(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
芯線の表面に砥粒が金属めっきで固着された固定砥粒ワイヤーと、回転軸が互いに平行に配された複数のグルーブローラーと、ワークが固定されるワーク固定部が設けられたワーク供給テーブルとを有し、該ワーク供給テーブルに上記固定砥粒ワイヤーをドレッシングするドレッシングストーンが固定されていて、
上記固定砥粒ワイヤーが、上記グルーブローラー間に螺旋状に巻き掛けられて、上記回転軸と平行を成す送り方向に所定のピッチ間隔で並ぶワイヤー列を形成しており、該固定砥粒ワイヤーをその芯線方向に高速走行させながら、上記ワイヤー列と上記ワーク供給テーブルに固定されたワーク及びドレッシングストーンとを相互に押し当てることにより、固定砥粒ワイヤーのドレッシングを行いながら該ワークを切削するための固定砥粒ワイヤーソーであって、
上記ワーク供給テーブルに設けられたドレッシングストーンとワーク固定部とが上記送り方向において互いに隣接し、該ドレッシングストーンが、送り方向においてワーク固定部よりも少なくとも上流側に配されていることを特徴とするもの。
【請求項２】
請求項１に記載の固定砥粒ワイヤーソーにおいて、
上記ドレッシングストーンが、第１及び第２のドレッシングストーンから構成されていて、上記ワーク供給テーブルには、上記第１のドレッシングストーンが、上記送り方向におけるワーク固定部よりも上流側において、該ワーク固定部に隣接して固定されると共に、第２のドレッシングストーンが、該ワーク固定部よりも下流側において、該ワーク固定部に隣接して固定されているもの。
【請求項３】
請求項２に記載の固定砥粒ワイヤーソーにおいて、
上記第１のドレッシングストーンにおける上記ワイヤー列と対向する先端面が、上記第２のドレッシングストーンにおける該ワイヤー列と対向する先端面よりも該ワイヤー列側に突出しているもの。
【請求項４】
芯線の表面に砥粒が金属めっきで固着された固定砥粒ワイヤーと、回転軸が互いに平行に配された複数のグルーブローラーと、ワークが固定されるワーク固定部、及び、ドレッシングストーンが固定される砥石固定部が設けられたワーク供給テーブルとを有していて、上記固定砥粒ワイヤーが、上記グルーブローラー間に螺旋状に巻き掛けられて、上記回転軸と平行を成す送り方向に所定のピッチ間隔で並ぶワイヤー列を形成しており、該固定砥粒ワイヤーをその芯線方向に高速走行させながら、上記ワイヤー列と上記ワーク供給テーブルに固定されたワーク及び砥石固定部に固定されたドレッシングストーンとを相互に押し当てることにより、固定砥粒ワイヤーのドレッシングを行いながら該ワークを切削するための固定砥粒ワイヤーソーであって、
上記ワーク供給テーブルに設けられた砥石固定部とワーク固定部とが、上記送り方向において互いに隣接し、該砥石固定部が、送り方向においてワーク固定部よりも少なくとも上流側に配されていることを特徴とするもの。
【請求項５】
請求項４に記載の固定砥粒ワイヤーソーにおいて、
上記砥石固定部が、第１及び第２の砥石固定部から構成されていて、上記ワーク供給テーブルには、上記第１の砥石固定部が、上記送り方向におけるワーク固定部よりも上流側において、該ワーク固定部に隣接して配置されると共に、第２の砥石固定部が、該ワーク固定部の下流側において、該ワーク固定部に隣接して配置されているもの。
【請求項６】
芯線の表面に砥粒が金属めっきで固着された固定砥粒ワイヤーを、回転軸を互いに平行に配置した複数のグルーブローラー間に螺旋状に巻き掛けることにより、上記回転軸と平行を成す送り方向に所定のピッチ間隔で並ぶワイヤー列を形成するステップと、
ワークとドレッシングストーンとを上記送り方向において互いに隣接させると共に、該ドレッシングストーンを、送り方向においてワークよりも少なくとも上流側に配した状態で、ワーク供給テーブルにワーク及びドレッシングストーンを固定するステップと、
上記固定砥粒ワイヤーをその芯線方向に高速走行させながら、上記ワーク供給テーブルと上記ワイヤー列とを相互に近接する方向に移動させることによって、上記ワークよりも上記送り方向の上流側に在る固定砥粒ワイヤーを上記ドレッシングストーンでドレッシングすると共に、そのドレッシング後の固定砥粒ワイヤーで形成されたワイヤー列で上記ワークを切削するステップとを有することを特徴とする固定砥粒ワイヤーのドレッシング方法。
【請求項７】
請求項６に記載の固定砥粒ワイヤーのドレッシング方法において、
上記ワーク供給テーブルに固定されたドレッシングストーンにおける上記ワイヤー列と対向する先端面が、該ワーク供給テーブルに固定されたワークにおける上記ワイヤー列と対向する先端面よりも、ワイヤー列側に突出していることを特徴とするもの。
【請求項８】
請求項６又は７に記載の固定砥粒ワイヤーのドレッシング方法において、
上記ドレッシングストーンが、第１及び第２のドレッシングストーンから構成されていて、上記ワーク供給テーブルには、上記第１のドレッシングストーンが、上記送り方向における上記ワークよりも上流側において、該ワークに隣接して固定されると共に、第２のドレッシングストーンが、該ワークよりも下流側において、該ワークに隣接して固定されていることを特徴とするもの。
【請求項９】
請求項８に記載の固定砥粒ワイヤーのドレッシング方法において、
上記第１のドレッシングストーンにおける上記ワイヤー列と対向する先端面が、上記第２のドレッシングストーンにおけるワイヤー列と対向する先端面よりも該ワイヤー列側に突出し、且つ、第２のドレッシングストーンの該先端面とワークにおけるワイヤー列と対向する先端面とが、該ワイヤー列からほぼ同じ距離に配置されていることを特徴とするもの。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリコン、ガラス、セラミックなどの硬脆性材料から成るワークを切削する固定砥粒ワイヤーソー、及び固定砥粒ワイヤーのドレッシング方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、硬脆性材料から成るワーク（すなわち、インゴット）を切断して複数枚の薄板（ウェーハ）を製造する装置の一つにワイヤーソー（すなわち、ワイヤーを用いた切削装置）が知られている。上記ワイヤーソーは、ピアノ線等の芯線を複数のグルーブローラ間に並列に張り渡して螺旋状のワイヤー列を形成し、該ワイヤー列の高速走行するワイヤーにインゴットを押し当てて切削することにより、インゴットが多数枚のウェーハに切断されるように構成されている。上記ワイヤーソーの切断方式としては、遊離砥粒を含有する加工液（すなわち、スラリー）を上記ワイヤー列に吹き付けながら切削する遊離砥粒方式によるものと、特許文献１に示すような、上記芯線の表面に砥粒が固着された固定砥粒ワイヤーを用いて切削する固定砥粒方式によるものとがある。遊離砥粒方式はスラリーの廃棄処理の問題等があることから、近年では、上記スラリーを使用する必要がなく、且つ、当該遊離砥粒方式に比べて切削効率に優れた固定砥粒方式が普及しつつある。そして、上記固定砥粒方式のワイヤーソー（すなわち、固定砥粒ワイヤーソー）において用いられる固定砥粒ワイヤーとしては、砥粒を金属めっきで芯線に固着させたものが知られている（特許文献２参照）。
【０００３】
ところで、このような砥粒が金属めっきで芯線に固着された固定砥粒ワイヤーを用いる場合、より優れた切削効率や切削精度を確保するためには、砥粒の先端すなわち刃先が常に露出していて切削屑による目詰まりが無いことが望ましいが、通常、上記特許文献２に開示されたもののように、使用開始前の新品状態においては砥粒の刃先が金属めっきによって被覆されており、また、使用開始後においても目詰まりを避けることは極めて困難である。
そこで、引用文献１に記載のワイヤーソーにおいては、ドレッシングストーンをワイヤー列に押し当てることにより、固定砥粒ワイヤーをドレッシングするようにしている。しかしながら、このワイヤーソーをメンテナンス性等の運用面の観点から見ると、インゴットを保持するワークテーブルとドレッシングストーンとの配置関係について必ずしも十分な配慮が為されているとは言えず、未だ設計上改良の余地が残されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−２８６５４号公報
【特許文献２】特開２００６−１８１６９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで、本発明の技術的課題は、ワークを保持するワークテーブルと、固定砥粒ワイヤーのドレッシングを行うためのドレッシングストーンとの配置関係について、メンテナンス性等の運用面を考慮の上、より合理的な設計を施した固定砥粒ワイヤーソー、及び、そのような固定砥粒ワイヤーソーにおける、固定砥粒ワイヤーのドレッシング方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため、本発明によれば、芯線の表面に砥粒が金属めっきで固着された固定砥粒ワイヤーと、回転軸が互いに平行に配された複数のグルーブローラーと、ワークが固定されるワーク固定部が設けられたワーク供給テーブルとを有し、該ワーク供給テーブルに上記固定砥粒ワイヤーをドレッシングするドレッシングストーンが固定されていて、上記固定砥粒ワイヤーが、上記グルーブローラー間に螺旋状に巻き掛けられて、上記回転軸と平行を成す送り方向に所定のピッチ間隔で並ぶワイヤー列を形成しており、該固定砥粒ワイヤーをその芯線方向に高速走行させながら、上記ワイヤー列と上記ワーク供給テーブルに固定されたワーク及びドレッシングストーンとを相互に押し当てることにより、固定砥粒ワイヤーのドレッシングを行いながら該ワークを切削するための固定砥粒ワイヤーソーであって、上記ワーク供給テーブルに設けられたドレッシングストーンとワーク固定部とが上記送り方向において互いに隣接し、該ドレッシングストーンが、送り方向においてワーク固定部よりも少なくとも上流側に配されていることを特徴とするものが提供される。
【０００７】
このとき、好ましくは、上記ドレッシングストーンが、第１及び第２のドレッシングストーンから構成されていて、上記ワーク供給テーブルには、上記第１のドレッシングストーンが、上記送り方向におけるワーク固定部よりも上流側において、該ワーク固定部に隣接して固定されると共に、第２のドレッシングストーンが、該ワーク固定部よりも下流側において、該ワーク固定部に隣接して固定されている。
そして、より好ましくは、上記第１のドレッシングストーンにおける上記ワイヤー列と対向する先端面が、上記第２のドレッシングストーンにおける該ワイヤー列と対向する先端面よりも該ワイヤー列側に突出している。
【０００８】
また、本発明によれば、芯線の表面に砥粒が金属めっきで固着された固定砥粒ワイヤーと、回転軸が互いに平行に配された複数のグルーブローラーと、ワークが固定されるワーク固定部、及び、ドレッシングストーンが固定される砥石固定部が設けられたワーク供給テーブルとを有していて、上記固定砥粒ワイヤーが、上記グルーブローラー間に螺旋状に巻き掛けられて、上記回転軸と平行を成す送り方向に所定のピッチ間隔で並ぶワイヤー列を形成しており、該固定砥粒ワイヤーをその芯線方向に高速走行させながら、上記ワイヤー列と上記ワーク供給テーブルに固定されたワーク及び砥石固定部に固定されたドレッシングストーンとを相互に押し当てることにより、固定砥粒ワイヤーのドレッシングを行いながら該ワークを切削するための固定砥粒ワイヤーソーであって、上記ワーク供給テーブルに設けられた砥石固定部とワーク固定部とが、上記送り方向において互いに隣接し、該砥石固定部が、送り方向においてワーク固定部よりも少なくとも上流側に配されていることを特徴とするものが提供される。
【０００９】
このとき、好ましくは、上記砥石固定部が、第１及び第２の砥石固定部から構成されていて、上記ワーク供給テーブルには、上記第１の砥石固定部が、上記送り方向におけるワーク固定部よりも上流側において、該ワーク固定部に隣接して配置されると共に、第２の砥石固定部が、該ワーク固定部の下流側において、該ワーク固定部に隣接して配置されている。
【００１０】
さらに、本発明によれば、芯線の表面に砥粒が金属めっきで固着された固定砥粒ワイヤーを、回転軸を互いに平行に配置した複数のグルーブローラー間に螺旋状に巻き掛けることにより、上記回転軸と平行を成す送り方向に所定のピッチ間隔で並ぶワイヤー列を形成するステップと、ワークとドレッシングストーンとを上記送り方向において互いに隣接させると共に、該ドレッシングストーンを、送り方向においてワークよりも少なくとも上流側に配した状態で、ワーク供給テーブルにワーク及びドレッシングストーンを固定するステップと、上記固定砥粒ワイヤーをその芯線方向に高速走行させながら、上記ワーク供給テーブルと上記ワイヤー列とを相互に近接する方向に移動させることによって、上記ワークよりも上記送り方向の上流側に在る固定砥粒ワイヤーを上記ドレッシングストーンでドレッシングすると共に、そのドレッシング後の固定砥粒ワイヤーで形成されたワイヤー列で上記ワークを切削するステップとを有することを特徴とする固定砥粒ワイヤーのドレッシング方法が提供される。
【００１１】
本発明に係る上記ドレッシング方法においては、好ましくは、上記ワーク供給テーブルに固定されたドレッシングストーンにおける上記ワイヤー列と対向する先端面が、該ワーク供給テーブルに固定されたワークにおける上記ワイヤー列と対向する先端面よりも、ワイヤー列側に突出している。
また、好ましくは、上記ドレッシングストーンが、第１及び第２のドレッシングストーンから構成されていて、上記ワーク供給テーブルには、上記第１のドレッシングストーンが、上記送り方向における上記ワークよりも上流側において、該ワークに隣接して固定されると共に、第２のドレッシングストーンが、該ワークよりも下流側において、該ワークに隣接して固定されている。
このとき、より好ましくは、上記第１のドレッシングストーンにおける上記ワイヤー列と対向する先端面が、上記第２のドレッシングストーンにおけるワイヤー列と対向する先端面よりも該ワイヤー列側に突出し、且つ、第２のドレッシングストーンの該先端面とワークにおけるワイヤー列と対向する先端面とが、該ワイヤー列からほぼ同じ距離に配置されている。
【発明の効果】
【００１２】
以上に記した本発明によれば、固定砥粒ワイヤーのワイヤー列によるワークの切削に先立って、該固定砥粒ワイヤーをドレッシングストーンでドレッシングするように構成されてる。そのため、該固定砥粒ワイヤーの砥粒の表面を被覆する金属めっき層を除去して砥粒の刃先を露出させてからワークを切削することができ、ワークの切削効率を向上させることができる。また、上記ワークとドレッシングストーンとを同じワーク供給テーブルに固定するように構成されているため、構造の複雑化を避けることができるばかりでなく、ドレッシングストーンの交換をワークの交換と同時に行うことができるなど、メンテナンス等の運用面においても優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明に係る固定砥粒ワイヤーソーの一実施形態を示す模式図である。
【図２】図１の固定砥粒ワイヤーソーの切削部を示す概略斜視図である。
【図３】上記切削部におけるワークの切削前の状態を模式的に示す概略部分拡大図である。
【図４】上記切削部において、ワークの切削開始に先立って行われる固定砥粒ワイヤーのドレッシング状態を模式的に示す概略部分拡大図である。
【図５】上記切削部におけるワークの切削開始時の状態を模式的に示す概略部分拡大図である。
【図６】上記切削部におけるワークの切削途中の状態を模式的に示す概略部分拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
図１−図６は、本発明に係る固定砥粒ワイヤーソーの一実施形態を示している。本実施形態の固定砥粒ワイヤーソー１は、図１及び図２に示すように、芯線の表面に砥粒が金属めっきで固着された固定砥粒ワイヤー２と、回転軸が互いに平行に配された複数のグルーブローラー３−５と、ワークＷが固定されるワーク供給テーブル６と、上記固定砥粒ワイヤー２に接触することで該固定砥粒ワイヤー２をドレッシングするドレッシングストーン４１，４２とを有し、上記ワークＷが、固定砥粒ワイヤー２をグルーブローラー３−５間に巻回して形成されたワイヤー列３０に押し付けられることで、多数枚のウェーハにスライスするように構成されている。なお、図２又は図３に示すように、本実施形態では、上記ワークＷとして、一方向に長い四角柱状に形成されたシリコンインゴッドを用いている。
【００１５】
上記固定砥粒ワイヤー２は、ピアノ線等から成る芯線に、例えば、ダイヤモンドや立方晶窒化ホウ素（ｃＢＮ）等から成る硬質微細な砥粒が、ニッケル等の金属めっきで固着されており、ドレッシング前の新品状態の固定砥粒ワイヤー２においては、砥粒の表面全体が金属めっき層で被覆された状態にある。なお、本実施形態では、上記固定砥粒ワイヤー２として平均ワイヤ径が０．１ｍｍ程度のものが用いられており、切削精度を高めると共に削り代を抑制することができるようになっている。
【００１６】
図１に示すように、上記固定砥粒ワイヤー２は、その両端側が一対のワイヤーリール７，８にそれぞれ巻回されており、これらワイヤーリール７，８間に、上記ワークＷをスライスする切削部２０が形成されている。また、一対のワイヤーリール７，８間には、切削部２０を間に挟んで一方のワイヤーリール７側のワイヤー走行路９と、他方のワイヤーリール８側のワイヤー走行路１０とが設けられている。そして、これらワイヤー走行路９，１０中には、固定砥粒ワイヤー２がワイヤーリール７，８から適切に繰出され、それらに適切に巻取られるように、該固定砥粒ワイヤー２をトラバース動作させるためのトラバース装置１１と、走行するワイヤー２に一定の張力を付与するためのダンサローラ１２と、該ダンサローラ１２の前後において上記固定砥粒ワイヤー２をガイドするためのガイドローラ１３とがそれぞれ配設されている。
【００１７】
上記ワイヤーリール７，８には、それぞれ図示されていないモータが連結されている。このモータを駆動することにより、上記固定砥粒ワイヤー２が、一方のワイヤーリール７から送り出され、上記切削部２０に配置されたグルーブローラ３−５を周回した後、他方のワイヤーリール８に回収されるようにして、これらワイヤーリール７，８間をその芯線方向に高速走行する。
【００１８】
また、上記固定砥粒ワイヤー２は、その芯線方向に沿って一方向のみ（一方のワイヤーリール７から他方のワイヤーリール８に向かう方向）に走行させてもよく、或いは、往復走行させてもよい。本実施形態では、ワークＷを切削する場合においては、固定砥粒ワイヤー２がワイヤーリール７，８間を往復走行するように構成されている。そして、一方のワイヤーリール７から供給される固定砥粒ワイヤー２の繰出し量を、該ワイヤーリール７に巻戻される巻取り量よりも長くすることで、該ワイヤーリール７から順次新たな固定砥粒ワイヤーが繰出されて上記ワイヤー列３０に供給されるようになっている。なお、本実施形態では、上記送り量を約４００ｍに設定し、戻り量を３９７ｍに設定して、上記ワイヤー列３０に供給される固定砥粒ワイヤー２が、一往復で３ｍずつ新しい固定砥粒ワイヤー２に入れ替えられるように構成されている。
【００１９】
図１又は図２に示すように、上記切削部２０には、一方のワイヤー走行路９側に位置する第１のグルーブローラー３と、他方のワイヤー走行路１０側に位置する第２のグルーブローラー４と、これら第１及び第２のグルーブローラー３，４の下方に位置する第３のグルーブローラー５とから成る３本のローラーが配置されている。これら３本のグルーブローラー３−５は、回転軸が互いに平行を成し、その軸方向から見たとき各回転軸がそれぞれ三角形の頂点に位置するように配置されている。
また、グルーブローラー３−５の外周面には、それぞれ固定砥粒ワイヤー２の位置決め用の環状のワイヤ溝１４が所定のピッチで複数形成されており、上記固定砥粒ワイヤー２が、これらグルーブローラー３−５のワイヤ溝１４に係合されながら螺旋状に巻き掛けられる。それにより、上記第１及び第２のグルーブローラー３，４の間に、固定砥粒ワイヤー２が上記回転軸と平行を成す送り方向に所定のピッチ間隔で並んだ上記ワイヤー列３０が形成される。なお、本実施形態のワイヤー列３０においては、長さ約８００ｍ程の固定砥粒ワイヤー２がグルーブローラー３−５間に張り渡されていて、該固定砥粒ワイヤー２が上記送り方向に向かって０．３ｍｍのピッチで並設されている。
【００２０】
また、切削部２０において、上記ワイヤー列３０の張り渡し方向における中央の上方には、横長に形成された上記ワーク供給テーブル６が上記送り方向に沿うように配置され、図示しないテーブル送り装置により、ワイヤー列３０に対して昇降自在に駆動される。ワイヤー列３０に向かってワーク供給テーブル６が降下することに伴い、該ワーク供給テーブル６の下面に固定されたワークＷが該ワイヤー列３０に押し付けられて切削され、その結果、該ワークＷが複数枚のウェーハに同時にスライスされるように構成されている。なお、ワイヤー列３０に対してワークＷが相対的に押し付けられるのであれば、例えば、３つのグルーブローラー３−５の相対的な位置関係を保持しながら、これらグルーブローラー３−５を上昇・下降させる昇降装置により、ワイヤー列３０をワーク供給テーブル６に固定されたワークＷに向けて上昇させるように構成されていてもよい。或いは、ワーク供給テーブル６及びワイヤー列３０の何れも、相互に近接するように移動可能に構成されていてもよい。
【００２１】
図３に示すように、上記ワーク供給テーブル６には、ワークＷを固定するためのワーク固定部１５と、上記ドレッシングストーン４１，４２を固定するための砥石固定部１６，１７とが設けられている。
上記ワーク固定部１５は、ワイヤー列３０（図１の下方側）に臨むワーク供給テーブル６の下面側における上記送り方向の略中央位置に設けられ、当該送り方向に沿って、上記ワークＷの長手方向に延びる一側面が取り付けられる。なお、ワーク固定部１５には、ダミー材等の下地が取り付けられており、上記ワークＷは、接着剤等により該下地を介して固定される。
【００２２】
上記砥石固定部１６，１７は、第１の砥石固定部１６と第２の砥石固定部１７とから成っていて、上記ワーク固定部１５と同様に、ワーク供給テーブル６の下面側にそれぞれ設けられている。具体的には、第１の砥石固定部１６は、上記送り方向におけるワーク固定部１５よりも上流側において、該ワーク固定部１５に隣接して配置されていると共に、第２の砥石固定部１７は、上記送り方向におけるワーク固定部１５よりも下流側において、該ワーク固定部１５に隣接して配置されている。
【００２３】
２つのドレッシングストーン４１，４２は、砥石固定部１６，１７に接着剤等によって固定されている。図３に示すように、第１のドレッシングストーン４１は、上記第１の砥石固定部１６に取り付けられると共に、第２のドレッシングストーン４２は第２の砥石固定部１７に取り付けられている。それにより、図２のように、上記送り方向において、ワークＷが固定されるワーク固定部１５よりも上流側に第１のドレッシングストーン４１が配置され、第２のドレッシングストーン４２が、ワーク固定部１５よりも下流側に配置されるように構成されている。これらドレッシングストーン４１，４２は、それぞれ略矩形の平板状（略直方体）を成しており、ワークＷを固定した状態において、それらの板厚方向における一方の側端面が、ワークＷの長さ方向における各側端面にそれぞれ対向するようにして配置されている。
【００２４】
このとき、第１のドレッシングストーン４１におけるワイヤー列３０に対向する先端面４１ａは、第２のドレッシングストーン４２のワイヤー列３０に対向する先端面４２ａよりも該ワイヤー列３０側に突出している。また、ワーク固定部１５にワークＷが固定された状態においては、上記第１のドレッシングストーンの先端面４１ａを、ワイヤー列３０に対向するワークＷの先端面Ｗ１よりも、該ワイヤー列３０側に突出させている。一方、上記第２のドレッシングストーン４２の先端面４２ａは、ワーク固定部１５にワークＷが固定された状態において、該ワークＷの先端面Ｗ１とワイヤー列３０からほぼ同じ距離だけ離間しており、その結果、両先端面４２ａ，Ｗ１は略面一を成している。なお、これらドレッシングストーン４１，４２についても、上記砥石固定部１６，１７にダミーを介して固定されていてもよい。
【００２５】
第１及び第２のドレッシングストーン４１，４２は、ワイヤー列３０を形成する複数の固定砥粒ワイヤー２群のうち、上記送り方向における最上流側に位置する固定砥粒ワイヤー２と、同じく送り方向最下流側に位置する固定砥粒ワイヤー２との間に配置されている。そうすることにより、第１のドレッシングストーン４１で、上記送り方向におけるワークＷよりも上流側に位置する新しい（未使用の）固定砥粒ワイヤー２をドレッシングして砥粒の先端（刃先）を被覆する金属めっきを除去し、ワークＷの切削に先立って砥粒の刃先を露出させることができる。そして、固定砥粒ワイヤー２の往復走行に伴って、該固定砥粒ワイヤー２が、ワークＷを切削した後に該ドレッシングストーン４１で再度ドレッシングされることにより、ワークＷを切削することに起因する切削屑による目詰まりを抑止することができる。さらに、第２のドレッシングストーン４２でも、上記ワークＷを切削した後の固定砥粒ワイヤーがドレッシングされ、固定砥粒ワイヤーに付着する切削屑を落として上記目詰まりが抑止される。
【００２６】
また、これらドレッシングストーン４１，４２は、固定砥粒ワイヤー２の芯材に固着される砥粒の種類、粒径、集中度、或いは、めっき層の金属材料等を総合的に勘案して適宜のものが使用される。上述したように、第１のドレッシングストーン４１は、主として切削開始に先立って固定砥粒ワイヤー２の砥粒の目立てを行うものであるため、第２のドレッシングストーン４２に比べて粗いものであってもよい。また、ドレッシングストーンの板厚については、固定砥粒ワイヤー２のワイヤ径や送り量等に合わせて適宜選択することができる。例えば、本実施形態では、第１のドレッシングストーン４１の板厚が約３０ｍｍ程のものが使用され、ワイヤー列３０が接触した状態で約１００本程の固定砥粒ワイヤー２群をドレッシンングすることができるようになっている。
【００２７】
上記ワークＷを切削する場合には、先ず、上述のように、固定砥粒ワイヤー２をワイヤーソー１に装着して上記グルーブローラー３−５間に螺旋状に巻き掛けることによりワイヤー列３０を形成する。また、上記ワーク供給テーブル６のワーク固定部１５にワークＷを固定すると共に、同じくワーク供給テーブル６に設けられた第１の砥石固定部１６に、上記第１のドレッシングストーン４１を固定して、第２の砥石固定部１７に第２のドレッシングストーン４２を固定する。なお、図３に示すように、ワークＷとドレッシングストーン４１，４２とを固定した状態で、当該第１及び第２のドレッシングストーン４１，４２は、それらの上記一方の側端面がワークＷの上記各側端面に非接触状態となるようにそれぞれ配置されているが、例えば、これらドレッシングストーン４１，４２のうち何れか一方がワークＷに接触させて配されていてもよく、或いは、両ドレッシングストーン４１，４２の何れもワークＷに接触するようにして配置されていてもよい。
【００２８】
それから、図示しないモーターを駆動して一対のワイヤーリール７，８を回転させると、上記固定砥粒ワイヤー２がその芯線方向に高速走行すると共に、上記ワイヤー列３０が上記送り方向に向かって順次送られる。そして、このワイヤー列３０に向けてワーク供給テーブル６を次第に降下させることで、上記ワークＷよりも送り方向の上流側及び下流側にある固定砥粒ワイヤー２が２つのドレッシングストーン４１，４２でドレッシングされながら、該ワーク供給テーブル６のワーク固定部１５に固定されたワークＷが、ワイヤー列３０のピッチ間隔で徐々に切削され、最終的に複数枚のウェーハに同時に切断されるようになっている。
【００２９】
固定砥粒ワイヤー２のドレッシング方法についてより具体的に説明する。先ず、上記ワーク供給テーブル６の下降前の状態（図３）から、該ワーク供給テーブル６を走行中のワイヤー列３０に向けて一定距離下降させる。そして、図４に示すように、送り方向におけるワークＷよりも上流側に配置されたワイヤー列３０の複数本の固定砥粒ワイヤー２群を、ワークＷの先端面よりもワイヤー列３０側に突き出した第１のドレッシングストーン４１（先端面４１ａ）に接触させる。このとき、上記ワイヤー列３０は、上記ワークＷに対して非接触状態にある。この状態を維持しつつワーク供給テーブル６を徐々に下降させることにより、固定砥粒ワイヤー２は、第１のドレッシングストーン４１に切り込み溝１８を形成しながら該ドレッシングストーン４１の溝１８内でドレッシングされ、砥粒の表面を被覆する金属めっき層が削り取られて砥粒の刃先が露出される。
【００３０】
なお、このワークＷ切削開始に先立って行うドレッシングにおいては、該ワイヤー２を、少なくとも、切削時にワークＷに当接する範囲に掛け渡された長さ程度（すなわち、第１及び第２のドレッシングストーン４１，４２間に掛け渡された長さ程度）にわたってドレッシングする。そうすることで、当初から砥粒の刃先が露出した固定砥粒ワイヤー２でワークＷの切削を開始することが可能となる。また、このドレッシングでは、固定砥粒ワイヤー２を往復走行させずに一方側に高速走行させてもよく、それによりドレッシングに掛かる時間が短縮される。
【００３１】
そして、第１のドレッシングストーン４１により、切削開始前における上記固定砥粒ワイヤー２のドレッシングが完了したのち、ワークＷの先端面Ｗ１を複数の固定砥粒ワイヤー２群に接触させて該ワークＷの切削を開始する（図５）。このとき、上述のように、ワークＷを切削する複数の固定砥粒ワイヤー２群は、第１のドレッシングストーン４１によって既にドレッシングされ、砥粒の先端（刃先）が露出されている。そのため、切削初期の固定砥粒ワイヤー２の切れ味不足を防ぎ、ワークＷの切削面に生じるチッピングの発生が抑えられ、安定的且つ高精度にワークＷを切削することができる。また、上記ワイヤー列３０を構成する固定砥粒ワイヤー２は、第２のドレッシングストーン４２にも接触し、第１のドレッシングストーン４１と共に該第２のドレッシングストーン４２が切り込まれて行くことにより、上記ワークＷの上流側と同じくワークＷの下流側においても複数の固定砥粒ワイヤー２群がドレッシングされる。そして、さらにワーク供給テーブル６を下降させることで、図６に示すように、固定砥粒ワイヤー２が、第１及び第２のドレッシングストーン４１，４２に切り込み溝１８，１９を形成してドレッシングされながら、上記ワークＷに切り込み溝５０を形成しつつ徐々に切削していく。なお、最終的にワークＷの切断が完了し、新たなワークＷの切削加工を行う場合には、ワーク供給テーブル６に載置された切断加工済みのワークＷとドレッシングストーン４１，４２とを新品のものに交換し、上述した手順により、固定砥粒ワイヤー２のドレッシングを行いながらワークＷが切削される。
【００３２】
このように、本実施形態の固定砥粒ワイヤーソー１によれば、ワーク供給テーブル６に対して第１のドレッシングストーン４１を、固定砥粒ワイヤー２の上記送り方向におけるワークＷよりも上流側の位置において、該ワークＷに隣接させて固定するという簡単な構成で、該ワークＷの切削開始に先立ち固定砥粒ワイヤー２のドレッシングをして砥粒の目立てを行うことができる。しかも、当該ドレッシングストーン４１をワークＷと共に同一のワーク供給テーブル６上に設けたことにより、例えば、ワークＷ及びドレッシングストーンの交換等のメンテナンス作業が容易に行うことができるなど、運用面においても優れた効果を奏する。
【００３３】
なお、本実施形態では、２つのドレッシングストーン４１，４２が設けられているが、これに限られない。例えば、上記ワークＷが粘性の低いインゴッドである場合等、ワイヤー列３０の下流側でのドレッシングが必ずしも必要でなければ、第２のドレッシングストーン４２を設けずに、第１の砥石固定部１６に第１のドレッシングストーン４１のみ配備してもよい。また、ドレッシングストーンの形状については、例えばワイヤー列３０に臨む先端面が円弧状を成すものであっても、或いは、ワイヤー列３０に向けて鋭角状を成すように先細り（或いは先広がり）した形状を有するものでもよく、適宜形状のものが選択される。さらに、本実施形態のように、上記固定砥粒ワイヤー２を往復走行させる場合、該固定砥粒ワイヤー２の往復走行長さ（送り量、戻り量）は、ワークＷの長さ、素材等に合わせて適宜設定される。また、上記ワークＷを四角柱状のものとしたが、ワーク固定部１５に固定されるのであれば、例えば円柱状のインゴッドを用いてもよい。
【００３４】
以上、本発明に係る固定砥粒ワイヤーソー及び固定砥粒ワイヤーのドレッシング方法について説明してきたが、本発明は上記の実施形態に限定されることなく、特許請求の範囲の趣旨を逸脱しない範囲で様々な設計変更が可能であることは言うまでもない。
【符号の説明】
【００３５】
１      固定砥粒ワイヤーソー
２      固定砥粒ワイヤー
３−５  グルーブローラー
６      ワーク供給テーブル
１５    ワーク固定部
１６    第１の砥石固定部
１７    第２の砥石固定部
３０    ワイヤー列
４１    第１のドレッシングストーン
４１ａ  先端面
４２    第２のドレッシングストーン
４２ａ  先端面
Ｗ      ワーク
Ｗ１  先端面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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