(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
分析装置で測定された測定データに対して操作部からの操作情報に基づいてデータ処理を実行してデータ処理結果を表示部に表示する情報処理装置であって、
前記操作部からの第１の操作情報に基づいて、複数種類の測定データのそれぞれに対応する複数種類の結果表示領域のうち、ユーザにより指定された特定種類の結果表示領域を表示画面上に配置する配置部と、
前記表示画面上に配置された前記特定種類の結果表示領域に設定可能な複数のデータ処理方法のリストを前記表示画面に表示させ、前記操作部からの第２の操作情報に基づいて、前記複数のデータ処理方法のうちユーザにより指定された少なくとも１つのデータ処理方法を、前記表示画面上に配置された前記特定種類の結果表示領域に対応付けて設定する設定部と、
前記操作部からの第３の操作情報に基づき前記測定データを前記結果表示領域に割り当て、前記結果表示領域に割り当てられた前記測定データに対して、当該結果表示領域に設定された前記データ処理方法によるデータ処理を実行し、データ処理結果を当該結果表示領域に表示させる制御を行うデータ処理部とを含み、
前記結果表示領域に設定可能なデータ処理方法は、前記結果表示領域の種類に応じて規定されている、情報処理装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記データ処理部は、
前記第３の操作情報に基づき前記分析装置で測定中の測定データを前記結果表示領域に割り当て、前記結果表示領域に割り当てられた前記測定中の測定データに対して、当該結果表示領域に設定された前記データ処理方法によるデータ処理をリアルタイムで実行し、データ処理結果を当該結果表示領域にリアルタイムで表示させる制御を行う、情報処理装置。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記配置部は、
複数の前記結果表示領域のそれぞれを、ユーザにより指定された位置及び大きさで前記表示画面上に配置する、情報処理装置。
【請求項４】
分析装置で測定された測定データに対してデータ処理を実行してデータ処理結果を表示部に表示する情報処理装置であって、
操作部からの操作情報に基づいて、前記データ処理結果が表示される結果表示領域を表示画面上に配置する配置部と、
前記操作情報に基づいて、ユーザにより指定された少なくとも１つのデータ処理方法を前記結果表示領域に対応付けて設定する設定部と、
前記操作情報に基づき前記測定データを前記結果表示領域に割り当て、前記結果表示領域に割り当てられた前記測定データに対して、当該結果表示領域に設定された前記データ処理方法によるデータ処理を実行し、データ処理結果を当該結果表示領域に表示させる制御を行うデータ処理部とを含み、
前記設定部は、
前記操作情報に基づいて、第１の前記結果表示領域と第２の前記結果表示領域とを関連付けて設定し、
前記データ処理部は、
第１の前記結果表示領域に割り当てられた第１の前記測定データと、第２の前記結果表示領域に割り当てられた第２の前記測定データとに対して、第１の前記結果表示領域に設定された前記データ処理方法によるデータ処理を実行し、データ処理結果を第１の前記結果表示領域に表示させる制御を行う、情報処理装置。
【請求項５】
分析装置で測定された測定データに対して操作部からの操作情報に基づいてデータ処理を実行してデータ処理結果を表示部の表示画面に表示する情報処理方法であって、
前記操作部からの第１の操作情報に基づいて、複数種類の測定データのそれぞれに対応する複数種類の結果表示領域のうち、ユーザにより指定された特定種類の結果表示領域を前記表示画面上に配置する配置工程と、
前記表示画面上に配置された前記特定種類の結果表示領域に設定可能な複数のデータ処理方法のリストを前記表示画面に表示させ、前記操作部からの第２の操作情報に基づいて、前記複数のデータ処理方法のうちユーザにより指定された少なくとも１つのデータ処理方法を、前記表示画面上に配置された前記特定種類の結果表示領域に対応付けて設定する設定工程と、
前記操作部からの第３の操作情報に基づき前記測定データを前記結果表示領域に割り当て、前記結果表示領域に割り当てられた前記測定データに対して、当該結果表示領域に設定された前記データ処理方法によるデータ処理を実行し、データ処理結果を当該結果表示領域に表示させる制御を行うデータ処理工程とを含み、
前記結果表示領域に設定可能なデータ処理方法は、前記結果表示領域の種類に応じて規定されている、情報処理方法。
【請求項６】
分析装置で測定された測定データに対してデータ処理を実行してデータ処理結果を表示部の表示画面に表示する情報処理方法であって、
操作部からの操作情報に基づいて、前記データ処理結果が表示される結果表示領域を前記表示画面上に配置する配置工程と、
前記操作情報に基づいて、ユーザにより指定された少なくとも１つのデータ処理方法を前記結果表示領域に対応付けて設定する設定工程と、
前記操作情報に基づき前記測定データを前記結果表示領域に割り当て、前記結果表示領域に割り当てられた前記測定データに対して、当該結果表示領域に設定された前記データ処理方法によるデータ処理を実行し、データ処理結果を当該結果表示領域に表示させる制御を行うデータ処理工程とを含み、
前記設定工程では、
前記操作情報に基づいて、第１の前記結果表示領域と第２の前記結果表示領域とを関連付けて設定し、
前記データ処理工程では、
第１の前記結果表示領域に割り当てられた第１の前記測定データと、第２の前記結果表示領域に割り当てられた第２の前記測定データとに対して、第１の前記結果表示領域に設定された前記データ処理方法によるデータ処理を実行し、データ処理結果を第１の前記結果表示領域に表示させる制御を行う、情報処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、分析装置で測定された測定データに対してデータ処理を実行してデータ処理結果を表示部に表示する情報処理装置、及びデータ処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
試料分析の分野で、試料表面に存在する元素の分析を行うために、オージェ電子分光装置（ＡＥＳ）等の分析装置が用いられる（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−２０３８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
分析装置で測定された測定データ（スペクトル、デプスプロファイル、オージェ像、二次電子像等）をデータ処理する場合には、ユーザは、ディスプレイに表示されるユーザインターフェースを用いて、測定データを読み込む操作を行った後、所望のデータ処理方法（微分処理、平滑化処理、自動定性処理等）を数多くのメニューから順番に選択して測定データに対して順次適用するといった操作を行う必要があった。このような方法では、日常業務の定型的なデータ処理を行うような場合に、同じ作業を繰り返す必要があるため、作業時間が長くかかり、操作間違いを起こしやすいといった問題があった。
【０００５】
本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、本発明のいくつかの態様によれば、操作性を向上してデータ処理作業の効率化を図ることが可能な、情報処理装置及び情報処理方法を提供することができる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（１）本発明に係る情報処理装置は、分析装置で測定された測定データに対して操作部からの操作情報に基づいてデータ処理を実行してデータ処理結果を表示部に表示する情報処理装置であって、前記操作部からの第１の操作情報に基づいて、複数種類の測定データのそれぞれに対応する複数種類の結果表示領域のうち、ユーザにより指定された特定種類の結果表示領域を表示画面上に配置する配置部と、前記表示画面上に配置された前記特定種類の結果表示領域に設定可能な複数のデータ処理方法のリストを前記表示画面に表示させ、前記操作部からの第２の操作情報に基づいて、前記複数のデータ処理方法のうちユーザにより指定された少なくとも１つのデータ処理方法を、前記表示画面上に配置された前記特定種類の結果表示領域に対応付けて設定する設定部と、前記操作部からの第３の操作情報に基づき前記測定データを前記結果表示領域に割り当て、前記結果表示領域に割り当てられた前記測定データに対して、当該結果表示領域に設定された前記データ処理方法によるデータ処理を実行し、データ処理結果を当該結果表示領域に表示させる制御を行うデータ処理部とを含み、前記結果表示領域に設定可能なデータ処理方法は、前記結果表示領域の種類に応じて規定されている。
【０００７】
また、本発明に係る情報処理方法は、分析装置で測定された測定データに対して操作部からの操作情報に基づいてデータ処理を実行してデータ処理結果を表示部の表示画面に表示する情報処理方法であって、前記操作部からの第１の操作情報に基づいて、複数種類の測定データのそれぞれに対応する複数種類の結果表示領域のうち、ユーザにより指定された特定種類の結果表示領域を前記表示画面上に配置する配置工程と、前記表示画面上に配置された前記特定種類の結果表示領域に設定可能な複数のデータ処理方法のリストを前記表示画面に表示させ、前記操作部からの第２の操作情報に基づいて、前記複数のデータ処理方法のうちユーザにより指定された少なくとも１つのデータ処理方法を、前記表示画面上に配置された前記特定種類の結果表示領域に対応付けて設定する設定工程と、前記操作部からの第３の操作情報に基づき前記測定データを前記結果表示領域に割り当て、前記結果表示領域に割り当てられた前記測定データに対して、当該結果表示領域に設定された前記データ処理方法によるデータ処理を実行し、データ処理結果を当該結果表示領域に表示させる制御を行うデータ処理工程とを含み、前記結果表示領域に設定可能なデータ処理方法は、前記結果表示領域の種類に応じて規定されている。
【０００８】
本発明によれば、ユーザは、予め結果表示領域に対して任意のデータ処理方法を指定しておけば、測定データを当該結果表示領域に割り当てる操作を行うだけで、予め指定したデータ処理方法を測定データに対して実行させてデータ処理結果を当該結果表示領域に表示させることができる。すなわち、本発明によれば、測定データに対する定型的なデータ処理を容易な操作で行うことができ、操作性を向上してデータ処理作業の効率化を図ることができる。
【０００９】
（２）本発明に係る制御装置では、前記データ処理部は、前記操作情報に基づき前記分析装置で測定中の測定データを前記結果表示領域に割り当て、前記結果表示領域に割り当てられた前記測定中の測定データに対して、当該結果表示領域に設定された前記データ処理方法によるデータ処理をリアルタイムで実行し、データ処理結果を当該結果表示領域にリアルタイムで表示させる制御を行ってもよい。
【００１０】
また、本発明に係る情報処理方法では、前記データ処理工程において、前記操作情報に基づき前記分析装置で測定中の測定データを前記結果表示領域に割り当て、前記結果表示領域に割り当てられた前記測定中の測定データに対して、当該結果表示領域に設定された前記データ処理方法によるデータ処理をリアルタイムで実行し、データ処理結果を当該結果表示領域にリアルタイムで表示させる制御を行ってもよい。
【００１１】
本発明によれば、測定中の測定データに対する定型的なデータ処理を容易な操作で行うことができ、操作性を向上してデータ処理作業の効率化を図ることができる。
【００１２】
（３）本発明に係る制御装置では、前記配置部は、複数の前記結果表示領域のそれぞれを、ユーザにより指定された位置及び大きさで前記表示画面上に配置してもよい。
【００１３】
また、本発明に係る情報処理方法では、前記配置工程において、複数の前記結果表示領域のそれぞれを、ユーザにより指定された位置及び大きさで前記表示画面上に配置してもよい。
【００１４】
本発明によれば、ユーザは、予め任意の位置及び大きさで配置した複数の結果表示領域のそれぞれに測定データを割り当てる操作を行うだけで、予めそれぞれの結果表示領域に設定したデータ処理方法を測定データに対して実行させてデータ処理結果をそれぞれの結果表示領域に表示させることができ、データ処理結果が所望の位置及び大きさで配置された分析レポートを容易に作成することができる。
【００１５】
（４）本発明に係る情報処理装置は、分析装置で測定された測定データに対してデータ処理を実行してデータ処理結果を表示部に表示する情報処理装置であって、操作部からの操作情報に基づいて、前記データ処理結果が表示される結果表示領域を表示画面上に配置する配置部と、前記操作情報に基づいて、ユーザにより指定された少なくとも１つのデータ処理方法を前記結果表示領域に対応付けて設定する設定部と、前記操作情報に基づき前記測定データを前記結果表示領域に割り当て、前記結果表示領域に割り当てられた前記測定データに対して、当該結果表示領域に設定された前記データ処理方法によるデータ処理を実行し、データ処理結果を当該結果表示領域に表示させる制御を行うデータ処理部とを含み、前記設定部は、前記操作情報に基づいて、第１の前記結果表示領域と第２の前記結果表示領域とを関連付けて設定し、前記データ処理部は、第１の前記結果表示領域に割り当てられた第１の前記測定データと、第２の前記結果表示領域に割り当てられた第２の前記測定データとに対して、第１の前記結果表示領域に設定された前記データ処理方法によるデータ処理を実行し、データ処理結果を第１の前記結果表示領域に表示させる制御を行う。
【００１６】
また、本発明に係る情報処理方法は、分析装置で測定された測定データに対してデータ処理を実行してデータ処理結果を表示部の表示画面に表示する情報処理方法であって、操作部からの操作情報に基づいて、前記データ処理結果が表示される結果表示領域を前記表示画面上に配置する配置工程と、前記操作情報に基づいて、ユーザにより指定された少なくとも１つのデータ処理方法を前記結果表示領域に対応付けて設定する設定工程と、前記操作情報に基づき前記測定データを前記結果表示領域に割り当て、前記結果表示領域に割り当てられた前記測定データに対して、当該結果表示領域に設定された前記データ処理方法によるデータ処理を実行し、データ処理結果を当該結果表示領域に表示させる制御を行うデータ処理工程とを含み、前記設定工程において、前記操作情報に基づいて、第１の前記結果表示領域と第２の前記結果表示領域とを関連付けて設定し、前記データ処理工程において、第１の前記結果表示領域に割り当てられた第１の前記測定データと、第２の前記結果表示領域に割り当てられた第２の前記測定データとに対して、第１の前記結果表示領域に設定された前記データ処理方法によるデータ処理を実行し、データ処理結果を第１の前記結果表示領域に表示させる制御を行う。
【００１７】
本発明によれば、ユーザは、予め第１の結果表示領域に対して任意のデータ処理方法を
指定し、第１の結果表示領域と第２の結果表示領域とを関連付けておけば、第１の測定データを第１の結果表示領域に割り当て、第２の測定データを第２の結果表示領域に割り当てる操作を行うだけで、第１の結果表示領域に予め設定したデータ処理方法を第１及び第２の測定データに対して実行させてデータ処理結果を第１の結果表示領域に表示させることができる。すなわち、本発明によれば、複数の測定データが関連する定型的なデータ処理を容易な操作で行うことができ、操作性を向上してデータ処理作業の効率化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本実施形態に係る情報処理装置の機能ブロック図の一例を示す図である。
【図２】表示部に表示される表示画面の一例を示す図である。
【図３】表示部に表示される表示画面の一例を示す図である。
【図４】結果表示領域に設定可能なデータ処理方法の一覧を示す図である。
【図５】表示部に表示される表示画面の一例を示す図である。
【図６】表示部に表示される表示画面の一例を示す図である。
【図７】表示部に表示される表示画面の一例を示す図である。
【図８】表示部に表示される表示画面の一例を示す図である。
【図９】表示部に表示される表示画面の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
【００２０】
１．構成
図１に、本実施形態に係る情報処理装置の機能ブロック図の一例を示す。なお本実施形態の情報処理装置は図１の構成要素（各部）の一部を省略した構成としてもよい。
【００２１】
情報処理装置１０は、分析装置１で測定された測定データに対してデータ処理を実行し、データ処理結果を表示部に表示するための装置である。本実施形態では、分析装置１がオージェ電子分光装置（オージェ電子分光器を備えた走査型電子顕微鏡）である場合を例にとって説明するが、本発明は、分析装置１が電子線プローブマイクロアナライザ（ＥＰＭＡ）やＸ線光電子分光装置（ＸＰＳ、ＥＳＣＡ）等である場合にも適用することができる。
【００２２】
本実施形態の情報処理装置１０は、分析装置１で測定された測定データとして、スペクトルデータ、元素マップ（オージェ像）データ、二次電子像データ、デプスプロファイル（深さ方向の濃度分布）データ、ラインプロファイルデータを取得する。情報処理装置１０は、処理部２０と、操作部３０と、表示部４０と、記憶部５０とを含んでいる。
【００２３】
操作部３０は、ユーザが操作情報を入力するためのものであり、入力された操作情報を処理部２０に出力する。操作部３０の機能は、キーボード、マウス、ボタン、タッチパネル、タッチパッドなどのハードウェアにより実現することができる。
【００２４】
表示部４０は、処理部２０によって生成された画像を表示するものであり、その機能は、ＬＣＤ、ＣＲＴ、操作部３０としても機能するタッチパネルなどにより実現できる。
【００２５】
記憶部５０は、処理部２０の各部としてコンピュータを機能させるためのプログラムや各種データを記憶するとともに、処理部２０のワーク領域として機能し、その機能はハードディスク、ＲＡＭなどにより実現できる。
【００２６】
処理部２０（コンピュータ）は、測定データに対してデータ処理を実行する処理、データ処理結果を表示部４０の表示画面に表示させる処理等を行う。処理部２０の機能は、各種プロセッサ（ＣＰＵ、ＤＳＰ等）などのハードウェアや、プログラムにより実現できる。処理部２０は、配置部２２、設定部２４、データ処理部２６を含む。
【００２７】
配置部２２は、操作部３０からの操作情報に基づいて、データ処理結果が表示される結果表示領域を表示部４０の表示画面上に配置する処理を行う。本実施形態では、測定データの種類に対応する複数種類の結果表示領域が用意されている。また、配置部２２は、ユーザに指定された種類の１つ又は複数の結果表示領域を、ユーザにより指定された位置及び大きさで表示画面上に配置してもよい。
【００２８】
設定部２４は、操作部３０からの操作情報に基づいて、ユーザにより指定された少なくとも１つのデータ処理方法を、ユーザにより指定された結果表示領域に対応付けて設定する。少なくとも１つのデータ処理方法が設定された各結果表示領域の設定データは記憶部５０に記憶される。データ処理方法には、平滑化処理、微分処理、画像合成処理など複数種類存在し、結果表示領域の種類毎に設定可能なデータ処理方法が規定されている。
【００２９】
また、設定部２４は、操作部３０からの操作情報に基づいて、複数の結果表示領域（第１の結果表示領域と第２の結果表示領域）を互いに関連付けて設定してもよい。ここで、設定部２４は、操作情報に基づいて、１つの結果表示領域に対して１つの結果表示領域を関連付けて設定してもよいし、１つの結果表示領域に対して２以上の結果表示領域を関連付けて設定してもよい。
【００３０】
データ処理部２６は、操作部３０からの操作情報に基づいて、ユーザにより指定された前記測定データを、ユーザにより指定された前記結果表示領域に割り当て、前記結果表示領域に割り当てられた測定データに対して、当該結果表示領域に設定されたデータ処理方法によるデータ処理を実行し、データ処理結果を当該結果表示領域に表示させる制御を行う。
【００３１】
また、データ処理部２６は、操作部３０からの操作情報に基づき分析装置１で測定中の測定データを前記結果表示領域に割り当て、前記結果表示領域に割り当てられた前記測定中の測定データに対して、当該結果表示領域に設定された前記データ処理方法によるデータ処理をリアルタイムで実行し、データ処理結果を当該結果表示領域にリアルタイムで表示させる制御を行ってもよい。
【００３２】
また、データ処理部２６は、第１の結果表示領域に割り当てられた第１の測定データと、第２の結果表示領域（第１の結果表示領域に関連付けて設定された結果表示領域）に割り当てられた第２の前記測定データとに対して、第１の前記結果表示領域に設定された前記データ処理方法によるデータ処理を実行し、データ処理結果を第１の前記結果表示領域に表示させる制御を行ってもよい。また、データ処理部２６は、第１の結果表示領域に関連付けて設定された第２及び第３の結果表示領域のそれぞれに割り当てられた測定データに対して、第１の前記結果表示領域に設定された前記データ処理方法によるデータ処理を実行し、データ処理結果を第１の前記結果表示領域に表示させる制御を行ってもよい。
【００３３】
２．本実施形態の手法
次に本実施形態の手法について図面を用いて説明する。
【００３４】
図２（Ａ）は、表示部４０に表示される表示画面（ＧＵＩ：グラフィカルユーザインターフェース）の一例を示す図である。
【００３５】
図２（Ａ）に示す表示画面の左側領域には、分析装置１で測定された１つ又は複数の測定データＭＤ（測定データを示すアイコン）がリスト表示される。ここでは、測定データＭＤとして、分析装置１で測定されたスペクトルデータが表示されている。また、図２（Ａ）に示す表示画面の右側領域には、１つ又は複数の結果表示領域ＲＦが配置される。結果表示領域ＲＦは、データ処理結果が表示される矩形の表示領域（表示フレーム）であり、結果表示領域ＲＦには、当該結果表示領域ＲＦにおいて実行する少なくとも１つのデータ処理方法が設定されている。ここでは、結果表示領域ＲＦで実行するデータ処理方法として、「微分」と「平滑化」とが設定されている。
【００３６】
図２（Ａ）に示す状態において、ユーザが、マウス等のポインティングデバイス（操作部３０）を用いて、測定データＭＤを選択（指定）し、選択した測定データＭＤを結果表示領域ＲＦに移動させる（ドラッグ＆ドロップする）操作を行うと、選択された測定データＭＤが結果表示領域ＲＦに割り当てられる（選択された測定データＭＤが、結果表示領域ＲＦにおけるデータ処理対象として設定される）。測定データＭＤが結果表示領域ＲＦに割り当てられると、測定データＭＤに対して、結果表示領域ＲＦに設定されたデータ処理方法によるデータ処理が実行され、データ処理結果が結果表示領域ＲＦに表示される。
【００３７】
図２（Ａ）に示す例では、ユーザが測定データＭＤを結果表示領域ＲＦに割り当てる操作を行うと、この測定データ（スペクトルデータ）に対して微分処理が実行された後に平滑化処理が実行され、微分された後に平滑化されたスペクトルが結果表示領域ＲＦに表示される（図２（Ｂ）参照）。具体的には、まず、結果表示領域ＲＦに設定されたデータ処理方法とその順番（ここでは、１番目に微分処理、２番目に平滑化処理）がメモリに配置され、ユーザにより指定された測定データがメモリの第１領域に配置される。そして、第１領域に配置されたデータに対して微分処理（１番目のデータ処理方法）が実行されて処理結果が第２領域に配置され、第２領域に配置されたデータに対して平滑化処理（２番目のデータ処理方法）が実行されて処理結果が第３領域に配置される。そして、第３領域に配置されたデータが結果表示領域ＲＦに配置される。
【００３８】
ユーザは、表示画面に配置した結果表示領域に任意のデータ処理方法を設定することができる。図３（Ａ）は、結果表示領域にデータ処理方法を設定する際に表示される表示画面の一例を示す図である。図３（Ａ）に示す表示画面の左側領域には、データ処理方法が設定されていない状態の結果表示領域ＲＦが配置されている。また、図３（Ａ）に示す表示画面の右側領域には、結果表示領域ＲＦに設定可能なデータ処理方法ＰＭ（データ処理方法を示すアイコン）がリスト表示されている。ここでは、スペクトルデータ用の結果表示領域ＲＦが配置されているため、スペクトルデータに対して実行可能なデータ処理方法ＰＭとして、「平滑化」、「四則演算」、「微分」、「自動定性」等が表示されている。
【００３９】
図３（Ａ）に示す状態において、ユーザが、「微分」のデータ処理方法ＰＭを選択（指定）して結果表示領域ＲＦに移動させる（ドラッグ＆ドロップする）操作を行うと、結果表示領域ＲＦにおいて１番目に実行するデータ処理方法として微分処理が設定される（図３（Ｂ）参照）。続いてユーザが、「平滑化」のデータ処理方法ＰＭを選択して結果表示領域ＲＦに移動させる操作を行うと、結果表示領域ＲＦにおいて２番目に実行するデータ処理方法として平滑化処理が設定される（図３（Ｃ）参照）。このように、ユーザは、結果表示領域ＲＦに割り当てられる測定データに対して実行する複数のデータ処理方法とその順序を簡単な操作で指定することができる。
【００４０】
図４は、結果表示領域に設定可能なデータ処理方法の一覧を示す図である。図４に示すように、本実施形態では、測定データの各種別に対応する複数種類の結果表示領域として、スペクトルデータ用、二次電子像データ用、元素マップデータ用、ラインプロファイルデータ用、デプスプロファイルデータ用、及びデプスプロファイルに含まれるレトロスペクトルデータ（深さ毎のスペクトルデータ）用の結果表示領域が用意されている。そして、結果表示領域の種類毎に設定可能なデータ処理方法が規定されている。例えば、スペクトルデータ用の結果表示領域に設定可能なデータ処理方法としては、「平滑化」、「四則演算」、「微分」、「自動定性」、「自動定量」、「波形分離」、「ＲＯＩ切出し」、「ＢＧ（バックグラウンド）除去」が規定され、二次電子像データ用の結果表示領域に設定可能なデータ処理方法としては、「平滑化」、「四則演算」、「二値化」、「マップ合成」が規定されている。ユーザは、測定データの種類に応じた種類の結果表示領域を指定して表示画面に配置することができる。
【００４１】
このように、本実施形態によれば、ユーザは、予め結果表示領域に対して任意のデータ処理方法を指定しておけば、測定データを当該結果表示領域に割り当てる操作を行うだけで、予め指定したデータ処理方法を測定データに対して実行させてデータ処理結果を当該結果表示領域に表示させることができる。すなわち、測定データに対する定型的なデータ処理を容易な操作で行うことができ、操作性を向上してデータ処理作業の効率化を図ることができる。
【００４２】
なお、本実施形態では、測定済みの測定データのみならず、分析装置１で測定中（測定途中）の測定データを結果表示領域に割り当てることもできる。図５（Ａ）に示す例では、測定データＭＤとして、分析装置１で測定中のスペクトルデータが表示画面に表示されており、ユーザが、この測定データＭＤを指定して結果表示領域ＲＦに割り当てる操作を行うと、測定中のスペクトルデータに対して結果表示領域ＲＦに割り当てられたデータ処理方法（ここでは、微分と平滑化）が順次（リアルタイムで）実行され、データ処理結果が結果表示領域ＲＦにリアルタイムで表示（更新）される（図５（Ｂ）参照）。このようにすると、測定中の測定データに対する定型的なデータ処理を容易な操作で行うことができる。また、測定に長時間を必要とする測定データに対してデータ処理を行う場合に、測定中の測定データを処理した処理結果をリアルタイムで表示することで、ユーザは、望ましい結果が得られているか否かを測定中に判断することができ、データ処理作業の効率化を図ることができる。
【００４３】
また、本実施形態では、ユーザは、任意の種類の複数の結果表示領域を、それぞれ任意の位置及び大きさで表示画面上に配置することができる。図６（Ａ）に示す例では、表示画面の右側領域に、元素マップデータ用の結果表示領域ＲＦ１と、スペクトルデータ用の２つの結果表示領域ＲＦ２、ＲＦ３が、それぞれ異なる位置及び大きさで配置されている。また、結果表示領域ＲＦ１にはデータ処理方法として「平滑化」が設定され、結果表示領域ＲＦ２には「自動定性」が設定され、結果表示領域ＲＦ３には「微分」及び「平滑化」が設定されている。
【００４４】
図６（Ａ）に示す状態で、ユーザが、元素マップデータである測定データＭＤ１を指定して結果表示領域ＲＦ１に割り当てる操作を行うと、この元素マップデータに対して平滑化処理が実行されて、平滑化された元素マップ（オージェ像）が結果表示領域ＲＦ１に表示される（図６（Ｂ）参照）。また、ユーザが、スペクトルデータである測定データＭＤ２を指定して結果表示領域ＲＦ２に割り当てる操作を行うと、このスペクトルデータに対して自動定性処理が実行されて、元素名が付加されたスペクトルが結果表示領域ＲＦ２に表示される（図６（Ｂ）参照）。また、ユーザが、スペクトルデータである測定データＭＤ３を指定して結果表示領域ＲＦ３に割り当てる操作を行うと、このスペクトルデータに対して微分処理及び平滑化処理が実行されて、微分され平滑化されたスペクトルが結果表示領域ＲＦ３に表示される（図６（Ｂ）参照）。なお、自動定性処理を実行する際には、記憶部５０に格納された所定のデータベースが参照される。また、本実施形態の情報処理装置１０では、表示画面において複数の結果表示領域が配置される領域（表示画面の右側
領域）を、所定のファイルフォーマット（例えば、プレゼンテーション用のファイルフォーマット）で出力し、或いはプリンタに出力することで、複数のデータ処理結果が配置された分析レポートを作成することができる。
【００４５】
このように、本実施形態によれば、ユーザは、予め任意の位置及び大きさで配置した複数の結果表示領域のそれぞれにデータ処理方法を指定しておけば、当該複数の結果表示領域のそれぞれに測定データを割り当てる操作を行うだけで、複数のデータ処理結果が所望の位置及び大きさで配置された分析レポートを容易に作成することができる。
【００４６】
また、本実施形態では、複数の結果表示領域同士を関連付けて設定することができる。ここでは、３つの元素マップデータを用いてＲＧＢ合成を行う場合を例にとって説明する。図７（Ａ）に示す例では、表示画面の右側領域に、元素マップデータ用の４つの結果表示領域ＲＦ４〜ＲＦ７が配置され、そのうちの１つの結果表示領域ＲＦ７にはデータ処理方法として「ＲＧＢ合成」が設定されている。また、結果表示領域ＲＦ７で実行するＲＧＢ合成において赤色で合成する対象（参照先）として結果表示領域ＲＦ４が指定（結果表示領域ＲＦ７と結果表示領域ＲＦ４とが関連付けて設定）されている。同様に、緑色で合成する対象として結果表示領域ＲＦ５が指定（結果表示領域ＲＦ７と結果表示領域ＲＦ５とが関連付けて設定）され、青色で合成する対象として結果表示領域ＲＦ５が設定（結果表示領域ＲＦ７と結果表示領域ＲＦ５とが関連付けて設定）されている。
【００４７】
図７（Ａ）に示す状態で、ユーザが、測定データＭＤ４を結果表示領域ＲＦ４に、測定データＭＤ５を結果表示領域ＲＦ５に、測定データＭＤ６を結果表示領域ＲＦ６にそれぞれ割り当てる操作を行うと、結果表示領域ＲＦ４〜ＲＦ６に割り当てられた３つの元素マップデータをＲＧＢ合成する処理が実行されて、ＲＧＢ合成後の画像が結果表示領域ＲＦ７に表示される（図７（Ｂ）参照）。なお、図７（Ａ）、図７（Ｂ）に示す例では、結果表示領域ＲＦ４〜ＲＦ６にはデータ処理方法が設定されていないため、結果表示領域ＲＦ４〜ＲＦ６には、割り当てられた各元素マップの画像がそのまま表示される。なお、結果表示領域ＲＦ４〜ＲＦ７に、データ処理方法として例えば「平滑化」を設定した場合には、結果表示領域ＲＦ４〜ＲＦ６に割り当てられた３つの元素マップデータそれぞれに対して平滑化処理が実行されて、平滑化された３つの元素マップをＲＧＢ合成する処理が実行され、ＲＧＢ合成後の画像が結果表示領域ＲＦ７に表示される。
【００４８】
次に、ＲＧＢ合成された元素マップを二次電子像に合成（マップ合成）する場合について説明する。図８（Ａ）に示す例では、図７（Ａ）に示す場合と比べて、二次電子像データ用の結果表示領域ＲＦ８（第１の結果表示領域の一例）が更に配置され、また、結果表示領域ＲＦ８にはデータ処理方法として「マップ合成」が設定されている。また、結果表示領域ＲＦ８には、結果表示領域ＲＦ７と同様に、合成処理の際の参照先として結果表示領域ＲＦ４〜ＲＦ６（第２の結果表示領域の一例）が指定されている。
【００４９】
図８（Ａ）に示す状態で、ユーザが、測定データＭＤ４を結果表示領域ＲＦ４に、測定データＭＤ５を結果表示領域ＲＦ５に、測定データＭＤ６を結果表示領域ＲＦ６にそれぞれ割り当てる操作を行い、更に、二次電子像データの測定データ（図示省略）を結果表示領域ＲＦ８に割り当てる操作を行うと、結果表示領域ＲＦ４〜ＲＦ６に割り当てられた３つの元素マップデータをＲＧＢ合成する処理が実行された後に、ＲＧＢ合成後の画像と結果表示領域ＲＦ８に割り当てられた二次電子像とを合成する処理が実行され、二次電子像上にＲＧＢ合成後の元素マップが重畳された画像が結果表示領域ＲＦ８に表示される（図８（Ｂ）参照）。
【００５０】
このように、本実施形態によれば、ユーザは、複数の結果表示領域を互いに関連付けておき、且つ結果表示領域にデータ処理方法を指定しておけば、複数の測定データを結果表
示領域に割り当てる操作を行うだけで、複数の測定データが関連する定型的なデータ処理（画像の合成の他、四則演算等のデータ処理）を行うことができ、また、複数の測定データが関連する分析レポートを容易に作成することができる。
【００５１】
次に、デプスプロファイルに対するデータ処理を行う場合について説明する。図９（Ａ）に示す例では、表示画面の右側領域に、デプスプロファイルデータ用の結果表示領域ＲＦ９が配置されている。ここで、デプスプロファイルデータには、デプスプロファイルを生成する元となるｎ個のスペクトルデータ群（レトロスペクトルデータ）が含まれているため、デプスプロファイルデータ用の結果表示領域ＲＦ９を配置すると、元となるレトロスペクトルデータ用の結果表示領域ＲＦ１０が設定される。結果表示領域ＲＦ１０は、結果表示領域ＲＦ９の内部にある仮想的な領域（フレーム）であり、表示画面には表示（配置）されない。ユーザは、結果表示領域ＲＦ９に加えて結果表示領域ＲＦ１０にもデータ処理方法を設定することができる。図９（Ａ）に示す例では、結果表示領域ＲＦ１０にデータ処理方法として「平滑化」が設定されている。
【００５２】
図９（Ａ）に示す状態で、ユーザが、デプスプロファイルデータである測定データＭＤを結果表示領域ＲＦ９に割り当てる操作を行うと、このデプスプロファイルデータに含まれるｎ個のスペクトルデータのそれぞれに対して平滑化処理が実行され、平滑化されたｎ個のスペクトルデータに基づきデプスプロファイルが再構成され、再構成されたデプスプロファイルが結果表示領域ＲＦ９に表示される（図９（Ｂ）参照）。このように、ユーザは、デプスプロファイルデータを結果表示領域に割り当てる操作を行うだけで、ｎ個のレトロスペクトルデータに対するデータ処理を実行させ、処理結果を結果表示領域に表示させることができる。
【００５３】
なお、本発明は、上述の実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【符号の説明】
【００５４】
１  分析装置、１０  情報処理装置、２０  処理部、２２  配置部、２４  設定部、２６
データ処理部、３０  操作部、４０  表示部、５０  記憶部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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