(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材と該基材の一方の面に備える粘着層とにより構成されるテープと該テープの該粘着層を保護する保護フィルムとを重ねたテープセットがロール状に巻かれて構成されるロールテープから引き出される該テープセットを複数のローラの間を通過させるテープ通過手段を備え、複数のローラによって該テープセットを送り出すとともに、該保護フィルムから剥離された該テープを被貼着物に貼着するテープ貼着装置であって、
該テープは、被貼着物の形状に対応して切断されており、
該テープ通過手段は、該ロールテープが装着される少なくとも２つのシャフトと、
２つの該シャフトにそれぞれ装着された該ロールテープのうち、いずれか一方の該ロールテープから引き出された該テープセットの端辺の両端を挟持する第１の挟持部と、
少なくとも該第１の挟持部が該テープセットを挟持するテープ挟持位置と少なくとも該第１の挟持部が該テープセットを開放するテープ開放位置とに該第１の挟持部を位置づける回転機構と、
該回転機構を２つの該シャフトをつなぐ直線方向に動作させることにより、該シャフトに応じた所定のテープ挟持位置に該１の挟持部を移動させるスライド機構と、
該テープセットを挟持した該第１の挟持部を該回転機構が回転させることにより該テープ開放位置に該第１の挟持部を位置づけた時の該テープセットを挟む第１のローラユニットと、
該テープ開放位置に位置づけられた該第１の挟持部が開放した該テープセットを引き継いで挟持する第２の挟持部と、
該テープセットを挟持した該第２の挟持部を一直線方向に移動させ該ロールテープから該テープセットを引き出す引き出し機構と、
該引き出し機構によって一直線方向に引き伸ばされた該第２の挟持部で挟持する該テープセットのうち少なくとも該保護フィルムを挟む第２のローラユニットと、
該第１のローラユニットと該第２のローラユニットとの間に配設され該保護フィルムに接触させて該保護フィルムを鋭角に形成することにより該保護フィルムから該テープを剥離するピールプレートと、
該ピールプレートによって剥離された該テープを押し付けて被貼着物に貼着する貼着ローラと、を備え、
該第１の挟持部は、少なくとも２つの該ロールテープのいずれか一方を選択し該テープセットを挟持して引き出して使用することを特徴とするテープ貼着装置。
【請求項２】
テープの残量を認識するテープ残量認識部と、
該テープ残量認識部の認識に基づき少なくとも２つの前記ロールテープからいずれか一方を選択する制御部と、を備える請求項１記載のテープ貼着装置。
【請求項３】
前記第１のローラユニットと、前記第２のローラユニットとは、少なくとも駆動ローラと、従動ローラと、該駆動ローラと該従動ローラとを相対的に接近及び離間させる移動手段と、により構成され、
該移動手段によって該駆動ローラと該従動ローラとを離間させテープセット通過エリアを形成し、前記テープセットまたは前記保護フィルムを該テープセット通過エリアを通過させた後、該移動手段によって該駆動ローラと該従動ローラとを相対的に接近させ該テープセットまたは該保護フィルムを挟むことを特徴とする請求項１または２記載のテープ貼着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被貼着物に粘着性のテープを貼着する貼着装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハなどの被加工物は、その表面に、ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画されて形成されており、研削によって所定の厚みに薄化された後、分割予定ラインに沿って例えば切削ブレードで切断することにより個々のチップに分割している。
【０００３】
ウェーハを分割するときは、切削ブレードで切断された各チップが分散しないようにするため、中央に開口部を有しウェーハの直径より大きい内径のリングフレームの該開口部にウェーハを載置し、該表面の反対側の面とリングフレームとに粘着性のテープを貼着することによって、テープを介してリングフレームとウェーハとを一体に形成している。
【０００４】
ウェーハにテープを貼着するテープ貼着装置としては、粘着性のテープとこれに貼り合わせられた剥離テープとからなるテープ体がロール状に巻回されたロールテープと、ロールテープからテープ体を引き出す複数のローラと、引き出されたテープ体をウェーハに対して押圧し剥離テープからテープを剥がしてテープをウェーハに貼着する押圧ローラとを少なくとも備えている（例えば下記の特許文献１−３を参照）。
【０００５】
このようなテープ貼着装置においては、ロールテープからテープ体を引き出して複数のローラを通過させて、テープをウェーハに貼着するときにテープ体にかかるテンションの調整を行い、テープ体に弛みが発生しないようにしている。
【０００６】
また、ロールテープのテープ体を使い切ったら、新たなロールテープと交換しており、複数のローラ間に挟まって残存している古いテープ体の端辺と新たなロールテープのテープ体の端辺とを連結させることで、新たなロールテープからテープ体を引き出し複数のローラ間を通過させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００６−１０８１２７号公報
【特許文献２】特開２００６−０４４１５２号公報
【特許文献３】特開２０１１−０８６６８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、上記のようにテープ体を使い切ったロールテープを新たなロールテープに交換する際には、テープ貼着装置を一時停止しなくてはならず、製品の生産性が低いという問題がある。
【０００９】
また、古いロールテープを新たなロールテープに交換した際、古いテープ体の端辺と新しいテープ体の端辺とを揃えて連結させることは容易ではないし、古いテープ体の端辺と新しいテープ体の端辺とを揃えずに両者の端辺を重ねてしまうと、その重なり部分が複数のローラの間を通過するときに障害となってしまうことがあり、テープ体にかかるテンションの調整も面倒となっている。
【００１０】
本発明は、上記の事情にかんがみてなされたものであり、テープを使い切ったロールテープを新たなロールテープに交換する際に、その交換作業を容易かつ効率良く行うことを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、基材と該基材の一方の面に備える粘着層とにより構成されるテープと該テープの該粘着層を保護する保護フィルムとを重ねたテープセットがロール状に巻かれて構成されるロールテープから引き出される該テープセットを複数のローラの間を通過させるテープ通過手段を備え、複数のローラによって該テープセットを送り出すとともに、該保護フィルムから剥離された該テープを被貼着物に貼着するテープ貼着装置であって、該テープは、被貼着物の形状に対応して切断されており、該テープ通過手段は、該ロールテープが装着される少なくとも２つのシャフトと、２つの該シャフトにそれぞれ装着された該ロールテープのうち、いずれか一方の該ロールテープから引き出された該テープセットの端辺の両端を挟持する第１の挟持部と、少なくとも該第１の挟持部が該テープセットを挟持するテープ挟持位置と少なくとも該第１の挟持部が該テープセットを開放するテープ開放位置とに該第１の挟持部を位置づける回転機構と、該回転機構を２つの該シャフトをつなぐ直線方向に動作させることにより、該シャフトに応じた所定のテープ挟持位置に該１の挟持部を移動させるスライド機構と、該テープセットを挟持した該第１の挟持部を該回転機構が回転させることにより該テープ開放位置に該第１の挟持部を位置づけた時の該テープセットを挟む第１のローラユニットと、該テープ開放位置に位置づけられた該第１の挟持部が開放した該テープセットを引き継いで挟持する第２の挟持部と、該テープセットを挟持した該第２の挟持部を一直線方向に移動させ該ロールテープから該テープセットを引き出す引き出し機構と、該引き出し機構によって一直線方向に引き伸ばされた該第２の挟持部で挟持する該テープセットのうち少なくとも該保護フィルムを挟む第２のローラユニットと、該第１のローラユニットと該第２のローラユニットとの間に配設され該保護フィルムに接触させて該保護フィルムを鋭角に形成することにより該保護フィルムから該テープを剥離するピールプレートと、該ピールプレートによって剥離された該テープを押し付けて被貼着物に貼着する貼着ローラと、を備え、該第１の挟持部は、少なくとも２つの該ロールテープのいずれか一方を選択し該テープセットを挟持して引き出して使用することを特徴とする。
【００１２】
上記テープ貼着装置においては、テープの残量を認識するテープ残量認識部と、該テープ残量認識部の認識によって少なくとも２つの上記ロールテープのいずれか一方を選択する制御部と、を備えることが望ましい。
【００１３】
また、上記第１のローラユニットと、上記第２のローラユニットとは、少なくとも駆動ローラと、従動ローラと、該駆動ローラと該従動ローラとを相対的に接近及び離間させる移動手段と、により構成され、該移動手段によって該駆動ローラと該従動ローラとを離間させテープセット通過エリアを形成し、上記テープセットまたは上記保護フィルムを該テープセット通過エリアを通過させた後、該移動手段によって該駆動ローラと該従動ローラとを相対的に接近させ該テープセットもまたは該保護フィルムを挟むことが望ましい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係るテープ貼着装置は、少なくとも２つのシャフトを備えるテープ通過手段を備え、それぞれのシャフトにロールテープを装着可能としたため、一方のロールテープのテープセットがなくなったとしても、テープ貼着装置を停止することなく、他方のロールテープのテープセットを引き出して使用することができ、ロールテープの交換を効率良く行うことができ、生産性が向上する。
また、テープ通過手段は、２つのロールテープのいずれか一方を選択してテープセットを挟持する第１の挟持部と、第１の挟持部が挟持するテープセットを挟む第１のローラユニットと、第１の挟持部が挟持するテープセットを引き継いで挟持する第２の挟持部と、第２の挟持部が挟持するテープセットを挟む第２のローラユニットとを備えるため、一方のロールテープのテープセットを使いきった後、第１の挟持部によって他方のロールテープのテープセットを挟持して第１のローラユニットを通過させるときに、古いテープセットの端辺と新しいテープセットの端辺とを揃えて連結させることはないし、両者の端辺を重ねる必要もないことから、他方のロールテープから引き出した新たなテープセットを第１のローラユニットや第２のローラユニットを通過させる際に支障がなく、テープセットにかかるテンションも変わることがない。
【００１５】
上記テープ貼着装置は、ロールテープのテープセットの残量を認識するテープ残量認識部と、テープ残量認識部の認識に基づいてロールテープのいずれか一方を選択する制御部とを備えているため、ロールテープのいずれか一方を使いきったとしても、使用可能なロールテープを使用してテープを被貼着物に連続的に貼着することができる。
また、テープ貼着装置の稼働中は、ロールテープのいずれかを選択的に使用しているため、テープ貼着装置を停止することなく、新たなロールテープをテープ貼着装置に補充できる。
【００１６】
上記第１のローラユニット及び上記第２のローラユニットは、移動手段によって駆動ローラと従動ローラとを離間させてテープセット通過エリアを形成した後、テープセットをテープセット通過エリアを通過させてから、移動手段により駆動ローラと従動ローラとを相対的に接近させてテープセットを挟みこむことができるため、テープセットを複数のローラ間に容易に通過させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】テープ貼着装置の一例の構成を示す断面図である。
【図２】テープセットの構成を示す斜視図である。
【図３】第１の挟持部がテープ挟持位置においてテープセットを挟持する状態を示す断面図である。
【図４】テープセットを挟持した第１の挟持部をテープ挟持位置からテープ開放位置に位置づける状態を示す断面図である。
【図５】第１のローラユニットでテープセットを挟むとともに、第２の挟持部がテープ開放位置においてテープセットを挟持する状態を示す断面図である。
【図６】テープセットを挟持した第２の挟持部を引き出し機構によって水平に移動させてテープセットを引き出す状態を示す断面図である。
【図７】第２のローラユニットでテープセットを挟むとともに、ピールプレートによって保護フィルムからテープを剥離させる状態を示す断面図である。
【図８】貼着ローラによってテープを被貼着物及びフレームに貼着した状態を示す断面図である。
【図９】第１の挟持部がテープ挟持位置において別のロールテープのテープセットを挟持する状態を示す断面図である。
【図１０】別のロールテープのテープセットを挟持した第１の挟持部をテープ挟持位置からテープ開放位置に位置づける状態を示す断面図である。
【図１１】回転負荷制御部の第二例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
図１に示すテープ貼着装置１は、被貼着物にテープを貼着するテープ貼着装置の一例である。テープ貼着装置１には、ロール状にテープが巻回されたロールテープ２Ａ，２Ｂの少なくとも２つが装着されている。ロールテープ２Ａ，２Ｂを構成するテープは、図２に示すように、一方の面に粘着層を備えるテープ基材３に保護フィルム４を貼り合わせることで形成された２層構造のテープセット５からなる。テープ基材３は、被貼着物の形状に対応してプリカットされたテープ３ａを複数有している。そして、このテープ３ａを保護フィルム４から剥離して被貼着物に貼着する。
【００１９】
図１に示すように、テープ貼着装置１は、上記のように構成されるロールテープ２Ａ，２Ｂからテープセット５を引き出すとともに、複数のローラの間を通過させるテープ通過手段１０と、ロールテープ２Ａ，２Ｂの下方側にそれぞれ配設されたガイド２１ａ，２１ｂと、被貼着物を保持する保持テーブル２２と、保持テーブル２２を水平方向（Ｘ軸方向）移動させるテーブル移動手段２６とを備えている。
【００２０】
保持テーブル２２は、被貼着物を保持する保持面２３を有しており、保持テーブル２２の周囲には、被貼着物を支持するリング状のフレームを下方から支持するフレーム支持部２４が配設されている。保持テーブル２２及びフレーム支持部２４は、支持台２５によって下方から支持されている。
【００２１】
テーブル移動手段２６は、Ｘ軸方向にのびるベース２６０と、ベース２６０の上をＸ軸方向に移動可能な移動基台２６１とを備えている。移動基台２６１には支持台２５が配設されており、移動基台２６１がＸ軸方向に移動することにより、支持台２５を介して保持テーブル２２及びフレーム支持部２４をＸ軸方向に移動させることができる。
【００２２】
テープ通過手段１０は、ロールテープ２Ａ，２Ｂを装着する少なくとも２つのシャフト１１と、それぞれのシャフト１１に装着されたロールテープ２Ａ，２Ｂのうち、いずれか一方から引き出された図２に示すテープセット５を挟持する第１の挟持部１２と、第１の挟持部１２を回転させる回転機構１３と、回転機構１３とともに第１の挟持部１２を２つのシャフト１１をつなぐ直線方向（Ｘ軸方向）にスライド移動させるスライド機構１４と、第１の挟持部１２が挟持するテープセット５を挟む第１のローラユニット１５と、第１の挟持部１２から引き継いでテープセット５を挟持する第２の挟持部１６と、テープセット５を挟持する第２の挟持部１６を直線方向（Ｘ軸方向）に移動させてロールテープ２Ａ，２Ｂからテープセット５を引き出す引き出し機構１７と、引き出し機構１７によって引き出されたテープセット５または図２に示す保護フィルム４を挟む第２のローラユニット１８と、第１のローラユニット１５と第２のローラユニット１８との間に配設され保護フィルム４からテープ３ａを剥離するピールプレート１９と、ピールプレート１９によって剥離されたテープ３ａを送り出しながら押し付けて被貼着物Ｗに貼着する貼着ローラ２０と、を備えている。２つのシャフト１１の回転軸は平行であり、シャフトをつなぐ直線方向は、シャフトの回転軸に直交する方向である。
【００２３】
２つのシャフト１１は、例えば金属で形成されている。このシャフト１１にロールテープ２Ａ，２Ｂが巻かれている。なお、図１の例では、シャフト１１の個数は、２つとなっているが、この個数には限定されない。
【００２４】
第１の挟持部１２は、支持部材１２０と、支持部材１２０の一端に形成された挟持部材１２１とにより少なくとも構成されている。第１の挟持部１２は、挟持部材１２１によって図２に示したテープセット５の端辺の両端を挟持することが可能となっている。支持部材１２０の他端には回転機構１３が連結されている。
【００２５】
回転機構１３は、時計周り及び反時計周りに回転可能となっており、ロールテープ２Ａ，２Ｂから引き出されたテープセット５を挟持するテープ挟持位置６ａ，６ｂ（図３，図９を参照）と、少なくとも第１の挟持部１２がテープセット５を開放するテープ開放位置７（図７を参照）とに位置づけることができる。テープ挟持位置６ａ，６ｂは、第１の挟持部１２が、ロールテープ２Ａ，２Ｂから引き出されガイド２１ａ，２１ｂによってガイドされたテープセット５を挟持できる位置を指す。テープ開放位置７は、第１の挟持部１２によって挟持されたテープセット５を第２の挟持部１６に引き渡すことができる位置を指す。
【００２６】
スライド機構１４は、Ｘ軸方向にのびるベース部１４０と、ベース部１４０においてＸ軸方向にスライド移動可能な移動部１４１とにより構成されている。移動部１４１は、回転機構１３を介して第１の挟持部１２を支持している。そして、移動部１４１がベース部１４０においてＸ軸方向にスライド移動することにより、回転機構１４とともに第１の挟持部１２をＸ軸方向にスライド移動させることができる。
【００２７】
第１のローラユニット１５は、少なくとも駆動ローラ１５０と、２つの従動ローラ１５１と、駆動ローラ１５０と従動ローラ１５１とを相対的に接近及び離間させる移動手段１５２とにより構成されている。移動手段１５２は、Ｘ軸方向にのびるガイドレール１５２ａと、ガイドレール１５２ａにおいて水平に移動可能な移動部１５２ｂとにより構成されている。移動部１５２ｂは、その先端部において２つの従動ローラ１５１を支持している。移動部１５２ｂがガイドレール１５２ａに沿って移動することにより、駆動ローラ１５０と従動ローラ１５１とを相対的に接近及び離間させることができる。
【００２８】
第２の挟持部１６は、上記した第１の挟持部１２と同様に、支持部材１６０と、支持部材１６０の一端に形成された挟持部材１６１とにより少なくとも構成されている。第２の挟持部１６は、上記したテープ開放位置７において、第１の挟持部１２が挟持するテープセット５の端辺の両端を引き継いで挟持することができる。
【００２９】
引き出し機構１７は、Ｘ軸方向にのびるベース部１７０と、ベース１７０部においてＸ軸方向に移動可能な移動部１７１とにより構成されている。移動部１７１には、第２の挟持部１６が接続されている。移動部１７１が、ベース部１７０においてＸ軸方向に一直線に移動することで、テープセット５を挟持する第２の挟持部１６を同方向に移動させ、ロールテープ２Ａ，２Ｂからテープセット５を引き出すことができる。
【００３０】
第２のローラユニット１８は、第２の挟持部１６の移動経路（Ｘ軸方向）上に配設されており、第１のローラユニット１５と同様の構成となっている。すなわち、第２のローラユニット１８は、少なくとも駆動ローラ１８０と、２つの従動ローラ１８１と、駆動ローラ１８０と従動ローラ１８１を相対的に接近及び離間させる移動手段１８２とにより構成されている。移動手段１８２は、Ｚ軸方向にのびるガイドレール１８２ａと、ガイドレール１８２ａにおいて水平に移動可能な移動部１８２ｂとにより構成されている。移動部１８２ｂは、その先端部において２つの従動ローラ１８１を支持している。移動部１８２ｂがガイドレール１８２ａに沿って移動することにより、駆動ローラ１８０と従動ローラ１８１とを相対的に接近及び離間させることができる。
【００３１】
ピールプレート１９は、貼着ローラ２０に向けて先端側を傾けたアーム部１９０と、アーム部１９０の先端に接続された押圧部１９１とにより構成されている。押圧部１９１で図２に示したテープセット５のうち保護フィルム４を押圧して該保護フィルム４を鋭角に形成することにより、保護フィルム４からテープ３ａを剥離することができる。
【００３２】
貼着ローラ２０は、保持テーブル２２の上方側に配設されており、回転しながらＺ軸方向に昇降可能となっている。貼着ローラ２０は、ピールプレート１９によって図２に示した保護フィルム４から剥離されたテープ３ａを、保持テーブル２２に保持される被貼着物に対して押し付けて貼着することができる。貼着ローラ２０には、エアー供給源３３と、エアー供給源３３からのエアーの圧力を調整し被貼着物にテープ３ａを貼着する際にテープセット５にかかる圧力を調整する電空レギュレータ３４が接続されている。
【００３３】
図１に示すように、テープ貼着装置１は、ロールテープ２Ａ，２Ｂにおけるテープセット５の残量を認識するテープ残量認識部３０と、テープ貼着装置１の各種機構を制御する制御部３１とを備えている。テープ残量認識部３０は、金属を検知可能なセンサを少なくとも備えており、シャフト１１を検知することにより、ロールテープ２Ａ，２Ｂのテープセット５の残量を認識できる。制御部３１は、メモリ及びＣＰＵを少なくとも備えており、例えばテープ残量認識部３０が認識した情報に基づいてロールテープ２Ａ，２Ｂのうち、いずれか一方を選択するように第１の挟持部１２、回転機構１３及びスライド機構１４を制御することができる。
【００３４】
２つのシャフト１１には、シャフト１１の回転時に発生する回転負荷を制御する回転負荷制御部３２が接続されている。回転負荷制御部３２は、例えば反転モータによって構成されている。回転負荷制御手段３２は、ロールテープ２Ａ，２Ｂからテープセット５を引き出す際に、シャフト１１が回転する方向と逆方向に回転しようとする電流を制御してシャフト１１にかかる負荷を調整することができる。
【００３５】
次に、テープ貼着装置１の動作例について説明する。最初に、被貼着物Ｗを保持テーブル２２の保持面２３に載置するとともに、リング状のフレームＦをフレーム支持部２４に載置する。被貼着物Ｗは、板状ワークなどの被加工物の一例であり、特に材質等が限定されるものではない。図示しない吸引源を作動し、保持テーブル２２の保持面２３で板状ワークＷを吸引保持する。
【００３６】
図３に示すように、ロールテープ２Ａからテープセット５を例えば作業者が引き出してガイド２１ａに通す。続いてガイド２１ａから下方に突出したテープセット５を第１の挟持手段１２によって挟持する。具体的には、回転機構１３が、例えば矢印Ａ１方向に回転し、第１の挟持部１２の挟持部材１２１を挟持位置６ａに位置づけるとともに、挟持部材１２１でテープセット５の端辺の両端を挟持する。
【００３７】
次いで、テープセット５を挟持している挟持部材１２１を挟持位置６ａから図４に示すテープ開放位置７に移動させる。ここで、図３に示す第１のローラユニット１５は、少なくとも挟持部材１２１をテープ開放位置７に移動させる前に、移動手段１５２により従動ローラ１５１を駆動ローラ１５０から離反する方向（−Ｘ方向）に移動させ、駆動ローラ１５０と従動ローラ１５１との間にテープセット５が通過できる程度の第１のテープセット通過エリア８を形成する。
【００３８】
図４に示すように、第１の挟持部１２の挟持部材１２１をテープ開放位置７に移動させるときは、回転機構１３が、例えば矢印Ａ２方向に回転することにより、第１の挟持部１２の挟持部材１２１で挟持しているテープセット５を第１のテープセット通過エリア８を通過させるとともに、テープセット５を駆動ローラ１５０に引っ掛けて、テープセット５を挟持している挟持部材１２１をテープ開放位置７に移動させる。
【００３９】
その後、図５に示すように、移動手段１５２が作動することにより、移動部１５２ｂがガイドレール１５２ａに沿って例えば矢印−Ｘ方向に移動し、２つの従動ローラ１５１を駆動ローラ１５０に接近させ、２つの従動ローラ１５１をテープセット５に接触させて駆動ローラ１５０と２つの従動ローラ１５１とによってテープセット５を挟み込む。そして、駆動ローラ１５０が所定の回転速度で回転するとともに、２つの従動ローラ１５１も駆動ローラ１５０の回転にともなって回転し、テープセット５を下方に送り出す。
【００４０】
引き出し機構１７の移動部１７１がベース１７１において例えば矢印＋Ｘ方向に移動し、第２の挟持部１６をテープ開放位置７に移動させる。第１の挟持部１２がテープ開放位置７においてテープセット５を開放したら、第２の挟持部１６の支持部材１６１でテープセット５の端辺の両端を引き継いで挟持する。この間に、第２のローラセット１８は、移動手段１８２によって従動ローラ１８１を駆動ローラ１８０から離反する方向（−Ｚ方向）に移動させ、駆動ローラ１８０と従動ローラ１８１との間に所定の第２のテープセット通過エリア９を形成する。なお、第２のテープセット通過エリア９は、少なくとも第２の挟持部１６がテープセット５を挟持する前に形成しておく。
【００４１】
図６に示すように、引き出し機構１７によって移動部１７１をベース１７０に沿って例えば矢印−Ｘ方向に一直線に移動させることにより、第２の挟持部１６の挟持部材１６１で挟持しているテープセット５が第２のテープセット通過エリア９を通過する。
【００４２】
次いで、図７に示すように、移動手段１８２が作動することにより、移動部１８２ｂがガイドレール１８２ａに沿って例えば矢印＋Ｚ方向に移動し、２つの従動ローラ１８１を駆動ローラ１８０に接近させ、２つの従動ローラ１８１をテープセット５に接触させて駆動ローラ１８０と２つの従動ローラ１８１とによってテープセット５を挟み込む。そして、駆動ローラ１８０が所定の回転速度で回転するとともに、２つの従動ローラ１８１が駆動ローラ１８０の駆動にともなって回転し、テープセット５をＸ軸方向に送り出すとともに、ロールテープ２Ａからテープセット５を下方に引き出す。
【００４３】
ここで、ロールテープ２Ａからテープセット５を引き出す際には、回転負荷制御部３２によってシャフト１１にかかる回転負荷を制御する。すなわち、シャフト１１に装着されたロールテープ２Ａの引き出し方向と逆方向にシャフト１１を回転させてテープセット５を巻き戻す。これにより、ロールテープ２Ａから引き出されて第１のローラユニット１５及び第２のローラユニット１８で挟まれたテープセット５に弛みが発生するのを防止できる。
【００４４】
図７に示すピールプレート１９は、アーム部１９０を下降させることにより、テープセット５のうち保護フィルム４を押圧部１９１で下方に向けて押圧して保護フィルム４を鋭角に形成する。そうすると、保護フィルム４からテープ３ａが剥離し、貼着ローラ２０の下方にテープ３ａが送り込まれる。このとき、被貼着物Ｗを保持した保持テーブル２２及びフレームＦを支持したフレーム支持部２４をテープセット５の下方側にあらかじめ移動させておく。テープ３ａが剥離された保護フィルム４は、例えば図示しないリールに巻き取って再利用するようにしてもよい。また、例えば第２のローラユニット１８の下側に回収ボックスを設置して保護フィルム４を回収するようにしてもよい。
【００４５】
貼着ローラ２０を所定の回転速度で回転させながら、例えば矢印−Ｚ方向に下降させることで、フレーム支持部２４に支持されたフレームＦの一方側からテープ３ａを押し付ける。続いて、テーブル移動手段２６によって保持テーブル２２及びフレーム支持部２４を例えば矢印＋Ｘ方向に送り出していき、回転する貼着ローラ２０で被貼着物Ｗ及びフレームＦに対してテープ３ａを押し付ける。電空レギュレータ３４は、エアー供給源３３からのエアーの圧力を調整して貼着ローラ２０でテープ３ａを押し付ける際の圧力を調整する。なお、被貼着物Ｗ及びフレームＦにテープ３ａを貼着する速度と第２のローラユニット１８がテープセット５を引き出す速度とを同じにするため、貼着ローラ２０と駆動ローラ１８０とを同一の回転速度で回転させることが望ましい。なお、貼着ローラ２０は、保持テーブル２２のＸ軸方向の送りによって従動して回転する構成にしてもよい。その場合は、保持テーブル２２の送り速度と駆動ローラ１８０の回転速度とを連動させ、保持テーブル２２の移動速度に応じて送り出されたテープ３ａを貼着ローラ２０が押し付けることができる。
【００４６】
貼着ローラ２０でテープ３ａを押し付けながら、図８に示すように、保持テーブル２２及びフレーム支持部２４を所定の位置まで移動させると、被貼着物ＷとフレームＦとにテープ３ａを貼着することができる。その後、テープ３ａを介してフレームＦと一体となった被貼着物Ｗは、図示しない搬送手段によって例えばダイシング装置等に移送されてダイシング等が行われる。このようにして１枚の被貼着物Ｗに対するテープ３ａの貼着動作が完了したら、順次新たな被貼着物Ｗを保持テーブル２２に搬送して上記と同様にテープ３ａの貼着動作を繰り返し行う。
【００４７】
ここで、ロールテープ２Ａからテープセット５を継続して引き出すことにより、図９に示すように、シャフト１１に装着されているロールテープ２Ａのテープセット５が減少する。テープ残量認識部３０が、ロールテープ２Ａが装着されたシャフト１１を検知すると、テープセット５の残量がなくなった旨の情報を制御部３１に送る。
【００４８】
制御部３１は、テープ残量認識部３０の情報に基づいて、ロールテープ２Ａのテープセット５が完全になくなったと判断したら、ロールテープ２Ａからテープセット５を引き出す作業を停止するとともに、テープセット５を十分に有するロールテープ２Ｂを選択して第１の挟持部１２、回転機構１３及びスライド機構１４に対してロールテープ２Ｂからテープセット５を挟持して引き出すように制御する。なお、ロールテープ２Ｂの使用中に、使用済みのロールテープ２Ａを新たなロールテープと交換することが望ましい。
【００４９】
図９に示すように、ロールテープ２Ｂからテープセット５を例えば作業者によって引き出してガイド２１ｂに通したら、ガイド２１ｂから下方に突出したテープセット５を第１の挟持手段１２によって挟持する。具体的には、スライド機構１４によって第１の挟持部１２をロールテープ２Ｂ側にスライド移動させる。次いで、回転機構１３が、例えば矢印Ａ１方向に回転し、第１の挟持部１２の挟持部材１２１を挟持位置６ｂに位置づけるとともに、挟持部材１２１でテープセット５の端辺の両端を挟持する。
【００５０】
図１０に示すように、テープセット５を挟持している挟持部材１２１を挟持位置６ｂからテープ開放位置７に移動させる。具体的には、スライド機構１４によってテープセット５を挟持した第１の挟持部１２を例えば矢印＋Ｘ方向にスライド移動させる。続いて回転機構１３が、例えば矢印Ａ２方向に回転することにより、第１の挟持部１２の挟持部材１２１で挟持しているテープセット５が第１のテープセット通過エリア８を通過するとともに、テープセット５を駆動ローラ１５０に引っ掛けて、テープセット５を挟持している挟持部材１２１をテープ開放位置７に移動させる。その後は、図５〜８で示した上記同様の動作を行い、被貼着物Ｗにテープ３ａを貼着する。
【００５１】
実施形態に示すテープ貼着装置１では、反転モータにより構成される上記回転負荷制御部３２に代えて、例えば図１１に示す回転負荷制御部４０を用いてシャフト１１にかかる回転負荷を制御してもよい。回転負荷制御部４０は、エアー供給源４１と、エアーの圧力を調整する電空レギュレータ４２と、シャフト１１にブレーキをかけるエアーブレーキユニット４３とにより構成されている。回転負荷制御部４０では、エアーブレーキユニット４３を用いて回転するシャフト１１にブレーキをかけつつ、シャフト１１にかかる回転負荷を制御することができる。
【００５２】
以上のとおり、本発明のテープ貼着装置１では、少なくとも２つのシャフト１１を備えるテープ通過手段１０を備え、それぞれのシャフト１１にロールテープ２Ａ，２Ｂを装着可能としたため、例えば一方のシャフト１１に装着されたロールテープ２Ａのテープセット５を全て引き出して使いきっても、他方のシャフト１１に装着されたロールテープ２Ｂのテープセット５を引き出して使用できることから、ロールテープの交換のためにテープ貼着装置１を停止する必要がない。
テープ通過手段１０は、ロールテープ２Ａ，２Ｂのいずれか一方を選択してテープセット５を挟持する第１の挟持部１２と、第１の挟持部１２が挟持するテープセット５を挟む第１のローラユニット１５とを備え、第１の挟持部１２の挟持部材１２１が、ロールテープ２Ａ，２Ｂを選択的にテープセット５の端辺を挟持して引き出すようにしたため、ロールテープ２Ａ，２Ｂの一方を使いきった後、他方のロールテープ２Ａ，２Ｂを使用する際に、古いテープセット５の端辺と新しいテープセット５の端辺とを揃えて連結させる作業も両者の端辺を重ねることもないから、他方のロールテープ２Ａ，２Ｂから新たに引き出したテープセット５を容易に第１のローラユニット１５を通過させることができる。
【００５３】
テープ貼着装置１では、テープ残量認識部３０がロールテープ２Ａ，２Ｂの残量を認識し、その認識に基づき制御部３１が使用可能なロールテープ２Ａ，２Ｂのいずれか一方を選択するため、仮にロールテープ２Ａ，２Ｂの一方を使いきったとしても、使用可能なロールテープ２Ａまたは２Ｂを使用して連続的にテープ３ａを被貼着物Ｗに貼着することが可能となる。
また、テープ貼着装置１の稼働中は、ロールテープ２Ａ，２Ｂのいずれか一方を選択的に使用しているため、テープ貼着装置１を停止することなく、新たなロールテープをテープ貼着装置１に補充することができる。
【符号の説明】
【００５４】
１：テープ貼着装置  ２Ａ，２Ｂ：ロールテープ  ３：テープ基材  ３ａ：テープ
４：保護フィルム  ５：テープセット  ６ａ，６ｂ：テープ挟持位置
７：テープ開放位置  ８：第１のテープセット通過エリア
９：第２のテープセット通過エリア  １０：テープ通過手段  １１：シャフト
１２：第１の挟持部  １２０：支持部材  １２１：挟持部材
１３：回転機構  １４：スライド機構  １４０：ベース  １４１：移動部
１５：第１のローラユニット  １５０：駆動ローラ  １５１：従動ローラ
１５２：移動手段  １５２ａ：ガイドレール  １５２ｂ：移動部
１６：第２の挟持部  １６０：支持部材  １６１：挟持部材
１７：引き出し機構  １７０：ベース  １７１：移動部
１８：第２のローラユニット  １８０：駆動ローラ  １８１：従動ローラ
１８２：移動手段  １８２ａ：ガイドレール  １８２ｂ：移動部
１９：ピールプレート  １９０：アーム部  １９１：押圧部
２０：貼着ローラ
２１ａ，２１ｂ：ガイド  ２２：保持テーブル  ２３：保持面
２４：フレーム支持部  ２５：支持台
２６：テーブル移動手段  ２６０：ベース  ２６１：移動基台
３０：テープ残量認識部  ３１：制御部  ３２：回転負荷制御部
３３：エアー供給源  ３４：電空レギュレータ
４０：回転負荷制御部  ４１：エアー供給源  ４２：電空レギュレータ
４３：エアーブレーキユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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