(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
インゴットを保持する保持手段と、該保持手段に保持されたインゴットに放電加工を施してスライスするワイヤーと、を少なくとも含み構成されるワイヤーソーであって、
該保持手段は、インゴットの外周に接触し電源の正極に接続される通電部と、インゴットを固定する固定部と、から少なくとも構成され、
該通電部は、カーボン両面テープを介してインゴットに接続されるワイヤーソー。
【請求項２】
前記通電部は、間隔を持って配設された第１の通電部と第２の通電部とを備え、前記固定部は、該第１の通電部と該第２の通電部との間に配設される
請求項１記載のワイヤーソー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放電加工によりインゴットをスライスするワイヤーソーに関する。
【背景技術】
【０００２】
炭化珪素（SiC：シリコンカーバイド）は、ダイヤモンドとシリコンの中間的な性質を有し、硬度、耐熱性及び化学的安定性に優れることから、研磨材、耐火物、発熱体などに使用され、また、半導体でもあることから、パワーデバイス等の電子素子の素材としても使用されている。
【０００３】
SiCを素材とする電子素子を生産するには、SiCインゴットを切断して所定の厚みのウェーハを形成する必要がある。SiCインゴットからの切り出しには、通常、ワイヤーソーが用いられている。
【０００４】
ワイヤーソーは、電源の一方の電極に接続されインゴットを保持する保持手段と、電源の他方の電極に接続され保持手段に保持されたインゴットに放電加工を施してウェーハ状にスライスするワイヤーとを少なくとも備えており、SiCインゴットは、導電性のカーボン接着剤によって保持手段に固定される。そして、ダイヤモンドに次ぐ硬さを有するSiCインゴットを、放電加工により所定の厚みのウェーハにスライスすることができる（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−９４２２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、カーボン接着剤には流動性があるため、ボンド剤に混入したカーボンの密度が高い部分と低い部分とに分散してインゴットに電流が均一に流れないことがあり、これに起因して、ワイヤーに断続的に強い放電が生じてワイヤーが断線するという問題がある。
【０００７】
本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、ワイヤーソーにおいて、放電加工のための電流がワイヤーに均一に流れるようにする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、インゴットを保持する保持手段と、保持手段に保持されたインゴットに放電加工を施してスライスするワイヤーとを少なくとも含むワイヤーソーであって、保持手段は、インゴットの外周に接触し電源の正極に接続される通電部と、インゴットを固定する固定部とから少なくとも構成され、通電部は、カーボン両面テープを介してインゴットに接続される。
【０００９】
上記ワイヤーソーにおいて、通電部は、間隔を持って配設された第１の通電部と第２の通電部とを備え、固定部は、第１の通電部と第２の通電部との間に配設されることが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係るワイヤーソーでは、保持手段を構成する通電部がカーボン両面テープを介してインゴットに接続されているため、カーボン両面テープの均一な導電性によってワイヤーに均一に電流が流れるため、強い放電によりワイヤーが断線するのを防止することができる。
【００１１】
また、間隔を持って配設された第１の通電部と第２の通電部との間に固定部が配設されることにより、第１の通電部及び第２の通電部による電極とインゴットとの通電を確保しつつ、インゴットを確実に固定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】ワイヤーソーを構成する保持手段の例を示す斜視図である。
【図２】保持手段及びインゴットを示す斜視図である。
【図３】ワイヤーソー及びインゴットを示す斜視図である。
【図４】ワイヤーソーによりインゴットを放電加工する状態を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図１に示す保持手段１０は、ワイヤーソーにおいてワイヤーにより切断されるインゴットを保持するもので、基台１１と、基台１１に対して昇降可能な昇降台１２と、昇降台１２上に固定された通電部１３と、インゴットを固定する固定部１４とを備えている。
【００１４】
通電部１３は、導電性部材により断面略Ｕ字状に形成され、上方に突出する第１の通電部１３１ａと第２の通電部１３１ｂとを有している。第１の通電部１３１ａと第２の通電部１３１ｂとは、間隔をもって配設されている。
【００１５】
第１の通電部１３１ａの上面１３２ａ及び第２の通電部１３１ｂの上面１３２ｂは、インゴットの外周面の形状に沿った形状に形成されている。固定部１４は、第１の通電部１３１ａと第２の通電部１３１ｂとの間に配設されている。
【００１６】
図２に示すように、固定部１４には、エポキシ樹脂等により構成されるボンド剤１５が充填される。一方、第１の通電部１３１ａの上面１３２ａ及び第２の通電部１３１ｂの上面１３２ａには、導電性を有するカーボン両面テープ１６が貼着される。インゴット５０がカーボン両面テープ１６の上に載置され、インゴット５０の外周がカーボン両面テープ１６に接触することにより、通電部１３にインゴット５０が接続される。カーボン両面テープ１６としては、例えば日新ＥＭ株式会社が提供するＳＥＭ用カーボン両面テープを使用することができる。
【００１７】
図３に示すワイヤーソー２０は、図１及び図２に示した保持手段１０と、互いに平行な複数のワイヤー３１と、ワイヤー３１をガイドする２つの回転可能なガイドローラー３２，３３と、ワイヤー３１に接触するロータリー電極３４と、ロータリー電極３４と通電部１３との間に接続された電源３５とを備えている。
【００１８】
ガイドローラー３２，３３には、ワイヤー３１の本数と同数のガイド溝３２１，３３１がそれぞれ形成されており、ガイド溝３２１，３３１にはワイヤー３１が係合している。ワイヤー３１は、張力がかけられた状態で通電部１３の上方に位置している。
【００１９】
ワイヤー３１は、保持手段１０に保持されたインゴット５０に接触することにより放電加工を施してスライスする。また、電源３５の正極は通電部１３に接続され、電源３５の負極はロータリー電極３４に接続されている。
【００２０】
このように構成されるワイヤーソー２０においてインゴットをスライスする場合は、インゴット５０がカーボン両面テープ１６に貼着され、ボンド剤１５によって固定部１４に固定された状態で、昇降台１２を上昇させていく。そうすると、ワイヤー３１がインゴット５０に接触し、さらに昇降台１２が上昇していくとともに、ワイヤー３１がガイドローラー３２，３３によってワイヤー３１の延在方向に送り出されることにより、ワイヤー３１がインゴット５０に切り込んでいきながら放電加工される。
【００２１】
昇降台１２がさらに上昇すると、通電部１３も放電加工され、インゴット５０が完全にスライスされて、板状のウェーハが切り出される。
【００２２】
インゴット５０は、流動性のないカーボンテープ両面１６を介して通電部１３に固定されているため、インゴット５０には電流が均一に流れる。したがって、ワイヤー３１に強い放電が生じることがなく、ワイヤー３１に断線が生じるおそれを低減することができる。
【００２３】
また、固定部１４は、間隔を持って配設された第１の通電部１３１ａと第２の通電部１３１ｂとの間に配設されているため、第１の通電部１３１ａ及び第２の通電部１３１ｂによる電極３５とインゴット５０との通電を確保しつつ、インゴット５０を確実に固定することができる。
【符号の説明】
【００２４】
１０：保持手段
１１：基台  １２：昇降台
１３：通電部  １３１ａ：第１の通電部  １３１ｂ：第２の通電部
１３２ａ，１３２ｂ：上面
１４：固定部
１５：ボンド剤
１６：カーボン両面テープ
２０：ワイヤーソー
３１：ワイヤー
３２，３３：ガイドローラー  ３２１，３３１：ガイド溝
３４：ロータリー電極  ３５：電源
５０：インゴット
【図１】
0006360768.tif 000002
【図２】
0006360768.tif 000003
【図３】
0006360768.tif 000004
【図４】
0006360768.tif 000005