(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルに連通し、配列方向に沿って配列された複数の第１圧力室と、ノズルに連通し、前記配列方向に沿って配列され、前記配列方向と直交する列間方向において、前記複数の第１圧力室と間隔をあけて並んだ複数の第２圧力室と、前記複数の第１圧力室及び前記複数の第２圧力室を覆う振動膜と、を有する流路形成部材と、
前記複数の第１圧力室に対して個別に設けられ、前記振動膜上に配置された複数の第１圧電素子と、
前記複数の第２圧力室に対して個別に設けられ、前記振動膜上に配置された複数の第２圧電素子と、
前記複数の第１圧電素子から、前記複数の第２圧電素子に向かって引き出された複数の第１引出配線と、
前記複数の第２圧電素子から、前記複数の第１圧電素子に向かって引き出された複数の第２引出配線と、
前記複数の第１引出配線及び前記複数の第２引出配線のうち、少なくと１つの引出配線と接続した少なくとも１つの端子と、を備え、
前記複数の第１引出配線及び前記複数の第２引出配線は、これらが配設される引出領域において、前記配列方向に交互に並んで重なる重なり領域を構成し、
前記端子が、前記引出領域のうち、前記重なり領域以外の非重なり領域に配置されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
少なくとも１つの前記第１引出配線と導通する、少なくとも１つの第１端子を備え、
前記第１端子が、前記引出領域のうち、前記列間方向における前記重なり領域よりも前記複数の第１圧電素子側の前記非重なり領域に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記配列方向に隣接する２つの前記第１引出配線に対して設けられた２つの前記第１端子を備え、これら２つの前記第１端子が、前記列間方向に互いにずれて配置され、対応する前記第１引出配線の前記配列方向における両側にまたがって延びていることを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
少なくとも１つの前記第２引出配線と導通する、少なくとも１つの第２端子を備え、
前記第２端子が、前記引出領域のうち、前記列間方向における前記重なり領域よりも前記複数の第２圧電素子側の前記非重なり領域に配置されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記配列方向に隣接する２つの前記第２引出配線に対して設けられた２つの前記第２端子を備え、これら２つの前記第２端子が、前記列間方向に互いにずれて配置され、対応する前記第２引出配線の前記配列方向における両側にまたがって延びていることを特徴とする請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
少なくとも１つの前記第１引出配線と導通する、少なくとも１つの第１端子と、
少なくとも１つの前記第２引出配線と導通する、少なくとも１つの第２端子と、を備え、
前記第１端子及び前記第２端子の両方が、前記引出領域のうち、前記列間方向における前記重なり領域よりも前記複数の第１圧電素子側の前記非重なり領域、及び、前記列間方向における前記重なり領域よりも前記複数の第２圧電素子側の前記非重なり領域のうち、いずれか片方の前記非重なり領域にのみ配置されていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
ある第１引出配線に前記第１端子が設けられ、
この第１引出配線と、前記重なり領域において前記配列方向に隣接する第２引出配線に前記第２端子が設けられ、
前記第１端子と前記第２端子とが、前記列間方向に互いにずれて配置されていることを特徴とする請求項６に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記複数の第１引出配線は、前記列間方向において前記複数の第２圧電素子に近づくほど、間隔が小さくなるように延び、
前記複数の第２引出配線は、前記列間方向において前記複数の第１圧電素子に近づくほど、間隔が大きくなるように延び、
前記端子は、前記引出領域のうち、前記列間方向において、前記重なり領域よりも前記第１圧電素子側の前記非重なり領域に配置されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記複数の第１圧電素子を覆うように前記流路形成部材上に配置された第１カバー部と、
前記複数の第２圧電素子を覆うように前記流路形成部材上に配置され、前記第１カバー部と前記列間方向に間隔をあけて並んだ第２カバー部と、をさらに備え、
前記端子は、前記引出領域のうち、前記列間方向において前記第１カバー部と前記第２カバー部との間に位置し、且つ、前記非重なり領域に配置されていることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記圧電素子は、
前記複数の圧電素子に跨る共通電極と、
前記圧力室毎に設けられた個別電極と、
前記共通電極及び前記個別電極に挟まれた圧電層と、を含み、
前記引出配線は、
前記共通電極から引き出された共通引出配線と、
前記個別電極から引き出された個別引出配線と、を含み、
前記共通引出配線に接続する前記端子は、前記個別引出配線に接続する前記端子よりも大きいことを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれかに記載の液体吐出ヘッドと、
前記重なり領域に接合された配線部材と、を備え、
前記非重なり領域に配置された前記端子が、前記配線部材から露出していることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項１２】
前記配線部材は、平型の柔軟部材であって、前記重なり領域において、端部が、露出された前記端子に向くように前記重なり領域に接合されていることを特徴とする請求項１１に記載の液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルから液体を吐出する液体吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ノズルから液体を吐出する液体吐出装置として、特許文献１、２には、ノズルからインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドが記載されている。
【０００３】
特許文献１に記載のインクジェット式記録ヘッドでは、流路形成基板に複数の圧力発生室が２列設けられている。流路形成基板上には、これらの圧力発生室を覆うように、弾性膜及び絶縁膜が形成されている。絶縁膜上には、圧電素子が圧力発生室毎に配置されている。各圧電アクチュエータの第２電極に接続されたリード電極は、第２電極との接続部分から、絶縁膜の２列の圧電アクチュエータの間の領域まで引き出されている。そして、リード電極は、絶縁膜のこの領域において、配線基板と接続されている。
【０００４】
特許文献２に記載のインクジェット式記録ヘッドでは、列をなす複数の圧力発生室が設けられている。流路形成基板上には、これら複数の圧力発生室を覆うように弾性膜が配置されている。弾性膜上には、圧電素子が圧力室毎に配置されている。各圧電素子の第２電極に接続されたリード電極は、圧電素子の配列方向と直交する方向に引き出されている。リード電極の先端部には、他の部分よりも幅が広くなった検査用領域が設けられている。そして、特許文献２では、検査用領域に検査用プローブを当てて検査を行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１４−１１７９１５号公報
【特許文献２】特開２００９−２５５５２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ここで、特許文献１に記載のインクジェット式記録ヘッドにおいて、特許文献２のようにリード電極に検査用領域を設けることを考える。特許文献１に記載のインクジェット式記録ヘッドでは、２列に配列された複数の圧電アクチュエータのリード電極が、絶縁膜の２列の圧電アクチュエータの間の領域に引き出されている。そのため、絶縁膜の２列の圧電アクチュエータの間の領域の中央部において、圧電アクチュエータ２列分のリード電極が狭い間隔で配置されることになる。その結果、リード電極の、２列の圧電アクチュエータの間の領域の中央部に位置する部分に検査用領域が設けられていると、検査用領域の幅を十分に広くすることができず、検査用領域の面積が小さくなってしまう虞がある。この場合、検査用領域に検査用プローブを当てるのが困難になってしまう。また、圧電アクチュエータ２列分のリード電極が配置される領域には、配線部材が接続されることがある。そして、この場合に、２列の圧電アクチュエータの間の領域の中央部に位置する部分に検査用領域が設けられていると、配線部材の接続後に、プローブを検査用領域に当てるのが困難になってしまう。
【０００７】
本発明の目的は、２列に配列された複数の圧電素子から、２列の圧電素子の間の領域に引出配線が引き出され、且つ、引出配線と導通する検査などに用いるための端子の面積を極力大きくすることが可能であり、配線部材の接続後においても、端子のプローブを当てることが可能な液体吐出装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
第１の発明に係る液体吐出ヘッドは、ノズルに連通し、配列方向に沿って配列された複数の第１圧力室と、ノズルに連通し、前記配列方向に沿って配列され、前記配列方向と直交する列間方向において、前記複数の第１圧力室と間隔をあけて並んだ複数の第２圧力室と、前記複数の第１圧力室及び前記複数の第２圧力室を覆う振動膜と、を有する流路形成部材と、前記複数の第１圧力室に対して個別に設けられ、前記振動膜上に配置された複数の第１圧電素子と、前記複数の第２圧力室に対して個別に設けられ、前記振動膜上に配置された複数の第２圧電素子と、前記複数の第１圧電素子から、前記複数の第２圧電素子に向かって引き出された複数の第１引出配線と、前記複数の第２圧電素子から、前記複数の第１圧電素子に向かって引き出された複数の第２引出配線と、前記複数の第１引出配線及び前記複数の第２引出配線のうち、少なくと１つの引出配線と接続した少なくとも１つの端子と、を備え、前記複数の第１引出配線及び前記複数の第２引出配線は、これらが配設される引出領域において、前記配列方向に交互に並んで重なる重なり領域を構成し、前記端子が、前記引出領域のうち、前記重なり領域以外の非重なり領域に配置されている。
【０００９】
重なり領域では、非重なり領域よりも、引出配線が高密度に配列される。本発明では、非重なり領域に端子が配置されているため、端子を重なり領域に配置する場合よりも、端子の面積を大きくすることができる。また、重なり領域には、引出配線と接続される配線部材が接合されることがあるが、このような場合に、配線部材が接合された状態でも、端子にプローブを当てて、圧電素子の検査を行うことなどが可能となる。
【００１０】
第２の発明に係る液体吐出ヘッドは、第１の発明に係る液体吐出ヘッドにおいて、少なくとも１つの前記第１引出配線と導通する、少なくとも１つの第１端子を備え、前記第１端子が、前記引出領域のうち、前記列間方向における前記重なり領域よりも前記複数の第１圧電素子側の前記非重なり領域に配置されている。
【００１１】
本発明によると、引出領域のうち、重なり領域よりも第１圧電素子側の非重なり領域に第１端子を設けることにより、第１端子の幅を広く（配列方向の長さを長く）して、第１端子の面積を大きくすることができる。
【００１２】
第３の発明に係る液体吐出ヘッドは、第２の発明に係る液体吐出ヘッドにおいて、前記配列方向に隣接する２つの前記第１引出配線に対して設けられた２つの前記第１端子を備え、これら２つの前記第１端子が、前記列間方向に互いにずれて配置され、対応する前記第１引出配線の前記配列方向における両側にまたがって延びている。
【００１３】
本発明によると、隣接する２つの第１引出配線に対して第１端子を設ける場合に、これら２つの第１端子を、列間方向にずらして配置し、対応する第１引出配線の配列方向における両側にまたがって延びたものとすることにより、第１端子の幅をさらに広くして、第１端子の面積をさらに大きくすることができる。
【００１４】
第４の発明に係る液体吐出ヘッドは、第１〜第３のいずれかの発明に係る液体吐出ヘッドにおいて、少なくとも１つの前記第２引出配線と導通する、少なくとも１つの第２端子を備え、前記第２端子が、前記引出領域のうち、前記列間方向における前記重なり領域よりも前記複数の第２圧電素子側の前記非重なり領域に配置されている。
【００１５】
本発明によると、引出領域のうち、重なり領域よりも第２圧電素子側の非重なり領域に第２端子を設けることにより、第２端子の幅を広く（配列方向の長さを長く）して、第２端子の面積を大きくすることができる。
【００１６】
第５の発明に係る液体吐出ヘッドは、第４の発明に係る液体吐出ヘッドにおいて、前記配列方向に隣接する２つの前記第２引出配線に対して設けられた２つの前記第２端子を備え、これら２つの前記第２端子が、前記列間方向に互いにずれて配置され、対応する前記第２引出配線の前記配列方向における両側にまたがって延びている。
【００１７】
本発明によると、隣接する２つの第２引出配線に対して第２端子を設ける場合に、これら２つの第２端子を、列間方向にずらして配置し、対応する第２引出配線の配列方向における両側にまたがって延びたものとすることにより、第２端子の幅をさらに広くして、第２端子の面積をさらに大きくすることができる。
【００１８】
第６の発明に係る液体吐出ヘッドは、第１の発明に係る液体吐出ヘッドにおいて、少なくとも１つの前記第１引出配線と導通する、少なくとも１つの第１端子と、少なくとも１つの前記第２引出配線と導通する、少なくとも１つの第２端子と、を備え、前記第１端子及び前記第２端子の両方が、前記引出領域のうち、前記列間方向における前記重なり領域よりも前記複数の第１圧電素子側の前記非重なり領域、及び、前記列間方向における前記重なり領域よりも前記複数の第２圧電素子側の前記非重なり領域のうち、いずれか片方の前記非重なり領域にのみ配置されている。
【００１９】
列間方向において、重なり領域に対して片側にのみ第１、第２端子が配置されることになるため、重なり領域に配線部材を接合した後に、第１、第２圧電素子の検査等を行う場合でも、容易に第１、第２端子にプローブを当てることができる。
【００２０】
第７の発明に係る液体吐出ヘッドは、第６の発明に係る液体吐出ヘッドにおいて、ある第１引出配線に前記第１端子が設けられ、この第１引出配線と、前記重なり領域において前記配列方向に隣接する第２引出配線に前記第２端子が設けられ、前記第１端子と前記第２端子とが、前記列間方向に互いにずれて配置されている。
【００２１】
本発明によると、第１端子と第２端子とを列間方向にずらして配置することにより、第１、第２端子の幅を広くして、第１、第２端子の面積を大きくすることができる。
【００２２】
第８の発明に係る液体吐出ヘッドは、第１〜第７のいずれかの発明に係る液体吐出ヘッドにおいて、前記複数の第１引出配線は、前記列間方向において前記複数の第２圧電素子に近づくほど、間隔が小さくなるように延び、前記複数の第２引出配線は、前記列間方向において前記複数の第１圧電素子に近づくほど、間隔が大きくなるように延び、前記端子は、前記引出領域のうち、前記列間方向において、前記重なり領域よりも前記第１圧電素子側の前記非重なり領域に配置されている。
【００２３】
引出領域のうち、列間方向において、重なり領域よりも第１圧電素子側の非重なり領域は、第２圧電素子側の非重なり領域よりも、第１引出配線同士の間隔、及び、第２引出配線同士の間隔が大きい。したがって、重なり領域よりも第１圧電素子側の領域に端子を設けることにより、第２圧電素子側の領域に端子を設けるよりも、端子の幅を広くしてその面積を大きくすることができる。
【００２４】
第９の発明に係る液体吐出ヘッドは、第１〜第８のいずれかの発明に係る液体吐出ヘッドにおいて、前記複数の第１圧電素子を覆うように前記流路形成部材上に配置された第１カバー部と、前記複数の第２圧電素子を覆うように前記流路形成部材上に配置され、前記第１カバー部と前記列間方向に間隔をあけて並んだ第２カバー部と、をさらに備え、前記端子は、前記引出領域のうち、前記列間方向において前記第１カバー部と前記第２カバー部との間に位置し、且つ、前記非重なり領域に配置されている。
【００２５】
流路形成部材に、複数の第１圧電素子を覆う第１カバー部、及び、複数の第２圧電素子を覆う第２カバー部が配置されることがある。この場合には、第１カバー部と第２カバー部との間に位置し、且つ、非重なり領域に端子を配置することにより、第１、第２カバー部を避けて端子配置することができる。これにより、流路形成部材に第１、第２カバー部が取り付けられた状態でも、端子にプローブを当てることによって、圧電素子の検査を行うこと等が可能となる。
【００２６】
第１０の発明に係る液体吐出ヘッドは、第１〜第９のいずれかの発明に係る液体吐出ヘッドにおいて、前記圧電素子は、前記複数の圧電素子に跨る共通電極と、前記圧力室毎に設けられた個別電極と、前記共通電極及び前記個別電極に挟まれた圧電層と、を含み、前記引出配線は、前記共通電極から引き出された共通引出配線と、前記個別電極から引き出された個別引出配線と、を含み、前記共通引出配線に接続する前記端子は、前記個別引出配線に接続する前記端子よりも大きい。
第１１の発明に係る液体吐出装置は、第１〜第１０のいずれかの発明に係る前記液体吐出ヘッドと、前記重なり領域に接合された配線部材と、を備え、前記非重なり領域に配置された前記端子が、前記配線部材から露出している。
【００２７】
本発明によると、配線部材が重なり領域に接合された状態でも、配線部材から露出した非重なり領域に配置された端子にプローブを当てることによって、圧電素子の検査を行うこと等が可能となる。
【００２８】
第１２の発明に係る液体吐出装置は、第１１の発明に係る液体吐出装置において、前記配線部材は、平型の柔軟部材であって、前記重なり領域において、端部が、露出された前記端子に向くように前記重なり領域に接合されている。
【００２９】
本発明によると、配線部材が引き出されるのと反対側に、第１、第２端子が配置されるため、プローブを第１、第２端子に当てる際に、配線部材が邪魔になりにくい。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の実施の形態に係るプリンタの概略構成図である。
【図２】図１のインクジェットヘッドの平面図である。
【図３】図２の部分拡大図である。
【図４】（ａ）が図２のＡ−Ａ線断面図であり、（ｂ）が図２のＢ−Ｂ線断面図である。
【図５】変形例１の図２相当の図である。
【図６】変形例２の図２相当の図である。
【図７】変形例３の図２相当の図である。
【図８】変形例４の図２相当の図である。
【図９】変形例５の図２相当の図である。
【図１０】変形例６の図２相当の図である。
【図１１】変形例７の図２相当の図である。
【図１２】変形例８の図２相当の図である。
【図１３】変形例９の図２相当の図である。
【図１４】変形例１０の図２相当の図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、本発明の好適な実施の形態について説明する。
【００３２】
（プリンタの全体構成）
図１に示すように、本実施の形態に係るプリンタ１（本発明の「液体吐出装置」）は、キャリッジ２、インクジェットヘッド３（本発明の「液体吐出ヘッド」）、用紙搬送ローラ４などを備えている。キャリッジ２は、２本のガイドレール５に支持され、ガイドレール５に沿って走査方向（本発明の「列間方向」）に往復移動する。インクジェットヘッド３は、キャリッジ２に搭載され、その下面には複数のノズル１５ａ、１５ｂが形成されている。用紙搬送ローラ４は、搬送方向（本発明の「配列方向」）におけるキャリッジ２の両側に配置され、記録用紙Ｐを搬送方向に搬送する。なお、搬送方向は、走査方向と直交する方向である。また、以下では、図１に示すように、走査方向の右側及び左側を定義して説明を行う。
【００３３】
そして、プリンタ１では、印字指令を受けると、記録用紙Ｐの搬送と、これに同期したキャリッジ２の往復移動が始まる。これに対応してインクジェットヘッド３が駆動され、ノズル１５ａ、１５ｂからインクが吐出され、記録用紙Ｐには画像データに基づく画像が形成される。
【００３４】
（インクジェットヘッド）
次に、インクジェットヘッド３について説明する。図２〜図４に示すように、インクジェットヘッド３は、流路形成部材、圧電素子および接続部材の積層体である。本実施の形態では、流路形成部材として、振動膜３１、圧力室プレート２１、マニホールドプレート２２、ノズルプレート２３およびカバープレート２４が相当し、部材内部に液体流路を有する。圧電素子は、振動膜３１および圧電アクチュエータ３２ａ、３２ｂが相当し、ユニモルフ型の変形を起こす。また、接続部材として、支持基板３４が相当し、流路形成部材および圧電素子を補強する。なお、図３では、後述の支持基板３４について、走査方向の端の位置のみを二点鎖線で図示している。また、振動膜３１の上面の電極、配線、端子には、ハッチングを付している。
【００３５】
圧力室プレート２１は、シリコン（Ｓｉ）によって形成され、複数の貫通孔を有する。貫通孔は、開口の形状が長円形状であり、走査方向が長手方向である。各貫通孔は、振動膜３１およびマニホールドプレート２２で上下に封止されて、複数の圧力室１０ａ、１０ｂを構成する。複数の圧力室１０ａ、１０ｂは搬送方向に並び、２つの圧力室列９ａ、９ｂを形成している。複数の圧力室１０ａ、１０ｂは、全体として、搬送方向に千鳥状に等間隔で並ぶ。つまり、左側の圧力室１０ａは、搬送方向に隣接する右側の圧力室１０ｂに対して、列内における圧力室同士の間隔の半分の長さだけ、搬送方向にずれている。
【００３６】
マニホールドプレート２２は、圧力室プレート２１の下面に接合され、圧力室プレート２１よりも走査方向両側に長い。マニホールドプレート２２は、シリコン(Ｓｉ)によって形成され、マニホールド流路１１ａ、１１ｂ、インク供給流路１４ａ、１４ｂ、複数の絞り流路１２ａ、１２ｂ及び複数のディセンダ流路１３ａ、１３ｂを有する。
【００３７】
マニホールド流路１１ａは、走査方向左側の下半部に形成され、下面に開口している。マニホールド流路１１ａは、搬送方向に、圧力室列９ａの全長にわたって延び、走査方向には、圧力室プレート２１の左端を挟んで両側に広がる。マニホールド流路１１ａは、右側端部で絞り流路１２ａと上下に重なり、左側端部でインク供給流路１４ａと上下に重なっている。
【００３８】
マニホールド流路１１ｂは、その配置形態が、走査方向のプレート中央部に関して、マニホールド流路１１ａとほぼ対称の関係を有する。例えば、マニホールド流路１１ｂも、搬送方向には、圧力室列９ｂの全長にわたって延び、走査方向には、圧力室プレート２１の右端を挟んでその両側に広がる。マニホールド流路１１ｂは、その左側端部で絞り流路１２ｂと重なり、右側端部でインク供給流路１４ｂと重なっている。
【００３９】
インク供給流路１４ａは、走査方向左側の上半部に形成され、マニホールド流路１１ａと搬送方向の長さが等しい。インク供給流路１４ａは、上下方向に延びて、上端が圧力室プレート２１から露出した上面に開口し、下端がマニホールド流路１１ａと接続している。インク供給流路１４ｂは、その配置形態が、走査方向のプレート中央部に関して、インク供給流路１４ａとほぼ対称の関係を有する。インク供給流路１４ｂも、上端は露出した上面に開口し、下端がマニホールド流路１１ｂと接続している。それぞれの開口は、図示しないチューブを介して、図示しないインクカートリッジからインクが供給される。
【００４０】
複数の絞り流路１２ａは、走査方向左側の上半部に形成されている。各絞り流路１２ａは、上下方向に延びて、上端が圧力室１０ａの左端部と接続し、下端がマニホールド流路１１ａと接続している。複数の絞り流路１２ｂは、走査方向右側の上半部に形成されている。各絞り流路１２ｂも、絞り流路１２ａと同様に、圧力室１０ｂと１対１に形成され、圧力室１０ｂの右端部をマニホールド流路１１ｂと接続している。つまり、複数の絞り流路１２ａ、１２ｂは、全体として、搬送方向に千鳥状に等間隔で並んでいる。これは、圧力室１０ａ、１０ｂの配置形態に対応する。
【００４１】
複数のディセンダ流路１３ａは、走査方向左側で、マニホールドプレート２２を貫通して形成されている。各ディセンダ流路１３ａは、上端が圧力室１０ａの右端部と接続し、下端がノズル１５ａと接続している。複数のディセンダ流路１３ｂも、走査方向右側で、圧力室１０ｂの左端部をノズル１５ｂと１対１に接続している。つまり、複数のディセンダ流路１３ａ、１３ｂも、全体として、搬送方向に千鳥状に等間隔で並んでいる。これは、圧力室１０ａ、１０ｂの配置形態に対応する。
【００４２】
ノズルプレート２３は、合成樹脂材料等からなり、マニホールドプレート２２の下面の中央部に接合され、複数のディセンダ流路１３ａ、１３ｂと重なる。ノズルプレート２３には、複数のノズル１５ａ、１５ｂが形成されている。１つのノズル１５ａは、１つのディセンダ流路１３ａと対応する。これにより、１つの圧力室１０ａに対して、ノズル１５ａ及びディセンダ流路１３ａが1対１で連通する。各ノズル１５ａ、１５ｂは、出射側の開口に向けて先細りである。
【００４３】
以上の構成により、インクカートリッジのインクは、チューブを介して、インク供給流路に流れ込む。インクは、インク供給流路からマニホールド流路を満たすと、その出口から各個別インク流路（絞り流路、圧力室、ディセンダ流路およびノズルで構成される個別の流路）に分配される。個別インク流路の先端（ノズル）において、インクは、メニスカスを形成し止まる。圧電アクチュエータの駆動(圧力室容積の減少)により、インクは、液滴となってノズルから吐出される。
【００４４】
カバープレート２４は、金属材料などからなり、マニホールドプレート２２の下面に接合されて、ノズルプレート２３の周囲を取り囲む。カバープレート２４は、マニホールド流路１１ａ、１１ｂの開口を塞いでいる。また、カバープレート２４は、樹脂のような可撓性材料製であってもよく、マニホールド流路内の圧力変動をより効果的に抑制できる。
【００４５】
振動膜３１は、ジルコニア（ＺｒＯ2）、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）、酸化シリコン（ＳｉＯ2）、窒化シリコン（Ｓｉ3Ｎ4）等のいずれかの絶縁性材料からなり、圧力室プレート２１の上面に形成されている。振動膜３１は、全ての圧力室１０ａ、１０ｂの開口を塞ぎ、本実施の形態では、圧力室プレート２１の上面全体を覆っている。図４（ａ）、（ｂ）では、振動膜３１は単層であるが、異なる材料からなる多層であってもよい。ここで、振動膜３１は、流路形成部材として圧力室の側壁を構成するとともに、圧電素子用部材として圧電アクチュエータ３２ａ、３２ｂと共にユニモルフ変形を起こす。
【００４６】
圧電アクチュエータ３２ａは、圧電層４１ａと、複数の個別電極４２ａと、共通電極４３ａと、保護膜４４ａ、４５ａとを備えている。個別電極４２ａは、白金（Ｐｔ）などの導電性材料からなり、振動膜３１の上面に圧力室１０ａ毎に設けられている。個別電極４２ａは、主要部が圧力室１０ａの中央部と重なり、走査方向の両側に圧電層４１ａ（後述）から露出している。
【００４７】
圧電層４１ａは、圧電材料からなり、本実施例では、チタン酸ジルコン酸鉛が主成分である。圧電層４１ａは、一続きの帯状に形成され、振動膜３１上で個別電極４２ａを覆っている。圧電層４１ａは、全ての圧力室１０ａと重なり、搬送方向に延びる。
【００４８】
共通電極４３ａは、イリジウム（Ｉｒ）などの導電性材料からなり、圧電層４１ａの上面のほぼ全域を覆っている。圧電層４１ａのうち、個別電極４２ａと共通電極４３ａとに挟まれた部分が、活性部であり個別電極４２ａから共通電極４３ａに向かって分極されている。
【００４９】
保護膜４４ａは、二酸化ケイ素（ＳｉＯ2）、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）などの絶縁性材料からなる。保護膜４４ａは、各個別電極４２ａの右端部を部分的に残して、圧電層４１ａの右端部を覆い、搬送方向に延びている。保護膜４５ａは、圧電層４１ａの左端部及び露出した個別電極４２ａを覆い、搬送方向に延びている。両保護膜４４ａ、４５ａは、同じ材料からなっている。
【００５０】
ここで、両電極４２ａ、４３ａ間に電圧を印加すると、活性部は個別に変位する。このとき、活性部は、厚み方向に延び、面方向に縮む。圧電アクチュエータ３２ａには、独立して変位可能な圧電素子が、個別電極４２ａの数だけ作り込まれていると言える。１つの活性部と、これに対応した個別電極４２ａ、共通電極４３ａ、保護層４４ａ、４５ａが、本発明における１つの第１圧電素子に相当する。第１圧電素子は、振動膜３１と協働して、圧力室側に凸のユニモルフ変形をする。つまり、１つの圧電素子とこれに対応する振動膜３１は、1つの単位アクチュエータを構成し、対応する圧力室１０の容積を個別に変更する。
【００５１】
圧電アクチュエータ３２ｂは、圧電層４１ｂと、複数の個別電極４２ｂと、共通電極４３ｂと、保護膜４４ｂ、４５ｂとを備えている。圧電アクチュエータ３２ｂと圧電アクチュエータ３２ａとは、構成部材の配置形態に違いがあるが、構成部材および圧電層４１ｂの分極状態は同じである。圧電アクチュエータ３２ｂは、個別電極４２ｂの数だけ、第２圧電素子が作りこまれている。
【００５２】
圧電アクチュエータ３２ａ、３２ｂ同士の配置形態の違いは、圧力室１０の全体的な配置形態を反映している。作り込まれた圧電素子には、圧力室１０と１対１の位置関係があるので、第１圧電素子が第２圧電素子に対して搬送方向にずれている。つまり、複数の第１圧電素子及び複数の第２圧電素子も、全体として、搬送方向に千鳥状に等間隔で並んでいる。なお、走査方向における構成部材の配置形態は、この搬送方向のずれを加味すれば、プレート中央部に関して対称と言える。
【００５３】
また、圧電アクチュエータ３２ａと圧電アクチュエータ３２ｂに挟まれる引出領域Ｒ（ここでは、振動膜３１の上面の一部）には、複数の個別引出配線５２ａ、５２ｂと、複数の個別端子５４ａ、５４ｂと、共通引出配線５５ａ、５５ｂと、共通端子５７ａ、５７ｂと、が配置されている。
【００５４】
引出領域Ｒは、図３に示すように、３つの領域Ｒａ、Ｒｂ、Ｒｃに分けられる。このうち、走査方向中央部の領域Ｒｃは、個別引出配線５２ａ、５２ｂが搬送方向に重なる重なり領域である。個別引出配線５２ａ、５２ｂは、搬送方向に交互に等間隔で並ぶ。この重なり領域Ｒｃには、ＣＯＦ（Chip On Film）７０が接合される。左側の領域Ｒａは、圧電アクチュエータ３２ａと右に隣接する非重なり領域であって、個別引出配線５２ａの基端部だけが並ぶ。右側の領域Ｒｂも非重なり領域であって、個別引出配線５２ｂの基端部だけが並び、圧電アクチュエータ３２ｂと左に隣接している。
【００５５】
個別引出配線５２ａ（本発明の「第１引出配線」）は、個別電極４２ａに対して１対１で設けられている。個別引出配線５２ａは、金（Ａｕ）などの導電性材料からなり、主に振動膜３１に沿って走査方向に延びる。個別引出配線５２ａは、左端を保護膜４４ａ上に持ち、右端を重なり領域Ｒｃの右端部に持つ。このとき、個別引出配線５２ａは、保護膜４４ａから露出した個別電極４２ａの右端部と、配設の途中で接続している。
【００５６】
搬送方向の配置ずれを加味すると、個別引出配線５２ｂ（本発明の「第２引出配線」）は、プレート中央部に関して、個別引出配線５２ａと走査方向に対称の配置形態を有する。個別引出配線５２ｂは、右端を保護膜４４ｂ上に持ち、左端を重なり領域Ｒｃの左端部に持ち、途中部で個別電極４２ｂの左端部と接続している。なお、個別引出配線５２ｂは、個別引出配線５２ａと同じ材料からなる。
【００５７】
個別端子５４ａは、個別引出配線５２ａと同じ導電性材料からなり、走査方向の左側の非重なり領域Ｒａに配置されている。個別端子５４ａは、個別引出配線５２ａよりも幅が広い。個別端子５４ａは、個別引出配線５２ａの搬送方向両側に延びている。また、搬送方向の上流側から奇数番目の個別端子５４ａは、偶数番目の個別端子５４ａよりも左側にずれて配置され、搬送方向に重ならない。すなわち、複数の個別端子５４ａは、非重なり領域Ｒａにおいて、搬送方向に２列の千鳥状に配列されている。これにより、インクジェットヘッド３を大型化することなく、個別端子５４ａのサイズを大きくできる。
【００５８】
個別端子５４ｂは、個別引出配線５２ｂと同じ導電性材料からなり、走査方向の右側の非重なり領域Ｒｂに設けられている。個別端子５４ｂは、サイズ・形状および配列形態が、個別端子５４ａと同じである。得られる効果も、同様である。
【００５９】
２つの共通引出配線５５ａ、５５ｂは、個別引出配線５２ａ、５２ｂと同じ導電性材料からなる。共通引出配線５５ａ、５５ｂは、個別引出配線５２ａ、５２ｂの並びに隣接配置され、搬送方向にこれを挟む。共通引出配線５５ａは、搬送方向上流側に配置され、共通引出配線５５ｂは、下流側に配置されている。走査方向に関して、共通引出配線５５ａは、左端が共通電極４３ａと接続し、右端が個別引出配線５２ａの右端と同じ位置にある。共通引出配線５５ｂは、右端が共通電極４３ｂと接続し、左端が個別引出配線５２ａの左端と同じ位置にある。また、共通引出配線５５ａの基端部には、端子５７ａが配置され、共通引出配線５５ｂの基端部には、端子５７ｂが配置されている。端子５７ａ、５７ｂは、個別端子５４ａ、５４ｂよりもサイズが大きい。
【００６０】
ＣＯＦ７０は、平板状の柔軟部材であり、一端部が走査方向における圧電アクチュエータ３２ａ側に向き、圧電アクチュエータ３２ｂ側に引き出されている。ＣＯＦ７０の他端部は、図示しない回路基板に接続され、回路基板から画像データが供給される。ＣＯＦ７０の途中部には、ドライバＩＣ７１が実装されている。ドライバＩＣ７１からは、画像データに基づいて、駆動信号が出力される。駆動信号は、個別引出配線５２ａ、５２ｂを介して、個別電極４２ａ、４２ｂに供給される。なお、駆動信号は、一種のパルス信号であり、グランド電位と駆動電位（例えば、２０Ｖ）との間で切り替わる。これとは別に、グランド電位が、共通引出配線５５ａ、５５ｂを介して、共通電極４３ａ、４３ｂに供給される。
【００６１】
なお、本実施の形態では、図４に示すように、非重なり領域Ｒａ、Ｒｂの少なくとも一部が、上方から見て(平面視で)、ＣＯＦ７０から露出している。このとき、端子５４ａ、５４ｂ、５７ａ、５７ｂは、ＣＯＦ７０から露出することになり、探針用プローブが接触可能である。
【００６２】
次に、支持基板３４について説明する。支持基板３４は、シリコン（Ｓｉ）によって形成され、振動膜３１の上面に接合されている。支持基板３４は、２つの対向部６１ａ、６１ｂと、２つの連結部６２、６３とを有する。連結部６２は、搬送方向上流部で２つの対向部６１ａ、６１ｂを連結し、連結部６３が搬送方向下流部で両者を連結している。支持基板３４は、外形が四角形状の枠体で、圧力室プレート２１と外側輪郭が重なる。
【００６３】
中空の中央部３４ａからは、引出領域Ｒの大部分が露出している。非重なり領域Ｒａ、Ｒｂには、対向部６１ａ、６１ｂが接合されるので、引出領域Ｒはその分だけ走査方向に狭くなっている。非重なり領域Ｒａは、左端部が対向部６１ａとの接合領域である。残余の領域Ｓａでは、端子５４ａ、５７ａが、ＣＯＦ７０から露出している。非重なり領域Ｒｂは、右端部が対向部６１ｂとの接合領域である。残余の領域Ｓｂでは、端子５４ｂ、５７ｂが、ＣＯＦ７０から露出している。
【００６４】
対向部６１ａ（本発明の「第１カバー部」）は、圧力室プレート２１の走査方向左側で、圧力室列９ａと対向する。対向部６１ａの下面には、凹部６６ａが開口している。この開口は、平面視で圧力室列９ａと重なり、全ての圧力室１０ａを内包している。そのため、凹部６６ａおよび振動膜３１が作る空間には、圧電アクチュエータ３２ａの大部分が収容されている。圧電アクチュエータ３２ａは、支持基板３４により、外部から保護される。
【００６５】
対向部６１ｂ（本発明の「第２カバー部」）は、中空の中央部３４ａを挟んで、対向部６１ａと対称の配置形態を持つ。対向部６１ｂも、下面に凹部６６ｂを有している。凹部６６ｂには、圧電アクチュエータ３２ｂの大部分が収容され、圧電アクチュエータ３２ｂが外部から保護される。
【００６６】
連結部６２、６３は、走査方向に延びて対向部６１ａ、６１ｂ同士を接続し、支持基板３４を画定している。支持基板３４は、ヘッドとして組み込まれて、これを構造的に補強する。また、図示は省略するが、連結部６２、６３の内部には、その下面において開口し、走査方向に延びて凹部６６ａ、６６ｂの内部空間と接続された内部空間が形成されている。
【００６７】
（インクジェットヘッドの駆動方法）
次に、駆動素子（圧電アクチュエータと振動膜３１からなる素子）を駆動してノズルからインクを吐出させる方法について説明する。インクジェットヘッド３では、駆動前の状態（スタンバイ状態）において、全ての個別電極がグランド電位に保持されている。
【００６８】
あるノズルからインクを吐出させる際には、そのノズルに対応する個別電極の電位をグランド電位から駆動電位に切り換える。個別電極の電位が共通電極より高くなると、圧電層に、個別電極から共通電極に向かう電界が生じる。圧電層は、個別電極から共通電極に向かって分極されているので、面方向に縮む。一方、振動膜３１は、電界による自発的な伸縮がない。これにより、圧電層と振動膜３１との間で歪み差が生じ、対応する駆動素子は圧力室側に凸に変形する。このとき、圧力室内のインクが加圧され、その一部がノズルから吐出される。この後、個別電極の電位がグランド電位に戻れば、駆動素子の変形が解かれ、圧力室の容積も駆動電位の印加前の容積に戻る。このとき、マニホールド流路からインクが圧力室に補充され、次のインク吐出（駆動電位の印加）に対する準備が整う。
【００６９】
（圧電アクチュエータの検査）
次に、圧電アクチュエータ３２ａ、３２ｂの検査について説明する。インクジェットヘッド３の製造時などには、インクジェットヘッド３の異常の検出などの目的で検査を行う。例えば、圧電素子の検査として、共振周波数の測定がある。この測定では、共通端子と個別端子間に交流電圧を印加する。電圧は、１Ｖ程度である。交流電圧の周波数をスイープして電流―周波数特性を求め、電流がピークを持つ周波数を共振周波数とする。圧電素子間で共振周波数を比較すれば、インクジェットヘッド内での吐出特性の均一性を推測できる。インクジェットヘッド間でこれを比較すれば、インクジェットヘッドを吐出特性でランク分けができる。
【００７０】
ここで、重なり領域ＲｃにはＣＯＦ７０が接合されている。そのため、本実施の形態とは異なり、重なり領域Ｒｃに端子５４ａ、５４ｂ、５７ａ、５７ｂが配置されているとすると、ＣＯＦ７０の接合後に端子５４ａ、５４ｂ、５７ａ、５７ｂにプローブを当てて検査を行うことが困難となる。
【００７１】
これに対して、本実施の形態では、端子５４ａ、５７ａが、非重なり領域Ｒａのうち、支持基板３４の中央部３４ａから露出した領域Ｓａに配置されている。同様に、端子５４ｂ、５７ｂが、非重なり領域Ｒｂのうち、支持基板３４の中央部３４ａから露出した領域Ｓｂに配置されている。これにより、ＣＯＦ７０及び支持基板３４の接合後であっても、端子５４ａ、５４ｂ、５７ａ、５７ｂにプローブを当てて検査を行うことができる。
【００７２】
また、本実施の形態の場合、重なり領域Ｒｃには、非重なり領域Ｒａ、Ｒｂよりも、個別引出配線５２ａ、５２ｂが高密度に配置される。したがって、本実施の形態とは異なり、重なり領域Ｒｃに個別端子５４ａ、５４ｂが配置されていると、個別端子５４ａ、５４ｂは、搬送方向の長さが短くなる。その結果、端子５４ａ、５４ｂ、５７ａ、５７ｂの面積は小さくなり、プローブが接触できない虞がある。
【００７３】
本実施の形態では、上記のとおり、非重なり領域Ｒａの一部である領域Ｓａに個別端子５４ａを配置し、非重なり領域Ｒｂの一部である領域Ｓｂに個別端子５４ｂを配置している。これにより、個別端子５４ａ、５４ｂの幅を広くすることができる。個別端子５４ａ、５４ｂの面積は大きくなり、プローブを容易に当てることができる。
【００７４】
さらに、本実施の形態では、隣接する２つの個別端子５４ａ同士、及び、隣接する２つの個別端子５４ｂ同士が、それぞれ、走査方向にずらして配置されている。これにより、個別端子５４ａ、５４ｂの幅をさらに広くすることができる。
【００７５】
以上の説明の中で、圧電アクチュエータの関連したヘッドの構成部材について、搬送方向の配置ずれを加味すれば、配置形態が走査方向に対称であるとしたが、厳格に対称配置されている必要は無い。例えば、走査方向に関して、ヘッドの右側と左側で構成部材間の間隔や構成部材自体の長さ等が異なっていても良い。具体的には、個別端子のサイズ、内側個別配線の端部位置と引出長さ、外側個別配線の端部位置と引出長さ、等が異なっていてもよい。各電極、各配線および各端子の材料が異なっていてもよい。
【００７６】
個別電極が個別引出配線と接続するとき、接続部としての個別電極の端部が、保護膜から露出した個別電極の上面であっても、あるいは、保護膜から露出した個別電極の側端面であってもよい。
【００７７】
次に、本実施の形態に種々の変更を加えた変形例について説明する。
【００７８】
上述の実施の形態では、搬送方向に隣接する２つの個別端子同士が、対応する引出配線の基端部近傍で走査方向にずれて配置されていたが、これには限らない。変形例１では、図５に示すように、複数の個別端子１５４ａ、１５４ｂが、それぞれ、残余の領域Ｓａ、Ｓｂで搬送方向に１列に配列されている。
【００７９】
この場合には、個別端子１５４ａ、１５４ｂは、対応する引出配線の基端部近傍に配置されているものの、上述の個別端子５４ａ、５４ｂよりも幅が狭くなる。しかし、重なり領域Ｒｃに個別端子を設ける場合よりは、個別端子１５４ａ、１５４ｂの幅を広くすることができる。
【００８０】
また、変形例１では、共通端子も、個別端子と同様に、対応する引出配線の搬送方向両側に跨がって延びている。いずれも、引出配線が、端子の搬送方向中央部を横切っている。しかし、これには限らない。
【００８１】
変形例２では、図６に示すように、複数の個別端子２５４ａ、２５４ｂが、それぞれ、搬送方向に１列に配列されている。このとき、各個別端子は、個別引出配線の搬送方向の一方側にのみ延びている。本変形例では、個別端子が、対応する引出配線の基端部近傍において、下流側に延びている。また、共通端子２５７ａ、２５７ｂも、個別端子と同様に、搬送方向の一方側にのみ延びている。共通端子についても、上流側に延びていてもよく、個別端子に対して走査方向にずれていてもよい。共通端子が、個別端子に対して、搬送方向に互いに反対方向に延びていてもよい。
【００８２】
また、上述の実施の形態では、複数の個別端子５４ａが領域Ｓａに配置され、複数の個別端子５４ｂが領域Ｓｂに配置されていたが、これには限らない。変形例３では、図７に示すように、個別端子３５４ａが、領域Ｓｂにおいて、個別引出配線５２ａの右端に接続している。また、個別端子３５４ｂが、領域Ｓａにおいて、個別引出配線５２ｂの左端に接続している。このとき、共通端子も、個別端子と同様に、対応する共通引出配線の先端部に接続されている。共通端子３５７ａは領域Ｓｂに配置され、共通端子３５７ｂは領域Ｓａに配置されている。したがって、ＣＯＦ７０の接合後でも、各端子にプローブを当てることができる。
【００８３】
また、上述の実施の形態では、端子５４ａ、５７ａと、端子５４ｂ、５７ｂとが、走査方向において重なり領域Ｒｃを挟むように配置されていたが、これには限らない。変形例４では、図８に示すように、個別端子４５４ａ及び共通端子４５７ａが、上述の実施の形態と同様、領域Ｓａに配置されている。また、個別端子４５４ｂ及び共通端子４５７ｂも、対応する引出配線の先端に接続し、領域Ｓａに配置されている。走査方向において、各端子の右端が、重なり領域Ｒｃの左端を共有している。すなわち、変形例４では、端子４５４ａ、４５４ｂ、４５７ａ、４５７ｂが領域Ｓａにのみ配置されている。
【００８４】
この場合には、ＣＯＦ７０に対して、走査方向における同じ側（左側）から端子４５４ａ、４５４ｂ、４５７ａ、４５７ｂにプローブを当てることができる。これにより、重なり領域ＲｃにＣＯＦ７０を接合した後でも、端子４５４ａ、４５４ｂ、４５７ａ、４５７ｂにプローブを当てることが容易になる。
【００８５】
このとき、ＣＯＦ７０は、一端が圧電アクチュエータ３２ａ側(領域Ｓａ側)を向き、他端が圧電アクチュエータ３２ｂ側(領域Ｓｂ側)に引き出されている。各端子とＣＯＦ７０との配置関係は、ちょうど図４（ｂ）が示す形態となる。探針時には、対向部６１ａ、６１ｂがプローブの邪魔にならない。なお、各端子とＣＯＦ７０との配置関係は、変形例４と逆であってもよい。この場合、各端子は、領域Ｓｂに配置される。ＣＯＦ７０は、領域Ｓａ側に引き出される。もちろん、各端子は、それらの配置位置にかかわらず、ＣＯＦ７０との配置関係が、ちょうど図４（ａ）で示されるような形態であってもよいことは言うまでも無い。
【００８６】
また、変形例４では、上述の実施の形態と同様、複数の個別引出配線５２ａ、５２ｂが全て走査方向と平行に延びていたが、これには限られない。変形例５では、図９に示すように、複数の個別引出配線５５２ａ、５５２ｂが、個別電極４２ａ、４２ｂとの接続部分近傍以外の部分において、走査方向の左側にいくほど、搬送方向の外側に位置するように、走査方向に対して傾いている。また、複数の個別引出配線５５２ａ、５５２ｂのうち、搬送方向の外側に位置する個別引出配線５５２ａ、５５２ｂほど、走査方向に対する傾きが大きくなっている。これにより、領域Ｓａでの個別引出配線５５２ａ同士の間隔は、領域Ｓｂでの個別引出配線５５２ｂ同士の間隔よりも大きくなる。
【００８７】
なお、重なり領域Ｒｃ(特に、ＣＯＦ７０との接続領域)では、各引出配線の傾きを除いて、個別引出配線の配列間隔が、上述の実施形態のそれとほぼ等しくなっている。また、変形例５では、全ての個別引出配線５５２ａ、５５２ｂが走査方向に対して傾いていることには限らず、搬送方向における中央に位置する１つの個別引出配線５５２ａあるいは１つの個別引出配線５５２ｂは、走査方向と平行（走査方向に対する傾きが０）であってもよい。
【００８８】
そして、変形例５では、変形例４と同様、個別端子５５４ａが、領域Ｓａの個別引出配線５５２ａに配置されている。また、個別端子５５４ｂが、個別引出配線５５２ｂの先端部に接続して、領域Ｓａに配置されている。また、共通端子５５７ａが、領域Ｓａの共通引出配線５５６に配置されている。また、共通端子５５７ｂが、共通引出配線５５ｂの先端部に接続して領域Ｓａに配置されている。
【００８９】
変形例５では、上記のとおり、領域Ｓａと領域Ｓｂとでは、引出配線同士の間隔が異なる。間隔が大きい領域Ｓａに設けた個別端子５５４ａ、５５４ｂは、幅を広くすることができる。
【００９０】
なお、変形例５とは逆に、複数の個別引出配線５５２ａ、５５２ｂを、個別電極４２ａ、４２ｂとの接続部分近傍以外において、走査方向の右側にいくほど、搬送方向の外側に位置するように、走査方向に対して傾け、個別端子５５４ａ、５５４ｂを領域Ｓｂにのみ設けてもよい。
【００９１】
また、上述の実施の形態では、全ての個別引出配線５２ａ、５２ｂに対して個別端子５４ａ、５４ｂが設けられていたが、これには限られない。一部の個別引出配線に対してのみ、個別端子が設けられていてもよい。例えば、個別端子５５４ｂが、無くてもよい。領域Ｒａには、個別端子５５４ａのみが配置され、搬送方向に隣接する端子同士が走査方向にずれていれば、より大きなサイズの端子５５４ａを配置できる。また、領域Ｒａにおいて、搬送方向に端子５５４ａと端子５５４ｂとが交互に並び、両端子５５４ａ、５５４ｂ間には１つ以上の個別引出配線５５２ａが挟まれていてよい。これにより、さらに大きなサイズの端子５５４ａ、５５４ｂを配置できる。
【００９２】
変形例６では、端子が、所定位置の個別引出配線にのみ設けられている。例えば、図１０に示すように、領域Ｒａにおいて、搬送方向の上流端部、中央部及び下流端部の個別引出配線５２ａにのみ、個別端子５４ａが設けられている。領域Ｒｂでも、これと同様の形態で、個別端子５４ｂが配置されている。いずれの箇所でも、個別端子は、搬送方向に隣接する２つの個別引出配線に配置され、走査方向にずれている。
【００９３】
また、変形例７では、図１１に示すように、複数の個別引出配線５２ａのうち、１つおきの個別引出配線５２ａに対してのみ、個別端子５４ａが設けられている。また、複数の個別引出配線５２ｂのうち、１つおきの個別引出配線５２ｂに対してのみ、個別端子５４ｂが設けられている。このとき、複数の個別端子５４ａ、５４ｂが、それぞれ、搬送方向に１列に配列されている。もちろん、各領域Ｓａ、Ｓｂにおいて、搬送方向に隣接する２つの個別端子が、１つ以上の引出配線を挟んでいてもよい。
【００９４】
また、変形例８では、変形例６、７と同様に、端子が、所定位置の個別引出配線にのみ設けられている。例えば、図１２に示すように、領域Ｓａでは、個別端子６５４ｂのみが配置され、個別引出配線５２ｂの先端と１つ置きに接続されている。このとき、搬送方向に隣接する２つの個別引出配線５２ａが、１つの個別端子６５４ｂを挟んでいる。この個別端子６５４ｂ近傍では、これら個別引出配線５２ａが、搬送方向外側に迂回して配設されている。領域Ｓｂでも、領域Ｓａと同様の配置形態であり、個別端子６５４aのみが配置され、個別引出配線５２ａの先端と１つ置きに接続されている。隣接する個別引出配線５２ｂが、折れ曲がって、個別端子６５４aを迂回している。いずれの領域Ｓａ、Ｓｂでも、個別端子は、大きなサイズで配置可能である。なお、変形例８における共通端子については、変形例３の共通端子３５７ａ、３５７ｂと同様である。もちろん、各領域Ｓａ、Ｓｂにおいて、各個別端子が、２つ以上の引出配線毎に接続されていてもよい。
【００９５】
変形例６〜８の場合には、共振周波数を測定することにより、対象の単位アクチュエータについて、上記指標のいずれかを検出できる。対象以外の単位アクチュエータについても、その特性値を推定できる。さらにこの検出結果から、吐出特性の均一性に関して、インクジェットヘッド内外で推定・比較ができる。
【００９６】
なお、変形例６では、複数の個別引出配線のうち、配列の中央及び両端において隣接する２つの個別引出配線に対して個別端子を設けたが、これには限らない。複数の個別引出配線のうち、配列の中央及び両端において隣接する３以上の個別引出配線に対して個別端子を設けてもよい。あるいは、複数の個別引出配線のうち、配列の中央及び両端にそれぞれ配置された１つの個別引出配線に対して個別端子を設けてもよい。
【００９７】
また、変形例７、８では、１つおきの個別引出配線に対して、それぞれ、個別端子が設けられていたがこれには限らない。２以上の所定個数おきの個別引出配線に対して、それぞれ、個別端子が設けられていてもよい。
【００９８】
また、変形例８では、個別端子６５４ａが設けられた個別引出配線５２ａと重なり領域Ｒｃにおいて隣接する個別引出配線５２ｂが、個別端子６５４ａを迂回するように折れ曲がり、個別端子６５４ｂが設けられた個別引出配線５２ｂと重なり領域Ｒｃにおいて隣接する個別引出配線５２ａが、個別端子６５４ｂを迂回するように折れ曲がっていたが、これには限らない。変形例８において、上述の実施の形態と同様に、個別引出配線５２ａ、５２ｂが、折れ曲がることなく走査方向と平行に延びていてもよい。
【００９９】
さらに、変形例９では、図１３に示すように、上述の実施の形態と同様、複数の個別引出配線５２ａに対して個別端子５４ａが設けられ、共通引出配線５５ａに対して共通端子５７ａが設けられている。しかしながら、変形例９では、複数の個別引出配線５２ｂに個別端子５４ｂ（図２参照）は設けられておらず、共通引出配線５５ｂに共通端子５７ｂ（図２参照）は設けられていない。なお、複数の個別端子５４ａは、上述の実施の形態と同様に、搬送方向に２列の千鳥状に並び、大きなサイズで配置可能となっている。
【０１００】
また、変形例１０では、図１４に示すように、変形例５において、複数の個別引出配線５５２ａに対して個別端子５５４ａが設けられ、共通引出配線５５ａに対して共通端子５５７ａが設けられている。しかしながら、変形例１０では、複数の個別引出配線５５２ｂに個別端子５４ｂ（図９参照）は設けられておらず、共通引出配線５５ｂに共通端子５５７ｂ（図９参照）は設けられていない。
【０１０１】
これらの場合でも、圧電アクチュエータ３２ａの各第１圧電素子の共振周波数を測定し、その測定結果に基づいて、圧電層の各第１圧電素子に対応する部分の厚みなどの検査を行うことができる。一方、圧電アクチュエータ３２ｂについては、例えば、圧電層の各第２圧電素子に対応する部分の厚みが、第１圧電素子に対応する部分と同様であるとみなすなどすることになる。
【０１０２】
また、変形例９では、個別端子５４ａ、５４ｂのうち個別端子５４ａのみが設けられ、共通端子５７ａ、５７ｂのうち共通端子５７ａのみが設けられていたが、これとは逆に、個別端子５４ｂ及び共通端子５７ｂのみが設けられていてもよい。また、変形例１０では、個別端子５５４ａ、５５４ｂのうち個別端子５４ａのみが設けられ、共通端子５５７ａ、５５７ｂのうち共通端子５５７ａのみが設けられていたが、これとは逆に、個別端子５５４ｂ及び共通端子５５７ｂのみが設けられていてもよい。
【０１０３】
また、上述の実施の形態では、圧電アクチュエータ３２ａ、３２ｂや引出配線５２ａ、５２ｂ、５５ａ、５５ｂや端子５４ａ、５４ｂ、５７ａ、５７ｂが形成された振動膜３１の上面に支持基板３４が接合されていたが、これには限られない。支持基板３４はなくてもよい。そして、この場合には、端子５４ａ、５７ａを、非重なり領域Ｒａのうち領域Ｓａ以外の部分に配置してもよい。また、端子５４ｂ、５７ｂを、非重なり領域Ｒｂのうち領域Ｓｂ以外の部分に配置されていてもよい。
【０１０４】
また、上述の実施の形態では、端子５４ａ、５４ｂ、５７ａ、５７ｂを用いて、圧電アクチュエータ３２ａ、３２ｂの各圧電素子の共振周波数を測定する場合について説明したが、これには限られない。各個別端子５４ａと共通端子５７ａ、及び、各個別端子５４ｂと共通端子５７ｂとにそれぞれプローブを当てることによって、圧電アクチュエータ３２ａ、３２ｂの各圧電素子の静電容量を測定するなど、端子５４ａ、５４ｂ、５７ａ、５７ｂを用いて別の検査を行うことも可能である。あるいは、端子５４ａ、５４ｂ、５７ａ、５７ｂをインクジェットヘッド３の検査以外の目的で使用してもよい。
【０１０５】
また、以上の例では、ノズルからインクを吐出するインクジェットヘッドに本発明を適用した例について説明したが、これには限らない。ノズルからインク以外の液体を吐出する、インクジェットヘッド以外の液体吐出装置に本発明を適用することも可能である。
【符号の説明】
【０１０６】
１  プリンタ
３  インクジェットヘッド
１０ａ  １０ｂ  圧力室
１５ａ、１５ｂ  ノズル
３２ａ、３２ｂ  圧電アクチュエータ
５２ａ、５２ｂ、５５２ａ、５５２ｂ  個別引出配線
５４ａ、５４ｂ、１５４ａ、１５４ｂ、２５４ａ、２５４ｂ、３５４ａ、３５４ｂ、４５４ａ、４５４ｂ、５５４ａ、５５４ｂ、６５４ａ、６５４ｂ  個別端子
【図１】
0006398844.tif 000002
【図２】
0006398844.tif 000003
【図３】
0006398844.tif 000004
【図４】
0006398844.tif 000005
【図５】
0006398844.tif 000006
【図６】
0006398844.tif 000007
【図７】
0006398844.tif 000008
【図８】
0006398844.tif 000009
【図９】
0006398844.tif 000010
【図１０】
0006398844.tif 000011
【図１１】
0006398844.tif 000012
【図１２】
0006398844.tif 000013
【図１３】
0006398844.tif 000014
【図１４】
0006398844.tif 000015