(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の第１の接触子と、
導電性を有するブロックとを備え、
前記複数の第１の接触子は複数の第１の板ばねで構成されており、前記複数の第１の板ばねは、それぞれ、導電性を有しかつ先端に平坦部を有し、
前記ブロックは、前記複数の第１の接触子を保持するとともに、前記複数の第１の接触子に電気的に接続され、
前記複数の第１の板ばねは、前記複数の第１の板ばねのそれぞれの主面が対向するように互いに間隔を空けて配置されており、
前記複数の第１の板ばねのそれぞれの前記主面は、前記ブロックに対して同じ側に傾いており、
前記複数の第１の板ばねのそれぞれの前記平坦部は、互いに間隔を空けて配置されている、一体型複数接触子。
【請求項２】
前記複数の第１の板ばねは、前記複数の第１の板ばねの配列方向に沿って弾性変形し得るように構成されている、請求項１に記載の一体型複数接触子。
【請求項３】
前記ブロックは、前記複数の第１の板ばねと同じ材料からなる、請求項１または請求項２に記載の一体型複数接触子。
【請求項４】
第２の接触子をさらに備え、前記第２の接触子は前記ブロック及び前記複数の第１の接触子と電気的に絶縁される、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の一体型複数接触子。
【請求項５】
電気コネクタをさらに備え、前記電気コネクタは前記ブロックと機械的及び電気的に接続される、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の一体型複数接触子。
【請求項６】
前記電気コネクタは、複数の第３の接触子を含み、
前記複数の第３の接触子は複数の第２の板ばねで構成されており、前記複数の第２の板ばねは、それぞれ、導電性を有しかつ先端に平坦部を有し、
前記複数の第２の板ばねは、前記複数の第２の板ばねのそれぞれの主面が対向するように互いに間隔を空けて配置される、請求項５に記載の一体型複数接触子。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の前記一体型複数接触子と、前記一体型複数接触子が取り付けられる取り付け部とを備える、検査治具。
【請求項８】
請求項７に記載の前記検査治具と、被検査体を支持する支持部材と、前記支持部材に対して前記検査治具を移動させる駆動部とを備える、検査装置。
【請求項９】
複数の接触子の少なくとも２つを被検査体の１つの端子に接触させることと、
前記複数の接触子から前記被検査体の前記１つの端子に電流または電圧を印加することとを備え、
前記複数の接触子は複数の板ばねで構成されており、前記複数の板ばねは、それぞれ、導電性を有しかつ先端に平坦部を有し、
前記複数の接触子は、導電性を有するブロックによって保持されており、かつ、前記ブロックに電気的に接続されており、
前記複数の板ばねは、前記複数の板ばねのそれぞれの主面が対向するように互いに間隔を空けて配置されており、
前記複数の板ばねのそれぞれの前記主面は、前記ブロックに対して同じ側に傾いており、
前記複数の板ばねのそれぞれの前記平坦部は、互いに間隔を空けて配置されており、
前記複数の板ばねの前記少なくとも２つは、前記平坦部で前記被検査体の前記１つの端子に接触する、被検査体の検査方法。
【請求項１０】
前記複数の接触子の前記少なくとも２つは、それぞれ、前記被検査体の前記１つの端子と線接触または面接触する、請求項９に記載の被検査体の検査方法。
【請求項１１】
前記複数の板ばねは、前記複数の板ばねの配列方向に沿って弾性変形し得るように構成されている、請求項９または請求項１０に記載の被検査体の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一体型複数接触子、それを備えた検査治具及び検査装置、並びに検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被検査体の端子に検査装置の接触子を接触させて、被検査体が検査されている。例えば、半導体装置、半導体パワーモジュール、または半導体パッケージモジュールの端子に検査装置の接触子を接触させて、半導体装置、半導体パワーモジュール、または半導体パッケージモジュールの電気特性が検査されている（特許文献１−５を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−２４１４５０号公報
【特許文献２】国際公開第２００９／０１１２０１号
【特許文献３】特開平５−３６４５７号公報
【特許文献４】特表２００３−５０１８１９号公報
【特許文献５】特表２００９−５２１６７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１−５に記載の接触子はバンプ端子やコンタクトピンで構成されるため、接触子と被検査体の端子との接触領域が小さい。また、被検査体の１つの端子に対して１つの接触子のみが電気的に接続するため、被検査体の１つの端子に対して接触する接触子の数が少ない。そのため、従来の接触子は、被検査体の端子との確実な電気的接触が得られないという問題があった。その結果、具体的には、被検査体の検査のために、接触子から被検査体の端子に電流または電圧を印加すると、接触子と被検査体の端子との間で放電が生じるという問題や、この放電によって接触子と被検査体の端子とが溶着するという問題があった。また、接触子と被検査体の端子との接触抵抗が大きくなり、十分な検査精度が得られないという問題があった。
【０００５】
本発明は、上記の課題を鑑みてなされたものであり、その目的は、被検査体の端子との確実な電気的接触を得ることができる接触子を提供することである。
【０００６】
本発明の別の目的は、接触子と被検査体の端子との確実な電気的接触を得ることができる検査治具を提供することである。
【０００７】
本発明のさらに別の目的は、接触子と被検査体の端子との確実な電気的接触を得ることができる検査装置を提供することである。
【０００８】
本発明のさらに別の目的は、接触子と被検査体の端子との確実な電気的接触を得ることができる検査方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一体型複数接触子は、複数の接触子と、導電性を有するブロックとを備える。複数の接触子はそれぞれ導電性を有する板ばねを含む。第１の板ばねは、第１の板ばねの先端に平坦部を有する。ブロックは、複数の接触子を保持するとともに、複数の板ばねのそれぞれと電気的に接続される。複数の第１の板ばねは、複数の第１の板ばねのそれぞれの主面が対向するように互いに間隔を空けて配置される。
【００１０】
本発明の検査治具は、このような一体型複数接触子と、一体型複数接触子が取り付けられる取り付け部とを備える。
【００１１】
本発明の検査装置は、このような一体型複数接触子を備える検査治具と、被検査体を支持する支持部材と、支持部材に対して検査治具を移動させる駆動部とを備える。
【００１２】
本発明の検査方法は、複数の接触子を被検査体の１つの端子に接触させることと、複数の接触子を介して、被検査体の１つの端子に電流または電圧を印加することとを備える。複数の接触子はそれぞれ導電性を有する板ばねを含む。板ばねは、板ばねの先端に平坦部を有する。複数の板ばねは、複数の板ばねのそれぞれの主面が対向するように互いに間隔を空けて配置される。複数の板ばねは平坦部で被検査体の１つの端子に接触する。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の一体型複数接触子では、複数の接触子はそれぞれ導電性を有する板ばねを含み、複数の板ばねは、複数の板ばねのそれぞれの主面が対向するように互いに間隔を空けて配置される。そのため、本発明の一体型複数接触子では、被検査体の１つの端子に対して接触する接触子の数を増加させることができる。また、本発明の一体型複数接触子の板ばねは、板ばねの先端に平坦部を有する。先端に平坦部を有する板ばねは被検査体の１つの端子と線接触または面接触する。そのため、本発明の一体型複数接触子では、接触子と被検査体の１つの端子との接触領域を拡げることができる。その結果、本発明の一体型複数接触子では、接触子と被検査体の端子との確実な電気的接触を得ることができる。
【００１４】
本発明の検査治具は、このような一体型複数接触子を備える。このため、本発明の検査治具では、接触子と被検査体の端子との確実な電気的接触を得ることができる検査治具を提供することができる。
【００１５】
本発明の検査装置は、このような一体型複数接触子を備える検査治具を備えている。このため、本発明の検査装置では、接触子と被検査体の端子との確実な電気的接触を得ることができる検査装置を提供することができる。
【００１６】
本発明の検査方法では、複数の接触子はそれぞれ導電性を有する板ばねを含み、複数の板ばねは、複数の板ばねのそれぞれの主面が対向するように互いに間隔を空けて配置される。そのため、本発明の検査方法では、被検査体の１つの端子に対して接触する接触子の数を増加させることができる。また、本発明の検査方法に用いられる板ばねは、板ばねの先端に平坦部を有する。先端に平坦部を有する板ばねは被検査体の１つの端子と線接触または面接触する。そのため、本発明の検査方法では、接触子と被検査体の１つの端子との接触領域を拡げることができる。その結果、本発明の検査方法では、接触子と被検査体の端子との確実な電気的接触を得ることができる検査方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】（Ａ）は、本発明の実施の形態１に係る一体型複数接触子の概略上側斜視図である。（Ｂ）は、本発明の実施の形態１に係る一体型複数接触子の概略下側斜視図である。（Ｃ）は、本発明の実施の形態１に係る一体型複数接触子の概略側面図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る一体型複数接触子の、図１（Ｃ）に示す断面線ＩＩ−ＩＩにおける概略断面図である。
【図３】本発明の実施の形態１に係る一体型複数接触子の１つの接触子の概略斜視図である。
【図４】（Ａ）は、被検査体の１つの端子に接触する本発明の実施の形態１に係る一体型複数接触子の概略斜視図である。（Ｂ）は、被検査体の１つの端子に接触する本発明の実施の形態１に係る一体型複数接触子の概略側面図である。（Ｃ）は、被検査体の１つの端子に接触する本発明の実施の形態１に係る一体型複数接触子の、図４（Ｂ）に示す断面線ＩＶＣ−ＩＶＣにおける概略断面図である。（Ｄ）は、被検査体の別の１つの端子に接触する本発明の実施の形態１に係る一体型複数接触子の概略断面図である。
【図５】（Ａ）は、本発明の実施の形態１に係る一体型複数接触子を備えた検査治具の概略上側斜視図である。（Ｂ）は、本発明の実施の形態１に係る一体型複数接触子を備えた検査治具の概略下側斜視図である。
【図６】本発明の実施の形態１に係る一体型複数接触子を備えた検査治具を備えた検査装置の概略側面図である。
【図７】本発明の実施の形態１の検査装置を用いた被検査体の検査方法のフローチャートである。
【図８】（Ａ）は、本発明の実施の形態２に係る一体型複数接触子の概略上側斜視図である。（Ｂ）は、本発明の実施の形態２に係る一体型複数接触子の概略下側斜視図である。
【図９】（Ａ）は、本発明の実施の形態３に係る一体型複数接触子の概略斜視図である。（Ｂ）は、本発明の実施の形態３に係る一体型複数接触子の概略側面図である。
【図１０】（Ａ）は、本発明の実施の形態３に係る一体型複数接触子の電気コネクタの概略斜視図である。（Ｂ）は、本発明の実施の形態３に係る一体型複数接触子の電気コネクタの概略側面図である。
【図１１】（Ａ）は、電源プラグの電源端子が接続された本発明の実施の形態３に係る一体型複数接触子の概略斜視図である。（Ｂ）は、電気コネクタが接続された本発明の実施の形態３に係る一体型複数接触子の概略側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態について図に基づいて説明する。
（実施の形態１）
図１（Ａ）から図４（Ｄ）を参照して、本実施の形態の一体型複数接触子１は、複数の第１の接触子１０と、ブロック２０とを備えている。
【００１９】
複数の第１の接触子１０は、それぞれ、第１の板ばね１１と、舌部１４とを含んでいる。
【００２０】
第１の板ばね１１は、弾性を変形可能な板状部材である。第１の板ばね１１は、導電性を有している。第１の板ばね１１はブロック２０と同じ導電率、またはより大きな導電率を有していてもよい。第１の板ばね１１の材料として、銅−亜鉛（Ｃｕ−Ｚｎ）合金などを用いてもよい。第１の板ばね１１は、第１の板ばね１１の先端に平坦部１１ａを有する。本実施の形態では、平坦部１１ａは、第１の板ばね１１の端面であって、平面を有している。第１の板ばね１１の先端がくさび形状を有しており、平坦部１１ａは、当該くさびの稜線であってもよい。本明細書において、第１の接触子１０（第１の板ばね１１）の先端は、被検査体の１つの端子３１と接触する、第１の接触子１０（第１の板ばね１１）の接触端を意味する。
【００２１】
舌部１４は、第１の板ばね１１に設けられた一対の腕部１５、１６から構成されている。一対の腕部１５、１６は、それぞれ折り曲げ部１８、１９で折り曲げられる。舌部１４は、弾性変形可能な部材であってもよい。舌部１４は、導電性を有する部材であってもよい。舌部１４の材料として、銅−亜鉛（Ｃｕ−Ｚｎ）合金などを用いてもよい。舌部１４は、第１の板ばね１１と同じ材料から構成されていてもよいし、別の材料から構成されていてもよい。第１の板ばね１１と舌部１４とは、一体的に構成されていてもよいし、別部材から構成されていてもよい。本実施の形態では、第１の板ばね１１と舌部１４とは、同一材料で、一体的に構成されている。
【００２２】
ブロック２０は、導電性を有している。ブロック２０の材料として、銅−亜鉛（Ｃｕ−Ｚｎ）合金などを用いてもよい。ブロック２０は、一対の突出部２１、２２を有している。一対の突出部２１、２２は、ｘ方向に延在している。ブロック２０は複数の溝２３を有している。複数の溝２３は、一対の突出部２１、２２の間に設けられている。複数の溝２３は、一対の突出部２１、２２が延在する方向（ｘ方向）に沿って配置されている。一対の突出部２１、２２は、複数の溝２３に取り付けられる複数の第１の接触子１０を機械的に保護することができる。
【００２３】
複数の第１の接触子１０をブロック２０に取り付けることによって、一体型複数接触子１を得ることができる。本実施の形態では、舌部１４は、弾性変形可能な部材であるため、舌部１４の折り曲げ部１８、１９には、折り曲げ部１８、１９を拡げようとする弾性力が作用する。そのため、第１の接触子１０の舌部１４をブロック２０の溝２３に挿入すると、第１の接触子１０の舌部１４はブロック２０の溝２３を押圧しながら当接する。第１の接触子１０の舌部１４はブロック２０の溝２３を押圧しながら当接するので、第１の接触子１０をブロック２０に取り付けることができる。本実施の形態では、舌部１４は第１の板ばね１１と同じ材料で一体的に形成され、舌部１４はブロック２０の溝２３と当接している。
【００２４】
本実施の形態では、第１の板ばね１１と、舌部１４と、ブロック２０とは、導電性を有する材料から構成されている。本実施の形態では、第１の板ばね１１と舌部１４とは、一体的に構成され、舌部１４は、ブロック２０と当接している。そのため、第１の接触子１０の第１の板ばね１１とブロック２０とは、電気的に接続されている。導電性接着剤によって、第１の接触子１０の舌部１４をブロック２０の溝２３に取り付けてもよい。他の方法によって、複数の第１の接触子１０をブロック２０に取り付けてもよい。
【００２５】
本実施の形態の一体型複数接触子１では、複数の第１の接触子１０はそれぞれ導電性を有する第１の板ばね１１を含む。第１の板ばね１１は、面積が最も大きな表面である主面を有する。第１の板ばね１１の主面は、第１の板ばね１１の幅と第１の板ばね１１の高さとによって規定される。複数の第１の板ばね１１は、複数の第１の板ばね１１のそれぞれの主面が対向するように互いに間隔を空けて配置される。本実施の形態では、複数の第１の板ばね１１は、ｘ方向に沿って配置される。複数の第１の板ばね１１の幅方向は、ｙ方向に平行である。複数の第１の接触子１０（複数の第１の板ばね１１）どうしの間隔は、第１の板ばね１１の最大幅よりも小さくてもよい。
【００２６】
第１の板ばね１１の厚さ方向のサイズは、一般的に、第１の板ばね１１の幅方向（ｙ方向）のサイズよりも小さい。複数の第１の板ばね１１は、複数の第１の板ばね１１のそれぞれの主面が対向するように互いに間隔を空けて配置される。そのため、本実施の形態の一体型複数接触子１では、複数の第１の板ばね１１の配置方向（ｘ方向）に沿って、複数の第１の接触子１０（複数の第１の板ばね１１）を密に配置することができる。本実施の形態の一体型複数接触子１では、複数の第１の板ばね１１の配置方向（ｘ方向）において、第１の接触子１０（第１の板ばね１１）どうしの間隔を小さくすることができる。
【００２７】
複数の第１の板ばね１１の配置方向（ｘ方向）に対して、複数の第１の板ばね１１のそれぞれの幅方向がなす角度は、４５度以上１３５度以下であってもよい。本実施の形態では、複数の第１の板ばね１１の幅方向はｙ方向に平行であるので、複数の第１の板ばね１１の配置方向（ｘ方向）に対して、複数の第１の板ばね１１のそれぞれの幅方向がなす角度は、９０度である。
【００２８】
図４（Ａ）から図４（Ｃ）を参照して、被検査体の電気的特性を検査するために、複数の第１の接触子１０（第１の板ばね１１）が撓むように、被検査体３０の１つの端子３１に複数の第１の接触子１０（第１の板ばね１１）を押し付ける。このようにして、一体型複数接触子１の複数の第１の接触子１０（第１の板ばね１１）を被検査体の１つの端子３１に接触させて、被検査体の１つの端子３１は一体型複数接触子１の複数の第１の接触子１０（第１の板ばね１１）に電気的に接続される。被検査体として、半導体装置、半導体パワーモジュール、半導体パッケージモジュールなどを例示することができる。半導体装置、半導体パワーモジュール、半導体パッケージモジュールなどは、例えば、車載用、電鉄用、または産業用に用いることができる。端子３１は、被検査体から延在するリードフレームであってもよいし、被検査体に設けられた導電パッド、電極などであってもよい。本明細書において、被検査体の１つの端子とは、被検査体が有する１つ以上の端子のうちの１つの端子を意味する。
【００２９】
本実施の形態の一体型複数接触子１では、第１の接触子１０のうち１つの端子３１と接触する部分が、弾性変形可能な第１の板ばね１１で構成されている。本実施の形態の一体型複数接触子１では、複数の第１の板ばね１１の配置方向（ｘ方向）に沿って、複数の第１の接触子１０（複数の第１の板ばね１１）を密に配置することができる。複数の第１の板ばね１１の配置方向（ｘ方向）において、第１の接触子１０（第１の板ばね１１）どうしの間隔を小さくすることができる。そのため、被検査体の１つの端子３１に対して接触する第１の接触子１０（弾性変形可能な第１の板ばね１１）の数を増加させることができる。
【００３０】
また、本実施の形態の一体型複数接触子１の第１の板ばね１１は、第１の板ばね１１の先端に平坦部１１ａを有している。そのため、第１の板ばね１１のそれぞれは、第１の板ばね１１の配列方向（ｘ方向）と交差する方向（ｙ方向）に、被検査体の端子３１と線接触または面接触することができる。被検査体の端子３１と接触する接触子としてバンプ端子やピンを用いる場合に比べて、第１の接触子１０の第１の板ばね１１が被検査体の端子３１と線接触または面接触する本実施の形態では、第１の接触子１０と被検査体の１つの端子３１との接触領域を拡げることができる。
【００３１】
その結果、本実施の形態の一体型複数接触子１では、被検査体の端子３１との確実な電気的接触を得ることができる。本実施の形態の一体型複数接触子１（第１の接触子１０）と被検査体の端子３１との間の接触抵抗を小さくすることができる。被検査体の電気的特性を検査するために、例えば３００アンペアから６００アンペアの大電流を一体型複数接触子１の複数の第１の接触子１０に印加しても、一体型複数接触子１と被検査体の端子３１との間に放電が生じることを抑制することができる。さらに、この放電によって一体型複数接触子１と被検査体の端子３１とが溶着してしまうことを抑制することができる。なお、この放電は、接触子が被検査体の端子に接触せず、接触子と被検査体の端子との間にギャップが空いている場合に、接触子から大電流を流すと、接触子と被検査体の端子との間に発生する。
【００３２】
一体型複数接触子１はこのような放電及び溶着を抑制することができるので、被検査体の端子３１に印加される電流または電圧の波形のなまりを小さくすることができる。そのため、本実施の形態の一体型複数接触子１を用いることによって、被検査体の電気特性の検査の精度を向上させることができる。一体型複数接触子１はこのような放電及び溶着を抑制することができるので、一体型複数接触子１に流すことができる電流量を大きくすることができる。そのため、一体型複数接触子１によって検査できる物の範囲を拡大することができる。
【００３３】
本実施の形態の一体型複数接触子１では、第１の板ばね１１を有する複数の第１の接触子１０がブロック２０に保持されている。また、複数の第１の接触子１０（第１の板ばね１１）のそれぞれは、ブロック２０と電気的に接続されている。被検査体の検査のために、ブロック２０に、例えば３００アンペアから６００アンペアの大電流を印加しても、大電流はブロック２０に保持される複数の第１の接触子１０（複数の第１の板ばね１１）に分散される。複数の第１の接触子１０（複数の第１の板ばね１１）のそれぞれに流れる電流の大きさを小さくすることができる。そのため、複数の第１の接触子１０（複数の第１の板ばね１１）のそれぞれと被検査体の端子３１との間に放電が生じることを抑制することができる。さらに、この放電によって複数の第１の接触子１０（複数の第１の板ばね１１）のそれぞれと被検査体の端子３１とが溶着してしまうことを抑制することができる。
【００３４】
一体型複数接触子１はこのような放電及び溶着を抑制することができるので、被検査体の端子３１に印加される電流または電圧の波形のなまりを小さくすることができる。そのため、本実施の形態の一体型複数接触子１を用いることによって、被検査体の電気特性の検査の精度を向上させることができる。一体型複数接触子１はこのような放電及び溶着を抑制することができるので、一体型複数接触子１に流すことができる電流量を大きくすることができる。そのため、一体型複数接触子１によって検査できる物の範囲を拡大することができる。
【００３５】
本実施の形態の一体型複数接触子１では、第１の接触子１０のうち１つの端子３１と接触する部分が、弾性変形可能な第１の板ばね１１で構成されている。そのため、図４（Ｄ）に示すように、湾曲した表面を有する被検査体の１つの端子３１ａに、複数の第１の板ばね１１を確実に接触させることができる。被検査体の１つの端子３１ａが湾曲した表面を有していても、一体型複数接触子１と被検査体の１つの端子３１ａとの間の接触抵抗を小さくすることができる。
【００３６】
図５（Ａ）と図５（Ｂ）とを参照して、本実施の形態の検査治具４０は、一体型複数接触子１と、取り付け部材４１とを備える。一体型複数接触子１のブロック２０は、取り付け手段（図示せず）によって、取り付け部材４１に取り付けられる。一体型複数接触子１のブロック２０は、取り付け部材４１に、着脱自在に取り付けられてもよい。取り付け手段としては、ねじなどを例示することができる。ブロック２０と取り付け部材４１とにねじ穴（図示せず）を設け、ねじ穴に挿入されるねじ（図示せず）によってブロック２０を取り付け部材４１に取り付けてもよい。
【００３７】
本実施の形態では、複数の第１の接触子１０はブロック２０によって一体化されている。そのため、ブロック２０を介して、複数の第１の接触子１０を、容易にかつ安定的に、取り付け部材４１に取り付けることができる。複数の第１の接触子１０を安定的に取り付け部材４１に取り付けることができるので、複数の第１の接触子１０と被検査体の端子３１との確実な電気的接触を得ることができる。複数の第１の接触子１０を保持するブロック２０は、取り付け部材４１に、着脱自在に取り付けられているので、複数の第１の接触子１０を容易に交換することができる。
【００３８】
図６を参照して、本実施の形態の検査装置５０は、一体型複数接触子１を備える検査治具４０と、被検査体３０を支持する支持部材５２と、支持部材５２に対して検査治具４０を移動させる駆動部５４とを備える。駆動部５４によって、一体型複数接触子１を備える検査治具４０を、支持部材５２上の任意の位置に移動させることができる。
【００３９】
本実施の形態の検査装置５０は、一体型複数接触子１を備える検査治具４０を備えている。このため、本実施の形態の検査装置５０では、一体型複数接触子１と被検査体３０の１つの端子３１との確実な電気的接触を得ることができる検査装置を提供することができる。
【００４０】
図７を参照して、本実施の形態の検査装置５０を用いた、被検査体３０の検査方法について説明する。
【００４１】
被検査体３０を支持部材５２上に載置する（Ｓ１０）。駆動部５４によって、一体型複数接触子１を備える検査治具４０を移動させる。複数の第１の接触子１０（第１の板ばね１１）が撓むように、被検査体３０の１つの端子３１に複数の第１の接触子１０（第１の板ばね１１）を押し付ける。このようにして、被検査体３０の１つの端子３１に複数の第１の接触子１０（第１の板ばね１１）を接触させる（Ｓ２０）。複数の第１の接触子１０はそれぞれ、導電性を有する第１の板ばね１１を有する。複数の第１の板ばね１１はその先端に平坦部を有する。複数の第１の板ばね１１は平坦部で被検査体３０の１つの端子３１に接触する。被検査体３０の１つの端子３１に複数の第１の接触子１０（第１の板ばね１１）を接触させるとは、ブロック２０に取り付けられている複数の第１の接触子１０（第１の板ばね１１）のうち、少なくとも２つの第１の接触子１０（第１の板ばね１１）を被検査体３０の１つの端子３１に接触させることを意味する。被検査体３０の１つの端子３１に接触している複数の第１の接触子１０（第１の板ばね１１）から、被検査体３０の１つの端子３１に、電流または電圧を印加する（Ｓ３０）。このようにして、検査装置５０によって、被検査体３０の電気的特性を検査する。
【００４２】
本実施の形態の検査方法では、複数の第１の接触子１０はそれぞれ導電性を有する第１の板ばね１１を含み、複数の第１の接触子１０（第１の板ばね１１）は、複数の第１の板ばね１１の配置方向に沿って配置される。そのため、本実施の形態の検査方法では、被検査体３０の１つの端子３１に対して接触する第１の接触子１０（第１の板ばね１１）の数を増加させることができる。また、本実施の形態の検査方法に用いられる第１の板ばね１１は、第１の板ばね１１の先端に平坦部１１ａを有する。先端に平坦部１１ａを有する第１の板ばね１１は被検査体３０の１つの端子３１と線接触または面接触する。そのため、本実施の形態の検査方法では、第１の接触子１０（第１の板ばね１１）と被検査体３０の１つの端子３１との接触領域を拡げることができる。その結果、本実施の形態の検査方法では、第１の接触子１０（第１の板ばね１１）と被検査体３０の１つの端子３１との確実な電気的接触を得ることができる検査方法を提供することができる。
【００４３】
（実施の形態２）
図８を参照して、実施の形態２に係る一体型複数接触子１ａについて説明する。実施の形態２の一体型複数接触子１ａは、実施の形態１の一体型複数接触子１の変形例である。実施の形態２の一体型複数接触子１ａは、基本的には、実施の形態１の一体型複数接触子１と同様の構成を備え、同様の効果を得ることができるが、主に以下の点で異なる。
【００４４】
本実施の形態の一体型複数接触子１ａは、さらに第２の接触子６０を備える。第２の接触子６０は導電性を有する。第２の接触子６０は、一体型複数接触子１ａのブロック２０の突出部２１、２２にそれぞれ設けられた貫通穴２４、２５に、絶縁体６５を介して、取り付けられる。絶縁体６５として、例えば、絶縁性樹脂接着剤などを用いることができる。絶縁体６５によって、第２の接触子６０は、ブロック２０及び複数の第１の接触子１０と電気的に絶縁される。本実施の形態では、ブロック２０に２つの貫通穴２４、２５が設けられているが、第２の接触子６０を取り付けるための貫通穴の数は、１つでもよいし、３つ以上であってもよい。第２の接触子６０は、２本以上であってもよい。
【００４５】
本実施の形態の一体型複数接触子１ａでは、被検査体の電気的特性を検査するために、複数の第１の接触子１０によって被検査体の１つの端子に電流または電圧を印加し、第２の接触子６０によって被検査体の別の端子から出力される電流または電圧を検出してもよい。本実施の形態では、例えば、複数の第１の接触子１０は、被検査体の１つの端子に電流を印加するために用いられ、第２の接触子６０は、被検査体の別の端子から出力される電圧を検出するために用いられる。
【００４６】
本実施の形態の一体型複数接触子１ａでは、被検査体の１つの端子に電流または電圧を印加する複数の第１の接触子１０は、被検査体の別の端子から出力される電流または電圧を検出する第２の接触子６０と、ブロック２０によって一体化されている。そのため、電流または電圧を被検査体に印加する複数の第１の接触子１０が、被検査体から出力される電流または電圧を検出する第２の接触子６０の近くに配置され得る。本実施の形態の一体型複数接触子１ａを用いることによって、被検査体から出力される電流または電圧を検出するための被検査体の端子が、被検査体の検査のために電流または電圧が印加される被検査体の端子の近くに位置していても、容易に、被検査体の電気的特性を検査することができる。
【００４７】
図５（Ａ）と図５（Ｂ）に示される検査治具４０において、実施の形態１の一体型複数接触子１に代えて、本実施の形態の一体型複数接触子１ａを採用してもよい。図６に示される検査装置５０において、実施の形態１の一体型複数接触子１に代えて、本実施の形態の一体型複数接触子１ａを採用してもよい。貫通穴２５に第２の接触子６０を取り付けてもよいし、貫通穴２４、２５の両方に第２の接触子６０を取り付けてもよい。図７に示される検査方法において、実施の形態１の一体型複数接触子１に代えて、本実施の形態の一体型複数接触子１ａを採用してもよい。
【００４８】
（実施の形態３）
図９（Ａ）から図１１（Ｂ）を参照して、実施の形態３に係る一体型複数接触子１ｂについて説明する。実施の形態３の一体型複数接触子１ｂは、実施の形態２の一体型複数接触子１ａの変形例である。実施の形態３の一体型複数接触子１ｂは、基本的には、実施の形態２の一体型複数接触子１ａと同様の構成を備え、同様の効果を得ることができるが、主に以下の点で異なる。
【００４９】
実施の形態３の一体型複数接触子１ｂは、さらに電気コネクタ７０を備える。電気コネクタ７０は、コネクタ本体７１と、複数の第３の接触子８０とを含む。
【００５０】
コネクタ本体７１は、導電性を有している。コネクタ本体７１の材料として、銅−亜鉛（Ｃｕ−Ｚｎ）合金などを用いてもよい。コネクタ本体７１は、貫通穴７４、７５を有している。コネクタ本体７１は、第１の腕部７６と第２の腕部７７を有している。
【００５１】
第１の腕部７６と第２の腕部７７とは、導電性を有している。本実施の形態では、第１の腕部７６及び第２の腕部７７は、コネクタ本体７１と同じ材料で構成されている。第１の腕部７６及び第２の腕部７７は、コネクタ本体７１と異なる材料で構成されていてもよい。第１の腕部７６と第２の腕部７７とは、弾性を有している。コネクタ本体７１と反対側の第１の腕部７６の端部には、係止片７８が設けられている。コネクタ本体７１と反対側の第２の腕部７７の端部には、係止片７９が設けられている。係止片７８、７９は、導電性を有していても、絶縁性を有していてもよい。
【００５２】
複数の第３の接触子８０は、複数の第１側接触子８１と複数の第２側接触子８４とを含む。
【００５３】
複数の第１側接触子８１は、第２の腕部７７と対向する第１の腕部７６の内面７６ａに取り付けられている。複数の第１側接触子８１は、コネクタ本体７１と係止片７８との間に配置されている。複数の第１側接触子８１のそれぞれは、第１の接触子１０と同様の構成を有している。すなわち、第１側接触子８１は、第２の板ばね８２と、舌部８３とを含んでいる。第２の板ばね８２は、弾性を変形可能な板状部材である。第２の板ばね８２は、導電性を有している。第２の板ばね８２の材料として、銅−亜鉛（Ｃｕ−Ｚｎ）合金などを用いてもよい。第２の板ばね８２は、第２の板ばね８２の先端に平坦部８２ａを有する。
【００５４】
第１の腕部７６は、第１の接触子１０と同様に、複数の第１側接触子８１を保持している。第１の腕部７６は、導電性を有している。第１の腕部７６は、コネクタ本体７１と同じ材料で構成されていてもよいし、異なる材料で構成されていてもよい。複数の第１側接触子８１はそれぞれ、第１の腕部７６に機械的及び電気的に接続されている。具体的には、第１の腕部７６の内面７６ａは複数の溝（図示せず）を有している。第１側接触子８１の舌部８３を第１の腕部７６の内面７６ａの溝に挿入する。舌部８３の弾性や導電性接着剤などを利用して、第１側接触子８１の舌部８３を第１の腕部７６の内面７６ａの溝に固定してもよい。複数の第３の接触子８０のうち第１側接触子８１は、第１の腕部７６を介して、コネクタ本体７１と機械的及び電気的に接続される。
【００５５】
複数の第２側接触子８４は、第１の腕部７６と対向する第２の腕部７７の内面７７ａに取り付けられている。複数の第２側接触子８４は、コネクタ本体７１と係止片７９との間に配置されている。複数の第２側接触子８４のそれぞれは、第１の接触子１０と同様の構成を有している。すなわち、第２側接触子８４は、第２の板ばね８５と、舌部８６とを含んでいる。第２の板ばね８５は、弾性を変形可能な板状部材である。第２の板ばね８５は、導電性を有している。第２の板ばね８５の材料として、銅−亜鉛（Ｃｕ−Ｚｎ）合金などを用いてもよい。第２の板ばね８５は、第２の板ばね８５の先端に平坦部８５ａを有する。本明細書において、第３の接触子８０（第２の板ばね８２、８５）の先端は、電源端子と接触する、第３の接触子８０（第２の板ばね８２、８５）の接触端を意味する。
【００５６】
第２の腕部７７は、第１の接触子１０と同様に、複数の第２側接触子８４を保持している。第２の腕部７７は、導電性を有している。第２の腕部７７は、コネクタ本体７１と同じ材料で構成されていてもよいし、異なる材料で構成されていてもよい。複数の第２側接触子８４はそれぞれ、第２の腕部７７に機械的及び電気的に接続されている。具体的には、第２の腕部７７の内面７７ａは複数の溝（図示せず）を有している。第２側接触子８４の舌部８６を第２の腕部７７の内面７７ａの溝に挿入する。舌部８６の弾性や導電性接着剤などを利用して、第２側接触子８４の舌部８６を第２の腕部７７の内面７７ａの溝に固定してもよい。複数の第３の接触子８０のうち第２側接触子８４は、第２の腕部７７を介して、コネクタ本体７１と機械的及び電気的に接続される。
【００５７】
本実施の形態の一体型複数接触子１ｂでは、複数の第３の接触子８０はそれぞれ導電性を有する第２の板ばね８２、８５を含む。第２の板ばね８２、８５は、面積が最も大きな表面である主面を有する。第２の板ばね８２、８５の主面は、第２の板ばね８２、８５の幅と第２の板ばね８２、８５の高さとによって規定される。複数の第２の板ばね８２、８５は、複数の第２の板ばね８２、８５のそれぞれの主面が対向するように互いに間隔を空けて配置される。複数の第２の板ばね８２、８５は、複数の第２の板ばね８２、８５の配置方向に沿って配置される。複数の第３の接触子８０のうち第１側接触子８１（複数の第２の板ばね８２）どうしの間隔は、第２の板ばね８２の最大幅よりも小さくてもよい。複数の第３の接触子８０のうち第２側接触子８４（複数の第２の板ばね８５）どうしの間隔は、第２の板ばね８５の最大幅よりも小さくてもよい。複数の第３の接触子（複数の第２の板ばね８２、８５）の間隔は、第２の板ばね８２、８５の最大幅よりも小さくてもよい。
【００５８】
第２の板ばね８２、８５の厚さ方向のサイズは、一般的に、第２の板ばね８２、８５の幅方向のサイズよりも小さい。複数の第２の板ばね８２、８５は、複数の第２の板ばね８２、８５のそれぞれの主面が対向するように互いに間隔を空けて配置される。そのため、本実施の形態の一体型複数接触子１ｂでは、複数の第３の接触子８０（第２の板ばね８２、８５）の配置方向に沿って、複数の第３の接触子８０（第２の板ばね８２、８５）を密に配置することができる。複数の第３の接触子８０（第２の板ばね８２、８５）の配置方向において、第３の接触子８０（第２の板ばね８２、８５）どうしの間隔を小さくすることができる。そのため、１つの電源端子９１に対して接触する第３の接触子８０（第２の板ばね８２、８５）の数を増加させることができる。
【００５９】
複数の第３の接触子８０（第２の板ばね８２、８５）の配置方向に対して、複数の第３の接触子８０（第２の板ばね８２、８５）のそれぞれの幅方向がなす角度は、４５度以上１３５度以下であってもよい。本実施の形態では、複数の第３の接触子８０（第２の板ばね８２、８５）の配置方向に対して、複数の第３の接触子８０（第２の板ばね８２、８５）のそれぞれの幅方向がなす角度は、９０度である。
【００６０】
コネクタ本体７１の貫通穴７４、７５がそれぞれブロック２０の貫通穴２４、２５と整列するように、複数の第１の接触子１０が突出する側とは反対側のブロック２０の表面に電気コネクタ７０が取り付けられて、一体型複数接触子１ｂが構成される。電気コネクタ７０は、ブロック２０と機械的及び電気的に接続される。具体的には、電気コネクタ７０のコネクタ本体７１は、ブロック２０と機械的及び電気的に接続される。そのため、複数の第３の接触子８０は、第１の腕部７６、第２の腕部７７、コネクタ本体７１、ブロック２０を介して、複数の第１の接触子１０と電気的に接続される。
【００６１】
図１１を参照して、検査用の電流または電圧を被検査体に印加して被検査体の電気的特性を検査するために、実施の形態３の一体型複数接触子１ｂの電気コネクタ７０は、図示しない電源と電気的に接続された電源プラグ９０の電源端子９１と機械的及び電気的に接続される。具体的には、弾性を有する第１の腕部７６の端部に設けられた係止片７８と、弾性を有する第２の腕部７７の端部に設けられた係止片７９とが電源端子９１を係止して、電源端子９１は電気コネクタ７０に機械的に接続される。複数の第３の接触子８０（第２の板ばね８２、８５）が撓むように、１つの電源端子９１に複数の第３の接触子８０（第２の板ばね８２、８５）を押し付ける。このようにして、一体型複数接触子１ｂの複数の第３の接触子８０（第２の板ばね８２、８５）を１つの電源端子９１に接触させて、１つの電源端子９１は一体型複数接触子１ｂの複数の第３の接触子８０（第２の板ばね８２、８５）に電気的に接続される。
【００６２】
本実施の形態の一体型複数接触子１ｂでは、複数の第１の接触子１０と電気コネクタ７０とが一体化されている。そのため、被検査体の電気特性検査に必要な電源、負荷線等の接触子への取り外しを容易に行うことができる。
【００６３】
本実施の形態の一体型複数接触子１ｂでは、第３の接触子８０、第１の腕部７６、第２の腕部７７、コネクタ本体７１、及びブロック２０は、すべて導電性を有している。本実施の形態の一体型複数接触子１ｂを用いることによって、電源端子９１と複数の第１の接触子１０とを、第３の接触子８０、第１の腕部７６、第２の腕部７７、コネクタ本体７１、ブロック２０を介して電気的に接続することができる。本実施の形態では、電源端子９１と複数の第１の接触子１０とを電気的に接続するために、配線を用いていない。
【００６４】
電源端子９１と複数の第１の接触子１０とを電気的に接続するために配線を用いる場合に比べて、本実施の形態の一体型複数接触子１ｂを用いると、電源端子９１と複数の第１の接触子１０と間のインダクタンスを減少させることができる。本実施の形態の一体型複数接触子１ｂでは、電源端子９１と複数の第１の接触子１０と間のインダクタンスが小さいので、被検査体の端子に印加される電流または電圧の波形のなまりを小さくすることができる。そのため、本実施の形態の一体型複数接触子１ｂを用いることによって、被検査体の電気特性の検査の精度を向上させることができる。本実施の形態では、電源端子９１と複数の第１の接触子１０と間のインダクタンスが小さいので、被検査体の端子に印加されるサージ電圧を小さくすることができる。そのため、本実施の形態の一体型複数接触子１ｂを用いることによって、被検査体を検査するときに被検査体が破壊されることを防ぐことができる。
【００６５】
本実施の形態では、電源端子９１と複数の第１の接触子１０とを電気的に接続するために、配線を用いていない。そのため、電源端子９１と複数の第１の接触子１０との間に、配線の取り回すためのスペースを省略することができ、部品の配置の制約を低減させることができる。本実施の形態の一体型複数接触子１ｂを備えた検査治具や検査装置を小型化することができる。
【００６６】
本実施の形態の一体型複数接触子１ｂでは、第３の接触子８０のうち１つの電源端子９１と接触する部分が、弾性変形可能な第３の接触子８０（第２の板ばね８２、８５）で構成されている。本実施の形態の一体型複数接触子１ｂでは、複数の第３の接触子８０（第２の板ばね８２、８５）の配置方向に沿って、複数の第３の接触子８０（第２の板ばね８２、８５）を密に配置することができる。複数の第２の板ばね８２、８５の配置方向において、第３の接触子８０（第２の板ばね８２、８５）どうしの間隔を小さくすることができる。そのため、１つの電源端子９１に対して接触する第３の接触子８０（第２の板ばね８２、８５）の数を増加させることができる。
【００６７】
また、本実施の形態の一体型複数接触子１ｂの第３の接触子８０（第２の板ばね８２、８５）は、第３の接触子８０（第２の板ばね８２、８５）の先端に平坦部８２ａ、８５ａを有している。そのため、第３の接触子８０（第２の板ばね８２、８５）のそれぞれは、第３の接触子８０（第２の板ばね８２、８５）の配列方向と交差する方向に、１つの電源端子９１と線接触または面接触することができる。１つの電源端子９１と接触する接触子としてバンプ端子やピンを用いる場合に比べて、第３の接触子８０（第２の板ばね８２、８５）が１つの電源端子９１と線接触または面接触する本実施の形態では、第３の接触子８０（第２の板ばね８２、８５）と１つの電源端子９１との接触領域を拡げることができる。
【００６８】
その結果、本実施の形態の一体型複数接触子１ｂでは、第３の接触子８０（第２の板ばね８２、８５）と電源端子９１との確実な電気的接触を得ることができる。本実施の形態の一体型複数接触子１ｂ（第３の接触子８０）と電源端子９１との間の接触抵抗を小さくすることができる。被検査体の電気的特性を検査するために、例えば３００アンペアから６００アンペアの大電流を電源端子９１から一体型複数接触子１ｂの複数の第３の接触子８０に印加しても、第３の接触子８０と電源端子９１との間に放電が生じることを抑制することができる。さらに、この放電によって第３の接触子８０と電源端子９１とが溶着してしまうことを抑制することができる。なお、この放電は、接触子が電源端子に接触せず、接触子と電源端子との間にギャップが空いている場合に、電源端子から大電流を流すと、接触子と電源端子との間に発生する。また、一体型複数接触子１ｂはこのような放電及び溶着を抑制することができるので、一体型複数接触子１ｂに流すことができる電流量を大きくすることができる。そのため、一体型複数接触子１ｂによって検査できる物の範囲を拡大することができる。
【００６９】
本実施の形態の一体型複数接触子１ｂでは、第２の板ばね８２、８５を有する複数の第３の接触子８０が第１の腕部７６と第２の腕部７７とに保持されている。また、複数の第３の接触子８０（第２の板ばね８２、８５）のそれぞれは、第１の腕部７６、第２の腕部７７、および、コネクタ本体７１と電気的に接続されている。被検査体の検査のために、電源端子９１から、例えば３００アンペアから６００アンペアの大電流を電気コネクタ７０に印加しても、大電流は第１の腕部７６及び第２の腕部７７に保持される複数の第３の接触子８０（第２の板ばね８２、８５）に分散される。複数の第３の接触子８０（第２の板ばね８２、８５）のそれぞれに流れる電流の大きさを小さくすることができる。そのため、複数の第３の接触子８０（第２の板ばね８２、８５）のそれぞれと電源端子９１との間に放電が生じることを抑制することができる。さらに、この放電によって複数の第３の接触子８０（第２の板ばね８２、８５）のそれぞれと電源端子９１とが溶着してしまうことを抑制することができる。
【００７０】
一体型複数接触子１ｂはこのような放電及び溶着を抑制することができるので、被検査体の端子に印加される電流または電圧の波形のなまりを小さくすることができる。そのため、本実施の形態の一体型複数接触子１ｂを用いることによって、被検査体の電気特性の検査の精度を向上させることができる。一体型複数接触子１ｂはこのような放電及び溶着を抑制することができるので、一体型複数接触子１ｂに流すことができる電流量を大きくすることができる。そのため、一体型複数接触子１ｂによって検査できる物の範囲を拡大することができる。
【００７１】
本実施の形態の一体型複数接触子１ｂでは、第３の接触子８０のうち１つの電源端子９１と接触する部分が、弾性変形可能な第２の板ばね８２、８５で構成されている。そのため、湾曲した表面を有する１つの電源端子に、複数の第３の接触子８０（第２の板ばね８２、８５）を確実に接触させることができる。１つの電源端子が湾曲した表面を有していても、一体型複数接触子１ｂと１つの電源端子との間の接触抵抗を小さくすることができる。
【００７２】
図８（Ａ）と図８（Ｂ）に示されるように、本実施の形態の貫通穴２４、７４及び／又は２５、７５に、絶縁体６５を介して、第２の接触子６０を取り付けてもよい。第３の接触子８０は、複数の第１側接触子８１及び複数の第２側接触子８４の少なくとも１つを有していてもよい。電源端子９１に接触する接触子として、第３の接触子８０に代えて、任意の接触子を用いてもよい。
【００７３】
図５（Ａ）と図５（Ｂ）に示される検査治具４０において、実施の形態１の一体型複数接触子１に代えて、本実施の形態の一体型複数接触子１ｂを採用してもよい。図６に示される検査装置５０において、実施の形態１の一体型複数接触子１に代えて、本実施の形態の一体型複数接触子１ｂを採用してもよい。図７に示される検査方法において、実施の形態１の一体型複数接触子１に代えて、本実施の形態の一体型複数接触子１ｂを採用してもよい。
【００７４】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した説明ではなく特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることを意図される。
【符号の説明】
【００７５】
１，１ａ，１ｂ  一体型複数接触子、１０  第１の接触子、１１  第１の板ばね、１１ａ，８２ａ，８５ａ  平坦部、１４，８３，８６  舌部、１５  腕部、１８，１９  折り曲げ部、２０  ブロック、２１，２２  突出部、２３  溝、２４，２５，７４，７５  貫通穴、３０  被検査体、３１，３１ａ  端子、４０  検査治具、４１  取り付け部材、５０  検査装置、５２  支持部材、５４  駆動部、６０  第２の接触子、６５  絶縁体、７０  電気コネクタ、７１  コネクタ本体、７６  第１の腕部、７６ａ  内面、７７  第２の腕部、７７ａ  内面、７８，７９  係止片、８０  第３の接触子、８１  第１側接触子、８２，８５  第２の板ばね、８４  第２側接触子、９０  電源プラグ、９１  電源端子。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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