(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板収納容器であって、
開口を有する容器本体と、
前記開口を閉鎖する蓋体と、
前記蓋体の内面に取り付けられ、前記容器本体に整列して収納される複数の基板のそれぞれの周縁部を保持する複数の保持部をもつ保持部材と、
前記保持部材が取り付けられる前記蓋体の取付け面に設けられ、前記複数の保持部の間を仕切るように前記取付け面から前記保持部の両側に突出する複数の仕切り壁と、を備え、
前記仕切り壁が、その突出方向に直角な方向でかつ前記基板の表面に平行な方向の長さが、対応する前記保持部の長さの５０％以上になるように、設けられることを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
基板収納容器であって、
開口を有する容器本体と、
前記開口を閉鎖する蓋体と、
前記蓋体の内面に取り付けられ、前記容器本体に整列して収納される複数の基板のそれぞれの周縁部を保持する複数の保持部をもつ保持部材と、
前記保持部材が取り付けられる前記蓋体の取付け面に設けられ、前記複数の保持部の間を仕切るように前記取付け面から前記保持部の両側に突出する複数の仕切り壁と、を備え、
前記仕切り壁が、前記保持部が前記基板の周縁部を保持している状態において、前記取付け面からの突出高さが、前記取付け面から前記保持部の先端までの高さ以上になるように、設けられ、
前記仕切り壁が、その突出方向に直角な方向でかつ前記基板の表面に平行な方向の長さが、対応する前記保持部の長さの５０％以上になるように、設けられることを特徴とする基板収納容器。
【請求項３】
基板収納容器であって、
開口を有する容器本体と、
前記開口を閉鎖する蓋体と、
前記蓋体の内面に取り付けられ、前記容器本体に整列して収納される複数の基板のそれぞれの周縁部を保持する複数の保持部をもつ保持部材と、
前記保持部材が取り付けられる前記蓋体の取付け面に設けられ、前記複数の保持部の間を仕切るように前記取付け面から前記保持部の両側に突出する複数の仕切り壁と、を備え、
前記仕切り壁が、前記保持部が前記基板の周縁部を保持している状態において、前記取付け面からの突出高さが、前記取付け面から前記保持部の先端までの高さ以上になるように、設けられ、
前記仕切り壁が、その突出方向に直角な方向でかつ前記基板の表面に平行な方向の長さが、対応する前記保持部の長さの６５％以上になるように、設けられることを特徴とする基板収納容器。
【請求項４】
前記仕切り壁が、前記保持部が前記基板の周縁部を保持していない状態において、前記取付け面からの突出高さが、前記取付け面から前記保持部の先端までの高さ以上になるように、設けられることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の基板収納容器。
【請求項５】
前記保持部が、その両側に配置される２つの前記仕切り壁との間に合計で０．２ｍｍ以上０．５ｍｍ以下の隙間を有することを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の基板収納容器。
【請求項６】
前記保持部が、その両側に配置される２つの前記仕切り壁のうち、一方の仕切り壁との間に第１の隙間を、他方の仕切り壁との間に第２の隙間を有し、
前記第１の隙間及び前記第２の隙間が、それぞれ、０．１ｍｍ以上０．２５ｍｍ以下の大きさに設定されることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウェーハからなる複数の基板を収納する基板収納容器が知られている（例えば、特許文献１参照。）
【０００３】
特許文献１には、開口を有し基板を整列して収納する容器本体と、開口をシール可能に閉鎖する蓋体とを備える基板収納容器が開示される。容器本体の内面には、基板を支持する１対の支持部材が取り付けられ、蓋体の内面には、基板を保持する保持部材（フロントリテーナ）が取り付けられる。保持部材は、枠体と、枠体から延びる弾性片と、弾性片に設けられる保持部を有している。保持部には、基板を保持する溝が形成されていて、保持部の裏面には、係合片が設けられている。
【０００４】
この基板収納容器では、基板を安全に輸送するために、保持部材の弾性を利用して、輸送時の振動や衝撃を吸収している。また、蓋体の保持部材との対向部にストッパーを形成し、このストッパーと係合片を嵌合させて、弾性片の過度の変形を防止している。
【０００５】
ところで、基板収納容器の輸送時の振動や衝撃で基板が回転したり破損したりすることを防ぐためには、保持部材の保持力を大きくして安定的に基板を保持することが必要となる。しかし、保持部材の保持力を単に大きくすると、基板と保持部材とが強く接触してしまい、保持部材が削れて基板に汚れが付着し易くなる問題があった。この問題は、特に基板の直径が大きく質量が大きい場合、より顕著に生じる。また、ストッパーと係合片により、保持部材と相対する方向の基板の移動を規制する従来の技術では、十分に汚れを防止することは困難であった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第５２５３４１０号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、基板の動きを適正に制限して、基板の破損を防止するとともに基板の汚れを防止できる基板収納容器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、以下の構成によって把握される。
（１）本発明に係る第１の観点は、基板収納容器であって、開口を有する容器本体と、前記開口を閉鎖する蓋体と、前記蓋体の内面に取り付けられ、前記容器本体に整列して収納される複数の基板のそれぞれの周縁部を保持する複数の保持部をもつ保持部材と、前記保持部材が取り付けられる前記蓋体の取付け面に設けられ、前記複数の保持部の間を仕切るように前記取付け面から前記保持部の両側に突出する複数の仕切り壁と、を備え、前記仕切り壁が、前記保持部が前記基板の周縁部を保持している状態において、前記取付け面からの突出高さが、前記取付け面から前記保持部の先端までの高さ以上になるように、設けられることを特徴とする。
【０００９】
（２）本発明は、（１）の構成において、前記仕切り壁が、前記保持部が前記基板の周縁部を保持していない状態において、前記取付け面からの突出高さが、前記取付け面から前記保持部の先端までの高さ以上になるように、設けられることを特徴とする。
【００１０】
（３）本発明は、（１）又は（２）の構成において、前記仕切り壁が、その突出方向に直角な方向でかつ前記基板の表面に平行な方向の長さが、それに対応する前記保持部の長さの５０％以上になるように、設けられることを特徴とする。
【００１１】
（４）本発明は、（１）から（３）のいずれか１つの構成において、前記仕切り壁が、その突出方向に直角な方向でかつ前記基板の表面に平行な方向の長さが、それに対応する前記保持部の長さの６５％以上になるように、設けられることを特徴とする。
【００１２】
（５）本発明は、（１）から（４）のいずれか１つの構成において、前記保持部が、その両側に配置される２つの前記仕切り壁との間に合計で０．２ｍｍ以上０．５ｍｍ以下の隙間を有することを特徴とする。
【００１３】
（６）本発明は、（１）から（５）のいずれか１つの構成において、前記保持部が、その両側に配置される２つの前記仕切り壁のうち、一方の仕切り壁との間に第１の隙間を、他方の仕切り壁との間に第２の隙間を有し、前記第１の隙間及び前記第２の隙間が、それぞれ、０．１ｍｍ以上０．２５ｍｍ以下の大きさに設定されることを特徴とする。
【００１４】
（７）本発明に係る第２の観点は、基板収納容器であって、開口を有する容器本体と、前記開口を閉鎖する蓋体と、前記蓋体の内面に取り付けられ、前記容器本体に整列して収納される複数の基板のそれぞれの周縁部を保持する複数の保持部をもつ保持部材と、前記保持部材が取り付けられる前記蓋体の取付け面に設けられ、前記複数の保持部の間を仕切るように前記取付け面から前記保持部の両側に突出する複数の仕切り壁と、を備え、前記仕切り壁が、その突出方向に直角な方向でかつ前記基板の表面に平行な方向の長さが、対応する前記保持部の長さの５０％以上になるように、設けられることを特徴とする。
【００１５】
（８）本発明に係る第３の観点は、基板収納容器であって、開口を有する容器本体と、前記開口を閉鎖する蓋体と、前記蓋体の内面に取り付けられ、前記容器本体に整列して収納される複数の基板のそれぞれの周縁部を保持する複数の保持部をもつ保持部材と、前記保持部材が取り付けられる前記蓋体の取付け面に設けられ、前記複数の保持部の間を仕切るように前記取付け面から前記保持部の両側に突出する複数の仕切り壁と、を備え、前記保持部が、その両側に配置される２つの前記仕切り壁との間に合計で０．２ｍｍ以上０．５ｍｍ以下の隙間を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、基板の動きを適正に制限して、基板の破損を防止するとともに基板の汚れを防止できる基板収納容器が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施形態に係る基板収納容器の分解斜視図である。
【図２】実施形態に係る蓋体を内面側から見た斜視図である。
【図３】図２に示される蓋体から保持部材を外した構成を示す蓋体の分解斜視図である。
【図４】図２のＡ矢視図であり、仕切り壁及び保持部の平面図である。
【図５】図４のＢ−Ｂ断面図であり、（ａ）は保持部が基板を保持している状態を示す図、（ｂ）は保持部が基板を保持していない状態を示す図である。
【図６】（ａ）は図３のＣ部拡大図、（ｂ）は実施形態に係る仕切り壁の断面図、（ｃ）は実施形態に係る仕切り壁の平面図である。
【図７】実施形態に係る仕切り壁の作用図であり、（ａ）は仕切り壁の長さが大きい場合を示す図、（ｂ）は仕切り壁の長さが小さい場合を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための形態（以下、「実施形態」と称する）について詳細に説明する。実施形態の説明の全体を通して同じ要素には同じ番号を付している。
【００１９】
（基板収納容器の全体構成）
図１に示すように、実施形態に係る基板収納容器１は、容器本体２の前面に開口４を有し複数の基板Ｗを整列させて（この例では、基板Ｗを水平な姿勢で垂直方向に並べて）収納する容器本体２と、開口４をシール可能に閉鎖する蓋体１１とを備える。容器本体２には、その対向する内面２ｂに一対の支持部材３が設けられ、支持部材３には、基板Ｗの周縁部を水平に保持する支持部が垂直方向に一定間隔で形成されている。
【００２０】
容器本体２の天井面２ａには、ロボティックフランジ７が着脱自在に装着される。基板収納容器１は、このロボティックフランジ７が自動の天井搬送機に保持されることにより、工程内及び工程間を搬送される。
【００２１】
容器本体２と蓋体１１は、例えばポリカーボネート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、液晶ポリマー、シクロオレフィンポリマーなどの合成樹脂から形成することができる。また、これらの樹脂に、カーボンパウダー、カーボン繊維、カーボンナノチューブなどを添加して、導電性を付与することもできる。
【００２２】
図２に示すように、基板収納容器１は、蓋体１１の内面に取り付けられる左右一対の保持部材２１Ｌ，２１Ｒと、左右一対の保持部材２１Ｌ，２１Ｒが取り付けられる左右の取付け面１１ａのそれぞれに対応して設けられる複数の仕切り壁２２と、を備える。なお、左右一対の保持部材２１Ｌ，２１Ｒ及びこれらに対応する複数の仕切り壁２２は、左右対称な形状であるため、以下の説明では、保持部材２１Ｒ及びこれに対応する複数の仕切り壁２２の構成についてのみ説明する。
【００２３】
（保持部材の構成）
図３に示すように、保持部材２１Ｒは、一対の取付け部２１ａ、複数組の一対の第１弾性片２１ｂ及び複数の第２弾性片２１ｃを備える。一対の取付け部２１ａのうち、蓋体１１の中央側に位置する取付け部２１ａは、その内側の縁に設けられた複数の凸部２１ａ１が蓋体１１の凹部１１ｂに嵌合して位置決めされる。一方、蓋体１１の外側に位置する取付け部２１ａは、その外側の縁が蓋体１１の係合爪１１ｃに差し込まれることで係合される。これにより、取付け部２１ａは、蓋体１１の取付け面１１ａに取り付けられる。
【００２４】
一対の第１弾性片２１ｂは、一対の取付け部２１ａからそれぞれ内向きに突出しており、取付け部２１ａの長手方向に所定のピッチで複数組、配列される。第２弾性片２１ｃは、基板Ｗの前側の周縁部に沿った形状に形成されており、一体に形成される保持部２１ｄ（図４参照）をもつ。
【００２５】
図５（ａ）に示すように、保持部２１ｄは、一対の傾斜面２１ｅにより形成され、断面略Ｖ字形あるいは略Ｙ字形を呈する保持溝２１ｆを有する。保持部材２１Ｒは、例えば、ポリプロピレン、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリアセタール、ポリエーテルイミド等の合成樹脂、ポリエステル系の熱可塑性能エラストマー、ポリウレタン系の熱可塑性能エラストマー等の成形材料を使用して成形される。これらの成形材料の中では、成形時のアウトガスや損傷の少ないポリブチレンテレフタレートの選択が最適である。成形材料には、帯電防止剤、カーボンや金属繊維等の導電性付与剤、紫外線吸収剤、ガラス繊維や炭素繊維等の補強剤が選択的に適量添加される。
【００２６】
（複数の仕切り壁の構成）
図６（ａ）から（ｃ）に示すように、複数の仕切り壁２２は、上下方向に沿って取付け面１１ａに延在する基部２３に設けられる。仕切り壁２２は、基部２３から複数の保持部２１ｄの間を仕切るように各保持部２１ｄの上下両側に突出しており、保持部２１ｄ及び基板Ｗの動きを制限する機能を有する。各仕切り壁２２は、蓋体１１に一体に形成されてもよいし、蓋体１１と別部品で形成されてもよい。保持部２１ｄは、その両側に配置される２つの仕切り壁２２のうち、一方の仕切り壁２２との間に、図５（ａ）において寸法Ｃ１で示される第１の隙間（以下、「第１の隙間Ｃ１」と称する）を、他方の仕切り壁２２との間に、図５（ａ）において寸法Ｃ２で示される第２の隙間（以下、「第２の隙間Ｃ２」と称する）を有する。
【００２７】
（仕切り壁の突出高さ）
ここで、仕切り壁２２の寸法について述べる。
本発明者は、基板Ｗの動きを適正に制限するための好適な仕切り壁２２の突出高さＨ２について検討した。ここで、仕切り壁２２の突出高さＨ２は、取付け面１１ａから仕切り壁２２の先端２５までの高さである。
【００２８】
検討の結果、図５（ａ）に示すように、保持部２１ｄが基板Ｗの周縁部を保持している状態（蓋体１１を閉めることで保持溝２１ｆが基板Ｗの周縁部からの力を受けて取付け面１１ａ側に距離Ｈだけ移動した状態）において、仕切り壁２２の突出高さＨ２は、取付け面１１ａから保持部２１ｄの先端２１ｇまでの高さＨ１以上に設定することが好適であり、これにより、基板Ｗと接触して圧縮されるときの保持部２１ｄの動きを仕切り壁２２で適切に規制でき、基板Ｗの汚染が低減されることを見出した。
【００２９】
また、図５（ｂ）に示すように、仕切り壁２２の突出高さＨ２が、保持部２１ｄが基板Ｗの周縁部を保持してない状態における取付け面１１ａから保持部２１ｄの先端２１ｇまでの高さＨ０以上であれば、基板Ｗと接触して圧縮されるときの保持部２１ｄの動きを、より確実にかつ適切に仕切り壁２２で規制できるため、更なる基板Ｗの汚染低減を図ることができる。
【００３０】
（仕切り壁の長さ）
また、基板Ｗの動きを適正に制限するための仕切り壁２２の好適な長さについても検討した。ここでは、仕切り壁２２の、その突出方向に直角な方向でかつ基板Ｗの表面に平行な方向の長さＬ４（図４参照）に着目し、それに対応する保持部２１ｄの長さＬ３に対する、仕切り壁２２の長さＬ４の好適な割合について検討した。
【００３１】
まず、図７（ａ）に示すように、保持部２１ｄの長さＬ３に対する仕切り壁２２の長さＬ４の割合が大きい場合、保持部２１ｄの動きを規制できる仕切り壁２２の範囲が比較的広くなるため、保持部２１ｄのねじれ方向の移動（図中、矢印（１）で示す）が小さくなる。
【００３２】
一方、図７（ｂ）に示すように、保持部２１ｄの長さＬ３に対する仕切り壁２２の長さＬ４の割合が小さい場合、保持部２１ｄの動きを規制できる仕切り壁２２の範囲が狭くなるため、保持部２１ｄのねじれ方向の移動（図中、矢印（２）で示す）が大きくなる。
【００３３】
このような仕切り壁２２の長さＬ４と保持部２１ｄのねじれ方向の移動との関係に注目し、長さＬ４の長さＬ３に対する好適な割合を求めた結果、仕切り壁２２の長さＬ４が、保持部２１ｄの長さＬ３の５０％以上、より望ましくは、６５％以上であることが、基板Ｗの動きを適正に制限する上で、好適であることが分かった。すなわち、仕切り壁２２の長さＬ４が保持部２１ｄの長さＬ３の５０％以上であれば、保持部２１ｄがねじれ方向に移動することを十分に規制できて基板Ｗの汚染を低減でき、６５％以上であれば、基板Ｗの汚染をより低減できることが分かった。
【００３４】
（保持部と仕切り壁との隙間）
また、基板Ｗの動きを適正に制限するための、保持部２１ｄと仕切り壁２２の隙間の好適な大きさについて検討した。その結果、隣り合う２つの保持部２１ｄの間（１スロット）における隙間の合計（Ｃ１＋Ｃ２）は、基板Ｗの破損を防止する上では、０．２ｍｍ以上が好適であり、基板Ｗの汚染を防止する上では、０．５ｍｍ以下が好適あることが分かった。さらに、第１の隙間Ｃ１及び第２の隙間Ｃ２が、それぞれ、０．１ｍｍ以上０．２５ｍｍ以下の大きさに設定されることが、基板Ｗの動きを適正に制限する上で有効であることを見出した。
【００３５】
（実施例）
以下、基板収納容器１の実施例について述べる。
この実施例では、前述した基板収納容器１において第１の隙間Ｃ１及び第２の隙間Ｃ２の合計（Ｃ１＋Ｃ２）を０．２ｍｍ以上０．５ｍｍ以下に設定した試作品を作成し、この試作品を振動試験に供し、評価した。振動試験条件及び評価方法は、以下の通りである。
【００３６】
○振動試験条件（ＪＩＳ  Ｚ０２００：１９９９準拠  陸走１０００ｋｍ未満相当）
試験機器：ＥＭＩＣ製  ９３６−ＡＷ／ＬＡＨ
振動：正弦波振動
周波数：５Ｈｚ〜５０Ｈｚ、一往復半（５→５０→５→５０）
加速度：±０．７５Ｇ
掃引時間：片道７分（計２１分）
○汚れ量評価方法
上記振動試験条件で試作品に振動を加えた後、試作品に収納されている基板Ｗの表面について、集光灯下における反射光の目視観察及びデジタルマイクロスコープによる観察を行い、汚れ量を評価した。
【００３７】
評価の結果、基板Ｗに付着した汚れ量が少なく、隙間の合計を０．２ｍｍ以上０．５ｍｍ以下の範囲とすることが、好適な隙間の条件であることが確認された。
【００３８】
（実施形態の効果）
以上、説明した実施形態の効果について述べる。
本実施形態によれば、仕切り壁２２の突出高さＨ２、仕切り壁２２の長さＬ４、保持部２１ｄと仕切り壁２２の隙間を適切に設定することにより、基板Ｗの動きを適正に制限して、基板Ｗの破損を防止するとともに基板Ｗの汚れが防止される基板収納容器１を提供することができる。
【００３９】
以上、実施形態を用いて本発明を説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施形態に記載の範囲には限定されないことは言うまでもない。上記実施形態に、多様な変更又は改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。またそのような変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【符号の説明】
【００４０】
１        基板収納容器
２        容器本体
４        開口
１１      蓋体
１１ａ    取付け面
２１Ｌ    保持部材
２１Ｒ    保持部材
２１ｄ    保持部
２１ｇ    先端
２２      仕切り壁
２５      先端
Ｗ        基板
Ｈ        移動距離
Ｈ０      保持部の先端までの高さ
Ｈ１      保持部の先端までの高さ
Ｈ２      仕切り壁の突出高さ
Ｌ３      保持部の長さ
Ｌ４      仕切り壁の長さ
Ｃ１      第１の隙間
Ｃ２      第２の隙間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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