(57)【要約】光学部材マウントは外側部材および内側部材を備える。内側部材は中心軸を有し、複数の折り目屈曲部により外側部材内に懸架されている。各折り目屈曲部は、中心軸と１つの共通点において交差するラインに沿って位置する折り目を有し、共通点は、内側部材の回転移動の中心となる。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外側部材および内側部材を備え、該内側部材が中心軸を有し、複数の折り目屈曲部により前記外側部材内に懸架されてなり、該各折り目屈曲部が前記中心軸と１つの共通点において交差するラインに沿って位置する折り目を有し、
前記共通点が、前記内側部材の回転運動の中心として機能することを特徴とする光学部材マウント。
【請求項２】
前記内側部材が前記中心軸に関して実質的に対称であることを特徴とする請求項１記載の光学部材マウント。
【請求項３】
前記内側部材が実質的に円筒形であることを特徴とする請求項１記載の光学部材マウント。
【請求項４】
前記内側部材が、前記中心軸に関して対称な開口をさらに有することを特徴とする請求項１記載の光学部材マウント。
【請求項５】
前記開口内に取り付けられたレンズ部材をさらに備えたことを特徴とする請求項４記載の光学部材マウント。
【請求項６】
一体構造として形成されてなることを特徴とする請求項１記載の光学部材マウント。
【請求項７】
前記各折り目屈曲部のために、前記折り目のラインが、前記中心軸に関して傾斜されていることを特徴とする請求項１記載の光学部材マウント。
【請求項８】
前記共通点が、前記内側部材から離れていることを特徴とする請求項１記載の光学部材マウント。
【請求項９】
外側部材および該外側部材内に形成された内側部材を備え、該内側部材が中心軸を有し、複数の折り目屈曲部により前記外側部材内に懸架されてなり、
該各折り目屈曲部が前記中心軸と１つの共通点において交差するラインに沿って位置する折り目を有し、
前記共通点が、前記内側部材の回転運動の中心として機能することを特徴とする一体型光学部材マウント。
【請求項１０】
前記共通点が、前記内側部材から離れていることを特徴とする請求項９記載の光学部材マウント。
【発明の詳細な説明】
【関連出願の相互参照】
【０００１】
本出願は、２００７年２月２８日に出願された、名称が「一体型光学マウント」である、ブランディングらによる米国仮出願番号６０／９０３，９９１の利益を主張する。
【技術分野】
【０００２】
本発明は、部品の取付けに関し、とくに光軸および光軸に直交する軸の周囲において制御された量の回転が可能であり、かつ不要な他の運動を制限する光学部材のマウントに関するものである。
【背景技術】
【０００３】
フォトリソグラフィ、またはマイクロリソグラフィ装置は、マイクロ電子半導体デバイスおよび他のマイクロデバイスの製造に広く使用されている。フォトリソグラフィにおいて、光学系は、高解像度かつ正確に位置合わせを行ってパターンを記録するために、シリコンウェハまたは他の基材に形成された感光層に光エネルギを案内する。小型化するための改良が続いているため、この機能のために使用される光学系の性能および正確さに対する要求がより厳しいものとなってきている。マイクロリソグラフィ光学系は、多数の光学部材を有しつつ、非常に大型かつ複雑である。
【０００４】
一般的に「ステッパレンズ」として公知のマイクロリソグラフィに使用されるレンズアセンブリは、通常多数のレンズ部材を有し、各レンズ部材は、ステンレス鋼または他の安定した材料から作製された円筒状の「セル」に正確に取り付けられる。これらの各セルは、例えばレンズが取り付けられた際に、連続する各セルが隣接するセルの面に固定されるように、平坦かつ平行に研磨された面を有する、非常に厳しい公差により精密加工できる。通常、このタイプの配置は、例えばＸＹ平面における微量のチルトまたは中心合わせの動き等の、非常に限定された調整のみが可能である。一旦すべてのセルが組み立てられると、レンズ全体が試験され、あらゆる不要な収差または画像欠陥が特定される。このタイプの光学装置に使用される、ある積層環レンズアセンブリの配置は、例えば、名称が「光学部材および積層環アセンブリ用の分断されたマウント」である、ブラニングらによる特許文献１に開示されている。
【０００５】
これらのレンズの最終的な組み立ては、適切な性能レベルが達成されるまで、試験および調整の繰り返しを必要とする、時間を要する工程となり得る。調整のうちのいくつかは、１以上の部品を修正でき、その後再度組み立てることができるように、新たに組み立てられたレンズが分解されることを必要とするものであってもよい。多くの場合、そのような複雑なレンズアセンブリが完全に再度組み立てられた後に、他の測定可能な光学的欠陥を修正するために、１以上のレンズ部材をわずかなにチルトまたは偏心させる必要があるかもしれない。これらの欠陥を修正するための調整のいくつかは、組み立てられたレンズを用いて最もよく行われるであろう。系の構成部品を完全に分解する必要なく、レンズ部材の位置決めのある程度の微調整が可能な取り付け機構を提供することが有利であろう。複雑なマイクロリソグラフィレンズアセンブリを設計する際、他の欠陥を引き起こすことなく特定の欠陥を修正できるように、特定のレンズ部材を調整できるようにすることが望ましい。積層レンズを分解する必要なく、レンズアセンブリの光軸に沿った１以上の所定位置において、レンズ部材に対して非常に細かいチップおよびチルトの調整が可能であれば、相対的に「直交する」方向において、特定の欠陥または収差を調整できる。
【０００６】
複雑なマイクロリソグラフィアセンブリまたは他の複雑なレンズ系における収差を補正する作業は、かなりの時間および人的資源を必要とする可能性があり、かつ光学収差の初期の詳細な評価を必要とする。球面収差、コマ収差、および非点収差を含むが、これらに限定されない波面誤差の解析と、接線、台形、並びに半径歪みおよび倍率誤差等の画像配置誤差の解析とに基づいて、光学系における調整する必要があるポイントを特定できる。この評価の一部として、１つの収差の修正時に他の収差を引き起こすか増大させる副作用を特定し、かつ最小限にできるように、収差間の「クロストーク」効果を招くおそれがある調整を特定しなければならない。
【０００７】
収差が補正される手順は非常に重要である。例えば、標準的な手法において、まず非対称誤差が適正な誤差の範囲内に補正された後、次いで対称誤差が補正される。その後、さらなる非対称誤差を補正する手順を行う。調整の繰り返しが必要であるかもしれない。異なる収差タイプ間のクロストークを最小限にすることを支援するために、異なる収差の直交性が何らかの方法で定量化されなければならない。一例として、特定のレンズ部材をチルトすることによる補正が非対称コマ収差を低減し、非対称非点収差または接線歪みに対して殆ど効果がないかもしれないことを、ある評価が決定してもよい。しかしながら、この同様のチルトが、台形歪みに対して顕著な効果があるかもしれない。系における他の調整が、他の収差に対して同様の効果があるかもしれず、その場合において、ある場合には効果がほとんどなく、他の場合には顕著な効果がある。この理由のため、特定のレンズアセンブリ設計用に必要とされる調整の手順を実行するために、体系的な方法が使用される。誤差を引き起こすことなく、制御された補正の可能性を低減するために、レンズを分解および再組み立てする必要なく、この系における調整を行うことが要求される。
【０００８】
チルト、チップおよび各種タイプの偏心調整の問題を解決するための多くの解決法が提案されている。これらの解決方法のうちのいくつかは、発明の名称が「正確な制限を提供する精密チップチルトピストン」である、ヘイルの特許文献２等のように、多数の小部品を有する複雑な機械アセンブリを必要とする。発明の名称が「とくに光学部材における、少なくとも１つの軸の周囲に対象物を傾斜させる装置」である、ウェーバーの特許文献３等の他の解決法は、チルト角度またはチルトおよびチップ角度を設定するための調整可能な制限部に沿った２つの直交する回転軸を、運動学的に規定する制限部の配置を提供する。
【０００９】
しかしながら、そのような従来の手法は、チルトおよびチップ調整に対するある程度の制御方法を達成できるが、高解像度のマイクロリソグラフィのために必要なものについては不十分である。複雑な機械アセンブリは、製造および使用に際して費用がかかる可能性があり、熱膨張を受ける可能性があり、かつそれらの精度および正確性を制限する不要な運動「不純物」を引き起こす可能性がある。あらゆる方向における過度の制限を防止するために、制限部の配置は注意深く設計され、かつ組み立てられなければならない。したがって、レンズアセンブリを分解する必要なく、組み立て後にレンズ部材のチルトおよびチップ位置、並びに偏心の微調整が可能な、改良された光学部材マウントが必要である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】米国特許第５４２８４８２号明細書
【特許文献２】米国特許第５９８６８２７号明細書
【特許文献３】米国特許第６２７１９７６号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、マイクロリソグラフィ等の、とくに高レベルの精度を必要とする用途のための、光学部材マウントの技術を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
この目的を達成するために、本願発明による光学部材マウントは、
外側部材および内側部材を含み、該内側部材は中心軸を有し、多数の折り目屈曲部により前記外側部材内に懸架され、該各折り目屈曲部は、前記中心軸と共通点において交差する線に沿って位置する折り目を有し、前記共通点は前記内側部材の回転運動のための回動点となることを特徴とするものである。
【００１３】
折り曲げられたシート屈曲部を使用する、一体構造に適したマウントを提供することが本発明の特徴である。
【００１４】
光軸の周囲に多少の回転ができるが、光軸に直交する軸の周囲において、チルトおよびチップ回転のための、レンズまたは他の光学部品の動きを制限するとともに、中心合わせの調整をある程度可能とすることが本発明の効果である。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】運動学的な制限部の原理を説明するのに適した、公知の公園の遊具を示す斜視図
【図２】一実施形態におけるレンズマウントの斜視図
【図３】図２に示すレンズマウントの平面図
【図４】他の実施形態におけるレンズマウントの斜視図
【図５】さらに他の実施形態におけるレンズマウントの斜視図
【図６Ａ】図５に示す実施形態における折り目屈曲部の拡大図
【図６Ｂ】図６Ａに示す折り目屈曲部を規定するキャビティの中心線の軌跡を示す概略図
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本明細書において、「頂部(top)」および「底部(bottom)」の用語は相対的なものであり、表面のあらゆる必須の方向を示すものではないが、部品または材料ブロックの反対側の面同士を参照し、区別するために使用される可能性がある。
【００１７】
本明細書に示され、説明される図面は、本発明によるレンズマウントデバイスの動作および製造の主要な原理を説明するために使用されるものであり、実際のサイズおよび大きさを示すことを意図するために描かれたものではない。動作の基本的な関係または原理を強調するために、ある程度の誇張が必要であるかもしれない。
【００１８】
本発明の装置および方法は、単一の材料ブロックにキャビティの配置を形成することにより減算的に形成するか、または単一部品を形成するためのパターンに材料を付与する多数の技術のいずれかにより加算的に形成して、一体構造とすることができるため、従来のレンズマウントの設計に対して利点を有するレンズまたは他の光学部材の運動学的なマウントメカニズムを提供する。本発明のレンズマウントを、多数の部品から組み立て、後述する形状に形成しかつ配置することもできる。
【００１９】
本発明の装置は、２つの剛性部品であるかのように運動学的に動くように、単一材料ブロックから形成できるレンズセルであり：レンズまたは他の光学部品を保持する内側部材、および１以上の隣接するレンズセルまたは他の構造物に固定可能な外側部材またはフレームを備える。内側部材は、軸に関して対称であることが好ましい。外側部材が固定されて保持されているため、制限部の配置により、内側部材はこの軸に関して３つの回転自由度を持つことができる。不要な寄生運動を伝えることなく、かつレンズアセンブリを分解する（およびその後の再構成をする）必要なく、この動きを達成することができる。光学系の設計者に対して、本発明による制限部の特定の配置は、レンズまたは他の光学部品の回転運動のための、光軸に沿った単一の回動点を提供するため、従来の制限部の配置に対して利点を有する。位置調整のためのかなりの柔軟性を許容しつつ、回動点の相対的な位置を設計者が特定することができる。
【００２０】
本発明の動作をよりよく理解するために、かつて公園の遊具として多く見られた「タイヤスイング」に関して示された運動学的な関係を考慮することが有益である。タイヤスイング１０において、タイヤ１２は、ほぼ同一長さの３本のチェーンにより、アイボルト１４または他の上方の回動点に接続される。運動学的な観点より、チェーン１６は重力との協働により制限部となる。適用された運動学において、１つの共通点で交差する３つ（あるいはそれ以上）の制限部のこの特定のパターンにより制限された物体が、固定された共通点を介して３つの回転自由度（ＤＯＦ）を有することが十分に理解される。したがって、この遊具装置のタイヤ１２は、回転に関して３つの自由度（ＤＯＦ）を有する。３つのチェーン１６の交点（すなわちアイボルト１４）に示す座標軸を参照すると、タイヤ１２は図１の破線に示すようにｙ軸の周囲に回転できる（θｙ回転）。同様にｘ軸の周囲の回転（θｘ回転）、またはｘおよびｙ軸の双方の軸の周囲の回転（θｘおよびθｙ回転）も可能であり、ｚ軸の周囲におけるある程度の回転も同様に可能である（θｚ回転）。３つのチェーン１６が重力により引っ張られて緊張した状態にあるとき、他の自由度はあり得ない。
【００２１】
本発明の目的は、いわば図１のタイヤスイングの例に示されるものと基本原理においてある程度類似する運動学的な関係を提供することである。２つの軸の周囲においてチルトおよびチップ自由度を許容する従来の運動学的マウントの解決方法とは異なり、本発明は、タイヤスイングの例に示す中心または光軸Ａ上の単一の共通の回動点に関する動きを提供する。本発明のために、可動の内側部材はｚ軸に沿った変形を制限し、θｘ 、θｙ およびθ z 回転の少なくともある程度の自由度を持って、光学中心の調整を可能にする。内側部材は、レンズ、鏡または他の部材等の光学部品を取り付けるために使用されてもよく、それ自体が反射部材等の光学部品であってもよい。
【００２２】
本発明において、より単純には折り目屈曲部と称される折り目シート屈曲部は、その折り目の線に沿った単一の制限部を提供する。本発明は、図１におけるタイヤスイング１０を参照して説明した、θｘ、θｙおよびθｚ自由度と同等の配置を提供するように方向が合わせられた折り目を有する、折り目屈曲部制限部の配置を採用する。（タイヤスイングには重力が必要な構成要素であるが、折り目屈曲部により提供される直線状の制限部は、引っ張りおよび圧縮の双方において強固であるため、タイヤスイングに例えることが不十分であることはもちろんである）。
【００２３】
図２は本発明の一実施形態による光学部材マウント２０を示す図である。光学部材マウント２０は、内側部材２２を備え、光学部材を保持するために使用されるオリフィスまたは開口２６を備える。内側部材２２は、複数の折り目屈曲部３０により外側部材２４の内側に懸架される。図２に示すように最低３つの折り目屈曲部３０が使用される。各折り目３２は、共通点Ｐにおいて光軸Ｏと交わる対応ラインＬ１，Ｌ２またはＬ３に沿って延びるように、チルトされかつ方向が合わせられる。各ラインＬ１〜Ｌ３は、光軸Ｏと平行ではなく、光軸Ｏに向かって傾斜している。図１および図２の制限部の配置が基本的に等価であることが分かる。したがって、ラインＬ１，Ｌ２およびＬ３の交点により規定される共通点Ｐは、中心光軸Ｏに対して直交する軸の周囲、および光軸Ｏそれ自身の周囲における、内側部材２２の回転運動のための固定回動点となる。
【００２４】
図示の実施形態において、共通点Ｐは、光学部材マウント２０の構成部品から間隔を空けた位置にある。しかしながら、共通点Ｐの位置は拘束されていない。したがって、本発明の装置によれば、光学系の設計者は、そこに向けて折り目屈曲部３０の折り目３２の方向が合わせられる、点Ｐの光軸Ｏに沿った相対的な位置を最適化できる。例えば、当業者は公知の光学系の解析技術を使用することにより、光学部材マウント２０を使用する各レンズまたは他の光学部材のために、光学系の設計者は、特定の場合においてその回動点Ｐとして機能するのに最適な、光軸Ｏに沿った対応する位置を特定することができる。
【００２５】
通常、内側部材２２は光軸Ｏに関して対称である。しかしながら、この軸に関する対称性は必要ではない。円筒の数学的な定義が、公知の正円シリンダのみならず、固定された直線に対して直線を平行移動することにより外表面を規定可能な、他の多数の形状をも含み、移動する直線が、固定平面閉曲線またはベースと交差することが理解されよう。内側部材２２および外側部材２４の円筒形を図２および以下に示すが、これの部品のいずれか一方または双方を非円筒形とすることができるであろう。
【００２６】
図２から分かるように、折り目３２はＶ字構造を形成し、本実施形態においては、折り目屈曲部３０に特色のある「傾斜山形」形状を付与している。各折り目３２は、折り目３２の延長線と光軸Ｏとの間の角度Ｇが０とならないように、光軸Ｏに関して傾斜した角度にある。各折り目により形成された角度Ｇは、通常約３０度〜約１５０度の範囲にある、可能な角度範囲を超えて変更可能であり、これにより、マウント２０を柔軟に設計することができる。
【００２７】
各折り目３２が、共有された共通点Ｐにおいて光軸Ｏと交差する線上に位置する限り、多数の異なる山形の方向が可能である。図３の平面図に示す、図２の実施形態において、山形は、内側部材２２の対称形状に関して接線方向を向く。折り目屈曲部３０を内側部材２２に接続するアーム３４は、内側部材２２から接線方向外側に延びる。
【００２８】
図４は、折り目屈曲部３０の山形が図２および図３に示すものと同様に接線方向を向く他の実施形態を示す。しかしながら、図４の実施形態において、アーム３４は、内側部材２２から外側に放射状に延びる。各折り目３２が、交点が共通回動点ＰとなるラインＬ１〜Ｌ３に沿って位置する限り、折り目屈曲部３０により形成される傾斜山形形状のあらゆる適切な方向を使用できる。さらに不図示の他の実施形態において、折り目屈曲部３０の山形は、内側部材から放射方向外側を向くことができるであろう。折り目屈曲部３０および山形の数、並びにアーム３４の方向を、用途の要求に応じて特定できる。製造方法およびコストが、折り目屈曲部３０の好ましい形状および方向を達成するための、実施上の考慮点となる可能性がある。
【００２９】
一体構造にとっての１つのコストの考慮点は、光学部材マウント２０を製造するために、ブロックから除去されなければならない、または加算的に付与されなければならない材料の量に関連する。図３に示すように、各折り目屈曲部３０は、折り目屈曲部３０の形状を規定するためにキャビティ３６の形状を考慮できるように、２つの隣接するキャビティ３６により規定される。図５に示す光学部材マウント２０の他の実施形態は、比較的狭い屈曲した隙間となるキャビティ３６の配置を使用する。切削または加工製造技術にふさわしく、この実施形態は、内側および外側部材２２，２４の間のキャビティを規定するために、上記図２〜４に示す実施形態よりも少ない材料が除去されることを必要とする。ここで、内側部材２２内の開口２６も、外側部材２４の径に関して相対的に大きい。この構成における折り目屈曲部３０の１つの配置を示すために、図５における破線で示す部分Ｅを図６Ａに拡大して示す。説明のために、図６Ｂは、一点鎖線において、図６Ａに示す折り目屈曲部３０を規定する隣接するキャビティ３６の部分の中央線のみを示す。さらに、折り目屈曲部３０は、それぞれが折り目屈曲部３０の反対側の面を規定する２つの隣接するキャビティ３６により規定されるため、一体構造において傾斜山形パターンが使用される。折り目３２は、図５および図６Ａに示す傾斜した交差するラインＬ１に沿って位置する。この同様のパターンは、図５に示す実施形態における各折り目屈曲部３０に使用される。図５に示す実施形態が、光軸Ｏに沿って見た方向に関して９０度間隔で配置され、ラインＬ１〜Ｌ４に沿って揃えられた折り目を有する４つの折り目屈曲部３０を使用する点に注目されたい。
【００３０】
当業者であれば容易に認識できるように、光軸Ｏに沿って見た方向に関して実質的に１２０度の間隔で配置された３つの折り目屈曲部３０を使用することに利点がある。しかしながら、光学部材マウント２０が単一の材料ブロックから形成される場合、過度の制限を懸念することなく、３より多い折り目屈曲部３０を使用できる。実際に、図５に示すように、光軸Ｏに沿って見た方向に関して９０度間隔で配置された４つの折り目屈曲部３０を有するある設計において、４つの折り目屈曲部３０を使用することの利点が見出された。この関係により、不要な動きを導入することなく、直交するチルトおよびチップ調整を行うことが可能となる。
【００３１】
従来のレンズマウントの手法とは異なり、本発明は、内側部材２２の回転運動を可能とするために、共通点Ｐにおける単一の回動点を提供する。光軸Ｏに関して傾斜した角度に各折り目３２を揃え、各折り目３２を光軸Ｏと共通点Ｐにおいて交差するラインに沿うようにすることにより、光学部材マウント２０に、本明細書における図面に使用する座標系にしたがって、θｘ、θｙの回転および任意のθｚの回転の自由度を提供するための、正確な制限部の効果を与えることができる。したがって、回動点Ｐに関する回転により、偏心のための制御された調整量を提供できる。
【００３２】
一体型製造
この移動可能な内側部材とその関連する固定フレームとの組合せを一体構造とできること、すなわち単一の材料ブロックから形成できることが有利である。単一部品または一体構造は、線膨張係数の相違並びに固定部の製造および組み立て等を原因とする問題を低減するという利点を有する。全体的に単一部品加工されたレンズマウントアセンブリは、他のタイプのレンズマウントよりも、加工応力を本質的に低減させるであろう。単一部品により、光学アセンブリを構成するための取り扱い、組み立ておよび取り付けを簡単なものとすることができる。一体型に形成された光学マウントは、構造的に位置合わせされている。
【００３３】
上述したように、単一材料ブロックにキャビティの配置を形成することにより、本発明の光学部材マウントを減算的に製造できる。コンピュータ数値制御（ＣＮＣ）により可能となった加工技術を用いることにより、単一部品の構造を提供するために、非常に正確かつ繰り返し可能な機械加工を達成することができる。ＥＤＭ加工（放電加工）は、金属または他の硬い材料から複雑な部品を正確に製造するために使用可能な、ＣＮＣ加工の一つの方式である。簡単に説明すると、ＥＤＭは、電極と除去される材料との間にあるギャップ間の放電を用いて、導電性基材の加工製品から材料を選択的に破壊する。誘電性流体は、電極の周囲のギャップ領域に継続的に流れ、除去された材料を洗い流す。継続的に移動するワイヤをその電極として使用するワイヤＥＤＭは、ＥＤＭの１つの方式である。一体型部品を製造するために適用可能な他の技術は、従来の加工、レーザ加工、各種エッチング技術、ウォータージェット、および規定された寸法のキャビティを、その全体の輪郭および深さを制御しながら形成および成型しつつ、まとまったブロックから材料を除去する一般的な加工技術を含むことができる。
【００３４】
一体型の実施形態において光学部材マウント２０に使用される材料は、ステンレス鋼、アルミニウムまたは他の安定した加工可能な金属、あるいは適度にたわむことが可能なポリマーおよびセラミックを含む絶縁材料を含む、使用される用途および製造方法のタイプに適した任意の材料とすることができる。ＥＤＭを使用するためには、導電性の材料が必要である。一体型光学部材マウント２０は、ブロックから材料を除去するために破壊を採用する、他の加工技術を使用する減算的方式によっても形成できる。例えば、低コストの機械加工方法を使用して、材料ブロックに最初にオリフィスまたは開口２６を形成できる。
【００３５】
ある材料を使用して、光学部材マウント２０を成型部品とすることができ、または例えば材料の付与を含む他の方法により形成できる。一体構造を提供するために、多数のラピッドプロトタイピング技術のいずれかを使用できるであろう。光学部材マウント２０の製造に採用できるであろうラピッドプロトタイピング技術のある例は、選択レーザ焼結（ＳＬＣ）、ステレオリソグラフィ、および加算的方式にて材料を付与することにより固体構造を製造する多数の他の技術を含む。
【００３６】
本発明の構成は、光学部品のチップおよびチルト、並びに中心合わせの調整が可能な従来の解決方法よりも、多くの点において利点を有する。一体または一体構造は、光学部材マウント２０に、熱安定性および全体の剛性のための多くの固有の利点を与える。多数のレンズ部材を有する光学アセンブリにおいて、複数の光学部材マウント２０を使用できる。上述したステッパレンズ用の積層環状パターンに適合させつつも、異なる回動点Ｐに関して、そのレンズのチルトおよびチップ並びに中心合わせの調整が可能なように、各光学部材マウント２０を同一の外形寸法形状を有するものとすることができる。光学系における任意のマウントに使用される共通点Ｐは、光学部材マウント２０の光軸に沿って上方または下方にあるものとすることができる。
【００３７】
本発明の光学マウントは、単一レンズまたは他の光学部品用に、もしくは上述したマイクロリソグラフィに使用されるステッパレンズ等の、複雑な光学アセンブリにおける１以上の光学部材用に使用できる。図２〜６Ａに示す実施形態において説明したように、光学部材マウント２０を一体構造とすることができるが、複数の部品を組み立てて構成することもできる。したがって、例えば１以上の折り目屈曲部３０を別々に製造し、適切な固定設備または接続技術を使用して、内側部材２２および外側部材２４の間に固定できる。各折り目３２に必要とされる正確な角度方向を自動的に提供することによって、一体構造が明らかな利点を提供できることが理解できよう。
【００３８】
本発明をその特定の好ましい実施形態をとくに参照して詳細に説明したが、本発明の範囲を逸脱することなく、当業者であれば、上述したおよび添付の特許請求の範囲に規定した本発明の範囲において変形または修正が可能であることが理解されよう。例えば、本発明の装置はフォトリソグラフィ用途に非常に適しているが、直交する座標軸に関しての回転のみが可能な他の任意の数の用途にこのマウント装置を使用できる。開口２６を、レンズ、鏡、プリズム、光学フィルム、格子または他のデバイスを含む任意の数の光学部材を、デバイス用の支持装置とともに支持するために使用できる。開口２６を形成する内側部材２２の内面を、光学部材および必要な任意の固定具を保持するために加工し、さもなくば特徴付けることができる。開口２６を設けることなく、内側部材２２それ自体を光学部品としてもよい。
【００３９】
したがって、提供されるのは、光軸に直交する軸の周囲にチップおよびチルトが可能であり、光軸の周囲にある程度の回転が可能であるが、軸または軸に直交する面に沿った並列の動きを制限する、光学部材用のマウントである。
【符号の説明】
【００４０】
２０    光学部材マウント
２２    内側部材
２４    外側部材
２６    開口
３０    折り目屈曲部
３２    折り目
３４    アーム
３６    キャビティ
【図１】
2010520501.tif 000003
【図２】
2010520501.tif 000004
【図３】
2010520501.tif 000005
【図４】
2010520501.tif 000006
【図５】
2010520501.tif 000007
【図６Ａ】
2010520501.tif 000008
【図６Ｂ】
2010520501.tif 000009
【国際調査報告】
2010520501.tif 000010
2010520501.tif 000011