(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
天井から吊り下げられた走行レールに沿って走行して容器を搬送する物品搬送車が備えられ、当該物品搬送車が、前記容器を支持する支持部を備えている物品搬送設備であって、
不活性気体を吐出する吐出部を有する不活性気体供給装置が、前記物品搬送車が走行する走行経路の側方又は下方に前記吐出部が位置するように備えられ、
前記支持部と前記吐出部との位置関係を、前記支持部にて支持された前記容器に前記吐出部が接続される接続用位置関係と、前記支持部にて支持された前記容器から前記吐出部を分離させた分離用位置関係と、に切り換えるべく、前記吐出部を前記支持部に対して相対的に移動させる接続用駆動装置が備えられ、
前記不活性気体供給装置が、前記支持部と前記吐出部との位置関係が前記接続用駆動装置により前記接続用位置関係に切り換えられた後の前記吐出部と前記容器との接続が維持された状態で不活性気体を前記吐出部から吐出し、
前記接続用駆動装置が、前記不活性気体供給装置に備えられ、且つ、前記吐出部と前記支持部とのうちの前記吐出部のみを移動させて、前記支持部と前記吐出部との位置関係を前記接続用位置関係と前記分離用位置関係とに切り換える物品搬送設備。
【請求項２】
天井から吊り下げられた走行レールに沿って走行して容器を搬送する物品搬送車が備えられ、当該物品搬送車が、前記容器を支持する支持部を備えている物品搬送設備であって、
不活性気体を吐出する吐出部を有する不活性気体供給装置が、前記物品搬送車が走行する走行経路の側方又は下方に前記吐出部が位置するように備えられ、
前記支持部と前記吐出部との位置関係を、前記支持部にて支持された前記容器に前記吐出部が接続される接続用位置関係と、前記支持部にて支持された前記容器から前記吐出部を分離させた分離用位置関係と、に切り換えるべく、前記吐出部を前記支持部に対して相対的に移動させる接続用駆動装置が備えられ、
前記不活性気体供給装置が、前記支持部と前記吐出部との位置関係が前記接続用駆動装置により前記接続用位置関係に切り換えられた後の前記吐出部と前記容器との接続が維持された状態で不活性気体を前記吐出部から吐出し、
前記支持部が、前記容器の上端部に備えられている被支持部を支持する複数の支持体と、前記複数の支持体にて前記被支持部を支持している状態で前記被支持部の側方に位置して前記被支持部の水平方向の移動を規制する規制体と、前記複数の支持体を互いに接近させた支持状態と前記複数の支持体を互いに離間させた支持解除状態とに切り換える切換駆動装置と、を備え、
前記不活性気体供給装置が、前記支持部が前記切換駆動装置により前記支持状態に切り換えられている状態で不活性気体を前記吐出部から吐出する物品搬送設備。
【請求項３】
前記接続用駆動装置が、前記不活性気体供給装置に備えられ、且つ、前記吐出部と前記支持部とのうちの前記吐出部のみを移動させて、前記支持部と前記吐出部との位置関係を前記接続用位置関係と前記分離用位置関係とに切り換える請求項２記載の物品搬送設備。
【請求項４】
前記吐出部が、前記走行経路の直下に位置し、
前記接続用駆動装置が、前記吐出部を直線状に昇降移動させて、前記支持部と前記吐出部との位置関係を前記接続用位置関係と前記分離用位置関係とに切り換える請求項１又は３記載の物品搬送設備。
【請求項５】
前記接続用駆動装置が、前記物品搬送車に備えられ、且つ、前記吐出部と前記支持部とのうちの前記支持部のみを移動させて、前記支持部と前記吐出部との位置関係を前記接続用位置関係と前記分離用位置関係とに切り換える請求項２記載の物品搬送設備。
【請求項６】
前記走行経路の直下に、前記物品搬送車による物品の搬送元又は搬送先となる搬送対象箇所が備えられ、
前記不活性気体供給装置が、前記搬送対象箇所に対して前記走行経路の長手方向にずらした箇所に設けられ、
前記吐出部が、前記走行経路の直下に位置し、
前記物品搬送車が、前記支持部を昇降移動させて物品を前記搬送対象箇所に対して載せ降しを行う搬送用駆動装置が備えられ、
前記搬送用駆動装置が、前記接続用駆動装置に兼用されている請求項５記載の物品搬送設備。
【請求項７】
前記容器の底面に、前記吐出部が下方から接続される給気部と、前記吐出部と一体に備えられた位置決め部材が下方から係合する被係合部と、が備えられ、
前記被係合部が、上方ほど細い先細り形状に形成され、
前記接続用駆動装置が、前記吐出部を前記支持部に対して相対的に昇降移動させて、前記支持部と前記吐出部との位置関係を前記接続用位置関係と前記分離用位置関係とに切り換える請求項１〜６のいずれか１項に記載の物品搬送設備。
【請求項８】
前記不活性気体供給装置が、当該不活性気体供給装置に対応して予め設定された供給用停止位置に前記物品搬送車が停止している状態で不活性気体を前記吐出部から吐出する請求項１〜７のいずれか１項に記載の物品搬送設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、天井から吊り下げられた走行レールに沿って走行して容器を搬送する物品搬送車が備えられ、当該物品搬送車が、前記容器を支持する支持部を備えている物品搬送設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
かかる物品搬送設備の従来例が、特開２０１２−０４４０３３号公報（特許文献１）に記載されている。特許文献１の物品搬送設備では、物品搬送車が走行する走行経路の側方に物品を保管する容器保管部を備え、その容器保管部に、不活性気体を吐出部から吐出する不活性気体供給装置が備えられている。このように、特許文献１の物品搬送設備では、容器保管部に不活性気体供給装置を備えることで、容器保管部に容器を保管する時間を利用して容器内に不活性気体を供給するように構成されている。
【０００３】
説明を加えると、物品搬送車には、容器を支持する支持部を昇降移動させる昇降駆動部が備えられており、容器保管部には、吐出部を水平方向に移動させる水平駆動部が備えられている。そして、物品搬送車が容器保管部に対して予め設定されている走行停止位置に停止した後、吐出部が物品搬送車の支持部にて支持されている容器の直下に位置するように、水平駆動部にて吐出部を水平方向に沿って突出移動させ、その後、昇降駆動部にて支持部を下降移動させて、容器に吐出部を接続する。
このように、水平駆動部による吐出部の水平移動と昇降駆動部による支持部の昇降移動  とにより、支持部と吐出部との位置関係を、支持部にて支持された容器に吐出部が接続される接続用位置関係と、支持部にて支持された容器から吐出部を分離させた分離用位置関係と、に切り換えるようになっている。
【０００４】
ちなみに、特許文献１の物品搬送設備では、水平駆動部にて吐出部を水平方向に沿って突出移動させることで、吐出部に不活性気体を供給する窒素ガス供給路が途中で分断される。そのため、不活性気体供給装置は、水平駆動部にて吐出部を水平方向に沿って突出移動させた状態では、吐出部から不活性気体を吐出できない構成となっている。
従って、特許文献１の物品搬送設備では、吐出部から不活性気体を吐出して容器内に不活性気体を供給するために、天井搬送車は、容器を吐出部に接続した後に容器に対する支持部による支持を解除し、不活性気体供給装置は、水平駆動部にて吐出部を水平方向に沿って引退移動させて窒素ガス供給路の途中を接続させる。従来における物品搬送設備では、不活性気体供給装置は、このように吐出部を引退移動させた後に吐出部から不活性気体を吐出させて容器内に不活性気体を供給するように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１２−０４４０３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記した従来の物品搬送設備では、物品搬送車が容器を物品保管部に搬送した後は、次の容器を搬送するべく物品搬送車を走行停止位置から走行させる。そして、物品保管部から容器を搬送する場合は、別の物品搬送車を当該走行停止位置まで走行させた後、当該物品搬送車にて物品保管部から別の箇所に搬送することになる。
物品保管部にて不活性気体供給装置にて不活性気体を供給されていた容器を他の箇所に搬送するときは、別の物品搬送車を走行停止位置まで走行させた後、物品搬送車の昇降駆動部や不活性気体供給装置の水平駆動部を駆動させて、支持部にて容器を支持できる位置関係となるように支持部と吐出部とを相対的に移動させ、さらに、吐出部を容器から分離する為に支持部と吐出部とを相対的に移動させる必要がある。そのため、不活性気体供給装置にて不活性気体が供給されていた容器を迅速に別の箇所に搬送し難いものであった。
【０００７】
そこで、不活性気体供給装置にて不活性気体が供給されていた容器を別の箇所に迅速に搬送できる物品搬送設備が求められる。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る物品搬送設備の特徴構成は、天井から吊り下げられた走行レールに沿って走行して容器を搬送する物品搬送車が備えられ、当該物品搬送車が、前記容器を支持する支持部を備えている物品搬送設備において、
不活性気体を吐出部から吐出する不活性気体供給装置が、前記物品搬送車が走行する走行経路の側方又は下方に前記吐出部が位置するように備えられ、前記支持部と前記吐出部との位置関係を、前記支持部にて支持された前記容器に前記吐出部が接続される接続用位置関係と、前記支持部にて支持された前記容器から前記吐出部を分離させた分離用位置関係と、に切り換えるべく、前記吐出部を前記支持部に対して相対的に移動させる接続用駆動装置が備えられ、前記不活性気体供給装置が、前記支持部と前記吐出部との位置関係が前記接続用駆動装置により前記接続用位置関係に維持された状態で不活性気体を前記吐出部から吐出し、前記接続用駆動装置が、前記不活性気体供給装置に備えられ、且つ、前記吐出部と前記支持部とのうちの前記吐出部のみを移動させて、前記支持部と前記吐出部との位置関係を前記接続用位置関係と前記分離用位置関係とに切り換える点にある。
【０００９】
この特徴構成によれば、物品搬送車を不活性気体供給装置に対応する位置に走行させた状態で、接続用駆動装置にて吐出部を支持部に対して相対的に移動させて支持部と吐出部との位置関係を接続用位置関係に切り換えることで、物品搬送車の支持部に支持されている容器に吐出部を接続することができる。
また、物品搬送車を不活性気体供給装置に対応する位置に走行させた状態で、接続用駆動装置にて吐出部を支持部に対して相対的に移動させて支持部と吐出部との位置関係を分離用位置関係に切り換えることで、物品搬送車の支持部にて支持されている容器から吐出部を分離することができる。
そして、支持部と吐出部との位置関係が接続用位置関係に切り換えられた後の吐出部と容器との接続が維持された状態では、吐出部は容器に接続されているので、支持部と吐出部との位置関係が接続用位置関係に維持された状態で不活性気体供給装置が吐出部から不活性気体を吐出することで、容器内に不活性気体を供給することができる。
また、このように容器内に不活性気体を供給している間、物品搬送車の支持部と不活性気体供給装置の吐出部との位置関係は接続用位置関係に切り換えられた後の吐出部と容器との接続が維持されており、物品搬送車は不活性気体供給装置に対応する位置に位置している。そのため、接続用駆動装置にて支持部と吐出部との位置関係を分離用位置関係に切り換えるだけで、物品搬送車の支持部にて容器が支持される状態となり、物品搬送車は、支持部にて支持して走行できる状態となっている。そのため、不活性気体供給装置にて不活性気体を供給していた容器を物品搬送車にて迅速に別の箇所に搬送することができる。
更に、この構成によれば、接続用駆動装置は不活性気体供給装置に備えられており、物品搬送車に接続用駆動装置を備える必要がない。そのため、天井から吊り下げされた走行レールに沿って走行する物品搬送車の重量化及び物品搬送車の構成の複雑化を回避できる。
【００１０】
本発明に係る物品搬送設備の特徴構成は、天井から吊り下げられた走行レールに沿って走行して容器を搬送する物品搬送車が備えられ、当該物品搬送車が、前記容器を支持する支持部を備えている物品搬送設備において、
不活性気体を吐出部から吐出する不活性気体供給装置が、前記物品搬送車が走行する走行経路の側方又は下方に前記吐出部が位置するように備えられ、前記支持部と前記吐出部との位置関係を、前記支持部にて支持された前記容器に前記吐出部が接続される接続用位置関係と、前記支持部にて支持された前記容器から前記吐出部を分離させた分離用位置関係と、に切り換えるべく、前記吐出部を前記支持部に対して相対的に移動させる接続用駆動装置が備えられ、前記不活性気体供給装置が、前記支持部と前記吐出部との位置関係が前記接続用駆動装置により前記接続用位置関係に維持された状態で不活性気体を前記吐出部から吐出し、前記支持部が、前記容器の上端部に備えられている被支持部を支持する複数の支持体と、前記複数の支持体にて前記被支持部を支持している状態で前記被支持部の側方に位置して前記被支持部の水平方向の移動を規制する規制体と、前記複数の支持体を互いに接近させた支持状態と前記複数の支持体を互いに離間させた支持解除状態とに切り換える切換駆動装置と、を備え、前記不活性気体供給装置が、前記支持部が前記切換駆動装置により前記支持状態に切り換えられている状態で不活性気体を前記吐出部から吐出する点にある。
この特徴構成によれば、物品搬送車を不活性気体供給装置に対応する位置に走行させた状態で、接続用駆動装置にて吐出部を支持部に対して相対的に移動させて支持部と吐出部との位置関係を接続用位置関係に切り換えることで、物品搬送車の支持部に支持されている容器に吐出部を接続することができる。
また、物品搬送車を不活性気体供給装置に対応する位置に走行させた状態で、接続用駆動装置にて吐出部を支持部に対して相対的に移動させて支持部と吐出部との位置関係を分離用位置関係に切り換えることで、物品搬送車の支持部にて支持されている容器から吐出部を分離することができる。
そして、支持部と吐出部との位置関係が接続用位置関係に切り換えられた後の吐出部と容器との接続が維持された状態では、吐出部は容器に接続されているので、支持部と吐出部との位置関係が接続用位置関係に維持された状態で不活性気体供給装置が吐出部から不活性気体を吐出することで、容器内に不活性気体を供給することができる。
また、このように容器内に不活性気体を供給している間、物品搬送車の支持部と不活性気体供給装置の吐出部との位置関係は接続用位置関係に切り換えられた後の吐出部と容器との接続が維持されており、物品搬送車は不活性気体供給装置に対応する位置に位置している。そのため、接続用駆動装置にて支持部と吐出部との位置関係を分離用位置関係に切り換えるだけで、物品搬送車の支持部にて容器が支持される状態となり、物品搬送車は、支持部にて支持して走行できる状態となっている。そのため、不活性気体供給装置にて不活性気体を供給していた容器を物品搬送車にて迅速に別の箇所に搬送することができる。
更に、この構成によれば、接続用駆動装置にて支持部と吐出部との位置関係を接続用位置関係に切り換えて吐出部を容器に接続した後、支持部の状態を支持状態から支持解除状態に切り換えることなく、不活性気体供給装置が不活性気体を吐出部から吐出して容器内に不活性気体を供給する。そのため、容器を吐出部に接続した後、不活性気体供給装置が不活性気体を吐出部から吐出するまでに、支持部を支持状態から支持解除状態に切り換える必要がない。従って、容器内への不活性気体の供給を迅速に開始できる。
また、支持部を支持状態に切り換えている状態では、容器における被支持部の側方に支持部の規制体が存在している。そのため、例えば、接続用駆動装置により容器が持ち上げられて被支持部が支持体から浮上した場合でも、容器の上端部に備えられている被支持部が支持部の規制体に接触することで、容器が転倒することを防止できる。
【００１１】
ここで、前記接続用駆動装置が、前記不活性気体供給装置に備えられ、且つ、前記吐出部と前記支持部とのうちの前記吐出部のみを移動させて、前記支持部と前記吐出部との位置関係を前記接続用位置関係と前記分離用位置関係とに切り換えると好適である。
【００１２】
この構成によれば、接続用駆動装置は不活性気体供給装置に備えられており、物品搬送車に接続用駆動装置を備える必要がない。そのため、天井から吊り下げされた走行レールに沿って走行する物品搬送車の重量化及び物品搬送車の構成の複雑化を回避できる。
【００１３】
また、前記吐出部が、前記走行経路の直下に位置し、前記接続用駆動装置が、前記吐出部を直線状に昇降移動させて、前記支持部と前記吐出部との位置関係を前記接続用位置関係と前記分離用位置関係とに切り換えると好適である。
【００１４】
この構成によれば、接続用駆動装置は、吐出部を直線状に昇降移動させるだけでよいので、接続用駆動装置の構成の簡素化を図ることができる。
【００１５】
また、前記接続用駆動装置が、前記物品搬送車に備えられ、且つ、前記吐出部と前記支持部とのうちの前記支持部のみを移動させて、前記支持部と前記吐出部との位置関係を前記接続用位置関係と前記分離用位置関係とに切り換えると好適である。
【００１６】
この構成によれば、接続用駆動装置は物品搬送車に備えられており、不活性気体供給装置に接続用駆動装置を備える必要がない。そのため、不活性気体供給装置の構成の複雑化を回避できる。また、不活性気体供給装置を天井から吊り下げる構成の場合等では、不活性気体供給装置に接続用駆動装置を備えないことで、不活性気体供給装置の重量化を回避できる点でも好ましい。
【００１７】
また、前記走行経路の直下に、前記物品搬送車による物品の搬送元又は搬送先となる搬送対象箇所が備えられ、前記不活性気体供給装置が、前記搬送対象箇所に対して前記走行経路の長手方向にずらした箇所に設けられ、前記吐出部が、前記走行経路の直下に位置し、前記物品搬送車が、前記支持部を昇降移動させて物品を前記搬送対象箇所に対して載せ降しを行う搬送用駆動装置が備えられ、前記搬送用駆動装置が、前記接続用駆動装置に兼用されていると好適である。
【００１８】
この構成によれば、容器を搬送対象箇所に対して載せ降しを行うために備えられた搬送用駆動装置にて支持部を昇降移動させることで、支持部と吐出部との位置関係を接続用位置関係と分離用位置関係とに切り換えることができる。よって、搬送用駆動装置を接続用駆動装置に兼用することができ、搬送用駆動装置とは別に接続用駆動装置を別途設ける必要がないため、物品搬送車に接続用駆動装置を備える場合でも、物品搬送車の重量化や物品搬送車の構成の複雑化を回避できる。
【００１９】
また、前記容器の底面に、前記吐出部が下方から接続される給気部と、前記吐出部と一体に備えられた位置決め部材が下方から係合する被係合部と、が備えられ、前記被係合部が、上方ほど細い先細り形状に形成され、前記接続用駆動装置が、前記吐出部を前記支持部に対して相対的に昇降移動させて、前記支持部と前記吐出部との位置関係を前記接続用位置関係と前記分離用位置関係とに切り換えると好適である。
【００２０】
この構成によれば、物品搬送車を不活性気体供給装置に対応する位置に走行させた状態で、接続用駆動装置にて吐出部を支持部に対して相対的に昇降移動させることで、支持部と吐出部との位置関係を接続用位置関係や分離用位置関係に切り換えることができる。そして、このように吐出部を支持部に対して相対的に上昇移動させることで、支持部と一体に備えられた位置決め部材が、支持部にて支持されている容器に対して相対的に上昇移動し、位置決め部材が容器の被係合部に係合する。このときに、吐出部や位置決め部材に対して容器が水平方向にずれている場合は、位置決め部材が被係合部の内面にて案内されることで、吐出部や位置決め部材に対する容器の水平方向での位置を適正な位置に修正することができ、容器の供給部に吐出部を適切に接続させ易くなる。
【００２３】
また、前記不活性気体供給装置が、当該不活性気体供給装置に対応して予め設定された供給用停止位置に前記物品搬送車が停止している状態で不活性気体を前記吐出部から吐出すると好適である。
【００２４】
この構成によれば、走行する物品搬送車に合わせて不活性気体供給装置を移動させる必要がなく、不活性気体供給装置を固定状態で備えることができるので、不活性気体供給装置の構成を簡素にできる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】物品搬送設備の側面図
【図２】天井搬送車が搬送用停止位置に停止している物品搬送設備の側面図
【図３】天井搬送車が搬送用停止位置に停止している物品搬送設備の側面図
【図４】供給用停止位置に停止している天井搬送車の正面図
【図５】供給用停止位置に停止している天井搬送車の側面図
【図６】受取制御のフローチャート
【図７】受渡制御のフローチャート
【図８】供給制御のフローチャート
【図９】別実施形態（１）における天井搬送車及び窒素ガス供給装置の要部正面図
【図１０】別実施形態（２）における天井搬送車及び窒素ガス供給装置の要部側面図
【図１１】別実施形態（３）における天井搬送車及び窒素ガス供給装置の要部側面図
【図１２】別実施形態（４）における天井搬送車及び窒素ガス供給装置の正面図
【図１３】別実施形態（４）における天井搬送車及び窒素ガス供給装置の正面図
【発明を実施するための形態】
【００２６】
本発明に係る物品搬送設備の実施形態について、図面に基づいて説明する。
図１に示すように、物品搬送設備には、複数の処理装置１を経由する状態で天井から吊り下げられた走行レール２が設置され、その走行レール２に沿って走行して複数の処理装置１の間で容器Ｗを搬送する天井搬送車３（物品搬送車）が設けられている。また、物品搬送設備には、不活性気体としての窒素ガスを天井搬送車３が支持している容器Ｗに供給する窒素ガス供給装置４（不活性気体供給装置）が備えられている。
尚、本実施形態では、半導体基板を収容するＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）を容器Ｗとしている。
【００２７】
処理装置１は、半導体基板の製造途中での半製品等に対して所定の処理を行う装置であり、この処理装置１における容器Ｗを載置支持する載置台１ａが、天井搬送車３による容器Ｗの搬送元又は搬送先となる搬送対象箇所に相当する。載置台１ａは、天井搬送車３が走行する走行経路の直下に位置している。窒素ガス供給装置４は、載置台１ａに対して走行経路の長手方向にずらした箇所に設けられている。尚、走行経路は、走行レール２に沿って走行する天井搬送車３及びそれに支持された容器Ｗが移動する空間を指している。
【００２８】
〔容器〕
図４及び図５に示すように、容器Ｗには、複数枚の半導体基板を収容する容器本体部６と、この容器本体部６より上方に位置して容器Ｗの上端部に備えられたフランジ部７（被支持部）と、容器本体部６の前面に形成された基板出し入れ用の基板出入口を閉じる着脱自在な蓋体（図示せず）と、が備えられている。
【００２９】
図４に示すように、容器本体部６の底面（容器Ｗの底面）には、上方に凹入する３つの底面凹部８（被係合部）が備えられている。この底面凹部８は、上方ほど細い先細り形状に形成されており、底面凹部８の内面が傾斜面に形成されている。
この底面凹部８は、天井搬送車３にて容器Ｗが載置台１ａに搬送されて容器Ｗが載置台１ａに載せられるとき（図３参照）に、載置台１ａに備えられている位置決め部材９が下方から係合するように備えられている。天井搬送車３にて容器Ｗが載置台１ａに載せられるときに、容器Ｗが載置台１ａに対して水平方向にずれている場合は、位置決め部材９が底面凹部８の内面にて案内されることで、容器Ｗの載置台１ａに対する水平方向での位置が適正な位置に修正されるようになっている。
そして、容器Ｗが載置台１ａに載置支持されている状態では、当該容器Ｗの底面凹部８に位置決め部材９が下方から係合した状態となっており、容器Ｗは、底面凹部８に係合している３つの位置決め部材９により水平方向への位置ずれが規制され、且つ、底面凹部８に係合している３つの位置決め部材９にて載置支持される。
【００３０】
図５に示すように、フランジ部７の上面（容器Ｗの上面）には、下方に凹入する上面凹部１０が形成されている。この上面凹部１０は、下方ほど細い先細り形状に形成されており、上面凹部１０の内面が傾斜面に形成されている。
この上面凹部１０は、載置台１ａに容器Ｗが載置されている状態で天井搬送車３が支持機構１８を下降移動させたときに、支持機構１８に備えられている押圧部１８ｃが係合するように構成されている。そして、天井搬送車３が支持機構１８を下降移動させたときに、載置台１ａに載置支持されている容器Ｗに対して支持機構１８が水平方向にずれている場合は、押圧部１８ｃが上面凹部１０の内面にて案内されることで、支持機構１８の容器Ｗに対する水平方向での位置が適正な位置に修正されるようになっている。
【００３１】
図５に示すように、容器Ｗの底面には、窒素ガス供給装置４の吐出ノズル２７から吐出された窒素ガスを容器Ｗ内に給気するために給気口１１（給気部）と、容器Ｗ内の気体を排出するための排気口１２と、が備えられている。給気口１１には、給気用開閉弁（図示せず）が備えられており、排気口１２には、排気用開閉弁（図示せず）が備えられている。つまり、容器Ｗは、基板出入口を蓋体にて閉じ、給気口１１及び排気口１２の夫々を開閉弁にて閉じることで、気密性を有するように構成されている。
【００３２】
そして、給気口１１の給気用開閉弁は、スプリング等の付勢体によって閉じ付勢されており、給気口１１に窒素ガス供給装置４の吐出ノズル２７が接続されてその吐出ノズル２７から窒素ガスが噴出されると、その噴出した窒素ガスの圧力により給気用開閉弁が開き操作されて、窒素ガスが容器Ｗ内に供給されるように構成されている。
また、排気口１２の排気用開閉弁は、スプリング等の付勢体によって閉じ付勢されており、窒素ガス供給装置４による窒素ガスの供給により容器Ｗ内の圧力が高まると排気用開閉弁が開き操作されて、容器Ｗ内の気体が排気されるように構成されている。
【００３３】
〔天井搬送車〕
図４及び図５に示すように、天井搬送車３は、走行レール２上をその走行レール２に沿って走行する走行部１５と、走行レール２の下方に位置するように走行部１５に吊り下げ支持され且つ容器Ｗを昇降移動自在に支持する本体部１６と、を備えている。
【００３４】
本体部１６には、容器Ｗを支持する支持部としての支持機構１８と、支持機構１８を昇降移動させる昇降操作機構１９と、上昇位置にある支持機構１８にて支持された容器Ｗの上方側及び経路前後側を覆うカバー体２０と、を備えている。
【００３５】
昇降操作機構１９は、先端部に支持機構１８を連結支持した巻き取りベルト１９ａを巻回する巻回体１９ｂと、その巻回体１９ｂを回転駆動させる昇降用モータ１９ｃと、を備えている。そして、昇降操作機構１９は、昇降用モータ１９ｃにて巻回体１９ｂを正逆に回転駆動させて、巻き取りベルト１９ａを巻き取り及び繰り出し操作することで、支持機構１８及びそれに支持された容器Ｗを昇降移動させるように構成されている。
【００３６】
支持機構１８には、横軸心周りに揺動自在な一対の把持爪１８ａと、一対の把持爪１８ａを横軸心周りに揺動させる把持用モータ１８ｂ（切換駆動部）と、支持機構１８を下降移動させたときに搬送元に位置する容器Ｗに対して上方から押圧して容器Ｗに対する支持機構１８の位置を定める押圧部１８ｃと、が備えられている。支持機構１８は、一対の把持用モータ１８ｂにて一対の把持爪１８ａを互いに遠近移動するように揺動させることで、一対の把持爪１８ａを互いに接近させて容器Ｗのフランジ部７を支持する支持状態と、把持爪１８ａを互いに離間させてフランジ部７に対する支持を解除する支持解除状態と、に切換自在に構成されている。
【００３７】
一対の把持爪１８ａの夫々は、その下端部にてフランジ部７を下方から支持するように構成されている。そして、一対の把持爪１８ａにてフランジ部７を支持した状態では、把持爪１８ａの上下方向の中央部はフランジ部７の側方に位置している。尚、把持爪１８ａの下端部が、フランジ部７を支持する支持体に相当し、把持爪１８ａの上下方向の中央部が、一対の把持爪１８ａの下端部にてフランジ部７を支持した状態でフランジ部７の側方に位置してフランジ部７の水平方向への移動を規制する規制部に相当する。
【００３８】
〔窒素ガス供給装置〕
図４及び図５に示すように、窒素ガス供給装置４は、天井に設置されて天井搬送車３の走行経路より上方に位置する装置本体２２と、装置本体２２に吊り下げ支持されて天井搬送車３の走行経路より下方まで延設されたノズル支持体２３と、を備えて構成されている。
また、窒素ガス供給装置４は、窒素ガスを通流させる窒素ガス供給路２５と、その窒素ガス供給路２５の途中に配備された切換弁２６と、窒素ガス供給路２５の下流側端部に配備されて容器Ｗの給気口１１に接続される吐出ノズル２７と、容器Ｗの排気口１２に接続される排気ノズル２８と、吐出ノズル２７が容器Ｗの給気口１１に接続されている状態を検出する接続センサ２９と、が備えられている。
窒素ガス供給路２５は、窒素ガスの供給源から装置本体２２を介してノズル支持体２３の下端部まで延設されている。切換弁２６は装置本体２２に備えられ、吐出ノズル２７、排気ノズル２８及び接続センサ２９はノズル支持体２３に支持されている。
【００３９】
窒素ガス供給装置４は、供給源（図示せず）から供給された窒素ガスを吐出ノズル２７から吐出するように構成されており、切換弁２６の切り換えにより、吐出ノズル２７から窒素ガスを吐出する状態と吐出ノズル２７から窒素ガスを吐出しない状態とに切り換えられるように構成されている。
そして、窒素ガス供給装置４は、天井搬送車３が走行する走行経路の直下に吐出ノズル２７及び排気ノズル２８が位置するように備えられている。そして、天井搬送車３が窒素ガス供給装置４に対して予め設定されている供給用停止位置に停止している状態では、吐出ノズル２７は天井搬送車３が支持している容器Ｗの給気口１１の直下に位置し、排気ノズル２８は天井搬送車３が支持している容器Ｗの排気口１２の直下に位置している。
【００４０】
物品搬送設備には、支持機構１８と吐出ノズル２７との位置関係を、支持機構１８にて支持された容器Ｗに吐出ノズル２７が接続される接続用位置関係と、支持機構１８にて支持された容器Ｗから吐出ノズル２７を分離させた分離用位置関係と、に切り換えるべく、吐出ノズル２７を支持機構１８に対して相対的に移動させる接続用駆動装置としての接続用モータ３０が備えられている。
【００４１】
図４に示すように、接続用モータ３０は、窒素ガス供給装置４の装置本体２２に備えられており、接続用モータ３０の駆動により、ノズル支持体２３を鉛直方向に沿って直線状に昇降移動させるように構成されている。
つまり、天井搬送車３を窒素ガス供給装置４に対して予め設定された供給用停止位置に停止させた状態で、接続用モータ３０を駆動させてノズル支持体２３を上昇位置に上昇移動させることで接続用位置関係となり、接続用モータ３０を駆動させてノズル支持体２３を下降位置に下降移動させることで分離用位置関係となる。
このように、接続用モータ３０は、ノズル支持体２３を鉛直方向に昇降移動させることで、吐出ノズル２７と支持機構１８とのうちの吐出ノズル２７を昇降移動させて、支持機構１８と吐出ノズル２７との位置関係を接続用位置関係と分離用位置関係とに切り換えるように構成されている。
【００４２】
そして、分離用位置関係となっているときの吐出ノズル２７や排気ノズル２８は、天井搬送車３の走行経路より下方に位置しているが、接続用位置関係となっているときの吐出ノズル２７や排気ノズル２８は、天井搬送車３の走行経路に進入している。そして、窒素ガス供給装置４にて窒素ガスが供給されている容器Ｗは、全部又は一部が天井搬送車３の走行経路内に位置している。
【００４３】
〔制御装置〕
天井搬送車３の作動及び窒素ガス供給装置４の作動は図４に示す制御装置Ｈにて制御されている。制御装置Ｈは、上位のコントローラからの搬送指令に基づいて、容器Ｗを搬送元となる載置台１ａから受け取る受取制御と、容器Ｗを搬送先となる載置台１ａに受け渡す受渡制御とを実行するべく、天井搬送車３の作動を制御するように構成されている。また、制御装置Ｈは、天井搬送車３にて支持されている容器Ｗに対して窒素ガスを供給する供給制御を実行するべく、天井搬送車３の作動及び窒素ガス供給装置４の作動を制御するように構成されている。
【００４４】
図６のフローチャートに示すように、受取制御では、容器Ｗを支持しない天井搬送車３を搬送用停止位置まで走行させる受取用走行処理と、天井搬送車３を搬送用停止位置に停止させた状態で、巻き取りベルト１９ａを繰り出した後に支持機構１８を把持状態に切り換えて、容器Ｗを載置台１ａから受け取り、その後、巻き取りベルト１９ａを巻き取る受取用昇降処理と、を実行するべく、天井搬送車３の作動が制御される。このように受取制御が行われることで、載置台１ａから容器Ｗが降ろされて容器Ｗが天井搬送車３にて支持される。
【００４５】
図７のフローチャートに示すように、受渡制御では、容器Ｗを支持する天井搬送車３を載置台１ａに対応する搬送用停止位置まで走行させる受渡用走行処理と、天井搬送車３を搬送用停止位置に停止させた状態で、巻き取りベルト１９ａの繰り出した後に支持機構１８を支持解除状態に切り換え、その後、巻き取りベルト１９ａを巻き取る受渡用昇降処理と、を実行するべく、天井搬送車３の作動が制御される。このように、受渡制御が行われることで、天井搬送車３にて支持されていた容器Ｗが載置台１ａに載せられる。
【００４６】
また、図７のフローチャートに示すように、制御装置Ｈは、受渡制御の実行を開始した直後に予め設定された供給条件を満たしているかを判別し、供給条件を満たしている場合は、受渡制御を中断して供給制御を実行する。尚、供給条件は、例えば、上位のコントローラから搬送対象の容器Ｗに対して窒素ガスを供給する供給指令が指令されている場合や、搬送元から搬送先までの天井搬送車３の予定走行距離が予め設定された走行距離以上である場合等である。
尚、供給条件を満たしているか否かの判別は、受取制御が完了した後、受渡制御を開始するまでに行ってもよい。そして、供給条件を満たしている場合は供給制御を実行し、供給条件を満たしていない場合は受渡制御を実行するようにしてもよい。
【００４７】
次に、図８のフローチャートに基づいて供給制御について説明する。
供給制御では、まず、容器Ｗを支持する天井搬送車３を供給用停止位置まで走行させる供給用走行処理を実行するべく、天井搬送車３の作動が制御される。
そして、天井搬送車３を供給用停止位置に停止させた状態で、ノズル支持体２３を上昇位置に上昇移動させて、支持機構１８と吐出ノズル２７との位置関係を接続用位置関係に切り換える接続処理を実行するべく、窒素ガス供給装置４の作動が制御される。このように接続処理が実行されることで、天井搬送車３が支持している容器Ｗの給気口１１に吐出ノズル２７が接続され、天井搬送車３が支持している容器Ｗの排気口１２に排気ノズル２８が接続される。
【００４８】
天井搬送車３が供給用停止位置に停止し且つノズル支持体２３を上昇位置に上昇移動させた状態で、制御装置Ｈは、接続センサ２９にて接続状態（吐出ノズル２７が給気口１１に適切に接続されている状態）が検出されている場合は、切換弁２６を開き操作する供給開始処理を行い、接続センサ２９にて接続状態が検出されていない場合は、警報装置を作動させる報知処理を実行する。
供給開始処理が実行されることで、吐出ノズル２７から窒素ガスが吐出されて、容器Ｗ内への窒素ガスの供給が開始される。そして、報知処理が実行されることで、ブザーやランプ等の警報装置を作動させて、供給制御において吐出ノズル２７が給気口１１に適切に接続されなかったことが報知される。
【００４９】
そして、制御装置Ｈは、窒素ガス供給処理後の窒素ガス供給中に、予め設定された終了条件が満たされた場合は、まず、切換弁２６を閉じ操作する供給停止処理を行い、次に、ノズル支持体２３を下降位置に下降移動させて、支持機構１８と吐出ノズル２７との位置関係を分離用位置関係に切り換える分離処理を実行するべく、窒素ガス供給装置４の作動を制御する。供給停止処理が実行されることで、吐出ノズル２７からの窒素ガスの吐出が停止して、容器Ｗ内への窒素ガスの供給が終了する。
尚、終了条件は、例えば、上位のコントローラから搬送対象の容器Ｗに対する窒素ガスの供給を終了する供給終了指令が指令された場合や、窒素ガスの供給を開始してから予め設定された設定時間が経過した場合等である。
【００５０】
上述の如く制御装置Ｈが接続処理を実行してから分離処理を実行するまでの間、天井搬送車３が供給用停止位置に停止しており、且つ支持機構１８は支持状態が維持されている。
そして、窒素ガス供給装置４は、天井搬送車３が供給用停止位置に停止している状態で、その天井搬送車３が支持している容器Ｗに吐出ノズル２７を接続し且つ吐出ノズル２７から窒素ガスを吐出可能に構成されており、支持機構１８と吐出ノズル２７との位置関係が接続用駆動装置により接続用位置関係に維持された状態で不活性気体を吐出ノズル２７から吐出するように構成されている。
【００５１】
このように、窒素ガス供給装置４は、天井搬送車３が供給用停止位置に停止した後、その天井搬送車３の支持機構１８にて支持されている容器Ｗに窒素ガス供給装置４の吐出ノズル２７を接続して、容器Ｗ内に窒素ガスを供給するように構成されている。そして、このように窒素ガス供給装置４にて容器Ｗ内に窒素ガスを供給している間、天井搬送車３は供給用停止位置に停止しているため、当該天井搬送車３にて、窒素ガスの供給が終了した後に容器Ｗを迅速に搬送することができる。
【００５２】
〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、容器Ｗを支持機構１８にて支持した状態で窒素ガス供給装置４にて窒素ガスを供給するように構成したが、容器Ｗを窒素ガス供給装置４にて支持した状態で窒素ガス供給装置４にて窒素ガスを供給するように構成してもよい。
【００５３】
つまり、例えば、図９に示すように、窒素ガス供給装置４のノズル支持体２３に、容器Ｗの底面凹部８に係合する３つの位置決め用の支持部材３１を備える。そして、ノズル支持体２３を上昇位置に上昇移動させて支持機構１８と吐出ノズル２７との位置関係を接続用位置関係に切り換えたときに、吐出ノズル２７が給気口１１に接続され且つ排気ノズル２８が排気口１２に接続されるとともに３つの支持部材３１が容器Ｗにおける３つの底面凹部８に係合される。そして、ノズル支持体２３を上昇位置より高い支持位置まで上昇させることで３つの支持部材３１にて容器Ｗを持ち上げて、容器Ｗのフランジ部７が把持爪１８ａから上方に浮上するようにする。このように、容器Ｗを３つの支持部材３１にて支持した状態で、窒素ガス供給装置４にて窒素ガスを供給するように構成してもよい。
【００５４】
また、図示は省略するが、例えば、吐出ノズル２７に給気口１１より大型の干渉部を備え、排気ノズル２８に排気口１２より大型の干渉部を備える。そして、ノズル支持体２３を上昇位置に上昇移動させて支持機構１８と吐出ノズル２７との位置関係を接続用位置関係に切り換えたときに、吐出ノズル２７が給気口１１に接続され且つ排気ノズル２８が排気口１２に接続されるとともに、吐出ノズル２７や排気ノズル２８に備えられた干渉部が容器Ｗの底面に干渉する。そして、ノズル支持体２３を上昇位置より高い支持位置まで上昇させることで２つの干渉部にて容器Ｗを持ち上げて、容器Ｗのフランジ部７が把持爪１８ａから上方に浮上するようにする。このように、容器Ｗを２つの干渉部にて支持した状態で、窒素ガス供給装置４にて窒素ガスを供給するように構成してもよい。このように、容器Ｗのフランジ部７が把持爪１８ａから上方に浮上させた場合でも、容器Ｗのフランジ部７の横側方には支持機構１８の把持爪１８ａが存在するため、容器Ｗのフランジ部７が把持爪１８ａに接触することで、容器Ｗが転倒することを防止できる。
【００５５】
尚、上述の如く、窒素ガス供給装置４にて容器Ｗを支持した状態で窒素ガス供給装置４にて窒素ガスを供給するように構成した場合、持ち上げた容器Ｗのフランジ部７を押圧部１８ｃにて上方から押圧するようにして、ノズル支持体２３と押圧部１８ｃとで上下方向に挟持した状態で、窒素ガス供給装置４にて窒素ガスを供給するように構成してもよい。
ちなみに、窒素ガス供給装置４にて容器Ｗを支持する場合は、支持機構１８を支持解除状態に切り換えた状態で窒素ガス供給装置４にて容器Ｗ内に窒素ガスを供給するようにしてもよい。
【００５６】
（２）上記実施形態では、接続用駆動装置を窒素ガス供給装置４に備えて、接続用駆動装置にて吐出ノズル２７を移動させて、支持機構１８と吐出ノズル２７との位置関係を接続用位置関係と分離用位置関係とに切り換えるように構成したが、接続用駆動装置を天井搬送車３に備えて、接続用駆動装置にて支持機構１８を移動させて、支持機構１８と吐出ノズル２７との位置関係を接続用位置関係と分離用位置関係とに切り換えるように構成してもよい。
具体的には、例えば、図１０に示すように、天井搬送車３を供給用停止位置に停止させた状態で昇降用モータ１９ｃにて巻回体１９ｂを回転駆動させて巻き取りベルト１９ａを繰り出し、支持機構１８を下降移動させることで、支持機構１８と吐出ノズル２７との位置関係を接続用位置関係と分離用位置関係とに切り換えるように構成してもよい。この場合、天井搬送車３に備えられている昇降用モータ１９ｃを接続用駆動装置に兼用できる。
【００５７】
（３）上記実施形態では、窒素ガス供給装置４の装置本体２２を、天井搬送車３の走行経路の上方に位置するように備えたが、図１１〜図１３に示すように、窒素ガス供給装置４の装置本体２２を、天井搬送車３の走行経路の下方に位置するように備えてもよい。そして、窒素ガス供給装置４の装置本体２２を、天井搬送車３の走行経路の下方に位置するように備える場合、図１１〜図１３に示すように、窒素ガス供給装置４を天井に吊り下げ支持される状態で設置してもよく、また、窒素ガス供給装置４を処理装置１と同様に床面上に設置してもよい。
【００５８】
（４）上記実施形態では、窒素ガス供給装置４の吐出ノズル２７を、天井搬送車３の走行経路の直下に位置するように備えたが、窒素ガス供給装置４の吐出ノズル２７を、天井搬送車３の走行経路に対して側方に位置するように備えてもよい。
具体的には、例えば、図１２及び図１３に示すように、窒素ガス供給装置４の装置本体２２支持されて第１駆動装置３３の駆動により鉛直方向に沿って昇降移動する昇降台３４を備え、その昇降台３４に、第２駆動装置３５の駆動により水平方向に沿ってスライド移動するようにノズル支持体２３を支持させる。そして、第２駆動装置３５の駆動によりノズル支持体２３を突出移動させた後、第１駆動装置３３の駆動により昇降台３４を上昇移動させて、支持機構１８と吐出ノズル２７との位置関係を分離用位置関係から接続用位置関係に切り換えるように構成してもよい。このように構成した場合、第１駆動装置３３及び第２駆動装置３５が接続用駆動装置に相当する。尚、駆動装置としては、電動モータの他にエアーシリンダ等を用いてもよく、駆動装置としてエアーシリンダを用いる場合には、窒素ガス供給装置４からの窒素ガスを利用するようにしてもよい。
【００５９】
（５）上記実施形態では、天井搬送車３を供給用停止位置に停止させた状態で窒素ガス供給装置４にて容器Ｗ内に窒素ガスを供給するように構成したが、窒素ガス供給装置４を走行経路に沿って移動自在に備え、走行経路に沿って走行する天井搬送車３と一体的に窒素ガス供給装置４を移動させながら、天井搬送車３の支持機構１８にて支持されている容器Ｗに窒素ガス供給装置４の吐出ノズル２７を接続して、容器Ｗ内に窒素ガスを供給するように構成してもよい。
また、処理装置１を経由する走行経路に対して、窒素ガス供給装置４を経由する走行経路を分岐及び合流する状態で備えて、処理装置１と窒素ガス供給装置４とを並列に備えてもよい。具体的には、例えば、処理装置１を経由する走行経路として、ループ状の主経路とその主経路に対して分離合流するループ状の副経路とを備え、窒素ガス供給装置４を経由する走行経路を、主経路に対して分岐合流する状態で備えてもよい。
【００６０】
（６）上記実施形態では、容器Ｗを、半導体基板を収容するＦＯＵＰとしたが、容器の形状や容器に収容する収容物は適宜変更してもよく、例えば、容器をコンテナとし、収容物を食品としてもよい。また、不活性気体としては、窒素ガスの他にアルゴンガス等でもよい。
【符号の説明】
【００６１】
１ａ  載置台（搬送対象箇所）
２    走行レール
３    天井搬送車（物品搬送車）
４    窒素ガス供給装置（不活性気体供給装置）
１８    支持機構（支持部）
２７    吐出ノズル（吐出部）
３０    接続用モータ（接続用駆動装置）
Ｗ    容器
【図１】
0006311579.tif 000002
【図２】
0006311579.tif 000003
【図３】
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【図４】
0006311579.tif 000005
【図５】
0006311579.tif 000006
【図６】
0006311579.tif 000007
【図７】
0006311579.tif 000008
【図８】
0006311579.tif 000009
【図９】
0006311579.tif 000010
【図１０】
0006311579.tif 000011
【図１１】
0006311579.tif 000012
【図１２】
0006311579.tif 000013
【図１３】
0006311579.tif 000014