(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素子の駆動により圧力発生室に充填された液体に圧力を作用させて前記圧力発生室に連通するノズル開口から液滴を吐出させる液体噴射ヘッドの駆動信号の生成方法であって、
接地電位に対する所定の電位であって、振幅の基準となる基準電位と、バイアス電位とで規定される複数種類の単位パルスを組み合わせて前記圧電素子を駆動する前記駆動信号を生成する一方、
時間軸の前後において隣接する前記単位パルス同士の、前記基準電位を一致させるとともに前記単位パルス同士の前記基準電位の差である偏差に応じて各単位パルスのバイアス電位を変化させて各単位パルスの基準電位とバイアス電位との差が、前記駆動信号で対応する部分における基準電位とバイアス電位との差に一致するように前記各バイアス電位を調整し、その後前記単位パルス同士を合成して前記駆動信号を生成することを特徴とする駆動信号の生成方法。
【請求項２】
請求項１に記載する駆動信号の生成方法において、
前記偏差を表すデータは、印刷データとともに記憶しておき、駆動信号を生成する際にそのバイアス電位を変化させるようにしたことを特徴とする駆動信号の生成方法。
【請求項３】
請求項１に記載する駆動信号の生成方法において、
前記偏差は、前記圧電素子の一方の電極に印加する駆動電圧のバイアス電圧を調整することにより形成することを特徴とする駆動信号の生成方法。
【請求項４】
駆動信号に基づき圧電素子を駆動することにより圧力発生室に充填された液体に圧力を作用させて前記圧力発生室に連通するノズル開口から液滴を吐出させる液体噴射ヘッドと、前記駆動信号を生成する駆動制御部とを有する液体噴射装置であって、
前記駆動制御部は、接地電位に対する所定の電位であって、振幅の基準となる基準電位と、バイアス電位とで規定される複数種類の単位パルスを組み合わせて前記圧電素子を駆動する前記駆動信号を生成する一方、
時間軸の前後において隣接する前記単位パルス同士の、前記基準電位を一致させるとともに前記単位パルス同士の前記基準電位の差である偏差に応じて各単位パルスのバイアス電位を変化させて各単位パルスの基準電位とバイアス電位との差が、前記駆動信号で対応する部分における前記基準電位と前記バイアス電位との差に一致するように前記各バイアス電位を調整し、その後前記単位パルス同士を合成して前記駆動信号を生成するように構成したことを特徴とする液体噴射装置。
【請求項５】
請求項４に記載する液体噴射装置において、
前記駆動制御部は、印刷データとともに前記偏差を表すデータを記憶する記憶手段を有することを特徴とする液体噴射装置。
【請求項６】
請求項４に記載する液体噴射装置において、
前記駆動制御部で前記基準電位を一致させて生成した駆動信号に対するバイアス電位の偏差を前記バイアス電位に重畳して前記圧電素子の一方の電極に印加するバイアス電圧としたことを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は駆動信号の生成方法および液体噴射装置に関し、特に吐出特性を調整する場合に適用して有用なものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、圧電素子等の圧力発生手段によって圧力発生室内の液体に圧力を付与することで、ノズル開口から液滴を吐出する液体噴射装置が知られており、その代表例として、所定の印刷データ等に基づきノズル開口からインク滴を吐出するインクジェット式記録装置が挙げられる。かかるインクジェット式記録装置の駆動では印刷データに基づき決定される駆動電圧を圧電素子に印加して駆動することによりノズル開口からインク滴を吐出させて所定の印刷を行うようになっている。この種の駆動信号の中には、例えば小ドット用や大ドット用等、複数種類の単位パルスを組み合わせて生成したものがある。
【０００３】
図６（ａ）は、例えば小ドット用の単位パルスＰＵ１を示す波形図、図６（ｂ）は、例えば大ドット用の単位パルスＰＵ２を示す波形図である。両図に示すように、単位パルスＰＵ１，ＰＵ２は、接地電位ＧＮＤに対する所定の電位であって、振幅の基準となる基準電位Ｖｍ１，Ｖｍ２と、バイアス電位ＶＢＳ１，ＶＢＳ２とで規定される。
【０００４】
駆動信号ＣＯＭ１は、図６（ｃ）に示すように、単位パルスＰＵ１，ＰＵ２を合成して生成される。この際、単位パルスＰＵ１，ＰＵ２の合成により生成される駆動信号ＣＯＭ１は、単位パルスＰＵ２の基準電位Ｖｍ２と単位パルスＰＵ１の基準電位Ｖｍ１とを合わせ込むことにより行われる。図６に示す場合は、単位パルスＰＵ１の基準電位Ｖｍ１を単位パルスＰＵ２の基準電位Ｖｍ２に一致させてある。
【０００５】
なお、液体噴射ヘッドの特性のバラツキに起因する液滴吐出特性のバラツキを、バイアス電圧を調整することにより除去して液滴の均一な吐出特性を得ることができる液体噴射装置を開示する公知文献として特許文献１が存在する（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００８−２２９９０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述の如き単位パルスＰＵ１，ＰＵ２の合成による駆動信号ＣＯＭ１の生成は、単位パルスＰＵ１，ＰＵ２の基準電位Ｖｍ１、Ｖｍ２を合わせ込むことにより行っているので、単位パルスＰＵ１（図６（ａ）参照），ＰＵ２（図６（ｂ）参照）の基準電位Ｖｍ１と基準電位Ｖｍ２の値に偏差αを発生している場合、すなわち、駆動信号ＣＯＭ１における基準電位Ｖｍ１とバイアス電位ＶＢＳ１との差（Ｖｍ１−ＶＢＳ１）が単位パルスＰＵ１における差（Ｖｍ１−ＶＢＳ１）、または駆動信号ＣＯＭ１における基準電位Ｖｍ２とバイアス電位ＶＢＳ２との差（Ｖｍ２−ＶＢＳ２）が単位パルスＰＵ２における差（Ｖｍ２−ＶＢＳ２）と異なる場合が発生する。この場合には、合成後の駆動信号ＣＯＭ１のひずみの原因となる。
【０００８】
図６（ｃ）に示す場合は単位パルスＰＵ１の基準電位Ｖｍ１を単位パルスＰＵ２の基準電位Ｖｍ２に合わせ込んでいるので、駆動信号ＣＯＭ１の単位パルスＰＵ１が成分となる部分の電位が、バイアス電位ＶＢＳ１に対して偏差αの分だけ上昇してしまう。かかる偏差αは、同じように単位パルスを設計しても、実際には波形合成を行う回路の特性や、圧電素子の特性のバラツキが原因となって発生してしまう。なお、図６に示す場合は、単位パルスＰＵ１の基準電位Ｖｍ１を単位パルスＰＵ２の基準電位Ｖｍ２に一致させてあり、この結果、差（Ｖｍ１−ＶＢＳ１）が単位パルスＰＵ１と駆動信号ＣＯＭ１とで異なっている場合である。
【０００９】
なお、このような問題はインクを吐出するインクジェット式記録装置に搭載されるアクチュエーターだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射装置に搭載されるアクチュエーターや、液体噴射ヘッド以外に搭載されるアクチュエーターにおいても同様に存在する。
【００１０】
本発明は、上記従来技術に鑑み、複数種類の単位パルスを組み合わせて駆動信号を生成する場合において、回路や圧電素子等の特性のバラツキに起因する駆動信号の歪みを除去し得る駆動信号の生成方法および液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成する本発明の構成は、圧電素子の駆動により圧力発生室に充填された液体に圧力を作用させて前記圧力発生室に連通するノズル開口から液滴を吐出させる液体噴射ヘッドの駆動信号の生成方法であって、接地電位に対する所定の電位であって、振幅の基準となる基準電位と、バイアス電位とで規定される複数種類の単位パルスを組み合わせて前記圧電素子を駆動する前記駆動信号を生成する一方、時間軸の前後において隣接する前記単位パルス同士の、前記基準電位を一致させるとともに前記単位パルス同士の前記基準電位の差である偏差に応じて各単位パルスのバイアス電位を変化させて各単位パルスの基準電位とバイアス電位との差が、前記駆動信号で対応する部分における基準電位とバイアス電位との差に一致するように前記各バイアス電位を調整し、その後前記単位パルス同士を合成して前記駆動信号を生成することを特徴とする駆動信号の生成方法にある。
本態様によれば、駆動信号において、各単位パルスにおける基準電位とバイアス電位との差を、各単位パルスにおける関係と一致させることができるので、合成後の駆動信号の歪みを除去することができる。
【００１２】
ここで、前記偏差を表すデータは、印刷データとともに記憶しておき、駆動信号を生成する際にそのバイアス電位を変化させるのが望ましい。また、前記偏差は、前記圧電素子の一方の電極に印加する駆動電圧のバイアス電圧を調整することにより形成することもできる。
【００１３】
本発明の他の態様は、駆動信号に基づき圧電素子を駆動することにより圧力発生室に充填された液体に圧力を作用させて前記圧力発生室に連通するノズル開口から液滴を吐出させる液体噴射ヘッドと、前記駆動信号を生成する駆動制御部とを有する液体噴射装置であって、前記駆動制御部は、接地電位に対する所定の電位であって、振幅の基準となる基準電位と、バイアス電位とで規定される複数種類の単位パルスを組み合わせて前記圧電素子を駆動する前記駆動信号を生成する一方、時間軸の前後において隣接する前記単位パルス同士の、前記基準電位を一致させるとともに前記単位パルス同士の前記基準電位の差である偏差に応じて各単位パルスのバイアス電位を変化させて各単位パルスの基準電位とバイアス電位との差が、前記駆動信号で対応する部分における前記基準電位と前記バイアス電位との差に一致するように前記各バイアス電位を調整し、その後前記単位パルス同士を合成して前記駆動信号を生成するように構成したことを特徴とする液体噴射装置にある。
本態様によれば、駆動信号において、各単位パルスにおける基準電位とバイアス電位との差を、各単位パルスにおける関係と一致させることができるので、合成後の駆動信号の歪みを除去することができる。
【００１４】
ここで、前記駆動制御部は、印刷データとともに前記偏差を表すデータを記憶する記憶手段を有するのが望ましい。また、前記駆動制御部で前記基準電位を一致させて生成した駆動信号に対するバイアス電位の偏差を前記バイアス電位に重畳して前記圧電素子の一方の電極に印加するバイアス電圧とすることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】インクジェット式記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図である。
【図２】インクジェット式記録ヘッドの平面図及び断面図である。
【図３】インクジェット式記録装置を示す概略図である。
【図４】本形態の単位パルスとこれを組み合わせた駆動信号を示す波形図である。
【図５】インクジェット式記録装置の制御系を示すブロック図である。
【図６】従来の単位パルスとこれを組み合わせた駆動信号を示す波形図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づき詳細に説明する。
＜インクジェット式記録ヘッドの構造＞
先ず、液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの構造を説明する。当該インクジェット式記録ヘッドには、所定量のインク滴を吐出させるための駆動電圧とともにバイアス電圧が印加される。
【００１７】
図１は当該インクジェット式記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図であり、図２は、図１の平面図及びそのＡ−Ａ′線断面図である。これらに図示するように、流路形成基板１０は、本形態の場合、面方位（１１０）のシリコン単結晶基板からなり、その一方の面には予め熱酸化によって二酸化シリコンからなる弾性膜５０が形成されている。
【００１８】
流路形成基板１０には、他方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁１１によって区画された圧力発生室１２がその幅方向（短手方向）に並設されている。また、流路形成基板１０の圧力発生室１２の長手方向一端部側には、インク供給路１４と連通路１５とが隔壁１１によって区画されている。また、連通路１５の一端には、各圧力発生室１２の共通のインク室（液体室）となるマニホールド１００の一部を構成する連通部１３が形成されている。すなわち、流路形成基板１０には、圧力発生室１２、連通部１３、インク供給路１４及び連通路１５からなる液体流路が設けられている。
【００１９】
インク供給路１４は、圧力発生室１２の長手方向一端部側に連通し且つ圧力発生室１２より小さい断面積を有する。例えば、本形態では、インク供給路１４は、マニホールド１００と各圧力発生室１２との間の圧力発生室１２側の流路を幅方向に絞ることで、圧力発生室１２の幅より小さい幅で形成されている。なお、このように、本形態では、流路の幅を片側から絞ることでインク供給路１４を形成したが、流路の幅を両側から絞ることでインク供給路を形成してもよい。また、流路の幅を絞るのではなく、厚さ方向から絞ることでインク供給路を形成してもよい。さらに、各連通路１５は、インク供給路１４の圧力発生室１２とは反対側に連通し、インク供給路１４の幅方向（短手方向）より大きい断面積を有する。本形態では、連通路１５を圧力発生室１２と同じ断面積で形成した。すなわち、流路形成基板１０には、圧力発生室１２と、圧力発生室１２の短手方向の断面積より小さい断面積を有するインク供給路１４と、このインク供給路１４に連通すると共にインク供給路１４の短手方向の断面積よりも大きい断面積を有する連通路１５とが複数の隔壁１１により区画されて設けられている。
【００２０】
一方、流路形成基板１０の開口面側には、各圧力発生室１２のインク供給路１４とは反対側の端部近傍に連通するノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が、接着剤や熱溶着フィルム等によって固着されている。ここで、ノズルプレート２０は、例えばガラスセラミックス、シリコン単結晶基板又はステンレス鋼等で形成してある。
【００２１】
また、流路形成基板１０の開口面と反対側には、上述したように弾性膜５０が形成されており、この弾性膜５０上には、絶縁体膜５５が形成されている。さらに、この絶縁体膜５５上には、下電極６０、圧電体層７０及び上電極８０が形成してあり、これら下電極６０、圧電体層７０及び上電極８０で圧電素子３００を構成している。
【００２２】
ここで、一般的には、圧電素子３００の何れか一方の電極を個別電極とし、他方の電極を共通電極として構成する。また、個別電極及び圧電体層７０は各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。本形態では、下電極６０を圧電素子３００の共通電極とし、上電極８０を圧電素子３００の個別電極としている。そこで、本形態においては共通電極である下電極６０に所定のバイアス電圧（後に詳説する）を印加するとともに、個別電極である上電極８０に選択的に駆動電圧（後に詳説する）を印加する。勿論、駆動回路や配線の都合で上電極及び下電極を逆にしても支障はない。
【００２３】
また、ここでは、圧電素子３００と当該圧電素子３００の駆動により変位が生じる振動板とを合わせて圧電アクチュエーターと称する。なお、上述した例では、弾性膜５０、絶縁体膜５５及び下電極６０が振動板として作用するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、弾性膜５０及び絶縁体膜５５を設けずに、下電極６０のみが振動板として作用するようにしてもよい。また、圧電素子３００自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。
【００２４】
ここで、圧電素子３００の個別電極である各上電極８０には、インク供給路１４側の端部近傍から引き出され、絶縁体膜５５上にまで延設される、例えば、金（Ａｕ）等からなるリード電極９０が接続されている。
【００２５】
このような圧電素子３００が形成された流路形成基板１０上、すなわち、下電極６０、絶縁体膜５５及びリード電極９０上には、マニホールド１００の少なくとも一部を構成するマニホールド部３１を有する保護基板３０が接着剤３５を介して接合されている。このマニホールド部３１は、本実施形態では、保護基板３０を厚さ方向に貫通して圧力発生室１２の幅方向に亘って形成されており、上述のように流路形成基板１０の連通部１３と連通されて各圧力発生室１２の共通のインク室となるマニホールド１００を構成している。
【００２６】
また、保護基板３０の圧電素子３００に対向する領域には、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電素子保持部３２が設けられている。圧電素子保持部３２は、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有していればよく、当該空間は密封されていても、密封されていなくてもよい。
【００２７】
このような保護基板３０としては、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料、例えば、ガラス、セラミック材料等を用いることが好ましく、本形態では、流路形成基板１０と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。
【００２８】
保護基板３０には、保護基板３０を厚さ方向に貫通する貫通孔３３が設けられている。そして、各圧電素子３００から引き出されたリード電極９０の端部近傍は、貫通孔３３内に露出するように設けられている。また、保護基板３０上には、並設された圧電素子３００を駆動するための駆動回路１２０が配設されている。この駆動回路１２０は、当該インクジェット式記録ヘッドＩを駆動する駆動電圧とともにバイアス電圧を生成するもので、例えば回路基板や半導体集積回路（ＩＣ）等で形成することができる。そして、駆動回路１２０とリード電極９０とは、ボンディングワイヤー等の導電性ワイヤーからなる接続配線１２１を介して電気的に接続されている。なお、駆動回路１２０の具体的な構成等は後に詳述する。さらに、保護基板３０上には、封止膜４１及び固定板４２からなるコンプライアンス基板４０が接合され、前記封止膜４１によってマニホールド部３１の一方面が封止されている。また、固定板４２は、金属等の硬質の材料で形成される。固定板４２のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４３となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜４１のみで封止されている。
【００２９】
このようなインクジェット式記録ヘッドＩでは、図示しない外部インク供給手段と接続したインク導入口からインクを取り込み、マニホールド１００からノズル開口２１に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路１２０からの記録信号に従い、圧力発生室１２に対応するそれぞれの下電極６０と上電極８０との間に電圧を印加し、弾性膜５０、下電極６０及び圧電体層７０をたわみ変形させることにより、各圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル開口２１からインク滴が吐出する。
かかるインクジェット式記録ヘッドＩは、インクカートリッジ等と連通するインクを具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、本発明の実施の形態に係るインクジェット式記録装置IIに搭載される。
【００３０】
＜インクジェット式記録装置＞
図３は、本形態に係るインクジェット式記録装置IIの一例を示す概略図である。同図に示すように、インクジェット式記録ヘッドＩを有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を噴射するものとしている。そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４には搬送手段としての搬送ローラー８が設けられており、紙等の記録媒体である記録シートＳが搬送ローラー８により搬送されるようになっている。なお、記録シートＳを搬送する搬送手段は、搬送ローラーに限定されずベルトやドラム等であってもよい。
【００３１】
＜インクジェット式記録装置の制御系＞
図４は前記インクジェット式記録装置IIにおける制御系で生成される駆動信号を示す波形図である。図４（ａ）に示す単位パルスＰＵ１は、図６（ａ）に示す単位パルスＰＵ１と同一であり、図４（ｂ）に示す単位パルスＰＵ２は、図６（ｂ）に示す単位パルスＰＵ２と同一である。
【００３２】
図４（ｃ）に示す、駆動信号ＣＯＭも、図６（ｃ）に示す駆動信号ＣＯＭ１と同様に、基準電位Ｖｍ１と基準電位Ｖｍ２とを一致させて生成するが、バイアス電位ＶＢＳ１，ＶＢＳ２は、単位パルスＰＵ１と単位パルスＰＵ２との境界で変化させてある。具体的には、本例の場合、単位パルスＰＵ２の先端のバイアス電位ＶＢＳは単位パルスＰＵ１の後端のバイアス電位ＶＢＳに対して偏差α分だけ低下させてある。このことにより、偏差α（＝Ｖｍ２−Ｖｍ１）を生起している基準電位Ｖｍ１，Ｖｍ２を一致させて単位パルスＰＵ１、ＰＵ２を組み合わせた駆動信号ＣＯＭを生成しても、その特性が変化することはない。
【００３３】
かかる駆動信号ＣＯＭは図５に示すようなインクジェット式記録装置IIにおける制御系IIIにより生成する。同図に示すように、当該制御系IIIは駆動制御部１０１、駆動回路１２０を有しており、駆動回路１２０の出力電圧で制御対象であるインクジェット式記録ヘッドＩを駆動して所定の印字等を行わせる。
【００３４】
ここで、本形態では、図１ないし図２に示すインクジェット式記録ヘッドＩの上電極８０、圧電体層７０及び下電極６０からなる多数の圧電素子３００を、例えばノズル開口２１毎の集合体の列で形成する複数組（本形態では４組）のノズル列Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ毎に所定の駆動電圧及びバイアス電圧を印加するようになっている。
【００３５】
駆動制御部１０１は、演算処理装置１０２、駆動データ生成部１０３を有する。ここで、演算処理装置１０２は、外部のホストコンピューター等に接続されて必要な情報の授受を仲介する外部インターフェース、印刷データ等、各種のデータを一時的に記憶するＲＡＭ、制御プログラム等を記憶するＲＯＭ及び各種の演算処理を行うＣＰＵ等を有している。演算処理装置１０２のＲＡＭには、基準電位Ｖｍ１，Ｖｍ２、バイアス電位ＶＢＳ１，ＶＢＳ２および基準電位Ｖｍ１，Ｖｍ２の偏差αに関するデータを含む単位パルスＰＵ１、ＰＵ２に関するデータが記憶されている。駆動データ生成部１０３は、演算処理装置１０２から送出されるデータに基づき、適宜単位パルスＰＵ１，ＰＵ２を組み合わせて駆動信号ＣＯＭを生成する。すなわち、図４（ｃ）に示すように単位パルスＰＵ１，ＰＵ２の基準電位Ｖｍ１，Ｖｍ２を一致させるとともに、バイアス電位ＶＢＳ１に対して偏差αに基づきバイアス電位ＶＢＳ２を調整して駆動信号ＣＯＭとする。
【００３６】
駆動回路１２０は駆動電圧生成部１２２及びバイアス電圧生成部１２３を有している。駆動電圧生成部１２２は駆動信号ＣＯＭのデータに基づき圧電素子３００の上電極８０に印加する駆動電圧を生成する。バイアス電圧生成部１２３はバイアス電位ＶＢＳのデータに基づき圧電素子３００の下電極６０に印加するバイアス電圧を生成する。このバイアス電圧は単位パルスＰＵ１と単位パルスＰＵ２との境界で偏差αだけ変化する。かくして、単位パルスＰＵ１，ＰＵ２の基準電位Ｖｍ１，Ｖｍ２が一致するように単位パルスＰＵ１，ＰＵ２を組み合わせても、圧電素子３００には基準電位Ｖｍ１とバイアス電位ＶＢＳ１との差（Ｖｍ１−ＶＢＳ１）および基準電位Ｖｍ２とバイアス電位ＶＢＳ２との差（Ｖｍ２−ＶＢＳ２）が単位パルスＰＵ１，ＰＵ２における差（Ｖｍ１−ＶＢＳ１）および差（Ｖｍ２−ＶＢＳ２）と一致する。この結果、単位パルスＰＵ１，ＰＵ２を組み合わせて生成する合成後の駆動信号ＣＯＭの歪みを除去することができる。
【００３７】
＜他の実施の形態＞
上記実施の形態では、偏差αのデータを演算処理装置１０２のＲＡＭに記憶させているが、これに限定するものではない。駆動回路１２０において偏差αに相当する電圧を付与してバイアス電圧を生成するようにしても良い。
【００３８】
また、上記実施の形態では２種類の単位パルスを組み合わせる場合に関して説明したが、単位パルスの種類は、これに限定する必要はない。例えば、大ドット、中ドット、小ドットの３種類の単位パルスを用意して、これらを組み合わせるようにしても良い。また、このときの組み合わせ態様も自由である。
【００３９】
さらに、上記実施の形態では、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドＩを挙げて本発明を説明したが、本発明は広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【符号の説明】
【００４０】
Ｉ  インクジェット式記録ヘッド、  II  インクジェット式記録装置、  III  制御系、  ＣＯＭ  駆動信号、  ＶＢＳ  バイアス電位、  Ｖｍ１，Ｖｍ２  基準電位、  ６０  下電極、  ８０  上電極、  １０１  駆動制御部、  １０２  演算処理装置、  １０３  駆動データ生成部、  １２０  駆動回路、  １２２  駆動電圧生成部、  １２３  バイアス電圧生成部、  ３００  圧電素子
【図１】
0006380153.tif 000002
【図２】
0006380153.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
0006380153.tif 000007