(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
板片の線膨張係数を測定する線膨張係数測定装置の装着部に着脱自在に装着され、その装着状態で前記板片を支持し合う一対の板片支持部材を備える板片支持部材セットであって、
前記各板片支持部材は、前記装着状態で互いに対向する対向面を有し、
前記対向面には、その平面視において前記装着状態で前記装着部と接する接点を通る軸線を囲むように配置され、前記板片が挿入される少なくとも３本の板片挿入用溝が形成されていることを特徴とする板片支持部材セット。
【請求項２】
前記各板片挿入用溝は、それぞれ、前記軸線回りに等角度間隔に配置されている請求項１に記載の板片支持部材セット。
【請求項３】
前記各板片挿入用溝は、それぞれ、前記平面視において直線状をなす請求項１または２に記載の板片支持部材セット。
【請求項４】
前記各板片挿入用溝同士は、互いに連通していない請求項１ないし３のいずれか１項に記載の板片支持部材セット。
【請求項５】
隣接する前記各板片挿入用溝同士のうち、一方の板片挿入用溝の一端部からの延長線が、他方の板片挿入用溝自身と交差する請求項４に記載の板片支持部材セット。
【請求項６】
隣接する前記各板片挿入用溝同士は、互いに連通している請求項１ないし３のいずれか１項に記載の板片支持部材セット。
【請求項７】
前記各板片挿入用溝は、それぞれ、全長が同じであり、幅が同じであり、および、深さが同じである請求項１ないし６のいずれか１項に記載の板片支持部材セット。
【請求項８】
前記板片は、短冊状をなし、その長手方向に沿って前記板片挿入用溝に挿入されるものであり、
前記各板片挿入用溝の全長は、前記板片の幅の１倍以上、２倍以下である請求項１ないし７のいずれか１項に記載の板片支持部材セット。
【請求項９】
前記板片は、短冊状をなし、その長手方向に沿って前記板片挿入用溝に挿入されるものであり、
前記各板片挿入用溝の幅は、前記板片の厚さの１倍以上、５０倍以下である請求項１ないし８のいずれか１項に記載の板片支持部材セット。
【請求項１０】
前記板片は、短冊状をなし、その長手方向に沿って前記板片挿入用溝に挿入されるものであり、
前記各板片挿入用溝の深さは、前記板片の全長の０．０５倍以上、０．５倍以下である請求項１ないし９のいずれか１項に記載の板片支持部材セット。
【請求項１１】
前記各板片挿入用溝には、それぞれ、前記板片が複数枚挿入可能である請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の板片支持部材セット。
【請求項１２】
前記対向面には、前記軸線を中心として放射状に延び、前記板片が挿入される補助溝が複数本形成されている請求項１ないし１１のいずれか１項に記載の板片支持部材セット。
【請求項１３】
前記対向面は、平面で構成されている請求項１ないし１２のいずれか１項に記載の板片支持部材セット。
【請求項１４】
前記装着部は、平面状をなす装着面を有するものであり、
前記各板片支持部材は、それぞれ、前記対向面と反対側に、丸みを帯び、前記装着面との間で前記接点を形成する湾曲面を有する請求項１ないし１３のいずれか１項に記載の板片支持部材セット。
【請求項１５】
前記各板片支持部材は、３０℃から３００℃までの平均線膨張係数が−１．０ｐｐｍ／℃以上、１．０ｐｐｍ／℃以下の材料で構成されている請求項１ないし１４のいずれか１項に記載の板片支持部材セット。
【請求項１６】
請求項１ないし１５のいずれか１項に記載の板片支持部材セットを用いて、前記板片の線膨張係数を測定することを特徴とする線膨張係数測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板片支持部材セットおよび線膨張係数測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
短冊状をなす試験片の熱膨張係数を測定する際に、試験片を支持し合う一対の治具を用いて、その測定を行なうことが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１に記載の発明では、各治具は、それぞれ、板状体で構成されており、その一方の面に２枚の試験片の端部がそれぞれ差し込まれる２本の溝が形成されている。そして、各治具に差し込まれた２枚の試験片は、互いに平行な状態となり、この状態で熱膨張係数の測定が行われる。
【０００４】
しかしながら、２枚の試験片は、互いに平行な状態となっているため、試験中に容易に倒れて、すなわち、容易に座屈してしまうことが十分に考えられる。この場合、熱膨張係数を正確に測定することが不可能となるという問題がある。
【０００５】
また、特許文献１に記載の発明を、試験片の面方向の線膨張係数の測定に適用することを考えてみると、この場合でも前記と同様に、各試験片に座屈が生じて、正確な測定が不可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平６−３４５８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、板片の面方向の線膨張係数を正確に測定可能とする板片支持部材セットおよび線膨張係数測定方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
このような目的は、下記（１）〜（１６）の本発明により達成される。
（１）  板片の線膨張係数を測定する線膨張係数測定装置の装着部に着脱自在に装着され、その装着状態で前記板片を支持し合う一対の板片支持部材を備える板片支持部材セットであって、
前記各板片支持部材は、前記装着状態で互いに対向する対向面を有し、
前記対向面には、その平面視において前記装着状態で前記装着部と接する接点を通る軸線を囲むように配置され、前記板片が挿入される少なくとも３本の板片挿入用溝が形成されていることを特徴とする板片支持部材セット。
【０００９】
（２）  前記各板片挿入用溝は、それぞれ、前記軸線回りに等角度間隔に配置されている上記（１）に記載の板片支持部材セット。
【００１０】
（３）  前記各板片挿入用溝は、それぞれ、前記平面視において直線状をなす上記（１）または（２）に記載の板片支持部材セット。
【００１１】
（４）  前記各板片挿入用溝同士は、互いに連通していない上記（１）ないし（３）のいずれかに記載の板片支持部材セット。
【００１２】
（５）  隣接する前記各板片挿入用溝同士のうち、一方の板片挿入用溝の一端部からの延長線が、他方の板片挿入用溝自身と交差する上記（４）に記載の板片支持部材セット。
【００１３】
（６）  隣接する前記各板片挿入用溝同士は、互いに連通している上記（１）ないし（３）のいずれかに記載の板片支持部材セット。
【００１４】
（７）  前記各板片挿入用溝は、それぞれ、全長が同じであり、幅が同じであり、および、深さが同じである上記（１）ないし（６）のいずれかに記載の板片支持部材セット。
【００１５】
（８）  前記板片は、短冊状をなし、その長手方向に沿って前記板片挿入用溝に挿入されるものであり、
前記各板片挿入用溝の全長は、前記板片の幅の１倍以上、２倍以下である上記（１）ないし（７）のいずれかに記載の板片支持部材セット。
【００１６】
（９）  前記板片は、短冊状をなし、その長手方向に沿って前記板片挿入用溝に挿入されるものであり、
前記各板片挿入用溝の幅は、前記板片の厚さの１倍以上、５０倍以下である上記（１）ないし（８）のいずれかに記載の板片支持部材セット。
【００１７】
（１０）  前記板片は、短冊状をなし、その長手方向に沿って前記板片挿入用溝に挿入されるものであり、
前記各板片挿入用溝の深さは、前記板片の全長の０．０５倍以上、０．５倍以下である上記（１）ないし（９）のいずれかに記載の板片支持部材セット。
【００１８】
（１１）  前記各板片挿入用溝には、それぞれ、前記板片が複数枚挿入可能である上記（１）ないし（１０）のいずれかに記載の板片支持部材セット。
【００１９】
（１２）  前記対向面には、前記軸線を中心として放射状に延び、前記板片が挿入される補助溝が複数本形成されている上記（１）ないし（１１）のいずれかに記載の板片支持部材セット。
【００２０】
（１３）  前記対向面は、平面で構成されている上記（１）ないし（１２）のいずれかに記載の板片支持部材セット。
【００２１】
（１４）  前記装着部は、平面状をなす装着面を有するものであり、
前記各板片支持部材は、それぞれ、前記対向面と反対側に、丸みを帯び、前記装着面との間で前記接点を形成する湾曲面を有する上記（１）ないし（１３）のいずれかに記載の板片支持部材セット。
【００２２】
（１５）  前記各板片支持部材は、３０℃から３００℃までの平均線膨張係数が−１．０ｐｐｍ／℃以上、１．０ｐｐｍ／℃以下の材料で構成されている上記（１）ないし（１４）のいずれかに記載の板片支持部材セット。
【００２３】
（１６）  上記（１）ないし（１５）のいずれかに記載の板片支持部材セットを用いて、前記板片の線膨張係数を測定することを特徴とする線膨張係数測定方法。
【００２４】
本発明の板片支持部材セットでは、前記各板片支持部材は、柱状体をなすものであり、該柱状体の一方の面が前記対向面となっており、
前記各板片挿入用溝は、それぞれ、前記柱状体の側面にも開放しているのが好ましい。
【００２５】
本発明の板片支持部材セットでは、１本の前記板片挿入用溝に平行な複数本の前記板片挿入用溝がさらに形成されており、該複数本の板片挿入用溝のうち、前記軸線から遠位にある板片挿入用溝ほど、全長が短くなっているのが好ましい。
【発明の効果】
【００２６】
板片、１枚１枚は、薄板であるため、従来の測定装置や測定方法を用いても、面方向の正確な線膨張係数の測定が極めて困難である。
【００２７】
しかしながら、本発明によれば、板片挿入用溝によって各板片を軸線を囲むように配置して、測定時の板片の不本意な変形を防止することができる。これにより、板片の面方向の線膨張係数をその大小に関わらず正確に測定が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】図１は、本発明の板片支持部材を用いた線膨張係数測定方法を実施するための線膨張係数測定装置の実施形態を示す概略図である。
【図２】図２は、本発明の板片支持部材（第１実施形態）の線膨張係数測定装置への装着状態を示す側面図である。
【図３】図３は、図２に示す板片支持部材と板片との関係を示す分解斜視図である。
【図４】図４は、図３中の矢印Ａ方向から見た図である。
【図５】図５は、図２に示す板片支持部材の板片挿入用溝と板片との関係を示す拡大図（図４中の一点鎖線で囲まれた領域［Ａ］の拡大図）である。
【図６】図６は、図２に示す板片支持部材の板片挿入用溝と板片との関係を示す拡大図（図４中のＢ−Ｂ線断面図）である。
【図７】図７は、本発明の板片支持部材の第２実施形態を示す図である。
【図８】図８は、本発明の板片支持部材の第３実施形態を示す図である。
【図９】図９は、本発明の板片支持部材の第４実施形態を示す図である。
【図１０】図１０は、本発明の板片支持部材の第５実施形態を示す図である。
【図１１】図１１は、本発明の板片支持部材の第６実施形態を示す図である。
【図１２】図１２は、本発明の板片支持部材の第７実施形態を示す図である。
【図１３】図１３は、本発明の板片支持部材の第８実施形態を示す図である。
【図１４】図１４は、本発明の板片支持部材の第９実施形態を示す図である。
【図１５】図１５は、本発明の板片支持部材（第１０実施形態）の板片挿入用溝と板片との関係を示す拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、本発明の板片支持部材セットおよび線膨張係数測定方法を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００３０】
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の板片支持部材を用いた線膨張係数測定方法を実施するための線膨張係数測定装置の実施形態を示す概略図である。図２は、本発明の板片支持部材（第１実施形態）の線膨張係数測定装置への装着状態を示す側面図である。図３は、図２に示す板片支持部材と板片との関係を示す分解斜視図である。図４は、図３中の矢印Ａ方向から見た図である。図５は、図２に示す板片支持部材の板片挿入用溝と板片との関係を示す拡大図（図４中の一点鎖線で囲まれた領域［Ａ］の拡大図）である。図６は、図２に示す板片支持部材の板片挿入用溝と板片との関係を示す拡大図（図４中のＢ−Ｂ線断面図）である。
【００３１】
図１に示す線膨張係数測定装置１０（以下単に「測定装置１０」と言う）は、平面視で長方形状をなす板片２０の面方向、すなわち、長手方向の線膨張係数をレーザ干渉方式により測定する装置である。この測定装置１０は、光源１０１と、ミラー１０２と、ビームスプリッタ１０３と、プリズム１０４と、波長板１０５と、前面ミラー１０６ａと、後面ミラー１０６ｂと、レンズ１０７と、板片支持部材セット１とを備えている。
【００３２】
光源１０１は、ミラー１０２に向けてレーザ光Ｌを照射するものである。このレーザ光Ｌとしては、特に限定されず、例えば、Ｈｅ−Ｎｅレーザであるのが好ましい。Ｈｅ−Ｎｅレーザは、波長が安定しており、レーザ干渉方式、すなわち、干渉計測に好適に使用される。
【００３３】
ミラー１０２は、レーザ光Ｌをビームスプリッタ１０３に向けて反射させるものである。
【００３４】
ビームスプリッタ１０３は、ミラー１０２で反射されたレーザ光Ｌを複数に分割するものである。
【００３５】
プリズム１０４は、偏光ビームスプリッタとしての機能を有し、ビームスプリッタ１０３からの各入射光（レーザ光Ｌ）の偏光成分を分離する、すなわち、Ｐ偏光成分とＳ偏光成分とに分岐させるものである。
【００３６】
波長板１０５は、レーザ光ＬのＰ偏光成分と、レーザ光ＬのＳ偏光成分との間にπ／２の位相差を生じさせる、いわゆる「１／４波長板」である。
【００３７】
前面ミラー１０６ａと後面ミラー１０６ｂとは、平行に対向配置されており、これらのミラー同士の間に、板片２０を支持した状態の板片支持部材セット１を挟持して装着する装着部１０８である。なお、測定装置１０では、板片２０は、その長手方向が水平方向と平行となるように支持される。これにより、板片２０の長手方向の線膨張係数を測定する際に、重力の影響を受けるのをできる限り防止または抑制することができる。
【００３８】
前面ミラー１０６ａと後面ミラー１０６ｂとは、互い対向する対向面が、平面状をなす装着面１０９となっており、板片支持部材セット１を構成する各板片支持部材２が当接することができる。
【００３９】
前面ミラー１０６ａは、装着面１０９の一方の板片支持部材２が当接する部分周辺に設けられ、レーザ光Ｌを全反射させる反射部１０９ａを有している。なお、前面ミラー１０６ａは、反射部１０９ａ以外の残りの部分は、光透過性を有する。
【００４０】
また、後面ミラー１０６ｂは、装着面１０９の他方の板片支持部材２が当接する部分と同心的に設けられ、レーザ光Ｌを全反射させる反射部１０９ｂを有する。なお、後面ミラー１０６ｂは、反射部１０９ｂ以外の残りの部分は、光透過性を有する。
【００４１】
レンズ１０７は、レーザ光Ｌの入射側が凹面１０７ａ、出射側が平面１０７ｂの平凹レンズ（メニスカスレンズ）である。レンズ１０７を透過したレーザ光Ｌは、発散しつつ出射することができる。
【００４２】
このような構成の測定装置１０では、光源１０１から照射されたレーザ光Ｌは、ミラー１０２、ビームスプリッタ１０３を順に通過して、プリズム１０４でＰ偏光成分とＳ偏光成分とに分岐する。そして、レーザ光ＬのＰ偏光成分とレーザ光ＬのＳ偏光成分とは、波長板１０５を通過する際に、π／２の位相差が生じる。そして、一方のレーザ光Ｌは、前面ミラー１０６ａの反射部１０９ａで反射して、波長板１０５、プリズム１０４、ビームスプリッタ１０３、レンズ１０７を順に通過していく。また、他方のレーザ光Ｌは、前面ミラー１０６ａをそのまま通過して、後面ミラー１０６ｂの反射部１０９ｂで反射する。その後、他方のレーザ光Ｌは、再度前面ミラー１０６ａを通過して、波長板１０５、プリズム１０４、ビームスプリッタ１０３、レンズ１０７を順に通過していく。
【００４３】
このようにレーザ光Ｌの光路として、前面ミラー１０６ａに行くまでの光路と、後面ミラー１０６ｂに行くまでの光路とがあり、これらの間に光路差が生じる。これにより、干渉縞１１０が得られる。
【００４４】
ところで、板片２０の周囲の雰囲気の温度を変化させると（例えば２〜５℃／分が好ましい）、板片２０が伸長したり、または、収縮して、前面ミラー１０６ａと後面ミラー１０６ｂとの間隙距離ｇが変化する。これにより、前記光路差にも変化が生じることとなり、結果、干渉縞１１０が図１中の左右方向に移動する。例えば、板片２０が伸長して間隙距離ｇが増加した場合には、干渉縞１１０は図１中の右側に向かって移動し、板片２０が収縮して間隙距離ｇが減少した場合には、干渉縞１１０は図１中の左側に向かって移動する。そして、干渉縞１１０を例えばＣＣＤカメラ（図示せず）で撮像して、当該干渉縞１１０の移動量を検出することができる。
【００４５】
温度変化前の板片２０の全長をＬ２０、温度の変化前と変化後との差をΔＴ、干渉縞１１０の移動量を温度変化前後の板片２０の伸縮量に換算したものをΔＬ２０としたとき、板片２０の長手方向（伸縮方向）の線膨張係数αは、下記式（１）で表される。
α＝ΔＬ２０／（ΔＴ×Ｌ２０）・・・式（１）
【００４６】
なお、測定装置１０で変化させ得る温度範囲は、例えば、−５０℃〜３００℃であるのが好ましく、３０℃〜３００℃であるがより好ましい。
【００４７】
図３に示すように、線膨張係数が測定される板片２０は、短冊状をなす部材であり、実際に製品（部品）として使用されるものであってもよいし、当該製品の品質を保証するために試験される試験片（テストピース）であってもよい。
【００４８】
板片２０の全長Ｌ２０は、例えば、２ｍｍ以上、１４ｍｍ以下であるのが好ましく、６ｍｍ以上、１２ｍｍ以下であるのがより好ましい。板片２０の幅ｗ２０は、例えば、１ｍｍ以上、１０ｍｍ以下であるのが好ましく、３ｍｍ以上、８ｍｍ以下であるのがより好ましい。板片２０の厚さｔ２０は、例えば、１０μｍ以上、５００μｍ以下であるのが好ましく、５０μｍ以上、２５０μｍ以下であるのがより好ましい。
【００４９】
板片２０は、面方向の線膨張係数が比較的低い材料で構成され、その材料としては、特に限定されず、例えば、３０℃から３００℃までの平均線膨張係数が３．２ｐｐｍ／℃（文献値）である単結晶シリコンやガラスクロスを含んだ材料等を用いることができる。
【００５０】
そして、後述するように、測定装置１０は、厚さｔ２０が薄く、単体での自立（起立）が実質的に不可能な板片２０を測定対象とすることができる。
【００５１】
図１、図２に示すように、板片支持部材セット１は、測定装置１０の装着部１０８に着脱自在に装着される（以下この装着された状態を「装着状態」と言う）。そして、図３に示すように、板片支持部材セット１は、装着状態で３枚の板片を一括して支持し合う一対の板片支持部材２を備えている。なお、図３では、一対の板片支持部材２のうちの一方の板片支持部材２を描いており、他方の板片支持部材２を省略している。これらの板片支持部材２は、同じ構成であるため、以下、１つの板片支持部材２について代表的に説明する。
【００５２】
図２〜図４に示すように、板片支持部材２は、円柱状体をなすものである。この板片支持部材２（円柱状体）は、装着状態で、一方の面がもう片方の板片支持部材２に対向する対向面２１となっている。
【００５３】
対向面２１は、平面で構成されている。これにより、一対の板片支持部材２を対向面２１同士で重ね合わせることで、一対の板片支持部材２のみの線膨張係数の測定が可能となる。これにより、板片支持部材セット１の線膨張係数の測定で得られる膨張量から、一対の板片支持部材２のみの線膨張係数の測定で得られる膨張量を差し引くことで、より正確な板片の線膨張係数の算出が可能となる。さらに、板片２０が挿入される板片挿入用溝３を対向面２１に形成する際にドリル（外周面および端面に切刃を有するフライス、すなわち、エンドミル）を用いた場合、そのドリルによる形成を容易に行なうことができる。
【００５４】
板片支持部材２の対向面２１と反対側の他方の面は、丸みを帯びた湾曲面２２となっている。これにより、装着状態で湾曲面２２は、装着部１０８（前面ミラー１０６ａまたは後面ミラー１０６ｂ）の装着面１０９との間で１つの接点２２１を形成することができる。これにより、前面ミラー１０６ａの装着面１０９と後面ミラー１０６ｂとの装着面１０９が装着状態でも平行な状態が維持され、よって、各ミラーから各板片２０に対する不本意な（予期しない）圧縮力が作用するのを防止することができる。従って、正確な線膨張係数の測定が可能となる。
【００５５】
なお、湾曲面２２は、曲率が一定の球面で構成されていてもよいし、曲率が接点２２１から外側に向かって漸増または漸減した面であってもよい。
【００５６】
また、板片支持部材２は、本実施形態では円柱状体をなすものであるが、角柱状体であってもよい。板片支持部材２の直径は、４ｍｍ以上、１０ｍｍ以下であるのが好ましく、５ｍｍ以上、９ｍｍ以下であるのがより好ましい。板片支持部材２の高さは、２ｍｍ以上、８ｍｍ以下であるのが好ましく、３ｍｍ以上、６ｍｍ以下であるのがより好ましい。
【００５７】
板片支持部材２は、３０℃から３００℃までの平均線膨張係数が−１．０ｐｐｍ／℃以上、１．０ｐｐｍ／℃以下の材料で構成されているのが好ましく、−０．７ｐｐｍ／℃以上、０．７ｐｐｍ／℃以下の材料で構成されているのがより好ましい。このような材料としては、特に限定されず、例えば、ガラス（石英ガラス等）、セラミックス、金属（スーパーインバー等の合金）、炭素繊維及びこれらの材料との複合材料等を用いることができる。これにより、板片支持部材２は、前述した温度変化の範囲内であれば膨張量が非常に小さものになる。よって、測定される線膨張係数が、板片支持部材２の膨張量による影響を受けるのを防止することができる、すなわち、正確な線膨張係数の測定に寄与する。なお、板片支持部材２の表面は、研磨されているのが好ましい。
【００５８】
なお、３０℃から３００℃までの平均線膨張係数（α３０−３００）は、例えば、アルバック理工株式会社製「レーザ熱膨張計  ＬＩＸ−２Ｌ」を用いて、昇温速度２℃／分の条件で測定し、温度変化前の試料長（Ｌ）、３０℃から３００℃までの温度変化（ΔＴ＝２７０℃）及びその温度変化間の伸縮量（ΔＬ）を下記式（２）に代入することによって求めることができる。
α３０−３００＝ΔＬ／（ΔＴ×Ｌ）・・・式（２）
【００５９】
図３、図４に示すように、板片支持部材２の対向面２１には、互いに連通していない、すなわち、独立した３本の板片挿入用溝３が形成されている。各板片挿入用溝３には、それぞれ、板片２０が１枚ずつ挿入される。このときの挿入方向は、短冊状をなす板片２０の長手方向となる。なお、各板片挿入用溝３は、それぞれ、対向面２１の平面視で直線状をなす。これにより、板片挿入用溝３に板片２０を挿入する際、その挿入作業を容易に行なうことができる。
【００６０】
図４に示すように、これら３本の板片挿入用溝３は、対向面２１の平面視で、接点２２１を通る板片支持部材２の軸線（中心線）２３を囲むように、当該軸線２３回りに等角度間隔に配置されている。この「角度」とは、軸線２３から、板片挿入用溝３を幅方向に二等分する二等分線３１に下した垂線２４同士がなす角のことである。
【００６１】
また、各板片挿入用溝３は、軸線２３を中心とする円２５を想定したとき、その円２５を共通の円として当該円の接線方向に延在する、すなわち、軸線２３から等距離にある。この「距離」とは、垂線２４の長さ、すなわち、軸線２３から二等分線３１までの最短距離のことである。
【００６２】
そして、このように配置された各板片挿入用溝３にそれぞれ板片２０を挿入して図２に示す状態とすると、測定時に例えば１枚の板片２０が変形しそうであっても、残りの２枚の板片２０がその変形を阻止するように互いに支え合う、すなわち、補強し合うことができる。ここでの「変形」には、例えば、座屈、捩れ、撓み等が含まれる。従って、板片挿入用溝３の配置は、板片２０に生じる座屈、捩れ、撓み（剪断）に対して耐久性を発揮する配置となっている。
【００６３】
また、限られた対向面２１内で各板片挿入用溝３の全長Ｌ３をできる限り長く確保することができる（図３参照）。これにより、板片挿入用溝３に挿入される板片２０の幅ｗ２０も広くなり、よって、板片２０自体の剛性が高くなる。その結果、板片２０自体も、座屈、捩れ、撓みに対して耐久性が高いものとなる。
【００６４】
板片２０、１枚１枚は、薄板であるため、従来の測定装置や測定方法（例えば前記特許文献１参照）を用いても、面方向の正確な線膨張係数の測定が極めて困難である。しかしながら、測定装置１０では、前述したように板片挿入用溝３によって３枚の板片２０を軸線２３回りに配置して、測定時の不本意な変形を防止することができ、これにより、板片２０の面方向の線膨張係数をその大小に関わらず正確に測定可能とする。なお、測定される線膨張係数は、３枚の板片２０の線膨張係数が平均化されたものとなる。
【００６５】
図３に示すように、各板片挿入用溝３は、それぞれ、全長Ｌ３が同じであり、その全長Ｌ３は、板片２０の幅ｗ２０の１倍以上、２倍以下であるのが好ましく、１．０５倍以上、１．５倍以下であるのがより好ましい。これにより、板片挿入用溝３内での板片２０の不本意な変形（例えば波打つような変形）を防止することができ、よって、正確な測定に寄与する。
【００６６】
また、各板片挿入用溝３は、それぞれ、幅ｗ３が同じであり、その幅ｗ３は、板片２０の厚さｔ２０の１倍以上、５０倍以下であるのが好ましく、１．２倍以上、６倍以下であるのがより好ましい。これにより、図５、図６に示すように、板片挿入用溝３内での板片２０が当該板片挿入用溝３の内面に接触するのをできる限り抑制することができる。よって、測定時に板片２０と前記内面と間に摩擦が生じるのが防止される。そして、この摩擦によって正確な測定が妨げられるのが確実に防止される。
【００６７】
また、各板片挿入用溝３は、それぞれ、深さｄ３が同じであり、その深さｄ３は、板片２０の全長Ｌ２０の０．０５倍以上、０．５倍以下であるのが好ましく、０．０８倍以上、０．４５倍以下であるのがより好ましい。これにより、各板片２０は、それぞれ、板片挿入用溝３に過不足なく挿入されることとなり、よって、両方の板片支持部材２で確実に支持される。
【００６８】
図５に示すように、板片挿入用溝３の端面３２は丸み帯びており、図６に示すように、板片挿入用溝３の底面３３も丸みを帯びている。これにより、板片２０は、板片挿入用溝３内で二等分線３１上に位置する、すなわち、二等分線３１と重なるようにセンタリングされる。このセンタリングにより、板片挿入用溝３内での板片２０が当該板片挿入用溝３の内面に接触するのをできる限り確実に抑制することができ、よって、測定時に摩擦が生じるのが防止されて、より正確な測定が可能となる。
【００６９】
＜第２実施形態＞
図７は、本発明の板片支持部材の第２実施形態を示す図である。
【００７０】
以下、この図を参照して本発明の板片支持部材セットおよび線膨張係数測定方法の第２実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
【００７１】
本実施形態は、板片挿入用溝の形成状態が異なること以外は前記第１実施形態と同様である。
【００７２】
図７に示すように、本実施形態では、隣接する各板片挿入用溝３同士は、互いに連通している。これにより、３本の板片挿入用溝３を１本のドリルで連続して形成することができ、よって、３本の板片挿入用溝３の形成が容易となる。また、隣接する２本の板片挿入用溝３を跨ぐように板片２０を折り曲げた状態でも挿入可能である。これは、板片２０が予め屈曲している場合に有効な構成である。
【００７３】
＜第３実施形態＞
図８は、本発明の板片支持部材の第３実施形態を示す図である。
【００７４】
以下、この図を参照して本発明の板片支持部材セットおよび線膨張係数測定方法の第３実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
【００７５】
本実施形態は、板片挿入用溝の形成状態が異なること以外は前記第１実施形態と同様である。
【００７６】
図８に示すように、本実施形態では、各板片挿入用溝３の一端３４および他端３５は、それぞれ、板片支持部材３の側面２６にも開放している。これにより、前記第１実施形態と異なり板片挿入用溝３の全長Ｌ３と板片２０の幅ｗ２０との大小関係が逆転して、「全長Ｌ３＜幅ｗ２０」となった場合でも、板片２０を板片挿入用溝３に挿入することができる。
【００７７】
＜第４実施形態＞
図９は、本発明の板片支持部材の第４実施形態を示す図である。
【００７８】
以下、この図を参照して本発明の板片支持部材セットおよび線膨張係数測定方法の第４実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
【００７９】
本実施形態は、隣接する各板片挿入用溝同士の位置関係が異なること以外は前記第１実施形態と同様である。
【００８０】
図９に示すように、本実施形態では、隣接する板片挿入用溝３同士のうち、一方の板片挿入用溝３の一端部からの延長線３６が、他方の板片挿入用溝３自身と交差している。これにより、板片支持部材３のバリエーションが広がる。また、撓み（剪断）に対しての耐久性が優れると言う利点もある。
【００８１】
＜第５実施形態＞
図１０は、本発明の板片支持部材の第５実施形態を示す図である。
【００８２】
以下、この図を参照して本発明の板片支持部材セットおよび線膨張係数測定方法の第５実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
【００８３】
本実施形態は、板片挿入用溝の形成本数が異なること以外は前記第１実施形態と同様である。
【００８４】
図１０に示すように、本実施形態では、４本の板片挿入用溝３が形成されており、これらの板片挿入用溝３は、軸線２３を囲むように、当該軸線２３回りに等角度間隔に配置されている。これにより、測定される線膨張係数は、４枚の板片２０の線膨張係数の平均値となり、よって、前記第１実施形態よりも平均化されたものとなる。従って、測定される線膨張係数は、実際の板片２０の線膨張係数に近いものとなる。
【００８５】
＜第６実施形態＞
図１１は、本発明の板片支持部材の第６実施形態を示す図である。
【００８６】
以下、この図を参照して本発明の板片支持部材セットおよび線膨張係数測定方法の第６実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
【００８７】
本実施形態は、板片挿入用溝の形成本数が異なること以外は前記第５実施形態と同様である。
【００８８】
図１１に示すように、本実施形態では、５本の板片挿入用溝３が形成されており、これらの板片挿入用溝３は、軸線２３を囲むように、当該軸線２３回りに等角度間隔に配置されている。これにより、測定される線膨張係数は、５枚の板片２０の線膨張係数の平均値となり、よって、前記第５実施形態よりも平均化されたものとなる。従って、測定される線膨張係数は、実際の板片２０の線膨張係数により近いものとなる。
【００８９】
＜第７実施形態＞
図１２は、本発明の板片支持部材の第７実施形態を示す図である。
【００９０】
以下、この図を参照して本発明の板片支持部材セットおよび線膨張係数測定方法の第７実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
【００９１】
本実施形態は、板片挿入用溝の形成本数が異なること以外は前記第６実施形態と同様である。
【００９２】
図１２に示すように、本実施形態では、６本の板片挿入用溝３が形成されており、これらの板片挿入用溝３は、軸線２３を囲むように、当該軸線２３回りに等角度間隔に配置されている。これにより、測定される線膨張係数は、６枚の板片２０の線膨張係数の平均値となり、よって、前記６第実施形態よりも平均化されたものとなる。従って、測定される線膨張係数は、実際の板片２０の線膨張係数にさらに近いものとなる。
【００９３】
＜第８実施形態＞
図１３は、本発明の板片支持部材の第８実施形態を示す図である。
【００９４】
以下、これらの図を参照して本発明の板片支持部材セットおよび線膨張係数測定方法の第８実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
【００９５】
本実施形態は、さらに補助溝が形成されていること以外は前記第１実施形態と同様である。
【００９６】
図１３に示すように、本実施形態では、対向面２１には、軸線２３を中心として放射状に延び、板片２０が挿入される補助溝４が３本形成されている。これらの補助溝４は、３本の板片挿入用溝３で囲まれた領域の内側に配置されている。
【００９７】
なお、各補助溝４の全長Ｌ４は、それぞれ同じであるが、板片挿入用溝３の全長Ｌ３よりも短い。また、補助溝４と板片挿入用溝３との幅や深さは、互い同じであるのが好ましい。
【００９８】
このような補助溝４が形成されていることにより、測定される線膨張係数は、板片挿入用溝３に挿入された３枚分の板片２０の線膨張係数と、補助溝４に挿入された３枚分の板片２０の線膨張係数との平均値となる。よって、測定される線膨張係数は、前記第１実施形態よりも平均化されたものとなり、実際の板片２０の線膨張係数に近いものとなる。
【００９９】
補助溝の形成数は、本実施形態では３本であるが、これに限定されず、例えば、２本または４本以上であってもよい。
【０１００】
＜第９実施形態＞
図１４は、本発明の板片支持部材の第９実施形態を示す図である。
【０１０１】
以下、この図を参照して本発明の板片支持部材セットおよび線膨張係数測定方法の第９実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
【０１０２】
本実施形態は、板片挿入用溝の形成状態および全長の大小関係が異なること以外は前記第１実施形態と同様である。
【０１０３】
図１４に示すように、本実施形態では、軸線２３に最も近位には、３本の板片挿入用溝３（以下「第１の板片挿入用溝３ａ」と言う）が軸線２３回りに等角度間隔に配置されている。
【０１０４】
また、各第１の板片挿入用溝３ａの軸線２３よりも遠位には、それぞれ、当該第１の板片挿入用溝３ａと平行に形成された板片挿入用溝３（以下「第２の板片挿入用溝３ｂ」と言う）が配置されている。
【０１０５】
さらに、各第２の板片挿入用溝３ｂの軸線２３よりも遠位には、それぞれ、第１の板片挿入用溝３ａと平行に形成された板片挿入用溝３（以下「第３の板片挿入用溝３ｃ」と言う）が配置されている。
【０１０６】
そして、第１の板片挿入用溝３ａの全長Ｌ３が最も長く、第３の板片挿入用溝３ｃの全長Ｌ３が最も短く、第２の板片挿入用溝３ｂの全長Ｌ３がこれらの中間の大きさとなっている。これにより、１つの板片支持部材２に幅ｗ２０が異なる板片２０を複数枚挿入することができ、よって、測定される線膨張係数は、前記第１実施形態よりも平均化されて、実際の板片２０の線膨張係数に近いものとなる。
【０１０７】
＜第１０実施形態＞
図１５は、本発明の板片支持部材（第１０実施形態）の板片挿入用溝と板片との関係を示す拡大図である。
【０１０８】
以下、この図を参照して本発明の板片支持部材セットおよび線膨張係数測定方法の第１０実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
【０１０９】
本実施形態は、板片挿入用溝に挿入される板片の枚数が異なること以外は前記第１実施形態と同様である。
【０１１０】
図１５に示すように、本実施形態では、各板片挿入用溝３には、それぞれ、厚さｔ２０が同等の３枚の板片２０が挿入される。これにより、測定される線膨張係数は、各板片挿入用溝３に挿入された合計６枚分の板片２０の線膨張係数の平均値となる。よって、測定される線膨張係数は、前記第１実施形態よりも平均化されて、実際の板片２０の線膨張係数に近いものとなる。また、容易に座屈してしまうような樹脂単体の板状の材料であっても剛性が得られるので、線膨張係数の測定が可能となる。
【０１１１】
板片挿入用溝３に挿入される板片２０の枚数は、本実施形態では３枚であるが、これに限定されず、例えば、板片挿入用溝３の幅ｗ３や板片２０の厚さｔ２０にもよるが、２枚または４枚以上であってもよい。
【０１１２】
また、板片挿入用溝３に挿入される板片２０の厚さｔ２０は、それぞれ同じであるが、これに限定されず、異なっていてもよい。
【０１１３】
以上、本発明の板片支持部材セットおよび線膨張係数測定方法を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、板片支持部材セットを構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
【０１１４】
また、本発明の板片支持部材セットおよび線膨張係数測定方法は、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。
【０１１５】
また、各板片挿入用溝は、それぞれ、対向面の平面視で直線状をなすが、これに限定されず、例えば、弓状または円弧状をなしていてもよい。これにより、非常に薄い板状の材料であっても座屈を防止できるので、線膨張係数の測定が可能となる。
【実施例】
【０１１６】
以下、本発明の具体的な実施例について説明する。なお、本発明はこれに限定されるものではない。
【０１１７】
１．板片支持部材セットおよび板片の製造
（実施例１）
板片支持部材となる下記の条件（１）の母材を用意し、当該母材にドリルを用いて下記の条件（２）の板片挿入用溝を形成して、図３に示す実施例１としての板片支持部材を一対得た。その後、条件（３）の板片を挿入し、板片支持部材セットを得た。
【０１１８】
条件（１）
・直径：８ｍｍ
・高さ：５ｍｍ
・湾曲面の曲率：Ｒ８．５
・構成材料：石英ガラス（３０℃から３００℃までの平均線膨張係数：０．５９ｐｐｍ／℃）
【０１１９】
条件（２）
・板片挿入用溝の本数：３本
・板片挿入用溝の全長Ｌ３：５．３３ｍｍ
・板片挿入用溝の幅ｗ３：３００μｍ
・板片挿入用溝の深さｄ３：３ｍｍ
【０１２０】
条件（３）
・板片全長Ｌ２０：１０．０ｍｍ
・板片幅ｗ２０：５．０ｍｍ
・板片厚さｔ２０：１００μｍ
・板片構成材料：単結晶シリコン
【０１２１】
（実施例２）
前記実施例１と同様の条件（１）の母材を用意し、当該母材にドリルを用いて下記の条件（２）の板片挿入用溝を形成して、図１０に示す実施例２としての板片支持部材を一対得た。その後、条件（３）の板片を挿入し、板片支持部材セットを得た。
【０１２２】
条件（２）
・板片挿入用溝の本数：４本
・板片挿入用溝の全長Ｌ３：４．０６ｍｍ
・板片挿入用溝の幅ｗ３：３００μｍ
・板片挿入用溝の深さｄ３：３ｍｍ
【０１２３】
条件（３）
・板片全長Ｌ２０：１０．０ｍｍ
・板片幅ｗ２０：４．０ｍｍ
・板片厚さｔ２０：１００μｍ
・板片構成材料：単結晶シリコン
【０１２４】
（実施例３）
前記実施例１と同様の条件（１）の母材を用意し、当該母材にドリルを用いて下記の条件（２）の板片挿入用溝を形成して、図１１に示す実施例３としての板片支持部材を一対得た。その後、条件（３）の板片を挿入し、板片支持部材セットを得た。
【０１２５】
条件（２）
・板片挿入用溝の本数：５本
・板片挿入用溝の全長Ｌ３：３．１０ｍｍ
・板片挿入用溝の幅ｗ３：３００μｍ
・板片挿入用溝の深さｄ３：３ｍｍ
【０１２６】
条件（３）
・板片全長Ｌ２０：１０．０ｍｍ
・板片幅ｗ２０：３．０ｍｍ
・板片厚さｔ２０：１００μｍ
・板片構成材料：単結晶シリコン
【０１２７】
（実施例４）
前記実施例１と同様の条件（１）の母材を用意し、当該母材にドリルを用いて下記の条件（２）の板片挿入用溝を形成して、図１１に示す実施例４としての板片支持部材を一対得た。その後、条件（３）の板片を図１５に示すように１本の板片挿入用溝に３枚の板片を挿入して、板片支持部材セットを得た。
【０１２８】
条件（２）
・板片挿入用溝の本数：５本
・板片挿入用溝の全長Ｌ３：３．１０ｍｍ
・板片挿入用溝の幅ｗ３：３００μｍ
・板片挿入用溝の深さｄ３：３ｍｍ
【０１２９】
条件（３）
・板片全長Ｌ２０：１０．０ｍｍ
・板片幅ｗ２０：３．０ｍｍ
・板片厚さｔ２０：１００μｍ
・板片構成材料：単結晶シリコン
【０１３０】
（比較例１）
前記実施例１と同様の条件（１）の母材を用意し、当該母材にドリルを用いて下記の条件（２）の板片挿入用溝を形成して、比較例１としての板片支持部材を一対得た。その後、条件（３）の板片を挿入し、板片支持部材セットを得た。
【０１３１】
条件（２）
・板片挿入用溝の本数：２本
・板片挿入用溝の配置：対向面の平面視で「Ｔ」字状、すなわち、２本の板片挿入用溝のうち、一方の板片挿入用溝を軸線と重なって形成し、他方の板片挿入用溝を一方の板片挿入用溝と直交する方向に形成
・板片挿入用溝の全長Ｌ３：５．３３ｍｍ
・板片挿入用溝の幅ｗ３：３００μｍ
・板片挿入用溝の深さｄ３：３ｍｍ
【０１３２】
条件（３）
・板片全長Ｌ２０：１０．０ｍｍ
・板片幅ｗ２０：５．０ｍｍ
・板片厚さｔ２０：１００μｍ
・板片構成材料：単結晶シリコン
【０１３３】
（比較例２）
前記実施例１と同様の条件（１）の母材を用意し、当該母材にドリルを用いて下記の条件（２）の板片挿入用溝を形成して、比較例２としての板片支持部材を一対得た。その後、条件（３）の板片を挿入し、板片支持部材セットを得た。
【０１３４】
条件（２）
・板片挿入用溝の本数：２本
・板片挿入用溝の配置：対向面の平面視で「｜｜」状、すなわち、２本の板片挿入用溝を軸線を介して互いに平行に形成
・板片挿入用溝の全長Ｌ３：５．３３ｍｍ
・板片挿入用溝の幅ｗ３：３００μｍ
・板片挿入用溝の深さｄ３：３ｍｍ
【０１３５】
条件（３）
・板片全長Ｌ２０：１０．０ｍｍ
・板片幅ｗ２０：５．０ｍｍ
・板片厚さｔ２０：１００μｍ
・板片構成材料：単結晶シリコン
【０１３６】
（比較例３）
前記実施例１と同様の条件（１）の母材を用意し、当該母材にドリルを用いて下記の条件（２）の板片挿入用溝を形成して、比較例３としての板片支持部材を一対得た。その後、条件（３）の板片を挿入し、板片支持部材セットを得た。
【０１３７】
条件（２）
・板片挿入用溝の本数：３本
・板片挿入用溝の配置：対向面の平面視で「｜｜｜」状、すなわち、３本の板片挿入用溝を互いに平行に形成し、これらの板片挿入用溝のうちの中央の板片挿入用溝を軸線と重なって形成
・板片挿入用溝の全長Ｌ３：５．３３ｍｍ
・板片挿入用溝の幅ｗ３：３００μｍ
・板片挿入用溝の深さｄ３：３ｍｍ
【０１３８】
条件（３）
・板片全長Ｌ２０：１０．０ｍｍ
・板片幅ｗ２０：５．０ｍｍ
・板片厚さｔ２０：１００μｍ
・板片構成材料：単結晶シリコン
【０１３９】
（比較例４）
前記実施例１と同様の条件（１）の母材を用意し、当該母材にドリルを用いて下記の条件（２）の板片挿入用溝を形成して、比較例４としての板片支持部材を一対得た。その後、条件（３）の板片を挿入し、板片支持部材セットを得た。
【０１４０】
条件（２）
・板片挿入用溝の本数：３本
・板片挿入用溝の配置：軸線を中心とした放射状
・板片挿入用溝の全長Ｌ３：３．００ｍｍ
・板片挿入用溝の幅ｗ３：３００μｍ
・板片挿入用溝の深さｄ３：３ｍｍ
【０１４１】
条件（３）
・板片全長Ｌ２０：１０．０ｍｍ
・板片幅ｗ２０：３．０ｍｍ
・板片厚さｔ２０：１００μｍ
・板片構成材料：単結晶シリコン
【０１４２】
（比較例５）
前記実施例１と同様の条件（１）の母材を用意し、当該母材にドリルを用いて下記の条件（２）の板片挿入用溝を形成して、比較例５としての板片支持部材を一対得た。その後、条件（３）の板片を挿入し、板片支持部材セットを得た。
【０１４３】
条件（２）
・板片挿入用溝の本数：６本
・板片挿入用溝の配置：軸線を中心とした放射状
・板片挿入用溝の全長Ｌ３：３．００ｍｍ
・板片挿入用溝の幅ｗ３：３００μｍ
・板片挿入用溝の深さｄ３：３ｍｍ
【０１４４】
条件（３）
・板片全長Ｌ２０：１０．０ｍｍ
・板片幅ｗ２０：３．０ｍｍ
・板片厚さｔ２０：１００μｍ
・板片構成材料：単結晶シリコン
【０１４５】
２．評価
板片を挿入した状態の各実施例および各比較例の板片支持部材セットをそれぞれレーザ干渉方式の線膨張係数測定装置（アルバック理工株式会社製「レーザ熱膨張計  ＬＩＸ−２Ｌ」）に装着して、３０℃から３００℃の温度範囲で昇温速度２℃／分で熱膨張係数の測定をそれぞれ５回（ｎ＝５）実施し、板片の３０℃から３００℃までの平均線膨張係数の文献値（３．２ｐｐｍ／℃）に対しての測定平均誤差を算出し、下記に示す評価基準に従って評価した。
【０１４６】
・評価基準
◎（極めて良好）：測定平均誤差が３％未満
○（良好）      ：測定平均誤差が３％以上、６％未満
×（悪い）      ：測定平均誤差が６％以上
これらの評価結果を表１に示す。
【０１４７】
【表１】
0006417143.tif 000002
【０１４８】
表１から明らかなように、各実施例では、それぞれ、総合評価が「極めて良好」または「良好」という結果となった。特に、実施例１については、実施例２および３と比較して耐圧縮性及び耐剪断性が優れているため、総合評価が「極めて良好」という結果となった。
一方、各比較例では、総合評価が「悪い」という結果となった。
【０１４９】
また、実施例２について、図１５に示すように１本の板片挿入用溝に３枚の板片を挿入して、前記と同様の評価を行なっても、その結果は、「極めて良好」となった。さらに、各実施例について、１本の板片挿入用溝に挿入する板片の枚数を２枚、４枚、５枚として、前記と同様の評価を行なっても、その結果は、「極めて良好」となった。
【０１５０】
また、図７〜図９、図１２〜図１４に示す板片支持部材を一対製造し、前記と同様の評価を行なっても、その結果は、「極めて良好」または「良好」となった。
【符号の説明】
【０１５１】
１            板片支持部材セット
２            板片支持部材
２１          対向面
２２          湾曲面
２２１        接点
２３          軸線（中心線）
２４          垂線
２５          円
２６          側面
３            板片挿入用溝
３ａ          第１の板片挿入用溝
３ｂ          第２の板片挿入用溝
３ｃ          第３の板片挿入用溝
３１          二等分線
３２          端面
３３          底面
３４          一端
３５          他端
３６          延長線
４            補助溝
１０          線膨張係数測定装置（測定装置）
１０１        光源
１０２        ミラー
１０３        ビームスプリッタ
１０４        プリズム
１０５        波長板
１０６ａ      前面ミラー
１０６ｂ      後面ミラー
１０７        レンズ
１０７ａ      凹面
１０７ｂ      平面
１０８        装着部
１０９        装着面
１０９ａ、１０９ｂ  反射部
１１０        干渉縞
２０          板片
ｇ            間隙距離
ｄ３          深さ
Ｌ            レーザ光
Ｌ３、Ｌ４、Ｌ２０    全長
ｔ２０        厚さ
ｗ３、ｗ２０    幅
【図１】
0006417143.tif 000003
【図２】
0006417143.tif 000004
【図３】
0006417143.tif 000005
【図４】
0006417143.tif 000006
【図５】
0006417143.tif 000007
【図６】
0006417143.tif 000008
【図７】
0006417143.tif 000009
【図８】
0006417143.tif 000010
【図９】
0006417143.tif 000011
【図１０】
0006417143.tif 000012
【図１１】
0006417143.tif 000013
【図１２】
0006417143.tif 000014
【図１３】
0006417143.tif 000015
【図１４】
0006417143.tif 000016
【図１５】
0006417143.tif 000017