(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
垂直に立てられた四角平板状の被めっき物の外周辺を囲繞するように上辺および下辺ならびに左辺および右辺を有して配置され、前記被めっき物の上端部および下端部をそれぞれ前記上辺および下辺に電気的に接続して固定する四角枠状の固定用フレームと、該固定用フレームに電気的に接続され電荷の供給を行う整流器と、前記左辺および右辺における上端と下端との中間点に設けられ前記整流器からの電荷の供給を受ける給電部と、を具備して成る電解めっき装置であって、前記固定用フレームにおける前記上辺の左端部と前記左辺との間、および前記上辺の右端部と前記右辺との間が絶縁されているとともに、前記上辺の左端部と前記右辺の上部との間、および前記上辺の右端部と前記左辺の上部との間が、それぞれ導体を介して電気的に接続されていることを特徴とする電解めっき装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電解めっき装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電解めっき技術は、例えば配線基板の配線形成用途として広く用いられており、配線基板の絶縁層表面に電解めっき金属層を析出させることで配線が形成される。
【０００３】
ここで、図３に従来の電解めっき装置Ｂ１を概略図で示す。電解めっき装置Ｂ１は、導電性フレーム１１と、導電性ハンガー１２と、給電部１３と、整流器（不図示）と、アノード電極１４と、めっき浴槽１５とを備えている。
【０００４】
導電性フレーム１１は、図４に示すように、上辺および下辺ならびに左辺および右辺を有する四角枠状をしている。そして、垂直に立てられた四角平板状の被めっき物Ｐの外周辺を囲繞するように配置される。被めっき物Ｐの上端部および下端部は、それぞれ導電性フレーム１１の上辺および下辺に配設されたクランプ１１ａにより導電性フレーム１１に電気的に接続して固定される。
【０００５】
導電性ハンガー１２は、一方の端部が整流器の陰極側と電気的に接続されるとともに、移動装置（不図示）に接続されている。また、他方の端部が導電性フレーム１１の上辺に電気的に接続されている。そして、導電性ハンガー１２は、電荷の供給を行いながら被めっき物Ｐを装着した導電性フレーム１１を搬送する。
なお、導電性フレーム１１と導電性ハンガー１２との接続部は、整流器からの電荷を導電性フレーム１１に付与する給電部１３として機能する。
【０００６】
アノード電極１４は、めっき浴槽１５の対向する両内壁付近に等間隔で配置されている。
【０００７】
めっき浴槽１５は、内部に電解めっき液（不図示）が入れられている。そして、導電性ハンガー１２により吊り下げられた導電性フレーム１１が、対向するアノード電極１４同士の間を、電解めっき液に浸漬された状態で被めっき物Ｐの主面に沿った水平方向に搬送されることで、被めっき物Ｐの主面に電解めっき金属層が析出する。
【０００８】
ところで、従来の電解めっき装置Ｂ１においては、給電部１３に近い被めっき物Ｐの上端部付近では、電荷の供給距離が短く抵抗値が小さいため電荷の供給量が多くなる。一方で、給電部１３から遠い被めっき物Ｐの下端部付近では、電荷の供給距離が長く抵抗値が大きいため電荷の供給量が少なくなっている。このため、被めっき物Ｐの上端部付近では電解めっき金属層の厚みが厚くなり、被めっき物Ｐの下端部付近では電解めっき金属層の厚みが薄くなってしまう。その結果、例えば配線基板の絶縁層表面に電解めっき金属層を析出させて配線を形成する場合に、配線基板内における配線厚みのバラツキが大きくなり電気特性に不具合が生じる等、良好な品質の被めっき物を供給することができないという問題がある。
【０００９】
そこで本願出願人は、特願２０１５−３２７７９において、上記の問題を解決するための別の形態の電解めっき装置Ｂ２を提唱した。
このような電解めっき装置Ｂ２について図５および図６を用いて説明する。
【００１０】
電解めっき装置Ｂ２は、導電性フレーム２１と、導電性ハンガー２２と、補助フレームＦと、給電部２３と、整流器（不図示）と、アノード電極２４と、めっき浴槽２５とを備えている。
【００１１】
導電性フレーム２１は、図６に示すように、上辺および下辺ならびに左辺および右辺を有する四角枠状に形成される。このような導電性フレーム２１は、垂直に立てられた四角平板状の被めっき物Ｐの外周辺を囲繞するように配置される。そして、被めっき物Ｐの上端部および下端部をそれぞれ導電性フレーム２１の上辺および下辺に配設されたクランプ２１ａにより固定することで両者が電気的に接続される。
【００１２】
導電性ハンガー２２は、被めっき物Ｐが装着された導電性フレーム２１をめっき浴槽２５内に浸漬するとともに、めっき浴槽２５内に浸漬された被めっき物Ｐを搬送しながら移動するための移動装置（不図示）に接続されている。
このような導電性ハンガー２２は、２本の導電性材料を備えており一方の端部は、整流器の陰極側と電気的に接続されている。そして、他方の端部は、導電性フレーム２１上辺の左側と右側とに樹脂等の絶縁体Ｚを介して固定されている。これにより固定部においては、導電性フレーム２１と導電性ハンガー２２とは絶縁されている。
【００１３】
補助フレームＦは、導電性フレーム２１の左辺および右辺の外側に隣接して配置されており、その一方の端部は、導電ケーブルＣを介して左側および右側の導電性ハンガー２２にそれぞれ固定されている。
また、補助フレームＦの他方の端部は、導電性フレーム２１の左辺および右辺における上端と下端との中間点にＬ１＝Ｌ２となるようにそれぞれ接続されている。この接続部は、整流器からの電荷を導電性フレーム２１に付与する給電部２３として機能する。
そして、導電性フレーム２１の左辺の給電部から供給される電荷により、主に被めっき物Ｐの左側に電解めっき金属層が析出する。また、導電性フレーム２１の右辺の給電部から供給される電荷により、主に被めっき物Ｐの右側に電解めっき金属層が析出する。
【００１４】
アノード電極２４は、めっき浴槽２５の対向する両内壁付近に等間隔で配置されている。
【００１５】
めっき浴槽２５は、内部に電解めっき液（不図示）が入れられている。そして、導電性ハンガー２２により吊り下げられた導電性フレーム２１が、対向するアノード電極２４同士の間を、電解めっき液に浸漬された状態で被めっき物Ｐの主面に沿った水平方向に搬送されることで、被めっき物Ｐの主面に電解めっき金属層が析出する。
【００１６】
このような電解めっき装置Ｂ２によれば、整流器からの電荷を導電性フレーム２１に付与する給電部２３が、導電性フレーム２１の左辺および右辺における上端と下端との中間点に接続されている。これにより、給電部２３から被めっき物Ｐの上端部までの電荷の供給距離と、給電部２３から被めっき物Ｐの下端部までの電荷の供給距離との差を縮小して、両供給経路の抵抗値の差を小さくできる。そのため、上端部付近での電荷の供給量と、下端部付近での電荷の供給量との差が小さくなる。
その結果、被めっき物Ｐ内において電解めっき金属層の析出厚みのバラツキを小さくすることが可能になり、良好な品質の被めっき物Ｐを供給できる電解めっき装置Ｂ２を提供することができる。
【００１７】
ところで、このような電解めっき装置Ｂ２においては、導電性ハンガー２２と導電ケーブルＣとの間、導電ケーブルＣと補助フレームＦとの間、あるいは補助フレームＦと導電性フレーム１１との間等、接続箇所が多いことから、例えば左右いずれかの電荷供給経路に接続不良や断線等の異常が生じる場合が極稀にある。
このような異常が生じた場合、左右の給電部から供給される電荷の量に差が生じてしまう。このため、被めっき物Ｐにおいて、供給される電荷の量が少ない側に析出する電解めっき金属層が不十分になり電荷供給経路に異常が生じた側のめっきの厚みが、正常な側のめっきの厚みよりも小さくなってしまう。
その結果、例えば配線基板の絶縁層表面に電解めっき金属層を析出させて配線を形成する場合に、配線基板内における配線厚みのバラツキが大きくなり電気特性に不具合が生じる等、良好な品質の被めっき物を供給することができないという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１８】
【特許文献１】特許第４１７９７０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
本発明の課題は、被めっき物における電解めっき金属層の析出厚みのバラツキを小さくすることによって、良好な品質の被めっき物を供給できる電解めっき装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明の電解めっき装置は、垂直に立てられた四角平板状の被めっき物の外周辺を囲繞するように上辺および下辺ならびに左辺および右辺を有して配置され、被めっき物の上端部および下端部をそれぞれ上辺および下辺に電気的に接続して固定する四角枠状の固定用フレームと、固定用フレームに電気的に接続され電荷の供給を行う整流器と、左辺および右辺における上端と下端との中間点に設けられ整流器からの電荷の供給を受ける給電部と、を具備して成る電解めっき装置であって、固定用フレームにおける上辺の左端部と左辺との間、および上辺の右端部と右辺との間が絶縁されているとともに、上辺の左端部と右辺の上部との間、および上辺の右端部と左辺の上部との間が、それぞれ導体を介して電気的に接続されていることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００２１】
本発明の電解めっき装置によれば、固定用フレームにおける上辺の左端部と左辺との間、および上辺の右端部と右辺との間が絶縁されているとともに、上辺の左端部と右辺の上部との間、および上辺の右端部と左辺の上部との間が、それぞれ導体を介して電気的に接続されている。
このため、例えば電荷供給経路の何れか一方に接続不良や断線等の異常が生じて、左右の給電部から供給される電荷の量に差が生じた場合でも、上辺の左端部と右辺の上部との間をつなぐ導体、あるいは上辺の右端部と左辺の上部との間をつなぐ導体により供給される電荷の量が少ない側に電荷を供給することが可能になり、左右の給電部から供給される電荷の量の差を小さくすることができる。
その結果、被めっき物内において電解めっき金属層の析出厚みのバラツキを小さくすることが可能になり、良好な品質の被めっき物を供給できる電解めっき装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】図１は、本発明の電解めっき装置の実施形態の一例を示す概略斜視図である。
【図２】図２は、図１に示す電解めっき装置の要部拡大図である。
【図３】図３は、従来の電解めっき装置の実施形態の一例を示す概略斜視図である。
【図４】図４は、図３に示す電解めっき装置の要部拡大図である。
【図５】図５は、従来の電解めっき装置の別の実施形態の一例を示す概略斜視図である。
【図６】図６は、図５に示す電解めっき装置の要部拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
次に、本発明の電解めっき装置の実施形態の一例を図１および図２を基にして詳細に説明する。なお、図１と図２において同一の箇所には、同じ符号を付して説明する。
本例の電解めっき装置Ａは、固定用フレーム１と、導電性ハンガー２と、補助フレームＦと、給電部３と、整流器（不図示）と、アノード電極４と、めっき浴槽５とを備えている。
【００２４】
固定用フレーム１は、例えばめっき液による腐食に強いステンレス等の良導電性金属同士を接合することで、図２に示すように、上辺および下辺ならびに左辺および右辺を有する四角枠状に形成される。
なお、上辺と左辺との間および上辺と右辺との間は、樹脂等の絶縁体Ｚ２を間に介して接合されることで絶縁されている。
さらに、上辺の左端部と右辺の上部との間、および上辺の右端部と左辺の上部との間が、それぞれ導電性ケーブルＣ１を介して電気的に接続されている。
このような導電性フレーム１は、垂直に立てられた四角平板状の被めっき物Ｐの外周辺を囲繞するように配置される。そして、被めっき物Ｐの上端部および下端部をそれぞれ導電性フレーム１の上辺および下辺に配設されたクランプ１ａにより固定することで両者が電気的に接続される。
【００２５】
導電性ハンガー２は、例えばステンレス等の良導電性金属から成る。導電性ハンガー２は、被めっき物Ｐが装着された固定用フレーム１をめっき浴槽５内に浸漬するとともに、めっき浴槽５内に浸漬された被めっき物Ｐを搬送しながら移動するための移動装置（不図示）に接続されている。
また、導電性ハンガー２の一方の端部は、整流器の陰極側と電気的に接続されている。そして、他方の端部は、固定用フレーム１の上辺に樹脂等の絶縁体Ｚ１を介して固定されている。これにより固定部においては、固定用フレーム１と導電性ハンガー２とは絶縁されている。
【００２６】
補助フレームＦは、例えばステンレス等の良導電性金属から成る。補助フレームＦは、固定用フレーム１の左辺および右辺の外側に隣接して配置されており、その一方の端部は、導電ケーブルＣ２を介して導電性ハンガー２に固定されている。また、補助フレームＦの他方の端部は、固定用フレーム１の左辺および右辺における上端と下端との中間点にＬ１＝Ｌ２となるようにそれぞれ接続されている。この接続部は、整流器からの電荷を固定用フレーム１に付与する給電部３として機能する。
【００２７】
アノード電極４は、例えばチタン板に酸化イリジウム等をコーティングした良導電性の金属から成り、導電性フレーム１の搬送方向に沿って等間隔で並ぶようにめっき浴槽５の対向する両内壁付近に配置される。なお、アノード電極４は、例えば銅から成るボールタイプの金属を、メッシュ状のアノードバッグに複数投入したものであっても構わない。
【００２８】
めっき浴槽５は、例えば塩化ビニルから成る複数の平板同士を接合することで容器状に形成される。めっき浴槽５は、内部に電解めっき液（不図示）が入れられている。そして、導電性ハンガー２により吊り下げられた固定用フレーム１が、対向するアノード電極４同士の間を、電解めっき液に浸漬された状態で被めっき物Ｐの主面に沿った水平方向に搬送することで、被めっき物Ｐの主面に電解めっき金属層が析出する。
【００２９】
ところで、本発明の電解めっき装置Ａによれば、固定用フレーム１における上辺の左端部と左辺との間、および上辺の右端部と右辺との間が絶縁されているとともに、上辺の左端部と右辺の上部との間、および上辺の右端部と左辺の上部との間が、それぞれ導電性ケーブルＣ１を介して電気的に接続されている。
このため、例えば電荷供給経路の一方に接続不良や断線等の異常が生じて、左右の給電部３から供給される電荷の量に差が生じた場合でも、上辺の左端部と右辺の上部との間をつなぐ導電性ケーブルＣ１、あるいは上辺の右端部と左辺の上部との間をつなぐ導電性ケーブルＣ１により電荷の供給量が少ない側に電荷を供給することが可能になり、左右の給電部から供給される電荷の量の差を小さくすることができる。
その結果、被めっき物Ｐ内において電解めっき金属層の析出厚みのバラツキを小さくすることが可能になり、良好な品質の被めっき物Ｐを供給できる電解めっき装置Ａを提供することができる。
【符号の説明】
【００３０】
１    固定用フレーム
３    給電部
Ａ    電解めっき装置
Ｃ１  導体（導電性ケーブル）
Ｐ    被めっき物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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