(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定子と可動子の間のガイド部又は可動子と駆動部との間をシールする可動子シール構造において、
上記可動子に着脱可能に取り付けられたシール部材があり、
上記シール部材は直線部分と屈曲部とから構成されていて、
上記直線部分は可撓性部材と非可撓性部材を積層させて構成され、
上記屈曲部は可撓性部材のみから構成されていることを特徴とする可動子シール構造。
【請求項２】
請求項１記載の可動子シール構造において、
上記シール部材には上記可動子に対する係合部が設けられていることを特徴とする可動子シール構造。
【請求項３】
請求項１又は請求項２記載の可動子シール構造において、
上記シール部材は上記固定子と可動子との間のガイド部をシールするものであり、
上記シール部材は上記可動子の移動方向両端をシールする一対の端部シール部と、上記一対の端部シール部を連結し上記可動子の両端部間をシールする両端部間シール部と、から構成されていて、
上記一対の端部シール部と上記両端部間シール部が直線部分であり、上記一対の端部シール部と上記両端部間シール部との境界部が屈曲部であることを特徴とする可動子シール構造。
【請求項４】
請求項３記載の可動子シール構造において、
上記ガイド部は左右にあり
上記左右のガイド部に対応するように上記シール部材が左右にそれぞれ設置されていることを特徴とする可動子シール構造。
【請求項５】
請求項３記載の可動子シール構造において、
上記左右のシール部材は一体化されていることを特徴とする可動子シール構造。
【請求項６】
請求項１〜請求項５の何れかに記載の可動子シール構造において、
上記固定子はベースであり、上記可動子は上記ベースの内側に左右のガイド部を介して移動可能に配置されたスライダであることを特徴とする可動子シール構造。
【請求項７】
請求項１〜請求項５の何れかに記載の可動子シール構造において、
上記固定子は軌道であり、上記可動子は上記軌道の外側を跨ぐように左右のガイド部を介して移動可能に配置されたスライダであることを特徴とする可動子シール構造。
【請求項８】
請求項１又は請求項２記載の可動子シール構造において、
上記シール部材は上記可動子と駆動部との間をシールするものであり、
上記シール部材は上記可動子の移動方向両端をシールする一対の端部シール部と、上記一対の端部シール部を連結する連結部と、から構成されていることを特徴とする可動子シール構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、固定子と可動子の間のガイド部又は可動子と駆動部との間をシールする可動子シール構造に係り、特に、製造・組立の容易化を図ることができるように工夫したものに関する。
【背景技術】
【０００２】
固定子と可動子の間のガイド部又は可動子と駆動部との間をシールする可動子シール構造を開示するものとして、例えば、特許文献１や特許文献２がある。
特許文献１に記載された「直線運動機構の密封装置及びその製造方法」では、案内レールに沿ってスライダが移動される構成になっている。上記案内レールの幅方向（上記スライダの進行方向に直交する方向）両側の面には第一転動溝がそれぞれ形成されている。また、上記スライダはコの字型の断面形状を成しており、その内側両面には上記第１転動溝に対応する第二転動溝がそれぞれ形成されている。また、上記スライダを進行方向に貫通して無負荷転動路が形成されている。また、上記スライダの進行方向両端側にはエンドプレートが設置されている。上記第一転動溝と上記第二転動溝の間、上記無負荷転動路、及び、両端のエンドプレート内の空間を多数のボールが転動・循環しており、これにより上記スライダが上記案内レールに沿って円滑に移動されるようになっている。
【０００３】
また、上記スライダには密封装置が設置されている。この密封装置は、板状の部材を屈曲・形成させたプレート本体に、エンドシール（第１シール部材）とインナーシール（第２シール部材）が設置された構成になっている。すなわち、上記プレート本体は上記スライダの進行方向の両側にそれぞれ配置される一対の端部プレートと、これら一対の端部プレート同士を接続し上記スライダと上記案内レールとの間を貫通して配置される接続プレートと、から構成されている。上記一対の端部プレートにエンドシールがそれぞれ設置されていて、上記接続プレートの幅方向（上記スライダの進行方向に直交する方向）両側にインナーシールがそれぞれ設置されている。
【０００４】
上記エンドシールにより、上記スライダの進行方向両端側から上記スライダの内側への異物の侵入を防止している。また、上記インナーシール材により、上記スライダの内側において、上記第１転動溝や上記第２転動溝側への異物の侵入を防止している。
【０００５】
また、特許文献２には「運動案内装置及びねじ装置」が記載されている。この「運動案内装置」では、軌道レールに沿って移動ブロックが移動される構成になっている。上記軌道レールには、ボール転走溝が形成されており、上記移動ブロックにもボール転走溝が形成されている。また、上記移動ブロックを貫通してボール戻し路が形成されている。また、上記移動ブロックの進行方向両端側にはエンドキャップが設置されており、このエンドキャップには方向転換路が形成されている。そして、上記軌道レールのボール転走溝と上記移動ブロックのボール転走溝との間の空間、上記ボール戻し路、及び、上記方向転換路内を、複数のボールが転動・循環している。
【０００６】
また、上記移動ブロックは全体をゴム又はエラストマ製のジャケットによって覆われている。このジャケットによって、上記移動ブロックと上記軌道レールとの間の隙間からの上記移動ブロックの内部側への異物の侵入を防止する構成になっている。
【０００７】
また、「ねじ装置」は、ねじ軸とナットから構成されている。上記ねじ軸の外周面には螺旋状のボール転動溝が形成されており、上記ナットの内周面にはボール転動溝が形成されている。また、上記ナットを貫通してボール戻し路が形成されている。また、上記ナットの進行方向両端側にはエンドキャップが設置されており、これらエンドキャップには方向転換路が形成されている。上記ねじ軸のボール転動溝と上記ナットのボール転動溝との間の空間、上記エンドキャップの方向転換路、及び、上記ボール戻し路には複数のボールが転動・循環している。
また、上記ナットは、ゴム又はエラストマ製のジャケットによって覆われており、このジャケットによって、上記ナットの内周面側への異物の侵入が防止される構成になっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特公平６−７２６０９
【特許文献２】特開２０１３−７４０９
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかし、上記従来の構成では次のような問題があった。
まず、特許文献１に記載された「直線運動機構の密封装置及びその製造方法」の場合には、密封装置を製造する際、金型を使用して板状の金属製部材を屈曲させて所定形状のプレート本体を形成しなければならず、製造が困難であるという問題があった。
また、屈曲部にも金属製のプレート本体が存在しているので、組付け時の融通性にかけ、組立が困難であるという問題もあった。
また、特許文献２に記載された「運動案内装置及びねじ装置」の場合も、金型を使用してゴム又はエラストマ製で複雑な形状のジャケットを成形しなければならず、製造が困難であるという問題があった。
【００１０】
本発明は、このような点に基づいてなされたもので、その目的とするところは、製造・組立の容易化を図ることが可能な可動子シール構造を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するべく本発明の請求項１による可動子シール構造は、固定子と可動子の間のガイド部又は可動子と駆動部との間をシールする可動子シール構造において、上記可動子に着脱可能に取り付けられたシール部材があり、上記シール部材は直線部分と屈曲部とから構成されていて、上記直線部分は可撓性部材と非可撓性部材を積層させて構成され、上記屈曲部は可撓性部材のみから構成されていることを特徴とするものである。
又、請求項２による可動子シール構造は、請求項１記載の可動子シール構造において、上記シール部材には上記可動子に対する係合部が設けられていることを特徴とするものである。
又、請求項３による可動子シール構造は、請求項１又は請求項２記載の可動子シール構造において、上記シール部材は上記固定子と可動子との間のガイド部をシールするものであり、上記シール部材は上記可動子の移動方向両端をシールする一対の端部シール部と、上記一対の端部シール部を連結し上記可動子の両端部間をシールする両端部間シール部と、から構成されていて、上記一対の端部シール部と上記両端部間シール部が直線部分であり、上記一対の端部シール部と上記両端部間シール部との境界部が屈曲部であることを特徴とするものである。
又、請求項４による可動子シール構造は、請求項３記載の可動子シール構造において、上記ガイド部は左右にあり、上記左右のガイド部に対応するように上記シール部材が左右にそれぞれ設置されていることを特徴とするものである。
又、請求項５による可動子シール構造は、請求項３記載の可動子シール構造において、上記左右のシール部材は一体化されていることを特徴とするものである。
又、請求項６による可動子シール構造は、請求項１〜請求項５の何れかに記載の可動子シール構造において、上記固定子はベースであり、上記可動子は上記ベースの内側に左右のガイド部を介して移動可能に配置されたスライダであることを特徴とするものである。
又、請求項７による可動子シール構造は、請求項１〜請求項５の何れかに記載の可動子シール構造において、上記固定子は軌道であり、上記可動子は上記軌道の外側を跨ぐように左右のガイド部を介して移動可能に配置されたスライダであることを特徴とするものである。
又、請求項８による可動子シール構造は、請求項１又は請求項２記載の可動子シール構造において、上記シール部材は上記可動子と駆動部との間をシールするものであり、上記シール部材は上記可動子の移動方向両端をシールする一対の端部シール部と、上記一対の端部シール部を連結する連結部と、から構成されていることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１２】
以上述べたように、本発明の請求項１による可動子シール構造は、固定子と可動子の間のガイド部又は可動子と駆動部との間をシールする可動子シール構造において、上記可動子に着脱可能に取り付けられたシール部材があり、上記シール部材は直線部分と屈曲部とから構成されていて、上記直線部分は可撓性部材と非可撓性部材を積層させて構成され、上記屈曲部は可撓性部材のみから構成されているため、例えば、上記可撓性部材を簡単な形状の金型を用いて成形し、これに上記非可撓性部材を設置し、上記可撓性部材のみからなる上記屈曲部を屈曲させるだけで複雑な形状とすることができ、製造が容易になる。
又、請求項２による可動子シール構造は、請求項１記載の可動子シール構造において、上記シール部材には上記可動子に対する係合部が設けられているため、容易且つ確実に上記可動子に取り付けることができる。
又、請求項３による可動子シール構造は、請求項１又は請求項２記載の可動子シール構造において、上記シール部材は上記固定子と可動子との間のガイド部をシールするものであり、上記シール部材は上記可動子の移動方向両端をシールする一対の端部シール部と、上記一対の端部シール部を連結し上記可動子の両端部間をシールする両端部間シール部と、から構成されていて、上記一対の端部シール部と上記両端部間シール部が直線部分であり、上記一対の端部シール部と上記両端部間シール部との境界部が屈曲部であるため、上記固定子と可動子との間のガイド部を確実にシールすることができる。
又、請求項４による可動子シール構造は、請求項３記載の可動子シール構造において、上記ガイド部は左右にあり、上記左右のガイド部に対応するように上記ガイド部シール部材が左右にそれぞれ設置されているため、左右両方のガイド部を確実にシールすることができる。
又、請求項５による可動子シール構造は、請求項３記載の可動子シール構造において、上記左右のガイド部シール部材は一体化されているので、１つの可撓性部材を形成すればよく、容易に製造することができる。
又、請求項６による可動子シール構造は、請求項１〜請求項５の何れかに記載の可動子シール構造において、上記固定子はベースであり、上記可動子は上記ベースの内側に左右のガイド部を介して移動可能に配置されたスライダであるため、上記ベースの内側に上記スライダが設置されるタイプのガイド機構に適用することができる。
又、請求項７による可動子シール構造は、請求項１〜請求項５の何れかに記載の可動子シール構造において、上記固定子は軌道であり、上記可動子は上記軌道の外側を跨ぐように左右のガイド部を介して移動可能に配置されたスライダであるため、上記軌道に対して上記スライダが設置されるタイプのガイド機構に適用することができる。
又、請求項８による可動子シール構造は、請求項１又は請求項２記載の可動子シール構造において、上記シール部材は上記可動子と駆動部との間をシールするものであり、上記シール部材は上記可動子の移動方向両端をシールする一対の端部シール部と、上記一対の端部シール部を連結する連結部と、から構成されているため、上記可動子と駆動部との間を確実にシールすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す図で、図１（ａ）は可動子シール構造が用いられたアクチュエータを示す斜視図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＩｂ−Ｉｂ断面図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態を示す図で、可動子シール構造が用いられたアクチュエータのスライダの分解斜視図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態を示す図で、図３（ａ）は可動子シール構造に用いられるシール部材の非屈曲時の底面図、図３（ｂ）は図３（ａ）のＩＩＩｂ−ＩＩＩｂ矢視図、図３（ｃ）は図３（ａ）のＩＩＩｃ−ＩＩＩｃ矢視図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態を示す図で、図４（ａ）は可動子シール構造に用いられるシール部材の非屈曲時の状態を底面側から視た斜視図、図４（ｂ）は可動子シール構造に用いられるシール部材の屈曲時の状態を底面側から視た斜視図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態を示す図で、可動子シール構造が用いられたアクチュエータを示す斜視図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態を示す図で、可動子シール構造が用いられたアクチュエータのシール部材を取り外した状態を示す分解斜視図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態を示す図で、図７（ａ）は可動子シール構造に用いられるシール部材の非屈曲時の状態を示す底面図、図７（ｂ）は図７（ａ）のＶＩＩｂ−ＶＩＩｂ矢視図、図７（ｃ）は図７（ａ）のＶＩＩｃ−ＶＩＩｃ矢視図である。
【図８】本発明の第２の実施の形態を示す図で、図８（ａ）は可動子シール構造に用いられるシール部材の非屈曲時の状態を底面側から視た斜視図、図８（ｂ）は可動子シール構造に用いられるシール部材の屈曲時の状態を底面側から視た斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
図１乃至図４を参照しながら本発明の第１の実施の形態について説明する。この第１の実施の形態によるアクチュエータ１は次のような構成になっている。まず、固定子としてのベース２があり、このベース２には、前後方向（図１中左下から右上に向かう方向）に延長された基板３がある。この基板３の幅方向（図１中左上から右下に向かう方向）両端には、それぞれ、前後方向（図１中左下から右上に向かう方向）に延長されたガイドレール５ａ、５ｂが図１中上側に向けて立設されている。
上記ガイドレール５ａの上記ガイドレール５ｂと向かい合う側には２本のガイド用凹部７ａ、７ｂが前後方向（図１中左下から右上に向かう方向）に平行に延長・形成されている。また、上記ガイドレール５ｂの上記ガイドレール５ａと向かい合う側にも、２本のガイド用凹部７ｃ、７ｄが前後方向（図１中左下から右上に向かう方向）に平行に延長・形成されている。
上記基板３、ガイドレール５ａ、５ｂは、例えば、鉄製である。
【００１５】
また、上記基板３と上記ガイドレール５ａ、５ｂの前端（図１中左下端）には、前端プレート９が、複数本（この第１の実施の形態の場合には４本）の固定ねじ１２によって取付・固定されており、上記基板３と上記ガイドレール５ａ、５ｂの後端（図１中右上端）には、モータブラケット１１が、図示しない固定ねじによって取付・固定されている。
また、上記基板３、上記ガイドレール５ａ、５ｂ、上記前端プレート９、及び、上記モータブラケット１１に囲まれた内部には、ボールねじ軸１３が回転可能に設置されている。上記ボールねじ軸１３の前端側（図１中左下端側）は上記前端プレート９に内装された図示しない軸受によって回転可能に支持されていると共に、上記ボールねじ軸１３の後端側（図１中右上端側）は上記モータブラケット１１に内装された図示しない軸受によって回転可能に支持されている。
上記ボールねじ軸１３には、螺旋溝１４が形成されている。
【００１６】
上記モータブラケット１１には、図示しない駆動モータが設置され、上記ボールねじ軸１３は、この図示しない駆動モータの回転軸にカップリング（図示せず）を介して連結されている。そして、駆動モータを回転させることにより上記ボールねじ軸１３を適宜の方向に回転させる。
【００１７】
また、上記ガイドレール５ａ、５ｂ間には、上記ボールねじ軸１３によって貫通された、可動子としてのスライダ１５が設置されている。図２に示すように、このスライダ１５には、ボールねじナットとして機能するスライダ本体１７がある。このスライダ本体１７には、貫通孔１９が、前後方向（図２中左下から右上に向かう方向）に延長・形成されている。この貫通孔１９が上記ボールねじ軸１３によって貫通されている。また、上記貫通孔１９の内周面には、螺旋溝２１が形成されている。
【００１８】
また、上記スライダ本体１７の底面側（図２中下側）には、リターンプレート２３が設置されている。このリターンプレート２３内には、図１（ｂ）に示すように、リターン路２４ａが形成されている。このリターン路２４ａの両端は、上記スライダ本体１７に形成された図示しない貫通孔を介して、上記螺旋溝２１に連通されている。また、上記図示しない貫通孔の螺旋溝２１側には、図示しないボールすくい上げ部材が設置されている。また、上記ボールねじ軸１３の螺旋溝１４と上記スライダ本体１７の螺旋溝２１との間の空間、上記リターンプレート２３内のリターン路２４ａ、貫通孔内には、複数のボール２４ｂが転動・循環している。
【００１９】
また、上記スライダ本体１７の幅方向一方側（図２中左上側）には、前後方向（図２中左下から右上に向かう方向）に貫通してガイド側ボール循環路２５ａ、２５ｂが形成されている。また、同様に、上記スライダ本体１７の幅方向他方側（図２中右下側）には、前後方向（図２中左下から右上に向かう方向）に貫通してガイド側ボール循環路２５ｃ、２５ｄが形成されている。
【００２０】
また、上記スライダ本体１７の一方の側面（図２中左側の側面）には、ガイド用凹部２７ａ、２７ｂが、前後方向（図２中左下から右上に向かう方向）に延長・形成されている。同様に、上記スライダ本体１７の他方の側面（図２中右側の側面）には、ガイド用凹部２７ｃ、２７ｄが、前後方向（図２中左下から右上に向かう方向）に延長・形成されている。
また、上記スライダ本体１７の前端面（図２中左側の面）には、エンドキャップ固定用雌ねじ部２９、２９、２９、２９が形成されている。また、上記スライダ本体１７の後端面（図２中右側の面）には、図示しないエンドキャップ固定用雌ねじ部が形成されている。
また、上記スライダ本体１７の上面（図２中上側の面）には、取付用雌ねじ部３０、３０、３０、３０が形成されている。この取付用雌ねじ部３０、３０、３０、３０に図示しないボルトを螺合させることによって、図示しない取付対象物が上記スライダ本体１７に取り付けられる。
【００２１】
また、上記スライダ本体１７の後端（図２中右上端）には、エンドキャップ３１ａが設置されており、上記スライダ本体１７の前端（図２中左下端）には、エンドキャップ３１ｂが設置されている。
上記エンドキャップ３１ａのスライダ本体１７側（図２中左下側）の面には、ガイド側リターン路用凹部３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、３３ｄが形成されている。また、上記ガイド側リターン路用凹部３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、３３ｄの側面側の端（図２中右端又は左端）から、リターン用凸部３５ａ、３５ｂ、３５ｃ、３５ｄがそれぞれ突出・形成されている。
【００２２】
また、上記ガイド側リターン路用凹部３３ａ、３３ｂ、及び、上記ガイド側リターン路用凹部３３ｃ、３３ｄには、それぞれ、リターンガイド３２ａ、３２ｂが設置されている。上記リターンガイド３２ａは上記ガイド側リターン用凹部３３ａ、３３ｂの図２中右端と左端以外を閉塞し、且つ、上記ガイド側リターン用凹部３３ａ、３３ｂの図２中右上側の面から離間した状態で設置されている。上記ガイド側リターン路用凹部３３ａ、３３ｂとリターン用凸部３５ａ、３５ｂと上記リターンガイド３２ａとの間の空間がガイド側リターン路３９ａ、３９ｂとなっている。また、上記リターンガイド３２ｂは上記ガイド側リターン用凹部３３ｃ、３３ｄの図２中左端と右端以外を閉塞し、且つ、上記ガイド側リターン用凹部３３ｃ、３３ｄの図２中右上側の面から離間した状態で設置されている。上記ガイド側リターン路用凹部３３ｃ、３３ｄと上記リターン用凸部３５ｃ、３５ｄと上記リターンガイド３２ｂとの間の空間がガイド側リターン路３９ｃ、３９ｄとなっている。
【００２３】
また、上記エンドキャップ３１ａの中央には、前後方向（図２中左下から右上に向かう方向）に貫通孔４１が延長・形成されている。この貫通孔４１は、ボールねじ軸１３によって貫通されている。
また、上記エンドキャップ３１ａの後側の面（図２中右上側の面）であって、上記貫通孔４１の外周側には、図示しない駆動部シール部材取付用凹部があり、この図示しない駆動部シール部材取付用凹部内に上記ボールねじ軸１３によって貫通された図示しない駆動部シール部材が設置されている。この図示しない駆動部シール部材によって、上記エンドキャップ３１ａ側において、スライダ１５とボールねじ軸１３との間の隙間がシールされている。
【００２４】
また、上記駆動部シール部材は、図示しない駆動部シール部材押えによって固定されている。この図示しない駆動部シール部材押えは、図示しない駆動部シール部材固定用ねじを、上記図示しない駆動部シール部材押えに貫通させ、上記エンドキャップ３１ａに螺合させることで固定される。
【００２５】
また、上記エンドキャップ３１ａには、固定ねじ用貫通孔４３、４３、４３、４３が形成されている。図２に示すように、固定用ねじ４５、４５、４５、４５を、この固定ねじ用貫通孔４３、４３、４３、４３を貫通させ、上記スライダ本体１７の後端面（図２中右上側の面）の図示しないエンドキャップ固定用雌ねじ部に螺合させることにより、上記エンドキャップ３１ａが上記スライダ本体１７に固定される。
【００２６】
上記エンドキャップ３１ａのスライダ本体１７側の幅方向の一方側（図２中右側）には、スライダ本体１７側（図２中左下側の面）の面と幅方向の一方側（図２中右側）の面に開口されたシール部材係合用凹部４８ａが形成されている。また、上記エンドキャップ３１ａのスライダ本体１７側の幅方向の他方側（図２中左側）には、スライダ本体１７側（図２中左下側の面）の面と幅方向の他方側（図２中左側）の面に開口されたシール部材係合用凹部４８ｂが形成されている。
また、上記エンドキャップ３１ａの後端側の面（図２中右上側の面）の幅方向（図２中左右方向）の両側には、図示しないシール部材固定用雌ねじ部が形成されている。
【００２７】
また、上記エンドキャップ３１ｂも、上記エンドキャップ３１ａと同様の構成となっており、図中同一部分には同一符号を付して示しその説明は省略する。
なお、図２では、エンドキャップ３１ａ側のシール部材固定用雌ねじ部は表れていないが、上記エンドキャップ３１ｂの前端側の面（図２中左下側の面）の幅方向の一方側（図２中左側）には、固定ねじ用雌ねじ部４９ａが表れており、上記エンドキャップ３１ｂの前端側の面（図２中左下側の面）の幅方向の他方側（図２中右側）には、固定ねじ用雌ねじ部４９ｂが表れている。
【００２８】
また、図２では、エンドキャップ３１ａ側の駆動部シール部材取付用凹部、駆動部シール部材、駆動部シール部材押え、駆動部シール部材固定用ねじは現われていないが、上記エンドキャップ３１ｂの前側の面（図２中左下側の面）であって、上記貫通孔４１の外周側には、駆動部シール部材取付用凹部５０ａがあり、この駆動部シール部材取付用凹部５０ａ内に上記ボールねじ軸１３によって貫通された駆動部シール部材５０ｂが設置されている。この駆動部シール部材５０ｂによって、上記エンドキャップ３１ｂ側において、スライダ１５とボールねじ軸１３との間の隙間がシールされている。また、上記駆動部シール部材５０ｂは、駆動部シール部材押え５０ｃによって固定されている。この駆動部シール部材押え５０ｃは、駆動部シール部材固定用ねじ５０ｄ、５０ｄを、上記駆動部シール部材押え５０ｃに貫通させ、上記エンドキャップ３１ｂに螺合させることで固定されている。
【００２９】
また、固定用ねじ４５、４５、４５、４５を、上記エンドキャップ３１ｂの固定ねじ用貫通孔４３、４３、４３、４３を貫通させ、上記スライダ本体１７のエンドキャップ固定用雌ねじ部２９、２９、２９、２９に螺合させることにより、上記エンドキャップ３１ｂが上記スライダ本体１７に固定される。
【００３０】
また、上記スライダ本体１７のガイド用凹部２７ａとガイドレール５ａのガイド用凹部７ａとの間の空間、上記エンドキャップ３１ａのガイド側リターン路３９ｃ、上記スライダ本体１７のガイド側ボール循環路２５ａ、上記エンドキャップ３１ｂのガイド側リターン路３９ａには、複数のボール４７ａが転動・循環している。
また、上記スライダ本体１７のガイド用凹部２７ｂとガイドレール５ａのガイド用凹部７ｂとの間の空間、上記エンドキャップ３１ａのガイド側リターン路３９ｄ、上記スライダ本体１７のガイド側ボール循環路２５ｂ、上記エンドキャップ３１ｂのガイド側リターン路３９ｂには、複数のボール４７ｂが転動・循環している。
また、上記スライダ本体１７のガイド用凹部２７ｃとガイドレール５ｂのガイド用凹部７ｃとの間の空間、上記エンドキャップ３１ａのガイド側リターン路３９ａ、上記スライダ本体１７のガイド側ボール循環路２５ｃ、上記エンドキャップ３１ｂのガイド側リターン路３９ｃには、複数のボール４７ｃが転動・循環している。
また、上記スライダ本体１７のガイド用凹部２７ｄとガイドレール５ｂのガイド用凹部７ｄとの間の空間、上記エンドキャップ３１ａのガイド側リターン路３９ｂ、上記スライダ本体１７のガイド側ボール循環路２５ｄ、上記エンドキャップ３１ｂのガイド側リターン路３９ｄには、複数のボール４７ｄが転動・循環している。
【００３１】
また、図２に示すように、スライダ１５には、ガイド部シール部材５１ａ、５１ｂが設置されている。上記ガイド部シール部材５１ａは、図３に示すように、例えば、可撓性部材としてのゴム製部材５３に、例えば、非可撓性部材としての金属製部材５５、５７ａ、５７ｂを部分的に積層させた構成となっている。
ちなみに、この第１の実施の形態の場合には、金属製部材５５、５７ａ、５７ｂとして、鉄製部材を使用している。
上記金属製部材５５は、前後方向（図３（ａ）中左右方向）に延長されており、前後方向（図３（ａ）中左右方向）両端側には、図３（ａ）中下側に向けて、係合用凸部５９ａ、５９ｂが突出・形成されている。また、図３（ｃ）に示すように、上記ゴム製部材５３側にも、上記係合用凸部５９ａ、５９ｂと重合するように係合用凸部６１ａ、６１ｂが突出・形成されている。
また、上記ゴム製部材５３の前後方向（図３（ａ）中左右方向）中央部分には、図３（ａ）中上側に向けて、上面側シール用凸部６２が突出・形成されている。
【００３２】
また、上記金属製部材５７ａは、上記ゴム製部材５３の前端側（図３（ａ）中右側）に設置されており、取付用貫通孔６３が形成されている。また、上記ゴム製部材５３側にも、上記取付用貫通孔６３と重合するように取付用貫通孔６５が形成されている。
また、上記ゴム製部材５３の前端側（図３（ａ）中右端側）の図３（ａ）中上側に向けて、端部側シール用凸部６７ａ、６７ｂが突出・形成されている。
また、上記金属製部材５７ｂは、上記ゴム製部材５３の後端側（図３（ａ）中左側）に設置されており、取付用貫通孔６９が形成されている。また、上記ゴム製部材５３側にも、上記取付用貫通孔６９と重合するように取付用貫通孔７１が形成されている。
また、上記ゴム製部材５３の後端側（図３（ａ）中左端側）の図３（ａ）中上側に向けて、端部側シール用凸部７３ａ、７３ｂが突出・形成されている。
【００３３】
また、上記ガイド部シール部材５１ａは、上記金属製部材５５が設置された部分が第１直線部７４となっており、上記金属製部材５７ａが設置された部分が第２直線部７５となっており、上記金属製部材５７ｂが設置された部分が第３直線部７７となっている。また、上記ガイド部シール部材５１ａの上記第１直線部７４と上記第２直線部７５との間の上記ゴム製部材５３のみの部分が第１屈曲部７９となっており、上記第１直線部７４と上記第３直線部７７との間の上記ゴム製部材５３のみの部分が第２屈曲部８１となっている。図４（ｂ）に示すように、上記ガイド部シール部材５１ａは、上記第１屈曲部７９と上記第２屈曲部８１で容易に屈曲されるようになっている。
【００３４】
上記ガイド部シール部材５１ａは図４（ｂ）に示すような屈曲された状態でスライダ１５に組付けられる。上記ガイド部シール部材５１ａが上記スライダ１５に組付けられた際、係合用凸部５９ａ、６１ａがエンドキャップ３１ａのシール部材係合用凹部４８ｂに挿入・係合され、係合用凸部５９ｂ、６１ｂがエンドキャップ３１ｂのシール部材係合用凹部４８ａに挿入・係合される。
また、上記ガイド部シール部材５１ａは、図１、図２に示すように、固定用ねじ８３ａを取付用貫通孔６５、６３を貫通させて、エンドキャップ３１ｂの固定用雌ねじ部４９ａに螺合させることで、上記金属製部材５７ａ側が固定され、固定用ねじ８３ｂを取付用貫通孔７１、６９を貫通させて、エンドキャップ３１ａの図２中左側の図示しない雌ねじ部に螺合させることで、上記金属製部材５７ｂ側が固定される。
【００３５】
ガイド部シール部材５１ｂも、上記ガイドシール部材５１ａと同じ構成であり、図４（ｂ）に示すように屈曲された状態で上記スライダ１５に組付けられる。上記ガイド部シール部材５１ｂが上記スライダ１５に組付けられた際、係合用凸部５９ａ、６１ａがエンドキャップ３１ｂの係合用凹部４８ｂに挿入・係合され、係合用凸部５９ｂ、６１ｂがエンドキャップ３１ａの係合用凹部４８ａに挿入・係合される。
また、上記ガイド部シール部材５１ｂは、図１、図２に示すように、固定用ねじ８５ａを取付用貫通孔６５、６３を貫通させて、エンドキャップ３１ａの図２中右側の図示しない雌ねじ部に螺合させることで、上記金属製部材５７ａ側が固定され、固定用ねじ８５ｂを取付用貫通孔７１、６９を貫通させて、エンドキャップ３１ｂの固定用雌ねじ部４９ｂに螺合させることで、上記金属製部材５７ｂ側が固定される。
【００３６】
上記ガイド部シール部材５１ａ、５１ｂが上記スライダ１５に組付けられると、図１に示すように、エンドキャップ３１ｂのリターン用凸部３５ａの前方側（図１中左下側）が上記ガイド部シール部材５１ａの端部側シール用凸部６７ａによってシールされ、上記エンドキャップ３１ｂのリターン用凸部３５ｂの前方側（図１中左下側）が上記ガイド部シール部材５１ａの端部側シール用凸部６７ｂによってシールされる。また、上記エンドキャップ３１ｂのリターン用凸部３５ｃの前方側（図１中左下側）が上記ガイド部シール部材５１ｂの端部側シール用凸部７３ａによってシールされ、上記エンドキャップ３１ｂのリターン用凸部３５ｄの前方側（図１中左下側）が上記ガイド部シール部材５１ｂの端部側シール用凸部７３ｂによってシールされる。
【００３７】
また、エンドキャップ３１ａのリターン用凸部３５ｃの後方側（図１中右上側）が上記ガイド部シール部材５１ａの端部側シール用凸部７３ａによってシールされ、上記エンドキャップ３１ａのリターン用凸部３５ｄの後方側（図１中右上側）が上記ガイド部シール部材５１ａの端部側シール用凸部７３ｂによってシールされる。また、上記エンドキャップ３１ａのリターン用凸部３５ａの後方側（図１中右上側）が上記ガイド部シール部材５１ｂの端部側シール用凸部６７ａによってシールされ、上記エンドキャップ３１ａのリターン用凸部３５ｂの後方側（図１中右上側）が上記ガイド部シール部材５１ｂの端部側シール用凸部６７ｂによってシールされる。
【００３８】
また、図１に示すように、上記ガイド部シール部材５１ａの上面側シール用凸部６２によって、上記スライダ１５の幅方向一方側の端面（図１中左上側の端面）とガイドレール５ａとの間の隙間がシールされ、上記ガイド部シール部材５１ｂの上面側シール用凸部６２によって、上記スライダ１５の幅方向他方側の端面（図１中右下側の端面）とガイドレール５ｂとの間の隙間がシールされる。
【００３９】
次に、この第１の実施の形態による作用について説明する。
まず、アクチュエータ１としての基本的な作用であるが、図示しない駆動モータによって、ボールねじ軸１３が回転・駆動されると、スライダ１５が前後方向（図１中左下から右上に向かう方向）に進退される。
【００４０】
そして、上記スライダ１５には、上記ガイド部シール部材５１ａ、５１ｂが設置されている。上記ガイド部シール部材５１ａの端部側シール用凸部６７ａによって、エンドキャップ３１ｂのリターン用凸部３５ａの前方側（図１中左下側）がシールされ、上記ガイド部シール部材５１ａの端部側シール用凸部６７ｂによって上記エンドキャップ３１ｂのリターン用凸部３５ｂの前方側（図１中左下側）がシールされる。また、上記ガイド部シール部材５１ｂの端部側シール用凸部７３ａによって上記エンドキャップ３１ｂのリターン用凸部３５ｃの前方側（図１中左下側）がシールされ、上記ガイド部シール部材５１ｂの端部側シール用凸部７３ｂによって上記エンドキャップ３１ｂのリターン用凸部３５ｄの前方側（図１中左下側）がシールされる。
【００４１】
また、上記ガイド部シール部材５１ａの端部側シール用凸部７３ａによってエンドキャップ３１ａのリターン用凸部３５ｃの後方側（図１中右上側）がシールされ、上記ガイド部シール部材５１ａの端部側シール用凸部７３ｂによって上記エンドキャップ３１ａのリターン用凸部３５ｄの後方側（図１中右上側）がシールされる。また、上記ガイド部シール部材５１ｂの端部側シール用凸部６７ａによって上記エンドキャップ３１ａのリターン用凸部３５ａの後方側（図１中右上側）がシールされ、上記ガイド部シール部材５１ｂの端部側シール用凸部６７ｂによって上記エンドキャップ３１ａのリターン用凸部３５ｂの後方側（図１中右上側）がシールされる。これにより、上記スライダ１５の前後方向（図１中左下から右上に向かう方向）両側からの、上記スライダ１５とガイドレール５ａ、５ｂとの間の隙間への異物の侵入が防止される。
【００４２】
また、図１に示すように、上記ガイド部シール部材５１ａの上面側シール用凸部６２によって、上記スライダ１５の幅方向一方側の端面（図１中左上側の端面）とガイドレール５ａとの間の隙間の図１中上側の開口部がシールされる。また、上記ガイド部シール部材５１ｂの上面側シール用凸部６２によって、上記スライダ１５の幅方向他方側の端面（図１中右下側の端面）とガイドレール５ｂとの間の隙間の図１中上側の開口部がシールされる。
これにより、図１中上側からの、上記スライダ１５とガイドレール５ａ、５ｂとの間の隙間への異物の侵入が防止される。
【００４３】
次に、この第１の実施の形態による効果について説明する。
まず、ガイド部シール部材５１ａ、５１ｂは、ゴム製部材５３に、金属製の金属製部材５５、５７ａ、５７ｂを部分的に積層させた構成となっており、第１屈曲部７９と第２屈曲部８１はゴム製部材５３のみから構成されている。つまり、金属製部材５５、５７ａ、５７ｂは屈曲部がない平板状になっているので、金型を使用した煩雑な屈曲作業を施す必要はなく、それによって、ガイド部シール部材５１ａ、５１ｂの製造を容易にすることができる。
また、図４（ｂ）に示すように、上記第１屈曲部７９と上記第２屈曲部８１を介して容易に屈曲される構成になっているので、スライダ１５に対する組付け時の融通性を担保することができ、それによって、組立作業の容易化を図ることができる。
【００４４】
また、上記ガイド部シール部材５１ａ、５１ｂには、上面側シール用凸部６２、端部側シール用凸部６７ａ、６７ｂ、端部側シール用凸部７３ａ、７３ｂが突出・形成されているので、上記スライダ１５の幅方向両側（図１中左上から右下に向かう方向の両側）において、上面側（図１中上側）及び前後方向両側（図１中左下から右上に向かう方向の両側）を確実にシールすることができる。
【００４５】
また、上記ガイド部シール部材５１ａ、５１ｂには、金属製部材５５に係合用凸部５９ａ、５９ｂが突出・形成されており、ゴム製部材５３側にも、上記係合用凸部５９ａ、５９ｂと重合するように係合用凸部６１ａ、６１ｂが突出・形成されていて、上記ガイド部シール部材５１ａ、５１ｂが上記スライダ１５に組付けられる際、係合用凸部５９ａ、６１ａがエンドキャップ３１ａのシール部材係合用凹部４８ｂに挿入・係合され、係合用凸部５９ｂ、６１ｂがエンドキャップ３１ｂのシール部材係合用凹部４８ａに係合されるようになっているので、上記ガイド部シール部材５１ａ、５１ｂを上記スライダ１５に容易に且つ確実に組付けることができる。
また、上記ガイド部シール部材５１ａ、５１ｂは、図４（ａ）に示すように、平板上の形態をとることができるので、保管や輸送の際に必要な空間が小さくて済む。
【００４６】
次に、図５乃至図８を参照しながら、本発明の第２の実施の形態について説明する。
この第２の実施の形態によるアクチュエータ９１の場合には、左右一体型のガイド部シール部材９３を使用している。
なお、その他の構成は前記第１の実施の形態の場合と同じであり、図中同一部分には同一符号を付して示しその説明は省略する。
【００４７】
このガイド部シール部材９３も、前記ガイド部シール部材５１ａ、５１ｂと同様、図７に示すように、例えば、可撓性部材としてのゴム製部材９５に、例えば、非可撓性部材としての金属製部材９７ａ、９７ｂ、９９ａ、９９ｂを部分的に積層させた構成となっている。
【００４８】
上記ゴム製部材９５は、図７（ａ）に示すように、板状部材の中央部分が切り抜かれて切抜き部１０１が形成されていると共に、前端側（図７（ａ）中左端側）に開口された切欠き部１０３ａと、後端側（図７（ａ）中右端側）に開口された切欠き部１０３ｂが形成された形状になっている。
【００４９】
上記ゴム製部材９５の幅方向の一方側（図７（ａ）中上側）であって、上記切抜き部１０１内周縁（図７（ａ）中下側）には、上記金属製部材９７ａが設置されている。上記金属製部材９７ａの前端側（図７（ａ）中左側）には、上記切抜き部１０１の内周側（図７（ａ）中下側）に向けて、係合用凸部１０５ａが突出・形成されており、上記金属製部材９７ａの後端側（図７（ａ）中右側）にも、上記切抜き部１０１の内周側（図７（ａ）中下側）に向けて、係合用凸部１０５ｂが突出・形成されている。また、上記ゴム製部材９５側にも、上記係合用凸部１０５ａ、１０５ｂと重合するように、係合用凸部１０７ａ、１０７ｂが突出・形成されている。
【００５０】
また、上記ゴム製部材９５の幅方向の他方側（図７（ａ）中下側）であって、上記切抜き部１０１内周縁（図７（ａ）中上側）には、上記金属製部材９７ｂが設置されている。上記金属製部材９７ｂの前端側（図７（ａ）中左側）には、上記切抜き部１０１の内周側（図７（ａ）中上側）に向けて、係合用凸部１０９ａが突出・形成されており、上記金属製部材９７ａの後端側（図７（ａ）中右側）にも、上記切抜き部１０１の内周側（図７（ａ）中上側）に向けて、係合用凸部１０９ｂが突出・形成されている。また、上記ゴム製部材９５側にも、上記係合用凸部１０９ａ、１０９ｂと重合するように、係合用凸部１１１ａ、１１１ｂが突出・形成されている。
【００５１】
また、上記ゴム製部材９５の、上記金属製部材９７ａが設置された箇所には、幅方向外側（図７（ａ）中上側）に向けて、上面側シール用凸部１１３ａが突出・形成されている。また、上記ゴム製部材９５の、上記金属製部材９７ｂが設置された箇所には、幅方向外側（図７（ａ）中下側）に向けて、上面側シール用凸部１１３ｂが突出・形成されている。
【００５２】
また、上記ゴム製部材９５の前端側（図７（ａ）中左側）には、上記金属製部材９９ａが設置されている。上記金属製部材９９ａには、上記ゴム製部材９５の切欠き部１０３ａと重合するように切欠き部１１４が形成されている。また、上記金属製部材９９ａの幅方向両側（図７（ａ）中上下方向両側）には、貫通孔１１５ａ、１１５ｂが形成されている。また、上記ゴム製部材９５側にも、上記貫通孔１１５ａと重合するように貫通孔１１７ａが形成され、上記貫通孔１１５ｂと重合するように貫通孔１１７ｂが形成されている。
【００５３】
また、上記ゴム製部材９５の後端側（図７（ａ）中右側）には、上記金属製部材９９ｂが設置されている。上記金属製部材９９ｂにも、上記ゴム製部材９５の切欠き部１０３ｂと重合するように切欠き部１１９が形成されている。また、上記金属製部材９９ｂの幅方向両側（図７（ａ）中上下方向両側）には、貫通孔１２１ａ、１２１ｂが形成されている。また、上記ゴム製部材９５側にも、上記貫通孔１２１ａと重合するように貫通孔１２３ａが形成され、上記貫通孔１２１ｂと重合するように貫通孔１２３ｂが形成されている。
【００５４】
また、上記ゴム製部材９５の上記金属製部材９９ａが設置された箇所から図７（ａ）中下側に向けて、端部側シール用凸部１２５ａ、１２５ｂが突出・形成されており、上記金属製部材９９ａが設置された箇所から図７（ａ）中上側に向けて、端部側シール用凸部１２５ｃ、１２５ｄが突出・形成されている。
また、上記ゴム製部材９５の上記金属製部材９９ｂが設置された箇所から図７（ａ）中下側に向けて、端部側シール用凸部１２７ａ、１２７ｂが突出・形成されており、上記金属製部材９９ａが設置された箇所から図７（ａ）中上側に向けて、端部側シール用凸部１２７ｃ、１２７ｄが突出・形成されている。
【００５５】
また、上記ガイド部シール部材９３は、上記金属製部材９７ａ、９７ｂが設置された部分が第１直線部１３１となっており、上記金属製部材９９ａが設置された部分が第２直線部１３３となっており、上記金属製部材９９ｂが設置された部分が第３直線部１３５となっている。また、上記ガイド部シール部材９３の上記第１直線部１３１と上記第２直線部１３３との間の上記ゴム製部材９５のみの部分が第１屈曲部１３７となっており、上記第１直線部１３１と上記第３直線部１３５との間の上記ゴム製部材９５のみの部分が第２屈曲部１３９となっている。図８（ｂ）に示すように、上記ガイド部シール部材９３は、上記第１屈曲部１３７と上記第２屈曲部１３９で容易に屈曲されるようになっている。
【００５６】
上記ガイド部シール部材９３は図８（ｂ）に示すような屈曲された状態でスライダ１５に組付けられる。上記ガイド部シール部材９３が上記スライダ１５に組付けられた際、係合用凸部１１１ａ、１０９ａがエンドキャップ３１ｂの係合用凹部４８ａに挿入・係合され、係合用凸部１１１ｂ、１０９ｂがエンドキャップ３１ａの係合用凹部４８ｂに挿入・係合され、係合用凸部１０５ａ、１０７ａがエンドキャップ３１ｂの係合用凹部４８ｂに挿入・係合され、係合用凸部１０５ｂ、１０７ｂがエンドキャップ３１ａの係合用凹部４８ａに挿入・係合される。
【００５７】
また、上記ガイド部シール部材９３は、図５に示すように、固定用ねじ１４１を取付用貫通孔１１７ａ、１１５ａを貫通させて、エンドキャップ３１ｂの固定用雌ねじ部４９ａに螺合させ、図示しない固定用ねじを取付用貫通孔１１７ｂ、１１５ｂを貫通させて、エンドキャップ３１ｂの固定用雌ねじ部４９ｂに螺合させることで、上記金属製部材９９ａ側が固定され、図示しない固定用ねじを取付用貫通孔１２３ａ、１２１ａを貫通させて、エンドキャップ３１ａの図示しない固定用雌ねじ部に螺合させ、図示しない固定用ねじを取付用貫通孔１２３ｂ、１２１ｂを貫通させて、エンドキャップ３１ａの図示しない固定用雌ねじ部に螺合させることで、上記金属製部材９９ｂ側が固定される。
【００５８】
上記ガイド部シール部材９３が上記スライダ１５に取り付けられると、図５に示すように、エンドキャップ３１ｂのリターン用凸部３５ａの前方側（図５中左下側）が端部側シール用凸部１２５ａによってシールされ、上記エンドキャップ３１ｂのリターン用凸部３５ｂの前方側（図５中左下側）が端部側シール用凸部１２５ｂによってシールされ、上記エンドキャップ３１ｂのリターン用凸部３５ｃの前方側（図５中左下側）が端部側シール用凸部１２５ｃによってシールされ、上記エンドキャップ３１ｂのリターン用凸部３５ｄの前方側（図５中左下側）が端部側シール用凸部１２５ｄによってシールされる。
【００５９】
また、エンドキャップ３１ａのリターン用凸部３５ｃの後方側（図５中右上側）が端部側シール用凸部１２７ａによってシールされ、上記エンドキャップ３１ａのリターン用凸部３５ｄの後方側（図５中右上側）が端部側シール用凸部１２７ｂによってシールされ、上記エンドキャップ３１ａのリターン用凸部３５ａの後方側（図５中右上側）が端部側シール用凸部１２７ｃによってシールされ、上記エンドキャップ３１ａのリターン用凸部３５ｂの後方側（図５中右上側）が端部側シール用凸部１２７ｄによってシールされる。
【００６０】
また、図５に示すように、上記ガイド部シール部材９３の上面側シール用凸部１１３ｂによって、上記スライダ１５の幅方向一方側の端面（図１中左上側の端面）とガイドレール５ａとの間の隙間がシールされ、上記ガイド部シール部材９３の上面側シール用凸部１１３ａによって、上記スライダ１５の幅方向他方側の端面（図１中右下側の端面）とガイドレール５ｂとの間の隙間がシールされる。
【００６１】
この第２の実施の形態の場合も、前記した第１の実施の形態の場合とほぼ同様の作用・効果を奏することができる。
また、この第２の実施の形態の場合は、前記第１の実施の形態におけるガイド部シール部材５１ａ、５１ｂが一体化された構成となっているので、１つのゴム製部材９５を形成すればよく、より容易に製造することができる。
また、部品点数も減少するので部品管理が容易になる。
【００６２】
次に、図２を参照して第３の実施の形態を説明する。
前記第１、第２の実施の形態の場合には、ガイドレール５ａ、５ｂとスライダ１５との間の左右のガイド部をシールする可動子シール構造に本願発明を適用した例を示したが、この第３の実施の形態の場合には、ボールねじ軸１３とスライダ１５との間の隙間をシールする可動子シール構造に本願発明を適用した例を示すものである。以下、説明する。
この第３の実施の形態では、エンドキャップ３１ａ側に設けられた図示しない駆動部シール部材とエンドキャップ３１ｂ側に設けられた駆動部シール部材５０ｂの代わりに、上記スライダ１５に前後方向に跨るように設置された駆動部シール部材によって、ボールねじ軸１３によるスライダ１５の貫通部の両端部をシールしている。
すなわち、上記駆動部シール部材は、スライダ１５の前後方向に延長された可撓性部材としてのゴム製部材と、このゴム製部材の中央に積層された非可撓性部材としての第１金属製部材と、上記ゴム製部材の前後方向両端側に積層された第２金属製部材及び第３金属製部材とから構成される。
【００６３】
上記駆動部シール部材のうち、上記第１金属製部材の積層された部分が第１直線部となっており、上記第２金属製部材の積層された部分が第２直線部となっており、上記第２金属製部材の積層された部分が第３直線部となっている。また、上記第１直線部と上記第２直線部との間の上記ゴム製部材のみの部分が第１屈曲部となっており、上記第１直線部と上記第３直線部との間の上記ゴム製部材のみの部分が第２屈曲部となっている。上記駆動部シール部材は、これら第１屈曲部と第２屈曲部で屈曲させて、上記スライダ１５の外形に沿った形状で上記スライダ１５に組付けられることになる。
【００６４】
また、上記第２金属製部材と第３金属製部材にはそれぞれボールねじ軸用貫通孔が形成されており、上記ゴム製部材にも、上記第２金属製部材と第３金属製部材のボールねじ軸用貫通孔と重合されるボールねじ軸用貫通孔が形成されている。これらのボールねじ軸用貫通孔は、上記ボールねじ軸１３によって貫通され、上記ゴム製部材のボールねじ軸用貫通孔の内周部分によって、上記スライダ１５とボールねじ軸１３との間の隙間がシールされている。
【００６５】
また、上記第２金属製部材と第３金属製部材にはそれぞれ固定ねじ用貫通孔が形成されている。上記駆動部シール部材は、固定ねじをこれら固定ねじ用貫通孔に貫通させ、上記スライダ１５の前後端に設置されたエンドキャップ３１ａ、３１ｂに螺合させることで固定される。
【００６６】
この第３の実施の形態の場合も、前記第１の実施の形態と同様の作用・効果を奏する。
【００６７】
次に、図８を参照しながら第４の実施の形態を説明する。
この第４の実施の形態の場合は、前記した第２の実施の形態におけるガイド部シール部材９３と略同様の構成のシール部材がスライダ１５に設置される。すなわち、この第４の実施の形態におけるシール部材は、上記ガイド部シール部材９３のゴム製部材９５にあった切欠き部１０３ａ、１０３ｂや金属製部材９９ａにあった切欠き部１１４、及び、金属製部材９９ｂにあった切欠き部１１９の代わりに、ボールねじ軸用貫通孔が形成されている。
これらボールねじ軸用貫通孔は、ボールねじ軸１３によって貫通されており、ゴム製部材９５の上記ボールねじ軸用貫通孔の内周部分によって、上記スライダ１５とボールねじ軸１３との間の隙間がシールされている。
【００６８】
なお、前記した第２の実施の形態の場合において、エンドキャップ３１ａ側に設けられた図示しない駆動部シール部材とエンドキャップ３１ｂ側に設けられた駆動部シール部材５０ｂは、この第４の実施の形態では設けられておらず、その代わりに、ゴム製部材９５の上記ボールねじ軸用貫通孔の内周部分によって、上記スライダ１５とボールねじ軸１３との間の隙間がシールされていることになる。
【００６９】
この第４の実施の形態の場合も、前記第２の実施の形態と同様の作用・効果を奏する。
【００７０】
本発明は、前記第１〜第４実施の形態に限定されない。
例えば、前記第１〜第４の実施の形態の場合には、横断面形状が略Ｕ字形状をなす固定子の内側に可動子が配置されている構成のアクチュエータを例に挙げて説明したが、それに限定されるものではない。例えば、固定子が軌道であり、可動子が、この軌道の外側を跨ぐような形状のスライダとなっているようなアクチュエータにも同様に適用できる。この場合には、上記軌道の外周面にガイド用凹部が形成されていると共に、上記スライダの内側に上記軌道のガイド用凹部に対応したガイド用凹部が形成されている。よって、ガイド部シール部材の端部シール用凸部は上記スライダの進行方向両側の端面において、上記スライダの内側に突出して上記軌道のガイド用凹部内に摺動するように形成・配置されることになる。また、上記スライダの底面（上記軌道が配置されている側の面）にも、上記スライダと上記軌道との間の隙間を閉塞するようにシール用凸部が形成される。
また、ガイド用凹部の数、シール用凸部の数は、様々な場合が考えられる。
その他、図示した構成はあくまで一例である。
【産業上の利用可能性】
【００７１】
本発明は、例えば、固定子と可動子の間のガイド部又は可動子と駆動部との間をシールする可動子シール構造に係り、特に、製造・組立の容易化を図ることができるように工夫したものに関し、例えば、産業用ロボットに用いられるアクチュエータのシール構造に好適である。
【符号の説明】
【００７２】
２  ベース（固定子）
５ａ  ガイドレール
７ａ  ガイド用凹部（ガイド部の一部）
７ｂ  ガイド用凹部（ガイド部の一部）
７ｃ  ガイド用凹部（ガイド部の一部）
７ｄ  ガイド用凹部（ガイド部の一部）
１５  スライダ（可動子）
２７ａ  ガイド用凹部（ガイド部の一部）
２７ｂ  ガイド用凹部（ガイド部の一部）
２７ｃ  ガイド用凹部（ガイド部の一部）
２７ｄ  ガイド用凹部（ガイド部の一部）
５１ａ  ガイド部シール部材
５１ｂ  ガイド部シール部材
５３  ゴム製部材（可撓性部材）
５５  金属製部材（非可撓性部材）
５７ａ  金属製部材（非可撓性部材）
５７ｂ  金属製部材（非可撓性部材）
５９ａ  係合用凸部
５９ｂ  係合用凸部
６１ａ  係合用凸部
６１ｂ  係合用凸部
６２  上面側シール用凸部（両端部間シール部の一部）
６７ａ  端部側シール用凸部（端部シール部の一部）
６７ｂ  端部側シール用凸部（端部シール部の一部）
７３ａ  端部側シール用凸部（端部シール部の一部）
７３ｂ  端部側シール用凸部（端部シール部の一部）
７４  第１直線部
７５  第２直線部
７７  第３直線部
７９  第１屈曲部
８１  第２屈曲部
９３  ガイド部シール部材
９５  ゴム製部材（可撓性部材）
９７ａ  金属製部材（非可撓性部材）
９７ｂ  金属製部材（非可撓性部材）
９９ａ  金属製部材（非可撓性部材）
９９ｂ  金属製部材（非可撓性部材）
１０５ａ  係合用凸部
１０５ｂ  係合用凸部
１０７ａ  係合用凸部
１０７ｂ  係合用凸部
１０９ａ  係合用凸部
１０９ｂ  係合用凸部
１１１ａ  係合用凸部
１１１ｂ  係合用凸部
１１３ａ  上面側シール用凸部（両端部間シール部の一部）
１１３ｂ  上面側シール用凸部（両端部間シール部の一部）
１２５ａ  端部側シール用凸部（端部シール部の一部）
１２５ｂ  端部側シール用凸部（端部シール部の一部）
１２５ａ  端部側シール用凸部（端部シール部の一部）
１２５ｂ  端部側シール用凸部（端部シール部の一部）
１３１  第１直線部
１３３  第２直線部
１３５  第３直線部
１３７  第１屈曲部
１３９  第２屈曲部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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