(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定流体が導入されるポートと前記ポートが取り付けられたベースとを有するセンサケースと、前記ポートから導入した被測定流体の物理量を検出するセンサと、前記センサが取り付けられ外周面が前記ベースの内周面に対向するセンサ用基板と、前記センサ用基板を前記ベースに押えるカバーと、前記ベースと前記センサ用基板との間に配置される弾性部材と、前記センサ用基板と前記カバーとの間に配置される弾性部材とを有するセンサモジュールと、
前記センサモジュールと電気的に接続される電気回路部を有し、前記電気回路部が内部に収納された箱状のケース本体と、を備え、
前記ベースは、前記センサ用基板と対向する板状部と、前記板状部の外周部に設けられる壁部とを有し、
前記ケース本体は開口端部を有し、前記開口端部の内周と前記壁部の外周とが接触し、かつ、前記センサモジュールが前記開口端部の外側から取り付けられるように構成され、
前記センサ用基板の外周面と前記センサケースの内周面との間には、前記センサケースから前記センサ用基板に力が伝達することを阻止するセンサモジュール用隙間が形成されていることを特徴とする物理量測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載の物理量測定装置において、
前記センサ用基板には前記電気回路部と電気的に接続される接続ピンが設けられ、
前記電気回路部は、前記接続ピンと接続する端子部を有し、
前記接続ピンは、前記センサケースが前記ケース本体の前記開口端部に装着する方向に延びて形成されていることを特徴とする物理量測定装置。
【請求項３】
請求項２に記載の物理量測定装置において、
前記ケース本体には、前記接続ピンを前記端子部に案内するガイド部材が設けられていることを特徴とする物理量測定装置。
【請求項４】
請求項１に記載の物理量測定装置において、
前記センサ用基板には、前記センサの出力信号を受け、その出力信号を変換・調整する信号変換器が搭載されていることを特徴とする物理量測定装置。
【請求項５】
請求項４に記載の物理量測定装置において、
前記信号変換器は、全測定レンジの前記センサモジュールにおいて各々の前記センサモジュールの出力を揃えるような値に、前記センサの出力信号を変換・調整することを特徴とする物理量測定装置。
【請求項６】
請求項４又は請求項５に記載の物理量測定装置において、
前記センサ用基板には、前記センサに関係する情報を記録できる記憶回路部が搭載されており、
前記電気回路部が前記記憶回路部の記録を共有できることを特徴とする物理量測定装置。
【請求項７】
請求項６に記載の物理量測定装置において、
前記信号変換器と前記記憶回路部とは一体であることを特徴とする物理量測定装置。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７の何れか一項に記載の物理量測定装置において、
前記壁部と前記開口端部との一方に凸部が形成され、前記壁部と前記開口端部との他方に前記凸部と係合する凹部が形成されていることを特徴とする物理量測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は被測定物の物理量に応じた信号を外部に出力する物理量測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、物理量測定装置には、ポートから導入した被測定物の圧力をセンサにより検出し、このセンサからの出力信号を電気回路部において受信し、この電気回路部から信号を表示部に送って表示し、あるいは外部出力部に送って外部出力させる差圧計や圧力計がある。
【０００３】
差圧計として、電子部品モジュールアッセンブリと、電子部品モジュールアッセンブリを収容するハウジングアッセンブリとを含む従来例がある（特許文献１）。特許文献１の従来例では、電子部品モジュールアッセンブリは、感知素子キャリア要素と、電子部品を搭載する電子部品モジュールキャリア要素と、感知素子キャリア要素、及び電子部品モジュールキャリア要素を支持する主キャリア要素とを含む。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−３３０３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
差圧計では、測定する圧力レンジが異なる場合には、センサ、その他の部品を変更する必要がある。特許文献１の従来例では、感知素子キャリア要素を含む電子部品モジュールアッセンブリがハウジングアッセンブリに収容されている構成が開示されているものの、異なるレンジの感知素子を用いることが開示されていない。そこで、特許文献１の従来例において、異なる感知素子を用いて装置を製造する場合、感知素子とともに変更しなければならない要素をできるだけ少なくし、部品を共通させて製造コストを下げることが好ましい。
【０００６】
従来の一体型差圧計においては、一体型であるが故に小型化が求められ、測定する圧力レンジが異なる場合にも、圧力センサがケース本体の内部に収容された構造であるため、差圧計ごと交換する必要があった。
【０００７】
本発明の目的は、製造コストを抑制でき、測定精度の高い物理量測定装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の物理量測定装置は、被測定流体が導入されるポートと前記ポートが取り付けられたベースとを有するセンサケースと、前記ポートから導入した被測定流体の物理量を検出するセンサと、前記センサが取り付けられ外周面が前記ベースの内周面に対向するセンサ用基板と、前記センサ用基板を前記ベースに押えるカバーと、前記ベースと前記センサ用基板との間に配置される弾性部材と、前記センサ用基板と前記カバーとの間に配置される弾性部材とを有するセンサモジュールと、前記センサモジュールと電気的に接続される電気回路部を有し、前記電気回路部が内部に収納された箱状のケース本体と、を備え、前記ベースは、前記センサ用基板と対向する板状部と、前記板状部の外周部に設けられる壁部とを有し、前記ケース本体は開口端部を有し、前記開口端部の内周と前記壁部の外周とが接触し、かつ、前記センサモジュールが前記開口端部の外側から取り付けられるように構成され、前記センサ用基板の外周面と前記センサケースの内周面との間には、前記センサケースから前記センサ用基板に力が伝達することを阻止するセンサモジュール用隙間が形成されていることを特徴とする。
【０００９】
この構成の本発明では、想定する測定レンジに応じたセンサをセンサ用基板に取り付ける。そして、センサ用基板をセンサケースのベースに取り付け、センサ用基板をカバーで押えて、センサモジュールを製造する。このセンサモジュールを電気回路部が内部に予め収納されたケース本体の開口端部に外側から取り付ける。そのため、センサモジュールを測定レンジに応じて代える構成であっても、センサモジュール以外の部品を共通にすることができる。ケース本体を完成させた状態でも、センサモジュールをケース本体の開口端部の外側から取り付けることができる。それにより、部品点数を減少させて、効率の良い製造を行うことができる。また、物理量測定装置の小型化を図ることができ、製造コストを抑えることができる。
製造された物理量測定装置を被設置部に設置する場合には、ポートを配管等に接続する。その際に、物理量測定装置が小型である場合には、ベースの肉厚が薄い構造となるので、ポートを介してベースに力が伝達されやすくなる。
本発明では、センサ用基板の外周面及びカバーの外周面とベースの内周面との間にセンサモジュール用隙間が形成されているので、小型であっても、センサケースからの力は、センサモジュール用隙間によってセンサ用基板に伝達されることが阻止される。そのため、測定精度を高いものにできる。
【００１０】
本発明では、前記センサ用基板には前記電気回路部と電気的に接続される接続ピンが設けられ、前記電気回路部は、前記接続ピンと接続する端子部を有し、前記接続ピンは、前記センサケースが前記ケース本体の前記開口端部に装着する方向に延びて形成されていることが好ましい。
この構成では、センサモジュールとカバーとが取り付けられたセンサケースをケース本体に向けて装着することにより、接続ピンと端子部とが接続される。そのため、物理量測定装置の組立作業を容易にできる。
【００１１】
本発明では、前記ケース本体には、前記接続ピンを前記端子部に案内するガイド部材が設けられていることが好ましい。
この構成では、センサケースをケース本体に向けて装着する際に、接続ピンがガイド部材に案内されて端子部と接続される。そのため、物理量測定装置の組立作業がより容易となる。また、センサケースが動いても、ガイド部材によって接続ピンが案内されている状態なので、接続ピンが端子部から外れることを防止できる。
【００１２】
本発明では、前記センサ用基板には、前記センサの出力信号を受け、その出力信号を変換・調整する信号変換器が搭載されていることが好ましい。
この構成では、センサ用基板に信号変換用の電子部品を搭載することでセンサの出力信号を処理し、それを任意の値に変換、調整ができることで、センサモジュール取付時における電気回路部での器差の補正を容易に行うことができる。
【００１３】
本発明では、前記信号変換器は、全測定レンジの前記センサモジュールにおいて各々の前記センサモジュールの出力を揃えるような値に、前記センサの出力信号を変換・調整することが好ましい。
この構成では、信号変換器により、各々のセンサモジュールの出力が揃えられる。これにより、センサモジュール取付時における電気回路部での器差の補正を容易に行うことができる。
【００１４】
本発明では、前記センサ用基板には、前記センサに関係する情報を記録できる記憶回路部が搭載されており、前記電気回路部が前記記憶回路部の記録を共有できることが好ましい。
この構成では、センサ用基板に記憶回路部を搭載することでセンサにおける情報としての圧力レンジ、圧力印加時の出力信号をセンサモジュール側で記録できるようにし、その記憶回路部の記録を電気回路部と共有することで、各センサモジュールの器差を電気回路部で補正することを省略することができる。
【００１５】
本発明では、前記信号変換器と前記記憶回路部とは一体であることが好ましい。
この構成では、信号変換器と記憶回路部とが一体であるので、部品点数を削減できるとともに物理量測定装置の小型化を図ることができる。
【００１６】
本発明では、前記壁部と前記開口端部との一方に凸部が形成され、前記壁部と前記開口端部との他方に前記凸部と係合する凹部が形成されていることが好ましい。
この構成では、凸部と凹部とにより壁部と開口端部とが係合するので、センサモジュールのベースをケース本体に装着する作業を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第１実施形態に係る差圧センサの斜視図であり、センサモジュールをケース本体に取り付ける前の状態を示す。
【図２】センサモジュールをケース本体に取り付けた状態の第１実施形態に係る差圧センサの側断面図。
【図３】センサモジュールをケース本体に取り付ける前の状態の第１実施形態に係る差圧センサの側断面図。
【図４】第１実施形態に係る差圧センサの要部を拡大して示す側断面図。
【図５】センサモジュールの分解斜視図。
【図６】第１実施形態に係る差圧センサの背面図。
【図７】本発明の第２実施形態に係る差圧センサの斜視図であり、センサモジュールをケース本体に取り付ける前の状態を示す。
【図８】センサモジュールをケース本体に取り付けた状態の第２実施形態に係る差圧センサの側断面図。
【図９】本発明の第３実施形態に係る差圧センサの斜視図であり、センサモジュールをケース本体に取り付ける前の状態を示す。
【図１０】センサモジュールをケース本体に取り付けた状態の第３実施形態に係る差圧センサの側断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
［第１実施形態］
本発明の第１実施形態を図１〜図６に基づいて説明する。以下の説明において、上下とは、図１〜図４，図６における上下を示す。
本実施形態における物理量測定装置は、差圧センサ１であり、より具体的には小型デジタル微差圧計である。図１は、差圧センサ１を背面側から見た斜視図であり、図２は、差圧センサ１の断面図である。図１及び図２に示すように、差圧センサ１は、ケース本体２とセンサモジュール３とを備えている。ケース本体２とセンサモジュール３とは別体に構成されており、図１及び図３に示すように、ケース本体２にセンサモジュール３を外側から取り付けて使用する。組付状態においても、センサモジュール３は、ケース本体２の内部に収容されることなく、後端部が露出した状態になっている。
【００１９】
図１に示すように、ケース本体２は、箱状に形成されており、前面に配置されパネルシート２１Ａが設けられたフロントケース２１と、背面に形成された方形の開口端部２２と、背面に設けられた外部端子部２３とを有している。外部端子部２３は、外部出力用端子部と電源用端子部とから構成されている。ケース本体２の内部には、電気回路部２０が設けられている。電気回路部２０は、端子基板２４とＣＰＵ（Central Processing Unit）基板２５とを有する。
【００２０】
端子基板２４は、センサ信号入力回路部、外部出力回路部、及び電源回路部を有し、外部端子部２３、表示部、操作スイッチ部、及びＣＰＵ基板２５に電気的に接続されている。
【００２１】
ＣＰＵ基板２５には、調整部２９が設けられている。この調整部２９は、差圧センサ１の外部出力の大きさを調整するためのものである。外部出力の大きさの調整は、ケース本体２の上面を貫通する調整窓２８からピンセット等を差し込み、調整部２９を操作することにより行う。
【００２２】
開口端部２２の上下の内壁には、センサモジュール３の取り付けに用いられるガイド２２Ａ及び凹部２２Ｂと、後述する接続ピン３１Ｂを端子基板２４に設けられた内部端子部２４Ａ（端子部）へと案内するガイド部材２２Ｃが設けられている。ガイド部材２２Ｃは、接続ピン３１Ｂを案内する他、接続ピン３１Ｂが内部端子部２４Ａから外れることを防止する。
【００２３】
センサモジュール３は、被測定流体が導入される筒状のポート３１と、ポート３１が取り付けられたベース３２と、弾性部材で構成された上ガスケット３３及び下ガスケット３４と、被測定流体に含まれる異物を濾過するフィルタ３５（図５参照）とを有している。以下、ポート３１とベース３２とを合わせたものをセンサケース３０と言う。
【００２４】
ベース３２は、箱状に形成されており、ポート３１が取り付けられた板状部３２Ａと、板状部３２Ａを囲う４面の壁部３２Ｂとを有している。上下に配置される壁部３２Ｂには、ケース本体２の開口端部２２のガイド２２Ａに案内される溝３２Ｃ（図５参照）と凹部２２Ｂに係合する凸部３２Ｄとが形成されている。なお、開口端部２２の内壁に溝と凸部とを形成し、ベース３２の壁部３２Ｂにガイド部と凹部を形成してもよい。
【００２５】
上述のような係合構造であるため、ケース本体２にセンサモジュール３を取り付けると、開口端部２２の上下の内壁は、センサモジュール３の上下に配置される壁部３２Ｂと部分的に接触する。一方、開口端部２２の左右の内壁とセンサモジュール３の左右に配置される壁部３２Ｂとの間には、上端から下端まで連続する隙間２６が形成される（図６参照）。
【００２６】
この隙間２６は、センサモジュール３の固定に影響を及ぼさないような大きさになっている。隙間２６があることで、ポート３１に力が加えられたときにベース３２が変形することを許容し、ベース３２への負荷を抑制することができる。また、隙間２６があることで、内部端子部２４Ａと接続ピン３１Ｂとの位置ズレを補正することができる。
【００２７】
さらに、センサモジュール３は、板状部３２Ａと略平行に設けられ外周面が壁部３２Ｂと対向するセンサ用基板３６と、カバー３７とを有している。カバー３７は、壁部３２Ｂにおいてセンサケース３０の係合孔３０Ａと係合する係合突起３７Ａを有し、係合状態において、上ガスケット３３と下ガスケット３４及びフィルタ３５との間に挟まれたセンサ用基板３６をベース３２に押しつけて固定する。
【００２８】
図２〜図４に一点鎖線の丸で囲って示すように、固定されたセンサ用基板３６と壁部３２Ｂとの間には、センサモジュール用隙間３８が形成されている。センサモジュール用隙間３８は、センサ用基板３６の周囲を囲うように形成されている。
【００２９】
図５に示すように、センサ用基板３６には、ポート３１から導入した被測定流体の圧力（物理量）を検出するセンサ３１Ａと、電気回路部２０と電気的に接続される接続ピン３１Ｂと、ＩＣ（integrated circuit）とが設けられている。このＩＣは、センサ３１Ａの出力を受けその出力に応じた大きさ信号に変換・調整をする信号変換器３１Ｃ、及びセンサ３１Ａに関する情報（例えば、圧力レンジ、圧力印加時の出力信号）を記録する記憶回路部３１Ｄとしての機能を有する。つまり、信号変換器３１Ｃと記憶回路部３１Ｄとは一体に形成されている。
【００３０】
接続ピン３１Ｂは、ケース本体２との接続方向に延びる長細い棒状に形成されており、弾性を有し、先端が電気回路部２０の内部端子部２４Ａに差し込まれる。センサモジュール３の記憶回路部３１Ｄの記録は、接続ピン３１Ｂを介してケース本体２の電気回路部２０が共有する。
【００３１】
［差圧センサの製造方法］
差圧センサ１の製造方法について、主に図３及び図５を参照しながら説明する。
先ず、接続ピン３１Ｂと、信号変換器３１Ｃ及び記憶回路部３１Ｄとしての機能を有するＩＣとをセンサ用基板３６に実装し、測定レンジに応じたセンサ３１Ａをセンサ用基板３６に装着し、ワイヤボンディングする。
【００３２】
そして、センサ用基板３６を上ガスケット３３と下ガスケット３４との間に挟み、カバー３７により、これらをフィルタ３５とともにベース３２に押し付けて固定すると、センサモジュール３の製造が完了する。
【００３３】
次に、センサモジュール３に圧力を印加し、信号変換器３１Ｃによりセンサ３１Ａの出力信号を規定値、例えば、全測定レンジのセンサモジュール３において各々のセンサモジュール３の出力をほぼ同じにするような値に変換・調整し、その値を測定する。例えば、キャパシタンス出力のセンサ３１Ａの測定レンジ0〜50Paをデジタル出力の300〜3700パルスに変換・調整したり、キャパシタンス出力の測定レンジ-100〜100Paをデジタル出力の300〜3700パルスに変換・調整したりする。そして、各センサモジュール３におけるセンサ３１Ａの情報として、圧力レンジ、圧力印加時の出力信号を記憶回路部３１Ｄに記録するとセンサモジュール３の初期設定が完了する。
【００３４】
次に、ケース本体２の内部に電気回路部２０等を収納し、パネルシート２１Ａを貼ったフロントケース２１をケース本体２の前面に装着すると、ケース本体２の製造が完了する。
【００３５】
最後に、センサモジュール３をケース本体２の開口端部２２に外側から取り付け、ケース本体２に製品銘板２７を貼ると、差圧センサ１の製造が完了する。製品銘板２７が貼り付けられることで、ケース本体２の調整窓２８が塞がれる。
【００３６】
［第１実施形態の効果］
上述した構成を備える第１実施形態に係る差圧センサ１は、以下の効果を奏する。
（１）差圧センサ１において、センサ３１Ａを有するセンサモジュール３は、被測定流体の測定レンジに応じて変更するが、センサモジュール３以外の部品は共通化できる。そのため、部品点数及び仕掛品在庫数を低減できるとともに、効率の良い製造を行うことができ、製造コストを抑制できる。
【００３７】
（２）センサモジュール３は、ケース本体２の開口端部２２に外側から装着される。電気的には接続ピン３１Ｂにより接続され、構造的には壁部３２Ｂ及び開口端部２２に形成された凹凸を係合させることにより接続される。したがって、ケース本体２とセンサモジュール３との接続を容易に行うことができ、製造コストを抑制できる。
【００３８】
（３）接続ピン３１Ｂは、センサモジュール３からケース本体２の開口端部２２への装着方向に向けて長く延びている。長い接続ピン３１Ｂを使用することにより、取付時に加わる力や接続ピン３１Ｂと内部端子部２４Ａとの間の位置ズレに起因する力が、細くて長い接続ピン３１Ｂの弾性により吸収されるので、これらの力がセンサ用基板３６に伝わることを阻止できる。また、差圧センサ１の測定精度を高められるとともに、接続ピン３１Ｂ及び内部端子部２４Ａの破損を防止できる。
【００３９】
（４）接続ピン３１Ｂがガイド部材２２Ｃで案内されるので、センサモジュール３がケース本体２に対して動いても、接続ピン３１Ｂがガイド部材２２Ｃに保持されて、内部端子部２４Ａから外れることを防止できる。つまり、電気的な接続を維持することができる。
【００４０】
（５）ポート３１を配管等に接続する際にポート３１を介してベース３２に伝わる力、及びセンサモジュール３をケース本体２の開口端部２２に取り付ける際に加わる力の伝達を、開口端部２２とセンサモジュール３との間の隙間及びセンサ用基板３６と壁部３２Ｂとの間のセンサモジュール用隙間３８が遮断するので、測定を正常な状態で行うことができ、測定精度を高めることができる。
【００４１】
（６）信号変換器３１Ｃにより、全測定レンジのセンサモジュール３の出力をほぼ同じ値に変換・調整できるので、センサモジュール３の取付時における電気回路部２０での器差の補正を容易にすることができる。
【００４２】
（７）記憶回路部３１Ｄにより、センサ３１Ａに関する情報を記録し、その記録を電気回路部２０と共有するので、センサモジュール３の取付時における電気回路部２０での器差の補正を不要とすることができる。
【００４３】
（８）信号変換器３１Ｃと記憶回路部３１Ｄとの両方の機能を有する半導体素子（ＩＣ）を使用するので、部品点数を削減できるとともに、小型化を図ることができる。
【００４４】
［第２実施形態］
本発明の第２実施形態に係る差圧センサ１０１を、図７及び図８に基づいて説明する。本実施形態における差圧センサ１０１は、前述した第１実施形態の差圧センサ１とケース本体１０２の構成が異なる。
【００４５】
なお、本実施形態のセンサモジュール１０３は、前述した第１実施形態のセンサモジュール３と細部の形状が若干異なるが、実質的な構成に差はなく、互換性を有する。このため、各構成要素に同一の符号を付すとともに、その説明を省略する。後述する第３実施形態のセンサモジュール２０３も同様である。
【００４６】
前述した第１実施形態のケース本体２では、差圧センサ１の背面視において、２連の外部端子部２３が開口端部２２の右側に設けられていた。これに対し、本実施形態のケース本体１０２では、単一の外部端子部１２３が開口端部１２２の上側に設けられている。外部端子部１２３は、外部出力用端子部としての機能と電源用端子部としての機能とを併せ持つ。
【００４７】
開口端部１２２の実質的な構成は、第１実施形態の開口端部２２と同じである。また、電気回路部１２０の実質的な構成も、第１実施形態の電気回路部２０と同じである。ただし、本実施形態のＣＰＵ基板２５は垂直に配置されている。これにより、差圧センサ１０１の前後方向の長さが短縮されている。
【００４８】
［第２実施形態の効果］
上述した構成を備える本実施形態に係る差圧センサ１０１は、前述した第１実施形態の差圧センサ１と同様の効果を奏する。
また、差圧センサ１０１は、外部端子部１２３が開口端部１２２の上側に設けられているので、全幅を抑えることができる。このため、差圧センサ１０１の設置スペースの幅に制限がある場合や、横方向に複数の差圧センサ１０１を並べる場合に有用である。
【００４９】
［第３実施形態］
本発明の第３実施形態に係る差圧センサ２０１を、図９及び図１０に基づいて説明する。本実施形態における差圧センサ２０１は、前述した第１実施形態及び第２実施形態の差圧センサ１，１０１とケース本体２０２の構成が異なる。
【００５０】
前述した第１実施形態のケース本体２では、差圧センサ１の背面視において、外部端子部２３が開口端部２２の右側に設けられ、第２実施形態のケース本体２では、外部端子部１２３が開口端部２２の上側に設けられていた。これに対し、本実施形態の差圧センサ２０１は、コネクタ接続タイプのものではなく、外部端子部を有さない。その代わりに、差圧センサ２０１は、下面から下方に引き出されたケーブル２２３を有する。差圧センサ２０１は、ケーブル２２３を介して電源の供給を受け、外部出力を行う。
【００５１】
開口端部２２２の実質的な構成は、第１実施形態の開口端部２２と同じである。また、電気回路部２２０の実質的な構成も、ＣＰＵ基板２５は垂直に配置されている点以外は第１実施形態の電気回路部２０と同じである。
【００５２】
［第３実施形態の効果］
上述した構成を備える本実施形態に係る差圧センサ２０１は、前述した第１実施形態の差圧センサ１と同様の効果を奏する。
また、差圧センサ２０１は外部端子部を有さないので、全高及び全幅を抑えることができる。このため、縦横方向に複数の差圧センサ２０１を並べる場合に有用である。
【００５３】
［変形例］
なお、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる他の構成等を含み、以下に示す変形等も本発明に含まれる。
【００５４】
例えば、前記実施形態における物理量測定装置は、２つのポート３１を備え、それらに流入する被測定流体の差圧を検出する差圧センサ１であるが、２つのポートに流入する被測定流体の差圧が所定値になったときに接点信号を出力する差圧スイッチであってもよく、１つのポートを備え、そのポートに流入する被測定流体の圧力を検出する圧力センサであってもよい。
【００５５】
前記実施形態では、開口端部２２，１２２，２２２の左右の内壁とセンサモジュール３の左右に配置される壁部３２Ｂとの間に隙間が形成されているが、この隙間が左右ではなく、上下に形成されていてもよい。
【００５６】
前記実施形態では、ケース本体２，１０２，２０２の背面にセンサモジュール３が取り付けられるが、ケース本体２，１０２，２０２の他の面（例えば上面）にセンサモジュール３が取り付けられてもよい。
【００５７】
前記実施形態では、シート状のフィルタ３５が、板状部３２Ａとセンサ用基板３６との間に設けられているが、センサ３１Ａよりも上流側に設けられていればよい。例えば、ポート３１の中に円柱状のフィルタ３５を設けてもよい。その場合には、センサモジュール３をケース本体２，１０２，２０２から取り外さなくても、フィルタ３５の交換を行うことができる。
【符号の説明】
【００５８】
１，１０１，２０１…差圧センサ（物理量測定装置）、２，１０２，２０２…ケース本体、３…センサモジュール、２２，１２２，２２２…開口端部、２０…電気回路部、３０…センサケース、３１…ポート、３２…ベース、３６…センサ用基板、３７…カバー、３８…センサモジュール用隙間、２２Ｃ…ガイド部材、２４Ａ…内部端子部（端子部）、３１Ａ…センサ、３１Ｂ…接続ピン、３１Ｃ…信号変換器、３１Ｄ…記憶回路部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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