(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
駆動部により第１方向に駆動される枠状の駆動マスと、
平面視にて、前記駆動マスに対して、前記第１方向と直交する方向に沿って配置されているつづら折り状の検出用バネ部により前記枠状の駆動マスの内側に連結されている検出マスと、
一端が前記駆動マスに連結され、他端が前記基板上に設けられている第１アンカー部に固定されている駆動用バネ部と、
前記第１アンカー部に接続され、前記第１方向に沿って前記駆動マスと並んで配置され、前記駆動マスに電気的に接続されている第１の島部と、
前記駆動マスの前記第１の島部に対向している面、及び前記第１の島部の前記駆動マスに対向している面の少なくとも一方に設けられている第１の突起と、
平面視で、前記基板の前記駆動マス、及び前記検出マスの少なくとも一方と重なる位置に設けられている第４の突起と、
を含み、
前記第４の突起は、前記基板と一体形成されており、
前記駆動部は、
前記駆動マスに接続されている可動電極部と、
前記可動電極部に対向して設けられている固定電極部と、
を含み、
前記検出マスは、
前記検出マスに接続されている検出用の可動電極と、
前記検出用の可動電極と対向するように配置されている検出用の固定電極と、
を含み、
前記駆動マスと、前記第１の島部と、の間の最短距離は、前記駆動マスの駆動振幅よりも大きく、且つ、前記可動電極部の最大振幅よりも小さい、
ことを特徴とするジャイロセンサー。
【請求項２】
請求項１において、
前記第１の島部は、
前記駆動マスに対向している位置の一部が、前記駆動マスに向けて張り出し、前記駆動マスとの間の距離を規定する第１の距離規定部を含み、
前記第１の突起は、
前記駆動マスの前記第１の距離規定部に対向している面、及び前記第１の距離規定部の前記駆動マスに対向している面の少なくとも一方に設けられている、
ことを特徴とするジャイロセンサー。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記駆動マスは、前記第１方向に沿って、２つ設けられ、
前記２つの前記駆動マスを連結し、中間部が第２アンカー部で固定されている連結バネ部と、
前記２つの前記駆動マスの間に配置され、前記第２アンカー部に接続されている第２の島部と、
前記駆動マスの前記第２の島部に対向している面、及び前記第２の島部の前記駆動マスに対向している面の少なくとも一方に設けられている第２の突起と
を含む、
ことを特徴とするジャイロセンサー。
【請求項４】
請求項３において、
前記第２の島部は、
前記２つの駆動マスの各々に対向している各々の位置の一部が、前記２つの駆動マスの各々に向けて張り出し、前記駆動マスとの間の距離を規定する第２の距離規定部を含み、
前記第２の突起は、
前記駆動マスの前記第２の距離規定部に対向する面、及び前記第２の距離規定部の前記駆動マスに対向する面の少なくとも一方に設けられている、
ことを特徴とするジャイロセンサー。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一項において、
前記第１の島部は、前記第１方向に交差する方向に沿って少なくとも一対設けられている、
ことを特徴とするジャイロセンサー。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか一項において
前記検出マス、及びと前記検出用バネ部の少なくとも一方に第３の突起が設けられている、
ことを特徴とするジャイロセンサー。
【請求項７】
請求項１乃至６の何れか一項に記載のジャイロセンサーを備えている、
ことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ジャイロセンサー及びそれを用いた電子機器に関し、特に駆動系の破損と貼り付きを防止するジャイロセンサー及びそれを用いた電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ジャイロセンサーは、デジタルカメラ、ビデオカメラ、携帯電話機、カーナビゲーションシステム等の電子機器の角速度を検出し、姿勢制御等を行うためにこれらの電子機器に搭載されている。ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）静電容量型のジャイロセンサーは、駆動系と検出系を有し、一定の振動数で振動している駆動系及びこれに連動している検出系に角速度が加わった時に、当該検出系に生じるコリオリ力を検出系（可動電極）と固定電極の静電容量の変化として検出することにより角速度を検出するが、駆動系は検出系の外側を囲うように配置される場合が多い。さらに、加速度成分を相殺して角速度のみを検出するために、駆動系・検出系のユニットを２つ並べて配置する場合が多いが、このような場合、２つの駆動系は逆位相で駆動され、反対方向に振動する。したがって、ジャイロセンサーの駆動電極に過度な電圧等の物理量を印加したり、ジャイロセンサーを落下させたりすると、駆動系は外側に配置された素子と衝突したり、２つの駆動系同士が衝突したりして、破損する危険性がある。また、特にシリコンを用いたジャイロセンサーにおいては、電極表面に発生した電荷が引き付けあって、電極同士が貼り付いて離れなくなる危険性がある。
【０００３】
特許文献１には、物理量によって変位可能な可動電極と、可動電極と微小な空隙を隔てて対向した固定電極とを備えた容量式力学量センサーが開示されている。可動電極と固定電極との固着を抑制するために、可動電極と固定電極との少なくとも一方の電極において、当該一方の電極から他方の電極に向けて高低差を設けた突起を形成し、電極同士または固定部と錘部同士が固着するのを防止することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−２２８６８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の容量式力学量センサーにおいては、可動電極に対向する固定電極の側面に突起部を設けているが、突起部を形成する分、電極間距離を大きくする必要があり素子の小型化を阻害する要因となる。
本発明は、衝突により素子同士が貼り付くのを防止するジャイロセンサー及びそれを用いた電子機器を提供することを目的とする。また、固定電極と可動電極との間に突起を形成しなくても、衝撃による固定電極と可動電極との接触を回避可能なジャイロセンサー及びそれを用いた電子機器を提供することを目的とする。また、衝突により素子が破損するのを防止するジャイロセンサー及びそれを用いた電子機器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
第１の形態に係るジャイロセンサーは、基板と、駆動部により第１方向に駆動される枠状の駆動マスと、平面視にて、前記駆動マスに対して、前記第１方向と直交する方向に沿って配置されているつづら折り状の検出用バネ部により前記枠状の駆動マスの内側に連結されている検出マスと、一端が前記駆動マスに連結され、他端が前記基板上に設けられている第１アンカー部に固定されている駆動用バネ部と、前記第１アンカー部に接続され、前記第１方向に沿って前記駆動マスと並んで配置され、前記駆動マスに電気的に接続されている第１の島部と、前記駆動マスの前記第１の島部に対向している面、及び前記第１の島部の前記駆動マスに対向している面の少なくとも一方に設けられている第１の突起と、平面視で、前記基板の前記駆動マス、及び前記検出マスの少なくとも一方と重なる位置に設けられている第４の突起と、を含み、前記第４の突起は、前記基板と一体形成されており、前記駆動部は、前記駆動マスに接続されている可動電極部と、前記可動電極部に対向して設けられている固定電極部と、を含み、前記検出マスは、前記検出マスに接続されている検出用の可動電極と、前記検出用の可動電極と対向するように配置されている検出用の固定電極と、を含み、前記駆動マスと、前記第１の島部と、の間の最短距離は、前記駆動マスの駆動振幅よりも大きく、且つ、前記可動電極部の最大振幅よりも小さい、ことを特徴とするジャイロセンサー。
第２の形態に係るジャイロセンサーは、第１の形態において、前記第１の島部は、前記駆動マスに対向している位置の一部が、前記駆動マスに向けて張り出し、前記駆動マスとの間の距離を規定する第１の距離規定部を含み、前記第１の突起は、前記駆動マスの前記第１の距離規定部に対向している面、及び前記第１の距離規定部の前記駆動マスに対向している面の少なくとも一方に設けられている、ことを特徴とするジャイロセンサー。
第３の形態に係るジャイロセンサーは、第１又は第２の形態において、前記駆動マスは、前記第１方向に沿って、２つ設けられ、前記２つの前記駆動マスを連結し、中間部が第２アンカー部で固定されている連結バネ部と、前記２つの前記駆動マスの間に配置され、前記第２アンカー部に接続されている第２の島部と、前記駆動マスの前記第２の島部に対向している面、及び前記第２の島部の前記駆動マスに対向している面の少なくとも一方に設けられている第２の突起とを含む、ことを特徴とするジャイロセンサー。
第４の形態に係るジャイロセンサーは、第３の形態において、前記第２の島部は、前記２つの駆動マスの各々に対向している各々の位置の一部が、前記２つの駆動マスの各々に向けて張り出し、前記駆動マスとの間の距離を規定する第２の距離規定部を含み、前記第２の突起は、前記駆動マスの前記第２の距離規定部に対向する面、及び前記第２の距離規定部の前記駆動マスに対向する面の少なくとも一方に設けられている、ことを特徴とするジャイロセンサー。
第５の形態に係るジャイロセンサーは、第１乃至第４のいずれか一形態において、前記第１の島部は、前記第１方向に交差する方向に沿って少なくとも一対設けられている、ことを特徴とするジャイロセンサー。
第６の形態に係るジャイロセンサーは、第１乃至第５のいずれか一形態において、前記検出マス、及びと前記検出用バネ部の少なくとも一方に第３の突起が設けられている、ことを特徴とするジャイロセンサー。
第７の形態に係る電子機器は、第１乃至第６の何れか一形態に記載のジャイロセンサーを備えている、ことを特徴とする電子機器。
［適用例１］駆動部により第１方向に駆動される駆動マスと、前記駆動マスに連結された検出マスと、一端が前記駆動マスに連結され、他端が第１アンカー部に固定された駆動用バネ部と、前記第１アンカー部に接続され、前記駆動マスに隣接して配置されるとともに当該駆動マスに電気的に接続された第１の島部と、前記駆動マスの前記第１の島部に対向する面と前記第１の島部の前記駆動マスに対向する面との少なくとも一方に設けられた突起と、を備え、前記駆動部は、前記駆動マスに接続された可動電極部と、前記可動電極部に対向して設けられた固定電極部と、を含み、前記駆動マス及び前記第１の島部の間の最短距離は、前記駆動マスの駆動振幅よりも大きく、且つ、前記可動電極部の最大振幅よりも小さいことを特徴とするジャイロセンサー。
【０００７】
本発明によれば、駆動マスが大きく振動して突起が衝突しても、突起により衝撃が緩衝されるため、駆動マスの破損を防ぐことができる。また、突起に衝突した際の接触面積は小さく、且つ駆動マスと突起と第一の島部とは電気的に接続されており同電位となっているため、突起と、第１の島部又は駆動マスとの貼り付きを防止することができる。また、駆動マスを設計された駆動振幅で振動させることができるとともに、固定電極部と可動電極部との間に突起を形成しなくても、固定電極部と可動電極部との接触を回避することができる。
【０００８】
［適用例２］前記第１の島部は、前記駆動マスに対向する位置に向けて延設され、前記駆動マスとの距離を規定する第１の距離規定部を備え、前記突起は、前記駆動マスの前記第１の距離規定部に対向する面と前記第１の距離規定部の前記駆動マスに対向する面との少なくとも一方に設けられていることを特徴とする適用例１に記載のジャイロセンサー。
本発明によれば、第１の距離規定部によって、設けられた突起と、該突起に対向する素子（突起、駆動マス、又は第１の距離規定部）との距離を調整することができる。
【０００９】
［適用例３］前記駆動マスは、前記第１方向に沿って２つ設けられており、前記２つの前記駆動マスを連結し、中間部が第２アンカー部で固定された連結バネ部と、前記２つの前記駆動マスの間に配置され、前記第２アンカー部に接続された第２の島部と、前記駆動マスの前記第２の島部に対向する面と前記第２の島部の前記駆動マスに対向する面との少なくとも一方に設けられた突起とを備えたことを特徴とする適用例１又は２に記載のジャイロセンサー。
【００１０】
本発明によれば、駆動マスを２つ設けた場合に、第２の島部及び突起を２つの駆動マスの間に配置することで、各駆動マスが接近する方向に大きく振動したとしても、突起により衝撃を緩和するため、駆動マスの破損を防ぐことができる。
【００１１】
［適用例４］前記第２の島部は、前記駆動マスの各々に対向する位置に向けて延設され、前記駆動マスとの距離を規定する第２の距離規定部を備え、前記突起は、前記駆動マスの前記第２の距離規定部に対向する面と前記第２の距離規定部の前記駆動マスに対向する面との少なくとも一方に設けられていることを特徴とする適用例３に記載のジャイロセンサー。
本発明によれば、第２の距離規定部によって、設けられた突起と該突起に対向する素子（突起、駆動マス、又は第２の距離規定部）との距離を調整することができる。
［適用例５］前記第１の島部は、前記第１方向に交差する方向に沿って少なくとも一対設けられていることを特徴とする適用例１乃至４の何れか１例に記載のジャイロセンサー。
本発明によれば、少なくとも一対の第１の島部各々と、駆動マスとは、同電位であって反発し合うため、駆動マスの振動にねじれが発生していたとしても、ねじれ補正を行うことができる。
【００１２】
［適用例６］前記検出マスは、検出用バネ部により前記駆動マスに連結され、前記検出マスと前記検出用バネ部との少なくとも一方に突起を設けたことを特徴とする適用例１乃至５の何れか１例に記載のジャイロセンサー。
本発明によれば、駆動マスと検出マスとが接近する方向に変位したとしても、突起との接触面積が小さいために、駆動マスと検出マスとの貼り付きを防ぐことができる。
【００１３】
［適用例７］前記アンカー部は基板上に固定されており、平面視で前記基板の前記駆動マスおよび前記検出マスの少なくとも一方に重なる位置には、突起が設けられていることを特徴とする適用例１乃至６の何れか１例に記載のジャイロセンサー。
本発明によれば、駆動マスや検出マスが基板に接近する方向に変位したとしても、駆動マスや検出マスの基板に対する貼り付きを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施形態に係るジャイロセンサーの要部を示す模式的平面図である。
【図２】同実施形態に係るジャイロセンサーの模式的平面図である。
【図３】図２に示すジャイロセンサー１のＡ−Ａ線断面図である。
【図４】本発明の電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。
【図５】本発明の電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
【図６】本発明の電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態について図面に参照して説明する。
図１はジャイロセンサー１の要部を示す模式的部分平面図であり、図２は本発明の実施形態に係るジャイロセンサー１の模式的平面図であり、図３は図２に示すジャイロセンサー１のＡ−Ａ線断面図である。
【００１６】
これらの図に示すように、ジャイロセンサー１は、基板６０を備えており、この板面を直交座標でｘｙ平面とした場合(図２参照)、基板６０上のｘ軸方向に、２つのジャイロセンサー部１０が、基板６０との間に隙間を設けた状態で配列されている。２つのジャイロセンサー部１０はキャップ７０で覆われ、密閉されている。
【００１７】
基板６０は例えばガラスで形成されている。ジャイロセンサー部１０は、例えばシリコンで形成されており、ジャイロセンサー部１０の全体の外形はエッチングで形成される。
【００１８】
２つのジャイロセンサー部１０各々を構成する以下で説明する主たる構成要素は、ｙ軸に対して線対称に配置されている。
ジャイロセンサー部１０は、中央部に枠型の駆動マス２０を備えている。駆動マス２０の内側には駆動マス２０に連結された枠型の検出マス３０が設けられている。なお、検出マス３０は、駆動マス２０の内側に限らず、駆動マス２０の外側に配置されていてもよい。また、駆動マス２０及び検出マス３０の形状は枠型に限定されるものではなく、質量体であればよく、形状は問わない。例えばコの字形状であってもよい。
【００１９】
一対の駆動マス２０のそれぞれは、四隅部分を連結バネ部１２，駆動用バネ部１４で基板６０に支持されており、基板６０の上面と平行な平面運動が可能となっている。各バネ部１２，１４は駆動マス２０が特にその並び方向（ｘ軸方向）（「第１方向」に対応）に往復振動できるように伸縮方向が設定されている。２つの駆動マス２０同士の対向する２つの角部同士は、互いに近接離反する方向（ｘ軸方向）に弾発力が出るように連結バネ部１２で連結されている。各連結バネ部１２は、連結バネ部１２の中間部分に設定されたアンカー部（「第２のアンカー部」に対応）７６により基板６０に支持されている。また、駆動マス２０同士の対向する辺と反対側の辺の２つの角部は、それぞれ駆動用バネ部１４に連結されている。駆動用バネ部１４は、アンカー部（「第１のアンカー部」に対応）７２を基板６０との固定支持点として、上記連結バネ部１２と同様に作用し、駆動マス２０をｘ軸方向に沿って変位移動できるように弾性支持する。なお、駆動マス２０各々の四隅に配置されたバネ部１２、１４のバネ定数は等しくなっており、駆動マス２０はそれぞれ独立してｘ軸方向に沿った平面振動が可能とされている。
【００２０】
一方、駆動マス２０同士の対向する辺と直交する２つの各辺には、２つの駆動部２２が連結されている。駆動マス２０は、駆動部２２により駆動されてｘ軸方向に振動する。駆動部２２は、駆動マス２０に連結された可動電極部２４と、当該可動電極部２４に対向して設けられ、基板６０に固定された固定電極部２６と、を備えている。可動電極部２４及び固定電極部２６は、櫛歯状の電極指を有している。可動電極部２４及び固定電極部２６の電極指は、交互に一定の間隔をおいて配置されている。
【００２１】
駆動部２２に交流電圧をかけることにより、可動電極部２４は固定電極部２６との間の静電引力によりｘ軸方向に振動し、当該可動電極部２４に連結されている駆動マス２０もｘ軸方向に振動する。２つのジャイロセンサー部１０の駆動部２２に逆位相の交流電圧を印加することにより、２つの駆動マス２０は互いに反対方向に振動する。
【００２２】
駆動マス２０のｘ軸方向に沿った２つの各辺は、検出マス３０のｘ軸方向に沿った２つの各辺にそれぞれｙ軸方向に伸縮性を持たせた２つの検出用バネ部１６で連結されている。これにより検出マス３０は、駆動マス２０に連動してｘ軸方向へ振動可能とされている。２つの駆動マス２０がｘ軸方向であって互いに反対方向に振動した状態で、ｚ軸周りの角速度を受けると、２つの検出マス３０はコリオリ力を受け、ｙ軸方向であって互いに反対方向に振動する。
【００２３】
検出マス３０内には、検出電極部３２が配置されている。検出電極部３２は、検出マス３０に横桟状に並んで配置された複数（実施形態では２本）の可動電極３４と、前記可動電極３４のそれぞれを挟み込むように平行に配置され、基板６０に固定された固定電極３６とから構成されている。
【００２４】
検出マス３０がＺ軸回りに回転すると、検出マス３０に連結された可動電極３４と固定電極３６との間の距離が変化し、静電容量が変化する。その静電容量の変化量からＺ軸回りの角速度を検出することができる。
【００２５】
図１及び図２に示すように、駆動用マス２０の外側コーナ部分に連結されている駆動用バネ部１４は、ｙ軸方向に複数並んだバネ片をつづら折状に連結してｘ軸方向に伸縮可能とされている。この駆動用バネ部１４は、一端が駆動マス２０に連結され、他端がアンカー部７２を介して島部（「第１の島部」に対応）４０に連結されている。島部４０はアンカー部７２と一体に形成され、底面が基板６０に固定されている。この島部４０は矩形平板とされており、駆動マス２０や検出マス３０、あるいは駆動用バネ部１４と同一平面となるように形成されている。島部４０、アンカー部７２、駆動マス２０並びに駆動用バネ部１４は電気的に接続されており、したがってこれらは電気的に同電位となる。なお、上述した実施形態ではアンカー部７２と島部４０に別の符号を付して説明したが、上述したようにアンカー部７２と島部４０とは一体的に形成されて基板６０に固定されているため、アンカー部７２と島部４０でアンカーとしての機能を有する。
【００２６】
島部４０は、一対の駆動マス２０に隣接して配置されている。この実施形態では、図２に示すように、各駆動マス２０の振動方向における外側縁辺に対向し、一対の上下コーナ部分に隣接した位置に配置されている。したがって、島部４０は、ｙ軸中心線を挟んで１対、ｘ軸中心線を挟んで一対の合計４箇所設けられ、それぞれが対称配置とされている。島部４０は、駆動マス２０に対向する位置に、平板の一部を駆動マス２０に向けて張り出すように形成され、駆動マス２０との振動方向に沿った離間距離を規定する距離規定部（「第１の距離規定部」に対応）４２を備えている。この距離規定部４２は矩形領域を形成しており、その張り出し先端縁は駆動マス２０の外側縁部と平行とされている。距離規定部４２の駆動マス２０に対向する面には、複数の突起４４が設けられている。なお、複数の各突起４４の高さは異なっていてもよいし、設ける突起４４の数は１つであってもよい。
【００２７】
このように突起４４を設けることで、過度な物理量が印加されたり、外部からの衝撃により駆動マス２０が大きくｘ軸方向に変位したとしても、突起４４により駆動マス２０との接触面積が小さい状態で衝突することになる。これにより、駆動マス２０の過剰な変位を抑制することができ、駆動マス２０の破損を防ぐことができる。また、島部４０と駆動マス２０とは、駆動用バネ部１４及びアンカー部７２に連結されており、全体として同電位であるため、島部４０と駆動マス２０とが接触したとしても引き合わないため、島部４０と駆動マス２０とが貼り付くのを防止することができる。
【００２８】
また、ｙ軸方向に沿って駆動マス２０と対向させて１対の島部４０を設けたため、２つの各島部４０と駆動マス２０とは同電位であることから、駆動マス２０の振動にｙ軸方向に振動する成分があってねじれが生じていたとしても、当該ねじれを補正することができる。なお、島部４０の数は１対に限らず、３つ以上であってもよい。
【００２９】
ここで、図１に示すように、突起４４と駆動マス２０との距離Ｄは、設計時に予め設定された駆動マス２０の駆動振幅よりも大きく、かつ、駆動部２２の固定電極部２６で規制される可動電極部２４が中立位置からｘ軸方向へ振動可能な最大振幅ｄよりも小さくなるように、距離規定部４２で調整しておくのが望ましい。
【００３０】
これにより、駆動マス２０が突起４４に接触して予め設計された駆動振幅で振動できないという不具合を防ぐことができる。さらに、駆動部２２の可動電極部２４が固定電極部２６に接触する前に、駆動マス２０が突起４４に接触するため、過度な電圧を印加した場合等に可動電極部２４が固定電極部２６に衝突して破損するのを防ぐことができる。
なお、突起４４は、距離規定部４２のみならず、距離規定部４２に対向する駆動マス２０に設けてもよいし、或いは駆動マス２０側のみに設けてもよい。突起４４を距離規定部４２に対向する駆動マス２０にも設ける場合には、駆動マス２０に設けた突起４４と距離規定部４２に設けた突起４４との距離を距離Ｄとして用い、また、突起４４を駆動マス２０側に設ける場合には、駆動マス２０に設けた突起４４と距離規定部４２の駆動マス２０に対向する面との距離を距離Ｄとして用いればよい。
要するに、突起４４を駆動マス２０の島部４０に対向する面と島部４０の駆動マス２０に対向する面との少なくとも一方に設ける場合、駆動マス２０及び島部４０の間の最短距離、すなわち、駆動マス２０の、島部４０が備える距離規定部４２に対向する面と、距離規定部４２の駆動マス２０に対向する面と、の間の距離から、設けられた突起４４の高さ（図ではｘ軸方向の長さ）の分を除いた距離を、距離Ｄとして用いればよい。
【００３１】
図２に示すように、２つの駆動マス２０の間には、ｙ軸方向に延びる島部（「第２の島部」に対応）５０が設けられている。島部５０はアンカー部７６と一体に形成され、底面が基板６０に固定されている。島部５０は、２つの駆動マス２０に対向する位置それぞれに、矩形状に両サイドの駆動マス２０に向けて張り出され、張り出し先端縁を駆動マス２０の内側縁辺と平行に形成され、当該対向する駆動マス２０との距離を規定する距離規定部（「第２の距離規定部」に対応）５２を備えている。距離規定部５２の駆動マス２０に対向する面には、複数の突起５４が設けられている。上記島部５０は、アンカー部７６、連結バネ部１２、距離規定部５２及び駆動マス２０と電気的に接続されているため、これらは電気的に同電位となる。なお、上述した実施形態ではアンカー部７６と島部５０に別の符号を付して説明したが、上述したようにアンカー部７６と島部５０とは一体的に形成されて基板６０に固定されているため、アンカー部７６と島部５０でアンカーとしての機能を有する。
【００３２】
この突起５４により、駆動マス２０同士が互いに接近する方向に振動する場合にも、駆動マス２０同士の衝突を防ぐことができ、駆動マス２０が突起５４と衝突することで過剰変位を抑制しつつ、接触面積が極小であるため貼り付きを防止することができる。なお、突起５４と駆動マス２０の突起５４に対向する面との距離を、突起４４と駆動マス２０の突起４４に対向する面との距離と同様に、予め設定された駆動マス２０の駆動振幅よりも大きく、可動電極部２４の最大振幅ｄよりも小さくすることで、上記と同様の効果が得られる。また、突起５４を設けた距離規定部５２を、駆動マス２０に対向させて２つ以上設けることで、島部４０を２つ設ける場合の上述した効果と同様な効果を得ることができる。
なお、突起５４は、距離規定部５２のみならず、駆動マス２０の距離規定部５２に対向する面に設けてもよいし、或いは駆動マス２０側のみに設けてもよい。
【００３３】
また、検出マス３０のｘ軸方向に沿った辺の外側面、及び駆動マス２０と検出マス３０とを連結する検出用バネ部１６の折り返し部分には、突起５６が設けられている。この突起５６により、駆動マス２０や検出マス３０がｙ軸方向に大きく変位したとしても、突起５６で過剰変位を抑制することができ、破損を防ぐことができる。また、突起５６との衝突時の接触面積が小さく、さらに接触箇所は同電位であるため、貼り付きを防止することができる。なお、突起５６は、検出マス３０のｘ軸方向の内側面に設けてもよいし、駆動マス２０ｘ軸方向の内側面や外側面に設けてもよい。或いは検出用バネ部１６のみに設けてもよいし、検出マス３０のみに設けてもよい。
【００３４】
また、図３に示すように、平面視で基板６０の駆動マス２０に重なる位置には、突起６２が設けられている。この突起６２は、基板６０にアンカー部７２、７６等の外形をエッチングにより形成する際に同時に形成することができる。この突起６２により、駆動マス２０がｚ軸方向に大きく変位したとしても、突起６２と衝突するため、過剰変位を抑制することができ、破損を防ぐことができる。また、衝突時の接触面積が小さく接触部分同士は引き合わないため、貼り付きを防止することができる。なお、平面視で基板６０の駆動マス２０に重なる位置のみならず、平面視で基板６０の検出マス３０に重なる位置に突起６２を設けてもよいし、或いは、平面視で基板６０の検出マス３０に重なる位置のみに突起６２を設けてもよい。
【００３５】
以上説明したように、過度な物理量の印加や落下等の衝撃により、駆動マス２０が大きく変位して突起４４、５４、５６、６２に衝突したとても、突起４４、５４、５６、６２により衝撃が緩和されるため、駆動マス２０の破損を防ぐことができる。また、突起４４、５４、５６、６２に衝突した際の接触面積は小さく、駆動マス２０と突起４４、５４、５６、６２とは引き合わないため、接触部分同士の貼り付きを防止することができる。
【００３６】
また、距離規定部４２、５２によりｘ軸方向の長さを調整して、突起４４、５４と駆動マス２０との距離を調整することができるため、駆動マス２０の予め設計した駆動振幅を妨げないようにすることができるとともに、駆動部２２の固定電極部２６と可動電極部２４との間に突起を形成することなく、可動電極部２４が固定電極部２６に衝突しないように設計することができる。
【００３７】
なお、上述した実施形態では、ジャイロセンサー１は、２つのジャイロセンサー部１０を有するとして説明したが、１つのジャイロセンサー部１０を有していてもよい。
【００３８】
次に、本発明の電子機器を説明する。
図４は、本発明の電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。
【００３９】
この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。
このようなパーソナルコンピューター１１００には、ジャイロセンサー１が内蔵されている。
【００４０】
図５は、本発明の電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
この図において、携帯電話機１２００は、アンテナ（図示せず）、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部が配置されている。
このような携帯電話機１２００には、ジャイロセンサー１が内蔵されている。
【００４１】
図６は、本発明の電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。
ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
【００４２】
ディジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部は、被写体を電子画像として表示するファインダとして機能する。
また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
【００４３】
撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッタボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリ１３０８に転送・格納される。
また、このディジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニタ１４３０が、デ−タ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリ１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニタ１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。
【００４４】
このようなディジタルスチルカメラ１３００には、ジャイロセンサー１が内蔵されている。
このような電子機器は、高感度および耐衝撃性に優れたジャイロセンサー１を備えるので、優れた信頼性を有する。
【００４５】
なお、本発明の電子機器は、図４のパーソナルコンピューター（モバイル型パーソナルコンピューター）、図５の携帯電話機、図６のディジタルスチルカメラの他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンタ）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニタ、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシュミレータ等に適用することができる。
【００４６】
以上、本発明のジャイロセンサー、および電子機器について図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものでなはなく、特許請求の範囲に記載された本発明の技術思想の範囲で種々の変形が可能である。
【符号の説明】
【００４７】
１………ジャイロセンサー、１０………ジャイロセンサー部、１２………連結バネ部、１４………駆動用バネ部、１６………検出用バネ部、２０………駆動マス、２２………駆動部、２４………可動電極部、３０………検出マス、３２………検出電極部、３４………可動電極、３６………固定電極、４０………島部、４２………距離規定部、４４………突起、５０………島部、５２………距離規定部、５４………突起、５６………突起、６０………基板、６２………突起、７０………キャップ、７２………アンカー部、７６………アンカー部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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