(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板収納容器であって、
その内部で基板を収容可能な、かつ、その前面に開口を有する筐体と、
前記筐体の内部に設けられ、基板を略水平姿勢で載置する棚部材と、
前記筐体に着脱して前記開口を開閉する蓋と、
前記蓋の裏面側に取り付けられ、基板の端部を支持する蓋用支持部材と、
前記蓋の裏面側に取り付けられ、前記蓋用支持部材が支持する基板を前記蓋用支持部材から離す基板離脱機構と、
を備え、
前記基板離脱機構は、基板と直接的に接触する接触部を有し、
前記接触部は、前記蓋用支持部材に対して移動可能であり、
前記蓋が前記開口に向かって前進し、かつ、前記接触部が前記蓋用支持部材に対して後退することによって、前記蓋用支持部材が基板の端部を支持し、
前記蓋が前記開口から後退し、かつ、前記接触部が前記蓋用支持部材に対して前進することによって、前記基板離脱機構が前記蓋用支持部材から基板を離し、
前記基板収納容器は、前記筐体内に設けられ、前記基板離脱機構と当接することによって、前記接触部が前記筐体内の所定位置よりも前進することを規制するストッパ部材を備えている基板収納容器。
【請求項２】
請求項１に記載の基板収納容器において、
前記接触部が前記蓋に近づくように移動することによって、前記接触部は前記蓋用支持部材に対して後退し、
前記接触部が前記蓋から遠ざかるように移動することによって、前記接触部は前記蓋用支持部材に対して前進する基板収納容器。
【請求項３】
請求項２に記載の基板収納容器において、
前記蓋が前記開口から後退するとき、少なくとも基板が前記蓋用支持部材から離れるまで、前記接触部は基板と接触し続ける
基板収納容器。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載の基板収納容器において、
前記基板離脱機構は、前記接触部を移動させる弾性部材を備え、
前記弾性部材が弾性変形することによって、前記接触部は前記蓋用支持部材に対して後退し、
前記弾性部材が復元することによって、前記接触部は前記蓋用支持部材に対して前進する基板収納容器。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載の基板収納容器において、
前記蓋が前記開口に向かって前進するとき、前記筐体内の基板は、前記接触部と接触することによって前記接触部を蓋用支持部材に対して後退させる基板収納容器。
【請求項６】
請求項１から５のいずれかに記載の基板収納容器において、
前記所定位置は、前記蓋が前記筐体に装着されている時に前記蓋用支持部材が支持している基板の端部と接する位置、または、前記端部の近傍に設定されている基板収納容器。
【請求項７】
請求項１から６のいずれかに記載の基板収納容器において、
前記筐体の内部に設けられ、基板の端部を支持する筐体用支持部材を備え、
前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とは、基板の端部を挟持する基板収納容器。
【請求項８】
請求項７に記載の基板収納容器において、
前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とは前記基板の端部を挟持することにより前記基板を前記棚部材から上昇させ、前記蓋用支持部材が前記開口から後退し、かつ、前記接触部が前記蓋用支持部材に対して前進するときに前記基板離脱機構が前記蓋用支持部材から基板を離し、前記蓋用支持部材から前記棚部材に前記基板を下降させる、基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ、フォトマスク用のガラス基板、液晶表示装置用のガラス基板、光ディスク用の基板など（以下、単に「基板」と称する）を収容する基板収納容器、および、これに適用可能なロードポート装置および基板処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板収納容器は筐体と蓋とを備える。蓋が筐体から離脱したとき、筐体内の基板が適切な位置または範囲（例えば、搬送位置など）から外れたり、飛び出す場合がある。以下では、これを適宜に「位置ずれ」と呼ぶ。
【０００３】
位置ずれが起こると、筐体から基板を適切に搬出できない。この場合には、蓋を筐体に一旦、取り付け、改めて蓋を筐体から外す。その結果、基板が適切な位置または範囲にあれば、筐体から基板を搬出する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−４９０９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、蓋の着脱を繰り返しても基板の位置ずれが生じるそれがあり、基板の位置ずれを的確に抑制できない。また、蓋の着脱を繰り返せば、基板の処理が遅れ、スループットが低くなる。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、蓋が筐体から離脱するときに基板の位置を好適に管理できる基板収納容器、ロードポート装置および基板処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、本発明は、基板収納容器であって、その内部で基板を収容可能な、かつ、その前面に開口を有する筐体と、前記筐体の内部に設けられ、基板を略水平姿勢で載置する棚部材と、前記筐体に着脱して前記開口を開閉する蓋と、前記蓋の裏面側に取り付けられ、基板の端部を支持する蓋用支持部材と、前記蓋の裏面側に取り付けられ、前記蓋用支持部材が支持する基板を前記蓋用支持部材から離す基板離脱機構と、を備え、前記基板離脱機構は、基板と直接的に接触する接触部を有し、前記接触部は、前記蓋用支持部材に対して移動可能であり、前記蓋が前記開口に向かって前進し、かつ、前記接触部が前記蓋用支持部材に対して後退することによって、前記蓋用支持部材が基板の端部を支持し、前記蓋が前記開口から後退し、かつ、前記接触部が前記蓋用支持部材に対して前進することによって、前記基板離脱機構が前記蓋用支持部材から基板を離す基板収納容器である。
【０００８】
［作用・効果］蓋が開口に向かって前進するとき、接触部が蓋用支持部材に対して後退する。これにより、蓋は筐体に取り付けられ、蓋用支持部材は基板の端部を支持する。基板離脱機構は蓋用支持部材による基板の支持を妨げないので、蓋用支持部材は基板を適切に支持できる。よって、蓋が筐体に装着されている状態では、基板を好適に保護できる。
【０００９】
蓋が開口から後退するとき、接触部が蓋用支持部材に対して前進する。これにより、蓋は筐体から離脱し、基板離脱機構が蓋用支持部材から基板を離す。これにより、蓋が筐体から離脱するとき、筐体内の基板の位置を適切に管理できる。
【００１０】
なお、「前記接触部が前記蓋用支持部材に対して後退する」とき、接触部が、蓋用支持部材よりも後退する方向に位置していてもよいし、そうでなくてもよい。すなわち、「前記接触部が前記蓋用支持部材に対して後退する」とは、蓋用支持部材に対する接触部の相対的な移動を規定するものであり、蓋用支持部材に対する接触部の位置を一切限定しない。同様に、「前記接触部が前記蓋用支持部材に対して前進する」とき、接触部が、蓋用支持部材よりも前進する方向に位置していてもよいし、そうでなくてもよい。
【００１１】
なお、基板離脱機構が蓋用支持部材から離す基板は、蓋が筐体に装着されていた時に蓋用支持部材が支持していた全ての基板であってもよいし、それらの基板のうち、蓋が開口から後退するときに蓋用支持部材から自ずと離れない基板のみであってもよい。
【００１２】
本発明において、前記接触部が前記蓋に近づくように移動することによって、前記接触部は前記蓋用支持部材に対して後退し、前記接触部が前記蓋から遠ざかるように移動することによって、前記接触部は前記蓋用支持部材に対して前進することが好ましい。これによれば、接触部は蓋用支持部材に対して好適に前進および後退できる。
【００１３】
本発明において、前記蓋が前記開口から後退するとき、少なくとも基板が前記蓋用支持部材から離れるまで、前記接触部は基板と接触し続けることが好ましい。基板離脱機構は、蓋用支持部材から基板を確実に離すことができる。
【００１４】
本発明において、前記基板離脱機構は、前記接触部を移動させる弾性部材を備え  前記弾性部材が弾性変形することによって、前記接触部は前記蓋用支持部材に対して後退し、前記弾性部材が復元することによって、前記接触部は前記蓋用支持部材に対して前進することが好ましい。弾性部材によれば、接触部を蓋用支持部材に対する接触部の前進および後退を好適に実現できる。また、基板離脱機構の構造を簡素化できる。
【００１５】
本発明において、前記蓋が前記開口に向かって前進するとき、前記筐体内の基板は、前記接触部と接触することによって前記接触部を蓋用支持部材に対して後退させることが好ましい。基板を利用して接触部を蓋用支持部材に対して後退させるので、基板収納容器の構造を簡素化できる。
【００１６】
本発明において、前記筐体内に設けられ、前記基板離脱機構と当接することによって、前記接触部が前記筐体内の所定位置よりも前進することを規制するストッパ部材を備えていることが好ましい。接触部が筐体内において過度に前進することを回避できる。よって、筐体内の基板を適切に保護できる。
【００１７】
本発明において、前記所定位置は、前記蓋が前記筐体に装着されている時に前記蓋用支持部材が支持している基板の端部と接する位置、または、前記端部の近傍に設定されていることが好ましい。蓋が筐体に装着されているとき、基板離脱機構が基板に不必要な力を与えることがなく、基板を損傷させるおそれがない。
【００１８】
本発明において、前記筐体の内部に設けられ、基板の端部を支持する筐体用支持部材を備え、前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とは、基板の端部を挟持することが好ましい。蓋が筐体に装着されている状態では、筐体用支持部材と蓋用支持部材とが基板を好適に支持できる。なお、筐体用支持部材と蓋用支持部材とが基板を支持するとき、基板の下面が棚部材と接触していてもよいし、接触していなくてもよい。
【００１９】
本発明において、前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とは前記基板の端部を挟持することにより前記基板を前記棚部材から上昇させ、前記蓋用支持部材が前記開口から後退し、かつ、前記接触部が前記蓋用支持部材に対して前進するときに前記基板離脱機構が前記蓋用支持部材から基板を離し、前記蓋用支持部材から前記棚部材に前記基板を下降させることが好ましい。前記蓋用支持部材が前記開口から後退し、かつ、前記接触部が前記蓋用支持部材に対して前進する際に基板離脱機構が基板から蓋用支持部材を離すため、基板を蓋用支持部材から基板を確実に棚部材に下降させることができる。
【００２０】
また、本発明は、上述した発明に係る基板収納容器を載置可能な載置台と、前記載置台に載置された前記基板収納容器の前記蓋を開閉する開閉機構と、を備えたロードポート装置である。
【００２１】
［作用・効果］本発明に係るロードポート装置によれば、上述した基板収納容器を好適に載置できる。
【００２２】
また、本発明は、上述した発明に係る基板収納容器を載置可能な載置台と、前記載置台に載置された前記基板収納容器の前記蓋を開閉する開閉機構と、基板に対して処理を行う処理ユニットと、前記載置台に載置された前記基板収納容器から基板を搬出し、前記処理ユニットに搬入する搬送機構と、を備えた基板処理装置である。
【００２３】
［作用・効果］本発明に係る基板処理装置によれば、上述した基板収納容器に収容される基板に対して処理を行うことができる。
【発明の効果】
【００２４】
この発明に係る基板収納容器、ロードポート装置および基板処理装置によれば、蓋が筐体に装着された状態では基板を好適に保護できるので、基板収納容器を好適に輸送できる。また、蓋が筐体から離脱するとき、筐体内の基板の位置を適切に管理できるので、筐体から基板を適切に搬出できる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】図１（ａ）は蓋が筐体に装着されているときの基板収納容器の外観を示す斜視図であり、図１（ｂ）は蓋が筐体に装着されていないときの基板収納容器の外観を示す斜視図である。
【図２】図２（ａ）は筐体の内部を示す平面図であり、図２（ｂ）は筐体２の内部を示す側面図であり、図２（ｃ）は筐体２の内部を示す側面図である。
【図３】図３（ａ）は蓋の平面図であり、図３（ｂ）は蓋の背面図であり、図３（ｃ）は蓋の側面図である。
【図４】図４（ａ）は基板処理装置の平面図であり、図４（ｂ）は基板処理装置の側面図である。
【図５】図５（ａ）乃至５（ｃ）は蓋を筐体に着脱するときの基板収納容器の内部を示す側面図および平面図である。
【図６】図６（ａ）乃至６（ｃ）は蓋を筐体に着脱するときの基板収納容器の内部を示す側面図および平面図である。
【図７】蓋が開口から後退するときの基板収納容器の内部を示す側面図および平面図である。
【図８】図８（ａ）乃至８（ｃ）は蓋を筐体に着脱するときの基板収納容器の内部を示す平面図である。
【実施例１】
【００２６】
１．基板収納容器の構成
図１（ａ）、（ｂ）を参照する。基板収納容器１の外形は略直方体である。基板収納容器１は、複数の基板Ｗを収容可能である。「基板Ｗ」は、例えば、半導体ウエハ、フォトマスク用のガラス基板、液晶表示装置用のガラス基板、プラズマディスプレイ用の基板、光ディスク用の基板、磁気ディスク用の基板、光磁気ディスク用の基板などである。
【００２７】
基板収納容器１は、筐体２と蓋３とを備えている。蓋３は筐体２の前面に取り付けられる。図１（ｂ）に示すように、筐体２の前面には開口Ａが形成されている。蓋３は開口Ａを開閉する。蓋３が筐体２に着脱するとき、蓋３は、開口Ａと向かい合ったまま、開口Ａに対して略垂直な前後方向に移動する。前後方向は略水平である。筐体２の内部には、基板Ｗを収容するための空間Ｓ（図２参照）が形成されている。基板収納容器１は少なくとも１枚の基板Ｗを収納可能に構成されている。基板収納容器１は標準的には２５枚の基板Ｗを収納するが、以下では便宜上、基板Ｗを３枚まで収納可能な基板収納容器１を例にとって説明する。
【００２８】
図１（ａ）、（ｂ）に加えて、図２（ａ）乃至２（ｃ）を参照する。筐体２は、上板部４と底板部５と右側壁部６と左側壁部７と後壁部８とを有する。各部４乃至８は、上述した空間Ｓを画定する。図２（ａ）では、図示の便宜上、上板部４と底板部５の図示を省略している。図２（ｂ）では右側壁部６と左側壁部７の図示を省略している。図２（ｃ）では後壁部８の図示を省略している。
【００２９】
筐体２の内部には、棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃが設けられている。棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃは、上下方向に並ぶように配置されている。各棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃは、基板Ｗを略水平姿勢で下方向から支持する。各棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃは、基板Ｗの下面とのみ接触する。なお、本明細書において基板Ｗの下面とは基板Ｗの下部周縁を含む概念である。以下では、棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃを特に区別しない場合には、単に「棚部材１１」と呼ぶ。後述するように、各棚部材１１には基板Ｗが１枚ずつ載置される。後述する保持アーム４７ａは各棚部材１１に基板Ｗを搬入しまた各棚部材１１の基板Ｗを搬出する。したがって、各棚部材１１の間には保持アーム４７ａによる基板Ｗの搬入および搬出が安全に行えるだけの上下間隔（クリアランス）が設けられている。
【００３０】
本実施例では、各棚部材１１は右棚部材１２と左棚部材１３とを含む。右棚部材１２は右側壁部６から張り出しており、左棚部材１３は左側壁部７から張り出している。
【００３１】
筐体２の内部には、さらに、筐体用支持ブロック１４が設けられている。筐体用支持ブロック１４は、筐体２（後壁部８）に連結されている。筐体用支持ブロック１４には、筐体用支持部材１６ａ、１６ｂ、１６ｃが形成されている。筐体用支持部材１６ａ、１６ｂ、１６ｃは、上下方向に並ぶように配置されている。各筐体用支持部材１６ａ、１６ｂ、１６ｃは、基板Ｗの端部を支持する。以下、筐体用支持部材１６ａ、１６ｂ、１６ｃを特に区別しない場合には、単に「筐体用支持部材１６」と呼ぶ。
【００３２】
筐体用支持部材１６の材質は、例えば、樹脂である。各筐体用支持部材１６には、１つの溝部１７が形成されている。図２（ｂ）に示すように、溝部１７は後方向に凹んでいる。溝部１７は側面視で例えば略Ｖの字形状を呈する。
【００３３】
溝部１７は下傾斜部１７ａと最奥部１７ｂと上傾斜部１７ｃを有する。下傾斜部１７ａは最奥部１７ｂの下側に隣接しており、上傾斜部１７ｃは最奥部１７ｂの上側に隣接している。
【００３４】
図３（ａ）、３（ｂ）を参照する。蓋３が筐体２に装着されているとき、筐体２の内部と接する蓋３の面を「裏面３ｂ」と呼ぶ。裏面３ｂには、蓋用支持ブロック２１が固定されている。蓋用支持ブロック２１には、蓋用支持部材２３ａ、２３ｂ、２３ｃが形成されている。蓋用支持部材２３ａ、２３ｂ、２３ｃは、上下方向に並ぶように配置されている。各蓋用支持部材２３ａ、２３ｂ、２３ｃは、基板Ｗの端部を支持する。以下、蓋用支持部材２３ａ、２３ｂ、２３ｃを特に区別しない場合には、単に「蓋用支持部材２３」と呼ぶ。
【００３５】
蓋用支持部材２３の材質は、例えば、樹脂である。より好ましくは、蓋用支持部材２３の材質は、弾力性を有する樹脂である。蓋用支持部材２３は、筐体用支持部材１６と同様な形状を有している。すなわち、各蓋用支持部材２３には、溝部２４が形成されている。各溝部２４は下傾斜部２４ａと最奥部２４ｂと上傾斜部２４ｃを有する。
【００３６】
図５（ａ）乃至５（ｃ）を参照する。蓋３が開口Ａと向かい合っているとき、筐体用支持部材１６ａの最奥部１７ｂおよび蓋用支持部材２３ａの最奥部２４ｂの位置はそれぞれ、棚部材１１ａに略水平載置される基板Ｗの端部と接触可能な高さに設定されている。支持部材１６ｂ、２３ｂと棚部材１１ｂとの高さ関係、および、支持部材１６ｃ、２３ｃと棚部材１１ｃとの高さ関係も、同様である。
【００３７】
再び、図３（ａ）、３（ｂ）を参照する。蓋３には、基板離脱機構３１が取り付けられている。基板離脱機構３１は、蓋用支持部材２３が支持する基板Ｗを蓋用支持部材２３から離脱させる。基板離脱機構３１は、複数（例えば４つ）のバネ３２と複数（例えば２つ）の接触部３３とを備えている。
【００３８】
バネ３２は、蓋３と接触部３３との間に設けられ、接触部３３を蓋３に対して移動可能に支持する。バネ３２は、例えば、圧縮コイルバネである。各バネ３２の一端は蓋３の裏面３ｂに連結されている。２つのバネ３２は、蓋用支持部材２３の右方に、互いに上下方向に並ぶように配置される。これら２つのバネ３２の他端は、一方の接触部３３に連結されている。他の２つのバネ３２は、蓋用支持部材２３の左方に、互いに上下方向に並ぶように配置される。これら２つのバネ３２の他端は、他方の接触部３３に連結されている。バネ３２は、本発明における弾性部材の例である。
【００３９】
一方の接触部３３は蓋用支持部材２３の右方に配置され、他方の接触部３３は蓋用支持部材２３の左方に配置される。接触部３３は、バネ３２が変形することによって、蓋用支持部材２３に対して前後方向に移動可能である。各接触部３３は、上下方向に延びており、筐体２内の複数の基板Ｗと一括して接触可能である。
【００４０】
本明細書では、前後方向のうち、開口Ａから後壁部８に向かう方向を「前方向」と呼び、その反対方向を「後方向」と呼ぶ。前方向および後方向はそれぞれ、蓋３、蓋用支持部材２３、接触部３３など、筐体２の外部に設けられる部材にとって、開口Ａに近づく方向および開口Ａから遠ざかる方向である。本明細書では、筐体２の外部に設けられる部材が前方向に移動することを、適宜に「前進する」という。また、筐体２の外部に設けられる部材が後方向に移動することを、適宜に「後退する」という。
【００４１】
２．ロードポート装置および基板処理装置の構成
図４（ａ）、４（ｂ）を参照して、基板収納容器１が適用される基板処理装置４１を説明する。基板処理装置４１は、ロードポート部４２と処理部４３を備えている。ロードポート部４２は、複数のロードポート４２０、４２１、４２２を有している。各ロードポート４２０、４２１、４２０はそれぞれ載置台４４と開閉機構４５とを備えている。載置台４４は基板収納容器１を載置する。開閉機構４５は、載置台４４に載置された基板収納容器１を開閉する。開閉機構４５は、シャッター部材４５ａとシャッター部材用駆動機構４５ｂとを備える。シャッター部材４５ａは蓋３を保持する。シャッター部材用駆動機構４５ｂは、シャッター部材４５ａを位置Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３に移動させる（図４（ｂ）参照）。シャッター部材４５ａが位置Ｐ１と位置Ｐ２との間で移動するとき、シャッター部材４５ａに保持される蓋３は、開口Ａと向かい合ったまま、前後方向に移動する。
【００４２】
処理部４３は、搬送機構４７と処理ユニット４８を備える。搬送機構４７は、載置台４４に載置された基板収納容器１と処理ユニット４８に対してアクセスする。搬送機構４７は、基板Ｗを保持するための保持アーム４７ａと、保持アーム４７ａを移動させるための保持アーム用駆動機構４７ｂを備えている。処理ユニット４８は基板Ｗに洗浄処理などの処理を行う。
【００４３】
３．動作例
次に、実施例１に係る基板収納容器１の動作例を説明する。以下では、まず、蓋３が筐体２から取り外されている状態を説明し、続いて、蓋３を筐体２に取り付けるときの動作例と、蓋３を筐体２から取り外すときの動作例を説明する。最後に、基板収納容器１から基板Ｗを搬出する動作例を簡単に説明する。
【００４４】
３．１．蓋３が筐体２から取り外されている状態
図４（ａ）、４（ｂ）を参照する。載置台４４には、基板収納容器１が載置されている。基板収納容器１は開放されている。シャッター部材４５ａは、例えば、位置Ｐ２または位置Ｐ３において蓋３を保持している。
【００４５】
図５（ａ）を参照して、より詳細に説明する。図５（ａ）、５（ｂ）、５（ｃ）では、左側の図が側面図であり、右側の図が平面図である。蓋３は、例えば、点線で図示する位置にあり、筐体２にから外れている。筐体２の内部では、各基板Ｗが各棚部材１１に載置されているとともに、各基板Ｗの端部が筐体用支持部材１６の最奥部１７ｂと接触している。バネ３２は、弾性変形しておらず、自然な長さで接触部３３を支持している。
【００４６】
３．２．蓋３を筐体２に取り付けるときの動作例
図４（ｂ）を参照する。シャッター部材４５ａは、蓋３を保持して、位置Ｐ２から位置Ｐ１に移動する。以下、より詳細に説明する。
【００４７】
図５（ａ）を参照する。蓋３が点線で図示する位置から前進すると、蓋用支持部材２３および基板離脱機構３１が蓋３と一体に前進する。蓋３が実線で図示する位置に前進すると、接触部３３が筐体２内の基板Ｗの端部と接触する。
【００４８】
蓋３がさらに前進すると、図５（ｂ）に示すように、蓋用支持部材２３が蓋３と一体に前進するのに対し、接触部３３は基板Ｗの端部と接触した位置で停止する。すなわち、接触部３３は、蓋３に近づくように移動し、蓋用支持部材２３に対して後退する。接触部３３が蓋用支持部材２３に対して後退するとき、蓋用支持部材２３よりも前方向に位置していてもよいし、蓋用支持部材２３よりも後方向に位置してもよい。接触部３３が基板Ｗの端部と接触した状態で蓋３が前進するのに従って、バネ３２は圧縮変形する。基板Ｗは、バネ３２によって筐体用支持部材１６の最奥部１７ｂに押し付けられるが、基板Ｗの位置は変わらない。
【００４９】
図５（ｃ）を参照する。蓋３が開口Ａまで前進することによって蓋３が筐体２に装着されると、蓋用支持部材２３の最奥部２４ｂが基板Ｗの端部と接触する。これにより、蓋用支持部材２３と筐体用支持部材１６とは、基板Ｗの端部を挟むように支持する（以下、適宜に「挟持する」という）。
【００５０】
３．３．蓋３が筐体２から取り外されるときの動作例
図４（ｂ）に参照する。シャッター部材４５ａは、蓋３を保持して、位置Ｐ１から位置Ｐ２に移動する。以下、具体的に説明する。
【００５１】
図５（ｃ）、５（ｂ）を参照する。蓋３が開口Ａから後退すると、蓋用支持部材２３は蓋３と一体に後退する。これに対し、バネ３２が復元することによって、接触部３３は後退せずに静止したままであり、基板Ｗと接触し続ける。すなわち、接触部３３は、蓋３から遠ざかるように移動し、蓋用支持部材２３に対して前進する。接触部３３が蓋用支持部材２３に対して前進するとき、蓋用支持部材２３よりも前方向に位置していてもよいし、蓋用支持部材２３よりも後方向に位置してもよい。これにより、接触部３３は、蓋３が筐体２に装着されている時に支持されていた位置から基板Ｗが後方向に動くことを阻止し、基板Ｗを蓋用支持部材２３から離脱させる。
【００５２】
基板Ｗが蓋用支持部材２３から離れた後も、蓋３が図５（ａ）において実線で示す位置に後退するまで、接触部３３は動かず、静止している。接触部３３は、蓋用支持部材２３に対して前進し続け、かつ、基板Ｗと接触し続ける。
【００５３】
蓋３が図５（ａ）において実線で示す位置から、さらに後退すると、接触部３３は基板Ｗから離れ、蓋３と一体に後退し始める。その結果、前後方向における各基板Ｗの位置が揃えられる。蓋３が筐体２から外れている状態における基板Ｗの位置は、蓋３が筐体２に装着されている状態における基板Ｗの位置と同じである。
【００５４】
３．４．基板収納容器１から基板Ｗを搬出する動作例
図４（ａ）、４（ｂ）を参照する。蓋３とシャッター部材４５ａは、位置Ｐ３に位置している。保持アーム４７ａは筐体２の内部に進入する。保持アーム４７ａが１枚の基板Ｗを保持する。その後、保持アーム４７ａは、基板Ｗを保持したまま、筐体２の外部に退出する。そして、保持アーム４７ａは、その基板Ｗを処理ユニット４８に搬送する。
【００５５】
４．実施例１の効果
蓋３を筐体２に取り付けるとき、蓋３は開口Ａに向かって前進する。このとき、接触部３３が蓋用支持部材２３に対して後退するので、蓋用支持部材２３が基板Ｗを支持することを基板離脱機構３１は妨げない。よって、蓋３が筐体２に取り付けられたとき、蓋用支持部材２３は筐体３内の基板Ｗの端部を好適に支持できる。このため、蓋３が筐体２に装着された状態では、基板収納容器１を輸送しても基板Ｗを好適に保護できる。
【００５６】
蓋３を筐体２から取り外すとき、蓋３は開口Ａから後退する。このとき、接触部３３は蓋用支持部材２３に対して相対的に前進し、基板Ｗを蓋用支持部材２３から引き離す。これにより、基板Ｗが蓋用支持部材２３に付着したまま蓋３が筐体２から取り外されることを回避でき、基板Ｗを適切な位置または範囲に留めることができる。このように、基板離脱機構３１によって、蓋３を筐体２から取り外すときに基板Ｗを筐体２内の適正位置に留めることができる。
【００５７】
接触部３３は、蓋３に対して前後方向に相対移動可能に設けられている。換言すれば、前後方向における接触部３３と蓋３との間隔は、可変である。これにより、接触部３３は、蓋用支持部材２３に対して好適に前進および後退できる。
【００５８】
蓋３が開口Ａから後退するとき、基板離脱機構３１は、蓋３が筐体２に装着されている時に支持されていた位置に基板Ｗを留まらせる。よって、蓋３が筐体２から離脱するとき、筐体２内の基板Ｗの位置を一層適切に管理できる。
【００５９】
蓋３が開口Ａから後退するとき、蓋用支持部材２３が基板Ｗから離れるまで、接触部３３は基板Ｗと接触し続けている。よって、基板離脱機構３１は蓋用支持部材２３から基板Ｗを確実に離すことができる。
【００６０】
バネ３２は、弾性変形および復元することによって、接触部３３を蓋用支持部材２３に対して好適に前進および後退させることができる。基板離脱機構３１はこのようなバネ３２を備えているので、基板離脱機構３１の構造を簡素化できる。
【００６１】
バネ３２は、蓋３が開口Ａに向かって前進する動きを利用して圧縮変形する。よって、基板離脱機構３１はバネ３２を弾性変形させる機構を別途に備えることを要しない。すなわち、基板離脱機構３１の構造を一層簡素化できる。
【００６２】
さらに、蓋３が開口Ａに向かって前進するとき、筐体２内の基板Ｗは、接触部３３と接触することによって、接触部３３を蓋用支持部材２３に対して後退させる。基板収納容器１は、接触部３３を蓋用支持部材２３に対して後退させる部材を別途に備えることを要しない。すなわち、基板収納容器１の構造も簡素化できる。
【００６３】
蓋３が筐体２に装着されている状態では、バネ３２が基板Ｗを筐体用支持部材１６に押しつける。これにより、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３は基板Ｗを適度な強さで挟持できる。
【００６４】
蓋用支持部材２３の材質が弾力性を有する樹脂である場合、蓋用支持部材２３は基板Ｗを的確に保持できる。
【００６５】
筐体２の内部には筐体用支持部材１６が設けられている。よって、蓋３が筐体２に装着されている状態では、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３とが基板Ｗを好適に支持できる。
【００６６】
本実施例では、棚部材１１が基板Ｗを支持するときも支持部材１６、２３が基板Ｗを支持するときも基板Ｗの高さ位置は変わらないので、基板収納容器１はＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）の１形態である。このように、基板離脱機構３１は、ＦＯＵＰタイプの基板収納容器１に好適に適用できる。
【００６７】
また、ロードポート装置４２０、４２１、４２２は、基板収納容器１を好適に載置できる。
【００６８】
基板処理装置４１は、基板収納容器１に収容される基板Ｗに対して液処理や熱処理などの処理を行うことができる。
【実施例２】
【００６９】
以下、図面を参照してこの発明の実施例２を説明する。以下の説明では、実施例１と同じ構成については同符号を付すことで、詳細な説明を省略する。
【００７０】
１．基板収納容器の構成
図６（ａ）、（ｂ）、（ｃ）を参照する。図６（ａ）、（ｂ）、（ｃ）では、左側の図が側面図であり、右側の図が平面図である。実施例２では、蓋３が開口Ａと向かい合っているとき、筐体用支持部材１６ａの下傾斜部１７ａおよび蓋用支持部材２３ａの下傾斜部２４ａの位置はそれぞれ、棚部材１１ａに略水平載置される基板Ｗの端部と接触可能な高さに設定されている。また、筐体用支持部材１６ａの最奥部１７ｂおよび蓋用支持部材２３ａの最奥部２４ｂは、基板Ｗが棚部材１１から上昇した状態で、基板Ｗの端部を支持可能な高さに設定されている。
【００７１】
実施例２では、基板離脱機構３１は、バネ３２および接触部３３のほかに、連結板３５を備えている。連結板３５は、接触部３３の下端部に延設されており、接触部３３と一体に上下方向に移動する。
【００７２】
さらに、実施例２では、基板収納容器１は、ストッパ部材４１を備えている。ストッパ部材４１は、筐体２に固定されている。連結板３５が図６（ａ）において実線で示す位置に移動したとき、ストッパ部材４１は連結板３５と当接する。これにより、ストッパ部材４１は、接触部３３が図６（ａ）において実線で示す所定位置よりも前進することを規制する。すなわち、所定位置は、接触部３３が筐体２内において前方向に最も深く進入できる位置であり、ストッパ部材４１によって規定される位置である。本実施例では、所定位置は、蓋３が筐体２に装着されている時に蓋用支持部材２３が支持している基板Ｗの端部の近傍に設定されている。
【００７３】
２．動作例
２．１．蓋３が筐体２から取り外されている状態
図６（ａ）を参照する。蓋３は、例えば、点線で図示する位置にある。基板Ｗは棚部材１１に載置されている。筐体用支持部材１６の下傾斜部１７ａが基板Ｗの後部の端部と接触している。
【００７４】
２．２．蓋３を筐体２に取り付けるときの動作例
図６（ａ）を参照する。蓋３が点線で図示する位置から前進すると、蓋用支持部材２３および基板離脱機構３１が蓋３と一体に前進する。
【００７５】
蓋３が実線で図示する位置に前進すると、接触部３３が所定位置に至り、ストッパ部材４１が基板離脱機構３１と当接する。このとき、蓋３はまだ筐体２に装着されていないので、接触部３３は筐体２内の基板Ｗと接触してもよいし、接触しなくてもよい。図６（ａ）では、接触部３３が基板Ｗと接触していない場合を例示する。
【００７６】
また、蓋３が実線で図示する位置に前進すると、蓋用支持部材２３の下傾斜部２４ａが基板Ｗの前部の端部と接触する。
【００７７】
図６（ｂ）を参照する。蓋３がさらに前進すると、蓋用支持部材２３が蓋３と一体に前進するのに対し、接触部３３は前進せずストッパ部材４１に当接したままその位置に留まる。これにより、接触部３３は蓋３に近づくように移動し、蓋用支持部材２３に対して後退する。一方、バネ３２はストッパ４１が移動を規制している接触部３３によって後方向に押圧されて圧縮変形する。
【００７８】
蓋用支持部材２３が蓋３と一体に前進することによって、基板Ｗの前方向の端部は筐体用支持部材１６の下傾斜部１７ａを滑り上がり、基板Ｗの後方向の端部は蓋用支持部材２３の下傾斜部２４ａを滑り上がる。これにより、基板Ｗは、上方向かつ前方向に移動し、棚部材１１から上昇するとともに、接触部３３から離れる。
【００７９】
図６（ｃ）を参照する。蓋３が開口Ａまで前進することによって蓋３が筐体２に装着される。基板Ｗの前部の端部は最奥部１７ｂに至り、基板Ｗの後部の端部は最奥部２４ｂに至る。これにより、蓋用支持部材２３と筐体用支持部材１６とは、棚部材１１が基板Ｗの下面と接触していない状態で、基板Ｗを挟持する。このとき接触部３３は、僅かな間隔を空けて基板Ｗの端部と向かい合っている。
【００８０】
２．３．蓋３を筐体２から取り外すときの動作例
図６（ｃ）、６（ｂ）を参照する。蓋３が開口Ａから後退すると、蓋用支持部材２３は蓋３と一体に後退する。これに対し、接触部３３はバネ３２によって前方向に押圧されているため、接触部３３は後退せずにストッパ部材４１に当接したままその位置に留まる。すなわち、接触部３３は、蓋３から遠ざかるように移動し、蓋用支持部材２３に対して前進する。
【００８１】
ここで、蓋３が開口Ａから後退するとき、全ての基板Ｗが、自ずと、蓋用支持部材２３から離れる場合と、そうでない場合がある。
【００８２】
前者の場合、基板Ｗは接触部３３と接触することなく、蓋用支持部材２３から離れる。具体的には、図６（ｂ）に示すように、各基板Ｗは、自ずと最奥部２４ｂから外れ、自ずと下傾斜部２４ａを滑り落ち、棚部材１１に水平状態で載置されるまで下降する。さらに、図６（ａ）に示すように、各基板Ｗは、自ずと棚部材１１に載置され、自ずと蓋用支持部材２３から離れる。これらの動作中、基板Ｗは接触部３３と接触しない。
【００８３】
後者の例としては、例えば、少なくとも１枚の基板Ｗが、最奥部２４ｂから自ずと外れない場合や、下傾斜部２４ａを自ずと滑り落ちない場合などがある。蓋用支持部材２３から自ずと離れない基板Ｗは、後退する蓋用支持部材２３と一緒に移動するおそれがある。
【００８４】
図７を参照する。図７は、蓋３が開口Ａから後退するとき、自ずと蓋用支持部材２３から離れない基板Ｗａを例示している。図示するように、蓋３が開口Ａから後退しても、基板Ｗａの端部は最奥部２４ｂに支持されたままであり、最奥部２４ｂから外れていない。基板Ｗａは、蓋用支持部材２３と一緒に後方向に移動している。
【００８５】
一方で、接触部３３はストッパ部材４１に当接する位置に留まっている。前記したように、基板Ｗａは蓋３が取り付けられた状態では接触部３３から微小間隔を隔てた状態で両支持部材１６、２３間に挟持されている。基板Ｗａが蓋用支持部材２３に付着した状態で後方向に移動すると、ストッパ部材４１によって停止している接触部３３に当該基板Ｗａが接触するようになる。以後、基板Ｗａは蓋用支持部材２３の移動と共に接触部３３から前方向の力が加えられる。これにより、基板Ｗａは最奥部２４ｂから外れ、下傾斜部２４ａを滑り落ちて棚部材１１まで下降し、蓋用支持部材２３から離脱する。
【００８６】
蓋用支持部材２３から離れた後の基板Ｗａの位置は、ストッパ４１によって停止した接触部３３によって各基板Ｗの移動が規制される位置であり、蓋３が筐体２に装着されている時に基板Ｗａが支持された位置の近傍である。その結果、全ての基板Ｗが、自ずと、蓋用支持部材２３から離れない場合（例えば、自ずと蓋用支持部材２３から離れない基板Ｗａを含む場合）であっても、最終的には、図６（ａ）に示すように、前後方向における各基板Ｗの位置は、適切な範囲内に揃えられる。
【００８７】
３．実施例２の効果
蓋３が開口Ａに向かって前進するとき、接触部３３が蓋用支持部材２３に対して後退するので、蓋用支持部材２３が基板Ｗを支持することを基板離脱機構３１は妨げない。よって、蓋３が筐体２に取り付けられたとき、蓋用支持部材２３は筐体３内の基板Ｗの端部を好適に支持できる。
【００８８】
蓋３が開口Ａから後退するとき、接触部３３が蓋用支持部材２３に対して前進することによって、基板離脱機構３１は、蓋用支持部材２３から基板Ｗを離す。これにより、蓋３が筐体２から離脱するとき、基板Ｗを適切な位置または範囲に留めることができる。このように、蓋３が筐体２から離脱するときに筐体２内の基板Ｗの位置を適切に管理できる。
【００８９】
また、基板離脱機構３１は、蓋３が開口Ａから後退するときに蓋用支持部材２３から自ずと離れる基板Ｗと接触しないので、基板Ｗを一層適切に保護できる。
【００９０】
基板収納容器１は、ストッパ部材４１を備えている。よって、接触部３３が所定位置を越えて前進することを好適に防止できる。よって、基板Ｗを一層適切に保護できる。
【００９１】
蓋３が開口Ａから後退するとき、ストッパ部材４１による規制とバネ３２の復元とによって、接触部３３は所定位置に留まる。これにより、基板Ｗが所定位置よりも前方向に移動することを好適に防ぐことができる。
【００９２】
所定位置は、蓋３が筐体２に装着されている時に蓋用支持部材２３が支持している基板Ｗの端部の近傍に設定されている。よって、蓋３が筐体２に装着されている状態では、接触部３３は基板Ｗと接触しない。よって、基板Ｗを好適に保護できる。また、蓋３が筐体２から外れている状態における基板Ｗの位置を、蓋３が筐体２に装着されている状態における基板Ｗの位置と同じ位置、または、その近傍とすることができる。
【００９３】
本実施例では、棚部材１１が基板Ｗを支持するときと、支持部材１６、２３が基板Ｗを支持するときとで、基板Ｗの高さ位置を変えるので、基板収納容器１はＭＡＣ（Multi Application Carrier）の１形態である。このように、基板離脱機構３１は、ＭＡＣタイプの基板収納容器１に好適に適用できる。
【００９４】
この発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
【００９５】
（１）基板離脱機構３１の構造を適宜に変更してもよい。
【００９６】
図８（ａ）、（ｂ）、（ｃ）を参照する。図示するように、基板収納容器１は基板離脱機構５１を備えている。基板離脱機構５１は、複数のバネ５２を備える。バネ５２は、例えば、片持ちバネやカンチレバースプリングである。バネ５２は、基端部５２ａと接触部５２ｂを有する。基端部５２ａは、蓋３に固定されている。一部のバネ５２の基端部５２ａは蓋用支持部材２３の右方に固定されており、他のバネ５２の基端部５２ａは蓋用支持部材２３の左方に固定されている。バネ５２が撓む（反る）ことによって、接触部５２ｂは蓋３から遠ざかるように移動可能であり、かつ、蓋３に近づくように移動可能である。
【００９７】
接触部５２ｂは、基板Ｗと直接的に接触する。接触部５２ｂは、複数の基板Ｗに一括して接触してもよいし、１枚の基板Ｗのみに接触してもよい。後者の場合、複数のバネ５２が上下方向に並ぶように配置される。バネ５２は、本発明における弾性部材の例である。
【００９８】
この変形実施例では、蓋３が開口Ａに向かって前進するとき、接触部５２ｂは蓋用支持部材２３に対して後退し、蓋用支持部材２３が基板Ｗの端部を支持する。また、蓋３が開口Ａから後退するとき、接触部５２ｂは蓋用支持部材２３に対して前進し、基板離脱機構５１は蓋用支持部材２３から基板Ｗを離す。よって、本変形実施例によっても、実施例１、２と同様の効果を奏する。また、接触部５２ｂはバネ５２の一部であるので、基板離脱機構５１の構造を一層簡素化できる。
【００９９】
（２）ストッパ部材４１によって規定される所定位置を、適宜に変更してもよい。例えば、所定位置を、蓋３が筐体２に装着されている時に蓋用支持部材２３が支持している基板Ｗの端部と接する位置に設定してもよい。本変形実施例では、蓋３が開口Ａから後退するとき、基板離脱機構３１は、筐体２内の基板Ｗを、蓋３の装着時にそれらが支持されていた位置に留める。よって、蓋３が筐体２から外れている状態における基板Ｗの位置を、蓋３が筐体２に装着されている状態における基板Ｗの位置と一致させることできる。
【０１００】
（３）上述した実施例１では、基板Ｗが蓋用支持部材２３から離れた後も、接触部３３は基板Ｗと接触したが、これに限られない。基板離脱機構３１が蓋用支持部材２３から基板Ｗを離すことができれば、接触部３３が基板Ｗと接触する期間を適宜に変更できる。例えば、基板Ｗが蓋用支持部材２３と離れる時に、接触部３３も基板Ｗから離れてもよい。
【０１０１】
（４）上述した実施例１では、蓋３が開口Ａに向かって前進するとき、接触部３３と基板Ｗとの接触が、蓋用支持部材２３と基板Ｗとの接触よりも先に始まったが、これに限られない。接触部３３と基板Ｗとの接触と蓋用支持部材２３と基板Ｗとの接触が、同時で始まってもよいし、接触部３３と基板Ｗとの接触が、蓋用支持部材２３と基板Ｗとの接触よりも後に始まってもよい。実施例２においても、接触部３３と基板Ｗとの接触と蓋用支持部材２３と基板Ｗとの接触との前後関係を適宜に変更してもよい。
【０１０２】
（５）上述した各実施例および変形実施例では、蓋用支持部材２３の両側方に基板離脱機構３１、５１（接触部３３、５２ｂ）が配置されていたが、これに限られない。基板離脱機構３１、５１（接触部３３、５２ｂ）の両側方に蓋用支持部材２３を配置してもよい。
【０１０３】
（６）上述した各実施例では、複数の筐体用支持部材１６が一体に成形されていたが、これに限られない。例えば、各筐体用支持部材１６は互いに分離されていてもよい。蓋用支持部材２３の構造についても同様である。
【０１０４】
（７）上述した各実施例では、蓋３が筐体２から外れている状態では、筐体用支持部材１６は基板Ｗと接触していたが、これに限られない。すなわち、蓋３が筐体２から外れている状態において、筐体用支持部材１６が基板Ｗと接触していなくてもよい。
【０１０５】
（８）上述した各実施例では、筐体用支持部材１６は筐体２に固定されていたが、これに限られない。筐体用支持部材１６は筐体２に対して移動可能であってもよい。同様に、蓋用支持部材２３は蓋３に固定されていたが、これに限られない。蓋用支持部材２３は蓋３に対して移動可能であってもよい。
【０１０６】
（９）上述した各実施例において、筐体用支持部材１６および蓋用支持部材２３の形状を適宜に変更してもよい。例えば、実施例１のように、筐体用支持部材１６が最奥部１７ｂでのみ基板Ｗと接触する場合には、下傾斜部１７ａや上傾斜部１７ｃを省略してもよい。同様に、蓋用支持部材２３が最奥部２４ｂでのみ基板Ｗと接触する場合には、下傾斜部２４ａや上傾斜部２４ｃを省略してもよい。
【０１０７】
（１０）上述した各実施例では、複数の筐体用支持部材１６は上下方向に１列に並ぶように配置されていたが、これに限られない。複数の筐体用支持部材１６が上下方向に複数列に並ぶように配置されていてもよい。複数の筐体用支持部材１６が上下方向に千鳥に配置されていてもよい。蓋用支持部材２３の配置についても同様である。
【０１０８】
（１１）上述した各実施例および変形実施例において、基板収納容器１は、基板離脱機構３１、５１の一部を覆う遮蔽部材をさらに備えてもよい。遮蔽部材としては、例えば、バネ３２を覆うベローズや、バネ５２の基端部５２ａを覆う隔壁などが例示される。これによれば、基板離脱機構３１、５１がパーティクルを発生した場合であっても、そのパーティクルが基板Ｗに付着することを防止できる。
【０１０９】
（１２）上述した各実施例では、ロードポート装置４２０、４２１、４２２はそれぞれ、１つの載置台４４を備えていたが、これに限られない。すなわち、複数の載置台を備えるロードポート装置に変更してもよい。また、上述した実施例では、ロードポート装置４２０、４２１、４２２はそれぞれ、１つの基板収納容器１を載置するものであったが、これに限られない。すなわち、複数の基板収納容器１を載置できるロードポート装置に変更してもよい。
【０１１０】
（１３）上述した各実施例および上記（１）から（１２）で説明した各変形実施例については、さらに各構成を他の実施例の構成または他の変形実施例の構成に置換または組み合わせるなどして適宜に変更してもよい。
【符号の説明】
【０１１１】
１  …  基板収納容器
２  …  筐体
３  …  蓋
３ｂ  …  裏面
１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１  …  棚部材
１６ａ、１６ｂ、１６ｃ、１６  …  筐体用支持部材
２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３  …  蓋用支持部材
３１、５１  …  基板離脱機構
３２、５２  …  バネ（弾性部材）
３３、５２ｂ  …  接触部
４１  …  基板処理装置
４２…  ロードポート部
４４  …  載置台
４５  …  開閉機構
４７  …  搬送機構
４８  …  処理ユニット
Ａ  …  開口
４２０、４２１、４２２  …  ロードポート装置
Ｗ、Ｗａ  …  基板
【図１】
0006430195.tif 000002
【図２】
0006430195.tif 000003
【図３】
0006430195.tif 000004
【図４】
0006430195.tif 000005
【図５】
0006430195.tif 000006
【図６】
0006430195.tif 000007
【図７】
0006430195.tif 000008
【図８】
0006430195.tif 000009