(57)【要約】  本発明は、干渉計の本体に対する干渉計の少なくとも１つの可動手段の移動に関する。本発明によるシステムは、別個に操作可能な少なくとも２つの干渉計アクチュエータを備えることによって、少なくとも２つのアクチュエータが、干渉計の少なくとも１つの可動手段を移動させることが可能である。少なくとも２つの干渉計アクチュエータの少なくとも１つを作動させる時、干渉計の少なくとも１つの可動手段は、例えば、傾斜を補正する最小限の必要性を伴って、移動される。好ましい構成では、本発明によるシステムおよび方法は、別個に操作可能な３つの干渉計アクチュエータを備える。
2010525305.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
干渉計の本体に対する該干渉計の少なくとも１つの可動手段の移動のための方法であって、
少なくとも２つの干渉計アクチュエータを配列することであって、該少なくとも２つの干渉計アクチュエータは別個に操作可能であり、それによって、該少なくとも２つのアクチュエータが、該干渉計の少なくとも１つの可動手段を移動させることが可能である、ことと、
該少なくとも２つの干渉計アクチュエータのうちの少なくとも１つを起動させることであって、それによって、該干渉計の少なくとも１つの可動手段を移動させる、ことと
を包含する、方法。
【請求項２】
別個に操作可能である３つの干渉計アクチュエータを備える、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
別個に操作可能である前記少なくとも２つの干渉計アクチュエータは、少なくとも１つの圧電アクチュエータを備え、好ましくは、少なくとも１つの圧電ベンダを備え、好ましくは、二重層ベンダを備える、請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】
別個に操作可能である前記少なくとも２つの干渉計アクチュエータは、少なくとも１つの直線アクチュエータを備え、好ましくは、少なくとも１つの直線圧電アクチュエータを備え、好ましくは、少なくとも１つの圧電ベンダを備える、請求項１から３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項５】
前記少なくとも２つの圧電アクチュエータは、それらを屈曲させる電場を印加することによって起動させられ、該屈曲は、前記少なくとも１つの可動手段を前記干渉計本体に対して移動させる、請求項３または４に記載の方法。
【請求項６】
前記少なくとも１つの圧電ベンダは、円盤ベンダである、請求項３から５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項７】
干渉計の前記少なくとも１つの可動手段の移動は、ベンダ配列内の少なくとも２つの圧電ベンダによって提供され、該ベンダ配列内の前記少なくとも２つの圧電ベンダは、実質的に同一の態様で操作される、請求項１から６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項８】
前記干渉計の本体に対する前記干渉計の少なくとも１つの可動手段の移動の長さは、前記ベンダ配列内の前記少なくとも１つの圧電ベンダのストローク長と実質的に等しい、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記少なくとも２つの圧電ベンダは、設計および構造において実質的に等しい、請求項７または８に記載の方法。
【請求項１０】
任意の圧電ベンダが、任意の他の圧電ベンダに対してある角度で配列され、好ましくは、隣接する圧電ベンダ間の角度は実質的に等しい、請求項３から９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１１】
前記ベンダ配列内の前記少なくとも２つの圧電ベンダ要素は、同一のベンダ支持部の上に配列されて、セグメント化されたベンダを形成し、好ましくは、該別個のベンダ要素は、独立して起動可能である、請求項７から１０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１２】
前記ベンダセグメントは、二重層セグメントである、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記ベンダ支持部は、実質的に円形である、請求項１１または１２に記載の方法。
【請求項１４】
３つの別個の圧電ベンダ要素を備える、請求項１１から１３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１５】
前記２つ以上の圧電ベンダ要素は、前記ベンダの固定点から移動点への方向が、すべてのベンダ要素に対して平行であるか、または半径方向に整列している、請求項１１から１４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１６】
前記少なくとも２つの圧電ベンダ要素は、前記ベンダの固定点から移動点への方向が、すべてのベンダ要素に対して実質的に半径方向に整列しておらず、好ましくは、該方向は実質的に螺旋に沿っている、請求項１１から１５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１７】
セグメント化されたベンダの生成のための特徴をさらに備える、請求項１１から１６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１８】
前記ベンダ支持部はセグメント化され、好ましくは、該セグメントは前記ベンダ要素の前記平行なまたは放射状の境界によって画定される、請求項１７に記載の方法。
【請求項１９】
少なくとも２つのベンダは、直列に配列され、好ましくは、該ベンダ配列によって、前記干渉計の可動手段の移動の実質的な増加となる、請求項１から１８のいずれかに記載の方法。
【請求項２０】
少なくとも２つのセグメント化されたベンダは、直列に配列され、好ましくは、該ベンダ配列によって、前記干渉計の可動手段の移動の実質的な増加となる、請求項１１から１８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２１】
直列の少なくとも２つの圧電ベンダおよび／または少なくとも２つのセグメント化されたベンダの組み合わされたストローク長は、５００μｍよりも長く、好ましくは、ｌ，０００μｍよりも長く、より好ましくは、２，０００μｍよりも長い、請求項１から２０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２２】
少なくとも２つのベンダは、並列に配列され、好ましくは、該配列によって、前記干渉計の可動手段の機械的安定性の実質的な増加となり、好ましくは、振動および衝撃に対する安定性の増加となる、請求項１から２１のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２３】
並列に配列された前記少なくとも２つのベンダのうちの少なくとも１つは、少なくとも１つのセグメント化されたベンダを備え、好ましくは、少なくとも１つのセグメント化された円盤ベンダを備える、請求項２２に記載の方法。
【請求項２４】
前記干渉計の可動手段は、少なくとも１つのミラーである、請求項１から２３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２５】
前記少なくとも１つのミラーは、少なくとも１つのコーナーキューブミラーである、請求項２４に記載の方法。
【請求項２６】
前記可動手段は、少なくとも１つのビームスプリッタである、請求項１から２５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２７】
前記可動手段は、少なくとも１つの半透明ミラーであり、好ましくは、ファブリペロー干渉計の少なくとも１つの半透明ミラーである、請求項１から２６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２８】
前記干渉計本体に対する前記可動手段の移動は、１０μｍ以上であり、好ましくは、５０μｍ以上であり、より好ましくは、１００μｍ以上であり、さらにより好ましくは、２００μｍ以上であって、例えば、４００μｍ以上であり、好ましくは、さらに６００μｍ以上である、請求項１から２７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２９】
前記干渉計本体に対する前記可動手段の移動は、毎秒１移動以上の速度であり、好ましくは、毎秒２移動以上であり、好ましくは、毎秒５移動以上であり、好ましくは、毎秒１５移動以上であり、好ましくは、毎秒５０移動以上であり、好ましくは、毎秒２００移動以上であり、好ましくは、毎秒１，０００移動以上である、請求項１から２８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項３０】
前記干渉計本体に対する前記可動手段の速度は、０．１ｍｍ／秒以上であり、好ましくは、０．５ｍｍ／秒以上であり、好ましくは、ｌｍｍ／秒以上であり、好ましくは、２ｍｍ／秒以上であり、好ましくは、５ｍｍ／秒以上であり、好ましくは、１０ｍｍ／秒以上であり、好ましくは、５０ｍｍ／秒以上であり、好ましくは、１００ｍｍ／秒以上であり、好ましくは、２００ｍｍ／秒以上である、請求項１から２９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項３１】
前記干渉計本体に対する前記可動手段の速度は、一定である、請求項１から３０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項３２】
前記干渉計本体に対する前記可動手段の速度は可変であって、速度差は、１０％以上であり、好ましくは、４０％以上であり、好ましくは、１００％以上であり、好ましくは、２００％以上である、請求項１から３０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項３３】
前記少なくとも１つの干渉計アクチュエータは、１００Ｈｚ以上の調和振動数を有し、好ましくは、２００Ｈｚ以上を有し、好ましくは、４００Ｈｚ以上を有し、好ましくは、１，０００Ｈｚ以上を有し、好ましくは、４，０００Ｈｚ以上を有する、請求項１から３２のいずれか一項に記載の方法。
【請求項３４】
少なくとも２つの干渉計アクチュエータに適用される作動は時間が異なり、そのような異なる作動によって、好ましくは、可動手段の平行移動において実質的な改善となる、請求項１から３３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項３５】
前記作動時間差は、干渉信号を監視することによって判断され、好ましくは、該作動時間差は、所定の特性であり、好ましくは、少なくとも１つの以前に測定されたインターフェログラムの分析によって判断される、請求項３４に記載の方法。
【請求項３６】
ストローク長に実質的に平行な方向における前記少なくとも１つの干渉計アクチュエータのサイズは、４ｍｍ以下であり、好ましくは、２ｍｍ以下であり、好ましくは、１．５ｍｍ以下であり、より好ましくは、１ｍｍ以下である、請求項１から３５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項３７】
前記ストローク長に実質的に平行な方向における前記少なくとも１つの干渉計アクチュエータのサイズは、１ｍｍ以上であり、好ましくは、２ｍｍ以上であり、好ましくは、３ｍｍ以上であり、より好ましくは、４ｍｍ以上である、請求項１から３６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項３８】
前記ストローク長に実質的に平行な方向における前記少なくとも１つの干渉計アクチュエータのサイズは、０．５ｍｍ乃至４ｍｍの範囲であり、好ましくは、０．５ｍｍ乃至３ｍｍ以上の範囲であり、好ましくは、０．７５ｍｍ乃至２ｍｍの範囲であり、より好ましくは、０．７５乃至１．５ｍｍの範囲である、請求項１から３６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項３９】
前記可動手段の移動に実質的に垂直な方向における前記少なくとも１つの干渉計アクチュエータのサイズは、３０ｍｍ以上であり、好ましくは、４０ｍｍ以上であり、好ましくは、６０ｍｍ以上であり、好ましくは、８０ｍｍ以上であり、より好ましくは、１００ｍｍ以上である、請求項１から３８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項４０】
前記可動手段の移動に実質的に垂直な方向における前記少なくとも１つの干渉計アクチュエータのサイズは、１００ｍｍ以下であり、好ましくは、８０ｍｍ以下であり、好ましくは、６０ｍｍ以下であり、好ましくは、４０ｍｍ以下であり、より好ましくは、３０ｍｍ以下である、請求項１から３９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項４１】
前記可動手段の移動に実質的に垂直な方向における前記少なくとも１つの干渉計アクチュエータのサイズは、３０ｍｍ以下であり、好ましくは、２０ｍｍ以下であり、好ましくは、１０ｍｍ以下である、請求項１から４０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項４２】
前記可動手段および干渉計アクチュエータの重量は、４０グラム未満であり、好ましくは、２０グラム未満であり、好ましくは、１０グラム未満であり、より好ましくは、５グラム未満である、請求項１から４１のいずれか一項に記載の方法。
【請求項４３】
干渉計の本体に対する該干渉計の少なくとも１つの可動手段の移動のためのシステムであって、
少なくとも２つの干渉計アクチュエータであって、別個に操作可能であることによって、該干渉計の少なくとも１つの可動手段を移動させることが可能である、少なくとも２つの干渉計アクチュエータと、
該少なくとも２つの干渉計アクチュエータを起動させ、それによって、該干渉計の少なくとも１つの可動手段を移動させるための手段と
を備える、システム。
【請求項４４】
別個に操作可能である３つの干渉計アクチュエータを備える、請求項４３に記載のシステム。
【請求項４５】
別個に操作可能である前記少なくとも２つの干渉計アクチュエータは、少なくとも１つの圧電アクチュエータを備え、好ましくは、少なくとも１つの圧電ベンダを備え、好ましくは、二重層ベンダを備える、請求項４３または４４に記載のシステム。
【請求項４６】
別個に操作可能である前記少なくとも２つの干渉計アクチュエータは、少なくとも１つの直線アクチュエータを備え、好ましくは、少なくとも１つの直線圧電アクチュエータを備え、好ましくは、少なくとも１つの圧電ベンダを備える、請求項４３から４５のいずれか一項に記載のシステム。
【請求項４７】
前記干渉計の少なくとも１つの可動手段の移動は、ベンダ配列内の少なくとも２つの圧電ベンダによって提供され、該ベンダ配列内の該少なくとも２つの圧電ベンダは、同一態様で操作される、請求項４３から４６のいずれか一項に記載のシステム。
【請求項４８】
前記干渉計の本体に対する該干渉計の少なくとも１つの可動手段の移動の長さは、前記ベンダ配列内の前記少なくとも１つの圧電ベンダのストローク長に実質的に等しい、請求項４３から４７のいずれか一項に記載のシステム。
【請求項４９】
前記ベンダ配列内の前記少なくとも２つの圧電ベンダ要素は、同一のベンダ支持部の上に配列されて、セグメント化されたベンダを形成し、好ましくは、該別個のベンダ要素は、独立して起動可能である、請求項４３から４８のいずれか一項に記載のシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
（発明の分野）
本発明は、一般的に干渉計の中で生成されるような電磁情報の干渉の発生に対する方法およびシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
（関連技術の記載）
干渉分光光度計は、近年、分光光度検査における好ましいツールとなっている。干渉現象は長年知られており、早くも１８９１年には、Ｍｉｃｈｅｌｓｏｎが光学干渉計（Ａ．Ａ．Ｍｉｃｈｅｌｓｏｎ，Ｐｈｉｌ．Ｍａｇ．（５），３１，２５６，１８９１）を設計している。干渉法の利点は、例えば、遠赤外、中赤外、近赤外、ラマン、および核磁気共鳴等の分光分析の分野において、最新の多数の計器において実証されている。これらの計器は、最新技術の機械、電子、およびソフトウェア機能を最大限に活用している。
【０００３】
依然として、最先端の計器の欠点の１つとして、特に、干渉を発生させる手段、例えば、光学干渉計内のミラーとして可動部を採用する計器は、環境、例えば、移動、衝撃、および振動に対して、そのような干渉計の機械的安定性が制限される。採用される方法およびシステムの性質として、典型的には、オフィス、実験室、または生成環境において遭遇するものと類似する規模の外部機械力によって、干渉発生手段の位置に影響を及ぼす。そのような位置変更の影響は、大部分の測定器では僅か、例えば、数ｎｍ（ナノメートル）であるが、多くの場合、そのような条件下では計器を操作不可能にさえするほどまでに、計器の性能を低下させる。これは、例えば、測定された信号を変調度、例えば、干渉位置と相関させることが事実上不可能となる場合である。そのような環境において計器を操作するために、干渉計の異なる要素の機械的安定化、干渉計または計器自体の安定化、定位置から計器を完全除去し、代わりに、遠隔手段を介して、試料および／または計器からの信号を試料と接触させる等、いくつかの実装が採用されている。
【０００４】
多くの場合、典型的には、干渉計が野外、例えば、実験室環境外で操作される場合、干渉計を操作可能な条件を確立することは困難であって、そのような配列は、あまり実践的ではない。例えば、自動車、船舶、または航空機等の移動車両内で干渉計を操作することは困難である。また、干渉計の携帯型操作は、実現が困難である。ある場合には、計器の重量および／またはサイズの増加のため、振動安定化措置は、これらの困難性にさらに貢献することにさえなる。
【０００５】
干渉の発生のための可動手段、例えば、マイケルソン干渉計の可動ミラーは、従来の干渉計を適切に操作するために、極めて精密かつ正確に移動させなければならない。意図された位置または一直線からのわずかな逸脱、例えば、傾斜は、多くの場合、１または数ナノメートルほどであるが、結果として生じる干渉に大きな影響を及ぼす可能性がある。多くの機械的構造が、例えば、実験室内の周囲雑音またはドアの開閉のために観察されるような低または中程度の力でさえ、そのような変位を露呈させないために必要な安定性を欠いていることは明白である。必然的に、そのような力に耐えられ得るような可動手段の設計が成されるという論理的帰結になるが、実践的用途では、そのような構造の耐久性または剛性は、移動を容易にするため、可動手段を移動させるために使用される力と整合されなければならないので、困難であることが証明されている。したがって、構造は、典型的には、構造を支えるために使用される力と、それを移動させるために使用される力との間の中間となる。
【０００６】
本課題に対する解決策として適用が成功している設計は、多くの場合、例えば、時がたてば静的ではなくなる干渉を表す単一検出器の使用とは対称的に、空間配列内のセンサのアレイによって検出される静的干渉を発生させることによって、可動手段の使用を除外している。他の設計は、直線平行移動ではなく、回転を介して、「移動」、例えば、マイケルソン干渉計における光路差を実装し、多くの場合、線形干渉に対する抵抗を向上させるが、回転または半径方向移動に対する耐性は改善せず、そのような設計は、単純かつコンパクトなシステムを提供することは稀である。
【０００７】
環境影響に対して移動の安定性をさらに改善するだけではなく、また、機械的な不完全性を補償するために、干渉法のいくつかの実施形態は、主要または駆動手段に加え、移動のための補助的手段を備える。補助的手段の機能は、短距離にかけての高速移動を容易にすることであって、したがって、主要移動手段の移動における不完全性を補正する。そのような補助的移動手段は、主要移動手段によって実行される移動および／または整列を改善するために必要とされる微調整をもたらすように意図される。そのような実装の２つの実施例は、特許文献１および特許文献２に提供される。そのような補助的補正手段は、主要手段によってもたらされる位置を調整するように意図されるため、多くの場合、例えば、圧電材料によってもたらされ得るような高速移動を可能にする手段を使用することは、好ましい特徴である。そのような補助的調整手段を含む干渉計に共通することは、そのようなシステムが、通常、低速性の干渉に対して良好な補償を提供する場合、いくつかの振動数における衝撃または振動等の干渉は、殆どまたは全く補償されないということである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】米国特許第４，４８０，９１４号明細書
【特許文献２】米国特許第５，８８３，７１２号明細書
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のいくつかの実施形態を使用して、驚くべきことに、干渉計の可動手段の移動のために、直線アクチュエータまたはベンダアクチュエータ等の干渉計アクチュエータを採用する干渉計を設計、構築、および操作することが可能であることが見出されており、干渉計の残部に対する可動手段の移動が広範囲に及ぶ条件下においてさえ、可動手段の整列および位置に対し優れた性能が得られる。本発明の非常に好ましい実施形態のいくつかは、可動手段の移動のためのアクチュエータ手段を備え、これらの好ましい実施形態の多くは、可動手段の作動および制御の両方のために、アクチュエータ手段を使用する。
【００１０】
故に、一側面では、本発明は、干渉計の本体に対する干渉計の少なくとも１つの可動手段の移動のための方法であって、
少なくとも２つの干渉計アクチュエータを配列することであって、少なくとも２つの干渉計アクチュエータは、実質的に別個に操作可能であることによって、少なくとも２つのアクチュエータが、干渉計の少なくとも１つの可動手段を移動可能である、ことと、
少なくとも２つの干渉計アクチュエータの少なくとも１つを起動させ、それによって、干渉計の少なくとも１つの可動手段を移動させることと、
を備える、方法に関する。
【００１１】
別の側面では、本発明は、干渉計の本体に対する干渉計の少なくとも１つの可動手段の移動のためのシステムであって、
少なくとも２つの干渉計アクチュエータであって、実質的に別個に操作可能であることによって、干渉計の少なくとも１つの可動手段を移動可能である、少なくとも２つの干渉計アクチュエータと、
少なくとも２つの干渉計アクチュエータを起動させ、それによって、干渉計の少なくとも１つの可動手段を移動させるための手段と
を備える、システムに関する。
【００１２】
用語「アクチュエータ」は、圧電要素等の電気または流体であり得る入力信号によって起動されると、変形または運動を実行する機械、空気圧、油圧、または電気デバイスを意味する。本文脈では、ベンダ配列は、図２Ａまたは図２Ｂに示されるような、いくつかのアクチュエータを備えてもよい。さらに、セグメント化されたベンダは、図３Ｂに示されるような、２つ以上のアクチュエータを備える。
【００１３】
マイケルソン干渉計等の干渉計は、ミラー、ビームスプリッタ、またはレンズ等のいくつかの要素を備える。これらの要素は、異なる干渉計設計の特性に従って、互いに相対的に配列され、同様に、それぞれ、異なる特性を有する。以下では、用語「干渉計本体」は、典型的には、固定態様で、異なる光学要素の少なくともいくつかが配列される筐体を指し、予期せぬ移動を防止し、振動または衝撃等の機械的干渉に対して強度を提供する。
【００１４】
マイケルソン干渉計内のミラーを含有する可動手段等、可動手段の移動に寄与する２つ以上の干渉計アクチュエータを備える本発明の非常に好ましい特徴の１つは、そのような２つ以上の干渉計アクチュエータを別個に制御可能であって、例えば、各アクチュエータが、独立信号を介して起動され、あるいは実質的に別個に制御可能であって、例えば、２つ以上のアクチュエータに実質的に等しい主要信号が送られ、加えて、アクチュエータの少なくとも１つに作動差を反映する制御信号等の制御信号が送られることである。本発明において、干渉計アクチュエータを別個に操作する効果は、好ましくは、実質的に所定の態様で、干渉計の可動手段の移動の作用をもたらし、したがって、別個のアクチュエータの別個の作動は、干渉計の可動手段の移動に影響を及ぼし、したがって、同様に、例えば、ミラーまたはビームスプリッタ等の可動手段と着設される任意の光学手段に影響を及ぼす。したがって、本発明の実施形態では、干渉計アクチュエータの別個の制御は、移動の際の傾斜等、所定の移動挙動をもたらすとともに、例えば、ある線または所定の経路に沿った移動等、可動手段の平行移動を生じさせる、あるいは少なくとも実質的に寄与するすように、可動手段の移動に影響を及ぼす。
【００１５】
本発明におけるアクチュエータ手段の好ましい特性は、干渉計本体に対する干渉計の可動手段を抑制または固定する力を同時に供給し、衝撃または振動等の機械的干渉に対し安定化させ、また、機械的干渉に対する抵抗を実質的に低下させずに、干渉計の可動手段を移動させるための力を供給する能力である。
【００１６】
本発明の多くの好ましい実施形態は、アクチュエータ手段等の圧電アクチュエータを備える。そのような好ましい圧電手段は、圧電結晶、または積層圧電アクチュエータ等の圧電セラミックである。多くの他の好ましい圧電手段は、圧電アクチュエータおよび／または圧電ベンダの積層を備える。
【００１７】
アクチュエータとして使用される圧電ベンダの従来の設計は、固体基板上に活性圧電材料の層を蒸着し、圧電材料に電圧を印加することによって、ベンダの対向端の移動を生じさせるものである。固体基板は、ベンダアクチュエータの機械的安定性を大幅に画定する。電圧は、圧電材料の物理的特性に影響を及ぼし、その高さと幅との比率を変化させる。したがって、圧電材料の層の高さが増すと、基板に沿ったその長さは短くなる。基板が圧電材料と同一程度まで減少しない場合、支持材料の表面上に力が形成される。構造が可撓性である場合、例えば、屈曲可能である場合、この力によって、構造が変形され、その表面に沿って屈曲される。同様に、反対側への移動を実現可能な、したがって、両方向（前後）に屈曲可能な圧電ベンダを作製することが可能であって、概して、好ましい。ベンダによって生じるそのような移動は、以下、ストロークと称され、単一方向における移動長は、ストローク長と称される。
【００１８】
本文脈では、用語「ベンダ」は、典型的には、移動、例えば、ストロークを生じさせることが可能なベンダユニット、好ましくは、２方向（前後）における移動をもたらす二重層ベンダを指す。さらにベンダ配列は、並行して操作されるいくつかの別個のベンダを含み、例えば、ベンダ配列の移動、例えば、ストローク長は、配列内の別個のベンダのそれぞれの移動と実質的に等しい。したがって、ベンダ配列は、典型的には、好ましくは、機械的安定性、例えば、強度または振動安定性、あるいは平行移動、例えば、傾斜等の追加特性を伴って、単一ベンダとして実行されるものとみなされる。
【００１９】
本発明の異なる実施形態において好ましい圧電ベンダのいくつかの構造が存在するが、議論を簡潔にするために、以下の円形ベンダでは、例えば、円盤ベンダが主に論じられる。これは、他の種類のベンダを排除するものではなく、本発明のいくつかの実施形態は、そのようなベンダに対し等しく好適である。移動において、ベンダは、固定点、例えば、固視点を有するものとみなされ得、したがって、概して、干渉計の本体に対して固定されるものと想定される。さらに、ベンダは、移動点、例えば、動視点を有するものとみなされ、したがって、概して、干渉計の可動手段は、本点と着設されるものと想定される。ここでは、用語「点」は、着設全体に及び、例えば、点、線、セグメント化された線、あるいは円形または円形の一部であり得る。一般に、そのような点は、ベンダの着設を指す。
【００２０】
理想的ベンダの移動は、ベンダの縁を平行に移動させる。ベンダの一般的形態を考慮する場合、これは、最初は互いに平行である２つの縁の接線によって示され、例えば、円形ベンダを考慮する場合、これらの縁は、例えば、円盤の対向する半径方向位置上にある。理想的条件下、これらの接線は、ベンダの移動の際、平行なままであって、初期方向を維持しながら、互いに相対的な移動のみ生じさせる。ベンダが非理想的態様で動作する場合、２つの接線は、互いに相対的な方向を変更可能であって、例えば、矩形ベンダの片側屈曲面が反対側屈曲面と異なって屈曲する場合、自由面の接線は、屈曲が生じるような反対側、すなわち、固定縁の接線に対する方向を変更し、例えば、ベンダは、２つの屈曲面が異なって屈曲するために捻転される。本理想的屈曲からの逸脱の程度は、典型的には、屈曲の増加に伴って増大すると予測されるであろう。
【００２１】
ベンダは、本発明のいくつかの実施形態では好ましいが、他の等しく好ましい実施形態は、干渉計アクチュエータとして直線アクチュエータを備える。典型的には、直線アクチュエータは、ベンダアクチュエータよりも移動方向に優れた機械的強度を有する一方、ベンダの機械的強度は、典型的には、移動と垂直な方向に最大である。
【００２２】
本発明の実施形態の多くの場合好ましい特性の１つは、干渉計アクチュエータの機械的強度を通して得られる、移動の際の可動手段の振動安定性である。そのような可動手段の振動安定性は、干渉計本体に対する可動手段の最低調和振動数の振動数に表され得る。典型的には、１００Ｈｚ以上、例えば、２００Ｈｚ以上、好ましくは、５００Ｈｚ以上、例えば、１，０００Ｈｚのそのような最低調和振動数を有することが好ましい。さらにいくつかの実施形態は、１ｋＨｚを超える振動数、例えば、２ｋＨｚ以上、例えば、５ｋＨｚ以上、好ましくは、１０ｋＨｚ以上、例えば、２０ｋＨｚ以上の干渉計本体に対する可動手段の最低調和振動数を有する。
【００２３】
本発明のいくつかの実施形態では、ベンダの移動は、単一圧電ベンダによってもたらされることが好ましい。これらの実装のいくつかでは、円盤ベンダを使用することが好ましい。これは、特に、移動の平行特性が良好であって、可動手段の平行移動からの僅かな逸脱として定義される場合であって、例えば、可動手段の最大変位に対する光学素子の傾斜として定義され、例えば、良好度が、ｍｒａｄ（ミリラジアン）の傾斜として表される。良好な平行特性は、好ましくは、０．２ｍｒａｄ以下、例えば、０．１、０．０５、または０．０１ｍｒａｄ以下である。さらに他の等しく好ましい実施形態では、平行移動からの逸脱は、０．２ｍｒａｄを超える、例えば、０．４ｍｒａｄ、または０．８ｍｒａｄ、あるいはさらにｌ．０ｍｒａｄを超える。多くの実施形態では、平行特性の要件は、測定される光の波長および／または測定されたインターフェログラムから情報を抽出するために使用される方法に依存する。典型的には、光の波長と平行移動の良好度との間に正相関が存在する。
【００２４】
他の実施形態では、良好な平行特性を保証するために、２つ以上の圧電ベンダを使用することが好ましい。２つ以上の別個のベンダを使用する本発明の実施形態では、これらのベンダの配列は、ベンダの固有の角度傾斜を実質的に排除することが好ましい。
【００２５】
２つのベンダが使用される本発明のいくつかの実施形態では、ベンダは、固定点および可移動点が、例えば、線上で、実質的に一直線であるように配列される。いくつかの実施形態では、２つのベンダの可移動点は、２つの固定点の中心に近接して配置される一方、他の実施形態では、固定点は、互いに接近し、可移動点は、ベンダ配列の極端に配置される一方、さらに他の実施形態では、ベンダは、同一配向に配列され、ベンダの一方は、極端に配置されたその固定点を有し、他方のベンダは、ベンダ配列の極端に配置されるその可移動点を有する（さらなる説明については、実施例１および図１参照）。これらの異なる配列は、発明の開示において、２つの可移動点間の異なる距離を伴う配列を表し、２つのベンダのストローク長の差異によって生じる、ベンダ配列の線に沿った傾斜度を考慮する場合、着目に値する。２つのベンダが使用される本発明の他の実施形態では、ベンダは、固定点および可移動点が、実質的に一直線ではないように配列される。これは、４つの点が四角形または矩形を形成し、好ましくは、２つの固定点は、矩形の四角形の対角線上にある、一特定の実施形態に示される。
【００２６】
３つのベンダが使用される本発明の実施形態では、ベンダの可移動点は、実質的にある線上の全３つではないように配列されることが好ましい。そのような実施形態では、可移動点は、三角形、好ましくは、短辺対長辺の比率が１：１乃至１：１０である類似長の辺を伴う三角形を形成するように配列されることが好ましい。実質的に等しい辺を伴う三角形配列の好ましい特性の１つは、ベンダ間のストローク長の差異から傾斜を縮小させることである。ベンダ等の３つの干渉計アクチュエータの配列に関する議論は、実施例２および図２を参照されたい。
【００２７】
多くの場合、干渉計の可動手段の移動のために使用される圧電ベンダの配列は、多くの場合、移動、例えば、平行移動の性質に実質的に正の影響を有するため、対称または回転対称形態、例えば、円盤、または三角形、あるいは略多角形を有することが好ましい。一般に、２つ以上のベンダの配列を考慮する場合、多くの場合、本発明の好ましい実施形態は、別個のベンダ要素として各ベンダを表すセグメント化されたベンダを形成する同一基板材料上に、ベンダ配列を含む。好ましくは、そのようなセグメント化されたベンダは、圧電ベンダの生成のために従来使用されるように生成される。そのようなセグメント化された圧電ベンダの多くの場合好ましい特性の１つは、多くの場合、ストロークの方向以外の方向における力に対する機械的安定性が、ストロークの方向におけるベンダの固有の機械的安定性に対して実質的であるような、いくつかの方向における衝撃および／または振動に対するその固有の機械的安定性である。
【００２８】
本発明のいくつかの好ましい実施形態は、ベンダ配列の全体ストローク長を増加させる目的のため、干渉計の可動手段の移動のために直列の２つ以上のベンダまたはベンダ配列を使用する。そのような直列の２つ以上のベンダはそれぞれ、配列内の一式の別個のベンダから成ることが可能であって、好ましくは、ベンダ配列は、移動の平行性を実質的に改善する、および／または配列の機械的安定性を向上させる。これらの実施形態の多くは、少なくとも１つのセグメント化されたベンダを含む。直列のベンダまたはベンダ配列は、形態あるいは機能において等しくある必要はない。好ましくは、直列のベンダまたはベンダ配列のアセンブリのストローク長は、別個のベンダまたはベンダ配列のストローク長の合計と実質的に等しい。
【００２９】
本発明のいくつかの好ましい実施形態は、可動手段の機械的安定性、例えば、環境からの振動に対する抵抗を増加さえる目的のため、干渉計の可動手段の移動のために並列の２つ以上のベンダまたはベンダ配列を使用する。そのような並列の２つ以上のベンダはそれぞれ、配列内の一式の別個のベンダから成ることが可能であって、好ましくは、ベンダ配列は、移動の平行性を実質的に改善する、および／または配列の機械的安定性を向上させる。これらの実施形態の多くは、少なくとも１つのセグメント化されたベンダを含む。好ましくは、少なくとも２つのベンダは、可動手段の傾斜または回転を生じさせる力等の外部力に対する感度を低減するように、可動手段に着設される。さらに好ましくは、少なくとも２つのベンダは、ベンダのストロークの方向に実質的に分離される点における取着等、可動手段の平行移動からの逸脱を低減するように、可動手段に着設される。
【００３０】
直線アクチュエータは、多くの場合、移動の際の傾斜に対する良好な安定性を示すが、干渉計アクチュエータとして直線アクチュエータを備える本発明のいくつかの好ましい実施形態は、配列内の２つ以上の別個の直線アクチュエータを使用し、２つ以上のそのようなアクチュエータは、可動手段の移動に寄与し、好ましくは、２つ以上の直線アクチュエータの使用の効果として、可動手段の傾斜に対する安定性が改善される。好ましくは、改善された安定性は、少なくとも２つのアクチュエータを別個に操作することによって得られる。
【００３１】
本発明の文脈では、可動手段は、干渉計筐体を有する配列内の干渉計の１つ以上の部品を指し、干渉計筐体に対して移動可能であることによって、可動手段の移動は、干渉計を通過する光の変調を生じさせる。
【００３２】
干渉計の可動手段は、本発明のいくつかの好ましい実施形態では、ミラーであって、好ましくは、ミラーの反射表面と垂直な方向に、例えば、実質的に入射光の方向に移動する。本発明の他の等しく好ましい方法では、干渉計の可動手段は、ビームスプリッタ、例えば、入射光の実質的部分を透過させる部分反射器であって、好ましくは、透過と反射される光の比率は、約１／１である。
【００３３】
いくつかの実施形態では、干渉計は、１つの可動手段のみを含有するが、他の等しく好ましい実施形態では、干渉計は、２つ以上の可動手段を含有し、その場合、２つの可動手段は、例えば、２つのミラー等の同一種類であり得、またはミラーおよびビームスプリッタ等の異なる種類である得る。
【００３４】
可動手段の移動のために、２つ以上のベンダベンダ要素を使用するための本発明の好ましい実施形態の１つは、少なくとも２つのベンダ要素に異なる電気力を印加するステップを含む（電気力とは、電圧を指し、典型的には、経時的に変化し、したがって、移動を生じさせる）。異なる電気力を印加する目的は、好ましくは、典型的には、移動の平行性に対し、干渉計の可動手段の移動の性能を改善することである。これは、２つ以上のベンダが、作動、例えば、電気力に対し異なる応答を有する場合、着目に値し得る。２つ以上のベンダに別個の力を印加することによって、ベンダの異なる特性、例えば、作動に対する応答が制御可能であって、好ましくは、別個の電気力の特性は、ベンダの平行移動が得られるように規定される。本発明の別の等しく好ましい実施形態は、少なくとも２つの別個の圧電ベンダに電気力を印加するステップを含み、好ましくは、圧電ベンダは、縁あるいはベンダの固定および／または可動縁の接線が実質的に平行ではないように配列される。２つ以上の圧電ベンダに印加される電気力は等しく、好ましくは、２つ以上の圧電ベンダの少なくとも１つに印加される電気力は、別の電気力と異なり、好ましくは、電気力の差異は、全可動縁または可動縁の接線と等しいあるいは実質的に等しい移動をもたらす。電気力のそのような印加の多くの場合の好ましい効果の例示として、例えば、ベンダの一方の面が、所与の条件下において、別の面よりも高速に移動する場合、可動手段を傾斜させ、次いで、このような条件下において、この面により少ない力が印加され、したがって、全／両面を実質的に等しい速度で移動させ、したがって、平行に移動する。
【００３５】
マイケルソン干渉計等の干渉計内に干渉を発生させるための圧電ベンダの使用は、いくつかの利点を提供する。利点の１つは、２つのミラーを圧電ベンダに着設可能なことである。第１に、ミラーは、移動システムの同一面に着設可能であるが、第２に、移動システムの両面にミラーを有することも可能である。圧電ベンダを実行可能にするその特性の１つは、移動軸に沿ったシステムの比較的薄い厚さである。これらのミラーは、移動および傾斜に対し、同一態様で進行するであろう。そのようなシステムは、両面に同一種類または異なる種類を使用する、平坦ミラーおよびキューブコーナーミラー等のミラーの両方を利用可能である。対向面上にミラーを使用することによって、移動システムの同一線形移動、例えば、ストローク長を使用して、より大きな光路差（ＯＰＤ）を生成することが可能である。本特徴の実装の１つは、同一であるが、対向面上にミラーを有する移動手段から干渉計の両アーム内で光を反射させることである。これは、典型的には、例えば、マイケルソン干渉計における典型的実装である、アームの１つ内でのみ光を反射させるものと比較して、２倍のＯＰＤを発生させるであろう。
【００３６】
２つのミラーの特徴の使用の１つは、位置判断のためのミラー（多くの場合、レーザ、レーザダイオード、またはＬＥＤ等の単色光）の１つを使用することによって、位置判断または制御を実行する一方、他のミラーは、従来の態様で使用されることである。そのような配列の利点の１つは、干渉計の光学システムは、変調される光に対して、システムを配置するための手段を収容する必要がないことである。
【００３７】
同一移動システム上で２つのミラーを使用する別の実装は、単一移動システムを使用する二光束分光光度計を実装可能なことである。これは、典型的には、同一移動手段を共有する２つの事実上等しい干渉計に光源からの光を指向することによって実装され、干渉計の一方内の光は、対象試料と相互作用する一方、他方の干渉計内の光は、背景条件を表すであろう。本特徴は、一般的に、最先端のフーリエ変換分光光度計以外の分光法で使用され、試料および試料背景の同時測定を可能にし、多くの場合、分光光度計の安定性および感度を改善する。
【００３８】
さらに、同一移動システム上の２つのミラーの使用は、同時に、別個のスペクトル分析の実行を可能にする。例えば、中赤外線および近赤外線等の異なるスペクトル領域を同時に測定可能である。これは、移動システムに対する要件を実質的に増加させることなく、計器の分析能力を大幅に拡張する。
【００３９】
本発明のいくつかの好ましい実施形態を介して、例えば、マイケルソンまたはファブリペロー干渉計において、１つ以上の圧電アクチュエータ、例えば、圧電ベンダによってもたらされる約１００μｍ以上、例えば、２００μｍ以上、またはさらに４００μｍ以上、例えば、８００μｍ以上の光路差（ＯＰＤ）の規模を容易にする一方、１００Ｈｚ未満から１，０００Ｈｚを超える範囲の卓越振動数の線形および回転力に対し、機械的安定性を維持し、本発明のいくつかの実施形態は、１，０００Ｈｚを超える、例えば、２，０００Ｈｚ以上、さらに１０，０００Ｈｚ以上の卓越振動数の線形および回転力に対し、機械的安定性を維持する、干渉計を構築することが可能であることが見出されている。これらの卓越振動数範囲を超えて、いくつかの好ましい実施形態は、０．１ｇを超える、例えば、０．２ｇ以上、例えば、０．３ｇ以上の加速度レベルに対しい、良好またはさらに優れた抵抗を示し、さらにある実施形態は、０．５ｇ以上の加速度に耐え得る。これらの条件下、干渉計の可動手段は、１００ｎｍの距離内、例えば、５０ｎｍ以内、またはさらに短い距離内、例えば、２０ｎｍ、１０ｎｍ、またはさらに５ｎｍにおいて、干渉計の残部に対する安定位置に維持させ、安定位置とは、例えば、可動手段が静止状態である静的位置と、例えば、可動手段の意図的移動の際の位置である動的位置の精度の両方のことである。同様に、干渉計の可動手段は、干渉計の残部に対する整列を維持可能であることによって、角偏向は、１ミリラジアン（ｍｒａｄ）未満、例えば、０．５ｍｒａｄ以下、例えば、０．２ｍｒａｄ以下、さらに０．１ｍｒａｄ未満、例えば、０．０５ｍｒａｄ、０．０２ｍｒａｄ、または０．０１ｍｒａｄ未満である。
【００４０】
本発明の好ましい実施形態の多くにおいて、干渉計アクチュエータが操作され、例えば、電圧または電流等の電気信号を使用して、駆動される。多くのそのような実施形態では、デジタル／アナログコンバータ（ＤＡＣ）を使用して、そのような電気信号を発生させることが好ましく、好ましくは、ＤＡＣは、実質的高分解能、例えば、１６ビット、好ましくは、さらに１６ビットを超える、例えば、２０ビット、またはさらに２４ビットを伴う。好ましい分解能は、目的の用途に従って判断される。
【００４１】
本発明のいくつかの実施形態の好ましい特性の１つは、数回または長時間にかけて、同一移動をもたらす能力である。本特性の効果は、移動のパターンを判断可能なことであって、２つ以上の干渉計アクチュエータは、別個に制御され、そのようなパターンの結果、干渉計の可動手段の平行移動が改善され、例えば、傾斜が低減される。したがって、移動のパターンを規定し、続いて、パターンにいかなるまたは実質的にいかなる修正も伴わずに、移動特性を実質的に低下させることなく、本パターンを繰り返すことが可能である。そのような特性は、そのような手段がそのような移動パターンの初期判断にのみ必要とされる程度にまで、傾斜またはさらに配置等、移動特性の判断のためのリアルタイム手段の必要性を実質的に低減する。
【００４２】
本発明の実施形態は、多くの場合、試料の化学的および／または物理的特性の定量的および／または定性的分析のための機器の実装において好ましく、そのような機器は、スペクトル分析、例えば、スペクトル特性の判断、化学成分の識別、試料内の化学成分量の判断、試料の物理的特性の判断等の方法を容易にする。本発明のいくつかの実施形態は、例えば、得られるスペクトル分解能がスペクトル特徴の一般的分解能よりも低い、または非常に低い、低分解能分光法の実装において好ましい。本発明の実施形態は、マイケルソン干渉計またはファブリペロー干渉計等の干渉分光光度計の実装において好ましい。本発明のいくつかの実施形態の機械的特性は、振動および衝撃等の激しい機械的影響に耐え得る干渉計の構築を可能にする。したがって、好ましい実施形態は、携帯型干渉計、あるいは車、船、飛行機、およびヘリコプター等の車両内での使用のために意図された干渉計等の用途のために意図された干渉計を含む。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】図１は、２つの干渉計アクチュエータの配列を示す。
【図２】図２は、３つの干渉計アクチュエータの配列を示す。
【図３】図３は、圧電円盤ベンダおよびセグメント化された圧電ベンダを示す。
【図４】図４は、直列に配列され、組み合わせられた移動をもたらす、圧電ベンダを示す。
【図５】図５は、並列に配列され、安定平行移動をもたらす、圧電ベンダを示す。
【図６Ａ】図６は、傾斜制御の目的のために、別個の干渉計アクチュエータを制御する効果を示す。
【図６Ｂ】図６は、傾斜制御の目的のために、別個の干渉計アクチュエータを制御する効果を示す。
【図６Ｃ】図６は、傾斜制御の目的のために、別個の干渉計アクチュエータを制御する効果を示す。
【図６Ｄ】図６は、傾斜制御の目的のために、別個の干渉計アクチュエータを制御する効果を示す。
【図７】図７は、二重ミラーに基づく、マイケルソン干渉計を示す。
【図８】図８は、可動ビームスプリッタに基づく、マイケルソン干渉計を示す。
【発明を実施するための形態】
【００４４】
本発明は、干渉計の本体に対する干渉計の可動手段の移動のための方法およびシステムに関する。実質的に別個に操作可能な少なくとも２つの干渉計アクチュエータは、起動されると、可動手段を移動させることが可能であるように配列される。干渉計アクチュエータは、それらを屈曲させる電場を印加することによって起動され、屈曲によって前記可動手段を前記干渉計本体に対して移動させる。
【００４５】
本発明のいくつかの好ましい実施形態では、干渉計アクチュエータの数は２である。これは、屈曲によって干渉計の固定点に対する移動点の角度傾斜が生じる場合、および／または高強度の干渉計アクチュエータが所望の特性である時には、多くの場合、アクチュエータの移動点の傾斜を安定化する目的のために好ましい。好ましくは、実質的に別個に操作可能な少なくとも２つの干渉計アクチュエータは、圧電アクチュエータであり、好ましくは、圧電ベンダであり、好ましくは、二重層ベンダである。他の等しく本発明の好ましい実施形態では、１つ以上のそのような干渉計アクチュエータは、直線アクチュエータである。
【００４６】
さらに、他の等しく本発明の好ましい実施形態では、干渉計アクチュエータの数は、３である。干渉計の可動手段の移動のための３つのアクチュエータの使用は、典型的には、可動手段の僅かな傾斜および／または高強度の干渉計アクチュエータが所望の特性である条件下において好ましい。好ましくは、１つ以上のそのような干渉計アクチュエータは、圧電アクチュエータであり、好ましくは、圧電ベンダである。他の等しく本発明の好ましい実施形態では、１つ以上のそのような干渉計アクチュエータは、直線アクチュエータである。
【００４７】
２つ以上の干渉計アクチュエータを使用して移動をもたらす際に、多くの場合、干渉計アクチュエータは、同一方向への実質的な同時移動を含み、実質的に同一態様で操作されることが好ましく、アクチュエータのストロークによって、共通点の移動をもたらす場合、その移動、例えば、ストローク長は、実質的に同一の長さであるはずである。これらの実施形態のいくつかでは、例えば、各アクチュエータのより等しい移動を生じさせる場合、２つ以上の干渉計アクチュエータは、設計および構造において、実質的に等しいことが好ましい。さらに、好ましくは、干渉計アクチュエータが、圧電ベンダ等のベンダであって、アクチュエータの最長寸法と実質的に非平行方向への移動を生じさせる、これらの実施形態のいくつかでは、任意の他の干渉計アクチュエータに対してある角度にあるように、ベンダを配列することが好ましく、そのような配列は、概して、より平行な組み合わせられた干渉計の可動手段の移動をもたらすため、好ましくは、隣接する干渉計アクチュエータ間の角度は、実質的に等しい（これらの角度は、アクチュエータの最長寸法間の角度を指す）。
【００４８】
２つ以上の干渉計アクチュエータを使用するいくつかの実施形態では、傾斜等の移動を制御する目的のために、別個に制御される干渉計アクチュエータは、好ましくは、少なくとも２５％以上、例えば、５０％以上の可動手段の平行移動に実質的に寄与することが好ましい。さらに、多くの好ましい実施形態では、可動手段の平行移動は、別個に制御される干渉計アクチュエータを使用して全体的にもたらされる。他の実施形態では、そのような干渉計アクチュエータは、最大３０％の平行移動、例えば、１５％以下、好ましくは、１０％以下に寄与することが好ましい。それにもかかわらず、本発明のいくつかの好ましい実施形態は、傾斜等の移動を制御するための目的のために、別個に制御される干渉計アクチュエータを含み、干渉計の可動手段の平行移動に実質的に寄与しない。これらの好ましい実施形態の多くは、可動手段の平行移動にのみ実質的に寄与する１つ以上の干渉計アクチュエータをさらに含み、好ましくは、そのようなアクチュエータは、干渉計の可動手段の平行移動、例えば、位置を制御する目的のためにのみ実質的に制御される。好ましくは、１つ以上のそのような干渉計アクチュエータは、圧電アクチュエータ、好ましくは、圧電ベンダである。他の等しく本発明の好ましい実施形態では、１つ以上のそのような干渉計アクチュエータは、直線アクチュエータである。
【００４９】
本発明の多くの好ましい実施形態は、同一のベンダ支持部上に２つ以上の圧電ベンダ要素、例えば、セグメント化されたベンダを備える、干渉計アクチュエータ等の圧電ベンダの使用を含む。好ましくは、そのようなセグメント化されたベンダのベンダ要素は、例えば、実質的に独立して各ベンダセグメントに印加される駆動電圧を制御することによって、実質的に独立して起動可能である。典型的には、ベンダセグメントのそのような別個の制御は、ベンダまたは干渉計の可動手段の傾斜を制御する目的を有する。これらの実施形態の多くにおいて、そのような構造は、多くの場合、より単純なアセンブリであるが、また、ベンダの機械的強度の改善を容易にすることが可能であるため、支持部は円形であることが好ましい。傾斜の改善された制御を得るために、実施形態の多くにおいて、そのようなベンダ上に３つの圧電セグメントを含むことが好ましい。多くの場合、ベンダ要素は、ベンダの固定点から移動点への方向が平行であるように整列されることが好ましく、特に、ベンダ要素が、半径方向に一直線である対称または回転対称一直線である場合である。さらに、そのようなセグメント化されたベンダは、好ましくは、サイズ、形状、および位置を考慮して、両面に実質的に同一構成において、圧電ベンダ要素を支持部の両面に適用する等、ベンダに対する要件を容易にするように生成されることが好ましい。さらに、概して、ベンダ支持部は、機械的安定性を改善するために、固定点から移動点への方向に沿って、実質的に固体であることが好ましい一方、多くの場合、ベンダ支持部はまた、セグメント化されることが好ましく、好ましくは、ベンダの固定点および／またはベンダの移動点は、固定接続される。例えば、円盤ベンダを考慮する場合、そのようなセグメント化され支持材料は、典型的には、その外側および／または内側リムに沿って固体であって、したがって、ベンダの半径と垂直な力に対し、機械的安定性を可能にする一方、支持部は、放射状に、ベンダ要素の境界に沿って、セグメント化される。
【００５０】
セグメント化されたベンダ支持部のセグメントは、ベンダ要素の平行または放射状境界によって画定され得る。
【００５１】
本発明による圧電ベンダまたはベンダ配列は、典型的には、直列に操作されるため、ベンダまたはベンダ要素のそれぞれのストローク長と実質的に等しいストローク長をもたらす（本文脈では、用語「直列」は、物理的配向を指すのではなく、アクチュエータの平行移動が、実質的に対向する方向にあるような、各アクチュエータの有効平行移動を指す）。本発明の多くの好ましい実施形態は、ベンダまたはベンダ配列等の２つ以上の干渉計アクチュエータの配列をさらに含み、有効ストローク長は、実質的に、ベンダまたはベンダ配列等の少なくとも２つの干渉計アクチュエータのストローク長の和である。そのようなストローク長の増加は、好ましくは、干渉計の可動手段の移動の増加をもたらす。好ましくは、直列の２つ以上の干渉計アクチュエータのストローク長は、５０μｍより長く、例えば、ｌ００μｍ、より好ましくは、１００μｍより長く、例えば、２００μｍより長く、４００μｍより長く、ｌ，０００μｍより長く、例えば、２，０００μｍより長い。さらに、本発明の好ましい実施形態は、直列の圧電ベンダまたはベンダ配列等の直列の干渉計アクチュエータを含み、３，０００μｍを超える、例えば、５，０００μｍ以上、好ましくは、１０，０００以上、例えば、２０，０００μｍ以上の組み合わせられたストローク長をもたらし得る。
【００５２】
本発明のいくつかの好ましい実施形態は、可動手段の機械的安定性、例えば、環境からの振動に対する抵抗を増加する目的のために、干渉計の可動手段の移動のための並列の圧電ベンダまたはベンダ配列等の２つ以上の干渉計アクチュエータを使用する（本文脈では、用語「並列」は、物理的配列または配向を指すのではなく、アクチュエータの平行移動、例えば、長さおよび方向において実質的に等しい平行移動を指す）。そのような並列の２つ以上のベンダはそれぞれ、配列内の一式の別個のベンダから成り得、好ましくは、ベンダ配列は、実質的に、移動の平行性を改善し、および／または配列の機械的安定性を向上させる。これらの実施形態の多くは、少なくとも１つのセグメント化されたベンダを含む。好ましくは、少なくとも２つのベンダは、可動手段の傾斜または回転を生じさせるような力等、外部力に対する感度を低減するように、可動手段に着設される。さらに好ましくは、少なくとも２つのベンダは、ベンダのストロークの方向に実質的に分離される点における着設等、動手段の平行移動からの逸脱を低減するように、可動手段に着設される。
【００５３】
一実施形態では、本発明は、並列に配列された少なくとも２つのベンダを備え、これらのベンダの少なくとも１つは、少なくとも１つのセグメント化されたベンダ、好ましくは、少なくとも１つのセグメント化された円盤ベンダを備える。
【００５４】
本発明の別の実施形態では、少なくとも２つの干渉計アクチュエータに適用される作動は、時間が異なる。そのような異なる作動の結果、好ましくは、可動手段の平行移動における実質的改善をもたらす。
【００５５】
作動時間差は、干渉信号を監視することによって判断され得る。代替として、作動時間差は、所定の特性である、または少なくとも１つの以前に測定されたインターフェログラムの分析によって判断される。
【００５６】
さらに別の実施形態では、本発明は、セグメント化されたベンダの生成のための特徴を備える。
【００５７】
本発明の多くの好ましい実施形態では、干渉計の可動手段は、ミラーである。そのようなミラーは、典型的には、平面であるが、いくつかの等しく好ましい実施形態は、コーナーキューブミラー等の他の種類のミラーを含む。また、多くの好ましい実施形態は、可動手段として、ビームスプリッタを含む。ビームスプリッタの移動は、同時に、両アームの経路長に影響を及ぼすため、ビームスプリッタの移動は、得られる光路差（ＯＰＤ）の増加を提供し得る。さらに、ファブリペロー干渉計等の配列では、可動手段は、半透明ミラーであって、半透明ミラーの相対位置に依存する干渉をもたらす。
【００５８】
本発明の実施形態は、異なる速度またはサイクル時間で、干渉計の可動手段の移動を容易にし、そのような移動は、干渉計アクチュエータによってもたらされる。いくつかの実施形態は、毎秒１サイクルを超える、例えば、２サイクル以上、好ましくは、５サイクル以上、好ましくは、１５サイクル以上、好ましくは、５０サイクル以上、好ましくは、２００サイクル以上、好ましくは、毎秒１，０００以上のサイクルの走査速度を容易にする。同様に、本発明の実施形態は、毎秒０．１ｍｍ以上、例えば、０．５ｍｍ／秒以上、好ましくは、１．０ｍｍ／秒以上、好ましくは、２ｍｍ／秒以上、好ましくは、５ｍｍ／秒以上、好ましくは、１０ｍｍ／秒以上、好ましくは、５０ｍｍ／秒以上、好ましくは、１００ｍｍ／秒以上、例えば、２００ｍｍ／秒以上の速度の干渉計の可動手段の移動を容易にする。多くの好ましい実施形態は、移動の９０％以上において１％の速度差未満、好ましくは、０．２％の速度差未満によって特徴付けられる、実質的に一定速度の可動手段の移動を容易にする。他の等しく好ましい実施形態は、１０％以上の速度差、例えば、２０％以上の速度差、好ましくは、４０％以上の速度差、好ましくは、１００％以上の速度差、好ましくは、２００％以上の速度差によって特徴付けられる、実質的に可変速度の可動手段の移動を容易にする（速度差は、実質的最低速度対実質的最高速度の比率から判断される）。
【００５９】
本発明のある実施形態では、干渉計本体に対する可動手段の速度は一定である。
【００６０】
好ましい実施形態では、干渉計本体に対する可動手段の移動は、１０μｍ以上、好ましくは、５０μｍ以上、より好ましくは、１００μｍ以上、さらにより好ましくは、２００μｍ以上、例えば、４００μｍ以上、好ましくは、さらに６００μｍ以上である。
【００６１】
好ましい実施形態では、干渉計本体に対する可動手段の移動は、毎秒１移動以上、好ましくは、毎秒２移動以上、好ましくは、毎秒５移動以上、好ましくは、毎秒１５移動以上、好ましくは、毎秒５０移動以上、好ましくは、毎秒２００移動以上、好ましくは、毎秒１，０００移動以上の速度である。
【００６２】
本発明の多くの実施形態の好ましい特性は、干渉計本体に対する移動における干渉計アクチュエータの非常に高い調和振動数である。調和振動数は、ある程度までのアクチュエータの最大サイクル速度の測定単位であるが、また、機械的安定性、例えば、振動に対して影響を及ぼす最低振動数を定義する。いくつかの好ましい実施形態は、１００Ｈｚ以上、例えば、２００Ｈｚ以上、好ましくは、４００Ｈｚ以上、好ましくは、１，０００Ｈｚ以上、好ましくは、２，０００Ｈｚ以上、好ましくは、４，０００Ｈｚ以上のアクチュエータの調和振動数を有する。
【００６３】
本発明のいくつかの好ましい実施形態は、好ましくは、平行移動の要件を満たす程度まで、平行状の干渉計の可動手段の移動を保証する。他の等しく好ましい実施形態は、典型的には、平行移動に対する要件が、通常操作されるベンダの固有の平行挙動よりも高い場合の実施形態、または長時間性能が、初期性能からの逸脱を示すことが予測可能である実施形態において、２つ以上の別個のベンダまたはベンダ要素を能動的に制御することによって、平行移動を保証する。２つ以上、好ましくは、３つの別個のベンダまたはベンダ要素の能動的制御は、各ベンダまたはベンダ要素の別個の制御信号を判断することによって実行され、実質的に、干渉計アクチュエータに実質的平行移動を実行させる。そのような別個の制御信号の判断は、アクチュエータの以前の起動を介して収集された情報に基づく、またはアクチュエータの起動の際に収集された情報に基づき得、いくつかの実施形態では、判断は、以前または現在収集された情報の両方に基づく。アクチュエータの起動が電圧を変更させることによってもたらされる実施形態では、別個の制御信号は、異なる電圧として、２つ以上の別個のベンダまたはベンダ要素に印加される。典型的には、移動の際の可動手段の傾斜に対する要件は、ミリラジアンの平行移動からの最大逸脱として表され、４ミリラジアン未満、好ましくは、２ミリラジアン未満、より好ましくは、１ミリラジアン未満、より好ましくは、０．５ミリラジアン未満、より好ましくは、０．１ミリラジアン未満である。
【００６４】
典型的には、ベンダの物理的サイズは、例えば、ストロークの方向と実質的に垂直な方向と比較して、ストロークの方向に小さい。本発明のいくつかの実施形態は、ベンダ、ベンダ配列、または直列ベンダを含み、可動手段は、アクチュエータの両面に着設され、すなわち、二重可動手段であって、好ましくは、可動手段は、同時かつ平行移動する。そのような可動手段は、好ましくは、ミラーである。
【００６５】
二重可動手段を含む本発明のいくつかの好ましい実施形態では、可動手段の１つ、例えば、ミラーは、干渉計の位置または移動判断のために意図された光の変調と関連して使用される。そのような光は、典型的には、実質的に単色光であって、変調されると、実質的に単純なインターフェログラムを表し、可動手段の位置の判断に使用される。このための二重可動手段の片面の使用は、典型的には、光学システム、試料光を変調する部分と、位置判断のために光を変調する部分との両方の実質的簡素化を可能にする。
【００６６】
他の等しく好ましい実施形態では、二重可動手段は、試料光と相互作用する。多くの場合、そのような実施形態は、例えば、同時にではあるが、反対の態様で、マイケルソン干渉計の２つのアームの経路長に影響を及ぼすことによって、増加したＯＰＤを含む。
【００６７】
本発明のさらに他の実施形態は、２つの別個の干渉計の一部として、二重可動手段を使用する。これらの実施形態は、規定部分を測定することによる連続態様で、または光が順に干渉計のそれぞれに指向される態様で、同一光源からの光を測定するように設定された干渉計を含む。そのようなシステムの利点は、試料および試料ブラインドを実質的に同時に測定する能力である。これは、分光法の分野において実証されているように、いくつかの利点を提供可能である。さらに、これらの実施形態のその他は、波長、配向（例えば、偏光）、または位相等、異なる光学特性の光を測定するように設定された干渉計を含む。典型的には、両干渉計からの光は、同時に、広い範囲の試料の光学特性の判断を可能にするように、実質的に同一、または好ましくは、類似試料と相互作用する。
【００６８】
干渉計アクチュエータのサイズは、必ずしも重大であるとは限らないが、多くの場合、本発明のいくつかの好ましい実施形態では、干渉計は、サイズが小さい一方、他の実施形態は、強固な機械的安定性を必要とする。可動手段の移動と平行方向における干渉計アクチュエータのサイズ、すなわたい、厚さは、多くの場合、例えば、圧電ベンダまたは円盤ベンダを考慮する際、着目に値し、厚さが小さい程、より大きなストローク長をもたらし得る。したがって、いくつかの好ましい実施形態は、厚さ４ｍｍ以下、好ましくは、２ｍｍ以下、好ましくは、１．５ｍｍ以下、より好ましくは、１ｍｍ以下のアクチュエータを含む。言い換えると、ストローク長と実質的に平行な方向における少なくとも１つの干渉計アクチュエータのサイズは、４ｍｍ以下、好ましくは、２ｍｍ以下、好ましくは、１．５ｍｍ以下、より好ましくは、１ｍｍ以下である。他の等しく好ましい実施形態では、例えば、厚さによって、圧電ベンダまたは円盤ベンダにより優れた機械的安定性をもたらす場合、相当な干渉計アクチュエータの厚さを有することは、着目に値する。そのような実施形態では、厚さ１ｍｍ以上、好ましくは、２ｍｍ以上、好ましくは、３ｍｍ以上、好ましくは、４ｍｍ以上である。
【００６９】
いくつかの実施形態では、干渉計アクチュエータの厚さは、０．５乃至４ｍｍの範囲、好ましくは、０．５乃至３ｍｍの範囲、好ましくは、０．７５乃至２ｍｍの範囲、好ましくは、０．７５乃至１．５ｍｍの範囲であることが好ましい。
【００７０】
同様に、例えば、圧電ベンダの長さまたは圧電円盤ベンダの直径等、アクチュエータのストローク長を実質的に画定する場合、ストロークの方向と垂直の方向、例えば、可動手段の移動の主要方向におけるアクチュエータのサイズは、着目に値する。したがって、本発明のいくつかの方法は、あるサイズ、例えば、３０ｍｍ以上、例えば、４０ｍｍ、６０ｍｍ、８０ｍｍ、またはさらに１００ｍｍを超える干渉計アクチュエータを好む。
【００７１】
本発明の他の好ましい実施形態では、例えば、干渉計のサイズが着目に値する場合、または例えば、干渉計アクチュエータの機械的安定性が改善あれる場合、干渉計アクチュエータの最長寸法を有することが好ましく、例えば、典型的には、可動手段の移動と垂直方向の長さは、中程度または小さい。そのような実施形態では、干渉計アクチュエータの長さは、１００ｍｍ以下、好ましくは、８０ｍｍ以下、好ましくは、６０ｍｍ以下、好ましくは、４０ｍｍ以下、好ましくは、３０ｍｍ以下であることが好ましい。ある実施形態では、例えば、干渉計のサイズが小さい場合、３０ｍｍ未満、例えば、２０ｍｍ以下、さらに１０ｍｍ以下の長さの干渉計アクチュエータを有することが好ましい。
【００７２】
反射光に実質的に垂直な方向における干渉計アクチュエータのサイズは、１００ｍｍ乃至２０ｍｍの範囲、好ましくは、８０ｍｍ乃至３０ｍｍの範囲、好ましくは、６０ｍｍ乃至４０ｍｍの範囲である、先行する請求項のいずれかによる方法。
【００７３】
多くの好ましい実施形態では、可動手段の移動と比較した厚さは、好ましくは、可動手段の線形平行移動の１％以上、好ましくは、可動手段の線形平行移動の２％を超え、より好ましくは、可動手段の線形平行移動の５％を超える。
【００７４】
概して、圧電ベンダを考慮する場合、長さおよび厚さの組み合わせは、干渉計の可動手段の機械的安定性およびストローク長を判断する。したがって、好ましい組み合わせを得る目的のために、上述のいくつかの組み合わせは好ましく、典型的には、用途に従って変動し得る。
【００７５】
同様に、干渉計アクチュエータの重量は、本発明のいくつかの好ましい実施形態において、着目に値する。典型的には、重量が小さい程、圧電ベンダまたはベンダ配列の機械的強度に対する要求は小さくなり、操作性能を改善し、典型的には、走査速度および移動の安定性を可能にする。したがって、これらの好ましい実施形態では、干渉計アクチュエータ、すなわち、圧電ベンダまたはベンダ配列の重量は、４０グラム未満、好ましくは、２０グラム未満、好ましくは、１０グラム未満、より好ましくは、５グラム未満である。
【００７６】
本発明による干渉計アクチュエータの好ましい特性の１つは、位置および傾斜安定性等の可動手段の移動の安定性である。位置安定性は、分析される光の波長の単位として測定され、本発明の多くの好ましい実施形態は、分析される光の波長の１０％以上、例えば、５％以上、好ましくは、２％以上、例えば、１％の位置安定性を有することを可能にする。さらに他の実施形態は、さらに優れた位置安定性、好ましくは、１％を超える、例えば、０．５％以上、好ましくは、０．１％以上を提供する。傾斜安定性は、可動手段の移動の際の可動手段の傾斜であって、その特性は、例えば、マイケルソン干渉計における変調の有効性に及ぼす影響を有する。傾斜安定性は、分析される光の波長の一部または干渉計を横断する光線の幅で測定され、本発明のいくつかの好ましい実施形態は、光線幅にわたって１波長以上、例えば、１／２波長以上、例えば、１／４波長以上、例えば、１／８波長以上の傾斜安定性を実現する。本発明の多くの好ましい実施形態は、将来の移動方法において使用されるために、過去に取得されたデータの分析に基づいて、移動方法を判断する方法を備える。本発明の好ましい実施形態の多くは、所定の移動方法が変更されるフィードバックとして意図される任意のリアルタイム情報を伴わずに、そのような移動安定性を維持可能であることによって特徴付けられるが、いくつかの実施形態は、好ましくは、移動安定性を改善および／または監視する目的のために、そのようなリアルタイムフィードバックを使用する。多くの好ましい実施形態では、そのような移動安定性は、干渉計による２分析以上、例えば、４分析以上、または１６分析以上、例えば、１２８分析以上、例えば、５１２分析の間、維持される。
【００７７】
干渉計アクチュエータの好ましいストローク長は、検討中の光の波長、化学的、および／または物理的特性等の目的とする用途および分光法によって判断される。本発明のいくつかの実施形態では、干渉計アクチュエータのストローク長は、０．５ｍｍ乃至５ｍｍの範囲であって、典型的には、高分解能分光法に基づく５，０００乃至１００，０００ｃｍ−１の高振動数、または中分解能分光法に基づく１，０００乃至１０，０００ｃｍ−１等の振動数、あるいは低分解能分光法に基づく１，０００ｃｍ−１未満の振動数の光を含む方法において好ましい。他の実施形態では、０．１ｍｍ乃至１ｍｍの範囲のストローク長が好ましく、典型的には、中分解能分光法に基づく２，０００乃至１００，０００ｃｍ−１等の振動数、または低分解能分光法に基づく５，０００ｃｍ−１未満の振動数の光を含む方法において好ましい。さらに他の実施形態では、５０μｍ乃至５００μｍのストローク長が好ましく、典型的には、中分解能分光法に基づく３，０００乃至１００，０００ｃｍ−１等の振動数、例えば、そのような低分解能分光法に基づく４，０００ｃｍ−１未満の振動数の光を含む方法において好ましい。本文脈では、分解能分光法の種類は、液体試料において観察されるような典型的スペクトル特徴の分解能に関する一般的用語であって、他の試料またはスペクトル特性は、異なる分類をもたらすであろう。
【００７８】
本発明の異なる実施形態は、種々の分光分析、典型的には、透過、放射、または吸収分光法の実装のために好ましい。本発明の実施形態が提供可能な好ましい分光法の実施例は、透過、反射、放射、減衰全反射、拡散反射、光音響、蛍光、リン光、化学発光、ラマン等、液体、固体、および気体試料の遠赤外、中赤外、近赤外、可視、ならびに紫外測定である。
可動手段の位置および／または傾斜が、少なくとも２つの別個の干渉計アクチュエータに移動の所定のパターンを適用することによって、制御可能であることは、本発明のいくつかの好ましい実施形態の特性である。好ましくは、所定の作動における可動手段の位置および／または傾斜は、アクチュエータの第１のストロークからアクチュエータの第２のストロークの所定の相対量未満で変動し、そのような相対量は、１％未満、例えば、０．１％以下、好ましくは、０．０１％以下、好ましくは、０．００１％以下である。位置を考慮する場合、そのような位置の変動は、好ましくは、１００ｎｍ未満、例えば、５０ｎｍ以下、好ましくは、２０ｎｍ以下、好ましくは、１０ｎｍ以下、好ましくは、５ｎｍ以下、好ましくは、１ｎｍ以下である。傾斜を考慮する場合、そのような傾斜の変動は、好ましくは、１００μｒａｄ未満、例えば、５０μｒａｄ以下、好ましくは、２０μｒａｄ以下、好ましくは、１０μｒａｄ以下、好ましくは、５μｒａｄ以下、好ましくは、１μｒａｄ以下である。アクチュエータの第１と第２のストロークとの間の経過時間は、約１ストローク時間以上、例えば、４ストローク時間以上、好ましくは、１０ストローク時間以上、好ましくは、１００ストローク時間以上、好ましくは、１，０００ストローク時間以上である。実施形態では、第１と第２のストロークとの間の経過時間は、約１分以上、例えば、４分以上、好ましくは、１０分以上、好ましくは、１，０００分以上である。他の実施形態では、第１と第２のストロークとの間の経過時間は、約１日以上、例えば、４日以上、好ましくは、１０日以上、好ましくは、１，０００日以上である。
【００７９】
本発明のいくつかの実施形態では、可動手段が動いている一方、干渉計による変調が、干渉信号の測定を通して判断される（例えば、走査干渉計）。他の等しく好ましい実施形態では、可動手段は、干渉信号の測定を通して、インターフェログラムの少なくとも一部の判断の際、実質的に静止状態である（例えば、ステップ走査干渉計）。
【００８０】
本発明のいくつかの実施形態は、画像分析の実装、好ましくは、紫外、可視、近赤外、中赤外、蛍光、ラマン画像分光法等の用途を含め、カラー撮像等のスペクトル分離を含む、画像分析のために好ましい。
【００８１】
好ましい実施形態では、本発明によるシステムは、実質的に別個に操作可能な少なくとも２つの干渉計アクチュエータを備える。これらの２つの干渉計アクチュエータは、少なくとも１つの圧電アクチュエータ、好ましくは、少なくとも１つの圧電ベンダ、好ましくは、二重層ベンダを備えてもよく、または２つの干渉計アクチュエータは、少なくとも１つの直線アクチュエータ、好ましくは、少なくとも１つの直線圧電アクチュエータ、好ましくは、少なくとも１つの圧電ベンダを備えてもよい。
【００８２】
本発明によるシステムの好ましい実施形態では、干渉計の少なくとも１つの可動手段の移動は、ベンダ配列内の少なくとも２つの圧電ベンダによって提供され、ベンダ配列内の少なくとも２つの圧電ベンダは、実質的に同一態様で操作される。
【００８３】
好ましくは、本発明によるシステムは、干渉計の本体に対する干渉計の少なくとも１つの可動手段の移動長が、ベンダ配列内の少なくとも１つの圧電ベンダのストローク長と実質的に等しいように、少なくとも１つの可動手段を移動させるための手段を備える。
【００８４】
好ましい実施形態では、本発明による干渉計アクチュエータは、同一のベンダ支持部の上に配列され、セグメント化されたベンダを形成し、好ましくは、別個のベンダ要素は、独立して起動可能である、少なくとも２つの圧電ベンダ要素を備える。
【００８５】
好ましい実施形態では、本発明による方法およびシステムは、実質的に別個に操作可能な３つの干渉計アクチュエータを備える。
【００８６】
また、本発明は、干渉計の可動手段の移動のための方法およびシステムに関し、
干渉計アクチュエータのそれぞれの第１の点を干渉計本体と固定配列状態に着設するステップと、
干渉計アクチュエータのそれぞれの第２の点を可動手段と固定配列状態に着設するステップであって、第２の点は、１つ以上の干渉計アクチュエータの起動に応じて、第１の点に対して移動させる、ステップと、
屈曲させる電場を印加することによって、干渉計アクチュエータを起動させるステップであって、屈曲によって、可動手段を干渉計本体に対して移動させる、ステップと
によって、１つ以上の干渉計アクチュエータ、好ましくは、干渉計アクチュエータを備える。
【００８７】
（実施例１）
（２つのアクチュエータの配列）
アクチュエータの性質によって、アクチュエータは、そのようなアクチュエータに着設される可動手段の傾斜を生じさせることが可能である。特に、単純圧電ベンダの場合、移動点は、その移動に伴って、固定点に対して傾斜し（例えば、角度ストローク）、典型的には、ベンダ配列内の２つのベンダを使用することが好ましい。これは、例えば、実質的に屈曲しない固定点と２つの移動点を接続することによって、固定点と移動点との間の傾斜を実質的に補償する。
【００８８】
２つのアクチュエータのそのような配列は、概略として、図１に示される（図の番号要素は、類似した外観の全要素を指すが、明確にするために、これらの要素の１つのみが参照されることに留意されたい）。図は、２つの別個のアクチュエータの３つの可能な実施形態を示し、１つは、実質的に直線ストロークを発生させるアクチュエータを備え、２つの実施形態は、実質的に角度ストロークを発生させるベンダを備える一方で、当然ながら、他の実施形態も等しく可能であって、典型的には、好ましい実施形態は、とりわけ、サイズおよび傾斜要件等の構造特性によって判断される。別個のアクチュエータは、典型的には、各アクチュエータの別個または実質的に別個の作動が可能であることによって特徴付けられる。
【００８９】
図１Ａは、ストロークが実質的に図面の平面上にある配列における２つの直線アクチュエータ（１０１）を示す。アクチュエータは、固定点（１０２）において干渉計に着設され、アクチュエータの移動点（１０３）は、可動手段に着設され、典型的には、固定具（１０４）と、ミラー（１０５）等の光学素子とを備える。
【００９０】
図１Ｂでは、２つのベンダ（１１１）は、対向する配向に直線的な態様で配列され、支持部と、活性圧電材料（活性材料の形態形状およびサイズは、機械的要件によって判断される）とを備え、固定点（１１２）において干渉計に着設され、移動点（１１３）において可動手段の固定具に着設される。可動手段は、典型的には、固定具（１１４）を備え、光学手段、例えば、ミラーが着設され（１１５）、図１Ｂおよび１Ｃにおける可動手段の移動は、図面の平面と実質的に垂直である。図１Ｃでは、ベンダは、直線配列ではないように配列されるが、ベンダの固定点は、他のベンダの移動点に近接して位置する。
【００９１】
図１Ｂに対して、図１Ｃは、水平方向にかなり短い一方で、垂直方向に若干長い設計を示す。図１Ｂにおける配列の全体サイズは直線状である一方で、図１Ｃにおける配列は四角形に近似する。そのような２つの設計は、そのような一般的サイズの特徴が適切である実施形態に好適である。
【００９２】
図１Ｂおよび１Ｃにおける２つの設計の別の差異は、可動手段の固定具の長さによって示される。図１Ｃでは、その長さは、図１Ｂの長さの約２倍である。両ベンダが、等しい態様で動作する場合、これは、何の有意な効果も有さないが、２つのベンダのストローク長に実質的差異がある場合、固定具の端部のストローク長の同一差異は、角度傾斜が少ないため、可動手段の傾斜は、図１Ｃに示される構造では小さくなると予測されるであろう。これに加え、本発明のいくつかの実施形態は、実質的に別個に２つのベンダを駆動し、したがって、２つの圧電ベンダのストローク長の差異を少なくとも部分的に補償可能にする。
【００９３】
本実施例は、２つのアクチュエータを配列することによって、異なる特性が得られ得ることを示し、実際、これら、ならびに多くの他の配列は、本発明の好ましい実施形態の特徴である。
【００９４】
（実施例２）
（３つのアクチュエータの配列）
本発明によるいくつかのアクチュエータ配列は、可動手段の角度傾斜の実質的排除を可能にする。例えば、２つの点着設では、可動手段は、２つの点の間の線の周囲で傾斜することが可能であるため、平面における傾斜の補正は、概して、３つの点着設を必要とする。図２は、３つの圧電ベンダの２つの配列を示し、干渉計の可動手段の完全傾斜制御を可能にする一方で、ミラーを前後に移動させる。図の異なる要素の説明については、図１の説明を参照されたい。
【００９５】
図２Ａは、並列配列における３つの圧電ベンダを示す。そのような配列は、矩形設計等、本発明のいくつかの実施形態において好ましい特徴を表す。矩形設計は、多くの場合、機械的部分の生成を簡素化し、他の矩形設計に適合するので、好ましい。また、例えば、所与のベンダ配列のストローク長を増加させるために、幅のよりもかなり長いベンダを含むことによって、正方形ではない設計を実装することも可能である。
【００９６】
図２Ａに提示される設計は、２つの潜在的欠点を有するが、図２Ｂにおける設計によって、解決策が提供される。第１に、例えば、実質的に正方形ではない設計では、３つの移動点間の角度は、必ずしも等しいわけではなく、第２に、ベンダの固定点と移動点との間の角度傾斜によって生じる屈曲力は、ベンダ配列内で必ずしも対称ではなく、そのような屈曲力は、２つのベンダの移動点が、１つの移動点のみが位置する他の面と比較される面において、実質的に２倍である。
【００９７】
これを実質的に排除する３つの圧電ベンダの配列は、図２Ｂに提示される。本配列では、３つのベンダは、それらの間において等しい角度で配列され、等しい辺を有する三角形（例えば、回転対称）を形成する。可動手段がそのようなベンダ配列の中心に配置される場合、可移動点における角度および力は、あらゆる場合において等しい。
【００９８】
これに加え、本発明のいくつかの実施形態は、実質的に別個に３つのベンダを駆動し、したがって、３つの圧電ベンダのストローク長の差異を少なくとも部分的に補償可能にする。
【００９９】
本実施例から、３つの直線アクチュエータの配列は、上述のベンダのものに類似するように配列可能であることが当業者には明白となるが、当然ながら、そのようなアクチュエータのストロークは、実質的に直線であるため、そのようなアクチュエータは、図面の平面と垂直な可動手段の移動を実質的にもたらすように配置されるという明白な差異が伴う。実際、直線アクチュエータの多くの配列は、本発明のいくつかの実施形態において好ましい。
【０１００】
本実施例は、３つの圧電ベンダを配列することによって、異なる特性が得られ得ることを示し、実際、これら、ならびに多くの他の配列は、本発明の好ましい実施形態の特徴である。
【０１０１】
（実施例３）
（円盤ベンダ）
多くの場合、本発明において好ましいベンダ設計は、円盤ベンダである。円盤ベンダは、干渉法に有利ないくつかの利点を有するが、主に、その機械的強度および安定性は、着目に値する。円盤ベンダの４つの可能な設計が、図３に提示される。圧電ベンダの円盤は、圧電材料（３０２）の層が蒸着される支持材料（３０１）を備える。支持材料の外側リムは、ベンダの固定点を形成し、円盤のリムは、典型的には、干渉計本体にしっかりと固定される一方で、円盤（３０３）の中心は、可動手段が着設されるベンダの移動点である。典型的には、圧電材料は、アクチュエータの両面に蒸着されるが、明確にするために、円盤の片面の蒸着のみ示される。これは、円盤ベンダの典型的配列であるため、干渉計本体および可動手段が対向する態様で取設される本発明の好ましい実施形態が存在するが、明確にするために、前者の着設方法のみ検討される。
【０１０２】
図３Ａは、円盤ベンダを示し、圧電材料は円盤上に均一に分布する。本構成では、円盤の中心は、円盤の平面上を行き来し、着設される可動手段を移動させる。本構成は、主に、円盤の平面にもたらされる力だけでなく、また、円盤の平面と垂直、例えば、ベンダのストロークの方向における力に対する抵抗に対しても、良好な機械的特性を提供する。
【０１０３】
一方、円盤の作製または搭載における機械的不完全性および／または長時間の操作による摩耗は、円盤の表面に可変の屈曲特性を示させ得る。そのような欠損は、潜在的に、円盤ベンダの移動点に着設された任意の可動手段の角度傾斜を生じさせ得る。したがって、図３Ｂは、単一のベンダ支持材料上の圧電ベンダセグメントの配列を提示し、例えば、セグメント化されたベンダは、本発明の多くの実施形態において好ましい。図３Ｂでは、３つのベンダセグメントを備えるセグメント化されたベンダが提示され、ベンダセグメントは、円盤の表面に沿って、均一に分布する。選択的かつ一般的には、ベンダセグメントは、実質的に等しい構成における円盤の両面に提示される。
【０１０４】
図３Ｂに示されるものに類似するセグメント化されたベンダの実装の１つは、図３Ｃに示され、ベンダ支持部もまた、セグメント化される付加的な特徴（３０４）を有する。ベンダ支持部の本セグメント化は、ベンダのストローク長の増加をもたらすことが可能である一方、ベンダの機械的強度を補償するであろう。
【０１０５】
前述の実装はすべて、ベンダ要素が放射状に配向された状態にある。他の実施形態は、特に、ベンダのストローク長の増加を得ることが重要である場合、この配向から逸脱する。そのような設計の１つが、図３Ｄに示され、ベンダ要素は、放射状ではなく、螺旋状に整列される。これは、ベンダの有効長、したがって、潜在的に、そのストローク長を増加させ、明らかに、セグメント化されたベンダの機械的強度を低減する。
【０１０６】
好ましくは、３つ以上のベンダセグメントは、例えば、異なる振幅の電気力を印加することによって、実質的に別個に操作可能である。このように、可動手段の角度傾斜が補償され、したがって、異なるベンダセグメントの屈曲特性を補償可能なように、セグメント化されたベンダ円盤を操作することが可能である。
【０１０７】
本実施例は、圧電円盤ベンダまたはセグメント化されたベンダを使用することによって、異なる特性が得られ得ることを示し、実際、これら、ならびに多くの他の関連構成は、本発明の好ましい実施形態の特徴である。
【０１０８】
（実施例４）
（直列ベンダ）
圧電ベンダは、典型的には、長さと比較して、厚さが非常に薄く、かつ比較的に重量が軽いため、本発明のいくつかの好ましい実施形態は、干渉計の可動手段の移動が、実質的に、直列の別個のベンダの組み合わせられたストローク長であるように、直列に配列された２つ以上のベンダを含む。
【０１０９】
図４は、直列に配列される３つのベンダまたはベンダ配列（４０１）を示す。第１のベンダの固定点（４０１ａ）は、干渉計本体（４０２）に着設されるが、その移動点は、第２のベンダの移動点（４０１ｂ）にさらに着設される手段（４０３）に着設され、したがって、第１および第２のベンダの移動点はともに移動させられる。第２および第３のベンダの固定点（４０１ｃ）はともに結合され、したがって、着設手段（４０４）によって、互いに相対的に固定される。最後に、干渉計の可動手段（４０６）は、着設手段（４０５）によって、第３のベンダの移動点に着設される。図４Ａは、受動位置における直列のベンダの図である。
【０１１０】
可動手段の移動は、図４Ｂに示される。一方向への移動を示すが、図は、概略であって、例示目的だけのものであるため、他の方向への移動も等しく可能である設計を作製することも可能であることは明白である。移動は、第１に、第１のベンダの移動点の移動によってもたらされ、同一方向への第２および第３のベンダの両方の移動を生じさせる。第２に、第２および第３のベンダの固定点は、互いに相対的に移動しないため、第３のベンダは、第２のベンダの移動によって、さらに移動する。第３に、可動手段は、第３のベンダの固定点に対して移動し、したがって、ベンダの全部の組み合わせられた移動である干渉計本体に対する可動手段の移動を生じさせる。
【０１１１】
上述から、類似の配列方法を使用することによって、異なる数の圧電ベンダを直列に組み合わせることが可能であることが明白である。そのような直列配列の使用に好適なベンダは、可動手段の移動の長さおよび設計の機械的安定性に対する要件等、目的とする用途によって判断されるように、異なる種類および特性であり得る。
【０１１２】
直列に配列されるベンダの移動の異なる特性の組み合わせは、可動手段の移動に反映されるため、ストローク長に加え、移動の際の可動手段の角度傾斜の増加等の効果が期待され得る。本発明の異なる実施形態は、例えば、そのような影響を実質的に相殺するように、ベンダと既知の特性とを組み合わせることによって、および／または１つ以上のベンダ配列あるいはセグメント化されたベンダを含み、例えば、別個のベンダまたはベンダセグメントへの別個の電気力の印加によって、傾斜の能動的補償を可能にすることによって、望ましくない影響、例えば、傾斜の低減または排除のための種々の方法を実装する。
【０１１３】
本実施例は、直列の圧電円盤ベンダまたはセグメント化されたベンダを使用することによって、干渉計の可動手段の移動長の増加が得られ得ることを示し、実際、これら、ならびに多くの他の関連構成は、本発明の好ましい実施形態の特徴である。
【０１１４】
（実施例５）
（並列ベンダ）
圧電ベンダは、典型的には、ストロークの方向と垂直な方向におけるサイズが、ストロークの方向におけるサイズよりも非常に大きい形態である。本特性は、概して、例えば、円形の円盤ベンダの中心への可動ミラー等の任意の機械的着設の回転を生じさせる力に対する機械的安定性を考慮する場合に理想的な構造ではない。可動手段の回転に対する機械的安定性を改善し、また、圧電材料の不完全応答および／または圧電ベンダの搭載によって生じる傾斜を実質的に低減するために、本発明のいくつかの好ましい実施形態は、並列の２つ以上の圧電ベンダを含む。
【０１１５】
図５は、並列配列の２つの円盤ベンダ（５０１ａおよび５０１ｂ）を示し、ベンダの固定点は、干渉計筐体（５０２）に着設され、両ベンダの移動点は、ミラー（５０４）が着設される可動手段（５０３）に着設される。図５Ａは、弛緩位置におけるベンダを示す一方、図５Ｂは、両ベンダに印加される力によって、同一方向に屈曲させ、したがって、可動手段と、例えば、ミラーとをストローク方向に移動させる位置におけるベンダを示す。可動手段が両圧電ベンダと接触すると、回転に対する抵抗または傾斜移動を増加させることが可能であることが明白である。同様に、設計は、ベンダのいずれかにおける平行移動の欠如によって生じる可動手段の傾斜を低減することが可能であって、特性は、傾斜特性に従ってベンダを選択することによって、および／または任意の傾斜を低減または排除するようにベンダまたはベンダのセグメントを起動することによって、さらに改善され得る。
【０１１６】
本実施例は、並列の圧電円盤ベンダまたはセグメント化されたベンダを使用することによって、干渉計の可動手段の機械的安定性の増加が得られ得ることを示し、実際、これら、ならびに多くの他の関連構成は、本発明の好ましい実施形態の特徴である。
【０１１７】
（実施例６）
（傾斜補償）
図３Ｂに示されるように、セグメント化された圧電円盤ベンダを備える本発明の実施形態は、平行移動をもたらす可能性を実証する一方で、可動手段の傾斜を制御するために使用された。円盤ベンダは、厚さ約１ｍｍの支持材料を備え、両面の圧電材料を有する、それぞれ１ｍｍの空隙によって分離される円盤の約１２０°を網羅する４０ｍｍの円盤であった。円盤の最大ストローク長は、約＋／−１００μｍであった。
【０１１８】
最初に、図６Ａ（１２８ステップのサイクルにおいて、周期的に変化する作動電圧を示す）に示されるように、全セグメントにわたって、約＋／−８０％の電圧を等しく印加することによってベンダを操作した。これは、実質的な平面ミラーを備える可動手段の移動によってもたらされたため、可動手段の前後移動を表すサイクルの１２８個の位置において、撮像デバイス（ＣＣＤカメラ）によって可動手段のミラーのレーザ光線の反射を撮影した。撮影された画像のそれぞれから、ＣＣＤの画素の単位によって画像の光学重心を判断し、これらの値を角度情報に変換した。図６Ｂは、２つの垂直方向ＸおよびＹにおける１２８個の位置のそれぞれにおける傾斜のグラフを示す。グラフは、試験条件下において、可動手段が両方向に約＋／−２５０μｒａｄ（マイクロラジアン）傾斜することを示す。さらに、傾斜は、ホッケー用スティックに類似するパターンを示し、およそ方向Ｘ＝Ｙにおいて移動の半分の間の非常に直線の傾斜変化を伴う一方、移動の残り半分の間の傾斜は、Ｘ−Ｙグラフにおいて近似的な弧を形成する。これは、おそらく、セグメント化されたベンダが、６つの別個の圧電要素を備え、両面の要素が、ストロークの半分の間のみ実質的に能動的であるという事実によって生じるものであって、これらは、配列にかかわらず、別個の挙動を示す。
【０１１９】
可動手段の観察された傾斜に基づいて、別個の圧電要素を起動する方法が判断される。方法は、別個のベンダセグメントの傾斜応答の繰り返し測定に基づく。セグメント作動の繰り返し測定の結果は、図６Ｃに与えられ、図６Ａに示されるように、３つの別個のセグメントのそれぞれに対する等しい作動からの絶対偏差のグラフを示す。繰り返し測定の目標は、各点における平均作動が初期の同一作動と等しくなるように、作動を判断することであった。グラフは、最大１５％の付加的作動によって、セグメントの１つが一般的作動と同相で起動されることを示す。他のセグメントは、実質的に逆相において起動される。
【０１２０】
セグメントの別個の作動の典型的な結果は、図６Ｄに与えられる。図は、１２８個の位置ストロークにおける各点に対するＸおよびＹ方向における角度傾斜とともに、図６Ｂのものに類似するグラフを示する。図６Ｂが、約＋／−２５０μｒａｄの初期傾斜を示す場合、図６Ｄは、約＋／−２μｒａｄの傾斜、または約９９％の傾斜低減を示す。図６Ｄに実証されるこの傾斜の変動は、判断のために使用されるシステム内で観察されるランダム変動、例えば、雑音に類似し、傾斜のさらなる制御は、傾斜検出システムが改善される場合に得られ得ることを示す。調査中のシステムの調査は、数分、数時間、またはさらに数日等の相当な時間の間、その傾斜安定性を実質的に維持することを示している。
【０１２１】
本実施例は、可動手段の実質的傾斜を生じさせる数分の作動差を示す、２つを超える別個のアクチュエータ、例えば、３対の別個のアクチュエータを備える干渉計アクチュエータによって生じる傾斜を実質的に補償可能であることを示す。これは、別個のアクチュエータを別個の所定の態様で起動することによって行なわれる。さらに、本実施例は、そのような傾斜補償作動が、相当の時間の間、安定することを示し、傾斜補償の初期または定期的判断に基づく実施形態における使用を可能にする。上述から、セグメント化された圧電円盤ベンダにもたらされる傾斜を制御する方法は、ベンダまたは直線アクチュエータ等の別個の干渉計アクチュエータを備える他の実施形態の制御のためにも等しく好適であることが当業者には明白である。
【０１２２】
（実施例７）
（二重ミラー）
典型的には、干渉計アクチュエータとして圧電ベンダを備える本発明のいくつかの実施形態は、同一アクチュエータに着設されるミラー等の２つの光学手段を含む。
【０１２３】
図７は、単一圧電ベンダに着設される２つのミラーの配列を示す。図７Ａは、可動ミラー（７０１）が、２つのマイケルソン干渉計間に配列される円盤ベンダ等のベンダ（７０２）に着設され、各干渉計は、２つの可動ミラーのいずれかの面の光学要素、例えば、ミラー（７０３）およびビームスプリッタ（７０４）として規定される配列を示す。第１の干渉計は、入射光（７０５）および出射光（７０７）を含有し、第２の干渉計は、入射光（７０６）および出射光（７０８）を含有する。
【０１２４】
図７Ａに示される２つのマイケルソン干渉計は、目的とする用途の性質によって規定されるいくつかの構成において操作可能である。そのような用途の実装の場合、適切な種類の光学素子が使用される。本用途は、例えば、インターフェログラムの生成のために一方の干渉計を使用する一方で、他方を使用して、例えば、両可動ミラーは、同期態様で移動するため、レーザ、レーザダイオード、またはＬＥＤ等の狭帯域光源を変調することによって、可動ミラーの位置を判断することが可能である。
【０１２５】
別の用途は、中赤外および近赤外等の実質的に異なる波長域の光を変調することであり得る。これは、２つのスペクトル領域のインターフェログラムの同時判断を可能にする。
他の用途は、２つの試料、または異なる条件下、特に、試料および試料ブラインドが同時に測定される場合の単一試料の測定であり得る。
【０１２６】
図７Ｂは、単一マイケルソン干渉計内に実装される単一圧電ベンダに着設される２つのミラーに基づく、代替配列を示す。本配列では、２つの可動ミラー（７１１）は、圧電ベンダ（７１２）に着設される。さらに、干渉計は、静的ミラー（７１３）およびビームスプリッタ（７１４）を含有する。入射光（７１５）は、干渉計の２つのアーム内に分離され、各アームは、可動ミラーによって終端する。可動ミラーの移動に伴って、干渉計の光路差は、ミラーの移動の２倍となり、したがって、２つのアームの光の組み合わせに応じて、インターフェログラムを生成し、変調された出射光（７１６）を放出する。
【０１２７】
本実施例は、干渉計アクチュエータを使用して、一対の可動手段、例えば、ミラーを移動させることが可能であって、したがって、ミラー移動の複数回の使用、または有効光路差の増加等の利点が得られることを示す。
【０１２８】
（実施例８）
（可動ビームスプリッタ）
圧電ベンダ、例えば、円盤ベンダの形状は、厚さが長さよりも非常に小さく、本発明の多くの好ましい実施形態において使用される。そのような好ましい実施形態の１つは、可動手段として、ビームスプリッタを備える。
【０１２９】
図８は、光学軸に沿った干渉計の中心を通る断面図における、可動ビームスプリッタを備えるマイケルソン干渉計を示す。ビームスプリッタ（８０４）が実質的に干渉計の主軸に対し４５°の方向に移動する条件下において、ビームスプリッタ（８０１）への入射光および出射光（８０２）は、干渉計の２つのアームを通過することによっ変調され、ミラー（８０３）から反射される。ビームスプリッタは、圧電ベンダまたは圧電円盤等のベンダ（８０５）に着設され、ベンダの静的部分は、固定点（８０６）を介して干渉計本体に着設される。ベンダが圧電円盤ベンダである場合、ビームスプリッタは、ベンダの移動点、例えば、円盤の内側リムに着設され、円盤の中心の孔は、光信号を通過させる寸法を有する。
【０１３０】
ビームスプリッタを移動させる効果は、２つのアームの光路を対向する方向に変更し、したがって、干渉計の有効光路差を増加させることである。
【図１Ａ】
2010525305.tif 000003
【図１Ｂ】
2010525305.tif 000004
【図１Ｃ】
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【図２Ａ】
2010525305.tif 000006
【図２Ｂ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
2010525305.tif 000009
【図３Ｃ】
2010525305.tif 000010
【図３Ｄ】
2010525305.tif 000011
【図４Ａ】
2010525305.tif 000012
【図４Ｂ】
2010525305.tif 000013
【図５Ａ】
2010525305.tif 000014
【図５Ｂ】
2010525305.tif 000015
【図６Ａ】
2010525305.tif 000016
【図６Ｂ】
2010525305.tif 000017
【図６Ｃ】
2010525305.tif 000018
【図６Ｄ】
2010525305.tif 000019
【図７Ａ】
2010525305.tif 000020
【図７Ｂ】
2010525305.tif 000021
【図８】
2010525305.tif 000022
【手続補正書】
【提出日】平成21年12月21日(2009.12.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
干渉計の本体に対する該干渉計の少なくとも１つの可動手段の移動のための方法であって、
少なくとも２つの干渉計圧電アクチュエータを配列することであって、該少なくとも２つの干渉計圧電アクチュエータは別個に操作可能であり、それによって、該少なくとも２つの圧電アクチュエータが、該干渉計の少なくとも１つの可動手段を移動させることが可能である、ことと、
並列に操作するために少なくとも２つの干渉計ベンダアクチュエータのうちの少なくとも１つを起動させることであって、それによって、少なくとも１０μｍのストローク長を有する該干渉計の少なくとも１つの可動手段を移動させる、ことと
を包含する、方法。
【請求項２】
別個に操作可能である３つの干渉計アクチュエータを備える、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
別個に操作可能である前記少なくとも２つの干渉計アクチュエータは、少なくとも１つの圧電アクチュエータを備え、好ましくは、少なくとも１つの圧電ベンダを備え、好ましくは、二重層ベンダを備える、請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】
別個に操作可能である前記少なくとも２つの干渉計アクチュエータは、少なくとも１つの直線アクチュエータを備え、好ましくは、少なくとも１つの直線圧電アクチュエータを備え、好ましくは、少なくとも１つの圧電ベンダを備える、請求項１から３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項５】
前記少なくとも２つの圧電アクチュエータは、それらを屈曲させる電場を印加することによって起動させられ、該屈曲は、前記少なくとも１つの可動手段を前記干渉計本体に対して移動させる、請求項３または４に記載の方法。
【請求項６】
前記少なくとも１つの圧電ベンダは、円盤ベンダである、請求項３から５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項７】
干渉計の前記少なくとも１つの可動手段の移動は、ベンダ配列内の少なくとも２つの圧電ベンダによって提供され、該ベンダ配列内の前記少なくとも２つの圧電ベンダは、実質的に同一の態様で操作される、請求項１から６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項８】
前記干渉計の本体に対する該干渉計の少なくとも１つの可動手段の移動の長さは、前記ベンダ配列内の前記少なくとも１つの圧電ベンダのストローク長と実質的に等しい、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記少なくとも２つの圧電ベンダは、設計および構造において実質的に等しい、請求項７または８に記載の方法。
【請求項１０】
任意の圧電ベンダが、任意の他の圧電ベンダに対してある角度で配列され、好ましくは、隣接する圧電ベンダ間の角度は実質的に等しい、請求項３から９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１１】
前記ベンダ配列内の前記少なくとも２つの圧電ベンダ要素は、同一のベンダ支持部の上に配列されて、セグメント化されたベンダを形成し、好ましくは、該別個のベンダ要素は、独立して起動可能である、請求項７から１０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１２】
前記ベンダセグメントは、二重層セグメントである、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記ベンダ支持部は、実質的に円形である、請求項１１または１２に記載の方法。
【請求項１４】
３つの別個の圧電ベンダ要素を備える、請求項１１から１３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１５】
前記２つ以上の圧電ベンダ要素は、前記ベンダの固定点から移動点への方向が、すべてのベンダ要素に対して平行であるか、または半径方向に整列している、請求項１１から１４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１６】
前記少なくとも２つの圧電ベンダ要素は、前記ベンダの固定点から移動点への方向が、すべてのベンダ要素に対して実質的に半径方向に整列しておらず、好ましくは、該方向は実質的に螺旋に沿っている、請求項１１から１５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１７】
セグメント化されたベンダの生成のための機構をさらに備える、請求項１１から１６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１８】
前記ベンダ支持部はセグメント化され、好ましくは、該セグメントは前記ベンダ要素の前記平行なまたは放射状の境界によって画定される、請求項１７に記載の方法。
【請求項１９】
少なくとも２つのベンダは、直列に配列され、好ましくは、該ベンダ配列によって、前記干渉計の可動手段の移動の実質的な増加をもたらす、請求項１から１８のいずれかに記載の方法。
【請求項２０】
少なくとも２つのセグメント化されたベンダは、直列に配列され、好ましくは、該ベンダ配列によって、前記干渉計の可動手段の移動の実質的な増加をもたらす、請求項１１から１８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２１】
直列の少なくとも２つの圧電ベンダおよび／または少なくとも２つのセグメント化されたベンダの組み合わされたストローク長は、５００μｍよりも長く、好ましくは、１，０００μｍよりも長く、より好ましくは、２，０００μｍよりも長い、請求項１から２０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２２】
少なくとも２つのベンダは、並列に配列され、好ましくは、該配列によって、前記干渉計の可動手段の機械的安定性の実質的な増加をもたらし、好ましくは、振動および衝撃に対する安定性の増加をもたらす、請求項１から２１のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２３】
並列に配列された前記少なくとも２つのベンダのうちの少なくとも１つは、少なくとも１つのセグメント化されたベンダを備え、好ましくは、少なくとも１つのセグメント化された円盤ベンダを備える、請求項２２に記載の方法。
【請求項２４】
前記干渉計の可動手段は、少なくとも１つのミラーである、請求項１から２３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２５】
前記少なくとも１つのミラーは、少なくとも１つのコーナーキューブミラーである、請求項２４に記載の方法。
【請求項２６】
前記可動手段は、少なくとも１つのビームスプリッタである、請求項１から２５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２７】
前記可動手段は、少なくとも１つの半透明ミラーであり、好ましくは、ファブリペロー干渉計の少なくとも１つの半透明ミラーである、請求項１から２６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２８】
前記干渉計本体に対する前記可動手段の移動は、１０μｍ以上であり、好ましくは、５０μｍ以上であり、より好ましくは、１００μｍ以上であり、さらにより好ましくは、２００μｍ以上であって、例えば、４００μｍ以上であり、好ましくは、さらに６００μｍ以上である、請求項１から２７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２９】
前記干渉計本体に対する前記可動手段の移動は、毎秒１移動以上の速度であり、好ましくは、毎秒２移動以上であり、好ましくは、毎秒５移動以上であり、好ましくは、毎秒１５移動以上であり、好ましくは、毎秒５０移動以上であり、好ましくは、毎秒２００移動以上であり、好ましくは、毎秒１，０００移動以上である、請求項１から２８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項３０】
前記干渉計本体に対する前記可動手段の速度は、０．１ｍｍ／秒以上であり、好ましくは、０．５ｍｍ／秒以上であり、好ましくは、１ｍｍ／秒以上であり、好ましくは、２ｍｍ／秒以上であり、好ましくは、５ｍｍ／秒以上であり、好ましくは、１０ｍｍ／秒以上であり、好ましくは、５０ｍｍ／秒以上であり、好ましくは、１００ｍｍ／秒以上であり、好ましくは、２００ｍｍ／秒以上である、請求項１から２９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項３１】
前記干渉計本体に対する前記可動手段の速度は、一定である、請求項１から３０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項３２】
前記干渉計本体に対する前記可動手段の速度は可変であって、速度差は、１０％以上であり、好ましくは、４０％以上であり、好ましくは、１００％以上であり、好ましくは、２００％以上である、請求項１から３０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項３３】
前記少なくとも１つの干渉計アクチュエータは、１００Ｈｚ以上の調和振動数を有し、好ましくは、２００Ｈｚ以上を有し、好ましくは、４００Ｈｚ以上を有し、好ましくは、１，０００Ｈｚ以上を有し、好ましくは、４，０００Ｈｚ以上を有する、請求項１から３２のいずれか一項に記載の方法。
【請求項３４】
少なくとも２つの干渉計アクチュエータに適用される作動は時間が異なり、そのような異なる作動によって、好ましくは、可動手段の平行移動において実質的な改善となる、請求項１から３３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項３５】
前記作動時間差は、干渉信号を監視することによって判断され、好ましくは、該作動時間差は、所定の特性であり、好ましくは、少なくとも１つの以前に測定されたインターフェログラムの分析によって判断される、請求項３４に記載の方法。
【請求項３６】
ストローク長に実質的に平行な方向における前記少なくとも１つの干渉計アクチュエータのサイズは、４ｍｍ以下であり、好ましくは、２ｍｍ以下であり、好ましくは、１．５ｍｍ以下であり、より好ましくは、１ｍｍ以下である、請求項１から３５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項３７】
前記ストローク長に実質的に平行な方向における前記少なくとも１つの干渉計アクチュエータのサイズは、１ｍｍ以上であり、好ましくは、２ｍｍ以上であり、好ましくは、３ｍｍ以上であり、より好ましくは、４ｍｍ以上である、請求項１から３６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項３８】
前記ストローク長に実質的に平行な方向における前記少なくとも１つの干渉計アクチュエータのサイズは、０．５ｍｍ〜４ｍｍの範囲であり、好ましくは、０．５ｍｍ〜３ｍｍ以上の範囲であり、好ましくは、０．７５ｍｍ〜２ｍｍの範囲であり、より好ましくは、０．７５〜１．５ｍｍの範囲である、請求項１から３７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項３９】
前記可動手段の移動に実質的に垂直な方向における前記少なくとも１つの干渉計アクチュエータのサイズは、３０ｍｍ以上であり、好ましくは、４０ｍｍ以上であり、好ましくは、６０ｍｍ以上であり、好ましくは、８０ｍｍ以上であり、より好ましくは、１００ｍｍ以上である、請求項１から３８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項４０】
前記可動手段の移動に実質的に垂直な方向における前記少なくとも１つの干渉計アクチュエータのサイズは、１００ｍｍ以下であり、好ましくは、８０ｍｍ以下であり、好ましくは、６０ｍｍ以下であり、好ましくは、４０ｍｍ以下であり、より好ましくは、３０ｍｍ以下である、請求項１から３９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項４１】
前記可動手段の移動に実質的に垂直な方向における前記少なくとも１つの干渉計アクチュエータのサイズは、３０ｍｍ以下であり、好ましくは、２０ｍｍ以下であり、好ましくは、１０ｍｍ以下である、請求項１から４０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項４２】
前記可動手段および干渉計アクチュエータの重量は、４０グラム未満であり、好ましくは、２０グラム未満であり、好ましくは、１０グラム未満であり、より好ましくは、５グラム未満である、請求項１から４１のいずれか一項に記載の方法。
【請求項４３】
干渉計の本体に対する該干渉計の少なくとも１つの可動手段の移動のためのシステムであって、
少なくとも２つの干渉計圧電アクチュエータであって、該少なくとも２つの干渉圧電アクチュエータは、別個に操作可能であることによって、該干渉計の少なくとも１つの可動手段を移動させることが可能である、少なくとも２つの干渉計圧電アクチュエータと、
並列に操作するために、該少なくとも２つの干渉計圧電アクチュエータのうちの少なくとも１つを起動させ、それによって、少なくとも１０μｍのストローク長を有する該干渉計の少なくとも１つの可動手段を移動させるための手段と
を備える、システム。
【請求項４４】
別個に操作可能である３つの干渉計アクチュエータを備える、請求項４３に記載のシステム。
【請求項４５】
別個に操作可能である前記少なくとも２つの干渉計アクチュエータは、少なくとも１つの圧電アクチュエータを備え、好ましくは、少なくとも１つの圧電ベンダを備え、好ましくは、二重層ベンダを備える、請求項４３または４４に記載のシステム。
【請求項４６】
別個に操作可能である前記少なくとも２つの干渉計アクチュエータは、少なくとも１つの直線アクチュエータを備え、好ましくは、少なくとも１つの直線圧電アクチュエータを備え、好ましくは、少なくとも１つの圧電ベンダを備える、請求項４３から４５のいずれか一項に記載のシステム。
【請求項４７】
前記干渉計の少なくとも１つの可動手段の移動は、ベンダ配列内の少なくとも２つの圧電ベンダによって提供され、該ベンダ配列内の該少なくとも２つの圧電ベンダは、同一態様で操作される、請求項４３から４６のいずれか一項に記載のシステム。
【請求項４８】
前記干渉計の本体に対する該干渉計の少なくとも１つの可動手段の移動の長さは、前記ベンダ配列内の前記少なくとも１つの圧電ベンダのストローク長に実質的に等しい、請求項４３から４７のいずれか一項に記載のシステム。
【請求項４９】
前記ベンダ配列内の前記少なくとも２つの圧電ベンダ要素は、同一のベンダ支持部の上に配列されて、セグメント化されたベンダを形成し、好ましくは、該別個のベンダ要素は、独立して起動可能である、請求項４３から４８のいずれか一項に記載のシステム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
本発明の実施形態は、多くの場合、試料の化学的および／または物理的特性の定量的および／または定性的分析のための機器の実装において好ましく、そのような機器は、スペクトル分析、例えば、スペクトル特性の判断、化学成分の識別、試料内の化学成分量の判断、試料の物理的特性の判断等の方法を容易にする。本発明のいくつかの実施形態は、例えば、得られるスペクトル分解能がスペクトル特徴の一般的分解能よりも低い、または非常に低い、低分解能分光法の実装において好ましい。本発明の実施形態は、マイケルソン干渉計またはファブリペロー干渉計等の干渉分光光度計の実装において好ましい。本発明のいくつかの実施形態の機械的特性は、振動および衝撃等の激しい機械的影響に耐え得る干渉計の構築を可能にする。したがって、好ましい実施形態は、携帯型干渉計、あるいは車、船、飛行機、およびヘリコプター等の車両内での使用のために意図された干渉計等の用途のために意図された干渉計を含む。
例えば、本発明は以下の項目を提供する。
（項目１）
干渉計の本体に対する該干渉計の少なくとも１つの可動手段の移動のための方法であって、
少なくとも２つの干渉計アクチュエータを配列することであって、該少なくとも２つの干渉計アクチュエータは別個に操作可能であり、それによって、該少なくとも２つのアクチュエータが、該干渉計の少なくとも１つの可動手段を移動させることが可能である、ことと、
該少なくとも２つの干渉計アクチュエータのうちの少なくとも１つを起動させることであって、それによって、該干渉計の少なくとも１つの可動手段を移動させる、ことと
を備える、方法。
（項目２）
別個に操作可能である３つの干渉計アクチュエータを備える、項目１に記載の方法。
（項目３）
別個に操作可能である上記少なくとも２つの干渉計アクチュエータは、少なくとも１つの圧電アクチュエータを備え、好ましくは、少なくとも１つの圧電ベンダを備え、好ましくは、二重層ベンダを備える、項目１または２に記載の方法。
（項目４）
別個に操作可能である上記少なくとも２つの干渉計アクチュエータは、少なくとも１つの直線アクチュエータを備え、好ましくは、少なくとも１つの直線圧電アクチュエータを備え、好ましくは、少なくとも１つの圧電ベンダを備える、項目１から３のいずれか一項に記載の方法。
（項目５）
上記少なくとも２つの圧電アクチュエータは、それらを屈曲させる電場を印加することによって起動させられ、該屈曲は、上記少なくとも１つの可動手段を上記干渉計本体に対して移動させる、項目３または４に記載の方法。
（項目６）
上記少なくとも１つの圧電ベンダは、円盤ベンダである、項目３から５のいずれか一項に記載の方法。
（項目７）
干渉計の上記少なくとも１つの可動手段の移動は、ベンダ配列内の少なくとも２つの圧電ベンダによって提供され、該ベンダ配列内の上記少なくとも２つの圧電ベンダは、実質的に同一の態様で操作される、項目１から６のいずれか一項に記載の方法。
（項目８）
上記干渉計の本体に対する上記干渉計の少なくとも１つの可動手段の移動の長さは、上記ベンダ配列内の上記少なくとも１つの圧電ベンダのストローク長と実質的に等しい、項目７に記載の方法。
（項目９）
上記少なくとも２つの圧電ベンダは、設計および構造において実質的に等しい、項目７または８に記載の方法。
（項目１０）
任意の圧電ベンダが、任意の他の圧電ベンダに対してある角度で配列され、好ましくは、隣接する圧電ベンダ間の角度は実質的に等しい、項目３から９のいずれか一項に記載の方法。
（項目１１）
上記ベンダ配列内の上記少なくとも２つの圧電ベンダ要素は、同一のベンダ支持部の上に配列されて、セグメント化されたベンダを形成し、好ましくは、該別個のベンダ要素は、独立して起動可能である、項目７から１０のいずれか一項に記載の方法。
（項目１２）
上記ベンダセグメントは、二重層セグメントである、項目１１に記載の方法。
（項目１３）
上記ベンダ支持部は、実質的に円形である、項目１１または１２に記載の方法。
（項目１４）
３つの別個の圧電ベンダ要素を備える、項目１１から１３のいずれか一項に記載の方法。
（項目１５）
上記２つ以上の圧電ベンダ要素は、上記ベンダの固定点から移動点への方向が、すべてのベンダ要素に対して平行であるか、または半径方向に整列している、項目１１から１４のいずれか一項に記載の方法。
（項目１６）
上記少なくとも２つの圧電ベンダ要素は、上記ベンダの固定点から移動点への方向が、すべてのベンダ要素に対して実質的に半径方向に整列しておらず、好ましくは、該方向は実質的に螺旋に沿っている、項目１１から１５のいずれか一項に記載の方法。
（項目１７）
セグメント化されたベンダの生成のための特徴をさらに備える、項目１１から１６のいずれか一項に記載の方法。
（項目１８）
上記ベンダ支持部はセグメント化され、好ましくは、該セグメントは上記ベンダ要素の上記平行なまたは放射状の境界によって画定される、項目１７に記載の方法。
（項目１９）
少なくとも２つのベンダは、直列に配列され、好ましくは、該ベンダ配列によって、上記干渉計の可動手段の移動の実質的な増加となる、項目１から１８のいずれかに記載の方法。
（項目２０）
少なくとも２つのセグメント化されたベンダは、直列に配列され、好ましくは、該ベンダ配列によって、上記干渉計の可動手段の移動の実質的な増加となる、項目１１から１８のいずれか一項に記載の方法。
（項目２１）
直列の少なくとも２つの圧電ベンダおよび／または少なくとも２つのセグメント化されたベンダの組み合わされたストローク長は、５００μｍよりも長く、好ましくは、１，０００μｍよりも長く、より好ましくは、２，０００μｍよりも長い、項目１から２０のいずれか一項に記載の方法。
（項目２２）
少なくとも２つのベンダは、並列に配列され、好ましくは、該配列によって、上記干渉計の可動手段の機械的安定性の実質的な増加となり、好ましくは、振動および衝撃に対する安定性の増加となる、項目１から２１のいずれか一項に記載の方法。
（項目２３）
並列に配列された上記少なくとも２つのベンダのうちの少なくとも１つは、少なくとも１つのセグメント化されたベンダを備え、好ましくは、少なくとも１つのセグメント化された円盤ベンダを備える、項目２２に記載の方法。
（項目２４）
上記干渉計の可動手段は、少なくとも１つのミラーである、項目１から２３のいずれか一項に記載の方法。
（項目２５）
上記少なくとも１つのミラーは、少なくとも１つのコーナーキューブミラーである、項目２４に記載の方法。
（項目２６）
上記可動手段は、少なくとも１つのビームスプリッタである、項目１から２５のいずれか一項に記載の方法。
（項目２７）
上記可動手段は、少なくとも１つの半透明ミラーであり、好ましくは、ファブリペロー干渉計の少なくとも１つの半透明ミラーである、項目１から２６のいずれか一項に記載の方法。
（項目２８）
上記干渉計本体に対する上記可動手段の移動は、１０μｍ以上であり、好ましくは、５０μｍ以上であり、より好ましくは、１００μｍ以上であり、さらにより好ましくは、２００μｍ以上であって、例えば、４００μｍ以上であり、好ましくは、さらに６００μｍ以上である、項目１から２７のいずれか一項に記載の方法。
（項目２９）
上記干渉計本体に対する上記可動手段の移動は、毎秒１移動以上の速度であり、好ましくは、毎秒２移動以上であり、好ましくは、毎秒５移動以上であり、好ましくは、毎秒１５移動以上であり、好ましくは、毎秒５０移動以上であり、好ましくは、毎秒２００移動以上であり、好ましくは、毎秒１，０００移動以上である、項目１から２８のいずれか一項に記載の方法。
（項目３０）
上記干渉計本体に対する上記可動手段の速度は、０．１ｍｍ／秒以上であり、好ましくは、０．５ｍｍ／秒以上であり、好ましくは、１ｍｍ／秒以上であり、好ましくは、２ｍｍ／秒以上であり、好ましくは、５ｍｍ／秒以上であり、好ましくは、１０ｍｍ／秒以上であり、好ましくは、５０ｍｍ／秒以上であり、好ましくは、１００ｍｍ／秒以上であり、好ましくは、２００ｍｍ／秒以上である、項目１から２９のいずれか一項に記載の方法。
（項目３１）
上記干渉計本体に対する上記可動手段の速度は、一定である、項目１から３０のいずれか一項に記載の方法。
（項目３２）
上記干渉計本体に対する上記可動手段の速度は可変であって、速度差は、１０％以上であり、好ましくは、４０％以上であり、好ましくは、１００％以上であり、好ましくは、２００％以上である、項目１から３０のいずれか一項に記載の方法。
（項目３３）
上記少なくとも１つの干渉計アクチュエータは、１００Ｈｚ以上の調和振動数を有し、好ましくは、２００Ｈｚ以上を有し、好ましくは、４００Ｈｚ以上を有し、好ましくは、１，０００Ｈｚ以上を有し、好ましくは、４，０００Ｈｚ以上を有する、項目１から３２のいずれか一項に記載の方法。
（項目３４）
少なくとも２つの干渉計アクチュエータに適用される作動は時間が異なり、そのような異なる作動によって、好ましくは、可動手段の平行移動において実質的な改善となる、項目１から３３のいずれか一項に記載の方法。
（項目３５）
上記作動時間差は、干渉信号を監視することによって判断され、好ましくは、該作動時間差は、所定の特性であり、好ましくは、少なくとも１つの以前に測定されたインターフェログラムの分析によって判断される、項目３４に記載の方法。
（項目３６）
ストローク長に実質的に平行な方向における上記少なくとも１つの干渉計アクチュエータのサイズは、４ｍｍ以下であり、好ましくは、２ｍｍ以下であり、好ましくは、１．５ｍｍ以下であり、より好ましくは、１ｍｍ以下である、項目１から３５のいずれか一項に記載の方法。
（項目３７）
上記ストローク長に実質的に平行な方向における上記少なくとも１つの干渉計アクチュエータのサイズは、１ｍｍ以上であり、好ましくは、２ｍｍ以上であり、好ましくは、３ｍｍ以上であり、より好ましくは、４ｍｍ以上である、項目１から３６のいずれか一項に記載の方法。
（項目３８）
上記ストローク長に実質的に平行な方向における上記少なくとも１つの干渉計アクチュエータのサイズは、０．５ｍｍ〜４ｍｍの範囲であり、好ましくは、０．５ｍｍ〜３ｍｍ以上の範囲であり、好ましくは、０．７５ｍｍ〜２ｍｍの範囲であり、より好ましくは、０．７５〜１．５ｍｍの範囲である、項目１から３７のいずれか一項に記載の方法。
（項目３９）
上記可動手段の移動に実質的に垂直な方向における上記少なくとも１つの干渉計アクチュエータのサイズは、３０ｍｍ以上であり、好ましくは、４０ｍｍ以上であり、好ましくは、６０ｍｍ以上であり、好ましくは、８０ｍｍ以上であり、より好ましくは、１００ｍｍ以上である、項目１から３８のいずれか一項に記載の方法。
（項目４０）
上記可動手段の移動に実質的に垂直な方向における上記少なくとも１つの干渉計アクチュエータのサイズは、１００ｍｍ以下であり、好ましくは、８０ｍｍ以下であり、好ましくは、６０ｍｍ以下であり、好ましくは、４０ｍｍ以下であり、より好ましくは、３０ｍｍ以下である、項目１から３９のいずれか一項に記載の方法。
（項目４１）
上記可動手段の移動に実質的に垂直な方向における上記少なくとも１つの干渉計アクチュエータのサイズは、３０ｍｍ以下であり、好ましくは、２０ｍｍ以下であり、好ましくは、１０ｍｍ以下である、項目１から４０のいずれか一項に記載の方法。
（項目４２）
上記可動手段および干渉計アクチュエータの重量は、４０グラム未満であり、好ましくは、２０グラム未満であり、好ましくは、１０グラム未満であり、より好ましくは、５グラム未満である、項目１から４１のいずれか一項に記載の方法。
（項目４３）
干渉計の本体に対する該干渉計の少なくとも１つの可動手段の移動のためのシステムであって、
少なくとも２つの干渉計アクチュエータであって、別個に操作可能であることによって、該干渉計の少なくとも１つの可動手段を移動させることが可能である、少なくとも２つの干渉計アクチュエータと、
該少なくとも２つの干渉計アクチュエータを起動させ、それによって、該干渉計の少なくとも１つの可動手段を移動させるための手段と
を備える、システム。
（項目４４）
別個に操作可能である３つの干渉計アクチュエータを備える、項目４３に記載のシステム。
（項目４５）
別個に操作可能である上記少なくとも２つの干渉計アクチュエータは、少なくとも１つの圧電アクチュエータを備え、好ましくは、少なくとも１つの圧電ベンダを備え、好ましくは、二重層ベンダを備える、項目４３または４４に記載のシステム。
（項目４６）
別個に操作可能である上記少なくとも２つの干渉計アクチュエータは、少なくとも１つの直線アクチュエータを備え、好ましくは、少なくとも１つの直線圧電アクチュエータを備え、好ましくは、少なくとも１つの圧電ベンダを備える、項目４３から４５のいずれか一項に記載のシステム。
（項目４７）
上記干渉計の少なくとも１つの可動手段の移動は、ベンダ配列内の少なくとも２つの圧電ベンダによって提供され、該ベンダ配列内の該少なくとも２つの圧電ベンダは、同一態様で操作される、項目４３から４６のいずれか一項に記載のシステム。
（項目４８）
上記干渉計の本体に対する該干渉計の少なくとも１つの可動手段の移動の長さは、上記ベンダ配列内の上記少なくとも１つの圧電ベンダのストローク長に実質的に等しい、項目４３から４７のいずれか一項に記載のシステム。
（項目４９）
上記ベンダ配列内の上記少なくとも２つの圧電ベンダ要素は、同一のベンダ支持部の上に配列されて、セグメント化されたベンダを形成し、好ましくは、該別個のベンダ要素は、独立して起動可能である、項目４３から４８のいずれか一項に記載のシステム。
【国際調査報告】
2010525305.tif 000023
2010525305.tif 000024
2010525305.tif 000025