(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
コンピュータに、
複数の工程を有する生産ラインにおいて前記複数の工程の工程間にバッファが無い場合に、所定数の生産対象物が生産される際の各工程の処理時間の実測値および理想値を記憶部に格納し、
前記記憶部に記憶された複数の工程の処理時間の実測値から所定数の生産対象物が生産される時間を示す第１の生産時間を算出し、
前記複数の工程の処理時間の実測値を理想値に置き換えた場合の、所定数の生産対象物が生産される時間を示す第２の生産時間を算出し、
評価対象の工程の処理時間の実測値を理想値に置き換え、前記評価対象の工程以外の工程の処理時間を実測値とした場合の、所定数の生産対象物が生産される時間を示す第３の生産時間を算出し、
前記評価対象の工程の処理時間を実測値とし、前記評価対象の工程以外の工程の処理時間の実測値を理想値に置き換えた場合の、所定数の生産対象物が生産される時間を示す第４の生産時間を算出し、
前記第１の生産時間、前記第２の生産時間、前記第３の生産時間および前記第４の生産時間を用いて、前記評価対象の工程のスループットへの影響度を算出する
処理を実行させることを特徴とする評価プログラム。
【請求項２】
前記影響度を算出する処理は、
前記評価対象の工程のスループットへの影響度の上限と下限を算出する
ことを特徴とする請求項１に記載の評価プログラム。
【請求項３】
生産ラインに含まれる複数の工程毎の処理時間の実測値および理想値を記憶する記憶部と、
前記複数の工程の工程間にバッファが無い場合に、前記記憶部に記憶された複数の工程の処理時間の実測値から所定数の生産対象物が生産される時間を示す第１の生産時間を算出し、前記複数の工程の処理時間の実測値を理想値に置き換えた場合の、所定数の生産対象物が生産される時間を示す第２の生産時間を算出し、評価対象の工程の処理時間の実測値を理想値に置き換え、前記評価対象の工程以外の工程の処理時間を実測値とした場合の、所定数の生産対象物が生産される時間を示す第３の生産時間を算出し、前記評価対象の工程の処理時間を実測値とし、前記評価対象の工程以外の工程の処理時間の実測値を理想値に置き換えた場合の、所定数の生産対象物が生産される時間を示す第４の生産時間を算出し、前記第１の生産時間、前記第２の生産時間、前記第３の生産時間および前記第４の生産時間を用いて、前記評価対象の工程のスループットへの影響度を算出する算出部と、
を有することを特徴とする評価装置。
【請求項４】
コンピュータが、
複数の工程を有する生産ラインにおいて前記複数の工程の工程間にバッファが無い場合に、所定個数の生産対象物が生産される際の各工程の処理時間の実測値および理想値を記憶部に格納し、
前記記憶部に記憶された複数の工程の処理時間の実測値から所定数の生産対象物が生産される時間を示す第１の生産時間を算出し、
前記複数の工程の処理時間の実測値を理想値に置き換えた場合の、所定数の生産対象物が生産される時間を示す第２の生産時間を算出し、
評価対象の工程の処理時間の実測値を理想値に置き換え、前記評価対象の工程以外の工程の処理時間を実測値とした場合の、所定数の生産対象物が生産される時間を示す第３の生産時間を算出し、
前記評価対象の工程の処理時間を実測値とし、前記評価対象の工程以外の工程の処理時間の実測値を理想値に置き換えた場合の、所定数の生産対象物が生産される時間を示す第４の生産時間を算出し、
前記第１の生産時間、前記第２の生産時間、前記第３の生産時間および前記第４の生産時間を用いて、前記評価対象の工程のスループットへの影響度を算出する
各処理を実行することを特徴とする評価方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、評価プログラム等に関する。
【背景技術】
【０００２】
複数工程を有する生産ラインでは、各工程により必要な処理時間は異なるが、複数工程のうち一番時間がかかる工程がボトルネックとなる。ボトルネックの工程によって、生産ラインのスループットが決められることが多い。ここでいうスループットとは、単位時間当たりに生産ラインから出力される完成品の数のことをいう。
【０００３】
生産ラインでは、処理対象物が、生産ラインの入り口から順に投入され、複数個の工程が、それぞれの装置により順に処理され、最終の工程が、投入された順で生産ラインの出口から完成品の処理対象物を出力する。１つの装置には、同時に１つの処理対象物しか載せられない。処理対象物の一例として、基板が挙げられる。
【０００４】
ここで、生産ラインには、処理を行う工程間に、バッファとなるタンクや、基板を退避させる仕組みがないものがある。このような生産ラインでは、例えば、前基板が工程Ｃで処理中であるため、後基板の処理が工程Ｃに進めず、前工程の工程Ｂ上で待ち時間が発生することがある。
【０００５】
また、実際の各工程の処理時間には、トラブル等による伸びが生じることがある。伸びは、伸びが生じた工程、伸びの大きさ、前基板の処理のタイミング等により、生産ラインのスループットに影響したりしなかったりする。このため、単純にある工程の処理時間の伸びの量だけで、伸びが生じた工程のスループットへの影響を評価することは難しい。したがって、スループットの改善には、工程の処理時間の伸びの影響を定量的に評価することが重要となる。
【０００６】
複数工程を有する生産ラインにおいて、単体工程が全体工程の処理時間に与える影響を評価する技術が開示されている（例えば、特許文献１参照）。かかる技術では、複数工程における第１工程の処理能力を示す第１平均と、第１標準偏差と、複数工程における第２工程の処理能力を示す第２平均と、を単体工程処理能力データとして記憶する。単体工程処理能力データの第１平均又は第１標準偏差を変更し、変更した第１平均又は第１標準偏差より構成される第１確率分布と、第２平均と第２標準偏差より構成される第２確率分布とを合成して、全体工程の処理能力を示す第１全体平均と第１全体標準偏差より構成される第１全体確率分布を生成する。これにより、ばらつきのある単体工程が全体工程の処理時間に与える影響を評価できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１２−４８２９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、複数工程を有する生産ラインでは、伸びが生じた工程がある場合に、スループットへの影響を定量的に精度良く評価することが難しいという問題がある。例えば、単体工程が全体工程の処理時間に与える影響を評価する技術では、各工程の処理能力をそれぞれ平均および標準偏差で示すため、複数の処理対象物間を考慮していない。したがって、かかる技術では、伸びが生じた工程がある場合に、スループットへの影響を定量的に精度良く評価することが難しい。
【０００９】
１つの側面では、複数工程を有する生産ラインにおいて、スループットへの影響を定量的に精度良く評価することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本願の開示する評価プログラムは、コンピュータに、複数の工程を有する生産ラインにおいて前記複数の工程の工程間にバッファが無い場合に、所定数の生産対象物が生産される際の各工程の処理時間の実測値を記憶部に格納し、前記記憶部に記憶された各工程の処理時間の実測値と予め定められた各工程の処理時間の理想値とを用いて、それぞれの単一工程のスループットへの影響度を算出する処理を実行させる。
【発明の効果】
【００１１】
本願の開示する評価プログラムの１つの態様によれば、複数工程を有する生産ラインにおいて、スループットへの影響を定量的に精度良く評価することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は、生産ラインの生産工程の一例を示す図である。
【図２Ａ】図２Ａは、単体工程の伸びがスループットに影響しない場合、する場合の一例を示す図である。
【図２Ｂ】図２Ｂは、単体工程の伸びがスループットに影響しない場合、する場合の別の例を示す図である。
【図２Ｃ】図２Ｃは、単体工程の伸びがスループットに影響しない場合、する場合の別の例を示す図である。
【図３】図３は、実施例に係る評価装置の構成を示す機能ブロック図である。
【図４】図４は、実施例に係る構成情報のデータ構造の一例を示す図である。
【図５】図５は、実施例に係るログ情報（開始終了時刻）のデータ構造の一例を示す図である。
【図６】図６は、実施例に係るログ情報（出力時刻）のデータ構造の一例を示す図である。
【図７】図７は、実施例に係るログ情報（処理時間）のデータ構造の一例を示す図である。
【図８】図８は、式（２）における漸化式の各変数の関係を示す図である。
【図９】図９は、実施例に係る結果出力の一例を示す図である。
【図１０】図１０は、実施例に係る評価処理の全体のフローチャートを示す図である。
【図１１】図１１は、全工程の処理時間を理想処理時間に置き換えた場合の生産時間の計算処理のフローチャートを示す図である。
【図１２】図１２は、１つの工程を理想処理時間、それ以外の工程を実際の正味処理時間とした場合の生産時間の計算処理のフローチャートを示す図である。
【図１３】図１３は、１つの工程を実際の正味処理時間、それ以外の工程を理想処理時間とした場合の生産時間の計算処理のフローチャートを示す図である。
【図１４】図１４は、評価プログラムを実行するコンピュータの一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下に、本願の開示する評価プログラム、評価装置および評価方法の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施例によりこの発明が限定されるものではない。
【実施例】
【００１４】
［生産ラインの生産工程の一例］
図１は、生産ラインの生産工程の一例を示す図である。図１に示すように、生産ラインは、Ｍ（Ｍは自然数）個の単体工程を有する。工程１は、例えば生産対象物である基板を受け入れ、一連の工程が処理されることで、工程Ｍは生産物として完成品の基板を出力する。１つの工程には、同時に１つの基板しか載せられない。すなわち、生産ラインには、複数の基板に同時に同じ工程を行うことができないという第１の制約がある。また、１つの基板に同時に複数の工程を行うことができないという第２の制約がある。
【００１５】
また、単体工程間にバッファとなるタンクや、基板を退避させる設備は配置されていない。各単体工程がコンベア等の搬送設備を配置している場合、コンベアは搬送物を蓄積するように動作せず、一定速度で動作するため、バッファとして機能しないものとする。したがって、例えば、前の基板が工程３で処理中であるとき、後の基板の処理が工程３に進めず、前工程の工程２上で待ち時間が発生することがある。すなわち、生産ラインには、後から投入された基板が、前に投入された基板の処理を追い抜くことはできないという第３の制約がある。
【００１６】
また、実際の各工程の処理時間には、トラブル等による伸びが生じることがある。伸びは、伸びが生じた工程、伸びの大きさ、前基板の処理のタイミング等により、生産ラインのスループットに影響したり、しなかったりする。ここでいうスループットとは、単位時間当たりに生産ラインから出力される完成品の基板の数のことをいう。
【００１７】
図２Ａ〜図２Ｃは、単体工程の伸びがスループットに影響しない場合、する場合の一例を示す図である。なお、処理１〜５は、それぞれ工程１〜５の処理であることを表す。また、処理３が、処理時間の一番長い処理であるボトルネック処理であるとする。
【００１８】
図２Ａ上段に示すように、第１〜第３の制約があるため、例えば、基板ｉ−１は、処理２を終了しても、前の基板ｉ−２では、まだボトルネック処理である処理３が行われているため、処理３に進めず、待ち時間が発生している（ａ１）。また、基板ｉでは、処理１で、処理時間について伸びを生じている（ａ２）。つまり、基板ｉでは、ボトルネック処理である処理３の直前より前の処理で、伸びを生じている。すると、基板ｉでは、前の基板ｉ−１のボトルネック処理中に処理１の処理で伸びた時間を挽回することが可能となる。したがって、伸びた時間がスループットに影響しない。
【００１９】
図２Ａ下段に示すように、第１〜第３の制約があるため、例えば、基板ｉ−１は、処理２を終了しても、前の基板ｉ−２では、まだボトルネック処理である処理３が行われているため、処理３に進めず、待ち時間が発生している（ａ１）。また、基板ｉでは、処理２で、処理時間について伸びを生じている（ａ３）。つまり、基板ｉでは、ボトルネック処理である処理３の直前の処理で、伸びを生じている。すると、基板ｉでは、前の基板ｉ−１のボトルネック処理中に処理２の処理で伸びた時間を挽回することができない。したがって、伸びた時間がスループットに影響する。
【００２０】
すなわち、伸びた時間が同じであっても、伸びが、ボトルネック処理の直前の処理（処理２）で起きるのか、直前より前の処理(処理１)で起きるのかで、スループットへの影響が異なる。
【００２１】
図２Ｂ上段に示すように、基板ｉ−２では、処理５で、処理時間について伸びを生じている（ａ４）。つまり、基板ｉ−２では、ボトルネック処理である処理３の直後より後の処理で、伸びを生じている。すると、基板ｉ−２では、後の基板ｉ−１のボトルネック処理（処理３）に影響を及ぼさない。したがって、伸びた時間がスループットに影響しない。
【００２２】
図２Ｂ下段に示すように、基板ｉ−２では、処理４で、処理時間について伸びを生じている（ａ５）。つまり、基板ｉ−２では、ボトルネック処理である処理３の直後の処理で、伸びを生じている。すると、基板ｉ−２では、後の基板ｉ−１のボトルネック処理が終了した後にも処理４が伸びているので、基板ｉ−１のボトルネック処理（処理３）後の待ちを発生させる。したがって、伸びた時間がスループットに影響する。
【００２３】
すなわち、伸びた時間が同じであっても、伸びが、ボトルネック処理の直後の処理（処理４）で起きるのか、直後より後の処理(処理５)で起きるのかで、スループットへの影響が異なる。
【００２４】
図２Ｃ上段に示すように、基板ｉでは、処理２で、処理時間について伸びを生じている（ａ６）。また、図２Ｃ中段に示すように、基板ｉでは、処理１で、処理時間について伸びを生じている（ａ７）。ところが、伸びを生じている処理は、それぞれ１つだけであるので、伸びた時間がスループットに影響しない。
【００２５】
図２Ｃ下段に示すように、基板ｉでは、処理１および処理２で、処理時間についてそれぞれ伸びを生じている（ａ８，ａ９）。すると、伸びを生じている処理が、同じ基板で複数あるので、伸びた時間がスループットに影響してしまう。
【００２６】
すなわち、１つの基板で伸びを生じている処理が１個の場合と、複数個の場合とで、スループットへの影響が異なる。
【００２７】
図２Ａ〜図２Ｃに示すように、処理時間の伸びを単体工程で評価するだけでは、スルーップットへの影響を精度良く評価できない。そこで、実施例では、後述する評価装置１が、工程間の制約を考慮して、スループットへの悪化の主要因となる工程を特定し、スループットへの影響を定量的に評価するための指標を導出する。なお、実施例では、伸びは正の値であるとする。
【００２８】
［評価装置の構成］
図３は、実施例に係る評価装置の構成を示す機能ブロック図である。図３に示すように、評価装置１は、制御部１０および記憶部２０を有する。評価装置１は、生産ラインを形成する複数の工程の実際の処理時間（正味処理時間）と各工程の理想の処理時間（理想処理時間）とを用いて、複数の基板が生産される場合の各種の生産時間を算出する。そして、評価装置１は、各種の生産時間を用いて、各工程のスループットへの影響度を算出する。なお、複数の基板が生産される場合の生産時間とは、複数の基板がＮ個である場合、１個目の基板が生産ラインから出力されてから、Ｎ個目の基板が生産ラインから出力されるまでの時間であるとする。
【００２９】
制御部１０は、各種の処理手順を規定したプログラムや制御データを格納するための内部メモリを有し、これらによって種々の処理を実行する。そして、制御部１０は、例えば、ＡＳＩＣ（Application  Specific  Integrated  Circuit）やＦＰＧＡ（Field  Programmable  Gate  Array）等の集積回路の電子回路に対応する。または、制御部１０は、ＣＰＵ（Central  Processing  Unit）やＭＰＵ（Micro  Processing  Unit）等の電子回路に対応する。制御部１０は、理想処理時間設定部１１、生産時間計算制御部１２、処理時間設定部１３、生産時間計算部１４、影響度計算部１５および結果出力部１６を有する。
【００３０】
記憶部２０は、例えばフラッシュメモリ（Flash  Memory）やＦＲＡＭ（登録商標）（Ferroelectric  Random  Access  Memory）等の不揮発性の半導体メモリ素子等の記憶装置に対応する。また、記憶部２０は、例えばＲＡＭ（Random  Access  Memory）等の揮発性の半導体メモリ素子を利用した記憶装置に対応しても良い。この場合、記憶部２０は、不揮発性の半導体メモリ素子等の記憶装置からデータを適宜ロードするようにすれば良い。記憶部２０には、構成情報２１、ログ情報（開始終了時刻）２２、ログ情報（出力時刻）２３およびログ情報（処理時間）２４が記憶される。
【００３１】
構成情報２１は、生産ラインを形成する各工程の構成を示す情報である。構成情報２１には、各工程の順番や理想処理時間が設定される。ログ情報（開始終了時刻）２２は、生産ラインによって実際に生産された基板について、各工程の開始終了時刻をログとして示す情報である。ログ情報（出力時刻）２３は、生産ラインによって実際に生産された基板について、生産ラインから出力された時刻をログとして示す情報である。ログ情報（処理時間）２４は、生産ラインによって実際に生産された基板について、各工程の正味処理時間をログとして示す情報である。なお、構成情報２１および各種ログ情報２２〜２４のデータ構造の一例は、後述する。
【００３２】
理想処理時間設定部１１は、各工程の理想処理時間を計算する。理想処理時間とは、各工程においてトラブルなく処理された場合の正味処理時間のことをいう。例えば、理想処理時間設定部１１は、過去のログ情報（処理時間）２４を用いて、工程毎に、実際の処理時間のうち最小の処理時間を探索する。理想処理時間設定部１１は、各工程の探索した処理時間を各工程の理想処理時間として構成情報２１に設定する。なお、理想処理時間設定部１１は、工程毎に、実際の処理時間のうち最小の処理時間を理想処理時間として探索すると説明したが、これに限定されず、工程毎に、実際の処理時間のメジアンを理想処理時間として探索しても良い。また、理想処理時間設定部１１は、外部から、工程毎の理想処理時間を入力しても良い。
【００３３】
ここで、構成情報２１のデータ構造について、図４を参照して説明する。図４は、実施例に係る構成情報のデータ構造の一例を示す図である。図４に示すように、構成情報２１には、工程順２１ａ、工程名２１ｂおよび理想処理時間２１ｃが対応付けて設定される。工程順２１ａは、生産ラインにおける各工程の順番である。工程名２１ｂは、各工程の名称である。理想処理時間２１ｃは、各工程の理想処理時間である。理想処理時間２１ｃに設定される時間の単位は、例えば、秒単位である。なお、工程順２１ａおよび工程名２１ｂは、例えば、生産ラインの管理者によって予め設定される。理想処理時間２１ｃは、理想処理時間設定部１１によって設定される。
【００３４】
一例として、構成情報２１は、工程順２１ａが「１」である場合に、工程名２１ｂとして「搬入１」、理想処理時間２１ｃとして「２」を設定している。
【００３５】
また、ログ情報（開始終了時刻）２２のデータ構造について、図５を参照して説明する。図５は、実施例に係るログ情報（開始終了時刻）のデータ構造の一例を示す図である。図５に示すように、ログ情報（開始終了時刻）２２には、基板ＩＤ２２ａ、工程１開始時刻２２ｂ、工程１終了時刻２２ｃ、・・・、工程Ｍ開始時刻２２ｄおよび工程Ｍ終了時刻２２ｅが対応付けて設定される。基板ＩＤ（identification）２２ａは、各基板の識別ＩＤである。工程１開始時刻２２ｂは、工程１の開始時刻である。工程１終了時刻２２ｃは、工程１の終了時刻である。工程Ｍ開始時刻２２ｄは、工程Ｍの開始時刻である。工程Ｍ終了時刻２２ｅは、工程Ｍの終了時刻である。なお、終了時刻とは、工程を出力する時刻ではなく、実際に工程の処理を終了した時刻である。
【００３６】
一例として、ログ情報（開始終了時刻）２２は、基板ＩＤ２２ａが「１」である場合に、工程１開始時刻２２ｂとして「12/24  1:00:00」、工程１終了時刻２２ｃとして「12/24  1:00:02」を設定している。工程Ｍ開始時刻２２ｄとして「12/24  1:03:10」、工程Ｍ終了時刻２２ｅとして「12/24  1:04:00」を設定している。
【００３７】
また、ログ情報（出力時刻）２３のデータ構造について、図６を参照して説明する。図６は、実施例に係るログ情報（出力時刻）のデータ構造の一例を示す図である。図６に示すように、ログ情報（出力時刻）２３には、基板ＩＤ２３ａおよび出力時刻２３ｂが対応付けて設定される。基板ＩＤ２３ａは、各基板の識別ＩＤである。出力時刻２３ｂは、基板が生産ラインから出力された時刻である。
【００３８】
一例として、ログ情報（出力時刻）２３は、基板ＩＤ２３ａが「１」である場合に、出力時刻２３ｂとして「2014/12/24  1:04:00」を設定している。
【００３９】
また、ログ情報（処理時間）２４のデータ構造について、図７を参照して説明する。図７は、実施例に係るログ情報（処理時間）のデータ構造の一例を示す図である。図７に示すように、ログ情報（処理時間）２４には、基板ＩＤ２４ａ、工程１処理時間２４ｂ、工程２処理時間２４ｃ、・・・、工程Ｍ処理時間２４ｄが対応付けて設定される。基板ＩＤ２４ａは、各基板の識別ＩＤである。工程１処理時間２４ｂは、工程１の正味処理時間である。工程２処理時間２４ｃは、工程２の正味処理時間である。工程Ｍ処理時間２４ｄは、工程Ｍの正味処理時間である。なお、工程１処理時間２４ｂ、工程２処理時間２４ｃ、・・・、工程Ｍ処理時間２４ｄは、例えば、後述する処理時間設定部１３によって設定される。
【００４０】
一例として、ログ情報（処理時間）２４は、基板ＩＤ２４ａが「１」である場合に、工程１処理時間２４ｂとして「２」、工程２処理時間２４ｃとして「３０」、・・・、工程Ｍ処理時間２４ｄとして「１」を設定している。
【００４１】
図３に戻って、生産時間計算制御部１２は、各種の生産時間の計算を制御する。例えば、生産時間計算制御部１２は、処理時間設定部１３および生産時間計算部１４を制御する。
【００４２】
処理時間設定部１３は、基板毎の各工程の実際の処理時間（正味処理時間）を、ログ情報（処理時間）２４に設定する。例えば、処理時間設定部１３は、ログ情報（開始終了時刻）２２を用いて、基板ＩＤ２２ａ毎の各工程の正味処理時間を算出する。一例として、処理時間設定部１３は、基板ＩＤ２２ａが「１」である場合に、工程１に対応する工程１終了時刻２２ｃの時刻から工程１開始時刻２２ｂの時刻を減算する。減算して得られた時間は、基板ＩＤが「１」を示す工程１の正味処理時間である。処理時間設定部１３は、算出した基板ＩＤ２２ａ毎の各工程の正味処理時間を、ログ情報（処理時間）２４の該当する領域に設定する。
【００４３】
生産時間計算部１４は、各種の生産時間を計算する。各種の生産時間には、実際の生産時間が含まれる。各種の生産時間には、全基板について、全工程の処理時間を理想処理時間に置き換えた場合の生産時間（計算処理Ａによる生産時間）が含まれる。各種の生産時間には、全基板について、１つの工程の処理を理想処理時間、それ以外の工程の処理を正味処理時間とした場合の生産時間（計算処理Ｂによる生産時間）が含まれる。各種の生産時間には、全基板について、１つの工程の処理を正味処理時間、それ以外の工程の処理を理想処理時間とした場合の生産時間（計算処理Ｃによる生産時間）が含まれる。
【００４４】
実際の生産時間は、以下のように計算される。例えば、生産時間計算部１４は、ログ情報（出力時刻２３）を用いて、１個目の基板とＮ個目の基板がそれぞれ生産ラインから出力された出力時刻を用いて、実際の生産時間を計算する。一例として、１個目の基板が生産ラインから出力された時刻が時刻ｔ１、Ｎ個目の基板が生産ラインから出力された時刻が時刻ｔＮであるとすると、生産時間計算部１４は、実際の生産時間Ｔを、以下の式（１）により算出する。
Ｔ＝ｔＮ−ｔ１・・・式（１）
【００４５】
全基板について、全工程の処理時間を正味処理時間とした場合の生産時間は、以下のように計算される。なお、工程は、１〜Ｍであるとし、基板は、１〜Ｎであるとして説明する。例えば、生産時間計算部１４は、基板ｊでの工程ｉの正味処理時間をτ’i,j（＝ｘｉ）（ｉ＝１〜Ｍ、ｊ＝１〜Ｎ）とする。生産時間計算部１４は、基板１の工程１の処理の開始時刻を起点として、基板ｊの工程ｉの処理の開始までの時間Ｓi,j、基板ｊの工程ｉを出るまでの時間Ｅi,jを、基板１から順番に、以下の漸化式、すなわち式（２）により算出する。
Ｓi,j＝ｍａｘ（Ｅi-1,j、Ｅi,j-1）、Ｅi,j＝ｍａｘ（Ｓi,j＋τ’i,j、Ｅi+1,j-1）・・・式（２）
【００４６】
ここで、式（２）における漸化式の各変種の関係を、図８を参照して説明する。図８は、式（２）における漸化式の各変数の関係を示す図である。なお、処理１〜５は、それぞれ工程１〜５の処理であることを表す。各処理で区切られた処理時間は、理想処理時間であり、「伸」は、処理が伸びたことを示し、「待ち」は、処理を終えたが次の工程に移行できないことを示す。図８では、最後の工程を表すＭが５である場合とする。また、各処理で区切られた処理時間は、理想処理時間であるとする。
【００４７】
図８に示すように、例えば、基板ｊにおける工程２の処理の開始Ｓ２，ｊは、基板ｊにおける工程１を出るまでの時間Ｅ１、ｊと、基板ｊ−１における工程２を出るまでの時間Ｅ２，ｊ−１とのうち最大の方の時間となる。そして、基板ｊにおける工程２を出るまでの時間Ｅ２，ｊは、基板ｊにおける工程２の処理の開始Ｓ２，ｊに正味処理時間τ´２，ｊを加算した時間と、基板ｊ−１における工程３を出るまでの時間Ｅ３，ｊ−１とのうち最大の方の時間となる。ここでは、基板ｊにおける工程２の正味処理時間τ´２，ｊは、理想処理時間より伸びたので、Ｅ２，ｊは、Ｅ３,j-1よりＳ２,j＋τ’２,j、のうちＳ２,j＋τ’２,jが適用される。
【００４８】
図３に戻って、１個目の基板について、生産ラインから出力される時間ｔ１´は、Ｍ番目の工程から出力される時間ＥM,1である。Ｎ個目の基板について、生産ラインから出力される時間ｔＮ´は、Ｍ番目の工程から出力される時間ＥＭ，Ｎである。生産時間計算部１４は、生産時間Ｔ´を、以下の式（３）により算出する。
Ｔ´＝ＥＭ，Ｎ−ＥＭ，１・・・式（３）
【００４９】
全基板について、全工程の処理時間を理想処理時間に置き換えた場合の生産時間（計算処理Ａによる生産時間）は、式（２）を用いて、以下のように計算される。すなわち、生産時間計算部１４は、式（２）の正味処理時間τ’i,j（＝ｘｉ）（ｉ＝１〜Ｍ、ｊ＝１〜Ｎ）をそれぞれ理想処理時間に置き換える。そして、生産時間計算部１４は、生産時間Ｔ´を、式（３）により算出する。
【００５０】
全基板について、１つの工程の処理を理想処理時間、それ以外の工程の処理を正味処理時間とした場合の生産時間（計算処理Ｂによる生産時間）は、式（２）を用いて、以下のように計算される。すなわち、生産時間計算部１４は、１つの工程について、式（２）の正味処理時間τ’i,j（＝ｘｉ）（ｉ＝１〜Ｍ、ｊ＝１〜Ｎ）を理想処理時間に置き換える。そして、生産時間計算部１４は、１つの工程以外の工程について、式（２）の正味処理時間τ’i,j（＝ｘｉ）（ｉ＝１〜Ｍ、ｊ＝１〜Ｎ）をこのまま用いる。そして、生産時間計算部１４は、生産時間Ｔ´を、式（３）により算出する。
【００５１】
全基板について、１つの工程の処理を正味処理時間、それ以外の工程の処理を理想処理時間とした場合の生産時間（計算処理Ｃによる生産時間）は、式（２）を用いて、以下のように計算される。すなわち、生産時間計算部１４は、１つの工程について、式（２）の正味処理時間τ’i,j（＝ｘｉ）（ｉ＝１〜Ｍ、ｊ＝１〜Ｎ）をこのまま用いる。そして、生産時間計算部１４は、１つの工程について、式（２）の正味処理時間τ’i,j（＝ｘｉ）（ｉ＝１〜Ｍ、ｊ＝１〜Ｎ）を理想処理時間に置き換える。そして、生産時間計算部１４は、生産時間Ｔ´を、式（３）により算出する。
【００５２】
影響度計算部１５は、生産時間計算制御部１２によって計算された各種の生産時間を用いて、各工程のスループットへの影響度の範囲を計算する。スループットへの影響度の範囲には、影響度の上限および影響度の下限が含まれる。影響度計算部１５によって算出された各工程の影響度のうち、値の大きい影響度を持つ工程が、よりスループットを悪化させている工程となる。
【００５３】
例えば、実際の生産時間をＴとし、全基板について、全工程の処理時間を理想処理時間に置き換えた場合の生産時間をＴ´とする。全基板について、１つの工程ｉの処理を理想処理時間、それ以外の工程の処理を正味処理時間とした場合の生産時間をＴｉ´´とする。全基板について、１つの工程ｉの処理を正味処理時間、それ以外の工程の処理を理想処理時間とした場合の生産時間をＴｉ´´´とする。
【００５４】
各種の生産時間を用いて、影響度計算部１５は、工程ｉ（ｉ＝１〜Ｍ）の影響度の上限Ｈｉを、以下の式（４）により算出する。
【数１】
0006357959.tif 000002
【００５５】
各種の生産時間を用いて、影響度計算部１５は、工程ｉの影響度の下限Ｌｉを、以下の式（５）により算出する。
【数２】
0006357959.tif 000003
【００５６】
工程ｉの影響度の上限Ｈｉ、下限Ｌｉは、以下の理由により式（４）、式（５）と表される。まず、上限Ｈｉ、下限Ｌｉの分母は、どちらもＴ−Ｔ´である。この（Ｔ−Ｔ´）は、実際の生産時間と全工程の処理が理想的であった場合の生産時間との差であり、必ず０以上の値になる。
【００５７】
分子の（Ｔ−Ｔｉ´´）は、仮に工程ｉに伸びがなかったとした場合、どれくらい生産時間が短くなるかを示す値である。工程ｉ以外の工程の伸びは、実際の値をそのまま使用するので、（Ｔ−Ｔｉ´´）は工程ｉの伸びの影響で生産時間が伸びる分の値を測る１つの値といえる。この値も、必ず０以上となる。
【００５８】
分子の（Ｔｉ´´´−Ｔｉ´）は、仮に工程ｉのみ実際の値だった場合、どれくらい生産時間が長くなるかを示す値である。工程ｉ以外の工程は、理想処理時間を使用し、工程ｉのみ実際の値を使用するので、（Ｔｉ´´´−Ｔｉ´）は工程ｉの伸びにより生産時間が伸びる分の値を測る１つの値といえる。この値も、必ず０以上となる。
【００５９】
そして、（Ｔ−Ｔｉ´´）と（Ｔｉ´´´−Ｔｉ´）の大小関係は、常時同じでないので、影響度計算部１５は、上限の場合ｍａｘを算出し、下限の場合ｍｉｎを算出する。そして、影響度計算部１５は、実際の生産時間と全工程の処理が理想的であった場合の生産時間との差である（Ｔ−Ｔ´）の値に対し、工程ｉの伸びの影響で生産時間が伸びる分の値を影響度と定義する。なお、分子部分の工程ｉの伸びの影響で生産時間が伸びる分の値を影響度と定義しても良い。これにより、影響度計算部１５は、影響度を、短時間で高速に計算することができる。
【００６０】
結果出力部１６は、影響度計算部１５によって計算された、各工程のスループットへの影響度の範囲を出力する。
【００６１】
図９は、実施例に係る結果出力の一例を示す図である。図９に示すように、横軸は、各工程を示し、縦軸は、スループットへの影響度を示している。結果出力部１６は、各工程のスループットへの影響度の範囲、すなわち影響度の上限および影響度の下限を出力する。ここでは、Ｍ工程のスループットへの影響度の範囲に含まれる上限および下限が、他の工程のスループットへの影響度の範囲に含まれる上限および下限より大きい。このようにして、結果出力部１６は、スループットの悪化の主要因となる工程を特定し、特定された工程のスループットへの影響を上限、下限という形で定量的に評価できる。
【００６２】
［評価処理の全体のフローチャート］
図１０は、実施例に係る評価処理の全体のフローチャートを示す図である。なお、図１０では、構成情報２１、各種ログ情報２２、２３、２４は、記憶部２０に記憶されているものとする。
【００６３】
図１０に示すように、生産時間計算制御部１２は、入力データを記憶部２０から読み込む（ステップＳ１１）。例えば、生産時間計算制御部１２は、構成情報２１、ログ情報（開始終了時刻）２２、ログ情報（出力時刻）２３およびログ情報（処理時間）２４を記憶部２０から読み込む。なお、生産時間計算制御部１２は、これらの情報を評価装置１の外部からネットワークを介して受信しても良い。
【００６４】
生産時間計算制御部１２は、実際の生産時間の計算処理を実行する（ステップＳ１２）。例えば、生産時間計算制御部１２は、ログ情報（出力時刻）２３から、１個目の基板が生産ラインから出力された時刻ｔ１と、Ｎ個目の基板が生産ラインから出力された時刻ｔＮを取得する。そして、生産時間計算制御部１２は、実際の生産時間Ｔを、ｔＮからｔ１を減算し、減算して得られた値を実際の生産時間Ｔとする。
【００６５】
そして、生産時間計算制御部１２は、全基板について、全工程の処理時間を理想処理時間に置き換えた場合の生産時間の計算処理を実行する（ステップＳ１３）。すなわち、生産時間計算制御部１２は、計算処理Ａを実行する。なお、計算処理Ａの処理フローは、後述する。
【００６６】
そして、生産時間計算制御部１２は、全基板について、１つの工程を理想処理時間、それ以外の工程を実際の正味処理時間とした場合の生産時間の計算処理を実行する（ステップＳ１４）。すなわち、生産時間計算制御部１２は、計算処理Ｂを実行する。なお、計算処理Ｂの処理フローは、後述する。
【００６７】
そして、生産時間計算制御部１２は、全基板について、１つの工程を実際の正味処理時間、それ以外の工程を理想処理時間とした場合の生産時間の計算処理を実行する（ステップＳ１５）。すなわち、生産時間計算制御部１２は、計算処理Ｃを実行する。なお、計算処理Ｃの処理フローは、後述する。
【００６８】
続いて、影響度計算部１５は、各工程の影響度の上下限（Ｈｉ、Ｌｉ）の計算処理を実行する（ステップＳ１６）。例えば、影響度計算部１５は、生産時間計算制御部１２によって計算された各種の生産時間を用いて、工程ｉ（ｉ＝１〜Ｍ）の影響度の上限Ｈｉを、式（４）により算出する。影響度計算部１５は、生産時間計算制御部１２によって計算された各種の生産時間を用いて、工程ｉの影響度の下限Ｌｉを、式（５）により算出する。
【００６９】
そして、結果出力部１６は、影響度計算部１５によって計算された、各工程のスループットへの影響度を出力する（ステップＳ１７）。
【００７０】
［計算処理Ａのフローチャート］
図１１は、全工程の処理時間を理想処理時間に置き換えた場合の生産時間の計算処理のフローチャートを示す図である。なお、図１１では、変数ｊは、基板ＩＤの値を示し、１〜Ｎ（Ｎ：自然数）であるとする。変数ｉは、工程順を示し、１〜Ｍ（Ｍ：自然数）であるとする。以降では、説明の便宜上、変数ｊを基板ｊと説明し、変数ｉを工程ｉと説明するものとする。
【００７１】
まず、生産時間計算部１４は、基板ｊに１を設定する（ステップＳ２１）。生産時間計算部１４は、工程ｉに１を設定する（ステップＳ２２）。そして、生産時間計算部１４は、基板ｊにおける工程ｉの処理時間τ´ｉ，ｊに、工程ｉの理想処理時間ｘｉを設定する（ステップＳ２３）。工程ｉの理想処理時間ｘｉは、構成情報２１から取得される。
【００７２】
そして、生産時間計算部１４は、次の工程にすべく、工程ｉを１加算する（ステップＳ２４）。生産時間計算部１４は、工程ｉが工程順の最大数Ｍより大きいか否かを判定する（ステップＳ２５）。工程ｉが工程順の最大数Ｍより大きくない場合には（ステップＳ２５；Ｎｏ）、生産時間計算部１４は、次の工程の処理時間を設定すべく、ステップＳ２３に移行する。
【００７３】
一方、工程ｉが工程順の最大数Ｍより大きい場合には（ステップＳ２５；Ｙｅｓ）、生産時間計算部１４は、次の基板にすべく、基板ｊを１加算する（ステップＳ２６）。生産時間計算部１４は、基板ｊが基板の最大数Ｎより大きいか否かを判定する（ステップＳ２７）。基板ｊが基板の最大数Ｎより大きくない場合には（ステップＳ２７；Ｎｏ）、生産時間計算部１４は、次の基板における各工程の処理時間を設定すべく、ステップＳ２２に移行する。
【００７４】
一方、基板ｊが基板の最大数Ｎより大きい場合には（ステップＳ２７；Ｙｅｓ）、生産時間計算部１４は、基板ｊにおける工程ｉの開始時間Ｓｉ，ｊおよび基板ｊにおける工程ｉの出力時間Ｅi,jを計算する。生産時間計算部１４は、基板１における工程１の開始時間Ｓ１，１を０に設定する。生産時間計算部１４は、基板１における工程１の出力時間Ｅ１，１に、開始時間Ｓ１，１に処理時間τ´１，１を加算した値を設定する（ステップＳ２８）。ここでは、処理時間τ´１，１は、基板１における工程１の理想処理時間である。
【００７５】
そして、生産時間計算部１４は、工程ｉに２を設定する（ステップＳ２９）。生産時間計算部１４は、基板１における工程ｉの開始時間Ｓｉ，１に、同じ基板１における１つ前の工程の出力時間Ｅｉ−１，１を設定する。生産時間計算部１４は、基板１における工程ｉの出力時間Ｅｉ，１に、開始時間Ｓｉ，１に処理時間τ´ｉ，１を加算した値を設定する（ステップＳ３０）。
【００７６】
そして、生産時間計算部１４は、次の工程にすべく、工程ｉを１加算する（ステップＳ３１）。生産時間計算部１４は、工程ｉが工程順の最大数Ｍより大きいか否かを判定する（ステップＳ３２）。工程ｉが工程順の最大数Ｍより大きくない場合には（ステップＳ３２；Ｎｏ）、生産時間計算部１４は、基板１における次の工程の開始時間、出力時間を計算すべく、ステップＳ３０に移行する。
【００７７】
一方、工程ｉが工程順の最大数Ｍより大きい場合には（ステップＳ３２；Ｙｅｓ）、生産時間計算部１４は、基板ｊに２を設定する（ステップＳ３３）。生産時間計算部１４は、基板ｊにおける工程１の開始時間Ｓ１，ｊに、１つ前の基板ｊ−１における同じ工程１の出力時間Ｅ１，ｊ−１を設定する。生産時間計算部１４は、基板ｊにおける工程１の出力時間Ｅ１，ｊ−１に、開始時間Ｓ１，ｊに処理時間τ´１，ｊを加算した値を設定する（ステップＳ３４）。
【００７８】
そして、生産時間計算部１４は、工程ｉに２を設定する（ステップＳ３５）。そして、生産時間計算部１４は、基板ｊにおける工程ｉの開始時間Ｓi,ｊに、同じ基板ｊにおける１つ前の工程ｉ−１の出力時間Ｅｉ−１，ｊと１つ前の基板における同じ工程ｉの出力時間Ｅｉ，ｊ−１の大きい方を設定する。生産時間計算部１４は、基板ｊにおける工程ｉの開始時間Ｓｉ，ｊに、処理時間τ´ｉ，ｊを加算した値と、１つ前の基板における次工程の出力時間Ｅｉ＋１，ｊ−１との大きい方を設定する（ステップＳ３６）。
【００７９】
そして、生産時間計算部１４は、次の工程にすべく、工程ｉを１加算する（ステップＳ３７）。生産時間計算部１４は、工程ｉが工程順の最大数Ｍと一致するか否かを判定する（ステップＳ３８）。工程ｉが工程順の最大数Ｍと一致しない場合には（ステップＳ３８；Ｎｏ）、生産時間計算部１４は、基板ｊにおける次の工程の開始時間、出力時間を計算すべく、ステップＳ３６に移行する。
【００８０】
一方、工程ｉが工程順の最大数Ｍと一致する場合には（ステップＳ３８；Ｙｅｓ）、生産時間計算部１４は、基板ｊにおける工程ｉの開始時間Ｓｉ，ｊに、同じ基板ｊにおける１つ前の工程ｉ−１の出力時間Ｅｉ−１，ｊと１つ前の基板における同じ工程ｉの出力時間Ｅｉ，ｊ−１の大きい方を設定する。生産時間計算部１４は、基板ｊにおける工程ｉの開始時間Ｓｉ，ｊに、処理時間τ´ｉ，ｊを加算した値を設定する（ステップＳ３９）。
【００８１】
そして、生産時間計算部１４は、次の基板にすべく、基板ｊを１加算する（ステップＳ４０）。生産時間計算部１４は、基板ｊが基板の最大数Ｎより大きいか否かを判定する（ステップＳ４１）。基板ｊが基板の最大数Ｎより大きくない場合には（ステップＳ４１；Ｎｏ）、生産時間計算部１４は、次の基板における各工程の開始時間、出力時間を計算すべく、ステップＳ３４に移行する。
【００８２】
一方、基板ｊが基板の最大数Ｎより大きい場合には（ステップＳ４１；Ｙｅｓ）、生産時間計算部１４は、基板Ｎにおける工程Ｍの出力時間ＥＭ，Ｎから基板１における工程Ｍの出力時間ＥＭ，１を減算した値を生産時間Ｔ´として算出する（ステップＳ４２）。そして、生産時間計算部１４は、計算処理Ａを終了する。なお、計算処理ＡのステップＳ２８〜ステップＳ４１を「Ｓｉ，ｊ、Ｅｉ，ｊ計算処理」というものとする。
【００８３】
［計算処理Ｂのフローチャート］
図１２は、１つの工程を理想処理時間、それ以外の工程を実際の正味処理時間とした場合の生産時間の計算処理のフローチャートを示す図である。なお、図１２では、変数ｊは、図１１と同様に、基板ＩＤの値を示し、１〜Ｎ（Ｎ：自然数）であるとする。変数ｉおよび変数ｋは、図１１と同様に、工程順を示し、１〜Ｍ（Ｍ：自然数）であるとする。以降では、説明の便宜上、変数ｊを基板ｊと説明し、変数ｉを工程ｉと説明し、変数ｋを工程ｋと説明するものとする。
【００８４】
以降の処理では、生産時間計算部１４が、工程ｋを理想処理時間、それ以外の工程を実際の正味処理時間とした場合の生産時間Ｔ´´ｋを算出する。
【００８５】
まず、生産時間計算部１４は、工程ｋに１を設定する（ステップＳ５１）。そして、生産時間計算部１４は、基板ｊに１を設定する（ステップＳ５２）。生産時間計算部１４は、工程ｉに１を設定する（ステップＳ５３）。
【００８６】
そして、生産時間計算部１４は、工程ｉが工程ｋと一致する否かを判定する（ステップＳ５４）。工程ｉが工程ｋと一致する場合には（ステップＳ５４；Ｙｅｓ）、生産時間計算部１４は、基板ｊにおける工程ｉの処理時間τ´ｉ，ｊに、工程ｉの理想処理時間ｘｉを設定する（ステップＳ５５）。工程ｉの理想処理時間ｘｉは、構成情報２１から取得される。一方、工程ｉが工程ｋと一致しない場合には（ステップＳ５４；Ｎｏ）、生産時間計算部１４は、基板ｊにおける工程ｉの処理時間τ´ｉ，ｊに、基板ｊにおける工程ｉの正味処理時間τｉ，ｊを設定する（ステップＳ５６）。基板ｊにおける工程ｉの正味処理時間τｉ，ｊは、ログ情報（処理時間）２４から取得される。
【００８７】
そして、生産時間計算部１４は、次の工程にすべく、工程ｉを１加算する（ステップＳ５７）。生産時間計算部１４は、工程ｉが工程順の最大数Ｍより大きいか否かを判定する（ステップＳ５８）。工程ｉが工程順の最大数Ｍより大きくない場合には（ステップＳ５８；Ｎｏ）、生産時間計算部１４は、次の工程の処理時間を設定すべく、ステップＳ５４に移行する。
【００８８】
一方、工程ｉが工程順の最大数Ｍより大きい場合には（ステップＳ５８；Ｙｅｓ）、生産時間計算部１４は、次の基板にすべく、基板ｊを１加算する（ステップＳ５９）。生産時間計算部１４は、基板ｊが基板の最大数Ｎより大きいか否かを判定する（ステップＳ６０）。基板ｊが基板の最大数Ｎより大きくない場合には（ステップＳ６０；Ｎｏ）、生産時間計算部１４は、次の基板における各工程の処理時間を設定すべく、ステップＳ５３に移行する。
【００８９】
一方、基板ｊが基板の最大数Ｎより大きい場合には（ステップＳ６０；Ｙｅｓ）、生産時間計算部１４は、計算処理Ａの「Ｓｉ，ｊ、Ｅｉ，ｊ計算処理」を実行する（ステップＳ６１）。すなわち、生産時間計算部１４は、基板ｊにおける工程ｉの開始時間Ｓｉ，ｊおよび基板ｊにおける工程ｉの出力時間Ｅｉ，ｊを計算する。
【００９０】
そして、生産時間計算部１４は、基板Ｎにおける工程Ｍの出力時間ＥＭ，Ｎから基板１における工程Ｍの出力時間ＥＭ，１を減算した値を生産時間Ｔ´´ｋとして算出する（ステップＳ６２）。すなわち、生産時間計算部１４は、工程ｋを理想処理時間、それ以外の工程を実際の正味処理時間とした場合の生産時間Ｔ´´ｋを算出する。
【００９１】
そして、生産時間計算部１４は、理想処理時間とする工程を変更すべく、工程ｋを１加算する（ステップＳ６３）。生産時間計算部１４は、工程ｋが工程の最大数Ｍより大きいか否かを判定する（ステップＳ６４）。工程ｋが工程の最大数Ｍより大きくない場合には（ステップＳ６４；Ｎｏ）、生産時間計算部１４は、次の工程ｋに対する生産時間Ｔ´´ｋを計算すべく、ステップＳ５２に移行する。
【００９２】
一方、工程ｋが工程の最大数Ｍより大きい場合には（ステップＳ６４；Ｙｅｓ）、生産時間計算部１４は、計算処理Ｂを終了する。
【００９３】
［計算処理Ｃのフローチャート］
図１３は、１つの工程を実際の正味処理時間、それ以外の工程を理想処理時間とした場合の生産時間の計算処理のフローチャートを示す図である。なお、図１３では、変数ｊは、図１１と同様に、基板ＩＤの値を示し、１〜Ｎ（Ｎ：自然数）であるとする。変数ｉおよび変数ｋは、図１１と同様に、工程順を示し、１〜Ｍ（Ｍ：自然数）であるとする。以降では、説明の便宜上、変数ｊを基板ｊと説明し、変数ｉを工程ｉと説明し、変数ｋを工程ｋと説明するものとする。
【００９４】
以降の処理では、生産時間計算部１４が、工程ｋを正味処理時間、それ以外の工程を理想処理時間とした場合の生産時間Ｔ´´´ｋを算出する。
【００９５】
まず、生産時間計算部１４は、工程ｋに１を設定する（ステップＳ７１）。そして、生産時間計算部１４は、基板ｊに１を設定する（ステップＳ７２）。生産時間計算部１４は、工程ｉに１を設定する（ステップＳ７３）。
【００９６】
そして、生産時間計算部１４は、工程ｉが工程ｋと一致する否かを判定する（ステップＳ７４）。工程ｉが工程ｋと一致しない場合には（ステップＳ７４；Ｎｏ）、生産時間計算部１４は、基板ｊにおける工程ｉの処理時間τ´ｉ，ｊに、工程ｉの理想処理時間ｘｉを設定する（ステップＳ７５）。工程ｉの理想処理時間ｘｉは、構成情報２１から取得される。一方、工程ｉが工程ｋと一致する場合には（ステップＳ７４；Ｙｅｓ）、生産時間計算部１４は、基板ｊにおける工程ｉの処理時間τ´ｉ，ｊに、基板ｊにおける工程ｉの正味処理時間τｉ，ｊを設定する（ステップＳ７６）。基板ｊにおける工程ｉの正味処理時間τｉ，ｊは、ログ情報（処理時間）２４から取得される。
【００９７】
そして、生産時間計算部１４は、次の工程にすべく、工程ｉを１加算する（ステップＳ７７）。生産時間計算部１４は、工程ｉが工程順の最大数Ｍより大きいか否かを判定する（ステップＳ７８）。工程ｉが工程順の最大数Ｍより大きくない場合には（ステップＳ７８；Ｎｏ）、生産時間計算部１４は、次の工程の処理時間を設定すべく、ステップＳ７４に移行する。
【００９８】
一方、工程ｉが工程順の最大数Ｍより大きい場合には（ステップＳ７８；Ｙｅｓ）、生産時間計算部１４は、次の基板にすべく、基板ｊを１加算する（ステップＳ７９）。生産時間計算部１４は、基板ｊが基板の最大数Ｎより大きいか否かを判定する（ステップＳ８０）。基板ｊが基板の最大数Ｎより大きくない場合には（ステップＳ８０；Ｎｏ）、生産時間計算部１４は、次の基板における各工程の処理時間を設定すべく、ステップＳ７３に移行する。
【００９９】
一方、基板ｊが基板の最大数Ｎより大きい場合には（ステップＳ８０；Ｙｅｓ）、生産時間計算部１４は、計算処理Ａの「Ｓｉ，ｊ、Ｅｉ，ｊ計算処理」を実行する（ステップＳ８１）。すなわち、生産時間計算部１４は、基板ｊにおける工程ｉの開始時間Ｓｉ，ｊおよび基板ｊにおける工程ｉの出力時間Ｅｉ，ｊを計算する。
【０１００】
そして、生産時間計算部１４は、基板Ｎにおける工程Ｍの出力時間ＥＭ，Ｎから基板１における工程Ｍの出力時間ＥＭ，１を減算した値を生産時間Ｔ´´´ｋとして算出する（ステップＳ８２）。すなわち、生産時間計算部１４は、工程ｋを正味処理時間、それ以外の工程を理想処理時間した場合の生産時間Ｔ´´´ｋを算出する。
【０１０１】
そして、生産時間計算部１４は、正味処理時間とする工程を変更すべく、工程ｋを１加算する（ステップＳ８３）。生産時間計算部１４は、工程ｋが工程の最大数Ｍより大きいか否かを判定する（ステップＳ８４）。工程ｋが工程の最大数Ｍより大きくない場合には（ステップＳ８４；Ｎｏ）、生産時間計算部１４は、次の工程ｋに対する生産時間Ｔ´´´ｋを計算すべく、ステップＳ７２に移行する。
【０１０２】
一方、工程ｋが工程の最大数Ｍより大きい場合には（ステップＳ８４；Ｙｅｓ）、生産時間計算部１４は、計算処理Ｃを終了する。
【０１０３】
［実施例の効果］
上記実施例によれば、評価装置１は、複数の工程を有する生産ラインにおいて複数の工程の工程間にバッファが無い場合に、所定数の基板が生産される際の各工程の処理時間の実測値を記憶部２０に格納する。評価装置１は、記憶部２０に記憶された各工程の処理時間の実測値と予め定められた各工程の処理時間の理想値とを用いて、それぞれの単一工程のスループットへの影響度を算出する。かかる構成によれば、評価装置１は、所定数の基板における各工程の処理時間の実測値および理想値を用いるので、１個の基板だけを用いるのと比較して、単一工程のスループットへの影響を精度良く評価することができる。
【０１０４】
また、上記実施例によれば、評価装置１は、複数の工程の処理時間の実測値から所定数の基板が生産される時間を示す第１の生産時間を算出する。評価装置１は、複数の工程の処理時間の実測値を理想値に置き換えた場合の、所定数の基板が生産される時間を示す第２の生産時間を算出する。評価装置１は、評価対象の工程の処理時間の実測値を理想値に置き換え、評価対象の工程以外の工程の処理時間を実測値とした場合の、所定数の基板が生産される時間を示す第３の生産時間を算出する。評価装置１は、評価対象の工程の処理時間を実測値とし、評価対象の工程以外の工程の処理時間の実測値を理想値に置き換えた場合の、所定数の基板が生産される時間を示す第４の生産時間を算出する。評価装置１は、第１の生産時間、第２の生産時間、第３の生産時間および第４の生産時間を用いて、評価対象の工程のスループットへの影響度を算出する。かかる構成によれば、評価装置１は、評価対象の工程と評価対象の工程以外の工程との依存関係を用いて、評価対象の工程のスループットへの影響を算出することで、評価対象の工程のスループットへの影響を精度良く評価できる。また、評価装置１は、それぞれの工程のスループットへの影響を算出することで、スループット悪化の要因となる工程を特定できることが可能となる。
【０１０５】
また、上記実施例によれば、評価装置１は、評価対象の工程のスループットへの影響度の上限と下限を算出する。かかる構成によれば、評価対象１は、評価対象の工程のスループットへの影響度を定量的に評価できる。
【０１０６】
また、上記実施例によれば、評価装置１は、複数の工程のスループットへの影響度を出力する。かかる構成によれば、評価装置１は、複数の工程のスループットへの影響度を出力することで、視覚的にまたは聴覚的に、スループットへの影響を評価できる。
【０１０７】
［その他］
なお、評価装置１は、既知のパーソナルコンピュータ、ワークステーション等の情報処理装置に、上記した生産時間計算制御部１２、処理時間設定部１３、生産時間計算部１４、影響度計算部１５等の各機能を搭載することによって実現することができる。
【０１０８】
また、図示した装置の各構成要素は、必ずしも物理的に図示の如く構成されていることを要しない。すなわち、装置の分散・統合の具体的態様は図示のものに限られず、その全部または一部を、各種の負荷や使用状況等に応じて、任意の単位で機能的または物理的に分散・統合して構成することができる。例えば、生産時間計算制御部１２と、処理時間設定部１３と、生産時間計算部１４とを１個の部として統合しても良い。一方、影響度計算部１５を、影響度の上限を計算する上限計算部と、影響度の下限を計算する下限計算部とに分散しても良い。また、記憶部２０を評価装置１の外部装置に記憶するようにしても良いし、記憶部２０を記憶した外部装置を評価装置１とネットワーク経由で接続するようにしても良い。
【０１０９】
また、上記実施例で説明した各種の処理は、あらかじめ用意されたプログラムをパーソナルコンピュータやワークステーション等のコンピュータで実行することによって実現することができる。そこで、以下では、図３に示した評価装置１と同様の機能を実現する評価プログラムを実行するコンピュータの一例を説明する。図１４は、評価プログラムを実行するコンピュータの一例を示す図である。
【０１１０】
図１４に示すように、コンピュータ２００は、各種演算処理を実行するＣＰＵ２０３と、ユーザからのデータの入力を受け付ける入力装置２１５と、表示装置２０９を制御する表示制御部２０７とを有する。また、コンピュータ２００は、記憶媒体からプログラム等を読取るドライブ装置２１３と、ネットワークを介して他のコンピュータとの間でデータの授受を行う通信制御部２１７とを有する。また、コンピュータ２００は、各種情報を一時記憶するメモリ２０１と、ＨＤＤ２０５を有する。そして、メモリ２０１、ＣＰＵ２０３、ＨＤＤ２０５、表示制御部２０７、ドライブ装置２１３、入力装置２１５、通信制御部２１７は、バス２１９で接続されている。
【０１１１】
ドライブ装置２１３は、例えばリムーバブルディスク２１１用の装置である。ＨＤＤ２０５は、評価プログラム２０５ａおよび評価処理関連情報２０５ｂを記憶する。
【０１１２】
ＣＰＵ２０３は、評価プログラム２０５ａを読み出して、メモリ２０１に展開し、プロセスとして実行する。かかるプロセスは、評価装置１の各機能部に対応する。評価処理関連情報２０５ｂは、構成情報２１、ログ情報（開始終了時刻）２２、ログ情報（出力時刻）２３およびログ情報（処理時間）２４等の各情報を記憶する。
【０１１３】
なお、評価プログラム２０５ａについては、必ずしも最初からＨＤＤ２０５に記憶させておかなくても良い。例えば、コンピュータ２００に挿入されるフレキシブルディスク（ＦＤ）、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤディスク、光磁気ディスク、ＩＣカード等の「可搬用の物理媒体」に当該プログラムを記憶させておく。そして、コンピュータ２００がこれらから評価プログラム２０５ａを読み出して実行するようにしても良い。
【０１１４】
以上の実施例を含む実施形態に関し、さらに以下の付記を開示する。
【０１１５】
（付記１）コンピュータに、
複数の工程を有する生産ラインにおいて前記複数の工程の工程間にバッファが無い場合に、所定数の生産対象物が生産される際の各工程の処理時間の実測値を記憶部に格納し、
前記記憶部に記憶された各工程の処理時間の実測値と予め定められた各工程の処理時間の理想値とを用いて、それぞれの単一工程のスループットへの影響度を算出する
処理を実行させることを特徴とする評価プログラム。
【０１１６】
（付記２）前記影響度を算出する処理は、
前記複数の工程の処理時間の実測値から所定数の生産対象物が生産される時間を示す第１の生産時間を算出し、
前記複数の工程の処理時間の実測値を理想値に置き換えた場合の、所定数の生産対象物が生産される時間を示す第２の生産時間を算出し、
評価対象の工程の処理時間の実測値を理想値に置き換え、前記評価対象の工程以外の工程の処理時間を実測値とした場合の、所定数の生産対象物が生産される時間を示す第３の生産時間を算出し、
前記評価対象の工程の処理時間を実測値とし、前記評価対象の工程以外の工程の処理時間の実測値を理想値に置き換えた場合の、所定数の生産対象物が生産される時間を示す第４の生産時間を算出し、
前記第１の生産時間、前記第２の生産時間、前記第３の生産時間および前記第４の生産時間を用いて、前記評価対象の工程のスループットへの影響度を算出する
ことを特徴とする付記１に記載の評価プログラム。
【０１１７】
（付記３）前記影響度を算出する処理は、
前記評価対象の工程のスループットへの影響度の上限と下限を算出する
ことを特徴とする付記２に記載の評価プログラム。
【０１１８】
（付記４）前記影響度を算出する処理によって算出された前記複数の工程のスループットへの影響度を出力する
ことを特徴とする付記１に記載の評価プログラム。
【０１１９】
（付記５）生産ラインに含まれる複数の工程毎の処理時間の実測値および理想値を記憶する記憶部と、
前記複数の工程の工程間にバッファが無い場合に、前記記憶部に記憶された各工程の処理時間の実測値と各工程の処理時間の理想値とを用いて、それぞれの単一工程のスループットへの影響度を算出する算出部と、
を有することを特徴とする評価装置。
【０１２０】
（付記６）コンピュータが、
複数の工程を有する生産ラインにおいて前記複数の工程の工程間にバッファが無い場合に、所定個数の生産対象物が生産される際の各工程の処理時間の実測値を記憶部に格納し、
前記記憶部に記憶された各工程の処理時間の実測値と予め定められた各工程の処理時間の理想値とを用いて、それぞれの単一工程のスループットへの影響度を算出する
各処理を実行することを特徴とする評価方法。
【符号の説明】
【０１２１】
１  評価装置
１０  制御部
１１  理想処理時間設定部
１２  生産時間計算制御部
１３  処理時間設定部
１４  生産時間計算部
１５  影響度計算部
１６  結果出力部
２０  記憶部
２１  構成情報
２２  ログ情報（開始終了時刻）
２３  ログ情報（出力時刻）
２４  ログ情報（処理時間）
【図１】
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【図２Ａ】
0006357959.tif 000005
【図２Ｂ】
0006357959.tif 000006
【図２Ｃ】
0006357959.tif 000007
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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