過光源を補助して異常を強調することができる。第２の遠暗視野透過光源は、一般に第１の遠暗視野透過光源と同様に構成されるが、一実施形態では反対の角度に配置される。暗視野反射光源（Ｊ２）は、特に支持ウェブ（ウェブの非構造化側）の平坦な表面上の異常を強調する傾向がある。
【００４６】
複数の照明技術の組み合わせは、質の高い自動ウェブ検査を容易にすることができる。この質の高さは、様々な方向及び異なる表面又は表面境界面で生じる広範囲な異常の信号対ノイズのコントラストを適切に提供する照明技術の結果であり得る。更に、複数の照明技術を組み合わせることによって、組み合わせた照明技術の中のいずれか１種類だけよりも高い欠陥率に対して信号対ノイズ比を向上させることがある。例えば、特定の欠陥において、拡散透過光源Ｉ３が得られた信号の７５％を発生させ、図２に示される検査台の場合、２つの追加の遠暗視野光源が残りの２５％を付加できるため、異常部分を割り出す十分な信号が提供される。別の実施例では、透過光源Ｉ９が得られた信号の３５％を発生させ、図２に示される検査台の場合、２つの追加の遠暗視野光源（Ｊ１及びＪ２）が残りの６５％を付加できる。
【００４７】
更に、複数の照明技術は、幾つかの実施形態で、ウェブの検査に伴う固有のノイズを減らすのに役立つことがある。例えば、輝度向上フィルムなどの一部の光学フィルムは、フィルムの特性（プリズムの寸法又は配向など）に欠陥マスキングパターン又はその他の意図的にランダムな若しくは見掛け上ランダムな変化を含んでいてもよい。単一の照明技術を使用して照明されると、これらの意図的なフィルムの変化はバックグラウンドノイズとして表れ、それによって実際の異常のコントラストを低下させることがある。しかし、複数の照明技術は、このような意図的なフィルムの変化に伴うバックグラウンドノイズを減らし、それによって信号対ノイズ比を向上させることがある。
【実施例】
【００４８】
ウェブ検査台は、一般に図２に示されるように構成した。照明システムは、アイドラーローラー間のフリースパン（free span）に従来のウェブ処理システムのウェブ経路の下で取り付けた。従来の１５０ｍｍレンズを備えた、カリフォルニア州サンホゼ（San Jose）のアトメル（Atmel）から市販されているＡＶＩＩＶＡ（商標）ＣＣＤモノクロラインスキャンカメラを、照明システムの上にウェブ経路から８３ｃｍ上方で取り付けた。照明システムは３つの光源を含み、各光源は、ニューヨーク州イーストシラキュース（East Syracuse）のイルミネーション・テクノロジー（Illumination Technologies）社から市販されているモデル４９００自動較正光源（Model 4900 Auto-Calibrating Light Source）で駆動される、カリフォルニア州サンディエゴ（San Diego）のフォステック・イメージング（Fostec Imaging）社から市販されている光ファイバー線を含んだ。直接光源はカメラに向かって直接上方に照準を合わせ、２つの遠暗視野光源は垂線から４０°の角度で照準を合わせた。別の方法では、３つのすべての光源を、その長軸がウェブの横断方向と平行になるように配向した。
【００４９】
３つの各光源には、それぞれ直径が３１．７５ｍｍ（１．２５インチ）の光学的に透明なアクリルポリマー製円筒形レンズを備えた。１２．５ｍｍ（０．５インチ）幅のスロットを有するアルミニウムフレームを直接光源とウェブ下面との間に取り付け、直接光源からの光が円筒形レンズの１つを通過した後、ウェブ下面に到達する途中でスロットを通過するようにした。艶消し仕上げを施したディフューザーの半透明フィルムをスロットの上部を横切って配置した。
【００５０】
カメラの出力は、分析用パーソナルコンピュータに接続した。コンピュータでは、カナダ、ケベック州ドーバル（Dorval）のマトロックス・イメージング（Matrox Imaging）社から市販されているマトロックス・インスペクタ（Matrox Inspector）２．２ソフトウェアパッケージを実行した。
【００５１】
ウェブ検査台を使用して、様々な製品の製造に使用され得る種類の意図的な特性変化を有する厚さ７ｍｍの光学品質プリズム状光学フィルムを検査した。百マイクロメートルから数百マイクロメートルの範囲の大きさを有する穴及び表面汚染などの大きな欠陥から、約１５マイクロメートルから２０マイクロメートルの幅を有する非常に微細な掻き傷まで、起こり得る傷が様々であることが明らかであったため、実験用材料の特殊なロールを選択した。
【００５２】
図３Ａ〜図３Ｃは、ウェブの同一部分の３つの異なる通過状態を示すコンピュータ画面の画面印刷を並べて配置したものである。図３Ａは、拡散透過光源のみで照明された、ある長さのフィルムの走査画像である。図は、段階的な「斑点のある」グレースケールの色調変化を示す。意図的なフィルムの特性変化に起因する微細なバックグラウンドノイズのため、異常を確認することは難しい。図３Ｂは、遠暗視野光源のみで照明された、ある長さのフィルムの走査画像である。図３Ａは段階的な微細な信号変化を有するのに対し、図３Ｂはより明確で鮮明な信号変化を有する（多くは同じ意図的なフィルムの特性変化に起因する）。図３Ａと同様に、意図的なフィルムの特性変化に伴うバックグラウンドノイズに対して異常を確認することは難しい。図３Ｃは、図３Ａに示される技術と図３Ｂに示される技術の両方で同時に照明された、ある長さの材料の走査画像である。図３Ａ及び図３Ｂに比べて、異常（異常Ｄ１など）がより明確に識別され、バックグラウンドノイズが減少している。本発明の照明システムには有意な相乗効果があり、この斬新なシステムは従来の照明方法だけで強調されたすべての欠陥だけでなく、他の識別が難しい欠陥も強調することは、図から理解されるであろう。
【００５３】
表１は、比較的均一に構造化されたプリズム状フィルムにおける３種類の照明技術の相対的な寄与を示す。Ｙ軸は照明技術を示す。溝横断（Cross-groove）／溝沿い（down-groove）は、フィルムの構造化側の溝パターンに対する試験用異常の向きを表す。
【００５４】
【表１】
2010519516.tif 000003
【００５５】
表２は、見掛け上ランダムにパターン化されたプリズム状フィルムにおける３種類の照明技術の相対的な寄与を示す。
【００５６】
【表２】
2010519516.tif 000004
【図１】
2010519516.tif 000005
【図２】
2010519516.tif 000006
【図３Ａ】
2010519516.tif 000007
【図３Ｂ】
2010519516.tif 000008
【図３Ｃ】
2010519516.tif 000009
【国際調査報告】
2010519516.tif 000010
2010519516.tif 000011