(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
−  半導体材料を含有し、第１の導電性タイプの第１の半導体領域（３）と、第２の導電性タイプの第２の半導体領域（４）と、前記第１及び第２の半導体領域（３，４）の間に形成されている、ｐｎ接合部を有する活性ゾーン（５）とを備える、半導体積層体（２）と、
−  前記半導体積層体（２）が配置されているキャリア（６）と、
−  前記第１の半導体領域（３）を電気的に接続するために設けられている第１のコンタクト（７）と、
−  前記第１のコンタクト（７）とは異なり、前記第２の半導体領域（４）を電気的に接続するために設けられている第２のコンタクト（８）と、
−  前記半導体積層体（２）と並列又は逆並列に接続されている橋絡素子（９）であって、前記橋絡素子（９）の非線形電気抵抗がオプトエレクトロニクス半導体チップ（１）の順方向における動作電圧の場合に前記半導体積層体（２）の電気抵抗よりも高く、逆方向における過電圧の場合に前記半導体積層体（２）の前記電気抵抗よりも低いため、過電圧の場合に電荷が前記橋絡素子（９）を介して放電され、前記半導体積層体（２）の前記半導体材料の外側に配置されている少なくとも１つの橋絡層（９Ａ）を備える、橋絡素子（９）と、
を備え、
前記橋絡素子（９）は、前記半導体積層体（２）に設けられ、前記半導体積層体（２）と直接物理的に接触した位置にあり、前記第１の半導体領域（３）、前記活性ゾーン（５）、及び／又は前記第２の半導体領域（４）に直接隣接し、
前記半導体積層体（２）は、前記キャリア（６）側で通電され、
前記第２のコンタクト（８）は、前記キャリア（６）と機械的に接続され、前記半導体積層体（２）に対向する前面を被覆するコンタクト層（８Ａ）を有し、
前記第２のコンタクト（８）は、前記コンタクト層（８Ａ）に接続され、前記コンタクト層（８Ａ）に対して垂直に配置されている複数のコンタクト素子（８Ｂ）を有し、
前記半導体積層体（２）は、前記半導体積層体（２）の第１の主面（２Ａ）から前記第１の半導体領域（３）および前記活性ゾーン（５）を介し、前記第２の半導体領域（４）内まで延伸する複数の凹部（１０）を有し、前記コンタクト素子（８Ｂ）は、前記凹部（１０）内に配置されており、
前記第１のコンタクト（７）は、コンタクト層（７Ａ）およびコンタクトパッド（７Ｂ）を有し、前記コンタクト層（７Ａ）は、前記第２のコンタクト（８）の前記コンタクト層（８Ａ）と前記半導体積層体（２）との間に配置されており、前記第１のコンタクト（７）の前記コンタクト層（７Ａ）は、前記第１の半導体領域（３）と直接接触し、前記コンタクト層（７Ａ）は、前記第１の半導体領域（３）の電気的接触に使用され、
前記コンタクト層（７Ａ）は、複数の開口部（１３）を有し、１つの開口部（１３）がそれぞれ、１つの前記凹部（１０）の領域に配置されており、前記第２のコンタクト（８）の１つの前記コンタクト素子（８Ｂ）はそれぞれ、前記コンタクト層（７Ａ）内の１つの前記開口部（１３）を通って延伸しており、
前記橋絡層（９Ａ）は、前記第１のコンタクト（７）の前記コンタクト層（７Ａ）と前記第２のコンタクト（８）の前記コンタクト層（８Ａ）との間に配置されており、前記橋絡素子（９）および前記橋絡層（９Ａ）は、電子セラミックス材料で形成され、
前記橋絡層（９Ａ）は、前記凹部（１０）と前記開口部（１３）内に配置され、各コンタクト素子（８Ｂ）の周囲は、前記橋絡層（９Ａ）の１つによって囲まれ、
前記橋絡素子（９）は、前記第１および第２の半導体領域（３，４）と前記活性ゾーン（５）とに直接接触しているオプトエレクトロニクス半導体チップ（１）。
【請求項２】
前記橋絡層（９Ａ）は、エピタキシャル層ではない、
請求項１に記載のオプトエレクトロニクス半導体チップ（１）。
【請求項３】
前記橋絡素子（９）及び前記橋絡層（９Ａ）は、多結晶性電子セラミックス材料から成る、
請求項１又は２に記載のオプトエレクトロニクス半導体チップ（１）。
【請求項４】
前記橋絡素子（９）は、前記第１の半導体領域（３）と第２の半導体領域（４）とを接続している、
請求項１〜３のいずれか一項に記載のオプトエレクトロニクス半導体チップ（１）。
【請求項５】
前記橋絡素子（９）は、前記第１のコンタクト（７）と第２のコンタクト（８）とを接続している、
請求項１〜４のいずれか一項に記載のオプトエレクトロニクス半導体チップ（１）。
【請求項６】
前記橋絡素子（９）は、１つの前記橋絡層（９Ａ）から成る、
請求項１〜５のいずれか一項に記載のオプトエレクトロニクス半導体チップ（１）。
【請求項７】
前記凹部（１０）のそれぞれは、前記半導体積層体（２）の内面（２Ｄ）によって範囲が定められており、
前記橋絡層（９Ａ）のそれぞれは、前記内面（２Ｄ）上に配置されており、それぞれの前記内面（２Ｄ）を完全に覆う、
請求項１〜６のいずれか一項に記載のオプトエレクトロニクス半導体チップ（１）。
【請求項８】
前記コンタクト素子（８Ｂ）のそれぞれの周囲は、前記橋絡素子（９）によって完全に囲まれている、
請求項７に記載のオプトエレクトロニクス半導体チップ（１）。
【請求項９】
多結晶性電子セラミックス材料をそれぞれ含む２つの前記橋絡層（９Ａ）を備え、
前記橋絡素子（９）は、酸化物から形成された材料添加物をさらに含み、
前記橋絡層（９Ａ）は、境界面（９Ｃ）によって互いに分離されており、
前記材料添加物の濃度は、２つの前記橋絡層（９Ａ）内よりも前記境界面（９Ｃ）での方が高い、
請求項１〜５のいずれか一項に記載のオプトエレクトロニクス半導体チップ（１）。
【請求項１０】
前記橋絡素子（９）は、酸化ストロンチウム、チタン酸ストロンチウム、酸化チタン、炭化ケイ素のうちの少なくとも１つを含む、
請求項１〜９のいずれか一項に記載のオプトエレクトロニクス半導体チップ（１）。
【請求項１１】
前記橋絡素子（９）は、酸化ビスマス、酸化アンチモン、酸化コバルト、酸化マンガン、酸化ニッケル、酸化クロム、及び酸化シリコンの材料添加物のうちの少なくとも１つを含有する、
請求項１〜１０のいずれか一項に記載のオプトエレクトロニクス半導体チップ（１）。
【請求項１２】
前記橋絡素子（９）は、バリスタ、ショットキーダイオード、又はツェナーダイオードである、
請求項１〜１１のいずれか一項に記載のオプトエレクトロニクス半導体チップ（１）。
【請求項１３】
前記橋絡素子（９）は前記キャリア（６）にもまた設けられ、
前記キャリア（６）は、基礎部（１５）と、前記第１又は第２のコンタクト（７，８）に電気的に接続され、前記基礎部（１５）内に少なくとも部分的に埋め込まれ、及び／又は前記基礎部（１５）上に配置されている少なくとも１つの接続素子（１６，１７）とを備える、
請求項１〜１２のいずれか一項に記載のオプトエレクトロニクス半導体チップ（１）。
【請求項１４】
前記キャリア（６）は、前記第１のコンタクト（７）に電気的に接続されている第１の接続素子（１６）と、前記第２のコンタクト（８）に電気的に接続されている第２の接続素子（１７）とを備え、
前記第１及び第２の接続素子（１６，１７）は、前記橋絡素子（９）によって接続されている、
請求項１３に記載のオプトエレクトロニクス半導体チップ（１）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、オプトエレクトロニクス半導体チップに関するものであり、特に放射線を出射するために提供されるオプトエレクトロニクス半導体チップに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
オプトエレクトロニクス装置の安定した動作を可能とし、主に静電気放電及び／又は電気過負荷の場合での装置への永久的な損傷を防止するために、保護手段は有益である。
【０００３】
特許文献１は、例えば、半導体チップの半導体積層体に、意図的に導入された結晶欠陥を含むエピタキシャル保護層を設け、半導体チップの動作時での逆方向の半導体積層体の降伏挙動が結晶欠陥を有する領域と結晶欠陥を有さない領域とで異なり、静電気放電パルスの際には、電荷は結晶欠陥を有する領域に亘って一様に分布するように放電される、保護手段を開示する。
【０００４】
さらに、特許文献２では、オプトエレクトロニクス半導体チップは、複数のマイクロダイオードを備え、マイクロダイオードがＥＳＤ（静電気放電）保護を形成する半導体積層体を開示する。しかしながら、このような半導体積層体の保護的手段は、半導体チップの光学効率の低下に関連付けられる。
【０００５】
また、例えば特許文献３に開示されているように、例えば保護ダイオードなどの分離した保護素子を用いて、当該素子を半導体チップに相互的に接続することが知られている。しかしながら、これは追加のスペースとコストを必要とする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】国際公開第２０１２／１４６６６８号
【特許文献２】国際公開第２０１１／０８０２１９号
【特許文献３】独国特許第１０３２９０８２号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、一体型ＥＳＤ保護を有する、改善されたオプトエレクトロニクス半導体チップを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
少なくとも１つの実施形態によれば、オプトエレクトロニクス半導体チップは、半導体材料を含有し、第１の導電性タイプの第１の半導体領域と、第２の導電性タイプの第２の半導体領域と、第１及び第２の半導体領域の間に形成される、ｐｎ接合部を有する活性ゾーンとを備える、半導体積層体を備える。特に、活性ゾーンは放射線を発生させるために設けられてもよい。
【０００９】
さらに、第１の導電性はｐ型導電性とし、第２の導電性はｎ型導電性とする。第１の半導体領域は、例えば、活性ゾーンのキャリアに対向する側に配置されていてもよい。そして、第２の半導体領域は活性ゾーンのキャリアから遠い側に配置されていてもよい。第１の半導体領域は、第１の導電性タイプのドーピングを有する少なくとも１つの半導体層を備えるのが好ましい。それに応じて、第２の半導体領域は、特に、第２の導電性タイプのドーピングを有する少なくとも１つの半導体層を備える。
【００１０】
半導体層に好適な材料は、例えば、窒化物化合物半導体に基づく材料である。本明細書では、「窒化物化合物半導体に基づく」とは、半導体積層体又は半導体積層体の少なくとも１つの層が、ＩＩＩ−Ｖ族窒化物化合物半導体材料、好ましくはＡｌｎＧａｍＩｎ１−ｎ−ｍＮ（０≦ｎ≦１、０≦ｍ≦１、及びｎ＋ｍ≦１）を含むことを意味する。この材料は、上述の式による数学的に正確な組成を完全に有さなくてもよい。代わりに、ＡｌｎＧａｍＩｎ１−ｎ−ｍＮの材料の特徴的な物性を実質的に改変しない１つ以上のドーパント及び追加の成分を含んでもよい。便宜上、上記の式は結晶格子の基礎的な成分（Ａｌ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｎ）しか含まないが、これらは部分的に少量の更なる物質に入れ替えられてもよい。
【００１１】
有利な一実施形態では、本オプトエレクトロニクス半導体チップはキャリアを備え、キャリア上に半導体積層体が配置されている。半導体チップは、例えば、薄膜半導体チップであってもよく、かかる半導体チップから、半導体積層体を成長させた成長基板が少なくとも部分的に剥離されている。成長基板は、例えば、キャリアで置き換えられ得る。
【００１２】
更に、本オプトエレクトロニクス半導体チップは、第１の半導体領域の電気的接続のために設けられている第１のコンタクトと、第２の半導体領域の電気的接続のために設けられている、第１のコンタクトとは異なる第２のコンタクトを備えてもよい。特に、第１のコンタクトはｐ型コンタクトであり、第２のコンタクトはｎ型コンタクトである。
【００１３】
少なくとも１つの実施形態によれば、本オプトエレクトロニクス半導体チップは橋絡素子を備える。特に、橋絡素子は半導体積層体と並列又は逆並列に接続されている。例えば、橋絡素子はダイオードの電流／電圧挙動を有してもよい。この場合、橋絡素子は半導体積層体に対して逆方向に接続されるのが好ましい。更に、橋絡素子はバリスタの電流／電圧挙動を有してもよい。この場合、橋絡素子は半導体積層体に対して並列又は逆並列に接続されてもよい。バリスタの電流／電圧挙動は順方向と逆方向とでほぼ同一であり得る。このようにして、逆方向と順方向の両方での過電圧が限定されることができる。
【００１４】
有利に、上記橋絡素子は、過電圧の場合に電荷が橋絡素子を介して放電されるように、オプトエレクトロニクス半導体チップの順方向での動作電圧では半導体積層体の電気抵抗よりも高く、逆方向の過電圧では半導体積層体の電気抵抗よりも低い、非線形電気抵抗を備える。このようにして、半導体積層体を静電気放電パルスから保護し、半導体チップへの損傷を大きく防止し得る。
【００１５】
少なくとも１つの実施形態によれば、橋絡素子は多結晶性電子セラミックス材料を含有する。好適な電子セラミックス材料は、例えば、焼結半導体材料である。橋絡素子としては、特に、酸化亜鉛、酸化ストロンチウム、チタン酸ストロンチウム、酸化チタン、及び炭化ケイ素などの材料が考えられ得る。使用される材料の粒径によって、特に抵抗が影響を受け得る。このような材料が用いられる時は、橋絡素子は特に、バリスタの特性を有する。
【００１６】
更に、橋絡素子は、例えば、酸化ビスマス、酸化アンチモン、酸化コバルト、酸化マンガン、酸化ニッケル、酸化クロム、又は酸化シリコン類などの酸化物といった材料添加物を備えてもよい。有利に、これらの材料添加物の１つ以上によって、橋絡素子の非線形抵抗挙動を意図的に調節し得る。
【００１７】
好ましい構成では、橋絡素子は、境界面で互いに分離される２つの橋絡層を備える。材料添加物の濃度は、例えば、２つの橋絡層内よりも境界面での方が高くてもよい。降伏電圧に到達すると、降伏が、特に境界面を横切って、好ましくは境界面に垂直に、進行する。降伏は、水平方向または垂直方向に進行してもよい。垂直方向は、キャリアが延伸する面と垂直であってもよい。水平方向は、それに応じて、キャリアが延伸する面に平行であってもよい。
【００１８】
特に、橋絡素子はそれぞれ境界面で互いに分離される３つ以上の橋絡層を備えてもよい。この場合、境界面の主要延伸面は、製造公差の範囲内で、橋絡層の主要延伸面に平行であってもよい。
【００１９】
更に、橋絡素子は１つ以上のドーパントを含有してもよい。
【００２０】
更なる実施形態によれば、橋絡素子は金属又は金属化合物を含有するか、それからなってもよい。好適な材料の例としては、Ｔｉ、Ａｇ、Ｐｔ、Ａｕ、又はＣｕが挙げられる。このような材料が用いられる場合、橋絡素子は特に、ダイオードの特性を有する。
【００２１】
少なくとも１つの実施形態によれば、橋絡素子は少なくとも１つの橋絡層を備える。特に、橋絡素子は少なくとも１つの橋絡層からなる。更に、橋絡層は半導体積層体の半導体材料の外側に配置されていることが好ましい。これは、特に、橋絡層がエピタキシャル層でないことを意味する。このようにして、半導体積層体における光学損失を減らすことができる。代替的に又は付加的に、「半導体積層体の半導体材料外」とは、橋絡層がその外面を半導体積層体の半導体材料で完全に被覆されていないことを意味し得る。橋絡層は例えば、半導体積層体及び／又はその外面にて適用されてもよい。橋絡層は、例えば、多結晶性電子セラミックス材料を含有するか、又は多結晶性電子セラミックス材料からなってもよい。
【００２２】
有利な一構成では、橋絡層はパターニングされており、それぞれが互いに間隙部（interspaces）によって分離されている複数の橋絡領域を有し、これら間隙部内では、橋絡層が途切れている。
【００２３】
少なくとも１つの実施形態によれば、橋絡素子は半導体積層体に設けられている。「半導体積層体に配置されている」とは、この場合、及び、以下において、橋絡素子が半導体積層体と直接物理的に接触した位置にあることを意味し得る。特に、橋絡素子は、第１の半導体領域、活性ゾーン、及び／又は第２の半導体領域に直接隣接していてもよい。
【００２４】
好ましい一構成では、橋絡素子は第１の半導体領域と第２の半導体領域とを接続し、かつ／又は１つの半導体領域を対応するコンタクトと接続している。特に、橋絡素子は第１の半導体領域と第２の半導体領域とを直接的に接続し得る。この場合、橋絡素子が２つの半導体領域のうちの少なくとも１つと直接接触することができる。特に、橋絡素子はｐｎ接合部を被覆していてもよい。更に、橋絡素子は第１のコンタクトと第２のコンタクトとを接続してもよい。「被覆する」とは、この場合、及び、以下において、橋絡素子が、ｐｎ接合部の側方の平面視においてｐｎ接合部上に少なくとも部分的に被覆することを意味し得る。この場合、橋絡素子が第１の半導体領域から活性ゾーンを横切って第２の半導体領域に側方に延伸することが特に可能となる。「側方の平面視」とは、この場合、及び、以下において、特に、半導体積層体の主要延伸面と垂直の平面視であり得る。
【００２５】
好ましい構成では、橋絡素子は、半導体積層体上に形成される橋絡層を備える。橋絡層は半導体積層体と直接接触しているのが好ましい。橋絡層は第１のコンタクトから第２のコンタクトに延伸して、ｐｎ接合部を側方において被覆していてもよい。橋絡素子の電流／電圧挙動は特に、半導体積層体及び橋絡層の相互作用によって決定される。橋絡層は、例えば、第２の導電性タイプの第２の半導体領域とのオーム抵抗を有するコンタクト、及び第１の導電性タイプの第１の半導体領域との非線形抵抗を有するコンタクトを形成してもよい。ここでは、橋絡素子の電流／電圧挙動は、ショットキーダイオードの特性を有してもよい。特に、橋絡素子の降伏電圧は、順方向では半導体積層体の動作電圧を超え、逆方向では半導体積層体の降伏電圧を下回る。逆方向の放電パルスの場合、逆方向の放電パルスは有利に、活性ゾーンを介してではなく橋絡素子を介して放電される。更に、橋絡素子の電流／電圧挙動はバリスタの特性を有してもよい。有利に、バリスタの降伏電圧は、順方向及び逆方向の両方において、活性ゾーンの降伏電圧よりも低い。
【００２６】
少なくとも１つの実施形態によれば、半導体積層体は、キャリアに対向する第１の主面と、キャリアから遠い第２の主面と、第１及び第２の主面に対して或る角度で、すなわち、平行にではなく延伸する少なくとも１つの側面とを有する。第１及び第２の主面は、ここで半導体積層体の主要延伸面に沿って延伸してもよい。
【００２７】
好ましい一構成では、橋絡素子又は橋絡層は、半導体積層体の側面に配置されている。特に、橋絡素子又は橋絡層は第１及び第２の半導体領域と直接接触している。更に、橋絡素子又は橋絡層は、第１のコンタクトから、第１及び第２の半導体領域の側面を亘って、第２のコンタクトまで有利に延伸する。第１のコンタクトは、例えば、第２の主面上に配置されていてもよい。第２のコンタクトは、第１の半導体領域を越えてに突出する第２の半導体領域の一部の上に設けられていてもよい。この場合、２つのコンタクトの間の距離は、第２のコンタクトが第１の主面の上に配置される時よりも小さくなり、橋絡素子が第１のコンタクトから第２のコンタクトに延伸する長さもまた小さくなる。橋絡素子の抵抗は有利に、特に、その長さに影響され得る。
【００２８】
好ましい実施形態では、ｐｎ接合部は半導体積層体と橋絡素子及び／又は橋絡層との間に配置されている絶縁コーティングで被覆され、活性ゾーンは橋絡素子及び／又は橋絡層から電気的に絶縁されている。
【００２９】
更なる一構成では、橋絡素子は半導体積層体の内面上に設けられてもよい。半導体積層体は、例えば、内面によってその範囲が定められている凹部を備えてもよい。凹部は好ましくは、第１の主面から、第２の主面の方向に第１の半導体領域及び活性ゾーンを通り、第２の半導体領域内まで延伸する。特に、橋絡層は内面上に配置されている。更に、橋絡層は第１及び第２の半導体領域と直接接触していてもよい。それに加えて、橋絡層は有利に、特に第１の主面上に配置されている第１のコンタクトから延伸し、内面を越えて好ましくは凹部内に配置されている第２のコンタクトまで延伸してもよい。
【００３０】
少なくとも１つの実施形態によれば、発生した放射線の大部分は、半導体チップから第２の主面を通って取り出される。第２の主面は第１及び第２のコンタクトによって被覆されていないのが好ましい。言い換えると、第２の主面には、平面視では、第１及び第２のコンタクトがなくてもよい。これによって、有利に、両コンタクトによって引き起こされる吸収損失を減らすことができる。
【００３１】
好ましい一構成では、半導体積層体はキャリア側で通電される。これは、両コンタクトがキャリアに設けられることを意味する。
【００３２】
少なくとも１つの実施形態によれば、２つのコンタクトのうちの少なくとも１つはコンタクト素子を備える。第２のコンタクトは、例えば、半導体積層体の凹部に配置されているコンタクト素子を有してもよい。特に、コンタクト素子の周囲は橋絡素子によって囲まれている。橋絡素子は、凹部の範囲を定める半導体積層体の内面上のコーティングの形態で形成されていてもよい。通常の動作では、橋絡素子は、絶縁層の代わりになり得る。
【００３３】
好ましい一構成では、第１のコンタクトは、開口部によって中断されるコンタクト層を備える。第２のコンタクトのコンタクト素子は、第１のコンタクトのコンタクト層内の開口部を通って延伸するのが好ましい。特に好ましくは、コンタクト層と接続素子とは橋絡素子によって接続されている。
【００３４】
好ましい一構成では、第１のコンタクト及び第２のコンタクトは、それぞれ、コンタクト層を備え、それらコンタクトは橋絡素子によって接続されている。特に、第１のコンタクトのコンタクト層はキャリアと第１の半導体領域との間に配置されている。更に、第２のコンタクトのコンタクト層もまた、キャリアと第１の半導体領域との間に配置されていてもよい。
【００３５】
通常の動作では、すなわち、降伏電圧未満では、半導体チップの橋絡素子は導電性ではなく、絶縁体として作用して有利に絶縁層と置き換わることができる。降伏電圧に到達すると、橋絡素子は有利に導電性となり、橋絡素子を介して電荷が放電され得る。このようにして、ｐｎ接合部を、損傷を引き起こす放電パルスから保護することができる。
【００３６】
有利な一構成では、半導体積層体の表面は、橋絡素子が形成される箇所で前処理されている。例えば、半導体積層体の局所的なパッシベーション、プラズマ処理、又は局所的なエッチングを行って、特に、半導体積層体と橋絡素子との間の接合部での導電性に影響を与えてもよい。
【００３７】
概して、橋絡素子の電流／電圧挙動は、橋絡素子についての好適な材料選択、及び／又は半導体積層体の好適な前処理、及び／又は好適な幾何学によって、所望のように調節され得る。
【００３８】
少なくとも１つの実施形態によれば、橋絡素子はキャリアに設けられる。
【００３９】
好ましい一構成では、キャリアは基礎部を備える。更に、キャリアは好ましくは、第１又は第２のコンタクトに電気的に接続されている、少なくとも１つの接続素子を備える。言い換えると、少なくとも１つのコンタクトは、特に、キャリア及び／又は接続素子によって電気的に接続されている。接続素子は、少なくとも部分的に基礎部に埋め込まれていてもよく、かつ／又は基礎部に配置されていてもよい。
【００４０】
有利な一構成では、キャリアは第１及び第２の接続素子を備え、これら接続素子は橋絡素子によって互いに接続されている。ここでの接続は、特に機械的接合であってもよい。付加的に、第１及び第２の接続素子が、それぞれ、橋絡素子に直接隣接することができる。特に、第１の接続素子は第１のコンタクトと電気的に接続され、第２の接続素子は第２のコンタクトと電気的に接続されている。好ましくは、接続素子及び第２の接続素子は、半導体チップが順方向に動作している場合には、互いに橋絡素子によって電気的に絶縁されている。この場合、橋絡素子は、第１と第２の接続素子との間に配置されることができ、第１及び／又は第２の接続素子の、対応する他の接続素子に対向する全ての外面を被覆することができる。更に、橋絡素子は、降伏電圧に逆方向において到達すると有利に導電性となり、電荷が半導体チップからキャリアを介して放電され得る。
【００４１】
少なくとも１つの実施形態によれば、第１の接続素子は、基礎部の前面から後面まで延伸し、第１のコンタクトに電気的に接続されている第１の貫通ビアを備える。更に、第２の接続素子は、上記前面から上記後面まで延伸し、第２のコンタクトと電気的に接続される第２の貫通ビアを備えてもよい。
【００４２】
更に、第１の接続素子は、基礎部上に配置された第１の接続層を備えていてもよく、第１の接続層は、第１のコンタクトと電気的に接続されている。第２の接続素子は、基礎部に配置された第２の接続層を備えていてもよく、第２の接続層は、第２のコンタクトと電気的に接続されている。
【００４３】
少なくとも１つの実施形態によれば、基礎部は橋絡素子によって形成されている。或いは、橋絡素子を基礎部の前面又は後面上に配置してもよい。
【００４４】
記載される構成オプションの全てにおいて、橋絡素子が、半導体積層体に対して設けられるかキャリアに対して設けられるかにかかわらず、半導体チップに組み込まれている結果、半導体チップは、有利に小型の構成となる。
【００４５】
更に、本明細書に記載のオプトエレクトロニクス半導体チップでは、橋絡素子は、その電気的挙動への実質的な変化なく、複数の過電圧に耐えることができる。このようにして、静電気放電及び／又は電気過負荷に対する半導体チップの安定性を向上させることができる。それに加え、外部の保護素子を不要とすることで、製造費用を抑えることができる。
【００４６】
更なる利点、有利な実施形態、及び更なる発展形態を、図１〜図１８を参照して以下に記載される例示的な実施形態によって明らかにする。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本明細書に記載のオプトエレクトロニクス半導体チップの様々な例示的な実施形態の概略断面図である。
【図２】本明細書に記載のオプトエレクトロニクス半導体チップの様々な例示的な実施形態の概略断面図である。
【図３】本明細書に記載のオプトエレクトロニクス半導体チップの様々な例示的な実施形態の一部の概略断面図である。
【図４】例示的な一実施形態に係る、本明細書に記載のオプトエレクトロニクス半導体チップの一部の概略断面図である。
【図５Ａ】例示的な一実施形態に係る、本明細書に記載のオプトエレクトロニクス半導体チップの一部の、あり得る等価回路図である。
【図５Ｂ】例示的な一実施形態に係る、本明細書に記載のオプトエレクトロニクス半導体チップの一部の、あり得るさらなる等価回路図である。
【図６】本明細書に記載のオプトエレクトロニクス半導体チップの様々な例示的な実施形態の概略断面図である。
【図７】本明細書に記載のオプトエレクトロニクス半導体チップの様々な例示的な実施形態の概略断面図である。
【図８】本明細書に記載のオプトエレクトロニクス半導体チップの様々な例示的な実施形態の概略断面図である。
【図９】本明細書に記載のオプトエレクトロニクス半導体チップの様々な例示的な実施形態の概略断面図である。
【図１０】本明細書に記載のオプトエレクトロニクス半導体チップの様々な例示的な実施形態の概略断面図である。
【図１１】本明細書に記載のオプトエレクトロニクス半導体チップの様々な例示的な実施形態の概略断面図である。
【図１２】本明細書に記載のオプトエレクトロニクス半導体チップの様々な例示的な実施形態の概略断面図である。
【図１３】本明細書に記載のオプトエレクトロニクス半導体チップの様々な例示的な実施形態の概略断面図である。
【図１４】本明細書に記載のオプトエレクトロニクス半導体チップの様々な例示的な実施形態の概略断面図である。
【図１５】本明細書に記載のオプトエレクトロニクス半導体チップの様々な例示的な実施形態の一部の概略断面図である。
【図１６】多層橋絡素子の様々な例示的な実施形態の一部の概略断面図である。
【図１７】多層橋絡素子の様々な例示的な実施形態の一部の概略断面図である。
【図１８】複数の半導体層積層体を有する構成の概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００４８】
図１は、第１の導電性タイプの第１の半導体領域３と第２の導電性タイプの第２の半導体領域４とを有する半導体積層体２を備える、オプトエレクトロニクス半導体チップ１の例示的な実施形態を示す。特に、第１の半導体領域３はｐ型導電性領域であり、第２の半導体領域４はｎ型導電性領域である。第１の半導体領域３と第２の半導体領域４との間に、ｐｎ接合部を有する活性ゾーン５が形成されている。特に、活性ゾーン５は放射線を発生させるために設けられている。半導体積層体２は窒化物化合物半導体から形成されているのが好ましい。
【００４９】
更に、オプトエレクトロニクス半導体チップ１はキャリア６を備え、キャリア６上に半導体積層体２が配置されている。キャリア６は、例えば、サファイヤを含有していてもよく、サファイヤからなっていてもよい。このようなキャリア６は、窒化物化合物半導体から形成されている半導体積層体２を成長させるのに特に好適である。また、このようなキャリア６は、放射線が半導体チップ１からキャリア６を通って取り出され得るように、活性ゾーン５によって発生する放射線に対して有利に透過的である。
【００５０】
半導体積層体２は、活性ゾーン５のキャリア６と対向する側に配置されている第１の主面２Ａを備える。更に、半導体積層体２は、活性ゾーン５のキャリア６から遠い面に配置されている第２の主面２Ｂを備える。それに加え、半導体積層体２は主面２Ａ，２Ｂを横断して配置されている複数の側面２Ｃを備える。
【００５１】
オプトエレクトロニクス半導体チップ１は、第１の半導体領域３の電気的接続のために設けられている、特にｐ型コンタクトである第１のコンタクト７と、第２の半導体領域４の電気的接続のために設けられている、特にｎ型コンタクトである第２のコンタクト８とを備える。第１のコンタクト７は第２の主面２Ｂ上に配置されている。第２のコンタクト８は、第１の半導体領域３を超えて突出する第２の半導体領域４のサブ領域４Ａ上に配置されている。
【００５２】
オプトエレクトロニクス半導体チップ１は、半導体積層体２の側面２Ｃに配置されている橋絡素子９を備える。橋絡素子９は、半導体積層体２の外側に配置されている橋絡層９Ａを備える。橋絡層９Ａは活性ゾーン５のｐｎ接合部を被覆している。橋絡層９Ａは第１のコンタクト７から第２のコンタクト８まで、追加的に延伸する。
【００５３】
橋絡素子９の電流／電圧挙動は、特に、半導体積層体２と橋絡層９Ａとの相互作用によって決定され得る。橋絡層９Ａは、ここでは、例えば第２の半導体領域４とのオーム抵抗を有するコンタクト、及び第１の半導体領域３との非線形抵抗を有するコンタクトを形成してもよい。橋絡素子９は特に、ショットキーダイオードの特性を有する。橋絡層９Ａは、例えば、金属又は金属化合物を含有してもよく、金属又は金属化合物からなっていてもよい。好適な材料の例としては、Ｔｉ，Ａｇ，Ｐｔ，Ａｕ，又はＣｕが挙げられる。特に、橋絡素子９の降伏電圧は、順方向では半導体積層体２の動作電圧を越え、逆方向では半導体積層体２の降伏電圧を下回る。逆方向で降伏電圧に到達する場合、電荷は、活性ゾーン５を介してではなく、橋絡素子９を介して有利に放電される。
【００５４】
更に、橋絡素子９はバリスタの特性を有してもよい。有利に、バリスタの降伏電圧は、半導体積層体２の降伏電圧を、順方向と逆方向との両方で下回り、降伏電圧に到達する場合、電荷は、活性ゾーン５を介してではなく、橋絡素子９を介して有利に放電される。
【００５５】
橋絡素子９及び／又は橋絡層９Ａは特に、多結晶性電子セラミックス材料を含有する。好適な電子セラミックス材料は、例えば、焼結半導体材料である。橋絡素子９の材料としては、酸化亜鉛、酸化ストロンチウム、チタン酸ストロンチウム、酸化チタン、及び炭化ケイ素が特に考えられ得る。更に、橋絡素子は、例えば酸化ビスマス、酸化アンチモン、酸化コバルト、酸化マンガン、酸化ニッケル、酸化クロム、又は酸化シリコンなどの酸化物といった材料添加物を含んでもよい。有利に、これらの材料添加物の１つ以上によって、橋絡素子９の非線形抵抗挙動を意図的に調整し得る。
【００５６】
半導体積層体２の側面２Ｃは、橋絡層９Ａを形成する前に前処理され得る。例えば、半導体積層体のパッシベーション、プラズマ処理、又はエッチングを行って、橋絡素子９の電気抵抗を意図的に調整してもよい。更に、橋絡素子９の電気抵抗に、橋絡層９Ａの長さＬによって意図的に影響を与えてもよい。
【００５７】
図２に示す更なる例示的な実施形態に係るオプトエレクトロニクス半導体チップ１は、凹部１０を有する半導体積層体２を備える。凹部１０の範囲は半導体積層体２の内面２Ｄ、及び追加的に半導体積層体２の底面２Ｅによって、外縁によって定められている。凹部１０は第１の主面２Ａから、第１の半導体領域３及び活性ゾーン５を通り、第２の半導体領域４内まで延伸する。特に、凹部１０は中心に配置されている。更に、凹部１０は円錐台の形態を取ってもよい。橋絡素子９は内面２Ｄに配置されている。橋絡素子９は橋絡層９Ａを備え、橋絡層９Ａは活性ゾーン５を被覆している。
【００５８】
第１のコンタクト７は第１の主面２Ａに配置されている。第１のコンタクト７は、第１の主面２Ａ上のコーティングとして形成されている。更に、第２のコンタクト８は半導体積層体２の底面２Ｅに配置され、特にコーティングとして形成されている。橋絡層９Ａは第１のコンタクト７から、内面２Ｄに亘って、第２のコンタクト８まで延伸している。橋絡層９Ａは、図１の例示的な実施形態と併せて既に述べた材料を有利に含み、記載した電流／電圧挙動を示す。したがって、通常の動作では、主に電流は活性ゾーン５を通って流れるが、過電圧の場合は、電流が橋絡素子９を介して放電されることにより、活性ゾーン５が保護される。
【００５９】
半導体積層体２は、特に半導体積層体２の成長に用いられた成長基板とは異なるキャリア６上に配置されている。キャリア６は、好ましくは金属又は金属化合物から形成されている。キャリア６は、例えば、金属出発層のガルバニック補強（galvanic reinforcement）によって製造されている。キャリア６は有利に導電性であり、第２のコンタクト８の電気的接触に使用される。キャリア６は凹部１０内まで延伸してもよい。
【００６０】
半導体チップ１は絶縁層１１を備え、絶縁層１１は第１の主面７と内面２Ｄに対向する表面上でキャリア６を被覆している。絶縁層１１は、第１のコンタクト７とキャリア６との間の電気的接続を防止する。
【００６１】
この例示的な実施形態では、活性ゾーン５において発生した放射線の大部分は半導体チップ１から第２の主面２Ｂを通って取り出される。半導体積層体２は有利に第２の主面２Ｂにパターニング、特に粗面化部を備える。これは光取出し効率（outcoupling efficiency）を改善し得る。
【００６２】
図１及び図２に示す例示的な実施形態では、橋絡素子９及び／又は橋絡層９Ａはそれぞれ半導体積層体２に配置されている。
【００６３】
図３は、図１及び図２に示す例示的な実施形態の、あり得る変形形態を示す。ここで活性ゾーン５は、活性ゾーン５が橋絡素子９から電気的に絶縁されるように、半導体積層体２と橋絡素子９との間に配置されている絶縁コーティング１２によって側方において被覆されていてもよい。
【００６４】
図４は、例えば図１及び図２に示す例示的な実施形態のうちの１つに係る半導体チップの、活性ゾーン５の領域における一部分を示す。橋絡素子９は、非線形抵抗及びオーム抵抗を、橋絡層９Ａと半導体積層体２との相互作用によって備え得る。非線形抵抗はショットキーダイオードの特性を有してもよい。等価回路図では、橋絡素子９の電流／電圧挙動は、オーム抵抗と、オーム抵抗に直列接続されるダイオードとによって表されてもよい。更に、活性ゾーン５の電流／電圧挙動はダイオードで表される。半導体チップ１については、結果として、ダイオードがショットキーダイオードと逆並列に、そしてオーム抵抗と並列に接続される回路構成が得られる（図５Ａを参照）。
【００６５】
更に、橋絡素子９はバリスタの特性を有してもよく、結果としてダイオードがバリスタと並列接続される回路構成が得られる（図５Ｂを参照）。
【００６６】
図６は、オプトエレクトロニクス半導体チップ１の更なる例示的な実施形態を示す。ここでは、半導体積層体２はキャリア側で通電される。特に、キャリア６は導電性であり、２つの半導体領域３，４のうちの１つ、好ましくは第２の半導体領域４との電気的接触に使用される。この目的のために、キャリア６は電気的に第２のコンタクト８と接続されている。第２のコンタクト８は、キャリア６と電気的及び機械的に接続され、キャリア６の半導体積層体２に対向する前面を被覆するコンタクト層８Ａを備える。更に、第２のコンタクト８は、コンタクト層８Ａと接続し、かつ、コンタクト層８Ａを横断して、特にコンタクト層８Ａに対して垂直に配置されている、複数のコンタクト素子８Ｂを備える。
【００６７】
半導体積層体２は、第１の主面２Ａから第１の半導体領域３及び活性ゾーン５を介し、第２の半導体領域４内まで延伸する複数の凹部１０を備える。好ましくは、コンタクト素子８Ｂがそれぞれの凹部１０内に配置されている。
【００６８】
更に半導体チップ１は、コンタクト層７Ａ及びコンタクトパッド７Ｂを備える第１のコンタクト７を備える。コンタクト層７Ａは第２のコンタクト８のコンタクト層８Ａと半導体積層体２との間に配置されている。特に、第１のコンタクト７のコンタクト層７Ａは第１の半導体領域３と直接接触している。有利に、コンタクト層７Ａは第１の半導体領域３の電気的接触に使用される。
【００６９】
コンタクト層７Ａは複数の開口部１３を備え、特に、１つの開口部１３がそれぞれ、１つの凹部１０の領域に配置されている。好ましくは、第２のコンタクト８の１つのコンタクト素子８Ｂがそれぞれ、コンタクト層７Ａ内の１つの開口部１３を通って延伸している。
【００７０】
半導体チップ１は、第１のコンタクト７のコンタクト層７Ａと第２のコンタクト８のコンタクト層８Ａとの間に配置されている橋絡層９Ａを備える、橋絡素子９を備える。橋絡素子９及び／又は橋絡層９Ａは、電子セラミックス材料及び／又は金属酸化物で形成されていてもよい。したがって、通常の動作では、２つのコンタクト層７Ａ，８Ａは互いに橋絡層９Ａによって電気的に絶縁されている。
【００７１】
橋絡素子９は、凹部１０と開口部１３内に配置されている更なる橋絡層９Ａを備える。特に、各コンタクト素子８Ｂの周囲は橋絡層９Ａで囲まれている。通常の動作では、それぞれのコンタクト素子８Ｂの周囲はコンタクト層７Ａと半導体積層体２から電気的に絶縁されていてもよい。
【００７２】
コンタクトパッド７Ｂは、半導体積層体２を超えて突出するコンタクト層７Ａのサブ領域上に配置されている。コンタクトパッド７Ｂは導電体１４と接続されていてもよい。
【００７３】
図７は、オプトエレクトロニクス半導体チップ１の更なる例示的な実施形態を示す。この場合では、半導体積層体２は、図６に示す例示的な実施形態におけるように、キャリア側で通電される。しかしながら、キャリア６は電気的に絶縁的であるように配置されている。第１及び第２のコンタクト７，８はそれぞれコンタクト層７Ａ，８Ａを備え、これらコンタクト層７Ａ，８Ａはキャリア６上に半導体積層体２を超えて突出して配置されている。これらコンタクト層７Ａ，８Ａはそれぞれ、導電体１４を用いて半導体積層体２によって被覆されていないコンタクト層７Ａ，８Ａの空き領域上にて接続され得る。
【００７４】
この例示的な実施形態では、橋絡素子９は第２のコンタクト８のほぼ完全な封止部を形成する。コンタクト素子８Ｂの端部と、導電体１４が接続されているコンタクト層８Ａの空き領域だけが橋絡素子９で被覆されておらず、通常の動作では、電流は第２の半導体領域４に、導電体１４と第２のコンタクト８を介して印加され得る。
【００７５】
半導体積層体２がキャリア側で通電される、オプトエレクトロニクス半導体チップ１の更なる例示的な実施形態を図８に示す。この場合では、キャリア６は基礎部１５に加え、第１のコンタクト７の電気的接触のための第１の接続素子１６と、第２のコンタクト８の電気的接触のための第２の接続素子１７とを備える。２つの接続素子１６，１７はそれぞれ、接続層１６Ａ，１７Ａ、及び複数の貫通ビア１６Ｂ，１７Ｂを備える。接続層１６Ａ，１７Ａは、基礎部１５の半導体積層体２から遠い後面上に配置されている。貫通ビア１６Ｂ，１７Ｂは、半導体積層体２に対向する基礎部１５の前面から基礎部１５の後面まで延伸している。半導体積層体２は接続素子１６，１７を介して通電され得る。基礎部１５は絶縁性材料を含有するのが好ましい。
【００７６】
橋絡素子９は第２のコンタクト８と第１のコンタクト７との間に、そして第２のコンタクト８と半導体積層体２との間に配置され、通常の動作では絶縁体として使用される。過電圧の場合では、橋絡素子９は導電性となり、電荷は、半導体チップ１から、橋絡素子９とキャリア６とを介して放電され得る。
【００７７】
図９に示すオプトエレクトロニクス半導体チップ１の例示的な実施形態は、図６〜図８に示す例示的な実施形態の場合でも実施可能な橋絡素子９の変形形態を示す。
【００７８】
この場合では、コンタクト素子８Ｂの周囲を囲む橋絡層９Ａは、パッシベーション層１８に置き換えられている。特に、パッシベーション層１８は通常の動作及び過電圧の場合のいずれにおいても導電性ではなく、過電圧の場合では、電荷は２つのコンタクト層７Ａ、８Ａの間に設けられる橋絡素子９を介してのみ放電されることができる。
【００７９】
或いは、２つのコンタクト層７Ａ，８Ａの間に配置されている橋絡層９Ａが、図１０に示すオプトエレクトロニクス半導体チップ１の例示的な実施形態に示すように、パッシベーション層１８に置き換えられてもよい。
【００８０】
図１１〜図１３は、キャリア側で通電されるオプトエレクトロニクス半導体チップ１の更なる例示的な実施形態を示す。更に、図１１〜図１３に示す例示的な実施形態に係る橋絡素子９はパターニングされている。特に、橋絡素子９は、間隙部１９によって互いに分離される複数の橋絡領域９Ｂを備える。図示の例示的な実施形態の場合では、橋絡領域９Ｂは第１の主面２Ａに配置され、第１の主面２Ａは橋絡領域９Ｂによって部分的に被覆されている。例えば、２つのコンタクト７、８のうちの１つ、好ましくは第１のコンタクト７は、間隙部１９内まで延伸する。接触抵抗を低下させるために、導電層２０を、半導体積層体２と、間隙部１９内に配置されているコンタクト７，８との間に配置してもよい。好ましくは、導電層２０は透明導電性酸化物から形成されている。通常の動作では、電流は半導体積層体２に間隙部１９を介して印加される。降伏電圧に到達する場合、放電パルスは特に橋絡領域９Ｂを介して放電され、活性ゾーン５が保護され得る。
【００８１】
図１１に示す例示的な実施形態では、第２のコンタクト８の一部が設けられている凹部１０が、半導体積層体２の中心箇所に配置されている。更に、第１のコンタクト７は開口部１３を有するコンタクト層７Ａを備え、開口部１３内に第２のコンタクト８の更なる部分が配置されている。第２のコンタクト８はキャリア６上に配置されている接続層１７Ａまで延伸し、接続層１７Ａと機械的及び電気的に接続されている。特に、接続層１７Ａは同時に、半導体積層体２をキャリア６に固定することに使用されている。特に、キャリア６は導電性である。
【００８２】
第１のコンタクト７とキャリア６との間に橋絡素子９の橋絡層９Ａが配置されている結果、通常の動作では第１のコンタクト７はキャリア６から電気的に絶縁されている。コンタクト領域７Ｂが、半導体積層体２によって被覆されていないコンタクト層７Ａの領域に設けられている。この例示的な実施形態では、第１のコンタクト７は、コンタクト層７Ａに加えて、特に反射性である更なる層２２を備える。反射層２２はまた、第２のコンタクト８と、第２のコンタクト８を囲む橋絡層９Ａとの間に配置されていてもよい。概して、第２の主面２Ｂを介して出射される放射線の光取出し効率は、反射層２２によって改善され得る。
【００８３】
図１２に示す例示的な実施形態では、２つのコンタクトのうちのコンタクト領域７Ｂ，８Ｃが半導体積層体２の横方向において反対側に配置されている。この場合では、キャリア６は特に電気的に絶縁性の構成であってもよい。
【００８４】
図１３に示す例示的な実施形態では、第１のコンタクト７はキャリア６と電気接続されている。更に、キャリア６は特に導電性であり、半導体積層体２はキャリア６と第１のコンタクト７とを介して電気的に接続されてもよい。
【００８５】
図１４は、橋絡素子９がキャリア側に設けられているオプトエレクトロニクス半導体チップ１の更なる例示的な実施形態を示す。特に、橋絡素子９は橋絡層９Ａを含み、橋絡層９Ａはキャリア６の基礎部１５を形成している。接続素子１６，１７の貫通ビアが、基礎部１５に埋め込まれている。
【００８６】
図１５に示すキャリア６の例示的な実施形態では、橋絡素子９はキャリア側に配置されている。橋絡素子９はキャリア６の一部であり、基礎部１５の前面に設けられている。半導体積層体は橋絡素子９上に配置されていてもよい。或いは、橋絡素子９は、完成した半導体チップでは半導体積層体から遠い、基礎部１５の後面上に配置されていてもよい。接続素子の貫通ビア１６Ｂ，１７Ｂが、橋絡素子９に埋め込まれている。例えば、キャリア６は半導体材料、好ましくはシリコンからなっていてもよい。
【００８７】
図１６は、第１のコンタクトのコンタクト領域７Ｂを第２のコンタクトのコンタクト素子８Ｂと接続するか、又は２つの貫通ビア１６Ｂ，１７Ｂ同士を接続する橋絡素子９の例示的な実施形態を示す。橋絡素子９は、境界面９Ｃによって互いから分離されている複数の橋絡層９Ａを備える。特に、境界面９Ｃでの材料添加物の濃度は、隣接する橋絡層９Ａでの濃度よりも高い。降伏電圧に到達する場合、降伏は、境界面９Ｃを、特に横切って、好ましくは境界面９Ｃに対して垂直に進行する（矢印を参照）。この例示的な実施形態では、降伏は水平方向に進行する。水平方向は、キャリアが延伸する面に特に平行である。
【００８８】
図１７は、降伏が垂直方向（矢印を参照）に進行する橋絡素子９の例示的な実施形態を示す。垂直方向は、特に、キャリアが延伸する面に対して垂直である。橋絡素子９は、第１のコンタクトのコンタクト層７Ａを第２のコンタクトのコンタクト層８Ａに、又は第１の接続素子の接続層１６Ａを第２の接続素子の接続層１７Ａに接続している。橋絡素子９は、それぞれ境界面９Ｃによって互いから分離されている、複数の橋絡層９Ａを備える。特に、境界面９Ｃでの材料添加物の濃度は、隣接する橋絡層９Ａにおける濃度よりも高い。
【００８９】
図１８は、共通のキャリア６に配置されている、複数の半導体層スタック２００を有する構成の例示的な実施形態を示す。個々の半導体層スタック２００は既に記載の半導体チップと同様の構造を有する。半導体層スタック２００とキャリア６との間に、導電性接着層２１が配置されている。これによって、１つの半導体層スタック２００の第１のコンタクト７が、隣接する半導体層スタック２００の第２のコンタクト８に接続されている。このようにして、半導体層スタック２００は直列接続されている。特に、橋絡素子９は、接着層２１と、接着層２１に隣接しているそれぞれのコンタクト７、８との間に配置されている。
【００９０】
本発明は例示的な実施形態を参照して提供される記載に限定されない。むしろ、本発明は、いかなる新規の特徴及び、特に請求項に含まれる特徴の任意の組み合わせを含むいかなる特徴の組み合わせをも、その特徴又は組み合わせが請求項又は例示的な実施形態にて明示的に示されていない場合でも包含する。
【００９１】
本特許出願は、その内容が本明細書に参照によって援用される独国特許出願第１０２０１３１１２８８１．５号の優先権を主張し、その開示内容は参照によって本明細書に援用される。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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