(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上下方向に空隙を介して対向する上側巻線及び下側巻線を有する第一電機子と、
永久磁石を有し、前記第一電機子に対して前後方向に往復動可能な可動子と、を備えるリニアモータであって、
前記第一電機子に流れる電流を検出する電流検出部を有し、
前記上側巻線及び前記下側巻線は、並列接続しており、
前記電流検出部は、前記上側巻線及び前記下側巻線に流れる電流をそれぞれ検出する二つの電流センサを有することを特徴とするリニアモータ。
【請求項２】
上下方向に空隙を介して対向する上側巻線及び下側巻線を有する第一電機子と、
永久磁石を有し、前記第一電機子に対して前後方向に往復動可能な可動子と、を備えるリニアモータであって、
前記第一電機子に流れる電流を検出する電流検出部を有し、
前記上側巻線及び前記下側巻線は、並列接続しており、
前記電流検出部は、前記上側巻線及び前記下側巻線に流れる電流の差を検出するように配した一つのカレントトランスを有することを特徴とするリニアモータ。
【請求項３】
上下方向に空隙を介して対向する上側巻線及び下側巻線を有する第一電機子と、
永久磁石を有し、前記第一電機子に対して前後方向に往復動可能な可動子と、を備えるリニアモータであって、
前記第一電機子に流れる電流を検出する電流検出部を有し、
前記上側巻線及び前記下側巻線は、並列接続しており、
前記第一電機子は、上下方向に空隙を介して対向する上側巻線及び下側巻線を二組有し、
二つの前記上側巻線は直列接続し、
二つの前記下側巻線は直列接続し、
二つの前記上側巻線の間と、二つの前記下側巻線の間と、に接続した抵抗、コイル又はキャパシタの一つ又は二つ以上を有し、
前記電流検出部は、前記抵抗、前記コイル又は前記キャパシタの一つ又は二つ以上を流れる電流を検出する電流センサを有することを特徴とするリニアモータ。
【請求項４】
前記第一電機子は、上下方向に空隙を介して対向する上側巻線及び下側巻線を二組有し、
二つの前記上側巻線は並列接続し、
二つの前記下側巻線は並列接続していることを特徴とする請求項１乃至３何れか一項に記載のリニアモータ。
【請求項５】
前記第一電機子は、前記可動子に推力を付与し、
前記可動子に磁気浮上力を付与する第二電機子を二つ有し、
二つの該第二電機子を、前記可動子の重心に対して、前後方向それぞれの側に設けたことを特徴とする請求項１乃至４何れか一項に記載のリニアモータ。
【請求項６】
請求項５に記載のリニアモータを有する圧縮機であって、
当該圧縮機は、二つの前記第二電機子のうちの一方に代えて、
前記可動子の一端に接続したピストンと、該ピストンが摺動するシリンダと、を有することを特徴とする圧縮機。
【請求項７】
請求項１乃至６何れか一項に記載のリニアモータ又は圧縮機を備えた機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リニアモータ並びにリニアモータを搭載した圧縮機及び機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
リニアモータに関する技術としては、例えば特許文献１のように、可動子に配置された永久磁石を挟み込み保持するように配置された磁極歯を有し、可動子が往復動するものや、特許文献２のように、磁気浮上技術を利用したものが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−２２３６９７号公報
【特許文献２】特開平７−４７６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
通常、特許文献１のようなリニアモータの可動子は、ガイドレールに案内されて往復動を行う。このため、これらの摺動部において摩擦損失が生じる。特許文献２のように、磁気軸受技術を利用して摩擦損失を抑制することが考えられるが、駆動中のピストンシャフト（可動子）は往復動方向に直交する方向に変位又は傾くことがある。このため、何らかの姿勢制御を行わなければ可動子が固定子に接触して破損等するおそれがある。しかし、特許文献２は、姿勢制御の具体的な態様について何ら記載していない。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記に鑑みてなされた本発明に係る第１のリニアモータは、上下方向に空隙を介して並んだ上側巻線及び下側巻線を有する第一電機子と、永久磁石を有し、前記第一電機子に対して前後方向に往復動可能な可動子と、を備えるリニアモータであって、前記第一電機子に流れる電流を検出する電流検出部を有し、前記上側巻線及び前記下側巻線は、並列接続していることを特徴とする。
また、上記に鑑みてなされた本発明に係る第２のリニアモータは、上下方向に空隙を介して対向する上側巻線及び下側巻線を有する第一電機子と、永久磁石を有し、前記第一電機子に対して前後方向に往復動可能な可動子と、を備えるリニアモータであって、前記第一電機子に流れる電流を検出する電流検出部を有し、前記上側巻線及び前記下側巻線は、並列接続しており、前記電流検出部は、前記上側巻線及び前記下側巻線に流れる電流の差を検出するように配した一つのカレントトランスを有することを特徴とする。
また、上記に鑑みてなされた本発明に係る第３のリニアモータは、上下方向に空隙を介して対向する上側巻線及び下側巻線を有する第一電機子と、永久磁石を有し、前記第一電機子に対して前後方向に往復動可能な可動子と、を備えるリニアモータであって、前記第一電機子に流れる電流を検出する電流検出部を有し、前記上側巻線及び前記下側巻線は、並列接続しており、前記第一電機子は、上下方向に空隙を介して対向する上側巻線及び下側巻線を二組有し、二つの前記上側巻線は直列接続し、二つの前記下側巻線は直列接続し、二つの前記上側巻線の間と、二つの前記下側巻線の間と、に接続した抵抗、コイル又はキャパシタの一つ又は二つ以上を有し、前記電流検出部は、前記抵抗、前記コイル又は前記キャパシタの一つ又は二つ以上を流れる電流を検出する電流センサを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、二つの巻線が対向する方向における可動子の変位又は可動子の傾きを検出可能なリニアモータ及びこれを搭載した機器を提供することができる。
【０００７】
その他の本発明の構成、課題及び効果は、各実施形態の説明において明らかになる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】第１実施形態に係るリニアモータの側面断面図。
【図２】第１実施形態に係る第一電機子の斜視図。
【図３】第１実施形態に係る第一電機子の断面斜視図。
【図４】第１実施形態に係る磁極の斜視図。
【図５】磁極の他の構成例を示す図。
【図６】第１実施形態に係るリニアモータの正面断面模式図
【図７】第１実施形態に係る第一電機子９の側面断面斜視図。
【図８】第１実施形態に係る制御システムの構成ブロック。
【図９】第１実施形態に係る制御システムの（ａ）第一電機子の駆動に関する回路構成図、（ｂ）第二電機子の駆動に関する回路構成図。
【図１０】第一電機子に属する四つのコイルの接続関係を示す回路図。（ａ）前方コイルと後方コイルが並列接続している場合の回路図。（ｂ）：前方コイルと後方コイルが直列接続している場合の回路図。
【図１１】（ａ）：リニアモータの側面断面図。（ｂ）：巻線電流の位相と、閉回路の誘導起電力の関係を示すグラフ。
【図１２】（ａ）：磁極歯組をずらしたリニアモータの側面断面図。（ｂ）：巻線電流の位相と、閉回路の誘導起電力の関係を示すグラフ。
【図１３】図９に係るリニアモータの第一電機子の回路構成の他の例。
【図１４】第１実施形態に係る可動子が前後方向に傾いた場合のリニアモータの側面視における模式図。
【図１５】図１４の場合の各相における可動子の上下方向変位量と各相間の距離の関係を示す図。
【図１６】第２実施形態に係る可動子が左右方向に傾いた場合のリニアモータの正面視における模式図。
【図１７】図１６の場合の各相における可動子の上下方向変位量と各相間の距離の関係を示す図。
【図１８】第３実施形態に係る制御システムの回路構成図。
【図１９】第３実施形態に係るカレントトランスの取付けを示す斜視図。
【図２０】第４実施形態に係るホイートストンブリッジを示す回路図。
【図２１】第５実施形態に係るリニアモータを搭載した密閉型圧縮機の縦断面図。
【図２２】密閉容器を除いた密閉形圧縮機の斜視図。
【図２３】第６実施形態に係るリニアモータを搭載した冷蔵庫の縦断面図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、添付の図面を参照しつつ、本発明の実施形態を説明する。説明のため、上下方向、左右方向及び前後方向という語を用いるが、上下方向が必ずしも重力方向と平行である必要はない。左右方向、前後方向又はその他の方向が重力方向と平行であることを許容する。
【００１０】
また、本発明の各種の構成要素は必ずしも独立した存在である必要はなく、一の構成要素が複数の部材から構成されること、複数の構成要素が一の部材から構成されること、或る構成要素の一部が他の構成要素の一部であること、或る構成要素の一部と他の構成要素の一部とが重複していること、等を許容する。
また、同様の構成要素には同様の符号を付し、同様の説明は繰り返さない。
【００１１】
≪第１実施形態≫
＜リニアモータ１００の概要＞
まず、本実施形態のリニアモータ１００の概要を説明する。
図１は、本実施形態に係るリニアモータ１００の側面断面図である。リニアモータ１００は、固定子５及び固定子５に対して相対移動可能な可動子６を有する。以下、可動子６の相対移動方向を前後方向と呼ぶ。
【００１２】
固定子５は、空隙を介して互いに対向する二つの磁極７と、各磁極７に巻回した二つの巻線８を有する第一電機子９を有している。以下、この対向方向を上下方向と呼ぶ。
【００１３】
第一電機子９は、可動子６に対して前後方向に往復動する推力を与える。固定子５は、非磁性体のスペーサ１１を各第一電機子９の間に有している。可動子６は、空隙に配されている。以下、空隙を介して互いに対向する二つの磁極７に巻回した二つの巻線８、二つの巻線８それぞれの内側に位置する磁極７の領域（磁極歯７０）を、それぞれ巻線組、磁極歯組と呼ぶ。
【００１４】
第一電機子９の磁極歯組及び巻線組の組数は、それぞれ一組以上であれば特に制限されないが、本実施形態では二組である。また、第一電機子９の個数は一つ以上であれば特に制限されないが、本実施形態では三つであり、前後方向に並んでいる。
【００１５】
第一電機子９には対称三相交流電流が印加される。以下、三つの第一電機子９それぞれをＵ相、Ｖ相、Ｗ相と呼ぶことがある。
【００１６】
第一電機子９の前後方向には、第二電機子９０が配されている。第二電機子９０もまた、磁極歯組及び巻線組を有する。第二電機子９０の個数は特に制限されないが、本実施形態では可動子６の前後方向の重心の前方及び後方それぞれに一つずつ配している。第二電機子９０は、可動子６に対して前後方向に直交する方向に力を与える。これにより、第一電機子９が有する巻線組の間の空隙に可動子６を浮上させて保持することができる。
【００１７】
本実施形態では、第二電機子９０が可動子６に与える力を磁気浮上力と呼ぶ。磁気浮上力の向きは上下方向である。本実施形態の上下方向は重力方向と平行であるが、それ以外の関係であっても良い。また、第二電機子９０以外の構成によって可動子６を浮上させても良い。
【００１８】
可動子６は、第一電機子９の巻線組の間の空隙に一つ以上の永久磁石２を有している。また、可動子６は、第二電機子９０の巻線組の間の空隙に永久磁石２ａを有している。可動子６は、永久磁石２，２ａを有する平板形状である。
【００１９】
永久磁石２，２ａそれぞれは、前後方向に並んだ平板状である。永久磁石２，２ａはそれぞれ、上下方向に極性を有している。
【００２０】
永久磁石２は、一つ又は二つ以上であり、二つ以上の場合は極性の向きが交互に反転するように並んでいる。可動子６の往復動を通じて、永久磁石２は少なくとも第一電機子９の磁極歯組と対向可能である。
【００２１】
永久磁石２ａは、前後方向長さが永久磁石２より長く、可動子６の往復動を通じて、第二電機子９０の磁極歯組と対向可能である。
【００２２】
非磁性体のスペーサ１１は、オーステナイト系ステンレスやアルミ合金、セラミックやエンジニアリングプラスチックなどの樹脂材料を用いて構成できる。
【００２３】
＜第一電機子９、第二電機子９０＞
次に、第一電機子９、第二電機子９０の構成について図２乃至図５を用いて説明する。  上述した第一電機子９及び第二電機子９０の果たす機能の違いは、それぞれの電機子の巻線８に印加される電流の波形、対向する永久磁石の極性等に起因しており、第一電機子９、第二電機子９０自体の構造は互いに同様にすることができる。本実施形態では、第一電機子９はそれぞれ二組の磁極歯組及び巻線組を有する一方、第二電機子９０はそれぞれ一組の磁極歯組及び巻線組を有する点で構造が異なるが、互いに同様にすることができる。
【００２４】
図２は本実施形態に係る第一電機子９の斜視図であり、図３は本実施形態に係る第一電機子９の断面斜視図であり、図４は、本実施形態に係る磁極７の斜視図である。
【００２５】
第一電機子９は、磁性体のブリッジ１０を境にして略対称な構造である。なお、この前後方向の一方側の構造は、第二電機子９０の構造と同様である。
【００２６】
図２，３に示すように、第一電機子９は、四つの磁極７、四つの巻線８（８ａ〜８ｄ）、二つのブリッジ１０を有する。磁極７は、巻線８が巻回された磁極歯７０と、磁極歯７０の左右方向両側に位置する鉄心７ｅを有している。すなわち、ブリッジ１０の前後方向側それぞれには、磁極歯組及び巻線組が一組ずつ位置している。また、図４に示すように、鉄心７ｅは、磁極歯７０よりも上下方向に突出している。
第一電機子９のブリッジ１０より前後方向それぞれの側には、鉄心７ｅを介して上下方向に繋がった二つの磁極７が位置する。二つの磁極７が繋がることで、空隙を介して上下方向に対向する二つの磁極歯７０（磁極歯組）が形成される。以下、上側の磁極歯７０（例えば、図３中の磁極歯７０ａ、７０ｃ）を上側磁極歯と呼び、下側の磁極歯７０（例えば、図３中の磁極歯７０ｂ、７０ｄ）を下側磁極歯と呼ぶ。
【００２７】
また、上側磁極歯に巻回した巻線８（８ａ、８ｃ）を上側巻線と呼び、下側磁極歯に巻回した巻線８（８ｂ、８ｄ）を下側巻線と呼ぶ。
【００２８】
なお、図５に示すように、磁極７を上下方向に一体構造にしても良い。
また、磁極７は電磁鋼板３１を前後方向に積層させた構造にしても良い。これにより、固定子５の鉄損を抑制できる。なお、電磁鋼板のほかにアモルファスやファインメット、圧粉磁心を用いても良い。例えば永久磁石２をネオジム磁石より低Ｂr材であるフェライト磁石とした場合には、アモルファスのような特性が好適である。
なお、第一電機子９と第二電機子９０の並び順は特に限られない。
【００２９】
＜磁極歯と磁化の関係＞
各磁極歯７０に巻回した巻線８に電流を流すことで、磁極歯７０を磁化させることができる。巻線８は、或る磁極歯７０と、ブリッジ１０及び空隙を介して斜向かいにある磁極歯７０が同じ極性に磁化し、対向する又はブリッジ１０を介して隣接する磁極歯７０が異なる極性に磁化するように配されている。例えば、図３中、磁極歯７０ａがＮ極に磁化した場合は、磁極歯７０ｂ及び磁極歯７０ｃはＳ極に磁化し、磁極歯７０ｄはＮ極に磁化するように、巻線８が配されている。
【００３０】
＜推力の付与＞
次に、第一電機子９内の磁束の流れについて説明する。図６はリニアモータ１００の正面断面模式図であり、図７は第一電機子９の側面断面斜視図である。
【００３１】
図６，７中の実線矢印は、リニアモータ１００の駆動時における磁束の流れの一例を示している。なお、磁束の流れの向きは、巻線８に流れる電流の向きにより逆方向になり得るため、図示する限りではない。第一電機子９の巻線８には、上述した通り、交流電流を印加する。例えば、正弦波交流や矩形波交流を印加することができ、特に、第一電機子９が三つの場合は、対称三相交流を印加することができる。
【００３２】
巻線８に電流を流すと、磁極７内には主に実線で示す磁束の流れが生じる。この磁束の流れは、二つの磁極歯７０の間の空隙を一回通過し、鉄心７ｅを通過するループとなっている。このループは、左右方向及び上下方向から成る平面内に存在する。
【００３３】
また、ブリッジ１０は磁性体のため、破線矢印で示すループも構成される。このループは、前後方向及び上下方向から成る平面内に存在する。
【００３４】
このように、本実施形態の第一電機子９によれば、立体的な磁気回路を構成できる。これにより、磁極７の磁束飽和を抑制することができ、可動子６に高推力を付与することが可能になる。
【００３５】
＜磁気浮上力の付与＞
可動子６は、永久磁石２ａが第二電機子９０と対向可能な範囲で前後方向に往復動するように駆動する。また、第二電機子９０の巻線８には、対向する永久磁石２ａと同極になるように磁極歯７０を磁化させる電流を印加する。これにより、第二電機子９０の下側の磁極歯７０からは上向きの力が、上側の磁極歯７０からは下向きの力が、それぞれ可動子６に対して加わる。このため、上下方向について、可動子６は磁極歯組の間の位置（軸心）で安定する。すなわち、可動子６が浮上する。但し、後述するように、可動子６が偏心（上下方向に可動子６が変位すること）したり傾いたりしたときには、電流極性を変化させることができる。
【００３６】
少なくとも永久磁石２と対向する第一電機子９が可動子６に往復動力(推力)を与え、少なくとも永久磁石２ａと対向する第二電機子９０が可動子６に磁気浮上力を与える。このため、可動子６の浮上を第二電機子９０の巻線８への電流の制御によって維持しつつ、第一電機子９の巻線８への電流を制御して、可動子６の往復動長さや、往復動の周期(駆動周波数)の制御が容易に行えるようになる。
【００３７】
本実施形態は、第一電機子９を三つ備えて対称三相駆動するものであるが、第一電機子９を一つ備える単相駆動や、二つ又は四つ以上備える多相駆動でも良い。
【００３８】
本実施形態は、第二電機子９０を二つ備え、それぞれ可動子６の重心を挟んで反対側に位置しているため、可動子６の浮上を効率的に行うことができる。但し、圧縮機のピストンなど、他の部材（例えば、シリンダ）に接触する部材に可動子６を接続する場合は、この接触により可動子６が支持されるため、第二電機子９０を一つにしても良い。このとき、他の部材による可動子６の支持の強さによっては、第二電機子９０及び他の部材は、可動子６の重心を挟んで反対側だけでなく、同じ側に設けることもできる。なお、第二電機子９０以外の構成によって可動子６を磁気浮上させても良い。
【００３９】
＜制御システム１０００＞
本実施形態に係るリニアモータ１００の制御システム１０００について、図８から図１０を用いて説明する。図８は、本実施形態に係る制御システム１０００の構成ブロック図である。
制御システム１０００は、リニアモータ１００と、制御部１０１と、電流検出部の一例である電流センサ１２１を備えている。
電流センサ１２１は、一つ又は二つ以上の相（第一電機子９）の上側巻線８及び下側巻線８を流れる電流値のそれぞれを検出する。制御部１０１は、検出した電流値を利用して電流センサ１２１が設けられた各相の循環電流値を演算する。循環電流値は、各相に対向する可動子６の偏心量（本実施形態では、上下方向の変位量Ａ）が生じると流れる。この循環電流値を利用してＡを推定し、循環電流が小さくなるように巻線８への入力電流又は入力電圧を制御する。以下、詳細に説明する。
【００４０】
図９は、本実施形態に係る制御システム１０００の回路構成図である。
本実施形態のリニアモータ１００は三相駆動モータであり、巻線８はＵ相、Ｖ相、Ｗ相の三相に属するが、本実施形態の効果を得るには、必ずしも三相である必要はなく、一相、二相又は四相以上であっても良い。
【００４１】
＜コイルの表現＞
以下、説明のため、各相のコイルを三文字「ＸYZ」で表すことがある。
「Ｘ」は、コイルが何れの相のものであるかを示し、Ｕ，Ｖ，Ｗ相それぞれを「Ｕ」，「Ｖ」，「Ｗ」の文字で示す。但し、各相を区別せず何れかとして表すときは「Ｘ」と書く。
「Y」は、Ｘ相の上側又は下側の何れに位置するコイルであるかを示す。「ｕ」のとき上側を、「ｄ」のとき下側に位置することを示す。
「Z」は、Ｘ相の前側又は後側の何れに位置するコイルであるかを示す。「１」のとき前側を、「２」のとき後側に位置することを示す。
例えば、図３を例にして説明する。図３の第一電機子９がＵ相に相当する場合、磁極歯７０ａ、７０ｂ、７０ｃ、７０ｄに巻回されたコイル（巻線８）は、それぞれ、Ｕu1、Ｕd1、Ｕu2、Ｕd2と表される。
【００４２】
後述するように、電流検出部を備えた少なくとも一つの電機子を有することで、可動子６の変位量（偏心）Ａを得ることができ、電流検出部を備えた少なくとも二つの電機子を有することで、可動子６の傾き量を得ることができる。
【００４３】
＜相のコイルの接続関係＞
相Ｘは、四つの巻線８（上側前方のコイルＸu1、上側後方のコイルＸu2、下側前方のコイルＸd1、及び下側後方のコイルＸd2）を有している。Ｘu1とＸd1、Ｘu2とＸd2は上下方向で互いに対向している。
【００４４】
これら四つの巻線８の接続関係は、例えば、上下方向で同じ側の前方コイルＸ1及び後方コイルＸ2がそれぞれ並列接続しているもの（図１０（ａ））と直列接続しているもの（図１０（ｂ））にすることができる。以下、コイルＸu1及びＸu2を並列接続又は直列接続で合成したものを上側コイルＸuと表し、コイルＸd1及びＸd2を並列接続又は直列接続で合成したものを下側コイルＸdと表す。但し、上述したように、相Ｘは一組の巻線組を有していればよい。この場合は、一つの上側前方のコイルＸu1又は上側後方のコイルＸu2を上側コイルＸuと表し、下側前方のコイルＸd1又は下側後方のコイルＸd2と表す。なお、相Ｘが上側巻線８、下側巻線８をそれぞれ三つ以上有する場合は、各々上側巻線８ａ，８ｃ，・・・を合成したコイルを上側コイルＸuと表し、各々下側巻線８ｂ，８ｄ，・・・を合成したコイルを下側コイルＸdと表す。
【００４５】
次に、図９に示すように、相Ｘは、上側コイルＸuと下側コイルＸdが並列接続した並列回路を有する。図９中、各コイルに直列接続している抵抗は、各コイルの抵抗成分である。上側コイルＸuと下側コイルＸdが並列接続しているため、相Ｘには、上側コイルＸuと下側コイルＸdを流れる循環電流ＩCIR_Xが生じる。
【００４６】
図９中のＸu、Ｘdは、それぞれ図１０（ａ），（ｂ）で示すいずれの構成であっても良い。図１０中のＸu、Ｘd部分として得られるコイルの合成抵抗成分及び合成インダクタンス成分（合成インピーダンス）が、図９中のＸu、Ｘd部分における抵抗及びインダクタンス（インピーダンス）となる。
【００４７】
図１０に示すように、上側コイルＸuが直列接続による合成で得られているとき、下側コイルＸdは直列接続による合成であり、上側コイルＸuが並列接続による合成で得られているとき、下側コイルＸdは並列接続による合成である。
【００４８】
図１０（ａ）の場合、Ｘu、Ｘdそれぞれの合成インピーダンスが図１０（ｂ）の場合に比して小さくなるため、循環電流ＩCIR_Xが大きくなる。このため、後述するように、変位量Ａの推定精度を向上できる効果が得られる。
【００４９】
一方、可動子６は駆動中に前後方向に傾くことがある。このとき、前後方向に並ぶコイルＸ1とＸ2では、それぞれの上側及び下側のコイルに誘起される誘導起電力が比較的大きく異なるものになる。このため、図１０（ａ）の場合は、二つの並列回路に、図９で示す循環電流ＩCIR_Xとは別の循環電流が生じる。すなわち、上側前方のコイルＸu1及び上側後方のコイルＸu2を流れる循環電流と、下側前方のコイルＸd1及び下側後方のコイルＸd2が発生する。
【００５０】
しかし、図１０（ｂ）の場合はそのような循環電流は抑制される。このため、図１０（ｂ）のように、上側及び下側の前側コイルと後側コイルとをそれぞれ直列接続した場合は循環電流損を抑制できるため、高効率なリニアモータが得られるという効果が得られる。
なお、図９に示すように、各相は中性点ＮＰで結線されているが、図１３に示すように、結線しなくても良い。この点は後述する。
【００５１】
＜電流センサ１２１＞
電流センサ１２１は、一つ又は二つ以上の相Ｘに設けられ、Ｘu、Ｘdそれぞれを流れる電流ＩXu、ＩXdを検出する。図９（ａ）に示すように、本実施形態の電流センサ１２１は、Ｕ相に設けられており、コイルＵuの電流を検出する電流センサ１２１Uuと、コイルＵdの電流を検出する電流センサ１２１Udとを有している。電流センサ１２１を設ける相は制限されず、同一の相Ｘにおける二つの(合成)コイルＸu、Ｘdそれぞれを流れる電流ＩXu、ＩXdを検出できればよい。Ｘu又はＸdが並列接続であるときは、電流センサ１２１は各上側又は下側コイルを流れる電流の和を検出する位置に配する（例えば、図１０（ａ）参照）。
電流センサ１２１は、検出した電流値ＩXu、ＩXdを制御部１０１にフィードバックする。
【００５２】
＜制御部１０１＞
制御部１０１は、リニアモータ１００を駆動させる出力電流又は出力電圧を各相Ｘに供給し、また、差分検出部１０２と、変位量推定部１０３と、軸位置制御部１０４を備えている。
【００５３】
差分検出部１０２は、電流センサ１２１それぞれが検出した電流値ＩXu、ＩXdの差分（ＩXu−ＩXd）を得て、循環電流ＩCIR_Xの情報を得る。本実施形態は、Ｕ相に設けた電流センサ１２１Uu、１２１Udによって電流ＩUu、電流ＩUdを検出しているため、（ＩUu−ＩUd）を得る。Ｘ相の上側コイル及び下側コイルを流れる電流の差分を得ることで、後述するようにＸ相を循環する循環電流ＩCIR_Xを検出（演算）できる。
【００５４】
変位量推定部１０３は、差分検出部１０２で検出したＸ相の循環電流ＩCIR_Xに基づいて、後述するように可動子６の変位量Ａを推定（演算）する。本実施形態は、循環電流ＩCIR_Uに基づいて変位量Ａを推定（演算）する。
【００５５】
なお、この変位量Ａは、可動子６の前後方向位置において、電流検出部を有し、循環電流ＩCIR_Xが流れる相Ｘ（第一電機子９）の位置に対応するものである。
【００５６】
軸位置制御部１０４は、変位量推定部１０３で推定した変位量Ａに基づいて、変位量Ａが小さくなるように（循環電流ＩCIR_Xが小さくなるように）、第一電機子９及び／又は第二電機子９０の巻線８への出力電流又は出力電圧を制御する。これにより、各第一電機子９に対応するＡが小さくなるように制御を行う。
【００５７】
なお、第二電機子９０の巻線８への出力電流又は出力電圧は、図９（ｂ）に示すように、制御部１０１が制御することができる。本実施形態では、得られた変位量Ａに応じて、第二電機子９０の巻線８への出力電流ＩM1、ＩM2を制御している。なお、変位量Ａに拘わらず第二電機子９０の巻線８への出力電流又は出力電圧を略一定に保ち続けてもよい。
【００５８】
＜変位量Ａの推定方法＞
本実施形態に係る制御システム１０００の制御部１０１は、検出した循環電流ＩCIR_Xから変位量を表す情報Ａを推定する。ＩCIR_XからＡを推定する基本原理について、図１１を用いて説明する。
なお、以下の説明に際し、重力の影響は無視し、第一電機子９及び第二電機子９０のそれぞれの巻線組（上側コイルＸu及び下側コイルＸd）の特性は同一とする。このとき、制御部１０１の出力電流が分流して得られるＩXu、ＩXdは等しくなるから、永久磁石２の上下の表面から上側磁極歯及び下側磁極歯までの距離（空隙長δ）それぞれが等しい状態で可動子６が往復動する。空隙長δは、予め測定して得ておくことができるし、また、図１１（ａ）に示すように、二つの磁極歯７０の空隙長さから永久磁石２の上下方向長さδPMを引いた値を２で除した値として得てもよい。
【００５９】
また、可動子６の軸心からの上下方向の変位量をＡとする。可動子６が軸心にあるとき、Ａ＝０である。
【００６０】
［循環電流の検出］
まず、可動子６が軸心にある状態で前後方向に往復動する場合を考える。図９に示すように、各相Ｘには制御部１０１から電流ＩXが入力される。仮定したように上下のコイル特性が等しいため、電流ＩXは上下のコイルＸU、Ｘdに等分配される。すなわち、コイルＸYを流れる電流をＩXYとすると、ＩXu＝ＩXdの関係となる。このとき循環電流は発生しない。本実施形態では、ＵuとＵdに対して直列に電流センサ１２１を設けているため、ＩUuとＩUdを既知とすることができる。
【００６１】
可動子６が軸心からずれる（変位量Ａが非零になる）と、永久磁石２からコイルＸu、Ｘdそれぞれに印加される磁束の時間変動が互いに異なることになる。よって、図９に示すＸuとＸdを並列に有する回路に電位差ΔＥが発生する。これを打ち消すため、並列回路の閉ループ内に循環電流ＩCIR_Xが発生する。すなわち、ＩXu≠ＩXdの関係となる。
【００６２】
ここで、ＩXu＝ＩX／２＋ＩCIR_X、ＩXd ＝ＩX／２−ＩCIR_Xの関係となるから、数１が導かれる。
【００６３】
【数１】
0006419535.tif 000002
【００６４】
このように、電流センサ１２１でＩUu，ＩUdを検出し、これらの差分値から循環電流ＩCIR_Uを求めることができる。
【００６５】
［循環電流を利用した変位量の推定］
可動子６が、相Ｘの空隙においてＡだけ変位した時の循環電流ＩCIR_Xは、定数α、κを用いて数２で与えられる。
【００６６】
【数２】
0006419535.tif 000003
【００６７】
但し、δは、可動子６が軸心にある状態における永久磁石２の表面と磁極歯７０との空隙長であり、Ｚ1_2は、循環電流ＩCIR_Xが流れる閉ループのインピーダンスである。また、ΔＥは、循環電流が流れる閉回路内の電位差(誘導起電力差)であり、ＥXu、ＥXdは、それぞれ、循環電流が流れる閉回路の上側コイルに誘起される電圧及び循環電流が流れる閉回路の下側コイルに誘起される電圧である。
【００６８】
上述したように、電流センサ１２１を設けたＵ相の循環電流ＩCIR_U、空隙長δは既知である。Ｚ1_2は、既知の値であるコイルの抵抗成分Ｒ及びインダクタンスＬ（例えば、図９参照。）から得られる。したがって、数２の未知数は変位量Ａのみであるから、電流センサ１２１を設けた相に関する変位量Ａについて解くことができる。本実施形態では、上述の通りＵ相についての変位量Ａを得ることができる。
【００６９】
また、インピーダンスＺ1_2と誘導起電力ΔＥが周波数に比例することと、ＩCIR_XとＺ1_2の積がΔＥに等しいという数２の結果を用いると、ＩCIR_Xは周波数依存性をほとんど持たないことがわかる。そのため、ＩCIR_Xを利用した変位量Ａの推定は、低周波数領域（低出力駆動）でも高精度に行える。
【００７０】
また、変位量Ａは、循環電流ＩCIR_Xの大きさに依存する。電流検出部による電流検出精度を高くするためには、循環電流ＩCIR_Xが大きく発生する構成が好ましい。このため、図１０（ａ）のように相Ｘの巻線接続を行うと、変位量Ａの推定精度の観点から好ましい。
【００７１】
このように、差分検出部１０２がＩCIR_Xを検出し、変位量推定部１０３が数２の関係を利用して演算することで、変位量Ａを推定することができる。これにより、制御部１０１は可動子６の上下方向に対する変位の量及び方向を推定できる。
【００７２】
＜変位量Ａを利用したフィードバック制御＞
上記の基本原理により、制御部１０１の軸位置制御部１０４は変位量Ａを推定し、その結果に基づいて可動子６の偏心制御を行うことができる。詳細を後述するように、二か所以上の変位量Ａを推定すれば、可動子６の前後方向の傾き量を推定することもでき、傾き制御を行うことができる。
【００７３】
したがって、本実施形態によれば、可動子６の軸位置制御（偏心及び／又は傾き制御）を行うことができる。例えば、変位量Ａが非零だと推定した場合は、制御部１０１は、可動子６の位置（永久磁石２の位置）を参照しつつコイルへの出力を変化させるなど、種々公知の制御を行うことができる。
【００７４】
以上のように、本実施形態に係る制御システム１０００は、一又は二以上の相に設けた電流検出部の一例である二つの電流センサ１２１を用いて、変位方向（上下方向）と、その量を求め、軸位置制御を行うことができる。変位センサ（例えば、渦電流式変位センサ）に比べ、電流センサは安価で、センサを取り付けるためのスペースも小さいことから、低コスト・省スペースの制御システムとすることができる。
【００７５】
＜可動子の傾き量の推定＞
本実施形態は、前後方向に並んだ二つの第一電機子９を有している。このため、後述するように、二つ以上の第一電機子９における変位量Ａを比較することで、可動子６の前後方向の傾きを推定することができる。図１４および図１５を用いて説明する。
【００７６】
図１４に示すように、可動子６が前後方向に対し傾いた場合を考える。但し、Ｕ相及びＶ相に電流検出部が配されているとする。図１４では説明のため、Ｕ相及びＶ相それぞれにおいて一組の磁極歯組のみを図示している。
【００７７】
このとき、Ｕ相に対する可動子６の変位量ＡUと、Ｖ相に対する可動子６の変位量ＡVは異なる。このため、Ｕ相とＶ相を流れる循環電流ＩCIR_U,ＩCIR_Vは異なる値となる。
【００７８】
Ｕ相とＶ相の距離（第一電機子９間の距離）ＤUVは、予め測定しておくことができるので既知の値である。可動子６は直線形状であるので、ＡUとＡVの差をＤUVで除することで、可動子６の傾き量を推定することができる（図１５参照）。傾きの方向は、ＡUとＡVの大小関係から求めることができる。
【００７９】
＜可動子の傾き量の補償＞
得られた傾き量の情報に基づいて、制御部１０１が各相の巻線８に出力する電圧又は電流を制御することで、可動子６の傾きを補償することができる。本実施形態の制御部１０１は、各相の巻線８に出力する電圧又は電流を独立して制御できる。このため、図１４のように、可動子６が前方に向かって下向きに傾いている場合は、例えば、Ｕ相は下方向に、Ｗ相は上方向に、可動子６を変位させるように出力を制御すればよい。Ｖ相への出力を制御しても良いが、固定子５の前後方向両端側であるＵ相及びＷ相の入力の方が、Ｖ相に比して可動子６への傾きへの影響が強いため、ここではＵ相及びＷ相への制御によって傾きを補償している。また、第二電機子９０への出力を制御して可動子６の傾きを補償しても良い。
【００８０】
なお、変位量Ａの推定は、第二電機子９０に電流検出部を設けることでも行える。このとき、第二電機子９０の上側巻線及び下側巻線を並列接続させ、上側巻線及び下側巻線それぞれに流れる電流を検出する電流検出部を設けておく。すなわち、前後方向に配され、一組以上の巻線組を有する任意の二つの電機子を利用して、本実施形態の変位量Ａの推定を行うことができる。
【００８１】
＜その他＞
本実施形態のリニアモータは、図１１（ａ）に示したように、コイルＸUとＸdの位置揃う（上面視で略重なる）ように配置してある。これにより、ＸUとＸdを貫く磁束の位相が略等しくなり、図１１（ｂ）に示すように、ＸUとＸdに誘起する誘導起電力ＥXuとＥXdの位相が略等しくなる。循環電流を発生させる誘導起電力差ΔＥは変位量Ａのみに起因することから、変位量Ａを算出しやすい。
【００８２】
しかし、一方で、図１２(ａ)、(ｂ)に示すようにＸUとＸdが前後方向に一部ずれて正対している場合は磁極歯７０のずれによる誘導起電力差成分が発生する。このような場合においても、磁極歯の空間的な位置の差から誘導起電力の位相差を求めておいて補正することで、変位量Ａの推定が可能となる。
【００８３】
また、対称三相駆動するリニアモータに関する本実施形態では、図９に示すように巻線８の中性点ＮＰを結線したが、図１３に示すような中性点不結線の回路構成の場合も、本実施形態と同様の方法により、同様の効果を得られる。中性点不結線のときは、モータの組立を簡略化できる。
【００８４】
また，組立時の公差の影響を受け，初期状態において軸心がずれている場合には，その値をバイアスとして数１、数２の演算式を補正することで、同様の効果を得ることができる。
【００８５】
また、永久磁石２及び磁極歯７０は、それぞれ左右方向に幅を有する平板形状であるため、可動子６が何らかの原因で左右方向に傾いたとしても、永久磁石２と磁極歯７０間に働く磁気力によって水平姿勢に復帰する力を得ることができる。
【００８６】
≪第２実施形態≫
次に第２実施形態について、図１６および図１７を用いて説明する。本実施形態の構成は、以下の点を、第１実施形態と異なるものにすることができる。
【００８７】
本実施形態の第一電機子９’の磁極７’は、左右方向に並んだ二つの磁極歯組を有する。すなわち、本実施形態の第一電機子９’は、左右方向に並んだ二つの巻線組を有する。これらをＡ相、Ｂ相と呼ぶことにする。
【００８８】
リニアモータ１００の往復動力を増加させたい場合、例えば左右方向寸法を大きくすることが考えられる。このとき、左右方向長さの増大により、可動子６は左右方向に傾きやすくなる。本実施形態では、可動子６の左右方向への傾きをさらに効率よく修正することができる。
【００８９】
本実施形態の第一電機子９’の磁極７’は、左側に設けた一組の磁極歯７０ａ’、７０ｂ’と、右側に設けた一組の磁極歯７０ｃ’、７０ｄ’を有する。それぞれの磁極歯７０には巻線８’（８ａ’〜８ｄ ’）を巻回している。
【００９０】
本実施形態の可動子６は、非磁性材料である磁石固定部１２を介して、左右方向に二つの永久磁石２を有している。
永久磁石２の左右方向の個数は、三つ以上でも良いし、異なる磁極歯７０’に対向する左右方向に並んだ永久磁石２は、それぞれ極性が異なっていても良い。本実施形態の左右に並んだ二つの永久磁石２は、上下方向に同じ極性で磁化しているが、異なる極性で磁化していても良い。なお、磁石固定部１２を配せずに一つの永久磁石２を配しても良い。しかし、永久磁石２の強度やディテント力を鑑みると、磁石固定部１２を配して複数枚に配置個所を分割することが好ましい。
【００９１】
第１実施形態で説明した前後方向の傾き量を得る方法と同様にして、左右方向の傾き量を求めることができる。すなわち図１６に示したように、左右方向の可動子６の傾きを、Ａ相での変位量ＡA、Ｂ相での変位量ＡB及びＡ相及びＢ相の機械的距離ＤABを利用して推定できる。
【００９２】
制御部１０１は、Ａ相とＢ相の巻線８’に出力する電圧又は電流を独立して制御できるように構成している。このため、図１６，図１７のように、右方向に向かって下向きに傾いている場合は、Ａ相は下方向に、Ｂ相は上方向に可動子６を変位させるように、出力を制御すればよい。
【００９３】
なお、本実施形態の制御システム１０００は、二つ以上の第一電機子９を左右方向に並べることによっても構成可能である。また、第二電機子９０が第一電機子９’と同様の機械的構造を有しても良い。
【００９４】
≪第３実施形態≫
次に、第３実施形態について、図１８および図１９を用いて説明する。本実施形態の構成は、以下の点を、第１又は第２実施形態と異なるものにすることができる。
【００９５】
図１８は、本実施形態に係る制御システム１０００の回路構成図である。図１９は、本実施形態におけるカレントトランス１２２の取付け法を示す斜視図である。
本実施形態の差分検出部１０２は、図１９に示すように、電流検出部としてカレントトランス１２２を備え、ＵuとＵdの分岐点ＳＰと中性点ＮＰの間に位置している。分岐点ＳＰは、コイルＸuとＸdの並列接続の節点のうち、制御部１０１側の節点である。カレントトランス１２２を設ける相は制限されないが、本実施形態ではＵ相に設けている。
【００９６】
カレントトランス１２２は、挿入孔（図１９中、円環内部）に流れる電流を検出する電流センサである。図１９に示すように、カレントトランス１２２の挿入孔には、電流ＩUuが流れる合成コイルＵu（巻線８ａ，８ｃ）と、電流ＩUd が流れる合成コイルＵd（巻線８ｂ，８ｄ）にそれぞれ直列に繋がる二つの導線が挿入されている。二つの導線には互いに逆向きの電流が流れるように、カレントトランス１２２の挿入孔に挿入される。図１８は回路図により示しているため互いに同じ向きの電流が流れるように示されているが、実際には図１９のように、互いに逆向きの電流が流れるように、導線がカレントトランス１２２に挿入されている。
【００９７】
このようにすると、カレントトランス１２２は、差分電流（ＩUu−ＩUd）を検出する。数１で必要な情報は、電流単体の値ＩUu、ＩUdではなく、その差分であるため、変位量Ａを推定できる。
【００９８】
本実施形態によれば、二つの電流センサ１２１に代えて一つのカレントトランス１２２を利用して、第１又は第２実施形態と同様の効果を得ることができる。カレントトランス１２２は電流値そのものではなく、差分電流（ＩUu−ＩUd）を検出するため、測定可能レンジは小さいものでもよい。
【００９９】
本実施形態ではカレントトランスフォーマー方式のカレントトランス１２２を用いるものとして説明したが、電流センサの挿入孔内の電流から磁界強度を求め、電流値を求める方式の電流センサであれば、他の方式の電流センサを用いてもよい。
【０１００】
≪第４実施形態≫
次に、第４実施形態について、図２０を用いて説明する。本実施形態の構成は、以下の点を、第１乃至第３実施形態と異なるものにすることができる。
【０１０１】
本実施形態の第一電機子９の少なくとも一つ（相Ｘ）は、巻線組を二組備える。相Ｘは、電流センサ１２１及びカレントトランス１２２に代えて、上側前方コイルＸu1及び上側後方コイルＸu2の間に一端を、下側後方コイルＸd1及び上側後方コイルＸd2の間に一端を、それぞれ接続した抵抗１２３を備える。
【０１０２】
抵抗１２３が設けられていることにより、相Ｘには、前方コイルＸ1及び抵抗１２３を流れる前方循環電流ＩCIR_X1と、後方コイルＸ2及び抵抗１２３を流れる後方循環電流ＩCIR_X2が流れる経路が流れる。可動子６が軸心に位置するとき、ＩCIR_X1とＩCIR_X2は等しい大きさで互いに逆向きで抵抗１２３を流れる。しかし、可動子６が前後方向に傾くと、前方コイルＸ1及び後方コイルＸ2の何れか一方の上側コイル及び他方の下側コイルに誘起される電圧が大きくなる。同時に、前方コイルＸ1及び後方コイルＸ2の何れか一方の下側コイル及び他方の上側コイルに誘起される電圧が小さくなる。このため、抵抗１２３を流れる循環電流ＩCIR_X1とＩCIR_X2の大きさに違いが生じ、結果として、抵抗１２３に電流が流れる。
【０１０３】
抵抗１２３を有する相Ｘは、抵抗１２３の電流を検出する電流検出部(不図示)を一つ備えている。このため、本実施形態は、電流検出部として、抵抗１２３及び一つの電流センサ１２１等を用いることにより、可動子６の前後方向の傾き量を検出できる。
【０１０４】
また、この傾き量は、相Ｘを構成する第一電機子９の二組の磁極歯組それぞれに対応する変位量Ａに応じて得られる。このため、第１実施形態等に記載した電流検出部と併用することで、一つの第一電機子９によって可動子６の変位量に加えて傾き量を得ることができる。
【０１０５】
変位量Ａは、次の数３で与えられる。
【０１０６】
【数３】
0006419535.tif 000004
【０１０７】
但し、Ｋは抵抗１２３を含む相Ｘの合成抵抗で決まる定数、Ａは可動子６の変位量、Ｖoutは抵抗１２３の電圧、Ｖinは相Ｘの電圧である。
【０１０８】
なお、抵抗１２３に代えて又は追加して、コイルやキャパシタを用いても良い。
【０１０９】
≪第５実施形態≫
［圧縮機］
リニアモータ１００を備える機器の一例である圧縮機について説明する。
【０１１０】
図２１は、リニアモータ１００を搭載した密閉形圧縮機５０の縦断面図である。
密閉型圧縮機５０は、圧縮要素２０と電動要素３０とが密閉容器３内に配置するレシプロ圧縮機である。圧縮要素２０及び電動要素３０は支持ばね４９によって密閉容器３内に弾性的に支持されている。
【０１１１】
圧縮要素２０はシリンダ１ａを形成するシリンダブロック１と、シリンダブロック１の端面に組み立てられるシリンダヘッド１６と、吐出室空間を形成するヘッドカバー１７とを備えている。シリンダ１ａ内に供給された作動流体はピストン４の往復動によって圧縮され、圧縮された作動流体は圧縮機外部に連通する吐出管へと送られる。本実施形態では、可動子６の前後方向の一端に一つのピストン４が連結した構造をとっている。そのため、シリンダブロック１にはシリンダ１ａを一つ配置した構造としている。また、電動要素３０は、リニアモータ１００を有する。
【０１１２】
図２２は、密閉容器３などを省略した密閉形圧縮機５０の斜視図である。
電動要素３０の一端に圧縮要素２０を配置し、他端にはエンドフレーム２５を配置している。シリンダブロック１およびエンドフレーム２５はガイドロッド２４を有してもよい。ガイドロッド２４は、可動子６を前後方向に案内し、左右方向に移動することを抑制する。
【０１１３】
密閉形圧縮機５０に第１乃至第５実施形態のリニアモータ１００を適用することで、第１乃至第５実施形態に記載の効果を奏する密閉型圧縮機を得ることができる。
【０１１４】
≪第６実施形態≫
［冷蔵庫］
次に、リニアモータ１００又は圧縮機を搭載した機器の一例である冷蔵庫６０について説明する。
図２３は、密閉型圧縮機５０を搭載した冷蔵庫６０の縦断面図である。
図２３において、リニアモータ１００は、密閉形圧縮機５０に組み込まれている。冷蔵庫６０は、密閉形圧縮機５０、放熱パイプ、キャピラリーチューブ、冷却器６６を繋ぎ、Ｒ６００ａ等の冷媒を用いた冷凍サイクルを有している。冷蔵庫６０は、一例として冷蔵室６２、上段冷凍室６３、下段冷凍室６４、野菜室６５を有しており、これら庫内空間は密閉形圧縮機５０の駆動により冷凍サイクル（図示せず）が動作することで冷却される。
【０１１５】
リニアモータ１００を適用する機器は特に限られず、圧縮機や冷蔵庫の他、例えば冷凍空調用途では、エアコンや冷凍冷蔵ショーケース等のシステムに適用することも可能である。
【符号の説明】
【０１１６】
１…シリンダブロック、１ａ…シリンダ、２，２ａ…永久磁石、３…密閉容器、４…ピストン、５…固定子、６…可動子、７…磁極、７ｅ…磁極歯をつなぐ鉄心、８…巻線、９…第一電機子、１０…ブリッジ、１１…スペーサ、１２…磁石固定部、１６…シリンダヘッド、１７…ヘッドカバー、２０…圧縮要素、２３…共振ばね、２４…ガイドロッド、２５…エンドフレーム、３０…電動要素、４９…支持ばね、５０…密閉型圧縮機、６０…冷蔵庫、６２…冷蔵室、６３…上段冷凍室、６４…下段冷凍室、６５…野菜室、７０（７０ａ、７０ｂ、７０ｃ、７０ｄ）…磁極歯、９０…第二電機子、１００…リニアモータ、１０００…制御システム、１０１…制御部、１０２…差分検出部、１０３…変位量推定部、１０４…軸位置制御部、１２１…電流センサ（電流検出部）、１２２…カレントトランス（電流検出部）、１２３…抵抗（電流検出部の一部）、ＮＰ…中性点、ＳＰ…分岐点。
【図１】
0006419535.tif 000005
【図２】
0006419535.tif 000006
【図３】
0006419535.tif 000007
【図４】
0006419535.tif 000008
【図５】
0006419535.tif 000009
【図６】
0006419535.tif 000010
【図７】
0006419535.tif 000011
【図８】
0006419535.tif 000012
【図９】
0006419535.tif 000013
【図１０】
0006419535.tif 000014
【図１１】
0006419535.tif 000015
【図１２】
0006419535.tif 000016
【図１３】
0006419535.tif 000017
【図１４】
0006419535.tif 000018
【図１５】
0006419535.tif 000019
【図１６】
0006419535.tif 000020
【図１７】
0006419535.tif 000021
【図１８】
0006419535.tif 000022
【図１９】
0006419535.tif 000023
【図２０】
0006419535.tif 000024
【図２１】
0006419535.tif 000025
【図２２】
0006419535.tif 000026
【図２３】
0006419535.tif 000027