(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形の板状ワークの片面が貼着されたダイシングテープを吸引保持するチャックテーブルと、該ダイシングテープを介して該チャックテーブルに吸引保持される板状ワークを切削ブレードで切削する切削手段と、を備えた切削装置であって、
該ダイシングテープは、板状ワークからはみ出し板状ワークが貼着されないはみ出し部を備え、
該チャックテーブルは、該ダイシングテープに板状ワークが貼着されたエリアを吸引するワーク吸引面と、該チャックテーブルの外周に向かって下降するように傾斜させ該ダイシングテープに板状ワークが貼着されない該はみ出し部を吸引するテープ吸引面と、を備え、
該はみ出し部を該テープ吸引面で吸引させ切削加工中に該ダイシングテープの捲れを防止することを特徴とする切削装置。
【請求項２】
前記チャックテーブルは、前記テープ吸引面の傾斜の周縁部に、前記ダイシングテープの外周縁を挿入させる挿入溝を備える請求項１記載の切削装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の切削装置を用いた切削方法であって、
矩形の板状ワークの片面に前記はみ出し部を形成させ前記ダイシングテープを貼着する貼着工程と、
前記チャックテーブルの前記ワーク吸引面及び前記テープ吸引面に前記ダイシングテープを吸引させ前記ダイシングテープに貼着される板状ワークを保持する保持工程と、
該保持工程で前記チャックテーブルに保持された板状ワークを前記切削手段で切削する切削工程と、
からなる切削方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状ワークを切削する切削装置及び板状ワークの切削方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエーハ等の板状ワークを切削する切削装置では、板状ワークの取り扱いを容易にするために、環状フレームが貼着されたダイシングテープに板状ワークを貼着し、さらに該環状フレームをチャックテーブル上に固定した状態で、板状ワークに対して切削ブレードを切込ませることで切削加工を行っている（例えば特許文献１、２参照）。しかし、環状フレームの内周は円形であるため、板状ワークの外形が矩形状である場合、板状ワークの底面全面をダイシングテープに貼着すると、板状ワークが貼着されていない部分のダイシングテープの面積が広くなり、無駄にダイシングテープの使用量が増えてコストが嵩むという問題がある。このようなコストを削減しかつ板状ワークの保持も確実なものとする手段としては、環状フレームを使用せずに、ダイシングテープに対してダイシングテープの端が板状ワークからはみ出るように板状ワークを貼着し、該ダイシングテープをチャックテーブルに吸引保持して切削加工を行うことが考えられる（特願２０１３−１０３４１４号）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平０８−０６９９８５号公報
【特許文献２】特開２０１０−１１８４２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、切削装置を用いて板状ワークを切削加工する場合には、切削により生じた切削屑が板状ワーク上に滞留してデバイスが汚染されるのを防ぐ必要がある。そこで、切削装置の切削ブレード周辺に切削液を噴出する切削液ノズルを配置して、切削液ノズルから高圧で切削液を噴射させながら切削加工を行うことで、切削屑の滞留を防いでいる。
【０００５】
しかし、この場合に環状フレームを用いないで切削加工を行うと、切削液ノズルから噴射される高圧の切削液がダイシングテープとチャックテーブルとの間に入り込み、切削液の圧力によりダイシングテープが捲れることがある。このため、チャックテーブルによるダイシングテープの吸引保持が維持できなくなり、ダイシングテープとともに板状ワークがチャックテーブルからずれたり吹き飛んだりすることで板状ワークの切削加工に支障をきたし得る。
【０００６】
本発明は、上記問題が生じ得ることに鑑み提案されたものである。すなわち、環状フレームを用いずに板状ワークをチャックテーブル上に保持しかつ切削屑の除去のために切削液ノズルから高圧の切削液を噴出させて切削加工を行う場合であっても、ダイシングテープがチャックテーブル上で捲れることを防止し、板状ワークがチャックテーブル上で安定して吸引保持されることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するための本発明は、矩形の板状ワークの片面が貼着されたダイシングテープを吸引保持するチャックテーブルと、該ダイシングテープを介して該チャックテーブルに吸引保持される板状ワークを切削ブレードで切削する切削手段と、を備えた切削装置であって、該ダイシングテープは、板状ワークからはみ出し板状ワークが貼着されないはみ出し部を備え、該チャックテーブルは、該ダイシングテープに板状ワークが貼着されたエリアを吸引するワーク吸引面と、該チャックテーブルの外周に向かって下降するように傾斜させ該ダイシングテープに板状ワークが貼着されない該はみ出し部を吸引するテープ吸引面と、を備え、該はみ出し部を該テープ吸引面で吸引させ切削加工中に該ダイシングテープの捲れを防止することを特徴とする切削装置である。
【０００８】
前記チャックテーブルは、前記テープ吸引面の傾斜の周縁部に、前記ダイシングテープの外周縁を挿入させる挿入溝を備えるものが好ましい。
【０００９】
また、上記目的を達成するための本発明は、前記切削装置を用いた切削方法であって、矩形の板状ワークの片面に前記はみ出し部を形成させ前記ダイシングテープを貼着する貼着工程と、前記チャックテーブルの前記ワーク吸引面及び前記テープ吸引面に前記ダイシングテープを吸引させ前記ダイシングテープに貼着される板状ワークを保持する保持工程と、該保持工程で前記チャックテーブルに保持された板状ワークを前記切削手段で切削する切削工程と、からなる切削方法である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明は、切削装置において、板状ワークが貼着されないはみ出し部をダイシングテープが備え、板状ワークが貼着されたエリアを吸引するワーク吸引面と、該チャックテーブルの外周に向かって下降するように傾斜させ該ダイシングテープに板状ワークが貼着されないはみ出し部を吸引するテープ吸引面とをチャックテーブルが備えるため、チャックテーブル上で環状フレームを用いずにダイシングテープを介して板状ワークを保持し、かつ、切削液ノズルから高圧の切削液を噴出させて切削加工を行う場合であっても、はみ出し部をテープ吸引面で吸引させることで、切削液ノズルから噴出される切削液がチャックテーブルとダイシングテープとの隙間に侵入するのを防ぐことができ、ダイシングテープの捲れを防止することが可能となる。
【００１１】
さらに、前記チャックテーブルに前記テープ吸引面の傾斜の周縁部に挿入溝を備えることで、挿入溝にダイシングテープの外周縁を挿入させることにより、切削液がダイシングテープとチャックテーブルとの隙間に侵入するのを防ぐことに加えて、ダイシングテープの外周縁が挿入溝に引っ掛かることで、噴出される切削液によるダイシングテープの捲れをより確実に防ぐことが可能となる。
【００１２】
また、前記切削装置を用いて、矩形の板状ワークの片面にはみ出し部を形成して前記ダイシングテープを貼着する貼着工程と、チャックテーブルのワーク吸引面及びテープ吸引面にダイシングテープを吸引させダイシングテープに貼着される板状ワークを保持する保持工程と、保持工程でチャックテーブルに保持された板状ワークを切削手段で切削する切削工程とを行うことで、切削液ノズルから高圧の切削液を噴出させて切削加工を行う場合におけるダイシングテープの捲れを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】板状ワークがダイシングテープに貼着された状態を示す斜視図である。
【図２】切削装置の一例を示す斜視図である。
【図３】図２のＡ部を拡大して示す斜視図である。
【図４】（Ａ）は、実施形態１のチャックテーブルの平面図、（Ｂ）は、チャックテーブルの実施形態２の平面図である。
【図５】（Ａ）は、図４（Ａ）のチャックテーブルのＢ−Ｂ線断面図、（Ｂ）は、図４（Ｂ）のチャックテーブルのＣ−Ｃ線断面図である。
【図６】（Ａ）は、実施形態１のチャックテーブル上でダイシングテープを介して板状ワークが保持された状態を示す平面図である。（Ｂ）は、実施形態２のチャックテーブル上でダイシングテープを介して板状ワークが保持された状態を示す平面図である。
【図７】（Ａ）は、図４（Ａ）のチャックテーブルを備える切削装置を用いた切削方法において、板状ワークが切削送りされている状態の断面図である。（Ｂ）は、図４（Ｂ）のチャックテーブルを備える切削装置を用いた切削方法において、板状ワークが切削送りされている状態の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
図１に示す板状ワークＷは矩形状であり、板状ワークＷの板状ワーク上面Ｗａは、ストリートＳで区画されている。板状ワークＷの板状ワーク底面Ｗｂには、ダイシングテープＴの粘着面Ｔａが貼着される。粘着面Ｔａは、板状ワーク底面Ｗｂの全面を覆う面積を有している。また、ダイシングテープＴは、板状ワークＷが貼着された貼着エリアＴｃと、ダイシングテープＴが板状ワークＷからはみ出し板状ワークＷが貼着されないはみ出し部Ｔｄとを備える。なお、貼着エリアＴｃの面積とはみ出し部Ｔｄとの面積の比は、保持する板状ワークＷの種類及び大きさにより適宜変更可能である。
【００１５】
図２に示す切削装置１は、チャックテーブル３に吸引保持される板状ワークＷを切削送り手段５によって切削送り方向（Ｘ軸方向）に往復させて切削送りを行い、切削手段６によって切削加工を施すものである。
【００１６】
図２に示す切削装置１の基台２上に配設された切削送り手段５は、Ｘ軸方向の軸心を有するボールネジ５０と、ボールネジ５０と平行に配設された一対のガイドレール５１と、ボールネジ５０を回動させるモータ５２と、内部のナットがボールネジ５０に螺合し底部がガイドレール５１に摺接する可動板５３と、可動板５３の位置を示すスケール５４とから構成され、モータ５２がボールネジ５０が回動させると、これに伴い可動板５３がガイドレール５１にガイドされてＸ軸方向に往復移動し、可動板５３に設けた図示しないヘッドがスケール５４を検出することによって、可動板５３の位置が認識される構成となっている。可動板５３上にはインデックス送り手段７が配設されている。
【００１７】
図２に示すインデックス送り手段７は、Ｙ軸方向の軸心を有するボールネジ７０と、ボールネジ７０と平行に配設された一対のガイドレール７１と、ボールネジ７０を回動させるモータ７２と、内部のナットがボールネジ７０に螺合し底部がガイドレール７１に摺接する可動板７３と、可動板７３の位置を示すスケール７４とから構成され、モータ７２がボールネジ７０を回動させると、これに伴い可動板７３がガイドレール７１にガイドされてＹ軸方向に往復移動し、可動板７３に設けた図示しないヘッドがスケール７４を検出することによって可動板７３の位置が認識される構成となっている。可動板７３上には、チャックテーブル３を回転させる回転手段４０が設けられている。
【００１８】
図２に示す切込み送り手段９は、Ｚ軸方向の軸心を有するボールネジ９０と、ボールネジ９０と平行に配設された一対のガイドレール９１と、ボールネジ９０を回動させるモータ９２と、内部のナットがボールネジ９０に螺合し側部がガイドレールに摺接する可動板９３とから構成され、モータ９２がボールネジ９０を回動させると、これに伴い可動板９３がガイドレール９１にガイドされてＺ軸方向に往復移動する構成となっている。
【００１９】
図２、３に示すように、切削手段６は、軸方向が可動板５３の移動方向（Ｘ軸方向）に対し水平方向に直交する方向（Ｙ軸方向）である回転軸を有するスピンドル６０と、スピンドル６０を回転可能に支持するハウジング６１と、スピンドル６０に固定され回転可能な切削ブレード６２とを備えている。ハウジング６１には、板状ワークＷの切削すべき位置を撮像して検出するための撮像手段６１０が固定されている。ハウジング６１は、可動板９３に固定されている。
【００２０】
図３に示すように、切削ブレード６２は、円盤状に形成され基台６２０の周縁に切れ刃６２１が固着されて構成され、ナット６５によってスピンドル６０に固定されている。切れ刃６２１のＹ軸方向前後には、切れ刃６２１の板状ワークＷに対する加工点に切削液を供給する一対の切削液ノズル６３が設けられている。さらに、切れ刃６２１の面方向の延長方向にも、切削液を噴出する切削液ノズル６４が配設されている。切削液ノズル６３、６４から噴出される切削液は、切削液流入口６３０、６４０からそれぞれ流入する。切削液ノズル６３から噴出される切削液は、切れ刃６２１と板状ワークＷとの接触部位を冷却し、切削液ノズル６４から噴出される切削液は、板状ワークＷの加工点に生じた切削屑を除去する。
【００２１】
図２に示す切削装置１が備えるチャックテーブル３の実施形態の一つである図４（Ａ）、図５（Ａ）に示すチャックテーブル３ａは、例えば、その外形が、矩形の板状ワークＷに対応する矩形状であり、板状ワークＷが貼着されたダイシングテープＴを吸引保持する保持面３０と、図２に示す回転手段４０が接続される底面３１とを備える。保持面３０は、ダイシングテープＴのうち板状ワークＷが貼着された貼着エリアＴｃ（図１参照）を吸引するワーク吸引面３２と、チャックテーブル３の外周に向かって下降するように傾斜させダイシングテープＴに板状ワークＷが貼着されないはみ出し部Ｔｄ（図１参照）を吸引するテープ吸引面３３とを備える。
【００２２】
ワーク吸引面３２及びテープ吸引面３３は、例えば、ポーラスセラミックス等からなる。また、テープ吸引面３３は、図４（Ａ）で示すように、矩形状のチャックテーブル３ａの外周を構成する四辺全てに沿って備えられていると好ましいが、保持する板状ワークＷの種類によってはチャックテーブル３ａの外周を構成する一組の対辺に沿って備えられていてもよい。ワーク吸引面３２とテープ吸引面３３との面積の比は、貼着される板状ワークＷの大きさにより適宜変更可能である。
【００２３】
ワーク吸引面３２は、例えば保持面３０の中心点を中心として環状に形成された複数の吸引溝３４と、保持面３０の中心点から放射状に広がる４本の吸引溝３５とを備える。テープ吸引面３３は、吸引溝３４、３５に加えて、矩形状のチャックテーブル３ａの外周に沿って配置された吸引溝３７を備える。なお、吸引溝３４及び３５の配置や数は特に限定されるものではないが、吸引溝３４、３５は、ワーク吸引面３２及びテープ吸引面３３のそれぞれの面において等間隔に配置されることが好ましい。また、吸引溝３７は、図４（Ａ）で示すように、矩形状のチャックテーブル３ａの外周を構成する四辺全てに沿って配置されるのが好ましいが、保持する板状ワークＷの種類によってはチャックテーブル３ａの外周を構成する一組の対辺に沿って配置されていてもよい。
【００２４】
図５（Ａ）で示すように、切削装置１は、ダイシングテープＴをチャックテーブル３上で吸引保持するための吸引力を生み出す吸引源４１を備える。吸引源４１で生み出された吸引力は、吸引源４１に接続されチャックテーブル３ａの内部の中心を通る吸引管３６ａ及び吸引管３６ａに連通する吸引孔３６ｂを通り、吸引孔３６ｂに連通する吸引溝３４、３５、３７からワーク吸引面３２及びテープ吸引面３３に伝達される。吸引源４１は、例えば、真空発生装置及びコンプレッサー等である。
【００２５】
図２に示す切削装置１が備えるチャックテーブル３の実施形態の一つである図４（Ｂ）、５（Ｂ）に示すチャックテーブル３ｂは、図４（Ａ）及び５（Ａ）に示したチャックテーブル３ａの構成に加えて、テープ吸引面３３の傾斜した周縁部に、図１で示すダイシングテープＴのテープ外周縁Ｔｅを挿入させる挿入溝３８を備える。挿入溝３８は、図４（Ｂ）においては矩形状のチャックテーブル３ｂの周縁部中で一組の対辺に沿って備えられているが、周縁部全てに沿って備えてもよい。また、図５（Ｂ）に示すように、挿入溝３８の内部にも吸引溝３７が設けられていると、ダイシングテープＴの吸引保持がより強固なものとなるため好ましい。
【００２６】
（実施形態１）      
以下に、図１、図６（Ａ）及び図７（Ａ）を用いて、図１に示した板状ワークＷを切削装置１により切削する場合の切削装置１の動作及び切削方法について説明する。なお、図７（Ａ）において、切削装置１については切削手段６以外の構成を省略してある。
【００２７】
（１）貼着工程
最初に、図１に示すように、板状ワークＷの片面にダイシングテープＴを貼着する貼着工程を行う。貼着工程においては、初めに板状ワークＷの板状ワーク底面Ｗｂに対してダイシングテープＴのダイシングテープ貼着面Ｔａを対向させて位置合わせを行う。位置合わせの際には、ダイシングテープＴの外周全てが板状ワークＷからはみ出るようにすると好ましい。
【００２８】
位置合わせを行った後、板状ワーク底面Ｗｂの全面をダイシングテープＴａに貼着することで貼着工程が完了する。板状ワーク底面ＷｂをダイシングテープＴａに貼着する際には、図１に示すように、はみ出し部Ｔｄが板状ワークＷの外周を構成する四辺全ての外側に対して備わるように貼着すると好ましいが、板状ワークＷの種類によってははみ出し部Ｔｄが板状ワークＷの外周を構成する一組の対辺の外側に対して備わるように貼着してもよい。この場合には、図３に示すノズル６３、６４が切削液を放出する方向に対して、水平方向に直交する一組の対辺の外側にはみ出し部Ｔｄが備えられるとよい。
【００２９】
（２）保持工程
貼着工程が完了した後、図６（Ａ）、図７（Ａ）に示すように、チャックテーブル３ａのワーク吸引面３２及びテープ吸引面３３にダイシングテープＴを吸引させ、ダイシングテープＴに貼着される板状ワークＷを保持する保持工程を行う。
【００３０】
保持工程においては、まず、貼着工程において板状ワークＷに貼着したダイシングテープＴを、チャックテーブル３ａの保持面３０にダイシングテープ底面Ｔｂを下向きにして戴置するための位置合わせを行う。位置合わせに際しては、ダイシングテープＴの中心線軸とチャックテーブル３ａの中心線軸とを揃え、ダイシングテープＴの外周を構成する四辺とチャックテーブル３ａの外周を構成する四辺とがそれぞれ平行となるようにし、図６（Ａ）のように、吸引溝３４，３５，３７がすべてダイシングテープＴによって覆われ、チャックテーブル３ａの外周を構成する四辺がダイシングテープＴからはみ出るようにする。位置合わせを行った後、ダイシングテープＴをチャックテーブル３ａの保持面３０に戴置する。
【００３１】
次いで、吸引源４１を駆動させることで、吸引源４１により生み出された吸引力が吸引管３６ａ及び吸引孔３６ｂを通り吸引溝３４、３５及び３７を通してワーク吸引面３２及びテープ吸引面３３に伝達され、ワーク吸引面３２及びテープ吸引面３３によってダイシングテープ底面Ｔｂが吸引されることで、ダイシングテープＴに貼着された板状ワークＷがチャックテーブル３ａ上に保持される。同時に、図６（Ａ）、図７（Ａ）に示すように、チャックテーブル３ａの外周を構成する四辺にそれぞれ設けられたテープ吸引面３３がダイシングテープＴのはみ出し部Ｔｄを吸引する。はみ出し部Ｔｄの周縁部側は、テープ吸着面３３の傾斜にならって保持される。
【００３２】
（３）切削工程
保持工程が終了した後、保持工程でチャックテーブル３ａに保持された板状ワークＷを切削手段６で切削する切削工程を開始する。図７（Ａ）で示すように、切削工程においては、図２に示した切削送り手段５により、チャックテーブル３ａに固定された板状ワークＷがＸ軸正方向に送られるとともに、切削手段６が図２に示すインデックス送り手段７によってＹ軸方向に駆動され、板状ワークＷが撮像手段６１０によって撮像されて、切削手段６に備える切削ブレード６２が切削すべきストリートＳが検出される。
【００３３】
切削ブレード６２と検出したストリートＳとのＹ軸方向の位置合わせがインデックス送り手段７によって行われた後、切削送り手段５が板状ワーク２をさらにＸ軸正方向に送り出すとともに、切込み送り手段９が切削ブレード６２をＺ軸負方向に降下させていく。また、スピンドル６０に固定された切削ブレード６２が高速回転をしながら板状ワークＷに切込み、ストリートＳを切削していく。切削中は、切削ブレード６２と板状ワークＷとの接触部位に対して切削液ノズル６３から切削液が噴出されるとともに、切削液ノズル６４から板状ワークＷの上面に向けて切削送り方向（Ｘ軸方向）に切削液が噴出される。
【００３４】
図７（Ａ）で示すように、本切削加工中は、テープ吸引面３３がチャックテーブル３の外周に向かって下降するように傾斜していること及びテープ吸引面３３がダイシングテープＴのはみ出し部Ｔｄを吸引することで、ダイシングテープＴの外周縁Ｔｅも傾斜する。そのため、切削液ノズル６４から噴出される切削液が、ダイシングテープＴと保持面３０との間に向かないため、切削液ノズル６４から噴射される切削液がチャックテーブル３ａとダイシングテープＴとの間の隙間へ侵入することが防がれる。結果として、ダイシングテープＴが捲れることが抑えられるため、板状ワークＷをダウンカット（切削ブレードが板状ワークに対して上方にある場合に、切削ブレードが、その移動方向の前方において板状ワークを下向きに削るようにカット）する場合はもちろん、ダイシングテープＴの捲れが発生しやすいアップカット（切削ブレードが板状ワークに対して上方にある場合に、切削ブレードが、その移動方向の前方において板状ワークを上向きに削るようにカット）する場合であっても、ダイシングテープＴが捲れることなく安定して切削加工を行うことができる。なお、本実施形態においては、図４（Ａ）及び図６（Ａ）に示すように、テープ吸引面３３が矩形状のチャックテーブル３ａの外周を構成する四辺全てに沿って備えられていること及びチャックテーブル３ａの外周がダイシングテープＴからはみ出すようにダイシングテープＴが戴置され吸引されていることから、切削液ノズル６３、６４から噴出される切削液の噴出方向がどの方向であってもダイシングテープＴの捲れを防止できる。
【００３５】
切削ブレード６２がストリートＳを切削し終える＋Ｘ方向の所定の位置まで板状ワークＷが進行すると、切削送り手段５による板状ワークＷの切削送りを一度停止させ、切込み送り手段９が切削ブレード６２をＺ軸正方向に板状ワークＷから離間させる。次いで、切削送り手段５が板状ワークＷを−Ｘ方向へ送り出して元の位置に戻す。そして、隣り合うストリートＳの間隔ずつ切削ブレード６２をＹ軸方向にインデックス送りしながら順次同様の切削を行うことにより、同方向の全てのストリートＳを切削する。
【００３６】
さらに、チャックテーブル３ａを回転手段４０によって９０度回転させてから同様の切削を行うと、すべてのストリートＳが縦横に全てカットされて板状ワークＷは個々のチップに分割される。テープ吸引面３３が矩形状のチャックテーブル３ａの外周を構成する四辺全てに沿って備えられているため、チャックテーブル３ａを９０度回転させてからの切削においても、チャックテーブル３ａとダイシングテープＴとの間の隙間に切削液が侵入するのを防ぐことができ、ダイシングテープＴが捲れるのを抑えることができる。
【００３７】
（実施形態２）
以下に、図６（Ｂ）及び図７（Ｂ）を用いて、チャックテーブル３ｂを備える切削装置１により図１に示した板状ワークＷを切削する場合の切削装置１の動作及び切削方法について説明する。なお、図７（Ｂ）において、切削装置１については切削手段６以外の構成を省略してある。
【００３８】
（１）貼着工程
板状ワークＷの片面にダイシングテープＴを貼着する貼着工程は、チャックテーブル３ａを備える切削装置１を用いる場合と同様に行う。
【００３９】
（２）保持工程
ダイシングテープＴに貼着された板状ワークＷを保持する保持工程においては、図６（Ｂ）、図７（Ｂ）に示すように、貼着工程において板状ワークＷを貼着したダイシングテープＴを、チャックテーブル３ｂ上にダイシングテープ底面Ｔｂを下向きにして戴置する。また、チャックテーブル３ｂ上に戴置するに際し、ダイシングテープＴｂのテープ外周縁Ｔｅをチャックテーブル３ｂの挿入溝３８に差し込み、テープ外周縁Ｔｅを挿入溝３８に引っ掛ける。次いで、吸引源４１を駆動させることで、チャックテーブル３ａを用いた場合と同様に保持工程が完了する。
【００４０】
（３）切削工程
切削工程は、チャックテーブル３ａを備える切削装置１を用いる場合と同様である。図７（Ｂ）で示すように、本切削加工中には、テープ吸引面３３の傾斜の周縁部にダイシングテープＴのテープ外周縁Ｔｅを挿入させる挿入溝３８をチャックテーブル３ｂが備えていることから、テープ外周縁Ｔｅが挿入溝３８に引っかかることで、切削液ノズル６４から噴出する切削液がチャックテーブル３ｂとの間に入り込む入り口となり得る部分が、切削液が噴出される方向に対してカバーされ、ダイシングテープＴの捲れが発生するのをより確実に防止することができる。
【符号の説明】
【００４１】
１：切削装置  ２：基台
３：チャックテーブル  ３ａ：チャックテーブル  ３ｂ：チャックテーブル
３０：保持面  ３１：底面  ３２：ワーク吸引面  ３３：テープ吸引面  
３４：吸引溝  ３５：吸引溝  ３６ａ：吸引管  ３６ｂ：吸引孔  
３７：吸引溝  ３８：挿入溝
４０：回転手段  ４１：吸引源
５：切削送り手段  
５０：ボールネジ  ５１：ガイドレール  ５２：モータ  ５３：可動板  ５４：スケール
６：切削手段
６０：スピンドル  ６１：ハウジング  ６１０：撮像手段
６２：切削ブレード  ６２０：基台  ６２１：切れ刃  
６３：切削液ノズル  ６４：切削液ノズル  ６３０：切削液流入口  ６４０：切削液流入口  ６５：ナット
７：インデックス送り手段  
７０：ボールネジ  ７１：ガイドレール  ７２：モータ  ７３：可動板  ７４：スケール
９：切込み送り手段  
９０：ボールネジ  ９１：ガイドレール  ９２：モータ  ９３：可動板
Ｗ：板状ワーク  
Ｗａ：板状ワーク上面  Ｗｂ：板状ワーク底面  Ｓ：ストリート  Ｔ：ダイシングテープ  
Ｔａ：粘着面  Ｔｂ：ダイシングテープ底面  Ｔｃ：貼着エリア  
Ｔｄ：はみ出し部  Ｔｅ：テープ外周縁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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