(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークが内挿される環状の測定ヘッドと、
前記測定ヘッドの内周面に配設された少なくとも１つ以上の測定部と、を備え、
前記測定ヘッドは、中心軸が鉛直方向に対して交差する方向に延在し、
前記測定ヘッドには、
径方向に延び、前記測定部が配設される取付孔と、
前記中心軸方向に延びるエア逃がし孔と、が形成され、
前記測定部は、前記内周面の最下部を除く領域、又は、最上部を除く領域に配設され、
前記エア逃がし孔は、前記測定ヘッドの前記中心軸方向を向く両端面と前記取付孔とに、それぞれ開口していることを特徴とする外径測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載の外径測定装置であって、
前記測定部は、前記中心軸を含む鉛直面を基準にして面対称に配設されることを特徴とする外径測定装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の外径測定装置であって、
前記測定部は、前記ワークに向けて圧縮空気を吹き出すエアノズルであることを特徴とする外径測定装置。
【請求項４】
ワークが外挿される軸状の測定ヘッドと、
前記測定ヘッドの外周面に配設された少なくとも１つ以上の測定部と、を備え、
前記測定ヘッドは、中心軸が鉛直方向に対して交差する方向に延在し、
前記測定ヘッドには、
径方向に延び、前記測定部が配設される取付孔と、
前記中心軸方向に延びるエア逃がし孔と、が形成され、
前記測定部は、前記外周面の最上部を除く領域、又は、最下部を除く領域に配設され、
前記エア逃がし孔は、前記測定ヘッドの前記中心軸方向を向く両端面と前記取付孔とに、それぞれ開口していることを特徴とする内径測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば空気マイクロメータや電気マイクロメータなどの、ワークの外径寸法を測定する外径測定装置及びワークの内径寸法を測定する内径測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば円柱状のワークの外径やワークに形成された円穴の内径等を測定する径測定装置として、特許文献１に記載の空気マイクロメータが知られている。
特許文献１の図７に示されるように、この空気マイクロメータは、円形環状の測定ヘッドの内周に周方向に等間隔をあけて、複数の測定用エアノズルが配設される。これら測定用エアノズルは、Ａ−Ｅ変換器を介してアンプに接続される。
【０００３】
空気マイクロメータを用いて円柱状のワークの外径を測定するときは、ワークを縦置き姿勢（中心軸を鉛直方向に延ばした状態）にして、測定ヘッド内に挿入する。そして、測定用エアノズルからワークの外周に向けて圧縮空気を吹き出し、その背圧をＡ−Ｅ変換器で電気信号に変換して、アンプでワーク外径を算出する。なお、ワークを縦置き姿勢にするのは、ワークの中心軸と測定ヘッドの中心軸を一致させるためである。
【０００４】
また、空気マイクロメータを用いてワークの円穴の内径を測定するときは、特許文献１の図１に示されるように、軸状の測定ヘッドを縦置き姿勢にして円穴内に挿入し、該測定ヘッドの外周に周方向に等間隔をあけて配設された複数の測定用エアノズルから、ワークの内周に向けて圧縮空気を吹き出し、上記同様にＡ−Ｅ変換器及びアンプを用いて、ワーク内径を算出する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−１６５６４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来の径測定装置には、下記の課題がある。
すなわち、測定ヘッドとワークの間には、径方向のクリアランス（ワークを挿入するための隙間）が設けられているため、ワークや測定ヘッドを縦置き姿勢にすると、測定時に傾くことがある。この傾きの向きなどにばらつきがあるため、測定精度が不安定になるおそれがある。
【０００７】
また、製造ラインでは、ワークを横置き姿勢（中心軸を水平方向に延ばした状態）にして搬送することが一般的である。このため、ワークの径を測定するときには、測定時に一旦ワークを縦置き姿勢にし、測定後に横置き姿勢に戻している。従って、製造工程が煩雑になっている。
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、製造工程を煩雑にすることなく、測定精度を安定して向上させることができる外径測定装置及び内径測定装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
このような課題を解決して、前記目的を達成するために、本発明は以下の手段を提案している。
すなわち、本発明の外径測定装置は、ワークが内挿される環状の測定ヘッドと、前記測定ヘッドの内周面に配設された少なくとも１つ以上の測定部と、を備え、前記測定ヘッドは、中心軸が鉛直方向に対して交差する方向に延在し、前記測定ヘッドには、径方向に延び、前記測定部が配設される取付孔と、前記中心軸方向に延びるエア逃がし孔と、が形成され、前記測定部は、前記内周面の最下部を除く領域、又は、最上部を除く領域に配設され、前記エア逃がし孔は、前記測定ヘッドの前記中心軸方向を向く両端面と前記取付孔とに、それぞれ開口していることを特徴とする。
【００１０】
本発明の径測定装置（外径測定装置）によれば、環状の測定ヘッドの中心軸が鉛直方向に交差する向き（水平方向や、鉛直方向と水平方向の間の傾斜方向）に延びているので、この測定ヘッドに内挿される円柱形等のワークの中心軸も、水平方向や傾斜方向に延びることになる。
【００１１】
このため、ワークは、測定ヘッドの内周面の最下部又は最上部に接触する。
すなわち、測定ヘッドが、例えば装置の基台、テーブル、床面等に固定される場合は、ワークの自重により、測定ヘッドの内周面の最下部にワークが接触する。
また、ワークが、例えば装置の基台、テーブル、床面等に固定される場合は、測定ヘッドの自重により、該測定ヘッドの内周面の最上部にワークが接触する。
【００１２】
従って、径測定装置の測定処理時に、ワーク又は測定ヘッドの傾く向き（傾倒する向き）が、重力が作用する所定方向（重力方向、つまり鉛直方向の下方）に決まるので、測定精度を安定して向上させることができる（繰り返し精度が確保される）。なお、ワークの中心軸と測定ヘッドの中心軸が一致しない場合であっても、予め設定した補正値等によって適宜補正することにより、十分に精度を確保できる。
【００１３】
そして、測定ヘッドの内周面において、ワークの接触位置に測定部が配置されていないので、ワークが測定部を直接的に塞ぐような不具合が防止されて、測定精度が顕著に安定する。
また、製造工程（製造ライン）において、横置き姿勢で搬送されるワークを、姿勢を変えることなく、そのまま測定ヘッドに内挿（測定ヘッドの径方向内側に略嵌合）してワークの外径を測定することができる。このため、ワークの姿勢を変えるという煩雑な作業が不要となり、製造工程を簡略化できる。
【００１９】
また、本発明の外径測定装置において、前記測定部は、前記中心軸を含む鉛直面を基準にして面対称に配設されることが好ましい。
【００２０】
この場合、鉛直面を基準にして測定部の補正値を設定することができるので、補正処理が簡単になって径測定の精度を向上させることができる。
【００２１】
また、本発明の外径測定装置において、前記測定部は、前記ワークに向けて圧縮空気を吹き出すエアノズルであることが好ましい。
【００２２】
この場合、当該外径測定装置は空気マイクロメータであるので、ワークの径測定を非接触に行うことができ、ワークに損傷を与えることがない。
また、本発明の内径測定装置は、ワークが外挿される軸状の測定ヘッドと、前記測定ヘッドの外周面に配設された少なくとも１つ以上の測定部と、を備え、前記測定ヘッドは、中心軸が鉛直方向に対して交差する方向に延在し、前記測定ヘッドには、径方向に延び、前記測定部が配設される取付孔と、前記中心軸方向に延びるエア逃がし孔と、が形成され、前記測定部は、前記外周面の最上部を除く領域、又は、最下部を除く領域に配設され、前記エア逃がし孔は、前記測定ヘッドの前記中心軸方向を向く両端面と前記取付孔とに、それぞれ開口していることを特徴とする。
本発明の径測定装置（内径測定装置）によれば、軸状の測定ヘッドの中心軸が鉛直方向に交差する向き（水平方向や、鉛直方向と水平方向の間の傾斜方向）に延びているので、この測定ヘッドに外挿される円穴等を有するワークの中心軸も、水平方向や傾斜方向に延びることになる。
このため、ワークは、測定ヘッドの外周面の最上部又は最下部に接触する。
すなわち、測定ヘッドが、例えば装置の基台、テーブル、床面等に固定される場合は、ワークの自重により、測定ヘッドの外周面の最上部にワークが接触する。
また、ワークが、例えば装置の基台、テーブル、床面等に固定される場合は、測定ヘッドの自重により、該測定ヘッドの外周面の最下部にワークが接触する。
従って、径測定装置の測定処理時に、ワーク又は測定ヘッドの傾く向き（傾倒する向き）が、重力が作用する所定方向（重力方向、つまり鉛直方向の下方）に決まるので、測定精度を安定して向上させることができる（繰り返し精度が確保される）。なお、ワークの中心軸と測定ヘッドの中心軸が一致しない場合であっても、予め設定した補正値等によって適宜補正することにより、十分に精度を確保できる。
そして、測定ヘッドの外周面において、ワークの接触位置に測定部が配置されていないので、ワークが測定部を直接的に塞ぐような不具合が防止されて、測定精度が顕著に安定する。
また、製造工程（製造ライン）において、横置き姿勢で搬送されるワークを、姿勢を変えることなく、そのまま測定ヘッドに外挿（測定ヘッドの径方向外側に略嵌合）してワークの内径を測定することができる。このため、ワークの姿勢を変えるという煩雑な作業が不要となり、製造工程を簡略化できる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明の外径測定装置及び内径測定装置によれば、製造工程を煩雑にすることなく、測定精度を安定して向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の一実施形態に係る外径測定装置（径測定装置）の概略構成を説明する図である。
【図２】図１の外径測定装置の測定ヘッドを示す正面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の一実施形態に係る外径測定装置（径測定装置）１について、図面を参照して説明する。
本実施形態の外径測定装置１は、環状の測定ヘッド（ジェット）１０に内挿された円柱形のワークＷの外径寸法を測定する、背圧式の空気マイクロメータである。
【００２６】
なお、本明細書においては、測定ヘッド１０の中心軸Ｏに沿う方向を中心軸Ｏ方向という。
また、中心軸Ｏに直交する方向を径方向といい、径方向のうち、中心軸Ｏに接近する向きを径方向の内側といい、中心軸Ｏから離間する向きを径方向の外側という。
また、中心軸Ｏ回りに周回する方向を周方向という。
【００２７】
図１に示されるように、この外径測定装置１は、測定ヘッド１０、エアノズル（測定部）３５を有するノズル本体３０、Ａ−Ｅ変換器４６、アンプ４８、及びレギュレータ４４を備えている。また、レギュレータ４４には、圧縮空気を供給するエア源４２が接続されている。
【００２８】
測定ヘッド１０は、円柱形のワークＷが内挿（径方向内側に略嵌合）される断面円形の貫通孔を有しており、この貫通孔が、ワークガイド１２とされている。ワークガイド１２は、測定ヘッド１０の中心部を中心軸Ｏ方向に貫通しているとともに、中心軸Ｏに垂直な断面が円形状をなしている。これにより、測定ヘッド１０全体の形状としては、円形の環状をなしている。具体的に、この測定ヘッド１０は、周壁が厚肉に形成されて中心軸Ｏ方向の長さが短い、概略円筒状をなしている。
【００２９】
ワークガイド１２は、ワークＷの外径よりもやや大きな内径の内周面を有している。本実施形態では、ワークガイド１２の内径が、ワークＷの外径（所期する値）に比べて数μｍ〜十数μｍ程度大きく設定されている。
なお、特に図示していないが、ワークガイド１２における中心軸Ｏ方向の端部（特に、ワークＷが測定ヘッド１０内に搬入される際に最初に通過する端部）には、周方向に沿って延びる環状の面取り部が形成されることが、より好ましい。
【００３０】
本実施形態の測定ヘッド１０は、スタンド２１及びベース２２を介して、例えば装置の基台、テーブル、床面等に固定されている。スタンド２１は、測定ヘッド１０の外周面に取り付けられているとともに、径方向の外側に向けて延設されており、図示の例では、鉛直方向の下方に向けて延設されている。またベース２２は、平板状をなしており、スタンド２１を支持している。
【００３１】
具体的に、この測定ヘッド１０は、その中心軸Ｏが鉛直方向に対して交差する方向に延在した姿勢で固定（支持）されており、本実施形態においては、測定ヘッド１０の中心軸Ｏが、水平方向に延びている。言い換えると、この測定ヘッド１０は、横置き姿勢に固定されている。
なお、測定ヘッド１０の中心軸Ｏは、鉛直方向に交差する向きに延びていればよいことから、本実施形態で説明する「水平方向」に限定されるものではなく、鉛直方向と水平方向の間の「傾斜方向」であってもよい。
【００３２】
また、測定ヘッド１０には、周方向に間隔をあけて複数の取付孔１４が形成されており、これらの取付孔１４は、中心軸Ｏを中心とした放射状をなすようにそれぞれ径方向に延びていて、測定ヘッド１０の外周面と内周面（ワークガイド１２）とに開口している。
【００３３】
本実施形態では、測定ヘッド１０に４つの取付孔１４が形成されており、これらの取付孔１４が、互いに周方向に等間隔をあけて（つまり９０°間隔で）、配置されている。
図２に示される測定ヘッド１０の正面視で（測定ヘッド１０を中心軸Ｏ方向から見て）、４つの取付孔１４は、中心軸Ｏを含む鉛直面Ｖに対して４５°の角度で交差するとともに該中心軸Ｏを通る仮想直線に沿って、それぞれ延びている。
図３に示される中心軸Ｏを含む測定ヘッド１０の縦断面視において、本実施形態の取付孔１４は、測定ヘッド１０の中心軸Ｏ方向に沿う中央部に配置されている。
【００３４】
また、これらの取付孔１４には、先端にエアノズル（測定部）３５を有するノズル本体３０が、それぞれ配設される。ノズル本体３０は、細長い円筒形の部材であって、内部に形成されたエア流路を通して圧縮空気を、径方向内端に配置されたエアノズル３５から、ワークガイド１２内のワークＷに向けて噴射する（吹き出す）。
【００３５】
ノズル本体３０は、取付孔１４内に挿入される小径部と、該小径部よりも径方向外側に位置するとともに、測定ヘッド１０の外周面から径方向外側に向けて突設される大径部と、を有している。
エアノズル３５は、ノズル本体３０の小径部における径方向内側の端部（先端部）に配設されており、ワークガイド１２内のワークＷに接近配置される。具体的に、エアノズル３５は、その径方向内側を向く先端面が、ワークガイド１２の内周面から径方向の外側へ向けて僅かに（所定量だけ）後退して配置されている。
【００３６】
そして、図１及び図２において、測定ヘッド１０の内周面（ワークガイド１２）に互いに周方向に間隔をあけて設けられた複数のエアノズル３５は、該内周面の最下部１２ｂを除く領域に配置されている。また、図２に示される測定ヘッド１０の正面視で、複数のエアノズル３５は、中心軸Ｏを含む鉛直面Ｖを基準にして、面対称に配設されている。
【００３７】
具体的に、本実施形態では、上述した４つの取付孔１４の配置に対応して、各取付孔１４に装着されたノズル本体３０（エアノズル３５）が、互いに周方向に等間隔をあけて（つまり９０°間隔で）、４つ配置されている。また、図２に示される測定ヘッド１０の正面視で、４つのノズル本体３０（エアノズル３５）は、中心軸Ｏを含む鉛直面Ｖに対して４５°の角度で交差するとともに該中心軸Ｏを通る仮想直線上に、それぞれ配置されている。
また、図３に示される測定ヘッド１０の縦断面視で、ノズル本体３０（エアノズル３５）は、測定ヘッド１０の中心軸Ｏ方向に沿う中央部に配置されている。
【００３８】
図２において、測定ヘッド１０の周方向に沿う各取付孔１４に対応する部分には、中心軸Ｏ方向に延びるエア逃がし孔１６がそれぞれ形成されている。図３に示されるように、エア逃がし孔１６は、測定ヘッド１０の中心軸Ｏ方向を向く両端面と取付孔１４とに、それぞれ開口している。
【００３９】
図１において、複数のノズル本体３０における径方向外側の端部には、エアチューブ４１がそれぞれ接続される。そして、これらのノズル本体３０は、各エアチューブ４１を介してＡ−Ｅ変換器４６に接続され、Ａ−Ｅ変換器４６は、レギュレータ４４を介してエア源４２に接続される。
つまり、エア源４２から供給される圧縮空気は、レギュレータ４４で一定圧力に調整され、Ａ−Ｅ変換器４６に設けられた絞り（不図示）を通過して、複数のノズル本体３０にそれぞれ送られる。
また、Ａ−Ｅ変換器４６には、アンプ４８が接続される。
【００４０】
次に、このように構成された本実施形態の外径測定装置１を用いて、ワークＷの外径を測定する手順（作用）について説明する。
まず、マスタを使用しての倍率調整及びゼロ調整を行う。
次に、測定ヘッド１０のワークガイド１２に円柱形のワークＷを挿入し、エア源４２から圧縮空気を供給する。
エア源４２から供給された圧縮空気は、レギュレータ４４、Ａ−Ｅ変換器４６を介して、複数のノズル本体３０にそれぞれ供給される。そして圧縮空気は、複数のエアノズル３５からワークＷの外周面に向けて噴射される。
【００４１】
Ａ−Ｅ変換器４６は、エアノズル３５と絞りとの間の圧力（背圧）の変化を、内蔵するベローズと差動変圧器とによって電気信号に変換し、アンプ４８に出力する。
アンプ４８は、この電気信号に基づいてワークＷの内径を算出し、内蔵するモニタに表示する。
【００４２】
以上説明した本実施形態の外径測定装置１によれば、環状の測定ヘッド１０の中心軸Ｏが鉛直方向に交差する向き（水平方向や傾斜方向）に延びているので、この測定ヘッド１０に内挿される円柱形のワークＷの中心軸ＷＯも、水平方向や傾斜方向に延びることになる。
【００４３】
このため、ワークＷは、測定ヘッド１０の内周面（ワークガイド１２）の最下部１２ｂに接触する。
すなわち、本実施形態では測定ヘッド１０が、スタンド２１及びベース２２を介して、例えば装置の基台、テーブル、床面等に固定されており、ワークＷが測定ヘッド１０に対して移動可能であるから、ワークＷの自重により、測定ヘッド１０の内周面の最下部１２ｂにワークＷが接触する。
【００４４】
従って、外径測定装置１の測定処理時に、ワークＷの傾く向き（傾倒する向き）が、重力が作用する所定方向（重力方向、つまり鉛直方向の下方）に決まる（定まる）。具体的には、ワークＷはワークガイド１２の最下部１２ｂに接触して、水平方向に延びる横置き姿勢になる。これにより、ワークＷの外径寸法の測定精度を安定して向上させることができる（繰り返し精度が確保される）。なお、ワークＷの中心軸ＷＯと測定ヘッド１０の中心軸Ｏが一致しない場合であっても、予め設定した補正値等によって適宜補正することにより、十分に精度を確保できる。
【００４５】
そして、測定ヘッド１０の内周面において、ワークＷの接触位置（最下部１２ｂ）にエアノズル３５が配置されていないので、ワークＷが、取付孔１４の開口部とともにエアノズル３５を直接的に塞ぐような不具合が防止されて、測定精度が顕著に安定する。
また、製造工程（製造ライン）において、横置き姿勢で搬送されるワークＷを、姿勢を変えることなく、そのまま測定ヘッド１０のワークガイド１２に内挿してワークＷの外径寸法を測定することができる。このため、ワークＷの姿勢を変えるという煩雑な作業が不要となり、製造工程を簡略化できる。
【００４６】
なお、横置き姿勢のワークＷを、外径測定装置１に搬入、測定、搬出するにあたっては、例えば下記のようなワーク移送機構を用いることができる。
すなわち、ワークＷを、該ワークＷの中心軸ＷＯ方向に沿う一方から他方側へ向けて移動させて（一定方向に間欠的に移動させて）、装置内を通過させる構成の「ワークスルータイプ」を採用してもよい。
或いは、ワークＷを、該ワークＷの中心軸ＷＯ方向に沿う一方から他方側へ向けて移動させて装置内に搬入し、外径寸法を測定した後、中心軸ＷＯ方向に沿う他方から一方側へ向けて移動させて装置外へ搬出する構成の「ワークリターンタイプ」を採用してもよい。
また、ワークＷを支持し移動させる台としては、ワークＷが載置される断面Ｖ字状の溝や搬送ローラ等を有するものなどを用いることができる。
【００４７】
また本実施形態では、エアノズル（測定部）３５が、測定ヘッド１０の中心軸Ｏを含む鉛直面Ｖを基準にして面対称に配設されている。
これにより、鉛直面Ｖを基準にしてエアノズル３５の補正値を設定することができるので、補正処理が簡単になって径測定の精度を向上させることができる。
【００４８】
また本実施形態では、ワークＷに向けて圧縮空気を吹き出すエアノズル３５を測定部として用いており、つまりこの外径測定装置１は、空気マイクロメータであるので、ワークＷの径測定を非接触に行うことができ、ワークＷに損傷を与えることがない。
【００４９】
また上述したように、測定ヘッド１０のワークガイド１２における中心軸Ｏ方向の端部（ワークＷが測定ヘッド１０内に挿入される際に最初に通過する端部）に、面取り部を設けた場合には、この面取り部によって、ワークＷがワークガイド１２内にスムーズに案内されることになり、測定効率を安定して高めることができる。
【００５０】
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【００５１】
例えば、前述の実施形態では、測定ヘッド１０にエアノズル（測定部）３５が４つ（偶数個）設けられた構成について説明したが、４つ以外の偶数個（２つや６つなど）設けられた構成であってもよい。また、エアノズル３５の数は偶数個に限定されるものではなく、測定ヘッド１０にエアノズル３５が１つ設けられた構成や、３つ設けられた構成など、奇数個設けられた構成であってもよい。
つまり、測定ヘッド１０の内周面（ワークガイド１２）には、少なくとも１つ以上のエアノズル３５が設けられていればよい。
【００５２】
なお、測定ヘッド１０にエアノズル３５が奇数個設けられる場合には、ワークガイド１２において、ワークＷの接触位置（最下部１２ｂ）とは鉛直方向の反対側の位置（図２に示される最上部１２ａ）に、エアノズル３５が１つ配置される。そして残りのエアノズル３５は、前述の実施形態と同様に、中心軸Ｏを含む鉛直面Ｖを基準にして、面対称に配設される。これらエアノズル３５は、ワークガイド１２に周方向に等間隔をあけて配設されることが好ましい。
【００５３】
つまり、エアノズル３５が１つの場合や複数（偶数個、奇数個）の場合であっても、該エアノズル３５は、ワークガイド１２においてワークＷの接触位置を除く領域に配置される。また、エアノズル３５は、中心軸Ｏを含む鉛直面Ｖを基準にして面対称に配設される。
従って、前述の実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
【００５４】
また、前述の実施形態では、測定ヘッド１０に、径測定用のエアノズル３５のみが設けられた構成について説明したが、これに限定されるものではない。すなわち、測定ヘッド１０の内周面（ワークガイド１２）には、圧縮空気によりワークＷを間接的に支持可能な支持ノズルが設けられていてもよい。この場合、支持ノズルは、ワークガイド１２における少なくとも最下部１２ｂに配設されることが好ましい。
上記構成によれば、ワークＷを測定ヘッド１０内に搬入（挿入）したり、搬出する（取り出す）際において、支持ノズルからエアを噴出させることで、ワークＷをワークガイド１２に対して非接触の状態（又はそれに近い状態）に浮かせて移動させることが可能になる。これにより、ワークＷの損傷が顕著に抑制される。
なお、測定精度を確保する観点からは、支持ノズルから圧縮空気を噴出させるのは、ワークＷの径測定時以外の移送時のみとすることが好ましい。
【００５５】
また、測定ヘッド１０の内周面（ワークガイド１２）における最下部１２ｂに、中心軸Ｏ方向に延びる断面Ｖ字状の溝部を形成して、ワークガイド１２内に挿入されたワークＷの周方向位置をこの溝部上で安定させるようにしてもよい。
【００５６】
また、前述の実施形態では、測定ヘッド１０が、例えば装置の基台、テーブル、床面等に固定され、ワークＷが、測定ヘッド１０に対して移動可能とされた構成について説明したが、これに限定されるものではない。
すなわち、ワークＷが、例えば装置の基台、テーブル、床面等に固定されており、測定ヘッド１０が、ワークＷに対して移動可能とされた構成であってもよい。この場合、エアノズル（測定部）３５は、測定ヘッド１０の内周面の最上部１２ａを除く領域に配設される。
【００５７】
つまり上記構成では、横置き姿勢で固定されたワークＷに対して、測定ヘッド１０を移動させるので、測定ヘッド１０の自重により、該測定ヘッド１０の内周面の最上部１２ａにワークＷが接触する。
従って、外径測定装置１の測定処理時に、測定ヘッド１０の傾く向き（傾倒する向き）が、重力が作用する所定方向（重力方向、つまり鉛直方向の下方）に決まるので、測定精度を安定して向上させることができる（繰り返し精度が確保される）。
そして、測定ヘッド１０の内周面において、ワークＷの接触位置（最上部１２ａ）にエアノズル３５が配置されていないので、ワークＷがエアノズル３５を直接的に塞ぐような不具合が防止されて、測定精度が顕著に安定する。
【００５８】
また、前述の実施形態では、測定ヘッド１０の内周面に配設される測定部が、ワークＷに向けて圧縮空気を吹き出してワークＷの外径を非接触で測定するエアノズル３５であることとしたが、これに限定されるものではない。
すなわち、測定部が、ワークＷの外周面に接触可能に構成されたセンサ等であってもよく、この外径測定装置１が、電気マイクロメータであってもよい。また、測定部が、例えば音や光、磁気、静電容量などを利用して、ワークＷの外径寸法を測定する計測センサであってもよい。
【００５９】
また、前述の実施形態におけるワークＷの形状は、中心軸Ｏに垂直な断面が円形状をなしているが、これに限定されるものではない。
すなわち、ワークＷの外周面には、断面が円弧状をなす部分と、この円弧状部分よりも径方向内側に後退する平面状の部分と、が形成されていてもよい。この場合、ワークＷの外径を測定する測定ヘッド１０のエアノズル（測定部）３５は、ワークＷの外周面における断面円弧状をなす部分に対向配置される。
【００６０】
また、前述の実施形態では、円柱形のワークＷの外径寸法を測定する外径測定装置１について説明したが、これに限定されるものではない。すなわち、本発明に係る径測定装置は、円穴等を有するワークの内径寸法を測定する内径測定装置であってもよい。
この場合、内径測定装置は、ワークが外挿される円柱形等の軸状をなす測定ヘッドと、前記測定ヘッドの外周面に配設された少なくとも１つ以上の測定部と、を備える。また、前記測定ヘッドは、中心軸が鉛直方向に対して交差する方向に延在し、前記測定部は、前記外周面の最上部を除く領域、又は、最下部を除く領域に配設される。
また、前記測定部は、前記中心軸を含む鉛直面を基準にして面対称に配設されることが好ましい。
また、前記測定部は、前記ワークに向けて圧縮空気を吹き出すエアノズルであることが好ましい。
【００６１】
上記の内径測定装置によれば、軸状の測定ヘッドの中心軸が鉛直方向に交差する向き（水平方向や、鉛直方向と水平方向の間の傾斜方向）に延びているので、この測定ヘッドに外挿される円穴等を有するワークの中心軸も、水平方向や傾斜方向に延びることになる。
【００６２】
このため、ワークは、測定ヘッドの外周面の最上部又は最下部に接触する。
すなわち、測定ヘッドが、例えば装置の基台、テーブル、床面等に固定される場合は、ワークが測定ヘッドに対して移動可能であるから、ワークの自重により、測定ヘッドの外周面の最上部にワークが接触する。
また、ワークが、例えば装置の基台、テーブル、床面等に固定される場合は、測定ヘッドがワークに対して移動可能であるから、測定ヘッドの自重により、該測定ヘッドの外周面の最下部にワークが接触する。
【００６３】
従って、内径測定装置の測定処理時に、ワーク又は測定ヘッドの傾く向き（傾倒する向き）が、重力が作用する所定方向（重力方向、つまり鉛直方向の下方）に決まる（定まる）。具体的には、例えばワーク及び測定ヘッドが、水平方向に延びる横置き姿勢になる。これにより、ワークの内径寸法の測定精度を安定して向上させることができる（繰り返し精度が確保される）。なお、ワークの中心軸と測定ヘッドの中心軸が一致しない場合であっても、予め設定した補正値等によって適宜補正することにより、十分に精度を確保できる。
【００６４】
そして、測定ヘッドの外周面において、ワークの接触位置に測定部が配置されていないので、ワークが測定部を直接的に塞ぐような不具合が防止されて、測定精度が顕著に安定する。
また、製造工程（製造ライン）において、横置き姿勢で搬送されるワークを、姿勢を変えることなく、そのまま測定ヘッドに外挿（測定ヘッドの径方向外側に略嵌合）してワークの内径を測定することができる。このため、ワークの姿勢を変えるという煩雑な作業が不要となり、製造工程を簡略化できる。
つまり、この内径測定装置においても、前述の実施形態で説明した外径測定装置１と同様に、優れた作用効果を得ることができるのである。
【００６５】
その他、本発明の趣旨から逸脱しない範囲において、前述の実施形態、変形例及びなお書き等で説明した各構成（構成要素）を組み合わせてもよく、また、構成の付加、省略、置換、その他の変更が可能である。また本発明は、前述した実施形態によって限定されることはなく、特許請求の範囲によってのみ限定される。
【符号の説明】
【００６６】
１  外径測定装置（径測定装置）
１０  測定ヘッド
１２  ワークガイド（測定ヘッドの内周面）
１２ａ  最上部
１２ｂ  最下部
３５  エアノズル（測定部）
Ｏ  中心軸
Ｖ  鉛直面
Ｗ  ワーク
【図１】
0006380896.tif 000002
【図２】
0006380896.tif 000003
【図３】
0006380896.tif 000004