(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ホルダーと、
ネジ型ノズルと、
シールパッキングと、
を含み、
上記ホルダーは、外周面にネジが切られた軸部と、その軸部の一端にその軸部の外径より大きい径を有するボディと、を同軸心に有しており、
上記ホルダーに、上記軸部と上記ボディの軸心を連通して貫通する導通穴が形成されており、
上記導通穴は、上記ボディ側における小径穴部と、上記小径穴部より上記軸部側において上記小径穴部の内径より径が拡大された大径穴部と、を同軸心に有しており、
上記小径穴部と上記大径穴部の境界に軸心と垂直な面を有する段部が形成されており、
上記小径穴部の内周面にはネジが切られており、
上記ホルダーは、外側ホルダー部と、内側ホルダー部と、Ｏ−リングと、を含み、
上記外側ホルダー部は、上記軸部と、上記軸部の一端に形成されそれより径が大の基部と、を一体に有しており、
上記外側ホルダー部に、上記大径穴部と、上記基部内において上記大径穴部の上記軸部と反対側端で径が拡大された第１拡大穴部と、上記第１拡大穴部の上記軸部と反対側端で径が更に拡大され、上記基部の上記軸部と反対側端まで延長し、内周面にネジが切られた第２拡大穴部と、が同軸心で形成されており、
上記内側ホルダー部は、上記第１拡大穴部の内径より小さく、上記大径穴部の内径より大の外径を有し、上記第１拡大穴部に挿入され、軸心に上記小径穴部が形成された円柱部と、上記円柱部の、上記軸部と反対側端で外径が拡大され、外周面に上記第２拡大穴部に螺合するネジが切られ、上記小径穴部と同軸心に連通する穴が形成された大径ネジ部と、を有しており、
上記Ｏ−リングは、上記円柱部の外周面に形成された環状溝に装着され、上記円柱部の外周面と上記第１拡大穴部の内周面との間を気密にしており、
上記基部と上記内側ホルダー部が上記ボディを構成しており、
上記円柱部の上記大径穴部の側端面が上記段部を構成しており、
上記ネジ型ノズルは、上記小径穴部に螺合されたネジ部と上記大径穴部に配置された上記ネジ部より大の外径を有する頭部とを一体に有し、上記ネジ部と上記頭部を通って軸心に貫通孔が形成された雄ネジと、上記貫通孔に挿通され、一端が上記ネジ部から突出し、他端が上記貫通孔内に位置する細管と、を有しており、
上記細管の外周面と上記貫通孔の内周面は互いに気密に固定されており、
上記細管は、所定の流量となるよう上記ネジ部から突出した部分において潰されており、
上記シールパッキングは、上記頭部と上記導通穴の上記段部との間に挟まれている
ことを特徴とする流量抵抗ノズル。
【請求項２】
請求項１に記載の流量抵抗ノズルにおいて、
上記大径穴部内に、上記頭部と対向して装着されたフィルタが設けられており、
上記大径穴部は、上記軸部の先端まで延長されており、
上記フィルタの上記頭部と反対側にて、フィルタ押えが上記大径穴部に装着されている
ことを特徴とする流量抵抗ノズル。
【請求項３】
請求項１に記載の流量抵抗ノズルにおいて、
上記大径穴部内に、上記頭部と対向して装着されたフィルタが設けられており、
上記大径穴部は、上記フィルタの上記ネジ型ノズルと反対側において内径が上記フィルタの外径より小とされて上記軸部の先端まで伸びた縮小穴部と連通しており、
上記大径穴部と上記縮小穴部の境界は上記基部内に位置する
ことを特徴とする流量抵抗ノズル。
【請求項４】
請求項１に記載の流量抵抗ノズルにおいて、
上記ボディ側の上記導通穴の径は、その軸方向中間部から上記ボディの上記軸部と反対側端に亘って、上記小径穴部より大とされており、
上記ボディ側の径が大とされた導通穴内に、上記細管の突出端と間隔をあけて対向するように装着されたフィルタを更に含む
ことを特徴とする流量抵抗ノズル。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれかに記載の流量抵抗ノズルにおいて、
上記細管の外周面と上記貫通孔の内周面は接着剤により互いに気密に固定されている
ことを特徴とする流量抵抗ノズル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は例えば所定圧で供給する気体の流量を設定するために使用されたり、漏れ検査装置の流量校正のために漏れ量の基準器として使用される流量抵抗ノズルに関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の従来の流量抵抗ノズルとしては、例えば特許文献１に示されている微少リーク弁（以降、流量抵抗ノズルとも呼ぶ）が知られている。その構造は図８に断面で示すように、ほぼ円柱状の台座１２と、金属ブロック１３と、保護管１６とを有している。台座１２にはその軸心に貫通孔１２Ｃが形成されている。金属ブロック１３は、台座１２の一端側から貫通孔１２Ｃより大きい径で同軸に雌ネジ穴１２Ｂが形成されており、金属ブロック１３には雌ネジ穴１２Ｂに螺合する雄ネジ部１３Ａが一端から突出して形成されており、他端にも雄ネジ部１３Ｅが突出形成されている。
【０００３】
金属ブロック１３の軸心に形成された細管貫通孔１３Ｂに細管２が貫通して両端が突出するように装着されており、雄ネジ部１３Ａには細管貫通孔１３Ｂと同軸にそれより径が大の雌ネジ穴１３Ｄが形成されている。この雌ネジ穴１３Ｄに螺合する雄ネジが外周に切られ、細管２の一端側が挿通された円柱状のシール抑え７の先端が、雌ネジ穴１３Ｄ内でリング状シール材４を押圧することにより細管２の外周面と金属ブロック１３の内周面との間がシールされている。金属ブロック１３の外周面と台座１２の内周面との間はシール材１４及び／又は１５によりシールされている。また、シール抑え７から突出した細管２の一端と対向して貫通孔１２Ｃの一端に塵埃を除去するフィルタ１７が装着されている。金属ブロック１３の雄ネジ部１３Ｅには突出した細管２を保護する保護管１６が装着され、必要に応じて保護管１６の先端部にもフィルタが設けられる。
【０００４】
この微少リーク弁を組み立てるには、まず、保護管１６を金属ブロック１３に装着し、リング状のシール材４とシール抑え７を細管２に装着した状態で細管２を金属ブロック１３の細管貫通孔１３Ｂに挿通させ、シール材４を雌ネジ穴１３Ｄ内に挿入し、雌ネジ穴１３Ｄにシール抑えを回動挿入してシール材４を押圧し、フィルタ１７が装着された台座１２の雌ネジ穴１２Ｂに金属ブロック１３の雄ネジ部１３Ａをねじ込む。なお、図８に示す特許文献１の微少リーク弁（流量抵抗ノズル）では金属ブロック１３にその外周面から細管貫通穴１３Ｂに達するネジ穴１３Ｃが形成されており、規定圧にて規定の流量値となるようネジ６により細管２を潰すことができる。
【０００５】
図９は周知の漏れ検査装置の基本的構成を示すブロック図であり、配管２２の一端に空圧源２１が接続され、他端には検査対象のワーク２８が接続される。配管２２には、空圧源２１側から順にレギュレータ２３、流量計２５、作動弁２６が直列に挿入されている。また、レギュレータ２３と流量計２５との間において配管２２に圧力ゲージ２４が接続されており、作動弁２６とワーク２８との間において配管２２に圧力計２７が接続されている。流量計２５の流量値の校正を行うには、配管２２に接続される漏れ検査の対象となるワーク２８の代わりに図８の微少リーク弁の台座１２の雄ネジ管１２Ａを気密に接続し、レギュレータ２３を調整して予め決めた規定圧の気体（例えば空気）を供給し、そのときの微少リーク弁からの漏れ量が規定値となるように流量計２５の読みを校正する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】実開平０３−１０５７７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
図８の流量抵抗ノズルにおいて単体部品としての細管２の流量を予め別の流量測定装置で測定しながら細管を冶具で潰して所定の流量に設定した場合、流量抵抗ノズルの組み立て時に流量が設定された細管を直接取り扱う必要があり、細管を誤って曲げて設定流量が変わってしまう可能性がある。そこで別の流量測定装置での単体部品としての細管の流量設定は行わず、図８のように流量抵抗ノズルを組み立てた後にネジ６を回動して細管２を潰すことにより所定の流量に設定している。しかし、この構造では、ネジ６で細管２を潰すことにより流量を所定値に設定しているので、設定後の細管２とネジ６と金属ブロック１３は互いに一体な構造となり、流量抵抗ノズルを組み立てる際に金属ブロック１３を台座１２に強く締め付けると、締め付け時の歪が細管２と圧接しているネジ６に伝わるため、設定流量値が変化することがあった。そのような場合は、その流量抵抗ノズルを分解して細管２を新しいものと交換し、ネジ６により再度流量を設定して流量抵抗ノズルを組み立てる必要があった。
【０００８】
この発明の目的は流量抵抗ノズルの組み立て時に設定流量が変化しない流量抵抗ノズルを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題を解決するために、本発明による流量抵抗ノズルは、
外周面にネジが切られた軸部と、その軸部の一端にその軸部の外径より大きい径を有するボディとを同軸心に有し、上記軸部と上記ボディの軸心を連通して貫通する導通穴が形成されたホルダーと、上記導通穴は上記ボディ側における小径穴部と、上記小径穴部より上記軸部側において上記小径穴部の内径より径が拡大された大径穴部とを同軸心に有し、上記小径穴部と上記大径穴部の境界に軸心と垂直な面を有する段部が形成されており、上記小径穴部の内周面にはネジが切られており、
上記小径穴部に螺合されたネジ部と上記大径穴部に配置された上記ネジ部より大の外径を有する頭部とを一体に有し、上記ネジ部と上記頭部を通って軸心に貫通孔が形成された雄ネジと、上記貫通孔に挿通され、一端が上記ネジ部から突出し、他端が上記貫通孔内に位置する細管とを有するネジ型ノズルと、上記細管の外周面と上記貫通孔の内周面は互いに気密に固定されており、上記細管は、所定の流量となるよう上記ネジ部から突出した部分において潰されており、
上記頭部と上記導通穴の上記段部との間に挟まれたシールパッキングと、
を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明による流量抵抗ノズルにおいては、標準的な雄ネジに形成した貫通孔に細管を挿通して気密固定して形成したネジ型ノズルの雄ネジから突出した部分における細管が所定流量に潰されており、雄ネジの頭部と、ホルダーを貫通する導通穴の中間部に形成した段部との間にシールパッキングを挟むことによりネジ型ノズルの外周面と導通穴の内周面との間を気密にする構成としたので、ネジ型ノズルをホルダーに締め付けても歪みは細管の雄ネジから突出した部分に伝わらず、従って流量抵抗ノズルの組み立て時に設定流量が変化する恐れはなく、正確な流量が設定された流量抵抗ノズルを組み立てることが可能である効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】この発明の第１実施例による流量抵抗ノズルを示し、Ａは側面図、ＢはＡにおいてフィルタとフィルタ押えを外した正面図、ＣはＡにおける軸方向断面図。
【図２】この発明の流量抵抗ノズルに使用されるネジ型ノズルを示し、Ａは軸方向断面図、Ｂはネジ型ノズルの頭部側から見た正面図。
【図３】Ａはネジ型ノズルにマイナスネジを使用した場合の頭部側から見た正面図、Ｂは六角ネジを使用した場合の頭部側から見た正面図。
【図４】この発明の第２実施例による流量抵抗ノズルの軸方向断面図。
【図５】この発明の第３実施例による流量抵抗ノズルの軸方向断面図。
【図６】この発明の第４実施例による流量抵抗ノズルの軸方向断面図。
【図７】この発明による流量抵抗ノズルの基本的構成を説明するための断面図。
【図８】従来技術による流量基準器としての微少リーク弁の軸方向断面図。
【図９】従来の漏れ検査装置の基本的構成ブロック図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態について、詳細に説明する。
【００１３】
［第１実施例］
以下にこの発明の第１実施例に係る流量抵抗ノズルを説明する。図１Ａは流量抵抗ノズルの側面を示し、図１Ｂは図１Ａにおいて図１Ｃを参照して後述するフィルタ５２とフィルタ押え５４を外したときの正面を示し、図１Ｃは図１Ａにおける軸心に沿った断面を示す。流量抵抗ノズルはホルダー３０と、ホルダー３０内に装着されるネジ型ノズル４０と、シールパッキング５１と、フィルタ５２と、フィルタ押え５４を含む。必要に応じて更にホースジョイント６０とパッキング６４を含んでもよい。
【００１４】
この第１実施例ではホルダー３０は金属で六角ボルト状に一体形成され、その中心軸を共有して六角頭部３２と、六角頭部３２の一端面から突出し、六角頭部３２より小さい外径を有し、外周面にネジが切られた軸部３３と、六角頭部３２の軸部３３と反対側端面から突出した円柱部３１とを有する。ホルダー３０にはその中心軸と同軸に一端から他端に貫通する導通穴３０ｂが形成されており、導通穴３０ｂは軸部３３側における導通穴３３ｂと、六角頭部３２側における導通穴３２ｂと、円柱部３１側における導通穴３１ｂとが同軸心で互いに連通した構造となっている。導通穴３２ｂと３３ｂの境界は六角頭部３２と軸部３３の境界に位置する必要はなく、それより六角頭部３２内でも軸部３３内でもよく、同様に導通穴３１ｂと３２ｂの境界は円柱部３１と六角頭部３２の境界に位置する必要はなく、それより円柱部３１内でも六角頭部３２内でもよい。しかしながら、便宜上、以下においては導通穴３１ｂ、３２ｂ、３３ｂをそれぞれ円柱部３１における導通穴、六角頭部３２における導通穴、軸部３３における導通穴と呼ぶこともある。円柱部３１と六角頭部３２はホルダー３０のボディ３１２を構成しており、軸部３３はボディ３１２の一端から突出して形成されているといえる。
【００１５】
軸部３３における導通穴３３ｂの内径は、後述のネジ型ノズル４０を構成する雄ネジ４１の頭部４１Ｈの外径より大とされている。導通穴３２ｂの内径は導通穴３３ｂの内径より小とされ、その境界は軸心方向とほぼ直角な面を成す段部３２ｓを形成している。円柱部３１における導通穴３１ｂの内径は六角頭部３２における導通穴３２ｂの内径より大とされている。導通穴３１ｂ、３３ｂの内周面にはそれぞれの穴の外端から軸方向中間部までネジが切られており、導通穴３２ｂの内周面には雄ネジ４１と螺合するネジが軸方向ほぼ全長に渡って切られている。
【００１６】
ネジ型ノズル４０は図２Ａに軸方向に沿った断面を、図２Ｂに頭部側の正面図を示すように雄ネジ４１と細管４２を有している。雄ネジ４１にはその中心軸と同軸に貫通孔４１ｈが形成されており、その貫通孔４１ｈに細管４２が挿通され、細管４２の外周面と貫通孔４１ｈの内周面との間に接着材４３が注入され気密固定されている。雄ネジ４１はネジ部４１Ｓと頭部４１Ｈを有する市販の標準的な雄ネジの軸心に沿って貫通孔４１ｈを形成したものであり、図の例では頭部４１Ｈに十字穴４１ｃを有するナベネジを使用した例を示す。貫通孔４１ｈの内径は十字穴４１ｃの中心における内接円の径より小さく、貫通孔４１ｈの一端は十字穴４１ｃの中央底部に開放されている。頭部４１Ｈの、ネジ部４１Ｓ側端面４１Ｈｐは雄ネジの中心軸に対し直角な面を成している。
【００１７】
細管４２は例えばステンレス製チューブであり、その一端は、雄ネジ４１をドライバで回動してネジ型ノズル４０をホルダー３０の導通穴３０ｂ内に取り付ける際にドライバの先端が細管４２の先端に接触しないよう十字穴４１ｃの中央底部より深い貫通孔４１ｈ内に位置し、細管４２の他端はネジ部４１Ｓから突出している。細管４２を雄ネジ４１に例えばエポキシ樹脂系、シリコン樹脂系、あるいはシアノアクリレート系などの接着材４３で気密に接着固定する。あるいは、接着剤を使用せず、細管４２の突出部の外周面とネジ部４１Ｓの先端部を熔接することにより実質的に細管４２の外周面と貫通孔４１ｈの内周面を互いに気密固定してもよい。こうして構成したネジ型ノズル４０は本発明とは別の流量調整装置により規定圧で細管４２の流量が所定値となるよう細管４２の突出部の任意の領域が精密に潰される。そのような流量が所定値とされたネジ型ノズル４０は、所望の異なる流量値ごとに予め用意しておくことができる。
【００１８】
図１Ｃに戻って、雄ネジ４１の頭部４１Ｈを回してネジ部４１Ｓを導通穴３２ｂにねじ込むことにより導通穴３３ｂ内において頭部４１Ｈのネジ部４１Ｓ側端面４１Ｈｐと、導通穴３０ｂ内の段部３２ｓとの間にシールパッキング５１を挟んで押圧し、雄ネジ４１の外周面と導通穴３０ｂの内周面間がシールされる。雄ネジ４１の頭部４１Ｈと当接するよう、円板状のフィルタ５２が導通穴３３ｂ内に装着され、その外側から、外周にネジが切られた環状のフィルタ押え５４が導通穴３３ｂにねじ込まれる。これにより空圧源からネジ型ノズル４０の頭部４１Ｈ側に大気圧より高い加圧気体が供給される場合、加圧気体中の塵埃をフィルタ５２により除去して細管４２の細孔４２ｈの内壁に付着することを防止する。フィルタ押え５４は弾性を有するＯ−リング５３を介してフィルタ５２を押えるようにしてもよい。
【００１９】
ホルダー３０の軸部３３は例えば図９における漏れ検査装置のワーク２８と置き換えて配管２２に螺合され、六角頭部３２の端面に形成された環状溝３２ｇに装着されたシールパッキング３４が配管２２の端部に設けられた図示してないフランジに圧接シールされてこの発明の流量抵抗ノズルが流量測定系に取り付けられる。その状態で規定圧の加圧気体（例えば空気）が供給され、その時の流量計２５の読みがネジ型ノズル４０の設定流量値となるよう流量計２５の読みを較正する。図１の実施例では、流量抵抗ノズルからの流出気体を図示してないホースで所望の系に供給するためにホースジョイント６０がホルダー３０に取り付けられている場合を示している。ホースジョイント６０は中心軸に導通穴６０ｈを有する円柱状であり、ホルダー３０の導通穴３１ｂに切られたネジに螺合するネジ部６３と、ネジ部６３より外径が大のフランジ部６２と、ホースが接続される接続部６１を有している。フランジ部６２のネジ部６３側端面とホルダー３０の円柱部３１の端面との間にシールパッキング６４を挟んで気密が保たれる。
【００２０】
前述のように規定圧で様々な流量値のネジ型ノズル４０を予め用意しておけば、ホルダー３０、フィルタ５２、フィルタ押え５４は交換せずにネジ型ノズル４０のみを所望の流量値のものに取り替えることができるので、予め複数の設定流量値が必要とされる場合、用意すべき流量抵抗ノズルの費用が少なくてすむ。これに対し、図８を参照して説明した従来の流量抵抗ノズルの場合、細管２は金属ブロック１３及びシール押え７と一体のものとして所定流量に設定されるので、多数の異なる流量を設定する必要がある場合は、それぞれの流量設定された個別製品としての流量抵抗ノズルを用意する必要があり、それだけ費用がかかる。
【００２１】
上述の実施例では雄ネジ４１として十字穴を有するナベネジを使用した例を示したが、図３Ａ及び図３Ｂに頂面のみを示すように、すわり溝４１ｄを有するマイナスネジでもよいし、六角穴４１ｅを有するボルトでもよく、また、ネジの型としては、ナベネジ以外にもトラスネジ、丸ネジ、平ネジなどであってもよい。その他さまざまな市販の標準ネジに貫通孔４１ｈを開けて使用することができることは明らかである。
【００２２】
［第２実施例］
図４はこの発明による流量抵抗ノズルの第２実施例を示す。前述の第１実施例による流量抵抗ノズルにおいては、加圧気体の供給側はフィルタ５２が設けられているホルダー３０の軸部３３側に限定されるが、第２実施例の流量抵抗ノズルにおいては、細管４２の突出端部側にもフィルタを設けることによりホースジョイント６０側から加圧気体を供給する場合にも使用可能とされている。図４に示すようにホルダー３０の円柱部３１における導通穴３１ｂ内にスペーサリング７１を挿入し、スペーサリング７１の内径より大きな外径を有するフィルタ７２を細管４２の突出先端と間隔をあけて対向するよう装着し、フィルタ７２の、スペーサリング７１と反対側を弾性Ｏ−リング７３を介してホースジョイント６０の先端で押圧して固定する。スペーサリング７１は細管４２の突出先端とフィルタ７２との間隔を所定に保つためのものである。その他の構成は第１実施例の場合と同様なので説明を省略する。この第２実施例に拠れば、空圧源が負圧の場合、ホースジョイント６０側から流量抵抗ノズルに流入する気体に含まれる塵埃をフィルタ７２で除去することにより細管４２の細孔４２ｈ（図２Ａ参照）の内壁に塵埃が付着するのを防ぐことができる。
【００２３】
［第３実施例］
前述の第１及び第２実施例の流量抵抗ノズルにおいては、ホルダー３０が一体に形成されている場合を示したが、ホルダーを２つのホルダー部により構成した流量抵抗ノズルの実施例を図５に示す。
【００２４】
図５において外側ホルダー部３０Ａと内側ホルダー部３０Ｂの組が例えば図１Ｃにおけるホルダー３０に相当する。外側ホルダー部３０Ａは図１Ｃにおけるホルダー３０と同様に円柱部３１Ａと六角頭部３２Ａとこれらより外径が小さい軸部３３Ａとを有し、軸部３３Ａには図１Ｃの場合と同様に、ネジ型ノズル４０の頭部４１Ｈより内径が大の導通穴３３Ａｂが形成されている。円柱部３１Ａと六角頭部３２Ａは外側ホルダー部３０Ａの基部３１２Ａを構成している。第３実施例では導通穴３３Ａｂは六角頭部３２Ａ内において内径が拡大され収容穴（第１拡大穴部）３２Ａｂとされ、円柱部３１Ａにおいて更に内径が拡大されたネジ穴（第２拡大穴部）３１Ａｂとされている。収容穴３２Ａｂの内周面にはネジは切られておらず、ネジ穴３１Ａｂの内周面にはネジが切られている。
【００２５】
内側ホルダー部３０Ｂは、外径が収容穴３２Ａｂよりわずかに小さい円柱部３２Ｂと、その円柱部３２Ｂより外径が大とされ、外周面に外側ホルダー部３０Ａのネジ穴３１Ａｂと螺合するネジが切られたネジ部３１Ｂを有している。円柱部３２Ｂには導通穴３２Ｂｂが同軸心に形成されており、その導通穴３２Ｂｂはネジ部３１Ｂにおいて径が拡大された導通穴３１Ｂｂとされている。導通穴３１Ｂｂの内周面にはネジ部３１Ｂの端面側から、ホースジョイント６０のネジ部６３と螺合するネジが切られている。導通穴３２Ｂｂの内周面にはネジ型ノズル４０のネジ部４１Ｓ（図２Ａ参照）が螺合するネジが切られている。円柱部３２Ｂの外周面には環状溝３２Ｂｇが形成され、その環状溝３２Ｂｇには弾性Ｏ−リング３５が装着されている。ネジ部３１Ｂを外側ホルダー部３０Ａのネジ穴３１Ａｂに螺合させ、内側ホルダー部３０Ｂを外側ホルダー部３０Ａ内に装着させると、円柱部３２Ｂは収容穴３２Ａｂ内に収容され、内側ホルダー部３０Ｂの外周面と外側ホルダー部３０Ａの内周面間は弾性Ｏ−リング３５によりシールされる。
【００２６】
円柱部３２Ｂの端面３２Ｂｓは、導通穴３３Ａｂと、拡大された収容穴３２Ａｂとの境界の段部３２Ａｓに当接し、その状態で円柱部３２Ｂの端面の、導通穴３３Ａｂ内に露出した部分（段部）３２Ｂｓが図１Ｃにおける段部３２ｓに相当する。即ち、ネジ型ノズル４０は頭部４１Ｈの端面４１Ｈｐ（図２Ａ参照）と段部３２Ｂｓとの間にシールパッキング５１を挟むように内側ホルダー３０Ｂの円柱部３２Ｂの導通穴３２Ｂｂに螺合装着されている。この第３実施例における外側ホルダー３０Ａの基部３１２Ａ（円柱部３１Ａと六角頭部３２Ａ）と、内側ホルダー部３０Ｂとの組（弾性Ｏ−リングを含む）が第１実施例におけるボディ３１２（図１Ａ，Ｃ参照）に相当するといえる。また、第３実施例における外側ホルダー部３０Ａの導通穴３３Ａｂと、内側ホルダー部３０Ｂの導通穴３２Ｂｂ及び３１Ｂｂがそれぞれ図１Ｃにおけるホルダー３０の導通穴３３ｂ、３２ｂ、３１ｂに相当する。その他の構成は第１実施例の場合と同様であり、説明を省略する。
【００２７】
［第４実施例］
図５の第３実施例においては、フィルタ５２は導通穴３２Ａｂ内の軸部Ａが位置する領域に配置されているため、軸部３３Ａの外径はフィルタ５２の外径より十分大きくする必要があり、小径の軸部３３Ａを有する流量抵抗ノズルを構成することは難しい。図１Ｃの実施例においても同様のことが言える。図６の第４実施例は外径の小さい軸部を有する流量抵抗ノズルの構成を可能とするものである。軸部３３Ａの導通穴（縮小穴部）３３Ａｂはネジ型ノズル４０の頭部４１Ｈ（図２Ａ参照）の外径、及びフィルタ５２の外径より小さく、その導通穴３３Ａｂは基部３１２Ａ内、より詳しくは六角頭部３２Ａ内において内径が頭部４１Ｈの外径及びフィルタ５２の外径よりわずかに大に拡大された導通穴３２Ａｂ１とされている。以下は図５の実施例と同様に導通穴３２Ａｂ１は六角頭部３２Ａ内で更に内径が拡大された収容穴３２Ａｂ２とされている。導通穴３２Ａｂ１が図５における導通穴３３Ａｂに相当し、図６における収容穴３２Ａｂ２が図５における収容穴３２Ａｂに相当する。導通穴３３Ａｂと、拡大された導通穴３２Ａｂ１との境界に段部３３Ａｓが形成されており、その段部３３Ａｓに対接してＯ−リング５３が導通穴３２Ａｂ１内に装着され、そのＯ−リング５３と対接してフィルタ５２が装着されている。
【００２８】
内側ホルダー部３０Ｂの円柱部３２Ｂの環状溝３２ＢｇにＯ−リング３５を装着し、円柱部３２Ｂの端面（段部）３２Ｂｓとネジ型ノズル４０の頭部４１Ｈとの間にシールパッキング５１を挟んで導通穴３２Ｂｂにネジ型ノズル４０が螺合した状態で、内側ホルダー部３０Ｂをネジ穴３１Ａｂ側から外側ホルダー部３０Ａの内側に螺合装着すると、円柱部３２Ｂの端面３２Ｂｓは段部３２Ａｓと当接し、その状態でネジ型ノズル４０の頭部４１Ｈは導通穴３２Ａｂ１内においてフィルタ５２を、Ｏ−リング５３を介して段部３３Ａｓに押し付けた状態となる。その他の構成は図５の場合と同様であり、説明を省略する。図６における導通穴３１Ｂｂ，３２Ｂｂ，３２Ａｂ１，３３Ａｂの組は図１Ｃにおける導通穴３０ｂ（３１ｂ、３２ｂ、３３ｂの組）に相当する。
【００２９】
この第４実施例によれば、導通穴３３Ａｂの内径をフィルタ５２の外径及びネジ型ノズル４０の頭部４１Ｈの外径より小さくできるので、軸部３３Ａの外径を図５の場合と比べて小さくすることができる。なお、図１Ｃのホルダー３０が一体構造の場合においては、組み立て時にネジ型ノズル４０を導通穴３３ｂから挿入する必要があるので、導通穴３３ｂの内径をネジ型ノズル４０の頭部４１Ｈの外径より小さくすることはできない。これに対し、図６のようにホルダーを外側ホルダー部３０Ａと内側ホルダー部３０Ｂにより構成した場合は、組み立て時にネジ型ノズル４０を導通穴３３Ａｂに通す必要はないので導通穴３３Ａｂの内径を小さくでき、したがって軸部３３Ａの外径を小さくできる。第３及び第４実施例においても第２実施例と同様に細管４２の突出端側にもフィルタを設けてもよい。
【００３０】
［発明の基本的構成］
以上説明した全ての実施例に当てはまるこの発明の基本的構成を、図７を参照して説明する。この発明による流量抵抗ノズルはボディ３１２と軸部３３を有するホルダー３０と、ネジ型ノズル４０と、シールパッキング５１とを含んでいる。ネジ型ノズル４０は図２Ａに示すように雄ネジ４１の中心軸を通って貫通する貫通孔４１ｈに細管４２を挿通させ、貫通孔４１ｈの内周面と細管４２の外周面間を気密固定したものであり、その状態で所定の気体圧で所定の流量となるようネジ部４１Ｓから突出した部分が予め潰されている。ホルダー３０には軸部３３とボディ３１２を貫通して導通穴３０ｂが形成されており、その導通穴３０ｂはボディ３１２側においてネジ型ノズルのネジ部４１Ｓが螺合されるネジが内周面に切られた小径穴部３０ｂ１と、それより軸部３３側において小径穴部３０ｂ１より内径が大とされ、ネジ型ノズルの頭部４１Ｈを収容する大径穴部３０ｂ２を含んでいる。小径穴部３０ｂ１と大径穴部３０ｂ２の境界に形成された段部３２ｓと、ネジ型ノズル４０の頭部４１Ｈとの間にシールパッキング５１が挟まれている。
【００３１】
前述の第１乃至第４実施例の説明から明らかなように、ホルダー３０は一体のものであっても、外側ホルダー部と内側ホルダー部の２つから構成されるものであってもよい。
【００３２】
このように、細管４２は雄ネジ４１のネジ部４１Ｓから突出した部分において所定流量値となるように潰されており、そのような細管４２を有するネジ型ノズル４０は、雄ネジ４１の頭部４１Ｈがホルダー３０の導通穴３０ｂ内に形成された段部３２ｓにシールパッキング５１を挟んで押圧するよう導通穴３０ｂ内にねじ込まれるので、ネジ型ノズル４０のホルダー３０内への取付け時のいかなる歪も細管４２の突出部に形成された潰された部分に影響を与えることは無い。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
本発明は、任意の気体供給系における所定流量の設定に利用したり、流量測定装置の流量校正に利用することができる。
【符号の説明】
【００３４】
２：細管
４：シール材
７：シール押え
１２：台座
１３：金属ブロック
１６：保護管
１７：フィルタ
３０：ホルダー
３０ｂ：導通穴
３０Ａ：外側ホルダー部
３０Ｂ：内側ホルダー部
３１２：ボディ
３２：六角頭部
３３：軸部
３２ｓ：段部
４０：ネジ型ノズル
４１：雄ネジ
４１ｈ：貫通孔
４１ｃ：十字穴
４１Ｈ：頭部
４２：細管
４３：接着材
５１：シールパッキング
５２：フィルタ
５４：フィルタ押え
６０：ホースジョイント
７２：フィルタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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