(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電基板上に設けられ、それぞれ複数の電極指と前記複数の電極指が共通に接続されたバスバーとを含み、互いの前記複数の電極指と前記バスバーまたは前記バスバーに共通に接続された複数のダミー電極指とが向かい合って配置された１組の櫛型電極と、
それぞれが、前記複数の電極指の先端と前記バスバーまたは前記複数のダミー電極指の先端との間に位置する複数の隙間の少なくとも一部を覆い、前記複数の電極指の配列方向に互いに離れて設けられた複数の第１付加膜と、
平面視において前記バスバーおよび前記バスバーの外側の少なくとも一方に重なるように、前記配列方向に互いに離れて設けられた複数の第２付加膜と、
を具備し、
前記複数の第２付加膜の前記配列方向のピッチは、前記１組の櫛型電極のうち一方の櫛型電極の複数の電極指の前記配列方向のピッチと同じであることを特徴とする弾性波デバイス。
【請求項２】
前記１組の櫛型電極のうち一方の櫛型電極のバスバー側に設けられた複数の第２付加膜は、前記複数の電極指の延伸方向からみて前記一方の櫛型電極のバスバー側に設けられた複数の第１付加膜の間に少なくとも一部が重なるように設けられていることを特徴とする請求項１記載の弾性波デバイス。
【請求項３】
前記複数の第２付加膜は、平面視において少なくとも前記バスバーに重なるように設けられていることを特徴とする請求項１または２記載の弾性波デバイス。
【請求項４】
前記１組の櫛型電極のうち一方の櫛型電極のバスバー側に設けられた複数の第２付加膜は、前記複数の電極指の延伸方向からみて前記一方の櫛型電極のバスバー側に設けられた複数の第１付加膜の間に少なくとも一部が重なり、平面視において少なくとも前記一方の櫛型電極のバスバーに重なるように設けられていることを特徴とする請求項１記載の弾性波デバイス。
【請求項５】
前記複数の第２付加膜は、前記複数の電極指の延伸方向に複数設けられていることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
【請求項６】
前記延伸方向に設けられた複数の第２付加膜は、前記配列方向に互いにずれて設けられていることを特徴とする請求項５記載の弾性波デバイス。
【請求項７】
前記１組の櫛型電極の前記配列方向に設けられ、複数の電極指と前記複数の電極指が接続されたバスバーとを含む反射器を具備し、
前記複数の第２付加膜は、平面視において前記反射器のバスバーおよび前記反射器のバスバーの外側の少なくとも一方に重なるように設けられていることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
【請求項８】
前記複数の第２付加膜は、平面視において、前記反射器の前記配列方向の最も外側の電極指および前記最も外側の電極指の外側の少なくとも一方に重なるように設けられていることを特徴とする請求項７記載の弾性波デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、弾性波デバイスに関し、例えば圧電基板上に櫛型電極を備える弾性波デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
弾性波を用いた弾性波デバイスとして、圧電基板上に１組の櫛型電極からなるＩＤＴ（Interdigital Transducer）を有する弾性表面波デバイスがある。弾性表面波デバイスは、移動体通信機器等に用いられている。
【０００３】
１組の櫛型電極は、それぞれ複数の電極指と複数の電極指が共通に接続されたバスバーとを備えている。また、バスバーに複数のダミー電極指が共通に接続されることもある。電極指とバスバーとの間、または電極指とダミー電極指との間がギャップ領域である。特許文献１には、弾性波の交差領域からの漏洩を抑制するため、１組の櫛型電極のギャップ領域に絶縁膜体を埋め込むことが記載されている。また、特許文献２には、バスバーを電極指より厚くすることにより、弾性波の漏洩を抑制することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−２７８４２９号公報
【特許文献２】特開２００７−１１０３４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１および２によれば、弾性波の複数の電極指の先端からバスバー方向への漏洩を抑制し、損失を低減できる。しかしながら、特許文献１および２では、弾性波の漏洩の抑制は十分でなく、損失の低減も十分ではない。
【０００６】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、弾性波の漏洩を抑制し、損失を低減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、圧電基板上に設けられ、それぞれ複数の電極指と前記複数の電極指が共通に接続されたバスバーとを含み、互いの前記複数の電極指と前記バスバーまたは前記バスバーに共通に接続された複数のダミー電極指とが向かい合って配置された１組の櫛型電極と、それぞれが、前記複数の電極指の先端と前記バスバーまたは前記複数のダミー電極指の先端との間に位置する複数の隙間の少なくとも一部を覆い、前記複数の電極指の配列方向に互いに離れて設けられた複数の第１付加膜と、平面視において前記バスバーおよび前記バスバーの外側の少なくとも一方に重なるように、前記配列方向に互いに離れて設けられた複数の第２付加膜と、を具備し、前記複数の第２付加膜の前記配列方向のピッチは、前記１組の櫛型電極のうち一方の櫛型電極の複数の電極指の前記配列方向のピッチと同じであることを特徴とする弾性波デバイスである。
【０００８】
上記構成において、前記１組の櫛型電極のうち一方の櫛型電極のバスバー側に設けられた複数の第２付加膜は、前記複数の電極指の延伸方向からみて前記一方の櫛型電極のバスバー側に設けられた複数の第１付加膜の間に少なくとも一部が重なるように設けられている構成とすることができる。
【０００９】
上記構成において、前記複数の第２付加膜は、平面視において少なくとも前記バスバーに重なるように設けられている構成とすることができる。
【００１１】
上記構成において、前記１組の櫛型電極のうち一方の櫛型電極のバスバー側に設けられた複数の第２付加膜は、前記複数の電極指の延伸方向からみて前記一方の櫛型電極のバスバー側に設けられた複数の第１付加膜の間に少なくとも一部が重なり、平面視において少なくとも前記一方の櫛型電極のバスバーに重なるように設けられている構成とすることができる。
【００１２】
上記構成において、前記複数の第２付加膜は、前記複数の電極指の延伸方向に複数設けられている構成とすることができる。
【００１３】
上記構成において、前記延伸方向に設けられた複数の第２付加膜は、前記配列方向に互いにずれて設けられている構成とすることができる。
【００１４】
上記構成において、前記１組の櫛型電極の前記配列方向に設けられ、複数の電極指と前記複数の電極指が接続されたバスバーとを含む反射器を具備し、前記複数の第２付加膜は、平面視において前記反射器のバスバーおよび前記反射器のバスバーの外側の少なくとも一方に重なるように設けられている構成とすることができる。
【００１５】
上記構成において、前記複数の第２付加膜は、平面視において、前記反射器の前記配列方向の最も外側の電極指および前記最も外側の電極指の外側の少なくとも一方に重なるように設けられている構成とすることができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、弾性波の漏洩を抑制し、損失を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図１（ａ）は、比較例１に係る弾性波デバイスの平面図、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ断面図、図１（ｃ）は、図１（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
【図２】図２（ａ）は、実施例１に係る弾性波デバイスの平面図、図２（ｂ）は、図２（ａ）のＡ−Ａ断面図、図２（ｃ）は、図２（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
【図３】図３（ａ）は、実施例１の変形例１に係る弾性波デバイスの平面図、図３（ｂ）は、図３（ａ）のＡ−Ａ断面図、図３（ｃ）は、図３（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
【図４】図４（ａ）は、実施例１の変形例２に係る弾性波デバイスの平面図、図４（ｂ）は、図４（ａ）のＡ−Ａ断面図、図４（ｃ）は、図４（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
【図５】図５（ａ）から図５（ｃ）は、それぞれ実施例１、実施例１の変形例３から４に係る弾性波デバイスの一部の平面図である。
【図６】図６（ａ）および図６（ｂ）は、実施例１に係る弾性波デバイスの一部の平面図である。
【図７】図７（ａ）および図７（ｂ）は、それぞれ実施例１の変形例５および６に係る弾性波デバイスの一部の平面図である。
【図８】図８は、実施例２に係る弾性波デバイスの平面図である。
【図９】図９は、実施例２の変形例１に係る弾性波デバイスの平面図である。
【図１０】図１０は、実施例２の変形例２に係る弾性波デバイスの平面図である。
【図１１】図１１（ａ）から図１１（ｄ）は、実施例１、２およびその変形例における弾性波デバイスの製造方法を示す断面図（その１）である。
【図１２】図１２（ａ）から図１２（ｄ）は、実施例１、２およびその変形例における弾性波デバイスの製造方法を示す断面図（その２）である。
【図１３】図１３は、実施例３に係る弾性波デバイスの平面図である。
【図１４】図１４は、実施例４に係る弾性波デバイスの平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
まず、比較例について説明する。図１（ａ）は、比較例１に係る弾性波デバイスの平面図、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ断面図、図１（ｃ）は、図１（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。図１（ａ）においては、保護膜を透視して櫛型電極を示している。また、付加膜を透視し、櫛型電極を破線で示している。以下の平面図も同じである。図１（ａ）から図１（ｃ）に示すように、圧電基板１０上に金属膜３４からなる櫛型電極１８ａおよび１８ｂ、パッド２０ａおよび２０ｂ並びに反射器２６が形成されている。櫛型電極１８ａは、複数の電極指１２ａ、複数のダミー電極指１４ａおよびバスバー１６ａを備える。櫛型電極１８ｂは、複数の電極指１２ｂ、複数のダミー電極指１４ｂおよびバスバー１６ｂを備える。電極指１２ａおよびダミー電極指１４ａは、ほぼ互い違いに共通のバスバー１６ａに接続されている。電極指１２ｂおよびダミー電極指１４ｂは、ほぼ互い違いに共通のバスバー１６ｂに接続されている。バスバー１６ａは、パッド２０ａに接続されている。バスバー１６ｂは、パッド２０ｂに接続されている。電極指１２ａとダミー電極指１４ｂとはＹ方向に向かい合って配置されている。電極指１２ｂとダミー電極指１４ａとはＹ方向に向かい合って配置されている。金属膜３４を覆うように、圧電基板１０上に保護膜２８が形成されている。
【００１９】
電極指１２ａおよび１２ｂの配列方向をＸ方向、電極指１２ａおよび１２ｂの延伸方向をＹ方向とする。配列方向と延伸方向とは交差していれば直交していなくともよい。
【００２０】
電極指１２ａの先端とダミー電極指１４ｂの先端のＹ方向の隙間、および、電極指１２ｂの先端とダミー電極指１４ａの先端のＹ方向の隙間は、ギャップ領域１５である。ギャップ領域１５は付加膜３０で覆われている。付加膜３０は、ギャップ領域１５より広く形成されている。例えば、付加膜３０は、ギャップ領域１５ごとに設けられている。
【００２１】
櫛型電極１８ａおよび１８ｂが励振した弾性波は、主にＸ方向に伝播し、電極指１２ａと１２ｂとが交差する交差領域１１内に閉じ込められる。弾性波が交差領域１１からバスバー方向に漏洩すると、損失となる。付加膜３０は、電極指１２ａおよび１２ｂの先端から弾性波が漏洩することを抑制する。付加膜３０をＸ方向に連続に一体に設けると損失の改善効果は大きくない。そこで、複数の付加膜３０をＹ方向に離して設けることにより、バスバー方向への弾性波の漏洩を抑制し、損失を改善できる。
【００２２】
比較例では、ギャップ領域１５を介し交差領域１１からバスバー方向への弾性波の漏洩を抑制できる。しかしながら、矢印７０のように付加膜３０間を介した弾性波および矢印７２のように電極指１２ａおよび１２ｂの先端で散乱した弾性波がバスバー方向に漏洩する。
【実施例１】
【００２３】
図２（ａ）は、実施例１に係る弾性波デバイスの平面図、図２（ｂ）は、図２（ａ）のＡ−Ａ断面図、図２（ｃ）は、図２（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。図２（ａ）から図２（ｃ）に示すように、付加膜３０に加えバスバー１６ａおよび１６ｂ上に複数の付加膜３２が設けられている。
【００２４】
圧電基板１０としては、例えばタンタル酸リチウム基板またはニオブ酸リチウム基板である。圧電基板１０は、サファイア基板等の支持基板上に貼り付けられた圧電基板でもよい。金属膜３４は、例えばアルミニウム膜または銅膜である。保護膜２８は、例えば酸化シリコン膜、窒化シリコン膜または酸化アルミニウム膜等の絶縁膜である。保護膜２８は設けられていなくてもよい。付加膜３０および３２は、例えば酸化アルミニウム膜、酸化シリコン膜または窒化シリコン膜等の絶縁膜である。付加膜３０および３２は、金属膜でもよい。製造工程簡略化の観点から、付加膜３０および３２は同時に形成されることが好ましい。このため、付加膜３０および３２は、同じ材料であり、同じ膜厚である。付加膜３０および３２は、異なる材料および膜厚でもよい。付加膜３２は、Ｙ方向からみて付加膜３０の間に設けられている。その他の構成は比較例と同じであり、説明を省略する。
【００２５】
実施例１によれば、複数の付加膜（第１付加膜）が、それぞれ複数の電極指１２ａおよび１２ｂの先端と複数のダミー電極指１４ａおよび１４ａの先端の間との隙間を覆う。複数の付加膜３０は、Ｘ方向に互いに離れて設けられている。これにより、比較例において説明したように、弾性波の交差領域１１からの漏洩を抑制できる。
【００２６】
さらに、複数の付加膜３２（第２付加膜）は、平面視においてバスバー１６ａおよび１６ｂに重なるように設けられている。これにより、矢印７０および７２の弾性波の漏洩を抑制できる。複数の付加膜３２がＸ方向に互いに離れて設けられていると複数の付加膜３２でそれぞれ散乱した弾性波が互いにキャンセルする。よって、弾性波の漏洩をより抑制できる。一方、付加膜３２がＸ方向に連続して一体として設けられていると、上記のような散乱による弾性波の相互のキャンセルがない。さらに、バスバー１６ａおよび１６ｂの音速が変化してしまう。よって、付加膜３２がＸ方向に連続して一体として設けられていると、伝搬する弾性波の閉じ込め効果が低下する。このように、複数の付加膜３２が、Ｘ方向に互いに離れて設けられていることにより、矢印７０および７２の弾性波の漏洩をより抑制できる。
【００２７】
図３（ａ）は、実施例１の変形例１に係る弾性波デバイスの平面図、図３（ｂ）は、図３（ａ）のＡ−Ａ断面図、図３（ｃ）は、図３（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。図３（ａ）から図３（ｃ）に示すように、付加膜３２がバスバー１６ａおよび１６ｂ上からバスバーの外側まで形成されている。その他の構成は、実施例１と同じであり説明を省略する。
【００２８】
図４（ａ）は、実施例１の変形例２に係る弾性波デバイスの平面図、図４（ｂ）は、図４（ａ）のＡ−Ａ断面図、図４（ｃ）は、図４（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。図４（ａ）から図４（ｃ）に示すように、付加膜３２がバスバー１６ａおよび１６ｂの外側に形成されている。その他の構成は、実施例１と同じであり説明を省略する。
【００２９】
実施例１およびその変形例１、２のように、複数の付加膜３２は、平面視においてバスバー１６ａおよび１６ｂとバスバー１６ａおよび１６ｂの外側との少なくとも一方に重なるように形成されていればよい。交差領域１１から弾性波の漏洩を抑制するためには、付加膜３２は交差領域１１の近くに形成されることが好ましい。よって、付加膜３２は、平面視において少なくともバスバー１６ａおよび１６ｂに重なるように形成されていることが好ましい。一方、バスバー１６ａおよび１６ｂに付加膜３２が重なると、バスバー１６ａおよび１６ｂにおける弾性波の速度が変化してしまう。この観点からは、付加膜３２は、バスバー１６ａおよび１６ｂの外側に重なるように形成することが好ましい。ただ、交差領域１１の近くに付加膜３２を形成する観点から、図３（ａ）における付加膜３２とバスバー１６ａとの距離Ｌ１は、１０×λ程度以下であることが好ましい。λは交差領域１１の電極指１２ａおよび１２ｂのピッチである。
【００３０】
図５（ａ）から図５（ｃ）は、それぞれ実施例１、実施例１の変形例３から４に係る弾性波デバイスの一部の平面図である。図５（ａ）に示すように、実施例１では、付加膜３２は、Ｙ方向からみて付加膜３０の間に重なるように設けられている。図５（ｂ）に示すように、実施例１の変形例３では、付加膜３２はＹ方向からみて付加膜３０に重なるように設けられている。図５（ｃ）に示すように、実施例１の変形例４では、付加膜３２はＹ方向からみて付加膜３０の間の一部に重なり、かつ付加膜３０に一部重なるように設けられている。また、付加膜３２はＹ方向からみて隣接する電極指１２にまたがっている。
【００３１】
交差領域１１からバスバー方向の弾性波の漏洩の抑制のため、実施例１および変形例３のように、付加膜３２は、Ｙ方向からみて付加膜３０の間に少なくとも一部が重なることが好ましい。Ｙ方向に対して斜め方向にも弾性波は漏洩するため、実施例１の変形例４のように、付加膜３２は、Ｙ方向からみて付加膜３０に重なっていてもよい。実施例１の変形例１および２においても実施例１の変形例３および４のいずれかの付加膜３２を用いることができる。
【００３２】
図６（ａ）および図６（ｂ）は、実施例１に係る弾性波デバイスの一部の平面図である。図６（ａ）および図６（ｂ）に示すように、電極指１６のピッチをλとする。ギャップ領域１５のピッチは電極指１６のピッチと同じであるため、付加膜３０のＸ方向のピッチはλとなる。漏洩する弾性波を効率的に散乱させるため付加膜３２のピッチはλであることが好ましい。このように、複数の付加膜３２のＸ方向のピッチは、付加膜３０のＸ方向のピッチと同じであることが好ましい。
【００３３】
付加膜３２のＸ方向の幅Ｗは任意である。しかしながら、電極指１６の幅より狭いと弾性波を散乱させにくくなる。また、微細パターンの形成は製造上難しくなる。例えば電極指１２の幅はほぼ１／４λである。よって、幅Ｗは１／５λ以上であることが好ましく、１／４λ以上がより好ましい。一方、電極指１６の幅が広いと弾性波を散乱させにくくなる。また、間隔の狭い付加膜３２の製造は難しい。よって、幅Ｗは４／５λ以上であることが好ましく、３／４λ以上がより好ましい。付加膜３２のＹ方向の幅は、例えばλから５λ程度である。
【００３４】
図７（ａ）および図７（ｂ）は、それぞれ実施例１の変形例５および６に係る弾性波デバイスの一部の平面図である。図７（ａ）に示すように、実施例１の変形例５では、付加膜３２ａから３２ｃがＹ方向に複数配列されている。付加膜３２ａから３２ｃはそれぞれ距離Ｌ２シフトして設けられている。
【００３５】
実施例１の変形例５のように、複数の付加膜３２は、Ｙ方向に複数設けられていてもよい。さらに、Ｙ方向に設けられた複数の付加膜３２は、Ｘ方向に互いにずれて設けられている。これにより、付加膜３２ａの配列、付加膜３２ｂの配列および付加膜３２ｃの配列でそれぞれ弾性波を散乱させる。このため、弾性波の漏洩をより抑制できる。実施例１の変形例１から４においても、付加膜３２をＹ方向に複数設け、Ｘ方向に互いにずれて設けることもできる。
【００３６】
図７（ｂ）に示すように、実施例１の変形例６では、付加膜３０および３２が円形状または楕円形状である。その他の構成は実施例１と同じであり説明を省略する。このように、付加膜３０および３２の形状は矩形には限定されず、任意である。弾性波の散乱の観点からは、付加膜３０および３２は円形状または楕円形状が好ましい。このように、付加膜３０および／または３２の外周は曲線であることが好ましい。また、付加膜３０および３２の一方の形状が矩形で他方の形状が円形状または楕円形状でもよい。このように、付加膜３０と３２とで形状が異なっていてもよい。また、複数の付加膜３０内で形状が異なっていてもよいし、複数の付加膜３２内で形状が異なっていてもよい。実施例１の他の変形例においても、付加膜３０および３２の形状は変形例６と同様でもよい。
【実施例２】
【００３７】
実施例２は、反射器２６に付加膜３２を設けた例である。図８は、実施例２に係る弾性波デバイスの平面図である。図８に示すように、実施例２では、反射器２６のバスバー２４に重なるように複数の付加膜３２が形成されている。反射器２６の最も外側の電極指２２に重なるように複数の付加膜３２が形成されている。その他の構成は実施例１と同じであり説明を省略する。
【００３８】
図９は、実施例２の変形例１に係る弾性波デバイスの平面図である。図９に示すように、実施例２の変形例１では、反射器２６のバスバー２４からバスバーの外側に重なるように複数の付加膜３２が形成されている。反射器２６の最も外側の電極指２２から外側に重なるように複数の付加膜３２が形成されている。その他の構成は実施例１の変形例１と同じであり説明を省略する。
【００３９】
図１０は、実施例２の変形例２に係る弾性波デバイスの平面図である。図１０に示すように、実施例２の変形例２では、反射器２６のバスバーの外側に重なるように複数の付加膜３２が形成されている。反射器２６の最も外側の電極指２２の外側に重なるように複数の付加膜３２が形成されている。その他の構成は実施例１の変形例２と同じであり説明を省略する。
【００４０】
実施例２およびその変形例によれば、付加膜３２は、平面視において反射器２６のバスバー２４および反射器２６のバスバー２４の外側の少なくとも一方に重なるように設けられている。これにより、反射器２６からの弾性波の漏洩を抑制できる。弾性波の漏洩を抑制するためには、付加膜３２はＹ方向にみて電極指２２に重なるように設けられていることが好ましい。
【００４１】
また、付加膜３２は、平面視において、反射器２６のＸ方向の最も外側の電極指２２および最も外側の電極指２２の外側の少なくとも一方に重なるように設けられている。これにより、反射器２６からの弾性波の漏洩を抑制できる。実施例１の変形例３から６においても、反射器２６に付加膜３２を設けてもよい。
【実施例３】
【００４２】
図１１（ａ）から図１２（ｄ）は、実施例１、２およびその変形例における弾性波デバイスの製造方法を示す断面図である。図１１（ａ）から図１１（ｄ）は、図２（ａ）のＡ−Ａ断面図に相当し、図１２（ａ）から図１２（ｄ）は、図２（ａ）のＢ−Ｂ断面図に相当する。
【００４３】
図１１（ａ）および図１２（ａ）に示すように、圧電基板１０上に、金属膜３４を形成する。金属膜３４から櫛型電極１８ａ、１８ｂおよび反射器２６を形成する。金属膜３４の形成は、スパッタリング法およびエッチング法、または真空蒸着法およびリフトオフ法を用いる。櫛型電極１８ａ、１８ｂおよび反射器２６を覆うように、圧電基板１０上に保護膜２８を形成する。保護膜２８の形成は、スパッタリング法またはＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）法を用いる。
【００４４】
図１１（ｂ）および図１２（ｂ）に示すように、保護膜２８上に開口５２を有するマスク層５０を形成する。マスク層５０は例えばフォトレジストである。図１１（ｃ）および図１２（ｃ）に示すように、付加膜３６を形成する。付加膜３６の形成は、真空中蒸着法またはスパッタリング法を用いる。
【００４５】
図１１（ｄ）および図１２（ｄ）に示すように、マスク層５０を除去する。これにより、マスク層５０上の付加膜３６がリフトオフされる。これにより、図１１（ｄ）のように、電極指１２ｂの先端とダミー電極指１４ａの先端との隙間（ギャップ領域１５）に付加膜３０が埋め込まれる。図１２（ｄ）のように、バスバー１６ａ上に付加膜３２が形成される。
【００４６】
図１１（ｃ）および図１２（ｃ）において、マスク層５０を除去するために、ＮＭＰ（Ｎメチルピロリドン）等の溶剤を用いる。溶剤は、マスク層５０の側面からマスク層５０に浸透する。付加膜３０および３２の面積は、例えば０．５μｍ×０．７５μｍ程度と小さい。このため、溶剤のマスク層５０への浸透しにくくなる。これにより、マスク層５０上の付加膜３６の剥離が難しい。特に、付加膜３６としてスパッタリング法を用い形成すると、マスク層５０の側面に付加膜３６が厚く形成されるため、付加膜３６の剥離が難しくなる。このため、マスク層５０の開口５２は多いほうが好ましい。
【００４７】
図１３は、実施例３に係る弾性波デバイスの平面図である。図１３に示すように、圧電基板１０上の全体にわたり付加膜３２が形成されている。その他の構成は実施例１と同じであり説明を省略する。これにより、マスク層５０への溶剤の浸透が容易となり、リフトオフがより容易となる。付加膜３２は、パッド２０ａおよび２０ｂ上に形成されていてもよい。しかし、付加膜３２が絶縁体の場合、パッド２０ａおよび２０ｂ上に形成しないことが好ましい。実施例３のように、圧電基板１０上の全体にわたり付加膜３２を形成しても弾性波の漏洩を抑制できる。実施例１の変形例、実施例２およびその変形例において、付加膜３２を圧電基板１０上の全体に形成することもできる。
【実施例４】
【００４８】
図１４は、実施例４に係る弾性波デバイスの平面図である。図１３に示すように、櫛型電極１８ａおよび１８ｂはダミー電極指１４ａおよび１４ｂを備えていない。その他の構成は実施例１と同じであり説明を省略する。実施例４のように、櫛型電極１８ａおよび１８ｂはダミー電極指１４ａおよび１４ｂを備えなくてもよい。この場合、複数の付加膜３０は、複数の電極指１２ａおよび１２ｂの先端とバスバー１６ｂおよび１６ａとの複数の隙間の少なくとも一部を覆えばよい。実施例１の変形例、実施例２およびその変形例、実施例３において、櫛型電極１８ａおよび１８ｂはダミー電極指１４ａおよび１４ｂを備えなくてもよい。
【００４９】
実施例１から４およびその変形例において、付加膜３０がギャップ領域１５である隙間の全てを覆う例を説明した。付加膜３０は、隙間の少なくとも一部を覆えばよい。また、複数の隙間のうち一部の隙間に付加膜３０が設けられていてもよい。
【００５０】
以上、本発明の実施例について詳述したが、本発明はかかる特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【符号の説明】
【００５１】
１０  基板
１１  交差領域
１２、１２ａ、１２ｂ、２２  電極指
１４、１４ａ、１４ｂ  ダミー電極指
１５  ギャップ領域
１６、１６ａ、１６ｂ、２４  バスバー
１８、１８ａ、１８ｂ  櫛型電極
２０ａ、２０ｂ  バッド
２６  反射器
２８  保護膜
３０、３２  付加膜
３４  金属膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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