(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークピース（２０）の位置および／または寸法をチェックするためのタッチプローブ（１００）であって、
静止及び配置領域（７）を有する支持保護フレーム（２）と、
前記支持保護フレーム（２）に対して可動でありかつ前記支持保護フレーム（２）に部分的に収容されたアームセット（３）であって、チェックされるべき前記ワークピース（２０）に接触するように構成されたフィーラ（５）を支持するアーム（４）を備えるアームセット（３）と、
前記アームセット（３）を前記静止及び配置領域（７）に抗して付勢するように構成された推力装置と、
前記アームセット（３）と前記支持保護フレーム（２）との間で前記静止及び配置領域（７）に配置された拘束位置決めシステム（１７）であって、基準機械的ストッパ（１０）と、前記アームセット（３）の機械要素が前記支持保護フレーム（２）の機械要素と協働したときに閉じられる複数の接点（１３）と、を有する静止システムを備え、前記基準機械的ストッパ（１０）が前記タッチプローブ（１００）の静止位置を画定するように構成される、拘束位置決めシステム（１７）と、
前記接点（１３）の状態を検出し、すべての前記接点（１３）が閉じられたときに前記静止位置を示す信号を与えるように構成された処理回路（３０、３０’）と、
を備えるタッチプローブ（１００）において、
前記処理回路（３０、３０’）が前記接点（１３）のそれぞれの状態を個々に検出することができ、
前記接点（１３）のうちの１つが閉じられないことを前記処理回路（３０、３０’）が検出したときでも、前記処理回路（３０、３０’）が前記静止位置を示す前記信号を与えるように構成されること
を特徴とするタッチプローブ（１００）。
【請求項２】
前記接点（１３）が電気接点である、請求項１に記載のタッチプローブ（１００）。
【請求項３】
前記接点（１３）のそれぞれが前記処理回路（３０、３０’）の回路分岐に含まれ、前記回路分岐が並列接続される、請求項１または請求項２に記載のタッチプローブ（１００）。
【請求項４】
前記処理回路（３０’）が、閉じられた前記接点（１３）の数を表す信号を与えるように構成された分圧器（４０）を備える、請求項１から３のいずれか一項に記載のタッチプローブ（１００）。
【請求項５】
前記処理回路（３０’）が、両方とも前記分圧器（４０）に接続されたパルス発生器（４２）および閾値コンパレータ（４１）を備え、前記パルス発生器（４２）は、すべての前記接点（１３）が閉じている状態から１つの接点（１３）が開放した状態になったことを検出するとともにパルス信号を生成するように構成され、前記コンパレータ（４１）は、２レベル出力信号を生成するように構成され、一方のレベルは前記接点（１３）のうちの少なくとも２つが開いている状態を示し、他方のレベルはわずか１つの接点（１３）が開いている状態を示し、前記パルス信号および前記２レベル出力信号が、前記静止位置を示す前記信号を処理するために使用される、請求項４に記載のタッチプローブ（１００）。
【請求項６】
前記静止及び配置領域（７）に、制御信号を与えるように構成された検出システム（１５）を備える、請求項１から５のいずれか一項に記載のタッチプローブ（１００）。
【請求項７】
前記検出システム（１５）が少なくとも１つの圧電変換器を備える、請求項６に記載のタッチプローブ（１００）。
【請求項８】
ワークピース（２０）の位置および／または寸法をチェックするためのタッチプローブ（１００）によって出力された信号を処理する方法であって、前記タッチプローブ（１００）が、支持保護フレーム（２）と、前記支持保護フレーム（２）に対して可動でありかつ前記支持保護フレーム（２）に部分的に収容されたアームセット（３）と、基準機械的ストッパ（１０）と前記アームセット（３）の機械要素が前記支持保護フレーム（２）の機械要素と協働したときに閉じられる複数の接点（１３）とを有する静止システムであって、前記基準機械的ストッパ（１０）が前記タッチプローブ（１００）の静止位置を画定するようになされる、静止システムと、前記接点（１３）の状態を検出し、すべての前記接点（１３）が閉じられたときに前記静止位置を示す信号を与えるための処理回路（３０、３０’）とを備える、方法において、
前記処理回路（３０、３０’）を用いて前記接点（１３）のそれぞれの状態を個々に検出するステップ、および
前記接点（１３）のうちの１つが閉じられないことを前記処理回路（３０、３０’）が検出したときでも、前記処理回路（３０、３０’）を用いて前記静止位置を示す前記信号を与えるステップ
を特徴とする方法。
【請求項９】
閉じられた前記接点（１３）の数を検出するステップを含む、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記タッチプローブ（１００）の前記接点（１３）の数が６つであり、５つの閉じられた前記接点（１３）が検出されたときに前記静止位置を示す前記信号が与えられる、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
すべての前記接点（１３）が閉じている状態から１つの接点（１３）が開放した状態になったことが検出されたときに、パルス信号が生成され、
２レベル出力信号が生成され、一方のレベルは前記接点（１３）のうちの少なくとも２つが開いている状態を示し、他方のレベルはわずか１つの接点（１３）が開いている状態を示し、
前記パルス信号および前記２レベル出力信号が、前記静止位置を示す前記信号を処理するために使用される、請求項８から１０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１２】
前記処理回路（３０、３０’）に制御信号を与え、前記ワークピース（２０）の位置および／または寸法を前記チェックするために前記制御信号を処理するステップをさらに含む、請求項８から１１のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１３】
前記制御信号が、前記接点（１３）から離れた検出システム（１５）を用いて与えられる、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
１つまたは２つの接点（１３）が開いている状態から、前記アームセット（３）と前記支持保護フレーム（２）との間の相互運動に従って、前記１つまたは２つの接点（１３）の一方が閉じた状態になったことが検出されたときに、前記静止位置を示す前記信号が与えられる、請求項８に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークピースの位置および／または寸法をチェックするためのタッチプローブに関し、タッチプローブは、静止及び配置領域（ｒｅｓｔ  ａｎｄ  ｌｏｃａｔｉｎｇ  ａｒｅａ）を有する支持保護フレーム（ｓｕｐｐｏｒｔ  ａｎｄ  ｐｒｏｔｅｃｔｉｖｅ  ｆｒａｍｅ）と、支持保護フレームに対して可動でありかつ支持保護フレームに部分的に収容されたアームセット（ａｒｍｓｅｔ）であって、チェックされるべきワークピースに接触するように構成されたフィーラ（ｆｅｅｌｅｒ）を支持するアームを備えるアームセットと、アームセットを静止及び配置領域に抗して付勢するように構成された推力装置と、アームセットと支持保護フレームとの間の静止及び配置領域に配置された拘束位置決めシステムであって、基準機械的ストッパとアームセットの機械要素が支持保護フレームの機械要素と協働したときに閉じられる接点とを有する静止システムを備え、基準機械的ストッパがタッチプローブの静止位置を画定するようになされる、拘束位置決めシステムと、接点の状態を検出し、すべての接点が閉じられたときに静止位置を示す信号を与えるように構成された処理回路とを備える。
【０００２】
本発明は、ワークピースの位置および／または寸法をチェックするためのタッチプローブによって出力された信号を処理する方法にも関し、タッチプローブは、支持保護フレームと、支持保護フレームに対して可動でありかつ支持保護フレームに部分的に収容されたアームセットと、基準機械的ストッパとアームセットの機械要素が支持保護フレームの機械要素と協働したときに閉じられる接点とを有する静止システムであって、基準機械的ストッパがタッチプローブの静止位置を画定するようになされる、静止システムと、接点の状態を検出し、すべての接点が閉じられたときに静止位置を示す信号を与えるための処理回路とを備える。
【背景技術】
【０００３】
タッチプローブは、機械加工されるまたは機械加工されるべきワークピース、工具、工作台などをチェックするための三次元座標測定機および工作機械、特にマシニングセンタおよび旋盤に広く使用されている電気機械工具である。
【０００４】
例えば米国特許第４１５３９９８号明細書に記述されているように、この種のプローブは一般に、支持構造またはフレームと、フレームに対して可動でありかつチェックされるべきワークピースに接触するように構成されたフィーラを支持するアームを備えるアームセットと、を含む。特に、アームセットは、一般に直列の電気接点対を画定する導電性材料で作られた要素相互間の基準機械的ストッパにおいてフレームに結合されて、電気回路の一部となる。
【０００５】
プローブが静止位置にあるとき、アームセットは、ばねの推力を受けてすべての基準機械的ストッパにおいてフレームに結合される。電気接点の開閉は、例えば、これらの接点を横切る抵抗の変化をチェックすることによって検出される。フィーラがワークピースに接触すると、外力がアームセットにばねの推力とは逆に作用して、少なくとも１つの接点の応対により、フレームに対するアームセットの段階的解放を引き起こす。１つまたは複数の接点を横切る抵抗の値は、フィーラとチェックされるべきワークピースとの間の接触の結果として、所定の閾値を超えるまで徐々に増加して、プローブが静止位置から離れたことを示す出力信号を生じさせる。タッチプローブでは、チェックを繰り返し可能でありかつ信頼性のあるものにするために、フィーラとワークピースとの間の接触が終わると、プローブはプローブの静止位置に戻ることが重要である。
【０００６】
この要件は、フィーラとワークピースとの間の接触が、様々なタイプのセンサ、例えば、プローブに加わる合力を示す信号を放出する圧電センサまたはひずみゲージによって検出されるプローブにも存在する。この場合、アームセットとフレームとの間の結合ならびに対応する電気回路は、フィーラとワークピースとの間が実際に接触しているか接触していないかを、したがって、プローブがそれぞれ静止位置にないか静止位置にあるかを検出するための補助装置として使用することができる。より詳細には、センサは、例えば上記信号の放出直後の時点で、システムの状態に関する情報、特にフレームに対するアームセットのたわみに関する情報を必ずしも伝達できるとは限らないので、前記結合および関連する電気回路は、かかる情報を得るために使用することができる。このタイプのプローブは、国際公開第２０１２０５５８６６号パンフレットに記述されている。
【０００７】
これまで言及したタッチプローブでは、特に、繰り返しチェックするために使用される場合、プローブの静止位置への復帰を信号で誤って送るという問題が実際に起こり得る。特に、アームセットがばねの推力を受けて基準機械的ストッパでフレームに再び結合されたときに、フィーラとワークピースとの間の接触が終わるので、静止位置例えば、少なくとも１つの接点の応対によって検出される抵抗値が決定済み閾値未満には戻らないことにより、静止位置が正確に復元されずかつ／または信号で送られないかもしれない。
【０００８】
この問題を部分的に解決しようとする回路および方法が、欧州特許出願公開第０５０１６８１号明細書に記述されている。同出願は、能動構成要素、例えばトランジスタを備える信号処理用電気回路を含むプローブ、および接点を清浄にするステップを含むチェック方法に言及している。しかしながら、この既知の技法の主な欠点の中には、能動構成要素の切り替え時間および接点を清浄にするさらなるステップによってもたらされる遅延によるプローブの応答時間の増大、ならびに回路内を流れ得る大電流のために接点の表面を損傷させるリスクがある。
【０００９】
より複雑な解決法では、プローブが動作していないときにアームセット配置の示唆を与える。例えば、米国特許第５０９０１３１号明細書に提示されている解決法によれば、各基準機械的ストッパにひずみゲージが装着され、ひずみゲージは、所定の基準位置に対するアームセットのずれを全方向に測定し、したがってこれらのずれは後のチェックで考慮に入れられる。しかしながら、この既知の技法は、高価でありかつほとんどの場合に製造するのが困難である複雑な回路を必要とする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】米国特許第４１５３９９８号明細書
【特許文献２】国際公開第２０１２０５５８６６号パンフレット
【特許文献３】欧州特許出願公開第０５０１６８１号明細書
【特許文献４】米国特許第５０９０１３１号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明の目的は、ワークピースの位置および／または寸法をチェックするためのタッチプローブ、ならびに信号、例えば三次元座標測定機および工作機械においてワークピースの位置または寸法をチェックするように構成されたタッチプローブによって出力される信号を処理する方法を実現することであり、前記タッチプローブおよび方法は前述の不便さがなく、同時に容易かつ安価に実施される。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明によれば、このおよびその他の目的は、本明細書の不可欠な部分を形成する、請求項１に記載のタッチプローブおよび請求項８に記載の信号を処理する方法によって達成される。
【００１３】
本発明の目的および利点は、添付図面を参照して単に非制限的な例として与えられる、本発明の好ましい実施形態に関する以下の詳細な説明から明らかになるであろう。
【００１４】
次に、本発明について、非限定的な例として与えられる添付図面を参照して説明する。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明によるタッチプローブの縦断面の概略図である。
【図２】本発明によるタッチプローブの一構成要素の拡大縦断面を概略的に示す図である。
【図３】本発明の好ましい一実施形態によるタッチプローブ内の信号処理システムの概略回路ブロック図である。
【図４】前記処理システム内の信号処理ユニットの概略回路ブロック図である。
【図５】本発明の別の実施形態によるタッチプローブ内の信号処理システムの概略回路ブロック図である。
【図６】本発明の別の実施形態による処理エレクトロニクス（ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ）によって実施される有限状態マシンを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
図１は、ワークピース２０の位置および／または寸法をチェックするためのタッチプローブ１００の断面を概略的に示す。本発明の好ましい一実施形態では、プローブ１００は、例えば、縦軸線Ａを画定する支持保護構造またはフレーム２と、フレーム２に対して可動でありかつフレーム２に部分的に収容されたアームセット３と、を含む。アームセット３は、チェックされるべきワークピース２０に接触するように構成されたフィーラ５を支持するアーム４を備える。圧縮ばね８を有する推力装置がフレーム２とアームセット３との間に配置され、アームセット３をフレーム２の静止及び配置領域７に抗して付勢する。
【００１７】
拘束位置決めシステムが、アームセット３とフレーム２との間で静止及び配置領域７に配置される。前記拘束位置決めシステムは、アームセット３の機械要素が理想的には環状に配置されかつ互いに等距離のところにあるフレーム２の他の機械要素と協働することによって画定される基準機械的ストッパ１０を有する静止システムを備える。例えば、静止システムは、３つの基準機械的ストッパ１０によって等静圧状態であってもよく、基準機械的ストッパ１０はそれぞれ、フレーム２に固定されかつＶ字形座部を画定するように構成された２つの球体１２（球体１２の一方だけが図１に見える）と、アームセット３の一部である円筒形状のラジアル要素１１と、によって画定される。球体１２およびラジアル要素１１は、一般に所与の値範囲内にある所定の導電率を特徴とする導体または半導体材料によって全体的に作られ、そうでない場合はこの材料によって少なくとも部分的に覆われる。各ラジアル要素１１は、理想的点領域または接点１３（図２）、例えば電気接点で、２つの球体１２のそれぞれと別々に協働することができる。
【００１８】
静止及び配置領域７において、プローブ１００は、例えば少なくとも、フレーム２に接続されかつ縦軸線Ａに対して垂直な平面上に実質的に配置された層状の圧電素子または圧電変換器を備える、接点１３から離れた検出システム１５も含む。層状圧電変換器は、層状圧電変換器が受けた圧縮事象または減圧事象を、層状圧電変換器が受けた力変動を示す電気信号に変換する能力を有する。層状圧電変換器を有する検出システム１５は、上述したようにワークピース２０の位置および／または寸法をチェックするために、それ自体が知られる方法で処理され使用される制御信号を処理回路３０に送る。層状圧電変換器を有するタッチプローブに関するさらに詳しい説明は、既に引用した国際公開第２０１２０５５８６６号パンフレットに記述されている。
【００１９】
処理エレクトロニクスが支持構造２内に配置され、処理回路３０を含み、球体１２および検出システム１５は共に、太線で描かれた接続部で表されている電気導体を用いて処理回路３０に接続される。
【００２０】
本発明の好ましい一実施形態では、図３に概略的に示されているように、すべてのラジアル要素１１は既知の電位、通常は零位に接続され、各球体１２は、例えば処理回路３０の処理ユニット２９に接続される。接点１３は、図示の例では６つあり、より正確には、回路分岐がそれぞれ、１つのラジアル要素１１とこのラジアル要素１１が協働する対象の２つの球体１２の一方とで画定される１つの接点１３と、１つの処理ユニット２９とを備えるものであり、互いに並列接続されることが有利である。このようにして、処理回路３０は、６つの接点１３のそれぞれの状態を、言い換えると、それぞれの単一接点１３が閉じているか開いているかを個々に検出することができる。処理回路３０は、アナログ／デジタルコンバータ３５およびマイクロコントローラ３６も含む。マイクロコントローラ３６は、とりわけ、合力変動を示す信号の正確な放出のための検出システム１５によって送られた制御信号と、閉接点（閉じられた接点）１３の数、すなわちアームセット３とフレーム２の静止及び配置領域７との間の相互位置に関する示唆を与える、球体１２の状態、例えば球体１２のそれぞれの電位に関する信号と、を共に処理するようになされる。
【００２１】
本発明によるタッチプローブの処理回路および対応する処理方法をより良く例示するために、図４は、ただ１つの処理ユニット２９の概略回路ブロック図の主構成要素のうちのいくつかを示しており、この図は他の図でも同じである。球体１２（図４には見えない）に関連する電位は、供給電圧ＶＡに接続されたバイアス抵抗３２と、球体１２と球体１２が協働する対象のラジアル要素１１との間の接点１３に関連する接触抵抗との間の分圧器によって与えられる。
【００２２】
分圧器は、既知の動作原理に従って、コンパレータ３３に伝達される電位を生成し、この電位の閾値は、好ましくはプログラム可能な基準値ＶＴに固定され、それにより、対応する接点１３の状態を表す信号を生成する。接点１３が閉じると、理論上接点１３を横切る抵抗はゼロであり、コンパレータ３３の入力電位はゼロであり、コンパレータ３３の出力電位は高く、通常は前記コンパレータ３３の供給電圧に等しい。ラジアル要素１１が、ラジアル要素１１が載っている球体から離れるにつれて、接点１３が実質的に開いたとき、理論的には抵抗は無限大になり（実際には、決定値より大きい）、コンパレータ３３の入力電位は電圧発生器ＶＡの電位に相当し、コンパレータ３３の出力電位は低く、例えばゼロに等しい。処理ユニット２９は、コンパレータ３３に接続された、例えば信号にフィルタをかけ且つ信号を増幅するための信号調整回路３４も備える。
【００２３】
信号調整回路３４の出力電位は、それぞれがアナログ／デジタルコンバータ３５によってデジタル数字に好都合に変換されて、閉接点１３の数に関する示度を有し、この示度に基づいてプローブ１００の静止位置を示す信号を与えるために、マイクロコントローラ３６によって処理される。
【００２４】
本発明による信号を処理する方法が以下に記述される。
【００２５】
プローブ１００が初期静止位置にあるとき、すなわちフィーラ５とチェックされるべきワークピース２０との間の接触がない場合、ばね８の作用下で、３つのラジアル要素１１は球体１２によって実現されるＶ字形座部内に配置され、基準機械的ストッパ１０、したがってフレーム２に対するアームセット３の位置は一義的に画定される。かかる初期静止位置での基準機械的ストッパ１０のうちの１つの横断面を概略的に示す図２に示されているように、各ラジアル要素１１は、各ラジアル要素１１が配置されているＶ字形座部を画定する両球体１２に接触して、対応する６つの接点１３を閉じる。６つのコンパレータ３３はすべて、ゼロ入力電位を有し、それらのコンパレータ３３の供給電圧に等しい電位を対応する信号調整回路３４に伝達する。信号調整回路３４の出力信号は、それぞれアナログ／デジタルコンバータ３５によってデジタル数字に変換され、適切に合成され、次いでマイクロコントローラ３６に送られ、マイクロコントローラ３６は、その出力信号を処理し、前記初期静止位置を示す信号を与える。
【００２６】
例えば図１の二重矢印Ｘで示されている横方向に沿った、プローブ１００とチェックされるべきワークピース２０との間の相互運動に続いて、フィーラ５はワークピース２０に接触し、ワークピース２０はアームセット３に力を加え、この力は拘束位置決めシステムに伝達される。次いで、静止及び配置領域７は、検出システム１５の圧電変換器によって検出される圧縮事象または減圧事象を受け、圧電変換器は、前記相互運動の停止制御信号と合力変動を示す信号の両方を処理し放出するために、圧縮事象または減圧事象をマイクロコントローラ３６に送られるべき力変動を示す制御信号に変換する。３つの基準機械的ストッパ１０のうちの少なくとも１つの応対により、対応する２つの球体１２に対するラジアル要素１１の推力作用も起こり、他の２つ（または他の１つ）の基準機械的ストッパ１０においてばね８によって加えられる推力を解放する同時作用も起こり、結果として、１つまたは複数の接点１３の開放が起こる。一貫して、１つまたは複数の接点１３に対応するコンパレータ３３の入力電位は変えられるので、この種のコンパレータ３３は、信号調整回路３４によって適切に調整され、アナログ／デジタルコンバータ３５によって合成され、そしてデジタル化されるゼロ出力電位を個々に有し、協働が前記１つまたは複数の開接点（開いている接点）１３において失敗したこと、あるいは言い換えると、前記１つまたは複数の接点１３が開いていることをマイクロコントローラ３６に信号で送る。マイクロコントローラ３６はかかる信号を処理し、フィーラ５とワークピース２０との間に起こる接触、すなわちプローブ１００の動作状態を検出する。
【００２７】
同じ結果は、Ｘ以外の方向に沿った、例えばＺ方向に沿った相互運動によって与えられ、フィーラ５とチェックされるべきワークピース２０との間の接触に続いて、その後、少なくとも理論上、３つの基準機械的ストッパ１０のすべての応対による解放動作が起こり、結果として６つの接点１３の開放および層状圧電変換器における減圧が起こる。
【００２８】
チェック、それに続く、例えば横方向に沿って相互に反対の方向Ｘの、プローブ１００とワークピース２０との間の相互運動の終わりに、フィーラ５とワークピース２０との間の接触は解放され、プローブ１００は、基準機械的ストッパ１０によって画定される静止位置に戻る。前記位置では、少なくとも理論上、圧電変換器によって検出可能な圧縮事象および減圧事象は静止及び配置領域７内では起こらず、協働は前記接点１３に存在し、すなわち６つの接点１３がすべて閉じられ、前記接点１３から受け取った信号に基づいて処理回路３０によって検出される。本出願の出願人によって行われた実験的試験から、静止位置が機械的観点から正しく復元されてはいるにもかかわらず、すべての接点１３における協働の存在が電気的観点から信号で送られない状況、言い換えると、６つの接点１３がすべて閉じられたことが信号で送られない状況はしばしばあることが分かった。前記実験的試験に基づいて、特に、静止位置は、６つの接点１３すべてが閉じられたことが検出されたときだけでなく、前記６つの接点１３のうちの１つだけが閉じられていないと分かったことが検出されたときにも、すなわち６つの接点１３のうちの５つが閉じられたことが検出されたときにも、機械的観点から完全に復元されたと見なすことができる。第６の接点１３の閉鎖に関するシグナリングは、例えば、相対基準機械的ストッパ１０の部分的摩耗のために、あるいは、前記第６の接点１３を画定する球体１２とラジアル要素１１との間の酸化または薄い油層（一般にプローブの内部に存在する）の堆積による電気的機能不全のために行われない可能性がある。
【００２９】
図１および図３に示されている好ましい実施形態によれば、プローブ１００の静止位置および動作状態は、接点１３から受け取った信号に基づいて処理エレクトロニクスによって検出される。特に、本発明による信号を処理する方法では、マイクロコントローラ３６は、プローブ１００とチェックされるべきワークピース２０との間の接触、そしてフレーム２に対するアームセット３の相対運動に続いて、協働が６つの接点１３のうちの少なくとも２つの応対において存在しないとき、または、言い換えると、６つの接点１３のうちの少なくとも２つが開であると分かったときに、すなわち、６つのコンパレータ３３のうちの少なくとも２つの出力電位がゼロであるときに、プローブ１００の動作状態を示す信号を処理する。接触が終わると、実際には少なくとも５つの接点１３が再び閉じられた瞬間に、対応する少なくとも５つのコンパレータ３３は、ゼロ入力電位とコンパレータ３３の供給電圧に等しい出力電位とを有し、出力電位は、信号調整回路３４を用いて適切に調整され、アナログ／デジタルコンバータ３５によってデジタル化され合成され、そしてマイクロコントローラ３６に伝達される。マイクロコントローラ３６は、少なくとも５つの接点１３の応対による協働のシグナリングを入力信号として受け取る、すなわち、マイクロコントローラ３６は、少なくとも５つの接点１３が閉じられたという指示を受け取り、この指示に基づいて、プローブ１００の静止位置を示す信号を与える。
【００３０】
これまでに述べたように信号を処理する方法および回路に対する変形が、本発明の範囲から逸脱することなくなされ得る。
【００３１】
例えば、Ｖ字形座部およびラジアル要素１１はそれぞれアームセット３および支持フレーム２の一部でよく、または拘束位置決めシステムは、別の方法で、例えば、ケルビン結合（Ｋｅｌｖｉｎ  ｃｏｕｐｌｉｎｇ）として知られるものなどの別の等静圧系（ｉｓｏｓｔａｔｉｃ  ｓｙｓｔｅｍ）で実現され得る。
【００３２】
層状圧電変換器の代替手段として、プローブ１００は、様々なタイプのピエゾ抵抗変換器または圧力変換器を備える、異なる性質および配置の検出装置を含んでいてもよい。
【００３３】
接点１３が閉じられ、少なくとも理論上、接点１３を横切る抵抗がゼロに等しいとき、コンパレータ３３の入力電位はゼロとは異なる既知の電圧に等しいことに留意されたい。
【００３４】
あるいは、処理ユニット２９およびアナログ／デジタルコンバータ３５は、マイクロコントローラ３６内に実現されてもよい。
【００３５】
処理エレクトロニクスの別の実施形態では、アナログ／デジタルコンバータ３５は除去されてもよく、処理ユニット２９は、例えば、信号調整回路３４内に適切なサイズの抵抗器を、抵抗値が互いに同等または同程度になるように含めること、および、全体として考慮して、それらの抵抗器が単一分圧器として働き、この分圧器がすべての球体１２に関連する入力電位をとり、閉接点１３の数を表す信号を与えるようにするために、変更された処理ユニット２９を互いに接続することによって変更されてもよい。特に、前記分圧器は、前記分圧器の動作原理は知られており、アームセット３の機械構成要素とフレーム２の機械構成要素との間に存在する協働の数、すなわち開接点１３または閉接点１３の数に応じて変動する電圧比を特徴とし、開接点１３の数、そうでない場合は閉接点１３の数の指標を生成する。
【００３６】
本発明の別の実施形態では、マイクロコントローラ３６は、合力変動を示す信号を放出するためにコンパレータ３３の出力電位を処理するものであり、論理ゲートまたはプログラマブル論理ユニット、例えばＦＰＧＡに置き換えられてもよい。
【００３７】
好適には、これまで述べた回路および方法は、例えば合力変動を示す信号の放出後、検出システム１５が、前述のように、フレーム２に対するアームセット３の変位に関する情報を伝達できなくてもよいときに、プローブ１００の位置に関する情報に関連する検出システム１５の固有限界に対する補償を可能にする。これまで述べた回路は、プローブ１００とワークピース２０との間の相互運動が比較的遅いときに好適に使用されてもよく、相互運動はワークピース２０とフィーラ５との間の接触を効果的に引き起こすが、層状圧電変換器は、起きた接触を検出し、次いで相互運動の停止制御信号および合力変動を示す信号を処理し放出するために、マイクロコントローラ３６に必要なものより小さい信号を放出する。したがって、プローブ１００は、フィーラ５の接触およびいわゆるオーバストロークが起きた後で前記相互運動がすべきときに前記相互運動が停止せずに過度に継続するために、ワークピース２０のチェックに失敗することになるだけでなく、過大な機械的応力および／または破壊を受ける危険を冒すことにもなる。本発明によれば、上述した問題は、アームセット３とフレーム２との間の相互位置を示す信号を静止及び配置領域７において送るように構成された、接点１３を備える上述した別個の電気回路を含むタッチプローブによって解決される。
【００３８】
加えて、本発明のタッチプローブ目的の方法および回路により、単純な固体小型構成要素で優れた結果を得ることが可能になる。
【００３９】
本発明による他の可能な信号処理方法が、図６に示されているように、プローブ１００の静止位置を示す信号を処理するために接点１３における協働、言い換えると接点１３の開閉の存在を個々にかつ非対称に評価する有限状態マシン、例えばミーリマシン（Ｍｅａｌｙ  ｍａｃｈｉｎｅ）を実施するために、処理エレクトロニクスを使用することによって得られてもよい。当業者には周知のように、ミーリマシンは、現在状態と現在入力値、例えば接点１３の開放−１または閉鎖１との両方によって決定される出力値、例えば閉接点１３の数を特徴とする有限状態を有する。状態と入力値の各対に対して、一般に現在状態から未来状態への矢印で表される単一遷移が可能である。本発明によるミーリマシンの状態および遷移について以下で述べる。
【００４０】
初期状態は、例えば、６つの閉接点１３を特徴とする状態Ｓ０であり、プローブ１００は既述の初期静止位置にある。フレーム２に対するアームセット３の変位を決定する、プローブ１００とチェックされるべきワークピース２０との間の相互運動に続いて、既述の圧縮事象および減圧事象が静止及び配置領域７において起こり、関連する接点１３における抵抗の変化、したがって電位の変化も起こる。この場合、マイクロコントローラ３６が接点１３のうちの１つにおける、すなわちたった１つの接点１３の開放−１における失敗協働のシグナリングを受け取るとすぐに、マイクロコントローラ３６は、フィーラ５とワークピース２０との間に起こる接触を検出し、プローブ１００が静止位置から離れたことを示す信号を与え、前記相互運動の停止制御信号を放出することができる。したがって、プローブ１００の現在状態は、プローブ１００の動作状態を示す、静止位置以外の位置に対応する５つの閉接点１３およびただ１つの開接点１３を特徴とする状態Ｓ１である。この状態Ｓ１から始まると、プローブ１００は、ただ１つの開接点１３の閉鎖１または前記５つの閉接点１３のうちの少なくとも１つの開放−１によってそれぞれ決定される２つの異なる未来状態を交互にとり得る。
【００４１】
前者の場合、ただ１つの開接点１３は、例えばチェックされるべきワークピース２０との初期接触が終わると再び閉じ、マイクロコントローラ３６は、プローブ１００が、６つの接点１３のすべてが閉じられたことを特徴とする現在状態Ｓ０での静止位置に移動したことを示すシグナリングを受け取る。したがって、プローブ１００は、この特徴では、知られているプローブ、例えば、既述の国際公開第２０１２０５５８６６号パンフレットに示されているプローブの挙動と同様の挙動を示す。
【００４２】
後者の場合、例えば、プローブ１００とワークピース２０との間の相互運動の経過のために、５つの閉接点１３のうちの少なくとも１つが開く。マイクロコントローラ３６は、少なくとも別の開放−１のシグナリングを受け取り、これにより、プローブ１００は４つ以下の閉接点１３、すなわち少なくとも２つの開接点１３を特徴とする現在状態Ｓ２またはＳ３またはＳ４またはＳ５またはＳ６で動作状態を保つことが分かる。より詳細には、５つの閉接点１３の別の開放−１が、１回あたり１つ、次第に１つだけ減少する閉接点１３の数を特徴とする未来状態へのそれだけの遷移をＳ２、Ｓ３、Ｓ４、Ｓ５およびＳ６の順に決定し、最後の状態Ｓ６は、閉接点１３なし、すなわち６つの開接点１３を特徴としている。状態Ｓ６から始まると、例えば、プローブ１００とワークピース２０との間の相互運動が逆になると、６つの開接点１３はおそらく１回あたり１つ閉じる。６つの開接点１３のうちの４つの閉鎖１は、１つずつ、閉接点１３なしを特徴とする現在状態Ｓ６から次第に１つだけ減少する閉接点１３の数を特徴とする未来状態へのそれだけの遷移をＳ５、Ｓ４、Ｓ３およびＳ２の順に決定し、状態Ｓ２は、既述のように４つの閉接点１３、すなわち２つの開接点１３を特徴としている。２つの開接点１３の一方が閉じ、すなわち５つの接点１３が閉じられたことが分かると、マイクロコントローラ３６は、前記閉鎖１のシグナリングを受け取り、前記シグナリングに基づいて、本発明によれば、プローブ１００は静止位置に戻ったことを示す信号を与えるが、６つの接点１３のうちの１つは、５つの閉接点１３を特徴とする状態Ｓ７で開いていることが分かる。静止位置を示すこの最新状態Ｓ７から始まると、この場合も２つの可能性がある。すなわち、少なくとも第２の接点１３の開放時に、プローブ１００は、少なくとも２つの開接点１３を特徴とする現在状態を有する前の動作状態に戻る。あるいは、ただ１つの開接点１３の閉鎖時に、プローブ１００は、６つの閉接点１３を特徴とする現在状態Ｓ０を有する静止位置をとる。
【００４３】
さらなる情報については、図６から、接点１３の不変性０、すなわち接点１３が現在状態に関係なく開かないし閉じもしないことは、現在状態での永続性、すなわち未来状態が現在状態に対応することを常に決定することも分かる。
【００４４】
処理エレクトロニクス３０の計算複雑性の増大を考えると、本発明によるこの代替信号処理方法は、例えばプリストロークの明確な減少を特徴としているので、好ましい方法の既述の利点に加えて新たな利点を有する。またこのような理由で、接点１３の開閉のシグナリングは、プローブ１００の静止位置または動作状態に関する情報を有するためだけでなく、フィーラ５とワークピース２０との間に起こる接触を信号で送るために検出システム１５によって伝達される制御信号に代わるものとしても使用することができる。この点で、プローブ１００は、圧電変換器で達成され得るより良い性能のためにフィーラ５とワークピース２０との間に起こる接触を検出するために、検出システム１５によって伝達される制御信号をとにかく使用するが、ずっと速い応答時間および等方性挙動に関する限り、別のプローブを提供することができ、このプローブは、本発明による上述の代替信号処理方法を使用し、圧電変換器、一般に別個の検出システムを必要としないことに留意されたい。
【００４５】
本発明による別の異なる実施形態は、図５に示すように、前記接点１３のそれぞれの状態を個々に検出することもできる異なる処理回路３０’を備える。処理回路３０’は、既述の通り既知の動作原理を有する、図５に参照符号４０で参照されるただ１つの分圧器を含む。分圧器４０は、すべての接点１３が閉じられ対応するパルス信号を生成する状態から接点１３のうちの１つが開放した状態になったことを検出するように構成されたパルス発生器またはトリガ４２と、一方のレベルが、少なくとも２つの接点１３の応対による失敗協働、すなわち少なくとも２つの接点１３が開いている状態を示し、他方のレベルが、わずか１つの接点１３における失敗協働、すなわちわずか１つの接点１３が開いている（図示の例では、少なくとも５つの接点１３が閉じられている）状態を示す２レベル出力信号を生成するように構成された閾値コンパレータ４１と、の両方に従属接続される。特に、６つの閉接点１３のうちの１つだけが開くと、トリガ４２は、前記開放を示す対応パルス信号を生成するのに対して、５つの閉接点１３のうちの１つが開き、ただ１つの接点１３が既に開いていると、またはそうでなければ、２つの開接点１３のうちの１つだけが閉じ、他の４つの接点１３が閉じられると、閾値コンパレータ４１の出力信号は一方のレベルから他方のレベルに移る。閾値コンパレータ４１およびトリガ４２の出力信号はマイクロコントローラ３６に送られる。この別の異なる実施形態は、接点１３における協働の存在、すなわち接点１３の開閉を非対称に検討する前述の有限状態マシンによって実施されるものと同様の信号処理方法に従ってプローブ１００の静止位置を示す信号を処理するために、マイクロコントローラ３６が閾値コンパレータ４１（２レベル出力信号）およびトリガ４２（パルス信号）から受け取った信号を使用することを考慮する。特に、マイクロコントローラ３６は、第１の接点１３の開放時にマイクロコントローラ３６がトリガ４２から前記開放を示すパルス信号を受け取ったときに、プローブ１００が静止位置から離れたことを検出する。
【００４６】
ただ１つの開接点１３が再び閉じた場合、例えば、フィーラ５と検出されるべきワークピース２０との間の初期接触が終わると、トリガ４２はマイクロコントローラ３６にいかなる信号も送らない。しかしながら、そのような送信の失敗は、合力変動を示す信号を正確に放出するためにマイクロコントローラ３６によって検出システム１５から受信された制御信号の正確な処理を損なわない。
【００４７】
代わりに、例えばプローブ１００とワークピース２０との間の相互運動の経過のために、５つの閉接点１３のうちの１つが開いた場合、閾値コンパレータ４１の出力信号は、タイミングよく、少なくとも２つの接点１３の応対による失敗協働を示すレベル、すなわち少なくとも２つの接点１３が開いていることを示すレベルになり、マイクロコントローラ３６は、プローブ１００が動作状態であることを検出し続ける。例えばプローブ１００とワークピース２０との間の相互運動を逆にした結果として、閉接点１３が４つから５つに切り替わると、閾値コンパレータ４１の出力信号は、タイミングよく、わずか１つの接点１３における失敗協働を示すレベル、すなわち少なくとも５つの接点１３が閉じられたことを示すレベルになり、マイクロコントローラ３６は受け取った信号を処理し、したがって、マイクロコントローラ３６は、プローブ１００が静止位置にあることを検出し信号で送る。前記静止位置から始まると、マイクロコントローラ３６は、５つの閉接点１３のうちの１つが開き、閾値コンパレータ４１の出力信号が、少なくとも２つの接点１３の応対における失敗協働を示すレベル、すなわち少なくとも２つの接点１３が開いている状態を示すレベルに再びなると、新しい動作状態を検出し信号で送る。新しい動作状態は、単一接点１３が閉じられた後、６つの閉接点１３のうちの１つがその後開いたときでも、マイクロコントローラ３６によって検出され信号で送られ、トリガ４２は、前記新しい動作状態を示す対応パルス信号を生成する。
【００４８】
実施形態に関する既に述べた利点に加えて新たな利点を示す。先に述べた有限状態マシンとして、この実施形態もまたプリストロークの減少を特徴としているが、前記有限状態マシンとは異なり、この実施形態は、より低い生産コストを有するという別の利点を示す。さらに、この回路は、プローブ１００の内部のスペースをあまりとらない。加えて、この代替実施形態は、別個の検出システム１５が存在しないプローブ内でフィーラ５とワークピース２０との間に起こる接触も信号で送るために、接点１３の開閉に基づいて得られるシグナリングを使用することができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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