(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１表面、及び前記第１表面以外の第２表面からなる外表面を有するシンチレータ部材と、
前記シンチレータ部材における前記第１表面の内側に前記第１表面に沿って形成された改質層からなり、開口部を有する光反射層と、
前記第２表面上に設けられた光反射部材と、を備える、シンチレータ体。
【請求項２】
前記第１表面は、鏡面である、請求項１記載のシンチレータ体。
【請求項３】
前記改質層は、前記シンチレータ部材において周囲と異なる屈折率を有する改質領域からなる、請求項１又は２記載のシンチレータ体。
【請求項４】
前記光反射層は、前記第１表面に垂直な方向において並設された複数の前記改質層からなる、請求項１〜３のいずれか一項記載のシンチレータ体。
【請求項５】
前記改質層は、レーザ光の照射によって形成された改質領域からなる、請求項１〜４のいずれか一項記載のシンチレータ体。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項記載のシンチレータ体と、
前記シンチレータ体における前記シンチレータ部材の前記第１表面に取り付けられ、前記シンチレータ体における前記光反射層の前記開口部に対向する受光部を有する光検出器と、を備える、放射線検出器。
【請求項７】
前記第１表面に垂直な方向から見た場合に、前記受光部の外縁は、前記開口部の外縁の外側に位置し、且つ前記第１表面の外縁の内側に位置している、請求項６記載の放射線検出器。
【請求項８】
２次元に配列された複数のシンチレータ部分を含むシンチレータウェハの第１主面を入射面としてレーザ光を照射することにより、前記シンチレータウェハにおける前記第１主面の内側に前記第１主面に沿って改質層を形成し、前記シンチレータ部分ごとに、開口部を有する光反射層を設ける第１工程と、
前記第１工程の後に、前記シンチレータ部分ごとに、前記シンチレータウェハを切断する第２工程と、を備える、シンチレータ体の製造方法。
【請求項９】
前記第２工程は、
前記シンチレータウェハを前記第１主面で支持する第３工程と、
前記第３工程の後に、前記シンチレータ部分ごとに、前記シンチレータウェハを切断し、隣り合う前記シンチレータ部分の間に溝を形成する第４工程と、
前記第４工程の後に、切断された前記シンチレータウェハの第２主面上及び前記溝の内側に光反射部材を設ける第５工程と、
前記第５工程の後に、前記溝に沿って前記光反射部材を切断する第６工程と、を有する、請求項８記載のシンチレータ体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シンチレータ体、放射線検出器及びシンチレータ体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
放射線検出器に用いられるシンチレータ体として、シンチレータ部材と、シンチレータ部材の外表面のうち、光検出器が取り付けられる面以外の表面を覆う光反射部材と、を備えるものが知られている（例えば、特許文献１，２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平３−２３８３８７号公報
【特許文献２】特開平５−２７０４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したような放射線検出器においては、放射線の検出感度を向上させるために、光検出器のサイズよりもシンチレータ体のサイズが大きくなる場合がある。そのような場合には、シンチレータ部材の外表面のうち光検出器が取り付けられる面にも、光検出器の受光部に対向する領域を除いて、光反射部材を設ける必要がある。しかし、放射線の吸収によってシンチレータ部材で発生した光の検出効率を低下させないように、光検出器の受光部に対向する領域を除いて光反射部材を精度良く設けることは、煩雑な作業を伴い、困難であることから、結果として、放射線検出器として放射線の検出効率が低下するおそれがある。
【０００５】
本発明は、放射線検出器に用いられたときに放射線の検出効率の低下を防止することができるシンチレータ体、そのようなシンチレータ体を備える放射線検出器、及びそのようなシンチレータ体の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係るシンチレータ体は、第１表面、及び第１表面以外の第２表面からなる外表面を有するシンチレータ部材と、シンチレータ部材における第１表面の内側に第１表面に沿って形成された改質層からなり、開口部を有する光反射層と、第２表面上に設けられた光反射部材と、を備える。
【０００７】
このシンチレータ体では、放射線の吸収によってシンチレータ部材で発生した光（シンチレーション光）は、光反射層の開口部に向かって進行したり、光反射層及び／又は光反射部材によって反射されたりすることで、光反射層の開口部を介して第１表面から出射する。そのため、光反射層の開口部に受光部を対向させた状態で、シンチレータ部材の第１表面に光検出器を取り付けることで、放射線検出器を構成することができる。ここで、開口部を有する光反射層は、シンチレータ部材における第１表面の内側に第１表面に沿って形成された改質層からなる。これにより、例えば、開口部を有する光反射部材をシンチレータ部材の第１表面上に設ける場合に比べ、開口部を有する光反射層を容易に且つ精度良く設けることができ、光検出器におけるシンチレーション光の検出効率の低下を防止することができる。よって、このシンチレータ体によれば、放射線検出器に用いられたときに放射線の検出効率の低下を防止することができる。
【０００８】
本発明に係るシンチレータ体では、第１表面は、鏡面であってもよい。これにより、シンチレーション光を第１表面から効率良く出射させることができる。また、第１表面を入射面としてレーザ光を照射することにより、光反射層を構成する改質層を精度良く形成することができる。
【０００９】
本発明に係るシンチレータ体では、改質層は、シンチレータ部材において周囲と異なる屈折率を有する改質領域からなってもよい。これにより、改質層を光反射層として好適に機能させることができる。
【００１０】
本発明に係るシンチレータ体では、光反射層は、第１表面に垂直な方向において並設された複数の改質層からなってもよい。これにより、複数の改質層を光反射層として好適に機能させることができる。
【００１１】
本発明に係るシンチレータ体では、改質層は、レーザ光の照射によって形成された改質領域からなってもよい。これにより、改質層を光反射層として好適に機能させることができる。
【００１２】
本発明に係る放射線検出器は、上記シンチレータ体と、シンチレータ体におけるシンチレータ部材の第１表面に取り付けられ、シンチレータ体における光反射層の開口部に対向する受光部を有する光検出器と、を備える。
この放射線検出器によれば、先に説明したシンチレータ体を備えているので、放射線の検出効率の低下を防止することができる。
【００１３】
本発明に係る放射線検出器では、第１表面に垂直な方向から見た場合に、受光部の外縁は、開口部の外縁の外側に位置し、且つ第１表面の外縁の内側に位置していてもよい。これにより、光反射層の開口部を介して第１表面から出射したシンチレーション光を光検出器の受光部に確実に入射させることができる。
【００１４】
本発明に係るシンチレータ体の製造方法は、２次元に配列された複数のシンチレータ部分を含むシンチレータウェハの第１主面を入射面としてレーザ光を照射することにより、シンチレータウェハにおける第１主面の内側に第１主面に沿って改質層を形成し、シンチレータ部分ごとに、開口部を有する光反射層を設ける第１工程と、第１工程の後に、シンチレータ部分ごとに、シンチレータウェハを切断する第２工程と、を備える。
【００１５】
このシンチレータ体の製造方法によれば、シンチレータ部分ごとにシンチレータウェハが切断されることで得られたシンチレータ部材に、開口部を有する光反射層を容易に且つ精度良く設けることができる。
【００１６】
本発明に係るシンチレータ体の製造方法では、第２工程は、シンチレータウェハを第１主面で支持する第３工程と、第３工程の後に、シンチレータ部分ごとに、シンチレータウェハを切断し、隣り合うシンチレータ部分の間に溝を形成する第４工程と、第４工程の後に、切断されたシンチレータウェハの第２主面上及び溝の内側に光反射部材を設ける第５工程と、第５工程の後に、溝に沿って光反射部材を切断する第６工程と、を有してもよい。これにより、先に説明したシンチレータ体を効率良く製造することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、放射線検出器に用いられたときに放射線の検出効率の低下を防止することができるシンチレータ体、そのようなシンチレータ体を備える放射線検出器、及びそのようなシンチレータ体の製造方法を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施形態に係る放射線検出器の分解斜視図である。
【図２】図１のII−II線に沿った放射線検出器の断面図である。
【図３】図１の放射線検出器に用いられるシンチレータ体の製造工程を示す第１図である。
【図４】図１の放射線検出器に用いられるシンチレータ体の製造工程を示す第２図である。
【図５】図１の放射線検出器に用いられるシンチレータ体の製造工程を示す第３図である。
【図６】図１の放射線検出器に用いられるシンチレータ体の製造工程を示す第４図である。
【図７】図１の放射線検出器に用いられるシンチレータ体の製造工程を示す第５図である。
【図８】比較例の放射線検出器の断面図である。
【図９】図１の放射線検出器に用いられるシンチレータ体の光反射層の変形例の拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面を参照しながら、本発明に係る実施形態を説明する。可能な場合には、同一の部分には同一の符号を付して、重複する説明を省略する。また、各図面における寸法、形状は実際のものとは必ずしも同一ではない。
【００２０】
図１及び図２に示されるように、放射線検出器１は、シンチレータ体１０と、光検出器２０と、を備えている。シンチレータ体１０では、放射線の吸収によってシンチレーション光が発生し、光検出器２では、シンチレータ体１０で発生したシンチレーション光が検出される。
【００２１】
シンチレータ体１０は、シンチレータ部材１１と、光反射層１２と、光反射部材１３と、を備えている。シンチレータ部材１１は、例えばＣｅがドープされたＧｄ２ＳｉＯ５（ＧＳＯ）、Ｌｕ２ＳｉＯ５（ＬＳＯ）、Ｂｉ４Ｇｅ３Ｏ１２（ＢＧＯ）等のシンチレータ結晶からなり、直方体状の形状を有している。シンチレータ部材１１は、第１表面１５ａ、及び第１表面１５ａ以外の第２表面１５ｂからなる外表面１５を有している。シンチレータ部材１１の第１表面１５ａは、鏡面である。なお、図１及び図２では、シンチレータ部材１１の上面が第１表面１５ａであり、シンチレータ部材１１の下面及び４つの側面が第２表面１５ｂである。
【００２２】
光反射層１２は、シンチレータ部材１１における第１表面１５ａの内側に第１表面１５ａに沿って形成された改質層１４からなる。光反射層１２は、矩形状の開口部１２ａを有している。光反射部材１３は、第２表面１５ｂ上に設けられている。つまり、光反射部材１３は、第１表面１５ａを除いたシンチレータ部材１１の外表面１５上に設けられている。光反射部材１３は、例えばＴｉＯ２を含むエポキシ樹脂等の樹脂からなる。
【００２３】
光検出器２０は、シンチレータ部材１１の第１表面１５ａに光学接着剤３０によって取り付けられている。光検出器２０は、光反射層１２の開口部１２aに対向する矩形状の受光部２１、及び電気信号入出力用の複数のリードピン２２を有している。第１表面１５ａに垂直な方向から見た場合に、受光部２１の外縁は、開口部１２aの外縁の外側に位置し、且つ第１表面１５ａの外縁の内側に位置している。なお、光学接着剤３０の厚さは、例えば１００μｍ〜２００μｍ程度である。
【００２４】
ここで、光反射層１２の形成位置について説明する。光反射層１２は、シンチレータ部材１１内において第１表面１５ａに比較的近い領域（表面近傍の領域）に改質層１４が形成されることにより、設けられる。より具体的には、光反射層１２は、シンチレータ部材１１の第１表面１５ａに垂直な方向において、少なくとも改質領域の長さ（シンチレータ部材１１の第１表面１５ａに垂直な方向における改質領域の長さ、例えば２０〜３０μｍ程度）と同程度の距離だけ第１表面１５ａから離間している。また、光反射層１２は、シンチレータ部材１１の第１表面１５ａに垂直な方向におけるシンチレータ部材１１の厚さの１／３程度の距離を超えて第１表面１５ａから離間することはない。
【００２５】
仮に、改質層１４を第１表面１５ａに露出するように形成すると、第１表面１５ａの平滑性が維持されず、第１表面１５ａにおいてシンチレーション光が吸収されてしまい、光反射層１２の機能が実現されなくなる。また、光検出器２０を第１表面１５ａに取り付ける際に用いられる光学接着剤３０が改質層１４に馴染んで、光反射層１２の機能が低下する。また、仮に、上記シンチレータ部材１１の厚さの１／３程度の距離を超えて第１表面１５ａから離間した位置に改質層１４を形成すると、シンチレータ部材１１においてシンチレーション光を発生させ得る有効部分が小さくなってしまう。
【００２６】
次に、改質層１４について説明する。改質層１４を構成する改質領域は、シンチレータ部材１１において周囲と異なる屈折率を有している。改質層１４を構成する改質領域は、シンチレータ部材１１に対するレーザ光の照射によって形成される。
【００２７】
より具体的には、パルスレーザ光を出力する光源部、及びその光源部とシンチレータ部材１１との間に配置された集光光学系を使用し、パルスレーザ光の時間幅をフェムト秒オーダとすることによりパルスレーザ光をシンチレータ部材１１に照射する。
【００２８】
そして、集光光学系によってフェムト秒パルスレーザ光をシンチレータ部材１１の内部に集光し、その集光部分においてシンチレータ部材１１を改質（例えば、アモルファス化）させることで、シンチレータ部材１１において周囲と異なる屈折率を有する改質領域（例えば、屈折率が周囲より小さい領域、光を散乱する領域、及び回折型レンズを構成する領域のうち少なくとも１つ）をシンチレータ部材１１の内部に形成する。
【００２９】
なお、本実施形態では、１パルスのレーザ光の照射によって改質した領域を改質領域といい、シンチレータ部材１１における第１表面１５ａの内側に第１表面１５ａに沿って形成された複数の改質領域を改質層１４という。
【００３０】
以上、説明したように、放射線検出器１では、シンチレータ体１０で発生したシンチレーション光は、光反射層１２の開口部１２ａに向かって進行したり、光反射層１２及び／又は光反射部材１３によって反射されたりすることで、光反射層１２の開口部１２ａを介して第１表面１５ａから出射する。このとき、光反射層１２の開口部１２ａに受光部２１が対向した状態で、シンチレータ部材１１の第１表面１５ａに光検出器２０が取り付けられているため、シンチレータ体１０から出射したシンチレーション光は、光検出器２０で検出される。ここで、開口部１２ａを有する光反射層１２は、シンチレータ部材１１における第１表面１５ａの内側に第１表面１５ａに沿って形成された改質層１４からなる。これにより、例えば、開口部を有する光反射部材（光反射部材１３と同様の部材）をシンチレータ部材１１の第１表面１５ａ上に設ける場合に比べ、開口部１２ａを有する光反射層１２を容易に且つ精度良く設けることができ、光検出器２０におけるシンチレーション光の検出効率の低下を防止することができる。よって、放射線検出器１によれば、放射線の検出効率の低下を防止することができる。また、シンチレータ体１０によれば、放射線検出器１に用いられたときに放射線の検出効率の低下を防止することができる。
【００３１】
シンチレータ体１０では、第１表面１５ａが鏡面である。これにより、シンチレーション光を第１表面１５ａから効率良く出射させることができる。また、第１表面１５ａを入射面としてレーザ光を照射することにより、光反射層１２を構成する改質層１４を精度良く形成することができる。
【００３２】
シンチレータ体１０では、改質層１４が、シンチレータ部材１１において周囲と異なる屈折率を有する改質領域からなり、改質層１４が、レーザ光の照射によって形成された改質領域からなる。これらにより、改質層１４を光反射層１２として好適に機能させることができる。
【００３３】
放射線検出器１では、シンチレータ部材１１の第１表面１５ａに垂直な方向から見た場合に、光検出器２０の受光部２１の外縁が、光反射層１２の開口部１２ａの外縁の外側に位置し、且つ第１表面１５ａの外縁の内側に位置していている。これにより、光反射層１２の開口部１２ａを介して第１表面１５ａから出射したシンチレーション光を光検出器２０の受光部２１に確実に入射させることができる。
【００３４】
ここで、図８を参照しつつ、比較例の放射線検出器について説明する。図８の（ａ）は、第１比較例の放射線検出器の断面図であり、図８の（ｂ）は、第２比較例の放射線検出器の断面図である。
【００３５】
図８の（ａ）に示されるように、第１比較例の放射線検出器は、シンチレータ体７０と、光検出器２０と、を備えている。光検出器２０は、先に説明した放射線検出器１が備えるものと同じである。シンチレータ体７０は、開口部を有する光反射部材７２がシンチレータ部材７１の第１表面７１ａ上に設けられている点で、先に説明したシンチレータ体１０と相違している。第１比較例の放射線検出器では、光反射部材７２の開口部の外縁と光検出器２０の外縁との間に隙間が形成され、その隙間からシンチレーション光が漏れるのを防止する観点で、第１表面７１ａに垂直な方向から見た場合に、光検出器２０の外縁が、光反射部材７２の開口部の外縁の外側に位置させられている。
【００３６】
しかし、このような構成では、シンチレータ部材７１の第１表面７１ａと光検出器２０の受光部２１との距離が光反射部材７２の厚さ分だけ大きくなることから、光学接着剤３０の量が増加し、光学接着剤３０中にボイド８０が発生する可能性が高まる。ボイド８０が発生すると、ボイド８０によってシンチレーション光が不要に反射したり屈折したりするため、結果として、放射線の検出効率が低下してしまう。
【００３７】
図８の（ｂ）に示されるように、第２比較例の放射線検出器は、シンチレータ体７５と、光検出器２０と、を備えている。光検出器２０は、先に説明した放射線検出器１が備えるものと同じである。シンチレータ体７５は、シンチレータ部材７１の第１表面７１ａ上に設けられた光反射部材７３の開口部が大きい点で、第１比較例の放射線検出器と相違している。第２比較例の放射線検出器では、シンチレータ部材７１の第１表面７１ａと光検出器２０の受光部２１との距離が大きくなるのを防止する観点で、第１表面７１ａに垂直な方向から見た場合に、光検出器２０の外縁が、光反射部材７３の開口部の外縁の内側に位置させられている。
【００３８】
しかし、このような構成では、光反射部材７３と光検出器２０との間の領域Ｒ１，Ｒ２に隙間が生じ、シンチレーション光がその隙間から外部に漏れるため、結果として、放射線の検出効率が低下してしまう。なお、光反射部材７３は、例えばエポキシ樹脂の塗布及び硬化によって形成されるため、領域Ｒ１，Ｒ２に隙間が生じないように光反射部材７３の開口部の外縁と光検出器２０の外縁とを一致させることは、煩雑な作業を伴い、極めて困難である。
【００３９】
これらに対し、放射線検出器１では、シンチレータ部材１１の第１表面１５ａに垂直な方向から見た場合に、光検出器２０の受光部２１の外縁を、光反射層１２の開口部１２ａの外縁の外側に位置させ、且つ第１表面１５ａの外縁の内側に位置させることで、第１比較例及び第２比較例の放射線検出器のそれぞれに生じる問題を解決している。特に、レーザ光の照射によって光反射層１２を形成するため、光検出器２０の受光部２１に対して開口部１２ａを精度良く（例えば、受光部２１の一辺の長さに対して開口部１２ａの一辺の長さを１００μｍ〜２００μｍ程度小さくするように）形成することができる。
【００４０】
次に、図３〜図７を参照して、シンチレータ体１０の製造方法について説明する。まず、図３に示されるように、柱状のシンチレータインゴット４０から、シンチレータウェハ４１を切り出す。シンチレータウェハ４１は、２次元に配列された複数のシンチレータ部分を含む。シンチレータ部分は、先に説明したシンチレータ部材１１に対応する。
【００４１】
続いて、図４に示されるように、シンチレータウェハ４１の第１主面４１ａを研磨する等により、第１主面４１ａを鏡面とする。シンチレータウェハ４１の外側の部分の一部をカットし、直交関係にある基準面Ｓ１，Ｓ２を形成する。基準面Ｓ１，Ｓ２を基準とすることで、シンチレータウェハ４１の第１主面４１ａに沿った位置を正確に把握することができる。基準面Ｓ１，Ｓ２を基準として、シンチレータウェハ４１の第１主面４１ａを入射面としてレーザ光を照射することにより、シンチレータウェハ４１における第１主面４１ａの内側に第１主面４１ａに沿って改質層１４を形成し、シンチレータ部分４２ごとに、開口部１２ａを有する光反射層１２を設ける（第１工程）。なお、図４において、（ａ）は、シンチレータウェハ４１の第１主面４１ａ側の平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ´線に沿ったシンチレータウェハ４１の断面図である。
【００４２】
続いて、図５に示されるように、シンチレータウェハ４１の第１主面４１ａにダイシングテープ５０を貼り、シンチレータウェハ４１を第１主面４１ａで支持する（第２工程、第３工程）。その状態で、ダイシングテープ５０を切断せずに、シンチレータ部分４２ごとに、シンチレータウェハ４１を切断し、隣り合うシンチレータ部分４２の間に溝５１を形成する（第２工程、第４工程）。このとき、基準面Ｓ１，Ｓ２を基準として溝５１の形成を行うことによって、精度良く溝５１を形成することができる。例えば、開口部１２ａが各シンチレータ部分４２の中央に位置するような高精度な加工を容易に実現することができる。なお、図５において、（ａ）は、シンチレータウェハ４１の第２主面４１ｂ側の平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ´線に沿ったシンチレータウェハ４１の断面図であり、（ｃ）は、（ｂ）の拡大断面図である。
【００４３】
続いて、図６に示されるように、切断されたシンチレータウェハ４１の第２主面４１ｂ上、及び溝５１の内側に光反射部材１３を設ける（第２工程、第５工程）。光反射部材１３は、例えば、ＴｉＯ２を含むエポキシ樹脂を塗布して硬化させることによって設けられる。なお、図６において、（ａ）は、シンチレータウェハ４１の第２主面４１ｂ側の平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ´線に沿ったシンチレータウェハ４１の断面図であり、（ｃ）は、（ｂ）の拡大断面図である。
【００４４】
続いて、図７に示されるように、溝５１に沿って光反射部材１３を切断し（第２工程、第６工程）、複数のシンチレータ体１０を得る。このとき、溝５１の内側に設けられた光反射部材１３が均等に分断されるように、光反射部材１３を切断する。基準面Ｓ１，Ｓ２を基準とすることで、溝５１内に設けられた光反射部材１３を精度良く切断することができる。その後、ダイシングテープ５０に紫外光を照射することによって、或いは、ダイシングテープ５０を加熱することによって、ダイシングテープ５０の粘着力を弱め、各シンチレータ体１０をダイシングテープ５０から取り外す。なお、図７において、（ａ）は、シンチレータウェハ４１の第２主面４１ｂ側の平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ´線に沿ったシンチレータウェハ４１の断面図であり、（ｃ）は、（ｂ）の拡大断面図である。
【００４５】
以上、説明したように、シンチレータ体１０の製造方法によれば、シンチレータ部分４２ごとにシンチレータウェハ４１が切断されることで得られたシンチレータ部材１１に、開口部１２ａを有する光反射層１２を容易に且つ精度良く設けることができ、シンチレータ体１０を効率良く製造することができる。
【００４６】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、光反射層１２は、シンチレータ部材１１の第１表面１５ａに垂直な方向において並設された複数の改質層１４からなっていてもよい。これにより、複数の改質層１４を光反射層１２として好適に機能させることができる。図９に示される例では、光反射層１２は、２層の改質層１４からなっている。シンチレータ部材１１の第１表面１５ａに垂直な方向から見た場合に、第１表面１５ａに近い改質層１４を構成する各改質領域１６は、第１表面１５ａから遠い改質層１４を構成する各改質領域１６の間に位置している。
【符号の説明】
【００４７】
１…放射線検出器、１０…シンチレータ体、１１…シンチレータ部材、１２…光反射層、１２ａ…開口部、１３…光反射部材、１４…改質層、１５…外表面、１５ａ…第１表面、１５ｂ…第２表面、２０…光検出器、２１…受光部、４１…シンチレータウェハ、４１ａ…第１主面、４１ｂ…第２主面、４２…シンチレータ部分、５１…溝。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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