(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空圧のかけられる真空通路を備える真空装置において、該真空通路に連通して設けられた当該真空装置の筒状の雄型管継手部に着脱可能に連結される雌型管継手部を備える真空装置用器具であって、
該雌型管継手部が、
該雄型管継手部に嵌合される筒状体と、
該筒状体に半径方向で変位可能に設けられた施錠子であって、該筒状体に嵌合された該雄型管継手部に係合して該筒状体と該雄型管継手部とを連結固定する施錠位置と、該施錠位置から半径方向外側に変位して該筒状体と該雄型管継手部との連結固定を解除する解錠位置との間で変位可能とされた施錠子と、
該筒状体の外周面に沿って当該筒状体の長手軸線方向で変位可能に設けられ、施錠位置にある該施錠子が該解錠位置に変位するのを阻止する解錠阻止位置と、該解錠阻止位置から該長手軸線方向で変位して、該施錠子が該解錠位置となるのを許容する解錠許容位置との間で変位可能な施錠子拘束部材と
を有し、
当該真空装置用器具が更に、
該筒状体に変位可能に設けられ、当該真空装置用器具周囲の外気圧を受ける面と該真空圧を受ける面とを有し、該真空通路に所定の真空圧がかけられているときは、該外気圧により変位されて、該解錠阻止位置から該解錠許容位置に向かい変位する施錠子拘束部材の該変位を阻止する変位阻止状態とされ、
該真空通路に真空圧がかけられない状態では、該外気圧による変位が解除されて該施錠子拘束部材が該解錠許容位置となるのを許容する変位許容状態となるようにされている施錠確保部材を有する
ことを特徴とする真空装置用器具。
【請求項２】
該筒状体が該雄型管継手部を受け入れる第１開口端部と、反対側の第２開口端部と、該第１開口端部と該第２開口端部とを連通する通路部とを有し、
該施錠確保部材は、
該通路部内の該第２開口端部側に該長手軸線方向で変位可能に設けられた受圧変位部材であって、通路部を封止する断面を有し、該外気圧を受ける面が該第２開口端部側に、該真空圧を受ける面が該第１開口端部側に設けられた横断部を有する受圧変位部材と、
該筒状体の周壁に設けられた半径方向孔内に設けられて半径方向で変位可能とされた係合子とを有し、
当該施錠確保部材が該変位阻止状態にあるときには、該受圧変位部材が該外気圧によって該第１開口端部方向に変位されて該係合子を半径方向外側に変位し、該係合子が該施錠子拘束部材に係合することにより該施錠子拘束部材を該解錠阻止位置に保持し、
該変位許容状態にあるときは、該受圧変位部材が該第２開口端部方向に変位されて該係合子が半径方向内側に変位して、該施錠子拘束部材を解錠阻止位置から解錠許容位置に変位可能とするようにされている請求項１に記載の真空装置用器具。
【請求項３】
該受圧変位部材が、該横断部から該第１開口端部側に延び、該通路部を画定する該周壁の内周面と摺動可能とされた筒状部を有し、該筒状部の外周面が該係合子を半径方向外側に押圧して該施錠子拘束部材に係合するようにする押圧面部と、該係合子が半径方向内側に変位するのを許容して該施錠子拘束部材が解錠阻止位置から解錠許容位置に変位可能とする凹面部と、該凹面部よりも該第１開口端部側の位置で該外周面に周方向に連続するようにして設けられ該周壁の該内周面と密封摺動係合する環状シール部材とを有するようにされている請求項２に記載の真空装置用器具。
【請求項４】
該受圧変位部材が、該横断部の半径方向中央位置に該第１開口端部に向けて突出する取付突起を有し、該取付突起の周囲に密封固定され半径方向外側に延び該筒状体の該周壁の該半径方向孔よりも該第１開口端部側の該内周面に密封固定された環状シール部材であって、該受圧変位部材が該筒状体に対して該長手軸線方向で変位するのを許容する弾性を有する環状シール部材を有する請求項２に記載の真空装置用器具。
【請求項５】
該筒状体が該雄型管継手部を受け入れる第１開口端部と、反対側の第２開口端部と、該第１開口端部と該第２開口端部とを連通する通路部とを有し、
該施錠確保部材は、
該筒状体の周壁に設けられた半径方向孔内に設けられて半径方向で変位可能とされた係合子と、
該通路部内の該第２開口端部側に該長手方向軸線で変位可能に設けられ、該第１開口端部と該第２開口端部とを連通する内部通路を有する受圧変位部材であって、該通路部を画定する該筒状体の周壁の内周面と摺動係合する外周面を有し、該外周面が大径部と該大径部よりも該第２開口端部側にある小径部とを有し、該大径部及び該小径部がそれぞれ対応する直径を有する該周壁の内周面の対応大径部と対応小径部とに摺動係合するようにされており、該大径部は、該係合子を該施錠子拘束部材が該解錠阻止位置から該解錠許容位置に変位するのを阻止する半径方向外側位置とする押圧面部と、該係合子が該半径方向外側位置から半径方向内側に変位するのを許容して該施錠子拘束部材が解錠阻止位置から解錠許容位置に変位可能とする凹面部とを有する受圧変位部材と、
該受圧変位部材の該外周面の該凹面部よりも該第１開口端部側の位置で、該外周面に周方向に連続するように設けられた第１環状シール部材であって、該周壁の該内周面の該対応大径部と密封摺動係合するようになされており、該第２開口端部側の面で該周壁の該半径方向孔を通しての外気圧を受けるようになされている第１環状シール部材と、
該小径部に周方向に連続するように設けられた第２環状シール部材であって、該周壁の該内周面の該対応小径部と密封摺動係合するようになされており、該第１開口端部側の面で該周壁の該半径方向孔を通しての該外気圧を受けるようになされており、該外気圧を受ける該第１開口端部側の面の該長手軸線方向で見た面積が該外気圧を受ける該第１環状シール部材の該第２開口端部側の面の該長手軸線方向で見た面積よりも小さされている第２環状シール部材と、
を有し、
該第２開口端部に該通路部に連通する管部材が連結された状態で該真空通路及び該管部材に真空圧がかけられた状態では、該第１環状シール部材と第２環状シール部材の受ける該外気圧の差により、該受圧変位部材が該第１開口端部に向けて付勢され、該受圧変位部材の該外周面の該押圧面が該係合子を該半径方向外側位置とするようにされている請求項１に記載の真空装置用器具。
【請求項６】
該受圧変位部材を該第２開口端部に向けて付勢する付勢部材を有する請求項２乃至５のいずれか一項に記載の真空装置用器具。
【請求項７】
該施錠確保部材が、該筒状体の周壁に設けられた半径方向孔内に設けられて半径方向で変位可能とされた部材とされ、該筒状体内にかけられる該真空圧により吸引されて半径方向内側とされて該解錠阻止位置にある該施錠子拘束部材が解錠許容位置に戻るのを阻止し、該真空圧がかけられないときには半径方向外側に変位されて該施錠子拘束部材が解錠許容位置に変位可能とするようにされている請求項１に記載の真空装置用器具。
【請求項８】
該施錠確保部材を該解錠許容位置に向けて半径方向外側に付勢する付勢部材を備える請求項７に記載の真空装置用器具。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか一項に記載の真空装置用器具を備え、
該真空装置用器具を、その該雌型管継手部を真空圧のかけられる真空通路から延びる雄型管継手部に取り外し自在に嵌合連結して使用するようになされた真空装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空圧がかけられる真空通路から延びる雄型管継手部を備え、該雄型管継手部に、真空吸着用パッドなどの所要の真空装置用器具を、それが備える雄型管継手部を取り外し可能に嵌合して取り付けて用いる真空装置に関する。尚、本発明に係る真空装置は通常の大気圧下に設定されるだけでなく、極めて高圧状態にある雰囲気の中に設定されることも想定されるものであるが、そのような場合にも、本発明に係る真空装置は、当該真空装置が置かれた周囲の外気圧力よりも低い圧力を発生した状態において本発明の所要の機能を奏することが可能なものである。従って、本発明においては、本発明に係る真空装置が置かれる周囲の外気圧力を「外気圧」とし、「外気圧」より低い圧力を「真空圧」とするものとする。
【背景技術】
【０００２】
物品を真空吸着して移送したり、固定したりする真空装置が種々知られている（例えば特許文献１及び２参照）。このような装置では、真空圧のかけられる真空通路に大気に連通する開口が設けられ、該開口に真空吸着用パッドなどの所要の真空装置用器具が取り付けられる。このような真空装置では、真空装置用器具の摩耗による取り替え、作業内容に適した真空装置用器具への取り替えなどが必要とされる。また、複数の開口を有する真空装置では、作業内容に応じ必要のない開口に閉止部材を取り付けて閉じる必要なども生じる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−１９６２２９号公報
【特許文献２】特開２０１３-０３９６４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従って、このような真空装置用器具を容易に取付け取外しができ、且つ、取り付けた真空装置用器具が不用意に外れないようにすることが望まれる。
【０００５】
本発明はこのような技術的課題を満たすための手段を備えた真空装置、特に、真空装置に取り外し可能に取り付けられる真空装置用器具を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
すなわち本発明は、
真空圧のかけられる真空通路を備える真空装置において、該真空通路に連通して設けられた当該真空装置の筒状の雄型管継手部に着脱可能に連結される雌型管継手部を備える真空装置用器具であって、
該雌型管継手部が、
該雄型管継手部に嵌合される筒状体と、
該筒状体に半径方向で変位可能に設けられた施錠子であって、該筒状体に嵌合された該雄型管継手部に係合して該筒状体と該雄型管継手部とを連結固定する施錠位置と、該施錠位置から半径方向外側に変位して該筒状体と該雄型管継手部との連結固定を解除する解錠位置との間で変位可能とされた施錠子と、
該筒状体の外周面に沿って当該筒状体の長手軸線方向で変位可能に設けられ、施錠位置にある該施錠子が該解錠位置に変位するのを阻止する解錠阻止位置と、該解錠阻止位置から該長手軸線方向で変位して、該施錠子が該解錠位置となるのを許容する解錠許容位置との間で変位可能な施錠子拘束部材と
を有し、
当該真空装置用器具が更に、
該筒状体に変位可能に設けられ、当該真空装置用器具周囲の外気圧を受ける面と該真空圧を受ける面とを有し、該真空通路に所定の真空圧がかけられているときは、該外気圧により変位されて、該解錠阻止位置から該解錠許容位置に向かい変位する施錠子拘束部材の該変位を阻止する変位阻止状態とされ、
該真空通路に真空圧がかけられない状態では、該外気圧による変位が解除されて該施錠子拘束部材が該解錠許容位置となるのを許容する変位許容状態となるようにされている施錠確保部材を有する
ことを特徴とする真空装置用器具を提供する。
【０００７】
この真空装置用器具は、真空装置の雄型管継手部に雌型管継手部を嵌合連結・連結解除するだけで当該真空装置への取り付け取り外しを容易に行うことができる。また、真空通路に真空圧がかけられている間は、施錠確保部材が変位阻止状態とされ、真空装置に対する当該真空装置用器具の取付を安全に確保することができる。
【０００８】
具体的には、
該筒状体が該雄型管継手部を受け入れる第１開口端部と、反対側の第２開口端部と、該第１開口端部と該第２開口端部とを連通する通路部とを有し、
該施錠確保部材は、
該通路部内の該第２開口端部側に該長手軸線方向で変位可能に設けられた受圧変位部材であって、該通路部を封止する断面を有し、該外気圧を受ける面が該第２開口端部側に、該真空圧を受ける面が該第１開口端部側に設けられた横断部を有する受圧変位部材と、
該筒状体の周壁に設けられた半径方向孔内に設けられて半径方向で変位可能とされた係合子とを有し、
当該施錠確保部材が該変位阻止状態にあるときには、該受圧変位部材が該外気圧によって該第１開口端部方向に変位されて該係合子を半径方向外側に変位し、該係合子が該施錠子拘束部材に係合することにより該施錠子拘束部材を該解錠阻止位置に保持し、
該変位許容状態にあるときは、該受圧変位部材が該第２開口端部方向に変位されて該係合子が半径方向内側に変位して、該施錠子拘束部材を解錠阻止位置から解錠許容位置に変位可能とするようにすることができる。
【０００９】
より具体的には、
該受圧変位部材が、該横断部から該第１開口端部側に延び、該通路部を画定する該周壁の内周面と摺動可能とされた筒状部を有し、該筒状部の外周面が該係合子を半径方向外側に押圧して該施錠子拘束部材に係合するようにする押圧面部と、該係合子が半径方向内側に変位するのを許容して該施錠子拘束部材が解錠阻止位置から解錠許容位置に変位可能とする凹面部と、該凹部面よりも該第１開口端部側の位置で該外周面に周方向に連続するようにして設けられ該周壁の該内周面と密封摺動係合する環状シール部材とを有するようにすることができる。
【００１０】
また、別の具体例としては、
該受圧変位部材が、該横断部の半径方向中央位置に該第１開口端部に向けて突出する取付突起を有し、該取付突起の周囲に密封固定され半径方向外側に延び該筒状体の該周壁の該半径方向孔よりも該第１開口端部側の該内周面に密封固定された環状シール部材であって、該受圧変位部材が該筒状体に対して該長手軸線方向で変位するのを許容する弾性を有する環状シール部材を有するようにすることができる。
【００１１】
更に別の具体例では、
該筒状体が該雄型管継手部を受け入れる第１開口端部と、反対側の第２開口端部と、該第１開口端部と該第２開口端部とを連通する通路部とを有し、
該施錠確保部材は、
該筒状体の周壁に設けられた半径方向孔内に設けられて半径方向で変位可能とされた係合子と、
該通路部内の該第２開口端部側に該長手方向軸線で変位可能に設けられ、該第１開口端部と該第２開口端部とを連通する内部通路を有する受圧変位部材であって、該通路部を画定する該筒状体の周壁の内周面と摺動係合する外周面を有し、該外周面が大径部と該大径部よりも該第２開口端部側にある小径部とを有し、該大径部及び該小径部がそれぞれ対応する直径を有する該周壁の内周面の対応大径部と対応小径部とに摺動係合するようにされており、該大径部が、該係合子を該施錠子拘束部材が該解錠阻止位置から該解錠許容位置に変位するのを阻止する半径方向外側位置とする押圧面部と、該係合子が該半径方向外側位置から半径方向内側に変位するのを許容して該施錠子拘束部材が解錠阻止位置から解錠許容位置に変位可能とする凹面部とを有する受圧変位部材と、
該受圧変位部材の該外周面の該凹面部よりも該第１開口端部側の位置で、該外周面に周方向に連続するように設けられた第１環状シール部材であって、該周壁の該内周面の該対応大径部と密封摺動係合するようになされており、該第２開口端部側の面で該周壁の該半径方向孔を通しての外気圧を受けるようになされている第１環状シール部材と、
該小径部に周方向に連続するように設けられた第２環状シール部材であって、該周壁の該内周面の該対応小径部と密封摺動係合するようになされており、該第１開口端部側の面で該周壁の該半径方向孔を通しての該外気圧を受けるようになされており、該外気圧を受ける該第１開口端部側の面の該長手軸線方向で見た面積が該外気圧を受ける該第１環状シール部材の該第２開口端部側の面の該長手軸線方向で見た面積よりも小さされている第２環状シール部材と、
を有し、
該第２開口端部に該通路部に連通する管状部材が連結された状態で該真空通路及び該管部材に真空圧がかけられた状態では、該第１環状シール部材と第２環状シール部材の受ける該外気圧の差により、該受圧変位部材が該第１開口端部に向けて付勢され、該受圧変位部材の該外周面の該押圧面が該係合子を該半径方向外側位置とするようにすることができる。
【００１２】
上記の具体例では、該受圧変位部材を該第２開口端部に向けて付勢する付勢部材を有するようにすることができる。
【００１３】
上記とは更に別の具体例では、
該施錠確保部材が、該筒状体の周壁に設けられた半径方向孔内に設けられて半径方向で変位可能とされた部材とされ、該筒状体内にかけられる該真空圧により吸引されて半径方向内側とされて該解錠阻止位置にある該施錠子拘束部材が解錠許容位置に戻るのを阻止し、該真空圧がかけられないときには半径方向外側に変位されて該施錠子拘束部材が解錠許容位置に変位可能とすることができる。
【００１４】
この場合、該施錠確保部材を該解錠許容位置に向けて半径方向外側に付勢する付勢部材を備えるようにすることができる。
【００１５】
本発明では更に上記種々の形態の真空装置用器具を備え、
該真空装置用器具を、その該雌型管継手部を真空圧のかけられる真空通路から延びる雄型管継手部に取り外し自在に嵌合連結して取り付け使用するようになされた真空装置を提供する。
【００１６】
以下、本発明に係る管継手の実施形態を添付図面に基づき説明する。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明に係る真空装置に取り付けられる雄型管継手部及び該雄型管継手部に取り外し可能に取り付けられる雌型管継手部を備える真空装置用器具の縦断面図であって、該真空装置用器具が雄型管継手部を閉止し真空装置の真空通路を外気から遮断する閉止キャップとされている例を示す。
【図２】図１の雄型管継手部に閉止キャップとしての真空装置用器具を取り付けた状態を示す縦断面図であり、真空圧がかけられていない状態を示す。
【図３】図２と同様の図であり、真空圧がかけられた状態を示す。
【図４】本発明に係る真空装置用器具の他の実施形態を示す縦断面図であり、当該部材の右端に吸着パッドなどの管状部材を連結され、該管状部材に真空圧がかけられるようにした例を示している。
【図５】本発明に係る真空装置用器具の更に別の実施形態を示す縦断面図である。
【図６】図５のIV-IV線に沿って見て、図５の真空装置用器具における施錠子拘束部材と、該施錠子拘束部材を解錠阻止位置に保持するための施錠確保部材との関係を示す図である。
【図７】本発明に係る真空装置用器具の別の実施形態を示す縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
図１乃至図３に示す第１の実施形態においては、図示しない真空装置の真空通路から延びる雄型管継手部１０に取り外し可能に取り付けられる真空装置用器具１２が、真空通路を外気から遮断する閉止キャップとして示されている。すなわち、この真空装置用器具１２は、雄型管継手部１０に嵌合される筒状体１４と、筒状体１４に半径方向で変位可能に設けられた施錠子１６であって、図２に示すように筒状体１４が嵌合された雄型管継手部１０の外表面に形成された施錠凹部１８に係合して筒状体１４と雄型管継手部１０とを連結固定する施錠位置と、該施錠位置から半径方向外側に変位して施錠凹部１８から外れ筒状体１４と雄型管継手部１０との連結固定を解除する解錠位置との間で変位可能とされた施錠子１６と、筒状体１４の外周面に沿って当該筒状体１４の長手軸線方向で変位可能に設けられ、施錠位置にある施錠子１６が半径方向外側に変位して解錠位置となるのを阻止する図示の解錠阻止位置と、該解錠阻止位置から長手軸線方向の図で見て左方に変位して、施錠子１６が半径方向外側に変位して解錠位置となるのを許容する解錠許容位置との間で変位可能な施錠子拘束部材（図示の例では、筒状のスリーブ）２０とを有する。
【００１９】
真空装置用器具１２は更に施錠確保部材３０を有する。該施錠確保部材３０は、真空通路に真空圧がかけられているときには、当該真空装置用器具１２の周囲の外気圧により変位されて施錠子拘束部材２０が解錠阻止位置から解錠許容位置に向かい変位するのを阻止する変位阻止状態(図３)とされ、真空通路に真空圧がかけられない状態では、外気圧による変位が解除されて施錠子拘束部材２０が解錠許容位置となるのを許容する変位許容状態となるようにされている。
【００２０】
具体的には、筒状体１４は、雄型管継手部１０を受け入れる第１開口端部２２と、反対側の第２開口端部２４と、第１開口端部２２と第２開口端部２４とを連通する通路部２６とを有し、施錠確保部材３０は、通路部２６内の第２開口端部２４側に長手軸線方向で変位可能に設けられた受圧変位部材３２であって、通路部２６を封止する断面を有し、外気圧を受ける面が第２開口端部側に、真空圧を受ける面が第１開口端部側に設けられた横断部３４と、横断部３４から第１開口端部２２側に延び、通路部２６を画定する筒状体１４の周壁３６の内周面と摺動可能とされた筒状部３８を有する受圧変位部材３２と、筒状体１４の周壁３６に設けられた半径方向孔４０内に設けられて半径方向で変位可能とされた係合子４２とを有する。当該施錠確保部材３０が上述の変位阻止状態にあるときには、受圧変位部材３２が外気圧によって第１開口端部２２方向に変位されて係合子４２を半径方向外側に変位し、図３に示すように、該係合子４２が施錠子拘束部材２０に係合することにより該施錠子拘束部材２０を図示の解錠阻止位置に保持し、当該施錠確保部材３０が上述の変位許容状態にあるときは、受圧変位部材３２が第２開口端部２４方向に変位されて係合子４２が半径方向内側に変位して、施錠子拘束部材２０を解錠阻止位置（図３）から図で見て左方に変位して上述の解錠許容位置なるのを可能とするようにされている。
【００２１】
受圧変位部材３２の筒状部３８の外周面には、係合子４２を半径方向外側に押圧して施錠子拘束部材２０に係合するようにする押圧面部４４と、係合子４２が半径方向内側に変位するのを許容して施錠子拘束部材２０が解錠阻止位置(図３)から図で見て左方に変位して上述の解錠許容位置となるのを可能とする凹面部４６と、該凹部面４６よりも第１開口端部２２側の位置で周方向に環状に設けられたシール取付溝４８と、該シール取付溝４８に嵌合され筒状体１４の周壁３６の内周面と密封摺動係合するようにされた環状シール部材５０とが設けられている。
【００２２】
上述の実施形態では、施錠子拘束部材２０が、付勢部材（コイルバネ）５２により施錠子１６を半径方向外側から抑える図示の解錠阻止位置に向けて右方に付勢され、受圧変位部材３２が付勢部材（コイルバネ）５４により図１及び図２に示される位置に付勢されて施錠確保部材３０が変位許容状態となるようにされている。真空装置用器具１２を、真空装置の雄型管継手部１０に取り付ける場合には、施錠子拘束部材２０を図で見て左方に変位して施錠子１６の抑えを外した状態とし、雄型管継手部１０に嵌合させ、施錠子１６が雄型管継手部１０の施錠凹部１８に嵌合した状態で施錠子拘束部材２０を図２の位置に戻す。この状態で真空装置の真空通路に真空圧がかけられると受圧変位部材３２は外気圧により図で見て右方に変位され、係合子４２を半径方向外側に押圧して図３に示すように解除阻止位置にある施錠子拘束部材２０に係合させ、真空圧が解除されない限り施錠子拘束部材２０が施錠子１６を解除する状態とはならないようになる。真空圧が解除されれば、受圧変位部材３２を図３の位置から左方に変位可能となり、真空装置用器具１２を雄型管継手部１０から外すことが可能となる。この実施形態では施錠子１６を筒状体１４の周壁３６に形成された半径方向孔内に設定された球状の部材としたが、いわゆるコレットチャックの形式のものとすることもできる。受圧変位部材３２の左端面から突出しているのは、真空圧解除状態で、受圧変位部材３２を筒状体１４から取り外す際に作業者が把持するグリップ５６である。
【００２３】
図４に示される第２の実施形態に係る真空装置用器具６０は、第１の実施形態のものと略同様の構成とされており、同じ又は対応する部材には同じ参照番号を付して示してある。この実施形態においては筒状体４０の内周面には第２開口端部２４から第１開口端部２２に向けて雌ネジ６２が形成されており、該雌ネジ６２の右端には環状部材６４が固定されて筒状体１４に小径の内周面（特許請求の範囲における対応小径部：以下、「対応小径部」）６６を形成され、筒状体１４の周壁３６の内周面の環状部材６４より右側が該小径の内周面６６に対し大径の内周面（特許請求の範囲における対応大径部：以下、「対応大径部」）６８となるようにされている。
【００２４】
施錠確保部材３０の受圧変位部材３２は第１開口端部２２と第２開口端部２４とを連通するような筒状とされ、その外周面に上記対応小径部６６及び対応大径部６８に対応する小径部７０及び大径部７２が形成され、それぞれ対応小径部６６と対応大径部とに摺動係合するようにされている。大径部７２には、凹面部４６よりも第１開口端部２２側にある第１シール取付溝４８ａに第１環状シール部材５０ａが設けられ、小径部７０には第２シール取付溝４８ｂが設けられ第２環状シール部材５０ｂが嵌合され、第１環状シール部材５０ａ及び第２環状シール部材５０ｂが、それぞれ筒状体１４の対応大径部６８及び対応小径部６６と密封摺動係合するようになされている。
【００２５】
第１環状シール部材５０ａはその第２開口端部２４側の面で筒状体１４の周壁３６に設けられている半径方向孔４０及びそれに連通している隙間を通しての外気圧を受けるようになされており、第２環状シール部材５０ｂは第１開口端部２２側の面で半径方向孔４０及びそれに連通されている隙間を通しての外気圧を受けるようになされており、第２環状シール部材５０ｂの外気圧を受ける第１開口端部側の面の（当該筒状体１４の）長手軸線方向で見た面積が第１環状シール部材の外気圧を受ける第２開口端部側の面の同長手軸線方向で見た面積よりも小さくされている。外気圧を受ける受圧面積をこのようにすることにより、第２開口端部２４おいて例えば真空空吸着用パッドなどの管状部材が雌ネジ６２に螺合されて取り付けられて真空圧がかけられた状態では、第１環状シール部材５０ａと第２環状シール部材５０ｂの受ける外気圧の差により、受圧変位部材３２が第１開口端部２２に向けて付勢され、受圧変位部材３２の外周面の押圧面４４が係合子４２を半径方向外側位置として施錠確保部材３０が変位阻止状態になるようにされている。
【００２６】
図５及び図６に示される第３の実施形態に係る真空装置用器具８０は、全体としては第１の実施形態のものと同様に真空通路を外気から遮断する閉止キャップの形態とされた類似の構成とされており、同じ又は対応する部材には同じ参照番号を付して示してある。すなわち、この真空装置用器具８０においては筒状体１４の第２開口端部２４に該第２開口端部２４を封止する封止部材８２が設けられており、真空装置の雄型管継手１０に連結されて真空圧がかけられると筒状体１４内に真空圧がかけられるようになっている。上述の実施形態との比較で大きな相違は施錠確保部材を構成する受圧変位部材３２にある。該受圧変位部材３２は、筒状体１４の周壁３６に設けられた半径方向孔３６ａ内に設けられて半径方向で変位可能とされた小径部３２ａと、該小径部３２ａの外側端部に設けられた大径部３２ｂとを有しており、付勢部材（コイルバネ）８４により半径方向外側に押圧された図示の変位許容位置と、筒状体１４内に真空圧がかけられることにより半径方向内側に変位されて大径部３２ｂが筒状体１４の外周面と接する変位阻止位置との間で変位可能とされている。図５及び図６から分かるように、筒状の施錠子拘束部材２０の端縁２０aには受圧変位部材３２の小径部３２ｂを受け入れる大きさの凹部２０ｂが形成されており、受圧変位部材３２が図５に示す変位許容位置にあるときには、凹部２０ｂが受圧変位部材３２の小径部３２ａに嵌合するようにして図で見て左方に変位し解錠許容位置となることができ、受圧変位部材３２が真空圧により引き込められて変位阻止位置となった場合には、施錠子拘束部材２０の端縁２０ａが受圧変位部材３２の大径部に係合して解除許容位置に変位できないようになっている。
【００２７】
図７に示される第４の実施形態に係る真空装置用器具９０は、構造的相違はあるが作用的には図１乃至図３に示した第１の実施形態のものと実質的に同じであり、同じ又は対応する部材には同じ参照番号を付して示してある。すなわち、この真空装置用器具９０では、受圧変位部材３２が、横断部３４の半径方向中央位置に第１開口端部２２に向けて突出する取付突起３４ａを有し、取付突起３４ａの周囲に密封固定され半径方向外側に延び筒状体１４の周壁３６の半径方向孔４０よりも第１開口端部２２側の内周面に密封固定された環状シール部材５０ａを有する。筒状体１４は、相互に螺合連結された第１開口端部側部１４ａと第２開口端部側部１４ｂとからなり、環状シール部材５０ａの外周縁がこれら第１及び第２開口端部側部１４ａ、１４ｂの間に挟着されている。環状シール部材５０ａは弾性を有するシート状部材から構成されており、受圧変位部材３２が係合子４０を半径方向で変位させるために筒状体１４に対して長手軸線方向で変位するのを許容するようになっている。該管状シール部材５０ａは第１実施形態における管状シール部材５０と形態的には相違するがシール部材としては実質的に同じ機能を奏する。
【００２８】
以上、本発明の実施形態につき説明したが本発明はこれらに限定されるものではない。例えば、施錠子１６は前述したごとく球状のものを示したが、いわゆるコレットチャック形式のものとすることができる。
【符号の説明】
【００２９】
真空装置用器具１２
筒状体１４
第１開口端部側部１４ａ
第２開口端部側部１４ｂ
施錠凹部１８
施錠子拘束部材（スリーブ）２０
第１開口端部２２
第２開口端部２４
通路部２６
施錠確保部材３０
受圧変位部材３２
横断部３４
取付突起３４ａ
周壁３６
筒状部３８
半径方向孔４０
係合子４２
押圧面部４４
凹面部４６
シール取付溝４８
第１シール取付溝４８ａ
第２シール取付溝４８ｂ
環状シール部材５０
第１環状シール部材５０ａ
第２環状シール部材５０ｂ
付勢部材（コイルバネ）５２
付勢部材（コイルバネ）５４
グリップ５６
真空装置用器具６０
雌ネジ６２
環状部材６４
小径の内周面（特許請求の範囲における対応小径部）６６
大径の内周面（特許請求の範囲における対応大径部）６８
小径部７０
大径部７２
真空装置用器具８０
真空装置用器具９０
封止部材８２
付勢部材（コイルバネ）８４
【図１】
0006300857.tif 000002
【図２】
0006300857.tif 000003
【図３】
0006300857.tif 000004
【図４】
0006300857.tif 000005
【図５】
0006300857.tif 000006
【図６】
0006300857.tif 000007
【図７】
0006300857.tif 000008