(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
アノード電極と蛍光体とを有するアノードと、前記蛍光体を発光させるための電子を放出するフィラメントとを有する蛍光表示管の製造方法であって、
ＺｎＯ、ＩＴＯ、又はＳｎＯ2の何れかの粉末による導電性材料と感光剤とを含有する印刷ペーストを塗布して形成された導電感光層に対する露光パターニングを行って、前記アノード電極と前記アノード電極の周囲電極とを形成する電極形成工程を有する
蛍光表示管の製造方法。
【請求項２】
前記印刷ペーストにおける前記導電性材料の含有率が４０ｗｔ％〜６０ｗｔ％とされた
請求項１に記載の蛍光表示管の製造方法。
【請求項３】
前記導電性材料の粉末平均粒径が１μｍ〜１０μｍとされた
請求項１又は請求項２に記載の蛍光表示管の製造方法。
【請求項４】
前記感光剤は感光性樹脂を５ｗｔ％〜１０ｗｔ％含有する
請求項１乃至請求項３の何れかに記載の蛍光表示管の製造方法。
【請求項５】
前記導電感光層を膜厚５μｍ〜１５μｍにより形成する
請求項１乃至請求項４の何れかに記載の蛍光表示管の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アノード電極と蛍光体とを有するアノードと、蛍光体を発光させるための電子を放出するフィラメントとを有する蛍光表示管とその製造方法とに関する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００２】
【特許文献１】特開平１１−３３９６９９号公報
【特許文献２】特開２００９−２７２２６０号公報
【背景技術】
【０００３】
各種情報を表示するための表示装置として、蛍光表示管（ＶＦＤ：Vacuum Fluorescent Display）を用いた表示装置が知られている。蛍光表示管は、真空容器内に少なくともフィラメント（直熱形カソード）とアノードとが配置され、フィラメントに直流や交流或いはパルス電圧を印加して加熱させることで熱電子を放出させ、熱電子をアノードに形成された蛍光体に衝突発光させることで所望のパターンが表示される。
【０００４】
蛍光表示管を備えた表示装置としては、例えば車両用のヘッドアップディスプレイ（以下「ＨＵＤ」と表記）として用いられるものもあるが、ＨＵＤの場合、蛍光表示管の発光面（表示面）に表示されるパターンをユーザが直接目視するのではなく該発光面から発せられたパターンをフロントガラスやコンバイナー等の対象物に拡大投影して目視させるため、ユーザが実際に目視する表示パターンの見栄えを考慮すると、アノード（蛍光体）の配置間隔（アノード間のギャップ）をできるだけ狭めることが要求される。
【０００５】
しかしながら、アノード間のギャップを狭めると、アノードにおける蛍光体外縁部の輝度が低下するいわゆる「字欠け」が発生し易くなる。これは、アノード間（アノード電極間）を仕切るように配置された絶縁体の電位がグランド電位とされるため、いわゆる電子ケラレによりフィラメントから蛍光体外縁部に届く電子量が蛍光体中央部と比較して少なくなるためである。
【０００６】
字欠けの抑制を図る上では、アノード間に平面グリッドとしての電極（周囲電極）を設けて、該周囲電極を駆動することで蛍光体周囲の電界をコントロールすることが有効である。例えば、上記特許文献１には、平面グリッドを設けた蛍光表示管が開示されている。
【０００７】
なお、関連する従来技術については、上記特許文献１と共に、上記特許文献２を挙げることができる。特許文献２には、アノード配線をフォトリソ（フォトリソグラフィ）法で形成する技術が開示されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ここで、蛍光表示管は、ガラス基板に対し配線層や絶縁層、電極層、及び蛍光体を所定にパターニングして積層形成していくことで製造可能である。この際、電極層や絶縁層の積層形成には、印刷形成（例えばパターン印刷）が採用されることが製造コストの削減の観点から望ましい。
【０００９】
しかしながら、印刷形成によると、例えばスパッタ法や真空蒸着法等といった薄膜形成によるパターニングを行う場合との比較で、アノード間のギャップを狭く形成するのが困難である。特に、字欠け抑制のためアノード間に上述した周囲電極を形成しようとすると、アノード間のギャップは大きくならざるを得ず、表示パターンの精細感という観点で表示品質の悪化を招いてしまう。
【００１０】
そこで、本発明は上記した問題点を克服し、字欠けの抑制とアノード間の狭ギャップ化の双方の面で表示品質の向上を図った蛍光表示管をより低コストに実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係る蛍光表示管の製造方法は、アノード電極と蛍光体とを有するアノードと、前記蛍光体を発光させるための電子を放出するフィラメントとを有する蛍光表示管の製造方法であって、ＺｎＯ、ＩＴＯ、又はＳｎＯ2の何れかの粉末による導電性材料と感光剤とを含有する印刷ペーストを塗布して形成された導電感光層に対する露光パターニングを行って、前記アノード電極と前記アノード電極の周囲電極とを形成する電極形成工程を有するものである。
【００１２】
上記のように導電感光層に対する露光パターニングよってアノード電極とその周囲電極とを形成することで、周囲電極を設けて字欠けの抑制を図った蛍光表示管として、電極となるべき層の積層を印刷により行っても、アノード間のギャップを微細化することが可能とされる。さらに、ＺｎＯ、ＩＴＯ、ＳｎＯ2は露光に用いる紫外線に対する透過率が比較的高く、露光による硬化作用を阻害し難いため、この点もアノード間のギャップの微細化に寄与する。
【００１３】
上記した本発明に係る蛍光表示管の製造方法においては、前記印刷ペーストにおける前記導電性材料の含有率が４０ｗｔ％〜６０ｗｔ％とされることが望ましい。
【００１４】
導電性材料の含有率を適切に設定することにより、電極となるべき膜を成膜精度を確保しつつ形成することが可能となる。
【００１５】
上記した本発明に係る蛍光表示管の製造方法においては、前記導電性材料の粉末平均粒径が１μｍ〜１０μｍとされることが望ましい。
【００１６】
導電性材料の粉末粒径を適切に設定することにより、良好な印刷性とパターニング性との両立を図ることが可能となる。
【００１７】
上記した本発明に係る蛍光表示管の製造方法においては、前記感光剤は感光性樹脂を５ｗｔ％〜１０ｗｔ％含有することが望ましい。
【００１８】
感光剤における感光性樹脂の含有率を適切に設定することにより、良好な印刷性とパターニング性との両立を図ることが可能となる。
【００１９】
上記した本発明に係る蛍光表示管の製造方法においては、前記導電感光層を膜厚５μｍ〜１５μｍにより形成することが望ましい。
【００２０】
導電感光層の膜厚を適切に設定することにより、電極としての良好な特性の確保と良好なパターンニング性との両立を図ることが可能となる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、字欠けの抑制とアノード間の狭ギャップ化の双方の面で表示品質の向上を図った蛍光表示管をより低コストに実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】実施の形態としての蛍光表示管の概略断面構造図である。
【図２】実施の形態としての蛍光表示管が有する表示部の概略平面図である。
【図３】字欠けの発生要因についての説明図である。
【図４】周囲電極による字欠け抑制効果についての説明図である。
【図５】実施の形態としての蛍光表示管の製造方法についての説明図である。
【図６】同じく、実施の形態としての蛍光表示管の製造方法についての説明図である。
【図７】組成例１による印刷ペーストを用いた電極のパターンニングを行った結果を示した図である。
【図８】組成例２による印刷ペーストを用いた電極のパターンニングを行った結果を示した図である。
【図９】組成例３による印刷ペーストを用いた電極のパターンニングを行った結果を示した図である。
【図１０】実施の形態としての蛍光表示管を備えた表示装置の回路構成を示したブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明に係る実施の形態について説明する。
なお、説明は以下の順序で行う。
＜１．蛍光表示管の構造＞
＜２．製造方法＞
＜３．表示装置の構成＞
＜４．実施の形態のまとめ＞
＜５．変形例＞
【００２６】
＜１．蛍光表示管の構造＞
図１及び図２は、本発明に係る実施の形態としての蛍光表示管１の構造についての説明図であり、図１は蛍光表示管１の概略断面構造を示し、図２は蛍光表示管１に形成されたアノード３の配置パターンを例示する図として、蛍光表示管１が有する表示部１ａの概略平面図を示している。なお、図１では、主として表示部１ａにおける概略断面構造を示している。
【００２７】
蛍光表示管１は、いわゆるセグメント表示タイプの蛍光表示管とされ、実現したい表示パターン（図中では数字や矢印等の図形）に応じた形状、個数によるアノード３が配置されている。例えば、図２中に例示された数字部分については、いわゆる７セグメント表示により任意の数値を切り替え表示可能とするべく、桁ごとに７つのアノード３が配置されている。
本実施の形態では、蛍光表示管１として、車両用のヘッドアップディスプレイ（以下「ＨＵＤ」）装置に適用される蛍光表示管を例示する。
【００２８】
蛍光表示管１においては、アノード３を発光させるために必要な配線や電極等を含む構造体がガラス容器２内に真空封止されている（図１参照）。
蛍光表示管１において、ガラス容器２の底部を構成するガラス基板２ａ上には、アノード３に対する駆動電圧を供給するためのアノード配線５がアノード３ごとに形成されている。各アノード３は、フォトリソ電極３２ａと、フォトリソ電極３２ａ上に形成された蛍光体３１と、フォトリソ電極３２ａに接合された貫通電極３２ｂとを有している。
ここで、各アノード３において、貫通電極３２ｂとフォトリソ電極３２ａとで形成される電極をアノード電極３２と表記する。
【００２９】
各アノード配線５には、対応するアノード３における貫通電極３２ｂが接合され、これによりアノード配線５を介してフォトリソ電極３２ａに駆動電圧を印加可能とされている。すなわち、アノード電極３２上に形成された蛍光体３１を発光可能とされている。
【００３０】
また、蛍光表示管１には、第一絶縁層８と第二絶縁層９とによる絶縁層が形成されている。第一絶縁層８は、一部がガラス基板２ａに接するように形成され、第二絶縁層９は一部が第一絶縁層８に接するように形成されている。これら第一絶縁層８と第二絶縁層９とによる絶縁層は、アノード３ごとのアノード配線５及びアノード電極３２同士が電気的に絶縁されるように形成されている。
【００３１】
また、蛍光表示管１には、アノード３の周囲を囲う周囲電極６と、周囲電極６に印加すべき電圧を供給するための周囲電極配線７とが形成されている。周囲電極配線７はガラス基板２ａ上に形成され、周囲電極６は、フォトリソ電極６ａと、フォトリソ電極６ａと周囲電極配線７との間を接合する貫通電極６ｂとを有している。
周囲電極６及び周囲電極配線７は、アノード配線５及びアノード電極３２との間で第一絶縁層８及び第二絶縁層９による電気的絶縁関係が得られるように形成されている。
なお、図１では周囲電極６と周囲電極配線７との間を接合する貫通電極６ｂが一つのみ示されているが、貫通電極６ｂは複数カ所に設けられてもよい。
【００３２】
なお、図１及び図２において、表示部１ａは、上記により説明したガラス基板２ａ、アノード３（アノード電極３２を含む）、アノード配線５、周囲電極６、周囲電極配線７、第一絶縁層８、及び第二絶縁層９を含む部分を指す。
【００３３】
本実施の形態の蛍光表示管１は、上記のように設けられた周囲電極６に電圧印加されることで、字欠けの抑制が図られる。
この点について、図３及び図４を参照して説明する。
図３Ａは、従来の蛍光表示管における表示部の概略断面構造図であり、図３Ｂはフィラメント４とアノード３との間の電位分布（図中一点鎖線）及び電子軌道（図中太矢印）の模式図である。
【００３４】
図３Ａに示すように、従来の表示部においては、各アノード３が有するアノード電極３２’は、貫通電極３２ｂ’と例えばパターン印刷により形成された印刷電極３２ａ’とを有しており、印刷電極３２ａ’は第二絶縁層９上に形成され、貫通電極３２ｂ’は周囲を第二絶縁層９に覆われつつ印刷電極３２ａ’とアノード電極５との間を接合している。そして、印刷電極３２ａ’上には蛍光体３１が形成されている。
このような従来の構造によると、各アノード３の周囲に第二絶縁層９が形成されているため、アノード配線５を介してアノード３に電圧印加しても、図３Ｂに示すようにフィラメント４からの電子が蛍光体３１の外縁部（図中の破線部）に届き難くなる。これは、蛍光体３１周囲の第二絶縁層９の電位がグランド電位とされるため、いわゆる電子ケラレによりフィラメント４から蛍光体３１の外縁部に届く電子量が蛍光体３１の中央部と比較して少なくなるためである。
この結果、蛍光体３１の外縁部における発光光量、すなわち表示セグメントの外縁部の発光光量が不足するいわゆる「字欠け」が生じてしまう。
【００３５】
これに対し、周囲電極６を設けた実施の形態の蛍光表示管１によれば、図４に示すように蛍光体３１の周辺部における電位を従来よりも高めることができ、蛍光体３１の外縁部に届く電子量を従来よりも増大させることが可能となる。
従って、「字欠け」の抑制が図られる。
【００３６】
＜２．製造方法＞
ここで、前述もしたように特にＨＵＤに適用される蛍光表示管１については、アノード３の配置間隔（アノード３間のギャップ）はできるだけ狭めることが要請される。
微細パターンの形成には、例えばスパッタ法や真空蒸着法等といった薄膜形成によるパターニングを行うことが有効であるが、製造のコストの増加を助長するため望ましくない。
【００３７】
そこで、本実施の形態では蛍光表示管１における電極層や絶縁層の積層形成に印刷形成を適用可能とし、製造コストの削減を図る。
【００３８】
図５及び図６を参照し、実施の形態としての蛍光表示管１の製造方法について説明する。
実施の形態の製造方法では、先ず、図５Ａに示す配線形成工程を行う。配線形成工程では、ガラス基板２ａ上にアノード３ごとのアノード配線５、及び周囲電極６用の周囲電極配線７を形成する。本例では、アノード配線５、周囲電極配線７の材料としてアルミを用いており、これらの形成（パターニング）は例えばスパッタ法やフォトリソグラフィ法により行う。
【００３９】
次いで、図５Ｂに示す第一絶縁層形成工程を行う。第一絶縁層形成工程では、アノード３における貫通電極３２ｂ、及び周囲電極６における貫通電極６ｂが形成されるべき位置を避けて、ガラス基板２ａ上への第一絶縁層８の形成を行う。第一絶縁層形成工程は、パターン印刷により行われる。本例では、第一絶縁層８の材料としてガラスを用いており、第一絶縁層形成工程では、ガラスペーストをパターン印刷した後、焼成により硬化させる。
【００４０】
次いで、図５Ｃに示す貫通電極形成工程により、アノード配線５上に貫通電極３２ｂ、周囲電極配線７上に貫通電極６ｂをそれぞれ形成する。貫通電極３２ｂ、６ｂの材料には例えば銀が用いられ、貫通電極形成工程では銀ペーストをパターン印刷することで貫通電極３２ｂ、６ｂを形成する。
【００４１】
さらに、図５Ｄに示す第二絶縁層形成工程により、第二絶縁層９を貫通電極３２ｂ、６ｂに接しないように形成する。第二絶縁層形成工程では、ペースト状とされた第２絶縁層９の形成材料をパターン印刷する。本例の場合、第二絶縁層９としては第一絶縁層８と同様にガラスが用いられ、第二絶縁層形成工程ではガラスペーストをパターン印刷した後、焼成により硬化させる。
【００４２】
次いで、図６Ａ及び図６Ｂに示すフォトリソ電極形成工程を行う。
フォトリソ電極形成工程では、上記した第二絶縁層形成工程までの工程により作成された構造体上に対し、先ずは図６Ａに示すように導電性ペーストｐｐを例えばスクリーン印刷により一面に（ベタ塗り状に）塗布する。導電性ペーストｐｐは、導電性材料と感光剤とを含有する印刷用のペーストであり、本例では、導電性材料にＺｎＯ（酸化亜鉛）粉末が採用され、感光剤に紫外線硬化樹脂の一種であるＰＶＡ−ＳＢＱ（ＰＶＡ：ポリビニルアルコール、ＳＢＱ：スチリルビリジニウム塩付加）が採用され、これらが溶剤により所要の粘度（印刷に適した粘度）に調整されてペースト状に形成されている。
【００４３】
そして、フォトリソ電極形成工程では、上記のように塗布された導電性ペーストｐｐの溶剤を乾燥させた上で、アノード電極３２となるべきフォトリソ電極３２ａと周囲電極６となるべきフォトリソ電極６ａとを分離形成するためのフォトリソグラフィ法によるパターニングを行う。具体的には、乾燥後の導電性ペーストｐｐに対するパターン露光、及び現像を行う。本例では、紫外線硬化樹脂を採用していることから、露光としてはフォトリソ電極３２ａとなるべき部分、及びフォトリソ電極６ａとなるべき部分のみを対象として行う（換言すればフォトリソ電極３２ａとフォトリソ電極６ａの境界部分は露光対象としない）。なお、現像としては例えば水現像を行う。
このような露光・現像が行われることで、図６Ｂに示すようにフォトリソ電極３２ａとフォトリソ電極６ａとの間を仕切るギャップＧが形成される。すなわち、フォトリソ電極３２ａ、フォトリソ電極６ａとしてそれぞれ独立した電極が形成されるものである。
【００４４】
上記のように各電極を形成した後、図６Ｃに示す蛍光体形成工程により各フォトリソ電極３２ａ上に蛍光体３１を形成する。例えば蛍光体３１は、パターン印刷により形成する。
これにより、蛍光表示管１における表示部１ａが形成される。
【００４５】
上記のように本実施の形態では、導電性材料と感光剤とを含有する印刷ペースト（導電性ペーストｐｐ）を塗布して導電感光層を形成し、該導電感光層に対する露光パターニングを行ってアノード電極３２と周囲電極６とを形成している。
これにより、アノード３の周囲電極６を設けた蛍光表示管１の製造にあたり、比較的安価な印刷形成を採用しつつ、アノード電極３２と周囲電極６との間のギャップＧや周囲電極６の幅を微細化することが可能となる。つまりは、周囲電極６を設けた蛍光表示管１の製造にあたり、印刷形成の採用による低コスト化を図りつつ、アノード３間の狭ギャップ化を図ることが可能となる。
なお、本例の場合、アノード３間のギャップの最小値は、３０μｍ〜４０μｍ程度としている。
【００４６】
ここで、本例では、導電性ペーストｐｐの導電性材料にＺｎＯを用いているが、この点もアノード３間の狭ギャップ化に寄与している。ＺｎＯは、紫外線に対する透過率が比較的高く、露光による硬化作用を阻害し難いため、パターニングの精度向上が図られる。パターニング精度の向上が図られることで、アノード電極３２と周囲電極６との間のギャップＧや周囲電極６の幅を微細化することが可能となり、アノード３間のギャップをより狭くすることが可能となる。
なお、紫外線に対する透過率が比較的高く、導電性ペーストｐｐに好適な材料としては、他にＩＴＯ（酸化インジウム・スズ）、ＳｎＯ2（酸化スズ）等も挙げることができる。
【００４７】
ここで、導電性ペーストｐｐに用いる導電性材料の好適な条件としては、電圧印加しても発光しない、蛍光表示管１内の真空特性に悪影響与えない、イオン拡散により蛍光体３１に悪影響を及ぼさない（具体的には蛍光体３１の輝度低下を招かない）こと等が挙げられる。これらの条件を満足する導電性材料の例としては、上記のＺｎＯ、ＩＴＯ、ＳｎＯ2の他に例えばアルミ等を挙げることができる。
【００４８】
また、導電性ペーストｐｐについては、導電性材料の含有量（含有率）を考慮すべきである。導電性材料の含有率が少なすぎると、電極としての特性を満足できなくなる。逆に多すぎれば印刷ペーストとしての粘度特性を満足できず、成膜精度（例えば膜圧の均一性等）の低下を招いてしまう。
これらの観点から実験を行った結果、導電性ペーストｐｐにおける導電性材料（本例ではＺｎＯ粉末）の含有率については、４０ｗｔ％（重量％）〜６０ｗｔ％とされることが好ましいと判明した。より好ましくは、５０ｗｔ％である。
【００４９】
また、導電性材料の粉末粒径としても、導電性ペーストｐｐの特性を左右する要素となる。粉末粒径が大きすぎると、印刷に適したペースト粘度を確保することが困難となって印刷性の悪化を招き、小さすぎると下地との密着性が悪化してパターンニング性の悪化を招く。なお、下地との密着性の悪化は、粒径が小さいと導電性材料の比表面積が増え、感光剤の量に対して下地側と固着する面積が過大となってしまうことが要因であると推測される。
上記の観点より実験を行った結果、導電性材料の粉末平均粒径については１μｍ〜１０μｍとされることが好ましく、より好ましくは２μｍである。
【００５０】
さらに、導電性ペーストｐｐに用いる感光剤については、感光性樹脂（本例ではＰＶＡ−ＳＢＱ）の含有量がパターニング精度を左右する要素となる。
感光剤における感光性樹脂の量が少なすぎると、露光による硬化作用を十分に得ることができずパターンニング性の悪化を招き、多すぎると感光剤自体が不安定となってゲル化してしまい、印刷に適した導電性ペーストｐｐの粘度を維持することが困難となってしまう。
これらの観点から実験を行った結果、感光剤における感光性樹脂の含有量（含有率）については５ｗｔ％〜１０ｗｔ％とされることが好ましく、より好ましくは７ｗｔ％である。
【００５１】
また、導電性ペーストｐｐを塗布して形成する導電感光層の膜厚についても考慮されるべきである。導電感光層の膜厚は、厚すぎるとフォトリソによるパターンニング性の悪化を招き、薄すぎると電気的な抵抗値が高くなって電極としての特性悪化を招いてしまう。
これらの観点より実験を行った結果、導電感光層の厚さについては５μｍ〜１５μｍとすることが好ましく、より好ましくは１０μｍである。
【００５２】
本発明者らは、導電性ペーストｐｐについて、下記の［組成例１］〜［組成例３］による印刷ペーストを用いてパターニング精度の実験を行った。
［組成例１］
・導電性材料Ａ＝（ＺｎＯ粉末、平均粒径＝２μｍ）…５０ｗｔ％
・感光剤Ａ＝（ＰＶＡ−ＳＢＱ：７ｗｔ％、糖類：８ｗｔ％、プロピレングリコール：８５ｗｔ％）…３０ｗｔ％
・溶剤＝プロピレングリコール…２０ｗｔ％
［組成例２］
・導電性材料Ｂ＝（ＺｎＯ粉末、平均粒径＝０．１μｍ）…４０ｗｔ％
・感光剤Ａ＝（ＰＶＡ−ＳＢＱ：７ｗｔ％、糖類：８ｗｔ％、プロピレングリコール：８５ｗｔ％）…３０ｗｔ％
・溶剤＝プロピレングリコール…３０ｗｔ％
［組成例３］
・導電性材料Ｂ＝（ＺｎＯ粉末、平均粒径＝０．１μｍ）…４０ｗｔ％
・感光剤Ｂ＝（ＰＶＡ−ＳＢＱ：４ｗｔ％、モノマー：４ｗｔ％、プロピレングリコール：９２ｗｔ％）…３０ｗｔ％
・溶剤＝プロピレングリコール…３０ｗｔ％
なお、実験において、組成例１と組成例２、３との間で溶剤の割合を異ならせているのは、導電性材料の粉末粒径が異なることに伴いペースト粘度に差が生じてしまうことの防止を図ったものである。
【００５３】
図７、図８、図９は、それぞれ上記の組成例１、組成例２、組成例３による導電性ペーストｐｐを用いた電極のパターンニングを行った結果を示している。なお、各Ｂ図は対応するＡ図における中央部の拡大図である。
これら図７〜図９に示す結果より、平均粒径＝２μｍとされた組成例１の導電性ペーストｐｐを用いた場合（図７）は、平均粒径＝０．１μｍとされた組成例２、３の導電性ペーストｐｐを用いた場合（図８、図９）よりもパターンニング精度の向上が確認できる。これは、上述した平均粒径の好ましい数値についての裏付けとなる。
【００５４】
また、感光剤については、感光性樹脂の含有量が４ｗｔ％とされた組成例３の導電性ペーストｐｐを用いた場合（図９）よりも、同含有量が７ｗｔ％とされた組成例１、２の導電性ペーストｐｐを用いた場合（図７、図８）の方がパターンニング精度の向上が確認できる。この点は、上述した感光剤における感光性樹脂の含有量についての好ましい条件（５ｗｔ％〜１０ｗｔ％）に関する裏付けとなる。
【００５５】
なお、感光剤Ａ、Ｂの差異点としては感光性樹脂の含有率以外にも糖類／モノマーの差異もある。これら糖類／モノマーの差異がパターンニング精度に全く影響を及ぼさないとは断言できないが、感光剤Ａ、Ｂでパターンニング精度の差が生じる要因としては、感光性樹脂の含有率の差が支配的なものである。
【００５６】
＜３．表示装置の構成＞
図１０は、蛍光表示管１を備えた表示装置１０の回路構成を示したブロック図である。
図１０において、表示装置１０は、蛍光表示管１と共にＣＰＵ（Central Processing Unit）１１、及び電源回路１２を備えている。
【００５７】
ＣＰＵ１１は、外部（本例では車両側）から入力されたデータやコマンドに基づき、表示部１ａにおける何れのアノード３を点灯（発光）させるかに係るデータ（表示データ）を生成し、該表示データに基づくアノード３の点灯動作を実現させるために蛍光表示管１に与えるべき各種の信号を生成する。具体的には、データ信号ＳＩ、クロックＣＬＫ、ラッチ信号ＬＡＴを生成する。
またＣＰＵ１１は、外部からの指示に応じて、ディミング制御のためのブランク信号ＢＫを生成する。ブランク信号ＢＫは、例えば１周期が５ｍｓｅｃ程度とされたＰＷＭ（Pulse Width Modulation）信号とされ、具体的には、アノード３の消灯期間を制御するための信号とされる。例えば、Ｈレベル（オン）がアノード１０の消灯を、Ｌレベル（オフ）がアノード１０の点灯を表す。ＣＰＵ１１は、外部から指示されたディミングの割合（％）に応じてブランク信号ＢＫのオンデューティ、すなわちアノード３の消灯期間のデューティ（割合）を調整する。具体的には、ディミングの割合を大きくする（アノード３の輝度をより小さくする）ときはブランク信号ＢＫのオンデューティを大きくし、ディミングの割合を小さくする（アノード３の輝度をより大きくする）ときはブランク信号ＢＫのオンデューティを小さくする。
【００５８】
上記のブランク信号ＢＫ、及びデータ信号ＳＩ、クロックＣＬＫ、ラッチ信号ＬＡＴは、蛍光表示管１における端子部１ｂに供給される。
また、本例の場合、ブランク信号ＢＫは電源回路１２に対しても供給される。
【００５９】
蛍光表示管１は、上述した表示部１ａ及びフィラメント４と共に、端子部１ｂ及びドライバ１ｃを備えている。また、蛍光表示管１は、ドライバ１ｃの動作電圧を入力するためのドライバ電圧端子ＴＶｄ、フィラメント４の駆動電圧（以下「フィラメント電圧Ｅｆ」と表記）を入力するための第一フィラメント端子ＴＦ１と第二フィラメント端子ＴＦ２、及び表示部１ａにおける周囲電極６に印加すべき周囲電極電圧を入力するための周囲電極用端子ＴＶｓを備えている。
【００６０】
ドライバ１ｃは、ＣＰＵ１１により生成されたデータ信号ＳＩ、クロックＣＬＫ、ラッチ信号ＬＡＴ、及びブランク信号ＢＫを端子部１ｂを介して入力する共に、図中に配線Ｈａ１、Ｈａ２、…、Ｈａｎとして示した、表示部１ａにおける複数のアノード配線５（ｎ個のアノード配線５）のうちそれぞれ対応する一つに対して接続された各配線Ｈａを介して、それぞれのアノード３（本例ではセグメント）に個別に駆動電圧を印加可能とされている。
ドライバ１ｃは、クロックＣＬＫ及びラッチ信号ＬＡＴに従ってシリアルデータによるデータ信号ＳＩの取り込み及びシリアル／パラレル変換を行う。このようなシリアル／パラレル変換により得られた各アノード３ごとのデータ（点灯／消灯を表す２値データ）に基づき、配線Ｈａ１〜Ｈａｎを介した各アノード３への電圧印加のオン／オフ制御を行う。
これにより、ＣＰＵ１１が生成した表示データに基づくパターンにより表示部１ａにおけるアノード３が点灯する。
【００６１】
また、ドライバ１ｃは、ブランク信号ＢＫに基づき配線Ｈａ１〜Ｈａｎを介した各アノード３への電圧印加のオン／オフ制御を行う。具体的には、ブランク信号ＢＫの反転信号に従って各アノード３への電圧印加のオン／オフ制御を行う。
これにより、上述したディミングとしての輝度調整が実現される。
【００６２】
なお、本例において、アノード３の駆動電圧（アノード電圧）は例えば５．０Ｖの直流電圧とされる。
【００６３】
表示部１ａは、先の図１に示した周囲電極配線７に対して、入力端子ＴＶｓが接続されている。これにより周囲電極６に対する周囲電極電圧の印加が可能とされている。
【００６４】
フィラメント４は、アノード３ごとに形成された蛍光体３１を発光させるための電子を放出するために設けられ、電源回路１２が生成・出力する交番駆動信号（後述する第一信号ｓＦ１、第二信号ｓＦ２）に基づき、フィラメント電圧Ｅｆとしての交流電圧が印加されて駆動される。
図のようにフィラメント４は、一端が第一フィラメント端子ＴＦ１に、他端が第二フィラメント端子ＴＦ２にそれぞれ接続されている。
本例の場合、フィラメント電圧Ｅｆは実効値＝１Ｖ程度の交流電圧とされ、グランド（０Ｖ）レベルに対する平均電圧値が例えば−３５Ｖ程度とされている。
【００６５】
電源回路１２は、例えば車載バッテリーを供給源とする電源電圧Ｖｉｎを入力するための電源入力端子ｔＶｉｎと、蛍光表示管１におけるドライバ電圧端子ＴＶｄ、周囲電極端子ＴＶｓ、第一フィラメント端子ＴＦ１、第二フィラメント端子ＴＦ２と接続されるドライバ電圧端子ｔＶｄ、周囲電極端子ｔＶｓ、第一フィラメント端子ｔＦ１、第二フィラメント端子ｔＦ２と、ブランク信号ＢＫが入力されるブランク信号入力端子ｔＢＫとを備える共に、ドライバ電圧生成回路１２ａ、周囲電極電圧生成回路１２ｂ、及びフィラメント電圧生成回路１２ｃを備えている。
【００６６】
ドライバ電圧生成回路１２ａは、電源電圧Ｖｉｎに基づきドライバ１ｃの動作電圧を生成し、ドライバ電圧端子ｔＶｄを介して出力する。
また、フィラメント電圧生成回路１２ｃは、電源電圧Ｖｉｎに基づきフィラメント４を駆動するための第一信号ｓＦ１、第二信号ｓＦ２を生成し、第一フィラメント端子ｔＦ１、第二フィラメント端子ｔＦ２を介してそれぞれ出力する。第一信号ｓＦ１は所定周期でオン／オフを繰り返すパルス信号とされ、第二信号ｓＦ２は第一信号ｓＦ２の反転信号とされる。なお、本例における第一信号ｓＦ１、第二信号ｓＦ２のピーク電圧値（オン期間の電圧値）は１Ｖ程度とされる。
【００６７】
周囲電極電圧生成回路１２ｂは、電源電圧Ｖｉｎに基づき周囲電極配線７を駆動するための周囲電極電圧を生成し、周囲電極端子ｔＶｓを介して出力する。
この際、周囲電極電圧生成回路１２ｂは、周囲電極電圧をブランク信号ＢＫに同期してオン／オフする。具体的に本例では、ブランク信号ＢＫの反転信号に同期して周囲電極電圧をオン／オフする。
これにより、ディミングに伴うアノード３のオン期間のみに対応して周囲電極６に対する電圧印加が行われるため、字欠けの防止を図る上での電力消費を最小限に抑えることが可能となり、消費電力の削減が図られる。
なお、周囲電極電圧をブランク信号ＢＫに同期してオン／オフすることは必須ではない。
【００６８】
＜４．実施の形態のまとめ＞
以上のように実施の形態としての蛍光表示管の製造方法は、アノード電極（同３２）と蛍光体（同３１）とを有するアノード（同３）と、蛍光体を発光させるための電子を放出するフィラメント（同４）とを有する蛍光表示管の製造方法であって、ＺｎＯ、ＩＴＯ、又はＳｎＯ2の何れかの粉末による導電性材料と感光剤とを含有する印刷ペースト（導電性ペーストｐｐ）を塗布して形成された導電感光層に対する露光パターニングを行って、アノード電極とアノード電極の周囲電極（同６）とを形成する電極形成工程を有するものである。
【００６９】
上記のように導電感光層に対する露光パターニングよってアノード電極とその周囲電極とを形成することで、周囲電極を設けて字欠けの抑制を図った蛍光表示管として、電極となるべき層の積層を印刷により行っても、アノード間のギャップを微細化することが可能とされる。さらに、ＺｎＯ、ＩＴＯ、ＳｎＯ2は露光に用いる紫外線に対する透過率が比較的高く、露光による硬化作用を阻害し難いため、この点もアノード間のギャップの微細化に寄与する。
従って、字欠けの抑制とアノード間の狭ギャップ化の双方の面で表示品質の向上を図った蛍光表示管をより低コストに実現することができる。
【００７０】
ここで、前述のように実施の形態の製造方法によれば、フォトリソ電極３２ａ（アノード電極３２）とフォトリソ電極６ａ（周囲電極６）との間のギャップＧを狭めることが可能とされるが、このようにアノード電極３２と周囲電極６との間の狭ギャップ化が図られることで、字欠け抑制のために印加すべき周囲電極電圧の電圧値を低く抑えることができる。つまり、この点より、実施の形態の製造方法によれば、字欠けの抑制を行う上での消費電力の削減が図られる。
【００７１】
さらに、実施の形態の製造方法においては、印刷ペーストにおける導電性材料の含有率が４０ｗｔ％〜６０ｗｔ％とされている。
【００７２】
導電性材料の含有率を適切に設定することにより、電極となるべき膜を成膜精度を確保しつつ形成することができる。
【００７３】
さらにまた、実施の形態の製造方法においては、導電性材料の粉末平均粒径が１μｍ〜１０μｍとされている。
【００７４】
導電性材料の粉末粒径を適切に設定することにより、良好な印刷性とパターニング性との両立を図ることができる。
【００７５】
また、実施の形態の製造方法においては、感光剤は感光性樹脂を５ｗｔ％〜１０ｗｔ％含有している。
【００７６】
感光剤における感光性樹脂の含有率を適切に設定することにより、良好な印刷性とパターニング性との両立を図ることができる。
【００７７】
さらに、実施の形態の製造方法においては、導電感光層を膜厚５μｍ〜１５μｍにより形成している。
【００７８】
導電感光層の膜厚を適切に設定することにより、電極としての良好な特性の確保と良好なパターンニング性との両立を図ることができる。
【００７９】
また、実施の形態の蛍光表示管（同１）は、アノード電極（同３２）と蛍光体（３１）とを有するアノード（同３）と、蛍光体を発光させるための電子を放出するフィラメントとを有する蛍光表示管であって、アノード電極の周囲電極（同６）が形成されていると共に、アノード電極と周囲電極とが、導電性材料としてＺｎＯ、ＩＴＯ、又はＳｎＯ2の何れかの粉末を含有しているものである。
【００８０】
上述のようにＺｎＯ、ＩＴＯ、ＳｎＯ2は露光に用いる紫外線に対する透過率が比較的高く、露光による硬化作用を阻害し難いため、電極となるべき層の積層を印刷により行い該層への露光パターニングよりアノード電極と周囲電極とを形成する場合において、アノード間のギャップを微細化することが可能とされる。
従って、字欠けの抑制とアノード間の狭ギャップ化の双方の面で表示品質の向上を図った蛍光表示管をより低コストに実現することができる。
【００８１】
＜５．変形例＞
以上、本発明に係る実施の形態について説明したが、本発明は、上記により説明した具体例に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱しない範囲において多様な変形例を採り得る。
例えば、上記では、セグメントパターンの表示を行うタイプの蛍光表示管を例示したが、本発明はドットマトリクス表示を行う蛍光表示管、例えばアクティブマトリクス方式の蛍光表示管に対しても好適に適用できる。
【００８２】
また、本発明は、車両用のＨＵＤ以外の他の表示装置に対しても適用できるものである。
【符号の説明】
【００８３】
１…蛍光表示管、３…アノード、３１…蛍光体、３２…アノード電極、３２ａ…フォトリソ電極、３２ｂ…貫通電極、４…フィラメント、５…アノード配線、６…周囲電極、６ａ…フォトリソ電極、６ｂ…貫通電極、７…周囲電極配線、８…第一絶縁層、９…第二絶縁層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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