(57)【要約】  電子装置製造熱除害装置を動作させるための方法が提供され、この方法は、熱除害反応チャンバ内へ入口を通してガス状流出物を流入させ、上記流出物を除害し、上記熱除害反応チャンバから出口を通して上記除害された流出物を流出させ、入口圧力を測定するため圧力センサを使用し、出口圧力を測定するため上記同じ圧力センサを使用し、上記圧力センサが上記入口圧力及び上記出口圧力を順次に測定し、上記入口圧力と上記出口圧力との差を決定し、もし、上記入口圧力と上記出口圧力との間の上記差が所定の圧力を越えるならば、上記流出物の流れを上記入口からそらす、ことを含む。多くの他の態様も提供される。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱除害リアクタ入口及び出口圧力測定システムにおいて、
各々が圧力ポートを有する１つ以上のガス入口と、
各々が圧力ポートを有する１つ以上のガス出口と、
上記圧力ポートのうちの２つ以上のものに選択的に接続される圧力センサと、
を備える熱除害リアクタ入口及び出口圧力測定システム。
【請求項２】
各々の圧力ポートは、上記圧力ポートと上記圧力センサとを選択的に連係又は分離させるように適応された弁を備える、請求項１に記載の圧力測定システム。
【請求項３】
上記圧力センサから圧力測定値を受け取るように適応されたコントローラを更に備える、請求項２に記載の圧力測定システム。
【請求項４】
上記コントローラは、上記圧力センサから受け取られた上記圧力測定値を予期圧力と比較するように更に適応される、請求項３に記載の圧力測定システム。
【請求項５】
上記コントローラは、上記圧力センサから圧力測定値を受け取り且つガス入口とガス出口との間の圧力差を計算するように更に適応される、請求項３に記載の圧力測定システム。
【請求項６】
上記コントローラは、上記圧力センサから圧力測定値を受け取り且つ上記入口の各々についてのベースライン圧力を生成するように更に適応される、請求項３に記載の圧力測定システム。
【請求項７】
１つ以上の圧力ポートと上記圧力センサとを連係又は分離させるように上記弁の１つ以上のものを独立して動作させるように適応されたコントローラを更に備える、請求項２に記載の圧力測定システム。
【請求項８】
電子装置製造ガス状流出物除害装置において、
１つ以上の処理チャンバと、
１つ以上の流出物入口及び１つ以上の出口を有する熱除害リアクタであって、上記１つ以上の入口は、上記１つ以上の処理チャンバに結合され且つ上記１つ以上の処理チャンバから流出物を受け入れるように適応されており、各々の入口及び各々の出口は、圧力ポートを備えているような熱除害リアクタと、
２つ以上の圧力ポートに選択的に接続される圧力センサと、
を備える電子装置製造ガス状流出物除害装置。
【請求項９】
各々の圧力ポートと上記圧力センサとの間に配設された弁を更に備えており、各々の弁は、個々の圧力ポートと上記圧力センサとを選択的に連係又は分離させるように適応される、請求項８に記載の除害装置。
【請求項１０】
上記弁のうちの１つ以上のものが、上記個々の圧力ポートと上記圧力センサとを独立して連係又は分離させるように適応されたコントローラを更に備える、請求項９に記載の除害装置。
【請求項１１】
各々の入口について上記圧力センサから入口の入口圧力測定値を受け取るように適応されたコントローラを更に備える、請求項９に記載の除害装置。
【請求項１２】
上記コントローラは、上記受け取った入口圧力測定値を各々の入口について予期圧力値と比較するように更に適応されており、且つ上記受け取った入口圧力測定値が上記予期圧力値を越えると決定されるとき、流出物の流れを上記入口からそらすように更に適応される、請求項１１に記載の除害装置。
【請求項１３】
電子装置製造熱除害装置を動作させるための方法において、
熱除害反応チャンバ内へ入口を通してガス状流出物を流入させるステップと、
上記流出物を除害するステップと、
上記熱除害反応チャンバから出口を通して上記除害された流出物を流出させるステップと、
上記入口の入口圧力を測定するため圧力センサを使用するステップと、
上記出口の出口圧力を測定するため上記同じ圧力センサを使用するステップであって、上記圧力センサが上記入口圧力及び上記出口圧力を順次測定するようにするステップと、
上記入口圧力と上記出口圧力との差を決定するステップと、
もし、上記入口圧力と上記出口圧力との間の上記差が所定の圧力を越えるならば、上記流出物の流れを上記入口からそらすステップと、
を含む方法。
【請求項１４】
上記入口からそらされる上記流出物は、上記同じ熱除害反応チャンバの異なる入口又は異なる熱除害反応チャンバの入口へと向けられる、請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
上記入口圧力と上記出口圧力との間の差を決定するのに、コントローラが使用される、請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
コントローラが、上記圧力センサと上記入口の圧力ポートとを選択的に連係又は分離させるように第１の弁を動作させ、且つ上記圧力センサと上記出口の圧力ポートとを選択的に連係又は分離させるように第２の弁を動作させる、請求項１３に記載の方法。
【請求項１７】
上記ガス状流出物は、２つ以上の処理チャンバから上記熱除害反応チャンバの２つ以上の入口へと流入する、請求項１３に記載の方法。
【請求項１８】
各々の入口は、弁に接続されており、上記弁は、上記圧力センサとその個々の入口弁とを選択的に連係又は分離させるようにコントローラにより動作させられる、請求項１７に記載の方法。
【請求項１９】
上記コントローラは、一度に１つの入口のみで、流出物の圧力が測定されるように、上記弁を動作させる、請求項１８に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【関連出願】
【０００１】
[0001]本願は、２００６年１２月５日に出願され、「MULTIPLEINLET ABATEMENT SYSTEM」と題する米国仮特許出願第６０／８６８，７２０号に基づく優先権を主張しており、この仮特許出願の明細書の記載は、ここにそのまま援用される。
【発明の分野】
【０００２】
[0002]本発明は、電子装置の製造に関し、より特定すると、入口閉塞検出能力を有する複数の入口を有する有害化合物除害装置に関する。
【発明の背景】
【０００３】
[0003]電子材料及び装置の製造により生ずるガス状流出物としては、その製造中に使用され、更に／或いは、生成される非常に多くの種々な化合物がある。処理（例えば、物理気相堆積、拡散、エッチングＰＦＣ処理、エピタキシー等）中において、ある処理は、例えば、ペルフルオロ化合物（ＰＦＣ）又は分解してＰＦＣを形成することのある副生物を含む、望ましくない副生物を生成することがある。ＰＦＣは、地球温暖化に強い影響を与える因子であると認識されている。これらの化合物は、人間及び／又は環境にとって有害となることがある（以下、これらを、「有害化合物」という）。これら有害化合物は、ガス状流出物が大気中へ排気される前に、それらガス状流出物から除去されなければならない。
【０００４】
[0004]これら有害化合物は、除害として知られる処理により、それら流出物から除去することができ又は無害化合物へと変換することができる。除害処理中に、電子装置製造処理により使用される及び／又は生成される有害化合物は、破壊されるか、又は更に処理され又は大気中へと放出されるより害の少ない又は無害の化合物へと変換される（除害される）。
【０００５】
[0005]流出物は、その流出物を加熱し、燃焼させ、又は酸化して、その有害化合物をより害の少ない又は無害の化合物へと変換するような熱除害リアクタにおいて除害されることは、知られている。このような熱リアクタは、パイロット装置、燃料供給源、酸化剤供給源、バーナージェット、流出物入口及び除害流出物出口を含む。
【０００６】
[0006]これらの熱除害装置は、典型的には、幾つかの処理チャンバからの流出物を除害する能力を有している。例えば、ある熱除害装置は、複数の入口を有しており、各々の入口は、異なる処理チャンバへ接続される。この熱除害装置の動作中に、固体、例えば、除害反応生成物がある入口に形成され、その入口に供給する処理チャンバからの流出物がその熱除害装置に自由に入れないようになってしまい、その入口に流出物圧力が形成させられてしまうことが起こりうる。これにより、その処理ツールに悪影響が及ぼされてしまうことがある。
【０００７】
[0007]このような圧力形成を監視するための従来の方法及び装置は、高価であり且つ複雑なものである。従って、除害装置の入口圧力を監視するための改良された方法及び装置が必要とされている。
【発明の概要】
【０００８】
[0008]ある幾つかの実施形態において、電子装置製造熱除害装置を動作させるための方法が提供され、この方法は、熱除害反応チャンバ内へ入口を通してガス状流出物を流入させるステップと、上記流出物を除害するステップと、上記熱除害反応チャンバから出口を通して上記除害された流出物を流出させるステップと、上記入口の入口圧力を測定するため圧力センサを使用するステップと、上記出口の出口圧力を測定するため上記同じ圧力センサを使用するステップであって、上記圧力センサが上記入口圧力及び上記出口圧力を順次に測定するようにするステップと、上記入口圧力と上記出口圧力との差を決定するステップと、もし、上記入口圧力と上記出口圧力との間の上記差が所定の圧力を越えるならば、上記流出物の流れを上記入口からそらすステップと、を含む。
【０００９】
[0009]他の実施形態において、熱除害リアクタ入口及び出口圧力測定システムが提供され、この熱除害リアクタ入口及び出口圧力測定システムは、各々が圧力ポートを有する１つ以上のガス入口と、各々が圧力ポートを有する１つ以上のガス出口と、上記圧力ポートのうちの２つ以上のものに選択的に接続される圧力センサと、を含む。
【００１０】
[0010]更に他の実施形態において、電子装置製造ガス状流出物除害装置が提供され、この電子装置製造ガス状流出物除害装置は、１つ以上の処理チャンバと、１つ以上の流出物入口及び１つ以上の出口を有する熱除害リアクタであって、上記１つ以上の入口は、上記１つ以上の処理チャンバに結合され且つ上記１つ以上の処理チャンバから流出物を受け入れるように適応されており、各々の入口及び各々の出口は、圧力ポートを備えているような熱除害リアクタと、２つ以上の圧力ポートに選択的に接続される圧力センサと、を含み、各々の処理チャンバは、上記熱除害リアクタ内へ反応チャンバ入口を通してガス状流出物を流入させるように適応される。多くの他の態様も提供される。
【００１１】
[0011]本発明の他の特徴及び態様は、以下の詳細な説明、特許請求の範囲及び添付図面からより十分に明らかとなろう。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】入口閉塞検出システムを含む熱除害装置の概略図である。
【図２】入口閉塞検出システムの概略図である。
【図３】閉塞検出システムの代替実施形態の概略図である。
【詳細な説明】
【００１３】
[0015]前述したように、熱除害装置は、典型的には、幾つかの処理チャンバからの流出物を除害する能力を有している。例えば、ある幾つかの熱除害装置は、６つまでの入口を有しており、各々の入口は、異なる処理チャンバに接続することができる。この熱除害装置の動作中に、固体、例えば、除害反応生成物がある入口に形成され、その入口に供給する処理チャンバからの流出物がその熱除害装置に自由に入れないようになってしまい、その入口に流出物圧力が形成させられてしまうことが起こりうる。これにより、その処理ツールに悪影響が及ぼされてしまうことがある。このようなことが起きるとき、その入口は、停止され、その処理チャンバからの流出物は、止められるか、又は別の除害入口へとそらされる必要がある。
【００１４】
[0016]熱除害装置の出口圧力と各々の入口での圧力を比較することにより、入口閉塞を監視することは、知られている。熱除害装置の出口と入口との間の圧力差が所定の圧力を越えるとき、オペレータ又はシステムは、その入口が閉塞されていると決定し、適当な動作を行うことができる。典型的には、圧力センサが、その熱除害装置の出口及び各々の入口に配設される。従って、６−入口熱除害装置においては、７つの圧力センサがある。しかしながら、圧力センサは、高価なものであり、従って、多重圧力センサ装置と少なくとも同じ機能を果たし且つより低いコストの装置及び方法が必要とされている。
【００１５】
[0017]本発明は、１つ以上の処理ツールからの処理ガスを除害することのできる改良された熱除害装置を提供する。より特定すると、本発明は、熱除害リアクタの資本コストを減じ、同時に、入口閉塞検出システムを提供する。更に又、検出システムが故障したことを決定するための方法及び装置が提供される。
【００１６】
[0018]前述したように、現在の熱除害リアクタは、６つの入口を有することができる。このようなリアクタに使用される従来の閉塞検出システムは、各々のリアクタ入口に対して１つ、リアクタ出口に対して１つの、合計７つの圧力センサを含む。各々の圧力センサは、それ毎に費用がかさみ且つ熱除害装置の複雑性を増すことになり、また、故障を起こす部品でもある。ある幾つかの実施形態では、本発明は、このような熱除害装置において必要とされる圧力センサの数を、１つというようなまでの少ない数まで減少させる。例えば、熱除害装置の各々の入口及び出口は、各々の入口／出口の圧力ポート及び各々の圧力ポートを圧力センサに接続する導管を通して、単一の圧力センサに選択的に接続される。このような流体接続の選択性は、各々の入口／出口と圧力センサとの間に弁を配設することにより達成される。特定の入口／出口の圧力を測定するため、センサとその入口／出口との間の弁が開かれ、一方、他の全ての弁は閉じたままとされる。このようなプロセスが各々の入口／出口について順次に繰り返され、こうして、単一の圧力センサを使用して、各々の入口／出口の圧力測定を行うことができる。このようにして得られた圧力測定値は、従来の多重圧力センサ入口閉塞検出システムにより得られた圧力測定値と少なくとも同じ仕方において使用することができる。
【００１７】
[0019]これら及び他の実施形態では、この単一又は第１の圧力センサは、この第１の圧力センサと流体連通とすることのできる第２の圧力センサにより補足され、入口／出口が１つの圧力センサに選択的に接続されるとき、それは、第２の圧力センサにも接続されるようにされる。このように接続されるとき、それら圧力センサは、同じ測定値を通知するはずである。もし、１つの圧力センサが故障するならば、それら圧力センサは、異なる測定値を通知し始めるであろう。このような場合には、熱除害装置を停止せずに、また、入口閉塞検出システムの動作を継続させた状態で、一方又は両方のセンサを交換することができる。
【００１８】
熱除害（thermal abatement）装置
[0020]図１は、本発明の改良された熱除害装置１００の概略図である。処理ツール１０２ａ及び１０２ｂは、各々、３つの処理チャンバ１０４ａから１０４ｆを有している。各々の処理チャンバ１０４ａから１０４ｆは、導管１０６ａから１０６ｆを通して、処理ガスを熱除害リアクタ１１０の入口１０８ａから１０８ｆへと排出することができ、その熱除害リアクタ１１０において、その処理ガスは、例えば、酸化されることによるが如くして、熱的に除害される。このような除害に続いて、その除害された処理ガスは、出口１１２から導管１１４を通して排出される。その導管１１４において、その除害ガスは、更に処理されて、ハウス排出システムへ通されるか、又は別の仕方で大気中へと放出される。これより少ない又は多い数の処理ツール、処理ツール当たりの処理チャンバ、排出導管、入口及び／又は出口を使用することもできる。
【００１９】
[0021]熱除害装置１００は、入口１０８ａから１０８ｆ及び出口１１２と流体連通する入口閉塞検出システム１１６を含むこともできる。この入口閉塞検出システム１１６は、各々の入口１０８ａから１０８ｆの入口圧力及び出口１１２の出口圧力を測定し、それら測定値を情報通信手段１２０によりコントローラ１１８へ通知することができる。このコントローラ１１８は、マイクロプロセッサ、マイクロコントローラ、専用ハードウエア回路、ソフトウエア、又はそれらの組み合わせ等であってよい。一実施形態では、このコントローラ１１８は、プログラマブルロジックコントローラであってよい。通信手段１２０は、ワイヤ、ワイヤレス、ファイバー又は他の適当な接続であってよい。コントローラ１１８は、図１においては、入口閉塞検出システム１１６とは別のものとして示されているのであるが、説明を容易とするために、このコントローラは、入口閉塞検出システム１１６の一部分として考えて説明されてもよいし、更に／或いは、閉塞検出に加えて諸機能を行うことができるにも拘わらず、入口閉塞検出システム１１６の部分であってもよい。
【００２０】
[0022]更に、コントローラ１１８は、流出物の流れを、任意の特定の入口から、その同じ熱除害リアクタの別の入口へ、又は、第２の熱除害リアクタの入口へ、とそらすためのシステム（図示せず）に接続される。
【００２１】
入口閉塞検出システム
[0023]図２は、図１の入口閉塞検出システム１１６の少なくとも１つの実施形態の概略図である。この実施形態では、入口１０８ａから１０８ｆは、圧力ポート１２２ａから１２２ｆを含み、出口１１２は、圧力ポート１２４を含む。圧力ポート１２２ａから１２２ｆ及び１２４は、それぞれ、導管１２８ａから１２８ｆ及び１３０により弁１２６ａから１２６ｇに接続される。これら弁１２６ａから１２６ｇは、導管１３４ａから１３４ｇにより任意的なプレナム１３２に接続される。プレナム１３２は、導管１３８を通して圧力センサ１３６と流体連通することができる。プレナムの代わりに、単純なパイプ（図示せず）により、導管１３４ａから１３４ｇを導管１３８に接続してもよい。以下により詳細に説明するように、これらのポート、導管及び弁により、圧力センサ１３６を、入口１０８ａから１０８ｆ及び出口１１２から離れたところに置き、しかも、それら入口１０８ａから１０８ｆ及び出口１１２と選択的に流体連通させるようにすることができる。セントラ低圧センサ又は類似のセンサのような任意の適当な圧力センサを使用することができる。ある幾つかの実施形態では、圧力センサの動作を励起するため、アナログ又は他の動作電圧が圧力センサ１３６へ供給される。
【００２２】
[0024]ある幾つかの実施形態では、弁１２６ａから１２６ｇは、圧力センサ１３６が一時に任意の１つの入口／出口の圧力を選択的に測定できるようにするため、作動させられる。例えば、弁１２６ａが開かれ、弁１２６ｂから１２６ｇが閉じられているときには、入口１０８ａが、遠隔の圧力センサ１３６と流体連通し、そのセンサ１３６が入口１０８ａ内の流体の圧力を測定することができるようにさせられる。圧力センサ１３６が入口１０８ａ内の流体の圧力を測定した後、弁１２６ａが閉じられ、入口１０８ａは、もはや圧力センサ１３６と流体接続していないようにさせられる。それから、別の弁が開かれ、各々の入口／出口の圧力が測定されるまで、このプロセスが繰り返される。このようなプロセスは、連続的又は定期的に繰り返すことができる。
【００２３】
[0025]コントローラ１１８は、通信手段１２０を通して圧力センサ１３６に接続される。この通信手段１２０を介して、圧力センサ１３６により測定された圧力がコントローラ１１８へ通知される。コントローラ１１８は、通信チャネル１４０により弁１２６ａから１２６ｇに接続される。この通信チャネル１４０を通して、コントローラ１１８は、弁１２６ａから１２６ｇに個々に指令して、開いたり閉じたりするようにさせる。ある代替的実施形態では、弁１２６ａから１２６ｇの開閉を指令するのに、別個のコントローラが使用される。通信チャネル１４０は、ワイヤード、ワイヤレス、ファイバー又は他の通信チャネルを含むことができる。
【００２４】
[0026]図３は、図２の入口閉塞検出システム１１６と同様であるが、導管１３８ｂによりプレナム１３２に接続され且つ通信手段１２０ｂによりコントローラ１１８に接続された第２の圧力センサ１３６ｂが加えられている入口閉塞検出システム１１６ａの概略図である。この第２の圧力センサ１３６ｂは、圧力センサ１３６ａ及び１３６ｂの１つの故障を検出するため、第１の圧力センサ１３６ａと一緒に、コントローラ１１８により使用される。故障検出に加えて、二重圧力センサ１３６ａ、１３６ｂは、一方の圧力センサが故障した状態で、熱除害装置１００が動作し続けることができるようにするバックアップシステムとして使用することができる。付加的な実施形態では、熱除害装置１００は、故障した圧力センサを交換している間に、一方の動作可能な圧力センサを使用して動作し続けることができる。
【００２５】
熱除害装置の動作
[0027]図１を参照するに、処理チャンバ１０４ａから１０４ｆからの処理流出物は、導管１０６ａから１０６ｆを通して、熱除害リアクタ入口１０８ａから１０８ｆへと向けられる。この処理流出物は、熱除害リアクタ１１０において熱的に除害され、それから、出口１１２を通して導管１１４へと排出される。導管１１４は、この流出物を、更なる除害処理へと、又は、ハウススクラバ又は排出システム等へともたらすことができる。入口閉塞検出システム１１６は、いずれかの入口１０８ａから１０８ｆの閉塞を検出するため、各々の入口１０８ａから１０８ｆ及び出口１１２での圧力を、連続的又は定期的に測定する。この入口閉塞検出システム１１６は、その測定した圧力をコントローラ１１８へと通知する。ある幾つかの実施形態では、コントローラ１１８は、非閉塞入口が動作する通常の圧力範囲でプログラムされている。従って、例えば、もし、熱除害装置１００の動作中に、入口１０８ａの圧力がその通常の圧力範囲より上に上昇する場合には、コントローラ１１８は、入口１０８ａが閉塞となりつつあるか又は閉塞していると、決定する。このような決定に応答して、入口１０８ａへ流出物を供給している処理チャンバ１０４ａが停止させられるか、又は、処理チャンバ１０４ａからの流出物が、導管システム（図示せず）を通して、入口１０８ａ以外の入口又は異なる熱除害リアクタ（図示せず）へとそらされる。熱除害装置１００は、例えば、所定数の付加的入口が閉塞しつつあるか又は閉塞していると決定され、オフラインとされる時までは、動作し続けることができる。そのようになる時、入口１０８ａから１０８ｆをクリーニングするため、その装置１００に対して保守管理がなされる。
【００２６】
[0028]別の代替的実施形態では、コントローラ１１８は、入口圧力を出口圧力と比較する。ベースライン圧力差が各々の入口１０８ａから１０８ｆについて設定され、もし、いずれかの入口１０８ａから１０８ｆについての圧力差がそのベースライン圧力差を所定量だけ越えて増大する場合に、コントローラ１１８は、その入口が閉塞されていると又は閉塞となりつつあると決定し、前述したような動作のような適当な動作を行う。
【００２７】
入口閉塞検出システムの動作
[0029]図２を参照するに、入口閉塞検出システム１１６は、個々の入口１０８ａから１０８ｆ及び出口１１２の圧力が個々に且つ希望の順序において測定されるように、動作できる。ある幾つかの実施形態では、各々の入口圧力が次々と測定され、それから、出口圧力が測定される。他の実施形態では、各々の入口圧力の測定間に、出口圧力が測定される。任意の希望の測定パターンを使用することができる。
【００２８】
[0030]ある幾つかの実施形態では、各々の入口１０８ａから１０８ｆ及び出口１１２は、一連の圧力ポート１２２ａから１２２ｆ及び１２４、導管１２８ａから１２８ｆ、１２４及び１３４ａから１３４ｇ、弁１２６ａから１２６ｇ、及び任意的にプレナム１３２を通して、圧力センサ１３６と選択的に流体連通とさせられる。弁１２６ａから１２６ｇは、例えば、ゲート弁であってよく、各々の入口１０８ａから１０８ｆ及び出口１１２から圧力センサ１３６への流体連通路が選択的に開かれ（その入口又は出口が連係される）又は閉じられ（その入口又は出口が分離され）るように、配設される。ある入口又は出口が連係されるとき、圧力センサ１３６は、その入口又は出口の圧力を感知することができる。
【００２９】
[0031]特定の入口又は出口の圧力を測定するため、弁１２６ａから１２６ｇのうちの、その測定されるべき入口又は出口と圧力センサ１３６との間に配設された１つの弁を除いて、全ての弁を閉じる。その時、圧力センサ１３６は、その特定の入口又は出口の圧力を感知することができる。圧力センサ１３６による圧力測定がなされたとき、入口閉塞検出システム１１６は、異なる入口又は出口の圧力を測定するため、弁１２６ａから１２６ｇを再構成する。このような再構成は、開いていた弁を閉じ、閉じていた弁のうちの１つを開くことを含む。入口閉塞検出システム１１６は、コントローラ１１８を使用して、通信チャネル１４０を通して弁１２６ａから１２６ｇを作動させる。以下に例示するように、弁１２６ａから１２６ｇを制御するのに、マイクロプロセッサ、マイクロコントローラ、専用ハードウエア回路、ソフトウエア、それらの組み合わせ、プログラマブルロジックコントローラ等のようなコントローラが使用されるが、弁１２６ａから１２６ｇを手動で作動させることもできることは認識されよう。
【００３０】
[0032]コントローラ１１８が第１の入口又は出口の圧力を測定するように弁１２６ａから１２６ｇを構成し、それから、第２の入口又は出口の圧力を測定するように弁１２６ａから１２６ｇを再構成するとき、コントローラ１１８は、第２の弁を開く前に、第１の弁を完全に閉じる。別の仕方として、コントローラ１１８は、第１の弁を閉じている間に、第２の弁を開かせ始めることができる。このような代替的方法によれば、圧力センサ１３６での圧力サージ及び振動を減少させることができる。
【００３１】
[0033]圧力センサ１３６は、入口および出口圧力測定値を情報通信手段１２０を通してコントローラ１１８へと通知するように構成されている。コントローラ１１８は、各々の入口について通知された圧力を、その入口についての予期圧力と比較するように構成することができる（例えば、その予期圧力は、コントローラ１１８にプログラムされていてもよいし、又は、データベース又はある他の適当な手段によりコントローラ１１８が使用できるようにしておいてもよい）。コントローラ１１８は、更に、入口についての予期圧力範囲外の通知圧力に応答するように構成しておくこともできる。例えば、もし、第１の入口に対する測定圧力がその第１の入口についての予期圧力範囲よりも大きいならば、コントローラ１１８は、その第１の入口が閉塞されており又は閉塞されつつあると決定するように、構成しておくことができる。このような決定がなされるとき、コントローラ１１８は、その第１の入口へ流入する流出物を、第２の入口又は異なる熱除害リアクタへとそらす指令を出すように構成することもできる。別の仕方として、コントローラ１１８は、流出物を第１の入口へ供給している処理チャンバを停止させる指令を出すように構成することもできる。第１の入口についての測定圧力がその第１の入口についての予期圧力の範囲より小さい場合において、コントローラ１１８は、その圧力が第１のレベルより低いならば、アラームを発し、及び／又はその圧力が第２のレベルよりも低いならば、システムを停止させるように、構成しておくこともできる。
【００３２】
[0034]更に他の実施形態では、コントローラ１１８は、各々の入口１０８ａから１０８ｆについての圧力差を計算するように構成することもできる。この圧力差は、入口１０８ａから１０８ｆについて通知された圧力と、出口１１２について通知された圧力との間の差であってよい。コントローラ１１８は、更に、入口１０８ａから１０８ｆに対して計算された圧力差を、その入口についての予期圧力差と比較するように構成することもできる（例えば、その予期圧力差は、コントローラ１１８にプログラムされていてもよいし、又は、データベース又はある他の適当な手段によりコントローラ１１８が使用できるようにしておいてもよい）。コントローラ１１８は、更に又、入口の計算された入口／出口圧力差がその入口の予期範囲の外に出ることに応答するように構成しておくこともできる。例えば、もし、ある入口についての計算された圧力差がその入口についての予期範囲より上にあるならば、コントローラ１１８は、その入口が閉塞されているか又は閉塞されつつあると決定するように構成しておくことができる。コントローラ１１８は、更に、前述したような仕方で、このような決定に応答するように構成しておくこともできる。もし、その圧力差がその予期範囲よりも低いならば、コントローラ１１８は、その圧力が第１のレベルより低いならば、アラームを発し、及び／又は、その圧力が第２のレベルよりも低いならば、システムを停止させるように構成しておくこともできる。
【００３３】
[0035]更に他の実施形態では、コントローラ１１８は、各々の入口１０８ａから１０８ｆについての前の圧力測定値のあるもの又は全てを記録して保持しておくことができる。この記録保持は、その熱除害装置１００が、例えば、保守管理後において最初にオンラインとされた時に開始され、各々の入口１０８ａから１０８ｆについてのベースライン圧力がその時に確立される。その後、この実施形態の入口閉塞検出システム１１６は、次のことを除いて、前述した実施形態のいずれかと同様に動作する。即ち、コントローラ１１８にプログラムされているか又はデータベースからコントローラ１１８へ与えられるかする予期圧力に対して通知圧力を比較する代わりに、通知圧力は、コントローラ１１８により生成されたベースライン圧力と比較されるのである。予期しない圧力に対するコントローラ１１８の応答は、それが予期圧力より大きいにしても又は小さいにしても、同様の情況の下で他の実施形態において前述したのと同様である。
【００３４】
故障検出及びバックアップ入口閉塞検出システムの動作
[0036]ある幾つかの実施形態では、図３の入口閉塞検出システム１１６ａは、単一圧力センサ１３６の代わりに、冗長圧力センサ１３６ａ及び１３６ｂが設けられている以外、図２の入口閉塞検出システム１１６と同様である。この入口閉塞検出システム１１６ａは、図２に関して前述した入口閉塞検出システム１１６の機能の全てを含むことができる。更に又、コントローラ１１８は、通信手段１２０ａ及び１２０ｂを介して圧力センサ１３６ａ及び１３６ｂから通知圧力測定値を受け取ることができる。コントローラ１１８は、２つの圧力センサ１３６ａ及び１３６ｂから受け取った通知圧力測定値のあるもの又は全てを比較するように構成される。時間経過につれて、もし、圧力センサ１３６ａ及び１３６ｂのどちらも故障しないならば、特定の入口又は出口について圧力センサ１３６ａ及び圧力センサ１３６ｂにより通知される圧力に差があったとしても、その差は、実質的には変化しない。しかしながら、もし、それら圧力センサのうちの一方が故障するならば、それら２つの圧力センサは、特定の入口又は出口について異なる圧力を通知し始める。コントローラ１１８は、このような場合において警報を与えるように構成され、及び／又はその熱除害装置１００を停止させるように構成される。
【００３５】
[0037]これら及び他の実施形態のうちのあるものにおいて、コントローラ１１８は、どの圧力センサが故障したかを決定するように構成される。このような場合において、熱除害装置１００を停止させた状態又は停止させずに、その故障したセンサを交換することができる。例えば、圧力センサ１３６ａ及び１３６ｂが与える圧力測定値の差が大きくなり始めるならば、それら圧力センサ１３６ａ及び１３６ｂのうちの一方からの測定値は、入口１０８ａから１０８ｆの全てが公称通り動作していることを指示し続けるが、一方、他方の圧力センサによって与えられる圧力測定値は、入口１０８ａから１０８ｆのうちの１つ以上のものがその入口の予期圧力より低い又は高い圧力で動作していることを指示している。コントローラ１１８は、更に、ある圧力センサにより、その圧力センサによって測定される圧力の全てがより高くか又はより低くかにドリフトしているように通知され、一方、他の圧力センサが定常圧力を通知しているならば、その圧力センサが故障していると決定するように構成することができる。
【００３６】
[0038]前述の説明は、本発明の典型的な実施形態についてだけのものである。本発明の範囲内に入るような前述の装置及び方法の変形態様は、当業者には容易に明らかとなろう。例えば、除害リアクタの出口、スクラバ又は他の場所での圧力を、入口の圧力と比較してもよい。
【００３７】
[0039]従って、本発明の種々な典型的な実施形態について本発明を説明してきたのであるが、特許請求の範囲により限定されるような本発明の精神及び範囲内に入る他の種々な実施形態もあることは理解されよう。
【符号の説明】
【００３８】
１００…熱除害装置、１０２ａ…処理ツール、１０２ｂ…処理ツール、１０４ａ…処理チャンバ、１０４ｂ…処理チャンバ、１０４ｃ…処理チャンバ、１０４ｄ…処理チャンバ、１０４ｅ…処理チャンバ、１０４ｆ…処理チャンバ、１０６ａ…導管、１０６ｂ…導管、１０６ｃ…導管、１０６ｄ…導管、１０６ｅ…導管、１０６ｆ…導管、１０８ａ…入口、１０８ｂ…入口、１０８ｃ…入口、１０８ｄ…入口、１０８ｅ…入口、１０８ｆ…入口、１１０…熱除害リアクタ、１１２…出口、１１４…導管、１１６…入口閉塞検出システム、１１６ａ…入口閉塞検出システム、１１８…コントローラ、１２０…情報通信手段、１２０ａ…通信手段、１２０ｂ…通信手段、１２２ａ…圧力ポート、１２２ｂ…圧力ポート、１２２ｃ…圧力ポート、１２２ｄ…圧力ポート、１２２ｅ…圧力ポート、１２２ｆ…圧力ポート、１２４…圧力ポート、１２６ａ…弁、１２６ｂ…弁、１２６ｃ…弁、１２６ｄ…弁、１２６ｅ…弁、１２６ｆ…弁、１２６ｇ…弁、１２８ａ…導管、１２８ｂ…導管、１２８ｃ…導管、１２８ｄ…導管、１２８ｅ…導管、１２８ｆ…導管、１３０…導管、１３２…プレナム、１３４ａ…導管、１３４ｂ…導管、１３４ｃ…導管、１３４ｄ…導管、１３４ｅ…導管、１３４ｆ…導管、１３４ｇ…導管、１３６…圧力センサ、１３６ａ…第１の圧力センサ（冗長圧力センサ）、１３６ｂ…第２の圧力センサ（冗長圧力センサ）、１３８…導管、１３８ａ…導管、１３８ｂ…導管、１４０…通信チャネル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【国際調査報告】
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