(57)【要約】  減衰特性を備えた器具支持物（１１）は、弾性材料の本体（１６）、特に微粒子無機材料及び合成結合剤の複合体、により包まれた頑強な補強構成物、特に鋼鉄プレート（１９）を備える。プレート（１９）は、前記本体（１６）の上側から離間した開口（１９ａ）を形成し、マウントリング（２１）は前記本体の中に埋め込まれて少なくとも一部が前記開口の上に配置される。リング（２１）は周辺フランジ（２１ａ）を有し、それは前記プレート（１９）から且つ前記本体の上側から離間しており、垂直な突起中の前記プレートに重なる。前記本体の材料が、このように前記フランジ（２１ａ）の上に配置されて、前記フランジと前記プレートの間に挟まれて、前記フランジの上及び下の両側のリングの周りに減衰領域が存在するようにする。
2010516052.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
減衰特性を備えた器具支持物であって、
弾性材料からなる本体により封止された堅固な補強構成物であって、当該構成物は目的の前記本体の上側から離間した開口を規定する補強構成物と、
器具のためのマウントと、
を備え、
当該マウントは少なくとも一部が前記開口の上に配置されるべき前記本体の中に埋め込まれているとともに、前記構成物から及び前記本体の上側から離間しており、それの垂直の突起中の前記構成物を重ね合わせるフランジを有し、
前記本体の材料が、前記フランジの上に配置されているとともに、前記フランジと前記構成物の間に挟まれ、前記フランジの上及び下の両側で前記マウントの周りに減衰領域を提供する、支持物。
【請求項２】
前記マウントは、前記本体の上側においてアクセス可能である請求項１に記載の支持物。
【請求項３】
前記マウントの上側は、前記本体の上側と実質的に同一平面にある請求項２記載の支持物。
【請求項４】
前記マウントの低い部分が前記構成物開口中に延在する請求項１〜３のいずれか１項に記載の支持物。
【請求項５】
前記フランジが前記マウントの上側及び下側から離間した状態で前記マウントの上側及び下側の間に配置される請求項１〜４のいずれか１項に記載の支持物。
【請求項６】
前記マウントが、前記構成物開口と実質的に並べられた開口を形成する請求項１〜５のいずれか１項に記載の支持物。
【請求項７】
前記構成物開口及びマウント開口が円形かつ同軸である請求項６に記載の支持物。
【請求項８】
前記マウントが環状である請求項１〜７のいずれか１項に記載の支持物。
【請求項９】
前記マウントが前記本体材料で充填された開口又は窪みを有する請求項１〜８のいずれか１項に記載の支持物。
【請求項１０】
前記開口又は窪みが前記フランジ中に設けられる請求項９に記載の支持物。
【請求項１１】
前記構成物が前記本体によって完全に覆われたフレームの一部である請求項１〜１０のいずれか１項に記載の支持物。
【請求項１２】
前記構成物が金属材料からなる請求項１〜１１のいずれか１項に記載の支持物。
【請求項１３】
前記弾性材料が固化複合鋳造材料である請求項１〜１２のいずれか１項に記載の支持物。
【請求項１４】
前記弾性材料が微粒子無機又は金属材料及び合成結合剤を基礎とする請求項１〜１３のいずれか１項に記載の支持物。
【請求項１５】
前記微粒子無機材料が御影石であり、前記結合剤がエポキシ樹脂である請求項１４に記載の支持物。
【請求項１６】
請求項１〜１５のいずれか１項に記載の支持物及び前記マウント上に搭載された器具を備える装置。
【請求項１７】
請求項１６に記載の装置であって、前記装置が電子ビームリソグラフィー機械であり、前記器具が電子ビームカラムを備える前記装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、減衰特性を備える器具支持物に関し、特に振動を受けやすい変位に敏感な機械、ツール及び装置を支持するのに適した支持物に関する。
【背景技術】
【０００２】
器具の支持物は多くの形態を取り、通常は個々の器具の要求及び特性に、例えば、重量、寸法、ロバスト性、振動に対する敏感性及び他の要因に適用される。特別な要求が、振動に敏感であるが、しっかりと且つ頑強に支持されなければならない機械、ツール及び装置により、支持物に課せられている。そこで、減衰特性を備えた支持物を使用することが非常に望まれるが、さらに支持物上に支持された器具の振動が、減衰を提供する材料の追従により、相対的に長時間持続されてしまうという問題が生ずる。この問題は、例えば、支持された電子ビームカラムを備える電子ビームリソグラフィー機械のような装置を、高水準の精確性及び高処理率で運転している場合に、振動を装置の十分に静止した状態に回復した状態にまで減少させるために必要とされる回復期間によって、運転が中断されるので特に厄介である。クーロン摩擦による遅い振動消滅による電子ビームカラムの場合に代表される、これら長い回復期間は、書き込み速度及びこれによる処理量への重大な有害な効果を有する場合がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
そこで本発明の主要な目的は、器具を支持するための手段における改善を図り、振動の減衰がより効果的であり、又は少なくとも長く延長された回復期間の影響をより受けにくいものとすることである。
【０００４】
本発明の他の目的及び利点は以下の記述から明らかである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本願発明によれば、減衰特性を備えた器具支持物が提供されており、弾性材料からなる本体により封止された堅固な補強構成物であって、当該構成物は目的の本体の上側から離間した開口を規定する補強構成物と、器具のためのマウントを備え、マウントは少なくとも部分的に開口部上に配置されるべき本体の中に埋め込まれているとともに、前記構成物から及び前記本体の上側から離間しており、それの垂直の突起中の前記構成物を重ね合わせるフランジを有し、前記本体の材料が前記フランジ上に配置され、前記フランジ及び前記構成物の間で挟まれ、前記フランジの上及び下の両方で前記マウントの周りに減衰領域を提供するようにする。
【０００６】
マウントのフランジを備え、フランジの上及び下で垂直に構成物と減衰領域−封入本体の弾性材料により提供される−を重ね合わせるこの方法により組み立てられた器具支持物はジンバル（ｇｉｍｂａｌ）効果をもたらし、そのうちマウントはある程度高い粘性の本体中で浮いており、フランジの２つの側面上の弾性材料は、マウント上にマウントされた器具が振動する場合に交互に張力状態及び圧縮状態で負荷がかけられ、減衰領域は下にある構成要素により安定化される。弾性及び強固材料の交互の層を備えるマウントの４−層配置はこのように提供され、その結果として器具の振動モードは振動の強さを急速に減少させるようにする。器具はそこで比較的早く静止状態になることができ、器具の動作、動作は振動により乱されている限りにおいて、過度の遅れなしに回復することができる。
【０００７】
マウントは好ましくは本体の上側においてアクセス可能であり、このようにむき出しにされ、器具は、マウントに直接的に支持され、強固に固定されることができるようにする。その場合、マウントの上側は本体の上側と実質的に同一平面とすることができ、支持物の上で、マウントから本体の取り巻く材料にかけて滑らかな移行を備えるようにする。
【０００８】
それぞれの要求に応じて、マウントが構成物開口中に延在するそれの下方部分を伴って組み立てられることができ、例えば、器具の一部又はサブシステムが、補強構成物の下のマウントに固定されることができるようにする。フランジは好ましくはマウントの上側及び下側から離間した状態で前記マウントの上側及び下側の間に配置され、その結果として、中間カラー（ｃｏｌｌａｒ）を規定し及びマウント全体として、好都合に、鋼片又は鋳物を加工することにより統一的に形成されることができる。
【０００９】
マウントそれ自体で実質的に構成物開口が並べられた開口を規定することができ、物理的要素又は支持物上で支持される器具の非物理的出口−例えば電子ビームカラムのビーム−が開口を通過してその下のワーク領域に達することができる。開口はその場合、例えば、円形且つ同軸とすることができ、マウントは好ましくは環状である。もしマウントが本体材料で満たされた開口又は窪みを有していれば、本体中のマウントの固定が強化されることができ、そのような開口又は窪みが好都合にフランジに配置される。開口又は窪みへの本体材料の貫通は、フランジの挟み込みと連携して、負荷が、予期された通常の水準にまで達し超える場合に、緩められるか又は移動する傾向のいずれについても、マウント上にマウントされる器具に作用して、マウントに高い水準の耐性を与える。
【００１０】
補強構成物は、好ましい実施形態において、弾性材料の本体により完全に包まれたフレームの一部、例えば、フレームの頂上で開口されたプレート、である。構成物は好ましくは金属材料からなり、弾性材料は好ましくは固化された複合体鋳造材料であり、それは、例えば、液状状態でモールドに充填され、構成物を包むようにし、モールドを充填する課程において、フランジに随意的に備えられる言及された開口又は窪みに通過するようにする。より詳しくは、弾性材料は微粒子無機又は金属材料、例えば、御影石（ｇｒａｎｉｔｅ）、及び合成樹脂、例えばエポキシ樹脂に基づくことができる。この組成物の材料は、高い水準の強度と減衰特性を支持物に与える所望の能力とを結合させる。
【００１１】
本発明は、また、さらなる側面において、支持物及びマウント上に搭載された器具、例えばマウントにより運ばれる電子ビームカラムを備えた電子ビームリソグラフィー機械を含む装置を含む。
【００１２】
本願発明の実施形態はここでより詳しく、添付の図面を参照して例示の方法により記載される。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明を具体化する器具支持物を組み込んだ装置の概略側面図であり、支持物上で支持される器具を示す図である。
【図２】概略斜視図であり、図１で示された支持物の、内部フレーム及びマウントリングそれ自身の拡大図である。
【図３】図２に対応する図であるが完全な支持物を示す図である。
【図４】マウントする領域の領域での支持物の一部の概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
ここで図面を参照すると、本発明を具体化した器具支持物１１を組み込んだ装置１０が図１に概略的に示されている。簡便な例示の方法による、この例の装置は電子ビームリソグラフィー機械である。電子ビームカラム１２の形態の器具は、支持物１１及びサブシステム上で支持され、基体を移動可能に運ぶためのＸ−Ｙステージを含む真空チャンバーケーシング１３を含み、その基体の上でパターン書き込みがカラム１２により発生された電子ビームにより実行されるべきであり、支持物１１の内部の空洞に配置されている。支持物１１は地面に対して振動／衝撃隔離ポスト１４により支持される。支持物１１はカラム１２、ケーシング１３及び他のシステムの重量で代表される実質的な負荷に耐えなければならないだけでなく、ひび割れ、砕け、曲がり、又は変形（拡大及び収縮を含む）のいかなる傾向に対しても耐性を持たなければならず、装置の個々の構成部品から、特にステージ移動に対する反動力から発せられる振動及び他の動きを伝達することも抑制するか、又は少なくとも減衰させなければならない。電子ビームリソグラフィー機械は、特にナノメートル範囲にある場合の多い許容限度近辺まで作動し、完全な静止状態から僅かに離れただけで、不正確な動作につながり、特に書き込みにおいて顕著なエラーにつながる。したがって、カラムは理想的には必要な剛性と減衰特性、特にカラムの振動の場合において振動を比較的迅速に低い振幅に減少させて最小の回復期間内に静止状態に戻すようにする特性、とを組み合わせた支持構造により支持されるべきである。
【００１５】
これは部分的には支持物１１の構成によって達成され、図１に示すように、金属材料、とりわけ、鋼鉄のフレーム１５からの記載された実施形態においては、図３に示すように、固化された複合鋳造材料、好ましくはエポキシ樹脂結合剤に組み入れられた数等級の御影石粒子により形成された被覆材１６に覆われている。フレームは基本的にケーシング１３の受容のための空洞（図１）を境界付ける頑強な箱状構造物１７を備え、適切なところを鋼鉄プレートガセットにより補強したプロファイル断面レール１８でともに溶接されて形成される。フレーム１５は中央円周開口１９ａを備えた鋼鉄プレート１９の形態の補強構成物を頂部に有する。プレート１９は効果的に、その開口１９ａから離れて、構造物１７の頂上側を閉じるとともに、近接した構造物１７のレールにしっかりと溶接され、溶接されたチャンネル断面部材２０によって角を横切って固定される。プレート１９を含み、ガセット補強したプロファイル断面レールの箱状の構造物１７は、特に曲げ、張力及び圧縮の負荷に耐性があり、実質的に変形又はたわみの危険を伴うことなく、カラム１２、ケーシング１３及び装置の他の構成要素の重量を受容することができる頑強な構造になる。封止被覆材１６は、他方で、本質的に弾性材料物からのその組成物によって所望の減衰特性を付与する。
【００１６】
カラム１２の支持物は、金属材料、好ましくは鋼鉄のマウントリング２１の方法により、マウントされたカラムの振動の振幅の素早い減少を与えるような方式で、被覆材１６の材料中に、埋め込まれる。この目的のために図４において最もよく示されるように、リング２１は、鋼鉄片又は鋳物から加工されることができ、上端部又は下端部の中間にプレート１９から離間して、且つ被覆材１６の頂上側からも離間されて配置された外周フランジ２１ａを有している。しかし、フランジ２１ａは、垂直突起中のプレート１９にオーバーラップし、被覆材１６の弾性材料が、フランジの上、下及び外周に配置され、それによって減衰領域がフランジの上及び下側に形成され、リング２１が全体として弾性材料中に効果的に浮かぶ。リング２１は、その開口２１ｂがプレート１９の開口１９ａと同軸になるように位置され、それによって、被覆材の頂上表面にその頂上外観が露出され他状態で、カラム１２の低端部部位がステージ１３の近くにまで延在することができ、カラムのマウントを容易にしている。
【００１７】
支持物１１の組立ては、モールド内の所望の関係においてフレーム１５及びリング２１を配置することにより行うことができ、そこから少し離間してフレームの外形が続いて、液体状態の複合体被覆材材料で充填される。材料の硬化について、フレーム１５及びリング２１を覆うそれの本体は、リングの露出される頂上表面から離れて、形成される。被覆１６中のリング２１の固定は、フランジ２１ａ中に開口２１ｃを備え、モールドの充填中に液体状態の被覆材材料が開口２１ｃを進入することにより強化することができる。
【００１８】
支持物１１を組み込んだリソグラフィー装置の使用において、邪魔な振動が支持物を通じてカラム１２に、例えばステージ配置に続く反動力が原因で、伝達されうる。弾性材料の層の間に挟まれたそのフランジ２１ａを備えたリング２１の擬似的に浮揚する位置のおかげで、カラムの揺れの間におけるこれらの層中の材料の交互の張力及び圧縮は、カラム振動の振幅の素早い減少に繋がる。交互に異なる材料の層、すなわち、減衰材料の連続、鋼鉄フランジ２１ａ、さらなる減衰材料及び鋼鉄プレート１９、を備えた層化されたシステムの一体的な部分としてのリング２１は、周囲の振動本体によって位置の影響を受けないジンバル搭載のように、その予め定めた位置を維持する傾向がある。したがって、カラムのための回復期間は従来技術の支持配置との比較において著しく減少され、基体上のパターン書き込みを、それぞれのステージ配置後、より素早く回復することができ、それにより処理量が増大する。
【００１９】
前述の実施形態は、電子ビームリソグラフィー機械に関連して記載されているが、器具支持物はそれぞれの要求に応じて様々な方法で、フレームに補強構成物の組み込みを伴って、若しくは伴わないで、組み立てることができ、広い範囲の器具を支持するのに使用することができるが、特に動作感敏装置及びツールに使用することができる。
【符号の説明】
【００２０】
１０  装置
１１  支持物
１２  電子ビームカラム
１３  真空チャンバーケーシング
１４  振動／衝撃隔離ポスト
１５  フレーム
１６  被覆材
１７  箱状構造物
１８  レール
１９  鋼鉄プレート
１９ａ  開口
２０  チャンネル−断面部材
２１  マウントリング
２１ａ  フランジ
２１ｂ  開口
２１ｃ  開口
【図１】
2010516052.tif 000003
【図２】
2010516052.tif 000004
【図３】
2010516052.tif 000005
【図４】
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【国際調査報告】
2010516052.tif 000007
2010516052.tif 000008
2010516052.tif 000009