(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体が噴射される複数のノズル孔を有する樹脂製のノズルプレートと、
前記液体が充填される複数のチャネルを有するヘッドチップと、
前記ノズルプレートの前記ヘッドチップ側の面に設けられ、前記ノズルプレートの線膨張係数よりも小さい線膨張係数のスペーサプレートと、
前記ヘッドチップと前記スペーサプレートとの間に設けられ、前記ヘッドチップと前記スペーサプレートとの間を絶縁する絶縁プレートと、
前記チャネルの内面に設けられた電極と、
前記電極を被覆する絶縁膜と、
を備え、
前記スペーサプレートに、前記ノズル孔と連通するスペーサ孔が形成され、
前記絶縁プレートに、前記スペーサ孔および前記複数のチャネルのそれぞれに連通する連通孔が形成され、
前記絶縁膜が前記連通孔の内表面を被覆していることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記スペーサプレートは、ステンレスにより形成されていることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記スペーサ孔は、前記ノズル孔の形状に対応するように円形状に形成されており、
前記連通孔は、前記チャネルの断面形状に対応するように、四角状に形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記複数のチャネルは、前記液体が充填される液体噴射チャネルと、前記液体が充填されない液体非噴射チャネルと、により構成され、前記液体噴射チャネルと前記液体非噴射チャネルとが交互に並んで配置されており、
前記ノズル孔、前記スペーサ孔および前記連通孔は、それぞれ前記液体噴射チャネルに対応する箇所のみに形成されていることを特徴とする請求項１〜請求項３の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記スペーサ孔の孔径は、前記ノズル孔の孔径よりも大きく設定されていることを特徴とする請求項１〜請求項４の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
２つの前記ヘッドチップを積層したことを特徴とする請求項１〜請求項５の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
請求項１〜請求項６の何れか１項に記載の液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする液体噴射記録装置。
【請求項８】
液体が噴射される複数のノズル孔を有する樹脂製のノズルプレートと、
前記液体が充填される複数のチャネルを有するヘッドチップと、
前記ノズルプレートの前記ヘッドチップ側の面に設けられ、前記ノズルプレートの線膨張係数よりも小さい線膨張係数のスペーサプレートと、
前記ヘッドチップと前記スペーサプレートとの間に設けられ、前記ヘッドチップと前記スペーサプレートとの間を絶縁する絶縁プレートと、を備え、
前記スペーサプレートに、前記ノズル孔と連通するスペーサ孔が形成され、
前記絶縁プレートに、前記スペーサ孔および前記複数のチャネルのそれぞれに連通する連通孔が形成されている液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記ノズルプレートに前記スペーサプレートを接合する第１接合工程と、
前記チャネルの内面に電極を形成する工程と、
前記ヘッドチップに前記絶縁プレートを接合する第２接合工程と、
前記電極を絶縁膜により被覆する工程と、
前記第１接合工程により一体化された前記ノズルプレートおよび前記スペーサプレートのうちの前記スペーサプレートと、前記第２接合工程により一体化された前記ヘッドチップおよび前記絶縁プレートのうちの前記絶縁プレートとを接合する第３接合工程と、を有し、
前記絶縁膜が前記連通孔の内表面を被覆していることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記第１接合工程の後、前記スペーサプレートに前記スペーサ孔を形成すると共に、前記ノズルプレートに前記ノズル孔を形成することを特徴とする請求項８に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置、および液体噴射ヘッドの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、被記録媒体に液体（インク）を噴射する装置として、インク室の複数のノズル孔から被記録媒体に向かってインク滴を噴射する液体噴射記録装置が知られている。このような液体噴射記録装置の中には、いわゆるインクジェット方式が採用された液体噴射ヘッド（インクジェットヘッド）を備えたものがある。
【０００３】
液体噴射ヘッドには、ヘッドチップが設けられている。ヘッドチップは、インクが充填される複数のチャネル（長溝）が形成されたアクチュエータプレート（圧電アクチュエータ）を備えている。各チャネルは、一列に並んで配置されている。また、ヘッドチップの端面には、接着剤を用いてノズルプレートが接合されている。ノズルプレートには、各長溝に対応するように、複数のノズル孔が一列に並んで形成されている。
【０００４】
ノズルプレートにノズル孔を形成する際、このノズル孔を高精度に形成する必要があることからレーザ加工を用いることが多い。また、ノズルプレートとしては、ノズル孔のレーザ加工容易性などから、ポリイミドなどの樹脂材料を用いることが一般的である。
さらに、ヘッドチップの各チャネルの両側壁には、それぞれ電極が設けられており、これら電極に所定の電圧を印加すると側壁が変形し、チャネル内の容積が変化する。これにより、ノズル孔からインク滴が被記録媒体に向かって噴射する。
【０００５】
ここで、使用される液体が水性インクである場合には、金属膜である電極と水性インクとが接触していると、電極に印加する電圧によってインク中に電流が流れてしまう。これにより、電極がショートしてしまう。このため、一般に電極とインクとの接触を避けるために、電極が設けられたアクチュエータプレートの表面に、ポリパラキシレン膜（以下、パリレン（登録商標）膜という）などの有機系膜を形成する。このパリレン膜は、他の部材との接合力が弱い。このため、ヘッドチップのノズルプレートとの接合面に形成されたパリレン膜は、アッシング処理により除去される。
【０００６】
また、ヘッドチップとノズルプレートとの接合には接着剤が用いられるが、この接着剤がノズル孔内に流れ込んでノズル孔を塞いでしまう不都合があった。このため、アクチュエータプレートとノズルプレートとの間に、接着プレートを介装させる技術が開示されている。
接着プレートには、ヘッドチップのチャネルとノズルプレートのノズル孔とを連通させる逃げ孔が形成されている。そして、この逃げ孔に、ノズルプレートの接合時に余った接着剤が溜め込まれる。これにより、接着剤がノズル孔を塞いでしまうことを防止できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００９−２９２０６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、ノズルプレートの材料として使用されるポリイミドなどの樹脂材料は、温度や湿度に対する膨張、収縮の影響が大きいので、ノズル孔の加工の際やヘッドチップへの接合後に高温でキュアする際、ノズルプレートが伸縮したり、膨張したりしてしまう。このため、ノズルプレートの全長精度（ノズル孔の位置精度）が低下してしまうという課題がある。
また、ヘッドチップに被膜されたパリレン膜をアッシング処理により除去する際、オーバーアッシングにより電極の先端部（ノズルプレート側の端部）のパリレン膜が除去されてしまう場合がある。このような場合、電極が露出することになり、電極の絶縁性が損なわれるという課題がある。
【０００９】
そこで、この発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、ノズル孔の加工時やヘッドチップへの接合工程時におけるノズルプレートの全長精度の低下を抑制し、且つ電極の絶縁性を確実に確保できる液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置、および液体噴射ヘッドの製造方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の課題を解決するために、本発明に係る液体噴射ヘッドは、液体が噴射される複数のノズル孔を有する樹脂製のノズルプレートと、前記液体が充填される複数のチャネルを有するヘッドチップと、前記ノズルプレートの前記ヘッドチップ側の面に設けられ、前記ノズルプレートの線膨張係数よりも小さい線膨張係数のスペーサプレートと、前記ヘッドチップと前記スペーサプレートとの間に設けられ、前記ヘッドチップと前記スペーサプレートとの間を絶縁する絶縁プレートと、前記チャネルの内面に設けられた電極と、前記電極を被覆する絶縁膜と、を備え、前記スペーサプレートに、前記ノズル孔と連通するスペーサ孔が形成され、前記絶縁プレートに、前記スペーサ孔および前記複数のチャネルのそれぞれに連通する連通孔が形成され、前記絶縁膜が前記連通孔の内表面を被覆していることを特徴とする。
【００１１】
このように構成することで、スペーサプレートによってノズルプレートの伸縮、膨張を抑制できるので、ノズル孔の加工時やヘッドチップへの接合工程時におけるノズルプレートの全長精度の低下を抑制できる。
また、絶縁プレートに対してスペーサプレートを接合することになるので、例えば、ヘッドチップと絶縁プレートとを固定した後に、これらヘッドチップと絶縁プレートの表面にパリレン膜を形成すれば、ヘッドチップにスペーサプレートを接合するためのアッシング処理を施す必要がなくなる。つまり、絶縁プレートにスペーサプレートを接合するためのアッシング処理を施すことになる。このため、オーバーアッシングにより、ヘッドチップのチャネルに設けられる電極が露出してしまうことを防止でき、電極の絶縁性を確実に確保できる。
【００１２】
本発明に係る液体噴射ヘッドは、前記スペーサプレートは、ステンレスにより形成されていることを特徴とする。
【００１３】
ステンレスは、樹脂材と比較して非常に線膨張係数が小さい。このため、スペーサプレートによって、ノズルプレートの伸縮、膨張を、より確実に抑制できる。
また、スペーサプレートの防錆効果を高めことができると共に、耐湿性も高めることができる。
【００１４】
本発明に係る液体噴射ヘッドは、前記スペーサ孔は、前記ノズル孔の形状に対応するように円形状に形成されており、前記連通孔は、前記チャネルの断面形状に対応するように、四角状に形成されていることを特徴とする。
【００１５】
このように構成することで、スペーサプレートおよび絶縁プレートを介してノズルプレートのノズル孔とヘッドチップのチャネルとを連通させるにあたり、スペーサプレートの表面積をできる限り大きくすることができる。つまり、スペーサプレートに必要以上に大きなスペーサ孔を形成することがないので、スペーサプレートの表面積をできる限り大きくすることができる。このため、スペーサプレート自体の伸縮、膨張を極力抑えることができ、この結果、ノズルプレートの伸縮、膨張を極力抑えることができる。
【００１６】
本発明に係る液体噴射ヘッドは、前記複数のチャネルは、前記液体が充填される液体噴射チャネルと、前記液体が充填されない液体非噴射チャネルと、により構成され、前記液体噴射チャネルと前記液体非噴射チャネルとが交互に並んで配置されており、前記ノズル孔、前記スペーサ孔および前記連通孔は、それぞれ前記液体噴射チャネルに対応する箇所のみに形成されていることを特徴とする。
【００１７】
このように構成することで、スペーサプレートおよび絶縁プレートの加工コストを極力抑えることができる。また、ヘッドチップに設けられる電極の絶縁性を確実に確保できる一方、スペーサプレート自体の伸縮、膨張を極力抑えることができる。
【００１８】
本発明に係る液体噴射ヘッドは、前記スペーサ孔の孔径は、前記ノズル孔の孔径よりも大きく設定されていることを特徴とする。
【００１９】
このように構成することで、絶縁プレートとスペーサプレートとを接着剤を用いて接合する際、余剰な接着剤をスペーサ孔に確実に溜め込むことができる。このため、接着剤によってノズル孔が塞がってしまうことを確実に防止できる。
【００２０】
本発明に係る液体噴射ヘッドは、２つの前記ヘッドチップを積層したことを特徴とする。
【００２１】
このように構成することで、１つの液体噴射ヘッドにおけるノズル孔の数を増大させることができる。このため、液体噴射ヘッドから吐出された液体によって被記録媒体に記録を行う際、記録される文字や画像の密度を向上させることができる。
【００２２】
本発明に係る液体噴射記録装置は、上記に記載の液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする。
【００２３】
このように構成することで、非記録媒体に高精度な記録を行うことが可能な液体噴射記録装置を提供できる。
【００２４】
本発明に係る液体噴射ヘッドの製造方法は、液体が噴射される複数のノズル孔を有する樹脂製のノズルプレートと、前記液体が充填される複数のチャネルを有するヘッドチップと、前記ノズルプレートの前記ヘッドチップ側の面に設けられ、前記ノズルプレートの線膨張係数よりも小さい線膨張係数のスペーサプレートと、前記ヘッドチップと前記スペーサプレートとの間に設けられ、前記ヘッドチップと前記スペーサプレートとの間を絶縁する絶縁プレートと、を備え、前記スペーサプレートに、前記ノズル孔と連通するスペーサ孔が形成され、前記絶縁プレートに、前記スペーサ孔および前記複数のチャネルのそれぞれに連通する連通孔が形成されている液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記ノズルプレートに前記スペーサプレートを接合する第１接合工程と、前記チャネルの内面に電極を形成する工程と、前記ヘッドチップに前記絶縁プレートを接合する第２接合工程と、前記電極を絶縁膜により被覆する工程と、前記第１接合工程により一体化された前記ノズルプレートおよび前記スペーサプレートのうちの前記スペーサプレートと、前記第２接合工程により一体化された前記ヘッドチップおよび前記絶縁プレートのうちの前記絶縁プレートとを接合する第３接合工程と、を有し、前記絶縁膜が前記連通孔の内表面を被覆していることを特徴とする。
【００２５】
このような製造方法とすることで、スペーサプレートによってノズルプレートの伸縮、膨張を抑制できるので、ノズル孔の加工時やヘッドチップへの接合工程時におけるノズルプレートの全長精度の低下を抑制できる。
また、絶縁プレートに対してスペーサプレートを接合することになるので、ヘッドチップと絶縁プレートの表面にパリレン膜が形成されている場合、接合のためのアッシング処理を絶縁プレートに施すことになる。このため、ヘッドチップのチャネルに設けられる電極の絶縁性を確実に確保できる。
【００２６】
本発明に係る液体噴射ヘッドの製造方法は、前記第１接合工程の後、前記スペーサプレートに前記スペーサ孔を形成すると共に、前記ノズルプレートに前記ノズル孔を形成することを特徴とする。
【００２７】
このような製造方法とすることで、ノズルプレートにノズル孔を加工する際、スペーサプレートによって、ノズルプレートの伸縮、膨張を確実に抑制することができる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によれば、スペーサプレートによってノズルプレートの伸縮、膨張を抑制できるので、ノズル孔の加工時やヘッドチップへの接合工程時におけるノズルプレートの全長精度の低下を抑制できる。
また、絶縁プレートに対してスペーサプレートを接合することになるので、例えば、ヘッドチップと絶縁プレートとを固定した後に、これらヘッドチップと絶縁プレートの表面にパリレン膜を形成すれば、ヘッドチップにスペーサプレートを接合するためのアッシング処理を施す必要がなくなる。つまり、絶縁プレートにスペーサプレートを接合するためのアッシング処理を施すことになる。このため、オーバーアッシングにより、ヘッドチップのチャネルに設けられる電極が露出してしまうことを防止でき、電極の絶縁性を確実に確保できる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の実施形態における液体噴射記録装置の斜視図である。
【図２】本発明の実施形態における液体噴射ヘッドの斜視図である。
【図３】本発明の実施形態における吐出部の斜視図である。
【図４】本発明の実施形態における吐出部の分解斜視図である。
【図５】図３のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図６】本発明の実施形態における吐出部と駆動制御部とが接続された状態を示す斜視図である。
【図７】本発明の実施形態における吐出部の製造工程を示し、（ａ）〜（ｃ）は、工程図である。
【図８】本発明の実施形態における吐出部の製造工程を示し、（ａ）〜（ｄ）は、工程図である。
【図９】本発明の実施形態における吐出部の製造工程を示し、（ａ），（ｂ）は、工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
次に、この発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の説明に用いる図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
【００３１】
（液体噴射記録装置）
図１は、液体噴射記録装置の斜視図である。
液体噴射記録装置１は、いわゆるインクジェットプリンタであって、紙等の被記録媒体Ｓを搬送する一対の搬送機構２，３と、被記録媒体Ｓにインク滴を噴射する液体噴射ヘッド４と、液体噴射ヘッド４にインクを供給する液体供給手段５と、液体噴射ヘッド４を被記録媒体Ｓの搬送方向（主走査方向）と略直交する方向（副走査方向）に走査させる走査手段６と、を備えている。
【００３２】
なお、以下の説明において、副走査方向をＸ方向、主走査方向をＹ方向、そしてＸ方向、およびＹ方向に共に直交する方向をＺ方向として説明する。ここで、液体噴射記録装置１は、Ｘ方向、Ｙ方向が水平方向となるように、且つＺ方向が重力方向上下方向となるように載置して使用されるようになっている。
すなわち、液体噴射記録装置１を載置した状態では、被記録媒体Ｓ上を液体噴射ヘッド４が水平方向（Ｘ方向、Ｙ方向）に沿って走査するように構成されている。また、この液体噴射ヘッド４から重力方向下方（Ｚ方向下方）に向かってインク滴が噴射され、このインク滴が被記録媒体Ｓに着弾するように構成されている。
【００３３】
一対の搬送機構２，３は、それぞれＸ方向に延びて設けられたグリッドローラ２０，２１と、グリッドローラ２０，２１のそれぞれに平行に延びるピンチローラ２２，２３と、詳細は図示しないがグリッドローラ２０，２１を軸回りに回転動作させるモータ等の駆動機構と、を備えている。
【００３４】
液体供給手段５は、インクが収容された液体収容体２５と、液体収容体２５と液体噴射ヘッド４とを接続する液体供給管２６と、を備えている。液体収容体２５は、複数設けられており、例えば、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４種類のインクが収容されたインクタンク２５Ｙ，２５Ｍ，２５Ｃ，２５Ｂが並べて設けられている。インクタンク２５Ｙ，２５Ｍ，２５Ｃ，２５ＢのそれぞれにはポンプモータＭが設けられており、インクを、液体供給管２６を通じて液体噴射ヘッド４へ押圧移動できる。液体供給管２６は、液体噴射ヘッド４を支持するキャリッジユニット６２の動作に対応可能な可撓性を有するフレキシブルホースから成る。
【００３５】
なお、液体収容体２５は、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４種類のインクが収容されたインクタンク２５Ｙ，２５Ｍ，２５Ｃ，２５Ｂに限られるものではなく、さらに多色のインクを収容したインクタンクを備えていてもよい。
【００３６】
走査手段６は、Ｘ方向に延びて設けられた一対のガイドレール６０，６１と、一対のガイドレール６０，６１に沿って摺動可能なキャリッジユニット６２と、キャリッジユニット６２をＸ方向に移動させる駆動機構６３と、を備えている。駆動機構６３は、一対のガイドレール６０，６１の間に配設された一対のプーリ６４，６５と、一対のプーリ６４，６５間に巻回された無端ベルト６６と、一方のプーリ６４を回転駆動させる駆動モータ６７と、を備えている。
【００３７】
一対のプーリ６４，６５は、一対のガイドレール６０，６１の両端部間にそれぞれ配設されており、Ｘ方向に間隔をあけて配置されている。無端ベルト６６は、一対のガイドレール６０，６１間に配設されており、この無端ベルト６６に、キャリッジユニット６２が連結されている。キャリッジユニット６２の基端部６２ａには、複数の液体噴射ヘッド４が搭載されている。具体的には、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４種類のインクに個別に対応する液体噴射ヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４ＢがＸ方向に並んで搭載されている。
【００３８】
（液体噴射ヘッド）
図２は、液体噴射ヘッドの斜視図である。なお、液体噴射ヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂは、供給されるインクの色以外は何れも同一の構成からなるため、以下の説明では、まとめて液体噴射ヘッド４として説明する。
同図に示すように、液体噴射ヘッド４は、下部ベース７２上に固定され、被記録媒体Ｓ（図１参照）に対してインク滴を噴射する吐出部７０と、吐出部７０に電気的に接続され、この吐出部７０の駆動を制御する駆動制御部８０と、駆動制御部８０を固定する縦ベース７３と、吐出部７０と液体供給管２６との間に、それぞれ接続部１３，１４を介して介在された液体流通部１２とを有している。
【００３９】
そして、液体供給管２６から流入されるインクが、液体流通部１２を通って吐出部７０に供給されるようになっている。液体流通部１２は、圧力緩衝器として機能しており、液体供給管２６を介してインクが供給されると、インクを内部の貯留室内に一旦貯留した後、所定量のインクを吐出部７０に供給する。なお、下部ベース７２と縦ベース７３は、一体成形としてもよい。
【００４０】
吐出部７０は、下部ベース７２に固定されており、液体流通部１２に接続部１４を介して接続された流路部材７１と、電圧が印加されることによりインクを液滴として被記録媒体Ｓへと噴射させる第１ヘッドチップ３１および第２ヘッドチップ３２と、第１ヘッドチップ３１および第２ヘッドチップ３２のＺ方向の下端面（最下面）に設けられた絶縁プレート１０１、スペーサプレート１０２、およびノズルプレート３５（図３、図４参照）と、を有している。
【００４１】
図３は、吐出部の斜視図、図４は、吐出部の分解斜視図、図５は、図３のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
図３〜図５に示すように、吐出部７０は、ノズルプレート３５に、複数のノズル孔（第１ノズル孔３３ａおよび第２ノズル孔３４ａ）からなるノズル列（第１ノズル列３３および第２ノズル列３４）が２列に亘って形成されるように、２つのヘッドチップ３１，３２（第１ヘッドチップ３１および第２ヘッドチップ３２）が積層されている。そして、各ヘッドチップ３１，３２、絶縁プレート１０１、スペーサプレート１０２およびノズルプレート３５が一体化された状態で、ノズルキャップ３６によって支持されている。
【００４２】
第１ヘッドチップ３１は、後述する吐出チャネル４３ａの長手方向（Ｚ方向）端部に臨む第１ノズル孔３３ａからインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプとされ、第１アクチュエータプレート４１および第１カバープレート４２がＸ方向に積層されて構成されている。
【００４３】
第１アクチュエータプレート４１は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料で形成されたプレートであり、その分極方向が厚さ方向（Ｘ方向）に沿って設定されている。この第１アクチュエータプレート４１のＸ方向における一方の主面４１ａ（第１カバープレート４２側に位置する面）には、Ｙ方向に間隔をあけて複数のチャネル４３が並設されている。これら複数のチャネル４３は、一方の主面４１ａ側に開口した状態でＺ方向に沿って直線状に延びる溝部であり、Ｚ方向の一端部が第１アクチュエータプレート４１の下端面で開口している。これら複数のチャネル４３の間には、断面矩形状でＺ方向に延びる駆動壁４４が形成され、この駆動壁４４によって各チャネル４３はそれぞれ区分けされている。
【００４４】
また、複数のチャネル４３は、インクが充填される吐出チャネル４３ａと、インクが充填されないダミーチャネル４３ｂと、に大別される。そして、これら吐出チャネル４３ａとダミーチャネル４３ｂは、Ｙ方向に交互に並んで配置されている。吐出チャネル４３ａ内面には、蒸着等により駆動電極４８ａ（図５参照）がチャネル４３のＺ方向全体に亘って形成されている。ダミーチャネル４３ｂの内面には、蒸着等によりダミー電極４８ｂ（図５参照）がチャネル４３のＺ方向全体に亘って形成されている。
【００４５】
また、第１アクチュエータプレート４１のＸ方向における一方の主面４１ａは、Ｚ方向の上部が第１電極引出部４５とされている。この第１電極引出部４５に後述の第１フレキシブル基板９３が接続されている。そして、駆動電極４８ａおよびダミー電極４８ｂは、第１フレキシブル基板９３を介して電圧が印加されることにより、圧電滑り効果により駆動壁４４を変形させ、吐出チャネル４３ａ内の容積を変化させる。
【００４６】
第１カバープレート４２は、一方の主面４２ａが第１アクチュエータプレート４１の一方の主面４１ａ上のうち、第１電極引出部４５を避けた位置に接合されている。第１カバープレート４２は、他方の主面４２ｂ（第１アクチュエータプレート４１とは反対側に位置する面）に形成された凹状の共通インク室４６と、共通インク室４６および吐出チャネル４３ａをそれぞれ連通させる複数のスリット４７と、を有している。
【００４７】
共通インク室４６は、第１カバープレート４２のうち、チャネル４３のＺ方向における他端部に位置する部分に形成されたＹ方向に沿って長い長方形の開口である。共通インク室４６には、上述した流路部材７１内に連通しており、流路部材７１内のインクが流通するように構成されている。
スリット４７は、共通インク室４６のうち、吐出チャネル４３ａに対応する位置に形成され、共通インク室４６内と吐出チャネル４３ａ内とを連通しており、共通インク室４６に貯留されたインクが各吐出チャネル４３ａに流通するように構成されている。
【００４８】
一方、第２ヘッドチップ３２は、第２アクチュエータプレート５１および第２カバープレート５２がＸ方向に積層されて構成されている。なお、第２ヘッドチップ３２のうち、上述した第１ヘッドチップ３１と同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。
【００４９】
第２アクチュエータプレート５１の一方の主面５１ａには、上述した第１アクチュエータプレート４１のチャネル４３と同ピッチでＹ方向に間隔をあけて複数のチャネル４３が配設されている。第２アクチュエータプレート５１の吐出チャネル４３ａおよびダミーチャネル４３ｂは、第１アクチュエータプレート４１の吐出チャネル４３ａおよびダミーチャネル４３ｂに対して互い違いに並んでいる。したがって、本実施形態の吐出部７０では、第１アクチュエータプレート４１の吐出チャネル４３ａと、第２アクチュエータプレート５１の吐出チャネル４３ａと、が千鳥状に配置されている。
【００５０】
また、第１アクチュエータプレート４１および第２アクチュエータプレート５１は、他方の主面４１ｂ，５１ｂ同士が接合されている。さらに、第２アクチュエータプレート５１の一方の主面５１ａのうち、第１アクチュエータプレート４１の第１電極引出部４５と対向する位置は、第２電極引出部５５とされている。この第２電極引出部５５に後述の第２フレキシブル基板９４が接続されている。そして、第２アクチュエータプレート５１の駆動電極４８ａおよびダミー電極４８ｂは、第２フレキシブル基板９４を介して電圧が印加されることにより、圧電滑り効果により駆動壁４４を変形させ、吐出チャネル４３ａ内の容積を変化させる。
【００５１】
第１ヘッドチップ３１および第２ヘッドチップ３２のＺ方向の下端面（最下面）には、絶縁プレート１０１が設けられている。絶縁プレート１０１は、厚みが約１０μｍ程度のポリイミド等のフィルム材からなるシート状とされている。そして、絶縁プレート１０１は、第１ヘッドチップ３１および第２ヘッドチップ３２のＺ方向の下端面の形状に対応するようにＺ方向からみた平面視外形が長方形状に形成されている。
【００５２】
また、絶縁プレート１０１には、第１アクチュエータプレート４１および第２アクチュエータプレート５１のそれぞれに形成されている吐出チャネル４３ａに対応する位置に、連通孔１０１ａが配置されている。各連通孔１０１ａは、絶縁プレート１０１をＺ方向に貫通するように、且つ吐出チャネル４３ａの形状に対応するように四角状に形成されている。このように構成された絶縁プレート１０１は、第１ヘッドチップ３１および第２ヘッドチップ３２のＺ方向の下端面に、接着剤または熱溶着によって固定されている。
【００５３】
ノズルキャップ３６は、Ｚ方向から見た平面視外形が長方形状に形成されており、その上面が下部ベース７２（図２参照）の下面に突き当たった状態で固定される。
また、ノズルキャップ３６には、Ｚ方向に貫通する嵌合孔３６ａが形成されており、第１ヘッドチップ３１および第２ヘッドチップ３２が嵌合孔３６ａ内にまとめて嵌合されている。この際、ノズルキャップ３６の下端面は、絶縁プレート１０１のＺ方向下側の面（各ヘッドチップ３１，３２とは反対側の面）と面一となるように組み合わされている。
【００５４】
ノズルプレート３５は、厚みが約５０μｍ程度のポリイミド等のフィルム材からなるシート状とされ、ノズルキャップ３６および絶縁プレート１０１に、スペーサプレート１０２を介して接合されている。また、ノズルキャップ３６および絶縁プレート１０１とスペーサプレート１０２、並びに、スペーサプレート１０２とノズルプレート３５は、それぞれ接着剤または熱溶着によって接合されている。
なお、本実施形態のノズルプレート３５は、ノズルキャップ３６のほぼ全面に亘って設けられており、その外周部分が下部ベース７２とＺ方向で重なるようになっている。
【００５５】
また、ノズルプレート３５には、Ｙ方向に間隔をあけて並設された複数のノズル孔（第１ノズル孔３３ａおよび第２ノズル孔３４ａ）からなるノズル列（第１ノズル列３３および第２ノズル列３４）が２列配設されている。
【００５６】
第１ノズル列３３は、ノズルプレート３５をＺ方向に貫通する複数の第１ノズル孔３３ａを有し、これら第１ノズル孔３３ａがＹ方向に間隔をあけて一直線上に並んで構成されている。第１ノズル孔３３ａは、ノズルプレート３５におけるＺ方向の下側の面に向かって徐々に先細りとなるように円錐台状に形成されている。また、第１ノズル孔３３ａは、上述した第１アクチュエータプレート４１の吐出チャネル４３ａに対応する位置に形成されている。
【００５７】
一方、第２ノズル列３４は、ノズルプレート３５をＺ方向に貫通する複数の第２ノズル孔３４ａを有し、上述した第１ノズル列３３と平行に配設されている。また、第２ノズル孔３４ａも、ノズルプレート３５におけるＺ方向の下側の面に向かって徐々に先細りとなるように円錐台状に形成されている。さらに、各第２ノズル孔３４ａは、上述した第２アクチュエータプレート５１の吐出チャネル４３ａに対応する位置に形成されている。
【００５８】
スペーサプレート１０２は、厚みが約１０μｍ程度のステンレス材からなるシート状とされている。そして、スペーサプレート１０２は、ノズルプレート３５の形状に対応するように、Ｚ方向からみた平面視外形が長方形状に形成されている。
また、スペーサプレート１０２には、ノズルプレート３５の第１ノズル孔３３ａおよび第２ノズル孔３４ａに対応する箇所に、スペーサ孔１０２ａが配置されている。このスペーサ孔１０２ａは、スペーサプレート１０２をＺ方向に貫通するように、且つ各ノズル孔３３ａ，３４ａの形状に対応するように円形状に形成されている。
【００５９】
したがって、第１アクチュエータプレート４１および第２アクチュエータプレート５１のそれぞれに形成されている各ダミーチャネル４３ｂは、ノズルプレート３５の第１ノズル孔３３ａおよび第２ノズル孔３４ａには連通しておらず、絶縁プレート１０１、スペーサプレート１０２、およびノズルプレート３５により下方から覆われている。
一方、第１アクチュエータプレート４１および第２アクチュエータプレート５１のそれぞれに形成されている各吐出チャネル４３ａは、絶縁プレート１０１の連通孔１０１ａおよびスペーサプレート１０２のスペーサ孔１０２ａを介し、それぞれ対応する第１ノズル孔３３ａおよび第２ノズル孔３４ａに連通されている。
【００６０】
ここで、スペーサプレート１０２に形成されているスペーサ孔１０２ａの孔径は、各ノズル孔３３ａ，３４ａのスペーサプレート１０２側の孔径よりも大きく、且つ吐出チャネル４３ａの溝幅とほぼ同等になるように設定されている。これにより、ノズルプレート３５とスペーサプレート１０２とを接着剤により接合する場合、およびスペーサプレート１０２と絶縁プレート１０１とを接着剤により接合する場合、余った接着剤をスペーサ孔１０２ａに溜め込むことができる。なお、吐出部７０の製造方法についての詳細は後述する。
【００６１】
（駆動制御部）
図６は、吐出部と駆動制御部とが接続された状態を示す斜視図である。なお、図６に図示する吐出部７０は、図３、図４に示す吐出部７０と同一構造であるが、図６における説明を分かりやすくするために、簡略化している。
【００６２】
図２、図６に示すように、駆動制御部８０は、回路基板８１と、回路基板８１と吐出部７０とを電気的に接続するための接続基板８２と、を備えている。
回路基板８１は、いわゆるガラスエポキシ基板であって、Ｚ方向に長くなるようにＸ方向からみて略長方形状に形成されている。回路基板８１の外周部には、複数のビス孔８３が形成されている。ビス孔８３に不図示のビスを挿入し、このビスを縦ベース７３に固定することにより、縦ベース７３に回路基板８１が固定される。
【００６３】
回路基板８１の一面（縦ベース７３に回路基板８１を取り付けた状態で、縦ベース７３とは反対側の面）８１ａには、長手方向（Ｚ方向）の略中央に、第１接続部８４が実装されている。第１接続部８４は、回路基板８１と第１ヘッドチップ３１とを電気的に接続するためのものである。
また、回路基板８１の一面８１ａには、長手方向の下部（吐出部７０側の端部）に、第２接続部８５が実装されている。第２接続部８５は、回路基板８１と第２ヘッドチップ３２とを電気的に接続するためのものである。
【００６４】
また、回路基板８１の一面８１ａには、第１接続部８４の上側（吐出部７０とは反対側）に、第１ドライバＩＣ８６が実装されている。第１ドライバＩＣ８６は、第１ヘッドチップ３１を駆動するための駆動信号を生成するものである。第１ドライバＩＣ８６と第１接続部８４は、回路基板８１上に敷設されている配線８７により電気的に接続されている。
さらに、第１接続部８４と第２接続部８５との間には、第２ドライバＩＣ８８が実装されている。第２ドライバＩＣ８８は、第２ヘッドチップ３２を駆動するための駆動信号を生成するものである。第２ドライバＩＣ８８と第２接続部８５は、配線８９により電気的に接続されている。
【００６５】
また、回路基板８１の一面８１ａには、長手方向上端部に外部機器接続用コネクタ９１が実装されている。外部機器接続用コネクタ９１は、不図示の外部制御機器と電気的に接続され、この外部制御機器の制御信号が入力されるようになっている。外部機器接続用コネクタ９１と、第１ドライバＩＣ８６および第２ドライバＩＣ８８は、回路基板８１上に敷設されている配線９２により電気的に接続されている。
【００６６】
このように構成された回路基板８１と吐出部７０とを電気的に接続するための接続基板８２は、第１フレキシブル基板９３と第２フレキシブル基板９４とにより構成されている。第１フレキシブル基板９３は、第１接続部８４と第１ヘッドチップ３１とを電気的に接続するためのものであって、僅かに撓んだ状態で配置されている。そして、第１フレキシブル基板９３の一端が第１接続部８４に接続され、他端が第１ヘッドチップ３１の第１電極引出部４５に接続されている。
【００６７】
第２フレキシブル基板９４は、第２接続部８５と第２ヘッドチップ３２とを電気的に接続するためのものであって、僅かに撓んだ状態で配置されている。そして、第２フレキシブル基板９４の一端が第２接続部８５に接続され、他端が第２ヘッドチップ３２の第２電極引出部５５に接続されている。
なお、第２フレキシブル基板９４を、図５に２点鎖線で示すように略Ｕ字状に湾曲させて配置してもよい。
【００６８】
（吐出部の製造方法）
次に、図７〜図９に基づいて、吐出部７０の製造方法について説明する。
図７〜図９は、吐出部の製造工程を説明する工程図である。
まず、図７（ａ）に示すように、後にノズルプレート３５となるポリイミド等のフィルム材からなるシート基材１１１に、後にスペーサプレート１０２となるステンレスシート１１２を、接着剤または熱溶着によって接合する（第１接合工程）。
【００６９】
なお、接着剤によってシート基板１１１とステンレスシート１１２とを接合する場合、接着剤を用いて両者１１１，１１２を貼り合せた後、高温でキュアする。これにより、シート基板１１１とステンレスシート１１２とが接合される。一方、熱溶着の場合、シート基板１１１とステンレスシート１１２とを貼り合せた後、シート基板１１１を加熱、加圧し、両者１１１，１１２を接合する。
ここで、接着剤または熱溶着の何れの手段を用いる場合も、シート基板１１１が加熱されることになる。しかしながら、シート基材１１１と比較して線膨張係数の小さいステンレスシート１１２との接合であるため、このステンレスシート１１２によってシート基材１１１の伸長や膨張が抑制される。
【００７０】
続いて、図７（ｂ）に示すように、ステンレスシート１１２にエッチング加工を施し、スペーサ孔１０２ａを形成する。これにより、スペーサプレート１０２が完成する。
【００７１】
次に、図７（ｃ）に示すように、シート基材１１１にレーザ加工を施し、第１ノズル孔３３ａおよび第２ノズル孔３４ａを形成する。これにより、ノズルプレート３５が完成する。なお、レーザ加工におけるレーザ光は、各ノズル孔３３ａ，３４ａを円錐台状に形成すべく（図５参照）、ステンレスシート１１２のスペーサ孔１０２ａを介して照射される。
ここで、シート基材１１１は、レーザ加工を施すことにより加熱され、伸長や膨張しようとするが、シート基材１１１と比較して線膨張係数の小さいスペーサプレート１０２が接合されているので、スペーサプレート１０２によってシート基材１１１の伸長や膨張が抑制される。このため、シート基材１１１に、精度よく第１ノズル孔３３ａおよび第２ノズル孔３４ａが形成される。
【００７２】
一方、スペーサプレート１０２およびステンレスシート１１２の製造と並行して、各ヘッドチップ３１，３２および絶縁プレート１０１を製造する。
まず、図８（ａ）に示すように、複数のチャネル４３を形成した第１アクチュエータプレート４１および第２アクチュエータプレート５１のそれぞれの駆動壁４４に、駆動電極４８ａおよびダミー電極４８ｂを形成する。そしてこの後、第１アクチュエータプレート４１の他方の主面４１ｂと第２アクチュエータプレート５１の他方の主面５１ｂとを接合する。
【００７３】
さらに、第１アクチュエータプレート４１の一方の主面４１ａに第１カバープレート４２を接合すると共に、第２アクチュエータプレート５１の一方の主面５１ａに第２カバープレート５２（図３、図４参照）を接合する。これにより、第１ヘッドチップ３１および第２ヘッドチップ３２が完成する。
なお、各アクチュエータプレート４１，５１の複数のチャネル４３は、各アクチュエータプレート４１，５１に不図示のダイシングブレード等によって切削加工を施すことにより、形成される。
【００７４】
続いて、図８（ｂ）に示すように、第１ヘッドチップ３１および第２ヘッドチップ３２のＺ方向の下端面に、接着剤または熱溶着によって絶縁プレート１０１を接合する（第２接合工程）。
なお、絶縁プレート１０１に形成される連通孔１０１ａは、レーザ加工等により形成される。連通孔１０１ａを形成するタイミングとしては、各ヘッドチップ３１，３２に絶縁プレート１０１を接合する前に形成してもよいし、各ヘッドチップ３１，３２に絶縁プレート１０１を接合した後でもよい。
【００７５】
各ヘッドチップ３１，３２に絶縁プレート１０１を接合する前に、この絶縁プレート１０１に連通孔１０１ａを形成する場合、以下の点に注意が必要である。すなわち、連通孔１０１ａと各ヘッドチップ３１，３２の吐出チャネル４３ａとが重なるように、各ヘッドチップ３１，３２に対する絶縁プレート１０１の位置決めを精度よく行わなければならない点に注意が必要である。
一方、各ヘッドチップ３１，３２に絶縁プレート１０１を接合した後、この絶縁プレート１０１に連通孔１０１ａを形成する場合、前述の方法と比較して以下の利点がある。すなわち、絶縁プレート１０１における吐出チャネル４３ａに対応する位置に、連通孔１０１ａを形成すればよい。このため、各ヘッドチップ３１，３２に対する絶縁プレート１０１の位置決め精度が要求されないという利点がある。
【００７６】
次に、図８（ｃ）に示すように、各ヘッドチップ３１，３２と絶縁プレート１０１とが一体化された状態で、これらヘッドチップ３１，３２および絶縁プレート１０１の表面に、気相合成法等により有機系膜であるパリレン膜Ｐを形成する（被膜形成工程）。
このパリレン膜Ｐにより、各アクチュエータプレート４１，４２に形成された駆動電極４８ａおよびダミー電極４８ｂが被覆される。すなわち、ヘッドチップ３１，３２および絶縁プレート１０１の表面とは、外表面は勿論のこと、各アクチュエータプレート４１，５１と各カバープレート４２，５２とにより囲まれたチャネル４３内（内表面）も含んでいる。
【００７７】
次に、図８（ｄ）に示すように、絶縁プレート１０１におけるスペーサプレート１０２との接合面１０１ｂと、第１電極引出部４５および第２電極引出部５５（図３参照）とに被覆されたパリレン膜Ｐを、アッシング処理を施して除去する（被膜除去工程）。これにより、各ヘッドチップ３１，３２および絶縁プレート１０１が完成する。
【００７８】
ここで、ヘッドチップ３１，３２に絶縁プレート１０１が設けられているので、ヘッドチップ３１，３２とノズルプレート３５（スペーサプレート１０２）とを接合するにあたり、ヘッドチップ３１，３２のＺ方向の下端面をアッシング処理する必要がない。このため、絶縁プレート１０１に対するアッシング処理が多少オーバーアッシングとなってしまった場合であっても、各アクチュエータプレート４１，４２に形成されている駆動電極４８ａおよびダミー電極４８ｂのうち、Ｚ方向の下端側が露出してしまうことを防止できる。
なお、アッシング処理としては、光励起アッシングやプラズマアッシング等が挙げられる。
【００７９】
続いて、図９（ａ）、図９（ｂ）に示すように、スペーサプレート１０２と、絶縁プレート１０１とを、接着剤または熱溶着によって接合する（第３接合工程）。そして、ノズルキャップ３６（図３、図４参照）を取り付けて吐出部７０が完成する。
ここで、絶縁プレート１０１にノズルプレート３５を直接接合するのではなく、スペーサプレート１０２を介した形で絶縁プレート１０１にノズルプレート３５を接合している。このため、スペーサプレート１０２によって、接合工程時に生じる熱によりノズルプレート３５が伸長したり膨張したりしてしまうことを抑制できる。また、絶縁プレート１０１とスペーサプレート１０２とを接着剤により接合する場合、この接合時に余った接着剤は、スペーサプレート１０２のスペーサ孔１０２ａに溜まり込む。
【００８０】
このように、上述の実施形態では、ヘッドチップ３１，３２とノズルプレート３５との間に、絶縁プレート１０１とスペーサプレート１０２とを介装させている。
これにより、予めノズルプレート３５にスペーサプレート１０２を接合させる（第１接合工程）と共に、ヘッドチップ３１，３２に絶縁プレート１０１を接合させ（第２接合工程）、この後にヘッドチップ３１，３２とノズルプレート３５とを一体化させる（第３接合工程）ことができる。このため、ノズルプレート３５にノズル孔（第１ノズル孔３３ａ、第２ノズル孔３４ａ）を形成する際、および、ヘッドチップ３１，３２（絶縁プレート１０１）とノズルプレート３５（スペーサプレート１０２）とを接合する際、これらの作業をノズルプレート３５単体で行う場合と比較してノズルプレート３５の全長精度（各ノズル孔３３ａ，３４ａの位置精度）の低下を抑制できる。
【００８１】
また、絶縁プレート１０１を設けることにより、パリレン膜Ｐの形成（被膜形成工程）、およびパリレン膜Ｐの除去（被膜除去工程）を、ヘッドチップ３１，３２に絶縁プレート１０１を接合した後（第２接合工程後）に行うことができる。このため、各アクチュエータプレート４１，５１のチャネル４３に設けられる駆動電極４８ａおよびダミー電極４８ｂの所望の箇所を、パリレン膜Ｐにより確実に被覆することができる。よって、駆動電極４８ａおよびダミー電極４８ｂの絶縁性を確実に確保できる。
【００８２】
また、スペーサプレート１０２をステンレス材によって形成することにより、ノズルプレート３５と比較して線膨張係数を非常に小さくできる。また、スペーサプレート１０２の防錆効果を高めることができると共に、耐湿性も高めることができる。
さらに、スペーサプレート１０２に形成されるスペーサ孔１０２ａは、ノズル孔３３ａ，３４ａの形状に対応するように円形状に形成されている。このため、スペーサプレート１０２および絶縁プレート１０１を介してノズルプレート３５のノズル孔３３ａ，３４ａとヘッドチップ３１，３２の吐出チャネル４３ａとを連通させるにあたり、スペーサプレート１０２の表面積をできる限り大きくすることができる。
つまり、スペーサプレート１０２に必要以上に大きなスペーサ孔１０２ａを形成しないので、スペーサプレート１０２の表面積をできる限り大きくすることができる。よって、スペーサプレート１０２自体の伸縮、膨張を極力抑えることができ、この結果、ノズルプレート３５の伸縮、膨張を極力抑えることができる。
【００８３】
一方、絶縁プレート１０１に形成されている連通孔１０１ａは、吐出チャネル４３ａの形状に対応するように四角状に形成されている。このため、吐出チャネル４３ａ内のインクを、効率よくスペーサプレート１０２のスペーサ孔１０２ａに供給できる。このため、ヘッドチップ３１，３２とノズルプレート３５との間に絶縁プレート１０１やスペーサプレート１０２を介装した場合であっても、吐出部７０によるインクの吐出効率の低減を防止できる。
【００８４】
また、絶縁プレート１０１に形成されている連通孔１０１ａおよびスペーサプレート１０２に形成されているスペーサ孔１０２ａは、それぞれヘッドチップ３１，３２の吐出チャネル４３ａに対応する箇所のみに形成されており、ダミーチャネル４３ｂに対応する箇所には形成されていない。
このため、絶縁プレート１０１やスペーサプレート１０２の加工コストを極力抑えることができる。また、ヘッドチップ３１，３２に設けられる駆動電極４８ａおよびダミー電極４８ｂの絶縁性を確実に確保できる一方、スペーサプレート１０２自体の伸縮、膨張を極力抑えることができる。
【００８５】
さらに、スペーサプレート１０２に形成されているスペーサ孔１０２ａの孔径は、各ノズル孔３３ａ，３４ａのスペーサプレート１０２側の孔径よりも大きく、且つ吐出チャネル４３ａの溝幅とほぼ同等になるように設定されている。このため、ノズルプレート３５とスペーサプレート１０２とを接着剤により接合する場合、およびスペーサプレート１０２と絶縁プレート１０１とを接合する際に余った接着剤を、スペーサ孔１０２ａに溜め込むことができる。この結果、接着剤によってノズル孔３３ａ，３４ａが塞がってしまうことを確実に防止できる。
【００８６】
また、吐出部７０は、ノズルプレート３５に、複数のノズル孔（第１ノズル孔３３ａおよび第２ノズル孔３４ａ）からなるノズル列（第１ノズル列３３および第２ノズル列３４）が２列に亘って形成されるように、２つのヘッドチップ３１，３２（第１ヘッドチップ３１および第２ヘッドチップ３２）が積層されている。このため、１つの液体噴射ヘッド４におけるノズル孔の数を増大させることができる。このため、液体噴射ヘッド４から吐出されたインクによって被記録媒体Ｓに記録を行う際、記録される文字や画像の密度を向上させることができる。
【００８７】
さらに、ノズルプレート３５にノズル孔（第１ノズル孔３３ａおよび第２ノズル孔３４ａ）を形成するにあたり、まず、ノズルプレート３５（シート基材１１１）にスペーサプレート１０２（ステンレスシート１１２）を接合し、その後にノズル孔を形成するようにしている。このため、スペーサプレート１０２によって、ノズル孔を形成する際のノズルプレート３５の伸長や膨張が抑制され、精度よくノズル孔を形成することができる。
【００８８】
なお、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述の実施形態に種々の変更を加えたものを含む。
例えば、上述の実施形態では、絶縁プレート１０１は、厚みが約１０μｍ程度のポリイミド等のフィルム材からなるシート状とされている場合について説明した。また、スペーサプレート１０２は、厚みが約１０μｍ程度のステンレス材からなるシート状とされている場合について説明した。しかしながら、各プレート１０１，１０２の厚さは１０μｍに限られるものではない。とりわけ、スペーサプレート１０２については、ノズルプレート３５の伸長や膨張を抑制できれば、できる限り薄く形成することが望ましい。
【００８９】
また、絶縁プレート１０１は、絶縁性を有する材料で形成されていればよく、スペーサプレート１０２は、ノズルプレート３５よりも線膨張係数の小さい材料で形成されていればよい。例えば、絶縁プレート１０１としては、ポリイミドの他に、ガラス等の材料が挙げられる。また、スペーサプレート１０２としては、ステンレス材の他に、アルマイト処理を施したアルミ材等が挙げられる。
【００９０】
また、上述の実施形態では、絶縁プレート１０１の連通孔１０１ａは、吐出チャネル４３ａの形状に対応するように四角状に形成されている場合について説明した。さらに、スペーサプレート１０２のスペーサ孔１０２ａは、各ノズル孔３３ａ，３４ａの形状に対応するように円形状に形成されている場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、連通孔１０１ａおよびスペーサ孔１０２ａは、絶縁プレート１０１およびスペーサプレート１０２を介し、ノズルプレート３５の各ノズル孔３３ａ，３４ａとヘッドチップ３１，３２の各吐出チャネル４３ａとが連通されるように形成されていればよい。
【００９１】
さらに、上述の実施形態では、ノズルプレート３５となるポリイミド等のフィルム材からなるシート基材１１１に、スペーサプレート１０２となるステンレスシート１１２を、接着剤または熱溶着によって接合し、その後スペーサ孔１０２ａを形成し、続いて各ノズル孔３３ａ，３４ａを形成した場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、予めシート基材１１１に各ノズル孔３３ａ，３４ａを形成してノズルプレート３５とすると共に、予めステンレスシート１１２にスペーサ孔１０２ａを形成してスペーサプレート１０２としてもよい。そして、その後、ノズルプレート３５とスペーサプレート１０２とを接合した後、スペーサプレート１０２と絶縁プレート１０１とを接合してもよい。
このような方法とした場合であっても、ヘッドチップ３１，３２とノズルプレート３５とを一体化する際（第３接合工程）、ノズルプレート３５の伸長や膨張を抑制することができるので、ノズルプレート３５の全長精度の低下を抑制できる。
【００９２】
また、上述の実施形態では、各アクチュエータプレート４１，５１の複数のチャネル４３は、各アクチュエータプレート４１，５１に不図示のダイシングブレード等によって切削加工を施すことにより、形成される場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、複数のチャネル４３を、プレス加工やエッチング加工等により形成してもよい。
【００９３】
さらに、上述の実施形態では、吐出部７０は、ノズルプレート３５に、複数のノズル孔（第１ノズル孔３３ａおよび第２ノズル孔３４ａ）からなるノズル列（第１ノズル列３３および第２ノズル列３４）が２列に亘って形成されるように、２つのヘッドチップ３１，３２（第１ヘッドチップ３１および第２ヘッドチップ３２）が積層されている場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、２つのヘッドチップ３１，３２を積層せずに、１つのヘッドチップで吐出部を構成してもよい。
【００９４】
また、上述の実施形態では、液体噴射記録装置１の一例として、いわゆるインクジェットプリンタを挙げて説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であってもよい。
さらに、上述の実施形態では、液体噴射ヘッド４が複数搭載された複数色用の液体噴射記録装置１について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、例えば、液体噴射ヘッド４が一つの単色用としてもよい。
【００９５】
また、上述の実施形態で用いられるインクとしては、水性インクや油性インク、ＵＶインク、微細金属粒子インク、炭素インク（カーボンブラック、カーボンナノチューブ、フラーレン、グラフェン）等、種々の材料を用いることができる。なお、上述したインクのうち、水性インクや油性インク、ＵＶインクは複数色用の液体噴射記録装置１に好適に用いられ、微細金属粒子インク、炭素インクは単色用の液体噴射記録装置１に好適に用いられる。
【００９６】
さらに、上述の実施形態では、エッジシュートタイプのヘッドチップ３１，３２を例に挙げて説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、チャネル４３の長手方向中央に臨むノズル孔からインクを吐出する、いわゆるサイドシュートタイプとしてもよい。
サイドシュートタイプの場合、各アクチュエータプレート４１，５１へのチャネル４３の形成と、絶縁プレート１０１への連通孔１０１ａへの形成とを、同時に行うことも可能である。
また、上述の実施形態では、各アクチュエータプレート４１，５１に設けられる駆動電極４８ａの絶縁性を確保するために、絶縁膜としてパリレン膜を採用した場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、駆動電極４８ａの絶縁性を確保できる膜であればよい。
【符号の説明】
【００９７】
１…液体噴射記録装置  ４…液体噴射ヘッド  ３１…第１ヘッドチップ（ヘッドチップ）  ３２…第２ヘッドチップ（ヘッドチップ）  ３３ａ…第１ノズル孔（ノズル孔）  ３４ａ…第２ノズル孔（ノズル孔）  ３５…ノズルプレート  ４３…チャネル  ４３ａ…吐出チャネル（液体噴射チャネル）  ４３ｂ…ダミーチャネル（液体非噴射チャネル）  １０１…絶縁プレート  １０１ａ…連通孔  １０２…スペーサプレート  １０２ａ…スペーサ孔
【図１】
0006393128.tif 000002
【図２】
0006393128.tif 000003
【図３】
0006393128.tif 000004
【図４】
0006393128.tif 000005
【図５】
0006393128.tif 000006
【図６】
0006393128.tif 000007
【図７】
0006393128.tif 000008
【図８】
0006393128.tif 000009
【図９】
0006393128.tif 000010