(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を搬送する搬送用ロボットと、この搬送用ロボットに設けられるハンドと、前記基板下面の外周部を支持する前記ハンドの上面に設けられたパッドとを有する基板搬送装置であって、前記パッドは前記基板を複数点で支持するように前記ハンドの上面に複数設けられ、このパッドには、前記基板と接触して撓み変形する可動片部と、前記ハンドの上面に面接触するように敷設状態に設けられる固定台部とが設けられ、前記可動片部は、前記固定台部から前記基板の中心に対して内方側若しくは外方側に板状に突出するように設けられた平坦な接触面を有する突出片を有し、この固定台部から板状に突出する突出片が、前記基板が接触した際前記基板の荷重により前記突出片の突出方向と交差する方向に撓み変形し得るように構成されていることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
前記可動片部は、前記基板の荷重により撓み変形することで前記基板との接触面積が増加する弾性部材で構成されていることを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項３】
前記パッドは、芯層とこの芯層から前記基板の中心に対して内方側若しくは外方側に一部がはみ出るように積層された弾性層とを有し、この弾性層の前記芯層からはみ出た突出部分が前記突出片に設定されていることを特徴とする請求項１，２のいずれか１項に記載の基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
真空装置内で基板の搬送に用いる搬送用ロボットのハンドの基板との接触部には、樹脂製のパッドが設けられている（特許文献１等参照）。
【０００３】
ところで、搬送用ロボットの基板の搬送速度を速くする等して、パッドと基板との間に発生する摩擦力（最大静止摩擦力）よりも大きな運動エネルギー（力）が基板にかかると、基板が滑ってしまい搬送ができなくなる。特にロボット旋回時に基板の滑りが生じ易い。
【０００４】
搬送時の基板の滑りを防止するため、パッドは多数設けられているが、基板の歪みや基板を保持した際の撓み方が毎回異なり、基板の一部がパッドと接触せずに浮く場合がある等、基板の重量を全てのパッドに均一に受けさせることは難しく、一部のパッドに偏って荷重がかかるため、パッド１つ当たりの最大静止摩擦力を大きくする必要があるのが現状である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−２７７５８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上述のような現状に鑑みなされたもので、パッドに、撓み変形可能な可動片部を夫々設け、基板毎の歪みや撓みによる接触の偏りを吸収できるようにすることで、各パッドで基板の重量を可及的に均一に受けることが可能で、更に、パッドと基板との接触面積を増加させることができ、搬送速度を速くしても安定的な搬送が可能な基板搬送装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
基板を搬送する搬送用ロボットと、この搬送用ロボットに設けられるハンドと、このハンドの上面に設けられ前記基板下面の外周部を支持するパッドとを有する基板搬送装置であって、前記パッドは前記基板を複数点で支持するように前記ハンドの上面に複数設けられ、このパッドには前記基板と接触して撓み変形する可動片部が設けられていることを特徴とする基板搬送装置に係るものである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明は上述のように構成したから、パッドに、撓み変形可能な可動片部を夫々設け、基板毎の歪みや撓みによる接触の偏りを吸収できるようにすることで、各パッドで基板の重量を可及的に均一に受けることが可能で、更に、パッドと基板との接触面積を増加させることができ、搬送速度を速くしても安定的な搬送が可能な基板搬送装置となる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本実施例の概略説明平面図である。
【図２】本実施例の一部を切り欠いた拡大概略説明側面図である。
【図３】本実施例の拡大概略説明側面図である。
【図４】別例１の拡大概略説明側面図である。
【図５】別例１の拡大概略説明側面図である。
【図６】別例２の拡大概略説明側面図である。
【図７】別例２の拡大概略説明側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
好適と考える本発明の実施形態を、図面に基づいて本発明の作用を示して簡単に説明する。
【００１１】
搬送用ロボットのハンド２で基板１を受け取り、受け取った基板１を搬送場所に搬送する際、ハンド２の上面に設けられた各パッド３で基板１の重量を可及的に均一に受けることができる。
【００１２】
即ち、基板１をハンド２上に載置すると、基板１下面の外周部と接触する各パッド３の可動片部４が基板１の重量により撓み変形し、例えば基板１の歪み等により各パッド３への当たり方が異なっても（接触に偏りがあっても）、各パッド３の可動片部４が夫々当たり方に応じて撓み変形して一部を浮かせることなく各パッド３で夫々基板１を受けることができ、各パッド３で平均的に荷重を受けることが可能となる。よって、基板１の搬送速度を速くしても安定的な搬送が可能となる。
【００１３】
また、例えば、前記可動片部４を、平坦な接触面を有し前記基板１の荷重により撓み変形することで前記基板１との接触面積が増加する弾性部材で構成した場合には、撓み変形に応じて基板１との接触面積を増加させて最大静止摩擦力を確保することが可能となり、より安定的な搬送が可能となる。
【実施例】
【００１４】
本発明の具体的な実施例について図面に基づいて説明する。
【００１５】
本実施例は、基板１を真空雰囲気下で搬送する搬送用ロボットと、この搬送用ロボットに設けられるハンド２と、このハンド２の上面に設けられ前記基板１下面の成膜領域範囲外となる周辺部を支持するパッド３とを有する基板搬送装置である。
【００１６】
本実施例の搬送用ロボットは、所謂クラスター型の成膜装置の搬送室に設けられている。この搬送室の周囲には成膜室等の作業室が連設されており、搬送用ロボットは、各作業室への基板１の搬入及び作業室からの基板１の搬出を行う。
【００１７】
具体的には、本実施例は、ハンド２の上面に樹脂製のパッド３が基板１を複数点で支持するように複数設けられており、このパッド３に基板１と接触して撓み変形する可動片部４が設けられた構成である。
【００１８】
ハンド２は搬送用ロボットの伸縮アームの先端に設けられている。
【００１９】
具体的には、図１に図示したように、ハンド２は伸縮アームと連結される２本の平行な棒状の基部８を有し、この基部８には、基部８の長手方向と直交する方向に突設される第１のフォーク部９が設けられている。
【００２０】
また、最外位置の第１のフォーク部９の外方側には、前記基部８と平行な方向に突設される分岐部10が設けられている。また、基部８の基端側位置及び先端側位置には、夫々前記分岐部10と並設される第２のフォーク部11が設けられている。
【００２１】
また、各フォーク部９，11及び分岐部10は、その突出先端側が基部８より上方に位置するように先端部が先端側ほど上り傾斜した構成としている。
【００２２】
このハンド２の各フォーク部９，11及び分岐部10の先端にパッド３が夫々設けられている。
【００２３】
第１のフォーク部の先端に設けられたパッド３は基板１下面の外周部の長手方向側辺部に夫々接触し、第２のフォーク部及び分岐部の先端に設けられたパッド３は基板１下面の外周部の短手方向側辺部に夫々接触する。
【００２４】
パッド３は、各フォーク部９，11及び分岐部10に設けられた取付孔12に取り付けられる取付部13と、この取付部13の上部に設けられる可動片部４とで構成されている。
【００２５】
取付部13には、取付孔12内に圧入される筒状の胴部14と、胴部14の先端に設けられ取付孔12からの抜けを防止する胴部14より径大な抜け止め係止部15とが設けられている。
【００２６】
本実施例においては、取付孔12が３つ設けられており、３つの取付孔12に対応して前記胴部14及び抜け止め係止部15を３つ設けた構成としている。
【００２７】
可動片部４は、平坦な接触面を有し前記基板１の荷重により撓み変形することで前記基板１との接触面積が増加する弾性部材で構成されている。
【００２８】
具体的には、フッ素ゴム、シリコン、ネオプレンゴム若しくはニトリルゴム等の柔軟で高い摩擦力を有する素材で構成されている。本実施例ではフッ素ゴム製としている。
【００２９】
本実施例の可動片部４は、図２及び図３に図示したように、前記基板１の中心に対して内方側に突出するように設けられた板状の突出片５を有し、この突出片５は前記基板１が接触した際、前記基板１の荷重により前記突出片５の突出方向と交差する方向に撓み変形し得るように構成されている。
【００３０】
具体的には、可動片部４は、芯層６とこの芯層６から前記基板１の中心に対して内方側に一部がはみ出るように積層された板状で上面に平坦な接触面が設けられた弾性層７とを有し、この弾性層７の前記芯層６からはみ出た突出部分が前記突出片５に設定されている。
【００３１】
本実施例においては、芯層６は、各フォーク部９，11及び分岐部10の上面に接触する土台部18と、土台部18上に設けられ弾性層７を支持する弾性層支持部19とから成り、この弾性層支持部19からはみ出た突出部分が前記突出片５に設定されている。図中、符号16は、基板１の飛び出しを防止する基板飛出防止部、17は芯層６と係止して位置決めするための位置決め係止部である。
【００３２】
従って、柔軟な可動片部４は基板１の荷重により変形して接触面積を増加させ、最大静止摩擦力を確保することができ、また、弾性層７の突出片５は芯層６により支持されていない片持状（舌片状）となり、突出方向及び突出方向と直交する方向に容易に撓み変形し、基板１の歪みや撓みによる接触の偏りを良好に吸収することが可能となる。
【００３３】
また、大型のガラス基板等をハンド２で支持した際にパッド３が接触しない中央側が下方に撓み、基板１外周部が上方に反った場合でも、基板１の中心に対して内方側に突出する突出片５を有する可動片部４が基板１の反り（撓み）に良好に追従して変形し、接触面積を確保することができる（図３参照）。
【００３４】
よって、基板１の搬送速度（ハンド２の回転速度・伸縮アームの伸縮速度）を速くしても安定的な搬送が可能となる。
【００３５】
なお、可動片部４は、図４及び図５に図示した別例１のように、芯層６から弾性層７がハンド２の外方側にはみ出るように積層することで突出片５を基板１の中心に対して外方側に突出させた構成としても良い。
【００３６】
また、図６及び図７に図示した別例２のように、基板１と接触した際に基板１の中心に対して外方側に倒伏するように、弾性層７の上面に板状の突出片５を基板１の中心に対して外方側に傾斜させた状態で立設した構成としても良い。別例２では突出片５を複数（２つ）並設している。
【００３７】
別例１及び別例２の場合も、突出片５の撓み変形により、良好に基板１の歪みや撓みを吸収して各パッド３で均等に荷重を受けることが可能となる。
【００３８】
なお、本発明は、本実施例に限られるものではなく、各構成要件の具体的構成は適宜設計し得るものである。
【符号の説明】
【００３９】
１  基板
２  ハンド
３  パッド
４  可動片部
５  突出片
６  芯層
７  弾性層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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