(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
スクライビングホイールと、前記スクライビングホイールを回転自在に軸支するピンと、前記ピンを挿入孔へ挿入することにより前記ピンを保持するホルダと、を有するホルダユニットと、
前記ホルダユニットを取り付けるホルダジョイントを有するスクライブヘッドと、
脆性材料基板が載置されるテーブルと、を備え、
前記スクライビングホイールへ荷重を印加することにより前記テーブルの上に載置された脆性材料基板の表面へスクライブラインを形成するスクライブ装置であって、
前記スクライビングホイールが前記脆性材料基板に接触すると、前記スクライビングホイールの回転を抑制する回転抑制部を備えることを特徴とするスクライブ装置。
【請求項２】
前記ピンに回転自在に軸支された前記スクライビングホイールは、上下方向へ移動可能になっており、
前記スクライビングホイールが脆性材料基板に接触することにより前記スクライビングホイールは上方向へと移動して前記回転抑制部によって回転を抑制されることを特徴とする請求項１に記載のスクライブ装置。
【請求項３】
前記ホルダユニットは、前記ホルダを上下方向へ揺動可能に保持するジョイント補助具を更に有しており、前記ジョイント補助具を介して前記ホルダジョイントへ取り付けられ、
前記回転抑制部は前記ジョイント補助具に備わっており、
前記ホルダの上方向への揺動によって前記スクライビングホイールは上方向へと移動して前記回転抑制部と当接することによって回転を抑制されることを特徴とする請求項２のスクライブ装置。
【請求項４】
前記ホルダと前記ジョイント補助具との間に引張コイルバネが取り付けられていることを特徴とする請求項３のスクライブ装置。
【請求項５】
請求項１から４の何れかに記載のスクライブ装置を用い、
前記スクライビングホイールを前記テーブルの上に載置された脆性材料基板の端部外側から接触させることを特徴とするスクライブ方法。
【請求項６】
スクライブ装置に取り付けられ、脆性材料基板の表面にスクライブラインを形成するために用いられるホルダユニットであって、
前記ホルダユニットは、
スクライビングホイールと、
前記スクライビングホイールを回転自在に軸支するピンと、
前記ピンを挿入孔へ挿入することにより前記ピンを保持するホルダと、
前記ホルダを上下方向へ揺動可能に保持するジョイント補助具と、を有しており、
前記ホルダの上方向への揺動によって前記スクライビングホイールが上方向へと移動し前記ジョイント補助部に備わっている回転抑制部と当接し、前記スクライビングホイールの回転が抑制されることを特徴とするホルダユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板等の脆性材料基板の分断において、脆性材料基板の表面にスクライブラインを形成するためのスクライブ装置、スクライブ方法及びホルダユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラス基板の分断は、通常、スクライビングツールを用いてガラス基板の表面にスクライブラインを形成することにより行われている。このスクライビングツールとしてスクライビングホイールがよく知られている。このスクライビングホイールとしては、例えば特許文献１に記載されているホイールカッターがある。
【０００３】
特許文献１に記載されているホイールカッターは、カッターホルダに保持されるとともに、カッターピンが挿入された回転軸を中心として脆性材料基板上を回転することで、脆性材料基板の表面にスクライブラインを形成していく。
【０００４】
スクライビングホイール以外のスクライビングツールとして、例えば特許文献２や特許文献３に記載されている円柱状や角柱状からなる支持部の先端にダイヤモンドチップ等を取り付け、チップ表面を研磨してスクライビングポイントを形成したものが知られている。
【０００５】
特許文献２や特許文献３に記載されているスクライビングツールは、脆性材料基板に対してスクライビングポイントを圧接し、この状態でケガクように摺動させる。したがって、基板上でスクライビングポイントが引き摺られることになり、その際に脆性材料基板の表面にスクライブラインが形成されていく。この時、特許文献１のようなスクライビングホイールに比べ左右へのブレが生じないため、このスクライビングツールは、高精度のスクライブラインを形成できるという利点を有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１３−２４５１３５号公報
【特許文献２】特開２００３−１８３０４０号公報
【特許文献３】特開２００５−０７９５２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、スクライビングツールは、スクライビングポイントが摩耗してしまうとそのスクライビングポイントは使用できないため、使用できる寿命が短いという問題がある。
【０００８】
短寿命という問題を解決するために、特許文献２、特許文献３のように、スクライビングポイントが摩耗してくると、支持部の中心軸を中心に回転（脆性材料基板の表面と平行な方向で回転）させ、他のスクライビングポイントへ代えて使用する方法もあるが、スクライビングポイントを適切な方向に向けて固定することは難しく、またスクライビングポイントの加工も難しい。
【０００９】
本発明は、使用できる寿命を長くしながら、スクライビングポイントによるスクライブラインのように高精度のスクライブラインを形成することができるスクライブ装置、スクライブ方法及びホルダユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するため、本発明のスクライブ装置は、スクライビングホイールと、前記スクライビングホイールを回転自在に軸支するピンと、前記ピンを挿入孔へ挿入することにより前記ピンを保持するホルダと、を有するホルダユニットと、前記ホルダユニットを取り付けるホルダジョイントを有するスクライブヘッドと、脆性材料基板が載置されるテーブルと、を備え、前記スクライビングホイールへ荷重を印加することにより前記テーブルの上に載置された脆性材料基板の表面へスクライブラインを形成するスクライブ装置であって、前記スクライビングホイールと、前記スクライビングホイールの回転を抑制する回転抑制部を備えることを特徴とする。
【００１１】
本発明のスクライブ装置によれば、回転自在に保持されているスクライビングホイールが脆性材料基板に接触すると、回転抑制部によってスクライビングホイールの回転が止まるように構成されているため、スクライビングホイールの回転を止めてスクライブラインを形成することで、スクライビングホイールを用いてスクライビングポイントによるスクライブラインのように精度の高いスクライブラインを形成することができる。また、スクライビングホイールへ荷重を印加していない時には、スクライビングホイールは回転自在な状態となっているため、例えば、脆性材料基板への乗り上げを利用してスクライビングホイールの刃先を簡単に回転させることができ、常に同じ刃先位置でスクライブラインを形成することを防ぐことができ、スクライビングホイールを使用できる寿命を長くすることができる。
【００１２】
また、本発明のスクライブ装置は、前記ピンに回転自在に軸支された前記スクライビングホイールが、上下方向へ移動可能になっており、前記スクライビングホイールが脆性材料基板に接触することにより前記スクライビングホイールは上方向へと移動して前記回転抑制部によって回転を抑制されることを特徴とする。
【００１３】
また、本発明のスクライブ装置は、前記ホルダユニットが、前記ホルダを上下方向へ揺動可能に保持するジョイント補助具を更に有しており、前記ジョイント補助具を介して前記ホルダジョイントへ取り付けられ、前記回転抑制部は前記ジョイント補助具に備わっており、前記ホルダの先端側の上方向への揺動によって前記スクライビングホイールは上方向へと移動して前記回転抑制部と当接することによって回転を抑制されることを特徴とする。
【００１４】
本発明のスクライブ装置によれば、スクライビングホイール自体を交換する際に、ジョイント補助具からホルダを取り外して交換することができるため、スクライビングホイールの交換を容易に行うことができる。
【００１５】
また、本発明のスクライブ装置は、前記ホルダと前記ジョイント補助具との間に引張コイルバネが取り付けられていることを特徴とする。
【００１６】
本発明のスクライブ装置によれば、引張コイルバネの張力を利用してホルダの揺動をスムーズに行うことができる。
【００１７】
また、本発明のスクライブ方法は、上記に記載のスクライブ装置を用い、前記スクライビングホイールを前記テーブルの上に載置された脆性材料基板の端部外側から接触させることを特徴とする。
【００１８】
本発明のスクライブ方法によれば、脆性材料基板への乗り上げを利用してスクライビングホイールの刃先を簡単に回転させることができ、常に同じ刃先位置でスクライブラインを形成することを防ぐことができ、スクライビングホイールを使用できる寿命を長くすることができる。
【００１９】
また、本発明のホルダユニットは、スクライブ装置に取り付けられ、脆性材料基板の表面にスクライブラインを形成するために用いられるホルダユニットであって、前記ホルダユニットは、スクライビングホイールと、前記スクライビングホイールを回転自在に軸支するピンと、前記ピンを挿入孔へ挿入することにより前記ピンを保持するホルダと、前記ホルダを上下方向へ揺動可能に保持するジョイント補助具と、を有しており、前記ホルダの先端部の上方向への揺動によって前記スクライビングホイールが上方向へと移動し前記ジョイント補助部に備わっている回転抑制部と当接し、前記スクライビングホイールの回転が抑制されることを特徴とする。
【００２０】
本発明のホルダユニットによれば、ホルダユニットを交換することにより、既存のスクライブ装置を用いて上記効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】実施形態１のスクライブ装置の概略図である。
【図２】図２（Ａ）は実施形態１のホルダユニットが取り付けられたホルダジョイントの正面図であり、図２（Ｂ）はこのホルダジョイントの側面図である。
【図３】図３（Ａ）は実施形態１のホルダユニットを構成するホルダの斜視図であり、図３（Ｂ）はホルダユニットを構成するジョイント補助具の側面断面図であり、図３（Ｃ）はホルダユニットの側面断面図である。
【図４】図４は実施形態１のスクライブ装置を用いたスクライブ方法を示す概念工程図である。
【図５】図５（Ａ）は実施形態２のホルダユニットの側面図であり、図５（Ｂ）はホルダユニットの断面図である。
【図６】図６（Ａ）は実施形態２のホルダの斜視図であり、図６（Ｂ）は実施形態２のホルダユニットを構成するジョイント補助具の正面図であり、図６（Ｃ）はジョイント補助具の側面図である。
【図７】図７は実施形態２のスクライブ装置を用いたスクライブ方法を示す概念工程図である。
【図８】図８（Ａ）は実施形態３のホルダユニットを構成するホルダの側面図であり、図８（Ｂ）はホルダの正面図であり、図８（Ｃ）はホルダの底面図であり、図８（Ｄ）はホルダの正面断面図である。
【図９】図９（Ａ）は実施形態３のスクライビングホイールへ荷重が印加されていない時のホルダユニットの要部拡大図であり、図９（Ｂ）はスクライビングホイールへ荷重が印加された時のホルダユニットの要部拡大図である。
【図１０】図１０は実施形態３のスクライブ装置を用いたスクライブ方法を示す概念工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の実施形態を図面を用いて説明する。ただし、以下に示す実施形態は、本発明の技術思想を具体化するための一例を示すものであり、本発明をこの実施形態に特定することを意図するものではない。本発明は、特許請求の範囲に含まれるその他の実施形態にも適応できるものである。
【００２３】
［実施形態１］
図１は、本発明の実施形態１に係るスクライブ装置１の概略図である。スクライブ装置１は、移動台１０を備えている。移動台１０は、ボールネジ１１と螺合されており、モータの駆動によりこのボールネジ１１が回転することで、一対の案内レール１２に沿ってｙ軸方向に移動可能となっている。
【００２４】
移動台１０の上面には、モータ１３が設置されている。モータ１３は、上部に位置するテーブル１４をｘｙ平面で回転させて所定角度に位置決めする。モータ１３により水平回転可能なテーブル１４は、図示しない真空吸着手段を備えており、テーブル１４上に載置された脆性材料基板１５をこの真空吸着手段によって保持する。
【００２５】
この脆性材料基板１５は、ガラス基板、低温焼成セラミックスや高温焼成セラミックスからなるセラミック基板、シリコン基板、化合物半導体基板、サファイア基板、石英基板等である。また、脆性材料基板１５は、基板の表面又は内部に薄膜或いは半導体材料を付着させたり、含ませたりしたものであってもよい。また、脆性材料基板１５は、その表面に脆性材料に該当しない薄膜等が付着されていても構わない。
【００２６】
スクライブ装置１は、テーブル１４に載置された脆性材料基板１５の上方に、この脆性材料基板１５の表面に形成されたアライメントマークを撮像する二台のＣＣＤカメラ１６を備えている。移動台１０とその上部のテーブル１４とを跨ぐように、ブリッジ１７が支柱１８ａ、１８ｂに架設されている。
【００２７】
ブリッジ１７にはガイド１９が取り付けられており、スクライブヘッド２０はこのガイド１９に案内されてｘ軸方向に移動するように設置されている。スクライブヘッド２０には、ホルダジョイント２１を介して後述するホルダユニット３０が取り付けられている。
【００２８】
ホルダジョイント２１の詳細について説明する。図２（Ａ）はホルダユニット３０が取り付けられたホルダジョイント２１の正面図であり、図２（Ｂ）はこのスクライブヘッド２０の側面図である。
【００２９】
ホルダジョイント２１は下端にホルダユニット取付部２４を有している。ホルダユニット取付部２４は、図２（Ｂ）の矢印で示す進行方向Ｄに向かって略逆Ｌ字状となっている。このホルダ取付部２４の上面には図示しない回転軸が取り付けられている。そして、回転軸が二つのベアリング２２、２３に挿入されている。ホルダジョイント２１は、スクライブヘッド２０の下端においてベアリング２２、２３を介して回転可能に支持されている。
【００３０】
また、スクライブヘッド２０は、図示しない昇降部を備えており、この昇降部によってホルダユニット３０が昇降する。そして、ホルダユニット３０の昇降によって後述するスクライビングホイール３１へ荷重が印加されることになり、スクライビングホイール３１は、テーブル１４に載置された脆性材料基板１５表面へ圧接しスクライブラインを形成する。
【００３１】
次にホルダユニット３０の詳細について説明する。図３（Ａ）はホルダユニット３０を構成するホルダ４０の斜視図であり、図３（Ｂ）はホルダユニット３０を構成するジョイント補助具５０の側面断面図であり、図３（Ｃ）はホルダユニット３０の側面断面図である。ホルダユニット３０は、スクライビングホイール３１と、ピン３２と、ホルダ４０と、ジョイント補助具５０と、を備えている。
【００３２】
スクライビングホイール３１は特許文献１に記載されているホイールカッターを用いることができるが、より具体的には特開２０１３−１４１２９号公報に記載されているような円板状のスクライビングホイール基材の円周部に設けられた傾斜面及び稜線の表面にダイヤモンド膜を成膜したものが好適である。表面にダイヤモンド膜が形成されることより、スクライビングホイール３１の表面の粗さが抑えられ、後述するスクライブ方法によりスクライブラインを形成する際に、スクライビングホイール３１は脆性材料基板１５上で滑りやすくなる。したがって、脆性材料基板１５上でのスクライビングホイール３１の回転を抑えることができ、予期せぬ回転によるチッピングの発生も抑えることができ、脆性材料基板１５を分断した時の端面強度も強くなる。また、スクライビングホイール３１にはピン３２が貫通するための貫通孔が円板側面の中心に形成されている。本実施形態のスクライビングホイール３１は、厚さが約０．６５ｍｍであり、外径が約２．０ｍｍ、貫通孔４１の径が約０．８ｍｍ、刃４３の刃先角が約１２０°である。なお、スクライビングホイール３１は、焼結ダイヤモンドや超硬合金で形成されたものの他に、単結晶ダイヤモンドや多結晶ダイヤモンドからなるものでも構わない。
【００３３】
ピン３２は、例えば焼結ダイヤモンドや超硬合金等で形成された、円柱状の部材であり、一端が尖頭形状の尖頭部になっている。ピン３２をスクライビングホイール３１の貫通孔へ挿入することで、スクライビングホイール３１が回転自在に軸支される。
【００３４】
ホルダ４０は金属製の部材からなる。ホルダ４０は図３（Ａ）に示すように先端側が切削されており、一対の保持部４１ａ、４１ｂと、保持部４１ａ、４１ｂの間に位置する保持溝４２が形成されている。保持部４１ａ、４１ｂには、ピン３２が挿通される挿入孔４３ａ、４３ｂが同軸位置にそれぞれ形成されている。ホルダ４０は、スクライビングホイール３１を保持溝４２に配置し、ピン３２をスクライビングホイール３１の貫通孔及び挿入孔４３ａ、４３ｂへ通すことで、ピン３２を回転自在に保持するとともにスクライビングホイール３１を保持溝４２で保持する。したがって、スクライブ装置１は、スクライビングホイール３１を交換する際には、ホルダユニット３０からホルダ４０を取外し、ホルダ４０ごと交換することにより、微小なスクライビングホイール３１の交換を容易に行うことができる。また、ホルダ４０は、保持部４１ａ、４１ｂの上方となる中間位置に、挿入孔４３ａ、４３ｂと同一方向に形成された揺動軸孔４４を備えている。
【００３５】
ジョイント補助具５０は金属製の部材からなる。ジョイント補助具５０は図３（Ｂ）に示すように上部側は矩形状からなり、下部側は下方に向かって幅が狭くなる台形状となっている。ジョイント補助具５０は、下部側の台形状部分と上部側の矩形状部分の一部が切削されており、一対のホルダ保持部５１ａ、５１ｂと、ホルダ保持部５１ａ、５１ｂの間に位置するホルダ保持溝５２が形成されている。
【００３６】
ホルダ保持部５１ａ、５１ｂには、ホルダ４０を上下方向に揺動可能に保持するための揺動孔５３ａ、５３ｂが同軸位置にそれぞれ形成されている。なお、図２（Ａ）に示すように本実施形態の揺動孔５３ａは、ジョイント補助具５０を貫通するものではないが、貫通するものでも構わない。
【００３７】
ホルダ保持溝５２は、進行方向Ｄに対して前方側と後方側とで溝の深さ（上方向の高さ）が異なっている。前方側となるホルダ保持溝５２ａは、溝が深くなっており、こちらに揺動孔５３ａ、５３ｂが形成されている。
【００３８】
後方側となるホルダ保持溝５２ｂは、溝が浅くなっており、ホルダ保持溝５２ｂの頂部とスクライビングホイール３１との距離が非常に近くなっている。このため、スクライビングホイール３１が上方向へ移動するとホルダ保持溝５２ｂの頂部と当接することになり、回転自在のスクライビングホイール３１の回転が抑制される。したがって、ホルダ保持溝５２ｂの頂部は、スクライビングホイール３１の回転を抑制する回転抑制部６０を構成することになり、ジョイント補助具５０は回転抑制部６０を備えることになる。
【００３９】
また、ジョイント補助具５０にはホルダジョイント２１へネジ止めするためのジョイント取付孔５４が形成されている。そして、ジョイント補助具５０は、ジョイント取付孔５４とホルダユニット取付部２４へ形成されているネジ孔とを介して、ネジ５５によりホルダユニット取付部２４へ取り付けられる。また、ジョイント補助具５０には止め金取付孔５６が形成されている。そして、止め金取付孔５６にネジ５７を介して止め金５８を固定する。この止め金５８は、揺動孔５３ｂを閉塞するためのものである。
【００４０】
そして、ジョイント補助具５０は、スクライビングホイール３１とピン５２が取り付けられたホルダ４０をホルダ保持溝５２に配置し、揺動ピン５９をホルダ４０の揺動軸孔４４と揺動孔５３ａ、５３ｂへ通すことで、ホルダ４０を上下方向へ揺動可能に保持する。
【００４１】
以上のように、回転自在に軸支されたスクライビングホイール３１を備えるホルダ４０が上下方向に揺動可能に保持された構成のホルダユニット３０は、通常であればホルダ４０及びスクライビングホイール３１の自重によってホルダ４０の先端側が下方に下がった状態となっている。この時、スクライビングホイール３１は回転自在な状態となっている。なお、図３（Ｃ）に示すようにホルダ４０の上端がホルダ保持溝５２ａの頂部に当たることで、ホルダ４０の揺動が止まる。
【００４２】
一方、スクライビングホイール３１が脆性材料基板１５の表面上に位置する時等、スクライブヘッド２０の昇降部によってホルダユニット３０が降下するとスクライビングホイール３１へ荷重が印加されることになり、上下方向に揺動可能に保持されているホルダ４０の先端側は上方に動くことになる。そして、ホルダ４０の先端側の上方への動きによってスクライビングホイール３１も上方向へと移動することになり、ホルダ保持溝５２ｂの頂部である回転抑制部６０と当接する。したがって、スクライビングホイール３１は回転抑制部６０によって回転が抑制され、スクライビングホイール３１へ印加される荷重が大きくなるとスクライビングホイール３１は回転自在な状態から固定状態へと変わる。
【００４３】
つまり、ホルダユニット３０は、回転自在に保持されているスクライビングホイール３１が上方へ移動すると、回転抑制部６０によってスクライビングホイール３１の回転が止まり、荷重が印加されるように構成されている。
【００４４】
このような構成のホルダユニット３０及びホルダユニット３０を備えるスクライブ装置１を用いて脆性材料基板１５に対してスクライブラインを形成することによる効果について、図面を用いて説明する。図４はスクライブ装置１を用いたスクライブ方法を示す概念工程図である。なお、図４においては分かり易くするためにスクライブ装置１を構成するホルダユニット３０と、脆性材料基板１５のみを図示している。また、スクライビングホイール３１の状態を分かり易くするために、ホルダユニット３０を断面図で示している。
【００４５】
ここで、本実施形態における脆性材料基板１５に対するスクライブラインの形成は、所謂外切りというスクライブ方法にて行われる。外切りとは脆性材料基板１５の外側から外側までをスクライブするスクライブ方法であり、脆性材料基板１５の端部より少し外側のポイントにおいて、スクライビングホイール３１の最下端を脆性材料基板１５の上面よりも僅かに下方まで降下させる。そしてスクライビングホイール３１に対して所定の荷重をかけた状態で進行方向に水平移動させることで脆性材料基板１５の縁からスクライブを開始し、脆性材料基板１５の他方の縁までスクライブするものである。
【００４６】
まず、スクライブ装置１は、脆性材料基板１５の端部より外側のポイントにおいて、スクライビングホイール３１の最下端が脆性材料基板１５の上面よりもわずかに下方となる位置までスクライブヘッド２０を降下させておく（ステップ１）。この時、スクライビングホイール３１は、回転抑制部６０と当接していないため、回転自在な状態となっている。
【００４７】
つぎに、スクライブ装置１は、スクライブヘッド２０を動かすことによりホルダユニット３０を進行方向Ｄに水平移動させる。この時、スクライビングホイール３１は、回転自在な状態となっているため、脆性材料基板１５の外縁と接触しクラックを形成するとともに基板表面へ乗り上げることなるが、この瞬間に矢印Ｒの方向に少しだけ回転する（ステップ２）。またこの時、上下方向に揺動可能に保持されているホルダ４０の先端側は、脆性材料基板１５の基板表面への乗り上げにより上方向に向かって動くことになる。
【００４８】
そして、スクライブ装置１は、脆性材料基板１５の表面にスクライビングホイール３１の刃先が食い込んだ状態で、ホルダユニット３０を進行方向Ｄに水平移動させてスクライブを行う（ステップ３）。この時、ホルダ４０の上方への動きによってスクライビングホイール３１は回転抑制部６０と強く当接し、スクライビングホイール３１には所定の荷重が印加されているため、ステップ１の回転自在な状態から固定状態となっている。また、この時スクライビングホイール３１は、矢印Ｒの方向に対する回転だけでなく、ピン３２の軸方向に対する移動も規制されることになる。
【００４９】
したがって、ステップ３におけるスクライブ時、スクライブ装置１は、スクライビングホイール３１を用いて常に同じ刃先位置で脆性材料基板１５のスクライブを行うことになる。つまり、スクライブ装置１は、特許文献２や特許文献３に記載されているスクライビングツールのように、固定された状態のスクライビングホイール３１の刃先をスクライビングポイントとして脆性材料基板１５に圧接し、この状態でケガクように摺動させてスクライブラインを形成する。
【００５０】
また、スクライブ装置１は、脆性材料基板１５の他方の縁までスクライブを行うと、また外切りにてスクライブラインを形成することになるので、ステップ２の時にスクライビングホイール３１を少しだけ回転させることができ、次にスクライブラインを形成する刃先位置を変えることができる。
【００５１】
このように本実施形態のスクライブ装置１は、外切りにてスクライブラインを形成すると、特許文献２や特許文献３のようなスクライビングポイントによるスクライブラインのように精度の高いスクライブラインを形成することができる。またスクライビングホイール３１自体は、特許文献１のホイールカッターのようにスクライブラインを形成する際に従来から多用されているものであるため製造等が容易である。
【００５２】
また、スクライブ装置１は、脆性材料基板１５表面へ乗り上げる際にスクライビングホイール３１の刃先を簡単に回転させることができるため、常に同じ刃先位置でスクライブラインを形成することによる摩耗を抑制することができ、スクライビングホイール３１を使用できる寿命を長くすることができる。また、この時のスクライビングホイール３１の回転量についても比較的簡単に制御することができるので、スクライビングホイール３１におけるスクライビングポイントの位置管理も容易に行うことができる。
【００５３】
［実施形態２］
つぎに実施形態２にかかるホルダユニット１３０について図を用いて説明する。図５（Ａ）はホルダユニット１３０の側面図であり、図５（Ｂ）はホルダユニット１３０の断面図である。なお、図５（Ｂ）はホルダ１４０を側面図として示している。また、図６（Ａ）はホルダ１４０の斜視図であり、図６（Ｂ）はホルダユニット１３０を構成するジョイント補助具１５０の正面図であり、図６（Ｃ）はジョイント補助具１５０の側面図である。
【００５４】
実施形態１のホルダユニット３０は、脆性材料基板１５の他方の縁までスクライブを行うとホルダ４０及びスクライビングホイール３１の自重によってホルダ４０の先端側が下方に下がった状態に戻る構成となっている。この時ホルダ４０及びスクライビングホイール３１が軽過ぎるとホルダ４０の先端側が下方に下がった状態に戻り難くなり、ホルダ４０がスムーズに揺動しない場合がある。そこで、実施形態２のホルダユニット１３０は、ホルダ４０及びスクライビングホイール１３１が軽い場合にもホルダ１４０がスムーズに揺動できる構成となっている。
【００５５】
具体的にはホルダユニット１３０は、スクライビングホイール１３１と、ピン１３２と、ホルダ１４０と、ジョイント補助具１５０と、ホルダ１４０とジョイント補助具１５０とに接続された引張コイルバネ１７０を備えている。なお、スクライビングホイール１３１とピン１３２については、実施形態１のスクライビングホイール３１とピン３２と同様であるため説明を省略する。
【００５６】
ホルダ１４０は金属製の部材からなる。ホルダ１４０は、先端側に一対の保持部１４１ａ、１４１ｂと、保持部１４１ａ、１４１ｂの間に位置する保持溝１４２が形成されている。保持部１４１ａ、１４１ｂには、ピン１３２が挿通される挿入孔１４３ａ、１４３ｂが同軸位置にそれぞれ形成されている。ホルダ１４０は、スクライビングホイール１３１を保持溝１４２に配置し、ピン１３２をスクライビングホイール１３１の貫通孔及び挿入孔１４３ａ、１４３ｂへ通すことで、ピン１３２を回転自在に保持するとともにスクライビングホイール１３１を保持溝１４２で保持する。また、ホルダ１４０は、挿入孔１４３ａ、１４３ｂと同一方向に形成された揺動軸孔１４４を備えている。また、ホルダ１４０には後端側に引張コイルバネ１６０のフックを掛ける引掛部１４５が形成されている。
【００５７】
ジョイント補助具１５０は金属製の部材からなる。ジョイント補助具１５０は図６（Ｃ）に示すように上部側は矩形状からなり、下部側は下方に向かって幅が狭くなる台形状となっている。ジョイント補助具１５０は、下部側の台形状部分と上部側の矩形状部分の一部が切削されており、一対のホルダ保持部１５１ａ、１５１ｂと、ホルダ保持部１５１ａ、１５１ｂの間に位置するホルダ保持溝１５２が形成されている。
【００５８】
ホルダ保持部１５１ａ、１５１ｂには、ホルダ１４０を上下方向に揺動可能に保持するための揺動孔１５３ａ、１５３ｂが同軸位置にそれぞれ形成されている。
【００５９】
ホルダ保持溝１５２は、溝の深さ（上方向の高さ）が異なっている。進行方向Ｄに対して前方側となるホルダ保持溝１５２ａは溝が一番深くなっており、ホルダ保持溝１５２ｂは溝が次に深くなっておりホルダ保持溝１５２ｂに揺動孔１５３ａ、１５３ｂが形成されている。
【００６０】
後方側となるホルダ保持溝１５２ｃは、溝が一番浅くなっており、ホルダ保持溝１５２ｃの頂部とスクライビングホイール１３１との距離が非常に近くなっている。このため、スクライビングホイール１３１が上方向へ移動するとホルダ保持溝１５２ｃの頂部と当接することになり、回転自在のスクライビングホイール１３１の回転が抑制される。したがって、ホルダ保持溝１５２ｃの頂部が、ジョイント補助具１５０における回転抑制部１６０を構成する。
【００６１】
また、ジョイント補助具１５０にはホルダジョイント２１へネジ止めするためのジョイント取付孔１５４が形成されている。そして、ジョイント補助具１５０は、ジョイント取付孔１５４とホルダ取付部２４へ形成されているネジ孔とを介して、図示していないネジによりホルダ取付部２４へ取り付けられる。また、ジョイント補助具１５０には止め金取付孔１５６が形成されている。そして、止め金取付孔１５６に図示していないネジを介して図示していない止め金を固定し、この止め金によって揺動孔１５３ｂを閉塞する。
【００６２】
また、ジョイント補助具１５０には図６（Ｂ）に示すように正面上部に引張コイルバネ１７０のフックを掛ける引掛部１５７が形成されたネジを固定するための固定孔１５８が形成されている。
【００６３】
そして、ジョイント補助具１５０は、スクライビングホイール１３１とピン１３２が取り付けられたホルダ１４０をホルダ保持溝１５２に配置し、揺動ピン１５９をホルダ１４０の揺動軸孔１４４と揺動孔１５３ａ、１５３ｂへ通すことで、ホルダ１４０を上下方向へ揺動可能に保持する。また、ジョイント補助具１５０は、引張コイルバネ１７０のフックをホルダ１４０の引掛部１４５と、ジョイント補助具１５０に固定された引掛部１５７とに引っ掛けることで、ホルダ１４０とジョイント補助具１５０との間に引張コイルバネ１７０を取り付けて構成されている。
【００６４】
以上のように、回転自在に軸支されたスクライビングホイール１３１を備えるホルダ１４０が上下方向に揺動可能に保持された構成のホルダユニット１３０は、通常であればホルダ１４０及びスクライビングホイール１３１の自重と引張コイルバネ１７０の張力によってホルダ１４０が下方に下がった状態となっている。この時、スクライビングホイール１３１は回転自在な状態となっている。なお、図５（Ｂ）に示すようにホルダ１４０の上面がホルダ保持溝１５２ａとホルダ保持溝１５２ｂとで形成された角部１５５に当接することで、ホルダ１４０の下方への移動が止まる。
【００６５】
一方、スクライビングホイール１３１が脆性材料基板１５の表面上に位置する時等、スクライブヘッド２０の昇降部によってホルダユニット１３０が降下するとスクライビングホイール１３１が基板に接触することになり、上下方向に揺動可能に保持されているホルダ１４０の先端側は上方に動くことになる。そして、ホルダ１４０の先端側の上方への動きによってスクライビングホイール１３１も上方向へと移動することになり、ホルダ保持溝１５２ｃの頂部である回転抑制部１６０と当接し、回転抑制部１６０によって回転が抑制されることになる。したがって、スクライビングホイール１３１が基板に接触するとスクライビングホイール１３１は回転自在な状態から固定状態へと変わり、スクライビングホイール１３１に印加される荷重が大きくなるとより強固に固定されることとなる。
【００６６】
つまり、ホルダユニット１３０は、回転自在に保持されているスクライビングホイール１３１が基板に接触し、荷重が印加されると、回転抑制部１６０によってスクライビングホイール１３１の回転が止まるように構成されている。
【００６７】
このような構成のホルダユニット１３０及びホルダユニット１３０を備えるスクライブ装置１を用いて脆性材料基板１５に対してスクライブラインを形成することによる効果について、図面を用いて説明する。図７はスクライブ装置１を用いたスクライブ方法を示す概念工程図である。なお、図７においては、ホルダユニット１３０以外の構成は実施形態１と同様のため、ホルダユニット１３０以外の構成については同じ符号を用いて説明する。また、分かり易くするためにスクライブ装置１を構成するホルダユニット１３０と、脆性材料基板１５のみを図示している。また、スクライビングホイール１３１の状態を分かり易くするために、ホルダユニット１３０を断面図で示している。
【００６８】
ここで、本実施形態における脆性材料基板１５に対するスクライブラインの形成は、実施形態１と同様に外切りというスクライブ方法にて行われる。
【００６９】
まず、スクライブ装置１は、脆性材料基板１５の端部より外側のポイントにおいて、スクライビングホイール１３１の最下端が脆性材料基板１５の上面よりもわずかに下方となる位置まで降下させておく。この時、スクライビングホイール１３１は、回転抑制部１６０と当接していなため、回転自在な状態となっている。なお、この工程は実施形態１における図４のステップ１と同様となるため図示していない。
【００７０】
つぎに、スクライブ装置１は、スクライブヘッド２０を動かすことによりホルダユニット１３０を進行方向Ｄに水平移動させる（ステップ１）。この時、スクライビングホイール１３１は、回転自在な状態となっているため、脆性材料基板１５の外縁と接触しクラックを形成するとともに基板表面へ乗り上げることなるが、この瞬間に矢印Ｒの方向に少しだけ回転する。またこの時、上下方向に揺動可能に保持されているホルダ１４０の先端部は、脆性材料基板１５の基板表面への乗り上げにより上方向に向かって動くことになる。
【００７１】
そして、スクライブ装置１は、脆性材料基板１５の表面にスクライビングホイール１３１の刃先が食い込んだ状態で、ホルダユニット１３０を進行方向Ｄに水平移動させてスクライブを行う（ステップ２）。この時、スクライビングホイール１３１には所定の荷重が印加されているため、ホルダ１４０の先端側上方への動きによってスクライビングホイール１３１は回転抑制部１６０と強く当接し、ステップ１の回転自在な状態から固定状態となっている。また、この時スクライビングホイール１３１は、矢印Ｒの方向に対する回転だけでなく、ピン１３２の方向に対する移動も規制されることになる。
【００７２】
したがって、ステップ２におけるスクライブ時、スクライブ装置１は、スクライビングホイール１３１を用いて常に同じ刃先位置で脆性材料基板１５のスクライブを行うことになる。つまり、実施形態１と同様、スクライブ装置１は、固定された状態のスクライビングホイール１３１の刃先をスクライビングポイントとして脆性材料基板１５に圧接し、この状態でケガクように摺動させてスクライブラインを形成する。
【００７３】
また、スクライブ装置１は、脆性材料基板１５の他方の縁までスクライブを行うと、また外切りにてスクライブラインを形成することになるので、ステップ１の時にスクライビングホイール１３１を少しだけ回転させることができ、次にスクライブラインを形成する刃先位置を変えることができる。
【００７４】
また、ステップ２の時に引張コイルバネ１７０は伸びた状態となっているため、脆性材料基板１５の他方の縁までスクライブを行うと、引張コイルバネ１７０の張力によりホルダ１４０の後端側が上方へ引き上げられ、ホルダ１４０の先端側が確実に下方に下がった状態となる。
【００７５】
このように実施形態２のスクライブ装置１は、外切りにてスクライブラインを形成すると、実施形態１と同様に精度の高いスクライブラインを形成することができる。またスクライビングホイール１３１を容易に製造することができる。また、スクライブ装置１は、常に同じ刃先位置でスクライブラインを形成することを防ぐことができ、スクライビングホイール１３１を使用できる寿命を長くすることができる。
【００７６】
更には、スクライブ装置１は、ホルダ１４０とジョイント補助具１５０との間に引張コイルバネ１７０が取り付けられているため、ホルダ１４０がスムーズに揺動でき、特にスクライビングホイール１３１が脆性材料基板に接触していない状態でホルダ１４０の先端部を確実に下げることができる構成となっている。
【００７７】
［実施形態３］
つぎに実施形態３にかかるホルダユニット２３０について図を用いて説明する。図８（Ａ）はホルダユニット２３０を構成するホルダ２４０の側面図であり、図８（Ｂ）はホルダ２４０の正面図であり、図８（Ｃ）はホルダ２４０の底面図であり、図８（Ｄ）はホルダ２４０の正面断面図である。ホルダユニット２３０は、スクライビングホイール２３１と、ピン２３２と、ホルダ２４０と、を備えている。なお、スクライビングホイール２３１とピン２３２については、実施形態１のスクライビングホイール３１とピン３２と同様であるため説明を省略する。
【００７８】
ホルダ２４０は金属製の部材からなる。ホルダ２４０は、図８（Ａ）に示すように上部側は矩形状からなり、下部側は下方に向かって幅が狭くなる台形状となっている。ホルダ２４０は、下部側の台形状部分の一部が切削されており、一対の保持部２４１ａ、２４１ｂと、保持部２４１ａ、２４１ｂの間に位置する保持溝２４２が形成されている。
【００７９】
保持部２４１ａ、２４１ｂには、焼結ダイヤモンドや超硬合金からなる円柱体２４６ａ、２４６ｂがロウ付けによってそれぞれ同軸位置で固定されている。そして、スクライビングホイール２３１の円板側面とは、保持部２４１ａ側の円柱体２４６ａからなる保持壁２４７ａと、保持部２４１ｂ側の円柱体２４６ｂからなる保持壁２４７ｂとが対向することになる。なお、図８（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）において円柱体２４６ａ、２４６ｂは斜線で示している。
【００８０】
また、円柱体２４６ａ、２４６ｂには、ピン２３２が挿通される挿入孔２４３ａ、２４３ｂが同軸位置にそれぞれ形成されている。この挿入孔２４３ａ、２４３ｂは、挿通されたピン２３２が上下方向及び前後方向へ移動できるよう、ピン２３２の径よりも十分に大きな上下方向に長い孔となっている。より具体的には図８（Ａ）に示すように挿入孔２４３ａ、２４３ｂは、菱形形状となっている。
【００８１】
また、保持溝２４２における円柱体２４６ａ、２４６ｂの上部にそれぞれ凸部２６１ａ、２６１ｂが形成されている。この凸部２６１ａ、２６１ｂは、ピン２３２の上方向への移動に伴って上方向へ移動したスクライビングホイール２３１が当接するために形成されている。そして、ピン２３２によって回転自在に保持されているスクライビングホイール２３１が凸部２６１ａ、２６１ｂに当接することによって、回転自在のスクライビングホイール２３１の回転が抑制される。したがって、凸部２６１ａ、２６１ｂは、スクライビングホイール２３１の回転を抑制する回転抑制部２６０を構成することになり、ホルダ２４０は回転抑制部２６０を備えることになる。
【００８２】
ここで、円柱体２４６ａ、２４６ｂと挿入孔２４３ａ、２４３ｂの製造方法について説明する。まず、円柱体２４６ａ、２４６ｂを取り付けるための取付孔と保持溝２４２が形成されているホルダ２４０の基材に対して円柱状の部材をロウ付けにより固定する。次に、ホルダ２４０の基材の下方を図８（Ａ）のような台形状に切断し、この時スリットＳを形成して挿入孔２４３ａ、２４３ｂも同時に切断し形成していく。次に、円柱状の部材の中間位置を、スクライビングホイール２３１の刃先の幅に合わせてダイヤモンドカッター等で切除し幅狭の隙間を形成する。そして、幅狭隙間を形成した円柱状の部材に対して、スクライビングホイール２３１の幅に合わせてダイヤモンドカッターや放電加工等で切除して、幅広の隙間を形成し、保持壁２４７ａ、２４７ｂと凸部２６１ａ、２６１ｂが形成される。なお、円柱体２４６ａ、２４６ｂと挿入孔２４３ａ、２４３ｂの製造方法について、より具体的には特開２０１１−２４０５４１号公報に記載されている工程を採用することができる。
【００８３】
また、ホルダ２４０は、ホルダジョイント２１へネジ止めするためのジョイント取付孔２５４が形成されている。そして、ホルダ２４０は、ジョイント取付孔２５４とホルダジョイント２１へ形成されているネジ孔とを介して、図示していないネジによりホルダジョイント２１へ取り付けられる。また、ホルダ２４０には止め金取付孔２５６が形成されている。そして、止め金取付孔２５６にネジ２５７ａ、２５７ｂを介して止め金２５８ａ、２５８ｂを固定する。この止め金２５８ａ、２５８ｂは、挿入孔２４３ａ、２４３ｂを閉塞するためのものである。
【００８４】
そして、ホルダユニット２３０は、スクライビングホイール２３１をホルダ２４０の保持溝２４２に配置し、ピン２３２をスクライビングホイール２３１の貫通孔及び挿入孔２４３ａ、２４３ｂへ通すことで、ピン２３２を回転自在に保持するとともにスクライビングホイール２３１を保持壁２４７ａ、２４７ｂの間で保持する。また、ホルダユニット２３０は、ホルダ２４０の挿入孔２４３ａ、２４３ｂを縦長の菱形形状に形成しているため、ピン２３２とともにスクライビングホイール２３１が上下方向及び前後方向に自由に移動できるように保持する。
【００８５】
以上のようなホルダユニット２３０におけるスクライビングホイール２３１の動きについて図面を用いて説明する。図９（Ａ）はスクライビングホイール２３１へ荷重が印加されていない時のホルダユニット２３０の要部拡大図であり、図９（Ｂ）はスクライビングホイール２３１へ荷重が印加された時のホルダユニット２３０の要部拡大図である。
【００８６】
スクライビングホイール２３１を回転自在に軸支するピン２３２を、上下方向に長く形成された挿入孔２４３ａ、２４３ｂで保持するホルダ２４０を備えるホルダユニット２３０では、通常図９（Ａ）に示すように、挿入孔２４３ａ、２４３ｂの下方にピン２３２が位置することになる。そのためスクライビングホイール２３１と回転抑制部２６０とは当接せず、ホルダユニット２３０はスクライビングホイール２３１を回転自在に保持している。
【００８７】
一方、スクライビングホイール２３１が脆性材料基板１５の表面上に位置するような時、スクライブヘッド２０の昇降部によってホルダユニット２３０が降下するとスクライビングホイール２３１へ荷重が印加されることになり、上下方向及び前後方向に移動できるように保持されているピン２３２の上方への動きによってスクライビングホイール２３１は上方向へと移動することになる。そのため凸部２６１ａ、２６１ｂからなる回転抑制部２６０とスクライビングホイール２３１とは当接し、スクライビングホイール２３１の回転が抑制されることになる。そして、スクライビングホイール２３１へ印加される荷重が大きくなると、ホルダユニット２３０はスクライビングホイール２３１を回転自在な状態から固定状態で保持することになる。
【００８８】
つまり、ホルダユニット２３０は、回転自在に保持されているスクライビングホイール２３１に対して荷重が印加されると、回転抑制部２６０によってスクライビングホイール２３１の回転を止めるように構成されている。
【００８９】
このような構成のホルダユニット２３０及びホルダユニット２３０を備えるスクライブ装置１を用いて脆性材料基板１５に対してスクライブラインを形成することによる効果について、図面を用いて説明する。図１０はスクライブ装置１を用いたスクライブ方法を示す概念工程図である。なお、図１０においては分かり易くするためにスクライブ装置１を構成するホルダユニット２３０の一部と、脆性材料基板１５のみを図示している。また、スクライビングホイール２３１の状態を分かり易くするために、ホルダユニット２３０を断面図で示している。
【００９０】
ここで、本実施形態における脆性材料基板１５に対するスクライブラインの形成は、所謂外切りというスクライブ方法にて行われる。外切りとは脆性材料基板１５の外側から外側までをスクライブするスクライブ方法であり、脆性材料基板１５の端部より少し外側のポイントにおいて、スクライビングホイール２３１の最下端を脆性材料基板１５の上面よりも僅かに下方まで降下させる。そしてスクライビングホイール２３１に対して所定の荷重をかけた状態で進行方向に水平移動させることで脆性材料基板１５の縁からスクライブを開始し、脆性材料基板１５の他方の縁までスクライブするものである。
【００９１】
まず、スクライブ装置１は、脆性材料基板１５の端部より外側のポイントにおいて、スクライビングホイール２３１の最下端が脆性材料基板１５の上面よりもわずかに下方となる位置まで降下させておく（ステップ１）。この時、スクライビングホイール２３１は、回転抑制部２６０と当接していなため、回転自在な状態となっている。
【００９２】
つぎに、スクライブ装置１は、スクライブヘッド２０を動かすことによりホルダユニット２３０を進行方向Ｄに水平移動させる。この時、スクライビングホイール２３１は、回転自在な状態となっているため、脆性材料基板１５の外縁と接触しクラックを形成するとともに基板表面へ乗り上げることなるが、この瞬間に矢印Ｒの方向に少しだけ回転する（ステップ２）。またこの時、上下方向及び前後方向に移動可能に保持されているピン２３２は、脆性材料基板１５の基板表面への乗り上げにより上方向に向かって動くことになる。
【００９３】
そして、スクライブ装置１は、脆性材料基板１５の表面にスクライビングホイール２３１の刃先が食い込んだ状態で、ホルダユニット２３０を進行方向Ｄに水平移動させてスクライブを行う（ステップ３）。この時、スクライビングホイール２３１には所定の荷重が印加されているため、ピン２３２の上方への動きによってスクライビングホイール２３１は回転抑制部２６０と強く当接し、ステップ１の回転自在な状態から固定状態になる。また、回転抑止部２６０を凸部２６１ａ、２６１ｂで構成しているため、図９（Ｂ）のように凸部２６１ａと凸部２６１ｂとの間にスクライビングホイール２３１の刃先が入り込むことになる。したがって、スクライビングホイール２３１は、矢印Ｒの方向に対する回転だけでなく、ピン２３２の方向に対する移動も強く規制されることになる。
【００９４】
また、スクライブの際に基板に接触するスクライビングホイール２３１の稜線周辺は凸部２６１ａ、２６１ｂと接触することなく、スクライブの際に基板に接触しない傾斜面が凸部２６１ａ、２６１ｂと接触するように凸部２６１ａと凸部２６１ｂとの間の溝が形成されている。このため、刃先部分が回転抑制部２６０に当接し荷重を受けることがなく、より刃先の寿命を長くすることができる。溝幅は、例えば０．２ｍｍとされている。
【００９５】
また、本実施形態においては、凸部２６１ａ、凸部２６１ｂの下端とスクライビングホイール２３１とがそれぞれ点接触するように凸部２６１ａと凸部２６１ｂが形成されている。スクライビングホイール２３１の刃先角度が凸部２６１ａの下端と凸部２６１ｂの下端がなす角度よりも小さい場合には、回転抑制部２６０とスクライビングホイール２３１が点接触することとなる。これにより、刃先角度が異なるスクライビングホイール２３１を取り付けた場合であっても、ピン２３２が上方向移動することで同様に回転抑制部とスクライビングホイール２３１とが点接触するため、種々の刃先角度のスクライビングホイール２３１に対して同一のホルダ２４０を使用することができる。
【００９６】
したがって、ステップ３におけるスクライブ時、スクライブ装置１は、スクライビングホイール２３１を用いて常に同じ刃先位置で脆性材料基板１５のスクライブを行うことになる。つまり、スクライブ装置１は、特許文献２や特許文献３に記載されているスクライビングツールのように、固定された状態のスクライビングホイール２３１の刃先をスクライビングポイントとして脆性材料基板１５に圧接し、この状態でケガクように摺動させてスクライブラインを形成する。
【００９７】
また、スクライブ装置１は、脆性材料基板１５の他方の縁までスクライブを行うと、また外切りにてスクライブラインを形成することになるので、ステップ２の時にスクライビングホイール２３１を少しだけ回転させることができ、次にスクライブラインを形成する刃先位置を変えることができる。
【００９８】
このように本実施形態のスクライブ装置１は、外切りにてスクライブラインを形成すると、特許文献２や特許文献３のようなスクライビングポイントによるスクライブラインのように精度の高いスクライブラインを形成することができる。またスクライビングホイール２３１自体は、特許文献１のホイールカッターのようにスクライブラインを形成する際に従来から多用されているものであるため製造等が容易である。
【００９９】
また、スクライブ装置１は、脆性材料基板１５表面へ乗り上げる際にスクライビングホイール２３１の刃先を回転させることができるため、常に同じ刃先位置でスクライブラインを形成することを防ぐことができ、スクライビングホイール２３１を使用できる寿命を長くすることができる。
【０１００】
また、スクライブ装置１は、実施形態１、実施形態２と異なり、スクライビングホイール２３１とピン２３２とホルダ２４０という少ない部品点数でホルダユニット２３０を構成することができる。
【０１０１】
なお、本実施形態においては、上下方向に長く形成している挿入孔２４３ａ、２４３ｂを作り易さの点で菱形形状にしているが、挿入孔２４３ａ、２４３ｂは楕円形状等他の形状でも構わない。また、ホルダ２４０にはロウ付けされた円柱体２４６ａ、２４６ｂが形成されているが、ホルダユニット２３０はホルダ２４０に円柱体２４６ａ、２４６ｂを形成しない構成でも構わない。この場合、例えば保持溝２４２の頂部によって回転抑制部２６０を実現することができる。
【０１０２】
また、本実施形態においては、スクライブ装置１は、外切りによってスクライビングホイールの回転を行っているが、手動等他の方法によって回転させても構わない。
【符号の説明】
【０１０３】
１…スクライブ装置
１０…移動台
１１…ボールネジ
１２…案内レール
１３…モータ
１４…テーブル
１５…脆性材料基板
１６…ＣＣＤカメラ
１７…ブリッジ
１８ａ、１８ｂ…支柱
１９…ガイド
２０…スクライブヘッド
２１…ホルダジョイント
２２、２３…ベアリング
２４…ホルダ取付部
３０、１３０、２３０…ホルダユニット
３１、１３１、２３１…スクライビングホイール
３２、１３２、２３２…ピン
４０、１４０、２４０…ホルダ
４１ａ、４１ｂ、１４１ａ、１４１ｂ、２４１ａ、２４１ｂ…保持部
４２、１４２、２４２…保持溝
４３ａ、４３ｂ、１４３ａ、１４３ｂ、２４３ａ、２４３ｂ…挿入孔
４４、１４４…揺動軸孔
５０、１５０…ジョイント補助具
５１ａ、５１ｂ、１５１ａ、１５１ｂ…ホルダ保持部
５２、５２ａ、５２ｂ、１５２、１５２ａ、１５２ｂ、１５２ｃ…ホルダ保持溝
５３ａ、５３ｂ、１５３ａ、１５３ｂ…揺動孔
５４、１５４、２５４…ジョイント取付孔
５５、５７、２５７ａ、２５７ｂ…ネジ
５６、１５６、２５６…止め金取付孔
５８、２５８ａ、２５８ｂ…止め金
５９、１５９…揺動ピン
６０、１６０、２６０…回転抑制部
１４５、１５７…引掛部
１５５…角部
１５８…固定孔
１７０…引張コイルバネ
２６１ａ、２６１ｂ…凸部
【図１】
0006439332.tif 000002
【図２】
0006439332.tif 000003
【図３】
0006439332.tif 000004
【図４】
0006439332.tif 000005
【図５】
0006439332.tif 000006
【図６】
0006439332.tif 000007
【図７】
0006439332.tif 000008
【図８】
0006439332.tif 000009
【図９】
0006439332.tif 000010
【図１０】
0006439332.tif 000011