(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ペーストを収容した有底の筒状部材及びこの筒状部材内に移動自在に挿入されて中央部に貫通孔が形成された中蓋を有して成るペーストポットと、
前記ペーストポットが載置されると共に、前記中蓋に設けられた連結部と連結させて前記ペーストポットを前記貫通孔が下方を向く姿勢に保持するポット保持部と、
前記ポット保持部に保持された前記ペーストポットの前記中蓋に対して前記筒状部材を相対移動させて前記貫通孔からペーストを押出すペースト押出し部とを備え、
前記ペースト押出し部により前記ポット保持部に保持された前記ペーストポットの前記筒状部材の底面を押して前記貫通孔からペーストを押出した後、吸引力発生機構によって前記筒状部材の底面に発生させた吸引力により前記筒状部材の底面を保持して前記ペースト押出し部により前記筒状部材を引き上げることを特徴とするペースト供給装置。
【請求項２】
基板と接触されるマスクと、前記基板と接触された前記マスク上にペーストを押出して供給する請求項１に記載のペースト供給装置と、前記ペースト供給装置によりペーストが供給された前記マスク上で摺動するスキージとを備えたことを特徴とするスクリーン印刷機。
【請求項３】
ペーストを収容した有底の筒状部材及びこの筒状部材内に移動自在に挿入されて中央部に貫通孔が形成された中蓋を有して成るペーストポットの前記中蓋に設けられた連結部をポット保持部に連結させて前記ペーストポットを前記貫通孔が下方を向く姿勢で前記ポット保持部に保持するポット保持工程と、
前記貫通孔が下方を向く姿勢に保持した前記ペーストポットの前記中蓋に対してペースト押出し部により前記筒状部材の底面を押して前記筒状部材を相対移動させて前記貫通孔からペーストを押出すペースト押出し工程と、
前記ペースト押出し工程において前記貫通孔からペーストを押し出した後、吸引力発生機構によって前記ペーストポットの前記筒状部材の底面に発生させた吸引力により前記筒状部材の底面を保持して前記ペースト押出し部により前記筒状部材を引き上げるペーストポット引き上げ工程とを含むことを特徴とするペースト供給方法。
【請求項４】
基板とマスクを接触させる接触工程と、
前記基板と接触させた前記マスク上に請求項１に記載のペースト供給装置からペーストを押出して供給するペースト供給工程と、
ペーストが供給された前記マスク上でスキージを摺動させるスキージ摺動工程とを含むことを特徴とするスクリーン印刷方法。
【請求項５】
前記中蓋の前記連結部は突起および前記ポット保持部に載置された前記ペーストポットを所定の回転位置で停止させる止め部を有し、
前記ポッド保持部は、前記突起に対応する切欠き、および前記止め部に当接して前記ペーストポットを前記所定の回転位置で停止させる受け部を有する請求項１に記載のペースト供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリーン印刷機においてマスク上にペーストを供給するペースト供給装置、スクリーン印刷機、ペースト供給方法及びスクリーン印刷方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、スクリーン印刷機においてマスク上にペーストを供給するペースト供給装置として、円筒状の容器内にペーストを収容した市販のペーストポットから直接ペーストを押し出して供給するものが知られている（例えば、特許文献１）。このペースト供給装置では、ペーストポットの上下を反転して容器の中蓋に設けられた貫通孔が下方を向く姿勢に保持し、押出し部材で容器の底を押し下げて貫通孔からペーストを押し出すようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−１５１５０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら特許文献１を含むペーストポットから直接ペーストを供給するタイプのペースト供給装置では、ペーストの供給を止めようとして押出し部材の押し下げを停止したとしても貫通孔からペーストが垂れ落ちることがあり、このペーストが印刷中のマスク上に落下すると印刷むらが発生するおそれがあるという問題点があった。
【０００５】
そこで本発明は、ペーストポットからのペーストの垂れを防止できるペースト供給装置、スクリーン印刷機、ペースト供給方法及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載のペースト供給装置は、ペーストを収容した有底の筒状部材及びこの筒状部材内に移動自在に挿入されて中央部に貫通孔が形成された中蓋を有して成るペーストポットと、前記中蓋に設けられた連結部と連結させて前記ペーストポットを前記貫通孔が下方を向く姿勢に保持するポット保持部と、前記ポット保持部に保持された前記ペーストポットの前記中蓋に対して前記筒状部材を相対移動させて前記貫通孔からペーストを押出すペースト押出し部とを備え、前記ペースト押出し部により前記ポット保持部に保持された前記ペーストポットの前記筒状部材の底面を押して前記貫通孔からペーストを押出した後、吸引力発生機構によって前記筒状部材の底面に発生させた吸引力により前記筒状部材の底面を保持して前記ペースト押出し部により前記筒状部材を引き上げる。
【０００７】
請求項２に記載のスクリーン印刷機は、基板と接触されるマスクと、前記基板と接触された前記マスク上にペーストを押出して供給する請求項１に記載のペースト供給装置と、前記ペースト供給装置によりペーストが供給された前記マスク上で摺動するスキージとを備えた。
【０００８】
請求項３に記載のペースト供給方法は、ペーストを収容した有底の筒状部材及びこの筒状部材内に移動自在に挿入されて中央部に貫通孔が形成された中蓋を有して成るペーストポットの前記中蓋に設けられた連結部をポット保持部に連結させて前記ペーストポットを前記貫通孔が下方を向く姿勢で前記ポット保持部に保持するポット保持工程と、前記貫通孔が下方を向く姿勢に保持した前記ペーストポットの前記中蓋に対してペースト押出し部により前記筒状部材の底面を押して前記筒状部材を相対移動させて前記貫通孔からペーストを押出すペースト押出し工程と、前記ペースト押出し工程において前記貫通孔からペーストを押し出した後、吸引力発生機構によって前記ペーストポットの前記筒状部材の底面に発生させた吸引力により前記筒状部材の底面を保持して前記ペースト押出し部により前記筒状部材を引き上げるペーストポット引き上げ工程とを含む。
【０００９】
請求項４に記載のスクリーン印刷方法は、基板とマスクを接触させる接触工程と、前記基板と接触させた前記マスク上に請求項１に記載のペースト供給装置からペーストを押出して供給するペースト供給工程と、ペーストが供給された前記マスク上でスキージを摺動させるスキージ摺動工程とを含む。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、ペーストポットからのペーストの垂れを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の側面図
【図２】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の平面図
【図３】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるペースト供給装置の斜視図
【図４】本発明の一実施の形態におけるペースト供給装置の一部分解斜視図
【図５】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるペースト供給装置に用いられるペーストポットの斜視図
【図６】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるペースト供給装置に用いられるペーストポットをポット保持部に装着する手順を示す説明図
【図７】本発明の一実施の形態におけるペースト供給装置が備えるポット保持部に載置されたペーストポットの連結部付近における（ａ）水平方向の断面図（ｂ）円周方向の断面図（ｃ）円周の法線方向の断面図
【図８】本発明の一実施の形態におけるペースト供給装置が備えるポット保持部に保持されたペーストポットの連結部付近における（ａ）水平方向の断面図（ｂ）円周方向の断面図（ｃ）円周の法線方向の断面図
【図９】本発明の一実施の形態におけるペースト供給装置が備えるペースト押出し部の下方斜視図
【図１０】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の制御系統を示すブロック図
【図１１】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるペースト供給装置の動作説明図
【図１２】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。以下、基板の搬送方向（図２に示す作業者ＯＰから見た左右方向）をＸ軸方向、Ｘ軸方向と水平面内において直交する方向（図１の紙面の左右方向であり、図２に示す作業者ＯＰから見た前後方向）をＹ軸方向、水平面に直交する方向（図１の紙面の上下方向）をＺ軸方向と定義する。
【００１３】
まず、図１を参照してスクリーン印刷機１の構造を説明する。スクリーン印刷機１は、基板２に対する半田ペースト等のペーストＰｓｔのスクリーン印刷を繰り返し実行する装置である。スクリーン印刷機１は、基板保持移動ユニット３、マスク４、スキージユニット５、カメラユニット６、及びペースト供給装置７を備えている。
【００１４】
基板保持移動ユニット３は、基台８上に設けられており、基板２の保持及び移動を行う。マスク４は、基板保持移動ユニット３の上方に水平姿勢に設置されている。スキージユニット５は、マスク４の上方に設けられている。カメラユニット６は、マスク４の下方に設けられている。ペースト供給装置７は、スキージユニット５と一体に設けられている。
【００１５】
次に、スクリーン印刷機１が備える各部の詳細について順に説明する。図１において、基板保持移動ユニット３は、ＸＹθ移動機構１１、ベーステーブル１２、第１昇降テーブル１３、及び第２昇降テーブル１４が、基台８上に下方から順に設けられている。ベーステーブル１２は、ＸＹθ移動機構１１によって水平面内で移動し、Ｚ軸回りに回転する。第１昇降テーブル１３は、第１昇降テーブル昇降モータ１３ｍによってベーステーブル１２に対して昇降する。第２昇降テーブル１４は、第２昇降テーブル昇降モータ１４ｍによって第１昇降テーブル１３に対して昇降する。
【００１６】
図１において、第１昇降テーブル１３の上方には、第２昇降テーブル１４を貫通して上方に延びる一対のコンベア支持部材１５が設けられている。一対のコンベア支持部材１５は、Ｘ軸方向に延びてＹ軸方向に対向配置された一対の搬送コンベア１６を支持している。一対の搬送コンベア１６は、基板２の両端部を下方から支持してＸ軸方向に搬送する。第２昇降テーブル１４の上面には、下受け部材１７が設けられている。
【００１７】
一対の搬送コンベア１６の上方には、Ｘ軸方向に延びてＹ軸方向に対向配置された一対のクランプ部材（クランパ１８）が設けられている。一対のクランパ１８は、クランパ開閉シリンダ１８ｓの作動によってＹ軸方向に開閉し、下受け部材１７によって支持された基板２の両端部を挟んで保持（クランプ）する。
【００１８】
図２において、マスク４は、ＸＹ平面に広がって延びた平板形状のプレート部４ａとプレート部４ａの外周を囲って保持する枠状部４ｂから構成される。プレート部４ａの矩形の領域内には、基板２上の電極２ａに対応するパターン孔４ｈが設けられている。同様にプレート部４ａには、基板２上の対角位置に設けられた２つ一組の基板側マーク２ｍに対応する２つ一組のマスク側マーク４ｍが設けられている。これら基板側マーク２ｍとマスク側マーク４ｍが平面視において一致する状態で基板２をマスク４に接触させると、基板２の電極２ａとマスク４のパターン孔４ｈが合致した状態となる。
【００１９】
図１、図２及び図３において、スキージユニット５は、Ｘ軸方向に延びて設けられたスキージベース２１の下方にＹ軸方向に対向配置された２つのスキージ２２を備えている。図３は、図２においてスキージユニット５をＡＡ断面から見た斜視図である。スキージベース２１は、スキージユニット移動機構２３によってＹ軸方向に移動する。２つのスキージ２２は、スキージベース２１に設けられたスキージ昇降シリンダ２４によってスキージベース２１に対して個別に昇降する。
【００２０】
図１及び図２において、カメラユニット６は、撮像視野を上方に向けた上方撮像カメラ３１と撮像視野を下方に向けた下方撮像カメラ３２を有している。カメラユニット６は、カメラユニット移動機構３３によって水平面内を移動する。
【００２１】
図１、図２及び図３において、ペースト供給装置７は、スキージベース２１の前面側に設けられており、ペースト供給装置移動機構４１によってＸ軸方向に移動する。ペースト供給装置７は、基板２と接触されたマスク４上にペーストＰｓｔを押出して供給する機能を有している。図３及び図４において、ペースト供給装置７は、ベース部材５１、２つのポット保持部５２、及びペースト押出し部５３を備えている。ベース部材５１は、ペースト供給装置移動機構４１に取り付けられている。ポット保持部５２及びペースト押出し部５３は、ベース部材５１の前面に設けられている。
【００２２】
図４において、ベース部材５１の前面には、Ｘ方向に延びた第２ガイド５４が設けられている。第２ガイド５４には、スライダ５４ａがスライド自在に取り付けられている。ベース部材５１の前面であって、スライダ５４ａの上方の位置には、ロッドレスシリンダ５５が設けられている。ロッドレスシリンダ５５は、移動体５５ａを備えている。移動体５５ａにはスライダ５４ａが結合されており、ロッドレスシリンダ５５が移動体５５ａをＸ軸方向に移動させると、スライダ５４ａはＸ軸方向に移動する。
【００２３】
図４において、スライダ５４ａの前面には、プレート状の支持板５６が結合されている。支持板５６の下部には、プレート状の下方延出部５７が前方に延出して設けられている。下方延出部５７上には、２つのポット保持部５２がＸ方向に並んで設けられている。下方延出部５７には、ポット保持部５２に保持された後述するペーストポットから供給されるペーストＰｓｔが下方のマスク４に向けて通過する開口部５７ａが２箇所設けられている。２つのポット保持部５２は、ロッドレスシリンダ５５によってＸ方向に移動する。
【００２４】
図４において、ポット保持部５２は、１対の中蓋支持支柱５８から構成される。１対の中蓋支持支柱５８は下方延出部５７上に立設され、円筒の側面の一部（対向する２箇所）が切り欠かれた形状をしている（図６（ａ）も参照）。１対の中蓋支持支柱５８の上端には、それぞれプレート状の突起受け部５９が設けられている。突起受け部５９は、中蓋支持支柱５８の側面から外周方向に向けて所定の長さ延出している。一対の突起受け部５９の間には、２箇所の切欠き部５９ａ（ポット保持部５２の上端部の切欠き）が形成されている。
【００２５】
次に、ポット保持部５２に保持されてペーストＰｓｔを供給するペーストポット６０について説明する。図５（ａ）において、ペーストポット６０は、ペーストＰｓｔを収容した有底の筒状部材６１内に中蓋６２が移動自在に挿入された構造を有している。中蓋６２の底部６２ａの中央部には、貫通孔６３が形成されている。ペーストポット６０は、ペーストＰｓｔを収容した筒状部材６１に中蓋６２を挿入して貫通孔６３を粘着シートＳＨでシールし、さらに開放側にキャップＣＰを取り付けた状態で提供される。
【００２６】
図５，７，８において、中蓋６２の底部６２ａの縁には、筒状部材６１に挿入された状態で外側（開放側）に延設された筒状の外縁部６２ｂが形成されている。外縁部６２ｂの内周は、ポット保持部５２の突起受け部５９の外周より大きくなっている。すなわち、突起受け部５９は、中蓋６２の外縁部６２ｂの内側に収まるように形成されている。
【００２７】
中蓋６２の外縁部６２ｂには、外縁部６２ｂから内側に突出した２つの連結部６４が形成されている。２つの連結部６４は、ポット保持部５２の２箇所の切欠き部５９ａに対応した位置に形成されている。連結部６４の円周方向の長さＬは、ポット保持部５２の切欠き部５９ａの長さＲよりも小さい（図７（ａ）を参照）。上下を反転したペーストポット６０の連結部６４を切欠き部５９ａの位置に合わせてポット保持部５２に挿入すると、連結部６４がポット保持部５２と干渉することなく中蓋６２の底部６２ａはポット保持部５２の突起受け部５９の上面に当接する。すなわち、ペーストポット６０がポット保持部５２に載置される。
【００２８】
各連結部６４は、突起部６４ａと止め部６４ｂにより構成されている。突起部６４ａと中蓋６２の底部６２ａとの間には、ポット保持部５２の突起受け部５９の厚さＴより大きな隙間Ｓ１（突起部６４ａの隙間Ｓ１）が形成されている（図７（ｂ）を参照）。外縁部６２ｂの内周壁面からの突起部６４ａの突出し量（法線方向の長さＵ１）は、ペーストポット６０がポット保持部５２に載置された状態における外縁部６２ｂの内周壁面から中蓋支持支柱５８の外周壁面までの距離Ｕ２より小さい（図８（ｃ）を参照）。つまり、ポット保持部５２に載置された状態からペーストポット６０を回転させると、突起部６４ａの隙間Ｓ１にポット保持部５２の突起受け部５９が差し込まれる（はめ合わされる）。
【００２９】
止め部６４ｂは、連結部６４の円周方向の一端に形成されている。止め部６４ｂと中蓋６２の底部６２ａとの隙間Ｓ２は、ポット保持部５２の突起受け部５９の厚さＴより小さいか（図７（ｂ）を参照）、または、止め部６４ｂが中蓋６２の底部６２ａと接する（一体化する）ように形成されている。ポット保持部５２に載置された状態から回転させられるペーストポット６０は、止め部６４ｂが突起受け部５９の側壁に当接した回転位置で止まる。
【００３０】
次に図４，６，７，８を参照して、ペーストポット６０をペースト供給装置７のポット保持部５２に保持させるポット保持作業の手順について説明する。まず作業者ＯＰは貫通孔６３をシールする粘着シートＳＨを剥離し、ペーストポット６０を上下にひっくり返してポット保持部５２の上方に移動させる（図４中に示す矢印Ｂ）。
【００３１】
次いで連結部６４を切欠き部５９ａの位置に合わせ、ペーストポット６０をポット保持部５２に載置させる（図６（ａ）中に示す矢印Ｃ）。次いでペーストポット６０を回転させて（図６（ｂ）中に示す矢印Ｄ）、ポット保持部５２の突起受け部５９に突起部６４ａの隙間Ｓ１をはめ合せる。ペーストポット６０の回転は、止め部６４ｂが突起受け部５９の側壁に当接する回転位置で止める（図６（ｃ））。このように、ポット保持部５２は、中蓋６２に設けられた連結部６４と突起受け部５９を連結させてペーストポット６０を貫通孔６３が下方を向く姿勢に保持する。この状態で、中蓋６２の上下方向の移動が抑制される。
【００３２】
図７（ａ）は、図６（ｂ）に示すペーストポット６０がポット保持部５２に載置された状態における、突起受け部５９の上面の高さ位置での水平断面図である。図７（ｂ）は、図７（ａ）の円周方向のＥＥ断面図である。図７（ｃ）は、図７（ａ）の円周の法線方向のＦＦ断面図である。図８（ａ）は、図６（ｃ）に示すペーストポット６０がポット保持部５２に保持された状態における、突起受け部５９の上面の高さ位置での水平断面図である。図８（ｂ）は、図８（ａ）の円周方向のＥ’Ｅ’断面図である。図８（ｃ）は、図８（ａ）の円周の法線方向のＦ’Ｆ’断面図である。
【００３３】
次に、ポット保持部５２に保持されたペーストポット６０の中蓋６２に対して筒状部材６１を相対移動させて貫通孔６３からペーストＰｓｔを押出すペースト押出し部５３について説明する。図３において、ベース部材５１の前面には、ブラケット７０が設けられている。ブラケット７０には、押圧シリンダ７１のシリンダチューブ７１ａが取り付けられている。押圧シリンダ７１は、ピストンロッド７１ｂを下方に向けて設置されている。ピストンロッド７１ｂの下端には、円盤状（又は円筒状）の押出し部材７２が取り付けられている。
【００３４】
図９において、押出し部材７２の下面には環状部材７３が設けられている。環状部材７３は、押出し部材７２の下面に下方に突出して設けられた環状突起部となっている。ここで、「環状」とは「周回する形状」の意味であり、円環状のほか多角形状も含まれる。なお、環状突起部は、押出し部材７２の下面に直接形成してもよい。
【００３５】
図９において、押圧シリンダ７１は、ピストンロッド７１ｂの押し作動と引き作動を行って、押出し部材７２及び環状部材７３を昇降させる。押出し部材７２及びピストンロッド７１ｂの内部には、吸引路７４が設けられている。この吸引路７４は、押出し部材７２に設けられた環状部材７３の内側の空間（内側空間７３Ｒと称する）に繋がっている。さらに吸引路７４は、ピストンロッド７１ｂの外部を延びる配管７５を介して負圧発生部７６に繋がっており、配管７５にはバルブ７７が介装されている。
【００３６】
負圧発生部７６は、負圧を発生させた状態で制御装置８０（図１０を参照）によってバルブ７７が操作されると、配管７５及び吸引路７４を介して内側空間７３Ｒ内に（すなわち押出し部材７２の下面に）真空圧を供給する。これにより、内側空間７３Ｒ内に吸引力が発生する。このように吸引路７４、配管７５、負圧発生部７６及びバルブ７７は、環状部材７３の内側空間７３Ｒ内に吸引力を発生させる吸引力発生機構７８を構成している。
【００３７】
図３において、ペースト供給装置７の２つのポット保持部５２には、それぞれペーストポット６０が保持されている。保持された２つのペーストポット６０のうち、選択された一つからペーストＰｓｔが供給される。ペーストポット６０が選択されると、ロッドレスシリンダ５５による位置切り替え動作によって選択されたペーストポット６０が押圧シリンダ７１の直下の位置（ペースト供給位置）に移動する。他方のペーストポット６０は、ペースト供給位置から外れた左または右の位置（待機位置）に移動する。
【００３８】
ペーストポット６０のポット保持部５２への着脱（交換）は、図３に示すペースト供給装置７がスキージベース２１の左端に移動している位置（交換位置）で行われる。交換位置には、交換されるペーストポット６０から垂れ落ちるペーストＰｓｔがマスク４上に落下しないように受け止める、スキージベース２１の下部から延出したプレート状のペースト受け板７９が設けられている。
【００３９】
次に図１０を参照し、スクリーン印刷機１の制御系統について説明する。スクリーン印刷機１は、制御装置８０を備えている。制御装置８０は、基板保持移動ユニット３が備える搬送コンベア１６による基板２のＸ軸方向への搬送動作、第２昇降テーブル昇降モータ１４ｍによる下受け部材１７の昇降動作（後述する基板２の下面の支持動作）を制御する。制御装置８０は、クランパ開閉シリンダ１８ｓによるクランパ１８の基板クランプ動作、ＸＹθ移動機構１１による基板２の水平面内での移動動作及び第１昇降テーブル昇降モータ１３ｍによる第１昇降テーブル１３の昇降動作（後述するクランプされた基板２の昇降動作）を制御する。
【００４０】
制御装置８０は、スキージユニット移動機構２３によるスキージユニット５及びペースト供給装置７のＹ軸方向への移動動作及びスキージ昇降シリンダ２４による各スキージ２２の昇降動作を制御する。制御装置８０は、カメラユニット移動機構３３によるカメラユニット６の水平面内での移動動作、カメラユニット６が備える上方撮像カメラ３１の撮像動作及び下方撮像カメラ３２の撮像動作を制御する。制御装置８０が有する画像認識部８１は、上方撮像カメラ３１及び下方撮像カメラ３２の撮像動作によって得られて制御装置８０に入力された画像データを画像認識処理する。
【００４１】
制御装置８０は、ロッドレスシリンダ５５によるペースト供給位置に位置するペーストポット６０を切り替える位置切り替え動作を制御する。制御装置８０は、押圧シリンダ７１と吸引力発生機構７８によるペーストポット６０からのペーストＰｓｔの供給動作、及びペースト供給装置移動機構４１の作動によるペースト供給装置７のＸ軸方向への移動動作を制御する。また制御装置８０につながる入力部８２において、スクリーン印刷機１でのスクリーン印刷作業の所定の入力操作が行われる。
【００４２】
次に図１１を参照し、ペースト供給装置７によるペーストＰｓｔの供給手順（ペースト供給方法）について説明する。まず作業者ＯＰは、交換位置に移動したペースト供給装置７において、前述のポット保持作業の手順に従ってペーストポット６０の交換を行う。すなわち、作業者ＯＰは、ペーストポット６０の中蓋６２に設けられた連結部６４をポット保持部５２の突起受け部５９に連結させる。これにより、ペースト供給装置７は、ペーストポット６０を貫通孔６３が下方を向く姿勢でポット保持部５２に保持する（ポット保持工程）。
【００４３】
次いで作業者ＯＰは、制御装置８０につながる入力部８２を操作して、ペーストＰｓｔを供給するペーストポット６０を選択する。次いで制御装置８０は、ロッドレスシリンダ５５を制御して位置切り替え動作を行い、選択されたペーストポット６０を押圧シリンダ７１の直下のペースト供給位置に移動させる。このようにして、ペースト供給装置７は、ペーストポット６０からペーストＰｓｔを押し出すことができるペースト押出し待機状態となる。
【００４４】
次いで制御装置８０がペースト押し出し指令信号を出力すると、押圧シリンダ７１はピストンロッド７１ｂの押し作動を行う。これにより、押圧シリンダ７１は、押出し部材７２を下降させ、押出し部材７２の環状部材７３の下面をペーストポット６０の筒状部材６１の底面に上方から当接させる。さらに押圧シリンダ７１は、筒状部材６１の底面を押して（図１１（ａ）中に示す矢印Ｇ）、中蓋６２に対して筒状部材６１を相対移動させて貫通孔６３からペーストＰｓｔを押し出す（ペースト押出し工程）（図１１（ａ））。
【００４５】
すなわち、押圧シリンダ７１、押出し部材７２及び環状部材７３は、ポット保持部５２に保持されたペーストポット６０の中蓋６２に対して筒状部材６１を相対移動させて貫通孔６３からペーストＰｓｔを押出すペースト押出し部５３となる。押出し部材７２が筒状部材６１に当接している状態で、吸引力発生機構７８が内側空間７３Ｒ内に（すなわち押出し部材７２の下面に）真空圧を与えることにより吸引力が発生し、押出し部材７２（環状部材７３）は筒状部材６１の底面を吸着保持する。
【００４６】
押圧シリンダ７１が筒状部材６１を所定量押し下げて規定量のペーストＰｓｔを押し出したら、次いで制御装置８０は、ペースト押出し信号の出力を停止する。これにより押圧シリンダ７１は、ピストンロッド７１ｂの動作を押し作動から引き作動に切り替え、押出し部材７２を上昇させて筒状部材６１を一定量引き上げる（ペーストポット引き上げ工程）（図１１（ｂ）中に示す矢印Ｈ）。すなわち制御装置８０は、ペースト押出し工程において貫通孔６３からペーストを押し出した後、吸引力発生機構７８によってペーストポット６０の筒状部材６１の底面に発生させた吸引力により筒状部材６１の底面を保持して押圧シリンダ７１（ペースト押出し部５３）により筒状部材６１を引き上げる。
【００４７】
この時、中蓋６２は連結部６４によってポット保持部５２に連結されており、上昇方向の移動が抑制されている。中蓋６２の移動が抑制されている状態で筒状部材６１を引き上げることによって筒状部材６１内に負圧が発生し、貫通孔６３付近のペーストＰｓｔが筒状部材６１内に吸い上げられて貫通孔６３からのペーストＰｓｔの垂れが防止される。筒状部材６１の引き上げは、図１１（ｃ）に示すように、貫通孔６３から吸い込まれた空気によって、貫通孔６３から上方へ延びる管状の空洞部Ｋが形成されるようになるまで行うことが好ましい（図１１（ｃ）中に示す矢印Ｊ）。
【００４８】
次に図１２を参照し、スクリーン印刷機１によるスクリーン印刷作業の実行手順（スクリーン印刷方法）について説明する。まず作業者ＯＰは、ペーストポット６０をポット保持部５２に保持させて、ペースト供給装置７をペースト押出し待機状態にする。次いで作業者ＯＰは、制御装置８０につながる入力部８２から、所定のスクリーン印刷作業開始操作を行う。スクリーン印刷作業開始操作を受けた制御装置８０は、スクリーン印刷機１の外部から投入された基板２を搬送コンベア１６により搬送し、一対のクランパ１８の下方の作業位置に位置決めする。次いで下受け部材１７を上昇させて基板２の下面を支持して搬送コンベア１６から持ち上げ、一対のクランパ１８により基板２の両端部をクランプして保持する。
【００４９】
基板２をクランプしたら、制御装置８０は、カメラユニット６をマスク４の下方領域内に移動させ、基板側マーク２ｍを上方から下方撮像カメラ３２により撮像し、画像認識を行って基板２の位置を算出する。次いでマスク側マーク４ｍを下方から上方撮像カメラ３１により撮像し、画像認識を行ってマスク４の位置を算出する。
【００５０】
制御装置８０は、基板２の位置とマスク４の位置を算出したら、カメラユニット６をマスク４の下方領域から外れた位置に移動させる。次いでＸＹθ移動機構１１の作動制御を行って、基板側マーク２ｍがマスク側マーク４ｍの直下に位置するように基板２を移動させる基板２の位置合わせを行う。
【００５１】
制御装置８０は、マスク４に対する基板２の位置合わせを行ったら、基板保持移動ユニット３の第１昇降テーブル１３を上昇させる（図１２中に示す矢印Ｌ）。これにより基板２の電極２ａとマスク４のパターン孔４ｈとが合致し、基板２の上面及びクランパ１８の上面とマスク４の下面とが接触した状態となる（接触工程）。
【００５２】
次いで制御装置８０は、スキージベース２１をＹ軸方向に移動させて、ペースト押出し待機状態となっているペースト供給装置７を所定の位置（通常、マスク４の前方のクランパ１８と接触している部分の上方位置）に移動させる。そして、ペースト供給装置移動機構４１によってペースト供給装置７をＸ軸方向に移動させつつ、押圧シリンダ７１を作動させてペーストポット６０からペーストＰｓｔを押し出させて、マスク４上にペーストＰｓｔを供給する（ペースト供給工程）。
【００５３】
制御装置８０は、マスク４上に規定量のペーストＰｓｔを供給したら、吸引力により保持した筒状部材６１を引き上げて、貫通孔６３からのペーストＰｓｔの垂れを防止する。一方で制御装置８０は、一方（摺動方向とは反対位置）のスキージ２２を下降させて下端部をマスク４上に当接させ、スキージベース２１をＹ軸方向に移動させて（図１２中に示す矢印Ｍ）、スキージ２２をマスク４上で摺動させる（スキージ摺動工程）。これにより、マスク４上のペーストＰｓｔがスキージ２２によって掻き寄せられ、パターン孔４ｈを介して基板２の電極２ａに転写される。
【００５４】
制御装置８０は、上記ペーストＰｓｔの転写作業が終了したら、第１昇降テーブルの１３を下降させ、マスク４から基板２を離間させて版離れを行う。更に、一対のクランパ１８による基板２の保持（クランプ）を解除した後、下受け部材１７を下降させて、基板２を搬送コンベア１６に下ろす。次いで搬送コンベア１６を作動させてスクリーン印刷機１の外部に基板２を搬出する。これにより基板２の１枚当たりのスクリーン印刷作業が終了する。
【００５５】
以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１及びスクリーン印刷機１によるスクリーン印刷方法（ペースト供給装置７及びペースト供給装置７によるペースト供給方法）では、ペーストポット６０の中蓋６２に設けられた連結部６４をポット保持部５２に連結させて、ペーストポット６０を貫通孔６３が下方を向く姿勢でポット保持部５２に保持させた状態で、ペースト押出し部５３（押圧シリンダ７１，押出し部材７２，環状部材７３）によって筒状部材６１の底面を押してペーストポット６０の中蓋６２に対して筒状部材６１を相対移動させて貫通孔６３からペーストＰｓｔを押出した後、吸引力発生機構７８によって筒状部材６１の底面（内側空間７３Ｒ）に発生させた吸引力により筒状部材６１の底面を保持してペースト押出し部５３により筒状部材６１を引き上げている。
【００５６】
このように、筒状部材６１内に負圧を発生させ、貫通孔６３付近のペーストＰｓｔを筒状部材６１内に吸い上げるようにしているので、ペーストポット６０からのペーストＰｓｔの垂れを防止できる。これによって、スクリーン印刷中のマスク４上に余分なペーストＰｓｔが落下して印刷むらが発生することを防止できる。
【００５７】
本実施の形態において、ペーストポット６０の中蓋６２に設けられている連結部６４の個数、及び対応するポット保持部５２の切欠き部５９ａの個数は２個に限定されることなく、適宜変更可能である。例えば、３個でも４個でもよい。また、連結部６４と連結部６４を連結するポット保持部５２の形状、及び連結方法は上記に限定されることなく、適宜変更可能である。つまり、ペーストポット６０を貫通孔６３が下方を向く姿勢でポット保持部５２に保持でき、かつ、保持した状態でペーストポット６０の中蓋６２の上方への移動が抑制でき、筒状部材６１を引き上げることによって筒状部材６１内に負圧を発生させて貫通孔６３からのペーストＰｓｔの垂れを防止できるものであればよい。
【産業上の利用可能性】
【００５８】
ペーストポットからのペーストの垂れを防止できるペースト供給装置、スクリーン印刷機、ペースト供給方法及びスクリーン印刷方法を提供する。
【符号の説明】
【００５９】
１  スクリーン印刷機
２  基板
４  マスク
７  ペースト供給装置
２２  スキージ
５２  ポット保持部
５３  ペースト押出し部
６０  ペーストポット
６１  筒状部材
６２  中蓋
６３  貫通孔
６４  連結部
７８  吸引力発生機構
Ｐｓｔ  ペースト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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