(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガス側剛体部及びガス側フレキシブル障壁要素を具えたガスチャンバであって、当該ガス側フレキシブル障壁要素が、前記ガスチャンバの第１の周囲において当該ガス側剛体部に永久に密着し、これにより前記ガスチャンバ内に導入されるガスが前記ガス側フレキシブル障壁要素と前記ガス側剛体部との間に閉じ込められるガスチャンバと；
搬送側剛体部及び搬送側フレキシブル障壁要素を具えた搬送チャンバであって、当該搬送側フレキシブル障壁要素が、前記搬送チャンバの第２の周囲において当該搬送側剛体部に永久に密着し、これにより前記搬送チャンバ内に導入される搬送物質が前記搬送側フレキシブル障壁要素と前記搬送側剛体部との間に閉じ込められ、前記搬送側フレキシブル障壁要素は、前記ガス側フレキシブル障壁要素に隣接するように配向され、かつ前記ガス側フレキシブル障壁要素とは別個の要素である搬送チャンバと；
前記ガスチャンバの前記ガス側剛体部に結合され、前記ガスチャンバ内のガス圧を増加させて前記ガス側フレキシブル障壁要素を膨張させるガスセルであって、前記ガス側フレキシブル障壁要素の膨張が、前記搬送側フレキシブル障壁要素に圧縮力を加えるガスセルと；
前記搬送側フレキシブル障壁要素が前記搬送側剛体部に向かう方向に偏ることに応答して、前記搬送物質が前記搬送チャンバから出ることを可能にする搬送開口とを具えた配向非依存性搬送装置であって、
前記ガス側剛体部と前記搬送側剛体部とを一緒に密着させて単一の統一体にした場合に、前記配向非依存性搬送装置の格納中及び使用中に前記統一体が一定の体積を規定する配向非依存性搬送装置。
【請求項２】
前記ガス側フレキシブル障壁要素が、標準状態において、前記ガスセルが発生するガスに対して７．４〜０．００２cm2/s・Paの浸透率を有する材料を含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記ガス側フレキシブル障壁要素が、前記ガスセルが発生するガスと反応しない材料を含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記搬送側フレキシブル障壁要素が、標準状態において、前記ガスセルが発生するガスに対して７．４〜０．００２cm2/s・Paの搬送物質浸透率を有する材料を含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記搬送側フレキシブル障壁要素が、前記搬送物質と反応しない材料を含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項６】
前記ガスチャンバが前記搬送チャンバに密着していることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項７】
前記ガス側フレキシブル障壁要素が、緩衝物質によって前記搬送側フレキシブル障壁要素から分離されて、摩擦を低減することを特徴とする請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記ガス側フレキシブル障壁要素が、前記搬送側フレキシブル障壁要素に直接接触していることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項９】
前記搬送開口に結合されて、前記搬送物質の搬送場所への搬送を促進する分散構造をさらに具えていることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項１０】
前記ガスセルが電気化学セルを具えていることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項１１】
前記電気化学セルが水素ガスを発生することを特徴とする請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】
前記ガス側剛体部と前記搬送側剛体部とが着脱可能に付け合わせられて、前記第１の周囲が前記第２の周囲と一致した位置にあることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項１３】
前記ガス側フレキシブル障壁要素が剛性構造を含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項１４】
前記ガス側フレキシブル障壁要素の前記剛性構造は、当該ガス側フレキシブル障壁要素が前記ガス側剛体部に対して完全に倒れ込んだ際に当該ガス側フレキシブル障壁要素が前記ガスセルに接触することを防止するように構成され配置されていることを特徴とする請求項１３に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
関連出願のクロスリファレンス
本願は、米国特許仮出願第６１／６９２７５０号、２０１２年８月２４日出願に基づいて優先権を主張し、その全文を参照する形で本明細書に含める。
【背景技術】
【０００２】
背景
液体及びガス搬送システムは、医療装置から空気清浄機に至る多数の異なる分野において多数の役割を果たす。従来の搬送システムは、頻繁に、ポンプにいくらかの多様性を伴う。異なる強み及び弱点を有する多数の異なる種類のポンプが存在する。
【０００３】
例えば、一部のポンプは配向に敏感である。これらのポンプは、適正に機能するために、特定閾値内に位置合わせまたは位置決めしなければならない。他のポンプは、小量の物質を移動させるために大量の力を必要とする。一部のポンプは、連続流体内の破片及び粒子物質の影響を受けやすい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】米国特許第５７４４０１４号明細書
【特許文献２】米国特許第５８９９３８１号明細書
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００５】
概要
装置の好適例を説明する。１つの好適例では、この装置は配向非依存性搬送装置である。この搬送装置は、ガスチャンバ、搬送チャンバ、ガスセル、及び搬送開口を含む。ガスチャンバは、ガス側剛体部及びガス側フレキシブル障壁を含む。ガス側フレキシブル障壁は、ガス側剛体部に密着している。搬送チャンバは、搬送側剛体部及び搬送側フレキシブル障壁を含む。搬送側フレキシブル障壁は、搬送側剛体部に密着している。搬送側フレキシブル障壁は、ガス側フレキシブル障壁に隣接するように配向されている。ガスセルが、ガスチャンバのガス側剛体部に結合されている。ガスセルは、ガスチャンバ内のガス圧を増加させて、ガス側フレキシブル障壁を膨張させる。ガス側フレキシブル障壁の膨張は、搬送側フレキシブル障壁に圧縮力を加える。搬送開口が、搬送側フレキシブル障壁の搬送チャンバ内への圧縮に応答して、搬送物質が搬送チャンバから出ることを可能にする。装置の他の好適例も説明する。
【０００６】
方法の好適例も説明する。１つの好適例では、この方法が搬送装置を製造する方法である。この方法は、ガス側剛体部を形成するステップと、ガス側フレキシブル障壁を形成するステップと、ガス側剛体部をガス側フレキシブル障壁に密着させてガスチャンバを形成するステップと、搬送側剛体部を形成するステップと、搬送側フレキシブル障壁を形成するステップと、搬送側剛体部を搬送側フレキシブル障壁に密着させて搬送チャンバを形成するステップと、ガスチャンバを搬送チャンバに密着させて、ガス側フレキシブル障壁が搬送側フレキシブル障壁に隣接するように配向されるステップとを含む。この方法は、ガスセルをガス側剛体部内に配置するステップも含む。このガスセルは、ガスチャンバと連通する。この方法は、搬送開口を搬送側剛体部内に配置するステップも含む。この搬送開口は、搬送チャンバと連通する。この方法の他の好適例も説明する。
【０００７】
システムの好適例も説明する。１つの好適例では、上記装置が搬送システムである。このシステムは、搬送ポンプ、分散構造、及び制御モジュールを含む。搬送ポンプは、配向に依存せずに動作する。搬送ポンプは、ガスチャンバ、ガスセル、及び搬送チャンバを含む。ガスチャンバは、ガス側フレキシブル障壁及びガス側剛体部を含む。ガスセルは、ガスチャンバと連通するように配置され、ガスチャンバ内にガスを発生させることによって、ガスチャンバ内の圧力を増加させて、ガス側フレキシブル障壁を膨張させてガス側剛体部から離す。搬送チャンバは、搬送側フレキシブル障壁及び搬送側剛体部を含む。搬送チャンバはガスチャンバに密着して、搬送側フレキシブル障壁がガス側フレキシブル障壁に直接隣接するように配向される。ガス側フレキシブル障壁がガス側剛体部から離れる膨張に応答して、搬送側フレキシブル障壁が搬送チャンバ内に押圧されて、搬送チャンバから搬送物質を分与する。分散構造は、搬送物質をチャンバの搬送ポンプから受ける。分散構造は、搬送物質を搬送場所に搬送する。制御モジュールは、ガスセルに結合されている。制御モジュールは、ガスセルの動作パラメータを制御する。このシステムの他の好適例も説明する。
【０００８】
本発明の好適例の他の態様及び利点は、添付した図面を併用して行う以下の詳細な説明より明らかになり、これらの図面は、発明の原理の一例として図示するに過ぎない。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】搬送装置の一実施形態の分解切欠き図である。
【図２】図１の搬送装置の一実施形態の切欠き概略図であり、ガス側フレキシブル障壁が完全に圧縮されている。
【図３Ａ】図１の搬送装置１００の一実施形態の切欠き概略図であり、搬送側のフレキシブル障壁が完全に圧縮されている。
【図３Ｂ】図１の搬送装置の一実施形態の概略図であり、フレキシブル障壁が中立位置にある。
【図４】搬送システムの一実施形態の概略図である。
【図５】チャンバ搬送システムを製造する方法の一実施形態のブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
説明全体を通して、同様な要素は、同様な参照番号を用いて識別することができる。
【００１１】
詳細な説明
本明細書で概略的に説明し、添付する図面に図示する実施形態の構成要素は、多種多様な異なる構成の形に配置及び設計することができることは、容易に理解される。従って、以下の、図面に表現する種々の実施形態のより詳細な説明は、本発明の範囲を限定することを意図するものではなく、種々の実施形態を代表するに過ぎない。図面中には、これらの実施形態の種々の態様を図示するが、これらの図面は、特に断りのない限り一定縮尺で描いたものではない。
【００１２】
本発明は、その精神及び本質的特徴から逸脱することなしに、他の特定形態で具体化することができる。説明する実施形態は、あらゆる点で、限定的ではなく例示的なものに過ぎないものと考えるべきである。従って、本発明の範囲は、詳細な説明ではなく、添付した特許請求の範囲によって示される。特許請求の範囲の等価物の意味及び範囲内に入るすべての変更は、それらの範囲内に包含される。
【００１３】
本明細書全体を通して、特徴、利点、または同様の文言の参照は、本発明により実現することができる特徴及び利点のすべてが、本発明のどの単一の実施形態中にも存在すべきである、あるいは存在することを暗示するものではない。むしろ、これらの特徴及び利点を参照する文言は、実施形態に関連して説明する特定の特徴、利点、または特性が、本発明の少なくとも１つの実施形態に含まれることを意味するものと理解すべきである。従って、本明細書全体を通して、これらの特徴及び利点の説明、及び同様の文言は、同じ実施形態を参照することがあるが、必ずしもそうではない。
【００１４】
さらに、説明する本発明の特徴、利点、及び特性は、１つ以上の実施形態において、あらゆる適切な方法で組み合わせることができる。本明細書の説明を考慮すれば、特定実施形態の特定の特徴または利点のうち１つ以上なしで本発明を実施することができることは、関連技術の当業者の認める所である。他の例では、本発明のすべての実施形態に存在しないかもしれない追加的な特徴及び利点を認めることがある。
【００１５】
本明細書全体を通して、「一実施形態」、「実施形態」、または同様の文言の参照は、指示する実施形態に関連して説明する特定の特徴、構造、または特性が、本発明の少なくとも１つの実施形態に含まれることを意味する。従って、本明細書全体を通して、「一実施形態では」、「実施形態では」、及び同様の文言は、すべてが同じ実施形態を参照することがあるが、必ずしもそうではない。
【００１６】
本明細書では、多数の実施形態を説明するが、説明する実施形態の少なくとも一部は、ガスセルポンプに関するものである。一般に、以下に説明する実施形態は、ガスセルによって発生する機械的圧力による搬送物質の搬送に指向したものである。一部の実施形態は、薬剤、芳香、化学薬品、潤滑剤、生理的食塩水、化学物質、または化学的混合物を搬送するために有用であり得る。一部の実施形態では、上記ポンプが、これらの物質を局所領域に搬送することができる。他の実施形態では、上記ポンプが、これらの物質を物質の流れとして搬送して、近位の部位または比較的遠位の部位において特定の結果を生み出すことができる。他の実施形態では、上記ポンプが、これらの物質を持続的な速度で搬送する。例えば、上記ポンプは、比較的低い搬送速度で、あるいは高速で動作することができる。他の実施形態では、上記ポンプが、これらの物質を可変の速度で搬送する。
【００１７】
一部の実施形態では、上記ポンプに、揮発性及び／または腐食性の物質を取り込んで搬送することができる。上記ポンプは、当該ポンプによって搬送される特定の化学物質または薬品に対して特に耐性があるように構成することができる。これに加えて、一部の実施形態は、搬送薬剤に比べて低い浸透性を有する物質を含むことができる。このようにして、一部の実施形態は、特定物質を搬送するように特別に構成することができる。他の実施形態は、腐食及び浸透の特性が変動する広範な物質を処理するように構成することができる。
【００１８】
一部の実施形態では、上記ポンプの構成要素どうしを一緒に密着させて、単一の統一体にすることができる。他の実施形態では、一部の構成要素どうしを、上記ポンプに対する損傷なしに、あるいは複雑なプロセスを用いることなしに当該構成要素を取り外すことができる方法で結合することができる。例えば、一部の実施形態では、搬送物質を包含する部分を取り外して、使用済みの部分を新たな部分に置き換えることができる。他の実施形態では、他の部分を着脱可能にすることができる。
【００１９】
一部の実施形態では、上記ポンプがあらゆる配向で動作可能である。換言すれば、上記ポンプは、どの特定の配向閾値にも敏感でない。例えば、上記ポンプは、搬送物質を上向きに、下向きに、あるいは、それらの間の任意角度に取り出すように配置することができる。
【００２０】
図１に、搬送装置１００の一実施形態の分解切欠き図を示す。図示する実施形態は、ガス側剛体部１０２、ガス側フレキシブル障壁１０４、搬送側剛体部１０６、搬送側フレキシブル障壁１０８、ガスセル１１０、及び搬送開口１１２を含む。図示する実施形態では、ガス側剛体部１０２がフランジ状エッジ付きのドーム形状をなす。ガス側剛体部１０２の構造は、ガス側フレキシブル障壁１０４の構造と対応する。このことは、ガス側剛体部１０２とガス側フレキシブル障壁１０４とが合わさって密着を形成することを可能にする。他の実施形態では、ガス側剛体部１０２が図示するものと異なる形状を有する。例えば、ガス側剛体部１０２は、より深い湾曲を有することができ、円柱形状または球面状とすることができ、平面部を有するか立方形にすることができ、そして、図１に示す凸面形状ではなく凹面形状を有することができる。
【００２１】
図１に示す実施形態では、ガス側剛体部１０２が滑らかな表面を有する。他の実施形態では、ガス側剛体部１０２が表面処理をなされている。例えば、この表面処理は、研磨、テクスチャ加工、剛性を増すか他の何らかの機能性を与えるための追加的構造要素を含むことができる。図示する実施形態では、ガス側剛体部１０２が比較的剛性のある材料製である。例えば、ガス側剛体部１０２は硬質プラスチック、金属、合成物、または他の何らかの剛性材料製にすることができる。
【００２２】
図示する実施形態では、ガス側フレキシブル障壁１０４がガス側剛体部１０２と結合されている。一部の実施形態では、ガス側フレキシブル障壁１０４がガス側剛体部１０２に密着している。例えば、ガス側フレキシブル障壁１０４とガス側剛体部１０２とを、熱的密着、機械的密着、化学的密着または接着剤、真空密着、または密着のいくつかの形態の組合せ、あるいは密着を生成することによって結合することができる。
【００２３】
一部の実施形態では、ガス側フレキシブル障壁１０４が、ダイヤフラムのように動作するフレキシブル膜である。ガスセル１１０がガスを発生すると、ガス側フレキシブル膜１０４が屈曲して、ガス側フレキシブル障壁とガス側剛体部１０２との間にチャンバを形成する。ガスセル１１０がガスを発生し続けると共に、ガス側障壁が屈曲し続けて、チャンバ内に追加的容量をもたらす。一部の実施形態では、ガス側フレキシブル障壁１０４用に用いられる材料を、ガスセル１１０が発生するガスとの反応性に対して高度な耐性を有するように選択することができる。これに加えて、ガス側フレキシブル障壁１０４は、ガスセル１１０が発生するガスに対して低度な浸透性を有するように選択することができる。一部の実施形態では、化学反応性及び浸透性の両者に対して材料を選択することができる。他の実施形態では、追加的な品質及び特性が、フレキシブル障壁１０４用の材料選択に影響を与える。単独でも組合せでも使用することができる材料は、メチルアクリレート（アクリル酸メチル）コポリマー、ポリエチレン・テレフタレート（ＰＥＴ：polyethylene terephthalate）、高密度ポリエチレン（ＨＤＰＥ：high density polyethylene）、また二軸脂肪族ポリアミド（ナイロンとしても知られている）のようなラミネート（積層）、アルミホイル、及び低密度ポリエチレンを含む。
【００２４】
一部の実施形態では、ガス側フレキシブル障壁１０４が、その全体にわたってフレキシブルである。他の実施形態では、ガス側フレキシブル障壁１０４が、いくつかの剛性または相対的にフレキシブル性の低い部分を含み、これらは当該ガス側フレキシブル障壁１０４内に組み込まれている。一部の実施形態では、ガス側フレキシブル障壁１０４が、フレキシブル性の度合いが変化するいくつかの部分を有する。例えば、ガス側フレキシブル障壁１０４が小型の剛体部を含み、この剛体部は、ガス側フレキシブル障壁１０４がガス側剛体部に対して完全に倒れ込んだ際に、ガス側フレキシブル障壁１０４がガスセル１１０に接触することを防止することができる。他の実施形態は、他の機能を提供するための他の構造要素を、ガス側フレキシブル障壁１０４内に含む。
【００２５】
一部の実施形態では、搬送側剛体部１０６がガス側剛体部１０２と同様である。他の実施形態では、搬送側剛体部１０６が独自の形状及び機能を有する。例えば、搬送側剛体部１０６は、搬送物質が搬送開口１１２に至る流れを改善するように形成することができ、あるいは、リフィル（補充）インタフェース（図示せず）を含むことができる。他の実施形態では、他の機能及び構造を含むことができる。一部の実施形態では、搬送側剛体部１０６がガス側剛体部１０２の形状に整合し、これらが合わさって、搬送側（図３Ｂの１１６）及びガス側（図３Ｂの１１４）を一緒に密着させることを促進する。他の実施形態では、搬送側剛体部１０６がガス側剛体部１０２と形状が異なる。
【００２６】
搬送側フレキシブ障壁１０８は、搬送側剛体部１０６に結合されている。一部の実施形態では、搬送側フレキシブル障壁１０８が、搬送物質に対する化学的耐性が高度な材料で形成されている。他の実施形態では、搬送側フレキシブル障壁１０８も、搬送物質に対する浸透性が低度である。一部の実施形態では、搬送側フレキシブル障壁１０８が、ガスセル１１０が発生するガスに対して高度な浸透性を有する。このことは、ガスセル１１０から搬送側（図３Ｂの１１６）に集められたあらゆる漂遊ガスが、泡を形成するか、さもなければ装置１００の搬送側（図３Ｂの１１６）に悪影響を与えることなしに、搬送側フレキシブル障壁１０８を通って抜け出ることを可能にする。一部の実施形態では、同様なガス通気機能を、搬送側剛体部１０６に内蔵させることができる。
【００２７】
図示する実施形態では、ガスセル１１０がガス側剛体部１０２の構造内に配置されている。一部の実施形態では、ガラスビード、シリコンビード、シアノアクリレート接着剤、または他の形態の密着または接着材料またはプロセスの適用によって、ガスセル１１０がガス側剛体部１０２の構造内に配置されている。一部の実施形態では、ガスセル１１０を遠隔位置に配置し、流路または管路によって接続して、ガスセル１１０が発生するガスを、ガス側剛体部１０２を通して指向させることができる。ガスセル１１０は、ガスを生成して、このガスを、ガス側剛体部１０２とガス側フレキシブル障壁１０４との間の領域内に指向させる。この領域内のガスの集積は、ガス側フレキシブル障壁１０４を、ガス側剛体部１０２から離れるように強制移動させる。このことが、装置の動作のための駆動力を提供する。
【００２８】
一部の実施形態では、ガスセル１１０が電気化学セルである。ガスセル技術は、Gordonによって米国特許第５７４４０１４号明細書（特許文献１）及び米国特許第５８９９３８１号明細書（特許文献２）中に教示され、これらの明細書は、参照する形で本明細書に含める。
【００２９】
図１に示す実施形態は、搬送開口１１２を含む。一部の実施形態では、搬送開口１１２が、搬送側剛体部１０６内に配置された独立構造である。他の実施形態では、搬送開口１１２が、搬送側剛体部１０６の一部として形成されている。搬送開口１１２は、装置の搬送側（図３Ｂの１１６）から搬送物質を放出することを可能にする。一部の実施形態では、搬送開口１１２が、特定の圧力閾値または他の基準に達するまで搬送物質の放出を防止するためのバルブ（図示せず）を含む。一部の実施形態では、搬送開口１１２が接続点を含んで、搬送開口１１２を通して放出された搬送物質を分散させるための分散構造（以下でさらに説明する）の接続を促進する。一部の実施形態では、搬送開口１１２が活性剤製であるか活性剤を含んで、搬送物質が搬送開口１１２を通過する際に、搬送物質内に化学反応を生じさせる。例えば、搬送開口１１２は、ヒータ、化学活性剤、帯電要素、あるいは搬送物質が搬送開口１１２を通過する際に搬送物質と相互作用する他の構造を含むことができる。他の実施形態では、搬送開口１１２が、搬送物質の搬送モードに物理的影響を与える。例えば、搬送開口１１２は、搬送物質の搬送を霧化、平行化、噴流化、拡散、加速、減速、変化、または変調することができる。
【００３０】
搬送装置１００は、特定の構成要素及び機能を有するように図示し説明しているが、搬送装置１００の他の実施形態は、より少数またはより多数の構成要素を含んで、より少数またはより多数の機能を実現することができる。
【００３１】
図２に、図１の搬送装置の一実施形態の切欠き概略図を示し、この図では、ガス側フレキシブル障壁が完全に圧縮されている。図示する搬送装置１００の実施形態は、ガス側剛体部１０２、ガス側フレキシブル障壁１０４、搬送側剛体部１０６、搬送側フレキシブル障壁１０８、ガスセル１１０、及び搬送開口１１２を含む。
【００３２】
図示する実施形態では、搬送側（図３Ｂの１１６）に搬送物質が装填され、これにより搬送側フレキシブル障壁が広がっている。これによりガス側（図３Ｂの１１４）が圧縮されて、ガス側フレキシブル障壁１０４がガス側剛体部１０２の形状に従っている。図２に示す実施形態では、ガスセル１１０はガスを発生し始めておらず、ガス側フレキシブル障壁１０４は、ガス側剛体部１０２に対して倒れ込んでいる。一旦、ガスセル１１０がガスを発生し始めると、ガス側剛体部１０２とガス側フレキシブル障壁１０４との間の領域がガスで満たされ、ガス側フレキシブル障壁１０４が搬送側フレキシブル障壁１０８を圧縮し始める。このことは、搬送側フレキシブル障壁１０８と搬送側剛体部１０６との間の圧力を増加させることになる。
【００３３】
図３Ａに、図１の搬送装置１００の一実施形態の切欠き概略図を示し、この図では搬送側フレキシブル障壁１０８が完全に圧縮されている。図示する実施形態では、ガスセル１１０が、ガス側フレキシブル障壁１０４をガス側剛体部１０２から引き離して搬送側フレキシブル障壁１０８を圧縮するのに十分なガスを発生している。これにより、搬送物質が搬送開口１１２を通して排出されて、搬送側フレキシブル障壁１０８が搬送側剛体部１０６に対して倒れ込んでいる。
【００３４】
図３Ｂに、図１の搬送装置の一実施形態の概略図を示し、この図では、フレキシブル障壁１０４及び１０８が中立位置にある。図示する実施形態では、ガス側フレキシブル障壁１０４及び搬送側フレキシブル障壁１０８が中立位置にある。この図は、ガスチャンバ１１４または搬送装置１００のガス側１１４、並びに搬送チャンバ１１６または搬送装置１００の搬送側１１６を、より簡単に表している。図３Ｂに示す実施形態では、ガス側フレキシブル障壁１０４と搬送側フレキシブル障壁１０８とが小さいマージン（余裕部分）によって分離されている。一部の実施形態では、ガス側フレキシブル障壁１０４と搬送側フレキシブル障壁１０８との間の小空間が緩衝物質で満たされて、ガス側フレキシブル障壁１０４と搬送側フレキシブル障壁１０８との間の摩擦及び結合を低減している。他の実施形態では、ガス側フレキシブル障壁１０４と搬送側フレキシブル障壁１０８とが分離せずに直接接触している。一部の実施形態では、ガス側フレキシブル障壁１０４及び搬送側フレキシブル障壁１０８の一方または両方が表面処理を含んで、摩擦を低減して、ガス側フレキシブル障壁１０４と搬送側フレキシブル障壁１０８との結合を実質的に防止する。
【００３５】
図４に、搬送システム２００の一実施形態の概略図を示す。図示する実施形態は、搬送ポンプ１００、制御モジュール２０４、リード線２０２、搬送ライン２０６、及び分散構造２０８を含む。図示する実施形態では、ポンプ１００がガスセル１１０及び搬送開口１１２を含む。図示する実施形態では、ポンプ１００が垂直配向である。他の実施形態では、ポンプを水平に、あるいは他の何らかの角度に配向させることができる。図示する実施形態では、ガスセル１１０がリード線２０２によって制御モジュール２０４に接続されている。一部の実施形態では、制御モジュール２０４が、ガスセル１１０を制御するための抵抗素子を含む。他の実施形態は、他の種類の電気または機械制御システムを含む。
【００３６】
図示する実施形態では、搬送開口１１２が搬送ライン２０６に接続されている。一部の実施形態では、搬送ライン２０６が管路または流路である。搬送ライン２０６は分散構造２０８に接続されて、搬送物質をポンプ１００の搬送開口１１２から分散構造２０８へ伝達する。一部の実施形態では、搬送ライン２０６が省略され、搬送開口１１２が分散構造２０８と直接連通している。一部の実施形態では、分散構造２０８が分子分散媒である。例えば、分散構造２０８は、ガーゼ、発泡体、スポンジ、または他の通気性の表面領域を含むことができる。他の実施形態では、分散構造２０８が噴霧ノズルである。他の実施形態では、分散構造２０８が、管、針、加熱素子、あるいは物質を目標の場所または環境に搬送するための他の既知の機械的、熱的、化学的、または他の要素である。他の実施形態では、分散構造２０８が省略され、搬送開口１１２が、ポンプからの搬送物質を、搬送システム２００から直接外に分散させる。一部の実施形態では、ポンプ１００が搬送システム２００内に実現されて、従来技術に対する特定の利点を提供する。例えば、搬送システム２００の一部の実施形態は、配向依存性を解消するようにポンプ１００を実現する。例えば、搬送システム２００は、ポンプ１００における漏れまたは故障の問題なしに、あらゆる向きに配向させることができる。搬送システム２００の他の実施形態は、他の利点を達成するようにポンプ１００を実現することができる。
【００３７】
搬送システム２００は、特定の構成要素及び機能を有するように図示し説明しているが、搬送システム２００の他の実施形態は、より少数またはより多数の構成要素を含んで、より少数またはより多数の機能を実現することができる。
【００３８】
図５に、チャンバ搬送システムを製造する方法３００の一実施形態のブロック図を示す。ブロック３０２では、ガス側剛体部を形成する。ブロック３０４では、ガス側フレキシブル障壁を形成する。ブロック３０６では、ガス側剛体部をガス側フレキシブル障壁に密着させて、ガスチャンバを形成する。ブロック３０８では、搬送側剛体部を形成する。ブロック３１０では、搬送側フレキシブル障壁を形成する。ブロック３１２では、搬送側剛体部を搬送側フレキシブル障壁に密着させて、搬送チャンバを形成する。ブロック３１４では、ガスチャンバを搬送チャンバに密着させて、ガス側フレキシブル障壁が搬送側フレキシブル障壁に隣接するように配向される。ブロック３１６では、ガスセルをガス側剛体部内に配置する。ガスセルはガスチャンバと連通している。ブロック３１８では、搬送開口を搬送側剛体部内に配置する。搬送開口は搬送チャンバと連通している。
【００３９】
以上の説明では、種々の実施形態の具体的詳細を提供している。しかし、一部の実施形態は、これらの具体的詳細が全部揃わなくても実施することができる。他の例では、簡単かつ明瞭にするために、特定の方法、手順、構成要素、構造、及び／または機能を、本発明の種々の実施形態を可能にする以上に詳細に説明していない。
【００４０】
本明細書では、方法の動作を特定の順序で図示し説明しているが、各方法の動作の順序は変更することができ、これにより、特定の動作を逆の順序で実行することができ、あるいは、特定の動作を、少なくとも部分的に他の動作と同時に実行することができる。他の実施形態では、区別されるいくつかの動作の命令または副動作どうしを、間欠的に、及び／または交互に実現することができる。
【００４１】
本発明の特定実施形態を説明し図示してきたが、本発明は、そのように説明し図示した部分の特定の形態または構成に限定されるべきものではない。本発明の範囲は、本明細書に添付した請求項及びその等価物によって規定されるべきものである。
【００４２】
本明細書では、方法の動作を特定の順序で図示し説明しているが、各方法の動作の順序は変更することができ、これにより、特定の動作を逆の順序で実行することができ、あるいは、特定の動作を、少なくとも部分的に他の動作と同時に実行することができる。他の実施形態では、区別されるいくつかの動作の命令または副動作どうしを、間欠的に、及び／または交互に実現することができる。
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４】
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【図５】
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