(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＡＰＣバルブ用のバルブプレートの位置を制御する三相モータを駆動する第１三相インバータと、
少なくとも圧力設定指令信号と圧力検出信号とを読み取ってデジタル信号に変換するＡＤコンバータと、
前記デジタル信号に応じて、前記バルブプレートの位置を制御するために前記第１三相インバータに送信する第１スイッチング信号を生成する第１コントローラと、を備え、
前記第１コントローラは、前記第１三相インバータの三相全てのハイサイドスイッチング素子がオン状態で且つ三相全てのローサイドスイッチング素子がオフ状態となる期間、または、前記第１三相インバータの三相全ての前記ハイサイドスイッチング素子がオフ状態で且つ三相全ての前記ローサイドスイッチング素子がオン状態となる期間である第１期間に、前記第１三相インバータに起因して前記圧力設定指令信号および前記圧力検出信号に重畳する第１スイッチングノイズが所定レベル以下となる第１低ノイズ時間を設定し、
前記ＡＤコンバータは、前記第１低ノイズ時間において、前記圧力設定指令信号と前記圧力検出信号とをサンプリングする圧力制御装置。
【請求項２】
請求項１に記載の圧力制御装置において、
前記ＡＤコンバータは、前記第１低ノイズ時間の終了時点近傍において、前記圧力設定指令信号と前記圧力検出信号とをサンプリングする圧力制御装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の圧力制御装置において、
前記第１コントローラは、
第１搬送波と第１電圧指令信号とを比較することで、前記第１スイッチング信号を生成し、
前記第１搬送波が三相全ての前記第１電圧指令信号よりも大きい期間または前記第１搬送波が三相全ての前記第１電圧指令信号よりも小さい期間を前記第１期間として検出する圧力制御装置。
【請求項４】
請求項３に記載の圧力制御装置において、
前記第１コントローラは、前記第１搬送波の振幅を前記第１電圧指令信号の振幅の上限値よりも大きくする圧力制御装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の圧力制御装置と、
ポンプロータを回転させるモータを駆動させる第２三相インバータに送信する第２スイッチング信号を生成する第２コントローラを有する真空ポンプと、を備え、
前記第２コントローラは、前記第２三相インバータの三相全てのハイサイドスイッチング素子がオン状態で且つ三相全てのローサイドスイッチング素子がオフ状態となる期間、または、前記第２三相インバータの三相全ての前記ハイサイドスイッチング素子がオフ状態で且つ三相全ての前記ローサイドスイッチング素子がオン状態となる期間である第２期間に、前記第２三相インバータに起因して前記圧力設定指令信号および前記圧力検出信号に重畳する第２スイッチングノイズが所定レベル以下となる第２低ノイズ時間を設定し、
前記第１コントローラ及び前記第２コントローラは、前記第１低ノイズ時間と前記第２低ノイズ時間とを時間的に重複させ、
前記ＡＤコンバータは、前記第１低ノイズ時間と前記第２低ノイズ時間とが重複している期間内において、前記圧力設定指令信号と前記圧力検出信号とをサンプリングする真空システム。
【請求項６】
請求項５に記載の真空システムにおいて、
前記第１コントローラ及び前記第２コントローラは、前記第１低ノイズ時間の終了時点と前記第２低ノイズ時間の終了時点とを時間的に一致させて、前記第１低ノイズ時間と前記第２低ノイズ時間を時間的に重複させる真空システム。
【請求項７】
請求項５または６に記載の真空システムにおいて、
前記第２コントローラは、
第２搬送波と第２電圧指令信号とを比較することで、前記第２スイッチング信号を生成し、
前記第２搬送波が三相全ての前記第２電圧指令信号よりも大きい期間または前記第２搬送波が三相全ての前記第２電圧指令信号よりも小さい期間を前記第２期間として検出する真空システム。
【請求項８】
請求項７に記載の真空システムにおいて、
前記第２コントローラは、前記第２搬送波の振幅を前記第２電圧指令信号の振幅の上限値よりも大きくする真空システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力制御装置および真空システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＡＰＣバルブは、真空処理装置の真空チャンバ内の圧力を所定の値にするために、真空処理装置と真空ポンプの間に設けられる。
【０００３】
真空処理装置の真空チャンバの圧力設定指令信号と圧力検出信号が、真空処理装置からＡＰＣバルブに入力される。ＡＰＣバルブは、これらの信号をＡＤコンバータで受信し、所定のタイミングでサンプリングしてＡＰＣバルブ内に設けられているコントローラに、圧力設定指令信号から得られる圧力設定値のデジタル値、および、圧力検出信号から得られる圧力検出値のデジタル値を送信する。
【０００４】
コントローラは、これら二つのデジタル値を比較して、圧力検出値のデジタル値が圧力設定値のデジタル値となるように、ＡＰＣバルブ内に設けられたＡＰＣバルブのバルブプレートの開度、すなわち、バルブプレートが接続されたモータの回転角度をフィードバック制御する。その結果、ＡＰＣバルブは、真空処理装置の真空チャンバ内の圧力を制御する。
【０００５】
ＡＰＣバルブのコントローラは、インバータを介して、上記のモータを制御する。インバータは、スイッチング素子を有し、そのスイッチング素子をオン・オフすることによって、モータに印加する電圧を制御している。
【０００６】
スイッチング素子をオン状態にしたりオフ状態にしたりする際に、スイッチングノイズが真空チャンバの圧力設定指令信号と圧力検出信号に重畳することがある。このスイッチングノイズは、オン状態またはオフ状態となった時が最も大きく、時間とともに減衰する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開昭６２−２８７１６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１には、複数個サンプリングし、そのうちの最大値と最小値を除いた値で平均値を算出し、それをデジタル値として出力する発明が開示されている。しかし、特許文献１に記載の発明では、上述したスイッチングノイズが十分に減衰していない時間にサンプリングすることもある。このようなサンプリングによって得られた値では、平均してもスイッチングノイズが十分に除去できないという問題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
（１）本発明の好ましい態様による圧力制御装置は、ＡＰＣバルブ用のバルブプレートの位置を制御する三相モータを駆動する第１三相インバータと、圧力設定指令信号と圧力検出信号とを少なくとも読み取ってデジタル信号に変換するＡＤコンバータと、デジタル信号に応じて、バルブプレートの位置を制御するために第１三相インバータに送信する第１スイッチング信号を生成する第１コントローラと、を備える。第１コントローラは、第１三相インバータの三相全てのハイサイドスイッチング素子がオン状態で且つ三相全てのローサイドスイッチング素子がオフ状態となる期間、または、第１三相インバータの三相全てのハイサイドスイッチング素子がオフ状態で且つ三相全てのローサイドスイッチング素子がオン状態となる期間である第１期間に、第１三相インバータに起因して圧力設定指令信号および圧力検出信号に重畳する第１スイッチングノイズが所定レベル以下となる第１低ノイズ時間を設定し、ＡＤコンバータは、第１低ノイズ時間において、圧力設定指令信号と圧力検出信号とをサンプリングする。
（２）本発明の好ましい態様による真空システムは、本発明の好ましい態様による圧力制御装置と、ポンプロータを回転させるモータを駆動させる第２三相インバータに送信する第２スイッチング信号を生成する第２コントローラを有する真空ポンプと、を備える。第２コントローラは、第２三相インバータの三相全てのハイサイドスイッチング素子がオン状態で且つ三相全てのローサイドスイッチング素子がオフ状態となる期間、または、第２三相インバータの三相全てのハイサイドスイッチング素子がオフ状態で且つ三相全てのローサイドスイッチング素子がオン状態となる期間である第２期間に、第２三相インバータに起因して圧力設定指令信号および圧力検出信号に重畳する第２スイッチングノイズが所定レベル以下となる第２低ノイズ時間を設定し、第１コントローラ及び第２コントローラは、第１低ノイズ時間と第２低ノイズ時間とを時間的に重複させる。ＡＤコンバータは、第１低ノイズ時間と第２低ノイズ時間とが重複している期間内において、圧力設定指令信号と圧力検出信号とをサンプリングする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、圧力設定値のデジタル値、および、圧力検出値のデジタル値の信頼性が損なわれることなく、スイッチングノイズの影響を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１実施形態による真空システムを示す図。
【図２】ＡＰＣバルブの制御装置内のコントローラで互いに比較される波形を示した図。
【図３】電圧指令信号の一例（三相定電流波形）と搬送波を示した図。
【図４】電圧指令信号の一例（三相交流波形）を示した図。
【図５】スイッチング信号の生成と、ＡＰＣバルブの制御装置のＡＤコンバータがサンプリングするタイミングとを示した図。
【図６】スイッチング信号の生成と、ＡＰＣバルブの制御装置のＡＤコンバータがサンプリングするタイミングとを示した図。
【図７】本発明の第２実施形態による真空システムを示す図。
【図８】第２実施形態における、２つの低ノイズ時間の重複のさせ方について示した図。
【図９】ＡＰＣバルブの制御装置の変形例２を説明するための図。
【図１０】ＡＰＣバルブの制御装置の変形例３を説明するための図。
【図１１】三相インバータの構成図。
【図１２】一般的な搬送波と電圧指令信号の振幅の関係を示した図。
【図１３】第２実施形態におけるスイッチング信号の生成を説明するための図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
―第１実施形態―
図１は、第１実施形態の真空システム１の排気系統とブロック図を示している。真空システム１は、真空処理装置２と、ＡＰＣバルブ３と、真空ポンプ４を備えている。
【００１３】
真空処理装置２は、真空チャンバ２３と、ダイアフラム２２と、コントローラ２１とを備えている。真空チャンバ２３内では、半導体基板のエッチング等の各種処理が行われる。ダイアフラム２２は、真空チャンバ２３に設けられ、真空チャンバ２３内の圧力を検出し、ＡＰＣバルブ３に圧力検出信号Ｓ２を送信する。コントローラ２１は、真空チャンバ２３内の圧力（真空度）を所定の値に設定するように、ＡＰＣバルブ３に圧力設定指令信号Ｓ１を送信する。
【００１４】
真空ポンプ４は、真空排気系４２と、ポンプロータ４１と、モータ４０と、三相インバータ４５と、電流検出器４８と、ＡＤコンバータ４６と、コントローラ４７と、を備えている。
【００１５】
真空ポンプ４は、真空排気系４２に設けられたポンプロータ４１をモータ４０により回転させることで、排気経路５０を介して、真空処理装置２の真空チャンバ２３の真空排気を行う。真空ポンプ４が排気した気体は、真空ポンプ４の真空排気下流側に接続されるバックポンプにより排気される。
【００１６】
ＡＰＣバルブ３は、排気経路５０において、真空処理装置２と真空ポンプ４の間に設けられている。ＡＰＣバルブ３は、バルブプレート３２と、モータ３０と、制御装置３Ａと、を備えている。
【００１７】
バルブプレート３２は、真空処理装置２の真空チャンバ２３と真空ポンプ４の真空排気系４２を接続する排気経路５０に設けられている。制御装置３Ａは、モータ３０の回転角を制御してバルブプレート３２の開度を制御することで、排気経路５０の気体の流量を調整して、真空チャンバ２３の圧力を所定の値に制御している。
【００１８】
制御装置３Ａは、三相インバータ３５と、電流検出器３８と、ＡＤコンバータ３６と、コントローラ３７を備えている。
【００１９】
コントローラ３７は、ＡＤコンバータ３６からの信号（後述）とモータ３０から出力されたバルブプレート３２の位置の信号とに基づいて、電圧指令信号を生成し、電圧指令信号Ｖｒｅｆと三角搬送波である搬送波Ｖｃを比較して、三相のＰＷＭ信号（スイッチング信号）を生成する。そして、コントローラ３７は、三相インバータ３５に、スイッチング信号を出力する。コントローラ３７は、ＡＤコンバータ３６にもスイッチング信号を送信する。これは、ＡＤコンバータ３６がサンプリングのタイミングを得るためである。なお、本実施形態においては、コントローラ３７と真空ポンプ４のコントローラ４７とは通信しなくてもよい。コントローラ３７における電圧指令信号Ｖｒｅｆと搬送波Ｖｃを比較して、三相のＰＷＭ信号（スイッチング信号）を生成する過程の詳細については、後述する。
【００２０】
三相インバータ３５は、図１１に示すように、Ｕ相におけるハイサイドスイッチング素子Ｕ＋と、Ｕ相におけるローサイドスイッチング素子Ｕ−と、Ｖ相におけるハイサイドスイッチング素子Ｖ＋と、Ｖ相におけるローサイドスイッチング素子Ｖ−と、Ｗ相におけるハイサイドスイッチング素子Ｗ＋と、Ｗ相におけるローサイドスイッチング素子Ｗ−を備える。
【００２１】
図１において、三相インバータ３５は、コントローラ３７からのスイッチング信号に基づいて、図１１に示すスイッチング素子Ｕ＋、Ｕ-、Ｖ＋、Ｖ-、Ｗ＋、Ｗ-をオン・オフすることで、不図示の電源の出力を用いて、負荷であるモータ３０に三相交流電流を印加する。
【００２２】
電流検出器３８は、三相インバータ３５とモータ３０の間に設けられ、上述の三相交流電流を検出し、その電流値信号をＡＤコンバータ３６に出力する。
【００２３】
ＡＤコンバータ３６は、コントローラ３７から出力された三相ＰＷＭスイッチング信号によってサンプリングのタイミングを得て、電流検出器３８から出力されたモータ３０に流れる三相交流電流を取得及び監視をしながら、図５、６で後述する所定の時点で、真空処理装置２のコントローラ２１から出力された圧力設定指令信号Ｓ１と、ダイアフラム２２から出力された圧力検出信号Ｓ２とをサンプリングして、デジタル値に変換する。そして、それらのデジタル値をコントローラ３７に出力する。
【００２４】
モータ３０は、三相インバータ３５から印加された三相交流電流に基づいて回動し、バルブプレート３２の位置（開度）を制御する。これによって、排気経路５０の気体の流量が制御され、真空チャンバ２３の圧力（真空度）が制御される。また、モータ３０は、バルブプレート３２の位置（開度）の情報をコントローラ３７に出力する。
【００２５】
図２は、コントローラ３７で比較される電圧指令信号Ｖｒｅｆと搬送波Ｖｃについて示した図である。電圧指令信号Ｖｒｅｆは、駆動条件に合わせて様々な波形が出力されるので具体的な波形を示さず、電圧指令信号Ｖｒｅｆの波形が示される領域をハッチングで示した。
【００２６】
図２に示されるべき電圧指令信号Ｖｒｅｆの具体的な波形としては、例えば、図３に示す（三相）定電流波形や図４に示す（三相）交流波形などがある。なお、図３に示す定電流波形は、バルブプレート３２を所定の位置に維持する場合に用いられる。図４に示す交流波形は、図１に示すＡＰＣバルブ３のバルブプレート３２を移動させる場合に用いられる。図３や図４に示すように、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相の電圧指令信号を、それぞれ、Ｖｒｅｆ＿Ｕ、Ｖｒｅｆ＿Ｖ、Ｖｒｅｆ＿Ｗとする。
【００２７】
本実施形態では、搬送波Ｖｃについては、三相（Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相）において、共通の搬送波Ｖｃ、すなわち、同形状且つ同位相の搬送波Ｖｃを用いる。
【００２８】
一般的な搬送波Ｖｃの振幅は、図１２に示すように、電圧指令信号Ｖｒｅｆの振幅の上限値｜Ｖｒｅｆ｜＿Ｍａｘと等しく設定されている。しかし、本実施形態の搬送波Ｖｃの振幅は、図２に示すように、電圧指令信号Ｖｒｅｆの振幅の上限値｜Ｖｒｅｆ｜＿Ｍａｘよりも大きく設定されている。
【００２９】
図５を用いて、図３に示す定電流波形の場合におけるスイッチング信号の生成法、後述する全相ハイオフ−ローオン期間の求め方、ＡＤコンバータ３６のサンプリングのタイミングについて説明する。なお、図４に示す三相交流の場合でも同様である。
【００３０】
図５（ａ）は、図３に示す定電流波形の場合における、電圧指令信号Ｖｒｅｆ＿Ｕ、Ｖｒｅｆ＿Ｖ、Ｖｒｅｆ＿Ｗと、搬送波Ｖｃを示している。図５（ｂ）は、それらの比較によって、生成される、各相のハイサイドスイッチング素子（図１１参照）のスイッチング信号ＳＵＨ、ＳＶＨ、ＳＷＨおよびローサイドスイッチング素子のスイッチング信号ＳＵＬ、ＳＶＬ、ＳＷＬを示している。図５（ａ）、（ｂ）に示すような信号の生成処理は、ＡＰＣバルブ３のコントローラ３７内で実行される。図５（ｃ）は、後述する全相ハイオフ−ローオン期間でのスイッチングノイズＮＳを示している。図５（ｄ）は、図１に示すＡＤコンバータ３６のサンプリングのタイミングを示している。それぞれのスイッチング信号ＳＵＨ、ＳＵＬ、ＳＶＨ、ＳＶＬ、ＳＷＨ、ＳＷＬにおいて、図示上側がオン状態を示し、図示下側がオフ状態を示している。
【００３１】
ここで、説明を簡単にするために、以下に、「ハイオフ−ローオン期間」、「ハイオン−ローオフ期間」、「全相ハイオフ−ローオン期間」、「全相ハイオン−ローオフ期間」を定義する。
【００３２】
＜ハイオフ−ローオン期間＞
ある相において、ハイサイドスイッチング素子がオフで、ローサイドスイッチング素子がオンとなる期間をハイオフ−ローオン期間と呼ぶ。
【００３３】
＜ハイオン−ローオフ期間＞
ある相において、ハイサイドスイッチング素子がオンで、ローサイドスイッチング素子がオフとなる期間をハイオン−ローオフ期間と呼ぶ。
【００３４】
＜全相ハイオフ−ローオン期間＞
三相全てにおいて、ハイオフ−ローオン期間となる期間を全相ハイオフ−ローオン期間と呼ぶ。
【００３５】
＜全相ハイオン−ローオフ期間＞
三相全てにおいて、ハイオン−ローオフ期間となる期間を全相ハイオン−ローオフ期間と呼ぶ。
【００３６】
図５（ａ）に示すように、電圧指令信号Ｖｒｅｆ＿Ｕと搬送波Ｖｃは、交点ＣＲ１、ＣＲ２で交差する。その結果、図５（ｂ）に示すように、交点ＣＲ１で、信号ＳＵＨがオン状態からオフ状態に移行するタイミングが決定される。交点ＣＲ２で、信号ＳＵＨはオフ状態からオン状態に移行するタイミングが決定される。すなわち、交点ＣＲ１及び交点ＣＲ２によって、信号ＳＵＨがオフ状態である期間Ｔ４が決定される。信号ＳＵＬがオン状態である期間Ｔ１は、期間Ｔ４から、両端のデッドタイムＴｄを取り除いた期間となる。ここで、Ｕ相におけるハイオフ−ローオン期間は期間Ｔ１となる。
【００３７】
図５（ａ）において、電圧指令信号Ｖｒｅｆ＿Ｖと搬送波Ｖｃは、交点ＣＲ３、ＣＲ４で交差する。Ｖ相とＷ相は、電圧指令信号が一致するため、電圧指令信号Ｖｒｅｆ＿Ｗと搬送波Ｖｃも、交点ＣＲ３、ＣＲ４で交差する。交点ＣＲ３、ＣＲ４によって、信号ＳＶＨ、ＳＷＨがオフ状態である期間Ｔ５、Ｔ７が生成される。期間Ｔ１の生成のされ方と同様に、信号ＳＶＬ、ＳＷＬがオン状態である期間Ｔ６、Ｔ８は、生成される。なお、期間Ｔ５と期間Ｔ７は互いに等しく、期間Ｔ６と期間Ｔ８は、互いに等しい。ここで、Ｖ相におけるハイオフ−ローオン期間は期間Ｔ６となり、Ｗ相におけるハイオフ−ローオン期間は期間Ｔ８となる。
【００３８】
図５（ｂ）において、Ｕ相のハイオフ−ローオン期間である期間Ｔ１は、Ｖ相のハイオフ−ローオン期間である期間Ｔ６や、Ｗ相のハイオフ−ローオン期間である期間Ｔ８に包含されている。ここで、「包含」は「一致」も含める概念とする。一般的な三相ＰＷＭ制御では、第１相のハイオフ−ローオン期間が第２相のハイオフ−ローオン期間に包含され、さらに第２相のハイオフ−ローオン期間が第３相のハイオフ−ローオン期間に包含される。図５（ｂ）では、第２相であるＶ相のハイオフ−ローオン期間と第３相であるＷ相のハイオフ−ローオン期間が一致している場合が示されている。
【００３９】
以上のように、三相各相のハイオフ−ローオン期間が求められ、互いの包含関係が分かったところで、全相ハイオフ−ローオン期間を求める。図５に示す例では、他の相に包含されている期間である期間Ｔ１が全相ハイオフ−ローオン期間となる。
【００４０】
図１に示すコントローラ３７は、全相ハイオフ−ローオン期間である期間Ｔ１を求めた後、スイッチングノイズがほぼ重畳されていない低ノイズ時間Ｔ３を以下のように求める。図５（ｃ）は、全相ハイオフ−ローオン期間である期間Ｔ１でのスイッチングノイズＮＳを示している。スイッチングノイズは、オン状態とオフ状態を切り替えることによって発生し時間とともに減衰するノイズである。そのため、図５（ｂ）に示されているそれぞれのスイッチング素子のオン状態とオフ状態を切り替えに伴って、スイッチングノイズは生じている。しかし、全相ハイオフ−ローオン期間である期間Ｔ１において、最も問題となるのは、直近、すなわち、期間Ｔ１の開始時点ｔｓ１に発生したスイッチングノイズＮＳであるので、それのみに注目すればよい。図５（ｃ）に示すように、スイッチングノイズＮＳは、時間とともに減衰する。コントローラ３７は、ＡＤコンバータ３６がサンプリングするのに問題ない所定の閾値ＬＴＨを予め定め、スイッチングノイズＮＳのノイズレベルが閾値ＬＴＨよりも下回った時点ｔｓ２を境界として、期間Ｔ１の開始時点ｔｓ１から時点ｔｓ２までを高ノイズ時間Ｔ２とし、時点ｔｓ２から期間Ｔ１の終了時点ｔｓ３までを低ノイズ時間Ｔ３とする。
【００４１】
コントローラ３７は、図１に示すように、スイッチング信号ＳＵＨ，ＳＵＬ，ＳＶＨ，ＳＶＬ，ＳＷＨ，ＳＷＬを三相インバータ３５のみならず、ＡＤコンバータ３６にも送信する。その際、コントローラ３７は、上述の低ノイズ時間Ｔ３のタイミング信号もＡＤコンバータ３６に送信する。
【００４２】
ＡＤコンバータ３６は、コントローラ３７からの情報に基づいて、図１に示す電流検出器３８の電流値を取得及び監視し、図５（ｄ）に示すように、期間Ｔ３に入るタイミング信号を受信したら、圧力設定指令信号Ｓ１と圧力検出信号Ｓ２をサンプリングする。なお、電流検出器３８からの電流値信号も併せてサンプリングしてもよい。
【００４３】
上述したようにスイッチングノイズＮＳは、時間とともに減衰するので、低ノイズ時間Ｔ３の中でもさらに、終了時点ｔｓ３近傍で、最もノイズレベルが低減する。よって、ＡＤコンバータ３６は、低ノイズ時間Ｔ３内の終了時点ｔｓ３近傍で、圧力設定指令信号Ｓ１と圧力検出信号Ｓ２をサンプリングするのが好ましい。
【００４４】
なお、図５では、図３に示すような定電流波形の場合で説明した。しかし、それに限定されず、図６に示すように、図４に示す三相交流波形でも本実施形態の発明は適用できる。三相交流波形の場合では、当然のことながら、１２０度の位相差をもって、三相それぞれの電圧指令信号の値が変化する。これによって、三相のスイッチングのタイミングが互いに異なるため、ハイサイドのスイッチがオフでローサイドのスイッチがオンである期間が三相で互いに異なる。その結果、図６に示すように、例えば、Ｕ相でのハイオフ−ローオン期間Ｔ１がＶ相でのハイオフ−ローオン期間Ｔ６に包含され、さらに、そのＶ相でのハイオフ−ローオン期間Ｔ６がＷ相でのハイオフ−ローオン期間Ｔ８に包含されるという状態が生成される。図６の図５との違いは、Ｖ相でのハイオフ−ローオン期間Ｔ６がＷ相でのハイオフ−ローオン期間Ｔ８と一致していないことと、時間が経過するにつれて、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相の関係性が入れ替わることである。
【００４５】
第１実施形態によれば、次の作用効果が得られる。
（１）制御装置３Ａは、ＡＰＣバルブ３のバルブプレート３２の位置（回転角、開度）を制御する三相のモータ３０を駆動する三相インバータ３５と、圧力設定指令信号Ｓ１と圧力検出信号Ｓ２を読み取ってデジタル信号に変換するＡＤコンバータ３６と、ＡＤコンバータ３６から出力されたデジタル信号に応じて、バルブプレート３２の位置を制御するために三相インバータ３５に送信するスイッチング信号ＳＵＨ，ＳＵＬ，ＳＶＨ，ＳＶＬ，ＳＷＨ，ＳＷＬを生成するコントローラ３７とを備える。
コントローラ３７は、スイッチング信号ＳＵＨ，ＳＵＬ，ＳＶＨ，ＳＶＬ，ＳＷＨ，ＳＷＬを生成する際に、三相インバータ３５の三相全てのハイサイドスイッチング素子Ｕ＋、Ｖ＋、Ｗ＋がオフ状態で且つ三相全てのローサイドスイッチング素子Ｕ-、Ｖ-、Ｗ-がオン状態にあり低ノイズ時間Ｔ３を含む期間、すなわち、全相ハイオフ−ローオン期間である期間Ｔ１を検出する。
ＡＤコンバータ３６は、低ノイズ時間Ｔ３において、圧力設定指令信号Ｓ１と圧力検出信号Ｓ２をサンプリングする。
これによって、ノイズの少ない圧力設定指令信号Ｓ１と圧力検出信号Ｓ２を得ることができる。その結果、精度よく圧力制御を行うことができる。
【００４６】
従来では、ＡＤコンバータのサンプリングタイミングがスイッチング信号と同期しておらず、ＡＤコンバータは、スイッチングノイズが減衰していない時点でもサンプリングしていた。その結果、ＡＤコンバータがサンプリングした信号のＳ／Ｎ比が小さかったため、多くのサンプリングを行って、それらを平均演算して信号を得ていた。１種類の信号（例えば、圧力設定指令信号）に対して多くのサンプリングを行う必要があるため、複数の種類の信号をサンプリングするには、複数の種類の信号のサンプリングを同時に行うことができる高価な同期型のＡＤコンバータを用いる必要があった。
【００４７】
しかし、本実施形態で得られるサンプリングした信号は、それぞれのＳ／Ｎ比が高いため、多くのサンプリングやそれらの平均演算などの処理をする必要がない。また、安価な非同期型のＡＤコンバータを用いれば済むので、システムの低コスト化を図ることができる。
【００４８】
（２）なお、ＡＤコンバータ３６は、圧力設定指令信号Ｓ１や圧力検出信号Ｓ２をサンプリングするのに併せて、電流検出器３８からの電流値信号もサンプリングするようにしてもよい。これによってモータ３０の制御の精度が向上する。
【００４９】
（３）ＡＤコンバータ３６は、低ノイズ時間Ｔ３の終了時点ｔｓ３近傍において、圧力設定指令信号Ｓ１と圧力検出信号Ｓ２をサンプリングするのが好ましい。
これによって、スイッチングノイズが十分に減衰した時点でサンプリングするので、さらにノイズの少ない圧力設定指令信号Ｓ１と圧力検出信号Ｓ２を得ることができる。その結果、さらに精度よく圧力制御を行うことができる。
【００５０】
（４）コントローラ３７は、搬送波Ｖｃと電圧指令信号Ｖｒｅｆとを比較することで、スイッチング信号ＳＵＨ，ＳＵＬ，ＳＶＨ，ＳＶＬ，ＳＷＨ，ＳＷＬを生成し、搬送波Ｖｃが三相全ての電圧指令信号Ｖｒｅｆよりも大きい期間を全相ハイオフ−ローオン期間として検出する。
これによって、スイッチング信号が搬送波と電圧指令信号の比較で生成される際に、全相ハイオフ−ローオン期間を検出することができる。
【００５１】
（５）コントローラ３７は、搬送波Ｖｃの振幅を、電圧指令信号Ｖｒｅｆの振幅の上限値｜Ｖｒｅｆ｜＿Ｍａｘよりも大きくする。
これによって、搬送波Ｖｃと電圧指令信号Ｖｒｅｆとを比較することで、スイッチング信号ＳＵＨ，ＳＵＬ，ＳＶＨ，ＳＶＬ，ＳＷＨ，ＳＷＬを生成する方法において、あらゆる電圧指令信号Ｖｒｅｆに対しても、全相ハイオフ−ローオン期間や全相ハイオン−ローオフ期間を生成することができる。
【００５２】
―第２実施形態―
図７は、第２実施形態の真空システム１の排気系統とブロック図を示している。第２実施形態の真空システム１においては、符号１００で示すように、コントローラ３７と真空ポンプ４のコントローラ４７とが通信する。これが、第１実施形態との主な相違点である。以下、当該相違点に関することを中心に説明し、第１実施形態と構成が同様の箇所については説明を省略する。
【００５３】
真空ポンプ４のモータ４０は、ポンプロータ４１を回転駆動する。そのため、コントローラ４７が出力するスイッチング信号は、三相交流波形がモータ４０に流れるような信号となっている。三相インバータ４５の構造は、図１１に示すように、三相インバータ３５と同様である。三相インバータ４５は、上記のスイッチング信号に基づいて、モータ４０に三相交流電流を印加する。電流検出器４８は、その三相交流電流を検出し、ＡＤコンバータ４６に出力する。ＡＤコンバータ４６は、サンプリングタイミングを知得するために、コントローラ４７からスイッチング信号と、全相ハイオフ−ローオン期間や全相ハイオン−ローオフ期間のタイミングの情報を得る。それらの情報に基づいて、ＡＤコンバータ３６の動作と同様に、全相ハイオフ−ローオン期間や全相ハイオン−ローオフ期間内の低ノイズ時間において、電流検出器からの電流値信号のサンプリングを行う。なお、上記低ノイズ時間の終了時点近傍でサンプリングすることがより好ましい。
【００５４】
図７において、コントローラ３７とコントローラ４７とが両端矢印で結ばれていることが示すように、本実施形態のＡＰＣバルブ３の制御装置３Ａのコントローラ３７は、真空ポンプ４のコントローラ４７と通信する。これは、以下に示すように、制御装置３Ａの三相インバータ３５の全相ハイオフ−ローオン期間や全相ハイオン−ローオフ期間の低ノイズ時間（以下、第１低ノイズ時間と呼ぶ）と、真空ポンプ４の三相インバータ４５の全相ハイオフ−ローオン期間や全相ハイオン−ローオフ期間の低ノイズ時間（以下、第２低ノイズ時間と呼ぶ）とを互いに重複させるためである。
【００５５】
図７及び図１３を用いて具体的に説明する。説明のため、本実施形態では、コントローラ３７が生成する搬送波Ｖｃを搬送波Ｖｃ１と呼ぶことにする。コントローラ４７が生成する搬送波Ｖｃを搬送波Ｖｃ２と呼ぶことにする。図１３（ａ）は、のコントローラ３７における搬送波Ｖｃ１と各相の電圧指令信号Ｖｒｅｆを示している。図１３（ｂ）は、図１３（ａ）に示した搬送波Ｖｃ１と各相の電圧指令信号Ｖｒｅｆを比較して得られるスイッチング信号を示している。ただし、図が煩雑になるのを避けるため、図１３（ｂ）には、全相ハイオフ−ローオン期間に最も関係する相（図では、Ｕ相）のスイッチング信号のみを示している。図１３（ｄ）は、のコントローラ４７における搬送波Ｖｃ２と各相の電圧指令信号Ｖｒｅｆを示している。図１３（ｃ）は、図１３（ｄ）に示した搬送波Ｖｃ２と各相の電圧指令信号Ｖｒｅｆを比較して得られるスイッチング信号を示している。ただし、図が煩雑になるのを避けるため、図１３（ｃ）には、全相ハイオフ−ローオン期間に最も関係する相（図では、Ｕ相）のスイッチング信号のみを示している。
【００５６】
本実施形態では、図７の符号１００で示すように、ＡＰＣバルブ３の制御装置３Ａのコントローラ３７が、真空ポンプ４のコントローラ４７に、コントローラ３７自身が用いる搬送波Ｖｃ１の情報を送信する。コントローラ３７は、図１３（ａ）で示すように搬送波Ｖｃ１を各相の電圧指令信号Ｖｒｅｆと比較して、図１３（ｂ）で示すように全相ハイオフ−ローオン期間ＴＮ３を生成する。一方、コントローラ４７は、コントローラ３７から受信した搬送波Ｖｃ１をもとに搬送波Ｖｃ１と同周期で同位相の搬送波Ｖｃ２を生成する。ここで、同位相とは、図１３（ａ）に示す搬送波Ｖｃ１の頂点７１と、図１３（ｄ）に示す搬送波Ｖｃ１と同周期の搬送波Ｖｃ２の頂点７２とが時間的に一致することを意味する。そして、コントローラ４７は、図１３（ｄ）で示すように各相の電圧指令信号Ｖｒｅｆと比較して、図１３（ｃ）で示すように全相ハイオフ−ローオン期間ＴＮ６を生成する。なお、搬送波Ｖｃ２の振幅は、コントローラ４７で用いる各相の電圧指令信号Ｖｒｅｆの振幅よりも大きく設定されている。
【００５７】
このように、コントローラ３７及びコントローラ４７は、搬送波Ｖｃ１の頂点７１、Ｖｃ２の頂点７２を時間的に一致させているので、図１３（ｂ）及び図１３（ｃ）に示すように、コントローラ３７で生成された全相ハイオフ−ローオン期間ＴＮ３と、コントローラ４７で生成された全相ハイオフ−ローオン期間ＴＮ６とを時間的に重複できる。また、搬送波Ｖｃ１、Ｖｃ２の振幅の大小や周期の長短を変化させることでコントローラ３７及びコントローラ４７それぞれの全相ハイオフ−ローオン期間ＴＮ３、ＴＮ６の長短を変化させることが可能なので、搬送波Ｖｃ１、Ｖｃ２の振幅や周期を適切に調整すれば、図１３（ｂ）及び図１３（ｃ）に示すように、第１低ノイズ時間ＴＮ２と第２低ノイズ時間ＴＮ５を重複させることも可能である。なお、本実施形態では、コントローラ３７からコントローラ４７に搬送波Ｖｃ１の情報を送信したが、コントローラ４７からコントローラ３７に搬送波Ｖｃ２の情報を送信し、コントローラ３７が搬送波Ｖｃ２の情報をもとに搬送波Ｖｃ１を生成するようにしてもよい。
【００５８】
ここで、図８（ａ）を用いて、第１低ノイズ時間と第２低ノイズ時間の重複についてさらに説明する。簡単のため、全相ハイオフ−ローオン期間のみで考える。なお、本実施形態でも搬送波Ｖｃと電圧指令信号Ｖｒｅｆの比較でスイッチング信号を生成するが、スイッチング信号の生成方法はこれに限定されない。
【００５９】
図８（ａ）では、三相インバータ３５における全相ハイオフ−ローオン期間を示すスイッチング信号Ｓ３５（図示上側）と、三相インバータ４５における全相ハイオフ−ローオン期間を示すスイッチング信号Ｓ４５（図示下側）とを示して、第１低ノイズ時間と第２低ノイズ時間との重複を説明する。なお、「全相ハイオフ−ローオン期間を示すスイッチング信号」とは、例えば、図５（ｂ）の場合の信号ＳＵＬなどがそれに相当する。パルス幅は、駆動条件によって様々であるので、図は一例である。
【００６０】
三相インバータ３５における全相ハイオフ−ローオン期間は、信号Ｓ３５で示される期間ＴＮ３である。期間ＴＮ３は、第１高ノイズ時間ＴＮ１と、第１高ノイズ時間ＴＮ１の後に続く第１低ノイズ時間ＴＮ２とを含む。第１高ノイズ時間ＴＮ１と第１低ノイズ時間ＴＮ２の時間的な区切りである時点ｔｓ２は、スイッチングノイズが図５（ｃ）や図６（ｃ）で示されるような閾値ＬＴＨ以下かどうかで決定される。
【００６１】
同様に、三相インバータ４５における全相ハイオフ−ローオン期間は、信号Ｓ４５で示される期間ＴＮ６である。期間ＴＮ６は、第２高ノイズ時間ＴＮ４と、第２高ノイズ時間ＴＮ４の後に続く第２低ノイズ時間ＴＮ５とを含む。第２高ノイズ時間ＴＮ４と第２低ノイズ時間ＴＮ５の時間的な区切りである時点ｔｓ５は、スイッチングノイズが図５（ｃ）や図６（ｃ）で示されるような閾値ＬＴＨ以下かどうかで決定される。
【００６２】
ＡＰＣバルブ３の制御装置３ＡのＡＤコンバータ３６は、信号Ｓ３５のみを考慮するならば、第１低ノイズ時間ＴＮ２でサンプリングをすればよい。しかし、本実施形態では、信号Ｓ３５のみならず、信号Ｓ４５をも考慮する必要がある。よって、ＡＤコンバータ３６は、信号Ｓ３５および信号Ｓ４５を考慮すると、第１低ノイズ時間ＴＮ２と第２低ノイズ時間ＴＮ５が重複した期間ＴＯＬでサンプリングする必要がある。
【００６３】
第２実施形態によれば、次の作用効果が得られる。
（１）真空システム１は、ＡＰＣバルブ３の制御装置３Ａと、ポンプロータ４１を回転させるモータ４０を駆動させる三相インバータ４５に送信するスイッチング信号を生成するコントローラ４７を有する真空ポンプ４と、を備える。
コントローラ４７は、三相インバータ４５の三相全てのハイサイドスイッチング素子Ｕ＋、Ｖ＋、Ｗ＋がオフ状態で且つ三相全てのローサイドスイッチング素子Ｕ-、Ｖ-、Ｗ-がオン状態にあり第２低ノイズ時間ＴＮ５を含む期間である期間ＴＮ６を検出する。
ＡＰＣバルブ３の制御装置３Ａのコントローラ３７と真空ポンプ４のコントローラ４７は、第１低ノイズ時間ＴＮ２と第２低ノイズ時間ＴＮ５を時間的に重複させる。
ＡＰＣバルブ３の制御装置３ＡのＡＤコンバータ３６は、第１低ノイズ時間ＴＮ２と第２低ノイズ時間ＴＮ５が重複している期間ＴＯＬ内において、圧力設定指令信号Ｓ１と圧力検出信号Ｓ２をサンプリングする。
これによって、ＡＰＣバルブ３内のスイッチングノイズのみならず、真空ポンプ４のスイッチングノイズの影響をも受けにくくなり、ＡＰＣバルブ３の制御装置３ＡのＡＤコンバータ３６がサンプリングする信号のＳ／Ｎ比が向上する。その結果、ＡＰＣバルブ３の圧力制御の精度が向上する。
【００６４】
（２）ＡＰＣバルブ３の制御装置３ＡのＡＤコンバータ３６は、期間ＴＯＬ内の終了時点ｔｓ３、ｔｓ６近傍で、サンプリングをすることが好ましい。
これによって、更なるＳ／Ｎ比の向上が期待できる。
【００６５】
（３）なお、真空ポンプ４のＡＤコンバータ４６も、ＡＰＣバルブ３の制御装置３ＡのＡＤコンバータ３６と同様に、第１低ノイズ時間ＴＮ２と第２低ノイズ時間ＴＮ５が重複している期間ＴＯＬ内において、電流値信号をサンプリングすることが好ましい。
これによって、電流値信号のＳ／Ｎ比が向上する。その結果、モータ４０の駆動制御の精度が向上する。
【００６６】
―第２実施形態の変形例―
図８（ｂ）は、図８（ａ）に示した第２実施形態のさらに好ましい例を示している。図８（ｂ）における特徴は、第１低ノイズ時間ＴＮ２の終了時点ｔｓ３と第２低ノイズ時間ＴＮ５の終了時点ｔｓ６が一致しているということである。具体的には搬送波Ｖｃ１と搬送波Ｖｃ２の位相をずらすこと、例えば、図１３（ａ）に示す搬送波Ｖｃ１を図１３（ｄ）に示す搬送波Ｖｃ２よりも時間的に早める（図示左方に移動させる）ことで、第１低ノイズ時間ＴＮ２の終了時点ｔｓ３と第２低ノイズ時間ＴＮ５の終了時点ｔｓ６を一致させることができる。その他、図１３（ａ）に示す搬送波Ｖｃ１の振幅を小さくして期間ＴＮ３を縮めることでも、第１低ノイズ時間ＴＮ２の終了時点ｔｓ３と第２低ノイズ時間ＴＮ５の終了時点ｔｓ６を一致させることができる。
【００６７】
制御装置３Ａの実施形態で説明したように、スイッチングノイズは、時間経過とともに減衰する。すなわち、第１低ノイズ時間ＴＮ２内において終了時点ｔｓ３近傍が最もノイズレベルが低い。また、第２低ノイズ時間ＴＮ５内において終了時点ｔｓ６近傍が最もノイズレベルが低い。よって、第１低ノイズ時間ＴＮ２と第２低ノイズ時間ＴＮ５を時間的に重複させるにあたり、終了時点ｔｓ３と終了時点ｔｓ６を一致させるように重複させることがノイズレベルを下げるためには好ましい方法である。このように重複させて得られる期間ＴＯＬで、ＡＰＣバルブ３の制御装置３ＡのＡＤコンバータ３６が圧力設定指令信号Ｓ１と圧力検出信号Ｓ２をサンプリングすることで、ＡＰＣバルブ３の制御装置３ＡのＡＤコンバータ３６がサンプリングする信号のＳ／Ｎ比がさらに向上する。その結果、ＡＰＣバルブ３の圧力制御の精度がさらに向上する。
【００６８】
本変形例において、さらに、ＡＰＣバルブ３の制御装置３ＡのＡＤコンバータ３６が、期間ＴＯＬ内の時点ｔｓ３、ｔｓ６近傍で、圧力設定指令信号Ｓ１と圧力検出信号Ｓ２をサンプリングすることで、ＡＰＣバルブ３の制御装置３ＡのＡＤコンバータ３６がサンプリングする信号のＳ／Ｎ比がより一層向上する。その結果、ＡＰＣバルブ３の圧力制御の精度がより一層向上する。
【００６９】
なお、本変形例では、第２実施形態で示したような搬送波Ｖｃと電圧指令信号Ｖｒｅｆの比較によってスイッチング信号を生成する方法を採用するよりも、後述する変形例４に記載したＰＷＭ制御プログラムによってスイッチング信号を生成する方法を採用するほうがより容易に実現できる。なぜなら、ＰＷＭ制御プログラムによる生成方法は、ＰＷＭ周期内でスイッチング信号の生成タイミングを比較的自由に設定できるからである。
【００７０】
第１及び第２実施形態において、以下のような変形をすることができる。
【００７１】
―ＡＰＣバルブ３の制御装置３Ａの変形例１―
以上では、全相ハイオフ−ローオン期間の低ノイズ時間Ｔ３でＡＤコンバータ３６が圧力設定指令信号Ｓ１と圧力検出信号Ｓ２をサンプリングしているが、全相ハイオン−ローオフ期間でＡＤコンバータ３６が圧力設定指令信号Ｓ１と圧力検出信号Ｓ２をサンプリングしてもよい。
【００７２】
―ＡＰＣバルブ３の制御装置３Ａの変形例２―
図９は、変形例２における電圧指令信号Ｖｒｅｆと、搬送波Ｖｃとを示している。定電流制御の場合、三相モータの構造上、三相の電圧指令信号の内の二相の値は、符号が残り一相の値と逆で、絶対値が残り一相の値の半分という関係となる。例えば、図９に示す場合では、Ｖ相の電圧指令信号Ｖｒｅｆ＿ＶやＷ相の電圧指令信号Ｖｒｅｆ＿Ｗは、符号がＵ相の電圧指令信号Ｖｒｅｆ＿Ｕと逆で、絶対値が電圧指令信号Ｖｒｅｆ＿Ｕの半分となっている。そのため、Ｕ相の電圧指令信号Ｖｒｅｆ＿Ｕが振幅の上限値の一方＋｜Ｖｒｅｆ｜＿Ｍａｘに位置していても、電圧指令信号Ｖｒｅｆ＿Ｖや電圧指令信号Ｖｒｅｆ＿Ｗは、振幅の上限値の他方−｜Ｖｒｅｆ｜＿Ｍａｘに位置しない。
【００７３】
このような場合は、搬送波Ｖｃは、電圧指令信号Ｖｒｅｆの振幅よりも大きくせずとも、すなわち、図９に示すような一般的な設定と同様に、搬送波Ｖｃの振幅を電圧指令信号Ｖｒｅｆの振幅と等しく設定したとしても、全相ハイオン−ローオフ期間が生成される。よって、この全相ハイオン−ローオフ期間の低ノイズ時間でＡＤコンバータ３６が圧力設定指令信号Ｓ１と圧力検出信号Ｓ２をサンプリングすればよい。
【００７４】
―ＡＰＣバルブ３の制御装置３Ａの変形例３―
図１０は、変形例３における電圧指令信号Ｖｒｅｆと搬送波Ｖｃを示している。本変形例では、搬送波Ｖｃの振幅と電圧指令信号Ｖｒｅｆの振幅の上限値｜Ｖｒｅｆ｜＿Ｍａｘは等しく設定されている。
【００７５】
出力をあまり必要としない駆動を行っている本変形例のような場合には、図１０のハッチング領域で示すように、電圧指令信号Ｖｒｅｆが振幅の上限まで到達しないこともある。
【００７６】
本変形例のような場合では、搬送波Ｖｃの振幅と電圧指令信号Ｖｒｅｆの振幅の上限値｜Ｖｒｅｆ｜＿Ｍａｘは等しく設定されていても、三相全てにおいて搬送波Ｖｃが電圧指令信号Ｖｒｅｆよりも値が大きい期間、または、三相全てにおいて搬送波Ｖｃが電圧指令信号Ｖｒｅｆよりも値が小さい期間が生じる。よって、図５や図６に示すように、全相ハイオフ−ローオン期間や全相ハイオン−ローオフ期間が生成されるので、これらの期間の低ノイズ時間において、ＡＤコンバータ３６が圧力設定指令信号Ｓ１と圧力検出信号Ｓ２をサンプリングすればよい。
【００７７】
―ＡＰＣバルブ３の制御装置３Ａの変形例４―
以上の実施形態では、搬送波Ｖｃと電圧指令信号Ｖｒｅｆの比較でスイッチング信号ＳＵＨ，ＳＵＬ，ＳＶＨ，ＳＶＬ，ＳＷＨ，ＳＷＬを生成していたが、スイッチング信号ＳＵＨ，ＳＵＬ，ＳＶＨ，ＳＶＬ，ＳＷＨ，ＳＷＬは、ＰＷＭ制御プログラムによって生成することもできる。本変形例では、全相ハイオフ−ローオン期間や全相ハイオン−ローオフ期間が生成されるように、プログラムすれば、ＡＤコンバータ３６が、ノイズの少ない圧力設定指令信号Ｓ１と圧力検出信号Ｓ２をサンプリングできる。
【００７８】
その他、以下のような変形をすることができる。
【００７９】
本発明は、ＡＰＣバルブ３の制御装置３Ａのコントローラ３７においても、真空ポンプ４のコントローラ４７においても、全相ハイオフ−ローオン期間に、限定されない。変形例１でも示したように、全相ハイオン−ローオフ期間に本発明を適用することも可能である。さらに、真空システム１においては、ＡＰＣバルブ３のコントローラ３７が全相ハイオフ−ローオン期間で、真空ポンプ４のコントローラ４７が全相ハイオン−ローオフ期間で本発明を適用することなどもできる。
【００８０】
以上では、コントローラ３７とコントローラ４７で用いたＰＷＭ搬送波である搬送波Ｖｃは三角搬送波であったが、鋸搬送波を用いてもよい。
【００８１】
上記では、種々の実施形態および変形例を説明したが、本発明はこれらの内容に限定されるものではない。以上の実施形態および変形例の組み合わせや、本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。
【符号の説明】
【００８２】
１：真空システム
２：真空処理装置
３：ＡＰＣバルブ
３Ａ：制御装置
４：真空ポンプ
２１：コントローラ
２２：ダイアフラム
２３：真空チャンバ
３０：モータ
３２：バルブプレート
３５：三相インバータ
３６：ＡＤコンバータ
３７：コントローラ
３８：電流検出器
４０：モータ
４１：ポンプロータ
４２：真空排気系
４５：三相インバータ
４６：ＡＤコンバータ
４７：コントローラ
４８：電流検出器
５０：排気経路
ＮＳ：スイッチングノイズ
Ｓ１：圧力設定指令信号
Ｓ２：圧力検出信号
Ｔ１〜Ｔ８：期間（時間）
Ｔｄ：デッドタイム
Ｖｃ：搬送波
ＬＴＨ：閾値
ＳＵＨ、ＳＵＬ、ＳＶＨ、ＳＶＬ、ＳＷＨ、ＳＷＬ：スイッチング信号
Ｓ３５、Ｓ４５：スイッチング信号
Ｕ＋、Ｖ＋、Ｗ＋：ハイサイドスイッチング素子
Ｕ−、Ｖ−、Ｗ−：ローサイドスイッチング素子
ＴＮ１：第１高ノイズ時間
ＴＮ２：第１低ノイズ時間
ＴＮ４：第２高ノイズ時間
ＴＮ５：第２低ノイズ時間
ＴＯＬ：期間
ｔｓ３：終了時点
ｔｓ６：終了時点
Ｖｒｅｆ：電圧指令信号
【図１】
0006424500.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
0006424500.tif 000006
【図６】
0006424500.tif 000007
【図７】
0006424500.tif 000008
【図８】
0006424500.tif 000009
【図９】
0006424500.tif 000010
【図１０】
0006424500.tif 000011
【図１１】
0006424500.tif 000012
【図１２】
0006424500.tif 000013
【図１３】
0006424500.tif 000014