(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面状の移動面を有する２次導体と、
前記移動面上を移動可能に設けられ、前記２次導体に渦電流を誘起させる進行磁界を前記移動面上の異なる方向に形成可能な複数の１次コイル部が同一平面に間隔を空けて配置された移動体と、
を備え、
前記移動体は、矩形状であり、
前記複数の１次コイル部は、前記移動体の角部に１つずつ配置された４つの角部側１次コイル部と、前記移動体の前記角部とは異なる位置に配置された４つの非角部側１次コイル部とを有し、
前記４つの角部側１次コイル部は、互いに平行な方向に前記進行磁界を形成可能な２つの１次コイル部を有し、当該２つの１次コイル部が前記移動面に垂直な方向に見た場合に前記移動体の所定の基準位置に対して点対称となる位置に配置され、
前記４つの前記角部側１次コイル部と、前記４つの非角部側１次コイル部とは、４５°傾いた方向に駆動力を生じさせ、
前記４つの前記角部側１次コイル部に対して同一のタイミングで互いに反対の方向に前記進行磁界を形成させ、前記４つの非角部側１次コイル部に対して同一の期間に前記進行磁界を形成させる制御部を備える
平面誘導モータ。
【請求項２】
前記複数の１次コイル部には、互いに直交する方向に前記進行磁界を形成可能な２つの１次コイル部が含まれている請求項１に記載の平面誘導モータ。
【請求項３】
前記複数の１次コイル部には、互いに平行な方向に前記進行磁界を形成可能な複数の１次コイル部が含まれている請求項１又は請求項２に記載の平面誘導モータ。
【請求項４】
前記複数の１次コイル部のうち少なくとも２つの１次コイル部は、前記移動面に垂直な方向に見た場合に前記移動体の所定の基準位置に対して点対称となる位置に配置される請求項３に記載の平面誘導モータ。
【請求項５】
前記基準位置に対して点対称となる位置に配置された前記少なくとも２つの１次コイル部に対して、同一のタイミングで互いに反対の方向に前記進行磁界を形成させる回転制御部を更に備える請求項４に記載の平面誘導モータ。
【請求項６】
異なる方向に前記進行磁界を形成する前記複数の１次コイル部に対して、同一の期間に前記進行磁界を形成させる並進制御部を更に備える請求項１から請求項５のうちいずれか一項に記載の平面誘導モータ。
【請求項７】
前記移動面と前記複数の１次コイル部との間隔が所定距離となるように前記移動面上で前記移動体を支持する支持部を更に備える請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の平面誘導モータ。
【請求項８】
前記移動体は、制振装置に設けられる可動質量部に連結される請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の平面誘導モータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平面誘導モータに関する。
【背景技術】
【０００２】
移動体を異なる２方向に駆動する誘導モータとして、例えば特許文献１に記載の分岐装置が知られている。この分岐装置は、搬送路の分岐部分に積層された２つの１次側鉄心を有している。２つの１次側鉄心は、互いに直交する方向に進行磁界を形成可能となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平３−１２４６２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の分岐装置は、例えば上側の１次側鉄心がＸ方向に進行磁界を形成することにより分岐部分で移動体をＸ方向に移動させ、下側の１次側鉄心がＹ方向に進行磁界を形成することにより分岐部分で移動体をＹ方向に移動させる。このように、２つの１次側鉄心が進行磁界をＸ方向とＹ方向とに切り替えて形成することにより、移動体をＸ方向及びＹ方向の２つの分岐方向に切り替えて移動させることができる。しかしながら、上記の分岐装置は、移動体を２次元方向に自在に移動させることができない。近年では、２次元方向に自在に移動体を移動可能な誘導モータが求められている。
【０００５】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、移動体が移動面を２次元方向に自在に移動することが可能な平面誘導モータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る平面誘導モータは、平面状の移動面を有する２次導体と、前記移動面上を移動可能に設けられ、前記２次導体に渦電流を誘起させる進行磁界を前記移動面上の異なる方向に形成可能な複数の１次コイル部が同一平面に間隔を空けて配置された移動体と、を備える。
【０００７】
本発明では、複数の１次コイル部により異なる方向に進行磁界を形成することができるため、移動体に対して異なる方向に駆動力を作用させることができる。また、複数の１次コイル部が同一平面に間隔を空けて配置されるため、各１次コイル部により２次導体の異なる箇所に渦電流を誘起させることができる。このため、複数の１次コイル部により同一の期間に進行磁界を形成する場合であっても、渦電流同士の干渉を抑制することができる。これにより、移動体が移動面を２次元方向に自在に移動することができる。
【０００８】
また、前記複数の１次コイル部には、互いに直交する方向に前記進行磁界を形成可能な２つの１次コイル部が含まれている。
【０００９】
本発明では、２つの１次コイル部により互いに直交する方向に移動体に駆動力を生じさせることができるため、移動体が容易に２次元方向に移動することができる。
【００１０】
また、前記複数の１次コイル部には、互いに平行な方向に前記進行磁界を形成可能な複数の１次コイル部が含まれている。
【００１１】
本発明では、１つの方向について、複数の１次コイル部によって進行磁界を形成することができるため、移動体に対してより大きな駆動力を作用させることができる。
【００１２】
また、前記複数の１次コイル部のうち少なくとも２つの１次コイル部は、前記移動面に垂直な方向に見た場合に前記移動体の所定の基準位置に対して点対称となる位置に配置される。
【００１３】
本発明では、一対の１次コイル部により、移動体に対して基準位置を中心とした回転力を作用させることができる。これにより、移動面に垂直な回転軸を中心として移動体を回転させることができる。
【００１４】
また、前記基準位置に対して点対称となる位置に配置された前記少なくとも２つの１次コイル部に対して、同一のタイミングで互いに反対の方向に前記進行磁界を形成させる回転制御部を更に備える。
【００１５】
本発明では、回転制御部の制御により、移動体に対して並進移動を抑制しつつ、回転移動を行わせることができる。
【００１６】
また、異なる方向に前記進行磁界を形成する前記複数の１次コイル部に対して、同一の期間に前記進行磁界を形成させる並進制御部を更に備える。
【００１７】
本発明では、並進制御部の制御により、移動体に対して各１次コイル部の進行磁界を形成する方向の合成方向に移動体を並進させることができる。
【００１８】
また、前記移動面と前記複数の１次コイル部との間隔が所定距離となるように前記移動面上で前記移動体を支持する支持部を更に備える。
【００１９】
本発明では、移動面と複数の１次コイル部との間隔が所定距離となるように支持されるため、移動体を安定して移動させることができる。
【００２０】
また、前記移動体は、制振装置に設けられる可動質量部に連結される。
【００２１】
本発明では、可動質量部に対して２次元方向に駆動力を作用させることができるため、制振装置の特性を向上させることができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、移動体が移動面を２次元方向に自在に移動することができる平面誘導モータを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】図１は、本実施形態に係る平面誘導モータの一例を示す斜視図である。
【図２】図２は、移動体の一例を示す斜視図である。
【図３】図３は、移動体の内部構成を示す平面図である。
【図４】図４は、平面誘導モータの動作の一例を示す図である。
【図５】図５は、移動体の他の構成例を示す平面図である。
【図６】図６は、移動体の他の構成例を示す平面図である。
【図７】図７は、移動体の他の構成例を示す平面図である。
【図８】図８は、移動体の他の構成例を示す平面図である。
【図９】図９は、移動体の他の動作例を示す平面図である。
【図１０】図１０は、移動体の他の動作例を示す平面図である。
【図１１】図１１は、移動体の他の動作例を示す平面図である。
【図１２】図１２は、移動体の他の動作例を示す平面図である。
【図１３】図１３は、移動体の他の構成例を示す平面図である。
【図１４】図１４は、移動体の他の構成例を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明に係る平面誘導モータの実施形態を図面に基づいて説明する。なお、この実施形態によりこの発明が限定されるものではない。また、下記実施形態における構成要素には、当業者が置換可能かつ容易なもの、あるいは実質的に同一のものが含まれる。
【００２５】
本実施形態では、ＸＹＺ座標系を用いて図中の方向を説明する。当該ＸＹＺ座標系においては、水平面に平行な平面をＸＹ平面とする。このＸＹ平面において一の方向をＸ方向と表記し、ＸＹ平面上でＸ方向に直交する方向をＹ方向と表記する。ＸＹ平面に垂直な方向はＺ方向と表記する。Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のそれぞれは、図中の矢印の方向が＋方向であり、矢印の方向とは反対の方向が−方向であるものとして説明する。
【００２６】
図１は、本実施形態に係る平面誘導モータ１００の一例を示す斜視図である。図１に示すように、平面誘導モータ１００は、移動体１０と、２次導体２０と、Ｘガイド部３０と、Ｙガイド部４０と、制御部５０とを備えている。平面誘導モータ１００は、例えば制振装置１０１の可動質量部１０２等、振動する物体に対して駆動力を作用させるものである。
【００２７】
移動体１０は、筐体１１を有している。筐体１１は、矩形の箱状に形成されており、連結部１０３によって可動質量部１０２に連結されている。筐体１１の底部には、支持部１６が設けられている。支持部１６は、例えばフリーボールベアリング等が用いられる。支持部１６は、筐体１１の下面と移動面２０ａとの間に所定の隙間が形成されるように筐体１１を支持する。また、支持部１６は、移動面２０ａ上をＸ方向及びＹ方向に転動可能である。支持部１６が移動面２０ａ上を転動することにより、移動体１０がＸ方向及びＹ方向に移動可能となっている。
【００２８】
図２は、移動体１０の一例を示す斜視図である。図３は、移動体１０の内部構成を示す平面図であり、１次コイル部の配置例を示す図である。図２及び図３に示すように、筐体１１は、１次コイル部１２及び１３を収容する。１次コイル部１２及び１次コイル部１３は、例えば同一平面である載置面１１ａにＹ方向に間隔を空けて配置されている。本実施形態では、１次コイル部１２及び１次コイル部１３が１つずつ設けられた場合を例に挙げて説明するが、これに限定するものではない。
【００２９】
１次コイル部１２は、例えばＸ方向に並んで配置された複数のコイルを有している。１次コイル部１２は、複数のコイルに例えば３相の交流電流を供給することにより、Ｘ方向に進行磁界を形成可能である。１次コイル部１２は、＋Ｘ方向及び−Ｘ方向の両方向に進行磁界を形成可能である。１次コイル部１２には、３相の交流電流を供給する配線１４が接続されている。なお、複数のコイルに供給する交流電流は、３相に限定するものではなく、多相であれば２相又は４相以上であってもよい。
【００３０】
また、１次コイル部１３は、例えばＹ方向に並んで配置された複数のコイルを有している。１次コイル部１３は、複数のコイルに例えば３相の交流電流を供給することにより、Ｙ方向に進行磁界を形成可能である。１次コイル部１３は、＋Ｙ方向及び−Ｙ方向の両方向に進行磁界を形成可能である。１次コイル部１３には、３相の交流電流を供給する配線１５が接続されている。なお、複数のコイルに供給する交流電流は、３相に限定するものではなく、多相であれば２相又は４相以上であってもよい。
【００３１】
なお、１次コイル部１２及び１３は、同数のコイルを有しており、各コイルの巻き数が同一となっている。また、１次コイル部１２及び１３は、例えば複数のコイルに供給する交流電流の周波数が同一となっているが、これに限定するものではなく、互いに異なる周波数であってもよい。
【００３２】
２次導体２０は、板状に形成され、例えば床面などに固定されている。２次導体２０は、移動体１０を移動させるための移動面２０ａを有している。移動面２０ａは、ＸＹ平面に平行であり、本実施形態では水平面に平行であるが、これに限定するものではなく、移動面２０ａが水平面に対して傾いて配置された構成であってもよい。
【００３３】
２次導体２０は、Ｚ方向に２層構造となっており、下層側の磁性体部２１と、上層側の非磁性体部２２とを有している。磁性体部２１は、例えば鉄などの磁性体を用いて形成される。磁性体部２１が設けられることにより、１次コイル部１２及び１３で発生する進行磁界が非磁性体部２２を貫通して磁性体部２１の内部を通過するようになっている。非磁性体部２２は、例えばアルミニウムや銅など、磁性体部２１よりも導電性の高い非磁性体を用いて形成される。
【００３４】
１次コイル部１２及び１３によって形成される進行磁界が非磁性体部２２をＺ方向に通過することにより、非磁性体部２２には、誘導電流である渦電流が生じる。この渦電流と進行磁界との間の電磁力により、１次コイル部１２及び１３、ひいては移動体１０に対して駆動力が生じることになる。本実施形態では、この駆動力は、進行磁界の進行方向と反対方向に生じる。例えば、１次コイル部１２では、＋Ｘ方向に進行磁界が形成される場合には駆動力が−Ｘ方向に生じ、−Ｘ方向に進行磁界が形成される場合には駆動力が＋Ｘ方向に生じる。また、１次コイル部１３では、＋Ｙ方向に進行磁界が形成される場合には駆動力が−Ｙ方向に生じ、−Ｙ方向に進行磁界が形成される場合には駆動力が＋Ｙ方向に生じる。
【００３５】
なお、渦電流は、１次コイル部１２及び１３によって形成される進行磁界に応じてそれぞれ発生する。例えば、１次コイル部１２と１次コイル部１３とが同一の期間に進行磁界を形成する場合、非磁性体部２２には、１次コイル部１２の進行磁界による渦電流と、１次コイル部１３の進行磁界による渦電流とが同一の期間に生じることになる。したがって、上記の１次コイル部１２と１次コイル部１３との間隔は、各進行磁界により発生する渦電流同士の干渉が極力少なくなるように設定されている。
【００３６】
また、図１に示すように、Ｘガイド部３０は、移動体１０のＸ方向への移動を案内する。Ｘガイド部３０は、移動体１０のＹ方向の両側に配置された一対のレール３１及び３２を有している。一対のレール３１及び３２は、Ｘ方向に平行に延びている。レール３１には、スライダ３３が設けられている。スライダ３３は、レール３１に沿ってＸ方向に移動可能である。レール３２には、スライダ３４が設けられている。スライダ３４は、レール３２に沿ってＸ方向に移動可能である。
【００３７】
Ｙガイド部４０は、移動体１０のＹ方向への移動を案内する。Ｙガイド部４０は、移動体１０のＸ方向の両側に配置された一対のレール４１及び４２を有している。一対のレール４１及び４２は、Ｙ方向に平行に延びている。各レール４１及び４２は、−Ｙ側の端部が上記のスライダ３３に固定されており、＋Ｙ側の端部が上記のスライダ３４に固定されている。このため、スライダ３３及び３４とレール４１及び４２とは一体に形成されており、一体でＸ方向に移動可能となっている。
【００３８】
レール４１には、スライダ４３が設けられている。スライダ４３は、レール４１に沿ってＹ方向に移動可能である。スライダ４３は、移動体１０の筐体１１のうち＋Ｘ側の側面に連結されている。レール４２には、スライダ４４が設けられている。スライダ４４は、レール４２に沿ってＹ方向に移動可能である。スライダ４４は、移動体１０の筐体１１のうち−Ｘ側の側面に連結されている。したがって、スライダ４３及び４４は、移動体１０と一体でＹ方向に移動可能となっている。
【００３９】
Ｘガイド部３０及びＹガイド部４０により、移動体１０は、Ｚ軸回りの回転が抑制された状態で、Ｘ方向及びＹ方向のそれぞれに自在に移動可能となっている。
【００４０】
制御部５０は、平面誘導モータ１００を統括的に制御する。制御部５０は、並進制御部５１と、回転制御部５２とを有している。並進制御部５１は、移動体１０の並進動作を制御する。回転制御部５２は、移動体１０の回転動作を制御する。なお、本実施形態では、回転制御部５２は設けられなくてもよい。
【００４１】
次に、上記のように構成された平面誘導モータ１００の並進動作について説明する。以下の並進動作は、制御部５０の並進制御部５１の制御によって行われる。図４は、平面誘導モータ１００の動作の一例を示す図である。図４の図中上側に示すように、平面誘導モータ１００は、例えば１次コイル部１２が−Ｘ方向の進行磁界を形成した場合、２次導体２０に渦電流が生じ、進行磁界と渦電流との間の電磁力により１次コイル部１３には＋Ｘ方向の駆動力（図４の矢印Ｔ１）が生じる。この駆動力Ｔ１により、移動体１０が＋Ｘ方向に移動する。
【００４２】
図４の図中中央に示すように、平面誘導モータ１００は、例えば１次コイル部１３が＋Ｙ方向の進行磁界を形成した場合、２次導体２０に渦電流が生じ、進行磁界と渦電流との間の電磁力により１次コイル部１３には−Ｙ方向の駆動力（図４の矢印Ｔ２）が生じる。この駆動力Ｔ２により、移動体１０が−Ｙ方向に移動する。
【００４３】
また、図４の図中下側に示すように、平面誘導モータ１００は、例えば同一の期間に１次コイル部１２が−Ｘ方向の進行磁界を形成し、かつ、１次コイル部１３が＋Ｙ方向の進行磁界を形成した場合、２次導体２０には１次コイル部１２及び１３の各進行磁界に対応する渦電流がそれぞれ生じる。そして、各進行磁界と各渦電流との間の電磁力により、１次コイル部１２には＋Ｘ方向の駆動力（図４の矢印Ｔ３）が生じ、１次コイル部１３には−Ｙ方向の駆動力（図４の矢印Ｔ４）が生じる。この駆動力Ｔ３及びＴ４により、移動体１０が＋Ｘ方向及び−Ｙ方向の合成方向（図４の右下方向）に移動する。
【００４４】
以上のように、本実施形態に係る平面誘導モータ１００は、１次コイル部１２及び１３により異なる方向に進行磁界を形成することができるため、移動体１０に対して異なる方向に駆動力を作用させることができる。また、１次コイル部１２及び１３が同一平面に間隔を空けて配置されるため、１次コイル部１２及び１３により２次導体２０の異なる箇所に渦電流を誘起させることができる。このため、１次コイル部１２及び１３により同一の期間に進行磁界を形成する場合であっても、渦電流同士の干渉を抑制することができる。これにより、移動体１０が移動面２０ａを２次元方向に自在に移動することができる。
【００４５】
本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。例えば、上記実施形態では、移動体１０の内部において、１次コイル部１２と１次コイル部１３とが１つずつ配置された構成を例に挙げて説明したが、これに限定するものではなく、他の構成であってもよい。
【００４６】
図５から図１４は、移動体の他の構成例又は動作例を示す平面図である。例えば図５に示す移動体１０Ａのように、１次コイル部１２及び１３を複数、例えば２つずつ有してもよい。この構成により、１次コイル部１２及び１３が２つずつ設けられるため、１次コイル部１２及び１３が１つずつである構成に比べて、Ｘ方向及びＹ方向における駆動力を大きくすることができる。また、図５に示す移動体１０Ａは、２つの１次コイル部１２と、２つの１次コイル部１３とが、Ｚ方向視において中心軸ＡＸＡを基準として点対称となる位置に配置されている。なお、中心軸ＡＸＡは、筐体１１の重心を通りＺ方向に平行な軸である。このため、移動体１０Ａにおいて重心の偏りが無く、安定した移動が可能となる。
【００４７】
また、図６に示す移動体１０Ｂのように、１次コイル部１２及び１３を複数、例えば３つずつ有してもよい。この場合、Ｘ方向及びＹ方向における駆動力を更に大きくすることができる。また、図６に示す移動体１０Ｂは、３つの１次コイル部１２と、３つの１次コイル部１３とが、Ｚ方向視において筐体１１の中心軸ＡＸＢを基準として点対称とはならない位置に配置されている。なお、中心軸ＡＸＢは、筐体１１の重心を通りＺ方向に平行な軸である。このように、１次コイル部１２及び１３を複数設ける場合、筐体１１の中心軸ＡＸＢを基準とした点対称となる位置に配置しなくてもよい。
【００４８】
また、図７に示す移動体１０Ｃのように、１次コイル部１２の個数と１次コイル部１３の個数とが異なってもよい。移動体１０Ｃは、例えば４つの１次コイル部１２と、２つの１次コイル部１３とを有している。この構成のように、１次コイル部１２の個数を１次コイル部１３の個数よりも多くすることにより、Ｙ方向の最大駆動力に比べて、Ｘ方向の最大駆動力を大きくすることができる。なお、１次コイル部１２の個数よりも１次コイル部１３の個数を多くしてもよい。この場合、Ｘ方向の最大駆動力に比べて、Ｙ方向の最大駆動力を大きくすることができる。
【００４９】
また、図７に示す移動体１０Ｃは、４つの１次コイル部１２と、２つの１次コイル部１３とが、Ｚ方向視において中心軸ＡＸＣ（筐体１１Ｃの重心を通りＺ方向に平行な軸）を基準として点対称となる位置に配置されているが、これに限定するものではない。例えば、図８に示す移動体１０Ｄのように、４つの１次コイル部１２と、２つの１次コイル部１３とが、Ｚ方向視において中心軸ＡＸＤ（筐体１１Ｄの重心を通りＺ方向に平行な軸）を基準として点対称とはならない位置に配置されている。また、図８に示す移動体１０Ｄは、１次コイル部１２及び１３のうち４つが中心軸ＡＸＤの−Ｘ側に配置され、２つが中心軸ＡＸＤの＋Ｘ側に配置されている。このため、移動体１０Ｄは、−Ｘ側に重心が偏った状態となっている。しかしながら、移動体１０Ｄは、上記実施形態に記載のようなＸガイド部３０及びＹガイド部４０によってＺ軸回りの回転が規制されているため、Ｘ方向及びＹ方向への移動については問題なく行うことができる。このように、Ｘガイド部３０及びＹガイド部４０が設けられることにより、複数の１次コイル部１２及び１３の配置の自由度が高くなる。
【００５０】
また、上記実施形態では、Ｘガイド部３０及びＹガイド部４０により、移動体１０のＺ軸回りの回転が規制されていたが、これに限定するものではない。例えば、Ｘガイド部３０及びＹガイド部４０を設けない構成とし、移動体１０を支持部１６のみによって支持する構成としてもよい。この場合、移動体１０が移動面２０ａ上でＺ軸回りに回転可能となる。移動体１０を回転させる動作については、制御部５０の回転制御部５２の制御によって行われる。
【００５１】
例えば、上記の移動体１０Ａの構成を例に挙げて、移動体１０ＡをＺ軸回りに回転駆動する動作について説明する。移動体１０Ａは、２つの１次コイル部１２と、２つの１次コイル部１３とが、Ｚ方向視において中心軸ＡＸＡを基準として点対称となる位置に配置されている。
【００５２】
このような移動体１０Ａにおいて、回転制御部５２は、図９に示すように、２つの１次コイル部１２のうち、＋Ｘ側の１次コイル部１２には＋Ｘ方向の駆動力を生じさせ、−Ｘ側の１次コイル部１２には−Ｘ方向の駆動力を生じさせる。また、２つの１次コイル部１３のうち、＋Ｙ側の１次コイル部１３には＋Ｙ方向の駆動力を生じさせ、−Ｙ側の１次コイル部１３には−Ｙ方向の駆動力を生じさせる。４つの１次コイル部１２及び１３に対しては、同一のタイミングで駆動力を生じさせる。このように、回転制御部５２は、中心軸ＡＸＡに対して点対称となる位置に配置された２つの１次コイル部１２及び２つの１次コイル部１３に対して、互いに反対の方向に駆動力を生じさせる。これにより、移動体１０Ａには、Ｚ方向視において中心軸ＡＸＡを中心とした時計回りの回転力を付与することができる。この回転力により、移動体１０Ａは、Ｚ方向視において中心軸ＡＸＡを中心とした時計回りの方向に回転する。また、回転制御部５２は、２つの１次コイル部１２及び２つの１次コイル部１３に対して同一のタイミングで駆動力を生じさせることにより、移動体１０Ａに対して並進移動を抑制しつつ回転移動を行わせることができる。
【００５３】
また、図１０に示すように、２つの１次コイル部１２のうち、＋Ｘ側の１次コイル部１２には−Ｘ方向の駆動力を生じさせ、−Ｘ側の１次コイル部１２には＋Ｘ方向の駆動力を生じさせる。また、２つの１次コイル部１３のうち、＋Ｙ側の１次コイル部１３には−Ｙ方向の駆動力を生じさせ、−Ｙ側の１次コイル部１３には＋Ｙ方向の駆動力を生じさせる。４つの１次コイル部１２及び１３に対しては、同一のタイミングで駆動力を生じさせる。このように、回転制御部５２は、中心軸ＡＸＡに対して点対称となる位置に配置された２つの１次コイル部１２及び２つの１次コイル部１３に対して、互いに反対の方向に駆動力を生じさせる。これにより、移動体１０Ａには、Ｚ方向視において中心軸ＡＸＡを中心とした反時計回りの回転力を付与することができる。この回転力により、移動体１０Ａは、Ｚ方向視において中心軸ＡＸＡを中心とした反時計回りの方向に回転する。また、回転制御部５２は、２つの１次コイル部１２及び２つの１次コイル部１３に対して同一のタイミングで駆動力を生じさせることにより、移動体１０Ａに対して並進移動を抑制しつつ回転移動を行わせることができる。
【００５４】
なお、図９及び図１０に示す例では、２つの１次コイル部１２と、２つの１次コイル部１３とが、Ｚ方向視において中心軸ＡＸＡを基準として点対称となる位置に配置されているため、Ｚ軸回りの回転力を移動体１０Ａに作用させるが、Ｘ方向及びＹ方向への駆動力が抑制される。これにより、移動体１０ＡがＸ方向及びＹ方向への移動を伴うことなく、Ｚ軸回りの回転動作のみを行うことができる。
【００５５】
また、図９及び図１０では、２つの１次コイル部１２と２つの１次コイル部１３の両方を用いて駆動力を生じさせる場合を例に挙げて説明したが、これに限定するものではない。例えば２つの１次コイル部１２のみを駆動させる場合でも、また、２つの１次コイル部１３のみを駆動させる場合でも、移動体１０Ａに対してＺ方向視において中心軸ＡＸＡを中心とした時計回りの回転力を付与することができる。
【００５６】
また、図１１に示す移動体１０Ｅは、２つの１次コイル部１２及び１３に加えて、２つの１次コイル部１７及び１８を有している。１次コイル部１７は、１次コイル部１２に対してＺ軸を中心として反時計回りに４５°傾いた方向に駆動力を生じさせる。また、１次コイル部１８は、１次コイル部１３に対してＺ軸を中心として反時計回りに４５°傾いた方向に駆動力を生じさせる。１次コイル部１７と１次コイル部１８とは、互いに直交する方向に駆動力を生じさせる。１次コイル部１７は、筐体１１Ｅの４つの角部のうち対向する２つの角部に１つずつ配置されている。１次コイル部１８は、筐体１１Ｅの４つの角部のうち、１次コイル部１７が設けられる角部とは異なる２つの角部に、１つずつ配置されている。各１次コイル部１２、１３、１７及び１８は、筐体１１Ｅの重心を通りＺ方向に平行な軸である中心軸ＡＸＥに対して点対称に配置されている。
【００５７】
図１１に示す移動体１０Ｅにおいて、例えば２つの１次コイル部１７のうち、図中右下の１次コイル部１７には図中左下方向の駆動力を生じさせ、図中左上の１次コイル部１７には図中右上方向の駆動力を生じさせる。また、２つの１次コイル部１８のうち、図中右上の１次コイル部１８には図中右下方向の駆動力を生じさせ、図中左下の１次コイル部１８には図中左上方向の駆動力を生じさせる。４つの１次コイル部１７及び１８に対しては、同一のタイミングで駆動力を生じさせる。
【００５８】
このように、回転制御部５２は、中心軸ＡＸＥに対して点対称となる位置に配置された２つの１次コイル部１７及び２つの１次コイル部１８に対して、互いに反対の方向に駆動力を生じさせる。これにより、図１２に示すように、移動体１０Ｅには、Ｚ方向視において中心軸ＡＸＥを中心とした時計回りの回転力を付与することができる。この回転力により、移動体１０Ｅは、Ｚ方向視において中心軸ＡＸＥを中心とした時計回りの方向に回転する。
【００５９】
また、図１１に示す移動体１０Ｅにおいて、例えば２つの１次コイル部１７のうち、図中右下の１次コイル部１７には図中右上方向の駆動力を生じさせ、図中左上の１次コイル部１７には図中左下方向の駆動力を生じさせる。また、２つの１次コイル部１８のうち、図中右上の１次コイル部１８には図中左上方向の駆動力を生じさせ、図中左下の１次コイル部１８には図中右下方向の駆動力を生じさせる。４つの１次コイル部１７及び１８に対しては、同一のタイミングで駆動力を生じさせる。
【００６０】
このように、回転制御部５２は、中心軸ＡＸＥに対して点対称となる位置に配置された２つの１次コイル部１７及び２つの１次コイル部１８に対して、互いに反対の方向に駆動力を生じさせる。これにより、図示を省略するが、移動体１０Ｅには、Ｚ方向視において中心軸ＡＸＥを中心とした反時計回りの回転力を付与することができる。この回転力により、移動体１０Ｅは、Ｚ方向視において中心軸ＡＸＥを中心とした反時計回りの方向に回転する。また、回転制御部５２は、２つの１次コイル部１７及び２つの１次コイル部１８に対して同一のタイミングで駆動力を生じさせることにより、移動体１０Ｅに対して並進移動を抑制しつつ回転移動を行わせることができる。
【００６１】
上記の移動体１０Ｅには、１次コイル部１７及び１８に加えて、１次コイル部１２及び１３が設けられている。このため、例えば１次コイル部１７及び１８を回転駆動に用いつつ、１次コイル部１２及び１３をＸ方向及びＹ方向への駆動に用いることができる。これにより、移動体１０Ｅの回転と並進とを同時に行うことができる。
【００６２】
また、移動体１０Ｅの回転に用いる１次コイル部１７及び１８を筐体１１Ｅの４つの角部に配置することにより、移動体１０Ｅに効率的に回転力を付与することができる。なお、１次コイル部１２及び１３を移動体１０Ｅの回転に用い、１次コイル部１７及び１８を移動体１０Ｅの並進に用いてもよい。
【００６３】
また、上記実施形態では、複数の１次コイル部が互いに直交する方向に駆動力を生じさせる構成を例に挙げて説明したが、これに限定するものではない。例えば図１３に示す移動体１０Ｆのように、Ｘ方向に駆動力を生じさせる１次コイル部１２と、Ｘ方向とは異なり、かつＸ方向とは直交しない方向に駆動力を生じさせる１次コイル部１９とが設けられた構成であってもよい。この場合、１次コイル部１９の駆動力のうち、Ｘ方向に平行な成分を１次コイル部１２によって打ち消すことにより、Ｙ方向のみの駆動力を合成することができる。このように、複数の１次コイル部が異なる方向にさえ駆動力を生じさせる構成であれば、互いに直交する方向に駆動力を生じさせる構成でなくてもよいため、複数の１次コイル部の配置の自由度が高くなる。
【００６４】
また、上記実施形態では、複数の１次コイル部が同一の駆動力を生じさせる構成を例に挙げて説明したが、これに限定するものではない。例えば図１４に示す移動体１０Ｇのように、Ｘ方向に駆動力を生じさせる１つの１次コイル部１２と、Ｙ方向に駆動力を生じさせる１つの１次コイル部１３Ｇとが異なる駆動力を生じさせる構成であってもよい。この構成により、Ｘ方向の最大駆動力に比べて、Ｙ方向の最大駆動力を大きくすることができる。なお、図１４では、１次コイル部１３Ｇの寸法が１次コイル部１２よりも大きくなっている構成を例に挙げているが、これに限定するものではなく、１次コイル部１２と１次コイル部１３Ｇとを同一の大きさとし、交流電流の周波数を変化させることで駆動力に差をつけてもよい。また、１次コイル部１３Ｇよりも１次コイル部１２の駆動力を大きくすることにより、Ｙ方向の最大駆動力に比べてＸ方向の最大駆動力が大きくなる構成としてもよい。
【符号の説明】
【００６５】
Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４  駆動力
ＡＸＡ，ＡＸＢ，ＡＸＣ，ＡＸＤ，ＡＸＥ  中心軸
１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄ，１０Ｅ，１０Ｆ，１０Ｇ  移動体
１１，１１Ｃ，１１Ｄ，１１Ｅ  筐体
１２，１３，１３Ｇ，１７，１８，１９  １次コイル部
１４，１５  配線
１６  支持部
２０  ２次導体
２０ａ  移動面
２１  磁性体部
２２  非磁性体部
３０  Ｘガイド部
３１，３２，４１，４２  レール
３３，３４，４３，４４  スライダ
４０  Ｙガイド部
５０  制御部
５１  並進制御部
５２  回転制御部
１００  平面誘導モータ
１０１  制振装置
１０２  可動質量部
１０３  連結部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
0006425642.tif 000007
【図７】
0006425642.tif 000008
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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