(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
集積回路の電気的コンタクト形成用のシリサイド層を保護するための保護方法において、下記の工程、つまり、
（ａ）基板と、前記基板上に形成されたシリサイド層と、少なくとも前記シリサイド層を覆うシリコン窒化物層とがこの順に積層された積層体を準備する工程と、
（ｂ）所定領域の前記シリコン窒化物層をエッチングし、少なくとも電気的コンタクトを形成するための領域の前記シリサイド層を露出させる工程と、
（ｃ）少なくとも工程（ｂ）にて露出させた前記シリサイド層の前記領域上に、保護層を堆積する工程と、
を備え、
工程（ｂ）は、ＣＨ３Ｆ系プラズマを用いて行い、
工程（ｃ）は、ＣｘＨｙ系、ＣｘＯｙ系、ＳｉｘＣｌｙ系又はＳｉｘＦｙ系のプラズマを用いて行い、
前記工程（ｂ）と前記工程（ｃ）との間について、前記積層体が水分と接触する工程を避ける、保護方法。
【請求項２】
請求項１の保護方法において、
前記工程（ｂ）におけるエッチングは、フッ化物プラズマによるエッチングである、保護方法。
【請求項３】
請求項１又は２の保護方法において、
前記工程（ｂ）及び前記工程（ｃ）は、反応装置の同じ部屋にて行われる、保護方法。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１つの保護方法において、
前記工程（ｃ）の後に、前記積層体に対してウェット洗浄を行う工程（ｄ）を更に備える、保護方法。
【請求項５】
請求項４の保護方法において、
前記工程（ｄ）の後に、前記工程（ｂ）にて露出させた前記シリサイド層の前記領域上に金属層を堆積し、前記電気的コンタクトを形成する工程（ｅ）を更に備える、保護方法。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか１つの保護方法において、
前記工程（ｃ）は、ＣｘＯｙ系プラズマを用いて行うことにより、炭素を含有する前記保護層を形成する、保護方法。
【請求項７】
請求項１から５のいずれか１つの保護方法において、
前記工程（ｃ）は、ＣｘＨｙ系のプラズマを用いて行うことにより、炭素を含有する前記保護層を形成する、保護方法。
【請求項８】
請求項６又は７の保護方法において、
前記工程（ｃ）において、炭素含量が３０％よりも高い前記保護層を形成する、保護方法。
【請求項９】
請求項１から５のいずれか１つの保護方法において、
前記工程（ｃ）は、ケイ素を含む気体のプラズマを用いて行うことにより、シリコンを含有する保護層を形成する、保護方法。
【請求項１０】
請求項１から５のいずれか１つの保護方法において、
前記工程（ｃ）は、ＳｉｘＣｌｙ系又はＳｉｘＦｙ系のプラズマを用いて行うことにより、シリコンを含有する保護層を形成する、保護方法。
【請求項１１】
請求項７から１０のいずれか１つの保護方法において、
前記工程（ｃ）は、５０から５００ｃｍ３／分の間の流速で供給され、且つ、酸素及び窒素から選ばれる１つ又は複数の気体を更に用いるプラズマによって行われる、保護方法。
【請求項１２】
請求項１から１１のいずれか１つの保護方法において、
シリサイド層の種類は、以下のシリサイド、つまり、ＰｔＳｉ、ＮｉＰｔＳｉ、ＮｉＳｉ、ＮｉＳｉ２、ＴｉＳｉ２（Ｃ５４相）、ＴｉＳｉ２（Ｃ４９相）、Ｃｏ２Ｓｉ、ＣｏＳｉ、ＣｏＳｉ２、ＷＳｉ２、ＭｏＳｉ２、ＴａＳｉ２から選ばれる、保護方法。
【請求項１３】
請求項１から１２のいずれか１つの保護方法において、
前記工程（ｂ）は、
前記シリコン窒化物層におけるエッチングから保護されるべき部分をシリコン酸化物層によって保護することにより、前記シリコン窒化物層のエッチングされるべき前記領域を決定する工程（ｂ１）と、
決定された前記領域をエッチングする工程（ｂ２）とを含む、保護方法。
【請求項１４】
請求項１３の保護方法において、
前記工程（ｂ１）におけるエッチングから保護されるべき部分の前記シリコン窒化物層の保護は、エッチングマスクを前記シリコン酸化物上にエッチングマスクを形成することにより行われ、
前記マスクは、前記シリコン窒化物層のエッチングされるように決定された領域と一致する貫通開口を有する、保護方法。
【請求項１５】
請求項１から１４のいずれか１つの保護方法において、
前記工程（ｃ）は、プラズマ処理により行われる、保護方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、集積回路の電気的コンタクト形成用のシリサイド層を保護するための保護方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
シリコン基板上の集積回路用に電気的コンタクトを作製すると言えば、半導体材料と電気的コンタクトの金属との間の電気的接続抵抗を低減するために、基板上に金属シリサイドを形成することが示唆されている。当該シリサイド材料は一般にシリサイド層によって形成され、そのうちコンタクトに用いられる領域が局所的エッチングにより露出される。しかしながら、空気と接触すると、そのような領域は劣化し、且つ、空気中の水分とエッチングの反応剤の残りとが反応して表面に残渣が形成される。この残渣は、続いて形成される電気的コンタクトの品質を制限し、結果として効率が低下する。また、コンタクトの欠陥の増加も見られ、これは、技術ノード毎にコンタクトの寸法が縮小するにつれて、より大きな問題になっている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような残渣の形成を防ぐ目的においては、表面を洗浄するために基板及びシリサイド領域をウェットエッチングしても効果的ではない。他の手段は、酸素のプラズマを適用することである。しかし、そのような工程を行うと、シリサイドを酸化させるか、又は、シリサイドの化学組成を変化させてしまい、シリサイドを損傷することがある。更にまた、Ｎ２／Ｈ２系洗浄も考えられ、これはエッチング反応装置中にてその場（in situ）で行われる。それでも、一旦シリサイド領域が空気と接触すると、残渣の発生は遅くなるとしても、時間が経てば常に残渣は形成される。
【０００４】
本発明の目的の１つは、当該課題を解決することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この目的のために、本発明は、集積回路の電気的コンタクト形成用のシリサイド層を保護するための保護方法を提供する。当該保護方法は、下記の工程、つまり、
（ａ）基板と、前記基板上に形成されたシリサイド層と、少なくとも前記シリサイド層を覆うシリコン窒化物層とがこの順になった積層体を準備する工程
（ｂ）所定領域の前記シリコン窒化物層をエッチングし、少なくとも電気的コンタクトを形成するための領域のシリサイド層を露出させる工程
（ｃ）少なくとも工程（ｂ）にて露出させた領域の前記シリサイド層上に、保護層を堆積させる工程
を備え、工程（ｂ）と工程（ｃ）との間について、前記積層体が水分、特に周囲の空気中の水分と接触する工程を避ける。
【０００６】
このような保護方法によると、シリコン窒化物層のエッチングに用いた反応剤の残りは、保護層を堆積する際に除去される。保護層は、工程（ｂ）と工程（ｃ）との間に、露出させた領域のシリサイド層と水分とを接触させることなく形成されるので、エッチング剤の残りと水分とが存在する場合にシリサイド層を腐食する残渣の発生は、防がれる。実際、当該保護方法により、シリサイド金属、エッチングの反応剤の残り、及び、空気中の水分の間のどのような接触も避けることができる。従って、ウェットエッチングでは除去し難い、残渣を発生させる寄生的反応が防がれる。この後、前記の残渣が形成されるおそれ無しに、積層体及びシリサイド領域を周囲の空気に曝露することができる。従って、物品の残りの製造工程を通常通りに行うことができる。
【０００７】
１つの構成では、エッチングの工程（ｂ）は、ＣＨ３Ｆ系プラズマのようなフッ化物プラズマ（fluorinated plasma）エッチングである。実際、フッ化物プラズマは、シリコン窒化物層の所定領域を選択的にエッチングするために非常に効果的である。しかし、このようなエッチングは積層体の表面にフッ素の痕跡を残し、積層体を開放空気中又は水を含む大気中に置くと、保護層が無い場合にはシリサイド領域上への前記残渣の形成が明らかに促進される。
【０００８】
望ましくは、工程（ｂ）及び工程（ｃ）は反応装置の同じ部屋で行われ、反応装置は容量結合又は誘導結合された反応装置であることが好ましい。これにより、保護層を形成する前に空気中の水分に接触することを一切避けて、残渣の形成を完全に防ぐことが可能となる。
【０００９】
１つの構成によると、保護方法は、工程（ｃ）の後に工程（ｄ）を含み、当該工程では、積層体に対してウェット洗浄、特にＮＨ４ＯＨ／Ｈ２Ｏ２溶液による洗浄を行う。このような、ＳＣ１型（ＳＣ１はStandard Clean 1 頭文字である）の条件下で行われる洗浄により、シリサイド領域の金属化の品質を変質させる可能性のある汚染及び他の残渣を除去できる。
【００１０】
他の構成によると、保護方法は、工程（ｄ）の後に工程（ｅ）を含み、当該工程では、工程（ｂ）にて露出させたシリサイド領域上にタングステン又は銅等の金属層を堆積し、それによって電気的コンタクトを形成する。このようにして、シリサイド上に高効率な電気的コンタクトを形成すると共に、コンタクト領域の表面を減少させる残渣の形成を避けることができる。
【００１１】
望ましくは、工程（ｅ）は、前記金属層の堆積の前に、Ｔａ／ＴａＮ又はＴｉ／ＴｉＮ金属バリア層の堆積を更に含む。
【００１２】
望ましくは、工程（ｃ）における保護層の堆積は、プラズマ処理によって行う。
【００１３】
１つの構成によると、工程（ｃ）は、ＣｘＯｙ系プラズマ、例えばＣＯ系又はＣＯ２系プラズマを用いて行うことにより、炭素を含有する保護層を形成する。
【００１４】
１つの可能性として、ＣｘＣｙ系プラズマは更に１つ又は複数の気体から生成される。当該気体は窒素及び酸素から選ばれ、１から１５０ｃｍ３／分の流量で供給される。これにより、堆積時間が数秒続いたとしても、保護層の堆積の速さ及び／又は保護層の厚さを制御できる。
【００１５】
１つの変形例によると、工程（ｃ）は、ＣｘＨｙ系プラズマ、例えばＣＨ４系プラズマを用いて行うことにより、炭素を含有する保護層を形成する。
【００１６】
望ましくは、プラズマがＣｘＯｙ系及びＣｘＨｙ系のいずれのプラズマであっても、工程（ｃ）は、炭素含量が３０％よりも高い、望ましくは３５％以上である保護層を形成するように行う。実際、このような炭素含量によって、シリサイド残渣の形成、特に、フッ化物プラズマを用いてシリコン窒化物をエッチングする工程を行う際における残渣の形成に対して最適な保護を行うことができる。
【００１７】
他の変形例によると、工程（ｃ）は、シリコンを含む気体、例えばＳｉｘＣｌｙ又はＳｉｘＦｙ、望ましくはＳｉＣｌ４又はＳｉＦ４のプラズマを用いて行うことにより、シリコンを含有する保護層を形成する。
【００１８】
望ましくは、工程（ｃ）における保護層の堆積は、少なくともＣｘＨｙ、ＣｘＯｙ、ＳｉｘＣｌｙ及びＳｉｘＦｙから選ばれる少なくとも一つの気体に基づくプラズマを用いて行われる。
【００１９】
典型的には、シリコン系又はＣｘＨｙ系プラズマを用いる場合、工程（ｃ）は、更に一つ又は複数の気体のから生成されるプラズマを用いて実施される。気体は酸素及び窒素から選ばれ、５０から５００ｃｍ３／分で供給される。これにより、堆積時間が数秒続いたとしても、保護層の堆積の速さ及び／又は保護層の厚さを容易に制御できる。従って、この比較的薄い保護層を適切な瞬間に除去できる。
【００２０】
典型的には、シリサイド層の種類は、以下シリサイド種から選ばれる：ＰｔＳｉ、ＮｉＰｔＳｉ、ＮｉＳｉ、ＮｉＳｉ２、ＴｉＳｉ２（Ｃ５４相）、ＴｉＳｉ２（Ｃ４９相）、Ｃｏ２Ｓｉ、ＣｏＳｉ、ＣｏＳｉ２、ＷＳｉ２、ＭｏＳｉ２、ＴａＳｉ２。実際、これらのシリサイドは、シリコン基板等の半導体基板に比べて低減された電気抵抗を示す。従って、シリサイドの種類については幅広い選択肢がある。この選択は、コンタクトの望ましい機械的抵抗、温度への耐性、又は、電気的コンタクトを形成するために金属を受容する容量に基づいて行うことができる。
【００２１】
特に、工程（ｂ）は、エッチングから保護されるべき部分をシリコン酸化物層によって保護することによって、シリコン窒化物層のエッチングされるべき領域を決定する工程（ｂ１）と、前記決定された領域をエッチングする工程（ｂ２）とを含む。
【００２２】
ある形態では、工程（ｂ１）は、エッチングから保護されるべき部分のシリコン窒化物層を保護する工程を含み、保護はシリコン酸化物層上にエッチングマスクを形成することにより行われ、マスクは、エッチングされるように決定されたシリコン窒化物層の領域と一致する貫通開口を有する。
【００２３】
一つの可能性として、工程（ｃ）は、気体流量１０から１００ｃｍ３／分のＣｘＨｙ、ＳｉｘＣｌｙ又はＳｉｘＦｙのプラズマ、又は、気体流量が５０から５００ｃｍ３／分のＣｘＯｙのプラズマを用いて行われる。Ｃｌ又はＦを含むプラズマを用いても、本保護方法の工程（ｂ）においてエッチング用フッ化物プラズマを用いた場合とは異なり、空気中で残渣を形成することはない。堆積された保護層は主にシリコンからなり、用いたプラズマのフッ素又は塩素は、積層体を空気中に置いた後には非常に揮発性が高い。
【００２４】
更に、工程（ｃ）は、１０から２００mTorrの間の圧力下で行う。
【００２５】
ＣｘＨｙ系又はＣｘＯｙ系のプラズマの場合、反応装置のソース電力（power of the source）は、１００から１０００Ｗである。ＳｉｘＣｌｙ系又はＳｉｘＦｙ系のプラズマの場合、反応装置のソース電力は、１００から５００Ｗである。
【００２６】
分極力（Polarization power）（又はバイアス電力（Bias Power））は、０から２００Ｗである。
【００２７】
工程（ｃ）の継続時間は、５から６０秒であり、その間、積層体は２０から１００℃の間の温度にされる。
【００２８】
本発明の他の面、目的及び利点は、非限定的な例として添付の図面を参照して示される下記実施形態の説明を読むことでより良く現れてくる。可読性を向上するために、図は、各要素に関して必ずしも寸法通りに示されてはいない。簡素化のために、以下の説明では、異なる実施形態における同一、類似又は同等の要素は同じ符号を有している。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】図１は、本発明の一実施形態において、シリコン窒化物層のエッチングされるべき領域を決定するためのマスクを含む積層体の模式的な断面を示す。
【図２】図２は、本発明の一実施形態による保護方法の工程（ｂ１）における積層体の模式的な断面を示す。
【図３】図３は、本発明の一実施形態による保護方法の工程（ｂ）における積層体の模式的な断面を示す。
【図４】図４は、本発明の一実施形態による保護方法の工程（ｃ）における積層体の模式的な断面を示す。
【図５】図５は、本発明の一実施形態による保護方法の工程（ｅ）における積層体の模式的な断面を示す。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
図１は、基板１、特にシリコンからなる基板と、シリサイド層２と、シリコン窒化物層３とをこの順に含む積層体１００を示し、これは保護方法の工程（ａ）によるものである。
【００３１】
例として、図１に示された基板１は、トランジスタを製造するために典型的な形に準備されている。つまり、基板１は、トランジスタを絶縁するためのトレンチ４と、基板１の下方に装置の性能を向上するため、特に、リーク電流を制限するために設けられたシリコン酸化物ＳｉＯ２と、絶縁膜６上に設けられ且つ側面が窒化物からなるスペーサー７に覆われたゲート５と、ゲートに対して持ち上げられたソース領域８及びドレイン領域９とを備える。
【００３２】
本発明の保護方法の工程（ｂ１）によると、積層体１００は、マスク１１を更に備え、これは、シリコン窒化物層３を覆うシリコン酸化物層１２上に堆積されている。当該マスク１１は、シリコン酸化物層１２の局所的なエッチング（例えばＣＦ４／Ｃ４Ｆ８による）を可能とし（図２）、且つ、シリコン窒化物層３のエッチングされるべき領域１３を決定する開口を有する。層３のＳｉＮ系材料は、ＳｉＯ２層１２のエッチングに対してバリアを構成し、シリコン窒化物層３の定められたエッチングされるべき領域１３上に開口を形成する。次に、マスク１１は、定められた領域１３のエッチングに先立って、例えばＯ２プラズマを用いて除去される（図２）。エッチングは、フッ化物プラズマ、例えばＣＨ３Ｆ／Ａｒ／Ｏ２系プラズマを用いて行われる。プラズマは、シリサイド層２においてエッチングが選択的に止まるように選ばれており、これによって電気的コンタクトを形成するためのシリサイド領域１４を露出させる（ステップ（ｂ２）、図３）。次に、反応装置におけるエッチングを行ったのと同じチャンバー中において、保護方法の工程（ｃ）による保護層１５を、露出したシリサイド領域１４上に堆積させる（図４）。反応装置としては、ＩＣＰ（inductively coupled reactor；誘導結合型反応装置）又はＣＣＰ（capacitively coupled reactor；容量結合型反応装置）を用いても良い。このように、堆積をその場（in situ）で行うと、特にエッチング反応剤の残りが存在する場合に、シリサイド領域１４が空気と接触して残渣を形成するのを避けることができる。
【００３３】
一つの可能性によると、保護層１５は、ＣｘＨｙ系プラズマ、特にＣＨ４系プラズマによって堆積することにより、炭素を含有する保護層１５とする。特に、炭素含量が３０％を越える、望ましくは３５％を越えることを可能とする条件下で堆積する。このためには、以下のパラメータを適用する。ここで、炭素含量はＸＰＳ（Ｘ線電子分光、X-ray Photoelectron Spectroscopy の頭文字）表面分析によって測定可能である。
・ＣｘＨｙ系プラズマの流量を１０ｃｍ３／分から１００ｃｍ３／分の間とし、更に窒素又は酸素を５０−５００ｃｍ３／分の流量で含むようにし、１０から６０秒の間、積層体１００を２０℃から１００℃の間の温度に維持する。
・圧力：１０−２００mTorr
・ソース電力：１００−１０００Ｗ
・分極力（又はバイアス電力−イオンエネルギー制御）：０−２００Ｗとする
この分極力を越えると、炭素プラズマから導かれた元素がシリサイド層２に注入され、損傷を与える可能性がある。
【００３４】
炭素を含有する保護層１５を２ｎｍの厚さに形成するために、堆積の条件は、例えば、流量２０ｃｍ３／分のＣＨ４プラズマ及び流量８０ｃｍ３／分の窒素プラズマに１０秒間、積層体１００を接触させることを含む。圧力は５０mTorr、積層体１００の温度は６０℃、ソース電力は６００Ｗ、分極力は１００Ｗとする。
【００３５】
他の可能性によると、保護層１５をＣｘＯｙ系プラズマ、特にＣＯ系又はＣＯ２系プラズマにより堆積することによって、炭素含量が３０％、望ましくは３５％を越えるようにすることができる。この際の堆積のメカニズムは、ＣｘＨｙ系のプラズマの場合と同じである。例えば、ＣＯ系プラズマを流量５０ｃｍ３／分から５００ｃｍ３／分で用いると共に、更に窒素を流量０−１５０ｃｍ３／分で用い、堆積の期間を１０から６０秒としても良い。
【００３６】
一つの変形例によると、保護層１５はシリコンを含む材料からなっていても良い。この場合、堆積はＳｉｘＣｌｙ系又はＳｉｘＦｙ系プラズマ、特に、順にＳｉＣｌ４系又はＳｉＦ４系プラズマにより行われ、流量は１０から１００ｃｍ３／分の間とする。酸素又は窒素のような気体を流量５０から５００ｃｍ３／分でシリコン含有のガスに追加し、堆積の速度を高めても良い。ソース電力は１００から５００Ｗの間、分極力は０から２００Ｗの範囲とし、堆積期間は５から６０秒間、積層体１００の温度は２０から１００℃の間とする。
【００３７】
シリコンを含有する保護層１５を１−２ｎｍの厚さに堆積するためには、例えばＳｉＣｌ４プラズマを５秒間、流量９５ｃｍ３／分で用い、同時に、窒素を流量４７５ｃｍ３／分で用いる。ソース電力は１００Ｗ、分極力は０、圧力は１０mTorrとする。
【００３８】
次に、図５に示すように、保護層１５に覆われた積層体１００の洗浄の後、金属化の工程を行って電気的コンタクトを形成する。一つの可能性によると、保護方法の工程（ｄ）による洗浄は、ＮＨ４ＯＨ／Ｈ２Ｏ２溶液を含むＳＣ１型化学媒体に積層体１００を晒すことにより行う。このような洗浄により、反応剤の残り、汚染物質となりうるもの、及び、シリカを含む材料からなる場合には保護層１５を除去することができる。
【００３９】
最後に、保護方法の工程（ｅ）の金属化、つまり、露出したシリサイド領域１４上に、タングステン等の金属層１６の堆積及びこれに先立つスパッタリングを行う。このスパッタリング工程により、炭素質の材料でできていれば保護層１５除去することができ（側面を除く：図５には示されていない）、また、タングステンの堆積の前に、生じている可能性のあるシリサイド領域１４の酸化物を除去できる。
【００４０】
金属層１６が銅の場合、堆積はＥＣＤ（Electro Chemical Deposition：電気化学堆積）によって行う。
【００４１】
シリサイド層２は、多様な金属及びシリコンの合金によって構成でき、例えば、ＰｔＳｉ、ＮｉＰｔＳｉ、ＮｉＳｉ、ＮｉＳｉ２、ＴｉＳｉ２（Ｃ５４相）、ＴｉＳｉ２（Ｃ４９相）、Ｃｏ２Ｓｉ、ＣｏＳｉ、ＣｏＳｉ２、ＷＳｉ２、ＭｏＳｉ２及びＴａＳｉ２から選ばれるものであっても良い。
【００４２】
このようにして、本発明は、シリサイド領域１４を保護する保護方法を提供し、高効率な電気的コンタクトを迅速且つ正確に形成する方法を提供することにより、従来技術に対して決定的な進歩をもたらす。この結果、このようなコンタクト領域を有する装置は信頼性が高く、性能が向上する。
【００４３】
本発明が上記に例示説明した実施形態に限られず、あらゆる技術的な等価物及び説明した変形例とそれらの組み合わせを含むことは言うまでも無い。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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