(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を搬送する搬送手段と、
前記基板を処理する処理手段と、
前記搬送手段による前記基板の搬送時に発生する前記基板の位置ずれ、落下、破損のうち少なくとも一つを含む搬送エラーを検出する検出手段と、
前記基板の搬送経路に関する情報を保存すると共に、前記検出手段により前記搬送エラーが検出されると前記搬送手段を停止する第１制御手段と、
前記搬送手段による前記基板の搬送動作を画像データとして記録する記録手段と、
前記記録手段で記録した前記画像データを蓄積部に蓄積する第２制御手段と、
レシピ編集やパラメータ等の画面表示機能を備えた操作部と、を備え、
前記第１制御手段は、
前記検出手段による前記搬送エラーが検出されると、前記基板の搬送経路を矢印で表示する搬送履歴情報を、前記搬送エラーの発生時を含む前記画像データとともに前記操作部に表示させると共に、前記搬送手段が前記搬送エラーにより停止した旨を前記第２制御手段に通知し、
前記第２制御手段は、
前記搬送手段が前記搬送エラーにより停止した旨を前記第１制御手段から通知を受けると、前記画像データの蓄積を中断し、前記搬送エラーの発生時を含む所定時間分の前記画像データを前記蓄積部から読み出してファイルに変換し、前記ファイルを記憶部に保存した後、前記記録手段で記録した前記画像データの前記蓄積部への蓄積を再開するように構成されることを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
前記所定時間は、前記処理室への未処理の基板の搬入所要時間、前記処理室内での前記基板の処理時間、処理済みの前記基板の前記処理室からの搬出所要時間の合計である請求項１の基板処理装置。
【請求項３】
前記第２制御手段は、所定の周期で所定の蓄積時間分の画像データの前記蓄積手段への蓄積を開始するように構成される請求項１記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記第２制御手段は、搬送エラーが生じた場合には、搬送エラーの発生前後の画像データのみを前記記憶部に保存するように構成されている請求項１記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記記録手段は、前記基板の移動や前記基板の受け渡し等の様子が確認し易い位置に少なくとも一つ以上設置されるよう構成される請求項１記載の基板処理装置。
【請求項６】
更に、前記搬送手段が設けられる搬送室を有し、
前記検出手段は、前記搬送室のうち、前記処理手段の手前側に設置される請求項１記載の基板処理装置。
【請求項７】
更に、前記搬送手段が設けられる搬送室を有し、
前記記録手段は、前記搬送室のうち、前記処理手段の手前側の上部位置に設置される請求項１記載の基板処理装置。
【請求項８】
更に、前記搬送手段が設けられる搬送室を有し、
前記記録手段は、前記処理手段の外側に設置される請求項１記載の基板処理装置。
【請求項９】
更に、前記蓄積部は、蓄積条件に従い前記画像データが格納されるメモリ領域を有し、
前記第２制御手段は、前記蓄積条件の周期毎に前記メモリ領域の先頭から上書きするように構成される請求項１記載の基板処理装置。
【請求項１０】
更に、前記蓄積部は、蓄積条件に従い前記画像データが格納される複数のメモリ領域を有し、
前記第２制御手段は、前記複数のメモリ領域に対して順に前記画像データの蓄積を行い、すべてのメモリ領域がいっぱいになったら、当初のメモリ領域から順に上書きするように構成される請求項１記載の基板処理装置。
【請求項１１】
更に、前記第２制御手段は、前記記録手段で記録した前記画像データを所定期間又は所定のイベント間の期間で区切って変換したファイルを前記記憶部に保存し、
前記第２制御手段は、
前記搬送エラーの発生を示すエラー通知、前記搬送エラーの発生時刻を示す時刻データ、前記搬送エラーの発生時のレシピ内容および前記搬送エラーの発生時の前記基板処理装置の状態を示すモニタデータ、を含むエラー情報を生成し、
前記搬送エラーの発生時の前記画像データを含む前記ファイルを前記搬送エラーの発生時の前記搬送手段の位置及び速度を含む数値データとともに前記エラー情報に関連付け、
前記記憶部に保存しておいた正常時の画像データ及び数値データと、前記搬送エラーの発生時の前記画像データ及び前記数値データとを比較してこれらのデータの相違点を抽出した比較データを生成し、前記比較データを前記エラー情報に関連付け、
前記操作部に前記エラー情報を表示するように構成される請求項１記載の基板処理装置。
【請求項１２】
第１制御手段により搬送手段を制御して基板を搬送しつつ、前記基板の搬送経路に関する情報を前記第１制御手段に保存させる工程と、
前記第１制御手段により処理手段を制御して前記基板を処理する工程と、
記録手段により前記搬送手段による前記基板の搬送動作を画像データとして記録しつつ、前記記録手段で記録した前記画像データを第２制御手段により蓄積部に蓄積する工程と、を有し、
検出手段により前記搬送手段による前記基板の搬送時に前記基板の位置ずれ、落下、破損のうち少なくとも一つを含む搬送エラーが検出されると、前記第１制御手段は、前記基板の搬送経路を矢印で表示する搬送履歴情報を、前記搬送エラーの発生時を含む前記画像データとともに操作部に表示させると共に、前記搬送手段が前記搬送エラーにより停止した旨を前記第２制御手段に通知する工程を行い、
前記搬送手段が前記搬送エラーにより停止した旨を前記第１制御手段から通知を受けると、前記第２制御手段は、前記画像データの蓄積を中断し、前記搬送エラーの発生時を含む所定時間分の前記画像データを前記蓄積部から読み出してファイルに変換し、前記ファイルを前記記憶部に保存した後、前記記録手段で記録した前記画像データの前記蓄積部への蓄積を再開する工程を行う基板処理装置のデータ解析方法。
【請求項１３】
第１制御手段と第２制御手段と操作部を備えるコンピュータに、
前記第１制御手段により搬送手段を制御して基板を搬送しつつ、前記前記基板の搬送経路に関する情報を前記第１制御手段に保存させる手順と、
前記第１制御手段により処理手段を制御して前記基板を処理する手順と、
記録手段により前記搬送手段による前記基板の搬送動作を画像データとして記録しつつ、前記記録手段で記録した前記画像データを第２制御手段により蓄積部に蓄積する手順と、
検出手段により前記搬送手段による前記基板の搬送時に前記基板の位置ずれ、落下、破損のうち少なくとも一つを含む搬送エラーが検出されると、前記第１制御手段により、前記基板の搬送経路を矢印で表示する搬送履歴情報を、前記搬送エラーの発生時を含む前記画像データとともに前記操作部に表示させると共に、前記搬送手段を停止して前記搬送手段が前記搬送エラーにより停止した旨を前記第２制御手段に通知する手順と、
前記搬送手段が前記搬送エラーにより停止した旨を前記第１制御手段から通知を受けると、前記第２制御手段により、前記画像データの蓄積が中断され、前記搬送エラーの発生時を含む所定時間分の前記画像データを前記蓄積部から読み出してファイルに変換され、前記ファイルが保存された後、前記記録手段で記録した前記画像データの前記蓄積部への蓄積を再開させる手順と、を実行させるプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、処理室へ基板を搬送する搬送手段を備える基板処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板処理装置は、例えば搬送手段により処理室内へ基板を搬送し、処理室内にて基板に対して所定の処理を行うよう構成されている。基板の搬送時には、例えば搬送手段のトラブルや処理室内外の圧力差で、基板がずれたり、落下したり、破損したりすることがある。例えば、基板の有無を検出する検出手段（例えば、光センサ、マッピングセンサ等のセンサ類）は、所定位置での基板の有無の状態が期待値と異なった場合に、それを搬送エラーとして検出する。このような場合、搬送エラーが発生したことはわかっても、位置ずれ、落下、破損等の基板の詳細の状態やその状態に至った原因については直ちに知ることはできない。
【０００３】
係る状況を解消するには、例えばビデオカメラ等の記録手段を基板処理装置内に設置し、搬送エラーの解析に利用することが考えられる。しかしながら、常時稼働中の基板処理装置で画像データを保存し続けた場合、膨大な量の画像データの中から搬送エラーの発生時のデータを選り分けなければならず、解析に長時間を要してしまう。この場合、保守員が定期的に記憶媒体を消去する等の処置が必要となり非効率的である。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、基板を搬送する動作を画像データとして記録し、この画像データを効率よく収集・保存することで、搬送エラーの解析に利用することができる基板処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一態様によれば、基板を搬送する搬送手段と、前記基板を処理する処理手段と、前記搬送手段による前記基板の搬送時に発生する搬送エラーを検出する検出手段と、前記検出手段により前記搬送エラーが検出されると前記搬送手段を停止する第１制御手段と、前記搬送手段による前記基板の搬送動作を画像データとして記録する記録手段と、前記記録手段で記録した前記画像データを蓄積部に蓄積する第２制御手段と、を備え、前記第１制御手段は、前記搬送手段または前記処理手段から前記基板の状態を示す情報を取得し、前記搬送手段が前記搬送エラーにより停止した旨を前記第２制御手段に通知し、前記第２制御手段は、前記搬送エラーの発生時を含む所定時間分の前記画像データを前記蓄積部から読み出してファイルに変換するように構成される基板処理装置が提供される。
【０００６】
本発明の他の態様によれば、基板を搬送する搬送手段と、前記基板を処理する処理手段と、前記搬送手段による前記基板の搬送動作を画像データとして記録する記録手段と、各種の画面を表示する操作部と、前記基板の状態を示す情報と関連させて、前記搬送手段、前記処理手段、前記記録手段および前記操作部を制御する制御手段と、を備え、前記制御手段は、前記搬送手段による前記基板の搬送履歴情報と前記処理手段による基板処理の状況を表わす生産情報とを含む基板処理結果情報のうち前記搬送履歴情報が保存される第１格納部および前記基板処理結果情報のうち前記生産情報が保存される第２格納部を有し、前記搬送履歴情報を表示する画面が選択されると前記記録手段が記録した前記画像データを前記搬送履歴情報と共に前記操作部に表示させ、前記生産情報を表示する画面が選択されると前記記録手段が記録した前記画像データを前記生産情報と共に前記操作部に表示させる基板処理装置が提供される。
【０００７】
本発明のさらに他の態様によれば、基板を搬送する搬送手段と、前記搬送手段による前記基板の搬送時に発生する搬送エラーを検出する検出手段と、前記搬送手段による前記基板の搬送を制御する搬送制御手段と、前記搬送手段による前記基板の搬送動作を画像データとして記録する記録手段と、前記記録手段で記録した前記画像データを所定期間又は所定のイベント間の期間で区切ってファイルに変換し、記憶部に保存する主制御手段と、を備え、前記主制御手段は、前記搬送エラーの発生を示すエラー通知、前記搬送エラーの発生時刻を示す時刻データ、前記搬送エラーの発生時のレシピ内容および前記搬送エラーの発生時の前記基板処理装置の状態を示すモニタデータ、を含むエラー情報を生成し、前記搬送エラーの発生時の前記画像データを含む前記ファイルを前記搬送エラーの発生時の前記搬送手段の位置及び速度を含む数値データとともに前記エラー情報に関連付け、予め前記記憶部に保存しておいた正常時の画像データ及び数値データと、前記搬送エラーの発生時の前記画像データ及び前記数値データとを比較してこれらのデータの相違点を抽出した比較データを生成し、前記比較データを前記エラー情報に関連付け、前記主制御手段が有する操作画面に前記エラー情報を表示するように構成される基板処理装置が提供される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、基板搬送に関する画像データを効率よく収集・保存し、搬送エラー発生時の画像データ及び基板の状態を表示することで搬送エラーの解析に利用することができるので、搬送エラーの発生原因を容易に特定できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１実施形態に係る基板処理装置の概略構成図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る基板処理装置の制御手段のブロック構成図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係る画像制御コントローラが備えるプログラムテーブルの設定例である。
【図４】本発明の第１実施形態に係る画像制御コントローラにより確保されたＲＡＭのメモリ領域の方式例である。
【図５】本発明の第１実施形態に係る画像制御コントローラによる画像データの収集・保存のフローチャートである。
【図６】本発明の第１実施形態に係る基板処理装置の真空ロボットの動作を説明する図である。
【図７】本発明の第１実施形態に係る画像制御コントローラによるファイルの変換及びハードディスクへの保存についての概要説明図である。
【図８】本発明の第４実施形態に係る基板処理装置の斜視図である。
【図９】本発明の第４実施形態に係る基板処理装置の側面透視図である。
【図１０】本発明の第４実施形態に係る基板処理装置の主コントローラを中心としたハードウエアの概略構成の一例を示すブロック図である。
【図１１】本発明の第４実施形態に係る基板処理装置の主コントローラによる比較データの生成についての概要説明図である。
【図１２】本発明の第４実施形態に係る基板処理装置の操作画面の表示例である。
【図１３】本発明の第３実施形態に係る画像制御コントローラが有するＲＡＭ及びハードディスクの各領域の方式例である。
【図１４】本発明の第３実施形態に係る画像制御コントローラによる画像データの収集・保存のフローチャートである。
【図１５】本発明の第２実施形態に係る操作部に表示される搬送履歴情報画面の一例である。
【図１６】本発明の第２実施形態に係る操作部に表示される生産情報画面の一例である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
＜本発明の第１実施形態＞
以下に、本発明の第１実施形態について説明する。
【００１１】
（１）基板処理装置の構成
まずは、本実施形態に係る基板処理装置の構成について、図１を参照しながら説明する。図１は、本実施形態に係る枚葉式のクラスタ型基板処理装置１０の概略構成図である。
【００１２】
図１に示すように、基板処理装置１０は真空側と大気側とに分れている。
【００１３】
（真空側の構成）
基板処理装置１０の真空側には、真空気密可能な真空搬送室（トランスファチャンバ）ＴＭと、予備室としてのバキュームロックチャンバ（ロードロック室）ＶＬ１，ＶＬ２と、処理室としてのプロセスチャンバＰＭ１，ＰＭ２，ＰＭ３，ＰＭ４と、が設けられる。バキュームロックチャンバＶＬ１，ＶＬ２、プロセスチャンバＰＭ１〜ＰＭ４は、真空搬送室ＴＭの外周に星状に配置されている。なお、以降の説明において、プロセスチャンバＰＭ１〜ＰＭ４や、バキュームロックチャンバＶＬ１，ＶＬ２等の複数個のうちの任意の構成を表す場合には、例えば「プロセスチャンバＰＭ」のように数字を付さずに記載する。
【００１４】
真空搬送室ＴＭは、真空状態などの大気圧未満の圧力（負圧）に耐えることが出来るロードロックチャンバ構造に構成されている。なお、本実施形態においては、真空搬送室ＴＭの筐体は、平面視が六角形で、上下両端が閉塞した箱形状に形成されている。
【００１５】
真空搬送室ＴＭ内には、第１搬送手段としての真空ロボットＶＲが設けられている。真空ロボットＶＲは、バキュームロックチャンバＶＬ１，ＶＬ２及びプロセスチャンバＰＭ１〜ＰＭ４との間で、シリコン（Ｓｉ）等からなる基板としてのウエハＷの搬送を基板載置部である上側アームＵＶＡ又は下側アームＬＶＡに載せることで相互に行なう。ウエハＷの搬送は、対象となるチャンバに対して、例えばウエハＷの搬入出を略同時に行う入替え動作により行うよう構成することができる。なお、真空ロボットＶＲは、エレベータＥＶによって、真空搬送室ＴＭの気密性を維持しつつ昇降できるように構成される。また、上側アームＵＶＡ及び下側アームＬＶＡはそれぞれ水平方向に伸縮でき、係る水平面内で回転移動できるように構成されている。
【００１６】
また、真空搬送室ＴＭ内であって、ゲートバルブＧＶ１，ＧＶ２，ＧＰ１，ＧＰ２，ＧＰ３，ＧＰ４の手前側のそれぞれの所定位置（バキュームロックチャンバＶＬ１，ＶＬ２及びプロセスチャンバＰＭ１〜ＰＭ４への搬入出時にウエハＷが通過する位置の近傍）にはウエハＷの有無を検出する検出手段としてのウエハ有無センサＳＴ１，ＳＴ２，ＳＴ３，ＳＴ４（ＰＭ１〜ＰＭ４側のみ図示）がそれぞれ設置され、上側アームＵＶＡ上及び下側アームＬＶＡ上のウエハＷの存在を検出できるようになっている。
【００１７】
また、真空搬送室ＴＭ内には、静止画や動画等の画像データとして真空ロボットＶＲによる搬送動作を記録する小型のビデオカメラやウェブカメラ等の第１記録手段としてのカメラＣＴが設置されている。カメラＣＴは１台のみならず複数台設置されていてもよい。具体的には、バキュームロックチャンバＶＬ１，ＶＬ２、プロセスチャンバＰＭ１〜ＰＭ４の各手前側の上部位置等、ウエハＷの移動や受け渡し等の様子が確認し易い位置の複数個所に設置することができる。また、所定のプロセスチャンバＰＭの側壁等に図示しない覗き窓を設け、係る覗き窓から内部を見通せる位置にカメラを設置し、プロセスチャンバＰＭ内での搬送動作を記録するように構成してもよい。係る構成は、腐食ガスやプラズマ
等を用いた処理や高温環境下での処理のため、プロセスチャンバＰＭの内部にカメラを設置できない場合に有効である。
【００１８】
これにより、上記のウエハ有無センサＳＴ１〜ＳＴ４等により搬送エラーが検出された場合に、搬送エラーの解析が容易となる。
【００１９】
ウエハ有無センサにより期待値と異なるウエハＷの有無の状態が検出され、搬送エラーが発生した場合、画像データを確認することにより、位置ずれ、落下、破損等のウエハＷの詳細の状態を直ちに知ることができる。また、ウエハＷが、位置ずれ、落下、破損等の状態に至る原因としては、真空ロボットＶＲのアームＵＶＡ，ＬＶＡの調整不良、アームＵＶＡ，ＬＶＡや後述の各チャンバに設けられた基板載置部の汚れや摩耗、各チャンバ間の圧力差によるゲートバルブＧＶ，ＧＰ開放時の気流発生等が考えられる。ここで、搬送エラーの発生時の基板の搬送状態を示すモニタデータや、搬送トレースデータ、エラーロギングデータ等に加え、画像データを利用して解析することにより、搬送エラーの発生原因を特定することができ、且つ、解析にかかる時間を低減することができる。
【００２０】
このように、本実施形態では、真空搬送室ＴＭ内等にカメラＣＴを設置し、このカメラＣＴにより記録された画像データを利用する。つまり、後述するように、ウエハＷの詳細な状態を示す情報（ウエハＷの状態情報）と画像データによる基板搬送情報とを同一画面上に表示することにより、搬送エラーの発生原因の特定が容易となり、短時間で搬送エラーの解析を行うことができる。
【００２１】
各プロセスチャンバＰＭ１〜ＰＭ４は、それぞれが例えばアッシングや化学反応による成膜（ＣＶＤ：Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）など、ウエハＷに付加価値を与える処理室として機能する。ここで、任意のプロセスチャンバＰＭは、ウエハＷが載置される図示しない基板載置部や、その機能に応じた各種の構成、例えばガス導入・排気機構や温度制御・プラズマ放電機構を備えている。これらの機構は、プロセスチャンバＰＭ内へ供給する処理ガスの流量を制御するマスフローコントローラ（ＭＦＣ）１１、プロセスチャンバＰＭ内の圧力を制御するオートプレッシャコントローラ（ＡＰＣ）１２、プロセスチャンバＰＭ内の温度を制御する温度調整器１３、処理ガスの供給や排気用バルブのオン／オフを制御する入出力バルブＩ／Ｏ１４、などを備えている。上記各構成は、制御手段ＣＮＴの備えるプロセスチャンバコントローラＰＭＣに電気的に接続されている。制御手段ＣＮＴの構成については後述する。
【００２２】
主に、ＭＦＣ１１、ＡＰＣ１２、温度調整器１３、入出力バルブＩ／Ｏ１４等を備えるプロセスチャンバＰＭ１〜ＰＭ４により、本実施形態に係る処理手段が構成されている。
【００２３】
バキュームロックチャンバＶＬ１，ＶＬ２は、真空搬送室ＴＭ内へウエハＷを搬入する予備室として、あるいは真空搬送室ＴＭ内からウエハＷを搬出する予備室として機能する。バキュームロックチャンバＶＬ１，ＶＬ２の内部には、ウエハＷを搬入搬出する際、ウエハＷを一時的に支持する基板載置部としてのバッファステージＢＳ１，ＢＳ２が、それぞれ設けられている。バッファステージＢＳ１，ＢＳ２は、複数枚（例えば２枚）のウエハＷを保持する多段型スロットとしてそれぞれ構成されていてもよい。
【００２４】
バキュームロックチャンバＶＬ１，ＶＬ２は、それぞれゲートバルブＧＶ１，ＧＶ２を介して真空搬送室ＴＭと連通しており、また、それぞれゲートバルブＧＶ３，ＧＶ４を介して後述する大気搬送室ＬＭと連通している。したがって、ゲートバルブＧＶ１，ＧＶ２を閉じたまま、ゲートバルブＧＶ３，ＧＶ４を開けることにより、真空搬送室ＴＭ内の真空気密を保持したまま、バキュームロックチャンバＶＬ１，ＶＬ２と大気搬送室ＬＭとの間でウエハＷの搬送を行うことが可能である。
【００２５】
また、バキュームロックチャンバＶＬ１，ＶＬ２は、真空状態などの大気圧未満の負圧に耐えることが出来るロードロックチャンバ構造として構成されており、その内部をそれぞれ真空排気することが可能となっている。したがって、ゲートバルブＧＶ３，ＧＶ４を閉じてバキュームロックチャンバＶＬ１，ＶＬ２の内部を真空排気した後で、ゲートバルブＧＶ１，ＧＶ２を開けることにより、真空搬送室ＴＭ内の真空状態を保持したまま、バキュームロックチャンバＶＬ１，ＶＬ２と真空搬送室ＴＭとの間で、ウエハＷの搬送を行うことが可能である。
【００２６】
（大気側の構成）
一方、基板処理装置１０の大気側には、上述の通り、バキュームロックチャンバＶＬ１，ＶＬ２に接続された大気搬送室ＬＭと、大気搬送室ＬＭに接続された基板収納容器としてのＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ−Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ：以下、ポッドＰＤ１〜ＰＤ３という）を載置する基板収容部としてのロードポートＬＰ１〜ＬＰ３と、が設けられる。
【００２７】
大気搬送室ＬＭには、大気搬送室ＬＭの内部にクリーンエアを供給する図示しないクリーンエアユニットが設けられている。
【００２８】
大気搬送室ＬＭ内には、第２搬送手段としての大気ロボットＡＲが例えば１台設けられている。大気ロボットＡＲは、バキュームロックチャンバＶＬ１，ＶＬ２とロードポートＬＰ１〜ＬＰ３との間でウエハＷの搬送を相互に行なう。大気ロボットＡＲも、真空ロボットＶＲと同様に基板載置部である上側アームＵＡＡ及び下側アームＬＡＡを有する。
【００２９】
また、大気搬送室ＬＭ内であって、ゲートバルブＧＶ３，ＧＶ４の手前側のそれぞれの所定位置（バキュームロックチャンバＶＬ１，ＶＬ２への搬入出時にウエハＷが通過する位置の近傍）にも、ウエハＷの有無を検出する検出手段としてのウエハ有無センサＳＬ１，ＳＬ２がそれぞれ設置され、上側アームＵＡＡ及び下側アームＬＡＡ上のウエハＷの存在を検出できるようになっている。
【００３０】
また、大気搬送室ＬＭ内には、静止画や動画等の画像データとして大気ロボットＡＲによる搬送動作を記録する小型のビデオカメラやウェブカメラ等の第２記録手段としてのカメラＣＬが設置されている。カメラＣＬは１台のみならず複数台設置されていてもよい。具体的には、バキュームロックチャンバＶＬ１，ＶＬ２の各手前側の上部位置等、ウエハＷの移動や受け渡し等の様子が確認し易い位置の複数個所に設置することができる。
【００３１】
これにより、上記のウエハ有無センサＳＬ１，ＳＬ２により搬送エラーが検出された場合に、搬送エラーの解析が容易となる。
【００３２】
従来においては、搬送エラーが発生したことはウエハ有無センサにより知ることができても、基板処理装置の状態を示すモニタデータや、搬送トレースデータ、エラーロギングデータ等、基板処理装置の内部に蓄積されたデータを解析し、搬送エラーの発生原因等を推定し特定することとなる。このような搬送エラーの解析は非常に時間がかかるため、搬送エラーの発生原因を特定することは困難であった。
【００３３】
しかしながら、本実施形態では、カメラＣＬにより記録された画像データを利用して、ウエハＷの詳細な状態情報と画像データによる基板搬送情報とを同一画面上に表示することにより、搬送エラーの発生原因の特定が容易となり、短時間で搬送エラーの解析を行うことができる。
【００３４】
なお、大気搬送室ＬＭ内には、基板位置補正装置として、ウエハＷの結晶方位の位置合わせ等を行うオリフラ（Ｏｒｉｅｎｔａｔｉｏｎ  Ｆｌａｔ）合わせ装置ＯＦＡが設けられている。ウエハＷがノッチタイプであるときは、基板位置補正装置としてのノッチ合わせ装置を設けることも可能である。
【００３５】
各ロードポートＬＰ１〜ＬＰ３は、各ロードポートＬＰ１〜ＬＰ３上に、複数枚のウエハＷを収納する基板収納容器としてのポッドＰＤ１〜ＰＤ３をそれぞれ載置するように構成される。ポッドＰＤ１〜ＰＤ３内には、ウエハＷをそれぞれ収納する収納部としてのスロット（図示せず）が複数設けられている。各ロードポートＬＰ１〜ＬＰ３はポッドＰＤ１〜ＰＤ３が載置されると、ポッドＰＤ１〜ＰＤ３を識別するＩＤ（キャリアＩＤ）を読み取ったり書き込んだりするよう構成される。
【００３６】
また、各ロードポートＬＰ１〜ＬＰ３は、ポッドＰＤ１〜ＰＤ３が載置された際、および基板処理が終了して全部のウエハＷが払い出されてきた際、ポッドＰＤ１〜ＰＤ３の各スロットにおけるウエハＷの有無を確認するマッピングを行うよう構成される。これにより、ウエハＷがどのスロット位置に収納されているか等を識別し、また、ウエハＷが各スロット位置に正しく収納されているか、基板処理前後でウエハＷのスロット位置に変わりはないか等の異常を判定する。ウエハＷがスロット位置に正しく収納されない例としては、ウエハＷの割れや欠け、ズレにより、ウエハＷがスロットを跨って斜めに収納されていたり（クロス）、上段のスロットから下段に落ちて１つのスロットに２枚以上重なって収納されていたり（ダブル）すること等が考えられる。
【００３７】
従来技術においては、このような異常が発生した場合、やはり原因の特定に多大な時間や労力を要していたが、本実施形態によれば、上述の画像データとウエハＷの詳細な状態情報とを同一画面上に表示させ、スロット位置での異常を解析することにより、原因の特定にかかる時間や労力を低減することができる。
【００３８】
以上、本実施形態の基板処理装置１０について説明をしたが、各室の数や構成、組み合わせは上記に限られず、適宜、選択することができる。
【００３９】
（２）制御手段の構成
基板処理装置１０の各構成は、制御手段ＣＮＴにより制御される。図２に、制御手段ＣＮＴの構成例を示す。制御手段ＣＮＴは、第１制御手段としての統括制御コントローラ９０と、プロセスチャンバコントローラＰＭＣ１（９１），ＰＭＣ２（９２）・・・と、第２制御手段としての画像制御コントローラ９３と、操作員による操作を受け付ける操作部１００と、を備えており、これらはＬＡＮ回線８０により相互にデータ交換可能なように接続されている。なお、ＬＡＮ回線８０に代えて、ＵＳＢ回線やデジタルＩ／Ｏ回線等を用いることも可能である。
【００４０】
（統括制御コントローラ）
統括制御コントローラ９０は、真空ロボットＶＲ、大気ロボットＡＲ、ゲートバルブＧＰ１〜ＧＰ４，ＧＶ１〜ＧＶ４、バキュームロックチャンバＶＬ１，ＶＬ２と、それぞれ接続されている。そして、統括制御コントローラ９０は、真空ロボットＶＲ及び大気ロボットＡＲの動作、ゲートバルブＧＰ１〜ＧＰ４，ＧＶ１〜ＧＶ４の開閉動作、バキュームロックチャンバＶＬ１，ＶＬ２内部の排気動作を制御するように構成されている。また、統括制御コントローラ９０は、搬送手段や処理手段を構成する上記各部からウエハＷの詳細な状態を示す状態情報を取得するよう構成されている。
【００４１】
また、統括制御コントローラ９０は、上述の検出手段としてのウエハ有無センサＳＴ１〜ＳＴ４，ＳＬ１，ＳＬ２等にそれぞれ接続されており、ウエハ有無センサＳＴ１〜ＳＴ
４，ＳＬ１，ＳＬ２等からの検出信号に基づいて、基板処理装置１０内のウエハＷの位置を示す位置情報を作成して随時更新するように構成されている。そして、統括制御コントローラ９０は、ウエハＷをポッドＰＤ１〜ＰＤ３の内のどのスロットに収納するかをそれぞれ指定する収納情報とウエハＷの位置情報とに加え、ウエハＷについてのプロセス処理状況、ウエハＷやポッドＰＤ１〜ＰＤ３を識別するウエハＩＤやキャリアＩＤ、ウエハＷに対して実施するレシピ等のデータに基づいて、第１搬送手段としての真空ロボットＶＲ及び第２搬送手段としての大気ロボットＡＲや、ゲートバルブＧＰ１〜ＧＰ４，ＧＶ１〜ＧＶ４等の動作を制御するように構成されている。
【００４２】
また、統括制御コントローラ９０は、ウエハ有無センサＳＴ１〜ＳＴ４，ＳＬ１，ＳＬ２等により搬送エラーが検出されると、真空ロボットＶＲや大気ロボットＡＲによる搬送動作を停止させ、その旨を画像制御コントローラ９３に通知するように構成されている。
【００４３】
また、統括制御コントローラ９０は、第１格納部としてのハードディスク９０ｈを備えている。ハードディスク９０ｈには、搬送に関する各種情報が統括制御コントローラ９０により保存されるように構成されている。また、ハードディスク９０ｈには、統括制御コントローラ９０を介して基板処理装置１０の動作を制御する制御プログラム等が読み出し可能に格納されている。
【００４４】
（プロセスチャンバコントローラ）
プロセスチャンバコントローラＰＭＣ１，ＰＭＣ２・・・は、プロセスチャンバＰＭ１，ＰＭ２・・・が備えるＭＦＣ１１、ＡＰＣ１２、温度調整器１３、入出力バルブＩ／Ｏ１４等にそれぞれ接続されている。そして、プロセスチャンバコントローラＰＭＣ１，ＰＭＣ２・・・は、プロセスチャンバＰＭ１，ＰＭ２・・・のガス導入・排気機構、温度制御・プラズマ放電機構等の各動作を制御するように構成されている。
【００４５】
また、プロセスチャンバコントローラＰＭＣ１，ＰＭＣ２・・・は、第２格納部としてのハードディスク９１ｈ，９２ｈ・・・をそれぞれ備えている。ハードディスク９１ｈ，９２ｈ・・・には、基板処理に関する各種情報がプロセスチャンバコントローラＰＭＣ１，ＰＭＣ２・・・により保存されるように構成されている。また、ハードディスク９１ｈ，９２ｈ・・・には、プロセスチャンバコントローラＰＭＣ１，ＰＭＣ２・・・を介して基板処理装置１０の動作を制御する制御プログラム等が読み出し可能に格納されている。
【００４６】
（画像制御コントローラ）
画像制御コントローラ９３は、ＵＳＢ回線やＬＡＮ回線等により、真空搬送室ＴＭ内や大気搬送室ＬＭ内などに設置される記録手段としてのカメラＣＴ・・・、カメラＣＬ・・・等にそれぞれ接続されている。また、画像制御コントローラ９３は、カメラＣＴ，ＣＬ等が記録した画像データが蓄積される蓄積部としてのＲＡＭ９３ｒと、ＲＡＭ９３ｒへの画像データの蓄積条件等が規定されたプログラムテーブル９３ｐとを備えている。プログラムテーブル９３ｐは、例えば画像制御コントローラ９３が備える図示しない記憶装置等に読み出し可能に格納されている。また、画像制御コントローラ９３には、記憶部としてのハードディスクＨＤが接続されている。記憶装置又はハードディスクＨＤには、画像制御コントローラ９３を介してカメラＣＴ・・・、カメラＣＬ・・・等の動作を制御する制御プログラム等が読み出し可能に格納されている。
【００４７】
画像制御コントローラ９３が起動されると、画像制御コントローラ９３は、プログラムテーブル９３ｐを読み出しその蓄積条件等に従って、画像データを蓄積するＲＡＭ９３ｒのメモリ領域を必要分確保するとともに、所定のカメラＣＴ，ＣＬ等を起動して画像データの記録を開始させるように構成される。また、画像制御コントローラ９３は、蓄積条件等に従う所定の周期で所定の蓄積時間分の画像データのＲＡＭ９３ｒへの蓄積を開始する
ように構成される。また、画像制御コントローラ９３は、統括制御コントローラ９０との通信回線を初期化して通信を確立した後、統括制御コントローラ９０からの通知待ちの状態となるように構成される。
【００４８】
各カメラＣＴ，ＣＬ等で記録した画像データは、画像制御コントローラ９３に操作画面等を設けたうえで、適宜、基板搬送情報として、そこに表示可能に構成されていてもよい。あるいは、操作部１００が備える図示しない操作画面に表示可能に構成されていてもよい。その際、搬送エラーの発生時に画像データの保存が可能であることが操作画面上に表示される構成としてもよい。
【００４９】
また、画像制御コントローラ９３は、真空ロボットＶＲや大気ロボットＡＲが搬送エラーにより停止した旨の通知を統括制御コントローラ９０から受け取ると、画像データの蓄積を中断したうえで、係る搬送エラーの発生時を含む所定時間分の画像データをＲＡＭ９３ｒから読み出してファイルに変換し、ハードディスクＨＤに保存するように構成される。ハードディスクＨＤへの保存が終了すると、画像制御コントローラ９３は、画像データの蓄積を再開するように構成される。
【００５０】
このように、本実施形態では、搬送エラーの発生前後の画像データをハードディスクＨＤに保存する。これにより、例えば常時画像データの取り込み・保存を行った場合と異なり、膨大な量の画像データの中から搬送エラーの解析に必要な部分をピックアップする手間が省け、解析に要する時間を削減することができる。また、常時稼働中の基板処理装置で画像データを保存し続けることには、記憶媒体の容量制限上、限界があったが、本実施形態では、ハードディスクＨＤの記憶容量が少なくて済み、且つ、ハードディスクＨＤの負荷を低減することができる。
【００５１】
また、ハードディスクＨＤを例えば外部記憶部として構成すれば、ハードディスクＨＤに保存されたファイルを、画像制御コントローラ９３や操作部１００の操作画面に表示させたりするのみならず、例えば基板処理装置１０が設置されているクリーンルームから離れた事務所エリア等で、コンピュータ上に表示させたりすることができる。これにより、画像データの表示や参照がし易くなるので、搬送エラーの解析がいっそう容易化される。
【００５２】
（プログラムテーブル）
画像制御コントローラ９３が備えるプログラムテーブル９３ｐには、カメラＣＴ，ＣＬ等の台数や起動の要否、画像データをＲＡＭ９３ｒに蓄積する周期および蓄積時間等の蓄積条件が規定されている。図３に、プログラムテーブル９３ｐによる蓄積条件の設定例をいくつか挙げる。図３（ａ）に示すプログラムテーブル９３ｐでは、カメラごとに起動の要否を設定するように構成されている。また、画像データのＲＡＭ９３ｒへの蓄積時間を全てのカメラに対して一括設定するように構成されている。一方、図３（ｂ）に示すプログラムテーブル９３ｐのように、画像データのＲＡＭ９３ｒへの蓄積時間についても個々のカメラに対して設定できるよう構成することも可能である。
【００５３】
ここで、画像データをＲＡＭ９３ｒに蓄積する周期は、例えば基板処理装置１０内で起こる所定のイベントをトリガとして定めることができる。周期の始点や終点となるイベントの具体例としては、ポッドＰＤがロードポートＬＰに載置されたタイミングや、真空ロボットＶＲや大気ロボットＡＲが所定位置に移動したタイミング、ゲートバルブＧＰ，ＧＶの開閉のタイミング等がある。
【００５４】
また、画像データのＲＡＭ９３ｒへの蓄積時間は、例えば真空ロボットＶＲや大気ロボットＡＲ等の搬送手段による所定の動作の所要時間に基づき定めることができる。このとき、各１分程度の１つの動作ごとに区切られた期間を蓄積時間とすることもできるが、所
定のプロセスチャンバＰＭ内へのウエハＷの搬入所要時間や、プロセスチャンバＰＭ内からの処理済みのウエハＷの搬出所要時間等のように、ひとまとまりの一連の動作ごとに区切るほうが好ましい。加えて、プロセスチャンバＰＭ内でのウエハＷの処理時間も蓄積時間に含めると、ウエハＷの位置ずれや落下、破損がプロセスチャンバＰＭ内で生じた場合などでも搬送エラーの解析が容易となる。この場合、基板処理の所要時間を加味して蓄積時間を設定する。つまり、このときの蓄積時間は、所定のウエハＷについての、プロセスチャンバＰＭ内への搬入所要時間、プロセスチャンバＰＭ内での処理時間、プロセスチャンバＰＭ内からの搬出所要時間、の合計となる。このほか、真空搬送室ＴＭ内、大気搬送室ＬＭ内の各カメラＣＴ，ＣＬの設置場所に応じて、真空搬送室ＴＭ内外或いは大気搬送室ＬＭ内外へのウエハＷの搬入から搬出までの時間等を蓄積時間とすることも可能である。
【００５５】
上述のように、搬送エラーが発生した際には、このように設定された蓄積時間を１つの単位として画像データのファイルへの変換がなされ、ハードディスクＨＤに保存するように構成されている。したがって、係るファイルに含まれる所定時間分の画像データは、蓄積時間の開始時から終了時まで又は蓄積時間の開始時から搬送エラーが発生して蓄積が中断されるまでに取得された画像データである。
【００５６】
なお、プログラムテーブル９３ｐは、後述する基板処理装置１０の自動搬送処理における所定の手順を画像制御コントローラ９３に実行させ、所定の結果を得ることが出来るように組み合わされたものであり、プログラムとして機能する。以下、このプログラムテーブル９３ｐや上述の制御プログラム等を総称して、単にプログラムともいう。なお、本明細書においてプログラムという言葉を用いた場合には、プログラムテーブル９３ｐ単体のみを含む場合、制御プログラム単体のみを含む場合、または、その両方を含む場合がある。
【００５７】
（ＲＡＭのメモリ領域）
上述のように、画像制御コントローラ９３は、蓄積条件に従ってＲＡＭ９３ｒのメモリ領域を確保する。図４に、画像制御コントローラ９３により確保されるＲＡＭ９３ｒのメモリ領域の方式例をいくつか挙げる。図４（ａ）に示す方式では、１つのカメラから得られる画像データに対して、蓄積条件により規定される蓄積時間分の容量が１つだけ確保されている。従って、蓄積条件の周期が来るごとに当該メモリ領域の先頭から上書きをしていく。一方、図４（ｂ）に示すように、１つのカメラからの画像データに対して、蓄積時間分の容量を複数確保する方式も考えられる。この場合、複数のメモリ領域に対して順に画像データの蓄積を行い、すべてのメモリ領域がいっぱいになったら、当初のメモリ領域から順に上書きをしていく。
【００５８】
以上、本実施形態では、ＲＡＭ９３ｒの所定メモリ領域内に画像データを上書きしつつ、搬送エラーが生じた場合には、搬送エラーの発生前後の画像データのみをハードディスクＨＤに保存している。このように、画像データの収集および保存の効率化を図っているので、ＲＡＭ９３ｒやハードディスクＨＤに過剰の負荷をかけることなく画像データの取得が可能となり、短時間で搬送エラーの解析を行うことができる。
【００５９】
（操作部）
操作部１００は、システム制御コマンドの指示、操作画面表示機能を担う。また、上述の画像データによる基板搬送情報や、基板処理装置１０の状態を示すモニタデータ、各種ロギングデータ等のウエハＷの詳細な状態情報や、アラームの解析、レシピ編集やパラメータ編集などの画面表示・入力受付機能を担う。操作部１００は、これらのうち、画像データによる基板搬送情報とウエハＷの詳細な状態情報とを同一画面上に表示するよう構成される。
【００６０】
以上、上記制御手段ＣＮＴの構成では、統括制御コントローラ９０と画像制御コントローラ９３とを別構成としたが、統括制御コントローラ９０の性能やハード要件が満たせるのであれば、統括制御コントローラに画像制御コントローラとしての機能を持たせてもよい。この場合、例えば統括制御コントローラに統括制御プログラムと画像制御プログラムとを備えさせ、両プログラム間で各種データを受け渡すように構成してもよい。
【００６１】
なお、制御手段ＣＮＴや、制御手段ＣＮＴを構成する統括制御コントローラ９０、画像制御コントローラ９３等は、専用のコンピュータとして構成されている場合に限らず、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）、記憶装置、Ｉ／Ｏポートを備えた汎用のコンピュータとして構成されていてもよい。例えば、上述のプログラムを格納した外部記憶装置２３（例えば、磁気テープ、フレキシブルディスクやハードディスク等の磁気ディスク、ＣＤやＤＶＤ等の光ディスク、ＭＯ等の光磁気ディスク、ＵＳＢメモリやメモリカード等の半導体メモリ）を用意し、係る外部記憶装置２３を用いて汎用のコンピュータにプログラムをインストールすること等により、本実施形態に係る制御手段ＣＮＴ等を構成することができる。この場合、制御手段ＣＮＴや、制御手段ＣＮＴを構成する統括制御コントローラ９０、画像制御コントローラ９３等は、それぞれが個別のコンピュータとして構成されていてもよく、或いは、これらのうちの複数が１つのコンピュータに統合されていてもよい。なお、コンピュータにプログラムを供給する手段は、外部記憶装置２３を介して供給する場合に限らない。例えば、インターネットや専用回線等の通信手段を用い、外部記憶装置２３を介さずにプログラムを供給するようにしてもよい。なお、統括制御コントローラ９０が備えるハードディスク９０ｈや画像制御コントローラ９３が備える記憶装置、あるいは外部記憶装置２３等は、コンピュータ読み取り可能な記録媒体として構成される。以下、これらを総称して、単に記録媒体ともいう。なお、本明細書において記録媒体という言葉を用いた場合は、ハードディスク９０ｈ単体のみを含む場合、記憶装置単体のみを含む場合、外部記憶装置２３単体のみを含む場合、または、これらの任意の組み合わせを含む場合がある。また、上述のハードディスク９０ｈ等は、上述のようなＨＤＤ（Ｈａｒｄ  Ｄｉｓｋ  Ｄｒｉｖｅ）のみならず、例えばフラッシュメモリ等で構成されていてもよい。
【００６２】
（３）基板処理装置の動作
次に、上述の基板処理装置１０により実施される自動搬送処理について、図１及び図５を用いて説明する。図５は、画像制御コントローラ９３による画像データの収集・保存のフローチャートである。なお、以下の説明において、基板処理装置１０の各部の動作は制御手段ＣＮＴにより制御される。係る動作及び制御は半導体装置の製造工程の一工程として行われ、その更に一部は搬送エラーのデータ解析工程の一工程として行われる。
【００６３】
また、以降において、「未処理のウエハＷ」という場合には、ロードポートＬＰから未だ基板処理装置１０に投入されていないウエハＷ、又は、ロードポートＬＰから基板処理装置１０に投入されたウエハＷのうち、搬入対象となっているプロセスチャンバＰＭでの処理を受けていないウエハＷを指す。また、以降において、「処理済みのウエハＷ」という場合には、基板処理装置１０における全ての処理を終えたウエハＷ、又は、所定のプロセスチャンバＰＭ内で所定の処理を終えたウエハＷを指す。
【００６４】
（画像制御コントローラの起動）
図５に示すように、基板処理装置１０や制御手段ＣＮＴに電源が投入されるなどして画像制御コントローラ９３が起動されると、画像制御コントローラ９３は、プログラムテーブル９３ｐを読み出し、蓄積条件にしたがってＲＡＭ９３ｒのメモリ領域を確保する（Ｓ１）。また、蓄積条件にしたがって所定のカメラＣＴ，ＣＬを起動して画像データの記録を開始させるとともに、所定の周期で所定の蓄積時間分の画像データのＲＡＭ９３ｒへの
蓄積を開始する（Ｓ２）。また、ＬＡＮ回線８０を初期化して、統括制御コントローラ９０との通信を確立させる（Ｓ３）。その後、統括制御コントローラ９０からの搬送手段が停止した旨の通知待ちの状態となる（Ｓ４）。
【００６５】
また、ゲートバルブＧＶ１，ＧＶ２を閉じ、ゲートバルブＧＶ３，ＧＶ４を開き、真空搬送室ＴＭ内及びプロセスチャンバＰＭ１〜ＰＭ４内を真空排気する。併せて、大気搬送室ＬＭ内には、大気搬送室ＬＭ内が略大気圧になるようにクリーンエアを供給する。
【００６６】
（大気搬送室内への搬送）
上記各部の準備が整った後に、例えば複数枚の未処理のウエハＷを収納したポッドＰＤ１がロードポートＬＰ１に載置されると、図１に示すように、大気ロボットＡＲにより、ポッドＰＤ１内の基板位置Ｐ１に収納されているウエハＷを大気搬送室ＬＭ内に搬送し、オリフラ合わせ装置ＯＦＡ上の基板位置Ｐ２に設置し、結晶方位の位置合わせ等を実施する。
【００６７】
（バキュームロックチャンバ内への搬送）
続いて、大気ロボットＡＲにより、基板位置Ｐ２に設置されているウエハＷをピックアップし、少なくともゲートバルブＧＶ３が開放された状態で、例えばバキュームロックチャンバＶＬ１内に搬送し、バッファステージＢＳ１上の基板位置Ｐ３に設置する。そして、ゲートバルブＧＶ３を閉じて、バキュームロックチャンバＶＬ１内部を真空排気する。
【００６８】
（プロセスチャンバ内への搬送）
バキュームロックチャンバＶＬ１が所定の圧力まで減圧したら、ゲートバルブＧＶ３，ＧＶ４を閉じたまま、ゲートバルブＧＶ１を開ける。そして、真空ロボットＶＲにより、基板位置Ｐ３に設置されているウエハＷをピックアップし、例えばゲートバルブＧＰ１を開けて、プロセスチャンバＰＭ１内にウエハＷを搬送し、基板位置Ｐ４に設置する。その後、プロセスチャンバＰＭ１内に処理ガスを供給したりウエハＷを加熱したりなどして、ウエハＷに対して所定の処理を実施する。
【００６９】
プロセスチャンバＰＭ１内におけるウエハＷの処理が完了したら、真空ロボットＶＲにより、基板位置Ｐ４に設置されている処理済のウエハＷをピックアップし、例えばゲートバルブＧＰ２を開けて、プロセスチャンバＰＭ２内にウエハＷを搬送し、基板位置Ｐ５に配置する。プロセスチャンバＰＭ２においても、処理ガスを供給したりウエハＷを加熱したりなどして、ウエハＷに対して所定の処理を実施する。このように、ウエハＷに所定の処理がすべて施されるまで、所定のプロセスチャンバＰＭ内外への搬送を順次実施する。このとき、使用するプロセスチャンバ数や搬送順序は、予定されている処理内容に応じて適宜選択する。
【００７０】
（バキュームロックチャンバ内への搬送）
必要な処理が全て完了したら、真空ロボットＶＲにより、所定のプロセスチャンバＰＭの内部、例えばプロセスチャンバＰＭ２内部の基板位置Ｐ５に設置されている処理済のウエハＷをピックアップし、例えばゲートバルブＧＶ２を開けて、バキュームロックチャンバＶＬ２内に搬送し、バッファステージＢＳ２上の基板位置Ｐ６へ配置する。その後、ゲートバルブＧＶ２を閉め、バキュームロックチャンバＶＬ２内にクリーンガスを供給してバキュームロックチャンバＶＬ２内を略大気圧に戻し、ゲートバルブＧＶ４を開ける。
【００７１】
（ロードポートに載置されたポッドへの収納）
続いて、大気ロボットＡＲにより、基板位置Ｐ６に設置されている処理済みのウエハＷをピックアップして、例えばロードポートＬＰ３に載置されたポッドＰＤ３に搬送して空きスロットである基板位置Ｐ７に収納する。
【００７２】
このように、真空ロボットＶＲや大気ロボットＡＲが所定の搬送動作を行って、ウエハ有無センサＳＴ１〜ＳＴ４，ＳＬ１，ＳＬ２等による搬送エラーが検出されなければ、以後、係る搬送動作を記録・蓄積しつつ上記の工程を繰り返し、全ての未処理のウエハＷについて自動搬送処理が実施される。その後、処理済みウエハＷを収納したポッドＰＤ３をロードポートＬＰ３から搬出して、自動搬送処理を完了する。
【００７３】
（搬送エラーの発生時の動作）
一方、ウエハ有無センサＳＴ１〜ＳＴ４，ＳＬ１，ＳＬ２等により搬送エラーが検出されると、統括制御コントローラ９０は真空ロボットＶＲや大気ロボットＡＲ等の搬送手段を停止する。また、統括制御コントローラ９０は、搬送手段や処理手段を構成する各部からウエハＷの状態情報を取得する。また、統括制御コントローラ９０は、搬送手段が停止した旨を画像制御コントローラ９３に通知する。なお、統括制御コントローラ９０によるウエハＷの状態情報の取得は、上記の自動搬送処理中、随時、あるいは適宜、行われてもよい。
【００７４】
図５に示すように、統括制御コントローラ９０からの通知があったら（Ｓ４→ＹＥＳ）、画像制御コントローラ９３は、搬送エラーの発生時を含む所定時間分の画像データをＲＡＭ９３ｒから読み出してファイルに変換する（Ｓ５）。変換したファイルはハードディスクＨＤに保存する（Ｓ６）。以上により、画像制御コントローラ９３による画像データの収集・保存の動作を終了する。
【００７５】
このように取得した画像データによる基板搬送情報は、操作員による操作により、または、所定のタイミングで、ウエハＷの詳細な状態情報とともに、操作部１００が備える操作画面の同一画面上に表示することができる。
【００７６】
（４）搬送手段の動作
ここで、真空搬送室ＴＭ内での搬送手段によるウエハＷの搬送の様子を、図６を用いて更に詳しく説明する。
【００７７】
図６は、基板処理装置１０の真空ロボットＶＲの動作を説明する図である。ウエハＷの搬入出の対象となるプロセスチャンバＰＭ（図示せず）内では、処理済みのウエハＷ（以降、Ｗ２と表記する）が搬出待ちの状態となっており、真空ロボットＶＲが備える上側アームＵＶＡと下側アームＬＶＡとにより、処理済みのウエハＷ２と未処理のウエハＷ（以降、Ｗ１と表記する）との入替え動作を行うこととする。また、少なくともこの間、真空搬送室ＴＭ内に設置されたカメラＣＴにより、真空ロボットＶＲによる搬送動作が画像データとして記録されることとする。
【００７８】
まずは、例えばバキュームロックチャンバＶＬ（図示せず）内から上側アームＵＶＡにより未処理のウエハＷ１をピックアップし、図６（ａ）に示すように、上側アームＵＶＡをＹ軸方向に回転させてプロセスチャンバＰＭ側（紙面の上側）に向かせる。これにより、上側アームＵＶＡ上のウエハＷ１が、プロセスチャンバＰＭの手前側のウエハ有無センサＳＴによる検出位置にくる。ウエハＷ１に位置ずれ等が起きていなければウエハ有無センサＳＴによって「ウエハ有り」と検出される。一方、下側アームＬＶＡにはウエハが載置されていない状態であるので、ウエハ有無センサＳＴによって「ウエハ無し」と検出される。
【００７９】
次に、図６（ｂ）に示すように、下側アームＬＶＡをＸ２軸の前進方向（プロセスチャンバＰＭ方向）に伸張させ、図６（ｃ）に示すように、Ｚ１，Ｚ２軸方向（紙面に対して垂直方向）に昇降移動させて高さ調整をすることで、プロセスチャンバＰＭ内の処理済み
のウエハＷ２をピックアップする。
【００８０】
続いて、図６（ｄ）に示すように、ウエハＷ２が載置された下側アームＬＶＡをＸ２軸の後退方向（プロセスチャンバＰＭと反対方向）に収縮させると、ウエハＷ２がウエハ有無センサＳＴによる検出位置にくる。ウエハＷ２はウエハ有無センサＳＴによって「ウエハ有り」と検出される。
【００８１】
一方、未処理のウエハＷ１が載置された上側アームＵＶＡを、下側アームＬＶＡの後退動作に引き続いて、Ｘ１軸の前進方向に伸張させ、図６（ｅ）に示すように、Ｚ１，Ｚ２軸方向に昇降移動させることで、プロセスチャンバＰＭ内にウエハＷ１を移載する。
【００８２】
続いて、図６（ｆ）に示すように、ウエハＷ１を移載済みの上側アームＵＶＡをＸ１軸の後退方向に収縮させると、ウエハ有無センサＳＴによる検出位置にきても、上側アームＵＶＡにはウエハが載置されていない状態であるので、ウエハ有無センサＳＴによって「ウエハ無し」と検出される。以上により、プロセスチャンバＰＭに対する、ウエハＷ１，Ｗ２の入替え動作が完了する。
【００８３】
このように、上側アームＵＶＡ及び下側アームＬＶＡの種々の動作に応じて、期待値に適ったウエハＷの有無が検出されている場合は、ウエハ有無センサＳＴが搬送エラーを検出することはない。
【００８４】
一方、ウエハＷの位置ずれや落下、破損等によりウエハＷの搬送に支障を来し、無いはずのウエハＷが検出されたり、有るはずのウエハＷが検出されなかったりした場合、ウエハ有無センサＳＴにより搬送エラーとして検出され搬送が停止する。  
【００８５】
このように、搬送エラーが発生した場合のファイルの変換及びハードディスクＨＤへの保存について、図７に具体例を挙げて説明する。
【００８６】
図７は、画像制御コントローラ９３によるファイルの変換及びハードディスクＨＤへの保存についての概略説明図である。図７の例では、所定のプロセスチャンバＰＭに対する所定のウエハＷ（例えば、ウエハＷ２）の搬入開始時から搬出終了時までの時間を蓄積時間として設定している。また、ウエハＷ２の搬出時（次のウエハＷ３との入替え時）に搬送エラーが起きたものとする。すなわち、未処理のウエハＷ２を所定のプロセスチャンバＰＭ内へ移載し、ゲートバルブＧＰを閉めて基板処理を行い、基板処理の終了後、ゲートバルブＧＰを開けて処理済みのウエハＷ２を下側アームＬＶＡへ移載したところ、ウエハＷの位置ずれが発生したことにより、ウエハ有無センサＳＴによる検出異常が発生している。
【００８７】
係る状況を受けて、画像制御コントローラ９３は、ＲＡＭ９３ｒのメモリ領域の画像データのうち、ウエハＷ２の搬入開始時から搬送エラーの発生時であるウエハＷ２の検出異常発生時までの画像データをＲＡＭ９３ｒから読み出してファイルに変換する。そして、変換したファイルをハードディスクＨＤに保存する。以上により、画像制御コントローラ９３によるファイルの変換及びハードディスクＨＤへの保存が終了する。
【００８８】
以上、真空搬送室ＴＭ内でのウエハＷの搬送について説明したが、大気搬送室ＬＭ内ででも略同様のシーケンスでウエハＷの搬送が行われる。
【００８９】
（５）本実施形態に係る効果
本実施形態によれば、以下に示す１つ又は複数の効果を奏する。
【００９０】
（ａ）本実施形態によれば、真空ロボットＶＲや大気ロボットＡＲによる搬送動作を画像データとして記録するカメラＣＴ，ＣＬを備える。これにより、搬送エラーの発生時のウエハＷの状態を視覚的に確認することができ、搬送エラーの発生原因の特定が容易となる。よって、短時間で搬送エラーの解析を行うことが可能となる。
【００９１】
（ｂ）また、本実施形態によれば、ウエハＷの詳細な状態情報と画像データによる基板搬送情報とを同一画面上に表示する。これにより、搬送エラーの発生原因の特定がいっそう容易となり、より短時間で搬送エラーの解析を行うことができる。
【００９２】
（ｃ）また、本実施形態によれば、真空ロボットＶＲや大気ロボットＡＲによるウエハＷの搬送を制御する統括制御コントローラ９０と、カメラＣＴ，ＣＬで記録した画像データを所定の周期でＲＡＭ９３ｒに蓄積する画像制御コントローラ９３と、を備え、ウエハ有無センサＳＴ，ＳＬ等により搬送エラーが検出されると、統括制御コントローラ９０は、真空ロボットＶＲや大気ロボットＡＲが搬送エラーにより停止した旨を画像制御コントローラ９３に通知し、画像制御コントローラ９３は、搬送エラーの発生時を含む所定時間分の画像データをＲＡＭ９３ｒから読み出してファイルに変換し、ハードディスクＨＤに保存する。これにより、膨大な量の画像データの中から搬送エラーの発生時の画像データを探し出してピックアップする等の手間が省け、搬送エラーの解析にかかる時間をいっそう削減することができる。
【００９３】
（ｄ）また、本実施形態によれば、カメラＣＴ，ＣＬで記録した画像データを所定の周期で上書きしながらＲＡＭ９３ｒに蓄積し、ハードディスクＨＤには搬送エラーの発生前後の画像データのみを保存する。このように、ＲＡＭ９３ｒやハードディスクＨＤにおけるデータ収集や保存の効率化を図っているので、ＲＡＭ９３ｒやハードディスクＨＤの負荷を低減し、また、ＲＡＭ９３ｒやハードディスクＨＤの記憶容量が少なくて済む。
【００９４】
＜本発明の第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態について、図２に示す制御手段ＣＮＴを例に挙げて説明する。本実施形態に係る制御手段ＣＮＴは、処理手段や搬送手段を構成する各部から取得したウエハＷの状態情報と関連させて、処理手段や搬送手段、記録手段、操作部等を制御する。なお、本実施形態に係る制御手段ＣＮＴは、記録手段としての各カメラＣＴ，ＣＬ等で記録した画像データを、例えばウエハＷごとの搬送履歴情報を示す搬送履歴情報画面や、ウエハＷごとの生産情報を示す生産情報画面に表示させる点が、上述の実施形態の制御手段ＣＮＴとは異なる。
【００９５】
図２を参照して、本実施形態に係る制御手段ＣＮＴが備える統括制御コントローラ９０は、搬送手段としての真空ロボットＶＲ及び大気ロボットＡＲ、ゲートバルブＧＰ１〜ＧＰ４，ＧＶ１〜ＧＶ４、バキュームロックチャンバＶＬ１，ＶＬ２、ウエハ有無センサＳＴ１〜ＳＴ４，ＳＬ１，ＳＬ２等によるウエハＷの搬送に関する各種情報を、例えばウエハＷごとの搬送履歴情報として統合し、第１格納部としてのハードディスク９０ｈに保存するように構成されている。
【００９６】
また、本実施形態に係る制御手段ＣＮＴが備えるプロセスチャンバコントローラＰＭＣ１，ＰＭＣ２・・・は、ＭＦＣ１１、ＡＰＣ１２、温度調整器１３、入出力バルブＩ／Ｏ１４等を備える処理手段としての各プロセスチャンバＰＭ１〜ＰＭ４による基板処理に関する各種情報を、例えばウエハＷごとの基板処理の状況を表わす生産情報として統合し、第２格納部としてのハードディスク９１ｈ，９２ｈ・・・にそれぞれ保存するように構成されている。
【００９７】
上記真空ロボットＶＲ、大気ロボットＡＲ等によるウエハＷの搬送履歴情報と、上記各
プロセスチャンバＰＭ１〜ＰＭ４による基板処理の状況を表わす生産情報と、を併せたものが基板処理結果情報である。
【００９８】
また、本実施形態に係る制御手段ＣＮＴが備える操作部１００は、基板処理装置１０の状態を示すモニタデータや、各種ロギングデータ、アラームの解析、レシピ編集やパラメータ編集などの各種の画面が表示される操作画面を備えている。このような各種の画面には、例えばウエハＷごとの搬送履歴情報を示す搬送履歴情報画面や、ウエハＷごとの生産情報を示す生産情報画面等が含まれる。
【００９９】
上記のように構成される制御手段ＣＮＴは、上記搬送履歴情報画面において、各カメラＣＴ，ＣＬ等が記録した画像データを所定のウエハＷの搬送履歴情報と共に操作部１００に表示させるよう構成されている。図１５に、操作部１００が備える操作画面に表示される搬送履歴情報画面の一例を示す。
【０１００】
搬送履歴情報画面は、搬送履歴情報として、例えば基板処理装置１０を示す模式図上に所定のウエハＷの搬送経路を矢印等で表示するよう構成されている。図１５の表示例では、所定のウエハＷが、ロードポートＬＰ１に載置されたポッドＰＤ１からオリフラ合わせ装置ＯＦＡを経由してバキュームロックチャンバＶＬ１、真空搬送室ＴＭへと搬送され、所定のプロセスチャンバＰＭ１〜ＰＭ４で基板処理を受けた後、オリフラ合わせ装置ＯＦＡを除く同様の経路を通って基板処理装置１０外へと払い出されるまでの経路が太線の矢印で示されている。
【０１０１】
本実施形態では、搬送履歴情報画面において、係る搬送経路上における所定位置でのウエハＷの画像データを表示させることが可能なように構成されている。図１５の表示例では、大気搬送室ＬＭ内の大気ロボットＡＲ上に載置されたウエハＷの画像データが表示されている。
【０１０２】
また、制御手段ＣＮＴは、上記生産情報画面において、各カメラＣＴ，ＣＬ等が記録した画像データを所定のウエハＷの生産情報と共に操作部１００に表示させるよう構成されている。図１６に、操作部１００が備える操作画面に表示される生産情報画面の一例を示す。
【０１０３】
生産情報画面は、生産情報として、例えば所定のウエハＷの基板処理時における各種状態を表示するように構成されている。図１６の表示例では、生産日時やウエハＩＤ等と共に、圧力、温度、各ＭＦＣ１１ａ，１１ｂ・・・のガス流量等の生産情報が表示されている。
【０１０４】
本実施形態では、係る生産情報画面において、所定のウエハＷの基板処理の直前・直後における画像データを表示させることが可能なように構成されている。図１６の表示例では、所定のウエハＷの基板処理後の画像データが表示されている。
【０１０５】
従来技術においては、ウエハ有無センサＳＬ１，ＳＬ２による異常検出やロードポートＬＰ１〜ＬＰ３におけるスロット異常、基板処理時の生産情報等のみからウエハＷの状態確認を行っていたため、異常が発生した際の解析や原因の特定に多大な時間や労力を費やしていた。
【０１０６】
しかしながら、本実施形態では、搬送履歴情報画面上や生産情報画面上で所定のウエハＷの画像データを表示させることにより、搬送中や基板処理の前後におけるウエハＷの状態を容易に確認することができる。これにより、例えば基板処理装置１０外へ払い出された後のウエハＷに割れや欠けが発見された場合であっても、係る割れ・欠けが基板処理装
置１０内で生じたものであるか否かの特定を容易に行うことができる。基板処理装置１０内で生じた割れ・欠けでないことが証明されれば、基板処理装置１０の異常を疑って無駄な検査や点検等を行う手間が省ける。万が一、基板処理装置１０内で生じた割れ・欠けであることが判明した場合には、基板処理装置１０の異常箇所の特定と補修を速やかに行うことができる。
【０１０７】
＜本発明の第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態について、図２に示す制御手段ＣＮＴを例に挙げて説明する。但し、本実施形態に係る制御手段ＣＮＴは、上述の実施形態に係る第２制御手段とは機能の異なる画像制御手段としての画像制御コントローラ９３を備える。すなわち、上述の第２制御手段が、主に搬送エラー発生時の画像データのみをハードディスクＨＤに保存するのに対し、本実施形態に係る画像制御コントローラ９３は、搬送エラー発生時以外の画像データも含めてハードディスクＨＤに保存するよう構成される。これにより、重要データの取りこぼしの抑制や、搬送手段の経時変化の解析等が可能となる。
【０１０８】
係る画像制御コントローラ９３が有する蓄積部としてのＲＡＭ９３ｒ及び記憶部としてのハードディスクＨＤの各領域の構成を、図１３に示す。図１３に示すように、画像制御コントローラ９３が有するＲＡＭ９３ｒのメモリ領域内には、カメラ１、カメラ２等の個々のカメラから得られる画像データに対して所定の容量が確保されている。各画像データは、カメラごとの個々のメモリ領域内に所定周期で蓄積されるよう構成される。
【０１０９】
また、画像制御コントローラ９３が有するハードディスクＨＤには、ＲＡＭ９３ｒの個々のメモリ領域内に蓄積された画像データをファイル化して保存する領域が、個々のカメラごとに確保されている。係るファイルは、カメラ１、カメラ２等のカメラごとに、それぞれファイル１−１，１−２，１−３・・・、ファイル２−１，２−２，２−３・・・等として、ハードディスクＨＤの対応する領域内に所定タイミングで保存されるよう構成される。また、保存されたファイルは、所定タイミングでファイルの作成順や保存順が最も古いものから削除されるよう構成される。
【０１１０】
上記画像データをＲＡＭ９３ｒに蓄積する周期、画像データのファイルをハードディスクＨＤに保存するタイミング及びファイルを削除するタイミングは、画像制御コントローラ９３が備えるプログラムテーブル９３ｐに予め設定されている。
【０１１１】
ＲＡＭ９３ｒに蓄積された画像データをファイル化してハードディスクＨＤに保存するタイミングとしては、例えば予め設定された第１設定時間に到達したタイミングとすることができる。第１設定時間としては、例えば数分間ごとの定期的な時間等を指定することができる。第１設定時間に到達すると、第１設定時間分の画像データ等、ＲＡＭ９３ｒ内にある未保存の画像データがファイルに変換され、ハードディスクＨＤに保存されるよう構成される。
【０１１２】
また、ハードディスクＨＤへの保存のタイミングは、例えば予め設定された所定のイベントが発生したタイミング等とすることもできる。所定のイベントとしては、例えばＲＡＭ９３ｒに蓄積された未保存の画像データが所定容量や所定数量に到達する等のイベントや、基板処理装置１０がウエハＷの処理や搬送を行わない待ち受け状態に移行する等のイベントを指定することができる。所定のイベントが発生すると、前回のイベント発生時から今回のイベント発生時までに取得された画像データ等、ＲＡＭ９３ｒ内にある未保存の画像データがファイルに変換され、ハードディスクＨＤに保存されるよう構成される。
【０１１３】
また、ハードディスクＨＤに保存されたファイルを削除するタイミングとしては、例えば予め設定された第２設定時間に到達したタイミングとすることができる。第２設定時間
としては、例えば１日間ごとの定期的な時間等を指定することができる。また、ファイルを削除するタイミングは、例えば予め設定された所定のイベントが発生したタイミング等とすることもできる。所定のイベントとしては、例えばハードディスクＨＤに保存されたファイルが所定容量や所定数量に到達する等のイベントを指定することができ、或いは、上記ファイル化した画像データをハードディスクＨＤに保存する等のイベントを指定して上記保存と削除とが連動してなされるようにすることができる。
【０１１４】
上述の実施形態のような構成において、例えばファイルを消去することなくハードディスクに保存し続けた場合、ハードディスク内のファイルは膨大な量となってしまう。本実施形態では、所定タイミングでハードディスクＨＤ内のファイルを削除するので、画像データが膨大となるのを抑え、データを所定量以下に保つことができる。
【０１１５】
以上の構成を備える画像制御コントローラ９３に上記の第１設定時間及び第２設定時間を適用した場合の画像制御コントローラ９３の動作について、図１４を用いて説明する。図１４は、本実施形態に係る画像制御コントローラ９３による画像データの収集・保存のフローチャートである。
【０１１６】
図１４に示すように、画像制御コントローラ９３は、上述の図５のＳ１〜Ｓ３までと同様の手順にてＳ３１〜Ｓ３３までの動作を行う。その後、画像制御コントローラ９３は、所定周期で画像データをＲＡＭ９３ｒに蓄積しつつ、例えば図示しない時計機能等からの割り込み通知を待ち受ける状態となる（Ｓ３４）。
【０１１７】
そして、例えば第１設定時間に到達した旨の割り込み通知を受けると（Ｓ３４→ＹＥＳ）、画像制御コントローラ９３は、画像データのＲＡＭ９３ｒへの蓄積を中断し、蓄積された画像データをＲＡＭ９３ｒから読み出してファイルに変換する（Ｓ３５）。変換したファイルはハードディスクＨＤに保存する（Ｓ３６）。ハードディスクＨＤへの保存が終了すると、画像制御コントローラ９３は、画像データのＲＡＭ９３ｒへの蓄積を再開する。以上により、画像制御コントローラ９３による画像データの収集・保存の動作を終了する。
【０１１８】
ハードディスクＨＤに保存したファイルの削除についても、上記と略同様の動作が行われる。すなわち、例えば第２設定時間に到達した旨の割り込み通知を受けると、画像制御コントローラ９３は、ハードディスクＨＤに保存されたファイルのうち、少なくとも最も古いファイルを削除する。このとき、最も古いファイルを含む複数個のファイルをまとめて削除してもよい。
【０１１９】
なお、画像制御コントローラ９３が所定イベントの発生に従って動作することとした場合は、画像制御コントローラ９３は、例えば統括制御コントローラ９０からのイベント発生通知を受けて、それぞれ上記所定の動作を行う。
【０１２０】
このように、本実施形態では、搬送エラー発生時以外の画像データも含めてハードディスクＨＤに保存する。これにより、搬送エラーが発生する瞬間等の重要データを取りこぼす恐れを低減することができる。また、搬送エラー発生前後の画像データから搬送エラーに至る過程を知ることができ、搬送エラーの発生原因の特定がいっそう容易となる。また、正常時から異常時までの搬送履歴を調べることができ、経時変化等をより確実に解析することができる。
【０１２１】
また、本実施形態では、ハードディスクＨＤに保存したファイルを所定タイミングで削除する。これにより、保存したファイルを所定量以下に保つことができ、搬送エラーの発生時の画像データ等の必要データを比較的容易に探し出すことができる。加えて、搬送エ
ラーの発生時を含む所定時間分の画像データを別ファイルとして保存したり、或いは、搬送エラーの発生時の画像データを含むファイルにエラー情報を関連付けたり等の、上述の実施形態の構成を組み合わせることで、必要データのピックアップがより一層容易となる。
【０１２２】
＜本発明の第４実施形態＞
次に、本発明の第４実施形態について説明する。画像データを収集・保存するにあたっては、上述の実施形態とは異なる手法によっても、搬送エラーの解析にかかる負担を軽減するよう効率化を図ることが可能である。本実施形態においては、効率的な解析が可能となるよう画像データを収集・保存する他の手法について説明する。なお、本実施形態では、上述の実施形態とは異なる装置構成の基板処理装置を用いることとする。
【０１２３】
（１）基板処理装置の構成
本発明の第４実施形態に係る基板処理装置の構成について、図８及び図９を参照しながら説明する。図８は、本実施形態に係る基板処理装置２０の斜視図である。また、図９は、本実施形態に係る基板処理装置２０の側面透視図である。基板処理装置２０は、例えば酸化、拡散処理やＣＶＤ処理などを行なう縦型の基板処理装置として構成され、シリコン（Ｓｉ）等からなる基板としてのウエハＷを処理するように構成されている。
【０１２４】
図８及び図９に示すように、基板処理装置２０では、ウエハＷを収納したウエハキャリアとして用いられる基板収納容器としてのＦＯＵＰ（以下ポッド１１０という）が使用されている。また、基板処理装置２０は、耐圧容器として構成された筐体１１１を備えている。
【０１２５】
基板処理装置２０の筐体１１１の正面壁１１１ａの正面前方部にはメンテナンス可能なように設けられた開口部として用いられる正面メンテナンス口１０３が開設されている。正面メンテナンス口１０３には、正面メンテナンス口１０３を開閉する正面メンテナンス扉１０４がそれぞれ建て付けられている。なお、上側の正面メンテナンス扉１０４近傍には、後述する副操作装置２３７ｓ（図１０参照）が設置される。また、後述する主操操作装置２３７ｍ（図１０参照）は、背面側のメンテナンス扉近傍に配置され、筐体１１１に装着するようにして、基板処理装置２０と一体として固定される。
【０１２６】
筐体１１１の正面壁１１１ａにはポッド搬入搬出口（基板収納容器搬入搬出口）１１２が筐体１１１の内外を連通するように開設されている。ポッド搬入搬出口１１２は、フロントシャッタ（基板収納容器搬入搬出口開閉機構）１１３によって開閉されるようになっている。
【０１２７】
ポッド搬入搬出口１１２の正面前方側にはロードポート（基板収納容器受渡し台）１１４が設置されている。ロードポート１１４はポッド１１０を載置されて位置合わせするように構成されている。ポッド１１０はロードポート１１４上に工程内搬送装置（図示せず）によって搬入され、ロードポート１１４上から搬出されるようになっている。
【０１２８】
筐体１１１内の前後方向の略中央部における上部には、回転式ポッド棚（基板収納容器載置棚）１０５が設置されている。回転式ポッド棚１０５は、複数個のポッド１１０を保管するように構成されている。すなわち、回転式ポッド棚１０５は垂直に立設されて水平面内で間欠回転される支柱１１６と、支柱１１６の上中下段の各位置において放射状に支持された複数枚の棚板（基板収納容器載置台）１１７とを備えている。複数枚の棚板１１７はポッド１１０を複数個宛それぞれ載置した状態で保持するように構成されている。
【０１２９】
筐体１１１内におけるロードポート１１４と回転式ポッド棚１０５との間には、ポッド
搬送装置（基板収納容器搬送装置）１１８が設置されている。ポッド搬送装置１１８は、ポッド１１０を保持したまま昇降可能なポッドエレベータ（基板収納容器昇降機構）１１８ａとポッド搬送機構（基板収納容器搬送機構）１１８ｂとで構成されている。ポッド搬送装置１１８はポッドエレベータ１１８ａとポッド搬送機構１１８ｂとの連続動作により、ロードポート１１４、回転式ポッド棚１０５、後述のポッドオープナ（基板収納容器蓋体開閉機構）１２１との間で、ポッド１１０を搬送するように構成されている。
【０１３０】
筐体１１１内の前後方向の略中央部における下部には、サブ筐体１１９が後端にわたって構築されている。サブ筐体１１９の正面壁１１９ａにはウエハＷをサブ筐体１１９内に対して搬入搬出するウエハ搬入搬出口（基板搬入搬出口）１２０が一対、垂直方向に上下二段に並べられて開設されている。上下段のウエハ搬入搬出口１２０，１２０には一対のポッドオープナ１２１，１２１がそれぞれ設置されている。ポッドオープナ１２１はポッド１１０を載置する載置台１２２，１２２と、ポッド１１０のキャップ（蓋体）を着脱するキャップ着脱機構（蓋体着脱機構）１２３，１２３とを備えている。ポッドオープナ１２１は載置台１２２に載置されたポッド１１０のキャップをキャップ着脱機構１２３によって着脱することにより、ポッド１１０のウエハ出し入れ口を開閉するように構成されている。
【０１３１】
サブ筐体１１９はポッド搬送装置１１８や回転式ポッド棚１０５の設置空間から流体的に隔絶された移載室１２４を構成している。移載室１２４の前側領域には、搬送手段としてのウエハ移載機構（基板移載機構）１２５が設置されている。ウエハ移載機構１２５は、ウエハＷを水平方向に回転ないし直動可能なウエハ移載装置（基板移載装置）１２５ａ及びウエハ移載装置１２５ａを昇降させるウエハ移載装置エレベータ（基板移載装置昇降機構）１２５ｂとで構成されている。図８に模式的に示すように、ウエハ移載装置エレベータ１２５ｂは筐体１１１の右側端部とサブ筐体１１９の移載室１２４前方領域右端部との間に設置されている。これら、ウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ及びウエハ移載装置１２５ａの連続動作により、ウエハ移載装置１２５ａのツイーザ（基板保持体）１２５ｃをウエハＷの載置部として、後述するボート（基板保持具）２１７に対してウエハＷを装填（チャージ）及び脱装（ディスチャージ）するように構成されている。
【０１３２】
移載室１２４内の、ウエハ搬入搬出口１２０の手前側及び後述の待機部１２６で待機しているボート２１７の手前側のそれぞれの所定位置には、ウエハＷの有無を検出する検出手段としてのウエハ有無センサ１２４ｓ，１２４ｓがそれぞれ設置され、ウエハ移載装置１２５ａのツイーザ１２５ｃ上のウエハＷの存在を検出できるようになっている。また、図示はしないが、ボート２１７に装填されるウエハＷの状態を検出するマッピングセンサ（ウエハ検出センサ）が設置されていてもよい。
【０１３３】
また、移載室１２４内には、ウエハ移載機構１２５による搬送動作を、静止画や動画等の画像データとして記録する小型のビデオカメラやウェブカメラ等の記録手段としてのカメラ１２４ｃが設置されている。カメラ１２４ｃは１台のみならず複数台設置されていてもよい。具体的には、移載室１２４内の、ウエハ搬入搬出口１２０及び待機部１２６で待機しているボート２１７の各手前側の上部位置等、ウエハＷの移動や受け渡し等の様子が確認し易い位置の複数個所に設置することができる。
【０１３４】
移載室１２４の後側領域には、ボート２１７を収容して待機させる待機部１２６が構成されている。待機部１２６の上方には、処理炉２０２が設けられている。処理炉２０２の下端部は、炉口シャッタ（炉口開閉機構）１４７により開閉されるように構成され、処理炉２０２の内部に形成される処理室２０１内にて基板処理を行うことが可能に構成されている。
【０１３５】
図８に模式的に示すように、筐体１１１右側端部とサブ筐体１１９の待機部１２６右端部との間にはボート２１７を昇降させるボートエレベータ（基板保持具昇降機構）１１５が設置されている。ボートエレベータ１１５の昇降台に連結された連結具としてのアーム１２８には蓋体としてのシールキャップ２１９が水平に据え付けられている。シールキャップ２１９はボート２１７を垂直に支持し、処理炉２０２の下端部を閉塞可能なように構成されている。
【０１３６】
ボート２１７は複数本の保持部材を備えており、複数枚（例えば、５０枚〜１２５枚程度）のウエハＷをその中心を揃えて垂直方向に整列させた状態で、それぞれ水平に保持するように構成されている。
【０１３７】
また、図８に模式的に示すように、移載室１２４のウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ側及びボートエレベータ１１５側と反対側の左側端部には、清浄化した雰囲気もしくは不活性ガス等のクリーンエア１３３を供給するよう供給ファン及び防塵フィルタで構成されたクリーンユニット１３４が設置されている。ウエハ移載装置１２５ａとクリーンユニット１３４との間には、ウエハＷの円周方向の位置を整合させる図示しない基板位置補正装置としてのノッチ合わせ装置が設置されている。ウエハＷがオリフラタイプであるときは、基板位置補正装置としてのオリフラ合わせ装置を設けることも可能である。
【０１３８】
クリーンユニット１３４から吹き出されたクリーンエア１３３は、ノッチ合わせ装置及びウエハ移載装置１２５ａ、待機部１２６にあるボート２１７に流通された後に、図示しないダクトにより吸い込まれて、筐体１１１の外部に排気がなされるか、もしくはクリーンユニット１３４の吸い込み側である一次側（供給側）にまで循環され、再びクリーンユニット１３４によって、移載室１２４内に吹き出されるように構成されている。
【０１３９】
（２）主制御手段の構成
次に、基板処理装置２０を制御する主制御手段としての主コントローラ２３９を中心としたハードウエア構成について、主に図１０を用いて説明する。図１０は、基板処理装置２０の主コントローラ２３９を中心としたハードウエアの概略構成の一例を示すブロック図である。
【０１４０】
図１０に示すように、基板処理装置２０の筐体１１１内には、主コントローラ２３９、スイッチングハブ２３９ｈとあわせて、搬送制御手段としての搬送制御部２３６ｔと、基板処理制御手段としてのプロセス制御部２３６ｐとが設けられている。また、筐体１１１内には、上述の記録手段としてのカメラ１２４ｃが含まれる。搬送制御部２３６ｔとプロセス制御部２３６ｐとは、筐体１１１内に設けることに替えて、筐体１１１外に設けられていても良い。
【０１４１】
基板処理装置２０の筐体１１１の外側には、例えば筐体１１１の背面側に、筐体１１１に装着されるようにして主操作装置２３７ｍが装着されている。また、スイッチングハブ２３９ｈを介して主コントローラ２３９に接続されるようにして、副操作装置２３７ｓが筐体１１１近傍に配置されている。
【０１４２】
（主コントローラ）
主制御手段としての主コントローラ２３９は、基板処理装置２０の筐体１１１内に設けられ、スイッチングハブ２３９ｈを介して搬送制御部２３６ｔ、プロセス制御部２３６ｐ等の各種制御系に接続されることで、基板処理装置２０の各部を制御する。また、主コントローラ２３９には、ＬＡＮ等の通信ネットワーク４０が接続され、図示しない外部の上位コンピュータと接続されている。したがって、例えば半導体装置製造工場内のクリーンルーム等に設置される基板処理装置２０に対して、上記上位コンピュータを事務所等のク
リーンルーム外に設置することも可能である。また、上記上位コンピュータを介して、さらに他の基板処理装置等が接続される場合もある。
【０１４３】
また、主コントローラ２３９には、ＬＡＮ等の通信ネットワーク３３により、例えば移載室１２４内に設けられたカメラ１２４ｃが接続されている。また、主コントローラ２３９は、カメラ１２４ｃが記録した静止画や動画等の画像データを保存する記憶部としてのハードディスク（ＨＤ）２３９ｍを備えている。ハードディスク２３９ｍには、画像データの保存条件等が規定されたプログラムテーブル２３９ｐや、所定の画像データを格納するデータベース２３９ｄをはじめ、主コントローラ２３９に種々の機能を実現するプログラムや、処理炉２０２にて実施される基板処理工程のレシピデータや、各種の制御部が基板処理装置２０から読み出したデータ等を格納するように構成される。上記プログラムには、例えば主コントローラ２３９を介して基板処理装置２０の動作を制御する制御プログラムが含まれる。制御プログラムは、ハードディスク２３９ｍに読み出し可能に格納されている。
【０１４４】
主コントローラ２３９が起動されると、主コントローラ２３９は、プログラムテーブル２３９ｐを読み出し、また、カメラ１２４ｃを起動して画像データの記録を開始させるように構成される。また、プログラムテーブル２３９ｐの保存条件等に従う所定期間又は所定のイベント間の期間で区切って画像データをファイルに変換し、ハードディスク２３９ｍへの保存を開始するように構成される。画像データを区切る所定期間やイベント間の期間は、予め指定しておくことができる。所定期間としては、例えば特定の時刻間の期間等とすることができる。イベント間の期間としては、移載室１２４内へのウエハＷの搬入開始イベントから搬出終了イベントまでや、ウエハ移載機構１２５によるウエハＷのボート２１７へのチャージイベントからディスチャージイベントまでの期間等とすることができる。
【０１４５】
また、主コントローラ２３９は、搬送エラーが検出されていない正常時に取得された画像データを含む任意のファイルを選択し、ファイルに含まれる画像データが取得された時刻を示す時刻データ、画像データ取得時のレシピ内容及び画像データ取得時の基板処理装置２０の状態を示すモニタデータ、を含む情報と関連付けて、ハードディスク２３９ｍが備えるデータベース２３９ｄに格納するよう構成される。上記操作にあたっては、所定の時点に取得された画像データを含むファイルが選択されるよう、予め指定しておくことができる。予め指定する画像データの取得時としては、例えば基板処理装置２０においてテスト搬送が実行されたときや、操作員によって主操作装置２３７ｍ等からファイル取得の指令が入力されたとき、或いは、予め設定された指定時刻になったときや指定イベントが起きたとき等とすることができる。またこれらの時点において画像データを取得する際、そのときのウエハ移載機構１２５の位置及び速度を含む数値データを搬送制御部２３６ｔから取得し、上記ファイルとともにデータベース２３９ｄに格納するよう構成される。
【０１４６】
また、主コントローラ２３９は、ウエハ有無センサ１２４ｓにより搬送エラーが検出されると、搬送制御部２３６ｔにより搬送手段を停止させ、搬送エラーの発生を示すエラー通知、搬送エラーの発生時刻を示す時刻データ、搬送エラーの発生時のレシピ内容および搬送エラーの発生時のモニタデータ、を含むエラー情報を生成するように構成される。
【０１４７】
また、主コントローラ２３９は、ハードディスク２３９ｍに保存した上記ファイルのうち、搬送エラーの発生時の画像データを含むファイルを搬送エラーの発生時のウエハ移載機構１２５の位置及び速度を含む数値データとともに上記エラー情報に関連付けるように構成される。また、図１１に示すように、主コントローラ２３９は、予めハードディスク２３９ｍのデータベース２３９ｄに保存しておいた正常時の画像データ及び数値データと、搬送エラーの発生時の画像データ及び数値データとを比較してこれらのデータの相違点
を抽出した比較データを生成し、比較データを前記エラー情報に関連付けるように構成される。
【０１４８】
また、主コントローラ２３９は、これらエラー情報、並びにエラー情報に関連付けられたファイル、数値データ及び比較データを、ハードディスク２３９ｍが備えるデータベース２３９ｄに保存するように構成される。
【０１４９】
また、主コントローラ２３９は、主操作装置２３７ｍや副操作装置２３７ｓが備える操作画面にエラー情報を表示するように構成される。このとき、エラー情報に関連付けた上記ファイルや数値データ、比較データを併せて表示するほか、正常時の画像データを含むファイルや数値データを併せて表示するように構成されていてもよい。係る操作画面の表示例を図１２に示す。また、カメラ１２４ｃで記録した画像データを、適宜、操作画面に表示可能に構成されていてもよい。
【０１５０】
ハードディスク２３９ｍが備えるプログラムテーブル２３９ｐには、カメラ１２４ｃの台数や起動の要否、ファイルに変換する際に画像データを区切る期間、正常時の画像データや数値データの取得時期等の保存条件が規定されている。主コントローラ２３９は、プログラムテーブル２３９ｐからこれらの保存条件を読み出して、画像データ等の取得や保存を行うよう構成される。
【０１５１】
また、ハードディスク２３９ｍが備えるデータベース２３９ｄには、上述のように、エラー情報、並びにエラー情報に関連付けられたファイル、数値データ及び比較データ、正常時の画像データ及び数値データ等が読み出し可能に格納される。
【０１５２】
なお、プログラムテーブル２３９ｐは、後述する基板処理装置２０の自動搬送処理における所定の手順を主コントローラ２３９に実行させ、所定の結果を得ることが出来るように組み合わされたものであり、プログラムとして機能する。以下、このプログラムテーブル２３９ｐや上述の制御プログラム等を総称して、単にプログラムともいう。なお、本明細書においてプログラムという言葉を用いた場合には、プログラムテーブル２３９ｐ単体のみを含む場合、制御プログラム単体のみを含む場合、または、その両方を含む場合がある。
【０１５３】
（主操作装置・副操作装置）
主操作装置２３７ｍ内には、主操作装置２３７ｍが備える液晶表示パネル等からなる図示しない主操作画面の表示を制御する主表示制御部２３８ｍが設けられている。主表示制御部２３８ｍは、例えば、ビデオケーブル３０を用いて、主コントローラ２３９に接続されている。副操作装置２３７ｓ内には、副操作装置２３７ｓが備える液晶表示パネル等からなる図示しない副操作画面の表示を制御する副表示制御部２３８ｓが設けられている。副表示制御部２３８ｓは、スイッチングハブ２３９ｈを介して主コントローラ２３９に接続されている。係る接続には、ビデオケーブルを用いることができるほか、ＬＡＮ等の通信ネットワークを用いてもよい。
【０１５４】
（プロセス制御部）
基板処理制御手段としてのプロセス制御部２３６ｐは、例えばＣＰＵ等からなるプロセス系コントローラ２３５ｐを有する。プロセス系コントローラ２３５ｐは、スイッチングハブ２３９ｈを介して、ＬＡＮ等の通信ネットワーク３２により主コントローラ２３９に接続されている。
【０１５５】
また、プロセス系コントローラ２３５ｐは、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ−Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）２３５ｃ、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ−Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）２３５ｄ、及びサ
ブコントローラ（温度制御部２３３ｈ、ガス制御部２３３ｇ、圧力制御部２３３ｐ）、及びサブコントローラとのＩ／Ｏ制御を行なうＩ／Ｏ制御部２３４ｐをそれぞれ有する。プロセス系コントローラ２３５ｐは、例えば、主操作装置２３７ｍの主操作画面等で作成又は編集され、ＲＡＭ２３５ｄ等に記憶されているレシピに基づいて、ウエハＷを処理する際の制御データ（制御指示）を温度制御部２３３ｈ、ガス制御部２３３ｇ及び圧力制御部２３３ｐに対して出力する。
【０１５６】
ＲＯＭ２３５ｃ又はＲＡＭ２３５ｄには、シーケンスプログラム、複数のレシピや主操作装置２３７ｍ等から入力される入力データ（入力指示）、レシピのコマンド及びレシピ実行時の履歴データ等が格納される。なお、プロセス制御部２３６ｐには、ハードディスク（ＨＤ）等により実現される記憶装置（図示せず）が含まれてもよく、この場合、該記憶装置には、ＲＡＭ２３５ｄに格納されるデータと同様のデータが格納される。
【０１５７】
温度制御部２３３ｈは、上述した処理炉２０２の外周部に設けられたヒータ２３２ｈの出力を制御することにより処理炉２０２内の温度を制御する。ガス制御部２３３ｇは、処理炉２０２のガス配管２３１ｇに設けられたＭＦＣ（マスフローコントローラ）２３２ｇからの出力値に基づいて処理炉２０２内に供給する処理ガスの供給量等を制御する。圧力制御部２３３ｐは、処理炉２０２の排気配管２３１ｂに設けられた圧力センサ２３２ｐの出力値に基づいてバルブ２３２ｂを開閉することにより処理炉２０２内の圧力を制御する。
【０１５８】
（搬送制御部）
搬送制御手段としての搬送制御部２３６ｔは、例えばＣＰＵ等からなる搬送系コントローラ２３５ｔを有する。搬送系コントローラ２３５ｔは、スイッチングハブ２３９ｈを介して、ＬＡＮ等の通信ネットワーク３１により主コントローラ２３９に接続されている。
【０１５９】
また、搬送系コントローラ２３５ｔは、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ−Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）２３５ａ、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ−Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）２３５ｂ、モータドライバ２３３ｍ、モータドライバ２３３ｍ等とのＩ／Ｏ制御を行なうＩ／Ｏ制御部２３４ｔを有する。搬送系コントローラ２３５ｔは、例えば、主操作装置２３７ｍの主操作画面等で作成又は編集され、ＲＡＭ２３５ｂ等に記憶されているレシピに基づいて、ウエハＷを搬送する際の制御データ（制御指示）を、モータドライバ２３３ｍに対して出力する。モータドライバ２３３ｍは、ウエハＷを搬送する駆動源として用いられるモータ２３２ｍにより、移載室１２４に設けられたウエハ有無センサ１２４ｓ等の基板処理装置２０の各部に設けられた各種センサの出力値を得ながら、基板処理装置２０内におけるウエハＷの搬送を制御する。
【０１６０】
なお、主コントローラ２３９や、プロセス制御部２３６ｐ、搬送制御部２３６ｔ等は、専用のコンピュータとして構成されている場合に限らず、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）、記憶装置、Ｉ／Ｏポートを備えた汎用のコンピュータとして構成されていてもよい。例えば、上述のプログラムを格納した外部記憶装置２２３（例えば、磁気テープ、フレキシブルディスクやハードディスク等の磁気ディスク、ＣＤやＤＶＤ等の光ディスク、ＭＯ等の光磁気ディスク、ＵＳＢメモリやメモリカード等の半導体メモリ）を用意し、係る外部記憶装置２２３を用いて汎用のコンピュータにプログラムをインストールすること等により、本実施形態に係る主コントローラ２３９等を構成することができる。この場合、主コントローラ２３９や、プロセス制御部２３６ｐ、搬送制御部２３６ｔ等は、それぞれが個別のコンピュータとして構成されていてもよく、或いは、これらのうちの複数が１つのコンピュータに統合されていてもよい。なお、コンピュータにプログラムを供給する手段は、外部記憶装置２２３を介して供給する場合に限らない。例えば、インターネットや専用
回線等の通信手段を用い、外部記憶装置２２３を介さずにプログラムを供給するようにしてもよい。なお、主コントローラ２３９が備えるハードディスク２３９ｍや、あるいは外部記憶装置２２３等は、コンピュータ読み取り可能な記録媒体として構成される。以下、これらを総称して、単に記録媒体ともいう。なお、本明細書において記録媒体という言葉を用いた場合は、ハードディスク２３９ｍ単体のみを含む場合、外部記憶装置２２３単体のみを含む場合、または、その両方を含む場合がある。また、ハードディスク２３９ｍ等は、上述のようなＨＤＤ（Ｈａｒｄ  Ｄｉｓｋ  Ｄｒｉｖｅ）のみならず、例えばフラッシュメモリ等で構成されていてもよい。
【０１６１】
（３）基板処理装置の動作
次に、基板処理装置２０の動作について説明する。なお、以下の説明において、基板処理装置２０の各部の動作は主コントローラ２３９を中心とする制御系により制御される。係る動作及び制御は半導体装置の製造工程の一工程として行われ、その更に一部は搬送エラーのデータ解析工程の一工程として行われる。
【０１６２】
（主制御手段の起動）
主コントローラ２３９が起動されると、主コントローラ２３９は、プログラムテーブル２３９ｐを読み出し、保存条件に規定された起動の要否にしたがって所定のカメラ１２４ｃを起動して画像データの記録を開始させる。また、保存条件にしたがう所定期間で区切ってファイルに変換した画像データのハードディスク２３９ｍへの保存を開始する。また、プログラムテーブル２３９ｐの保存条件にしたがう所定の時点で取得された画像データを含むファイルを選択し、画像データ取得時の時刻データ、レシピ内容、モニタデータ等の情報と関連付けて、画像データ取得時の数値データとともにデータベース２３９ｄに格納する。
【０１６３】
（筐体内への搬送）
一方、図８及び図９に示すように、ポッド１１０がロードポート１１４に供給されると、ポッド搬入搬出口１１２がフロントシャッタ１１３によって開放され、ロードポート１１４の上のポッド１１０はポッド搬送装置１１８によって筐体１１１の内部へポッド搬入搬出口１１２から搬入される。
【０１６４】
搬入されたポッド１１０は回転式ポッド棚１０５の指定された棚板１１７へポッド搬送装置１１８によって自動的に搬送されて受け渡される。棚板１１７で一時的に保管されたポッド１１０は、棚板１１７から一方のポッドオープナ１２１に搬送されて受け渡され、一時的に保管される。その後、ポッド１１０は、棚板１１７から一方のポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載されるか、もしくは直接ポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載される。この際、ポッドオープナ１２１のウエハ搬入搬出口１２０はキャップ着脱機構１２３によって閉じられており、移載室１２４内にはクリーンエア１３３が流通され、充満されている。例えば、移載室１２４にはクリーンエア１３３として窒素（Ｎ２）ガスが充満することにより、酸素（Ｏ２）濃度が２０ｐｐｍ以下と、大気雰囲気の筐体１１１の内部の酸素濃度よりも遥かに低く設定されている。
【０１６５】
（サブ筐体内への搬送）
載置台１２２に載置されたポッド１１０は、その開口側端面がサブ筐体１１９の正面壁１１９ａにおけるウエハ搬入搬出口１２０の開口縁辺部に押し付けられるとともに、そのキャップがポッドオープナ１２１のキャップ着脱機構１２３によって取り外され、ウエハ出し入れ口を開放される。ウエハＷはポッド１１０からウエハ移載装置１２５ａのツイーザ１２５ｃによってウエハ出し入れ口を通じてピックアップされ、図示しないノッチ合わせ装置にてウエハ位置を整合される。その後、ウエハＷは、移載室１２４の後方にある待機部１２６へ搬入され、ボート２１７に装填（チャージ）される。ボート２１７にウエハ
Ｗを受け渡したウエハ移載装置１２５ａはポッド１１０に戻り、次のウエハＷをボート２１７に装填する。
【０１６６】
このように、一方（上段または下段）のポッドオープナ１２１におけるウエハＷのボート２１７への装填作業中に、他方（下段または上段）のポッドオープナ１２１には回転式ポッド棚１０５から別のポッド１１０がポッド搬送装置１１８によって搬送されて移載され、ポッドオープナ１２１によるポッド１１０の開放作業が同時進行される。
【０１６７】
（処理炉内への搬送）
予め指定された枚数のウエハＷがボート２１７に装填されると、炉口シャッタ１４７によって閉じられていた処理炉２０２の下端部が、炉口シャッタ１４７によって開放される。続いて、ウエハＷ群を保持したボート２１７は、シールキャップ２１９がボートエレベータ１１５によって上昇されることにより、処理炉２０２内へ搬入（ロード）されていく。
【０１６８】
ボート２１７のロード後は、処理炉２０２が備える処理室２０１内でウエハＷに任意の処理が実施される。処理後は、図示しないノッチ合わせ装置でのウエハＷの整合工程を除き、上述の逆の手順で、ウエハＷ及びポッド１１０が筐体１１１の外部へ払出される。
【０１６９】
（搬送エラーの発生時の動作）
上記の場合において、ウエハ有無センサ１２４ｓ等により搬送エラーが検出されると、主コントローラ２３９は搬送手段を停止させ、エラー通知、搬送エラーの発生時の時刻データ、レシピ内容およびモニタデータ等のエラー情報を生成する。また、搬送エラーの発生時の画像データを含むファイルを数値データとともに上記エラー情報に関連付け、上記エラー情報とともにデータベース２３９ｄに格納する。次に、正常時の画像データ及び数値データと搬送エラーの発生時の画像データ及び数値データとを比較し、比較データを生成してエラー情報に関連付け、データベース２３９ｄに格納する。
【０１７０】
また、操作員によって主操作装置２３７ｍ等からエラー情報の表示指令が入力されたとき等には、主コントローラ２３９は、主操作装置２３７ｍや副操作装置２３７ｓが備える操作画面にエラー情報を表示する。このとき、エラー情報に関連付けた上記ファイルや数値データ、比較データを併せて表示してもよく、正常時の画像データを含むファイルや数値データを併せて表示してもよい。
【０１７１】
以上により、本実施形態に係る基板処理装置２０及び基板処理装置２０の半導体装置の製造工程におけるデータ解析方法についての説明を終了する。
【０１７２】
なお、本実施形態においては、基板処理装置２０の移載室１２４内にカメラ１２４ｃを設け、ウエハ移載機構１２５による搬送動作を記録することとしたが、基板処理装置２０の筐体１１１内前方の搬送手段としてのポッド搬送装置１１８による搬送動作を記録するカメラを設けることとしてもよい。この場合、筐体１１１内の、ポッド搬入搬出口１１２の手前側、回転式ポッド棚１０５近傍、ポッドオープナ１２１の手前側の各上部位置等、ポッド１１０の移動や受け渡し等の様子が確認し易い位置のいずれか又は複数個所にカメラを設置することができる。これらの位置に設置される検出手段としてのポッド有無センサにより搬送エラーが検出された際には、係るカメラにより記録された画像データを基に、搬送エラーの解析を行うことができる。
【０１７３】
（４）本実施形態に係る効果
本実施形態によっても、上述の実施形態の効果を奏する。
【０１７４】
（ａ）また、本実施形態によれば、カメラ１２４ｃで記録した画像データを所定期間又は所定のイベント間の期間で区切ってファイルに変換し、ハードディスク２３９ｍに保存する主コントローラ２３９を備える。これにより、画像データの保存や読み出し等の取扱いが容易となり、搬送エラー解析にかかる時間を削減することができる。
【０１７５】
（ｂ）また、本実施形態によれば、ウエハ有無センサ１２４ｓにより搬送エラーが検出されると、主コントローラ２３９は、エラー通知、搬送エラーの発生時刻の時刻データ、レシピ内容およびモニタデータを含むエラー情報を生成し、搬送エラーの発生時の画像データを含むファイルを搬送エラーの発生時の数値データとともにエラー情報に関連付けるように構成される。これにより、多くの画像データの中から搬送エラーの発生時の画像データを容易に探し出すことができ、搬送エラーの解析にかかる時間をいっそう削減することができる。
【０１７６】
（ｃ）また、本実施形態によれば、予めハードディスク２３９ｍに保存しておいた正常時の画像データ及び数値データと、搬送エラーの発生時の画像データ及び数値データとを比較してこれらのデータの相違点を抽出した比較データを生成し、比較データをエラー情報に関連付けるように構成される。これにより、正常時に対する搬送エラー発生時の異常箇所が容易に特定でき、搬送エラーの解析がいっそう容易となる。
【０１７７】
（ｄ）また、本実施形態によれば、主コントローラ２３９が有する主操作装置２３７ｍや副操作装置２３７ｓの操作画面にエラー情報を表示するように構成される。またこのとき、エラー情報に関連付けた搬送エラーの発生時のファイルや数値データ、比較データを併せて表示するように構成される。これにより、搬送エラーの発生時の様々な情報を操作画面上から容易に確認することができ、搬送エラーの解析がいっそう容易となる。
【０１７８】
＜本発明の他の実施形態＞
以上、本発明の実施形態について具体的に説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
【０１７９】
例えば、上述の実施形態では、画像データを収集・保存するいくつかの手法を、枚葉式又は縦型のそれぞれ異なる基板処理装置１０，２０に適用する場合について説明したが、画像データを収集・保存するいずれの手法であっても、上記に挙げた基板処理装置１０，２０又はそれ以外の基板処理装置等に適用することが可能である。また、上記に挙げた制御手段ＣＮＴや主コントローラ２３９を中心とする構成に限定されない。
【０１８０】
また、上述の実施形態では、真空ロボットＶＲ、大気ロボットＡＲ、ウエハ移載機構１２５のウエハＷを搬送する搬送手段による搬送動作を記録した画像データを搬送エラーの解析に利用することとしたが、ＦＯＵＰやウエハカセット等の基板収納容器を搬送する搬送手段による搬送動作を記録し、その画像データを上記手法により搬送エラーの解析に利用することも可能である。
【０１８１】
また、上述の実施形態では、画像制御コントローラ９３は、ファイル化した画像データをハードディスクＨＤに保存する間は、ＲＡＭ９３ｒへの画像データの蓄積を中断することとしたが、ハードディスクＨＤに保存する間であっても、ＲＡＭ９３ｒへの画像データの蓄積を継続することとしてもよい。
【０１８２】
また、本発明は、ＣＶＤ法、ＡＬＤ（Ａｔｏｍｉｃ  Ｌａｙｅｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法、ＰＶＤ（Ｐｈｙｓｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法等による酸化膜や窒化膜、金属膜等の種々の膜を形成する成膜処理のほか、拡散処理、アニール処理、酸化処理、窒化処理、リソグラフィ処理等の他の基板処理を実施する基板処理装置にも
適用できる。すなわち、本発明は、プラズマを利用したＣＶＤ装置を含む薄膜形成装置の他、アニール処理装置、酸化処理装置、窒化処理装置、エッチング装置、露光装置、現像装置、リソグラフィ装置、塗布装置、乾燥装置、加熱装置等の基板処理装置等に適用可能である。
【０１８３】
また、本発明は、上述の実施形態に係る基板処理装置のような半導体ウエハを処理する半導体製造装置等に限らず、ガラス基板を処理するＬＣＤ（Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）製造装置等の基板処理装置にも適用できる。
【０１８４】
＜本発明の好ましい態様＞
以下に本発明の望ましい態様について付記する。
【０１８５】
本発明の一態様は、
基板を搬送する搬送手段と、
前記基板を処理する処理手段と、
前記搬送手段による前記基板の搬送時に発生する搬送エラーを検出する検出手段と、
前記検出手段により前記搬送エラーが検出されると前記搬送手段を停止する第１制御手段と、
前記搬送手段による前記基板の搬送動作を画像データとして記録する記録手段と、
前記記録手段で記録した前記画像データを蓄積部に蓄積する第２制御手段と、を備え、
前記第１制御手段は、
前記処理手段または前記搬送手段から前記基板の状態を示す情報を取得し、
前記搬送手段が前記搬送エラーにより停止した旨を前記第２制御手段に通知し、
前記第２制御手段は、
前記搬送エラーの発生時を含む所定時間分の前記画像データを前記蓄積部から読み出してファイルに変換するように構成される
基板処理装置である。
【０１８６】
好ましくは、
前記所定時間は、
前記処理室への未処理の基板の搬入所要時間、前記処理室内での前記基板の処理時間、処理済みの前記基板の前記処理室内からの搬出所要時間の合計である。
【０１８７】
また、好ましくは、
前記第２制御手段は、
前記ファイルを記憶部に保存した後、前記画像データの前記蓄積部への蓄積を再開するように構成される。
【０１８８】
本発明の他の態様は、
基板を搬送する搬送手段と、
前記基板を処理する処理手段と、
前記搬送手段による前記基板の搬送動作を画像データとして記録する記録手段と、
各種の画面を表示する操作部と、
前記基板の状態を示す情報と関連させて、前記搬送手段、前記処理手段、前記記録手段および前記操作部を制御する制御手段と、を備え、
前記制御手段は、
前記搬送手段による前記基板の搬送履歴情報と前記処理手段による基板処理の状況を表わす生産情報とを含む基板処理結果情報のうち前記搬送履歴情報が保存される第１格納部および前記基板処理結果情報のうち前記生産情報が保存される第２格納部を有し、
前記搬送履歴情報を表示する画面が選択されると前記記録手段が記録した前記画像デー
タを前記搬送履歴情報と共に前記操作部に表示させ、前記生産情報を表示する画面が選択されると前記記録手段が記録した前記画像データを前記生産情報と共に前記操作部に表示させる
基板処理装置である。
【０１８９】
本発明のさらに他の態様は、
基板を搬送する搬送手段と、
前記搬送手段による前記基板の搬送動作を画像データとして記録する記録手段と、
前記記録手段で記録した前記画像データを蓄積部に蓄積する画像制御手段と、を備え、
前記画像制御手段は、
予め設定された第１設定時間に到達するか、或いは所定のイベントが発生すると、前記第１設定時間分の前記画像データ、或いは前記イベントの前回発生時から今回発生時までの時間分の前記画像データを前記蓄積部から読み出してファイルに変換して記憶部に保存し、
予め設定された第２設定時間に到達するか、或いは所定のイベントが発生すると、前記記憶部内に保存された前記ファイルのうち、最も古いファイルを削除するように構成される
基板処理装置である。
【０１９０】
好ましくは、
前記画像制御手段は、
前記ファイルを前記記憶部に保存した後、前記画像データの前記蓄積部への蓄積を再開するように構成される。
【０１９１】
本発明のさらに他の態様は、
基板を搬送する搬送手段と、
前記搬送手段による前記基板の搬送時に発生する搬送エラーを検出する検出手段と、
前記搬送手段による前記基板の搬送を制御する搬送制御手段と、
前記搬送手段による前記基板の搬送動作を画像データとして記録する記録手段と、
前記記録手段で記録した前記画像データを所定期間又は所定のイベント間の期間で区切ってファイルに変換し、記憶部に保存する主制御手段と、を備え、
前記主制御手段は、
前記搬送エラーの発生を示すエラー通知、前記搬送エラーの発生時刻を示す時刻データ、前記搬送エラーの発生時のレシピ内容および前記搬送エラーの発生時の前記基板処理装置の状態を示すモニタデータ、を含むエラー情報を生成し、
前記搬送エラーの発生時の前記画像データを含む前記ファイルを前記搬送エラーの発生時の前記搬送手段の位置及び速度を含む数値データとともに前記エラー情報に関連付け、
予め前記記憶部に保存しておいた正常時の画像データ及び数値データと、前記搬送エラーの発生時の前記画像データ及び前記数値データとを比較してこれらのデータの相違点を抽出した比較データを生成し、前記比較データを前記エラー情報に関連付け、
前記主制御手段が有する操作画面に前記エラー情報を表示するように構成される
基板処理装置である。
【０１９２】
本発明のさらに他の態様は、
第１制御手段により搬送手段を制御して基板を搬送する工程と、
前記第１制御手段により処理手段を制御して前記基板を処理する工程と、
記録手段により前記搬送手段による前記基板の搬送動作を画像データとして記録しつつ、前記記録手段で記録した前記画像データを第２制御手段により蓄積部に蓄積する工程と、を有し、
検出手段により前記搬送手段による前記基板の搬送時に搬送エラーが検出されると、前
記第１制御手段により、前記搬送手段または前記処理手段から前記基板の状態を示す情報を取得し、前記搬送手段を停止して前記搬送手段が前記搬送エラーにより停止した旨を前記第２制御手段に通知する工程と、
前記第２制御手段により、前記搬送エラーの発生時を含む所定時間分の前記画像データを前記蓄積部から読み出してファイルに変換する工程と、を行う
基板処理装置のデータ解析方法である。
【０１９３】
本発明のさらに他の態様は、
搬送手段により基板を搬送する工程と、
処理手段により前記基板を処理する工程と、
記録手段により前記搬送手段による前記基板の搬送動作を画像データとして記録する工程と、
前記搬送手段による前記基板の搬送履歴情報と前記処理手段による基板処理の状況を表わす生産情報とを含む基板処理結果情報のうち前記搬送履歴情報を第１格納部に保存する工程と、
前記基板処理結果情報のうち前記生産情報を第２格納部に保存する工程と、
操作部により各種の画面を表示する工程と、を有し、
前記各工程は前記基板の状態を示す情報と関連させて行われ、
前記各種の画面を表示する工程では、
前記搬送履歴情報を表示する画面が選択されると前記記録手段が記録した前記画像データを前記搬送履歴情報と共に前記操作部に表示する工程を行い、
前記生産情報を表示する画面が選択されると前記記録手段が記録した前記画像データを前記生産情報と共に前記操作部に表示する工程を行う
基板処理装置のデータ解析方法である。
【０１９４】
本発明のさらに他の態様は、
搬送手段により基板を搬送する工程と、
記録手段により前記搬送手段による前記基板の搬送動作を画像データとして記録しつつ、前記記録手段で記録した前記画像データを画像制御手段により蓄積部に蓄積する工程と、を有し、
前記画像制御手段は、
予め設定された第１設定時間に到達するか、或いは所定のイベントが発生すると、前記第１設定時間分の前記画像データ、或いは前記イベントの前回発生時から今回発生時までの時間分の前記画像データを前記蓄積部から読み出してファイルに変換して記憶部に保存する工程と、
予め設定された第２設定時間に到達するか、或いは所定のイベントが発生すると、前記記憶部内に保存された前記ファイルのうち、最も古いファイルを削除する工程と、を行う基板処理装置のデータ解析方法である。
【０１９５】
本発明のさらに他の態様は、
搬送制御手段により搬送手段を制御して基板を搬送する工程と、
記録手段により前記搬送手段による前記基板の搬送動作を画像データとして記録しつつ、前記記録手段で記録した前記画像データを主制御手段により所定期間又は所定のイベント間の期間で区切ってファイルに変換し、記憶部に保存する工程と、を有し、
検出手段により前記搬送手段による前記基板の搬送時に搬送エラーが検出されると、
前記主制御手段により、
前記搬送エラーの発生を示すエラー通知、前記搬送エラーの発生時刻を示す時刻データ、前記搬送エラーの発生時のレシピ内容および前記搬送エラーの発生時の基板処理装置の状態を示すモニタデータ、を含むエラー情報を生成する工程と、
前記搬送エラーの発生時の前記画像データを含む前記ファイルを前記搬送エラーの発生
時の前記搬送手段の位置及び速度を含む数値データとともに前記エラー情報に関連付ける工程と、
予め前記記憶部に保存しておいた正常時の画像データ及び数値データと、前記搬送エラーの発生時の前記画像データ及び前記数値データとを比較してこれらのデータの相違点を抽出した比較データを生成し、前記比較データを前記エラー情報に関連付ける工程と、
前記エラー情報を前記主制御手段が備える操作画面に表示する工程と、を行う
基板処理装置のデータ解析方法である。
【０１９６】
本発明のさらに他の態様は、
第１制御手段と第２制御手段とを備えるコンピュータに、
前記第１制御手段により搬送手段を制御して基板を搬送する手順と、
前記第１制御手段により処理手段を制御して前記基板を処理する手順と、
記録手段により前記搬送手段による前記基板の搬送動作を画像データとして記録しつつ、前記記録手段で記録した前記画像データを第２制御手段により蓄積部に蓄積する手順と、を実行させ、
検出手段により前記搬送手段による前記基板の搬送時に搬送エラーが検出されると、前記第１制御手段により、前記搬送手段または前記処理手段から前記基板の状態を示す情報を取得し、前記搬送手段を停止して前記搬送手段が前記搬送エラーにより停止した旨を前記第２制御手段に通知する手順と、
前記第２制御手段により、前記搬送エラーの発生時を含む所定時間分の前記画像データを前記蓄積部から読み出してファイルに変換する手順と、を実行させる
プログラムである。
【０１９７】
本発明のさらに他の態様は、
搬送手段により基板を搬送する手順と、
処理手段により前記基板を処理する手順と、
記録手段により前記搬送手段による前記基板の搬送動作を画像データとして記録する手順と、
前記搬送手段による前記基板の搬送履歴情報と前記処理手段による基板処理の状況を表わす生産情報とを含む基板処理結果情報のうち前記搬送履歴情報を第１格納部に保存する手順と、
前記基板処理結果情報のうち前記生産情報を第２格納部に保存する手順と、
操作部により各種の画面を表示する手順と、を前記基板の状態を示す情報と関連させてコンピュータに実行させ、
前記各種の画面を表示する手順では前記コンピュータに、
前記搬送履歴情報を表示する画面が選択されると前記記録手段が記録した前記画像データを前記搬送履歴情報と共に前記操作部に表示する手順を実行させ、
前記生産情報を表示する画面が選択されると前記記録手段が記録した前記画像データを前記生産情報と共に前記操作部に表示する手順を実行させる
プログラムである。
【０１９８】
本発明のさらに他の態様は、
搬送手段により基板を搬送する手順と、
記録手段により前記搬送手段による前記基板の搬送動作を画像データとして記録しつつ、前記記録手段で記録した前記画像データを所定期間又は所定のイベント間の期間で区切ってファイルに変換し、記憶部に保存する手順と、をコンピュータに実行させ、
検出手段により前記搬送手段による前記基板の搬送時に搬送エラーが検出されると、
前記搬送エラーの発生を示すエラー通知、前記搬送エラーの発生時刻を示す時刻データ、前記搬送エラーの発生時のレシピ内容および前記搬送エラーの発生時の基板処理装置の状態を示すモニタデータ、を含むエラー情報を生成する手順と、
前記搬送エラーの発生時の前記画像データを含む前記ファイルを前記搬送エラーの発生時の前記搬送手段の位置及び速度を含む数値データとともに前記エラー情報に関連付ける手順と、
予め前記記憶部に保存しておいた正常時の画像データ及び数値データと、前記搬送エラーの発生時の前記画像データ及び前記数値データとを比較してこれらのデータの相違点を抽出した比較データを生成し、前記比較データを前記エラー情報に関連付ける手順と、
前記エラー情報を操作画面に表示する手順と、を前記コンピュータに実行させる
プログラムである。
【０１９９】
本発明のさらに他の態様は、
第１制御手段と第２制御手段とを備えるコンピュータに、
前記第１制御手段により搬送手段を制御して基板を搬送する手順と、
前記第１制御手段により処理手段を制御して前記基板を処理する手順と、
記録手段により前記搬送手段による前記基板の搬送動作を画像データとして記録しつつ、前記記録手段で記録した前記画像データを第２制御手段により蓄積部に蓄積する手順と、を実行させ、
検出手段により前記搬送手段による前記基板の搬送時に搬送エラーが検出されると、前記第１制御手段により、前記搬送手段または前記処理手段から前記基板の状態を示す情報を取得し、前記搬送手段を停止して前記搬送手段が前記搬送エラーにより停止した旨を前記第２制御手段に通知する手順と、
前記第２制御手段により、前記搬送エラーの発生時を含む所定時間分の前記画像データを前記蓄積部から読み出してファイルに変換する手順と、を実行させるプログラムを記録した
コンピュータ読み取り可能な記録媒体である。
【０２００】
本発明のさらに他の態様は、
搬送手段により基板を搬送する手順と、
処理手段により前記基板を処理する手順と、
記録手段により前記搬送手段による前記基板の搬送動作を画像データとして記録する手順と、
前記搬送手段による前記基板の搬送履歴情報と前記処理手段による基板処理の状況を表わす生産情報とを含む基板処理結果情報のうち前記搬送履歴情報を第１格納部に保存する手順と、
前記基板処理結果情報のうち前記生産情報を第２格納部に保存する手順と、
操作部により各種の画面を表示する手順と、を前記基板の状態を示す情報と関連させてコンピュータに実行させ、
前記各種の画面を表示する手順では前記コンピュータに、
前記搬送履歴情報を表示する画面が選択されると前記記録手段が記録した前記画像データを前記搬送履歴情報と共に前記操作部に表示する手順を実行させ、
前記生産情報を表示する画面が選択されると前記記録手段が記録した前記画像データを前記生産情報と共に前記操作部に表示する手順を実行させるプログラムを記録した
コンピュータ読み取り可能な記録媒体である。
【０２０１】
本発明のさらに他の態様は、
搬送手段により基板を搬送する手順と、
記録手段により前記搬送手段による前記基板の搬送動作を画像データとして記録しつつ、前記記録手段で記録した前記画像データを所定期間又は所定のイベント間の期間で区切ってファイルに変換し、記憶部に保存する手順と、をコンピュータに実行させ、
検出手段により前記搬送手段による前記基板の搬送時に搬送エラーが検出されると、
前記搬送エラーの発生を示すエラー通知、前記搬送エラーの発生時刻を示す時刻データ
、前記搬送エラーの発生時のレシピ内容および前記搬送エラーの発生時の基板処理装置の状態を示すモニタデータ、を含むエラー情報を生成する手順と、
前記搬送エラーの発生時の前記画像データを含む前記ファイルを前記搬送エラーの発生時の前記搬送手段の位置及び速度を含む数値データとともに前記エラー情報に関連付ける手順と、
予め前記記憶部に保存しておいた正常時の画像データ及び数値データと、前記搬送エラーの発生時の前記画像データ及び前記数値データとを比較してこれらのデータの相違点を抽出した比較データを生成し、前記比較データを前記エラー情報に関連付ける手順と、
前記エラー情報を操作画面に表示する手順と、を前記コンピュータに実行させるプログラムに実行させるプログラムを記録した
コンピュータ読み取り可能な記録媒体である。
【符号の説明】
【０２０２】
９０    統括制御コントローラ（第１制御手段）
９３    画像制御コントローラ（第２制御手段）
９３ｒ  ＲＡＭ（蓄積部）
ＡＲ    大気ロボット（搬送手段）
ＣＬ，ＣＴ  カメラ（記録手段）
ＰＭ１〜ＰＭ４  プロセスチャンバ（処理室）
ＳＬ１，ＳＬ２，ＳＴ１〜ＳＴ２  ウエハ有無センサ（検出手段）
ＶＲ    真空ロボット（搬送手段）
Ｗ      ウエハ（基板）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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