(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローブを位置決めする、プローブカードの位置決め装置であって、
主開口、第一副開口、第二副開口、第三副開口、第四副開口、第一位置決め部位、第二位置決め部位、第一弾性部位および第二弾性部位を備え、
前記第一副開口、前記第二副開口、前記第三副開口および前記第四副開口は前記主開口に繋がるように前記主開口の周りに順に配列され、
前記第一副開口および前記第三副開口はそれぞれ、前記第二副開口および前記第四副開口それぞれの長さより大きい長さを有し、
前記第一弾性部位は前記第一副開口と前記第二副開口との間に位置付けられ、前記第一位置決め部位は前記第二副開口と前記第三副開口との間に位置付けられ、前記第二弾性部位は前記第三副開口と前記第四副開口との間に位置付けられ、前記第二位置決め部位は前記第一副開口と前記第四副開口との間に位置付けられ、
プローブが前記主開口を通過する時に、前記第一弾性部位および前記第二弾性部位が、前記第一位置決め部位および前記第二位置決め部位より大きく湾曲するように、前記第一位置決め部位および前記第二位置決め部位の剛性は前記第一弾性部位および前記第二弾性部位の剛性より大きく、
前記主開口は、円形を呈し、幾何学中心を有し、前記第一副開口、前記第二副開口、前記第三副開口および前記第四副開口は、前記第一副開口、前記第二副開口、前記第三副開口および前記第四副開口が前記主開口の前記幾何学中心を囲んで１８０度回転すると、前記第一副開口が前記第三副開口に重なり、前記第二副開口が前記第四副開口に重なるようになされ、
前記第一位置決め部位および前記第二位置決め部位および前記第一弾性部位および前記第二弾性部位は前記主開口の周りに位置することを特徴とする、
プローブカードの位置決め装置。
【請求項２】
前記第一位置決め部位および前記第二位置決め部位はそれぞれ、前記主開口の周りに位置する位置決め辺縁部を有し、前記第一弾性部位および前記第二弾性部位はそれぞれ、前記主開口の周りに位置する弾性辺縁部を有し、前記位置決め部位の前記位置決め辺縁部の長さは前記弾性部位の前記弾性辺縁部の長さに等しいかそれより大きいことを特徴とする請求項１に記載のプローブカードの位置決め装置。
【請求項３】
前記第一副開口、前記第二副開口、前記第三副開口および前記第四副開口は、直線状、曲線状または折り線状のいずれかを呈することを特徴とする請求項１に記載のプローブカードの位置決め装置。
【請求項４】
前記第一位置決め部位と前記第二位置決め部位とは向かい合うように配置され、前記第一弾性部位と前記第二弾性部位とは向かい合うように配置されることを特徴とする請求項１に記載のプローブカードの位置決め装置。
【請求項５】
プローブを位置決めする、プローブカードの位置決め装置であって、
主開口、第一副開口、第二副開口、第三副開口、第四副開口、第一位置決め部位、第二位置決め部位、第一弾性部位および第二弾性部位を備え、
前記第一副開口、前記第二副開口、前記第三副開口および前記第四副開口は前記主開口に繋がるように前記主開口の周りに順に配列され、
前記第一副開口および前記第三副開口はそれぞれ、前記第二副開口および前記第四副開口それぞれの長さより大きい長さを有し、
前記第一弾性部位は前記第一副開口と前記第二副開口との間に位置付けられ、前記第一位置決め部位は前記第二副開口と前記第三副開口との間に位置付けられ、前記第二弾性部位は前記第三副開口と前記第四副開口との間に位置付けられ、前記第二位置決め部位は前記第一副開口と前記第四副開口との間に位置付けられ、
プローブが前記主開口を通過する時に、前記第一弾性部位および前記第二弾性部位が、前記第一位置決め部位および前記第二位置決め部位より大きく湾曲するように、前記第一位置決め部位および前記第二位置決め部位の剛性は前記第一弾性部位および前記第二弾性部位の剛性より大きく、
前記第一副開口は第一の直線を有し、前記第二副開口は第二の直線を有し、前記第三副開口は第三の直線を有し、前記第四副開口は第四の直線を有し、
第一副開口、第二副開口、第三副開口、および第四副開口はその延長方向に垂直の幅が一定した直線状であって、第一副開口は第一の直線に位置するが、第四副開口の両端は前記第一の直線に揃って位置することがなく、第二副開口の両端は第一副開口の両端が位置する前記第一の直線に揃って位置することがないことを特徴とする、
プローブカードの位置決め装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、位置決め装置およびプローブホルダーに関し、詳しくはプローブカードの位置決め装置およびプローブホルダーに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路チップに電気的測定を行う際、プローブカードを使用することが一般的である。
プローブカードはプリンター回路基板、スペーストランスフォーマおよびプローブホルダーを備える。プローブホルダーは、上ガイドプレート、下ガイドプレートおよび複数プローブを有する。プローブホルダーの上ガイドプレートおよび下ガイドプレートは複数の穿孔を有する。一つの穿孔は一つのプローブに対応する。チップ即ち測定対象の接点の間の間隔が小さくなるのに対し、プローブホルダー上の測定間隔を縮減し、微細ピッチ（Ｆｉｎｅ  Ｐｉｔｃｈ）に対応させる必要がある。
【０００３】
図１に示すように、一般の半導体チップ測定用プローブホルダー８０は、上ガイドプレート８１、下ガイドプレート８２および複数のプローブ９０を有する。図２に示すように、プローブ９０は末端部９２の断面が円形を呈し、ピン本体９４の断面が楕円形または方形を呈する。
プローブホルダー８０の部品を組み立てる際、組立の便をはかるために、プローブ９０の末端部９２を位置決め装置８４に据える。位置決め装置８４は複数の主開口８５を有する。主開口８５は位置決め装置８４を貫通し、円形および楕円形が重なる形を呈する。主開口８５上の円形部分はプローブ９０の末端部９２の断面形状に対応する。プローブ９０の末端部９２が位置決め装置８４の主開口８５に差し込まれる際、プローブ９０は主開口８５に制限された上で上ガイドプレート８１の穿孔８６を貫通し、ピン本体９４を下ガイドプレート８２に入り込ませる。
【０００４】
プローブホルダー８０を組み立てる際、まず上ガイドプレート８１に位置決め装置８４を装着する。続いて、位置決め装置８４の主開口８５にプローブ９０を差し込めば、断面が楕円形を呈するプローブ９０のピン本体９４は主開口８５上の楕円形部分を貫通するため、プローブ９０と位置決め装置８４の主開口８５の壁面とが相互に接触・阻害することが原因でプローブ９０の構造を破損させることを抑制することができる。
しかしながら、実際に組み立てると主開口８５が大きすぎるため、プローブ９０の末端部９２が外力を受け、主開口８５の円形部位から横の楕円形部位に移動するとプローブ９０が振動するか偏ることと、プローブ９０の末端部９２をそろえて上ガイドプレート８１の穿孔８６に差し込むことができないことが判明する。従って、プローブ９０の位置決め効果はあまりよくなく、組立作業の難度が高く、良品の割合が低い。
【０００５】
一方、図３に示すように、主開口８５の面積が広がると主開口８５の間の距離Ｄ１０が縮小する。図１に示すように間隔の距離が増大しない上で微細ピッチに対応するプローブホルダー８０に直径の比較的大きいプローブ９０を装着すれば、位置決め装置８４の主開口８５の間の距離Ｄ１０を縮小させ、主開口８５の間の部位が破裂する可能性を増大させるだけでなく、組立作業がより難しくなり、良品の割合がより低くなる。従って、上述した問題を効果的に解決することは関連する領域における課題であった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、測定対象の接点に対応してファインピッチ化されたプローブカードを組み立てる際の利便性をはかるプローブカードの位置決め装置を提供することを主な目的とする。
【０００７】
本発明は、測定対象の接点に対応してファインピッチ化されたプローブカードを組み立てる際の利便性を位置決め装置によってはかるプローブカードのプローブホルダーを提供することをもう一つの目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述の目的を達成するために、本発明によるプローブカードの位置決め装置は、主開口、第一副開口、第二副開口、少なくとも一つの位置決め部位および少なくとも一つの弾性部位を備える。第一副開口および第二副開口は主開口に繋がるように主開口の周りに配列される。位置決め部位および弾性部位は相互に補い合う。弾性部位は第一副開口と第二副開口との間に位置付けられる。位置決め部位は剛性が弾性部位の剛性より大きい。
【０００９】
上述の目的を達成するために、本発明によるプローブカードのプローブホルダーは、上ガイドプレート、下ガイドプレート、上述した位置決め装置および複数のプローブを備える。上ガイドプレートは複数の穿孔を有する。下ガイドプレートは上ガイドプレートの一側に位置し、複数の穿孔を有する。位置決め装置は上ガイドプレートと下ガイドプレートとの間に位置し、複数の主開口を有する。プローブは位置決め装置の主開口を貫通し、上ガイドプレートの穿孔と下ガイドプレートの穿孔との間に安定する。
【００１０】
上述したとおり、本発明による位置決め装置はプローブに良好な位置決め効果を果たすことができるだけでなく、プローブの損壊を抑制でき、位置決め装置の主開口と主開口との間の部位が破壊されにくいため、プローブカードのプローブホルダーの組立作業を簡単化し、プローブカードのプローブホルダーの良品歩合を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】従来のプローブホルダーを示す模式図である。
【図２】従来のプローブを示す斜視図である。
【図３】従来の位置決め装置の一部分を示す平面図である。
【図４Ａ】本発明の一実施形態によるプローブカードの位置決め装置の一部分を示す斜視図である。
【図４Ｂ】図４Ａに示した位置決め装置の別の状態を示す斜視図である。
【図５Ａ】本発明の別の実施形態によるプローブカードの位置決め装置の一部分を示す平面図である。
【図５Ｂ】本発明の別の実施形態によるプローブカードの位置決め装置の一部分を示す平面図である。
【図６】本発明の別の実施形態によるプローブカードの位置決め装置の一部分を示す平面図である。
【図７】本発明の別の実施形態によるプローブカードの位置決め装置の一部分を示す平面図である。
【図８】本発明の別の実施形態によるプローブカードの位置決め装置の一部分を示す平面図である。
【図９】本発明の別の実施形態によるプローブカードの位置決め装置の一部分を示す平面図である。
【図１０】本発明の別の実施形態によるプローブカードの位置決め装置の一部分を示す平面図である。
【図１１】本発明の別の実施形態によるプローブカードの位置決め装置の一部分を示す平面図である。
【図１２】本発明の別の実施形態によるプローブカードの位置決め装置の一部分を示す平面図である。
【図１３】本発明の一実施形態によるプローブカードのプローブホルダーを示す模式図である。
【図１４Ａ】本発明の別の実施形態によるプローブカードの位置決め装置の一部分を示す平面図である。
【図１４Ｂ】本発明の別の実施形態によるプローブカードの位置決め装置の一部分を示す平面図である。
【図１５】本発明の実施形態によるプローブカードの位置決め装置に適用するプローブを示す斜視図である。
【図１６】本発明の別の一つの実施形態によるプローブカードの位置決め装置の一部分を示す平面図である。
【図１７】本発明の実施形態によるプローブカードの位置決め装置に適用する別の一つのプローブを示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明によるプローブカードの位置決め装置およびプローブホルダーを図面に基づいて説明する。
【００１３】
（一実施形態）
図４Ａに示すように、本発明によるプローブカードの位置決め装置１００は、主開口１１０、第一副開口１２０、第二副開口１３０、第三副開口１４０、第四副開口１５０、第一位置決め部位１６０、第二位置決め部位１７０、第一弾性部位１８０および第二弾性部位１９０を備える。
第一副開口１２０、第二副開口１３０、第三副開口１４０および第四副開口１５０は主開口１１０の周りに順に配列され、かつそれぞれ主開口１１０に直接繋がる。位置決め装置は複数の主開口および複数の副開口を有する。説明の便をはかるために、本実施形態または別の実施形態はそのうちの一つの主開口と、それに繋がる第一副開口、第二副開口、第三副開口および第四副開口とを挙げるか、そのうちの一つの主開口と、それに繋がる第一副開口および第二副開口とを挙げて説明を進める。
【００１４】
第一弾性部位１８０は第一副開口１２０と第二副開口１３０との間に位置付けられる。つまり、第一弾性部位１８０は三つの側辺が主開口１１０、第一副開口１２０および第二副開口１３０であり、別の一つの側辺が位置決め装置１００の別の部位に連なる。第一位置決め部位１６０は第二副開口１３０と第三副開口１４０との間に位置付けられる。つまり、第一位置決め部位１６０は三つの側辺が主開口１１０、第二副開口１３０および第三副開口１４０であり、別の一つの側辺が位置決め装置１００の別の部位に連なる。第二弾性部位１９０は第三副開口１４０と第四副開口１５０との間に位置付けられる。つまり、第二弾性部位１９０は三つの側辺が主開口１１０、第三副開口１４０および第四副開口１５０であり、別の一つの側辺が位置決め装置１００の別の部位に連なる。第二位置決め部位１７０は第一副開口１２０と第四副開口１５０との間に位置付けられる。つまり、第二位置決め部位１７０は三つの側辺が主開口１１０、第一副開口１２０および第四副開口１５０であり、別の一つの側辺が位置決め装置１００の別の部位に連なる。
本実施形態において、第一位置決め部位１６０と第二位置決め部位１７０とは向かい合うように配置される。第一弾性部位１８０と第二弾性部位１９０とは向かい合うように配置される。
【００１５】
第一位置決め部位１６０、第二位置決め部位１７０、第一弾性部位１８０および第二弾性部位１９０はそれぞれ主開口１１０の周りの一部分を含む。第一位置決め部位１６０、第二位置決め部位１７０、第一弾性部位１８０および第二弾性部位１９０は相互に補い合う。つまり、第一位置決め部位１６０、第二位置決め部位１７０、第一弾性部位１８０および第二弾性部位１９０は主開口１１０周り全体を囲む。
本実施形態において、第一位置決め部位１６０、第二位置決め部位１７０、第一弾性部位１８０および第二弾性部位１９０は、主開口１１０上の第一副開口１２０から第四副開口１５０に繋がる部位以外の円周全体を囲む。
【００１６】
プローブカードの位置決め装置１００において、第一位置決め部位１６０および第二位置決め部位１７０の剛性は第一弾性部位１８０および第二弾性部位１９０の剛性より大きい。
図２に示すように、プローブ９０は断面が楕円形を呈するピン本体９４を有する。ピン本体９４を主開口１１０に差し込むと、剛性の比較的小さい第一弾性部位１８０および第二弾性部位１９０は図４Ｂに示すように外力によって湾曲するため、位置決め装置１００とプローブ９０のピン本体９４との間に生じた作用力が大き過ぎ、位置決め装置１００またはプローブ９０を損壊させることを抑制することができる。プローブ９０のピン本体９４の全体が主開口１１０を通ると、第一弾性部位１８０および第二弾性部位１９０は図４Ａに示すようにプローブ９０の末端部９２に圧迫されることなく、元の状態に復元する。
図４Ａに示すように、第一弾性部位１８０および第二弾性部位１９０が元の状態に復元する際、プローブ９０の末端部９２は主開口１１０に位置する。一方、本実施形態において、第一位置決め部位１６０は主開口１１０の周りに位置する第一辺縁部１６０Ａを有する。第二位置決め部位１７０は主開口１１０の周りに位置する第二辺縁部１７０Ａを有する。第一弾性部位１８０は主開口１１０の周りに位置する第一辺縁部１８０Ａを有する。第二弾性部位１９０は主開口１１０の周りに位置する第二辺縁部１９０Ａを有する。第一位置決め部位１６０の第一辺縁部１６０Ａ、第二位置決め部位１７０の第二辺縁部１７０Ａ、第一弾性部位１８０の第一辺縁部１８０Ａおよび第二弾性部位１９０の第二辺縁部１９０Ａはプローブ９０の末端部９２を支える。言い換えれば、第一位置決め部位１６０の第一辺縁部１６０Ａ、第二位置決め部位１７０の第二辺縁部１７０Ａ、第一弾性部位１８０の第一辺縁部１８０Ａおよび第二弾性部位１９０の第二辺縁部１９０Ａは主開口１１０上の第一副開口１２０から第四副開口１５０に繋がる部位以外の円周全体を囲む。
一方、図２に示したプローブ９０の末端部９２が主開口１１０に位置する際、第一位置決め部位１６０の第一辺縁部１６０Ａ、第二位置決め部位１７０の第二辺縁部１７０Ａ、第一弾性部位１８０の第一辺縁部１８０Ａおよび第二弾性部位１９０の第二辺縁部１９０Ａは結合し、プローブ９０の末端部９２を主開口１１０に制限し、安定させる力を生じる。プローブ９０の末端部９２を安定させる位置決め装置１００の力が確保されれば、組立作業が進む際、プローブ９０の末端部９２の位置がずれることが原因で組立作業に支障をきたすか、プローブ９０を損壊させることを抑制することができる。
本実施形態において、第一弾性部位１８０の第一辺縁部１８０Ａおよび第二弾性部位１９０の第二辺縁部１９０Ａの合計長さは第一位置決め部位１６０の第一辺縁部１６０Ａおよび第二位置決め部位１７０の第二辺縁部１７０Ａの合計長さに等しいまたはそれより大きい、即ち実際の状況に応じて決まるため、本発明は限定されない。一方、大部分の実施形態も本実施形態のように位置決め部位の辺縁部および弾性部位の辺縁部を有するため、この部分の詳細な説明は省略する。
【００１７】
本実施形態において、位置決め装置１００の主開口１１０の形は装着するプローブの末端部の断面の形（例えば円形）に応じるため、限定されない。第一位置決め部位１６０、第二位置決め部位１７０、第一弾性部位１８０および第二弾性部位１９０は相互に補い合い、プローブを支える形になるため、プローブの末端部に良好な位置決め効果を果たすことができる。
また、位置決め装置１００は薄片状を呈し、ポリイミド（Ｐｏｌｙｉｍｉｄｅ）から製作される。位置決め装置１００の主開口１１０、第一副開口１２０、第二副開口１３０、第三副開口１４０、第四副開口１５０はレーザー加工、スタンピングなどの機械加工またはフォトマスクによって位置決め装置１００に形成される。第一副開口１２０、第二副開口１３０、第三副開口１４０および第四副開口１５０は直線状、即ち延長方向に垂直の幅が一定した直線状を呈する。一方、第一副開口１２０、第二副開口１３０、第三副開口１４０および第四副開口１５０において、主開口１１０から離れる一端が円弧状辺縁部となれば好ましい。詳しく言えば、副開口が裂け目から形成される場合、裂け目は外力を受け、応力を集中させるため、裂ける方向に沿って破裂する可能性がある。従って、第一副開口１２０、第二副開口１３０、第三副開口１４０および第四副開口１５０は直線状を呈し、かつ主開口１１０から離れる一端が円弧状辺縁部となることが好ましい。
【００１８】
図４Ａに示すように、第一副開口１２０と第三副開口１４０とは主開口１１０の幾何学中心Ｃ１０に相対する点対称である。詳しく言えば、幾何学中心Ｃ１０は点対称の中心である。第一副開口１２０と第三副開口１４０が幾何学中心Ｃ１０を囲んで１８０度回転すれば、回転後の輪郭および位置が回転前の輪郭および位置に重なる。第二副開口１３０と第四副開口１５０とは主開口１１０の幾何学中心Ｃ１０に相対する点対称である。続きの図５Ａ、図５Ｂ、図７、図９、図１１および図１６に示した副開口も点対称である。それに対し、第一位置決め部位１６０と第二位置決め部位１７０とは主開口１１０の幾何学中心Ｃ１０に相対する点対称である。第一弾性部位１８０と第二弾性部位１９０とは主開口１１０の幾何学中心Ｃ１０に相対する点対称である。上述した設計により、プローブの末端部を安定させる最良の位置決め効果を果たすことができる。
本実施形態において、第一副開口１２０、第二副開口１３０、第三副開口１４０および第四副開口１５０は直線状を呈し、相互に平行である。第一副開口１２０は長さが第二副開口１３０の長さより大きい。別の実施形態において、第一副開口、第二副開口、第三副開口および第四副開口は曲線状、折り線状または別の形を呈する。
【００１９】
（一実施形態）
図５Ａに示したのは本発明の一実施形態による位置決め装置１００Ａである。図４Ａに示した位置決め装置１００との違いは次の通りである。図４Ａに示した位置決め装置１００に対し、位置決め装置１００Ａは複数の主開口１１０、複数の第一副開口１２０、複数の第二副開口１３０、複数の第三副開口１４０および複数の第四副開口１５０、複数の第一位置決め部位１６０、複数の第二位置決め部位１７０、複数の第一弾性部位１８０および複数の第二弾性部位１９０を備え、それらの接続方式および相対的位置は図４Ａに示したとおりである。
図５Ａに示すように、主開口１１０は列に並び、任意の四つの隣り合う主開口１１０は矩形に配列される。一つの主開口１１０は一つの第一副開口１２０、一つの第二副開口１３０、一つの第三副開口１４０および一つの第四副開口１５０に対応する。上述した設計により、主開口１１０の間の最短距離Ｄ２２または副開口の間の最短距離Ｄ２４は図３に示した主開口８５の間の距離Ｄ１０より大きい。従って、プローブカードの位置決め装置１００Ａは微細ピッチのプローブの末端部に対応できる。一方、プローブの直径が増大しても、主開口１１は相互に距離を十分に保つことができるため、破裂しにくい。
【００２０】
本実施形態において、第一副開口１２０と第二副開口１３０との間は偏倚距離Ｄ２６を有する。具体的に言えば、第一副開口１２０の両端は直線Ｌ１０に位置する。第二副開口１３０の両端は直線Ｌ１０に揃って位置することがないため、第一副開口１２０と第二副開口１３０との間に偏倚距離Ｄ２６が形成される。
一方、第一副開口１２０と第四副開口１５０との間は偏倚距離Ｄ２８を有する。具体的に言えば、第一副開口１２０の両端は直線Ｌ１０に位置する。第四副開口１５０の両端は直線Ｌ１０に揃って位置することがないため、第一副開口１２０と第四副開口１５０との間に偏倚距離Ｄ２８が形成される。
本実施形態は上述に限らず、第二副開口または第二副開口の両端を直線に位置させてもよいため、本発明を限定できない。
【００２１】
（一実施形態）
図５Ｂに示したのは本発明の一実施形態によるプローブカードの位置決め装置１００Ｂである。図４Ａに示した位置決め装置１００および図５Ａに示した位置決め装置１００Ａとの違いは次の通りである。
位置決め装置１００Ｂは任意の三つの隣り合う主開口１１０が三角形に配列されるタイプである。上述した設計により、位置決め装置１００Ｂは配列方式が異なるプローブの末端部に対応できる。一方、主開口１１０は相互に距離を十分に保つことができるため、破裂しにくい。また、本発明による位置決め装置において、複数の主開口の配列方式（孔配置）は上述した二つの実施形態に限らず、測定対象、装着するプローブの直径または位置決め装置の材料によって孔配置の方式が異なる。例えば、本発明は上述の二つの実施形態により提示された孔配置の方式を単一の測定対象に適用するか、上述の一つの実施形態により提示された孔配置の方式および一つの主開口だけの孔配置を単一の測定対象に適用することができるため、限定されない。
一方、主開口が測定対象上の接点の位置に基づいて配置されることなどの適用条件と、装着するプローブの直径とが変更されなければ、本発明による位置決め装置の主開口の形（本実施形態または以下の実施形態により提示される形）と、先行技術により提示された位置決め装置の主開口の形（図３参照）とを同じ位置決め装置に同時に用いることができるため、本発明は限定されない。言い換えれば、本発明により提示された主開口、第一副開口、第二副開口、位置決め部位および弾性部位の異形孔のうちの一つまたは一つ以上を位置決め装置に使用することは本発明の請求範囲に属すべきである。
一方、上述により本発明による位置決め装置の複数の主開口の配列方式（孔配置の方式）は測定対象の接点の間の距離に対応することが判明した。また、距離が同じ条件下で実際の状況に応じて本発明による位置決め装置の様々な主開口の形と、先行技術による位置決め装置の主開口の形（図３参照）とを同じ位置決め装置に同時に用いることができる。
【００２２】
（一実施形態）
図６に示したのは本発明の一実施形態による位置決め装置２００Ａである。図４Ａに示した位置決め装置１００との違いは次の通りである。位置決め装置２００Ａにおいて、主開口２１０Ａは幾何学中心Ｃ１０を通る対称線Ｌ２０を有する。第一副開口２２０Ａと第二副開口２３０Ａとは対称線Ｌ２０に相対する線対称である。第四副開口２５０Ａと第三副開口２４０Ａとは対称線Ｌ２０に相対する線対称である。詳しく言えば、対称線Ｌ２０は線対称の対称線である。位置決め装置２００Ａを対称線Ｌ２０に沿って半分に折れば、第一副開口２２０Ａの輪郭および位置が第二副開口２３０Ａの輪郭および位置に重なり、第四副開口２５０Ａの輪郭および位置が第三副開口２４０Ａの輪郭および位置に重なる。続く図８、図１０、図１２、図１４Ａおよび図１４Ｂに示した副開口も線対称である。
本実施形態において、第一副開口２２０Ａは長さが第三副開口２４０Ａの長さより小さい。上述した設計により、第一副開口２２０Ａと第二副開口２３０Ａとの間の第一弾性部位２６０Ａの剛性は第四副開口２５０Ａと第三副開口２４０Ａとの間の第二弾性部位２６０Ｂの剛性より小さいため、変形しやすく、損壊が起こりにくい。
【００２３】
（一実施形態）
図７に示したのは本発明の一実施形態による位置決め装置２００Ｂである。図４Ａに示した位置決め装置１００との違いは次の通りである。位置決め装置２００Ｂにおいて、第一副開口２２０Ｂは第三副開口２４０Ｂに平行である。第二副開口２３０Ｂは第四副開口２５０Ｂに平行である。第一副開口２２０Ｂは第二副開口２３０Ｂに平行ではない。第一副開口２２０Ｂの長さは第二副開口２３０Ｂの長さより大きい。
一方、本実施形態において、第一位置決め部位２６４Ａは主開口２１０Ｂの周りに位置する第一辺縁部２６４Ａ１を有する。第二位置決め部位２６４Ｂは主開口２１０Ｂの周りに位置する第二辺縁部２６４Ｂ１を有する。第一弾性部位２６２Ａは主開口２１０Ｂの周りに位置する第一辺縁部２６２Ａ１を有する。第二弾性部位２６２Ｂは主開口２１０Ｂの周りに位置する第二辺縁部２６２Ｂ１を有する。第一位置決め部位２６４Ａの第一辺縁部２６４Ａ１、第二位置決め部位２６４Ｂの第二辺縁部２６４Ｂ１、第一弾性部位２６２Ａの第一辺縁部２６２Ａ１および第二弾性部位２６２Ｂの第二辺縁部２６２Ｂ１の特徴は図４に示した実施形態の記載通りであるため、説明を省略する。
一方、第一副開口２２０Ｂと第二副開口２３０Ｂとの間は偏倚距離Ｄ２６Ｂを有する。第一副開口２２０Ｂと第四副開口２５０Ｂとの間は偏倚距離Ｄ２８Ｂを有する。偏倚距離Ｄ２６Ｂおよび偏倚距離Ｄ２８Ｂの特徴は図５Ａに示した実施形態の記載通りであるため、説明を省略する。
【００２４】
（一実施形態）
図８に示したのは本発明の一実施形態による位置決め装置２００Ｃである。図６Ａに示した位置決め装置２００Ａとの違いは次の通りである。位置決め装置２００Ｃにおいて、第一副開口２２０Ｃは第二副開口２３０Ｃに平行である。第三副開口２４０Ｃは第四副開口２５０Ｃに平行ではない。
【００２５】
（一実施形態）
図９に示したのは本発明の一実施形態による位置決め装置２００Ｄである。図７に示した位置決め装置２００Ｂとの違いは次の通りである。位置決め装置２００Ｄにおいて、第二副開口２３０Ｄおよび第四副開口２５０Ｄは直線状を呈する。第一副開口２２０Ｄおよび第三副開口２４０Ｄは曲線状を呈する。
【００２６】
（一実施形態）
図１０に示したのは本発明の一実施形態による位置決め装置２００Ｅである。図８に示した位置決め装置２００Ｃとの違いは次の通りである。位置決め装置２００Ｅにおいて、第一副開口２２０Ｅおよび第二副開口２３０Ｅは直線状を呈する。第三副開口２４０Ｅおよび第四副開口２５０Ｅは曲線状を呈する。
【００２７】
（一実施形態）
図１１に示したのは本発明の一実施形態による位置決め装置２００Ｆである。図７に示した位置決め装置２００Ｂとの違いは次の通りである。位置決め装置２００Ｆにおいて、第一副開口２２０Ｆおよび第三副開口２４０Ｆは折り線状を呈する。つまり、第一副開口２２０Ｆは連なる直線状部位２２０Ｆ１および直線状部位２２０Ｆ２を含む。第三副開口２４０Ｆは連なる直線状部位２４０Ｆ１および直線状部位２４０Ｆ２を含む。第一副開口２２０Ｆの直線状部位２２０Ｆ１は主開口２１０Ｆから離れ、第二副開口２３０Ｆに平行である。第一副開口２２０Ｆの直線状部位２２０Ｆ２は主開口２１０Ｆの近くに位置し、第二副開口２３０Ｆに平行ではない。
【００２８】
（一実施形態）
図１２に示したのは本発明の一実施形態による位置決め装置２００Ｇである。図８に示した位置決め装置２００Ｃとの違いは次の通りである。位置決め装置２００Ｇにおいて、第三副開口２４０Ｇおよび第四副開口２５０Ｇは折り線状を呈する。つまり、第三副開口２４０Ｇおよび第四副開口２５０Ｇはそれぞれ二つの連なる直線状部位を含む。第三副開口２４０Ｇは主開口２１０Ｇから離れる部位が第四副開口２５０Ｇに平行であり、主開口２１０Ｇに近い部位が第四副開口２５０Ｇに平行ではない。
【００２９】
（一実施形態）
図１３および図５Ａに示すように、本発明の一実施形態によるプローブホルダー２０は垂直型プローブカードに適用し、垂直型プローブカードの回路基板、例えばプリンター回路基板またはスペーストランスフォーマ（ｓｐａｃｅ  ｔｒａｎｓｆｏｒｍｅｒ）と、少なくとも一つの測定対象（Ｄｅｖｉｃｅ  ｕｎｄｅｒ  ｔｅｓｔ）とを電気的に接続する。詳しく言えば、プローブホルダー２０は、上ガイドプレート２１、下ガイドプレート２２、位置決め装置１００Ａおよび複数のプローブ９０を備える。上ガイドプレート２１は複数の穿孔２１ａを有する。下ガイドプレート２２は複数の穿孔２２ａを有する。位置決め装置１００Ａは上ガイドプレート２１と下ガイドプレート２２との間に位置し、複数の主開口１１０を有する。プローブ９０は位置決め装置１００Ａの主開口１１０を貫通し、上ガイドプレート２１の穿孔２１ａと下ガイドプレート２２の穿孔２２ａとの間に安定する。
本実施形態は上述に限らず、位置決め装置１００Ａの代わりに別の実施形態により提示された位置決め装置を使用することができる。プローブ９０はＭＥＭＳ技術（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍｓ）から製作されたＭＥＭＳプローブまたはワイヤのスタンピング加工によって製作されたプローブである。
【００３０】
上述したプローブカードの位置決め装置において、一つの主開口は二つの位置決め部位および二つの弾性部位に対応するが、これに限らない。本発明によるプローブカードの位置決め装置は主開口一つに一つの位置決め部位および一つの弾性部位の副開口が配置されるか、または主開口一つに複数の位置決め部位および複数の弾性部位の副開口が配置されてもよい。
続いて、一つの主開口が一つの位置決め部位および一つの弾性部位に対応する副開口の設計を下記の複数の実施形態に基づいて説明する。本発明によるプローブカードの位置決め装置の特徴と、上述した位置決め装置を使用するプローブホルダーの特徴とは上述した実施形態により明確にされる。以下の実施形態において、上述した実施形態と同じ部分は省略される。
【００３１】
（一実施形態）
図１４Ａに示すように、本発明の一実施形態によるプローブカードの位置決め装置３００Ａは主開口３１０Ａ、第一副開口３２０Ａ、第二副開口３３０Ａ、位置決め部位３６０Ａおよび弾性部位３８０Ａを備える。第一副開口３２０Ａおよび第二副開口３３０Ａは主開口３１０Ａに繋がるように主開口３１０Ａの周りに配列される。弾性部位３８０Ａは第一副開口３２０Ａと第二副開口３３０Ａとの間に位置付けられる。位置決め部位３６０Ａおよび弾性部位３８０Ａは相互に補い合う。つまり、位置決め部位３６０Ａおよび弾性部位３８０Ａは主開口３１０Ａの周り全体を囲む。
本実施形態において、位置決め部位３６０Ａおよび弾性部位３８０Ａは、主開口３１０Ａ上の第一副開口３２０Ａから第二副開口３３０Ａに繋がる部位以外の円周全体を囲む。位置決め部位３６０Ａの剛性は弾性部位３８０Ａの剛性より大きい。位置決め部位３６０Ａは主開口３１０Ａの周りに位置する辺縁部３６０Ａ１を有する。弾性部位３８０Ａは主開口３１０Ａの周りに位置する辺縁部３８０Ａ１を有する。位置決め部位３６０Ａの辺縁部３６０Ａ１および弾性部位３８０Ａの辺縁部３８０Ａ１は結合し、プローブに良好な位置決め効果を果たすことができる。
【００３２】
（一実施形態）
図１４Ｂに示したのは本発明の一実施形態によるプローブカードの位置決め装置３００Ｃである。図１４Ａに示した位置決め装置３００Ａとの違いは次の通りである。位置決め装置３００Ｃにおいて、主開口３１０Ｃの形は装着するプローブの末端部の断面の形（例えば矩形）に対応する。補い合う位置決め部位３６０Ｃおよび弾性部位３８０Ｃはプローブに良好な位置決め効果を果たすことができる。弾性部位３８０Ｃは弾性的に変形することによってプローブの損壊を抑制することができる。
本実施形態において、位置決め装置３００Ｃの主開口３１０Ｃは形が矩形を呈し、図１５に示したＭＥＭＳプローブ９０Ｂに対応できる。ＭＥＭＳプローブ９０Ｂのストッパー９２Ｂが主開口３１０Ｃを通ると、弾性部位３８０Ｃはストッパー９２Ｂから押し出され、弾性的に変形する。ストッパー９２Ｂが主開口３１０Ｃを通った後、弾性部位３８０Ｃは元の状態に復元する。
【００３３】
（一実施形態）
図１６に示したのは本発明の一実施形態によるプローブカードの位置決め装置４００である。図４Ａに示した位置決め装置１００との違いは次の通りである。位置決め装置４００において、主開口４１０の形は装着するプローブの末端部の断面の形（例えば矩形）に対応する。第一位置決め部位４６０、第二位置決め部位４７０、第一弾性部位４８０および第二弾性部位４９０は補い合い、プローブに良好な位置決め効果を果たすことができる。第一弾性部位４８０および第二弾性部位４９０は弾性的に変形することによってプローブの損壊を抑制することができる。
本実施形態において、位置決め装置４００の主開口４１０は形が矩形を呈し、図１７に示したＭＥＭＳプローブ９０Ｃに対応できる。ＭＥＭＳプローブ９０Ｃの二つのストッパー９２Ｃが主開口４１０を通ると、第一弾性部位４８０および第二弾性部位４９０はそれぞれストッパー９２Ｃから押し出され、弾性的に変形する。ストッパー９２Ｃが主開口４１０を通った後、第一弾性部位４８０および第二弾性部位４９０は元の状態に復元する。第一位置決め部位４６０と第二位置決め部位４７０とは向かい合うように配置され、第一弾性部位４８０と第二弾性部位４９０とは向かい合うように配置される。
【００３４】
上述したとおり、本発明による位置決め装置は位置決め部位および弾性部位が補い合うことによってプローブに良好な位置決め効果を果たすことができる。一方、プローブを差し込むと、副開口の間の弾性部位は適度に変形するため、摩擦力が大き過ぎることが原因でプローブを損壊させることを抑制できる。主開口と主開口との間は距離が増大するとともに強度が向上するため、主開口と主開口との間の部位が破壊されることを抑制できる。従って、プローブカードのプローブホルダーの組立作業を簡単化し、プローブカードのプローブホルダーの良品歩合を高めることができる。
【００３５】
本発明は、上記実施形態になんら限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の形態で実施可能である。
【符号の説明】
【００３６】
２０  プローブホルダー  
２１  上ガイドプレート  
２１ａ  穿孔  
２２  下ガイドプレート  
２２ａ  穿孔  
８０  プローブホルダー  
８１  上ガイドプレート  
８２  下ガイドプレート  
８４  位置決め装置  
８５  主開口  
８６  穿孔  
９０、９０Ｂ、９０Ｃ  プローブ  
９２  末端部  
９２Ｂ、９２Ｃ  ストッパー  
９４  ピン本体
１００、１００Ａ、１００Ｂ、２００Ａ〜２００Ｇ、３００Ａ、３００Ｃ、４００  位置決め装置  
１１０、２１０Ａ、２１０Ｂ、２１０Ｆ、２１０Ｇ、３１０Ａ、３１０Ｃ、４１０  主開口  
１２０、２２０Ａ〜２２０Ｆ、３２０Ａ  第一副開口
１３０、２３０Ａ〜２３０Ｇ、３３０Ａ  第二副開口
１４０、２４０Ａ〜２４０Ｇ  第三副開口
１５０、２５０Ａ〜２５０Ｅ、２５０Ｇ  第四副開口
１６０、２６４Ａ、４６０  第一位置決め部位
１７０、２６４Ｂ、４７０  第二位置決め部位
１８０、２６０Ａ、２６２Ａ、４８０  第一弾性部位
１９０、２６０Ｂ、２６２Ｂ、４９０  第二弾性部位
２２０Ｆ１、２２０Ｆ２、２４０Ｆ１、２４０Ｆ２  直線状部位
１６０Ａ、２６４Ａ１  第一辺縁部
１７０Ａ、２６４Ｂ１  第二辺縁部
１８０Ａ、２６２Ａ１  第一辺縁部
１９０Ａ、２６２Ｂ１  第二辺縁部
３６０Ａ、３６０Ｃ  位置決め部位
３８０Ａ、３８０Ｃ  弾性部位
３６０Ａ１  辺縁部
３８０Ａ１  弾性辺縁部位
Ｃ１０、Ｃ２０  幾何学中心
Ｌ１０、Ｌ１２  直線
Ｌ２０  対称線
Ｄ１０、Ｄ２２、Ｄ２４、Ｄ２６、Ｄ２８、Ｄ２６Ｂ、Ｄ２８Ｂ  距離
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４Ａ】
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【図１４Ｂ】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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