(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の貫通孔を有する孔空き集電体に活物質層が形成された電極の製造方法であって、
孔空き集電体の片面に活物質合剤を塗布する塗工工程と、
前記塗工工程で塗布した前記活物質合剤を乾燥させる乾燥工程と、
を備え、
少なくとも前記活物質合剤の乾燥工程における乾燥の際に、活物質合剤が塗布された孔空き集電体の片面に音波の放射圧を加えることを特徴とする電極の製造方法。
【請求項２】
前記孔空き集電体に付与される音波の放射圧により、搬送方向に推進力を付与する請求項１に記載の電極の製造方法。
【請求項３】
集電体に活物質層が形成された電極の製造装置であって、
集電体の片面に活物質合剤を塗布する塗工機構と、
前記塗工機構で塗布した前記活物質合剤を乾燥させる乾燥炉と、
機械振動を出力する振動子と、
少なくとも前記乾燥炉において前記集電体の搬送路の一部に配置され、前記振動子からの機械振動を音波に変換する振動板と、
を備え、
前記振動板の放射面からの音波の放射圧を前記集電体の片面に作用させることを特徴とする電極の製造装置。
【請求項４】
機械振動を出力する第２振動子と、
前記塗工機構と前記乾燥炉との間の集電体の搬送路に配置され、前記第２振動子からの機械振動を音波に変換する第２振動板と、
を更に備え、
前記第２振動板の放射面からの音波の放射圧を集電体の片面に作用させることを特徴とする請求項３に記載の電極の製造装置。
【請求項５】
前記乾燥炉において配置される振動板による放射圧と、前記第２振動板による放射圧とを異ならせたことを特徴とする請求項４に記載の電極の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電極の製造方法および電極の製造装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
二次電池やキャパシタのような蓄電装置は再充電が可能であり、繰り返し使用することができるため電源として広く利用されている。蓄電装置はケース内に電極組立体が収納されている。電極組立体を構成する電極は、金属箔などのシート状の集電体と、その両面に形成され、担持される活物質層よりなる。ここで、担持される活物質の量を増やす為に、集電体を予め多数の孔を形成し、孔内にも活物質を担持可能とした孔空き集電体を用いることが知られている。ところで、活物質層の形成は、塗工工程において、活物質、バインダ、導電助剤に、所定割合の溶剤を混ぜ、スラリー状の活物質合剤とした後、個々の電極に切断される前の帯状集電体に塗工することで行われる。このため、孔空き集電体を用いる場合、活物質合剤が孔内を反対側に移動するという問題があった。
【０００３】
より詳しくは、塗工後、帯状集電体は乾燥炉内を通過し、活物質合剤内の溶媒を除去するが、一般的な送風乾燥方法を用いた場合、乾燥炉の中では乾燥効率を上げるべく孔空き集電体に乾燥風を当てる。この状態を図示すると、図１０（ａ）に示すように、帯状集電体であり、複数の貫通孔１００を有する孔空き集電体１０１に対し図１０（ｂ）に示すように孔空き集電体１０１の片面に活物質合剤１０２が塗工される。その後の乾燥時には図１０（ｃ）に示すように乾燥風を受けて貫通孔１００からスラリー状の活物質合剤１０２の移動が助長される。このため、製造される電極表面に凹凸が生じてしまう。その結果、この孔空き集電体１０１を用い電極及び電極組立体を製造し、電池として用いると、エッジ部Ｅにおいてリチウムが析出しやすくなる。また、ΔＨだけ窪んでいるので、この部位は活物質が少なくなり電極の電気容量が減ってしまう。
【０００４】
前記の問題に対し、特許文献１においては、スラリー状の活物質合剤が塗工された孔空き集電体の他方の面に、少なくともその一部が順次当接して該孔空き集電体とともに移動する撥液シートを設けている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１１−７６８２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１においては、周回する撥液シートを、塗工される側の反対側の面に接触させる必要がある為、例えば、撥液シートに、金属箔のバリや活物質の粒子が異物として付着することで、集電体の表面又は活物質層の表面に傷が付くおそれがある。
【０００７】
本発明の目的は、活物質合剤が貫通孔からだれるのを抑制すると共に、表面の損傷を防止することができる電極の製造方法および電極の製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載の発明では、複数の貫通孔を有する孔空き集電体に活物質層が形成された電極の製造方法であって、孔空き集電体の片面に活物質合剤を塗布する塗工工程と、前記塗工工程で塗布した前記活物質合剤を乾燥させる乾燥工程と、を備え、少なくとも前記活物質合剤の乾燥工程における乾燥の際に、活物質合剤が塗布された孔空き集電体の片面に音波の放射圧を加えることを要旨とする。
【０００９】
請求項１に記載の発明によれば、塗工工程において孔空き集電体の片面に活物質合剤が塗布され、乾燥工程において、塗工工程で塗布した活物質合剤が乾燥される。ここで、少なくとも活物質合剤の乾燥工程における乾燥の際に、活物質合剤が塗布された孔空き集電体の片面に音波の放射圧が加えられる。よって、音波の放射圧によって活物質合剤が貫通孔からだれるのを抑制すると共に、孔空き集電体に対して非接触であるので表面の損傷を防止することができる。
【００１０】
請求項２に記載のように、請求項１に記載の電極の製造方法において、前記孔空き集電体に付与される音波の放射圧により、搬送方向に推進力を付与するとよい。
請求項３に記載の発明では、集電体に活物質層が形成された電極の製造装置であって、集電体の片面に活物質合剤を塗布する塗工機構と、前記塗工機構で塗布した前記活物質合剤を乾燥させる乾燥炉と、機械振動を出力する振動子と、少なくとも前記乾燥炉において前記集電体の搬送路の一部に配置され、前記振動子からの機械振動を音波に変換する振動板と、を備え、前記振動板の放射面からの音波の放射圧を前記集電体の片面に作用させることを要旨とする。
【００１１】
請求項３に記載の発明によれば、塗工機構により、集電体の片面に活物質合剤が塗布される。乾燥炉により、塗工機構で塗布した活物質合剤が乾燥される。振動子から出力される機械振動が、少なくとも乾燥炉において集電体の搬送路の一部に配置された振動板により、音波に変換される。振動板の放射面からの音波の放射圧が集電体の片面に作用する。よって、電極に孔空き集電体を用いた場合であっても、音波の放射圧によって活物質合剤が貫通孔からだれるのを抑制すると共に、集電体に対して非接触であるので表面の損傷を防止することができる。
【００１２】
請求項４に記載のように、請求項３に記載の電極の製造装置において、機械振動を出力する第２振動子と、前記塗工機構と前記乾燥炉との間の集電体の搬送路に配置され、前記第２振動子からの機械振動を音波に変換する第２振動板と、を更に備え、前記第２振動板の放射面からの音波の放射圧を集電体の片面に作用させるとよい。
【００１３】
請求項５の記載のように、請求項４に記載の電極の製造装置において、前記乾燥炉において配置される振動板による放射圧と、前記第２振動板による放射圧とを異ならせるとよい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、活物質合剤が貫通孔からだれるのを抑制すると共に、表面の損傷を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】二次電池の外観を示す斜視図。
【図２】電極組立体の構成要素を示す分解斜視図。
【図３】電極の構成を示す一部破断斜視図。
【図４】塗工乾燥装置の概略構成図。
【図５】塗工乾燥装置の一部概略断面図。
【図６】（ａ）は超音波浮揚装置の概略平面図、（ｂ）は超音波浮揚装置の概略側面図、（ｃ）は超音波浮揚装置の概略正面図。
【図７】超音波浮揚装置の原理説明図。
【図８】（ａ），（ｂ），（ｃ）は塗工・乾燥工程の説明図。
【図９】別例の塗工乾燥装置の一部概略構成図。
【図１０】（ａ），（ｂ），（ｃ）は背景技術を説明するための塗工・乾燥工程の説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明を具体化した一実施形態を図１〜図８にしたがって説明する。
図１に示すように、蓄電装置としての二次電池１０は、ケース１１に電極組立体１２が収容されている。ケース１１は、直方体状の本体部材１３と、本体部材１３の開口部を閉塞する矩形平板状の蓋部材１４とからなる。ケース１１を構成する本体部材１３と蓋部材１４は、何れも金属製（例えば、ステンレスやアルミニウム）である。また、本実施形態の二次電池１０は、その外観が角型をなす角型電池である。また、本実施形態の二次電池１０は、リチウムイオン電池である。
【００１７】
電極組立体１２は、正極端子１５および負極端子１６と電気的に接続される。正極端子１５及び負極端子１６には、ケース１１から絶縁するためのリング状の絶縁リング１７がそれぞれ取り付けられている。
【００１８】
図２に示すように、電極組立体１２は、シート状の正極電極１８と、シート状の負極電極１９と、正極電極１８と負極電極１９の間を絶縁するシート状のセパレータ２０と、を有する。そして、電極組立体１２は、正極電極１８と負極電極１９との間にセパレータ２０を配置した状態で層状に重ね合わせた積層体とされる。また、電極組立体１２は、複数枚の正極電極１８と複数枚の負極電極１９を交互に重ね合わせて構成される。即ち、電極組立体１２には、正極電極１８と、負極電極１９と、セパレータ２０とからなる組が複数組、設けられている。
【００１９】
正極電極１８及び負極電極１９は、図３に示すように、孔空き集電体である金属箔２１で構成されており、金属箔２１の厚み方向に貫通する複数の貫通孔２２を有する。貫通孔２２は、円形をなしている。また、貫通孔２２は、金属箔２１におけるスラリー状の活物質合剤の塗工領域全体に亘って形成されている。そして、金属箔２１の両方の面には、スラリー状の活物質合剤が塗布されるとともに、そのスラリー状の活物質合剤を乾燥させることで活物質層２３が形成される。
【００２０】
このように、電極１８，１９は、複数の貫通孔２２を有する金属箔２１の両方の面に活物質層２３がそれぞれ形成されている。なお、複数の貫通孔２２を有する金属箔２１の開孔率は、例えば１０％〜９０％程度、詳しくは２０％〜６０％程度、より詳しくは４０％〜６０％程度であるとよい。
【００２１】
また、図２に示すように、正極電極１８は正極タブ１８ａを有する。正極タブ１８ａは、正極端子１５と電気的に接続される。負極電極１９は負極タブ１９ａを有する。負極タブ１９ａは負極端子１６と電気的に接続される。負極タブ１９ａは、正極電極１８と負極電極１９を重ね合わせた時に正極タブ１８ａと重ならない位置に形成されている。
【００２２】
活物質層２３は活物質、導電助剤、及びバインダ等を混合し、溶媒を添加して混練したスラリー状の活物質合剤を金属箔２１に塗布し、乾燥させることで形成される。スラリー状の活物質合剤は、所定の粘度に調製されている。
【００２３】
電極の製造装置としての塗工乾燥装置３０を図４に示す。
塗工乾燥装置３０は、孔空き集電体である帯状孔空きの金属箔３１にスラリー状の活物質合剤３３を塗布し、乾燥させて電極を製造するためのものである。
【００２４】
塗工乾燥装置３０は、帯状孔空きの金属箔３１を供給する供給機構３２と、帯状孔空きの金属箔３１の片面にスラリー状の活物質合剤３３を塗布する塗工機構３４と、塗布した活物質合剤３３を乾燥させる乾燥炉３５と、乾燥後の帯状孔空きの金属箔３１を巻き取る巻取機構３６と、第１の超音波浮揚装置４０と、第２の超音波浮揚装置５０と、を備える。
【００２５】
供給機構３２は、筒状のリールに帯状孔空きの金属箔３１が巻装された供給ロール３２ａを備える。供給ロール３２ａは、支持機構によって回転可能に支持されている。塗工機構３４は、供給ロール３２ａから送り出された帯状孔空きの金属箔３１の一方の面にスラリー状の活物質合剤３３を塗布するスリットダイ３４ａを備える。この塗工機構３４によって帯状孔空きの金属箔３１にスラリー状の活物質合剤３３を塗布する塗布工程が行われる。
【００２６】
乾燥炉３５は、図５に示すように、高温の乾燥風を吹き付けることによってスラリー状の活物質合剤３３を乾燥させる。乾燥炉３５には、搬送される塗布後の帯状孔空きの金属箔３１に対し乾燥風の吹き付けによって乾燥する乾燥風吹出部材３５ａが設けられている。乾燥風吹出部材３５ａから噴出される乾燥風によって帯状孔空きの金属箔３１に塗布した活物質合剤３３の乾燥が行われる。乾燥風吹出部材３５ａは、乾燥炉３５内を搬送される帯状孔空きの金属箔３１の上側から乾燥風を噴出するように設けられている。より詳しくは、乾燥効率を上げるべく金属箔３１に垂直に乾燥風を当てて乾燥風の流れで乾燥している。このようにして乾燥炉３５によって帯状孔空きの金属箔３１に塗布した活物質合剤３３を乾燥する乾燥工程が行われる。
【００２７】
また、乾燥炉３５の内部には、音波の放射圧によって片面に活物質合剤３３が塗布された帯状孔空きの金属箔３１を浮上支持する第１の超音波浮揚装置４０が設けられている。
第１の超音波浮揚装置４０は、図６に示すように、乾燥炉３５において活物質合剤３３が塗布された帯状の金属箔３１の搬送路に配置された振動板４１と、ホーン４２と、ランジュバン型の振動子４３と、発振器４４と、ホーン４５と、ランジュバン型の振動子４６と、を備える。振動板４１は、帯板状をなし、帯状の金属箔３１の搬送路に水平に配置されている。振動板４１は、帯状の金属箔３１の搬送路において金属箔３１の長手方向に延びるように配置されている。振動板４１の上面に離間して活物質合剤３３が塗布された帯状の金属箔３１が位置する。
【００２８】
振動板４１の一端の下面にホーン４２が振動伝達可能に接続されているとともに振動板４１の他端の下面にホーン４５が振動伝達可能に接続されている。ホーン４２にはランジュバン型の振動子４３が固定されている。ランジュバン型の振動子４３は発振器４４と接続されている。発振器４４の出力信号によりランジュバン型の振動子４３が駆動される。
【００２９】
一方、ホーン４５にはランジュバン型の振動子４６が固定されている。ランジュバン型の振動子４６には、抵抗ＲとコイルＬが並列に接続されている。
そして、ランジュバン型の振動子４３は機械振動を出力し、ホーン４２を介して振動板４１に送られる。振動板４１はホーン４２を介した振動子４３からの機械振動を音波に変換する。このとき、振動板４１は一方向に進む進行波を発生させて金属箔３１を搬送する推進力を付与する。
【００３０】
また、振動板４１の振動はホーン４５を介して振動子４６に伝達されて機械的エネルギー（振動のエネルギー）が電気的エネルギーに変換される。この電気的エネルギーが抵抗Ｒでジュール熱に変換されて放散される。このようにして、振動板４１に生じる振動の波が一方向に進む進行波となり、金属箔３１の一端側から他端側へ浮揚状態で搬送される。
【００３１】
これにより、振動板４１の放射面４１ａからの音波の放射圧を活物質合剤３３が塗布された帯状の金属箔３１の片面に作用させた状態で活物質合剤３３を乾燥させることができるようになっている。より詳しくは、貫通孔２２が通る部位かつ塗工部が通る部位において振動板４１が配置されていればよく、これにより音波の放射圧によって活物質合剤３３が貫通孔２２からだれるのを防止することができる。
【００３２】
図４に示すように、巻取機構３６は、モータ駆動によって回転可能なリールにより、金属箔を巻き取る巻取ロール３６ａを備える。巻取ロール３６ａは、一定の回転速度で回転し、供給ロール３２ａから送り出される帯状孔空きの金属箔３１を巻き取る。塗工乾燥装置３０では、帯状孔空きの金属箔３１の搬送方向上流側から下流側に向かって順に、供給機構３２、塗工機構３４、乾燥炉３５、及び巻取機構３６が配設されている。これにより、供給ロール３２ａから送り出される帯状孔空きの金属箔３１は、塗工機構３４でスラリー状の活物質合剤３３が塗布された後に乾燥炉３５で乾燥され、その後に巻取ロール３６ａに巻き取られる。なお、塗工乾燥装置３０には、供給機構３２と巻取機構３６の間に、搬送される帯状の金属箔３１を支持する複数のサポートロール３７が配設されている。
【００３３】
また、塗工機構３４と乾燥炉３５との間の金属箔搬送路に第２の超音波浮揚装置５０が設けられている。第２の超音波浮揚装置５０は、第１の超音波浮揚装置４０と同様な構成となっている。
【００３４】
つまり、第２の超音波浮揚装置５０は、図６に示すように、塗工機構３４と乾燥炉３５との間の金属箔３１の搬送路に配置された第２振動板５１と、第２ホーン５２と、ランジュバン型の第２振動子５３と、発振器５４と、ホーン５５と、ランジュバン型の振動子５６と、を備える。第２振動板５１は、帯板状をなし、金属箔３１の搬送路に水平に配置されている。第２振動板５１は、金属箔３１の搬送路において金属箔３１の長手方向に延びるように配置されている。第２振動板５１の上面に離間して金属箔３１が位置する。第２振動板５１の一端の下面に第２ホーン５２が振動伝達可能に接続されているとともに第２振動板５１の他端の下面にホーン５５が振動伝達可能に接続されている。第２ホーン５２にはランジュバン型の第２振動子５３が固定されている。ランジュバン型の第２振動子５３は発振器５４と接続されている。発振器５４の出力信号によりランジュバン型の第２振動子５３が駆動される。
【００３５】
一方、ホーン５５にはランジュバン型の振動子５６が固定されている。ランジュバン型の振動子５６には、抵抗ＲとコイルＬが並列に接続されている。そして、ランジュバン型の第２振動子５３は機械振動を出力し、第２ホーン５２を介して第２振動板５１に送られる。第２振動板５１は第２ホーン５２を介した第２振動子５３からの機械振動を音波に変換する。このとき、第２振動板５１は一方向に進む進行波を発生させて金属箔３１を搬送する推進力を付与する。また、第２振動板５１の振動はホーン５５を介して振動子５６に伝達されて機械的エネルギー（振動のエネルギー）が電気的エネルギーに変換される。この電気的エネルギーが抵抗Ｒでジュール熱に変換されて放散される。このようにして、第２振動板５１に生じる振動の波が一方向に進む進行波となり、金属箔３１の一端側から他端側へ浮揚状態で搬送される。
【００３６】
これにより、第２振動板５１の放射面５１ａからの音波の放射圧を金属箔３１の片面に作用させた状態で金属箔３１を塗工機構３４と乾燥炉３５との間を搬送することができる。
【００３７】
また、制御として、乾燥炉３５において配置される振動板４１による音波の放射圧（図４のＰ１）と、第２振動板５１による音波の放射圧（図４のＰ２）とを異ならせる。具体的には、例えば、振動振幅αを調整することにより振動板４１による放射圧Ｐ１よりも第２振動板５１による放射圧Ｐ２を小さくする。
【００３８】
第１の超音波浮揚装置４０の振動板４１および第２の超音波浮揚装置５０の振動板５１は、金属箔３１の搬送路において塗工直後から乾燥炉３５内の終わりまで連続するように並べられている。
【００３９】
次に、電極の製造装置としての塗工乾燥装置３０の作用を説明する。
供給ロール３２ａから送り出された帯状孔空きの金属箔３１の一方の面に塗工機構３４のスリットダイ３４ａからスラリー状の活物質合剤３３を吐出して金属箔３１の一方の面に塗布する。これにより、図８（ａ）に示す複数の貫通孔２２を有する孔空きの金属箔３１に対し、図８（ｂ）に示すように金属箔３１の片面に活物質合剤３３が塗布される。このとき、貫通孔２２内にも活物質合剤３３が入り、担持される活物質の量を増すことができる。
【００４０】
そして、乾燥炉３５において、搬送される塗布後の金属箔３１に対し乾燥風吹出部材３５ａから乾燥風の吹き付けによって帯状孔空きの金属箔３１に塗布した活物質合剤３３を乾燥する。このように、塗布した活物質合剤３３を乾燥させる。
【００４１】
活物質合剤３３の乾燥工程における乾燥の際に、第１の超音波浮揚装置４０により、活物質合剤３３が塗布された帯状の金属箔３１の片面に音波の放射圧が加えられる。また、金属箔３１に付与される音波の放射圧により、搬送方向に推進力が付与される。
【００４２】
詳しくは、ランジュバン型の振動子４３の駆動によりホーン４２を介して振動板４１が振動する。図６に示すように、水平に配置された振動板４１の上方に帯状孔空きの金属箔３１が位置している。
【００４３】
ここで、図７に示すように、振動板４１と帯状孔空きの金属箔３１との距離をｈ、振動板４１の振動の際の振幅をα、浮揚力をＷとすると、浮揚力Ｗは次の（１）式のように表される。
【００４４】
Ｗ∝α／ｈ                        ・・・（１）
つまり、浮揚距離ｈは、振動振幅αに比例する。
図７に示すように、振動板４１は超音波振動する。このとき、作用する浮揚力Ｗとは、音波の放射圧により金属箔３１の下側より加わる力である。この力は、金属箔の無い貫通孔２２の部位にも等しく作用する為、活物質合剤３３がだれるのが抑制される。つまり、下側から音波の放射圧を加えた状態で金属箔３１を搬送することにより、図８（ｃ）に示すように、スラリー状の活物質合剤３３の裏抜けを防止しつつ乾燥炉３５の内部を搬送することができる。
【００４５】
なお、帯状孔空きの金属箔３１が平坦なので超音波振動により帯状孔空きの金属箔３１を、浮揚距離ｈを数１００μｍ程度とすることができる。
乾燥時において図１０（ｃ）に示すように乾燥風を受けて貫通孔１００からスラリー状の活物質合剤１０２の移動が助長されるため、製造される電極表面に凹凸が生じてしまう。特許文献１のように撥液シートを用いると塗工される側の反対側の面に接触する撥液シートに金属箔のバリや活物質の粒子が異物として付着して集電体の表面又は活物質層の表面に傷が付くおそれがある。本実施形態においては、音波の放射圧によって活物質合剤が貫通孔からだれるのが抑制されるとともに、孔空き集電体に対して非接触であるので集電体の表面又は活物質層の表面の損傷が防止される。
【００４６】
また、乾燥炉３５においては乾燥風および重力により活物質合剤３３が貫通孔２２においてだれることがあるとともに塗工後の乾燥炉３５の手前においても重力により活物質合剤３３が貫通孔２２においてだれることがある。本実施形態においては、塗工後の乾燥炉３５の手前までの部位においても第２の超音波浮揚装置５０が配置されているので、音波の放射圧によって活物質合剤が貫通孔からだれるのが抑制される。
【００４７】
このようにして塗工から乾燥までの搬送中に下側より音波の放射圧を加えることにより、孔空き集電体で活物質合剤がだれるのが抑制される。
帯状孔空きの金属箔３１の片面に活物質合剤３３を塗布・乾燥した後に巻き取り、その後に、金属箔３１のもう一方の面に対し活物質合剤を塗布・乾燥することにより、金属箔３１の両面に活物質層が形成される。
【００４８】
その後、電極形状に切断・分離することにより、複数の貫通孔２２を有する金属箔２１の両方の面に活物質層２３がそれぞれ形成された電極が製造される。
上記実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
【００４９】
（１）電極の製造方法として、複数の貫通孔２２を有する金属箔２１に活物質層２３が形成された電極の製造方法であって、帯状孔空きの金属箔３１の片面に活物質合剤３３を塗布する塗工工程を備える。さらに、塗工工程で塗布した活物質合剤３３を乾燥させる乾燥工程を備える。そして、少なくとも活物質合剤３３の乾燥工程における乾燥の際に、活物質合剤３３が塗布された金属箔３１の片面に音波の放射圧を加える。よって、音波の放射圧によって活物質合剤３３が貫通孔２２からだれるのを防止することができる。また、特許文献１のように撥液シートを用いると撥液シートの接触により傷が付くおそれがあるが、本実施形態では塗布後の乾燥を非接触で行うことができ傷が付くこともない。このようにして、音波の放射圧によって活物質合剤が貫通孔からだれるのを抑制すると共に、金属箔３１に対して非接触であるので表面の損傷を防止することができる。
【００５０】
（２）金属箔３１に付与される音波の放射圧により、搬送方向に推進力を付与するので、搬送に必要な力を分散して加えることが出来、金属箔３１の破断を抑制することが出来る。
【００５１】
（３）電極の製造装置の構成として、金属箔２１に活物質層２３が形成された電極の製造装置であって、金属箔３１の片面に活物質合剤３３を塗布する塗工機構３４と、塗工機構３４で塗布した活物質合剤３３を乾燥させる乾燥炉３５を備える。さらに、機械振動を出力する振動子４３と、少なくとも乾燥炉３５において金属箔３１の搬送路の一部に配置され、振動子４３からの機械振動を音波に変換する振動板４１とを備える。そして、振動板４１の放射面４１ａからの音波の放射圧を金属箔３１の片面に作用させる。よって、電極に孔空き集電体を用いた場合であっても、音波の放射圧によって活物質合剤３３が貫通孔２２からだれるのを抑制すると共に、金属箔３１に対して非接触であるので表面の損傷を防止することができる。
【００５２】
（４）機械振動を出力する第２振動子５３と、塗工機構３４と乾燥炉３５との間の金属箔３１の搬送路に配置され、第２振動子５３からの機械振動を音波に変換する第２振動板５１と、を更に備え、第２振動板５１の放射面５１ａからの音波の放射圧を金属箔３１の片面に作用させる。よって、塗工機構３４と乾燥炉３５との間において活物質合剤が貫通孔（２２）においてだれることを抑制できる。
【００５３】
（５）乾燥炉３５において配置される振動板４１による放射圧Ｐ１と、第２振動板５１による放射圧Ｐ２とを異ならせた。よって、乾燥風や重力による影響を考慮して音波の放射圧を加えることができる。
【００５４】
実施形態は前記に限定されるものではなく、例えば、次のように具体化してもよい。
・超音波浮揚装置における振動子をフィードバック制御してもよい。詳しくは、センサで浮揚距離ｈを検出したり搬送速度を検出して、検出した浮揚距離や検出した搬送速度が目標浮揚距離や目標搬送速度となるように発振器４４，５４を調整する。例えば、上記（１）式における振動振幅αを変えることにより浮揚力Ｗをコントロールする。
【００５５】
・孔空き集電体としては、金属箔に貫通孔を形成したものの他にも、例えば、金属シートに複数の切れ目を入れて上下及び／又は左右に引っ張って塑性変形させてなるエキスパンドメタルを用いることができる。他にも、金属シートに複数の孔をパンチング形成してなるパンチングメタルを用いることができる。他にも、金属繊維を網状に織り込んだ金属網、発泡体、エッチングにより貫通孔を付与したエッヂング箔、又はエンボスロールを用いて突起及び貫通孔を付与したもの等を用いることができる。
【００５６】
・孔空き集電体として、金属繊維等の導電性繊維による三次元織物を用いてもよい。
・超音波浮揚装置４０，５０は塗工直後から乾燥炉３５内の終わりまで配置したが、これに限るものではなく、図９に示すように、乾燥炉３５内の全てに配置してもよい。他にも、乾燥炉３５内の途中まで、即ち、活物質層が固まるまで配置してもよい。つまり、乾燥炉３５の内部における搬送路の全長にわたり超音波浮揚装置（振動板）を設けてもよいが、乾燥開始から乾燥終了のうちの乾燥開始から乾燥途中まで超音波浮揚装置（振動板）を設けて活物質合剤が貫通孔においてだれる可能性がある箇所のみに超音波浮揚装置（振動板）を配置してもよい。
【００５７】
・乾燥炉３５内部において複数の超音波浮揚装置（振動板）を搬送方向に設置して連続するような浮揚力を発生させるようにしてもよい。
・ホーン４２，４５，５２，５５はなくてもよい。
【００５８】
・振動子はランジュバン型でなくてもよい。
・蓄電装置における電極組立体は、積層型、即ち、電極を複数枚積層した構成としたものに適用したが、捲回型、即ち、帯状電極を捲回したものに適用してもよい。
【００５９】
・蓄電装置としてリチウムイオン電池以外に適用してもよい。例えば、ニッケル水素二次電池等に適用してもよい。
【符号の説明】
【００６０】
２１…金属箔、２２…貫通孔、２３…活物質層、３１…金属箔、３３…活物質合剤、３４…塗工機構、３５…乾燥炉、４１…振動板、４１ａ…放射面、４３…振動子、５１…第２振動板、５１ａ…放射面、５３…第２振動子。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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