(57)【要約】  本発明は、アクチュエータユニット（ＡＵ）の配列及び高感度ユニット（ＳＵ）の配列を含む、サンプル操作用のマイクロ電子装置に関する。アクチュエータユニット（ＡＵ）は特に、隣り合うサンプルチャンバーでサンプル（１）に誘電泳動力を及ぼすことができ、高感度ユニット（ＳＵ）は、任意的に前記サンプルの性質を測定する。更に、アクチュエータユニット（ＡＵ）は、電力線（ＰＬ）のセットに連結し、高感度ユニット（ＳＵ）は、信号線（ＳＬ）のセットに連結し、これらの線の経路選択は、寄生結合の効果が、前記電力線上の交流電力信号の与えられたセットにとって最小にされる。電力線（ＰＬ）は特に、位相シフトを除いて同じである交流電気信号を供給され得る。任意的に、電力線と信号線の間の結合はクロストーク効果の最大の補償を提供するために適合する。
2010500548.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
サンプルを操作するためのマイクロ電子装置であって、
a)  アクチュエータユニットの配列；
b)  各アクチュエータユニットが、前記電力線の少なくとも１つに結合する電力線のセット；
c)  高感度ユニットの配列；
d)  各高感度ユニットが、少なくとも１つの信号線に結合し、信号線及び電力線の経路選択は、前記電力線と前記信号線との間の寄生結合の効果が、前記電力線上の交流電力信号の与えられたセットにとって最小にされる信号線のセット
を含む装置。
【請求項２】
少なくとも１つの電力線が、少なくとも１つの信号線と少なくとも１つの交点を有するという特徴を有する請求項１によるマイクロ電子装置。
【請求項３】
前記電力線と前記信号線との間の寄生結合力が所定に達するように、前記交点が設計されるという特徴を有する請求項２によるマイクロ電子装置。
【請求項４】
前記電力線及び／又は前記信号線が、前記交点で拡大され又は細くされるという特徴を有する請求項２によるマイクロ電子装置。
【請求項５】
少なくとも１つの信号線と交差し、アクチュエータユニットと接続せず、交流電気トリミング信号を提供可能な少なくとも１つのトリミング線を含むという特徴を有する請求項１によるマイクロ電子装置。
【請求項６】
前記トリミング線が、それを選択的に中断するスイッチ又はヒューズ部を含むという特徴を有する請求項５によるマイクロ電子装置。
【請求項７】
前記与えられた交流電力信号のセットが、位相シフトだけ及び／又は倍率だけ異なる電力信号のサブセットを含むという特徴を有する請求項１によるマイクロ電子装置。
【請求項８】
前記アクチュエータユニットが、電界、特にアクチュエータユニット近くの対象物にＤＥＰ力を及ぼすために適切な交流電界を作るための電極を含むという特徴を有する請求項１によるマイクロ電子装置。
【請求項９】
前記高感度ユニットの少なくとも１つが、前記信号線上にセンサー信号を作るためのセンサー要素を含む事を特徴とする請求項１によるマイクロ電子装置。
【請求項１０】
a)  アクチュエータユニットの配列；
b)  各アクチュエータユニットが、前記電力線の少なくとも１つに結合する電力線のセット；
c)  高感度ユニットの配列；
d)  各高感度ユニットが、少なくとも１つの信号線に結合する信号線のセット；
を持つマイクロ電子装置を製造するための方法で、
前記電力線と前記信号線との間の寄生結合の効果が、前記電力線上の交流電力信号の与えられたセットにとって最小にされるような信号線及び電力線の経路の作成を含む方法。
【請求項１１】
少なくとも１つのトリミング線が
―  少なくとも１つの信号線と交差し、
―  アクチュエータユニットと接続されず、
―  交流電力信号を提供可能で、且つ
―  トリミング線を選択的に中断するためのスイッチ又はヒューズ部を含み、
もしこれが、前記製造されたマイクロ電子装置の目標性質からの逸脱を減少させるなら前記トリミング線が中断される事を特徴とする請求項１０による方法。
【請求項１２】
分子診断、生体サンプル分析、又は化学サンプル分析用の先行する１から９の請求項の何れかによるマイクロ電子装置の使用。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、サンプルを操作するためのマイクロ電子装置に関し、それぞれに電力線及び信号線に接続されたアクチュエータユニット及び高感度ユニットの配列を含む。更にそれは、そのようなマイクロ電子装置の製造のための方法及び使用に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＷＯ  ００／６９５６５  Ａ１より誘電泳動力により粒子を操作するために使われる選択的にアドレス可能な電極の配列を含むものとしてマイクロ電子装置は知られている。その装置は更に、前記粒子の変位を制御するセンサーユニットの配列を含む。
【０００３】
前述の種類のマイクロ電子装置において、１セットの配線がその配列のセルを外に接続するために必要であり、これらの配線間の寄生的クロストーク（容量性の及び／又は誘導性の）は、実際的には避けられない。もしこの配線のうちの幾つかが高感度信号、例えば弱い測定信号を運んでいる一方、他が相対的に強い電力信号を運んでいるとすると、そのようなクロストークはしかしながら、重大な問題を引き起こす。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】ＷＯ  ００／６９５６５  Ａ１
【特許文献２】ＷＯ  ２００３／０５４５２３
【特許文献３】ＷＯ  ２００３／０５４５６６
【特許文献４】ＷＯ  ２００５／０１０５４２  Ａ２
【特許文献５】ＷＯ  ２００５／０１０５４３  Ａ１
【特許文献６】ＷＯ  ２００５／０３８９１１  Ａ１
【非特許文献】
【０００５】
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
この状況に基づき本発明の目的は、マイクロ電子装置において配列のユニットへのアクセスを改良するための手段を提供する事である。特に、前記ユニットに接触する配線間のクロストークの負の効果を減らすことが望ましい。
【０００７】
この目的は、請求項１によるマイクロ電子装置、請求項１０による方法及び請求項１２による使用によって達成される。好ましい実施例は、従属項において開示される。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によるマイクロ電子装置は、特に粒子を含みうる生体流動体のような液体又は気体の化学物質であるサンプルの操作用に意図されている。「操作」の語は、  前記サンプルとの如何なる相互作用、例えばサンプルの特徴的数量の測定、その性質の調査、それを機械的又は化学的に処理すること等を意味する。サンプルは通常は、サンプルチャンバー、例えばサンプル物質を吸収し得るゲルのようなある物質で満たされた空洞又は空の空洞内に提供され、その空洞は、開いていても、閉まっていても又は流体接続チャネルにより他の空洞に接続されていても良い。マイクロ電子装置は、次の構成部品を含む：
a)  アクチュエータユニットの配列、そこで「アクチュエータユニット」の術語は、最も一般的な意味である効果、例えばサンプルに力を作用する又はサンプルの性質を検知する効果を制御的に発生できる構成部品を示す。その配列の各アクチュエータユニットは原則、他のユニットとは異なるが、その配列の全てのアクチュエータユニットは、（実質上）同じ設計である事が望ましい。更に、「配列」という術語は、本発明の応用例では複数ユニットの如何なる任意３次元配置をも示す。通常そのような配列は、２次元で、好ましくは平面的で、且つそのユニットは、規則正しいパターン、例えば格子又は行列パターンに任意的に配置される。
【０００９】
b)  電力線のセット、そこで各アクチュエータユニットは、前記電力線の少なくとも１つに結合する。「電力線」という術語は、これらの線により運ばれる電気信号は通常は、例えばアクチュエータユニットにエネルギーを運ぶための相対的に大きい電力を有する事を示す；その術語はしかし、如何なる方法においてもこれらの線の設計又は使用を制限してはならない。一般的に、構成部品、例えばアクチュエータユニットの配列の外に置かれたドライバー（driver）は、電力線を介してアクチュエータユニットへのアクセスを与えられる。
【００１０】
c)  高感度ユニットの配列、「高感度ユニット」の術語が、最も一般的な意味である専用機能、例えば近くのサンプルのある性質を示す測定信号の発生に奉仕する構成部品を示す。一般法則の制限無しで、「高感度の」という形容詞は、大抵の場合、これらの高感度ユニットに提供される又は高感度ユニットから提供される電気信号は特に、寄生効果により品位が低下しやすい事を示すことを意図している。
【００１１】
d)  信号線のセット、各高感度ユニットは、少なくとも１つの信号線に結合する。再び、信号線の一般的目的は、外部構成部品（例えば測定信号の読み出し及び処理用の信号処理回路）に高感度ユニットへのアクセスを与えることである。更に、信号線及び電力線の経路選択は、電力線と信号線との間の寄生結合効果が、電力線上の交流電力信号の与えられたセットにとって最小になるように選択されなければならない。この意味の経路選択の術語は、信号線及び電力線が置かれる基板に沿う道を意味する。寄生結合は特に、信号線及び電力線が一緒に同じ装置に置かれた場合の望ましくはないが避けられない副作用である容量性及び／又は誘導性結合である。寄生結合は一般的に、避けられないが、それらの負の効果はしかし、信号線及び電力線の適切な経路選択により減らす（理想的には打ち消す）事ができる。寄生結合の効果は通常、印加された電力信号に依存するので、最小化は特に、マイクロ電子装置の適用の間電力線に印加される交流電力信号のセットに対して為される。
【００１２】
記述されたマイクロ電子装置は、電力線からの干渉により最小限に品位が低下した信号線（及びその逆）を介して高感度ユニットを用いた通信を提供するという利点を有する。これは特にサンプル操作用のアクチュエータユニット及びサンプルの幾つかの性質を測定するための高感度センサーユニットを含むセンサー装置に有効であり、アクチュエータユニットへの相対的に強い電力供給信号は常に、弱いセンサー信号をひどく劣化させる。
【００１３】
マイクロ電子装置の好ましい実施例に従い、電力線のうちの少なくとも１つが、少なくとも１つの信号線との少なくとも１つの交点を有する。線間の交点は、単一ユニットの配列を持ったマイクロ電子装置の通常の機能で、それらは、不運にも又、前記線間の寄生結合の主源である。本発明に照らして、そのような交点はしかし、結合効果の最小化を達成するために意図的に設計され得る。
【００１４】
電力線及び信号線は特に、互いに垂直に配置されても良い。電力線及び信号線の各々に接続された外部回路がマイクロチップの異なる境界に置かれ得る所に、行列配置は実現され得る。この場合のように各電力線は、各信号線を横切り及びその逆も又真で、対応する高レベルクロストークへと導き、寄生結合効果の提案された最小化は特に、そのような行列設計に有効である。上述の実施例の更なる展開において、電力線と信号線との間の特有の寄生結合の強さが達成されるように、上述の交点は設計される。電力線及び／又は信号線は例えば、交点で拡大され又は細くされても良く、それは特に、線間の容量性結合に影響を与える。寄生結合力の熟慮設計（それは又、寄生結合力の矛盾しているように見える人工的増加を含んでも良い）は、異なる電力線から信号線への干渉を互いに補償するのを助けることができる。
【００１５】
本発明の更なる展開において、マイクロ電子装置は、(i)少なくとも１つの信号線を横切り、(ii)アクチュエータユニットに接続せず、（且つ電力線とは異なり）(iii)交流電気トリミング信号を提供可能な、少なくとも１つのトリミング線を含む。トリミング信号は特に、電力線用に意図された交流電力信号の与えられたセットからのものであっても良い。これは例えば、トリミング線が電力線の１つと並列に接続される場合である。更に、トリミング線は好ましくは、少なくとも１回全ての信号線を横切り、且つアクチュエータ／高感度ユニットの配列の境界に好ましくは置かれる。トリミング線の目的（通常唯１つ）は、通常の電力線から始まる「正常」寄生結合の効果を補償することを助ける「人工的」寄生結合を故意に導入する事である。
【００１６】
上述の実施例の更なる展開において、もし望むならトリミング線は、トリミング線を選択的に中断するための手段を提供するスイッチ又はヒューズ部を含む。ヒューズ部は、例えばレーザー切断による外部破壊のためにアクセス可能なトリミング線の単に１領域であっても良い。トリミング線の中断は、関連する信号線へのその寄生結合を止め、寄生結合効果の最小化のための制御変数を与える。
【００１７】
一般的に、電力線上の意図された信号として可能な電力信号は、交流（即ちＡＣ）であること以外に制限を受けない。好ましくは、交流電力信号の与えられたセットはしかし、位相シフトのみにより及び／又は倍率のみにより互いに異なる電力信号のサブセットを含む。それらの信号がー少なくともおおよそー補償するようにそれら（ひょっとすると再スケーリング(rescaling)後）を重ね合わせることはしばしば可能である。好ましくは、交流電力信号の与えられたセットの全体は、１以上の上述のサブセットからなる。
【００１８】
アクチュエータユニットは、近くのサンプルに例えばある好ましい効果を有する電界を生成するための電極を含んでも良い。その電界は例えば、アクチュエータユニット近くの対象物上に誘電泳動力を生成するために適した交流電界であっても良い。
【００１９】
高感度ユニットの少なくとも１つは、近くにあるサンプルの性質を検知するため及び関連する信号線上にセンサー信号を作るための好ましくは光学的、磁気的又は電気的センサー要素を任意的に含んでも良い。磁気的センサー要素付きのマイクロ電子装置は例えば、ＷＯ  ２００５／０１０５４３  Ａ１及びＷＯ  ２００５／０１０５４２  Ａ２に記述される。前記装置は、磁気ビーズと表記される生体分子の検出用のマイクロ流体バイオセンサーとして使われる。それは、磁界生成用の配線及び磁化されたビーズにより作られた漂遊磁界の検出用の巨大磁気抵抗装置（ＧＭＲ）を含むセンサーユニットの配列で与えられる。
【００２０】
本発明は更に、マイクロ電子装置製造用の方法に関し、特に以下の構成要素を含む上述の種類のマイクロ電子装置に関する：
a)  アクチュエータユニットの配列；
b)  各アクチュエータユニットが少なくとも１つの電力線に結合した電力線のセット；
c)  高感度ユニットの配列；
d)  各高感度ユニットが少なくとも１つの信号線に結合している信号線のセット；
その方法は更に、電力線と信号線との間の寄生結合の効果が、電力線上の交流電力信号の与えられたセットを最小化する信号線と電力線の経路指定のステップを含む。
【００２１】
その方法は、一般的な形で上述の種類のマイクロ電子装置で実行できるステップを含む。故に、その方法の詳細、利点及び改良に関するより多くの情報のための前述の記述について申し述べます。
【００２２】
その方法の好ましい実施例に従い、少なくとも１つのトリミング線は、(i)少なくとも１つの信号線を横切り、(ii)アクチュエータユニットに接続せず、(iii)交流電力信号を提供可能で、且つ(iv)それを選択的に中断するためのスイッチ又はヒューズ部を含み、もしこれが製造されたマイクロ電子装置の目標性質からの逸脱を減らすならば、前記トリミング線は選択的に中断される。その線の選択的中断は、それ故因子プロセス(factoring  process)から発する装置対装置のバラツキを補償するために使用可能である。
【００２３】
本発明は更に、分子診断、生体サンプル分析、又は化学サンプル分析、食物分析、及び／又は法医学的分析用の上述のマイクロ電子装置の使用に関する。目標分子に直接的又は間接的に付着した磁気ビーズ又は蛍光粒子の助けで、分子診断は例えば、達成され得る。
【００２４】
本発明のこれらの及び他の面は、以後に記述される実施例を参照して明らかにされる。これらの実施例は、例えば添付図面の助けを得て、記述される：
図中の類似の参照番号は、同一の又は類似の構成部品を示す。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】１の高感度ユニットと１のアクチュエータユニットを含む本発明によるマイクロ電子装置の１セルの略上面図を示す。
【図２】１電力線のセットと１信号線との間の寄生容量性結合の等価回路を示す。
【図３】電力線の２つのグループと１の信号線の交差点を示す。
【図４】図３に類似した状況で幾つかの電力線が交差点で太くなった図を示す。
【図５】１の信号線を横切る１のトリミング線と選択的に中断できる２つの追加のトリミング線を示す。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
分子診断のような化学分析用のバイオチップは、種々の医療、法医学及び食物応用のための重要な道具になるだろう。一般的に、バイオチップは、バイオセンサーを含み、大抵のバイオセンサーの中では目標分子（例えばタンパク質、ＤＮＡ）が捕捉分子で生化学表面上に固定され、後で例えば光学的、磁気的又は電気的検出スキームを用いて検出される。磁気バイオチップの例は、ＷＯ  ２００３／０５４５６６、ＷＯ  ２００３／０５４５２３、ＷＯ  ２００５／０１０５４２  Ａ２、ＷＯ  ２００５／０１０５４３  Ａ１、及びＷＯ  ２００５／０３８９１１  Ａ１に記述され、参考文献番号により本応用例に一体化している。
【００２７】
図１は、本発明によるマイクロ電子装置の１セル１００をこの点で概略的に示し、当該
セルは、多くのそのようなセルの配列に属す。セル１００は、その配列の上のサンプルチャンバー内に存在する流体中のセル及び分子のような生体粒子１の操作のための手段を含み、その操作は特に、誘電泳動（ＤＥＰ）効果の使用を含む（cf.  H.  Morgan,  N.  Green:”AC  Elecrokinetics:  Colloids  and  Nanoparticles”,  Research  Studies  Press,  2003）。十分に機能的なシステムを提供するために、ガラス基板（例えば低温ポリシリコンＬＴＰＳ）上のトランジスター（シリコン基板）又は薄膜トランジスター（ＴＦＴｓ）のような能動素子が望みの位置に要求される交流磁界を作動させるために必要とされる。特定の位置へのバイオ粒子１の動きを与えるために、例えば光トランジスター又は光ダイオードのようなセンサーを用いる感知も又、必要である。バイオ粒子の位置は、センサーからバイオ粒子が懸濁している流動体に印加された交流磁界を制御するアクチュエータへ現在の位置情報の帰還を介して変化可能である（cf.  N.  Manaresi,  A.  Romani,  G.  Medoro,  L.  Alyomare,  A.  Leonardi,  M.  Tartagni,  R.  Guerrieri:”A  CMOS  chip  for  indivisual  cell  manipulation  and  detection”,  IEEE  Journal  of  Solid  State  Circuits,  p.2297(2203)）。多くのアクチュエータ電極は、粒子位置を制御するが、光（例えば外部源から）は、感知され得、バイオ粒子がセンサーユニット上を動くにつれて、これは変化する。
【００２８】
前述の機能を提供するために、センサー１００は、信号線ＳＬに結合され、以下にセンサーユニットＳＵと呼ばれる高感度ユニットを含み、信号線は配列を横切り垂直に走り、配列の下部境界に位置する信号処理回路ＳＰに結合される。同じ垂直列の更なるセンサーユニットは通常、信号線ＳＬに結合され、それらは選択的に、適切な行列アドレッシング回路（図示せず）によりアドレスされ得る。
【００２９】
更に、アクチュエータサイト２１を持ったアクチュエータユニットＡＵは、センサーユニットＳＵの隣に位置し、当該アクチュエータユニットは配列を水平に横切り走る電力線ＰＬにバイア２２により接続される駆動電極２３を含む。配列の境界において、電力線ＰＬは、外部制御ユニットＣＵに接続される。再び、同じ列に位置する全ての他のアクチュエータユニットは通常、同じ電力線ＰＬに接続される。
【００３０】
センサーユニットＳＵとアクチュエータユニットＡＵの記述された配列は例えば、シリコン集積回路（ＩＣ）上又はＬＴＰＳのようなＴＦＴベースガラス技術上の金属線のレイアウトを有しても良い。信号線ＳＬ及び電力線ＰＬの金属層は下部金属層であるが、駆動電極２３は、スタックの最も上の金属層にある。
【００３１】
センサーユニットＳＵ及びアクチュエータユニットＡＵの線状配列又は行列配列を含む図１のようなマイクロ電子装置において、センサーユニットからの信号は、高周波で交流磁界を保持するアクチュエータユニットに電力を供給する電力線を横切らなければならない。電力線ＰＬと信号線ＳＬとの間の容量性結合は、交差点ＩＮで起き、これはセンサー信号を無効にする程度に劣化させる可能性がある。当該寄生容量性結合は、電力線ＰＬと信号線ＳＬとの間のコンデンサーＣにより図１に示される。以下において、この特定の応用に限られないのであるが、上述の問題への解決は、例えばＤＥＰシステムに基づいて展開される。
【００３２】
ＤＥＰシステムは通常、一定振幅で例えば０°、９０°、１８０°、２７０°の特定の位相の多くの交流磁界を使う。容量性結合の問題解決のために提案された方法は、電力線を横切る交流信号の合計数は０になるように如何なるセンサー線又は如何なる他の信号運搬線も交流位相信号を運搬する多くの電力線を横切らなければならないという一般レイアウト原則を使う。
【００３３】
寄生容量性結合の一般等価回路は、図２に示され、交流位相Φiを持った任意の数Ｎ個の電力線ＰＬは、１の信号線ＳＬに結合する。もし信号線ＳＬが高インピーダンス（例えばもし光電流が測定されるなら）なら、交流位相は信号線ＳＬを変調し、その線上の如何なる信号も劣化する。もし信号線で作られる交流信号が
Ｖj＝ＶAexp(iωt+iΦj)
の形（ここでＶAは振幅、ωは角速度変化周波数、Φjは位相変位）をとるなら、交流位相（信号線ＳＬに対する各交流電力線のキャパシタンスは同じと仮定する）からの全信号結合は
【００３４】
【数１】
2010500548.tif 000003
Σの項（合計項）は、信号線に対する結合を補償するためにゼロでなければならない。故に信号線ＳＬを横切る交流信号の位相が上式の合計がゼロであるようにレイアウトされなければならない。
少しだけより一般的でないスキームは、ＤＥＰシステムで見られそうな場合を示す。もし２つの連続する位相間の位相差Φが定数なら、即ち全ての位相がΦj＝ｊΦと表されるなら、総和は幾何学的合計となり、
【００３５】
【数２】
2010500548.tif 000004
として記述する事ができる。
【００３６】
故にＮΦ＝２nπ（nは整数）である。もし例えばn=1なら、位相差はΦ＝２π／Ｎとなる。この場合の例は、位相０及びπ（即ちΦ＝π及びＮ＝２で、ＮΦ＝２πを与える）の交流電力線で、信号線ＳＬは、結合を補償するため両方の電力線を横切らなければならない。もう１つの例は、位相０，π／２、π、及び３π／２（即ちΦ＝π／２及びＮ＝４で、ＮΦ＝２πを与える）の交流電力線で；再び信号線ＳＬは、結合を補償するため４つの電力線全てを横切らなければならない。もし信号線ＳＬが複数回交流電力線を横切るなら、ＮΦ＝２nπ（nは整数）の関係が未だ有効である事を確認しなければならない。位相のセットは故に、整数回横切られなければならない。これは図３にn＝２の場合について示され、即ち全ての位相を持つ電力線ＰＬの２つのグループＧ１，Ｇ２は、信号線ＳＬを横切る。これまで信号線ＳＬに対する各交流位相からのキャパシタンスは同じであると仮定された。実際には常にこの通りであるとは限らないので、各交流位相からの容量性結合は異なるかもしれない。その時結合式は
【００３７】
【数３】
2010500548.tif 000005
となる（ここでＫjは容量性結合項である）。総和は、結合を防ぐため再びゼロでなければならない。
【００３８】
異なる結合項を考慮に入れる単純なレイアウト方法は、それらのキャパシタンス値を再び等しくするために必要な箇所（少なくともそれらの交点で）の線を太くしたり又は細くしたりすることである。信号線を横切るときに全ての線が同じ幅を持つように第２グループＧ２の電力線ＰＬは、必要に応じ信号線ＳＬとの交点で太くされる例を、図４は示す。
【００３９】
交流電力線から信号線を分離するための特定のトリミング線を含むマイクロ電子装置の更なる展開を図５は示す。この場合、信号線及び電力線付きのマイクロ電子装置は最初に設計され、そして主たる機能に最も適切な方法で、即ちこの段階での交流結合問題に注意を払う事無くレイアウトされる。
【００４０】
前記レイアウトの完成後、各センサー線ＳＬを横切る交流信号の加重和が計算される。交流トリミング線ＴＬのセットがその装置に提供される。図３，４の場合、異なる位相０°、９０°、１８０°及び２７０°を持った４つのそのようなトリミング線が、例えば存在する。全てのトリミング線は、好ましくはその装置のかどで全ての信号線を横切る（もし外部測定装置が用いられるなら、例えばその装置と検知測定点又はプルーブ点との間）。信号線と各トリミング線のクロスオーバー(cross-over)  キャパシタンスの大きさは、信号線を横切る交流信号の加重和がゼロである事を確認するように選ばれる。当該大きさは、トリミング線又は信号線又は両方の幅を局部的に変えることにより変化しうる。全ての場合において、線の太さを太くするために必要な余分な領域は、それが配列の境界で行われるので、装置の機能を制限しない。
【００４１】
トリミング線の単一のセットの上記状況が考慮される一方、１以上のトリミング線のセットの使用又は代替的に及び好ましくは各トリミング線への複数の交差点の使用も又考慮する事は可能である。図５は、平行するサイドアーム(side-arms)ＴＬ１，ＴＬ２が、主トリミング線ＴＬから分岐し、当該ＴＬ１，ＴＬ２が、各々薄膜トランジスター２及び「ヒューズ部」３を含む後者の場合の好ましい実現を含む。サイドアームＴＬ１，ＴＬ２は、交差点(cross-overs)の選択的除去（例えばヒューズ部３のレーザー切断により、又は交差点をスイッチ２から電気的に絶縁する事により）を実行することにより装置対装置の微調整を可能にする。そのような微調整は、製造プロセスにおける如何なるバッチ(batch)対バッチ又は装置対装置の変化をも計上し得る。
【００４２】
まとめると、上述の実施例は、重み付けが結合の強さにより与えられる場合の、できるだけ少なく理想的にはゼロである信号線との交差を行う交流信号の加重和を要する信号線（センサーからの信号を運搬するか又は別の方法で）のための非常に一般的な経路選択を実現する。
【００４３】
最後に本発明においては、「含む」の語は、他の要素又はステップを除外せず、「１つの」の語は、複数を除外せず、単一のプロセッサー又は他のユニットは数種の手段の機能を充足できる事を指摘する。本発明は、各及び全ての特徴的新機能及び各及び全ての特徴的機能の組み合わせに存在する。更に特許請求の範囲中の参照符号は、発明の範囲を制限する物として構成されていない。
【図１】
2010500548.tif 000006
【図２】
2010500548.tif 000007
【図３】
2010500548.tif 000008
【図４】
2010500548.tif 000009
【図５】
2010500548.tif 000010
【国際調査報告】
2010500548.tif 000011
2010500548.tif 000012