(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学的異方性の溶融相を形成し得る熱可塑性ポリマーからなるフィルム（以下、これを熱可塑性液晶ポリマーフィルムと略称することがある。）の片面に金属シートが接合されてなる片面金属張積層板であって、該片面金属張積層板の、熱可塑性液晶ポリマーフィルムの金属シートと接合されていない側の面の、ＩＳＯ４２８７−１９９７に準拠した方法によって測定された算術平均粗さ（Ｒａ）が０．１〜０．５μｍ、かつ十点平均粗度（ＲｚＪＩＳ）が０．５〜２．０μｍである、片面金属張積層板。
【請求項２】
熱可塑性液晶ポリマーフィルムと金属シートを加熱圧着させ、積層体となす、熱可塑性液晶ポリマーフィルムの片面に金属シートが接合されてなる片面金属張積層板の製造方法であって、加熱圧着時に、加熱圧着手段と熱可塑性液晶ポリマーフィルムとの間に離型材を介さないことを特徴とし、片面金属張積層板の、熱可塑性液晶ポリマーフィルムの金属シートと接合されていない側の面の、ＩＳＯ４２８７−１９９７に準拠した方法によって測定された算術平均粗さ（Ｒａ）が０．１〜０．５μｍ、かつ十点平均粗度（ＲｚＪＩＳ）が０．５〜２．０μｍである、片面金属張積層板の製造方法。
【請求項３】
加熱圧着時に該熱可塑性液晶ポリマーフィルムの温度を、該熱可塑性液晶ポリマーフィルムの圧縮弾性率（Ｇ’）が１×１０７Ｐａ以上となる温度に調整することを特徴とする、請求項２記載の片面金属張積層板の製造方法。
【請求項４】
熱可塑性液晶ポリマーフィルムと金属シートを走行させ、合わせながら加熱されたロール間に通過させて加熱圧着させ、積層体となす該熱可塑性液晶ポリマーフィルムの片面に金属シートが接合されてなる片面金属張積層板の製造方法であって、前記ロールの内、該熱可塑性液晶ポリマーフィルムと接するロールの温度を、該熱可塑性液晶ポリマーフィルムの圧縮弾性率（Ｇ’）が１×１０７Ｐａ以上となる温度に調整することを特徴とする、請求項２または３記載の片面金属張積層板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学的異方性の溶融相を形成し得る熱可塑性ポリマー（ 以下、これを熱可塑性液晶ポリマーと略称することがある） からなるフィルム（ 以下、これを熱可塑性液晶ポリマーフィルムと略称することがある） を使用した片面金属張積層板およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、熱可塑性液晶ポリマーフィルムを用いてプリント配線板等に使用される金属張積層板を製造する場合、金属張積層板を連続的に製造する方法が提案されてきた。例えば、特許文献１（特開平５−４２６０３号公報）では、光学的異方性の溶融層を形成する液晶高分子よりなるフィルムと金属箔とを重ね合わせて、加熱圧着手段として加圧ロールの間を通過させることにより、該フィルムと該金属箔とを該液晶高分子の融点より８０℃低い温度から５℃低い温度までの範囲内の温度で圧着することを特徴とする積層体の製造方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平５−４２６０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の、熱可塑性液晶ポリマーフィルムと金属シートとを加熱されたロール間に通過させて加熱圧着させ積層体となす、該フィルムの片面に金属シートが接合されてなる片面金属張積層板の製造方法では、加熱圧着時における熱可塑性液晶ポリマーフィルムと加熱圧着手段であるロールとの融着を防止するため、該ロールと熱可塑性液晶ポリマーフィルムとの間に、ポリイミドフィルムなどの離型材を介する必要があった。
【０００５】
熱可塑性液晶ポリマーフィルムは、他の材料との接着強度（ピール強度）を高めるために、その表面に粗化処理などの表面処理がなされることがあるが、熱可塑性液晶ポリマーフィルムと金属シートとを加熱圧着する際に、ロールなどの加熱圧着手段と熱可塑性液晶ポリマーフィルムとの間に離型材を介すると、加熱圧着時に熱可塑性液晶ポリマーフィルムの離型材と接する側の面の表面粗度が低下してしまう。このような場合、加熱圧着の結果形成される片面銅張積層板中の熱可塑性液晶ポリマーフィルムの、金属シートと接合していない方の面の表面粗度が低いため、該片面銅張積層板を、後の工程でさらに他の材料と積層する際にピール強度が低下してしまうという問題があった。
【０００６】
また、一度離型材として使用したポリイミドフィルムは傷や異物の付着により再利用が難しく、生産性、コストの面で問題があった。
【０００７】
また、ポリイミドフィルムなどの離型材を用いない場合、熱圧着の際に熱可塑性液晶ポリマーフィルムの一部がロールに融着し、圧着後の熱可塑性液晶ポリマーフィルム面の外観不良や異物の混入、片面金属張積層板の破れの原因となる問題があった。
【０００８】
このように、従来の技術では、熱可塑性液晶ポリマーフィルムと金属シートとを、ロールなどの加熱圧着手段を用いて加熱圧着する際に、熱可塑性液晶ポリマーフィルムと加熱圧着手段との間に離型材を介すると、熱可塑性液晶ポリマーフィルムの離型材と接する側の面の表面粗度が低下してしまうという問題があり、一方、熱可塑性液晶ポリマーフィルムと金属シートとを、離型材を介さずに加熱圧着すると、熱可塑性液晶ポリマーフィルムと加熱圧着手段との融着が起こるという問題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者らは、熱可塑性液晶ポリマーフィルムと金属シートとを、加熱圧着させ、積層体となす、該熱可塑性液晶ポリマーフィルムの片面に金属シートが接合されてなる片面金属張積層板を製造する際に、熱可塑性液晶ポリマーフィルムの温度を、その圧縮弾性率（Ｇ’）が特定の値の範囲内となる温度に調整することで、熱可塑性液晶ポリマーフィルムと加熱圧着手段との間に離型材を介さなくても、熱可塑性液晶ポリマーフィルムと加熱圧着手段との融着を防ぐことができ、さらに離型材を介さないことにより加熱圧着時の熱可塑性液晶ポリマーフィルムの表面粗度の低下を抑制でき、形成される片面金属張積層板中の、熱可塑性液晶ポリマーフィルムの表面粗度を高く維持することができ、良好なピール強度、フィルム外観およびはんだ耐熱性を有する片面金属張積層板を製造できることを見出し、本発明を完成させるにいたった。
【００１０】
すなわち、本発明は、熱可塑性液晶ポリマーフィルムの片面に金属シートが接合されてなる片面金属張積層板であって、該片面金属張積層板の、熱可塑性液晶ポリマーフィルムの金属シートと接合されていない側の面のＩＳＯ４２８７−１９９７に準拠した方法によって測定された算術平均粗さ（Ｒａ）が０．１〜０．５μｍ、かつ十点平均粗度（ＲｚＪＩＳ）が０．５〜２．０μｍである、片面金属張積層板である。
【００１１】
また、本発明は、熱可塑性液晶ポリマーフィルムと金属シートを加熱圧着させ、積層体となす、熱可塑性液晶ポリマーフィルムの片面に金属シートが接合されてなる片面金属張積層板の製造方法であって、加熱圧着時に、加熱圧着手段と熱可塑性液晶ポリマーフィルムとの間に離型材を介さないことを特徴とし、片面金属張積層板の、熱可塑性液晶ポリマーフィルムの金属シートと接合されていない側の面の、ＩＳＯ４２８７−１９９７に準拠した方法によって測定された算術平均粗さ（Ｒａ）が０．１〜０．５μｍ、かつ十点平均粗度（ＲｚＪＩＳ）が０．５〜２．０μｍである、片面金属張積層板の製造方法である。
【００１２】
また、前記製造方法は、加熱圧着の際に該熱可塑性液晶ポリマーフィルムの温度を、該熱可塑性液晶ポリマーフィルムの圧縮弾性率（Ｇ’）が１×１０７Ｐａ以上となる温度に調整することを特徴とする片面金属張積層板の製造方法であってもよい。
【００１３】
また、前記製造方法は、熱可塑性液晶ポリマーフィルムと金属シートを走行させ、合わせながら加熱されたロール間に通過させて加熱圧着させ、積層体となす該熱可塑性液晶ポリマーフィルムの片面に金属シートが接合されてなる片面金属張積層板の製造方法であって、前記ロールの内、該熱可塑性液晶ポリマーフィルムと接するロールの温度を、該熱可塑性液晶ポリマーフィルムの圧縮弾性率（Ｇ’）が１×１０７Ｐａ以上となる温度に調整することを特徴とする、片面金属張積層板の製造方法であってもよい。
【００１４】
また、前記製造方法は、前記加熱圧着の際に、前記ロールの内、金属シートと接するロールの温度が前記熱可塑性液晶ポリマーフィルムの融点より５〜１００℃低い温度である、片面金属張積層板の製造方法であってもよい。
【００１５】
また、前記製造方法は、前記加熱圧着の際に、前記ロールの内、熱可塑性液晶ポリマーフィルムと接するロールが樹脂被覆金属ロールである、片面金属積層板の製造方法であってもよい。
【００１６】
また、好ましくは、前記樹脂被覆金属ロールが、金属ロールの表面に厚さ７ｍｍ〜４０ｍｍの樹脂層を設けてなる樹脂被覆金属ロールである、片面金属積層板の製造方法であってもよい。
【００１７】
また、本発明の製造方法は、加熱圧着の手段がダブルベルトプレスである、片面金属張積層板の製造方法であってもよい。
【００１８】
また、本発明の製造方法は、熱可塑性液晶ポリマーフィルムの融点が２７０℃以上３４５℃以下である、片面金属張積層体の製造方法であってもよい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の片面金属張積層板は、加熱圧着後であっても熱可塑性液晶ポリマーフィルムの表面粗度が維持されているため、該片面金属張積層板をその他の材料と積層する際に、良好なピール強度を付与することができる。また、該片面金属張積層板は、それ自体も熱可塑性液晶ポリマーと金属シートとが高いピール強度で接合され、良好な外観とはんだ耐熱性を有する。
【００２０】
また、本発明の片面金属張積層板は、その加熱圧着工程において、ポリイミドなどの離型材を用いないため、高い生産効率かつ低コストで製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の片面金属張積層板の製造方法を模式的に示した図であり、加熱圧着手段としてロールプレスを用いた場合の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
フィルム本体を構成する熱可塑性液晶ポリマーフィルムは、溶融成形できる液晶性ポリマーから形成される。この熱可塑性液晶ポリマーは、光学的に異方性の溶融相を形成し得るポリマーであって、溶融成形できる液晶性ポリマーであれば特にその化学的構成については限定されるものではないが、例えば、熱可塑性液晶ポリエステル、又はこれにアミド結合が導入された熱可塑性液晶ポリエステルアミドなどを挙げることができる。
【００２３】
また熱可塑性液晶ポリマーは、芳香族ポリエステルまたは芳香族ポリエステルアミドに、更にイミド結合、カーボネート結合、カルボジイミド結合やイソシアヌレート結合などのイソシアネート由来の結合等が導入されたポリマーであってもよい。
【００２４】
本発明に用いられる熱可塑性液晶ポリマーの具体例としては、以下に例示する（１）から（４）に分類される化合物およびその誘導体から導かれる公知の熱可塑性液晶ポリエステルおよび熱可塑性液晶ポリエステルアミドを挙げることができる。ただし、光学的に異方性の溶融相を形成し得るポリマーを形成するためには、種々の原料化合物の組合せには適当な範囲があることは言うまでもない。
【００２５】
（１）芳香族または脂肪族ジヒドロキシ化合物（代表例は表１参照）
【表１】
0006316178.tif 000002
【００２６】
（２）芳香族または脂肪族ジカルボン酸（代表例は表２参照）
【表２】
0006316178.tif 000003
【００２７】
（３）芳香族ヒドロキシカルボン酸（代表例は表３参照）
【表３】
0006316178.tif 000004
【００２８】
（４）芳香族ジアミン、芳香族ヒドロキシアミンまたは芳香族アミノカルボン酸（代表例は表４参照）
【表４】
0006316178.tif 000005
【００２９】
これらの原料化合物から得られる液晶ポリマーの代表例として表５および６に示す構造単位を有する共重合体を挙げることができる。
【００３０】
【表５】
0006316178.tif 000006
【００３１】
【表６】
0006316178.tif 000007
【００３２】
これらの共重合体のうち、ｐ―ヒドロキシ安息香酸および／または６−ヒドロキシ−２−ナフトエ酸を少なくとも繰り返し単位として含む重合体が好ましく、特に、（ｉ）ｐ−ヒドロキシ安息香酸と６−ヒドロキシ−２−ナフトエ酸との繰り返し単位を含む重合体、（ｉｉ）ｐ−ヒドロキシ安息香酸および６−ヒドロキシ−２−ナフトエ酸からなる群から選ばれる少なくとも一種の芳香族ヒドロキシカルボン酸と、４，４’−ジヒドロキシビフェニルおよびヒドロキノンからなる群から選ばれる少なくとも一種の芳香族ジオールと、テレフタル酸、イソフタル酸および２，６−ナフタレンジカルボン酸からなる群から選ばれる少なくとも一種の芳香族ジカルボン酸との繰り返し単位を含む重合体が好ましい。
【００３３】
例えば、（ｉ）の重合体では、熱可塑性液晶ポリマーが、少なくともｐ−ヒドロキシ安息香酸と６−ヒドロキシ−２−ナフトエ酸との繰り返し単位を含む場合、繰り返し単位（Ａ）のｐ−ヒドロキシ安息香酸と、繰り返し単位（Ｂ）の６−ヒドロキシ−２−ナフトエ酸のモル比（Ａ）／（Ｂ）は、液晶ポリマー中、（Ａ）／（Ｂ）＝１０／９０〜９０／１０程度であるのが望ましく、より好ましくは、（Ａ）／（Ｂ）＝５０／５０〜８５／１５程度であってもよく、さらに好ましくは、（Ａ）／（Ｂ）＝６０／４０〜８０／２０程度であってもよい。
【００３４】
また、（ｉｉ）の重合体の場合、ｐ−ヒドロキシ安息香酸および６−ヒドロキシ−２−ナフトエ酸からなる群から選ばれる少なくとも一種の芳香族ヒドロキシカルボン酸（Ｃ）と、４，４’−ジヒドロキシビフェニルおよびヒドロキノンからなる群から選ばれる少なくとも一種の芳香族ジオール（Ｄ）と、テレフタル酸、イソフタル酸および２，６−ナフタレンジカルボン酸からなる群から選ばれる少なくとも一種の芳香族ジカルボン酸（Ｅ）の、液晶ポリマーにおける各繰り返し単位のモル比は、芳香族ヒドロキシカルボン酸（Ｃ）：前記芳香族ジオール（Ｄ）：前記芳香族ジカルボン酸（Ｅ）＝３０〜８０：３５〜１０：３５〜１０程度であってもよく、より好ましくは、（Ｃ）：（Ｄ）：（Ｅ）＝３５〜７５：３２．５〜１２．５：３２．５〜１２．５程度であってもよく、さらに好ましくは、（Ｃ）：（Ｄ）：（Ｅ）＝４０〜７０：３０〜１５：３０〜１５程度であってもよい。
【００３５】
また、芳香族ジカルボン酸に由来する繰り返し構造単位と芳香族ジオールに由来する繰り返し構造単位とのモル比は、（Ｄ）／（Ｅ）＝９５／１００〜１００／９５であることが好ましい。この範囲をはずれると、重合度が上がらず、機械強度が低下する傾向がある。
【００３６】
なお、本発明にいう溶融時における光学的異方性とは、例えば試料をホットステージにのせ、窒素雰囲気下で昇温加熱し、試料の透過光を観察することにより認定できる。
【００３７】
また、熱可塑性液晶ポリマーとしては、フィルムの所望の耐熱性および加工性を得る目的においては、約２００〜約４００℃の範囲内、とりわけ約２５０〜約３５０℃の範囲内に融点を有するものが好ましいが、フィルム製造の観点からは、比較的低い融点を有するものが好ましい。
【００３８】
前記熱可塑性液晶ポリマーには、本発明の効果を損なわない範囲内で、ポリエチレンテレフタレート、変性ポリエチレンテレフタレート、ポリオレフィン、ポリカーボネート、ポリアリレート、ポリアミド、ポリフェニレンサルファイド、ポリエーテルエーテルケトン、フッ素樹脂等の熱可塑性ポリマー、各種添加剤を添加してもよい。また、必要に応じて充填剤を添加してもよい。
【００３９】
本発明に使用される熱可塑性液晶ポリマーフィルムは、熱可塑性液晶ポリマーを押出成形して得られる。熱可塑性液晶ポリマーの剛直な棒状分子の方向を制御できる限り、任意の押出成形法が適用できるが、周知のＴダイ法、ラミネート体延伸法、インフレーション法などが工業的に有利である。特にインフレーション法やラミネート体延伸法では、フィルムの機械軸方向（または機械加工方向：以下、ＭＤ方向と略す）だけでなく、これと直交する方向（以下、ＴＤ方向と略す）にも応力が加えられ、ＭＤ方向とＴＤ方向における分子配向性、誘電特性などを制御したフィルムが得られる。
【００４０】
押出成形では、配向を制御するために、延伸処理を伴うのが好ましく、例えば、Ｔダイ法による押出成形では、Ｔダイから押出した溶融体シートを、フィルムのＭＤ方向だけでなく、これとＴＤ方向の双方に対して同時に延伸してもよいし、またはＴダイから押出した溶融体シートを一旦ＭＤ方向に延伸し、ついでＴＤ方向に延伸してもよい。
【００４１】
また、インフレーション法による押出成形では、リングダイから溶融押出された円筒状シートに対して、所定のドロー比（ＭＤ方向の延伸倍率に相当する）およびブロー比（ＴＤ方向の延伸倍率に相当する）で延伸してもよい。
【００４２】
このような押出成形の延伸倍率は、ＭＤ方向の延伸倍率（またはドロー比）として、例えば、１．０〜１０程度であってもよく、好ましくは１．２〜７程度、さらに好ましくは１．３〜７程度であってもよい。また、ＴＤ方向の延伸倍率（またはブロー比）として、例えば、１．５〜２０程度であってもよく、好ましくは２〜１５程度、さらに好ましくは２．５〜１４程度であってもよい。
【００４３】
ＭＤ方向とＴＤ方向とのそれぞれの延伸倍率の比（ＴＤ方向／ＭＤ方向）は、例えば、２．６以下、好ましくは０．４〜２．５程度であってもよい。
【００４４】
また、熱可塑性液晶ポリマーフィルムには、押出成形した後に、必要に応じて延伸を行ってもよい。延伸方法自体は公知であり、二軸延伸、一軸延伸のいずれを採用してもよいが、分子配向度を制御することがより容易であることから、二軸延伸が好ましい。また、延伸は、公知の一軸延伸機、同時二軸延伸機、逐次二軸延伸機などが使用できる。
【００４５】
また、必要に応じて、公知または慣用の熱処理を行い、熱可塑性液晶ポリマーフィルムの融点および／または熱膨張係数を調整してもよい。熱処理条件は目的に応じて適宜設定でき、例えば、液晶ポリマーの融点（Ｔｍ０）−１０℃以上（例えば、Ｔｍ０−１０〜Ｔｍ０＋３０℃程度、好ましくはＴｍ０〜Ｔｍ０＋２０℃程度）で数時間加熱することにより、熱可塑性液晶ポリマーフィルムの融点（Ｔｍ）を上昇させてもよい。
【００４６】
このようにして得られた熱可塑性液晶ポリマーフィルムは、優れた誘電特性、ガスバリア性、低吸湿性などを有しているため、回路基板材料として好適に用いることができる。
【００４７】
熱可塑性液晶ポリマーフィルムの融点は、フィルムの所望の耐熱性および加工性を得る目的において、２００〜４００℃程度の範囲内で選択することができ、好ましくは２５０〜３６０℃程度、より好ましくは２６０〜３５０℃程度（例えば、２７０〜３４５℃）であってもよい。
【００４８】
本発明において使用される熱可塑性液晶ポリマーフィルムは、任意の厚みであってもよい。ただし、高周波伝送線路に使用する場合は、厚みが厚いほど伝送損失が小さくなるので、できるだけ厚みを厚くするのが好ましい。電気絶縁層として熱可塑性液晶ポリマーフィルムを用いる場合、そのフィルムの膜厚は、１０〜５００μｍの範囲内にあることが好ましく、より好ましくは１０〜３００μｍの範囲内、さらに好ましくは１０〜２００μｍ（例えば、１５〜１５０μｍ）の範囲内がより好ましい。フィルムの厚さが薄過ぎる場合には、フィルムの剛性や強度が小さくなることから、フィルム膜厚１０〜２００μｍの範囲のフィルムを積層させて任意の厚みを得る方法を使用してもよい。
【００４９】
熱可塑性液晶ポリマーフィルムは、表面に粗化処理を施したものであってもよい。粗化処理の手段としては特に限定されないが、例えば物理的研磨または紫外線照射などであってもよく、溶液処理やプラズマ処理であってもよい。
【００５０】
熱可塑性液晶ポリマーは、製膜して熱可塑性液晶ポリマーフィルムに成形すると、表面に硬いスキン層が形成されることがあり、この硬いスキン層が、熱可塑性液晶ポリマーフィルムと金属シートなどの被着体とを圧着させて積層体とするときに、良好な圧着を阻害し、積層体のピール強度を低下させることがある。そのため、このピール強度向上の障害となる硬いスキン層を除去するため、製膜後の熱可塑性液晶ポリマーフィルムの表面を研磨することがある。しかし、この様に熱可塑性液晶ポリマーフィルム表面を研磨して硬いスキン層を除去し、フィルム内部の柔らかい層をフィルム表面に露出させた場合、この表面研磨を行った熱可塑性液晶ポリマーフィルムと被着体とを加熱圧着させる際に、加熱圧着手段と該熱可塑性液晶ポリマーフィルムがより融着しやすくなることがある。本発明の製造方法では、このような表面を研磨して硬いスキン層を除去した熱可塑性液晶ポリマーフィルムと金属シートとを加熱圧着する場合であっても、該フィルムと加熱圧着手段との融着を防ぎ、良好なピール強度で圧着された片面金属張積層板を製造することができる。
【００５１】
物理的研磨の方法としては、例えば、ブラシ研磨、ブラスト研磨、ベルト研磨、バレル研磨などが例示でき、これらの研磨により、液晶ポリマーフィルムの表層が除去される。
【００５２】
より詳細には、ブラシ研磨では、研磨材入りの真鍮線、ナイロン線、鋼線などの線材のブラシを高速回転させ、液晶ポリマーフィルムの加工面に擦り付けて、液晶ポリマー表面を研磨することができる。
ブラスト研磨では、固体金属、鉱物性、植物性などの研磨剤を、液晶ポリマーフィルムの加工面に対して、圧縮空気と共に高速で吹き付けることにより液晶ポリマー表面を研磨することができる。
ベルト研磨では、研磨材のついたベルト（ エンドレスベルトのサンドペーパー） を、液晶ポリマーフィルムの加工面に対して擦り付けることにより、液晶ポリマー表面を研磨することができる。
バレル研磨では、目的物と研磨材と水など研磨槽に混合して充填し、研磨槽に運動（ 回転、振動） を与え、槽内の目的物と研磨材とが擦れ合うことで液晶ポリマー表面を研磨することができる。
【００５３】
このような研磨方法により液晶ポリマーフィルム表面に存在する硬いスキン層（ 特に表面スキン層） を除去するとともに、液晶ポリマーフィルム内部の比較的柔らかいコア層をむき出しにすることができ、熱圧着による接着性を向上することができる。なお、物理的研磨では、フィルム表面から厚さ０．０１〜１μｍ程度を除去するのが好ましく、より好ましくは０．１〜０．９μｍ程度の厚さで表層を除去してもよい。
【００５４】
一方、紫外線照射によっても、液晶ポリマーフィルムに存在するスキン層が破壊されてフィルム表面の硬度を軟化することができるため、熱圧着による接着性を向上することができる。紫外線照射は、液晶ポリマーフィルム表面に対して所定の硬度を付与できる限り特に限定されないが、１８５ｎｍおよび２５４ｎｍの波長の紫外線を同時に照射することが好ましい。
【００５５】
また、表層のみを速やかに破壊する観点から、照射面と光源との距離を縮め、高い照射エネルギーを短時間照射するのが好ましい。例えば、照射面と光源との距離は、０．３ｃｍ〜５ｃｍ程度、好ましくは０．４〜２ｃｍ程度であってもよい。また、照射面と光源との距離に応じて、処理時間は適宜設定できるが、例えば２０秒〜５分程度、好ましくは３０秒〜３分程度であってもよい。
【００５６】
熱可塑性液晶ポリマーフィルムの表面粗度は、ＩＳＯ４２８７−１９９７に準拠した方法によって測定された算術平均粗さ（Ｒａ）が０．１〜０．５μｍが好ましく、０．１〜０．４μｍがより好ましく、０．１〜０．３μｍがさらに好ましい。また、ＩＳＯ４２８７−１９９７に準拠した方法によって測定された十点平均粗度（ＲｚＪＩＳ）が０．５〜２．０μｍであることが好ましく、０．７〜１．８μｍがより好ましく、０．８〜１．５μｍがさらに好ましい。
【００５７】
本発明に使用される金属シートの材質としては、電気的接続に使用されるような金属などから選択され、例えば金、銀、銅、ニッケル、アルミニウムなどが挙げられる。これらの中でも特に銅が好ましい。銅としては、圧延法や電気分解法によって製造されるいずれのものでも使用することができるが、電気分解法によって製造される表面粗さの大きいものが好ましい。金属シートには、銅箔に通常施される酸洗浄などの化学表面処理などが本発明が奏する効果が損なわれない範囲内で施されていてもよい。金属シートの厚さとしては、７〜１００μｍの範囲が好ましく、９〜７５μｍの範囲内がより好ましい。
【００５８】
本発明の片面金属張積層板は、該積層板中の熱可塑性液晶ポリマーフィルムの金属シートと接合されていない側の面のＩＳＯ４２８７−１９９７に準拠した方法によって測定された算術平均粗さ（Ｒａ）が０．１〜０．５μｍ、かつ十点平均粗度（ＲｚＪＩＳ）が０．５〜２．０μｍであり、算術平均粗さ（Ｒａ）は０．１〜０．４μｍが好ましく、０．１〜０．３μｍがさらに好ましい。また、ＩＳＯ４２８７−１９９７に準拠した方法によって測定された十点平均粗度（ＲｚＪＩＳ）は０．７〜１．８μｍが好ましく、０．８〜１．５μｍがさらに好ましい。表面粗度がこの範囲内にあることで、該片面金属張積層板を後の工程で他の材料と積層する場合においても、良好なピール強度で圧着することができる。
【００５９】
片面金属張積層板中の熱可塑性液晶ポリマーフィルムの算術平均粗さ（Ｒａ）が０．１μｍ未満、または十点平均粗度（ＲｚＪＩＳ）が０．５μｍ未満となる場合、該片面金属張積層板の熱可塑性液晶ポリマーフィルム面を他の材料と積層して使用する場合に、高いピール強度が得られない問題が生じる。
【００６０】
また、片面金属張積層板中の熱可塑性液晶ポリマーフィルムの算術平均粗さ（Ｒａ）が０．５μｍを超えるか、または十点平均粗度（ＲｚＪＩＳ）が２．０μｍを超える場合、この片面金属張積層板の熱可塑性液晶ポリマーフィルム面を他の回路基板材料の導電層などと圧着した場合に、熱可塑性液晶ポリマーフィルム表面粗度が他の回路基板材料の導電層の表面粗度を悪化させ、導電層の高周波特性が下がるなどの問題が生じる。
【００６１】
本発明の片面金属張積層板中の、熱可塑性液晶ポリマーフィルムの算術平均粗さ（Ｒａ）および十点平均粗度（ＲｚＪＩＳ）を上記範囲とするためには、該フィルムと金属シートとを加熱圧させる際に、加熱圧着手段と該フィルムとの間に離型材を介さないことが重要である。
【００６２】
熱可塑性液晶ポリマーフィルムの算術平均粗さ（Ｒａ）および十点平均粗度（ＲｚＪＩＳ）を上記範囲とするための、熱可塑性液晶ポリマーフィルムと金属シートを加熱圧着させる手段は、特に限定されないが、例えばバッチ式の熱プレス、またはロール・トゥ・ロール式のロールプレス若しくはダブルベルトプレスであってもよい。特に、生産性の観点からは、ロールプレスまたはダブルベルトプレスが好ましい。
【００６３】
本発明においては、熱可塑性液晶ポリマーフィルムと金属シートとの加熱圧着の際に、熱可塑性液晶ポリマーフィルムの温度が、熱可塑性液晶ポリマーフィルムの圧縮弾性率（Ｇ’）が１×１０７Ｐａ以上となる温度に調整することが好ましく、圧縮弾性率（Ｇ’）が２×１０７Ｐａ以上となる温度がより好ましく、圧縮弾性率（Ｇ’）が４×１０７Ｐａ以上となる温度がさらに好ましい。また、加熱圧着時の熱可塑性液晶ポリマーフィルムと加熱圧着手段との融着を防止する観点から、加熱圧着時の熱可塑性液晶ポリマーフィルムの圧縮弾性率（Ｇ’）の上限値としては、該熱可塑性液晶ポリマーフィルムの常温（例えば２５℃）での圧縮弾性率（Ｇ’）の値以下であってもよく、例えば１×１０９Ｐａ以下であっても良い。
【００６４】
熱可塑性液晶ポリマーフィルムと金属シートとの加熱圧着の際の熱可塑性液晶ポリマーフィルムの温度条件が、上記の条件を満たす場合、熱可塑性液晶ポリマーフィルムと加熱圧着手段との間に離型材を介さなくても、熱可塑性液晶ポリマーフィルムと圧着手段との融着を防ぎ、かつ良好なピール強度で熱可塑性液晶ポリマーフィルムと金属シートとを圧着することができる。
【００６５】
熱可塑性液晶ポリマーフィルムと金属シートとの加熱圧着の際の熱可塑性液晶ポリマーフィルムの温度条件が上記の範囲外であり、加熱圧着時に熱可塑性液晶ポリマーフィルムの圧縮弾性率（Ｇ’）が１×１０７Ｐａ未満となる場合、加熱圧着の際に熱可塑性液晶ポリマーフィルムと接する加熱圧着手段に熱可塑性液晶ポリマーフィルムが融着し、該加熱圧着手段を汚してしまい、次に該加熱圧着手段を使用する際の障害となる問題や、圧着後の片面金属張積層板の熱可塑性液晶ポリマーフィルム面の外観不良や異物の混入、片面金属張積層板のしわや破れの原因となる。
【００６６】
加熱圧着時の加熱圧着手段の温度を制御するに際して、熱可塑性液晶ポリマーフィルムと金属シートとを加熱圧着する前に、該熱可塑性液晶ポリマーフィルムの圧縮弾性率（Ｇ’）が１×１０７Ｐａ以上となる温度を測定し、その温度範囲内となるように加熱圧着手段の温度を制御してもよい。
【００６７】
熱可塑性液晶ポリマーフィルムの圧縮弾性率（Ｇ’）と温度の関係については、熱可塑性液晶ポリマーフィルムを一定の温度で昇温させながら、一定時間ごとにその圧縮弾性率（Ｇ’）を測定し、熱可塑性液晶ポリマーフィルムの温度と圧縮弾性率（Ｇ’）の関係を測定してもよい。
【００６８】
熱可塑性液晶ポリマーフィルムの場合、熱可塑性液晶ポリマーフィルムの温度の上昇ともに該フィルムの圧縮弾性率（Ｇ’）は低下するが、圧縮弾性率（Ｇ’）が１×１０７Ｐａとなる温度は、必ずしも融点の高い熱可塑性液晶ポリマーフィルムの方が融点の低い熱可塑性液晶ポリマーフィルムよりも高くなるとは限らず、圧縮弾性率（Ｇ’）が１×１０７Ｐａとなる温度は熱可塑性液晶ポリマーフィルムの結晶構造に起因して決まると推測される。
【００６９】
次に、本発明の片面金属張積層板の製造方法を、加熱圧着手段としてロールプレスを用いた場合を例に、図面に基づいて説明する。
なお、本発明の形態はこの例に限定されるものではない。
【００７０】
図１は、本発明の片面金属張積層板の製造方法を模式的に示した図であり、熱可塑性液晶ポリマーフィルム１と金属シート２とを、熱可塑性液晶ポリマーフィルム１と接するロール３と、金属シート２と接する加熱ロール４との間に導入して加熱圧着し、片面金属張積層板５とする過程を示す。加熱圧着の際、例えば温度制御手段６によってロール３の温度制御がなされる。
【００７１】
前記加熱ロール４のロール材質としては特に限定されないが、例えばゴムロール、金属ロール、樹脂被覆金属ロールであってもよい。特に、加熱圧着時に均一に圧力をかけることができる観点から、金属ロールが好ましい。
【００７２】
熱可塑性液晶ポリマーフィルム１と金属シート２を走行させ熱圧着する際、金属シート２と接触する加熱ロール４の表面は何らかの手段で加熱されている。その加熱する手段は特に制限されないが、例えば、加熱ロール４内部に加熱機構を備え、これにより加熱ロール４表面を加熱してもよい。加熱ロール４の表面温度は、液晶ポリマーフィルム１の融点より５〜１００℃の範囲で低いことが好ましく、より好ましくは、液晶ポリマーフィルム１の融点より５〜７０℃低い温度であってもよい。加熱ロール４の表面温度を液晶ポリマーフィルム１の融点より１００℃低い温度以上にすることで、液晶ポリマーフィルム１と金属シート２とを十分に接着することができ、また、加熱ロール４の表面温度を液晶ポリマーフィルム１の融点より５℃低い温度以下にすることで、加熱圧着時の液晶ポリマーフィルム１の流動を抑え、外観の良好な片面金属張積層板５を製造することができる。
【００７３】
本発明において、加熱圧着手段としてロールを用いる場合、熱可塑性液晶ポリマーフィルム１と金属シート２を加熱圧着する際に、熱可塑性液晶ポリマーフィルム１と接する側のロール３の温度を、該熱可塑性液晶ポリマーフィルム１の圧縮弾性率（Ｇ’）が１×１０７Ｐａ以上となる温度に制御することが重要である。
【００７４】
熱可塑性液晶ポリマーフィルム１と接する側のロール３の温度を上記の通り制御することで、加熱圧着時における熱可塑性液晶ポリマーフィルム１とロール３間との融着を防止することができ、例えば、ロール３と熱可塑性液晶ポリマーフィルム１との間に、ポリイミドフィルムなどの離型材を介することなしに、良好なピール強度で熱可塑性液晶ポリマーフィルム１と金属シート２とを圧着できる。
【００７５】
熱可塑性液晶ポリマーフィルムの圧縮弾性率（Ｇ’）を高く維持することで、ロールとの密着性を低くすることができ、ロールなどの加熱圧着手段への熱可塑性液晶ポリマーフィルムの付着を抑制することができる。
【００７６】
前記熱可塑性液晶ポリマーフィルム１と接する側のロール３は、前記加熱ロール４と接しており、加熱ロール４の熱がロール３表面に伝わることで、加熱されている。
【００７７】
前記熱可塑性液晶ポリマーフィルム１と接する側のロール３表面の温度を制御する手段を何も施していない場合、加熱圧着の過程で、ロール３表面の温度は、加熱ロール４表面の温度近くまで上昇し、ロール３表面の温度が、熱可塑性液晶ポリマーフィルム１の圧縮弾性率（Ｇ’）が１×１０７Ｐａ未満となる温度に達した場合、前述の熱可塑性液晶ポリマーフィルム１とロール３との融着などの問題が生じるため、ロール３表面の温度を、熱可塑性液晶ポリマーフィルム１の圧縮弾性率（Ｇ’）が１×１０７Ｐａ以上となる温度範囲内に制御するための温度制御手段６が必要となる。
【００７８】
熱可塑性液晶ポリマーフィルム１と接する側のロール３の温度制御手段６は、ロール３と接する熱可塑性液晶ポリマーフィルム１の圧縮弾性率（Ｇ’）が１×１０７Ｐａ以上となる温度に制御できれば特に限定されないが、例えば、空冷方式、熱媒循環方式、若しくは熱可塑性液晶ポリマーフィルム１および金属シート２を走行させるライン速度やロールの回転速度の調節であってもよく、またはこれら温度制御手段を組み合わせたものであってもよい。
【００７９】
本発明により、外観が良好で、接着力に優れる片面金属張積層板を得るためには、熱可塑性液晶ポリマーフィルムと接するロール３の温度制御の観点から、熱可塑性液晶ポリマーフィルム１と金属シート２とを、両ロール間を通過させて圧着する際に、加熱ロール４の回転速度を、その外周の線速度に換算して３０ｍ／分以下とすることが好ましく、金属シート２への熱伝達を容易にするためには２０ｍ／分以下とすることがより好ましい。加熱ロール４の回転速度の下限は特に限定されるものではないが、回転速度が低すぎると生産効率の低下を招くので、工業的には０．１ｍ／分より低くしないことが好ましく、２ｍ／分以上がさらに好ましい。
【００８０】
前記熱可塑性液晶ポリマーフィルムと接するロール３の材質は、特に限定されないが、例えばゴムロール、金属ロール、樹脂被覆金属ロールであってもよく、中でも樹脂被覆金属ロールが好ましい。
【００８１】
樹脂被覆金属ロールを用いることで、熱可塑性液晶ポリマーフィルム１と金属シート２とを加熱圧着する際に、熱可塑性液晶ポリマーフィルム１に接する樹脂被覆金属ロールの緩衝効果によりせん断力を抑制することが可能であり、また、樹脂被覆金属ロールが加熱ロール４側からの熱を十分に拡散するため、熱可塑性液晶ポリマーフィルム１と接触する表面温度の制御がより容易となる。
【００８２】
前記樹脂被覆金属ロールの、金属ロール表面に被覆される樹脂層の材質としては、ゴムを含む材質が好ましく、例えば、フッ素ゴム、シリコンゴム、ポリイミドなどを含む材質が、耐熱性や弾性の観点から好ましい。
【００８３】
前記樹脂被覆金属ロールの、金属ロール表面に被覆される樹脂層の厚さは７ｍｍ〜４０ｍｍの範囲でにあることが好ましく、１０ｍｍ〜２５ｍｍの範囲がより好ましい。金属ロール表面に被覆される樹脂層の厚さが上記の範囲であれば、加熱ロール４からの熱の伝達、および冷却が容易となり、ロール３表面の温度制御を容易に行うことが出来る。
【００８４】
また、金属ロール表面に被覆される樹脂層の硬度は、圧力を均一にかける観点から、ＪＩＳ  Ｋ６３０１に従うＡ型スプリング式硬さ試験に基づくスプリング硬さ（ＪＩＳ  Ａ） で６０〜９５度の範囲であってもよい。
【００８５】
本発明において使用する金属ロール４および熱可塑性液晶ポリマーフィルム１と接するロール３の直径については特に限定されないが、ロールの温度制御を容易にする観点から、３５〜４５ｃｍの範囲が好ましい。
【００８６】
また、加熱ロール４と、熱可塑性液晶ポリマーフィルム１と接するロール３間で熱可塑性液晶ポリマーフィルム１および金属シート２に加えられる圧力は、加圧部位で実質的に変形が生じないロール同士の組み合わせである場合には、線圧換算で５ｋｇ／ｃｍ以上であることが十分な接着力を発現させる上で好ましい。
【００８７】
加熱ロール４が表面にゴムコーティング層を有する場合には、コーティング層のゴム材質、加熱ロールに加える力などにより、加圧時に該コーティング層が変形するので、加熱ロールによって熱可塑性液晶ポリマーフィルム１および金属シート２に加えられる圧力は、面圧換算で２０ｋｇ／ｃｍ２以上であることが好ましい。かかる場合には、斑などの外観不良の発生を抑制して十分な接着力を発現させることができる。
【００８８】
圧力の上限は特に限定されるものではないが、熱可塑性液晶ポリマーフィルム１の加圧時の流れや金属シート２からのはみ出しが無い状態で片面金属張積層板５の接着力を十分に発現させるには、線圧換算で４００ｋｇ／ｃｍを越えないか、または上記面圧換算で２００ｋｇ／ｃｍ２を越えないことが望ましい。
【００８９】
加熱ロール４の表面温度が低い温度領域にある場合には、上記圧力を越えても熱可塑性液晶ポリマーフィルム１の流れや金属シートのはみ出しがなくなるのはいうまでもない。
なお、加熱ロール４の線圧とは、加熱ロール４に付与した力（圧着荷重） を加熱ロール４の有効幅で除した値である。また、上記の面圧とは、圧着時に加熱ロール４の変形により形成される加圧面の面積で圧着荷重を除した値である。
【００９０】
本発明の製造方法によれば、熱可塑性液晶ポリマーフィルムと加熱圧着手段との間に離型材を介さなくても、フィルムと加熱圧着手段との融着を起こすことなく圧着できるので、圧着前のフィルムの表面粗度を、圧着後の片面金属張積層板においても維持することができる。
【実施例】
【００９１】
以下、本発明を実施例などにより具体的に説明するが、本発明はそれにより何ら制限されるものではない。なお、以下の実施例および比較例において、熱可塑性液晶ポリマーフィルムの融点、片面金属張積層板の接着強度および外観の測定または評価は次のようにして行った。
【００９２】
（融点（℃））
示差走査熱量計を用いて、フィルムの熱挙動を観察して得た。すなわち、供試フィルムを２０℃／分の速度で昇温して完全に溶融させた後、溶融物を５０℃／分の速度で５０℃/分で急冷し、再び２０℃／分の速度で昇温した時に現れる吸熱ピークの位置を、フィルムの融点（℃）として記録した。
【００９３】
（表面粗度：算術平均粗さ（Ｒａ）（μｍ）と十点平均粗度（ＲｚＪＩＳ）（μｍ）の測定方法）
接触式表面粗さ計（ミツトヨ（株）製、型式  ＳＪ−２０１）を用い、片面金属張積層板の、熱可塑性液晶ポリマーフィルムの金属シートと接合されていない側の面の、算術平均粗さ（Ｒａ）と十点平均粗さ（ＲｚＪＩＳ）を測定した。測定はＩＳＯ４２８７−１９９７に準拠した方法により行った。より詳細には、Ｒａは、平均線から絶対値偏差の平均値を示したものであり、表面粗度（ＲｚＪＩＳ）は、粗さ曲線からその平均線の方向に基準長さを抜き取り、最高から５番目までの山頂（凸の頂点）の標高の平均値と、最深から５番目までの谷底（凹の底点）の標高の平均値との差をμｍで表わしたもので、十点平均粗さを示したものである。
【００９４】
（圧縮弾性率（Ｇ’）（Ｐａ））  
圧縮弾性率（Ｇ’）は回転型レオメーターＡＲＥＳ−２ＫＦＲＴ−Ｎ１（ＴＡインスツールメント社製）を用い圧縮弾性率（Ｇ’）を測定した。
（測定条件：周波数１Ｈｚ、昇温速度４℃/ｍｉｎ、２０秒ごとに測定、温度：２００℃から３５０℃、歪み１％）
【００９５】
（フィルムとロールとの融着）
加熱圧着後の熱可塑性液晶ポリマーと接する側のロールを目視で確認し、熱可塑性液晶ポリマーフィルムのロールへの融着の有無を調べた。
【００９６】
（ピール強度（ｋＮ／ｍ））
片面金属張積層板から１．０ｃｍ幅の剥離試験片を作成し、そのフィルム層を両面接着テープで平板に固定し、ＪＩＳ  Ｃ５０１６に準じて、１８０°法により、金属シートを５０ｍｍ／分の速度で剥離したときの強度を測定した。
【００９７】
（外観）
片面金属張積層板を目視により観察し、長さ２００ｍ以上においてしわ、スジ、変形が観察されないものを○ 、長さ１ｍ当たり１個未満のしわ、スジ、変形が観察されたものを△、長さ１ｍ当たり１個以上のしわ、スジ、変形、未着部分が観察されたものを×として評価した。
【００９８】
（はんだ耐熱性）
圧着された片面銅張積層板を３０ｍｍ×３０ｍｍの正方形成形した後、３２０℃のはんだ浴中に６０秒間浮かばせた後、膨れや変形の有無を目視した。外観に膨れや変形などが観察されない場合は○、観察された場合は×とした。
【００９９】
[参考例１]
ｐ−ヒドロキシ息香酸と６−ヒドロキシ−２−ナフトエ酸の共重合物で、融点が２８０℃である熱可塑安性液晶ポリマーを吐出量２０ｋｇ／時で溶融押出し、横延伸倍率４．７７倍、縦延伸倍率２．０９倍の条件でインフレーション製膜した。平均膜厚５０μｍ、膜厚分布±７％の膜厚分布の小さい熱可塑性液晶ポリマーフィルムを得た。
【０１００】
得られた熱可塑性液晶ポリマーフィルムについて、ナイロン繊維にシリコンカーバイドの研磨材が付着した１０００メッシュのバフロールを用いて、一方の表面を、回転数２０００ｒｐｍ、フィルムの搬送速度を１ｍ／ｍｉｎで高速回転研磨を行なった。研磨前に４９．７μｍの膜厚であった熱可塑性液晶ポリマーフィルムの表面が除去され、研磨後のフィルムの膜厚は４９．２μｍであった。この熱可塑性液晶ポリマーフィルムのＩＳＯ４２８７−１９９７に準拠した方法によって測定された算術平均粗さ（Ｒａ）は０．１８μｍ、十点平均粗度（ＲｚＪＩＳ）が表面粗度は１．４μｍであった。
【０１０１】
この熱可塑性液晶ポリマーフィルムの圧縮弾性率（Ｇ’）を、２００℃から３５０℃の温度範囲において、昇温速度４℃/ｍｉｎで２０秒ごとに測定した。この熱可塑性液晶ポリマーフィルムの温度が２５０℃未満のとき圧縮弾性率（Ｇ’）は１×１０７Ｐａ以上となり、熱可塑性液晶ポリマーフィルムの温度が２５０℃以上となる場合、該フィルムの圧縮弾性率（Ｇ’）は１×１０７Ｐａ未満となった。
【０１０２】
[参考例２]
（１）６−ヒドロキシ−２−ナフトエ酸単位２７モル％、ｐ−ヒドロキシ安息香酸単位７３モル％からなるサーモトロピック液晶ポリエステルを単軸押出機を用いて２８０〜３００℃で加熱混練し、直径４０ｍｍ、スリット間隔０．６ｍｍのインフレーションダイより押出し、厚さ５０μｍのフィルムを得た。このフィルムの融点Ｔm は２８０℃、熱変形温度Ｔdef は２３０℃であった。
【０１０３】
（２）被着体として厚さ１８μｍの銅箔（電解法による１／２オンス銅箔）を用い、これを上記フィルムに２６０℃で加熱圧着して積層体とした。
【０１０４】
（３）この積層体の熱処理によって変化するフィルムの融点を測定するため、窒素雰囲気中、積層体を２６０℃で熱処理し、１時間単位でＤＳＣ（示差走査熱量計）によるフィルム層の融解ピーク温度ＴAの測定を行った。その結果、未処理では２８０℃、１時間では２８５℃、２時間では２９６℃、４時間では３０６℃と上昇する。４時間の熱処理を行った後のフィルムの熱変形温度Ｔdef は２７５℃であった。このように、フィルムの熱処理時間を長くすれば、そのＴA が順次上昇する。これに準じて熱変形温度Ｔdef も上昇させ得ることが理解できる。
【０１０５】
（４）一方、６−ヒドロキシ−２−ナフトエ酸単位２０モル％、ｐ−ヒドロキシ安息香酸単位８０モル％からなるサーモトロピック液晶ポリエステル７０重量部とベンゼン吸着能８５％の活性炭紛体３５重量部を単軸押出機を用いて３２０〜３４０℃で加熱混練し、直径４０ｍｍ、スリット間隔０．６ｍｍのインフレーションダイより押出し、厚さ５０μｍの活性炭含有成形体を得た。この成形体のベンゼン吸着能は３５％であった。
【０１０６】
（５）次に、上記（２）で得られた積層体と上記（４）で得られた活性炭含有成形体を重ね合わせて、見かけ上隙間がないように堅くロール状に巻き上げた。このロールを大気雰囲気の熱風乾燥機中に設置した後に、昇温を開始した。先ず、２６０℃で４時間熱処理し、その後２８５℃に昇温して６時間熱処理した。熱処理後のロールから、積層体と活性炭含有成形体を分離した。次いで、積層体から化学エッチング法により金属箔を除去して融点３３５℃の熱可塑性液晶ポリマーフィルムを得た。
【０１０７】
得られた熱可塑性液晶ポリマーフィルムについて、ナイロン繊維にシリコンカーバイドの研磨材が付着した１０００メッシュのバフロールを用いて、一方の表面を、回転数２０００ｒｐｍ、フィルムの搬送速度を１ｍ／ｍｉｎで高速回転研磨を行なった。研磨前に５１．４μｍの膜厚であった熱可塑性液晶ポリマーフィルムの表面が除去され、研磨後のフィルムの膜厚は５１．０μｍであった。この熱可塑性液晶ポリマーフィルムのＩＳＯ４２８７−１９９７に準拠した方法によって測定された算術平均粗さ（Ｒａ）は０．１３μｍ、十点平均粗度（ＲｚＪＩＳ）が表面粗度は１．５μｍであった。
【０１０８】
この熱可塑性液晶ポリマーフィルムの圧縮弾性率（Ｇ’）を、２００℃から３５０℃の温度範囲において、昇温速度４℃/ｍｉｎで２０秒ごとに測定した。この熱可塑性液晶ポリマーフィルムの温度が２３０℃未満のとき圧縮弾性率（Ｇ’）は１×１０７Ｐａ以上となり、熱可塑性液晶ポリマーフィルムの温度が２３０℃以上となる場合、該フィルムの圧縮弾性率（Ｇ’）は１×１０７Ｐａ未満となった。
【０１０９】
[実施例１]
参考例１ で得られた熱可塑性液晶ポリマーフィルム１と、金属シート２として１８μｍ厚みの電解銅箔（表面粗度７μｍ）とを使用し熱可塑性液晶ポリマーフィルム１と接するロール３として樹脂被覆金属ロール（スーパーテンペックス：由利ロール機械株式会社製、樹脂厚み１．７ｃｍ）を使用した。図１に示されるように、樹脂被覆金属ロール３側に熱可塑性液晶ポリマーフィルム１を、反対面に電解銅箔２を配置した。直径がそれぞれ４０ｃｍの金属ロール４および樹脂被覆金属ロール３を使用した。金属ロール４の表面温度を、熱可塑性液晶ポリマーフィルム１の融点よりも２０℃低い温度になるように設定した。樹脂被覆金属ロール３が金属ロール４と接触する前の位置Ａにおける樹脂被覆金属ロール３の表面温度および加熱ロールとの接触直後の位置Ｂにおける樹脂被覆金属ロール３の表面温度を、放射温度計を使用して測定した。樹脂被覆金属ロール３に温度制御手段６として冷風装置を設置し、位置Ｂにおける樹脂被覆金属ロール３の温度が、熱可塑性ポリマーフィルム１の圧縮弾性率（Ｇ’）が１×１０７Ｐａ以上となる温度（位置Ｂにおいて１５０℃）になるように冷風装置３の風量を調節した。このとき、位置Ａにおける樹脂被覆金属ロールの温度は１００℃であった。ライン速度は３ｍ／分に調整した。ロール間で熱可塑性液晶ポリマーフィルム１および電解銅箔２に加えられる圧力は面圧換算で１２０ｋｇ／ｃｍ２であり、上記の条件下に、熱可塑性液晶ポリマーフィルム１を樹脂被覆金属ロール３に沿わせ、次いで電解銅箔２を該フィルム１に合わせて仮接合させた。後に、両者を金属ロ−ル４と樹脂被覆金属ロール３の間に導入して圧着し、片面金属張積層板５を得た。得られた片面金属張積層板５中の、熱可塑性液晶ポリマーフィルムの金属シートと接合していない側の表面粗度を測定した。結果を表７に示す。
【０１１０】
[実施例２]
樹脂被覆金属ロール３に設置する冷風装置６の風量を調節し、位置Ａにおける樹脂被覆金属ロール３の表面温度が１７０℃、位置Ｂにおける樹脂被覆金属ロール３の表面温度が２２０℃となるように設定した以外は、実施例１と同様の条件で行った。結果を表７に示す。
【０１１１】
[実施例３]
熱可塑性液晶ポリマーフィルム１として参考例２で得られた熱可塑性液晶ポリマーフィルムを用い、金属ロール４の温度を熱可塑性液晶ポリマーフィルム１の融点よりも４５℃低い温度に設定し、位置Ｂにおける樹脂被覆金属ロール３の温度が、熱可塑性ポリマーフィルム１の圧縮弾性率（Ｇ’）が１×１０７Ｐａ以上となる温度（位置Ｂにおいて２１０℃）になるように冷風装置３の風量を調節した以外は実施例１と同様の条件で行った。結果を表７に示す。
【０１１２】
[実施例４]
ライン速度を８ｍ／分に調整し、位置Ｂにおける樹脂被覆金属ロール３の温度が、熱可塑性ポリマーフィルム１の圧縮弾性率（Ｇ’）が１×１０７Ｐａ以上となる温度（位置Ｂにおいて２２０℃）になるように冷風装置３の風量を調節した以外は実施例３と同様の条件で行った。結果を表７に示す。
【０１１３】
[比較例１]
樹脂被覆金属ロール３に設置している冷風装置６の風量を変えて、位置Ｂにおける樹脂被覆金属ロール３の温度が、熱可塑性ポリマーフィルム１の圧縮弾性率（Ｇ’）が１×１０７Ｐａ未満となる温度（位置Ｂにおいて２５０℃）となるように設定した以外は、実施例１と同様の条件で行った。結果を表７に示す。
【０１１４】
[比較例２]
金属ロール４の温度を熱可塑性液晶ポリマーフィルム１の融点よりも５℃低い温度に設定し、ライン速度を５ｍ／分にして、位置Ｂにおける樹脂被覆金属ロール３の温度が、熱可塑性ポリマーフィルム１の圧縮弾性率（Ｇ’）が１×１０７Ｐａ未満となる温度（位置Ｂにおいて２５５℃）となるように設定した以外は、実施例１と同様の条件で行った。結果を表７に示す。
【０１１５】
[比較例３]
樹脂被覆金属ロール３に設置している冷風装置６の風量を変えて、位置Ｂにおける樹脂被覆金属ロール３の温度が、熱可塑性ポリマーフィルム１の圧縮弾性率（Ｇ’）が１×１０７Ｐａ未満となる温度（位置Ｂにおいて２６０℃）となるように設定した以外は、実施例３と同様の条件で行った。結果を表７に示す。
【０１１６】
[比較例４]
加熱圧着時に、熱可塑性液晶ポリマーフィルム１と樹脂被覆金属ロール３との間に離型材としてポリイミドシートを介した以外は、実施例１と同様の条件で行った。結果を表７に示す。
【０１１７】
【表７】
0006316178.tif 000008
【０１１８】
実施例１および実施例２では、樹脂被覆金属ロール３の位置Ｂにおける温度が、それぞれ１５０℃および２２０℃であり、融点２８０℃の熱可塑性液晶ポリマーフィルム１の圧縮弾性率（Ｇ’）が１×１０７Ｐａ未満となる温度（２５０℃）よりも低いため、該フィルムの樹脂被覆金属ロールへの融着が起こらず、金属張積層板中の熱可塑性液晶ポリマーフィルムにおいて実施例１、２共に良好な算術平均粗さ（Ｒａ）および十点平均粗度（ＲｚＪＩＳ）が得られている。また、ピール強度、外観、はんだ耐熱性に優れた片面金属張積層板が得られている。
【０１１９】
実施例３および実施例４では、樹脂被覆金属ロール３の位置Ｂにおける温度が、それぞれ２１０℃および２２０℃であり、融点３３５℃の熱可塑性液晶ポリマーフィルム１の圧縮弾性率（Ｇ’）が１×１０７Ｐａ未満となる温度（２３０℃）よりも低いため、該フィルムの樹脂被覆金属ロールへの融着が起こらず、金属張積層板中の熱可塑性液晶ポリマーフィルムにおいて実施例１、２共に良好な算術平均粗さ（Ｒａ）および十点平均粗度（ＲｚＪＩＳ）が得られている。また、ピール強度、外観、はんだ耐熱性に優れた片面金属張積層板が得られている。
【０１２０】
比較例１および比較例２では、樹脂被覆金属ロール３の位置Ｂにおける温度が、それぞれ２５０℃および２５５℃であり、融点２８０℃の熱可塑性液晶ポリマーフィルム１の圧縮弾性率（Ｇ’）が１×１０７Ｐａ未満となる温度（２５０℃）以上であるため、該フィルムの樹脂被覆金属ロールへの融着が起こり、外観が悪くなるとともに、金属張積層板中の熱可塑性液晶ポリマーフィルムの算術平均粗さ（Ｒａ）が０．５μｍを超えて大きく、また十点平均粗度（ＲｚＪＩＳ）が２．０μｍを超えて大きくなっており、この様な場合、この片面銅張積層板の熱可塑性液晶ポリマーフィルム面を他の回路基板材料の導電層などと圧着した場合に、熱可塑性液晶ポリマーフィルム表面粗度が他の回路基板材料の導電層の表面粗度を悪化させ、導電層の高周波特性が下がるなどの問題が生じる。
【０１２１】
比較例３では、樹脂被覆金属ロール３の位置Ｂにおける温度が、２６０℃であり、融点３３５℃の熱可塑性液晶ポリマーフィルム１の圧縮弾性率（Ｇ’）が１×１０７Ｐａ未満となる温度（２５０℃）よりも高いため、該フィルムの樹脂被覆金属ロールへの融着が起こり、外観が悪くなるとともに、金属張積層板中の熱可塑性液晶ポリマーフィルムの算術平均粗さ（Ｒａ）が０．５μｍを超えて大きく、また十点平均粗度（ＲｚＪＩＳ）が２．０μｍを超えて大きくなっており、この様な場合、この片面銅張積層板の熱可塑性液晶ポリマーフィルム面を他の回路基板材料の導電層などと圧着した場合に、熱可塑性液晶ポリマーフィルム表面粗度が他の回路基板材料の導電層の表面粗度を悪化させ、導電層の高周波特性が下がるなどの問題が生じる。また、はんだ耐熱性も不良となっている。
【０１２２】
比較例４では、加熱圧着時に、熱可塑性液晶ポリマーフィルム１と樹脂被覆金属ロール３との間に離型材としてポリイミドシートを介して加熱圧着しているため、熱可塑英液晶ポリマーフィルムにポリイミドシートの表面粗度が転写され、金属張積層板中の熱可塑性液晶ポリマーフィルムの、金属シートと接合していない側の面の算術平均粗さ（Ｒａ）が０．１μｍよりも小さく、また十点平均粗度（ＲｚＪＩＳ）が０．５μｍよりも小さくなっており、この様な場合、該片面金属張積層板の熱可塑性液晶ポリマーフィルムの面を、他の材料と積層する場合にピール強度が下がるなどの問題が生じる。
【符号の説明】
【０１２３】
１・・・熱可塑性液晶ポリマーフィルム
２・・・金属シート
３・・・熱可塑性液晶ポリマーフィルムと接するロール
４・・・加熱ロール
５・・・片面金属張積層板
６・・・温度制御手段
【図１】
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