(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子顕微鏡の観察窓に取り付けられる電子顕微鏡観察窓用の遮光器であって、
前記観察窓を覆う遮光板と、
前記遮光板に設けられた窓部と、
前記窓部を塞ぐ第１状態と前記窓部を塞がない第２状態とをとるように、前記遮光板に沿って移動可能に設けられた遮光部材と、
を含む、電子顕微鏡観察窓用の遮光器。
【請求項２】
請求項１において、
前記遮光部材は、前記窓部を塞ぐ第１状態と前記窓部を塞がない第２状態とをとるように、前記遮光板に沿って回転可能に設けられている、電子顕微鏡観察窓用の遮光器。
【請求項３】
請求項１において、
前記遮光部材は、前記窓部を塞ぐ第１状態と前記窓部を塞がない第２状態とをとるように、前記遮光板に沿って直線的に移動可能に設けられている、電子顕微鏡観察窓用の遮光器。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項において、
前記遮光部材を移動させるためのつまみを含む、電子顕微鏡観察窓用の遮光器。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１項において、
前記遮光部材の移動を規制するストッパーを含む、電子顕微鏡観察窓用の遮光器。
【請求項６】
請求項５において、
前記ストッパーは、弾性体である、電子顕微鏡観察窓用の遮光器。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれか１項において、
前記遮光板と前記遮光部材とは、接触していない、電子顕微鏡観察窓用の遮光器。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれか１項において、
前記窓部は、双眼鏡で電子顕微鏡像を観察するための窓である、電子顕微鏡観察窓用の遮光器。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれか１項に記載の電子顕微鏡観察窓用の遮光器を含む、電子顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子顕微鏡観察窓用の遮光器および電子顕微鏡に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子顕微鏡では、電子銃から放射された荷電粒子（電子線）が電子レンズを通して被観察試料に照射され、被観察試料を透過した荷電粒子が像観察室内の大蛍光板に到達し、被観察試料の透過像（電子顕微鏡像）を投影する。像観察室には、発光体である大蛍光板に映し出された電子顕微鏡像を観察するために像観察窓が設けられている。電子顕微鏡像の細部を確認するときなどは、双眼鏡での電子顕微鏡像の観察に適した位置、角度に調整された小蛍光板に荷電粒子を照射し、小蛍光板に映し出された電子顕微鏡像を、双眼鏡を用いて拡大して観察する。
【０００３】
電子顕微鏡像の写真撮影時に、室内光が像観察窓から像観察室内に入射するとノイズとなり良質な電子顕微鏡像の写真が得られない。そこで、例えば特許文献１には、像観察窓にはめ込み式の遮光器を被せることにより室内光を遮光する手法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】実開平６−８４６６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、Ｃｓコレクタ等の投入によって透過電子顕微鏡の性能がますます向上してきている。その結果、振動が電子顕微鏡像に及ぼす影響が今まで以上に重大になってきている。電子顕微鏡像の写真撮影時に、特許文献１に記載のはめ込み式の遮光器を像観察窓に被せると、像観察窓と接触して微振動が発生する。また、このようなはめ込み式の遮光器を被せるには双眼鏡を移動する必要があるが、この双眼鏡の移動によっても微振動が発生する。これらの微振動が収まるまでは、電子顕微鏡像の写真撮影を行うことができない。
【０００６】
電子顕微鏡は、常時外乱等の影響を受けており、微小な試料ドリフト等が発生している。そのため、電子顕微鏡像の観察から撮影までの時間が延びるほど像のドリフトやぼけが大きくなり像質が悪化してしまう。特に、高分解能の電子顕微鏡像の観察、写真撮影ほど双眼鏡を用いる頻度は高く、所望した電子顕微鏡像の写真を得るまで観察と写真撮影を繰り返すため、遮光器を被せる一連の動作による微振動の影響は大きい。
【０００７】
本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、観察から撮影までの時間を短縮して、良質な電子顕微鏡像の撮影を可能とする電子顕微鏡観察窓用の遮光器を提供することにある。また、本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、上記遮光器を含む電子顕微鏡を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
（１）本発明に係る電子顕微鏡観察窓用の遮光器は、
電子顕微鏡の観察窓に取り付けられる電子顕微鏡観察窓用の遮光器であって、
前記観察窓を覆う遮光板と、
前記遮光板に設けられた窓部と、
前記窓部を塞ぐ第１状態と前記窓部を塞がない第２状態とをとるように、前記遮光板に沿って移動可能に設けられた遮光部材と、
を含む。
【０００９】
このような電子顕微鏡観察窓用の遮光器では、遮光部材が窓部を塞ぐ状態と、窓部を塞がない状態と、をとるように、遮光板に沿って移動可能に設けられているため、当該遮光器を観察窓に取り付けた状態で双眼鏡を用いて電子顕微鏡像等の観察が可能であり、かつ、当該遮光器を観察窓に取り付けた状態で双眼鏡を動かさずに遮光することができる。そのため、双眼鏡の動作による振動が発生せず、振動が落ち着くまでの待ち時間を低減できる。したがって、このような遮光器では、像観察から撮影までの時間を短縮することができ、良質な電子顕微鏡像の撮影が可能となる。
【００１０】
（２）本発明に係る電子顕微鏡観察窓用の遮光器において、
前記遮光部材は、前記窓部を塞ぐ第１状態と前記窓部を塞がない第２状態とをとるように、前記遮光板に沿って回転可能に設けられていてもよい。
【００１１】
このような電子顕微鏡観察窓用の遮光器では、像観察から撮影までの時間を短縮することができ、良質な電子顕微鏡像の撮影が可能となる。
【００１２】
（３）本発明に係る電子顕微鏡観察窓用の遮光器において、
前記遮光部材は、前記窓部を塞ぐ第１状態と前記窓部を塞がない第２状態とをとるように、前記遮光板に沿って直線的に移動可能に設けられていてもよい。
【００１３】
このような電子顕微鏡観察窓用の遮光器では、像観察から撮影までの時間を短縮することができ、良質な電子顕微鏡像の撮影が可能となる。
【００１４】
（４）本発明に係る電子顕微鏡観察窓用の遮光器において、
前記遮光部材を移動させるためのつまみを含んでいてもよい。
【００１５】
（５）本発明に係る電子顕微鏡観察窓用の遮光器において、
前記遮光部材の移動を規制するストッパーを含んでいてもよい。
【００１６】
このような電子顕微鏡観察窓用の遮光器では、遮光部材の移動を規制することができる。
【００１７】
（６）本発明に係る電子顕微鏡観察窓用の遮光器において、
前記ストッパーは、弾性体であってもよい。
【００１８】
このような電子顕微鏡観察窓用の遮光器では、ストッパーが弾性体であるため、遮光部材を移動させてストッパーに当接して発生する振動を低減することができる。したがって、このような遮光器では、観察から撮影までの待ち時間を短縮することができ、良質な電子顕微鏡像の撮影が可能となる。
【００１９】
（７）本発明に係る電子顕微鏡観察窓用の遮光器において、
前記遮光板と前記遮光部材とは、接触していなくてもよい。
【００２０】
このような電子顕微鏡観察窓用の遮光器では、遮光板と遮光部材とが接触していないため、例えば遮光部材と遮光板とが接触している場合と比べて、遮光部材が移動することによる振動を小さくすることができる。したがって、このような遮光器では、観察から撮影までの待ち時間を短縮することができ、良質な電子顕微鏡像の撮影が可能となる。
【００２１】
（８）本発明に係る電子顕微鏡観察窓用の遮光器において、
前記窓部は、双眼鏡で電子顕微鏡像を観察するための窓であってもよい。
【００２２】
（９）本発明に係る電子顕微鏡は、
本発明に係る電子顕微鏡観察窓用の遮光器を含む。
【００２３】
このような電子顕微鏡では、本発明に係る遮光器を含むため、良質な電子顕微鏡像を撮影することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】第１実施形態に係る遮光器を含む電子顕微鏡の構成を模式的に示す図。
【図２】第１実施形態に係る遮光器を模式的に示す斜視図。
【図３】第１実施形態に係る遮光器を模式的に示す斜視図。
【図４】第１実施形態に係る遮光器を模式的に示す斜視図。
【図５】第１実施形態に係る遮光器を模式的に示す斜視図。
【図６】第１実施形態に係る遮光器を模式的に示す断面図。
【図７】第２実施形態に係る遮光器を模式的に示す斜視図。
【図８】第２実施形態に係る遮光器を模式的に示す斜視図。
【図９】第２実施形態に係る遮光器を模式的に示す斜視図。
【図１０】第２実施形態に係る遮光器を模式的に示す斜視図。
【図１１】第２実施形態に係る遮光器を模式的に示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
【００２６】
１．  第１実施形態
１．１．  遮光器および電子顕微鏡の構成
まず、第１実施形態に係る遮光器を含む電子顕微鏡について図面を参照しながら説明する。図１は、第１実施形態に係る遮光器１００を含む電子顕微鏡１の構成を模式的に示す図である。図１では、遮光器１００を電子顕微鏡１の観察窓６に取り付けた状態を図示している。なお、図１では、遮光器１００を簡略化して図示している。また、図１では、電子顕微鏡１の要部のみを図示している。
【００２７】
電子顕微鏡１は、図１に示すように、像観察室２と、大蛍光板３と、小蛍光板４と、双眼鏡５と、観察窓６と、検出器７と、撮像装置８と、遮光器１００と、を含む。電子顕微鏡１は、例えば、透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）、走査透過電子顕微鏡（ＳＴＥＭ）等である。
【００２８】
電子顕微鏡１では、電子銃（図示せず）から放射された荷電粒子（電子線）を照射レンズ系（例えばコンデンサーレンズ、図示せず）を通して被観察試料に照射し、被観察試料を透過した電子ｅを結像レンズ系（対物レンズ、中間レンズ、投影レンズ、図示せず）を通して、電子顕微鏡像（ＴＥＭ像）や回折図形等を得る装置である。
【００２９】
像観察室２は、電子顕微鏡像を観察するための空間である。像観察室２内は、真空排気装置（図示せず）によって真空排気されている。像観察室２には、大蛍光板３、小蛍光板４、検出器７が収容されている。
【００３０】
大蛍光板３は、電子顕微鏡像や回折図形等を可視化するためのものである。大蛍光板３では、電子ｅの衝突により塗布された蛍光物質が励起され、放出された可視光が電子ｅの
強度に対応した明暗を作る。大蛍光板３で可視化された電子顕微鏡像や回折図形等は、観察窓６越しに観察することができる。大蛍光板３は電子ｅのシャッターを兼ねており、大蛍光板３を跳ね上げることで、電子顕微鏡像や回折図形等を撮像装置８で写真撮影することができる。
【００３１】
小蛍光板４は、電子顕微鏡像や回折図形等を双眼鏡５で観察するためのものである。小蛍光板４は、電子顕微鏡像等を双眼鏡５での観察に適した位置、角度に調整可能に構成されている。
【００３２】
双眼鏡５は、像観察室２の外に配置されている。双眼鏡５を用いることで、像観察室２の外から観察窓６越しに、小蛍光板４で可視化された電子顕微鏡像等を拡大して観察することができる。図１に示すように、観察窓６には遮光器１００が取り付けられているが、遮光器１００の窓部１２０を介して、双眼鏡５で電子顕微鏡像等の観察が可能である。
【００３３】
双眼鏡５は、観察窓６の前方と、観察窓６の前方を避けた位置と、を移動可能に設けられている。図１に示すように、双眼鏡５を観察窓６の前方に配置することで、小蛍光板４で可視化された電子顕微鏡像等を拡大して観察することができる。また、双眼鏡５を観察窓６の前方を避けた位置に配置することで、例えばオペレーターが観察窓６から大蛍光板３で可視化された電子顕微鏡像を観察するときに、可視化された電子顕微鏡像が双眼鏡５によって遮られて観察が阻害されることを防ぐことができる。
【００３４】
観察窓６は、像観察室２内を観察するための窓である。観察窓６は、可視光に対して透明な部材で構成されている。観察窓６の材質は、例えば、鉛ガラスである。
【００３５】
検出器７は、像観察室２に配置されている。検出器７は、例えば、暗視野像観察装置である。
【００３６】
撮像装置８は、結像レンズ系によって結像された電子顕微鏡像を撮影する。撮像装置８は、大蛍光板３の下に設けられたカメラ室９に配置されている。撮像装置８で撮像する際には、大蛍光板３はシャッターとして機能する。また、撮像装置８で撮像する際には、小蛍光板４は、光軸から外れた位置に配置される。
【００３７】
撮像装置８は、例えば、ＣＣＤカメラや、ＣＭＯＳカメラ等のデジタルカメラである。撮像装置８は、撮影した電子顕微鏡像の情報を画像処理装置（図示せず）に出力し、画像処理装置は撮影された電子顕微鏡像を表示装置（図示せず）に表示させる処理を行う。なお、撮像装置８は、例えば、フィルムに撮影を行うフィルムカメラであってもよい。
【００３８】
遮光器１００は、電子顕微鏡像等の写真撮影時に、外部の光（電子顕微鏡１が配置された室内の光）が観察窓６から像観察室２内に入射しないように、外部の光を遮光するための部材である。遮光器１００は、観察窓６に取り付けられる。遮光器１００は観察窓６に対して着脱可能に設けられている。遮光器１００は、図１に示すように、観察窓６上に載置されることで観察窓６に取り付けられる。遮光器１００は、像観察室２の外に配置され、像観察室２内には配置されない。
【００３９】
図２〜図５は、遮光器１００を模式的に示す斜視図である。図６は、遮光器１００を模式的に示す断面図であり、図２のＶＩ−ＶＩ線断面図である。なお、図２は、遮光器１００を表側から見た斜視図であり、遮光部材１３０が窓部１２０を塞いでいる状態を図示している。図３は、遮光器１００を表側から見た斜視図であり、遮光部材１３０が窓部１２０を塞いでいない状態を図示している。図４は、遮光器１００を裏側から見た斜視図であり、遮光部材１３０が窓部１２０を塞いでいる状態を図示している。図５は、遮光器１０
０を裏側から見た斜視図であり、遮光部材１３０が窓部１２０を塞いでいない状態を図示している。
【００４０】
遮光器１００は、図２〜図６に示すように、遮光板１１０と、窓部１２０と、遮光部材１３０と、つまみ１４０と、第１ストッパー１５０と、第２ストッパー１５２と、を含む。
【００４１】
遮光板１１０は、図２〜図５に示すように、円盤状の部材である。遮光板１１０の形状は、図示の例では、円盤状であるが、観察窓６の形状に応じて適宜変更が可能である。遮光板１１０は、図１に示すように、観察窓６に取り付けられた際に、観察窓６を覆う（窓部１２０を除く）。遮光板１１０は、観察窓６を覆って、外部の光が観察窓６から像観察室２内に入射しないようにする。遮光板１１０の材質は、可視光を透過しない材料であれば特に限定されない。
【００４２】
遮光板１１０には、遮光板１１０を貫通する窓部１２０が設けられている。また、遮光板１１０の裏面１１４の外周部には、枠部１１６が設けられている。遮光板１１０の枠部１１６は、観察窓６に取り付けられた際に、観察窓６に接する。なお、遮光板１１０の裏面１１４は、観察窓６に取り付けられた際に、観察窓６側を向く面である。
【００４３】
窓部１２０は、遮光板１１０を貫通する穴である。窓部１２０は、双眼鏡５の２つの鏡筒に対応して２つ設けられている。窓部１２０は、図１に示すように、遮光器１００を観察窓６に取り付けた状態で、双眼鏡５で像観察室２内の小蛍光板４で可視化された電子顕微鏡像等を観察するための窓である。
【００４４】
遮光部材１３０は、図２および図４に示す窓部１２０を塞ぐ状態（第１状態）と、図３および図５に示す窓部１２０を塞がない状態、すなわち窓部１２０が開放された状態（第２状態）と、をとるように、遮光板１１０に沿って移動可能に設けられている。遮光部材１３０は、図示の例では、窓部１２０を塞ぐ状態と窓部１２０を塞がない状態とをとるように、遮光板１１０に沿って回転可能に設けられている。
【００４５】
遮光部材１３０は、つまみ１４０の軸となるねじ１４２とナット１４４とによって遮光板１１０に取り付けられている。遮光部材１３０は、遮光部材１３０の裏面１１４側に取り付けられている。なお、遮光部材１３０は、遮光板１１０の、観察窓６に取り付けられた際に外を向く表面１１２側に設けられてもよい。
【００４６】
遮光部材１３０は、図６に示すように、遮光板１１０と接触していない。遮光部材１３０は、ねじ１４２によって、遮光板１１０の裏面１１４から浮いた状態で支持されている。なお、遮光部材１３０は、遮光板１１０と接触していてもよい。遮光部材１３０は、遮光板１１０の裏面１１４を摺動可能に設けられていてもよい。
【００４７】
遮光部材１３０は、遮光板１１０の裏面１１４に垂直な軸まわりに回転可能に設けられている。図示の例では、遮光部材１３０は、ねじ１４２を中心として回転可能に設けられている。遮光部材１３０は、つまみ１４０をまわすことにより、ねじ１４２を中心として回転する。遮光部材１３０は、板状の部材であり、第１状態において２つの窓部１２０を塞ぐことができる。
【００４８】
遮光部材１３０は、板状の部材である。遮光部材１３０の材質は、可視光を透過しない材料であれば特に限定されない。
【００４９】
つまみ１４０は、遮光板１１０の表面１１２の中心に設けられている。つまみ１４０と
遮光部材１３０とは固定されており、遮光部材１３０はつまみ１４０とともに回転する。つまみ１４０をまわすことで、遮光部材１３０が回転し、遮光部材１３０が窓部１２０を塞ぐ状態と、遮光部材１３０が窓部１２０を塞がない状態と、を切り替えることができる。なお、つまみ１４０は、遮光板１１０の表面１１２の中心ではなく偏心した位置に設けられてもよい。
【００５０】
第１ストッパー１５０および第２ストッパー１５２は、遮光板１１０に設けられている。第１ストッパー１５０および第２ストッパー１５２は、遮光板１１０の裏面１１４側に設けられた突起である。
【００５１】
第１ストッパー１５０および第２ストッパー１５２は、遮光部材１３０の移動（回転）を規制する。図４に示すように、遮光部材１３０は第１ストッパー１５０に当接したときに、窓部１２０を塞ぐ状態に位置する。また、図５に示すように、遮光部材１３０は第２ストッパー１５２に当接したときに、窓部１２０を塞がない状態に位置する。
【００５２】
第１ストッパー１５０および第２ストッパー１５２は、例えば、弾性体である。具体的には、第１ストッパー１５０および第２ストッパー１５２の材質は、例えば、ポリマーや、エラストマーなどである。
【００５３】
１．２．  動作
電子顕微鏡１において高分解能の電子顕微鏡像の観察を行うときは、図１に示すように、遮光器１００を観察窓６上に載置して観察窓６に取り付ける。次に、双眼鏡５を観察位置に移動する。そして、遮光器１００が観察窓６に取り付けられた状態で、つまみ１４０を遮光部材１３０が第２ストッパー１５２に当接するまでまわして、遮光部材１３０を、双眼鏡５での電子顕微鏡像の観察を阻害しない位置に移動させる（図３および図５参照）。すなわち、遮光部材１３０が窓部１２０を塞がない状態にする。このとき、遮光部材１３０が第２ストッパー１５２に当接しても、第２ストッパー１５２は弾性体であるため、振動はほとんど発生しない。
【００５４】
双眼鏡５による高分解能の電子顕微鏡像の観察が完了して、写真撮影に移るときは、遮光器１００が観察窓６に取り付けられた状態で、つまみ１４０を遮光部材１３０が第１ストッパー１５０に当接する位置までまわして、遮光部材１３０を窓部１２０を塞いで遮光する位置に移動させる。すなわち、遮光部材１３０を、窓部１２０を塞ぐ状態にする。これにより、遮光部材１３０が窓部１２０を塞ぎ、像観察室２内が遮光器１００によって完全に遮光される。
【００５５】
このとき、遮光部材１３０が第１ストッパー１５０に当接しても、第１ストッパー１５０は弾性体であるため、振動はほとんど発生しない。さらに、つまみ１４０をまわすだけで遮光が可能であるため、双眼鏡５で電子顕微鏡像を観察している状態から双眼鏡５を動かす必要がない。すなわち、双眼鏡５を動かすことによる振動が発生しない。したがって、すぐに電子顕微鏡像の写真撮影を行うことができる。
【００５６】
遮光器１００は、例えば、以下の特徴を有する。
【００５７】
遮光器１００では、遮光部材１３０が窓部１２０を塞ぐ状態と、窓部１２０を塞がない状態と、をとるように、遮光板１１０に沿って移動可能に設けられている。そのため、遮光器１００を観察窓６に取り付けた状態で双眼鏡５を用いて電子顕微鏡像等の観察が可能であり、かつ、遮光器１００を観察窓６に取り付けた状態で双眼鏡５を動かさずに遮光することができる。そのため、双眼鏡５の動作による振動が発生せず、振動が落ち着くまでの待ち時間を低減できる。したがって、遮光器１００では、像観察から撮影までの時間を
短縮することができ、良質な電子顕微鏡像の撮影が可能となる。
【００５８】
また、遮光器１００では、上述のように、双眼鏡５を動かさずに外部の光を遮光できるため、像観察から撮影に移るときに双眼鏡５を動かす時間を短縮できる。したがって、遮光器１００では、像観察から撮影までの時間を短縮することができ、良質な電子顕微鏡像の撮影が可能となる。
【００５９】
また、遮光器１００では、像観察室２の外から観察窓６に取り付けることができるため、像観察室２内に配置される暗視野像観察装置やＣＣＤカメラ等の検出器の数および配置に、遮光器１００が制約を与えない。例えば、像観察室２の内部に遮光板や、遮光板を像観察室２内で動かすための機構を設ける場合、像観察室２内に配置される暗視野像観察装置やＣＣＤカメラ等の検出器の数および配置に大きな制約を与える。
【００６０】
また、遮光器１００では、遮光板１１０と遮光部材１３０とは、接触していない。そのため、例えば遮光部材１３０と遮光板１１０とが接触している場合と比べて、遮光部材１３０が回転することによる振動を小さくすることができる。したがって、遮光器１００では、観察から撮影までの待ち時間を短縮することができ、良質な電子顕微鏡像の撮影が可能となる。
【００６１】
遮光器１００では、遮光部材１３０の移動を規制するストッパー１５０，１５２を含み、ストッパー１５０，１５２は、弾性体である。そのため、遮光部材１３０を移動させてストッパー１５０，１５２に当接して発生する振動を低減することができる。したがって、遮光器１００では、観察から撮影までの待ち時間を短縮することができ、良質な電子顕微鏡像の撮影が可能となる。
【００６２】
電子顕微鏡１では、遮光器１００を含むため、良質な電子顕微鏡像を撮影することができる。
【００６３】
２．  第２実施形態
２．１．  遮光器の構成
次に、第２実施形態に係る遮光器について、図面を参照しながら説明する。
【００６４】
図７〜図１０は、第２実施形態に係る遮光器２００を模式的に示す斜視図である。図１１は、第２実施形態に係る遮光器２００を模式的に示す断面図であり、図７のＸＩ−ＸＩ線断面図である。なお、図７は、遮光器２００を表側から見た斜視図であり、遮光部材１３０が窓部１２０を塞いでいる状態を図示している。図８は、遮光器１００を表側から見た斜視図であり、遮光部材１３０が窓部１２０を塞いでいない状態を図示している。図９は、遮光器２００を裏側から見た斜視図であり、遮光部材１３０が窓部１２０を塞いでいる状態を図示している。図１０は、遮光器２００を裏側から見た斜視図であり、遮光部材１３０が窓部１２０を塞いでいない状態を図示している。
【００６５】
なお、遮光器２００を電子顕微鏡に取り付けた状態は、上述した図１に示す第１実施形態と同様であり、その説明を省略する。
【００６６】
以下、第２実施形態に係る遮光器２００において、第１実施形態に係る遮光器１００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【００６７】
上述した遮光器１００では、図２〜図６に示すように、遮光部材１３０は、窓部１２０を塞ぐ状態と窓部１２０を塞がない状態とをとるように、遮光板１１０に沿って回転可能
に設けられていた。
【００６８】
これに対して、遮光器２００では、図７〜図１１に示すように、遮光部材１３０は、窓部１２０を塞ぐ状態と窓部１２０を塞がない状態とをとるように、遮光板１１０に沿って直線的に移動可能に設けられている。
【００６９】
遮光板１１０には、溝１１８が設けられている。溝１１８は、直線的に設けられている。図示の例では、溝１１８は、遮光板１１０の中心から動径方向に直線的に延在している。溝１１８は、遮光板１１０を貫通している。溝１１８には、つまみ１４０のねじ１４２が挿入されている。つまみ１４０と遮光部材１３０とは固定されており、遮光部材１３０はつまみ１４０とともに溝１１８に沿って直線的に移動する。
【００７０】
図７、図９および図１１に示すように、つまみ１４０が溝１１８の一端に到達すると、ねじ１４２が溝１１８を規定する遮光板１１０の側面１１９ａに当接して、遮光部材１３０の移動が規制される。このとき、遮光部材１３０は、窓部１２０を塞ぐ状態となる。
【００７１】
図８および図１０に示すように、つまみ１４０が溝１１８の他端に到達すると、ねじ１４２が溝１１８を規定する遮光板１１０の側面１１９ｂに当接して、遮光部材１３０の移動が規制される。このとき、遮光部材１３０は、窓部１２０を塞がない状態となる。
【００７２】
遮光部材１３０は、図１１に示すように、遮光板１１０と接触していない。遮光部材１３０は、ねじ１４２によって、遮光板１１０の裏面１１４から浮いた状態で支持されている。なお、遮光部材１３０は、遮光板１１０と接触していてもよい。遮光部材１３０は、遮光板１１０の裏面１１４を摺動可能に設けられていてもよい。
【００７３】
２．２．  動作
電子顕微鏡１において高分解能の電子顕微鏡像の観察を行うときは、図１に示すように、遮光器２００を観察窓６に取り付ける。次に、双眼鏡５を観察位置に移動する。そして、遮光器１００が観察窓６に取り付けられた状態で、つまみ１４０を溝１１８の一端まで直線的に移動させて、遮光部材１３０を双眼鏡５での電子顕微鏡像の観察を阻害しない位置に移動させる（図８および図１０参照）。すなわち、遮光部材１３０が窓部１２０を塞がない状態にする。
【００７４】
双眼鏡５による高分解能の電子顕微鏡像の観察が完了して、写真撮影に移るときは、遮光器１００が観察窓６に取り付けられた状態で、つまみ１４０を溝１１８の他端まで直線的に移動させて、遮光部材１３０を、遮光部材１３０が窓部１２０を塞いで遮光する位置に移動させる（図７および図９参照）。これにより、遮光部材１３０が窓部１２０を塞ぎ、像観察室２内が遮光器１００によって完全に遮光される。
【００７５】
このように、つまみ１４０を直線的に移動させるだけで遮光が可能であるため、双眼鏡５で電子顕微鏡像を観察している状態から双眼鏡５を動かす必要がない。すなわち、双眼鏡５を動かすことによる振動が発生しない。したがって、すぐに電子顕微鏡像の写真撮影を行うことができる。
【００７６】
遮光器２００では、遮光部材１３０は、窓部１２０を塞ぐ状態と窓部１２０を塞がない状態とをとるように、遮光板１１０に沿って直線的に移動可能に設けられている。そのため、遮光器２００では、遮光器１００と同様に、像観察から撮影までの時間を短縮することができ、良質な電子顕微鏡像の撮影が可能となる。
【００７７】
本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法およ
び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【符号の説明】
【００７８】
１…電子顕微鏡、２…像観察室、３…大蛍光板、４…小蛍光板、５…双眼鏡、６…観察窓、７…検出器、８…撮像装置、１００…遮光器、１１０…遮光板、１１２…表面、１１４…裏面、１１６…枠部、１１８…溝、１１９ａ，１１９ｂ…側面、１２０…窓部、１３０…遮光部材、１４０…つまみ、１４２…ねじ、１４４…ナット、１５０…第１ストッパー、１５２…第２ストッパー、２００…遮光器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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