(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
質量流量制御器であって、
流体を受け取る流入口と、
前記流体が該質量流量制御器を通過する流路と、
外部のデバイスと通信し、該外部のデバイスから該質量流量制御器の論理構成要素に電力供給する近距離無線通信要素と、
前記流路を通る前記流体の質量流量に対応する信号を提供する質量流量センサーと、
該質量流量制御器の流出口の外部への前記流体の流量を調節するバルブと、
所望の質量流量率に基づいて前記バルブを制御することを含む動作を行う命令を実行するように構成された少なくとも１つの処理構成要素と、
外部のデバイスから電力を受信したことに応答して現在の構成パラメーターを自動的に表示するディスプレイとを備える質量流量制御器。
【請求項２】
前記少なくとも１つの処理構成要素は、
前記構成パラメーターをユーザー入力に基づいて調整することと、
前記外部のデバイスによって電力供給されている間に前記構成パラメーターをメモリに記憶することとを更に含む動作を行う命令を実行するように構成されている請求項１に記載の質量流量制御器。
【請求項３】
前記構成パラメーターは前記質量流量制御器の媒体アクセス制御識別子である請求項２に記載の質量流量制御器。
【請求項４】
前記構成パラメーターは前記質量流量制御器のボーレートである請求項２に記載の質量流量制御器。
【請求項５】
前記構成パラメーターをユーザー入力に基づいて調整することは、前記質量流量制御器上に配置された１つ又は複数のプッシュボタンからユーザー入力を受信したことに応答して行われる請求項２に記載の質量流量制御器。
【請求項６】
前記構成パラメーターをユーザー入力に基づいて調整することは、前記外部のデバイスから前記構成パラメーターを受信したことに応答して行われる請求項２に記載の質量流量制御器。
【請求項７】
ユニバーサルシリアルバス通信インターフェースを更に具備し、
前記少なくとも１つの処理構成要素は、所望の質量流量率に基づいて前記バルブを制御することを含む動作を行う命令を実行するように構成され、
外部のデバイスから電力を受信したことに応答して、前記ユニバーサルシリアルバス通信インターフェースを通じて、前記ディスプレイに現在の構成パラメーターを自動的に表示する請求項１に記載の質量流量制御器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、包括的には、質量流量制御器(MFC)の動作に関する。
【背景技術】
【０００２】
多くの産業プロセスは、様々なプロセス流体の正確な制御を必要とする。例えば、半導体産業では、質量流量制御器が、プロセスチャンバーに導入されるプロセス流体の量を正確に測定及び制御するために用いられる。流体という用語は、本明細書においては、流れることが可能な任意の状態にある任意のタイプの物質を説明するために用いられる。例えば、流体という用語は、液体、気体、蒸気、及び制御された流れが重要であり得る物質又は物の任意の組み合わせを含むスラリーに該当し得ることが理解されるべきである。
【０００３】
本発明の例示の実施形態が、添付された図を参照して以下で詳細に説明される。これらの図は、参照することによって本明細書の一部をなす。
【図面の簡単な説明】
【０００４】
【図１】開示の実施形態による質量流量制御器の構成要素を示す図である。
【図２】開示の実施形態による近距離無線通信(NFC)回路構成要素の一例を示す図である。
【図３】開示の実施形態による質量流量制御器のパラメーターを調整するプロセスを示すフローチャートである。
【図４】開示の実施形態による標準的なユニバーサルシリアルバス（ＵＳＢ）接続を有する質量流量制御器を用いた通信ネットワークの一例を示す図である。
【図５】開示の実施形態による複数のＵＳＢ構成の質量流量制御器を有する通信ネットワークの一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００５】
現在、或る電気構成（例えば、DeviceNet又はEtherCAT）を有する質量流量制御器(MFC)は、通常、媒体アクセス制御識別子(MacID)及びボーレート構成（ツール上のユニットごとに個別化される）を必要とする。この構成プロセスは、現在、顧客がアクセス可能であるとともに変更にはネジ回しを必要とするロータリースイッチを用いて行われている。ロータリースイッチを用いてMacIDを設定することは、問題に対して高価な解決策である。加えて、このプロセスは、MFCエンクロージャーに開口を必要とし、これは、コスト（余分な機械加工及び労力）及び電気雑音源になる。さらに、ロータリースイッチを用いてMacIDを設定することは、電力を印加することなく行うことができるが、電力は、結局のところ、変更が行われて正しく効力を生じていることを検証するために必要となる。
【０００６】
加えて、電気構成を有するMFCは、通常、接続、構成、及びデータ収集を行うのに、カスタムケーブル及びソフトウェアを必要とする。さらに、データ収集は、現在のところ、任意のリアルタイムデータ収集を行うには、コンピューターをMFCに物理的に接続することを必要とする。
【０００７】
従って、開示された発明は、上記問題に対して１つ又は複数の解決策を提供しようとする。例えば、１つの実施形態では、開示された発明は、高価なスイッチを用いることなくかつ電力ケーブルを必要とすることなく、MacID及びボーレートの設定の変更を可能にするMFCを含む。別の実施形態では、開示された発明は、製造プロセス、データ交換、及び顧客の場所におけるインストール中の通信に既製のケーブル及びハブの使用を可能にする標準的なユニバーサルシリアルバス（ＵＳＢ）接続を備えるMFCを含む。
【０００８】
開示の実施形態及びこれらの実施形態の利点は、図面の図１〜図５を参照することによって最も良く理解される。同様の参照符号は、様々な図面の同様の対応する部分に用いられている。開示の実施形態の他の特徴及び利点は、当業者には、以下の図及び詳細な説明を検討すると明らかであるか又は明らかになる。全てのそのような追加の特徴及び利点は、開示の実施形態の範囲内に含まれるように意図されている。さらに、示された図は、例示にすぎず、異なる実施形態を実施することができる環境、アーキテクチャー、設計、又はプロセスに関していかなる限定も主張又は意味することを意図するものではない。
【０００９】
図１は、開示の実施形態による質量流量制御器１００の構成要素を示している。１つの実施形態では、質量流量制御器１００は、この質量流量制御器の構成要素が取り付けられたプラットフォームであるブロック１１０を備える。MFCの構成要素の大半はハウジング１０４内において統合されている。熱式質量流量計１４０及びバルブアセンブリ１５０が、ブロック１１０上において、流体流入口１２０と流体流出口１３０との間に取り付けられている。他の実施形態では、熱式質量流量計１４０は、ブロック１１０を用いずにバルブアセンブリ１５０に直接ボルト留めすることができる。バルブアセンブリ１５０は、制御バルブ１７０を備える。幾つかの実施形態では、制御バルブ１７０は、ソレノイドバルブ又はピエゾバルブのうちの一方とすることができる。熱式質量流量計１４０は、通常は流体の大部分が流れるバイパス１４２と、その流体のより少量な一部分が流れる熱式流量センサー１４６とを備える。
【００１０】
熱式流量センサー１４６は、取付板又は基部１０８上に取り付けられたセンサーハウジング１０２（センサー１４６を示すために除去された状態で示された部分）内に収容されている。センサー１４６は、通常は毛管と呼ばれる小さな直径の管であり、センサー流入口部分１４６Ａと、センサー流出口部分１４６Ｂと、２つの抵抗コイル又は抵抗巻き線１４７、１４８が周囲に配置されたセンサー測定部分１４６Ｃとを有する。動作時には、電流が２つの抵抗巻き線１４７、１４８に提供され、これらの抵抗巻き線は、センサー測定部分１４６Ｃと熱接触する。抵抗巻き線１４７、１４８内の電流は、測定部分１４６内を流れる流体を、バイパス１４２を通って流れる流体の温度よりも高い温度に加熱する。巻き線１４７、１４８の抵抗は、温度とともに変化する。流体がセンサー導管を通って流れるにつれて、熱は、上流抵抗器１４７から下流抵抗器１４８に向かって運ばれ、この温度差は、センサーを通る質量流量率に比例する。
【００１１】
センサーを通る流体流量に関係した電気信号が、２つの抵抗巻き線１４７、１４８から取り出される。この電気信号は、抵抗巻き線の抵抗の差又は各巻き線を特定の温度に維持するために各抵抗巻き線に提供されるエネルギーの量の差等から、複数の異なる方法で取り出すことができる。熱式質量流量計内の流体の流量率に相関する電気信号を求めることができる様々な方法の例は、例えば、同一出願人による米国特許第6,845,659号に記載されている。この米国特許は本願と一体をなすものとして引用する。抵抗巻き線１４７、１４８から取り出された電気信号は、信号処理後はセンサー出力信号を構成する。
【００１２】
センサー出力信号は、電気信号が測定された時に流体流量を求めることができるように、質量流量計内の質量流量に相関される。流量計を通る総流量を求めることができ、それに応じて、制御バルブ１７０を制御することができるように、センサー出力信号は、通常は、まずセンサー１４６内の流量に相関され、この流量は、次に、バイパス１４２内の質量流量に相関される。センサー出力信号と流体流量との間の相関は、複雑であり、流体の種類、流量率、流入口及び／又は流出口の圧力、温度等を含む複数の動作条件に依存する。
【００１３】
バイパス１４２は、その場合、センサーに取り付けることができ、流量計を通る総流量をセンサー出力信号から求めることができるように、バイパス１４２は、既知の流体を用いて調節され、質量流量センサー内を流れる流体と、様々な既知の流量率でバイパス内を流れる流体との間の適切な関係が求められる。幾つかの質量流量制御器では、バイパスは用いられず、全流量がセンサーを通過する。質量流量センサー部分及びバイパス１４２は、その場合、制御バルブ及び制御電子機器部分に結合することができ、次いで、この場合も、既知の条件下で調節される。制御電子機器及び制御バルブの応答は、その場合、設定点又は入力圧力の変化に対するシステムの全体応答が既知であるように特徴付けられ、この応答は、所望の応答を提供するようにシステムを制御するために用いることができる。
【００１４】
加えて、質量流量制御器１００は、或る地点において流路に結合された圧力変換器１１２を備えることができる。この或る地点は、通常、流路内の圧力を測定するためにバイパス１４２の上流であるが、これに限定されるものではない。圧力変換器１１２は、圧力を示す圧力信号を提供する。
【００１５】
制御電子機器１６０は、所望の質量流量率を示す設定点と、センサー導管内を流れる流体の実際の質量流量率を示す質量流量センサーからの電気流量信号とに従って制御バルブ１７０の位置を制御するために用いられる。幾つかの実施形態では、その場合、比例制御、積分制御、比例積分（ＰＩ）制御、微分制御、比例微分（ＰＤ）制御、積分微分（ＩＤ）制御、及び比例積分微分（ＰＩＤ）制御等の従来のフィードバック制御方法が、質量流量制御器内の流体の流量を制御するために用いられる。他の実施形態は、いずれのＰＩＤタイプの制御も用いないモデルベースの制御器を用いる場合がある。制御信号（例えば、制御バルブ駆動信号）が、流体の所望の質量流量率を示す設定点信号と、質量流量センサーによって検知された実際の質量流量率に関係したフィードバック信号との差である誤差信号に基づいて生成される。制御バルブは、メイン流体流路（通常、バイパス及び質量流量センサーの下流）に位置決めされ、メイン流体流路を通って流れる流体の質量流量率を変化させるように制御（例えば、開放又は閉鎖）することができる。この制御は、質量流量制御器によって提供される。
【００１６】
図示された例では、流量率は、電気導体１５８によって閉ループシステム制御器１６０に電圧信号として供給される。この信号は、増幅され、処理され、そして、流量を変更するために、電気導体１５９を用いてバルブアセンブリ１５０に供給される。このために、制御器１６０は、質量流量センサー１４０からの信号を所定の値と比較し、それに応じて制御バルブ１７０を調整して所望の流量を達成する。
【００１７】
図１は、質量流量制御器１００が熱式質量流量センサーを備えることを示しているが、質量流量制御器１００は、開示の実施形態によれば、コリオリ型センサー又は差圧型センサーを含む他のタイプの質量流量センサーを利用することができる。コリオリベースのセンサーを用いることの利点は、温度、流量プロファイル、密度、粘度、及び均質性とは無関係に質量流量を求めることが可能であるということである。加えて、差圧型センサーは、気体制御には一般的になってきている。
【００１８】
加えて、質量流量制御器１００の上記説明は、電圧信号の使用を開示しているが、幾つかの実施形態では、質量流量制御器１００は、信号がセンサーへのデジタルコマンド及びセンサーからのデジタルコマンド並びにバルブへのデジタルコマンド及びバルブからのデジタルコマンドである分散型電子機器を備えることができる。
【００１９】
上記のように、１つの実施形態によれば、高価なスイッチを用いることなくかつ電力ケーブルを必要とすることなくMFC内の設定の変更を可能にする質量流量制御器が開示される。例えば、１つの実施形態では、質量流量制御器は、近距離無線通信(NFC)回路構成要素２００を備えるように変更される。この構成要素２００は、図２に示された例示のプリント回路基板(PCB)等であるが、これらに限定されるものではない。
【００２０】
NFCは、スマートフォン及び同様のデバイスが、それらをともにタッチすることによって又はそれらを通例数センチメートル以下に近接させることによって、互いとの無線通信を確立する標準規格のセットである。NFC標準規格は、通信プロトコル及びデータ交換フォーマットを包含し、既存の無線周波数識別(RFID)標準規格に基づいている。無線周波数識別は、無線周波数電磁場を用いてデータを物体に取り付けられたタグから転送する無線非接触システムを、これらの目的に限定されるものではないが自動識別及び自動追跡のような目的に用いるものである。例えば、１つの実施形態では、NFC回路構成要素２００は、無線周波数（ＲＦ）インターフェースを提供するアンテナ２１４を備える。
【００２１】
１つの実施形態では、近距離無線通信(NFC)通信回路構成要素２００は、マイクロプロセッサ２０２、温度センサー２０４、マイクロ電子機械システム(MEMS)構成要素２０６のうちの１つ又は複数も備えることができる。幾つかの実施形態では、NFC回路構成要素２００は、RFIDモードにおいて、RFID通信インターフェーススイッチ２１０を用いて、電気的消去可能プログラマブル読み出し専用メモリ(EEPROM)２１２又は他のメモリ構成要素に対して読み出し及び書き込みを行うように構成することができる。代替的に、幾つかの実施形態では、NFC回路構成要素２００は、MFCのメモリ構成要素に対して直接読み出し及び書き込みを行うように構成することができる。
【００２２】
第１の実施形態では、NFC回路構成要素２００はMFCに電力を提供するために用いられる。１つの実施形態では、MacIDの設定を担当するMFC内の回路に電力供給するには、限られた量の利用可能な電力で十分である。この実施形態では、質量流量制御器は、デバイスのMacIDを表示するＬＣＤディスプレイを備えることができ、MacIDを所望の新たな値に変更するために用いられる一組のプッシュボタンも備えることができる。開示された質量流量制御器は、その後、RFIDリーダーを有する任意のデバイスと通信することができる。例えば、ほとんどの現代の電話機は、今やNFC電力源を設けている。また、任意のRFIDワンドリーダー及びマウスパッドタイプRFIDリーダーも用いることができる。
【００２３】
１つの実施形態では、図３に示すように、質量流量制御器は、NFC電力が印加されると（ステップ３０２）、アルゴリズム３００を自動的に実行して、現在のMacID又は他の設定を自動的に表示する（ステップ３０４）ようにプログラムされている。アルゴリズム３００は、次に、ユーザー入力に基づいてMacID又は他の設定を調整する（ステップ３０６）。例えば、１つの実施形態では、MacIDは、質量流量制御器上に配置された１つ又は複数のプッシュボタンを用いて、（上下に）適宜変更することができる。幾つかの実施形態では、MacIDは、変更していることを示す他の或る表示を点滅させ又は提供することができる。その後、アルゴリズム３００は、NFC源によって電力供給されている間、新たな値（複数の場合もある）を不揮発性メモリに書き込む（ステップ３０８）。設定の検査を簡単にするために、NFCホストデバイスを単純にMFCの隣に位置決めすることができ、ディスプレイは、現在のMacIDを点灯して示す。幾つかの実施形態では、MacIDは、ホストデバイス上に表示することができる。
【００２４】
第２の実施形態では、ホストNFCデバイスは、NFCプロトコルを介して通信するアプリケーション又はソフトウェアを実行して、新たなボーレート及びMacIDの構成設定を質量流量制御器に送信することもできる。この実施形態では、MFCに物理的に接触することは必要ではない。セキュリティは、暗号化を通じて対処することができる。１つの実施形態では、RFIDリーダー上で実行されるソフトウェア（又はスマートフォン上の「ａｐｐ」）を用いて、幾つかのパラメーターをMFCの内部に設定することができる。これらのパラメーターには、MacIDが含まれるが、これに限定されるものではない。
【００２５】
さらに、別の実施形態では、開示された発明は、製造プロセス用の既製のケーブル及びハブの使用を可能にする１つ又は複数のユニバーサルシリアルバス（ＵＳＢ）接続１８２を備えるMFCを含む。１つの実施形態では、ＵＳＢ接続１８２は、質量流量制御器の最上部に位置決めされる。しかしながら、ＵＳＢ接続１８２は、他の場所に位置決めすることもできる。これらの他の場所は、質量流量制御器の１つ又は複数の側面等であるが、これらに限定されるものではない。
【００２６】
１つの実施形態では、ユーザーがMFCの電源を投入する必要なく、情報をMFCと交換するか若しくは情報を取り出し、又はMFCを構成する（例えば、MacIDを変更する）のに、ＵＳＢプロトコルが用いられる。例えば、ＵＳＢプロトコルは、５Ｖにおいて５００ｍＡまで許容し、これは、外部の電源装置を必要とすることなくMFCの論理構成要素に電力供給するために十分である。ＵＳＢインターフェースは、バルブ又はセンサー等のデバイスの制御部分ではなく、データ交換を可能にするデバイスの論理機能に電力供給するために用いることができる。
【００２７】
質量流量制御器は、ＵＳＢケーブルを用いて、全ての製造プロセスについて外部のシステム（パーソナルコンピューター又はラップトップ等であるが、これらに限定されるものではない）からMFCに通信する命令、Multifloをセットアップする命令、又は他の顧客構成を行う命令を実行する。１つの実施形態では、図４に示すように、MFC４１０は、ＵＳＢケーブル４２０を通して接続することができ、ホストコンピューター４３０上では、既存のソフトウェアを用いてアクセスすることができるＣＯＭポートとして見ることができ、そのため、ホスト側では、変更が必要でない。上記構成の１つの利点は、この構成によって、既存の製造プロセスが、インストールされたソフトウェアと互換性を保ちながら新たな技術を利用することが可能になるということである。
【００２８】
別の実施形態では、MFCは、例えばＵＳＢストレージドライブのような「マスストレージデバイス」として見え、ホストコンピューターは、データファイルをこのデバイスに及びこのデバイスから転送することができる。デバイスから転送することができるデータの例には、過去の事象のログファイル、デバイス上で実行された以前の指示（recipes）のログファイル、及び「ブラックボックスレコーダー」タイプの情報が含まれるが、これらに限定されるものではない。このデバイスに転送することができるデータの例には、実行される将来の指示、新たな較正表、新たな調節表、マルチガスデバイス用の新たなガス表、データストリーミングログ、工場構成等が含まれるが、これらに限定されるものではない。ファームウェア及びデータベースを、フィールドサービスエンジニアによる取り出し用の保護されたエリアに記憶することもできる。データ収集は、１度セットアップすることもできるし、デフォルトによって有効にすることもでき、ログファイルは、デバイスのマスストレージセクションにおいて作成される。
【００２９】
別の実施形態では、「ＵＳＢスティック内のバッテリー」モジュールを通じてMFCに電力供給して、上述したようなパラメーターの設定をNFC部分において可能にすることができる。別の実施形態では、スマートフォン、タブレット、又は他の移動デバイスをＵＳＢポートを通じてMFCに接続して、この移動デバイスを用いたデータ交換及びデバイス構成を可能にすることができる。
【００３０】
さらに、別の実施形態では、MFCは、標準的なＵＳＢメモリスティックがデバイスにプラグ接続されている間、ホストとして動作することができる。MFCは、その場合、上記で既述したように、様々な手段を通じて、データをメモリスティックへ及び／又はメモリスティックから転送するように命令を受けることができる。
【００３１】
図５は、製造向けの複数のMFC構成の一例を示している。電力は、別個の電源装置５１０によって提供される。１つの実施形態では、コンピューターは、複数の質量流量制御器上で他のプロセスを同時に又は１つずつ較正又は実行することができる。これらの複数の質量流量制御器は、質量流量制御器５１２〜５１６等であるが、これらに限定されるものではない。質量流量制御器５１２〜５１６は、ホストコンピューター５２０に直接接続することもできるし、代替的に、質量流量制御器５１２〜５１６は、ＵＳＢハブ５１８に接続することもでき、このＵＳＢハブ５１８は、次に、図５に示すようにホストコンピューター５２０に結合される。
【００３２】
従って、開示された発明は、MFCの様々な実施形態を提供する。開示された発明の例には、近距離無線通信を用いてMacIDの変更を可能にするMFCが含まれる。別の実施形態では、開示された発明は、製造プロセス用の既製のケーブル及びハブの使用を可能にする標準的なＵＳＢ接続を備えるMFCを含む。さらに、幾つかの実施形態では、MFCは、NFC通信回路構成要素及びＵＳＢ通信インターフェースの双方とともに構成することができる。
【００３３】
上記実施形態についての具体的な詳細が説明されているが、上記説明は、単に例示の実施形態として意図されているにすぎず、開示の実施形態の構造も実施態様も限定することを意図するものではない。
【００３４】
当業者であれば、本教示が、様々に変更したもの及び／又は高度化したものに補正可能であることを認識するであろう。例えば、上記説明は、MFCを特に記載しているが、当業者であれば、開示の実施形態のうちの幾つかを、質量流量計(MFM)、圧力計、圧力制御器、可変面積流量計、圧力に基づくMFC、又は他の同様の測定デバイスに実装することもできることを認識するであろう。
【００３５】
上記内容は、最良の形態及び／又は他の例とみなされるものを説明したものであるが、様々な変更を行うことができるとともに、本明細書において開示された主題は、様々な形態及び例において実施することができることが理解され、また、本教示は、数多くの用途において適用することができることが理解される。これらの数多くの用途のうちの一部のみが、本明細書において説明されている。そのような変更は、本教示の真の範囲内に包含されるように意図されている。
【００３６】
本明細書において用いられている術語は、特定の実施形態を説明するためのものにすぎず、本発明を限定することを意図するものではない。数量を指定していない名詞は、本明細書において用いられるとき、文脈上明らかに別段の指定がない限り、単数形だけでなく複数形も含むように意図されている。「備える」及び／又は「含む」という用語は、この明細書及び特許請求の範囲において用いられるとき、明記された特徴、完全体、ステップ、動作、要素、及び／又は構成要素の存在を指定しているが、１つ又は複数の他の特徴、完全体、ステップ、動作、要素、構成要素、及び／又はそれらの群の存在又は追加を排除するものではないことが更に理解されるであろう。添付の特許請求の範囲における全ての手段又はステップに機能を加えた要素の対応する構造、材料、動作、及び均等物は、その機能を、具体的に請求項に記載されている他の請求項記載の要素と組み合わせて実行するための任意の構造、材料、又は動作を含むように意図されている。本発明の説明は、例示及び説明の目的で提示されており、網羅的であることも、開示された形態の発明に限定されることも意図するものではない。本発明の範囲及び趣旨から逸脱することなく、多くの変更形態及び変形形態が当業者に明らかであろう。実施形態は、本発明の原理及び実用的な用途を説明するとともに、他の当業者が、考慮されている特定の使用に適するように様々な変更を有する様々な実施形態について本発明を理解することを可能にするために選ばれて記載されたものである。請求項の範囲は、開示の実施形態及び任意のそのような変更を広く包含するように意図されている。
なお、本発明は以下の特徴を以って実施することができる。
［特徴１］
質量流量制御器であって、
流体を受け取る流入口と、
前記流体が該質量流量制御器を通過する流路と、
近距離無線通信構成要素と、
前記流路を通る前記流体の質量流量に対応する信号を提供する質量流量センサーと、
該質量流量制御器の流出口の外部への前記流体の流量を調節するバルブと、
所望の質量流量率に基づいて前記バルブを制御することを含む動作を行う命令を実行するように構成された少なくとも１つの処理構成要素とを備える質量流量制御器。
［特徴２］
前記少なくとも１つの処理構成要素は、
前記質量流量制御器の通信インターフェースにおいて外部のデバイスから電力を受信したことに応答して現在の構成パラメーターを自動的に表示することと、
前記構成パラメーターをユーザー入力に基づいて調整することと、
前記外部のデバイスによって電力供給されている間に前記構成パラメーターをメモリに記憶することとを更に含む動作を行う命令を実行するように構成されている特徴１に記載の質量流量制御器。
［特徴３］
前記構成パラメーターは前記質量流量制御器の媒体アクセス制御識別子である特徴２に記載の質量流量制御器。
［特徴４］
前記構成パラメーターは前記質量流量制御器のボーレートである特徴２に記載の質量流量制御器。
［特徴５］
前記質量流量制御器に電力を提供する前記通信インターフェースは、前記近距離無線通信構成要素である特徴２に記載の質量流量制御器。
［特徴６］
前記質量流量制御器に電力を提供する前記通信インターフェースは前記質量流量制御器のユニバーサルシリアルバス通信インターフェースである特徴２に記載の質量流量制御器。
［特徴７］
前記構成パラメーターをユーザー入力に基づいて調整することは、前記質量流量制御器上に配置された１つ又は複数のプッシュボタンからユーザー入力を受信したことに応答して行われる特徴２に記載の質量流量制御器。
［特徴８］
前記構成パラメーターをユーザー入力に基づいて調整することは、前記外部のデバイスから前記構成パラメーターを受信したことに応答して行われる特徴２に記載の質量流量制御器。
［特徴９］
質量流量制御器であって、
流体を受け取る流入口と、
前記流体が該質量流量制御器を通過する流路と、
ユニバーサルシリアルバス通信インターフェースと、
前記流路を通る前記流体の質量流量に対応する信号を提供する質量流量センサーと、
該質量流量制御器の流出口の外部への前記流体の流量を調節するバルブと、
所望の質量流量率に基づいて前記バルブを制御することを含む動作を行う命令を実行するように構成された少なくとも１つの処理構成要素とを備える質量流量制御器。
［特徴１０］
前記少なくとも１つの処理構成要素は、
前記質量流量制御器の通信インターフェースにおいて外部のデバイスから電力を受信したことに応答して現在の構成パラメーターを自動的に表示することと、
前記構成パラメーターをユーザー入力に基づいて調整することと、
前記外部のデバイスによって電力供給されている間に前記構成パラメーターをメモリに記憶することとを更に含む動作を行う命令を実行するように構成されている特徴９に記載の質量流量制御器。
［特徴１１］
前記構成パラメーターは前記質量流量制御器の媒体アクセス制御識別子である特徴１０に記載の質量流量制御器。
［特徴１２］
前記構成パラメーターは前記質量流量制御器のボーレートである特徴１０に記載の質量流量制御器。
［特徴１３］
近距離無線通信構成要素を更に備える特徴１０に記載の質量流量制御器。
［特徴１４］
質量流量制御器を構成する方法であって、
前記質量流量制御器の通信インターフェースにおいて外部のデバイスから電力を受信したことに応答して現在の構成パラメーターを自動的に表示することと、
前記構成パラメーターをユーザー入力に基づいて調整することと、
前記外部のデバイスによって電力供給されている間に前記構成パラメーターをメモリに記憶することとを含む質量流量制御器を構成する方法。
［特徴１５］
前記構成パラメーターは前記質量流量制御器の媒体アクセス制御識別子である特徴１４に記載の方法。
［特徴１６］
前記構成パラメーターは前記質量流量制御器のボーレートである特徴１４に記載の方法。
［特徴１７］
前記質量流量制御器に電力を提供する前記通信インターフェースは近距離無線通信インターフェースである特徴１４に記載の方法。
［特徴１８］
前記質量流量制御器に電力を提供する前記通信インターフェースはユニバーサルシリアルバス通信インターフェースである特徴１４に記載の方法。
［特徴１９］
前記構成パラメーターをユーザー入力に基づいて調整することは、前記質量流量制御器上に配置された１つ又は複数のプッシュボタンからユーザー入力を受信したことに応答して行われる特徴１４に記載の方法。
［特徴２０］
前記構成パラメーターをユーザー入力に基づいて調整することは、前記外部のデバイスから前記構成パラメーターを受信したことに応答して行われる特徴１４に記載の方法。
【符号の説明】
【００３７】
１００    質量流量制御器
１０２    センサーハウジング
１０４    ハウジング
１０８    基部
１１０    ブロック
１１２    圧力変換器
１２０    流体流入口
１３０    流体流出口
１４０    熱式質量流量計
１４２    バイパス
１４６    熱式流量センサー
１４６Ａ    センサー流入口部分
１４６Ｂ    センサー流出口部分
１４６Ｃ    センサー測定部分
１４７    上流抵抗器
１４８    下流抵抗器
１５０    バルブアセンブリ
１５８    電気導体
１５９    電気導体
１６０    制御器
１７０    制御バルブ
２００    近距離無線通信(NFC)通信回路構成要素
２０２    マイクロプロセッサ
２０４    温度センサー
２０６    マイクロ電子機械システム(MEMS)構成要素
２１０    通信インターフェーススイッチ
２１２    専用メモリ(EEPROM)
２１４    アンテナ
３００    アルゴリズム
４２０    ケーブル
４３０    ホストコンピューター
５１０    電源装置
５１８    ハブ
５２０    ホストコンピューター]
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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