(57)【要約】  ステータ又は二次部品等の磁石無しの主駆動構成要素と、高い分解能で位置又は移動を判定するための測定系とを備えたモータを提供する。このモータは第２モータ部品（１１０）に対し移動可能な第１モータ部品（１４０）を有する。第１モータ部品（１４０）に測定系の多数の磁界センサ機構（１６０）が固着され、これら磁界センサ機構が移動方向に沿って相互に離間している。第２モータ部品（１１０）は磁石無しの磁極歯（１２０）を有し、該磁極歯は移動方向に沿ってやはり相互に離間している。磁界センサ機構（１６０）は各々少なくとも１つの磁石を有し、該磁石の磁界は、磁界センサ機構のセンサによって検出するために磁極歯（１２０）の１つに通される。各２つの磁界センサ機構（１６０）間の距離は、各２つの磁極歯（１２０）の間の距離とは異なる。こうして例えば、非永久磁石二次部品を有する同期リニアモータにおいて位置判定を精密できる。
2010500862.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第２モータ部品（２、１１０）に対して移動可能な第１モータ部品（１４０、１５０）の位置又は移動を測定するための測定系を有し、
第１モータ部品（１４０、１５０）に測定系の多数の磁界センサ機構（１、２０、１６０）が固着されており、これらの磁界センサ機構が移動方向に沿って相互に離間しているモータにおいて、
第２モータ部品（１４０、１５０）が磁石無しの磁極歯（１１、１２、１３、１２０）を有し、これらの磁極歯が移動方向に沿って相互に離間しており、
磁界センサ機構（１、２０、１６０）が各々少なくとも１つの磁石を有し、該磁石の磁界が、磁界センサ機構のセンサ（１０）によって検出するために磁極歯（１１、１２、１３、１２０）の１つに通され、
各２つの磁界センサ機構（１、２０、１６０）の間の距離（ａ）が各２つの磁極歯（１１、１２、１３、１２０）の間の距離（ｂ）とは異なるモータ。
【請求項２】
磁界センサ機構（１、２０、１６０）の距離（ａ）と磁極歯（１１、１２、１３、１２０）の距離（ｂ）との比が整数でない請求項１記載のモータ。
【請求項３】
磁極歯（１１、１２、１３、１２０）が同じ相互距離（ｂ）を有し、磁界センサ機構（１、２０、１６０）が同じ相互距離（ａ）を有する請求項１又は２記載のモータ。
【請求項４】
磁界センサ機構（１、２０、１６０）が各々Ｕ形ヨーク区域（３、２１、３０、４１）を有し、センサ（１０）がヨーク区域の内部又は表面に配置されており、第１モータ部品（１４０、１５０）の磁極歯（１１、１２、１３、１２０）の１つに対する磁石（６、７、１９）の位置に依存して、センサ（１０）によって検出可能な逆向きの磁束をヨーク区域内で生成するために、ヨーク区域（３、２１、３０、４１）の一方の自由端に２つの逆向きの磁石又は指向可能な磁石（６、７、１９）が配置されている請求項１から３の１つに記載のモータ。
【請求項５】
ヨーク区域（３、２１、３０、４１）の両方の末端に各々２つの逆向きの磁石又は指向可能な磁石（６、７、１９）が配置されている請求項４記載のモータ。
【請求項６】
磁界センサ機構（１、２０、１６０）がＵ形ヨーク区域（３、２１、３０、４１）を有し、磁石（６、７、１９）がヨーク区域の内部又は表面に配置され、センサ（１０）がヨーク区域の内部又は表面に配置され、センサがヨーク区域の一方の自由端に２つのセンサ素子を有し、ヨーク区域内の磁束が同じときセンサ素子が異なる向きの電圧を放出し、第１モータ部品の磁極歯（１１、１２、１３、１２０）の１つに対するセンサ素子の位置に依存して相応に高い方向性電圧がセンサ素子で取り出し可能である請求項１から３の１つに記載のモータ。
【請求項７】
磁界センサ機構（１、２０、１６０）が移動方向を横切って対称に２つのヨーク部分（１５、１６）に分割されたＥ形ヨークを有し、センサ（１０）が両方のヨーク部分の間に配置されており、磁石（６、７、１９）が両方のヨーク部分の末端にある請求項１から３の１つに記載のモータ。
【請求項８】
リニアモータとして形成され、第１モータ部品（１４０、１５０）が二次部品、第２モータ部品（２、１１０）が一次部品である請求項１から７の１つに記載のモータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、モータであって、第２モータ部品に対し移動可能な第１モータ部品の位置又は移動を測定するための測定系を有し、第２モータ部品が多数の磁界センサ機構を有し、これらの磁界センサ機構が移動方向に沿って相互に離間しているものに関する。
【背景技術】
【０００２】
本発明の対象とするモータは、リニアモータ又は回転モータである。
【０００３】
公知の測定系は、位置を判定すべき移動方向で離散的位置標識が均一に離間配置され、単一の読取ヘッドによって読み取られる点で共通している。例えば増分論理で読取信号を評価することで、移動時に位置を判定できる。位置判定の精度は位置標識の相互距離により定まる。
【０００４】
しかし移動方向における位置標識の空間的広がりの故に、これらの距離は任意に低減し得ず、更に、ごく狭い距離を有する測定系の製造支出は高まる。
【０００５】
独国特許出願第１０２００５０１７４９７．３号明細書で紹介された同期リニアモータの二次部品は非永久磁石である。一次部品は電磁石も永久磁石も担持している。このため特に走行経路が長いとき、普通二次部品に固着される数多くの永久磁石を節約できる。
【０００６】
更に独国特許出願第１０２００６０１６５０３．０号明細書に開示された電気機械用検出器装置は、機械構成要素に対する相対的な位置又は移動を検出すべく、磁極歯を備えた機械構成要素を有する。検出器装置はＵ形ヨーク又は相応するヨーク区域とセンサとを有し、該センサは磁気量を検出すべく、ヨーク区域の内部又は表面に配置されている。機械構成要素の磁極歯の１つに対する磁石の位置に応じてセンサにより検出可能な逆向きの磁束をヨーク区域内で生成すべく、ヨーク区域の一方の自由端に２つの逆向きの磁石や指向可能な磁石が配置されている。「ヨーク区域」とは磁極歯を含むヨーク全体も意味する。
【０００７】
こうして、ヨーク又はヨーク区域の内部で、機械構成要素に対する検出器装置の走行時にヨーク内で磁束の方向を変化させ得る。それ故、零通過を有する信号を得、その結果位置を一層正確に判定できる。更に、場合によって得られる正弦と余弦の信号対は、通常の正弦／余弦検出器評価に適している。
【０００８】
この明細書に述べられた検出器装置も、Ｕ形ヨーク区域と、ヨーク区域の内部又は表面に配置されてヨーク区域内に磁束を生成するための磁石と、磁気量を検出すべくヨーク区域の内部又は表面に配置されるセンサとを有する。ヨーク区域の一方の自由端のセンサが２つのセンサ素子を有し、ヨーク区域内の磁束が同じ場合センサ素子は異なる向きの電圧を生じ、機械構成要素の磁極歯の１つに対するセンサ素子の位置に依存して相応に高い方向性電圧をセンサ素子で取り出し得る。この実施形態では、ヨーク自由端の一方で、両方の磁気コイル内における磁束の比が変化する。センサ素子内で電圧の向きが異なるので、場合によっては零通過を有する相応に精密な位置信号を得られる。
【０００９】
更にこの明細書が示す検出器装置は、移動方向に対し対称に２つのヨーク部分に分割されたＥ形ヨークと、両方のヨーク部分間に配置されたセンサと、両方のヨーク部分の末端に配置された方向性磁石又は指向可能な磁石とを備えている。この装置では、単一の磁石公差のみが測定に入り込む。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の課題は、同じ距離の位置標識で測定精度が高まり、又は所定の測定精度において位置標識間に一層大きな距離を許容でき、位置を判定するための測定系を有し、ステータ又は二次部品等の磁石無しの主駆動構成要素を有するモータを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
この課題は、請求項１の特徴を有する測定系を備えたモータにより解決される。従属請求項は本発明の有利な諸構成に関する。
【００１２】
即ち本発明が提供するモータは、第２モータ部品に対し移動可能な第１モータ部品の位置又は移動を確定するための測定系を有し、第１モータ部品に測定系の多数の磁界センサ機構が固着されており、該磁界センサ機構が移動方向に沿って相互に離間しており、第２モータ部品が磁石無しの磁極歯を有し、この磁極歯が移動方向に沿って相互に離間しており、磁界センサ機構が各々少なくとも１つの磁石を有し、該磁石の磁界が、磁界センサ機構のセンサによって検出するために磁極歯の１つに通され、各２つの磁界センサ機構間の距離が各２つの磁極歯の間の距離とは異なっている。
【００１３】
従って本発明はバーニヤ原理を利用する。例えば２つの指標（ここでは磁極歯）の間の距離がΔであるとき、これにより従来の測定系の分解能が与えられる。本発明によりＤ＝
Δ／Ｎ（Ｎは整数）の分解能を達成すべく、相互距離δを有するＮ個の受容体（ここでは
センサ）が利用され、δはδ＝Δ−Ｄによって与えられる。
【００１４】
こうして特定位置において受容体の１つが位置標識を検知すると、移動方向でそれに続く受容体は区間Ｄだけ移動後にそれに続く次の位置標識を検出し、全体として分解能がＤに高まる。
【００１５】
受容体間の距離を指標間の距離よりも大きく選択することも基本的に可能であり、分解能Ｄは距離の差によって与えられる。この結果、指標の距離と受容体の距離との比が整数であってはならないことにもなる。それは、その場合最初の分解能Δが達成されるに過ぎ
ないからである。この理由から、磁界センサ機構の距離と磁極歯の距離との比も整数とすべきではないであろう。
【００１６】
更に、磁極歯が同じ相互距離を有し、同様に磁界センサ機構が同じ相互距離を有すると好ましい。しかし距離は個々の走行区域で異なるようにしてもよい。かくして、所望の走行区域で高い分解能、別の走行区域では左程高くない分解能を得ることができ、個々の区域で距離は互に同じである。
【００１７】
好ましい実施形態によれば、磁界センサ機構がＵ形ヨーク区域を有し、センサがヨーク区域の内部又は表面に配置され、第１モータ部品の磁極歯の１つに対する磁石の位置に依存して、センサによって検出可能な逆向きの磁束をヨーク区域内に生成すべく、ヨーク区域の一方の自由端に２つの逆向きの磁石又は指向可能な磁石が配置される。この結果、ヨーク自由端の１つにおいて両方の磁気コイル内で磁束の比が変化する。センサ素子内で電圧の向きが異なるので、既述ように、場合によっては零通過を有する相応に正確な位置信号を得ることができる。
【００１８】
好ましくは、Ｕ形ヨーク区域の両方の自由端に各々２つの逆向きの磁石又は指向可能な磁石が配置される。こうしてヨーク内の磁束は相応に強化される。
【００１９】
本発明に係るモータの他の好適な実施形態では、磁界センサ機構がＵ形ヨーク区域を有し、磁石がヨーク区域の内部又は表面に配置され、センサがやはりヨーク区域の内部又は表面に固着され、センサがヨーク区域の一方の自由端に２つのセンサ素子を有し、ヨーク区域内の磁束が同じときセンサ素子が異なる向きの電圧を放出し、第１モータ部品の磁極歯の１つに対するセンサ素子の位置に依存して相応に高い方向性電圧がセンサ素子で取り出し可能である。この結果、ヨーク自由端の１つにおいて両方の磁気コイル内で磁束の比が変化するという既述の利点が得られる。センサ素子内の電圧の向きが異なるので、場合によっては零通過を有する相応に正確な位置信号を得ることができる。
【００２０】
本発明の別の１構成では、磁界センサ機構は移動方向を横切って対称に２つのヨーク部分に分割されたＥ形ヨークを有し得る。センサは両方のヨーク部分の間に配置でき、磁石は両方のヨーク部分の末端に設け得る。この設計によって、ヨーク又はヨーク区域の内部での検出器装置の走行時、ヨーク内での磁束の方向の変化を、単一の磁石で達成できる。その場合、ここでは単一の磁石公差のみが測定に入り込む。
【００２１】
モータがリニアモータとして形成され、第１モータ部品が二次部品、第２モータ部品が一次部品であるとよい。こうして非永久磁石の二次部品を有する同期リニアモータは、高い分解能の本発明に係る測定系を装備できる。
【００２２】
以下、添付図面に基づいて本発明を詳しく説明する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下で詳しく述べる実施例は本発明の好ましい実施形態である。実施例はリニアモータに関係しているが、回転モータ、特にトルクモータにも転用できる。
【００２４】
図４に記号で示す直線的配列３００の個々の磁極歯３０１、３０２…は、各々相互距離Δ、ここでは例えば１０単位（例えばｍｍ）を有する。この配列３００は位置判定を行う
べき任意の長さにわたって（図４で垂直に）延設できる。
【００２５】
磁極歯の配列３００と平行に、磁界センサ機構２０１、２０２…２１０の配列２００が配置されている。磁界センサ機構は、図示例では９単位（例えばｍｍ）であるδの距離を有する。
【００２６】
図示位置で、磁界センサ機構２０１が磁極歯３０１に直接対向しており、磁界センサ機構２０１が磁極歯３０１を検出する。
【００２７】
走査配列２００が移動方向で区間Ｄ＝Δ−δだけ（図４で垂直に下方に）移動すると、磁界センサ機構２０２が磁極歯３０２に対向し、この磁極歯を検出する。これは各々Ｄだけの継続摺動時に継続され、磁界センサ機構２１０が１つの磁極歯を検出する。引き続き磁界センサ機構２０１が磁極歯３０２に対向し、このプロセスが最初から始まる。磁界センサ機構の信号を好適に評価、例えば増分評価することによって、図４に示す位置と磁界センサ機構２０１が磁極歯３０２に対向する位置との間で合計１０の信号が得られる。こうして測定系の分解能はファクターΔ／（Δ−δ）だけ改善される。  
【００２８】
配列３００、２００は、磁極歯Ｐと磁界センサ機構Ｍが同心円上にあるように位置決めしてもよい。回転モータにおける回転位置はこうして確定できる。
【００２９】
以下、リニアモータを対象として、本発明に係る測定系を説明する。
【００３０】
図１〜３に示すリニアモータは、それ自体周知の如く支持板１１０とその上に取付けられた磁極歯１２０とを備えた二次部品を有し、磁極歯は非永久磁石であり、互いに直線的に並べられている。空隙を介して二次部品が一次部品と協動し、一次部品は本体１４０とその仲に受容された巻線１５０と、図示しない永久磁石を有する。一次部品の巻線１５０の磁極ピッチ寸法ａは、二次部品の磁石無しの磁極歯１２０の相互距離ｂとは異なる。
【００３１】
本発明に従い、一次部品は複数の磁界センサ機構１６０を備えている。各磁界センサ機構は、少なくとも１つの磁石と少なくとも１つの磁界センサとを有する（図５〜図１１参照）。磁界センサ機構１６０はコイル１５０内に配置され、図３に矢印で示すように磁極歯１２０の方を向いている。
【００３２】
巻線の磁極ピッチ寸法ａが二次部品の磁石無しの磁極歯の距離ｂと異なる故、個々の磁界センサ機構１６０は各永久磁石の磁界を局所的に異なる位相で検出する。これら信号を評価することで位置を確認し、又は精度を著しく高め得る（バーニヤ原理）。
【００３３】
図では、各コイルに２つずつの磁界センサ機構１６０を設けているが、基本的にコイル当り１つの磁界センサ機構で十分である。磁界センサ機構の磁石を一次部品の片側に配置し、磁界センサを反対側に配置することも可能である。
【００３４】
図２に更に示す磁気軌道１３０は、磁極歯１２０の列の横で二次部品の支持体１１０に取付けられている。この磁気軌道１３０は、例えば磁化可能なゴム又はプラスチックで構成し、支持体１１０に固定できる。
【００３５】
例えば位置に関する情報は、絶対値又は増分値としておよび／又は転換のために、磁気軌道１３０内で符号化され、この情報は単一の読取ヘッド（図示せず）によって読み取られる。
【００３６】
図示の実施例では、測定系の分解能は位置標識となる磁極歯の距離ｂ（＝Δ）と受容体
となる磁界センサ機構の磁極ピッチ寸法ａ（＝δ）とから次式で得られる。
Ｄ＝ａ−ｂ
【００３７】
以下、本発明に係るモータ内で利用できる磁界センサ機構の幾つかの実施形態を、図５〜１１に関連して詳しく説明する。
【００３８】
リニアモータ部分の図５に示す縦断面図は、走査ヘッド１又は一次部品区域と二次部品２とを示している。走査ヘッド１は、ここでは磁界センサ機構として役立つ。複数のこのような磁界センサ機構が図１、図２に示すように移動方向でモータの一次部品に配置されている。一次部品１は、ほぼＵ形に形成されたヨーク３を備えている。ヨーク３の自由端４、５に永久磁石６、７、８、９が磁極歯として配置されている。全ての永久磁石６〜９が走査ヘッド１から二次部品２の方向又はその逆へと磁化されている。平行な、しかし逆向きに磁化された各々２つの永久磁石６、７又は８、９が各自由端４、５にある。
【００３９】
両方の自由端４、５の間で、ヨーク３内にホールセンサ１０がある。場合によってはホールセンサ１０がヨーク３を２つの半片に分割する。
【００４０】
二次部品２は、ここでは、歯１１、１２、１３を備えたラックから成る。二次部品２の歯は走査ヘッド１の歯６、８又は７、９と同じ距離を有する。
【００４１】
ヨーク３と二次部品２は強磁性体から成り、好ましくは積層して形成されている。
【００４２】
一次部品の永久磁石６、８が二次部品２の歯１１、１２上にある図５に示す位置の際、ホールセンサ１０を磁界又は磁束１０１が「左から右」へと貫通する。次に走査ヘッド１即ち磁界センサ機構が移動方向１８で更に左に移動すると、ホールセンサ１０内の磁界が徐々に減少し、最後に零となる。更に移動すると磁界の方向が切り換わり、最後に最大値となる。これは、永久磁石７、９が二次部品の歯１１、１２の上にあるように走査ヘッドが位置するときに該当する。更に左に移動すると磁界は再び低下し、方向が切り換わり、最後に、永久磁石６、８が歯１３、１１の上にあるとき再び最大値となる。こうして１歯ピッチだけのこの移動時に、零通過を有する正確に１つの検出器信号周期が生ずる。
【００４３】
図６は、図５の実施例を変更した実施形態の磁界センサ機構を示す。この形態では複数のステップを変更しており、変更ステップは個々に又は２つの組合せでも実施できる。
【００４４】
第１変更ステップでは、ヨークの単一の自由端にのみ永久磁石６、７を配置している。永久磁石６が図６で上向きの磁界を生成し、二次部品２の１つの磁極歯の上に配置されているので、ホールセンサ１０内に書き込まれた磁束１０２が生じる。それに対し、その磁化が下向きの永久磁石７が二次部品２の１つの磁極歯の上にあると、ホールセンサ１０内の磁束は逆向きである。
【００４５】
第２変更ステップでは、Ｕ形ヨークの両方の自由端脚部の間の結合脚部にではなく、自由端脚部の１つにホールセンサを配置している。
【００４６】
第３変更ステップでは、第３自由端脚部をヨークに付け加えている。従って図６の例では一体なＥ形ヨーク１４が得られる。しかし、位置センサが二次部品２の磁極歯に対し対称な位置にある場合を除き、移動判定又は位置判定に決定的な磁束は実質的に１つのＵ形ヨーク区域のみを通過する。
【００４７】
図７は、Ｅ形ヨークを有する磁界センサ機構の他の実施形態を示す。ヨークは対称的に２つのヨーク半片１５、１６に分割されている。ヨーク半片間に空隙があり、該空隙内にホールセンサ１０が配置されている。従って中央脚部１７は２つの平行な脚部半片から成り、脚部半片はホールセンサ１０を設けられた空隙により分離されている。両方の脚部半片の自由端に単一の永久磁石１９がある。図７の例では、この永久磁石１９は上向きに磁化されており、図示の磁束１０３が生じる。脚部１７の左半分が二次部品２の磁極歯１１の上にあるので、左側脚部半片内の磁束は上方に、ホールセンサ１０内を左から右へと通過する。中央脚部１７の右半分が磁極歯１１又は別の磁極歯の上にあるとき、磁束は実質的に右半分内を通過し、ホールセンサ１０内を右から左へと通過する。その場合、極性の反転した測定電圧が得られる。この実施形態の利点は、磁界センサ機構用に単一の永久磁石で足りることにある。
【００４８】
この測定原理は、永久磁石とホールセンサをコイルで置換することで、リラクタンス型リゾルバ原理によるインダクタンス測定ヘッドにも転用できる。図８では、選択的磁界センサ機構、即ち検出器装置２０がヨーク２１の自由端に界磁コイル２２、２３、２４、２５を備えている。こうして形成された電磁石は、ヨーク２１の自由端に異なる磁化方向を持たねばならないので、相応に電気的に相互接続されている。この例では、界磁コイル２２〜２５が直列接続されている。磁化方向を逆転すべく、コイル２２〜２５の巻線方向が同じ場合、これらコイルは、コイル２２の下側端子がコイル２３の下側端子に結合され、コイル２３の上側端子がコイル２４の下側端子に結合され、コイル２４の上側端子がコイル２５の上側端子に結合されて直列接続される。コイル２２の上側の自由な端子と、コイル２５の下側の自由な端子とに励磁信号が印加される。
【００４９】
両方の脚部をヨーク２１の自由端と結合する結合脚部に測定コイル２６が巻回されている。ヨーク２１内を流れる磁束により生成した電圧はこの測定コイルで取り出せる。
【００５０】
直動駆動装置の二次部品２７は、図５の二次部品２と同じ形状を有する。同様に、一次部品又は検出器装置２０の幾何学形状は図５の部品１と同じ幾何学形状である。
【００５１】
図８の検出器装置の機能様式は図５の装置のそれと基本的に一致する。ここでは単に永久磁石が界磁コイルに置換され、ホールセンサが測定コイルに取り替えられている。電磁石２２〜２５が交流で作動する故、図５による上記実施例との等価性は、相応に小さな時間範囲内でのみ妥当する。これは、この小さな時間範囲内では、ヨーク内の磁束の方向が機械構成要素の磁極歯に対する磁気コイルの位置に直接依存していることを意味する。
【００５２】
図６の実施例で利用するコイルは、機能を反転して作動させてもよい。コイル２６は界磁コイルとして使用し、ヨーク２１の自由端のコイル２２〜２５は測定コイルとして使用できる。その場合、個別コイルの測定信号が加算されて１つの合成測定信号となる。この合成測定信号も、歯が二次部品２７の歯の上にあるときその最大値に達する。その間に、図５の実施例におけるように零通過が生じる。
【００５３】
上記のように、ホールセンサおよび永久磁石を備えた配列はリラクタンス型リゾルバ原理による配列に移行させ得る。同様に、測定コイルと界磁コイルを相互に置換できる。
【００５４】
本発明の磁界センサ機構の他の実施例を図９に示す。該磁界センサ機構又は検出器装置で、１つの信号ばかりか９０°移相した２つの信号を各々零通過付きで生成できる。このため、Ｅ形ヨーク３０の中央脚部に界磁コイル３１を巻回している。余弦信号を生成すべく、２つの測定コイル３２、３３をヨーク３０の左側脚部の自由端に設けている。同様に正弦信号を生成すべく、２つの測定コイル３４、３５をヨーク３０の右側脚部の末端に設けている。測定コイル３２、３３は、巻線方向が同じ場合、両方のコイルの下側端子が結合されているように直列に接続され。同じことが測定コイル３４、３５に妥当する。
【００５５】
測定信号を最適化すべく、ヨーク３０の寸法は二次部品２の磁極対長ＰＰＬ又は電気周期に調整される。それによれば、ヨーク３０の外側脚部の中心間距離は２．２５ＰＰＬである。こうして位置判定のために、単一のヘッドで各々零通過を有する正弦信号、余弦信号を得ることができる。
【００５６】
図５〜９に関連して述べた配列は所謂直軸磁束機の二次部品用に適し、モータによって生成される磁束が二次部品において移動方向で閉じた機械用に適している。このような直軸磁束機の二次部品は、二次部品の個々の歯が導磁式に互いに結合されていることを特徴とする。それに対し、モータによって生成される磁束が移動方向を横切って、従って各１つの歯の内部で閉じた横軸磁束機では、歯４０は従って非導磁式に互いに結合されていなければならない。図１０は相互に磁気絶縁された歯４０から成るこのような二次部品用の配列を上から見た図で示す。図８は相応する正面図である。ヨーク４１又はヨーク区域はここでも実質Ｕ形に形成されている。ヨーク４１の自由端に各々２つの永久磁石４２、４３及び４４、４５が設けられている。磁石４２、４３の磁化方向は磁石４４、４５の磁化方向と同様に逆向きである。ヨーク４１の中央のホールセンサ４６が磁束を記録する。ヨーク４１の磁石が走行方向１５で二次部品の磁極歯４０の上を走行するとき、ここでもホールセンサ４６内で磁束方向が変化する。
【００５７】
走査ヘッド又は検出器装置１、２０および場合によっては二次部品２、２７を相応に形成することで、センサ信号の正弦波形を最適化できる。その際、磁極歯の形状だけでなくそれらの距離も重要となる。
【００５８】
ヨーク３、２１の一方の自由端にのみ永久磁石又はコイルが配置されていれば、この測定原理を実現するのに十分である。ヨーク３、２１の他方の自由端は必ずしも磁石を備えている必要がない。しかしこの実施形態ではセンサ信号の品質が低下する。
【００５９】
複数の磁界センサ機構を備えた測定系を本発明により形成することによって、有利なことに、従来技術に比べて高い分解能が達成される。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】非永久磁石二次部品を有する本発明に係るリニアモータの略図。
【図２】非永久磁石二次部品を有する本発明に係るリニアモータの略図。
【図３】非永久磁石二次部品を有する本発明に係るリニアモータの略図。
【図４】測定原理を説明するための略図。
【図５】第１実施形態による磁界センサ機構又は検出器装置の縦断面図。
【図６】Ｅ形ヨークを有する第２実施形態による磁界センサ機構の縦断面図。
【図７】単一の永久磁石を有する第３実施形態による磁界センサ機構の縦断面図。
【図８】第４実施形態による磁界センサ機構の縦断面図。
【図９】磁界センサ機構の第５実施形態の縦断面図。
【図１０】第６実施形態の立体図。
【図１１】図７の実施形態の正面図。
【符号の説明】
【００６１】
１、２０、１６０  磁界センサ機構、２、１１０、１４０、１５０  モータ部品、３、２１、３０、４１  ヨーク区域、６、７、１９  磁石、１０  センサ、１１、１２、１３、１２０  磁極歯、ａ、ｂ  距離
【図１】
2010500862.tif 000003
【図２】
2010500862.tif 000004
【図３】
2010500862.tif 000005
【図４】
2010500862.tif 000006
【図５】
2010500862.tif 000007
【図６】
2010500862.tif 000008
【図７】
2010500862.tif 000009
【図８】
2010500862.tif 000010
【図９】
2010500862.tif 000011
【図１０】
2010500862.tif 000012
【図１１】
2010500862.tif 000013
【国際調査報告】
2010500862.tif 000014
2010500862.tif 000015
2010500862.tif 000016
2010500862.tif 000017
2010500862.tif 000018
2010500862.tif 000019