(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
溶鋼を提供する溶鋼提供部と、
前記溶鋼提供部の下部に配置され、前記溶鋼提供部によって提供される溶鋼を粉末化するために前記溶鋼に冷却流体を噴射する冷却流体噴射部と、
を含み、
前記冷却流体噴射部は、前記溶鋼を冷却させて粉末化する第１の流れ、及び前記溶鋼に下降気流を形成させる第２の流れを形成し、
前記冷却流体噴射部は、流れ落ちる溶鋼が中央部を通過するように下方に向かって配置される截頭円錐状部を含むガイドと、前記ガイドの外側に配置され、前記ガイドに冷却流体を噴射する噴射ノズルと、を含むことを特徴とする、粉末製造装置。
【請求項２】
前記第２の流れは、溶鋼が流れ落ちる方向を中心に回転下降する流れであることを特徴とする、請求項１に記載の粉末製造装置。
【請求項３】
前記ガイドには前記第２の流れを誘導する螺旋部が形成されることを特徴とする、請求項１に記載の粉末製造装置。
【請求項４】
前記螺旋部は前記ガイドの表面に形成された溝であることを特徴とする、請求項３に記載の粉末製造装置。
【請求項５】
前記螺旋部は前記ガイドの中心を基準に複数個が対称的に形成されることを特徴とする、請求項３に記載の粉末製造装置。
【請求項６】
前記冷却流体噴射部は、前記第１の流れの流量が前記第２の流れの流量より多いように構成されることを特徴とする、請求項１に記載の粉末製造装置。
【請求項７】
前記噴射ノズルは、ストレートジェットで構成され、前記冷却流体を前記ガイドの截頭円錐状部に向かって噴射するために配置されることを特徴とする、請求項１に記載の粉末製造装置。
【請求項８】
前記噴射ノズルは前記ガイドの截頭円錐状部より上側に位置し、前記噴射ノズルが鉛直線となす角は前記截頭円錐状部の傾斜面が鉛直線となす角より大きいことを特徴とする、請求項７に記載の粉末製造装置。
【請求項９】
前記冷却流体は水であることを特徴とする、請求項１から８のいずれか一項に記載の粉末製造装置。
【請求項１０】
溶鋼を提供する溶鋼提供段階と、
前記溶鋼提供段階で提供された溶鋼を冷却流体によって微粒化させる粉末形成段階と、
を含み、
前記粉末形成段階と同時に粉末の粗大化を抑制するように冷却流体と溶鋼の衝突地点に前記冷却流体による下降気流を形成する下降気流形成段階が行われ粉末形成方法であって、
前記粉末形成段階は、前記溶鋼と前記冷却流体の衝突地点を中心に外気の流入を防ぐ冷却流体壁を形成し、
前記下降気流形成段階は、回転流による下降気流を形成するように前記冷却流体を下方に向かって回転させて提供することを特徴とする、粉末形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、溶鋼を活用した粉末製造装置及び粉末形成方法に関し、より具体的には、溶鋼に冷却流体を噴射して粒子化することにより、粉末を形成するにあたり、均一な分布の粉末の形成が可能な粉末製造装置及び粉末形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
自動車及び金属部品の形状が次第に複雑になり、その需要も増えるにつれて、既存の鍛造と鋳造で製造されていた方式からホットプレス成形（Ｈｏｔ  Ｐｒｅｓｓ  Ｆｏｒｍｉｎｇ）のような大量生産に特化した方式への割合が次第に増加している。ＨＰＦの技術発展により金属粉末で構成された製品の剛性及び特性が増大するにつれて、複雑な形状の自動車部品に対する需要が次第に増えている。これに伴い、金属粉末を大量に製造する粉末化（Ａｔｏｍｉｚａｔｉｏｎ）技術に関する研究が進められている。
【０００３】
図１に示されているように、粉末製造装置は、高圧のガスや冷却水のような流体を利用して金属溶鋼Ｓを微粒化された粉末Ｐにする技術であり、マイクロメートル単位の微粒粉末として所望の粒度分布及び特性を有するようにする。このために、溶鋼供給部１０から金属溶鋼Ｓを流し、流れ落ちる溶鋼Ｓを、本体２０に装着され上記溶鋼Ｓに向かって流体を噴射する噴射ノズル３０を用いて微粒化された粉末Ｐにする。噴射ノズル３０は固定ボディ１１に連結されており、衝突地点を変更するために噴射ノズル３０は固定ボディ１１において噴射位置が調節されることができる。
【０００４】
流体として不活性ガスを利用した方式は、極微粒粉末を形成したり均一な粒度分布、酸化されない粉末を形成したりするという長所があるが、大量生産には適さないという問題がある。これに対し、冷却水を利用した水噴射方式は、粉末の表面の形状が不均一であり、粒度分布を均一化することが困難であり、金属粉末が酸化しやすいという短所があるが、大量生産に有利であるという長所がある。したがって、自動車部品の素材に対する需要が急激に増加している現状では、冷却水の水噴射方式による金属粉末の生産が競争力を有すると言える。
【０００５】
水噴射を利用した金属粉末の生産において品質を決定するものとしては、金属粉末の平均粒度分布、見掛け密度、表面形状、酸素含有量などがある。このうち粒度分布と見掛け密度、表面形状の場合は水噴射工程でほぼ決まり、これに影響を及ぼす工程の変数としては冷却水量、冷却水の圧力、溶鋼の初期温度、ノズル構成などがある。一般的な水噴射工程は、高圧の冷却水を溶鋼に衝突させて微粒化すると同時に冷却がなされるメカニズムを有しており、微粒化の程度と表面形状は、冷却水の圧力、即ち、水粒子の大きさと速度、衝撃量に左右される。このような水粒子を形成し、溶鋼との衝突及び粉末化を効果的に行うようにするために、水噴射ノズルとノズルの構成が開発され商用化されている。
【０００６】
従来知られた構成は大きく二つに分けられる。
【０００７】
第一に、図２に示されたようなＶジェット方式のノズルからなるノズル構成があり、ノズルチップから扇状に広がって噴射される冷却水を溶鋼の流れの一地点に集中するように調整して粉末を形成する構造を有している。複数個のノズルチップ３１で構成されて広く広がる冷却水噴射構造によって溶鋼との衝突角度及び操業基準の設定が容易である。しかし、有効衝突に参与する冷却水の水粒子数が少ないため、粉末の形成に必要な冷却水量が増加するという短所がある。
【０００８】
第二に、図３に示されたような環状タイプのノズルからなるノズル構成があり、環状の一体型ノズル３５から溶鋼の一地点に冷却水が噴射されるように噴射穴３６が形成される構造を有している。Ｖジェット方式のノズルに比べて流体粒子の衝撃量が高く、消耗される流体量が少ないという長所があるが、初期操業条件が完璧でない場合には溶鋼の一地点への衝突角度の調整が困難であり、高圧の流体を噴射する構造を一体型にしなければならないという製作上の困難がある。
【０００９】
また、二つのノズル構成方式とも、流体と溶鋼の衝突角度に変更が生じる場合には、微粒化された粉末が下降することができず、冷却水と空気の流動によって大きな塊を形成することがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】韓国公開特許第１０−２００４−００６７６０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、以上のような従来技術の問題点を解決するためのものであり、流体による微細粉末の形成時に粒子が大きくなることを防ぐことができる粉末製造装置及び粉末形成方法を提供することを目的とする。
【００１２】
また、本発明は、操業条件が変更されても安定した操業が可能な粉末製造装置及び粉末形成方法を提供することを目的とする。
【００１３】
また、本発明は、一定以上の粒度分布と平均粒度を有する粉末を生成し、且つ冷却水量の減少と衝撃量の増大、衝突角度の確保が可能な粉末製造装置及び粉末形成方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は、以上のような目的を達成するために次のような粉末製造装置及び粉末形成方法を提供する。
【００１５】
本発明は、溶鋼を提供する溶鋼提供部と、上記溶鋼提供部の下部に配置され、上記溶鋼提供部によって提供される溶鋼を粉末化するために上記溶鋼に冷却流体を噴射する冷却流体噴射部と、を含み、上記冷却流体噴射部は、上記溶鋼を冷却させて粉末化する第１の流れ、及び上記溶鋼に下降気流を形成させる第２の流れを形成する粉末製造装置を提供する。
【００１６】
本発明において、上記冷却流体噴射部は、流れ落ちる溶鋼が中央部を通過するように下方に向かって配置される截頭円錐状部を含むガイドと、上記ガイドの外側に配置され、上記ガイドに冷却流体を噴射する噴射ノズルと、を含むことができる。
【００１７】
このとき、上記第２の流れは、溶鋼が流れ落ちる方向を中心に回転下降する流れであり得る。
【００１８】
また、本発明において、上記ガイドには上記第２の流れを誘導する螺旋部が形成されることができる。このとき、螺旋部は上記ガイドの表面に形成された溝であり得る。
【００１９】
また、本発明において、上記螺旋部は上記ガイドに複数個が対称的に形成されることができる。
【００２０】
このとき、上記冷却流体噴射部は、上記第１の流れの流量が上記第２の流れの流量より多いように構成されることができる。
【００２１】
本発明において、上記噴射ノズルは、ストレートジェットで構成され、上記冷却流体を上記ガイドの截頭円錐状部に向かって配置されることができる。
【００２２】
また、本発明において、上記噴射ノズルは上記ガイドの截頭円錐状部より上側に位置し、上記噴射ノズルが垂直線となす角は上記截頭円錐状部の傾斜面が垂直線となす角より大きければよい。
【００２３】
また、上記螺旋部は、截頭円錐状部の傾斜面の延長線の交差点で下降気流が発生するように形成されることができる。
【００２４】
本発明において、上記冷却流体は冷却水であり得る。
【００２５】
また、本発明は、溶鋼を提供する溶鋼提供段階と、上記溶鋼提供段階で提供された溶鋼を冷却流体によって微粒化させる粉末形成段階と、を含み、上記粉末形成段階と同時に粉末の粗大化を抑制するように冷却流体と溶鋼の衝突地点に上記冷却流体による下降気流を形成する下降気流形成段階が行われる粉末形成方法を提供する。
【００２６】
また、本発明において、上記粉末形成段階は、上記溶鋼と上記冷却流体の衝突地点を中心に外気の流入を防ぐ冷却流体壁を形成することができる。
【００２７】
また、本発明において、上記下降気流形成段階は、回転流による下降気流を形成するように上記冷却流体を下方に向かって回転させて提供することができる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明は、以上のような構成により、流体による微細粉末の形成時に粒子が大きくなることを防ぐことができる粉末製造装置及び粉末形成方法を提供することができる。
【００２９】
また、本発明は、操業条件が変更されても安定した操業が可能な粉末製造装置及び粉末形成方法を提供することができる。
【００３０】
さらに、本発明は、一定以上の粒度分布と平均粒度を有する粉末を生成し、且つ冷却水量の減少と衝撃量の増大、衝突角度の確保が可能な粉末製造装置及び粉末形成方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】従来の粉末製造装置の概念図である。
【図２】従来のＶジェットタイプの噴射ノズルを有する粉末製造装置の概念図である。
【図３】従来の環状タイプの噴射ノズルを有する粉末製造装置の概念図である。
【図４】ガイドを含む粉末製造装置の概念図である。
【図５】図４のガイド部分を拡大した拡大図である。
【図６】図４及び図５のガイドを含む粉末製造装置で溶鋼の詰まりが発生したときの写真である。
【図７】粉末粒度分布と平均粒度の関係を示したグラフである。
【図８】本発明の粉末製造装置の概念図である。
【図９】図８のガイド部分を拡大した拡大図である。
【図１０】図９に示された螺旋部の詳細図である。
【図１１】図８で形成された第１の流れの概念斜視図である。
【図１２】図８で形成された第２の流れの概念斜視図である。
【図１３】図１１及び図１２の第１及び第２の流れの概念平面図である。
【図１４】本発明による発明例と比較例の衝撃量の比較結果を示したグラフである。
【図１５】本発明による発明例と比較例の溶鋼衝突地点における垂直方向への速度を示したグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下では、添付の図面を参照して本発明の具体的な実施例について詳細に説明する。
【００３３】
背景技術に開示されたような従来の二つの方式を改善するためにガイドを用いた技術が図４及び５のように提案されている。即ち、ストレートジェットタイプのノズルを用い、且つ溶鋼衝突地点に冷却水が集中することができるように冷却水をガイドする逆截頭円錐状のガイド４０を配置し、上記ガイド４０に噴射ノズル３１から冷却水を噴射して冷却水を集中させる構造が提案されている。
【００３４】
このような構造では、ガイド４０に噴射される冷却水によって円錐状の冷却水壁ＷＢが形成され、この冷却水壁は外部の空気が流入することを遮断するため、冷却水壁の内部Ｉと外部が遮断され、それにより、溶鋼衝突地点で溶鋼の衝突が円滑でない場合には冷却水壁ＷＢの内部Ｉで溶鋼が固まってしまうという問題があり、このような状態が図６に示されている。
【００３５】
また、図５のような構造では、正常な水噴射操業の場合には平均粒度を中心に全体的な粉末の分布が形成される。しかし、ノズル角度の変更、衝撃量の減少、冷却水量の適正比率の変化、マスフローの低下が発生する場合には粉末の粒度分布が広くなり、最終のオーバーサイズの粉末の比率が大きくなる。そして、このようなオーバーサイズの鉄粉末は全てスクラップ処理されるため、全体的な歩留まりを低下させる結果をもたらす。したがって、水噴射工程において効果的な鉄粉末の生成のために、一定以上の衝撃量を確保し、鉄粉末の流れを円滑にすることが必要である。
【００３６】
即ち、図７に示されたように、正常な状況と異常な状況で同一の平均粒度を得るとしても、異常な状況で粒度分布が大きくなり、オーバーサイズの粉末の比重が大きくなり、それにより、スクラップ処理される量が増加し、全体的な歩留まりを低減させるという問題がある。
【００３７】
特に、ガイド４０によって発生する冷却水壁ＷＢは冷却水を集中するのに有利であるが、外部空気の流入を遮断し、溶鋼衝突地点に上方への負圧を形成し、これは、溶鋼の衝突が円滑でない場合に溶鋼の凝固又は鉄粉末の粒子の偏差を大きくするという問題がある。
【００３８】
よって、本発明の発明者は、ガイド４０の長所（溶鋼衝突地点への冷却水の集中を容易にし、操業条件が変更されても粉末を安定して生成する）を生かし、且つガイド４０の短所（冷却水壁による負圧）を除去するために、ガイドによって形成され、溶鋼を冷却させて粉末化する第１の流れと共に、上記溶鋼に下降気流を形成させ、冷却水との衝突によって形成された粉末の排出を助ける第２の流れを提供する。
【００３９】
図８には、本発明による粉末製造装置の概念図が示されており、図９には、図８のガイド部分の拡大図が示されており、図１０には、図９に示された螺旋部の詳細図が示されている。
【００４０】
図８に示されているように、本発明による粉末製造装置には、冷却流体噴射部を除いて図１の従来の粉末製造装置と同一の構成が適用されることができるため、以下では、冷却流体噴射部の構成を中心に説明する。
【００４１】
冷却流体噴射部は、溶鋼提供部１０（図１参照）から流れ落ちる溶鋼が中央部を通過するように下方に向かって配置される截頭円錐状部を含むガイド１４０と、上記ガイド１４０の外側に配置され、上記ガイド１４０に冷却流体を噴射する噴射ノズル１３０と、を含む。噴射ノズル１３０は、固定ボディ１１０に連結され、ガイド１４０に向かって冷却流体を噴射するように配置される。
【００４２】
噴射ノズル１３０は、ガイド１４０の截頭円錐部１４２と円筒部１４１の連結部の直下部に向かうことが好ましいが、これに制限されるものではなく、截頭円錐部１４２のいずれかの地点に向かうと、ガイド１４０によって冷却流体の集中が達成されることができる。図８の実施例では、噴射ノズル１３０から冷却流体として冷却水が噴射されるが、噴射ノズル１３０から噴射される冷却流体は冷却水に制限されず、溶鋼の種類によって不活性ガスであってもよく、一般の空気であってもよい。
【００４３】
噴射ノズル１３０は、一地点に向かって冷却流体を噴射するストレートジェットタイプであることが有利であるが、ガイド１４０に冷却流体がぶつかるときに冷却流体が第１の流れ及び第２の流れ１５０、１６０を形成するという点を考慮すると、ストレートジェットタイプではない他の方式、例えば、Ｖジェット又は環状タイプであってもよい。
【００４４】
一方、ガイド１４０は、固定ボディ１１０に連結された円筒部１４１と、上記円筒部１４１から延び、逆截頭円錐状の形状を有する截頭円錐部１４２と、を含んで構成され、図９及び図１０に示されているように、溶鋼を粉末化する第１の流れと共に下降気流を形成する第２の流れを形成するために上記截頭円錐部１４２の表面に螺旋部１４３が形成される。
【００４５】
図９に示されているように、本発明のガイド１４０の截頭円錐部１４２に冷却水１３１がぶつかると、截頭円錐部１４２の表面に沿って下方に下降して溶鋼に衝突する第１の流れ１５０が形成される。第１の流れ１５０は噴射地点を中心にガイド１４０に沿って形成され、冷却水壁ＷＢを形成する。
【００４６】
本発明の実施例では、截頭円錐部１４２に螺旋状の螺旋部１４３が形成されているため、ガイド１４０に噴射された冷却水１３１の一部は螺旋部１４３によって回転しながら溶鋼衝突地点に向かって螺旋状に進行する第２の流れ１６０を形成する。第２の流れ１６０の場合、下方に狭くなる螺旋の流れが形成されるため、溶鋼衝突地点を通過しながら下降気流を形成するようになる。それにより、溶鋼衝突地点を中心に、冷却水によって粉末に変わった溶鋼が下部に排出される下方流れを形成するようになる。
【００４７】
本発明において、螺旋部１４３は、截頭円錐部１４２の円周方向に沿って同一の形状が対称的に形成されることができる。
【００４８】
また、本発明において、第２の流れ１６０の場合は溶鋼との衝突量を増大させて粒子化するには有利でないため、噴射ノズル１３０から提供される冷却水がガイド１４０によって分配されるとき、第１の流れ１５０が第２の流れ１６０より流量が多いように構成されることができる。流量の分配は、螺旋部１４３の高さ又は深さ及び螺旋部１４３の個数で調節されることができる。
【００４９】
また、図９に示されているように、噴射ノズル１３０による冷却水が噴射される噴射地点は上記螺旋部１４３と一致するようにすることもできるが、螺旋部１４３と一致しなくても第１の流れ１５０が螺旋部１４３と接し、自然に第２の流れ１６０が形成されることができるため、噴射地点は第１の流れ１５０と第２の流れ１６０の形成に影響を与えない。
【００５０】
本発明による粉末製造装置の動作では、溶鋼提供部から溶鋼を提供し、提供された溶鋼を冷却流体によって衝撃量を与えて微粒化させた粉末を形成する。このとき、粉末形成段階と同時に、粉末の粗大化、即ち、粉末の粒度の変化を抑制するように冷却流体と溶鋼の衝突地点に上記冷却流体による下降気流を形成させる。このような本発明の粉末形成方法では、冷却流体を第１の流れと第２の流れで形成させ、第１の流れは溶鋼と衝突するようにし、第２の流れは溶鋼を中心に回転しながら下方に集まる螺旋の流れを形成し、螺旋の流れによって形成された下降気流で溶鋼衝突地点の粉末化された溶鋼を下に引っ張る力を提供する。
【００５１】
製造方法の観点で、第２の流れは溶鋼衝突地点に下降気流を提供することができれば、ガイドではない他の方式で提供されても同一の効果が得られるが、ガイドを用いる場合には第１の流れと第２の流れが同時に得られるという点で有利である。
【００５２】
図１１には、図８で形成された第１の流れ１５０の概念斜視図が示されており、図１２には、図８で形成された第２の流れ１６０の概念斜視図が示されており、図１３には、図１１及び図１２の第１及び第２の流れ１５０、１６０の概念平面図が示されている。
【００５３】
図１１及び図１３（ａ）から確認できるように、第１の流れ１５０の場合は、一点に向かって集中する構造を有するため、溶鋼衝突地点で大きな衝撃量を提供することができる。また、第１の流れはガイド１４０の傾斜面に沿って形成されるため、噴射ノズル１３０の位置が図３のような構造よりも自由になることができる。特に、操業条件又は溶鋼の変更によって溶鋼衝突地点の位置が変更されなければならない場合には、図３の従来技術では、冷却流体噴射部全体を交換しなければならないが、本実施例では、ガイド１４０の高低を調節するだけでも溶鋼衝突地点の位置を変化させることができるだけでなく、溶鋼衝突地点に大きな衝撃量を提供することもできる。
【００５４】
図１２及び図１３（ｂ）から確認できるように、第２の流れ１６０の場合は、溶鋼衝突地点に向かって集まる螺旋の流れによって下降気流を形成する。螺旋の流れの場合、一点に集まって衝突せず、一地点までは集まり、その後再び広がる流れを形成するようになり、それにより、螺旋の進行方向に螺旋内部に下降気流が形成される。本実施例では、第１の流れ１５０により形成される冷却水壁ＷＢによって溶鋼衝突地点に形成される上方向の動きを第２の流れ１６０による下降気流で除去することができるだけでなく、衝突によって粉末化された溶鋼を下部に抜き出す役割もする。
【００５５】
特に、金属粉末が下降気流によって抜け出すことにより、粉末の凝集のような粉末の粒度変動の可能性がなくなり、これは、各粉末の偏差を小さくする要素になり、同一の平均粒度を有するようにする場合には損失量を大きく減らすことができるため、歩留まりが増加する効果が得られる。
【００５６】
図１４には、本発明の実施例と比較例の衝撃量を対比したグラフが示されている。同一の冷却水量を用いたが、発明例の場合には図１０に示されたガイド１４０を用い、比較例の場合には図２に示された方式の粉末製造装置を用いた。
【００５７】
発明例１は４個の噴射ノズル１３０を用いたものであり、発明例２は８個の噴射ノズル１３０を用いたものであり、比較例１は２個の噴射ノズル３０を用いたものであり、比較例２は４個の噴射ノズル３０を用いたものである。
【００５８】
図１４から確認できるように、本発明のようにガイド１４０を用いた場合は、同一のノズル数を有しても、大きな衝撃量を確保することができる。特に、本発明の場合は、ガイド１４０に冷却流体が噴射されることができればノズルの位置、種類に大きな影響を受けないという点で衝撃量の確保が容易であることが確認できる。
【００５９】
一方、図１５には、本発明による発明例と比較例の溶鋼衝突地点における垂直方向への速度を表したグラフが示されている。
【００６０】
図１５の発明例３と比較例３は図８のようにガイド１４０を用いた点は同一であるが、発明例３の場合には図１０に示されたガイド１４０が用いられ、比較例３の場合には螺旋部１４３が形成されていないガイド１４０が用いられた。即ち、比較例３の場合には第２の流れ１６０を誘導できる構成を有しないガイドを用いた点を除いて同一の条件で実験した。図１５において、Ｘ軸は溶鋼衝突地点との高さを示し、Ｙ軸は速度を示すものであり、Ｙ軸が＋値のものは上方への速度を意味し、Ｙ軸が−値のものは下方への速度を意味する。
【００６１】
図１５のグラフから確認できるように、第２の流れ１６０が形成されていない比較例３の場合には、溶鋼衝突地点から上方への力、即ち、上方に溶鋼が移動するが、第２の流れ１６０が形成された発明例３の場合には、下降気流によって溶鋼衝突地点から下方への力、即ち、下方に溶鋼が移動する。
【００６２】
したがって、衝撃量によって決まった粉末の粒度を維持した状態で下方に排出／冷却させることができ、それにより、粉末の粒度分布を平均に集中するようにすることができる。このことから、オーバーサイズの粉末の量を減少させ、粉末の製造歩留まりを向上させることができる。
【００６３】
以上、添付の図面を参照して本発明の具体的な実施例を中心に説明したが、本発明は実施例に制限されず、通常の技術者によって変形実施されることができる。
【符号の説明】
【００６４】
１３０  噴射ノズル
１３１  冷却水
１４０  ガイド
１４１  円筒部
１４２  截頭円錐部
１４３  螺旋部
１５０  第１の流れ
１６０  第２の流れ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３（ａ）】
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【図１３（ｂ）】
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【図１４】
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【図１５】
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