(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部において被処理体に対して真空処理が行われる処理容器に一端側が接続され、当該処理容器の内部を真空排気するためにｎ（ｎは２以上の整数）本の排気路が設けられ、これらｎ本の排気路の他端側に各々接続され、排気路ごとに個別に制御弁が設けられ、当該制御弁を制御する制御器が設けられ、前記処理容器内の圧力を検出する圧力検出手段が設けられた当該処理容器における排気路のコンダクタンスをマルチ制御する真空容器内圧力マルチ制御装置において、
排気路ごとに設けられ各一つの制御器が、弁開度信号伝達及び制御弁の制御機能で同一形態を有し、
制御器が順次数珠接続され、かつ各一つの制御器を備えたｎ本の排気路が、各別に識別する個体識別コード及びグループ分けがされたときのグループ識別コードを備え、
任意の制御器が、前記圧力検出手段で検出した圧力値に基づいて処理容器の弁開度信号を生成するマスター制御器として機能し、他の制御器が、マスター制御器から順次数珠接続に従って生成された弁開度信号が伝達されるスレイブ制御器として機能し、マスター制御器から末端のスレイブ制御器に向けて通信ラインが形成され、
・各一つの制御器を備えたｎ本の排気路についてグループ分けしたときの全グループ識別コードが選択されるモードのときに、全スレイブ制御器が、マスター制御器からの順次数珠接続で伝達された、生成された弁開度信号によって制御され、
・各一つの制御器を備えたｎ本の排気路についてグループ分けしたときのグループ識別コードが選択されるモードのときに、選択されたグループのスレイブ制御器が、マスター制御器からの順次数珠接続で伝達された、生成された弁開度信号によって制御され、選択された他のグループのスレイブ制御器が、マスター制御器からの順次数珠接続で伝達された、個別の生成された弁開度信号によって個別に制御され、
・グループ分けしたときの個体識別コードが選択されたモードのときに、全スレイブ制御器が、マスター制御器からの順次数珠接続で達された、個別の生成された弁開度信号によって個別に制御されること
を特徴とする真空容器内圧力マルチ制御装置。
【請求項２】
内部において被処理体に対して真空処理が行われる処理容器に一端側が接続され、当該処理容器の内部を真空排気するためにｎ（ｎは２以上の整数）本の排気路が設けられ、これらｎ本の排気路の他端側に各々接続され、排気路ごとに個別に制御弁が設けられ、当該制御弁を制御する制御器が設けられ、前記処理容器内の圧力を検出する圧力検出手段が設けられた当該処理容器における排気路のコンダクタンスをマルチ制御する処理容器内圧力マルチ制御装置において、
排気路ごとに設けられ各制御器が、弁開度信号伝達機能及び制御弁の制御機能で同一形態を有し、
任意の制御器が、前記圧力検出手段で検出した圧力値に基づいて処理容器の弁開度信号を生成するマスター制御器として機能し、他の制御器が、マスター制御器から順次数珠接続で伝達された、生成された弁開度信号が伝達されるスレイブ制御器として機能し、マスター制御器から末端のスレイブ制御器に向けて通信ラインが形成され、
マスター制御器が、全スレイブのあるいはグループ化された制御器に共通に伝達される弁開度信号を生成し、及び全スレイブのあるいはグループ化された制御器に個別に伝達される弁開度信号を生成し、スレイブ制御器が、共通の生成された弁開度信号及び個別に生成された弁開度信号からなる弁開度信号の内のいずれかの弁開度信号で制御されること
を特徴とする真空容器内圧力マルチ制御装置。
【請求項３】
内部において被処理体に対して真空処理が行われる処理容器に一端側が接続され、当該処理容器の内部を真空排気するためにｎ（ｎは２以上の整数）本の排気路が設けられ、これらｎ本の排気路の他端側に各々接続され、排気路ごとに個別に制御弁が設けられ、当該制御弁を制御する制御器が設けられ、前記処理容器内の圧力を検出する圧力検出手段が設けられた当該処理容器における排気路のコンダクタンスをマルチ制御する処理容器内圧力マルチ制御装置において、
排気路ごとに設けられ各制御器が、弁開度信号伝達機能及び制御弁の制御機能で同一形態を有し、
任意の制御器が、前記圧力検出手段で検出した圧力値に基づいて処理容器の弁開度信号を生成するマスター制御器として機能し、他の残りの制御器が、マスター制御器から順次数珠接続で伝達された、生成された弁開度信号によって制御されるスレイブ制御器として機能し、マスター制御器から末端のスレイブ制御器に向けて通信ラインが形成され、
マスター制御器と全スレイブ制御器とに組み合わせが複数個設定可能とされ、
ｎ本の制御弁の開度を操作する操作モードを有して、該操作モードを選択する選択手段を備えて、選択された操作モードごとに、マスター制御器とスレイブ制御器との組み合わせを１個設定し、スレイブ制御器に、設定された操作モードに基づいて、共通の生成された弁開度信号及び個別の生成された弁開度信号のいずれかの弁開度信号を伝達すること
を特徴とする真空容器内圧力マルチ制御装置による真空容器内圧力マルチ制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空容器内圧力マルチ制御装置及び真空容器内圧力マルチ制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＬＣＤ（液晶デイスプレイ）基板等のパネルデイスプレイ基板の製造工程においては、減圧雰囲気下で被処理体にエッチング処理や成膜処理等の所定の真空処理がなされる。パネルデイスプレイ基板の大型化に伴い、装置も大型化しており、真空チャンバすなわち処理容器内に大流量の処理ガスを供給しながら、大きな排気能力が求められる。このたに、１つの処理容器に多数の排気路が設けられる。処理容器が大容量であると、１台の制御弁で圧力制御すると、処理容器内の圧力値が不均一になるが、多数の排気路を設けることで処理容器内の圧力値を均一化することが試みられてきた。【０００３】
特許文献１には、処理容器にｎ本の排気路を接続し、排気路ごとに個別に真空排気手段を設け、１台のコントローラで排気路のコンダクタンスを制御する真空処理装置が記載されている。【０００４】
特許文献２には、排出路にそれぞれ流体制御用機器を設け、排出路に圧力検出手段を設けて、この圧力検出手段で検出された圧力で、流体制御用機器のそれぞれを、一括、個別又はグループ別のいずれかによっても制御できるようにした制御システムが記載されている。【０００５】
特許文献３には、マスター弁とスレイブ弁の集合とをデイジタル・ネットワークを通じて結合したシステムが記載されている。【０００６】
特許文献４には、マスター制御部からスレイブ制御部へデータを伝送するためのダウンリングとスレイブ制御部からマスター制御部へデータを伝送するためのアップリングが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特許第５３２２２５４号公報
【特許文献２】特許第３３０１０４２号公報
【特許文献３】特許第５１２３２８６号公報
【特許文献４】特許第６０５１５４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上述した特許文献に示されるように、大容量の処理容器に複数の排気路を接続し、排気路の圧力を検出して各制御器で制御弁をマルチ形態で制御することが知られ、またマスター弁とスレイブ弁の集合とをデイジタル・ネットワークを通じて結合することが知られ、マスター制御部からスレイブ制御部へデータを伝送するためのダウンリングとスレイブ制御部からマスター制御部へデータを伝送するためのアップリング手法が知られている。【０００９】
これらの手段によれば、各制御器で制御弁をマルチ形態で制御することができ、マスター弁とスレイブ弁の集合とを結合することによって、排気路ごとに圧力検出器を設けることなく、検出された圧力によってそれぞれに制御信号を生成することが必要でなくなり、制御の仕方が簡便化された。【００１０】
真空容器内圧力マルチ制御装置あるいは真空容器内圧力マルチ制御方法は、いくつもの制御対象がなく、単一の処理容器内の圧力を制御する。マスター弁とスレイブ弁の集合とを結合するに当たって、マスター弁とスレイブ弁の集合との結合を固定化して画一的な制御を行うのではなく、処理装置の大きさ、内部の形態あるいは顧客の要求形態に対応したマスター弁とスレイブ弁の集合との結合を柔軟な汎用性のある態様とすることが求められ、多様な要求対応に迅速に順応できるようにしておくことが求められる。【００１１】
マスター弁の移動とスレイブ弁の移動との間に、ネットワークあるいは制御のためのその他の装置を介在させるシステム構成とすることなく、また通信ラインを簡便化することで、マスターとスレイブとの関係が十分に活用された、真空容器内圧力マルチ制御装置あるいは真空容器内圧力マルチ制御方法に適した構成が求められる。【００１２】
本発明は、かかる点に鑑みマスター弁制御の制御器とスレイブ弁制御の制御器の集合の結合との間にネットワークあるいは制御のためのその他の装置を介在させることなく、また通信ラインを簡便化することで、マスターとスレイブとの関係が活用され、マスター弁とスレイブ弁の集合とを結合するに当たって、画一的な制御を行うのではなく、処理装置の大きさ、内部の形態あるいは顧客の要求形態に対応したマスター弁とスレイブ弁の集合との結合となし、多様な要求対応に迅速に順応できるようにして、真空容器内圧力マルチ制御装置あるいは真空容器内圧力マルチ制御方法に適した構成を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、内部において被処理体に対して真空処理が行われる処理容器に一端側が接続され、当該処理容器の内部を真空排気するためにｎ（ｎは２以上の整数）本の排気路が設けられ、これらｎ本の排気路の他端側に各々接続され、排気路ごとに個別に制御弁が設けられ、当該制御弁を制御する制御器が設けられ、前記処理容器内の圧力を検出する圧力検出手段が設けられた当該処理容器における排気路のコンダクタンスをマルチ制御する処理容器内圧力マルチ制御装置あるいは真空容器内圧力マルチ制御方法に関する。【００１４】
本発明は、内部において被処理体に対して真空処理が行われる処理容器に一端側が接続され、当該処理容器の内部を真空排気するためにｎ（ｎは２以上の整数）本の排気路が設けられ、これらｎ本の排気路の他端側に各々接続され、排気路ごとに個別に制御弁が設けられ、当該制御弁を制御する制御器が設けられ、前記処理容器内の圧力を検出する圧力検出手段が設けられた当該処理容器における排気路のコンダクタンスをマルチ制御する真空容器内圧力マルチ制御装置において、
排気路ごとに設けられ各一つの制御器が、弁開度信号伝達及び制御弁の制御機能で同一形態を有し、
制御器が順次数珠接続され、かつ各一つの制御器を備えたｎ本の排気路が、各別に識別する個体識別コード及びグループ分けがされたときのグループ識別コードを備え、
任意の制御器が、前記圧力検出手段で検出した圧力値に基づいて処理容器の圧力制御信号を生成するマスター制御器として機能し、他の制御器が、マスター制御器から順次数珠接続に従って生成された圧力制御信号あるいはこれと等価の弁開度信号（以下、弁開度信号という。）が伝達されるスレイブ制御器として機能し、マスター制御器から末端のスレイブ制御器に向けて通信ラインが形成され、
・各一つの制御器を備えたｎ本の排気路についてグループ分けしたときの全グループ識別コードが選択されるモードのときに、全スレイブ制御器が、マスター制御器からの順次数珠接続で伝達された、生成された弁開度信号によって制御され、
・各一つの制御器を備えたｎ本の排気路についてグループ分けしたときのグループ識別コードが選択されるモードのときに、選択されたグループのスレイブ制御器が、マスター制御器からの順次数珠接続で伝達された、生成された圧力制御信号によって制御され、選択された他のグループのスレイブ制御器が、マスター制御器からの順次数珠接続で伝達された、個別の生成された弁開度信号によって個別に制御され、
・グループ分けしたときの個体識別コードが選択されたモードのときに、全スレイブ制御器が、マスター制御器からの順次数珠接続で伝達された、個別に生成された弁開度信号によって個別に制御されること
を特徴とする真空容器内圧力マルチ制御装置を提供する。【００１５】
本発明は、内部において被処理体に対して真空処理が行われる処理容器に一端側が接続され、当該処理容器の内部を真空排気するためにｎ（ｎは２以上の整数）本の排気路が設けられ、これらｎ本の排気路の他端側に各々接続され、排気路ごとに個別に制御弁が設けられ、当該制御弁を制御する制御器が設けられ、前記処理容器内の圧力を検出する圧力検出手段が設けられた当該処理容器における排気路のコンダクタンスをマルチ制御する処理容器内圧力マルチ制御装置において、
排気路ごとに設けられ各制御器が、弁開度信号伝達機能及び制御弁の制御機能で同一形態を有し、
任意の制御器が、前記圧力検出手段で検出した圧力値に基づいて処理容器の圧力制御信号を生成するマスター制御器として機能し、他の制御器が、マスター制御器から順次数珠接続で伝達された、生成された弁開度信号が伝達されるスレイブ制御器として機能し、マスター制御器から末端のスレイブ制御器に向けて通信ラインが形成され、
マスター制御器が、全スレイブのあるいはグループ化された制御器に共通に伝達される弁開度信号を生成し、及び全スレイブのあるいはグループ化された制御器に個別に伝達される弁開度信号を生成し、スレイブ制御器が、共通の生成された弁開度信号及び個別の生成された弁開度信号からなる弁開度信号の内のいずれかの弁開度信号で制御されること
を特徴とする真空容器内圧力マルチ制御装置を提供する。【００１６】
本発明は、内部において被処理体に対して真空処理が行われる処理容器に一端側が接続され、当該処理容器の内部を真空排気するためにｎ（ｎは２以上の整数）本の排気路が設けられ、これらｎ本の排気路の他端側に各々接続され、排気路ごとに個別に制御弁が設けられ、当該制御弁を制御する制御器が設けられ、前記処理容器内の圧力を検出する圧力検出手段が設けられた当該処理容器における排気路のコンダクタンスをマルチ制御する処理容器内圧力マルチ制御装置において、
排気路ごとに設けられ各制御器が、弁開度信号伝達機能及び制御弁の制御機能で同一形態を有し、
任意の制御器が、前記圧力検出手段で検出した圧力値に基づいて処理容器の圧力制御信号を生成するマスター制御器として機能し、他の残りの制御器が、マスター制御器から順次数珠接続で伝達された、生成された弁開度信号によって制御されるスレイブ制御器として機能し、マスター制御器から末端のスレイブ制御器に向けて通信ラインが形成され、
マスター制御器と全スレイブ制御器とに組み合わせが複数個設定可能とされ、
ｎ本の制御弁の開度を操作する操作モードを有して、該操作モードを選択する選択手段を備えて、選択された操作モードごとに、マスター制御器とスレイブ制御器との組み合わせを１個設定し、スレイブ制御器に、設定された操作モードに基づいて、共通の生成された弁開度信号及び個別の生成された弁開度信号のいずれかの弁開度信号を伝達すること
を特徴とする真空容器内圧力マルチ制御装置による真空容器内圧力マルチ制御方法を提供する。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、マスター制御器と全スレイブ制御器とに組み合わせが複数個設定可能とされ、
ｎ本の制御弁の開度を操作する操作モードを有して、該操作モードを選択する選択手段を備えて、選択された操作モードごとに、マスター制御器とスレイブ制御器との組み合わせを１個設定し、スレイブ制御器に、設定された操作モードに基づいて、共通の生成された弁開度信号及び個別の生成された弁開度信号のいずれかの弁開度信号を伝達することができる。【００１８】
これによって、マスター弁制御の制御器とスレイブ弁制御の制御器の集合の結合との間にネットワークあるいは制御のためのその他の装置を介在させることなく、また通信ラインを簡便化することで、マスターとスレイブとの従属関係が活用され、マスター弁とスレイブ弁の集合とを結合するに当たって、画一的な制御を行うのではなく、処理装置の大きさ、内部の形態あるいは顧客のニーズ形態に対応したマスター弁とスレイブ弁の集合との結合となし、多様な要求対応に迅速に順応できるようにして、真空容器内圧力マルチ制御装置あるいは真空容器内圧力マルチ制御方法に適した構成が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施例が適用される既知の一般的な基板処理システムの概略構成を示す図
【図２】本発明の実施例の概略構成を示す図
【図３】図２に示した概念をより一層に具体的な構成で示す図
【図４】真空容器内圧力マルチ制御装置におけるマルチ制御を操作モードで表した図
【図５】マスター弁及びスレイブ弁に識別コードを付し、操作モードに対応して識別コードを選択できるようにした例を示す図
【図６】各制御器が有する機能と、機能選択を実行する図
【発明を実施するための形態】
【００２０】
図１は、本発明の実施例が適用される既知の一般的な基板処理システムの概略構成を示す図である。
【００２１】
図１は、搬送されてきた基板２２０、例えば半導体基板あるいは液晶基板を処理する、既知の一般的な基板処理システム２００を示し、この基板処理システム２００は、上流側から下流側に向けてプロセス処理前の上流側のロードロックチャンバ２０１、プロセスチャンバ２０２及びプロセス処理後の下流側のロードロックチャンバ２０３を備える。上流側のロードロックチャンバ２０１の入口部にドアバルブ２０４が設けられ、上流側のロードロックチャンバ２０１とプロセスチャンバ２０２との間及びプロセスチャンバ２０２と下流側のロードロックチャンバ２０３との間にはゲートバルブ２０５，２０６が設けられる。プロセスチャンバ２０２には複数台の圧力制御バルブ２１０及び複数台の圧力制御バルブ２１０に対応して複数台の真空ポンプ２３３が設けられる。
【００２２】
双方のロードチャンバ２０１，２０３には、真空ポンプ２３１，２３２が備えられ、真空ポンプ２３１，２３２に組み合わせて真空弁２３３，２３４が設けられる。この真空弁２３３，２３４は、開閉のみの操作がなされる。ドアバルブ２０４，２０７は、ゲートバルブとして取り扱うことができる。
【００２３】
ロードロックチャンバ２０１，２０３及びトランスチャンバ２０２は、基板２２０の処理のために真空ポンプ２３１，２３２，２３３によって真空処理され、各チャンバについて一定の処理がなされる。圧力制御バルブ２１０が制御されてチャンバ内の圧力制御がなされる。
【００２４】
双方のロードロックチャンバ２０１，２０３、プロセスチャンバ２０２には、それぞれ圧力計２４１，２４２，２４３が付属される。
【００２５】
図１に示される基板処理システム１００において、本発明は、プロセスチャンバ２０２に設けられた複数台の圧力制御バルブ２１０及び複数台の圧力制御バルブ２１０に対応して設けられた複数台の真空ポンプ２１３についてのマルチ制御に関する。
【００２６】
図２において、真空容器内圧力マルチ制御装置１００を備える。真空容器内圧力マルチ制御装置１００は、プロセスチャンバ内部における圧力制御をマルチに実行する。本例の場合、プロセスチャンバは、真空容器としての処理容器（プロセスチャンバProcess chamber）１となる。
【００２７】
真空容器としての処理容器（Process chamber）１（図１におけるプロセスチャンバー２０２に対応する）に一端側が接続され、当該処理容器の内部を真空排気するためにｎ（ｎは２以上の整数）本の排気路が設けられ、これらｎ本の排気路の他端側に各々接続され、排気路ごとに個別に制御弁（Valve）２（図１における圧力制御バルブ２１０に対応する）が設けられ、当該制御2弁を制御する制御器（Controller）3が設けられ、前記処理容器内の圧力を検出する圧力検出手段としてのGauge４が設けられた当該真空処理容器1における排気路のコンダクタンスをマルチ制御する真空容器内圧力マルチ制御装置として構成される。以下、排気路ごとに設けられた制御弁２の機能について言及するとき、制御弁２の内、マスター制御器によって制御される制御弁をマスター弁と称し、スレイブ制御器によって制御される制御弁をスレイブ弁と称する。
【００２８】
真空容器内圧力マルチ制御装置１００において、排気路ごとに設けられ各一つの制御器３が、構造構成が同一形態とされ、圧力制御信号伝達機能（すなわち、弁開度信号伝達機能）及び処理容器内の圧力を制御する制御弁２の制御機能で同一形態を有する。
【００２９】
この形態によって、任意の制御器３が、マスター制御器３１として機能し、圧力制御信号を生成し他の全制御器３２，３３，３４，３５，３６，---（Ｎ）が、マスター制御器３１から順次数珠接続（Daisy chain）に従って、生成された圧力制御信号の伝達を受けるスレイブ制御器として機能する。
【００３０】
数珠接続は、制御器３１，３２，３３，３４，３５，３６，---（Ｎ）を、例えばCommunication cable４０によって直列接続することを意味する。マスター制御器３１は、生成された圧力制御信号でマスター弁（Master valve）４１を制御し、スレイブ制御器３２，３３，３４，３５，３６、---（Ｎ）は、生成された圧力制御信号でそれぞれスレイブ弁（Slave valve）４２，４３，４４，４５，４６，---（Ｎ）を制御する。
【００３１】
排気路ごとに設けられ各一つの制御器が、圧力制御信号伝達及び制御弁の制御機能で同一形態を有する。マスター制御器３１は、ＰＬＣ（Programmable Logic Controller）５０に接続されて、圧力検出手段で検出した圧力値、目標とする処理容器内の圧力値を入力する。マスター制御器から末端のスレイブ制御器に向けて通信ラインが形成される。
マスター制御器３１が接続される上位制御装置は、PLCに限定されるものではなく
他の制御コントローラなどを用いる場合もある。
【００３２】
したがって、本例では、３１で示す制御器がマスター制御器として機能する構成としたが、３２，３３，３４，３５，３６，---（Ｎ）で示されるいずれかの制御器をマスター制御器とすることができ、その他の制御器をスレイブ制御器とすることができる。
【００３３】
図３は、図２に示した概念をより具体的な構成で示す図である。
【００３４】
図３に示されるように、制御器３１，３２，３３，３４，３５，３６，---（Ｎ）、及びマスター弁４１、スレイブ弁４２，４３，４４，４５，４６，---（Ｎ）は、同一の構造構成を有する。
【００３５】
全制御器が順次数珠接続され、かつ各一つの制御器を備えたｎ本の排気路が、各別に識別する個体識別コード及びグループ分けがされたときのグループ識別コードを備える。
【００３６】
任意の制御器が、前記圧力検出手段で検出した圧力値に基づいて処理容器の圧力制御信号を生成するマスター制御器として機能し、他の制御器が、マスター制御器から順次数珠接続に従って生成された圧力制御信号が伝達されるスレイブ制御器として機能する。
【００３７】
マスター制御器から末端のスレイブ制御器に向けて通信ラインが形成される。末端のスレイブ制御器まで、生成された圧力制御信号が伝達される。
【００３８】
図３では、マスター制御器３１をAPCコントローラ（Master）と表示し、スレイブ制御器３２，３３，３７をAPCコントローラ（Slave 1）、APCコントローラ（Slave 2）として順次APCコントローラ（Slave 7）表示してあり、各制御器が、マスター制御器で生成された圧力制御信号によって同一に制御可能であることが示される。
【００３９】
図３において、各制御器３１，３２，３３，３４，３５，３６，---（Ｎ）は、PLC５０に接続可能な入口部としてのＩ/Ｏ（５１）、COM1（５２）、COM2（５３）、制御弁２に接続可能な接続孔であるVALVE ５４、電源に接続可能な接続孔であるPower５５を有して、これらの部分が基板６１，６２，６３，---（Ｍ）上に形成されている。また、基板６１，６２，６３，---（Ｍ）に、Gauge4に接続可能な接続孔であるGauge７１，７２，７３，---（Ｍ’）が形成される。
【００４０】
これらのＩ/Ｏ（５１）、COM1（５２）、COM1（５３）、 接続孔であるVALVE ５４、接続孔であるPower５５及びいずれかのGauge接続孔７１，７２，７３，---（Ｍ’）構成を備えた基板６１，６２，６３，---（Ｍ）は同一の構造、形状に形成され、どの基板をスレイブ制御器にするかは、任意なものとなる。
【００４１】
本例では、マスター制御器３１の基板６１に設けられたGauge７１のみが使用される。
【００４２】
Power５５には、それぞれ電源５９が接続される。排気路は、最大１５まで接続可能で、各排気路に制御弁２が設置され、スレイブ制御器３は、最大１４台まで並置される。マスター制御器を入れると、最大１５台までが並置して数珠接続される。
【００４３】
マスター制御器として機能するようにされた任意の制御器は、PLCから必要なデータを入力して、スレイブ制御器を制御するための圧力制御信号を生成する。このため、各制御器は、圧力制御信号を生成するに十分な演算処理能力を持つ。演算され生成された圧力制御信号は、通信ライン４０を介してマスター制御器から順次数珠接続に従ってスレイブ制御器に伝達され、各制御弁の開度が設定される。通信ライン４０は、矢印で示すように、双方向に信号を伝達する。
【００４４】
生成される圧力制御信号の典型的な信号は、弁の開度信号である。したがって、マスター制御器は、各弁の開度を計算し、計算されたデータである弁開度信号が生成された圧力制御信号として、通信ライン４０を介してスレイブ制御器に伝達される。スレイブ制御器からみれば、マスター制御器で生成された圧力制御信号が順次に伝達される。圧力制御信号は、等価の弁開度信号に置換可能である。以下、弁開度信号を用いて説明する。よって、スレイブ制御器からみれば、マスター制御器で生成された弁開度信号が順次に伝達される。
【００４５】
Gauge４によって、処理容器内の圧力状態が検知され、検知データは、マスター制御器３１に入力され、処理のために使用される。
【００４６】
このように、真空容器内圧力マルチ制御装置が、PLC５０を備え、PLC５０が、入力された指令に従ってPLC５０に接続させた任意の制御器をマスター制御器として機能させ、他の制御器を、マスター制御器から順次数珠接続によって、生成された圧力制御信号が伝達されるスレイブ制御器として機能させる。
【００４７】
動作からみると、Slave valveがMaster valveに追従７０することになる。
【００４８】
PLC５０からのコントロール方法は、RS232 Command、Analog DC入出力によるLinear controlとHi/Lo信号による入出力対応でなされる。
【００４９】
図４は、真空容器内圧力マルチ制御装置におけるマルチ制御を操作モードで表した図である。複数の操作モードが設定されることで、各種のマルチ制御が可能となる。
【００５０】
図４において、操作モードとして、e.g.-１，e.g.-２，e.g.-３，e.g.-４が設定されたことを示す。  e.g.-１，e.g.-２，e.g.-３，e.g.-４の４つに限定されない。
【００５１】
操作モードe.g.-１の場合、マスター機能を有するマスター制御器３１が、弁開度信号を生成して、生成された弁開度信号指令を発する。この指令が、通信ライン４０を介してスレイブ制御器３２，３３，３４，３５，３６，---（Ｎ）に順次伝達される。
【００５２】
生成された圧力制御信号の指令を受けたスレイブ制御器３２，３３，３４，３５，３６，---（Ｎ）は、マスター制御器３１にほぼ同期して制御信号を受け、隣接する制御器にほぼ同期して伝達された、生成された弁開度信号の指令を伝達することができる。ここでは、Synchronized by a master Valve (SMV)として表現した。マスター制御器３１及びスレイブ制御器３２，３３，３４，３５，３６，---（Ｎ）は、各制御弁４を、マスター制御器３１からの生成された圧力制御信号、すなわち開度指令によって、開度位置設定点に駆動する。
【００５３】
マスター制御器３１によるマスター弁の移動とスレイブ制御器３２，３３，３４，３５，３６，---（Ｎ）によるスレイブ弁の移動との間の時間差は、５０ｍｓ以内、通常２０ｍｓ以内で極めて小さく、ここでは、同期制御 (SMV)として表現した。したがって、この実施例で、同期制御されるとは、通常の極めて小さな期間差内で作動制御される場合を指す。
【００５４】
大容量の処理容器１に対し、マスター制御器３１の１台とスレイブ制御器３２，３３，３４，３５，３６，---（Ｎ）の１４台の最大１５台を用いて、開度位置制御、圧力制御の同期制御が達成される。
【００５５】
操作モードe.g.-２、操作モードe.g.-３は、専用Hold Commandにより任意のスレイブ弁のみを任意の弁開度位置に開度位置制御をした場合のモードを示す。
【００５６】
操作モードe.g.-２は、スレイブ弁４２が個別Close 制御、スレイブ弁４３がSMV、スレイブ弁４４が個別Close 制御、スレイブ弁４５がSMV制御される場合を示す。
【００５７】
操作モードe.g.-３にあっては、スレイブ弁４２が個別開度位置制御された５０％OPEN、スレイブ弁４３がSMV、スレイブ弁４４がSMV、スレイブ弁４５が個別開度位置制御された３０％OPEN  制御される場合を示す。どのスレイブ弁について、SMV、個別開度位置制御された５０％OPEN 、個別開度位置制御された３０％OPEN にするかは、処理容器の個性あるいは利用者のニーズに依存して定められる。
【００５８】
操作モードe.g.-４は、専用Hold Commandを入力することで全スレイブ弁を独立させ、任意の弁開度位置に開度位置制御をした場合のモードを示す。
【００５９】
操作モードe.g.-４にあっては、マスター弁４１、スレイブ弁４２、スレイブ弁４３、スレイブ弁４４、スレイブ弁４５が個別に生成された弁開度信号によって制御される。
【００６０】
本実施例によれば、スレイブ弁の個別動作が可能とされる。
【００６１】
処理容器は、内部機器の構成、配置にそれぞれ個性を有しており、内部圧力を制御する時にそれぞれ個性のある制御が求められる。事前に各処理容器の個性を把握することで、個性に対応した制御方法が採用される。  真空容器内圧力マルチ制御装置あるいは真空容器内圧力マルチ制御方法は、操作モードを選択する選択手段を備えて、スレイブ制御器を制御する弁開度信号を共通の生成された弁開度信号及び個別の生成された弁開度信号のいずれかに特定することで構成することができる。
【００６２】
図４では、操作モードe.g.-１から操作モードe.g.-４を示したが、操作モードe.g.-２、操作モードe.g.-３については、適宜変形することができる。
【００６３】
真空容器内圧力マルチ制御装置あるいは真空容器内圧力マルチ制御方法は、
圧力制御信号が、マスター制御器からスレイブ制御器に、共通の生成された弁開度信号及び個別の生成された弁開度信号のいずれも伝達可能とされ、マスター制御器が、共通の生成された弁開度信号及び個別の生成された弁開度信号からなる圧力制御信号の内のいずれかの弁開度信号で制御される。
【００６４】
図５は、マスター弁及びスレイブ弁に識別コードを付し、操作モードに対応して識別コードを選択できるようにした例を示す図である。
【００６５】
PLCにこれらの操作モードを格納しておいて、どの操作モードを採用するかを簡便化するために、操作モードに対応して、スレイブ弁４４、スレイブ弁４５に個体識別コード及びグループ分けがされたときのグループ識別コードを備えるようにすることができる。操作モードe.g.-１〜操作モードe.g.-３の場合に、グループ識別コードを備えるようになし、操作モードe.g.-４の場合に個体識別コードを備えるようにする。このようにコードを設定することで、選択方向Ａ，選択方向Ｂについて任意に選択して操作モードを設定することができる。識別コードの付与の仕方は、上述した仕方に限定されない。
【００６６】
図６は、各制御器が有する機能と、機能選択を実行する図である。
【００６７】
上述したように、排気路ごとに設けられ各一つの制御器３が、弁開度信号伝達機能及び処理容器内の圧力を制御する制御弁２の制御機能で同一形態を有する。これらの機能が、操作モードに対応して自動選択され、図４に示される各種の制御がなされる。
【００６８】
操作モードe.g.-１〜操作モードe.g.-３の場合に、弁開度信号伝達機能によってマスター制御器３１からの弁開度信号は、数珠接続で順次に伝達される。
【００６９】
操作モードe.g.-２、操作モードe.g.-３の場合にあっても、弁開度信号伝達機能によってマスター制御器３１からの弁開度信号は、数珠接続で順次に伝達される。これらの場合には、スレイブ弁の制御は、設定された操作モードによってそれぞれ設定される。
操作モードe.g.-４にあっても、弁開度信号伝達機能によってマスター制御器３１から生成された弁開度信号は、数珠接続で順次に伝達されるが、弁開度信号は、取得されずに、伝達された、生成された個別の弁開度信号による操作モードで制御される。
【００７０】
制御器が順次数珠接続され、かつ各一つの制御器を備えたｎ本の排気路が、各別に識別する個体識別コード及びグループ分けがされたときのグループ識別コードを備え、
ｎ本の排気路に操作モードが設定され、操作モードに対応して、ｎ本にそれぞれ設定された制御器に備えられた個体識別コード及びグループ識別コードが選択特定され、各制御器によって制御弁を制御することができる。
【００７１】
この図では、すべてのスレイブ弁が数珠接続される例について説明したが、いくつかのスレイブ弁については、数珠接続することなく、独立して操作されるようにされてもよい。このような場合、本実施例は、複数の制御器が数珠接続された場合の制御に関する。
【００７２】
このように、任意の制御器が、前記圧力検出手段で検出した圧力値に基づいて処理容器の圧力制御信号を生成する上位のPLCに接続されて、マスター制御器として機能し、他の残りの制御器が、マスター制御器から順次数珠接続に従って伝達された弁開度信号を追従伝達され、追従伝達するスレイブ制御器として機能し、
・各一つの制御器を備えたｎ本の排気路についてグループ分けしたときの全グループ識別コードが選択されるモードのときに、全スレイブ制御器が、マスター制御器からの順次数珠接続で伝達された、生成された弁開度信号によって制御され、
・各一つの制御器を備えたｎ本の排気路についてグループ分けしたときのグループ識別コードが選択されるモードのときに、選択されたスレイブ制御器が、マスター制御器からの順次数珠接続に従って伝達された、生成された弁開度信号によって制御され、
・グループ分けしたときの個体識別コードが選択されたモードのときに、全制御器が、個別の生成された弁開度信号によって個別に制御される。
【００７３】
また、ＰＬＣを備え、該ＰＬＣが、ＰＬＣに接続させた任意の制御器をマスター制御器として機能させ、他の制御器をスレイブ制御器として機能させる。
【００７４】
複数の操作モードを設定し、設定された操作モードに対応してマスター制御器とスレイブ制御器との組み合わせを複数設定することができる。
【００７５】
ｎ本の排気路に設けられた制御器の組み合わせに、入力された操作信号に基づいて操作モードを設定させ、操作モードに対応して、各制御器に制御弁を制御させる真空容器内圧力マルチ制御方法が形成される。
【００７６】
本実施例によれば、次のような構成が提供される。
【００７７】
排気路ごとに設けられ各一つの制御器が、弁開度信号伝達及び制御弁の制御機能で同一形態を有する。
【００７８】
制御器が順次数珠接続され、かつ各一つの制御器を備えたｎ本の排気路が、各別に識別する個体識別コード及びグループ分けがされたときのグループ識別コードを備える。
【００７９】
任意の制御器が、前記圧力検出手段で検出した圧力値に基づいて処理容器の弁開度信号を生成するマスター制御器として機能し、他の制御器が、マスター制御器から順次数珠接続に従って生成された弁開度信号が伝達されるスレイブ制御器として機能し、マスター制御器から末端のスレイブ制御器に向けて通信ラインが形成される。
【００８０】
・各一つの制御器を備えたｎ本の排気路についてグループ分けしたときの全グループ識別コードが選択されるモードのときに、全スレイブ制御器が、マスター制御器からの順次数珠接続で伝達された、生成された弁開度信号によって制御される。
【００８１】
・各一つの制御器を備えたｎ本の排気路についてグループ分けしたときのグループ識別コードが選択されるモードのときに、選択されたグループのスレイブ制御器が、マスター制御器からの順次数珠接続で伝達された、生成された弁開度信号によって制御され、選択された他のグループのスレイブ制御器が、マスター制御器からの順次数珠接続で伝達された、個別の生成された弁開度信号によって個別に制御される。
【００８２】
・グループ分けしたときの個体識別コードが選択されたモードのときに、全スレイブ制御器が、マスター制御器からの順次数珠接続で達された、個別の生成された弁開度信号によって個別に制御される。
【００８３】
また、次に示す真空容器内圧力マルチ制御装置あるいは真空容器内圧力マルチ制御方法が構成される。
【００８４】
マスター制御器が、全スレイブのあるいはグループ化された制御器に共通に伝達される圧力制御信号を生成し、及び全スレイブのあるいはグループ化された制御器に個別に伝達される弁開度信号を生成し、スレイブ制御器が、共通の生成された弁開度信号及び個別の生成された弁開度信号からなる圧力制御信号の内のいずれかの弁開度信号で制御される。
【００８５】
マスター制御器と全スレイブ制御器とに組み合わせが複数個設定可能とされる。
【００８６】
ｎ本の制御弁の開度を操作する操作モードを有して、該操作モードを選択する選択手段を備えて、選択された操作モードごとに、マスター制御器とスレイブ制御器との組み合わせを１個設定し、スレイブ制御器に、設定された操作モードに基づいて、共通の生成された弁開度信号及び個別の生成された弁開度信号のいずれかの弁開度信号を伝達する。
【００８７】
本実施例によれば、マスター制御器と全スレイブ制御器とに組み合わせが複数個設定可能とされる。
【００８８】
ｎ本の制御弁の開度を操作する操作モードを有して、該操作モードを選択する選択手段を備えて、選択された操作モードごとに、マスター制御器とスレイブ制御器との組み合わせを１個設定し、スレイブ制御器に、設定された操作モードに基づいて、共通の生成された弁開度信号及び個別の生成された弁開度信号のいずれかの弁開度信号を伝達することができる。
【００８９】
これによって、マスター弁制御の制御器とスレイブ弁制御の制御器の集合の結合との間にネットワークあるいは制御のためのその他の装置を介在させることなく、また通信ラインを簡便化することで、マスターとスレイブとの従属関係が活用され、マスター弁とスレイブ弁の集合とを結合するに当たって、画一的な制御を行うのではなく、処理装置の大きさ、内部の形態あるいは顧客のニーズ形態に対応したマスター弁とスレイブ弁の集合との結合となし、多様な要求対応に迅速に順応できるようにして、真空容器内圧力マルチ制御装置あるいは真空容器内圧力マルチ制御方法に適した構成が提供される。
【符号の説明】
【００９０】
１…処理容器（プロセスチャンバProcess chamber）、２…制御弁、３…制御器、４…Gauge（ゲージ）、３１…マスター制御器（APCコントローラ（Master））、３２，３３，３４，３５，３６…スレイブ制御器（APCコントローラ（Slave））、４０…通信ケーブル（Communication cable）、４１…マスター弁、４２，４３，４４，４５，４６…スレイブ弁、５０…PLC（Programmable Logic Controller）、５１…PLC５０に接続可能な入口部としてのＩ/Ｏ、５２…COM1、５３…COM2、５４… 制御弁２に接続可能な接続孔であるVALVE、５５…電源に接続可能な接続孔であるPower、６１，６２，６３…基板、７０…追従形態、７１，７２，７３，---（Ｍ’）…Gauge接続孔、１００…真空容器内圧力マルチ制御装置。
【要約】
【課題】マスター弁とスレイブ弁の集合とを結合するに当たって、画一的な制御を行うのではなく、処理装置の大きさ、内部の形態あるいは顧客の要求形態に対応したマスター弁とスレイブ弁の集合との結合となし、多様な要求対応に迅速に順応できるようにする。
【解決手段】マスター制御器とスレイブ制御器との組み合わせ結合に、操作モードが設定され、操作モードに対応したマスター制御器から順次数珠接続されたスレイブ制御器に共通の生成された弁開度信号及び個別の生成された弁開度信号が伝達されることが可能とされ、スレイブ制御弁がいずれかの生成された弁開度信号で開度制御される。
【選択図】図１【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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