(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口部が形成された金属材料からなる基板と、
前記開口部を塞ぐように設けられたＸ線透過窓と、
内部が真空状態になるように前記基板に取り付けられた背面板と枠状の側面板からなる箱型の容器部と、
前記容器部の内部において前記開口部に前記Ｘ線透過窓と密着して設けられたＸ線ターゲットと、
電子を放出する線状の陰極と、該陰極から放出された電子を制御する制御電極とを前記容器部の内部に含み、前記陰極および制御電極のリード線が前記背面板側から前記側面板の側面を介して外部に延出する電極部とを備え、
前記陰極から放出されて前記制御電極により制御された電子を前記Ｘ線ターゲットに衝突させてＸ線を発生し、この発生したＸ線を前記Ｘ線透過窓から外部に透過させて放出するＸ線管において、
前記基板は、前記容器部の外寸よりも小さく形成され、前記背面板と対向して前記側面板と接合し、該側面板との接合部分の外周端面の角部を覆うように１種類の被覆材で被覆することを特徴とするＸ線管。
【請求項２】
前記側面板の内面側には、前記基板を位置決めして接合するための欠切部が形成されることを特徴とする請求項１記載のＸ線管。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高真空状態とされたパッケージの内部で電子源から電子を放出させてＸ線ターゲットに衝突させ、Ｘ線ターゲットから放出されたＸ線をパッケージのＸ線透過窓から外部に放射するＸ線管に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、除電対象物を除電するためにＸ線を発生するＸ線管としては、例えば下記特許文献１に開示された図９に示すものが知られている。図９のＸ線管１０１は、いわゆる丸型管と呼ばれるものであって、コバールガラス製の円筒状のバルブ１０２を有している。バルブ１０２のステム１０４の末端には、密封された排気管１０３が設けられている。また、バルブ１０２の開放端には、コバール金属製の円筒状の出力窓保持部１０５が溶融接続されている。出力窓保持部１０５には、その中央円形開口１０５ａを塞ぐように円板状の出力窓（Ｘ線透過窓）１０６が固定されている。出力窓１０６の内面側には、電子ビームの衝突によりＸ線を発生させるＸ線ターゲット１０７が蒸着されている。ステム１０４には、２本のステムピン１０８，１０８が貫通して固定されている。バルブ１０２内のステムピン１０８，１０８の先端には、所定電圧で電子ビームを放出するカソードとしてフィラメント１０９が固定されている。これらステムピン１０８のいずれか一方には、ステンレス製の円筒状の部材であるフォーカス１１０が固定されている。なお、出力窓保持部１０５は、コバール金属製であるため熱伝動性及び導電性が良好であるとともに、アースされたケース内に電気的に接続されることで接地電位になっている。その結果、Ｘ線ターゲット１０７も接地電位に維持されている。
【０００３】
ところで、従来から販売されているＸ線管は、上述した特許文献１に開示される図９のＸ線管を含め、Ｘ線透過窓としてベリリウムを使用したものが一般的であった。しかしながら、ベリリウムは、Ｘ線透過特性に優れているものの、毒性が高いために扱いが非常に難しくメンテナンス面での負担が大きいという問題があった。
【０００４】
そこで、本願発明者等は、下記特許文献２に開示されるようにＸ線透過窓としてチタン（Ｔｉ）を用いたＸ線管を開発した。
【０００５】
下記特許文献２に開示されるＸ線管は、開口部が形成された４２６合金製の基板と、基板の開口部を塞ぐように設けられたチタン箔のＸ線透過窓と、基板に取り付けられて内部が真空状態とされた扁平箱型の容器部と、容器部の内部において開口部に設けられたＸ線ターゲットと、容器部の内部にてＸ線ターゲットに電子を入射させる電子源とを備えている。また、電子源は、線状の陰極と、陰極から電子を引き出す第１制御電極と、引き出した電子の照射範囲を規制する第２制御電極とを備える。この特許文献１に開示されるＸ線管によれば、第１制御電極によって陰極から引き出された電子は、第２制御電極により照射範囲がＸ線ターゲット近傍に規制される。そして、Ｘ線ターゲットに電子が入射して発生したＸ線は、基板の開口部で規制されたＸ線透過窓から放射される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１４―０７５１９０号公報
【特許文献２】特開２０１３―１８２８６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、Ｘ線管のＸ線強度は、図７に示すような特性を有している。図７は３０ｃｍ離れた位置でのＸ線強度であり、管電圧（定格ターゲット電圧）を５ｋＶ一定として入力電力を上げていく場合には、Ｘ線強度が管電流に依存し、図７の実線で示すように、管電流に対して比例する傾向にある。これに対し、管電流を１５０μｍ一定として入力電力を上げていく場合には、Ｘ線強度が管電圧（定格ターゲット電圧）に依存し、図７の破線で示すように、管電圧に対して二乗に比例する傾向にある。また、管電流を１５０μｍ一定として入力電力を上げていく場合には、放射されるＸ線エネルギーも高くなるため、空気減衰が低くなり、二乗以上に増大する傾向にある。したがって、Ｘ線管のＸ線強度の向上を図るには、管電圧の上昇が不可欠であった。
【０００８】
しかしながら、上述した特許文献２のＸ線管では、リード線から基板までの高さが１０ｍｍ程度と低く抑えることにより、図９のＸ線管よりも小型化を図っている。そして、上述した図７に示すＸ線強度の特性を活かし、Ｘ線管の容器部の高さ１０ｍｍを維持したままの状態で従来の管電圧５ｋＶよりも高い電圧（例えば９．８ｋＶ）を印加すると、リード線と基板との間で放電が発生し、そのままでは管電圧を上昇させることができないという新たな課題を発見した。
【０００９】
そこで、本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、放電を発生させることなくＸ線強度の向上を図ることができるＸ線管を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記した目的を達成するために、請求項１に記載されたＸ線管は、開口部が形成された金属材料からなる基板と、
前記開口部を塞ぐように設けられたＸ線透過窓と、
内部が真空状態になるように前記基板に取り付けられた背面板と枠状の側面板からなる箱型の容器部と、
前記容器部の内部において前記開口部に前記Ｘ線透過窓と密着して設けられたＸ線ターゲットと、
電子を放出する線状の陰極と、該陰極から放出された電子を制御する制御電極とを前記容器部の内部に含み、前記陰極および制御電極のリード線が前記背面板側から前記側面板の側面を介して外部に延出する電極部とを備え、
前記陰極から放出されて前記制御電極により制御された電子を前記Ｘ線ターゲットに衝突させてＸ線を発生し、この発生したＸ線を前記Ｘ線透過窓から外部に透過させて放出するＸ線管において、
前記基板は、前記容器部の外寸よりも小さく形成され、前記背面板と対向して前記側面板と接合し、該側面板との接合部分の外周端面の角部を覆うように１種類の被覆材で被覆することを特徴とする。
【００１１】
請求項２に記載されたＸ線管は、請求項１のＸ線管において、
前記側面板の内面側には、前記基板を位置決めして接合するための欠切部が形成されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、基板を背面板と枠状の側面板からなる容器部の外寸よりも小さく形成して側面板と接合し、基板と側面板との接合部分の基板の外周端面の角部を覆うように１種類の被覆材で被覆する構成なので、電極部の各リード線から基板の外周端面の角部が見通せなくなり、電極部の各リード線と基板との間で放電を発生させることなく管電圧を高くすることができる。その結果、従来のＸ線管と同等の高さであっても、上昇させた管電圧を安定して印加し通電させることができ、従来のＸ線管よりもＸ線強度が増すとともに除電速度を速くすることができる。しかも、基板の外周端面の角部全体が１種類の被覆材で覆われて完全に隠れるので、より確実に放電の発生を抑えることができる。
【００１３】
また、基板を位置決めして接合するための欠切部を側面板の内面側に形成すれば、Ｘ線管の高さを小さくでき、基板を側面板に接合する際に、基板の四隅を欠切部に位置決めして組み立て時における作業性の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明のＸ線管の実施の形態の断面図であって、容器部と基板の接合構造の一例を示す図である。
【図２】本発明のＸ線管の実施の形態の平面図である。
【図３】本発明のＸ線管の実施の形態における電極構造を示す分解拡大斜視図である。
【図４】（ａ），（ｂ）本発明のＸ線管の容器部と基板の接合構造の他の例を示す図である。
【図５】（ａ）本発明のＸ線管と従来のＸ線管のＸ線強度の対比図である。  （ｂ）本発明のＸ線管と従来のＸ線管を用いて除電装置を構成した場合における除電速度の対比図である。
【図６】本発明に係るＸ線管の他の実施の形態の断面図である。
【図７】入力電力とＸ線強度の関係を示す図である。
【図８】本発明のＸ線管と比較するための比較用のＸ線管の断面図である。
【図９】従来の丸型管の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明を実施するための形態について、添付した図面を参照しながら詳細に説明する。また、この実施の形態によって本発明が限定されるものではなく、この形態に基づいて当業者等により考え得る実施可能な他の形態、実施例及び運用技術等は全て本発明の範疇に含まれるものとする。
【００１６】
［１．本発明の概要について］
本発明は、管電圧を上昇させても電極部の各リード線と基板との間で放電が起きないように、電極部のリード線に対して電位差が大きい基板の露出部分を減らし、電極部の各リード線から基板の外周端面における角部分（稜線部分）を見通せなくした構成を特徴としている。
【００１７】
［２．Ｘ線管の構成について］
＜２−１．管構造について＞
まず、本発明のＸ線管１の構成について説明する。
図１に示すように、本例のＸ線管１は、箱型形状のパッケージ２を本体とする平型管である。パッケージ２は、シールガラス（鉛ガラス）を介在させてガラス製（例えば、ソーダライムガラス）の背面板３ａと枠状の側面板３ｂとを箱型に組み立てた容器部３を大気焼成によってドライシール化し、さらに第１基板４ａと第２基板４ｂとでチタン箔のＸ線透過窓５を挟んだ構成の基板４を後述する接合構造により容器部３と接合して取り付けて閉止される。また、パッケージ２の内部は、背面板３ａに形成した不図示の排気孔から高真空状態に排気されている。
【００１８】
基板４は、Ｘ線不透過性の４２６合金でできた矩形板である。４２６合金とは４２％Ｎｉ、６％Ｃｒ、残部Ｆｅ等の合金であり、容器部３を構成するソーダライムガラスと熱膨張係数が略等しい。なお、容器部３に使用するガラスの材質によって、基板４の金属材料も熱膨張率等を鑑みて適宜変更することができる。
【００１９】
また、図２に示すように、第１基板４ａと第２基板４ｂの中央には、長手方向に沿って細長い矩形状（又はスリット状）の開口部６が形成されている。
【００２０】
Ｘ線透過窓５は、第１基板４ａ及び第２基板４ｂと略同等の大きさのチタン箔で形成される。このチタン箔を第１基板４ａと第２基板４ｂとの間に挟んだ状態で、真空又は不活性ガス（例えば、Ａｒガス）雰囲気中で熱拡散接合によって一体化されることで開口部６がチタン箔のＸ線透過窓５で閉止された基板４を構成している。
【００２１】
なお、熱拡散接合とは、母材を密着させ、母材の融点以下の温度条件で塑性変形が可能な限り生じない程度に加圧して、接合面間に生じる原子の拡散を使用して接合する方法である。
【００２２】
そして、熱拡散接合を用いた方法では、第１基板４ａと第２基板４ｂの他の部分でもチタン箔が固着剤の作用をし、第１基板４ａと第２基板４ｂが強固に固着し、基板４の強度を向上させる効果がある。また、基板４を金属材料としているので、金属のチタン箔からなるＸ線透過窓５との接合性が良好である。
【００２３】
また、Ｘ線透過窓５の内面には、開口部６の内側からＸ線透過窓５の内面に密着するように、タングステン（Ｗ）の膜が蒸着されることによりＸ線ターゲット７が形成されている。なお、Ｘ線ターゲット７としては、モリブデンなどのタングステン以外の金属を用いても良い。また、Ｘ線ターゲット７を形成せず、Ｘ線透過窓５のチタン箔をＸ線ターゲットとして利用することもできる。この場合、後述する陰極９から放出された電子がチタン箔に衝突した際にチタンから発生する特性Ｘ線を利用してＸ線を外部に放出することができる。
【００２４】
＜２−２．接合構造について＞
次に、管電圧を上昇させても電極部１２の後述する各リード線８ａ，９ａ，１０ｂ，１１ｃと基板４との間で放電が起きないように、電極部１２の各リード線８ａ，９ａ，１０ｂ，１１ｃから基板４の外周端面の角部分（稜線部分）を見通せなくした容器部３と基板４の接合構造について図１および図４を参照しながら説明する。
【００２５】
図１の接合構造において、基板４は、容器部３の外寸よりも小さく、枠状の側面板３ｂの内寸よりも大きく形成されている。また、枠状の側面板３ｂの内面側には、幅方向に凹状に欠切された欠切部３ｂａが形成されている。欠切部３ｂａの深さは、基板４の厚さと同等、もしくは基板４の厚さよりも若干厚めに設定される。図１の接合構造では、基板４の四隅を欠切部３ｂａに突き当てて位置決めし、基板４の外周端面の角部が覆われて隠れるように、例えばフリットシールガラス等の被覆材２１により枠状の側面板３ｂと基板４との間を封着して接合する。
【００２６】
図４（ａ）の接合構造において、基板４は、図１の接合構造と同様に、容器部３の外寸よりも小さく、枠状の側面板３ｂの内寸よりも大きく形成されている。図４（ａ）の接合構造では、基板４が枠状の側面板３ｂからはみ出さないように、基板４を枠状の側面板３ｂの端面に突き当て、基板４の外周端面の角部が覆われて隠れるように、例えばフリットシールガラス等の被覆材２１により枠状の側面板３ｂと基板４との間を封着して接合する。
【００２７】
図４（ｂ）の接合構造において、基板４は、図１や図４（ａ）の接合構造と同様に、基板４が容器部３の外寸よりも小さく、容器部３の枠状の側面板３ｂの内寸よりも大きく形成されている。また、図４（ｂ）の接合構造では、被覆部材としての被覆基板２２が用いられる。被覆基板２２は、容器部３の背面板３ａと同等の大きさのガラス板からなり、中央がくり抜かれた開口２２ａを有して枠状に形成されている。なお、開口２２ａは、Ｘ線透過窓５からのＸ線を外部に放射することを考慮して形状や大きさが適宜設定される。図４（ｂ）の接合構造では、基板４が枠状の側面板３ｂと枠状の被覆基板２２からはみ出さないように、枠状の側面板３ｂと枠状の被覆基板２２との間に基板４を挟み込み、基板４の外周端面の角部が覆われて隠れるように、例えばフリットシールガラス等の被覆材２１により枠状の側面板３ｂと基板４との間、及び基板４と枠状の被覆基板２２との間を封着して接合する。
【００２８】
このように、上述した図１や図４（ａ），（ｂ）の接合構造によれば、電極部１２の後述する各リード線８ａ，９ａ，１０ｂ，１１ｃから基板４の外周端面の角部分が見通せなくなり、管電圧を上昇させても電極部１２の各リード線８ａ，９ａ，１０ｂ，１１ｃと基板４との間で放電を発生させることなくＸ線管１を駆動することができる。
【００２９】
また、特に、図１の接合構造では、枠状の側面板３ｂの欠切部３ｂａに基板４が収まる構成なので、Ｘ線管の高さを必要最小限に小さくすることができる。しかも、基板４を枠状の側面板３ｂに接合する際、基板４の四隅を欠切部３ｂａに位置決めでき、Ｘ線管１の組み立て時における作業性の向上を図ることができる。
【００３０】
＜２−３．電極構成について＞
次に、Ｘ線管１のパッケージ２内部における電極構成について説明する。
図１及び図３に示すように、パッケージ２の内部には、Ｘ線透過窓５と反対側の容器部３の内面に、ガラスへの帯電を防止するための背面電極８が設けられている。
【００３１】
背面電極８の下方には、電子源である線状の陰極９が張設されている。背面電極８は、容器部３から外部に延出して引き出されたリード線８ａを介して後述する駆動回路１３に接続されている。なお、図１におけるリード線８ａは、背面板３ａから引き出された線として図示しているが、実際には容器部３の長手方向の側面板３ｂの側面から外部に延出して引き出されている。
【００３２】
陰極９は、タングステン等からなるワイヤー上の芯線の表面に炭酸塩を施したもので、芯線を通電加熱することで、熱電子を放出するものである。陰極９は、容器部３の長手方向の側面板３ｂの両側面から外部に延出して引き出されたリード線９ａを介して後述する駆動回路１３に接続されている。
【００３３】
陰極９の下方には、陰極９から電子を引き出すためのメッシュ状の開口１０ａを有する第１制御電極１０が設けられている。第１制御電極１０は、陰極９と同様に、容器部３の長手方向の側面板３ｂの両側面から外部に延出して引き出されたリード線１０ｂを介して後述する駆動回路１３に接続されている。
【００３４】
第１制御電極１０の下方には、電子線の照射範囲を規制する第２制御電極１１が設けられている。第２制御電極１１は、周囲の四方を板体に囲まれた箱型の電極部材であり、線状の陰極９と対応する部分に細長いスリットの開口１１ａを有し、かつ開口１１ａにメッシュ１１ｂが形成されている。
【００３５】
第２制御電極１１の開口１１ａ及びメッシュ１１ｂは、前述した第１基板４ａの開口部６及びその近傍に設けられたＸ線ターゲット７に対応しており、陰極９から放出された電子が第２制御電極１１から放射される範囲を規制し、第１基板４ａ側のＸ線透過窓５のＸ線ターゲット７やその近傍に電子を当てることによって、効率的にＸ線を発生させてパッケージ２外に取り出せるように構成されている。また、第２制御電極１１とＸ線ターゲット７の距離も、Ｘ線透過窓５に電子が適切な状態で衝突するために適した値に設定されている。さらに、第２制御電極１１は、陰極９や第１制御電極１０と同様に、容器部３の長手方向の側面板３ｂの両側面から外部に延出して引き出されたリード線１１ｃを介して後述する駆動回路１３に接続されている。
【００３６】
Ｘ線管１は、電極部１２を構成する背面電極８、陰極９、第１制御電極１０、第２制御電極１１にそれぞれ所定の駆動電圧を印加する駆動回路１３を備えている。この駆動回路１３は、図１に示すように、４個の高電圧電源１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄを備えている。高電圧電源１３ａは、陰極が背面電極８に接続され、陽極がＸ線透過窓５に接続されて接地されており、Ｘ線透過窓５をグランド電位（０Ｖ）にしている。高電圧電源１３ｂは、陽極が陰極９に接続され、陰極が高電圧電源１３ａの陰極に接続されている。高電圧電源１３ｃは、陽極が第１制御電極１０に接続され、陰極が高電圧電源１３ａの陰極に接続されている。高電圧電源１３ｄは、陽極が第２制御電極１１に接続され、陰極が高電圧電源１３ａの陰極に接続されている。そして、駆動回路１３は、高電圧電源１３ａから背面電極８に駆動電圧を印加するとともに、この高電圧電源１３ａの電圧を基準とする所定の駆動電圧を陰極９、第１制御電極１０、第２制御電極１１にそれぞれ印加しており、このようなＸ線管１のＸ線透過窓５側を接地した構造を陽極接地と呼び、陽極接地の駆動回路１３でＸ線管１を駆動することを陽極接地駆動と呼ぶ。
【００３７】
なお、上述した背面電極８、陰極９、第１制御電極１０、第２制御電極１１によって電極部１２を構成している。
【００３８】
このような電極構成により、陰極９は、周囲が所定の電位が印加された電極で囲われるので、容器部３内面の帯電の影響を受けることなく、陰極９周囲の電位を安定させることができる。
【００３９】
また、第２制御電極１１には、第１制御電極１０によって引き出された電子がＸ線透過窓５以外の場所、例えばパッケージ２の内壁等に衝突し、アノードであるＸ線ターゲット７と陰極９との絶縁性を悪化させることがないように、陰極９側を遮蔽する機能も有している。
【００４０】
なお、背面電極８は、容器部３と線状の陰極９との距離が十分保たれていれば、容器部３への電子の帯電の影響が少なく不要である。また、制御電極は、第１制御電極１０、第２制御電極１１に加えて、線状の陰極９からＸ線透過窓５までの距離、管電圧、あるいはＸ線透過窓５から取り出すＸ線の集束度合いに応じて追加しても良い。
【００４１】
さらに、第１制御電極１０ならびに第２制御電極１１は、基板４と同様、容器部３の熱膨張係数をほぼ等しくするために、４２６合金を使用することが望ましい。
【００４２】
そして、上述した構成を備えたＸ線管１によれば、空気等にＸ線を照射してイオン化し、このイオンを帯電した被除電体（Ｘ線照射対象物）に放射することで、被除電体の除電処理を行うことができる。
【００４３】
［３．性能評価について］
次に、本発明のＸ線管１の性能評価として、耐電圧、Ｘ線強度、除電速度について説明する。
【００４４】
＜３−１．耐電圧について＞
前述した接合構造による本発明のＸ線管１と従来のＸ線管とをそれぞれ作製し、管電圧１５ｋＶまでの耐電圧の測定を行ったところ、下記表１に示すような結果が得られた。
【００４５】
【表１】
0006262161.tif 000002
【００４６】
なお、本発明のＸ線管１として、図１や図４（ａ），（ｂ）の構成において容器部３からの基板４（４ａ，４ｂ）のはみ出し量が−０．５ｍｍの４個のサンプルを用意した。また、本発明のＸ線管１と比較するための比較用のＸ線管として、容器部からの基板のはみ出し量がプラス０．５ｍｍの９個のサンプルを用意した。この比較用のＸ線管２０１は、図８に示すように、電極部２０２（背面電極２０２ａ、陰極２０２ｂ、第１制御電極２０２ｃ、第２制御電極２０２ｄ）の各リード線２０３から基板２０４（Ｘ線透過窓２０５を挟み込んだ２枚の基板２０４ａ，２０４ｂ）の外周端面における角部分（稜線部分）が見通せる構成となっており、容器部２０６からの基板２０４のはみ出し量が＋０．５ｍｍである。なお、図８のＸ線管２０１は、容器部２０６と基板２０４の接合構造以外の部分を本発明のＸ線管１と同一構成として作製した。そして、これら本発明の４個のサンプルのＸ線管１と比較用の９個のサンプルのＸ線管２０１に対し、個々に管電圧１５ｋＶまでの耐電圧の測定を行った。
【００４７】
上記表１に示すように、比較用のＸ線管では、耐電圧が１０．５ｋＶ〜１４．０ｋＶとバラツキがあり、９個のサンプル全てで放電が発生して管電圧１５ｋＶに耐えられないという結果が得られた。これに対し、本発明のＸ線管では、４個のサンプル全てが管電圧１５ｋＶまで耐え、管電圧１５ｋＶ以上の耐電圧があるという結果が得られた。
【００４８】
＜３−２．Ｘ線強度について＞
本発明のＸ線管として、上述した接合構造を採用した高さ１０ｍｍのパッケージを構成し、Ｘ線ターゲットにチタン箔を用い、管電圧９．８ｋＶ、管電流１５０μＡを駆動条件として、Ｘ線照射対象物までの距離が５０ｃｍのときのＸ線強度を測定した。
【００４９】
また、比較対象としての従来のＸ線管は、高さ１０ｍｍのパッケージを構成し、Ｘ線ターゲットにチタン箔を用い、管電圧５ｋＶ、管電流１５０μＡを駆動条件として、Ｘ線照射対象物までの距離が５０ｃｍのときのＸ線強度を測定した。図５（ａ）はこれらの測定によって得られた本発明のＸ線管と従来のＸ線管のＸ線強度の対比図である。
【００５０】
本発明のＸ線管によれば、図５（ａ）に示すように、Ｘ線照射対象物までの距離が５０ｃｍのときの従来のＸ線管のＸ線強度を１倍とすると、管電圧を５ｋＶから９．８ｋＶへ上昇させることにより、Ｘ線強度が従来のＸ線管の５０倍以上になる結果が得られた。
【００５１】
＜３−３．除電速度について＞
本発明のＸ線管として、上述した接合構造を採用した高さ１０ｍｍのパッケージを構成し、Ｘ線ターゲットにチタン箔を用い、管電圧９．８ｋＶ、管電流１５０μＡを駆動条件として、被除電体までの距離が５０ｃｍのときの除電速度を測定した。
【００５２】
また、比較対象としての従来のＸ線管は、高さ１０ｍｍのパッケージを構成し、Ｘ線ターゲットにチタン箔を用い、管電圧５ｋＶ、管電流１５０μＡを駆動条件として、被除電体までの距離が５０ｃｍのときの除電速度を測定した。図５（ｂ）はこれらの測定によって得られた本発明のＸ線管と従来のＸ線管を用いて除電装置を構成した場合における除電速度の対比図である。
【００５３】
本発明のＸ線管によれば、図５（ｂ）に示すように、被除電体までの距離が５０ｃｍのときの従来のＸ線管の除電速度を１倍とすると、管電圧を５ｋＶから９．８ｋＶへ上昇させることにより、除電速度が従来のＸ線管の８．６倍になる結果が得られた。
【００５４】
そして、以上説明したように、上述した実施形態のＸ線管によれば、基板４を容器部３の外寸よりも小さく形成し、基板４が容器部３の外形からはみ出さないように容器部３と基板４とを接合している。これにより、電極部１２を構成する背面電極８、陰極９、第１制御電極１０、第２制御電極１１の各リード線８ａ，９ａ，１０ｂ，１１ｃから基板４の外周端面の角部（稜線部分）が見通せなくなり、電極部１２の各リード線８ａ，９ａ，１０ｂ，１１ｃと基板４との間で放電を発生させることなく管電圧を高くすることができる。その結果、小型化を図った特許文献２に開示される従来のＸ線管と同等の高さであっても、上昇させた管電圧を安定して印加し通電させることができ、従来のＸ線管よりもＸ線強度が増すとともに除電速度を速くすることができる。
【００５５】
また、本実施の形態のＸ線管によれば、基板４と容器部３（枠状の側面板３ｂ）との接合部分が被覆材２１で覆われ、基板４の外周端面の角部全体が覆われて完全に隠れるので、より確実に放電の発生を抑えることができる。
【００５６】
ところで、上述した実施の形態では、容器部３の外寸より全体的に小さくなる寸法で基板４を形成し、図１や図４（ａ），（ｂ）の接合構造を採用して容器部３と基板４とを接合しているが、これに限定されるものではない。すなわち、基板４は、少なくとも容器部３との接合部分のみを容器部３の外寸より小さい寸法に形成し、この接合部分が容器部３からはみ出さず、電極部１２を構成する背面電極８、陰極９、第１制御電極１０、第２制御電極１１の各リード線８ａ，９ａ，１０ｂ，１１ｃから基板４の外周端面の角部が見通せない接合構造であればよい。
【００５７】
また、図１の実施の形態における側面板３ｂの欠切部３ｂａは、図示の形状に限定されるものではない。例えば、基板４との接合部分における側面板３ｂの外面側より内面側が低くなるように傾斜した傾斜面の欠切部３ｂａを形成し、この傾斜面の欠切部３ｂａに対応して基板４側にも傾斜面を形成し、傾斜面同士を突き合わせて接合する構成としても良い。すなわち、側面板３ｂの欠切部３ｂａは、電極部１２を構成する背面電極８、陰極９、第１制御電極１０、第２制御電極１１の各リード線８ａ，９ａ，１０ｂ，１１ｃから基板４の外周端面の角部が見通せないように基板４と枠状の側面板３ｂとを接合できる形状であればよい。
【００５８】
さらに、図１の実施の形態のＸ線管１は、各々中央に開口部６が形成された第１基板４ａと第２基板４ｂの２枚の基板４でＸ線透過窓５を挟み込み、開口部６の内側からＸ線透過窓５の内面に密着するようにＸ線ターゲット７を形成した構成であるが、この構成に限定されるものではない。例えば、図６に示すように、中央に開口部６が形成された１枚の基板４の外側に開口部６を塞ぐようにＸ線透過窓５を形成し、開口部６の内側からＸ線透過窓５の内面に密着するようにＸ線ターゲット７を形成した構成であってもよい。尚、この図６の構成を図４（ａ），（ｂ）に採用することもできる。
【符号の説明】
【００５９】
１  Ｘ線管
２  パッケージ
３  容器部
３ａ  背面板
３ｂ  側面板
３ｂａ  欠切部
４  基板
４ａ  第１基板
４ｂ  第２基板
５  Ｘ線透過窓
６  開口部
７  Ｘ線ターゲット
８  背面電極
８ａ  リード線
９  陰極
９ａ  リード線
１０  第１制御電極
１０ａ  開口
１０ｂ  リード線
１１  第２制御電極
１１ａ  開口
１１ｂ  メッシュ
１１ｃ  リード線
１２  電極部
１３  駆動回路
１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ  高電圧電源
２１  被覆材
２２  被覆基板（被覆部材）
２２ａ  開口
【図１】
0006262161.tif 000003
【図２】
0006262161.tif 000004
【図３】
0006262161.tif 000005
【図４】
0006262161.tif 000006
【図５】
0006262161.tif 000007
【図６】
0006262161.tif 000008
【図７】
0006262161.tif 000009
【図８】
0006262161.tif 000010
【図９】
0006262161.tif 000011