(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査物の検査結果の入力を受け付ける検査支援装置であって、
上記被検査物の画像を表示部に表示する表示制御部と、
上記表示部に重畳して設けられた入力受付部が受け付けた入力であって、所定のパターンの入力動作による入力を示す入力情報を取得する入力情報取得部と、
上記表示部に表示された上記被検査物の画像上における位置であって、上記入力情報取得部が取得した入力情報が示す位置および当該入力情報が示すパターンに基づいて、上記被検査物に形成された瑕疵の位置および当該瑕疵の種類を判定する判定部と、
を備えることを特徴とする検査支援装置。
【請求項２】
上記被検査物を検査する検査装置から、上記被検査物に形成された瑕疵の位置を示す位置情報を取得する位置情報取得部をさらに備え、
上記表示制御部は、上記位置情報取得部が取得した位置情報が示す位置に基づいた上記被検査物の画像を上記表示部に表示し、
上記判定部は、上記表示部に表示された上記被検査物における位置であって、上記入力情報取得部が取得した入力の位置および上記位置情報取得部が取得した位置情報が示す位置に基づいて、上記瑕疵の位置を判定する、
ことを特徴とする請求項１に記載の検査支援装置。
【請求項３】
上記検査装置から、上記被検査物に形成された瑕疵を含む画像を取得する画像取得部をさらに備え、
上記表示制御部は、上記画像取得部が取得した画像を上記表示部に表示する、
ことを特徴とする請求項２に記載の検査支援装置。
【請求項４】
上記被検査物を拡大して表示可能な拡大表示部と上記被検査物との相対位置を変更可能な位置変更部、をさらに備え、
上記位置変更部は、上記被検査物のうち、上記位置情報取得部が取得した位置情報が示す位置において、上記拡大表示部が上記被検査物を拡大して表示できるように、上記相対位置を変更する、
ことを特徴とする請求項２または３に記載の検査支援装置。
【請求項５】
上記瑕疵の種類を示す瑕疵種類情報を取得する瑕疵種類情報取得部をさらに備え、
上記表示制御部は、上記瑕疵種類情報取得部が取得した瑕疵種類情報が示す瑕疵の種類を、上記画像と共に表示部に表示する、
ことを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載の検査支援装置。
【請求項６】
上記表示制御部は、上記瑕疵種類情報取得部が取得した瑕疵種類情報が示す瑕疵の種類のそれぞれに対応した上記入力動作のパターンを、上記画像と共に表示部に表示する、
ことを特徴とする請求項５に記載の検査支援装置。
【請求項７】
上記表示制御部は、上記入力受付部が受け付けた入力動作のパターンに応じて、上記表示部に表示する画像を変更する、
ことを特徴とする請求項１〜６の何れか１項に記載の検査支援装置。
【請求項８】
上記表示制御部は、上記判定部が判定する瑕疵の種類に対応付けられた入力動作のパターンを、上記画像と共に表示部に表示する、
ことを特徴とする請求項１〜７の何れか１項に記載の検査支援装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査物の検査結果の入力を受け付ける検査支援装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、検査結果の入力において、容易に入力可能なタッチパネルを利用した技術が開示されている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、入力用ペンを用いてタッチパネルの表面に描かれた軌跡に基づいて、検査対象物の損傷の損傷形状を示す損傷形状データを含む検査結果データを生成する検査結果記録装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−１５２０７２号公報（２００４年５月２７日公開）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述の従来技術は、入力用ペンを用いてタッチパネルの表面に描かれた軌跡によって表すことができる検査にしか用いることができないという問題がある。また、上述の従来技術は、入力できる瑕疵の種類は１つであり、複数の検査を行う場合には用いることができないという問題もある。
【０００６】
例えば、液晶パネルの検査結果を入力する装置に上述の従来技術を用いた場合、当該装置を操作する作業員は、表示むら、色の違いといった、軌跡で表すことができない検査の検査結果を入力することができない。また、液晶パネルの検査では、輝点、表面傷、および異物の付着なども検査するが、当該装置を操作する作業員は、入力用ペンを用いてタッチパネルの表面に軌跡を描く入力に加えて、入力した検査結果は何れの症状であるのかをさらに入力する必要がある。
【０００７】
本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、その主な目的は、被検査物に形成された瑕疵の種類および瑕疵の位置の入力が容易な技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る検査支援装置は、被検査物の検査結果の入力を受け付ける検査支援装置であって、上記被検査物の画像を表示部に表示する表示制御部と、上記表示部に重畳して設けられた入力受付部が受け付けた入力であって、所定のパターンの入力動作による入力を示す入力情報を取得する入力情報取得部と、上記表示部に表示された上記被検査物の画像上における位置であって、上記入力情報取得部が取得した入力情報が示す位置および当該入力情報が示すパターンに基づいて、上記被検査物に形成された瑕疵の位置および当該瑕疵の種類を判定する判定部と、を備える。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の一態様によれば、被検査物に形成された瑕疵の種類および瑕疵の位置の入力が容易になる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施形態１に係る検査システムの要部構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る検査システムを模式的に示す図である。
【図３】本発明の実施形態１における検査結果情報に含まれるヘッダの例を示す表である。
【図４】本発明の実施形態１における検査結果情報に含まれる検査結果内容情報の例を示す表である。
【図５】本発明の実施形態１における検査装置において検出される瑕疵画像の例である。
【図６】本発明の実施形態１における検査システムにおいて実行される処理の流れを示すフローチャートである。
【図７】本発明の実施形態１におけるタッチパネルモニタが表示する画像の例を示す図である。
【図８】本発明の実施形態１におけるタッチパネルモニタに対する入力動作の例を示す図である。
【図９】本発明の実施形態２に係る検査システムが実行する処理の流れを示すフローチャートである。
【図１０】本発明の実施形態２において、タッチパネルモニタに表示されている液晶パネルの瑕疵画像を拡大する様子を示す図である。
【図１１】本発明の実施形態２において、タッチパネルモニタに表示されている画像の光量を変化させる様子を示す図である。
【図１２】本発明の実施形態３において、タッチパネルモニタに表示されている画像に限度サンプルをさらに表示する様子を示す図である。
【図１３】本発明の実施形態４に係る検査システムが実行する処理の流れを示すフローチャートである。
【図１４】本発明の実施形態５におけるタッチパネルモニタが表示する画像の例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
〔実施形態１〕
以下、本発明の実施の形態について、図１〜図８を用いて詳細に説明する。説明の便宜上、各実施形態に示した部材と同一の機能を有する部材については、同一の符号を付し、適宜その説明を省略する。
【００１２】
なお、本明細書では、被検査物として液晶パネルを用いて説明しているが、本発明はこれに限定されない。本発明では、画像としてモニタに表示可能な瑕疵（例えば、表面または内部に形成された傷、異物の付着など。以後、瑕疵を「欠陥」とも表記する場合がある）の有無を検査する対象物を、被検査物として用いることができる。
【００１３】
（検査システム１）
図２は、本発明の実施形態１に係る検査システム１を模式的に示す図である。検査システム１は、図２に示すように、検査装置２、検査結果データベース３、検査支援装置４、タッチパネルモニタ５、再検査装置６、および拡大表示装置７によって構成されている。
【００１４】
検査システム１では、検査装置２において、液晶パネル（被検査物）に形成された欠陥（より具体的には、点欠陥、線欠陥、輝点群、およびむら（表示むらおよび色むら））が自動的に検出され、検査結果を示す検査結果情報が検査結果データベース３に格納される。そして、検査支援装置４は、当該検査結果をタッチパネルモニタ５に表示し、タッチパネルモニタ５に対して作業者が入力した所定のパターンの入力動作に基づいて、検査結果を更新する。ここで、検査支援装置４が、検査装置２による検査結果をタッチパネルモニタ５に表示し、検査結果を更新することを、再検査とも称する。
【００１５】
また、検査支援装置４は、再検査の対象である液晶パネル１０ａおよび液晶パネル１０ｂを載せ置くことができ、また、液晶パネル１０ａおよび液晶パネル１０ｂを点灯させて所望の画像を表示することができるステージ６４を備える再検査装置６と、対象物を拡大して表示可能なルーペ（拡大表示部）７４を備える拡大表示装置７とを制御し、液晶パネル１０ａまたは液晶パネル１０ｂとルーペ（拡大表示部）７４との相対位置を変更可能である。
【００１６】
（検査支援装置４）
図１は、本発明の実施形態１に係る検査システム１の要部構成を示すブロック図である。検査支援装置４の構成について、図１を用いて説明する。
【００１７】
検査支援装置４は、図１に示すように、制御部４０、検査結果入出力インターフェース（以下、Ｉ／Ｆとも称する）４２、機器制御Ｉ／Ｆ４４、表示Ｉ／Ｆ４６、および入力Ｉ／Ｆ４８を備えている。
【００１８】
制御部４０は、検査支援装置４の各構成を統括的に制御するものであり、ＣＰＵ（Central Processing Unit）により実現される。制御部４０の詳細については、後述する。
【００１９】
検査結果入出力Ｉ／Ｆ４２は、検査結果データベース３と通信可能なインターフェースである。
【００２０】
機器制御Ｉ／Ｆ４４は、再検査装置６および拡大表示装置７を制御する制御信号を送信可能なインターフェースである。
【００２１】
表示Ｉ／Ｆ４６は、タッチパネルモニタ５に表示させる画像を示す画像信号を送信可能なインターフェースである。
【００２２】
入力Ｉ／Ｆ４８は、タッチパネルモニタ５から送信される入力情報であって、タッチパネルモニタ５が検出した入力動作を示す入力情報を受信可能なインターフェースである。
【００２３】
（制御部４０）
制御部４０は、図１に示すように、検査結果取得部４００、位置変更部４２０、表示制御部４４０、入力情報取得部４６０、および判定部４８０としても機能する。
【００２４】
検査結果取得部４００は、検査結果入出力Ｉ／Ｆ４２を介して、検査結果データベース３に格納されている検査結果情報を取得する。また、検査結果取得部４００は、検査結果情報に含まれる各情報をそれぞれ取得する画像取得部４０２、位置情報取得部４０４、および瑕疵種類情報取得部を含んでいる。
【００２５】
画像取得部４０２は、検査装置２が検出した瑕疵を含む液晶パネルの画像である瑕疵画像を取得する。なお、画像取得部４０２は、画像そのものではなく、画像が格納されている格納先を示す格納先情報を取得し、当該格納先に格納されている画像を取得する構成であってもよい。
【００２６】
位置情報取得部４０４は、検査装置２が検出した瑕疵の位置を示す位置情報を取得する。
【００２７】
瑕疵種類情報取得部４０６は、検査装置２が検出した瑕疵の種類を示す瑕疵種類情報を取得する。
【００２８】
位置変更部４２０は、機器制御Ｉ／Ｆ４４を介して、再検査装置６と拡大表示装置７との相対位置を変更する制御信号を出力する。
【００２９】
表示制御部４４０は、表示Ｉ／Ｆ４６を介して、タッチパネルモニタ５に表示する画像を示す画像信号を出力する。
【００３０】
入力情報取得部４６０は、入力Ｉ／Ｆを介して、タッチパネルモニタ５に対する作業者の入力動作を示す入力情報を取得する。
【００３１】
判定部４８０は、入力情報取得部４６０が取得した入力情報に基づいて、液晶パネルに形成された瑕疵の位置および瑕疵の種類を判定する。より具体的には、入力情報に含まれる位置情報に基づいて瑕疵の位置を判定し、入力情報に含まれるパターン情報を参照し、パターン情報が示すパターンに予め関連付けられた瑕疵の種類を判定する。そして、判定部４８０は、検査結果入出力Ｉ／Ｆ４２を介して判定結果を含む検査結果情報を出力し、検査結果データベース３に格納されている検査結果を更新する。判定部４８０が瑕疵の位置および瑕疵の種類を判定する方法の詳細については、参照する図面を替えて後述する。
【００３２】
（タッチパネルモニタ５）
タッチパネルモニタ５の構成について、図１を用いて説明する。
【００３３】
タッチパネルモニタ５は、図１に示すように、表示部５２およびタッチパッド（入力受付部）５４を備えている。
【００３４】
表示部５２は、検査支援装置４から出力された画像信号が示す画像を表示する表示デバイスである。なお、表示部５２において、横方向を「ｘ方向」、縦方向を「ｙ方向」とも称する。
【００３５】
タッチパッド５４は、表示部５２に重畳して設けられ、他の物体（作業者の指など）の接触を検知し、検知した結果を入力情報として検査支援装置４に出力する。より具体的には、タッチパッド５４は、接触を検知した位置を示す座標（位置情報）と、タッチパッド５４に対する入力動作のパターンを示すパターン情報とを出力する。ここで、タッチパッド５４に対する入力動作のパターンの例として、一般的なタッチパッドに対する操作である「タップ」、「マルチタップ」、「長押し」、「スワイプ」、「一往復スワイプ」、「二本指でのスワイプ」、「ピンチイン」、および「ピンチアウト」などを挙げることができる。
【００３６】
（再検査装置６）
再検査装置６の構成について、図１を用いて説明する。
【００３７】
再検査装置６は、図１に示すように、ステージ位置変更部６２およびステージ６４を備えている。
【００３８】
ステージ位置変更部６２は、検査支援装置４から出力された制御信号に基づいてステージ６４を駆動し、ステージ６４上に置かれた液晶パネルとルーペ７４との相対的な位置を変更する。
【００３９】
ステージ６４は、液晶パネルを載せ置くことができ、ステージ位置変更部６２によって駆動される。
【００４０】
（拡大表示装置７）
拡大表示装置７の構成について、図１を用いて説明する。
【００４１】
拡大表示装置７は、図１に示すように、ルーペ位置変更部７２およびルーペ７４を備えている。
【００４２】
ルーペ位置変更部７２は、検査支援装置４から出力された制御信号に基づいてルーペ７４を駆動し、ルーペ７４とステージ６４上におかれた液晶パネルとの相対的な位置を変更する。
【００４３】
ルーペ７４は、液晶パネルを光学拡大して表示可能なデバイスである。
【００４４】
なお、拡大表示装置７は、ルーペ７４に替えて、カメラ、顕微鏡など、光学拡大可能なデバイスを備える構成であればよい。
【００４５】
（検査結果情報）
図３は、本発明の実施形態１における検査結果情報に含まれるヘッダの例を示す表である。また、図４は、本発明の実施形態１における検査結果情報に含まれる検査結果内容情報の例を示す表である。検査装置２が検査結果データベース３に格納する検査結果情報について、図３および図４を用いて説明する。
【００４６】
まず、検査結果情報は、先頭に付加され、検査結果情報自体に関する情報であるヘッダと、検査結果の内容を示す検査結果内容情報と、を含んでいる。
【００４７】
検査結果情報は、図３、図４に示すように、項目「ＣＯＤＥ」、項目「ＴＹＰＥ」、項目「ＢＹＴＥＳ」、項目「ＮＡＭＥ」、および項目「ＮＯＴＥ」を含んでいる。
【００４８】
項目「ＣＯＤＥ」には、各情報を識別する識別情報が格納されている。また、当該識別情報には、検出された欠陥を識別する情報（例えば、通し番号）も含まれている。
【００４９】
項目「ＴＹＰＥ」には、入力されている各情報の文字コードが格納されている。
【００５０】
項目「ＢＹＴＥＳ」には、各情報のバイト数が格納されている。
【００５１】
項目「ＮＡＭＥ」には、各情報の名前が格納されている。
【００５２】
項目「ＮＯＴＥ」には、各情報の注釈が格納されている。
【００５３】
例えば、図３に示すヘッダの例において、項目「ＣＯＤＥ」が「ＥＱＩＤ」の情報は、「ＡＳＣＩＩ」コードの文字が「８」バイト入力されており、当該情報の名前は「装置固有ＩＤ」である。
【００５４】
また、例えば、図４に示す検査結果情報の例において、項目「ＣＯＤＥ」が「Ｉ１ＩＮＯ１」の情報は、検査１の検査結果のうち、欠陥の番号が「１」の検査結果を示す情報であり、「ＡＳＣＩＩ」コードの文字が「４」バイト入力されており、当該情報の名前は「検査ステップ番号」である。
【００５５】
また、例えば、図４に示す検査結果情報の例において、項目「ＣＯＤＥ」が「Ｉ１ＩＮＯ１００」の情報は、検査１の検査結果のうち、欠陥の番号が「１００」の検査結果を示す情報であり、「ＡＳＣＩＩ」コードの文字が「４」バイト入力されており、当該情報の名前は「検査ステップ番号」である。
【００５６】
また、例えば、図４に示す検査結果情報の例において、項目「ＣＯＤＥ」が「ＩｎＩＮＯ１００」の情報は、検査ｎの検査結果を示す情報であり、「ＡＳＣＩＩ」コードの文字が「４」バイト入力されており、当該情報の名前は「検査ステップ番号」である。
【００５７】
また、例えば、検査結果取得部４００が検査１の検査結果を示す検査結果情報を取得した場合、画像取得部４０２、位置情報取得部４０４、および瑕疵種類情報取得部４０６はそれぞれ、以下の情報を取得する。
【００５８】
・画像取得部４０２は、「ＣＯＤＥ」が「Ｉ１ＦＩＬＥ１」に格納されているファイル名の画像（被検査物の瑕疵画像）を取得する。
【００５９】
・位置情報取得部４０４は、「ＣＯＤＥ」が「Ｉ１ＸＳ１」、「Ｉ１ＹＳ１」、「Ｉ１Ｌ１」、および「Ｉ１Ｗ１」の情報（位置情報）を取得する。
【００６０】
・瑕疵種類情報取得部４０６は、「ＣＯＤＥ」が「Ｉ１ＪＧＣ１」の情報（瑕疵種類情報）を取得する。
【００６１】
（瑕疵の例）
図５は、本発明の実施形態１における検査装置２において検出される瑕疵画像の例である。液晶パネルには、図５の（ａ）および（ｂ）に示すような瑕疵が形成されてしまうことがある。図５の（ａ）および（ｂ）に示すような瑕疵が形成された液晶パネルは、表示画面上において表示むらや、常に白く光る輝点が発生してしまう。そのため、検査装置２は、図５の（ａ）および（ｂ）に示すような瑕疵を検出する。
【００６２】
（検査システム１の処理）
図６は、本発明の実施形態１における検査システム１において実行される処理の流れを示すフローチャートである。検査システム１において実行される処理について、図６を用いて説明する。
【００６３】
（ステップＳ１）
まず、検査結果取得部４００は、検査結果入出力Ｉ／Ｆ４２を介して、検査結果データベース３に格納されている検査結果情報を取得する。
【００６４】
（ステップＳ３）
検査結果取得部４００の画像取得部４０２は、取得した検査結果情報に含まれる瑕疵画像を取得し、表示制御部４４０および判定部４８０に出力する。表示制御部４４０は、当該瑕疵画像を含む画像の画像信号を、表示Ｉ／Ｆ４６を介してタッチパネルモニタ５に出力する。タッチパネルモニタ５の表示部５２は、検査支援装置４から出力された画像信号が示す画像を表示する。タッチパネルモニタ５が表示する画像の例は、参照する図面を替えて後述する。
【００６５】
（ステップＳ５）
タッチパネルモニタ５のタッチパッド５４は、作業者からの入力を受け付けると、受け付けた入力を示す入力情報を検査支援装置４に出力する。検査支援装置４の入力情報取得部４６０は、入力Ｉ／Ｆを介して、タッチパネルモニタ５から出力された入力情報を取得する。入力情報取得部４６０は、取得した入力情報を、判定部４８０に出力する。
【００６６】
（ステップＳ７）
判定部４８０は、取得した入力情報に含まれる位置情報およびパターン情報に基づいて、瑕疵の位置および瑕疵の種類を判定する。より具体的には、判定部４８０は、取得した位置情報を参照し、上述したステップＳ３において取得した画像上における位置であって、当該位置情報が示す位置に対応する位置を、瑕疵の位置であると判定する。また、判定部４８０は、取得したパターン情報が示すパターンに関連付けられた瑕疵の種類を判定する。
【００６７】
（ステップＳ９）
判定部４８０は、検査結果入出力Ｉ／Ｆ４２を介して、ステップＳ７において判定した判定結果に基づいた検査結果情報を出力し、検査結果データベース３に格納されている検査結果を更新する。
【００６８】
（タッチパネルモニタ５が表示する画像）
図７は、本発明の実施形態１におけるタッチパネルモニタ５が表示する画像の例を示す図である。
【００６９】
タッチパネルモニタ５は、図７に示すように、液晶パネルの瑕疵画像８３を含む画像を、表示部５２に表示する。瑕疵画像８３には、瑕疵が形成された領域８２が含まれている。
【００７０】
また、上述したステップＳ３において、検査結果取得部４００は、取得した検査結果情報を表示制御部４４０に出力し、表示制御部４４０は、検査結果を含む画像をタッチパネルモニタ５に表示させる構成であってもよい。この場合、タッチパネルモニタ５は、図７に示すように、検査結果情報に含まれる情報を含む表８０を含む画像を表示する。表８０には、各検査結果を識別するための項目「Ｎｏ．」、検査ステップ番号を示す項目「検査ステップ」、不良項目（瑕疵の種類）の名前を示す「不良項目名」、判定結果を示す項目「判定」、瑕疵の位置のＸ座標値を示す項目「ＸＳ」、瑕疵の位置のＹ座標値を示す項目「ＹＳ」、瑕疵のＹ方向の長さを示す項目「ＬＥＮ」、および瑕疵のＸ方向の長さを示す項目「ＷＩＤ」が含まれている。図７では、項目「Ｎｏ．」が「１」の検査結果が選択されている（カーソルが当てられている）ため、項目「Ｎｏ．」が「１」の検査結果の瑕疵画像８３が表示されている。
【００７１】
このように、検査支援装置４は、検査装置２から取得した液晶パネルに形成された瑕疵の位置を示す位置情報が示す位置に基づいた液晶パネルの瑕疵画像（換言すると、位置情報が示す位置に形成された瑕疵を含む液晶パネルの画像）をタッチパネルモニタ５に表示する。そのため、検査支援装置４は、作業者に瑕疵の位置を探させる必要がなく、作業者に対して、瑕疵の位置を容易に認識させることができるため、瑕疵の正しい位置を容易に入力させることができる。
【００７２】
また、この構成において、検査支援装置４の表示制御部４４０は、瑕疵の位置を示す位置情報が示す位置を中心に拡大した瑕疵画像を表示してもよい。この場合、検査支援装置４は、瑕疵の位置のより正しい位置を容易に入力させることができる。
【００７３】
また、検査支援装置４は、液晶パネルに形成された瑕疵の種類を示す瑕疵種類情報であって、検査装置２から取得した瑕疵種類情報が示す瑕疵の種類を、液晶パネルの瑕疵画像と共にタッチパネルモニタ５に表示してもよい。この場合、瑕疵種類情報取得部４０６は、取得した瑕疵種類情報を表示制御部４４０に出力する。この構成により、検査支援装置４は、表示している瑕疵画像の瑕疵の種類が何れであるのかを、作業者に対して容易に認識させることができるため、瑕疵の位置および瑕疵の種類をより正しく容易に入力させることができる。
【００７４】
（入力動作の例）
図８は、本発明の実施形態１におけるタッチパネルモニタ５に対する入力動作の例を示す図である。入力動作の例について、図８を用いて説明する。
【００７５】
例えば、タッチパネルモニタ５に表示されている画像に点欠陥が含まれる場合、図８の（ａ）に示すように、作業者は、瑕疵画像８３上の点欠陥の位置をタップする。この場合、タッチパッド５４は、タップされた位置を示す座標と、動作パターンが「タップ」であることを示すパターン情報とを含む入力情報を、検査支援装置４に出力する。検査支援装置４の判定部４８０は、取得した入力情報に含まれる座標を参照し、瑕疵画像８３上における当該座標の位置を、瑕疵の位置であると判定する。また、判定部４８０は、取得した入力情報に含まれる動作パターン情報が示す動作パターン「タップ」に関連付けられた「点欠陥」を、瑕疵の種類であると判定する。
【００７６】
他の例として、タッチパネルモニタ５に表示されている画像にｘ方向の線欠陥が含まれる場合、図８の（ｂ）に示すように、作業者は、瑕疵画像８３上の線欠陥の端から端までをスワイプする。この場合、タッチパッド５４は、接触を検知した位置を示す座標と、接触を検知できなくなった位置を示す座標と、動作パターンが「スワイプ」であることを示すパターン情報とを含む入力情報を、検査支援装置４に出力する。検査支援装置４の判定部４８０は、取得した入力情報に含まれる２つの座標を参照し、瑕疵画像８３上における当該２つの座標間の領域を、瑕疵の位置であると判定する。また、判定部４８０は、取得した入力情報に含まれる動作パターン情報が示す動作パターン「スワイプ」に関連付けられた「線欠陥」を、瑕疵の種類であると判定する。
【００７７】
さらに他の例として、タッチパネルモニタ５に表示されている画像にｙ方向の線欠陥が含まれる場合、図８の（ｃ）に示すように、作業者は、瑕疵画像８３上の線欠陥の端から端までをスワイプする。以降の処理は、図８の（ｂ）を用いて上述した処理を同じであるため、説明は省略する。
【００７８】
さらに他の例として、タッチパネルモニタ５に表示されている画像に輝点群が含まれる場合、図８の（ｄ）に示すように、作業者は、瑕疵画像８３上の輝点群をマルチタップする。この場合、タッチパッド５４は、タップされた複数の位置のそれぞれを示す座標と、動作パターンが「マルチタップ」であることを示すパターン情報とを含む入力情報を、検査支援装置４に出力する。検査支援装置４の判定部４８０は、取得した入力情報に含まれる複数の座標を参照し、瑕疵画像８３上における当該複数の座標のそれぞれの位置を、瑕疵の位置であると判定する。また、判定部４８０は、取得した入力情報に含まれる動作パターン情報が示す動作パターン「マルチタップ」に関連付けられた「輝点群」を、瑕疵の種類であると判定する。
【００７９】
さらに他の例として、タッチパネルモニタ５に表示されている画像に表示むらが含まれる場合、図８の（ｅ）に示すように、作業者は、瑕疵画像８３上の表示むらを長押しする。この場合、タッチパッド５４は、長押しされた位置を示す座標と、動作パターンが「長押し」であることを示すパターン情報とを含む入力情報を、検査支援装置４に出力する。検査支援装置４の判定部４８０は、取得した入力情報に含まれる座標を参照し、瑕疵画像８３上における当該座標の位置を、瑕疵の位置であると判定する。また、判定部４８０は、取得した入力情報に含まれる動作パターン情報が示す動作パターン「長押し」に関連付けられた「表示むら」を、瑕疵の種類であると判定する。
【００８０】
さらに他の例として、検査装置２において瑕疵であると判定された場合であっても、再検査において瑕疵ではないと判定される場合もある。この場合、作業者は、検査装置２において瑕疵であると判定された画像上の瑕疵の位置において、フリックする。この場合、タッチパッド５４は、フリックされた位置を示す座標と、動作パターンが「フリック」であることを示すパターン情報とを含む入力情報を、検査支援装置４に出力する。検査支援装置４の判定部４８０は、取得した入力情報に含まれる座標を参照し、画像上における当該座標の位置を、瑕疵の位置であると判定する。また、判定部４８０は、取得した入力情報に含まれる動作パターン情報が示す動作パターン「フリック」に関連付けられた「瑕疵なし」を、瑕疵の種類であると判定する。換言すると、本発明における「瑕疵の種類」には、瑕疵がない場合も含まれる。
【００８１】
なお、上述した「瑕疵なし」の場合は、別途設けられたデバイス（例えば、マウス、キーボード、マイクなど）によって、「瑕疵なし」である旨を受け付け、当該デバイスにて受け付けた入力に基づき、「瑕疵なし」と判断する構成（換言すると、「瑕疵あり」の場合とは異なる入力方法にて入力を受け付ける構成）であってもよい。
【００８２】
このように、本実施形態に係る検査システム１では、検査支援装置４は、液晶パネル（被検査物）の検査結果の入力を受け付ける。そして、検査支援装置４は、液晶パネルの画像をタッチパネルモニタ５の表示部５２に表示する表示制御部４４０と、表示部５２に重畳して設けられたタッチパッド５４が受け付けた入力であって、所定のパターンの入力動作による入力を示す入力情報を受け付ける入力情報取得部４６０と、表示部５２に表示された液晶パネルの画像上における位置であって、入力情報取得部４６０が受け付けた入力情報が示す位置および当該入力情報が示すパターンに基づいて、液晶パネルに形成された瑕疵の位置および瑕疵の種類を判定する判定部４８０と、を備える。この構成により、検査システム１では、作業者がタッチパッド５４に対して所定のパターンを入力することによって、検査支援装置４は液晶パネルに形成された瑕疵の位置および瑕疵の種類を判定する。そのため、検査システム１では、作業者に対して瑕疵の位置および瑕疵の種類を別々に入力させる必要がないため、液晶パネルに形成された瑕疵の位置および瑕疵の種類の入力が容易な検査支援装置４を提供することができる。
【００８３】
また、本実施形態のように、自動的に検査する検査装置２を用いる場合、従来の一般的な検査装置２は、むら、微小輝点等といった瑕疵は、最終判断をすることができない。そのため、作業者が最終的な判断を行う再検査を行っている。しかしながら、従来は、検査装置２による検査の結果は瑕疵を撮像した撮像画像しか表示されず、瑕疵の内容（瑕疵の種類、瑕疵の位置、瑕疵の数等）は表示されなかった。そのため、再検査において全ての検査項目について再検査が必要となり、多くの工数を要するという問題もあった。
【００８４】
一方、本実施形態に係る検査システム１では、検査支援装置４は、検査装置２が検査した検査結果の内容をタッチパネルモニタ５に表示する。そのため、作業者は再検査をする必要のある検査のみを再検査することができるので、検査における工数を削減することができる。
【００８５】
なお、本明細書では、検査支援装置４が再検査に用いられる場合について説明しているが、これに限定されない。例えば、検査装置２の機能を検査支援装置４が備え、検査支援装置４が自動的に行った検査の検査結果を示す検査結果情報を検査結果データベース３に格納し、当該検査結果をタッチパネルモニタ５に表示し、検査結果を更新する構成であってもよい。
【００８６】
〔実施形態２〕
本発明の他の実施形態について、図９および図１０に基づいて説明する。
【００８７】
本実施形態における検査支援装置４ａでは、上述した検査支援装置４が有する機能に加えて、表示制御部４４０は、入力情報に応じて液晶パネルの瑕疵画像を変更した画像信号を出力する。
【００８８】
（検査システム１ａの処理）
図９は、本発明の実施形態２に係る検査システム１ａが実行する処理の流れを示すフローチャートである。検査支援装置４ａが検査結果情報を取得し、入力を受け付けるステップＳ１〜ステップＳ５の処理については、上述した処理と同じであるため、説明を省略する。
【００８９】
（ステップＳ１１）
表示制御部４４０は、入力情報取得部４６０から、入力情報を取得する。そして、表示制御部４４０は、取得した入力情報が、検査結果を示す入力情報であるか否かを判定する。
【００９０】
ステップＳ１１において、「取得した入力情報は、検査結果を示す入力情報である」と判定された場合（ステップＳ１１：ＹＥＳ）、判定部４８０が瑕疵の位置および瑕疵の種類を判定するステップＳ７に進む。
【００９１】
（ステップＳ１３）
一方、ステップＳ１１において、「取得した入力情報は、検査結果を示す入力情報ではない」と判定された場合（ステップＳ１１：ＮＯ）、表示制御部４４０は、取得した入力情報に基づいて、出力する画像信号を変更する。そして、表示制御部４４０は、変更した画像信号を表示Ｉ／Ｆ４６を介してタッチパネルモニタ５に出力する。タッチパネルモニタ５の表示部５２は、検査支援装置４から出力された画像信号が示す画像を表示する。そして、タッチパネルモニタ５は、入力を受け付ける処理であるステップＳ５に進む。
【００９２】
（液晶パネルの瑕疵画像を変更する動作の例）
図１０は、本発明の実施形態２において、タッチパネルモニタ５に表示されている液晶パネルの瑕疵画像を拡大する様子を示す図である。また、図１１は、本発明の実施形態２において、タッチパネルモニタ５に表示されている画像の光量を変化させる様子を示す図である。
【００９３】
例えば、タッチパネルモニタ５に表示されている液晶パネルの瑕疵画像を拡大したい場合、図１０の（ａ）に示すように、作業者は、瑕疵画像８４上において拡大したい点を中心にピンチアウトする。この場合、タッチパッド５４は、検出した２つの接触の座標の中間の座標と、動作パターンが「ピンチアウト」であることを示すパターン情報とを含む入力情報を、検査支援装置４に出力する。検査支援装置４の表示制御部４４０は、取得した入力情報が検査結果を示す入力情報であるか否かを判定する。この場合、動作パターン情報は「ピンチアウト」を示しているため、表示制御部４４０は、取得した入力情報は検査結果を示す入力情報ではないと判定する。そして、表示制御部４４０は、動作パターン「ピンチアウト」に応じて、入力情報に含まれる座標を中心に拡大した瑕疵画像を含む画像信号を出力する。例えば、図１０の（ｂ）に示す瑕疵画像８４に対して作業者がピンチアウトした場合、表示制御部４４０は、拡大した瑕疵画像を含む画像信号を出力し、タッチパネルモニタ５は、図１０の（ｃ）に示すように拡大された瑕疵画像８５を含む画像を表示する。
【００９４】
また、他の例として、図１１の（ａ）に示す瑕疵画像８６の画像の光量を減らしたい場合、図１１の（ｂ）に示すように、作業者は瑕疵画像８６上において一往復スワイプする。この場合、タッチパッド５４は、検出した接触の座標と、動作パターンが「一往復スワイプ」であることを示すパターン情報とを含む入力情報を、検査支援装置４に出力する。検査支援装置４の表示制御部４４０は、取得した入力情報が検査結果を示す入力情報であるか否かを判定する。この場合、動作パターン情報は「一往復スワイプ」を示しているため、表示制御部４４０は、取得した入力情報は検査結果を示す入力情報ではないと判定する。そして、表示制御部４４０は、動作パターン「一往復スワイプ」に応じて、表示する瑕疵画像８６の光量を１０％に減らした画像に変更した画像信号を出力する。この場合、タッチパネルモニタ５は、図１１の（ｃ）に示すように、光量が１０％に減った瑕疵画像８７を含む画像を表示する。
【００９５】
また、表示制御部４４０は、スワイプの往復回数によって光量を変更する構成であってもよい。例えば、図１１の（ｄ）に示すように、作業者が二往復スワイプした場合、表示制御部４４０は、光量を８％に減らした瑕疵画像に変更してもよい。この場合、タッチパネルモニタ５は、図１１の（ｅ）に示すように、光量が８％に減った瑕疵画像８８を含む画像を表示する。また、例えば、図１１の（ｆ）に示すように、作業者が三往復スワイプした場合、表示制御部４４０は、光量を５％に減らした瑕疵画像に変更してもよい。この場合、タッチパネルモニタ５は、図１１の（ｇ）に示すように、光量が５％に減った瑕疵画像８９を含む画像を表示する。
【００９６】
このように、本実施形態に係る検査システム１ａでは、検査支援装置４ａは、タッチパネルモニタ５が受け付けた入力動作のパターンに応じて、タッチパネルモニタ５に表示する液晶パネルの瑕疵画像を変更する。そのため、例えば、検査支援装置４ａが液晶パネルの瑕疵画像を拡大可能な場合、従来行っていたマイクロスコープによる瑕疵の判定作業が不要となり、検査の工数を削減することができる。また、従来は、瑕疵の箇所にマーキングを行っていたが、検査システム１ａでは、液晶パネルにマーキングすることなく検査を行うことができるので、検査の作業を簡易化することができる。また、例えば、検査支援装置４ａが液晶パネルの瑕疵画像の光量を変更可能な場合、従来行っていたＮＤ（Neutral Dencity）フィルタを使用した確認作業が不要となる。そのため、検査システム１ａでは、透過率の異なるＮＤフィルタの取り出しおよび取り替え作業が不要となり、検査の工数を削減することができる。なお、検査支援装置４ａが瑕疵画像を変更する処理は、上述した拡大、光量の変化に限定されず、色の変化、色の協調なども挙げることができる。
【００９７】
〔実施形態３〕
本発明の他の実施形態について、図１２に基づいて説明する。
【００９８】
本実施形態における検査支援装置４ｂでは、上述した検査支援装置４または検査支援装置４ａが有する機能に加えて、表示制御部４４０は、入力情報に応じて出力する画像信号を変更する。
【００９９】
（検査システム１ｂの処理）
実施形態３に係る検査システム１ｂは、上述した図９に示すフローチャートに基づく処理を実行する。図９に示すフローチャートのうち、ステップＳ１３における処理の具体的な例について、説明する。
【０１００】
（画像を変更する動作の例）
図１２は、本発明の実施形態３において、タッチパネルモニタ５に表示されている画像に限度サンプルをさらに表示する様子を示す図である。
【０１０１】
例えば、タッチパネルモニタ５に表示されている液晶パネルの画像に含まれる瑕疵を、当該瑕疵の判断基準となる限度サンプルと比較したい場合、図１２の（ａ）に示すように、液晶パネルの瑕疵画像９０上において三本指でスワイプする。この場合、タッチパッド５４は、検出した３つの接触の座標と、動作パターンが「三本指でスワイプ」であることを示すパターン情報とを含む入力情報を、検査支援装置４に出力する。検査支援装置４の表示制御部４４０は、取得した入力情報が検査結果を示す入力情報であるか否かを判定する。この場合、動作パターン情報は「三本指でスワイプ」を示しているため、表示制御部４４０は、取得した入力情報は検査結果を示す入力情報ではないと判定する。そして、表示制御部４４０は、動作パターン「三本指でスワイプ」に応じて、表示していた画像に限度サンプルを含めた画像を示す画像信号を出力する。例えば、図１２の（ｂ）に示す瑕疵画像９０に対して作業者が三本指でスワイプした場合、表示制御部４４０は、限度サンプルを含む画像を示す画像信号を出力し、タッチパネルモニタ５は、図１２の（ｃ）に示すように、表示していた画像に限度サンプルの画像９１を含めた画像を表示する。
【０１０２】
このように、本実施形態に係る検査システム１ｂでは、検査支援装置４ｂは、タッチパネルモニタ５が受け付けた入力動作のパターンに応じて、タッチパネルモニタ５に表示する画像を変更する。そのため、例えば、検査支援装置４ｂが限度サンプルの画像を表示可能な場合、表示している瑕疵画像を含む画像に限度サンプルを含めた画像を表示することにより、作業者が瑕疵の画像と限度サンプルとの画像の比較を容易に行うことができるので、検査の工数を削減することができる。
【０１０３】
〔実施形態４〕
本発明の他の実施形態について、図１３に基づいて説明する。
【０１０４】
本実施形態における検査支援装置４ｃでは、上述した検査支援装置４〜検査支援装置４ｂが有する機能に加えて、位置変更部４２０は、位置情報に基づいてルーペ７４とステージ６４上の液晶パネルとの相対的な位置を変更する。
【０１０５】
（検査システム１ｃの処理）
図１３は、本発明の実施形態４に係る検査システム１ｃが実行する処理の流れを示すフローチャートである。検査支援装置４ｃが検査結果情報を取得し、タッチパネルモニタ５が画像を表示するステップＳ１およびステップＳ２の処理については、上述した処理と同じであるため、説明を省略する。
【０１０６】
（ステップＳ２１）
位置情報取得部４０４は、取得した位置情報を位置変更部４２０に出力する。位置変更部４２０は、取得した位置情報が示す位置において、ルーペ７４が液晶パネルを拡大して表示できるように、機器制御Ｉ／Ｆ４４を介して再検査装置６および拡大表示装置７に制御信号を出力する。再検査装置６のステージ位置変更部６２は、検査支援装置４ｃから出力された制御信号を取得すると、当該制御信号が示すようにステージ６４を駆動する。また、拡大表示装置７のルーペ位置変更部７２は、検査支援装置４ｃから出力された制御信号を取得すると、ルーペ７４を駆動する。
【０１０７】
そして、タッチパネルモニタ５のタッチパッド５４が入力を受け付けるステップＳ５〜ステップＳ９以降の処理は、上述した処理と同じであるため、説明を省略する。
【０１０８】
このように、本実施形態に係る検査システム１ｃでは、検査支援装置４ｃは、取得した位置情報が示す位置において、ルーペ７４が液晶パネルを拡大して表示できるように、ルーペ７４および液晶パネルの相対位置を変更する。そのため、実際に肉眼で液晶パネルを見なければ最終的に判断できない瑕疵があった場合、ルーペ７４が当該瑕疵を拡大して表示しているため、作業者は容易に検査をすることができるので、検査の工数を削減することができる。
【０１０９】
また、検査支援装置４ｃは、ステージ上の液晶パネルに表示させる画面パターンを制御可能な構成であってもよい。この場合、検査支援装置４ｃは、タッチパネルモニタ５において表示するように作業者によって選択された瑕疵が検査装置２において確認されたときに表示されていた画面パターンと同じ画面パターンを、ステージ上の液晶パネルに表示させる。この構成により、検査のための画面パターンが複数ある場合であっても、瑕疵が検出された画面パターンを作業者に見せることができるので、無駄な画面パターンの検査を省かせることができる。
【０１１０】
なお、上述した位置変更部４２０は、再検査装置６および拡大表示装置７に制御信号を出力したが、位置変更部４２０は、再検査装置６および拡大表示装置７の少なくとも何れかに制御信号を出力し、ルーペ７４が瑕疵を拡大して表示できる位置に変更する構成であってもよい。
【０１１１】
〔実施形態５〕
本発明の他の実施形態について、図１４に基づいて説明する。
【０１１２】
本実施形態における検査支援装置４ｄでは、上述した検査支援装置４〜検査支援装置４ｃが有する機能に加えて、表示制御部４４０は、入力動作のパターンを表示する。
【０１１３】
（検査システム１ｄの処理）
本実施形態に係る検査システム１ｄは、上述した図６に示すフローチャートに基づく処理を実行する。
【０１１４】
（ステップＳ３）
検査結果取得部４００の画像取得部４０２は、取得した検査結果情報に含まれる画像を取得し、表示制御部４４０および判定部４８０に出力する。また、瑕疵種類情報取得部４０６は、取得した瑕疵種類情報を、表示制御部４４０に出力する。表示制御部４４０は、画像取得部４０２から出力された画像と、瑕疵種類情報取得部４０６から出力された瑕疵種類情報が示す瑕疵の種類に対応する入力動作のパターンとを含む画像を、表示Ｉ／Ｆ４６を介してタッチパネルモニタ５に出力する。タッチパネルモニタ５の表示部５２は、検査支援装置４から出力された画像信号が示す画像を表示する。この場合にタッチパネルモニタ５に表示される画像を、図１４に示す。図１４は、本発明の実施形態５におけるタッチパネルモニタ５が表示する画像の例を示す図である。
【０１１５】
例えば、表示制御部４４０が取得した瑕疵種類情報が「輝点」を示す場合、表示制御部４４０は、「輝点」に対応する入力動作のパターンである「輝点の位置でタップ」を含む画像を示す画像信号を、タッチパネルモニタ５に出力する。タッチパネルモニタ５は、当該画像信号を取得すると、図１４の（ａ）に示すように、液晶パネルの瑕疵画像９２と、パターンを示したテキスト９３を表示する。この構成により、作業員に対して、表示している瑕疵に対応する入力動作を示すことができるので、作業員に入力動作を覚えさせることを強いることなく、入力させることができる。
【０１１６】
また、例えば、瑕疵種類情報が示す１つの瑕疵の種類に、複数の入力動作のパターンを対応させる構成であってもよい。例えば、表示制御部４４０が取得した瑕疵種類情報が「輝点」を示す場合、表示制御部４４０は、「輝点」に対応する入力動作のパターンである「輝点の位置でタップ」と、「むら」に対応する入力動作のパターンである「むらの位置で長押し」とを含む画像を示す画像信号を、タッチパネルモニタ５に出力する。タッチパネルモニタ５は、当該画像信号を取得すると、図１４の（ｂ）に示すように、液晶パネルの瑕疵画像９４と、パターン「輝点の位置でタップ」および「むらの位置で長押し」を示すテキスト９５を表示する。この構成により、検査装置２が誤って、類似する瑕疵が形成されているとした検査結果を出力した場合であっても、作業員に正しい入力動作をさせることができる。
【０１１７】
また、表示制御部４４０は、全ての入力動作のパターン（すなわち、判定部４８０が判定する瑕疵の種類に対応付けられた入力動作のパターン）を含む画像を示す画像信号を、タッチパネルモニタ５に出力する構成であってもよい。例えば、表示制御部４４０は、取得した瑕疵種類情報が示す瑕疵の種類に関わらず、全ての入力動作のパターンを含む画像を示す画像信号を、タッチパネルモニタ５に出力する。タッチパネルモニタ５は、当該画像信号を取得すると、図１４の（ｃ）に示すように、液晶パネルの瑕疵画像９６と、全ての入力動作のパターンである「輝点の位置でタップ」、「輝点群の位置をマルチタップ」、「線欠陥をスワイプ」、および「むらの位置で長押し」を示すテキスト９７を表示する。この構成により、検査支援装置４ｄは、入力可能な瑕疵のうち、何れの瑕疵が表示されても、作業員に正しい入力動作をさせることができる。
【０１１８】
また、表示制御部４４０は、発生頻度の低い瑕疵に対応する入力動作のパターンや、作業者が覚え難い入力動作のパターンを含む画像を示す画像信号を、タッチパネルモニタ５に出力する構成であってもよい。この構成により、検査支援装置４ｄは、発生頻度の低い瑕疵が発生した場合や、入力動作を覚えていない瑕疵が発生した場合であっても、作業者に容易に入力させることができる。
【０１１９】
〔ソフトウェアによる実現例〕
検査支援装置４の制御ブロック（特に制御部４０）は、集積回路（ＩＣチップ）等に形成された論理回路（ハードウェア）によって実現してもよいし、ＣＰＵ（Central Processing Unit）を用いてソフトウェアによって実現してもよい。
【０１２０】
後者の場合、検査支援装置４は、各機能を実現するソフトウェアであるプログラムの命令を実行するＣＰＵ、上記プログラムおよび各種データがコンピュータ（またはＣＰＵ）で読み取り可能に記録されたＲＯＭ（Read Only Memory）または記憶装置（これらを「記録媒体」と称する）、上記プログラムを展開するＲＡＭ（Random Access Memory）などを備えている。そして、コンピュータ（またはＣＰＵ）が上記プログラムを上記記録媒体から読み取って実行することにより、本発明の目的が達成される。上記記録媒体としては、「一時的でない有形の媒体」、例えば、テープ、ディスク、カード、半導体メモリ、プログラマブルな論理回路などを用いることができる。また、上記プログラムは、該プログラムを伝送可能な任意の伝送媒体（通信ネットワークや放送波等）を介して上記コンピュータに供給されてもよい。なお、本発明は、上記プログラムが電子的な伝送によって具現化された、搬送波に埋め込まれたデータ信号の形態でも実現され得る。
【０１２１】
〔まとめ〕
本発明の態様１に係る検査支援装置（４〜４ｄ）は、被検査物（液晶パネル）の検査結果の入力を受け付ける検査支援装置であって、上記被検査物の画像を表示部（５２）に表示する表示制御部（４４０）と、上記表示部に重畳して設けられた入力受付部（タッチパッド５４）が受け付けた入力であって、所定のパターンの入力動作による入力を示す入力情報を取得する入力情報取得部（４６０）と、上記表示部に表示された上記被検査物の画像上における位置であって、上記入力情報取得部が取得した入力情報が示す位置および当該入力情報が示すパターンに基づいて、上記被検査物に形成された瑕疵の位置および当該瑕疵の種類を判定する判定部（４８０）と、を備える。
【０１２２】
上記の構成によれば、検査支援装置は、所定のパターンの入力動作に基づいて、液晶パネルに形成された瑕疵の位置および瑕疵の種類を判定する。そのため、作業者に対して瑕疵の位置および瑕疵の種類を別々に入力させる必要がないため、液晶パネルに形成された瑕疵の位置および瑕疵の種類の入力操作を容易にすることができる。
【０１２３】
本発明の態様２に係る検査支援装置は、上記態様１において、上記被検査物を検査する検査装置（２）から、上記被検査物に形成された瑕疵の位置を示す位置情報を取得する位置情報取得部（４０４）をさらに備え、上記表示制御部は、上記位置情報取得部が取得した位置情報が示す位置に基づいた上記被検査物の画像を上記表示部に表示し、上記判定部は、上記表示部に表示された上記被検査物における位置であって、上記入力情報取得部が取得した入力の位置および上記位置情報取得部が取得した位置情報が示す位置に基づいて、上記瑕疵の位置を判定してもよい。
【０１２４】
上記の構成によれば、検査支援装置は、検査装置が検出した瑕疵の位置を作業者に探させる必要がなく、作業者に対して、瑕疵の位置を容易に認識させることができるため、瑕疵の正しい位置を容易に入力させることができる。
【０１２５】
本発明の態様３に係る検査支援装置は、上記態様２において、上記検査装置から、上記被検査物に形成された瑕疵を含む画像を取得する画像取得部（４０２）をさらに備え、上記表示制御部は、上記画像取得部が取得した画像を上記表示部に表示してもよい。
【０１２６】
上記の構成によれば、検査支援装置は、検査装置が検出した瑕疵の画像を表示するので、作業者に対して肉眼で被検査物を検査させる必要がなくなり、容易に瑕疵を認識させることができるため、検査の工数を削減することができる。
【０１２７】
本発明の態様４に係る検査支援装置は、上記態様２または３において、上記被検査物を拡大して表示可能な拡大表示部（ルーペ７４）と上記被検査物との相対位置を変更可能な位置変更部（４２０）、をさらに備え、上記位置変更部は、上記被検査物のうち、上記位置情報取得部が取得した位置情報が示す位置において、上記拡大表示部が上記被検査物を拡大して表示できるように、上記相対位置を変更してもよい。
【０１２８】
上記の構成によれば、実際に肉眼で被検査物を見なければ最終的に判断できない瑕疵があった場合、拡大表示部が当該瑕疵を拡大して表示しているため、検査支援装置は、作業者は容易に検査をすることができるので、検査の工数を削減することができる。
【０１２９】
本発明の態様５に係る検査支援装置は、上記態様１〜４の何れかにおいて、上記瑕疵の種類を示す瑕疵種類情報を取得する瑕疵種類情報取得部（４０６）をさらに備え、上記表示制御部は、上記瑕疵種類情報取得部が取得した瑕疵種類情報が示す瑕疵の種類を、上記画像と共に表示部に表示してもよい。
【０１３０】
上記の構成によれば、検査支援装置は、作業者に瑕疵の位置を探させる必要がなく、作業者に対して、瑕疵の位置を容易に認識させることができるため、瑕疵の正しい位置を容易に入力させることができる。
【０１３１】
本発明の態様６に係る検査支援装置において、上記態様５における表示制御部は、上記瑕疵種類情報取得部が取得した瑕疵種類情報が示す瑕疵の種類のそれぞれに対応した上記入力動作のパターンを、上記画像と共に表示部に表示してもよい。
【０１３２】
上記の構成によれば、検査支援装置は、作業員に対して、表示している瑕疵に対応する入力動作を示すことができるので、作業員に入力動作を覚えさせることを強いることなく、入力させることができる。
【０１３３】
本発明の態様７に係る検査支援装置において、上記態様１〜６の何れかにおける表示制御部は、上記入力受付部が受け付けた入力動作のパターンに応じて、上記表示部に表示する画像を変更してもよい。
【０１３４】
上記の構成によれば、例えば、検査支援装置が画像を拡大可能な場合、従来行っていたマイクロスコープによる瑕疵の判定作業が不要となり、検査の工数を削減することができる。また、例えば、検査支援装置が画像の光量を変更可能な場合、従来行っていたＮＤフィルタの取り出しおよび取り替え作業が不要となり、検査の工数を削減することができる。
【０１３５】
本発明の態様８に係る検査支援装置において、上記態様１〜７の何れかにおける表示制御部は、上記判定部が判定する瑕疵の種類に対応付けられた入力動作のパターンを、上記画像と共に表示部に表示してもよい。
【０１３６】
上記の構成によれば、検査支援装置は、入力可能な瑕疵のうち、何れの瑕疵が表示されても、作業員に正しい入力動作をさせることができる。
【０１３７】
本発明の各態様に係る検査支援装置は、コンピュータによって実現してもよく、この場合には、コンピュータを上記検査支援装置が備える各部（ソフトウェア要素）として動作させることにより上記検査支援装置をコンピュータにて実現させる検査支援装置の制御プログラム、およびそれを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体も、本発明の範疇に入る。
【０１３８】
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。さらに、各実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を組み合わせることにより、新しい技術的特徴を形成することができる。
【産業上の利用可能性】
【０１３９】
本発明は、液晶パネルなどの検査装置や再検査において検査結果の入力を受け付ける検査支援装置に利用することができる。
【符号の説明】
【０１４０】
１、１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ  検査システム
２  検査装置
３  検査結果データベース
４、４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ  検査支援装置
４０  制御部
４００  検査結果取得部
４０２  画像取得部
４０４  位置情報取得部
４０６  瑕疵種類情報取得部
４２０  位置変更部
４４０  表示制御部
４６０  入力情報取得部
４８０  判定部
５  タッチパネルモニタ
５２  表示部
５４  タッチパッド（入力受付部）
６  再検査装置
６２  ステージ位置変更部
６４  ステージ
７  拡大表示装置
７２  ルーペ位置変更部
７４  ルーペ（拡大表示部）
【図１】
0006367736.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
0006367736.tif 000012
【図１２】
0006367736.tif 000013
【図１３】
0006367736.tif 000014
【図１４】
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