(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空装置（１０）であって、
付属ユニット（１４）の為の少なくとも一つの接続部（１６）を有し、及び、
付属ユニット（１４）の為の制御装置（１２）を有し、
その際、接続部（１６）が、付属ユニット（１４）の真空装置（１０）との機械的な接続のためにも、付属ユニット（１４）の制御装置（１２）に対する電気的及び／又は情報技術的な接続の為にも形成されていること、
その際、機械的な接続の為の接続部（１６）が、少なくとも一つの機械的な接続器官を含み、その際、電気的及び／又は情報技術的な接続の為の少なくとも一つの接触器官（２８）が、接続器官に設けられているか、または接続器官の直近に設けられていること、
その際、接触器官（２８）が、リング形状に形成されていること、
機械的な接続と電気的及び／又は情報技術的な接続が、一つの共通な接続軸（２６）を有すること、
複数の接触器官（２８）が設けられており、これら接触器官が、接続軸（２６）に関して、機械的な接続及び／又は電気的及び／又は情報技術的な接続に向けられていること、
複数の接触器官（２８）が、接触面を有する同軸の複数のリングの形式で接続軸（２６）の周りに、接続軸（２６）に対して垂直な一つの面内に設けられていること、
を特徴とする真空装置（１０）。
【請求項２】
機械的な接続が、プラグ接続であるかまたはこれを含み、その際、機械的な接続の為の接続部（１６）が、少なくとも一つのスリーブ要素（２０）又はプラグ要素（１８）を機械的な接続器官として含むことを特徴とする請求項１に記載の真空装置（１０）。
【請求項３】
機械的な接続が、ねじ接続であるか、またはこれを含み、その際、機械的な接続のための接続部（１６）が、少なくとも一つのねじ部分（２２）を機械的な接続器官として含むことを特徴とする請求項１または２に記載の真空装置（１０）。
【請求項４】
ねじ接続が、付属ユニット（１４）の為の別体式の固定器官を含むことを特徴とする請求項３に記載の真空装置（１０）。
【請求項５】
電気的及び／又は情報技術的な接続が、接続軸（２６）を中心とした回転に対して不変であり、その際、接続が、あらゆる角度位置において、又は有限数の角度位置において技術的に機能することを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の真空装置（１０）。
【請求項６】
その中心軸が、機械的な接続及び／又は電気的及び／又は情報技術的な接続の接続軸（２６）と重なっている仮想のシリンダーに関して、電気的及び／又は情報技術的な接続の為の接触器官（２８）が、周囲に、または正面に設けられていることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の真空装置（１０）。
【請求項７】
機械的接続及び／又は電気的及び／又は情報技術的接続の接続軸（２６）に関して、半径方向又は軸方向で接触されることが可能であるよう、接触器官（２８）が形成されて設けられていることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の真空装置（１０）。
【請求項８】
接触器官（２８）が、突出部又は隆起部の形式で設けられるか、または平らに形成されていることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の真空装置（１０）。
【請求項９】
接触器官（２８）が、柔軟に、又は弾性的に支承されて形成されているか、または設けられていることを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の真空装置（１０）。
【請求項１０】
電気的及び／又は情報技術的な接続が、多チャンネル式及び／又はマルチ機能式に形成されていることを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載の真空装置（１０）。
【請求項１１】
接続の一つの機能または唯一の機能が、付属ユニット（１４）の為の電気的な電源供給であることを特徴とする請求項１から１０のいずれか一項に記載の真空装置（１０）。
【請求項１２】
接続部（１６）が、バルブユニット又はセンサーユニットの為の収容部、貫通部、又はアクセス開口部（３０）を有することを特徴とする請求項１から１１のいずれか一項に記載の真空装置（１０）。
【請求項１３】
制御装置（１２）が、真空装置（１０）のハウジング内に統合されているか、または真空装置のハウジングの外側に設けられていることを特徴とする請求項１から１２のいずれか一項に記載の真空装置（１０）。
【請求項１４】
一または複数の配線（３２）が、接続部（１６）の制御装置（１２）に対する接続の為に、少なくとも部分的に真空装置（１０）のハウジングの内部を推移することを特徴とする請求項１から１３のいずれか一項に記載の真空装置（１０）。
【請求項１５】
接続部（１６）が、付属ユニット（１４）の存在を検出し、そして、付属ユニットが存在するときのみ、一つの措置を行う又はリリースするよう形成されていることを特徴とする請求項１から１４のいずれか一項に記載の真空装置（１０）。
【請求項１６】
接続部（１６）を有する、請求項１から１５のいずれか一項に記載の、少なくとも一つの真空装置（１０）、接続部（１７）を有する少なくとも一つの付属ユニット（１４）、及び付属ユニット（１４）の為の制御装置（１２）を有するシステムであって、接続部（１６，１７）が、共に、付属ユニット（１４）の真空装置（１０）との機械的接続も、付属ユニット（１４）の制御ユニット（１２）に対する電気的及び／又は情報技術的な接続をも行うよう形成されていることを特徴とするシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、付属ユニットの為の少なくとも一つの接続部と、付属ユニットの為の制御装置を有する真空装置に関する。本発明は更に、少なくとも一つの真空装置と、真空装置の為の少なくとも一つの付属ユニットを有するシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えばターボ分子ポンプまたは予真空ポンプのような制御装置を有する真空装置は、通常、一または複数の付属ユニットに対する複数の接続可能性を有している。そのような付属ユニットに対する例は、フラッドバルブ又は遮断バルブ及び圧力センサー又は温度センサーである。付属ユニットは、機械的に真空装置と接続される。制御装置に対する付属ユニットの必要とされる電気的及び／又は情報技術的な接続は、一または複数の接続ケーブルによって設けられる。
【０００３】
そのような複数の配線は、その接続箇所が複数あることにより追加的な構造空間を必要とし、そして接続の際のエラー源を含むこととなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】ドイツ連邦共和国実用新案第２０３０９４４１Ｕ１号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
よって本発明の課題は、真空装置、特に真空ポンプに対する付属ユニットの接続部を簡易化することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この課題は、請求項１に記載の特徴を有する真空装置によって、特に接続部が、付属ユニットの真空装置との機械的な接続の為にも、制御装置に対する付属ユニットの電気的及び／又は情報技術的な接続の為にも形成されていることによって解決される。
【０００７】
発明に従い、もはや、付属ユニットを制御装置に接続するために、付属ユニットから制御装置へと別のケーブルを設ける必要が無い。これによって、例えば誤ケーブルや誤接続箇所に基づくエラーを伴った接続が防止される。また、本発明はユーザーに対し、ケーブルのために追加的な組立ステップを省略させる。本発明の更なるメリットは、外部を推移するケーブルのために追加的な構造空間が必要とされないことである。特に、アクセス困難な配置の場合に、付属ユニットの接続が簡易化される。更に、例えば異なる長さや、多様に曲げられた接続要素を有する多数の異なる複数のケーブルを用意しておく必要が無くなる。その上、複雑なケーブル絶縁と、例えばストレインリリーフ（独語：Ｚｕｇｅｎｔｌａｓｔｕｎｇｅｎ）のような機械的な安全装置が省略可能である。更なるメリットは、付属ユニットを制御装置にケーブルを介して接続する接続箇所が、より少なく必要とされる、または必要とされない点にある。
【０００８】
機械的な接続は、差込み接続であることが可能であり、またはこれを含むことが可能である。その際、機械的な接続の為の接続部は、スリーブ要素又はプラグ要素を機械的な接続器官として含む。よって付属ユニットの取付は更に簡易化される。
【０００９】
更に、機械的な接続は、ねじ接続である、またはこれを含むことが可能である。その際、機械的な接続の為の接続部は、少なくとも一つのねじ部分を機械的な接続器官として含む。これによって、簡単かつ確実な機械接続が保証される。
【００１０】
ねじ接続は、付属ユニットのための別体式の固定器官を含む。これは特に固定ねじ、または固定スクリュー開口部である。ここでのメリットは、ねじ接続は、これによって特別簡単に形成される点にある。
【００１１】
機械的な接続と、電気的及び／又は情報技術的な接続が、一つの共通な接続軸、特に差込み軸、スライド軸、及び／又は回転軸を有することが可能である。機械的な接続と電気的及び／又は情報技術的な接続は、付属ユニットの取付の為に、基本的に一つの取付操作、例えば簡単な差込みやねじ込みのみが必要であるよう形成されていることが可能である。よって付属ユニットの取付は更に簡易化される。
【００１２】
電気的及び／又は情報技術的な接続は、接続軸の周りの回転に対して不変であることが可能である。その際、接続は、あらゆる角度位置において、または有限の角度位置において技術的に機能する。特に制限された構造空間においては、付属ユニットがより柔軟に取り付け可能、または初めて取り付け可能である点にここでのメリットがある。
【００１３】
機械的な接続の為の接続部は、少なくとも一つの機械的な接続器官を有する。その際、電気的及び／又は情報技術的な接続の為の少なくとも一つの接触器官が、接続器官に、又は接続器官の直近に設けられている。機械的な接続及び電気的及び／又は情報技術的な接続の機能性は、これによって更に統合され、そして簡易化される。
【００１４】
接触器官は、その中心軸が、機械的接続及び／又は電気的及び／又は情報技術的な接続の接続軸、特に差込み軸、スライド軸、及び／又は回転軸と一致して設けられる仮想のシリンダーに関して、周囲側に設けられる、又は正面側に設けられることが可能である。
【００１５】
更に、接触器官は、機械的な接続及び／又は電気的及び／又は情報技術的な接続の接続軸に関して、特に差込み軸、スライド軸、及び／又は回転軸に関して、半径方向又は軸方向で接触されることが可能であるよう形成され設けられている。
【００１６】
接触器官は、突出部又は隆起部の形式で設けられるか、または閉店に形成されていることが可能である。接触は、よって簡易化されかつ改善される。更に、接触器官は、リング形状に形成されていることが可能である。更なる形態では、接触器官は柔軟に形成されている、または設けられていることが可能である。特にこれは弾性的に支承されていることが可能である。これによって確実かつ簡単な接触が保証される。
【００１７】
複数の接触器官が設けられていることが可能である。これら接触器官は、機械的な接続及び／又は電気的及び／又は情報技術的な接続の、接続軸、特に差込み軸、スライド軸及び／又は回転軸に関して整向されており、その際、特に接触器官は、接続軸に沿って及び／又は接続軸の周りに分配されて設けられていることが可能である。
【００１８】
当該接触器官は、好ましくは軸方向に向けられた接触面を有する同軸な複数のリングの形式で接続軸の周りに、または好ましくは半径方向に向けられた接触面を有する、接続に沿って間隔をあけた複数のリングの形式で接続軸の周りに設けられていることが可能である。
【００１９】
電気的及び／又は情報技術的な接続は、多チャンネル式及び／又はマルチ機能式に形成されていることが可能である。その際、特に各チャネルに対して又は各機能に対して一つの接触器官が設けられている。
【００２０】
接続の一つの機能又は唯一の機能が、付属ユニットの為の電気的な電源供給であることが可能である。制御装置に対する付属ユニットの情報技術的な接続は、ワイヤレス及び／又は非接触に形成されていることが可能である。これは例えば無線、音響、又は光学的伝達によって行われる。よって真空装置内では、接続配線の為に構造が簡易化される。別のメリットは、機械的な接続が同様に構造的に簡易化される点にある。
【００２１】
接続部は、付属ユニットの少なくとも一つの機能ユニット、特にバルブユニットまたはセンサーユニットのためのインターフェース部を有することが可能である。その際好ましくはインターフェース部は、機能ユニットの為の収容部、貫通部、またはアクセス開口部として形成されている。よって例えば真空装置における接続部は、フラッドバルブ（独語：Ｆｌｕｔｖｅｎｔｉｌ）の為のスクリューねじを含むことが可能である。その際、同じ箇所に、バルブの電気的な接続のための手段、詳しくいうと、電気的なエネルギーを供給する為、及び／又はバルブから制御装置及び／又は制御装置からバルブへの信号の伝達の為の手段が設けられている。
【００２２】
制御装置は、真空装置のハウジング内に統合されているか、又は真空装置のハウジングの外側に設けられている。その際、とっくに制御装置は、独自のハウジングを有する。
【００２３】
接続部の制御装置に対する接続の為の一または複数の配線が、少なくとも部分的に、そして特に少なくとも基本的に真空装置のハウジングの内部を推移することが可能である。
【００２４】
本発明の別の実施形に従い、付属ユニットの存在、特にその、真空装置との機械的接続を検出し、そして措置、特に切替過程を、付属ユニットが存在するときのみ行わせる、又はリリースするよう接続部が形成されていることが意図されている。
【００２５】
本発明の課題は、更に、接続部を有する少なくとも一つの真空装置、接続部を有する少なくとも一つの付属ユニット、および付属ユニットの為の制御装置を有するシステムによって解決される。その際、接続部は、付属ユニットの真空装置との機械的な接続も、制御装置に対する付属ユニットの電気的及び／又は情報技術的な接続も共に行う。
【００２６】
そのようなシステムは、上述した、真空装置に関する実施形によっても更に改善されることが可能である。つまり、当該発展形は、発明に係るシステムにおいても対応して意図されることが可能である。
【００２７】
本発明の別の実施形は従属請求項、明細書並びに図面に記載されている。
【００２８】
本発明を以下に簡略的な図面を参照しつつ単に例示的に説明する。図面には以下が示されている。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明に係る真空装置と付属ユニット
【図２】発明に係る接続部の実施形
【図３】図２の接続部の斜視図
【図４】本発明に係る接続部の代替的な実施形
【図５】図４の接続部の他の図
【図６】本発明に係る接続部の別の実施形の斜視図
【発明を実施するための形態】
【００３０】
図１は制御装置１２を有する真空装置１０を示す。本真空装置１０は、一つの接続部１６を有する。この接続部は電気的に及び／又は情報技術的に制御装置１２と配線３２を介して接続されている。配線３２は複数の個配線を含む。これらは、例えば其々一つの機能又は信号チャネル若しくは通信チャネルに割り当てられている。接続部１６に対して付属ユニット１４が示されている。付属ユニット１４は、その、接続部１６の方の側に同様に一つの接続部１７を、そしてその、平行線を付された領域に複数の手段を有する。これら手段は、付属ユニット１４を真空装置１０と機械的に接続させるため、及び付属ユニット１４を制御装置１２に電気的に及び／又は情報技術的に接続するための接続部１６と協働可能である。
【００３１】
配線３２は、接続部１６から出発して真空装置１０のハウジング１１内を推移している。しかしこれは、例えば真空装置１０のハウジング１１の外部に固定的に組付けられていることも可能である。ここでは自身のハウジング１３に収納された制御装置１２は、真空装置１０のハウジング１１の外に取り付けられている。これは代替的に真空装置１０のハウジング１１の内部に統合されていることが可能である。
【００３２】
制御装置１２は、付属ユニット１４を制御するよう形成されており、その際、これは最も広い意味で理解されるべきである。制御とは、例えば、付属ユニット１４に電気的なエネルギーを供給することのみであることが可能である。代替として、または追加的に、例えば制御が、制御装置１２と付属ユニット１４の間の情報技術的なやり取り（独語：Ａｕｓｔａｕｓｃｈ）を含むことが可能である。例えば、制御装置１２は、付属ユニット１４のセンサーのセンサーデータを受け取り及び／又は評価することが可能である。
【００３３】
図１の制御装置１０内では、接続部１６及び／又は制御装置１２は、付属ユニット１４が接続部１６に接続されているか検出するよう形成されていることが可能である。これは例えば、接続部１６に設けられたキースイッチによって行われることが可能である。このキースイッチは接続される付属ユニット１４によって操作される。例えばまた、制御装置１２は、付属ユニット１４の電気的な内部抵抗を検出し、そしてこれから付属ユニット１４が接続部１６に存在するかに関する情報を導き出すよう形成されていることが可能である。
【００３４】
図２には真空装置１０の接続部１６の一つの例が示されている。接続部１６は、付属ユニット１４を真空装置１０に機械的に接続し、及び付属ユニット１４をここでは図示されていない制御装置１２に情報技術的に接続するよう形成されている。
【００３５】
機械的な接続の為に、接続部１６には内側ねじ山部分２２を有する孔部４０が設けられている。付属ユニット１４は、その、接続部１６の方の側に、外側ねじ山部分２４を有するシリンダー３８を有する一つの接続部１７を有する。内側ねじやま部分２２と外側ねじ山部分２４は、機械的な接続を保証するために協働する。シリンダー３８と孔部４０は、機械的に接続された状態で接続軸２６の周りに同軸に配置されている。
【００３６】
電気的な、及び／又は情報技術的な接続の為に、図２の真空装置１０の接続部１６には、接続軸２６から半径方向に間隔をあけた複数の接触期間２８が設けられている。接続部１６の接触器官２８は、ここでは点接触部として形成されている。これらは、其々配線３２を介して、図示されていない制御装置１２と電気的及び／又は情報技術的に接続されている。接続部１６の接触器官２８に対して、付属ユニット１４の接続部１７には同様に複数の接触器官２８が設けられている。これらは、右側の図に示されている。この図には中央の図の付属ユニット１４が右に向かって倒されて示されている。付属ユニット１４の接触器官２８は、同軸なリング面として形成されている。接続された状態で、付属ユニット１４の接触器官２８と接続部１６の接触器官２８は接触している。この実施形において、シリンダー３８が孔部４０内に、ストップするまで又は目的位置までねじ込まれると、接続された状態が達成される。
【００３７】
付属ユニット１４の接触器官２８は、図２においては更に、連続する円リング面として形成されている。これらは、任意の各角度位置で、接続部１６の接触器官２８と接触することができる。接触器官２８は、ここではスリップリング（独語：Ｓｃｈｌｅｉｆｒｉｎｇ）の原理に従い構成されている。付属ユニット１４の接触器官２８のリング面は、セグメントとして、又は部分角度領域にわたってのみ設けられていることが可能である。付属ユニット１４の接触器官２８は、付属ユニット１４の図示されていない機能ユニットと電気的に及び／又は情報技術的に接続される。
【００３８】
図２の右側には更に、中央の孔部として形成されたアクセス開口部３０が、付属ユニット１８のシリンダー３８内に示されている。その上、左側の図における孔部４０は、内側ねじ山部分２２を越えて延在している。これは、図示されていない真空装置１０のハウジングの内部まで延在している。よって、アクセス開口部３０を通して、真空装置のハウジングの内部への付属ユニット１４の機能ユニットのアクセスが保証される。このアクセスは、例えば、圧力センサーとして形成された機能ユニットによって、真空装置１０のハウジングの内部の圧力を計測するのに使用されることが可能である。
【００３９】
図３は、より良好な理解の為に同様に図２の実施形を示すが、斜視図として示している。付属ユニット１４は、その、図示されていない接続部１６の方の側に、複数の接触器官２８、シリンダー及び中央の孔部として形成されたアクセス開口部３０を有する一つの接続部を有する。付属ユニット１４の接触器官２８は、シリンダー３８を、図２の真空装置１０の孔部４０内にねじ込む際に図２の接続軸２６を中心として回転する。付属ユニット１４の接続部１７の代わりに、接続部１６が、図３の接触器官２８及び／又はシリンダー３８を有することが可能である。図２において接続部１６の代わりに付属ユニット１４が孔部４０を設けられていることも可能である。接続原理は、つまり逆となってもよい。
【００４０】
図４は、例えばコンシューマエレクトロニクスから既知であるジャックプラグ（独語：Ｋｌｉｎｋｅｎｓｔｅｃｋｅｒ）から構成されている他の実施形を示している。左側の図には、真空装置１０の接続部１６が示されている。接続部１６は、スリーブ要素２０を有している。接触器官２８は、スリーブ要素２０の領域内に突き出すよう、スリーブ要素２０に取り付けられている。接触器官２８は、ばね３４によって接触方向に予テンションを与えられている。つまり弾性的に支承されている。接触器官２８は、配線３２を介して、ここでは図示されていない制御装置１２と電気的に及び／又は情報技術的に接続されている。
【００４１】
図４の右側の図には、付属ユニット１４の接続部１７が、プラグ要素１８及び接触器官２８と共に示されている。接触器官２８は、其々平らにプラグ要素１８の周りに配置されている。接触器官２８は、付属ユニット１４の機能ユニットと電気的及び／又は情報技術的に接続されている（図示されていない）。接触器官２８は、軸方向に間隔をあけた、其々非伝導性の中間領域によって互いに絶縁されている。
【００４２】
プラグ要素１８とスリーブ要素２０は、其々シリンダー形状に形成されている。両者は、接続軸２６上に同軸に配置されている。接続された状態を達成するために、付属ユニット１４は左に向かって、つまりフラグ要素１８がスリーブ要素２０内へと押し込まれる。その際、接続部１６の接触器官２８は、プラグ要素１８によって弾性的に戻される。接続された状態に相当する端部位置において、接続部１６の接触器官２８は、付属ユニット１４の接触器官２８と向き合っており、そしてばね３４によってこれと接触保持される。よって、図示されていない制御装置１２に対する付属ユニット１４の電気的及び／又は情報技術的な接続は、複数の配線３２を介して保証される。
【００４３】
付属ユニット１４の真空装置１０との機械的な接続は、同様にプラグ要素１８とスリーブ要素２０によって協働的に行われる。その際、例えばプラグ要素１８が摩擦結合的にスリーブ要素２０内に保持されることが可能である。それと共に、またはそれに代えて、プラグ要素１８は、例えば戻ることが可能であり、かつアンダーカットと係合する、又はロックする要素を有していることが可能である。この要素は、接続された状態でスリーブ要素２０のアンダーカットと係合し、またはロックし、そしてそのようにしてプラグ要素１８はスリーブ要素２０内に軸方向で固定される。例えば、プラグ要素１８とスリーブ要素２０は、プラグ要素１８をスリーブ要素２０内に挿入した後、またはする際、付属ユニット１４がロック位置へと回転され、これによって固定されるよう形成されていることも可能である。
【００４４】
図５は、ジャックプラグの原理に従う別の実施形を示す。付属ユニット１４は、四つの接触器官２８を有するプラグ要素１８を有する接続部１７を有している。これら接触器官は、其々、軸方向に間隔をあけて、プラグ要素１８の周りに平面的に配置されている。プラグ要素１８上に配置された接触器官２８の向かいに、図示されていない接続部１６の接触器官２８が示されている。接続部１６の各接触器官２８は、これに割り当てられた付属ユニット１４の接触器官２８と向かい合っており、かつこれらと接触している。
【００４５】
図４および５の接続部における機械的な接続及び／又は電気的及び／又は情報技術的な接続は、逆に形成されていることもまた可能である。よって、例えば図５内では、付属ユニット１４の接続部１７の代わりに接続部１６が設けられていることも可能である。接続部１６が、プラグ要素、及び付属ユニット１４がスリーブ要素を有することも可能であろう。スリーブ要素２０の接触器官２８及び／又はプラグ要素１８の接触器官２８もまた、図４において弾性的に支承され、及び／又はリング形状に形成されていることが可能である。
【００４６】
図６には、本発明に係る接続部１７の別の実施形が簡略的に示されている。この実施形は、基本的に任意の付属ユニット、例えばベンチレーター又はその部材、例えばベンチレーター格子部３６が、真空装置に固定されるべきであり、そして付属ユニットの接続の為に固定部が使用されるという原理に基づいている。
【００４７】
ベンチレーター甲指部３６は付属ユニットの構成部材として、ねじ連結部材４２を介して図１の真空装置１０とねじ接続されることが可能である。つまり図示されていない接続要素、例えば組立ねじが設けられている。接触器官２８は、電気的及び／又は情報技術的にベンチレーター格子部３６の構成部材として付属ユニットと接続されている。これはつまり、接触面２８として接触器官が連結部材４２に形成されており、固定された状態でこれらの上に電動性の組立ねじが当接することによって行われる。真空装置１０（図１）の接続部１６における図示されていないカウンターホルダーは、同様に少なくとも一つの接触器官を有する。この接触器官は、各組立ねじを介して関係するフランジ４２の接触面２８と電気的に接続される。
【００４８】
制御装置１２に対する付属ユニット１４の電気的及び／又は情報技術的な接続は、つまりここでは、接触器官２８の間の接続は、（一般的にいうと）伝導性の接続要素または組立要素を使って保証される。この実施形のメリットは、構造的に存在する機械的な接続が、少ない労力で、電気的及び／又は情報技術的な接続にも利用されることが可能であるという点にある。
【００４９】
逆に、図６の接触面２８が、接続要素によって直接、これに割り当てられている、例えば同様に平らな接触器官（真空装置１０の接続部１６の接触器官）と接触させられている、つまりここではベンチレーター格子部３６のねじ接続連結部材４２が、真空装置における対応する接触面に対してねじ接続されていることも考え得る。
【００５０】
一般的に、上述した実施形に関するのみでなく、発明に従い、付属ユニットの真空装置に対する取付けが、回転動作によって、または回転動作を伴わず実施されることが可能である。付属ユニット１４の接触器官２８と接続部１６の接触器官２８の間の接触が、例えば接続軸２６に関して放射方向または軸方向に実施されていることが可能である。制御装置１２に対する付属ユニット１４の電気的及び／又は情報技術的な接続は、一または複数の供給電流、デジタル及び／又はアナログ信号の為の信号配線及び／又は通信配線（例えばデータバスのようなもの）を含みうる。接続部１６は、後から設けることも可能である。これは、例えばケーブルの後方の接続箇所が組立側のスリップリング上に形成されることによって行われる。接続部１６においては、少なくとも一つの接触器官２８がプラグ要素又はスリーブ要素として形成されていることも可能である。これは機能的に、付属ユニット１４と真空装置１０の間の機械的な接続からは分離している。この実施形では、例えば、接続部１６においてスリーブ要素が電気的及び／又は情報技術的な接続のため、および追加的にスクリューねじが、付属ユニットを真空装置と機械的に接続するために設けられている。
【００５１】
真空装置１０の接続部１６と付属ユニット１４の接続部１７の示された実施形、特に図２−５のそれは、其々逆に設けられることも可能である。よって例えば、スリーブ要素または弾性的な接触器官が、真空装置１０の接続部１６に、または付属ユニット１４の接続部１７の側にあることも考え得る。
【００５２】
その上、接触器官の数量も様々であることが考え得る。この数量は、電気的及び／又は情報技術的な接続のための必要な心線の数量に従っている。
【００５３】
制御装置１２に対する付属ユニット１４の電気的及び／又は情報技術的な接続は、ワイヤレス、例えば無線接続又は光学的なデータ交換によって形成されることも可能である。
【００５４】
図１から６の接触器官２８と配線３２は、伝導性に形成されていることが可能である。しかしまたこれらは、情報技術的な接続の為に光学的な伝達手段によって形成されていることも可能である。配線３２は、光ファイバーとして形成されていることが可能であり、接触器官２８が光ファイバーの連結要素として形成されていることが可能である。
【００５５】
付属ユニットは、例えば蓄電池又はバッテリーのような独自の電源供給を有することが可能である。これは、そのエネルギーを、無線信号又はキャリア信号又は誘導的なエネルギー伝達から受け取ることも可能である。しかしまた、付属ユニットはそのエネルギーを例えば周囲から受け取ることも可能である。これは例えば、ペルチェ素子によって温度差から受け取ったり、振動、太陽光発電、または他の形式の放射から受け取ったりする。
【００５６】
付属ユニットは、例えば個々の又は一又は複数のバルブ、圧力、温度または振動の為のセンサー、ベンチレーター、外部の作動時間カウンター、または作動データ検出の為の外部の装置、またはそのメモリを含む。
【００５７】
付属ユニット１４は、必然的に、またはオプションとして真空装置１０に接続されていることが可能である。真空装置１０の接続部１６に付属ユニット１４が接続されていない限り、接続部１６はフリーのままであるか、またはダミープラグによって封されていることが可能である。
【００５８】
制御装置１２は、付属ユニット１４の制御のために、および真空装置１０の制御の為に、特にその駆動の制御の為に、設けられていることが可能である。
【００５９】
接続部１６の接触器官２８の接続部１７の接触器官２８との接触が、例えば図４および５におけるような放射方向、例えば図２および３におけるような軸方向、及び／又は接線方向で行われるよう接続部１６が形成されていることが可能である。
【符号の説明】
【００６０】
１０  真空装置
１１  ハウジング
１２  制御装置
１３  ハウジング
１４  付属ユニット
１６  接続部
１７  接続部
１８  プラグ要素
２０  スリーブ要素
２２  内側ねじ山部分
２４  外側ねじ山部分
２６  接続軸
２８  接触器官
３０  アクセス開口部
３２  配線
３４  ばね
３６  部材
３８  シリンダー
４０  孔部
４２  ねじ接続連結部材
【図１】
0006257574.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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