(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に塗布膜が形成され、保持台に水平に保持された基板の周縁部に前記塗布膜を除去するための薬液をノズルを介して供給する薬液供給装置を調整する方法において、
前記ノズルから前記薬液を吐出する工程と、
前記ノズルの先端と当該先端から吐出する薬液の空中における液流形成領域とを含む領域を撮像部により連続的に撮像する工程と、
前記撮像部による撮像結果に基づいて、撮像領域内における薬液の面積の時間的推移を示す面積推移データを取得する工程と、
前記面積推移データに基づいて、前記ノズルに接続された薬液供給路に設けられた供給制御機器を調整する調整工程と、を含み、
前記調整工程は、ノズルからの薬液の吐出停止のための制御信号が発せられた後の期間における前記面積推移データに基づいて、薬液の液切れ時におけるサックバックバルブによるサックバックに要するサックバック時間を求める工程と、
前記サックバック時間と予め設定した設定時間とに基づいて、前記サックバックバルブによるサックバック時間を調整する工程と、を含むことを特徴とする薬液供給装置の調整方法。
【請求項２】
前記調整工程は、ノズルからの薬液の吐出が開始され、吐出の安定区間に入った後、吐出終了のための制御信号が発せられるまでの期間における前記面積推移データに基づいて、薬液中の泡の有無を判断する工程と、泡が有ると判断したときに、薬液中の泡抜き作業を行う工程と、を含むことを特徴とする請求項１記載の薬液供給装置の調整方法。
【請求項３】
前記調整工程は、ノズルからの薬液の吐出停止のための制御信号が発せられた後の期間における前記面積推移データに基づいて、薬液の液切れ速度を調整する工程を含むことを特徴とする請求項１または２記載の薬液供給装置の調整方法。
【請求項４】
前記ノズルからの薬液の吐出開始のための制御信号が発せられた後、吐出状態が安定するまでの期間を含む期間における積算画像を表示する工程を含むことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一つに記載の薬液供給装置の調整方法。
【請求項５】
前記ノズルからの薬液の吐出終了のための制御信号が発せられた後における積算画像を表示する工程を含むことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか一つに記載の薬液供給装置の調整方法。
【請求項６】
前記調整工程は、
請求項２に記載した薬液中の泡の有無を判断する工程及び薬液中の泡抜き作業を行う工程を行い、
続いて、請求項３に記載した薬液の液切れ速度を調整する工程を行い、
然る後、請求項１に記載したサックバック時間を求める工程及び前記サックバック時間を調整する工程を行うことを特徴とする請求項１記載の薬液供給装置の調整方法。
【請求項７】
表面に塗布膜が形成されている基板の周縁部に前記塗布膜を除去するための薬液を供給する薬液供給装置に用いられるコンピュータプログラムを記憶する記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、請求項１ないし６のいずれか一つに記載の薬液供給装置の調整方法を実行するようにステップ群が組まれていることを特徴とする記憶媒体。
【請求項８】
表面に塗布膜が形成されている基板の周縁部に前記塗布膜を除去するための薬液を供給する薬液供給装置において、
前記基板を水平に保持する保持台と、
前記保持台上の基板の周縁部に前記薬液を吐出するノズルと、
前記ノズルから吐出する薬液の吐出位置が基板の外縁に沿って相対的に移動するように保持台を駆動する駆動部と、
前記ノズルに接続された薬液供給路に設けられ、薬液の供給を制御するための供給制御機器と、
前記ノズルの先端と当該先端から吐出する薬液の空中における液流形成領域とを含む領域を連続的に撮像する撮像部を取り付けるための取り付け部と、
前記撮像部による撮像結果に基づいて、撮像領域内における薬液の面積の時間的推移を示す面積推移データを取得するステップと、前記面積推移データに基づいて前記供給制御機器を調整するステップと、を実行するように制御信号を出力する制御部と、を備え、
前記供給制御機器は前記ノズルから前記薬液を吸引するためのサックバックバルブを含み、
前記供給制御機器を調整するステップは、ノズルからの薬液の吐出停止のための制御信号が発せられた後の期間における前記面積推移データに基づいて、薬液の液切れ時におけるサックバックバルブによるサックバックに要するサックバック時間を求めるステップと、前記サックバック時間と予め設定した設定時間とに基づいて、前記サックバックバルブによるサックバック時間を調整するステップと、を含むことを特徴とする薬液供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルから基板に薬液を供給して液処理を行う技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程の一つとして、基板の表面に塗布膜を形成する工程があり、塗布膜としては例えばレジスト膜、反射防止膜、エッチングマスクとなる有機膜あるいは絶縁膜などが挙げられる。塗布膜の形成工程は、基板を回転させて薬液を広げるスピンコーティングが主流であり、スピンコーティングにより基板の表面全体に薬液の液膜が形成される。液膜を形成するときに基板の周縁部にも液膜が回り込むので、周縁部から膜が剥がれてパーティクル汚染の要因になる。あるいは基板を搬送アームにより搬送するときに搬送アームに膜が付着し、搬送アームが後続の基板を搬送するときにその基板を汚染する懸念がある。
【０００３】
このため基板の表面に塗布膜を形成した後、塗布膜を除去する薬液、例えば溶剤により基板の周縁部の塗布膜を除去する工程が行われる。この工程は、基板が半導体ウエハの場合、スピンコーティングが終了した後、基板をスピンチャックにより回転させながらノズルから基板の周縁部に溶剤を吐出することにより行われる。  
【０００４】
一方、基板を有効活用するためにデバイスの形成領域をできるだけ基板の周端に近づけたいという要請があり、この要請に応えるために、基板の周縁部における塗布膜の除去幅をできるだけ狭くかつ周方向に均一にする必要がある。こうしたことから、塗布膜形成装置の運転を行う前に、溶剤のノズルの吐出状態（吐出停止状態を含む）について微妙な調整が要求される。この調整は、作業者がノズルから溶剤の吐出状態を目視により観察しながら行われるが、塗布膜形成装置は通常加熱ユニットや搬送系と共に筐体の中に配置されている。また塗布膜形成装置もケース体の中にスピンコーティングを行うカップモジュール、薬液の吐出用のノズル、バルブなどの薬液の供給制御機器の一部が収納されて構成されている。
【０００５】
このため、作業者は、部材が密集している狭くて暗い装置内でノズルからの溶剤の吐出状態を確認しなければならず、懐中電灯で内部を照らしても、作業が難航し、特にスプラッシュが起きているか否かなどの判断が難しい。更にまた吐出状態が良好か否かの判断が作業者の経験に頼っているため、判断に個人差が含まれることが避けられない。特許文献１には、塗布膜の除去液が基板の周縁部に吐出され、当該周縁部から飛散する方向をＣＣＤカメラで撮像し、除去液の吐出方向を調整する技術が記載されているが、ノズルからの除去液の吐出状態、吐出停止状態を調整する技術ではない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００８−１８３５５９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明はこのような背景の下になされたものであり、その課題は、塗布膜が形成された基板の周縁部に塗布膜除去用の薬液をノズルを介して供給するにあたって、ノズルの吐出状態（吐出停止状態を含む）の調整作業を容易に行うことができる技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の薬液供給装置の調整方法は、表面に塗布膜が形成され、保持台に水平に保持された基板の周縁部に前記塗布膜を除去するための薬液をノズルを介して供給する薬液供給装置を調整する方法において、
前記ノズルから前記薬液を吐出する工程と、
前記ノズルの先端と当該先端から吐出する薬液の空中における液流形成領域とを含む領域を撮像部により連続的に撮像する工程と、
前記撮像部による撮像結果に基づいて、撮像領域内における薬液の面積の時間的推移を示す面積推移データを取得する工程と、
前記面積推移データに基づいて、前記ノズルに接続された薬液供給路に設けられた供給制御機器を調整する調整工程と、を含み、
前記調整工程は、ノズルからの薬液の吐出停止のための制御信号が発せられた後の期間における前記面積推移データに基づいて、薬液の液切れ時におけるサックバックバルブによるサックバックに要するサックバック時間を求める工程と、
前記サックバック時間と予め設定した設定時間とに基づいて、前記サックバックバルブによるサックバック時間を調整する工程と、を含むことを特徴とする。
【０００９】
本発明の記憶媒体は、表面に塗布膜が形成されている基板の周縁部に前記塗布膜を除去するための薬液を供給する薬液供給装置に用いられるコンピュータプログラムを記憶する記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、本発明の薬液供給装置の調整方法を実行するようにステップ群が組まれていることを特徴とする。
【００１０】
本発明の薬液供給装置は、表面に塗布膜が形成されている基板の周縁部に前記塗布膜を除去するための薬液を供給する薬液供給装置において、
前記基板を水平に保持する保持台と、
前記保持台上の基板の周縁部に前記薬液を吐出するノズルと、
前記ノズルから吐出する薬液の吐出位置が基板の外縁に沿って相対的に移動するように保持台を駆動する駆動部と、
前記ノズルに接続された薬液供給路に設けられ、薬液の供給を制御するための供給制御機器と、
前記ノズルの先端と当該先端から吐出する薬液の空中における液流形成領域とを含む領域を連続的に撮像する撮像部を取り付けるための取り付け部と、
前記撮像部による撮像結果に基づいて、撮像領域内における薬液の面積の時間的推移を示す面積推移データを取得するステップと、前記面積推移データに基づいて前記供給制御機器を調整するステップと、を実行するように制御信号を出力する制御部と、を備え、
前記供給制御機器は前記ノズルから前記薬液を吸引するためのサックバックバルブを含み、
前記供給制御機器を調整するステップは、ノズルからの薬液の吐出停止のための制御信号が発せられた後の期間における前記面積推移データに基づいて、薬液の液切れ時におけるサックバックバルブによるサックバックに要するサックバック時間を求めるステップと、前記サックバック時間と予め設定した設定時間とに基づいて、前記サックバックバルブによるサックバック時間を調整するステップと、を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明は、塗布膜が形成された基板の周縁部に塗布膜除去用の薬液をノズルを介して供給するにあたって、ノズルの先端と当該先端から吐出する薬液の空中における液流形成領域とを含む領域を撮像部により連続的に撮像している。そして撮像結果に基づいて、撮像領域内における薬液の面積の時間的推移を示す面積推移データを取得し、このデータに基づいて、薬液供給路に設けられた供給制御機器を調整するようにしている。従って、ノズルの吐出状態（吐出停止状態を含む）の調整作業を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明に係るレジスト膜形成装置の縦断側面図である。
【図２】レジスト膜形成装置の平面図である。
【図３】レジスト膜形成装置に設けられるシンナーを吐出するノズルの斜視図である。
【図４】ノズルへシンナーを供給する供給制御機器の構成図である。
【図５】液流の状態を示す説明図である。
【図６】レジスト膜形成装置に設けられる制御部が取得するデータの一例を示す説明図である。
【図７】レジスト膜形成装置に設けられる制御部が取得するデータの一例を示す説明図である。
【図８】レジスト膜形成装置に設けられる制御部が取得するデータの一例を示す説明図である。
【図９】レジスト膜形成装置に設けられる制御部が取得するデータの一例を示す説明図である。
【図１０】制御部の画像処理によって得られるデータの一例を示す説明図である。
【図１１】ノズルから吐出されるシンナーの流量と時間との関係を示すグラフ図である。
【図１２】ノズルにシンナーを供給するための制御機器の調整フロー図である。
【図１３】ノズルから吐出されるシンナーの液流の状態を示す模式図である。
【図１４】制御機器の調整フロー図である。
【図１５】ノズルから吐出されるシンナーの液流の状態を示す模式図である。
【図１６】制御機器の調整フロー図である。
【図１７】ノズルの先端の状態を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図１、図２は、薬液供給装置が組み込まれたレジスト膜形成装置１の縦断側面図、平面図である。このレジスト膜形成装置１は、円形の基板である半導体ウエハ（以下、ウエハと記載する）Ｗの表面全体にレジスト膜を形成した後、ウエハの周縁部に薬液としてレジスト膜の溶剤であるシンナーを供給し、ウエハＷの周縁部の不要なレジスト膜を、当該周縁部に沿ったリング状に除去する。そのようにウエハＷにレジスト膜の形成及び周縁部のレジスト膜の除去（以下、通常処理と記載する）を行わないときに、このレジスト膜形成装置１は、上記のシンナーを供給するノズルに接続される配管に設けられる供給制御機器の調整を行うことができるように構成されている。当該実施形態において、この供給制御機器の調整は、レジスト膜形成装置１に設けられる制御部が自動で行う。
【００１４】
以下、レジスト膜形成装置１の各部について説明する。図１中１１はウエハＷの保持台をなすスピンチャックであり、ウエハＷの裏面中央部を吸着して、当該ウエハＷを水平に保持する。１２は回転駆動部であり、スピンチャック１１に保持されたウエハＷを鉛直軸回りに回転させる。１３、１４は、夫々レジスト吐出ノズル、シンナー吐出ノズルであり、鉛直下方へ夫々レジスト、シンナーを吐出する。このシンナー吐出ノズル１４は、ウエハＷ表面におけるレジストの濡れ性を高めるためにシンナーを吐出するノズルであり、上記の不要なレジスト膜を除去するためのノズルとは、別体のノズルとして設けられている。
【００１５】
図２に示すように、レジスト吐出ノズル１３、シンナー吐出ノズル１４は、支持部材を介して夫々移動機構１５、１６に接続されている。そして、レジスト吐出ノズル１３、シンナー吐出ノズル１４は、移動機構１５、１６により夫々水平且つ昇降自在に構成され、ウエハＷの中心部上とカップ２１の外側の待機領域との間で移動自在とされる。図２中、１７、１８は、移動機構１５、１６が夫々移動するためのガイドである。
【００１６】
カップ２１は、スピンチャック１１に保持されたウエハＷを囲むように設けられる。図１中２２は排気管であり、カップ２１内を排気する。２３は排液管であり、カップ２１の底部に開口し、当該底部における液体を除去する。図中２４はガイド部材であり、ウエハＷの下方側に設けられ、ウエハＷからこぼれ落ちた液体をカップ２１の底部にガイドすると共に、カップ２１内における気流の流れを規制する。
【００１７】
図中３１はレジスト膜除去用のシンナー吐出ノズルであり、斜め下方に伸びる棒状に形成され、その先端から薬液としてシンナーを吐出する。図中３２は、シンナー吐出ノズル３１にシンナーを供給するための薬液供給路をなす供給管であり、その上流側は流量検出部３３、供給制御機器５をこの順に介してシンナーの供給源３４に接続されている。シンナー吐出ノズル３１から吐出されるシンナーは、上記のウエハＷの周縁部のレジスト膜を除去する。従って上記の供給制御機器の調整はこの供給制御機器５について行われ、シンナー吐出ノズル３１、供給制御機器５、及びシンナー供給源３４は、薬液供給装置を構成する。供給制御機器５について、詳しくは後述する。また、上記の流量検出部３３は、供給されるシンナーの流量に応じて制御部６に検出信号を送信する。
【００１８】
以下、シンナー吐出ノズル３１の斜視図である図３も参照しながら説明する。シンナー吐出ノズル３１は、水平に伸びるアーム３５の先端側に支持されている。アーム３３の基端側は、図１に示す垂直な回転軸３６に接続されており、当該回転軸３６は回転機構３７により回転する。回転軸３６の回転により、シンナー吐出ノズル３１は、カップ２１内に載置されたウエハＷの周縁部上にシンナーを吐出するための通常処理用の吐出位置と、カップ２１の外側に設けられた排液用カップ３８にシンナーを吐出するための試験用の吐出位置と、の間で移動する。排液用カップ３８内には当該シンナーを除去するための図示しない排液路が設けられている。
【００１９】
上記の通常処理について説明しておくと、シンナー吐出ノズル１４からウエハＷの中心部に吐出されたシンナーは、回転駆動部１２によるウエハＷの回転の遠心力で周縁部へ行き渡る。その後、レジスト吐出ノズル１３からウエハＷの中心部に吐出されたレジストがシンナーと同様に、ウエハＷの回転による遠心力で周縁部へ行き渡り、ウエハＷの表面全体にレジスト膜が形成される。このようにシンナー及びレジストは、スピンコーティングによりウエハＷの表面に塗布される。然る後、通常処理用の吐出位置に位置するシンナー吐出ノズル３１から、回転駆動部１２により回転するウエハＷの周縁部にシンナーが供給され、ウエハＷの周縁に沿ってシンナーの吐出位置が移動することで、当該周縁部におけるレジスト膜が除去される。
【００２０】
図３の説明に戻る。図中４１は撮像部であるカメラであり、４２はカメラ４１の取り付け部である。カメラ４１は、取り付け部４２に対して着脱自在であり、例えばウエハＷに通常処理を行う際にはカメラ取り付け部４２から取り外され、供給制御機器５の調整を行う際にはカメラ取り付け部４２に取り付けられる。従って、複数のレジスト膜形成装置１間でカメラ４１の使い回しができる。
【００２１】
取り付け部４２に取り付けられたカメラ４１の撮像領域には、シンナー吐出ノズル３１の先端と、当該シンナー吐出ノズル３１から排液用カップ３８に向けて空中に吐出されるシンナーの液流が形成される領域と、が含まれる。撮像されたデータは、信号ケーブル４３を介して後述の制御部６に送信される。図３中４４は例えばＬＥＤにより構成される照明部であり、撮像が行えるように上記の撮像領域に光を照射する。なお、図が複雑になることを防ぐために図２では照明部４４の表示を省略している。また、図１、図２中１０は筐体であり、既述したカップ２１及び各ノズルを格納している。
【００２２】
供給制御機器５の調整では、シンナー吐出ノズル３１からシンナーを吐出開始してから吐出を終了するまで、カメラ４１により上記の撮像領域が連続的に撮像される。この撮像にて吐出状態の異常が検出された場合に、供給制御機器５の調整が行われる。シンナー吐出ノズル３１からの吐出状態の異常としては、例えばスプラッシュがあり、このスプラッシュは瞬間的に発生する。そのような瞬間的に発生する異常を撮像することができるように、上記の連続的な撮像としては、１／２００秒〜１／１０００秒間隔で繰り返し撮像が行われることが好ましく、この例では１／５００秒間隔で繰り返し撮像が行われる。
【００２３】
続いて、図４を参照しながら供給制御機器５の構成について説明する。この供給制御機器５としては、流量調整バルブ５１、サックバックバルブ５２が含まれ、シンナー供給管３２の下流側に向かって、この順に介設されている。流量調整バルブ５１の開度によって、下流側に供給されるシンナーの流量が調整される。また、この流量調整バルブ５１が開放された状態から閉鎖されることで、シンナー吐出ノズル３１においては、吐出されていたシンナーの液切れが起きる。この流量調整バルブ５１が開放状態から閉鎖状態になるまでのスピードを、液切れスピードと記載する場合がある。
【００２４】
サックバックバルブ５２は、容積が可変自在な流路を備え、上記のノズル３１からのシンナーの液切れ後、当該流路の容積が拡張することによってサックバックバルブ５２の下流側のシンナーが当該サックバックバルブ５２に向けて吸引され、シンナー吐出ノズル３１の先端に付着するシンナーの液滴が吸引されて除去される。このバルブ５２による吸引動作をサックバック、サックバックバルブ５２へ向けて吸引されるシンナーの量をサックバック量、吸引を行うサックバックバルブ５２の動作速度をサックバックスピードとして夫々記載する場合がある。流量調整バルブ５１の開閉動作と、サックバックバルブ５２のサックバック及びサックバック量とについては、制御部６から出力される制御信号によって制御される。
【００２５】
図中５３はエア供給ラインであり、その下流端は分岐して流量調整バルブ５１、サックバックバルブ５２に各々接続されている。図中５４、５５は分岐したエア供給ライン５３に介設されたスピードコントローラであり、流量調整バルブ５１、サックバックバルブ５２へ供給されるエアの流量を夫々調整する。流量調整バルブ５１についてはエアが供給されることで、当該バルブ５２が閉鎖され、シンナー吐出ノズル３１における液切れが起こる。この液切れのスピード、即ち流量調整バルブ５１の閉鎖スピードは、当該流量調整バルブ５１に供給されるエアの流量に対応する。つまり、スピードコントローラ５４によって、上記の液切れスピードが制御される。
【００２６】
サックバックバルブ５２においては、エアが供給されることで上記のサックバックが行われ、上記のサックバックスピードはサックバックバルブ５２に供給されるエアの流量に対応する。つまり、スピードコントローラ５５によって、サックバックスピードが制御される。スピードコントローラ５４、５５により各バルブに供給されるエアの流量は、制御部６から出力される制御信号に基づいて制御される。
【００２７】
続いて、図４に示す制御部６について説明する。制御部６はコンピュータであり、各種の演算を行うためのＣＰＵ６１、メモリ６２、プログラム格納部６３及び例えばディスプレイからなる表示部６４を備えており、これらは当該制御部６に含まれるバス６０に接続されている。また、バス６０には、上記の照明部４４や、図示をしていないが既述の移動機構１５、１６、回転駆動部１２、回転機構３７及び供給制御機器５などのレジスト膜形成装置１を構成する各部が接続されている。
【００２８】
プログラム格納部６３はプログラムを格納する記憶媒体であり、例えばフレキシブルディスク、コンパクトディスク、ハードディスク、ＭＯ（光磁気ディスク）あるいはメモリーカードなどにより構成されている。プログラムは、プログラム格納部６３に格納された状態で制御部６にインストールされ、バス６０を介してレジスト膜形成装置１の各部に制御信号を出力し、上記の通常処理、供給制御機器５の調整を夫々行うことができる。図４中、プログラム格納部６３に格納される供給制御機器５の調整を行うためのプログラムとして、６５、６６を表示している。プログラム６５は、カメラ４１により取得された画像データを画像処理し、後述する面積推移データ及び積算画像データを作成すると共に、表示部６４への各種の表示を行うためのプログラムである。プログラム６６は、画像データ及び画像データから作成された面積推移データに基づいて、メモリ６２内のデータを補正し、供給制御機器５の動作を制御するためのプログラムである。
【００２９】
例えばカメラ４１により取得された各画像データは、メモリ６２に記憶される。また、メモリ６２にはスピードコントローラ５４、５５の動作を制御するための設定値が記憶されており、この設定値に基づいてスピードコントローラ５４、５５の動作が制御される。さらに、メモリ６２にはサックバック量についての設定値が記憶されている。つまり、このメモリ６２には上記の液切れスピード、サックバック量及びサックバックスピードを規定するパラメータが記憶されている。また、メモリ６２には、解放時の流量調整バルブ５１の開度を規定するパラメータ、つまり安定して吐出される際のシンナーの流量を規定するパラメータも記憶されている。
【００３０】
液切れスピード、サックバックスピード、サックバック量の設定が不適切であると、シンナーの吐出状態が異常となる。また、ノズル３１に供給されるシンナーに泡が含まれていても吐出状態が異常となる。供給制御機器５の調整は、これらのパラメータについて適切な値を設定し、且つ供給管３２内のシンナーの泡を除去することで、シンナーの吐出状態が正常になるように行われる。なお、シンナーの吐出状態とは、制御部６からシンナーの吐出を停止させるための制御信号が出力された後の状態も含む。
【００３１】
供給制御機器５の調整を行うにあたって、シンナー吐出ノズル３１が排液用カップ３８上の試験用の吐出位置に位置した状態で、シンナーの吐出を開始するための制御信号（吐出開始トリガー）が流量調整バルブ５１に出力され、シンナーが吐出された後、吐出を停止させるための制御信号（吐出終了トリガー）が流量調整バルブ５１に出力される。このシンナーの吐出に並行して、既述の連続的な撮像が行われる。この連続的な撮像の開始のタイミングは、吐出開始トリガーの出力時よりも早いタイミングであり、連続的な撮像の終了のタイミングは、吐出終了トリガーの出力時よりも遅いタイミングである。
【００３２】
連続的な撮像の終了後、取得された各画像データに対して画像処理が行われ、画像データ中のシンナーの液流の面積が算出される。この算出は、概略的には、撮像領域内の所定の設定領域に含まれる液流を１つの長方形あるいは複数の長方形とみなし、長方形の面積の合計を求めることで行う。図５（ａ）〜（ｃ）は、互いに異なる形状の液流が撮像された画像データを示しており、以下、各液流についての面積の算出方法を説明する。
【００３３】
図５（ａ）に示すように液流が直線状であり、液柱を形成している場合、上記の設定領域に含まれる液流の長さＬ×液流の幅＝液流の面積として算出される。図５（ｂ）に示すように液流が曲線状である場合、上記の設定領域内において、例えば曲率が所定の値よりも大きくなる点で設定領域内の液流を区切る。そして、区切られた液流は各々長方形であるとみなし、各長方形の面積の合計値を液流の面積とする。図５（ｂ）では液流が４つに区切られている。区切られた液流についてノズル３１に近い方から第１領域、第２の領域、第３領域、第４領域とすると、液流の面積は、第１領域の長さＬ１×第１領域の幅＋第２領域の長さＬ２×第２領域の幅＋第３領域の長さＬ３×第３領域の幅＋第４領域の長さＬ４×第４領域の幅として算出される。
【００３４】
図５（ｃ）に示すように複数の液滴が点在する液流である場合、設定領域内の各液滴を長方形とみなし、液滴毎に当該面積の面積を算出し、算出された面積を合計して液流の面積を算出する。つまり図５（ｃ）の例では矢印で示す各液滴の面積を算出し、算出された面積を合計して液流の面積とする。なお、このように複数の液滴が点在する場合には、液滴群全体を囲む長方形を設定し、この長方形の面積を算出して液流の面積としてもよい。
【００３５】
上記のように各画像データから液流の面積が算出されると、当該面積について、時間による推移を示す面積推移データが作成される。上記の連続的な撮像が行われる期間（撮像全期間とする）を、時系列順に吐出開始時、吐出継続時、吐出終了時の３つに分けるものとして、面積推移データはこれらの期間毎に作成される。各期間の長さは予め設定されており、吐出継続時は、流量調整バルブ５１の開度が、メモリ６２に記憶された開度に応じた一定の開度になり、吐出状態が安定する期間に含まれる。そして、吐出開始時には吐出開始トリガーが出力されるタイミングと、その後の吐出状態が安定する期間と、が含まれる。吐出終了時には、吐出終了トリガーが出力されるタイミングと、当該タイミングの後の期間とが含まれる。
【００３６】
図６、図７のグラフは、吐出開始時、吐出終了時の各面積推移データの一例を示しており、グラフの横軸は所定の時刻からの経過時間（単位：秒）を、グラフの縦軸は面積を夫々示している。これら図６、図７はシンナーの吐出状態が正常である場合を示しており、グラフの説明のために、互いに異なる時刻にて取得された複数の画像データを、グラフの横軸に対応させて表示している。
【００３７】
吐出開始時においてシンナーの吐出が正常である場合、図６の各画像データで示すように、ノズル３１からシンナーの液柱が次第に伸び、直線状の液流が形成される。従って、図６の面積推移データとしては、液流の面積が次第に上昇した後で所定の値となり、その所定の値のまま推移する。また、吐出終了時においてシンナーの吐出が正常である場合、図７の各画像データで示すように、ノズル３１から吐出されるシンナーが液柱を形成する状態から液柱が途切れて液滴が吐出される状態となり、時間の経過に従って吐出される液滴が小さくなると共に液滴の間隔が大きくなる。その後、ノズル３１からの液滴の吐出が停止して液切れとなり、ノズル３１の先端に付着する液滴がサックバックにより除去される。従って、図７の時系列データとしては液流の面積が安定して推移する状態から、当該面積が次第に低下し、然る後０になる。
【００３８】
図８、図９のグラフは、図６、図７と同様に吐出開始時、吐出終了時の面積推移データであるが、シンナーの吐出状態が異常である例を示している。図８のグラフに示す経過時間１０×１／５００秒付近においては、液流の面積が急激に上昇し、然る後、急激に低下してピークを形成している。画像データに示すように、この液流の面積の上昇時にはノズル３１からのシンナーの吐出流量が過剰となり、液流の幅がノズル３１の幅より膨んだスプラッシュとなっている。そして、急激に液流の面積が低下したときには、液柱に途切れが発生した状態となっている。このような吐出状態となったのは、この面積推移データを取得したシンナーの吐出よりも１つ前のシンナーの吐出後のサックバック量が多すぎること及び／または吐出されるシンナー中に泡が含まれていたことによる。
【００３９】
また、経過時間１３×１／５００秒〜１５×１／５００秒においては液流の面積が安定しかけているが、その後、経過時間１６×１／５００秒〜２０×１／５００秒では、液流の面積の低下が起きている。画像データに示すようにこの面積の低下時には、液柱の途切れが発生している。これはノズル３１に供給されるシンナー中に泡が含まれていることによる。経過時間２１×１／５００秒以降は、液流の面積が再度上昇して安定している。なお、図８では画像データとして示していないが、泡を含んだシンナーが吐出されるときには、微小な液滴が比較的広い範囲に飛散したスプラッシュとなる場合が有る。その場合も、図５（ｃ）で説明したようにその微小な液滴毎に面積が算出されるため、液流の面積は正常時とは異なるように推移する。
【００４０】
また、図９の面積推移データのグラフに示す経過時間１×１／５００秒〜１５×１／５００秒では、液流の面積が急激に低下して０になった後、経過時間５５×１／５００秒〜９０×１／５００秒で、液流の面積は０と、０より僅かに大きい値との間で変動して推移している。この期間中の経過時間６３×１／５００秒の画像データで示すように、当該期間中にはノズル３１から液滴が吐出されている。また、経過時間１１０×１／５００秒には比較的大きな液流の面積のピークが現れ、画像データで示すようにこのピークの出現時には直線状の液流が形成されている。
【００４１】
このように液流の面積が推移するのは、流量調整バルブ５１を閉鎖するスピードが大きすぎることによる。具体的に説明すると、閉鎖するスピードが速いため、比較的早いタイミングでノズル３１からの吐出されるシンナーの液切れが一旦起きる。しかし、ウォーターハンマー現象により、流量調整バルブ５１の下流側ではシンナーが上流側に向かって移動しており、この上流側への移動後に当該シンナーが下流側に移動してノズル３１から吐出されるため、上記のように少量の液滴が吐出された後、比較的大きな流量でシンナーが吐出される。また、経過時間１３０×１／５００秒〜１５０×１／５００秒では、液流の面積が比較的低い値で不安定に推移している。画像データに示すように、この経過時間中においてはノズル３１から液滴が垂れ続けている。これはサックバック量が不足していることによる。
【００４２】
吐出継続時の面積推移データのグラフの例については図示していないが、吐出状態が正常であれば、ノズル３１から液柱が継続して形成されるため、液流の面積の値が一定のグラフとなる。吐出されるシンナーに泡が含まれている場合は、吐出状態が異常となり、液柱に途切れが生じたり、スプラッシュが発生することで、液流の面積の値が変動する。
【００４３】
また、図８、図９では液切れスピードが小さすぎる場合の不具合について示していないが、この場合は吐出終了時にノズル３１からシンナーの液滴が垂れ続けてしまうことになる。従って、面積推移データのグラフとしては、液流の面積が０より大きく、且つ比較的低い値で比較的長い時間推移し続けることになる。以上に説明したように、シンナーの吐出状態の異常は、面積推移データに反映されることになる。この面積推移データを用いて、供給制御機器５の調整が行われる。
【００４４】
ところで、各画像データからは上記の面積推移データの他に、積算画像データが作成される。この積算画像データは、複数の画像データにおける液流の画像を重ね合わせて作成される。つまり、異なる時刻において形成されたシンナーの液流の画像データが合成されて、１つの画像データとされる。この積算画像データとしては、吐出開始時の積算画像データ、吐出継続時の積算画像データ、吐出終了時の積算画像データ及び撮像全期間の積算画像データの４つが作成される。撮像全期間の積算画像データの液流は吐出開始時、吐出継続時、吐出終了時の各積算画像データの液流が合成されたものである。各積算画像データから得られる画像（積算画像）は表示部６４に表示されることで、装置のユーザーがシンナーの吐出状態の異常の有無について確認することができる。
【００４５】
図１０（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）は、吐出開始時の積算画像、吐出継続時の積算画像、吐出終了時の積算画像、撮像全期間の積算画像の例を夫々示している。図１０（ａ）、（ｃ）、（ｄ）については、上側に吐出状態が正常である例を、下側に吐出状態が異常である例を夫々示している。吐出開始時の積算画像について、図１０（ａ）の上段はスプラッシュが観察されず、図１０（ａ）の下段はスプラッシュが観察される。つまりユーザーは、積算画像中のスプラッシュの有無によって、吐出状態が正常か異常かを判断することができる。なお、このスプラッシュとしては、液滴が飛散することの他に、図８で示したように液流が膨らむことが含まれる。
【００４６】
吐出継続時の積算画像については吐出開始時と同様に、スプラッシュが観察されない場合と、スプラッシュが観察される場合とが有る。ユーザーは、図１０（ｂ）に示すようにスプラッシュが観察されない場合は吐出状態が正常であると判断し、スプラッシュが観察される場合は吐出状態が異常であると判断することができる。図１０（ｃ）の吐出終了時の積算画像おいて、ノズル３１から液垂れが起きている場合には垂直性の高い液流が観察されるので、ユーザーは、そのような液流が観察されない場合には吐出状態が正常であり、そのような液流が観察される場合には吐出状態が異常であると判断することができる。図１０（ｄ）の撮像全期間の積算画像は、上記のように吐出開始時、吐出継続時、吐出終了時の液流の画像が合成されたものであるため、スプラッシュ及び垂直性が高い液流が観察されない場合には吐出状態が正常であると判断することができ、スプラッシュまたは垂直性が高い液流が観察されない場合には吐出状態が異常であると判断することができる
【００４７】
この実施形態においては、供給制御機器５の調整が自動で行われるので、吐出状態が正常であるか否かの判定は制御部６が行う。従って、既述した積算画像に基づいたユーザーの判断が行われないが、後述のようにユーザーが手動で供給制御機器５の調整を行うためには、このような積算画像を用いて吐出状態が正常であるか否かの判定を行うことが有効である。
【００４８】
続いて、自動で行われる供給制御機器５の調整について説明するために、図１１のグラフについて説明しておく。このグラフは、ノズル３１から正常にシンナーが吐出される場合の時間と、当該ノズル３１から吐出されるシンナーの流量との関係を示したグラフである。グラフの横軸は所定の時刻からの経過時間を、縦軸はノズル３１から吐出されるシンナーの流量を夫々示している。このグラフに示すようにシンナーの流量が推移するように、供給制御機器５の調整が行われる。
【００４９】
グラフにおける流量の推移について具体的に説明すると、吐出開始トリガーが出力されてから所定の時間経過した時点ｔ１までは流量調整バルブ５１の開度が上昇することで流量が上昇する。そして、時点ｔ１から吐出終了トリガーが出力される時点までは流量調整バルブ５１の開度が一定となり、流量が一定となる。その後、吐出終了トリガーが出力された時点からは、流量調整バルブ５１の開度が低下することで流量が低下し、やがて流量調整バルブ５１が閉鎖されて流量が０になる。時点ｔ１から吐出終了トリガーが出力される時点までを吐出安定区間（グラフ中点線の矢印で示す区間）とすると、上記の吐出継続時は吐出安定区間に含まれ、上記のメモリ６２に記憶される流量調整バルブ５１の開度は、吐出安定区間における開度を規定している。
【００５０】
以下、供給制御機器５の自動調整の工程について説明する。先ず、図１２に示す、ノズル３１に供給されるシンナーが泡を含まない状態にし（泡噛みの除去）、且つ吐出安定区間のシンナーの流量を目標流量にするためのフローが行われる。ユーザーが制御部６に対して所望の目標流量を設定すると、この設定に応じた流量調整バルブ５１のバルブ開度がメモリ６２に記憶される（ステップＳ１）。
【００５１】
その後、既述したようにカメラ４１により連続的な撮像が開始され、この撮像開始に若干遅れて吐出開始トリガーが出力されて、試験用吐出位置に位置するノズル３１からシンナーの吐出が開始される。そして、流量調整バルブ５１の開度がメモリ６２に記憶された開度となる一方で、流量検出部３３からの検出信号が制御部６に送信される（ステップＳ２）。然る後、吐出終了トリガーが出力されてシンナーの吐出が終了し、この吐出終了に若干遅れて連続的な撮像が停止する。
【００５２】
撮像停止後、取得された各画像データが画像処理され、撮像全期間の積算画像データと、吐出開始時、吐出継続時、吐出終了時における各積算画像データと、吐出開始時、吐出継続時、吐出終了時における各面積推移データが作成される。また、これら積算画像データ及び面積推移データの作成に並行して、流量検出部３３から送信される検出信号に基づいて、吐出安定区間における流量値が検出される（ステップＳ３）。然る後、吐出継続時の面積推移データに基づいて、ノズル３１から吐出されたシンナーに泡が含まれていたか否かについて判定される（ステップＳ４）。
【００５３】
このステップＳ４の判定について、図１３を参照しながら説明する。図１３は、吐出安定区間にて取得される画像データを模式的に示している。なお、この図１３及び後述する図１５、図１７では、説明の便宜上、ノズル３１内に含まれるシンナーが撮像されているように示しているが、図６〜図９に示したようにノズル３１内のシンナーについては撮像されなくてよい。吐出継続時に吐出されるシンナーが泡を含まず、正常な状態で吐出される場合、取得されるすべての画像データにおいて、図１３（ａ）に示すようにシンナーの液流に途切れがなく、当該液流は柱状になっている。従って、吐出継続時の面積推移データの液流の面積は一定となる。
【００５４】
しかし、吐出されるシンナーが泡を含み、吐出状態が異常な場合は、図１３（ｂ）、図１３（ｃ）に示すように液柱が複数に分断されたり、液柱が短くなった画像データが取得されるので、吐出継続時の面積推移データの液流の面積は変動する。既述したように泡が含まれることで、液流が分断されたり短くなる他に、スプラッシュが起きる場合も液流の面積は変動する。従って、ステップＳ４では、吐出継続時の液流の面積が一定である場合は、泡が含まれていない（泡噛みが無い）と判定され、液流の面積が変動している場合は、泡が含まれている（泡噛みが有る）と判定される。
【００５５】
ステップＳ４で泡が含まれていると判定されると、ノズル３１から所定量のシンナーが予め設定された回数、排液用カップ３８に吐出され、供給管４２内のシンナーが除去される。当該シンナーが泡を含む場合、この泡もシンナーと共に除去されるので、このシンナーの除去は供給管４２内のシンナーの泡抜き作業である（ステップＳ５）。ステップＳ５の実行後は、ステップＳ２以降の各ステップＳが実施される。
【００５６】
ステップＳ４で泡が含まれていないと判定された場合は、検出された流量が目標流量に対して一致しているか、目標流量より多いか、目標流量より少ないかが判定される（ステップＳ６）。このステップＳ６で、目標流量より多いと判定された場合には、メモリ６２に記憶された流量調整バルブ５１の開度について、所定量の調整値が減算されて補正される（ステップＳ７）、その後、ステップＳ２以降の各ステップＳが実施される。ステップＳ６で、目標流量より少ないと判定された場合には、メモリ６２に記憶されたバルブの開度について所定量の調整値が加算されて補正される（ステップＳ８）。その後、ステップＳ２以降の各ステップＳが実施される。ステップＳ６で、検出された流量が目標値に対して一致していると判定された場合は、次工程のフローである液切れ調整を行うフローに移行する。
【００５７】
続いて、液切れ調整を行うフローについて、図１４のフローチャートを参照しながら説明する。メモリ６２に記憶されるサックバック量、サックバックスピードの各設定値が、例えば初期値から０に変更される。即ち、ノズル３１からシンナーを吐出後、サックバックが行われない設定とされる。また、メモリ６２に記憶されるスピードコントローラ５４の液切れスピードの設定値は、例えば任意の初期値に設定される（ステップＴ１）。
【００５８】
然る後、既述した泡噛みの除去のフローにおけるステップＳ２と同様に、カメラ４１による連続的な撮像が行われ、この連続的な撮像期間中にシンナーの吐出が行われる（ステップＴ２）。そして、ステップＳ３と同様に各画像データが画像処理され、各期間の積算画像データと、各期間の面積推移データが作成される（ステップＴ３）。例えばステップＴ２で取得された画像データのうち、最後に取得された、つまり最も新しく取得された画像データに基づいて液切れが適切であるか否か判定される（ステップＴ４）。このステップＴ４では、例えば図１５の中央に示すようにノズル３１の先端にシンナーが付着した状態になっている場合、液切れが適切であると判定される。そして、図１５の左側に示すようにノズル３１の先端に液滴が付着していない場合、及び図１５の右側に示すように先端から滴り落ちている場合は、液切れが適切ではないと判定される。このステップＴ４にて、液切れが適切と判定された場合は、次工程であるサックバックの調整フローに移行する。
【００５９】
ステップＴ４にて液切れが適切ではないと判定された場合は、ステップＴ３で取得した吐出終了時の面積推移データに基づいて、液垂れが長く続いたか否かについて判定される（ステップＴ５）。このステップＴ５の判定の具体的な一例について説明する。液垂れが起きると、吐出停止トリガーの出力後に液流の面積が０より大きく比較的小さい値で推移する波形が出現する。流量調整バルブ５１の閉鎖速度が大きすぎると、図９の５５×１／５００秒〜９０×１／５００秒で例示されるように、そのような波形が出現する期間は比較的短く、流量調整バルブの閉鎖速度が小さすぎると、そのような波形が出現する期間は比較的長い。そこで、例えば吐出停止トリガーの出力後、液流の面積が０より大きく所定の値以下となっている期間が、しきい値を超える場合には、液垂れが長く続いたと判定され、しきい値を越えない場合には、液垂れが長く続いていないと判定される。
【００６０】
ステップＴ５にて、液垂れが長く続いたと判定されると、メモリ６２に記憶される液切れスピードの設定値が所定の量増加するように補正される。即ち、流量調整バルブ５１の閉鎖速度が所定の量大きくなるように、スピードコントローラ５４の動作を制御する設定値が補正される（ステップＴ６）。ステップＴ５にて、液垂れが長く続いていないと判定されると、メモリ６２に記憶される液切れスピードの設定値が所定の量低下するように補正される。即ち、流量調整バルブ５１の閉鎖速度が所定の量小さくなるように、スピードコントローラ５４の動作を制御する設定値が補正される（ステップＴ７）。ステップＴ６、Ｔ７の実行後は、ステップＴ２以降のステップＴが行われ、ステップＴ４にて液切れが適切であると判定された場合には、サックバックの調整フローが開始される。
【００６１】
続いて、サックバックの調整フローについて、図１６のフローチャートを参照しながら説明する。この調整フローでは、液切れから１秒後に適切な量でサックバックするように各部の調整が行われる。先ず、メモリ６２に記憶されるサックバック量の設定値が初期値Ａ０、サックバックスピードの設定値が初期値Ｂ０に変更される（ステップＵ１）。つまり、シンナー吐出後にサックバックが行われるように設定される。然る後、ノズル３１からシンナーの吐出が行われ、吐出後にサックバックが行われる。
【００６２】
続いて既述のステップＳ２、Ｔ２と同様に、カメラ４１による連続的な撮像が行われ、この連続的な撮像期間中にシンナーの吐出が行われる（ステップＵ２）。そして、ステップＳ３、Ｔ３と同様に各画像データが画像処理され、各期間の積算画像データと、各期間の面積推移データとが作成される（ステップＵ３）。その後、吐出開始時の面積推移データに基づいて、当該吐出開始時にスプラッシュが発生しているか否かが判定される（ステップＵ４）。
【００６３】
この判定の一例について具体的に説明する。図８で説明したようにスプラッシュが発生すると、液柱の膨らみ、または液柱の途切れが生じる。また、液滴の飛散が生じる場合もある。液柱が膨らむと液流の面積が急激に上昇する。また、液柱の途切れが生じたり、液滴が飛散した状態になると液流の面積が急激に減少する。そこで、このステップＵ４においては、例えば面積推移データのグラフを微分し、その微分値が上限のしきい値を超えず、且つ下限のしきい値を超えない場合にはスプラッシュが発生していないものと判定され、微分値が上限のしきい値または下限のしきい値を超える場合にはスプラッシュが発生したものと判定される。
【００６４】
ステップＵ４でスプラッシュが発生していると判定された場合は、メモリ６２のサックバック量の設定値を所定の量であるＡ１減少させる（ステップＵ５）。このステップＵ５の実施後は、ステップＵ２以降のステップＵが行われる。ステップＵ４でスプラッシュが発生していないと判定された場合は、吐出終了時の各画像データに基づいてサックバックが行われたか否かの判定が行われる（ステップＵ６）。この判定について、図１７を参照しながら説明する。例えば図１７の左側に示すようにノズル３１の先端に液滴が付着している状態の画像が取得された後に、図１７の右側に示すように先端の液滴が除去されている画像が取得されていれば、サックバックが行われたと判定される。そのように液滴が除去されている画像が取得されていなければ、サックバックが行われていないと判定される。
【００６５】
ステップＵ６で、サックバックが行われていないと判定された場合、メモリ６２のサックバック量の設定値を所定の量であるＡ２増加させると共にサックバックスピードを所定の量であるＢ２増加させるように補正する（ステップＵ７）。この補正後は、ステップＵ２以降のステップＵが行われる。
【００６６】
ステップＵ６でサックバックが行われたと判定された場合、サックバック時間について１秒である、１秒より遅い、及び１秒より早い、のうちのいずれに該当するかが判定される（ステップＵ８）。この判定について説明すると、図１７の右側に示すノズル３１の先端の液滴が除去された画像が取得された時点から、図１７の左側に示す液滴が付着して静止した状態の画像が取得された時点までの時間が１秒であるか否か判定される。画像データは所定の間隔で取得されているため、例えばこのサックバック時間についての判定は、図１７の右側の画像が取得されてから、図１７の左側の画像が取得されるまでに取得された画像の数に基づいて行われる。
【００６７】
ステップＵ８でサックバック時間が１秒より短いと判定された場合は、メモリ６２のサックバックスピードの設定値を所定の量であるＢ１減少させる（ステップＵ９）。ステップＵ８でサックバック時間が１秒より長いと判定された場合は、メモリ６２のサックバックスピードの設定値を所定の量であるＢ２増加させる（ステップＵ１０）。なお、サックバックスピードが遅すぎる場合は液垂れするおそれがあり、サックバックスピードが早すぎる場合は泡を噛み込み、次にシンナーを吐出するときにスプラッシュが起きるおそれがある。このような吐出異常が発生することを防ぐために、ステップＵ８〜Ｕ１０でサックバックスピードが調整される。このステップＵ９、ステップＵ１０の終了後は、ステップＵ２以降の各ステップＵが実行される。ステップＵ８でサックバック時間が１秒と判定された場合は、供給制御機器５の自動調整が終了する。自動調整の終了後は通常処理が行われ、各フローでメモリ６２に設定されたパラメータに基づいてシンナーの給断が行われ、ウエハＷの周縁部のレジスト膜が除去される。
【００６８】
このレジスト膜形成装置１によれば、レジスト膜が形成されたウエハＷの周縁部にレジスト膜除去用のシンナーをノズル３１を介して供給するにあたって、ノズル３１の先端と当該先端から吐出するシンナーの空中における液流形成領域とを含む領域をカメラ４１により連続的に撮像している。そして撮像結果に基づいて、撮像領域内におけるシンナーの面積の時間的推移を示す面積推移データが取得される。この面積推移データに基づいて、シンナーのスプラッシュやシンナー吐出終了後の液垂れが起らないように、供給制御機器５の動作を制御するためのメモリ６２内の各パラメータが自動調整されると共に、供給管３２内の泡の除去が自動で行われる。従って、背景技術の項目で記載したような、作業者が狭くて暗い装置内でノズル３１からのシンナーの吐出状態を観察する必要が無いので、容易にシンナーの吐出状態を調整することができ、調整に要する作業時間の短縮も図ることができる。またシンナーの吐出状態について判定するにあたり、作業者間で差が生じることを防ぐことができるので、供給制御機器５の調整作業に作業者間で差が生じることを防ぐことができる。
【００６９】
また、瞬間的にスプラッシュが発生したり、スプラッシュによって飛散する液滴が微小であっても、連続的な撮像を行っていることによって、これら瞬間的なスプラッシュ及び微小な液滴が含まれた画像データを取得することができる。従って、作成される面積推移データは、このスプラッシュの発生がより確実に反映されたものになるため、供給制御機器５の自動調整を精度高く行うことができる。従って、通常処理時においてシンナーの吐出状態が異常になることを、より確実に抑えることができる。
【００７０】
上記の供給制御機器５の調整は、制御部６により自動で行うことに限られず、ユーザーが手動で行うようにしてもよい。その場合、上記の各フローで画像データが取得されたら、この画像データから得られる画像、積算画像及び面積推移データのグラフなど、判定に必要なものを表示部６４に表示できるようにする。また、このように手動調整を行う場合、例えば上記の各ステップで、面積推移データの代わりに積算画像により判定を行うことができるステップは、積算画像を用いて判定を行ってもよい。例えば、図１６のサックバック調整フローにおけるステップＵ４のスプラッシュの有無の判定については、積算画像を用いて判定することができる。なお、自動調整時においてもこのステップＵ６の判定は、積算画像データに基づいて行ってもよい。
【００７１】
このように、ユーザーが手動で調整を行うにあたり、静止画像である積算画像を取得していることは、作業の効率化を図る上で有効である。例えば、取得した画像データからシンナーの吐出状態を表す動画を作成することも可能である。しかし、動画では吐出状態の異常の有無を確認するために、ユーザーが当該動画の開始時点から終了時点へ向かって時間をかけて見る必要があるが、図１０で例示したように積算画像を用いた場合は一瞥して異常の有無を確認することができる。また、既述したようにスプラッシュは瞬間的に発生するため、動画ではスプラッシュの確認が困難である場合も、積算画像を用いることで容易に確認することができる。さらに上記の例では、吐出開始時、吐出継続時、吐出終了時の各期間の積算画像を取得しているので、ユーザーはどの期間で異常が発生しているか速やかに確認することができる。従って、各積算画像を参照することで、上記の供給制御機器５の調整を速やかに行うことができる。
【００７２】
このようにユーザーが手動で供給制御機器５の調整を行う場合も、ノズル３１からの液流を目視することにより吐出状態の異常を検出することに比べて、異常の検出を容易且つ確実に行うことができるので、ユーザーの負担は軽減される。従って、上記したパラメータの調整及び泡を含んだシンナーの除去に要する調整作業時間の短縮化、作業者間による調整誤差を抑えることができる。
【００７３】
ところでレジスト膜形成装置１における駆動部は、ウエハＷの保持台に対してノズル３１によるシンナーの吐出位置を相対的に移動させることが出来ればよく、従ってノズル３１が静止したウエハＷ上を当該駆動部により移動するような装置であっても本発明を適用することができる。また、本発明に適用される基板は角型基板であってもよい。具体的には、ノズルから角型基板に吐出される薬液の吐出位置が、駆動部によって当該角型基板の辺に沿って相対的に移動するように構成される装置についても本発明を適用することができる。
【符号の説明】
【００７４】
１              レジスト膜形成装置
１１            スピンチャック
３１            シンナー吐出ノズル
４１            カメラ
５              供給制御機器
５１            流量調整バルブ
５２            サックバックバルブ
５３            シンナー供給管
５４、５５      スピードコントローラ
６              制御部
６２            メモリ
６４            表示部
６５            画像処理プログラム
６６            調整用プログラム
【図１】
0006332095.tif 000002
【図２】
0006332095.tif 000003
【図３】
0006332095.tif 000004
【図４】
0006332095.tif 000005
【図５】
0006332095.tif 000006
【図６】
0006332095.tif 000007
【図７】
0006332095.tif 000008
【図８】
0006332095.tif 000009
【図９】
0006332095.tif 000010
【図１０】
0006332095.tif 000011
【図１１】
0006332095.tif 000012
【図１２】
0006332095.tif 000013
【図１３】
0006332095.tif 000014
【図１４】
0006332095.tif 000015
【図１５】
0006332095.tif 000016
【図１６】
0006332095.tif 000017
【図１７】
0006332095.tif 000018