(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上部壁及び該上部壁の辺縁から延伸して形成される端部側壁を含む瓶端部と、
前記瓶端部に一体に結合される瓶本体であって、前記瓶端部と前記瓶本体によって１個の収容部が形成される瓶本体とを含み、
前記上部壁には輸送管体を挿入させかつ前記収容部と連通している瓶開口が形成されている化学溶液収容瓶であって、
前記瓶端部は前記上部壁の外表面から外部へ延伸して形成される突起部を更に含み、前記瓶端部は、前記突起部の表面から内部へ延伸している結合孔と、前記上部壁を貫通するように前記結合孔から内部へ更に延伸している毛細孔とを具備し、前記結合孔のサイズは前記毛細孔のサイズより大きく、
前記化学溶液収容瓶は内部に貫通孔が形成されている結合部品を更に含み、該結合部品は解体可能に前記結合孔内に固定され、前記結合部品を前記結合孔内に固定するとき、前記貫通孔と前記結合孔によって管状通路が形成され、該管状通路によって前記輸送管体を前記収容部内に挿入することができることを特徴とする化学溶液収容瓶。
【請求項２】
前記瓶端部は前記上部壁の辺縁から延伸して形成される外縁部を更に含み、該外縁部の延伸方向と前記端部側壁の延伸方向は反対であり、前記外縁部と前記上部壁によって凹部が形成され、該凹部は前記化学溶液収容瓶から漏出する化学溶液を収容することを特徴とする請求項１に記載の化学溶液収容瓶。
【請求項３】
前記外縁部上には前記凹部と連通する排出孔が形成されていることを特徴とする請求項２に記載の化学溶液収容瓶。
【請求項４】
前記凹部には漏出した化学溶液を検出するセンサーが設けられることを特徴とする請求項２に記載の化学溶液収容瓶。
【請求項５】
前記突起部は、前記上部壁の中央に位置する凸部と、該凸部の周囲に形成される凸型筋とを含み、
前記凸部上には１個の結合孔が形成され、前記凸型筋上には少なくとも１個の結合孔が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の化学溶液収容瓶。
【請求項６】
前記瓶本体は瓶収容体と瓶底部を含み、
前記瓶収容体は中空の柱体であり、前記瓶収容体の柱体の一端は溶接によって前記瓶端部に一体に結合され、前記瓶収容体の柱体の他端は溶接によって前記瓶底部に一体に結合されることを特徴とする請求項１に記載の化学溶液収容瓶。
【請求項７】
前記瓶底部は、底部壁と、該底部壁の辺縁から延伸して形成される底部側壁と、前記底部壁の辺縁から延伸して形成される支持部とを含み、該支持部の延伸方向と前記底部側壁の延伸方向は反対であり、
前記底部側壁と前記瓶収容体は溶接によって一体に結合されることを特徴とする請求項６に記載の化学溶液収容瓶。
【請求項８】
前記瓶底部と前記瓶端部は、１個の金型を採用する射出成型によって形成されることを特徴とする請求項６に記載の化学溶液収容瓶。
【請求項９】
前記瓶収容体は、少なくとも２個の瓶収容体構成部品が一体に溶接されることによって構成されることを特徴とする請求項６に記載の化学溶液収容瓶。
【請求項１０】
前記瓶本体と前記瓶端部は、１個の金型を採用した射出成型によって形成されることを特徴とする請求項１に記載の化学溶液収容瓶。
【請求項１１】
上部壁と、該上部壁の辺縁から延伸して形成される端部側壁と、前記上部壁の辺縁から延伸して形成される外縁部と、前記上部壁の外表面から外部へ延伸して形成される突起部と、を含む瓶端部であって、該瓶端部には、前記突起部の表面から内部へ延伸している結合孔と、前記上部壁を貫通するように前記結合孔から内部へ更に延伸している毛細孔とが形成されており、前記結合孔のサイズは前記毛細孔のサイズより大きい、前記瓶端部を提供するステップと、
瓶本体を提供するステップと、
前記瓶端部と前記瓶本体を一体に溶接することにより収容部を形成するステップと、
内部に貫通孔が形成されている結合部品を設けるステップと、を含み、
前記結合部品は解体可能に前記結合孔内に固定され、前記結合部品を前記結合孔内に固定するとき、前記貫通孔と前記結合孔によって管状通路が形成され、該管状通路によって輸送管体を前記収容部内に挿入することができることを特徴とする化学溶液収容瓶の製造方法。
【請求項１２】
前記瓶端部は前記上部壁の辺縁から延伸して形成される外縁部を更に含み、該外縁部の延伸方向と前記端部側壁の延伸方向は反対であり、前記外縁部と前記上部壁によって凹部が形成され、該凹部は前記化学溶液収容瓶から漏出する化学溶液を収容することを特徴とする請求項１１に記載の化学溶液収容瓶の製造方法。
【請求項１３】
前記外縁部上には前記凹部と連通する排出孔が形成されていることを特徴とする請求項１２に記載の化学溶液収容瓶の製造方法。
【請求項１４】
漏出した化学溶液を検出するセンサーを前記凹部に設けるステップを含むことを特徴とする請求項１２に記載の化学溶液収容瓶の製造方法。
【請求項１５】
前記突起部は、前記上部壁の中央に位置する凸部と該凸部の周囲に形成される凸型筋とを含み、前記凸部上には１個の結合孔が形成され、前記凸型筋上には少なくとも１個の結合孔が形成されていることを特徴とする請求項１１に記載の化学溶液収容瓶の製造方法。
【請求項１６】
前記瓶本体は瓶収容体と瓶底部を含み、
前記瓶端部と前記瓶本体は溶接によって一体になり、
前記瓶収容体の一端は溶接によって前記瓶端部に一体に結合され、前記瓶収容体の他端は溶接によって前記瓶底部に一体に結合されることを特徴とする請求項１１に記載の化学溶液収容瓶の製造方法。
【請求項１７】
前記瓶底部は、底部壁と、該底部壁の辺縁から延伸して形成される底部側壁と、前記底部壁の辺縁から延伸して形成される支持部とを含み、該支持部の延伸方向と前記底部側壁の延伸方向は反対であり、前記底部側壁と前記瓶収容体は溶接によって一体に結合されることを特徴とする請求項１６に記載の化学溶液収容瓶の製造方法。
【請求項１８】
前記瓶底部と前記瓶端部は１個の金型を採用する射出成型によって形成されることを特徴とする請求項１６に記載の化学溶液収容瓶の製造方法。
【請求項１９】
前記瓶本体と前記瓶端部は１個の金型を採用した射出成型によって形成されることを特徴とする請求項１１に記載の化学溶液収容瓶の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、溶液を収容する容器に関し、特に化学溶液収容瓶及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
化学薬品を自動的に輸送するための化学溶液収容瓶は、通常、１個の瓶本体と複数個の通路が形成された１個の瓶用蓋とで構成される。このような収容瓶は、例えば高速液体クロマトグラフィー（ＨＰＬＣ）に用いられる収容瓶であることができる。貫通部により化学薬品輸送用管体の一端を収容瓶内に挿入するとともに管体の一端を収容瓶の底部に固定し、かつ管体の他端を液体ポンプに繋ぐ場合、液体ポンプの吸引力により収容瓶内の化学薬品を所定の箇所へ輸送することができる。液体ポンプによって化学薬品を輸送する速度を確保するため、通常、瓶用蓋に形成されている他の通路によって収容瓶に窒素を注入する。すなわち、液面に圧力を与えることにより、液体ポンプの入口に充分な液体を供給することができる。
【０００３】
半導体の製造業界において、通常、種々の化学薬品を用いることにより、基体の洗浄、エッチング、特殊な表面処理をする。高級半導体製品の製造工程において、基体の表面の清浄度に対する要求が非常に高いので、化学液体を配合、輸送するとき、基体表面の汚染及び安全問題の発生を防止するため、自動制御システムによって化学液体の配合、輸送、使用済の化学液体の回収を実施する必要がある。化学薬品の自動的な輸送を実現するため、所定の化学溶液収容瓶を用意する必要がある。
【０００４】
半導体の製造工程に用いられる化学溶液収容瓶は、耐腐食性がよい特徴、化学薬品の純度に影響を与えない特徴、純度がよい特徴を有する必要がある。半導体の製造工程において、フッ化水素酸を含む化学液体を常用し、該化学液体中の金属汚染物の含量を十億分の一（ｐｐｂ）以下にする必要がある。化学液体瓶は通常、純度が高く、耐腐食性がよいプラスチック、例えばポリプロピレン（ＰＰ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ、ＰＦＡ、ＰＶＤＦ）で製造される。市販されているプラスチック瓶の種類には、大別して以下の２つがある。１つは瓶本体と複数個の通路が形成されている１個の瓶用蓋とで構成されるものであり、他の１つは瓶本体と瓶用蓋とが一体に構成されるものである。
【０００５】
化学液体中の顆粒汚染を低減するため、化学液体を輸送するとき、できるだけ液体ポンプを使用しない方がよい。通常、化学溶液収容瓶に窒素を注入することにより、化学溶液収容瓶内の圧力を増加させ、液体を化学溶液収容瓶から圧出させる。瓶本体と瓶用蓋が分解可能に構成されるプラスチック瓶は高い圧力に耐えることができない。気体圧力が１０ｐｓｉである状態において、瓶本体と瓶用蓋との間の接続部位から気体が漏出し、瓶中の圧力の増加に影響を与えるおそれがある。また、気体が漏出するとき化学蒸気が共に漏出するおそれがあるので、安全性の問題も存在する。瓶本体と瓶用蓋が一体に形成されている瓶は、気体の漏出問題を有効に解決することができるが、特製の金型で製造する必要があるので、製造コストが高い欠点を有している。
【０００６】
したがって、改良された技術的事項により上述した問題を解決する必要がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は新型化学溶液収容瓶を提供することにある。
【０００８】
本発明の他の目的は新型化学溶液収容瓶の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述した目的を実現するため、本発明は化学溶液収容瓶を提供する。該化学溶液収容瓶は、上部壁及び該上部壁の辺縁から延伸して形成される端部側壁を含む瓶端部と、前記瓶端部に一体に結合される瓶本体とを含む。前記瓶端部と前記瓶本体によって１個の収容部が形成され、前記上部壁には輸送管を挿入させかつ前記収容部と連通している瓶開口が形成されている。
【００１０】
本発明の一実施例において、前記瓶端部は前記上部壁の辺縁から延伸して形成される外縁部を更に含む。前記外縁部の延伸方向と前記端部側壁の延伸方向は反対である。前記外縁部と前記上部壁によって凹部が形成され、該凹部は前記化学溶液収容瓶から漏出する化学溶液を収容する。前記外縁部上には前記凹部と連通する排出孔が形成されている。
【００１１】
本発明の一実施例において、前記瓶端部は前記上部壁の外表面から外部へ延伸して形成される突起部を更に含む。前記瓶端部は、前記突起部の表面から内部へ延伸している結合孔と、前記上部壁を貫通するように前記結合孔から内部へ更に延伸している毛細孔とを具備し、前記結合孔のサイズは前記毛細孔のサイズより大きい。前記化学溶液収容瓶は内部に貫通孔が形成されている結合部品を更に含み、該結合部品は解体可能に前記結合孔内に固定される。結合部品を前記結合孔内に固定するとき、前記貫通孔と前記結合孔によって管状通路が形成され、該管状通路によって輸送管体を前記収容部内に挿入することができる。前記結合部品と前記結合孔の結合により前記収容部は密閉空間になる。
【００１２】
本発明の他の実施例において、化学溶液収容瓶の製造方法を提供する。該方法は、瓶端部を提供するステップであって、前記瓶端部は上部壁と該上部壁の辺縁から延伸して形成される端部側壁を含むステップと、瓶本体を提供するステップと、前記瓶端部と前記瓶本体を一体に溶接することにより収容部を形成するステップとを含む。
【００１３】
本発明の一実施例において、前記瓶端部は前記上部壁の辺縁から延伸して形成される外縁部を更に含む。前記外縁部の延伸方向と前記端部側壁の延伸方向は反対である。前記外縁部と前記上部壁によって凹部が形成され、該凹部は前記化学溶液収容瓶から漏出する化学溶液を収容する。前記外縁部上には前記凹部と連通する排出孔が形成されている。
【００１４】
本発明の一実施例において、前記瓶端部は瓶端部原料で形成される。前記瓶端部原料は、上部壁と、該上部壁の辺縁から延伸して形成される端部側壁と、前記上部壁の辺縁から延伸して形成される外縁部と、前記上部壁の外表面から外部へ延伸して形成される突起部とを含む。前記瓶端部原料には前記突起部の表面から内部へ延伸している結合孔と、前記上部壁を貫通するように前記結合孔から内部へ更に延伸している毛細孔とが形成されており、前記結合孔のサイズは前記毛細孔のサイズより大きい。上述したことにより瓶端部が形成される。前記製造方法は、前記化学溶液収容瓶の内部に貫通孔が形成されている結合部品を設けるステップを更に含む。前記結合部品は解体可能に前記結合孔内に固定される。結合部品を前記結合孔内に固定するとき、前記貫通孔と前記結合孔によって管状通路が形成され、該管状通路によって輸送管体を前記収容部内に挿入することができる。
【発明の効果】
【００１５】
従来の技術と比較してみると、本発明の化学溶液収容瓶は、製造しやすく、コストが低く、内部の高圧に耐えられ及び／又は漏出する液体を回収できるという利点を有している。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
以下、図面と実施例により本発明をより詳細に説明する。
【図１】本発明の第一実施例に係る化学溶液収容瓶の製造方法を示す流れ図である。
【図２Ａ】本発明の第一実施例に係る化学溶液収容瓶の瓶端部原料を示す断面図である。
【図２Ｂ】本発明の第一実施例に係る化学溶液収容瓶の瓶端部原料を示す平面図である。
【図３Ａ】本発明の第一実施例に係る化学溶液収容瓶の瓶端部を示す断面図である。
【図３Ｂ】本発明の第一実施例に係る化学溶液収容瓶の瓶端部を示す平面図である。
【図４】本発明の第一実施例に係る化学溶液収容瓶の瓶収容体の構造を示す図である。
【図５】本発明の第一実施例に係る化学溶液収容瓶の瓶底部の構造を示す図である。
【図６】本発明の第一実施例に係る化学溶液収容瓶の全体構造を示す図である。
【図７】本発明の他の実施例に係る化学溶液収容瓶の全体構造を示す図である。
【図８】本発明の他の実施例に係る化学溶液収容瓶の全体構造を示す図である。
【図９】本発明の他の実施例に係る化学溶液収容瓶の全体構造を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面と実施例により本発明をより詳細に説明する。
【００１８】
注意されたいことは、図面は、本発明をより詳細に説明するためのものであり、本発明の一部分になる。本発明の実施例及びその説明は、本発明を説明するものであるが、本発明を限定するものでない。
【００１９】
図１は、本発明の第一実施例に係る化学溶液収容瓶の製造方法を示す流れ図である。図１に示すとおり、前記製造方法は下記ステップを含む。
【００２０】
ステップ１１０において、図２Ａと図２Ｂに示すとおり、瓶端部原料２９０を提供する。前記瓶端部原料２９０は、上部壁２１０と、該上部壁２１０の辺縁から延伸して形成される端部側壁２２０と、前記上部壁２１０の外表面から外部へ延伸して形成される突起部２３０と、前記上部壁２１０の辺縁から延伸して形成される外縁部２４０とを含む。前記外縁部２４０の延伸方向と前記端部側壁２２０の延伸方向は反対である。前記外縁部２４０と前記上部壁２１０によって凹部２７０が形成される。前記凹部２７０は前記化学溶液収容瓶から漏れる化学溶液を収容することができる。
【００２１】
前記瓶端部原料２９０は射出成型工程によって形成されることができる。
【００２２】
本発明の一実施例において、図２Ａと図２Ｂに示すとおり、前記突起部２３０は、前記上部壁２１０の中央に位置する凸部２３１と、該凸部２３１の周囲に形成される凸型筋２３２とを含む。
【００２３】
ステップ１２０において、図３Ａと図３Ｂに示すとおり、前記瓶端部原料２９０上に、前記突起部２３０の表面から内部へ延伸する結合孔２５１と、前記上部壁２１０を貫通するように前記結合孔２５１から内部へ更に延伸する毛細孔２５２とを形成することにより、瓶端部２００が形成される。前記結合孔２５１のサイズは前記毛細孔２５２のサイズより大きい。
【００２４】
図３Ａに示すとおり、本発明の一実施例において、前記外縁部２４０上には前記凹部２７０と連通する排出孔２６０が形成されている。管体を前記排出孔に繋ぐことにより、前記凹部２７０に漏れている化学溶液を所定の集合地点に排出することができる。
【００２５】
図３Ａに示すとおり、前記凸部２３１上には、１個の結合孔２５１と、それに対応する毛細孔２５２とが形成されている。前記凸型筋２３２上には、少なくとも１個の結合孔２５１と、それに対応する毛細孔２５２とが形成されており、その数量は例えば４個又はそれ以上である。
【００２６】
機械的加工方法を採用する場合、用途上の要求により、所定のサイズと数量を有する結合孔２５１と前記毛細孔２５２を容易に形成し、種々の要求を満たすことができる。
【００２７】
ステップ１３０において、瓶収容体３００と瓶底部４００を提供する。
【００２８】
図４に示すとおり、前記瓶収容体３００は中空の柱体である。
【００２９】
図５に示すとおり、前記瓶底部４００は、底部壁４１０と、該底部壁４１０の辺縁から延伸して形成される底部側壁４２０と、前記底部壁４１０の辺縁から延伸して形成される支持部４３０とを含む。前記支持部４３０の延伸方向と前記底部側壁４２０の延伸方向は反対である。
【００３０】
前記支持部４３０は前記化学溶液収容瓶を支持する作用を奏する。前記底部壁４１０が円弧形に形成されることにより、前記化学溶液収容瓶内の化学溶液をきれいに排出させることができる。
【００３１】
本発明の他の実施例において、前記瓶収容体３００と前記瓶底部４００は一体に形成されることができる。この場合、その２つの結合体を瓶本体と呼ぶことができる。
【００３２】
ステップ１４０において、図６に示すとおり、溶接により前記瓶収容体３００の一端３０１と前記瓶端部２００を一体に結合させ、溶接により前記瓶収容体３００の他端３０２と前記瓶底部４００を一体に結合させる。前記瓶収容体３００、瓶底部４００及び瓶端部２００により１個の収容部５００が形成される。前記収容部５００は毛細孔２５２によってのみ外部と連通する。
【００３３】
本発明の他の実施例において、前記瓶収容体３００と前記瓶底部４００は一体に形成されることができる。この場合、溶接により前記瓶本体と前記瓶端部２００は一体に溶接され、前記瓶端部と前記瓶本体によって前記収容部が形成される。
【００３４】
ステップ１５０において、内部に貫通孔が形成されている結合部品（図示せず）を提供し、該結合部品を前記結合孔２５１内に固定する。結合部品を前記結合孔２５１内に固定するとき、前記貫通孔と前記結合孔２５１によって管状通路が形成され、該管状通路によって輸送管体（図示せず）を前記収容部５００内に挿入することができる。
【００３５】
本発明の好適な実施例において、前記結合孔２５１は内周面ネジ型孔であり、前記結合部品は外周面ネジ部品であり、前記結合部品はネジによって前記結合孔２５１内に緊密に固定される。結合部品の下方に密閉部品、例えばワッシャー（図示せず）が設けられることにより、密閉性を確保することができる。
【００３６】
上述したことにより最終の化学溶液収容瓶を獲得し、輸送管体によって前記化学溶液収容瓶に化学溶液を注入するか或いは前記化学溶液収容瓶から化学溶液を排出することができる。前記化学溶液収容瓶は内部の高圧に耐えることができる。例えば、気体の圧力が５０ｐｓｉであるときも、結合部品と結合孔２５１との間でも気体の漏出又は液体の漏出が発生しない。
【００３７】
安全を更に確保するため、図３Ａに示されている漏出液体回収用凹部２７０を前記化学溶液収容瓶に更に形成し、前記凹部２７０の所定の箇所に種々の液体の検出が可能なセンサーを設けることができる。センサーが警報を鳴らすことにより、化学溶液の漏出を防止することができる。
【００３８】
本発明の化学溶液収容瓶の製造方法において、前記瓶端部２００は二回の加工によって形成される。まず、射出成型工程により前記瓶端部原料２９０を形成し、次に機械的加工方法により最終の瓶端部２００を形成する。前記瓶底部４００と前記瓶収容体３００はいずれも一回の加工によって形成される。すなわち、一回の射出成型工程によって形成される。
【００３９】
上述したとおり、本発明の一実施例において、射出成型工程を採用し、かつ三種の金型を用意する。すなわち、瓶端部用金型、瓶収容体用金型及び瓶底部用金型を用意する。瓶端部原料に対する機械的加工が終わると、溶接方法によって瓶端部２００、瓶底部４００及び瓶収容体３００を一体に連結し、これによって前記化学溶液収容瓶（図６）を形成する。
【００４０】
本発明のいずれか１つの実施例において、前記瓶端部原料２９０及び／または最終の瓶端部２００に前記突起部２３０、毛細孔２５２及び結合孔２５１を形成しなくてもよい。その代わりに、前記上部壁２１０上に輸送管体を挿入させる他の瓶開口構造、例えば従来の技術の外周面ネジ型瓶開口構造を形成することができる。瓶用蓋と前記瓶開口を結合させることにより密閉空間を獲得し、輸送管体は前記瓶用蓋と前記瓶開口によって前記収容部５００内に挿入される。本実施例において、瓶端部２００と瓶本体は１つの金型の射出成型によって同時に形成されることができる。本発明の重点又は１つの特徴は、瓶端部２００の外縁部の構造にある。外縁部により前記化学溶液収容瓶の瓶開口から漏出する化学溶液を収容できる凹部２７０が形成される。凹部２７０内にセンサーを設けることにより、前記化学溶液収容瓶からの漏出を容易に、自動的に検出することができる。
【００４１】
他の実施例において、射出成型によって形成された瓶端部原料２９０を瓶底部４００として用いることができる。瓶端部原料２９０（このとき、これを瓶底部４００として用いる）、瓶端部２００及び瓶収容体３００を一体に溶接し、瓶端部原料２９０の外縁部２４０で前記化学溶液収容瓶を支持することができる。具体的に、図７に示される化学溶液収容瓶を参照することができる。この場合、瓶底部４００を形成するための金型を用意しなくてもよい。すなわち、１個の金型によって瓶底部４００と前記瓶端部２００を製造し、トータル２個の金型によって化学溶液収容瓶を製造することができる。
【００４２】
周知のとおり、収容瓶の容量は異なっている。従来の技術において、金型又は生産ラインを変化させることにより容量が様々な収容瓶を製造する。本発明において、様々な容量の要求を満たすため、瓶収容体３００の個数を変化させることができる。すなわち、２個又は複数個の瓶収容体を一体に溶接することにより、長い瓶収容体を形成することができる。図４に示される１個の瓶収容体を１個の瓶収容体構成部品と見なすことができる。図８において、２個の瓶収容体を採用している。瓶収容体構成部品はいずれも、１個の同じ金型を採用する射出成型工程により製造することができる。したがって、金型の数量を増加せず、容量が異なっている種々の化学溶液収容瓶を製造することができる。
【００４３】
本発明の他の実施例において、射出成型工程により瓶底部４００と瓶収容体３００を一体に形成し、この２つの結合体を瓶本体と言うことができる。この場合、瓶本体の一端に前記瓶端部２００の一端を溶接させることにより化学溶液収容瓶を製造することができる。また、射出成型工程によって形成された瓶端部原料２９０を瓶本体として用い、瓶本体になった瓶端部原料２９０と瓶端部２００を一体に溶接させることにより化学溶液収容瓶を製造することができる。具体的に、図９に示される化学溶液収容瓶を参照することができる。この場合、ただ１個の金型により化学溶液収容瓶を製造することができるので、コストを低減し、操作を簡単にすることができる。
【００４４】
本発明の他の実施例において、図２Ａ〜図９に示されている本発明の化学溶液収容瓶を更に提供する。該化学溶液収容瓶は、瓶端部２００と、該瓶端部に一体に結合される瓶本体と含む。前記瓶端部と前記瓶本体により１個の収容部５００が形成される。
【００４５】
前記瓶端部２００は、上部壁２１０と、該上部壁２１０の辺縁から延伸して形成される端部側壁２２０と、前記上部壁２１０の外表面から外部へ延伸して形成される突起部２３０とを含む。前記瓶端部は、前記突起部２３０の表面から内部へ延伸している結合孔２５１と、前記上部壁を貫通するように前記結合孔から内部へ更に延伸している毛細孔２５２とを具備する。前記結合孔のサイズは前記毛細孔のサイズより大きく、前記収容部５００は毛細孔２５２によってのみ外部と連通している。
【００４６】
前記化学溶液収容瓶は内部に貫通孔が形成されている結合部品を更に含み、該結合部品は解体可能に前記結合孔２５１内に固定される。結合部品を前記結合孔内に固定するとき、前記貫通孔と前記結合孔によって管状通路が形成され、該管状通路によって輸送管体を前記収容部内に挿入することができる。前記結合部品と前記結合孔２５１の結合により、前記収容部５００は密閉空間になる。本発明の好適な実施例において、前記結合孔２５１は内周面ネジ型孔であり、前記結合部品は外周面ネジ部品であり、前記結合部品はネジによって前記結合孔２５１内に緊密に固定される。結合部品の下方に密閉部品、例えばワッシャー（図示せず）が設けられることにより、密閉性を確保することができる。
【００４７】
本発明の一実施例において、前記瓶端部２００は前記上部壁の辺縁から延伸して形成される外縁部２４０を更に含む。前記外縁部の延伸方向と前記端部側壁の延伸方向は反対である。前記外縁部と前記上部壁によって凹部２７０が形成される。前記凹部は前記化学溶液収容瓶から漏れる化学溶液を収容することができる。前記外縁部２４０上には前記凹部と連通する排出孔２６０が形成されている。管体を前記排出孔２６０に繋ぐことにより、前記凹部２７０に漏れている化学溶液を所定の集合地点へ排出することができる。
【００４８】
本発明の一実施例において、前記突起部２３０は、前記上部壁の中央に位置する凸部２３１と、該凸部の周囲に形成される凸型筋２３２とを含む。前記凸部上には１個の結合孔とそれに対応する毛細孔とが形成されており、前記凸型筋上には少なくとも１個の結合孔とそれに対応する毛細孔とが形成されている。
【００４９】
本発明の一実施例において、前記瓶本体は瓶収容体と瓶底部を含む。前記瓶収容体３００は中空の柱体である。前記瓶収容体３００の柱体の一端は溶接によって前記瓶端部２００に一体に結合され、前記瓶収容体３００の柱体の他端は溶接によって前記瓶底部４００に一体に結合される。
【００５０】
本発明の一実施例において、前記瓶底部４００は、底部壁４１０と、該底部壁の辺縁から延伸して形成される底部側壁４２０と、前記底部壁の辺縁から延伸して形成される支持部４３０とを含む。前記支持部の延伸方向と前記底部側壁の延伸方向は反対であり、前記底部側壁４２０と前記瓶収容体３００は溶接によって一体に結合される。前記底部壁は円弧形である。
【００５１】
本発明の他の実施例において、前記瓶底部４００の構造と前記瓶端部２００の構造の相違点は、前記瓶底部４００に前記瓶端部２００の結合孔２５１と毛細孔２５２が形成されていないことである。前記瓶底部４００と前記瓶端部２００は、１個の金型を採用した射出成型によって形成される。
【００５２】
本発明の他の実施例において、前記瓶本体の構造と前記瓶端部２００の構造は類似している。相違点は、前記瓶本体に前記瓶端部２００の結合孔と毛細孔が形成されていないことである。前記瓶本体と前記瓶端部は１個の金型を採用した射出成型によって形成される。１個の金型で化学溶液収容瓶を製造することができるので、コストを低減することができる。
【００５３】
本発明のいずれか１つの実施例において、前記瓶端部原料２９０及び／または最終の瓶端部２００に前記突起部２３０、毛細孔２５２及び結合孔２５１を形成しなくてもよい。その代わりに、前記上部壁２１０上に輸送管体を挿入させるための他の瓶開口構造、例えば従来の技術の外周面ネジ型瓶開口構造を形成することができる。瓶用蓋と前記瓶開口との間の結合により密閉空間を獲得し、輸送管体は前記瓶用蓋と前記瓶開口を通過して前記収容部５００内に挿入される。本実施例において、瓶端部２００と瓶本体は１つの金型の射出成型によって同時に形成されることができる。本発明の重点又は１つの特徴は、瓶端部２００の外縁部の構造にある。外縁部により前記化学溶液収容瓶の瓶開口から漏出する化学溶液を収容できる凹部２７０が形成される。凹部２７０内にセンサーを設けることにより、前記化学溶液収容瓶からの漏出を容易に、自動的に検出することができる。
【００５４】
注意されたいことは、以上本発明の具体的な実施例を詳述してきたが、本発明の構成は上述した具体的な実施例にのみ限定されるものではない。本技術分野の当業者は本発明の要旨を逸脱しない範囲内で設計の変換等を行うことができる。
【図１】
0006333986.tif 000002
【図２Ａ】
0006333986.tif 000003
【図２Ｂ】
0006333986.tif 000004
【図３Ａ】
0006333986.tif 000005
【図３Ｂ】
0006333986.tif 000006
【図４】
0006333986.tif 000007
【図５】
0006333986.tif 000008
【図６】
0006333986.tif 000009
【図７】
0006333986.tif 000010
【図８】
0006333986.tif 000011
【図９】
0006333986.tif 000012