(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
分光分析装置を制御する制御装置であって、
操作部からの操作情報に基づいて、ユーザにより指定された分析位置を登録し、登録された前記分析位置で実行する分析手法としてユーザにより選択された分析手法を当該分析位置に対応付けて登録し、登録された前記分析手法の詳細な設定内容を当該分析手法に対応付けて登録する登録部と、
登録された前記分析位置を示す第１アイコンが表示される第１画像領域と、登録された前記分析手法を示す第２アイコンが表示される第２画像領域と、登録された前記設定内容が表示される第３画像領域とを含む設定画面を、表示部に表示する制御を行う表示制御部と、
前記登録部によって登録された内容に基づいて前記分光分析装置に分析を実行させる制御を行う制御部とを含み、
前記表示制御部は、
ユーザにより指定された前記分析位置が登録され、当該分析位置を示す前記第１アイコンを前記第１画像領域に表示した場合に、前記第２画像領域を前記設定画面に表示し、ユーザにより選択された前記分析手法が登録され、当該分析手法を示す前記第２アイコンを前記第２画像領域に表示した場合に、前記第３画像領域を前記設定画面に表示する制御を行い、前記第１画像領域において選択されている前記第１アイコンで示される前記分析位置に対応付けて登録された前記分析手法を示す前記第２アイコンを前記第２画像領域に表示し、前記第２画像領域において選択されている前記第２アイコンで示される前記分析手法に対応付けて登録された前記設定内容を前記第３画像領域に表示する制御を行う、制御装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記表示制御部は、
複数の前記第１アイコンを前記第１画像領域に配列して表示し、複数の前記第２アイコンを前記第２画像領域に配列して表示する制御を行い、
前記制御部は、
前記第１画像領域における複数の前記第１アイコンの配列の順序及び前記第２画像領域
における複数の前記第２アイコンの配列の順序に従って前記分光分析装置に分析を実行させる制御を行う、制御装置。
【請求項３】
分光分析装置を制御する制御方法であって、
操作部からの操作情報に基づいて、ユーザにより指定された分析位置を登録し、登録された前記分析位置で実行する分析手法としてユーザにより選択された分析手法を当該分析位置に対応付けて登録し、登録された前記分析手法の詳細な設定内容を当該分析手法に対応付けて登録する登録工程と、
登録された前記分析位置を示す第１アイコンが表示される第１画像領域と、登録された前記分析手法を示す第２アイコンが表示される第２画像領域と、登録された前記設定内容が表示される第３画像領域とを含む設定画面を、表示部に表示する制御を行う表示制御工程と、
前記登録工程によって登録された内容に基づいて前記分光分析装置に分析を実行させる制御を行う制御工程とを含み、
前記表示制御工程において、
ユーザにより指定された前記分析位置が登録され、当該分析位置を示す前記第１アイコンを前記第１画像領域に表示した場合に、前記第２画像領域を前記設定画面に表示し、ユーザにより選択された前記分析手法が登録され、当該分析手法を示す前記第２アイコンを前記第２画像領域に表示した場合に、前記第３画像領域を前記設定画面に表示する制御を行い、前記第１画像領域において選択されている前記第１アイコンで示される前記分析位置に対応付けて登録された前記分析手法を示す前記第２アイコンを前記第２画像領域に表示し、前記第２画像領域において選択されている前記第２アイコンで示される前記分析手法に対応付けて登録された前記設定内容を前記第３画像領域に表示する制御を行う、制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、分光分析装置を制御する制御装置、及び制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
試料分析の分野で、試料表面の原子又は分子の構造を解析するためにＸ線光電子分光装置（ＸＰＳ、ＥＳＣＡ）等の分光分析装置が用いられる（例えば、特許文献１）。分光分析装置の操作を行うには、真空操作、光源操作、分析位置（測定位置）操作、分光分析操作等に関する予備知識を必要とし、必要な操作手順や最適な設定値を熟知する必要がある。また、分光分析では、表面切削装置（イオンエッチングデバイス等）と組み合わせた深さ方向分析や、試料の傾斜角度制御と組み合わせた角度分解分光分析等、分光手法のバリエーションが拡大している。そのため、それらを操作するためのアプリケーションで実現されるユーザインターフェースは煩雑化する傾向が強くなっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−４８５８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ユーザインターフェースの煩雑化は、分光分析装置に習熟していないオペレータ（ユーザ）にとって大きな障害となり、それ故に分光分析装置の能力を最大限に発揮させることができず、所望する有意な分析結果を得ることができないといった問題が発生する。
【０００５】
本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、本発明のいくつかの態様によれば、より分かり易い操作環境を提供することが可能な、制御装置及び制御方法を提供することができる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（１）本発明に係る制御装置は、分光分析装置を制御する制御装置であって、操作部からの操作情報に基づいて、ユーザにより指定された分析位置を登録し、登録された前記分析位置で実行する分析手法としてユーザにより選択された分析手法を当該分析位置に対応付けて登録し、登録された前記分析手法の詳細な設定内容を当該分析手法に対応付けて登録する登録部と、登録された前記分析位置を示す第１アイコンが表示される第１画像領域と、登録された前記分析手法を示す第２アイコンが表示される第２画像領域と、登録された前記設定内容が表示される第３画像領域とを含む設定画面を、表示部に表示する制御を行う表示制御部と、前記登録部によって登録された内容に基づいて前記分光分析装置に分析を実行させる制御を行う制御部とを含み、前記表示制御部は、ユーザにより指定された前記分析位置が登録され、当該分析位置を示す前記第１アイコンを前記第１画像領域に表示した場合に、前記第２画像領域を前記設定画面に表示し、ユーザにより選択された前記分析手法が登録され、当該分析手法を示す前記第２アイコンを前記第２画像領域に表示した場合に、前記第３画像領域を前記設定画面に表示する制御を行い、前記第１画像領域において選択されている前記第１アイコンで示される前記分析位置に対応付けて登録された前記分析手法を示す前記第２アイコンを前記第２画像領域に表示し、前記第２画像領域において選択されている前記第２アイコンで示される前記分析手法に対応付けて登録された前記設定内容を前記第３画像領域に表示する制御を行う。
【０００７】
また、本発明に係る制御方法は、分光分析装置を制御する制御方法であって、操作部からの操作情報に基づいて、ユーザにより指定された分析位置を登録し、登録された前記分析位置で実行する分析手法としてユーザにより選択された分析手法を当該分析位置に対応付けて登録し、登録された前記分析手法の詳細な設定内容を当該分析手法に対応付けて登録する登録工程と、登録された前記分析位置を示す第１アイコンが表示される第１画像領域と、登録された前記分析手法を示す第２アイコンが表示される第２画像領域と、登録された前記設定内容が表示される第３画像領域とを含む設定画面を、表示部に表示する制御を行う表示制御工程と、前記登録工程によって登録された内容に基づいて前記分光分析装置に分析を実行させる制御を行う制御工程とを含み、前記表示制御工程において、ユーザにより指定された前記分析位置が登録され、当該分析位置を示す前記第１アイコンを前記第１画像領域に表示した場合に、前記第２画像領域を前記設定画面に表示し、ユーザにより選択された前記分析手法が登録され、当該分析手法を示す前記第２アイコンを前記第２画像領域に表示した場合に、前記第３画像領域を前記設定画面に表示する制御を行い、前記第１画像領域において選択されている前記第１アイコンで示される前記分析位置に対応付けて登録された前記分析手法を示す前記第２アイコンを前記第２画像領域に表示し、前記第２画像領域において選択されている前記第２アイコンで示される前記分析手法に対応付けて登録された前記設定内容を前記第３画像領域に表示する制御を行う。
【０００８】
本発明によれば、分析位置を示す第１アイコン、分析手法を示す第２アイコン、分析手法の詳細な設定内容が、それぞれ設定画面の異なる領域（第１〜第３画像領域）に表示され、更に、第２画像領域には、第１画像領域で選択されている分析位置（第１アイコン）に対応付けて登録された分析手法（第２アイコン）が表示され、第３画像領域には、第２画像領域で選択されている分析手法（第２アイコン）に対応付けて登録された設定内容が表示される。従って、ユーザが、複数の分析位置を登録し、各分析位置に対応付けて複数の分析手法を登録した場合であっても、登録された分析位置、分析手法及び設定内容の対応関係を容易に把握することが可能な設定画面を表示部に表示させることができ、より分かり易い操作環境を提供することができる。また、本発明によれば、ユーザが分析位置を登録して第１アイコンが第１画像領域に表示されると、第２画像領域が設定画面に表示され、ユーザが分析手法を登録して第２アイコンが第２画像領域に表示されると、第３画像領域が設定画面に表示される。従って、まず分析位置を決定し、その後に分析手法を決定し、その後に詳細な設定を行う、という操作（設定）手順をユーザが容易に把握することができ、より分かり易い操作環境を提供することができる。
【００１２】
（３）本発明に係る制御装置では、前記表示制御部は、複数の前記第１アイコンを前記第１画像領域に配列して表示し、複数の前記第２アイコンを前記第２画像領域に配列して表示する制御を行い、前記制御部は、前記第１画像領域における複数の前記第１アイコンの配列の順序及び前記第２画像領域における複数の前記第２アイコンの配列の順序に従って前記分光分析装置に分析を実行させる制御を行ってもよい。
【００１３】
また、本発明に係る制御方法では、前記表示制御工程において、複数の前記第１アイコンを前記第１画像領域に配列して表示し、複数の前記第２アイコンを前記第２画像領域に配列して表示する制御を行い、前記制御工程において、前記第１画像領域における複数の前記第１アイコンの配列の順序及び前記第２画像領域における複数の前記第２アイコンの配列の順序に従って前記分光分析装置に分析を実行させる制御を行ってもよい。
【００１４】
本発明によれば、第１画像領域における複数の第１アイコンの配列の順序及び第２画像領域における複数の第２アイコンの配列の順序に従って分光分析装置が分析を実行することで、ユーザがアイコンの配列順序から分析の実行順序を容易に把握することができ、より分かり易い操作環境を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本実施形態に係る制御装置の機能ブロック図の一例を示す図である。
【図２】表示部に表示される設定画面の一例を示す図である。
【図３】詳細操作部の一例を示す図である。
【図４】詳細操作部の一例を示す図である。
【図５】分析手法を選択するためのダイアログを示す図である。
【図６】測定条件のプリセット値を設定するためのダイアログを示す図である。
【図７】詳細操作部の一例を示す図である。
【図８】元素を選択するためのダイアログを示す図である。
【図９】詳細操作部の一例を示す図である。
【図１０】エネルギー設定を行うためのダイアログと、電子軌道を選択するためのダイアログを示す図である。
【図１１】登録内容の階層構造を示す模式図である。
【図１２】第２画像領域を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
【００１７】
１．構成
図１に、本実施形態に係る制御装置の機能ブロック図の一例を示す。なお本実施形態の制御装置は図１の構成要素（各部）の一部を省略した構成としてもよい。
【００１８】
制御装置１０は、分光分析装置１を制御するための装置である。本実施形態では、分光分析装置１がＸ線光電子分光装置（ＸＰＳ、ＥＳＣＡ）である場合を例にとって説明する。なお、制御装置１０を、電子線プローブマイクロアナライザ（ＥＰＭＡ）、オージェ電子分光装置（ＡＥＳ）、エネルギー分散型Ｘ線分析装置（ＥＤＳ、ＥＤＸ）、波長分散型Ｘ線分析装置（ＷＤＳ）等の分光分析装置を制御する制御装置として構成してもよい。
【００１９】
制御装置１０は、処理部２０と、操作部３０と、表示部４０と、記憶部５０とを含んでいる。
【００２０】
操作部３０は、ユーザが操作情報を入力するためのものであり、入力された操作情報を処理部２０に出力する。操作部３０の機能は、キーボード、マウス、ボタン、タッチパネル、タッチパッドなどのハードウェアにより実現することができる。
【００２１】
表示部４０は、処理部２０によって生成された画像を表示するものであり、その機能は、ＬＣＤ、ＣＲＴ、操作部３０としても機能するタッチパネルなどにより実現できる。
【００２２】
記憶部５０は、処理部２０の各部としてコンピュータを機能させるためのプログラムや各種データを記憶するとともに、処理部２０のワーク領域として機能し、その機能はハードディスク、ＲＡＭなどにより実現できる。
【００２３】
処理部２０（コンピュータ）は、設定画面を表示部４０に表示させる処理、設定情報を
登録する処理、分光分析装置１を制御する処理等を行う。処理部２０の機能は、各種プロセッサ（ＣＰＵ、ＤＳＰ等）などのハードウェアや、プログラムにより実現できる。処理部２０は、登録部２２、表示制御部２４、制御部２６を含む。
【００２４】
登録部２２は、操作部３０からの操作情報に基づいて、ユーザにより指定された分析位置（測定位置、試料ステージの位置）を登録し、登録された前記分析位置で実行する分析手法としてユーザにより選択された分析手法を当該分析位置に対応付けて登録し、登録された前記分析手法の詳細な設定内容を当該分析手法に対応付けて登録する。登録部２２によって登録された各種情報（設定情報）は記憶部５０に記憶される。
【００２５】
表示制御部２４は、登録部２２によって登録された前記分析位置を示す第１アイコンが表示される第１画像領域と、登録された前記分析手法を示す第２アイコンが表示される第２画像領域と、登録された前記設定内容が表示される第３画像領域とを含む設定画面を、表示部４０に表示する制御を行う。また、表示制御部２４は、複数の前記第１アイコンを前記第１画像領域に配列して表示し、複数の前記第２アイコンを前記第２画像領域に配列して表示する制御を行ってもよい。
【００２６】
また、表示制御部２４は、前記第１アイコンとして、登録された分析位置における試料観察像（光学顕微鏡像、ＳＥＭ像等）がサムネイル表示されたアイコンを前記第１画像領域に表示させてもよい。また、表示制御部２４は、前記第２アイコンとして、登録された分析手法の名称が表示されたアイコンを前記第２画像領域に表示させてもよい。
【００２７】
また、表示制御部２４は、前記第１画像領域において選択されている前記第１アイコンで示される前記分析位置に対応付けて登録された前記分析手法を示す前記第２アイコンを前記第２画像領域に表示し、前記第２画像領域において選択されている前記第２アイコンで示される前記分析手法に対応付けて登録された前記設定内容を前記第３画像領域に表示する制御を行う。すなわち、表示制御部２４は、前記第１画像領域において選択されていない前記第１アイコンで示される前記分析位置に対応付けて登録された前記分析手法を示す前記第２アイコンについては前記第２画像領域に表示させず、また、前記第２画像領域において選択されていない前記第２アイコンで示される前記分析手法に対応付けて登録された前記設定内容については前記第３画像領域に表示させない。
【００２８】
また、表示制御部２４は、ユーザにより指定された前記分析位置が登録され、当該分析位置を示す前記第１アイコンを前記第１画像領域に表示した場合に、前記第２画像領域を前記設定画面に表示し、ユーザにより選択された前記分析手法が登録され、当該分析手法を示す前記第２アイコンを前記第２画像領域に表示した場合に、前記第３画像領域を前記設定画面に表示する制御を行ってもよい。
【００２９】
また、表示制御部２４は、複数の測定条件と複数の分析モードの組み合わせを示す複数のアイコンがマトリクス状に配列された選択画面を表示部４０に表示させる制御を行い、登録部２２は、当該選択画面に配列された複数のアイコンのうちユーザにより選択されたアイコンで示される分析手法を登録してもよい。
【００３０】
制御部２６は、登録部２２によって登録された内容に基づいて分光分析装置１に分析（測定）を実行させる制御を行う。すなわち、制御部２６は、記憶部５０に記憶された設定情報に基づく制御信号を生成して分光分析装置１に出力する。
【００３１】
また、制御部２６は、前記第１画像領域における複数の前記第１アイコンの配列の順序及び前記第２画像領域における複数の前記第２アイコンの配列の順序に従って分光分析装置１に分析を実行させる制御を行ってもよい。
【００３２】
また、処理部２０は、分光分析装置１から入力される試料観察像を表示部４０に表示させ、また、分光分析装置１から入力される測定結果（試料の測定スペクトル）に基づいて試料の分光分析（定性分析、定量分析等）を行い、分光分析結果を表示部４０に表示させる処理を行う。
【００３３】
２．本実施形態の手法
次に本実施形態の手法について図面を用いて説明する。
【００３４】
図２は、表示部４０に表示される設定画面（ＧＵＩ：グラフィカルユーザインターフェース）の一例を示す図である。
【００３５】
設定画面１００は、基本操作部１０２と、データ表示部１０４と、詳細操作部１０６を含む。基本操作部１０２、データ表示部１０４及び詳細操作部１０６は、それぞれ設定画面１００における表示位置及び表示領域がユーザにより変更可能に構成されている。
【００３６】
基本操作部１０２には、分光分析装置１の操作（光源設定、アナライザ設定、付属機器の設定、及びそれらのＯＮ／ＯＦＦ操作等）と、設定画面１００を生成するアプリケーション自体の操作（表示設定、データ操作等）とを行うためのＧＵＩ要素（ボタン、アイコン、ツールバー、リボン等）が配置されている。
【００３７】
データ表示部１０４には、分光分析結果や、アナライザの信号メーター、試料観察像等が表示され、また、表示範囲や表示条件の設定を行うためのＧＵＩ要素も表示される。
【００３８】
詳細操作部１０６は、基本操作部１０２とは独立した操作部であり、分析位置や分析手法、詳細な設定内容を登録し、また登録内容を表示するためのＧＵＩ要素が配置される。
【００３９】
基本操作部１０２及びデータ表示部１０４に表示されるＧＵＩ要素は、分光分析装置１自体の差異や分析手法の差異に関わらず共通である。一方、分光分析装置１自体の差異や分析手法の差異に起因するＧＵＩの多様性は、詳細操作部１０６によって担保される。このように、ＧＵＩの構成要素の共通化を図りつつ、差異を吸収する詳細操作部１０６を設けることで、分析装置の構成や分析手法が異なる場合であっても統一的な操作環境をユーザに提供することができる。
【００４０】
図３は、詳細操作部１０６の一例を示す図である。詳細操作部１０６は、第１画像領域１１０と、第２画像領域１２０と、第３画像領域１３０を含む。また、詳細操作部１０６の下部領域には、分析を開始／停止するためのボタン１０７と、分析の開始時間及び終了予定時間を示す画像１０８が表示されている。
【００４１】
第１画像領域１１０は、分析位置（測定位置）を登録するための領域であり、分析位置を登録するためのボタン１１２と、登録された分析位置における試料観察像をサムネイル表示するアイコン１１４（第１アイコン）が表示される。複数の分析位置が登録された場合には、対応する複数のアイコン１１４が横方向に配列して表示される。
【００４２】
第２画像領域１２０は、第１画像領域１１０で登録された分析位置で実行する分析手法（測定手法）を登録するための領域であり、分析手法を登録するためのボタン１２２と、登録された分析手法の名称を表示するアイコン１２４（第２アイコン）が表示される。第２画像領域１２０には、第１画像領域１１０において選択されているアイコン１１４（分析位置）に対応付けて登録されたアイコン１２４（分析手法）が表示される。複数の分析手法が登録された場合には、対応する複数のアイコン１２４が横方向に配列して表示され
る。
【００４３】
第３画像領域１３０には、第２画像領域１２０で登録された分析手法の詳細な設定を行うための領域であり、分析対象とする元素及び電子軌道を登録するためのボタン１３２と、登録された元素及び電子軌道の名称を表示するアイコン１３４（第３アイコン）が表示され、また、分析設定の内容がグラフィカルに表示される。第３画像領域１３０には、第２画像領域１２０において選択されているアイコン１２４（分析手法）に対応付けて登録されたアイコン１３４（元素及び電子軌道）が表示される。複数の元素が登録された場合には、対応する複数のアイコン１３４が横方向に配列して表示される。
【００４４】
ここで、第２画像領域１２０で登録された分析手法の種類によっては、第２画像領域１２０と第３画像領域１３０の間に、分析手法に特有の設定を行うための第４画像領域１４０が表示される。第４画像領域１４０の表示の有無や、第４画像領域１４０に表示される要素は、第２画像領域１２０で選択されている分析手法（アイコン１２４）の種類によって変化する。図３に示す例では、第２画像領域１２０において、分析手法の一つである「深さ方向分析」を示すアイコン１２４が選択されているため、エッチングを行う時間と回数（デプスプロファイル）の設定を行うための要素（ボタン等）が配置された第４画像領域１４０を表示している。
【００４５】
図４（Ａ）に示すように、分析位置が登録されていない初期状態においては、詳細操作部１０６には、第１画像領域１１０のみが表示されている。
【００４６】
ユーザが、ジョイスティック等の操作部を用いて分光分析装置１の試料ステージを移動・傾斜させて分析位置（試料ステージのＸ座標、Ｙ座標、Ｚ座標、傾斜角度）を決定した状態で、第１画像領域１１０のボタン１１２を選択する操作を行うと、図４（Ｂ）に示すように、そのときの分析位置を示すアイコン１１４が第１画像領域１１０に登録（表示）され、詳細操作部１０６に第２画像領域１２０が表示される。
【００４７】
続いて、ユーザが、第２画像領域１２０のボタン１２２を選択する操作を行うと、分析手法を選択するためのダイアログ１５０（図５（Ａ）参照）が表示部４０に表示される。
【００４８】
図５（Ａ）に示すように、ダイアログ１５０には、横軸に示される測定条件（定性測定、定量測定、化学状態測定、アンスキャン測定）と縦軸に示される分析モード（スペクトル測定、深さ方向分析、角度分解法、全反射ＸＰＳ、ライン測定、イメージ）の組み合わせ（分析手法）を示すアイコン１５２がマトリクス状に配列して表示される。なお、ダイアログ１５０には、実行可能な測定条件と分析モードの組み合わせを示すアイコン１５２のみが表示され、測定条件及び分析モード自体の制約から実行不能な組み合わせについては表示されない。また、分光分析装置１の状態（機器構成）に起因して実行不能な組み合わせについても表示されない。例えば、分光分析装置１に大型の試料ホルダが取り付けられているために当該試料ホルダの傾斜角度に制限がある場合には、図５（Ｂ）に示すように、ダイアログ１５０において、分析モードとして「角度分解法」を含む分析手法に係るアイコン１５２を表示しない。
【００４９】
測定条件及び分析モードのそれぞれにはプリセット値が設定されている。例えば、「定性測定」は、測定エネルギー範囲が広く、ステップエネルギーが大きい測定条件となっており、「定量測定」は、測定エネルギー範囲が狭く、ステップエネルギーが小さい測定条件となっている。例えば測定条件のプリセット値は、基本操作部１０２において所定の操作を行うことで表示されるダイアログ１６０（図６）内で変更することができる。
【００５０】
このように、ユーザが分析手法を選択する画面において、実行可能な測定条件と分析モ
ードの組み合わせを示すアイコンを表示することで、ユーザは、実行可能な分析手法（測定条件と分析モードの組み合わせ）を容易に理解して選択することができ、また分析手法にはプリセット値が設定されているため、一般的な測定（プリセット値をそのまま用いる測定）を行う場合であれば、目的の分析手法を示すアイコン１５２を選択するだけで分析手法を設定することができる。
【００５１】
ユーザが、ダイアログ１５０において分析手法（アイコン１５２）を選択する操作を行うと、図７（Ａ）に示すように、選択された分析手法を示すアイコン１２４が第２画像領域１２０に登録され、当該分析手法の詳細な設定を行うための第３画像領域１３０が表示される。ここでは、分析手法として「スペクトル測定／定性測定」が登録されたため、第３画像領域１３０には、「広域」を示すアイコン１３４のみが表示され、特定の元素及び電子軌道を登録することはできない。
【００５２】
図７（Ａ）に示す状態において、ユーザが、更に「深さ方向分析／定量測定」の分析手法を登録すると、図７（Ｂ）に示すように、「深さ方向分析／定量測定」を示すアイコン１２４が、「スペクトル測定／定性測定」を示すアイコン１２４の右隣りに表示され、また、第２画像領域１２０と第３画像領域１３０の間に、デプスプロファイルの設定を行うための第４画像領域１４０が表示される。なお、「角度分解法」或いは「全反射ＸＰＳ」を含む分析手法が登録された場合には、試料ステージの傾斜角度（Ｘ線の照射角度）等の設定を行うための第４画像領域１４０が表示され、「ライン測定」を含む分析手法が登録された場合には、試料ステージの移動方向等の設定を行うための第４画像領域１４０が表示され、「イメージ」を含む分析手法が登録された場合には、画素数や分解能等の設定を行うための第４画像領域１４０が表示される。
【００５３】
図７（Ｂ）に示す状態では、第３画像領域１３０には、元素及び電子軌道を示すアイコン１３４は表示されていない。この状態において、ユーザが、第３画像領域１３０のボタン１３２を選択する操作を行うと、元素を選択するためのダイアログ１７０（図８参照）が表示部４０に表示される。ユーザが、分析可能な元素を一覧表示するダイアログ１７０において、分析の対象とする元素を選択する操作を行うと、図９に示すように、選択された元素（及び電子軌道）を示すアイコン１３４が第３画像領域１３０に登録（表示）される。ここでは、元素として「Ｓｉ」が登録され、元素「Ｓｉ」の電子軌道としてプリセット値である「２ｐ３／２」が登録されている。ここで、ユーザが、アイコン１３４（登録された元素）を選択する操作（例えば、ダブルクリックする操作）を行うと、詳細設定を行うためのダイアログ１８０（図１０（Ａ）参照）が表示部４０に表示される。
【００５４】
ダイアログ１８０では、エネルギー分散中心やエネルギー分散幅、電子軌道等の設定を変更することができる。ユーザが、ダイアログ１８０においてボタン１８２を選択する操作を行うと、選択された元素に対応する電子軌道の一覧を表示するダイアログ１９０（図１０（Ｂ）参照）が表示部４０に表示される。ユーザは、ダイアログ１９０において任意の電子軌道を選択する操作を行うことで電子軌道を変更することができる。
【００５５】
このように、初期状態において、第１画像領域１１０に分析位置（アイコン１１４）が登録された場合に、第２画像領域１２０を表示して分析手法の登録を可能にし、第２画像領域１２０に分析手法（アイコン１２４）が登録された場合に、第３画像領域１３０を表示して詳細設定（元素の選択等）を可能にすることで、分析位置を決定した後に分析手法を決定し、その後に詳細な設定を行う、という分光分析を行う際の設定手順（操作手順）をユーザが容易に把握することができる。
【００５６】
ユーザは、登録した１つの分析位置で実行する分析手法として（登録した１つの分析位置に対応付けて）複数の分析手法を登録することができ、また、登録した１つの分析手法
で分析対象とする元素として（登録した１つの分析手法に対応付けて）複数の元素を登録することができる。すなわち、ユーザは、第１画像領域１１０において分析位置を示すアイコン１１４が選択された状態で、第２画像領域１２０に分析手法（アイコン１２４）を登録することで、当該分析位置に対応付けて当該分析手法を登録することができ、また、第２画像領域１２０において分析手法を示すアイコン１２４が選択された状態で、第３画像領域１３０に元素（アイコン１３４）を登録することで、当該分析手法に対応付けて当該元素を登録することができる。
【００５７】
図１１は、登録内容の階層構造を示す模式図である。図１１に示すように、第１階層には、登録された複数の分析位置が存在し、第２階層には、第１階層の分析位置のそれぞれに対応付けて登録された複数の分析手法が存在し、第３階層には、第２階層の分析手法のそれぞれに対応付けて登録された複数の分析設定（元素及び電子軌道）が対応付けられている。
【００５８】
第１階層の複数の分析位置は、第１画像領域１１０における複数のアイコン１１４に対応し、第２階層の複数の分析手法は、第２画像領域１２０における複数のアイコン１２４に対応し、第３階層の複数の分析設定は、第３画像領域１３０における複数のアイコン１３４に対応する。ただし、第２画像領域１２０には、第１画像領域１１０で選択されているアイコン１１４（分析位置）に対応するアイコン１２４（分析手法）のみが表示され、第３画像領域１３０には、第２画像領域１２０で選択されているアイコン１２４（分析手法）に対応するアイコン１３４（元素及び電子軌道）のみが表示される。このようにすると、ユーザは、分析位置と分析手法の対応関係、及び分析手法と分析設定の対応関係を容易に把握することができる。
【００５９】
また、第１画像領域１１０における複数のアイコン１１４の配列の順序は分析位置の測定順序を示し、第２画像領域１２０における複数のアイコン１２４の配列の順序は分析手法の測定順序を示し、第３画像領域１３０における複数のアイコン１３４の配列の順序は分析対象元素の測定順序を示している。すなわち、まず、１番目の分析位置（左端のアイコン１１４で示される分析位置）において、１番目の分析手法（左端のアイコン１２４で示される分析手法）に対応する１番目の元素（左端のアイコン１３４で示される元素）からＮ番目の元素（右端のアイコン１３４で示される元素）まで測定を行い、これを、２番目の分析手法からＮ番目の分析手法（右端のアイコン１２４で示される分析手法）まで繰り返し、２番目の分析位置からＮ番目の分析位置（右端のアイコン１１４で示される分析位置）についても同様に測定を繰り返す。
【００６０】
このように、第１画像領域１１０、第２画像領域１２０及び第３画像領域１３０におけるアイコンの配列順序に従って分光分析装置１に分析を実行させる制御を行うことで、ユーザは、各画像領域におけるアイコンの配列順序から分析の実行順序を容易に把握することができる。
【００６１】
なお、ユーザは、第１画像領域１１０、第２画像領域１２０及び第３画像領域１３０におけるアイコンの配列順序（実行順序）を変更することができる。例えば、第２画像領域１２０（図１２参照）では、ユーザは、ボタン１２５を選択する操作を行うことで、選択されたアイコン１２４ａを左方向に移動（左隣のアイコン１２４と順序を入れ替え）させ、ボタン１２６を操作することで、選択されたアイコン１２４ａを右方向に移動（右隣のアイコン１２４と順序を入れ替え）させることができる。
【００６２】
また、ユーザは、第２画像領域１２０及び第３画像領域１３０における登録内容をコピー、ペースト（貼り付け）することができる。例えば、第２画像領域１２０（図１２参照）では、ユーザは、ボタン１２８を選択する操作を行うことで、選択されたアイコン１２４ａの登録内容（分析手法と当該分析手法に対応付けて登録された元素（アイコン１３４）、当該分析手法に対応付けて設定されたプロファイル）をコピーし、ボタン１２９を選択する操作を行うことで、コピーされた登録内容をペーストすることができる。また、ユーザは、ボタン１２７を選択することで、第２画像領域１２０に表示された全てのアイコン１２４を選択することができる。例えば、ユーザは、ある分析位置に対応付けて登録した分析手法（及びその詳細設定）をコピーして、コピーした分析手法を他の分析位置に対応付けて登録することができる。
【００６３】
なお、本発明は、上述の実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【符号の説明】
【００６４】
１  分光分析装置、１０  制御装置、２０  処理部、２２  登録部、２４  表示制御部、２６  制御部、３０  操作部、４０  表示部、５０  記憶部、１００  設定画面、１０２
基本操作部、１０４  データ表示部、１０６  詳細操作部、１１０  第１画像領域、１１２  ボタン、１１４  アイコン、１２０  第２画像領域、１２２  ボタン、１２４  アイコン、１３０  第３画像領域、１３２  ボタン、１３４  アイコン、１４０  第４画像領域
【図１】
0006357381.tif 000002
【図２】
0006357381.tif 000003
【図３】
0006357381.tif 000004
【図４】
0006357381.tif 000005
【図５】
0006357381.tif 000006
【図６】
0006357381.tif 000007
【図７】
0006357381.tif 000008
【図８】
0006357381.tif 000009
【図９】
0006357381.tif 000010
【図１０】
0006357381.tif 000011
【図１１】
0006357381.tif 000012
【図１２】
0006357381.tif 000013