(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空チャンバー内においてロールツーロールで搬送される樹脂フィルムを外周面に部分的に巻き付けながら加熱する回転駆動式の円筒部材からなるガス測定装置であって、
前記円筒部材は、その内周面に熱媒体が循環する循環路を有すると共にその外周肉厚部に該円筒部材の中心軸方向に延在する複数のガス流路が周方向に略均等な間隔をあけて全周に亘って形成されており、これら複数のガス流路の各々は、該中心軸に沿って略均等な間隔をあけて該外周面側で開口する複数の貫通孔を有し、且つ該円筒部材の回転による角度位置に応じて開閉する開閉手段を介して圧力測定手段に接続していることを特徴とするガス測定装置。
【請求項２】
前記開閉手段は、樹脂フィルムが巻き付けられる角度範囲内に位置する前記ガス流路には前記圧力測定手段を連通させ、樹脂フィルムが巻き付けられない角度範囲内に位置する前記ガス流路には前記圧力測定手段を連通させないように作動することを特徴とする、請求項１に記載のガス測定装置。
【請求項３】
前記開閉手段が、前記円筒部材と共に回転する回転リングユニットと、該回転リングユニットに摺接する固定リングユニットとからなるガスロータリージョイントによって構成され、
該回転リングユニットは、一端部が前記ガス流路に連通すると共に他端部が該固定リングユニットとの摺接面において開口する複数の回転流路を有し、該固定リングユニットは、該回転流路のうち、該円筒部材の外周面において樹脂フィルムが巻き付けられる角度範囲内に位置する前記ガス流路に連通する前記回転流路にのみ該回転リングユニットとの摺接面において開口する固定流路を有していることを特徴とする、請求項１または２に記載の樹脂フィルムから放出されるガス測定装置。
【請求項４】
真空チャンバー内においてロールツーロールで搬送される樹脂フィルムを内部に熱媒体が循環する円筒部材の外周面に部分的に巻き付けて加熱し、該加熱により樹脂フィルムから発生するガスを該外周面に設けた貫通孔及びこれに連通するガス流路に導き、これにより昇圧する該ガス流路に連通する配管系の圧力上昇幅を前記円筒部材の回転による角度位置に応じて開閉する開閉手段を介して接続する圧力測定手段で測定することを特徴とするガス測定方法。
【請求項５】
前記外周面が５０℃以上に温度制御されることを特徴とする、請求項４に記載のガス測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空チャンバー内においてロールツーロールで搬送される長尺の樹脂フィルムを加熱した時に放出される蒸気等のガスを測定する測定装置及び測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネル、ノートパソコン、デジタルカメラ、携帯電話等の電子機器には、耐熱性樹脂フィルムの上に所定のパターンを有する配線が形成されたフレキシブル配線基板が用いられている。このフレキシブル配線基板は、樹脂フィルムの片面若しくは両面に金属膜が積層された金属膜付樹脂フィルムに対して、フォトリソグラフィーやエッチング等の薄膜技術を用いてパターニング加工することにより作製することができる。
【０００３】
上記金属膜付樹脂フィルムの製造方法としては、従来から金属箔を接着剤により樹脂フィルムに貼り付けて製造する方法（３層基板の製造方法）、金属箔に樹脂溶液をコーティングした後、乾燥させて製造する方法（キャスティング法）、または樹脂フィルムに真空成膜法により、もしくは真空成膜法と湿式めっき法との組み合わせにより金属膜を成膜して製造する方法（メタライジング法）等が知られている。
【０００４】
上記の方法のうち、メタライジング法における真空成膜法には、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンビームスパッタリング法等がある。例えば特許文献１にはポリイミド絶縁層上にクロムをスパッタリングした後、銅をスパッタリングして２層構造の導体層を積層する方法が開示されている。また、特許文献２には銅ニッケル合金をターゲットとするスパッタリングにより形成された第一の金属薄膜と、銅をターゲットとするスパッタリングにより形成された第二の金属薄膜とをこの順でポリイミドフィルム上に積層することによって得られるフレキシブル回路基板用材料が開示されている。なお、ポリイミドフィルム等の樹脂フィルムからなる長尺基板に対して真空成膜を行う場合は、スパッタリングウェブコータを用いることが一般的である。例えば特許文献３には、スパッタリングウェブコータの一例である巻出巻取式（ロールツーロール方式）真空スパッタリング装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平２−９８９９４号公報
【特許文献２】特許第３４４７０７０号公報
【特許文献３】特開昭６２−２４７０７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記したフレキシブル配線基板の配線は、密着性の指標となるピール強度が高いこと、すなわち剥がれにくいことが求められている。しかし、成膜前の樹脂フィルム内に水分等の液体が残存していると成膜時の加熱により蒸気等のガスが発生してピール強度が低下することがある。そこで、真空成膜法では成膜工程前に樹脂フィルムに乾燥処理を施して該樹脂フィルム内に残存する液体の含有量を問題のない程度にまで減らすことが行われている。
【０００７】
長尺の樹脂フィルムに対して上記乾燥処理を連続的に施す場合は、乾燥温度や乾燥距離（乾燥時間）が乾燥後の液体の含有量に影響を与える。すなわち、乾燥温度が高くて乾燥距離が長いほど乾燥が促進される。従来はかかる乾燥処理による樹脂フィルムの乾燥の進み具合を確認するため、加熱により樹脂フィルムから放出される蒸気等のガスを真空チャンバー内の雰囲気圧の上昇により計測していた。しかし、この計測方法では樹脂フィルムから放出されるわずかなガスを真空チャンバー内全体の圧力上昇で検知することになるため感度が低くなるという問題があった。また、真空チャンバー内壁からもわずかな量の蒸気（バックグラウンド）が放出されるため、樹脂フィルムから放出されるガスが特に少ない場合は計測データに大きな誤差が生じるという問題があった。
【０００８】
本発明はこのような従来の問題に鑑みてなされたものであり、真空チャンバー内においてロールツーロールで搬送される樹脂フィルムの乾燥状態を感度よく正確に測定することが可能な測定装置および測定方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、本発明に係るガス測定装置は、真空チャンバー内においてロールツーロールで搬送される樹脂フィルムを外周面に部分的に巻き付けながら加熱する回転駆動式の円筒部材からなるガス測定装置であって、前記円筒部材は、その内周面に熱媒体が循環する循環路を有すると共にその外周肉厚部に該円筒部材の中心軸方向に延在する複数のガス流路が周方向に略均等な間隔をあけて全周に亘って形成されており、これら複数のガス流路の各々は、該中心軸に沿って略均等な間隔をあけて該外周面側で開口する複数の貫通孔を有し、且つ該円筒部材の回転による角度位置に応じて開閉する開閉手段を介して圧力測定手段に接続していることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、真空チャンバー内においてロールツーロールで搬送される樹脂フィルムが加熱されることで生じる該樹脂フィルムからのガスを感度よく正確に測定することができる。これにより、適度に乾燥された樹脂フィルムにスパッタリング等の成膜を行うことが可能になるのでピール強度の高い高品質の金属膜付樹脂フィルムを高い歩留まりで作製することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明のガス測定装置の一具体例を示す模式的な正面図である。
【図２】図１のガス測定装置が具備するキャンロールの断面図である。
【図３】図２のキャンロールが具備するロータリージョイントの正面図である。
【図４】温度Ｔで加熱乾燥された長尺ポリイミドフィルムから放出されるガスによる圧力上昇幅ΔＰを、実施例のガス測定装置で搬送速度を様々に変えて測定した結果を示すグラフである。
【図５】温度Ｔで加熱乾燥された長尺ＰＥＴフィルムから放出されるガスによる圧力上昇幅ΔＰを、実施例のガス測定装置で搬送速度を様々に変えて測定した結果を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
（１）長尺樹脂フィルムの処理装置
先ず、図１を参照しながら本発明の一具体例のガス測定装置を有するロールツーロール方式の長尺樹脂フィルムの処理装置について説明する。この図１に示す処理装置は、真空チャンバー内において長尺の樹脂フィルムを巻出巻取式（ロールツーロール方式）で搬送するための巻出ロール及び巻取ロールを始めとする各種ロール群、巻出ロールから巻出された直後の樹脂フィルムを加熱乾燥するヒーター、乾燥された樹脂フィルムに前処理として表面処理を施す表面処理装置、及び表面処理された樹脂フィルムを巻き付けて加熱又は冷却するキャンロールで主に構成されている。これらのうち、キャンロールが本発明の一具体例のガス測定装置に該当する。
【００１３】
具体的に説明すると、長尺樹脂フィルムの処理装置が納められている真空チャンバーは、巻き出し室１１０ａ、表面処理室１１０ｂ、キャンロール室１１０ｃ、及び巻き取り室１１０ｄの４つに仕切られている。長尺の樹脂フィルムＦは、先ず巻き出し室１１０ａ内の巻出ロール１１１から巻き出され、張力センサロール１１２を経由してヒーターボックス１１３内に導かれる。ヒーターボックス１１３内には樹脂フィルムＦの表裏面にそれぞれ対向する一対のヒーター１１４ａ、１１４ｂが納められており、これにより樹脂フィルムＦの加熱乾燥が行われる。
【００１４】
ヒーター１１４ａ、１１４ｂで加熱乾燥された樹脂フィルムＦは、フリーロール１１５を経由して巻き出し室１１０ａを出る。樹脂フィルムＦは次に表面処理室１１０ｂに入り、ここでフリーロール１１６を経由して冷却ロール１１７の外周面に巻き付けられる。この冷却ロール１１７の外周面に対して、イオンビーム源を備えたイオンビーム発生装置１１８が対向している。イオンビーム発生装置１１８は、強い磁場を印加した磁場ギャップでプラズマ放電を発生させて、プラズマ中の陽イオンを陽極による電解でイオンビームとして目的物（樹脂フィルム）に照射するものである。これにより樹脂フィルムＦに対して裏面側を冷却しながら、表面側をイオンビーム処理することができる。
【００１５】
なお、イオンビーム処理に代えてプラズマ処理を行ってもよい。プラズマ処理は、例えばアルゴンと酸素の混合ガスまたはアルゴンと窒素の混合ガスによる減圧雰囲気下において放電を行うことにより、酸素プラズマまたは窒素プラズマを発生させて樹脂フィルムを処理するものである。減圧雰囲気下の真空チャンバー内で樹脂フィルムにスパッタリング等の真空成膜を行う場合は、その前処理として上記したプラズマ処理やイオンビーム処理等の表面処理を行うことにより樹脂フィルムの表面を改質することできる。しかし、この場合は同時に樹脂フィルムに熱負荷が掛かる。本発明の一具体例のガス測定装置は、これら熱負荷のかかるプラズマ処理やイオンビーム処理による処理後の樹脂フィルムの乾燥状態も評価することができる。
【００１６】
表面処理された樹脂フィルムＦは、フリーロール１１９を経由して表面処理室１１０ｂを出る。次に樹脂フィルムＦはキャンロール室１１０ｃに入り、ここでフリーロール１２０、張力センサロール１２１、及び前フィードロール１２２を経て回転駆動式のキャンロール１２３に導かれる。キャンロール１２３を構成する円筒部材は、その内面側に熱媒体が循環する循環路が設けられており、また、その外周面にはそこに巻き付く樹脂フィルムから発生するガスが流れ込む多数の貫通孔が設けられている。これら多数の貫通孔は、円筒部材の外周肉厚部に形成された複数のガス流路に連通しており、各ガス流路は開閉手段を経て圧力測定手段に接続している。これにより、キャンロール１２３の外周面上の搬送経路に巻き付くことで加熱される樹脂フィルムＦから発生するガスによる圧力上昇幅を測定することができる。このキャンロール１２３の構造については後に詳細に説明する。
【００１７】
キャンロール１２３の外周面上の搬送経路の走行を終えて該外周面から離れた樹脂フィルムＦは、続いて後フィードロール１２４、張力センサロール１２５、及びフリーロール１２６を経由してキャンロール室１１０ｃを出る。キャンロール室１１０ｃを出た樹脂フィルムＦは次に巻き取り室１１０ｄに入り、ここでフリーロール１２７及び張力センサロール１２８を経由して巻取ロール１２９で巻き取られる。
【００１８】
なお、図１の処理装置は、キャンロール１２３の外周面に対向ようにマグネトロンスパッタリングカソード１３０、１３１、１３２、１３３が設けられている。これにより、図１のキャンロール１２３は、上記したガス測定装置と真空成膜装置用の冷却ロールとを兼用することができる。真空成膜装置用の冷却ロールとして用いる場合は、上記した円筒部材の内面側に設けられている循環路に熱媒体に代えて冷却水等の冷媒が流される。また、各ガス流路を真空チャンバー外部のガス供給源（図示せず）に接続することでキャンロール１２３の外周面側で開口する複数の貫通孔からガスの放出が行われる。
【００１９】
これにより、樹脂フィルムＦの真空成膜の際はキャンロール１２３の外周面に巻き付いている樹脂フィルムＦを裏側から冷却すると共に当該外周面とそこに巻き付いている樹脂フィルムＦとの間に生じ得るギャップ部内に複数の貫通孔からガスを導入することができ、当該ギャップ部内の伝熱係数を高めることができる。その結果、樹脂フィルムＦを効率よく冷却できるので熱負荷のかかるスパッタリング成膜を行っても樹脂フィルムＦにシワを生ずることなく高い歩留まりでスパッタリング成膜を行うことができる。
【００２０】
上記したようにスパッタリング処理により真空成膜を行う場合は、スパッタリング成膜のため、真空チャンバー内を到達圧力１０−４Ｐａ程度まで減圧し、次にスパッタリングガスを導入して０.１〜１０Ｐａ程度に圧力調整することが行われる。この場合のスパッタリングガスにはアルゴンなど公知のガスが使用され、目的に応じてさらに酸素などのガスが添加される。なお、キャンロール室１１０ｎにおいてスパッタリング処理に代えてＣＶＤ（化学蒸着）や蒸着処理による真空成膜が行われる場合は、図１に示す板状ターゲットを備えたマグネトロンスパッタリングカソードの代わりに他の真空成膜手段が設けられる。
【００２１】
上記のように図１の処理装置を真空スパッタリング装置として使用する場合は、上記した各張力センサロールによって巻出ロール１１１、前フィードロール１２２、後フィードロール１２４、及びキャンロール１２３の回転数を制御することで所望の張力にて成膜処理を行うことができる。なお、図１に示す処理装置は巻き出し室１１０ａにおいてヒーター１１４ａ、１１４ｂを用いて加熱乾燥を行っているが、これに限定されるものではなく、減圧下で使用可能な種々の公知の乾燥方法を用いて乾燥してもよい。また、図１の処理装置には樹脂フィルムＦの搬送方向を変えるための一部のフリーロールや真空排気設備は図示していない。
【００２２】
（２）キャンロール
次に、図１のキャンロール１２３の具体的な構造について図２を参照しながら説明する。キャンロール１２３は円筒部材１０で主に構成されており、その中心軸Ｏ部分に位置する回転シャフト１１はベアリング１２を介して回転可能に支持されている。そして、図示しない回転駆動装置により中心軸Ｏを中心として回転駆動されるようになっている。この円筒部材１０の外周面がロールツーロールで搬送される樹脂フィルムＦを密着状態で巻き付けながら搬送する搬送経路になる。
【００２３】
円筒部材１０の内周面側はジャケットロール構造になっており、これにより形成される循環路１３に真空チャンバー外部で温度調節された温水などの熱媒体が流れる。回転シャフト１１は部分的に二重配管構造になっており、この二重配管構造を介して循環路１３と真空チャンバー外部の図示しない流体加熱器との間で熱媒体が循環する。これにより円筒部材１０の外周面を所望の温度に制御することができる。
【００２４】
円筒部材１０の外周肉厚部には円筒部材１０の中心軸Ｏ方向に延在する複数のガス流路１４が周方向に略均等な間隔をあけて全周に亘って形成されており、これら複数のガス流路１４の各々は、中心軸Ｏに沿って略均等な間隔をあけて外周面側で開口する複数の貫通孔１５を有している。貫通孔１５の内径は、樹脂フィルムから放出されるガスを良好に受け入れることができるように内径３０〜１０００μｍ程度を確保するのが望ましい。各ガス流路１４は、円筒部材１０の回転に伴って変位する角度位置に応じて開閉するガスロータリージョイント２０を介して圧力測定手段３０に接続している。圧力測定手段３０としては、例えば一般的な圧力計でもよいが、圧力レンジにあった隔膜真空計を使用することが望ましい。
【００２５】
かかる構造により、キャンロール１２３の外周面に巻き付けられた樹脂フィルムＦは、円筒部材１０の内側を循環する温水により裏側から加熱されて内部に残存する水分等の液体が蒸発し、裏面側からガスとなって放出される。このガスは円筒部材１０の外周面側で開口している貫通孔１５に入り込み、更に円筒部材１０の外周肉厚部に設けられている複数のガス流路１４に集められ、円筒部材１０の側面から延出する接続管１６及び開閉弁の役割を担うガスロータリージョイント２０を経由して延出管１７に至り、この延出管１７に取り付けられている圧力測定手段３０によって該ガスの発生により上昇する圧力上昇幅ΔＰが計測される。なお、隣接するガス流路１４同士が近接し過ぎて各ガス流路１４ごとに接続管１８を介してガスロータリージョイント２０に直接接続するのが困難な場合は、隣接する複数のガス流路１４ごとにガス集合管で１本にまとめてから、ガスロータリージョイント２０に接続してもよい。
【００２６】
（３）ガスロータリージョイント
ガスロータリージョイント２０は、回転している物体と静止している物体との間の開閉弁の役割を担うものであり、上記した本発明の一具体例の測定装置では更に圧力測定手段３０や図示しないガス供給源に連通する１本の延出管１７と複数のガス流路１４との間でガスを集めたり分けたりする役割をも担っている。具体的に説明すると、ガスロータリージョイント２０は、円筒部材１０側に接続する回転リングユニット２１と、圧力測定手段３０側に接続する固定リングユニット２２とから構成されている。回転リングユニット２１は円筒部材１０の側面に同心円状に固定されており、円筒部材１０と共に中心軸Ｏを中心として回転できるようになっている。一方、固定リングユニット２２は図示しない支持部材等でキャンロール室１１０ｃの壁面等に支持されている。これら回転リングユニット２１及び固定リングユニット２２は、互いに対向する部分にそれぞれ摺接面を有しており、回転リングユニット２１が円筒部材１０と共に回転する際、これら摺接面同士で摺接するようになっている。
【００２７】
回転リングユニット２１には、その周方向に均等な間隔をあけて全周に亘って複数の回転流路２３が形成されている。これら複数の回転流路２３は、回転リングユニット２１の内部で放射方向及び／又は中心軸Ｏ方向に延在しており、一端部が接続管１６またはガス集合管を介して複数のガス流路１４にそれぞれ接続している。そして、このガス流路１４と接続する一端部とは反対側の他端部は回転リングユニット２１の摺接面で開口している。なお、接続管１６やガス集合管を介さずに回転流路２３とガス流路１４とを直接接続させてもよい。
【００２８】
一方、固定リングユニット２２には１本の固定流路２４が形成されている。この固定流路２４の一端部は延出管１７を介して圧力測定手段３０に接続しており、他端部は前述した摺接面で開口している。この固定流路２４の摺接面での開口部は、回転リングユニット２１の回転流路２３の開口部がキャンロールの回転と共に回転する領域のうち、図１において樹脂フィルムＦがキャンロール１２３に巻き付く角度範囲（ラップ角とも称する）Ａに対応する領域においてのみ開口している。つまり、固定流路２４の摺接面での開口部は、ドーナツ型ではなく図３に示すようにＣ型の溝形状を有している。なお、このラップ角Ａはキャンロール１２３とその前後のフィードロール１２２、１２４の位置関係により定まる。
【００２９】
かかる構造により、ラップ角Ａの角度範囲内に巻き付いている樹脂フィルムＦから放出されるガスは、ラップ角Ａの角度範囲内に位置するガス流路１４の貫通孔から入り込み、ガス流路１４に連通する配管系内のガス圧を上昇させるので、この圧力上昇幅を圧力測定手段３０で測定することで樹脂フィルムＦの乾燥の程度を評価することができる。
【００３０】
ラップ角Ａの角度範囲外に位置するガス流路１４の貫通孔は真空チャンバー内に開放された状態になっているものの、ガスロータリージョイント２０によって圧力測定手段３０につながる流路が遮断されているので、圧力測定手段３０で検出した測定値に悪影響を及ぼすことはない。また、上記ラップ角Ａの角度範囲内に巻き付いている樹脂フィルムＦから放出されて貫通孔に入り込んだガスが、ラップ角Ａの角度範囲外にあるガス流路１４を経てその貫通孔から排出されることもない。よって、極めて高い精度で樹脂フィルムＦから放出されるガスによって生じる圧力上昇幅を測定することが可能になる。
【００３１】
なお、必要に応じて回転リングユニット２１と固定リングユニット２２との摺接面同士の間からガスがリークするのを防ぐため、公知のガスシール手段等を設けてもよい。また、上記ガスロータリージョイント２０は摺動面が中心軸Ｏに対して垂直に位置していたが、ラップ角Ａの角度範囲内に位置する貫通孔１５から入り込んだガスの圧力を圧力測定手段３０で測定できるのであればこれに限定されるものではなく、例えば回転リングユニットの内径と固定リングユニットの外径とをほぼ同じ大きさにして回転リングユニットの内側に固定リングユニットが嵌めこまれるようにしてもよい。この場合は、回転リングユニットの内周部と固定リングユニットの外周部とが互いに摺動する摺接面となり、ここに各開口部が設けられることになる。
【００３２】
更に、ガス流路１４から延出する接続管１６に各々電磁駆動式又は空気圧駆動式の開閉弁を設けると共に各ガス流路１４の角度位置をロータリーエンコーダなどで検知することで、各開閉弁を電気的に又は空気圧式で開閉させてもよい。しかし、この場合は回転する円筒部材１０の周辺に複雑な配線や配管が必要となる上、制御装置も必要となるので、上記したように本質的に操作性やメンテナンス性に優れた機械的構造のガスロータリージョイントを用いることがより好ましい。
【００３３】
（４）樹脂フィルムから放出されるガス圧の測定
以上説明した本発明の一具体例のガス測定装置を図１のキャンロール１２３に適用することで、加熱により樹脂フィルムから放出されるガスによって生じる圧力上昇値の測定データから、当該樹脂フィルムがスパッタリング成膜用の基板として適度に乾燥処理された状態にあるか否か評価することができる。そして、乾燥処理が不十分と判断した場合は、乾燥温度や搬送速度などの乾燥処理条件を適宜変更すればよい。また、前述したように、図１に示す処理装置はスパッタリング成膜前にプラズマ処理やイオンビーム処理などの熱負荷のかかる表面処理を施すため、これら表面処理による熱負荷が及ぼす樹脂フィルムの乾燥状態についても評価することができる。
【００３４】
なお、樹脂フィルムの乾燥状態を評価する時は、円筒部材１０の外周面の温度がスパッタリング成膜時の温度と同程度になるように加熱するのが好ましい。具体的には、図２に示した回転シャフト１１の二重配管部分を介して循環される温水の温度や循環量を適宜調整することにより円筒部材１０の外周面の温度を５０℃以上に維持するのが好ましい。また、上記説明では図１に示すようなロールツーロールで搬送される樹脂フィルムに対して乾燥処理、表面処理、及びスパッタリング成膜処理を連続的に施す処理装置のキャンロールにガス測定装置を兼用させる場合について説明したが、これに限定されるものではなく、ロールツーロールで搬送される樹脂フィルムに対して成膜処理のみを施す処理装置のキャンロールとの兼用として上記ガス測定装置を用いてもよいし、上記ガス測定装置を成膜処理が行われないガス測定専用のキャンロールとして用いてもよい。
【００３５】
（５）金属膜付樹脂フィルム
上記した本発明の一具体例のガス測定装置が対象とする樹脂フィルムに対して真空成膜法で金属膜をスパッタリング成膜すれば金属膜付樹脂フィルムが得られる。かかる金属膜付樹脂フィルムとしては、例えば樹脂フィルムの表面にＮｉ系合金等から成る膜とＣｕ膜とが積層された構造体を挙げることができる。このような積層構造を有する金属膜付樹脂フィルムに対して、例えばサブトラクティブ法によるパターニング加工を施すことによりフレキシブル配線基板が得られる。ここで、サブトラクティブ法とは、レジストで覆われていない金属膜（例えば、上記Ｃｕ膜）をエッチングにより除去してフレキシブル配線基板を製造する方法である。
【００３６】
上記Ｎｉ合金からなる膜はシード層と呼ばれ、金属膜付樹脂フィルムの電気絶縁性や耐マイグレーション性等の所望の特性によりその組成が選択されるが、一般的にはＮｉ−Ｃｒ合金やインコネルやコンスタンタンやモネル等の公知の合金が使用される。このシード層の上に成膜したＣｕ膜からなる金属膜は、一般的な湿式めっき法を用いることで更に厚くすることができる。湿式めっき法には電気めっき処理のみで金属膜を形成する場合と、無電解めっき処理からなる一次めっきと、電解めっき処理等からなる二次めっきとを組み合わせて行う場合がある。なお、上記したような金属膜の成膜のほか、酸化物膜、窒化物膜、炭化物膜等の成膜に本発明の一具体例のガス測定装置を適用することも可能である。
【００３７】
上記金属膜付樹脂フィルムに用いられる樹脂フィルムには、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムを用いることができるが、ポリイミドフィルムのような耐熱性樹脂フィルムを用いるのがより好ましい。耐熱性樹脂フィルムにはポリイミド系フィルム、ポリアミド系フィルム、ポリエステル系フィルム、ポリテトラフルオロエチレン系フィルム、ポリフェニレンサルファイド系フィルム、ポリエチレンナフタレート系フィルムまたは液晶ポリマー系フィルムなどがあり、具体的な材質は、金属膜付フレキシブル基板としての柔軟性、実用上必要な強度、配線材料として好適な電気絶縁性等の観点から適宜選択される。
【実施例】
【００３８】
（実施例）
図１に示す真空成膜装置（スパッタリングウェブコータ）のキャンロール１２３に図２に示すような円筒部材１０を用いることで、長尺の樹脂フィルムから放出されるガスによる圧力上昇幅を測定した。円筒部材１０は直径が８００ｍｍ、幅が８００ｍｍであり、その外周肉厚部に中心軸Ｏ方向に延在する内径５ｍｍのガス流路１４を円筒部材１０の周方向に略均等な間隔をあけて全周に亘って３６０本開けた。各ガス流路１４には、両端部１５０ｍｍずつを除く５００ｍｍの部分に、ガス流路１４の延在方向に沿って円筒部材１０の外周面側で開口する内径０.２ｍｍの孔を７６個穿孔した。円筒部材１０の一方の側部に図３に示すようなガスロータリージョイント２０を取り付けた。
【００３９】
圧力測定手段３０には隔膜真空計を用いた。キャンロール１２３において樹脂フィルムが巻き付けられるラップ角Ａは２８０°であったので、固定リングユニット２２のＣ形状の開口部の中心角を２７０°とした。これにより、当該２７０°の角度範囲内に位置する回転流路２３に連通するガス流路１４と、残りの９０°の角度範囲内に位置する回転流路２３に連通するガス流路１４とが遮断されるので、ガス流路１４にその貫通孔を経て入り込んだ樹脂フィルムからの放出ガスが、キャンロール１２３の外周面のうち樹脂フィルムが巻きつけられていない領域に貫通孔から真空チャンバー内に漏れることはない。
【００４０】
乾燥用のヒーター１１３ａ、１１３ｂにはカーボンヒータを使用し、これらヒーター１１３ａ、１１３ｂで様々な設定温度Ｔ（℃）で加熱乾燥された樹脂フィルムを、温水で外周面が６０℃に制御されているキャンロール１２３に様々な搬送速度で導き、ヒーター１１３ａ、１１３ｂで完全に乾燥しきれずに樹脂フィルムに残留している水分をキャンロール１２３の外周面で放出させ、この放出ガスが貫通孔を経てガス流路１４に入り込むことにより生じたガス流路１４に連通する配管系の圧力上昇幅ΔＰ（Ｐａ）を圧力測定手段としての隔膜真空計で測定した。
【００４１】
ガス測定対象としての樹脂フィルムには、幅５００ｍｍ、厚さ２５μｍの東レデュポン株式会社製の耐熱性ポリイミドフィルム「カプトン（登録商標）」と、幅５００ｍｍ、厚さ５０μｍの市販のＰＥＴフィルムの２種類を使用した。ポリイミドフィルムの場合は、上記したヒーター１１３ａ、１１３ｂの設定温度Ｔを１５０℃、２００℃、及び２５０℃の３水準とし、上記した搬送速度を２ｍ／ｍｉｎ、５ｍ／ｍｉｎ、及び１０ｍ／ｍｉｎの３水準としてそれらを組合せた合計９つの異なる条件で試験を行った。一方、ＰＥＴフィルムの場合は、上記したヒーター１１３ａ、１１３ｂの設定温度Ｔを１００℃、１２０℃、及び１４０℃の３水準とし、上記した搬送速度を２ｍ／ｍｉｎ、４ｍ／ｍｉｎ、及び６ｍ／ｍｉｎの３水準としてそれらを組合せた合計９つの異なる条件で試験を行った。
【００４２】
それらの測定結果を図４（ポリイミドフィルム）及び図５（ＰＥＴフィルム）にそれぞれ示す。これら図４及び図５から分かるように、ポリイミドフィルム及びＰＥＴフィルムの両方ともヒーター１１３ａ、１１３ｂの設定温度が高ければ高いほど隔膜真空計の圧力上昇幅が小さく、また、樹脂フィルムの搬送速度が遅ければ遅いほど隔膜真空計の圧力上昇幅が小さくなった。すなわち、樹脂フィルムの乾燥の程度を定量的かつ精度良く測定することができた。
【００４３】
（比較例）
上記実施例と同様にポリイミドフィルム及びＰＥＴフィルムを各々ヒーター１１３ａ、１１３ｂの設定温度及び搬送速度を様々に変えて外周面が６０℃に制御されているキャンロール１２３に導き、残留している水分をキャンロール１２３の外周面で放出させた。この比較例では、樹脂フィルムからの放出ガスによる圧力上昇幅を、ガスロータリージョイントに取り付けた隔膜真空計の代わりに、キャンロール室１１０ｃの真空チャンバーに取り付けた隔膜真空計を用いて測定した。その結果、樹脂フィルムから放出されるわずかなガスを真空チャンバー内全体の圧力上昇（１０−３〜１０−４Ｐａ台）で検知するため感度が低くなって正確に測定することができなかった。更に、真空チャンバー内壁から放出される水分（バックグラウンド）もあるので、樹脂フィルムから放出された水分なのか、真空チャンバー内壁から放出された水分か判断するのが困難であった。
【符号の説明】
【００４４】
１０      円筒部材
１１      回転シャフト
１２      ベアリング
１３      循環路
１４      ガス流路
１５      貫通孔
１６      接続管
１７      延出管
２０      ガスロータリージョイント
２１      回転リングユニット
２２      固定リングユニット
２３      回転流路
２４      固定流路
３０      圧力測定手段
１１０ａ  巻き出し室
１１０ｂ  表面処理室
１１０ｃ  キャンロール室
１１０ｄ  巻き取り室
１１１    巻出ロール
１１２、１２１、１２５、１２８  張力センサロール
１１３    ヒーターボックス
１１４ａ、１１４ｂ    ヒーター
１１５、１１６、１１９、１２０、１２６、１２７  フリーロール
１１７    冷却ロール
１１８    イオンビーム照射装置
１２２    前フィードロール
１２３    キャンロール
１２４    後フィードロール
１２９    巻取ロール
１３０、１３１、１３２、１３３  マグネトロンスパッタリングカソード
Ａ      ラップ角
Ｆ      樹脂フィルム
Ｏ      中心軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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