(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
モールド組立体であって、
三次元形状を有するモールド表面によって画成された型穴、及び該型穴に流体又は真空を連通させるための少なくとも１つの開口部を有するモールドと、
プレナムベースであって、前記モールドの少なくとも１つの開口部と連通するチャンバーが前記プレナムベースと前記モールドとの間に画成されるように、前記モールドに取り付けられたプレナムベースと、
前記チャンバー内に配置された冷却プレートと、
各々が前記プレナムベースの近傍に第１の端部及び前記プレナムベースの遠方に第２の端部を有する外管及び内管であって、前記外管と前記内管との間に流路が画成されるように同心に配置された外管及び内管と、
前記内管及び前記プレナムベースの第１の開口部を介して、前記チャンバーに延びる第１の流体管路と、
前記流路から、前記外管のポート及び前記プレナムベースの第２の開口部を介して、前記冷却プレートに延びる第２の流体管路と、
を備えたことを特徴とするモールド組立体。
【請求項２】
前記外管の端部と、前記プレナムベースの前記第１の開口部近傍の前記プレナムベースとの間に、金属封止接合部が形成されることを特徴とする、請求項１記載のモールド組立体。
【請求項３】
前記流路が、前記外管及び内管の前記第１の端部間に形成された第１の金属封止接合部、及び前記外管及び内管の前記第２の端部間に形成された第２の金属封止接合部によって、遠位端において封止されることを特徴とする、請求項１又は２記載のモールド組立体。
【請求項４】
前記外管が、軸方向に離隔した第１の溝及び第２の溝を備えた異形外面を有することを特徴とする、請求項１〜３いずれか１項記載のモールド組立体。
【請求項５】
前記第１の溝に保持された第１の封止部材、及び前記第２の溝に保持された第２の封止部材を更に備えたことを特徴とする、請求項４記載のモールド組立体。
【請求項６】
前記第１及び第２の封止部材が、Ｏリング封止材であることを特徴とする、請求項５記載のモールド組立体。
【請求項７】
前記異形外面が、前記第１及び第２の溝間に陥凹表面を更に備えたことを特徴とする、請求項５記載のモールド組立体。
【請求項８】
前記流路から、前記外管の別のポート及び前記プレナムベースの第３の開口部を介し、前記冷却プレートに延びる、第３の流体経路を更に備えることを特徴とする、請求項１〜７いずれか１項記載のモールド組立体。
【請求項９】
前記外管及び内管の前記第２の端部が収容される貫通孔を有する収容部、該貫通孔に流体を連通させるための第１のポート、及び前記貫通孔に流体を連通させるための第２のポートを更に含むと共に、前記第１のポートと前記流路との間に第１の流体経路、及び前記第２のポートと前記内管との間に第２の流体経路を更に備えたことを特徴とする、請求項１〜８いずれか１項記載のモールド組立体。
【請求項１０】
前記第２の流体管路と、前記外管、プレナムベース、及び冷却プレートの各々との間の界面が、金属封止接合部を備えたことを特徴とする、請求項１〜９いずれか１項記載のモールド組立体。
【発明の詳細な説明】
【関連技術の相互参照】
【０００１】
本出願は、２０１３年１２月２０日出願の米国仮特許出願第６１／９１９０２９号の米国特許法第１１９条に基づく優先権を主張するものであって、その内容に依拠し、参照により全内容が本明細書に援用されるものである。
【技術分野】
【０００２】
本技術分野は、モールドを用いて、二次元（２Ｄ）のガラス板を三次元（３Ｄ）のガラス品に熱改質することに関するものである。本技術分野はさらに、熱改質処理において、処理流体及び真空を供給することに関するものである。
【背景技術】
【０００３】
特許文献１（Ｂａｉｌｅｙ他）は、連続した２Ｄのガラス板から３Ｄのガラス品を成形するのに使用できる、ガラスモールド成形システムを開示している。一般的な方法において、２Ｄのガラス板が３Ｄのモールドの表面に載置され、次いで、ガラスモールド成形システムの１つ以上のステーションにおいて、成形温度に加熱される。３Ｄのガラス品を成形するために、モールドの開口部を介して、型穴に真空を供給することによって、熱い２Ｄのガラス板が３Ｄのモールドの表面に順応する。ガラス板が順応した後、型穴から真空が解放される。次に、同じモールド開口部を介して、処理流体が供給され、３Ｄのガラス品が、ガラスの歪点以下の温度に急速冷却される。この冷却段階におけるモールドの温度を制御するために、別のラインを用いて、処理流体が冷却プレートに供給され、次いで冷却プレートがモールドから熱を奪うように動作する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】米国特許出願公開第２０１２／０２９７８２８号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
システムによって成形されるガラスの形状精度を制御するためには、供給する真空及び処理流体の微調整が必要である。真空及び処理流体に漏れがあると、システム中の位置によって、処理変動が生じる可能性があり、部分間の形状変化につながり得るため、このような微調整を実現するためには、漏れがないように真空及び処理流体を供給することが重要である。
【０００６】
前述のようなガラスモールド成形システムに用いられるモールドは、一般に、高温度においてガラスと反応しない被膜を必要とする。これらの被膜は、一般に、寿命が短いため、再塗装を必要とするモールドを素早く、且つ自動的に交換できることが有益である。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
１つの態様において、本明細書の開示は、ガラスモールド成形システムに使用されるモールド組立体である。１つの例示的な実施の形態において、モールド組立体は、３Ｄの形状を有するモールド表面によって画成された型穴、及び型穴に処理流体又は真空を連通させるための少なくとも１つの開口部を有するモールドを備えている。モールド組立体は、プレナムベースとモールドとの間に、モールドの少なくとも１つの開口部と連通するチャンバーが画成されるように、モールドに取り付けられた、プレナムベースを更に備えている。冷却プレートが、チャンバー内に配置されている。外管及び内管の各々が、プレナムベースの近傍に第１の端部及びプレナムベースの遠方に第２の端部を有している。外管と内管とは、間に流路が画成されるように、同心に配置されている。第１の流体管路が、内管及びプレナムベースの第１の開口部を介して、チャンバーに延びている。第２の流体管路が、流路から外管のポート及びプレナムベースの第２の開口部を介して、冷却プレートに延びている。
【０００８】
１つの例示的な実施の形態において、第１の流体管路とプレナムベースとの界面が金属封止接合部を備えている。
【０００９】
１つの例示的な実施の形態において、第２の流体管路と外管、プレナムベース、及び冷却プレートの各々との界面が、金属封止接合部を備えている。
【００１０】
１つの例示的な実施の形態において、モールド組立体は、貫通孔を有する収容部、処理流体を貫通孔に連通させるための第１のポート、及び処理流体を貫通孔に連通させるための第２のポートを更に含み、外管及び内管の第２の端部が貫通孔に収容されている。
【００１１】
前述の概要説明及び以下の詳細な説明は、いずれも本開示の例示であって、特許請求した本開示の性質及び特徴を理解するための、概要及び枠組みの提供を意図したものであることを理解されたい。添付図面は、本開示の理解を深めるために添付したものであって、本明細書に組み込まれ、その一部を構成するものである。図面は本開示の様々な実施の形態を示すものであって、その説明と併せ、本開示の原理及び作用の説明に役立つものである。
【００１２】
添付図面の図について以下に説明する。図は必ずしも縮尺通りではなく、明確さ及び簡潔さを考慮して、図の特定の機能及び特定の見方が、縮尺及び概略性において、誇張表示されている場合がある。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】収容部の無いモールド組立体を示す図。
【図２】型穴に処理流体又は真空を連通させるための開口部を有するモールドを示す図。
【図３】収容部に挿入された同心管組立体の下端部を示す図。
【図４】ガラス成形ステーションに設置されたモールド組立体を示す図。
【図５】真空固定機能を有するアダプタープレートを示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下の詳細な説明において、本開示の実施の形態を完全に理解するために、多くの具体的詳細が記述されている可能性がある。しかし、これらの具体的詳細の一部又は全部がなくても、本開示の実施の形態を実施できることは、当業者には明らかであろう。他の例において、周知の機能又は方法については、本開示を必要以上に不明瞭にしないために、詳細な説明は省略してあることがあり得る。更に、同様又は同一の参照番号を用いて、共通又は同様の要素を特定することができる。
【００１５】
図１は、Ｂａｉｌｅｙ他の公報に記載されているような、ガラスモールド成形システムに用いられる、モールド組立体１２を開示する。モールド組立体１２は、３Ｄのモールド表面２０によって画成される、型穴１８を有するモールド１６を有し、３Ｄのモールド表面２０の形状は、モールド１６によって成形される３Ｄのガラス品の形状に依存する。図２に示すように、モールド１６は、通常はガスである流体、又は真空を、型穴１８に連通させるための開口部２１を有している。モールド１６は、２Ｄのガラス板と型穴１８との位置合わせを支援するための１つ以上のピン２２を、上面に有することができる。
【００１６】
図１に戻り、プレナムベース２４が、モールド１６の底部に取り付けられている。プレナムベース２４は、筐体２６及びベースプレート２８を有している。筐体２６の上端部がモールド１６に取り付けられ、筐体２６の下端部がベースプレート２８に取り付けられている。モールド１６の底面３４、筐体２６の内面３５、及びベースプレート２８の上面３７によってチャンバー３２が画成される。１つの実施の形態において、高温度のガラス成形環境下において、気密チャンバー３２を実現するために、筐体２６とモールド１６との界面３９、及び筐体２６とベースプレート２８との界面４１に、金属−金属封止が形成されている。１つの実施の形態において、界面３９、４１における、筐体２６、モールド１６、及びベースプレート２８の対向する部品が、非常に平坦かつ滑らかであり、ネジの圧力で一緒にクランプすると、それらの間に金属−金属封止が形成される。界面３９、４１における、筐体２６、モールド１６、及びベースプレート２８の対向する部品間に、製造公差に起因する小さな空隙が存在する可能性があるが、これらの空隙は約０．１μｍ以下と非常に小さいため、モールド組立体１２の外面から、チャンバー３２に漏出する空気の量が、チャンバー３２の内部において達成される、真空圧力の量に及ぼす影響は無視できる。別の実施例において、界面３９、４１に形成された金属−金属封止が、筐体２６、モールド１６、及びベースプレート２８の対向部品間に取り付けられた、金属ガスケットを含んでいる。
【００１７】
冷却プレート３８が、チャンバー３２内に、モールド１６の底面３４と、ベースプレート２８の上面３７との間に配置されている。１つの実施の形態において、モールド１６の冷却が、主に放射によってなされるように、冷却プレート３８が、モールド１６の底面３４から離隔配置されている。冷却プレート３８は、Ｂａｉｌｅｙ他の公報に記載されているものと同じか、又は異なる種類の冷却プレートであってよい。孤立管４０、４２、４４が、ベースプレート２８と冷却プレート３８との間に取り付けられている。孤立管４０、４２、４４は、ベースプレート２８の上部において、冷却プレート３８を支持すると共に、冷却プレート３８に対し、流体の供給及び排出をするための管路としての機能も果たす。通常、冷却プレート３８に対し、供給及び排出される流体はガスである。例示の図１において、孤立管４０、４２が供給管路として機能し、孤立管４４が排出管路として機能する。
【００１８】
冷却プレート３８は、それぞれ孤立管４０、４２、４４に対応する位置に、流体の受け取り及び排出のための開口部４６、４８、５０を有している。開口部４６、４８、５０を介して、冷却プレート３８との気密流体交換を可能にするために、金属封止接合部４０ａ、４２ａ、４４ａが、それぞれ孤立管４０、４２、４４の各々と冷却プレート３８の開口部４６、４８、５０の各々との間に形成されている。１つの実施の形態において、金属封止接合部４０ａ、４２ａ、４４ａは、ロウ付け、溶接、又は半田付け等の金属接合方法によって形成された永久封止接合部である。
【００１９】
ベースプレート２８も、それぞれ孤立管４０、４２、４４に対応する位置に、開口部５２、５４、５６を有している。高温度のガラス成形環境下において、気密チャンバー３２を実現するために、金属封止接合部４０ｂ、４２ｂ、４４ｂが、それぞれ孤立管４０、４２、４４の各々とベースプレート２８の開口部５２、５４、５６の各々との間に形成されている。１つの実施の形態において、金属封止接合部４０ｂ、４２ｂ、４４ｂは、ロウ付け、溶接、又は半田付け等の金属接合方法によって形成された永久封止接合部である。
【００２０】
モールド組立体１２は、チャンバー３２に処理流体又は真空を供給すると共に、冷却プレート３８に処理流体を供給するための、同心管部分組立体５８を含んでいる。同心管部分組立体５８は、同心に配置された外管６０と内管６２を含んでいる。内管６２の外径が外管６０の内径より小さく、その結果、外管６０と内管６２との間に流路６４が形成されている。外管６０と内管６２の上端部が、ベースプレート２８の中央開口部６６に収容されている。外管６０の上端部とベースプレート２８の開口部６６との間に、金属封止接合部６８が形成されている。１つの実施の形態において、金属封止接合部６８は、ロウ付け、溶接、又は半田付け等の金属接合方法によって形成された永久封止接合部である。
【００２１】
外管６０と内管６２の上端部間に金属封止接合部７０が形成され、外管６０が内管６２に接続され、流路６４からのチャンバー３２への漏出が防止されている。１つの実施の形態において、金属封止接合部７０は、ロウ付け、溶接、又は半田付け等の金属接合方法によって形成された永久封止接合部である。金属封止接合部７０の１つの実施例において、外管６０と内管６２の上端部間に金属封止リングが配置される。次に、ロウ付け、溶接、又は半田付け等の金属接合方法によって、金属封止リングが、外管６０と内管６２の上端部に接合される。金属封止接合部７２も外管６０と内管６２の下端部間に形成され、外管６０が内管６２に接続され、例えば、以下に更に説明するように、外管６０と内管６２の下端部が収容部に挿入されると、流路６４への漏れが防止される。金属封止接合部７２は、金属封止接合部７０について前述した、すべての特徴を有することができる。
【００２２】
例示の図１において、排出孤立管４４からの流体は、例えば、ベースプレート２８の開口部８２を介して、大気中に排出されることになる。供給孤立管４０、４２は、流路６４から、処理流体（又は冷却流体）の供給を受けることになる。これを実現するため、外管６０が、流路６４に接続されたサイドポート７４、７６を有している。供給管７８、８０は、それぞれサイドポート７４、７６から、ベースプレート２８の開口部５２、５４にそれぞれ延びている。開口部５２、５４において、供給管７８、８０は供給孤立管４０、４２と位置合わせされて連通している。従って、１つの流体供給管路は、流路６４から、ポート７４、供給管７８、開口部５２、及び供給孤立管４０を介し、冷却プレート３８の開口部４６に延びている。同様に、別の流体供給管路は、流路６４から、ポート７６、供給管８０、開口部５４、及び供給孤立管４２を介し、冷却プレート３８の開口部４８に延びている。
【００２３】
冷却プレート３８に対し、流路６４から流体を気密供給するために、金属封止接合部７８ａ、８０ａが供給管７８、８０とベースプレート２８（即ち、開口部５２、５４）との界面に形成される。金属封止接合部７８ｂ、８０ｂも、供給管７８、８０と外管６０（即ち、サイドポート７４、７６）との界面に形成される。金属封止接合部７８ａ、８０ａ、７８ｂ、８０ｂは、ロウ付け、溶接、又は半田付け等の金属接合方法によって形成された永久封止接合部であってよい。
【００２４】
内管６２の上部開口部６２ａは、チャンバー３２に対して開放しているため、チャンバー３２と連通している。これにより、プレナムベース２４から離れた位置にある内管６２の下部開口部６２ｂから、処理流体又は真空をチャンバー３２に供給することができる。モールド１６の開口部（図２の２１）が、チャンバー３２に対して開放又は連通しているため、内管６２を介してチャンバー３２に供給された、処理流体又は真空を型穴（図２の１８）に連通させることができる。２Ｄのガラス板を３Ｄのモールドの表面（図２の２０）に順応させる間、型穴に真空を供給して、３Ｄのモールドの表面にガラス板を引き寄せて、３Ｄのガラス品を成形することができる。３Ｄのガラス品を成形した後、処理流体（又は冷却流体）を型穴に供給して、３Ｄのガラス品の温度をガラスの歪点より低い温度に低下させるのを支援することができる。
【００２５】
同心管部分組立体５８の下部６１において、外管６０は、Ｏリング封止材等の封止材９０、９２を保持するための、軸方向に離隔した溝８６、８８を備えた、異形外面８４を有している。溝８６と８８との間は陥凹表面９４である。外管６０は、陥凹表面９４を流路６４に接続する外管の壁に、管７８、４０、８０、４２を介して、冷却プレート３８と連通する少なくとも１つの開口部９６を有している。注入管６２の下部開口部６２ｂも、同心管組立体５８の下部６１に位置している。
【００２６】
図３は、外管６０の開口部９６及び内管６２の下部開口部６２ｂが、収容部１００の内部に位置するように、収容部１００の貫通孔９８に挿入された同心管部分組立体５８の下部６１を示す図である。この位置において、封止材９０、９２が、貫通孔９８の壁１０４に噛合する。貫通孔９８の壁１０４と外管６０の陥凹表面９４との間に、流体スペース１０２が形成される。流体スペース１０２の両端近傍の貫通孔壁１０４に噛合する封止材９０、９２によって、流体が、流体スペース１０２から収容部１００の外部に漏出するのが防止される。収容部１００は、流体スペース１０２と連通するサイドポート１０６を有している。サイドポート１０６、流体スペース１０２、及び開口部９６を介して、流体が流路６４に連通することができる。収容部１００は、内管６２の下部開口部６２ｂと連通する底部ポート１０８を有している。底部ポート１０８を介して、流体又は真空を内管６２に供給することができる。説明のために、冷却流体又は真空源の供給端部１１０を底部ポート１０８に示す。
【００２７】
収容部１００は、モールド組立体１２の着脱可能部品と見なすことも、モールド組立体１２と一緒に使用される別部品と見なすこともできる。
【００２８】
図４は、ガラスモールド成形システムのステーションに設置された、モールド組立体１２を示す。図４において、支柱１２３によって、一次基部１２０が割り出しテーブル１２２の上方に支持されている。一次基部１２０は、割り出しテーブル１２２の開口部１２６と位置合わせされた、開口部１２４を有している。収容部１００の貫通孔９８が、割り出しテーブル１２２の開口部１２６と位置合わせされるように、収容部１００が割り出しテーブル１２２の底部に取り付けられている。位置合わせされた穴１２４、１２６を介して、同心管部分組立体５８の下端部が、収容部１００の貫通孔９８に挿入される。一次基部１２０の上部にあるのは、支持構造体１２８である。支持構造体１２８の上部にプレナムベース２４が載置されている。例示の図４において、支持構造体１２８は、取り付けブロック１３０、１３２を有し、孤立管１３４が、取り付けブロック１３０と１３２との間に延びている。取り付けブロック１３２は、一次基部１２０に固定されている。
【００２９】
アダプタープレート１３４が、ネジ等を用いて、取り付けブロック１３０上に取り付けられている。プレナムベース２４のベースプレート２８が、アダプタープレート１３４上に位置している。ピン１３６等の手段を用いて、アダプタープレート１３４上の、ベースプレート２８の位置を合わせることができる。ピン１３６をアダプタープレート１３４の上部に設け、ベースプレート２８の底部において対応する穴に収容することができる。更に、真空によって、ベースプレート２８をアダプタープレート１３４に固定することができる。図５は、ベースプレート（図４の２８）を真空固定することができる、アダプタープレート１３４の実施の形態を示す。図５のアダプタープレート１３４は、真空溝１３８及び真空穴１４０を有している。真空押下管１４２を介して、真空穴１４０、次いで真空溝１３８に真空を供給することができる。真空溝１３８内の真空によって、ベースプレート（図４の２８）が、アダプタープレート１３４に固定されることになる。別の方法として、ボルトやクランプを用いて、アダプタープレート１３４をベースプレート２８に固定することができる。しかし、押下真空を解放するだけで、アダプタープレート１３４からプレナムベース２４を分離することができるため、真空固定により、モールド組立体１２の自動交換がより容易になる。
【００３０】
図４に戻り、モールド１６及びプレナムベース２４は、ガラス成形ステーションの高温度区域１４０に配置されている。収容部１００はガラス成形ステーションの低温度区域１４２に配置されている。同心管組立体５８がプレナムベース２４に接続され、プレナムベース２４から収容部１００の内部に延びている。収容部１００は、内管６２と流路６４とを連通させるための共通の界面として機能する。モールド組立体１２は、モールド１６の表面再生処理等の処理を行うために、ガラス成形ステーションから素早く取り外すことができる。モールド組立体を取り外すために、プレナムベース２４のベースプレート２８が、アダプタープレート１３４から分離される。次に、同心管組立体５８の下端部６１が収容部１００から取り外される。収容部１００は、割り出しテーブル１２２の底部の所定の位置に放置することも取り外すこともできる。収容部１００は、割り出しテーブル１２２の底部の所定の位置に放置されることが好ましい。収容部１００を所定の位置に放置した場合、取り外されたモールド組立体が補修されている間、別のモールド組立体をガラス成形ステーションに取り付けることができる。
【００３１】
ガラス成形ステーションにおいて、収容部１００が低温度区域１４２に配置されているため、Ｏリング封止材（図３の９０、９２）等の非永続的な封止材を用いて、長期間にわたり、収容部１００と同心管組立体５８の下端部６１との封止を確実に達成することができる。非永続的な封止材によって、収容部１００から同心管組立体５８の下端部６１を素早く回収することができる。
【００３２】
限定された数の実施の形態について、本開示を説明してきたが、本開示の恩恵を有する当業者は、本明細書に開示の本開示の範囲を逸脱しない、別の実施の形態を考え出すことができることを理解するであろう。従って、本開示の範囲は、添付の特許請求の範囲によってのみ限定されるべきである。
【００３３】
以下、本発明の好ましい実施形態を項分け記載する。
【００３４】
実施形態１
モールド組立体において、
三次元形状を有するモールド表面によって画成された型穴、及び該型穴に流体又は真空を連通させるための少なくとも１つの開口部を有するモールドと、
前記モールドとの間に、該モールドの少なくとも１つの開口部と連通するチャンバーが画成されるように、前記モールドに取り付けられたプレナムベースと、
前記チャンバー内に配置された冷却プレートと、
各々が前記プレナムベースの近傍に第１の端部及び該プレナムベースの遠方に第２の端部を有し、間に流路が画成されるように、同心に配置された外管及び内管と、
前記内管及び前記プレナムベースの第１の開口部を介して、前記チャンバーに延びる第１の流体管路と、
前記流路から、前記外管のポート及び前記プレナムベースの第２の開口部を介して、前記冷却プレートに延びる第２の流体管路と、
を備えたモールド組立体。
【００３５】
実施形態２
前記外管の端部と、前記第１の開口部近傍の前記プレナムベースとの間に、金属封止接合部が形成されている、実施形態１記載のモールド組立体。
【００３６】
実施形態３
前記流路の先端が、前記外管及び内管の前記第１の端部間に形成された金属封止接合部、及び前記外管及び内管の前記第２の端部間に形成された金属封止接合部によって封止されている、実施形態１又は２記載のモールド組立体。
【００３７】
実施形態４
前記外管が、軸方向に離隔した第１の溝及び第２の溝を備えた異形外面を有する、実施形態１〜３のいずれかに記載のモールド組立体。
【００３８】
実施形態５
前記第１の溝に保持された第１の封止部材、及び前記第２の溝に保持された第２の封止部材を更に備えた、実施例４記載のモールド組立体。
【００３９】
実施形態６
前記第１及び第２の封止部材が、Ｏリング封止材である、実施例５記載のモールド組立体。
【００４０】
実施形態７
前記異形外面が、前記第１及び第２の溝間に陥凹表面を更に備えている、実施例５記載のモールド組立体。
【００４１】
実施形態８
前記第１及び第２の溝、並びに前記陥凹表面が、前記外管の前記第２の端部の近傍に配置されている、実施例７記載のモールド組立体。
【００４２】
実施形態９
前記第２の流体経路が、前記外管の前記ポートから、前記プレナムベースの前記第２の開口部に延びる第１の管を含んでいる、実施例７記載のモールド組立体。
【００４３】
実施形態１０
前記第２の流体経路が、前記第１の管と前記プレナムベースの前記第２の開口部との間に形成された第１の金属封止接合部、及び前記第１の管と前記外管の前記ポートとの間に形成された第２の金属封止接合部を更に含んでいる、実施例９記載のモールド組立体。
【００４４】
実施形態１１
前記第２の流体経路が、前記プレナムベースの前記第２の開口部から、前記冷却プレートの開口部に延びる第２の管を更に含んでいる、実施例１０記載のモールド組立体。
【００４５】
実施形態１２
前記第２の管と前記プレナムベースの前記第２の開口部との間に形成された、第３の金属封止接合部、及び前記第２の管と前記冷却プレートの前記開口部との間に形成された、第４の金属封止接合部を更に含んでいる、実施例１１記載のモールド組立体。
【００４６】
実施形態１３
前記流路から、前記外管の別のポート及び前記プレナムベースの第３の開口部を介し、前記冷却プレートに延びる、第３の流体経路を更に備えた、実施例１〜１２のいずれかに記載のモールド組立体。
【００４７】
実施形態１４
前記外管及び内管の前記第２の端部が収容される貫通孔を有する収容部、流体を貫通孔に連通させるための第１のポート、及び流体を貫通孔に連通させるための第２のポートを更に含むと共に、前記第１のポートと前記流路との間に、第１の流体経路、及び前記第２のポートと前記内管との間に、第２の流体経路を更に備えた、実施例１〜１３のいずれかに記載のモールド組立体。
【００４８】
実施形態１５
前記第１の流体管路が、前記外管に、前記流路に接続された開口部、及び前記外管と該外管の前記開口部の近傍の収容部との間に形成された流体スペースを含んでいる、実施例１４記載のモールド組立体。
【００４９】
実施形態１６
前記外管の封止材が、前記流体スペースの先端の近傍の収容部に噛合している、実施例１５記載のモールド組立体。
【００５０】
実施形態１７
前記第２の流体管路と、前記外管、プレナムベース、及び冷却プレートの各々との界面が、金属封止接合部を備えた、実施例１〜１６のいずれかに記載のモールド組立体。
【００５１】
実施形態１８
前記外管が、前記プレナムベースに接続され、前記外管と前記プレナムベースとの界面が、金属封止接合部を含んでいる、実施例１〜１７のいずれかに記載のモールド組立体。
【００５２】
実施形態１９
前記内管及び外管の前記第１の端部が、金属封止接合部によって接続されていると共に、前記内管及び外管の前記第２の端部が、金属封止接合部によって接続されている、実施例１〜１８のいずれかに記載のモールド組立体。
【符号の説明】
【００５３】
１２                    モールド組立体
１６                    モールド
１８                    型穴
２１                    開口部
２４                    プレナムベース
２８                    ベースプレート
３２                    チャンバー
３８                    冷却プレート
４０、４２、４４        孤立管
４０ａ、４２ａ、４４ａ  金属封止接合部
４０ｂ、４２ｂ、４４ｂ  金属封止接合部
４６、４８、５０        開口部
６０                    外管
６２                    内管
６４                    流路
７４、７６              サイドポート
７８、８０              供給管
８６、８８              溝
９４                    陥凹表面
９８                    貫通孔
１００                  収容部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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