(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
２つの管路のそれぞれに設けられたフランジ部を、ガスケットを介して付き合わせて固定治具で固定するフランジ固定構造であって、
前記ガスケットの外周部を不活性ガス雰囲気で保つフランジ保護カバーを備え、
前記フランジ保護カバーの内側は、外側に対して微減圧かつ前記管路内の圧力より低い圧力に保たれており、
前記固定治具の有効長さをＬ０、前記固定治具の線膨張係数をα０、前記固定治具で挟まれるｎ個（ｎは１以上の整数）の部材のそれぞれの厚さをｔ１〜ｔｎ、前記ｎ個の部材のそれぞれの線膨張係数をα１〜αｎとした場合、
前記Ｌ０と前記α０との積Ｌ０α０は、前記ｔ１〜ｔｎのそれぞれと前記α１〜αｎのそれぞれとの積の和Σｔｉαｉ（ｉ＝１〜ｎ）と実質的に等しくしたことを特徴とするフランジ固定構造。
【請求項２】
前記２つの管路のぞれぞれの前記フランジ部で挟まれる前記ガスケットの厚さをtとし、前記ガスケットを挟んで固定する前後における厚さの変化量をΔｔ、前記ガスケットの復元率をrとした場合、
前記フランジ部を前記固定治具で固定した後に温度をΔＴ変化させた時、ΔＴ（Ｌ０α０−Σｔｉαｉ）＜ｒ（ｔ−Δｔ）を満たすことを特徴とする請求項１記載のフランジ固定構造。
【請求項３】
前記２つの管路のぞれぞれの前記フランジ部で挟まれる前記ガスケットの厚さをｔとし、前記ガスケットを挟んで固定する前後における厚さの変化量をΔｔ、前記ガスケットの復元率をrとした場合、
前記フランジ部を前記固定治具で固定した後に温度をΔＴ変化させた時、ΔＴ（Ｌ０α０−Σｔｉαｉ）＜０．１ｒ（ｔ−Δｔ）を満たすことを特徴とする請求項１記載のフランジ固定構造。
【請求項４】
前記フランジ部と前記固定治具との間に緩衝部材を配置したことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載のフランジ固定構造。
【請求項５】
前記フランジ部を前記固定治具で固定したときの前記緩衝部材の圧縮量は、前記ガスケットの圧縮量よりも小さいことを特徴とする請求項４記載のフランジ固定構造。
【請求項６】
前記ガスケットは、膨張黒鉛シートであることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載のフランジ固定構造。
【請求項７】
前記緩衝部材の材料は、セラミックス繊維シートであることを特徴とする請求項４記載のフランジ固定構造。
【請求項８】
前記緩衝部材の材料は、膨張黒鉛シートであることを特徴とする請求項４記載のフランジ固定構造。
【請求項９】
前記緩衝部材の周囲を不活性ガス雰囲気に保つ構造を備えたことを特徴とする請求項８記載のフランジ固定構造。
【請求項１０】
ポンプまたは排気ファンにより前記フランジ保護カバー内のガスを排出することを特徴とする請求項１から９の何れか１項に記載のフランジ固定構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フランジ固定構造に関し、特に温度変化が大きい場合におけるフランジ部の固定及びシールに適したフランジ固定構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
複数の管路を直列に繋ぐ方法として、管の端部にフランジ部を設け、２つの管路のフランジ部同士を、ガスケットを介して突き合わせて固定する方法がある。このようなフランジ部の固定方法は、ＪＩＳ（日本工業規格）−Ｂ２２２０をはじめ、多くの規格で定められており、広く一般的に用いられている（例えば、特許文献１、２参照。）。
【０００３】
管路を通る流体の漏洩を防ぐため、フランジ部を固定するにはガスケットに適切な面圧をかけておく必要がある。この場合、組付け時に適切な面圧をかけたとしても、使用中に面圧が不足することがあれば流体の漏洩が起こりうる。
【０００４】
面圧が不足する可能性としては、温度変化によるフランジ固定治具の膨張、フランジ固定治具やガスケットの塑性変形などが挙げられる。特に、温度変化の大きい場所でフランジを用いて長期間流体をシールし続けるのは困難である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１３−２３４７３４号公報
【特許文献２】特開２０１０−１３３４９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ここで、石英ガラスの製造方法として、四塩化硅素等のガラス原料を火炎加水分解によりガラスロッドに堆積させて多孔質ガラス母材を製造し、これを加熱して透明ガラス化する方法が知られている。特に、石英製光ファイバ用プリフォームの製造にはこの方法が広く用いられている。この方法において、透明ガラス化を図るには、石英ガラス製の炉芯管内に多孔質ガラス母材を配置し、炉芯管外からカーボンヒータ等で１５００℃前後に加熱する方法が知られている。
【０００７】
この方法では、ガラス化工程前またはガラス化工程中に、ガラス中の不純物を除去するために塩素ガス雰囲気にすることがある。塩素ガスは毒性が強いため、石英炉芯管は厳密にガスシールされる必要がある。この際、炉芯管内を高温の石英ガラスが移動するため、石英炉芯管を構成する石英管をフランジ接続するとシール性能が劣化しやすいという問題がある。シール性能が劣化すると、炉芯管内に大気が流入し、製品の特性の悪化を招く原因になる。
【０００８】
そこで、炉芯管の温度変動が大きな部分には接続部を設けないようにして、温度負荷の小さい部分を除いて一体的に成形された炉芯管が使用されている。しかしながら、炉芯管を一体的に製作できる長さには制約がある。このため、この制約の中で製造できる石英ガラスロッドの長さも制約を受け、大型の石英ガラスロッドを製造するのは非常に困難である。そこで、より大型の石英ガラスロッドを製造するために、温度変動が大きい場合でもシール性が良好なフランジ部シール機構を開発して複数の炉芯管を接続して使用することが求められている。
【０００９】
本発明の目的は、温度変動が大きい場合でも良好なシール性を得られるフランジ固定構造を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明は、２つの管路のそれぞれに設けられたフランジ部を、ガスケットを介して付き合わせて固定治具で固定するフランジ固定構造である。このフランジ固定構造において、固定治具の有効長さをＬ０、固定治具の線膨張係数をα０、固定治具で挟まれるｎ個（ｎは１以上の整数）の部材のそれぞれの厚さをｔ１〜ｔｎ、ｎ個の部材のそれぞれの線膨張係数をα１〜αｎとした場合、Ｌ０とα０との積Ｌ０α０を、ｔ１〜ｔｎのそれぞれとα１〜αｎのそれぞれとの積の和Σｔｉαｉ（ｉ＝１〜ｎ）と実質的に等しくしたことを特徴とする。このような構成によれば、フランジ部の固定治具の膨張量と、固定治具に挟まれる部材の膨張量とが略等しくなり、ガスケットの面圧の不足や過剰な面圧の発生が抑制される。
【００１１】
また、本発明のフランジ固定構造においては、２つの管路のぞれぞれのフランジ部で挟まれるガスケットの厚さをtとし、ガスケットを挟んで固定する前後における厚さの変化量をΔｔ、ガスケットの復元率をrとした場合、フランジ部を固定治具で固定した後に温度をΔＴ変化させた時、ΔＴ（Ｌ０α０−Σｔｉαｉ）＜ｒ（ｔ−Δｔ）を満たすようにしてもよい。このように、ΔＴ（Ｌ０α０−Σｔｉαｉ）＜ｒ（ｔ−Δｔ）を満たしていると、加熱時に締付け面圧がゼロとなることが無くなる。
【００１２】
また、本発明のフランジ固定構造においては、２つの管路のぞれぞれのフランジ部で挟まれるガスケットの厚さをtとし、ガスケットを挟んで固定する前後における厚さの変化量をΔｔ、ガスケットの復元率をrとした場合、フランジ部を固定治具で固定した後に温度をΔＴ変化させた時、ΔＴ（Ｌ０α０−Σｔｉαｉ）＜０．１ｒ（ｔ−Δｔ）を満たすようにしてもよい。このように、ΔＴ（Ｌ０α０−Σｔｉαｉ）＜０．１ｒ（ｔ−Δｔ）を満たしていると、ガスケットの圧縮量の熱履歴による変化が十分に小さく抑えられ、良好なシール性を長期間にわたって維持することができる。
【００１３】
また、本発明のフランジ固定構造においては、フランジ部と固定治具との間に緩衝部材を配置してもよい。このような構成によれば、フランジ部または固定治具を脆性材料で作成した場合でも、フランジ締付け時または熱負荷時の破損の可能性が低減される。
【００１４】
また、本発明のフランジ固定構造において、フランジ部を固定治具で固定したときの緩衝部材の圧縮量は、ガスケットの圧縮量より小さくてもよい。このような構成によれば、ガスケット面圧の経時変化を小さくすることができ、良好なシール性を長期間にわたって維持することができる。
【００１５】
また、本発明のフランジ固定構造において、ガスケットは、膨張黒鉛シートであってもよい。膨張黒鉛シートは、大気中でおよそ４００℃まで酸化損耗などを起こさない。したがって、このような構成によって、多くの化学物質に対して劣化することなく良好なシール性を維持することができる。
【００１６】
また、本発明のフランジ固定構造においては、ガスケットの外周部を不活性ガス雰囲気で保つ構造を備えていてもよい。ガスケットとして膨張黒鉛シートを用いる場合、外周部を不活性ガス雰囲気に保つことで、４００℃よりも高い温度（例えば、１０００℃）においても劣化することなく、良好なシール性を維持することができる。
【００１７】
また、本発明のフランジ固定構造において、緩衝部材の材料は、セラミックス繊維シートであってもよい。このように、フランジ部と固定治具との間に緩衝部材を配置する場合、緩衝部材の材質をセラミックス繊維シートとすることで、高温酸化雰囲気においても良好なシール性を維持することができる。
【００１８】
また、本発明のフランジ固定構造において、緩衝部材の材料は、膨張黒鉛シートであってもよい。緩衝部材の材料を膨張黒鉛シートにすることで、良好なシール性を維持することができる。膨張黒鉛シートはその性状からセラミックス繊維シートよりも熱膨張に関するデータが明確になっており、これを用いることで、より精密に膨張量を制御した設計を行うことができる。
【００１９】
また、本発明のフランジ固定構造においては、緩衝部材の周囲を不活性ガス雰囲気に保つ構造を備えていてもよい。緩衝部材として膨張黒鉛シートにする場合、緩衝部材の周囲を不活性ガス雰囲気に保つことにより、４００℃よりも高い温度（例えば、１０００℃）においても劣化することなく、良好なシール性を維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】第１実施形態に係るフランジ固定構造を例示する概略斜視図である。
【図２】第１実施形態に係るフランジ固定構造を例示する概略断面図である。
【図３】第２実施形態に係るフランジ固定構造を例示する概略断面図である。
【図４】第３実施形態に係るフランジ固定構造を例示する概略断面図である。
【図５】第４実施形態に係るフランジ固定構造を例示する概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の説明では、同一の部材には同一の符号を付し、一度説明した部材については適宜その説明を省略する。
【００２２】
〔第１実施形態〕
図１は、第１実施形態に係るフランジ固定構造を例示する概略斜視図である。
図１に表したように、本実施形態に係るフランジ固定構造は、２つの管路１ａ及び１ｂを互いのフランジ部２ａ及び２ｂによって接続するための構造である。管路１ａの端部にはフランジ部２ａが設けられ、管路１ｂの端部にはフランジ部２ｂが設けられる。フランジ部２ａ及び２ｂは、上下に設けられた第１フランジ押さえ５及び第２フランジ押さえ６によって挟まれ、固定される。
【００２３】
第１フランジ押さえ５及び第２フランジ押さえ６のそれぞれは、リング形状の平板部材によって構成される。リング形状の平板部材は、例えば２つに分割されている。図１に表したように、第１フランジ押さえ５の分割位置と第２フランジ押さえ６の分割位置は、フランジの周方向において異なる位置とするとよい。なお、第１フランジ押さえ５及び第２フランジ押さえ６のそれぞれは、小片状の平板部材であってもよい。本実施形態では、リング状の平板部材の場合を例とする。
【００２４】
図２は、第１実施形態に係るフランジ固定構造を例示する概略断面図である。
図２に表したように、２つの管路１ａ及び１ｂを接続するには、それぞれのフランジ部２ａ及び２ｂを、ガスケット７を介して付き合わせ、この状態で固定治具によって固定する。
【００２５】
フランジ部２ａ及び２ｂは、フランジ固定ボルト３、ワッシャ４、第１フランジ押さえ５、緩衝材８ａ、第２フランジ押さえ６及び緩衝材８ｂによって固定される。付き合わされたフランジ部２ａ及び２ｂを外側から挟むように、第１フランジ押さえ５及び第２フランジ押さえ６が配置される。この第１フランジ押さえ５及び第２フランジ押さえ６の間にフランジ部２ａ及び２ｂが挟まれ、フランジ固定ボルト３によって締結することで、フランジ部２ａ及び２ｂが押圧固定される。
【００２６】
第２フランジ押さえ６には図示しない雌ネジが設けられている。これにより、第２フランジ押さえ６は、フランジ固定ボルト３とネジにより結合される。このように、本実施形態では、フランジ固定ボルト３の下面と第２フランジ押さえ６の上面とによって他の部材が固定される構造のため、フランジ固定ボルト３の下面と第２フランジ押さえ６の上面との間隔が、フランジ部２ａ及び２ｂを固定する固定治具の有効長さＬ０となる。
【００２７】
第１フランジ押さえ５には、フランジ固定ボルト３を貫通させるための穴が設けられている。第１フランジ押さえ５とフランジ部２ａとの間には、必要に応じて緩衝材８ａが配置される。また、第２フランジ押さえ６とフランジ部２ｂとの間には、必要に応じて緩衝材８ｂが配置される。
【００２８】
緩衝材８ａ及び８ｂは、フランジ部２ａ及び２ｂや第１フランジ押さえ５及び第２フランジ押さえ６のいずれかが脆性材料であった場合に、ボルトの緊結による脆性部材の破損を防止するために配置される。
【００２９】
緩衝材８ａ及び８ｂの材料としては、アルミナやシリカなどのセラミックス繊維を用いた不織布（セラミックス繊維シート）や、膨張黒鉛シート等、圧縮復元性と柔軟性に富んだ材料が好適である。
【００３０】
また、フランジ部２ａ及び２ｂをフランジ固定ボルト３で固定した際の緩衝材８ａ及び８ｂの圧縮量は、ガスケット７の圧縮量よりも小さくてもよい。これにより、ガスケット７の面圧の経時変化を小さくすることができ、良好なシール性を長期間にわたって維持することができる。
【００３１】
図１において、固定治具として機能しているのは、フランジ固定ボルト３と第２フランジ押さえ６である。また、固定治具で挟まれる部材（被固定部材）は、ワッシャ４、第１フランジ押さえ５、緩衝材８ａ、フランジ部２ａ、ガスケット７、フランジ部２ｂ及び緩衝材８ｂの７つである。
【００３２】
本実施形態では、固定治具の有効長さＬ０と、その線膨張係数α０との積Ｌ０α０が、７つの被固定部材のそれぞれの厚さｔｉと、その線膨張係数αｉとの積の和Σｔｉαｉ（ｉは、被固定部材の部材番号１〜７）と、実質的に等しくなっている。ここで、実質的に等しいとは、両者が完全に一致する場合のほか、Ｌ０α０に対してΣｔｉαｉが±１５％以内の場合を含む。
【００３３】
Ｌ０α０を、Σｔｉαｉと実質的に等しくすることで、温度変化が生じた時の固定部材の軸方向の伸び量と、被固定部材の厚さの増加量とが略等しくなる。したがって、ガスケット７にかかる面圧はほとんど変化せず、温度変化によらず良好なシール状態を維持することができることになる。
【００３４】
ここで、図１に表したフランジ固定構造において、表１に示す各部の材料及び寸法でフランジ部２ａ及び２ｂを固定した場合のＬ０α０及びΣｔｉαｉを計算した。その結果、Ｌ０α０及びΣｔｉαｉは、ともに２．８×１０−４となる。
【００３５】
【表１】
0006383579.tif 000002
【００３６】
また、本実施形態において、ガスケット７の厚さｔ５の固定前後の変化量をΔｔ、ガスケット７の復元率をｒとした場合、ΔＴ（Ｌ０α０−Σｔｉαｉ）＜ｒ（ｔ−Δｔ）を満たすようにしてもよい。これにより、固定治具の膨張量と、固定治具に挟まれる部材の膨張量に差があった場合でも、加熱時の締付け面圧がゼロにならない。
【００３７】
さらに、本実施形態において、ΔＴ（Ｌ０α０−Σｔｉαｉ）＜０．１ｒ（ｔ−Δｔ）を満たすようにしてもよい。これにより、ガスケット７の圧縮量の熱履歴による変化が十分に小さく抑えられ、良好なシール性を長期間にわたって維持することができる。
【００３８】
〔第２実施形態〕
図３は、第２実施形態に係るフランジ固定構造を例示する概略断面図である。
図３に表したように、第２実施形態に係るフランジ固定構造では、図２に表した第１実施形態とは異なり、第２フランジ押さえ６に雌ねじが設けられていない。その代わりに、フランジ固定ボルト３は、第２フランジ押さえ６の外側に設けられたナット９によって固定される。
【００３９】
図３に表した第２実施形態に係るフランジ固定構造において、固定治具として機能しているのは、フランジ固定ボルト３及びナット９である。また、固定治具で挟まれる部材（被固定部材）は、ワッシャ４ａ、第１フランジ押さえ５、緩衝材８ａ，フランジ部２ａ、ガスケット７、フランジ部２ｂ、緩衝材８ｂ、第２フランジ押さえ６及びワッシャ４ｂの９つである。
【００４０】
ここで、図３に表したフランジ固定構造において、表２に示す各部の材料及び寸法でフランジ部２ａ及び２ｂを固定した場合のＬ０α０及びΣｔｉαｉを計算した。その結果、Ｌ０α０及びΣｔｉαｉは、ともに３．９×１０−４となる。
【００４１】
【表２】
0006383579.tif 000003
【００４２】
〔第３実施形態〕
図４は、第３実施形態に係るフランジ固定構造を例示する概略断面図である。
図４に表したように、第３実施形態に係るフランジ固定構造では、図２に表した第１実施形態とは異なり、フランジ部２ａ及び２ｂにフランジ固定ボルト３を通すための孔が設けられ、フランジ固定ボルト３及びナット９によって直接固定されている。
【００４３】
図４に表した第３実施形態に係るフランジ固定構造において、固定治具として機能しているのは、フランジ固定ボルト３とナット９である。また、固定治具で挟まれる部材（被固定部材）はワッシャ４ａ、緩衝材８ａ、フランジ部２ａ、ガスケット７、フランジ部２ｂ、緩衝材８ｂ及びワッシャ４ｂの７つである。
【００４４】
ここで、図４に表したフランジ固定構造において、表３に示す各部の材料及び寸法でフランジ部２ａ及び２ｂを固定した場合のＬ０α０及びΣｔｉαｉを計算した。その結果、Ｌ０α０及びΣｔｉαｉは、ともに２．８×１０−４となる。
【００４５】
【表３】
0006383579.tif 000004
【００４６】
〔第４実施形態〕
図５は、第４実施形態に係るフランジ固定構造を例示する概略断面図である。
図５に表したように、第４実施形態に係るフランジ固定構造は、図２に表した第１実施形態に係るフランジ固定構造に加え、フランジ保護カバー１０が設けられている。
【００４７】
フランジ保護カバー１０には、ノズル１１及び１２が設けられる。このノズル１１及び１２を介してガスの導入および排気が行われる。
【００４８】
ここで、ガスケット７や緩衝材８ａ及び８ｂに膨張黒鉛シートが用いられている場合、フランジ部２ａ及び２ｂの温度が４００℃を越えると大気中の酸素により膨張黒鉛シートが外側から酸化され、ガスシール性の劣化を招く。そこで、ノズル１１から窒素、アルゴンなどの不活性ガスを導入し、ノズル１２から排出する構造を採用する。これにより、膨張黒鉛シートの酸化損耗を防ぎ、長期間にわたってガスシール性を良好に保つことができる。
【００４９】
また、ノズル１２からの排出にポンプまたは排気ファンを用いれば、フランジ保護カバー１０の内側を外側に対して微減圧に保つことが可能である。これにより、たとえフランジ部２ａ及び２ｂの接続部分から管路１ａ及び１ｂ内のプロセスガス（または液）が漏洩した場合でも、周辺への拡散を防ぐことが可能になる。
【００５０】
次に、実施例及び比較例の説明を行う。
【００５１】
（第１実施例）
第１実施例では、図５に表したフランジ固定構造の各部を、表１に示した材料で構成した。ガスケット７の締付け面圧は、ガスケット７の仕様の最低締付け面圧である７ＭＰａとした。管路１ａ及び１ｂ内には塩素ガスを１Ｌ／ｍｉｎで流し、ノズル１１には窒素ガスを１０Ｌ／ｍｉｎで流し、ノズル１２には排気ファンを接続し、排気ファンの出口は除害設備へ接続した。フランジ保護カバー１０の内圧は大気圧より１００Ｐａ低くなるように調整し、管路１ａ及び１ｂ内の圧力はフランジ保護カバー１０内の圧力に比べ、１ｋＰａ高くなるように調整した。温度を室温から１０００℃までの昇降温（１０００℃保持時間＝１時間）を１０回繰り返し、ノズル１２から排出される窒素ガス中の塩素濃度を測定することで、塩素ガスの漏洩量を評価した。その結果、塩素ガス濃度は常に検出下限（０．０１ｐｐｍ）以下で、塩素ガスリーク量は０．１μＬ／ｍｉｎ以下であった。
【００５２】
（第２実施例）
第２実施例では、図５に示したフランジ固定構造の各部を、表１に示した材料で構成した。ガスケット７の締付け面圧は、ガスケット７の仕様の最低締付け面圧より低い３ＭＰａとした。それ以外は第１実施例と同じ条件とした。そして、第１実施例と同様に、ノズル１２から排出される窒素ガス中の塩素濃度を測定することで塩素ガスの漏洩量を評価した。その結果、塩素ガス濃度は３〜１０ｐｐｍで変動し、塩素ガスリーク量は３０〜１００μＬ／ｍｉｎであった。微量のリークが見られたが、リークした塩素はすみやかにノズル１２より排出され、大気中には漏洩しなかった。
【００５３】
（比較例）
比較例では、図５に示したフランジ固定構造の各部を、表４に示した材料で構成した。それ以外は、第１実施例と同じ条件とした。比較例において、Ｌ０α０は５．２×１０−４、Σｔｉαｉは２．５×１０−４である。すなわち、比較例では、Ｌ０α０とΣｔｉαｉとは実質的に等しくなっていない。
【００５４】
このような比較例において、第１実施例と同様に、ノズル１２から排出される窒素ガス中の塩素濃度を測定することで塩素ガスの漏洩量を評価した。その結果、塩素ガス濃度は室温では検出下限（０．０１ｐｐｍ）以下であったものの、４００℃では最大１５０ｐｐｍに達し、塩素ガスリーク量は最大１．５ｍＬ／ｍｉｎであった。
【００５５】
また、このとき、温度変化ΔＴは３７５Ｋであり、フランジ固定ボルト３の軸方向の伸び量と被固定部材の厚みの増加量の差の計算値ΔＴ（Ｌ０α０−Σｔｉαｉ）は約０．１ｍｍであった。一方、締付け時のガスケット７の圧縮量Δｔは０．２ｍｍ、復元率は１０％であり、ｒ（ｔ−Δｔ）＝０．０６と計算されることから、ΔＴ（Ｌ０α０−Σｔｉαｉ）＜ｒ（ｔ−Δｔ）を満足していなかった。
【００５６】
【表４】
0006383579.tif 000005
【００５７】
以上説明したように、本実施形態に係るフランジ固定構造によれば、温度変化が大きなフランジ部２ａ及び２ｂの接続部分であっても、流体等の漏洩を抑制した状態を長期にわたって維持することが可能になる。
【００５８】
なお、上記に本実施形態を説明したが、本発明はこれらの例に限定されるものではない。例えば、前述の各実施形態に対して、当業者が適宜、構成要素の追加、削除、設計変更を行ったものや、各実施形態の特徴を適宜組み合わせたものも、本発明の要旨を備えている限り、本発明の範囲に含有される。
【符号の説明】
【００５９】
１ａ，１ｂ…管路
２ａ，２ｂ…フランジ部
３…フランジ固定ボルト
４，４ａ，４ｂ…ワッシャ
５…第１フランジ押さえ
６…第２フランジ押さえ
７…ガスケット
８ａ，８ｂ…緩衝材
９…ナット
１０…フランジ保護カバー
１１，１２…ノズル
【図１】
0006383579.tif 000006
【図２】
0006383579.tif 000007
【図３】
0006383579.tif 000008
【図４】
0006383579.tif 000009
【図５】
0006383579.tif 000010