(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレームに貼付された接着シート上の板状部材に少なくとも３方向の張力を付与して、前記板状部材から形成される複数の片状体の相互間隔を広げる離間装置であって、
前記フレームを支持する第１支持手段と、
前記接着シートを介して前記板状部材を支持する第２支持手段と、
前記第１支持手段および前記第２支持手段を相対移動させて前記接着シートに張力を付与し、前記複数の片状体の相互間隔を広げる離間手段と、
前記離間手段によって付与された張力を前記接着シートの領域別に調整可能に設けられ、前記複数の片状体の相互間隔を調整する間隔調整手段とを備え、
前記第２支持手段は、前記接着シートに接触可能な複数の接触部を備え、
前記間隔調整手段は、前記複数の接触部のそれぞれの傾きおよび、前記複数の接触部同士の間隔のうちの少なくとも１つを調整可能に設けられていることを特徴とする離間装置。
【請求項２】
フレームに貼付された接着シート上の板状部材に少なくとも３方向の張力を付与して、前記板状部材から形成される複数の片状体の相互間隔を広げる離間方法であって、
第１支持手段で前記フレームを支持する工程と、
第２支持手段で前記接着シートを介して前記板状部材を支持する第２支持工程と、
前記第１支持手段および前記第２支持手段を相対移動させて前記接着シートに張力を付与し、前記複数の片状体の相互間隔を広げる間隔調整工程と、
付与された張力を前記接着シートの領域別に調整することで、前記複数の片状体の相互間隔を調整する工程とを備え、
前記第２支持工程は、前記接着シートに複数の接触部を接触させ、
前記間隔調整工程は、前記複数の接触部のそれぞれの傾きおよび、前記複数の接触部同士の間隔のうちの少なくとも１つを調整することを特徴とする離間方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、離間装置および離間方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造工程において、半導体ウエハ（以下、単にウエハという場合がある）を所定の形状、所定のサイズに切断して複数の半導体チップ（以下、単にチップという場合がある）に個片化し、個片化した各チップの相互間隔を広げてからリードフレームや基板等の被搭載物上に搭載することが行われている。
【０００３】
チップ（片状体）の相互間隔を広げる離間方法としては、フィルム（接着シート）を介してフレームと一体化されたウェハ（板状部材）を支持するフレーム支持手段（支持手段）と、フィルム面支持機構（離間テーブル）とを相対移動させることが知られている（例えば、特許文献１参照）。このようなチップの相互間隔を広げる方法では、例えば＋Ｘ軸方向、−Ｘ軸方向、＋Ｙ軸方向、−Ｙ軸方向の４方向の張力を接着シートに付与し、例えば最外周に位置するチップが所定の位置に達したことを検知手段が検知することで間隔を広げる動作が完了する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−２０４７４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載されたような従来の方法では、接着シートには上記４方向に加え、それらの合成方向すなわち、＋Ｘ軸方向と＋Ｙ軸方向との合成方向、＋Ｘ軸方向と−Ｙ軸方向との合成方向、−Ｘ軸方向と＋Ｙ軸方向との合成方向、−Ｘ軸方向と−Ｙ軸方向との合成方向にも張力が付与される。その結果、内側のチップの間隔と外側のチップの間隔とに違いが生じる。しかし、このような間隔の違いは極めて微小なため、各チップは、均等に間隔が広げられたものとされ、計算で導き出される位置（以下、理論上の位置という場合がある）を基準として搬送装置やピックアップ装置等の搬送手段によって搬送され、被搭載物上に搭載されて製造物が形成される。その結果、当該製造物におけるチップと被搭載物との相対位置関係が微妙にずれてしまう場合が生じ、ワイヤボンディングの接続位置がずれたり、チップと被搭載物との端子同士の位置がずれたりして、それらの導通が取れなくなり、当該製造物の歩留りを低下させてしまうという不都合を生じる。なお、このような課題は、半導体装置の製造に係るだけでなく、例えば緻密な機械部品や微細な装飾品等においても発生し得る。
【０００６】
本発明の目的は、板状部材から形成される複数の片状体の相互間隔を広げたときに、各片状体の位置が理論上の位置からずれてしまうことを極力防止することができる離間装置および離間方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するために、本発明の離間装置は、フレームに貼付された接着シート上の板状部材に少なくとも３方向の張力を付与して、前記板状部材から形成される複数の片状体の相互間隔を広げる離間装置であって、前記フレームを支持する第１支持手段と、前記接着シートを介して前記板状部材を支持する第２支持手段と、前記第１支持手段および前記第２支持手段を相対移動させて前記接着シートに張力を付与し、前記複数の片状体の相互間隔を広げる離間手段と、前記離間手段によって付与された張力を前記接着シートの領域別に調整可能に設けられ、前記複数の片状体の相互間隔を調整する間隔調整手段とを備え、前記第２支持手段は、前記接着シートに接触可能な複数の接触部を備え、前記間隔調整手段は、前記複数の接触部のそれぞれの傾きおよび、前記複数の接触部同士の間隔のうちの少なくとも１つを調整可能に設けられている、という構成を採用している。
【０００８】
この際、本発明の離間装置では、前記第２支持手段は、単数または複数のエッジ部を備え、前記間隔調整手段は、前記第１支持手段の傾き、前記エッジ部の傾き、前記複数のエッジ部同士の相対高さ、および前記複数のエッジ部同士の間隔のうちの少なくとも１つを調整可能に設けられていることが好ましい。
【０００９】
一方、本発明の離間方法は、フレームに貼付された接着シート上の板状部材に少なくとも３方向の張力を付与して、前記板状部材から形成される複数の片状体の相互間隔を広げる離間方法であって、第１支持手段で前記フレームを支持する工程と、第２支持手段で前記接着シートを介して前記板状部材を支持する第２支持工程と、前記第１支持手段および前記第２支持手段を相対移動させて前記接着シートに張力を付与し、前記複数の片状体の相互間隔を広げる間隔調整工程と、付与された張力を前記接着シートの領域別に調整することで、前記複数の片状体の相互間隔を調整する工程とを備え、前記第２支持工程は、前記接着シートに複数の接触部を接触させ、前記間隔調整工程は、前記複数の接触部のそれぞれの傾きおよび、前記複数の接触部同士の間隔のうちの少なくとも１つを調整することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
以上のような本発明によれば、接着シートの張力を領域別に調整することにより片状体の相互間隔を調整するため、当該相互間隔を緻密に調整することができ、各片状体の位置が理論上の位置からずれてしまうことを極力防止することができる。
また、間隔調整手段が第１支持手段の傾き、エッジ部の傾き、複数のエッジ部同士の相対高さ、および複数のエッジ部同士の間隔のうちの少なくとも１つを調整可能にすれば、第１および第２支持手段の一方または両方で片状体の相互間隔を調整することができるので、当該相互間隔をさらに緻密に調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】（Ａ）は本発明の一実施形態に係る離間装置の部分断面側面図。（Ｂ）は（Ａ）の平面図。
【図２】（Ａ）〜（Ｄ）は図１の離間装置の動作説明図。
【図３】（Ａ）〜（Ｃ）は図１の離間装置の動作説明図。
【図４】本発明の変形例に係る離間装置の平面図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態において、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向であって図１中紙面に直交する手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１３】
図１において、離間装置１０は、フレームとしてのリングフレームＲＦに貼付された接着シートＡＳ上の板状部材としての四角形のウエハＷＦに＋Ｘ軸方向、−Ｘ軸方向、＋Ｙ軸方向、−Ｙ軸方向の４方向の張力を付与して、ウエハＷＦから形成される複数の片状体としてのチップＣＰの相互間隔を広げる離間装置であって、リングフレームＲＦを支持する第１支持手段２０と、接着シートＡＳを介してウエハＷＦを支持する第２支持手段３０と、第１支持手段２０および第２支持手段３０を相対移動させて接着シートＡＳに張力を付与し、複数のチップＣＰの相互間隔を広げる離間手段である駆動機器としての直動モータ４０Ａ〜４０Ｄと、直動モータ４０Ａ〜４０Ｄによって付与された張力を接着シートＡＳの領域別に調整可能に設けられ、複数のチップＣＰの相互間隔を調整する間隔調整手段５０とを備え、その全体がベースプレート６０に支持されている。なお、ウエハＷＦは、切断刃や加圧水等のウエハ切断手段によりチップＣＰに個片化されるか、レーザ光や薬液等のウエハ脆弱化手段によりチップＣＰに個片化可能とされ、接着シートＡＳを介してリングフレームＲＦに支持されて一体物ＷＫとされている。また、接着シートＡＳは、ウエハＷＦが貼付された被着体貼付領域を囲む多角形の包囲領域ＡＣ（図２（Ａ）参照）の各頂部ＡＰからそれぞれ接着シートＡＳの外縁方向に延びて、当該包囲領域ＡＣに対して各張力方向の合成方向に張力が付与されることを防止する不干渉切込ＣＵが形成され、包囲領域ＡＣの各辺からそれぞれ＋Ｘ軸方向、−Ｘ軸方向、＋Ｙ軸方向、−Ｙ軸方向に延びる引張領域ＡＬが形成されている。
【００１４】
第１支持手段２０は、それぞれ３体ずつ設けられた直動モータ４０Ａ〜４０Ｄの出力軸４１にボールジョイント２５を介して支持された４体の支持部材２１Ａ〜２１Ｄを備えている。各支持部材２１Ａ〜２１Ｄは、下支持部材２２Ａ〜２２Ｄと、各下支持部材２２Ａ〜２２Ｄそれぞれに対し、軸２３Ａ〜２３Ｄ（２３Ｂ、２３Ｄは不図示）を中心に図示しない駆動機器によって開閉可能とされた上支持部材２４Ａ〜２４Ｄとを備えている。
【００１５】
第２支持手段３０は、同形状に形成された４体の離間テーブル３１Ａ〜３１Ｄを備えている。離間テーブル３１Ａ〜３１Ｄは、平面視すなわち上方から見た外形が台形のプレート３２と、プレート３２における外側（台形の下底側）の端縁に沿って設けられ、当該端縁から立設したエッジ部３３とを備え、その全体がエッジ部３３により平面視四角形の外形となるように配置されている。
【００１６】
直動モータ４０Ａ〜４０Ｄは、その本体に設けられた球状支持部４２を介して、ベースプレート６０に形成されたソケット部６１に回転可能に保持されている。各直動モータ４０Ａ〜４０Ｄは、対応する支持部材２１Ａ〜２１Ｄごとに３体ずつ設けられ、各支持部材２１Ａ〜２１Ｄそれぞれを任意の角度に傾斜可能になっている。
【００１７】
間隔調整手段５０は、＋Ｘ軸方向、−Ｘ軸方向、＋Ｙ軸方向、−Ｙ軸方向にそれぞれ延設された駆動機器としてのリニアモータ５１Ａ〜５１Ｄと、各リニアモータ５１Ａ〜５１Ｄそれぞれのスライダ５２にボールジョイント５３を介して支持され、その出力軸５５でボールジョイント５４を介して離間テーブル３１Ａ〜３１Ｄを支持する駆動機器としての直動モータ５６Ａ〜５６Ｄとを備えている。各直動モータ５６Ａ〜５６Ｄは、対応する離間テーブル３１Ａ〜３１Ｄごとに３体ずつ設けられ、各離間テーブル３１Ａ〜３１Ｄそれぞれを任意の角度に傾斜可能になっている。
【００１８】
以上の離間装置１０において、ウエハＷＦから形成される複数のチップＣＰの相互間隔を広げる手順を説明する。
先ず、各部材が初期位置で待機する図１中実線で示す離間装置１０に対し、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が一体物ＷＫを搬送し、当該一体物ＷＫが各下支持部材２２Ａ〜２２Ｄ上に配置されるように載置する。このとき、光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段と、一体物ＷＫを移動可能な図示しない位置決め手段とが共動し、ウエハＷＦと離間テーブル３１Ａ〜３１Ｄとの位置決めを行う。その後第１支持手段２０が図示しない駆動機器を駆動し、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、接着シートＡＳを介してリングフレームＲＦを下支持部材２２Ａ〜２２Ｄと上支持部材２４Ａ〜２４Ｄとで挟み込む。
【００１９】
次に、離間手段が直動モータ４０Ａ〜４０Ｄを駆動し、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、支持部材２１Ａ〜２１Ｄを下降させると、図２（Ｂ）に示すように、４つの引張領域ＡＬによって接着シートＡＳにおける包囲領域ＡＣに＋Ｘ軸方向、−Ｘ軸方向、＋Ｙ軸方向、−Ｙ軸方向の４方向の張力が付与されてチップＣＰの相互間隔が広がる。そして、最外周に位置するチップＣＰが所定の位置に達したことを光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段が検知すると、離間手段が直動モータ４０Ａ〜４０Ｄの駆動を停止する。
【００２０】
ここで、接着シートＡＳに不干渉切込ＣＵが形成されているため、各張力方向の合成方向の張力が包囲領域ＡＣに付与されることを極力抑制することができるが、それでもなおチップＣＰの相互間隔に微妙に違いが生じ、各チップＣＰを理論上の位置に配置することができないことがある。そこで、図示しない検知手段の検知結果を基に、間隔調整手段５０がリニアモータ５１Ａ〜５１Ｄや直動モータ５６Ａ〜５６Ｄを駆動し、離間テーブル３１Ａ〜３１Ｄを左右方向または前後方向に移動させてエッジ部３３同士の間隔を調整したり、離間テーブル３１Ａ〜３１Ｄを傾けてエッジ部３３同士の傾きを調整したりすることにより、チップＣＰの相互間隔を調整することができる。また、直動モータ４０Ａ〜４０Ｄそれぞれを間隔調整手段５０として機能させ、第１支持手段２０の傾きを調整することもできる。この場合、間隔調整手段５０が各直動モータ４０Ａ〜４０Ｄを駆動し、支持部材２１Ａ〜２１Ｄを介して一体物ＷＫの傾きを調整することにより、チップＣＰの相互間隔を調整する。
【００２１】
例えば、各チップＣＰが図２（Ｂ）で示すように理論上の位置に配置された場合と比べて、チップＣＰの相互間隔が図２（Ｃ）に示すように＋Ｘ軸方向に広がらなかった場合、間隔調整手段５０がリニアモータ５１Ａを駆動し、図２（Ｄ）に示すように、離間テーブル３１Ａを左方に移動させて調整動作を行う。これにより、左方の引張領域ＡＬに＋Ｘ軸方向の張力がさらに付与されてチップＣＰが左方に移動し、各チップＣＰが理論上の位置に配置される。
また、各チップＣＰが理論上の位置に配置された場合と比べて、図３（Ａ）に示すように、チップＣＰの相互間隔が＋Ｙ軸方向および−Ｙ軸方向に広がらなかった場合、間隔調整手段５０がリニアモータ５１Ｂ、５１Ｄを駆動し、図３（Ｂ）に示すように、離間テーブル３１Ｂを後方に移動させるとともに、離間テーブル３１Ｄを前方に移動させて調整動作を行う。これにより、後方および前方の引張領域ＡＬに−Ｙ軸方向および＋Ｙ軸方向の張力がさらに付与され、各チップＣＰが理論上の位置に配置される。
また、各チップＣＰが理論上の位置に配置された場合と比べて、図３（Ｃ）に示すように、チップＣＰの相互間隔が＋Ｘ軸方向と−Ｙ軸方向との合成方向に広がりすぎた場合、間隔調整手段５０が離間テーブル３１Ａ、３１Ｂそれぞれに対応する３体の直動モータ５６Ａ、５６Ｂを適宜に駆動し、離間テーブル３１Ａの後ろ側および、離間テーブル３１Ｂの左側が下がるように移動させて調整動作を行う。なお、図３（Ｃ）に示すような場合、間隔調整手段５０が直動モータ５６Ａ〜５６Ｄを駆動し、エッジ部３３の上辺で形成される面が−Ｘ軸方向と＋Ｙ軸方向との合成方向から＋Ｘ軸方向と−Ｙ軸方向との合成方向に傾斜するように、離間テーブル３１Ａ〜３１Ｄを移動させて調整動作を行ってもよい。これにより、接着シートＡＳにおける＋Ｘ軸方向と−Ｙ軸方向との合成方向の領域の張力が緩和されて、チップＣＰの相互間隔が当該合成方向の反対方向に狭まり、各チップＣＰが理論上の位置に配置される。
なお、上記のような調整動作は、各直動モータ４０Ａ〜４０Ｄを駆動して行ってもよいし、各直動モータ４０Ａ〜４０Ｄと５１Ａ〜５１Ｄと５６Ａ〜５６Ｄとを共動させて行ってもよい。
【００２２】
その後、搬送装置やピックアップ装置等の図示しない搬送手段が理論上の位置を基準として各チップＣＰを保持して搬送し、リードフレームや基板等の被搭載物上に搭載する。その後、全てのチップＣＰの搬送が終了すると、第１支持手段２０、離間手段、および間隔調整手段５０が各駆動機器を駆動し、各構成部材を初期位置に復帰させた後、チップＣＰが取り外された一体物ＷＫを搬送手段が回収し、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００２３】
以上のような実施形態によれば、接着シートＡＳの張力を領域別に調整することによりチップＣＰの相互間隔を調整するため、当該相互間隔を緻密に調整することができ、各チップＣＰの位置が理論上の位置からずれてしまうことを極力防止することができる。
【００２４】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質等を限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質等の限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。
【００２５】
第１支持手段２０は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段や、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段や、接着剤、磁力等で一体物ＷＫを支持する構成でもよい。
【００２６】
離間テーブル３１Ａ〜３１Ｄは、エッジ部３４、３５、３６が図４（Ａ）〜（Ｄ）に示すような円形や三角形や五角形等となるように形成された離間テーブル３７、３８、３９としてもよいし、五角形以上の形状や楕円形や幾何学形状となるように形成されたものでもよい。
離間テーブル３１Ａ〜３１Ｄ、３７、３８、３９は、接着シートＡＳに面接触可能な支持面を備え、当該支持面で接着シートＡＳを介してウエハＷＦを支持してもよい。
第２支持手段３０は、エッジ部３３、３４、３５、３６が連続する筒状に形成された単体のテーブルであってもよい。この場合、間隔調整手段は、単数のエッジ部の傾きを調整することとなる。
【００２７】
離間手段は、第１支持手段２０を固定しておき第２支持手段３０を移動させてもよいし、第１支持手段２０および第２支持手段３０の両方を移動させてもよい。
【００２８】
間隔調整手段５０は、直動モータ５６Ａ〜５６Ｄを駆動し、離間テーブル３１Ａ〜３１Ｄを個別に上下方向に移動させてエッジ部３３の相対高さを調整してもよい。
間隔調整手段５０は、各支持部材２１Ａ〜２１Ｄの傾き、エッジ部３３の傾き、エッジ部３３の相対高さ、およびエッジ部３３の間隔のうちの複数を組み合わせて調整してもよいし、いずれか１つだけを調整するようにしてもよい。
間隔調整手段の調整動作の結果、チップＣＰの面位置が上下方向にずれた場合、当該チップＣＰの面位置を駆動機器を介して所定の位置に移動する面位置調整手段を設けてもよい。
【００２９】
離間装置１０は、カッター刃、レーザカッター、熱カッター、エアカッター、圧縮水カッター等の切断手段を備え、図２（Ａ）、図４（Ｂ）、（Ｃ）に示すように、被着体貼付領域を囲む四角形、三角形、五角形の包囲領域ＡＣ、ＡＣ１、ＡＣ２の各頂部ＡＰからそれぞれ接着シートＡＳの外縁方向に延びる１／４円状、１／３円状、１／５円状の不干渉切込ＣＵ、ＣＵ１、ＣＵ２を形成し、包囲領域ＡＣ、ＡＣ１、ＡＣ２に張力を付与する４つ、３つ、５つの引張領域ＡＬ、ＡＬ１、ＡＬ２を形成してもよいし、５つ以上の不干渉切込を形成してもよい。このように、引張領域の数に合わせてウエハＷＦに付与する張力の方向と数とが変更され、ウエハＷＦに付与する張力の方向は、３方向でもよいし、５方向以上でもよい。
切断手段は、包囲領域ＡＣ、ＡＣ１、ＡＣ２の各頂部ＡＰからそれぞれ接着シートＡＳの外縁方向に延びるスリット状の切込からなる不干渉切込を形成してもよい。
切断手段は、不干渉切込ＣＵ、ＣＵ１、ＣＵ２を構成する各辺や、スリット状の不干渉切込を曲線状や折線状等の切込で形成してもよい。
【００３０】
包囲領域は、少なくとも３個所の頂部ＡＰを最短距離で繋いだ各直線で形成される多角形の内側の領域であり、被着体貼付領域を囲む多角形形状であればどのような形状でもよい。
包囲領域の形状は、離間テーブル３１Ａ〜３１Ｄ、３７、３８、３９全体の平面形状と相似関係にある形状でもよいし、相似関係にない形状でもよく、被着体貼付領域と相似関係にある形状でもよいし、相似関係にない形状でもよく、被着体貼付領域を囲む多角形の形状であればなんら限定されることはなく、被着体貼付領域に対して張力を付与する方向と数によってその形状を決定することができる。
板状部材や片状体の形状は、例えば円形、楕円形、三角形や五角形以上の多角形等、その他の形状であってもよい。
フレームは、リングフレーム以外に、環状でない（外周が繋がっていない）フレームや、円形以外に三角形や四角形等の多角形や楕円形でもよい。
【００３１】
また、本発明における接着シートＡＳ、板状部材、および片状体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、それらの形状は、円形、楕円形、三角形や五角形または六角形以上の多角形、その他の形状であってもよい。接着シートＡＳは、図４（Ａ）、（Ｄ）に示すように、不干渉切込ＣＵ、ＣＵ１、ＣＵ２が形成されていなくてもよいし、各引張領域ＡＬ、ＡＬ１、ＡＬ２を繋ぐ接着シート部分がなくてもよい。また、接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。さらに、板状部材としては、例えば、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品等も対象とすることができ、片状体は、それらが個片化されたものであればよい。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
【００３２】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、第１支持手段は、フレームを支持可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００３３】
１０…離間装置
２０…第１支持手段
３０…第２支持手段
３３、３４、３５、３６…エッジ部
４０Ａ、４０Ｂ、４０Ｃ、４０Ｄ…直動モータ（離間手段）
５０…間隔調整手段
ＡＳ…接着シート
ＣＰ…チップ（片状体）
ＲＦ…リングフレーム（フレーム）
ＷＦ…ウエハ（板状部材）
【図１】
0006393575.tif 000002
【図２】
0006393575.tif 000003
【図３】
0006393575.tif 000004
【図４】
0006393575.tif 000005