(57)【要約】  本発明は、ベース部材；第１傾斜軸および該第１傾斜軸に対して直交する第２傾斜軸を有する、走査ビーム反射部材；該第１傾斜軸および第２傾斜軸に沿ったその傾斜のために該走査ビーム反射部材を該ベース部材に取り付けるための取付アセンブリ；該第１傾斜軸および第２傾斜軸に沿って該走査ビーム反射部材を傾斜させ、傾斜方位を提供するための、アクチュエータ；該傾斜方位に応答しそして相関付けられる１以上の磁場を発生する、マグネットアセンブリ；および該マグネットアセンブリによって発生した該磁場を感知し、それによって該傾斜方位を示すための、磁場センサアセンブリを含むスキャナを提供する。該取付アセンブリは懸架アセンブリを含み得、該懸架アセンブリは、該反射部材に傾斜を付与するための傾斜付与アセンブリ、および該反射部材を保持するための反射部材ホルダーアセンブリを有する。
2010505214.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スキャナを含むデバイスであって、該スキャナが、
ベース部材；
第１傾斜軸および該第１傾斜軸に対して直交する第２傾斜軸を有する、走査ビーム反射部材；
該第１傾斜軸および第２傾斜軸に沿った該反射部材の傾斜のために該反射部材を該ベース部材に取り付けるための、反射部材取付アセンブリ；
該反射部材取付アセンブリに該第１傾斜軸および第２傾斜軸の少なくとも１つに沿って該反射部材を傾斜させ、傾斜方位を提供するための、アクチュエータ；
該傾斜方位に応答しそして相関付けられる１以上の磁場を発生する、マグネットアセンブリ；および
該マグネットアセンブリによって発生した該磁場を感知し、それによって該傾斜方位を示すための、磁場センサアセンブリ、
を含む、デバイス。
【請求項２】
前記反射部材が、ほぼ正方形の反射面を有する走査ミラーを含み、前記第１傾斜軸が、該反射面の上部第１コーナーから対向する下部第２コーナーまで斜めに伸長し、そして前記第２傾斜軸が、該反射面の上部第３コーナーから対向する下部第４コーナーまで斜めに伸長する、請求項１に記載のデバイス。
【請求項３】
前記反射部材取付アセンブリが、反射部材傾斜付与アセンブリおよび該傾斜付与アセンブリに接続される反射部材ホルダーアセンブリを含み、該反射部材ホルダーアセンブリが、反射部材ホルダーおよび該反射部材ホルダーに接続される反射部材ホルダーシャフトを含み、そして該傾斜付与アセンブリが、バネ部材、該バネ部材を保持するバネホルダー、前記ベース部材に取り付けられる外枠、および該反射部材ホルダーシャフトを受ける可傾内輪を含み、そして該バネ部材が、該外枠および該内輪を該バネホルダーに接続する、請求項１に記載のデバイス。
【請求項４】
前記バネ部材が、第１内輪傾斜軸に沿って前記バネホルダーを前記内輪に接続する第１の斜めに対向する１対のバネセグメント、および該第１内輪傾斜軸に垂直な第２内輪傾斜軸に沿って該バネホルダーを前記外枠に接続する第２の斜めに対向する１対のバネセグメントを含み、そして該第１内輪傾斜軸が、前記反射部材の第１傾斜軸とほぼ揃えられ、そして該第２内輪傾斜軸が、該反射部材の第２傾斜軸とほぼ揃えられる、請求項３に記載のデバイス。
【請求項５】
前記アクチュエータが、前記反射部材ホルダーシャフトに接続されるアウターヨーク、１対の斜めに対向する第１傾斜軸モータコイル、１対の斜めに対向する第２傾斜軸モータコイル、該アウターヨークに接続されそして４本の外側に伸長する棒状部を有するインナーヨークを含み、１対の棒状部が、第１インナーヨーク軸に沿って揃えられそして該第１傾斜軸モータコイルを貫通して伸長し、他方の１対の棒状部が、第２インナーヨーク軸に沿って揃えられそして該第２傾斜軸モータコイルを貫通して伸長し、そして該第１傾斜軸モータコイルが、該反射部材を該反射部材の第１傾斜軸に沿って傾斜させるように作動され、そして該第２傾斜軸モータコイルが、該反射部材を該反射部材の第２傾斜軸に沿って傾斜させるように作動される、請求項４に記載のデバイス。
【請求項６】
前記アクチュエータに前記マグネットアセンブリを取り付けるためのマグネット取付アセンブリをさらに含み、該マグネット取付アセンブリが、前記インナーヨークに接続される取付シャフトを含みそして前記反射部材ホルダーシャフトとほぼ揃えられる、請求項５に記載のデバイス。
【請求項７】
前記マグネットアセンブリが、第１マグネットおよび第２マグネットを含み、該第１および第２マグネットが、相互に方向付けられて配置され、そして前記反射部材の傾斜に対して動き、それによって該反射部材の傾斜方位を示し、そして前記磁場感知アセンブリが、該第１マグネットおよび第２マグネットの運動を検出し、それによって該示された傾斜方位を検出する、請求項６に記載のデバイス。
【請求項８】
前記磁場感知アセンブリによって検出される前記示された傾斜方位が、前記アクチュエータへ送信される、請求項７に記載のデバイス。
【請求項９】
前記第１マグネットおよび第２マグネットが、前記反射部材の第１傾斜軸とほぼ揃えられる磁気アセンブリの第１動作軸、および該反射部材の第２傾斜軸とほぼ揃えられる磁気アセンブリの第２動作軸を示すように方向付けられる、請求項８に記載のデバイス。
【請求項１０】
前記第１マグネットが、前記第１動作軸とほぼ揃えられ、前記第２マグネットが、前記第２動作軸とほぼ揃えられ、そして該第２動作軸が、該第１動作軸に対して直交している、請求項９に記載のデバイス。
【請求項１１】
前記磁場感知アセンブリが、前記第１マグネットの向かい合わせの位置に第１磁場センサ、および前記第２マグネットの向かい合わせの位置に第２磁場センサを含む、請求項７に記載のデバイス。
【請求項１２】
前記第１センサおよび第２センサが、前記第１マグネットおよび第２マグネットに対して定位置にある、請求項１１に記載のデバイス。
【請求項１３】
前記第１センサが第１センサ出力を提供し、そして前記第２センサが第２センサ出力を提供し、そして該第１センサ出力が該第２センサ出力から比較的非干渉化されている、請求項１２に記載のデバイス。
【請求項１４】
前記第１センサおよび第２センサが、各々ホール効果センサである、請求項１１に記載のデバイス。
【請求項１５】
スキャナを含むデバイスであって、該スキャナが、
ベース部材；
第１傾斜軸および該第１傾斜軸に対して直交する第２傾斜軸を有する、走査ビーム反射部材；
走査ビーム反射部材懸架アセンブリであって：
該第１傾斜軸および第２傾斜軸の少なくとも１つに沿って該反射部材に傾斜を付与し、それによって傾斜方位を提供するための、そして該ベース部材に取り付けられる、傾斜付与アセンブリ；および
該反射部材を保持するための、そして該傾斜付与アセンブリに接続される、反射部材ホルダーアセンブリ、
を含む、アセンブリ；ならびに
該傾斜付与アセンブリに該反射部材に傾斜を付与させ、それによって傾斜方位を提供するための、アクチュエータ、
を含む、デバイス。
【請求項１６】
前記反射部材が、ほぼ正方形の反射面を有する走査ミラーを含み、前記第１傾斜軸が、該反射面の上部第１コーナーから対向する下部第２コーナーまで斜めに伸長し、そして前記第２傾斜軸が、該反射面の上部第３コーナーから対向する下部第４コーナーまで斜めに伸長する、請求項１５に記載のデバイス。
【請求項１７】
前記反射部材ホルダーアセンブリが、反射部材ホルダーおよび該反射部材ホルダーに接続される反射部材ホルダーシャフトを含む、請求項１６に記載のデバイス。
【請求項１８】
前記傾斜付与アセンブリが、バネ部材、該バネ部材を保持するバネホルダー、前記ベース部材に取り付けられる外枠、および該反射部材ホルダーシャフトを受ける可傾内輪を含み、そして該バネ部材が、該外枠および該内輪を該バネホルダーに接続する、請求項１７に記載のデバイス。
【請求項１９】
前記バネ部材が、第１内輪傾斜軸に沿って前記バネホルダーを前記内輪に接続する第１の斜めに対向する１対のバネセグメント、および該第１内輪傾斜軸に垂直な第２内輪傾斜軸に沿って該バネホルダーを前記外枠に接続する第２の斜めに対向する１対のバネセグメントを含む、請求項１８に記載のデバイス。
【請求項２０】
前記内輪が、間隙によって前記外枠から分離されている、請求項１９のデバイス。
【請求項２１】
前記内輪が、前記第１内輪傾斜軸に沿って突出しそして対向する１対の突出部を有し、該突出部は各々第１の１対のバネセグメントのうち１つを受け、そして該第１内輪傾斜軸が、前記反射部材の第１傾斜軸とほぼ揃えられ、そして前記第２内輪傾斜軸が、該反射部材の第２傾斜軸とほぼ揃えられる、請求項２０に記載のデバイス。
【請求項２２】
前記第１バネセグメントの各々が、長手方向軸、および第１バネセグメント長手方向軸の各々に垂直なそして相互に垂直な２つの次元を有し、第１バネセグメント次元のうち一方が、他方の第１バネセグメント次元よりも厚く、それによって該第１バネセグメントの屈曲を可能にし、各第１バネセグメントの厚い方の第１バネセグメント次元が、前記第１内輪傾斜軸とほぼ揃えられ；前記第２バネセグメントの各々が、長手方向軸、および第２バネセグメント長手方向軸の各々に垂直なそして相互に垂直な２つの次元を有し、第２バネセグメント次元のうち一方が、他方の第２バネセグメント次元よりも厚く、それによって該第２バネセグメントの屈曲を可能にし、各第２バネセグメントの厚い方の第２バネセグメント次元が、前記第２内輪傾斜軸とほぼ揃えられ、該厚い方の第２バネセグメント次元が、該厚い方の第１バネセグメントに対して垂直である、請求項２１に記載のデバイス。
【請求項２３】
前記内輪が前記第１内輪傾斜軸に沿って傾斜すると、前記第２バネセグメントが屈曲し、そして該内輪が前記第２内輪傾斜軸に沿って傾斜する、請求項２２に記載のデバイス。
【請求項２４】
前記アクチュエータが、前記反射部材ホルダーシャフトに接続されるアウターヨーク、１対の斜めに対向する第１傾斜軸モータコイル、１対の斜めに対向する第２傾斜軸モータコイル、該アウターヨークに接続されそして４本の外側に伸長する棒状部を有するインナーヨークを含み、１対の棒状部が、第１インナーヨーク軸に沿って揃えられそして該第１傾斜軸モータコイルを貫通して伸長し、他方の１対の棒状部が、第２インナーヨーク軸に沿って揃えられそして該第２傾斜軸モータコイルに沿って伸長し、該第１傾斜軸モータコイルが、該反射部材を該反射部材の第１傾斜軸に沿って傾斜させるように作動され、そして該第２傾斜軸モータコイルが、該反射部材を該反射部材の第２傾斜軸に沿って傾斜させるように作動される、請求項１９に記載のデバイス。
【請求項２５】
前記インナーヨークがほぼ十字形であり、前記第１インナーヨーク軸が前記第１内輪傾斜軸とほぼ揃えられ、そして前記第２インナーヨーク軸が前記第２内輪傾斜軸とほぼ揃えられる、請求項２４に記載のデバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
関連出願への相互参照
本出願は、以下の同時係属中の米国仮特許出願：「Magnetic Field Position Feedback for Holographic Storage Scanner（ホログラフィック記憶スキャナのための磁場位置フィードバック）」という発明の名称で2006年9月29日に出願された米国仮特許出願番号60/847,923号を参照し、そしてその優先日を主張する。上記出願の開示および内容の全体は、参照として本明細書に援用される。
【０００２】
共同研究の同意の陳述
37C.F.R（米国特許法施行規則）第1.71条(g)(1)に従って、本願発明は、任天堂株式会社およびインフェイズ  テクノロジーズ  インコーポレイテッドにより、または任天堂株式会社およびインフェイズ  テクノロジーズ  インコーポレイテッドを代表して、本願発明がなされた日以前に有効となった共同研究の同意（35U.S.C.（米国特許法）第103条(c)(3)に規定される）に従って、そして共同研究の同意の範囲内でなされた活動の結果としてなされたとの開示を、本明細書中に行う。
【０００３】
本発明は、一般に、ホログラフィックデータの読み出しに用いられ得る、走査ビーム反射部材の２軸傾斜を備えたスキャナに広く関する。本発明はさらに、そのようなスキャナに反射部材の傾斜軸方位に関する位置フィードバックを提供するアセンブリを有するスキャナに広く関する。
【背景技術】
【０００４】
情報記憶デバイスおよび方法の開発者は、記憶容量を増大させることを求め続ける。この開発の一部として、ホログラフィックメモリシステムが、従来のメモリデバイスに代わるものとして示唆されている。ホログラフィックメモリシステムは、１ビットの情報としてデータを記録するように設計され得る（すわなち、ビットワイズ（bit-wise）データ記憶）。McLeodら、「Micro-Holographic Multi-Layer Optical Disk Data Storage」、International Symposium on Optical Memory and Optical Data Storage（2005年7月）を参照のこと。ホログラフィックメモリシステムはまた、１次元直線アレイ（すなわち、１×Ｎアレイ、ここで、Ｎは、直線データビット数である）または２次元アレイ（通常「ページワイズ（page-wise）」メモリシステムと呼ばれる）であり得るデータのアレイを記録するように設計され得る。ページワイズメモリシステムは、２次元表示全体（例えば、データのページ）の記憶および読み出しを含み得る。代表的には、データを表示する低および高透明領域の２次元アレイを記録光が通過し、そしてシステムが、データのページを、ホログラフィーとして、記憶媒体にインプリントされた屈折率変化のパターンとして３次元に記憶する。Psaltisら、「Holographic Memories」、Scientific American、1995年11月（ホログラフィックシステムが、ページワイズメモリシステムを含めて、一般に説明されている）を参照のこと。
【０００５】
ホログラフィックデータ記憶システムは、記憶媒体内の特定の点で２つのコヒーレントな光ビーム（レーザービームなど）を組み合わせることにより、データ書き込み（本明細書中では、データ記録またはデータ記憶操作、単に「書き込み」操作ともいう）を行い得る。詳細には、データ符号化光ビームが参照光ビームと組み合わされて、ホログラフィック記憶媒体中に干渉パターンを作り得る。データビームと参照ビームとの干渉により作られるパターンはホログラムを形成し、ホログラムは次いでホログラフィック媒体中に記録され得る。データを運ぶビームが、例えば、空間光変調器（ＳＬＭ）にデータビームを通過させることにより符号化されれば、ホログラムが、ホログラフィック媒体中に記録され得る。
【０００６】
ホログラフィーとして記憶されたデータは、次いで、この記憶されたデータの読み出し（または再構成）を行うことにより、ホログラフィックデータ記憶システムから復元され得る。読み出し操作は、データを記録するために用いられた参照ビームまたはその補償された等価物と同じ角度、波長、位相、位置などで、記憶媒体に再構成ビームまたは探査ビームを投影することにより行われ得る。ホログラムと再構成ビームまたは探査ビームとが相互作用して、データビームを再構成する。
【０００７】
データ記憶容量を増大させるための技法は、ホログラム多重化による。ホログラム多重化は、複数のホログラムをホログラフィック記憶媒体中に、しばしば媒体の同じボリュームまたはほとんど同じボリューム中に、記憶させることを含む。多重化は、記録中、および記録されたホログラムのその後の読み出し中に、角度、波長、位相コードなどを変化させることにより行われ得る。これらの方法の多くは、ブラッグ効果（Bragg effect）として知られるホログラフィック現象に依拠して、たとえホログラムが媒体の同じボリューム内に物理的に位置していてもホログラムを分離する。別の多重化方法（例えば、シフトおよびある程度まで相関）は、ブラッグ効果および媒体と入力レーザービームとの相対的な動作を用いて、媒体の同じボリューム中に複数のホログラムを重ねる。
【０００８】
角度多重化では、複数のホログラムが、記録の間、参照ビームの角度を変化させることにより、ホログラフィック記憶媒体の同じボリューム中に記憶され得る。例えば、データページが、多くの角度でホログラフィック記憶媒体中に記録され得るが、媒体の所定のボリュームのダイナミックレンジまたは「アドレス空間」を使い果たし得る。「アドレス空間」中の各位置（または各データページ）は、参照ビームの角度に対応する。記録の間、参照ビームは、データページが書き込まれるにつれて、多くの不連続の角度を通して走査する。逆に、読み出しの間、共役参照ビーム（時に「探査ビーム」という）は、その対応する角度で各データページを探査し得る。スキャナは、記録または読み出しのいずれのためにも用いられ得る。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、２軸動作で走査可能なスキャナを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の第１の広い局面によれば、スキャナを含むデバイスが提供され、該スキャナは、
ベース部材；
第１傾斜軸および該第１傾斜軸に対して直交する第２傾斜軸を有する、走査ビーム反射部材；
該第１傾斜軸および第２傾斜軸に沿った該反射部材の傾斜のために該反射部材を該ベース部材に取り付けるための、反射部材取付アセンブリ；
該反射部材取付アセンブリに該第１傾斜軸および第２傾斜軸の少なくとも１つに沿って該反射部材を傾斜させ、傾斜方位を提供するための、アクチュエータ；
該傾斜方位に応答しそして相関付けられる１以上の磁場を発生する、マグネットアセンブリ；および
該マグネットアセンブリによって発生した該磁場を感知し、それによって該傾斜方位を示すための、磁場センサアセンブリ、
を含む。
【００１１】
本発明の第２の広い局面によれば、スキャナを含むデバイスが提供され、該スキャナは、
ベース部材；
第１傾斜軸および該第１傾斜軸に対して直交する第２傾斜軸を有する、走査ビーム反射部材；
走査ビーム反射部材懸架アセンブリであって：
該第１傾斜軸および第２傾斜軸の少なくとも１つに沿って該反射部材に傾斜を付与し、それによって傾斜方位を提供するための、そして該ベース部材に取り付けられる、傾斜付与アセンブリ；および
該反射部材を保持するための、そして該傾斜付与アセンブリに接続される、反射部材ホルダーアセンブリ、
を含む、アセンブリ；ならびに
該傾斜付与アセンブリに該反射部材に傾斜を付与させ、それによって傾斜方位を提供するための、アクチュエータ、
を含む。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】１軸ミラー動作を含む角度多重化によってホログラフィック記憶媒体に記録されたデータの（読み出しスキャナとして）従来のガルボスキャナ（galvo scanner）を用いて行った読み出し走査の一例を示す。
【図２】本発明の２軸スキャナの実施態様の斜視図である。
【図３】図２のスキャナの正面図であり、走査ミラーおよび傾斜軸を示す。
【図４】図２と同様の別の斜視図であるが、スキャナデバイスに位置フィードバックを提供するアセンブリの実施態様もまた示す。
【図５】図４の線５−５に沿った断面図である。
【図６】位置フィードバックを提供するアセンブリの種々の特徴を例示する、図４に示すスキャナデバイスの後方角度からの斜視図である。
【図７】走査ミラーの第１傾斜軸に対する磁場センサ応答を例示する概略図である。
【図８】走査ミラーの第２傾斜軸に対する磁場センサ応答を例示する概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明を、添付の図面と併せて説明する。
【００１４】
本発明を説明する前に、いくつかの用語を定義することが好都合である。本出願を通して以下の定義が用いられることが理解されるべきである。
【００１５】
定義
用語の定義が、その用語が一般的に用いられる意味から逸脱する場合には、特に示さない限り、出願人は以下に提供される定義を利用することを意図する。
【００１６】
本発明の目的のために、「上端」、「下端」、「上」、「下」、「左」、「右」、「水平の」、「垂直の」、「上方」、「下方」などのような方向の用語は、本発明の種々の実施態様の説明において、単に便宜上用いられる。本発明の実施態様は、種々の方向に向けられ得る。例えば、図２から８に示す実施態様は、反転、任意の方向に９０度回転などされ得る。
【００１７】
本発明の目的のために、用語「レーザ」とは、従来のレーザならびに発光ダイオード（ＬＥＤ）をいう。
【００１８】
本発明の目的のために、用語「光源」とは、例えばレーザなどからの、任意の波長の電磁放射の任意の供給源をいう。本発明の実施態様での使用に適した光源としては、従来のレーザ供給源、例えば、Ａｒ＋レーザ（４５８、４８８、５１４ｎｍ）およびＨｅ−Ｃｄレーザ（４４２ｎｍ）の青色および緑色の光線、２倍波ＹＡＧレーザ（５３２ｎｍ）の緑色の光線、およびＨｅ−Ｎｅレーザ（６３３ｎｍ）、Ｋｒ＋レーザ（６４７および６７６ｎｍ）の赤色の光線、および種々のレーザダイオード（ＬＤ）（例えば、２９０ｎｍから９００ｎｍまでの波長を有する光を発光する）によって得られるものが挙げられるが、これらに限定されない。
【００１９】
本発明の目的のために、用語「空間的光強度」とは、所定の容量の空間内の光強度分布または光強度変化のパターンをいう。
【００２０】
本発明の目的のために、用語「ホログラフィック格子」、「ホログラフ」または「ホログラム」（本明細書では以後、総称してかつ互換的に「ホログラム」という）とは、信号ビームおよび参照ビームが相互に干渉する場合に形成される干渉縞パターンをいう従来の意味で用いられる。デジタルデータが記録される場合、信号ビームは、例えば空間光変調器などのデータ変調器で符号化され得る。
【００２１】
本発明の目的のために、用語「ホログラフィック記録」とは、ホログラフィック記憶媒体にホログラムを記録する動作をいう。
【００２２】
本発明の目的のために、用語「ホログラムの多重化」とは、記録パラメータ（角度、波長、位相符号、シフト、相関、ペリストロフィック（peristrophic）などが挙げられるが、これらに限定されない）を変化させることによって、ホログラフィック記憶媒体の同じボリュームまたはほとんど同じボリューム中に、複数のホログラムを記録、記憶などすることをいう。記録、記憶などされた多重化ホログラムは、それぞれのホログラムの記録、記憶などに用いられたものと同じ記録パラメータを用いて、読み出し、復元、再構成などされ得る。
【００２３】
本発明の目的のために、用語「ホログラフィック記憶媒体」とは、１以上のページとしての１以上のホログラムを、媒体の中にインプリントされた屈折率変化のパターンとして３次元（すなわち、Ｘ、ＹおよびＺ次元）で記録および記憶することが可能なコンポーネント、材料などをいう。本明細書で有用なホログラフィック媒体の例としては：米国特許第6,103,454号（Dharら）（2000年8月15日発行）;米国特許第6,482,551号（Dharら）（2002年11月19日発行）;米国特許第6,650,447号（Curtisら）（2003年11月18日発行）；米国特許第6,743,552号（Setthachayanonら）（2004年6月1日発行）;米国特許第6,765,061号（Dharら）（2004年7月20日）;米国特許第6,780,546号（Trentlerら）（2004年8月24日発行）;米国特許出願第2003-0206320号（Coleら）（2003年11月6日公開）；および米国特許出願第2004-0027625号（Trentlerら）（2004年2月12日公開）（これらの内容および開示の全体が、参照により本明細書中に援用される）に記載のものが挙げられるが、これらに限定されない。
【００２４】
本発明の目的のために、用語「データページ」または「ページ」とは、ホログラフィーに関して用いられるようなデータページの従来の意味をいう。例えば、データページは、ホログラフィック記憶媒体に記録されるデータのページ（すなわち、データの２次元アセンブリ）、１以上の画像などであり得る。
【００２５】
本発明の目的のために、用語「記録光」とは、ホログラフィック記憶媒体に記録するために用いられる光源をいう。記録光の空間的光強度パターンが、記録されるものである。
【００２６】
本発明の目的のために、用語「データを記録」とは、ホログラフィックデータをホログラフィック媒体に記憶させまたは書き込むことをいう。
【００２７】
本発明の目的のために、用語「データを読み出す」とは、ホログラフィック媒体に記憶されたホログラフィックデータを復元、回復または再構成することをいう。
【００２８】
本発明の目的のために、用語「Ｘ−Ｙ面」とは、代表的に、ＸおよびＹの直線方向または直線次元を包含するホログラフィック媒体によって規定される平面をいう。本明細書において、ＸおよびＹの直線方向または直線次元とは、代表的に、それぞれ長さ（すなわち、Ｘ次元）および幅（すなわち、Ｙ次元）として知られる次元をいう。
【００２９】
本発明の目的のために、用語「Ｚ方向」および「Ｚ次元」とは、Ｘ−Ｙ面に垂直な直線次元または直線方向を互換可能にいい、本明細書においては、代表的に、厚みとして知られる直線次元をいう。
【００３０】
本発明の目的のために、用語「データ変調器」とは、信号ビームから１次元または２次元にデータを光学表示することができる任意のデバイスをいう。
【００３１】
本発明の目的のために、用語「空間光変調器」（ＳＬＭ）とは、電子的に制御された活性光学素子であるデータ変調デバイスをいう。
【００３２】
本発明の目的のために、用語「屈折率プロファイル」とは、ホログラフィック記憶媒体に記録された屈折率パターンの２次元（Ｘ、Ｙ）マッピングをいう。
【００３３】
本発明の目的のために、用語「データビーム」とは、データ信号を含む記録ビームをいう。本明細書で用いるように、用語「データ変調ビーム」とは、空間光変調器（ＳＬＭ）などの変調器によって変調されたデータビームをいう。
【００３４】
本発明の目的のために、用語「ダイナミックレンジ」または「Ｍ＃」とは、ホログラフィック媒体の固有の特性に関し、そして共通のボリューム中に記録された１以上のホログラムの間に分配される場合のその媒体の全応答をいい、そしてその媒体の屈折率変化および厚みに関連付けられる。Shelby、「Media Requirements for Digital Holographic Data Storage」、Holographic Data Storage、Section 1.3（Coufal、Psaltis、Sincerbox Eds. 2003）を参照のこと。
【００３５】
本発明の目的のために、用語「スキャナ」とは、ホログラフィック記憶媒体に記録されたイメージの読み出し、解析などに用いられる光ビームについての操縦デバイスをいう。
【００３６】
本発明の目的のために、用語「アクチュエータ」とは、動作、運動などを引き起こし、与えるなどするデバイス（例えば、電気機械デバイス）、モータ、モータアセンブリなどをいい、例えば、ソレノイド、圧電アクチュエータ、親ねじアクチュエータ、リニアステッパ、電わいアクチュエータ（筋肉ワイヤともいわれる）、形状記憶合金（例えば、ニチノール）アクチュエータなどが挙げられる。
【００３７】
本発明の目的のために、用語「ボイスコイル」とは、ソレノイドタイプのアクチュエータをいう。
【００３８】
本発明の目的のために、用語「ジンバル」とは、多次元での物体の旋回、回転などを許容するかまたは可能にする、機械的デバイス、手段、機構、懸架などをいう。ジンバルは、軸上に直角に（すなわち、直交するようにまたは垂直に）取り付け、接続、連結、接合などされた２対または３対のピボットで構成され得る。例えば、３軸ジンバルは、取り付けられた物体がその支持体の動作にかかわらず水平面にとどまることを許容するかまたは可能にし得る。２軸ジンバルの１例は、カルダン懸架である。
【００３９】
本発明の目的のために、用語「カルダン懸架」とは、２つの別のコンポーネント（例えば２つの剛体棒）の間の接合、連結、接続などであって、接合、連結、接続などされたコンポーネント（例えば、剛体棒）が、その接合、連結、接続などに対して、任意の方向に屈曲、旋回することを許容するかまたは可能にする、接合、連結、接続などをいう。カルダン懸架はまた、「自在継ぎ手（ユニバーサルジョイント）」、Ｕジョイント、カルダンジョイント、ハーディ・スパイサージョイント、フックスジョイントなどとも称され得る。カルダン懸架の１例は、相互に接合、連結、接続されるかまたはともに近くに位置する１対のヒンジを含み得るが、この場合これらのヒンジは、ヒンジの旋回、回転などのそれぞれの軸が相互に直交する（垂直である）ように、接合、連結、接続、方向付けなどされる。
【００４０】
本発明の目的のために、用語「傾斜軸」とは、反射部材の相対角回転、旋回、傾斜、傾きなどを規定するための軸をいう。傾斜軸は、垂直軸、水平軸などであり得る。
【００４１】
本発明の目的のために、用語「傾斜方位」とは、１つ以上の傾斜軸に対する反射部材の回転、旋回、傾斜、傾きなどの相対角度をいう。傾斜方位は、例えば度で測定されまたは称され得る。
【００４２】
本発明の目的のために、用語「位置フィードバック」とは、反射部材の１つ以上の傾斜軸の傾斜方位に関するデータ、情報などを含む電子信号をいう。
【００４３】
本発明の目的のために、用語「位置フィードバック回路」とは、傾斜軸の１つに対して関連する位置フィードバックを含む回路をいう。
【００４４】
本発明の目的のために、用語「マグネット」とは、磁場を生じる任意のコンポーネント、素子、部品、材料などをいう。
【００４５】
本発明の目的のために、用語「両極」とは、マグネットのＮ極およびＳ極の方位をいう。
【００４６】
本発明の目的のために、用語「磁場」とは、この用語の従来の意味、すなわち、マグネット内およびその周辺にソレノイド力線を描く軸ベクトル場をいう。
【００４７】
本発明の目的のために、用語「磁場センサ」とは、磁場を感知、検出などし、そして磁場の強さおよび方向によって変化する出力信号を提供する電子デバイス、コンポーネントなど（例えば、変換器）をいい、例えば、ホール効果センサが挙げられる。
【００４８】
本発明の目的のために、用語「ホール効果センサ」とは、「ホール」効果を利用して磁場密度の変化に応じた出力電圧の変動によって磁場を検出する磁場センサ（例えば、変換器）をいう。
【００４９】
本発明の目的のために、用語「非干渉化（decoupled）」とは、位置フィードバックが比較的よく孤立された傾斜軸方位検出を有し、１つの傾斜軸の傾斜方位がその１つの軸に関連する位置フィードバック回路で大きな出力変化を生じ、そして他方の傾斜軸の傾斜方位がその他方の軸に関連する位置フィードバック回路で小さな出力変化を生じることをいう。
【００５０】
本発明の目的のために、用語「小さな出力変化」とは、位置フィードバック回路のうちの１つからの出力信号の変化が最小または検出不能であることをいう。
【００５１】
本発明の目的のために、用語「大きな出力変化」とは、位置フィードバック回路のうちの１つからの出力信号の変化が著しいまたは容易に検出可能であることをいう。
【００５２】
説明
本発明は、２軸動作で走査可能なスキャナに関する。図１は、角度多重化によってホログラフィック記憶媒体に記録されたデータの（読み出しスキャナとして）従来のガルボスキャナ（galvo scanner）（大まかに１００として示す）を用いて行った読み出し走査の一例を示す。読み出しスキャナ１００を、上面１０６および小型化を容易にする反射バッキング１０８を有するホログラフィック記憶媒体１０４とともに示す。入射する読み出し参照ビーム１１２を、ビームの上端（ビームライン１１２−１）、ビームの中間（ビームライン１１２−２）、およびビームの下端（ビームライン１１２−３）に対応する３つのラインによって表す。走査１１６（ビームライン１１６−１および１１６−２参照）はダイナミックレンジの開始角度を、走査１２０（ビームライン１２０−１および１２０−２参照）は中央角度を、そして走査１２４（ビームライン１２４−１および１２４−２参照）は最終角度を表す。図１は、異なる角度（例えば、位置１４０−１および１４０−２によって表される）に調整または旋回され得る走査ミラー１４０もまた示す。ビームライン１１６−１および１１６−２は、ミラー１４０がそれぞれ１４０−１および１４０−２の位置にあるときの、上端ビーム１１２−１のそれぞれの反射光を表す。同様に、ビームライン１２０−１および１２０−２は、ミラー１４０がそれぞれ１４０−１および１４０−２の位置にあるときの、中間ビーム１１２−２のそれぞれの反射光を表し、一方、ビームライン１２４−１および１２４−２は、ミラー１４０がそれぞれ１４０−１および１４０−２の位置にあるときの、下端ビーム１１２−３のそれぞれの反射光を表す。
【００５３】
また、図１に例示する従来のガルボスキャナ１００は、走査ミラー１４０に１軸のミラー動作のみ提供する。走査ミラー１４０の１軸動作では、入射する読み出し照射に対するホログラフィック記憶媒体の位置が非常に正確であることが要求され得る。対照的に、２軸動作で走査可能なスキャナは、スキャナについてこれらの位置公差の必要性を減少させ得る。
【００５４】
２軸動作スキャナの実施態様を、図２および図３に、大まかに２００として示す。スキャナ２００は、ベース部材（大まかに２０４として示す）、走査ビーム反射部材（例えば、走査ミラー（大まかに２０８として示す）の形状であり得る）、ベース部材２０４にミラー２０８を取り付けるための取付アセンブリ（例えば、反射部材懸架アセンブリ（大まかに２１２として示す）の形状で）、および懸架アセンブリ２１２にミラー２０８を傾斜させるためのアクチュエータ（例えば、モータアセンブリ（大まかに２１６として示す）の形状で）を含む。図２に示すように、ミラー２０８は、ほぼ正方形の反射表面または反射面（２２０として示す）、および反射面２２０が取り付け、固定などされたミラー本体（２２４として示す）を含む。図２および特に図３に示すように、ミラー２０８は、ミラー２０８の反射面２２０の上部第１コーナー２２８から対向する下部第２コーナー２３０まで斜めに伸長する第１傾斜軸（破線両頭矢印２２６によって示す）を有する。さらに、図２および特に図３に示すように、ミラー２０８は、ミラー２０８の反射面２２０の上部第３コーナー２３４から対向する下部第４コーナー２３６まで斜めに伸長する第２傾斜軸（破線両頭矢印２３２によって示す）を有する。
【００５５】
図２を参照して、懸架アセンブリ２１２は、反射部材ホルダーアセンブリ２３８を含み、反射部材ホルダーアセンブリ２３８は、ミラー２０８を保持するためのミラー取付プレート（２４０として示す）の形状の反射部材ホルダー、および取付プレート２４０に接続されるほぼ円筒のシャフト（２４４として示す）を含む。懸架アセンブリ２１２はさらに、ミラー傾斜付与アセンブリ（大まかに２４８として示す）を含み、ミラー傾斜付与アセンブリ２４８は、バネ部材（大まかに２５２として示す）を保持する環状バネホルダー２５０、ベース部材２０４に取り付けられる固定外枠（２５４として示す）、およびシャフト２４４を受け、そして間隙（２５８として示す）によって外枠２５４から分離される可傾内輪（２５６として示す）を含む。バネホルダー２５０は、バネ部材２５２の第１の斜めに対向する１対のバネセグメント（２６０および２６２として示す）によって内輪２５６に取り付けまたは接続され、これらのバネセグメントは、内輪２５６の外向きに突出しそして対向する１対の突出部２６４および２６６のそれぞれによって受けられる。同様に、バネホルダー２５０は、バネ部材２５２の第２の斜めに対向する１対のバネセグメント（２６７および２６８として示す）によって外枠２５４に取り付けまたは接続される（図２および図３参照）。
【００５６】
図２にさらに示すように、バネセグメント２６０／２６２は、バネセグメント２６０／２６２が曲折または屈曲し得るように、主長手方向軸（すなわち、バネホルダー２５２と内輪２５６とを接続する軸に沿った）に対して垂直な一方の次元で相対的に厚く、そして主長手方向軸に対して垂直な他方の次元で相対的に薄い。同様に、バネセグメント２６７／２６８は、バネセグメント２６７／２６８が曲折または屈曲し得るように、主長手方向軸（すなわち、バネホルダー２５２と外枠２５４とを接続する軸に沿った）に対して垂直な一方の次元で相対的に厚く、そして主長手方向軸に対して垂直な（および厚い方の次元に対して垂直な）他方の次元で相対的に薄い。加えて、そして図２に示すように、各バネセグメント２６０／２６２の厚い方の次元は同じ平面にあり、そしてバネセグメント２６７／２６８の厚い方の次元の平面に対して垂直である。同様に、各バネセグメント２６０／２６２の薄い方の次元もまた同じ平面にあり、そしてまた、バネセグメント２６７／２６８の薄い方の次元の平面に対して垂直である。
【００５７】
可傾内輪２５６は、２本の傾斜軸のうち１つまたは両方に沿って、固定外枠２５４に対して傾斜し得る。そのうち、第１傾斜軸は、突出物２６４および２６６から伸長し、第１バネセグメント２６０／２６２の厚い方の次元の平面とほぼ揃えられ、そしてミラー２０８の第１傾斜軸２２６とほぼ揃えられる。内輪２５６の第２傾斜軸は、内輪２５６の第１傾斜軸に対して直交しまたは垂直であり、第２バネセグメント２６７／２６８の厚い方の次元の平面とほぼ揃えられ、そしてミラー２０８の第２傾斜軸２３２とほぼ揃えられる。また、バネホルダー２５０は、バネ部材２５２のバネセグメント２６０／２６２および２６７／２６８のそれぞれを介して、可傾内輪２５６と外枠２５４とを接続する。したがって、バネホルダー２５０、（バネ部材２５２の）バネセグメント２６０／２６２および２６７／２６８、および内輪２５６の組み合わせは、実質的に、２７０として示す傾斜付与部材２４８の懸架中心点で、外枠２５４から吊り下がりまたは外枠２５４によって懸架されている。
【００５８】
バネホルダー２５０および内輪２５６が外枠２５４から吊り下がりまたは外枠２５４によって懸架されるため、そして、（バネ部材２５２の）バネセグメント２６０／２６２および２６７／２６８を介する接続のため、傾斜付与アセンブリ２４８の２つの直交する「ヒンジ」部分の間に、カルダン懸架または自在継ぎ手（ユニバーサルジョイント）に相当するものが形成される。バネセグメント２６０／２６２および２６７／２６８の各対は、これらの２つの直交する「ヒンジ」部分のうちの一方に対応する。ミラーホルダーアセンブリ２３８のシャフト２４４が内輪２５６によって受けられるため、ミラーホルダーアセンブリ２３８は、内輪２５６の傾斜に応答して動きそして傾斜し、したがってミラー２０８に対応する傾きを付与する。したがって、内輪２５６が、例えば内輪２５６の第１傾斜軸に沿って傾斜する場合、バネセグメント２６０／２６２が比較的まっすぐまたはピンと張ったままである一方で、バネセグメント２６７／２６８は屈曲および曲折し、ミラーホルダーアセンブリ２３８およびしたがってミラー２０８が、第１傾斜軸２２６に沿って傾斜する。反対に、内輪２５６が、内輪２５６の第１軸と垂直な第２軸に沿って傾斜する場合、バネセグメント２６７／２６８が比較的まっすぐまたはピンと張ったままである一方で、バネセグメント２６０／２６２は屈曲および曲折し、ミラーホルダーアセンブリ２３８およびしたがってミラー２０８が、第２傾斜軸２３２に沿って傾斜する。また、内輪２５６はこれらの両方の軸に沿って同時に傾斜し得、したがってバネセグメント２６７／２６８および２６０／２６２を屈曲および曲折させ、ミラーホルダーアセンブリ２３８およびしたがってミラー２０８が、第１傾斜軸２２６および第２傾斜軸２３２の両方に沿って傾斜する。
【００５９】
まず、図２を参照して、モータアセンブリ２１６は、モータ収納部（２７２として示す）、１対の斜めに対向する第１傾斜軸モータコイル（そのうちの１つを２７４として示す）、および１対の斜めに対向する第２傾斜軸モータコイル（そのうちの１つを２７６として示す）を含む。モータアセンブリ２１６はさらに、４本の外側に伸長する棒状部（そのうちのモータコイル２７６を貫通して伸長するものを図示し、２８２として示す）を有するほぼ十字形のインナーヨーク２８０、シャフト２４４が接続または取り付けられるほぼ八角形のアウターヨーク２８４、および４本のはんだラグ（２８６として示す）を含む。インナーヨーク２８０およびアウターヨーク２８４は、インナーヨーク２８０とアウターヨーク２８４との間に位置するマグネット２９０（図５を参照）から直接磁束を受け、そのため、磁束はモータコイル２７４および２７６の各々の１面の壁を貫通してほぼ直角に（すなわち、直交するようにおよび垂直に）通過する。また、各はんだラグ２８６は、モータコイル２７４および２７６のうち１つに接続し、そしてコイル駆動回路ワイヤ（示さず）で終端となる。
【００６０】
アウターヨーク２８４がシャフト２４４（内輪２５６に接続している）に接続し、そしてインナーヨーク２８０がアウターヨーク２８４に（図５に示すようにマグネット２９０を介して）接続しているため、インナーヨーク２８２とアウターヨーク２８４との組み合わせは、したがって内輪２５６と一体化され、そして内輪２５６と連動して動きまたは傾斜する。加えて、インナーヨーク２８０の２本の棒状部２８２が、モータコイル２７４の対向対を貫通して伸長する第１軸に沿ってほぼ揃えられ得、このインナーヨーク２８０の第１軸はまた、内輪２５６の第１軸（すなわち、突出物２６４から突出物２６６まで伸長している）とほぼ揃えられる。モータコイル２７４は、インナーヨーク２８０を、そのようにこのインナーヨーク２８０の第１軸に沿って動かしそして傾斜させるように、作動、稼動などされ得、それによって、内輪２５６を、内輪２５６の第１軸に沿って連動して動かしそして傾斜させる。したがって、モータコイル２７４は、ミラー２０８を（アウターヨーク２８４／インナーヨーク２８０、傾斜付与アセンブリ２４８、およびミラーホルダーアセンブリ２３８の組み合わせを介して）第１傾斜軸２２６に沿って傾斜させるための、スキャナ２００の原動力を提供する。
【００６１】
同様に、インナーヨーク２８０の他方の２本の棒状部２８２は、インナーヨーク２８０の第１軸に対して垂直な、そしてモータコイル２７６の対向対を貫通して伸長する第２軸に沿って揃えられ、このインナーヨーク２８０の第２軸もまた、内輪２５６の第２傾斜軸とほぼ揃えられる（すなわち、第１傾斜軸に対して垂直である）。モータコイル２７６は、インナーヨーク２８０を、インナーヨーク２８０の第２軸に沿ってそのように動かしそして傾斜させるように、作動、稼動などされ得、それによって、内輪２５６を内輪２５６の第２軸に沿って連動して動かしそして傾斜させる。したがって、モータコイル２７６は、ミラー２０８を（また、アウターヨーク２８４／インナーヨーク２８０、傾斜付与アセンブリ２４８、およびミラーホルダーアセンブリ２３８の組み合わせを介して）第２傾斜軸２３２に沿って傾斜させるための、スキャナ２００の原動力を提供する。
【００６２】
図２および３のスキャナ２００は、ミラー２０８の２軸（すなわち、第１傾斜軸２２６および第２傾斜軸２３２に沿った）傾斜を提供または付与するが、スキャナ２００には、例えば、ホログラムデータを読み出そうとしてミラー２０８の傾斜方位を手動で推定する以外に、モータアセンブリ２１６にミラー２０８の傾斜方位の位置フィードバックを提供することが必要であり得ることを見出した。モータアセンブリ２１６へのこのような手動のフィードバックは、例えば、ホログラフィック記憶システムのデータスループットレート、衝撃、振動、および／または他の環境障害に対する感受性などに制限を加え得る。
【００６３】
図４から６は、スキャナ２００用の位置フィードバックアセンブリを例示し、位置フィードバックアセンブリを大まかに４００として示す。位置フィードバックアセンブリ４００は、取付アセンブリ（大まかに４０２として示す）、マグネットアセンブリ（大まかに４０４として示す）、および磁場センサアセンブリ（大まかに４０８として示す）を含む。取付アセンブリ４０２は、取付シャフト４１０（図５に示すように、インナーヨーク２８０とアウターヨーク２８４との組み合わせを貫通して、シャフト２４４に接続しそしてシャフト２４４とほぼ揃えられる）、およびシャフト４１０に接続されるマグネット取付プレート４１２を含む。マグネットアセンブリ４０４は、第１傾斜軸動作マグネット（４１６として示す）および第２傾斜軸動作マグネット（４２０として示す）を含む。磁場センサアセンブリ４０８は、第１磁場センサ（４２４として示す）および第２磁場センサ（４２８として示す）を含む。磁場センサアセンブリ４０８はさらに、センサ４２４および４２８からモータアセンブリ２１６へ信号を移送、送信などし、したがってセンサ４２４および４２８によって検出されるミラー２０８の傾斜方位に関する位置フィードバックを提供するための電子回路（示さず）（例えば、センサ４２４および４２８が取り付けられ得る回路基板）を含む。図４および特に図６にさらに示すように、マグネットアセンブリ４０４の第１動作軸を両頭破線矢印４３２によって示し（図６に示すように、第１傾斜軸２２６とほぼ揃えられる）、一方、マグネットアセンブリ４０４の第２動作軸を両頭破線矢印４３６によって示し（図６に示すように、第２傾斜軸２３２とほぼ揃えられる）、そして第２動作軸は、第１動作軸４３２に対して垂直である。図６を参照して、第１マグネット４１６は、第１動作軸４３２に沿った向きで第１磁極６０４（任意にＮ極と指定する）および第２磁極６０８（任意にＳ極と指定する）を含み、一方、第２マグネット４２０は、第１動作軸４３２に対して直交するまたは垂直な第２動作軸４３６に沿った向きで第１磁極６１２（任意にＮ極と指定する）および第２磁極６１６（任意にＳ極と指定する）を含む。
【００６４】
図４から６に例示するように、位置フィードバックアセンブリ４００は、スキャナ２００に、スキャナ２００のモータ端に一体化された非接触２傾斜軸方位位置フィードバックアセンブリを提供する。位置フィードバックアセンブリ４００は、２つのマグネット４１６および４２０を有し、これらは取付アセンブリ４０２の取付プレート４１２上に取り付けられそして相互に方向付けられて配置され、よって、マグネット４１６および４２０がミラー２０８の傾斜と連動して動き得（第１傾斜軸２２６と連動して動く第１動作軸４３２および第２傾斜軸２３２と連動して動く第２動作軸４３６によって表されるように）、それによってミラー２０８の傾斜方位を示す。磁場センサ４２４および４２８（各々が、例えば、出力ホール効果センサであり得る）が、マグネット４１６および４２０のそれぞれに向かい合ってそしてマグネット４１６および４２０のそれぞれと隣接して、取り付けられ得る。センサ４２４および４２８は、通常、マグネット４１６および４２０に対して定位置にあるため、センサ４２４および４２８によって検出されるこれらのマグネット４１６および４２０の第１動作軸４３２および／または第２動作軸４３６に沿った運動（これはまた、ミラー２０８のそれぞれの傾斜方位を示す）が、第１傾斜軸２２６および／または第２傾斜軸に沿ったミラー２０８のそれぞれの傾斜方位を、モータアセンブリ２１６への位置フィードバックとして正確に中継または移送するために用いられ得る。図４から６は、位置フィードバックアセンブリ４００がモータアセンブリ２１６の端部に取り付けられている例を示すが、位置フィードバックアセンブリ４００は、アセンブリサイズを縮小するために、例えば、走査ミラー２０８、インナーヨーク２８０およびアウターヨーク２８４などに一体化して取り付けられてもよい。
【００６５】
図６に特に例示するように、マグネット４１６および４２０は、相互に直交してまたは垂直に配置され得る（すなわち、第１マグネット４１６の軸（極６０４から極６０８まで）が第１動作軸４３２とほぼ揃えられ、そして第２マグネット４２０の軸（極６１２から極６１６まで）が、第１動作軸４３２に対して直交するまたは垂直な第２動作軸４３６とほぼ揃えられる）。マグネット４１６および４２０は、図６では、それらの方位（すなわち、それぞれ、第１動作軸４３２および第２動作軸４３６によって規定されるような）がモータアセンブリ２１６の２本の物理的なそして直交する動作軸（すなわち、それぞれ、モータコイル２７４を貫通して伸長する１対の棒状部２８２、およびモータコイル２７６を貫通して伸長する他方の１対の棒状部２８２によって規定されるような）とほぼ揃えられるように配置されているものとして示されるが、これは必須ではない。各傾斜軸２２６および２３２に沿ったミラー２０８の傾斜方位はまた、マグネット４１６および４２０の動きおよび位置の組み合わせによって決定されそして示され得る。
【００６６】
図４から６に例示したマグネット４１６および４２０の直交配置および磁場センサ４２４および４２８の対応する位置付けは、２つのセンサ出力（センサ４２４および４２８からの）を相互から比較的よく非干渉化されるものとし、したがって傾斜軸２２６および２３２に沿ったミラー２０８の傾斜方位の独立した識別について信号処理の必要性を減少させるのに有益であり得る。これらの特定のマグネットおよびセンサ配置を、さらに図７および８に概略的に例示する。図７は、第２傾斜軸２３２の動作に対する大きな出力センサ応答を例示し、細い両頭破線矢印７０４は第２傾斜軸２３２の小さな入力変化を示し、そして太い両頭破線矢印７０８は第２傾斜軸２３２の大きな出力変化を示す。同様に、図８は、第１傾斜軸２２６の動作に対する大きな出力センサ応答を例示し、細い両頭破線矢印８０４は第１傾斜軸２２６の小さな入力変化を示し、そして太い両頭破線矢印８０８は第１傾斜軸２２６の大きな出力変化を示す。
【００６７】
図２から８に例示する特定の実施態様は本発明の教示を例示するために提供されることが理解されるべきである。図２から８に例示された特定の実施態様の当該分野の技術範囲内での改変または修正は、これらの改変または修正が同一または類似の様式、機能などで作用する限り、本発明の範囲内にあるとみなされる。これらの修正としては、単一のアセンブリ、部材、素子、コンポーネントなどの使用（複数のアセンブリ、部材、素子、コンポーネントなどの代わりに）、複数のアセンブリ、部材、素子、コンポーネントなどの使用（単一のアセンブリ、部材、素子、コンポーネントなどの代わりに）、任意のアセンブリ、部材、素子、コンポーネントなどのいずれかの順序、向き、方向、位置などの変更、任意のアセンブリ、部材、素子、コンポーネントなどのいずれかの単一または一体化されたアセンブリ、部材、素子、コンポーネントなどへの複合化または一体化、またはアセンブリ、部材、素子、コンポーネントなどの複数の関連のアセンブリ、部材、素子、コンポーネントなどへのグループ解除が挙げられ得る。例えば、図２から８に例示する特定の実施態様はスキャナ２００および位置フィードバックアセンブリ４００をほぼ水平の向きで示すが、スキャナ２００および位置フィードバックアセンブリ４００は、本発明の範囲から逸脱することなく、ほぼ垂直または任意の他の向きにもまた向けられ得る。
【００６８】
本出願で引用したすべての文書、特許、学術論文および他の資料は、参照により本明細書に援用される。
【００６９】
本発明は、添付の図面を参照してそのいくつかの実施態様とともに十分に記載したが、種々の変更および改変が当業者に明らかであることが理解されるべきである。このような変更および改変は、添付の請求項から逸脱しない限り、添付の請求項により規定されるような本発明の範囲内に含まれるものとして理解されるべきである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【国際調査報告】
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