(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電アクチュエータ負荷を有する、圧電駆動ポンプに適用する駆動回路であって、
入力電圧を受け、安定した定電圧に変換して出力する昇圧回路ユニットと、
前記昇圧回路ユニットが出力した前記定電圧を受け、前記定電圧を分圧して第一電圧と第二電圧とを発生させる分圧回路、分圧で発生した前記第一電圧と前記第二電圧とを比較して正電圧或いは負電圧を出力する比較器及び周波数調整回路を包含する制御回路と、
前記制御回路に接続し、前記比較器が出力した前記正電圧或いは前記負電圧を受け、且つ前記比較器が出力した前記正電圧或いは前記負電圧を受けて前記圧電アクチュエータ負荷にフィードバックし、必要とする前記正電圧或いは前記負電圧に形成するために用いるハーフブリッジ回路第一スイッチ及びハーフブリッジ回路第二スイッチを包含する電圧切替回路と、を包括し、
これにより、前記圧電アクチュエータ負荷が出力した微小電圧の変化は、前記制御回路及び前記電圧切替回路を利用することによって前記圧電アクチュエータが必要とする動作発振回路を制御すると同時に、前記制御回路の前記周波数調整回路によって前記圧電アクチュエータ負荷が出力した微小電圧の変化を自動的に検出し、必要とする適切な動作周波数に調整することを特徴とする、圧電駆動ポンプに適用する駆動回路。
【請求項２】
前記制御回路は、前記昇圧回路ユニットの前記定電圧を受けるために用いる入力端子を有し、前記入力端子は、その配線上に、第二抵抗器及び第二コンデンサが並列に接続し合うことによって構成する入力端子電圧安定回路をさらに設け、前記昇圧回路ユニットが入力した前記定電圧を安定的に制御するために用いることを特徴とする請求項１に記載の、圧電駆動ポンプに適用する駆動回路。
【請求項３】
前記制御回路の前記入力端子は、その配線上に、第三抵抗器及び第四抵抗器によって構成する分圧回路をさらに設け、前記分圧回路は、前記第三抵抗器及び前記第四抵抗器で前記第一電圧の配線及び前記第二電圧の配線をそれぞれ配置して前記第一電圧及び前記第二電圧を前記比較器に入力することを特徴とする請求項２に記載の、圧電駆動ポンプに適用する駆動回路。
【請求項４】
前記制御回路の前記周波数調整回路は、前記入力端子に接続するように配置し、第一抵抗器及び第一コンデンサが並列に接続し合うことによって構成し、前記周波数調整回路の一端は、前記昇圧回路ユニットの前記定電圧に接続して受け、もう一端は、前記分圧回路上に接続し、前記分圧回路にある前記第一電圧の配線は、前記圧電アクチュエータ負荷の出力端子に接続することで、前記圧電アクチュエータ負荷が出力した微小電圧の変化を自動的に検出して必要とする適切な動作周波数に調整することを特徴とする請求項３に記載の、圧電駆動ポンプに適用する駆動回路。
【請求項５】
前記制御回路の前記分圧回路にある前記第二電圧の配線は、第五抵抗器及び第三コンデンサが並列に接続し合うことによって構成する出力端子電圧安定回路を設け、その一端は、前記圧電アクチュエータ負荷の前記入力端子に接続し、前記圧電アクチュエータ負荷の前記入力端子の電圧を安定させるために用いることを特徴とする請求項３に記載の、圧電駆動ポンプに適用する駆動回路。
【請求項６】
前記制御回路の前記比較器が受けた前記第一電圧が前記第二電圧より大きい場合、前記比較器は前記正電圧を出力することを特徴とする請求項１に記載の、圧電駆動ポンプに適用する駆動回路。
【請求項７】
前記制御回路の前記比較器が受けた前記第一電圧が前記第二電圧より小さい場合、前記比較器は前記負電圧を出力するすることを特徴とする請求項１に記載の、圧電駆動ポンプに適用する駆動回路。
【請求項８】
ハーフブリッジ回路第一スイッチの入力端子及びハーフブリッジ回路第二スイッチの入力端子は、接続し合うとともに、前記比較器の出力端子回路と接続し、前記ハーフブリッジ回路第一スイッチの出力端子及び前記ハーフブリッジ回路第二スイッチの出力端子は、前記圧電アクチュエータ負荷上に接続し合い、前記ハーフブリッジ回路第一スイッチの制御端子は、前記昇圧回路ユニットが出力した前記定電圧を受けるために、前記制御回路の入力端子の配線上に接続し、前記ハーフブリッジ回路第二スイッチの制御端子は、接地されることを特徴とする請求項２に記載の、圧電駆動ポンプに適用する駆動回路。
【請求項９】
前記制御回路の前記比較器が前記正電圧を出力すると、前記ハーフブリッジ回路第一スイッチは導通されて前記正電圧を出力し、前記ハーフブリッジ回路第二スイッチは導通されないことを特徴とする請求項８に記載の、圧電駆動ポンプに適用する駆動回路。
【請求項１０】
前記制御回路の前記比較器が前記負電圧を出力すると、前記ハーフブリッジ回路第二スイッチは導通されて前記負電圧を出力し、前記ハーフブリッジ回路第一スイッチは導通されないすることを特徴とする請求項８に記載の、圧電駆動ポンプに適用する駆動回路。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動回路、特に、異なる圧電駆動ポンプに用いる駆動回路及びこれに適用する圧電駆動ポンプに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般の圧電駆動ポンプは、作動の際、通常、駆動回路によって、圧電駆動ポンプの圧電アクチュエータを駆動させる必要があり、これにより、圧電アクチュエータが周期的に作動し、圧電駆動ポンプに対応する作動を駆動している。そのうち、駆動回路は、定周波駆動回路或いは高電圧駆動回路を用いて圧電アクチュエータを駆動することができる。定周波駆動回路は、一定の周波数に固定した電圧を出力することによって圧電アクチュエータを駆動することができ、高電圧駆動回路は、圧電アクチュエータの変位量を増加させるため、出力する電圧を上げることができる。
【０００３】
異なる圧電駆動ポンプは、これらに対応するように、異なる圧電アクチュエータを使用しており、且つ異なる形態の圧電アクチュエータによって、その動作周波数も異なっている。異なる圧電駆動ポンプを作動させるため、通常は、圧電駆動ポンプの圧電アクチュエータに合せてこれに必要な駆動回路を対応するように設計しなければならないが、そうなると、異なる圧電駆動ポンプは、これに対応する駆動回路を有することとなり、異なる圧電駆動ポンプの圧電アクチュエータは、これに対応する駆動回路によって駆動されて作動することができる。
【０００４】
しかし、圧電駆動ポンプの圧電アクチュエータは、これに必要な駆動回路を対応するように設計しなければならない、即ち、異なる圧電駆動ポンプに交換した場合、新たに駆動回路を設計しなければならないため、異なる圧電駆動ポンプに合わせるために、複数の駆動回路を設計しなければならないことから、駆動回路のコストが高くなってしまう。また、定周波駆動回路を用いて圧電アクチュエータの作動を駆動した場合、その欠点は、一定の周波数に固定した電圧しか出力することができないことにあり、定周波駆動回路は、圧電アクチュエータが必要な動作周波数に自動的に調整することができず、即ち、圧電アクチュエータを最適な動作条件上で動作させることができない。また、高電圧駆動回路を用いて圧電アクチュエータの作動を駆動した場合、その欠点は、圧電アクチュエータの変位量が増加すると、圧電アクチュエータの損傷、或いは圧電アクチュエータの耐用寿命の低減が起こり易くなってしまう。
【０００５】
このため、どのように、上述した周知技術の課題を改善することができる駆動回路及びこれに適用する圧電駆動ポンプを開発するかが現在、急務となっている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、駆動回路のコストを大幅に低減するため、異なる周波数の圧電アクチュエータ、即ち異なる圧電駆動ポンプに適用可能な駆動回路を提供することにある。
【０００７】
また、本発明のもう一つの目的は、異なる圧電駆動ポンプの圧電アクチュエータが最適な動作条件上で動作するように、圧電アクチュエータが必要な動作周波数に自動的に調整することができる駆動回路を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、圧電アクチュエータ負荷を有する圧電駆動ポンプに適用する駆動回路であって、入力電圧を受け、安定した定電圧に変換して出力する昇圧回路ユニットと、前記昇圧回路ユニットが出力した前記定電圧を受け、前記定電圧を分圧して第一電圧と第二電圧とを発生させる分圧回路、分圧で発生した前記第一電圧と前記第二電圧とを比較して正電圧或いは負電圧を出力する比較器及び周波数調整回路を包含する制御回路と、前記制御回路に接続し、前記比較器が出力した前記正電圧或いは前記負電圧を受け、且つ前記比較器が出力した前記正電圧或いは前記負電圧を受けて前記圧電アクチュエータ負荷にフィードバックし、必要とする前記正電圧或いは前記負電圧に形成するために用いるハーフブリッジ回路第一スイッチ及びハーフブリッジ回路第二スイッチを包含する電圧切替回路と、を包括し、これにより、前記圧電アクチュエータ負荷が出力した微小電圧の変化は、前記制御回路及び前記電圧切替回路を利用することによって前記圧電アクチュエータが必要とする動作発振回路を制御すると同時に、前記制御回路の前記周波数調整回路によって前記圧電アクチュエータ負荷が出力した微小電圧の変化を自動的に検出し、必要とする適切な動作周波数に調整している。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の好ましい実施例に係る駆動回路が駆動する圧電駆動ポンプを示す模式図である。
【図２】図１が図示する駆動回路が包含する圧電アクチュエータ負荷の細部回路を示す模式図である。
【図３Ａ】本発明に係る駆動回路の作動原理を示す模式図である。
【図３Ｂ】本発明に係る駆動回路の作動原理を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下の説明において、本発明の特徴及び利点を詳細に叙述するが、本発明は、異なる態様上で様々な変化を有することができ、いずれも本発明の範疇を逸脱せず、且つそのうちの説明及び図面は、実質上、説明のために用いるものであって、本発明を制限するものではないことを理解されたい。
【００１１】
本発明の好ましい実施例に係る駆動回路が駆動する圧電駆動ポンプを示す模式図である図１を参照すると、図示されているとおり、本発明に係る駆動回路１０は、圧電駆動ポンプ２０と接続しており、且つ前記駆動回路１０は、入力電圧Ｖｉｎを受けて出力交流電圧に変換することで、前記圧電駆動ポンプ２０の作動を駆動している。前記圧電駆動ポンプ２０は、医薬バイオテクノロジー、コンピュータテクノロジー、印刷或いはエネルギー等の分野に適用することができ、また、気体或いは液体を輸送することができ、主に、前記圧電駆動ポンプ２０にある圧電アクチュエータ負荷２１が電気エネルギーを機械エネルギーに変換することによって、対応する前記圧電駆動ポンプ２０の作動を駆動している。
【００１２】
図１が図示する駆動回路が包含する圧電アクチュエータ負荷の細部回路を示す模式図である図２を参照すると、図示されているとおり、前記駆動回路１０は、交流電圧を提供して圧電アクチュエータ負荷２１の作動を駆動するために用いている。前記駆動回路１０は、昇圧回路ユニット１１、制御回路１２及び電圧切替回路１３と包含している。
【００１３】
前記昇圧回路ユニット１１は、入力電圧Ｖｉｎを受け、安定した定電圧Ｖｃｃに変換して出力するために用いている。そのうち、前記昇圧回路ユニット１１の入力端子は、一定範囲内の電圧の入力を受けることが可能で、出力端子は、前記制御回路１２が使用する定電圧Ｖｃｃを安定的に提供することができる。つまり、前記制御回路１２は、前記昇圧回路ユニット１１と接続し、定電圧Ｖｃｃを受けて作動している。
【００１４】
前記制御回路１２は、前記昇圧回路ユニット１１の定電圧Ｖｃｃを受けて分圧し、第一電圧Ｖ１と第二電圧Ｖ２とを発生させて出力端子から出力するとともに、前記電圧切替回路１３と接続するために用いる入力端子を有し、且つ前記制御回路１２は、前記圧電アクチュエータ負荷２１の出力端子２１ａと接続し、前記圧電アクチュエータ負荷２１が出力した微小電圧Ｖｃを受けるために用いる受入端子をさらに有している。前記電圧切替回路１３は、前記制御回路１２の出力端子と接続し、前記制御回路１２で発生した前記第一電圧Ｖ１と前記第二電圧Ｖ２とを比較した結果に対し、選択して出力する正電圧Ｖ＋或いは負電圧Ｖ−を受けるために用いる入力端子を有し、さらに、前記電圧切替回路１３は、前記圧電アクチュエータ負荷２１の入力端子２１ｂと接続し、受けた前記正電圧Ｖ＋或いは前記負電圧Ｖ−を前記圧電アクチュエータ負荷２１にフィードバック（Ｆｅｅｄｂａｃｋ）するために用いる出力端子を有し、これにより、前記圧電アクチュエータ負荷２１の前記入力端子２１ｂを前記正電圧Ｖ＋とし、出力した前記微小電圧Ｖｃが前記正電圧Ｖ＋に対応するように、前記圧電アクチュエータ負荷２１の前記出力端子２１ａを前記負電圧Ｖ−に形成したり、前記圧電アクチュエータ負荷２１の前記入力端子２１ｂを前記負電圧Ｖ−とし、出力した前記微小電圧Ｖｃが前記負電圧Ｖ−に対応するように、前記圧電アクチュエータ負荷２１の前記出力端子２１ａを前記正電圧Ｖ＋に形成したりしている。従って、前記圧電アクチュエータ負荷２１が出力した前記微小電圧Ｖｃの変化は、前記制御回路１２及び前記電圧切替回路１３を利用することによって前記圧電アクチュエータ２１が必要とする動作発振回路を制御している。
【００１５】
本実施例において、前記制御回路１２は、第一抵抗器Ｒ１、第二抵抗器Ｒ２、第三抵抗器Ｒ３、第四抵抗器Ｒ４及び第五抵抗器Ｒ５と、第一コンデンサＣ１、第二コンデンサＣ２及び第三コンデンサＣ３と、比較器１２ａとによって構成する回路を包含している。そのうち、前記制御回路１２は、前記昇圧回路ユニット１１の定電圧Ｖｃｃを受けるために用いる入力端子を有し、入力端子は、その配線上に、前記第一抵抗器Ｒ１及び前記第一コンデンサＣ１が並列に接続し合うことによって構成する周波数調整回路を設け、前記第一抵抗器Ｒ１及び前記第一コンデンサＣ１の並列回路の一端を前記昇圧回路ユニット１１の定電圧Ｖｃｃに接続して受けており、また、前記制御回路１２の入力端子は、その配線上に、前記第二抵抗器Ｒ２及び前記第二コンデンサＣ２が並列に接続し合うことによって構成する入力端子電圧安定回路をさらに設け、前記第二抵抗器Ｒ２及び前記第二コンデンサＣ２の並列回路の一端を前記第一抵抗器Ｒ１及び前記第一コンデンサＣ１の並列回路のもう一端と接続し、前記第二抵抗器Ｒ２及び前記第二コンデンサＣ２の並列回路のもう一端を接地させている。また、前記制御回路１２の入力端子は、その配線上に、前記第三抵抗器Ｒ３及び前記第四抵抗器Ｒ４によって構成する分圧回路をさらに設け、前記分圧回路の入力端子を前記制御回路１２の入力端子の配線上に接続し、前記第三抵抗器Ｒ３及び前記第四抵抗器Ｒ４で前記第一電圧Ｖ１の配線及び前記第二電圧Ｖ２の配線をそれぞれ配置して前記第一電圧Ｖ１及び前記第二電圧Ｖ２を前記比較器１２ａに入力し、さらに、前記比較器１２ａで比較した結果から正電圧Ｖ＋或いは負電圧Ｖ−を選択して出力しており、そのうち、前記第一電圧Ｖ１もその配線上に、前記圧電アクチュエータ負荷２１の前記出力端子２１ａに接続して前記微小電圧Ｖｃを受け、前記第二電圧Ｖ２は、その配線上に、前記第五抵抗器Ｒ５及び前記第三コンデンサＣ３が並列に接続し合うことによって構成する出力端子電圧安定回路を設け、前記第五抵抗器Ｒ５及び前記第三コンデンサＣ３の並列回路の一端を前記第二電圧Ｖ２の配線上に接続し、前記第五抵抗器Ｒ５及び前記第三コンデンサＣ３の並列回路のもう一端を前記圧電アクチュエータ負荷２１の前記入力端子２１ｂ上に接続し、前記圧電アクチュエータ負荷２１の前記入力端子２１ｂの電圧を安定させている。
【００１６】
また、前記制御回路１２の前記比較器１２ａは、入力された前記第一電圧Ｖ１及び前記第二電圧Ｖ２に対して比較を行い、比較した結果に基づいて選択した前記正電圧Ｖ＋或いは前記負電圧Ｖ−を出力するために用いている。つまり、前記第一電圧Ｖ１が前記第二電圧Ｖ２より大きい場合、前記比較器１２ａは、前記正電圧Ｖ＋を出力し、前記第一電圧Ｖ１が前記第二電圧Ｖ２より小さい場合、前記比較器１２ａは、前記負電圧Ｖ−を出力している。
【００１７】
前記電圧切替回路１３は、第六抵抗器Ｒ６、ハーフブリッジ回路第一スイッチＱ１及びハーフブリッジ回路第二スイッチＱ２によって構成する回路を包含している。そのうち、前記第六抵抗器Ｒ６は、前記電圧切替回路１３の電圧安定及び電流制限を行うために用い、その一端は、前記比較器１２ａの出力端子回路上に接続し、もう一端は、前記圧電アクチュエータ負荷２１の前記入力端子２１ｂ上に接続しており、前記ハーフブリッジ回路第一スイッチＱ１の入力端子及び前記ハーフブリッジ回路第二スイッチＱ２の入力端子は、接続し合うとともに、前記比較器１２ａの出力端子回路と接続し、前記ハーフブリッジ回路第一スイッチＱ１の出力端子及び前記ハーフブリッジ回路第二スイッチＱ２の出力端子は、前記圧電アクチュエータ負荷２１の前記入力端子２１ｂ上に接続し合い、前記ハーフブリッジ回路第一スイッチＱ１の制御端子は、前記昇圧回路ユニット１１が出力した定電圧Ｖｃｃを受けるために、前記制御回路１２の入力端子の配線上に接続し、前記ハーフブリッジ回路第二スイッチＱ２の制御端子は、接地されている。
【００１８】
このため、図１及び図２を同時に参照するとともに、本発明に係る駆動回路の作動原理を示す模式図である図３Ａ及び図３Ｂを参照すると、図１及び図３Ａに図示されているとおり、前記圧電駆動ポンプ２０の作動を開始させたい場合、前記制御回路１２は、前記定電圧Ｖｃｃを受け、受けた前記定電圧Ｖｃｃに基づき、分圧して前記第一電圧Ｖ１及び前記第二電圧Ｖ２を発生させ、この時、前記比較器１２ａは、前記第一電圧Ｖ１及び前記第二電圧Ｖ２を比較して前記正電圧Ｖ＋或いは前記負電圧Ｖ−を出力している。
【００１９】
前記第一電圧Ｖ１が前記第二電圧Ｖ２より大きいと、前記比較器１２ａは、図３Ａにある矢印のとおりに出力する正電圧Ｖ＋のように、前記正電圧Ｖ＋を出力することで、前記ハーフブリッジ回路第一スイッチＱ１は導通され、前記ハーフブリッジ回路第二スイッチＱ２は導通されず、前記電圧切替回路１３は、前記圧電アクチュエータ負荷２１の前記入力端子２１ｂ上に前記正電圧Ｖ＋を出力すると同時に、前記圧電アクチュエータ負荷２１の前記出力端子２１ａは、やや低減した前記負電圧Ｖ−を形成し、即ち前記圧電駆動ポンプ２０の圧電アクチュエータの導通電圧は前記負電圧Ｖ−であり、前記圧電駆動ポンプ２０の圧電アクチュエータからすると負電圧を出力したこととなるため、前記負電圧Ｖ−は、前記比較器１２ａの前記第一電圧Ｖ１の配線上に伝達され、前記比較器１２ａの前記第一電圧Ｖ１の入力に変換され、前記昇圧回路ユニット１１が出力した前記定電圧Ｖｃｃを分圧した前記第二電圧Ｖ２と再度比較することができると同時に、前記圧電駆動ポンプ２０の圧電アクチュエータの導通電圧である前記負電圧Ｖ−は、前記圧電アクチュエータ負荷２１に差圧があるため、前記周波数調整回路にある前記第一抵抗器Ｒ１及び前記第一コンデンサＣ１の並列回路により前記圧電アクチュエータ負荷２１の前記出力端子２１ａが出力した微小電圧Ｖｃを自動的に検出して共振動作周波数を調整することで、前記圧電アクチュエータ負荷２１に適切な動作周波数に調整している。
【００２０】
やや低減した前記負電圧Ｖ−を前記比較器１２ａの前記第一電圧Ｖ１の入力とした場合、前記第一電圧Ｖ１が前記第二電圧Ｖ２より小さいと、前記比較器１２ａの出力端子は、図３Ｂにある矢印のとおりに出力する負電圧Ｖ−のように、前記負電圧Ｖ−を出力することで、前記ハーフブリッジ回路第二スイッチＱ２は導通され、前記ハーフブリッジ回路第一スイッチＱ１は導通されず、前記電圧切替回路１３は、前記圧電アクチュエータ負荷２１の前記入力端子２１ｂ上に前記負電圧Ｖ−をフィードバックすると同時に、前記圧電アクチュエータ負荷２１の前記出力端子２１ａは、やや低減した前記正電圧Ｖ＋を形成し、即ち前記圧電駆動ポンプ２０の圧電アクチュエータの導通電圧は前記正電圧Ｖ＋であり、前記圧電駆動ポンプ２０の圧電アクチュエータからすると正電圧を出力したこととなるため、前記正電圧Ｖ＋は、前記比較器１２ａの前記第一電圧Ｖ１の一端に伝達され、前記比較器１２ａの前記第一電圧Ｖ１の入力に変換され、前記昇圧回路ユニット１１が出力した前記定電圧Ｖｃｃを分圧した前記第二電圧Ｖ２と再度比較することができ、その繰り返しの中で、前記制御回路１２及び前記電圧切替回路１３で形成する前記圧電アクチュエータ負荷２１が出力した微小電圧Ｖｃの正負変化に対応可能な動作発振回路は、前記圧電アクチュエータ負荷２１で電気エネルギーを機械エネルギーに変換させ、前記圧電駆動ポンプ２０の作動に対応させている。無論、前記圧電アクチュエータ負荷２１の動作周波数もまた、前記制御回路１２の周波数調整回路にある前記第一抵抗器Ｒ１及び前記第一コンデンサＣ１の並列回路により自動的に検出して周波数を前記圧電アクチュエータ負荷２１が必要な動作周波数に調整することで、前記圧電アクチュエータ負荷２１を最適な動作条件上で動作させている。
【００２１】
周知の駆動回路と比べ、本発明に係る前記駆動回路１０は、前記制御回路１２の周波数調整回路にある前記第一抵抗器Ｒ１及び前記第一コンデンサＣ１の並列回路により前記圧電アクチュエータ負荷２１が出力した微小電圧Ｖｃの変化を自動的に検出して周波数を調整することができ、例えば、二種類の圧電アクチュエータ負荷の周波数がそれぞれ１８ｋＨｚ及び２３ｋＨｚの場合、いずれも前記制御回路１２の周波数調整回路にある前記第一抵抗器Ｒ１及び前記第一コンデンサＣ１の並列回路により最適な共振周波数を検出することができ、即ち前記二種類の圧電アクチュエータ負荷は、いずれも、周知にある複数の圧電アクチュエータ駆動回路を必要とせずに、本発明に係る前記駆動回路１０だけで前記圧電アクチュエータ負荷２１を駆動して電気エネルギーを機械エネルギーに変換させ、前記圧電駆動ポンプ２０の作動に対応することができる。
【００２２】
以上のことから、本発明が提供する前記駆動回路は、異なる周波数の圧電アクチュエータ負荷に適用することが可能、即ち異なる圧電駆動ポンプに用いることができるため、駆動回路のコストを大幅に低減している。また、本発明に係る前記駆動回路は、周波数を自動的に検出して前記圧電アクチュエータ負荷が必要な動作周波数に自動的に調整することができ、異なる前記圧電駆動ポンプの圧電アクチュエータ負荷でも最適な動作条件上で動作することができる。
【００２３】
なお、当該分野において通常の知識を有す者が行った本発明に係る様々な変更や修正は、本発明が請求する範疇を逸脱することは出来ない。
【符号の説明】
【００２４】
１０            駆動回路
１１            昇圧回路ユニット
１２            制御回路
１２ａ          比較器
１３            電圧切替回路
２０            圧電駆動ポンプ
２１            圧電アクチュエータ負荷
２１ａ          出力端子
２１ｂ          入力端子
Ｖｉｎ            入力電圧
Ｖｃｃ            定電圧
Ｖｃ              微小電圧
Ｒ１            第一抵抗器
Ｒ２            第二抵抗器
Ｒ３            第三抵抗器
Ｒ４            第四抵抗器
Ｒ５            第五抵抗器
Ｒ６            第六抵抗器
Ｃ１            第一コンデンサ
Ｃ２            第二コンデンサ
Ｃ３            第三コンデンサ
Ｖ１            第一電圧
Ｖ２            第二電圧
Ｖ＋            正電圧
Ｖ−            負電圧
Ｑ１            ハーフブリッジ回路第一スイッチ
Ｑ２            ハーフブリッジ回路第二スイッチ
【図１】
0006429040.tif 000002
【図２】
0006429040.tif 000003
【図３Ａ】
0006429040.tif 000004
【図３Ｂ】
0006429040.tif 000005