(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に配列された複数の記録部を備える記録ヘッド基板であって、
第１の基準電圧を受けるための第１のパッドであって、前記基板において互いに対辺関係の第１の辺および第２の辺のうち前記第１の辺の側に配された第１のパッドと、
前記第１の基準電圧と同じ電圧である第２の基準電圧を受けるための第２のパッドであって、前記第１の辺および前記第２の辺のうち前記第２の辺の側に配された第２のパッドと、
前記第１のパッドと前記第２のパッドとの間に配され、前記複数の記録部を駆動するための信号を生成する信号生成部と、
前記信号生成部と前記第２のパッドとの間に配され、前記信号生成部からの信号をレベルシフトして前記複数の記録部に出力する複数のレベルシフタと、
前記第１のパッドで受けた前記第１の基準電圧を前記信号生成部に供給するための第１の配線と、
前記第２のパッドで受けた前記第２の基準電圧を前記複数のレベルシフタに供給するための第２の配線と、を備え、
前記第１の配線と前記第２の配線とは、前記基板の上面に対する平面視において、前記信号生成部と前記複数のレベルシフタとの間で互いに分離されている
ことを特徴とする記録ヘッド基板。
【請求項２】
前記基板の上に配された複数の配線層を有しており、
前記第２の配線は、前記複数の配線層のうち最上の配線層に形成された金属パターンを含み、該金属パターンは、前記平面視において、前記複数のレベルシフタのうちの前記信号生成部に最も近い１つから前記信号生成部から最も遠い１つまで延在しており且つ前記信号生成部と重ならないように配されている
ことを特徴とする請求項１に記載の記録ヘッド基板。
【請求項３】
前記第１の配線および前記第２の配線のそれぞれの抵抗値よりも抵抗値が大きい他の配線であって前記第１の配線と前記第２の配線とを電気的に接続する他の配線をさらに備えており、
前記他の配線は、前記平面視において前記信号生成部と重ならないように配されている
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の記録ヘッド基板。
【請求項４】
前記他の配線は、前記第１のパッドと前記信号生成部との間で前記第１の配線に電気的に接続されており且つ前記第２のパッドと前記複数のレベルシフタとの間で前記第２の配線に電気的に接続されている
ことを特徴とする請求項３に記載の記録ヘッド基板。
【請求項５】
前記第１の基準電圧および前記第２の基準電圧は、前記信号生成部および前記複数のレベルシフタの接地電圧である
ことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の記録ヘッド基板。
【請求項６】
前記複数の記録部は、前記第１の辺および前記第２の辺のうち前記第１の辺の側の第１グループと、前記第１の辺および前記第２の辺のうち前記第２の辺の側の第２グループとに分割されており、
前記記録ヘッド基板は、
第３の基準電圧を受けるための第３のパッドであって、前記第１の辺および前記第２の辺のうち前記第１の辺の側に配された第３のパッドと、
前記第３のパッドで受けた前記第３の基準電圧を前記第１グループの記録部の個々に供給するための第３の配線と、
前記第３の基準電圧と同じ電圧である第４の基準電圧を受けるための第４のパッドであって前記第１の辺および前記第２の辺のうち前記第２の辺の側に配された第４のパッドと、
前記第４のパッドで受けた前記第４の基準電圧を前記第２グループの記録部の個々に供給するための第４の配線と、
をさらに備えており、
前記第３の配線と前記第４の配線とは、前記平面視において前記第１グループと前記第２グループとの間で互いに分離されている
ことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の記録ヘッド基板。
【請求項７】
前記第３の配線および前記第４の配線は、前記平面視において、前記信号生成部と重ならないように配されている
ことを特徴とする請求項６に記載の記録ヘッド基板。
【請求項８】
前記複数の記録部のそれぞれは、電気熱変換素子と、前記電気熱変換素子の一方の端に接続された第１のトランジスタであって前記信号生成部からの信号を受けて前記電気熱変換素子を駆動するための第１のトランジスタと、前記電気熱変換素子の他方の端に接続された第２のトランジスタであってソースフォロワ動作により前記電気熱変換素子に定電流を供給するための第２のトランジスタと、を含み、
前記記録ヘッド基板は、前記複数の記録部のそれぞれの前記第２のトランジスタの制御端子に定電圧を供給するための第５の配線をさらに備えており、
前記第５の配線は、前記平面視において前記信号生成部と重ならないように前記複数の記録部の配列方向に沿って配されている
ことを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の記録ヘッド基板。
【請求項９】
少なくとも前記複数の記録部と前記信号生成部と前記複数のレベルシフタと前記第２の配線とを各々が含む複数のセットであって前記複数の記録部の配列方向と交差する方向に沿って配された複数のセットを有する
ことを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の記録ヘッド基板。
【請求項１０】
基板上に配列された複数の記録部を備える記録ヘッド基板であって、
第１のグラウンド電圧を受けるための第１のパッドであって、前記基板において互いに対辺関係の第１の辺および第２の辺のうち前記第１の辺の側に配された第１のパッドと、
第２のグラウンド電圧を受けるための第２のパッドであって、前記第１の辺および前記第２の辺のうち前記第２の辺の側に配された第２のパッドと、
前記第１のパッドと前記第２のパッドとの間に配され、前記複数の記録部を駆動するための信号を生成する信号生成部と、
前記信号生成部と前記第２のパッドとの間に配され、前記信号生成部からの信号をレベルシフトして前記複数の記録部に出力する複数のレベルシフタと、
前記第１のパッドで受けた前記第１のグラウンド電圧を前記信号生成部に供給するための第１の配線と、
前記第２のパッドで受けた前記第２のグラウンド電圧を前記複数のレベルシフタに供給するための第２の配線と、を備え、
前記第１の配線と前記第２の配線とは、前記基板の上面に対する平面視において、前記信号生成部と前記複数のレベルシフタとの間で互いに分離されている
ことを特徴とする記録ヘッド基板。
【請求項１１】
前記第１のグラウンド電圧の電圧値と前記第２のグラウンド電圧の電圧値とは互いに等しい
ことを特徴とする請求項１０に記載の記録ヘッド基板。
【請求項１２】
請求項１から請求項１１のいずれか１項に記載の記録ヘッド基板を備える
ことを特徴とする記録ヘッド。
【請求項１３】
請求項１２に記載の記録ヘッドを具備する
ことを特徴とする記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、記録ヘッド基板、記録ヘッド及び記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
記録装置は記録ヘッドを具備しており、例えば、インクジェット用の記録装置の場合、記録ヘッドにはインク（記録剤）を吐出するための複数のノズルが設けられる。例えば特許文献１には、各ノズルに対応する記録部と、記録データに基づく信号を生成する信号生成部と、該生成された信号をレベルシフトして記録部に出力するレベルシフタとを備える記録ヘッド基板が例示されている。
【０００３】
記録部は、例えば、記録素子（例えば電気熱変換素子）と、該記録素子に接続され且つレベルシフタからの信号に応答して導通状態になるスイッチ素子（例えばトランジスタ）とを含む。記録部は、スイッチ素子を制御して記録素子に電流を供給することによって駆動される。記録部を駆動すると、レベルシフタの電源ラインでは該スイッチ素子を制御することによるノイズが生じうる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−１０４１４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
信号生成部には、例えば、ロジック回路用の電圧（例えば３．３〜５［Ｖ］）が供給される。レベルシフタには、例えば、該ロジック回路用の電圧よりも電圧値が大きい電圧であって信号生成部からの信号をレベルシフトするための電圧（例えば１２［Ｖ］）が供給される。また、信号生成部およびレベルシフタの双方には、例えば、共通の接地電圧（０［Ｖ］）が供給される。
【０００６】
このような構成の場合、記録部を駆動する際にレベルシフタで生じた接地電圧のノイズは、該接地電圧を供給するための配線を介して信号生成部に伝搬し、信号生成部に誤動作をもたらしうる。また、このノイズは、記録部の数量を大きくする（ノズル数を大きくする）とスイッチ素子の数量も大きくなるため顕著な問題となる。なお、特許文献１では上記ノイズについて考慮されていない。
【０００７】
本発明は、発明者による上記課題の認識を契機として為されたものであり、記録ヘッド基板において、レベルシフタで生じたノイズの信号生成部に対する影響を低減するのに有利な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一つの側面は記録ヘッド基板にかかり、前記記録ヘッド基板は、基板上に配列された複数の記録部を備える記録ヘッド基板であって、第１の基準電圧を受けるための第１のパッドであって、前記基板において互いに対辺関係の第１の辺および第２の辺のうち前記第１の辺の側に配された第１のパッドと、前記第１の基準電圧と同じ電圧である第２の基準電圧を受けるための第２のパッドであって前記第１の辺および前記第２の辺のうち前記第２の辺の側に配された第２のパッドと、前記第１のパッドと前記第２のパッドとの間に配され、前記複数の記録部を駆動するための信号を生成する信号生成部と、前記信号生成部と前記第２のパッドとの間に配され、前記信号生成部からの信号をレベルシフトして前記複数の記録部に出力する複数のレベルシフタと、前記第１のパッドで受けた前記第１の基準電圧を前記信号生成部に供給するための第１の配線と、前記第２のパッドで受けた前記第２の基準電圧を前記複数のレベルシフタに供給するための第２の配線と、を備え、前記第１の配線と前記第２の配線とは、前記基板の上面に対する平面視において、前記信号生成部と前記複数のレベルシフタとの間で互いに分離されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、記録ヘッド基板におけるレベルシフタと信号生成部と間のノイズ干渉を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】記録装置の構成例を説明するための図である。
【図２】記録ヘッド基板の構成例を説明するための図である。
【図３】記録ヘッド基板のレイアウトの例を説明するための図である。
【図４】記録ヘッド基板のレイアウトの例を説明するための図である。
【図５】記録ヘッド基板の構成例およびレイアウトの例を説明するための図である。
【図６】記録ヘッド基板のレイアウトの例を説明するための図である。
【図７】記録ヘッド基板のレイアウトの例を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
（記録装置の全体構成の例）
図１（ａ）は、プリンタ、ファクシミリ、コピー機等に代表されるインクジェット方式の記録装置１９００の内部構成を例示している。記録装置１９００は、プリント用紙等の記録媒体Ｐにインク（記録剤）を吐出する記録ヘッド１８１０を備える。記録ヘッド１８１０はキャリッジ１９２０の上に搭載され、キャリッジ１９２０は、螺旋溝１９０４を有するリードスクリュー１９２１に取り付けられうる。リードスクリュー１９２１は、駆動力伝達ギア１９０２及び１９０３を介して、駆動モータ１９０１の回転に連動して回転しうる。これにより、記録ヘッド１８１０は、キャリッジ１９２０と共にガイド１９１９に沿って矢印ａ又はｂ方向に移動しうる。
【００１２】
記録媒体Ｐは、紙押え板１９０５によってキャリッジ移動方向に沿って押さえられており、プラテン１９０６に対して固定される。記録装置１９００は、記録ヘッド１８１０を往復移動させて、搬送部（不図示）によってプラテン１９０６上に搬送された記録媒体Ｐに対して記録を行う。
【００１３】
また、記録装置１９００は、フォトカプラ１９０７及び１９０８を介して、キャリッジ１９２０に設けられたレバー１９０９の位置を確認し、駆動モータ１９０１の回転方向の切換を行う。支持部材１９１０は、記録ヘッド１８１０のインク吐出口（ノズル）を覆うためのキャップ部材１９１１を支持する。吸引手段１９１２は、キャップ内開口１９１３を介してキャップ部材１９１１の内部を吸引することによる記録ヘッド１８１０の回復処理を行う。レバー１９１７は、吸引による回復処理を開始するために設けられ、キャリッジ１９２０と係合するカム１９１８の移動に伴って移動し、駆動モータ１９０１からの駆動力がクラッチ切換等の公知の伝達手段によって制御される。
【００１４】
また、本体支持板１９１６は、移動部材１９１５及びクリーニングブレード１９１４を支持しており、移動部材１９１５は、クリーニングブレード１９１４を移動させ、ワイピングによる記録ヘッド１８１０の回復処理を行う。また、記録装置１９００には記録制御部（不図示）が設けられ、当該記録制御部は上述の各機構の駆動を制御する。
【００１５】
図１（ｂ）は、記録ヘッド１８１０の外観を例示している。記録ヘッド１８１０は、複数のノズル１８００を有する記録ヘッド部１８１１と、記録ヘッド部１８１１に供給するためのインクを保持するインクタンク１８１２とを備えうる。インクタンク１８１２と記録ヘッド部１８１１とは、例えば破線Ｋで分離することができ、インクタンク１８１２を交換することができる。記録ヘッド１８１０は、キャリッジ１９２０からの電気信号を受け取るための電気的コンタクト（不図示）を備えており、当該電気信号にしたがってインクを吐出して上述の記録を行う。インクタンク１８１２は、例えば繊維質状又は多孔質状のインク保持材（不図示）を有しており、当該インク保持材によってインクを保持しうる。
【００１６】
図１（ｃ）は、記録ヘッド１８１０の内部構成を例示している。記録ヘッド１８１０は、基体１８０８と、基体１８０８の上に配され、流路１８０５を形成する流路壁部材１８０１と、インク供給路１８０３を有する天板１８０２とを備える。また、記録素子として、ヒータ１８０６（電気熱変換素子）が、記録ヘッド１８１０が備える記録ヘッド基板に各ノズル１８００に対応して配列される。各ヒータ１８０６は、該ヒータ１８０６に対応して設けられた駆動素子（トランジスタ等のスイッチ素子）が導通状態になることによって、駆動され、発熱する。
【００１７】
インク供給路１８０３からのインクは、共通インク室１８０４に蓄えられ、各流路１８０５を介して各ノズル１８００に供給される。各ノズル１８００に供給されたインクは、該ノズル１８００に対応するヒータ１８０６が駆動されて発熱することによって、該ノズル１８００から吐出される。
【００１８】
図１（ｄ）は、記録装置１９００のシステム構成を例示している。記録装置１９００は、インターフェース１７００、ＭＰＵ１７０１、ＲＯＭ１７０２、ＲＡＭ１７０３及びゲートアレイ１７０４を有する。インターフェース１７００には記録信号が入力される。ＲＯＭ１７０２は、ＭＰＵ１７０１が実行する制御プログラムを格納する。ＲＡＭ１７０３は、前述の記録信号や記録ヘッド１７０８に供給された記録データ等、各種データを保存する。ゲートアレイ１７０４は、記録ヘッド１７０８に対する記録データの供給制御を行い、また、インターフェース１７００、ＭＰＵ１７０１、ＲＡＭ１７０３の間のデータ転送の制御を行う。
【００１９】
記録装置９００は、記録ヘッドドライバ１７０５、並びにモータドライバ１７０６及び１７０７、搬送モータ１７０９、キャリアモータ１７１０をさらに有する。キャリアモータ１７１０は記録ヘッド１７０８を搬送する。搬送モータ１７０９は記録媒体Ｐを搬送する。記録ヘッドドライバ１７０５は記録ヘッド１７０８を駆動する。モータドライバ１７０６及び１７０７は搬送モータ１７０９及びキャリアモータ１７１０をそれぞれ駆動する。
【００２０】
インターフェース１７００に記録信号が入力されると、この記録信号は、ゲートアレイ１７０４とＭＰＵ１７０１の間でプリント用の記録データに変換されうる。この記録データにしたがって各機構が所望の動作を行い、このようにして上述の記録が為される。
【００２１】
（第１実施形態）
図２（ａ）は、第１実施形態に係る記録ヘッド基板Ｉ１の構成例を示している。記録ヘッド基板Ｉ１は、例えば、複数の記録部ＵＰと、信号生成部ＳＧと、複数のレベルシフタＬＳとを備える。
【００２２】
複数の記録部ＵＰのそれぞれは、例えばヒータＨとトランジスタＤとを有する。トランジスタＤには、例えばＮチャネル型のＤＭＯＳトランジスタ等、高耐圧トランジスタが用いられる。トランジスタＤが導通状態になることによってヒータＨが駆動される（具体的には、ヒータＨに電流が供給される）。複数のヒータＨは、例えば時分割駆動方式で駆動され、時分割ブロック（単に「ブロック」とも称される。）ごとに駆動される。
【００２３】
信号生成部ＳＧは、外部から受けた印刷ジョブまたはそれに応じた記録データに基づいて、ヒータＨを駆動するための信号を生成する。具体的には、信号生成部ＳＧは、例えば、シフトレジスタおよびラッチ回路等を含み、クロック信号、ラッチ信号その他の制御信号を受けて、ヒータＨを駆動するための信号を印刷ジョブまたは記録データに基づいて生成する。
【００２４】
複数のレベルシフタＬＳは、複数の記録部ＵＰに対応しており、各レベルシフタＬＳは、信号生成部ＳＧからの信号をレベルシフトして、対応する記録部ＵＰに該レベルシフトされた信号を出力する。例えば、レベルシフタＬＳは、信号生成部ＳＧから受けた信号レベルが３．３〜５［Ｖ］の信号を信号レベルが１２［Ｖ］の信号に変換し、対応する記録部ＵＰのトランジスタＤのゲートに該変換された信号を供給する。
【００２５】
このような構成により、ヒータＨに電流が供給されて該ヒータＨに対応するノズルからインクが吐出され、記録媒体上にインクドットが記録される。なお、このことは、ヒータを駆動すると称されてもよいが、記録部を駆動すると称されてもよいし、ノズルを駆動すると称されてもよい。
【００２６】
記録ヘッド基板Ｉ１は、例えば、電極パッドＴＶＨ＿Ａ及びＴＶＨ＿Ｂ、ＴＧＮＤＨ＿Ａ及びＴＧＮＤＨ＿Ｂ、ＴＶＨＴＭ、並びに、ＴＶＳＳ＿Ａ及びＴＶＳＳ＿Ｂをさらに備える。
【００２７】
パッドＴＶＨ＿Ａ及びＴＶＨ＿Ｂは、ヒータＨを駆動するための電圧ＶＨ（例えば、２４［Ｖ］）を外部から受ける。パッドＴＶＨ＿Ａは、配線を介して、複数の記録部ＵＰのうちの第１グループＧ１（図中において左側）の記録部ＵＰの個々に電圧ＶＨを供給する。パッドＴＶＨ＿Ｂは、配線を介して、複数の記録部ＵＰのうちの第２グループＧ２（図中において右側）の記録部ＵＰの個々に電圧ＶＨを供給する。複数の記録部ＵＰには比較的大きい量の電流が供給され、電圧ＶＨを伝搬する電源ラインでは電圧降下やノイズが生じうる。そこで、本構成では、複数の記録部ＵＰを２つのグループＧ１及びＧ２に分け、該２つのグループに対して、互いに独立した２つの経路で電圧ＶＨを供給する。本構成によると、上記電圧降下やノイズが低減される。
【００２８】
同様に、パッドＴＧＮＤＨ＿Ａ及びＴＧＮＤＨ＿Ｂは、電圧ＶＨに対応する接地用の基準電圧ＧＮＤＨ（０［Ｖ］）を外部から受ける。パッドＴＧＮＤＨ＿Ａは、配線を介して電圧ＧＮＤＨをグループＧ１の記録部ＵＰの個々に供給する。パッドＴＧＮＤＨ＿Ｂは、配線を介して電圧ＧＮＤＨをグループＧ２の記録部ＵＰの個々に供給する。
【００２９】
パッドＴＶＨＴＭは、レベルシフト用の電圧ＶＨＴＭ（例えば、１２［Ｖ］）を外部から受けて、配線を介して電圧ＶＨＴＭを複数のレベルシフタＬＳに供給する。
【００３０】
パッドＴＶＳＳ＿Ａ及びＴＶＳＳ＿Ｂは、接地用の基準電圧ＶＳＳ（例えば、０［Ｖ］）を外部から受ける。パッドＴＶＳＳ＿Ａは、配線を介して電圧ＶＳＳを信号生成部ＳＧに供給する。パッドＴＶＳＳ＿Ｂは、配線を介して電圧ＶＳＳを複数のレベルシフタＬＳに供給する。ここで、複数の記録部ＵＰには比較的大きい量の電流が供給され、電圧ＧＮＤＨを伝搬する電源ラインでは電圧降下やノイズが生じうる。そのため、電圧ＶＳＳと電圧ＧＮＤＨとは、共に接地用の基準電圧（「グラウンド電圧」とも称される。）であるが、これらは記録ヘッド基板Ｉ１において互いに電気的に分離されている。
【００３１】
なお、これらのパッドＴＶＨ＿Ａ等は、電圧を受けるための金属部材であって該電圧を伝搬するための配線に電気的に接続された金属部材を含む。また、上述のパッドＴＶＨ＿Ａ等の他、記録ヘッド基板Ｉ１は、信号生成部ＳＧおよび複数のレベルシフタＬＳに供給するための電圧ＶＤＤ（例えば、３．３〜５［Ｖ］）を受けるためのパッド（不図示）を備えうる。その他、記録ヘッド基板Ｉ１は、印刷ジョブまたはそれに応じた記録データを受けるためのパッド（不図示）をさらに備えうる。
【００３２】
図２（ｂ）は、レベルシフタＬＳの回路構成例を示している。レベルシフタＬＳは、例えば、インバータＩＮＶ１及びＩＮＶ２、ＮＭＯＳトランジスタＭＮ１及びＭＮ２、並びに、ＰＭＯＳトランジスタＭＰ１〜ＭＰ４を有する。
【００３３】
インバータＩＮＶ１及びＩＮＶ２のそれぞれは、電圧ＶＤＤを伝搬する電源ラインと電圧ＶＳＳを伝搬する電源ラインとの間に配される。トランジスタＭＮ１、ＭＰ１及びＭＰ２は、電圧ＶＨＴＭを伝搬する電源ラインと電圧ＶＳＳを伝搬する電源ラインとの間に、電流経路を形成するように直列に配される。トランジスタＭＮ２、ＭＰ３及びＭＰ４は、電圧ＶＨＴＭを伝搬する電源ラインと電圧ＶＳＳを伝搬する電源ラインとの間に、電流経路を形成するように直列に配される。
【００３４】
インバータＩＮＶ１は、入力端子ｉｎで受けた信号を反転し、該反転された信号をインバータＩＮＶ２に出力すると共にトランジスタＭＮ２及びＭＰ４のゲートに供給する。インバータＩＮＶ２は、インバータＩＮＶ１からの信号を反転し、トランジスタＭＮ１及びＭＰ２のゲートに供給する。トランジスタＭＮ１とトランジスタＭＰ２との間のノードは、トランジスタＭＰ３のゲートに接続される。トランジスタＭＮ２とトランジスタＭＰ４との間のノードは、トランジスタＭＰ１のゲートに接続されており、且つ、出力端子ｏｕｔに接続される。
【００３５】
このような構成により、レベルシフタＬＳは、入力端子ｉｎで受けた信号をレベルシフトして、該レベルシフトされた信号を出力端子ｏｕｔから出力する。
【００３６】
図３は、記録ヘッド基板Ｉ１の上面レイアウトの模式図である。前述の複数の記録部ＵＰ、信号生成部ＳＧおよび複数のレベルシフタＬＳは、半導体等（例えばシリコン）で構成された基板ＳＵＢ上に配される。複数の記録部ＵＰおよび複数のレベルシフタＬＳはともにＸ方向に沿って配列されており、各レベルシフタＬＳは、Ｘ方向と交差する方向であるＹ方向で、対応する記録部ＵＰと隣り合うように配される。
【００３７】
基板ＳＵＢは、Ｙ方向に並行な辺Ａおよび辺Ｂであって互いに対辺関係の辺Ａおよび辺Ｂを有し、パッドＴＶＨ＿Ａ、ＴＧＮＤＨ＿Ａ及びＴＶＳＳ＿Ａは、辺Ａの側に辺Ａに沿って配される。また、パッドＴＶＨ＿Ｂ、ＴＧＮＤＨ＿Ｂ、ＴＶＨＴＭ及びＴＶＳＳ＿Ｂは、辺Ｂの側に辺Ｂに沿って配される。信号生成部ＳＧは、平面視（基板ＳＵＢの上面に対する平面視）において、パッドＴＶＨ＿Ａ、ＴＧＮＤＨ＿Ａ及びＴＶＳＳ＿Ａが配された領域と、複数の記録部ＵＰおよび複数のレベルシフタＬＳが配された領域との間に配される。
【００３８】
パッドＴＶＨ＿Ａは、配線ＭＶＨ＿Ａに電気的に接続されており、配線ＭＶＨ＿Ａを介してグループＧ１（図中の左側の半分）の記録部ＵＰの個々に電圧ＶＨを供給する。一方、パッドＴＶＨ＿Ｂは、配線ＭＶＨ＿Ｂに電気的に接続されており、配線ＭＶＨ＿Ｂを介してグループＧ２（図中の右側の半分）の記録部ＵＰの個々に電圧ＶＨを供給する。同様に、パッドＴＧＮＤＨ＿Ａ及びＴＧＮＤＨ＿Ｂは、それぞれ、配線ＭＧＮＤＨ＿Ａ及びＭＧＮＤＨ＿Ｂに電気的に接続されており、配線ＭＧＮＤＨ＿Ａ及びＭＧＮＤＨ＿Ｂを介してグループＧ１及びＧ２の記録部ＵＰの個々に電圧ＧＮＤＨを供給する。
【００３９】
前述のとおり、複数の記録部ＵＰには比較的大きい量の電流が供給され、電圧ＶＨ又はＧＮＤＨを伝搬する電源ラインでは電圧降下やノイズが生じうる。そのため、複数の記録部ＵＰには、その一方の端の側と他方の端の側との双方から電圧ＶＨ及びＧＮＤＨが供給される。
【００４０】
パッドＴＶＳＳ＿Ａは、配線ＭＶＳＳ＿Ａに電気的に接続されており、配線ＭＶＳＳ＿Ａを介して信号生成部ＳＧに電圧ＶＳＳを供給する。パッドＴＶＨＴＭ及びＴＶＳＳ＿Ｂは、それぞれ、配線ＭＶＨＴＭ及びＭＶＳＳ＿Ｂに電気的に接続されており、配線ＭＶＨＴＭ及びＭＶＳＳ＿Ｂを介して複数のレベルシフタＬＳに電圧ＶＴＨＭ及びＶＳＳを供給する。配線ＭＶＳＳ＿Ａと配線ＭＶＳＳ＿Ｂとは、平面視において、信号生成部ＳＧと複数のレベルシフタＬＳとの間で互いに分離されている。
【００４１】
ここで、記録部ＵＰには比較的大きい量の電流が供給されるため、トランジスタＤは比較的大きいサイズで設けられる。そのため、トランジスタＤを制御する（トランジスタＤのゲートを充電または放電する）際には、対応するレベルシフタＬＳの電源ラインにおいてノイズが生じる。また、時分割駆動方式による記録を行う際には、ブロックごとのトランジスタＤの個々は略同時に制御される。そのため、記録速度を高くするために記録部ＵＰの数量を大きくすると（トランジスタＤの数量が大きくすると）、複数のレベルシフタＬＳの電源ラインにおいて生じるノイズも大きくなる。さらに、このことは記録ヘッド基板Ｉ１の動作周波数を大きくすると、より顕著な問題となりうる。
【００４２】
本実施形態によると、いずれも電圧ＶＳＳを伝搬する配線である配線ＭＶＳＳ＿Ａと配線ＭＶＳＳ＿Ｂとは、平面視において、信号生成部ＳＧと複数のレベルシフタＬＳとの間で互いに分離されている。そのため、信号生成部ＳＧは、複数のレベルシフタＬＳの電源ラインにおいて生じたノイズの影響を受けにくくなる。
【００４３】
また、複数のレベルシフタＬＳに電圧ＶＳＳを供給するための配線ＭＶＳＳ＿Ｂは、平面視において、信号生成部ＳＧと重ならないように配されるとよい。これにより、配線ＭＶＳＳ＿Ｂと信号生成部ＳＧとの間の寄生容量を低減することができ、上記ノイズの影響をさらに低減することができる。
【００４４】
典型的には、基板ＳＵＢ上には複数の配線層が配されうる。配線ＭＶＳＳ＿Ｂは、複数の配線層のうち最上の層に配された金属パターンで構成されるとよい。該金属パターンは、基板ＳＵＢ上に配列された複数のレベルシフタＬＳの一方の側の端から他方の側の端まで延在するように形成されるとよい。配線ＭＶＳＳ＿Ｂである金属パターンを最上の層に配置することにより、配線ＭＶＳＳ＿Ｂと信号生成部ＳＧとの間の寄生容量をさらに低減することができ、上記ノイズの影響をさらに低減することができる。
【００４５】
その他、図３の例では、平面視において、信号生成部ＳＧと配線ＭＧＮＤＨ＿Ａとが重なった構成を示したが、これらが重ならない構成にすることにより、更に、配線ＭＧＮＤＨ＿Ａでのノイズの信号生成部ＳＧへの影響を低減することも可能である。
【００４６】
（第２実施形態）
図４は、第２実施形態に係る記録ヘッド基板Ｉ２の構成例を示している。本実施形態では、配線ＭＶＳＳ＿Ａと配線ＭＶＳＳ＿Ｂとは、比較的高い抵抗値の他の配線Ｍ’で接続される。配線Ｍ’は、平面視において信号生成部ＳＧと重ならないように配される。配線Ｍ’と配線ＭＶＳＳ＿Ａとは、平面視において、パッドＴＶＳＳ＿Ａと信号生成部ＳＧとの間で接続される。図中において、この接続点を「ＰＡ」示す。また、配線Ｍ’と配線ＭＶＳＳ＿Ｂとは、平面視において、パッドＴＶＳＳ＿Ｂと複数のレベルシフタＬＳとの間で接続される。図中において、この接続点を「ＰＢ」示す。
【００４７】
ここで、配線Ｍ’の抵抗値（接続点ＰＡから接続点ＰＢまでの抵抗値）を、配線ＭＶＳＳ＿Ａの抵抗値およびＭＶＳＳ＿Ｂの抵抗値の双方よりも大きくするとよい。特に、配線Ｍ’の抵抗値を、配線ＭＶＳＳ＿Ｂの抵抗値よりも（例えば、１０倍以上）大きくするとよい。
【００４８】
本実施形態によっても、複数のレベルシフタＬＳの電源ラインにおいて生じたノイズの信号生成部ＳＧへの影響が低減され、第１実施形態と同様の効果が得られる。
【００４９】
（第３実施形態）
図５（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ、第３実施形態に係る記録ヘッド基板Ｉ３の構成例およびその上面レイアウトの模式図を示している。本実施形態は、複数の記録部ＵＰ’のそれぞれが、ヒータＨおよびトランジスタＤの他、第２のトランジスタＳＦを更に有する、という点で第２実施形態と異なる。
【００５０】
トランジスタＳＦは、定電圧ＶＲＥＦをゲートで受けてソースフォロワ動作を行う。この構成によると、電圧ＶＨ及びＧＮＤの電位変動のヒータＨの電流量に対する影響が低減されうる。電圧ＶＲＥＦを受けるためのパッドＴＶＲＥＦは、パッドＴＶＨ＿Ｂ等と共に辺Ｂの側に辺Ｂに沿って配されており、且つ、配線ＭＶＲＥＦを介して、複数の記録部ＵＰ’のそれぞれのトランジスタＳＦのゲートに電気的に接続されている。
【００５１】
電圧ＶＲＥＦを伝搬する配線ＭＶＲＥＦには、ヒータＨが駆動された際のトランジスタＳＦでの電位変動、配線間の寄生容量に起因する電位変動等によって、ノイズが生じうる。よって、配線ＭＶＲＥＦは、配線ＭＶＳＳ＿Ｂと同様に、平面視において信号生成部ＳＧと重ならないように配されるとよい。本実施形態によると、第１実施形態と同様の効果が得られる他、配線ＭＶＲＥＦでのノイズの信号生成部ＳＧへの影響を低減するのに有利である。
【００５２】
なお、図５（ｂ）の例では、配線ＭＧＮＤＨ＿Ａ及びＭＧＮＤＨ＿ＢがレベルシフタＬＳに近い方の側に配置された構成を示したが、配線ＭＶＲＥＦがレベルシフタＬＳに近い方の側に配置されてもよい。この場合、対応するパッドＴＧＮＤＨ＿Ａ等の位置は変更されてもよい。この構成によると、平面視において、配線ＭＧＮＤＨ＿Ａ及びＭＧＮＤＨ＿Ｂと信号生成部ＳＧとの距離を大きくすることができるため、更に、配線ＭＧＮＤＨ＿Ａ及びＭＧＮＤＨ＿Ｂでのノイズの信号生成部ＳＧに対する影響を低減することができる。
【００５３】
また、記録ヘッド基板Ｉ３が電圧生成部を備えている場合には、電圧ＶＲＥＦは、該電圧生成部により記録ヘッド基板Ｉ３の内部で生成されてもよい。電圧生成部には、例えば、バンドギャップリファレンス等が用いられればよい。この場合、上記パッドＴＶＲＥＦは配されなくてもよい。
【００５４】
（第４実施形態）
図６は、第４実施形態に係る記録ヘッド基板Ｉ４の上面レイアウトの模式図を示している。本実施形態は、複数の記録部ＵＰと信号生成部ＳＧと複数のレベルシフタＬＳとを各々が含む第１のセットＳ１および第２のセットＳ２が、Ｙ方向で互いに隣接するように並んでいる、という点で前述の第２実施形態と異なる。
【００５５】
本実施形態では、セットＳ１とセットＳ２とは線対称に形成されている。具体的には、セットＳ１の複数の記録部ＵＰと、セットＳ２の複数の記録部ＵＰとは、セットＳ１の複数のレベルシフタＬＳと、セットＳ２の複数のレベルシフタＬＳとの間に配されている。また、パッドＴＨＴ＿Ａ、ＴＨＴ＿Ｂ、ＴＧＮＤＨ＿Ａ、ＴＧＮＤＨ＿ＢおよびＴＶＨＴＭは、上記線対称に形成されたセットＳ１及びＳ２に対応する位置に配されている。
【００５６】
本実施形態では、記録ヘッドには、２つのセットＳ１及びセットＳ２に対応する２つのノズル列が設けられており、記録媒体上の１つの記録位置に対して、該２つのノズル列のそれぞれにおける対応ノズルがドットを記録することができる。この構成によると、記録速度を大きくすることができ、又は、記録媒体上に形成される画像の色域を大きくすることもできる。
【００５７】
また、本実施形態では、パッドＴＶＳＳ＿Ａは、セットＳ１及びＳ２のうちセットＳ１側に配されており、且つ、配線Ｍ’を用いてセットＳ１とセットＳ２とで共有されている。この構成によると、パッドの数量を低減することができる。
【００５８】
同様に、パッドＴＶＳＳ＿Ｂは、セットＳ１及びＳ２のうちセットＳ１側に配されており、且つ、配線Ｍ２ＶＳＳ＿Ｂを用いてセットＳ１とセットＳ２とで共有されている。配線Ｍ２ＶＳＳ＿Ｂは、配線ＭＶＳＳ＿Ｂとは異なる他の配線層に配され、Ｙ方向に延在している。また、Ｘ方向に延在する配線ＭＶＳＳ＿Ｂと、Ｙ方向に延在する配線Ｍ２ＶＳＳ＿Ｂとは、ビアＶ１を介して互いに電気的に接続されている。
【００５９】
その他、本実施形態では、２つのセットが配された構成を例示したが、３以上のセットがＹ方向に沿って配されていてもよい。図７は、他の実施形態に係る記録ヘッド基板Ｉ４’の例であって、４つのセットＳ１〜Ｓ４がＹ方向に沿って配された構成の例を例示している。
【００６０】
本実施形態によると、第１実施形態と同様の効果が得られる他、記録速度を大きくし、又は、記録媒体上に形成される画像の色域を大きくするのに有利である。
【００６１】
（その他）
以上、いくつかの好適な実施形態を例示したが、本発明はこれらに限られるものではなく、目的等に応じて、その一部を変更してもよいし、各実施形態の各特徴を組み合わせてもよい。
【符号の説明】
【００６２】
Ｉ１：記録ヘッド基板、ＳＵＢ：基板、ＵＰ：記録部、ＳＧ：信号生成部、ＬＳ：レベルシフタ、ＴＶＳＳ＿Ａ：パッド、ＭＶＳＳ＿Ａ：配線。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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