(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に半導体素子が搭載された絶縁基板と、
前記絶縁基板の裏面に接合された平坦な板状のベース板と、
前記絶縁基板を取り囲み、底面の内周部側が前記ベース板の表面と接し、前記底面には前記ベース板の外周側へ向かうほど前記平坦な板状の前記ベース板の表面から遠ざかる傾斜部を設けたケース部材と、
前記ベース板と前記傾斜部との間に充填され前記ベース板と前記ケース部材とを接着する接着部材と、
前記ベース板と前記ケース部材とで囲まれた領域に充填される充填部材と、
を備えたパワーモジュール。
【請求項２】
前記底面は、前記傾斜部よりも外側に前記ベース板側へ突出した突出部を備えた請求項１に記載のパワーモジュール。
【請求項３】
前記底面は、前記傾斜部よりも内側に前記ベース板と接する平坦部を備えた請求項２に記載のパワーモジュール。
【請求項４】
前記突出部は、前記ベース板の裏面側へ向かうほど前記ベース板の側面から遠ざかる請求項２に記載のパワーモジュール。
【請求項５】
表面に半導体素子が接合された絶縁基板と、
前記絶縁基板の裏面に接合されたベース板と、
前記ベース板とで前記絶縁基板を取り囲み、底面の内周部側が前記ベース板の表面と接し、前記底面には前記ベース板の外周側へ向かうほど前記ベース板の表面から遠ざかる傾斜面と前記傾斜面よりも外側に前記ベース板側へ突出した突出部と前記傾斜面よりも内側に前記ベース板と接する平坦部とを設けたケース部材と、
前記ベース板と前記傾斜面との間に充填され前記ベース板と前記ケース部材とを接着する接着部材と、
前記ベース板と前記ケース部材とで囲まれた領域に充填される充填部材と、
を備えたパワーモジュール。
【請求項６】
表面に半導体素子が接合された絶縁基板と、
前記絶縁基板の裏面に接合されたベース板と、
前記ベース板とで前記絶縁基板を取り囲み、底面の内周部側が前記ベース板の表面と接し、前記底面には前記ベース板の外周側へ向かうほど前記ベース板の表面から遠ざかる傾斜面と前記傾斜面よりも外側に前記ベース板側へ突出し、内周側が前記ベース板の裏面側へ向かうほど前記ベース板の側面から遠ざかる突出部とを設けたケース部材と、
前記ベース板と前記傾斜面との間に充填され前記ベース板と前記ケース部材とを接着する接着部材と、
前記ベース板と前記ケース部材とで囲まれた領域に充填される充填部材と、
を備えたパワーモジュール。
【請求項７】
前記底面は、前記内周部側に前記ベース板に嵌込む嵌込部を備えた請求項１から請求項６のいずれか１項に記載のパワーモジュール。
【請求項８】
前記傾斜部は、前記底面の全面に形成された請求項１に記載のパワーモジュール。
【請求項９】
表面に半導体素子が接合された絶縁基板と、
前記絶縁基板の裏面に接合されたベース板と、
前記ベース板とで前記絶縁基板を取り囲み、底面の内周部側が前記ベース板の表面と接し、前記底面には前記ベース板の外周側へ向かうほど前記ベース板の表面から遠ざかり、前記内周部側から外周部側までに形成された傾斜面を設けたケース部材と、
前記ベース板と前記傾斜面との間に充填され前記ベース板と前記ケース部材とを接着する接着部材と、
前記ベース板と前記ケース部材とで囲まれた領域に充填される充填部材と、
を備えたパワーモジュール。
【請求項１０】
絶縁基板の表面に半導体素子を接合材で接合する半導体素子接合工程と、
前記絶縁基板の裏面と平坦な板状のベース板とを接合材で接合するに絶縁基板接合工程と、
前記ベース板とで前記絶縁基板を取り囲み、ケース部材の底面の内周部側が前記ベース板の表面と接し、前記底面に設けられた前記ベース板の外周側へ向かうほど前記平坦な板状の前記ベース板の表面から遠ざかる傾斜面と前記ベース板との間に充填された接着部材で前記ベース板と前記ケース部材とを接着するケース部材接着工程と、
前記ベース板と前記ケース部材とで囲まれた領域に充填部材を充填する充填部材充填工程と、
を備えたパワーモジュールの製造方法。
【請求項１１】
前記ケース部材接着工程は、前記底面を上向きにし、前記底面と前記ベース板の表面とを接して配置し、前記傾斜面と前記ベース板とで囲まれる領域に前記接着部材を充填する接着部材充填工程を備えた請求項１０に記載のパワーモジュールの製造方法。
【請求項１２】
絶縁基板の表面に半導体素子を接合する半導体素子接合工程と、前記絶縁基板の裏面とベース板とを接合する絶縁基板接合工程と、
前記ベース板とで前記絶縁基板を取り囲み、ケース部材の底面の内周部側が前記ベース板の表面と接し、前記底面に設けられた前記ベース板の外周側へ向かうほど前記ベース板の表面から遠ざかる傾斜面と前記ベース板との間に充填された接着部材で前記ベース板と前記ケース部材とを接着するケース部材接着工程と、
前記ベース板と前記ケース部材とで囲まれた領域に充填部材を充填する充填部材充填工程と、
を備え、
前記ケース部材接着工程は、前記底面を上向きにし、前記底面と前記ベース板の表面とを接して配置し、前記傾斜面と前記ベース板とで囲まれる領域に前記接着部材を充填する接着部材充填工程を備えたパワーモジュールの製造方法。
【請求項１３】
請求項１から請求項９のいずれか１項に記載のパワーモジュールを有し、入力される電力を変換して出力する主変換回路と、
前記主変換回路を制御する制御信号を前記主変換回路に出力する制御回路と、
を備えた電力変換装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、パワーモジュール及びその製造方法並びにこのパワーモジュールを備えた電力変換装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的にパワーモジュールは使用される用途に応じて様々な環境下において使用されている。パワーモジュールを構成する各種材料は異なる線膨張係数を有しているために、この線膨張係数差に起因した熱応力により、各種材料間で剥離が発生する場合がある。剥離が発生した場合、パワーモジュールの絶縁耐性が劣化することが考えられる。【０００３】
また、今後のパワーモジュールに対する要求仕様を満足するために、ヒートサイクル試験におけるサイクル数の増大化、使用温度領域の拡大（高温化）に対応した信頼性の改善が求められている。【０００４】
従来のパワーモジュールは、接着剤を用いてケースとベース板とを接着し、充填部材を用いてケース内を封止したパワーモジュールが開示されている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】国際公開第２０１５／１５２３７３号（第４頁、第１図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来のパワーモジュールでは、充填部材としてエポキシ樹脂を使用した場合は、ケースとベース板との接着に使用するシリコーン接着剤と充填部材との間の線膨張係数差が大きく、また、シリコーンとエポキシとがなじみにくいなどがあり、温度サイクルなどの熱応力で接着剤と充填部材との界面が剥離の起点となる場合があった。【０００７】
この発明は、上述のような問題を解決するためになされたもので、充填部材と接着剤との剥離の発生を抑制したパワーモジュールを得ることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明に係るパワーモジュールは、表面に半導体素子が接合された絶縁基板と、絶縁基板の裏面に接合された平坦な板状のベース板と、ベース板とで絶縁基板を取り囲み、底面の内周部側がベース板の表面と接し、底面にはベース板の外周側へ向かうほど平坦な板状のベース板の表面から遠ざかる傾斜面を設けたケース部材と、ベース板と傾斜面との間に充填されベース板とケース部材とを接着する接着部材と、ベース板とケース部材とで囲まれた領域に充填される充填部材と、を備えたパワーモジュールである。
【発明の効果】
【０００９】
この発明によれば、ケース部材の底面に傾斜面を設け、ケース部材の底面の内周部側がベース板と接するようにケース部材を配置したので、充填部材と接着剤との剥離を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】この発明の実施の形態１におけるパワーモジュールを示す平面構造模式図である。
【図２】この発明の実施の形態１におけるパワーモジュールを示す断面構造模式図である。
【図３】この発明の実施の形態１におけるパワーモジュールのケース部材を示す断面構造模式図である。
【図４】この発明の実施の形態１におけるパワーモジュールの製造工程を示す断面構造模式図である。
【図５】この発明の実施の形態１におけるパワーモジュールの製造工程を示す断面構造模式図である。
【図６】この発明の実施の形態１におけるパワーモジュールの製造工程を示す断面構造模式図である。
【図７】この発明の実施の形態１におけるパワーモジュールの製造工程を示す断面構造模式図である。
【図８】この発明の実施の形態１におけるパワーモジュールの製造工程を示す断面構造模式図である。
【図９】この発明の実施の形態１におけるパワーモジュールの製造工程を示す断面構造模式図である。
【図１０】この発明の実施の形態１におけるパワーモジュールの製造工程を示す断面構造模式図である。
【図１１】この発明の実施の形態１におけるパワーモジュールの製造工程を示す断面構造模式図である。
【図１２】この発明の実施の形態１におけるパワーモジュールの他の製造工程を示す断面構造模式図である。
【図１３】この発明の実施の形態２におけるパワーモジュールを示す平面構造模式図である。
【図１４】この発明の実施の形態２におけるパワーモジュールを示す断面構造模式図である。
【図１５】この発明の実施の形態２におけるパワーモジュールのケース部材を示す断面構造模式図である。
【図１６】この発明の実施の形態３におけるパワーモジュールを示す断面構造模式図である。
【図１７】この発明の実施の形態３におけるパワーモジュールのケース部材を示す断面構造模式図である。
【図１８】この発明の実施の形態４におけるパワーモジュールを示す平面構造模式図である。
【図１９】この発明の実施の形態４におけるパワーモジュールを示す断面構造模式図である。
【図２０】この発明の実施の形態４におけるパワーモジュールのケース部材を示す断面構造模式図である。
【図２１】この発明の実施の形態４における他のパワーモジュールを示す平面構造模式図である。
【図２２】この発明の実施の形態５におけるパワーモジュールを示す平面構造模式図である。
【図２３】この発明の実施の形態５におけるパワーモジュールを示す断面構造模式図である。
【図２４】この発明の実施の形態５におけるパワーモジュールのケース部材を示す断面構造模式図である。
【図２５】この発明の実施の形態５におけるパワーモジュールの他の製造工程を示す断面構造模式図である。
【図２６】この発明の実施の形態６における電力変換装置を適用した電力変換システムの構成を示すブロック図である。
【図２７】この発明の比較例のパワーモジュールを示す断面構造模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
はじめに、本発明のパワーモジュールの全体構成について、図面を参照しながら説明する。なお、図は模式的なものであり、示された構成要素の正確な大きさなどを反映するものではない。また、同一の符号を付したものは、同一又はこれに相当するものであり、このことは明細書の全文において共通することである。
【００１２】
実施の形態１．
図１は、この発明の実施の形態１におけるパワーモジュールを示す平面構造模式図である。図２は、この発明の実施の形態１におけるパワーモジュールを示す断面構造模式図である。図１中の一点鎖線ＡＡにおける断面構造模式図が図２である。図において、パワーモジュール１００は、半導体素子１、絶縁基板５、接合材６、ケース部材７、電極端子８、接着部材である接着剤９、ベース板１０、配線部材であるボンディングワイヤ１１、充填部材１２を備えている。また、ケース部材７は、傾斜面７１、突出部７２を備えている。
【００１３】
以下では、絶縁基板５がある側をベース板１０の表面、パワーモジュール１００の底面となる側を裏面、外周を側面とする。また、その他の部材についても特段の断りが無い限り、裏面とはパワーモジュール１００の底面に近い側であり、表面とは裏面の反対側、すなわち半導体素子１がある側であり、側面とは外周のことである。同様に、明細書中、外周、外周側、外周部側とは、パワーモジュール１００の外周、外周側、外周部側のことであり、内周、内周側、内周部側とは、充填部材１２が充填される内周、内周側、内周部側のことである。
【００１４】
図１において、ケース部材７の内周と二点鎖線との間がケース部材７の傾斜面７１となる。また、点線がベース板１０の外周である。さらに、二点鎖線とケース部材７の外周との間がケース部材７の突出部７２となる。ここで、傾斜面７１は、ケース部材７の底面の内周部側の全周のすべてにわたって形成されている。そして、ケース部材７の底面の傾斜面７１の先端部がベース板１０の表面と接している。ただし、パワーモジュール１００の信頼性が確保できる範囲内において、ケース部材７１の底面の傾斜面７１の先端部がベース板１０の表面と接しない領域を設けてもよい。
【００１５】
図２において、絶縁基板５は、絶縁部材であるセラミック板２とセラミック板２の表面及び裏面に形成された金属層３，４とを備えている。セラミック板２としては、窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、酸化アルミニウム（ＡｌＯ：アルミナ）、Ｚｒ含有アルミナを用いることができる。特に、熱伝導性の点からＡｌＮ、Ｓｉ３Ｎ４が好ましく、材料強度の点からＳｉ３Ｎ４がより好ましい。また、絶縁基板としてエポキシ樹脂等を用いてもよい。
【００１６】
セラミック板２の両面（表面、裏面）に形成されている金属層３，４は、寸法（大きさ）、厚みがともに同じである金属を用いている。ただし、金属層３，４には、それぞれ電気回路が形成されるため、パターン形状が異なる場合がある。また、金属層３，４の大きさは、セラミック板２よりも小さい。金属層３，４の大きさをセラミック板２よりも小さくすることで、金属層３，４間の沿面距離を拡げて、絶縁性を確保することができる。さらに、金属層４の大きさをセラミック板２よりも小さくすることで、セラミック板２の下側に充填部材１２を回り込ませることができる。金属層３，４としては、電気伝導、熱伝導性に優れた金属、例えば、アルミニウム及びアルミニウム合金、銅及び銅合金を用いることができる。特に、熱伝導、電気伝導の観点から銅を用いるのが好ましい。
【００１７】
セラミック板２の表面側の金属層３上には、半導体素子１が搭載されている。半導体素子１は、セラミック板２の表面側の金属層３上に、例えば、はんだである接合材６を介して電気的に接合されている。また、例えば、半導体素子１としては、大電流を制御するＭＯＳＦＥＴ（Ｍｅｔａｌ  Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  Ｆｉｅｌｄ  Ｅｆｆｅｃｔ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）、ＩＧＢＴ（Ｉｎｓｕｌａｔｅｄ  Ｇａｔｅ  Ｂｉｐｏｌａｒ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）などの電力制御用半導体素子（スイッチング素子）、還流用のダイオードなどが用いられる。
【００１８】
半導体素子１を構成する材料としては、例えば、珪素（Ｓｉ）以外にワイドバンドギャップ半導体である炭化珪素（ＳｉＣ）に適用できる。これらを基板材料として用いたＳｉ半導体素子又はＳｉＣ半導体素子が適用される。また、ワイドバンドギャップ半導体としては、窒化ガリウム（ＧａＮ）系材料又はダイヤモンドなどがある。ワイドバンドギャップ半導体を用いた場合、許容電流密度が高く、電力損失も低いため、電力半導体素子を用いた装置の小型化ができるようになる。
【００１９】
ＳｉＣ半導体素子は、Ｓｉ半導体素子と比較して非常に硬いため、ＳｉＣ半導体素子厚は０.０８〜０.２ｍｍであることが好ましい。ＳｉＣ半導体素子厚を０.０８ｍｍより薄くするには、非常に硬いＳｉＣウエハを研削するため時間と費用がかかるからである。また、ＳｉＣ半導体素子厚が０.２ｍｍより厚い場合は、ＳｉＣ半導体素子の放熱性が低下し、充填部材との界面の熱応力が大きくなる。よって、ＳｉＣ半導体素子の厚みは０．０８〜０．２ｍｍの範囲とするのがよい。
【００２０】
絶縁基板５の表面側の金属層３と半導体素子１との接合には、通常、接合材６にはんだが用いられる。もっとも、接合材６は、はんだに限定されるものではなく、はんだ以外にも、例えば、焼結銀、導電性接着剤、液相拡散材料が適用できる。焼結銀又は液相拡散材料は、はんだ材料と比較して溶融温度が高く、絶縁基板５の裏面側の金属層４とベース板１０との接合時に再溶融することがなく、半導体素子１と絶縁基板５との接合信頼性が向上する。
【００２１】
さらに、焼結銀又は液相拡散材料は、はんだより溶融温度が高いため、パワーモジュール１００の動作温度の高温化がはかれる。焼結銀は、熱伝導性がはんだより良好なため、半導体素子１の放熱性が向上して信頼性が向上する。液相拡散材料は、焼結銀より低荷重で接合できるためプロセス性が良好で、接合荷重による半導体素子１へのダメージの影響が防止できる。
【００２２】
ベース板１０は、絶縁基板５の裏面側の金属層４に、はんだなどの接合材６を介して接合されている。ベース板１０がパワーモジュール１００の底板となり、ベース板１０の周囲に配置されたケース部材７とベース板１０とで囲まれた領域が形成される。ベース板１０の材料としては、銅、又はアルミニウムなどが用いられる。
【００２３】
絶縁基板５の裏面側の金属層４とベース板１０との接合に用いる接合材６は、例えば、はんだを使用できる。はんだとしては、Ｓｎ−Ｓｂ組成系のはんだ材が接合信頼性の観点で好ましい。絶縁基板５の裏面側の金属層４とベース板１０との接合は、絶縁基板５の表面側の金属層３と半導体素子１との接合の場合と同様に、はんだ以外にも焼結銀及び液相拡散材料が適用できる。
【００２４】
ここで、絶縁を絶縁基板５ではなく、絶縁シートで担うこともできる。この場合、例えば、ベース板１０に直接絶縁シートが貼り付けられ、絶縁シートの上に配線パターンを形成した金属層３、半導体素子１の順に、はんだなどにより接合し積層される。
【００２５】
図３は、この発明の実施の形態１におけるパワーモジュールのケース部材を示す断面構造模式図である。図において、ケース部材７は、傾斜面７１、突出部７２を備えている。図２のようにケース部材７は、絶縁基板５を取り囲み、ケース部材７の底面（パワーモジュール１００の底面と同じ側の面）の内周部側がベース板１０の表面と接している。すなわち、ケース部材７の底面の傾斜面７１の先端部がベース板１０の表面と接している。
【００２６】
ベース板１０は、少なくともセラミック板２側となる表面側は平坦な面であり、通常は裏表面共に平坦な板である。また、ケース部材７の底面には、ベース板１０の外周側へ向かうほどベース板１０の表面から遠ざかる傾斜面７１が設けられている。さらに、ケース部材７の底面の外周部側には傾斜面７１に対して突出した突出部７２が設けられている。
【００２７】
ケース部材７は、パワーモジュール１００の使用温度領域内で熱変形をおこさず、しかも絶縁性を維持することが求められる。このため、ケース部材７には、ＰＰＳ（Ｐｏｌｙ  Ｐｈｅｎｙｌｅｎｅ  Ｓｕｌｆｉｄｅ）樹脂、ＰＢＴ（Ｐｏｌｙｂｕｔｙｌｅｎｅ  ｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅ）樹脂等の軟化点の高い樹脂が使用される。
【００２８】
ケース部材７とベース板１０とは、接着剤９を用いて接着されている。接着剤９は、ケース部材７の底面の傾斜面７１とベース板１０との間に充填されている。接着剤９の材料としては、一般にはシリコーン樹脂、エポキシ樹脂等が用いられ、ケース部材７及びベース板１０の少なくとも一方に接着剤９を塗布し、ケース部材７とベース板１０とを固定した後、熱硬化により接着させている。
【００２９】
接着剤９の粘度は、６０〜２００Ｐａ・ｓの範囲にあることが好ましい。６０Ｐａ・ｓよりも低い値であると作業性が悪化し、２００Ｐａ・ｓよりも高い値であると気泡が混入し易くなり、機械耐性が低下する懸念が生じる。
【００３０】
本実施の形態では、図２に示したように、ケース部材７の底面が、ベース板１０の表面と接する箇所が、内周側に先細りした傾斜形状（テーパ形状）である。このため、接着剤９をケース部材７又はベース板１０に塗布した後、ケース部材７とベース板１０とを固定する際に、接着剤９が充填部材１２と接する方向へ流れ出す（流動する）ことを防止できる。
【００３１】
また、ケース部材７の底面に傾斜面７１を設けたことで、ケース部材７の外周側へ向かって拡がる形状であるため、接着剤９はケース部材７の外周側へ流動されやすくなる。その結果、充填部材１２の剥離の起点となる接着剤９と充填部材１２とが接触しなくなる。これにより、接着剤９と充填部材１２との接触箇所を起点とした充填部材１２の剥離が抑制される。また、ケース部材７の底部に傾斜面７１を設けたことにより、接着剤９に気泡が混入した場合でも、気泡を外部へ排出しやすくなる。
【００３２】
ケース部材７の底面の傾斜面７１の傾斜角度としては、例えば、５度から６０度までが好ましい。ケース部材７の材質は、硬いために傾斜面７１を比較的急峻な角度で形成しても、剛性を確保することができる。傾斜面７１の角度は、ケース部材７の高さ、厚さ及び強度に合わせて適宜選択すればよい。なお、傾斜面７１の傾斜の角度は一定である必要はない。例えば、複数の角度を有する傾斜面の組み合わせであっても、接着剤９と充填部材１２とを分離し、接触を無くすことができればよい。
【００３３】
ケース部材７の底面の内周部側にベース板１０と接する凸状部を設けることで、充填部材１２と接着剤９とを離間して配置することができるが、これでは接着強度が十分得られないことがある。なぜならば、ケース部材７の厚みが固定されている場合（モジュールサイズの変更不可等の場合）、この凸状部を設けることで、ベース板１０との接触面積が減少し、ベース板１０とケース部材７との接着強度も減少するからである。このため、凸状部のみでの構成では、充填部材１２と接着剤９との接触を無くすことはできるが、モジュールとして構成することが難しくなる。
【００３４】
これに対して、ケース部材７の底面に傾斜面７１を設けることで、ベース板１０との接触面積を増加させることができ、ケース部材７の厚みを増加させることなく、接着強度を高めることができる。このため、ケース部材７の厚みが薄い場合においても、ケース部材７とベース板１０との接着強度を確保することができる。
【００３５】
また、接着剤９と充填部材１２との接触を無くしたので、線膨張係数により律則されていた接着剤９と充填部材１２との材料を線膨張係数によらず自由に選択することができるようになる。
【００３６】
ケース部材７の底面の傾斜面７１よりも外側に設けた突出部７２は、ベース板１０の表面側から裏面側へ向かって突出している。また、ケース部材７の突出部７２は、ベース板１０の側面と対向する内壁を有してもよい。このように対向する内壁を有することで、接着剤９を十分に確保でき、ケース部材７とベース板１０との接着強度を確保することができるからである。
【００３７】
電極端子８は、ケース部材７にインサート成型又はアウトサート成型されており、外部との電流及び電圧の入出力に用いられる。電極端子８は、ケース部材７の上面側から外部へ突出した構造になっている。電極端子８は、例えば、厚み０.５ｍｍの銅板をエッチング、金型打ち抜きなどで所定の形状に加工したものが使用できる。
【００３８】
ボンディングワイヤ１１は、金属層３間又は半導体素子１と電極端子８とを電気的に接続している。ボンディングワイヤ１１は、例えば、ワイヤ径０．１〜０．５ｍｍのアルミニウム合金製又は銅合金製の線材である。なお、ここではボンディングワイヤ１１を用いて接続しているが、リボン（板状部材）を用いて接続してもよい。
【００３９】
充填部材１２は、パワーモジュール１００の内部における絶縁性を確保する目的で、ケース部材７とベース板１０とで囲まれる領域内に充填されている。充填部材１２は、絶縁基板５、金属層３，４、半導体素子１及びボンディングワイヤ１１を封止する。充填部材１２は、アルミナ、シリカなどの熱伝導性に優れた無機フィラーを添加した樹脂である。樹脂としては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂等の所望の絶縁性、耐熱性、接着性を兼ね備えた材料からなる。なお、接着剤９と充填部材１２とが同系の材料で構成される場合であっても、適用用途により添加剤が異なるため、同一の線膨張係数を有するわけではない。このため、ヒートサイクルにより、線膨張係数差による熱応力が発生する場合がある。
【００４０】
次に、上述のように構成された本実施の形態１のパワーモジュール１００の製造方法について説明する。
【００４１】
図４から図１１は、この発明の実施の形態１におけるパワーモジュールの各製造工程を示す断面構造模式図である。図４から図１１は、この発明の実施の形態１におけるパワーモジュールの製造工程を示す断面構造模式図である。図４から図１１までの工程を経ることにより、パワーモジュール１００を製造することができる。
【００４２】
はじめに、図４に示すように、セラミック板２の表面に金属層３を形成し、裏面に金属層４を形成する（絶縁基板形成工程）。セラミック板２と金属層３，４との接合は、ロウ付けなどにより行う。金属層３，４には、それぞれ電気回路が形成されるため、パターン形状が異なることがよくある。このような場合、金属層３，４の大きさ、厚みを調整することで、セラミック板２の上下で熱応力の発生を抑えるようにしてもよい。また、パワーモジュール１００によっては金属層４を設けずに、セラミック板２を絶縁シートに置き換えて、絶縁シートが直接ベース板１０に接合されることもある。この場合でも、金属層３の大きさ、厚みを調整する（例えば、図４の場合、左右の金属層３をバランスさせる。）ことで、パワーモジュール１００の熱応力の発生を抑えることができる。
【００４３】
次に、図５に示すように、絶縁基板５の表面の金属層３上の所定の位置（半導体素子１配置領域）に、半導体素子１を接合材６であるはんだを用いて電気的に接合する（半導体素子接合工程）。このように、絶縁基板５上に半導体素子１を接合することで、電気回路が形成される。接合材６としては、はんだに限定されるわけではなく、その他の接合材も適用できる。
【００４４】
次に、図６に示すように、半導体素子１を接合した絶縁基板５の裏面とベース板１０の表面とを接合材６であるはんだを介して接合する（絶縁基板接合工程）。上述の半導体素子接合工程と同様に、接合材６としてはんだを用いて接合できる。接合材６としては、はんだに限定されるわけではなく、その他の接合材も適用できる。
【００４５】
次に、図７，８に示すように、絶縁基板５をベース板１０とケース部材７とで取り囲むように、ケース部材７の傾斜面７１を設けた底面の内周部側をベース板１０の表面と接して、ベース板１０の外周部（側面及び表面の一部）にケース部材７を接着剤９で接着する（ケース部材接着工程）。ここで、底面には、ベース板１０の外周側へ向かうほどベース板１０の表面から遠ざかる傾斜面７１が設けられている。また、接着剤９は、ケース部材７の傾斜面７１とベース板１０との間に充填される。
【００４６】
例えば、接着剤９は、ベース板１０の外周部の所定の位置に配置される。接着剤９を配置後、ケース部材７は、ベース板１０の上方からベース板１０の表面に向かって圧接される。このとき、接着剤９は、ケース部材７の底部に設けた傾斜面７１により、ケース部材７の内周側から外周側へ向かって押し出され、ケース部材７の突出部７２に沿ってベース板１０の側面側へも流動する。接着剤９が固まることで、図８に示すように、ベース板１０の外周（側面）にケース部材７が固着される。これにより、ケース部材７とベース板１０とで囲まれた領域内に絶縁基板５が配置されることになる。ここで、接着剤９は、図８に示すような形状となるような粘度に調整されている。また、接着剤９の硬化処理条件としては、例えば、１２０℃、２時間とすることで実現できる。なお、接着剤９の材料等に合わせて、接着剤９の硬化処理条件は適宜選択すればよい。
【００４７】
次に、図９に示すように、絶縁基板５の表面の金属層３に接合した半導体素子１とケース部材７に設けた電極端子８とをボンディングワイヤ１１を介して電気的に接続する（配線部材形成工程）。同様に、金属層３と金属層３とをボンディングワイヤ１１を介して電気的に接続する（配線部材形成工程）。さらに、ボンディングワイヤ１１は、半導体素子１の所定の領域に形成された電極（図示せず）と電極端子８の所定の領域（図示せず）とを接続する。
【００４８】
次に、図１０に示すように、ベース板１０とケース部材７とで囲まれた領域に、充填部材１２を充填する（充填部材充填工程）。充填部材１２は、例えば、ディスペンサ１３を用いて、ケース部材７とベース板１０とで囲まれた領域内へ充填される。図１０は、充填部材１２の充填途中を模式的に表わしたものである。充填部材１２の充填位置（充填量）としては、ボンディングワイヤ１１を覆う（封止する）位置まで充填される。充填部材１２を充填後、硬化処理を実施する。例えば、充填部材１２の硬化処理条件としては、１５０℃、２時間の条件で行う（充填部材硬化工程）。このように、硬化処理を行うことで充填された充填部材１２が硬化される。また、充填部材１２の材料等に合わせて、充填部材１２の硬化処理条件は適宜選択すればよい。
【００４９】
以上の主要な製造工程を経ることで、図１１に示すパワーモジュール１００が製造できる。
【００５０】
図１２は、この発明の実施の形態１におけるパワーモジュールの他の製造工程を示す断面構造模式図である。上述のパワーモジュール１００の製造工程において、図７に示したケース部材７とベース板１０とを接着剤９を用いて接着する場合、図１２の示すように、ケース部材７の底面を上向きに配置し、ケース部材７の底面とベース板１０の表面とを接触（対向）させて配置することで、ケース部材７とベース板１０とを接着することもできる。
【００５１】
より具体的には、図１２に示すように、ケース部材７の底面を上向きに配置する。ケース部材７を配置後、ケース部材７の底面の傾斜面７１の内周側の頂点部がベース板１０の表面と接するように、ベース板１０をケース部材７の上に配置する。ベース板１０をケース部材７の上に配置後、ディスペンサ１３を用いて、接着剤９をケース部材７の傾斜面７１と突出部７２とベース板１０とで囲まれる領域に充填する（接着部材充填工程）。接着剤９の充填後、接着剤９を硬化させることでケース部材７とベース板１０とが接着される（ケース部材接着工程）。
【００５２】
その後、図９から図１１に示した工程を経ることで、パワーモジュール１００を製造することができる。
【００５３】
以上のように構成されたパワーモジュール１００においては、ケース部材７の底面に傾斜面７１を設け、ケース部材７の底面の内周部側がベース板１０の表面と接するようにケース部材７を配置したので、充填部材１２と接着剤９とが接することなく分離でき、充填部材１２と接着剤９との剥離を抑制できる。
【００５４】
また、ケース部材７の底面に傾斜面７１を設け、ケース部材７の底面の内周部側がベース板１０の表面と接するようにケース部材７を配置したので、絶縁特性を改善でき、パワーモジュールの信頼性を向上させることができる。
【００５５】
さらに、ケース部材７の底面に傾斜面７１を設けたので、充填部材１２と接着剤９との接触を無くしたまま、接着剤９をケース部材７の外周側へ流動しやすくなり、ケース部材７とベース板１０とを均一に接着することができる。
【００５６】
また、ケース部材７の底面に傾斜面７１を設けたので、ベース板１０との接触面積が増加し、ケース部材７とベース板１０との接着強度を向上することができる。
【００５７】
さらに、ケース部材７の底面に傾斜面７１を設け、ケース部材７の底面の内周部側がベース板１０の表面と接するようにケース部材７を配置したので、接着剤９の材料と充填部材１２の材料とを独立して選択することができるようになり、材料選択の自由度が拡がる。
【００５８】
実施の形態２．
本実施の形態２においては、実施の形態１で用いたケース部材７の底面に設けた傾斜面７１の内周側であるベース板１０の表面と接する側に平坦部７３を設けた点が異なる。このように、ケース部材７の底面の傾斜面７１よりも内側に平坦部７３を形成したので、接着剤９から充填部材１２までの距離を稼ぐことができ、接着剤９の充填部材１２側への流動を効果的に抑制することができる。また、平坦部７３を設けたので、ケース部材７に働く力を分散することができる。その結果、充填部材１２と接着剤９との接触を抑制でき、充填部材１２の剥離を抑制することができる。さらに、パワーモジュールの信頼性を向上させることができる。なお、その他の点については、実施の形態１と同様であるので、詳しい説明は省略する。
【００５９】
このような構造とした場合においても、ケース部材７とベース板１０とを接触させることで、充填部材１２と接着剤９との接触を無くすことができ、充填部材１２の剥離を抑制することができる。
【００６０】
図１３は、この発明の実施の形態２におけるパワーモジュールを示す平面構造模式図である。図１４は、この発明の実施の形態２におけるパワーモジュールを示す断面構造模式図である。図１５は、この発明の実施の形態２におけるパワーモジュールのケース部材を示す断面構造模式図である。図１３中の一点鎖線ＢＢにおける断面構造模式図が図１４である。図において、パワーモジュール２００は、半導体素子１、絶縁基板５、接合材６、ケース部材７、電極端子８、接着剤９、ベース板１０、配線部材であるボンディングワイヤ１１、充填部材で１２を備えている。また、ケース部材７は、傾斜面７１、突出部７２、平坦部７３を備えている。
【００６１】
図１３において、ケース部材７の内周と点線との間がベース板１０と接触しているケース部材７の平坦部７３となる。また、点線と二点鎖線との間がケース部材７の傾斜面７１となる。さらに、二点鎖線とケース部材７の外周との間がケース部材７の突出部７２となる。
【００６２】
図１５において、ケース部材７の平坦部７３は、ケース部材７の底面の内周部側に設けられ、ベース板１０の表面と接触する。ケース部材７の平坦部７３の幅（厚さ）をＬａとする。ケース部材７の平坦部７３の幅Ｌａは、１ｍｍ以下であることが望ましい。ケース部材７に平坦部７３を設けたことにより、ケース部材７のベース板１０との接触箇所であるケース部材７の内周側が面としてベース板１０と接触するため、ケース部材７の底面端部における欠けの発生を抑制することができる。
【００６３】
また、ケース部材７の底面において、面としてベース板１０と接触するために、ケース部材７とベース板１０との接着時における接触箇所に働く力を分散でき、より安定した構造が実現できる。さらに、ケース部材７の底面に平坦部７３を設けたので、平坦部７３の内周部側の角部に曲率を持たせてもよい。平坦部７３の内周部側の角部に曲率を持たせることで、充填部材１２と接着剤９との接触を無くしたまま、ベース板１０との接着時に平坦部７３の角部での応力を低減でき、角部の欠けを効果的に抑制することができる。
【００６４】
以上のように構成されたパワーモジュール２００においては、ケース部材７の底面に傾斜面７１を設け、ケース部材７の底面の内周部側がベース板１０の表面と接するようにケース部材７を配置したので、充填部材１２と接着剤９とが接することなく分離でき、充填部材１２と接着剤９との剥離を抑制できる。
【００６５】
また、ケース部材７の底面に傾斜面７１を設け、ケース部材７の底面の内周部側がベース板１０の表面と接するようにケース部材７を配置したので、絶縁特性を改善でき、パワーモジュールの信頼性を向上させることができる。
【００６６】
さらに、ケース部材７の底面に傾斜面７１を設けたので、充填部材１２と接着剤９との接触を無くしたまま、接着剤９をケース部材７の外周側へ流動しやすくなり、ケース部材７とベース板１０とを均一に接着することができる。
【００６７】
また、ケース部材７の底面に傾斜面７１を設けたので、ベース板１０との接触面積が増加し、ケース部材７とベース板１０との接着強度を向上することができる。
【００６８】
さらに、ケース部材７の底面の内周部側に平坦部７３を設けたので、充填部材１２と接着剤９とが離間され、充填部材１２と接着剤９とが接すること無く分離でき、充填部材１２と接着剤９との剥離を抑制できる。
【００６９】
また、ケース部材７の底面に傾斜面７１を設け、ケース部材７の底面の内周部側がベース板１０の表面と接するようにケース部材７を配置したので、接着剤９の材料と充填部材１２の材料とを独立して選択することができるようになり、材料選択の自由度が拡がる。
【００７０】
実施の形態３．
本実施の形態３においては、実施の形態１で用いたケース部材７の底面に設けた突出部７２の内周側（ベース板１０の側面に対向する面側）をベース板１０の裏面側へ向かうほどベース板１０の側面から遠ざかる（第二の傾斜面７４を有する）形状とした点が異なる。このように、ケース部材７の突出部７２をベース板１０の裏面側へ向かうほどベース板１０の側面から遠ざかる形状としたので、ケース部材７とベース板１０との接着時における充填部材１２の外部側への流動を効率的に行うことができ、接着剤９の充填部材１２側への流動を効果的に抑制することができる。その結果、充填部材１２と接着剤９との接触を無くしたので充填部材１２の剥離を抑制することができる。また、パワーモジュールの信頼性を向上させることができる。なお、その他の点については、実施の形態１と同様であるので、詳しい説明は省略する。
【００７１】
このような構造とした場合においても、ケース部材７とベース板１０とを接触させることで、充填部材１２と接着剤９との接触を無くしたので、充填部材１２の剥離を抑制することができる。
【００７２】
図１６は、この発明の実施の形態３におけるパワーモジュールを示す断面構造模式図である。図１７は、この発明の実施の形態３におけるパワーモジュールのケース部材を示す断面構造模式図である。図において、パワーモジュール３００は、半導体素子１、絶縁基板５、接合材６、ケース部材７、電極端子８、接着剤９、ベース板１０、配線部材であるボンディングワイヤ１１、充填部材１２を備えている。また、ケース部材７は、第一の傾斜面７１、突出部７２、第二の傾斜面７４を備えている。
【００７３】
図１７において、ケース部材７の第二の傾斜面７４は、ベース板１０の側面と対向するケース部材７の突出部７２の内周側に設けられている。第二の傾斜面７４を設けた突出部７２の底面の幅（厚さ）をＬｂとする。ケース部材７の第二の傾斜面７４を設けた場合の突出部７２の底面の幅Ｌｂは、１ｍｍ以上とすることが望ましい。突出部７２の底面の幅Ｌｂが１ｍｍ以下になると突出部７２の底面が先細りし、ケース部材７とベース板１０との接着時に欠けなどが発生する場合が考えられるが、１ｍｍ以上とすることで欠けなどの発生を抑制してパワーモジュール３００を製造することができる。
【００７４】
以上のように構成されたパワーモジュール３００においては、ケース部材７の底面に傾斜面７１を設け、ケース部材７の底面の内周部側がベース板１０の表面と接するようにケース部材７を配置したので、充填部材１２と接着剤９とが接すること無く分離でき、充填部材１２と接着剤９との剥離を抑制できる。
【００７５】
また、ケース部材７の底面に傾斜面７１を設け、ケース部材７の底面の内周部側がベース板１０の表面と接するようにケース部材７を配置したので、絶縁特性を改善でき、パワーモジュールの信頼性を向上させることができる。
【００７６】
さらに、ケース部材７の底面に傾斜面７１を設けたので、充填部材１２と接着剤９との接触を無くしたまま、接着剤９をケース部材７の外周側へ流動しやすくなり、ケース部材７とベース板１０とを均一に接着することができる。
【００７７】
また、ケース部材７の底面に傾斜面７１を設けたので、ベース板１０との接触面積が増加し、ケース部材７とベース板１０との接着強度を向上することができる。
【００７８】
さらに、ケース部材７の突出部７２をベース板１０の裏面側へ向かうほどベース板１０の側面から遠ざかる形状としたので、ケース部材７とベース板１０との接着時における充填部材１２の外部側への流動を効率的に行うことができる。
【００７９】
また、ケース部材７の底面に傾斜面７１を設け、ケース部材７の底面の内周部側がベース板１０の表面と接するようにケース部材７を配置したので、接着剤９の材料と充填部材１２の材料とを独立して選択することができるようになり、材料選択の自由度が拡がる。
【００８０】
実施の形態４．
本実施の形態４においては、実施の形態１で用いたケース部材７の底面に設けた傾斜面７１の内周部側であるベース板１０の表面と接する側に嵌込部７５、ベース板１０の表面に嵌込部７５の受けとなる凹部７６を設けた点が異なる。このように、ケース部材７の底面の内側に嵌込部７５を形成し、凹部７６へ嵌込む構成としたので、充填部材１２までの距離を稼ぐことができ、接着剤９の充填部材１２側への流動を効果的に抑制することができる。その結果、充填部材１２と接着剤９との接触が無くしたので充填部材１２の剥離を抑制することができる。また、ケース部材７に嵌込部７５を設けて、凹部７６に嵌込む構成としたので、ケース部材７とベース板１０との固定が補強され、接着強度を向上させることができる。さらに、パワーモジュールの信頼性を向上させることができる。なお、その他の点については、実施の形態１と同様であるので、詳しい説明は省略する。
【００８１】
このような構造とした場合においても、ケース部材７とベース板１０とを接触させることで、充填部材１２と接着剤９との接触を無くしたので、充填部材１２の剥離を抑制することができる。
【００８２】
図１８は、この発明の実施の形態４におけるパワーモジュールを示す平面構造模式図である。図１９は、この発明の実施の形態４におけるパワーモジュールを示す断面構造模式図である。図２０は、この発明の実施の形態４におけるパワーモジュールのケース部材を示す断面構造模式図である。図１８中の一点鎖線ＣＣにおける断面構造模式図が図１９である。図において、パワーモジュール４００は、半導体素子１、絶縁基板５、接合材６、ケース部材７、電極端子８、接着剤９、ベース板１０、配線部材であるボンディングワイヤ１１、充填部材１２を備えている。また、ケース部材７は、傾斜面７１、突出部７２、嵌込部７５を備えている。さらに、ベース板１０は、凹部７６を備えている。
【００８３】
図１８において、ケース部材７の内周と点線との間がベース板１０の凹部７６に嵌込まれたケース部材７の嵌込部７５となる。また、点線と二点鎖線との間がケース部材７の傾斜面７１となる。さらに、二点鎖線とケース部材７の外周との間がケース部材７の突出部７２となる。
【００８４】
図１９，２０において、ケース部材７の嵌込部７５は、ケース部材７とベース板１０の表面とが接するケース部材７の底面の内周部側に設けられている。また、ケース部材７の嵌込部７５と対向する位置に、嵌込部７５を嵌込むための凹部７６がベース板１０の表面に設けられている。ベース板１０の表面に設けた凹部７６の形状は、ケース部材７の嵌込部７５の形状の応じた形状である。ケース部材７の嵌込部７５をベース板１０の凹部７６に嵌込むことで、接着剤９と充填部材１２との接触をより確実に防止することができる。
【００８５】
図２１は、この発明の実施の形態４における他のパワーモジュールを示す平面構造模式図である。図において、パワーモジュール４１０は、図１８のように、ケース部材７の嵌込部７５をケース部材７の底面の内周部側の全周に設けるのではなく、接着剤９の流れ込みが発生しやすいケース部材７の底部の角部の４箇所とした例である。これに限らずに、ケース部材７の嵌込部７５は、ケース部材７の大きさなどに応じて、必要な箇所に点在させてもよい。
【００８６】
以上のように構成されたパワーモジュール４００，４１０においては、ケース部材７の底面に傾斜面７１を設け、ケース部材７の底面の内周部側がベース板１０の表面と接するようにケース部材７を配置したので、充填部材１２と接着剤９とが接すること無く分離でき、充填部材１２と接着剤９との剥離を抑制できる。
【００８７】
また、ケース部材７の底面に傾斜面７１を設け、ケース部材７の底面の内周部側がベース板１０の表面と接するようにケース部材７を配置したので、絶縁特性を改善でき、パワーモジュールの信頼性を向上させることができる。
【００８８】
さらに、ケース部材７の底面に傾斜面７１を設けたので、充填部材１２と接着剤９との接触を無くしたまま、接着剤９をケース部材７の外周側へ流動しやすくなり、ケース部材７とベース板１０とを均一に接着することができる。
【００８９】
また、ケース部材７の底面に傾斜面７１を設けたので、ベース板１０との接触面積が増加し、ケース部材７とベース板１０との接着強度を向上することができる。
【００９０】
さらに、ケース部材７の底面の内周部側に嵌込部７５を設けたので、充填部材１２と接着剤９とが離間され、充填部材１２と接着剤９とが接すること無く分離でき、充填部材１２と接着剤９との剥離を抑制できる。
【００９１】
また、ケース部材７の底面の内周部側に嵌込部７５を設けたので、ケース部材７とベース板１０との接着強度を向上させることができる。
【００９２】
さらに、ケース部材７の底面に傾斜面７１を設け、ケース部材７の底面の内周部側がベース板１０の表面と接するようにケース部材７を配置したので、接着剤９の材料と充填部材１２の材料とを独立して選択することができるようになり、材料選択の自由度が拡がる。
【００９３】
実施の形態５．
本実施の形態５においては、実施の形態１で用いたケース部材７の底面にケース部材７の内周部側から外周部側まで（全面）に形成された傾斜面７１を設けた点が異なる。このように、ケース部材７の底面の全面に傾斜面７１を形成したので、充填部材１２と接着剤９とが接すること無く分離でき、接着剤９の充填部材１２側への流動を効果的に抑制することができる。その結果、充填部材１２と接着剤９との接触を無くしたので充填部材１２の剥離をすることができる。また、パワーモジュールの信頼性を向上させることができる。なお、その他の点については、実施の形態１と同様であるので、詳しい説明は省略する。
【００９４】
このような構造とした場合においても、ケース部材７とベース板１０とを接触させることで、充填部材１２と接着剤９との接触を無くしたので、充填部材１２の剥離を抑制することができる。
【００９５】
図２２は、この発明の実施の形態５におけるパワーモジュールを示す平面構造模式図である。図２３は、この発明の実施の形態５におけるパワーモジュールを示す断面構造模式図である。図２４は、この発明の実施の形態５におけるパワーモジュールのケース部材を示す断面構造模式図である。図２２中の一点鎖線ＤＤにおける断面構造模式図が図２３である。図において、パワーモジュール３００は、半導体素子１、絶縁基板５、接合材６、ケース部材７、電極端子８、接着剤９、ベース板１０、配線部材であるボンディングワイヤ１１、充填部材１２を備えている。また、ケース部材７は、底面の全面に傾斜面７１を備えている。
【００９６】
図２２において、ケース部材７の内周と外周との間がケース部材７の傾斜面７１となる。また、ベース板１０の外周（周縁部）を点線で表わしている。
【００９７】
図２３，２４において、ケース部材７の傾斜面７１は、ケース部材７の底面の内周部側から外周部側まで（全面）に設けられ、ケース部材７の底面の内周部側がベース板１０の表面と接触する。
【００９８】
次に、上述のように構成された本実施の形態５のパワーモジュール５００の製造方法について説明する。
【００９９】
基本的には、実施の形態１で示した図４から図１１の工程を経ることで、パワーモジュール５００を製造することができる。もっとも、実施の形態１では図７に代えて図１２の工程でもよいことを示した。実施の形態５では、図１２に示したケース部材７の底面側から接着剤９を充填する方法ではなく、斜めから接着剤９を充填する点が異なっている。
【０１００】
図２５は、この発明の実施の形態５におけるパワーモジュールの他の製造工程を示す断面構造模式図である。上述のパワーモジュール１００の製造工程において、図１２に示したケース部材７とベース板１０とを接着剤９を用いて接着する場合、図２５に示すように、ケース部材７の底面を上向きに配置し、ケース部材７上にベース板１０を配置することで、ケース部材７とベース板１０とを接着することができる。
【０１０１】
より具体的には、図２５に示すように、ケース部材７の底面を上向きに配置する。ケース部材７を配置後、ケース部材７の傾斜面７１の内周側の頂点部がベース板１０と接するように、ベース板１０をケース部材７の上に配置する。ベース板１０をケース部材７の上に配置後、ディスペンサ１３を用いて、接着剤９をケース部材７の傾斜面７１とベース板１０とで囲まれる領域に充填する（接着部材充填工程）。接着剤９の充填後、接着剤９を硬化させることでケース部材７とベース板１０とが接着される（ケース部材接着工程）。この場合、接着剤９の粘度を通常よりも高めにすることで、ケース部材７の傾斜面７１からの接着剤９の垂れを抑制できる。
【０１０２】
その後、図９から図１１に示した工程を経ることで、パワーモジュール５００を製造することができる。
【０１０３】
以上のように構成されたパワーモジュール５００においては、ケース部材７の底面にケース部材７の内周部側から外周部側までに傾斜面７１を設け、ケース部材７の底面の内周部側がベース板１０の表面と接するようにケース部材７を配置したので、充填部材１２と接着剤９とが接すること無く分離でき、充填部材１２と接着剤９との剥離を抑制できる。
【０１０４】
また、ケース部材７の底面に傾斜面７１を設け、ケース部材７の底面の内周部側がベース板１０の表面と接するようにケース部材７を配置したので、絶縁特性を改善でき、パワーモジュールの信頼性を向上させることができる。
【０１０５】
さらに、ケース部材７の底面の内周部側から外周部側までに傾斜面７１を設けたので、充填部材１２と接着剤９との接触を無くしたまま、接着剤９をケース部材７の外周側へ流動しやすくなり、ケース部材７とベース板１０とを均一に接着することができる。
【０１０６】
また、ケース部材７の底面に傾斜面７１を設けたので、ベース板１０との接触面積が増加し、ケース部材７とベース板１０との接着強度を向上することができる。
【０１０７】
さらに、ケース部材７の底面に傾斜面７１を設け、ケース部材７の底面の内周部側がベース板１０の表面と接するようにケース部材７を配置したので、接着剤９の材料と充填部材１２の材料とを独立して選択することができるようになり、材料選択の自由度が拡がる。
【０１０８】
実施の形態６．
本実施の形態６は、上述した実施の形態１から５にかかるパワーモジュールを電力変換装置に適用したものである。本発明は特定の電力変換装置に限定されるものではないが、以下、実施の形態６として、三相のインバータに本発明を適用した場合について説明する。
【０１０９】
図２６は、この発明の実施の形態６における電力変換装置を適用した電力変換システムの構成を示すブロック図である。
【０１１０】
図２６に示す電力変換システムは、電源１０００、電力変換装置２０００、負荷３０００を備えている。電源１０００は、直流電源であり、電力変換装置２０００に直流電力を供給する。電源１０００は種々のもので構成することができ、例えば、直流系統、太陽電池、蓄電池で構成することができるし、交流系統に接続された整流回路、ＡＣ／ＤＣコンバータなどで構成することとしてもよい。また、電源１０００を、直流系統から出力される直流電力を所定の電力に変換するＤＣ／ＤＣコンバータによって構成することとしてもよい。
【０１１１】
電力変換装置２０００は、電源１０００と負荷３０００との間に接続された三相のインバータであり、電源１０００から供給された直流電力を交流電力に変換し、負荷３０００に交流電力を供給する。電力変換装置２０００は、図２６に示すように、電源１０００から入力される直流電力を交流電力に変換して出力する主変換回路２００１と、主変換回路２００１を制御する制御信号を主変換回路２００１に出力する制御回路２００３とを備えている。
【０１１２】
負荷３０００は、電力変換装置２０００から供給された交流電力によって駆動される三相の電動機である。なお、負荷３０００は特定の用途に限られるものではなく、各種電気機器に搭載された電動機であり、例えば、ハイブリッド自動車、電気自動車、鉄道車両、エレベーター、空調機器向けの電動機等として用いられる。
【０１１３】
以下、電力変換装置２０００の詳細を説明する。主変換回路２００１は、パワーモジュール２００２に内蔵されたスイッチング素子と還流ダイオードとを備えており（図示せず）、スイッチング素子がスイッチングすることによって、電源１０００から供給される直流電力を交流電力に変換し、負荷３０００に供給する。主変換回路２００１の具体的な回路構成は種々のものがあるが、本実施の形態にかかる主変換回路２００１は２レベルの三相フルブリッジ回路であり、６つのスイッチング素子とそれぞれのスイッチング素子に逆並列に接続された６つの還流ダイオードとから構成することができる。主変換回路２００１は、各スイッチング素子、各還流ダイオードなどを内蔵する上述した実施の形態１から５のいずれかに相当するパワーモジュール２００２によって構成される。６つのスイッチング素子は２つのスイッチング素子ごとに直列接続され上下アームを構成し、各上下アームはフルブリッジ回路の各相（Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相）を構成する。各上下アームの出力端子、すなわち主変換回路２００１の３つの出力端子は、負荷３０００に接続される。
【０１１４】
また、主変換回路２００１は、各スイッチング素子を駆動する駆動回路（図示なし）を備えている。駆動回路はパワーモジュール２００２に内蔵されていてもよいし、パワーモジュール２００２とは別に駆動回路を備える構成であってもよい。駆動回路は、主変換回路２００１のスイッチング素子を駆動する駆動信号を生成し、主変換回路２００１のスイッチング素子の制御電極に供給する。具体的には、後述する制御回路２００３からの制御信号に従い、スイッチング素子をオン状態にする駆動信号とスイッチング素子をオフ状態にする駆動信号とを各スイッチング素子の制御電極に出力する。スイッチング素子をオン状態に維持する場合、駆動信号はスイッチング素子の閾値電圧以上の電圧信号（オン信号）であり、スイッチング素子をオフ状態に維持する場合、駆動信号はスイッチング素子の閾値電圧以下の電圧信号（オフ信号）となる。
【０１１５】
制御回路２００３は、負荷３０００に所望の電力が供給されるよう主変換回路２００１のスイッチング素子を制御する。具体的には、負荷３０００に供給すべき電力に基づいて主変換回路２００１の各スイッチング素子がオン状態となるべき時間（オン時間）を算出する。例えば、出力すべき電圧に応じてスイッチング素子のオン時間を変調するＰＷＭ制御によって主変換回路２００１を制御することができる。また、各時点においてオン状態となるべきスイッチング素子にはオン信号を出力し、オフ状態となるべきスイッチング素子にはオフ信号を出力されるように、主変換回路２００１が備える駆動回路に制御指令（制御信号）を出力する。駆動回路は、この制御信号に従い、各スイッチング素子の制御電極にオン信号又はオフ信号を駆動信号として出力する。
【０１１６】
以上のように構成された本実施の形態６に係る電力変換装置においては、主変換回路２００１のパワーモジュール２００２として実施の形態１から５にかかるパワーモジュールを適用するため、信頼性向上を実現することができる。
【０１１７】
本実施の形態では、２レベルの三相インバータに本発明を適用する例を説明したが、本発明は、これに限られるものではなく、種々の電力変換装置に適用することができる。本実施の形態では、２レベルの電力変換装置としたが３レベル、マルチレベルの電力変換装置であってもよいし、単相負荷に電力を供給する場合には単相のインバータに本発明を適用してもよい。また、直流負荷等に電力を供給する場合にはＤＣ／ＤＣコンバータ、ＡＣ／ＤＣコンバータなどに本発明を適用することもできる。
【０１１８】
また、本発明を適用した電力変換装置は、上述した負荷が電動機の場合に限定されるものではなく、例えば、放電加工機、レーザー加工機、誘導加熱調理器、非接触器給電システムの電源装置等として用いることもでき、さらには、太陽光発電システム、蓄電システム等のパワーコンディショナーとして用いることもできる。
【実施例】
【０１１９】
以下、実施例及び比較例により本発明の詳細を説明するが、これらによって本発明が限定されるものではない。【０１２０】
実施の形態１〜５に対応する構造及び比較構造の評価用サンプル（パワーモジュール）を用いて、ケース部材７の形状を変更させたときの故障モード及び寿命試験検を実施した。【０１２１】
評価に用いたパワーモジュールの基本構造は、以下の通りである。【０１２２】
半導体素子１としては、Ｓｉ半導体素子を用いる。Ｓｉ半導体素子１は、絶縁基板５の表面の所定の位置にはんだ６を介して接合される。【０１２３】
絶縁基板５の仕様は、厚さ０.３２ｍｍのＳｉ３Ｎ４のセラミック板２の両面に厚さ０.７ｍｍの金属層３，４である銅パターンが形成されている。ここで、金属層３，４の大きさは、セラミック板２の大きさよりも小さく、セラミック板２から金属層３，４がはみ出すことはない。【０１２４】
Ｓｉ半導体素子１を接合した絶縁基板５の裏面には、ベース板１０がはんだ６を用いて接合される。ベース板１０の外周部には、絶縁基板５を取り囲むようにケース部材７が接着剤９によって接着される。接着剤９の硬化処理条件としては、１２０℃、２時間で行った。【０１２５】
ケース部材７は、インサート成型により作製している。ケース部材の材料としては、ＰＰＳ樹脂が用いられている。ケース部材７とベース板１０との接着には、接着剤９としてシリコーン接着剤を用いている。電極端子８は、ケース部材７の上側に形成した。電極端子８と半導体素子１とをボンディングワイヤ１１にて電気的に接続する。また、銅パターンが形成された金属層３間の所定の位置もボンディングワイヤ１１で接合する。【０１２６】
ボンディングワイヤ１１での接続後、ケース部材７とベース板１０とで囲まれた領域内に、充填部材１２としてシリカフィラーを５０ｖｏｌ％添加した線膨張係数が２０ｐｐｍ／Ｋであるエポキシ樹脂（液状封止樹脂）を用いて、ボンディングワイヤ１１が封止されるように領域内に充填した。エポキシ樹脂を充填後、１５０℃で２時間加熱をすることで評価用サンプルを作製した。【０１２７】
図２７は、この発明の比較例のパワーモジュールを示す断面構造模式図である。図において、突出部７２０を備えたケース部材７００とベース板１０とを接着剤９を用いて接着している。ケース部材７００とベース板１０との接着箇所において、接着剤９と充填部材１２とが接触している。比較例において、ケース部材７００の形状以外は、上記記載の構成と同様の構成である。なお、便宜上、比較例の図２７においても、実施の形態と同じ部品番号を用いている（ケース部材７を除く。）。【０１２８】
表１に、試作したパワーモジュールの仕様（ケース部材形状）と故障モード及び寿命試験検結果を示す。【０１２９】
【表１】
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【０１３０】
この評価用サンプルに対し、各種のヒートサイクル試験を実行した。【０１３１】
実施例１〜５及び比較例に対応する評価用サンプルは複数個試作した。試作したパワーモジュールは、パワーモジュール全体を温度制御できる恒温曹に入れて、ヒートサイクル試験を実施した。ヒートサイクル試験は、恒温曹の温度を調整し、複数の評価用サンプルの各々を評価した。【０１３２】
ヒートサイクル試験は、高温時の恒温曹の温度を変えて２種類の条件で実施した。ヒートサイクル試験の第一条件は、評価用サンプルを−４０℃で３０分間保持し、その後１２５℃で３０分間保持することを１サイクル（−４０℃〜１２５℃）として、５００サイクル実施した。また、ヒートサイクル試験の第二条件は、評価用サンプルを−４０で３０分間保持し、その後１５０℃で３０分間保持することを１サイクル（−４０℃〜１５０℃）として、５００サイクル実施した。【０１３３】
ヒートサイクル試験では、５０サイクル毎に導通試験を実施した。導通試験において、故障が発見された場合には、超音波映像装置ＦｉｎｅＳＡＴ（日立エンジニアリングアンドサービス社製）による非破壊での剥離観察と走査型電子顕微鏡による断面観察により不具合の主原因を調査した。また、最終的には５００サイクル後においても、同様の方法で、構造的に問題が無いことを確認した。【０１３４】
表１に、試作したパワーモジュールの仕様（ケース部材形状）、故障モード及び寿命試験検結果を示す。各種評価では、３台のパワーモジュールを評価した。表１において、ヒートサイクル試験の５００サイクル後の導通試験（寿命試験）において、３台全て合格した項目を「○」と記載し、１台又は２台合格した項目を「△」と記載し、合格にいたるものがなかった項目を「×」と記載している。故障モードにおいて、導通不良が発生した評価サンプルの構造解析結果（「剥離」等）を記載し、故障が見られない場合は「−」と記載した。【０１３５】
［比較例］
まず、はじめに、この発明の比較例の評価用サンプルの評価結果について説明する。第一条件（−４０℃〜１２５℃）の試験評価では、１台のサンプルにおいて、５００サイクル後に導通不良が生じた。このため、寿命試験では「△」と記載した。また、第二条件（−４０℃〜１５０℃）の試験評価では、３台のサンプルにおいて、１００サイクル後に導通不良が生じた。このため、寿命試験では「×」と記載した。寿命試験後の構造解析により、いずれの導通不良サンプルにおいても、故障モードは「剥離」であった。すなわち、比較例の評価用サンプルでは、パワーモジュール６００は、第一条件においては、導通不良が発生する場合が認められる場合があり、第二条件においては、現状の構造では、パワーモジュールの動作不良を回避することが難しいことがわかった（表１参照）。【０１３６】
接着剤９に該当する箇所にはシリコーン接着剤を用い、充填部材１２に該当する箇所にはエポキシ樹脂を用いた。図２６に示したように、エポキシ樹脂は、ケース部材７とベース板１０とを接着するシリコーン接着剤とエポキシ樹脂とが接着箇所で接触することになる。その結果、今回の評価条件のような、極端な温度変化を受ける環境下で使用した場合、シリコーン接着剤とエポキシ樹脂との間に線膨張係数差に起因する熱応力、又はシリコーン接着剤とエポキシ樹脂との極性の違いによるなじみ悪さにより、エポキシ樹脂にクラック・剥離が発生する。発生したクラック・剥離が、ベース板１０とエポキシ樹脂との間で剥離が進展し、さらには半導体素子１まで到達することにより、絶縁不良が発生する。このため、パワーモジュールの信頼性が劣化する。【０１３７】
［実施例１］
次に、実施の形態１の評価用サンプルの評価結果について説明する。実施の形態１では、ケース部材７の底面は、平面視において、ベース板１０の表面と重なる箇所が、断面視において、充填部材１２と接するケース部材７の内周側がベース板１０の表面に接する傾斜面７１（先細りしたテーパ形状）を備えている。このため、シリコーン接着剤とエポキシ樹脂とが接触しない構造となっている。【０１３８】
第一条件（−４０℃〜１２５℃）の試験評価では、３台のサンプルにおいて、５００サイクル後にも導通不良が発生せず、パワーモジュール１００が正常に動作することがわかった。このため、寿命試験では「○」と記載した。また、第二条件（−４０℃〜１５０℃）の試験評価においても、３台のサンプルにおいて、５００サイクル後には導通不良が発生せず、パワーモジュール１００が正常に動作することがわかった。このため、寿命試験では「○」と記載した。また、いずれの評価サンプルにおいても、寿命試験後の構造解析により、故障は見られず、故障モードは「−」と記載した（表１参照）。【０１３９】
［実施例２］
次に、実施の形態２の評価用サンプルの評価結果について説明する。実施の形態２では、ケース部材７の底面は、平面視において、ベース板１０の表面と重なる箇所が、断面視において、充填部材１２と接するケース部材７の内周側がベース板１０の表面に接する傾斜面７１（先細りしたテーパ形状）を備えている。また、ケース部材７の内周側にベース板１０の表面と接する平坦部７３を備えている。このため、シリコーン接着剤（接着剤９）とエポキシ樹脂（充填部材１２）とが接触しない構造となっている。【０１４０】
第一条件（−４０℃〜１２５℃）の試験評価では、３台のサンプルにおいて、５００サイクル後にも導通不良が発生せず、パワーモジュール２００が正常に動作することがわかった。このため、寿命試験では「○」と記載した。また、第二条件（−４０℃〜１５０℃）の試験評価においても、３台のサンプルにおいて、５００サイクル後には導通不良が発生せず、パワーモジュール１００が正常に動作することがわかった。このため、寿命試験では「○」と記載した。また、いずれの評価サンプルにおいても、寿命試験後の構造解析により、故障は見られず、故障モードは「−」と記載した（表１参照）。【０１４１】
［実施例３］
次に、実施の形態３の評価用サンプルの評価結果について説明する。実施の形態３では、ケース部材７の底面は、平面視において、ベース板１０の表面と重なる箇所が、断面視において、充填部材１２と接するケース部材７の内周側がベース板１０の表面に接する傾斜面７１（先細りしたテーパ形状）を備えている。また、ケース部材７の突出部７２は、内周側に、ベース板１０の裏面側へ向かうほどベース板１０の側面から遠ざかる第二の傾斜面７４を備えている。このため、シリコーン接着剤とエポキシ樹脂とが接触しない構造となっている。【０１４２】
第一条件（−４０℃〜１２５℃）の試験評価では、３台のサンプルにおいて、５００サイクル後にも導通不良が発生せず、パワーモジュール３００が正常に動作することがわかった。このため、寿命試験では「○」と記載した。また、第二条件（−４０℃〜１５０℃）の試験評価においても、３台のサンプルにおいて、５００サイクル後には導通不良が発生せず、パワーモジュール１００が正常に動作することがわかった。このため、寿命試験では「○」と記載した。また、いずれの評価サンプルにおいても、寿命試験後の構造解析により、故障は見られず、故障モードは「−」と記載した（表１参照）。【０１４３】
［実施例４］
次に、実施の形態４の評価用サンプルの評価結果について説明する。実施の形態４では、ケース部材７の底面は、平面視において、ベース板１０の表面と重なる箇所が、断面視において、充填部材１２と接するケース部材７の内周側がベース板１０の表面に接する傾斜面７１（先細りしたテーパ形状）を備えている。また、ケース部材７の内周側にベース板１０の表面の凹部７６に嵌込む嵌込部７５を備えている。このため、シリコーン接着剤とエポキシ樹脂とが接触しない構造となっている。【０１４４】
第一条件（−４０℃〜１２５℃）の試験評価では、３台のサンプルにおいて、５００サイクル後にも導通不良が発生せず、パワーモジュール４００が正常に動作することがわかった。このため、寿命試験では「○」と記載した。また、第二条件（−４０℃〜１５０℃）の試験評価においても、３台のサンプルにおいて、５００サイクル後には導通不良が発生せず、パワーモジュール１００が正常に動作することがわかった。このため、寿命試験では「○」と記載した。また、いずれの評価サンプルにおいても、寿命試験後の構造解析により、故障は見られず、故障モードは「−」と記載した（表１参照）。【０１４５】
［実施例５］
次に、実施の形態５の評価用サンプルの評価結果について説明する。実施の形態５では、ケース部材７の底面は、平面視において、ベース板１０の表面と重なる箇所が、断面視において、充填部材１２と接するケース部材７の内周側がベース板１０の表面に接する傾斜面７１（先細りしたテーパ形状）を備えている。実施の形態５では、ケース部材７の底面のケース部材の内周部側から外周部側まで（全面）が傾斜面７１となっている。このため、シリコーン接着剤とエポキシ樹脂とが接触しない構造となっている。【０１４６】
第一条件（−４０℃〜１２５℃）の試験評価では、３台のサンプルにおいて、５００サイクル後にも導通不良が発生せず、パワーモジュール５００が正常に動作することがわかった。このため、寿命試験では「○」と記載した。また、第二条件（−４０℃〜１５０℃）の試験評価においても、３台のサンプルにおいて、５００サイクル後には導通不良が発生せず、パワーモジュール１００が正常に動作することがわかった。このため、寿命試験では「○」と記載した。また、いずれの評価サンプルにおいても、寿命試験後の構造解析により、故障は見られず、故障モードは「−」と記載した（表１参照）。【０１４７】
これらの評価結果より、ケース部材７の内周側でケース部材７の底面とベース板１０の表面とを接触させ、シリコーン接着剤（接着剤９）とエポキシ樹脂（充填部材１２）との接触箇所を無くしたので、ヒートサイクル試験において剥離を生じない信頼性の高いパワーモジュールを得ることができた。【０１４８】
特に、半導体素子１として、ＳｉＣを用いた場合、電力半導体素子はその特徴を生かすために、Ｓｉの時と比較してより高温で動作させることになる。ＳｉＣデバイスを搭載するパワーモジュールにおいては、より高い信頼性が求められるため、高信頼のパワーモジュールを実現するという本発明のメリットはより効果的なものとなる。【０１４９】
上述した実施の形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと解されるべきである。本発明の範囲は、上述した実施形態の範囲ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更を含むものである。また、上記の実施形態に開示されている複数の構成要素を適宜組み合わせることにより発明を形成してもよい。
【符号の説明】
【０１５０】
１  半導体素子、２  セラミック板、３，４  金属層、５  絶縁基板、６  接合材、７，７００  ケース部材、８  電極端子、９  接着剤、１０  ベース板、１１  ボンディングワイヤ、１２  充填部材、１３  ディスペンサ、７１  傾斜面、７２，７２０  突出部、７３  平坦部、７４  第二の傾斜面、７５  嵌込部、７６  凹部、１００，２００，３００，４００，４１０，５００，６００，２００２  パワーモジュール、１０００  電源、２０００  電力変換装置、２００１  主変換回路、２００３  制御回路、３０００  負荷。
【要約】
封止樹脂と接着剤との剥離の発生を抑制したパワーモジュールを得る。表面に半導体素子（１）が搭載された絶縁基板（５）と、絶縁基板（５）の裏面に接合されたベース板（１０）と、ベース板（１０）とで絶縁基板（５）を取り囲み、底面の内周部側がベース板（１０）の表面と接し、底面にはベース板（１０）の外周側へ向かうほどベース板（１０）の表面から遠ざかる傾斜面（７１）を設けたケース部材（７）と、ベース板（１０）と傾斜面（７１）との間に充填されベース板（１０）とケース部材（７）とを接着する接着部材（９）と、ベース板（１０）とケース部材（７）とで囲まれた領域に充填される充填部材（１２）と、を備えたパワーモジュール。【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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