(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを保持するためのワーク保持部を複数有するケーシングと、
各前記ワーク保持部を互いに異なるワーク送出位置に向けて変位させるための複数のアクチュエータであって、一部の前記アクチュエータの動作によって一部の前記ワーク保持部を一部の前記ワーク送出位置に変位させるように構成され、且つ、複数の前記アクチュエータの協働によって複数の前記ワーク保持部の全てを対応する前記ワーク送出位置に変位させるように構成された、複数のアクチュエータと、
各前記アクチュエータを制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、異常を検出された前記アクチュエータの動作を停止させるとともに、異常を検出されていない前記アクチュエータを動作させることで、一部の前記ワーク保持部を一部の前記ワーク送出位置へ変位させるように構成されていることを特徴とする、搬送装置。
【請求項２】
請求項１に記載の搬送装置であって、
前記ワーク保持部は、前記ケーシングにおいて所定の配列方向に沿って並んで配置されており、
１つの前記アクチュエータが動作する毎に前記配列方向に沿って前記ケーシングが所定量変位されることで、複数の前記ワーク保持部を、順次、所定の前記ワーク送出位置に変位させるように構成されていることを特徴とする、搬送装置。
【請求項３】
請求項２に記載の搬送装置であって、
複数の前記アクチュエータとして、前記配列方向に並んで配置された第１アクチュエータおよび第２アクチュエータが設けられ、
前記第１アクチュエータは、所定のベース部材に固定された第１固定部と、前記第１固定部に支持され前記第１固定部に対して前記配列方向に変位可能な第１可動部と、を有し、
前記第２アクチュエータは、前記第１可動部に固定された第２固定部と、前記第２固定部に支持され且つ前記ケーシングを支持し且つ前記第２固定部に対して前記配列方向に変位可能な第２可動部と、を有していることを特徴とする、搬送装置。
【請求項４】
請求項１〜請求項３の何れか１項に記載の搬送装置であって、
前記制御部によって制御される複数のアーム部をさらに備え、
各前記アーム部は、複数の前記ワーク送出位置のうちの対応する前記ワーク送出位置に配置された前記ワーク保持部に保持されている前記ワークを保持可能に構成され、
前記制御部は、一部の前記アクチュエータに異常が生じたときに、一部の前記アーム部の動作を停止させることを特徴とする、搬送装置。
【請求項５】
請求項４に記載の搬送装置であって、
複数の前記アクチュエータは、複数の前記ワーク保持部を、所定のワーク受取位置から対応する前記ワーク送出位置へ変位させるように構成され、
前記ワークを前記受取位置に搬送するための搬送部材をさらに備え、
前記ワーク保持部は、前記ケーシングにおいて所定の配列方向に沿って並んで配置されており、
前記制御部によって動作を停止される前記アーム部は、複数の前記アーム部のうちの前記ワーク受取位置から前記ワーク送出位置へ向かう方向における上流側に位置していることを特徴とする、搬送装置。
【請求項６】
請求項１〜請求項５の何れか１項に記載の搬送装置であって、
各前記アクチュエータの異常を検出するための異常検出部をさらに備え、
前記制御部は、前記異常検出部によって異常が検出された前記アクチュエータを停止させることを特徴とする、搬送装置。
【請求項７】
請求項１〜６の何れか１項に記載の搬送装置であって、
前記搬送装置を操作するオペレータによって操作可能な操作部をさらに備え、
前記操作部は、複数のアクチュエータの何れを動作させるかを選択可能に構成されていることを特徴とする、搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークを搬送するためのワーク搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造用のウェハなどのワークは、当該ワークの製造過程において、搬送装置によって複数の処理装置間を搬送される（たとえば、特許文献１〜３参照）。このうち、特許文献２に記載の搬送装置の搬送機構（２４）は、昇降部（１３２）によって上下方向に昇降可能なアーム（２４ａ）を有している。アーム（２４ａ）は、伸縮可能に構成されている。アーム（２４ａ）の先端には、上下一対のピンセット（１５０，１５２）が配置されている。
【０００３】
搬送機構（２４）においては、昇降部（１３２）およびアーム（２４ａ）の動作によって、ピンセット（１５０，１５２）が３次元方向に変位される。そして、ピンセット（１５０，１５２）は、カセット（Ｃ）において上下に並んで保持された２つのワーク基板（Ｇ）を、カセット（Ｃ）から取り出す。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−２９４７８６号公報
【特許文献２】特開２００６−２３２４６８号公報
【特許文献３】特開２００９−１１７５６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、搬送装置において、ワークを搬送するために、複数のアクチュエータが用いる場合がある。このような搬送装置は、たとえば、ワークを保持するためのワーク保持部が複数設けられたケーシングを有している。そして、１つのアクチュエータが動作することで、ケーシングがたとえば上方に変位される。これにより、一のワーク保持部が、ワークを受け取る受取位置から、ワークをロボットアームに受け渡す受渡位置へ変位される。そして、もう１つのアクチュエータが動作することで、ケーシングがさらに上方に変位される。これにより、上記一のワーク保持部の下方に配置されたワーク保持部が、受取位置から、受渡位置へ変位される。これにより、複数のワーク保持部が、何れも受渡位置に配置される。そして、上下に並ぶ２つのハンドを有するアーム部が、対応する受渡位置において、ワーク保持部からワークを受け取る。
【０００６】
このような構成においては、１つのアクチュエータが故障すると、搬送装置自体が故障であると判定される。このような故障が生じると、搬送装置は、ワークを搬送できなくなり、その結果、ワークの生産ライン全体が停止してしまう。このように搬送装置のアクチュエータに故障が生じたとき、場合によっては、生産ラインの停止を招くよりは、搬送能力が低下した状態であっても、ワークの処理を継続できるようにすることが望ましい。
【０００７】
本発明は、上記事情に鑑みることにより、一部のアクチュエータに異常が生じた場合でも、ワークの搬送動作を継続できる搬送装置を提供することを、目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
（１）上記課題を解決するために、この発明のある局面に係わる搬送装置は、ワークを保持するためのワーク保持部を複数有するケーシングと、各前記ワーク保持部を互いに異なるワーク送出位置に向けて変位させるための複数のアクチュエータであって、一部の前記アクチュエータの動作によって一部の前記ワーク保持部を一部の前記ワーク送出位置に変位させるように構成され、且つ、複数の前記アクチュエータの協働によって複数の前記ワーク保持部の全てを対応する前記ワーク送出位置に変位させるように構成された、複数のアクチュエータと、各前記アクチュエータを制御する制御部と、を備え、前記制御部は、異常を検出された前記アクチュエータの動作を停止させるとともに、異常を検出されていない前記アクチュエータを動作させることで、一部の前記ワーク保持部を一部の前記ワーク送出位置へ変位させるように構成されている。
【０００９】
この構成によると、複数のアクチュエータのうちの一部に故障などの異常が生じたとき、残りの一部のアクチュエータの動作によって、一部のワーク保持部を所定のワーク送出位置へ変位させることができる。また、故障を生じたアクチュエータは、動作を停止される。これにより、一部のアクチュエータに異常が生じた場合でも、ワークの搬送動作を継続することができる搬送装置を実現できる。
【００１０】
（２）好ましくは、前記ワーク保持部は、前記ケーシングにおいて所定の配列方向に沿って並んで配置されており、１つの前記アクチュエータが動作する毎に前記配列方向に沿って前記ケーシングが所定量変位されることで、複数の前記ワーク保持部を、順次、所定の前記ワーク送出位置に変位させるように構成されている。
【００１１】
この構成によると、ケーシングを所定の配列方向に沿って変位させるという簡易な構成で、複数のワーク保持部を、順次、所定のワーク送出位置に送り出すことができる。
【００１２】
（３）より好ましくは、複数の前記アクチュエータとして、前記配列方向に並んで配置された第１アクチュエータおよび第２アクチュエータが設けられ、前記第１アクチュエータは、所定のベース部材に固定された第１固定部と、前記第１固定部に支持され前記第１固定部に対して前記配列方向に変位可能な第１可動部と、を有し、前記第２アクチュエータは、前記第１可動部に固定された第２固定部と、前記第２固定部に支持され且つ前記ケーシングを支持し且つ前記第２固定部に対して前記配列方向に変位可能な第２可動部と、を有している。
【００１３】
この構成によると、各アクチュエータが正常に動作しているときは、第１アクチュエータおよび第２アクチュエータの動作によって、２つのワーク保持部を、それぞれ、対応するワーク送出位置へ送り出すことができる。一方、第１アクチュエータおよび第２アクチュエータの何れか一方が異常を生じたときは、故障を生じていない他方のアクチュエータによって、１つのワーク保持部を対応するワーク送出位置へ送り出すことができる。
【００１４】
（４）好ましくは、前記搬送装置は、前記制御部によって制御される複数のアーム部をさらに備え、各前記アーム部は、複数の前記ワーク送出位置のうちの対応する前記ワーク送出位置に配置された前記ワーク保持部に保持されている前記ワークを保持可能に構成され、前記制御部は、一部の前記アクチュエータに異常が生じたときに、一部の前記アーム部の動作を停止させる。
【００１５】
この構成によると、一部のアクチュエータに故障が生じたときおいて、動作が不要となるアーム部が無駄に動作することを防止できる。
【００１６】
（５）より好ましくは、複数の前記アクチュエータは、複数の前記ワーク保持部を、所定のワーク受取位置から対応する前記ワーク送出位置へ変位させるように構成され、前記ワークを前記受取位置に搬送するための搬送部材をさらに備え、前記ワーク保持部は、前記ケーシングにおいて所定の配列方向に沿って並んで配置されており、前記制御部によって動作を停止される前記アーム部は、複数の前記アーム部のうち前記ワーク受取位置から前記ワーク送出位置へ向かう方向における上流側に位置している。
【００１７】
この構成によると、一部のアクチュエータの異常時において、ワーク受取位置からワーク送出位置へ向かう方向における上流側に配置されているアーム部の動作が停止される。これにより、配列方向に沿って本来の変位量よりも少ない変位量だけ変位されたケーシングにおける、ワークが保持されていないワーク保持部に向けて、アーム部が無駄に動くことを防止できる。
【００１８】
（６）好ましくは、前記搬送装置は、各前記アクチュエータの異常を検出するための異常検出部をさらに備え、前記制御部は、前記異常検出部によって異常が検出された前記アクチュエータを停止させる。
【００１９】
この構成によると、制御部は、異常検出部での検出結果に基づいて、アクチュエータに異常が生じているか否かを判定できる。
【００２０】
（７）好ましくは、前記搬送装置は、前記搬送装置を操作するオペレータによって操作可能な操作部をさらに備え、前記操作部は、複数のアクチュエータの何れを動作させるかを選択可能に構成されている。
【００２１】
この構成によると、オペレータは、操作部を操作することで、複数のアクチュエータの何れを動作させるかを選択することができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によると、一部のアクチュエータに異常が生じた場合でも、ワークの搬送動作を継続できる搬送装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の一実施形態にかかる搬送装置の一部を示す模式的な側面図である。
【図２】搬送装置の一部を示す模式図である。
【図３】搬送装置における搬送動作の流れの一例を説明するためのフローチャートである。
【図４】第１アクチュエータおよび第２アクチュエータの双方を用いた搬送動作（ステップＳ１３）の流れの一例を示すサブルーチンのフローチャートである。
【図５】（Ａ）および（Ｂ）は、それぞれ、搬送装置の動作の流れを説明するための図である。
【図６】（Ａ）および（Ｂ）は、それぞれ、搬送装置の動作の流れを説明するための図である。
【図７】第１アクチュエータおよび第２アクチュエータのうちの何れか一方のみを用いた搬送動作（ステップＳ１６）の流れの一例を示すサブルーチンのフローチャートである。
【図８】（Ａ）および（Ｂ）は、それぞれ、搬送装置の動作の流れを説明するための図である。
【図９】（Ａ）および（Ｂ）は、それぞれ、搬送装置の動作の流れを説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明を実施するための形態について図面を参照しつつ説明する。なお、本発明は、搬送装置として広く適用することができる。
【００２５】
図１は、本発明の一実施形態にかかる搬送装置１の一部を示す模式的な側面図である。図２は、搬送装置１の一部を示す模式図である。図１を参照して、搬送装置１は、たとえば、ワーク１００を処理するための工場に設置される。ワーク１００は、たとえば、半導体ウェハである。なお、ワーク１００は、半導体ウェハに限らず、他の部材であってもよい。搬送装置１は、ワーク１００を、図示しない複数の装置間を搬送するために用いられる。
【００２６】
搬送装置１は、搬送部材２を用いて、ワーク１００をワーク受取位置Ｐ１まで搬送し、次いで、ケーシング９のワーク保持部９ｃ，９ｄを用いてワーク１００をワーク送出位置Ｐ２１，Ｐ２２まで上昇させ、その後、アーム部４１，４２を用いて、ワーク１００を送出位置Ｐ２１，Ｐ２２から取り出すように構成されている。なお、以下では、ワーク受取位置Ｐ１およびワーク送出位置Ｐ２１，Ｐ２２を、それぞれ、単に、受取位置Ｐ１、送出位置Ｐ２１，Ｐ２２ともいう。
【００２７】
搬送装置１は、搬送部材２と、リフト機構３と、アーム機構４と、制御部５と、操作部６と、を有している。
【００２８】
搬送部材２は、ワーク１００を受取位置Ｐ１に搬送し、且つ、ワーク１００をケーシング９のワーク保持部９ｃ，９ｄに受け渡すために設けられている。搬送部材２は、本実施形態では、ワーク１００を、水平方向に沿う搬送方向Ｄ１に沿って直線状に搬送するように構成されている。搬送部材２は、複数のローラ２ａを有している。各ローラ２ａは、円筒状に形成されており、図示しない電動モータなどの駆動源によって回転駆動するように構成されている。
【００２９】
複数のローラ２ａは、搬送方向Ｄ１に沿って並んで配置されている。ワーク１００が載せられた複数のローラ２ａの回転により、ワーク１００は、搬送部材２上を搬送方向Ｄ１に沿って搬送される。ワーク１００は、搬送部材２によって、所定の受取位置Ｐ１まで搬送される。受取位置Ｐ１は、本実施形態では、搬送方向Ｄ１における搬送部材２の一端寄りの位置である。受取位置Ｐ１において、ワーク１００は、リフト機構３によって所定の送出位置Ｐ２１，Ｐ２２まで搬送される。
【００３０】
リフト機構３は、複数のワーク１００を順次、受取位置Ｐ１から所定の送出位置Ｐ２１，Ｐ２２まで搬送するために設けられている。本実施形態では、リフト機構３は、２つのワーク１００，１００を、それぞれ異なる送出位置Ｐ２１，Ｐ２２に搬送するように構成されている。リフト機構３は、搬送方向Ｄ１における搬送部材２の一端（受取位置Ｐ１）の周辺に配置されている。
【００３１】
リフト機構３は、ベース部材７と、アクチュエータユニット８と、ケーシング９と、を有している。
【００３２】
ベース部材７は、たとえば、水平に延びる梁状に形成されており、図示しない柱に固定されている。ベース部材７は、アクチュエータユニット８を支持している。
【００３３】
アクチュエータユニット８は、ケーシング９を所定の配列方向Ｄ２に変位させるために設けられている。本実施形態では、配列方向Ｄ２は、上下方向（鉛直方向）であり、搬送方向Ｄ１と直交している。アクチュエータユニット８は、本実施形態では、空気シリンダ装置であり、空気を作動流体として用いることで、動力を発生させる。
【００３４】
図１および図２を参照して、アクチュエータユニット８は、第１アクチュエータ１１と、第２アクチュエータ１２と、第１空気圧ユニット２１と、第２空気圧ユニット２２と、を有している。
【００３５】
第１アクチュエェータ１１および第２アクチュエータ１２は、協働して、ケーシング９を配列方向Ｄ２に変位させるために設けられている。より具体的には、第１アクチュエータ１１および第２アクチュエータ１２は、ケーシング９のワーク保持部９ｃ，９ｄを、単一の受取位置Ｐ１から互いに異なる送出位置Ｐ２１，Ｐ２２に向けて変位させるために設けられている。
【００３６】
すなわち、第１アクチュエータ１１、および、第２アクチュエータ１２は、ケーシング９の対応するワーク保持部９ｃ，９ｄを、受取位置Ｐ１と対応する送出位置Ｐ２１，Ｐ２２との間で変位させるように構成されている。
【００３７】
本実施形態では、第１アクチュエータ１１および第２アクチュエータ１２の何れか一方（一方のアクチュエータ）の動作によって、上側のワーク保持部９ｄを送出位置Ｐ２１（一部の送出位置）に変位するように構成されている。また、第１アクチュエータ１１および第２アクチュエータ１２の協働によって、ワーク保持部９ｃ，９ｄの全てを受取位置Ｐ１から対応する送出位置Ｐ２１，Ｐ２２に変位させるように構成されている。
【００３８】
第１アクチュエータ１１および第２アクチュエータ１２は、空気圧シリンダを用いて形成されている。本実施形態では、第１アクチュエータ１１および第２アクチュエータ１２は、同一形式のアクチュエータを用いて形成されている。第１アクチュエータ１１および第２アクチュエータ１２は、配列方向Ｄ２に沿って並んで配置されている。第１アクチュエータ１１および第２アクチュエータ１２は、配列方向Ｄ２に対称な形状となるように配置されている。第１アクチュエータ１１および第２アクチュエータ１２は、受取位置Ｐ１における搬送方向Ｄ１の一方（受取位置Ｐ１の下方）に配置されている。
【００３９】
第１アクチュエータ１１は、第１固定部１１ａと、第１可動部１１ｂと、を有している。
【００４０】
第１固定部１１ａは、軸状のロッドを用いて形成されている。第１固定部１１ａは、配列方向Ｄ２に沿って延びている。第１固定部１１ａの一端部（本実施形態では、上端部）は、ベース部材７に固定されている。第１固定部１１ａは、第１可動部１１ｂを支持している。
【００４１】
第１可動部１１ｂは、筒状のシリンダケースを用いて形成されている。第１可動部１１ｂには、第１固定部１１ａが挿入されている。第１可動部１１ｂの内部には、第１固定部１１ａの他端部に設置されたピストン１１ｃによって、２つのシリンダ室１１ｄ，１１ｅが形成されている。シリンダ室１１ｄ，１１ｅのうちの一方に圧縮空気が供給されるとともに、他方から空気が排出されることで、第１可動部１１ｂは、第１固定部１１ａに対して配列方向Ｄ２に沿って変位する。第１可動部１１ｂの一端部（本実施形態では、下端部）には、第２アクチュエータ１２が取り付けられている。
【００４２】
第２アクチュエータ１２は、第２固定部１２ａと、第２可動部１２ｂと、を有している。
【００４３】
第２固定部１２ａは、筒状のシリンダケースを用いて形成されている。第２固定部１２ａの一端部（本実施形態では、上端部）は、第１可動部１１ｂの一端部に固定されている。これにより、第２アクチュエータ１２の第２固定部１２ａは、第１アクチュエータ１１の第１可動部１１ｂの変位に伴って、配列方向Ｄ２に変位する。
【００４４】
第２固定部１２ａには、第２可動部１２ｂが挿入されている。第２可動部１２ｂは、軸状のロッドを用いて形成されており、配列方向Ｄ２に沿って延びている。第２固定部１２ａは、この第２可動部１２ｂを支持している。第２固定部１２ａの内部には、第２可動部１２ｂの一端部に設置されたピストン１２ｃによって、２つのシリンダ室１２ｄ，１２ｅが形成されている。
【００４５】
シリンダ室１２ｄ，１２ｅのうちの一方に圧縮空気が供給されるとともに、他方から空気が排出されることで、第２可動部１２ｂは、第２固定部１２ａに対して、配列方向Ｄ２に沿って変位する。第２可動部１２ｂの他端部（本実施形態では、下端部）には、ケーシング９が固定されている。すなわち、第２可動部１２ｂは、ケーシング９を支持している。上記の構成により、配列方向Ｄ２におけるケーシング９の変位量は、第１可動部１１ｂの変位量と、第２可動部１２ｂの変位量の和となる。
【００４６】
ケーシング９は、２つのワーク１００，１００を受取位置Ｐ１から対応する送出位置Ｐ２１，Ｐ２２まで搬送するために設けられている。ケーシング９は、配列方向Ｄ２に細長い形状に形成されており、ベース部材７および搬送部材２のそれぞれとの接触を避けるようにして配置されている。
【００４７】
ケーシング９は、底壁９ａと、側壁９ｂと、複数のワーク保持部９ｃ，９ｄと、を有している。
【００４８】
底壁９ａは、水平方向に延びる板状に形成されている。この底壁９ａは、第２可動部１２ｂに固定されている。これにより、ケーシング９は、第２可動部１２ｂと一体的に配列方向Ｄ２に変位可能であり、第１アクチュエータ１１および第２アクチュエータ１２の動作によって、配列方向Ｄ２に変位する。底壁９ａの外周縁部のうち、図１の紙面と直交する方向の両端部から側壁９ｂが延びている。
【００４９】
側壁９ｂは、底壁９ａから上方に延びている。側壁９ｂは、第１アクチュエータ１１および第２アクチュエータ１２に隣接して配置されている。側壁９ｂは、図１の紙面と直交する方向に一対並んで配置されている（図１の紙面の手前側の側壁９ｂの図示は省略）。一対の側壁９ｂの間に、ベース部材７および搬送部材２が配置されている。各側壁９ｂの上部に、複数のワーク保持部９ｃ，９ｄが設けられている。
【００５０】
ワーク保持部９ｃ，９ｄは、それぞれ、ワーク１００を保持するために設けられている。ワーク保持部９ｃ，９ｄは、配列方向Ｄ２に沿って並んで配置されている。ワーク保持部９ｃ，９ｄは、各側壁９ｂから側壁９ｂの内側に向けて延びる片状に形成されており、搬送部材２の側方に配置されている（図１の紙面の手前側のワーク保持部９ｃ，９ｄの図示は省略）。図１では、ワーク保持部９ｃ，９ｄがそれぞれ、対応する送出位置Ｐ２１，Ｐ２２に配置された状態を示している。
【００５１】
受取位置Ｐ１は、搬送部材２と対応するワーク保持部９ｃ，９ｄとが搬送方向Ｄ１の位置を揃えられる（縦並びに配置される）位置である。また、送出位置Ｐ２１，Ｐ２２は、何れも、受取位置Ｐ１から配列方向Ｄ２の一方（上方）に所定量離隔した位置である。送出位置Ｐ２１は、受取位置Ｐ１から第１距離Ｌ１だけ配列方向Ｄ２の一方（上方）の位置に設定されている。送出位置Ｐ２２は、受取位置Ｐ１から第２距離Ｌ２だけ配列方向Ｄ２の一方（上方）の位置に設定されている。本実施形態では、第１アクチュエータ１１による、配列方向Ｄ２へのケーシング９の変位量と、第２アクチュエータ１２による、配列方向Ｄ２へのケーシング９の変位量とは、同じである。
【００５２】
本実施形態では、第１アクチュエータ１１および第２アクチュエータ１２のうちの１つが動作する毎に、配列方向Ｄ２に沿ってケーシング９が所定量変位される。これにより、複数のワーク保持部９ｃ，９ｄが、順次、対応する送出位置Ｐ２１，Ｐ２２に変位する。
【００５３】
このケーシング９を配列方向Ｄ２に変位させるための第１アクチュエータ１１および第２アクチュエータ１２の駆動力は、第１空気圧ユニット２１および第２空気圧ユニット２２によって発生する。
【００５４】
第１空気圧ユニット２１は、第１アクチュエータ１１に駆動力としての空気圧を付与するために設けられている。
【００５５】
第１空気圧ユニット２１は、第１空気ライン２１ａと、第１電磁弁２１ｂと、第２空気ライン２１ｃと、第２電磁弁２１ｄと、第１ポンプ２１ｅと、第１排気ライン２１ｆと、を有している。
【００５６】
第１空気ライン２１ａは、第１アクチュエータ１１の第１可動部１１ｂのシリンダ室１１ｄと、第１電磁弁２１ｂとを接続している。第２空気ライン２１ｃは、第１アクチュエータ１１の第１可動部１１ｂのシリンダ室１１ｅと、第２電磁弁２１ｄとを接続している。
【００５７】
第１電磁弁２１ｂおよび第２電磁弁２１ｄは、それぞれ、三方弁であり、第１ポンプ２１ｅおよび第１排気ライン２１ｆに接続されている。第１ポンプ２１ｅは、たとえば、加圧ポンプであり、圧縮空気を発生させるように構成されている。第１排気ライン２１ｆは、外部に開放された配管である。
【００５８】
上記の構成により、第１可動部１１ｂが第１固定部１１ａに対して上方（配列方向Ｄ２の一方）に変位する際には、第１ポンプ２１ｅからの圧縮空気が、第２電磁弁２１ｄおよび第２空気ライン２１ｃを介してシリンダ室１１ｅに供給される。また、シリンダ室１１ｄ内の空気は、第１空気ライン２１ａおよび第１電磁弁２１ｂを介して第１排気ライン２１ｆに排出される。一方、第１可動部１１ｂが第１固定部１１ａに対して下方（配列方向Ｄ２の他方）に変位する際には、第１ポンプ２１ｅからの圧縮空気が、第１電磁弁２１ｂおよび第１空気ライン２１ａを介してシリンダ室１１ｄに供給される。また、シリンダ室１１ｅ内の空気は、第２空気ライン２１ｃおよび第２電磁弁２１ｄを介して第１排気ライン２１ｆに排出される。
【００５９】
第２空気圧ユニット２２は、第２アクチュエータ１２に駆動力としての空気圧を付与するために設けられている。
【００６０】
第２空気圧ユニット２２は、第３空気ライン２２ａと、第３電磁弁２２ｂと、第４空気ライン２２ｃと、第４電磁弁２２ｄと、第２ポンプ２２ｅと、第２排気ライン２２ｆと、を有している。
【００６１】
第３空気ライン２２ａは、第２アクチュエータ１２の第２固定部１２ａのシリンダ室１２ｄと、第３電磁弁２２ｂとを接続している。第４空気ライン２２ｃは、第２アクチュエータ１２の第２固定部１２ａのシリンダ室１２ｅと、第４電磁弁２２ｄとを接続している。
【００６２】
第３電磁弁２２ｂおよび第４電磁弁２２ｄは、それぞれ、三方弁であり、第２ポンプ２２ｅおよび第２排気ライン２２ｆに接続されている。第２ポンプ２２ｅは、たとえば、加圧ポンプであり、圧縮空気を発生させるように構成されている。第２排気ライン２２ｆは、外部に開放された配管である。
【００６３】
上記の構成により、第２可動部１２ｂが第２固定部１２ａに対して上方（配列方向Ｄ２の一方）に変位する際には、第２ポンプ２２ｅからの圧縮空気が、第３電磁弁２２ｂおよび第３空気ライン２２ａを介してシリンダ室１２ｄに供給される。また、シリンダ室１２ｅ内の空気は、第４空気ライン２２ｃおよび第４電磁弁２２ｄを介して第２排気ライン２２ｆに排出される。一方、第２可動部１２ｂが第２固定部１２ａに対して下方（配列方向Ｄ２の他方）に変位する際には、第２ポンプ２２ｅからの圧縮空気が、第４電磁弁２２ｄおよび第４空気ライン２２ｃを介してシリンダ室１２ｅに供給される。また、シリンダ室１２ｄ内の空気は、第３空気ライン２２ａおよび第４電磁弁２２ｂを介して第２排気ライン２２ｆに排出される。
【００６４】
図１を参照して、上記の構成を有するアクチュエータユニット８およびケーシング９を用いて受取位置Ｐ１から送出位置Ｐ２１，Ｐ２２に搬送されたワーク１００，１００は、アーム機構４によって、送出位置Ｐ２１，Ｐ２２から搬送される。アーム機構４は、ワーク１００，１００を送出位置Ｐ２１，Ｐ２２から、図示しない処理装置などの搬送先へ搬送するために設けられている。アーム機構４は、送出位置Ｐ２１，Ｐ２２の周囲に配置されている。
【００６５】
アーム機構４は、アームベース４０と、第１アーム部４１と、第２アーム部４２と、を有している。
【００６６】
アームベース４０は、たとえば、図示しない昇降装置に支持された支柱であり、この昇降装置によって、ケーシング９と配列方向Ｄ２に一体的に変位するように構成されている。アームベース４０は、第１アーム部４１および第２アーム部４２を支持している。
【００６７】
第１アーム部４１は、第１アーム部本体４１ａと、第１フォーク部４１ｂと、を有している。
【００６８】
第１アーム部本体４１ａは、たとえば、複数のリンク部材を連結させることで形成されており、隣接するリンク部材同士を電動モータなどの駆動装置で連結した構成を有している。第１アーム部本体４１ａの基端部は、アームベース４０に連結されている。第１アーム部本体４１ａは、上記の駆動装置の駆動によって、伸縮動作、および、アームベース４０の回りを旋回する動作などを行うことができる。これにより、第１アーム部本体４１ａは、当該第１アーム部本体４１ａの先端部を水平方向に変位させる動作を行うことができる。また、第１アーム部本体４１ａは、図示しない昇降機構を介してアームベース４０に連結されており、上下方向（配列方向Ｄ２）にも変位可能に構成されている。第１アーム部本体４１ａの先端に、第１フォーク部４１ｂが取り付けられている。
【００６９】
第１フォーク部４１ｂは、ワーク保持部９ｃに保持されたワーク１００を受け取るために設けられている。第１フォーク部４１ｂは、ワーク保持部９ｃの側方に配置されるフォーク状の細長い部材であり、搬送部材２とワーク保持部９ｃとの間に進入可能に構成されている。第１フォーク部４１ｂは、ワーク保持部９ｃとは配列方向Ｄ２と直交する水平方向に向かい合っている。第１フォーク部４１ｂは、第１アーム部本体４１ａの動作によってワーク保持部９ｃの側方に変位され、その後、ワーク保持部９ｃに保持されたワーク１００の底面を持ち上げることで、当該ワーク１００をワーク保持部９ｃから持ち上げる。第１アーム部本体４１ａおよび第１フォーク部４１ｂに対して上方（配列方向Ｄ２の一方）に第２アーム部４２が配置されている。
【００７０】
第２アーム部４２は、第２アーム部本体４２ａと、第２フォーク部４２ｂと、を有している。
【００７１】
第２アーム部本体４２ａは、たとえば、複数のリンク部材を連結させることで形成されており、隣接するリンク部材同士を電動モータなどの駆動装置で連結した構成を有している。第２アーム部本体４２ａの基端部は、アームベース４０に連結されている。第２アーム部本体４２ａは、上記の駆動装置の駆動によって、伸縮動作、および、アームベース４０の回りを旋回する動作などを行うことができる。これにより、第２アーム部本体４２ａは、当該第２アーム部本体４２ａの先端部を水平方向に変位させる動作を行うことができる。また、第２アーム部本体４２ａは、図示しない昇降機構を介してアームベース４０に連結されており、上下方向（配列方向Ｄ２）にも変位可能に構成されている。第２アーム部本体４２ａの先端に、第２フォーク部４２ｂが取り付けられている。
【００７２】
第２フォーク部４２ｂは、ワーク保持部９ｄに保持されたワーク１００を受け取るために設けられている。第２フォーク部４２ｂは、ワーク保持部９ｄの側方に配置されるフォーク状の細長い部材であり、搬送部材２と、ワーク保持部９ｄ（ケーシング９）との間に進入可能に構成されている。第２フォーク部４２ｂは、ワーク保持部９ｄとは配列方向Ｄ２と直交する水平方向に向かい合っている。第２フォーク部４２ｂは、第２アーム部本体４２ａの動作によってワーク保持部９ｄの側方に変位され、その後、ワーク保持部９ｄに保持されたワーク１００の底面を持ち上げることで、当該ワーク１００をワーク保持部９ｄから持ち上げる。
【００７３】
上記の構成により、各アーム部４１，４２は、複数の送出位置Ｐ２１，Ｐ２２のうちの対応する送出位置Ｐ２１，Ｐ２２に配置されたワーク保持部９ｃ，９ｄに保持されているワーク１００を保持可能に構成されている。上記の構成を有するアクチュエータユニット８およびアーム機構４の動作は、制御部５によって制御される。
【００７４】
図１および図２を参照して、制御部５は、たとえば、ＰＬＣ（programmable logic controller）などを用いて形成されており、所定の入力信号に基づいて、所定の出力信号を出力する構成を有している。なお、制御部５は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＡＭ（Random Access Memory）およびＲＯＭ（Read Only Memory）を含むコンピュータを用いて形成されていてもよい。
【００７５】
制御部５は、搬送部材２、リフト機構３（第１アクチュエータ１１、第２アクチュエータ１２）、および、アーム機構４（第１アーム部４１、第２アーム部４２）を制御するように構成されている。
【００７６】
具体的には、制御部５は、搬送部材２のローラ２ａを駆動する電動モータの駆動を制御することで、搬送部材２上のワーク１００の搬送動作を制御する。また、制御部５は、リフト機構３の第１ポンプ２１ｅ、第１電磁弁２１ｂおよび第２電磁弁２１ｄの動作を制御することで、第１アクチュエータ１１の第１可動部１１ｂを第１固定部１１ａに対して配列方向Ｄ２に変位させる動作を制御する。
【００７７】
また、制御部５は、第２ポンプ２２ｅ、第３電磁弁２２ｂおよび第４電磁弁２２ｄの動作を制御することで、第２アクチュエータ１２の第２可動部１２ｂを第２固定部１２ａに対して配列方向Ｄ２に変位させる動作を制御する。また、制御部５は、アーム機構４の昇降装置、第１アーム部本体４１ａの駆動機構、および、第１アーム部本体４１ａの昇降装置の動作を制御することにより、第１アーム部本体４１ａに支持された第１フォーク部４１ｂの動作を制御する。また、制御部５は、アーム機構４の昇降装置、第２アーム部本体４２ａの駆動機構、および、第２アーム部本体４２ａの昇降装置の動作を制御することにより、第２アーム部本体４２ａに支持された第２フォーク部４２ｂの動作を制御する。
【００７８】
また、制御部５は、第１アクチュエータ１１の各シリンダ室１１ｄ，１１ｅに設置されたセンサとしての、異常検出部５１，５２に接続されている。本実施形態では、異常検出部５１，５２は、第１アクチュエータ１１の異常を検出するために設けられており、第１アクチュエータ１１の第１可動部１１ｂが第１固定部１１ａに対して変位する動作を検出するように構成されている。異常検出部５１，５２は、第１可動部１１ｂが第１固定部１１ａに対して変位する動作を検出できればよく、具体的な構成は限定されない。たとえば、各異常検出部５１，５２は、第１アクチュエータ１１のシリンダケースである第１可動部１１ｂの内周面に嵌合固定されたリング状磁石と、ロッドである第１固定部１１ａに設置され上記リング状磁石の動作を検出する磁気センサと、を有していてもよい。なお、異常検出部５１，５２の何れか一方のみで第１アクチュエータ１１の異常を検出できる場合、他方は省略されてもよい。制御部５は、第１アクチュエータ１１を動作させる制御を行ったにもかかわらず、異常検出部５１，５２が第１アクチュエータ１１の動作を所定時間（たとえば、１０秒）以上検出しなかった場合、第１アクチュエータ１１に異常が生じていると判定する。
【００７９】
また、制御部５は、第２アクチュエータ１２の各シリンダ室１２ｄ，１２ｅに設置されたセンサとしての、異常検出部５３，５４に接続されている。本実施形態では、異常検出部５３，５４は、第２アクチュエータ１２の異常を検出するために設けられており、第２アクチュエータ１２の第２可動部１２ｂが第２固定部１２ａに対して変位する動作を検出するように構成されている。異常検出部５３，５４は、第２可動部１２ｂが第２固定部１２ａに対して変位する動作を検出できればよく、具体的な構成は限定されない。たとえば、各異常検出部５３，５４は、第２アクチュエータ１２のシリンダケースである第２固定部１２ａの内周面に嵌合固定されたリング状磁石と、ロッドである第２可動部１２ｂに設置され上記リング状磁石の動作を検出する磁気センサと、を有していてもよい。なお、異常検出部５３，５４の何れか一方のみで第２アクチュエータ１２の異常を検出できる場合、他方は省略されてもよい。制御部５は、第２アクチュエータ１２を動作させる制御を行ったにもかかわらず、異常検出部５３，５４が第２アクチュエータ１２の動作を所定時間（たとえば、１０秒）以上検出しなかった場合、第２アクチュエータ１２に異常が生じていると判定する。
【００８０】
制御部５は、後で詳述するように、異常検出部５１，５２，５３，５４によって異常を検出されたアクチュエータ１１または第２アクチュエータ１２を停止させるように構成されている。
【００８１】
また、制御部５は、操作部６に接続されている。操作部６は、たとえば、タッチパネル装置である。操作部６は、搬送装置１を操作するオペレータによって操作可能に構成されており、複数のアクチュエータ１１，１２の何れを動作させるかを選択可能に構成されている。
【００８２】
操作部６は、第１アクチュエータ用スイッチ６ａと、第２アクチュエータ用スイッチ６ｂと、を有している。
【００８３】
第１アクチュエータ用スイッチ６ａは、オペレータによって操作されるスイッチである。第１アクチュエータ用スイッチ６ａがＯＮ操作されることにより、操作部６は、所定の動作信号を制御部５に出力する。これにより、ワーク１００の搬送動作時、制御部５は、第１アクチュエータ１１を動作させる制御を行うように構成されている。このとき、第１アクチュエータ用スイッチ６ａは、たとえば、バックライトによる点灯表示がなされ、第１アクチュエータ１１が動作するよう設定されていることを、オペレータに表示する。
【００８４】
また、第１アクチュエータ用スイッチ６ａがＯＦＦ操作されることにより、操作部６は、所定の動作信号を制御部５に出力する。これにより、ワーク１００の搬送動作時、制御部５は、第１アクチュエータ１１を動作させない制御を行うように構成されている。このとき、第１アクチュエータ用スイッチ６ａは、たとえば、バックライトによる点灯表示が行われず、第１アクチュエータ１１が動作しないように設定されていることを、オペレータに表示する。なお、本実施形態では、特に説明無き限り、第１アクチュエータ用スイッチ６ａがＯＮ操作された状態を基準に説明する。
【００８５】
第２アクチュエータ用スイッチ６ｂは、オペレータによって操作されるスイッチである。第２アクチュエータ用スイッチ６ｂがＯＮ操作されることにより、操作部６は、所定の動作信号を制御部５に出力する。これにより、ワーク１００の搬送動作時、制御部５は、第２アクチュエータ１２を動作させる制御を行うように構成されている。このとき、第２アクチュエータ用スイッチ６ｂは、たとえば、バックライトによる点灯表示がなされ、第２アクチュエータ１２が動作するよう設定されていることを、オペレータに表示する。
【００８６】
また、第２アクチュエータ用スイッチ６ｂがＯＦＦ操作されることにより、操作部６は、所定の動作信号を制御部５に出力する。これにより、ワーク１００の搬送動作時、制御部５は、第２アクチュエータ１２を動作させない制御を行うように構成されている。このとき、第２アクチュエータ用スイッチ６ｂは、たとえば、バックライトによる点灯表示が行われず、第２アクチュエータ１２が動作しないように設定されていることを、オペレータに表示する。なお、本実施形態では、特に説明無き限り、第２アクチュエータ用スイッチ６ｂがＯＮ操作された状態を基準に説明する。
【００８７】
上記の制御を用いて、制御部５は、第１アクチュエータ１１または第２アクチュエータ１２に異常が検出されたときに、当該異常を検出されたアクチュエータ（第１アクチュエータ１１および第２アクチュエータ１２の何れか一方）の動作を停止させる。このとき、制御部５は、異常を検出されていないアクチュエータ（第１アクチュエータ１１および第２アクチュエータ１２の何れか他方）を動作させる。これにより、制御部５は、ワーク保持部９ｃ，９ｄのうちの一部のワーク保持部９ｄを、送出位置Ｐ２１，Ｐ２２のうちの一部の送出位置Ｐ２１へ変位させる。また、このとき、制御部５は、第１アーム部４１の動作を停止させる制御を行う。すなわち、制御部５は、配列方向Ｄ２に並ぶ第１アーム部４１および第２アーム部４２のうち、受取位置Ｐ１から送出位置Ｐ２１へ向かう方向Ｄ２１における上流側に位置している第１アーム部４１の動作を停止させる。このような制御部５による制御を含め、搬送装置１における搬送動作の流れの一例を、次に説明する。
【００８８】
図３は、搬送装置１における搬送動作の流れの一例を説明するためのフローチャートである。なお、フローチャートを参照しながら説明する場合、フローチャート以外の図も適宜参照しながら説明する。
【００８９】
搬送装置１における搬送動作において、まず、制御部５は、第１アクチュエータ１１および第２アクチュエータ１２の動作設定状態を判定する（ステップＳ１１）。オペレータによる操作部６の操作によって、第１アクチュエータ１１および第２アクチュエータ１２の双方を動作させるように設定されている場合（ステップＳ１１で両方）、制御部５は、第１アクチュエータ１１および第２アクチュエータ１２の何れかに異常が生じているか否かを判定する（ステップＳ１２）。
【００９０】
第１アクチュエータ１１および第２アクチュエータ１２の双方に異常が生じていない場合（ステップＳ１２でＮＯ）、制御部５は、第１アクチュエータ１１および第２アクチュエータ１２の双方を用いた搬送動作を行わせる（ステップＳ１３）。
【００９１】
図４は、第１アクチュエータ１１および第２アクチュエータ１２の双方を用いた搬送動作（ステップＳ１３）の流れの一例を示すサブルーチンのフローチャートである。第１アクチュエータ１１および第２アクチュエータ１２の双方を用いた搬送動作においては、まず、図５（Ａ）に示すように、制御部５は、搬送部材２を動作させることで、１枚目のワーク１００を受取位置Ｐ１まで搬送する（ステップＳ２１）。
【００９２】
次に、制御部５は、第１アクチュエータ１１および第２アクチュエータ１２の何れか一方（図５（Ｂ）では、第２アクチュエータ１２）を動作させることで、ケーシング９を、配列方向Ｄ２の一方（上方）に変位させる（ステップＳ２２）。本実施形態では、第２アクチュエータ１２の第２可動部１２ｂが第２固定部１２ａに対して変位することで、ケーシング９が変位される。その結果、ワーク保持部９ｄおよびワーク保持部９ｄに保持されたワーク１００は、図５（Ｂ）に示すように、送出位置Ｐ２１に変位される。また、もう一方のワーク保持部９ｃは、受取位置Ｐ１の下方で且つ受取位置Ｐ１の近傍に配置される。
【００９３】
次に、図６（Ａ）に示すように、制御部５は、搬送部材２を動作させることで、２枚目のワーク１００を受取位置Ｐ１まで搬送する（ステップＳ２３）。
【００９４】
次に、制御部５は、第１アクチュエータ１１および第２アクチュエータ１２の何れか他方（図６（Ｂ）では、第１アクチュエータ１１）を動作させることで、ケーシング９を、配列方向Ｄ２の一方（上方）に変位させる（ステップＳ２４）。本実施形態では、第１アクチュエータ１１の第１可動部１１ｂが第１固定部１１ａに対して変位することで、ケーシング９が変位される。その結果、ワーク保持部９ｃおよびワーク保持部９ｃに保持されたワーク１００は、図６（Ｂ）に示すように、送出位置Ｐ２１に変位される。また、もう一方のワーク保持部９ｄおよびワーク保持部９ｄに保持されたワーク１００は、送出位置Ｐ２２に変位される。
【００９５】
そして、制御部５は、第１アーム部４１および第２アーム部４２を動作させることにより、送出位置Ｐ２１，Ｐ２２のそれぞれに配置されたワーク１００，１００を、対応する第１アーム部４１および第２アーム部４２で取り出す（ステップＳ２５）。これにより、送出位置Ｐ２１，Ｐ２２のワーク１００は、送出位置Ｐ２１，Ｐ２２から、図示しない別の装置へ搬送される。
【００９６】
次に、制御部５は、第１アクチュエータ１１および第２アクチュエータ１２の双方を動作させることにより、ケーシング９を、搬送部材２の下方の位置に戻す操作を行い、且つ、第１アーム部４１および第２アーム部４２を元の位置に戻す（ステップＳ２６）。これにより、図５（Ａ）に示すように、ケーシング９は、搬送部材２の下方側に配置されるとともに第１アーム部４１および第２アーム部４２がケーシング９から離隔する。
【００９７】
一方、ステップＳ１２において、第１アクチュエータ１１および第２アクチュエータ１２の一方について異常が検出された場合（ステップＳ１２でＹＥＳ）、制御部５は、異常報知動作を行う（ステップＳ１４）。
【００９８】
具体的には、第１アクチュエータ１１に異常が生じた場合、制御部５は、操作部６の第１アクチュエータ用スイッチ６ａを点滅表示させることで、第１アクチュエータ１１に異常が生じたことをオペレータに報知する。一方、第２アクチュエータ１２に異常が生じた場合、制御部５は、操作部６の第２アクチュエータ用スイッチ６ｂを点滅表示させることで、第２アクチュエータ１２に異常が生じたことをオペレータに報知する。
【００９９】
次に、制御部５は、異常を生じたアクチュエータの動作を停止させる制御を行う（ステップＳ１５）。具体的には、第１アクチュエータ１１に異常が生じた場合、制御部５は、たとえば、第１ポンプ２１ｅの動作を停止させるとともに、第１電磁弁２１ｂおよび第２電磁弁２１ｄを閉じることで、第１固定部１１ａに対する第１可動部１１ｂの変位を規制する。すなわち、第１可動部１１ｂを第１固定部１１ａに固定する。
【０１００】
一方、第２アクチュエータ１２に異常が生じた場合、制御部５は、たとえば、第２ポンプ２２ｅの動作を停止させるとともに、第３電磁弁２２ｂおよび第４電磁弁２２ｄを閉じることで、第２固定部１２ａに対する第２可動部１２ｂの変位を規制する。すなわち、第２可動部１２ｂを第２固定部１２ａに固定する。
【０１０１】
次に、制御部５は第１アクチュエータ１１および第２アクチュエータ１２のうち異常を生じていないアクチュエータを用いて、ワーク１００の搬送動作を行う（ステップＳ１６）。
【０１０２】
図７は、第１アクチュエータ１１および第２アクチュエータ１２のうちの何れか一方を用いた搬送動作（ステップＳ１６）の流れの一例を示すサブルーチンのフローチャートである。たとえば、第２アクチュエータ１２に異常が生じている場合、まず、図８（Ａ）に示すように、制御部５は、搬送部材２を動作させることで、１枚目のワーク１００を受取位置Ｐ１まで搬送する（ステップＳ３１）。
【０１０３】
次に、制御部５は、第１アクチュエータ１１を動作させることで、ケーシング９を、配列方向Ｄ２の一方（上方）に変位させる（ステップＳ３２）。この場合、第１アクチュエータ１１の第１可動部１１ｂが第１固定部１１ａに対して変位することで、ケーシング９が変位される。その結果、ワーク保持部９ｄおよびワーク保持部９ｄに保持されたワーク１００は、図８（Ｂ）に示すように、送出位置Ｐ２１に変位される。また、もう一方のワーク保持部９ｃは、搬送部材２の下方において、受取位置Ｐ１の近傍に配置される。
【０１０４】
このとき、第１アーム部４１は、搬送部材２の下方において、ワーク保持部９ｃと水平に向かい合うように配置される。また、第２アーム部４２は、搬送部材２の上方において、送出位置Ｐ２１のワーク保持部９ｄと水平に向かい合うように配置される。
【０１０５】
そして、制御部５は、第１アーム部４１は動作させず、且つ、第２アーム部４２は動作させることにより、送出位置Ｐ２１に配置されたワーク１００を、第２アーム部４２で取り出す（ステップＳ３３）。これにより、送出位置Ｐ２１のワーク１００は、送出位置Ｐ２１から、図示しない別の装置へ搬送される。このとき、第１アーム部４１は動作しないので、搬送部材２などの他の部材に接触することを回避される。
【０１０６】
次に、制御部５は、第１アクチュエータ１１を動作させることにより、ケーシング９を、搬送部材２の下方側の位置に戻す操作を行い、且つ、第２アーム部４２を元の位置に戻す（ステップＳ３４）。これにより、図８（Ａ）に示すように、ケーシング９は、搬送部材２の下方側に配置され、第２アーム部４２は、ケーシング９から離隔する。
【０１０７】
一方、第１アクチュエータ１１に異常が生じている場合、まず、図９（Ａ）に示すように、制御部５は、搬送部材２を動作させることで、１枚目のワーク１００を受取位置Ｐ１まで搬送する（ステップＳ３１）。
【０１０８】
次に、制御部５は、第２アクチュエータ１２を動作させることで、ケーシング９を、配列方向Ｄ２の一方（上方）に変位させる（ステップＳ３２）。この場合、第２アクチュエータ１２の第２可動部１２ｂが第２固定部１２ａに対して変位することで、ケーシング９が変位される。その結果、ワーク保持部９ｄおよびワーク保持部９ｄに保持されたワーク１００は、図９（Ｂ）に示すように、送出位置Ｐ２１に変位される。また、もう一方のワーク保持部９ｃは、搬送部材２の下方において、受取位置Ｐ１の近傍に配置される。
【０１０９】
このとき、第１アーム部４１は、搬送部材２の下方において、ワーク保持部９ｃと水平に向かい合うように配置される。また、第２アーム部４２は、搬送部材２の上方において、送出位置Ｐ２１のワーク保持部９ｄと水平に向かい合うように配置される。
【０１１０】
そして、制御部５は、第１アーム部４１は動作させず、且つ、第２アーム部４２は動作させることにより、送出位置Ｐ２１に配置されたワーク１００を、第２アーム部４２で取り出す（ステップＳ３３）。これにより、送出位置Ｐ２１のワーク１００は、送出位置Ｐ２１から、図示しない別の装置へ搬送される。このとき、第１アーム部４１は動作しないので、搬送部材２などの他の部材に接触することを回避される。
【０１１１】
次に、制御部５は、第２アクチュエータ１２を動作させることにより、ケーシング９を、搬送部材２の下方の位置に戻す操作を行い、且つ、第２アーム部４２を元の位置に戻す（ステップＳ３４）。これにより、図９（Ａ）に示すように、ケーシング９のワーク保持部９ｃ，９ｄは、搬送部材２の下方側に配置され、第２アーム部４２はケーシング９から離隔する。
【０１１２】
なお、オペレータが操作部６を操作することにより、第１アクチュエータ１１および第２アクチュエータ１２のうちの何れか一方のみを用いてワーク１００の搬送動作を行うことが設定されている場合（ステップＳ１１で片方）、制御部５は、上記一方のアクチュエータを用いて、ワーク１００の搬送動作を行わせる（ステップＳ１６）。この場合の動作は、前述した、ステップＳ１６の動作と同一である。
【０１１３】
以上説明したように、搬送装置１によると、複数のアクチュエータ１１，１２のうちの一部に故障などの異常が生じたとき、残りの一部のアクチュエータの動作によって、一部のワーク保持部９ｄを所定のワーク送出位置Ｐ２１へ変位させることができる。また、故障を生じたアクチュエータは、動作を停止される。これにより、一部のアクチュエータに異常が生じた場合でも、ワーク１００の搬送動作を継続することができる搬送装置１を実現できる。
【０１１４】
上述したように、搬送装置１によると、一部のアクチュエータに異常が生じた場合でも、ワーク１００の搬送動作を継続することができる。このため、一部のアクチュエータに異常が生じた場合でも、ワーク１００の処理ライン（工程）全体が停止することを抑制できる。このため、処理ライン内での他の装置での処理中のワーク１００が不良品となることを抑制できる。より具体的には、たとえば、一部のアクチュエータに異常が生じてからの復旧時間をより短縮できる。このため、たとえば、熱処理装置（熱処理室）（図示せず）内で熱処理中のワーク１００がオーバーベークされることに起因する、ワーク１００の不良品発生を抑制できる。
【０１１５】
また、搬送装置１によると、ケーシング９を配列方向Ｄ２に沿って直線的に変位させるという簡易な構成で、複数のワーク保持部９ｃ，９ｄを、順次、ワーク送出位置Ｐ２１，Ｐ２２に送り出すことができる。
【０１１６】
また、搬送装置１によると、各アクチュエータ１１，１２が正常に動作しているときは、第１アクチュエータ１１および第２アクチュエータ１２の動作によって、２つのワーク保持部９ｃ，９ｄ（２つのワーク１００）を、それぞれ、対応するワーク送出位置Ｐ２１，Ｐ２２へ送り出すことができる。一方、第１アクチュエータ１１および第２アクチュエータ１２の何れか一方が異常を生じたときは、故障を生じていない他方のアクチュエータによって、１つのワーク保持部９ｄ（１つのワーク１００）を対応するワーク送出位置Ｐ２１へ送り出すことができる。
【０１１７】
また、搬送装置１によると、制御部５は、一部のアクチュエータに異常が生じたときに、第１アーム部４１の動作を停止させる。この構成によると、一部のアクチュエータに故障が生じたときおいて、動作が不要となる第１アーム部４１が無駄に動作することを防止できる。
【０１１８】
また、搬送装置１によると、制御部５によって動作を停止される第１アーム部４１は、複数のアーム部４１，４２のうちの受取位置Ｐ１から送出位置Ｐ２１へ向かう方向Ｄ２１における上流側に位置している。この構成によると、一部のアクチュエータの異常時において、第１アーム部４１の動作が停止される。これにより、配列方向Ｄ２に沿って本来の変位量よりも少ない変位量だけ変位されたケーシング９における、ワーク１００が保持されていないワーク保持部９ｃに向けて、第１アーム部４１が無駄に動くことを防止できる。
【０１１９】
また、搬送装置１によると、制御部５は、第１アクチュエータ１１および第２アクチュエータ１２のうち、異常検出部５１〜５４によって異常が検出されたアクチュエータを停止させる。この構成によると、制御部５は、異常検出部５１〜５４での検出結果に基づいて、各アクチュエータ１１，１２に異常が生じているか否かを判定できる。
【０１２０】
また、搬送装置１によると、オペレータは、操作部６を操作することで、複数のアクチュエータ１１，１２の何れを動作させるかを選択することができる。
【０１２１】
以上、本発明の実施形態について説明したけれども、本発明は上述の実施の形態に限られない。本発明は、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な変更が可能である。
【０１２２】
（１）上述の実施形態では、アクチュエータの数が２つである形態を例に説明した。しかしながら、この通りでなくてもよい。たとえば、アクチュエータの数は、３つ以上であってもよい。
【０１２３】
（２）また、上述の実施形態では、配列方向Ｄ２が上下方向である形態を例に説明した。しかしながら、この通りでなくてもよい。たとえば、配列方向Ｄ２は、上下方向以外の方向であってもよい。また、配列方向Ｄ２は、一部に屈曲した方向または湾曲した方向などが含まれていてもよい。
【０１２４】
（３）また、上述の実施形態では、第１アクチュエータ１１および第２アクチュエータ１２のうちの何れか一方のみが動作する場合、配列方向Ｄ２の上流側の第１アーム部４１の動作が停止される形態を例に説明した。しかしながら、この通りでなくてもよい。たとえば、第１アクチュエータ１１および第２アクチュエータ１２のうちの何れか一方のみが動作する場合、配列方向Ｄ２の上流側の第１アーム部４１を動作させるとともに、配列方向Ｄ２の下流側の第２アーム部４２が停止されてもよい。これにより、第２アーム部４２が故障などを生じた場合において、第１アーム部４１を用いて搬送動作を継続することができる。なお、第２アーム部４２に代えて第１アーム部４１が用いられる場合の一例として、オペレータによって第１アクチュエータ用スイッチ６ａが操作された場合、または、第２アーム部４２の故障が検出された場合を挙げることができる。
【産業上の利用可能性】
【０１２５】
本発明は、搬送装置として、広く適用することができる。
【符号の説明】
【０１２６】
１  搬送装置
２  搬送部材
５  制御部
６  操作部
７  ベース部材
９  ケーシング
９ｃ，９ｄ  ワーク保持部
１１  第１アクチュエータ（アクチュエータ）
１１ａ  第１固定部
１１ｂ  第１可動部
１２  第２アクチュエータ（アクチュエータ）
１２ａ  第２固定部
１２ｂ  第２可動部
４１，４２  アーム部
５１〜５４  異常検出部
１００  ワーク
Ｄ２  配列方向
Ｄ２１  ワーク受取位置からワーク送出位置へ向かう方向
Ｐ１  ワーク受取位置
Ｐ２１，Ｐ２２  ワーク送出位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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