(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の配列方向に配列された複数の位置決め部を有する基部と、
前記複数の位置決め部に対応して前記配列方向に配列された複数の押圧部と、
を有し、
前記複数の押圧部のそれぞれは、
前記位置決め部と前記配列方向に交差する移動方向において対向する当接部と、
前記当接部に対して前記配列方向の両側に位置し、前記当接部及び前記基部に接続され、弾性変形により前記当接部の前記位置決め部に対する前記移動方向における移動を許容可能な第１弾性部及び第２弾性部と、を有し、
前記複数の押圧部の互いに隣り合う押圧部において、一方の押圧部の前記第１弾性部と、他方の押圧部の前記第２弾性部とが前記移動方向に見て重なっている
クランパー。
【請求項２】
前記複数の押圧部のそれぞれにおいて、前記第１弾性部と前記基部との接続部は、前記第２弾性部と前記基部との接続部よりも、前記移動方向の一方側に位置している
請求項１に記載のクランパー。
【請求項３】
前記複数の押圧部のそれぞれにおいて、前記第１弾性部と前記当接部との接続部は、前記第２弾性部と前記基部との接続部、及び、前記第２弾性部と前記当接部との接続部よりも、前記移動方向の前記一方側に位置している
請求項２に記載のクランパー。
【請求項４】
前記複数の押圧部のそれぞれにおいて、前記第１弾性部及び前記第２弾性部それぞれは、前記配列方向に往復しながら前記移動方向に延びるミアンダ形状に形成されている
請求項３に記載のクランパー。
【請求項５】
前記複数の押圧部のそれぞれにおいて、
前記第１弾性部は、前記基部との接続部が前記当接部との接続部よりも前記移動方向の前記一方側に位置し、
前記第２弾性部は、前記基部との接続部が前記当接部との接続部よりも前記移動方向の他方側に位置している
請求項４に記載のクランパー。
【請求項６】
前記複数の押圧部のそれぞれにおいて、前記第１弾性部の前記当接部から前記基部への向きと、前記第２弾性部の前記当接部から前記基部への向きとは、前記移動方向に関して互いに逆向きである
請求項１に記載のクランパー。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載のクランパーを有する搬送治具。
【請求項８】
前記移動方向及び前記配列方向に直交する積層方向において前記クランパーに対して積層的に配置されたステージと、
前記ステージに対して前記クランパーとは反対側に積層的に配置されたベースと、
を更に有し、
前記ステージは、前記積層方向に見て、前記位置決め部と前記当接部との隙間に、複数の第１開口を有し、
前記ベースは、
前記積層方向に見て、前記複数の第１開口に重なる第２開口と、
前記積層方向に見て、前記第２開口の縁部から前記複数の第１開口間へ突出する突出部と、を有し、
前記突出部は、前記ステージとは反対側の面に、前記第１開口側ほど前記突出部の幅が広くなるように傾斜する傾斜面を有している
請求項７に記載の搬送治具。
【請求項９】
前記移動方向及び前記配列方向に直交する積層方向において前記クランパーに対して積層的に配置されたステージと、
前記ステージに対して前記クランパーとは反対側に積層的に配置されたフレームと、
を更に有し、
前記ステージは、前記積層方向に見て、前記位置決め部と前記当接部との隙間に、複数の第１開口を有し、
前記フレームは、前記積層方向に見て、前記複数の第１開口それぞれよりも面積が大きく、前記複数の第１開口に重なる第３開口を有し、
前記フレームの前記積層方向の厚さは、前記ステージの前記積層方向の厚さよりも厚い
請求項７に記載の搬送治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子デバイス又はそのパッケージ等の各種部品（以下、「被保持部品」ということがある。）を保持するためのクランパー及び搬送治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
被保持部品を一時的に保持するための治具として、複数の位置決め部を有する基部と、複数の位置決め部に対して複数の被保持部品を押し付ける複数の押圧部とを有するものが知られている（例えば特許文献１〜３）。押圧部は、位置決め部と被保持部品を挟んで対向する当接部と、基部と当接部とに接続され、当接部を位置決め部へ向けて付勢する弾性部とを有している。基部及び複数の押圧部は、例えば、板状部材に対して、打ち抜き加工又はエッチングがなされることによって形成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平０８−２６４９９７号公報
【特許文献２】特開２００３−１６０１８８号公報
【特許文献３】特開２００７−２３０５８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
生産性を向上させるために、より多くの部品を保持できるクランパー及び搬送治具が提供されることが望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一態様に係るクランパーは、所定の配列方向に配列された複数の位置決め部を有する基部と、前記複数の位置決め部に対応して前記配列方向に配列された複数の押圧部と、を有し、前記複数の押圧部のそれぞれは、前記位置決め部と前記配列方向に交差する移動方向において対向する当接部と、前記当接部に対して前記配列方向の両側に位置し、前記当接部及び前記基部に接続され、弾性変形により前記当接部の前記位置決め部に対する前記移動方向における移動を許容可能な第１弾性部及び第２弾性部と、を有し、前記複数の押圧部の互いに隣り合う押圧部において、一方の押圧部の前記第１弾性部と、他方の押圧部の前記第２弾性部とが前記移動方向に見て重なっている。
【０００６】
好適には、前記複数の押圧部のそれぞれにおいて、前記第１弾性部と前記基部との接続部は、前記第２弾性部と前記基部との接続部よりも、前記移動方向の一方側に位置している。
【０００７】
好適には、前記複数の押圧部のそれぞれにおいて、前記第１弾性部と前記当接部との接続部は、前記第２弾性部と前記基部との接続部、及び、前記第２弾性部と前記当接部との接続部よりも、前記移動方向の前記一方側に位置している。
【０００８】
好適には、前記複数の押圧部のそれぞれにおいて、前記第１弾性部及び前記第２弾性部それぞれは、前記配列方向に往復しながら前記移動方向に延びるミアンダ形状に形成されている。
【０００９】
好適には、前記複数の押圧部のそれぞれにおいて、前記第１弾性部は、前記基部との接続部が前記当接部との接続部よりも前記移動方向の前記一方側に位置し、前記第２弾性部は、前記基部との接続部が前記当接部との接続部よりも前記移動方向の他方側に位置している。
【００１０】
好適には、前記複数の押圧部のそれぞれにおいて、前記第１弾性部の前記当接部から前記基部への向きと、前記第２弾性部の前記当接部から前記基部への向きとは、前記移動方向に関して互いに逆向きである。
【００１１】
本発明の一態様に係る搬送治具は、上記のいずれか記載のクランパーを有している。
【００１２】
好適には、前記移動方向及び前記配列方向に直交する積層方向において前記クランパーに対して積層的に配置されたステージと、前記ステージに対して前記クランパーとは反対側に積層的に配置されたベースと、を更に有し、前記ステージは、前記積層方向に見て、前記位置決め部と前記当接部との隙間に、複数の第１開口を有し、前記ベースは、前記積層方向に見て、前記複数の第１開口に重なる第２開口と、前記積層方向に見て、前記第２開口の縁部から前記複数の第１開口間へ突出する突出部と、を有し、前記突出部は、前記ステージとは反対側の面に、前記第１開口側ほど前記突出部が薄くなるように傾斜する傾斜面を有している。
【００１３】
好適には、前記移動方向及び前記配列方向に直交する積層方向において前記クランパーに対して積層的に配置されたステージと、前記ステージに対して前記クランパーとは反対側に積層的に配置されたフレームと、を更に有し、前記ステージは、前記積層方向に見て、前記位置決め部と前記当接部との隙間に、複数の第１開口を有し、前記フレームは、前記積層方向に見て、前記複数の第１開口それぞれよりも面積が大きく、前記複数の第１開口に重なる第３開口を有し、前記フレームの前記積層方向の厚さは、前記ステージの前記積層方向の厚さよりも厚い。
【発明の効果】
【００１４】
上記の構成によれば、より多くの部品を保持できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施形態に係る搬送治具により保持される電子デバイスの一例を示す分解斜視図。
【図２】図２（ａ）は本発明の実施形態に係る搬送治具の概略構成を示す平面図、図２（ｂ）は図２（ａ）の搬送治具の側面図、図２（ｃ）は図２（ｂ）の領域IIｃの拡大図。
【図３】図２の搬送治具のカバーについて一の部品の保持に係る範囲を示す平面図。
【図４】図２の搬送治具のクランパーについて一の部品の保持に係る範囲を示す平面図。
【図５】図２の搬送治具のスペーサについて一の部品の保持に係る範囲を示す平面図。
【図６】図２の搬送治具のステージについて一の部品の保持に係る範囲を示す平面図。
【図７】図２の搬送治具のベースについて一の部品の保持に係る範囲を示す平面図
【図８】図２の搬送治具のフレームについて一の部品の保持に係る範囲を示す平面図。
【図９】図４のクランパーについて複数の部品の保持に係る範囲を示す平面図。
【図１０】図７のＸ−Ｘ線におけるステージ及びベースの断面図。
【図１１】変形例に係るクランパーを示す平面図。
【図１２】図１２（ａ）〜図１２（ｅ）は第１接続部〜第４接続部の位置に関する変形例を示す模式図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
図１は、本発明の実施形態に係る搬送治具によってパッケージが保持される電子デバイスの一例としての水晶振動子１０１（以下、「水晶」は省略）の概略構成を示す分解斜視図である。
【００１７】
振動子１０１は、例えば、凹部１０３ａが形成された素子搭載部材１０３と、凹部１０３ａに収容された水晶振動素子１０５（以下、「水晶」は省略）と、凹部１０３ａを塞ぐ蓋部材１０７とを有している。
【００１８】
振動子１０１は、例えば、蓋部材１０７により凹部１０３ａが塞がれた状態で、概ね薄型の直方体状であり、その寸法は適宜に設定されてよい。例えば、長辺又は短辺の長さは、１ｍｍ〜１０ｍｍであり、厚さは０．３〜２ｍｍである。
【００１９】
凹部１０３ａは蓋部材１０７により封止され、その内部は、例えば、真空とされ、又は、適宜なガス（例えば窒素）が封入されている。なお、素子搭載部材１０３及び蓋部材１０７は、振動素子１０５をパッケージングするパッケージを構成している。
【００２０】
素子搭載部材１０３は、例えば、素子搭載部材１０３の主体となる基体１０９と、振動素子１０５を実装するための素子搭載パッド１１１と、振動子１０１を不図示の回路基板等に実装するための外部端子１１３とを有している。
【００２１】
基体１０９は、セラミック等の絶縁材料からなり、上記の凹部１０３ａを構成している。素子搭載パッド１１１及び外部端子１１３は、例えば、金属等からなる導電層により構成されており、基体１０９内に配置された不図示の導体等によって互いに接続されている。
【００２２】
振動素子１０５は、例えば、水晶片１１５と、水晶片１１５に電圧を印加するための１対の励振電極１１７（一方の励振電極１１７は水晶片１１５に隠れて不図示）と、振動素子１０５を素子搭載パッド１１１に実装するための１対の引出電極１１９とを有している。
【００２３】
水晶片１１５は、例えば、概ね長方形の板状に形成されている。１対の励振電極１１７は、例えば、水晶片１１５の両主面の中央側に層状に設けられている。１対の引出電極１１９は、１対の励振電極１１７から引き出されて水晶片１１５の長手方向の一端側部分に位置し、また、各引出電極１１９は水晶片１１５の表裏に位置している。
【００２４】
振動素子１０５は、主面を凹部１０３ａの底面に対向させて凹部１０３ａに収容される。引出電極１１９は、不図示のバンプにより素子搭載パッド１１１に接合される。これにより、１対の励振電極１１７は、１対の素子搭載パッド１１１と電気的に接続され、ひいては、複数の外部端子１１３のいずれか２つと電気的に接続される。バンプは、例えば、導電性接着剤からなる。
【００２５】
複数の外部端子１１３は、例えば、素子搭載部材１０３のｚ方向負側の主面の４隅に設けられている。なお、素子搭載部材１０３の４隅には凹状のキャスタレーションが形成されている。
【００２６】
図２（ａ）は本発明の実施形態に係る搬送治具１の概略構成を示す平面図である。図２（ｂ）は、搬送治具１の側面図である。
【００２７】
搬送治具１は、複数の素子搭載部材１０３を保持するためのものである。搬送治具１に保持される素子搭載部材１０３は、完成後の振動子１０１のものであってもよいし、製造途中の振動子１０１のものであってもよい。製造途中の振動子１０１の素子搭載部材１０３は、例えば、振動素子１０５が実装される前のもの（素子搭載部材１０３のみ）であってもよいし、振動素子１０５が実装されたものであってもよい。搬送治具１は、素子搭載部材１０３の搬送のみに利用されてもよいし、振動子１０１の製造（例えば振動素子１０５の素子搭載部材１０３への実装）又は検査において素子搭載部材１０３を保持するものであってもよい。
【００２８】
搬送治具１は、全体として、概略板状に構成されている。搬送治具１は、ｚ方向の正側の主面に開口するような構成の複数の保持部３を有している。各保持部３は、ｚ方向の正側から素子搭載部材１０３を受け入れ、素子搭載部材１０３を保持する。素子搭載部材１０３は、例えば、厚さ方向（図１のｚ方向）を保持部３の開口方向（図２のｚ方向）に一致させて保持部３内に配置され、平面方向（ｘｙ方向）において位置決めされる。
【００２９】
なお、振動子１０１は、いずれの方向を鉛直方向として利用されてもよいものであるし、搬送治具１も、振動子１０１を保持している状態において、いずれの方向が鉛直方向とされてもよい。ただし、搬送治具１は、素子搭載部材１０３を保持部３に配置する際においては、ｚ方向（多少ｚ方向に傾斜した方向でもよい）の正側が上方とされることが好ましい。以下では、ｚ方向の正側を上方として説明することがある。
【００３０】
複数の保持部３は、例えば、互いに同一の構成である。複数の保持部３は、例えば、所定の配列方向（ｙ方向）に一定のピッチで配列されている。保持部３の列は、例えば、複数（図２では２つ）設けられている。複数の列間において、保持部３のｙ方向における位置は、互いに同一であってもよいし、半分のピッチで互いにずれるなどしていてもよい。
【００３１】
図２（ｃ）は、図２（ｂ）の領域IIｃにおける拡大図である。
【００３２】
搬送治具１は、複数の板状部材が積層されて構成されている。各板状部材は、例えば、金属、樹脂、セラミック等の適宜な材料により形成されてよい。ただし、後述するクランパー７は、弾性変形することが必要であり、弾性変形可能な材料（例えば金属又は樹脂）により形成される。板状部材間の接合は、例えば、溶接又は接着剤によりなされる。
【００３３】
搬送治具１を構成する複数の板状部材は、例えば、ｚ方向の正側から順に、カバー５、クランパー７、スペーサ９、ステージ１１、ベース１３及びフレーム１５である。これらは、互いに平面形状が相違している。なお、各板状部材が、更に、複数の板状部材の積層によって構成されていてもよい。例えば、クランパー７は、２枚の板状部材から構成されていてもよい。
【００３４】
図３〜図８は、一の保持部３に対応する範囲について、搬送治具１を構成する各板状部材の平面形状を示す平面図である。各図においては、空所か否かの判別を容易にするために、板状部材の空所（開口）の周囲の縁部に斜線のハッチングを付している。また、各図においては、保持部３に保持されたときの素子搭載部材１０３の位置を想像線（２点鎖線）で示している。ｚ方向の位置が素子搭載部材１０３とは異なり、且つ、素子搭載部材１０３とは接しない板状部材（図７、図８）についても、素子搭載部材１０３の位置を示している。
【００３５】
図３は、カバー５の、一の保持部３に対応する範囲を示す平面図である。
【００３６】
カバー５は、例えば、搬送治具１の最上層に位置し、クランパー７を異物などから保護することに寄与し、また、平面視における素子搭載部材１０３の位置決めにも寄与する。具体的には、以下のとおりである。
【００３７】
カバー５は、例えば、素子搭載部材１０３を受け入れ、また、クランパー７の一部を露出させるために、カバー開口５ｈを有している。カバー開口５ｈにおいて、素子搭載部材１０３を受け入れる部分は、例えば、ｘ方向の正側（配列方向に直交する方向の一方側）に設けられ、クランパー７の一部を露出させるための部分は、ｘ方向の負側に設けられている。
【００３８】
カバー開口５ｈは、例えば、全体として、ｘ方向に長い矩形とされている。カバー開口５ｈの幅（ｙ方向、複数の保持部３の配列方向）は、例えば、素子搭載部材１０３の短辺の長さと同等とされている。
【００３９】
従って、素子搭載部材１０３は、カバー開口５ｈにｙ方向において嵌合されることによってｙ方向の位置決めがなされる。また、素子搭載部材１０３は、カバー開口５ｈのｘ方向の正側の縁部に押し付けられることにより、ｘ方向の位置決めがなされる。
【００４０】
なお、カバー５は、カバー開口５ｈの素子搭載部材１０３が配置される部分の縁部に、複数の切り欠き５ｃを有している。切り欠き５ｃは、例えば、素子搭載部材１０３の角部に対応する位置等に設けられている。切り欠き５ｃが設けられることにより、例えば、素子搭載部材１０３及び／又はカバー５の形状の誤差が大きくなりやすい位置において、素子搭載部材１０３とカバー開口５ｈの縁部とが当接することを避けることができる。ひいては、位置決め精度を向上させることができる。また、例えば、素子搭載部材１０３とカバー開口５ｈの縁部との当接長さが低減され、ひいては、高精度に加工されなければならない長さが減じられる。
【００４１】
図４は、クランパー７の、一の保持部３に対応する範囲を示す平面図である。
【００４２】
クランパー７は、例えば、弾性変形に伴って生じる復元力によって素子搭載部材１０３を挟持することに寄与する。具体的には、以下のとおりである。
【００４３】
クランパー７は、例えば、基部２１と、基部２１に対して素子搭載部材１０３を押し付ける押圧部２３とを有している。
【００４４】
基部２１は、例えば、素子搭載部材１０３が配置される空所７ｈを構成するとともに、押圧部２３を囲んでいる。基部２１は、空所７ｈを構成する縁部として、例えば、空所７ｈに対してｘ方向の正側（保持部３の配列方向に直交する移動方向の一方側）に位置する第１位置決め部２１ｅと、ｙ方向の正側に位置する第２位置決め部２１ｆとを有している。
【００４５】
従って、素子搭載部材１０３は、第１位置決め部２１ｅに押し付けられることによって、ｘ方向の位置決めがなされる。また、素子搭載部材１０３は、カバー開口５ｈのｙ方向の負側の縁部と、第２位置決め部２１ｆとの間に嵌合することによって、ｙ方向の位置決めがなされる。
【００４６】
なお、基部２１は、カバー５の切り欠き５ｃと同様の理由により、空所７ｈを構成する縁部に切り欠き７ｃを有している。切り欠き７ｃは、例えば、素子搭載部材１０３の角部に対応する位置等に設けられている。
【００４７】
押圧部２３は、例えば、空所７ｈを挟んで第１位置決め部２１ｅと対向する当接部２５と、当接部２５を第１位置決め部２１ｅ側へ付勢するための第１弾性部２７及び第２弾性部２９とを有している。第１弾性部２７及び第２弾性部２９それぞれは、当接部２５及び基部２１に接続されている。
【００４８】
図４は、第１弾性部２７及び第２弾性部２９が弾性変形していない状態（中立状態）を示している。この状態において、第１位置決め部２１ｅと当接部２５との距離（空所７ｈのｘ方向の大きさ）は、素子搭載部材１０３の長辺の長さよりも、所定の差で短い。また、当接部２５は、ｘ方向の負側（空所７ｈとは反対側）において、前記の差以上の距離で基部２１から離間している。
【００４９】
従って、第１弾性部２７及び第２弾性部２９の弾性変形を伴いつつ当接部２５をｘ方向の負側に位置させ、空所７ｈに素子搭載部材１０３を配置すれば、第１弾性部２７及び第２弾性部２９の復元力によって当接部２５を第１位置決め部２１ｅ側へ付勢し、当接部２５により素子搭載部材１０３を第１位置決め部２１ｅに押し付けることができる。これにより、素子搭載部材１０３をｘ方向において位置決めできる。
【００５０】
当接部２５は、例えば、当接部２５をｘ方向において移動させるときにピンなどを引っ掛けるための係合孔２５ｈを有している。図３と図４との比較から理解されるように、係合孔２５ｈは、当接部２５が可動範囲にある限り、カバー開口５ｈから露出する。
【００５１】
当接部２５の外縁の形状及び係合孔２５ｈの形状は適宜に設定されてよい。当接部２５の外縁の形状は、例えば、概略矩形である。当接部２５は、カバー５の切り欠き５ｃと同様の理由により、空所７ｈ側の縁部に切り欠き２５ｃを有している。切り欠き２５ｃは、例えば、当接部２５の空所７ｈ側の２つの角部（素子搭載部材１０３の２つの角部に対応する位置）に設けられている。また、係合孔２５ｈは、例えば、円形である。
【００５２】
第１弾性部２７及び第２弾性部２９それぞれは、例えば、ｙ方向（保持部３の配列方向）において往復しながらｘ方向（当接部２５の移動方向）に延びる（蛇行する）ミアンダ型のばねにより構成されている。
【００５３】
図４では、第１弾性部２７及び第２弾性部２９は、典型的なミアンダ形状とされている。具体的には、第１弾性部２７及び第２弾性部２９は、一定の幅で延びる直線部分と屈曲部分との組み合わせとされている。複数の直線部分は、互いに平行であり、また、伸縮方向に直交する方向（ｙ方向）に平行である。さらに、複数の直線部分の長さ及び間隔（ピッチ）は一定とされている。
【００５４】
第１弾性部２７及び第２弾性部２９は、互いに同等のばね定数を有していることが好ましい。本実施形態では、第１弾性部２７及び第２弾性部２９は、例えば、略同一の形状及び寸法とされており、これによりばね定数が概ね同等とされている。
【００５５】
第１弾性部２７及び第２弾性部２９は、当接部２５に対してｙ方向（配列方向）の両側に位置している。また、第１弾性部２７及び第２弾性部２９は、ｘ方向（移動方向）において、配置範囲が互いに重複していない（ｙ方向に見て両者は重ならない。）。
【００５６】
具体的には、第１弾性部２７と当接部２５との第１接続部２７ａは、第２弾性部２９と当接部２５との第２接続部２９ａよりもｘ方向の正側（当接部２５の移動方向の一方側）に位置している。また、第１弾性部２７及び第２弾性部２９は、当接部２５からｘ方向に関して互いに逆向きに延びている。そして、第１弾性部２７と基部２１との第３接続部２７ｂは、第２弾性部２９と基部２１との第４接続部２９ｂよりもｘ軸方向の正側に位置している。
【００５７】
従って、後述する図９に示すように、押圧部２３（保持部３）をｙ方向に配列したときに、互いに隣り合う押圧部２３において、一方の押圧部２３の第１弾性部２７と、他方の押圧部２３の第２弾性部２９とは、ｘ方向に見て互いに重なる（ｙ方向において、配置範囲が少なくとも一部において重複する。）。その結果、第１弾性部２７及び第２弾性部２９の配置範囲を十分に確保しつつ当接部２５同士の距離を短くすることができる。
【００５８】
第１弾性部２７及び第２弾性部２９は、当接部２５からｘ方向に関して互いに逆方向に延びていることから、当接部２５をｘ方向の負側へ移動させると、第１弾性部２７は、伸長されて復元力を生じ、第２弾性部２９は、収縮されて復元力を生じる。従って、両者は復元力を生じる態様が異なる。ただし、その大きさは、ばね定数が同等であれば、同等である。
【００５９】
第１弾性部２７のｘ方向の大きさは、例えば、空所７ｈのｘ方向の大きさと概略同等とされている。別の観点では、第１弾性部２７と当接部２５との第１接続部２７ａのｘ方向の位置は、当接部２５の空所７ｈ側の縁部の位置付近とされ、第１弾性部２７と基部２１との接続部第３接続部２７ｂのｘ方向の位置は、第１位置決め部２１ｅの位置付近とされ、第１弾性部２７は、空所７ｈのｙ方向の一方側に位置している。従って、第１弾性部２７は、保持部３がｘ方向に大きくなることを抑制しつつ最大限ｘ方向に大きくされている。
【００６０】
図３及び図４の比較から理解されるように、第１弾性部２７及び第２弾性部２９は、カバー５によって覆われる。これにより、例えば、異物が第１弾性部２７又は第２弾性部２９の隙間に入り込み、第１弾性部２７及び第２弾性部２９の復元力が変化してしまうことが抑制される。
【００６１】
図５は、スペーサ９の、一の保持部３に対応する範囲を示す平面図である。
【００６２】
スペーサ９は、例えば、クランパー７とステージ１１との干渉を低減することに寄与する。具体的には、以下のとおりである。
【００６３】
スペーサ９は、スペーサ開口９ｈを有している。スペーサ開口９ｈは、例えば、クランパー７の空所７ｈ及び押圧部２３の全体に重なる形状及び大きさによって構成されている。より具体的には、例えば、スペーサ開口９ｈの形状及び大きさは、クランパー７の基部２１の、空所７ｈ及び押圧部２３を囲む縁部の形状及び大きさと概ね同様とされている（スペーサ９は基部２１と同様の形状及び大きさとされている。）。従って、素子搭載部材１０３はスペーサ開口９ｈに配置されることが可能であり、また、押圧部２３（クランパー７の可動部分）は、スペーサ９の主面に対して摺動しない。
【００６４】
図６は、ステージ１１の、一の保持部３に対応する範囲を示す平面図である。
【００６５】
ステージ１１は、例えば、素子搭載部材１０３をｚ軸方向の負側（下方）から支持することに寄与する。具体的には、以下のとおりである。
【００６６】
ステージ１１は、クランパー７の空所７ｈに重なる領域に支持部１１ｓを有している。これにより、素子搭載部材１０３は、ステージ１１に支持される。支持部１１ｓは、例えば、素子搭載部材１０３が押圧部２３により押圧される前及び後のいずれにおいても、素子搭載部材１０３に重なる形状及び大きさで形成されている。
【００６７】
ステージ１１は、素子搭載部材１０３の複数の外部端子１１３をｚ軸方向の負側に露出させるために、空所７ｈに重なる領域に複数の端子用開口１１ｈを有している。別の観点では、支持部１１ｓは、フレーム状に形成されている。これにより、例えば、搬送治具１に素子搭載部材１０３を保持させた状態で、端子用開口１１ｈを介して外部端子１１３にプローブを当接させ、素子搭載部材１０３に実装された振動素子１０５の検査（例えば周波数特性の調査）を行うことができる。
【００６８】
複数の端子用開口１１ｈは、例えば、複数の外部端子１１３に重なる位置に複数の外部端子１１３と同じ数で設けられている。すなわち、本実施形態では、４つの外部端子１１３が素子搭載部材１０３の４隅に設けられていることに対応して、４つの端子用開口１１ｈが空所７ｈに重なる領域の４隅に設けられている。別の観点では、支持部１１ｓは、十字のフレーム状に形成されている。
【００６９】
端子用開口１１ｈは、例えば、外部端子１１３の全体を露出させることが可能な形状及び大きさに形成されている。別の観点では、支持部１１ｓは、複数の外部端子１１３間において、素子搭載部材１０３の基体１０９に当接する形状及び大きさに形成されている。これにより、例えば、外部端子１１３が導電性の支持部１１ｓに当接して検査精度が低下することが抑制される。
【００７０】
端子用開口１１ｈの具体的な形状及び大きさは適宜に設定されてよい。図６では、概略矩形に形成された場合を例示している。
【００７１】
ステージ１１は、クランパー７の当接部２５に重なる領域に、補助開口１１ａを有している。補助開口１１ａは、例えば、当接部２５の係合孔２５ｈの縁部にピンを引っ掛けやすくすることに寄与する。すなわち、ピンが係合孔２５ｈだけでなく、補助開口１１ａにも挿入されることにより、ピンの外周面（側面）が係合孔２５ｈの縁部に当接しやすくなる。
【００７２】
補助開口１１ａの形状及び大きさは適宜に設定されてよい。例えば、補助開口１１ａの形状は、概略長円形とされている。また、例えば、補助開口１１ａは、当接部２５が中立位置及びｘ方向の負側の可動限のいずれの位置にあるときも、係合孔２５ｈが収まる大きさとされている。
【００７３】
なお、補助開口１１ａのｙ方向の両側の縁部は、係合孔２５ｈのｙ方向の両側の縁部と概ね一致し、補助開口１１ａのｘ方向の正側の縁部は、中立位置にある係合孔２５ｈのｘ方向の正側の縁部に概ね一致することが好ましい。補助開口１１ａを小さくしてステージ１１の強度を確保する観点からである。
【００７４】
また、補助開口１１ａのｘ方向の負側の縁部は、ｘ方向の負側の可動限に位置する係合孔２５ｈのｘ方向の負側の縁部よりも若干ｘ方向の負側に位置していることが好ましい。係合孔２５ｈに挿入されるピンが、先端側ほどｘ方向の負側に位置するように傾斜されても、ピンが係合孔２５ｈの縁部にｘ方向の負側の可動限まで確実に当接するようにする観点からである。
【００７５】
図７は、ベース１３の、一の保持部３に対応する範囲を示す平面図である。
【００７６】
ベース１３は、例えば、搬送治具１の強度を向上させることに寄与する。具体的には、以下のとおりである。
【００７７】
ベース１３は、例えば、カバー５、クランパー７、スペーサ９及びステージ１１よりも厚く形成されている。例えば、ベース１３の厚さは、クランパー７の厚さの２倍以上である。これにより、ベース１３は撓み変形や捩れ変形に対する強度（剛性）が高くなっている。ひいては、ベース１３を含む搬送治具１は強度が高くなっている。
【００７８】
ベース１３は、例えば、ベース開口１３ｈを有している。ベース開口１３ｈは、クランパー７の空所７ｈ（素子搭載部材１０３）と重なる端子用領域部１３ｈａと、クランパー７の当接部２５に重なる補助領域部１３ｈｂとを有している。
【００７９】
端子用領域部１３ｈａは、ステージ１１の端子用開口１１ｈと同様に、素子搭載部材１０３の外部端子１１３を露出させるための開口領域である。ただし、ベース１３は、ステージ１１とは異なり、素子搭載部材１０３に当接する必要はないことから、端子用領域部１３ｈａ（ベース開口１３ｈ）は、各端子用開口１１ｈに比較して、その開口面積、及び／又は、空所７ｈに重なる面積が大きくされている。
【００８０】
例えば、端子用領域部１３ｈａは、複数の外部端子１１３に対して共通に一つ設けられている。別の観点では、ベース１３は、ステージ１１の支持部１１ｓのように端子用領域部１３ｈａを横切って分割する部分を有していない。また、例えば、端子用領域部１３ｈａは、平面視において、概ね、その縁部が素子搭載部材１０３の外側に位置している。具体的には、例えば、端子用領域部１３ｈａは、ステージ１１の複数の端子用開口１１ｈからなる矩形と概略同等の形状及び大きさに形成されている。
【００８１】
ただし、ベース１３は、端子用領域部１３ｈａの縁部からその内側へ突出する複数の突出部１３ｐを有している。突出部１３ｐは、例えば、平面視において外部端子１１３間となる位置へ突出しており、ステージ１１の支持部１１ｓの根元側に重なる。従って、突出部１３ｐは、支持部１１ｓの補強に寄与する。
【００８２】
補助領域部１３ｈｂは、ステージ１１の補助開口１１ａと同様の理由により設けられているものである。従って、例えば、補助領域部１３ｈｂは、当接部２５が中立位置及びｘ方向の負側の可動限のいずれの位置にあるときも、係合孔２５ｈが収まる形状及び大きさとされている。なお、補助領域部１３ｈｂは、補助開口１１ａよりもｘ方向の負側等へ若干大きくされていることが好ましい。係合孔２５ｈに挿入されたピンが、先端ほどｘ方向の負側に傾斜しても、ピンを係合孔２５ｈの縁部に確実に係合させる観点からである。
【００８３】
なお、図７の例では、端子用領域部１３ｈａと補助領域部１３ｈｂとはつながっているが、これらは互いに分離され、それぞれ一つの開口を構成してもよい。
【００８４】
図８は、フレーム１５の、一の保持部３に対応する範囲を示す平面図である。
【００８５】
フレーム１５は、例えば、ベース１３と同様に、搬送治具１の強度を向上させることに寄与する。具体的には、以下のとおりである。
【００８６】
フレーム１５は、例えば、カバー５、クランパー７、スペーサ９及びステージ１１よりも厚く形成されており、さらには、ベース１３よりも厚く形成されている。例えば、フレーム１５の厚さは、クランパー７の厚さの３倍以上であり、及び／又は、ベース１３の厚さの１．３倍以上である。これにより、フレーム１５は撓み変形や捩れ変形に対する強度（剛性）が高くなっている。ひいては、フレーム１５を含む搬送治具１は強度が高くなっている。
【００８７】
フレーム１５は、例えば、フレーム開口１５ｈを有している。フレーム開口１５ｈは、ベース開口１３ｈと同様に、クランパー７の空所７ｈ（素子搭載部材１０３）と重なる端子用領域部１５ｈａと、クランパー７の当接部２５に重なる補助領域部１５ｈｂとを有している。
【００８８】
端子用領域部１５ｈａは、ベース開口１３ｈの端子用領域部１３ｈａと同様に、素子搭載部材１０３の外部端子１１３を露出させるための開口領域である。端子用領域部１５ｈａは、例えば、ベース開口１３ｈの端子用領域部１３ｈａと同様に、複数の外部端子１１３に対して共通に一つ設けられ、その開口面積、及び／又は、空所７ｈと重なる面積は、ステージ１１の各端子用開口１１ｈよりも大きい。ただし、端子用領域部１５ｈａの縁部には、ベース１３の突出部１３ｐのような突出部は設けられていない。端子用領域部１５ｈａの形状及び大きさは適宜に設定されてよいが、例えば、ベース開口１３ｈの端子用領域部１５ｈａに比較して、ｙ方向等において若干大きくされている。
【００８９】
補助領域部１５ｈｂは、ベース開口１３ｈの補助領域部１３ｈｂと同様の理由により設けられているものである。従って、例えば、補助領域部１５ｈｂは、当接部２５が中立位置及びｘ方向の負側の可動限のいずれの位置にあるときも、係合孔２５ｈが収まる形状及び大きさとされている。補助領域部１５ｈｂの形状及び大きさは、例えば、ベース開口１３ｈの補助領域部１３ｈｂと同等である。
【００９０】
フレーム開口１５ｈは、全体として、ベース開口１３ｈに比較して、単純な形状とされている。例えば、上述のように、突出部１３ｐに相当する部分は設けられていない。また、端子用領域部１３ｈａと補助領域部１５ｈｂとの間にはくびれは形成されていない。
【００９１】
以上に説明した各板状部材の具体的な厚さは、適宜に設定されてよい。一例として、カバー５の厚みは０．１ｍｍ、クランパー７の厚みは０．２ｍｍ（ただし０．１ｍｍの板状部材２枚からなる）、スペーサ９の厚みは０．０３ｍｍ、ステージ１１の厚みは０．２ｍｍ、ベース１３の厚みは０．５ｍｍ、フレーム１５の厚みは０．７ｍｍである。
【００９２】
図９は、クランパー７の、複数の保持部３に対応する範囲を示す平面図である。
【００９３】
既に述べたように、互いに隣り合う押圧部２３において、一方の押圧部２３の第１弾性部２７と、他方の押圧部２３の第２弾性部２９とは、ｘ方向に見て互いに重なっている。例えば、図９の中央に位置する第１弾性部２７のｙ方向両端からｘ方向へ点線を引いて示すように、第１弾性部２７と第２弾性部２９とはその大部分が重なっている。例えば、第１弾性部２７のｙ方向の大きさのうち９割以上と、第２弾性部２９のｙ方向の大きさのうち９割以上とが重なっている。
【００９４】
互いに隣り合う押圧部２３において、一方の押圧部２３と他方の押圧部２３との間には基部２１の仕切部２１ｓが位置している。仕切部２１ｓは、例えば、基部２１のｘ方向の強度維持に寄与する。ただし、クランパー７は、積層される他の板状部材によって補強されるから、仕切部２１ｓは細くされたり、省略されたりしてもよい。図９の例では、仕切部２１ｓの幅は、最も狭い部分で、第１弾性部２７及び第２弾性部２９の線状部分の幅よりも狭くなっている。
【００９５】
図１０は、図７のＸ−Ｘ線における、ステージ１１及びベース１３の断面図である。
【００９６】
上述のように、ベース１３の突出部１３ｐは、ステージ１１の支持部１１ｓに重なる。別の観点では、これらの積層方向（ｚ方向）に見て、突出部１３ｐは、ベース開口１３ｈの縁部から複数の端子用開口１１ｈ間へ突出し、その側方縁部が端子用開口１１ｈの縁部に隣接する。なお、突出部１３ｐの側方縁部と、端子用開口１１ｈの縁部とが完全に一致している必要はない。
【００９７】
突出部１３ｐは、図７においてハッチングを付した領域において、ステージ１１とは反対側の面に傾斜面１３ｃ（図１０）を有している。傾斜面１３ｃは、端子用開口１１ｈ側ほど突出部１３ｐが薄くなるように形成されている。
【００９８】
従って、プローブ１２１をベース開口１３ｈを介して端子用開口１１ｈに挿入しようとしたときに、プローブ１２１がベース開口１３ｈに入りやすく、また、プローブ１２１が外部端子１１３へ誘導される。
【００９９】
以上のとおり、本実施形態に係るクランパー７（搬送治具１）は、所定の配列方向（ｙ方向）に配列された複数の第１位置決め部２１ｅを有する基部２１と、複数の第１位置決め部２１ｅに対応してｙ方向に配列された複数の押圧部２３と、を有している。複数の押圧部２３のそれぞれは、第１位置決め部２１ｅとｙ方向に交差（具体的には直交）する移動方向（ｘ方向）において対向する当接部２５と、当接部２５に対してｘ方向の両側に位置し、当接部２５及び基部２１に接続され、弾性変形により当接部２５の第１位置決め部２１ｅに対するｘ方向における移動を許容可能な第１弾性部２７及び第２弾性部２９と、を有している。複数の押圧部２３の互いに隣り合う押圧部２３において、一方の押圧部２３の第１弾性部２７と、他方の押圧部２３の第２弾性部２９とがｘ方向に見て重なっている（弾性部の配置領域がｙ方向において重なっている）。
【０１００】
従って、第１弾性部２７及び第２弾性部２９のｙ方向における重複量に応じた長さで、当接部２５間のｙ方向の距離を短くすることができる。すなわち、より多数の保持部３をｙ方向に配列することができる。ここで、空所７ｈ、当接部２５及びその可動域は、ｘ方向に連ねられ、全体としてｘ方向に所定の大きさの領域を必要とする。一方、互いに隣接する押圧部２３の第１弾性部２７及び第２弾性部２９は、これらの側方においてｘ方向に並べられる。従って、第１弾性部２７及び第２弾性部２９がｘ方向に並べられ、また、各弾性部についてｘ方向の大きさがある程度確保されたとしても、保持部３のｘ方向への大型化は抑制される。その結果、ｘｙ方向全体として、より多数の保持部３を設け（別の観点ではクランパー７を小さくし）、より多数の振動子１０１をクランパー７に保持させることができる。
【０１０１】
また、本実施形態では、複数の押圧部２３のそれぞれにおいて、第１弾性部２７と基部２１との第３接続部２７ｂは、第２弾性部２９と基部２１との第４接続部２９ｂよりも、ｘ方向の一方側（本実施形態では正側）に位置している。
【０１０２】
すなわち、第１弾性部２７及び第２弾性部２９は、互いに近接しやすい基部２１側部分に関して、ｘ方向の位置が互いにずらされる。従って、第１弾性部２７及び第２弾性部２９をｘ方向に見て重ねる（当接部２５同士をｙ方向において近づける）ことが容易である。換言すれば、第１弾性部２７及び第２弾性部２９等の形状を特異な形状とすることなく、両者を重ねることができる。
【０１０３】
また、本実施形態では、複数の押圧部２３のそれぞれにおいて、第１弾性部２７と当接部２５との第１接続部２７ａは、第２弾性部２９と基部２１との第４接続部２９ｂ、及び、第２弾性部２９と当接部２５との第２接続部２９ａよりも、ｘ方向の正側（第３接続部２７ｂが第４接続部２９ｂに対して位置する側）に位置している。
【０１０４】
従って、第１弾性部２７の全体を第２弾性部２９の全体に対してｘ方向の正側に位置させることができる。その結果、当接部２５同士のｙ方向の距離をより短くすることができる。また、第１弾性部２７及び第２弾性部２９の形状の自由度が向上し、本実施形態において例示したように、典型的なミアンダ形状の採用も可能となる。
【０１０５】
また、本実施形態では、複数の押圧部２３のそれぞれにおいて、第１弾性部２７及び第２弾性部２９それぞれは、ｙ方向に往復しながらｘ方向に延びるミアンダ形状に形成されている。
【０１０６】
従って、第１弾性部２７及び第２弾性部２９は、ｙ方向の大きさが小さくされ、且つ、弾性変形が容易化される。別の観点では、第１弾性部２７及び第２弾性部２９は、その配置領域を確保しやすいｘ方向に大きくしやすい形状である。その結果、より多数の保持部３を設け、より多数の振動子１０１をクランパー７に保持させることができる。
【０１０７】
また、本実施形態では、複数の押圧部２３のそれぞれにおいて、第１弾性部２７は、基部２１との第３接続部２７ｂが当接部２５との第１接続部２７ａよりもｘ方向の正側に位置している。第２弾性部２９は、基部２１との第４接続部２９ｂが当接部２５との第２接続部２９ａよりもｘ方向の負側に位置している。
【０１０８】
従って、第１弾性部２７及び第２弾性部２９は、ｘ方向に見てｙ方向の配置範囲が重なっているが、基部２１との接続部の位置は、ｘ方向において互いに制約されない。例えば、第２弾性部２９は、第４接続部２９ｂの位置が第１弾性部２７によって制約されない。その結果、第１弾性部２７及び第２弾性部２９のｘ方向の大きさを適宜な大きさとすることができる。なお、この効果は、後述する図１２（ｃ）又は図１２（ｄ）との比較によってより明らかになる。
【０１０９】
また、本実施形態では、搬送治具１は、上記のようなクランパー７に加え、ｘ方向及びｙ方向に直交する積層方向（ｚ方向）においてクランパー７に対して積層的に配置されたステージ１１と、ステージ１１に対してクランパー７とは反対側に積層的に配置されたベース１３と、を更に有している。ステージ１１は、ｚ方向に見て、第１位置決め部２１ｅと当接部２５との隙間（空所７ｈ）に、複数の端子用開口１１ｈを有している。ベース１３は、ｚ方向に見て、複数の端子用開口１１ｈに重なるベース開口１３ｈ（端子用領域部１３ｈａ）と、ｚ方向に見て、ベース開口１３ｈの縁部から複数の端子用開口１１ｈ間へ突出する突出部１３ｐと、を有している。突出部１３ｐは、ステージ１１とは反対側の面に、端子用開口１１ｈ側ほど突出部１３ｐが薄くなるように傾斜する傾斜面１３ｃを有している。
【０１１０】
従って、例えば、図１０を参照して説明したように、プローブ１２１をベース開口１３ｈを介して端子用開口１１ｈに挿入しようとしたときに、プローブ１２１がベース開口１３ｈに入りやすく、また、プローブ１２１が外部端子１１３へ誘導される。プローブ１２１が外部端子１１３へ誘導されることによって、プローブ１２１がステージ１１の支持部１１ｓ（例えば金属からなる）に当接することが抑制される。その結果、検査精度が向上する。
【０１１１】
また、本実施形態では、搬送治具１は、ステージ１１に対してクランパー７とは反対側に積層的に配置されたフレーム１５を更に有している。フレーム１５は、ｚ方向に見て、複数の端子用開口１１ｈそれぞれよりも面積が大きく、複数の端子用開口１１ｈに重なるフレーム開口１５ｈ（端子用領域部１５ｈａ）を有している。フレーム１５のｚ方向の厚さは、ステージ１１のｚ方向の厚さよりも厚い。
【０１１２】
従って、フレーム１５によって好適にクランパー７を補強することができる。具体的には、以下のとおりである。クランパー７は、当接部２５及び第１弾性部２７等の比較的微細なパターンを有しており、また、素子搭載部材１０３を位置決めする部分であるから、加工の容易性や寸法の精度の観点から、薄いことが好ましい。ステージ１１も、外部端子１１３を避けつつ素子搭載部材１０３を支持できるように複数の端子用開口１１ｈが形成されるから、加工の容易性等の観点から薄いことが好ましい。そこで、端子用開口１１ｈに比較して面積が大きいフレーム開口１５ｈを有し、クランパー７及びステージ１１よりも厚いフレーム１５をクランパー７等に重ねることにより、全体として、高精度に位置決めが可能で、強度が高い搬送治具１を構成することができる。
【０１１３】
なお、ベース１３も、端子用開口１１ｈよりも面積が大きいベース開口１３ｈを有し、ステージ１１よりも厚いから、フレーム１５と同様の補強効果を奏する。なお、ベース１３を厚くして、フレーム１５を省略することも可能である。ただし、ベース開口１３ｈは、フレーム開口１５ｈに比較すれば、突出部１３ｐ等のパターン形成が必要であり、また、傾斜面１３ｃも有している。従って、ベース１３は、加工の容易性等の観点から、厚くなり過ぎることは好ましくない。そこで、ベース１３よりも厚いフレーム１５をベース１３とは別個に設けることによって、好適に搬送治具１の強度を向上させることができる。
【０１１４】
（変形例）
以下、図１１及び図１２を参照して、変形例について説明する。
【０１１５】
図１１は、変形例に係るクランパー２０７を示す平面図である。クランパー２０７は、主として、弾性部がミアンダ型でない点が実施形態と相違する。具体的には、以下のとおりである。
【０１１６】
クランパー２０７は、実施形態のクランパー７と同様に、配列方向（ｙ方向）に配列された複数の位置決め部２２１ｅを有する基部２２１と、複数の位置決め部２２１ｅに対応してｙ方向に配列された複数の押圧部２２３とを有している。各押圧部２２３は、位置決め部２２１ｅと移動方向（ｘ方向）において対向する当接部２２５と、当接部２２５に対してｙ方向の両側に位置し、当接部２２５及び基部２２１に接続され、弾性変形により当接部２２５の位置決め部２２１ｅに対するｘ方向の移動を許容可能な第１弾性部２２７及び第２弾性部２２９とを有している。互いに隣り合う押圧部２２３において、一方の押圧部２２３の第１弾性部２２７と、他方の押圧部２２３の第２弾性部２２９とがｘ方向に見て重なっている。
【０１１７】
より具体的には、各押圧部２２３において、第１弾性部２２７と基部２２１との第３接続部２２７ｂは、第２弾性部２２９と基部２２１との第４接続部２２９ｂよりも、ｘ方向の一方側（この変形例では負側）に位置し、第１弾性部２２７と当接部２２５との第１接続部２２７ａは、第２弾性部２２９と当接部２２５との第２接続部２２９ａよりも、ｘ方向の負側に位置し、これにより、互いに隣り合う押圧部２２３において、一方の押圧部２２３の第１弾性部２２７と、他方の押圧部２２３の第２弾性部２２９とがｘ方向に見て重なることが可能となっている。
【０１１８】
ただし、実施形態とは異なり、第１弾性部２２７及び第２弾性部２２９は、ｙ方向において延びる梁によって構成されている。これらの弾性部は、基部２２１との接続部が固定端とされ、当接部２２５との接続部が自由端とされた片持ち梁のように撓み（弾性変形し）、当接部２２５のｘ方向の移動を許容する。
【０１１９】
このような構成によっても、実施形態と同様に、当接部２２５間の距離を短くすることなどによって、より多数の保持部を設け、より多数の振動子１０１をクランパー２０７に保持させることができる。
【０１２０】
図１２（ａ）〜図１２（ｅ）は、第１接続部〜第４接続部の位置に関する変形例を示す模式図である。なお、この図では、図１１に示した変形例に係る符号を用い、また、弾性部の形状は、図１１に示した変形例に係る弾性部の形状を模している。ただし、弾性部の形状は、図１１の弾性部の形状に限らず、適宜な形状とされてよい。例えば、弾性部の形状は、実施形態のような典型的なミアンダ形状であってもよいし、Ｕ字形状（別の観点では１往復のみのミアンダ形状）であってもよい。
【０１２１】
図１２（ａ）及び図１２（ｂ）に示す変形例のように、第１弾性部２２７と当接部２２５との第１接続部２２７ａは、第２弾性部２２９と当接部２２５との第２接続部２２９ａに対して、移動方向（ｘ方向）に関して、第１弾性部２２７と基部２２１との第３接続部２２７ｂが、第２弾性部２２９と基部２２１との第４接続部２２９ｂに対して位置する側（図１２（ａ）及び図１２（ｂ）ではｘ方向の正側）に位置していなくてもよい。
【０１２２】
例えば、図１２（ａ）に示すように、第１接続部２２７ａ及び第２接続部２２９ａは、ｘ方向において同一の位置にあってもよい。また、例えば、図１２（ｂ）に示すように、第１接続部２２７ａは、第２接続部２２９ａに対して、第３接続部２２７ｂが第４接続部２２９ｂに対して位置する側とは反対側（図１２（ｂ）ではｘ方向の負側）に位置してもよい。
【０１２３】
これらの場合であっても、ｘ方向に見て、２つの弾性部が基部２２１側（第３接続部２２７ｂ側及び第４接続部２２９ｂ側）において重なることにより、当接部２２５同士の距離を短くすることができる。なお、基部２２１側部分において局部的にミアンダ形状を採用することも可能である。
【０１２４】
また、図１２（ｃ）に示す変形例のように、各弾性部において、基部２２１との接続部は、当接部２２５との接続部よりもｘ方向の外側に位置していなくてもよい。例えば、図１２（ａ）及び図１２（ｂ）等とは逆に、第１接続部２２７ａは、第３接続部２２７ｂに対して、ｘ方向に関して、第１弾性部２２７が第２弾性部２２９に対して位置する側（図１２（ｃ）ではｘ方向の正側）に位置し、第２接続部２２９ａは、第４接続部２２９ｂに対して、ｘ方向に関して、第１弾性部２２７が第２弾性部２２９に対して位置する側とは反対側（図１２（ｃ）ではｘ方向の負側）に位置してもよい。
【０１２５】
ただし、この場合、互いに隣り合う押圧部２２３において、一方の押圧部２２３の第３接続部２２７ｂの位置と、他方の第４接続部２２９ｂの位置とがｘ方向において干渉しやすくなるから、実施形態並びに図１２（ａ）及び図１２（ｂ）等に比較して、弾性部の大きさをｘ方向において確保することが困難になる。
【０１２６】
また、この図１２（ｃ）に示す変形例から理解されるように、ｘ方向に関して、第３接続部２２７ｂの位置と、第４接続部２２９ｂの位置とは互いに異なっていなくてもよい。ただし、基部２２１側の接続部は、互いに隣接する押圧部２２３において近接しやすい部分であるから、実施形態等に比較して、弾性部又は基部の形状を単純な形状とすることが困難になる。
【０１２７】
また、図１２（ｄ）の変形例に示すように、弾性部の当接部２２５との接続部から基部２２１との接続部への向きは、２つの弾性部間において、ｘ方向に関して互いに逆向きでなくてもよく、互いに同一の向きであってもよい。ただし、この場合、その向きとは逆側に位置する弾性部（図１２（ｄ）では第２弾性部２２９）と基部２２１との接続部（第４接続部２２９ｂ）の位置は、他方の弾性部（第１弾性部２２７）によって制約を受けやすくなるから、実施形態等に比較して、第２弾性部２２９のｘ方向における大きさを確保することが困難になる。
【０１２８】
また、図１２（ｅ）の変形例に示すように、２つの弾性部は、当接部２２５から基部２２１への向きが互いに同一又は互いに逆と言えないような構成とされてもよい。例えば、この変形例では、第１弾性部２２７の当接部２２５から基部２２１への向きは、ｘ方向に関して正側であるが、第２弾性部２２９の当接部２２５から基部２２１への向きは、ｘ方向に関しては正でも負でもない。
【０１２９】
なお、以上の実施形態において、ｙ方向は配列方向の一例であり、ｘ方向は移動方向の一例であり、第１位置決め部２１ｅは位置決め部の一例であり、端子用開口１１ｈは第１開口の一例であり、ベース開口１３ｈ（又はそのうちの端子用領域部１３ｈａ）は第２開口の一例であり、フレーム開口１５ｈ（又はそのうちの端子用領域部１５ｈａ）は第３開口の一例である。なお、ベース１３及びベース開口１３ｈは、本発明のフレーム及びフレーム開口の一例として捉えることもできる。
【０１３０】
本発明は、以上の実施形態に限定されず、種々の態様で実施されてよい。
【０１３１】
搬送治具は、カバーやステージ等のクランパー以外の部材を有さず、クランパーのみから構成されてもよい。また、実施形態に示したクランパー以外の部材は、適宜に選択的に設けられてよい。例えば、実施形態からカバーのみを省略したり、クランパーに加えて、カバー及びステージのみを設けたりしてもよい。
【０１３２】
クランパーは、多数の部材から構成されてもよい。（第１）位置決め部は、押圧部とは別の部材により構成され、位置決め部を有する部材と押圧部を有する部材とが固定されてクランパーが構成されてもよい。なお、実施形態では、カバーは素子搭載部材の位置決めに寄与したが、実施形態のカバーとクランパーとの組み合わせが本発明のクランパーと捉えられてもよい（以下では、便宜上、両者は別のものとして説明している。）。
【０１３３】
実施形態では、クランパーは、空所（素子搭載部材）に対してｙ方向の一方側に位置する第２位置決め部２１ｆのみを有し、ｙ方向の位置決めは、カバー開口及び第２位置決め部の組み合わせによりになされた。ただし、クランパーが空所のｙ方向の両側に位置決め部を有してクランパーのみでｙ方向の位置決めがなされたり、逆に、カバーのみでｙ方向の位置決めがなされたりしてもよい。
【０１３４】
クランパー又は搬送治具によって保持される被保持部品は、振動子のパッケージ（素子搭載部材）に限定されない。例えば、チップ型の抵抗、チップ型のキャパシタ、チップ型のインダクタ、ＩＣ、振動子以外の圧電デバイスであってもよい。振動子以外の圧電デバイスは、例えば、振動素子及び発振回路を有する発振器、ＳＡＷ（Surface Acoustic Wave）フィルタである。
【０１３５】
また、被保持部品は、概略矩形のものに限定されない。実施形態では、被保持部品は、長手方向において位置決め部と当接部によって挟持されたが、短手方向において挟持されてもよい。また、一方向だけでなく、当該一方向に直交する２方向において挟持されてもよい。
【符号の説明】
【０１３６】
１…搬送治具、７…クランパー、２１…基部、２１ｅ…第１位置決め部（位置決め部）、２３…押圧部、２５…当接部、２７…第１弾性部、２９…第２弾性部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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