(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルムに粉体を付着するための粉体コーティング装置であって、
前記フィルムを送り出す送出ロールと、
前記送出ロールに対して前記フィルムの搬送方向下流側に配置され、前記フィルムを巻き取る巻取ロールと、
前記送出ロールと前記巻取ロールとの搬送方向途中において、前記フィルムと対向するように配置され、前記粉体を噴出するノズルと、
前記送出ロールおよび前記巻取ロールを収容する１または２以上のロール用チャンバーと、
前記ノズルおよび前記ロール用チャンバーを収容する装置用チャンバーと、
前記ロール用チャンバーの内圧を、前記装置用チャンバーの内圧よりも高く設定するように構成される圧力調整ユニットと
を備え、
前記圧力調整ユニットは、前記ロール用チャンバーの内部にガスを送り込むガス送出部を備えることを特徴とする、粉体コーティング装置。
【請求項２】
２つのロール用チャンバーを備え、
一方のロール用チャンバーが前記送出ロールを収容し、
他方のロール用チャンバーが前記巻取ロールを収容することを特徴とする、請求項１に記載の粉体コーティング装置。
【請求項３】
１つのロール用チャンバーを備え、
前記１つのロール用チャンバーが前記送出ロールおよび前記巻取ロールを収容することを特徴とする、請求項１に記載の粉体コーティング装置。
【請求項４】
前記搬送方向における前記送出ロールの下流側、かつ、前記ノズルの上流側に、前記フィルムと対向するように配置されるエアジェットノズルをさらに備えることを特徴とする、請求項１〜３のいずれ一項に記載の粉体コーティング装置。
【請求項５】
前記搬送方向における前記ノズルの下流側、かつ、前記巻取ロールの上流側に、前記フィルムと対向するように配置され、前記フィルムに付着した余分な粉体を除去するクリーニングノズルをさらに備えることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか一項に記載の粉体コーティング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粉体コーティング装置、詳しくは、フィルムに粉体を付着するための粉体コーティング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、粉体をフィルムなどの基材に付着する方法としては、スプレー法などの種々の方法が提案されている。
【０００３】
それら中でも、基材に緻密な層を形成できるなどの観点から、エアロゾルデポジション法が特に注目されている。
【０００４】
エアロゾルデポジション法に用いられる装置としては、例えば、特許文献１に開示されている。
【０００５】
特許文献１に開示の装置は、粉体を基材に付着する空間を内部に備える成膜チャンバーと、粉体原料を貯蓄するエアロゾルチャンバーと、キャリアガス輸送装置とを備え、成膜チャンバーは、基材を配置・固定するための台座、および、基材に粉体を噴霧するノズルをその内部に収容している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１３−１２９８８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかるに、特許文献１の装置は、バッチ式である。すなわち、特許文献１の装置では、１つの基材に対してコーティング処理を実施するごとに、成膜チャンバーから基材を出し入れする必要があり、生産効率に劣る。そのため、連続式の装置が求められている。
【０００８】
連続式として、ロールツーロール方式の採用が検討される。具体的には、成膜チャンバーの内部に一対のロールを配置し、基材を一方のロールから他方ロールに巻き取りながら粉体を基材に連続して付着する方法が検討される。
【０００９】
ところで、粉体を基材に噴霧する方法では、噴霧ノズルから基材に向かって噴出される粉体の一部が、基材に付着せずに、空気中すなわち成膜チャンバーの内部に飛散する。飛散される粉体は、成膜チャンバー内部に蓄積されると、ロールやコーティングされた基材などに付着する。そうすると、ロールツーロール装置の作動不良やコーティングされた基材の品質不良を引き起こす不具合がある。
【００１０】
本発明の目的は、飛散される粉体の影響を低減することができる連続式の粉体コーティング装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の粉体コーティング装置は、フィルムに粉体を付着するための粉体コーティング装置であって、前記フィルムを送り出す送出ロールと、前記送出ロールに対して前記フィルムの搬送方向下流側に配置され、前記フィルムを巻き取る巻取ロールと、前記送出ロールと前記巻取ロールとの搬送方向途中において、前記フィルムと対向するように配置され、前記粉体を噴出するノズルと、前記送出ロールおよび前記巻取ロールを収容する１または２以上のロール用チャンバーと、前記ノズルおよび前記ロール用チャンバーを収容する装置用チャンバーと、前記ロール用チャンバーの内圧を、前記装置用チャンバーの内圧よりも高く設定するように構成される圧力調整ユニットとを備えていることを特徴としている。
【００１２】
この粉体コーティング装置によれば、圧力調整ユニットが、ロール用チャンバーの内圧を装置用チャンバーの内圧よりも高く設定するため、相対的に低圧の装置用チャンバーの内部に飛散する粉体が、相対的に高圧のロール用チャンバーの内部に入り込まれることを抑制することができる。そのため、粉体がロールやコーティングされたフィルムなどに付着することを防止でき、粉体による影響を低減させることができる。
【００１３】
また、本発明の粉体コーティング装置は、２つのロール用チャンバーを備え、一方のロール用チャンバーが前記送出ロールを収容し、他方のロール用チャンバーが前記巻取ロールを収容することが好適である。
【００１４】
この粉体コーティング装置によれば、送出ロールと巻取ロールとが、それぞれ個別のロール用チャンバーに収容されるため、送出ロールおよび巻取ロール間の相対的位置や距離を自由に調整することができる。そのため、装置設計の自由度を向上させることができる。
【００１５】
また、本発明の粉体コーティング装置は、１つのロール用チャンバーを備え、前記１つのロール用チャンバーが前記送出ロールおよび前記巻取ロールを収容することが好適である。
【００１６】
この粉体コーティング装置によれば、１つのロール用チャンバーの内圧のみを、装置用チャンバーの内圧よりも高く設定すればよいため、装置を簡便にすることができる。
【００１７】
また、本発明の粉体コーティング装置では、前記圧力調整ユニットが前記ロール用チャンバーの内部にガスを送り込むガス送出部を備えることが好適である。
【００１８】
この粉体コーティング装置によれば、簡便にかつ確実に、ロール用チャンバーの内圧を装置用チャンバーの内圧よりも高く設定できる。
【００１９】
また、本発明の粉体コーティング装置は、前記搬送方向における前記ノズルの下流側、かつ、前記巻取ロールの上流側に、前記フィルムと対向するように配置され、前記フィルムに付着した余分な粉体を除去する粉体除去部をさらに備えることが好適である。
【００２０】
この粉体コーティング装置によれば、フィルムの付着した余分な粉体を除去することができるため、コーティングされたフィルムの品質を一定にすることができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明の粉体コーティング装置によれば、成膜チャンバーの内部に飛散する粉体による装置への影響を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】図１は、本発明の粉体コーティング装置の第１実施形態の概略構成図を示す。
【図２】図２は、本発明の粉体コーティング装置の第２実施形態の概略構成図を示す。
【図３】図３は、図２の粉体コーティング装置における第２ケーシングおよび成膜ノズルの斜視図を示す。
【図４】図４は、第１実施形態において、エアロゾルデポジション法を採用する場合における粉体コーティング装置の概略構成図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
１．第１実施形態
１−１．粉体コーティング装置
図１を参照して、本発明の粉体コーティング装置の第１実施形態について説明する。
【００２４】
なお、図１の説明において、粉体コーティング装置の方向を言及するときは、図１の紙面上下方向を「上下方向」（第１方向）とし、紙面上方が上側であり、紙面下方が下側である。また、図１の紙面左右方向を「前後方向」（第２方向、第１方向に直交する方向）とし、紙面右方向が前側であり、図１の紙面左方向が後側である。また、図１の紙厚方向を「幅方向」（第３方向、第１方向および第２方向に直交する方向）とし、紙厚手前が幅方向一方側であり、紙厚方向奥が幅方向他方側である。図４についても、図１の方向を基準とする。
【００２５】
粉体コーティング装置１は、フィルム２に粉体３を付着するための装置であって、搬送部４および噴射部５を備える。
【００２６】
搬送部４は、装置用チャンバーの一例としての装置用ケーシング６と、装置用ケーシング６の内部に収容される送出部７および巻取部８とを備える。
【００２７】
装置用ケーシング６は、内部を密閉可能な箱型形状に形成されている。装置用ケーシング６は、送出部７、巻取部８、成膜ノズル１８（後述）およびステージ１９（後述）を収容している。
【００２８】
なお、装置用ケーシング６は、装置用ケーシング６（具体的には、装置用ケーシング６内部の空間であって、第１ケーシング９（後述）および第２ケーシング１３（後述）が占める空間を除いた空間）の内圧を測定するための圧力計５１を備えている。
【００２９】
送出部７は、装置用ケーシング６の内部の下端および前側に配置されている。
【００３０】
送出部７は、ロール用チャンバーの一例としての第１ケーシング９と、送出ロール１０と、第１テンションロール１１ａと、第２テンションロール１１ｂとを備える。
【００３１】
第１ケーシング９は、幅方向に延びる箱型形状（図３参照）に形成され、送出ロール１０、第１テンションロール１１ａおよび第２テンションロール１１ｂを収容している。第１ケーシング９の後壁の上側には、送出開口部１２が形成されている。送出開口部１２は、幅方向に延びるスリット状に形成されている。
【００３２】
なお、第１ケーシング９は、第１ケーシング９の内圧を測定するための圧力計５２を備えている。
【００３３】
送出ロール１０は、フィルム２を送出するための回転軸を有する円柱部材であり、幅方向に延びるように形成されている。送出ロール１０は、第１ケーシング９の内部の下端部に配置されている。送出ロール１０の表面には、フィルム２が、その裏面（コーティングされる側とは反対面）がロール表面に向くように、巻き付けられている。送出ロール１０の回転軸の端部には、ギヤ（図示せず）が設けられており、ギヤには、送出ロール１０を矢印方向に回転させるための駆動力がモータ（図示せず）から入力される。
【００３４】
第１テンションロール１１ａは、送出ロール１０から送出されるフィルム２の張力を良好に保持するための回転軸を有する円柱部材であり、幅方向に延びるように形成されている。第１テンションロール１１ａは、送出ロール１０の上側かつ後側に配置されている。
【００３５】
第２テンションロール１１ｂは、第１テンションロール１１ａから搬送されるフィルム２の張力を良好に保持するための回転軸を有する円柱部材であり、幅方向に延びるように形成されている。第２テンションロール１１ｂは、送出ロール１０の上側かつ第１テンションロール１１ａの前側に配置されている。
【００３６】
巻取部８は、装置用ケーシング６の内部の下端部および後側に、送出部７と間隔を隔てて対向配置されている。
【００３７】
巻取部８は、ロール用チャンバーの一例としての第２ケーシング１３と、巻取ロール１４と、第３テンションロール１５ａと、第４テンションロール１５ｂとを備える。
【００３８】
第２ケーシング１３は、幅方向に延びる箱型形状（図３参照）に形成され、巻取ロール１４、第３テンションロール１５ａおよび第４テンションロール１５ｂを収容している。第２ケーシング１３の前壁の上側には、巻取開口部１７が形成されている。巻取開口部１７は、幅方向に延びるスリット状に形成されている。
【００３９】
なお、第２ケーシング１３は、第２ケーシング１３の内圧を測定するための圧力計５３を備えている。
【００４０】
巻取ロール１４は、コーティングされたフィルム２を巻き取るための回転軸を有する円柱部材であり、幅方向に延びるように形成されている。巻取ロール１４は、第２ケーシング１３の内部の下端部に配置されている。巻取ロール１４は、送出ロール１０に対して、後側に配置されている。すなわち、巻取ロール１４は、送出ロール１０に対して、フィルム２の搬送方向（以下、単に「搬送方向」と略記する。）下流側に配置されている。巻取ロール１４の表面には、粉体コーティング装置１の始動後に、コーティングされたフィルム２が、その裏面がロール表面に向くように、巻き付けられる。巻取ロール１４の回転軸の端部には、ギヤ（図示せず）が設けられており、ギヤには、巻取ロール１４を矢印方向に回転させるための駆動力がモータ（図示せず）から入力される。
【００４１】
第３テンションロール１５ａは、巻取開口部１７から送り込まれてくるコーティングされたフィルム２の張力を良好に保持するための回転軸を有する円柱部材であり、幅方向に延びるように形成されている。第３テンションロール１５ａは、巻取ロール１４の上側に配置されている。
【００４２】
第４テンションロール１５ｂは、第３テンションロール１５ａから搬送されるコーティングされたフィルム２の張力を良好に保持するための回転軸を有する円柱部材であり、幅方向に延びるように形成されている。第４テンションロール１５ｂは、巻取ロール１４の上側かつ第３テンションロール１５ａの前側に配置されている。
【００４３】
噴射部５は、ノズルの一例としての成膜ノズル１８と、ステージ１９と、噴射装置２０と、連結管２２とを備えている。
【００４４】
成膜ノズル１８は、フィルム２の表面に向かって粉体３を噴出させるための噴射装置である。成膜ノズル１８は、装置用ケーシング６の内部の上側で、かつ、第１ケーシング９と第２ケーシング１３との前後方向途中において、噴射口が下側（すなわち、ステージ１９）に向かうように配置されている。すなわち、成膜ノズル１８は、装置用ケーシング６内部で、送出ロール１０と巻取ロール１４との搬送方向途中において、噴射口がフィルム２に向かうように配置されている。これにより、成膜ノズル１８は、噴射装置２０から供給される粉体３を、ステージ１９の上面に搬送されるフィルム２の表面に噴き付け可能としている。
【００４５】
成膜ノズル１８の噴射口の形状は、図３が参照されるように、幅方向に延びるように形成されている。
【００４６】
ステージ１９は、平面視において、幅方向に延びる略矩形状に形成されており、幅方向一方から幅方向他方側に見た側面視において、上側に凸となる弓型形状（円弧形状）に形成されている。ステージ１９は、成膜ノズル１８と間隔を隔てて下側に対向配置され、かつ、第１ケーシング９と第２ケーシング１３との前後方向途中において、第１ケーシング９および第２ケーシング１３と間隔を隔てて対向配置されている。ステージ１９は、その最凸部（最上表面部）３５が、送出開口部１２および巻取開口部１７の上下方向位置よりもやや上側に位置するように、配置されている。ステージ１９の最凸部３５は、成膜ノズル１８の噴射口と最も近接している。最凸部３５と成膜ノズル１８の噴射口との間隔は、例えば、０．５ｍｍ以上、好ましくは、１ｍｍ以上であり、また、例えば、１００ｍｍ以下、好ましくは、５０ｍｍ以下である。これにより、最凸部３５において、フィルム２は、成膜ノズル１８から噴出される粉体３によってコーティングされる。
【００４７】
なお、ステージ１９は、図示しないＸ−Ｙ−Ｚ移動ステージを介して、装置用ケーシング６に支持および固定されている。Ｘ−Ｙ−Ｚ移動ステージを自動または手動で位置合わせすることにより、成膜ノズル１８に対して、ステージ１９の位置を修正することができる。
【００４８】
噴射装置２０は、粉体３を貯留し、かつ、その粉体３を成膜ノズル１８に送り出す装置であって、具体的には、公知の噴射方法に用いられる装置が挙げられる。
【００４９】
公知の噴射方法としては、例えば、エアロゾルデポジション法（ＡＤ法・ガスデポジション法（気体堆積法））、コールドスプレー法（高圧コールドスプレー法、低圧コールドスプレー法）、サーマルスプレー法（プラズマスプレー法、アークスプレー法、フレームスプレー法）などのエアロゾルジェット法が挙げられる。
【００５０】
連結管２２は、その一端部が噴射装置２０に接続され、他端部が装置用ケーシング６の上壁を貫通して成膜ノズル１８に接続されるように、配置されている。
【００５１】
そして、このような粉体コーティング装置１は、圧力調整ユニット１６を備えている。具体的には、圧力調整ユニット１６は、ガス送出部の一例としてのガス流入管３０を備えており、ガス流入管３０は、第１ケーシング９に設けられる第１ガス流入管３０ａと、第２ケーシング１３に設けられる第２ガス流入管３０ｂとを備えている。
【００５２】
第１ガス流入管３０ａは、その一端部（流出側端部）が第１ケーシング９の内部に位置するとともに、他端部（流入側端部）が装置用ケーシング６の前壁および第１ケーシング９の前壁を貫通して装置用ケーシング６の外部に位置するように、配置されている。第１ガス流入管３０ａの一端部は、第１ケーシング９の内部において、送出ロール１０と対向して、下端に配置されている。
【００５３】
第１ガス流入管３０ａの他端部には、外気や圧縮空気などを第１ケーシング９の内部に送り込むためのポンプ（図示せず）が接続されている。
【００５４】
第２ガス流入管３０ｂは、その一端部（流出側端部）が第２ケーシング１３の内部に位置するとともに、他端部（流入側端部）が装置用ケーシング６の後壁および第２ケーシング１３の後壁を貫通して装置用ケーシング６の外部に位置するように、配置されている。第２ガス流入管３０ｂの一端部は、第２ケーシング１３の内部において、巻取ロール１４と対向して、下端に配置されている。
【００５５】
第２ガス流入管３０ｂの他端部には、外気や圧縮空気などを第２ケーシング１３の内部に送り込むためのポンプ（図示せず）が接続されている。
【００５６】
また、粉体コーティング装置１は、粉体除去部の一例としてのクリーニングノズル３１と、エアジェットノズル３２とを備えている。
【００５７】
クリーニングノズル３１は、成膜ノズル１８と巻取ロール１４との前後方向途中に配置される巻取開口部１７付近に複数（２つ）設けられている。すなわち、２つのクリーニングノズル３１（３１ａ、３１ｂ）は、成膜ノズル１８の搬送方向下流側かつ巻取ロール１４の搬送方向上流側に設けられている。
【００５８】
クリーニングノズル３１（３１ａ、３１ｂ）は、第２ケーシング１３に支持および固定されている。２つのクリーニングノズル３１は、それらの噴射口が互いに対向するように、巻取開口部１７（フィルム２）を挟んで、互いに間隔を隔てて配置されている。詳しくは、一方のクリーニングノズル３１ａは、巻取開口部１７（フィルム２）の上側において、その噴射口が下側かつ前側に向くように、搬送されるフィルム２と間隔を隔てて配置されている。他方のクリーニングノズル３１ｂは、巻取開口部１７（フィルム２）の下側において、その噴射口が上側かつ前側に向くように、搬送されるフィルム２と間隔を隔てて配置されている。
【００５９】
エアジェットノズル３２は、送出ロール１０と成膜ノズル１８との前後方向途中に配置される送出開口部１２付近に１つ設けられている。すなわち、エアジェットノズル３２は、送出ロール１０の搬送方向下流側かつ成膜ノズル１８の搬送方向上流側に設けられている。
【００６０】
エアジェットノズル３２は、第１ケーシング９に支持および固定されている。エアジェットノズル３２は、送出開口部１２（フィルム２）と対向するように、配置されている。詳しくは、エアジェットノズル３２は、送出開口部１２（フィルム２）の下側において、その噴射口が上側かつ後側に向くように、搬送されるフィルム２と間隔を隔てて配置されている。
【００６１】
１−２．コーティング方法
粉体コーティング装置１を用いて粉体３をフィルム２に付着するコーティング方法について説明する。
【００６２】
まず、図１に示すように、フィルム２を搬送部４にセットする。
【００６３】
具体的には、フィルム２を、その裏面が送出ロール１０の表面に向くように、送出ロール１０に巻回する。次いで、フィルム２を送出して、第１テンションロール１１ａの後側の側面、第２テンションロール１１ｂの前側の側面、および、送出開口部１２を順次通過させる。その後、ステージ１９の最凸部３５と接触させるように、ステージ１９と成膜ノズル１８との間を通過させる。次いで、巻取開口部１７、第３テンションロール１５ａの後側の側面、および、第４テンションロール１５ｂの前側の側面を通過させて、巻取ロール１４に係止させる。
【００６４】
フィルム２は、所定の幅を備える搬送方向に長尺なフィルムであって、例えば、樹脂フィルム、金属箔などが挙げられる。
【００６５】
樹脂フィルムの材料としては、例えば、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂などが挙げられる。熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのオレフィン系樹脂、例えば、ＰＥＴなどのポリエステル系樹脂、例えば、ＰＴＦＥなどのフッ素系樹脂、例えば、ナイロンなどのポリアミド系樹脂、例えば、ポリイミド系樹脂、ポリ塩化ビニルセルロース繊維、シリコーン繊維などが挙げられる。熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、アミノ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂などが挙げられる。
【００６６】
金属箔の材料としては、例えば、銅、鉄、ステンレス、アルミニウムなどが挙げられる。
【００６７】
フィルム２の厚みは限定的でなく、例えば、５μｍ以上、好ましくは、１０μｍ以上であり、また、例えば、５００μｍ以下、好ましくは、１００μｍ以下である。
【００６８】
次いで、ガス流入管３０（３０ａ、３０ｂ）を通じて、第１ケーシング９および第２ケーシング１３のそれぞれにガスを流入することにより、第１ケーシング９および第２ケーシング１３の内圧を、装置用ケーシング６の内圧（具体的には、第１ケーシング９および第２ケーシング１３が占める空間を除いた空間における圧力）よりも高く設定する。
【００６９】
装置用ケーシング６の内圧は、例えば、１Ｐａ以上、好ましくは、１０Ｐａ以上、より好ましくは、５０Ｐａ以上であり、また、例えば、８００００Ｐａ以下、好ましくは、１００００Ｐａ以下、より好ましくは、１０００Ｐａ以下である。
【００７０】
第１ケーシング９および第２ケーシング１３の内圧は、それぞれ、例えば、１０Ｐａ以上、好ましくは、５０Ｐａ以上、より好ましくは、１００Ｐａ以上であり、また、例えば、８００００Ｐａ以下、好ましくは、１００００Ｐａ以下、より好ましくは、２１００Ｐａ以下である。
【００７１】
第１ケーシング９の内圧と、装置用ケーシング６の内圧との差は、例えば、１０Ｐａ以上、好ましくは、１００Ｐａ以上であり、また、例えば、１００００Ｐａ以下、好ましくは、１０００Ｐａ以下である。
【００７２】
第２ケーシング１３の内圧と、装置用ケーシング６の内圧との差は、例えば、１０Ｐａ以上、好ましくは、１００Ｐａ以上であり、また、例えば、１００００Ｐａ以下、好ましくは、１０００Ｐａ以下である。
【００７３】
次いで、送出ロール１０および巻取ロール１４をそれぞれ図１の矢印方向に回転駆動することにより、フィルム２を搬送させる。
【００７４】
具体的には、フィルム２は、送出ロール１０から、第１テンションロール１１ａの後側の側面、第２テンションロール１１ｂの前側の側面、および、送出開口部１２の順に搬送される。その後、送出開口部１２から、ステージ１９の最凸部３５、および、巻取開口部１７の順に、すなわち、前側から後側に向かって、搬送される。その後、巻取開口部１７から、第３テンションロール１５ａの後側の側面、および、第４テンションロール１５ｂの前側の側面、および、巻取ロール１４の順に搬送され、巻取ロール１４によって巻き取られる。
【００７５】
搬送速度は、例えば、０．０５ｍ／分以上、好ましくは、０．１ｍ／分以上であり、また、例えば、１００ｍ／分以下、好ましくは、５０ｍ／分以下である。
【００７６】
一方、噴射装置２０に粉体３（材料）を充填する。
【００７７】
粉体３としては特に限定されず、例えば、金属酸化物粉末、金属粉末、樹脂粉末などが挙げられる。
【００７８】
金属酸化物粉末の材料としては、例えば、アルミナ、イットリア、ジルコニア、チタニアなどが挙げられる。
【００７９】
金属の材料としては、例えば、銅、鉄、ステンレス、アルミニウムなどが挙げられる。
【００８０】
樹脂の材料としては、例えば、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂などが挙げられる。熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのオレフィン系樹脂、例えば、ＰＥＴなどのポリエステル系樹脂、例えば、ＰＴＦＥなどのフッ素系樹脂、例えば、ナイロンなどのポリアミド系樹脂、例えば、ポリイミド系樹脂、ポリ塩化ビニルセルロース繊維、シリコーン繊維などが挙げられる。熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、アミノ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂などが挙げられる。
【００８１】
これらは単独で使用または２種以上を併用することができる。
【００８２】
粉末の平均粒子径（メジアン径）は、例えば、０．０５μｍ以上１０μｍ以下である。特に後述するエアロゾルデポジション法を用いる場合は、好ましくは、０．１μｍ以上、より好ましくは、０．５μｍ以上であり、また、好ましくは、１０μｍ以下、より好ましくは、２．５μｍ以下である。平均粒子径（メジアン径）は、例えば、動的光散乱法による粒度分布測定装置によって測定される。
【００８３】
次いで、成膜ノズル１８から下側、すなわち、搬送されるフィルム２に向かって、公知の噴射方法によって、粉体３を噴射する（噴射工程）。
【００８４】
これにより、送出ロール１０から送出されたフィルム２は、送出ロール１０と巻取ロール１４との搬送方向途中において粉体３が付着（コーティング）される。そして、粉体３が付着したフィルム２は、搬送方向下流側に配置される巻取ロール１４に巻き取られる。
【００８５】
また、噴射工程において、送出開口部１２においてエアジェットノズル３２からフィルム２に向かってガスを吐出し、かつ、巻取開口部１７においてクリーニングノズル３１（３１ａ、３２ｂ）からフィルム２に向かってガスを吐出する。
【００８６】
これにより、送出開口部１２において、フィルム２の裏面に、エアジェットノズル３２からのガスが衝突するため、フィルム２の裏面に粉体３が付着することを抑制することができる。その結果、粉体３が付着した裏面が、ステージ１９に接触して、フィルムが変形することを防止することができる。
【００８７】
一方、巻取開口部１７において、粉体３が付着されたフィルム２の表面および裏面に、２つのクリーニングノズル３１（３１ａ、３２ｂ）からのガスが衝突するため、フィルム２に付着した余分な粉体３が除去される。
【００８８】
そして、この粉体コーティング装置１によれば、送出ロール１０と、送出ロール１０に対して後側（搬送方向下流側）に配置される巻取ロール１４と、送出ロール１０と巻取ロール１４との前後方向途中（搬送方向途中）においてフィルム２と対向するように配置される成膜ノズル１８と、送出ロール１０を収容する第１ケーシング９と、巻取ロール１４を収容するおよび第２ケーシング１３と、成膜ノズル１８、第１ケーシング９および第２ケーシング１３を収容する装置用ケーシング６と、第１ケーシング９および第２ケーシング１３のそれぞれの内圧を装置用ケーシング６の内圧よりも高く設定する圧力調整ユニット１６とを備えている。
【００８９】
そのため、相対的に低圧の装置用ケーシング６の内部に飛散する粉体３が、相対的に高圧の第１ケーシング９および第２ケーシング１３の内部に入り込むことを抑制することができる。その結果、第１ケーシング９および第２ケーシング１３、送出ロール１０および巻取ロール１４を駆動させるギヤ、コーティングされたフィルム２などに粉体３が付着することを防止できる。よって、粉体３による影響を低減させることができる。
【００９０】
また、粉体コーティング装置１は、第１ケーシング９および第２ケーシング１３を備え、第１ケーシング９が送出ロール１０を収容し、第２ケーシング１３が巻取ロール１４を収容している。
【００９１】
そのため、送出ロール１０および巻取ロール１４間の相対的位置や距離を自由に調整することができる。その結果、装置設計の自由度を向上させることができる。
【００９２】
また、粉体コーティング装置１では、ガス流入管３０を用いて、装置用ケーシング６の外部から第１ケーシング９および第２ケーシング１３の内部にガスを送り込んで、第１ケーシング９および第２ケーシング１３の内圧を調整している。
【００９３】
そのため、簡便にかつ確実に、第１ケーシング９および第２ケーシング１３の内圧を装置用ケーシング６の内圧よりも高く設定できる。
【００９４】
１−３．変形例
図１の実施形態では、巻取開口部１７付近に２つのクリーニングノズル３１を備えているが、例えば、図示しないが、１つのクリーニングノズル３１を備えていてもよく、また、クリーニングノズル３１を備えていなくてもよい。
【００９５】
好ましくは、粉体コーティング装置１は、２つのクリーニングノズル３１を備えている。これにより、フィルム２の付着した余分な粉体３を確実に除去することができ、コーティングされたフィルム２の品質を一定にすることができる。また、巻取ロール１４に巻き取られたフィルム２は、クリーニングノズル３１によって自動的に余分な粉体３が除去されるため、その後の使用において、フィルム２に対し粉体３を除去する工程を不要とすることができる。
【００９６】
図１の実施形態では、送出開口部１２付近に、エアジェットノズル３２を備えているが、例えば、図示しないが、エアジェットノズル３２を備えていなくてもよい。
【００９７】
好ましくは、粉体コーティング装置１は、エアジェットノズル３２を備えている。これにより、粉体３が、フィルム２の裏面に付着することを抑制することができる。そのため、粉体３が付着した裏面が、ステージ１９に接触して、フィルムが変形をすることを防止することができる。
【００９８】
図１の実施形態では、ガス流入管３０（３０ａ、３０ｂ）を通じて、第１ケーシング９および第２ケーシング１３のそれぞれにガスを流入することにより、第１ケーシング９および第２ケーシング１３の内圧を、装置用ケーシング６の内圧よりも高く設定しているが、例えば、図示しないが、装置用ケーシング６に真空ポンプなどを取り付けて、装置用ケーシング６の内部を低圧にする一方、ガス流入管３０（３０ａ、３０ｂ）を通じて第１ケーシング９および第２ケーシング１３のそれぞれを大気開放することにより、第１ケーシング９および第２ケーシング１３の内圧を、装置用ケーシング６の内圧よりも高く設定することもできる。
【００９９】
図１の実施形態では、フィルム２の表面にのみ粉体３を付着しているが、例えば、図示しないが、フィルム２の両面（表面および裏面）に粉体３を付着することもできる。具体的には、フィルム２の表面に粉体３を付着させ、フィルム２を巻取ロール１４に完全に巻き取った後に、フィルム２を巻き取った巻取ロール１４と、送出ロール１０とを着脱交換する。次いで、ステージ１９の最凸部３５にてフィルム２の裏面に粉体３が付着するように、フィルム２を巻取ロール１４から送出ロール１０に搬送する。
【０１００】
また、図示しないが、ステージ１９の形状および位置を適宜調整して、ステージ１９の下側に成膜ノズルをさらに対向配置することにより、フィルム２の両面に同時に粉体３を付着することもできる。
【０１０１】
図１および図３の実施形態では、噴射孔の形状が幅方向に延びるように形成される１つの成膜ノズル１８を備えているが、例えば、図示しないが、成膜ノズル１８は、幅方向に整列配置される複数の成膜ノズルを備えることもできる。
【０１０２】
図１の実施形態では、４つのテンションロール（１１ａ、１１ｂ、１５ａ、１５ｂ）を備えているが、例えば、図示しないが、テンションロールの数を適宜増減することもできる。
【０１０３】
２．第２実施形態
図２を参照して、本発明の粉体コーティング装置の第２実施形態について説明する。
【０１０４】
図２の説明において、図１の実施形態と同様の部材については、同一の参照符号を付し、その詳細を省略する。
【０１０５】
また、粉体コーティング装置の方向を言及するときは、図２の紙面上下方向を「上下方向」（第１方向）とし、紙面上方が上側であり、紙面下方が下側である。また、図２の紙面左右方向を「前後方向」（第２方向、第１方向に直交する方向）とし、紙面右方向が前側であり、図２の紙面左方向が後側である。また、図２の紙厚方向を「幅方向」（第３方向、第１方向および第２方向に直交する方向）とし、紙厚手前が幅方向一方側であり、紙厚方向奥が幅方向他方側である。図３についても、図２の方向を基準とする。
【０１０６】
第２実施形態の粉体コーティング装置４０は、搬送部４１および噴射部５を備える。
【０１０７】
搬送部４１は、装置用ケーシング６と、装置用ケーシング６の内部に収容される送出・巻取部４２とを備える。
【０１０８】
送出・巻取部４２は、装置用ケーシング６の内部の前側に配置されている。
【０１０９】
送出・巻取部４２は、ロール用チャンバーの一例としてのロール用ケーシング４３と、送出ロール１０と、巻取ロール１４と、第１テンションロール１１ａと、第２テンションロール１１ｂと、第３テンションロール１５ａと、第４テンションロール１５ｂとを備えている。
【０１１０】
ロール用ケーシング４３は、幅方向に延びる箱型形状（図３参照）に形成され、送出ロール１０、巻取ロール１４、第１テンションロール１１ａ、第２テンションロール１１ｂ、第３テンションロール１５ａおよび第４テンションロール１５ｂを収容している。
【０１１１】
ロール用ケーシング４３の後壁には、送出開口部１２および巻取開口部１７が形成されている。送出開口部１２は、ロール用ケーシング４３の後壁の上側において、幅方向に延びるように形成されている。巻取開口部１７は、送出開口部１２と間隔を隔てて後壁の下側に、幅方向に延びるように形成されている。
【０１１２】
送出ロール１０は、ロール用ケーシング４３の上側および前側に配置されている。
【０１１３】
巻取ロール１４は、ロール用ケーシング４３の下側および前側に配置されている。すなわち、巻取ロール１４は、送出ロール１０の下側に対向配置されている。
【０１１４】
第１テンションロール１１ａは、送出ロール１０の後側に配置されている。
【０１１５】
第２テンションロール１１ｂは、送出ロール１０の後側かつ第１テンションロール１１ａの上側に配置されている。
【０１１６】
第３テンションロール１５ａは、巻取ロール１４の後側に配置されている。
【０１１７】
第４テンションロール１５ｂは、巻取ロール１４の後側かつ第３テンションロール１５ａの上側に配置されている。
【０１１８】
なお、ロール用ケーシング４３は、ロール用ケーシング４３の内圧を測定するための圧力計５４を備えている。
【０１１９】
噴射部５は、成膜ノズル１８と、ステージ１９と、噴射装置２０と、連結管２２とを備えている。
【０１２０】
成膜ノズル１８は、ロール用ケーシング４３の後壁に対して後側に間隔を隔てて対向配置されている。また、成膜ノズル１８の上下方向位置は、送出開口部１２および巻取開口部１７の上下方向の間となるように配置されている。成膜ノズル１８の噴射口は、前側のステージ１９に向かうように配置されている。
【０１２１】
ステージ１９は、正面視において、幅方向に延びる略矩形状に形成されており、幅方向一方から他方側に見た側面視において、後側に凸となる弓型形状（円弧形状）に形成されている。ステージ１９は、成膜ノズル１８と間隔を隔てて前側に対向配置されている。ステージ１９は、その前面が、ロール用ケーシング４３の後壁に接触するように配置されている。詳しくは、ステージ１９は、送出開口部１２および巻取開口部１７の上下方向途中に配置されている。ステージ１９の最凸部３５は、成膜ノズル１８の噴射口と最も近接しており、最凸部３５において、成膜ノズル１８から噴出される粉体３がフィルム２にコーティングされる。
【０１２２】
なお、ステージ１９は、ロール用ケーシング４３によって支持および固定されている。
【０１２３】
粉体コーティング装置４０は、ガス流入管３０を備える圧力調整ユニット１６を備えている。ガス流入管３０は、ロール用ケーシング４３に設けられている。
【０１２４】
ガス流入管３０は、その一端部（流出側端部）がロール用ケーシング４３の内部に位置するとともに、他端部（流入側端部）が装置用ケーシング６およびロール用ケーシング４３の前壁を貫通して装置用ケーシング６の外部に位置するように、配置されている。ガス流入管３０の一端部は、ロール用ケーシング４３の内部において、巻取ロール１４より下側に配置されている。
【０１２５】
第２実施形態の粉体コーティング装置４０を用いてフィルム２に粉体３を付着するコーティング方法については、第１実施形態の粉体コーティング装置１と同様にして実施することができる。
【０１２６】
すなわち、図２が参照されるように、フィルム２を送出・巻取部４２にセットする。すなわち、第１実施形態と同様にして、フィルム２を送出ロール１０に巻回し、第１テンションロール１１a、第２テンションロール１１ｂ、送出開口部１２、ステージ１９の最凸部３５、第３テンションロール１５ａ、第４テンションロール１５ｂおよび巻取開口部１７を順次通過させ、巻取ロール１４に係止させる。
【０１２７】
次いで、ガス流入管３０を通じて、ロール用ケーシング４３にガスを流入することにより、ロール用ケーシング４３の内圧を、装置用ケーシング６の内圧（具体的には、ロール用ケーシング４３が占める空間を除いた空間の圧力）よりも高く設定する。
【０１２８】
ロール用ケーシング４３の内圧は、例えば、１０Ｐａ以上、好ましくは、５０Ｐａ以上、より好ましくは、１００Ｐａ以上であり、また、例えば、８００００Ｐａ以下、好ましくは、１００００Ｐａ以下、より好ましくは、２１００Ｐａ以下である。
【０１２９】
ロール用ケーシング４３の内圧と、装置用ケーシング６の内圧との差は、例えば、１０Ｐａ以上、好ましくは、１００Ｐａ以上であり、また、例えば、１００００Ｐａ以下、好ましくは、１０００Ｐａ以下である。
【０１３０】
一方、噴射装置２０に粉体３を充填した後、成膜ノズル１８から前側、すなわち、搬送されるフィルム２に向かって、公知の噴射方法によって、噴射する。
【０１３１】
これにより、粉体３が表面に付着（コーティング）されたフィルム２が得られる。
【０１３２】
そして、この粉体コーティング装置４０によれば、送出ロール１０と、送出ロール１０に対して下側（搬送方向下流側）に配置される巻取ロール１４と、送出ロール１０と巻取ロール１４との上下方向途中（搬送方向途中）においてフィルム２と対向するように配置される成膜ノズル１８と、送出ロール１０および巻取ロール１４を収容するロール用ケーシング４３と、成膜ノズル１８およびロール用ケーシング４３を収容する装置用ケーシング６と、ロール用ケーシング４３の内圧を装置用ケーシング６の内圧よりも高く設定する圧力調整ユニット１６とを備えている。
【０１３３】
そのため、相対的に低圧の装置用ケーシング６の内部に飛散する粉体３が、相対的に高圧のロール用ケーシング４３の内部に入り込まれることを抑制することができる。その結果、粉体３が送出ロール１０および巻取ロール１４、送出ロール１０および巻取ロール１４を駆動させるギヤ、コーティングされたフィルム２などに付着することを防止できる。よって、粉体３による影響を低減させることができる。
【０１３４】
また、この粉体コーティング装置４０は、ロール用ケーシング４３を備え、ロール用ケーシング４３が送出ロール１０および巻取ロール１４を収容する。
【０１３５】
そのため、ロール用ケーシング４３の内圧のみを、装置用ケーシング６の内圧よりも高く設定すればよいため、装置を簡便にすることができる。
【０１３６】
また、粉体コーティング装置４０では、ガス流入管３０を用いて、装置用ケーシング６の外部からロール用ケーシング４３の内部にガスを送り込んで、ロール用ケーシング４３の内圧を調整している。
【０１３７】
そのため、簡便にかつ確実に、ロール用ケーシング４３の内圧を装置用ケーシング６の内圧よりも高く設定できる。
【０１３８】
なお、図２の実施形態では、クリーニングノズル３１を備えていないが、例えば、図１に参照されるように、巻取開口部１７付近に、１または２以上のクリーニングノズル３１を備えることもできる。
【０１３９】
また、図２の実施形態では、エアジェットノズル３２を備えていないが、例えば、図１に参照されるように、送出開口部１２付近に、エアジェットノズル３２を備えることもできる。
【０１４０】
図２の実施形態では、ガス流入管３０を通じて、ロール用ケーシング４３にガスを流入することにより、ロール用ケーシング４３の内圧を、装置用ケーシング６の内圧よりも高く設定しているが、例えば、図示しないが、装置用ケーシング６に真空ポンプなどを取り付けて、装置用ケーシング６の内部を低圧にする一方、ガス流入管３０を通じてロール用ケーシング４３を大気開放することにより、ロール用ケーシング４３の内圧を、装置用ケーシング６の内圧よりも高く設定することもできる。
【０１４１】
図２の実施形態では、フィルム２の表面にのみ粉体３を付着しているが、例えば、図示しないが、フィルム２の両面（表面および裏面）に粉体３を付着することもできる。具体的には、フィルム２の表面に粉体３を付着させ、巻取ロール１４にフィルム２を完全に巻き取った後に、フィルム２を巻き取った巻取ロール１４と、送出ロール１０とを着脱交換する。次いで、ステージ１９の最凸部３５にてフィルム２の裏面に粉体３が付着するように、フィルム２を巻取ロール１４から送出ロール１０に搬送する。
【０１４２】
また、図示しないが、ステージ１９の形状および位置を適宜調整して、ステージ１９の前側に成膜ノズルをさらに対向配置することにより、フィルム２の両面に同時に粉体３を付着することができる。
【０１４３】
図２および図３の実施形態では、噴射孔の形状が幅方向に延びるように形成される１つの成膜ノズル１８を備えているが、例えば、図示しないが、成膜ノズル１８は、幅方向に整列配置される複数の成膜ノズルを備えることもできる。
【０１４４】
図２の実施形態では、４つのテンションロール（１１ａ、１１ｂ、１５ａ、１５ｂ）を備えているが、例えば、図示しないが、テンションロールの数を適宜増減することもできる。
【０１４５】
３．エアロゾルデポジションによる粉体コーティング装置
図４を用いて、第１実施形態のさらなる具体例として、エアロゾルデポジション法を用いた粉体コーティング装置５０の本発明の一実施形態を説明する。
【０１４６】
図４の粉体コーティング装置５０は、噴射装置２０として、エアロゾルチャンバー２１およびキャリアガス輸送装置２４を備えている。
【０１４７】
エアロゾルチャンバー２１は、粉体３を貯留する貯留槽であって、振動装置２９、および、エアロゾルチャンバー２１の内圧を測定するための圧力計（図示せず）を備えている。
【０１４８】
振動装置２９は、エアロゾルチャンバー２１、および、エアロゾルチャンバー２１内の粉体３を振動させるための装置であって、公知の振盪器が用いられる。
【０１４９】
また、エアロゾルチャンバー２１には、連結管２２が接続されている。
【０１５０】
連結管２２は、エアロゾル化された粉体３（以下、エアロゾル）を、エアロゾルチャンバー２１から装置用ケーシング６に輸送するための配管であって、その一端部がエアロゾルチャンバー２１に接続され、その他端部には、成膜ノズル１８が接続されている。
【０１５１】
また、連結管２２の途中には、連結管開閉弁２３が介在されている。連結管開閉弁２３としては、例えば、電磁弁など、公知の開閉弁が用いられる。
【０１５２】
キャリアガス輸送装置２４は、キャリアガスボンベ２５およびガス管２６を備えている。
【０１５３】
キャリアガスボンベ２５は、例えば、酸素ガス、ヘリウムガス、アルゴンガス、窒素ガス、空気などのキャリアガスを貯留するボンベであって、ガス管２６を介して、エアロゾルチャンバー２１に接続されている。
【０１５４】
ガス管２６は、キャリアガスをキャリアガスボンベ２５からエアロゾルチャンバー２１に輸送するための配管であって、その一端部がキャリアガスボンベ２５に接続されるとともに、他端部がエアロゾルチャンバー２１に接続されている。
【０１５５】
また、ガス管２６の途中には、ガス流量計２７が介在されている。ガス流量計２７は、ガス管２６内のガスの流量を調整するとともに、その流量を検知するための装置であって、公知の流量計が用いられる。
【０１５６】
さらに、ガス管２６の途中には、ガス流量計２７よりもエアロゾルチャンバー２１側において、ガス管開閉弁２８が介在されている。ガス管開閉弁２８としては、例えば、電磁弁などの公知の開閉弁が用いられる。
【０１５７】
また、粉体コーティング装置５０では、装置用ケーシング６にメカニカルブースターポンプ３３とロータリーポンプ３４とが設けられている。
【０１５８】
メカニカルブースターポンプ３３およびロータリーポンプ３４は、装置用ケーシング６内を減圧するとともに、装置用ケーシング６に連結管２２を介して連通されるエアロゾルチャンバー２１内を減圧するため、装置用ケーシング６に順次接続されている。
【０１５９】
このような粉体コーティング装置５０によりフィルム２に粉体３を付着するためには、上述したように、フィルム２を搬送部４にセットし、次いで、ガス流入管３０により第１ケーシング９および第２ケーシング１３の内圧を、装置用ケーシング６の内圧よりも高く設定し、フィルム２を搬送させる。
【０１６０】
次いで、粉体コーティング装置５０におけるコーティング方法において、噴射工程では、下記の手順を実施する。
【０１６１】
まず、この工程では、ガス管開閉弁２８を閉とし、また、連結管開閉弁２３を開とするとともに、メカニカルブースターポンプ３３およびロータリーポンプ３４を駆動させることにより、装置用ケーシング６内およびエアロゾルチャンバー２１内を減圧する。
【０１６２】
装置用ケーシング６の内圧は、例えば、５〜８０Ｐａであり、エアロゾルチャンバー２１の内圧は、例えば、５〜８０Ｐａである。
【０１６３】
次いで、この方法では、粉体３を、エアロゾルチャンバー２１内において、振動装置２９により振動させるとともに、連結管開閉弁２３を閉とし、ガス管開閉弁２８を開として、キャリアガスボンベ２５からキャリアガスをエアロゾルチャンバー２１に供給する。これにより、粉体３をエアロゾル化させる。その後、連結管開閉弁２３を開として、発生したエアロゾルを、連結管２２を介して成膜ノズル１８に輸送する。このとき、エアロゾルは、成膜ノズル１８の内壁に衝突して破砕され、より粒径の小さな粒子となる。
【０１６４】
また、ガス流量計２７により調整されるキャリアガスの流量は、例えば、１Ｌ／分以上、好ましくは、３Ｌ／分以上であり、また、例えば、１５０Ｌ／分以下、好ましくは、１００Ｌ／分以下である。
【０１６５】
次いで、この方法では、エアロゾルを、成膜ノズル１８の噴射口からフィルム２の表面に向けて噴射する。
【０１６６】
エアロゾル噴射中のエアロゾルチャンバー２１の内圧は、例えば、５０Ｐａ以上、好ましくは、１０００Ｐａ以上であり、また、例えば、１ａｔｍ以下、好ましくは、５００００Ｐａ以下である。
【０１６７】
この際、第１ケーシング９および第２ケーシング１３は、ガス流入管３０よりガスがそれらの内部に供給されることにより、それらの内圧は、上記したように、装置用ケーシング６の内圧よりも高く設定されている。
【０１６８】
例えば、装置用ケーシング６の内圧と、第１ケーシング９または第２ケーシング１３のと内圧の差は、それぞれ、例えば、１０Ｐａ以上、好ましくは、１００Ｐａ以上であり、また、例えば、１００００Ｐａ以下、好ましくは、１０００Ｐａ以下である。
【０１６９】
また、エアロゾル噴射中のエアロゾルチャンバー２１内の温度は、例えば、０〜５０℃℃である。
【０１７０】
これにより、フィルム２の表面には、粉体３が付着される。
【０１７１】
この粉体コーティング装置５０によれば、エアロゾルデポジション法により粉体３をコーティングするため、緻密な粉体層や多孔質な粉体層をフィルム２の表面に形成することができる。特に、粉体３として金属酸化物粒子を用いた場合に、緻密な金属酸化層や多孔質な金属酸化層を容易に形成することができる。
【０１７２】
また、粉体コーティング装置５０は、ロールツーロール方式を採用しているため、従来のバッチ式と比較して、格段に効率良く、粉体層がコーティングされたフィルム２を製造することができる。
【０１７３】
また、粉体コーティング装置５０は、第１ケーシング９および第２ケーシング１３の内圧を、装置用ケーシング６の内圧よりも高く設定することができるため、粉体３が送出ロール１０や巻取ロール１４、送出ロール１０や巻取ロール１４を駆動させるギヤ、コーティングされたフィルム２などに付着することを防止できる。よって、粉体３による影響を低減させることができる。
【符号の説明】
【０１７４】
１  粉体コーティング装置
２  フィルム
３  粉体
６  装置用ケーシング
９  第１ケーシング
１０  送出ロール
１３  第２ケーシング
１４  巻取ロール
１６  圧力調整ユニット
１８  成膜ノズル
３０  ガス流入管
３２  クリーニングノズル
４０  粉体コーティング装置
４３  ロール用ケーシング
５０  粉体コーティング装置
【図１】
0006396123.tif 000002
【図２】
0006396123.tif 000003
【図３】
0006396123.tif 000004
【図４】
0006396123.tif 000005