(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
自動シール式流体動圧軸受であって、当該軸受は、
軸受シャフトと、
該軸受シャフトの全長をシールするように構成された軸受ブッシュと、
前記流体動圧軸受のシールされた全長に設けられた潤滑剤と、
前記軸受シャフトと前記軸受ブッシュとの間に設けられた軸受装置と、を備えており、
前記軸受シャフト及び／又は前記軸受ブッシュは、回転可能に構成され、
前記軸受装置は、前記軸受ブッシュに配置された主軸受面と、該主軸受面に対向して構成され且つ前記軸受シャフトに配置された二次軸受面とを含み、
前記主軸受面及び／又は前記二次軸受面は、第１の流体滑り特性を有する第１領域と、第１の流体滑り特性とは実質的に異なる第２の流体滑り特性を有する第２領域とを含み、
第２及び第１領域は、前記主軸受面及び／又は前記二次軸受面の上に交互配置パターンで配置され、実質的に平坦且つ互いに実質的に面一となるように形成され、
前記軸受シャフト及び／又は前記軸受ブッシュの回転によって生じる前記主軸受面と前記二次軸受面との間の相対的な移動によって、前記主軸受面及び前記二次軸受面に接触する潤滑剤自体にポンプ作用が誘起され、該ポンプ作用は、前記交互配置パターンの第１の及び第２の領域の各材料と接触する潤滑剤のそれぞれの部分同士の間の流体滑り特性の差によって誘起される、
自動シール式流体動圧軸受。
【請求項２】
第１領域と第２領域との間の前記流体滑り特性の差は、少なくとも約２５％である、請求項１に記載の自動シール式流体動圧軸受。
【請求項３】
第１領域は、第１の材料の実質的に平坦なコーティングにより形成され、第２領域は、第２の材料の実質的に平坦なコーティングにより形成される、請求項１又は２に記載の自動シール式流体動圧軸受。
【請求項４】
第２の流体滑り特性を有する第２の材料は、前記軸受シャフト及び／又は前記軸受ブッシュの素地である、請求項３に記載の自動シール式流体動圧軸受。
【請求項５】
第１領域を形成する第１の材料の厚さは、５ミクロン未満である、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の自動シール式流体動圧軸受。
【請求項６】
１つ又は複数の前記軸受面に含まれる第１領域及び／又は第２領域は、前記流体動圧軸受の回転軸線の周りに螺旋状パターン、ヘリンボーンパターン、又は曲線パターンで配置される、請求項１乃至５のいずれか一項に記載の自動シール式流体動圧軸受。
【請求項７】
前記交互配置パターンの第１領域及び／又は第２領域は、前記主軸受面及び／又は前記二次軸受面の第１部分及び／又は第２部分に設けられ、第１及び／又は第２部分は、分離領域により分割される、請求項１乃至６のいずれか一項に記載の自動シール式流体動圧軸受。
【請求項８】
第１領域は、超ナノ結晶性ダイヤモンド膜でコーティングされており、及び／又は第１領域は、二硫化モリブデン、アモルファスカーボン、四面体配位アモルファスカーボン、多結晶ダイヤモンド、及び二硫化タングステンのグループから選択される任意の材料のコーティングを含む、請求項１乃至７のいずれか一項に記載の自動シール式流体動圧軸受。
【請求項９】
第１領域及び／又は第２領域の主軸受面は、複数の隆起部及び溝部を有する第１の溝部をさらに含み、第１領域のコーティングは、第１の溝部の前記溝部内に塗布される、請求項１乃至８のいずれか一項に記載の自動シール式流体動圧軸受。
【請求項１０】
真空シール軸受のギャップを含む、請求項１乃至９のいずれか一項に記載の自動シール式流体動圧軸受。
【請求項１１】
前記軸受ブッシュ及び前記軸受シャフトは、円錐軸受として、又は球面軸受として構成される、請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の自動シール式流体動圧軸受。
【請求項１２】
Ｘ線管であって、当該Ｘ線管は、
回転式陽極と、
陰極と、
請求項１乃至１１のいずれか一項に記載の自動シール式流体動圧軸受と、を備えており、
前記回転式陽極は、前記流体動圧軸受の前記軸受ブッシュ上に支持され、
陽極ディスクは、前記陰極から放出され電子が回転可能なディスクに衝突する結果としてＸ線を発生するように構成された回転可能な表面を提供する、
Ｘ線管。
【請求項１３】
Ｘ線撮像システムであって、当該撮像システムは、
請求項１２に記載のＸ線管と、
Ｘ線検出器と、
対象物を受容するための支持体と、
処理装置と、を備える、
Ｘ線撮像システム。
【請求項１４】
ハードドライブであって、当該ハードドライブは、
支持部材と、
中央ハブを有するハードディスクと、
請求項１乃至１１のいずれか一項に記載の自動シール式流体動圧軸受と、を備えており、
前記ハードディスクの前記中央ハブは、前記流体動圧軸受により前記支持部材上に回転可能に支持される、
ハードドライブ。
【請求項１５】
自動シール式流体動圧軸受を製造する製造方法であって、当該製造方法は、
（ａ）未処理の軸受シャフト及び未処理のブッシュ部品を提供するステップと、
（ｂ）該未処理の軸受シャフト及び未処理のブッシュ部品の表面に、第１の流体滑り特性を有する第１領域及び第１の流体滑り特性とは実質的に異なる第２の流体滑り特性を有する第２領域を形成するステップであって、第２及び第１領域は、１つ又は複数の軸受面の上に交互配置パターンで配置され、実質的に平坦且つ互いに実質的に面一となるように形成され、第１及び第２領域は、プラズマ蒸着又は化学蒸着を使用する材料のコーティングによって形成される、形成するステップと、
（ｃ）前記軸受シャフト及び前記ブッシュ部品を流体動圧軸受に組み立てるステップと、
（ｄ）前記軸受シャフトと前記ブッシュ部品との間のギャップ内に潤滑剤を追加するステップと、
（ｅ）前記軸受をシールするステップと、を含む、
製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体動圧軸受、流体動圧軸受を含むＸ線管、Ｘ線撮像システム、流体動圧軸受を含むハードドライブ、及び流体動圧軸受の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
流体動圧軸受は、軸受が厳しい性能条件を満す必要がある場合に、使用されることが多い。流体動圧軸受では、ロータとステータとの間にギャップが形成される。このギャップには、潤滑剤が含まれる。ロータには、溝のネットワークが設けられる。ロータが回転すると、流体が、溝のネットワークに押し込まれる。こうして、流体内に圧力が発生し、ポンプ作用が生じる。アキシャル（スラスト）軸受では、ポンプ作用は、軸受のロータを持ち上げるように作用し、こうしてロータとステータとの間の接触を防止する。ラジアル軸受では、ポンプ作用は、流体を軸受内で循環させるように作用する。
【０００３】
特許文献１は、軸受シャフト及び軸受ブッシュを有するＸ線管用の流体動圧軸受を開示する。軸受ブッシュは、軸受シャフトを同心状に取り囲み、且つ陽極ディスクに及びロータに強固に接続される。また、軸受ブッシュは、軸受シャフトに回転可能に配置される。軸受シャフト及び軸受ブッシュは、互いに回転可能である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第２０１３／０４６０８３号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そのような流体動圧軸受の特性は、依然としてさらに最適化することができる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の目的は、独立請求項の主題によって解決される。更なる実施形態は、従属請求項に組み込まれる。
本発明の以下で説明する態様は、本発明に係る流体動圧軸受を含むＸ線管や、Ｘ線システム、本発明に係る流体動圧軸受を含むハードドライブ、及び流体動圧軸受の製造方法にも適用されることに留意すべきである。
【０００７】
本発明によれば、流体動圧軸受には、軸受シャフトと、軸受シャフトの全長をシールするように構成された軸受ブッシュと、流体動圧軸受のシールされた全長に供給された潤滑剤とが設けられる。軸受装置が、軸受シャフトと軸受ブッシュとの間に設けられ、軸受シャフト及び／又は軸受ブッシュは、回転可能に構成される。
軸受装置は、軸受ブッシュに配置された主軸受面と、主軸受面に対向して構成され且つ軸受シャフトに配置された二次軸受面とを含む。
主軸受面及び／又は二次軸受面は、第１の流体滑り特性を有する第１領域と、第１の流体滑り特性とは実質的に異なる第２の流体滑り特性を有する第２領域とを含む。第２及び第１領域は、主軸受面及び／又は二次軸受面の上に交互配置パターンで配置される。
軸受シャフト及び／又は軸受ブッシュの回転によって生じる主軸受面と二次軸受面との間の相対的な移動によって、主軸受面及び二次軸受面に接触する潤滑剤自体にポンプ作用が誘起され、ここでポンプ作用は、交互配置パターンの第１の及び第２の材料と接触する潤滑剤のそれぞれの部分同士の間の流体滑り特性の差によって誘起される。
【０００８】
本発明によれば、回転式陽極と、陰極と、前述したような流体動圧軸受を含むＸ線管が提供される。回転式陽極は、流体動圧軸受の軸受ブッシュ上に支持される。陽極ディスクは、陰極から放出される電子が回転可能なディスクに衝突する結果としてＸ線を発生するように構成された回転可能な表面を提供する。
【０００９】
本発明によれば、Ｘ線撮像システムが提供される。このシステムは、前述したようなＸ線管と、Ｘ線検出器と、対象物を受容するための支持体と、処理装置とを有する。
【００１０】
本発明によれば、支持部材と、中央ハブを有するハードディスクと、前述したような流体動圧軸受とを有するハードドライブが、提供される。ハードディスクの中央ハブは、流体動圧軸受により支持部材上に回転可能に支持される。
【００１１】
本発明によれば、流体動圧軸受の製造方法が提供される。この製造方法は、
（ａ）未処理の軸受シャフト及び未処理の軸受ブッシュ部品を提供するステップと、
（ｂ）未処理の軸受シャフト及び未処理の軸受ブッシュ部品の表面に、第１の流体滑り特性を有する第１領域及び第１の流体滑り特性とは実質的に異なる第２の流体滑り特性を有する第２領域を形成するステップであって、第２及び第１領域は、１つ又は複数の軸受面の上に交互配置パターンで配置される、形成するステップと、
（ｃ）軸受シャフト及び軸受ブッシュ部品を流体動圧軸受に組み立てるステップと、
（ｄ）軸受シャフトと軸受ブッシュとの間のギャップ内に潤滑剤を追加するステップと、
（ｅ）軸受をシールするステップと、を含む。
【００１２】
本発明に係る流体動圧軸受は、軸受面を部分的に又は完全に横切る軸受面の溝を除去することにより、支持体可能な負荷力を増大させる。
こうして、主軸受面及び／又は二次軸受面が、第１の流体滑り特性を有する第１領域、及び第１の流体特性とは実質的に異なる第２の流体滑り特性を有する第２領域を含むような流体動圧軸受が、提供される。流体滑り特性の差によって生じるポンプ作用は、従来技術の軸受の溝によって生じるポンプ作用に置き換えられる。
【００１３】
本質的には、流体が、交互配置パターンで配置されたこのような第１及び第２領域を含む軸受面の上を移動する際に、流体は、それら領域の一方と接触するときに大きく滑り、他方の領域と接触するときに小さく滑る状態になる。換言すれば、軸受面の第１領域と第２領域との間の流体滑り特性に差がある。流体滑り特性の差によって、その流体が軸受面の上を流れる際に、流体中の圧力変動を引き起こす。この圧力変動によって、ポンプ作用が流体中に誘起される。流体滑り特性の差によって誘起されるポンプ作用は、溝の配置によって誘起されるポンプ作用と同一、又は非常に類似している。
【００１４】
これは、実質的な利点をもたらす。本発明に係る流体動圧軸受の負荷担持能力に有意な改善を有する。有利には、実質的に平坦なコーティングを軸受の素地に塗布することができ、このコーティングは、従来の軸受の溝によって提供されるように、本発明に係る軸受に実質的に類似のポンプ効果を達成することができる。特定の形状及び深さの溝を必要な分解能で製造することが困難であるので、これは、そのような軸受の製造の容易さに大幅な改善をもたらす。
【００１５】
以下の詳細な説明において、用語「軸受面」は、動作時に、軸受動作を提供することに積極的に関与する軸受の領域を指す。
以下の詳細な説明において、用語「流体滑り特性」は、固体材料が流体とどの様に相互作用するかを規定するその固体材料の特性を指す。「低滑り」材料は、本質的に「滑りのない状態」の前提に実質的に準拠している。これは、流体がその材料表面の上を流れるときに、低滑り材料の表面と直接的に接触する流体分子の層が、流体の残りの部分に対して動かない材料を説明する。対照的に、「高滑り」特性を有する材料は、滑りのない状態が当てはまらない材料である。換言すれば、高い滑り材料の表面と直接的に接触する液体分子の層が、材料の表面に対して移動する。
【００１６】
流体滑り特性を特徴付ける１つの方法は、滑り速度の測定基準を使用する。同じ流体条件では、低滑り材料は、比較的低い、又はゼロの滑り速度を有することになる。滑り速度は、壁せん断応力の関数とみなすことができる。これとは対照的に、高滑り材料は、非ゼロの、おそらく相当な滑り速度を有することになる。特定の滑り速度は、提示される材料、流体、流量、及び圧力条件の組合せに依存する。
【００１７】
流体滑り特性を特徴付ける関連する方法は、滑り長さの測定基準を使用する。滑り長さは、壁に対する流体速度が消滅する、固体の内部の外挿距離である。滑らない壁について、滑り長さは、ゼロメートルである。以下の詳細説明において、用語「交互配置パターンは、コーティング材料を素地上に交互に及びその表面に規則的に蒸着させ、こうしてパターンを形成するその結果を意味する。パターンは、ヘリンボーン、曲線状、螺旋状溝、又は対数螺旋状溝パターンであってもよいが、他のパターンを使用してもよい。
【００１８】
独立請求項に記載の流体動圧軸受、流体動圧軸受を含むＸ線管、Ｘ線撮像システム、流体動圧軸受を含むハードドライブ、及び流体動圧軸受の製造方法は、特に、従属請求項に規定されるような類似の及び／又は同一の好ましい実施形態を有する。本発明の好ましい実施形態は、独立請求項とそれぞれの従属請求項との任意の組合せとすることもできる。
本発明のこれら及び他の態様は、以下に説明される実施形態を参照して説明され、この実施形態から明らかになるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明に係る流体動圧軸受の概略図である。
【図２】実施例に係る流体動圧軸受を示す図である。
【図３Ａ】本発明の実施例に係る交互配置パターンを示す図である。
【図３Ｂ】本発明の実施例に係る交互配置パターンを示す図である。
【図４Ａ】本発明の実施例に係る軸受コーティングの詳細を示す図である。
【図４Ｂ】本発明の実施例に係る軸受コーティングの詳細を示す図である。
【図４Ｃ】本発明の実施例に係る軸受コーティングの詳細を示す図である。
【図４Ｄ】本発明の実施例に係る軸受コーティングの詳細を示す図である。
【図５Ａ】本発明の実施例に係る異なる流体滑り特性を有する蒸着領域の例を示す図である。
【図５Ｂ】本発明の実施例に係る異なる流体滑り特性を有する蒸着領域の例を示す図である。
【図５Ｃ】本発明の実施例に係る異なる流体滑り特性を有する蒸着領域の例を示す図である。
【図５Ｄ】本発明の実施例に係る異なる流体滑り特性を有する蒸着領域の例を示す図である。
【図５Ｅ】本発明の実施例に係る異なる流体滑り特性を有する蒸着領域の例を示す図である。
【図５Ｆ】本発明の実施例に係る異なる流体滑り特性を有する蒸着領域の例を示す図である。
【図６Ａ】実施例に係る軸受面の例を示す図である。
【図６Ｂ】実施例に係る軸受面の例を示す図である。
【図７Ａ】実施例に係る代替タイプの軸受を示す図である。
【図７Ｂ】実施例に係る代替タイプの軸受を示す図である。
【図８】実施例に係る溝付き軸受面を示す図である。
【図９Ａ】溝付き及び溝なし軸受面の例示的な比較を示す図である。
【図９Ｂ】溝付き及び溝なし軸受面の例示的な比較を示す図である。
【図１０】流体と接触する例示的な交互配置パターンを示す図である。
【図１１】Ｘ線管の例を示す図である。
【図１２】Ｘ線システムの例を示す図である。
【図１３】ハードドライブの例を示す図である。
【図１４】製造方法の例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
本発明の例示的な実施形態について、以下の図面を参照して以下に説明する。
流体動圧軸受は、要求の厳しい用途で使用される。このような用途では、高い軸受速度、高い軸受負荷、及び広い温度耐性を必要とする。このような軸受のより簡素な製造も所望されている。
【００２１】
図１は、本発明に係る流体動圧軸受１００を概略的に示す。
軸受シャフト１０２と、軸受シャフト１０２の全長をシールするように構成された軸受ブッシュ１０４と、流体動圧軸受１００のシールされた全長に供給される潤滑剤１０６とを有する流体動圧軸受１００が、設けられる。軸受装置が、軸受シャフト１０２と軸受ブッシュ１０４との間に設けられる。
軸受シャフト１０２及び／又は軸受ブッシュ１０４は、回転可能に構成される。
軸受装置１０４は、軸受ブッシュに配置された主軸受面１１０と、この主軸受面に対向して構成され且つ軸受シャフト１０２に配置された二次軸受面１１２とを含む。
主軸受面１１０及び／又は二次軸受面１１２は、第１の流体滑り特性を有する第１領域１１４と、第１の流体滑り特性とは実質的に異なる第２の流体滑り特性を有する第２領域１１６とを含む。第２及び第１領域は、主軸受面及び／又は二次軸受面の上に交互配置パターンで配置される。
軸受シャフト及び／又は軸受ブッシュの回転によって生じる主軸受面と二次軸受面との間の相対的な移動によって、主軸受面及び二次軸受面に接触する潤滑剤自体にポンプ作用が誘起され、ここでポンプ作用は、交互配置パターンの第１の及び第２の材料と接触する潤滑剤のそれぞれの部分同士の間の流体滑り特性の差によって誘起される。
【００２２】
実施例では、軸受ブッシュは、静止した軸受シャフトを中心に回転するように構成される。この場合に、軸受ブッシュは、Ｘ線源の回転陽極ディスク、又はハードドライブディスク・プラテン等の荷重を支持するように構成される。
別の実施形態では、軸受シャフトは、軸受ブッシュの内側で回転するように構成される。軸受ブッシュは、静止状態に保持される。議論する動作原理は、この場合にも適用可能である。
主軸受面及び／又は二次軸受面は、第１の流体滑り特性を有する第１領域、及び第２の流体滑り特性を有する第２領域を含む。このような主軸受面及び／又は二次軸受面を含む軸受シャフト又は軸受ブッシュの部分は、潤滑剤自体で回転し、潤滑剤に接触する表面の第１及び第２の流体滑り特性が実質的に異なるので、ポンプ作用が、潤滑剤に確立される。
軸受装置の表面は、少なくとも部分的に、実質的に平坦である。
【００２３】
ポンプ作用を、潤滑剤に確立することができる一方、ポンプ作用は、低い、又はゼロせん断応力を発生させる。第１及び第２領域が、潤滑材に限定されたせん断応力を及ぼす、又は潤滑剤にせん断応力及ぼさないので、こうして、摩擦損失は、溝付き軸受よりも低くなる。
伝達される負荷力は、同じ寸法の従来の溝付き軸受よりも大きくなる。軸受面の少なくとも一方が、第１の流体滑り特性を有する第１領域、及び第１の流体滑り特性とは実質的に異なる第２の流体滑り特性を有する第２領域を含むので、この有利な挙動がもたらされる。換言すれば、第１及び第２領域の表面同士の間の流体の滑り長さに実質的な差がある。
【００２４】
本発明の実施形態によれば、第１の流体滑り特性は、高い滑り材料のことであり、第２の流体滑り特性は、低い流体滑り材料のことである。低滑り材料を含む表面が潤滑剤と接触して移動する場合に、潤滑剤の分子の境界層は、移動面の壁に付着し、移動面と同じ速度で移動する。従って、低滑り材料の滑り長さは、無視できるものである。潤滑剤が、流体滑り特性が高い滑りである領域を含む移動面と接触する場合に、「滑りのない状態」は、崩れる。こうして、潤滑剤の最も外側の分子と移動面との間の境界に相対的な移動が生じることになる。
【００２５】
第１の流体滑り特性及び第２の流体滑り特性を有する第２及び第１領域は、軸受面の上に交互配置パターンで配置される。これは、そのような交互配置パターンを有する軸受面が潤滑剤に対して移動するときに、潤滑剤の一部が、流体の滑りを受けることを意味する。潤滑剤の一部は流体滑りを受けず、従って、流体滑りを受ける部分は、流体滑りを受けない潤滑剤の部分から流れ抵抗を受ける。
これは、異なる圧力の領域が潤滑剤に形成され、こうして、軸受面に接触する潤滑剤にポンプ作用を確立することを意味する。これは、ポンプ作用が溝を有する軸受面に確立される機構に類似している。
【００２６】
溝内を移動する流体が存在しないことは、実質的にゼロのせん断応力が潤滑剤に誘起されることを意味する。こうして、軸受は、エネルギー効率がより大きくなる。これは、本発明によれば、固定負荷の許容範囲について、従来の流体動圧軸受と比較した場合よりも、より小さな流体動圧軸受を提供することができることを意味する。
別の利点は、交互配置パターンでコーティングする形態の材料の蒸着は、繰返しパターンの溝を設けることよりも容易であるということである。従って、本発明を使用するときに得られる別の利点は、軸受シャフト及び／又は軸受ブッシュの製造が容易になることである。
【００２７】
軸受シャフト及び軸受ブッシュの素地は、軸受の動作条件に合致したモリブデン、鋼、タングステン、又は他の任意の適切な金属又はプラスチックである。
潤滑剤１０６は、軸受シャフトと軸受ブッシュとの間の熱伝達、耐熱性、電気導伝性、熱伝導性が要求される高性能用途では液体金属（金属共晶）として供給される。このような液体金属は、室温で液体合金であり、且つ最大１３００℃までの温度で液体のままである金属共晶として知られている。金属共晶は、ガリウム、インジウム、及びスズのうちの少なくとも１つを含むことができる。例えば、金属共晶は、ガリウム、インジウム、及びスズを含む「ガリンスタン(galinstan)」である。
あまり要求の厳しくない状況では、流体動圧軸受での使用に適した流体性能を有する他の潤滑剤が、本明細書に記載の教示から逸脱することなく使用することができる。具体的には、油又はエステル油等の炭化水素由来物が使用される。あるいはまた、シリコーンオイルを使用することができる。
【００２８】
本発明の実施形態によれば、軸受ギャップは、真空シールされる。
材料の流体滑り特性に差がある所定範囲の材料を適用して、第１領域１１４及び第２領域１１６を形成することができる。
本願の文脈では、流体滑り特性の実質的な差は、本明細書における以下の理論的な説明で規定されるように、潤滑剤にポンピング動作をもたらす差として規定される。
本発明の実施形態によれば、軸受面１１０，１１２の１つ又は複数に含まれる第１領域１１４及び／又は第２領域１１６が、流体動圧軸受の回転軸線の周りに螺旋状パターン、ヘリンボーンパターン、又は曲線パターンで配置されるような流体動圧軸受が、提供される。
【００２９】
本発明の実施形態に係る軸受装置は、アキシャル軸受、ラジアル軸受、又はこの２つの組合せを含む。
本発明の実施形態によれば、流体動圧軸受は、アキシャル軸受を含む。
本発明の実施形態によれば、流体動圧軸受は、ラジアル軸受を含む。
次のセクションでは、アキシャル軸受（スラスト軸受）の領域上に交互配置パターンを蒸着することについて検討する。また、スラスト軸受としても知られているアキシャル流体動圧軸受は、軸受シャフトが軸受ブッシュに対して回転する際に、揚力を軸受に形成するように構成される。この揚力は、交互配置パターンによって、最も好ましくは軸受シャフトのカラー又は軸受ブッシュ又は両方に配置された螺旋状パターンによってスラスト軸受に生じる潤滑剤中のポンプ作用によって、潤滑流体に作用する圧力によって引き起こされる。
【００３０】
本発明の実施形態によれば、アキシャル（スラスト）軸受の領域において、軸受シャフトは、カラーを含み、軸受ブッシュは、カラーを収容するためのスラストディスクを含む。カラーは、軸受シャフトの周りに環状の形態で存在する。
カラー及びスラストディスクは、一緒に、アキシャル軸受を形成するように構成される。カラーは、環状の形態の第１及び第２外面を有する。第１及び第２外面は、軸受シャフトの軸線に対して略垂直であり、円筒断面の形態の第３面によって接続される。第３面は、軸受シャフトの軸線に対して略平行である。
【００３１】
この実施形態では、軸受ブッシュ上のスラストディスクは、主軸受面を含み、軸受シャフト上のカラーは、二次軸受面を含む。この実施形態では、主軸受面、二次軸受面、及び介在する潤滑剤の組合せは、第１の軸受装置とみなすことができる。
軸受ブッシュは、カラーの第１外面に対向する第４環状面を含む。軸受ブッシュは、第３面に対向する第５円筒状断面を含む。軸受ブッシュは、第２面に対向する第６環状面を含む。
第１面と第４面との間の界面、第３面と第５面との間の界面、第２面及び第６面との間の界面のうちのいずれかの１つ又は全てには、軸受シャフトと軸受ブッシュとの間に設けられた軸受装置がある。
【００３２】
先に一緒に又は個別に規定したように、第１面、第２面、及び第３面は、（軸受シャフト上の）二次軸受面を含む。
先に一緒に又は個別に規定したように、第４面、第５面、及び第６面は、（軸受ブッシュ上の）主軸受面を含む。
第１面〜第６面の任意の組合せ、又は単独の第１面〜第６面は、第１の流体滑り特性を有する第１領域、及び第１の流体滑り特性とは実質的に異なる第２の流体滑り特性を有する第２領域を含み、第２及び第１領域は、主軸受面及び二次軸受面の上に交互配置パターンで、好ましくは螺旋溝パターンで配置される。
【００３３】
実施形態によれば、交互配置パターンは、第２の表面に塗布される。こうして、第６面に対する軸線方向のスラスト力が、潤滑剤に誘起される。
実施形態によれば、交互配置パターンは、第６面に、好ましくは螺旋状パターンとして塗布される。こうして、第２面に対する軸線方向のスラスト力が、潤滑剤に誘起される。
実施形態によれば、交互配置パターンは、第１面に塗布される。こうして、第４面に対する軸線方向のスラスト力が、潤滑剤に誘起される。実施形態によれば、交互配置パターンは、第４面に塗布される。こうして、第１の面に対する軸線方向のスラスト力が、潤滑剤に誘起される。
【００３４】
実施形態によれば、交互配置パターンは、第１及び第２面に組み合わされて塗布される。こうして、第４及び第６面に対する軸線方向のスラスト力が、潤滑剤に誘起される。代替的に、又は組み合わせて、交互配置パターンは、第４及び第６面に組み合わされて塗布される。こうして、第１及び第２面に対する軸線方向のスラスト力が、潤滑剤に誘起される。
好ましい実施形態によれば、交互配置パターンは、螺旋状パターンとして塗布することができる。
軸受シャフト１０２と軸受ブッシュ１０４との間に相対的な回転が確立される場合に、第１の流体滑り特性及び第２の流体滑り特性を有する領域から構成される交互配置パターンによって確立される潤滑剤１０６自体のポンプ作用によって、軸受ブッシュ又は軸受シャフトのいずれかを持ち上げる圧力が生じる。
【００３５】
回転速度が増大するにつれて、この力は、軸受ブッシュ又は軸受シャフトが潤滑剤の薄いクッションの上に浮いている場合に、軸受ブッシュ又は軸受シャフトのいずれかを軸受の所定の位置に持ち上げるのに十分になるであろう。こうして、流体動圧軸受は、この軸受が回転し始めると、負荷を支持することができる。この支持が発生する回転速度は、第１及び第２領域の交互配置パターン、軸受の幾何学的形状、交互配置パターンと潤滑剤１０６との間の湿潤性相互作用、軸受部品の表面特性、軸受の位置合せ、回転速度、及び表面速度によって生成される揚力によって影響される。
【００３６】
有利には、前述した実施形態によれば、表面上の交互配置パターンは、アキシャル軸受の好適な回転動作速度について、好適な回転速度で発生するスラスト力が、陽極ディスク又はハードドライブ・プラテン等の所望の軸方向の軸受負荷と軸受ポンプ作用との力のバランスを提供するのに十分であるように設計される。
実施形態によれば、交互配置パターンは、好ましくはヘリンボーンパターンとして、第３面、第５面、又は第３及び第５面に組み合わされて塗布される。
こうして、軸受シャフトのカラー端部を安定化させるのに役立つ第５及び第３面に対するラジアル力が生成される。
【００３７】
本発明の実施形態によれば、流体動圧軸受は、ラジアル軸受を含む。
次のセクションでは、ラジアル軸受（ジャーナル軸受）の領域上に交互配置パターンを蒸着することについて検討する。このセクションの目的のために、ヘリンボーン又は曲線パターンを含む交互配置パターンについての参照は、アキシャル軸受に関する本発明の実施形態に適用されないことは明らかである。
また、ジャーナル軸受としても知られているラジアル流体動圧軸受は、軸受ブッシュが回転する際に、軸受シャフトの間の潤滑剤にラジアル力を形成するように構成される。こうして、ジャーナル（軸受シャフト１０２）、軸受ブッシュ、及び介在する潤滑剤の組合せは、軸受ブッシュが主軸受面１１０であり、且つジャーナル（軸受シャフト１０２）が二次軸受面であるような第２の軸受装置となる。
【００３８】
第２の軸受装置が相対的な回転を受けるときに、力が、軸受面に作用する。これは、軸受シャフト（ジャーナル）、又は対応するブッシュ、又はその両方に配置された交互配置パターンによって生じる、潤滑剤に誘起されるポンプ作用によるものである。最も好ましくは、交互配置パターンは、ヘリンボーン又は曲線パターンである。
軸受シャフト（ジャーナル）の軸線が軸受の軸線に対して完全に整列されたときに、第２の軸受装置の任意の部分におけるポンプ作用により潤滑剤に発生する力は、ジャーナルの反対側の力とバランスされる。従って、軸受シャフトが軸受ブッシュに対して一切偏心していない状況では、力は、バランスしている。ジャーナルが偏心を示し始めると、軸受ブッシュに近接して延びるジャーナル側の増大する圧力は、ラジアル軸受を偏心のない状態に再び戻すように移動させるように機能する。
【００３９】
ラジアル軸受及びアキシャル軸受を組み合わせる実施形態では、ラジアル軸受は、軸受ギャップ内の潤滑剤をアキシャル軸受に再循環させるポンプ作用を行うようにも機能する。
軸受ブッシュ（主軸受面）と軸受シャフト（二次軸受面）との間に設けられた第２の軸受装置は、軸受ブッシュに配置された第７面、及び軸受シャフト（ジャーナル）に配置された第８面を含む。
実施形態によれば、交互配置パターンは、第７面に塗布される。こうして、ジャーナルに対する半径方向スラスト力が、潤滑剤に誘起される。実施形態によれば、交互配置パターンは、第８面に塗布される。こうして、軸受ブッシュに対する半径方向スラスト力が、潤滑剤に誘起される。
実施形態によれば、交互配置パターンは、第７及び第８面に塗布される。こうして、半径方向スラスト力が、潤滑剤に誘起される。
【００４０】
好ましい実施形態によれば、ラジアル軸受の表面上の交互配置パターンは、ヘリンボーン又は曲線パターンとすることができる。
ラジアル軸受に関する実施形態によれば、ジャーナル、又は軸受ブッシュ、ジャーナルを３つの等しい部分に分割する、交互配置パターンを有さない２つの分離溝が提供される。
前述したセクションでは、別々のアキシャル（スラスト）軸受及びラジアル（ジャーナル）軸受の詳細な実施形態について議論した。いずれの場合も、主軸受面及び／又は二次軸受面は、第１の流体滑り特性を有する第１領域、及び第１の流体滑り特性とは実質的に異なる第２の流体滑り特性を有する第２領域を含むことを理解するべきである。第２及び第１領域は、主軸受面及び／又は二次軸受面の上に交互配置パターンで配置される。
これは、スタンドアロン型アキシャル軸受及びラジアル軸受に関して既に説明した有利な動作を提供する。
【００４１】
本発明の実施形態によれば、先に説明したアキシャル軸受（及びその下位の実施形態）、及びラジアル軸受（及びその下位の実施形態）は、追加の相乗効果を提供するために、同じの流体動圧軸受に結合される。
本発明の実施形態によれば、流体動圧軸受は、先に説明したアキシャル軸受及びラジアル軸受の実施形態の任意の組合せで説明したようなアキシャル軸受及びラジアル軸受を有する。
【００４２】
図２は、本発明の実施形態に係る、アキシャル（スラスト）軸受及びラジアル軸受を同じ流体動圧軸受に組み合わせた状態を示す。図２では、アキシャル軸受４０１及びラジアル軸受４０２を有する流体動圧軸受４００が、示されている。潤滑剤４０８が、軸受ギャップに存在する。軸受は、図１の軸受シャフト１０２に相当する軸受シャフト４１０の間に形成される。軸受シャフトは、図１の軸受ブッシュ１０４に相当する軸受ブッシュ４０６内に含まれる。図２の実施形態では、軸受シャフト４１０は、図１の軸受シャフト１０２に相当する。
【００４３】
図２の実施形態の軸受シャフト４１０は、２つの軸受装置を有する。アキシャル（スラスト）軸受４０１の第１の軸受装置は、軸受シャフト４１０のカラーと軸受ブッシュ４０６のスラストディスクとの間に形成される。ラジアル軸受４０２の第２の軸受装置は、軸受シャフト４１０の半径方向面及び軸受ブッシュ４０６により形成される。
アキシャル（スラスト）軸受４０１は、軸受シャフト４１０上に配置された主軸受面、及び軸受ブッシュ４１８上に配置された二次軸受面を含む。主軸受面、及び二次軸受面、又は両方は、第１の流体滑り特性を有する第１領域１１４、及び第１の特性とは実質的に異なる第２の流体滑り特性を有する第２領域１１６を含む。第１及び第２領域は、主軸受面及び／又は二次軸受面の上に交互配置パターンで配置される。
【００４４】
交互配置パターンは、図１の実施形態に関して説明したように、螺旋状パターン又は対数螺旋状パターン、又は当業者に明らかな適切なバリエーションの形態を取る。
アキシャル軸受の第１面〜第６面を規定する上述した代替実施形態、及び交互配置パターンのアキシャル軸受への配置の変形形態は、図２の実施形態のアキシャル軸受部４０１との組合せにも適用可能である。
別の主軸受面が軸受シャフト４１０のラジアル部分に配置され、及び別の二次軸受面４０６が軸受ブッシュ４０６のラジアル部分に配置されたラジアル軸受４０２が、図２に示される。図２に示される実施形態では、主軸受面は、分離ギャップ４１４によって、第１の主軸受面４１２と第２の主軸受面４１６とに分割される。第１の主軸受面及び第２の主軸受面は、第１及び第２領域を含む交互配置パターンを有し、ここで第１領域は、第１の流体滑り特性とは実質的に異なる流体滑り特性を有する。
【００４５】
分離ギャップによって、第１の主軸受面と第２の主軸受面とを分離する。次に、第１の主軸受面及び第２の主軸受面は、独立した２つのラジアル軸受として機能する。分離ギャップは、第１の軸受面と第２の軸受面との間に相互作用がないことを意味する。これは、安定性の理由のために有利である。
代替実施形態では、軸受シャフト４１０のラジアル部分は、分離ギャップを有していない。つまり、ラジアル部分は、交互配置パターンを有する単一の主軸受面を有する。
第１の主軸受面４１２、及び第２の主軸受面４１６は、ヘリンボーン、非対称なヘリンボーン、又は曲線パターンである。
【００４６】
先に説明した流体動圧軸受４００の動作について、ここで説明する。静止位置にあるときに、軸受シャフトは、沈降しており、軸受ブッシュと接触している。潤滑剤は、軸受ギャップの部分に沈降している。回転力が軸受シャフト４１０に加えられた場合に、ポンプ作用は、軸受面の上に交互配置パターンで配置された第１及び第２領域によって潤滑剤に誘起されることになる。軸受シャフトのラジアル部分と軸受ブッシュとの間に発生する力によって、シャフトを安定化させる。アキシャル軸受では、別のポンプ作用は、軸受シャフトのカラー又は軸受ブッシュのスラストディスクのいずれかに力を加えて互いに離れさせるように機能する（上述した実施形態に従って主軸受面及び二次軸受面の配置に依存する）。こうして、シャフトは、潤滑剤のクッションの上に浮揚する。
【００４７】
本発明の実施形態によれば、第１領域と第２領域との間の流体滑り特性の差は、少なくとも２５％である。代替的な実施形態によれば、第１領域と第２領域との間の流体滑り特性の差は、少なくとも１５％である。代替的な実施形態によれば、第１領域と第２領域との間の流体滑り特性の差は、少なくとも５０％である。本発明の実施形態によれば、主軸受面及び／又は二次軸受面の上に配置された交互配置パターンは、螺旋状パターンである。
本発明の実施形態によれば、流体動圧軸受は、先に説明したようなアキシャル軸受及び／又はラジアル軸受を有する。潤滑剤は、軸受部品の相対的な摺動運動と異なる滑り特性を有するコーティングとによって生じるポンプ作用の自己シール作用によって軸受システム内に維持される。
【００４８】
図３Ａは、アキシャル流体動圧軸受に使用するのに適した螺旋状パターンを示す。暗い領域１２０が、第１の流体滑り特性を有する領域を表し、領域１２２は、第２の流体滑り特性を有するアキシャル軸受の領域を示す。これらの流体滑り特性は、互いに実質的に異なる。
アキシャル軸受の軸受ブッシュ又は軸受シャフトは、代替的なパターンを使用することができ、相対的な移動が潤滑剤の存在下で発生した場合に、軸線方向のスラスト力が、軸受ブッシュと軸受シャフトとの間で発達する。例えば、対数螺旋状パターンを適用することができる。
【００４９】
上述したように、軸受装置をラジアル軸受として提供することも知られている。ラジアル軸受は、軸受シャフト１０２の外側、又は軸受ブッシュ１０４の内側、又はその両方の周りにヘリンボーン又は曲線溝のパターンで提供される。この場合には、交互配置パターンは、主軸受面、又は二次軸受面、又はその両方に配置されたヘリンボーン又は曲線パターンである。
【００５０】
図３Ｂは、第１の流体滑り特性を有する第１領域１２４と、第１の流体滑り特性とは実質的に異なる第２の流体滑り特性を有する第２領域１２６とを含む軸受シャフト１０２の等角図を示す。ラジアル軸受は、軸受ブッシュ１０４の内側に設けることができる。
動作時には、軸受シャフト又は軸受ブッシュの回転によって、先に述べた技術的原理に従ってラジアル軸受と接触している潤滑剤自体にポンプ作用が誘起される。
従って、本発明の実施形態によれば、第１領域（１１６）は、第１の材料の実質的に平坦なコーティングから形成され、及び第２領域（１１６）は、第２の材料の実質的に平坦なコーティングにより形成される。
【００５１】
第１及び第２領域は、プラズマ蒸着又は化学蒸着等の当業者に公知の処理により軸受ブッシュ又は軸受シャフト上にコーティングすることができる。このような処理によって、簡易な製造ステップで得られる交互配置パターンの正確な蒸着が可能になる。
本発明の実施形態によれば、第２の流体滑り特性を有する第２の材料が、軸受シャフト１０２及び／又は軸受ブッシュ１０４の素地であるような流体動圧軸受１００が、提供される。
先に説明したように、高性能流体動圧軸受の素地の例は、モリブデン又はタングステン等の金属である。モリブデンの流体滑り特性は、化学エッチング、カーバイド粉を用いたブラスト処理、又は熱処理等の処理によって調整することができる。
【００５２】
実施形態では、第１の材料は、第２領域を素地として露出したままにして、交互配置パターンで蒸着される。第１の材料は、液体金属潤滑剤によって湿潤されていない。剥き出しの素地（モリブデン等の金属）が、液体金属潤滑剤によって湿潤される。
そこで、この実施形態によれば、軸受シャフト、軸受ブッシュ、又は両方に塗布するために１つのコーティングのみが必要になる。第１の流体滑り特性とは実質的に異なる流体滑り特性は、その潤滑剤が軸受シャフト１０２及び／又は軸受ブッシュ１０４の素地の上を通過する際に、潤滑剤の作用によって生じる。
本発明の実施形態によれば、第１領域１１４の厚さが５ミクロン（μｍ）未満である流体動圧軸受１００が、提供される。好ましい実施形態によれば、第１領域の厚さが２ミクロン未満である流体動圧軸受１００が、提供される。別の実施形態によれば、第１領域の厚さが１ミクロン未満である流体動圧軸受が、提供される。
【００５３】
図４は、主軸受面及び／又は二次軸受面の上に交互配置パターンで配置された第２及び第１領域のコーティング技術のいくつかの代替実施形態を示す。
図４Ａでは、ヘリンボーンパターンを含むコーティング技術の好適な実施形態が示されており、第１領域１１４は、ヘリンボーンパターンの単一材料のコーティングとして提供される。第２領域１１６は、第２の流体滑り特性を有するコーティング、又は軸受ブッシュ又は軸受シャフトの素地のいずれかを含む別の単一材料の領域として提供される。
図４Ｂは、交互配置パターンを含むコーティング技術の代替実施形態を示しており、第１領域１１４は、ヘリンボーンパターンで蒸着された菱形状の領域の分布を含み、第２領域１１６は、ヘリンボーンパターンの第２のコーティング又は軸受シャフトの素地としてのいずれかで形成される。
【００５４】
図４Ｃでは、コーティング技術の代替実施形態が示されており、第１領域１１４は、ヘリンボーンパターンに準拠したドット形成で軸受シャフト又は軸受ブッシュ上に蒸着する第１の流体の滑り特性を有する一連の第１領域として提供され、第２領域は、第２のコーティング及び／又は軸受シャフト又は軸受ブッシュの素地として提供される。
図４Ｄでは、コーティング技術の代替の実施形態が示されており、第１領域は、ヘリンボーンパターンの方向に延びる菱形領域として提供され、第２領域は、第２のコーティング、又は軸受シャフト又は軸受ブッシュの素地のいずれかとして提供される。
螺旋状の溝パターン又は曲線パターン等の他のパターンは、図４に示した原理に従って提供してもよい。潤滑剤中にポンプ作用を誘起する交互配置パターンの技術的な動作は、依然としてこれらのコーティングの実施形態で保たれる。第１の流体滑り特性を有する第１領域１１４は、依然としてポンプ作用を誘起するように動作する。
【００５５】
図５Ａ〜図５Ｆは、主軸受面及び二次軸受面の分布の代替の実施形態を示す。図面は、軸受の中心軸を通る軸受装置の断面図である。そのため、軸受部品のコーティングの位置のみが示されている。
図５Ａ〜図５Ｆでは、第１の流体滑り特性を有する第１領域は、ハッチング１２８で示されており、第２の流体滑り特性を有する第２領域は、ハッチング１３０で示されている。
図５Ａは、流体動圧軸受１００、軸受ブッシュ１０４、及び軸受シャフト１０２を示す。主軸受面１１０が、軸受ブッシュ１０４上に配置される。二次軸受面１１２が、軸受ブッシュ上に配置される。
【００５６】
図５Ａは、アキシャル軸受コーティングの好ましい実施形態を示しており、互いに実質的に異なる流体滑り特性を有する第１領域１１４及び第２領域１１６を含む二次軸受面１１２が、軸受シャフトに形成されたスラスト軸受のカラーに配置される。
図５Ｂは、アキシャル軸受の代替実施形態を示す。この場合に、スラスト軸受は、軸受シャフト１０２のカラーに対向するように、軸受ブッシュに配置された第１及び第２領域の螺旋状パターンによって形成される。
図５Ｃは、本発明の実施形態に係るラジアル軸受を示す。図５Ｃでは、二次軸受面１１２は、軸受シャフトの周りに配置される。第１及び第２領域は、軸受シャフトの周りにヘリンボーン、曲線、又は相当するパターンで配置される。
【００５７】
図５Ｄは、本発明の代替実施形態に係る別のラジアル軸受を示す。図５Ｄでは、主軸受面１１０は、軸受ブッシュの表面にラジアル軸受を形成するように配置される。こうして、第１領域及び第２領域は、ヘリンボーンパターン等の交互配置パターンで軸受ブッシュの内側の上に配置される。
図５Ｅは、本発明の別の代替実施形態を示す。図５Ｅでは、主軸受面１１０は、スラスト軸受及びラジアル軸受の両方を軸受シャフト１０２の表面に形成する。
図５Ｆは、本発明の代替実施形態を示す。この実施形態では、主軸受面１１０は、軸受ブッシュ１０４上に配置され、二次軸受面１１２は、軸受シャフト１０２上に配置される。この実施形態では、軸受シャフト及び軸受ブッシュの両方の上にスラスト軸受及びラジアル軸受が存在する。
【００５８】
本発明の実施形態によれば、交互配置パターンの第１領域１１４及び／又は第２領域１１６が、主軸受面１１０及び二次軸受面１１２の第１部分１２７及び第２部分１２９に提供され、第１及び／又は第２領域は、分離領域１２５によって分割される流体動圧軸受１００が、提供される。
図３Ｂを参照すると、ヘリンボーンパターンの形態の２つの交互配置パターンが、示されるラジアル軸受面の第１部分１２７及び第２部分１２９に提供されることが確認される。２つのヘリンボーンパターン同士の間の幅広の分離領域１２５も提供される。また、ラジアル軸受によって提供されるポンプ作用は、分離領域の存在によって改善される。
【００５９】
図６Ａは、本発明の実施の形態に係る軸受面の断面を示す。第１の流体滑り特性を有する第１領域１１４及び第２の流体滑り特性を有する第２領域１１６の交互配置パターンでコーティングされた軸受面が、示されている。図６Ａでは、寸法ｄ１は、第１、第２、及び／又は両方のコーティングの厚さを表す。実施形態において、ｄ１は、５μｍ未満である。代替実施形態において、ｄ１は、２μｍ未満である。別の実施形態において、ｄ１は、１μｍ未満である。
図６Ｂは、第１領域１１４のみが軸受面上に蒸着され、第２の流体滑り特性を有する第２の材料が軸受シャフト１０２及び／又は軸受ブッシュ１０４の素地である状況を示している。確認されるように、コーティング厚さは、寸法ｄ２によって示される。実施形態において、ｄ２は、５μｍ未満である。更なる実施形態において、ｄ２は、２μｍ未満である。最後に、実施形態において、ｄ２は、１μｍ未満である。
【００６０】
図６Ａでは、第１領域１１４及び第２領域１１６は、実質的に平坦な表面を有する。従って、このようにコーティングされた軸受面１１０又は１１２は、潤滑剤１０６に無視できるほど小さいせん断応力を及ぼすであろう。図６Ｂでは、第１領域１１４が軸受面１１０，１１２から離れる方向に突出する距離ｄ２は、無視できるほど小さいせん断応力を潤滑剤１０６で受ける。
【００６１】
本発明の実施形態によれば、軸受ブッシュ１０４及び軸受シャフト１０２が、円錐軸受２００、又は球面軸受２０２として提供される流体動圧軸受１００が、提供される。
図７Ａは、軸受ブッシュ１０４及び軸受シャフト１０２を含む球面軸受２０２を示す。軸受シャフトは、略半球の形態で提供される。軸受ブッシュ１０４は、半球状のソケットである。軸受ブッシュ及び軸受シャフトは、シール可能に接続される。ギャップ２０４によって、潤滑剤１０６を受容する。交互配置パターン２０６が、半球状の軸受シャフトの表面の周りに設けられる。この交互配置パターンは、半球状のソケットの表面にも設けることができる。先に述べた場合のように、交互配置パターンは、第１の流体滑り特性を有する第１領域１１４、及び第２の流体滑り特性を有する第２領域１１６を含む。先に概説した動作原理によれば、軸受シャフト及び／又は軸受ブッシュの回転によって生じる表面同士の間の相対的な移動によって、主軸受面及び二次軸受面と接触する潤滑剤自体にポンプ作用が誘起される。ポンプ作用は、交互配置パターンの第１の及び第２の材料と接触する潤滑剤のそれぞれの部分同士の間の流体滑り特性の差によって誘起される。
【００６２】
図７Ｂは、軸受シャフト１０２及び軸受ブッシュ１０４を有する円錐軸受２００を示す。軸受シャフト１０２は、円錐の形態であり、軸受ブッシュは、円錐ソケットの形態である。軸受ブッシュ及び軸受シャフトは、シール可能に接続される。第１の流体滑り特性を有する第１領域１１４及び第１の流体滑り特性とは実質的に異なる第２の流体滑り特性を有する第２領域１１６の交互配置パターンを含む円錐形態の軸受シャフト１０２が示されている。上述したように、軸受シャフト及び／又は軸受ブッシュの回転によって生じる主軸受面と二次軸受面との間の相対的な移動によって、主軸受面及び二次軸受面と接触する潤滑剤自体にポンプ作用が誘起される。ポンプ作用は、交互配置パターンの第１の及び第２の材料と接触する潤滑剤のそれぞれの部分同士の間の流体滑り特性の差によって誘起される。
【００６３】
本発明の実施形態によれば、第１領域１１４が超ナノ結晶性ダイヤモンド膜でコーティングされた流体動圧軸受が、提供される。
超ナノ結晶ダイヤモンドは、１２ナノメートル（ｎｍ）未満の二乗平均粗さを有する表面で、利用可能な最も滑らかなダイヤモンド膜のうちの１つである。従って、そのダイヤモンド膜は、非常に高い流体滑り特性を有する。
本発明の実施形態によれば、第１及び／又は第２領域が、二硫化モリブデン、アモルファスカーボン、四面体配位アモルファスカーボン、多結晶ダイヤモンド、及びタングステンのグループから選択される任意の材料のコーティングを含むような流体動圧軸受１００が、提供される。
【００６４】
これらの材料は、異なる流体滑り特性を有する。主軸受面及び／又は二次軸受面の上に交互配置パターンの第２及び第１領域を塗布することによって、流体滑り特性の差を提供することが可能になる。
本発明の実施形態によれば、第１領域１１４及び／又は第２領域１１６の主軸受面が複数の隆起部１７２及び溝部１７４を有する第１の溝部１７０をさらに含み、第１領域のコーティングが、第１の溝部の溝部に塗布される流体動圧軸受１００が、提供される。
【００６５】
図８は、本発明のこの実施形態を示している。第１又は第２領域のいずれかの主軸受面に含まれる素地１７６の断面が示されている。レーザエッチング、化学エッチング、又は当業者に公知の他の方法を用いて製造された複数の溝が、軸受面に設けられる。第１領域のコーティングは、溝部１７４内に塗布される。
矢印によって示される距離ｄ３及びｄ４で示されるように、溝部１７４の深さは、第１領域１１４のコーティングの高さよりもはるかに大きい。先に述べたように、第１領域のコーティングの厚さｄ４は、１０μｍ未満、５μｍ未満、又は２μｍ未満である。比較するために、溝の深さｄ３は、１５μｍより大きい。
従って、第１領域１１４に塗布されるコーティングの厚さと溝の厚さとの間に有意な差があることが分かる。
【００６６】
溝の組合せ及び溝内の滑りコーティングの組合せは、溝の効果及び滑りコーティングの効果の組み合わせとなる。こうして、低い摩擦損失において、より大きな負荷担持能力によって明らかになる軸受性能の向上が見られる。
以上の説明では、本発明の基本的な考え方は、第１の流体滑り特性を有する第１領域１１４、及び第１の流体滑り特性とは実質的に異なる第２の流体滑り特性を有する第２領域１１６を含む軸受面を提供することであることについて述べた。第２及び第１領域は、主軸受面及び／又は二次軸受面の上に交互配置パターンで配置される。軸受シャフト及び／又は軸受ブッシュの回転によって生じる主軸受面と二次軸受面との間の相対的な移動によって、主軸受面及び二次軸受面と接触する潤滑剤自体にポンプ作用が誘起され、ポンプ作用は、交互配置パターンの第１の及び第２の材料と接触する潤滑剤のそれぞれの部分同士の間の流体滑り特性の差によって誘起される。
【００６７】
従って、本質的には、交互配置の異なるコーティングの流体滑り特性の差によって、流体ポンプ作用を確立することができる。このポンプ作用は、流体と接触する溝によって流体に確立されるポンプ作用に類似している。これは、流体動圧軸受の溝を、異なる流体滑り特性を有する交互配置されたコーティングの領域に置き換えることを可能にする。
この原理について、さらに以下で解説する。
【００６８】
図９Ａは、潤滑流体を封入する上部軸受面１８０及び下部軸受面１８１を示している。下部軸受面は、溝を含み、上部軸受面に対して移動するように構成される。このような表面は、典型的には、（自動式(self-acting)）流体動圧軸受で見受けられる。自動式軸受は、（アキシャル又はスラスト軸受に）螺旋状パターンで配置された溝、及び／又はヘリンボーンパターンで配置された溝を含むラジアル軸受を有する。以下の解析で行われる仮定は、これらの場合に、そして当業者に明らかであろう他の変形形態に有効である。
【００６９】
図示の状況では、従来の流体動圧軸受内の流体の圧力ｐは、レイノルズ方程式（１）によって特徴付けられる。
【数１】
0006266121.tif 000002
下部軸受面１８０は、高さｈｇを有する溝を含む。溝の頂部と上部軸受面との間の距離は、ｈ０である。軸受ギャップ１８２には、圧力ｐを有する潤滑剤等の流体が含まれている。軸受面は、速度
【数２】
0006266121.tif 000003
で上部軸受面に対して移動する。溝の頂部と溝の底部との間の距離、つまり溝の深さは、ｈｇである。
【００７０】
このため、軸受面同士の間の距離は、溝の位置によって異なっている。従って、隆起部の位置における軸受面同士の間の距離がｈ０である場合に、溝の底部の位置における距離は、ｈ０＋ｈｇである。当業者に知られているように、上部軸受面１８０と下部軸受面１８１との間の領域における隆起部と溝との間の変動が図９Ａに示されるようになる場合に、ポンプ作用は、軸受が自動的に動作する(self-acting)ように、潤滑剤中に生成される。
高い滑り特性を有する材料を用いてコーティングされた軸受の潤滑剤中の圧力ｐを決定するための修正レイノルズ方程式は、Salant  &  Fortierによる”Tribology  Transactions”,  47,  pp.  328-334,  2004に、以下のように記載されている。
【数３】
0006266121.tif 000004
【００７１】
前述したパラメータに加えて、αは、軸受材料の滑り係数であり、及びτｃは、流体における臨界せん断応力である。τｃ＝０を設定することにより、上記の引用された式は、以下の式に単純化される。
【数４】
0006266121.tif 000005
【００７２】
方程式（３）を方程式（１）と比較することによって、「滑り」形式の動作を示す材料でコーティングされた表面を含む軸受において、臨界せん断応力をゼロに設定することで、レイノルズ方程式（１）と同様の式が得られていることが明らかになる。表面にすべりがない場合には、α＝０となり、方程式（３）の大括弧(square  bracketed)の項が１(unity)に単純化され、元のレイノルズ方程式になる。完全を期すため、滑りを有する表面では、α＝１である。
【００７３】
図９Ｂは、本発明に係る軸受面を示す。潤滑剤（液体）で充填された軸受ギャップを取り囲む下部軸受面１８５及び上部軸受面１８４が存在する。換言すれば、下部軸受面１８５は、主軸受面１１０に対応し、上部軸受面１８４は、二次軸受面１１２に対応する。溝の頂部と溝の底部との間の距離、つまり溝深さは、ｈｇである。潤滑流体は、圧力ｐで保持される。下部軸受面１８５は、速度
【数５】
0006266121.tif 000006
で上部軸受面に対して移動する。
【００７４】
流体滑りは、流体−固体相互作用により生じる。流体の態様、表面、及び流れ条件は、これらによって受ける滑り特性に影響を及ぼし得る。流体の観点から、粘度、降伏応力、及び密度等の要因が、その役割を果たし得る。表面の観点では、表面の材料及び組成、及び異なる材料の蒸着が、その役割を果たし得る。異なる湿潤性、又は粗さを有する材料が、その役割を果たし得る。
滑り長さは、流体−固体界面での液体滑りの大きさの尺度である。これは、その界面に対する流体速度が消滅する固体内部の外挿距離として規定される。滑り長さの報告値は、数μｍ、及び数ｎｍの範囲である。
第１の流体滑り特性α１を有する第１領域及び第２の流体滑り特性α２を有する第２領域が、下部軸受面１８５上に配置される。
【００７５】
本発明の実施形態では、第１及び第２領域の流体滑り特性は、実質的に異なるが、この解析のために、α１及びα２について、任意の値を想定する。図９Ｂに確認されるように、第１領域及び第２領域は、下部軸受面１８５（主軸受面１１０）の上に交互配置パターンで配置される。
軸受面がパターンを含む場合に、第１領域１１４は、「滑り」面を有する材料を含み、第２領域１１６は、潤滑領域と接触する「滑らない」面を有する材料を含む。この場合に、以下の条件が、例として存在している。
α１＝１；  α２＝０                                （４）
【００７６】
この場合に、図９Ｂの軸受の長さは、潤滑剤の小滴又は部分によって横断され、この小滴又は部分と接触する第１及び第２領域のコーティングは、交互配置され、その表面の一部と接触する潤滑剤のそれぞれの部分に異なる滑り特性を提示する。換言すれば、方程式（３）の項ｈ３［１＋３αμ／（ｈ＋αμ）］について、軸受面１８５を横断する際に、ｈ３〜ｈ３［１＋３αμ／（ｈ＋αμ）］＞ｈ３に交互に、及び逆に変化する。同様に、方程式（３）の項ｈ［１＋αμ／（ｈ＋αμ）］について、軸受面１８５を横断する際に、ｈ〜ｈ［１＋αμ／（ｈ＋αμ）］＞ｈに、及び逆に変化する。
【００７７】
第１及び第２領域の交互配置パターンを横切る横断動作が進行するにつれて、図９Ａの従来の隆起部−溝部軸受の上部軸受面１８０と下部軸受面１８１との間の距離の変化に類似する特徴的な方程式（３）の項が交互に発生することに留意されたい。
方程式（３）の第１項では、ｈ３は、ｈ０３〜（ｈ０＋ｈｇ）３＞ｈ０３に、及び逆に変化する。方程式（３）の第２項では、ｈは、ｈ０〜（ｈ０＋ｈｇ）＞ｈ０に、及び逆に変化する。
従って、軸受面に交互配置パターンで設けられた「滑り」及び「滑りなし」領域の配置は、隆起部及び溝部のパターンのような潤滑剤に類似した効果を示すことが明らかに分かる。潤滑剤中のこのようなパターンの相対的な移動によって、ポンプ作用を潤滑剤中に誘起させる。
【００７８】
この理論を拡張することができる。例えば、ラジアル軸受の表面上の「滑り」及び「滑りなし」領域のヘリンボーンパターンは、隆起部及び溝部から構成されるヘリンボーンパターンと実質的に同じ効果がある。アキシャル軸受の表面上の「滑り」及び「滑りなし」領域の螺旋状パターンは、隆起部及び溝部から構成される螺旋状パターンと実質的に同じ効果がある。
同じ論法は、「高滑り」及び「低滑り」領域から構成される交互配置パターンにも適用することができる。換言すれば、高滑り領域が、α１として選択され、低滑り領域が、α２として選択される。本発明の実施形態では、これらの値の間に実質的な差がある。これらの条件について、方程式（３）の項の変化は、
ｈ３［１＋３α１μ／（ｈ＋α１μ）］〜ｈ３［１＋３α２μ／（ｈ＋α２μ）］＞ｈ３［１＋３α１μ／（ｈ＋α１μ）］                                （７）
の間で、及び
ｈ［１＋α１μ／（ｈ＋α１μ）］〜ｈ［１＋α２μ／（ｈ＋α２μ）］＞ｈ［１＋α１μ／（ｈ＋α１μ）］                                          （８）
の間で発生する。
【００７９】
この変化は、１つの交互配置領域で又は異なる流体滑り特性を有する複数の領域に関して行われるが、当業者によって理解されるように、上部軸受面１８４が、異なる流体滑り特性を有する交互配置された領域でコーティングされた場合に、同様の効果は、先の説明に従って、上部軸受面に接触する潤滑部に誘起されるであろう。
従って、主軸受面及び／又は二次軸受面が、第１の流体滑り特性を有する第１領域、及び第１の流体滑り特性とは実質的に異なる第２の流体滑り特性を有する第２領域を含む軸受を提供することにより、流体動圧軸受を提供することができることが示されている。第２及び第１領域は、主軸受面及び／又は二次軸受面の上に交互配置パターンで配置される。主軸受面と二次軸受面との間の相対的な移動によって、主軸受面及び／又は二次軸受面と接触する潤滑剤自体にポンプ作用が誘起される。ポンプ作用は、交互配置パターンの第１の及び第２の材料と接触する潤滑剤のそれぞれの部分同士の間の流体滑り特性の差によって誘起される。
【００８０】
上記の導出された方程式は、「Ansys」等の計算流体力学ソルバー（有限要素ソルバー）を使用して、又はカスタム化されたソフトウェアを使用して流体動圧軸受の設計に関して適用することができる。ポンプ作用をもたらす交互配置された材料の多くの異なるパターンは、上記の解析を用いて設計することができる。
【００８１】
図１０は、互いに実質的に異なる第１及び第２の流体滑り特性を有する第１の交互配置領域１１４及び第２の交互配置領域１１６の効果を示す。軸受ブッシュ１０２及び軸受シャフト１０４が、潤滑剤１０６を含む軸受ギャップを取り囲む。軸受面同士の間の相対的な移動
【数６】
0006266121.tif 000007
が、発生する。この図では、領域１１４は、滑り特性を有する領域である。領域１１６は、滑らない特性を有する領域である。領域１９１では、潤滑剤の圧力ｐは、小さな矢印で示されるように比較的低く、及び第１領域１１４の表面、第１領域と潤滑剤１０６との間の境界層、及び潤滑剤の全ては、異なる速度で移動する。
【００８２】
対照的に、領域１９２では、第２領域１１６は、「滑らない」材料である。この意味するところは、第２領域１１６の表面、第２領域１１６に接触する潤滑剤１０６の境界層は、両方とも、速度ベクトル
【数７】
0006266121.tif 000008
で移動することである。これは、「滑り」の領域から移動する流体に対して障害物となる。流体のこの低速移動領域は、輪郭線１９５で示される。この低速移動領域の周りの潤滑剤の逸脱(deviation)は、１９２においてより大きなベクトル矢印によって示される、潤滑剤１０６の残りの部分の圧力ｐを増大させる。滑り材料でコーティングされた領域の上に移動するときに、圧力ｐは、領域１９３で再び低下する。このように、ポンプ作用は、潤滑剤１０６中に生成される。
【００８３】
本発明によれば、Ｘ線管２００が提供される。Ｘ線管は、回転式陽極２０２、陰極２０４、先に説明したような流体動圧軸受２０６を有する。回転式陽極は、流体動圧軸受の回転可能なブッシュ上に支持され、陽極ディスクは、陰極から放出される電子が回転可能なディスクに衝突する結果としてＸ線を発生するように構成された回転可能な表面を提供する。
【００８４】
図１１は、本発明に係るＸ線管の図を示す。Ｘ線管２００は、陰極２０４が陰極アイソレータ２１０を介して接続される金属フレーム２０８を含む。陽極は、陽極ディスク２０２を含み、回転式陽極として設計される。陽極は、陽極アイソレータを介して金属フレーム２０８に接続される。陰極２０４は、陽極ディスク２０２に向けて電子を放出するように適合される一方で、陽極ディスク２０２は、陰極２０４から放出される電子が陽極ディスクに衝突する結果としてＸ線を発生させる回転可能な表面を提供する。Ｘ線は、例えばベリリウムから形成されたＸ線窓を介して金属フレーム２０８から出る。回転可能な陽極ディスクは、流体動圧軸受２０６によって支持され、陽極アイソレータに接続される。軸受シャフト１０２は、支持体に接続され、軸受ブッシュ１０４によって同心円状に取り囲まれる。また、軸受ブッシュは、電力がＸ線管に供給されたときに、陽極ディスクが回転するようにロータに接続される。
【００８５】
軸受シャフトは、流体動圧軸受の長手方向軸線に対して平行なボアを含み、このボア内で、冷却流体又は潤滑剤が循環する。あるいはまた、陽極ディスクは、回転可能なシャフトに接続され、及び軸受が静止している。
軸受シャフト１０２には、第１及び第２領域２１２から構成される交互配置パターンが設けられており、第１領域は、第１の流体滑り特性を有する材料を含み、第２領域は、第２の流体滑り特性を有する第２の材料を含み、第１及び第２領域の流体滑り特性は実質的に異なる。
軸受シャフトと軸受ブッシュとの間の軸受ギャップが、潤滑剤として機能する金属共晶材料で充填される。陽極の所定方向の回転中に、軸受の交互配置パターンは、潤滑剤においてポンプとして作用して、軸受ギャップの内部に金属共晶を維持する。金属共晶（潤滑剤）は、流体動圧軸受に対して半径方向又は軸線方向に作用する力を伝達する。
【００８６】
先に説明したように、Ｘ線管は、軸受ブッシュに配置された主軸受面１１０が、軸受シャフト上に配置された二次軸受面１１２に対向して構成される軸受装置を有する。
従って、本発明に係る流体動圧軸受を有するＸ線管では、減少した数の、又はゼロの溝で流体動圧軸受ポンプ機能を行う軸受を提供することができる。有利には、実質的にゼロのせん断応力が軸受の表面に作用するので、より効率的な軸受動作がもたらされる。また、複雑なプロセスを用いてエッチングしなければならない溝が低減又は除去されるので、軸受部品の製造が容易になる。
【００８７】
本発明によれば、先に説明したようなＸ線管２００、Ｘ線検出器２５２、対象物２５６を受容するための支持体２５４、及び処理装置２５８を有するＸ線撮像システム２５０が、提供される。
図１２は、本発明に係るＸ線撮像システムを示す。図１２では、Ｘ線撮像システムは、ＣＴシステムとして実施されるが、Ｘ線撮像システムは、Ｃアームシステム、又は手荷物スキャナとして提供してもよい。
本発明に係るＸ線撮像システムは、先に説明したような流体動圧軸受を組み込んだＸ線管２００、及びＸ線検出器２５２を有する。Ｘ線管２００及びＸ線検出器２５２は、ガントリー２６０に配置される。ガントリー２６０は、Ｘ線管２００及び検出器２５２の対象物２５６に対する回転運動を提供する。撮像システム２５０は、対象物２５６を受容するための支持体２５４をさらに有する。対象物２５６は、例えば患者であってもよい。Ｘ線管２００は、Ｘ線放射を生成するように適合され、及びＸ線検出器２５２は、放射線が支持体２５４上の対象物２５６を通過した後のＸ線放射を受けるように適合される。
【００８８】
処理装置２５８は、Ｘ線源における流体動圧軸受に作用する負荷電圧に依存して、陽極ディスクに接続されたロータの速度を制御することにより、Ｘ線放射を制御するように適合される。
本発明の実施形態によれば、Ｘ線撮像システムは、処理装置２５８に接続されたディスプレイ及びインターフェイス装置を有する。ディスプレイは、Ｘ線撮像システム２５０を制御するだけでなく、Ｘ線検出器２５２によって取得された画像結果を示すための情報源として機能する。本発明の更なる例示的な実施形態では、Ｘ線管２００及びＸ線検出器２５２は、Ｃアームの両端に配置される。Ｃアームによって、Ｘ線管２００及びＸ線検出器２５２が、回転運動に加えて、対象物２５６の周りの異なる軌道運動をするのが可能になる。
【００８９】
本発明によれば、支持部材３０２、中央ハブ３０６を有するハードディスク３０４、先に説明した流体動圧軸受３０８を有し、ハードディスクの中央ハブは、流体動圧軸受により支持部材上に回転可能に支持されるハードディスクドライブ３００が、提供される。
図１３は、本発明に係るコンピュータのハードドライブを示す。ハードドライブは、厳しい条件で動作させる必要がある軸受に必要とされる別のアイテムである。Ｘ線管用の流体動圧軸受に関連して先に概説した原理は、ハードドライブ用軸受にも適用することができる。この用途では、温度の要件は、あまり厳しくないが、速度及び安定性の要件は、より厳しくなる。例えば、ハードドライブは、毎分１０，０００回転で回転するのが一般的である。
この場合に、潤滑剤は、油又はエステル油等の炭化水素誘導体である。あるいはまた、オイルは、シリコーンオイルである。軸受部品は、リン青銅、又はアルミニウム等の低コストの材料から製作される。
【００９０】
本発明によれば、流体動圧軸受の製造方法が提供される。この方法は、
（ａ）未処理の軸受シャフト及び未処理のブッシュ部品を提供するステップ４０２と、
（ｂ）未処理の軸受シャフト及び未処理のブッシュ部品の表面に、第１の流体滑り特性を有する第１領域及び第１の流体滑り特性とは実質的に異なる第２の流体滑り特性を有する第２領域を形成するステップ４０４であって、第２及び第１領域は、１つ又は複数の軸受面の上に交互配置パターンで配置され、第１及び第２領域は、プラズマ蒸着又は化学蒸着を使用する材料のコーティングによって形成される、形成するステップと、
（ｃ）軸受シャフト及びブッシュ部品を流体動圧軸受に組み立てるステップ４０６と、
（ｄ）軸受シャフトとブッシュとの間のギャップ内に潤滑剤を追加するステップ４０８と、
（ｅ）軸受をシールするステップ４１０と、を含む。
【００９１】
図１４は、本発明に係る方法を示す。こうして、小さなサイズの軸受は、軸受面に溝を有する必要がないので、流体動圧軸受を、より簡素な方法で製造することができる。このような溝は、レーザーアブレーションステップ又は化学エッチングステップを必要とし、製造が困難である。比較すると、本発明では、第１及び第２領域は、１つ又は複数の軸受面の上に交互配置パターンで配置される。このような領域は、蒸着により形成された材料のコーティングによって提供することができる。
本発明の実施形態によれば、この方法は、未処理の軸受シャフト及び未処理のブッシュ部品の表面に、第１の流体滑り特性を有する第１領域及び第２の流体滑り特性を有する第２領域を形成するステップにおいて、第１及び／又は第２領域の形成は、物理蒸着、プラズマ蒸着、又は化学蒸着を使用して実質的に平坦な特性を有する材料を蒸着するステップを含む。
【００９２】
当業者に知られているように、物理蒸着、プラズマ蒸着、及び化学蒸着は、本発明に適した広範な材料に適用されるコーティング蒸着方法である。
本発明の別の実施形態によれば、流体動圧軸受の製造方法は、ステップ４０２の後に軸受シャフト、軸受ブッシュ、又はこれら両方を前処理して潤滑剤との相溶性を向上させる形成する更なるステップを含む。
このステップは、上述したように、第１又は第２領域のいずれかが、素地の露出部分として提供される場合に、適切である。前処理は、潤滑剤及び素地の存在下で加熱することにより行われる。あるいはまた、第１又は第２領域として提供される素地領域の前処理は、化学的処理によって、研磨剤ブラストによって、又は当業者に公知の他の方法によって、行われる。
【００９３】
本発明の実施形態は、異なる主題を参照して説明されることに留意されたい。特に、いくつかの実施形態は、方法クレームを参照して説明しているが、他の実施形態は、装置クレームを参照して説明している。しかしながら、当業者は、上記及び下記の詳細な説明から、他に注記しない限り、１つのタイプの主題に属する特徴の任意の組合せに加えて、異なる主題に関する特徴同士の間の任意の組合せもまた、本願に開示されているとみなされると推量するだろう。全ての機能は、機能の単純総和以上の相乗効果を提供するように組み合わせることができる。
【００９４】
本発明について、図面及び前述の詳細な説明において詳細に図示及び説明してきたが、このような図示及び説明は、例又は例示であり、限定的なものではないとみなすべきである。本発明は、開示された実施形態に限定されるものではない。開示された実施形態に対する他の変形形態は、図面、明細書の開示、及び従属請求項の検討から、特許請求の範囲に記載された発明を実施する当業者により理解され、実施することができる。
【００９５】
特許請求の範囲において、用語「備える、有する、含む(comprising)」は、他の要素又はステップを排除するものではなく、不定冠詞「１つの(a,  an)」は、複数を除外するものではない。単一のプロセッサ又は他のユニットは、特許請求の範囲に記載された、いくつかのアイテムの機能を満たすことができる。特定の手段が互いに異なる従属請求項に記載されているという単なる事実は、これらの手段の組合せが有利に使用できないことを示すものではない。請求項における任意の参照符号は、特許請求の範囲を限定するものとして解釈すべきではない。
【図１】
0006266121.tif 000009
【図２】
0006266121.tif 000010
【図３ａ】
0006266121.tif 000011
【図３ｂ】
0006266121.tif 000012
【図４ａ）】
0006266121.tif 000013
【図４ｂ）】
0006266121.tif 000014
【図４ｃ）】
0006266121.tif 000015
【図４ｄ）】
0006266121.tif 000016
【図５ａ】
0006266121.tif 000017
【図５ｂ】
0006266121.tif 000018
【図５ｃ】
0006266121.tif 000019
【図５ｄ】
0006266121.tif 000020
【図５ｅ】
0006266121.tif 000021
【図５ｆ】
0006266121.tif 000022
【図６ａ）】
0006266121.tif 000023
【図６ｂ）】
0006266121.tif 000024
【図７ａ）】
0006266121.tif 000025
【図７ｂ）】
0006266121.tif 000026
【図８】
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【図９ａ】
0006266121.tif 000028
【図９ｂ】
0006266121.tif 000029
【図１０】
0006266121.tif 000030
【図１１】
0006266121.tif 000031
【図１２】
0006266121.tif 000032
【図１３】
0006266121.tif 000033
【図１４】
0006266121.tif 000034