(57)【要約】  本発明は、互いに対向し、実質的に平行に保たれ、互いに密閉され、したがって、ガス（７）で満たされた内部空間（１０）を画定し、第１の誘電体壁が少なくともＵＶ放射を透過する材料で作られている、第１及び第２の平らな誘電体壁（２、３）と、異なる所定の電位を有し、壁間での垂直放電のための第１及び第２の電極（４、５）により構成され、第１の電極が少なくとも全体的なＵＶ透過を可能にさせるため配置された層に基づいている電極と、放出ガス又は、第１及び／又は第２の誘電体壁（２、３）の一つの主要内側面（２２、３２）にあって、蛍光体がガスによって励起されることにより上記ＵＶ放射を放出する、蛍光体コーティング（６）とを備える、ＵＶランプとして知られている、紫外線域で放射を透過するフラットランプ（１）に関する。本発明は、フラットランプの使用及び製造にも関する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向し、実質的に平行に保たれ、互いに密閉され、したがって、ガス（７）で満たされた内部空間（１０）を画定し、第１の誘電体壁がＵＶ放射を透過する材料で少なくとも作られている、第１及び第２の平らな誘電体壁（２、３）と、
異なる所定の電位にある、壁間の垂直放電のための第１及び第２の電極（４、５）と、
第１の誘電体壁の外側主要面（２１）にある第１の電極と、
第２の誘電体壁の中に一体化されるか、又は、第２の誘電体壁の主要外側面（３１）にある第２の電極（５）と、
ガス及び／又は、第１及び／又は第２の誘電体壁（２、３）の内側主要面（２２、３２）にある蛍光体コーティング（６）を備え、蛍光体がガスによって励起されることにより前記ＵＶ放射を放出するＵＶ放射源とを備える、紫外線（ＵＶ）域で放射を透過するフラット放電ランプ（１）であって、
第１の電極が少なくとも、全体的なＵＶ透過を可能にさせるため配置された不連続層であることを特徴とする、フラット放電ランプ（１）。
【請求項２】
第１の電極（４）が外側面（２１）に堆積され、好ましくは、表面を覆う誘電体によって覆われていないことを特徴とする、請求項１に記載のＵＶランプ（１）。
【請求項３】
第２の電極が好ましくは全体的なＵＶ透過を可能にさせるため配置された層であることを特徴とする、請求項１又は２に記載のＵＶランプ（１）。
【請求項４】
ＵＶ放射が２方向性であり、すなわち、ランプの両側から出ることを特徴とする、請求項１から３のいずれか一項に記載のＵＶランプ（１）。
【請求項５】
第１の電極（４）が一連の等距離ストリップ（４１）の形であるか、又は、少なくとも２連の重ね合わされた平行ストリップの形であり、各ストリップが幅ｌ１を有し、隣接したストリップから距離ｄ１だけ離間していることと、ｌ１対ｄ１の比が１０％から５０％であることとを特徴とする、請求項１から４のいずれか一項に記載のＵＶランプ（１）。
【請求項６】
第２の電極（５）が不連続であり、特に、層として一連の等距離ストリップ（５１）の形であるか、又は、少なくとも２連の重ね合わされた平行ストリップの形であり、各ストリップが幅ｌ１を有し、隣接したストリップから距離ｄ１だけ離間していることと、ｌ１対ｄ１の比が１０％から５０％であることとを特徴とする、請求項１から５のいずれか一項に記載のＵＶランプ（１）。
【請求項７】
第１の電極及び／又は第２の電極が、各ストリップがｐ１として知られている要素間の所定のピッチとｌ２として知られている要素の幅とによって定義される導電性トラックとして１連以上の導電性要素から形成されている、ストリップの形であり、幅ｌ２対ピッチｐ１の比が５０％以下であることを特徴とする、請求項１から６のいずれか一項に記載のＵＶランプ（１）。
【請求項８】
第１の電極、及び、好ましくは第２の電極が、グリッドとして編成されていることを特徴とする、請求項１から７のいずれか一項に記載のＵＶランプ（１）。
【請求項９】
第１の電極、及び、好ましくは第２の電極が、場合によっては結合剤中に、特に銀及び／又は金を含有する導電性粒子に基づいていることを特徴とする、請求項１から８のいずれか一項に記載のＵＶランプ（１）。
【請求項１０】
第１の電極、及び、好ましくは第２の電極が、導電性エナメル、又は、特に銀及び／又は金を含有する導電性インクであることを特徴とする、請求項１から９のいずれか一項に記載のＵＶランプ（１）。
【請求項１１】
前記ＵＶ放射を透過する材料が、石英、シリカ、フッ化マグネシウム若しくはフッ化カルシウム、ホウケイ酸ガラス、特に０．０５％未満のＦｅ２Ｏ３を含有するソーダ石灰シリカガラスから選択されることを特徴とする、請求項１から１０のいずれか一項に記載のＵＶランプ（１）。
【請求項１２】
ガス（７）が希ガス、特に、キセノン、又は、希ガスとハロゲンガスとから選択されたガスの混合物で作られていることを特徴とする、請求項に記載のＵＶランプ。
【請求項１３】
美容分野、エレクトロニクス分野、又は、食品分野における、請求項１から１２のいずれか一項に記載のＵＶランプ（１）の使用。
【請求項１４】
特に、日焼け用ブースに組み込まれている日焼けランプとしての皮膚処置のため、表面、空気、水道水、飲料水、若しくは、スイミングプール水の殺菌若しくは消毒のため、特に、活性層の堆積前における表面の処置のため、重合又は架橋タイプの光化学プロセスの励起のため、紙の乾燥のため、蛍光物質から始まる解析のため、又は、光触媒材料の励起のための、請求項１から１３のいずれか一項に記載のＵＶランプ（１）の使用。
【請求項１５】
不連続電極が誘電体壁の主要面への液体成膜によって直接的に全体的なＵＶ透過のため形成されることを特徴とする、ＵＶランプを製造するプロセス。
【請求項１６】
前記電極の配置が印刷、特に、スクリーン印刷、又は、インクジェットによって形成されることを特徴とする、請求項１５に記載のＵＶランプを製造するプロセス。
【請求項１７】
不連続電極の少なくとも１つの周辺電源ゾーンがスクリーン印刷又はインクジェットによる第１の電極の堆積のステップの間に形成されることを特徴とする、請求項１５又は１６に記載のＵＶランプを製造するプロセス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はフラットＵＶ（紫外線）ランプの分野に関し、特に本発明はフラットＵＶ放電ランプとこのようなＵＶランプの使用及び製造に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のＵＶランプは、水銀で満たされ、放射面を形成するために並行して取り付けられたＵＶ蛍光管によって形成されている。これらのＵＶ蛍光管は寿命が制限されている。さらに、放出されたＵＶ放射の均一性は広い面積に対して達成することが困難である。最終的に、このようなランプは重みがあり、嵩張る。
【０００３】
米国特許第４９４５２９０号明細書は：
サファイア又は石英で作られ、実質的に平行に保たれ、相互に密閉され、したがって、ＵＶ放射源であるガスで満たされた内部空間を画定する第１及び第２の平らな壁と、
石英の中に一体化された金属グリッドの形態か、又は、第１及び第２の平らな壁の主要外側面にあり、異なる所与の電位にて、壁と壁との間の垂直放電のための２個の電極とを備える、２方向のＵＶ放射を透過するフラットＵＶ放電ランプについて記載している。
【０００４】
米国特許第４９８３８８１号明細書は、第１及び第２の誘電体壁の主要内側面に蛍光体コーティングを有して、蛍光体がプラズマガスによって励起されることにより上記ＵＶ放射を放出する、類似したフラットＵＶランプについて記載している。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の一つの主題は、信頼性の高い性能と簡素化された設計とからなり、及び／又は好ましくは、交流作動し、容易に製造できる、広範囲の用途に使われるフラットＵＶ放電ランプを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この目的のため、本発明は、紫外線（ＵＶ）で放射を透過するフラット放電ランプであって：
互いに対向し、実質的に平行に保たれ、互いに密閉され、したがって、内部ガス充満空間を画定し、第１の壁が少なくとも上記ＵＶ放射を透過する材料で作られている、第１及び第２の平らな誘電体壁と、
異なる所定の電位にある、壁と壁との間（「非同一平面構造」）での垂直放電のための第１及び第２の電極と、
（最適な）全体的なＵＶ透過を可能にするため、したがって配置された少なくとも不連続層である、第１の誘電体壁の外側主要面にある第１の電極と、
第２の誘電体壁の中に一体化されるか、又は、第２の誘電体壁の主要外側面にある第２の電極と、
ガス及び／又は、第１及び／又は第２の誘電体壁の内側主要面にある蛍光体コーティングを備え、蛍光体がガスによって励起されることにより上記ＵＶ放射を放出するＵＶ放射源とを備えるフラット放電ランプを提供する。
【０００７】
本発明によるフラット放電ランプは、製造がより簡単であり、特に、第１の電極及び好ましくは第２の電極を作るために不透明材料にアクセスできる。
【０００８】
不連続層（単層又は多層）の使用は、特に、均一性を高めるように透過閾値を調節すること、又は、改善することさえ可能にする。
【０００９】
第１の電極（好ましくは第２の電極）は、不連続な（互いに離間した）電極ゾーンを形成することによって、及び／又は、層をもたないゾーン（絶縁ゾーン）を含む導電層とすることによって不連続であり得る。（ライン状、ストリップ状、グリッド状などに配置された）電極のゾーンの１次元又は２次元アレイを形成することが可能である。
【００１０】
本発明によるＵＶランプは、蛍光管を使って現在のところ実現されている程度の寸法、又は、さらに大きい寸法、たとえば、少なくとも１ｍ２の面積を有することがある。
【００１１】
好ましくは、上記ＵＶ放射のピーク付近での本発明によるランプの透過率は、５０％以上でもよく、より好ましくは、７０％以上でもよく、さらに８０％以上でもよい。
【００１２】
ランプは密閉されるべきであり、周辺シーリングは、様々な手法で実現されることがあり：
シール（シリコーン系のポリマーシール、又は、ガラスフリット系の無機シール）と、
たとえば、ガラス製であり、（接着により、又は、たとえば、ガラスフリットに基づくフィルムの他の手段により）壁に結合された周辺フレームとによって実現されることがある。
【００１３】
フレームは、場合によっては、１つ以上の個別のスペーサを置き換えるスペーサの機能を果たすことがある。
【００１４】
誘電体壁はイオン衝撃に対する電極の容量保護の機能を果たす。
【００１５】
各電極は該当している誘電体壁の外側面と様々な手法で一体にされることがあり、各電極は外側面に直接堆積されてもよく（第１の電極のための好ましい解決策）、又は、電極が壁の外側面に押圧されるように壁に接合された誘電体支持要素にあってもよい。
【００１６】
好ましくは薄いこの誘電体支持要素は、プラスチックフィルム、特に、機械的保護のためのガラス基材付きの積層中間層でもよく、又は、ＵＶが適切な場合に通過することを可能にするため、たとえば、好ましくは周辺で樹脂若しくは無機シールによって接着された誘電体シートでもよい。
【００１７】
適当なプラスチックは、たとえば：
たとえば、０．２ｍｍから１．１ｍｍ、特に、０．３から０．７ｍｍの厚さをもち、場合によっては、電極（好ましくは、第２の電極）を支持する積層中間層の機能を果たすプラスチックである、軟質用途ポリウレタン（ＰＵ）、エチレン／ビニルアセテート共重合体（ＥＶＡ）、又は、ポリビニルブチラール（ＰＶＢ）と、
場合によっては、電極（好ましくは第２の電極）を支持する特に硬質プラスチックとして使用される、硬質ポリウレタン、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）などのアクリレートとである。
【００１８】
ＰＥ、ＰＥＮ、若しくは、ＰＶＣ、さもなければ、できる限り薄く、特に、１０から１００μｍであり、できる限り第２の電極を支持するポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）を使用することも可能である。
【００１９】
適切な場合には、当然ながら、使用される種々のプラスチックの間で、特に、これらのプラスチックの優れた粘着性に関して、互換性を確保することが必要である。
【００２０】
当然ながら、付加される誘電体要素はいずれもが、ＵＶランプの放出側に設置される場合、上記ＵＶ放射を透過するように選ばれる。
【００２１】
ＵＶ放射は、片側、すなわち、第１の壁を通して透過され得る。この場合、全反射ＵＶ層を形成する第２の電極、及び／又は、ＵＶ放射を吸収し、好ましくは、第１の壁と類似した膨張率を有する第２の誘電体壁を選ぶことが可能である。たとえば、ワイヤ電極、又は、ガラス基材若しくは硬質プラスチック付きの第２の壁の積層に挿入された層を有する電極の（不透明又は不透明でない）どのようなタイプの電極材料を選ぶことも可能である。
【００２２】
好ましくは、ＵＶ放射は、ランプの両側からの同じ強度、又は、異なる強度を有する２方向性でもよい。
【００２３】
コンパクト性、製造時間、及び／又は、ＵＶ透過を節約するため、第１の電極（好ましくは、層の形で選ばれた第２の電極）は、好ましくは、外側面に（直接）堆積され、誘電体（特に、表面を覆う誘電体（フィルムなど））によって覆われないことがある。
【００２４】
場合によっては、層に重ね合わされた不連続保護上層（たとえば、誘電体保護上層）を設けることが可能である。
【００２５】
場合によっては、好ましくは不連続であり、電極層と類似した方法で設けられる機能性下層（たとえば、誘電体、バリア、タイなどの機能性下層）を電極層の下に設けることが可能である。
【００２６】
上記ＵＶ放射を透過する電極材料を使って、当然ながら、層の不連続性による透過を増加させることが可能である。電極材料は、特に、たとえば、約１０ｎｍの金、又は、たとえば、０．１から１μｍのカリウム、ルビジウム、セシウム、リチウム、又は、カリウムなど、アルカリ金属の非常に薄い層でもよく、そうでなければ、たとえば、２５％のナトリウムと７５％のカリウムを含む合金で作られてもよい。
【００２７】
電極材料は必ずしもＵＶ放射に対して十分に透明ではない。上記ＵＶ放射に対し比較的不透明である一方の電極（第１の電極と、好ましくは、第２の電極）材料は、たとえば：
フッ素ドープ酸化スズ（ＳｎＯ２：Ｆ）、若しくは、アンチモンドープ酸化スズ、又は、アルミニウム、ガリウム、インジウム、ホウ素、スズのうちの少なくとも１つの元素がドープされるか、又は、合金化された酸化亜鉛（たとえば、ＺｎＯ：Ａｌ、ＺｎＯ：Ｇａ、ＺｎＯ：Ｉｎ、ＺｎＯ：Ｂ、ＺｎＳｎＯ）及び、
特に、亜鉛がドープ又は混ぜられた酸化インジウム（ＩＺＯ）、ガリウム及び亜鉛がドープされ又は混ぜられた酸化インジウム（ＩＧＺＯ）、又は、スズがドープ又は混ぜられた酸化インジウム（ＩＴＯ）であり、
導電性酸化物、たとえば、真空で蒸着される、
金属、すなわち、銀、銅又はアルミニウム、金、モリブデン、タングステン、チタニウム、ニッケル、クロム又はプラチナである。
【００２８】
第１の電極及び好ましくは第２の電極を形成する層は、液体成膜、真空蒸着（スパッタリング、特に、マグネトロンスパッタリング、蒸発）など、知られている堆積手段によって、熱分解（粉末又はガスルート）によって、又は、スクリーン印刷によって、インクジェットによって、ドクターブレードを使う塗布によって、若しくは、より一般的に印刷によって堆積され得る。
【００２９】
上記ＵＶ放射に対して比較的不透明である一方の電極（第１の電極及び好ましくは第２の電極）材料は、たとえば、金属粒子又は導電性酸化物、たとえば、既に上述されている金属粒子又は導電性酸化物に基づいている。
【００３０】
特にスクリーン印刷によって（たとえば、十分な全体的な透過のため）薄い外観の堆積／形成を促進するため、したがってナノスケールサイズの（たとえば、最大ナノスケール寸法及び／又はナノスケールＤ５０を有する）、特に、１０から５００ｎｍ、又は、さらに１００ｎｍ未満のサイズを有するナノ粒子を選ぶことが可能である。
【００３１】
金属（ナノ）粒子（球状、薄片など）として、特に、Ａｇ、Ａｕ、Ａｌ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｎｉに基づく（ナノ）粒子を選ぶことが可能である。
【００３２】
（ナノ）粒子は、好ましくは、結合剤中にある。抵抗率は結合剤中の（ナノ）粒子の濃度に合わせて調節される。
【００３３】
結合剤は、場合によっては、有機物、たとえば、ポリウレタン、エポキシ若しくはアクリル樹脂でもよく、又は、ゾルゲル法によって生成されてもよい（無機物、又は、有機−無機ハイブリッドなど）。
【００３４】
（ナノ）粒子は溶媒（アルコール、ケトン、水、グリコールなど）中の分散から堆積することがある。
【００３５】
第１及び／又は第２の電極を形成するため使用されることがある粒子に基づく市販品は、住友金属鉱山株式会社によって販売されている以下の製品である：
Ｘ１００（Ｒ）とＸ１００（Ｒ）Ｄ：樹脂結合剤（オプション）にケトン溶媒で分散したＩＴＯの粒子、
Ｘ５００（Ｒ）：アルコール溶媒中に分散したＩＴＯの粒子、
ＣＫＲ（Ｒ）：アルコール溶媒中の金でコーティングされた銀の粒子、および
ＣＫＲＦ（Ｒ）：金と銀の凝集粒子。
【００３６】
所望の抵抗率は製法に応じて調節される。
【００３７】
粒子は、米国のＣａｂｏｔ社（たとえば、製品番号ＡＧ−ＩＪ−Ｇ−１００−Ｓ１）又は日本のハリマ化成株式会社（ＮＰ  Ｓｅｒｉｅｓ）から入手できる。
【００３８】
好ましくは、粒子及び／又は結合剤は原則的に無機である。
【００３９】
第１の電極と、好ましくは（特に２次元放射が望ましい場合）第２の電極とのため：
特に、スクリーン印刷用ペーストと、
（上述された、好ましくは、銀及び／又は金など）（ナノ）粒子で満たされたペースト、導電性エナメル（銀溶融ガラスフリット）、インク、（ポリマーマトリックスを有する）導電性有機ペースト、（Ｂａｙｅｒ社、Ａｇｆａ社からの）ＰＳＳ／ＰＥＤＯＴ、及び、ポリアニリンと、
印刷後に沈殿する（金属）導電性（ナノ）粒子を含むゾルゲル層と、
たとえば、米国特許出願公開第２００７／０２８３８４８号に記載されたインクであって、インクジェットによって堆積された（上述された、好ましくは、銀及び／又は金など）（ナノ）粒子で満たされた導電性インクとを選ぶことが可能である。
【００４０】
好ましくは、第１の電極（及び第２の電極）は原則的に無機である。
【００４１】
第１の電極（適切な場合には、好ましくは、第２の電極）の配置は、製造コストを削減するために導電性材料の堆積物によって直接的に実現されることがある。このようにして、多くの場合にリソグラフィックプロセス（レジストへの放射露光及び現像）を必要とするポスト構造化工程、たとえば、ドライエッチング及び／又はウェットエッチング工程が回避される。
【００４２】
アレイとしてのこの直接的な配置は、好ましくは、液体ルート、たとえば、インクパッドを使用する印刷、特に、平圧又は輪転印刷、あるいは、そうでなければ、（適当なノズルを使う）インクジェット、スクリーン又はシルク印刷を用いる１つ以上の適当な堆積法によって、又は、ドクターブレードを使う簡単な塗布によって、直接的に実現されることがある。
【００４３】
スクリーン又はシルク印刷によって、適当なメッシュ幅及びメッシュ精細さを有する人工シルク、ポリエステル、又は、金属布が選ばれる。
【００４４】
第１及び／又は第２の電極は、このようにして、主として、特に共通電源のための周辺のストリップによって接続されることがある一連の等距離のストリップの形態でもよい。ストリップは、直線状でもよく、又は、より複雑な非直線状の形状、たとえば、角度のある形、Ｖ字形、波形、又は、千鳥形でもよい。
【００４５】
幅ｌ１を有し、間隔ｄ１で離間しているストリップは、直線的かつ実質的に平行でもよく、少なくとも５０％の全体的なＵＶ透過を可能にさせるため、ｌ１対ｄ１の比ができる限り１０％と５０％との間であり、比ｌ１／ｄ１が関連付けられた壁の透過に応じてできる限り調節される。
【００４６】
より広い意味では、第１及び／又は第２の電極は、重ね合わされ、たとえば、織物、布又はグリッドとして編成れた少なくとも２連のストリップ（又は行）でもよい。
【００４７】
たとえば、すべての一連のストリップに対し、同じストリップサイズと隣接ストリップ間の同じ間隔とが選ばれる。
【００４８】
さらに、各ストリップは途切れていなくて（ｓｏｌｉｄ）もよく、又は、途切れていて（ｏｐｅｎ）もよい。
【００４９】
第２の電極に対し、途切れていないストリップは、特に、連続した導線（平行線、網組線など）から、又は、（銅製の、接着されるべき、又は、その他の）リボンから形成されることがある。
【００５０】
途切れていないストリップは、液体成膜、真空蒸着（マグネトロンスパッタリング、蒸発）など、当業者に知られているどのような手段によって、熱分解（粉末又はガスルート）によって、又は、スクリーン印刷によって堆積されたコーディングから作られてもよい。
【００５１】
特に、ストリップを形成するためには、所望の分布を直接的に実現するため、さもなければ、レーザアブレーション又は化学的若しくは機械的エッチングによって均一なコーティングをエッチングするため、マスキングシステムを利用することが可能である。
【００５２】
途切れた構造を有する各ストリップはまた、アレイを形成する１つ又は複数連の導電性要素から形成されることがある。要素は、特に幾何学的であり、細長いか、又は、細長くない（正方形、円形など）。
【００５３】
各連の要素は、隣接した要素間のｐ１として知られている所与のピッチと、ｌ２として知られている要素の幅とを有する等距離の要素によって画定されることがある。２連の要素は重ね合わされてもよい。このアレイは、特に、織物、布など、グリッドとして編成されることがある。これらの要素は、たとえば、タングステン、銅、又は、ニッケルなど、金属製である。
【００５４】
途切れた構造体を有する各ストリップは、（第２の電極に対し）導線及び／又は導電性トラックに基づくことがある。
【００５５】
したがって、所望の透過に応じて１つ又は複数連のストリップのｌ１対ｄ１の比を適合させることにより、及び／又は、所望の透過に応じて、途切れた構造を有するストリップの幅ｌ２及び／又はピッチｐ１を適合させることにより、全体的なＵＶ透過を実現することが可能である。
【００５６】
したがって、ピッチｐ１に対する幅ｌ２の比は、好ましくは、５０％以下でもよく、好ましくは、１０％以下でもよく、より好ましくは、さらに１％以下でもよい。
【００５７】
たとえば、ピッチｐ１は、５μｍから２ｃｍでもよく、好ましくは、５０μｍから１．５ｃｍでもよく、より好ましくは、１００μｍから１ｃｍでもよく、幅ｌ２は、１μｍから１ｍｍでもよく、好ましくは、１０から５０μｍでもよい。
【００５８】
一例として、１００μｍから１ｍｍ、又は、さらに３００μｍのピッチｐ１と、５μｍから２００μｍ、５０μｍ以下、又は、さらに１０から２０μｍの幅ｌ２を有する（グリッドなど）として、導電性トラックのアレイを使用することが可能である。
【００５９】
第２の電極のための導線のアレイは、１から１０ｍｍ、特に、３ｍｍのピッチｐ１を有してもよく、１０から５０μｍ、特に、２０から３０μｍの幅ｌ２を有してもよい。
【００６０】
第２の電極に対し、ワイヤは、少なくとも部分的に第２の関連付けられた誘電体壁に一体化されてもよく、又は、代替的に、少なくとも部分的に、特にＰＶＢ又はＰＵで作られた積層中間層に一体化されてもよい。
【００６１】
ガスがＵＶ源内にあるとき、ＵＶ放射を変更するため、ガスは取り替えられるべきであり、結果としてＵＶ放出及び放電条件（圧力、電源、ガス高など）を適合させることが必要である。
【００６２】
蛍光体コーティングが、放電条件とは独立に生成することが望まれるＵＶ放射に応じて選ばれる場合、励起ガスを替えることは必要でない。
【００６３】
特に、たとえば、１つ以上の希ガス（Ｘｅ、Ａｒ、Ｋｒなど）によって生成されるＶＵＶ放射に晒されるとき、ＵＶＣで発光する蛍光体が存在する。たとえば、２５０ｎｍのＵＶ放射は、２００ｎｍより短いＶＵＶ放射によって励起された後に蛍光体によって放出される。ＬａＰＯ４：Ｐｒ、ＣａＳＯ４：Ｐｂなど、Ｐｒドープ材料又はＰｂドープ材料が挙げられる。
【００６４】
同様にＶＵＶに晒されるとき、ＵＶＡ又は近ＵＶＢで発光する蛍光体も存在する。ＹＢＯ３：Ｇｄ、ＹＢ２Ｏ５：Ｇｄ、ＬａＰ３Ｏ９：Ｇｄ、ＮａＧｄＳｉＯ４、ＹＡｌ３（ＢＯ３）４：Ｇｄ、ＹＰＯ４Ｇｄ、ＹＡｌＯ３：Ｇｄ、ＳｒＢ４Ｏ７：Ｇｄ、ＬａＰＯ４：Ｇｄ、ＬａＭｇＢ５Ｏ１０：Ｇｄ，Ｐｒ、ＬａＢ３Ｏ８：Ｇｄ，Ｐｒ、（ＣａＺｎ）３（ＰＯ４）２：Ｔｌなど、ガドリニウムドープ材料が挙げられる。
【００６５】
さらに、たとえば、水銀又は、好ましくは、希ガス及び／又はハロゲンガス（Ｈｇ、Ｘｅ／Ｂｒ、Ｘｅ／Ｉ、Ｘｅ／Ｆ、Ｃｌ２など）など、ガス（複数を含む）によって生成されるＵＶＢ又はＵＶＣ放射に晒されるとき、ＵＶＡで発光する蛍光体が存在する。たとえば、ＬａＰＯ４：Ｃｅ、（Ｍｇ、Ｂａ）Ａｌ１１Ｏ１９：Ｃｅ、ＢａＳｉ２Ｏ５：Ｐｂ、ＹＰＯ４：Ｃｅ、（Ｂａ、Ｓｒ、Ｍｇ）３Ｓｉ２Ｏ７：Ｐｂ、ＳｒＢ４Ｏ７：Ｅｕが挙げられる。たとえば、３００ｎｍを超えるＵＶ放射、特に、３１８ｎｍから３８０ｎｍのＵＶ放射は、約２５０ｎｍのＵＶＣ放射によって励起された後に蛍光体によって放出される。
【００６６】
したがって、ガスは、希ガス及び／又はハロゲンから選択されたガス又はガスの混合物で作られることがある。（１つ以上の希ガスとの混合物としての）ハロゲンの量は、１０％未満、たとえば、４％になるよう選ばれることがある。ハロゲン化合物を使用することも可能である。希ガス及びハロゲンは気象条件によって影響されないという利点がある。
【００６７】
以下の表１は、蛍光体のＵＶ放射及び／又は励起ガスの放射ピークを示している。
【表１】
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【００６８】
さらにより好ましくは、１つ以上の希ガス、特に、キセノンが励起ガスとして選ばれる。
【００６９】
当然ながら、放電ゾーンを最大化するため、かつ、均一な放電のため、第１及び第２の電極は、連続的に、又は、別々に、内部空間に内接された壁の面積と少なくとも実質的に等しい寸法を有するエリアの上に延在することがある。
【００７０】
より一層の簡素化のため、かつ、シーリングを容易に行うため、第１及び第２の誘電体壁は、同一の材料で作られるか、又は、少なくとも類似した膨張率を有する材料で作られることがある。
【００７１】
第１の誘電体壁又はさらに第２の誘電体壁からの上記ＵＶ放射を透過する材料は、好ましくは、石英、シリカ、フッ化マグネシウム（ＭｇＦ２）若しくはフッ化カルシウム（ＣａＦ２）、ホウケイ酸ガラス、又は、特に、０．０５％未満のＦｅ２Ｏ３を含有するソーダ石灰シリカガラスから選択されることがある。
【００７２】
３ｍｍの厚さの実施例として：
フッ化マグネシウム又はフッ化カルシウムは、ＵＶ帯域、すなわち、ＵＶＡ（３１５から３８０ｎｍ）、ＵＶＢ（２８０から３１５ｎｍ）、ＵＶＣ（２００から２８０ｎｍ）、又は、ＶＵＶ（約１０から２００ｎｍ）の全範囲に亘って、８０％より多く、又は、さらに９０％より多くを透過する、
石英及びある種の高純度シリカは、ＵＶＡ、ＵＶＢ及びＵＶＣ帯域の全範囲に亘って、８０％より多く、又は、さらに９０％より多くを透過する、
ホウケイ酸ガラスはＳｃｈｏｔｔ社製のＢｒｏｆｌｏａｔなど、ＵＶＡ帯域全体に亘って７０％より多くを透過する、
０．０５％未満のＦｅ（ＩＩＩ）すなわちＦｅ２Ｏ３を含有するソーダ石灰シリカガラス、特に、Ｓａｉｎｔ−Ｇｏｂａｉｎ社製のＤｉａｍａｎｔガラス、Ｐｉｌｋｉｎｇｔｏｎ社製のＯｐｔｉｗｈｉｔｅガラス、Ｓｃｈｏｔｔ社製のＢ２７０ガラスは、ＵＶＡ帯域全体に亘って７０％より多く、さらに８０％より多くを透過する。
【００７３】
Ｓａｉｎｔ−Ｇｏｂａｉｎ社から販売されているＰｌａｎｉｌｕｘガラスなど、ソーダ石灰シリカガラスは、ある種の構造及びある種の用途には十分であり得る３６０ｎｍより上で８０％を超える透過率を有する。
【００７４】
本発明によるフラットＵＶランプの構造において、内部空間中のガス圧は約０．０５から１バールでもよい。
【００７５】
誘電体壁はどのような形状でもよく、壁の輪郭は、多角形、凹型、又は、凸型でもよく、特に、正方形若しくは長方形でもよく、又は、曲線状、特に、円形若しくは楕円形でもよい。
【００７６】
誘電体壁は、同じ曲率半径で僅かに湾曲してもよく、好ましくは、周辺において、たとえば、スペーサ（たとえば、周辺フレーム）又は複数のスペーサ（ポイントスペーサなど）によって一定距離を離隔され、又は、好ましくは、内部空間内で（規則的に、一様に）分布される。たとえば、スペーサはガラス玉でもよい。スペーサの寸法がガラス壁の寸法よりかなり小さい場合に離散型スペーサと呼ばれることがあるこれらのスペーサは、国際公開第９９／５６３０２号パンフレットに記載されているように、様々な形、特に、球体、平行面状両錘型の球体、円柱体と、多角形断面、特に、十字形断面を有する平行六面体とをとることがある。
【００７７】
２つの誘電体壁の間のギャップは、スペーサによって約０．３から５ｍｍの値に固定されることがある。真空絶縁グレージングユニット内でスペーサを堆積させる技術は、仏国特許出願公開第２７８７１３３号明細書により知られている。このプロセスによれば、スペーサの直径以下の直径を有する接着剤のスポット、特に、スクリーン印刷により堆積されるエナメルのスポットがガラス板上に堆積され、次に、スペーサが、好ましくは、傾斜されたガラス板上で回転され、その結果、単一のスペーサが接着剤の各スポットに接着する。第２のガラス板がその後にスペーサの上に置かれ、周辺シーリング継ぎ目が堆積される。
【００７８】
スペーサは、放電に関与しないように、又は、短絡を生じさせないように非導電性材料製である。好ましくは、スペーサは、特に、ソーダ石灰タイプのガラス製である。スペーサの材料における吸収による光損失を防止するため、ＵＶにおいて透明性又は反射性である材料で、又は、壁（複数を含む）のため使用された材料と同一又は異なる蛍光体材料で、スペーサの表面を覆うことが可能である。
【００７９】
一実施形態によれば、ＵＶランプは、中間空洞が大気圧である密閉されたエンクロージャを最初に製造し、次に、真空を形成し、所望の圧力でプラズマガスを導入することによって生産され得る。本実施形態によれば、壁の一方は、壁の厚さを貫通され、シーリング手段によって塞がれる少なくとも１個の穴を含む。
【００８０】
ＵＶランプは、３０ｍｍ以下、好ましくは、２０ｍｍ以下の総厚を有することがある。
【００８１】
好ましくは、壁は、無機であり、たとえば、ガラスフリットに基づいている周辺シーリング継ぎ目によって密閉される。
【００８２】
第１の電極は、第２の電極より低い電位でもよく、特に、一つの放出側を有する構造では、第２の電極はできる限り誘電体によって保護される。
【００８３】
第１の電極は、４００Ｖ（典型的にはピーク電圧）以下、好ましくは、２２０Ｖ以下、より好ましくは、１１０Ｖ以下の電位でもよく、及び／又は、１００Ｈｚ以下、好ましくは、６０Ｈｚ以下、より好ましくは、５０Ｈｚ以下の周波数でもよい。
【００８４】
Ｖ１は好ましくは２２０Ｖ以下であり、周波数ｆは好ましくは５０Ｈｚ以下である。
【００８５】
第１の電極は好ましくは接地されることがある。
【００８６】
ＵＶランプの電源は、交流信号、周期信号、特に、正弦波信号、パルス状信号、又は、鋸歯状（方形波など）信号でもよい。
【００８７】
上述のＵＶランプは、産業部門、たとえば、美容分野、エレクトロニクス分野、又は、食品分野と、家庭部門、たとえば、水道水、飲料水、若しくは、スイミングプールの水、空気の浄化、ＵＶ乾燥、及び、重合の両方で使用されることがある。
【００８８】
ＵＶＡ、又は、さらにＵＶＢにおける放射を選ぶことにより、上述のＵＶランプは：
特に日焼け用ブースに組み込まれている日焼けランプ（特に、実施されている標準では、９９．３％のＵＶＡ及び０．７％のＵＶＢ）として使用され、
光化学励起プロセス、たとえば、特に接着剤の重合若しくは架橋、又は、紙の乾燥のために使用され、
核酸又は蛋白質を分析するためゲル形式で使用される臭化エチジウムなど、蛍光材料の励起のために使用され、
たとえば、冷蔵庫又は土中の匂いを低減するため光触媒材料を励起するために使用されることがある。
【００８９】
ＵＶＢにおける放射を選ぶことにより、ランプは皮膚中のビタミンＤの形成を促進する。
【００９０】
遠ＵＶＣにおける放射を選ぶことにより、上述のＵＶランプは、特に、２５０ｎｍから２６０ｎｍで、殺菌効果によって、空気、水又は表面を消毒／殺菌するため使用されることがある。
【００９１】
ＵＶＣ、又は、好ましくは、オゾン生成のためＶＵＶにおける放射を選ぶことにより、上述のＵＶランプは、特に、エレクトロニクス、コンピューティング、光学、半導体などのための活性膜の堆積前に、特に、表面の処置のため使用される。
【００９２】
ランプは、たとえば、冷蔵庫又は台所棚など、家庭用電気設備に一体化されることがある。
【００９３】
本発明の別の主題は、不連続電極（第１の電極及び／又は第２の電極）が、誘電体壁の主要面への液体成膜によって直接的に全体的なＵＶ透過のため形成され、その配置が第１の壁の（下層で覆われているか、又は、覆われていない）外側面への液体成膜によって直接的に形成される、特に、上述のタイプのＵＶランプを製造するプロセスである。
【００９４】
特に、印刷技術（フレキソ印刷、パッド印刷、輪転印刷機など）が好ましく、特に、スクリーン印刷及び／又はインクジェット印刷が好ましい。
【００９５】
さらに、電極の周辺電源ゾーンが一般的に形成される。たとえば、ストリップを形成するこのゾーンは、「バスバー」として知られ、それ自体が、たとえば、ろう付け又は溶接によって、（箔、ワイヤ、ケーブルなどを介して）電源手段に接続されている。このゾーンは１つ以上の辺に沿って延在することがある。
【００９６】
この電源ゾーンは、スクリーン印刷されてもよく、特に、銀エナメル製でもよい。
【００９７】
したがって、スクリーン印刷によって（好ましくは、導電性エナメルから）、又は、さらにインクジェット印刷によって、上記電極を堆積するステップの間に不連続電極の少なくとも１つの周辺電源ゾーンを形成することが好ましいことがある。ＵＶ電極を製造するこのプロセスは、上述されているようなＵＶランプのため、又は、内側面に電極を有するか、あるいは、内側面に一方の電極をもち、外側面にもう一方の電極を有するＵＶランプのため適切である。
【００９８】
本発明の他の細部及び有利な特徴は、本発明の一実施形態におけるフラットＵＶ放電ランプの断面図を概略的に表現する以下の図１によって示されているフラットＵＶランプの実施例を読めば明らかである。
【００９９】
明瞭さのため、提示された物の様々な要素は必ずしも正しい縮尺で再現されていない。
【図面の簡単な説明】
【０１００】
【図１】本発明の一実施形態によるフラット放電ランプの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０１０１】
図１は、たとえば、矩形状であり、１つ１つが外側面２１、３１と、内側面２２、３２とを有する第１のプレート２及び第２のプレート３を備えるフラットＵＶ放電ランプ１を表している。ランプ１は、ランプの外側面２１、３１を介して２方向ＵＶ放射を放出する。
【０１０２】
各プレート２、３の面積は、たとえば、約１ｍ２、又は、それより大きく、プレートの厚さは約３ｍｍである。
【０１０３】
プレート２、３は、それらの内側面２２、３２が互いに対向し、内部空間を画定する周辺シールを用いて、ここでは、シーリングフリット８、たとえば、プレート２、３の熱膨張率に近い熱膨張率を有するガラスフリットによって組み立てられるように、一つに結合される。
【０１０４】
変形例として、プレートは、接着剤、たとえば、（シールを形成する）シリコーン接着剤によって、あるいは、そうでなければ、ヒートシールされたガラスフレームによって一つに結合される。これらのシーリングモードは、過度に異なる膨張率を有するプレート２、３が選ばれる場合、好ましい。
【０１０５】
プレート間のギャップは、プレート間に設置されたガラススペーサ９によって（一般的に５ｍｍ未満の値に）設定される。ここで、ギャップは、たとえば、１から２ｍｍである。
【０１０６】
スペーサ９は、球体、円柱体、若しくは、立方体の形状、又は、別の多角形、たとえば、十字形の断面を有することがある。スペーサは、少なくともプラズマガス雰囲気に晒される横側面がＵＶ放射を反射する材料で覆われ得る。
【０１０７】
第１のプレート２は、数ミリメートルの直径をもち、外側開口部が、特に、銅製であり、外側面２１に溶接されたシーリングパッド１２によって塞がれた、プレートの厚さを貫通する穴１３を周囲の付近に有する。
【０１０８】
プレート２と３との間の空間１０には、ＵＶＣにおける励起放射を放出するため２００ミリバールに減圧されたキセノン７が存在する。
【０１０９】
ランプ１は、たとえば、日焼けランプとして使用される。
【０１１０】
内側面２２、３２は、たとえば、ＹＰＯ４：Ｃｅ（３５７ｎｍでピーク）、又は、（Ｂａ、Ｓｒ、Ｍｇ）３Ｓｉ２Ｏ７：Ｐｂ（３７２ｍｍでピーク）、又は、ＳｒＢ４Ｏ７：Ｅｕ（３８６ｎｍでピーク）など、好ましくは、３５０ｎｍを超えるＵＶＡ域の放射を放出する蛍光体材料のコーティング６を支える。
【０１１１】
Ｓａｉｎｔ−Ｇｏｂａｉｎ社によって販売されるＰｌａｎｉｌｕｘなど、低コストのため、３５０ｎｍの付近で８０％を超えるＵＶＡ透過を与えるソーダ石灰シリカガラスが選ばれる。ソーダ石灰シリカガラスの膨張率は約９０×１０−８Ｋ−１である。
【０１１２】
別の変形例では、ガドリニウムベースの蛍光体及び（たとえば、約３２×１０−８Ｋ−１の膨張率を有する）ホウケイ酸ガラス、又は、０．０５％未満のＦｅ２Ｏ３を含有するソーダ石灰シリカガラスと、キセノンなどの希ガスを単独、又は、アルゴン及び／又はネオンとの混合物として選ばれる。
【０１１３】
当然ながら、約３００−３３０ｎｍでＵＶＡを透過するため他の蛍光体及びホウケイ酸ガラスが選ばれてもよい。
【０１１４】
別の変形例では、ランプ１は、たとえば、殺菌効果のため、ＵＶＣ域で放出し、次に、ＬａＰＯ４：Ｐｒ又はＣａＳＯ４：Ｐｂなど、蛍光体が選ばれ、壁のため、シリカ又は石英が選ばれ、同時に、キセノンなど、希ガスが、好ましくは、単独で、又は、アルゴン及び／又はネオンとの混合物として選ばれる。
【０１１５】
第１の電極４は第１の壁２（常に放出側）の外側面２１にある。第２の電極５は第２の壁３（場合によっては放出側）の外側面３１にある。
【０１１６】
各電極４、５は、固有電位の不連続層の形をしている。各電極４、５は、少なくとも１連の、又は、さらに２連の重ね合わされたストリップ４１、５１、たとえば、途切れていないストリップの形をしている。
【０１１７】
好ましくは、ストリップ４１、５１は、幅１１と類似したストリップ間の間隔ｄ１とを有する。
【０１１８】
第１の電極（少なくとも）の材料はＵＶに対し比較的不透明であり、この場合、ストリップ間の間隔の幅ｄ１に対するストリップの幅ｌ１の比は、（各連について）全体的なＵＶ透過を高めるために結果的に調節される。
【０１１９】
たとえば、ストリップ間の間隔の幅ｄ１に対する幅ｌ１の比は、約２０％以下であるように選ばれ、たとえば、幅ｌ１は４ｍｍに等しく、電極間の間隔の幅ｄ１は２ｃｍに等しい。
【０１２０】
電極４、５の材料は、たとえば、好ましくは、スクリーン印刷によって堆積された銀、たとえば、銀エナメル、又は、銀及び／又は金のナノ粒子を含有するインクである。
【０１２１】
電極材料は、代替的に、スパッタリングによって薄膜として蒸着され、その後にエッチングされることもある。
【０１２２】
したがって、たとえば、およそ３６０ｎｍから始めて８５％の全体的な透過を実現することを可能にさせる１ｍｍに等しい幅及び５ｍｍに等しい間隔をもち、同時に非常に満足できる均一性を維持する電極４、５を形成するためにエッチングされた、銅若しくは銀、又は、フッ素ドープ酸化スズの層を有するＰｌａｎｉｌｕｘガラスを選ぶことが可能である。
【０１２３】
壁に対し、およそ３６０ｎｍから始めて８５％の全体的な透過を実現することを可能にさせる１ｍｍに等しい幅及び５ｍｍに等しい間隔をもち、同時に非常に満足できる均一性を維持する電極４、５を形成するためにエッチングされた、フッ素ドープ酸化スズの層をそれぞれ有するＰｌａｎｉｌｕｘガラスを選ぶことも可能である。
【０１２４】
変形例として、各ストリップは、全体的なＵＶ透過をさらに高めるため、（たとえば、１５から５０μｍの幅を、５００μｍ離間して、スクリーン印刷によって生成された）途切れた構造を有し、たとえば、導電性要素、たとえば、幾何学的要素（正方形、円形など、要素、線、グリッド）のアレイから形成されることがある。
【０１２５】
変形例として、電極４、５は、面の上に延在し、たとえば、１５から５０μｍのトラックの幅を５００μｍ離間して、スクリーン印刷によって生成されたグリッドとして配置された不連続層である。たとえば、ＩｎｋＴｅｃ  Ｎａｎｏ  Ｓｉｌｖｅｒ  Ｐａｓｔｅ  Ｉｎｋｓ社製のＴＥＣ  ＰＡ  ０３０（ＴＭ）インクが選ばれるか、又は、銀ベースのガラスフリットがスクリーン印刷される。
【０１２６】
別の実施形態の変形例では、第２の電極５は、ＵＶミラを形成するアルミニウムの途切れていない層である。
【０１２７】
最後の実施形態の変形例では、第２の電極５は、壁３に一体化されるか、又は、基材ガラスと共にＥＶＡ若しくはＰＶＢタイプの積層中間層に埋め込まれたグリッドである。
【０１２８】
各電極４、５は、柔軟なフォイル１１、１１’によって給電されるか、又は、変形例として、溶接されたワイヤを介して給電される。第１の電極４は、約１１００Ｖの電位Ｖ０にあり、１０から１００ｋＨｚの周波数、たとえば、４０ｋＨｚを有する。第２の電極５は接地されている。
【０１２９】
代替的に、電極４及び５は、たとえば、逆位相にある信号、たとえば、それぞれが５５０Ｖ及び−５５０Ｖにある信号によって給電される。
【０１３０】
片側がエミッタであるとき、第１の電極は好ましくは接地され、第２の電極は高周波信号によって給電される。変形例として、第２の電極はそのとき保護されることがある。
【０１３１】
第１の電極４は、第１の壁２の少なくとも一方のエッジ（たとえば、縦エッジ）の周辺で重ね合わされ、ワイヤ又はフォイルが上に溶接されているストリップ５１（又は、変形例ではグリッド）を覆う電流供給ストリップ（一般的に「バスバー」として知られている）に電気的に接続されることがある。
【０１３２】
第２の電極５は、第２の壁の少なくとも一方のエッジ（たとえば、縦エッジ）の周辺で重ね合わされ、ワイヤ又はフォイルが上に溶接されているストリップ５１（又は、変形例ではグリッド）を覆う電流供給ストリップ（一般的に「バスバー」として知られている）に電気的に接続されることがある。
【０１３３】
これらのストリップは、スクリーン印刷された銀エナメルで作られることがあり、又は、特に、電極と同時に、インクジェット印刷によって堆積されることがある（途切れていない周辺型、かつ、十分に大きいストリップがこのようにして設けられる）。
【図１】
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【国際調査報告】
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