(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定ガスに含まれる微粒子の量を検出する微粒子センサのうち、被測定ガスが導入される検知部に対して気体を供給する気体供給部を備え、前記微粒子センサを制御する微粒子検出装置であって、
前記気体供給部から前記微粒子センサへ供給される前記気体の流量および圧力の少なくとも一方を検出する気体検出手段と、
前記気体検出手段による検出結果に基づいて、前記微粒子センサによる微粒子量の検出精度を一定に維持する維持手段とを備える
ことを特徴とする微粒子検出装置。
【請求項２】
前記気体供給部から前記微粒子センサへ供給される前記気体の流量および圧力の少なくとも一方を調整する調整手段を備え、
前記維持手段は、前記気体検出手段による検出結果に基づいて前記調整手段を制御して、前記気体の流量および圧力の少なくとも一方を予め設定された目標値に維持することによって、前記検出精度を一定に維持する
ことを特徴とする請求項１に記載の微粒子検出装置。
【請求項３】
前記維持手段は、前記気体検出手段による検出結果に基づいて、前記微粒子センサの検出結果を補正することにより、前記検出精度を一定に維持する
ことを特徴とする請求項１に記載の微粒子検出装置。
【請求項４】
前記維持手段は、前記気体検出手段による検出結果に基づいて前記気体供給部を制御して、前記気体の流量および圧力の少なくとも一方を予め設定された目標値に維持することによって、前記検出精度を一定に維持する
ことを特徴とする請求項１に記載の微粒子検出装置。
【請求項５】
前記気体の流量および圧力の少なくとも一方が予め設定された許容範囲を逸脱する状態が予め設定された報知判定時間以上継続した場合に報知を行う報知手段を備える
ことを特徴とする請求項１〜請求項４の何れか１項に記載の微粒子検出装置。
【請求項６】
前記気体供給部から供給された前記気体を流通させる気体流路の内部を流れる前記気体の湿度を調整する湿度調整部を備える
ことを特徴とする請求項１〜請求項５の何れか１項に記載の微粒子検出装置。
【請求項７】
前記湿度調整部は、前記気体流路における前記気体供給部と前記気体検出手段との間に設置される
ことを特徴とする請求項６に記載の微粒子検出装置。
【請求項８】
前記微粒子センサは、コロナ放電によりイオンを生成し、生成したイオンを前記気体供給部から供給された前記気体と共に前記検知部に噴射する気体噴射源を備え、
前記微粒子検出装置は、前記コロナ放電を生じさせる電力供給手段を備える
ことを特徴とする請求項１〜請求項７の何れか１項に記載の微粒子検出装置。
【請求項９】
前記微粒子センサは、内燃機関から排出される排気ガスが流通する排気管または前記排気管の出口側に装着されるガス流通管に直接挿入されることによって前記排気ガスに含まれる微粒子の量を検出する直挿型センサであり、
前記微粒子検出装置は、前記気体供給部から供給された前記気体を流通させる気体流路を介して前記微粒子センサと接続される
ことを特徴とする請求項１〜請求項８の何れか１項に記載の微粒子検出装置。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれかに記載の微粒子検出装置に、前記微粒子センサを接続してなる
ことを特徴とする微粒子検出システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被測定ガスに含まれる微粒子の量を検出する微粒子検出装置および微粒子検出システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、内燃機関から排出される排気ガスに含まれる微粒子（例えば煤）の量を検出する微粒子センサを駆動するために高圧空気を微粒子センサへ供給するように構成された微粒子検出システムが知られている（例えば、特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−１９４０７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような微粒子検出システムでは、高圧空気を供給するポンプの使用環境下における温度や湿度の変動、上記ポンプへ供給される電源電圧の変動、または、センサ設置場所（例えば、車両の排気管内）の圧力変動などによって、微粒子センサへ供給される空気量が変化すると、微粒子センサの検出精度に影響を及ぼしてしまうおそれがあった。
【０００５】
本発明は、こうした問題に鑑みてなされたものであり、微粒子センサの検出精度を向上させる技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するためになされた本発明は、被測定ガスに含まれる微粒子の量を検出する微粒子センサのうち、被測定ガスが導入される検知部に対して気体を供給する気体供給部を備え、微粒子センサを制御する微粒子検出装置であって、気体検出手段と、維持手段とを備える。
【０００７】
気体検出手段は、気体供給部から微粒子センサへ供給される気体の流量および圧力の少なくとも一方を検出する。維持手段は、気体検出手段による検出結果に基づいて、微粒子センサによる微粒子量の検出精度を一定に維持する。
【０００８】
このように構成された本発明の微粒子検出装置は、微粒子センサへ供給される気体量と相関を有する流量および圧力の少なくとも一方を検出することにより、微粒子センサによる微粒子量の検出精度を一定に維持する。このため、本発明の微粒子検出装置は、気体供給部を含む微粒子検出装置の使用環境下における温度や湿度の変動、気体供給部へ供給される電源電圧の変動、センサ設置場所（検出部周辺）の圧力変動などによる微粒子センサへ供給される気体量の変化に起因した検出精度の低下を抑制し、微粒子センサの検出精度を向上させることができる。
【０００９】
なお、本発明の微粒子検出装置における検出精度とは、被測定ガスに含まれる微粒子の量を一定に維持した環境下において微粒子センサにより微粒子量を複数回検出したときに同一の検出結果を出力する度合いであり、例えば標準偏差によって定量化することができる。
【００１０】
また、本発明の微粒子検出装置では、検出精度を一定に維持するために、気体供給部から微粒子センサへ供給される気体の流量および圧力の少なくとも一方を調整する調整手段を備え、維持手段が、気体検出手段による検出結果に基づいて調整手段を制御して、気体の流量および圧力の少なくとも一方を予め設定された目標値に維持するようにしてもよい。
【００１１】
また、本発明の微粒子検出装置では、検出精度を一定に維持するために、維持手段が、気体検出手段による検出結果に基づいて、微粒子センサの検出結果を補正するようにしてもよい。
【００１２】
また、本発明の微粒子検出装置では、検出精度を一定に維持するために、維持手段が、気体検出手段による検出結果に基づいて気体供給部を制御して、気体の流量および圧力の少なくとも一方を予め設定された目標値に維持するようにしてもよい。
【００１３】
また、本発明の微粒子検出装置では、気体の流量および圧力の少なくとも一方が予め設定された許容範囲を逸脱する状態が予め設定された報知判定時間以上継続した場合に報知を行う報知手段を備えるようにするとよい。これにより、本発明の微粒子検出装置は、気体の流量および圧力の少なくとも一方が許容範囲を逸脱する状態が継続するという異常の発生を、微粒子検出装置の使用者に認識させることができる。このため、本発明の微粒子検出装置は、気体量の変化に起因して微粒子センサの検出精度が低下した状態が継続するのを抑制し、微粒子センサの検出精度を向上させることができる。
【００１４】
また、本発明の微粒子検出装置では、気体供給部から供給された気体を流通させる気体流路の内部を流れる気体の湿度を調整する湿度調整部を備えるようにするとよい。これにより、本発明の微粒子検出装置は、気体の湿度の変化によって微粒子センサの検出精度が変化するのを抑制することができる。
【００１５】
また、本発明の微粒子検出装置では、湿度調整部が、気体流路における気体供給部と気体検出手段との間に設置されるようにするとよい。これにより、本発明の微粒子検出装置は、気体が湿度調整部を通過することで気体の流量および圧力の少なくとも一方が変化したとしても、その変化を気体検出手段で検出することができる。このため、本発明の微粒子検出装置は、気体が湿度調整部を通過することにより発生する上記変化に起因した検出精度の低下を抑制し、微粒子センサの検出精度を向上させることができる。
【００１６】
また、本発明では、微粒子センサは、コロナ放電によりイオンを生成し、生成したイオンを気体供給部から供給された気体と共に検知部に噴射する気体噴射源を備え、微粒子検出装置が、コロナ放電を生じさせる電力供給手段を備えるようにするとよい。これにより、微粒子センサの検知部に対して、気体量の変化が生じた場合にもコロナ放電により生成したイオンを検知部に確実に噴射することが可能となり、イオンを用いての微粒子センサの検出精度が低下した状態が継続するのを抑制することができる。
【００１７】
また、本発明の微粒子検出装置では、微粒子センサが、内燃機関から排出される排気ガスが流通する排気管または排気管の出口側に装着されるガス流通管に直接挿入されることによって排気ガスに含まれる微粒子の量を検出する直挿型センサであり、微粒子検出装置は、気体供給部から供給された気体を流通させる気体流路を介して微粒子センサと接続されるようにするとよい。これにより、本発明の微粒子検出装置は、微粒子検出装置の内部に排気ガスを導入することなく、排気ガスに含まれる微粒子の量を検出することができる。
【００１８】
また、本発明の微粒子検出システムは、上記した微粒子検出装置に微粒子センサを接続した構成をなすものであり、微粒子量の検出精度の低下を抑制した微粒子検出システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】第１実施形態の微粒子検出システム１の概略構成を示す図である。
【図２】排気管に取り付けられた微粒子センサ２の平面図である。
【図３】微粒子センサ２の断面図である。
【図４】微粒子センサ２の断面図である。
【図５】微粒子センサ２の分解斜視図である。
【図６】微粒子センサ２の検出動作を説明するための模式図である。
【図７】微粒子量を検出する方法を説明するための模式図である。
【図８】レギュレータ制御処理を示すフローチャートである。
【図９】第２実施形態の微粒子検出システム１の概略構成を示す図である。
【図１０】微粒子量補正処理を示すフローチャートである。
【図１１】第３実施形態の微粒子検出システム１の概略構成を示す図である。
【図１２】ポンプ制御処理を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
（第１実施形態）
以下に本発明の第１実施形態を図面とともに説明する。
本発明が適用された実施形態の微粒子検出システム１は、図１に示すように、微粒子センサ２と微粒子検出装置３とを備える。
【００２１】
微粒子センサ２は、車両の内燃機関の排気管ＥＰに取り付けられ、排気管ＥＰ内の排気ガスに含まれる微粒子（煤など）の量を検出する。
微粒子検出装置３は、筐体２０１、回路部２０２、ポンプ２０３、空気流路２０４、エアレギュレータ２０５、フィルタ２０６、流量センサ２０７、表示部２０８、操作入力部２０９および制御部２１０を備える。
【００２２】
筐体２０１は、箱状に形成されており、回路部２０２、ポンプ２０３、空気流路２０４、エアレギュレータ２０５、フィルタ２０６、流量センサ２０７、表示部２０８、操作入力部２０９および制御部２１０を収容する。なお、この筐体２０１は、使用者が持ち運び可能な構成となっており、使用者が微粒子センサ２を取り付けたい車両に持ち運び、当該車両に載置して使用できるようになっている。
【００２３】
回路部２０２は、微粒子センサ２を駆動するとともに、微粒子センサ２からの検出信号に基づいて排気ガス中の微粒子量を検出する。
ポンプ２０３は、微粒子センサ２を駆動するときに用いられる高圧空気を生成する。
【００２４】
空気流路２０４は、ポンプ２０３で生成された高圧空気を微粒子センサ２へ供給する流路である。
エアレギュレータ２０５は、空気流路２０４を介してポンプ２０３から供給された高圧空気の流量を、制御部２１０から入力されるエアレギュレータ制御信号が示すエアレギュレータ制御値に従って調整する。
【００２５】
フィルタ２０６は、空気流路２０４内を流れる高圧空気中の塵などを除去する。
流量センサ２０７は、空気流路２０４内を流れる高圧空気の流量を検出する。
表示部２０８は、筐体２０１に設置された表示装置を備え、表示装置の表示画面に各種画像を表示する。
【００２６】
操作入力部２０９は、筐体２０１に設置されたスイッチを備え、使用者がスイッチを介して行った入力操作を特定するための入力操作情報を出力する。
制御部２１０は、ＣＰＵ２１１、ＲＯＭ２１２、ＲＡＭ２１３および信号入出力部２１４等を備えるマイクロコンピュータを主要部として構成されている。制御部２１０は、回路部２０２、流量センサ２０７および操作入力部２０９からの入力に基づいて各種処理を実行し、回路部２０２、ポンプ２０３、エアレギュレータ２０５および表示部２０８を制御する。
【００２７】
微粒子センサ２は、図２に示すように、内側金具９０、外側金具１００およびケーブル１６０を備える。
内側金具９０は、外形が円柱状となるように金属で形成されており、ガス排出口３８（後述）およびガス取入口４７（後述）が設けられている。また、内側金具９０は、回路部２０２のうち第１電位（接地電位とは異なる電位）とされる部位（箇所）にケーブル１６０を介して導通しており、第１電位とされる。
【００２８】
外側金具１００は、ガス排出口３８およびガス取入口４７が外部に露出した状態で内側金具９０を支持する。そして外側金具１００は、内側金具９０の一部が排気管ＥＰの内壁から突出するようにして、排気管ＥＰの外周に設けられた取付部ＥＰＡに固定される。なお、外側金具１００は、接地電位（第１電位とは異なる第２電位）とされた排気管ＥＰに取り付けられ、接地電位とされる。
【００２９】
図３および図４は、排気管ＥＰに取り付けられた状態の微粒子センサ２の断面図である。図３は、排気管ＥＰが延びる方向に直交する断面を示す。図４は、排気管ＥＰが延びる方向に沿った断面を示す。図５は微粒子センサ２の分解斜視図である。図３〜図５において、微粒子センサ２の上端側を先端側ＦＥといい、微粒子センサ２の下端側を後端側ＢＥという。
【００３０】
微粒子センサ２は、図３〜図５に示すように、電極１０，２０と、イオン捕捉部３０と、排ガス帯電部４０と、イオン発生部５０とを備える。
電極１０は、本体部１１と湾曲部１２と絶縁パイプ１３とヒータ１４とを備える。本体部１１は、軸線方向ＤＡに延びる棒状に形成されたステンレス製の部材である。湾曲部１２は、本体部１１の先端側ＦＥから延びてＵ字状に曲げられたステンレス製の部材である。絶縁パイプ１３は、絶縁性セラミック（例えばアルミナ）を材料として円筒状に形成され、本体部１１の周囲を被覆する。ヒータ１４は、タングステンからなり、絶縁パイプ１３内に埋め込まれている。絶縁パイプ１３における後端側ＢＥの端部には、ヒータ端子１４ａ，１４ｂが形成されている。
【００３１】
電極２０は、本体部２１と絶縁パイプ２２とを備える。本体部２１は、軸線方向ＤＡに延びる棒状に形成されたタングステン製の部材である。絶縁パイプ２２は、絶縁性セラミック（例えばアルミナ）を材料として円筒状に形成され、本体部２１における両端部以外の部分で本体部２１の周囲を被覆する。
【００３２】
イオン捕捉部３０は、混合排出部材３１と、蓋部材３２とを備える。
混合排出部材３１は、外形が軸線方向ＤＡに延びる円筒状に形成されたステンレス製の部材であり、その内部に、ガス流路３６と、パイプ挿入孔３７とが形成される。
【００３３】
ガス流路３６は、軸線方向ＤＡに沿って貫通する貫通孔であり、流路３６ａ，３６ｂ，３６ｃを備える。流路３６ａは、ガス流路３６における先端側ＦＥの端部に配置され、先端側ＦＥから後端側ＢＥへ向うにつれて開口面積が小さくなるように形成されている。流路３６ｂは、ガス流路３６における後端側ＢＥの端部に配置され、先端側ＦＥから後端側ＢＥへ向うにつれて開口面積が大きくなるように形成されている。流路３６ｃは、流路３６ａと流路３６ｂとの間に配置され、軸線方向ＤＡに沿って開口面積が一定となるように形成されている。
【００３４】
パイプ挿入孔３７は、軸線方向ＤＡに沿って貫通する貫通孔である。パイプ挿入孔３７には、パイプ挿入孔３７の内周壁と絶縁パイプ１３の外周とが密着した状態で電極１０が挿入される。これにより、電極１０は、湾曲部１２が流路３６ａ内に配置されるように設置される。
【００３５】
また、混合排出部材３１の外壁には、ガス流路３６よりも先端側ＦＥにおいて、排気管ＥＰの下流側に向けて開口が形成された貫通孔３８が設けられている。この貫通孔３８は、上述のガス排出口３８である。
【００３６】
蓋部材３２は、円板状に形成されたステンレス製の部材であり、混合排出部材３１における先端側ＦＥの端部の開口部を覆うように取り付けられる。
排ガス帯電部４０は、ノズル部材４１を備える。ノズル部材４１は、軸線方向ＤＡに延びるステンレス製の部材である。ノズル部材４１は、先端側ＦＥの端部に開口部を有するとともに後端側ＢＥの端部に底部を有する有底円筒状に形成される。そしてノズル部材４１は、その開口部内に、混合排出部材３１の後端側ＢＥの端部を嵌め込んだ状態で固定される。ノズル部材４１の底部には、貫通孔４６が設けられている。貫通孔４６は、後端側ＢＥから先端側ＦＥへ向うにつれて開口面積が小さくなるように形成されている。以下、貫通孔４６をノズル４６という。また、ノズル部材４１の外壁には、排気管ＥＰの下流側に向けて開口が形成された貫通孔４７が設けられている。この貫通孔４７は、上述のガス取入口４７である。
【００３７】
イオン発生部５０は、パイプホルダ５１を備える。パイプホルダ５１は、軸線方向ＤＡに延びる円筒状に形成されたステンレス製の部材である。パイプホルダ５１は、先端側ＦＥの端部の開口部内に、ノズル部材４１の後端側ＢＥの端部を嵌め込んだ状態で固定される。パイプホルダ５１には、軸線方向ＤＡに沿って貫通する貫通孔５６（図３を参照）、貫通孔５７（図３を参照）および貫通孔５８（図４を参照）が形成されている。貫通孔５６には、電極１０の本体部１１と絶縁パイプ１３が挿入される。貫通孔５７には、電極２０の本体部２１と絶縁パイプ２２が挿入される。貫通孔５８は、ポンプ２０３からの高圧空気が流れる流路である。またパイプホルダ５１は、外周から径方向に沿って外側へ延びる円環状に形成されたフランジ部５９を備える。
【００３８】
さらに、微粒子センサ２は、内筒６０とセパレータ７０を備える。内筒６０は、軸線方向ＤＡに延びる円筒状に形成されたステンレス製の部材である。内筒６０は、先端側ＦＥの端部の開口部内に、パイプホルダ５１の後端側ＢＥの端部を嵌め込んだ状態で固定される。セパレータ７０は、軸線方向ＤＡに延びる円筒状に形成された絶縁性の部材であり、内筒６０内に配置される。セパレータ７０には、軸線方向ＤＡに沿って貫通する貫通孔７１，７２，７３，７４，７５が形成されている。貫通孔７１，７２，７３，７４にはそれぞれ、ケーブル１６０を構成する後述の配線１６１，１６２，１６３，１６４が挿入される。貫通孔７５は、ポンプ２０３からの高圧空気が流れる流路である。
【００３９】
なお、内側金具９０は、混合排出部材３１と、蓋部材３２と、ノズル部材４１と、パイプホルダ５１と、内筒６０とにより構成される。
また外側金具１００は、主体金具１１０と、栓金具１２０と、外筒１３０とを備える。
【００４０】
主体金具１１０は、軸線方向ＤＡに延びる筒状に形成されたステンレス製の部材である。主体金具１１０は、本体部１１１とフランジ部１１２と金具包囲部１１３とを備える。本体部１１１は、軸線方向ＤＡに延びる円筒状に形成され、軸線方向ＤＡに沿って貫通する収容孔１１１ａを備える。フランジ部１１２は、本体部１１１における先端側ＦＥの端部の外周から径方向に沿って外側へ延びる板状に形成されている。フランジ部１１２には、軸線方向ＤＡに沿って貫通するボルト貫通孔１１２ａが形成されている。またフランジ部１１２には、金具包囲部１１３の周囲に、円環状のガスケット保持溝１１２ｂが形成されている。金具包囲部１１３は、軸線方向ＤＡに延びる円筒状に形成され、フランジ部１１２から先端側ＦＥに向けて突出している。金具包囲部１１３は、その端部がガス取入口４７よりも先端側ＦＥに位置するように突出している。このため、ガス取入口４７と対向する部分には、金具包囲部１１３の端部がＵ字状に凹んだ形状を有するガス導入窓１１３ａが設けられている。
【００４１】
栓金具１２０は、軸線方向ＤＡに延びる筒状に形成されたステンレス製の部材である。栓金具１２０は、本体部１２１と先端押圧部１２２と六角部１２３とを備える。本体部１２１は、軸線方向ＤＡに延びる円筒状に形成され、その外周に雄ネジが形成されている。栓金具１２０の雄ネジが、主体金具１１０の収容孔１１１ａの内周壁に形成された雌ネジに螺合することで、栓金具１２０と主体金具１１０とが連結される。先端押圧部１２２は、直径が本体部１２１よりも小さい円筒状に形成され、本体部１２１における先端側ＦＥの端部から先端側ＦＥに向けて突出している。六角部１２３は、本体部１１１における後端側ＢＥの外周から径方向に沿って外側へ延びて外周が六角形の板状に形成されている。
【００４２】
外筒１３０は、軸線方向ＤＡに延びる円筒状に形成されたステンレス製の部材である。外筒１３０は、先端側ＦＥの端部の開口部内に、栓金具１２０の後端側ＢＥの端部を嵌め込んだ状態で固定される。
【００４３】
また微粒子センサ２は、絶縁スペーサ１４０、板パッキン１４１および絶縁スペーサ１５０を備える。絶縁スペーサ１４０は、軸線方向ＤＡに延びる円筒状に形成されたアルミナ製の部材である。絶縁スペーサ１４０は、パイプホルダ５１のフランジ部５９より先端側ＦＥで、パイプホルダ５１と主体金具１１０との間に配置される。これにより、内側金具９０と外側金具１００とが電気的に絶縁される。そして、絶縁スペーサ１４０における先端側ＦＥの端部は、微粒子センサ２が排気管ＥＰに取り付けられた状態において、排気管ＥＰ内に露出した状態となる。
【００４４】
板パッキン１４１は、円環状に形成された部材であり、主体金具１１０の収容孔１１１ａの段部と絶縁スペーサ１４０との間に配置される。
絶縁スペーサ１５０は、軸線方向ＤＡに延びる円筒状に形成されたアルミナ製の部材である。絶縁スペーサ１５０は、パイプホルダ５１のフランジ部５９より後端側ＢＥで、パイプホルダ５１と主体金具１１０との間に配置される。これにより、内側金具９０と外側金具１００とが電気的に絶縁される。
【００４５】
ケーブル１６０は、電位配線１６１，１６２、ヒータ配線１６３，１６４、空気供給管１６５、絶縁体層１６６、電位配線１６７、絶縁体層１６８、接地電位配線１６９および絶縁体層１７０を備える。
【００４６】
電位配線１６１，１６２、ヒータ配線１６３，１６４および空気供給管１６５はケーブル１６０の中心部分に配置されている。そして絶縁体層１６６は、樹脂を材料として形成され、配線１６１〜１６４および空気供給管１６５の周囲を被覆する。電位配線１６７は、銅細線を編んだ編組で形成され、絶縁体層１６６の周囲を包囲する。絶縁体層１６８は、樹脂を材料として形成され、電位配線１６７の周囲を被覆する。接地電位配線１６９は、銅細線を編んだ編組で形成され、絶縁体層１６８の周囲を包囲する。絶縁体層１７０は、樹脂を材料として形成され、接地電位配線１６９の周囲を被覆する。
【００４７】
電位配線１６１は、電極２０の本体部２１に接続される。電位配線１６２は、電極１０の本体部１１に接続される。ヒータ配線１６３は、ヒータ接続端子１７３を介してヒータ端子１４ａに接続される。ヒータ配線１６４は、ヒータ接続端子１７４を介してヒータ端子１４ｂに接続される。空気供給管１６５は、空気流路２０４に接続される。電位配線１６７は、内筒６０に加締め接続される。接地電位配線１６９は、外筒１３０における後端側ＢＥの端部に加締め接続される。
【００４８】
また微粒子センサ２は、グロメット１８１およびガスケット１８２を備える。グロメット１８１は、絶縁ゴムを材料として円筒状に形成され、ケーブル１６０と外筒１３０との間に配置される。ガスケット１８２は、円環状に形成された銅製の部材であり、フランジ部１１２のガスケット保持溝１１２ｂ内に配置される。微粒子センサ２は、取付部ＥＰＡに設けられたスタッドボルトＥＰＢをフランジ部１１２のボルト貫通孔１１２ａに挿入し、ナットＥＰＮで締結することで取付部ＥＰＡに固定される。そして、微粒子センサ２が取付部ＥＰＡに固定されると、ガスケット１８２が取付部ＥＰＡと主体金具１１０に密着し、微粒子センサ２と排気管ＥＰとの間の気密性が確保される。
【００４９】
次に、排気ガスに含まれる微粒子の量を検出するための微粒子センサ２の動作を説明する。
図６に示すように、微粒子センサ２は、イオン発生部５０で陽イオンＰＩを発生させる。具体的には、微粒子センサ２は、電極２０が陽極となりノズル４６が陰極となるように回路部２０２によって電圧が印加されると、電極２０とノズル４６との間でコロナ放電を発生させる。このコロナ放電により、イオン発生部５０で陽イオンＰＩが発生する。
【００５０】
イオン発生部５０で発生した陽イオンＰＩは、貫通孔５８を通ってイオン発生部５０の内部空間ＩＳ１に供給される高圧空気（矢印ＡＬ１を参照）とともに、ノズル４６から排ガス帯電部４０の内部空間ＩＳ２へ噴射される（矢印ＡＬ２を参照）。陽イオンＰＩを含む空気がノズル４６から内部空間ＩＳ２へ噴射されると、内部空間ＩＳ２に負圧が発生し、微粒子ＭＰを含む排気ガスがガス取入口４７を通って内部空間ＩＳ２へ吸引される（矢印ＡＬ３を参照）。
【００５１】
これにより、ノズル４６から噴射された空気と、ガス取入口４７を通って吸引された排気ガスとが内部空間ＩＳ２内で混合され、空気中の陽イオンＰＩが排気ガス中の微粒子ＭＰに吸着する。
【００５２】
内部空間ＩＳ２内で空気と混合された排気ガスは、イオン捕捉部３０に形成されたガス流路３６を通って、イオン捕捉部３０の内部空間ＩＳ３へ流入する（矢印ＡＬ４、ＡＬ５を参照）。
【００５３】
電極１０の湾曲部１２は、ガス流路３６の流路３６ａから内部空間ＩＳ３に渡って、排気ガスが流れる方向に沿って配置されている。そして、電極１０が陽極となり内側金具９０が陰極となるように回路部２０２によって電圧が印加される。これにより、排気ガス中の微粒子ＭＰに吸着していない陽イオンＰＩは、電極１０の湾曲部１２との間で作用する反発力により、電極１０の湾曲部１２から遠ざかる方向に移動する（矢印ＡＬ６を参照）。そして、湾曲部１２から遠ざかる方向に移動する陽イオンＰＩは、陰極となる内側金具９０の内壁に捕捉される。これにより、内側金具９０では、その内壁で捕捉された陽イオンＰＩの量に応じた電流が流れる。一方、陽イオンＰＩが吸着することにより帯電した微粒子ＭＰは、陽イオンＰＩと比較して質量が大きいため、電極１０の湾曲部１２との間で作用する反発力の影響が小さい。このため、帯電した微粒子ＭＰは、排気ガスの流れに従って（矢印ＡＬ７，ＡＬ８を参照）、ガス排出口３８から排出される（矢印ＡＬ９を参照）。
【００５４】
次に、排気ガス中の微粒子の量を検出する方法を説明する。
図７に示すように、回路部２０２は、一次側電源部２２０、二次側電源部２３０、電流差計測部２４０およびヒータ通電部２５０を備える。一次側電源部２２０は、制御部２１０からの指令に従って、二次側電源部２３０へ高圧電力を供給する。二次側電源部２３０は、電流供給回路２３１，２３２を備える。
【００５５】
電流供給回路２３１は、電位配線１６２を介して電極１０に接続される。これにより、微粒子センサ２は、陽イオンＰＩを捕捉するための電力を電流供給回路２３１から受ける。
【００５６】
電流供給回路２３２は、電位配線１６１を介して電極２０に接続される。これにより、微粒子センサ２は、コロナ放電により陽イオンＰＩを発生させるための電力を電流供給回路２３２から受ける。電流供給回路２３２は、定電流回路であり、例えば５μＡ程度の一定の入力電流Ｉｉｎを電極２０へ供給する。
【００５７】
電流差計測部２４０は、後述の漏洩電流Ｉｅｓｃを計測する回路であり、電位配線１６７を介して内側金具９０と電気的に接続されている。なお内側金具９０は、第２電位（接地電位）とされた排気管ＥＰと絶縁された状態で排気管ＥＰ内に保持されている。また電流差計測部２４０は、排気管ＥＰまたは車両のシャーシを介して接地されている。
【００５８】
ヒータ通電部２５０は、ＰＷＭ制御によりヒータ１４に通電することによりヒータ１４を加熱する回路であり、ヒータ配線１６３を介してヒータ端子１４ａに接続されるとともに、ヒータ配線１６４を介してヒータ端子１４ｂに接続される。
【００５９】
電流供給回路２３２から電極２０へ電流が流れると、コロナ放電により、電極２０からノズル４６を介して内側金具９０へ放電電流Ｉｄｃが流れ、陽イオンＰＩが発生する。そして上述のように、一部の陽イオンＰＩは微粒子ＭＰに吸着して帯電微粒子を生成し、微粒子ＭＰとともに（換言すれば、帯電微粒子となって）ガス排出口３８から微粒子センサ２の外部へ排出される。一方、微粒子ＭＰに吸着しなかった残りの陽イオンＰＩは内側金具９０に捕捉される。
【００６０】
ここで、微粒子センサ２の外部へ排出される陽イオンＰＩの流れに相当する電流を漏洩電流Ｉｅｓｃとし、内側金具９０に捕捉される陽イオンＰＩの流れに相当する電流を捕捉電流Ｉｔｒｐとすると、下式（１）に示す関係が成立する。
【００６１】
Ｉｉｎ＝Ｉｄｃ＋Ｉｔｒｐ＋Ｉｅｓｃ      ・・・（１）
そして、放電電流Ｉｄｃと捕捉電流Ｉｔｒｐが内側金具９０に流れ、入力電流Ｉｉｎは一定値に保持されている。このため、下式（２）に示すように、入力電流Ｉｉｎと、放電電流Ｉｄｃおよび捕捉電流Ｉｔｒｐの合計との差分により、漏洩電流Ｉｅｓｃを算出することができる。
【００６２】
Ｉｅｓｃ＝Ｉｉｎ−（Ｉｄｃ＋Ｉｔｒｐ）    ・・・（２）
上式（２）に示すように、内側金具９０では、入力電流Ｉｉｎに対して漏洩電流Ｉｅｓｃ分少ない電流が流れるために、内側金具９０の基準電位が外部の基準電位より低下する。内側金具９０の電位の低下に伴い、この電位低下を補償する補償電流Ｉｃが電流差計測部２４０から電位配線１６７を介して内側金具９０へ流れる。この補償電流Ｉｃは、漏洩電流Ｉｅｓｃに相当する。換言すれば、補償電流Ｉｃ（漏洩電流Ｉｅｓｃ）は、第１電位と第２電位（接地電位）との間に帯電微粒子の量に応じて流れる信号電流に相当する。電流差計測部２４０は、補償電流Ｉｃの値を計測し、この補償電流Ｉｃの計測値を、漏洩電流Ｉｅｓｃの計測値とする。そして電流差計測部２４０は、漏洩電流Ｉｅｓｃの計測値を示す漏洩電流信号を制御部２１０へ出力する。
【００６３】
制御部２１０は、電流差計測部２４０から入力された漏洩電流信号に基づいて漏洩電流Ｉｅｓｃ（第１電位と第２電位との間に帯電微粒子の量に応じて流れる信号電流）の計測値を特定し、漏洩電流Ｉｅｓｃの計測値と排気ガス中の微粒子の量との対応関係を示すマップまたは演算式などを用いて、排気ガス中の微粒子の量を算出する。
【００６４】
また、制御部２１０のＣＰＵ２１１は、レギュレータ制御処理を実行する。
ここで、レギュレータ制御処理の手順を説明する。このレギュレータ制御処理は、制御部２１０が起動した直後に開始される処理である。
【００６５】
このレギュレータ制御処理が実行されると、制御部２１０のＣＰＵ２１１は、図８に示すように、まずＳ１０にて、ＲＡＭ２１３に設けられているエアレギュレータ制御値を設計値に設定する。設計値は、空気流路２０４内を流れる高圧空気の流量が予め設定された目標値となるように微粒子検出装置３の製造工程で予め設定された値である。
【００６６】
そしてＳ２０にて、Ｓ１０で設定されたエアレギュレータ制御値を示すエアレギュレータ制御信号をエアレギュレータ２０５へ出力する。
次にＳ３０にて、流量センサ２０７から流量検出信号を取得する。そしてＳ４０にて、流量検出信号が示す流量が予め設定された目標範囲内であるか否かを判断する。目標範囲は、上記の目標値を含む範囲である。ここで、流量が目標範囲内である場合には（Ｓ４０：ＹＥＳ）、Ｓ３０に移行する。
【００６７】
一方、流量が目標範囲外である場合には（Ｓ４０：ＮＯ）、Ｓ５０にて、流量が予め設定された許容範囲内であるか否かを判断する。許容範囲は、上記の目標範囲を全て含むように設定された範囲である。
【００６８】
ここで、流量が許容範囲内である場合には（Ｓ５０：ＹＥＳ）、ＲＡＭ２１３に設けられている警告カウンタをリセット（０に設定）する。さらにＳ７０にて、流量検出信号が示す流量と現時点のエアレギュレータ制御値とに基づいて、流量を目標値に一致させるためのエアレギュレータ制御値を算出する。そしてＳ８０にて、Ｓ７０で算出されたエアレギュレータ制御値を示すエアレギュレータ制御信号をエアレギュレータ２０５へ出力し、Ｓ３０に移行する。
【００６９】
一方、流量が許容範囲外である場合には（Ｓ５０：ＮＯ）、Ｓ９０にて、警告カウンタをインクリメント（１加算）する。そしてＳ１００にて、警告カウンタの値が予め設定された警告判定値（本実施形態では例えば１０秒に相当する値）以上であるか否かを判断する。ここで、警告カウンタの値が警告判定値未満である場合には（Ｓ１００：ＮＯ）、Ｓ７０に移行する。一方、警告カウンタの値が警告判定値以上である場合には（Ｓ１００：ＹＥＳ）、Ｓ１１０にて、高圧空気の供給で異常が発生していることを示す警告画像を表示部２０８に表示させるとともに、微粒子センサ２の制御を停止し、レギュレータ制御処理を終了する。
【００７０】
このように構成された微粒子検出装置３は、排気ガスに含まれる微粒子の量を検出する微粒子センサ２へ空気を供給するポンプ２０３を備え、微粒子センサ２を制御する。
微粒子検出装置３は、ポンプ２０３から微粒子センサ２へ供給される空気の流量を調整するエアレギュレータ２０５を備える。また微粒子検出装置３は、流量センサ２０７によって、ポンプ２０３から微粒子センサ２へ供給される空気の流量を検出する（Ｓ３０）。そして微粒子検出装置３は、流量センサ２０７による検出結果に基づいてエアレギュレータ２０５を制御して、空気の流量を予め設定された目標値に維持することによって、微粒子センサ２の検出精度を一定に維持する（Ｓ４０，Ｓ５０，Ｓ７０，Ｓ８０）。
【００７１】
このように微粒子検出装置３は、微粒子センサ２へ供給される空気量と相関を有する流量を検出することにより、微粒子センサ２による微粒子量の検出精度を一定に維持する。言い換えれば、微粒子検出装置３は、微粒子センサ２へ供給される空気量と相関を有する流量の検出情報を活用して、予め設定した（製品出荷時に設定した）微粒子量の検出精度を一定に維持する機能を司るものである。このため、微粒子検出装置３は、微粒子センサ２へ供給される空気量の変化に起因した検出精度の低下を抑制し、微粒子センサ２の検出精度を向上させることができる。
【００７２】
また微粒子検出装置３は、空気の流量が予め設定された許容範囲を逸脱する状態が予め設定された警告判定値に相当する時間以上継続した場合に、高圧空気の供給で異常が発生していることを示す警告画像を表示する（Ｓ１００，Ｓ１１０）。これにより、微粒子検出装置３は、空気の流量が許容範囲を逸脱する状態が継続するという異常の発生を、微粒子検出装置３の使用者に認識させることができる。このため、微粒子検出装置３は、空気量の変化に起因して微粒子センサ２の検出精度が低下した状態が継続するのを抑制し、微粒子センサ２の検出精度を向上させることができる。
【００７３】
以上説明した実施形態において、ポンプ２０３は本発明における気体供給部、流量センサ２０７とＳ３０の処理は本発明における気体検出手段、Ｓ４０，Ｓ５０，Ｓ７０，Ｓ８０の処理は本発明における維持手段、エアレギュレータ２０５は本発明における調整手段、Ｓ１００，Ｓ１１０の処理は本発明における報知手段、電流供給回路２３１を含む回路部２０２は本発明における電力供給手段、微粒子センサ２のうち、排ガス帯電部４０を含むとともに排気管ＥＰ内に臨む部位が検知部、イオン発生部５０およびノズル４６が気体噴射源である。
【００７４】
（第２実施形態）
以下に本発明の第２実施形態を図面とともに説明する。なお第２実施形態では、第１実施形態と異なる部分を説明する。
【００７５】
第２実施形態の微粒子検出システム１は、図９に示すように、エアレギュレータ２０５が省略された点が第１実施形態と異なる。
また、第２実施形態の微粒子検出システム１は、制御部２１０のＣＰＵ２１１がレギュレータ制御処理の代わりに微粒子量補正処理を実行する点が第１実施形態と異なる。
【００７６】
ここで、微粒子量補正処理の手順を説明する。この微粒子量補正処理は、制御部２１０が起動した直後に開始される処理である。
この微粒子量補正処理が実行されると、制御部２１０のＣＰＵ２１１は、図１０に示すように、まずＳ２１０にて、流量センサ２０７から流量検出信号を取得する。さらにＳ２２０にて、制御部２１０が漏洩電流Ｉｅｓｃの計測値に基づいて算出した微粒子量を取得する。
【００７７】
そしてＳ２３０にて、流量検出信号が示す流量が予め設定された目標範囲内であるか否かを判断する。ここで、流量が目標範囲内である場合には（Ｓ２３０：ＹＥＳ）、Ｓ２１０に移行する。
【００７８】
一方、流量が目標範囲外である場合には（Ｓ２３０：ＮＯ）、Ｓ２４０にて、流量が予め設定された許容範囲内であるか否かを判断する。ここで、流量が許容範囲内である場合には（Ｓ２４０：ＹＥＳ）、Ｓ２５０にて、ＲＡＭ２１３に設けられている警告カウンタをリセットする。さらにＳ２６０にて、Ｓ２１０で取得した流量検出信号が示す流量と、Ｓ２２０で取得した微粒子量とをパラメータとして、補正後の微粒子量の値が予め設定された３次元マップを参照して、微粒子量を補正し、Ｓ２１０に移行する。
【００７９】
一方、流量が許容範囲外である場合には（Ｓ２４０：ＮＯ）、Ｓ２７０にて、警告カウンタをインクリメントする。そしてＳ２８０にて、警告カウンタの値が予め設定された警告判定値以上であるか否かを判断する。ここで、警告カウンタの値が警告判定値未満である場合には（Ｓ２８０：ＮＯ）、Ｓ２６０に移行する。一方、警告カウンタの値が警告判定値以上である場合には（Ｓ２８０：ＹＥＳ）、Ｓ２９０にて、高圧空気の供給で異常が発生していることを示す警告画像を表示部２０８に表示させるとともに、微粒子センサ２の制御を停止し、微粒子量補正処理を終了する。
【００８０】
このように構成された微粒子検出装置３は、流量センサ２０７によって、ポンプ２０３から微粒子センサ２へ供給される空気の流量を検出する（Ｓ２１０）。そして微粒子検出装置３は、流量センサ２０７による検出結果に基づいて、漏洩電流Ｉｅｓｃの計測値に基づいて算出した微粒子量を補正することによって、微粒子センサ２の検出精度を一定に維持する（Ｓ２２０，Ｓ２３０，Ｓ２６０）。
【００８１】
このように微粒子検出装置３は、微粒子センサ２へ供給される空気量と相関を有する流量を検出することにより、微粒子センサ２による微粒子量の検出精度を一定に維持する。このため、微粒子検出装置３は、微粒子センサ２へ供給される空気量の変化に起因した検出精度の低下を抑制し、微粒子センサ２の検出精度を向上させることができる。
【００８２】
また微粒子検出装置３は、空気の流量が予め設定された許容範囲を逸脱する状態が予め設定された警告判定値に相当する時間以上継続した場合に、高圧空気の供給で異常が発生していることを示す警告画像を表示する（Ｓ２８０，Ｓ２９０）。これにより、微粒子検出装置３は、空気の流量が目標値と一致していない状態が継続するという異常の発生を、微粒子検出装置３の使用者に認識させることができる。このため、微粒子検出装置３は、空気量の変化に起因して微粒子センサ２の検出精度が低下した状態が継続するのを抑制し、微粒子センサ２の検出精度を向上させることができる。
【００８３】
以上説明した実施形態において、流量センサ２０７とＳ２１０の処理は本発明における気体検出手段、Ｓ２２０，Ｓ２３０，Ｓ２６０の処理は本発明における維持手段、Ｓ２８０，Ｓ２９０の処理は本発明における報知手段である。
【００８４】
（第３実施形態）
以下に本発明の第３実施形態を図面とともに説明する。なお第３実施形態では、第１実施形態と異なる部分を説明する。
【００８５】
第３実施形態の微粒子検出システム１は、図１１に示すように、エアレギュレータ２０５が省略された点と、ドライヤ２１６が追加された点が第１実施形態と異なる。
また、第３実施形態の微粒子検出システム１は、制御部２１０のＣＰＵ２１１がレギュレータ制御処理の代わりにポンプ制御処理を実行する点が第１実施形態と異なる。
【００８６】
ドライヤ２１６は、空気流路２０４を介してポンプ２０３から供給された高圧空気の湿度を調整する。本実施形態のドライヤ２１６は、例えばフッ素樹脂からなる中空糸膜を用いて、中空糸膜の内部に導入された空気に含まれる水蒸気を中空糸膜の外部へ排出することにより、中空糸膜の内部に導入された空気の湿度を調整する公知の中空糸膜式ドライヤである。ドライヤ２１６は、空気流路２０４におけるポンプ２０３と流量センサ２０７との間に設置されている。
【００８７】
またポンプ２０３は、制御部２１０から入力されるポンプ制御信号が示すポンプ制御値に従ってポンプの回転数を変化させることにより、生成する高圧空気の流量を調整する。本実施形態では、ポンプ制御信号はＰＷＭ（パルス幅変調）信号である。
【００８８】
ここで、ポンプ制御処理の手順を説明する。このポンプ制御処理は、制御部２１０が起動した直後に開始される処理である。
このポンプ制御処理が実行されると、制御部２１０のＣＰＵ２１１は、図１２に示すように、まずＳ４１０にて、ＲＡＭ２１３に設けられているポンプ制御値を設計値に設定する。設計値は、空気流路２０４内を流れる高圧空気の流量が予め設定された目標値となるように微粒子検出装置３の製造工程で予め設定された値である。
【００８９】
そしてＳ４２０にて、Ｓ４１０で設定されたポンプ制御値を示すポンプ制御信号をポンプ２０３へ出力する。
次にＳ４３０にて、流量センサ２０７から流量検出信号を取得する。そしてＳ４４０にて、流量検出信号が示す流量が予め設定された目標範囲内であるか否かを判断する。目標範囲は、上記の目標値を含む範囲である。ここで、流量が目標範囲内である場合には（Ｓ４４０：ＹＥＳ）、Ｓ４３０に移行する。
【００９０】
一方、流量が目標範囲外である場合には（Ｓ４４０：ＮＯ）、Ｓ４５０にて、流量が予め設定された許容範囲内であるか否かを判断する。許容範囲は、上記の目標範囲を全て含むように設定された範囲である。
【００９１】
ここで、流量が許容範囲内である場合には（Ｓ４５０：ＹＥＳ）、ＲＡＭ２１３に設けられている警告カウンタをリセット（０に設定）する。さらにＳ４７０にて、流量検出信号が示す流量と現時点のポンプ制御値とに基づいて、流量を目標値に一致させるためのポンプ制御値を算出する。そしてＳ４８０にて、Ｓ４７０で算出されたポンプ制御値を示すポンプ制御信号をポンプ２０３へ出力し、Ｓ４３０に移行する。
【００９２】
一方、流量が許容範囲外である場合には（Ｓ４５０：ＮＯ）、Ｓ４９０にて、警告カウンタをインクリメント（１加算）する。そしてＳ５００にて、警告カウンタの値が予め設定された警告判定値（本実施形態では例えば１０秒に相当する値）以上であるか否かを判断する。ここで、警告カウンタの値が警告判定値未満である場合には（Ｓ５００：ＮＯ）、Ｓ４７０に移行する。一方、警告カウンタの値が警告判定値以上である場合には（Ｓ５００：ＹＥＳ）、Ｓ５１０にて、高圧空気の供給で異常が発生していることを示す警告画像を表示部２０８に表示させるとともに、微粒子センサ２の制御を停止し、ポンプ制御処理を終了する。
【００９３】
このように構成された微粒子検出装置３は、流量センサ２０７によって、ポンプ２０３から微粒子センサ２へ供給される空気の流量を検出する（Ｓ４３０）。そして微粒子検出装置３は、流量センサ２０７による検出結果に基づいてポンプ２０３を制御して、空気の流量を予め設定された目標値に維持することによって、微粒子センサ２の検出精度を一定に維持する（Ｓ４４０，Ｓ４５０，Ｓ４７０，Ｓ４８０）。
【００９４】
このように微粒子検出装置３は、微粒子センサ２へ供給される空気量と相関を有する流量を検出することにより、微粒子センサ２による微粒子量の検出精度を一定に維持する。このため、微粒子検出装置３は、微粒子センサ２へ供給される空気量の変化に起因した検出精度の低下を抑制し、微粒子センサ２の検出精度を向上させることができる。
【００９５】
また微粒子検出装置３では、ポンプ２０３から供給された空気を流通させる空気流路２０４の内部を流れる空気の湿度を調整するドライヤ２１６を備える。これにより、微粒子検出装置３は、空気の湿度の変化によって微粒子センサ２の検出精度が変化するのを抑制することができる。
【００９６】
また、微粒子検出装置３では、ドライヤ２１６が、空気流路２０４におけるポンプ２０３と流量センサ２０７との間に設置される。これにより、微粒子検出装置３は、空気がドライヤ２１６を通過することで空気の流量が変化したとしても、その変化を流量センサ２０７で検出することができる。このため、微粒子検出装置３は、空気がドライヤ２１６を通過することにより発生する上記変化に起因した検出精度の低下を抑制し、微粒子センサ２の検出精度を向上させることができる。
【００９７】
また、微粒子検出装置３では、微粒子センサ２が、内燃機関の排気管ＥＰに直接挿入されることによって排気管ＥＰ内の排気ガスに含まれる微粒子の量を検出する直挿型センサである。そして微粒子検出装置３は、ポンプ２０３から供給された空気を流通させる空気流路２０４を介して微粒子センサ２と接続される。これにより、微粒子検出装置３は、微粒子検出装置３の内部に排気ガスを導入することなく、排気ガスに含まれる微粒子の量を検出することができる。
【００９８】
以上説明した実施形態において、Ｓ４４０，Ｓ４５０，Ｓ４７０，Ｓ４８０の処理は本発明における維持手段、空気流路２０４は本発明における気体流路、ドライヤ２１６は本発明における湿度調整部である。
【００９９】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の形態を採ることができる。
例えば上記実施形態では、空気流路２０４内を流れる高圧空気の流量を流量センサ２０７によって検出するものを示したが、流量を検出する代わりに、空気流路２０４内を流れる高圧空気の圧力を圧力センサによって検出するようにしてもよい。また、高圧空気の流量と圧力の両方を検出するようにしてもよい。さらに、微粒子センサによる微粒子の量の検出については、被測定ガスが導入される検知部に対して気体を供給することを通じて微粒子の量を検出する形態であれば、コロナ放電を用いてイオンを生成し、そのイオンを用いることにより微粒子の量を検出する手段に限定されるものではない。また、上記実施形態では、ポンプ２０３にて高圧の空気を供給するようにしたが、ポンプ２０３にて供給する気体は空気に限定されず、他の構成成分からなるガスを供給するようにしてもよい。
【０１００】
上記実施形態では、空気流路２０４内を流れる高圧空気中の塵などを除去するフィルタ２０６を有しているが、このフィルタ２０６が長期間の使用により汚染されることがある。その場合にも、微粒子センサ２へ供給される空気量が変化することになるが、本発明（上記実施形態）を適用することで、フィルタの汚染が経時的に生じたとしても微粒子量の検出精度を一定に維持する効果をもたらすことができる。
【０１０１】
上記実施形態では、空気に含まれる水蒸気をドライヤ２１６を用いて排出（すなわち、除湿）することにより、空気の湿度を調整するものを示したが、空気の湿度を調整するために加湿するようにしてもよい。また、上記実施形態では、微粒子センサ２を内燃機関の排気管ＥＰに直接挿入するようにしたが、排気管ＥＰの出口側に筒状のガス流通管を別に装着（接続）させ、そのガス流通管に微粒子センサ２を直接挿入して微粒子の量を検出するようにしてもよい。さらに、上記実施形態では、微粒子センサ２として直挿型センサのものを示したが、排気管ＥＰから離間した位置（場所）に微粒子センサ２を設けるとともに、排気管ＥＰを流通する排気ガスをサンプリングして微粒子センサ２に導くサンプリング経路を排気管ＥＰの途中に装着するようにして、微粒子の量を検出する構成（微粒子センサが直挿型センサでない構成）を採っても良い。
【符号の説明】
【０１０２】
１…微粒子検出システム、２…微粒子センサ、３…微粒子検出装置、１０，２０…電極、３０…イオン捕捉部、４０…排ガス帯電部、４６…ノズル、５０…イオン発生部、２０２…回路部、２０３…ポンプ、２０４…空気流路、２０５…エアレギュレータ、２０６…フィルタ、２０７…流量センサ、２０８…表示部、２０９…操作入力部、２１０…制御部、２１１…ＣＰＵ、２１２…ＲＯＭ、２１３…ＲＡＭ、２１４…信号入出力部、２１６…ドライヤ、２２０…一次側電源部、２３０…二次側電源部、２３１…電流供給回路、２３２…電流供給回路、２４０…電流差計測部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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