(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸入ポートから吸入された液体を吐出ポートから連続的に吐出する液体供給装置であって、
前記吸入ポートと前記吐出ポートとを連通する第１液体流路に設けられ、前記吸入ポートから液体を吸入する吸入動作と前記吐出ポートに液体を吐出する吐出動作とを行う第１ポンプと、
前記吸入ポートと前記吐出ポートとを連通する第２液体流路に設けられ、前記第１ポンプの吐出動作時に吸入動作し、前記第１ポンプの吸入動作時に吐出動作する第２ポンプと、
前記第１液体流路と前記第２液体流路をそれぞれ前記吸入ポートと前記吐出ポートに連通する連続吐出モードと、前記第１液体流路を前記吸入ポートと前記吐出ポートに連通させ前記第２液体流路の連通を遮断する第１ポンプ流路充填モードと、前記第２液体流路を前記吸入ポートと前記吐出ポートに連通させ前記第１液体流路の連通を遮断する第２ポンプ流路充填モードとに切り換える切換弁機構と、
を有する液体供給装置。
【請求項２】
請求項１記載の液体供給装置において、前記切換弁機構は、
前記第１液体流路の吐出側部と、前記第２液体流路の吐出側部との合流部に設けられ、前記連続吐出モードと前記第１ポンプ流路充填モードと前記第２ポンプ流路充填モードとに作動する三方弁である、液体供給装置。
【請求項３】
請求項１記載の液体供給装置において、前記切換弁機構は、
前記第１液体流路の吸入側部と、前記第２液体流路の吸入側部との分岐部に設けられ、前記連続吐出モードと前記第１ポンプ流路充填モードと前記第２ポンプ流路充填モードとに作動する三方弁である、液体供給装置。
【請求項４】
請求項１記載の液体供給装置において、前記切換弁機構は、
前記第１液体流路の吐出側部に設けられ、前記第１液体流路を前記吐出ポートに連通する位置と連通を遮断する位置に作動する第１開閉弁と、
前記第２液体流路の吐出側部に設けられ、前記第２液体流路を前記吐出ポートに連通する位置と連通を遮断する位置に作動する第２開閉弁と、
を有する、液体供給装置。
【請求項５】
請求項１記載の液体供給装置において、前記切換弁機構は、
前記第１液体流路の吸入側部に設けられ、前記第１液体流路を前記吸入ポートに連通する位置と連通を遮断する位置とに作動する第１開閉弁と、
前記第２液体流路の吸入側部に設けられ、前記第２液体流路を前記吸入ポートに連通する位置と連通を遮断する位置に作動する第２開閉弁と、
を有する、液体供給装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の液体供給装置において、
前記第１液体流路に設けられ、前記第１ポンプの吸入動作時に前記吸入ポートから前記第１ポンプへの液体の流れを許容し、前記第１ポンプの吐出動作時に前記第１ポンプから前記吸入ポートへの液体の流れを遮断する第１吸入側逆止弁と、
前記第１液体流路に設けられ、前記第１ポンプの吐出動作時に前記第１ポンプから前記吐出ポートへの液体の流れを許容し、前記第１ポンプの吸入動作時に前記吐出ポートから前記第１ポンプへの液体の流れを遮断する第１吐出側逆止弁と、
前記第２液体流路に設けられ、前記第２ポンプの吸入動作時に前記吸入ポートから前記第２ポンプへの液体の流れを許容し、前記第２ポンプの吐出動作時に前記第２ポンプから前記吸入ポートへの液体の流れを遮断する第２吸入側逆止弁と、
前記第２液体流路に設けられ、前記第２ポンプの吐出動作時に前記第２ポンプから前記吐出ポートへの液体の流れを許容し、前記第２ポンプの吸入動作時に前記吐出ポートから前記第２ポンプへの液体の流れを遮断する第２吐出側逆止弁と、
を有する、液体供給装置。
【請求項７】
吸入ポートと吐出ポートとを連通する第１液体流路に設けられ、前記吸入ポートから液体を吸入する吸入動作と前記吐出ポートに液体を吐出する吐出動作とを行う第１ポンプと、前記吸入ポートと前記吐出ポートとを連通する第２液体流路に設けられ、前記第１ポンプの吐出動作時に吸入動作し、前記第１ポンプの吸入動作時に吐出動作する第２ポンプとを備えた液体供給装置に、液体を充填する液体充填方法であって、
前記第１液体流路を前記吸入ポートと前記吐出ポートに連通させ前記第２液体流路の連通を遮断して前記第１ポンプに液体を充填する第１ポンプ流路充填ステップと、
前記第２液体流路を前記吸入ポートと前記吐出ポートに連通させ前記第１液体流路の連通を遮断して前記第２ポンプに液体を充填する第２ポンプ流路充填ステップと、
を有する液体充填方法。
【請求項８】
吸入ポートと吐出ポートとを連通する第１液体流路に設けられ、前記吸入ポートから液体を吸入する吸入動作と前記吐出ポートに液体を吐出する吐出動作とを行う第１ポンプと、前記吸入ポートと前記吐出ポートとを連通する第２液体流路に設けられ、前記第１ポンプの吐出動作時に吸入動作し、前記第１ポンプの吸入動作時に吐出動作する第２ポンプとを備えた液体供給装置により、前記吸入ポートに吸入された液体を前記吐出ポートから連続的に吐出する液体供給方法であって、
前記第１液体流路を前記吸入ポートと前記吐出ポートに連通させ前記第２液体流路の連通を遮断して前記第１ポンプに液体を充填する第１ポンプ流路充填ステップと、
前記第２液体流路を前記吸入ポートと前記吐出ポートに連通させ前記第１液体流路の連通を遮断して前記第２ポンプに液体を充填する第２ポンプ流路充填ステップと、
前記第１ポンプ流路充填ステップと前記第２ポンプ流路充填ステップとが実行された後に、前記第１ポンプと前記第２ポンプとを交互に吐出動作と吸入動作させて前記吐出ポートから連続的に液体を吐出する連続吐出ステップと、
を有する液体供給方法。
【請求項９】
請求項８記載の液体供給方法において、
前記第１ポンプ流路充填ステップと前記第２ポンプ流路充填ステップにおいて、前記吸入ポートから供給される加圧された液体により、前記第１ポンプと前記第２ポンプに液体を充填する、
液体供給方法。
【請求項１０】
請求項８記載の液体供給方法において、
前記第１ポンプ流路充填ステップと前記第２ポンプ流路充填ステップにおいて、前記吐出ポート側を負圧にして、前記吸入ポートから供給される液体により、前記第１ポンプと前記第２ポンプに液体を充填する、
液体供給方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被塗布物に液体を供給するための液体供給装置を使用した液体供給技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路装置や液晶パネル等の技術分野においては、フォトレジスト液等の液体を被塗布物に供給するために液体供給装置が使用されている。この液体供給装置は、液体を収容している容器に接続される吸入流路と、塗布具に接続される吐出流路との間に設けられ、容器内に収容された液体を塗布ノズル等の塗布具を介して被塗布物に供給する。液体供給装置はチューブフラム型やプランジャ型のポンプを有しており、ポンプ室の膨張収縮動作によって液体が被塗布物に供給される。
【０００３】
２つのダイヤフラムにより構成された往復動ポンプが特許文献１に記載されている。特許文献１の図４には、往復動ポンプを構成する各ポンプヘッド部に内包されているダイヤフラムは、一方のダイヤフラムが復動工程のときは他方のダイヤフラムが往動工程となる構成が、開示されている。すなわち、図４に示された往復動ポンプによれば、一方のダイヤフラムが他方のダイヤフラムを、他方のダイヤフラムが一方のダイヤフラムを補完すべく駆動されるので、脈動を効果的に改善可能な往復動ポンプを得ることができる。
【０００４】
２つのプランジャを用いた多連式プランジャポンプが特許文献２に記載されている。プランジャポンプは、その吸込口同士及び吐出口同士がそれぞれ連結され、全てのプランジャポンプによる総合的な流体の吐出量が時間的に平滑化されるように各プランジャポンプからの流体の吐出量の変化の位相をずらしてなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−０４２０６９公報
【特許文献２】特開２００１−２３４８５０公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１と特許文献２に記載されるように、２つのダイヤフラムやプランジャを備えたポンプつまり液体供給装置においては、それぞれポンプが設けられた第１液体流路と第２液体流路とが容器と塗布具との間に並列に配置される。このようなポンプにおいては、ポンプを稼働させる前に、容器に圧縮空気を供給することにより、第１液体流路と第２液体流路に対して同時に液体が充填される。このため、一方の液体流路だけに液体が充填され、他方の液体流路には液体が十分に充填されず空気が残ることがある。液体流路の流体抵抗などの相違により、液体が一方の液体流路だけに流れ易く、他方に流れにくいことがあるからである。充填作業を長時間続けても、他方の液体流路には液体が充填されないことは、解決しないことが多い。
【０００７】
他方の液体流路に液体が充填されず空気が残った状態で、つまり残存気泡がある状態で通常運転を行うと、以下のようになる。吸引時には負圧により残存気泡が膨張されるので、ポンプ室の体積が減少した分の液体量を吸引することが出来ず、残存気泡が膨張した分だけ液体の吸引量が減少する。吐出時には正圧により残存気泡が収縮されるので、ポンプ室の体積が減少した分の液体量を吐出することが出来ず、残存気泡が圧縮された分だけ液体の吐出量が減少する。この減少は、気泡が残存する一方のポンプ室に発生することが多い。また、残存気泡の量がわずかであっても、液体の吐出量が脈動することになる。
【０００８】
以上のように、従来の液体供給装置においては、液体供給装置を稼動する前の、ポンプへの液体充填作業つまり準備作業に時間がかかり、さらに、気泡が残る場合には液体の吐出量が脈動するという問題点がある。
【０００９】
本発明の目的は、液体供給装置による液体供給作業の操作性を向上することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の液体供給装置は、吸入ポートから吸入された液体を吐出ポートから連続的に吐出する液体供給装置であって、前記吸入ポートと前記吐出ポートとを連通する第１液体流路に設けられ、前記吸入ポートから液体を吸入する吸入動作と前記吐出ポートに液体を吐出する吐出動作とを行う第１ポンプと、前記吸入ポートと前記吐出ポートとを連通する第２液体流路に設けられ、前記第１ポンプの吐出動作時に吸入動作し、前記第１ポンプの吸入動作時に吐出動作する第２ポンプと、前記第１液体流路と前記第２液体流路をそれぞれ前記吸入ポートと前記吐出ポートに連通する連続吐出モードと、前記第１液体流路を前記吸入ポートと前記吐出ポートに連通させ前記第２液体流路の連通を遮断する第１ポンプ流路充填モードと、前記第２液体流路を前記吸入ポートと前記吐出ポートに連通させ前記第１液体流路の連通を遮断する第２ポンプ流路充填モードとに切り換える切換弁機構と、を有する。
【００１１】
本発明の液体充填方法は、吸入ポートと吐出ポートとを連通する第１液体流路に設けられ、前記吸入ポートから液体を吸入する吸入動作と前記吐出ポートに液体を吐出する吐出動作とを行う第１ポンプと、前記吸入ポートと前記吐出ポートとを連通する第２液体流路に設けられ、前記第１ポンプの吐出動作時に吸入動作し、前記第１ポンプの吸入動作時に吐出動作する第２ポンプとを備えた液体供給装置に、液体を充填する液体充填方法であって、前記第１液体流路を前記吸入ポートと前記吐出ポートに連通させ前記第２液体流路の連通を遮断して前記第１ポンプに液体を充填する第１ポンプ流路充填ステップと、前記第２液体流路を前記吸入ポートと前記吐出ポートに連通させ前記第１液体流路の連通を遮断して前記第２ポンプに液体を充填する第２ポンプ流路充填ステップと、を有する。
【００１２】
本発明の液体供給方法は、吸入ポートと吐出ポートとを連通する第１液体流路に設けられ、前記吸入ポートから液体を吸入する吸入動作と前記吐出ポートに液体を吐出する吐出動作とを行う第１ポンプと、前記吸入ポートと前記吐出ポートとを連通する第２液体流路に設けられ、前記第１ポンプの吐出動作時に吸入動作し、前記第１ポンプの吸入動作時に吐出動作する第２ポンプとを備えた液体供給装置により、前記吸入ポートに吸入された液体を前記吐出ポートから連続的に吐出する液体供給方法であって、前記第１液体流路を前記吸入ポートと前記吐出ポートに連通させ前記第２液体流路の連通を遮断して前記第１ポンプに液体を充填する第１ポンプ流路充填ステップと、前記第２液体流路を前記吸入ポートと前記吐出ポートに連通させ前記第１液体流路の連通を遮断して前記第２ポンプに液体を充填する第２ポンプ流路充填ステップと、前記第１ポンプ流路充填ステップと前記第２ポンプ流路充填ステップとが実行された後に、前記第１ポンプと前記第２ポンプとを交互に吐出動作と吸入動作させて前記吐出ポートから連続的に液体を吐出する連続吐出ステップと、を有する。
【発明の効果】
【００１３】
第１ポンプと第２ポンプとが交互に吐出動作と吸入動作されて連続的に吐出ポートから液体を連続的に吐出する前に、第１ポンプ流路充填モードにより第１ポンプ流路に対して液体が充填され、第２ポンプ流路充填モードにより第２ポンプ流路に対して液体が充填されることにより、それぞれのポンプ内から空気が排出される。このように、連続吐出モードにより液体を吐出ポートから吐出させる前に、予め空気を流路内から容易に排出することができるので、ポンプ流路充填モードから連続吐出モードに切り換えることにより、液体供給装置の立ち上げのための初期設定作業を容易に行うことができ、液体供給作業の作業性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】一実施の形態である液体供給装置を示す概略図である。
【図２】図１に示された液体供給装置の初期設定作業を示す概略図であり、（Ａ）は第１ポンプのポンプ室に向けて容器内の液体が送出されている状態を示し、（Ｂ）は第２ポンプのポンプ室に向けて容器内の液体が送出されている状態を示す。
【図３】他の実施の形態である液体供給装置を示す概略図である。
【図４】図３に示された液体供給装置の初期設定作業を示す概略図であり、（Ａ）は第１ポンプのポンプ室に向けて容器内の液体が送出されている状態を示し、（Ｂ）は第２ポンプのポンプ室内に向けて容器内の液体が送出されている状態を示す。
【図５】更に他の実施の形態である液体供給装置を示す概略図である。
【図６】更に他の実施の形態である液体供給装置を示す概略図である。
【図７】比較例である液体供給装置を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。それぞれの図面においては、共通する機能を有する部材には同一の符号が付されている。図１および図２に示される液体供給装置１０ａは、容器１１内に収容された液体Ｌを塗布具１２に向けて供給する。被塗布物に供給される液体Ｌとしては、例えば、半導体集積回路装置や液晶パネル等の技術分野において使用されるフォトレジスト液や洗浄液等がある。液体供給装置１０ａは吸入ポート１３と吐出ポート１４とを有し、容器１１に装着された吸入流路１５が吸入ポート１３に接続される。吐出流路１６が吐出ポート１４に接続され、塗布具１２が吐出流路１６の先端に設けられる。
【００１６】
この液体供給装置１０ａは、吸入ポート１３と吐出ポート１４とを連通する第１液体流路２１と、この第１液体流路２１に並列となって、吸入ポート１３と吐出ポート１４とを連通する第２液体流路２２とを有する。第１液体流路２１と第２液体流路２２はそれぞれ上下方向に延びている。第１液体流路２１の吸入側部と第２液体流路２２の吸入側部は、分岐部２３を介して吸入ポート１３に連通する。一方、第１液体流路２１の吐出側部と第２液体流路２２の吐出側部は、合流部２４を介して吐出ポート１４に連通する。
【００１７】
第１ポンプ２５が第１液体流路２１に設けられ、第２ポンプ２６が第２液体流路２２に設けられている。第１ポンプ２５は膨張収縮するポンプ室Ｐ１を有し、第２ポンプ２６は膨張収縮するポンプ室Ｐ２を有している。第１ポンプ２５と第２ポンプ２６の形態としては、チューブフラム型、ベローズ型、ダイヤフラム型、およびピストン型等を適用することができる。いずれの形態のポンプも、ポンプ室Ｐ１，Ｐ２を膨張させて吸入動作つまり吸引動作させると、容器１１内の液体Ｌがポンプ室Ｐ１，Ｐ２内に吸入される。一方、ポンプ室Ｐ１，Ｐ２を収縮させて吐出動作させると、ポンプ室Ｐ１，Ｐ２内の液体Ｌは塗布具１２に向けて供給される。
【００１８】
第１吸入側逆止弁３１が、第１液体流路２１のうち第１ポンプ２５の上流側に位置されて設けられている。この第１吸入側逆止弁３１は、第１ポンプ２５の吸入動作時に吸入ポート１３から第１ポンプ２５への液体の流れを許容し、第１ポンプ２５の吐出動作時に第１ポンプ２５から吸入ポート１３への液体の流れを遮断する。第１吐出側逆止弁３２が、第１液体流路２１のうち第１ポンプ２５の下流側に位置させて設けられている。この第１吐出側逆止弁３２は、第１ポンプ２５の吐出動作時に第１ポンプ２５から吐出ポート１４への液体の流れを許容し、第１ポンプ２５の吸入動作時に吐出ポート１４から第１ポンプ２５への液体の流れを遮断する。
【００１９】
第２吸入側逆止弁３３が、第２液体流路２２のうち第２ポンプ２６の上流側に位置されて設けられている。この第２吸入側逆止弁３３は、第２ポンプ２６の吸入動作時に吸入ポート１３から第２ポンプ２６への液体の流れを許容し、第２ポンプ２６の吐出動作時に第２ポンプ２６から吸入ポート１３への液体の流れを遮断する。第２吐出側逆止弁３４が、第２液体流路２２のうち第２ポンプ２６の下流側に位置させて設けられている。この第２吐出側逆止弁３４は、第２ポンプ２６の吐出動作時に第２ポンプ２６から吐出ポート１４への液体の流れを許容し、第２ポンプ２６の吸入動作時に吐出ポート１４から第２ポンプ２６への液体の流れを遮断する。
【００２０】
第１吸入側逆止弁３１においては、硬球等からなる弁体が自重によりその下側の弁座面に当接して第１吸入側逆止弁３１を閉鎖し、下流側のポンプ室Ｐ１の圧力が上流側の吸入ポート１３の圧力よりも低くなると、流体の流れにより弁体は弁座面から離れて第１吸入側逆止弁３１は開く。第１吐出側逆止弁３２においては、硬球等からなる弁体が自重によりその下側の弁座面に当接して第１吐出側逆止弁３２を閉鎖し、上流側のポンプ室Ｐ１の圧力が下流側の吐出ポート１４の圧力よりも高くなると、流体の流れにより弁体は弁座面から離れて第１吐出側逆止弁３２は開く。第２吸入側逆止弁３３と第２吐出側逆止弁３４も第１吸入側逆止弁３１と第１吐出側逆止弁３２と同様に動作する。このように、それぞれの逆止弁は、ポンプの吸入動作と吐出動作により自動的に流路を開閉するので、逆止弁を駆動するためのソレノイド等の駆動手段は不要である。これにより、液体供給装置１０ａの構造はシンプルである。
【００２１】
それぞれの逆止弁３１，３２，３３，３４は、上述のように、自重によりその下側の弁座面に当接して流路を閉鎖する形態があるが、自重に加えてスプリングにより弁体を弁座に押し付ける形態としてもよい。
【００２２】
第１液体流路２１のうち、第１吸入側逆止弁３１から第１吐出側逆止弁３２までを、第１ポンプ流路と名付ける。同様に、第２液体流路２２のうち、第２吸入側逆止弁３３から第２吐出側逆止弁３４までを、第２ポンプ流路と名付ける。第１ポンプ流路、第２ポンプ流路は、ポンプ室Ｐ１，Ｐ２が発生する正圧、負圧の両方の圧力が印加される流路である。第１ポンプ流路、第２ポンプ流路に残留する空気つまり気泡は、液体供給装置が動作する際に、正圧、負圧によって圧縮、膨張される。
【００２３】
切換弁機構４１が液体供給装置１０ａに設けられている。図１および図２に示される切換弁機構４１は三方弁４２ａであり、三方弁４２ａは、第１液体流路２１の吐出側部と第２液体流路２２の吐出側部との合流部２４に設けられている。三方弁４２ａは、バルブケーシング４３とこれに回転自在に組み込まれる弁体４４とを有する。第１液体流路２１を形成する流入側ポート４３ａと、第２液体流路２２を形成する流入側ポート４３ｂが相互に対向してバルブケーシング４３に設けられ、両方の流入側ポート４３ａ，４３ｂに対して直角となって流出側ポート４３ｃがバルブケーシング４３に設けられている。流出側ポート４３ｃは合流部２４を構成する。入出流路４４ａ，４４ｂが一直線状に弁体４４に設けられ、これらの入出流路４４ａ，４４ｂに対して直角となって入出流路４４ｃが弁体４４に設けられている。
【００２４】
三方弁４２ａは、図１に示される連続吐出モードと、図２（Ａ）に示される第１ポンプ流路充填モードと、図２（Ｂ）に示される第２ポンプ流路充填モードとの３位置に作動する。連続吐出モードは、第１液体流路２１と第２液体流路２２とをそれぞれ吸入ポート１３と吐出ポート１４とに連通させるモードである。このときには、図１に示されるように、三方弁４２ａの両方の流入側ポート４３ａ，４３ｂが流出側ポート４３ｃに連通する。容器１１内の液体Ｌを塗布具１２から被塗布物に供給するときには、三方弁４２ａは連続吐出モードに設定される。連続吐出モードにおいては、第１ポンプ２５と第２ポンプ２６とを交互に吐出動作させることにより、吐出ポート１４から液体が連続的に吐出され、被塗布物に対して塗布具１２から液体が供給される。
【００２５】
第１ポンプ流路充填モードは、第１ポンプ２５のポンプ室Ｐ１、および吸入ポート１３と吐出ポート１４との間における第１液体流路内に液体を充填して空気を排出するモードである。第１ポンプ流路充填モードにおいては、三方弁４２ａの弁体４４が図２（Ａ）に示される位置に回転駆動されて、流入側ポート４３ａが流出側ポート４３ｃに連通され、流入側ポート４３ｂが遮断される。第１ポンプ流路充填モードに設定して容器１１を加圧することにより、少なくても、第１ポンプ２５のポンプ室Ｐ１を含めて第１吸入側逆止弁３１から第１吐出側逆止弁３２まで、つまり第１ポンプ流路に液体が充填される。または、第１ポンプ流路のみならず、第１液体流路２１、吐出流路１６から塗布具１２にかけて、液体が充填される。
【００２６】
第２ポンプ流路充填モードは、第２ポンプ２６のポンプ室Ｐ２、および吸入ポート１３と吐出ポート１４との間における第２液体流路内に液体を充填して空気を排出するモードである。第２ポンプ流路充填モードにおいては、三方弁４２ａの弁体４４が図２（Ｂ）に示される位置に回転駆動されて、流入側ポート４３ｂが流出側ポート４３ｃに連通され、流入側ポート４３ａが遮断される。第２ポンプ流路充填モードに設定して容器１１を加圧することにより、少なくても、第２ポンプ２６のポンプ室Ｐ２を含めて第２吸入側逆止弁３３から第２吐出側逆止弁３４まで、つまり第２ポンプ流路に液体が充填される。または、第２ポンプ流路のみならず、第２液体流路２２、吐出流路１６から塗布具１２にかけて、液体が充填される。
【００２７】
第１ポンプ流路充填モードと第２ポンプ流路充填モードは、液体供給装置１０ａの立ち上げ時つまり起動時に行われる。このように、第１ポンプ流路充填モードと第２ポンプ流路充填モードを別々に実行することにより、吸入流路１５から塗布具１２までの間の流路内に残っている空気が外部に排出される。従って、連続吐出モードにより被塗布物に液体を供給する際には、流路内に気泡が残存しないので、吐出される液体の流量に脈動は発生しない。
【００２８】
第１ポンプ流路充填モードと第２ポンプ流路充填モードにおいて、容器１１を圧縮空気によって加圧して液体を第１液体流路、第２液体流路に充填する。これに対して、容器１１を大気開放し、吐出ポート１４または吐出流路１６または塗布具１２側を真空にして、液体を吸引し、第１液体流路、第２液体流路に液体を充填してもよい。吐出ポート１４側を真空にするには、シリンジで空気を吸引する方法が簡便である。
【００２９】
図７は比較例である液体供給装置１０を示す概略図である。図７においては、図１と共通する部材には同一の符号が付されている。この液体供給装置１０においては、第１液体流路２１と第２液体流路２２の吐出側端部が吐出ポート１４に直接接続されている。したがって、液体供給装置１０を稼働させる際には、容器１１に圧縮空気を供給することにより、第１液体流路２１と第２液体流路２２に対して同時に液体が充填されていた。このため、充填作業を長時間続けても、一方の液体流路だけに液体が充填され、他方の液体流路には液体が十分に充填されず空気が残ることがある。液体流路の流体抵抗などの相違により、液体が一方の液体流路だけに流れ易く、他方に流れにくいことがあるからである。これに対して、本発明では第１液体流路２１と第２液体流路２２に対して、別々に液体が充填されるから、そのような相違の影響を受けることなく、液体が液体流路に充填される。従って、液体流路に空気が残ることはなく、短時間で確実に充填作業が終了する。これにより、液体供給装置を稼動する前の、準備作業の時間が短縮され、装置の立ち上げの作業性を向上させることができる。
【００３０】
液体供給装置１０ａにより被塗布物に液体Ｌを連続的に供給するには、液体供給装置１０ａの立ち上げ時に、液体供給装置１０ａ内の流路に液体を充填する液体充填方法が実行される。液体充填方法は、図２（Ａ）に示される第１ポンプ流路充填ステップと、図２（Ｂ）に示される第２ポンプ流路充填ステップとを有している。第１液体流路充填ステップは、三方弁４２ａを第１ポンプ流路充填モード位置に作動させて、容器１１を加圧し、第１ポンプ室Ｐ１を含めて第１液体流路２１内に液体を充填し、流路内の空気を塗布具１２から外部に排出する。第１液体流路充填ステップにおいては、容器１１を加圧し、ポンプ室Ｐ１内に向けて容器１１内の液体Ｌを送出する。流路内の空気を外部へ排出するには、塗布具１２を介して排出してもよいが、吐出ポート１４、または吐出流路１６の途中から、外部に排出してもよい。
【００３１】
第１ポンプ流路充填ステップと第２ポンプ流路充填ステップにおいて、容器１１を圧縮空気によって加圧し、加圧された液体を第１液体流路、第２液体流路に充填する。これに対して、容器１１を大気開放し、吐出ポート１４または吐出流路１６または塗布具１２側を負圧にして吸引し、吸入ポートから供給される液体により、第１液体流路、第２液体流路に液体を充填してもよい。
【００３２】
第２ポンプ流路充填ステップは、三方弁４２ａを第２ポンプ流路充填モード位置に作動させて、容器１１を加圧し、第２ポンプ室Ｐ２を含めて第２液体流路２２内に液体を充填し、流路内の空気を塗布具１２から外部に排出する。第２液体流路充填ステップにおいては、容器１１を加圧し、ポンプ室Ｐ２内に向けて容器１１内の液体Ｌを送出する。
【００３３】
液体供給装置１０ａの流路内から気泡を排出するには、第１ポンプ充填ステップと第２ポンプ充填ステップのいずれを先に行っても良く、両方のポンプ充填ステップを交互に複数回行うようにしても良い。
【００３４】
ポンプ充填ステップが実行されると、液体供給装置１０ａによる被塗布物への液体Ｌの供給を行うための準備が完了する。ポンプ充填ステップが実行された後に、被塗布物への液体供給を行うために、三方弁４２ａは、図１に示される連続吐出モードに切り換えられて、連続吐出ステップが実行される。
【００３５】
連続吐出ステップにおいて、第１ポンプ２５と第２ポンプ２６が交互に吐出動作と吸入動作をすると、吐出ポート１４から連続的に液体Ｌが吐出され、吐出ポート１４に接続された吐出流路１６を介して塗布具１２から被塗布物に液体が供給される。１つの被塗布物に対する液体の供給が停止されるときには、両方のポンプ２５，２６の吐出動作と吸入動作は停止される。次の被塗布物が塗布具１２に対向して配置されると、その被塗布物に対して液体供給が連続吐出モードのもとで行われる。容器１１内の液体の残量が少なくなった場合には、容器１１内に液体が補充される。
【００３６】
このように、被塗布物に対する液体供給方法が実行される前に、上述したポンプ充填方法を実行すると、液体供給装置１０ａ内の流路の気泡が排気されるので、被塗布物に対して高精度で液体を供給することができるとともに、液体供給装置１０ａの装置立ち上げのための初期設定の作業を容易に行うことができる。
【００３７】
図３は、他の実施の形態である液体供給装置１０ｂを示す概略図である。図４（Ａ）は第１ポンプのポンプ室Ｐ１に向けて容器内の液体を送出している状態を示す図３の概略図であり、（Ｂ）は第２ポンプのポンプ室Ｐ２に向けて容器内の液体を送出している状態を示す図３の概略図である。
【００３８】
図３および図４に示される液体供給装置１０ｂは、分岐部２３に三方弁４２ｂが切換弁機構４１として設けられている。この三方弁４２ｂは、図１および図２に示された三方弁４２ａと同様の構造であり、図３に示される連続吐出モードと、図４（Ａ）に示される第１ポンプ充填モードと、図４（Ｂ）に示される第２ポンプ充填モードとの３位置に作動する。
【００３９】
したがって、三方弁４２ｂを第１ポンプ流路充填モードに設定した状態のもとで、容器１１が加圧されると、第１液体流路２１内に液体が充填されて空気が排出される。同様に、三方弁４２ｂを第２ポンプ流路充填モードに設定した状態のもとで、容器１１が加圧されると、第２液体流路２２内に液体が充填されて空気が排出される。このように、第１ポンプ流路充填ステップと第２ポンプ流路充填ステップとを行うことにより、液体供給装置１０ｂの液体充填方法が実行される。これにより、液体供給装置１０ｂの流路内からの空気の除去が行われ、被塗布物に対する液体の供給作業に容易に切り換えることができ、液体供給装置１０ｂの操作性が向上する。
【００４０】
図５は、更に他の実施の形態である液体供給装置１０ｃを示す概略図である。図５に示される液体供給装置１０ｃは、第１開閉弁５１ａと第２開閉弁５２ａにより切換弁機構４１が構成される。第１開閉弁５１ａは、第１液体流路２１の吐出側部に設けられており、第２開閉弁５２ａは、第２液体流路２２の吐出側部に設けられている。
【００４１】
第１開閉弁５１ａは、バルブケーシング５３とこれに回転自在に組み込まれる弁体５４とを有する。流入側ポート５３ａと流出側ポート５３ｂとがバルブケーシング５３に設けられ、流入側ポート５３ａと流出側ポート５３ｂとを連通させる連通路５４ａが弁体５４に設けられている。弁体５４を回転させることにより、第１開閉弁５１ａは、第１液体流路２１を吐出ポート１４に連通させる位置つまり第１ポンプ流路充填モード位置と、連通を遮断する位置に設定される。第２開閉弁５２ａも、第１開閉弁５１ａと同様の構造であり、第２液体流路２２を吐出ポート１４に連通させる位置つまり第２ポンプ流路充填モード位置と、連通を遮断する位置とに作動する。
【００４２】
したがって、第１開閉弁５１ａを第１ポンプ流路充填モードに設定し、第２開閉弁５２ａを遮断位置に設定した状態のもとで、容器１１を加圧すると、第１液体流路２１内に液体が充填されて空気が排出される。同様に、第２開閉弁５２ａを第２ポンプ流路充填モードに設定し、第１開閉弁５１ａを遮断位置に設定した状態のもとで、容器１１を加圧すると、第２液体流路２２内に液体が充填されて空気が排出される。このように、第１ポンプ流路充填ステップと第２ポンプ流路充填ステップとを行うことにより、液体供給装置１０ｂの液体充填方法が実行される。
【００４３】
図６は、更に他の実施の形態である液体供給装置１０ｄを示す概略図である。図６に示される液体供給装置１０ｄは、第１開閉弁５１ｂと第２開閉弁５２ｂにより切換弁機構４１が構成される。第１開閉弁５１ｂは、第１液体流路２１の吸入側部に設けられており、第２開閉弁５２ｂは、第２液体流路２２の吸入側部に設けられている。
【００４４】
第１開閉弁５１ｂは、図５に示された第１開閉弁５１ａと同様に、第１液体流路２１を吸入ポート１３に連通させる位置つまり第１ポンプ流路充填モード位置と、連通を遮断する位置とに作動する。第２開閉弁５２ｂは、図５に示された第２開閉弁５２ａと同様に、第２液体流路２２を吸入ポート１３に連通させる位置つまり第２ポンプ流路充填モード位置と、連通を遮断する位置とに作動する。
【００４５】
したがって、第１開閉弁５１ｂを第１ポンプ流路充填モードに設定した状態のもとで、容器１１を加圧すると、第１液体流路２１内に液体が充填されて空気が排出される。同様に、第２開閉弁５２ｂを第２ポンプ流路充填モードに設定した状態のもとで、容器１１を加圧すると、第２液体流路２２内に液体が充填されて空気が排出される。このように、第１ポンプ流路充填ステップと第２ポンプ流路充填ステップとを行うことにより、液体供給装置１０ｂの液体充填方法が実行される。
【００４６】
図５および図６に示される液体供給装置１０ｃ，１０ｄにおいても、液体供給装置１０ｃ，１０ｄに液体を充填することにより、流路内からの空気の除去が確実に行われる。これにより、被塗布物に対する液体の供給作業に容易に切り換えることができ、液体供給装置１０ｃ，１０ｄの操作性が向上する。また、流路内に空気、気泡がないので、脈動のない吐出が行われる。
【００４７】
本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。例えば、図示する液体供給装置１０ａ〜１０ｄにおいては、吸入ポート１３と吐出ポート１４の間には、第１液体流路２１と第２液体流路２２との２つの液体流路が設けられているが、それ以上の液体流路を設けるようしても良い。
【符号の説明】
【００４８】
１０ａ〜１０ｄ    液体供給装置
１１    容器
１２    塗布具
１３    吸入ポート
１４    吐出ポート
１５    吸入流路
１６    吐出流路
２１    第１液体流路
２２    第２液体流路
２３    分岐部
２４    合流部
２５    第１ポンプ
２６    第２ポンプ
３１    第１吸入側逆止弁
３２    第１吐出側逆止弁
３３    第２吸入側逆止弁
３４    第２吐出側逆止弁
４１    切換弁機構
４２ａ，４２ｂ    三方弁
５１ａ，５１ｂ    第１開閉弁
５２ａ，５２ｂ    第２開閉弁
Ｐ１    第１ポンプ室
Ｐ２    第２ポンプ室
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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