(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板収納容器を開閉するためのロードポート装置であって、
前記基板収納容器は、
その内部で基板を収容可能な、かつ、その前面に開口を有する筐体と、
前記筐体の内部に設けられ、基板の下面と接触している状態で、基板を略水平姿勢で支持する棚部材と、
前記筐体の内部に設けられ、基板の端部を支持する筐体用支持部材と、
前記筐体に着脱して前記開口を開閉する蓋と、
前記蓋の裏面に取り付けられ、基板の端部を支持する蓋用支持部材と、
を備え、
前記蓋が前記開口を閉塞しているときには、前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とが基板を第１位置で支持し、
前記開口が開放されているときには、前記棚部材は、前記第１位置よりも下方で、かつ、前記第１位置よりも前記開口に近い第２位置で基板を支持可能であり、
前記ロードポート装置は、
前記筐体に対して前記蓋を移動させることによって、前記開口を、前記蓋と向かい合ったまま開放された半開状態にする蓋位置調整部と、
前記筐体内の基板を前記開口に向かって移動させることよって、基板の位置を補正する基板位置補正部と、
前記蓋位置調整部および前記基板位置補正部を制御して、前記開口が前記半開状態であるときに前記筐体内の基板を前記開口に向かって移動させる制御部と、
を備え、
前記基板位置補正部が基板の位置を補正するとき、前記蓋は、基板が前記第２位置に移動することを妨げず、かつ、基板が前記棚部材から脱落することを防止するロードポート装置。
【請求項２】
基板収納容器を開閉するためのロードポート装置であって、
前記基板収納容器は、
その内部で基板を収容可能な、かつ、その前面に開口を有する筐体と、
前記筐体の内部に設けられ、基板の下面と接触している状態で、基板を略水平姿勢で支持する棚部材と、
前記筐体の内部に設けられ、基板の端部を支持する筐体用支持部材と、
前記筐体に着脱して前記開口を開閉する蓋と、
前記蓋の裏面に取り付けられ、基板の端部を支持する蓋用支持部材と、
を備え、
前記蓋が前記開口を閉塞しているときには、前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とが基板を第１位置で支持し、
前記開口が開放されているときには、前記棚部材は、前記第１位置よりも下方で、かつ、前記第１位置よりも前記開口に近い第２位置で基板を支持可能であり、
前記ロードポート装置は、
前記筐体に対して前記蓋を移動させることによって、前記開口を、前記蓋と向かい合ったまま開放された半開状態にする蓋位置調整部と、
前記筐体内の基板を前記開口に向かって移動させることよって、基板の位置を補正する基板位置補正部と、
前記蓋位置調整部および前記基板位置補正部を制御して、前記開口が前記半開状態であるときに前記筐体内の基板を前記開口に向かって移動させる制御部と、
を備え、
前記蓋が前記開口と向かい合い、かつ、前記蓋用支持部材が前記第２位置にある基板の端部と当接するときの前記蓋の位置を基準位置として、
前記基板位置補正部が基板の位置を補正するとき、前記蓋位置調整部は前記蓋を前記基準位置に位置させるロードポート装置。
【請求項３】
基板収納容器を開閉するためのロードポート装置であって、
前記基板収納容器は、
その内部で基板を収容可能な、かつ、その前面に開口を有する筐体と、
前記筐体の内部に設けられ、基板の下面と接触している状態で、基板を略水平姿勢で支持する棚部材と、
前記筐体の内部に設けられ、基板の端部を支持する筐体用支持部材と、
前記筐体に着脱して前記開口を開閉する蓋と、
前記蓋の裏面に取り付けられ、基板の端部を支持する蓋用支持部材と、
を備え、
前記蓋が前記開口を閉塞しているときには、前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とが基板を第１位置で支持し、
前記開口が開放されているときには、前記棚部材は、前記第１位置よりも下方で、かつ、前記第１位置よりも前記開口に近い第２位置で基板を支持可能であり、
前記ロードポート装置は、
前記筐体に対して前記蓋を移動させることによって、前記開口を、前記蓋と向かい合ったまま開放された半開状態にする蓋位置調整部と、
前記筐体内の基板を前記開口に向かって移動させることよって、基板の位置を補正する基板位置補正部と、
前記蓋位置調整部および前記基板位置補正部を制御して、前記開口が前記半開状態であるときに前記筐体内の基板を前記開口に向かって移動させる制御部と、
を備え、
前記蓋が前記開口と向かい合い、かつ、前記蓋用支持部材が前記第２位置にある基板の端部と当接するときの前記蓋の位置を基準位置として、
前記基板位置補正部が基板の位置を補正するとき、前記蓋位置調整部は前記基準位置よりも前記開口から遠い位置で前記蓋を前記開口と向かい合わせ、
前記筐体内の基板の位置を補正した後、前記蓋を前記基準位置に移動させることによって前記筐体内の基板を前記第２位置に揃えるロードポート装置。
【請求項４】
基板収納容器を開閉するためのロードポート装置であって、
前記基板収納容器は、
その内部で基板を収容可能な、かつ、その前面に開口を有する筐体と、
前記筐体の内部に設けられ、基板の下面と接触している状態で、基板を略水平姿勢で支持する棚部材と、
前記筐体の内部に設けられ、基板の端部を支持する筐体用支持部材と、
前記筐体に着脱して前記開口を開閉する蓋と、
前記蓋の裏面に取り付けられ、基板の端部を支持する蓋用支持部材と、
を備え、
前記蓋が前記開口を閉塞しているときには、前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とが基板を第１位置で支持し、
前記開口が開放されているときには、前記棚部材は、前記第１位置よりも下方で、かつ、前記第１位置よりも前記開口に近い第２位置で基板を支持可能であり、
前記ロードポート装置は、
前記筐体に対して前記蓋を移動させることによって、前記開口を、前記蓋と向かい合ったまま開放された半開状態にする蓋位置調整部と、
前記筐体内の基板を前記開口に向かって移動させることよって、基板の位置を補正する基板位置補正部と、
前記蓋位置調整部および前記基板位置補正部を制御して、前記開口が前記半開状態であるときに前記筐体内の基板を前記開口に向かって移動させる制御部と、
を備え、
前記基板位置補正部は、前記筐体を振動させる振動機構、前記筐体を傾斜させる傾斜機構、および、前記筐体に衝撃を与える衝撃機構の少なくともいずれかを含むロードポート装置。
【請求項５】
基板収納容器を開閉するためのロードポート装置であって、
前記基板収納容器は、
その内部で基板を収容可能な、かつ、その前面に開口を有する筐体と、
前記筐体の内部に設けられ、基板の下面と接触している状態で、基板を略水平姿勢で支持する棚部材と、
前記筐体の内部に設けられ、基板の端部を支持する筐体用支持部材と、
前記筐体に着脱して前記開口を開閉する蓋と、
前記蓋の裏面に取り付けられ、基板の端部を支持する蓋用支持部材と、
を備え、
前記蓋が前記開口を閉塞しているときには、前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とが基板を第１位置で支持し、
前記開口が開放されているときには、前記棚部材は、前記第１位置よりも下方で、かつ、前記第１位置よりも前記開口に近い第２位置で基板を支持可能であり、
前記ロードポート装置は、
前記筐体に対して前記蓋を移動させることによって、前記開口を、前記蓋と向かい合ったまま開放された半開状態にする蓋位置調整部と、
前記筐体内の基板を前記開口に向かって移動させることよって、基板の位置を補正する基板位置補正部と、
前記蓋位置調整部および前記基板位置補正部を制御して、前記開口が前記半開状態であるときに前記筐体内の基板を前記開口に向かって移動させる制御部と、
を備え、
前記基板位置補正部が基板の位置を補正するとき、前記制御部は前記筐体の動きと前記蓋の動きを同期させるロードポート装置。
【請求項６】
基板収納容器を開閉するためのロードポート装置であって、
前記基板収納容器は、
その内部で基板を収容可能な、かつ、その前面に開口を有する筐体と、
前記筐体の内部に設けられ、基板の下面と接触している状態で、基板を略水平姿勢で支持する棚部材と、
前記筐体の内部に設けられ、基板の端部を支持する筐体用支持部材と、
前記筐体に着脱して前記開口を開閉する蓋と、
前記蓋の裏面に取り付けられ、基板の端部を支持する蓋用支持部材と、
を備え、
前記蓋が前記開口を閉塞しているときには、前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とが基板を第１位置で支持し、
前記開口が開放されているときには、前記棚部材は、前記第１位置よりも下方で、かつ、前記第１位置よりも前記開口に近い第２位置で基板を支持可能であり、
前記ロードポート装置は、
前記筐体に対して前記蓋を移動させることによって、前記開口を、前記蓋と向かい合ったまま開放された半開状態にする蓋位置調整部と、
前記筐体内の基板を前記開口に向かって移動させることよって、基板の位置を補正する基板位置補正部と、
前記蓋位置調整部および前記基板位置補正部を制御して、前記開口が前記半開状態であるときに前記筐体内の基板を前記開口に向かって移動させる制御部と、
前記筐体内の基板の位置を検出する基板検出部と、
を備え、
前記制御部は、前記基板検出部の検出結果に基づいて前記筐体内の基板の少なくともいずれかが前記第２位置にないと判定した場合、基板の位置を補正するロードポート装置。
【請求項７】
基板収納容器を開閉するためのロードポート装置であって、
前記基板収納容器は、
その内部で基板を収容可能な、かつ、その前面に開口を有する筐体と、
前記筐体の内部に設けられ、基板の下面と接触している状態で、基板を略水平姿勢で支持する棚部材と、
前記筐体の内部に設けられ、基板の端部を支持する筐体用支持部材と、
前記筐体に着脱して前記開口を開閉する蓋と、
前記蓋の裏面に取り付けられ、基板の端部を支持する蓋用支持部材と、
を備え、
前記蓋が前記開口を閉塞しているときには、前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とが基板を第１位置で支持し、
前記開口が開放されているときには、前記棚部材は、前記第１位置よりも下方で、かつ、前記第１位置よりも前記開口に近い第２位置で基板を支持可能であり、
前記ロードポート装置は、
前記筐体に対して前記蓋を移動させることによって、前記開口を、前記蓋と向かい合ったまま開放された半開状態にする蓋位置調整部と、
前記基板収納容器の外部に設けられ、前記筐体内の基板を前記開口に向かって移動させることよって、基板の位置を補正する基板位置補正部と、
前記蓋位置調整部および前記基板位置補正部を制御して、前記開口が前記半開状態であるときに前記筐体内の基板を前記開口に向かって移動させる制御部と、
を備えているロードポート装置。
【請求項８】
請求項１から７のいずれかに記載のロードポート装置を備えた基板処理装置。
【請求項９】
基板収納容器のローディング方法であって、
前記基板収納容器は、
その内部で基板を収容可能な、かつ、その前面に開口を有する筐体と、
前記筐体の内部に設けられ、基板の下面と接触している状態で、基板を略水平姿勢で支持する棚部材と、
前記筐体の内部に設けられ、基板の端部を支持する筐体用支持部材と、
前記筐体に着脱して前記開口を開閉する蓋と、
前記蓋の裏面に取り付けられ、基板の端部を支持する蓋用支持部材と、
を備え、
前記蓋が前記開口を閉塞しているときには、前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とが基板を第１位置で支持し、
前記開口が開放されているときには、前記棚部材は、前記第１位置よりも下方で、かつ、前記第１位置よりも前記開口に近い第２位置で基板を支持可能であり、
前記基板収納容器のローディング方法は、
前記開口を、前記蓋と向かい合ったまま開放された半開状態にする過程と、
前記開口が前記半開状態であるときに、基板位置補正部によって、前記筐体内の基板を前記開口に向かって移動させる補正過程と、
を備え、
前記補正過程では、前記蓋は、基板が前記第２位置に移動することを妨げず、かつ、基板が前記棚部材から脱落することを防止する基板収納容器のローディング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ、フォトマスク用のガラス基板、液晶表示装置用のガラス基板、光ディスク用の基板など（以下、単に「基板」と称する）を収容する基板収納容器に適用可能なロードポート装置および基板処理装置と、基板収納容器のローディング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板を２つの位置で支持可能な基板収納容器がある。この種の基板収納容器は、ＭＡＣ（Multi Application Carrier）とも呼ばれる。基板収納容器は、筐体と蓋と棚とクッションを備えている。筐体は基板を収容する。蓋は筐体に着脱する。棚とクッションは、筐体の内部に設けられる。クッションは基板を第１位置で支持する。棚は基板を第２位置で支持する。第２位置は、第１位置よりも下方であり、かつ、第１位置よりも開口に近い。蓋が筐体に取り付けられるとき、第２位置から第１位置に移動する。基板が第１位置にあるとき、基板収納容器を好適に輸送できる。蓋が筐体から離脱するとき、基板は第１位置から第２位置に移動する。基板が第２位置にあるとき、筐体から基板を好適に搬出できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−４９０９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、蓋が筐体から離脱するとき、基板がクッションから外れず、第２位置に適切に移動しない場合がある。その原因としては、クッションの表面に損傷が形成されたことや、クッションと基板との摩耗粉がクッションに堆積したことなどが考えられる。蓋が筐体から離脱しても基板が第２位置に移動しない場合、筐体から基板を適切に搬出することが困難となる。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、基板収納容器内の基板の位置を適切に補正できるロードポート装置と、基板処理装置と、基板収納容器のローディング方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、本発明は、基板収納容器を開閉するためのロードポート装置であって、前記基板収納容器は、その内部で基板を収容可能な、かつ、その前面に開口を有する筐体と、前記筐体の内部に設けられ、基板の下面と接触している状態で、基板を略水平姿勢で支持する棚部材と、前記筐体の内部に設けられ、基板の端部を支持する筐体用支持部材と、前記筐体に着脱して前記開口を開閉する前記蓋と、前記蓋の裏面に取り付けられ、基板の端部を支持する蓋用支持部材と、を備え、前記蓋が前記開口を閉塞しているときには、前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とが基板を第１位置で支持し、前記開口が開放されているときには、前記棚部材は、前記第１位置よりも下方で、かつ、前記第１位置よりも前記開口に近い第２位置で基板を支持可能であり、前記ロードポート装置は、前記筐体に対して前記蓋を移動させることによって、前記開口を、前記蓋と向かい合ったまま開放された半開状態にする蓋位置調整部と、前記筐体内の基板を前記開口に向かって移動させることよって、基板の位置を補正する基板位置補正部と、前記蓋位置調整部および前記基板位置補正部を制御して、前記開口が前記半開状態であるときに前記筐体内の基板を前記開口に向かって移動させる制御部と、を備えているロードポート装置である。
【０００７】
［作用・効果］本発明によれば、ロードポート装置は、蓋位置調整部と基板位置補正部と制御部とを備えているので、開口が半開状態であるときに基板収納容器内の基板を開口に向かって移動させることができる。これにより、筐体内の基板の位置を好適に補正できる。
【０００８】
なお、「基板の位置を補正する」とは、基板の位置を第２位置に変更する態様、および、基板の位置を第２位置以外の位置に変更する態様を含む。
【０００９】
本発明において、前記基板位置補正部が基板の位置を補正するとき、前記蓋は、基板が前記第２位置に移動することを妨げず、かつ、基板が前記棚部材から脱落することを防止することが好ましい。基板位置補正部は、基板の位置を効果的かつ安全に補正できる。
【００１０】
本発明において、前記蓋が前記開口と向かい合い、かつ、前記蓋用支持部材が前記第２位置にある基板の端部と当接するときの前記蓋の位置を基準位置として、前記基板位置補正部が基板の位置を補正するとき、前記蓋位置調整部は前記蓋を前記基準位置に位置させることが好ましい。蓋は、基板を第２位置に揃えることができる。また、基板の位置を補正することと、基板を第２位置に揃えることを、一挙同時に実行できる。
【００１１】
本発明において、前記蓋が前記開口と向かい合い、かつ、前記蓋用支持部材が前記第２位置にある基板の端部と当接するときの前記蓋の位置を基準位置として、前記基板位置補正部が基板の位置を補正するとき、前記蓋位置調整部は前記基準位置よりも前記開口から遠い位置で前記蓋を前記開口と向かい合わせ、前記筐体内の基板の位置を補正した後、前記蓋を前記基準位置に移動させることによって前記筐体内の基板を前記第２位置に揃えることが好ましい。基板位置補正部が基板の位置を補正するとき、蓋は基準位置よりも開口から遠い位置にあるので、筐体が蓋とぶつかることを一層確実に回避できる。
【００１２】
本発明において、前記基板位置補正部は、前記筐体を振動させる振動機構、前記筐体を傾斜させる傾斜機構、および、前記筐体に衝撃を与える衝撃機構の少なくともいずれかを含むことが好ましい。基板位置補正部は、基板を開口に向かって好適に移動させることができる。
【００１３】
本発明において、前記基板位置補正部が基板の位置を補正するとき、前記制御部は前記筐体の動きと前記蓋の動きを同期させることが好ましい。基板位置補正部は基板の位置を一層適切に補正できる。
【００１４】
本発明において、前記筐体内の基板の位置を検出する基板検出部を備え、前記制御部は、前記基板検出部の検出結果に基づいて前記筐体内の基板の少なくともいずれかが前記第２位置にないと判定した場合、基板の位置を補正することが好ましい。基板の位置の補正を適時に実行できる。
【００１５】
また、本発明は、上述したロードポート装置を備えた基板処理装置である。
【００１６】
［作用・効果］本発明に係る基板処理装置によれば、基板収納容器を好適にローディングできる。
【００１７】
また、本発明は、蓋と筐体とを備え、基板を第１位置と、前記第１位置よりも下方で、かつ、前記第１位置よりも前記筐体の開口に近い第２位置で支持可能な基板収納容器のローディング方法であって、前記開口を、前記蓋と向かい合ったまま開放された半開状態にする過程と、前記開口が前記半開状態であるときに前記筐体内の基板を前記開口に向かって移動させる過程と、を備えている基板収納容器のローディング方法である。
【００１８】
［作用・効果］本発明によれば、開口が半開状態であるときに基板収納容器内の基板を開口に向かって移動させることができる。これにより、筐体内の基板の位置を好適に補正できる。
【００１９】
なお、本明細書は、次のようなロードポート装置に係る発明も開示している。
【００２０】
（１）上述した発明に係るロードポート装置において、前記筐体を載置可能なステージを備え、前記蓋位置調整部は、前記ステージに載置された前記筐体に対して前記蓋を移動させ、前記基板位置補正部は、前記ステージに載置された前記筐体内の基板の位置を補正するロードポート装置。
【００２１】
前記（１）に記載の発明によれば、ステージを備えているので、蓋位置調整部は蓋の位置を好適に調整できる。また、基板位置補正部は、筐体内の基板の位置を好適に補正できる。
【００２２】
（２）上述した発明に係るロードポート装置において、前記基板位置補正部は、前記筐体を動かすことによって、前記筐体内の基板を前記開口に向かって移動させるロードポート装置。
【００２３】
前記（２）に記載の発明によれば、基板位置補正部は、基板の位置を好適に補正できる。
【００２４】
（３）上述した発明に係るロードポート装置において、前記ロードポート装置は、さらに、前記筐体の動きに追従して伸縮し、前記開口が開放されている前記筐体内の雰囲気を清浄に保つ遮蔽部材を備えているロードポート装置。
【００２５】
前記（３）に記載の発明によれば、基板の位置を補正するときであっても、基板が汚損されることを好適に防止できる。
【発明の効果】
【００２６】
この発明に係るロードポート装置、基板処理装置および基板収納容器のローディング方法によれば、基板収納容器内の基板の位置を適切に補正できる。よって、基板収納容器内の基板を好適に搬出できる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】図１（ａ）は蓋が筐体に装着されているときの基板収納容器の内部を示す斜視図であり、図１（ｂ）は蓋が筐体から離脱しているときの基板収納容器の内部を示す斜視図である。
【図２】図２（ａ）は筐体２の内部を示す側面図であり、図２（ｂ）は筐体２の内部を示す側面図である。
【図３】図３（ａ）は実施例に係る基板処理装置の側面図であり、図３（ｂ）は蓋位置調整部の側面図であり、図３（ｃ）は基板検出部の側面図である。
【図４】基板収納容器の側面図である。
【図５】マッピングセンサの配置を示す平面図である。
【図６】図６（ａ）、６（ｃ）は、筐体と基板検出部の側面図である。
【図７】実施例に係るロードポート装置の制御ブロック図である。
【図８】実施例に係るローディング処理の手順を示すフローチャートである。
【図９】図９（ａ）乃至９（ｉ）は、ロードポート装置の動きを模式的に示す図である。
【図１０】変形実施例に係るローディング処理の手順を示すフローチャートである。
【図１１】図１１（ａ）乃至１１（ｃ）は、ロードポート装置の動きを模式的に示す図である。
【図１２】図１２（ａ）、１２（ｂ）は、変形実施例に係るロードポート装置の側面図である。
【図１３】図１３（ａ）、１３（ｂ）は、変形実施例に係るロードポート装置の側面図である。
【図１４】図１４（ａ）、１４（ｂ）は、変形実施例に係るロードポート装置の側面図である。
【図１５】変形実施例に係る隔壁の構造を説明するための模式的な断面図である。
【図１６】隔壁と筐体との位置関係を説明するための模式的な側面図である。
【図１７】隔壁と筐体との位置関係を説明するための模式的な側面図である。
【図１８】隔壁と筐体との位置関係を説明するための模式的な側面図である。
【図１９】隔壁と筐体との位置関係を説明するための模式的な側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
まず、本実施例に適用される基板収納容器の構成を説明し、続いて、実施例に係るロードポート装置および基板処理装置の構成を説明する。
【００２９】
１．基板収納容器の構成
図１（ａ）、１（ｂ）を参照する。基板収納容器１の外形は略直方体である。基板収納容器１は、複数の基板Ｗを収容可能である。「基板Ｗ」は、例えば、半導体ウエハ、フォトマスク用のガラス基板、液晶表示装置用のガラス基板、プラズマディスプレイ用の基板、光ディスク用の基板、磁気ディスク用の基板、光磁気ディスク用の基板などである。
【００３０】
基板収納容器１は筐体２と蓋３とを備えている。蓋３は筐体２の前面に取り付けられる。図１（ｂ）に示すように、筐体２の前面には開口Ａが形成されている。蓋３は開口Ａを開閉する。蓋３が筐体２に着脱するとき、蓋３は、開口Ａと向かい合ったまま、開口Ａに対して略垂直な前後方向に移動する。前後方向は略水平である。筐体２の内部には、基板Ｗを収容するための空間Ｓが形成されている。基板収納容器１は少なくとも１枚の基板Ｗを収納可能に構成されている。基板収納容器１は標準的には２５枚の基板Ｗを収納するが、以下では便宜上、基板Ｗを３枚まで収納可能な基板収納容器１を例にとって説明する。
【００３１】
図２（ａ）、２（ｂ）を参照する。筐体２は、上板部４と底板部５と右側壁部６と左側壁部７と後壁部８とを有する。各部４乃至８は、上述した空間Ｓを画定する。図２（ａ）では右側壁部６と左側壁部７の図示を省略している。図２（ｂ）では後壁部８の図示を省略している。
【００３２】
図２（ａ）、２（ｂ）に示すように、上板部４と底板部５と右側壁部６と左側壁部７の前方向側の端面４ａ、５ａ、６ａ、７ａは、開口Ａを画定する。本命書では、端面４ａ、５ａ、６ａ、７ａを、適宜に「開口端面２ａ」と総称する（図１（ａ）、図１（ｂ）参照）。
【００３３】
本明細書では、前後方向のうち、後壁部８から開口Ａに向かう方向を「前方向」と呼び、その反対方向を「後方向」と呼ぶ。前方向は、筐体２内の基板Ｗが開口Ａに近づく方向である。また、本明細書では、前方向から筐体２を見たときに、左側壁部７から右側壁部６に向かう方向を「右方向」と呼び、その反対方向を「左方向」と呼ぶ。
【００３４】
筐体２の内部には、棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃが設けられている。棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃは、上下方向に並ぶように配置されている。各棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃは、基板Ｗを略水平姿勢で下方向から支持する。各棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃは、基板Ｗの下面とのみ接触する。なお、本明細書において基板Ｗの下面とは基板Ｗの下部周縁を含む概念である。以下では、棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃを特に区別しない場合には、単に「棚部材１１」と呼ぶ。後述するように、各棚部材１１には基板Ｗが１枚ずつ載置される。後述する保持アーム４７ａは各棚部材１１に対して基板Ｗを搬入および基板Ｗを搬出する。したがって、各棚部材１１の間には保持アーム４７ａによる基板Ｗの搬入および搬出が安全に行えるだけの上下間隔（クリアランス）が設けられている。
【００３５】
本実施例では、各棚部材１１は右棚部材１２と左棚部材１３とを含む。右棚部材１２は右側壁部６から張り出しており、左棚部材１３は左側壁部７から張り出している。
【００３６】
筐体２の内部には、さらに、筐体用支持ブロック１４が設けられている。筐体用支持ブロック１４は、筐体２（後壁部８）に固定されている。筐体用支持ブロック１４には、筐体用支持部材１６ａ、１６ｂ、１６ｃが形成されている。筐体用支持部材１６ａ、１６ｂ、１６ｃは、上下方向に並ぶように配置されている。各筐体用支持部材１６ａ、１６ｂ、１６ｃは、基板Ｗの端部を支持する。以下、筐体用支持部材１６ａ、１６ｂ、１６ｃを特に区別しない場合には、単に「筐体用支持部材１６」と呼ぶ。
【００３７】
筐体用支持部材１６の材質は、例えば、樹脂である。各筐体用支持部材１６には、１つの溝部１７が形成されている。図２（ａ）に示すように、溝部１７は後方向に凹んでいる。溝部１７は側面視で略Ｖの字形状を呈する。
【００３８】
溝部１７は下傾斜部１７ａと最奥部１７ｂと上傾斜部１７ｃを有する。下傾斜部１７ａは最奥部１７ｂの下側に隣接しており、上傾斜部１７ｃは最奥部１７ｂの上側に隣接している。
【００３９】
図１（ａ）、１（ｂ）を参照する。蓋３が筐体２に装着されているとき、筐体２の内部と接する蓋３の面を「裏面３ｂ」と呼ぶ。裏面３ｂには、蓋用支持ブロック２１が固定されている。蓋用支持ブロック２１には、蓋用支持部材２３ａ、２３ｂ、２３ｃが形成されている。蓋用支持部材２３ａ、２３ｂ、２３ｃは、上下方向に並ぶように配置されている。各蓋用支持部材２３ａ、２３ｂ、２３ｃは、基板Ｗの端部を支持する。以下、蓋用支持部材２３ａ、２３ｂ、２３ｃを特に区別しない場合には、単に「蓋用支持部材２３」と呼ぶ。
【００４０】
蓋用支持部材２３の材質は、例えば、樹脂である。より好ましくは、蓋用支持部材２３の材質は、弾力性を有する樹脂である。蓋用支持部材２３は、筐体用支持部材１６と同様な形状を有している。すなわち、各蓋用支持部材２３には、溝部２４が形成されている。各溝部２４は下傾斜部２４ａと最奥部２４ｂと上傾斜部２４ｃを有する。
【００４１】
蓋３が開口Ａと向かい合っているとき、筐体用支持部材１６ａの下傾斜部１７ａおよび蓋用支持部材２３ａの下傾斜部２４ａの位置はそれぞれ、棚部材１１ａに載置される基板Ｗの端部と接触可能な高さに設定されている。支持部材１６ｂ、２３ｂと棚部材１１ｂとの高さ関係、および、支持部材１６ｃ、２３ｃと棚部材１１ｃとの高さ関係も、同様である。蓋３を筐体２に装着すると、基板Ｗの前方向側端部と後方向側端部とが筐体用支持部材１６および蓋用支持部材２３によって前後方向から挟み込まれて、基板Ｗは下傾斜部１７ａ、２４ａを滑り上がる。これにより、基板Ｗは下面が棚部材１１から離隔した状態で筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３によって支持されるようになる（図１（ａ）参照）。一方、蓋３が筐体２から取り外されると、基板Ｗは下傾斜部１７ａ、２４ａを滑り落ち、その下面が棚部材１１に支持されるようになる。
【００４２】
図１（ａ）に示すように、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３とが基板Ｗを支持しているとき、各支持部材１６、２３は、最奥部１７ｂ、２４ｂで基板Ｗを保持する。ここで、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３とによって支持される基板Ｗの位置を、「第１位置」と呼ぶ。
【００４３】
開口Ａが開放されているとき（すなわち、蓋３が開口Ａを閉塞していないとき）、棚部材１１が基板Ｗを支持する（図１（ｂ）参照）。棚部材１１は、基板Ｗを所定の位置（以下、「第２位置」という）で支持可能である。基板Ｗが第２位置にあるとき、基板Ｗは略水平姿勢であり、基板Ｗの下面が棚部材１１と接触している。第２位置は、例えば、基板Ｗを筐体２から搬出するのに適した位置である。第２位置は、例えば、筐体用支持部材１６（下傾斜部１７ａ）と接する位置である。
【００４４】
図１（ｂ）では、第２位置にある基板Ｗを実線で示し、第１位置にある基板Ｗを点線で示す。図示するように、第２位置は、第１位置よりも下方である。さらに、第２位置は、第１位置よりも開口Ａに近い。換言すれば、第２位置は第１位置よりも前にある。
【００４５】
このように、基板収納容器１は、第１位置および第２位置で基板Ｗを支持可能であり、ＭＡＣ（Multi Application Carrier）の一形態である。
【００４６】
２．ロードポート装置および基板処理装置の構成
図３（ａ）乃至３（ｃ）を参照する。基板処理装置２５は、ロードポート装置３０と処理部６０を備えている。基板処理装置２５に関する説明においても、後述するステージ３２に載置された基板収納容器１にとっての前後方向および上下方向を便宜上、使用する。
【００４７】
図３（ａ）乃至３（ｃ）に示すように、ロードポート装置３０は、基板処理装置２５の側部に配置されている。ロードポート装置３０は、載置台３１とステージ３２と蓋位置調整部３４と振動機構３５と基板検出部３６とを備えている。処理部６０は隔壁６３を有する。隔壁６３は略垂直である。隔壁６３は通過孔６３ａを有する。
【００４８】
載置台３１は隔壁６３の側方に配置されている。載置台３１の上部にはステージ３２が配置されている。ステージ３２は載置台３１に対して前後方向に移動可能に設けられている。ステージ３２には、基板収納容器１（筐体２）が載置される。
【００４９】
蓋位置調整部３４は、シャッター部材３４ａとシャッター部材駆動機構３４ｂとを備えている（図３（ｂ）参照）。
【００５０】
シャッター部材３４ａは、通過孔６３ａに着脱可能に嵌め込まれており、通過孔６３ａを開閉する。シャッター部材３４ａは、さらに、蓋３を保持可能である。
【００５１】
シャッター部材駆動機構３４ｂはシャッター部材３４ａを通過孔６３ａに着脱する。このとき、シャッター部材３４ａが蓋３を保持していれば、シャッター部材３４ａはステージ３２上の筐体２に対して蓋３を着脱する。
【００５２】
さらに、シャッター部材駆動機構３４ｂはシャッター部材３４ａを移動させることによって、蓋３を位置Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３に移動可能である。位置Ｐ１はステージ３２上の筐体２の開口Ａを閉塞する蓋３の位置である。位置Ｐ２は位置Ｐ１から前方向に平行移動した位置である。位置Ｐ３は、位置Ｐ２から下方向に移動した位置である。ここで、「前方向」および「下方向」は、ステージ３２に載置された基板収納容器１にとっての前方向および下方向と同じである。
【００５３】
蓋３が位置Ｐ２および位置Ｐ３にあるとき、開口Ａは開放されている。特に、蓋３が位置Ｐ１と位置Ｐ２とを結ぶ直線経路上にあるとき（ただし、位置Ｐ１を除く）、開口Ａは、蓋３と向かい合ったまま、開放されている。本明細書では、開口Ａが蓋３と向かい合ったまま開放されている状態を「半開状態」という。
【００５４】
シャッター部材駆動機構３４ｂは、さらに、半開状態における蓋３の位置を調整可能である。具体的には、シャッター部材駆動機構３４ｂは、位置Ｐ１、Ｐ２間の直線経路上における任意の位置でシャッター部材３４ａを静止させることができる。
【００５５】
例えば、図４に示すように、シャッター部材駆動機構３４ｂは蓋３を基準位置Ｐｓに位置させることができる。基準位置Ｐｓは、蓋３が開口Ａと向かい合い、かつ、蓋用支持部材２３が第２位置にある基板Ｗの端部と当接するときの蓋３の位置である。
【００５６】
図３（ｂ）を参照して、シャッター部材駆動機構３４ｂの構成例を説明する。シャッター部材駆動機構３４ｂは、第１駆動機構４１と第２駆動機構４５を備えている。第１駆動機構４１は、シャッター部材３４ａを上下方向に移動させる。第２駆動機構４５は、シャッター部材３４ａを前後方向に移動させる。
【００５７】
第１駆動機構４１は、第１送り機構４２と第１電動モータ４３と可動ベース４４を備えている。第１送り機構４２は、可動ベース４４を載置台３１に対して上下方向に移動可能に支持する。第１電動モータ４３は、載置台３１に固定され、第１送り機構４２を駆動する。可動ベース４４は、第２駆動機構４５を支持する。
【００５８】
第２駆動機構４５は、第２送り機構４６と第２電動モータ４７と連結アーム４８を備えている。第２送り機構４６は、連結アーム４８を可動ベース４４に対して前後方向に移動可能に支持する。第２電動モータ４７は、可動ベース４４に固定され、第２送り機構４６を駆動する。連結アーム４８は、シャッター部材３４ａに固定されている。
【００５９】
図３（ａ）を参照する。振動機構３５は筐体２を振動させる。これにより、振動機構３５は、筐体２内の基板Ｗの位置を補正する。本実施例では、振動機構３５は、筐体２を前後方向に移動させることによって、通過孔６３ａに嵌め込まれたシャッター部材３４ａに蓋３を接離させる機能をさらに有する。振動機構３５は、本発明における基板位置補正部の例である。
【００６０】
振動機構３５の構成例を説明する。振動機構３５は、例えば、連結板５１と送り機構５２と電動モータ５３とを備えている。連結板５１は、ステージ３２に固定されている。送り機構５２は、連結板５１を載置台３１に対して前後方向に移動可能に支持する。電動モータ５３は、載置台３１に固定され、送り機構５２を駆動する。電動モータ５３の駆動によって、ステージ３２およびステージ３２上の筐体２は前後方向に移動する。また、電動モータ５３の駆動方向を短い時間間隔で切り替えることによって、ステージ３２およびステージ３２上の筐体２は微小幅で往復振動する。
【００６１】
基板検出部３６は、筐体２内の基板Ｗの位置を検出する。
【００６２】
図３（ｃ）を参照する。基板検出部３６は、マッピングセンサ３６ａ、３６ｂと、位置センサ３６ｃと、センサ支持部３６ｄと、センサ進退機構３６ｅと、センサ昇降機構３６ｆを備えている。マッピングセンサ３６ａ、３６ｂは、基板Ｗの有無を検出する。位置センサ３６ｃは、マッピングセンサ３６ａ、３６ｂの位置を検出する。センサ支持部３６ｄはマッピングセンサ３６ａ、３６ｂを固定的に支持する。センサ進退機構３６ｅは、マッピングセンサ３６ａ、３６ｂを筐体２内に進入させ、かつ、マッピングセンサ３６ａ、３６ｂを筐体２内から退出させる。センサ昇降機構３６ｆは、マッピングセンサ３６ａ、３６ｂを上下方向に移動させる。
【００６３】
図５を参照する。マッピングセンサ３６ａ、３６ｂは、例えば、透過型センサである。マッピングセンサ３６ａは、光を照射する投光部５５と、投光部５５の光軸Ｌ１上に配置される受光部５６を備え、投光部５５と受光部５６との間に基板Ｗがあるか否かを検出する。同様に、マッピングセンサ３６ｂは、光を照射する投光部５７と、投光部５７の光軸Ｌ２上に配置される受光部５８を備え、投光部５７と受光部５８との間に基板Ｗがあるか否かを検出する。
【００６４】
光軸Ｌ１、Ｌ２の位置は、マッピングセンサ３６ａ、３６ｂの配置によって規定される。光軸Ｌ１、Ｌ２は、前後方向にずれており、平面視で重なっていない。光軸Ｌ１、Ｌ２の向きはそれぞれ略水平方向であり、かつ、前後方向と略直交することが好ましい。また、光軸Ｌ１、Ｌ２は、同じ高さであることが好ましい。
【００６５】
図６（ａ）、（ｂ）を参照する。基板検出部３６が筐体２内の基板Ｗを検出するとき、まず、センサ進退機構３６ｅがマッピングセンサ３６ａ、３６ｂを筐体２内に進入させる。続いて、センサ昇降機構３６ｆがマッピングセンサ３６ａ、３６ｂを昇降させながら、マッピングセンサ３６ａ、３６ｂが基板Ｗを検出し、位置センサ３６ｃがマッピングセンサ３６ａ、３６ｂの位置を検出する。その結果、基板Ｗが検出された検出点ｑａ１、ｑａ２、ｑａ３、ｑｂ１、ｑｂ２、ｑｂ３の位置が得られる。
【００６６】
なお、図６（ａ）は、各基板Ｗ１乃至Ｗ３が第２位置にある場合の例である。図６（ｂ）は、基板Ｗ１−Ｗ３のうち、基板Ｗ２のみが第２位置にない場合の例である。
【００６７】
図７を参照する。ロードポート装置３０は、さらに、制御部３７を備えている。制御部３７は、ロードポート装置３０の各構成を制御する。制御部３７は、基板状態取得部３８と判定部３９と駆動制御部４０を有する。
【００６８】
基板状態取得部３８には、基板検出部３６（マッピングセンサ３６ａ、３６ｂおよび位置センサ３６ｃ）の検出結果が入力される。基板状態取得部３８は、基板検出部３６の検出結果に基づいて、筐体２内の基板Ｗの傾きを取得する。例えば、基板状態取得部３８は、検出点ｑａ１、ｑｂ１の位置に基づいて、検出点ｑａ１、ｑｂ１を結ぶ直線の傾きを、基板Ｗ１の傾きとして、算出する。
【００６９】
判定部３９は、基板Ｗの傾きに基づいて、筐体２内の各基板Ｗが第２位置にあるか否かを判定する。例えば、判定部３９は、基板Ｗの傾きを所定の閾値と比較する。その結果、基板Ｗの傾きが閾値以下である場合には、判定部３９は、その基板Ｗが第２位置にあると判定する。そうでない場合には、判定部３９は、その基板Ｗが第２位置にないと判定する。
【００７０】
駆動制御部４０は、判定部３９の判定結果および予め設定されている処理レシピに基づいて、蓋位置調整部３４（第１、第２電動モータ４３、４７）と振動機構３５（電動モータ５３）と基板検出部３６（センサ進退機構３６ｅとセンサ昇降機構３６ｆ）を駆動制御する。処理レシピは、例えば、基板収納容器１のローディング処理が規定された情報である。
【００７１】
制御部３７は、中央演算処理装置（ＣＰＵ）、ＲＯＭ（Read-only Memory）、ＲＡＭ（Random-Access Memory）、固定ディスク等の記憶媒体、駆動回路等によって構成されている。
【００７２】
続いて、基板処理装置２５の他の要素である処理部６０を説明する。図３に示すように、処理部６０は、搬送機構６１と処理ユニット６２を備える。搬送機構６１は、載置台３１に載置された基板収納容器１と処理ユニット６２にアクセスする。搬送機構６１は、基板Ｗを保持するための保持アーム６１ａと、保持アーム６１ａを移動させるための保持アーム用駆動機構６１ｂを備えている。処理ユニット６２は基板Ｗに処理を行う。処理ユニット６２が行う処理は、例えば、塗布処理、現像処理、洗浄処理、加熱処理、冷却処理である。
【００７３】
３．動作例
図８は、実施例に係るロードポート装置３０および基板処理装置２５のローディング処理の手順を示すフローチャートである。図９（ａ）乃至９（ｉ）は、ロードポート装置３０の動きを模式的に示す図である。なお、以下の説明において、蓋位置調整部３４、振動機構３５および基板検出部３６の各動作は、制御部３７（駆動制御部４０）の制御に基づいて実行される。
【００７４】
＜ステップＳ１＞  基板収納容器が載置される
基板収納容器１がステージ３２に載置される（図９（ａ））。蓋３は開口Ａを閉塞している。基板収納容器１内の基板Ｗは、筐体用支持部材１６および蓋用支持部材２３によって第１位置で支持されている。
【００７５】
振動機構３５は、ステージ３２上の基板収納容器１を前方向に移動させ、蓋３をシャッター部材３４ａに接触させる（図９（ｂ））。
【００７６】
＜ステップＳ２＞  蓋を外す
蓋位置調整部３４は、ステージ３２上の筐体２から蓋３を離脱させ、蓋３を位置Ｐ３に移動させる（図９（ｃ））。開口Ａは開放される。筐体２内の基板Ｗは、第１位置から第２位置に移動し、不図示の棚部材１１によって支持される。ただし、図９（ｃ）に示すように、第２位置に移動しない基板Ｗａが発生する場合がある。
【００７７】
＜ステップＳ３＞  基板を検出する
基板検出部３６は、筐体２内の基板Ｗの位置を検出する（図９（ｄ）、９（ｅ））。このとき、マッピングセンサ３６ａ、３６ｂは、図９（ｄ）に示すように、筐体２内に進入し、図９（ｅ）に示すように、上下方向に移動する。
【００７８】
＜ステップＳ４＞  全ての基板が第２位置にあるか？
基板検出部３６は検出結果を制御部３７に出力する。制御部３７は、基板検出部３６の検出結果に基づいて、筐体２内の各基板Ｗが第２位置にあるか否かを判定する。その結果、少なくともいずれかの基板Ｗが第２位置にないと判断された場合、ステップＳ５に進む。そうでない場合、ステップＳ７に進む。
【００７９】
例えば、図９（ｃ）または図６（ｂ）に示すように、第２位置に移動しない基板Ｗａ、Ｗ２が存在する場合、ステップＳ５に進む。他方、図６（ａ）に示すように基板Ｗ１乃至Ｗ３の全てが第２位置に移動している場合、ステップＳ７に進む。
【００８０】
＜ステップＳ５＞  開口を半開状態にする
蓋位置調整部３４は、蓋３を位置Ｐ３から位置Ｐ２に移動させる（図９（ｆ））。開口Ａは半開状態になる。蓋位置調整部３４は、さらに、蓋３を位置Ｐ２から基準位置Ｐｓに移動させる（図９（ｇ））。蓋用支持部材２３は第２位置にある基板Ｗの端部と接する。本ステップＳ５は、本発明における「前記開口を、前記蓋と向かい合ったまま開放された半開状態にする過程」の例である。
【００８１】
＜ステップＳ６＞  基板を開口に向かって移動させる
振動機構３５は筐体２を振動させる（図９（ｈ））。これにより、基板Ｗａは、筐体用支持部材１６から外れ、開口Ａに向かって移動する。換言すれば、基板Ｗａは、前方向に移動する。このとき、蓋用支持部材２３は基準位置Ｐｓに位置しているので、基板Ｗおよび基板Ｗａは第２位置で止められ、第２位置を越えて前方向に移動しない。本ステップＳ６は、本発明における「前記開口が前記半開状態であるときに前記筐体内の基板を前記開口に向かって移動させる過程」の例である。
【００８２】
＜ステップＳ７＞  基板を搬出する
蓋位置調整３４は、蓋３を位置Ｐ３に移動させる（図９（ｉ））。続いて、搬送機構６１（保持アーム６１ａ）は、上下方向に隣り合う基板Ｗと基板Ｗとの間に進入し、１枚の基板Ｗを保持し、筐体２の外部に退出する。搬送機構６１は、筐体２から搬出した基板Ｗを、処理ユニット６２に搬入する。
【００８３】
４．実施例の効果
上述した実施例によれば、ロードポート装置３０は、蓋位置調整部３４と振動機構３５と制御部３７を備える。そして、ロードポート装置３０は、開口Ａが半開状態であるときに筐体２内の基板Ｗを開口Ａに向かって移動させる（ステップＳ６）。これにより、筐体２内の基板Ｗの位置を好適に補正できる。よって、搬送機構６１は、筐体２内の基板Ｗを好適に搬出できる。
【００８４】
振動機構３５が基板Ｗの位置を補正するとき、蓋位置調整部３４は蓋３を基準位置Ｐｓに位置させる。このため、蓋３は、基板Ｗが第２位置に移動することを妨げない。よって、振動機構３５は基板Ｗの位置を効果的に補正できる。また、蓋３は、基板Ｗが過度に前方に移動することを防止でき、基板Ｗが棚部材１１から脱落することを防止できる。よって、振動機構３５は、基板Ｗを損傷させることなく安全に、基板Ｗの位置を補正できる。
【００８５】
振動機構３５は、電動モータ５３を備えているので、筐体２を好適に振動させることができる。
【００８６】
さらに、蓋３は基準位置Ｐｓに位置しているので、振動機構３５による基板Ｗの位置の補正と同時に、蓋３は基板Ｗを第２位置に揃えることができる。
【００８７】
蓋位置調整部３４は、位置Ｐ１、Ｐ２間の直線経路上においてシャッター部材３４ａを移動させる第２電動モータ４７を備えているので、半開状態における蓋３の位置をきめ細かく調整できる。
【００８８】
ロードポート装置３０は基板検出部３６を備えるので、制御部３７は筐体２内の各基板Ｗが第２位置にあるか否かを好適に判定できる。また、制御部３７は、筐体２内の基板Ｗの少なくともいずれかが第２位置にないと判定した場合にのみ、基板Ｗの位置を補正させる。すなわち、制御部３７は、筐体２内の全ての基板Ｗが第２位置にあると判定した場合、基板Ｗの位置を補正させない。これにより、ローディング処理に要する時間を適切に短縮できる。
【００８９】
基板処理装置２５は、基板収納容器１に収容される基板Ｗに対して液処理や熱処理などの処理を行うことができる。
【００９０】
この発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
【００９１】
（１）上述した実施例では、振動機構３５が基板Ｗの位置を補正するとき、蓋位置調整部３４は蓋３を基準位置Ｐｓに位置させたが、これに限られない。例えば、振動機構３５が基板Ｗの位置を補正するとき、蓋位置調整部３４は基準位置Ｐｓよりも開口Ａから遠い位置で蓋３を開口Ａと向かい合わせてもよい。この場合、基板Ｗが棚部材１１から脱落することを防止できる範囲内に蓋３が位置することが好ましい。本変形実施例では、さらに、基板位置補正部３４が基板Ｗの位置を補正した後、蓋位置調整部３４が蓋３を基準位置Ｐｓに移動させることによって筐体２内の基板Ｗを第２位置に揃えることが好ましい。
【００９２】
図１０、図１１を参照する。変形実施例の処理のうち、実施例と異なる処理は、ステップＳ８、Ｓ９、Ｓ１０である。なお、実施例と同じ構成／処理については同符号を付すことで詳細な説明を省略する。
【００９３】
＜ステップＳ８＞  開口を半開状態にする
蓋位置調整部３４は、蓋３を位置Ｐ３から位置Ｐ２に移動させる（図１１（ａ））。開口Ａは半開状態になる。本ステップＳ８は、本発明における「前記開口を、前記蓋と向かい合ったまま開放された半開状態にする過程」の例である。
【００９４】
＜ステップＳ９＞  基板を開口に向かって移動させる
振動機構３５は筐体２を振動させる（図１１（ｂ））。これにより、基板Ｗａは、筐体用支持部材１６から外れ、開口Ａに向かって移動する。このとき、蓋用支持部材２３は位置Ｐ２に位置しているので、基板Ｗ、Ｗａが第２位置に移動でき、さらに、第２位置よりも前に移動できる。基板Ｗ、Ｗａが棚部材１１から脱落することは、蓋３によって阻止される。本ステップＳ９は、本発明における「前記開口が前記半開状態であるときに前記筐体内の基板を前記開口に向かって移動させる過程」の例である。
【００９５】
＜ステップＳ１０＞  蓋を基準位置に移動させる
蓋位置調整部３４は、さらに、蓋３を位置Ｐ２から基準位置Ｐｓに移動させる（図１１（ｃ））。蓋用支持部材２３は第２位置より前に移動した基板Ｗ、Ｗａを第２位置に押し戻す。このようにして、蓋位置調整部３４は、筐体２内の基板Ｗ、Ｗａを第２位置に揃える。
【００９６】
上述した変形実施例によっても、筐体２内の全ての基板Ｗを第２位置に矯正できる。また、振動機構３５が基板Ｗの位置を補正するとき、蓋３は基準位置Ｐｓよりも開口Ａから遠い位置（例えば、位置Ｐ２）に位置しているので、筐体２が蓋３とぶつかることを一層確実に回避できる。
【００９７】
（２）上述した実施例では、基板位置補正部として振動機構３５を例示したが、これに限られない。基板Ｗの位置を補正できれば、基板位置補正部として種々の機構を採用できる。例えば、基板位置補正部は、筐体２を傾斜させる傾斜機構または筐体２に衝撃を与える衝撃機構で構成されていてもよい。また、例えば、基板位置補正部は、振動機構、傾斜機構および衝撃機構の少なくともいずれかを含んでもよい。
【００９８】
図１２（ａ）、１２（ｂ）を参照して、傾斜機構を説明する。なお、実施例と同じ構成については同符号を付すことで詳細な説明を省略する。
【００９９】
ロードポート装置３０は、傾斜機構７１を備えている。傾斜機構７１はエアシリンダ７３を備える。エアシリンダ７３は、シリンダチューブ７３ａとピストンロッド７３ｂと有する。シリンダチューブ７３ａは、載置台３１に固定されている。ピストンロッド７３ｂはシリンダチューブ７３ａに対して上下方向に移動する。ピストンロッド７３ｂの先端は、ステージ３２上に載置された筐体２の底板部５の後部と当接可能である。
【０１００】
図１２（ｂ）に示すように、エアシリンダ７３が筐体２の後部を上方向に持ち上げると、筐体２の前部が筐体２の後部に比べて低くなるように、筐体２が傾斜する。このような傾斜機構７１によっても、基板Ｗを開口Ａに向かって移動させることができるので、基板Ｗの位置を好適に補正できる。また、傾斜機構７１は、ステージ３２を動かさすことなく、ステージ３２上の筐体２を動かすので、傾斜機構７１の構造を簡素化、小型化できる。
【０１０１】
ロードポート装置３０は、さらに筐体進退機構８１を備えている。筐体進退機構８１は、筐体２を前後方向に移動させることによって、通過孔６３ａに嵌め込まれたシャッター部材３４ａに蓋３を接離させる。筐体進退機構８１は、連結板８３とエアシリンダ８５とを備えている。連結板８３は、ステージ３２に固定されている。エアシリンダ８５は、連結板８３を前後方向に移動させる。エアシリンダ８５は、シリンダチューブ８５ａとピストンロッド８５ｂと有する。シリンダチューブ８５ａは、載置台３１に固定されている。ピストンロッド８５ｂはシリンダチューブ８５ａに対して前後方向に移動する。ピストンロッド８５ｂの先端は、連結板８３に連結されている。エアシリンダ８５が連結板８３を移動させると、ステージ３２およびステージ３２上の筐体２は前後方向に移動する。このように、筐体進退機構８１は、基板位置補正部として機能する傾斜機構７１とは別体である。
【０１０２】
図１３（ａ）、１３（ｂ）を参照して、衝撃機構を説明する。なお、実施例と同じ構成については同符号を付すことで詳細な説明を省略する。
【０１０３】
ロードポート装置３０は、衝撃機構７５を備えている。衝撃機構７５は電動モータ７６と打撃部７７を備えている。電動モータ７６が打撃部７７を回動させると、打撃部７７は筐体２（後壁部８）を叩く。このような衝撃機構７５によっても、基板Ｗを開口Ａに向かって移動させることができるので、基板Ｗの位置を好適に補正できる。
【０１０４】
本変形実施例においても、ロードポート装置３０は、基板位置補正部として機能する衝撃機構７５とは別個に、上述した筐体進退機構８１を備えている。
【０１０５】
（３）上述した実施例では、振動機構３５はステージ３２を振動させるものであったが、これに限られない。すなわち、振動機構３５はステージ３２を振動させること無く、筐体２を振動させてもよい。
【０１０６】
（４）上述した実施例では、振動機構３５が筐体２を振動させる方向は、前後方向であったが、これに限られない。振動機構３５は、筐体２を任意の方向に振動させてもよい。また、振動機構３５は、超音波振動で筐体２を振動させてもよい。
【０１０７】
（５）上述した実施例では、振動機構３５の構成例を説明したが、これに限られない。例えば、振動機構３５は、筐体２を振動させる圧電素子などの振動源を備えてもよい。
【０１０８】
（６）上述した実施例において、基板Ｗを開口Ａに向かって移動させるとき（ステップＳ６）、制御部３７は、蓋位置調整部３４を制御することによって、蓋３の動きを筐体２の動きに同期させてもよい。具体的には、基板Ｗを開口Ａに向かって移動させるとき、制御部３７は、筐体２と蓋３との相対的な位置関係を一定に保ってもよい。これによれば、基板Ｗの位置を精度よく補正できる。また、筐体２が蓋３とぶつかることを一層確実に回避できる。
【０１０９】
あるいは、基板Ｗを開口Ａに向かって移動させるとき（ステップＳ６）、制御部３７は、蓋３を静止させてもよい。これによれば、制御部３７の処理を簡素化できる。
【０１１０】
（７）上述した実施例において、蓋位置調整部３４の構成を適宜に変更してもよい。例えば、第１駆動機構４１を省略し、シャッター部材駆動機構３４ｂは第２駆動機構４５のみを備えてもよい。本変形実施例におけるシャッター部材駆動機構においても、蓋３を位置Ｐ１、Ｐ２間の直線経路上における任意の位置でシャッター部材３４ａを静止させることができ、開口Ａを半開状態にさせることができる。
【０１１１】
（８）上述した実施例において、制御部３７は、基板検出部３６の検出結果に基づいて基板Ｗの位置を補正するか否かを選択したが、これに限られない。例えば、制御部３７は、基板検出部３６の検出結果に関係なく、一律に基板Ｗの位置を補正してもよい。本変形実施例では、図８に示すフローチャートにおいて、ステップＳ４の処理、または、ステップＳ４、Ｓ５の各処理を省略してもよい。本変形実施例の場合、基板検出部３６を適宜に省略してもよい。
【０１１２】
（９）上述した実施例では、基板Ｗ１の傾きとして、検出点ｑａ１、ｑｂ１を結ぶ直線の傾きを例示したが、これに限られない。例えば、検出点ｑａ１、ｑｂ１の上下方向における差分（いわゆる高低差）を、基板Ｗ１の傾きと扱ってもよい。あるいは、検出点ｑａ１、ｑｂ１の高低差を、検出点ｑａ１、ｑｂ１の前後方向における差分で除した値（いわゆる前後方向における勾配）を、基板Ｗ１の傾きと扱ってもよい。
【０１１３】
（１０）上述した実施例において、制御部３７が基板Ｗの傾きを算出する際、制御部３７は、マッピングセンサ３６ａ、３６ｂの配置に関する情報を適宜に利用してもよい。マッピングセンサ３６ａ、３６ｂの配置に関する情報は、例えば、マッピングセンサ３６ａ、３６ｂの各位置や、前後方向における光軸Ｌ１、Ｌ２の間隔（「センシングピッチ」と呼ばれる）である。これによれば、制御部３７が基板Ｗの傾きを算出する処理を簡素化できる。
【０１１４】
（１１）上述した実施例において、制御部３７は、基板Ｗの傾きに基づいて、基板Ｗが第２位置にあるか否かを判定したが、これに限られない。例えば、制御部３７は、基板Ｗの前後方向における位置に基づいて、基板Ｗが第２位置にあるか否かを判定してもよい。例えば、制御部３７は、第２位置に対する基板Ｗのずれ量に基づいて、基板Ｗが第２位置にあるか否かを判定してもよい。
【０１１５】
（１２）上述した実施例において、基板検出部３６は、２つのマッピングセンサ３６ａ、３６ｂを備えていたが、これに限られない。基板検出部３６が有するマッピングセンサの数は、３つ以上であってもよいし、１つであってもよい。基板検出部３６が有するマッピングセンサの数が１つである場合、センサ進退機構３６ｅおよびセンサ昇降機構３６ｆは、そのマッピングセンサを前後方向に異なる位置で昇降させる。これにより、基板検出部３６は、各基板Ｗについて２つ以上の検出点を取得できる。
【０１１６】
（１３）上述した実施例では、位置センサ３６ｃによって、マッピングセンサ３６ａ、３６ｂの位置を検出したが、これに限られない。制御部３７がセンサ進退機構３６ｅおよびセンサ昇降機構３６ｆを制御した制御量、または、制御部３７がセンサ進退機構３６ｅおよびセンサ昇降機構３６ｆに与えた制御命令に基づいて、マッピングセンサ３６ａ、３６ｂの位置を検出してもよい。
【０１１７】
（１４）上述した実施例において、ステージ３２は、ステージ３２上の筐体２を係止するためのクランプ機構（不図示）を備えてもよい。クランプ機構が筐体２を係止しているとき、筐体２はステージ３２に対して滑るおそれがない。よって、振動機構３５はステージ３２を介して筐体２を一層好適に振動させることができる。
【０１１８】
（１５）上述した実施例において、ロードポート装置３０は、筐体２の動きに追従して伸縮し、開口Ａが開放されている筐体２内の雰囲気を清浄に保つ遮蔽部材を備えてもよい。
【０１１９】
図１４（ａ）、（ｂ）を参照する。ロードポート装置３０は、遮蔽部材８７を備えている。遮蔽部材８７は、例えば、ベローズ（蛇腹管）である。遮蔽部材８７の一端は、隔壁６３に固定されている。遮蔽部材８７の一端は、通過孔６３ａの周囲を囲むように、取り付けられている。遮蔽部材８７の他端は自由端である。ステージ３２に筐体２が載置されると、遮蔽部材８７の他端は筐体２と当接する。遮蔽部材８７の他端は、開口Ａを囲むように筐体２と接触する。これにより、開口Ａが開放されると、筐体２内の空間Ｓは通過孔６３ａを通じて隔壁６３の内部とのみ連通し、筐体２内の雰囲気と載置台３１の周囲の雰囲気とは遮蔽部材８７によって遮断される。さらに、遮蔽部材８７は、筐体２の動きに追従して伸縮する。これにより、筐体２が動いても遮蔽部材８７と筐体２との接触状態は保たれる。よって、振動機構３５が筐体２を前後方向に移動させるときも、筐体２を振動させるときも、筐体２内の雰囲気は清浄に保たれる。
【０１２０】
（１６）上述した実施例において、基板Ｗを開口Ａに向かって移動させるとき、通過孔６３ａの内壁に筐体２を気密に接触させた状態に保ってもよい。これにより、通過孔６３ａが筐体２によって閉塞された状態に保つことができ、基板処理装置２５の内部を清浄に保つことができる。また、筐体２の開口Ａは基板処理装置２５の外部に対して閉塞された状態に保つことができ、筐体２内の雰囲気も清浄に保つことができる。
【０１２１】
以下、図１５乃至図１９を参照して、本変形実施例の具体的な意構成を説明する。図１５に示すように、隔壁６３の後方向側の表面である外面６３ｂには、凹部６３ｃが形成されている。凹部６３ｃは前方向に凹んでいる。凹部６３ｃは、筐体２の開口端面２ａがはまり込むサイズを有している。より詳細には凹部６３ｃは筐体２の開口端面２ａの外形に一致する形状とされている。これにより、筐体２が凹部６３ｃに挿入されているとき、筐体２と凹部６３ｃとが互いに密着した状態に保たれる。
【０１２２】
通過孔６３ａは、凹部６３ｃの中央に形成されている。通常、通過孔６３ａはシャッター部材３４ａによって塞がれている。通過孔６３ａは凹部６３ｃよりも若干小さく、凹部６３ｃは通過口６３ａを囲む底面６３ｄを有している。底面６３ｄは垂直な（より厳密には、前後方向に直交する）平坦面である。底面６３ｄは、筐体２の開口端面２ａと当接可能である。
【０１２３】
図１６および図１７は、基板収納容器１が載置されるステップＳ１における隔壁６３と筐体２の位置関係を示す。まず、図１６に示すように、筐体２がステージ３２上に載置される。次に、図１７に示すように、筐体２が移動機構３５によって前方向に移動される。これにより、筐体２の開口端面２ａが凹６３ｃの底面６３ｄに接触し、蓋３がシャッター部材３４ａに接触する。なお、図１６乃至図１９では、筐体用支持部材１６や蓋用支持部材２３などの図示を省略する。
【０１２４】
図１８は、開口Ａを半開状態にするステップＳ５における隔壁６３と筐体２の位置関係を示す。
【０１２５】
図１９は、基板Ｗを開口Ａに向かって移動させるステップＳ６における隔壁６３と筐体２の位置関係を示す。振動機構３５は、筐体２を前後方向に振動させる。このとき、開口端面２ａが外面６３ｂより後方向に移動しないように、筐体２が振動する範囲が制限されている。すなわち、筐体２が振動するとき、開口端面２ａは、外面６３ｂと底面６３ｄとの間の範囲Ｒ内で前後方向に往復する。その結果、基板Ｗを開口Ａに向かって移動させるとき、筐体２が凹部６３ｃに挿入された状態に保たれる。
【０１２６】
筐体２の振動範囲がこのように設定されているので、筐体２の振動中に、筐体２が凹部６３ｃから脱落することがない。また、凹部６３ｃの形状が筐体２の開口端面２ａの形状に一致しているため、筐体２の振動中に、基板処理装置２５の外気が通過孔６３ａを通って基板処理装置２５の内部に進入することを防止または抑制できる。
【０１２７】
また、筐体２は基板処理装置２５の内部のみに対して開放し、基板処理装置２５の外部に対して閉塞した状態に保たれる。よって、筐体２内の雰囲気も清浄に保つことができる。
【０１２８】
（１７）上述した実施例では、基板収納容器１を例示したが、基板収納容器１の構造はこれに限られない。ロードポート装置３０および基板処理装置２５は、ＭＡＣタイプに属する種々の基板収納容器を好適にローディングできる。
【０１２９】
（１８）上述した実施例および上記（１）から（１７）で説明した各変形実施例については、さらに各構成を他の実施例の構成または他の変形実施例の構成に置換または組み合わせるなどして適宜に変更してもよい。
【符号の説明】
【０１３０】
１  …  基板収納容器
２  …  筐体
３  …  蓋
３ｂ  …  裏面
１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１  …  棚部材
１６ａ、１６ｂ、１６ｃ、１６  …  筐体用支持部材
２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３  …  蓋用支持部材
２５  …  基板処理装置
３０  …  ロードポート装置
６０  …  処理部
３１  …  載置台３１
３２  …  ステージ
３４  …  蓋位置調整部
３５  …  振動機構（基板位置補正部）
３６  …  基板検出部
３７  …  制御部
６３  …  隔壁
７１  …  傾斜機構（基板位置補正部）
７５  …  衝撃機構（基板位置補正部）
８７  …  遮蔽部材
Ａ  …  開口
Ｐｓ  …  基準位置
Ｗ、Ｗ１、Ｗ２、Ｗ３、Ｗａ  …  基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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