(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ゴム層に基布が埋設されたダイヤフラムを駆動軸に固定する駆動軸へのダイヤフラムの固定構造であって、
前記ダイヤフラムとして、中心に前記ゴム層のみに前記駆動軸の径に整合する径を有する開口が形成されたダイヤフラムが用いられ、前記駆動軸に前記ダイヤフラムの前記開口部分の前記基布が刺されて該駆動軸が該ダイヤフラムに貫通され、該駆動軸に固定部材が固着されて、前記ダイヤフラムを前記駆動軸に固定されていることを特徴とする駆動軸へのダイヤフラムの固定構造。
【請求項２】
前記固定部材が、前記駆動軸に挿通する挿通穴が形成された弁体であり、該弁体の前記挿通穴が挿通された前記駆動軸の端部がかしめられて該駆動軸に弁体が固着されていることを特徴とする請求項１に記載の駆動軸へのダイヤフラムの固定構造。
【請求項３】
ゴム層に基布が埋設されたダイヤフラムを駆動軸に固定する駆動軸へのダイヤフラムの固定方法であって、
前記ダイヤフラムとして、中心に前記ゴム層のみに前記駆動軸の径に整合する径を有する開口が形成されるとともに該開口に前記基布が露出されたダイヤフラムを用い、
前記駆動軸の端部に針状キャップを取り外し可能に取り付け、
前記針状キャップに前記ダイヤフラムの前記開口部分の前記基布を刺して該針状キャップと前記駆動軸を該ダイヤフラムに貫通させた後、前記針状キャップを取り外し、該針状キャップを取り外した前記駆動軸に固定部材を固着するようにしたことを特徴とする駆動軸へのダイヤフラムの固定方法。
【請求項４】
前記固定部材として、前記駆動軸を挿通する挿通穴が形成された弁体を用い、
該弁体の前記挿通穴に挿通された前記駆動軸の端部をかしめて該駆動軸に弁体を固着するようにしたことを特徴とする請求項３に記載の駆動軸へのダイヤフラムの固定方法。
【請求項５】
第１のポートと第２のポートとの間に弁室と弁ポートとが形成され、前記弁室内の弁体を電磁駆動部で駆動して前記弁ポートを開閉する電磁式制御弁であって、第１のポートと第２のポートとの差圧により弁体に作用する力を、感圧部に加わる弁室と均圧室との差圧により前記弁体に作用する力で相殺するとともに、前記電磁駆動部の電磁力と調整ばねのばね力とのつり合いにより、前記弁ポートの開度を比例的に変化させる電磁式制御弁において、
前記電磁駆動部、前記調整ばね、前記均圧室及び前記感圧部が、前記弁ポートの軸線上で前記弁体に対して前記弁ポートとは反対側に設けられ、
前記弁体が、前記電磁駆動部に連結される連結部の駆動軸に固定され、
前記感圧部が、ゴム層に基布が埋設され前記弁室と前記均圧室との間に配設されたダイヤフラムであって、中心に前記ゴム層のみに前記駆動軸の径に整合する径を有する開口が形成されたダイヤフラムであり、
前記駆動軸に前記ダイヤフラムの前記開口部分の前記基布が刺されて該駆動軸が該ダイヤフラムに貫通され、該駆動軸に前記弁体が固着されて、前記ダイヤフラムが前記駆動軸に固定されていることを特徴とする電磁式制御弁。
【請求項６】
前記弁体及び前記連結部に前記弁ポートと前記均圧室とを導通する均圧路が形成されていることを特徴とする請求項５に記載の電磁式制御弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば圧力バランス方式の電磁式制御弁において基布が埋設された可撓性のダイヤフラムを駆動軸の端部に固定する駆動軸へのダイヤフラムの固定構造及び固定方法、及び電磁式制御弁に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電磁式制御弁として、例えば国際公開第２０１３／１５７２９２号（特許文献１）に開示されたものがある。この電磁式制御弁は、弁ハウジング内に弁体を有する弁棒を配設し、電磁コイルへの通電により発生する電磁力で弁棒を軸方向に変位させ、上記弁体により弁ポートの開度調節を行うものである。また、高圧側の一次室に連通された均圧室と低圧の二次室に連通された低圧室との差圧を、ダイヤフラムを介して弁棒に作用させることで一次室と二次室との差圧が弁棒の弁体に作用する力を相殺（キャンセル）するようにしたものである。これにより、この圧力バランス方式の電磁式制御弁では、一次室側圧力と二次室側圧力との差圧の影響を受けず、定電流時においては、一定の弁開度を維持した安定した流量制御を行うことが可能になる。
【０００３】
また、特許文献１のものでは、弁体の下端のダイヤフラムは求心作用を有し、このダイヤフラムに弁体を接続する事により、本体等にガイド部を設ける事なく、弁体を本体の中心軸上に位置させている。さらに、このダイヤフラムの接続方法は、ダイヤフラムの中央部に穴を開けずに弁体の一端の針状突起にダイヤフラムを貫通させた後、フラムガイドを挿入し、弁体の下端をかしめて、弁体とダイヤフラムが接続されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第２０１３／１５７２９２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１のものでは、ダイヤフラムを接続する弁体の一端の針状突起が細いため、ダイヤフラムを容易に貫通させることができるが、このダイヤフラムを接続する駆動軸の径が太い場合、上述した固定構造では、以下のような問題が生じる。すなわち、このダイヤフラムを接続する駆動軸の径が太い場合、ダイヤフラムのゴムの中に埋設された基布を針状突起で太い駆動軸径まで押し広げるのが困難であり、広げる際に基布の糸が傷付き切れた形となる。また、押し広げられたゴム膜が駆動軸の弁との当接部にバリ状に残ると弁体のかしめ固定時に弁体が傾くという問題がある。
【０００６】
また、一般に基布入りのゴム製ダイヤフラム等ではゴム部で気密性を持たせ、基布部で耐圧性を持たせている。ダイヤフラムの耐圧強度は基布の強度に依存するので、基布が切られた状態で高圧で使用すると、加圧された事によりゴムが伸び、基布も引っ張られ、切られた部位のゴム層から基布が抜けると、ダイヤフラムの耐圧性が著しく低下しダイヤフラムが破損してしまう。ダイヤフラムが破損すると制御弁は制御不能となる。また、弁体のかしめ時に弁体が傾くと、弁漏れの原因ともなる。
【０００７】
本発明は、上述の如き問題点を解消するためになされたものであり、駆動軸へのダイヤフラムの固定構造を改良し、例えばダイヤフラムを用いて差圧により弁体に作用する力をキャンセルするようにした電磁式制御弁において、ダイヤフラムの耐圧性、耐久性を向上させることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１の駆動軸へのダイヤフラムの固定構造は、ゴム層に基布が埋設されたダイヤフラムを駆動軸に固定する駆動軸へのダイヤフラムの固定構造であって、前記ダイヤフラムとして、中心に前記ゴム層のみに前記駆動軸の径に整合する径を有する開口が形成されたダイヤフラムが用いられ、前記駆動軸に前記ダイヤフラムの前記開口部分の前記基布が刺されて該駆動軸が該ダイヤフラムに貫通され、該駆動軸に固定部材が固着されて、前記ダイヤフラムを前記駆動軸に固定されていることを特徴とする。
【０００９】
請求項２の駆動軸へのダイヤフラムの固定構造は、請求項１に記載の駆動軸へのダイヤフラムの固定構造であって、前記固定部材が、前記駆動軸に挿通する挿通穴が形成された弁体であり、該弁体の前記挿通穴が挿通された前記駆動軸の端部がかしめられて該駆動軸に弁体が固着されていることを特徴とする。
【００１０】
請求項３の駆動軸へのダイヤフラムの固定方法は、ゴム層に基布が埋設されたダイヤフラムを駆動軸に固定する駆動軸へのダイヤフラムの固定方法であって、前記ダイヤフラムとして、中心に前記ゴム層のみに前記駆動軸の径に整合する径を有する開口が形成されるとともに該開口に前記基布が露出されたダイヤフラムを用い、前記駆動軸の端部に針状キャップを取り外し可能に取り付け、前記針状キャップに前記ダイヤフラムの前記開口部分の前記基布を刺して該針状キャップと前記駆動軸を該ダイヤフラムに貫通させた後、前記針状キャップを取り外し、該針状キャップを取り外した前記駆動軸に固定部材を固着するようにしたことを特徴とする。
【００１１】
請求項４の駆動軸へのダイヤフラムの固定方法は、請求項３に記載の駆動軸へのダイヤフラムの固定方法であって、前記固定部材として、前記駆動軸に挿通する挿通穴が形成された弁体を用い、該弁体の前記挿通穴に挿通された前記駆動軸の端部をかしめて該駆動軸に弁体を固着するようにしたことを特徴とする。
【００１３】
請求項５の電磁式制御弁は、第１のポートと第２のポートとの間に弁室と弁ポートとが形成され、前記弁室内の弁体を電磁駆動部で駆動して前記弁ポートを開閉する電磁式制御弁であって、第１のポートと第２のポートとの差圧により弁体に作用する力を、感圧部に加わる弁室と均圧室との差圧により前記弁体に作用する力で相殺するとともに、前記電磁駆動部の電磁力と調整ばねのばね力とのつり合いにより、前記弁ポートの開度を比例的に変化させる電磁式制御弁において、前記電磁駆動部、前記調整ばね、前記均圧室及び前記感圧部が、前記弁ポートの軸線上で前記弁体に対して前記弁ポートとは反対側に設けられ、前記弁体が、前記電磁駆動部に連結される連結部の駆動軸に固定され、前記感圧部が、ゴム層に基布が埋設され前記弁室と前記均圧室との間に配設されたダイヤフラムであって、中心に前記ゴム層のみに前記駆動軸の径に整合する径を有する開口が形成されたダイヤフラムであり、前記駆動軸に前記ダイヤフラムの前記開口部分の前記基布が刺されて該駆動軸が該ダイヤフラムに貫通され、該駆動軸に前記弁体が固着されて、前記ダイヤフラムが前記駆動軸に固定されていることを特徴とする。
【００１４】
請求項６の電磁式制御弁は、請求項５に記載の電磁式制御弁であって、前記弁体及び前記連結部に前記弁ポートと前記均圧室とを導通する均圧路が形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１の駆動軸へのダイヤフラムの固定構造によれば、ダイヤフラムとして、中心に前記ゴム層のみに駆動軸の径に整合する径を有する開口が形成されたダイヤフラムを用いられている。そして、駆動軸にダイヤフラムの開口部分の基布が刺されて該駆動軸がダイヤフラムに貫通されている。したがって、駆動軸を基布に刺すときに開口部分にゴムが無いので基布の繊維が容易に伸びることができ、基布の繊維が切れていない状態となる。したがって、ダイヤフラムの耐圧性、耐久性を向上させるこることができる。
【００１６】
請求項２の駆動軸へのダイヤフラムの固定構造によれば、請求項１の効果に加えて、駆動軸に対してダイヤフラムとともに、弁体を堅牢に固定することができる。
【００１７】
請求項３の駆動軸へのダイヤフラムの固定方法によれば、請求項１と同様な効果が得られる。
【００１８】
請求項４の駆動軸へのダイヤフラムの固定方法によれば、請求項２と同様な効果が得られる。
【００２０】
請求項５の電磁式制御弁によれば、ダイヤフラムの耐圧性、耐久性が高い電磁式制御弁が得られる。
【００２１】
請求項６の電磁式制御弁によれば、請求項５の効果に加えて、弁体及び連結部に均圧路が形成されているので、別部分に均圧路を設ける必要がなく、電磁式制御弁の小型化が図れるとともに、均圧路により連結部の駆動軸の径が大きな電磁式制御弁となっても、ダイヤフラムの耐圧性、耐久性を確保できる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明を適用した実施形態の電磁式制御弁の弁閉状態の縦断面図である。
【図２】本発明を適用した実施形態におけるダイヤフラムの固定前の概略平面図及び断面図である。
【図３】本発明を適用した実施形態におけるダイヤフラムの成形金型の縦断面図である。
【図４】本発明を適用した実施形態の電磁式制御弁の要部の組立工程を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
次に、本発明の実施形態について説明する。図１は実施形態の電磁式制御弁の弁閉状態の縦断面図である。この実施形態の電磁式制御弁は下本体１Ａと上本体１Ｂからなる弁ハウジング１を有している。下本体１Ａは上本体１Ｂの下部の嵌合孔１Ｂ１に嵌合され、嵌合孔１Ｂ１の開口端部をかしめることにより、下本体１Ａと上本体１Ｂとが一体に固着されている。
【００２４】
下本体１Ａには、矢印のように流体が流入する高圧側の第１のポート１１と、第１のポート１１に連通する弁室１２が形成されている。また、下本体１Ａには弁室１２の下部の弁座嵌合孔１Ａ１が形成され、この弁座嵌合孔１Ａ１内に弁座部材２が嵌合されている。そして、弁座嵌合孔１Ａ１の開口端部をかしめることにより、下本体１Ａと弁座部材２とが一体に固着されている。なお、弁座部材２と弁座嵌合孔１Ａ１との間はＯリング２ａにより封止されている。また、上本体１Ｂには均圧室１３が形成され、この均圧室１３の上部に後述の電磁駆動部５のケースとしてのプランジャケース５１及びカバー６が嵌合固着されている。
【００２５】
弁座部材２には、矢印のように流体が流出する低圧側の第２のポート２１と、第２のポート２１と弁室１２とを連通する弁ポート２２が形成されている。弁ポート２２は軸線Ｌを中心とする水平断面形状が円形であり、その弁室１２側の開口周囲にはリング状の弁座シート２３が配設されている。
【００２６】
弁室１２及び均圧室１３内には軸線Ｌに沿った方向に変位可能な弁部材３が延在されている。弁部材３は、弁室１２内に位置して弁座部材２の弁座シート２３に対して離接が可能な円筒状の弁体３１、弁体３１の上方に延設された連結部３２とで構成されている。連結部３２は、下端部に弁体３１を結合する結合軸３２１と、結合軸３２１より径が大きく均圧室１３内に位置するボス部３２２と、ボス部３２２の上方に延設された連結ロッド３２３とを有している。
【００２７】
弁体３１とボス部３２２との間にはゴム製のダイヤフラム４が配設されている。ダイヤフラム４はコンボリューション部４１と、その内側の内ビード部４２と、コンボリューション部４１の外側の外ビード部４３とを有している。また、弁体３１は、中心に円筒形状とすり鉢形状とを連ねた開口孔３１ａと、開口孔３１ａに連なる連結孔３１ｂとを有している。そして、連結部３２の結合軸３２１が、ダイヤフラム４の内ビード部４２の開口を貫通して弁体３１の連結孔３１ｂ内に嵌合され、弁体３１とボス部３２２とで内ビード部４２を圧縮し、結合軸３２１の下端部をかしめることにより、弁体３１とダイヤフラム４及び連結部３２が一体に固定されている。なお、これらの弁体３１、ダイヤフラム４及び結合軸３２１の組み付け方については後述する。
【００２８】
ダイヤフラム４の外ビード部４３は、下本体１Ａの上端と上本体１Ｂの均圧室１３の下部開口端部との間に圧縮するようにして挟持されている。なお、弁体３１の上端（弁部材３の下方寄り）は、圧力が加わることで発生するダイヤフラム４の復元力による自動求心作用により、通常は軸線Ｌ上に保持される。
【００２９】
連結部３２において、ボス部３２２には、弁体３１の開口孔３１ａ側から軸線Ｌ方向に伸びる第１の均圧路３２ａが形成されるとともに、第１の均圧路３２ａと交差して均圧室１３に開口する第２の均圧路３２ｂが形成されている。この第１の均圧路３２ａ、第２の均圧路３２ｂ及び弁体３１の開口孔３１ａは均圧路を構成しており、弁ポート２２と均圧室１３は、開口孔３１ａ、第１の均圧路３２ａ及び第２の均圧路３２ｂにより導通されている。
【００３０】
ダイヤフラム４は可撓性を有し、ダイヤフラム４の弁室１２側に作用する第１のポート１１の圧力（Ｐ１）と、均圧室１３側に作用する第２のポート２１の圧力（Ｐ２）との差圧により発生した力を弁部材３（弁体３１）に伝達する感圧部を構成している。また、ダイヤフラム４は均圧室１３と弁室１２とを気密に区画している。
【００３１】
弁ハウジング１の上部には、電磁駆動部５が設けられている。電磁駆動部５は、円筒状のプランジャケース５１と、プランジャケース５１の上端に固定された磁性体からなる吸引子５２と、プランジャケース５１内に設けられた磁性体からなるプランジャ５３と、プランジャケース５１の外周に配置されボビン５４ａに巻線が巻回された電磁コイル５４とを備えている。なお、プランジャケース５１と吸引子５２は溶接等により固定されている。吸引子５２には軸線Ｌと同軸な挿通孔５２ａが形成されるとともに、挿通孔５２ａとは他方の側には、挿通孔５２ａより径の大きな調整部用孔５２ｂが形成されている。
【００３２】
プランジャ５３には、軸線Ｌと同軸な円筒状のプランジャばね室５３ａと挿通孔５３ｂが形成されるとともに、挿通孔５３ｂの横にプランジャ均圧路５３ｃが形成されている。なお、吸引子５２とプランジャ５３は、プランジャ均圧路５３ｃ以外は、それぞれ軸線Ｌを軸にして回転対称な形状となっている。
【００３３】
プランジャケース５１の下部には、均圧室１３に対して電磁駆動部５側に位置するカバー６が配設されている。カバー６はプランジャケース５１の下端と上本体１Ｂとに挟持されて固定されている。カバー６の中心には、軸線Ｌと同軸な挿通孔６ａが形成されている。なお、カバー６は弁ハウジング１（本体）に対して動くことがなければ固定方法はどのような構成でもよい。このように、弁部材３に対してカバー６が軸線Ｌ方向に相対的に固定されているので、プランジャ５３等の可動部品は流体の動圧の影響を受けることがない。
【００３４】
弁部材３の連結ロッド３２３は、カバー６の挿通孔６ａ、プランジャ５３の挿通孔５３ｂに挿通されている。また、吸引子５２の挿通孔５２ａ内で、連結ロッド３２３の端部に非磁性体からなるボール受け７が嵌め込まれている。ボール受け７と連結ロッド３２３の端部とは溶接により固着されている。ボール受け７はプランジャ５３側の端部に鍔状部を有し、この鍔状部は、プランジャ５３の吸引子５２側の対向面５３ｄに接触した状態で、この対向面５３ｄと吸引子５２のプランジャ５３側の対向面５２ｄとの間に位置する。
【００３５】
プランジャ５３と連結ロッド３２３の段部３２３ａとの間にはプランジャばね５３１が圧縮した状態で配設されている。これにより、プランジャ５３は対向面５３ｄをボール受け７に対して常時当接された状態となり、このプランジャ５３が吸引子５２方向に吸引されると、このプランジャ５３と共に弁部材３が弁開方向に変位する。弁部材３は、この弁部材３の一部である連結ロッド３２３によりプランジャ５３と連結されている。プランジャ５３の挿通孔５３ｂと弁部材３の連結ロッド３２３とのクリアランスは、プランジャ５３とプランジャケース５１とのクリアランスより大きく設定されており、プランジャ５３が軸線Ｌと直交する方向に変位しても、弁部材３とプランジャ５３は接触しない。
【００３６】
吸引子５２の前記調整部用孔５２ｃ内には設定調整部８が配設されている。この設定調整部８は、調整ねじ８１、ばね受け８２、調整ばね８３、ボール８４を有している。調整ばね８３は調整ねじ８１とばね受け８２との間に圧縮状態で配設されており、ボール８４はばね受け８２に当接した状態で軸線Ｌ上の吸引子５２の挿通孔５２ａ内に配設されている。そして、調整ばね８３は、ばね受け８２を介してボール８４をボール受け７の上端に当接するように付勢している。また、調整ねじ８１は、その外周の雄ねじ部８１１を吸引子５２の上部内周面に形成された雌ねじ部５２ｅに螺合することにより、吸引子５２に取り付けられている。
【００３７】
ボール８４と吸引子５２の挿通孔５２ａとの間には僅かにクリアランスが設けられており、ボール８４は軸線Ｌに沿って挿通孔５２ａ内で変位可能となっている。また、ボール受け７はボール８４に対して球面接触される。これにより、ボール受け７（及び弁部材３）の上端は、常に軸線Ｌ上に位置決めされる。
【００３８】
電磁駆動部５の電磁コイル５４への通電により、磁気回路が形成されて吸引子５２とプランジャ５３との間に磁気による吸引力が発生する。この吸引力は電磁コイル５４へ通電する電流に応じたものとなる。
【００３９】
以上の構成により、実施形態の電磁式制御弁は次のように作用する。設定調整部８は、調整ばね８３によりばね受け８２、ボール８４及びボール受け７を介して弁部材３を弁座部材２の弁座シート２３側に付勢している。電磁コイル５４を励磁することにより、プランジャ５３が吸引子５２に吸引され、弁部材３は調整ばね８３の付勢力に抗して弁座シート２３から離れる方向に変位し、弁閉から弁開となるとともに弁体３１と弁座シート２３との軸線Ｌに沿った方向の位置関係により、弁ポート２２の開度が制御される。なお、プランジャ５３が最上端位置で弁開度が全開となるのは、ボール受け７の鍔状部が吸引子５２の対向面５２ｄに当接した位置である。このように、ボール受け７により、プランジャ５３が吸引子５２に吸着（密着）されるのを防止する。
【００４０】
また、電磁コイル５４の励磁を無くすことにより弁体３１が弁座シート２３に着座し、弁閉となる。なお、調整ねじ８１の追い込み量により、調整ばね８３が弁部材３に加える付勢力が調整され、弁開に必要な電磁力（吸引力）を調節できる。このように、電磁コイル５４が生じる電磁力と、調整ばね８３のばね力との平衡関係によって弁部材３が軸線Ｌに沿った方向に変位し、弁体３１で弁ポート２２の開度を変化させる。
【００４１】
また、弁体３１には前述のように弁室１２の圧力と第２のポート２１の圧力の差圧が作用して弁閉方向に力が加わる。一方、均圧室１３は第１の均圧路３２ａ、第２の均圧路３２ｂ及び開口孔３１ａ（均圧路）によって弁ポート２２及び第２のポート２１と連通されているので、均圧室１３に作用する第２のポート２１の圧力と弁室１２の圧力との差圧がダイヤフラム４に作用し、弁部材３には弁開方向の力が加わる。そして、弁体３１の有効受圧径Ｄ１（この実施例の場合、弁座シート２３の内径）と、ダイヤフラム４の有効受圧径Ｄ２とは等しいので、弁部材３に対しては、差圧による力は互いにキャンセル（相殺）され、弁体３１の開閉に差圧の影響を受けない。
【００４２】
このように、電磁駆動部５の印加電流に応じた電磁力と調整ばね８３のばね力とのつり合いをとるとともに、第１のポート１１と第２のポート２１との差圧により弁体３１に作用する力を、ダイヤフラム４（感圧部）に加わる弁室１２と均圧室１３との差圧により弁体３１に作用する力でキャンセル（相殺）することにより、差圧により弁体３１に作用する力の影響を無くし、少ない通電量で弁ポート２２の開度を比例的に変化させることができる。
【００４３】
なお、この実施形態では、弁ポート２２の下部には第２のポート２１を設けるだけの構造となっているので、弁ハウジング１の軸線Ｌ方向の長さを小さくすることができ、電磁式制御弁自体を小型化することができる。また、第２のポート２１を弁ポート２２に対して同軸で連通するようにしているので、第２のポート２１での圧力損失も低減し、流体がスムーズに流れる。
【００４４】
図２はダイヤフラム４の弁部材３（連結部３２）への固定前の概略平面図（図２（Ａ））及び断面図（図２（Ｂ））である。ダイヤフラム４は、ゴム層４Ｂ内に基布４Ａを埋設したものである。なお、図２（Ａ）は基布４Ａの糸を線で概念的に図示してあるが、基布４Ａは、トリコット編みで編み込まれている。ゴム層４Ｂの中心には、開口４Ｂ１が形成されている。この開口４Ｂ１の径は、「駆動軸」としての結合軸３２１の基部３２１ａの径に整合する径となっている。そして、この開口４Ｂ１の部分には基布４Ａの露出部分４Ａ１が露出されている。
【００４５】
図３はダイヤフラム４を成形するための成形金型の断面図であり、下金型１０と上金型２０とで構成されている。ダイヤフラム４の成形時には、図３のように下金型１０と上金型２０を合わせて形成されるキャビティ３０内に生ゴムが充填される。また、生ゴムが充填されたキャビティ３０内には基布４Ａが配設される。そして、加圧したゴムを加熱して硫化し、ダイヤフラム４が成形される。ここで、下金型１０の中央には結合軸３２１の基部３２１ａと同径で薄型円柱状の台部１０Ａを有している。上金型２０の中央には結合軸３２１の基部３２１ａと同径で薄型円柱状の天井部２０Ａを有している。そして、下金型１０の台部１０Ａと上金型２０の天井部２０Ａとが基布４Ａを介して当接する。これによって、ゴム層４Ｂの前記開口４Ｂ１と、この開口４Ｂ１に露出する基布４Ａの前記露出部分４Ａ１が形成される。このようにして、その中心に、ゴム層４Ｂのみに基部３２１ａ（駆動軸）の径に整合する径を有する開口４Ｂ１が形成されたダイヤフラム４が得られる。
【００４６】
図４は実施形態の電磁式制御弁の要部の組立工程を説明する図であり、「押え部材」としての弁体３１、ダイヤフラム４及び「駆動軸」としての結合軸３２１の基部３２１ａの固定は以下のように行う。図４（Ａ）に示すように、結合軸３２１に針状キャップ４０を嵌め込む。この針状キャップ４０と結合軸３２１にダイヤフラム４の中心（開口４Ｂ１の基布４Ａの露出部分４Ａ１の中心）を刺し、図４（Ｂ）に示すように、針状キャップ４０及び結合軸３２１をダイヤフラム４に貫通させる。そして、ダイヤフラム４の開口４Ｂ１を結合軸３２１の基部３２１ａまで挿通する。
【００４７】
次に、図４（Ｃ）に示すように、針状キャップ４０を取り外し、連結部３２の結合軸３２１に弁体３１の連結孔３１ｂを嵌合させる。そして、図４（Ｄ）に示すように、結合軸３２１の下端部をかしめることにより、弁体３１とダイヤフラム４及び連結部３２を一体に固定する。
【００４８】
実施形態では基布４Ａの織り方はトリコット織りであり、伸び性が高く針状キャップ４０を基布４Ａに刺し、押し広げやすい。基布４Ａの織り方の種類は、伸び性が高い丸編みでもよい。また、ダイヤフラム成形時は、ゴム中での基布の位置の保持が困難な為、成形前に基布単体で「くせ付け（プレフォーム）」しておいてもよい。
【００４９】
以上、本発明の実施の形態について図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこれらの実施の形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。駆動軸は電磁制御弁の弁部材３（弁棒）のものに限らず、軸線方向に移動される駆動軸にダイヤフラムを固定するものであれば、他の装置、他の構造物にも適用でき、ダイヤフラムの高い耐圧性、耐久性が得られる。
【符号の説明】
【００５０】
１        弁ハウジング
１Ａ      下本体
１Ｂ      上本体
１１      第１のポート
１２      弁室
１３      均圧室
２        弁座部材
２１      第２のポート
２２      弁ポート
３        弁部材
３１      弁体
３２      連結部
３２１    結合軸（駆動軸）
３２１ａ  基部（駆動軸）
４        ダイヤフラム
４Ａ      基布
４Ａ１    露出部分
４Ｂ      ゴム層
４Ｂ１    開口
４１      コンボリューション部
４２      内ビード部
４３      外ビード部
５        電磁駆動部
Ｌ        軸線
１０      下金型
２０      上金型
３０      キャビティ
４０      針状キャップ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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