(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液中の電位を測定する測定用電極と、
前記測定用電極を覆うとともに、外部と連通する開口を有する筐体と、
前記筐体の前記開口を覆うとともに、液体を通すフィルタと、
前記フィルタの外側の近傍に配置された互いに通電可能な少なくとも一対の洗浄用電極とを備え、
前記洗浄用電極の通電により発生される気体によって前記フィルタの外表面側に付着した汚れが洗浄されるように構成されており、
前記測定用電極は、第１方向に延びるように形成されており、
前記洗浄用電極は、前記第１方向と略直交する第２方向に延びるように形成されている、液中電位測定用電極装置。
【請求項２】
前記測定用電極は、塩化銀電極により構成されており、
前記洗浄用電極は、炭素、白金または金のうち少なくとも１つにより構成されている、請求項１に記載の液中電位測定用電極装置。
【請求項３】
一対の前記洗浄用電極は、前記筐体の外表面に互いに対向するように取り付けられている、請求項１または２に記載の液中電位測定用電極装置。
【請求項４】
一対の前記洗浄用電極には、交流電流が通電されるように構成されている、請求項１〜３のいずれか１項に記載の液中電位測定用電極装置。
【請求項５】
液中の電位を測定する測定用電極と、前記測定用電極を覆うとともに、外部と連通する開口を有する筐体と、前記筐体の前記開口を覆うとともに、液体を通すフィルタとを含む一対の液中電位測定用電極装置と、
一対の前記液中電位測定用電極装置に接続された制御部とを備え、
一対の前記液中電位測定用電極装置の少なくとも一方は、前記フィルタの外側の近傍に配置された互いに通電可能な少なくとも一対の洗浄用電極をさらに含み、
前記制御部は、前記測定用電極間の電位差を測定する制御と、前記洗浄用電極に通電する制御とを行うように構成されており、
前記洗浄用電極の通電により発生される気体によって前記フィルタの外表面側に付着した汚れが洗浄されるように構成されており、
前記測定用電極は、第１方向に延びるように形成されており、
前記洗浄用電極は、前記第１方向と略直交する第２方向に延びるように形成されている、液中電位測定システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液中電位測定用電極装置および液中電位測定システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液中電位測定用電極装置および液中電位測定システムが知られている（たとえば、特許文献１および２参照）。
【０００３】
上記特許文献１には、一対の電極部と、切替スイッチとを備える電位差測定装置（液中電位測定システム）が開示されている。また、この電位差測定装置の切替スイッチは、一対の電極部により海中の電位を測定する電位差測定モードと、一対の電極部に電流を流して電極の洗浄を行う洗浄モードとを切り替えるように構成されている。
【０００４】
また、上記特許文献２には、液中の電位を測定するための電極と、電極を覆うとともに外部と連通する開口を有するケース本体と、ケース本体の開口を覆うとともに液体を通すフィルタとを備える液中微小電位測定用電極装置（液中電位測定用電極装置）が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−２５８３８３号公報
【特許文献２】特開２０１０−０１９８１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記特許文献２のように、従来の液中微小電位測定用電極装置（液中電位測定用電極装置）では、液中の電位を測定するための電極は、ノイズを抑制するために、ケース本体（筐体）に覆われている。ここで、上記特許文献２のような液中の電位を測定するための電極がケース本体に覆われている従来の構成において、上記特許文献１のように、電極を洗浄する際に一対の電極に電流を流した場合、電極において液中の成分の電気分解が起き、水や海水などの液中では気体が発生する。この気体は、フィルタを通過できないため、発生した気体が電極を覆う筐体内に溜まると、電位測定時のノイズの原因となる。また、この気体は、フィルタを通過できないため、筐体の開口を覆って外部に露出しているフィルタの外表面側に付着した汚れを洗浄することも困難であった。そこで、筐体内に気体が溜まるのを抑制しつつ、筐体の開口を覆うフィルタの外表面側に付着した汚れを洗浄することが可能な液中電位測定用電極装置および液中電位測定システムが望まれていた。
【０００７】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、筐体内に気体が溜まるのを抑制しつつ、筐体の開口を覆うフィルタの外表面側に付着した汚れを洗浄することが可能な液中電位測定用電極装置および液中電位測定システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、この発明の第１の局面における液中電位測定用電極装置は、液中の電位を測定する測定用電極と、測定用電極を覆うとともに、外部と連通する開口を有する筐体と、筐体の開口を覆うとともに、液体を通すフィルタと、フィルタの外側の近傍に配置された互いに通電可能な少なくとも一対の洗浄用電極とを備え、洗浄用電極の通電により発生される気体によってフィルタの外表面側に付着した汚れが洗浄されるように構成されており、測定用電極は、第１方向に延びるように形成されており、洗浄用電極は、第１方向と略直交する第２方向に延びるように形成されている。
【０００９】
この発明の第１の局面による液中電位測定用電極装置では、上記のように、フィルタの外側の近傍に配置された互いに通電可能な少なくとも一対の洗浄用電極を設け、洗浄用電極の通電により発生される気体によってフィルタの外表面側に付着した汚れが洗浄されるように構成する。これにより、洗浄用電極は、筐体の外側にあるので、通電により発生される気体が筐体内に溜まるのを抑制することができる。その結果、筐体内に溜まった気体に起因する電位測定時のノイズの発生を抑制することができる。また、洗浄用電極の通電により発生される気体は、フィルタの外表面側を通るので、フィルタの外表面側に付着した汚れを洗浄することができる。これにより、フィルタの汚れに起因する電気抵抗の発生を抑制することができるので、電位を精度よく測定することができる。また、海中などの塩水中で液中電位測定用電極装置を使用する場合、洗浄用電極の通電（塩水の電気分解）により発生する塩素の殺菌作用により、フィルタ上の微生物の繁殖を抑制することができる。
【００１１】
上記第１の局面による液中電位測定用電極装置において、好ましくは、測定用電極は、塩化銀電極により構成されており、洗浄用電極は、炭素、白金または金のうち少なくとも１つにより構成されている。このように構成すれば、液中の電位測定時に塩化銀電極により精度よく電位を測定することができる。また、洗浄用電極を炭素、白金または金のうち少なくとも１つにより構成することにより、洗浄用電極の液中での腐食を抑制するとともに、洗浄時の電気分解による洗浄用電極の溶解を抑制することができる。
【００１２】
上記第１の局面による液中電位測定用電極装置において、好ましくは、一対の洗浄用電極は、筐体の外表面に互いに対向するように取り付けられている。このように構成すれば、筐体の外表面に配置された一対の洗浄用電極から洗浄時に気体が発生して、フィルタの外表面側に付着した汚れを洗浄することができる。
【００１３】
上記第１の局面による液中電位測定用電極装置において、好ましくは、一対の洗浄用電極には、交流電流が通電されるように構成されている。このように構成すれば、海中などの塩水中で液中電位測定用電極装置を使用する場合、陽極から塩素が発生し、陰極から水素が発生する。この場合、一対の洗浄用電極に交流を通電することにより、一対の洗浄用電極の両方から交互に水素と塩素が発生するので、両方の洗浄用電極の近傍をバランスよく塩素により殺菌することができる。また、陽極から酸素が発生し、陰極から水素が発生する場合、気体の発生比率は、酸素：水素＝１：２である。この場合、一対の洗浄用電極に交流を通電することにより、陽極と陰極とが交互に入れ替わるので、一対の洗浄用電極から発生する気体量を略等しくすることができる。これにより、両方の洗浄用電極の近傍をバランスよく洗浄することができる。なお、洗浄用電極に通電する交流電流は、電気分解が起こる程度の低周波数領域の交流電流である。
【００１４】
この発明の第２の局面における液中電位測定システムは、液中の電位を測定する測定用電極と、測定用電極を覆うとともに、外部と連通する開口を有する筐体と、筐体の開口を覆うとともに、液体を通すフィルタとを含む一対の液中電位測定用電極装置と、一対の液中電位測定用電極装置に接続された制御部とを備え、一対の液中電位測定用電極装置の少なくとも一方は、フィルタの外側の近傍に配置された互いに通電可能な少なくとも一対の洗浄用電極をさらに含み、制御部は、測定用電極間の電位差を測定する制御と、洗浄用電極に通電する制御とを行うように構成されており、洗浄用電極の通電により発生される気体によってフィルタの外表面側に付着した汚れが洗浄されるように構成されており、測定用電極は、第１方向に延びるように形成されており、洗浄用電極は、第１方向と略直交する第２方向に延びるように形成されている。
【００１５】
この発明の第２の局面による液中電位測定システムでは、上記のように、フィルタの外側の近傍に配置された互いに通電可能な少なくとも一対の洗浄用電極を設け、洗浄用電極の通電により発生される気体によってフィルタの外表面側に付着した汚れが洗浄されるように構成する。これにより、洗浄用電極は、筐体の外側にあるので、通電により発生される気体が筐体内に溜まるのを抑制することができる。その結果、筐体内に溜まった気体に起因する電位測定時のノイズの発生を抑制することができる。また、洗浄用電極の通電により発生される気体は、フィルタの外表面側を通るので、フィルタの外表面側に付着した汚れを洗浄することができる。これにより、フィルタの外表面側に付着した汚れに起因する電気抵抗の発生を抑制することができるので、電位を精度よく測定することができる。これらにより、筐体内に気体が溜まるのを抑制しつつ、筐体の開口を覆うフィルタの外表面側に付着した汚れを洗浄することが可能な液中電位測定システムを提供することができる。また、海中などの塩水中で液中電位測定用電極装置を使用する場合、洗浄用電極の通電（塩水の電気分解）により発生する塩素の殺菌作用により、フィルタ上の微生物の繁殖を抑制することができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、上記のように、筐体内に気体が溜まるのを抑制しつつ、筐体の開口を覆うフィルタの外表面側に付着した汚れを洗浄することが可能な液中電位測定用電極装置および液中電位測定システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施形態による液中電位測定用電極装置を備える液中電位測定システムの概略を示したブロック図である。
【図２】本発明の一実施形態による液中電位測定用電極装置を示した側面断面図である。
【図３】本発明の一実施形態による液中電位測定用電極装置を示した上面図である。
【図４】本発明の一実施形態による液中電位測定用電極装置の洗浄について説明するための側面図である。
【図５】本発明の一実施形態の第１変形例による液中電位測定用電極装置を示した上面図である。
【図６】本発明の一実施形態の第２変形例による液中電位測定用電極装置を示した上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１９】
（液中電位測定システムの構成）
本実施形態による液中電位測定用電極装置１は、図1に示すように、液中（海中）において微小電位を測定する液中電位測定システム１００に用いられる。液中電位測定システム１００は、一対の液中電位測定用電極装置１と、制御部２と、アンプ３と、電源４とを備えている。
【００２０】
液中電位測定システム１００は、一対の液中電位測定用電極装置１の電位差を測定し、アンプ３により増幅して、制御部２により観測するように構成されている。また、液中電位測定システム１００は、測定した電位差に基づいて海中の電流を測定するように構成されている。
【００２１】
（液中電位測定用電極装置の構成）
一対の液中電位測定用電極装置１は、互いに同様の構成を有している。液中電位測定用電極装置１は、図２に示すように、筐体１１と、測定用電極１２と、一対の洗浄用電極１３ａおよび１３ｂとを備えている。なお、図中のＸ方向（Ｘ１方向、Ｘ２方向）、Ｙ方向（Ｙ１方向、Ｙ２方向）およびＺ方向（Ｚ１方向、Ｚ２方向）は、それぞれの液中電位測定用電極装置１における相対的な方向を示している。つまり、液中電位測定用電極装置１の水中（海中）での設置方向を示すものではない。
【００２２】
筐体１１には、外部と連通する開口１１１が形成されている。筐体１１の開口１１１には、海水（液体）を通すフィルター１１２が設けられている。また、筐体１１内には、空間１１３が形成されている。筐体１１は、測定用電極１２を覆うように構成されている。言い換えると、筐体１１内の空間１１３に測定用電極１２が配置されている。また、筐体１１は、第１方向（Ｚ方向）に延びる円筒形状に形成されている。また、円筒形状の筐体１１の一方側（Ｚ１方向側）の底面には、開口１１１が形成されている。つまり、開口１１１は、筐体１１内の空間１１３の一方端側に配置されている。
【００２３】
筐体１１の開口１１１は、フィルター１１２を介して外部の水（海水）を通すように構成されている。これにより、液中電位測定用電極装置１の使用時に外部の水（海水）が、測定用電極１２と連通し、液中（海中）の電位を測定することが可能となる。
【００２４】
フィルター１１２は、筐体１１の開口１１１を覆うように配置されている。また、フィルター１１２は、海水（液体）を通すように構成されている。また、フィルター１１２は、たとえば、不織布を含む。これにより、液中電位測定用電極装置１を液中に設置した場合に、異物が筐体１１内に入るのを抑制することができるので、電位を安定して測定することが可能である。
【００２５】
測定用電極１２は、銀（Ａｇ）および塩化銀（ＡｇＣｌ）を含む銀−塩化銀電極により構成されている。測定用電極１２は、図１および図２に示すように、配線１２１に接続されている。配線１２１は、図１に示すように、アンプ３を介して制御部２に接続されている。また、測定用電極１２は、円柱形状を有し、筐体１１の長手方向に延びるように配置されている。つまり、測定用電極１２は、筐体１１と同様に、第１方向（Ｚ方向）に延びるように形成されている。
【００２６】
ここで、本実施形態では、図２および図３に示すように、一対の洗浄用電極１３ａおよび１３ｂは、フィルタ１１２の外側の近傍に配置されている。また、一対の洗浄用電極１３ａおよび１３ｂは、互いに通電可能に構成されている。具体的には、一対の洗浄用電極１３ａおよび１３ｂは、それぞれ、配線１３１ａおよび１３１ｂを介して電源４に接続されている。そして、電源４により、洗浄用電極１３ａおよび１３ｂ間に通電されるように構成されている。配線１３１ａおよび１３１ｂは、筐体１１の外側を通って、それぞれ洗浄用電極１３ａおよび１３ｂに接続されている。
【００２７】
また、一対の洗浄用電極１３ａおよび１３ｂは、第１方向と略直交する第２方向（Ｙ方向）に延びるように形成されている。つまり、洗浄用電極１３ａおよび１３ｂは、フィルタ１１２と略平行に配置されている。また、洗浄用電極１３ａ（１３ｂ）は、測定用電極１２よりも小さい幅（直径）を有するように形成されている。
【００２８】
また、一対の洗浄用電極１３ａおよび１３ｂは、筐体１１の外表面に互いに対向するように取り付けられている。具体的には、一対の洗浄用電極１３ａおよび１３ｂは、互いに平行に配置されている。また、一対の洗浄用電極１３ａおよび１３ｂは、図３に示すように、平面視において（Ｚ方向から見て）、フィルタ１１２に重なるように配置されている。また、一対の洗浄用電極１３ａおよび１３ｂは、平面視において（Ｚ方向から見て）、測定用電極１２に重ならないように配置されている。また、一対の洗浄用電極１３ａおよび１３ｂは、白金により構成されている。
【００２９】
また、本実施形態では、洗浄用電極１３ａおよび１３ｂの通電により発生される気体（水素および塩素）によってフィルタ１１２の外表面側に付着した汚れが洗浄されるように構成されている。つまり、洗浄用電極１３ａおよび１３ｂ間の通電により、海水（液体）の電気分解が起こり、陽極から塩素（Ｃｌ２）が発生し、陰極から水素（Ｈ２）が発生する。これにより、図４に示すように、フィルタ１１２の外表面側に付着した汚れが気体（塩素および水素）により剥がされて洗浄される。また、一対の洗浄用電極１３ａおよび１３ｂは、交流電流が通電されるように構成されている。一対の洗浄用電極１３ａおよび１３ｂに通電される交流電流は、たとえば、０．１Ｈｚや１Ｈｚなどの低周波数の交流（例えば、矩形波形）である。つまり、通電される交流電流は、電気分解が起こる程度の低周波数領域の交流電流（たとえば、約１０００Ｈｚ以下）である。
【００３０】
図１に示すように、制御部２は、液中電位測定システム１００の各部を制御するように構成されている。具体的には、制御部２は、ユーザの操作に基づいて、洗浄用電極１３ａおよび１３ｂに電流を流して、液中電位測定用電極装置１を洗浄する制御を行うように構成されている。つまり、制御部２は、一対の液中電位測定用電極装置１の測定用電極１２間の電位差を測定する制御と、洗浄用電極１３ａおよび１３ｂに通電する制御とを行うように構成されている。また、制御部２は、電源４を制御して、洗浄用電極１３ａおよび１３ｂに交流電流を通電する制御を行うように構成されている。また、制御部２は、海中の電位差を測定していないタイミングで、液中電位測定用電極装置１を洗浄する制御を行うように構成されている。また、制御部２は、液中電位測定用電極装置１の洗浄を定期的（たとえば、一日に一回）に行うように構成されている。
【００３１】
（本実施形態の効果）
本実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
【００３２】
本実施形態では、上記のように、フィルタ１１２の外側の近傍に配置された互いに通電可能な一対の洗浄用電極１３ａおよび１３ｂを設け、洗浄用電極１３ａおよび１３ｂの通電により発生される気体（水素および塩素）によってフィルタ１１２の外表面側に付着した汚れが洗浄されるように構成する。これにより、洗浄用電極１３ａおよび１３ｂは、筐体１１の外側にあるので、通電により発生される気体が筐体１１内に溜まるのを抑制することができる。その結果、筐体１１内に溜まった気体に起因する電位測定時のノイズの発生を抑制することができる。また、洗浄用電極１３ａおよび１３ｂの通電により発生される気体は、フィルタ１１２の外表面側を通るので、フィルタ１１２の外表面側に付着した汚れを洗浄することができる。これにより、フィルタ１１２の汚れに起因する電気抵抗の発生を抑制することができるので、電位を精度よく測定することができる。また、洗浄用電極１３ａおよび１３ｂの通電（塩水の電気分解）により発生する塩素の殺菌作用により、フィルタ１１２上の微生物の繁殖を抑制することができる。
【００３３】
また、本実施形態では、上記のように、測定用電極１２を、第１方向に延びるように形成し、洗浄用電極１３ａおよび１３ｂを、第１方向と略直交する第２方向に延びるように形成する。これにより、測定用電極１２の第１方向の一方側の第１方向と直交する面にフィルタ１１２を設けた場合において、フィルタ１１２の面に沿った第２方向に延びるように一対の洗浄用電極１３ａおよび１３ｂを設けることができるので、洗浄用電極１３ａおよび１３ｂとフィルタ１１２との距離を近づけることができる。これにより、洗浄時に洗浄用電極１３ａおよび１３ｂから発生する気体により、フィルタ１１２の外表面側に付着した汚れを効果的に洗浄することができる。
【００３４】
また、本実施形態では、上記のように、測定用電極１２を、塩化銀電極により構成し、洗浄用電極１３ａおよび１３ｂを、白金により構成する。これにより、液中の電位測定時に塩化銀電極により精度よく電位を測定することができる。また、洗浄用電極１３ａおよび１３ｂを白金により構成することにより、洗浄用電極１３ａおよび１３ｂの液中での腐食を抑制するとともに、洗浄時の電気分解による洗浄用電極１３ａおよび１３ｂの溶解を抑制することができる。
【００３５】
また、本実施形態では、上記のように、一対の洗浄用電極１３ａおよび１３ｂを、筐体１１の外表面に互いに対向するように取り付ける。これにより、筐体１１の外表面に配置された一対の洗浄用電極１３ａおよび１３ｂから洗浄時に気体が発生して、フィルタ１１２の外表面側に付着した汚れを洗浄することができる。
【００３６】
また、本実施形態では、上記のように、一対の洗浄用電極１３ａおよび１３ｂに、交流電流が通電されるように構成する。これにより、海中などの塩水中で液中電位測定用電極装置１を使用する場合、陽極から塩素が発生し、陰極から水素が発生する。この場合、一対の洗浄用電極１３ａおよび１３ｂに交流を通電することにより、一対の洗浄用電極１３ａおよび１３ｂの両方から交互に水素と塩素が発生するので、両方の洗浄用電極１３ａおよび１３ｂの近傍をバランスよく塩素により殺菌することができる。
【００３７】
（変形例）
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。
【００３８】
たとえば、上記実施形態では、海水中に液中電位測定用電極装置を配置する例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、海水以外の液中に液中電位測定用電極装置を配置してもよい。たとえば、湖や池などの水中に液中電位測定用電極装置を配置してもよい。
【００３９】
また、上記実施形態では、測定用電極が円柱形状に形成されている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、測定用電極が、円柱形状以外の形状に形成されていてもよい。たとえば、測定用電極が、角柱形状に形成されていてもよい。
【００４０】
また、上記実施形態では、一対の液中電位測定用電極装置の両方に一対の洗浄用電極が設けられている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、一対の液中電位測定用電極装置の少なくとも一方に洗浄用電極が設けられていればよい。
【００４１】
また、上記実施形態では、液中電位測定システムが２つの液中電位測定用電極装置を備える構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、液中電位測定システムが３つ以上の液中電位測定用電極装置を備えていてもよい。
【００４２】
また、上記実施形態では、一対の洗浄用電極がフィルタに重なるように配置されている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、たとえば、図５に示す第１変形例の液中電位測定用電極装置２０１のように、一対の洗浄用電極２０２ａおよび２０２ｂがフィルタ１１２の外周部に設けられていてもよい。
【００４３】
また、上記実施形態では、液中電位測定用電極装置に一対の洗浄用電極が設けられている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、液中電位測定用電極装置に二対以上の洗浄用電極が設けられていてもよい。たとえば、図６に示す第２変形例の液中電位測定用電極装置３０１のように、二対の洗浄用電極３０２ａおよび３０２ｂと洗浄用電極３０３ａおよび３０３ｂとが設けられていてもよい。この場合、洗浄用電極３０２ａおよび３０２ｂが互いに通電可能であり、洗浄用電極３０３ａおよび３０３ｂが互いに通電可能である。また、洗浄用電極３０２ａおよび３０２ｂは、それぞれ、配線３０４ａおよび３０４ｂに接続され、洗浄用電極３０３ａおよび３０３ｂは、それぞれ、配線３０５ａおよび３０５ｂに接続されている。
【００４４】
また、上記実施形態では、洗浄用電極に接続される配線が筐体の外側を通って配置されている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、洗浄用電極に接続される配線を、筐体の内側の空間を通してもよいし、筐体に埋め込んで通してもよい。
【００４５】
また、上記実施形態では、一対の洗浄用電極に交流電流が通電される構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、一対の洗浄用電極に直流電流が通電されてもよい。
【００４６】
また、上記実施形態では、液中電位測定用電極装置のフィルタが不織布により構成されている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、液中電位測定用電極装置のフィルタを不織布以外により構成してもよい。
【００４７】
また、上記実施形態では、洗浄用電極が白金により構成されている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、洗浄用電極を白金以外により構成してもよい。たとえば、洗浄用電極を炭素（グラファイト）や金などにより構成してもよい。また、洗浄用電極は、白金、金、炭素のうち少なくとも１つを含む材料により構成されていてもよい。
【００４８】
また、上記実施形態では、測定用電極が塩化銀電極により構成されている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、測定用電極を塩化銀電極以外により構成してもよい。
【符号の説明】
【００４９】
１、２０１、３０１  液中電位測定用電極装置
２  制御部
１１  筐体
１２  測定用電極
１３ａ、１３ｂ、２０２ａ、２０２ｂ、３０２ａ、３０２ｂ、３０３ａ、３０３ｂ  洗浄用電極
１００  液中電位測定システム
１１１  開口
１１２  フィルタ
【図１】
0006439512.tif 000002
【図２】
0006439512.tif 000003
【図３】
0006439512.tif 000004
【図４】
0006439512.tif 000005
【図５】
0006439512.tif 000006
【図６】
0006439512.tif 000007