(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被乾燥物である湿潤状態の複数の小型部品を乾燥するための乾燥装置であって、
通気性及び通水性を有する底板を備え、且つ前記被乾燥物を前記底板の表面である第一の面上に滞留させる乾燥容器と、
前記乾燥容器内において前記被乾燥物を流動させて攪拌させる流動化機構と、
前記底板における前記被乾燥物が滞留される面の反対面である第二の面側に離間して設けられた吸引部材と、
前記吸引部材に連結された吸引機構と、を備え、
前記吸引機構は前記被乾燥物から前記吸引部材に向かう気流を発生させると共に前記被乾燥物に付着した液体を吸引部材に向かって移動させ、
前記吸引部材は、前記気流が発生した領域である吸引領域の前記第一の面に対する位置の変更又は前記吸引領域の前記第一の面に対する位置毎に気流の風量の変更の少なくとも何れかを行うことが出来る構成であることを特徴とする乾燥装置。
【請求項２】
前記吸引部材は、前記第二の面側に離間して設けられた面である吸引面が形成されており、当該吸引面が複数に分割されていることを特徴とする請求項１に記載の乾燥装置。
【請求項３】
前記吸引部材は、複数の空間に仕切られており当該空間毎に独立して前記吸引機構に連結されていることを特徴とする請求項２に記載の乾燥装置。
【請求項４】
前記吸引部材はハニカム構造であることを特徴とする請求項３に記載の乾燥装置。
【請求項５】
前記吸引部材は、前記吸引機構に連結された複数のホースを束ねて構成されていることを特徴とする請求項１に記載の乾燥装置。
【請求項６】
前記流動化機構は、前記乾燥容器を傾斜して保持する保持機構と、
前記底板の中心を軸心に前記乾燥容器を回転させる回転機構と、を備えることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１つに記載の乾燥装置。
【請求項７】
請求項１に記載の乾燥装置を用いた乾燥方法であって、
複数の前記被乾燥物を前記乾燥容器に収容する工程と、
前記流動化機構を作動して前記複数の被乾燥物を流動化して攪拌する工程と、
前記吸引機構を作動して前記複数の被乾燥物同士で形成された空間に前記気流を通過させると共に当該被乾燥物に付着した液体を当該被乾燥物から剥離する工程と、
前記被乾燥物から剥離した液体を回収する工程と、を備え、
前記吸引機構の作動中に、前記吸引領域の前記第一の面に対する位置を変更する工程又は前記吸引領域の前記第一の面に対する位置毎に気流の風量を変更する工程の少なくとも何れかを更に含むことを特徴とする乾燥方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、小型部品の乾燥装置及び乾燥方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
精密機器は僅かな異物が存在していると故障の原因となるため、部品は製品に組み付ける前に洗浄される。例えば、特許文献１には、全ての陵部及び角部に曲面が形成されたチップ状電子部品用セラミックス基盤の製造方法として、成形体、仮焼後、焼成後、のいずれかの段階で湿式遠心バレル研磨にて研磨を行うことが開示されている。遠心バレル研磨後の小型部品は、水や有機溶媒等の洗浄液にて洗浄する必要があり、これを効率よく乾燥させる要請がある。
【０００３】
その他にも、水晶、端子部品、時計部品、ネジ、等金属、セラミックス、樹脂等材質を問わず洗浄後に効率よく乾燥させる要請がある。
【０００４】
小型部品である被乾燥物を乾燥させる装置として、通気通水性のある籠と当該籠の底面に接触又は近接して設けられたバキュームヘッドと当該バキュームヘッドに連結された掃除機とで構成される乾燥装置が特許文献２に開示されている。この乾燥装置は、前記掃除機の作動による吸引力により前記籠の底面に向かう気流を発生させ、この気流により被乾燥物を乾燥させる構成である。この乾燥装置は隣接する被乾燥物同士の間に気流が十分に通過できる空間が形成されていない場合、全ての被乾燥物を均等に乾燥することができない。
【０００５】
また、別の構成の乾燥装置として、周囲を密閉した配管と、複数の被乾燥物を収容できる収容容器と、空気流路の上流に設けられたヒータと、空気流路の下流に設けられたブロアと、で構成される乾燥装置が特許文献３に開示されている。空気吸引手段の作動により、空気流路には上流から下流に向かう気流が発生している。この乾燥装置は、上流には加熱手段が設けられているので、加熱手段の作動により加熱された空気が空気流路を通過する。空気流路の途中には、回転駆動装置に連結された処理容器が傾斜して設けられている。回転駆動装置の作動により処理容器が回転することで被乾燥物は攪拌された状態となり、加熱された空気が収容体を通過することで被乾燥物が乾燥される。この乾燥装置は、特許文献２に開示された乾燥装置に比べ乾燥効率は良いが、閉じられた空間を気流が通過する構造のため、構造が煩雑となる。また、被乾燥物のサイズによっては液体により被乾燥物同士の貼着力が強く、処理容器の回転のみでは被乾燥物同士を剥離することが困難であるので、この構成の乾燥装置でも全ての被乾燥物を均等に乾燥することは困難である。仮に、被乾燥物同士を剥離させるために被乾燥物に過剰な外力を加えると、被乾燥物が損傷する恐れがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平０８−２１３７１９号公報
【特許文献２】特開２００１−２６３９３８号公報
【特許文献３】特開２００９−２０４２２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
以上の問題を鑑み、本発明は小型部品である複数の被乾燥物を均等に効率よく乾燥する装置及び乾燥方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一側面では、被乾燥物である湿潤状態の複数の小型部品を乾燥するための乾燥装置が提供される。この乾燥装置は、乾燥容器と、流動化機構と、吸引部材と、吸引機構と、を備える。乾燥容器は、通気性及び通水性を有する底板を備え、且つ前記被乾燥物を前記底板の表面である第一の面上に滞留させる構成である。流動化機構は、前記乾燥容器内において前記被乾燥物を流動させて攪拌させる構成である。吸引部材は、前記底板における前記被乾燥物が滞留される面の反対面である第二の面側に離間して設けられている。吸引機構は、前記吸引部材に連結されている。そして、前記吸引機構は前記被乾燥物から前記吸引部材に向かう気流を発生させると共に前記被乾燥物に付着した液体を吸引部材に向かって移動させ、前記吸引部材は、前記気流が発生した領域である吸引領域の前記第一の面に対する位置の変更又は前記吸引領域の前記第一の面に対する位置毎に気流の風量の変更の少なくとも何れかを行うことが出来る構成である。
【０００９】
そして、一側面の乾燥装置を用いた乾燥方法は、複数の前記被乾燥物を前記乾燥容器に収容する工程と、前記流動化機構を作動して前記複数の被乾燥物を流動化して攪拌する工程と、前記吸引機構を作動して前記複数の被乾燥物同士で形成された空間に前記気流を通過させると共に当該被乾燥物に付着した液体を当該被乾燥物から剥離する工程と、前記被乾燥物から剥離した液体を回収する工程と、を備える。そして、前記吸引機構の作動中に、前記吸引領域の前記第一の面に対する位置を変更する工程又は前記吸引領域の前記第一の面に対する位置毎に気流の風量を変更する工程の少なくとも何れかを更に含む。
【００１０】
一側面に係る乾燥装置は、吸引機構により発生した気流のみで被乾燥物を乾燥させるものである。気流のみでは乾燥容器の第一の面に対する位置によって乾燥状態にバラツキが生じるが、本側面の乾燥装置は、吸引する位置または吸引する風量を当該第一の面に対する位置毎に変更することができるので、全ての被乾燥物を均等に乾燥することが出来る。なお、「吸引する位置」とは、第一面に対する吸引領域の面積の変更も含む概念である。また、「気流」は常温の気流のみならず、気流の上流側（乾燥容器の第一の面側の上方）に配置された熱源により加熱された気流としてもよい。
【００１１】
一形態では、前記吸引部材は前記第二の面側に離間して設けられた面である吸引面が形成されており、当該吸引面が複数に分割されていてもよい。分割された吸引面毎に吸引のＯＮ・ＯＦＦを切り替えたり、吸引風量を変更したりすることで、被乾燥物を均等に乾燥することが出来る。
【００１２】
一形態では、前記吸引部材は複数の空間に仕切られており、当該空間毎に独立して前記吸引機構に連結してもよい。吸引のＯＮ・ＯＦＦや吸引風量の変更の境界がより鮮明となるので、効率よく乾燥を行うことが出来る。
【００１３】
一形態では、前記吸引部材をハニカム構造としてもよい。吸引部材の第一の面に対する吸引領域の位置を自由に設定することが出来るので、より効率よく乾燥を行うことが出来る。
【００１４】
一形態では、前記吸引部材を前記吸引機構に連結された複数のホースを束ねて構成してもよい。前述の吸引部材をハニカム構造とした効果を、簡便な機構で実現することができる。
【００１５】
一形態では、前記流動化機構を、前記乾燥容器を傾斜して保持する保持機構と、前記底板の中心を軸心に前記乾燥容器を回転させる回転機構と、を備える構成としてもよい。被乾燥物は重力及び乾燥容器の回転による遠心力によって攪拌されるので、被乾燥物の表面に形成された液膜による被乾燥物同士の貼着力を弱めることが出来る。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の一側面又は各形態により、乾燥容器に収容された全ての小型部品を均等に効率よく乾燥することが出来る。また気流の経路は、少なくとも乾燥容器近傍の上流から吸引部材までが解放された空間であるので、従来の乾燥装置より装置の構成が簡便である。この構成により操作性及びメンテナンス性が優れた乾燥装置を得ることができる。なお、一側面及び一形態では、特に径又は少なくともいずれかの辺が５ｍｍ以下、又は厚みが５ｍｍ以下の小型部品を好適に乾燥することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一形態で用いた乾燥装置を説明するための模式図である。
【図２】本発明の一形態で用いた吸引部材における吸引面の形状を説明するための模式図である。図２（Ａ）は六角柱形状でハニカム構造を形成した模式図、図２（Ｂ）は円柱形状でハニカム構造を形成した模式図、である。
【図３】本発明の一形態で用いた吸引部材の別の例を示す模式図である。
【図４】本発明の一形態で用いた吸引部材の別の例を示す模式図である。
【図５】本発明の一形態で用いた吸引力発生源を示す模式図である。
【図６】本発明の一形態で用いた乾燥方法における第一の面の領域の仕切りを説明するための模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本願発明の乾燥装置および乾燥方法の一形態を、図を参照して説明する。本発明は以下の形態に限定されず、要旨に反しない限り適宜変更することができる。なお、以下の説明において「上下左右方向」は特に断りのない限り図における方向を指す。
【００１９】
本願発明の乾燥装置の一形態は、図１に示すように、乾燥容器１０、流動化機構２０、吸引部材３０、吸引機構４０、をそれぞれ含む。
【００２０】
乾燥容器１０は、通気性及び通水性を有した円盤状の底板１１および当該底板１１の周縁に立設した枠体１２を含む。この構成で、乾燥容器１０は上端が開放された円筒形状に形成されており、底板１１により形成される底面（第一の面１１ａ）に被乾燥物Ｗを滞留させることができる。底板１１は、例えば被乾燥物Ｗを保持できる大きさの目開きである網状とすることができる。
【００２１】
流動化機構２０は、乾燥容器１０に滞留された複数の被乾燥物Ｗを流動化させて攪拌するための機構である。乾燥容器１０に振動力を加える方法、間欠的に圧縮空気を吹き付ける方法、乾燥容器１０を回転させて被乾燥物Ｗに遠心力を加える方法、前記遠心力に加えて被乾燥物Ｗに付加される重力を利用する方法、等が考えられる。本形態では、乾燥容器１０を回転させることにより被乾燥物Ｗに付加される遠心力及び被乾燥物Ｗに付加されている重力を利用する方法を採用した。本形態の流動化機構２０は、乾燥容器１０を水平面に対して所定の角度αで傾斜させ、且つ底板１１の中心を軸心に回転可能に保持する保持機構としての架台２１、乾燥容器１０を回転させる回転機構２２を含む。回転機構２２は、乾燥容器１０の枠体１２に接触するゴム製の車輪２２ａ、車輪２２ａの円形面中心に一端が固定されたシャフト２２ｂ、回転力を発生するモータ２２ｃ、シャフト２２ｂの他端及びモータ２２ｃの回転軸にそれぞれ固定されたプーリ２２ｄ、プーリ２２ｄ同士に架け渡されたベルト２２ｅ、を含む。モータ２２ｃを作動させると、シャフト２２ｂ及びプーリ２２ｄ及びベルト２２ｅを介して車輪２２ａが回転する。車輪２２ａはゴムで構成されているので摩擦係数が高く、且つ枠体１２に接触しているので、車輪２２ａの回転により乾燥容器１０が回転する。
【００２２】
乾燥容器１０が回転すると、被乾燥物Ｗには遠心力が付加される。また、乾燥容器１０は傾斜しているので、被乾燥物Ｗには底板１１に沿った重力の分力が付加されている。乾燥容器１０が回転すると、乾燥容器１０の下部に滞留している被乾燥物Ｗは重力により枠体１２に追従して移動するが、所定の高さまで移動して重力の分力が遠心力を上回ると底板１１に沿って下部に落下する。この動作が連続的に行われるので、被乾燥物Ｗが攪拌される。
【００２３】
被乾燥物Ｗを良好に分散させるために、乾燥容器１０の傾斜角度及び乾燥容器１０の回転速度を調整する必要がある。乾燥容器１０の傾斜角度（所定の角度α）を３０°〜７０°で設定した場合の乾燥容器１０の回転速度を、臨界回転速度の１０％〜３０％とするのが好ましい。臨界回転速度とは、乾燥容器１０の全周にわたって重力の分力と釣り合う遠心力を被乾燥物Ｗに付加する回転速度である。傾斜角度が小さすぎる場合及び回転速度が速すぎる場合は、遠心力に対して重力の分力が小さいので被乾燥物Ｗは枠体１２に追従して回転を続ける。傾斜角度が大きすぎる場合又は回転速度が遅すぎる場合は、重力の分力に対して遠心力が小さく被乾燥物Ｗは枠体１２に沿った十分な距離を移動することが出来ない。その結果、いずれの場合も被乾燥物Ｗを均等に攪拌することができない。
【００２４】
また、乾燥容器１０の回転速度は、乾燥の進行具合に合わせて変更すると、より効率的に被乾燥物Ｗの乾燥を行うことが出来る。そのため、乾燥容器１０の回転速度を調整するための回転速度調整機構２３を回転機構２２に連結させてもよい。回転速度調整機構２３は、インバータ等電気的に制御する構成や、回転機構２２においてプーリ２２ｄ及びベルト２２ｅに替えてギヤを用いてモータの回転をシャフトに伝達する方式とし、モータ２２ｃからシャフトまでのギヤ比を機械的に変更する構成、その他公知の構成を選択することができる。本形態ではインバータをモータ２２ｃに接続してモータの回転速度を調整することで、乾燥容器１０の回転速度を調整する構成とした。
【００２５】
吸引部材３０は一端面が開放された面（吸引面３１）であり、吸引面３１が乾燥容器１０における第一の面１１ａの反対面である第二の面１１ｂに対向する位置となるように配置されている。他端は吸引機構４０に連結されており、吸引機構４０の作動により乾燥容器１０内で第一の面１１ａから第二の面１１ｂに向かう気流が発生する（乾燥容器１０内でこの気流が発生している領域を、吸引領域とする）。この気流により被乾燥物Ｗに付着した液体が吸引されると共に、空気の流れにより被乾燥物Ｗが乾燥される。
【００２６】
乾燥容器１０の第二の面１１ｂと吸引部材３０の吸引面３１との距離は、乾燥容器１０の回転を妨げない程度に可及的に短い方が好ましく、概ね３ｍｍ以下、更には１ｍｍ以下とするのが好ましい。この距離が長いと第二の面１１ｂと吸引面３１との間の空間からも空気を過剰に吸引するため、第一の面１１ａ側での吸引力が弱くなるので、被乾燥物Ｗを良好に乾燥することが困難となる。
【００２７】
被乾燥物Ｗは乾燥容器１０内で流動化状態になっており、乾燥時間の経過と共に流動化状態が変化するので、第一の面１１ａに対する吸引領域の位置を変更できる構成とするのが好ましい。即ち、吸引面３１が複数に分割されている構成とするのが好ましい。
【００２８】
また、第一の面１１ａに対する吸引領域の位置毎に吸引力（即ち、吸引部材３０に向かう気流）を調整することで、より効率よく被乾燥物Ｗの乾燥を行うことが出来る。この場合、吸引部材３０を複数の領域に仕切り、当該仕切られた空間毎に独立して吸引機構４０に連結されている構成とするのが好ましい。例えば、吸引部材として複数のホース３３を用い、一端を第二の面１１ｂ側に対向して配置し、他端をそれぞれのホース３３の流路の開度をホース３３毎に調整可能な開度調整機構３４を配置した構成としてもよい。この場合、ホース３３を所定の箇所に離間して配置しても良い。或いは、ハニカム構造の吸引枠３２を用い、一端面を吸引面３１とし、他端面の仕切られた領域毎にホース３３を接続し、それぞれのホースを前記開度調整機構３４に配置した構成としてもよい。ここで言う「ハニカム構造」とは、仕切られた領域が六角柱形状である構成のみならず（図２（Ａ）を参照）、円柱形状または多角柱形状の吸引枠３２を格子状に仕切った構成も含む。図２（Ｂ）は複数のホース３３を束ねてハニカム構造にした例を示す。
【００２９】
本形態の吸引部材３０は、ハニカム構造の吸引枠３２、吸引枠３２の一端（吸引面の反対側）の領域にそれぞれ接続したホース３３、当該ホース３３の開度をそれぞれ調整可能な開度調整機構３４、で構成した。また、開度調整機構３４は吸引機構４０に連結されている。
【００３０】
吸引機構４０は吸引面３１で吸引力を発生すればその構成は特に限定されない。本形態では、吸引力発生源４１および吸引部材３０から吸引力発生源４１への経路に液体捕集機４２を設けた構成とした。吸引力発生源４１は、ノズルより気体または液体を噴射することで発生する負圧で吸引する構造とした。本実施形態で用いた構造は図５に示すように、圧縮空気を噴射する噴射ノズル４１ａ、噴射ノズル４１ａの噴射口側に設けられた調整管４１ｂ、一端面に噴射ノズル４１ａの噴射口側を挿貫して摺動可能に固定し、対向する面側に調整管４１ｂの一端を挿貫して固定するケーシング４１ｃ、ケーシング４１ｃの他面に開口された吸引口を覆うように垂設された吸引管４１ｄと、で形成される。噴射ノズル４１ａの先端は緩やかなテーパ構造であり、調整管４１ｂの内径は当該テーパ面より大きく構成されており、噴射ノズル４１ａの先端は調整管４１ｂに挿入されている。噴射ノズル４１ａはエアコンプレッサ（図示せず）に連結されている。エアコンプレッサを作動させると、噴射ノズル４１ａの噴射口より圧縮空気が噴射される。圧縮空気の流れにより、ケーシング４１ｃ内では、内部の空気が調整管４１ｂに引き込まれる気流が発生する。即ち、エアコンプレッサの作動によりケーシング４１ｃは負圧となり、吸引管４１ｄで吸引力が発生する。吸引力の調整は、噴射ノズル４１ａを摺動させて、噴射ノズル４１ａのテーパ面と調整管４１ｂの先端の内壁との距離を調整することで行うことが出来る。
【００３１】
吸引力発生源４１の他の例として、電動式の吸引ファンを用いても良い。
【００３２】
吸引力発生源４１の作動により、被乾燥物Ｗに付着した液体および空気が吸引面３１に吸引される。吸引された液体および空気は、液体捕集機４２にて液体と空気に分離され、液体は液体捕集機４２により捕集され、空気は吸引力発生源４１に吸引される。
【００３３】
吸引部材３０は、本形態のようなハニカム構造に限定されない。例えば吸引面３１が開放され、且つ吸引面３１の面積が第二の面１１ｂ以上である円筒形状、円錐形状、円錐台形状のいずれかの吸引枠３２を第二の面１１ｂ側に対向して配置し、吸引面３１を分割し、領域毎に開閉可能な開閉窓を設けた構成としてもよい。例えば図３では、等しい面積の窓を複数設けた円盤状の分割機構３５を、吸引部材３０の吸引面３１に連結した構成とした。分割機構３５の窓には、当該窓を開閉できるシャッタ（図示せず）がそれぞれ設けられており、開閉シャッタを任意に開閉することで、吸引領域の位置を変更できる。
【００３４】
吸引部材３０の他の例として、乾燥容器１０の第二の面１１ｂより遙かに小さい径の複数個のホース３３を、第二の面１１ｂに対向するように任意の位置にそれぞれ離間して配置し、それぞれのホース３３を開度調整機構３４に連結して、吸引のＯＮ・ＯＦＦ及び吸引風量の調整を行う構成としてもよい。この場合、吸引が必要な箇所のみ最適な風量で吸引することができるので、吸引力発生源４１の小型化や作動の為のエネルギーを少なくすることができる。（図４参照）
【００３５】
次に、本形態の乾燥装置１を用いた被乾燥物Ｗの乾燥方法について説明する。ここでは、被乾燥物Ｗとして、湿式遠心バレル研磨装置にて研磨した後、水洗したアルミナ製の試験片（１．６ｍｍ×０．８ｍｍ×０．４ｍｍ）を用いた。
【００３６】
（１）被乾燥物を乾燥容器に収容する工程
乾燥した状態の被乾燥物Ｗが、乾燥容器１０が傾斜した状態で枠体１２の長さ（底板１１から開口端への長さ）の７５％を越えない程度の量となるよう、被乾燥物Ｗを乾燥容器１０に収容する。流動化状態の被乾燥物Ｗが流動化機構２０の作動により乾燥容器１０より飛び出さないようにするためである。その後、乾燥容器１０を架台２１にセットする。
【００３７】
（２）被乾燥物を攪拌する工程
モータ２２ｃを作動させ、乾燥容器１０を回転させる。下方に位置する被乾燥物Ｗは遠心力により枠体１２に追従して上方に移動するが、途中で第一の面１１ａに沿った重力の分力が遠心力より勝ると、被乾燥物Ｗは第一の面１１ａに沿って下方に落下する。乾燥容器１０の回転が継続している間、この動作が繰り返されるので全ての被乾燥物Ｗが流動化され、均等に攪拌される。また、被乾燥物Ｗは湿潤状態であるので、被乾燥物Ｗに付着した水分により被乾燥物Ｗ同士が貼着しているが、この落下によりこの貼着が解除される若しくは貼着力が弱められる。乾燥初期は水分が多くこの貼着力が強いため、乾燥初期ではより短時間で落下運動が起こるように乾燥容器１０の回転速度を速くし、乾燥の進行に従って回転速度を遅くする、というように乾燥容器１０の回転速度を調整する工程を設けても良い。
【００３８】
（３）被乾燥物に付着した液体を除去する工程
エアコンプレッサを作動させ、乾燥を開始する。エアコンプレッサを作動させると、吸引部材３０の吸引面３１で吸引力が発生する。この吸引力により、被乾燥物Ｗに付着している水分が剥離し、第二の面１１ｂ側に移動する。また、乾燥容器１０内では、第一の面１１ａ側から第二の面１１ｂ側に向かう気流が発生する。この気流によっても被乾燥物Ｗ表面の水分が剥離し、第二の面１１ｂ側に移動する。第二の面１１ｂ側に移動した水分および空気は、吸引面３１より吸引される。
【００３９】
被乾燥物Ｗは流動化状態になっており、乾燥時間の経過と共に流動化状態が変化する。その為、第一の面１１ａに対する吸引領域の位置を変更する工程を設けるのが好ましい。例えば、図６に示すように第一の面１１ａを６つの領域に区切った場合、乾燥の初期では全ての領域を吸引し、乾燥の進行に従って、領域Ａ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆ→領域Ｃ、Ｄと吸引領域を変更することが出来る。これにより、乾燥のために必要な吸引力を特定の領域に集中させることが出来るので、効率よく乾燥を行うことが出来る。
【００４０】
また、第一の面１１ａに対する吸引領域の位置毎に吸引力（即ち、吸引部材３０に向かう気流）を調整することで、より効率よく被乾燥物Ｗの乾燥を行うことが出来る。例えば、先述では図６の領域Ａ〜Ｆ毎に吸引のＯＮ・ＯＦＦのみの制御であったが、更に乾燥に従って領域毎に吸引力の強弱を組み合わせることができる。この時、吸引部材３０をハニカム構造の枠体３２、又は複数のホース３３を束ねて当該ホースの束で形成される面の全体が第二の面１１ｂとほぼ同一以上となるようにすると、より詳細に第一の面１１ａに対する吸引領域の位置を設定することができる。
【００４１】
また、気流の上流側、即ち乾燥容器１０の第一の面１１ａ側にヒータ（図示せず）を配置してもよい。ヒータにより加熱された気流が被乾燥物Ｗ同士の間を通過するので、乾燥を促進することができる。
【００４２】
（４）液体を回収する工程
吸引部材３０により吸引された水および空気は、液体捕集機４２に移送される。液体捕集機４２により水と空気に分離され、水は液体捕集機４２に回収される。一方、空気は吸引力発生源４１に向かって移送される。
【００４３】
（５）操作の終了
所定の時間、装置の作動が経過して乾燥が完了したら、回転機構２２および吸引力発生源４１の作動を停止する。その後、乾燥容器１０を架台２１より取り外し、被乾燥物Ｗを回収して一連の乾燥作業が終了する。
【００４４】
次に、本形態の乾燥装置１を用いて被乾燥物Ｗ（上述のアルミナ製の試験片）を乾燥した結果について説明する。
【００４５】
乾燥時間は５分とし、乾燥開始から２分間を乾燥初期、２分〜４分を乾燥中期、４分〜５分を乾燥後期とした。
【００４６】
乾燥容器１０の傾斜角度は５０°とした。
【００４７】
吸引部材３０は下記の通りとした。
Ａ：円錐台形状であり、内部の空間を分割していない構成
Ｂ：円錐台形状で、吸引面近傍に開閉窓を設けることで、吸引面を図６における領域Ａ〜Ｆに分割した構成
Ｃ：ホース３３を６本使用し、図６における領域Ａ〜Ｆのそれぞれに１本ずつ配置した構成。
Ｄ：ハニカム構造で、吸引面を図６における領域Ａ〜Ｆに分割できるように開度調整機構３４で制御した構成。
【００４８】
表１に操作条件および乾燥終了後に行った評価について示す。表１における「乾燥容器の回転速度」は、臨界回転速度に対する回転速度の割合（％）を示す。また、吸引風量は第一の面１１ａにおいて吸引力が発生している領域に対応する吸引面でのそれぞれの吸引風量を示す。なお、上述のタイプＣ及びＤの吸引部材３０を用いた場合は吸引風量を領域毎に設定できるため、領域毎の吸引風量を表２に示すように設定した。（表１における※部）
【００４９】
評価は、「容器への付着」及び「乾燥状態」について行った。「容器への付着」の評価は目視にて行い、乾燥容器１０への付着が確認されない場合を「○」評価とし、容器への付着が確認された場合を「×」評価とした。「乾燥状態」の評価は、乾燥装置１で乾燥を行った被乾燥物Ｗを１００個ランダムに採取し、合計の重量ｇを測定する。また、予め乾燥状態の被乾燥物Ｗ１００個の重量Ｇを測定しておき、乾燥状態の重量に対する乾燥装置１による乾燥作業終了後の重量（ｇ／Ｇ）の割合（ｇ／Ｇ×１００）を算出し、１０５％未満を「◎」評価、１０５％以上１１０％未満を「○」評価、１１０％以上１２０％未満を「△」評価、１２０％以上を「×」評価、とした。
【００５０】
【表１】
0006319666.tif 000002
【００５１】
【表２】
0006319666.tif 000003
【００５２】
乾燥容器１０を回転させながら、吸引機構４０により乾燥容器１０の内部に第二の面１１ｂ側に向かう気流を発生させることで、乾燥容器１０への被乾燥物Ｗの付着が確認されなかったことから、乾燥が進行していることが判る（実施例１〜８、比較例１）。一方、乾燥容器１０の回転のみでは乾燥容器１０への被乾燥物Ｗの付着が確認されたことから、乾燥が進行しないことが判る（比較例２）。
【００５３】
乾燥の進行に合わせて、吸引される領域を変更した場合、乾燥状態の評価は「◎」「○」「△」の評価となった。（実施例１〜８）「△」評価は乾燥条件（乾燥時間、回転速度、被乾燥物の収容量）を変更すれば良好に乾燥できる程度に水分が除去されていることを示しているので、実施例１〜８はいずれの場合でも被乾燥物Ｗを良好に乾燥できることが判った。特に、吸引の進行に合わせて吸引される領域毎に吸引力の調整を更に行った場合は、何れも「◎」「○」評価となり、中でも吸引部材３０をハニカム構造とした場合は特に良好に乾燥できることが判った。一方、乾燥の進行に合わせて吸引される領域を変更せずに底板１１全体を吸引した場合は、「×」評価となった。（比較例１）先述の「容器への付着」の評価と合わせると、乾燥は進行するが被乾燥物Ｗを良好に乾燥するには至らないことを示唆している。なお、上述のＢタイプの吸引部材を用いた場合とＣタイプの吸引部材を用いた場合とでは、乾燥状態の評価は何れも「○」評価であったが、定量的な評価ではＣタイプの吸引部材を用いた場合の方が良好な結果を示した。（実施例１、３）
【産業上の利用可能性】
【００５４】
上記の一形態ではアルミナ製の試験片を乾燥する場合を例に説明したが、被乾燥物Ｗはこれに限定されない。水晶（時計部品、振動子、発信子、等）、端子部品、各種電子部品（抵抗用基盤、バリスタ、レゾネータ、ＳＡＷデバイス、高周波モジュール、積層セラミックスコンデンサ、インダクタ、等）、時計部品（水晶、歯車、等）、ネジ、等、金属、セラミックス、樹脂などの材質を問わず湿潤状態の小型部品を効率よく乾燥することが出来る。
【符号の説明】
【００５５】
１          乾燥装置
１０        乾燥容器
１１      底板
１１ａ  第一の面
１１ｂ  第二の面
１２      枠体
２０        流動化機構
２１      架台
２２      回転機構
２２ａ  車輪
２２ｂ  シャフト
２２ｃ  モータ
２２ｄ  プーリ
２２ｅ  ベルト
２３      回転速度調整機構
３０        吸引部材
３１      吸引面
３２      吸引枠
３３      ホース
３４      開度調整機構
３５      分割機構
４０        吸引機構
４１      吸引力発生源
４１ａ  噴射ノズル
４１ｂ  調整管
４１ｃ  ケーシング
４１ｄ  吸引管
４２      水分捕集機
Ｗ          被乾燥物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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