(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワーク（２）に流体を噴射する洗浄装置に用いられる洗浄用ノズルであって、
流体が供給される供給口（１２）と流体を噴射する噴射口（１５，１５１）とを連通する流体流路（１６）を有する管部材（１１）と、
前記流体流路を形成する内壁と前記管部材の外壁との間に形成され、前記流体流路を流れる流体の放熱を抑制する断熱層（５０）と、を備え、
前記管部材は、前記供給口から延びる主流路（１７）を有する主管（１３）、及び、前記主流路から複数の前記噴射口へ通じる複数の分岐流路（１８）を有する複数の分岐管（１４）を有し、
前記主管（１３）と前記分岐管とは、一体に形成され、
前記断熱層は、前記主流路を形成する内壁と前記主管の外壁との間、及び、前記分岐流路を形成する内壁と前記分岐管の外壁との間に形成されることを特徴とする洗浄用ノズル。
【請求項２】
前記断熱層は、
前記流体流路の内壁と前記管部材の外壁との間で前記流体流路の軸方向に延びる複数の仕切壁（５１）と、
複数の前記仕切壁と前記仕切壁との間に形成される断熱空間（５２）と、を有することを特徴とする請求項１に記載の洗浄用ノズル。
【請求項３】
複数の前記仕切壁は、前記流体流路の軸（Ｐ，Ｑ１、Ｑ２）を中心とした放射状に設けられることを特徴とする請求項２に記載の洗浄用ノズル。
【請求項４】
前記断熱空間は、前記管部材の軸方向の端部に開口していることを特徴とする請求項２または３に記載の洗浄用ノズル。
【請求項５】
前記断熱層は、
前記流体流路の内壁と前記管部材の外壁との間で前記流体流路の径方向に延びる複数の仕切壁（５５）と、
複数の前記仕切壁と前記仕切壁との間に形成される断熱空間（５６）と、を有することを特徴とする請求項１に記載の洗浄用ノズル。
【請求項６】
複数の前記仕切壁は、前記流体流路の軸方向に断続的に設けられることを特徴とする請求項５に記載の洗浄用ノズル。
【請求項７】
前記管部材は、前記断熱空間と外気とを連通する孔（５７）を有することを特徴とする請求項５または６に記載の洗浄用ノズル。
【請求項８】
前記主流路と複数の前記分岐流路とは、滑らかに接続されることを特徴とする請求項１に記載の洗浄用ノズル。
【請求項９】
前記主流路の軸（Ｐ）と複数の前記分岐流路の軸（Ｑ１、Ｑ２）とは、鈍角に交差することを特徴とする請求項８に記載の洗浄用ノズル。
【請求項１０】
前記管部材を駆動する駆動手段（５）を取り付け可能な取付部（３０）をさらに備え、
前記取付部は、内側に空間（３３）を有する中空部材であり、前記管部材と一体に形成されることを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載の洗浄用ノズル。
【請求項１１】
前記管部材と一体に形成されるフランジ部（２０）をさらに備え、
前記フランジ部は、内側に空間（２１）を有する中空部材であることを特徴とする請求項１から１０のいずれか一項に記載の洗浄用ノズル。
【請求項１２】
前記管部材の前記噴射口の上流側にラバルノズル（１９）が形成されることを特徴とする請求項１から１１のいずれか一項に記載の洗浄用ノズル。
【請求項１３】
前記管部材の前記噴射口（１５１）は、前記流体流路の軸に垂直な断面が楕円状である
ことを特徴とする請求項１から１２のいずれか一項に記載の洗浄用ノズル。
【請求項１４】
請求項１から１３のいずれか一項に記載の前記洗浄用ノズルと、
前記ワークが移動可能な洗浄室（７）を有し、前記洗浄室に前記洗浄用ノズルの前記噴射口が挿入されるハウジング（３）と、
前記管部材の前記供給口へ流体を供給する流体供給手段（４）と、
前記洗浄室を移動する前記ワークの移動方向（Ａ）に対し交差する方向（Ｂ）に前記管部材を駆動する駆動手段（５，６）と、を備えることを特徴とする洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄用ノズル、及び、これを用いた洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ワークに対し蒸気または洗浄液等の流体を噴射してワークを洗浄する洗浄装置、及び、その洗浄装置に用いられる洗浄用ノズルが知られている。
特許文献１に記載の洗浄用ノズルは、圧縮空気により加圧した洗浄液を管部材の噴射口からワークに向けて噴射し、ワークを洗浄している。また、この洗浄用ノズルは、管部材の噴射口の上流側にラバルノズル形状を採用することにより、噴射口から噴射される洗浄液を加速している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−３１７４１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の洗浄用ノズルは、管部材がステンレスなどの金属から形成されている。そのため、洗浄用ノズルから洗浄液を噴射することに代えて、蒸気を噴射する場合、その蒸気が管部材を通して放熱することが考えられる。蒸気の温度が低下すると、蒸気は凝縮してその体積が減少し、噴射圧力が低下する。そのため、特許文献１に記載の洗浄用ノズルを蒸気の噴射に使用した場合、洗浄能力が低下するおそれがある。
本発明は、上述した問題に鑑みてなされたものであり、洗浄能力を高めることの可能な洗浄用ノズル、及び、これを用いた洗浄装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
第１発明は、ワークに流体を噴射する洗浄装置に用いられる洗浄用ノズルであり、管部材および中空の断熱層を備える。管部材は、流体が供給される供給口と流体を噴射する噴射口とを連通する流体流路を有する。断熱層は、流体流路を形成する内壁と管部材の外壁との間に形成される。管部材は、供給口から延びる主流路を有する主管、及び、主流路から複数の噴射口へ通じる複数の分岐流路を有する複数の分岐管を有する。主管と分岐管とは、一体に形成される。断熱層は、主流路を形成する内壁と主管の外壁との間、及び、分岐流路を形成する内壁と分岐管の外壁との間に形成される。
これにより、流体流路を流れる流体の温度低下が抑制されるので、洗浄用ノズルは、流体の高圧噴射による洗浄能力を高めることが可能である。
【０００６】
第２発明は、洗浄装置の発明である。洗浄装置は、第１発明の洗浄用ノズル、ハウジング、流体供給手段、及び、駆動手段を備える。ハウジングは、ワークが移動可能な洗浄室を有し、その洗浄室に洗浄用ノズルの噴射口が挿入される。流体供給手段は、管部材の供給口へ流体を供給する。駆動手段は、洗浄室を移動するワークの移動方向に対し交差する方向に管部材を駆動可能である。
これにより、洗浄装置は、ワークの移動方向に対し交差する方向に管部材を移動しつつ、噴射口からワークに向けて流体を噴射することにより、ワークを確実に洗浄することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の第１実施形態による洗浄装置の構成図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線の断面図である。
【図３】第１実施形態による洗浄用ノズルの斜視図である。
【図４】図２のＩＶ−ＩＶ線の断面図である。
【図５】図２及び図４のＶ−Ｖ線の断面図である。
【図６】図４のＶＩ方向の矢視図である。
【図７】図４のＶＩＩ部分の拡大図である。
【図８】本発明の第２実施形態による洗浄用ノズルの断面図である。
【図９】図８のＩＸ部分の拡大図である。
【図１０】本発明の第３実施形態による洗浄用ノズルの底面図である。
【図１１】図１０のＸＩ部分の拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
本発明の複数の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、複数の実施形態において、実質的に同一の構成には、図面に同一の符号を付して説明を省略する。また、各図面において、実質的に同一の構成が複数箇所にある場合、その一部にのみ符号を付すこととする。
【０００９】
［第１実施形態］
本発明の第１実施形態を図１〜図７に示す。本実施形態の洗浄装置１は、洗浄用ノズル１０から噴射する蒸気によりワーク２を洗浄するものである。本実施形態の蒸気は、特許請求の範囲に記載の「流体」の一例に相当する。
以下、「洗浄装置の構成」、「洗浄用ノズルの構成」、「作用効果」の順に説明する。
【００１０】
（洗浄装置の構成）
図１および図２に示すように、洗浄装置１は、ハウジング３、洗浄用ノズル１０、流体供給手段４および駆動手段５，６などを備える。
本実施形態の洗浄装置１が洗浄するワーク２は、ハウジング３の内側に形成された洗浄室７に挿入される。ワーク２は、洗浄室７を図２の矢印Ａの方向に移動する。本実施形態では、ワーク２として、例えば、金属板を短いピッチで曲げ加工した放熱フィン等が例示される。但し、洗浄装置１は、このワーク２に限らず、種々のワークを洗浄することが可能である。
【００１１】
洗浄用ノズル１０は、ワーク２の板厚方向の一方と他方に配置されている。なお、本実施形態において、２個の洗浄用ノズル１０は同一の構成であるので、一方の洗浄用ノズル１０のみを説明することとする。
図３に示すように、洗浄用ノズル１０は、管部材１１、フランジ部２０、第１取付部３０および第２取付部４０などを備えている。
管部材１１は、供給口１２から延びる主管１３と、その主管１３から分岐する２本の分岐管１４とを有する。分岐管１４の主管１３とは反対側の端部には、噴射口１５が形成されている。フランジ部２０と第１取付部３０と第２取付部４０は、分岐管１４に固定されている。
【００１２】
図１および図２に示すように、管部材１１は、流体供給手段４から供給口１２に供給された高圧の蒸気を噴射口１５からワーク２へ向けて噴射する。
駆動手段５，６は、洗浄用ノズル１０の第１取付部３０と第２取付部４０に対し、図示していないボルトなどにより固定される。図１及び図２では、駆動手段５，６の一部を破線で模式的に示している。駆動手段５，６は、図１及び図２の矢印Ｂの方向に同期して駆動する。この矢印Ｂの方向は、洗浄室７を移動するワーク２の移動方向に対し交差する方向である。管部材１１は、駆動手段５，６により駆動され、ハウジング３の開口部８の範囲内で矢印Ｂの方向に往復移動する。
【００１３】
フランジ部２０は、ハウジング３に設けられた開口部８を塞いでいる。フランジ部２０よりも噴射口１５側に位置する分岐管１４はハウジング３の洗浄室７に挿入されている。フランジ部２０は、管部材１１が矢印Ｂの方向へ往復移動する距離よりも大きく、ハウジング３の開口部８から矢印Ｂの方向の両側へ延びるように形成されている。そのため、管部材１１が矢印Ｂの方向に往復移動するとき、フランジ部２０は、ハウジング３の開口部８を塞ぎ、洗浄室７から蒸気が漏れることを抑制する。
【００１４】
洗浄装置１は、ハウジング３の洗浄室７を矢印Ａの方向へ移動するワーク２に対し、洗浄用ノズル１０の噴射口１５からワーク２へ向けて蒸気を噴射する。このとき、駆動手段５，６は管部材１１を矢印Ｂの方向へ往復移動する。これにより、ワーク２の隅々まで蒸気が噴射され、ワーク２は確実に洗浄される。
【００１５】
（洗浄用ノズルの構成）
次に、洗浄用ノズル１０について、図４から図７を参照して詳細に説明する。
上述したように、洗浄用ノズル１０は、主管１３と２本の分岐管１４とを有する管部材１１、第１取付部３０、第２取付部４０およびフランジ部２０を備えている。主管１３、分岐管１４、第１取付部３０、第２取付部４０およびフランジ部２０は、一体に形成されている。この洗浄用ノズル１０は、金属３Ｄプリンタにより形成することが可能である。
【００１６】
管部材１１は、その内側に、供給口１２と噴射口１５とを連通する流体流路１６を有する。流体流路１６は、供給口１２から延びる主流路１７と、その主流路１７から２個の噴射口１５へ通じる２本の分岐流路１８を有する。主流路１７は主管１３の内側に形成された流路であり、分岐流路１８は分岐管１４の内側に形成された流路である。
主流路１７と複数の分岐流路１８とは、滑らかに接続されている。即ち、主流路１７の軸Ｐと複数の分岐流路１８の軸Ｑ１、Ｑ２とは、鈍角に交差している。そのため、主流路１７から複数の分岐流路１８へ流れる蒸気は、流体流路１６の内壁から剥離することなく、圧力損失が低減される。
【００１７】
図７に示すように、分岐流路１８において噴射口１５の上流側に位置する箇所には、ラバルノズル１９が形成されている。即ち、分岐流路１８は所定の位置１９１で断面積が小さくなり、そこから噴射口１５側に向けてラバルノズルに定義された曲率で断面積が次第に大きくなっている。このラバルノズル１９により、噴射口１５から噴射される蒸気が加速される。
【００１８】
本実施形態の洗浄用ノズル１０は、管部材１１の外壁と流体流路１６を形成する内壁との間に形成された中空の断熱層５０を備えている。断熱層５０は、主流路１７を形成する内壁と主管１３の外壁との間と、分岐流路１８を形成する内壁と分岐管１４の外壁との間に亘り、軸方向に連続して形成される。断熱層５０は、複数の仕切壁５１と、断熱空間５２を有する。図５及び図６に示すように、複数の仕切壁５１は、流体流路１６の軸Ｐ，Ｑ１、Ｑ２を中心とした放射状に設けられている。また、図４及び図７に示すように、複数の仕切壁５１は、管部材１１の外壁と流体流路１６の内壁との間で流体流路１６の軸方向に延びている。
【００１９】
断熱空間５２は、複数の仕切壁５１と仕切壁５１との間に形成される空間である。図６及び図７に示すように、断熱空間５２は、管部材１１の軸方向の端部に開口している。これにより、管部材１１と断熱層５０を金属３Ｄプリンタで製造した際、管部材１１の軸方向の端部の開口から、断熱空間５２に取り残された金属粉を排出することが可能である。
【００２０】
第１取付部３０は、２本の分岐管１４に接続され、２本の分岐管１４が並ぶ方向の一方へ延びている。本実施形態の第１取付部３０は、特許請求の範囲に記載の「取付部」の一例に相当する。
図３及び図５に示すように、第１取付部３０は、２本の分岐管１４に接続される角柱状の腕部３１と、その腕部３１の分岐管１４とは反対側に設けられた板部３２とを有する。腕部３１は、内側に空間３３を有する中空部材である。腕部３１は、内側の空間３３と外気とを連通する孔３４を有する。第１取付部３０を金属３Ｄプリンタで形成した際、腕部３１の内側の空間３３に取り残された金属粉を、その孔３４から排出することが可能である。板部３２は、板厚方向に通じるボルト孔３５を有する。このボルト孔３５に図示していないボルトが差し込まれ、第１取付部３０は、駆動手段５に固定される。
第２取付部４０は、６個の円筒部４１と、その円筒部４１を一方の分岐管１４に接続する接続部４２を有する。６個の円筒部４１の内側の孔に図示していないボルトが差し込まれ、第２取付部４０は、駆動手段６に固定される。
【００２１】
図３及び図４に示すように、フランジ部２０は、２本の分岐管１４に接続され、２本の分岐管１４の軸Ｑ１、Ｑ２に対し垂直に形成されている。フランジ部２０は、内側に空間２１を有する中空部材である。フランジ部２０は、内側の空間２１と外気とを連通する孔２２を有する。フランジ部２０を金属３Ｄプリンタで形成した際、フランジ部２０の内側の空間２１に取り残された金属粉を、その孔２２から排出することが可能である。
フランジ部２０の外周には凹溝部２３が設けられている。この凹溝部２３に、図示していないシール部材が嵌め込まれる。そのシール部材により、フランジ部２０は、上述したハウジング３の開口部８から蒸気が漏れることを防ぐことが可能である。
【００２２】
（作用効果）
第１実施形態の洗浄用ノズル１０および洗浄装置１は、次の作用効果を奏する。
（１）第１実施形態では、洗浄用ノズル１０が備える管部材１１の外壁と流体流路１６を形成する内壁との間に中空の断熱層５０が形成されている。
これにより、流体流路１６を流れる蒸気の温度低下が抑制されるので、蒸気の凝縮による体積の減少が抑制される。そのため、蒸気の圧力低下が抑制され、噴射口１５から噴射される蒸気圧力が維持される。したがって、洗浄用ノズル１０は、蒸気の高圧噴射による洗浄能力を高めることが可能である。
また、洗浄用ノズル１０は、中空の断熱層５０を形成することにより、管部材１１の質量を軽くすることが可能である。したがって、この洗浄用ノズル１０を備える洗浄装置１は、洗浄用ノズル１０を往復移動させつつワーク２を洗浄する際、洗浄用ノズル１０の移動速度を速め、洗浄能力を高めることが可能である。
【００２３】
（２）第１実施形態では、断熱層５０は、管部材１１の外壁と流体流路１６の内壁との間で流体流路１６の軸方向に延びる複数の仕切壁５１と、その仕切壁５１と仕切壁５１との間に形成される断熱空間５２とを有する。
これにより、洗浄用ノズル１０は、複数の仕切壁５１によって管部材１１の剛性を高めることが可能である。
【００２４】
（３）第１実施形態では、複数の仕切壁５１は、流体流路１６の軸Ｐ，Ｑ１、Ｑ２を中心とした放射状に設けられる。
これにより、管部材１１の全周において、その剛性を高めることができる。
【００２５】
（４）第１実施形態では、断熱空間５２は、管部材１１の軸方向の端部に開口している。
これにより、管部材１１と断熱層５０を金属３Ｄプリンタで形成した際、管部材１１の軸方向の端部の開口から、断熱空間５２に取り残された金属粉を排出することが可能である。
【００２６】
（５）第１実施形態では、管部材１１は、供給口１２から延びる主流路１７を有する主管１３と、その主流路１７から複数の噴射口１５へ通じる複数の分岐流路１８を有する複数の分岐管１４とを有する。主管１３と複数の分岐管１４とは一体に形成される。断熱層５０は、主流路１７を形成する内壁と主管１３の外壁との間、及び、分岐流路１８を形成する内壁と分岐管１４の外壁との間に形成される。
これにより、洗浄用ノズル１０は、主流路１７および複数の分岐流路１８を流れる蒸気の温度低下を確実に抑制することが可能である。
【００２７】
（６）第１実施形態では、主流路１７と複数の分岐流路１８とが滑らかに接続される。
これにより、主流路１７から複数の分岐流路１８を流れる蒸気が流路の内壁から剥離することが防がれるので、蒸気の圧力損失が抑制される。したがって、洗浄用ノズル１０は、蒸気による洗浄能力を高めることができる。
【００２８】
（７）第１実施形態では、主流路１７の軸Ｐと複数の分岐流路１８の軸Ｑ１、Ｑ２とは、鈍角に交差する。
これにより、主流路１７と複数の分岐流路１８とが滑らかに接続され、主流路１７から複数の分岐流路１８を流れる蒸気が流路の内壁から剥離することが防がれる。
【００２９】
（８）第１実施形態では、洗浄用ノズル１０は、駆動手段５を取り付け可能な第１取付部３０を備える。第１取付部３０は、内側に空間３３を有する中空部材であり、管部材１１と一体に形成される。
第１取付部３０を中空部材とすること、さらに、第１取付部３０と管部材１１とを一体に形成することにより、洗浄用ノズル１０の質量を軽くすることが可能である。そのため、洗浄用ノズル１０を備えた洗浄装置１は、駆動手段５，６により洗浄用ノズル１０を移動しつつワーク２を洗浄する際、洗浄用ノズル１０の移動速度を速くし、洗浄能力を高めることができる。
【００３０】
（９）第１実施形態では、洗浄用ノズル１０は、フランジ部２０を備える。フランジ部２０は、内側に空間２１を有する中空部材であり、管部材１１と一体に形成される。
フランジ部２０を中空部材とすること、また、フランジ部２０と管部材１１とを一体に形成することにより、洗浄用ノズル１０の質量を軽くすることが可能である。
【００３１】
（１０）第１実施形態では、管部材１１の噴射口１５の上流側にラバルノズル１９が形成される。
これにより、噴射口１５から噴射される蒸気を加速することができる。
【００３２】
（１１）第１実施形態の洗浄装置１は、洗浄用ノズル１０、ハウジング３、流体供給手段４、及び、駆動手段５，６を備える。ハウジング３は、ワーク２が移動可能な洗浄室７を有し、その洗浄室７に洗浄用ノズル１０の噴射口１５が挿入される。流体供給手段４は、管部材１１の供給口１２へ高圧の蒸気を供給する。駆動手段５，６は、洗浄室７を移動するワーク２の移動方向に対し交差する方向に管部材１１を駆動可能である。
これにより、洗浄装置１は、ワーク２の移動方向に対し交差する方向に洗浄用ノズル１０を移動しつつ、洗浄用ノズル１０の噴射口１５からワーク２に向けて蒸気を噴射することにより、ワーク２を確実に洗浄することが可能である。
【００３３】
［第２実施形態］
本発明の第２実施形態を図８及び図９に示す。第２実施形態の洗浄用ノズル１０は、複数の仕切壁５５が、管部材１１の外壁と流体流路１６の内壁との間で流体流路１６の径方向に延び、環状に形成されている。複数の仕切壁５５は、流体流路１６の軸方向に断続的に設けられている。
仕切壁５５と仕切壁５５との間には、断熱空間５６が形成されている。管部材１１は、断熱空間５６と外気とを連通する孔５７を有する。そのため、管部材１１と断熱層５０を金属３Ｄプリンタで形成した際、断熱空間５６に取り残された金属粉を、その孔５７から排出することが可能である。
【００３４】
第２実施形態では、複数の仕切壁５５は、管部材１１の外壁と流体流路１６の内壁との間で流体流路１６の径方向に延び、流体流路１６の軸方向に断続的に設けられる。
これにより、洗浄用ノズル１０は、複数の仕切壁５５によって管部材１１の剛性を高めることが可能である。
【００３５】
［第３実施形態］
本発明の第３実施形態を図１０及び図１１に示す。第３実施形態では、洗浄用ノズル１０の噴射口１５１は、流体流路１６うち分岐流路１８の軸Ｑ１、Ｑ２に垂直な断面が楕円状に形成されている。この楕円状の噴射口１５１は、長軸方向が、洗浄用ノズル１０が往復移動する方向Ｂと平行に形成されている。
これにより、噴射口１５１から噴射される蒸気の噴射範囲を広げることが可能である。したがって、第３実施形態の洗浄用ノズル１０は、洗浄能力を高めることができる。
【００３６】
［他の実施形態］
（１）上述した実施形態では、洗浄装置１は、洗浄用ノズル１０から蒸気を噴射した。これに対し、他の実施形態では、洗浄装置１は、蒸気に代えて、洗浄剤などの液体または気体を洗浄用ノズル１０から噴射してもよい。
【００３７】
（２）上述した実施形態では、洗浄装置１は、ワーク２の板厚方向の一方と他方に洗浄用ノズル１０を配置した。これに対し、他の実施形態では、洗浄装置１は、ワーク２の板厚方向の一方のみに洗浄用ノズル１０を配置してもよい。
【００３８】
（３）上述した実施形態では、洗浄用ノズル１０の管部材１１は、１本の主管１３と２本の分岐管１４を有するものとした。これに対し、他の実施形態では、洗浄用ノズル１０の管部材１１は、分岐管１４を有することなく、１本の主管１３のみからなるものとして、１個の噴射口１５，１５１から蒸気を噴射してもよい。また、洗浄用ノズル１０の管部材１１は、１本の主管１３に対し３本以上の分岐管１４を有するものとしてもよい。
【００３９】
（４）上述した実施形態では、洗浄用ノズル１０は、中空の断熱層５０を備えるものとした。これに対し、他の実施形態では、洗浄用ノズル１０は、断熱空間５２、５６に断熱材を挿入してもよい。
【００４０】
（５）上述した実施形態では、金属３Ｄプリンタにより洗浄用ノズル１０を形成した。これに対し、他の実施形態では、洗浄用ノズル１０は、樹脂３Ｄプリンタにより形成してもよい。
このように本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、上述した複数の実施形態を組み合わせることに加え、発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の形態で実施することができる。
【符号の説明】
【００４１】
１  ・・・洗浄装置
１０・・・洗浄用ノズル
１１・・・管部材
１２・・・供給口
１５、１５１・・・噴射口
１６・・・流体流路
５０・・・断熱層
【図１】
0006380154.tif 000002
【図２】
0006380154.tif 000003
【図３】
0006380154.tif 000004
【図４】
0006380154.tif 000005
【図５】
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【図６】
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【図７】
0006380154.tif 000008
【図８】
0006380154.tif 000009
【図９】
0006380154.tif 000010
【図１０】
0006380154.tif 000011
【図１１】
0006380154.tif 000012