(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を載置して搬送する搬送部と、
前記搬送部から搬送された基板上に、第１樹脂シートおよび第２樹脂シートで挟んだ太陽電池セルを積層し、積層体を形成する積層部と、
前記積層部から前記搬送部によって搬送されてくる積層体を加熱及び加圧して太陽電池モジュールを形成する加熱加圧部とを備え、
基板と、前記第１樹脂シートと、太陽電池セルと、前記第２樹脂シートとを積層して、加熱加圧して硬化させ樹脂封止を行う太陽電池モジュール製造装置であって、
前記加熱加圧部よりも上流側に配置され、
前記第１樹脂シートおよび前記第２樹脂シートを引き延ばして薄肉化する薄肉化部を有する、
ことを特徴とする太陽電池モジュール製造装置。
【請求項２】
前記薄肉化部は、
前記第１樹脂シートおよび前記第２樹脂シートに、加熱された空気を吹き付け軟化させる加熱部を有し、
前記加熱部で加熱しながら前記第１樹脂シートおよび前記第２樹脂シートを引き延ばし、薄肉化する、
ことを特徴とする請求項１に記載の太陽電池モジュール製造装置。
【請求項３】
前記薄肉化部は、
前記第１樹脂シートおよび前記第２樹脂シートに、加熱された剛体を押し当てることで薄肉化させる押し当て部を有する、
ことを特徴とする請求項１に記載の太陽電池モジュール製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽電池モジュール製造装置に係り、特に封止樹脂を薄肉化し加熱加圧するラミネート装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般的な太陽電池モジュールは、太陽電池セル積層体、フレーム等から構成される。太陽電池セル積層体は、透光性基板上に樹脂シート、太陽電池セル、樹脂シート、ＰＥＴなどの耐水樹脂シートを積層し、ラミネート装置で加熱加圧処理し、各部材を密着させたものである。
【０００３】
従来、太陽電池モジュールの製造に用いられるラミネート装置としては各種のものが開示されている。例えば、特許文献１に開示された装置では、上室と下室との間にダイヤフラムを挟着しておき、下室に設けられた載置板を、載置板の下位空所に内設した加熱冷却部によって熱交換自在とし、当該載置板上に加工すべき太陽電池セル等を含む被加工物が載置される。
【０００４】
次に、コックを開いてバキュームポンプにより上室内を抽気することにより負圧とし、加熱冷却部により載置板を加熱することで被加工物を加熱する。さらに、下室をコックの開成で負圧とすることで、被加工物から発生した気泡を外部に排出した後、コックを開成して上室内を大気圧とする。上室内を大気圧とすることで、ダイヤフラムを被加工物に押圧させる。そして一定時間後に加熱冷却部により載置板を冷却し、コックを開いて下室内を大気圧とする。以上のようにして下室内を大気圧とすることにより上室と下室を分離して、加工済の太陽電池モジュールを取り出すこととなる。しかし、従来のラミネート装置では、太陽電池モジュールを薄肉軽量化するためには、ダイヤフラムで押圧する加圧力を高くする必要があり、大気圧で押圧する場合加圧力に上限がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第３０９９２０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
前述したようなラミネート装置にあっては、太陽電池セルを樹脂シートで挟み、ガラス等の光透過性材料上に積層したものを真空中で加熱加圧することで、薄く密着させたモジュールを製造している。樹脂シートサイズをより薄肉化するためには、加圧力を高圧力化する必要があり、高圧力化によって太陽電池セル破損の確率が増加し製造歩留まりが低下するという問題があった。
【０００７】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、セル割れを生じることなく、薄型の太陽電池モジュールを得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の太陽電池モジュール製造装置は、基板を載置して搬送する搬送部と、搬送部から搬送された基板上に、第１樹脂シートおよび第２樹脂シートで挟んだ太陽電池セルを積層し、積層体を形成する積層部と、前記積層部から前記搬送部によって搬送されてくる積層体を加熱及び加圧して太陽電池モジュールを形成する加熱加圧部とを備え、基板と、前記第１樹脂シートと、太陽電池セルと、前記第２樹脂シートとを積層して、加熱加圧して硬化させ樹脂封止を行うものにおいて、加熱加圧部よりも上流側に配置され、加熱加圧に先立ち、前記第１樹脂シートおよび前記第２樹脂シートを引き延ばして薄肉化する薄肉化部を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、積層段階で樹脂シートを引き延ばしておくことで過度な加圧を避けることができ、ラミネート装置の高圧力化が避けられ、セル割れリスクを減少し歩留向上をはかることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、実施の形態１の太陽電池モジュール製造装置を構成するラミネート装置の構成図である。
【図２】図２は、図１における樹脂シート薄肉化部のＡ−Ａ断面図である。
【図３】図３は、図１におけるラミネート装置内の搬送部のＢ−Ｂ断面図である。
【図４】図４は、図１における吸着部のＣ−Ｃ面から見た説明図である。
【図５】図５は、加熱加圧に用いられる加熱加圧部を示す説明図である。
【図６】図６（ａ）〜（ｅ）は、太陽電池モジュールの製造方法を示す工程断面図である。
【図７】図７は、図６の製造工程で形成された太陽電池モジュールを示す斜視図である。
【図８】図８は、太陽電池モジュールの製造工程を示すフローチャートである。
【図９】図９は、実施の形態２によるラミネート装置の構成図である。
【図１０】図１０は、図９における薄肉化部の構成図である。
【図１１】図１１は、本発明の実施の形態３によるラミネート装置の構成図である。
【図１２】図１２は、図１１における樹脂シート引き延ばし装置の構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下に、本発明にかかる太陽電池モジュール製造装置の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本実施の形態により本発明が限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。また、以下に示す図面においては、理解の容易のため各層あるいは各部材の縮尺が現実と異なる場合があり、各図面間においても同様である。また、断面図であっても、図面を見易くするためにハッチングを付していない場合がある。
【００１２】
実施の形態１．
図１は本発明の実施の形態１による太陽電池モジュール製造装置を構成するラミネート装置の構成図、図２は図１における樹脂シート薄肉化部のＡ−Ａ断面図、図３は図１におけるラミネート装置内の搬送部のＢ−Ｂ断面図、図４は図１における吸着部のＣ−Ｃ面から見た説明図であり、一部は断面図となっている。図５は加熱加圧に用いられる加熱加圧部を示す説明図である。図１のラミネート装置は、基板としてのガラス基板４上に、樹脂シート３ａ、太陽電池セル１、樹脂シート３ｂ、裏面保護材である保護シート５を順次積層し、積層体を形成する積層部５０よりも上流側に、樹脂シートを引き延ばして薄肉化する薄肉化部１０を有し、薄肉化部１０であらかじめ薄肉化された樹脂シート３ａを積層し、加熱加圧部４０で封止するものである。加熱加圧部４０に被加工物を搬送する搬送部２０と、加熱加圧部４０での加熱加圧加工前に樹脂シート３ｐを引き延ばして薄い樹脂シートを形成する薄肉化部１０と、引き延ばし前の樹脂シート３ｐあるいは引き延ばして薄肉化された樹脂シート３ａを吸着し薄肉化部１０あるいは積層部５０に搬送する吸着部３０とを具備している。図１では、樹脂シート３ａは、薄肉化部１０で引き延ばされ、積層部５０に搬送すべく吸着部３０に把持され、搬送部２０に移される前の状態を示している。また図１では、樹脂シート３ａについて図示しているが、樹脂シート３ｂについても同様の処理を行う。
【００１３】
薄肉化部１０は、搬送部２０の上部に設けられており、図２に示すように、加熱部１１、引き延ばし部１２を備えている。加熱部１１は、筒状の送風管で構成され、送風管内部または外周部にヒーター１３を設置し、送風機１４で送出した空気をヒーター１３により加熱し温度上昇させる機構であり、ヒーター１３により暖められた空気を樹脂シート３ａに吹き付けることで、樹脂シート３ａの温度を上昇させる。加熱部１１には排出口に可動式のルーバー１５が取り付けられており送風方向を変化させ均一に樹脂シート３ａの温度を上昇させることができる。また、送風のみ行うことによって樹脂シート３ａの冷却も可能である。引き延ばし部１２は、アームの先端にチャックを備えており樹脂シート３ｐを挟み込んで固定、アームを前後左右に伸ばし軟化した樹脂シート面積を拡大する。あるいは、加熱された空気の吹付方向によって、樹脂シート３ｐを下方に湾曲させ、凹部を形成することも可能である。なお、図１および２では樹脂シート３ａのみが図示されているが、薄肉化部１０では、同様の処理を行い、それぞれガラス基板４側および保護シート５側に配する薄肉化された樹脂シート３ａ、３ｂを得る。
【００１４】
搬送部２０は、図３に示すように、ローラー２１が回転軸２３で支持され、回転軸２３はフレーム２４に固定されている。フレーム２４には固定具２２が設けられており、被加工物を固定し引き延ばした樹脂シート３ａおよび３ｂを積層して積層体１００Ｓを形成する際に積層ずれを防止する。ここでは樹脂シート３ａについて図示しているが、樹脂シート３ｂについても同様である。
【００１５】
吸着部３０は、図４に示すように、吸着ヘッド３４を備えており、樹脂シートを１枚毎に薄肉化部１０に搬送するとともに、薄肉化部１０で薄肉化された樹脂シートを積層部５０に搬送することができる。吸着ヘッド３４は、可動式の回転アーム３２の先に接続部３３を介して設けられており、回転アーム３２は、回転式の支柱３１に固定されている。回転アーム３２は複数の関節部により、前後上下に可動可能である。これにより、供給場所または加工物である積層体上に積層された樹脂シートを吸着ヘッド３４で吸着することができる。吸着部３０は樹脂シート３ｐを吸着し、供給場所または被加工物から薄肉化部１０に搬送し、引き延ばし加工後、薄肉化部１０から被加工物上に樹脂シート３ａを搬送して積層する。ここでも樹脂シート３ａについて図示しているが、樹脂シート３ｂについても同様である。
【００１６】
加熱加圧部４０は、図５に示すように、上室４１ａと下室４１ｂとの間にダイヤフラム４３を狭着しており、下室４１ｂに設けられた載置板４４と載置板４４の下部に設けた加熱冷却機構４５によって温度上昇、下降が自在にできるようになっており、載置板４４上に被加工物である積層体１００Ｓが配置される。上室４１ａ、下室４１ｂはコック４２ａ、コック４２ｂをそれぞれ経由してバキュームポンプ４６に接続されている。また、上室４１ａ、下室４１ｂにはそれぞれコック４２ｃ、コック４２ｄが設けられ、これらコック４２ｃ、コック４２ｄを開くことにより、大気が流入するようになっている。コック４２ａを開きバキュームポンプ４６により上室４１ａ内を負圧とし、加熱冷却機構４５により載置板４４を加熱することで、載置板４４の上に配置された被加工物である積層体１００Ｓを加熱する。コック４２ｂを開き、下室４１ｂ内を負圧とすることで、被加工物である積層体１００Ｓから発生する気泡を積層体１００Ｓの外部に排出する。排出後、コック４２ｃを開き、上室４１ａ内を大気圧に近づけることで上室４１ａと下室４１ｂに気圧差を生じさせダイヤフラム４３を下室４１ｂ側に張りださせ被加工物である積層体１００Ｓを加熱を続行しつつ加圧する。加圧する際、上室４１ａ内に流入する空気を調節することでダイヤフラム４３よる加圧力を調整できる。所望時間ダイヤフラム４３で被加工物である積層体１００Ｓを加圧した後、加熱冷却機構４５により載置板４４を冷却し、コック４２ｄを開いて下室４１ｂ内を大気開放する。上室４１ａが下室４１ｂに対して負圧になった後上室４１ａを大気開放する。上室４１ａと下室４１ｂを分離して加工済みの封止された太陽電池モジュールを取り出すことができる。
【００１７】
次に本実施の形態のラミネート装置を用いた太陽電池モジュールの製造方法について説明する。図６（ａ）〜（ｅ）は太陽電池モジュールの製造方法を示す工程断面図である。図７は本実施の形態の製造工程で形成された太陽電池モジュールを示す斜視図、図８は太陽電池モジュールの製造工程を示すフローチャートである。
【００１８】
まず、図６（ａ）に示すように、樹脂シート３ｐを用意する(ステップＳ１０１)。そして、図６（ｂ）に示すように、薄肉化部１０で、ヒーター１３により暖められた空気を樹脂シート３ｐに吹き付けることで、樹脂シート３ｐの温度を上昇させ、引き延ばし部１２のアームの先端に設けられたチャック１２ｓで樹脂シート３ｐを挟み込んで固定し、アームを前後左右に伸ばし軟化した樹脂シート面積を約４倍に拡大し、薄い樹脂シート３ａを形成する(ステップＳ１０２)。引き延ばし後の厚みは４分の１となる。加熱部１１には排出口に可動式のルーバー１５が取り付けられており送風方向を変化させ均一に樹脂シート３ａの温度を上昇させることができる。また、送風のみ行うことによって樹脂シート３ａの冷却も可能である。ここでは樹脂シート３ａについて図示しているが、樹脂シート３ｂについても同様の処理を行う。
【００１９】
一方、太陽電池セル１を形成し、タブ線２で、当該セルの正極を隣接セルの負極に接続し、図６（ｃ）に示すように太陽電池セル１の接続されたストリングを形成する。２ａは外部取り出し線である。
【００２０】
次に、吸着部３０を用いて、引き延ばされた樹脂シート３ａを、薄肉化部１０から図３に示した搬送部２０に搬送する。そして、図６（ｄ）に示すように、ガラス基板４上に、引き延ばされた樹脂シート３ａ、太陽電池ストリング、引き延ばされた樹脂シート３ｂ、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）などの耐水樹脂からなる保護シート５を順次積層し、積層体１００Ｓを形成する(ステップＳ１０３)。
【００２１】
そして積層体１００Ｓを加熱加圧部４０に搬送し、コック４２ａを開きバキュームポンプ４６により上室４１ａ内を負圧とし、加熱冷却機構４５により載置板４４を加熱することで、載置板４４の上に配置された被加工物である積層体１００Ｓを加熱する。そしてコック４２ｂを開き、下室４１ｂ内を負圧とすることで、積層体１００Ｓから発生する気泡を積層体１００Ｓの外部に排出する。次いで、コック４２ｃを開き、上室４１ａ内を大気圧に近づけることで上室４１ａと下室４１ｂに気圧差を生じさせダイヤフラム４３を下室４１ｂ側に張りださせ積層体１００Ｓを加熱しながら加圧する(ステップＳ１０４)。加圧に際しては、上室４１ａ内に流入する空気を調節することでダイヤフラム４３よる加圧力を調整できる。そして所望時間ダイヤフラム４３で被加工物である積層体１００Ｓを加圧した後、加熱冷却装置４５により載置板４４を冷却し、コック４２ｄを開いて下室４１ｂ内を大気開放する。上室４１ａが下室４１ｂに対して負圧になった後、上室４１ａを大気開放する。そして、上室４１ａと下室４１ｂを分離し、図６（ｅ）に示すように、加工済みの封止された太陽電池モジュール１００を取り出すことができる。
【００２２】
上記工程で封止された太陽電池モジュール１００にフレーム１０１を装着し、図７に斜視図を示すように、太陽電池モジュール１００が完成する。
【００２３】
本実施の形態によれば、上室４１ａへ空気が流入することで積層体１００Ｓを、加熱加圧部４０のダイヤフラム４３が加圧し各種積層物を密着させ樹脂シートを押し延ばす。積層体１００Ｓを薄肉化するため被加工物への加圧力を高くすると、被加工物内に積層された太陽電池セルが割れるリスクが高まる。これに対し、本実施の形態１によれば、樹脂シートを加熱加圧する前にあらかじめ引き延ばすため、被加工物への加圧力を高くする必要がない。
【００２４】
以上説明してきたように、あらかじめ、薄肉化させた樹脂シートにより太陽電池セルを挟み、ガラス等の光透過性材料上に積層した後、加熱加圧加工することで積層体を密着させるため、積層体を加熱加圧加工する際に、加熱加圧装置の低圧力化が可能となり、セル割れが減少し歩留向上を見込むことができる。
【００２５】
実施の形態２．
図９は本発明の実施の形態２によるラミネート装置の構成図、図１０は図９における薄肉化部１０Ａの構成図である。図９のラミネート装置は、樹脂シートを引き延ばして薄肉化する薄肉化部１０Ａの構成および位置が異なるだけで、加熱加圧部４０、加熱加圧部４０に被加工物を搬送する搬送部２０などの、他の構成については実施の形態１のラミネート装置と同様である。本実施の形態においても、引き延ばし前の樹脂シート３ｐが薄肉化部１０Ａで薄肉化され略２分の１の厚さとなった樹脂シート３ａを吸着し薄肉化部１０Ａまで搬送する吸着部３０を具備している。図９では、樹脂シート３ａは、薄肉化部１０で引き延ばされ、積層部５０に搬送すべく吸着部３０に把持され、搬送部２０に移される前の状態を示している。図９および図１０では、樹脂シート３ａについて図示しているが、樹脂シート３ｂについても同様の処理を行う。
【００２６】
薄肉化部１０Ａは、搬送部２０の上部に設けられており、ヒーター１７と、押し出し板１６と、チャック１２ｓにより引っ張り、引き延ばしを行う引き延ばし部１２とを具備している。押し出し板１６は上下動可能な支柱１９で装置本体と固定されており、押し出し板１６の上部にヒーター１７が設けられている。吸着部３０で搬送された樹脂シート３ｐをチャック１２ｓで挟み込み、ヒーター１７により加熱された押し出し板１６を下方に可動させることで樹脂シート３ｐを薄く引き延ばすことができる。また、押し出し板１６の形状により、引き延ばし後の樹脂シート３ａの厚みをモジュール構造に合わせて凸凹に変形させることもできる。そして引き延ばし後の樹脂シート３ａを下方の搬送部２０によって搬送されてくるガラス板上あるいは太陽電池セル上にそのまま積層することもできる。他部は実施の形態１と同様であるのでここでは説明を省略する。同一部位には同一符号を付した。
【００２７】
搬送部２０は、図３に示したのと同様、ローラー２１が回転軸２３で支持され、回転軸２３はフレーム２４に固定されている。フレーム２４には固定具２２が設けられており、被加工物を固定し引き延ばした樹脂シートを積層する際に積層ずれを防止する。
【００２８】
本実施の形態２の太陽電池モジュール製造装置によれば、樹脂シートを加熱加圧してラミネートする前に引き延ばすため、被加工物である積層体への加圧力を高くする必要がない。また、引き延ばし部１０Ａを搬送部２０の真上に配しているため、引き延ばした樹脂シートをそのまま下方に供給して積層体を形成することができる。
【００２９】
なお、加熱した剛体を押し当てることで薄肉化させた樹脂シートにより太陽電池セルを挟み、ガラス等の光透過性材料上に積層した後、加熱加圧加工することで積層体を密着させるようにしている。以上のように、押しあてる剛体の形状を変化させることにより、樹脂シートの任意の箇所を軟化させ樹脂シートに必要な薄肉化を行うことができる。
【００３０】
実施の形態３．
図１１は本発明の実施の形態３によるラミネート装置の構成図、図１２は図１１における樹脂シート引き延ばし装置の構成図である。本実施の形態においても、樹脂シートを引き延ばして薄肉化する薄肉化部１０Ｂの構成および位置が異なるだけで、加熱加圧部４０、加熱加圧部４０に被加工物を搬送する搬送部２０などの他の構成については実施の形態１のラミネート装置と同様である。図１２に示すように本実施の形態の薄肉化部は、太陽電池セルの形状に合わせて表面形状を変形させるように引き延ばし台に凹部を形成したものである。図１１に示すように、本実施の形態のラミネート装置は、積層部５０、加熱加圧部、積層部４０に被加工物を搬送する搬送部２０、加熱加圧部４０での加熱加圧加工前に樹脂シートを引き延ばし薄肉化する薄肉化部１０Ｂ、樹脂シートを吸着し薄肉化部１０Ｂまで搬送する、あるいは薄肉化された樹脂シートを薄肉化部１０Ｂから積層部５０まで搬送する吸着部３０を具備している。図１１では、樹脂シート３ａは、薄肉化部１０で引き延ばされ、積層部５０に搬送すべく吸着部３０に把持され、搬送部２０に移される前の状態を示している。ここでも樹脂シート３ａについて図示しているが、樹脂シート３ｂについても同様の処理を行う。
【００３１】
薄肉化部１０Ｂは、搬送部２０の側部に設けられており、図１２に示すように、ヒーター１７、太陽電池セルの表面形状に対応する凹部を有する引き延ばし台１８、ローラー１９により構成されている。ヒーター１７上部に引き延ばし台１８を設けヒーター１７により、引き延ばし台１８を加熱する。引き延ばし台１８上に樹脂シート３ｐを配置することで、樹脂シート３ｐを加熱し軟化させローラー１９を樹脂シートに荷重をかけながら樹脂シート上を可動させることで薄肉化された樹脂シート３ａを形成する。上記引き延ばし台１８で表面形状を加工することにより、樹脂シート厚みあるいは形状を、モジュールを構成する太陽電池セルの表面形状に合わせて凸凹に変形させることができる。あるいは、樹脂シートに太陽電池セルよりも小さいピッチの凹凸加工をしておくことで、加熱加圧工程で太陽電池セルの形状に沿い易くすることも可能である。他部は実施の形態１と同様であるのでここでは説明を省略する。同一部位には同一符号を付した。樹脂シート３ｂについても同様に薄肉化部１０Ｂで薄肉化される。
【００３２】
本実施の形態によれば、ローラー１９によって樹脂シート３ｐを薄肉化しているため容易に均一な薄肉化が可能であり、前記実施の形態と同様、樹脂シート３ｐを加熱加圧する前に引き延ばすため、被加工物への加圧力を高くする必要がない。
【００３３】
以上説明してきたように、本実施の形態によれば、太陽電池セルの接続体である太陽電池ストリングの構造に対応した厚み形状となるように樹脂シートを凸凹に変形させることで、セル割れのリスクのある加圧圧力を高圧力化することなく、薄型の太陽電池モジュールを製造することができるという効果を奏する。
【００３４】
なお、太陽電池セルの形状に合わせて厚みあるいは形状を変化させたことにより、積層体を加熱加圧加工する際に、セルにかかる応力が緩和され、セル割れが減少し歩留向上を見込むことができる。
【００３５】
また、加熱した剛体を押し当てることで樹脂シート厚みをモジュール形状に合わせて変形させた樹脂シートにより太陽電池セルを挟み、ガラス等の光透過性材料上に積層した後、加熱加圧加工することでその積層体を密着させることにより、積層体を加熱加圧加工する際に、セルにかかる応力が緩和され、セル割れが減少し歩留向上を見込むことができる。
【００３６】
なお、実施の形態１〜３の薄肉化装置においては、薄肉化の度合いは、適宜選択可能であるが、あらかじめ３分の２〜６分の１程度とすることで、加熱加圧工程における薄肉化率は３分の２以下とすることができ、加熱加圧工程における加圧を小さくすることができる。
【００３７】
また、実施の形態１〜３の薄肉化装置においては、積層部に搬送するに先立ち、薄肉化を行っているが、加熱加圧部での加圧処理に先立ち、薄肉化されていればよく、加熱加圧部の上流側に薄肉化部が配されていてもよい。例えば、積層部で積層された状態で第１段階の加熱加圧により薄肉化し、次いで本来のラミネートのための温度で加熱加圧を行うようにしてもよい。
【００３８】
本発明のいくつかの実施の形態を説明したが、これらの実施の形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施の形態は、他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施の形態あるいは変形は、発明の範囲および要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明及び当該発明の均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００３９】
１  太陽電池セル、２  タブ線、３ｐ  引き延ばし前の樹脂シート、３ａ，３ｂ  引き延ばし後の樹脂シート、４  ガラス基板、５  保護シート、１１  加熱部、１２  引き延ばし部、１２ｓ  チャック、１３  ヒーター、１４  送風機、１７  ヒーター、１８  引き延ばし台、１９  ローラー、２０  搬送部、２１  ローラー、２２  固定具、２３  回転軸、２４  フレーム、３０  吸着部、３２  回転アーム、３３  接続部、３４  吸着ヘッド、４０  加熱加圧部、４１ａ  上室、４１ｂ  下室、４２ａ，４２ｂ，４２ｃ，４２ｄ  コック、４３  ダイヤフラム、４４  載置板、４５  加熱冷却機構、４６  バキュームポンプ、５０  積層部、１００太陽電池モジュール、１００Ｓ  積層体、１０１  フレーム。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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