(57)【要約】  本発明は検査対象（０２）のシール品質の決定方法に関する。この方法において、先ず検査室（０３）内に検査対象（０２）が配置される。検査対象（０２）は検査室（０３）対して過圧を有するサーチガスを注入される。しかる後に検査室（０３）内にあるガス容積が検査室（０３）に連結された外部循環路（０７，０８，０９）を介して循環させられる。外部循環路（０７，０８，０９）は測定室（１１）を含む。サーチガスの定量的な特性量の測定は、測定を実施するために測定室（１１）内に配置され、かつ循環されるガス容積流内に存在するセンサ（１４）により行なわれる。更に、本発明は、上述の方法の実施を可能にする検査対象（０２）のシール品質の決定装置に関する。
2010516998.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査室（０３）内に検査対象（０２）を配置するステップ、
検査室（０３）に対して過圧を有するサーチガスを検査対象（０２）に注入するステップ、
測定室（１１）を含みかつ検査室（０３）に接続された外部循環路（０７，０８，０９）を介して検査室（０３）内にあるガス容積を循環させるステップ、
測定を実施するために測定室（１１）内に配置され、かつ循環されるガス容積流内に存在するセンサ（１４）により、サーチガスの定量的な特性量を測定するステップ
を含む検査対象のシール品質の決定方法。
【請求項２】
更に、検査対象（０２）が較正用漏口（１２）によって構成されている場合に、サーチガスの定量的な特性量が測定される較正ステップを含む請求項１記載の方法。
【請求項３】
サーチガスの定量的な特性量を測定するために、検査対象の検査の際に得られたセンサ値が定められた時間サイクルにて定められた時間にわたって累積されることを特徴とする請求項２記載の方法。
【請求項４】
サーチガスの定量的な特性量を測定するために、較正中および検査対象の検査中におけるセンサ値の時間推移が比較されることを特徴とする請求項２記載の方法。
【請求項５】
検査対象（０２）の漏れ率がサーチガスの定量的な特性量の関数として求められることを特徴とする請求項１乃至４の１つに記載の方法。
【請求項６】
検査室（０３）が循環の開始前に排気されることおよび／または不活性ガスを注入されることを特徴とする請求項１乃至５の１つに記載の方法。
【請求項７】
気密に密閉された検査対象（０２）のシール品質を決定するために、検査対象（０２）が検査室（０３）内に導入される前に、予め定められた時間の間検査対象（０２）がサーチガスを注入された圧力室内に配置されることによって検査対象へのサーチガス注入が行なわれる請求項１乃至６の１つに記載の方法。
【請求項８】
検査室（０３）内に検査対象（０２）を配置するステップ、
検査対象（０２）の内部に対して過圧を有するサーチガスを検査室（０３）に注入するステップ、
測定室（１１）を含みかつ検査対象（０２）に接続された外部循環路（０７，０８，０９）を介して検査対象（０２）の内部にあるガス容積を循環させるステップ、
測定を実施するために測定室（１１）内に配置され、かつ循環されるガス容積流内に存在するセンサ（１４）により、サーチガスの定量的な特性量を測定するステップ
を含む検査対象のシール品質の決定方法。
【請求項９】
検査対象（０２）を導入可能である検査室（０３）と、
検査室（０３）内の圧力よりも高い圧力を検査対象（０２）内に設定するために検査対象（０２）に注入するためのサーチガスを有するタンク（０６）と、
検査室（０３）の外側に配置され、循環管路（０７，０８）、ポンプ（０９）および測定室（１１）を含み、検査室（０３）内のガス容積を循環させるための手段と、
サーチガスの定量的な検出のために測定室（１１）内にありかつ循環されるガス容積内に配置されているセンサ（１４）と、
を含む検査対象のシール品質の決定装置。
【請求項１０】
センサ（１４）が、循環されるガス容積内に配置されているピトー管の端部に配置されていることを特徴とする請求項９記載の装置。
【請求項１１】
更にセンサ（１４）の測定値の時間推移を検出するための評価ユニット（１６）を含むことを特徴とする請求項９又は１０記載の装置。
【請求項１２】
評価ユニット（１６）が測定値から検査対象（０２）の漏れ率を決定し、この漏れ率を絶対値として出力することを特徴とする請求項１１記載の装置。
【請求項１３】
検査対象（０２）を導入可能である検査室（０３）と、
容積（０２，０３）にサーチガスを注入するためのタンク（０６）と、
第１の接続状態においてタンク（０６）から検査対象（０２）への注入が行なわれて、検査室（０３）内の圧力よりも高い圧力が検査対象（０２）内に設定され、第２の接続状態においてタンク（０６）から検査室（０３）への注入が行なわれて、検査対象（０２）内の圧力よりも高い圧力が検査室（０３）内に設定される第１の切換装置（２７）と、
検査室（０３）の外側に配置され、循環管路（０７，０８）、ポンプ（０９）および測定室（１１）を含み、容積（０２，０３）内のガスを循環させるためのガス循環手段と、
第１の接続状態において検査室（０３）内のガスがガス循環手段を通して循環させられ、第２の接続状態において検査対象（０２）内のガスがガス循環手段を通して循環させられる第２の切換装置（２９，３１）と、
サーチガスの定量的な検出のために測定室（１１）内にありかつ循環されるガス容積内に配置されているセンサ（１４）と、
を含む検査対象のシール品質の決定装置。
【請求項１４】
第１の空洞（０２）および第２の空洞（３２）を有する検査対象（０２）のシール品質の決定装置（０１）であって、
検査対象（０２）を導入可能である検査室（０３）と、
空洞（０２，０３）にサーチガスを注入するためのタンク（０６）と、
第１の接続状態においてタンク（０６）から第１の空洞（０２）への注入が行なわれて、検査室（０３）内の圧力よりも高い圧力が第１の空洞（０２）内に設定され、第２の接続状態においてタンク（０６）から第２の空洞（３２）への注入が行なわれて、第１の空洞（０２）内の圧力よりも高い圧力が第２の空洞（３２）内に設定される第１の切換装置（２７）と、
検査室（０３）の外側に配置され、循環管路（０７，０８）、ポンプ（０９）および測定室（１１）を含み、空洞（０２，０３）内のガスを循環させるためのガス循環手段と、
第１の接続状態において検査室（０３）内のガスがガス循環手段を通して循環させられ、第２の接続状態において第１の空洞（０２）内のガスがガス循環手段を通して循環させられる第２の切換装置（２９，３１）と、
サーチガスの定量的な検出のために測定室（１１）内にありかつ循環されるガス容積内に配置されているセンサ（１４）と、
を含む検査対象のシール品質の決定装置。
【請求項１５】
第１の空洞（０２）および第２の空洞（３２）を有する検査対象（０２）のシール品質の決定装置（０１）であって、
検査対象（０２）を導入可能である検査室（０３）と、
第１の空洞（０２）にサーチガスを注入するための第１のタンク（４１）と、
第２の空洞（３２）にサーチガスを注入するための第２のタンク（７４）と、
検査室（０３）の外側に配置され、第１の循環管路（３６，３７，５４，５７）、第１のポンプ（３８）および第１の測定室（３９）を含み、容積（０２）内のガスを循環させるための第１のガス循環手段と、
検査室（０３）の外側に配置され、第２の循環管路（７０，７１，８４）、第２のポンプ（７２）および第２の測定室（７３）を含み、検査室（０３）内のガスを循環させるための第２のガス循環手段と、
サーチガスの定量的な検出のために第１の測定室（３９）内にありかつ第１のガス循環手段によって循環させられるガス容積内に配置されている第１のセンサ（６３）と、
サーチガスの定量的な検出のために第２の測定室（７３）内にありかつ第２のガス循環手段によって循環させられるガス容積内に配置されている第２のセンサ（８６）と、
を含む検査対象のシール品質の決定装置。
【請求項１６】
第１の空洞（０２）への注入のための第１のタンク（４１）が第１の循環管路の１つ（４３）を介して第１の空洞（０２）に接続されていることを特徴とする請求項１５記載の装置。
【請求項１７】
少なくとも第１または第２のガス循環手段が、更にガス循環手段の第１の循環管路（５４；８２）と第２の循環管路（３６；７０）とに接続されている循環路切換装置（５１；８２）を有し、循環路切換装置（５１；８２）の第１の接続状態において、第１の循環管路（５４；８２）が第２の循環管路（３６；７０）に接続され、循環路切換装置（５１；８２）の第２の接続状態において、一方では、第１の循環管路（５４；８２）が排気管（４８；７９）に接続され、他方では第２の循環管路（３６；７０）が給気管（５３；８３）に接続されていることを特徴とする請求項１５又は１６記載の装置。
【請求項１８】
循環路切換装置が、第１の弁接続口（５８）、第２の弁接続口（５９）、第３の弁接続口（６１）および第４の弁接続口（６２）を有する二重弁（５１；８２）によって構成されていて、第１の接続状態において第１の弁接続口（５８）と第２の弁接続口（５９）とが、そして第３の弁接続口（６１）と第４の弁接続口（６２）とが接続され、第２の接続状態において第１の弁接続口（５８）と第４の弁接続口（６２）とが、そして第２の弁接続口（５９）と第３の弁接続口（６１）とが互いに接続されていることを特徴とする請求項１７記載の装置。
【請求項１９】
二重弁（５１；８２）が弁体（９０）を有し、
弁体（９０）の周囲に第１の弁接続口（５８）、第２の弁接続口（５９）、第３の弁接続口（６１）および第４の弁接続口（６２）がそれぞれ開口の形で配置され、
弁体（９０）が弁回転子（９２）を有し、
弁回転子（９２）が弁体（９０）内で第１の接続状態と第２の接続状態との間を回転可能であり、
弁回転子（９２）が弁内部空間（９１）に対する嵌合結合により弁体（９０）内に導入され、
弁回転子（９２）が空洞の形の第１の通路（９３）を有し、第１の通路（９３）が、第１の接続状態において第１の弁接続口（５８）を第２の弁接続口（５９）に接続し、第２の接続状態において第２の弁接続口（５９）を第３の弁接続口（６１）に接続し、
弁回転子（９２）が空洞の形の第２の通路（９４）を有し、第２の通路（９４）が、第１の接続状態において第３の弁接続口（６１）を第４の弁接続口（６２）に接続し、第２の接続状態において第１の弁接続口（５８）を第４の弁接続口（６３）に接続することを特徴とする請求項１８記載の装置。
【請求項２０】
二重弁（５１；８２）の第１の弁接続口（５８）、第２の弁接続口（５９）、第３の弁接続口（６１）および第４の弁接続口（６２）が一平面内において１つの円上に配置され、かつ円上に均一配分され、２つの隣接する弁接続口（５８, ５９；６１，６２）間においてそれぞれ９０°の角度を与えられ、弁回転子（９２）が、両通路（９３；９４）を除いて、弁内部空間（９０）の円筒形状の中に導入されている円筒形状を有すると共に、弁体（９０）を通して外側に向けて案内されている弁回転子（９２）へのトルク伝達のための回転軸（９６）を有し、第１の通路（９３）および第２の通路（９４）がそれぞれ弁回転子（９２）における横方向の切欠きによって構成されていることを特徴とする請求項１９記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、供試体／検査対象のシール品質の決定方法および装置に関する。このような供試体は容器、管またはその他の空洞を有する対象であってよく、空洞の定められたシール品質が検査されるべきである。
【０００２】
供試体のシール品質の決定は品質検査の多くの事例において使われている。供試体は、例えば家庭用化学製品または食料品のための容器であってよいが、しかし空調技術または自動車構造物における作動媒体のための容器であってもよい。まさに環境上危機的な媒体が供試体内に案内または蓄積されるべきである場合、または装置機能が正確な含有媒体量に依存する場合に、シール品質は非常に重要である。
【０００３】
米国特許第５５５３４８３号明細書から空洞を有する対象の漏れを決定するためのシステムが公知である。検査対象が検査室に配置され、ヘリウムまたは他のサーチガスを注入される。検査対象の空洞内では過圧が支配する。検査室は入口を有し、入口を介して窒素または他の搬送ガスが検査室内に導かれる。更に検査室は搬送ガスのための排気口を有し、排気口は、検査室に流入する搬送ガスが排気口まで到達する前に検査対象の周囲を十分に流れるように配置されている。検査対象が漏れ個所を有する場合に、漏れるサーチガスが検査室内に流れ込む。サーチガスが搬送ガスの流れによって排気口へ導かれ、そこにはサーチガス量を決定するためのセンサが存在する。システムの精度は検査室における高い負圧の技術的な到達可能性に依存する。負圧が大きいほど正確に漏れ率を決定することができる。この解決策の欠点は、大きな到達すべき負圧のゆえに必要である装置の複雑さにある。装置は頑強で真空に適していなければならない。より多くの検査対象のためのサイクル時間はほとんど専ら大きな負圧の発生のための持続時間に依存する。なぜならば、急速な排気はシステムの構成部分に氷結をもたらし、したがって測定結果に誤差をもたらす。したがって、高いサイクル速度を有する大量生産における完全な部品検査のためには、この方法は既に長い測定時間のゆえに適していない。
【０００４】
国際公開第２００５／０５４８０６号パンフレットから、検査対象のシール品質を決定するためのシステムおよび方法が公知である。検査対象が検査室に配置され、サーチガスとして水素を注入される。検査室内の圧力は０．１ないし２５０ミリバールに低下させられる。検査室は入口を有し、入口を介して搬送ガスが検査室内に導かれる。更に、検査室は搬送ガスのための排気口を有し、排気口は、検査室内へ流入する搬送ガスが排気口まで到達する前に検査対象の周囲に十分に流れるように配置されている。搬送ガスはポンプにより排出され、水素成分決定のためのセンサに導かれる。検査対象が漏れを有する場合には水素が検査室に流れ込み、水素が搬送ガスと一緒にセンサに導かれる。この解決策の欠点は、サーチガスとしての水素のほかに搬送ガスが必要とされ、それによってシステムおよび方法が非常に高価であることにある。この装置の場合にも、特定の時点で、後でセンサによって検出されるガス量が検査室から取り出されなければならない。センサは、試料の取り出し時点の後にやっと生じる変化を確認することができない。信頼できる結果を得るためには、検査室における検査ガスの均一分布の到達まで待たなければならず、これから結果的にまたもや長い測定周期がもたらされる。
【０００５】
国際公開第０２／０７５２６８号パンフレットから、搬送ガスの使用なしに漏れを決定することは公知である。このために検査対象はサーチガスとして水素またはヘリウムを注入される。その都度のサーチガスのためのセンサの助けにより、検査対象付近のサーチガス濃度が求められる。確かに濃度の高さは漏れの量についての状況証拠であるが、しかしこの方法によっては漏れ率が正確に推定されない。なぜならば、サーチガス濃度が均一に分布していないからである。
【０００６】
国際公開第９９／４９２９０号パンフレットは、容器のシール品質の決定方法および装置を開示している。容器が検査室に配置される。容器内部は２つの接続端子を介して導管に接続され、導管を介してエアゾールが容器に通される。検査室は一方の側においてエアゾールのないガスを注入され、これに対して検査室の他方の側においてエアゾールセンサが導管を介して接続されている。代替として、容器がエアゾールのないガスを注入され、検査室がエアゾールを注入されもよく、この場合にはエアゾールセンサが導管を介して容器の内部に接続されるべきである。これらの両動作様式の間の切換のために切換弁が使用されるとよい。
【０００７】
英国特許出願公開第２３１４４２１号明細書は熱交換器における漏れの決定方法を教示する。熱交換器における第１の循環路のために設けられた空洞はヘリウムを注入される。熱交換器における第２の循環路のために設けられた空洞は、ヘリウムセンサを含む循環システムに接続されている。
【０００８】
特開２００５−２７４２９１号公報は多ダクトシステムにおける漏れの決定装置を開示する。このような多ダクトシステムが外側の空洞内に配置されている内側の空洞を含む。更に多ダクトシステムは検査室に導入される。ガスセンサが検査室および内側の空洞に接続されている。
【０００９】
独国特許出願公開第４２２８１４９号明細書には軽いガスを有する組込み式のシール検査のための真空測定装置が示されている。検査容器内に入れられた供試体が検査ガスを注入される。代替として検査容器が検査ガスを注入される。
【００１０】
独国特許出願公開第１０３０４９９６号明細書はポンプまたは圧力容器のためのシール検査方法を教示する。検査ガスを注入された供試体が検査フードの下に配置される。検査フードはセンサ導管の接続のためのセンサ口を有する。検査室雰囲気は通風機により循環させられるので、流れ出る漏れガスがセンサに導かれる。
【００１１】
独国特許出願公開第１０２００４０４５８０３号明細書には、このための漏れ検査方法および装置が示されている。この漏れ検査装置は周囲に対して部分的または完全に閉じられて注入ガスを満たされた室を有し、この室内には検査ガスを満たされた検査対象がある。検査対象のあり得る漏れ個所から流れ出る検査ガスが、検査ガスには反応するが注入ガスには反応しない分圧センサにより検出される。これによって、高真空なしにかつ質量分析計なしに簡単な手段にて測定が可能になる。この公知の解決策の第１の変形では検査対象が密閉された室内にあり、分圧センサが室内または室壁に配置されている。検査ガス原子が室内に一様に分布させられるように、検査室内に通風装置を分圧センサの向かい側に配置することを提案している。これに対する代替として、室内において必要な通風を生じさせるために、第２の室内に存在するガスを通風機の助けによりバイパス管を介して導くことを提案している。この解決策の第２の変形では、連続的に注入ガスが通流される室内に検査対象がある。吸込み送風機の助けにより持続的に周囲空気が流入管を介して吸込まれる。空気は先ず検査対象を通過し、しかる後に分圧センサを通過して流れる。分圧センサは注入ガス出口またはその直後に配置されている。
【００１２】
本発明の主要課題は、独国特許出願公開第１０２００４０４５８０３号明細書から出発して、供試体、すなわち空洞を有する検査対象のシール品質を決定するための改善された方法および装置を提供することにある。とりわけ、そのために小さな漏れに関する制限を我慢しなければならないということなしに、試料取り出し時点に依存せずに測定を可能にし、信頼できる測定値の存在までの待機時間を短縮するように努められる。それによって、結局、大量の個数の場合でも部品（供試体）の完全な検査が可能にされるべきである。本発明の部分課題によれば、装置が柔軟にかつ迅速に、例えば逆測定のような種々の測定方法に適合可能であるべきである。本発明の第２の部分課題によれば、検査対象内の複数の空洞の間のシール品質の決定を可能にされるべきである。
【００１３】
主要課題は、添付の請求項１，８による方法ならびに等位に置かれた請求項９，１３，１４，１５による装置によって解決される。
【００１４】
本発明の重要な特徴は、サーチガス量の測定のためのセンサが直接的に外部循環路内の測定室にあり、この循環路において、供試体に存在する漏れ個所を通して流出するサーチガスが検査室内に存在するガスと一緒に循環することにある。測定室が循環路内において測定位置を用意し、最も簡単な場合は循環路のパイプまたは導管の一部として構成されていてもよい。したがって、センサの周囲には測定すべきサーチガスが持続的に流れるので、正確な測定が、先ず第１に短時間で可能であり、そして第２に新たな試料取り出しなしに何回も可能である。直接的に連通する循環路内において連続的な測定が行なわれる。
【００１５】
この発明の利点は、本発明による方法および本発明による装置が通常の構成部分により実現可能であることにある。特殊な搬送ガスも検査室における大きな負圧も必要とされない。したがって、多くの検査対象の検査のために短いサイクル時間が可能にされている。もちろん、検査室の大まかな排気または搬送ガスの注入は、検査ガスを良好に検出することができるようにするために合理的なことである。
【００１６】
この発明の他の利点は測定の再現性にある。検査対象へのサーチガスの予め定められた注入および循環路内における同じままの循環は、同一の検査対象または同じ漏れ率を有する検査対象の複数回測定においてセンサにおけるサーチガス濃度が殆ど相違しないことをもたらす。これにより、本発明による測定信頼性が著しく高められる。
【００１７】
本発明の他の利点は、検査対象のあり得る漏れの範囲と測定場所とが空間的に離れていることからもたらされる。したがって、検査対象の漏れの位置とセンサにおけるサーチガスの濃度との間の依存性は存在しない。
【００１８】
部分的に変更された実施形態によれば、装置を２回路装置として構成することもできる。それによって、互いに分離された複数の空洞を有する検査対象もシール検査をすることができる。
【００１９】
本発明の特別な実施形態は従属の請求項に挙げられている。
【００２０】
以下における図面に基づく複数の実施形態の説明から本発明の他の利点、詳細および発展形態を明らかにする。
図１は本発明による装置の第１の実施形態の原理図を示し、
図２は逆測定および累積測定のための本発明による装置の第２の実施形態の原理図を示し、
図３は複数の空洞を有する対象を検査するための本発明による装置の第３の実施形態の原理図を示し、
図４は対象の互いに閉じられた複数の空洞を検査するための本発明による装置の第４の実施形態の原理図を示し、
図５は図４に示された実施形態の循環路切換弁の２つの図を示し、
図６は図５に示された循環路切換弁の断面図を示す。
【００２１】
図１は本発明による検査対象０２のシール品質を決定するための装置０１の有利な実施形態の原理図を示す。検査対象０２は装置０１の検査室０３内に配置される。検査室０３は基板上に被せられるフードの形に構成されているとよい。検査室０３内には周囲空気が存在する。しかし代替として検査室に搬送ガスまたは不活性ガスを注入することもできる。同様に検査過程の開始前における検査室の真空化も考えられ得るが、しかし必ずしも必要ではない。
【００２２】
検査対象０２の空洞の使用に適した開口が注入管０４を介してフォーミングガス供給のためのタンク０６に接続されている。フォーミングガス供給のためのタンク０６は、検査室０３の外側にあることが好ましく、フォーミングガスを保存するための容器および制御可能な圧縮ポンプによって構成されているとよい。フォーミングガス供給のための注入管０４は検査室０３に対して漏れのないように密閉にされている。検査対象０２が理想的に密閉されているならば、フォーミングガスは検査室０３内へは達しない。
【００２３】
検査室０３は供給管０７および排出管０８を有する。供給管０７および排出管０８は、検査室０３の２つの対向する側にあるように配置され、とにかく検査室０３の広がりに十分に対応する距離を有することが好ましい。このようにして検査室内における無駄容積が回避される。更に供給管０７および排出管０８は、供給管０７と排出管０８との間に場合によっては存在するガス流が検査対象０２の周囲を十分に流れるように構成されている。
【００２４】
供給管０７および排出管０８は外部循環路を介して互いに接続されている。この外部循環路は循環ユニット０９および測定室１１を含む。更に、外部循環路は較正用漏口１２および切換弁１３を有する。検査過程が始まるや否や、外部循環路を介して検査室０３内のガスが循環する。この循環路は、循環ユニット０９、例えば毎秒１０リットルの容積排気量を有するポンプによって駆動される。供給管０７および排出管０８の配置によって、検査室０３に存在するガス粒子の殆ど全てが連続的に外部循環路を通して導かれる。
【００２５】
測定室１１内にはセンサ１４がある。センサ１４はフォーミングガス量を測定するために使用される。循環路内を循環するガスをセンサ１４に供給することは、センサに同じ動圧を得るためにピトー管を介して行なわれることが好ましい。センサ１４およびピトー管は、センサ１４に存在するガスの持続的な交換が測定室１１内に流入するガスにより生じるように構成されている。それによって、センサ１４でのガス濃度が常に外部循環路内のガス濃度に一致することが保証される。公知の解決策においてはガス容積から少量の試料が取り出されるのに対して、循環路全体の循環毎に、公知の解決策において取り出される試料の１００倍から２００倍以上の容積に相当するガス容積がセンサ１４の傍を通って流れる。センサ１４は評価ユニット１６に接続されている。更に循環路内に１つ又は複数の（図示されていない）フィルタが気体清浄のために存在する。
【００２６】
フォーミングガスは、９５％の窒素成分および５％の水素成分からなるとよい。水素は特にサーチガスとして適している。なぜならば、水素量の正確な測定のために高感度の半導体センサが使用可能になるからである。このような半導体センサは、既に１００万個の粒子当たりに１個の粒子の水素成分を測定することができる。しかも、水素が適しているのは、周囲空気中の水素の背景濃度が１００万個の粒子当たりに約０．５個の粒子でしかないという理由からである。流れ出るフォーミングガスの水素濃度は、非常に小さい漏れの場合に、１００万個の粒子当たり約５個の粒子である。したがって、フォーミングガスを用いたシール品質を決定するための安全な間隔は大気条件下で与えられている。検査室０３および外部循環路における大気条件の存在によって、検査室０３および外部循環路の密閉性に対する要求は低い。本発明は他のサーチガスに対しても適用可能であり、特に使用されるサーチガスに適したセンサが使用可能であり、測定すべき漏れによって高められるサーチガスの濃度は、明白に空気中のサーチガスの濃度とは異なる。例えば、ヘリウムまたは二酸化炭素が考慮の対象になる。
【００２７】
検査対象０２のシール品質を決定するためにフォーミングガスを使用することは、特に、毎秒１０-5ないし１０0ミリバール・リットルの範囲における測定すべき漏れ率に適している。これは、圧縮空気を用いたシール品質の決定もサーチガスとしてのヘリウムの使用も、満足のいくコスト・効用比をもたらす範囲である。水素成分が高められているフォーミングガスが、毎秒１０-5ミリバール・リットルよりも小さい漏れ率の測定を可能にする。純粋の水素がサーチガスとして使用される場合には毎秒１０-8ミリバール・リットルの漏れ率を求めることができる。この大きさ程度の漏れ率は、今までサーチガスとしてのヘリウムによってしか測定することができなかった。
【００２８】
代替としての実施形態では、検査室０３および外部循環路において技術的な真空が作成される。これは、例えば検査対象０２の内圧に対して大きな圧力差が必要である場合に有利である。場合によっては流れ出るサーチガスを含めた残留空気が外部循環路を通して循環することによって、検査室０３における濃度に一致する濃度のサーチガスがセンサ１４の周囲を流れることが保証される。本発明のこの実施形態は、空気中において検出が困難なサーチガスにも適している。
【００２９】
検査対象０２のシール品質を決定するために、先ず検査室０３が開放されると、検査対象０２の使用可能な開口が、フォーミングガス供給手段０６のための注入管０４に接続される。多くの検査対象がまさに使用に適した開口を有する。これは、びんまたは類似の容器に関しては、びんを使用するために開閉される開口によってもたらされる。検査対象０２が複数の使用可能な開口を有する場合には、相応に複数の注入管０４を検査対象０２に接続するか、または使用可能な開口のうちの幾つかを閉じるべきである。注入管０４は、検査室０３内において１つの管に統合されるとよいが、しかし全てがフォーミングガス供給のためのタンク０６に導かれてもよい。検査対象０２が使用可能な開口を有していない場合には、検査対象はシール品質の測定を行うための開口を用意すべきである。この場合に、この開口はシール品質測定の終了後に再び閉じられるべきである。注入管０４および検査対象０２への注入管０４の接続は検査対象０２の測定すべき漏れ率よりも著しく小さい漏れ率を有しなければならない。
【００３０】
更に、検査対象０２は排気管１７に接続されている。排気管１７は止め弁１８で閉鎖されている。シール検査の終了後に止め弁１８が開かれるのでフォーミングガスが検査対象０２から回収容器１９へ排出されるか、または排気として消失させられてもよい。検査対象０２が完全に注入管０４および排気管１７に接続されているならば、検査室０３が閉じられる。検査室０３がフードとして構成されている場合には、これは基板上にかぶせられて基板に対して密閉されなければならない。シール検査の開始のためには、検査対象０２はフォーミングガスを注入されなければならない。フォーミングガスは検査対象０２内において定められた過圧を有しなければならず、この過圧は検査対象０２の種類および測定すべき漏れに依存して選択されるべきである。測定すべき漏れ率が小さいほど、フォーミングガスの圧力は大きく選ばれるべきである。更に、循環ユニット０９および評価ユニット１６が始動される。先ず、供給管０７および排出管０８を含む検査室０３内ならびに測定室１１内および循環ユニット０９内にある空気が循環させられる。この空気の組成は最初は周囲空気の組成に相当するので、センサ１４には水素が１００万個の粒子当たりに約０．５個の粒子の典型的な濃度で存在する。しかし、数多くの相次ぐ検査を実施する際には、最初に存在するサーチガス濃度を決定するために、検査対象０２へのサーチガスの注入前にセンサ１４において開始測定を実施することが好ましい。
【００３１】
検査対象０２が１つ又は複数の漏れ個所を有する場合には、検査対象０２内に過圧が与えられているために、フォーミングガスが検査室０３内に達する。検査室０３内の空気が、比較的大きな容積流を有する外部循環路を介して循環されるので、同様に検査対象０２から検査室０３に流入するフォーミングガスが外部循環路を介して直ちに循環させられる。その際に空気とフォーミングガスとの混合が、方向２１にて検査室０３を通して、方向２２にて測定室１１を通して運ばれる。フォーミングガスが水素を含むので、センサ１４における水素濃度が僅かな遅れで上昇する。結局、評価ユニット１６により、検査対象０２が漏れ個所を有するかどうかが求められる。それぞれの測定周期における水素濃度の高さは漏れの大きさの尺度であり、または複数の漏れ箇所が存在する場合には漏れの総和に関する尺度である。このシール検査方法は累積測定とも呼ばれる。
【００３２】
シール品質決定の終了後に、外部循環路にある混合ガスは切換弁１３の開放によって排気ダクト２３へ放出される。
【００３３】
検査室０３内に含まれているガスが循環する循環路内にセンサを配置することは、試料取り出しの必要なしにサーチガス濃度のいわば連続的な測定を可能にするために、ガス容積全体でセンサを直接に包囲しようとするものである。
【００３４】
本発明による方法および本発明による装置は、透過性検査にも使用することができる。透過性検査の場合には、検査対象の透過率が測定される。検査対象の材料の透過率に基づいて、（欠陥個所の形での）漏れ個所の存在なしにサーチガスが生じる。透過性検査は例えばゴム製保護手袋に対して実施される。この場合に、とりわけいわゆる破壊時間が測定される。破壊時間は、検査開始と、透過率が平方センチメートル・分（ｃｍ2・ｍｉｎ）当たり少なくとも１マイクログラムになる時点との間の時間である。しばしば、破壊時間後に透過率が激しく増大する。本発明による方法および本発明による装置により透過性検査を特に正確に実施することができる。なぜならば、循環によって、サーチガス流出の時間推移の正確な測定が可能であるからである。
【００３５】
本発明による方法および本発明による装置は、逆測定にも使用可能である。逆測定の場合には、検査室がサーチガスを注入されるのに対して、検査対象の空洞が外部循環路のための供給管および排出管を有する。漏れ個所が存在する場合にはサーチガスが検査室から検査対象の空洞内へ入り、その際に既述のように外部循環路において検出される。
【００３６】
本発明による方法および本発明による装置は粒子測定にも使用することができる。このような粒子測定は、検査対象０２が完全には検査室０３内に配置可能でない場合に必要である。検査室０３がフードによって構成されている場合にはフードが検査対象０２に対して密閉される。この場合にフードはこの粒子検査により検査可能である検査対象０２の表面部分を包囲する。
【００３７】
本発明による方法および本発明による装置は気密に密閉された検査対象のシール品質決定のための爆破試験にも使用することができる。爆破試験は、例えばトランジスタまたはスイッチング回路のような電子デバイスに適している。先ず検査対象がサーチガスを満たされている圧力室内に配置される。圧力室内の圧力は、例えば５Ｂａｒに高められている。検査対象は、例えば５分の定められた時間の間、圧力室内にとどまる。この時間の間、検査対象が漏れを有する場合に、サーチガスが検査対象内部に流入する。直ぐ後に、検査対象が検査室内に配置され、上述と同様に循環および測定が行なわれる。この段階の間、検査対象内に入り込んだサーチガスが再び検査対象から流れ出る。測定された漏れ率から真の漏れ率が推定される。
【００３８】
シール品質を決定するための装置０１により検査対象０２の漏れ率を正確に求めることができるようにするために、装置０１が較正される。外部の較正の場合には、装置が測定基準または較正用漏口により較正される。このような較正用漏口は例えばＤＩＮによる認定試験所によって作られる。検査対象０２に似た漏れのない対象に較正用漏口が組み込まれる。代替として１つ又は複数の較正用漏口が装置０１の循環路内に組み込まれてもよい。図１に示された実施形態は、外部循環路内に循環ユニット０９の手前に較正用漏口１２を有する。較正用漏口１２の遮断状態および投入状態における測定値の取得によって、装置０１の測定能力が確定されるので、検査対象０への注入のためのパラメータおよび循環のためのパラメータの確定ならびに測定進行の確定を行なうことができる。更に、これらの値は、装置０１の測定能力を外部の較正の時点で評価することができるようにするために、製造者側のデータと比較されるとよい。
【００３９】
内部の較正は、同様に測定基準または較正用漏口を用いて行なわれる。このために評価ユニット１６は自動的な較正可能性を有する。使用される較正用漏口１２のために評価ユニット１６のメモリ内に格納されている標準データと、内部の較正中に較正用漏口１２のために取得された測定データとの比較が行われる。たいていの場合には僅かな偏差しか発生しないので、評価ユニット１６において使用されるパラメータ、すなわち漏れ率と測定されたサーチガス濃度との間の関数関係のパラメータが調整されるだけでよい。大きな偏差が生じた場合に、評価ユニット１６は、装置が製造者側で新たに較正されるべきであるという警報を発生する。
【００４０】
センサ１４は、センサ１４の表面へのサーチガスの出現時に単位時間当たりのサーチガス出現量に比例して変化するアナログ信号を発生する。定められた時間単位におけるこの信号の変化は、漏れ個所から流出するサーチガス量に対する特性量である。この特性量の評価は、特定の時点に関して、定められた時間にわたる積分に関して、あるいは時間推移に関して行なわれる。この種の尺度を求めることは可能である。なぜならば、循環路内を循環するサーチガスと空気との混合ガスが持続的にセンサ１４の周囲を流れるからである。検査対象０２の注入のためのパラメータおよび循環路内での循環のためのパラメータが一定であるかぎり、求められた尺度は他の測定、特に較正測定と比較可能である。したがって、漏れ率と測定されたサーチガス濃度の尺度との較正時に求められた関数関係を用いて検査対象の漏れ率を正確に推定することができる。
【００４１】
試料を検査室から取り出してこれをセンサに導く他の検査方法と比べて、本発明によれば速やかに測定を開始することができる。なぜならば、循環過程によって、いわば一様分布が速やかに達成されるからである。更に、予め定められた測定時間にわたってセンサによるガス濃度の連続的な測定を行なうことができる。循環流における求められた濃度上昇から、従来の数学的方法により、僅かな測定値の取得後に既に検査対象の漏れ率を表す関数を決定することができる。
【００４２】
装置０１の較正と、検査対象０２への注入および循環路内での循環のための一定のパラメータを保証することとは、大きな値範囲にわたる検査対象０２の漏れ率の正確な測定を可能にする。漏れ率は種々の単位で求めることができ、プレーンテキストとして評価ユニットに出力することができる。例えば、漏れ率の表示のために毎分の立法センチメートルまたは毎秒のミリバール・リットルの単位を使用することができる。更に、表示を介して、検査対象が良品であるかまたは不良品であるかの判定を出力することができる。この判定は異なる手法で光学的または音響的に出力することができるので、操作者は不良品を非常に速やかに取り除くことができ、複数の検査対象の検査時に短いサイクル時間が保証されている。
【００４３】
図２は、累積測定も、代替的に逆測定も可能にする少し変更された実施形態での本発明による装置０１の原理図を示す。装置０１は、図１との関連で説明した普遍的な構成部分に加えて更に、フォーミングガスを検査室０３に注入するための第２の注入管２４と、検査室０３の排気のための第２の排気管２６とを有する。注入管０４，２４は第２の切換弁２７を介してフォーミングガスの供給タンク０６に接続されている。第２の切換弁２７の切換によって、交互に検査室０３または検査対象０２がフォーミングガスを満たされる。排気管１７，２６は同様に第３の切換弁２８へ導かれている。したがって、検査室０３または検査対象０２が排気され、フォーミングガスが回収器１９に導かれる。切換弁２７，２８は、フォーミングガス流がタンク０６から検査室０３を介して回収器１９へ導かれるか、またはタンク０６から検査対象０２を介して回収器１９に導かれるように、その都度両方を切り換えるべきである。
【００４４】
供給管０７には第４の切換弁２９があり、この切換弁２９により外部循環路を介して循環される量が検査室０３か検査対象０２かのいずれか一方に供給される。同じように排出管０８には第５の切換弁３１があり、この切換弁３１により外部循環路を介して循環される量が検査室０３か検査対象０２かのいずれか一方から排出される。切換弁２９，３１は、検査室０３における容積か検査対象０２における容積かのいずれか一方が外部循環路を介して循環路させられるように、その都度両方を切り換えるべきである。
【００４５】
累積測定を実施するためには、第３の切換弁２７が注入管０４，２４に、第４の切換弁２８が排気管１７，２６に、フォーミングガスが検査対象０２に導入されかつ検査対象０２から導き出されるように切り換えられるべきである。切換弁２９，３１の両方は、それぞれ、検査室０３内の容積が外部循環路を介して循環させられるように切り換えられるべきである。装置０１のそのようにして到達される動作態様は、図１に示された実施形態の動作に相当する。
【００４６】
逆測定の実施のためは、第３の切換弁２７が注入管０４，２４に、第４の切換弁２８が排気管１７，２６に、フォーミングガスが検査室０３に導入されかつ検査室０３から導き出されるように切り換えられるべきである。切換弁２９，３１の両方は、それぞれ、検査対象０２内の容積が外部循環路を介して循環させられるように切り換えられるべきである。装置０１のそのようにして到達される動作態様は、逆測定を実施するための上述の実施形態の動作に相当する。
【００４７】
図２に示された実施形態は、装置０１を弁２７，２８，２９，３１の切換によって非常に迅速にかつ簡単に累積測定または逆測定用に構成することができる利点を有している。
【００４８】
切換弁２７，２８，２９，３１は、ガスの制御された導入および導出のための他の切換装置によっても構成可能である。切換装置は、例えば多方コックまたはすべり弁によっても構成することができる。切換弁２９，３１ならびに切換弁２７，２８は、それぞれ１つの切換装置に結合することもできる。
【００４９】
図３は、第１の空洞のほかに少なくとも１つの第２の空洞を有する検査対象０２のシール検査を可能にする少し変更された実施形態での本発明による装置０１の原理図を示す。この実施形態により、検査対象０２の外側に向けての（したがって検査室０３に対しての）シール品質も、検査対象内の複数の空洞０２，３２間のシール品質も決定可能である。図２との関連で説明した切換弁２７，２８，２９，３１が測定間の切換を可能にし、しかもこのために装置０１の改造または検査対象０２における変更を必要とすることなしに測定間の切換を可能にする。装置０１は、図２において示した実施形態に対して、第２の注入管２４が検査対象０２内の第２の空洞３２に接続され、第２の排気管２６が第２の空洞３２接続されているように変更されているだけである。
【００５０】
第１の空洞０２の外側に向けてのシール品質を決定するために、第３の切換弁２７が注入管０４，２４に、第４の切換弁２８が排気管１７，２６に、フォーミングガスが第１の空洞０２に導入されて第１の空洞０２から導出されるように切り換えられるべきである。切換弁２９，３１の両方は、それぞれ、検査室０３における容積が外部循環路を介して循環させられるように切り換えられるべきである。装置０１のそのようにして得られる動作態様は、図１に示された実施形態の動作に相当する。
【００５１】
第１の空洞０２に対する第２の空洞３２のシール品質を決定するためには、第３の切換弁２７が注入管０４，２４に、第４の切換弁２８が排気管１７，２６に、フォーミングガスが第２の空洞３２に導入されて第２の空洞３２から導出されるように切り換えられるべきである。切換弁２９，３１は、第１の空洞０２における容積が外部循環路を介して循環させられるように切り換えられるべきである。したがって、第１の空洞０２は、図１に示された実施形態の検査室０３の機能に相当する。
【００５２】
第２の空洞３２の外側に向けてのシール品質を決定するためには、第３の切換弁２７が注入管０４，２４に、第４の切換弁２８が排気管１７，２６に、フォーミングガスが第２の空洞３２に導入されて第２の空洞３２から導出されるように切り換えられるべきである。切換弁２９，３１の両方は、それぞれ、検査室０３内の容積が外部循環路を介して循環させられるように切り換えられるべきである。
【００５３】
図４は、検査対象の複数の空洞を検査するための有利な実施形態での本発明による装置０１の原理図を示す。このために、この実施形態は第１の外部循環路および第２の外部循環路を有する。第１の循環路は第１の供給管３６、第１の排出管３７、第１のポンプ３８および第１の測定室３９を含み、この測定室３９は検査室０３の外部に配置されている。サーチガスは第１のタンク４１によって供給され、このタンク４１は第１の注入管４２によって第１の循環路に接続されている。第１の注入管４２は第１の排出管３７内の切換弁４３に合流する。第１の排出管３７内の切換弁４３は、第１の循環路内にある容積の循環が行なわれるように、またはサーチガスが第１のタンク４１から第１の供給管４２を介してかつ第１の排気管３７の一部を介して第１の空洞０２へ流れ込むように、いずれかに接続可能である。第１のタンク４１からのサーチガスの流出が、例えば第１のタンク４１における排出弁によって制御可能である場合には、切換弁４３の代わりに代替として、第１の排気管３７と第１の注入管４２との間の簡単な管接続が使用可能である。
【００５４】
第１の空洞０２の排気のためには、第１の供給管３６内の切換弁４４が切り換えられる。第１の供給管３６内の切換弁４４の第１の状態では、第１の循環路内にある容積の循環が行なわれる。切換弁４４の第２の状態では、サーチガスが第１の空洞０２から第１の供給管３６の一部を介して第１の排気管４６に流れ込む。第１の排気管４６内には第１の排気送風機４７があり、これによりサーチガスが第１の空洞０２から吸い出される。サーチガスが第１の排気送風機４７を介して完全にかつ制御可能に阻止可能である場合に、第１の供給管３６内の切換弁４４は、代替として第１の供給管３６と第１の排気管４６との間の簡単な管接続によって構成されていてよい。第１の排気管４６は排気ダクト４８に通じ、この排気ダクトは第１の回収器４９に通じている。
【００５５】
第１の循環路内には更に第１の循環路切換弁５１および循環給気弁５２が配置されている。第１の循環切換弁５１は４つの接続口および２つの通路を有する。循環切換弁５１の第１の状態では、第１の循環路が閉じられている。循環切換弁５１の第２の状態では、第１の給気ダクト５３が第１の供給管３６に接続されている。これに対して同時に第１の測定室出口５４が第１の排気ダクト４８に接続されている。循環給気弁５２の第１の状態では、第１の循環路が閉じられている。循環給気弁５２の第２の状態では、測定室給気ダクト５６が第１のポンプ供給管５７に接続されている。第１の循環路切換弁５１は、（それぞれ図５に示されている）第１の弁接続口５８、第２の弁接続口５９、第３の弁接続口６１および第４の弁接続口６２を有する２重弁として実施されている。第１の循環路切換弁５１においては、第１の弁接続口５８が測定室出口５４に、第２の弁接続口５９が第１の供給管３６に、第３の弁接続口６１が第１の給気ダクト５３に、そして第４の弁接続口６２が第１の排気ダクト４８に接続されている。第１の循環路切換弁５１の第１の状態では、第１の弁接続口５８および第２の弁接続口５９が接続され、かつ第３の弁接続口６１および第４の弁接続口６２が接続されている。第３の弁接続口６１と第４の弁接続口６２との間の接続は使用されない。第１の循環路切換弁５１の第２の状態では、第１の弁接続口５８および第４の弁接続口６２が接続され、かつ第２の弁接続口５９および第３の弁接続口６１が接続されている。循環給気弁５２は第１の循環路切換弁５１と同じように、しかし３つのみの弁接続口でもって構成されている。
【００５６】
第１の測定室３９内には、図１乃至３に示された実施形態と同様に、センサ６３を有する第１のピトー管を有する。
【００５７】
第２の外部循環路は、第１の外部循環路と同様に、第２の供給管７０、第２の排出管７１、第２のポンプ７２および第２の測定室７３を含み、第２の測定室７３は検査室０３の外側に配置されている。サーチガスが第２のタンク７４によって供給され、第２のタンク７４は第２の注入管７６を通して第２の空洞３２に接続されている。第２の空洞３２は第２の排気管７７を介して排気され、第２の排気管７７内には第２の排気送風機７８が存在する。第２の排気管７７は第２の排気ダクト７９に通じ、第２の排気ダクト７９は第２の回収器８１に通じている。
【００５８】
第２の循環路内には更に第２の循環路切換弁８２が配置されている。第２の循環路切換弁８２は４つの接続口と２つの通路とを有する。第２の循環路切換弁８２の第１の状態では第２の循環路が閉じられている。第２の循環路切換弁８２の第２の状態では第２の給気ダクト８３が第２の供給管７０に接続され、同時に第２の測定室出口８４が第２の排気ダクト７９に接続されている。第２の循環路切換弁８２は第１の循環路切換弁５１と構成が同じである。
【００５９】
第２の測定室７３内には第１の循環路におけると同様にセンサ８６を有する第２のピトー管が存在する。
【００６０】
この有利な実施形態によれば、外側に向けての（したがって検査室０３に対しての）検査対象０２のシール品質も検査対象内の空洞０２，３２間のシール品質も測定可能である。図３に示された実施形態と違って、検査室０３内へ流出するサーチガスの測定も、第１の空洞０２に流出するサーチガスの測定も、このために接続の切換または変更を必要とすることなしに行なうことができる。
【００６１】
測定開始時に、検査対象０２が検査室０３に導入され、第１の供給管３６、第１の排出管、第２の注入管７６および第２の排気管７７に接続される。引続いて、第２の空洞３２に第２のタンク７４から試験ガスが満たされ、それに続いて直ぐに第１のセンサ６３による第１の循環路における測定を行なうことができる。この際に第２の空洞３２から第１の空洞０２へ流れ出るサーチガスが測定される。次のステップにおいて、第１の空洞０２が閉じられる。今や、第２のセンサ８６による第２の循環路における測定が行なわれる。この際に第２の空洞３２から検査室０３へ流れ出るサーチガスが測定される。最後のステップにおいて、両空洞０２，３２がサーチガスで満たされる。第２のセンサ８６による第２の循環路における測定が行なわれ、それによって両空洞０２，３２から検査室０３へ流出するサーチガスが測定される。場合によっては、ここで空洞０２，３２および検査室０３の空気抜きが行なわれて、測定が繰り返されるとよい。
【００６２】
第１の空洞０２および検査室０３を含めた両循環路の排気のために、両循環路切換弁５１，８２および循環路給気弁５２が、それぞれ第２の接続状態にもたらされ、その後直ぐに一方では周囲空気が両給気ダクト５３，８３および測定室給気ダクト５６を介して吸い込まれ、他方では第１の空洞０２および検査室０３を含めた両循環路内に存在する容積が排気ダクト４８，７９を介して両回収器４９，８１に導かれる。追加または代替として、両空洞０２，３２が両排気管４６，７７を介して両排気送風機４７，７８により排気されるとよい。両循環路、両空洞０２，３２および検査室０３の排気のための上述の可能性は測定進行中に個別的に実行されてもよい。
【００６３】
図４に示された有利な実施形態の基礎をなす着想は、１つの外部循環路をそれぞれ有する本発明による２つの装置を統合して、２つの外部循環路を有する本発明による１つの装置に構成することにある。１つの外部循環路をそれぞれ有する両個別装置は、一方では検査室０３内にある容積の循環および測定を可能にし、そして他方では第１の空洞０２内にある容積の循環および測定を可能にするために、異なって構成されている。
【００６４】
図５は図４に示された第１の循環路切換弁５１の２つの図を示す。すなわち、図５ａ）は斜視図を示し、図５ｂ）は平面図を示す。循環路切換弁５１は弁体９０を含み、弁体９０の周囲に、第１の弁接続口５８、第２の弁接続口５９、第３の弁接続口６１および第４の弁接続口６２が配置されている。４つの弁接続口５８，５９，６１，６２は、１つの平面内において１つの円上に等しく配分されて配置されているので、２つの隣接する弁接続口５８，５９；６１，６２はそれぞれ相互に９０度の角度を有する。４つの弁接続口５８，５９，６１，６２は、弁体９０の開口であり、これらの開口は全て弁体９０の弁内部空間９１に通じている。弁内部空間９１は円筒形状を有し、この円筒形状内に弁回転子９２が配置されている。弁回転子９２は第１の通路９３および（図６に示されている）第２の通路９４を有する。両通路９３，９４はそれぞれ円筒形状の弁回転子９２の横方向の切欠きによって形成され、この切欠きは弁回転子９２の回転軸に関して相対峙している。弁回転子９２は、これらの切欠きを除けば、弁内部空間９１の円筒形状の中に正確に合わせられて導入されている円筒形状を有する。通路９３，９４を構成する切欠きおよび弁接続口５８，５９，６１，６２への開口を除いて、弁回転子９２と弁内部空間９１との間に嵌合結合が存在する。両通路９３，９４は、切欠きの高さにおいても円筒表面が広範囲にわたって部分的にしか取り除かれていないように構成されている。弁内部空間９１と弁回転子９２との間に、両者間の封止を保証するためのシールまたはパッキング材は必要でない。封止は専らわずかの製造公差および弁内部空間９１および弁回転子９２の表面特性によって保証されている。
【００６５】
循環路切換弁５１は、第２の弁接続口５９が第３の弁接続口６１に第１の通路９３を介して接続されている第２の接続状態で示されている。同じように第１の弁接続口５８が第４の弁接続口６２に第２の通路９３を介して接続されている。両接続状態間の変化は弁回転子５２が４分の１回転だけ回転することによって生じる。循環路切換弁５１が第１の接続状態にある場合には、第１の弁接続口５８が第２の弁接続口５９に通路９３を介して接続され、第３の弁接続口６１が第４の弁接続口６２に第２の通路９３を介して接続されている。接続状態間の変化を行なうことができるようにするために、弁回転子９２の回転子軸９６が外側に向けて案内されていて、回転子軸９６を介してトルクを外側から回転子９２に伝達することができる。回転軸９６の外側の端部にはトグルリンク９７があり、トグルリンク９７の端部には空気圧駆動されるアクチュエータ９８が作用するので、トグルリンク駆動装置が構成されている。長手方向に働くアクチュエータ９８の駆動がトグルリンク９７を介して弁回転子９２の回転を生じさせるので、循環路切換装置５１は、第１の接続状態から第２の接続状態への切換およびその逆の切換を行なうことができる。もちろん弁回転子のために異なった駆動装置変形も可能であり、例えば、弁回転子が同時にモータの回転子であるか、またはこのような駆動装置が有効である場合には電磁的な原理を用いた駆動装置変形も可能である。
【００６６】
図６は図５に示された循環路切換弁５１の断面図を示す。特に、第１の通路９３および第２の通路９４が示されている。第１の弁接続口５８が第２の通路９４を介して第４の弁接続口６２に接続されている。通路９３，９４を形成する両切欠きは、それぞれ、弁回転子９２の回転軸に対して垂直にかつ隔てられて弁回転子９２内に形成される孔をもたらす。
【００６７】
図示の循環路切換弁５１は、２つの弁通路を回転によって簡単にかつ速やかに切り換えることができるという利点を有する。循環路切換弁５１は付加的な密閉手段を全く必要とせず、障害に対しても決して弱くない。
【００６８】
図示の循環路切換弁５１は他の要求にも合わせることができる。例えば、弁接続口の配置を、それぞれ２つの弁接続口が一方向に向くように変更することができる。弁接続口が両接続状態においてそれぞれ両通路のうちの１つへの接続を有するように弁内部空間に通じるかぎり、配置は任意に変更可能である。通路は、例えば半球帽の形の切欠きのような種々の形にされた切欠きによって構成することができる。弁回転子は平らな板によって構成されていてもよく、この場合に空間は板の両側に並んだ空間がそれぞれ１つの通路をなす。弁接続口の個数および通路の個数は、同様に要求に合わせることができる。例えば、３つの弁接続口および２つの通路を有する弁または６つの弁接続口および３つの通路を有する弁を構成することができる。弁回転子の回転は、トグルリンク駆動装置による代わりに、モータによっても生じさせることができる。回転軸は、基本的に外側に向けて案内されている必要はなく、例えば磁気結合されていてもよい。このような弁は、もちろん他の装置にも有利に使用することができるので、普遍的な重要性がある。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明による装置の第１の実施形態の原理図
【図２】逆および累積測定のための本発明による装置の第２の実施形態の原理図
【図３】複数の空洞を有する対象を検査するための本発明による装置の第３の実施形態の原理図
【図４】対象の互いに閉じられた複数の空洞を検査するための本発明による装置の第４の実施形態の原理図
【図５】図４に示された実施形態の循環路切換弁の図
【図６】図５に示された循環路切換弁の断面図
【符号の説明】
【００７０】
０１        本発明による装置
０２        検査対象
０３        検査室
０４        注入管
０６        フォーミングガス供給のためのタンク
０７        供給管
０８        排出管
０９        循環ユニット
１１        測定室
１２        較正用漏口
１３        切換弁
１４        センサを有するピトー管
１６        評価ユニット
１７        フォーミングガスの排気管
１８        止め弁
２１        検査室内における循環方向
２２        測定室内における循環方向
２３        排気ダクト
２４        第２の注入管
２６        第２の排気管
２７        注入管間における切換弁
２８        排気管間における切換弁
２９        供給管における切換弁
３１        排出管における切換弁
３２        検査対象内の第２の空洞
３６        第１の供給管
３７        第１の排出管
３８        第１のポンプ
３９        第１の測定室
４１        第１のタンク
４２        第１の注入管
４３        第１の排出管内の切換弁
４４        第１の供給管内の切換弁
４６        第１の排気管
４７        第１の排気送風機
４８        第１の排気ダクト
４９        第１の回収器
５１        第１の循環路切換弁
５２        循環路給気弁
５３        第１の給気ダクト
５４        第１の測定室出口
５６        測定室給気ダクト
５７        第１のポンプ供給管
５８        第１の弁接続口
５９        第２の弁接続口
６１        第３の弁接続口
６２        第４の弁接続口
６３        センサを有する第１のピトー管
７０        第２の供給管
７１        第２の排出管
７２        第２のポンプ
７３        第２の測定室
７４        第２のタンク
７６        第２の注入管
７７        第２の排気管
７８        第２の排気送風機
７９        第２の排気ダクト
８１        第２の回収器
８２        第２の循環路切換弁
８３        第２の給気ダクト
８４        第２の測定室出口
８６        センサを有する第２のピトー管
９０        弁体
９１        弁内部空間
９２        弁回転子
９３        第１の通路
９４        第２の通路
９６        回転軸
９７        トグルリンク
９８        アクチュエータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５ａ）】
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【図５ｂ）】
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【図６】
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【国際調査報告】
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