(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
乾燥系の顕微鏡対物レンズであって、物体側から順に、
正の屈折力を有する第１レンズ群と、
低分散材料からなる正の屈折力を有するレンズと高分散材料からなる負の屈折力を有するレンズとからなる接合レンズを含む、正の屈折力を有する第２レンズ群と、
負の屈折力を有する第３レンズ群と、から構成され、
前記第１レンズ群は、物体側から順に、
物体側に凹面を向けたメニスカス形状を有する単レンズである、第１レンズと、
正の屈折力を有する、物体側に凹面を向けたメニスカス形状を有する単レンズである、第２レンズと、
正の屈折力を有する、単レンズ又は接合レンズである、第３レンズ成分と、を含み、
前記第２レンズ群の最も物体側のレンズ成分の境界面又は内部で軸上マージナル光線の光線高が最大となり、前記第１レンズ群に含まれるレンズ成分及び軸上マージナル光線の光線高が最大となるレンズ成分を除いた、レンズ成分のうち、正の屈折力を有する最も物体側のレンズ成分が前記第２レンズ群の最も像側のレンズ成分であり、
ＮＡを前記対物レンズの開口数とし、ｆを前記対物レンズの焦点距離とし、ｆＧ１を前記第１レンズ群の焦点距離とし、ｒ１１を前記第１レンズの物体側のレンズ面の曲率半径とし、ｒ１２を前記第１レンズの像側のレンズ面の曲率半径とし、ｄｏ１２を前記対物レンズの前側焦点面から前記第１レンズの像側のレンズ面までの光軸上の距離とするとき、
以下の条件式
０．８≦ＮＡ＜１                        ・・・（４）
１．６≦ｆＧ１／ｆ≦６                    ・・・（５）
−１．６≦ｒ１１／ｆ≦−０．２            ・・・（６）
−２≦ｒ１２／ｄｏ１２≦−０．８６          ・・・（７）
を満たすことを特徴とする対物レンズ。
【請求項２】
液浸系の顕微鏡対物レンズであって、物体側から順に、
正の屈折力を有する第１レンズ群と、
低分散材料からなる正の屈折力を有するレンズと高分散材料からなる負の屈折力を有するレンズとからなる接合レンズを含む、正の屈折力を有する第２レンズ群と、
負の屈折力を有する第３レンズ群と、から構成され、
前記第１レンズ群は、物体側から順に、
物体側に凹面を向けたメニスカス形状を有する単レンズである第１レンズ、又は、前記第１レンズと前記第１レンズの物体側に配置されたレンズとからなる第１接合レンズと、
正の屈折力を有する、物体側に凹面を向けたメニスカス形状を有する単レンズである、第２レンズと、
正の屈折力を有する、単レンズ又は接合レンズである、第３レンズ成分と、を含み、
前記第２レンズ群の最も物体側のレンズ成分の境界面又は内部で軸上マージナル光線の光線高が最大となり、前記第１レンズ群に含まれるレンズ成分及び軸上マージナル光線の光線高が最大となるレンズ成分を除いた、レンズ成分のうち、正の屈折力を有する最も物体側のレンズ成分が前記第２レンズ群の最も像側のレンズ成分であり、
前記第２レンズ群は、高分散材料からなる負の屈折力を有するレンズの両面にそれぞれ低分散材料からなる正の屈折力を有するレンズを接合してなる、３枚接合レンズを含み、
前記第３レンズ群は、最も像側に、負の屈折力を有する後方レンズ群を含み、
前記後方レンズ群は、
物体側に凹面を向けたメニスカス形状を有する、単レンズ又は接合レンズである、第４レンズ成分と、
前記第４レンズ成分よりも物体側に配置された、負の屈折力を有する、物体側に凹面を向けた単レンズ又は接合レンズである、第５レンズ成分と、を含み、
ＮＡを前記対物レンズの開口数とし、ｆを前記対物レンズの焦点距離とし、ｆＧ１を前記第１レンズ群の焦点距離とし、ｒ１２を前記第１レンズの像側のレンズ面の曲率半径とし、ｄｏ１２を前記対物レンズの前側焦点面から前記第１レンズの像側のレンズ面までの光軸上の距離とするとき、以下の条件式
０．８≦ＮＡ≦１．５                    ・・・（８）
２．３≦ｆＧ１／ｆ≦８                    ・・・（９）
−１．５≦ｒ１２／ｄｏ１２≦−０．７５      ・・・（１０）
を満たすことを特徴とする対物レンズ。
【請求項３】
請求項１に記載の対物レンズにおいて、
前記第２レンズ群は、高分散材料からなる負の屈折力を有するレンズの両面にそれぞれ低分散材料からなる正の屈折力を有するレンズを接合してなる、３枚接合レンズを含む
ことを特徴とする対物レンズ。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の対物レンズにおいて、
前記第３レンズ成分は、物体側に凹面を向けたメニスカス形状を有する
ことを特徴とする対物レンズ。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の対物レンズにおいて、
高い部分分散を有する材料からなる、正の屈折力を有する第６レンズを含み、
ＤｏｇＦを前記対物レンズの前側焦点面から前記第６レンズの像側のレンズ面までの光軸上の距離とし、ＤｏＬを前記対物レンズの前側焦点面から前記対物レンズの最も像側のレンズ面までの光軸上の距離とするとき、以下の条件式
０．２≦ＤｏｇＦ/ＤｏＬ≦０．８７            ・・・（１１）
を満たすことを特徴とする対物レンズ。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の対物レンズにおいて、
前記第１レンズ群は、さらに、前記第３レンズ成分よりも像側に、正の屈折力を有する、単レンズ又は接合レンズである、第７レンズ成分を含む
ことを特徴とする対物レンズ。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の対物レンズにおいて、
前記第３レンズ群は、最も物体側に、前方レンズ群を含み、
前記前方レンズ群は、互いに隣り合って配置された、
低分散材料からなる正の屈折力を有する第８レンズと、
高分散材料からなる負の屈折力を有する第９レンズと含み、
前記第８レンズの前記第９レンズ側のレンズ面と、前記第９レンズの前記第８レンズ側のレンズ面とは、同符号の曲率半径を有し、ｆＧ３Ｏを前記前方レンズ群の焦点距離とするとき、以下の条件式
−０．３≦ｆ／ｆＧ３Ｏ≦０．３            ・・・（１２）
を満たすことを特徴とする対物レンズ。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載の対物レンズにおいて、
ｆＬ２を前記第２レンズの焦点距離とするとき、以下の条件式
０．０５≦ｆＧ１／ｆＬ２≦０．６            ・・・（１３）
を満たすことを特徴とする対物レンズ。
【請求項９】
請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載の対物レンズにおいて、
ｆＬ３を前記第３レンズ成分の焦点距離とするとき、以下の条件式
０．０３≦ｆＧ１／ｆＬ３≦０．５            ・・・（１４）
を満たすことを特徴とする対物レンズ。
【請求項１０】
請求項１に記載の対物レンズにおいて、
前記第３レンズ群は、最も像側に、負の屈折力を有する後方レンズ群を含み、
ｆＧ３Ｉを前記後方レンズ群の焦点距離とするとき、以下の条件式
−１０≦ｆＧ３Ｉ／ｆ≦−１．５            ・・・（１５）
を満たすことを特徴とする対物レンズ。
【請求項１１】
請求項１０に記載の対物レンズにおいて、
前記後方レンズ群は、負の屈折力を有するレンズ成分を、２つ以上を含む
ことを特徴とする対物レンズ。
【請求項１２】
請求項１０又は請求項１１に記載の対物レンズにおいて、
前記第３レンズ群は、
最も物体側に配置された前方レンズ群と、
前記前方レンズ群と前記後方レンズ群と間に配置された、中間レンズ群と、を含み、
前記中間レンズ群は、物体側に凹面を向けたメニスカス形状を有する、単レンズ又は接合レンズからなる、第１０レンズ成分を含む
ことを特徴とする対物レンズ。
【請求項１３】
請求項１又は請求項１０乃至請求項１２のいずれか１項に記載の対物レンズにおいて、
ｒ１２を前記第１レンズの像側のレンズ面の曲率半径とし、ｒ２１を前記第２レンズの物体側のレンズ面の曲率半径とするとき、以下の条件式
０．８≦ｒ２１／ｒ１２≦２            ・・・（１６）
を満たすことを特徴とする対物レンズ。
【請求項１４】
請求項２に記載の対物レンズにおいて、
前記後方レンズ群は、さらに、
前記第４レンズ成分よりも物体側に配置された、負の屈折力を有する、単レンズ又は接合レンズである、第１１レンズ成分と、を含む
ことを特徴とする対物レンズ。
【請求項１５】
請求項２又は請求項１４に記載の対物レンズにおいて、
前記第３レンズ群は、
最も物体側に配置された前方レンズ群と、
前記前方レンズ群と前記後方レンズ群と間に配置された、中間レンズ群と、を含み、
前記中間レンズ群は、物体側に凸面を向けたメニスカス形状を有する、単レンズ又は接合レンズからなる、第１２レンズ成分を含む
ことを特徴とする対物レンズ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、顕微鏡用対物レンズに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、撮像素子の高画素化が著しく、顕微鏡分野においても、広視野と高分解能とを両立した観察及び画像取得が可能な顕微鏡装置への期待が高まっている。例えば、このような顕微鏡装置をバーチャルスライドに応用すると、スキャンスピードの高速化が可能になる。
【０００３】
このような顕微鏡装置を実現するためには、広視野（即ち、大きな視野数で且つ低倍率）であり、且つ、大きな開口数を有する対物レンズが望まれる。このような対物レンズについては、例えば、特許文献１及び特許文献２に記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−１８６１６２号公報
【特許文献２】特開２０１１−７５９８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１及び特許文献２に記載された対物レンズは、コマ収差の補正が十分ではない。このため、より広い視野と大きな開口数とを両立させる場合、あるいは、口径食を軽減して軸外での開口をさらに大きくする場合には、コマ収差による周辺性能の劣化が顕著に現れてしまう。従って、より高いレベルでの広視野と高分解能との両立は困難である。
【０００６】
以上のような実情を踏まえ、本発明は、収差が良好に補正された、広視野と大きな開口数を有する顕微鏡対物レンズの技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１の態様は、乾燥系の顕微鏡対物レンズであって、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、低分散材料からなる正の屈折力を有するレンズと高分散材料からなる負の屈折力を有するレンズとからなる接合レンズを含む、正の屈折力を有する第２レンズ群と、負の屈折力を有する第３レンズ群と、から構成され、前記第１レンズ群は、物体側から順に、物体側に凹面を向けたメニスカス形状を有する単レンズである、第１レンズと、正の屈折力を有する、物体側に凹面を向けたメニスカス形状を有する単レンズである、第２レンズと、正の屈折力を有する、単レンズ又は接合レンズである、第３レンズ成分と、を含み、前記第２レンズ群の最も物体側のレンズ成分の境界面又は内部で軸上マージナル光線の光線高が最大となり、前記第１レンズ群に含まれるレンズ成分及び軸上マージナル光線の光線高が最大となるレンズ成分を除いた、レンズ成分のうち、正の屈折力を有する最も物体側のレンズ成分が前記第２レンズ群の最も像側のレンズ成分であり、ＮＡを前記対物レンズの開口数とし、ｆを前記対物レンズの焦点距離とし、ｆＧ１を前記第１レンズ群の焦点距離とし、ｒ１１を前記第１レンズの物体側のレンズ面の曲率半径とし、ｒ１２を前記第１レンズの像側のレンズ面の曲率半径とし、ｄｏ１２を前記対物レンズの前側焦点面から前記第１レンズの像側のレンズ面までの光軸上の距離とするとき、以下の条件式を満たす対物レンズを提供する。
０．８≦ＮＡ＜１                      ・・・（４）
１．６≦ｆＧ１／ｆ≦６                  ・・・（５）
−１．６≦ｒ１１／ｆ≦−０．２          ・・・（６）
−２≦ｒ１２／ｄｏ１２≦−０．８６        ・・・（７）
【０００８】
本発明の第２の態様は、液浸系の顕微鏡対物レンズであって、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、低分散材料からなる正の屈折力を有するレンズと高分散材料からなる負の屈折力を有するレンズとからなる接合レンズを含む、正の屈折力を有する第２レンズ群と、負の屈折力を有する第３レンズ群と、から構成され、前記第１レンズ群は、物体側から順に、物体側に凹面を向けたメニスカス形状を有する単レンズである第１レンズ、又は、前記第１レンズと前記第１レンズの物体側に配置されたレンズとからなる第１接合レンズと、正の屈折力を有する、物体側に凹面を向けたメニスカス形状を有する単レンズである、第２レンズと、正の屈折力を有する、単レンズ又は接合レンズである、第３レンズ成分と、を含み、前記第２レンズ群の最も物体側のレンズ成分の境界面又は内部で軸上マージナル光線の光線高が最大となり、前記第１レンズ群に含まれるレンズ成分及び軸上マージナル光線の光線高が最大となるレンズ成分を除いた、レンズ成分のうち、正の屈折力を有する最も物体側のレンズ成分が前記第２レンズ群の最も像側のレンズ成分であり、前記第２レンズ群は、高分散材料からなる負の屈折力を有するレンズの両面にそれぞれ低分散材料からなる正の屈折力を有するレンズを接合してなる、３枚接合レンズを含み、前記第３レンズ群は、最も像側に、負の屈折力を有する後方レンズ群を含み、前記後方レンズ群は、物体側に凹面を向けたメニスカス形状を有する、単レンズ又は接合レンズである、第４レンズ成分と、前記第４レンズ成分よりも物体側に配置された、負の屈折力を有する、物体側に凹面を向けた単レンズ又は接合レンズである、第５レンズ成分と、を含み、ＮＡを前記対物レンズの開口数とし、ｆを前記対物レンズの焦点距離とし、ｆＧ１を前記第１レンズ群の焦点距離とし、ｒ１２を前記第１レンズの像側のレンズ面の曲率半径とし、ｄｏ１２を前記対物レンズの前側焦点面から前記第１レンズの像側のレンズ面までの光軸上の距離とするとき、以下の条件式を満たす対物レンズを提供する。
０．８≦ＮＡ≦１．５                      ・・・（８）
２．３≦ｆＧ１／ｆ≦８                      ・・・（９）
−１．５≦ｒ１２／ｄｏ１２≦−０．７５        ・・・（１０）
【０００９】
本発明の第３の態様は、第１の態様に記載の対物レンズにおいて、前記第２レンズ群は、高分散材料からなる負の屈折力を有するレンズの両面にそれぞれ低分散材料からなる正の屈折力を有するレンズを接合してなる、３枚接合レンズを含む対物レンズを提供する。
【００１０】
本発明の第４の態様は、第１の態様乃至第３の態様のいずれか１つに記載の対物レンズにおいて、前記第３レンズ成分は、物体側に凹面を向けたメニスカス形状を有する対物レンズを提供する。
【００１１】
本発明の第５の態様は、第１の態様乃至第４の態様のいずれか１つに記載の対物レンズにおいて、高い部分分散を有する材料からなる、正の屈折力を有する第６レンズを含み、ＤｏｇＦを前記対物レンズの前側焦点面から前記第６レンズの像側のレンズ面までの光軸上の距離とし、ＤｏＬを前記対物レンズの前側焦点面から前記対物レンズの最も像側のレンズ面までの光軸上の距離とするとき、以下の条件式を満たす対物レンズを提供する。
０．２≦ＤｏｇＦ/ＤｏＬ≦０．８７            ・・・（１１）
【００１２】
本発明の第６の態様は、第１の態様乃至第５の態様のいずれか１つに記載の対物レンズにおいて、前記第１レンズ群は、さらに、前記第３レンズ成分よりも像側に、正の屈折力を有する、単レンズ又は接合レンズである、第７レンズ成分を含む対物レンズを提供する。
【００１３】
本発明の第７の態様は、第１の態様乃至第６の態様のいずれか１つに記載の対物レンズにおいて、前記第３レンズ群は、最も物体側に、前方レンズ群を含み、前記前方レンズ群は、互いに隣り合って配置された、低分散材料からなる正の屈折力を有する第８レンズと、高分散材料からなる負の屈折力を有する第９レンズと含み、前記第８レンズの前記第９レンズ側のレンズ面と、前記第９レンズの前記第８レンズ側のレンズ面とは、同符号の曲率半径を有し、ｆＧ３Ｏを前記前方レンズ群の焦点距離とするとき、以下の条件式を満たす対物レンズを提供する。
−０．３≦ｆ／ｆＧ３Ｏ≦０．３            ・・・（１２）
【００１４】
本発明の第８の態様は、第１の態様乃至第７の態様のいずれか１つに記載の対物レンズにおいて、ｆＬ２を前記第２レンズの焦点距離とするとき、以下の条件式を満たす対物レンズを提供する。
０．０５≦ｆＧ１／ｆＬ２≦０．６            ・・・（１３）
【００１５】
本発明の第９の態様は、第１の態様乃至第８の態様のいずれか１つに記載の対物レンズにおいて、ｆＬ３を前記第３レンズ成分の焦点距離とするとき、以下の条件式を満たす対物レンズを提供する。
０．０３≦ｆＧ１／ｆＬ３≦０．５            ・・・（１４）
【００１６】
本発明の第１０の態様は、第１の態様に記載の対物レンズにおいて、前記第３レンズ群は、最も像側に、負の屈折力を有する後方レンズ群を含み、ｆＧ３Ｉを前記後方レンズ群の焦点距離とするとき、以下の条件式を満たす対物レンズを提供する。
−１０≦ｆＧ３Ｉ／ｆ≦−１．５            ・・・（１５）
【００１７】
本発明の第１１の態様は、第１０の態様に記載の対物レンズにおいて、前記後方レンズ群は、負の屈折力を有するレンズ成分を、２つ以上を含む対物レンズを提供する。
【００１８】
本発明の第１２の態様は、第１０の態様又は第１１の態様に記載の対物レンズにおいて、前記第３レンズ群は、最も物体側に配置された前方レンズ群と、前記前方レンズ群と前記後方レンズ群と間に配置された、中間レンズ群と、を含み、前記中間レンズ群は、物体側に凹面を向けたメニスカス形状を有する、単レンズ又は接合レンズからなる、第１０レンズ成分を含む対物レンズを提供する。
【００１９】
本発明の第１３の態様は、第１の態様又は第１０の態様乃至第１２の態様のいずれか１つに記載の対物レンズにおいて、ｒ１２を前記第１レンズの像側のレンズ面の曲率半径とし、ｒ２１を前記第２レンズの物体側のレンズ面の曲率半径とするとき、以下の条件式を満たす対物レンズを提供する。
０．８≦ｒ２１／ｒ１２≦２            ・・・（１６）
【００２０】
本発明の第１４の態様は、第２の態様に記載の対物レンズにおいて、前記後方レンズ群は、さらに、前記第４レンズ成分よりも物体側に配置された、負の屈折力を有する、単レンズ又は接合レンズである、第１１レンズ成分と、を含む対物レンズを提供する。
【００２１】
本発明の第１５の態様は、第２の態様又は第１４の態様に記載の対物レンズにおいて、前記第３レンズ群は、最も物体側に配置された前方レンズ群と、前記前方レンズ群と前記後方レンズ群と間に配置された、中間レンズ群と、を含み、前記中間レンズ群は、物体側に凸面を向けたメニスカス形状を有する、単レンズ又は接合レンズからなる、第１２レンズ成分を含む対物レンズを提供する。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、収差が良好に補正された、広視野と大きな開口数を有する顕微鏡対物レンズの技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の一実施形態に係る顕微鏡装置の構成を例示した図である。
【図２】本発明の実施例１に係る対物レンズの断面図である。
【図３】対物レンズと組み合わせて使用される結像レンズの断面図である。
【図４】図２に示す対物レンズと図３に示す結像レンズを組み合わせて用いた場合の収差図である。
【図５】本発明の実施例２に係る対物レンズの断面図である。
【図６】図５に示す対物レンズと図３に示す結像レンズを組み合わせて用いた場合の収差図である。
【図７】本発明の実施例３に係る対物レンズの断面図である。
【図８】図７に示す対物レンズと図３に示す結像レンズを組み合わせて用いた場合の収差図である。
【図９】本発明の実施例４に係る対物レンズの断面図である。
【図１０】図９に示す対物レンズと図３に示す結像レンズを組み合わせて用いた場合の収差図である。
【図１１】本発明の実施例５に係る対物レンズの断面図である。
【図１２】図１１に示す対物レンズと図３に示す結像レンズを組み合わせて用いた場合の収差図である。
【図１３】本発明の実施例６に係る対物レンズの断面図である。
【図１４】図１３に示す対物レンズと図３に示す結像レンズを組み合わせて用いた場合の収差図である。
【図１５】本発明の実施例７に係る対物レンズの断面図である。
【図１６】図１５に示す対物レンズと図３に示す結像レンズを組み合わせて用いた場合の収差図である。
【図１７】本発明の実施例８に係る対物レンズの断面図である。
【図１８】図１７に示す対物レンズと図３に示す結像レンズを組み合わせて用いた場合の収差図である。
【図１９】本発明の実施例９に係る対物レンズの断面図である。
【図２０】図１９に示す対物レンズと図３に示す結像レンズを組み合わせて用いた場合の収差図である。
【図２１】本発明の実施例１０に係る対物レンズの断面図である。
【図２２】図２１に示す対物レンズと図３に示す結像レンズを組み合わせて用いた場合の収差図である。
【図２３】本発明の実施例１１に係る対物レンズの断面図である。
【図２４】図２３に示す対物レンズと図３に示す結像レンズを組み合わせて用いた場合の収差図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
図１は、本発明の一実施形態に係る顕微鏡装置１００の構成を示す概略図である。図１に例示される顕微鏡装置１００は、顕微鏡本体２と、光ファイバー４を介して顕微鏡本体２に接続される光源装置３と、対物レンズ８及び結像レンズ１を含む撮像光学系と、撮像素子９を内蔵したデジタルカメラと、を備えている。顕微鏡装置１００は、さらに、ステージ５を対物レンズ８の光軸と直交する方向に移動させるためのＸＹハンドル６と、ステージ５を対物レンズ８の光軸と平行な方向に移動させるためのＺハンドル７を備えている。また、顕微鏡装置１００は、図示しない接眼レンズを備えてもよい。
【００２６】
対物レンズ８は、無限遠補正型の顕微鏡用の対物レンズである。対物レンズ８は、乾燥系の対物レンズであっても、液浸系の対物レンズであってもよい。対物レンズ８は、広視野（即ち、低倍率且つ大きな視野数）で大きな開口数を実現するように構成されている。具体的には、対物レンズ８は、次の条件式を満たすように構成されているが、その他の詳細については後述する。
０．８ ≦  ＮＡ  ≦ １．５                       ・・・（１）
１０００  ≦  ＦＮ／｜β｜／ε  ≦  １００００   ・・・（２）
１．７ ≦ φｍａｘ／２／ｈｅｘｐ／ＮＡ≦ ４         ・・・（３）
【００２７】
但し、ＮＡは、対物レンズ８の物体側の開口数であり、ＦＮは、対物レンズ８の視野数であり、βは、対物レンズ８の倍率であり、εは、対物レンズ８のｄ線（５８８ｎｍ）に対する軸上のエアリーディスク直径である。φｍａｘは、対物レンズ８に含まれるレンズの有効径の最大値であり、ｈｅｘｐは対物レンズ８の射出瞳の半径である。ここで、対物レンズの倍率とは、通常顕微鏡装置に用いられる、焦点距離１６０ｍｍから２００ｍｍの結像レンズとその対物レンズとを組み合わせた顕微鏡光学系の投影倍率に相当する。また、対物レンズの視野数とは、上述した結像レンズとその対物レンズとを組み合わせた顕微鏡光学系の最大像高の２倍に相当する。なお、この顕微鏡光学系により形成される標本の像を撮像素子を用いてデジタル観察する場合には、対物レンズは、最大で視野数と同程度の対角長の撮像素子に対応できるということができる。
【００２８】
条件式（１）は、十分な分解能を得るための条件を示している。ＮＡが条件式（１）の下限値を下回らないことにより、エアリーディスク径（直径）を十分に小さくすることができるため、十分な分解能が得られる。また、ＮＡが条件式（１）の上限値を上回らないことにより、対物レンズ８に入射するマージナル光線の広がり角が大きくなりすぎず、主にコマ収差による性能劣化を抑えることができる。このため、十分な分解能が得られる。
【００２９】
条件式（２）は、十分な分解能と広視野を得るための条件を示している。ＦＮ／｜β｜／εが条件式（２）の下限値を下回らないことにより、後述する高精細で且つ大きなサイズを有する（即ち、高画素数の）撮像素子９の性能を最大限に活かした、広視野かつ高分解能な標本観察および画像取得が可能となる。また、ＦＮ／｜β｜／εが条件式（２）の上限値を上回らないことにより、エアリーディスク径が撮像素子９の解像力を超えるほどには小さくなりすぎず、過剰なＮＡに起因する収差を補正する必要がなくなる。このため、主にコマ収差による性能劣化を抑えることができる。なお、対物レンズの視野数を対物レンズの倍率で割ったは、対物レンズの物体高さの２倍に等しい。したがって、対物レンズの物体高をＹｏｂとすると、条件式（２）は、下式と同義である。
１０００  ≦  ２×Ｙｏｂ／ε  ≦  １００００      ・・・（２Ａ）
【００３０】
条件式（３）は、主にコマ収差を良好に補正し、広視野にわたり高い分解能を達成するための条件を示している。φｍａｘ／２／ｈｅｘｐ／ＮＡが条件式（３）の下限値を下回らないことにより、対物レンズ８のうちの標本Ｓ側に位置する部分の光学系において強い屈折力で軸外光線束を収斂させる必要がなくなる。このため、軸外マージナル光線のレンズ面に対する入射角および屈折角が大きくなりすぎず、その結果、コマ収差発生を軽減することができる。また、φｍａｘ／２／ｈｅｘｐ／ＮＡが条件式（３）の上限値を上回らないことにより、対物レンズ８を構成するレンズの外径が大きくなりすぎず、対物レンズ８の大口径化を抑えることができる。なお、光線束(pencil of light)とは、物体の一点（物点）から出射した光線の束のことであり、光束とも言う。
【００３１】
なお、対物レンズ８は、上記の条件式（２）及び条件式（３）の代わりに、それぞれ以下の条件式（２−１）及び条件式（３−１）を満たすことが望ましく、条件式（２−２）及び条件式（３−２）を満たすことが更に望ましい。
１２００  ≦  ＦＮ／｜β｜／ε  ≦  ８０００         ・・・（２−１）
１４００  ≦  ＦＮ／｜β｜／ε  ≦  ６０００         ・・・（２−２）
１．９ ≦ φｍａｘ／２／ｈｅｘｐ／ＮＡ≦ ３．５           ・・・（３−１）
２．１ ≦ φｍａｘ／２／ｈｅｘｐ／ＮＡ≦ ３               ・・・（３−２）
【００３２】
結像レンズ１は、対物レンズ８と組み合わせて物体（標本Ｓ）の拡大像を形成する顕微鏡用結像レンズである。結像レンズ１は、収差が良好に補正され、且つ、大きな視野数と大きな開口数を実現するように構成されている。
【００３３】
撮像素子９は、例えば、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）やＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）などであり、対物レンズ８及び結像レンズ１により拡大像が形成される像面に配置される。
【００３４】
撮像素子９は、対物レンズ８及び結像レンズ１が実現する広い視野数が十分に生かされるように、サイズの大きなものが望ましい。また、対物レンズ８及び結像レンズ１による高い結像性能が十分に発揮されるように、高精細なものが望ましく、例えば、その画素サイズＬ（つまり、各画素の一辺の長さ）が１μｍから１７μｍであるものが望ましい。これは、１７μｍを上回ると、ナイキスト周波数が撮像光学系のカットオフ周波数を下回ってしまい、その結果、撮像光学系の解像性能が十分に発揮されないからである。また、１μｍを下回ると、撮像光学系のカットオフ周波数を越えてナイキスト周波数は大きくなりすぎてしまい、撮像素子の解像性能が十分に発揮されないからである。
【００３５】
顕微鏡装置１００では、ステージ５上に配置された標本Ｓは、光源装置３から出射し光ファイバー４を介して入射した光によって照明される。照明された標本Ｓは、対物レンズ８及び結像レンズ１により撮像素子９に拡大して投影され、対物レンズ８及び結像レンズ１により形成された標本Ｓの拡大像が撮像素子９で撮像される。また、顕微鏡装置１００が接眼レンズを有している場合であれば、標本Ｓの拡大像がその接眼レンズを介して観察される。
以上のように構成された顕微鏡装置１００によれば、広視野と高解像とを両立した観察及び画像取得を行うことができる。
【００３６】
次に、対物レンズ８の構成及び作用について詳細に説明する。結像レンズ１と組み合わせて物体（標本Ｓ）の拡大像を形成する顕微鏡用対物レンズである。対物レンズ８は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、正の屈折力を有する第２レンズ群と、負の屈折力を有する第３レンズ群と、から構成されている。
【００３７】
第１レンズ群は、その正のパワーにより物体からの光線束の発散（広がり）を除々に抑える。第２レンズ群は、主に軸上色収差を補正しながら、その正のパワーにより第１レンズ群からの発散光線束の広がりを徐々に抑えて、収斂光線束に変換する。第３レンズ群は、その負のパワーにより第２レンズ群からの収斂光線束を平行光線束に変換する。
【００３８】
対物レンズ８では、軸上マージナル光線の光線高は、第２レンズ群内で最大となる。より具体的には、第２レンズ群の最も物体側のレンズ成分の境界面又は内部で軸上マージナル光線の光線高が最大となる。この特徴によって、互いに正のパワーを有する第１レンズ群と第２レンズ群の境界を識別することができる。さらに、第２レンズ群と第３レンズ群の境界は、第１レンズ群に含まれるレンズ成分及び軸上マージナル光線の光線高が最大となるレンズ成分を除いた、対物レンズ８のレンズ成分のうち、正の屈折力を有する最も物体側のレンズ成分が第２レンズ群の最も像側のレンズ成分である。この特徴によって、正のパワーを有する第２レンズ群と負のパワーを有する第３レンズ群の境界を識別することができる。
【００３９】
なお、本明細書において、レンズ成分とは、単レンズ、接合レンズを問わず、物体側面と像側面の２つの面のみが空気（又は浸液）と接する一塊のレンズブロックのことである。
【００４０】
対物レンズ８が乾燥系の顕微鏡用対物レンズである場合には、第１レンズ群は、物体側から順に、第１レンズと、第２レンズと、第３レンズ成分を含んでいる。第１レンズは、物体側に凹面を向けたメニスカス形状を有する単レンズである。第２レンズは、正の屈折力を有する、物体側に凹面を向けたメニスカス形状を有する単レンズである。第３レンズ成分は、正の屈折力を有する、単レンズ又は接合レンズである。第１レンズと第２レンズは、接合されていてもよい。
【００４１】
物体側に凹面を向けたメニスカス形状の単レンズ（第１レンズ）を最も物体側に配置することにより、マージナル光線高が小さい領域に凹面を配置することができる。このため、物体からの光線束の発散を抑えながら、主に像面湾曲を良好に補正することができる。さらに、第１レンズよりも像側にそれぞれ正の屈折力を有する第２レンズと第３レンズ成分を配置することにより、球面収差とコマ収差の発生を小さく抑えながら、徐々に光線束の発散（広がり）を抑えることが可能となる。
【００４２】
対物レンズ８が液浸系の顕微鏡用対物レンズである場合には、第１レンズ群は、物体側から順に、第１レンズ又は第１接合レンズと、第２レンズと、第３レンズ成分を含んでいる。第１接合レンズは、第１レンズと第１レンズの物体側に配置されたレンズとからなる接合レンズである。第１接合レンズと第２レンズは、接合されていてもよい。
【００４３】
物体側に凹面を向けたメニスカス形状の単レンズ（第１レンズ）を最も物体側に配置することにより、マージナル光線高が小さい領域に凹面を配置することができる。このため、物体からの光線束の発散を抑えながら、主に像面湾曲を良好に補正することができる。この点は、乾燥系の場合と同様である。ただし、液浸系の場合には、第１レンズの凹面によりできた空間（凹部）内を浸液で満たすことが困難となることがある。このような場合には、屈折率が浸液に近い材料からなるレンズを第１レンズの凹面に接合してもよい。さらに、第１レンズよりも像側にそれぞれ正の屈折力を有する第２レンズと第３レンズ成分を配置することにより、球面収差とコマ収差の発生を小さく抑えながら、徐々に光線束の発散（広がり）を抑えることが可能となる。この点については、乾燥系の場合と同様である。
【００４４】
第２レンズ群は、低分散材料からなる正の屈折力を有するレンズと高分散材料からなる負の屈折力を有するレンズとからなる接合レンズを含んでいる。なお、低分散材料とはアッベ数νｄ≧６５を満たす材料をいい、高分散材料とはアッベ数νｄ≦５５を満たす材料をいう。
【００４５】
第２レンズ群内において、マージナル光線の光線高は大きくなる。このため、第２レンズ群が低分散材料からなる正の屈折力を有するレンズと高分散材料からなる負の屈折力を有するレンズとからなる接合レンズを含むことで、軸上色収差を効果的に補正することが可能となる。
【００４６】
対物レンズ８が液浸系の顕微鏡用対物レンズである場合、第３レンズ群は、最も像側には、負の屈折力を有する後方レンズ群を含んでいる。その後方レンズ群は、第４レンズ成分と、第４レンズ成分よりも物体側に配置された第５レンズ成分と、を含んでいる。第４レンズ成分は、物体側に凹面を向けたメニスカス形状を有する、単レンズ又は接合レンズである。第５レンズ成分は、負の屈折力を有する、物体側に凹面を向けた単レンズ又は接合レンズである。
【００４７】
第３レンズ群内の後方レンズ群は、その負の屈折力により、光線束を平行光線束に変換して、対物レンズ８から出射する。後方レンズ群は、第４レンズ成分を有することにより、マージナル光線高が小さい領域にレンズの凹面を配置することが可能となる。このため、ペッツバール和を正方向に補正することが可能となり、像面湾曲を良好に補正できる。また、後方レンズ群では、第４レンズ成分によって、第４レンズ成分よりも物体側にマージナル光線高が小さい領域ができる。その領域に、負の屈折力を有する第５レンズ成分を配置することで、ペッツバール和を正方向に補正することが可能となり、像面湾曲を良好に補正できる。さらに、凹面が物体側に向いているため、非点収差やコマ収差の発生を抑えながら効果的に像面湾曲を補正することができる。
【００４８】
以下、対物レンズ８の望ましい構成について説明する。
第１レンズ群に含まれる第３レンズ成分は、物体側に凹面を向けたメニスカス形状を有することが望ましい。これにより、球面収差とコマ収差の発生を小さく抑えながら、光線束の発散を抑制することが可能となる。
【００４９】
さらに、第１レンズ群は、第３レンズ成分よりも像側に、第７レンズ成分を含むことが望ましい。第７レンズ成分は、正の屈折力を有する、単レンズ又は接合レンズである。第３レンズ成分よりも像側に、正の屈折力を有する第７レンズ成分が配置されることで、第１レンズ群に所定の屈折力を持たせながら、第１レンズから第３レンズ成分までの光学系で光線束をより穏やかに（光線束の広がりを抑える方向に）屈折させることが可能となり、コマ収差や球面収差の発生を小さく抑えることが可能となる。
【００５０】
第２レンズ群は、高分散材料からなる負の屈折力を有するレンズの両面にそれぞれ低分散材料からなる正の屈折力を有するレンズを接合してなる、３枚接合レンズを含むことが望ましい。このような構成により、負の屈折力を有するレンズの両面で軸上色収差を補正することが可能となるため、マージナル光線の光線高が大きくなる第２群で効果的に軸上色収差を補正することが可能となる。さらに、レンズ面が他のレンズ面と接合されていることにより、球面収差やコマ収差の発生を小さく抑えることが可能となる。
【００５１】
さらに、第２レンズ群は、非球面形状のレンズ面を有する非球面レンズを含むことが望ましい。その非球面形状は、光軸上で正の屈折力を有する非球面形状であって、周辺に行くほど正の屈折力が小さくなるような非球面形状であることが望ましい。マージナル光線の光線高が大きくなる第２群に上述した非球面レンズを配置することにより、球面収差およびコマ収差を良好に補正することができる。
【００５２】
第３レンズ群は、物体側から順に、前方レンズ群と、中間レンズ群と、後方レンズ群からなることが望ましい。
【００５３】
前方レンズ群は、第３レンズ群内で最も物体側に配置されるレンズ群であり、後述する条件式（１２）を満たす焦点距離を有している。この特徴によって、前方レンズ群と中間レンズ群の境界を識別することができる。なお、前方レンズ群は、第２レンズ群で収斂方向に変換されたマージナル光線の光線高を緩やかに小さくしながら、軸上色収差を補正する役割を担っている。
【００５４】
中間レンズ群は、前方レンズ群と後方レンズ群の間に配置されたレンズ群である。中間レンズ群は、対物レンズ８が乾燥系対物レンズの場合と液浸系対物レンズの場合で役割が異なっている。対物レンズ８が乾燥系対物レンズの場合には、ペッツバール和を正方向に補正し、さらに光線束を収斂光線束として出射する役割を担っている。これは、いわゆるガウス群と呼ばれる光学系の像側部とワイドコンバーターと呼ばれる光学系の物体側部の働きに相当する。対物レンズ８が液浸系対物レンズの場合には、ペッツバール和を正方向に補正しながら、軸上光線束のマージナル光線高を小さくする役割を担っている。これは、いわゆるガウス群と呼ばれる光学系の物体側部の働きに相当する。
【００５５】
後方レンズ群は、第３レンズ群内で最も像側に配置されるレンズ群である。後方レンズ群は、対物レンズ８が乾燥系対物レンズの場合と液浸系対物レンズの場合で特徴が異なっている。対物レンズ８が乾燥系対物レンズの場合には、後方レンズ群は負の屈折力を有し、中間レンズ群と後方レンズ群の間の空気間隔が対物レンズ８内で最大となるという特徴がある。一方、対物レンズ８が液浸系対物レンズの場合には、後方レンズ群の最も物体側のレンズ成分の内部または境界面で軸上マージナル光線高が最小になるという特徴がある。これらの特徴によって、中間レンズ群と後方レンズ群の境界を識別することができる。なお、後方レンズ群は、乾燥系対物レンズでは、軸上光線束を平行光線束にする役割を担っている。これは、いわゆるガウス群と呼ばれる光学系の像側部とワイドコンバーターと呼ばれる光学系の像側部との働きに相当する。また、後方レンズ群は、液浸系対物レンズでは、ペッツバール和を正方向に補正しながら、軸上光線束を所定の射出瞳径の平行光線束にする役割を担っている。これは、いわゆるガウス群と呼ばれる光学系の像側部の働きに相当する。
【００５６】
前方レンズ群は、互いに隣り合って配置された、第８レンズと、第９レンズと含むことが望ましい。第８レンズは、低分散材料からなる正の屈折力を有するレンズであり、第９レンズは、高分散材料からなる負の屈折力を有するレンズである。第８レンズの第９レンズ側のレンズ面と、第９レンズの第８レンズ側のレンズ面とは、同符号の曲率半径を有している。即ち、隣り合うレンズ面が同じ方向に湾曲している。
【００５７】
前方レンズ群は、第２レンズ群で収斂方向（収斂した状態）に変換されたマージナル光線を緩やかに屈折させてその光線高を小さくしながら、軸上色収差を補正する作用を有する。前方レンズ群が上述した第８レンズと第９レンズとを有することで、軸上色収差を良好に補正することが可能となる。また、それらのレンズは互いに隣り合って配置され、且つ、隣り合うレンズ面が同じ方向に湾曲していることにより、コマ収差や球面収差の発生を小さく抑えることが可能となる。なお、第８レンズと第９レンズは、接合されていてもよい。
【００５８】
対物レンズ８が乾燥系の顕微鏡用対物レンズである場合には、中間レンズ群は、第１０レンズ成分を含むことが望ましい。第１０レンズ成分は、物体側に凹面を向けたメニスカス形状を有する、単レンズ又は接合レンズからなる。前方レンズ群と後方レンズ群の間の所定の位置に上述した第１０レンズ成分を配置することで、第１０レンズ成分の凹面（物体側）でのマージナル光線の光線高を、凸面（像側）でのマージナル光線の光線高よりも小さくすることが可能となる。これにより、ペッツバール和を正方向に補正して、像面湾曲を良好に補正することが可能となる。また、凹面が物体側を向いているため、軸外光線束の入射角および射出角が大きくなりすぎず、コマ収差の発生を小さく抑えることができる。
【００５９】
この場合、中間レンズ群は、さらに、第１０レンズ成分の像側に、正の屈折力を有する第１３レンズを含むことが望ましい。これにより、第１０レンズ成分の凸面が担うべき正の屈折力の一部を第１３レンズが担うことができるため、球面収差とコマ収差の発生を抑えることができる。
【００６０】
対物レンズ８が液浸系の顕微鏡用対物レンズである場合には、中間レンズ群は、第１２レンズ成分を含むことが望ましい。第１２レンズ成分は、物体側に凸面を向けたメニスカス形状を有する、単レンズ又は接合レンズからなる。液浸系の顕微鏡用対物レンズでは、最も物体側の凹面で十分にペッツバール和の補正をすることが困難になるため、第３レンズ群には、乾燥系の顕微鏡用対物レンズと比較して、より大きなペッツバール和の補正作用が望まれる。中間レンズ群に第１２レンズ成分が配置されることで、第１２レンズ成分の凹面（像側）でのマージナル光線の光線高を凸面（物体側）でのマージナル光線の光線高よりも小さくすることが可能となる。これにより、像面湾曲を良好にすることができる。さらに、第１２レンズ成分の凸面は、物体側に向けられているため、中間レンズ群の像側の領域、即ち、後方レンズ群の物体側の領域で、マージナル光線高をより小さくすることが可能となる。このため、より効果的にペッツバール和の補正を行うことが可能となる。
【００６１】
対物レンズ８が乾燥系の顕微鏡用対物レンズである場合には、後方レンズ群は、負の屈折力を有することが望ましく、それにより像面湾曲を良好に補正することが望ましい。しかしながら、凹面の曲率半径が小さくなりすぎるとコマ収差と非点収差の少なくともいずれかの発生が大きくなってしまう。そこで、後方レンズ群は、負の屈折力を有するレンズ成分を、２つ以上含むことが望ましい。２つ以上のレンズ成分で負の屈折力を分担することで、後方レンズ群が所定の負の屈折力を有しつつ、各レンズ成分における凹面の曲率半径が小さくなりすぎないようにすることができる。このため、コマ収差と非点収差の発生を小さく抑えることが可能となる。
【００６２】
対物レンズ８が液浸系対物レンズである場合には、後方レンズ群は、第４レンズ成分よりも物体側に配置された第１１レンズ成分を含むことが望ましい。第１１レンズ成分は、負の屈折力を有する、単レンズ又は接合レンズである。後方レンズ群が、ペッツバール和の補正作用を有する第４レンズ成分とは別に、負の屈折力を持つ第１１レンズ成分を有することにより、非点収差やコマ収差の発生を抑えながら、より効果的に像面湾曲を補正することができる。
【００６３】
対物レンズ８が乾燥系の顕微鏡用対物レンズであるか液浸系の顕微鏡用対物レンズであるかによらず、後方レンズ群は、非球面形状のレンズ面を有する非球面レンズを含むことが望ましい。その非球面形状は、光軸上で負の屈折力を有する非球面形状であって、周辺に行くほど負の屈折力が小さくなるような非球面形状であることが望ましい。軸外光線高が大きくなる後方レンズ群に上述した非球面レンズを配置することにより、像面湾曲及び非点収差を効果的に補正することができる。また、後方レンズ群は、負の屈折力を有する回折光学素子を有することが望ましい。これにより、倍率色収差を良好に補正することができる。なお、高分散材料からなる正の屈折力を有するレンズを後方レンズ群に配置した場合であっても、ある程度は同様の効果が得られる。ただし、回折光学素子が配置されることで、ｇ線の倍率色収差を過剰補正することをより確実に回避することができる。
【００６４】
対物レンズ８が乾燥系の顕微鏡用対物レンズであるか液浸系の顕微鏡用対物レンズであるかによらず、対物レンズ８は、高い部分分散を有する材料からなる、正の屈折力を有する第６レンズを含むことが望ましい。対物レンズ８が第６レンズを含むことにより、低分散の負レンズと高分散の正レンズの組み合わせにより軸上色収差の補正をしたときに過剰補正になってしまうｇ線の軸上色収差を良好に補償することができる。なお、高い部分分散を有する材料とは、その材料のｇ線、Ｆ線、Ｃ線に対する屈折率をそれぞれｎｇ、ｎＦ、ｎＣとしたときに（ｎｇ−ｎＦ）／（ｎＦ−ｎＣ）≧０．５８を満たすものをいう。例えば、オハラ社製のＮＢＨ５３、ＴＩＨ３、ＴＩＨ５３などの材料が該当する。対物レンズ８が乾燥系の顕微鏡用対物レンズである場合には、第６レンズは中間レンズ群に含まれていることが望ましい。特に、第６レンズは、中間レンズ群に含まれるメニスカスレンズ成分に含まれるか、又は、中間レンズ群に含まれるメニスカスレンズ成分の像側に配置されることが望ましい。この場合、第６レンズは、マージナル光線高が比較的高くなる領域に配置されていることから、上述した過剰に補正されたｇ線の色収差の補償と像面湾曲の補正とを同時に行うことができる。
【００６５】
以下、対物レンズ８が満たす条件について説明する。
対物レンズ８が乾燥系の対物レンズである場合には、対物レンズ８は、下記の条件式（４）から条件式（７）を満たすように構成されている。
０．８≦ＮＡ＜１                        ・・・（４）
１．６≦ｆＧ１／ｆ≦６                    ・・・（５）
−１．６≦ｒ１１／ｆ≦−０．２            ・・・（６）
−２≦ｒ１２／ｄｏ１２≦−０．８６          ・・・（７）
【００６６】
対物レンズ８が液浸系の対物レンズである場合には、対物レンズ８は、下記の条件式（８）から条件式（１０）を満たすように構成されている。
０．８≦ＮＡ≦１．５                        ・・・（８）  
２．３≦ｆＧ１／ｆ≦８                        ・・・（９）
−１．５≦ｒ１２／ｄｏ１２≦−０．７５          ・・・（１０）
【００６７】
但し、ＮＡは対物レンズ８の開口数であり、ｆは対物レンズ８の焦点距離であり、ｆＧ１は第１レンズ群の焦点距離である。ｒ１１は第１レンズの物体側のレンズ面の曲率半径であり、ｒ１２は第１レンズの像側のレンズ面の曲率半径であり、ｄｏ１２は対物レンズ８の前側焦点面（即ち、物体面）から第１レンズの像側のレンズ面までの光軸上の距離である。
【００６８】
条件式（４）及び条件式（８）は、十分な分解能を得るために必要な条件式である。ＮＡが条件式（４）及び条件式（８）の下限値を下回らないことにより、エアリーディスク径（直径）を十分に小さくすることができるため、十分な分解能が得られる。なお、対物レンズ８が乾燥系の対物レンズの場合には、ＮＡは１を越えることがない。また、対物レンズ８が液浸系の対物レンズの場合には、ＮＡが条件式（８）の上限値を上回らないことにより、対物レンズ８に入射するマージナル光線の広がり角が大きくなりすぎず、主にコマ収差による性能劣化を抑えることができる。このため、十分な分解能が得られる。
【００６９】
条件式（５）及び条件式（９）は、主にコマ収差を良好に補正するための条件式である。ｆＧ１／ｆが対物レンズの種類（乾燥系又は液浸系）に応じた条件式（ここでは、条件式（５）又は条件式（８））の下限値を下回らないことにより、第１レンズ群の焦点距離が小さくなりすぎず、第１レンズ群を構成するそれぞれのレンズの焦点距離も小さくなりすぎないようにすることができる。このため、第１レンズ群でのコマ収差の発生を小さく抑えることが可能となり、対物レンズ８全体のコマ収差を良好に補正することが可能となる。ｆＧ１／ｆが条件式の上限値を上回らないことにより、第１レンズ群の焦点距離が大きくなりすぎないため、第２レンズ群での軸外マージナル光線高が大きくなりすぎることを回避することができる。このため、第２レンズ群でのコマ収差発生を小さく抑えることができ、対物レンズ全体のコマ収差を良好に補正することができる。なお、条件式（５）と条件式（９）を比較すると、上限値及び下限値が異なる。これは、液浸系の対物レンズは、最も物体側のレンズ面が浸液に接していることから、乾燥系の対物レンズと比較して第１レンズ群での光線束の収斂（広がり抑制）作用が小さくなることに起因している。
【００７０】
条件式（６）は、主に像面湾曲と球面収差、コマ収差を良好に補正するための条件式である。ｒ１１／ｆが条件式（６）の下限値を下回らないことにより、第１レンズの物体側のレンズ面である凹面の曲率半径が大きくなりすぎない。このため、ペッツバール和の正方向の補正量が小さくなりすぎず、像面湾曲を良好に補正することができる。また、軸上および軸外マージナル光線のレンズ面に対する入射角および屈折角が大きくなりすぎないため、球面収差およびコマ収差を良好に補正することができる。ｒ１１／ｆが条件式（６）の上限値を上回らないことにより、第１レンズの物体側のレンズ面である凹面の曲率半径が小さくなりすぎない。このため、軸上および軸外光線束の広がりを十分に抑制することができ、第１レンズの像側のレンズ面及び第１レンズより像側の光学系での球面収差とコマ収差の発生を小さく抑えることができる。
【００７１】
条件式（７）及び条件式（１０）は、主に球面収差とコマ収差を良好に補正するための条件式である。ｒ１２／ｄｏ１２が対物レンズの種類（乾燥系又は液浸系）に応じた条件式（ここでは、条件式（７）又は条件式（１０））の条件式の下限値を下回らないことにより、第１レンズの像側のレンズ面である凸面の曲率半径が大きくなりすぎない。このため、軸上および軸外光線束の広がりを十分に抑制することができ、第１レンズより像側の光学系での球面収差とコマ収差の発生を小さく抑えることができる。ｒ１２／ｄｏ１２が条件式の上限値を上回らないことにより、第１レンズの像側のレンズ面である凸面の曲率半径が小さくなりすぎない。このため、軸上および軸外マージナル光線のレンズ面に対する入射角および屈折角が大きくなりすぎず、その結果、球面収差およびコマ収差を良好に補正することができる。なお、条件式（７）と条件式（１０）を比較すると、上限値及び下限値が異なる。これは、液浸系の対物レンズは、最も物体側のレンズ面が浸液に接していることから、乾燥系の対物レンズと比較して第１レンズの物体側面での光線束の収斂（広がり抑制）作用が小さくなることに起因している。
【００７２】
なお、対物レンズ８が乾燥系の対物レンズの場合には、上記の条件式（５）から条件式（７）の代わりに、それぞれ以下の条件式（５−１）から条件式（７−１）を満たすことが望ましく、条件式（５−２）から条件式（７−２）を満たすことが更に望ましい。さらに、対物レンズ８が液浸系の対物レンズの場合には、上記の条件式（９）及び条件式（１０）の代わりに、以下の条件式（９−１）及び条件式（１０−１）を満たすことが望ましく、条件式（９−２）及び条件式（１０−２）を満たすことが更に望ましい。
１．９≦ｆＧ１／ｆ≦４．５                  ・・・（５−１）
２．１≦ｆＧ１／ｆ≦３．５                  ・・・（５−２）
−１．５３≦ｒ１１／ｆ≦−０．６            ・・・（６−１）
−１．４６≦ｒ１１／ｆ≦−１                ・・・（６−２）
−１．７５≦ｒ１２／ｄｏ１２≦−０．９５  ・・・（７−１）
−１．５≦ｒ１２／ｄｏ１２≦−１．０５    ・・・（７−２）
２．５５≦ｆＧ１／ｆ≦６                    ・・・（９−１）
２．８≦ｆＧ１／ｆ≦４                      ・・・（９−２）
−１．３≦ｒ１２／ｄｏ１２≦−０．８      ・・・（１０−１）
−１．１≦ｒ１２／ｄｏ１２≦−０．９      ・・・（１０−２）
【００７３】
以下、対物レンズ８が満たすことが望ましい条件について説明する。
対物レンズ８は、下記の条件式（１１）から条件式（１４）を満足することが望ましい。
０．２≦ＤｏｇＦ/ＤｏＬ≦０．８７        ・・・（１１）
−０．３≦ｆ／ｆＧ３Ｏ≦０．３              ・・・（１２）  
０．０５≦ｆＧ１／ｆＬ２≦０．６          ・・・（１３）
０．０３≦ｆＧ１／ｆＬ３≦０．５          ・・・（１４）
【００７４】
但し、ＤｏｇＦは対物レンズ８の前側焦点面（物体面）から第６レンズの像側のレンズ面までの光軸上の距離であり、ＤｏＬは対物レンズ８の前側焦点面（物体面）から対物レンズ８の最も像側のレンズ面までの光軸上の距離である。ｆＧ３Ｏは前方レンズ群の焦点距離であり、ｆＬ２は第２レンズの焦点距離であり、ｆＬ３は第３レンズ成分の焦点距離である。
【００７５】
条件式（１１）は、対物レンズ８内における第６レンズの位置に関する条件式である。ＤｏｇＦ/ＤｏＬが条件式（１１）を満たすことで、マージナル光線高が高い領域に第６レンズを配置することが可能になる。このため、ｇ線の軸上色収差の過剰補正をより効率的に補償することが可能となる。特に、ＤｏｇＦ/ＤｏＬが条件式（１１）の上限値を超えないことにより、軸外主光線高の小さいところに第６レンズを配置することが可能になる。このため、ｇ線の倍率色収差が過剰に補正されてしまうことを避けることができる。
【００７６】
条件式（１２）は、後方レンズ群の焦点距離に関する条件式である。ｆ／ｆＧ３Ｏが条件式（１２）の上限値を超えないことにより、後方レンズ群の収斂作用が大きくなりすぎないため、マージナル光線が急激に屈折されることなく緩やかに後方レンズ群を通過することが可能となる。これにより、コマ収差や球面収差の発生を小さく抑えながら軸上色収差を効果的に補正することが可能となる。ｆ／ｆＧ３Ｏが条件式（１２）の下限値を下回らないことにより、後方レンズ群での発散作用が大きくなりすぎず、後方レンズ群の内部及びそれよりも像側の光学系で十分にマージナル光線高を小さくすることが可能となる。
【００７７】
条件式（１３）は、主にコマ収差と球面収差を良好に補正するための条件式である。ｆＧ１／ｆＬ２が条件式（１３）の上限値を超えないことにより、第２レンズの焦点距離が短くなりすぎない。このため、球面収差とコマ収差の発生を小さく抑えながら、徐々に光線束の発散（広がり）を抑えることが可能となる。ｆＧ１／ｆＬ２が条件式（１３）の下限値を下回らないことにより、第２レンズの焦点距離が長くなりすぎない。このため、第１レンズ群を構成する他の正レンズの屈折力が大きくなりすぎずに第１レンズ群に所定の屈折力を持たせることが可能となる。このため、第１レンズ群が球面収差とコマ収差の発生を小さく抑えながら、徐々に光線束の発散（広がり）を抑えることが可能となる。
【００７８】
条件式（１４）は、主にコマ収差と球面収差を良好に補正するための条件式である。ｆＧ１／ｆＬ３が条件式（１４）の上限値を超えないことにより、第３レンズ成分の焦点距離が短くなりすぎない。このため、球面収差とコマ収差の発生を小さく抑えながら、徐々に光線束の発散（広がり）を抑えることが可能となる。ｆＧ１／ｆＬ３が条件式（１４）の下限値を下回らないことにより、第３レンズ成分の焦点距離が長くなりすぎない。第１レンズ群を構成する他の正レンズの屈折力が大きくなりすぎずに第１レンズ群に所定の屈折力を持たせることが可能となる。このため、第１レンズ群が球面収差とコマ収差の発生を小さく抑えながら、徐々に光線束の発散（広がり）を抑えることが可能となる。
【００７９】
なお、対物レンズ８は、上記の条件式（１１）から条件式（１４）の代わりに、それぞれ以下の条件式（１１−１）から条件式（１４−１）を満たすことが望ましく、条件式（１１−２）から条件式（１４−２）を満たすことが更に望ましい。
０．３≦ＤｏｇＦ/ＤｏＬ≦０．８３          ・・・（１１−１）
０．３８≦ＤｏｇＦ/ＤｏＬ≦０．７５        ・・・（１１−２）
−０．２５≦ｆ／ｆＧ３Ｏ≦０．２            ・・・（１２−１）  
−０．２≦ｆ／ｆＧ３Ｏ≦０．１１            ・・・（１２−２）  
０．１≦ｆＧ１／ｆＬ２≦０．５              ・・・（１３−１）
０．１５≦ｆＧ１／ｆＬ２≦０．４            ・・・（１３−２）
０．０５≦ｆＧ１／ｆＬ３≦０．４            ・・・（１４−１）
０．０７≦ｆＧ１／ｆＬ３≦０．３            ・・・（１４−２）
【００８０】
対物レンズ８が乾燥系の対物レンズである場合には、対物レンズ８は、下記の条件式（１５）及び条件式（１６）を満たすことが望ましい。
−１０≦ｆＧ３Ｉ／ｆ≦−１．５              ・・・（１５）
０．８≦ｒ２１／ｒ１２≦２                  ・・・（１６）
【００８１】
但し、ｆＧ３Ｉは後方レンズ群の焦点距離であり、ｒ１２は第１レンズの像側のレンズ面の曲率半径であり、ｒ２１は第２レンズの物体側のレンズ面の曲率半径である。
【００８２】
条件式（１５）は、主に像面湾曲を良好に補正するための条件式である。後方レンズ群からの出射光が平行光となることを考慮すると、ｆＧ３Ｉ／ｆが条件式（１５）の下限値を下回らないことにより、後方レンズ群でのマージナル光線高をより物体側のレンズ群に比べて十分に小さくすることができる。また、後方レンズ群が十分な負の屈折力を持つことができるため、ペッツバール和の正方向の補正量が小さくなりすぎず、像面湾曲を良好に補正することが可能となる。ｆＧ３Ｉ／ｆが条件式（１５）の上限値を超えないことにより、後方レンズ群の負の屈折力が大きくなりすぎず、後方レンズ群より物体側でのマージナル光線高が大きくなりすぎない。このため、コマ収差や球面収差の発生を小さく抑えることが可能となる。
【００８３】
条件式（１６）は、主に球面収差とコマ収差を良好に補正するための条件式である。ｒ２１／ｒ１２が条件式（１６）の上限値を上回らないことにより、第２レンズの物体側のレンズ面である凹面の曲率半径が大きくなりすぎない。このため、軸上および軸外マージナル光線のレンズ面に対する入射角および屈折角が大きくなりすぎないため、球面収差およびコマ収差を良好に補正することができる。ｒ２１／ｒ１２が条件式（１６）の下限値を下回らないことにより、第２レンズの物体側のレンズ面である凹面の曲率半径が小さくなりすぎない。このため、軸上および軸外光線束の発散（広がり）を十分に抑えることができる。
【００８４】
なお、対物レンズ８は、上記の条件式（１５）及び条件式（１６）の代わりに、それぞれ以下の条件式（１５−１）及び条件式（１６−１）を満たすことが望ましく、条件式（１５−２）及び条件式（１６−２）を満たすことが更に望ましい。
−７．５≦ｆＧ３Ｉ／ｆ≦−２                ・・・（１５−１）
−５≦ｆＧ３Ｉ／ｆ≦−２．５                ・・・（１５−２）
１≦ｒ２１／ｒ１２≦１．７                ・・・（１６−１）
１．２≦ｒ２１／ｒ１２≦１．４            ・・・（１６−２）
【００８５】
なお、乾燥系の対物レンズの場合には、条件式（１１）から条件式（１６）の任意に組み合わせが、条件式（４）から（７）を満たす対物レンズに適用されてもよい。また、液浸系の対物レンズの場合には、条件式（１１）から条件式（１４）の任意に組み合わせが、条件式（８）から（１０）を満たす対物レンズに適用されてもよい。各式は、上限値及び下限値のいずれか一方のみで限定しても良い。
【００８６】
対物レンズ８によれば、収差が良好に補正された、広視野と大きな開口数を有する顕微鏡対物レンズを実現することができる。以下、上述した対物レンズ８の実施例について具体的に説明する。なお、実施例１から実施例５では乾燥系対物レンズを例示し、実施例６以降では液浸系対物レンズを例示する。
【実施例１】
【００８７】
図２は、本実施例に係る対物レンズ１１の断面図である。図２に例示される対物レンズ１１は、乾燥系の顕微鏡対物レンズであって、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、低分散材料からなる正の屈折力を有するレンズと高分散材料からなる負の屈折力を有するレンズとからなる接合レンズを含む、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３と、から構成されている。
【００８８】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側から、物体側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１（第１レンズ）と物体側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ２（第２レンズ）とからなる接合レンズＣＬ１と、物体側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ３と物体側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ４とからなる接合レンズＣＬ２（第３レンズ成分）と、物体側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ５と物体側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ６とからなる接合レンズＣＬ３（第７レンズ成分）と、からなっている。
【００８９】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凸レンズＬ７と両凹レンズＬ８と両凸レンズＬ９からなる３枚接合レンズＣＬ４と、像側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１０と両凸レンズＬ１１とからなる接合レンズＣＬ５と、からなっている。
【００９０】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、第３ｏレンズ群（前方レンズ群）と、第３ｃレンズ群（中間レンズ群）と、第３ｉレンズ群（後方レンズ群）と、からなっている。第３ｏレンズ群は、物体側から順に、像側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１２と、両凸レンズＬ１３（第８レンズ）と、物体側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１４（第９レンズ）と、からなっている。第３ｃレンズ群は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１５と物体側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１６（第６レンズ、オハラ社製ＮＢＨ５３）とからなる接合レンズＣＬ６（第１０レンズ成分）と、両凸レンズＬ１７と、からなっている。第３ｉレンズ群は、物体側から順に、像側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１８と、物体側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１９と物体側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ２０とからなる接合レンズＣＬ７と、からなっている。
【００９１】
対物レンズ１１の各種データは、以下のとおりである。なお、基準波長は、ｄ線（５８７．５６ｎｍ）である。なお、ｆＧ２は第２レンズ群Ｇ２の焦点距離であり、ｆＬ７は第７レンズ成分の焦点距離である。なお、Eは１０のべき乗を示している。
ＮＡ＝０．８５、ＦＮ＝３０ｍｍ、｜β｜＝２０、ε＝８．４３Ｅ−０４ｍｍ、ｆ＝９ｍｍ、ｆＧ１＝３０．１１ｍｍ、ｒ１１＝−１２．２４８１ｍｍ、ｒ１２＝−１７．８２１１ｍｍ、ｄｏ１２＝１２．１８２ｍｍ、Φｍａｘ／２＝１９．０５ｍｍ、ｈｅｘｐ＝７．６５ｍｍ、ｆＧ３Ｏ＝−１９６．６４ｍｍ、ｆＧ３Ｉ＝−３０．２３ｍｍ、ｒ２１＝−１７．８２１１ｍｍ、ＤｏＬ＝１３３．０００ｍｍ、ＤｏｇＦ＝９０．３１２ｍｍ、ｆＬ２＝１９６．１１ｍｍ、ｆＬ３＝６６．５５ｍｍ
【００９２】
対物レンズ１１のレンズデータは、以下のとおりである。なお、レンズデータ中のINFは無限大（∞）を示している。
対物レンズ１１
s                r             d           nd            νd           er
s1(物体面)   INF              0.150        1.52100       56.02        0.75 
s2           INF              1.942                                   0.85 
s3           -12.2481        10.090        1.88300       40.76        3.39 
s4           -17.8211         4.612        1.60300       65.44        9.46 
s5           -16.9951         0.100                                  11.64 
s6           -23.7081         1.043        1.63779       42.41       12.48 
s7           -28.2010         5.361        1.60300       65.44       13.32 
s8           -16.3520         0.100                                  13.94 
s9           -40.7739         0.838        1.63779       42.41       15.49 
s10          -55.9945         4.018        1.49702       81.54       16.04 
s11          -28.6925         0.100                                  16.46 
s12           35.2415        14.308        1.43876       94.93       18.69 
s13          -30.8526         1.500        1.63779       42.41       18.54 
s14           72.9560         8.018        1.43876       94.93       18.97 
s15          -42.3220         0.100                                  19.05 
s16           50.1825         1.300        1.63779       42.41       18.26 
s17           20.2794        11.485        1.43876       94.93       16.84 
s18          -94.5855         0.200                                  16.77 
s19          101.8945         1.000        1.63779       42.41       16.26 
s20           33.4896         0.100                                  15.67 
s21           30.4321         7.731        1.43876       94.93       15.70 
s22          -50.4634         0.624                                  15.62 
s23          -42.0010         1.000        1.67305       38.15       15.59 
s24        -1706.2591         5.818                                  15.61 
s25          -23.7887         1.891        1.48751       70.23       15.61 
s26         -162.4849         6.884        1.73806       32.26       17.41 
s27          -31.7625         4.144                                  17.95 
s28           74.7972         5.430        1.63779       42.41       17.18 
s29         -199.8224        25.089                                  16.83 
s30          290.9229         1.000        1.49702       81.54        9.57 
s31           34.8878         5.025                                   9.16 
s32          -15.6607         1.000        1.49702       81.54        9.02 
s33         -663.5991         1.000        1.63779       42.41        9.51 
s34          -53.4597       -23.576                                   9.54
【００９３】
ここで、sは面番号を、rは曲率半径（ｍｍ）を、dは面間隔（ｍｍ）を、ndはｄ線に対する屈折率を、νdはアッベ数を、erは有効半径（ｍｍ）を示す。これらの記号は、以降の実施例でも同様である。なお、面番号s1,s2が示す面は、それぞれ物体面（カバーガラスの物体側の面）、カバーガラスの像側の面を示し、面番号s3,s34が示す面は、それぞれ対物レンズの最も物体側のレンズ面、最も像側のレンズ面を示している。また、例えば、面間隔d1は、面番号s1が示す面から面番号s2が示す面までの距離を示している。面間隔の最後の値は、対物レンズの最も像側のレンズ面から射出瞳位置までの距離を示している。なお、マイナスの値は、射出瞳位置が対物レンズの最も像側のレンズ面よりも物体側に位置していることを示している。
【００９４】
対物レンズ１１は、以下で示されるように、条件式（１）から（７）及び（１１）から（１６）を満たしている。なお、視野数ＦＮおよび倍率βは、結像レンズ１０と組み合わせた場合の値である。この点は、実施例１から実施例１１のすべての実施例において同様である。
（１）、（４）：ＮＡ＝０．８５
（２）：ＦＮ／｜β｜／ε＝１７８０
（３）：Φｍａｘ／２／ｈｅｘｐ／ＮＡ＝２．９３
（５）：ｆＧ１／ｆ＝３．３５
（６）：ｒ１１／ｆ＝−１．３６
（７）：ｒ１２／ｄｏ１２＝−１．４６
（１１）：ＤｏｇＦ/ＤｏＬ＝０．６８
（１２）：ｆ／ｆＧ３Ｏ＝−０．０５
（１３）：ｆＧ１／ｆＬ２＝０．１５
（１４）：ｆＧ１／ｆＬ３＝０．４５
（１５）：ｆＧ３Ｉ／ｆ＝−３．３６
（１６）：ｒ２１／ｒ１２＝１．００
【００９５】
図３は、対物レンズ１１と組み合わせて使用される結像レンズ１０の断面図である。図４は、対物レンズ１１と図３に例示される結像レンズ１０を組み合わせて用いた場合の収差図である。図４（ａ）は球面収差図であり、図４（ｂ）は正弦条件違反量を示した図であり、図４（ｃ）は非点収差図であり、図４（ｄ）はコマ収差図である。なお、図中の“Ｍ”はメリディオナル成分、“Ｓ”はサジタル成分を示している。また、実施例２以降も含めて各収差図は、結像レンズ１０の第1面s1と対物レンズの射出瞳位置を一致させて出力したものである。なお、図３に例示される結像レンズ１０の構成については、後述する。
【実施例２】
【００９６】
図５は、本実施例に係る対物レンズ１２の断面図である。図５に例示される対物レンズ１２は、乾燥系の顕微鏡対物レンズであって、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、低分散材料からなる正の屈折力を有するレンズと高分散材料からなる負の屈折力を有するレンズとからなる接合レンズを含む、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３と、から構成されている。
【００９７】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側から、物体側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１（第１レンズ）と、物体側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ２（第２レンズ）と、物体側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ３（第３レンズ成分）と、物体側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ４（第７レンズ成分）と、からなっている。
【００９８】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凸レンズＬ５と両凹レンズＬ６と両凸レンズＬ７からなる３枚接合レンズＣＬ１と、像側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ８と両凸レンズＬ９とからなる接合レンズＣＬ２と、からなっている。
【００９９】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、第３ｏレンズ群（前方レンズ群）と、第３ｃレンズ群（中間レンズ群）と、第３ｉレンズ群（後方レンズ群）と、からなっている。第３ｏレンズ群は、物体側から順に、像側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１０（第９レンズ）と像側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１１（第８レンズ）とからなる接合レンズＣＬ３と、像側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１２と、からなっている。第３ｃレンズ群は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１３と物体側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１４（第６レンズ、オハラ社製ＮＢＨ５３）とからなる接合レンズＣＬ４（第１０レンズ成分）と、両凸レンズＬ１５と、からなっている。第３ｉレンズ群は、物体側から順に、両凹レンズＬ１６と、物体側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１７と、からなっている。
【０１００】
対物レンズ１２の各種データは、以下のとおりである。なお、基準波長は、ｄ線（５８７．５６ｎｍ）である。
ＮＡ＝０．９、ＦＮ＝３０ｍｍ、｜β｜＝２０、ε＝７．９６Ｅ−０４ｍｍ、ｆ＝９ｍｍ、ｆＧ１＝１９．４２２ｍｍ、ｒ１１＝−９．８５８７ｍｍ、ｒ１２＝−１３．０２１１ｍｍ、ｄｏ１２＝１１．４３１ｍｍ、Φｍａｘ／２＝１６．１５ｍｍ、ｈｅｘｐ＝８．１０ ｍｍ、ｆＧ３Ｏ＝−５２．９８２４ｍｍ、ｆＧ３Ｉ＝−２９．１４７ｍｍ、ｒ２１＝−１６．８７０１ｍｍ、ＤｏＬ＝１００．３８２ｍｍ、ＤｏｇＦ＝８２．７９１ｍｍ、ｆＬ２＝５７．０８ｍｍ、ｆＬ３＝２３８．４５ｍｍ
【０１０１】
対物レンズ１２のレンズデータは、以下のとおりである。
対物レンズ１２
s                r             d           nd            νd       er
s1(物体面)     INF            0.150        1.52100       56.02     0.75 
s2             INF            1.390                                0.86 
s3             -9.8587        9.891        1.88300       40.76     2.93 
s4            -13.0211        1.258                                8.83 
s5            -16.8701        3.652        1.67790       55.34     9.99 
s6            -12.7760        0.100                               10.77 
s7            -20.8962        3.754        1.60300       65.44    11.78 
s8            -19.4778        0.100                               13.02 
s9            -55.3230        2.940        1.49700       81.54    14.08 
s10           -28.0702        0.100                               14.33 
s11            24.5700        8.491        1.43875       94.93    16.06 
s12           -80.5777        0.800        1.63775       42.41    15.92 
s13            19.5830       10.948        1.43875       94.93    14.97 
s14           -38.5327        0.100                               15.01 
s15            27.6315        0.800        1.63775       42.41    14.10 
s16            14.3420       10.337        1.43875       94.93    12.71 
s17           -46.3046        0.200                               12.60 
s18            22.3981        0.800        1.63775       42.41    11.38 
s19            11.2096        5.812        1.49700       81.54     9.98 
s20            45.0258        0.100                                9.77 
s21            44.9455        0.800        1.63775       42.41     9.74 
s22            15.3887        7.272                                9.03 
s23           -11.7080        0.800        1.48749       70.23     9.03 
s24           -45.2675       12.197        1.73800       32.26    10.38 
s25           -20.2331        0.100                               13.21 
s26            82.3763        3.191        1.67790       55.34    13.16 
s27           -65.0281        9.354                               13.10 
s28           -80.8182        0.800        1.49700       81.54    10.35 
s29            37.0824        3.163                                9.98 
s30           -31.4348        0.983        1.49700       81.54     9.96 
s31          -254.1359      -25.918                               10.13
【０１０２】
対物レンズ１２は、以下で示されるように、条件式（１）から（７）及び（１１）から（１６）を満たしている。
（１）、（４）：ＮＡ＝０．９
（２）：ＦＮ／｜β｜／ε＝１８８５
（３）：Φｍａｘ／２／ｈｅｘｐ／ＮＡ＝２．２２
（５）：ｆＧ１／ｆ＝２．１６
（６）：ｒ１１／ｆ＝−１．１０
（７）：ｒ１２／ｄｏ１２＝−１．１４
（１１）：ＤｏｇＦ/ＤｏＬ＝０．８２
（１２）：ｆ／ｆＧ３Ｏ＝−０．１７
（１３）：ｆＧ１／ｆＬ２＝０．３４
（１４）：ｆＧ１／ｆＬ３＝０．０８
（１５）：ｆＧ３Ｉ／ｆ＝−３．２４
（１６）：ｒ２１／ｒ１２＝１．３０
【０１０３】
図６は、対物レンズ１２と結像レンズ１０を組み合わせて用いた場合の収差図である。図６（ａ）は球面収差図であり、図６（ｂ）は正弦条件違反量を示した図であり、図６（ｃ）は非点収差図であり、図６（ｄ）はコマ収差図である。
【実施例３】
【０１０４】
図７は、本実施例に係る対物レンズ１３の断面図である。図７に例示される対物レンズ１３は、乾燥系の顕微鏡対物レンズであって、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、低分散材料からなる正の屈折力を有するレンズと高分散材料からなる負の屈折力を有するレンズとからなる接合レンズを含む、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３と、から構成されている。
【０１０５】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側から、物体側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１（第１レンズ）と、物体側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ２（第２レンズ）と、物体側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ３（第３レンズ成分）と、物体側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ４（第７レンズ成分）と、からなっている。
【０１０６】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凸レンズＬ５と両凹レンズＬ６と両凸レンズＬ７からなる３枚接合レンズＣＬ１と、像側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ８と両凸レンズＬ９とからなる接合レンズＣＬ２と、からなっている。
【０１０７】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、第３ｏレンズ群（前方レンズ群）と、第３ｃレンズ群（中間レンズ群）と、第３ｉレンズ群（後方レンズ群）と、からなっている。第３ｏレンズ群は、物体側から順に、像側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１０（第９レンズ）と両凸レンズＬ１１（第８レンズ）とからなる接合レンズＣＬ３と、両凹レンズＬ１２と、からなっている。第３ｃレンズ群は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１３と物体側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１４（第６レンズ、オハラ社製ＮＢＨ５３）とからなる接合レンズＣＬ４（第１０レンズ成分）と、両凸レンズＬ１５と、からなっている。第３ｉレンズ群は、物体側から順に、両凹レンズＬ１６と、両凹レンズＬ１７と両凸レンズＬ１８とからなる接合レンズＣＬ５と、からなっている。
【０１０８】
対物レンズ１３の各種データは、以下のとおりである。なお、基準波長は、ｄ線（５８７．５６ｎｍ）である。
ＮＡ＝０．９５、ＦＮ＝３０ｍｍ、｜β｜＝２０、ε＝７．５４Ｅ−０４ｍｍ、ｆ＝９ｍｍ、ｆＧ１＝２７．３ｍｍ、ｒ１１＝−１３．０８２８ｍｍ、ｒ１２＝−１８．６４４７ｍｍ、ｄｏ１２＝１３．１０１ｍｍ、Φｍａｘ／２＝２３．９４８ｍｍ、ｈｅｘｐ＝８．５５ｍｍ、ｆＧ２＝５４．７ｍｍ、ｆＧ３Ｏ＝−１５９．９４ｍｍ、ｆＧ３Ｃ＝６５．９４ｍｍ、ｆＧ３Ｉ＝−３１．７５ｍｍ、ｒ２１＝−２５．０４４６ｍｍ、ＤｏＬ＝１４８．６７９ｍｍ、ＤｏｇＦ＝１０８．３７４ｍｍ、ｆＬ２＝８２．６６ｍｍ、ｆＬ３＝１０９．３５ｍｍ、ｆＬ７＝１５６．８４ｍｍ
【０１０９】
対物レンズ１３のレンズデータは、以下のとおりである。
対物レンズ１３
s                r             d           nd            νd          er
s1(物体面)      INF           0.150        1.52100       56.02       0.75 
s2              INF           2.027                                  0.87 
s3             -13.0828      10.924        1.88300       40.76       4.37 
s4             -18.6447       1.191                                 11.63 
s5             -25.0446       4.866        1.60300       65.44      13.27 
s6             -17.8874       0.110                                 14.45 
s7             -23.8656       5.582        1.60300       65.44      15.60 
s8             -19.0650       0.110                                 16.72 
s9             -74.2737       3.752        1.49700       81.54      19.54 
s10            -38.6719       0.110                                 19.84 
s11             43.0902      16.297        1.43875       94.93      22.60 
s12            -33.2088       1.650        1.63775       42.41      22.55 
s13             89.2116      11.130        1.43875       94.93      23.56 
s14            -43.0265       0.110                                 23.66 
s15             54.2247       1.430        1.63775       42.41      22.35 
s16             22.3467      16.663        1.43875       94.93      20.20 
s17            -73.4579       0.220                                 20.17 
s18             49.8507       1.100        1.63775       42.41      19.05 
s19             20.7309      11.427        1.43875       94.93      17.33 
s20           -180.4116       1.358                                 17.18 
s21           -105.6549       1.100        1.67300       38.15      17.00 
s22            111.6317       9.250                                 16.77 
s23            -22.2976       0.880        1.48749       70.23      16.77 
s24           -115.6031       6.936        1.73800       32.26      19.07 
s25            -28.8606       0.100                                 19.39 
s26            131.0728       3.590        1.63775       42.41      18.58 
s27           -126.7311      27.324                                 18.47 
s28            -35.6037       1.100        1.49700       81.54      10.57 
s29            349.2902       5.126                                 10.35 
s30            -25.0136       1.100        1.49700       81.54      10.07 
s31             59.1028       1.965        1.63775       42.41      10.45 
s32           -255.7418     -28.248                                 10.50 
【０１１０】
対物レンズ１３は、以下で示されるように、条件式（１）から（７）及び（１１）から（１６）を満たしている。
（１）、（４）：ＮＡ＝０．９５
（２）：ＦＮ／｜β｜／ε＝１９９０
（３）：Φｍａｘ／２／ｈｅｘｐ／ＮＡ＝２．９５
（５）：ｆＧ１／ｆ＝３．０３
（６）：ｒ１１／ｆ＝−１．４５
（７）：ｒ１２／ｄｏ１２＝−１．４２
（１１）：ＤｏｇＦ/ＤｏＬ＝０．７３
（１２）：ｆ／ｆＧ３Ｏ＝−０．０６
（１３）：ｆＧ１／ｆＬ２＝０．３３
（１４）：ｆＧ１／ｆＬ３＝０．２５
（１５）：ｆＧ３Ｉ／ｆ＝−３．５３
（１６）：ｒ２１／ｒ１２＝１．３４
【０１１１】
図８は、対物レンズ１３と結像レンズ１０を組み合わせて用いた場合の収差図である。図８（ａ）は球面収差図であり、図８（ｂ）は正弦条件違反量を示した図であり、図８（ｃ）は非点収差図であり、図８（ｄ）はコマ収差図である。
【実施例４】
【０１１２】
図９は、本実施例に係る対物レンズ１４の断面図である。図９に例示される対物レンズ１４は、乾燥系の顕微鏡対物レンズであって、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、低分散材料からなる正の屈折力を有するレンズと高分散材料からなる負の屈折力を有するレンズとからなる接合レンズを含む、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３と、から構成されている。
【０１１３】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側から、物体側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１（第１レンズ）と、物体側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ２（第２レンズ）と、物体側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ３（第３レンズ成分）と、物体側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ４（第７レンズ成分）と、からなっている。
【０１１４】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凸レンズＬ５と両凹レンズＬ６と両凸レンズＬ７からなる３枚接合レンズＣＬ１と、両凸レンズＬ８と、からなっている。なお、両凸レンズＬ８は、両面が非球面からなる非球面レンズである。
【０１１５】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、第３ｏレンズ群（前方レンズ群）と、第３ｃレンズ群（中間レンズ群）と、第３ｉレンズ群（後方レンズ群）と、からなっている。第３ｏレンズ群は、物体側から順に、像側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ９（第９レンズ）と両凸レンズＬ１０（第８レンズ）とからなる接合レンズＣＬ２と、像側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１１と両凸レンズＬ１２とからなる接合レンズＣＬ３と、からなっている。第３ｃレンズ群は、物体側から順に、両凸レンズＬ１３（第６レンズ、オハラ社製ＮＢＨ５３）と物体側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１４とからなる接合レンズＣＬ４と、像側に凹面を向けたメニスカスレンズＬ１５と、像側に凹面を向けたメニスカスレンズＬ１６と、からなっている。第３ｉレンズ群は、物体側から順に、両凹レンズＬ１７と、像側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１８と、からなっている。なお、メニスカスレンズＬ１５、メニスカスレンズＬ１６、及び両凹レンズＬ１７は、両面が非球面からなる非球面レンズである。
【０１１６】
対物レンズ１４の各種データは、以下のとおりである。なお、基準波長は、ｄ線（５８７．５６ｎｍ）である。
ＮＡ＝０．９５、ＦＮ＝３０ｍｍ、｜β｜＝２０、ε＝７．５４Ｅ−０４ｍｍ、ｆ＝９ｍｍ、ｆＧ１＝２３．６ｍｍ、ｒ１１＝−１０．２４４１ｍｍ、ｒ１２＝−１３．３１７５ｍｍ、ｄｏ１２＝１０．３１４ｍｍ、Φｍａｘ／２＝２１．７２８ｍｍ、ｈｅｘｐ＝８．５５ｍｍ、ｆＧ３Ｏ＝９０９．３５７ｍｍ、ｆＧ３Ｉ＝−８１．９２ｍｍ、ｒ２１＝−１７．６９７３ｍｍ、ＤｏＬ＝１４９．６４１ｍｍ、ＤｏｇＦ＝１０７．８７６ｍｍ、ｆＬ２＝６５．２４ｍｍ、ｆＬ３＝１７５．０６ｍｍ
【０１１７】
対物レンズ１４のレンズデータは、以下のとおりである。面番号の横にある*マークは、その面が非球面であることを示している。
対物レンズ１４
s                r             d           nd            νd           er
s1(物体面)      INF           0.150        1.52100       56.02        0.75 
s2              INF           2.214                                   0.87 
s3             -10.2441       7.950        1.88300       40.76        4.33 
s4             -13.3175       0.121                                   9.56 
s5             -17.6973       5.166        1.67790       55.34       10.43 
s6             -14.1306       0.121                                  12.08 
s7             -21.3714       5.186        1.56907       71.30       13.44 
s8             -19.1452       0.396                                  15.16 
s9             -44.1327       5.129        1.49700       81.54       17.10 
s10            -25.6809       0.121                                  17.75 
s11             35.9327      14.463        1.49700       81.54       21.12 
s12            -54.0221       0.968        1.63775       42.41       20.79 
s13             30.9878      11.469        1.43875       94.93       20.15 
s14            -57.0147       0.121                                  20.17 
s15*           762.8936       2.743        1.43875       94.93       19.93 
s16*           -95.8052       0.121                                  19.95 
s17            107.5081       0.968        1.67300       38.15       19.20 
s18             20.6405      22.188        1.43875       94.93       17.71 
s19            -72.7389       0.242                                  18.35 
s20            124.0168       0.968        1.67300       38.15       18.27 
s21             24.4575       9.958        1.43875       94.93       17.76 
s22           -117.0784       0.121                                  17.84 
s23           2449.3135      16.993        1.73800       32.26       17.93 
s24            -24.6714       5.354        1.48749       70.23       18.29 
s25            -53.1343       2.770                                  16.63 
s26*           683.9611       8.787        1.49700       81.54       14.40 
s27*            31.7810       2.371                                  12.29 
s28*            22.1813       8.754        1.49700       81.54       11.98 
s29*            13.6459       5.257                                   9.41 
s30*           -33.9011       6.266        1.49700       81.54        9.76 
s31*           135.5589       1.000                                  10.28 
s32             60.0363       1.206        1.73800       32.26       10.50 
s33            115.3925     -29.031                                  10.50   
【０１１８】
対物レンズ１４の非球面データは、以下のとおりである。ここで、非球面形状は、下式で示される。但し、Zは、非球面の光軸の方向の座標であり、Yは非球面の光軸と直交する方向の座標であり、Kは円錐係数であり、rは非球面の近軸における曲率半径であり、A4,A6,A8,A10はそれぞれ４次、６次、８次、１０次の非球面係数である。Eは１０のべき乗を表わしている。
【数１】
0006367685.tif 000002
第１５面s15
K=-130.5839   A4=-3.374E-06  A6=-2.550E-09  A8=-4.653E-12  A10=-1.689E-14
第１６面s16
K=0.9776   A4=-1.333E-06  A6=-2.475E-09  A8=-9.516E-12  A10=-6.753E-15
第２６面s26
K=-115.0934   A4=9.081E-07  A6=-5.191E-08  A8=-1.147E-10  A10=1.250E-13
第２７面s27
K=-0.5111   A4=1.769E-05  A6=-2.561E-08  A8=-7.502E-10  A10=1.643E-12
第２８面s28
K=-2.9135   A4=6.461E-07  A6=-2.152E-08  A8=4.242E-10  A10=2.141E-12
第２９面s29
K=-1.5929   A4=2.967E-05  A6=4.115E-07  A8=3.764E-09  A10=2.546E-11
第３０面s30
K=-3.3854   A4=1.580E-05  A6=4.658E-07  A8=1.813E-09  A10=-1.025E-11
第３１面s31
K=-79.1359    A4=-5.487E-06  A6=4.016E-08  A8=4.241E-10  A10=-1.231E-11
【０１１９】
対物レンズ１４は、以下で示されるように、条件式（１）から（７）及び（１１）から（１６）を満たしている。
（１）、（４）：ＮＡ＝０．９５
（２）：ＦＮ／｜β｜／ε＝１９９０
（３）：Φｍａｘ／２／ｈｅｘｐ／ＮＡ＝２．６８  
（５）：ｆＧ１／ｆ＝２．６２
（６）：ｒ１１／ｆ＝−１．１４
（７）：ｒ１２／ｄｏ１２＝−１．２９
（１１）：ＤｏｇＦ/ＤｏＬ＝０．７２
（１２）：ｆ／ｆＧ３Ｏ＝０．０１
（１３）：ｆＧ１／ｆＬ２＝０．３６
（１４）：ｆＧ１／ｆＬ３＝０．１３
（１５）：ｆＧ３Ｉ／ｆ＝−９．１０
（１６）：ｒ２１／ｒ１２＝１．３３
【０１２０】
図１０は、対物レンズ１４と結像レンズ１０を組み合わせて用いた場合の収差図である。図１０（ａ）は球面収差図であり、図１０（ｂ）は正弦条件違反量を示した図であり、図１０（ｃ）は非点収差図であり、図１０（ｄ）はコマ収差図である。
【実施例５】
【０１２１】
図１１は、本実施例に係る対物レンズ１５の断面図である。図１１に例示される対物レンズ１５は、乾燥系の顕微鏡対物レンズであって、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、低分散材料からなる正の屈折力を有するレンズと高分散材料からなる負の屈折力を有するレンズとからなる接合レンズを含む、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３と、から構成されている。
【０１２２】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側から、物体側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１（第１レンズ）と、物体側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ２（第２レンズ）と、物体側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ３（第３レンズ成分）と、物体側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ４（第７レンズ成分）と、からなっている。
【０１２３】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凸レンズＬ５と両凹レンズＬ６と両凸レンズＬ７からなる３枚接合レンズＣＬ１と、像側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ８と両凸レンズＬ９とからなる接合レンズＣＬ２と、からなっている。
【０１２４】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、第３ｏレンズ群（前方レンズ群）と、第３ｃレンズ群（中間レンズ群）と、第３ｉレンズ群（後方レンズ群）と、からなっている。第３ｏレンズ群は、物体側から順に、像側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１０（第９レンズ）と両凸レンズＬ１１（第８レンズ）とからなる接合レンズＣＬ３と、両凹レンズＬ１２と、からなっている。第３ｃレンズ群は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１３と物体側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１４（第６レンズ、オハラ社製ＮＢＨ５３）とからなる接合レンズＣＬ４（第１０レンズ成分）と、両凸レンズＬ１５と、からなっている。第３ｉレンズ群は、物体側から順に、両凹レンズＬ１６と、物体側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１７と、回折光学素子（ＤＯＥ）Ｌ１８と、からなっている。
【０１２５】
なお、回折光学素子Ｌ１８は、少なくとも２層の互いに異なる光学材料で積層された光学素子であって、その境界面にレリーフパターンを形成してなり、広い波長域で回折効率を高くした、特許第３７１７５５５号公報に記載されているような回折光学素子である。しかしながら、本実施例の対物レンズ１５に用いる回折光学素子は、そのようなものに限定されず、例えば、特開２００３−２１５４５７号公報や特開平１１−１３３３０５号公報に記載されたような回折光学素子であってもかまわない。
なお、回折光学素子Ｌ１８の設計は、例えば、特開平８−２８６１１３に記載されているようなウルトラハイインデックス法によりなされている。回折光学素子Ｌ１８の面の形状(曲率半径および非球面係数)は、回折光学素子Ｌ１８を屈折力の極めて大きい仮想的なレンズ（ウルトラ・ハイ・インデックス・レンズ）に置き換えたときのレンズ面形状を示している。
【０１２６】
対物レンズ１５の各種データは、以下のとおりである。なお、基準波長は、ｄ線（５８７．５６ｎｍ）である。
ＮＡ＝０．９５、ＦＮ＝３０ｍｍ、｜β｜＝２０、ε＝７．５４Ｅ−０4ｍｍ、ｆ＝９ｍｍ、ｆＧ１＝２５．９ｍｍ、ｒ１１＝−１１．７５５３ｍｍ、ｒ１２＝−１６．９８８４ｍｍ、ｄｏ１２＝１４．２２３ｍｍ、Φｍａｘ／２＝２１．９３８ｍｍ、ｈｅｘｐ＝８．５５ｍｍ、ｆＧ３Ｏ＝−１０２．２８７８ｍｍ、ｆＧ３Ｉ＝−３８．５６２ｍｍ、ｒ２１＝−２３．２６８６ｍｍ、ＤｏＬ＝１５１．１８３ｍｍ、ＤｏｇＦ＝１０２．２７４ｍｍ、ｆＬ２＝１３９．１２５ｍｍ、ｆＬ３＝１０４．９６ｍｍ
【０１２７】
対物レンズ１５のレンズデータは、以下のとおりである。面番号の横にある*マークは、その面が非球面であることを示している。なお、面番号s34は、回折光学素子を屈折力の極めて大きい仮想的なレンズ（ウルトラ・ハイ・インデックス・レンズ）に置き換えたときのレンズ面形状を示している。
対物レンズ１５
s                r             d           nd            νd        er
s1(物体面)      INF           0.165        1.52103       56.02      0.75 
s2              INF           1.760                                 0.88 
s3             -11.7553      12.298        1.88306       40.76      3.84 
s4             -16.9884       0.088                                11.65 
s5             -23.2686       4.402        1.5691        71.30     12.60 
s6             -19.2175       0.110                                14.17 
s7             -22.4059       4.840        1.5691        71.30     14.80 
s8             -17.5706       0.110                                15.53 
s9             -58.7666       4.091        1.49702       81.54     18.10 
s10            -31.1809       0.110                                18.44 
s11             39.7049      15.367        1.43876       94.93     21.02 
s12            -30.5156       1.650        1.63779       42.41     20.96 
s13            123.7205       9.396        1.43876       94.93     21.75 
s14            -40.5802       0.110                                21.86 
s15             53.0777       1.430        1.63779       42.41     20.40 
s16             20.1928      15.788        1.43876       94.93     18.30 
s17            -62.8184       0.220                                18.26 
s18             91.8568       1.100        1.63779       42.41     17.44 
s19             20.0113      11.538        1.43876       94.93     16.06 
s20            -67.1527       0.508                                16.00 
s21            -56.6330       1.100        1.63779       42.41     15.97 
s22            322.2650       8.580                                16.01 
s23            -20.5345       0.823        1.48751       70.23     16.04 
s24            -74.6275       6.688        1.73806       32.26     18.44 
s25            -26.5166       0.194                                18.85 
s26            136.8083       3.519        1.67305       38.15     18.47 
s27           -149.8267      33.112                                18.38 
s28            -60.0182       1.100        1.49702       81.54     11.00 
s29            192.7648       6.268                                10.82 
s30            -27.1426       1.100        1.49702       81.54     10.51 
s31           -105.6533       1.116                                10.74 
s32             INF           0.500        1.61006       27.48     10.87 
s33             INF           0            1000          -3.45     10.90 
s34*       2075000            2.000        1.63768       34.21     10.90 
s35             INF         -32.826                                11.00 
【０１２８】
対物レンズ１５の非球面データは、以下のとおりである。
第３４面s34
K=0   A4=4.591E-11  A6=3.073E-13  A8=0  A10=0
【０１２９】
対物レンズ１５は、以下で示されるように、条件式（１）から（７）及び（１１）から（１６）を満たしている。
（１）、（４）：ＮＡ＝０．９５
（２）：ＦＮ／｜β｜／ε＝１９９０
（３）：Φｍａｘ／２／ｈｅｘｐ／ＮＡ＝２．７０
（５）：ｆＧ１／ｆ＝２．８８
（６）：ｒ１１／ｆ＝−１．３１
（７）：ｒ１２／ｄｏ１２＝−１．１９
（１１）：ＤｏｇＦ/ＤｏＬ＝０．６８
（１２）：ｆ／ｆＧ３Ｏ＝−０．０９
（１３）：ｆＧ１／ｆＬ２＝０．１９
（１４）：ｆＧ１／ｆＬ３＝０．２５
（１５）：ｆＧ３Ｉ／ｆ＝−４．２８
（１６）：ｒ２１／ｒ１２＝１．３７
【０１３０】
図１２は、対物レンズ１５と結像レンズ１０を組み合わせて用いた場合の収差図である。図１２（ａ）は球面収差図であり、図１２（ｂ）は正弦条件違反量を示した図であり、図１２（ｃ）は非点収差図であり、図１２（ｄ）はコマ収差図である。
【実施例６】
【０１３１】
図１３は、本実施例に係る対物レンズ１６の断面図である。図１３に例示される対物レンズ１６は、液浸系の顕微鏡対物レンズであって、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、低分散材料からなる正の屈折力を有するレンズと高分散材料からなる負の屈折力を有するレンズとからなる接合レンズを含む、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３と、から構成されている。
【０１３２】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側から、物体側に平面を向けた平凸レンズＬ０と物体側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１（第１レンズ）とからなる接合レンズＣＬ１（第１接合レンズ）と、物体側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ２（第２レンズ）と、両凹レンズＬ３と両凸レンズＬ４とからなる接合レンズＣＬ２（第３レンズ成分）と、両凹レンズＬ５と両凸レンズＬ６とからなる接合レンズＣＬ３（第７レンズ成分）と、からなっている。
【０１３３】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、像側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ７と像側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ８と両凸レンズＬ９からなる３枚接合レンズＣＬ４と、像側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１０（第６レンズ、オハラ社製ＴＩＨ５３）と像側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１１と両凸レンズＬ１２とからなる３枚接合レンズＣＬ５と、からなっている。
【０１３４】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、第３ｆレンズ群（前方レンズ群）と、第３ｍレンズ群（中間レンズ群）と、第３ｅレンズ群（後方レンズ群）と、からなっている。第３ｆレンズ群は、物体側から順に、像側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１３（第９レンズ）と、両凸レンズＬ１４（第８レンズ）と、像側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１５と像側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１６とからなる接合レンズＣＬ６と、からなっている。第３ｍレンズ群は、物体側から順に、両凸レンズＬ１７と両凹レンズＬ１８とからなる接合レンズＣＬ７（第１２レンズ成分）と、物体側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１９と、からなっている。第３ｅレンズ群は、物体側から順に、像側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ２０（第１１レンズ成分）と、物体側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ２１（第５レンズ成分）と、物体側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ２２と物体側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ２３とからなる接合レンズＣＬ８（第４レンズ成分）と、両凸レンズＬ２４と、からなっている。
【０１３５】
対物レンズ１６の各種データは、以下のとおりである。なお、基準波長は、ｄ線（５８７．５６ｎｍ）である。また、浸液の屈折率Ｎｏは、１．５１４８である。
ＮＡ＝１．３、ＦＮ＝３０ｍｍ、｜β｜＝４０、ε＝５．５１Ｅ−０４ｍｍ、ｆ＝４．５ｍｍ、ｆＧ１＝１５．８３ｍｍ、ｒ１２＝−６．８３４ｍｍ、ｄｏ１２＝７．２３８ｍｍ、Φｍａｘ／２＝２１．６４ｍｍ、ｈｅｘｐ＝５．８５ｍｍ、ｆＧ３Ｏ＝６７．０５ｍｍ、ＤｏＬ＝１４５．０００ｍｍ、ＤｏｇＦ＝６４．４７７ｍｍ、ｆＬ２＝５１．９０ｍｍ、ｆＬ３＝１６５．５７ｍｍ、ｆＬ７＝２２０．４９ｍｍ
【０１３６】
対物レンズ１６のレンズデータは、以下のとおりである。
対物レンズ１６
s                r             d           nd            νd          er
s1(物体面)      INF           0.170        1.52347       54.41       0.38 
s2              INF           0.362        1.51486       41.00       0.66 
s3              INF           0.652        1.51635       64.14       1.29 
s4             -3.2441        6.054        1.88306       40.76       1.64 
s5             -6.8342        0.144                                  5.90 
s6            -16.1435       11.171        1.5691        71.30       7.68 
s7            -13.0577        0.222                                 12.07 
s8            -45.2412        0.891        1.63779       42.41      14.57 
s9            164.1406       10.007        1.5691        71.30      16.18 
s10           -30.4567        0.122                                 17.67 
s11          -215.6520        0.800        1.63779       42.41      19.01 
s12           149.0681        6.993        1.5691        71.30      19.59 
s13           -72.7399        0.100                                 20.19 
s14            45.7927        4.715        1.43876       94.93      21.64 
s15           112.1092        0.837        1.63779       42.41      21.59 
s16            33.3718       14.170        1.43876       94.93      21.26 
s17           -61.1831        2.993                                 21.41 
s18            50.0401        4.073        1.84676       23.78      20.46 
s19            93.4075        1.331        1.75504       52.32      20.00 
s20            23.9768       12.129        1.43876       94.93      18.15 
s21           -90.2641        0.100                                 17.99 
s22           109.2684        0.800        1.75504       52.32      17.31 
s23            27.2740        0.100                                 16.40 
s24            25.9302        8.731        1.43876       94.93      16.55 
s25          -111.0317        0.100                                 16.40 
s26            24.1614        2.386        1.75504       52.32      15.02 
s27            20.4571       11.959        1.43876       94.93      13.89 
s28           170.5645        2.268                                 11.48 
s29            22.1833        4.491        1.60303       65.44       9.50 
s30           -33.1761        2.120        1.73806       32.26       8.95 
s31            11.7279        4.969                                  6.73 
s32           -14.2396        0.800        1.49702       81.54       6.45 
s33           -43.4343       15.497                                  6.51 
s34           123.5400        0.800        1.60303       65.44       6.15 
s35            14.1045        3.245                                  6.08 
s36           -12.7149        0.800        1.75504       52.32       6.15 
s37           -41.8941        2.177                                  6.85 
s38           -10.7606        0.800        1.43876       94.93       6.95 
s39           -15.4480        2.076        1.73806       32.26       7.77 
s40           -12.0682        0.100                                  8.31 
s41            64.1504        2.741        1.88306       40.76      10.19 
s42           -53.5056      -53.273                                 10.32     
【０１３７】
なお、面番号s1,s2が示す面は、それぞれ物体面（カバーガラスの物体側の面）、カバーガラスの像側の面を示している。面番号s3,s42が示す面は、それぞれ対物レンズの最も物体側のレンズ面、最も像側のレンズ面を示している。面番号s2とs3の間の空間に、浸液が満たされている。
【０１３８】
対物レンズ１６は、以下で示されるように、条件式（１）から（３）、（８）から（１４）を満たしている。
（１）、（８）：ＮＡ＝１．３
（２）：ＦＮ／｜β｜／ε＝１３６１
（３）：Φｍａｘ／２／ｈｅｘｐ／ＮＡ＝２．８５
（９）：ｆＧ１／ｆ＝３．５２      
（１０）：ｒ１２／ｄｏ１２＝−０．９５
（１１）：ＤｏｇＦ/ＤｏＬ＝０．４４
（１２）：ｆ／ｆＧ３Ｏ＝０．０７
（１３）：ｆＧ１／ｆＬ２＝０．３１  
（１４）：ｆＧ１／ｆＬ３＝０．１０
【０１３９】
図１４は、対物レンズ１６と結像レンズ１０を組み合わせて用いた場合の収差図である。図１４（ａ）は球面収差図であり、図１４（ｂ）は正弦条件違反量を示した図であり、図１４（ｃ）は非点収差図であり、図１４（ｄ）はコマ収差図である。
【実施例７】
【０１４０】
図１５は、本実施例に係る対物レンズ１７の断面図である。図１５に例示される対物レンズ１７は、液浸系の顕微鏡対物レンズであって、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、低分散材料からなる正の屈折力を有するレンズと高分散材料からなる負の屈折力を有するレンズとからなる接合レンズを含む、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３と、から構成されている。
【０１４１】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側から、物体側に平面を向けた平凸レンズＬ０と物体側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１（第１レンズ）とからなる接合レンズＣＬ１（第１接合レンズ）と、物体側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ２（第２レンズ）と、両凹レンズＬ３と両凸レンズＬ４とからなる接合レンズＣＬ２（第３レンズ成分）と、両凹レンズＬ５と両凸レンズＬ６とからなる接合レンズＣＬ３（第７レンズ成分）と、からなっている。
【０１４２】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、像側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ７と像側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ８と両凸レンズＬ９からなる３枚接合レンズＣＬ４と、像側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１０（第６レンズ、オハラ社製ＴＩＨ５３）と像側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１１と両凸レンズＬ１２とからなる３枚接合レンズＣＬ５と、からなっている。
【０１４３】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、第３ｆレンズ群（前方レンズ群）と、第３ｍレンズ群（中間レンズ群）と、第３ｅレンズ群（後方レンズ群）と、からなっている。第３ｆレンズ群は、物体側から順に、像側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１３（第９レンズ）と両凸レンズＬ１４（第８レンズ）とからなる接合レンズＣＬ６と、像側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１５と像側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１６とからなる接合レンズＣＬ７と、からなっている。第３ｍレンズ群は、物体側から順に、像側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１７と像側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１８とからなる接合レンズＣＬ８と、物体側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１９と物体側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ２０とからなる接合レンズＣＬ９と、からなっている。第３ｅレンズ群は、物体側から順に、両凹レンズＬ２１（第１１レンズ成分）と、物体側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ２２（第５レンズ成分）と、物体側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ２３と物体側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ２４とからなる接合レンズＣＬ１０（第４レンズ成分）と、物体側に平面を向けた平凸レンズＬ２５と、両凸レンズＬ２６と、からなっている。
【０１４４】
対物レンズ１７の各種データは、以下のとおりである。なお、基準波長は、ｄ線（５８７．５６ｎｍ）である。また、浸液の屈折率Ｎｏは、１．５１４８である。
ＮＡ＝１．４、ＦＮ＝３０ｍｍ、｜β｜＝４０、ε＝５．１２Ｅ−０４ｍｍ、ｆ＝４．５ｍｍ、ｆＧ１＝１４．２７ｍｍ、ｒ１２＝−７．０４５７ｍｍ、ｄｏ１２＝７．０９１ｍｍ、Φｍａｘ／２＝２４．７２１ｍｍ、ｈｅｘｐ＝６．３０ｍｍ、ｆＧ３Ｏ＝７５．７２７ｍｍ、ＤｏＬ＝１５１．２６１ｍｍ、ＤｏｇＦ＝６６．１４０ｍｍ、ｆＬ２＝４７．８ｍｍ、ｆＬ３＝１４６．０８ｍｍ
【０１４５】
対物レンズ１７のレンズデータは、以下のとおりである。
対物レンズ１７
s                r             d           nd            νd        er
s1(物体面)      INF           0.170        1.52347       54.41      0.38 
s2              INF           0.250        1.51486       41.00      0.74 
s3              INF           0.541        1.51635       64.14      1.30 
s4             -3.2573        6.130        1.88306       40.76      1.58 
s5             -7.0457        0.101                                 6.17 
s6            -18.2608       11.223        1.5691        71.30      8.50 
s7            -13.3647        0.100                                12.69 
s8            -47.9736        0.811        1.63779       42.41     16.07 
s9            156.9755        9.957        1.5691        71.30     18.18 
s10           -30.2445        0.100                                19.18 
s11          -199.1341        0.800        1.63779       42.41     21.08 
s12           143.4114        6.879        1.5691        71.30     21.93 
s13           -70.9607        0.100                                22.34 
s14            47.7991        5.342        1.43876       94.93     24.60 
s15           115.7137        0.801        1.63779       42.41     24.55 
s16            34.7896       16.963        1.43876       94.93     24.08 
s17           -61.7960        2.077                                24.23 
s18            57.6791        3.796        1.84676       23.78     23.09 
s19           108.1782        0.918        1.75504       52.32     22.75 
s20            26.3280       14.393        1.43876       94.93     20.64 
s21           -65.8296        0.100                                20.57 
s22            74.3029        0.810        1.75504       52.32     19.11 
s23            22.9020       10.684        1.43876       94.93     17.47 
s24          -185.2953        0.324                                17.32 
s25            23.7108        2.654        1.75504       52.32     16.10 
s26            20.7355       12.324        1.43876       94.93     14.89 
s27           110.2738        2.752                                12.51 
s28            19.2575        4.184        1.60303       65.44     10.18 
s29          1332.6436        2.153        1.73806       32.26      9.49 
s30            10.2792        4.211                                 7.11 
s31           -21.6113        0.800        1.49702       81.54      7.08 
s32          -310.2945        1.098        1.73806       32.26      7.07 
s33           -94.8995       14.625                                 7.07 
s34           -36.3192        0.800        1.60303       65.44      6.24 
s35            20.0000        2.657                                 6.31 
s36           -14.2645        0.800        1.75504       52.32      6.35 
s37           -44.8729        2.263                                 6.99 
s38           -10.8850        0.800        1.43876       94.93      7.09 
s39           -16.2941        2.006        1.73806       32.26      7.94 
s40           -12.8173        0.100                                 8.48 
s41             INF           1.594        1.88306       40.76      9.98 
s42           -66.6667        0.100                                10.16 
s43            84.2007        1.975        1.88306       40.76     10.61 
s44          -119.1973      -50.823                                10.69
【０１４６】
対物レンズ１７は、以下で示されるように、条件式（１）から（３）、（８）から（１４）を満たしている。
（１）、（８）：ＮＡ＝１．４
（２）：ＦＮ／｜β｜／ε＝１４６６
（３）：Φｍａｘ／２／ｈｅｘｐ／ＮＡ＝２．８０            
（９）：ｆＧ１／ｆ＝３．１７      
（１０）：ｒ１２／ｄｏ１２＝−０．９９
（１１）：ＤｏｇＦ/ＤｏＬ＝０．４４
（１２）：ｆ／ｆＧ３Ｏ＝０．０６
（１３）：ｆＧ１／ｆＬ２＝０．３０  
（１４）：ｆＧ１／ｆＬ３＝０．１０
【０１４７】
図１６は、対物レンズ１７と結像レンズ１０を組み合わせて用いた場合の収差図である。図１６（ａ）は球面収差図であり、図１６（ｂ）は正弦条件違反量を示した図であり、図１６（ｃ）は非点収差図であり、図１６（ｄ）はコマ収差図である。
【実施例８】
【０１４８】
図１７は、本実施例に係る対物レンズ１８の断面図である。図１７に例示される対物レンズ１８は、液浸系の顕微鏡対物レンズであって、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、低分散材料からなる正の屈折力を有するレンズと高分散材料からなる負の屈折力を有するレンズとからなる接合レンズを含む、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３と、から構成されている。
【０１４９】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側から、物体側に平面を向けた平凸レンズＬ０と物体側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１（第１レンズ）とからなる接合レンズＣＬ１（第１接合レンズ）と、物体側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ２（第２レンズ）と、物体側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ３（第３レンズ成分）と、からなっている。
【０１５０】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凸レンズＬ４と両凹レンズＬ５と両凸レンズＬ６とからなる３枚接合レンズＣＬ２と、像側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ７（第６レンズ、オハラ社製ＴＩＨ５３）と像側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ８と両凸レンズＬ９とからなる３枚接合レンズＣＬ３と、からなっている。
【０１５１】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、第３ｆレンズ群（前方レンズ群）と、第３ｍレンズ群（中間レンズ群）と、第３ｅレンズ群（後方レンズ群）と、からなっている。第３ｆレンズ群は、物体側から順に、像側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１０（第９レンズ）と像側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１１（第８レンズ）とからなる接合レンズＣＬ４と、像側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１２と像側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１３とからなる接合レンズＣＬ５と、からなっている。第３ｍレンズ群は、物体側から順に、像側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１４と像側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１５とからなる接合レンズＣＬ６（第１２レンズ成分）と、物体側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１６と物体側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１７とからなる接合レンズＣＬ７と、からなっている。第３ｅレンズ群は、物体側から順に、両凹レンズＬ１８（第１１レンズ成分）と、物体側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１９（第５レンズ成分）と、物体側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ２０（第４レンズ成分）と、物体側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ２１と、からなっている。
【０１５２】
対物レンズ１８の各種データは、以下のとおりである。なお、基準波長は、ｄ線（５８７．５６ｎｍ）である。また、浸液の屈折率Ｎｏは、１．５１４８である。
ＮＡ＝１．３、ＦＮ＝３０ｍｍ、｜β｜＝２０、ε＝５．５１Ｅ−０４ｍｍ、ｆ＝９ｍｍ、ｆＧ１＝２５．５ｍｍ、ｒ１２＝−１５．８８４ｍｍ、ｄｏ１２＝１５．８９２ｍｍ、Φｍａｘ／２＝３７．６ｍｍ、ｈｅｘｐ＝１１．７０ｍｍ、ｆＧ３Ｏ＝１１７ｍｍ、ＤｏＬ＝２４０．０００ｍｍ、ＤｏｇＦ＝９５．８７４ｍｍ、ｆＬ２＝１０５．０４ｍｍ、ｆＬ３＝１２１．７１ｍｍ
【０１５３】
対物レンズ１８のレンズデータは、以下のとおりである。
対物レンズ１８
s                r             d           nd            νd          er
s1(物体面)      INF           0.170        1.52347       54.41       0.75 
s2              INF           0.471        1.51486       41.00       1.03 
s3              INF           1.365        1.51635       64.14       1.82 
s4             -7.1989       13.886        1.88306       40.76       3.00 
s5            -15.8839        0.376                                 12.95 
s6            -43.6099       24.634        1.5691        71.30      17.08 
s7            -30.3807        0.142                                 26.86 
s8           -280.6407       10.229        1.5691        71.30      33.43 
s9            -56.2880        0.195                                 33.75 
s10           122.3257       18.520        1.43876       94.93      35.67 
s11           -58.5812        1.528        1.63779       42.41      35.65 
s12            96.9456       20.013        1.43876       94.93      37.30 
s13           -68.2221        0.100                                 37.50 
s14            92.5363        4.245        1.84676       23.78      36.98 
s15           161.2978        0.802        1.75504       52.32      36.81 
s16            48.4035       18.570        1.43876       94.93      34.52 
s17          -179.2671        0.100                                 34.48 
s18            91.9859        0.800        1.75504       52.32      32.93 
s19            43.7277       13.061        1.43876       94.93      30.99 
s20           787.6851        0.100                                 30.90 
s21            38.5369        4.195        1.63779       42.41      29.04 
s22            29.3182       21.077        1.43876       94.93      25.91 
s23           187.4254        0.717                                 23.46 
s24            38.5544        9.316        1.49702       81.54      20.94 
s25            68.6319        5.690        1.73806       32.26      18.05 
s26            18.1926        9.271                                 13.54 
s27           -30.8961        0.800        1.49702       81.54      13.53 
s28          -129.8157        6.381        1.73806       32.26      13.80 
s29           -48.9189       32.834                                 14.23 
s30           -38.7296        0.800        1.61803       63.33      11.78 
s31           109.7621        4.288                                 12.03 
s32           -22.5743        0.800        1.75504       52.32      12.06 
s33           -81.3258        4.884                                 13.25 
s34           -19.1249        4.983        1.73806       32.26      13.48 
s35           -20.5477        0.100                                 15.77 
s36         -7763.5563        4.558        1.88306       40.76      19.18 
s37           -52.0532      -94.014                                 19.38  
【０１５４】
対物レンズ１８は、以下で示されるように、条件式（１）から（３）、（８）から（１４）を満たしている。
（１）、（８）：ＮＡ＝１．３
（２）：ＦＮ／｜β｜／ε＝２７２３
（３）：Φｍａｘ／２／ｈｅｘｐ／ＮＡ＝２．４７
（９）：ｆＧ１／ｆ＝２．８３      
（１０）：ｒ１２／ｄｏ１２＝−１．００
（１１）：ＤｏｇＦ/ＤｏＬ＝０．４０
（１２）：ｆ／ｆＧ３Ｏ＝０．０８
（１３）：ｆＧ１／ｆＬ２＝０．２４  
（１４）：ｆＧ１／ｆＬ３＝０．２１
【０１５５】
図１８は、対物レンズ１８と結像レンズ１０を組み合わせて用いた場合の収差図である。図１８（ａ）は球面収差図であり、図１８（ｂ）は正弦条件違反量を示した図であり、図１８（ｃ）は非点収差図であり、図１８（ｄ）はコマ収差図である。
【実施例９】
【０１５６】
図１９は、本実施例に係る対物レンズ１９の断面図である。図１９に例示される対物レンズ１９は、液浸系の顕微鏡対物レンズであって、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、低分散材料からなる正の屈折力を有するレンズと高分散材料からなる負の屈折力を有するレンズとからなる接合レンズを含む、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３と、から構成されている。
【０１５７】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側から、物体側に平面を向けた平凸レンズＬ０と物体側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１（第１レンズ）とからなる接合レンズＣＬ１（第１接合レンズ）と、物体側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ２（第２レンズ）と、物体側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ３（第３レンズ成分）と、両凸レンズＬ４（第７レンズ成分）と、からなっている。
【０１５８】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凸レンズＬ５と両凹レンズＬ６と両凸レンズＬ７とからなる３枚接合レンズＣＬ２と、像側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ８（第６レンズ、オハラ社製ＴＩＨ５３）と像側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ９と両凸レンズＬ１０とからなる３枚接合レンズＣＬ３と、からなっている。
【０１５９】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、第３ｆレンズ群（前方レンズ群）と、第３ｍレンズ群（中間レンズ群）と、第３ｅレンズ群（後方レンズ群）と、からなっている。第３ｆレンズ群は、物体側から順に、像側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１１（第９レンズ）と像側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１２（第８レンズ）とからなる接合レンズＣＬ４と、像側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１３と像側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１４とからなる接合レンズＣＬ５と、からなっている。第３ｍレンズ群は、物体側から順に、像側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１５と像側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１６とからなる接合レンズＣＬ６（第１２レンズ成分）と、物体側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１７と物体側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１８とからなる接合レンズＣＬ７と、からなっている。第３ｅレンズ群は、物体側から順に、両凹レンズＬ１９（第１１レンズ成分）と、物体側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ２０（第５レンズ成分）と、物体側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ２１と物体側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ２２とからなる接合レンズＣＬ８（第４レンズ成分）と、物体側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ２３と、両凸レンズＬ２４と、からなっている。
【０１６０】
対物レンズ１９の各種データは、以下のとおりである。なお、基準波長は、ｄ線（５８７．５６ｎｍ）である。また、浸液の屈折率Ｎｏは、１．５１４８である。
ＮＡ＝１．３５、ＦＮ＝３０ｍｍ、｜β｜＝２０、ε＝５．３０E−０４ｍｍ、ｆ＝９ｍｍ、ｆＧ１＝２６．６ｍｍ、ｒ１２＝−１６．１４２７ｍｍ、ｄｏ１２＝１５．９８３ｍｍ、Φｍａｘ／２＝４２ｍｍ、ｈｅｘｐ＝１２．１５ｍｍ、ｆＧ３Ｏ＝１２８．４４ｍｍ、ＤｏＬ＝２７０．０００ｍｍ、ＤｏｇＦ＝１１０．３７３ｍｍ、ｆＬ２＝１０８ｍｍ、ｆＬ３＝１４５ｍｍ
【０１６１】
対物レンズ１９のレンズデータは、以下のとおりである。
対物レンズ１９
s                r             d           nd            νd        er
s1(物体面)      INF           0.170        1.52347       54.41      0.75 
s2              INF           0.500        1.51486       41.00      1.06 
s3              INF           1.549        1.51635       64.14      2.01 
s4             -6.7369       13.764        1.88306       40.76      3.30 
s5            -16.1427        0.696                                13.61 
s6            -40.4034       24.581        1.5691        71.30     18.50 
s7            -29.8313        0.100                                27.90 
s8           -230.6251       10.855        1.5691        71.30     36.23 
s9            -61.8679        0.100                                36.81 
s10           461.9394        3.119        1.5691        71.30     39.38 
s11         -1334.3709        0.100                                39.45 
s12           111.3362       20.692        1.43876       94.93     40.42 
s13           -74.6831        5.662        1.63779       42.41     40.37 
s14            88.0169       23.795        1.43876       94.93     41.63 
s15           -78.5986        0.100                                41.80 
s16           103.7530        4.590        1.84676       23.78     40.51 
s17           184.2894        2.300        1.75504       52.32     40.33 
s18            49.4844       22.221        1.43876       94.93     37.07 
s19          -150.7597        0.100                                37.02 
s20            85.8487        2.000        1.75504       52.32     34.72 
s21            40.6690       14.643        1.43876       94.93     31.78 
s22           334.4963        0.100                                31.67 
s23            37.3445        4.191        1.63779       42.41     29.82 
s24            29.7904       20.983        1.43876       94.93     26.73 
s25           138.8114        0.853                                24.22 
s26            41.3866        8.957        1.49702       81.54     21.79 
s27            87.4837        5.226        1.73806       32.26     19.18 
s28            19.0760        9.956                                14.46 
s29           -34.4437        0.900        1.49702       81.54     14.44 
s30          -151.4859        2.117        1.73806       32.26     14.74 
s31           -55.0586       42.292                                14.81 
s32           -58.6989        0.800        1.61803       63.33     12.63 
s33            81.0144        4.508                                12.80 
s34           -26.3219        0.900        1.75504       52.32     12.83 
s35           -78.6093        4.395                                13.85 
s36           -20.4267        1.009        1.88306       40.76     13.92 
s37           -37.4278        4.143        1.73806       32.26     15.89 
s38           -24.2264        0.100                                16.63 
s39           -29.1246        2.638        1.63779       42.41     17.21 
s40           -24.7643        0.100                                17.70 
s41           422.1492        4.197        1.88306       40.76     20.86 
s42           -79.2452     -106.731                                21.00
【０１６２】
対物レンズ１９は、以下で示されるように、条件式（１）から（３）、（８）から（１４）を満たしている。
（１）、（８）：ＮＡ＝１．３５
（２）：ＦＮ／｜β｜／ε＝２８２８
（３）：Φｍａｘ／２／ｈｅｘｐ／ＮＡ＝２．５６
（９）：ｆＧ１／ｆ＝２．９６      
（１０）：ｒ１２／ｄｏ１２＝−１．０１
（１１）：ＤｏｇＦ/ＤｏＬ＝０．４１
（１２）：ｆ／ｆＧ３Ｏ＝０．０７
（１３）：ｆＧ１／ｆＬ２＝０．２５  
（１４）：ｆＧ１／ｆＬ３＝０．１８
【０１６３】
図２０は、対物レンズ１９と結像レンズ１０を組み合わせて用いた場合の収差図である。図２０（ａ）は球面収差図であり、図２０（ｂ）は正弦条件違反量を示した図であり、図２０（ｃ）は非点収差図であり、図２０（ｄ）はコマ収差図である。
【実施例１０】
【０１６４】
図２１は、本実施例に係る対物レンズ２０の断面図である。図２１に例示される対物レンズ２０は、液浸系の顕微鏡対物レンズであって、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、低分散材料からなる正の屈折力を有するレンズと高分散材料からなる負の屈折力を有するレンズとからなる接合レンズを含む、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３と、から構成されている。
【０１６５】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側から、物体側に平面を向けた平凸レンズＬ０と物体側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１（第１レンズ）とからなる接合レンズＣＬ１（第１接合レンズ）と、物体側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ２（第２レンズ）と、物体側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ３（第３レンズ成分）と、両凸レンズＬ４（第７レンズ成分）と、からなっている。なお、両凸レンズＬ４は、両面が非球面からなる非球面レンズである。
【０１６６】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凸レンズＬ５と両凹レンズＬ６と両凸レンズＬ７とからなる３枚接合レンズＣＬ２と、物体側に平面を向けた平凸レンズＬ８と、からなっている。なお、平凸レンズＬ８は、像側のレンズ面が非球面からなる非球面レンズである。
【０１６７】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、第３ｆレンズ群（前方レンズ群）と、第３ｍレンズ群（中間レンズ群）と、第３ｅレンズ群（後方レンズ群）と、からなっている。第３ｆレンズ群は、物体側から順に、像側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ９（第６レンズ、オハラ社製ＴＩＨ５３）と像側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１０と両凸レンズＬ１１からなる３枚接合レンズＣＬ３と、像側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１２（第９レンズ）と像側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１３（第８レンズ）とからなる接合レンズＣＬ４と、像側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１４と像側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１５とからなる接合レンズＣＬ５と、からなっている。第３ｍレンズ群は、物体側から順に、像側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１６と像側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１７とからなる接合レンズＣＬ６（第１２レンズ成分）と、物体側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１８と物体側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１９とからなる接合レンズＣＬ７と、からなっている。第３ｅレンズ群は、物体側から順に、両凹レンズＬ２０（第１１レンズ成分）と、物体側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ２１（第５レンズ成分）と、物体側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ２２と物体側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ２３とからなる接合レンズＣＬ８（第４レンズ成分）と、物体側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ２４と、両凸レンズＬ２５と、からなっている。なお、両凹レンズＬ２０は、両面が非球面からなる非球面レンズである。また、メニスカスレンズＬ２１及び両凸レンズＬ２５は、物体側のレンズ面が非球面からなる非球面レンズである。
【０１６８】
対物レンズ２０の各種データは、以下のとおりである。なお、基準波長は、ｄ線（５８７．５６ｎｍ）である。また、浸液の屈折率Ｎｏは、１．５１４８である。
ＮＡ＝１．４５、ＦＮ＝３０ｍｍ、｜β｜＝２０、ε＝４．９４Ｅ−０４ｍｍ、ｆ＝９ｍｍ、ｆＧ１＝２６．９ｍｍ、ｒ１２＝−１４．９７７８ｍｍ、ｄｏ１２＝１６．１１６ｍｍ、Φｍａｘ／２＝５１．９ｍｍ、ｈｅｘｐ＝１３．０５ｍｍ、ｆＧ３Ｏ＝９４．２４ｍｍ、ＤｏＬ＝３００．０００ｍｍ、ＤｏｇＦ＝１３４．０６７ｍｍ、ｆＬ２＝１３７．０３３ｍｍ、ｆＬ３＝２７０．９６ｍｍ
【０１６９】
対物レンズ２０のレンズデータは、以下のとおりである。
対物レンズ２０
s                r             d           nd            νd          er
s1(物体面)      INF           0.170        1.52347       54.41       0.75 
s2              INF           0.655        1.51486       41.00       1.25 
s3              INF           2.192        1.51635       64.14       3.31 
s4             -7.9038       13.099        1.88306       40.76       4.88 
s5            -14.9779        2.533                                 14.26 
s6            -34.1464        24.266       1.5691        71.30      22.10 
s7            -29.8689        0.127                                 29.68 
s8           -211.5322        9.249        1.5691        71.30      42.08 
s9            -90.6020        0.100                                 43.14 
s10*          206.0617        8.203        1.5691        71.30      48.83 
s11*         -902.4320        0.100                                 48.96 
s12            84.4233       29.394        1.43876       94.93      51.76 
s13          -131.1968        2.488        1.63779       42.41      51.60 
s14            77.5618       22.136        1.43876       94.93      49.55 
s15          -399.1036        2.027                                 49.60 
s16             INF          12.359        1.43876       94.93      49.60 
s17*          -99.6579        0.100                                 49.60 
s18           112.6466        4.869        1.84676       23.78      45.58 
s19           185.5705        0.800        1.75504       52.32      45.32 
s20            44.4911       32.698        1.43876       94.93      39.48 
s21          -107.8277        0.100                                 39.44 
s22            83.7721        0.800        1.75504       52.32      35.73 
s23            38.1549       15.109        1.43876       94.93      32.22 
s24           141.2766        0.100                                 32.08 
s25            32.5170        2.177        1.63779       42.41      30.58 
s26            26.0501       24.782        1.43876       94.93      26.04 
s27           114.8265        0.100                                 25.08 
s28            37.1811        8.297        1.49702       81.54      22.33 
s29            51.6704        3.874        1.73806       32.26      19.42 
s30            17.8456       12.898                                 14.73 
s31           -35.4780        0.800        1.49702       81.54      14.41 
s32          -150.7254        2.764        1.73806       32.26      14.57 
s33           -61.1012       32.508                                 14.66 
s34*         -497.5063        0.800        1.61803       63.33      12.48 
s35*           29.8465        6.746                                 12.29 
s36*          -20.0794        0.800        1.75504       52.32      12.31 
s37           -52.3966        6.143                                 13.65 
s38           -20.6189        0.800        1.88306       40.76      14.61 
s39           -34.5889        3.515        1.73806       32.26      16.51 
s40           -24.7079        0.762                                 17.12 
s41           -94.2453        3.952        1.63779       42.41      20.30 
s42           -42.7157        0.179                                 20.66 
s43*          112.0266        4.428        1.88306       40.76      23.36 
s44          -180.0961     -118.512                                 23.00 
【０１７０】
対物レンズ２０の非球面データは、以下のとおりである。
第１０面s10
K=-0.7052   A4=1.849E-08  A6=-1.547E-11  A8=-1.063E-14  A10= 0
第１１面s11
K=-92.9161   A4=2.085E-08  A6=-3.402E-11  A8=-1.112E-14  A10=0
第１７面s17
K=-0.4340   A4=2.270E-07  A6=1.494E-11  A8=-4.829E-15  A10=0
第３４面s34
K=-92.9382   A4=-9.240E-06  A6=1.262E-07  A8=-2.565E-10  A10=0
第３５面s35
K=-3.2850   A4=-1.357E-05  A6=9.443E-08  A8=-2.053E-10  A10=0
第３６面s36
K=-0.0104   A4=-1.169E-06  A6=-1.636E-08  A8=-9.606E-11  A10=0
第４３面s43
K=-18.5319   A4=-1.484E-07  A6=0  A8=0  A10=0
【０１７１】
対物レンズ２０は、以下で示されるように、条件式（１）から（３）、（８）から（１４）を満たしている。
（１）、（８）：ＮＡ＝１．４５
（２）：ＦＮ／｜β｜／ε＝３０３７
（３）：Φｍａｘ／２／ｈｅｘｐ／ＮＡ＝２．７４
（９）：ｆＧ１／ｆ＝２．９９      
（１０）：ｒ１２／ｄｏ１２＝−０．９３
（１１）：ＤｏｇＦ/ＤｏＬ＝０．４５
（１２）：ｆ／ｆＧ３Ｏ＝０．１０
（１３）：ｆＧ１／ｆＬ２＝０．２０  
（１４）：ｆＧ１／ｆＬ３＝０．１０
【０１７２】
図２２は、対物レンズ２０と結像レンズ１０を組み合わせて用いた場合の収差図である。図２２（ａ）は球面収差図であり、図２２（ｂ）は正弦条件違反量を示した図であり、図２２（ｃ）は非点収差図であり、図２２（ｄ）はコマ収差図である。
【実施例１１】
【０１７３】
図２３は、本実施例に係る対物レンズ２１の断面図である。図２３に例示される対物レンズ２１は、液浸系の顕微鏡対物レンズであって、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、低分散材料からなる正の屈折力を有するレンズと高分散材料からなる負の屈折力を有するレンズとからなる接合レンズを含む、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３と、から構成されている。
【０１７４】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側から、物体側に平面を向けた平凸レンズＬ０と物体側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１（第１レンズ）とからなる接合レンズＣＬ１（第１接合レンズ）と、物体側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ２（第２レンズ）と、両凹レンズＬ３と両凸レンズＬ４とからなる接合レンズＣＬ２（第３レンズ成分）と、両凹レンズＬ５と両凸レンズＬ６とからなる接合レンズＣＬ３（第７レンズ成分）と、からなっている。
【０１７５】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、像側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ７と像側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ８と両凸レンズＬ９とからなる３枚接合レンズＣＬ４と、像側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１０（第６レンズ、オハラ社製ＴＩＨ５３）と像側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１１と両凸レンズＬ１２とからなる３枚接合レンズＣＬ５と、からなっている。
【０１７６】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、第３ｆレンズ群（前方レンズ群）と、第３ｍレンズ群（中間レンズ群）と、第３ｅレンズ群（後方レンズ群）と、からなっている。第３ｆレンズ群は、物体側から順に、像側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１３（第９レンズ）と両凸レンズＬ１４（第８レンズ）からなる接合レンズＣＬ６と、像側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１５と像側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１６とからなる接合レンズＣＬ７と、からなっている。第３ｍレンズ群は、物体側から順に、両凸レンズＬ１７と両凹レンズＬ１８とからなる接合レンズＣＬ８（第１２レンズ成分）と、物体側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ１９と、からなっている。第３ｅレンズ群は、物体側から順に、両凹レンズＬ２０（第１１レンズ成分）と、物体側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ２１（第５レンズ成分）と、物体側に凹面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズＬ２２と物体側に凹面を向けた正の屈折力を有するメニスカスレンズＬ２３とからなる接合レンズＣＬ９（第４レンズ成分）と、両凸レンズＬ２４と、回折光学素子（ＤＯＥ）Ｌ２５と、からなっている。
【０１７７】
対物レンズ２１の各種データは、以下のとおりである。なお、基準波長は、ｄ線（５８７．５６ｎｍ）である。また、浸液の屈折率Ｎｏは、１．５１４８である。
ＮＡ＝１．３、ＦＮ＝３０ｍｍ、｜β｜＝４０、ε＝５．５１Ｅ−０４ｍｍ、ｆ＝４．５ｍｍ、ｆＧ１＝１４．３０ｍｍ、ｒ１２＝−６．９９０ｍｍ、ｄｏ１２＝７．１９９ｍｍ、Φｍａｘ／２＝２１．３２ｍｍ、ｈｅｘｐ＝５．８５ｍｍ、ｆＧ３Ｏ＝６９．７４ｍｍ、ＤｏＬ＝１４５．０００ｍｍ、ＤｏｇＦ＝６５．０７６ｍｍ、ｆＬ２＝４９．５５ｍｍ、ｆＬ３＝１１７．３３ｍｍ 
【０１７８】
対物レンズ２１のレンズデータは、以下のとおりである。なお、面番号s44は、回折光学素子を屈折の極めて大きい仮想的なレンズ（ウルトラ・ハイ・インデックス・レンズ）に置き換えたときのレンズ面形状を示している。
対物レンズ２１
s                r             d           nd            νd         er
s1(物体面)      INF           0.170        1.52347       54.41       0.38 
s2              INF           0.333        1.51486       41.00       0.66 
s3              INF           0.618        1.51635       64.14       1.24 
s4             -3.2999        6.078        1.88306       40.76       1.59 
s5             -6.9896        0.121                                  5.91 
s6            -17.4528       11.219        1.5691        71.30       7.74 
s7            -13.2943        0.194                                 12.15 
s8            -48.9021        0.980        1.63779       42.41      14.73 
s9            146.3471       10.058        1.5691        71.30      16.37 
s10           -28.2615        0.100                                 17.61 
s11          -141.0081        0.802        1.63779       42.41      18.79 
s12           100.4622        6.354        1.5691        71.30      19.57 
s13           -70.7737        0.100                                 19.90 
s14            44.9582        5.106        1.43876       94.93      21.32 
s15           106.1692        2.298        1.63779       42.41      21.26 
s16            32.5030       13.613        1.43876       94.93      20.84 
s17           -63.5018        2.579                                 20.97 
s18            52.2478        4.354        1.84676       23.78      20.20 
s19           112.2228        1.743        1.75504       52.32      19.73 
s20            24.7453       11.491        1.43876       94.93      17.94 
s21           -82.1758        0.100                                 17.81 
s22            81.6786        0.803        1.75504       52.32      16.99 
s23            24.9223        8.083        1.43876       94.93      15.97 
s24          -136.1825        0.100                                 15.84 
s25            23.8425        2.286        1.75504       52.32      14.71 
s26            19.9624       12.027        1.43876       94.93      13.63 
s27           162.1933        2.258                                 11.34 
s28            21.5140        4.479        1.60303       65.44       9.49 
s29           -43.3478        2.154        1.73806       32.26       8.85 
s30            11.2466        3.863                                  6.73 
s31           -18.7530        0.962        1.49702       81.54       6.66 
s32           -43.9945       13.831                                  6.68 
s33           -64.0343        0.800        1.60303       65.44       5.86 
s34            17.2665        3.000                                  5.86 
s35           -10.9759        0.840        1.75504       52.32       5.91 
s36           -32.8559        1.928                                  6.66 
s37           -10.5993        0.879        1.43876       94.93       6.76 
s38           -14.9478        2.126        1.73806       32.26       7.56 
s39           -11.6319        0.100                                  8.11 
s40            89.1554        2.572        1.88306       40.76       9.75 
s41           -43.4106        1.000                                  9.89 
s42             INF           0.500        1.61006       27.48      10.06 
s43             INF           0            1000          -3.45      10.09 
s44*      6076000             2.000        1.63768       34.21      10.09 
s45             INF         -51.001                                 10.19
【０１７９】
対物レンズ２１の非球面データは、以下のとおりである。
第４４面s44
K=0   A4= 1.645E-10  A6= 8.451E-13  A8=0  A10=0
【０１８０】
対物レンズ２１は、以下で示されるように、条件式（１）から（３）、（８）から（１４）を満たしている。
（１）、（８）：ＮＡ＝１．３
（２）：ＦＮ／｜β｜／ε＝１３６１
（３）：Φｍａｘ／２／ｈｅｘｐ／ＮＡ＝２．８０
（９）：ｆＧ１／ｆ＝３．１８
（１０）：ｒ１２／ｄｏ１２＝−０．９７
（１１）：ＤｏｇＦ/ＤｏＬ＝０．４５
（１２）：ｆ／ｆＧ３Ｏ＝０．０６
（１３）：ｆＧ１／ｆＬ２＝０．２９  
（１４）：ｆＧ１／ｆＬ３＝０．１２
【０１８１】
図２４は、対物レンズ２１と結像レンズ１０を組み合わせて用いた場合の収差図である。図２４（ａ）は球面収差図であり、図２４（ｂ）は正弦条件違反量を示した図であり、図２４（ｃ）は非点収差図であり、図２４（ｄ）はコマ収差図である。
【０１８２】
最後に実施例１から実施例１１で共通に使用される、図３に例示される結像レンズ１０について説明する。結像レンズ１０は、無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて物体の拡大像を形成する顕微鏡結像レンズである。結像レンズ１０は、物体側から順に、接合レンズＣＬ１を含む、正のパワーを有する第１レンズ群Ｇ１と、負のパワーを有する第２レンズ群Ｇ２と、各々が正のパワーを有する複数のレンズ（Ｌ６、Ｌ７）からなる、全体で正のパワーを有する第３レンズ群Ｇ３と、から構成される。
【０１８３】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側から、両凸レンズＬ１と、両凸レンズＬ２と両凹レンズＬ３とからなる接合レンズＣＬ１と、からなっている。第２レンズ群Ｇ２は、物体側から、両凹レンズＬ４と両凸レンズＬ５とからなる接合レンズＣＬ２からなっている。第３レンズ群Ｇ３は、物体側から、物体側に凹面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ６と、両凸レンズＬ７とからなっている。第１レンズと第２レンズは、それぞれメニスカス形状を有している。
【０１８４】
結像レンズ１０のレンズデータは、以下のとおりである。なお、レンズデータ中のINFは無限大（∞）を示している。
結像レンズ１０
s         r          d           nd            νd
s1       INF      162.2                         
s2      63.8523     9.3326      1.497         81.54  
s3   -1485.8995     3.1666                         
s4      39.1423    13.9864      1.497         81.54  
s5    -145.3496     6           1.51633       64.14  
s6      26.8639    20.2953                         
s7     -53.5928     8.0905      1.72047       34.71  
s8     110.3106     7.877       1.43875       94.93  
s9    -130         14.8023                      
s10   -288.1082     6           1.59522       67.74    
s11   -114.1428     0.4703                         
s12    176.2945     6           1.85026       32.27   
s13   -475.1754    
【符号の説明】
【０１８５】
１、１０    結像レンズ
２          顕微鏡本体
３          光源装置
４          光ファイバー
５          ステージ
６          ＸＹハンドル
７          Ｚハンドル
８、１１、１２、１３、１４、１５、１６、１７、１８、１９、２０、２１  対物レンズ
９          撮像素子
１００      顕微鏡装置
Ｓ          標本
【図１】
0006367685.tif 000003
【図２】
0006367685.tif 000004
【図３】
0006367685.tif 000005
【図４】
0006367685.tif 000006
【図５】
0006367685.tif 000007
【図６】
0006367685.tif 000008
【図７】
0006367685.tif 000009
【図８】
0006367685.tif 000010
【図９】
0006367685.tif 000011
【図１０】
0006367685.tif 000012
【図１１】
0006367685.tif 000013
【図１２】
0006367685.tif 000014
【図１３】
0006367685.tif 000015
【図１４】
0006367685.tif 000016
【図１５】
0006367685.tif 000017
【図１６】
0006367685.tif 000018
【図１７】
0006367685.tif 000019
【図１８】
0006367685.tif 000020
【図１９】
0006367685.tif 000021
【図２０】
0006367685.tif 000022
【図２１】
0006367685.tif 000023
【図２２】
0006367685.tif 000024
【図２３】
0006367685.tif 000025
【図２４】
0006367685.tif 000026