(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
厚さが０．７５ｍｍ以下のガラス板であって、
第１の主面又は第２の主面の少なくとも一方は、うねり曲線の十点平均高さが０．２μｍ以下であり、且つうねり波長２０ｍｍのうねり強度に対する、うねり波長１０ｍｍのうねり強度の比が、０．２０以上であることを特徴とするガラス板。
【請求項２】
前記うねり波長２０ｍｍのうねり強度に対する、前記うねり波長１０ｍｍのうねり強度の比が、０．３０以上、１．０以下である、請求項１に記載のガラス板。
【請求項３】
前記ガラス板の厚さが０．４５ｍｍ以下である、請求項１に記載のガラス板。
【請求項４】
前記うねり波長２０ｍｍのうねり強度に対する、前記うねり波長１０ｍｍのうねり強度の比が、０．３０以上、０．８０以下である、請求項３に記載のガラス板。
【請求項５】
研磨スラリを用いて、請求項１又は２に記載のガラス板の前記第１の主面又は前記第２の主面の少なくとも一方を研磨する研磨工程を含むガラス板の製造方法であって、
前記研磨工程では、
前記第１の主面又は前記第２の主面の少なくとも一方を、
前記うねり曲線の十点平均高さが０．０７μｍ以下であり、前記うねり波長２０ｍｍのうねり強度に対する、前記うねり波長１０ｍｍのうねり強度の比が、０．０３〜０．３０となるように研磨する、ガラス板の製造方法。
【請求項６】
研磨スラリを用いて、請求項３又は４に記載のガラス板の前記第１の主面又は前記第２の主面の少なくとも一方を研磨する研磨工程を含むガラス板の製造方法であって、
前記研磨工程では、
前記第１の主面又は前記第２の主面の少なくとも一方を、
前記うねり曲線の十点平均高さが０．０７μｍ以下であり、前記うねり波長２０ｍｍのうねり強度に対する、前記うねり波長１０ｍｍのうねり強度の比が、０．０３〜０．２５となるように研磨する、ガラス板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス板、及びガラス板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
フロート法で成形されたガラス板の表面には、ディストーションやコルゲーションなどの微小な凹凸やうねりが存在する。このような微小な凹凸やうねりは、自動車用、建築用などのガラス板として使用する場合は問題とならないが、各種ディスプレイ用のガラス基板として使用する場合は、製造されるディスプレイの画像に歪や色ムラを与える原因となる。このため、ガラス板を液晶ディスプレイ用ガラス基板として使用する場合は、ガラス板の表面を研磨することにより、微小な凹凸やうねりを除去する必要がある。研磨後のガラス板の表面には、微小な凹凸やうねりが残留するが、その中でも２０ｍｍピッチのうねり高さは、ガラス板の研磨性や液晶ディスプレイの品質に大きな影響を与える。
【０００３】
例えば、特許文献１では、研磨性を向上させる目的で、２０ｍｍピッチのうねり高さが０．３μｍ以下のフロートガラスを選定するガラス基板の製造方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平３−６５５２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来のガラス板では、液晶ディスプレイの色ムラを低減させるのに、研磨量を多くする必要があり、研磨時間が長くなるため、生産効率が低下するという問題があった。
【０００６】
本発明の一形態の目的は、上記課題を解決することであり、研磨性を飛躍的に向上させることができるガラス板を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題は、
厚さが０．７５ｍｍ以下のガラス板であって、
第１の主面又は第２の主面の少なくとも一方は、うねり曲線の十点平均高さが０．２μｍ以下であり、且つうねり波長２０ｍｍのうねり強度に対する、うねり波長１０ｍｍのうねり強度の比が、０．２０以上であることを特徴とするガラス板により解決できる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の一形態のガラス板によれば、研磨性を飛躍的に向上させることができ、研磨時間が短縮されて、生産効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本実施形態のガラス板の製造装置を示す断面図である。
【図２】本実施形態のガラス板の製造方法を示すフローチャートである。
【図３】うねりピッチとうねり高さの関係を示した模式図である。
【図４】うねり曲線の十点平均高さを説明する図である。
【図５】実施例と比較例との関係を示す図であり、（Ａ）はガラス板の厚さが０．７０ｍｍ、（Ｂ）はガラス板の厚さが０．５０ｍｍ、（Ｃ）はガラス板の厚さが０．４０ｍｍの実施例および比較例である。
【図６】研磨前のうねり強度の比と研磨時間指数との関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明する。各図面において、同一の又は対応する構成には、同一の又は対応する符号を付して説明を省略する。本明細書において、数値範囲を表す「〜」はその前後の数値を含む範囲を意味する。
【００１１】
［ガラス板］
本実施形態のガラス板は、厚さが０．７５ｍｍ以下のガラス板の場合、ガラス板の第１の主面又は第２の主面の少なくとも一方は、うねり曲線の十点平均高さが０．２μｍ以下であり、且つうねり波長２０ｍｍのうねり強度に対する、うねり波長１０ｍｍのうねり強度の比が、０．２０以上である。研磨前のうねり強度の比は、好ましくは０．３０以上、より好ましくは０．４０以上である。また、研磨前のうねり強度の比は、好ましくは１．０以下、より好ましくは０．９０以下である。
【００１２】
また、厚さが０．４５ｍｍ以下のガラス板においては、ガラス板の第１の主面又は第２の主面の少なくとも一方は、うねり曲線の十点平均高さが０．２μｍ以下であり、且つうねり波長２０ｍｍのうねり強度に対する、うねり波長１０ｍｍのうねり強度の比が、０．２０以上である。研磨前のうねり強度の比は、好ましくは０．３０以上、より好ましくは０．３５以上である。また、研磨前のうねり強度の比は、好ましくは０．８０以下、より好ましくは０．７０以下である。
【００１３】
本発明者らは、２０ｍｍピッチのうねり高さだけでなく、１０〜２０ｍｍピッチのうねり高さが、液晶ディスプレイの色ムラに影響を与えることを見出した。また、本発明者らは、うねり曲線の十点平均高さが同じであっても、うねりピッチ（うねり波長）が短いうねり成分を多く含むガラス板ほど研磨しやすいことを見出した。ここで、うねり曲線の十点平均高さとは、計測内のうねり曲線で高い山から１０点を抽出し、その平均値を取った値である。
【００１４】
図３は、うねりピッチとうねり高さの関係を示した模式図である。本実施形態のうねり波長、うねり強度は、それぞれうねりピッチ、うねり高さのフーリエ変換値である。
【００１５】
一般的に測定されるうねりは、複数の波長λの波ｆ（ｘ）の合成波Ｆ（ω）である。
【００１６】
本実施形態におけるうねり強度Ａ（λ）は、周波数ωとして、以下の数式で算出できる。
【００１７】
【数１】
0006299784.tif 000002
図４は、うねり曲線の十点平均高さを説明する図である。本実施形態のうねり曲線の十点平均高さは、うねり曲線からその平均線の方向に基準長さだけを抜き取り、この抜取り部分の平均線から縦倍率の方向に測定した、最も高い山頂から５番目までの山頂の標高（Ｙｐ）の絶対値の平均値と、最も低い谷底から５番目までの谷底の標高（Ｙｖ）の絶対値の平均値との和を求め、この値をマイクロメートル（μｍ）で表したものである。
【００１８】
本実施形態のガラス板は、研磨前のうねり強度の比が０．２０以上だと、研磨しやすい１０ｍｍピッチのうねり成分を多く含むため、後述する研磨工程Ｓ７０の研磨時間を低減させることができる。また、研磨前のうねり強度の比が１．０以下だと、後述する溶解工程Ｓ１０〜成形工程Ｓ３０で、研磨前のうねり強度の比を制御しやすい。
【００１９】
本実施形態のガラス板は、液晶ディスプレイ用途では、アルカリ金属成分を実質的に含まない無アルカリガラスを用いるのが好ましい。ここで、アルカリ金属成分を実質的に含まないとは、アルカリ金属酸化物の含有量の合量が０．１質量％以下であることを意味する。
【００２０】
無アルカリガラスは、例えば、酸化物基準の質量％表示で、ＳｉＯ２：５０〜７３％（好ましくは５０〜６６％）、Ａｌ２Ｏ３：１０．５〜２４％、Ｂ２Ｏ３：０〜１２％、ＭｇＯ：０〜８％、ＣａＯ：０〜１４．５％、ＳｒＯ：０〜２４％、ＢａＯ：０〜１３．５％、ＺｒＯ２：０〜５％を含有し、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ：８〜２９．５％（好ましくは９〜２９．５％）である。
【００２１】
無アルカリガラスは、高い歪点と高い溶解性とを両立する場合、好ましくは、酸化物基準の質量％表示で、ＳｉＯ２：５８〜６６％、Ａｌ２Ｏ３：１５〜２２％、Ｂ２Ｏ３：５〜１２％、ＭｇＯ：０〜８％、ＣａＯ：０〜９％、ＳｒＯ：３〜１２．５％、ＢａＯ：０〜２％を含有し、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ：９〜１８％である。
【００２２】
無アルカリガラスは、特に高い歪点を得たい場合、好ましくは、酸化物基準の質量％表示で、ＳｉＯ２：５４〜７３％、Ａｌ２Ｏ３：１０．５〜２２．５％、Ｂ２Ｏ３：０〜５．５％、ＭｇＯ：０〜８％、ＣａＯ：０〜９％、ＳｒＯ：０〜１６％、ＢａＯ：０〜２．５％、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ：８〜２６％である。
【００２３】
［ガラス板の製造装置］
本実施形態のガラス板の製造装置に関して、フロートガラス製造装置を例にして説明する。
【００２４】
図１は、ガラス板の製造装置を示す断面図である。図１に示すように、フロートガラス製造装置１は、溶解装置１０、溶融ガラス搬送装置２０、成形装置３０、接続装置４０、及び徐冷装置５０を有する。
【００２５】
溶解装置１０は、ガラス原料Ｇ１を溶解することで溶融ガラスＧ２を作製する。溶解装置１０は、例えば、溶解炉１１と、バーナー１２とを有する。
【００２６】
溶解炉１１は、ガラス原料Ｇ１を溶解する溶解室１１ａを形成する。溶解室１１ａには溶融ガラスＧ２が収容される。
【００２７】
バーナー１２は、溶解室１１ａの上部空間に火炎を形成する。この火炎の輻射熱によってガラス原料Ｇ１が溶融ガラスＧ２に徐々に溶け込む。
【００２８】
なお、溶解装置１０は、溶融ガラスＧ２にガスを吹き込み、溶融ガラスを循環させるバブラー（不図示）を有してもよい。
【００２９】
溶融ガラス搬送装置２０は、溶融ガラスＧ２を溶解装置１０から成形装置３０に搬送し、溶融ガラスＧ２を成形装置３０に供給する。溶融ガラス搬送装置２０には、溶融ガラス搬送管２１と、溶融ガラスＧ２を攪拌する攪拌機２２とが設けられる。
【００３０】
溶融ガラス搬送管２１は、白金製又は白金合金製の中空管と、長手方向端部に電極（不図示）とを有し、電極を介して中空管を通電し、溶融ガラスＧ２を加熱する。
【００３１】
攪拌機２２は、白金製又は白金合金製であり、回転軸２２ａと攪拌翼２２ｂとを有しており、攪拌翼２２ｂは回転軸２２ａに直交して配置される。攪拌機２２は溶融ガラスＧ２を攪拌して均質化する。
【００３２】
なお、溶融ガラス搬送装置２０は、溶融ガラスＧ２に含まれる泡を脱泡する清澄装置を有してもよい。
【００３３】
成形装置３０は、溶融ガラス搬送装置２０から供給される溶融ガラスＧ２を帯板状のガラスリボンＧ３に成形する。成形装置３０は、例えば、成形炉３１と、成形ヒータ３２とを有する。
【００３４】
成形炉３１は、溶融ガラスＧ２を成形する成形室３１ａを形成する。成形炉３１の入口から成形炉３１の出口に向かうほど、成形室３１ａの温度が低くなる。成形炉３１は、フロートバス３１１と、フロートバス３１１の上方に配設される天井３１２とを有する。
【００３５】
フロートバス３１１は、溶融金属Ｍを収容する。溶融金属Ｍとしては、例えば、溶融スズが用いられる。溶融スズの他に、溶融スズ合金なども使用可能である。溶融金属Ｍの酸化を抑止するため、成形室３１ａの上部空間は還元性ガスで満たされる。還元性ガスは、例えば、水素ガスと窒素ガスとの混合ガスで構成される。
【００３６】
フロートバス３１１は、溶融金属Ｍの表面上に連続的に供給された溶融ガラスＧ２を、溶融金属Ｍの液面を利用して帯板状のガラスリボンＧ３に成形する。ガラスリボンＧ３は、フロートバス３１１の上流側から下流側に流動しながら、トップロール３３によって幅方向に引き延ばされて徐々に固化され、フロートバス３１１の下流域において溶融金属Ｍから引き上げられる。トップロール３３は、ガラスリボンＧ３の粘度が１０３．８〜１０７．６５となる成形域に設けられる。ここで、ガラスリボンＧ３の表面について、溶融金属Ｍと接触する面とは反対側の面をトップ面、溶融金属Ｍと接触する面をボトム面という。
【００３７】
成形ヒータ３２は、天井３１２から吊り下げられる。成形ヒータ３２は、ガラスリボンＧ３の流動方向に間隔をおいて複数設けられ、ガラスリボンＧ３の流動方向における温度分布を調整する。また、成形ヒータ３２は、ガラスリボンＧ３の幅方向に間隔をおいて複数設けられ、ガラスリボンＧ３の幅方向における温度分布を調整する。
【００３８】
接続装置４０は、成形装置３０と徐冷装置５０とを接続する。接続装置４０と徐冷装置５０との間の僅かな隙間には断熱材が詰められてよい。接続装置４０は、接続炉４１と、中間ヒータ４２と、リフトアウトロール４３とを有する。
【００３９】
接続炉４１は、成形炉３１と後述する徐冷炉５１との間に配設され、搬送されるガラスリボンＧ３の脱熱を制限する接続室４１ａを形成することにより、ガラスリボンＧ３の急冷を防止する。
【００４０】
中間ヒータ４２は、接続室４１ａに配設される。中間ヒータ４２は、ガラスリボンＧ３の搬送方向に間隔をおいて複数設けられ、ガラスリボンＧ３の搬送方向における温度分布を調整する。中間ヒータ４２は、ガラスリボンＧ３の幅方向に分割され、ガラスリボンＧ３の幅方向おける温度分布を調整してもよい。
【００４１】
リフトアウトロール４３は、接続室４１ａに配設される。リフトアウトロール４３は、モータなどによって回転駆動され、ガラスリボンＧ３を溶融金属Ｍから引き上げ、成形炉３１から徐冷炉５１に搬送する。リフトアウトロール４３は、ガラスリボンＧ３の搬送方向に間隔をおいて複数設けられる。
【００４２】
徐冷装置５０は、成形装置３０で成形されたガラスリボンＧ３を徐冷する。徐冷装置５０は、徐冷炉５１と、徐冷ヒータ５２と、徐冷ロール５３とを有する。
【００４３】
徐冷炉５１は、ガラスリボンＧ３を徐冷する徐冷室５１ａを形成する。徐冷炉５１の入口から徐冷炉５１の出口に向かうほど、徐冷室５１ａの温度が低くなる。
【００４４】
徐冷ヒータ５２は、徐冷室５１ａに配設される。徐冷ヒータ５２は、ガラスリボンＧ３の搬送方向に間隔をおいて複数設けられ、ガラスリボンＧ３の搬送方向における温度分布を調整する。徐冷ヒータ５２は、ガラスリボンＧ３の幅方向に分割され、ガラスリボンＧ３の幅方向おける温度分布を調整してもよい。
【００４５】
徐冷ロール５３は、徐冷室５１ａに配設される。徐冷ロール５３は、モータなどによって回転駆動され、徐冷炉５１の入口から徐冷炉５１の出口に向けてガラスリボンＧ３を搬送する。徐冷ロール５３は、ガラスリボンＧ３の搬送方向に間隔をおいて複数設けられる。
【００４６】
徐冷装置５０において徐冷されたガラスリボンＧ３は、切断機で所定のサイズに切断される。ここで、切断後に得られるガラス板の主面について、ガラスリボンＧ３のボトム面に相当する面を第１の主面、ガラスリボンＧ３のトップ面に相当する面を第２の主面という。
【００４７】
上記したうねり強度の比を有するガラス板は、この後、研磨装置によって片面又は両面が研磨される。
【００４８】
［ガラス板の製造方法］
次に、図２を参照して、上記構成のフロートガラス製造装置１を用いた、ガラス板の製造方法について説明する。図２は、ガラス板の製造方法を示すフローチャートである。図２に示すように、ガラス板の製造方法は、溶解工程Ｓ１０、溶融ガラス搬送工程Ｓ２０、成形工程Ｓ３０、徐冷工程Ｓ５０、切断工程Ｓ６０、及び研磨工程Ｓ７０を有する。
【００４９】
溶解工程Ｓ１０では、ガラス原料Ｇ１を溶解することで溶融ガラスＧ２を作製する。
【００５０】
溶融ガラス搬送工程Ｓ２０では、溶融ガラスＧ２を溶解装置１０から成形装置３０に搬送する。また、溶融ガラス搬送工程Ｓ２０において、溶融ガラスＧ２に含まれる泡を脱泡する清澄工程を有してもよい。
【００５１】
成形工程Ｓ３０では、溶解工程Ｓ１０により作製した溶融ガラスＧ２を帯板状のガラスリボンＧ３に成形する。例えば、成形工程Ｓ３０では、溶融金属Ｍの表面上に溶融ガラスＧ２を連続的に供給し、溶融金属Ｍの液面を利用して溶融ガラスＧ２を帯板状のガラスリボンＧ３に成形する。ガラスリボンＧ３は、フロートバス３１１の上流側から下流側に流動しながら、徐々に固化される。
【００５２】
徐冷工程Ｓ５０では、成形工程Ｓ３０により成形したガラスリボンＧ３を徐冷する。
【００５３】
切断工程Ｓ６０では、徐冷されたガラスリボンＧ３を、切断機で所定のサイズに切断し、ガラス板を得る。
【００５４】
本実施形態のガラス板のうねり強度の比は、溶解工程Ｓ１０、溶融ガラス搬送工程Ｓ２０、又は成形工程３０にて制御することができる。
【００５５】
溶解工程Ｓ１０では、ガラス原料Ｇ１の粒径を小さくする、バーナー１２の燃焼出力を上げて溶解室１１ａの温度を高くする、バブラーのガス流量を上げる、などの調整を行う。
【００５６】
溶融ガラス搬送工程Ｓ２０では、溶融ガラス搬送管２１の通電量を増やして攪拌機２２近傍の溶融ガラスＧ２の温度を高くする、攪拌機２２の攪拌速度（回転数）を上げる、溶融ガラスＧ２に対する攪拌機２２の高さを下げる、などの調整を行う。
【００５７】
攪拌機２２近傍の溶融ガラスＧ２の温度は、無アルカリガラスの場合、好ましくは１３００〜１５００℃であり、より好ましくは１３５０〜１５００℃である。また、攪拌機２２の回転数は、好ましくは５〜３０ｒｐｍであり、より好ましくは１０〜３０ｒｐｍである。
【００５８】
成形工程Ｓ３０では、複数対のトップロール３３の回転速度を上げる、トップロール３３の使用本数を増やす、成形域の下流域でグリップ性に優れたトップロール（高グリップトップロール）を使用する、成形域の下流域の成形ヒータ３２の出力を上げる、などの調整を行う。ここで、成形域の下流域とは、ガラスリボンＧ３の粘度が１０６．５〜１０７．６５となる領域をいう。
【００５９】
トップロール３３の使用本数は、好ましくは１０〜３０対、より好ましくは１５〜３０対である。また、高グリップトップロールの使用本数は、好ましくは０〜６対、より好ましくは１〜６対である。ここで、高グリップトップロールとは、ガラスリボンＧ３と接触する回転部材がセラミックスで形成されるトップロール、回転部材が工具鋼で形成されるトップロール、回転部材の断熱性能を向上させたトップロールなどのことをいう。
【００６０】
研磨工程Ｓ７０では、上記のうねり強度の比を有するガラス板の主面を、研磨スラリを用いて研磨する。研磨スラリは、研磨砥粒として酸化セリウム、酸化ジルコニウム、酸化マンガン、ランタン又はベンガラを含む。ガラス板の第１の主面又は第２の主面のいずれか一方を研磨して、平滑性の高いガラス板に仕上げる。勿論、ガラス板の第１の主面及び第２の主面の両方を研磨してもよい。生産性向上の観点から、研磨量は、好ましくは３．５μｍ以下、より好ましくは２μｍ以下、さらに好ましくは１．５μｍ以下、特に好ましくは１．０μｍ以下である。
【００６１】
研磨工程Ｓ７０において、厚さが０．７５ｍｍ以下の場合、ガラス板の第１の主面又は第２の主面の少なくとも一方を、うねり曲線の十点平均高さが０．０７μｍ以下であり、うねり波長２０ｍｍのうねり強度に対する、うねり波長１０ｍｍのうねり強度の比が、０．０３〜０．３０となるように研磨する。研磨後のうねり強度の比は、好ましくは０．０４〜０．２８、より好ましくは０．０５〜０．２６である。
【００６２】
本実施形態においては、第１の主面のみを研磨してよい。この場合、第２の主面は、研磨前のうねり強度の比を保持している。研磨後のうねり強度の比０．０３〜０．３０は、１０ｍｍピッチのうねり成分が２０ｍｍピッチのうねり成分に比して充分に研磨されたことを意味する。また、２０ｍｍピッチのうねり成分も従来通り研磨されて除去されていることを意味する。
【００６３】
研磨工程Ｓ７０において、厚さが０．４５ｍｍ以下の場合、ガラス板の第１の主面又は第２の主面の少なくとも一方を、うねり曲線の十点平均高さが０．０７μｍ以下であり、うねり波長２０ｍｍのうねり強度に対する、うねり波長１０ｍｍのうねり強度の比が、０．０３〜０．２５となるように研磨する。研磨後のうねり強度の比は、好ましくは０．０４〜０．２３、より好ましくは０．０４〜０．２１である。
【００６４】
研磨後のうねり強度の比０．０３〜０．２５は、１０ｍｍピッチのうねり成分が２０ｍｍピッチのうねり成分に比して充分に研磨されたことを意味する。また、２０ｍｍピッチのうねり成分も従来通り研磨されて除去されていることを意味する。
【００６５】
本実施形態のガラス板の製造方法によれば、１０ｍｍピッチのうねり成分に起因して研磨性が向上し、液晶ディスプレイの色ムラを低減させた高品質なガラス板を製造することができる。
【実施例】
【００６６】
以下、実施例および比較例を挙げて本発明を更に説明するが、本発明はこれにより何ら制限されるものではない。図５は、実施例と比較例との関係を示す図であり、（Ａ）はガラス板の厚さが０．７０ｍｍ、（Ｂ）はガラス板の厚さが０．５０ｍｍ、（Ｃ）はガラス板の厚さが０．４０ｍｍの実施例および比較例である。図６は、研磨前のうねり強度の比と研磨時間指数との関係を示す図である。
【００６７】
（例１〜１８）
例１〜１２が実施例、例１３〜１８が比較例である。
【００６８】
図５（Ａ）に示す例１〜１８の製造条件で、無アルカリガラス組成のガラス原料Ｇ１を溶解室１１ａにて溶解することで溶融ガラスＧ２を作製し、フロート法にて溶融ガラスＧ２を帯板状のガラスリボンＧ３に成形し、ガラスリボンＧ３を徐冷して切断し、厚さが０．７０ｍｍ、幅３００ｍｍ×長さ３００ｍｍのガラス板を計１８枚得た。ここで、図５（Ａ）に示す高グリップトップロールは、回転部材がセラミックスで形成されるトップロールのことである。図５（Ｂ）、図５（Ｃ）についても同様である。
【００６９】
各ガラス板のうねりピッチ、うねり高さは、表面粗さ計（東京精密社製、サーフコム）を用い、各ガラス板の筋目に対して直交方向に沿って測定した。各ガラス板のうねり波長、うねり強度は、上述のフーリエ変換により算出した。なお、筋目とは、ガラスリボンＧ３の幅方向における板厚の変動およびうねりに起因して、ガラスリボンＧ３の流動方向に生じる筋である。
【００７０】
図５（Ａ）に示すように、例１〜１２の研磨前のガラス板は、ガラス板の第１の主面におけるうねり曲線の十点平均高さが０．０５μｍで、且つうねり波長２０ｍｍのうねり強度に対する、うねり波長１０ｍｍのうねり強度の比が、０．２３〜０．９３であった。一方、例１３〜１８の研磨前のガラス板は、ガラス板の第１の主面におけるうねり曲線の十点平均高さが０．０５μｍで、且つうねり波長２０ｍｍのうねり強度に対する、うねり波長１０ｍｍのうねり強度の比が、０．１２〜０．１９であった。
【００７１】
次に、各ガラス板の第１の主面を、溝ピッチ４．５ｍｍ、溝幅１．５ｍｍ、溝深さ１〜１．５ｍｍの溝を有するパッドに酸化セリウムを含む研磨スラリを用いて研磨した。各ガラス板の第１の主面の研磨量は、０．９μｍであった。
【００７２】
そして、上記研磨を行った後、純水シャワー洗浄、ベルクリン及び水によるスクラブ洗浄、ベルクリン及びアルカリ洗剤によるスクラブ洗浄、ベルクリン及び水によるスクラブ洗浄、純水シャワー洗浄を順次行い、エアブローを行った。
【００７３】
研磨後の各ガラス板のうねりピッチ、うねり高さは、表面粗さ計（東京精密社製、サーフコム）を用い、各ガラス板の筋目に対して直交方向に沿って測定した。各ガラス板のうねり波長、うねり強度は、上述のフーリエ変換により算出した。
【００７４】
図５（Ａ）〜（Ｃ）、図６に示す研磨時間指数は、フーリエ変換により、研磨後のガラス板のうねり波長スペクトルを、研磨前のガラス板のうねり波長スペクトルで除して得られる波長カット性を用いて算出される。波長カット性は、ガラス板の厚さに応じて変化する。研磨時間指数は、研磨後のガラス板が所望のうねり波長スペクトルとなるように、波長カット性を用いて算出される。研磨時間指数は、値が大きければ研磨時間が長く、値が小さければ研磨時間が短いことを意味する。
【００７５】
図５（Ａ）に示すように、例１〜１２の研磨時間指数は、０．８〜１．２であった。一方、例１３〜１８の研磨時間指数は、１．３〜１．５であった。
【００７６】
また、例１〜１２の研磨後のガラス板は、ガラス板の第１の主面におけるうねり曲線の十点平均高さが０．０１μｍで、且つうねり波長２０ｍｍのうねり強度に対する、うねり波長１０ｍｍのうねり強度の比が、０．０５〜０．２６であった。
【００７７】
（例２１〜３７）
例２１〜３１が実施例、例３２〜３７が比較例である。
【００７８】
例１〜１８と同様に、図５（Ｂ）に示す例２１〜３７の製造条件で、厚さが０．５０ｍｍであり、幅３００ｍｍ×長さ３００ｍｍのガラス板を計１７枚得た。例１〜１８と同様の方法で、各ガラス板のうねり波長、うねり強度を算出した。
【００７９】
図５（Ｂ）に示すように、例２１〜３１の研磨前のガラス板は、ガラス板の第１の主面におけるうねり曲線の十点平均高さが０．０５μｍで、且つうねり波長２０ｍｍのうねり強度に対する、うねり波長１０ｍｍのうねり強度の比が、０．２５〜０．５６であった。一方、例３２〜３７の研磨前のガラス板は、ガラス板の第１の主面におけるうねり曲線の十点平均高さが０．０５μｍで、且つうねり波長２０ｍｍのうねり強度に対する、うねり波長１０ｍｍのうねり強度の比が、０．０７〜０．１９であった。
【００８０】
例２１〜３７は、各ガラス板の第１の主面の研磨量を２．３μｍとした以外は、例１〜１８と同様の条件で各ガラス板の研磨、洗浄を行った。研磨量は、研磨後のガラス板が例１〜１８と同程度のうねりとなるように、２．３μｍとした。例２１〜３７は、例１〜１８と同様の方法で、研磨後の各ガラス板のうねり波長、うねり強度を算出した。
【００８１】
図５（Ｂ）に示すように、例２１〜３１の研磨時間指数は、１．９〜２．６であった。一方、例３２〜３７の研磨時間指数は、２．８〜４．０であった。
【００８２】
また、例２１〜３１の研磨後のガラス板は、ガラス板の第１の主面におけるうねり曲線の十点平均高さが０．０１μｍで、且つうねり波長２０ｍｍのうねり強度に対する、うねり波長１０ｍｍのうねり強度の比が、０．０５〜０．０８であった。
【００８３】
（例４１〜６０）
例４１〜５２が実施例、例５３〜６０が比較例である。
【００８４】
例１〜１８と同様に、図５（Ｃ）に示す例４１〜６０の製造条件で、厚さが０．４０ｍｍであり、幅３００ｍｍ×長さ３００ｍｍのガラス板を計２０枚得た。例１〜１８と同様の方法で、各ガラス板のうねり波長、うねり強度を算出した。
【００８５】
図５（Ｃ）に示すように、例４１〜５２の研磨前のガラス板は、ガラス板の第１の主面におけるうねり曲線の十点平均高さが０．０５μｍで、且つうねり波長２０ｍｍのうねり強度に対する、うねり波長１０ｍｍのうねり強度の比が、０．２４〜０．７０であった。一方、例５３〜６０の研磨前のガラス板は、ガラス板の第１の主面におけるうねり曲線の十点平均高さが０．０５μｍで、且つうねり波長２０ｍｍのうねり強度に対する、うねり波長１０ｍｍのうねり強度の比が、０．０９〜０．１９であった。
【００８６】
例４１〜６０は、各ガラス板の第１の主面の研磨量を３．４μｍとした以外は、例１〜１８と同様の条件で各ガラス板の研磨、洗浄を行った。研磨量は、研磨後のガラス板が例１〜１８と同程度のうねりとなるように、３．４μｍとした。例４１〜６０は、例１〜１８と同様の方法で、研磨後の各ガラス板のうねり波長、うねり強度を算出した。
【００８７】
図５（Ｃ）に示すように、例４１〜５２の研磨時間指数は、３．３〜５．３であった。一方、例５３〜６０の研磨時間指数は、５．５〜７．９であった。
【００８８】
また、例４１〜５２の研磨後のガラス板は、ガラス板の第１の主面におけるうねり曲線の十点平均高さが０．０１μｍで、且つうねり波長２０ｍｍのうねり強度に対する、うねり波長１０ｍｍのうねり強度の比が、０．０４〜０．１１であった。
【００８９】
（例６１〜７２）
例６１〜７２は、それぞれ例４１〜５２と同様の製造条件で、厚さが０．４０ｍｍであり、幅３００ｍｍ×長さ３００ｍｍのガラス板を計１２枚得た。
【００９０】
例６１〜７２の研磨前の各ガラス板は、うねり強度の比が、それぞれ例４１〜５２と同一である。
【００９１】
例６１〜７２は、各ガラス板の第１の主面の研磨量を１．８μｍとした以外は、例４１〜５２と同様の条件で各ガラス板の研磨、洗浄を行った。研磨量は、研磨後のガラス板が、例４１〜５２よりもうねりが大きくなるように、１．８μｍとした。例６１〜７２は、例４１〜５２と同様の方法で、研磨後の各ガラス板のうねり波長、うねり強度を算出した。
【００９２】
表１に示すように、例６１〜７２の研磨後のガラス板は、ガラス板の第１の主面におけるうねり曲線の十点平均高さが０．０２μｍで、且つうねり波長２０ｍｍのうねり強度に対する、うねり波長１０ｍｍのうねり強度の比が、０．０６〜０．２１であった。
【００９３】
【表１】
0006299784.tif 000003
図５（Ａ）〜（Ｃ）、図６の結果から明らかなように、うねり曲線の十点平均高さが同じ場合、研磨前のガラス板のうねり強度の比を大きくすると、研磨時間指数が小さくなることが分かる。特に、うねり強度の比が０．２０以上のガラス板を用いることにより、研磨しやすい１０ｍｍピッチが優先的に研磨できるため、研磨時間が短縮されて、生産効率を向上させることができる。
【００９４】
上述の通り、研磨後、うねり波長１０ｍｍのうねり成分は、うねり波長２０ｍｍのうねり成分に比して大幅に減少したことが分かる。したがって、従来の２０ｍｍピッチのうねり成分だけでなく１０ｍｍピッチのうねり成分も除去（研磨）できるので、色ムラの少ない高品質なガラス板を製造することができる。
【００９５】
以上、ガラス板及びその製造方法の実施形態や実施例などを説明したが、本発明は上記実施形態や実施例などに限定されず、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、改良が可能である。
【符号の説明】
【００９６】
１０      溶解装置
２０      溶融ガラス搬送装置
３０      成形装置
４０      接続装置
５０      徐冷装置
Ｇ１      ガラス原料
Ｇ２      溶融ガラス
Ｇ３      ガラスリボン
Ｍ        溶融金属
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図５Ｃ】
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【図６】
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