(57)【要約】  多軸切断システムが提供される。切断システムは、平衡したか慣性力を生ぜしめるように構成された駆動装置を有する、多軸の、比較的高加速の駆動システム（１６）を有する。幾つかの実施形態においては、駆動装置は、極座標系に従って作動する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ加工機において、
レーザ加工ヘッドと、
多軸系とが設けられており、該多軸系が、レーザ加工ヘッドが取り付けられた取付け軸を含み、該取付け軸が、釣合いおもりと駆動装置とを有しており、駆動装置が、釣合いおもりとレーザ加工ヘッドとを、レーザ加工ヘッドの移動によって生ぜしめられる慣性力が釣合いおもりの移動によって平衡させられるように移動させ、取付け軸が、作動中、連続して平衡させられるようになっており、
長行程駆動系が設けられており、該長行程駆動系に、多軸系が、調和した移動のために取り付けられており、
多軸系が、レーザ加工ヘッドを、長行程駆動系よりも、比較的短い距離にわたって、比較的高い加速で移動させるように、構成されていることを特徴とする、レーザ加工機。
【請求項２】
多軸系が、Ｒ軸とＷ軸とを規定する極座標系であることを特徴とする、請求項１記載のレーザ加工機。
【請求項３】
取付け軸が、極座標系のＲ軸であることを特徴とする、請求項２記載のレーザ加工機。
【請求項４】
多軸系のＷ軸が、ディスクと、該ディスクの両側における２つの駆動モータとを有しており、駆動モータの慣性力が実質的に平衡させられていることを特徴とする、請求項２記載のレーザ加工機。
【請求項５】
長行程駆動系が、直交座標系であることを特徴とする、請求項１記載のレーザ加工機。
【請求項６】
多軸系と、長行程駆動系とが、同時に移動するように構成されていることを特徴とする、請求項１記載のレーザ加工機。
【請求項７】
取付け軸が、釣合いおもりとレーザ加工ヘッドとを反対方向に実質的に同じ速度で移動させるために駆動装置によって駆動される１対のボールねじ伝動装置を有することを特徴とする、請求項３記載のレーザ加工機。
【請求項８】
Ｒ軸がＷ軸に取り付けられていることを特徴とする、請求項４記載のレーザ加工機。
【請求項９】
レーザ加工ヘッドの鉛直方向の移動を提供するように構成されたＺ軸を有することを特徴とする、請求項２記載のレーザ加工機。
【請求項１０】
多軸系が、Ｒ軸とＷ軸との移動の間はＺ軸が定置であるように構成されていることを特徴とする、請求項９記載のレーザ加工機。
【請求項１１】
レーザ加工機において、
レーザ加工ヘッドと、
Ｒ軸及びＷ軸を含む多軸極座標系とが設けられており、軸のうちの一方が、レーザ加工ヘッドが取り付けられた取付け軸であり、取付け軸が、該取付け軸が作動中に実質的に連続して平衡させられるように構成されており、
長行程駆動系が設けられており、該長行程駆動系に、多軸系が、調和して移動するように取り付けられており、
多軸系が、長行程駆動系よりも、比較的短い距離にわたって、比較的高い加速で、移動するように構成されていることを特徴とする、レーザ加工機。
【請求項１２】
取付け軸が、極座標系のＲ軸であることを特徴とする、請求項１１記載のレーザ加工機。
【請求項１３】
多軸系のＷ軸が、ディスクと、該ディスクの両側における２つの駆動モータとを有しており、駆動モータの慣性力が実質的に平衡させられていることを特徴とする、請求項１２記載のレーザ加工機。
【請求項１４】
長行程駆動系が、直交座標系であることを特徴とする、請求項１１記載のレーザ加工機。
【請求項１５】
多軸系と、長行程駆動系とが、同時に移動するように構成されていることを特徴とする、請求項１１記載のレーザ加工機。
【請求項１６】
取付け軸が、釣合いおもりと、該釣合いおもりとレーザ加工ヘッドとを反対方向に実質的に同じ速度で移動させるように１つの駆動装置によって駆動される１対のボールねじ伝動装置とを有していることを特徴とする、請求項１１記載のレーザ加工機。
【請求項１７】
Ｒ軸が、Ｗ軸に取り付けられていることを特徴とする、請求項１１記載のレーザ加工機。
【請求項１８】
レーザ加工ヘッドの鉛直方向の移動を提供するように構成されたＺ軸が設けられていることを特徴とする、請求項１１記載のレーザ加工機。
【請求項１９】
多軸系が、Ｒ軸及びＷ軸の移動中にＺ軸が定置であるように構成されていることを特徴とする、請求項１８記載のレーザ加工機。
【請求項２０】
工作物を加工する方法において、
加工ヘッドの作動中に加工ヘッドを比較的短い距離だけ移動させるために多軸系を使用し、該多軸系が、加工ヘッドが取り付けられている取付け軸を有しており、該取付け軸が、釣合いおもりと、駆動装置とを有しており、前記多軸系が、加工ヘッドの移動によって生ぜしめられた慣性力が釣合いおもりの移動によって平衡させられ且つ取付け軸が作動中に実質的に連続して平衡させられる形式で駆動装置が釣合いおもりと加工ヘッドとを移動させるように構成されており、
加工ヘッドの作動中に該加工ヘッドを比較的長い距離だけ移動させるために、多軸系が調和した移動のために取り付けられた長行程系を使用することを特徴とする、工作物を加工する方法。
【請求項２１】
工作物を加工する方法において、
加工ヘッドの作動中に加工ヘッドを比較的短い距離だけ移動させるために多軸極座標系を使用し、該多軸極座標系が、取付け軸が作動中に実質的に連続して平衡させられるように構成された取付け軸を有しており、
加工ヘッドの作動中に該加工ヘッドを比較的長い距離だけ移動させるために、多軸極座標系が調和した移動のために取り付けられた長行程系を使用することを特徴とする、工作物を加工する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多軸レーザ加工機に関する。
【０００２】
背景
多くの市販されているレーザ加工機は、２つの別個の軸系、すなわち、比較的長い距離に亘る加工ヘッド（例えばレーザ切断ヘッド）の比較的低い加速移動のための第１の軸系と、比較的制限された空間における加工ヘッドの比較的高い加速移動のための第２の軸系とを有する。幾つかの場合、２つの軸系は、同時に動作することができない。
【０００３】
例えば国際公開第２００６／０７５２０９号パンフレットには、２つの軸系を調和させることが提案されている。国際公開第２００６／０７５２０９号パンフレットに開示されたシステムは、加工ヘッドを直交軸（ｘ、ｙ）に沿って比較的長い距離に亘って移動させる移動部材と、加工ヘッドを直交軸（μ、ν）に沿って比較的短い距離に亘って移動させるように構成された移動部材における１対の滑動体と、滑動体に操作的に関連した可動平衡ウェイトとを有する。可動平衡ウェイトの存在は、移動部材から機械の支持構造体への望ましくない振動の伝達の劇的な減少を可能にすると言われている。可動ウェイトは、移動部材及び滑動体の移動を駆動するアクチュエータとは別個の、固有のアクチュエータによって、滑動体の移動方向とは反対方向に移動させられる。つまり、提案されたレーザ加工機は、低加速軸及び高加速軸系に加えて、加工ヘッドの移動中の振動を低減するために必要とされる別個の軸系を有する。
【０００４】
概要
本発明は、１つの態様において、互いに調和させられた、別個の低加速軸系及び高加速軸系を有するレーザ加工機を特徴とする。高加速軸系における慣性力は、別個の釣合いおもり駆動系を必要とすることなく、平衡させられる。低加速軸系及び高加速軸系は、機械運転中に同時に作動することができる。
【０００５】
Ｘ−Ｙ直交座標系は低加速軸のために使用されるのに対し、極座標系は高加速軸のために使用される。高加速軸を備えた極座標系の使用により、独立して駆動される釣合いおもり系を必要とすることなく、作動中は常に慣性力が平衡させられるように、軸が構成される。
【０００６】
１つの態様において、本発明は、レーザ加工機を特徴とし、このレーザ加工機は、（ａ）レーザ加工ヘッドと、（ｂ）多軸系とを有しており、この多軸系は、加工ヘッドが取り付けられた取付け軸を有しており、この取付け軸は、釣合いおもりと駆動装置とを有しており、駆動装置が、釣合いおもりと、加工ヘッドとを、加工ヘッドの移動によって生ぜしめられる慣性力が釣合いおもりの移動によって平衡させられ且つ作動中に取付け軸が実質的に連続的に平衡されるような形式で、移動させるように構成されており、（ｃ）長行程系を有しており、この長行程系に、多軸系が、調和された移動のために取り付けられている。多軸系は、長行程駆動系よりも、比較的短い距離にわたって、比較的高い加速で、加工ヘッドを移動させるように構成されている。
【０００７】
幾つかの実施は、以下の特徴のうちの１つ又は２つ以上を含んでよい。多軸系は、Ｒ軸とＷ軸とを規定する極座標系である。取付け軸は、極座標系のＲ軸である。多軸系のＷ軸は、ディスクと、ディスクの両側における２つの駆動モータとを有しており、駆動モータの慣性力は、実質的に平衡されている。長行程駆動系は、直交座標系である。多軸駆動系と、長行程駆動系とは、同時に移動するように構成されている。取付け軸は、釣合いおもりと、加工ヘッドとを、互いに反対方向に、実質的に同じ速度で移動させるように駆動装置によって駆動される１対のボールねじ伝動装置を含む。Ｒ軸は、Ｗ軸に取り付けられている。機械は、さらに、加工ヘッドの鉛直方向移動を提供するように構成されたＺ軸を有している。多軸系は、Ｒ軸とＷ軸との移動の間、Ｚ軸が定置であるように構成されている。
【０００８】
別の態様において、本発明は、レーザ加工機を特徴とし、このレーザ加工機は、（ａ）レーザ加工ヘッドと、（ｂ）Ｒ軸とＷ軸とを含む多軸極座標系とを有しており、これらの軸のうちの一方が、加工ヘッドが取り付けられた取付け軸であり、取付け軸は、作動中に取付け軸が実質的に連続して平衡させられるように構成されており、さらに、（ｃ）調和した移動のために多軸系が取り付けられた長行程系を有している。多軸系は、加工ヘッドを、長行程駆動系よりも、比較的短い距離にわたって、比較的高い加速で移動させるように構成されている。
【０００９】
幾つかの実施は、以下の特徴のうちの１つ又は２つ以上を含んでよい。取付け軸は、極座標系のＲ軸である。多軸系のＷ軸は、ディスクと、ディスクの両側における２つの駆動モータとを有しており、駆動モータの慣性力は、実質的に平衡されている。長行程駆動系は、直交座標系である。多軸駆動系と、長行程駆動系とは、同時に移動するように構成されている。取付け軸は、釣合いおもりと、釣合いおもり及び加工ヘッドを互いに反対方向に実質的に同じ速度で移動させるように駆動装置によって駆動される１対のボールねじ伝動装置と、を含む。Ｒ軸は、Ｗ軸に取り付けられている。機械は、さらに、加工ヘッドの鉛直方向移動を提供するように構成されたＺ軸を有している。多軸系は、Ｒ軸とＷ軸との移動の間、Ｚ軸が定置であるように構成されている。
【００１０】
本発明は、別の態様において、工作物を加工する方法をも特徴とし、この方法は、（ａ）加工ヘッドの作動中に加工ヘッドを比較的短い距離だけ移動させるために多軸系を使用し、多軸系が、加工ヘッドが取り付けられた取付け軸を含み、取付け軸は、釣合いおもりと、駆動装置とを有しており、加工ヘッドの移動によって生ぜしめられる慣性力が釣合いおもりの移動によって平衡させられ且つ取付け軸が運転中に実質的に連続して平衡させられる形式で駆動装置が釣合いおもりと加工ヘッドとを移動させるように構成されており、さらに（ｂ）加工ヘッドの作動中に加工ヘッドを比較的長い距離にわたって移動させるために、多軸系が、調和した移動のために取り付けられている長行程系を使用する。
【００１１】
さらに別の態様において、本発明は、工作物を加工する方法を特徴とし、この方法は、（ａ）加工ヘッドの作動中に加工ヘッドを比較的短い距離だけ移動させるために多軸極座標系を使用し、多軸系が、作動中に取付け軸が実質的に連続して平衡させられるように構成された取付け軸を含み、（ｂ）加工ヘッドの作動中に加工ヘッドを比較的長い距離だけ移動させるために、調和された移動のために多軸系が取り付けられた長行程系を使用する。
【００１２】
発明の１つ又は２つ以上の実施形態の詳細は、添付の図面及び以下の説明に示されている。発明のその他の特徴及び利点は、詳細な説明、図面及び請求項から明らかになるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】レーザ切断機の斜視図である。
【図２】図１の切断機の多軸系を概略的に示す斜視図である。
【図３】図２に示された軸系によるレーザビームの通路を示す概略図である。
【図４】多軸系の斜視図である。
【図５】多軸系の斜視図である。
【図６】多軸系の斜視図である。
【図７】多軸系の側面図である。
【図８】多軸系のＲ軸の斜視図である。
【図９】Ｒ軸のトルクモータと伝動装置を示す、部分的に切り取られた図である。
【図１０】（全ての構成部材を組み立てる前の）Ｗ軸の部分の斜視図である。
【図１０Ａ】Ｗ軸の伝動装置の詳細図である。
【図１０Ｂ】組み立てられたＷ軸及びＲ軸の斜視図である。
【図１１】多軸系のＺ軸の斜視図である。
【図１２】多軸系のＺ軸の斜視図である。
【図１３】Ｒ軸及びＷ軸と組み立てられたＺ軸を示す斜視図である。
【図１４】Ｒ軸及びＷ軸と組み立てられたＺ軸を示す斜視図である。
【００１４】
詳細な説明
概略
図１〜図３を参照すると、レーザ切断機１０は、囲い１２と、工作物支持体１４と、極（Ｒ−Ｗ）座標系において移動するように構成された多軸系１６と、多軸系に取り付けられたレーザ切断ヘッド（図１〜図３には示されていない）とを有する。多軸系は、切断ヘッドを、小さな距離にわたって、極めて高い加速で移動させるように構成されている。図２に示されているように、多軸系１６は、ｘ−ｙ直交座標系における低加速の、大規模の移動と共に、全体として移動する。ｘ−ｙ直交座標系における多軸系の移動は、Ｒ−Ｗ極座標系における移動と調和させられており、Ｒ−Ｗ極座標系における移動と同時に進行することができる。例えば、多軸系１６は、レール１８上でＹ方向に移動するように取り付けられていてよく、レール１８自体は、図示されたレール２０に沿ってＸ方向に可動である。このｘ−ｙ軸系は一般的であり、ここでは説明しない。
【００１５】
多軸系１６は、極座標系を使用して、小さな距離にわたって、高加速の移動を提供する。系座標は、極０からの半径方向距離を表す半径座標Ｒと、極軸と呼ばれる０゜の極線からの逆時計回りの角度を表す角度座標Ｗとである。多軸系は、レーザ切断ヘッドを所望の半径座標（Ｒ）へ移動させるＲ軸と、レーザ切断ヘッドを所望の角度座標（Ｗ）へ移動させるＷ軸とを含む。多軸系により、切断ヘッドは、Ｚ方向に、鉛直方向に移動させられる（工作物に対して上昇又は加工させられる）こともできる。つまり、多軸系１６は、全ての３つの次元における調和した移動を提供するために、１つのユニットに組み立てられたＲ軸と、Ｗ軸と、Ｚ軸とを有している。これらの装置とその動作の詳細を、以下に説明する。
【００１６】
好適な実施形態において、Ｒ−Ｗ軸は、少なくとも約７５ｍｍ、好適にはＲ方向で少なくとも約１００ｍｍの行程と、少なくとも約７５゜、好適には少なくとも約８５゜、例えば８８゜の角度範囲とを有する。好適には、Ｒ−Ｗ軸の速度は、少なくとも約１００ｍ／ｍｉｎ、より好適には少なくとも約１２０ｍ／ｍｉｎであり、加速は、少なくとも約３０ｍ／ｓ2、より好適には少なくとも約５０ｍ／ｓ2である。
【００１７】
多軸系を通るレーザビーム経路は、やはり以下で詳細に説明されるが、図３に概略的に示されている。
【００１８】
好適な実施形態において、できるだけ多くの構成部材がＹ軸のハウジングに取り付けられており、これにより、Ｒ軸と、Ｗ軸とができるだけ軽くなり、Ｒ−Ｗ軸の最適な加速及び速度が提供される。幾つかの実施形態において、Ｒ軸の構成部材は、４０ｋｇ未満、好適には約３０ｋｇ未満であるのに対し、Ｒ軸の構成部材とＷ軸の構成部材との組合せは、約１００ｋｇ未満、好適には約９０ｋｇ未満である。好適には、Ｒ軸と、Ｗ軸と、Ｚ軸との組合せは、約１３０ｋｇ未満、より好適には約１１０ｋｇ未満である。
【００１９】
組み立てられた多軸ユニット
まず最初に、組み立てられた多軸ユニットを簡単に説明し、その後、Ｒ軸、Ｗ軸、Ｚ軸のそれぞれの構成部材を詳細に説明する。
【００２０】
図９を参照すると、Ｒ軸１４０は、以下で説明するように、ボールねじ伝動装置を用いて移動する。レーザ切断ヘッド３はボールねじ３４の端部に取り付けられており、釣合いおもり４はボールねじ３５のナット３５Ａに取り付けられている。Ｒ軸は、切断ヘッド３と釣合いおもり４とを反対方向に移動させ、これにより、半径方向の慣性力が平衡させられる。慣性力の平衡は、作動中にシステムが振動する傾向を低減又は排除する。
【００２１】
図１０、図１０Ａを参照すると、Ｗ軸駆動装置は、Ｙ軸ハウジング１３に取り付けられており、円弧状の歯車セグメント２を介してＷ軸を回転させる。以下で説明されるように、Ｗ軸駆動装置は、反対方向の等しい慣性力を生ぜしめる。つまり、Ｗ軸に対する力が平衡され、Ｗ軸は、多軸系の振動に寄与しない。
【００２２】
中央曲げミラー７（図７）が、Ｗ軸ハウジング１に取り付けられており且つＷ軸ハウジング１と一緒に回転し、レーザビームを常にオートラスミラー（autolas mirror）１７に向かって方向付ける。その結果、レーザビームは、Ｗ軸、ひいては切断ヘッドの経路を辿る。
【００２３】
Ｒ軸１４０は、Ｗ軸ハウジング１に取り付けられており、Ｗ軸の回転と一緒に回転する。
【００２４】
図７を参照すると、Ｚ軸は、ボールねじ１０を介して駆動装置９によって駆動される（図７）。Ｚ軸は、プレート１２における４つのガイド１１によって案内される。Ｚ軸及び多軸系１６全体は、Ｙ軸キャリッジ１６０（図４）に取り付けられており、これにより、Ｒ−Ｗ及びｘ−ｙ軸における調和した同時移動を許容する。
【００２５】
Ｒ軸構成部材
上述のように、Ｒ軸１４０は、与えられた半径方向座標に切断ヘッドの直線運動を提供するように構成されている。
【００２６】
図８及び図９を参照すると、Ｒ軸１４０は、ボールナット３４Ａ及びボールねじ３５を回転させるトルクモータ３２を有する。図９に詳細に示されているように、ボールねじ３４はトルクモータ３２を介して移動する。切断ヘッド３はボールねじ３４の外側端部に結合されている。切断ヘッド３の重量と等しい重量を有する釣合いおもり４は、ボールねじ３５に沿って移動するナット３５ａに取り付けられている。
【００２７】
作動中、切断ヘッド３及び釣合いおもり４は、慣性力を平衡させるために、ボールねじ３４及び３５に沿って、反対方向に、同じ速度で移動する。切断ヘッド３及び釣合いおもり４は、同じモータ（トルクモータ３２）によってボールねじ３４，３５を介して駆動される。切断ヘッド及び釣合いおもりは同じモータによって駆動されるので、別個のモータ又は別個の平衡機構を作動させる必要なく、切断ヘッドが移動している時に慣性力が常に平衡している。
【００２８】
Ｒ軸駆動装置１４０は、さらに、安全のために設けられた１対の機械的なストッパ３６及び３７（図８）と、位置決め及びモータ制御のために設けられた回転エンコーダ３８とを有する。望まれる場合、切断ヘッド３は、機械据え付け技術において公知のような自動化された連結装置によって、Ｒ軸に取り付けられてよい。
【００２９】
Ｗ軸構成部材
Ｗ軸は、与えられた角度座標に、切断ヘッドの回転運動を提供するように構成されている。図１０及び図１０Ｂを参照すると、Ｗ軸は、回転可能なＷ軸ハウジング１と、Ｗ軸ハウジング１に取り付けられたＲ軸１４０とを有する。つまり、Ｒ軸１４０はＷ軸と一緒に回転する。Ｗ軸ハウジング１は、中央軸受４２を中心にして回転し、切断ヘッドの滑らかな回転運動を生ぜしめる。
【００３０】
Ｗ軸ハウジング１を回転させる伝動装置４８を駆動するために、２つのトルクモータ４４，４６（図１０）が設けられている。図１０Ａを参照すると、伝動装置４８は、ピニオン５２と、円弧状のラック５４とを有する。円弧状のラック５４は、上述の円弧状の歯車セグメント２から形成されており、ピニオンによって係合される。トルクモータは、Ｙ軸ハウジングの反対の側に取り付けられており、２つのモータによって生ぜしめられる慣性力は、等しく且つ反対向きであり、これにより慣性力は互いに平衡する。回転エンコーダ５０は、モータを制御するために設けられている。
【００３１】
モータはＹ軸ハウジング１３に取り付けられているので、回転させられている重量は減じられ、Ｗ−Ｒ軸のより大きな加速を可能にする。
【００３２】
上述のように、中央曲げミラー７（図７、図１０Ｂ）は、Ｗ軸ハウジング１に取り付けられており且つＷ軸ハウジング１と一緒に回転するので、レーザビームは、常にオートラスミラー（autolas mirror）１７に向かって方向付けられ、このオートラスミラーは、レーザビームを切断ヘッド３（図７）に方向付ける。ミラー７は、レーザビームのための経路を包囲するために、ビームベロー５８とガスチャネル６０とに結合されている。別のビームベロー６２は、ガスチャネル６０の反対側に結合されている。ビームベロー５８は切断ヘッドに結合されているのに対し、ビームベロー６２は、切断ヘッド３及び釣合いおもり４が移動した時にベローズのうちの一方が圧縮されベローズのうちの他方が延伸させられるように、釣合いおもり４に結合されている。これは、ビーム経路におけるガスが圧縮されることを阻止し、真空が生ぜしめられることを阻止する（図１０Ｂ）。
【００３３】
Ｚ軸駆動装置９によってＲ軸及びＷ軸の鉛直方向移動を案内するためにＺ軸ガイド１１（図１０Ｂ、図７）が設けられている。これらのガイドはプレート１２（図１２）に取り付けられており、このプレート１２自体は、中央軸受４３を介してＷ軸ハウジングに結合されており、これにより、Ｗ軸が回転する時、ガイド１１は定置のままである。Ｙ軸ハウジング１３は、安全のためにＷ軸のための機械的なストッパ６６を有している。
【００３４】
Ｚ軸構成部材
図１１を参照すると、Ｚ軸９は２つのモータ７０を有しており、モータ７０はそれぞれ、ボールねじ１０（図７）とボールねじ支持軸受７４とを有するボールねじ伝動装置７２を駆動する。移動は、上述のように、Ｚ軸ガイド１１によって案内される。多軸駆動システムと、切断ヘッドとの重量の一部は、Ｚ軸ガイドに組み込まれた釣合いばね７８（図１２）によって釣り合わされる。Ｚ軸掻取り器８０は、Ｚ軸ガイド１１から汚染物を除去する。
【００３５】
切断ヘッドは切断作業中にＺ方向に移動しないので、モータ７０の慣性力を平衡させる必要がない。
【００３６】
図１１及び図１４を参照すると、レーザビームは、Ｚ軸を通過し、Ｙ軸ハウジングに取り付けられた中央ミラー７Ａから、Ｚビームチューブ７６と、中央曲げミラー７と、上述のオートラスミラーと、ひいては切断ヘッドとに達する。
【００３７】
その他の実施形態
発明の多数の実施形態が説明された。しかしながら、発明の精神及び範囲から逸脱せずに、様々な変更が行われてよいことが理解されるであろう。
【００３８】
例えば、レーザ切断ヘッドが上述されているが、その他のタイプのレーザ加工ヘッドが使用されてよく、レーザ加工機は、レーザ溶接等の別のタイプの工作物加工のために使用されてよい。
【００３９】
したがって、その他の実施形態が、請求項の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００４０】
３  切断ヘッド、  ４  釣合いおもり、  ７  中央曲げミラー、  １０  レーザ切断機、  １２  囲い、  １３  Ｙ軸ハウジング、  １４  工作物支持体、  １６  多軸系、  １７  オートラスミラー、  １８  レール、  ２０  レール、  ３２  トルクモータ、  ３４  ボールねじ、  ３４Ａ  ボールナット、  ３５  ボールねじ、  ３５Ａ  ナット、  ４２  中央軸受、  ４４，４６  トルクモータ、  ４８  伝動装置、  ５０  回転エンコーダ、  ５２  ピニオン、  ５４  ラック、  ５８  ビームベロー、  ６０  ガスチャネル、  ６２  ビームベロー、  ７０  モータ、  ７２  ボールねじ伝動装置、  ７４  ボールねじ支持軸受、  ７６  Ｚビームチューブ、  ７８  釣合ばね、  ８０  Ｚ軸掻取り器、  １４０  Ｒ軸、  １６０  Ｙ軸キャリッジ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2010532265.tif 000009
【図８】
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【図９】
2010532265.tif 000011
【図１０】
2010532265.tif 000012
【図１０Ａ】
2010532265.tif 000013
【図１０Ｂ】
2010532265.tif 000014
【図１１】
2010532265.tif 000015
【図１２】
2010532265.tif 000016
【図１３】
2010532265.tif 000017
【図１４】
2010532265.tif 000018
【国際調査報告】
2010532265.tif 000019
2010532265.tif 000020
2010532265.tif 000021