(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定用画像に対して少なくとも画像サイズを縮小するための処理を行って表示用画像を生成する表示用画像生成部と、
前記表示用画像生成部により生成された表示用画像を表示する表示部と、
前記表示部により表示された表示用画像上に指定されたエッジ検出範囲の座標を、前記測定用画像上の座標に変換する座標変換部と、
前記座標変換部により変換された前記測定用画像上の座標に基づいて、前記表示用画像上に指定されたエッジ検出範囲に対応する前記測定用画像上のエッジ検出範囲においてエッジ検出を行うエッジ検出部と、
を備えることを特徴とする測定装置。
【請求項２】
前記座標変換部は、更に、前記エッジ検出部により行われたエッジ検出により求められた前記測定用画像上のエッジ位置の座標を、前記表示用画像上の座標に変換し、
前記表示部は、更に、前記座標変換部により変換された前記表示用画像上の座標の位置を、検出されたエッジ位置として表示する、
ことを特徴とする請求項１記載の測定装置。
【請求項３】
前記測定用画像は、撮像装置からの入力画像、又は、前記撮像装置からの複数の入力画像に基づいて生成した高階調画像である、
ことを特徴とする請求項１又は２記載の測定装置。
【請求項４】
前記入力画像は、前記撮像装置により複数の撮像画像に基づいて生成された高精細画像又は高階調画像である、
ことを特徴とする請求項３記載の測定装置。
【請求項５】
前記高精細画像は、前記撮像装置によりピクセルシフト機能を用いて撮像された複数の撮像画像が合成されることにより生成された画像である、
ことを特徴とする請求項４記載の測定装置。
【請求項６】
前記高階調画像は、露出が異なる前記複数の入力画像をＨＤＲ（High Dynamic Range）合成することにより生成した画像、又は、露出が異なる前記複数の撮像画像がＨＤＲ合成されることにより生成された画像である、
ことを特徴とする請求項３乃至５の何れか一項に記載の測定装置。
【請求項７】
前記表示用画像生成部は、前記測定用画像に対して画像サイズを縮小するための処理を行うと共に所定の画像処理を行って前記表示用画像を生成する、
ことを特徴とする請求項１乃至６の何れか一項に記載の測定装置。
【請求項８】
前記所定の画像処理は、エッジ強調をするための画像処理である、
ことを特徴とする請求項７記載の測定装置。
【請求項９】
前記測定用画像は、移動可能なステージに載置された測定対象物の画像であり、
前記ステージの移動を伴う前記測定対象物の測定を行う場合に、前記ステージの位置の座標を取得、記憶し、前記測定対象物の測定時に使用する、
ことを特徴とする請求項１乃至８の何れか一項に記載の測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定対象物を撮像して得た画像に基づいて測定対象物の形状等を測定する測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラ等の撮像装置により測定対象物を撮像して得た画像に基づいて測定対象物の形状等を測定する測定装置がある。
このような測定装置では、その測定の際に、例えば、モニタ等の表示装置に表示された測定対象物の画像を用いてエッジ検出が行われている。例えば、特許文献１に記載の画像測定装置では、測定対象物を撮像した画像上にエッジ検出の処理を行う範囲を示す円形ツールを表示し、この円形ツールによって指定された範囲内の画像情報を当該円形ツールの中心を通る複数の方向から探索して、それぞれの探索方向について画像のエッジ点を検出した後、これら検出されたエッジ点からエッジを推定し、円形ツールの中心を通り且つ推定されたエッジに対して直交する方向に探索して得られたエッジ点を最終的に検出されたエッジ点とするようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−２０１７２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述のように表示装置に表示された測定対象物の画像を用いてエッジ検出等を行う測定装置において、そのエッジ検出を行う際に、撮像装置により撮像された測定対象物の画像をサイズ縮小（例えば低解像度化や画素間引き等）して表示装置に表示させるようにした場合には、それをサイズ変更することなく表示装置に表示させるようにした場合に比べて、表示装置の限られた表示エリアに測定対象物の画像全体を表示することができたり、表示装置に表示する測定対象物のライブ画像の追従性を向上させることができたり、等といったユーザの操作性が向上するものの、サイズ縮小された画像を用いてエッジ検出が行われることからエッジ検出精度が低下する、という問題があった。また、そのようにして検出されたエッジ位置に基づいて測定対象物の形状等を測定した場合には、その測定精度が低下するという問題もあった。
【０００５】
以上のような実情を踏まえ、本発明は、エッジ検出を行う際に、ユーザの操作性を向上させつつエッジ検出精度を低下させない測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１の態様は、測定用画像に対して少なくとも画像サイズを縮小するための処理を行って表示用画像を生成する表示用画像生成部と、前記表示用画像生成部により生成された表示用画像を表示する表示部と、前記表示部により表示された表示用画像上に指定されたエッジ検出範囲の座標を、前記測定用画像上の座標に変換する座標変換部と、前記座標変換部により変換された前記測定用画像上の座標に基づいて、前記表示用画像上に指定されたエッジ検出範囲に対応する前記測定用画像上のエッジ検出範囲においてエッジ検出を行うエッジ検出部と、を備える測定装置を提供する。
【０００７】
本発明の第２の態様は、第１の態様において、前記座標変換部は、更に、前記エッジ検出部により行われたエッジ検出により求められた前記測定用画像上のエッジ位置の座標を、前記表示用画像上の座標に変換し、前記表示部は、更に、前記座標変換部により変換された前記表示用画像上の座標の位置を、検出されたエッジ位置として表示する、測定装置を提供する。
【０００８】
本発明の第３の態様は、第１又は２の態様において、前記測定用画像は、撮像装置からの入力画像、又は、前記撮像装置からの複数の入力画像に基づいて生成した高階調画像である、測定装置を提供する。
【０００９】
本発明の第４の態様は、第３の態様において、前記入力画像は、前記撮像装置により複数の撮像画像に基づいて生成された高精細画像又は高階調画像である、測定装置を提供する。
【００１０】
本発明の第５の態様は、第４の態様において、前記高精細画像は、前記撮像装置によりピクセルシフト機能を用いて撮像された複数の撮像画像が合成されることにより生成された画像である、測定装置を提供する。
【００１１】
本発明の第６の態様は、第３乃至５の何れか一つの態様において、前記高階調画像は、露出が異なる前記複数の入力画像をＨＤＲ（High Dynamic Range）合成することにより生成した画像、又は、露出が異なる前記複数の撮像画像がＨＤＲ合成されることにより生成された画像である、測定装置を提供する。
【００１２】
本発明の第７の態様は、第１乃至６の何れか一つの態様において、前記表示用画像生成部は、前記測定用画像に対して画像サイズを縮小するための処理を行うと共に所定の画像処理を行って前記表示用画像を生成する、測定装置を提供する。
【００１３】
本発明の第８の態様は、第７の態様において、前記所定の画像処理は、エッジ強調をするための画像処理である、測定装置を提供する。
本発明の第９の態様は、第１乃至８の何れか一つの態様において、前記測定用画像は、移動可能なステージに載置された測定対象物の画像であり、前記ステージの移動を伴う前記測定対象物の測定を行う場合に、前記ステージの位置の座標を取得、記憶し、前記測定対象物の測定時に使用する、測定装置を提供する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、エッジ検出を行う際に、ユーザの操作性を向上させつつエッジ検出精度を低下させない測定装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】第１の実施形態に係る測定装置である測定顕微鏡システムの構成例を示す図である。
【図２】制御部の内部構成例を示す図である。
【図３】第１の実施形態に係る、測定対象物のエッジ検出動作の一例を示すフローチャートである。
【図４】図３に示したフローチャートに従ってエッジ検出が行われるときの具体例を説明する図である。
【図５】図４に示した具体例に従ってエッジ検出が行われたときのモニタのエッジ検出結果の表示例を示す図である。
【図６】第２の実施形態に係る測定装置である測定顕微鏡システムにおいて行われる、測定対象物のエッジ検出動作の一例を示すフローチャートである。
【図７】第３の実施形態に係る測定装置である測定顕微鏡システムにおいて行われる、測定対象物のエッジ検出動作の一例を示すフローチャートである。
【図８】変形例に係る測定顕微鏡システムの構成例を示す図である。
【図９】エッジ検出方法として円ツールが選択されてエッジ検出動作が行われたときのモニタのエッジ検出結果の表示例を示す図である。
【図１０】エッジ検出方法として矩形ツールが選択されてエッジ検出動作が行われたときのモニタのエッジ検出結果の表示例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態について説明する。
＜第１の実施形態＞
図１は、本発明の第１の実施形態に係る測定装置である測定顕微鏡システムの構成例を示す図である。
【００１７】
図１に示したように、本実施形態に係る測定顕微鏡システムは、顕微鏡本体１、ＣＣＤカメラ２、顕微鏡コントローラ３、制御部４、モニタ５、キーボード６、マウス７、及びフットスイッチ８を含む。
【００１８】
顕微鏡本体１は、測定対象物９が載置されるステージ１０、Ｘ方向移動用ハンドル１１、Ｙ方向移動用ハンドル１２、対物レンズ１３、及び鏡筒１４を含む。
ステージ１０は、Ｘ方向、Ｙ方向、及びＺ方向に移動可能なステージである。なお、Ｘ方向及びＹ方向は、対物レンズ１３の光軸方向に対して垂直な方向であり、Ｚ方向は、対物レンズ１３の光軸方向に対して平行な方向である。
【００１９】
Ｘ方向移動用ハンドル１１は、ステージ１０をＸ方向に移動させる手動ハンドルである。Ｙ方向移動用ハンドル１２は、ステージ１０をＹ方向に移動させる手動ハンドルである。なお、図示はしないが、顕微鏡本体１は、ステージ１０をＺ方向に移動させる手動ハンドルも含む。
【００２０】
対物レンズ１３は、ステージ１０に載置された測定対象物９からの光（反射光又は透過光）を、鏡筒１４を介してＣＣＤカメラ２の撮像面に結像する。なお、ステージ１０に載置された測定対象物９は、図示しない照明部により上方又は下方から照明光が照射される。鏡筒１４は、対物レンズ１３からの光（測定対象物９からの光）をＣＣＤカメラ２の撮像面へ導く。
【００２１】
ＣＣＤカメラ２は、制御部４の制御の下に、撮像面に結像された光（測定対象物９からの光）を撮像して得た画像（測定対象物９の画像）を制御部４へ出力する。
顕微鏡コントローラ３は、制御部４の制御の下に、顕微鏡本体１を制御する。また、顕微鏡コントローラ３は、ステージ１０のＸ方向、Ｙ方向、及びＺ方向の移動量をカウントしてステージ１０のＸＹＺ座標を検出し、それを制御部４に出力すること等も行う。
【００２２】
制御部４は、測定対象物９のエッジ検出動作や測定対象物９の形状測定動作等を含む当該測定顕微鏡システムの全体動作を制御する。なお、測定対象物９のエッジ検出動作は、ＣＣＤカメラ２により撮像された測定対象物９の画像に基づいて測定対象物９のエッジを検出する動作である。また、測定対象物９の形状測定動作は、例えば、そのエッジ検出動作により検出されたエッジの位置に基づいて測定対象物９の形状を測定する動作である。
【００２３】
モニタ５は、制御部４の制御の下に、画像、ツールボックス、操作メニュー、及び各種情報等を表示する。キーボード６、マウス７、及びフットスイッチ８は、ユーザの操作入力を検出し、制御部４に出力する。
【００２４】
図２は、制御部４の内部構成例を示す図である。
図２に示したように、制御部４は、入力画像メモリ４１、プログラムメモリ４２、ワークメモリ４３、表示画像メモリ４４、シリアルポート４５、及びＣＰＵ（Central Processing Unit）４６を含む。
【００２５】
入力画像メモリ４１は、ＣＣＤカメラ２からの入力画像（ＣＣＤカメラ２により撮像された測定対象物９の画像）を格納する。
プログラムメモリ４２は、ＣＰＵ４６により実行されるプログラムを格納する。
【００２６】
ワークメモリ４３は、ＣＰＵ４６のワークエリアとして使用され、その一部は、測定用画像を格納する測定画像エリアとして使用される。
表示画像メモリ４４は、ＣＰＵ４６によって生成され、モニタ５によって表示される、表示用画像を格納する。
【００２７】
なお、入力画像メモリ４１、ワークメモリ４３、及び表示画像メモリ４４は、揮発性メモリであり、プログラムメモリ４２は、不揮発性メモリである。
シリアルポート４５は、ＣＰＵ４６と顕微鏡コントローラ３との間でシリアル通信を行うための接続インターフェースである。
【００２８】
ＣＰＵ４６は、プログラムメモリ４２に格納されているプログラムを実行することにより、上述のエッジ検出動作や形状測定動作等を含む当該顕微鏡システムの全体動作を制御するための処理を行う。例えば、ＣＰＵ４６は、エッジ検出動作を制御する際には、次のような処理を行う。ＣＰＵ４６は、ＣＣＤカメラ２からの入力画像を、入力画像メモリ４１を介して取得し、測定用画像としてワークメモリ４３の測定画像エリアに格納する。また、ＣＰＵ４６は、ワークメモリ４３の測定画像エリアから読み出した測定用画像に対して少なくとも画像サイズを縮小するための処理（例えば低解像度化や画素間引き等の処理）を行って表示用画像を生成し、その表示用画像を表示画像メモリ４４に格納し、モニタ５に表示する。また、ＣＰＵ４６は、ユーザによるマウス等の操作入力に応じて、モニタ５に表示されている表示用画像上にエッジ検出範囲を指定する。また、ＣＰＵ４６は、その表示用画像上に指定されたエッジ検出範囲の座標を、ワークメモリ４３の測定画像エリアに格納されている測定用画像上の座標に変換する。また、ＣＰＵ４６は、その測定用画像上の座標に基づいて、表示用画像上に指定されたエッジ検出範囲に対応する測定用画像上のエッジ検出範囲においてエッジ検出を行う。また、ＣＰＵ４６は、そのエッジ検出により求められた測定用画像上のエッジ位置の座標を、モニタ５に表示されている表示用画像上の座標に変換し、その表示用画像上の座標の位置を、検出されたエッジ位置として、モニタ５に表示する。
【００２９】
上述のように構成された本実施形態に係る測定顕微鏡システムにおいて、制御部４（又はＣＰＵ４６）の一部の機能は、測定用画像に対して少なくとも画像サイズを縮小するための処理を行って表示用画像を生成する表示用画像生成部の一例である。モニタ５は、表示用画像生成部により生成された表示用画像を表示する表示部の一例である。制御部４（又はＣＰＵ４６）の他の一部の機能は、表示部により表示された表示用画像上に指定されたエッジ検出範囲の座標を、測定用画像上の座標に変換する座標変換部の一例である。制御部４（又はＣＰＵ４６）の更に他の一部の機能は、座標変換部により変換された測定用画像上の座標に基づいて、表示用画像上に指定されたエッジ検出範囲に対応する測定用画像上のエッジ検出範囲においてエッジ検出を行うエッジ検出部の一例である。
【００３０】
次に、本実施形態に係る測定顕微鏡システムの動作について説明する。
ここでは、その動作の一例として、上述の測定対象物９のエッジ検出動作について、図３乃至図５を用いて、詳細に説明する。
【００３１】
図３は、そのエッジ検出動作の一例を示すフローチャートである。
図３に示したように、本動作が開始すると、まず、ＣＰＵ４６は、ＣＣＤカメラ２からの入力画像を、入力画像メモリ４１を介して取得し、測定用画像としてワークメモリ４３の測定画像エリアに格納する（Ｓ１１）。
【００３２】
続いて、ＣＰＵ４６は、ワークメモリ４３の測定画像エリアから読み出した測定用画像に対して少なくとも画像サイズを縮小するための処理を行って表示用画像を生成し、その表示用画像を表示画像メモリ４４に格納し、モニタ５に表示する（Ｓ１２）。
【００３３】
なお、このときに、表示用画像と共にエッジ検出用のツールボックスを一緒にモニタ５に表示するようにしてもよい。ユーザは、このツールボックスから、例えば、エッジ検出方法として、線ツール、円ツール、又は多点ツール等を選択することができる。ここで、線ツールとは、画像上に指定された２点間の直線上を一方の点から他方の点へ向け探索してエッジ検出する方法である。円ツールとは、画像上に指定された、中心が一致する２つの円の各々の外周の間の領域上を、一方の円の外周から他方の円の外周へ向け探索してエッジ検出する方法である。多点ツールとは、画像上に指定された矩形領域上を、その矩形の一つの辺からその辺に対向する辺へ向け探索してエッジ検出する方法である。
【００３４】
続いて、ＣＰＵ４６は、ユーザによるマウス７等の操作入力に応じて、モニタ５に表示されている表示用画像上にエッジ検出範囲を指定する（Ｓ１３）。
続いて、ＣＰＵ４６は、その表示用画像上に指定されたエッジ検出範囲の座標を、ワークメモリ４３の測定画像エリアに格納されている測定用画像上の座標に変換する（Ｓ１４）。
【００３５】
続いて、ＣＰＵ４６は、その変換された測定用画像上の座標に基づいて、表示用画像上に指定されたエッジ検出範囲に対応する測定用画像上のエッジ検出範囲においてエッジ検出を行う（Ｓ１５）。
【００３６】
続いて、ＣＰＵ４６は、そのエッジ検出により求められた測定用画像上のエッジ位置の座標を、モニタ５に表示されている表示用画像上の座標に変換し、その表示用画像上の座標の位置を、検出されたエッジ位置として、モニタ５に表示し（Ｓ１６）、本動作が終了する。
【００３７】
図４は、図３に示したフローチャートに従ってエッジ検出が行われるときの具体例を説明する図である。なお、図４において、左側は表示用画像に対する処理を模式的に示し、右側は測定用画像に対する処理を模式的に示している。
【００３８】
この具体例では、測定用画像の画像サイズ（入力画像の画像サイズでもある）を１９２０＊１４４０（横が１９２０、縦が１４４０）とし、表示用画像の画像サイズを１２００＊９００（横が１２００、縦が９００）とする。すなわち、画像サイズの比は、測定用画像（入力画像）：表示用画像＝８：５である。また、この具体例では、エッジ検出方法として、線ツールが選択されたものとする。
【００３９】
この場合、図３のＳ１３では、例えば、図４のＳ１０１に示したように、ユーザによるマウス７のクリック操作により、モニタ５に表示されている表示用画像上に探索開始点と探索終了点が指定されると、エッジ検出範囲として、探索開始点座標（Ａ，Ｂ）と探索終了点座標（Ｃ，Ｄ）とを結ぶ直線が指定される。
【００４０】
その後、図３のＳ１４では、図４のＳ１０２に示したように、表示用画像上に指定されたエッジ検出範囲の座標である探索開始点座標（Ａ，Ｂ）及び探索終了点座標（Ｃ，Ｄ）が、測定用画像上の対応する探索開始点座標（Ａ´，Ｂ´）及び探索終了点座標（Ｃ´，Ｄ´）に変換される。なお、測定用画像と表示用画像の画像サイズの比は８：５であることから、Ａ´、Ｂ´、Ｃ´、Ｄ´は、Ａ´＝Ａ＊１．６、Ｂ´＝Ｂ＊１．６、Ｃ´＝Ｃ＊１．６、Ｄ´＝Ｄ＊１．６により、求めることができる。
【００４１】
その後、図３のＳ１５では、図４のＳ１０３に示したように、測定用画像上の対応するエッジ検出範囲においてエッジ検出が行われ、エッジ位置座標が求められる。すなわち、探索開始点座標（Ａ´，Ｂ´）と探索終了点座標（Ｃ´，Ｄ´）とを結ぶ直線上を探索開始点から探索終了点へ向け探索してエッジ検出が行われ、エッジ位置座標（Ｘ´，Ｙ´）が求められる。なお、この例では、そのエッジ検出範囲において、輝度値が所定の閾値Ｖｔｈを横切る位置が、エッジ位置として検出される。
【００４２】
その後、図３のＳ１６では、図４のＳ１０４に示したように、その測定用画像上のエッジ位置の座標（Ｘ´，Ｙ´）が、表示用画像上の対応する座標（Ｘ，Ｙ）に変換され、その表示用画像上の座標（Ｘ，Ｙ）の位置が、検出されたエッジ位置として、モニタ５に表示される。なお、測定用画像と表示用画像の画像サイズの比は８：５であることから、Ｘ、Ｙは、Ｘ＝Ｘ´＊０．６２５、Ｙ＝Ｙ´＊０．６２５により、求めることができる。
【００４３】
図５は、図４に示した具体例に従ってエッジ検出が行われたときのモニタ５のエッジ検出結果の表示例を示す図である。
図５に示したように、モニタ５には、測定対象物９の表示用画像上に、探索開始点、探索終了点、及び検出されたエッジ位置が重畳されて表示される。
【００４４】
以上、本実施形態に係る測定顕微鏡システムによれば、モニタ５に表示される画像は、サイズ縮小後の画像（表示用画像）となり、エッジ検出に用いられる画像は、サイズ縮小前の画像（測定用画像）となる。そのため、ユーザの操作性が損なわれる虞が無いことは勿論のこと、サイズ縮小後の画像を用いてエッジ検出を行っていた従来の装置に比べて、エッジ検出精度を向上させることもできる。なお、ここで、ユーザの操作性とは、例えば、モニタ５の限られた表示エリアに測定対象物９の画像全体を表示することができたり、モニタ５に表示する測定対象物９のライブ画像の追従性を向上させることができたり、等といったことである。
【００４５】
また、このようにしてサイズ縮小前の画像（測定用画像）を用いて検出したエッジ位置に基づいて測定対象物９の形状等を測定することによって、サイズ縮小後の画像を用いて測定を行っていた従来の装置に比べて、測定精度を向上させることもできる。
【００４６】
＜第２の実施形態＞
本発明の第２の実施形態に係る測定装置である測定顕微鏡システムは、第１の実施形態に係る測定顕微鏡システムに対して、動作の一部が異なる。そこで、ここでは、その異なる点を中心に、本実施形態に係る測定顕微鏡システムの説明を行う。
【００４７】
図６は、本実施形態に係る測定顕微鏡システムにおいて行われるエッジ検出動作の一例を示すフローチャートである。
なお、図６に示すフローチャートは、図３に示したフローチャートに対応し、図３に示したＳ１１が、図６に示したＳ２１及びＳ２２に置き換えられたものである。従って、図６に示したＳ２３乃至Ｓ２７は、図３に示したＳ１２乃至Ｓ１６と同じものである。
【００４８】
図６に示したように、本動作が開始すると、まず、ＣＰＵ４６は、ＣＣＤカメラ２からの、露出が異なる複数の入力画像を、入力画像メモリ４１を介して取得する（Ｓ２１）。なお、露出が異なる複数の入力画像は、ＣＣＤカメラ２により異なる露出条件で測定対象物９が撮像された複数の撮像画像である。
【００４９】
続いて、ＣＰＵ４６は、その露出が異なる複数の入力画像に基づいて一つの高階調画像を生成し、その高階調画像を測定用画像としてワークメモリ４３の測定画像エリアに格納する（Ｓ２２）。なお、その高階調画像は、例えば、その露出が異なる複数の入力画像をＨＤＲ（High Dynamic Range）合成することにより生成される。
【００５０】
続くＳ２３乃至Ｓ２７は、図３に示したＳ１２乃至Ｓ１６と同じであるので、説明を省略する。
以上、本実施形態に係る測定顕微鏡システムによれば、第１の実施形態に係る測定顕微鏡システムと同様の効果が得られると共に、測定用画像及び表示用画像を高階調化することもできる。
【００５１】
＜第３の実施形態＞
本発明の第３の実施形態に係る測定装置である測定顕微鏡システムは、第１の実施形態に係る測定顕微鏡システムに対して、動作の一部が異なる。そこで、ここでは、その異なる点を中心に、本実施形態に係る測定顕微鏡システムの説明を行う。
【００５２】
図７は、本実施形態に係る測定顕微鏡システムにおいて行われるエッジ検出動作の一例を示すフローチャートである。
なお、図７に示すフローチャートは、図３に示したフローチャートに対応し、図３に示したＳ１２が、図７に示したＳ３２に置き換えられたものである。従って、図７に示したＳ３１及びＳ３３乃至Ｓ３６は、図３に示したＳ１１及びＳ１３乃至Ｓ１６と同じものである。
【００５３】
図７に示したように、本動作が開始すると、まず、ＣＰＵ４６は、図３のＳ１１と同様に、ＣＣＤカメラ２からの入力画像を、入力画像メモリ４１を介して取得し、測定用画像としてワークメモリ４３の測定画像エリアに格納する（Ｓ３１）。
【００５４】
続いて、ＣＰＵ４６は、ワークメモリ４３の測定画像エリアから読み出した測定用画像に対して画像サイズを縮小するための処理を行うと共に所定の画像処理を行って表示用画像を生成し、その表示用画像を表示画像メモリ４４に格納し、モニタ５に表示する（Ｓ３２）。なお、画像サイズを縮小するための処理と所定の画像処理は何れが先に行われても良い。また、所定の画像処理は、例えば、エッジ強調をするための画像処理である。
【００５５】
続くＳ３３乃至Ｓ３６は、図３に示したＳ１３乃至Ｓ１６と同じであるので、説明を省略する。
以上、本実施形態に係る測定顕微鏡システムによれば、第１の実施形態に係る測定顕微鏡システムと同様の効果が得られると共に、例えば、サイズ縮小の処理後及びエッジ強調等の画像処理後の画像を用いてエッジ検出を行っていた従来の装置に比べて、エッジ検出精度を向上させることもできる。
【００５６】
以上、第１乃至第３の実施形態に係る測定装置である測定顕微鏡システムについて説明したが、各実施形態に係る測定顕微鏡システムにおいては各種の変形が可能である。
例えば、第１及び第３の実施形態に係る測定顕微鏡システムにおいて、ＣＣＤカメラ２からの入力画像は、ＣＣＤカメラ２により複数の撮像画像に基づいて生成された高精細画像又は高階調画像としてもよい。例えば、その高精細画像は、ＣＣＤカメラ２により当該ＣＣＤカメラ２のピクセルシフト機能を用いて撮像された複数の撮像画像が合成されることによって生成された画像である。また、例えば、その高階調画像は、ＣＣＤカメラ２により露出が異なる複数の撮像画像がＨＤＲ合成されることによって生成された画像である。このように、ＣＣＤカメラ２からの入力画像を高精細画像とした場合には、それを一つの撮像画像としていた場合に比べて、よりエッジ検出精度を向上させることができる。また、ＣＣＤカメラ２からの入力画像を高階調画像とした場合には、第２の実施形態に係る測定顕微鏡システムと同様に、測定用画像及び表示用画像を高階調画像とすることができる。なお、この場合は、第２の実施形態に係る測定顕微鏡システムにおいてＣＰＵ４６で行われていた高階調画像の生成をＣＣＤカメラ２で行うように構成した場合でもあり、このように構成した場合には、ＣＰＵ４６の負荷を軽減することもできる。
【００５７】
また、例えば、第１乃至第３の実施形態に係る測定顕微鏡システムにおいて、ステージ１０の移動を伴う、測定対象物９の形状等を測定する動作（上述のエッジ検出動作も含む）を行う場合に、ＣＰＵ４６は、顕微鏡コントローラ３からステージ１０のＸＹＺ座標を取得、記憶して、測定対象物９の形状等を測定する際に使用するようにしてもよい。
【００５８】
また、例えば、第１乃至第３の実施形態に係る測定顕微鏡システムにおいて、ステージ１０は、手動ではなく電動により駆動（移動）するように構成してもよい。
図８は、そのように構成した場合の、変形例に係る測定顕微鏡システムの構成例を示す図である。図８に示したように、この場合は、Ｘ方向移動用ハンドル１１、Ｙ方向移動用ハンドル１２、及び図示しないＺ方向移動用ハンドルを備えない代わりに、Ｘ方向移動用モータ１０１、Ｙ方向移動用モータ１０２、及び図示しないＺ方向移動用モータを備える。また、ステージ１０をＸＹ方向へ移動指示するためのジョイスティック１０３、及びステージ１０をＺ方向へ移動指示するための図示しない操作部も備える。これにより、ユーザは、例えば、ジョイスティック１０３の操作により、Ｘ方向移動用モータ１０１及びＹ方向移動用モータ１０２の一方又は両方を駆動させてステージ１０を電動駆動させることができる。なお、その他の構成については、図１に示した構成と同様である。
【００５９】
また、第１乃至第３の実施形態に係る測定顕微鏡システムにおいては、エッジ検出方法として、図４及び図５を用いて説明した線ツール以外にも、例えば、円ツールや多点ツール等、他のエッジ検出方法が選択されてもよいことは勿論のことである。
【００６０】
図９は、エッジ検出方法として円ツールが選択されてエッジ検出動作が行われたときのモニタ５のエッジ検出結果の表示例を示す図である。図９に示したように、この例は、測定対象物９の表示用画像上に、エッジ検出範囲を規定するために指定された２つの円１１１、１１２の各々の外周と、内側円１１１の外周から外側円１１２の外周へ向け探索して検出されたエッジ位置としての円１１３の外周とが重畳されて表示された例である。
【００６１】
図１０は、エッジ検出方法として矩形ツールが選択されてエッジ検出動作が行われたときのモニタ５のエッジ検出結果の表示例を示す図である。図１０に示したように、この例は、測定対象物９の表示用画像上に、エッジ検出範囲を規定するために指定された矩形１２１と、その矩形１２１の一つの辺１２１ａからその辺１２１ａに対向する辺１２１ｂへ向け探索して検出されたエッジ位置としての線１２２が重畳されて表示された例である。
【００６２】
以上、上述した各実施形態は、発明の理解を容易にするために本発明の具体例を示したものであり、本発明は上述の実施形態に限定されるものではない。本発明は、特許請求の範囲に規定された本発明の思想を逸脱しない範囲において、さまざまな変形、変更が可能である。
【符号の説明】
【００６３】
１          顕微鏡本体
２          ＣＣＤカメラ
３          顕微鏡コントローラ
４          制御部
５          モニタ
６          キーボード
７          マウス
８          フットスイッチ
９          測定対象物
１０        ステージ
１１        Ｘ方向移動用ハンドル
１２        Ｙ方向移動用ハンドル
１３        対物レンズ
１４        鏡筒
４１        入力画像メモリ
４２        プログラムメモリ
４３        ワークメモリ
４４        表示画像メモリ
４５        シリアルポート
４６        ＣＰＵ
１０１      Ｘ方向移動用モータ
１０２      Ｙ方向移動用モータ
１０３      ジョイスティック
１１１、１１２、１１３  円
１２１      矩形
１２１ａ、１２１ｂ  辺
１２２      線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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