(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウジング（１）又は固定台（２）の先端側に設けられてクランプ対象物（４）が載置される着座面（３）と、
前記ハウジング（１）に軸心方向へ移動可能に挿入される進退部材（９）と、
その進退部材（９）を基端側へ移動させる後退駆動手段（３４）と、
前記進退部材（９）を前記着座面（３）よりも先端側の先端側限界位置へ移動させる進出バネ（１９）と、
前記進退部材（９）に軸心方向へ移動可能に挿入される出力部材（１３）と、
前記進退部材（９）を前記先端限界位置で支持すると共に前記出力部材（１３）をクランプ駆動する支持クランプ手段（３６）と、
前記進退部材（９）に装着されて前記出力部材（１３）をアンクランプ駆動する復帰バネ（２４）と、
前記出力部材（１３）に基端方向または先端方向へ向けてすぼまるように設けた押部（４０）と、
その押部（４０）の外周空間で前記進退部材（９）に半径方向の内方の係合解除位置と外方の係合位置とに切換え可能に支持される係合部材（３９）と、
を備え、
前記押部（４０）が前記係合部材（３９）を介して前記クランプ対象物（４）をクランプするに際し、前記出力部材（１３）が前記支持クランプ手段（３６）によってクランプ駆動されるときに、前記進出バネ（１９）及び前記支持クランプ手段（３６）が前記進退部材（９）を前記先端限界位置に支持する、
ことを特徴とするクランプ装置。
【請求項２】
請求項１のクランプ装置において、
前記進退部材（９）の前記先端限界位置では、前記進退部材（９）に先端側へすぼまるように設けられた係止部（１０ｃ）が、前記ハウジング（１）に先端側へすぼまるように設けられた受止め部（８ｃ）に係合する、
ことを特徴とするクランプ装置。
【請求項３】
請求項２のクランプ装置において、
前記ハウジング（１）に弁機構（４１）が設けられ、
その弁機構（４１）が、前記係止部（１０ｃ）と、前記受止め部（８ｃ）と、位置検出用の圧力流体が供給されるように前記受止め部（８ｃ）に開口された弁孔（４２）とを有し、
前記進退部材（９）の前記先端限界位置で、前記係止部（１０ｃ）が前記弁孔（４２）を塞ぐことで、前記弁機構（４１）が閉弁される、
ことを特徴とするクランプ装置。
【請求項４】
請求項３のクランプ装置において、
前記弁孔（４２）が、前記進退部材（９）と前記出力部材（１３）との間に形成された環状隙間（４５）へ連通され、
前記位置検出用の圧力流体が、前記環状隙間（４５）にクリーニング用の圧力流体として噴出される、
ことを特徴とするクランプ装置。
【請求項５】
請求項３または４のクランプ装置において、
前記着座面（３）に、着座確認用の圧力流体を噴出させる検出孔（４８）が開口され、
その検出孔（４８）が、前記弁孔（４２）に連通するように形成される、
ことを特徴とするクランプ装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれかのクランプ装置において、
前記ハウジング（１）に対して前記進退部材（９）を軸心合わせする調心機構（５５）が、前記ハウジング（１）と前記進退部材（９）との間に設けられる、
ことを特徴とする。
【請求項７】
請求項１から６のいずれかのクランプ装置において、
前記進退部材（９）の前記先端限界位置では、前記進退部材（９）の外周に設けられた支持部（６５）が、前記クランプ対象物（４）に設けられた位置決め部材（６３）に係合する、
ことを特徴とするクランプ装置。
【請求項８】
請求項１から７のいずれかのクランプ装置において、
前記ハウジング（１）の基端部（６８）に検出弁（６９）が設けられて、
前記進退部材（９）が基端位置に移動したことを前記検出弁（６９）が検出する、
ことを特徴とするクランプ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  この発明は、進退式のクランプ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】  この種の進退式のクランプ装置には、従来では、特許文献１（日本国・特開平１１−１８８５５１号公報）に記載されたものがある。その従来技術の図１０の装置は、次のように構成されている。
ハウジングに昇降部材（進退部材）が移動可能に挿入される。前記昇降部材にクランプ用ピストンが軸心方向へ移動可能に挿入され、そのクランプ用ピストンにプルロッドが連結される。前記クランプ用ピストン及び昇降部材を上昇限界位置へ移動させる上昇バネが設けられる。前記クランプ用ピストンと前記昇降部材との間に形成された区画室に圧油が供給されると、その圧油によって前記昇降部材が上昇限界位置に保持された状態で、前記上昇バネに抗して前記クランプ用ピストン及びプルロッドが下降されていく。すると、そのプルロッドの外周空間に備えられた係合部材が、半径方向の外方の係合位置に移動されてワークの円形孔に係合し、そのワークを引き下げる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】  特開平１１−１８８５５１号公報（図１０）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】  上記の従来技術では、昇降部材の上昇限界位置でプルロッドを下方へクランプ駆動するときに、昇降部材が下方へ位置ずれしないように圧油によって支持すると共に、その圧油によって上記の上昇バネに抗してクランプ用ピストンをクランプ駆動する必要がある。この場合、上記の上昇バネは、昇降部材とクランプ用ピストンとプルロッドとを上昇させ得るように、強力な付勢力が要求される。このため、上記の油圧力によるクランプ力は、強力な上昇バネの付勢力だけ小さくなる。従って、上記の従来技術では、ワーク等のクランプ対象物を強力に固定できるようにする点において改良の余地があった。
本発明の目的は、ワーク等のクランプ対象物を強力に固定できるクランプ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の目的を達成するため、本発明は、例えば、図１から３，又は図４，若しくは図５に示すように、クランプ装置を次のように構成した。
ハウジング１又は固定台２の先端側に着座面３が設けられて、その着座面３にクランプ対象物４が載置される。ハウジング１に進退部材９が軸心方向へ移動可能に挿入される。その進退部材９を基端側へ移動させる後退駆動手段３４が設けられる。前記進退部材９を前記着座面３よりも先端側の先端側限界位置へ移動させる進出バネ１９が設けられる。前記進退部材９に出力部材１３が軸心方向へ移動可能に挿入される。前記進退部材９が支持クランプ手段３６によって前記先端限界位置に支持されると共に、前記出力部材１３が前記支持クランプ手段３６によってクランプ駆動される。前記出力部材１３をアンクランプ駆動する復帰バネ２４が、前記進退部材９に装着される。前記出力部材１３に、押部４０が、基端方向または先端方向へ向けてすぼまるように設けられる。その押部４０の外周空間で前記進退部材９に、係合部材３９が、半径方向の内方の係合解除位置と外方の係合位置とに切換え可能に支持される。前記押部４０が前記係合部材３９を介して前記クランプ対象物４をクランプするに際し、前記出力部材１３が前記支持クランプ手段３６によってクランプ駆動されるときに、前記進出バネ１９及び前記支持クランプ手段３６が前記進退部材９を前記先端限界位置に支持する。
【０００６】  本発明は、次の作用効果を奏する。
前記の進退部材の先端限界位置で、出力部材が基端側へクランプ駆動されるときに、進退部材が、基端側へ位置ずれしないように支持クランプ手段及び進出バネによって強力に支持されると共に、出力部材が復帰バネに抗して支持クランプ手段によってクランプ駆動される。ここで、前記の復帰バネは、出力部材をアンクランプ駆動するだけの小さな付勢力のものを採用可能である。このため、上記の支持クランプ手段によるクランプ力から復帰バネの付勢力を差し引いた力が大きい。従って、クランプ装置がワーク等のクランプ対象物を強力に固定できる。【０００７】  本発明は、次の（１）から（７）の構成を加えることが好ましい。
（１）  例えば、図１から３，又は図４，若しくは図５に示すように、前記進退部材９の前記先端限界位置では、前記進退部材９に先端側へすぼまるように設けられた係止部１０ｃが、前記ハウジング１に先端側へすぼまるように設けられた受止め部８ｃに係合する。
この場合、前記進退部材の先端限界位置で、進退部材の係止部がハウジングの受止め部に係合して水平方向及び垂直方向に拘束されて、進退部材がハウジングに対して精度よく軸心合わせされる。【０００８】  （２）  前記ハウジング１に弁機構４１が設けられる。その弁機構４１が、前記係止部１０ｃと、前記受止め部８ｃと、位置検出用の圧力流体が供給されるように前記受止め部８ｃに形成された弁孔４２とを有する。前記進退部材９の前記先端限界位置で、前記係止部１０ｃが前記弁孔４２を塞ぐことで、前記弁機構４１が閉弁される。
この場合、進退部材が前記先端限界位置に移動したことを弁機構が検知した後に、支持クランプ手段によって出力部材をクランプ動作することが可能となるので、クランプ装置がクランプ対象物を確実に固定できる。【０００９】  （３）  例えば、図１から図３，又は図４に示すように、前記弁孔４２が、前記進退部材９と前記出力部材１３との間に形成された環状隙間４５へ連通される。前記位置検出用の圧力流体が、その環状隙間４５にクリーニング用の圧力流体として噴出される。
この場合、前記の環状隙間へ切粉等の異物が侵入するのを阻止できるので、進退部材や出力部材が破損するのを防止できる。【００１０】  （４）  例えば、図５に示すように、前記着座面３に、着座確認用の圧力流体を噴出させる検出孔４８が開口される。その検出孔４８が、前記弁孔４２に連通するように形成される。
この場合、前記進退部材が先端限界位置に移動したことを検知すると共に、クランプ対象物が着座面に着座したことを検知する機構を、簡素に構成できる。【００１１】  （５）  例えば、図５に示すように、前記ハウジング１に対して前記進退部材９を軸心合わせする調心機構５５が、前記ハウジング１と前記進退部材９との間に設けられる。
この場合、進退部材は、調心機構によって水平方向に拘束されて、ハウジングに対して精度よく軸心合わせされる。【００１２】  （６）  例えば、図５に示すように、前記進退部材９の前記先端限界位置では、前記進退部材９の外周に設けられた支持部６５が、前記クランプ対象物４に設けられた位置決め部材６３に係合する。
この場合、位置決め部材および支持部によってクランプ対象物が拘束されることで、そのクランプ対象物が進退部材に対して精度よく軸心合わせされる。これにより、クランプ装置は、クランプ対象物を精度よく位置決め固定できる。【００１３】  （７）  例えば、図５に示すように、ハウジング１の基端部６８に検出弁６９が設けられる。前記進退部材９が基端位置に移動したことを前記検出弁６９が検出する。
この場合、前記進退部材が基端位置に移動したことを検出弁が検知した後に、クランプ対象物が、進退部材の軸心と直交する方向へ搬出されることが可能になるので、クランプ対象物が進退部材に接触して上記進退部材が破損するのを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は、本発明の第１実施形態を示し、クランプ装置の下降アンクランプ状態を示す立面視の断面図である。
【図２】図２は、上記クランプ装置の上昇アンクランプ状態を示し、図１に類似する図である。
【図３】図３は、上記クランプ装置の上昇クランプ状態を示し、図１に類似する図である。
【図４】図４は、本発明の第２実施形態を示し、図３に類似する図である。
【図５】図５は、本発明の第３実施形態を示し、図３に類似する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】  本発明の第１実施形態を図１から図３によって説明する。
まず、主として図１に基づいてクランプ装置の構造を説明する。
クランプ装置のハウジング１が、固定台としてのクランプパレット２の収容孔２ａに挿入される。そのハウジング１の上部に着座面３が形成され、その着座面３によってワーク（クランプ対象物）４が受け止められる。より詳しくいえば、ワーク４の下部に口金５がボルト６によって固定され、その口金５の下面５ａが着座面３に受け止められる。また、口金５に段付き孔７が開口される。
【００１６】  前記のハウジング１にシリンダ孔８が形成され、そのシリンダ孔８に進退部材９が昇降可能に保密状に挿入される。そのシリンダ孔８には、下側から順に大径孔８ａと小径孔８ｂとが形成される。前記進退部材９は、外側ピストン１０と、その外側ピストン１０から上方へ突設された支持部材１１と、外側ピストン１０の下部に設けられた底板１２とを有する。その外側ピストン１０は、前記大径孔８ａに保密状に挿入された大径部１０ａと、前記小径孔８ｂに保密状に挿入された小径部１０ｂとを有する。
【００１７】  前記外側ピストン１０に出力部材１３が昇降可能に挿入される。その出力部材１３は、外側ピストン１０に保密状に挿入された内側ピストン１４と、内側ピストン１４から上方へ突設される上側ピストンロッド１５ａ及び当該内側ピストン１４から下方へ突設される下側ピストンロッド１５ｂを有するピストンロッド１５と、その上側ピストンロッド１５ａに締結ボルト１６で連結された出力ロッド１７とを有する。
【００１８】  上記の底板１２の下方に圧力室１８が形成され、その圧力室１８に進出バネ１９が装着される。前記の内側ピストン１４の上側にロック室２２が設けられる。内側ピストン１４の下側にアンロック室２３が設けられる。そのアンロック室２３に復帰バネ２４が装着され、その復帰バネ２４が外側ピストン１０に対して内側ピストン１４を上方へ付勢する。前記の内側ピストン１４及び下側ピストンロッド１５ｂに流路２７が形成され、その流路２７が圧力室１８をロック室２２へ連通させる。その圧力室１８は、ハウジング１に形成された第１エア給排路２８を介してロックポート（図示せず）に連通される。上記のアンロック室２３は、外側ピストン１０に形成された流路２９と、外側ピストン１０の小径部１０ｂとシリンダ孔８の大径孔８ａとの間に形成された作動室３０と、第２エア給排路３１とを通って、リリースポート３２に連通される。
【００１９】  ここで、上記の進退部材９を駆動させる第１空圧シリンダ３３は、シリンダ孔８と、そのシリンダ孔８内に装着された外側ピストン１０及び底板１２と、前記外側ピストン１０の大径部１０ａの上側に形成された作動室３０と、前記圧力室１８と、その圧力室１８に装着された進出バネ１９とを有する。前記外側ピストン１０と、作動室３０とが後退駆動手段３４を構成し、その後退駆動手段３４によって進退部材９を下降させる。
【００２０】  また、上記の出力部材１３を駆動させる第２空圧シリンダ３５は、外側ピストン１０に挿入された内側ピストン１４と、ロック室２２と、アンロック室２３と、そのアンロック室２３に装着された復帰バネ２４とを有する。前記内側ピストン１４とロック室２２と底板１２と外側ピストン１０と圧力室１８とが、支持クランプ手段３６を構成している。その支持クランプ手段３６が、上記の進退部材９を上昇限界位置（先端限界位置）に支持すると共に、出力部材１３をクランプ駆動させる。
【００２１】  上記の支持部材１１の上部に周方向へ所定間隔をあけて複数の案内孔３８が形成され、各案内孔３８に係合部材としてのボール３９が半径方向の内方と外方とに移動可能に支持される。上記の出力ロッド１７の外周部に、押部４０が、前記のボール３９に対面するように、且つ、下方へすぼまるように形成される。
【００２２】  ハウジング１のシリンダ孔８の上部に、受止め部８ｃが、上方へすぼまるように環状に形成される。前記の外側ピストン１０の外周に、係止部１０ｃが上方へすぼまるように形成される。進退部材９が上昇すると、係止部１０ｃが受止め部８ｃに係合する。これにより、進退部材９がハウジング１に対して精度よく軸心合わせされて支持される。
【００２３】  ハウジング１の上部に弁機構４１が配置される。その弁機構４１は、前記受止め部８ｃに開口される弁孔４２と、弁体としての前記係止部１０ｃと、弁座としての前記受止め部８ｃとを有する。上記の弁孔４２には、ハウジング１に形成された第１給気路４３を介して位置検出用の圧縮空気（圧力流体）が供給される。進退部材９が上昇限界位置に移動したときに、係止部１０ｃが弁孔４２を塞ぐと、弁機構４１が閉弁される。
【００２４】  上記の外側ピストン１０の上部に連通孔４４が形成される。その連通孔４４を通って位置検出用の圧縮空気が、出力ロッド１７の外側の環状隙間４５及びボール３９に向けて噴出される。これにより、環状隙間４５へ切粉等の異物が侵入するのを阻止できるので、進退部材９や出力部材１３が破損するのを防止できる。
【００２５】  上記の着座面３に開口された検出孔４８には、第２給気路４９を通って圧縮空気が供給される。その第２給気路４９には圧力スイッチ（図示せず）が連結される。前記の着座面３にワーク４が載置されると、前記口金５の下面５ａが検出孔４８を塞いで第２給気路４９の圧力が設定圧まで上昇し、それを圧力スイッチ（図示せず）が検出する。
【００２６】  上記のクランプ装置は次のように作動する。
図１の下降アンクランプ状態では、ワーク４が図中矢印方向へ搬入され、着座面３に載置されたワーク４（図１は、既にワーク４が載置された状態を示す）が検出孔４８を塞いで、それを前記の圧力スイッチ（図示せず）が検知している。
【００２７】  図１の下降アンクランプ状態では、上記の圧力室１８の圧縮空気が排出されると共に、圧縮空気が作動室３０に供給されて、外側ピストン１０は下限位置まで下降している。内側ピストン１４は、復帰バネ２４によって上方へ付勢されている。
【００２８】  また、上記の図１の下降アンクランプ状態では、前記の弁孔４２に圧縮空気が供給されて、上記の環状隙間４５へ向けて噴出されている。これにより、切粉等の異物が環状隙間４５の上方へ吹き飛ばされる。
【００２９】  図１の下降アンクランプ状態から図２の上昇アンクランプ状態へ切換えるときには、作動室３０の圧縮空気を第２エア給排路３１を介して排出すると、上記の進出バネ１９の付勢力が外側ピストン１０を介して進退部材９を上昇させる。
【００３０】  上記の進退部材９が上昇限界位置に到達したときには、前記係止部１０ｃが受止め部８ｃに係合されてハウジング１に対して進退部材９が精度よく軸心合わせされる。また、進退部材９の上昇限界位置では、係止部１０ｃが弁孔４２を塞いで、弁機構４１が閉弁される。
【００３１】  図２の上記上昇アンクランプ状態から図３の上昇クランプ状態に切換えるときには、圧力室１８に圧縮空気を供給する。すると、その圧縮空気が、流路２７を通ってロック室２２に供給される。これにより、圧力室１８の圧力及び進出バネ１９の付勢力が外側ピストン１０を上昇限界位置に支持すると共に、ロック室２２の圧力が、復帰バネ２４に抗して内側ピストン１４を下降させる。すると、上記の押部４０がボール３９を半径方向の外方の係合位置へ押圧し、そのボール３９が前記段付き孔７の係止部７ａを斜め下向きに押圧する。これにより、押部４０がボール３９を介してワーク４を着座面３に固定する。
【００３２】  図３の上昇クランプ状態から図２の上昇アンクランプ状態に切換えるときには、圧力室１８及びロック室２２の圧縮空気を排出する。すると、復帰バネ２４の付勢力が内側ピストン１４を上昇させ、ボール３９が半径方向の内方の係合解除位置へ切り換わることを許容する。
【００３３】  図２の上昇アンクランプ状態から図１の下降アンクランプ状態への切換えるときには、作動室３０に圧縮空気が供給されて、進出バネ１９の付勢力に抗して外側ピストン１０が着座面３よりも下方へ下降する。その後、ワーク４が、水平方向へ搬出される。
【００３４】  上記の第１実施形態は次の長所を奏する。
前記の進退部材９の上昇限界位置で、出力部材１３が下方へクランプ駆動されるときには、進退部材９が、下方へ位置ずれしないように支持クランプ手段３６及び進出バネ１９によって強力に支持されると共に、その支持クランプ手段３６によってクランプ駆動される。ここで、前記の復帰バネ２４は、出力部材１３をアンクランプ駆動するだけの小さな付勢力のものを採用可能である。このため、上記の支持クランプ手段３６によるクランプ力から復帰バネ２４の付勢力を差し引いた力が大きい。従って、クランプ装置は、ワーク４を強力に固定できる。
【００３５】  図４と、図５とは、本発明の第２実施形態と第３実施形態とを示し、上記の第１実施形態の構成部材と同じ部材（または類似する部材）には原則として同一の参照数字を付けて説明する。
【００３６】  図４の第２実施形態が上記の第１実施形態と異なる点は次の通りである。
上記出力ロッド１７の外周の押部４０が上方へすぼまるように形成される。また、上記の内側ピストン１４の上側にアンロック室２３が形成され、そのアンロック室２３に復帰バネ２４が装着される。内側ピストン１４の下側にロック室２２が形成される。そのロック室２２を圧力室１８へ連通させる連通孔５０が底板１２に形成される。
【００３７】  上昇アンクランプ状態から図４の上昇クランプ状態へ切換えるときには、前記の進退部材９の上昇限界位置で、上記の支持クランプ手段３６が出力部材１３を上昇させて、ボール３９が半径方向の内方の係合解除位置から外方の係合位置へ切換えられる。
【００３８】  上記の第２実施形態は次の長所を奏する。
前記の進退部材９の先端限界位置で、出力部材１３が上方へクランプ駆動されるときに、出力部材１３が復帰バネ２４に抗して支持クランプ手段３６によってクランプ駆動される。ここで、前記の復帰バネ２４は、出力部材１３をアンクランプ駆動するだけの小さな付勢力のものを採用可能である。このため、上記の支持クランプ手段３６によるクランプ力から復帰バネ２４の付勢力を差し引いた力が大きい。従って、クランプ装置がワーク４を強力に固定できる。
【００３９】  図５の第３実施形態が上記の第１実施形態と異なる点は次の通りである。
上記の外側ピストン１０の下部に調心機構５５が設けられ、その調心機構５５は、次のように構成されている。
【００４０】  上記外側ピストン１０の下部にテーパー外周面５６が下方へすぼまるように形成される。上記の底板１２の外周に、環状の押圧部材５７が外側ピストン１０の下端から下方へ隙間をあけて外嵌される。その押圧部材５７は、底板１２の下部に形成されたフランジ５８によって係止されている。前記テーパー外周面５６と押圧部材５７とを跨いで双方に係合するように楔部材５９が上下移動可能に設けられる。ここで、楔部材５９は、環状の特殊合金鋼を硬化処理したもの又は銅合金などの軸受け材からなり、その環状壁にスリット６０が形成されることにより、半径方向へ拡大及び縮小される。
【００４１】  上昇アンクランプ状態から図５の上昇クランプ状態へ切換えられるときに、調心機構５５は、次のように動作する。
前記の圧力室１８に圧縮空気が供給されていくと、フランジ５８に係合されている押圧部材５７が、圧力室１８の圧力によって上昇していき、楔部材５９を上方へ押圧する。すると、楔部材５９がテーパー外周面５６に沿って摺動すると共に、シリンダ孔８に係合するまで拡径する。その結果、進退部材９がハウジング１に対して軸心合わせされる。これにより、クランプ装置は、ワーク４を精度よく固定できる。
【００４２】  上昇クランプ状態から上昇アンクランプ状態へ切換えられるときには、圧力室１８の圧縮空気が排気されると、楔部材５９が自己の弾性復元力によって縮径して、当該楔部材５９がテーパー外周面５６に沿って下方へ摺動する共に、その楔部材５９が、押圧部材５７をフランジ５８に当接させるまで下降される。
【００４３】  また、上記の段付き孔７の下部に装着部７ｂが形成され、その装着部７ｂに環状の位置決め部材６３が微小隙間をあけて装着される。その位置決め部材６３の内周に係合面６３ａが上方へすぼまるように形成される。その位置決め部材６３は、環状の特殊合金鋼を硬化処理したもの又は銅合金などの軸受け材からなり、環状壁にスリット６３ｂが形成されることにより、半径方向へ拡大及び縮小される。位置決め部材６３の上側に環状に配置された圧縮バネやゴム等の弾性部材６４が装着される。上記の支持部材１１の外周に支持部６５が上方にすぼまるように形成される。
【００４４】  上記の進退部材９が上方へ移動されると、支持部６５が係合面６３ａに係合される。すると、位置決め部材６３が弾性部材６４を上方へ押圧すると共に、当該位置決め部材６３が拡径して装着部７ｂに係合する。これにより、位置決め部材６３および支持部６５によってワーク４が水平方向に拘束されるので、クランプ装置は、進退部材９に対してワーク４を精度よく位置決め固定できる。
【００４５】  ハウジング１に形成された第１給気路４３は、その途中部から第２給気路４９が分岐される。その第１給気路４３に圧縮空気が供給されると、前記弁孔４２から位置検出用の圧縮空気が噴出されると共に、検出孔４８から着座確認用の圧縮空気が噴出される。この場合、上記の着座面３にワーク４が載置され、且つ上記の進退部材９が上昇限界位置で係止されたときには、弁孔４２及び検出孔４８が塞がれて第１給気路４３の圧力が上昇する。
【００４６】  ハウジング１の下部に設けたエンドプレート６８には、上記進退部材９が下降位置まで移動したことを検知する検出弁６９が設けられる。そのエンドプレート６８に検出弁６９の弁孔７０が形成され、その弁孔７０が圧力室１８に連通している。その弁孔７０には、弁部材７１が昇降可能に保密状に挿入される。その弁孔７０に圧縮バネ７２が装着され、その圧縮バネ７２が弁部材７１を上方へ付勢する。前記弁孔７０の周壁には、給気孔７３が開口される。その給気孔７３が、ハウジング１に形成された第３給気路７４に連通される。その第３給気路７４が、エア供給源（図示せず）に連通される。弁孔７０にキャップ７５が螺合され、そのキャップ７５に排気孔７６が形成される。前記第３給気路７４に圧力スイッチ（図示せず）が連通される。
【００４７】  上記の底板１２が下降して弁部材７０を下方へ押下げると、弁部材７１が給気孔７３を閉弁する。すると、上記の圧力スイッチ（図示せず）が第３給気路７４の圧力を検出する。これにより、外側ピストン１０が下降位置に到達したことが検出弁６９によって検知される。
その後に、ワーク４は、図５の矢印方向へ搬出される。
なお、第３給気路７３が、エア供給源（図示せず）に連通される構成に代えて、第２エア給排路３１から分岐される構成としてもよい。
【００４８】  上記の各実施形態は次のように変更可能である。
例示の第１空圧シリンダ３３は、油圧シリンダ等の流体圧アクチュエータや電動アクチュエータに変更してもよい。
例示の第２空圧シリンダ３５は、油圧シリンダ等の流体圧アクチュエータに変更してもよい。
上記の係合部材は、例示したボール３９に代えて、環状コレットでもよい。その環状コレットは、出力ロッド１７の押部４０を外嵌するように支持部材１１に支持される。その環状コレットの周壁には、上下方向へスリットが形成される。その環状コレットの外周面には、断面視で鋸刃状の複数の周溝を形成される。出力部材１３をクランプ駆動すると、環状コレットは、押部４０によって押圧されて半径方向の外方へ弾性変形し、ワーク４に形成された挿入孔に係合される。
前記着座面３は、ハウジング１に形成することに代えて、クランプパレット２に形成してもよい。また、着座面３は、口金５の下面５ａを支持することに代えて、ワーク４の下面を直接に支持してもよい。
その他に、当業者が想定できる範囲で種々の変更を行えることは勿論である。
【符号の説明】
【００４９】  １：ハウジング，２：固定台（クランプパレット），３：着座面，４：クランプ対象物（ワーク），８ｃ：受止め部，９：進退部材，１０ｃ：係止部，１３：出力部材，１９：進出バネ，２４：復帰バネ，３４：後退駆動手段，３６：支持クランプ手段，３９：係合部材（ボール），４０：押部，４１：弁機構，４２：弁孔，４５：環状隙間，４８：検出孔，５５：調心機構，６３：位置決め部材，６５：支持部，６８：基端部（エンドプレート），６９：検出弁．
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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