(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板収納容器であって、
その内部で基板を収容可能な、かつ、その前面に開口を有する筐体と、
前記筐体の内部に設けられ、基板の下面と接触している状態で、基板を略水平姿勢で支持する棚部材と、
前記筐体の内部に設けられ、基板の端部を支持する筐体用支持部材と、
前記筐体に対して前記筐体用支持部材を昇降させる筐体用昇降機構と、
前記筐体に着脱して前記開口を開閉する蓋と、
前記蓋の裏面に取り付けられ、基板の端部を支持する蓋用支持部材と、
を備え、
前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とは、基板の下面が前記棚部材と接触していない状態で、基板の端部を挟持し、
前記棚部材による基板の支持から前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持に移行するとき、前記筐体用昇降機構が前記筐体用支持部材を上昇させることによって、前記筐体用支持部材は基板を持ち上げ、
前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持から前記棚部材による基板の支持に移行するとき、前記筐体用昇降機構が前記筐体用支持部材を下降させることによって、前記筐体用支持部材は基板を下ろす
基板収納容器。
【請求項２】
請求項１に記載の基板収納容器において、
前記蓋を前記筐体に着脱する動きに連動して、前記筐体用昇降機構は前記筐体用支持部材を昇降させる
基板収納容器。
【請求項３】
請求項２に記載の基板収納容器において、
前記筐体用昇降機構は、前記蓋を前記筐体に着脱するときに前記筐体の内部で移動する可動台を備え、前記可動台の移動を上下方向の動きに変換することにより前記筐体用支持部材を昇降させる、基板収納容器。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載の基板収納容器において、
前記筐体用昇降機構は、前記筐体用支持部材が略水平方向に移動することによって弾性変形し、前記筐体用支持部材に対して復元力を作用させる筐体用弾性部材を備える
基板収納容器。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載の基板収納容器において、
前記筐体用支持部材を案内する筐体用案内機構を備えている基板収納容器。
【請求項６】
基板収納容器であって、
その内部で基板を収容可能な、かつ、その前面に開口を有する筐体と、
前記筐体の内部に設けられ、基板の下面と接触している状態で、基板を略水平姿勢で支持する棚部材と、
前記筐体の内部に設けられ、基板の端部を支持する筐体用支持部材と、
前記筐体に対して前記筐体用支持部材を昇降可能に案内する筐体用案内機構と、
前記筐体に着脱して前記開口を開閉する蓋と、
前記蓋の裏面に取り付けられ、基板の端部を保持する蓋用支持部材と、
を備え、
前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とは、基板の下面が前記棚部材と接触していない状態で、基板の端部を挟持し、
前記棚部材による基板の支持から前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持に移行するとき、前記筐体用支持部材が前記筐体用案内機構に沿って上昇することによって、前記筐体用支持部材は基板を持ち上げ、
前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持から前記棚部材による基板の支持に移行するとき、前記筐体用支持部材が前記筐体用案内機構に沿って下降することによって、前記筐体用支持部材は基板を下ろす
基板収納容器。
【請求項７】
請求項６に記載の基板収納容器において、
前記蓋を前記筐体に着脱する動きに連動して、前記筐体用支持部材は昇降する基板収納容器。
【請求項８】
請求項６または７に記載の基板収納容器において、
前記筐体用支持部材が略水平方向に移動することによって弾性変形し、前記筐体用支持部材に対して復元力を作用させる筐体用弾性部材を備える
基板収納容器。
【請求項９】
請求項１から８のいずれかに記載の基板収納容器において、
前記蓋用支持部材は前記蓋に対して昇降可能であり、
前記基板収納容器は、前記蓋に対して前記蓋用支持部材を昇降させる蓋用昇降機構を備え、
前記棚部材による基板の支持から前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持に移行するとき、前記蓋用昇降機構が前記蓋用支持部材を上昇させることによって、前記蓋用支持部材は基板を持ち上げ、
前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持から前記棚部材による基板の支持に移行するとき、前記蓋用昇降機構が前記蓋用支持部材を下降させることによって、前記筐体用支持部材は基板を下ろす
基板収納容器。
【請求項１０】
請求項１から８のいずれかに記載の基板収納容器において、
前記蓋用支持部材は、前記蓋に対して昇降可能であり、
前記基板収納容器は、前記蓋に対して前記蓋用支持部材を昇降可能に案内する蓋用案内機構を備え、
前記棚部材による基板の支持から前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持に移行するとき、前記蓋用支持部材が前記蓋用案内機構に沿って上昇することによって、前記蓋用支持部材は基板を持ち上げ、
前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持から前記棚部材による基板の支持に移行するとき、前記蓋用支持部材が前記蓋用案内機構に沿って下降することによって、前記蓋用支持部材は基板を下ろす
基板収納容器。
【請求項１１】
基板収納容器であって、
その内部で基板を収容可能な、かつ、その前面に開口を有する筐体と、
前記筐体の内部に設けられ、基板の下面と接触している状態で、基板を略水平姿勢で支持する棚部材と、
前記筐体の内部に設けられ、基板の端部を支持する筐体用支持部材と、
前記筐体に着脱して前記開口を開閉する蓋と、
前記蓋に対して昇降可能に前記蓋の裏面に取り付けられ、基板の端部を支持する蓋用支持部材と、
前記蓋に対して前記蓋用支持部材を昇降させる蓋用昇降機構と、
を備え、
前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とは、基板の下面が前記棚部材と接触していない状態で、基板の端部を挟持し、
前記棚部材による基板の支持から前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持に移行するとき、前記蓋用昇降機構が前記蓋用支持部材を上昇させることによって、前記蓋用支持部材は基板を持ち上げ、
前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持から前記棚部材による基板の支持に移行するとき、前記蓋用昇降機構が前記蓋用支持部材を下降させることによって、前記筐体用支持部材は基板を下ろす
基板収納容器。
【請求項１２】
請求項１１に記載の基板収納容器において、
前記蓋用昇降機構は、前記蓋を前記筐体に固定する動きおよび前記筐体に対する前記蓋の固定を解除する動きに連動して、前記蓋用支持部材を前記筐体に対して昇降させる基板収納容器。
【請求項１３】
請求項１２に記載の基板収納容器において、
前記蓋を前記筐体に固定するロック機構を備え、
前記蓋用昇降機構は、前記ロック機構に連動連結されており、前記ロック機構の動作に連動して前記蓋用支持部材を昇降させる
基板収納容器。
【請求項１４】
請求項１１に記載の基板収納容器において、
前記蓋を前記筐体に着脱する動きに連動して、前記蓋用昇降機構は前記蓋用支持部材を昇降させる基板収納容器。
【請求項１５】
請求項１４に記載の基板収納容器において、
前記蓋用昇降機構は、前記筐体の内部に固定的に設けられる固定台を備え、
前記固定台は、前記蓋を前記筐体に着脱するときに前記蓋用支持部材と摺動して前記蓋用支持部材を昇降させる傾斜面を有する
基板収納容器。
【請求項１６】
請求項１１から１５のいずれかに記載の基板収納容器において、
前記蓋用昇降機構は、前記蓋用支持部材が前記蓋に近づくことによって弾性変形し、前記蓋用支持部材に対して復元力を作用させる蓋用弾性部材を備える
基板収納容器。
【請求項１７】
請求項１１から１６のいずれかに記載の基板収納容器において、
前記蓋用支持部材を案内する蓋用案内機構を備える基板収納容器。
【請求項１８】
基板収納容器であって、
その内部で基板を収容可能な、かつ、その前面に開口を有する筐体と、
前記筐体の内部に設けられ、基板の下面と接触している状態で、基板を略水平姿勢で支持する棚部材と、
前記筐体の内部に設けられ、基板の端部を支持する筐体用支持部材と、
前記筐体に着脱して前記開口を開閉する蓋と、
前記蓋に対して昇降可能に前記蓋の裏面に取り付けられ、基板の端部を支持する蓋用支持部材と、
前記蓋に対して前記蓋用支持部材を昇降可能に案内する蓋用案内機構と、
を備え、
前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とは、基板の下面が前記棚部材と接触していない状態で、基板の端部を挟持し、
前記棚部材による基板の支持から前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持に移行するとき、前記蓋用支持部材が前記蓋用案内機構に沿って上昇することによって、前記蓋用支持部材は基板を持ち上げ、
前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持から前記棚部材による基板の支持に移行するとき、前記蓋用支持部材が前記蓋用案内機構に沿って下降することによって、前記蓋用支持部材は基板を下ろす
基板収納容器。
【請求項１９】
請求項１８に記載の基板収納容器において、
前記蓋を前記筐体に着脱する動きに連動して、前記蓋用支持部材は昇降する基板収納容器。
【請求項２０】
請求項１８または１９に記載の基板収納容器において、
前記蓋用支持部材が前記蓋に近づくことによって弾性変形し、前記蓋用支持部材に対して復元力を作用させる蓋用弾性部材を備える
基板収納容器。
【請求項２１】
請求項１から２０のいずれかに記載の基板収納容器を載置可能な載置台と、
前記載置台に載置された前記基板収納容器の前記蓋を開閉する蓋開閉機構と、
を備えたロードポート装置。
【請求項２２】
請求項１から２０のいずれかに記載の基板収納容器を載置可能な載置台と、
前記載置台に載置された前記基板収納容器の前記蓋を開閉する蓋開閉機構と、
基板に対して処理を行う処理ユニットと、
前記載置台に載置された前記基板収納容器から基板を搬出し、前記処理ユニットに搬入する搬送機構と、
を備えた基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ、フォトマスク用のガラス基板、液晶表示装置用のガラス基板、光ディスク用の基板など（以下、単に「基板」と称する）を収容する基板収納容器、および、これに適用可能なロードポート装置および基板処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板を２つの支持態様で支持する基板収納容器がある。この基板収納容器は、筐体と蓋と棚とクッションを備えている。筐体は基板を収容する。蓋は筐体に着脱する。棚とクッションは、筐体の内部に設けられる。棚は、基板の下面が棚と接触した状態で、基板を支持する。クッションは、基板が棚から離れた状態で、基板を支持する。
【０００３】
棚による基板の支持からクッションによる基板の支持に移行するとき、クッションに沿って基板を摺動させることによって、基板を上昇させる。また、クッションによる基板の支持から棚による基板の支持に移行するとき、クッションに沿って基板を摺動させることによって、基板を下降させる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２２７９４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題があること
が発明者によって見出された。
すなわち、クッションは基板と摺動するので、クッションと基板との間でパーティクルが発生し易くなり、筐体内の雰囲気を清浄に保つことが困難となる。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、パーティクルの発生を抑制できる基板収納容器、ロードポート装置および基板処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、本発明は、基板収納容器であって、その内部で基板を収容可能な、かつ、その前面に開口を有する筐体と、前記筐体の内部に設けられ、基板の下面と接触している状態で、基板を略水平姿勢で支持する棚部材と、前記筐体の内部に設けられ、基板の端部を支持する筐体用支持部材と、前記筐体に対して前記筐体用支持部材を昇降させる筐体用昇降機構と、前記筐体に着脱して前記開口を開閉する蓋と、前記蓋の裏面に取り付けられ、基板の端部を支持する蓋用支持部材と、を備え、前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とは、基板の下面が前記棚部材と接触していない状態で、基板の端部を挟持し、前記棚部材による基板の支持から前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持に移行するとき、前記筐体用昇降機構が前記筐体用支持部材を上昇させることによって、前記筐体用支持部材は基板を持ち上げ、前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持から前記棚部材による基板の支持に移行するとき、前記筐体用昇降機構が前記筐体用支持部材を下降させることによって、前記筐体用支持部材は基板を下ろす基板収納容器
である。
【０００８】
［作用・効果］基板収納容器は、基板を２つの支持態様で支持できる。第１の支持態様は、棚部材による基板の支持である。具体的には、第１の支持態様は、棚部材が基板の下面と接触した状態で、棚部材が基板を支持することである。第２の支持態様は、筐体用支持部材と蓋用支持部材とによる基板の支持である。具体的には、第２の支持態様は、基板の下面が棚部材と接触していない状態で、筐体用支持部材と蓋用支持部材とが基板を支持することである。
【０００９】
第１の支持態様から第２の支持態様に移行するとき、筐体用昇降機構は筐体用支持部材を上昇させる。これにより、筐体用支持部材は、基板を支持したまま、基板を持ち上げる。よって、基板と筐体用支持部材との間でパーティクルが発生することを抑制できる。
【００１０】
第２の支持態様から第１の支持態様に移行するとき、筐体用昇降機構は筐体用支持部材を下降させる。これにより、筐体用支持部材は、基板を支持したまま、基板を下ろす。よって、基板と筐体用支持部材との間でパーティクルが発生することを抑制できる。
【００１１】
上述した発明において、前記蓋を前記筐体に着脱する動きに連動して、前記筐体用昇降機構は前記筐体用支持部材を昇降させることが好ましい。蓋を筐体に着脱するタイミングで、基板の支持態様を切り替えることができる。
【００１２】
上述した発明において、前記筐体用昇降機構は、前記蓋を前記筐体に着脱するときに前記筐体の内部で移動する可動台を備え、前記可動台の移動を上下方向の力に変換することにより前記筐体用支持部材を昇降させることが好ましい。筐体用昇降機構は蓋を筐体に着脱する動きを上下方向の動きに変換することができるので、蓋の動きと筐体用支持部材の昇降とを好適に連動させることができる。
【００１３】
上述した発明において、前記筐体用昇降機構は、前記筐体用支持部材が略水平方向に移動することによって弾性変形し、前記筐体用支持部材に対して復元力を作用させる筐体用弾性部材を備えることが好ましい。筐体用昇降機構は筐体用弾性部材を備えているので、筐体用支持部材と蓋用支持部材との間隔を、基板の外形寸法に容易に追従させることができる。
【００１４】
上述した発明において、前記筐体用支持部材を案内する筐体用案内機構を備えていることが好ましい。筐体用支持部材は筐体用案内機構に従って適切に移動できる。
【００１５】
また、本発明は、基板収納容器であって、その内部で基板を収容可能な、かつ、その前面に開口を有する筐体と、前記筐体の内部に設けられ、基板の下面と接触している状態で、基板を略水平姿勢で支持する棚部材と、前記筐体の内部に設けられ、基板の端部を支持する筐体用支持部材と、前記筐体に対して前記筐体用支持部材を昇降可能に案内する筐体用案内機構と、前記筐体に着脱して前記開口を開閉する蓋と、前記蓋の裏面に取り付けられ、基板の端部を保持する蓋用支持部材と、を備え、前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とは、基板の下面が前記棚部材と接触していない状態で、基板の端部を挟持し、前記棚部材による基板の支持から前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持に移行するとき、前記筐体用支持部材が前記筐体用案内機構に沿って上昇することによって、前記筐体用支持部材は基板を持ち上げ、前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持から前記棚部材による基板の支持に移行するとき、前記筐体用支持部材が前記筐体用案内機構に沿って下降することによって、前記筐体用支持部材は基板を下ろす基板収納容器である。
【００１６】
［作用・効果］基板収納容器は、第１、第２の支持態様で基板を支持できる。第２の支持態様に移行するとき、筐体用支持部材は筐体用案内機構に従って上昇する。これにより、筐体用支持部材は、基板と摺動することなく、基板を持ち上げる。第１の支持態様に移行するとき、筐体用支持部材は筐体用案内機構に従って下降する。これにより、筐体用支持部材は、基板と摺動することなく、基板を下ろす。よって、第１、第２の支持態様のいずれに移行するときも、基板と筐体用支持部材との間におけるパーティクルの発生を抑制できる。
【００１７】
上述した発明において、前記蓋を前記筐体に着脱する動きに連動して、前記筐体用支持部材は昇降することが好ましい。蓋を筐体に着脱するタイミングで、基板の支持態様を切り替えることができる。
【００１８】
上述した発明において、前記筐体用支持部材が略水平方向に移動することによって弾性変形し、前記筐体用支持部材に対して復元力を作用させる筐体用弾性部材を備えることが好ましい。基板収納容器は筐体用弾性部材を備えているので、筐体用支持部材と蓋用支持部材との間隔を、基板の外形寸法に容易に追従させることができる。
【００１９】
上述した発明において、前記蓋用支持部材は前記蓋に対して昇降可能であり、前記基板収納容器は、前記蓋に対して前記蓋用支持部材を昇降させる蓋用昇降機構を備え、前記棚部材による基板の支持から前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持に移行するとき、前記蓋用昇降機構が前記蓋用支持部材を上昇させることによって、前記蓋用支持部材は基板を持ち上げ、前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持から前記棚部材による基板の支持に移行するとき、前記蓋用昇降機構が前記蓋用支持部材を下降させることによって、前記筐体用支持部材は基板を下ろすことが好ましい。第１、第２の支持態様のいずれに移行するときも、基板と蓋用支持部材との間におけるパーティクルの発生を抑制できる。
【００２０】
上述した発明において、前記蓋用支持部材は、前記蓋に対して昇降可能であり、前記基板収納容器は、前記蓋に対して前記蓋用支持部材を昇降可能に案内する蓋用案内機構を備え、前記棚部材による基板の支持から前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持に移行するとき、前記蓋用支持部材が前記蓋用案内機構に沿って上昇することによって、前記蓋用支持部材は基板を持ち上げ、前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持から前記棚部材による基板の支持に移行するとき、前記蓋用支持部材が前記蓋用案内機構に沿って下降することによって、前記蓋用支持部材は基板を下ろす
ことが好ましい。第１、第２の支持態様のいずれに移行するときも、基板と蓋用支持部材との間におけるパーティクルの発生を抑制できる。
【００２１】
また、本発明は、基板収納容器であって、その内部で基板を収容可能な、かつ、その前面に開口を有する筐体と、前記筐体の内部に設けられ、基板の下面と接触している状態で、基板を略水平姿勢で支持する棚部材と、前記筐体の内部に設けられ、基板の端部を支持する筐体用支持部材と、前記筐体に着脱して前記開口を開閉する蓋と、前記蓋に対して昇降可能に前記蓋の裏面に取り付けられ、基板の端部を支持する蓋用支持部材と、前記蓋に対して前記蓋用支持部材を昇降させる蓋用昇降機構と、を備え、前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とは、基板の下面が前記棚部材と接触していない状態で、基板の端部を挟持し、前記棚部材による基板の支持から前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持に移行するとき、前記蓋用昇降機構が前記蓋用支持部材を上昇させることによって、前記蓋用支持部材は基板を持ち上げ、前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持から前記棚部材による基板の支持に移行するとき、前記蓋用昇降機構が前記蓋用支持部材を下降させることによって、前記筐体用支持部材は基板を下ろす基板収納容器である。
【００２２】
［作用・効果］基板収納容器は、第１、第２の支持態様で基板を支持できる。第２の支持態様に移行するとき、蓋用昇降機構は蓋用支持部材を上昇させる。これにより、蓋用支持部材は、基板と摺動することなく、基板を持ち上げる。第１の支持態様に移行するとき、蓋用昇降機構は蓋用支持部材を下降させる。これにより、蓋用支持部材は、基板と摺動することなく、基板を下ろす。よって、第１、第２の支持態様のいずれに移行するときも、基板と蓋用支持部材との間におけるパーティクルの発生を抑制できる。
【００２３】
上述した発明において、前記蓋用昇降機構は、前記蓋を前記筐体に固定する動きおよび前記筐体に対する前記蓋の固定を解除する動きに連動して、前記蓋用支持部材を前記筐体に対して昇降させることが好ましい。筐体に対する蓋の固定およびその解除を行うタイミングで、基板の支持態様を切り替えることができる。
【００２４】
上述した発明において、前記蓋を前記筐体に固定するロック機構を備え、前記蓋用昇降機構は、前記ロック機構に連動連結されており、前記ロック機構の動作に連動して前記蓋用支持部材を昇降させることが好ましい。蓋用昇降機構は、ロック機構の動作を利用して蓋用支持部材を昇降させることができる。よって、蓋用昇降機構の構造を簡素化できる。
【００２５】
上述した発明において、前記蓋を前記筐体に着脱する動きに連動して、前記蓋用昇降機構は前記蓋用支持部材を昇降させることが好ましい。蓋を筐体に着脱するタイミングで、基板の支持態様を切り替えることができる。
【００２６】
上述した発明において、前記蓋用昇降機構は、前記筐体の内部に固定的に設けられる固定台を備え、前記固定台は、前記蓋を前記筐体に着脱するときに前記蓋用支持部材と摺動して前記蓋用支持部材を昇降させる傾斜面を有することが好ましい。蓋用昇降機構は固定台を備えているので、蓋の動きと蓋用支持部材の昇降とを好適に連動させることができる。
【００２７】
上述した発明において、前記蓋用昇降機構は、前記蓋用支持部材が前記蓋に近づくことによって弾性変形し、前記蓋用支持部材に対して復元力を作用させる蓋用弾性部材を備えることが好ましい。蓋用昇降機構は蓋用弾性部材を備えているので、筐体用支持部材と蓋用支持部材との間隔を、基板の外形寸法に容易に追従させることができる。
【００２８】
上述した発明において、前記蓋用支持部材を案内する蓋用案内機構を備えることが好ましい。蓋用支持部材は蓋用案内機構に従って適切に移動できる。
【００２９】
また、本発明は、基板収納容器であって、その内部で基板を収容可能な、かつ、その前面に開口を有する筐体と、前記筐体の内部に設けられ、基板の下面と接触している状態で、基板を略水平姿勢で支持する棚部材と、前記筐体の内部に設けられ、基板の端部を支持する筐体用支持部材と、前記筐体に着脱して前記開口を開閉する蓋と、前記蓋に対して昇降可能に前記蓋の裏面に取り付けられ、基板の端部を支持する蓋用支持部材と、前記蓋に対して前記蓋用支持部材を昇降可能に案内する蓋用案内機構と、を備え、前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とは、基板の下面が前記棚部材と接触していない状態で、基板の端部を挟持し、前記棚部材による基板の支持から前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持に移行するとき、前記蓋用支持部材が前記蓋用案内機構に沿って上昇することによって、前記蓋用支持部材は基板を持ち上げ、前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持から前記棚部材による基板の支持に移行するとき、前記蓋用支持部材が前記蓋用案内機構に沿って下降することによって、前記蓋用支持部材は基板を下ろす基板収納容器である。
【００３０】
［作用・効果］基板収納容器は、第１、第２の支持態様で基板を支持できる。第２の支持態様に移行するとき、蓋用支持部材は蓋用案内機構に従って上昇する。これにより、蓋用支持部材は、基板と摺動することなく、基板を持ち上げる。第２の支持態様から第１の支持態様に移行するとき、蓋用支持部材は蓋用案内機構に従って下降する。これにより、蓋用支持部材は、基板と摺動することなく、基板を下ろす。よって、第１、第２の支持態様のいずれに移行するときも、基板と蓋用支持部材との間におけるパーティクルの発生を抑制できる。
【００３１】
上述した発明において、前記蓋を前記筐体に着脱する動きに連動して、前記蓋用支持部材は昇降することが好ましい。蓋を筐体に着脱するタイミングで、基板の支持態様を切り替えることができる。
【００３２】
上述した発明において、前記蓋用支持部材が前記蓋に近づくことによって弾性変形し、前記蓋用支持部材に対して復元力を作用させる蓋用弾性部材を備えることが好ましい。基板収納容器は蓋用弾性部材を備えているので、筐体用支持部材と蓋用支持部材との間隔を、基板の外形寸法に容易に追従させることができる。
【００３３】
また、本発明は、上述した発明に係る基板収納容器を載置可能な載置台と、前記載置台に載置された前記基板収納容器の前記蓋を開閉する蓋開閉機構と、を備えたロードポート装置である。
【００３４】
［作用・効果］本発明に係るロードポート装置によれば、上述した基板収納容器を好適に載置できる。
【００３５】
また、本発明は、上述した発明に係る基板収納容器を載置可能な載置台と、前記載置台に載置された前記基板収納容器の前記蓋を開閉する蓋開閉機構と、基板に対して処理を行う処理ユニットと、前記載置台に載置された前記基板収納容器から基板を搬出し、前記処理ユニットに搬入する搬送機構と、を備えた基板処理装置である。
【００３６】
［作用・効果］本発明に係る基板処理装置によれば、上述した基板収納容器に収容される基板に対して処理を行うことができる。
【００３７】
なお、上述した各発明において、筐体用昇降機構が筐体用支持部材を昇降させるとき、筐体用支持部材の水平方向の移動を伴ってもよいし、筐体用支持部材の水平方向の移動を伴わなくてもよい。言い換えれば、筐体用昇降機構が筐体用支持部材を昇降させる方向は、上下方向の成分のほかに、水平方向の成分を含んでいてもよいし、水平方向の成分を含んでいなくてもよい。同様に、筐体用案内機構が筐体用支持部材を案内する方向、蓋用昇降機構が蓋用支持部材を昇降させる方向および蓋用案内機構が蓋用支持部材を案内する方向はそれぞれ、上下方向の成分のほかに、水平方向の成分を含んでいてもよいし、水平方向の成分を含んでいなくてもよい。
【００３８】
また、筐体用支持部材が基板を持ち上げ始めるとき、基板は棚部材と接触していてもよいし、基板が既に棚部材から離れていてもよい。言い換えれば、筐体用昇降機構が筐体用支持部材を上昇させ始めるとき、基板は第１の支持態様で支持されていてもよいし、第１の支持態様で支持されていなくてもよい。同様に、蓋用支持部材が基板を持ち上げ始めるとき、基板は棚部材と接触していてもよいし、基板が既に棚部材から離れていてもよい。
【発明の効果】
【００３９】
この発明に係る基板収納容器、ロードポート装置および基板処理装置によれば、第１の支持態様に移行するとき、基板は筐体用支持部材および蓋用支持部材の少なくともいずれかと摺動しない。また、第２の支持態様に移行するときも、基板は筐体用支持部材および蓋用支持部材の少なくともいずれかと摺動しない。よって、パーティクルが発生することを抑制できる。これにより、基板にパーティクルが付着することを抑制でき、基板収納容器内の雰囲気を清浄に保つことができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】図１（ａ）は蓋が筐体に装着されているときの基板収納容器の外観を示す斜視図であり、図１（ｂ）は蓋が筐体に装着されていないときの基板収納容器の外観を示す斜視図である。
【図２】図２（ａ）は筐体の内部を示す平面図であり、図２（ｂ）は筐体２の内部を示す側面図であり、図２（ｃ）は筐体２の内部を示す側面図である。
【図３】図３（ａ）は蓋および蓋用支持部材を示す斜視図であり、図３（ｂ）は蓋および蓋用支持部材を示す側面図である。
【図４】図４（ａ）は基板処理装置の平面図であり、図４（ｂ）は基板処理装置の側面図である。
【図５】図５（ａ）乃至５（ｃ）は蓋を筐体に着脱するときの基板収納容器の内部を示す図である。
【図６】図６（ａ）、６（ｂ）は、それぞれ実施例２に係る筐体の内部を示す平面図および正面図である。
【図７】図７（ａ）乃至７（ｃ）は蓋を筐体に着脱するときの基板収納容器の内部を示す平面図である。
【図８】図８は実施例３に係る筐体の内部示す側面図である。
【図９】図９（ａ）、９（ｂ）は実施例３に係る蓋を示す正面図と側面図である。
【図１０】図１０（ａ）乃至１０（ｃ）は蓋を筐体に着脱するときの基板収納容器の内部を示す側面図である。
【図１１】図１１（ａ）は実施例４に係る蓋の背面図であり、図１１（ｂ）乃至１１（ｄ）は蓋の側面図である。
【図１２】図１２（ａ）乃至１２（ｃ）は蓋を筐体に着脱するときの基板収納容器の内部を示す側面図である。
【図１３】図１３（ａ）、１３（ｂ）はそれぞれ、実施例５に係る蓋の背面図と側面図である。
【図１４】図１４（ａ）乃至１４（ｃ）は蓋を筐体に着脱するときの基板収納容器の内部を示す側面図である。
【図１５】変形実施例に係る筐体の内部を示す側面図である。
【図１６】変形実施例に係る筐体の内部を示す平面図である。
【図１７】変形実施例に係る筐体の内部を示す側面図である。
【図１８】変形実施例に係る筐体の内部を示す平面図である。
【図１９】変形実施例に係る筐体の内部を示す側面図である。
【図２０】変形実施例に係る蓋の側面図である。
【図２１】変形実施例に係る蓋の側面図である。
【図２２】変形実施例に係る蓋の側面図である。
【図２３】図２３（ａ）、２３（ｂ）は変形実施例に係る基板収納容器１の内部を示す側面図である。
【図２４】変形実施例に係る筐体の内部を示す平面図である。
【図２５】変形実施例に係る筐体の内部を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００４１】
以下では、５つの実施例を説明する。実施例１では、本発明に係る筐体用昇降機構を例示する。実施例２では、本発明に係る筐体用案内機構を例示する。実施例３では、本発明に係る蓋用昇降機構を例示する。実施例４では、蓋用昇降機構と蓋用案内機構を例示する。実施例５では、蓋用案内機構を例示する。
【実施例１】
【００４２】
１．基板収納容器の構成
図１（ａ）、（ｂ）を参照する。基板収納容器１の外形は略直方体である。基板収納容器１は、複数の基板Ｗを収容可能である。「基板Ｗ」は、例えば、半導体ウエハ、フォトマスク用のガラス基板、液晶表示装置用のガラス基板、プラズマディスプレイ用の基板、光ディスク用の基板、磁気ディスク用の基板、光磁気ディスク用の基板などである。
【００４３】
基板収納容器１は、筐体２と蓋３とを備えている。蓋３は筐体２の前面に取り付けられる。図１（ｂ）に示すように、筐体２の前面には開口Ａが形成されている。蓋３は開口Ａを開閉する。蓋３が筐体２に着脱するとき、蓋３は、開口Ａと向かい合ったまま、開口Ａに対して略垂直な前後方向に移動する。前後方向は略水平である。筐体２の内部には、基板Ｗを収容するための空間Ｓ（図２参照）が形成されている。基板収納容器１は少なくとも１枚の基板Ｗを収納可能に構成されている。基板収納容器１は標準的には２５枚の基板Ｗを収納するが、以下では便宜上、基板Ｗを３枚まで収納可能な基板収納容器１を例にとって説明する。
【００４４】
図１（ａ）、（ｂ）に加えて、図２（ａ）乃至２（ｃ）を参照する。筐体２は、上板部４と底板部５と右側壁部６と左側壁部７と後壁部８とを有する。各部４乃至８は、上述した空間Ｓを画定する。図２（ａ）では、図示の便宜上、上板部４と底板部５の図示を省略している。図２（ｂ）では右側壁部６と左側壁部７の図示を省略している。図２（ｃ）では後壁部８の図示を省略している。
【００４５】
以下では、前後方向のうち、後壁部８から開口Ａに向かう方向を、適宜に「前方向」と呼び、前方向と反対の方向を「後方向」と呼ぶ。
【００４６】
筐体２の内部には、棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃが設けられている。棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃは、上下方向に並ぶように配置されている。各棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃは、基板Ｗを略水平姿勢で下方向から支持する。各棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃは、基板Ｗの下面とのみ接触する。なお、本明細書において基板Ｗの下面とは基板Ｗの下部周縁を含む概念である。以下では、棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃを特に区別しない場合には、単に「棚部材１１」と呼ぶ。後述するように、各棚部材１１には基板Ｗが１枚ずつ載置される。後述する保持アーム４７ａは各棚部材１１に基板Ｗを搬入しまた各棚部材１１の基板Ｗを搬出する。したがって、各棚部材１１の間には保持アーム４７ａによる基板Ｗの搬入および搬出が安全に行えるだけの上下間隔（クリアランス）が設けられている。
【００４７】
本実施例では、各棚部材１１は右棚部材１２と左棚部材１３とを含む。右棚部材１２は右側壁部６から張り出しており、左棚部材１３は左側壁部７から張り出している。
【００４８】
筐体２の内部には、さらに、筐体用支持ブロック１４が設けられている。筐体用支持ブロック１４には、筐体用支持部材１６ａ、１６ｂ、１６ｃが形成されている。筐体用支持部材１６ａ、１６ｂ、１６ｃは、上下方向に並ぶように配置されている。各筐体用支持部材１６ａ、１６ｂ、１６ｃは、基板Ｗの端部を支持する。以下、筐体用支持部材１６ａ、１６ｂ、１６ｃを特に区別しない場合には、単に「筐体用支持部材１６」と呼ぶ。
【００４９】
筐体用支持部材１６の材質は、例えば、樹脂である。各筐体用支持部材１６には、１つの溝部１７が形成されている。図２（ｂ）に示すように、溝部１７は後方向に凹んでいる。溝部１７は側面視で例えば略Ｖの字形状を呈する。
【００５０】
溝部１７は下傾斜部１７ａと最奥部１７ｂと上傾斜部１７ｃを有する。下傾斜部１７ａは最奥部１７ｂの下側に隣接しており、上傾斜部１７ｃは最奥部１７ｂの上側に隣接している。
【００５１】
基板収納容器１は、さらに、筐体用昇降機構３１を備えている。筐体用昇降機構３１は、筐体２に対して筐体用支持部材１６を昇降させる。筐体用昇降機構３１は、バネ３２と筐体用連結板３３と２つの可動台３４と２本のロッド３５とを備える。
【００５２】
バネ３２は、筐体用支持ブロック１４を筐体２に対して昇降可能に支持する。バネ３２の一端は後壁部８に連結されており、バネ３２の他端は筐体要支持ブロック１４に連結されている。バネ３２は、筐体用支持部材１６が上昇することによって屈曲変形し、筐体用支持部材１６を下方向に押圧する。
【００５３】
筐体用連結板３３は、筐体用支持部材１６ｃの底面に連結されている。筐体用連結板３３は筐体用支持部材１６と一体に動く。筐体用連結板３３は、筐体用支持ブロック１４から下方に延びている。
【００５４】
可動台３４は、筐体２の内部に移動可能に設けられている。可動台３４は傾斜面３４ａを有する。傾斜面３４ａは、前後方向に対して傾斜している。本実施例では、傾斜面３４ａは、後方向に向かって低くなるように傾斜している。傾斜面３４ａは、筐体用連結板３３と摺動可能に接触している。
【００５５】
ロッド３５は、筐体２の内部で底板部６に沿って前後方向に移動可能に設けられている。ロッド３５の一端は可動台３４に連結されている。可動台３４とロッド３５とは一体に移動する。各ロッド３５の長手方向の軸心は前後方向と平行である。各ロッド３５の他端は、開口Ａの近傍まで延びている。ロッド３５の他端は、蓋３と当接可能である。
【００５６】
ここで、蓋３がロッド３５と当接していないときの筐体用支持部材１６の位置を、「下方位置」と呼ぶ。図２（ｂ）は、下方位置にある筐体用支持部材１６を明示する。筐体用支持部材１６が下方位置にあるとき、筐体用支持部材１６ａ、１６ｂ、１６ｃの最奥部１７ｂの位置はそれぞれ、棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃに載置される基板Ｗの端部と接触可能な高さに設定されている。
【００５７】
図３（ａ）、３（ｂ）を参照する。蓋３が筐体２に装着されているとき、筐体２の内部と接する蓋３の面を「裏面３ｂ」と呼ぶ。裏面３ｂには、蓋用支持ブロック２１が固定されている。蓋用支持ブロック２１には、蓋用支持部材２３ａ、２３ｂ、２３ｃが形成されている。蓋用支持部材２３ａ、２３ｂ、２３ｃは、上下方向に並ぶように配置されている。各蓋用支持部材２３ａ、２３ｂ、２３ｃは、基板Ｗの端部を支持する。
【００５８】
蓋用支持部材２３の材質は、例えば、樹脂である。より好ましくは、蓋用支持部材２３の材質は、弾力性を有する樹脂である。蓋用支持部材２３は、筐体用支持部材１６と同様な形状を有している。すなわち、各蓋用支持部材２３には、溝部２４が形成されている。各溝部２４は下傾斜部２４ａと最奥部２４ｂと上傾斜部２４ｃを有する。
【００５９】
図５（ａ）乃至５（ｃ）を参照する。蓋３が開口Ａと向かい合っているとき、蓋用支持部材２３ａ、２３ｂ、２３ｃの最奥部２４ｂの位置はそれぞれ、棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃに載置される基板Ｗの端部と接触可能な高さに設定されている。以下、蓋用支持部材２３ａ、２３ｂ、２３ｃを特に区別しない場合には、単に「蓋用支持部材２３」と呼ぶ。
【００６０】
２．ロードポート装置および基板処理装置の構成
図４（ａ）、４（ｂ）を参照して、基板収納容器１が適用される基板処理装置４１を説明する。基板処理装置４１は、ロードポート部４２と処理部４３を備えている。ロードポート部４２は、複数のロードポート４２０、４２１、４２２を有している。各ロードポート４２０、４２１、４２０はそれぞれ載置台４４と蓋開閉機構４５とを備えている。載置台４４は基板収納容器１を載置する。蓋開閉機構４５は、載置台４４に載置された基板収納容器１を開閉する。蓋開閉機構４５は、シャッター部材４５ａとシャッター部材用駆動機構４５ｂとを備える。シャッター部材４５ａは基板収納容器１に対して蓋３を着脱するとともに、基板収納容器１から取り外した蓋３を保持する。シャッター部材用駆動機構４５ｂは、蓋３をあける場合、シャッター部材４５ａを位置Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３の順に移動させる（図４（ｂ）参照）。シャッター部材４５ａが位置Ｐ１と位置Ｐ２との間で移動するとき、シャッター部材４５ａに保持される蓋３は、開口Ａと向かい合ったまま、前後方向に移動する。
【００６１】
処理部４３は、搬送機構４７と処理ユニット４８を備える。搬送機構４７は、載置台４４に載置された基板収納容器１と処理ユニット４８に対してアクセスする。搬送機構４７は、基板Ｗを保持するための保持アーム４７ａと、保持アーム４７ａを移動させるための保持アーム用駆動機構４７ｂを備えている。処理ユニット４８は基板Ｗに洗浄処理などの処理を行う。
【００６２】
３．動作例
次に、実施例１に係る基板収納容器１の動作例を説明する。以下では、まず、蓋３が筐体２から外れている状態を説明し、続いて、蓋３を筐体２に取り付けるときの動作例と、蓋３を筐体２から取り外すときの動作例を説明する。最後に、基板収納容器１から基板Ｗを搬出する動作例を簡単に説明する。
【００６３】
３．１．蓋３が筐体２から取り外されている状態
図４（ａ）、４（ｂ）を参照する。載置台４４には、基板収納容器１が載置されている。基板収納容器１は開放されている。基板収納容器１の蓋３は、例えば、位置Ｐ２または位置Ｐ３において、シャッター部材４５ａに保持されている。
【００６４】
図５（ａ）を参照して、より詳細に説明する。各基板Ｗは第１の支持態様で支持されている。ここで、「第１の支持態様」とは、棚部材１１による基板Ｗの支持である。より詳しく言えば、第１の支持態様とは、棚部材１１が基板Ｗの下面と接触した状態で、棚部材１１が基板Ｗを支持することである。
【００６５】
筐体用支持部材１６は下方位置にある。筐体用支持部材１６の最奥部１７ｂは、基板Ｗの後部の端部と接触している。筐体用連結板３３は可動台３４の傾斜面３４ａの下よりの部分と接触している。
【００６６】
３．２．蓋３を筐体２に取り付けるときの動作例
図４（ｂ）を参照する。シャッター部材４５ａは、蓋３を保持して、位置Ｐ２から位置Ｐ１に移動し、蓋３を筐体２に取り付ける。図５（ａ）乃至５（ｃ）を参照して、シャッター部材４５ａによる蓋３の装着過程を詳細に説明する。なお、図５（ａ）は蓋３が基板収納容器１から完全に取り外された状態、図５（ｂ）は蓋３の筐体２への装着の初期段階、図５（ｃ）は蓋３の基板筐体２への装着が完了した状態をそれぞれ示している。
【００６７】
蓋３が図５（ａ）に示す位置から図５（ｂ）に示す位置に移動すると、蓋３がロッド３５の他端と接触する。
【００６８】
蓋３がさらに後方向に移動すると、ロッド３５および可動台３４が筐体２の底板部５の上を後方向に移動する。前記したように可動台３４には傾斜面３４ａが形成されているので、傾斜面３４ａに当接する筐体用連結板３３はこの傾斜面３４ａに沿って上昇する。筐体用連結板３３が上方向に移動すると、これに連結された筐体用支持部材１６ａ〜１６ｃがバネ３２の作用に抗して下方向位置から上昇し、筐体用支持部材１６に支持されている各基板Ｗの後方向の端部を持ち上げる。このときバネ３２は弾性変形する。なお、各基板Ｗの端部は筐体用昇降機構３１が筐体用支持部材１６の上昇を開始する以前から筐体用支持部材１６の最奥部１７ｂに位置しているので、筐体用支持部材１６が上昇しても基板Ｗの端部と筐体用支持部材１６との間で摺動は生じない。このため、基板Ｗと筐体用支持部材１６との間でのパーティクルの発生を抑制することができる。
【００６９】
次に、図５（ｃ）を参照する。図５（ｃ）は図５（ｂ）の状態からさらに蓋３が基板収
納容器１の開口Ａの内部に移動し、筐体２への蓋３の装着が完了した状態を示している。蓋３の後方向への移動に伴ってロッド３５がさらに移動して、筐体用昇降機構３１が筐体用支持部材１６をさらに上昇させる。筐体用支持部材１６の上昇の途中でまたは上昇が完了した時点で、蓋用支持部材２３の最奥部２４ｂが基板Ｗの前方向の端部に接触するようになる。これにより、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３は、基板Ｗの端部を最奥部１７ｂ、２４ｂで挟むように支持する（以下、適宜に「挟持する」という）。
【００７０】
このように蓋３が筐体２に装着されると、基板Ｗは第２の支持状態で支持される。「第２の支持態様」とは、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３とによる基板Ｗの支持である。より詳しく言えば、第２の支持態様は、棚部材１１が基板Ｗの下面と接触していない状態で、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３とが基板Ｗを支持することである。本実施例では、基板Ｗが第２の支持状態で支持されているとき、基板Ｗは前下がりに傾斜している。
【００７１】
蓋３が筐体２に装着され基板Ｗが第２の支持状態で支持されているときの筐体用支持部材１６の位置を「上方位置」と呼ぶ。図５（ａ）、５（ｃ）に示すように、上方位置と下方位置との高低差は、棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃの上下方向の間隔（以下、適宜に、「棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃのピッチ」という）よりも小さい。
【００７２】
３．３．蓋３が筐体２から取り外されるときの動作例
図４（ｂ）を参照する。シャッター部材４５ａは、蓋３を保持して、位置Ｐ１から位置Ｐ２に移動する。以下、具体的に説明する。
【００７３】
図５（ｃ）、５（ｂ）を参照する。蓋３がシャッター部材４５ａによって開口Ａから前方向に移動すると、筐体用昇降機構３１は筐体用支持部材１６を下降させる。具体的には、筐体用支持部材１６および筐体用連結板３３に働く重力とバネ３２の復元力が筐体用連結板３３を下方向に押圧しており、それらの分力が可動台３４とロッド３５を前方向に押圧している。よって、蓋３の前方向の移動に伴って、可動台３４とロッド３５は前方向に移動する。筐体用支持部材１６と筐体用連結板３３とは下降し、バネ３２は復元する。
【００７４】
筐体用支持部材１６の下降によって、筐体用支持部材１６は、基板Ｗを支持したまま、基板Ｗを下ろす。筐体用支持部材１６が下方位置まで下降すると、筐体用支持部材１６は基板Ｗを棚部材１１に載置する。他方、蓋用支持部材２３の最奥部２４ｂは、基板Ｗから離れる。これにより、基板Ｗは第１の支持態様で支持される。
【００７５】
蓋３が前方向にさらに移動すると、図５（ａ）に示すように、ロッド３５から離れる。
【００７６】
３．４．基板収納容器１から基板Ｗを搬出する動作例
図４（ａ）、４（ｂ）を参照する。蓋３とシャッター部材４５ａは、位置Ｐ３に位置している。保持アーム４７ａは筐体２の内部に進入する。保持アーム４７ａが１枚の基板Ｗを保持する。その後、保持アーム４７ａは、基板Ｗを保持したまま、筐体２の外部に退出する。そして、保持アーム４７ａは、その基板Ｗを処理ユニット４８に搬送する。
【００７７】
４．実施例１の効果
第１の支持態様から第２の支持態様に移行するとき、筐体用昇降機構３１は筐体用支持部材１６を上昇させる。筐体用支持部材１６は、基板Ｗと摺動することなく、基板Ｗを持ち上げる。第２の支持態様から第１の支持態様に移行するとき、筐体用昇降機構３１は筐体用支持部材１６を下降させる。筐体用支持部材１６は、基板Ｗと摺動することなく、基板Ｗを下ろす。よって、基板Ｗと筐体用支持部材１６との間でパーティクルが発生することを抑制できる。その結果、基板Ｗにパーティクルが付着することを抑制できる。また、基板収納容器１内の雰囲気を清浄に保つことができる。
【００７８】
筐体用昇降機構３１は、蓋３を筐体２に着脱する動きに連動して、筐体用支持部材１６を昇降させる。よって、蓋３を筐体２に着脱するタイミングで、基板Ｗの支持態様を切り替えることができる。
【００７９】
具体的には、蓋３を筐体２に取り付ける動きに連動して筐体用昇降機構３１は筐体用支持部材１６を上昇させる。その結果、蓋３が筐体２に装着された状態では基板Ｗは第２の支持態様で支持される。よって、基板収納容器１を輸送するときに、基板Ｗを好適に保護できる。また、蓋３が筐体２から離脱する動きに連動して筐体用昇降機構３１は筐体用支持部材１６を下降させる。その結果、蓋３が筐体２から外れている状態では基板Ｗは第１の支持態様で支持される。よって、筐体２内から基板Ｗを好適に搬出できる。
【００８０】
可動台３４は、筐体２の内部に、前後方向に移動可能に設けられている。可動台３４は、蓋３が筐体２に取り付けられるとき後方向に移動する。可動台３４はこの力を連結板３３が傾斜面３４ａに沿って摺動する上方向の力に変換して筐体用支持部材１６を上昇させる。また、蓋３が筐体２から取り外されると、可動台３４が前方向に移動可能となる。これによって、連結板３３が傾斜面３４ａに沿って下降できるようになり、筐体用支持部材１６は自重によって下方向に移動させられる。なお、筐体用支持部材１６の下方向の移動はバネ３２よりアシストされている。このような可動台３４と連結板３３によれば、蓋３の前後動と筐体用支持部材１６の上下動とを好適に変換できる。
【００８１】
第２の支持態様で基板Ｗを支持するとき、筐体用支持部材１６の自重は、可動台３４に受け止められるので、基板Ｗに作用しない。よって、基板Ｗを一層適切に保護できる。
【００８２】
ロッド３５は、可動台３４に連結されており、蓋３と当接可能であるので、蓋３の動きを可動台３４に伝えることができる。また、ロッド３５は、蓋３の動きを、基板Ｗを介さずに可動台３４に伝え、可動台３４はそれを筐体用支持部材１６の昇降動作に変換する。よって、蓋３の開閉の際、基板Ｗに不必要な力を与えることがなく、基板Ｗを損傷させるおそれがない。
【００８３】
筐体用昇降機構３１はバネ３２を備えている。バネ３２が弾性変形することによって、筐体用支持部材１６は安定して上昇できる。また、バネ３２が蓄積する復元力は、筐体用支持部材１６の下降を促進するために利用される。よって、筐体用昇降機構３１は、筐体用支持部材１６を円滑に昇降させることができる。
【００８４】
蓋用支持部材２３が基板Ｗと接触する部位は、最奥部２４ｂのみであり、第１、第２の支持態様のいずれに移行するときも、蓋用支持部材２３は基板Ｗと摺動しない。よって、蓋用支持部材２３と基板Ｗとの間におけるパーティクルの発生も抑制できる。
【００８５】
蓋用支持部材２３の材質が弾力性を有する樹脂である場合、蓋用支持部材２３は基板を的確に保持できる。
【００８６】
また、ロードポート装置４２０、４２１、４２２は、基板収納容器１を好適に載置できる。
【００８７】
基板処理装置４１は、基板収納容器１に収容される基板Ｗに対して液処理や熱処理などの処理を行うことができる。
【実施例２】
【００８８】
以下、図面を参照してこの発明の実施例２を説明する。以下の説明では、実施例１と同じ構成については同符号を付すことで、詳細な説明を省略する。
【００８９】
１．基板収納容器の構成
図６（ａ）、６（ｂ）を参照する。図６（ａ）、６（ｂ）では、左側の図が側面図であり、右側の図が正面図である。
【００９０】
基板収納容器１は筐体用案内機構５１を備える。筐体用案内機構５１は、筐体２に対して筐体用支持部材１６を昇降可能に案内する。筐体用案内機構５１は、連結バー５２と案内部材５３を備える。
【００９１】
連結バー５２は筐体用支持ブロック１４に固定されている。案内部材５３は筐体２（後壁部８）に固定されている。案内部材５３は、連結バー５２を挿入するための孔を有している。孔は前後方向に対して傾斜している。より詳しくは、孔は、後方向ほど高くなるように傾斜している。連結バー５２が案内部材５３に対して摺動することによって、筐体用支持部材１６は筐体２に対して昇降しながら前後動する。すなわち、筐体用案内機構５１が筐体用支持部材１６を案内する方向は、上下方向の成分と前後方向の成分を含む。
【００９２】
以下では、図６（ａ）に示す筐体用支持部材１６の位置を「下方位置」と呼び、図６（ｂ）に示す筐体用支持部材１６の位置を「上方位置」と呼ぶ。
【００９３】
図７（ａ）乃至７（ｃ）を参照して、蓋３が開口Ａと向かい合っているときの支持部材１６、２３と棚部材１１の位置関係を説明する。筐体用支持部材１６が下方位置にあるとき、筐体用支持部材１６の最奥部１７ｂは、棚部材１１に載置される基板Ｗの端部と接触可能である。下方位置および上方位置の高低差は、棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃのピッチより小さい。蓋用支持部材２３の下傾斜部２４ａは、棚部材１１ａに載置される基板Ｗの端部と接触可能である。
【００９４】
２．動作例
２．１．蓋３が筐体２から取り外されている状態
図７（ａ）を参照する。基板Ｗは、第１の支持態様で支持されている。筐体用支持部材１６は下方位置にある。筐体用支持部材１６の最奥部１７ｂは、基板Ｗの後部の端部と接触している。
【００９５】
２．２．蓋３を筐体２に取り付けるときの動作例
蓋３が図７（ａ）に示す位置から図７（ｂ）に示す位置に移動すると、蓋用支持部材２３の下傾斜部２４ａが基板Ｗの前部の端部と接触する。
【００９６】
蓋３がさらに後方向に移動すると、基板Ｗの前部の端部が蓋用支持部材２３の下傾斜部２４ａを滑り上がるとともに、筐体用支持部材１６を後方向に押圧する。筐体用支持部材１６は、筐体用案内機構５１に従って下方位置から上昇する。
【００９７】
筐体用支持部材１６の上昇によって、筐体用支持部材１６は、基板Ｗを最奥部１７ｂで支持したまま、基板Ｗを持ち上げる。
【００９８】
図７（ｃ）を参照する。蓋３が開口Ａに移動し、蓋３が筐体２に装着される。筐体用支持部材１６は上方位置に達し、基板Ｗの前部の端部は最奥部２４ｂに達する。これにより、基板Ｗは第２の支持態様で支持される。本実施例では、基板Ｗが第２の支持態様で支持されているとき、基板Ｗは略水平姿勢である。
【００９９】
２．３．蓋３が筐体２から離脱するときの動作例
図７（ｃ）、７（ｂ）を参照する。蓋３が開口Ａから前方向に移動すると、筐体用支持部材１６は自重によって下降する。具体的には、筐体用支持部材１６は、筐体用案内機構５１に従って上方位置から下方位置に移動する。筐体用支持部材１６の下降によって、筐体用支持部材１６は、基板Ｗを支持したまま、基板Ｗを下ろし、基板Ｗを棚部材１１に載置する。また、基板Ｗの前部の端部は、蓋用支持部材２３の最奥部２４ｂから外れ、下傾斜部２３ａを滑り落ちる。これにより、基板Ｗは第１の支持態様で支持される。
【０１００】
蓋３が前方向にさらに移動すると、図７（ａ）に示すように、蓋用支持部材２３は基板Ｗから離れる。
【０１０１】
３．実施例２の効果
第１の支持態様から第２の支持態様に移行するとき、筐体用支持部材１６は筐体用案内機構５１に従って上昇する。これにより、筐体用支持部材１６は、基板Ｗと摺動することなく、基板Ｗを持ち上げる。第２の支持態様から第１の支持態様に移行するとき、筐体用支持部材１６は筐体用案内機構５１に従って下降する。これにより、筐体用支持部材１６は、基板Ｗと摺動することなく、基板Ｗを下ろす。よって、第１、第２の支持態様にそれぞれ移行するとき、基板Ｗと筐体用支持部材１６との間における発塵を抑制できる。
【０１０２】
筐体用支持部材１６は、蓋３を筐体２に着脱する動きに連動して、昇降する。よって、蓋３を筐体２に着脱するタイミングで、基板Ｗの支持態様を切り替えることができる。
【０１０３】
筐体用支持部材１６は、蓋３を筐体２に取り付ける動きに連動して上昇するので、蓋３が筐体２に装着された状態では基板Ｗは第２の支持態様で支持される。また、筐体用支持部材１６は、蓋３が筐体２から離脱する動きに連動して、下降するので、蓋３が筐体２から外れている状態では、基板Ｗは第１の支持態様で支持される。
【０１０４】
基板Ｗは、蓋３の動きを筐体用支持部材１６に伝える。よって、実施例１の筐体用昇降機構３１を省略することができ、基板収納容器１の構造を簡素化できる。
【０１０５】
筐体用支持部材１６は筐体用案内機構５１に従って移動するので、筐体用支持部材１６の下方位置が水平方向にずれることを好適に防止できる。よって、筐体用支持部材１６によって棚部材１１に載置される基板Ｗの位置が、水平方向にずれることがない。すなわち、第１の支持態様で支持される基板Ｗの位置がばらつくことを防止できる。これにより、筐体２内から基板Ｗを一層好適に搬出できる。
【０１０６】
案内部材５３が有する孔は、前後方向に対して傾斜している。よって、案内部材５３は、蓋３の前後動を筐体用支持部材１６の上下動に好適に変換できる。
【０１０７】
筐体用案内機構５１が筐体用支持部材１６を案内する方向は、上下方向の成分のほかに、前後方向の成分を含む。このように、筐体用支持部材１６は水平方向に移動可能に設けられている。よって、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３との間隔（厳密には、最奥部１７ｂと最奥部２４ｂとの間隔）を、基板Ｗの外形寸法に一致させることができる。基板Ｗの外形寸法にばらつきや誤差がある場合であっても、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３とは基板Ｗを第２の支持態様で好適に支持できる。
【０１０８】
第２の支持態様で基板Ｗを支持するとき、筐体用支持部材１６は、その自重によって、基板Ｗを蓋用支持部材２３に押し付けている。これにより、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３との間隔が、基板Ｗの外形寸法によらず自ずと追従変動する。また、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３は基板Ｗを適度に押圧した状態で基板Ｗを挟持できる。
【実施例３】
【０１０９】
以下、図面を参照してこの発明の実施例３を説明する。以下の説明では、実施例１と同じ構成については同符号を付すことで、詳細な説明を省略する。
【０１１０】
１．基板収納容器の構成
図８を参照する。筐体用支持ブロック１４は固定アーム１５を介して筐体２に固定されている。筐体用支持部材１６は、筐体２に対して移動不能である。筐体用支持部材１６の下傾斜部１７ａは、棚部材１１に載置される基板Ｗの端部と接触可能である。
【０１１１】
図９（ａ）、９（ｂ）を参照する。図９（ａ）、９（ｂ）はそれぞれ、蓋３の正面図と側面図を示す。基板収納容器１は、ロック機構６１と蓋用昇降機構６５とを備える。
【０１１２】
ロック機構６１は、蓋３を筐体２に固定する。ロック機構６１は、キー溝６２とギヤ６３と結合部材６４とを備える。キー溝６２は、蓋３の表面に配置されている。キー溝６２には、ロック機構６１を操作するためのキーが挿入される。ギヤ６３は、キーの操作に応じて正逆両方向に回転する。結合部材６４は、ギヤ６３に連動連結されている。結合部材６４は、ギヤ６３の回転によって退避位置と突出位置との間で移動する。退避位置では、結合部材６４の全体が蓋３の内部に収まる（図９（ａ）参照）。突出位置では、結合部材６４の一部が蓋３の外部に突出する（図９（ｂ）参照）。
【０１１３】
蓋開閉機構４５は、ロック機構６１を動作させる。具体的には、蓋開閉機構４５はキー（不図示）を備え、キーをキー溝６２に挿入してロック機構６１を操作する。筐体２は、突出位置にある結合部材６４と凹凸結合可能な凹部（不図示）を有する。蓋３が筐体２に装着されているときに結合部材６４が突出位置に移動すると、結合部材６４が凹部と結合し、蓋３は筐体２に固定される。蓋３が筐体２に装着されているときに結合部材６４が退避位置に移動すると、結合部材６４は凹部から離脱し、蓋３は筐体２に対する蓋３の固定が解除される。
【０１１４】
蓋用昇降機構６５は、ロック機構６１の動作と連動して、蓋用支持部材２３を蓋３に対して昇降させる。蓋用昇降機構６５は、ギヤ６６とラック６７とを備える。ギヤ６６は、ギヤ６３と噛み合う。ラック６７は、ギヤ６６と連動連結されている。ギヤ６３が回転すると、ギヤ６６が回転し、ラック６７が上下方向に移動する。このように、蓋用昇降機構６５はロック機構６１と連動連結されている。
【０１１５】
ラック６７には、蓋用支持ブロック２１が固定されている。結合部材６４が突出位置に移動するとき、蓋用支持部材２３は上昇する。結合部材６４が退避位置に移動するとき、蓋用支持部材２３は下降する。ここで、結合部材６４が退避位置／突出位置にあるときの蓋用支持部材２３の位置を、「下方位置」／「上方位置」と呼ぶ。
【０１１６】
図１０（ａ）乃至１０（ｃ）を参照する。蓋３が開口Ａと向かい合っているときであって蓋用支持部材２３が下方位置にあるとき、蓋用支持部材２３の最奥部２４ｂは、棚部材１１に載置される基板Ｗの端部と接触可能である。蓋用支持部材２３の下方位置および上方位置の高低差は、棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃのピッチより小さい。
【０１１７】
２．動作例
２．１．蓋３が筐体２から外れている状態
図１０（ａ）を参照する。基板Ｗは、第１の支持態様で支持されている。結合部材６４は退避位置にあり、蓋用支持部材２３は下方位置にある。筐体用支持部材１６は、下傾斜部１７ａで基板Ｗと接触している。
【０１１８】
２．２．蓋３を筐体２に取り付けるときの動作例
蓋３が図１０（ａ）において点線で示す位置に移動すると、蓋用支持部材２３の最奥部２４ｂが基板Ｗの前部の端部と接触する。
【０１１９】
図１０（ｂ）を参照する。蓋３が開口Ａに移動し、蓋３が筐体２に装着される。基板Ｗの後部の端部は、下傾斜部１７ａを滑り上がり、最奥部１７ｂに至る。基板Ｗの前部の端部は、蓋用支持部材２３の最奥部２４ｂで支持されたままである。
【０１２０】
図１０（ｃ）を参照する。ロック機構６１が蓋３を筐体２に固定する。このロック機構６１の動きに連動して、蓋用昇降機構６５は、蓋用支持部材２３は下方位置から上方位置に上昇させる。これにより、蓋用支持部材２３は基板Ｗを持ち上げる。基板Ｗは第２の支持態様で支持される。
【０１２１】
２．３．蓋３が筐体２から離脱するときの動作例
図１０（ｃ）に示す状態から図１０（ｂ）に示す状態を経由して図１０（ａ）に示す状態に遷移する。以下、簡単に説明する。
【０１２２】
図１０（ｃ）、１０（ｂ）を参照する。ロック機構８１が筐体２に対する蓋３の固定を解除する動きに連動して、蓋用昇降機構６５は蓋用支持部材２３を下降させる。蓋用支持部材２３の下降により、蓋用支持部材２３は基板Ｗを下ろす。
【０１２３】
図１０（ａ）を参照する。蓋３が開口Ａから点線で示す位置まで移動する。基板Ｗの後部の端部は、最奥部１７ｂから外れ、下傾斜部１７ａを滑り落ちる。その結果、基板Ｗは第１の支持態様で支持される。蓋３が点線で示す位置から前方向にさらに移動すると、蓋用支持部材２３は基板Ｗから離れる。
【０１２４】
３．実施例３の効果
第２の支持態様に移行するとき、蓋用昇降機構６５は蓋用支持部材２３を上昇させる。これにより、蓋用支持部材２３は、基板Ｗと摺動することなく、基板Ｗを持ち上げる。第１の支持態様に移行するとき、蓋用昇降機構６５は蓋用支持部材２３を下降させる。これにより、蓋用支持部材２３は、基板Ｗと摺動することなく、基板Ｗを下ろす。よって、第１、第２の支持態様にそれぞれ移行するとき、基板Ｗと蓋用支持部材２３との間における発塵を抑制できる。
【０１２５】
蓋用昇降機構６５は、蓋３を筐体２に固定する動きおよび筐体２に対する蓋３の固定を解除する動きに連動して、蓋用支持部材２３を筐体２に対して昇降させる。よって、筐体２に対する蓋３の固定およびその解除を行うタイミングで、基板Ｗの支持態様を切り替えることができる。
【０１２６】
具体的には、蓋用昇降機構６５は、蓋３を筐体２に固定する動きに連動して、蓋用支持部材２３を上昇させるので、蓋３が筐体２に固定された状態では基板Ｗは第２の支持態様で支持される。また、蓋用昇降機構６５は、筐体２に対する蓋３の固定を解除する動きに連動して、蓋用支持部材２３を下降させるので、蓋３が筐体２に固定されていない状態では基板Ｗは第１の支持状態で支持される。
【０１２７】
蓋用昇降機構６５は、ロック機構８１に連動連結されているので、ロック機構６１の動作を利用して蓋用支持部材２３を昇降させることができる。よって、蓋用昇降機構８５の構造を簡素化でき、小型化できる。
【０１２８】
また、蓋用昇降機構６５が蓋用支持部材２３を昇降させる方向は、水平方向の成分を含んでいない。よって、蓋用支持部材２３が基板Ｗを昇降するとき、基板Ｗの位置が水平方向にずれるおそれがない。よって、第１の支持態様で支持される基板Ｗの位置を一定に保つことができる。
【実施例４】
【０１２９】
以下、図面を参照してこの発明の実施例４を説明する。以下の説明では、実施例１と同じ構成については同符号を付すことで、詳細な説明を省略する。
【０１３０】
１．基板収納容器の構成
図１１（ａ）乃至１１（ｄ）を参照する。基板収納容器１は、蓋用昇降機構７１と蓋用案内機構７７を備えている。蓋用昇降機構７１は、蓋３に対して蓋用支持部材２３を昇降させる。蓋用案内機構７７は、蓋用支持部材２３を案内する。
【０１３１】
蓋用昇降機構７１は蓋用連結板７２を備える。連結板７２は、蓋用支持ブロック２１に固定されている。蓋用連結板７２は蓋用支持部材２３と一体に動く。
【０１３２】
図１２（ａ）を参照する。蓋用昇降機構７１は、さらに固定台７３を備えている。固定台７３は、筐体２の内部に固定されており、筐体２に対して移動不能である。固定台７３は、傾斜面７３ａを有する。傾斜面７３ａは前後方向に対して傾斜している。本実施例では、傾斜面７３ａは、後方向に向かって高くなるように傾斜している。傾斜面７３ａは、蓋用連結板７２と摺動可能に接触している。
【０１３３】
実施例４では、筐体用支持部材１６は、筐体２（後壁部８）に直接的に固定されている。筐体用支持部材１６の下傾斜部１７ａは、棚部材１１に載置される基板Ｗの端部と接触可能である。
【０１３４】
図１１（ｂ）乃至１１（ｄ）を参照する。蓋用昇降機構７１は、さらにバネ７４を備えている。バネ７４は、例えば、圧縮コイルバネである。バネ７４の一端は蓋３に固定され、バネ７４の他端は蓋用支持ブロック２１に連結されている。蓋用支持部材２３が蓋３に近づき、蓋用支持部材２３と蓋３との間隔が狭くなると、バネ７４は弾性変形し、バネ７４の復元力を蓋用支持部材２３に作用させる。例えば、バネ７４は、圧縮変形し、蓋３から遠ざかる方向に蓋用支持部材２３を押圧する。なお、蓋３が開口Ａと向かい合っている場合、蓋用支持部材２３が蓋３に近づく方向は前方向と同じであり、蓋用支持部材２３が蓋３から遠ざかる方向は後方向と同じである。バネ７４は、本発明における蓋用弾性部材の例である。
【０１３５】
蓋用案内機構７７は、連結ピン７８と案内部材７９を備える。連結ピン７８は、蓋用支持ブロック２１に固定されている。案内部材７９は、蓋３に固定されている。案内部材７９は、連結ピン７８を挿入するための孔を有している。孔は略Ｌ字状に屈曲している。孔の一部は上下方向と平行に延びており、その他の部分は前後方向と平行に延びている。
【０１３６】
ここで、図１１（ｂ）、１１（ｃ）、１１（ｄ）に示す蓋用支持部材２３の位置をそれぞれ、「下方位置」、「上方位置」、「収縮位置」と呼ぶ。蓋用支持部材２３が下方位置と上方位置との間にあるとき、蓋用案内機構７７が蓋用支持部材２３を案内する方向は、上下方向である。蓋用支持部材２３が上方位置と収縮位置との間にあるとき、蓋用案内機構７７が蓋用支持部材２３を案内する方向は、前後方向である。
【０１３７】
図１２（ａ）乃至１２（ｃ）を参照する。蓋３が開口Ａと向かい合っているときであって蓋用支持部材２３が下方位置にあるとき、蓋用支持部材２３の最奥部２４ｂは、棚部材１１に載置される基板Ｗの端部と接触可能である。蓋用支持部材２３の下方位置および上方位置の高低差は、棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃのピッチよりも小さい。
【０１３８】
２．動作例
２．１．蓋３が筐体２から外れている状態
図１２（ａ）を参照する。基板Ｗは、第１の支持態様で支持される。蓋用支持部材２３は下方位置にある。筐体用支持部材１６の下傾斜部１７ａは、基板Ｗの後部の端部と接触している。
【０１３９】
２．２．蓋３を筐体２に取り付けるときの動作例
蓋３が図１２（ａ）において実線で示す位置に移動する。蓋用支持部材２３の最奥部２４ｂが基板Ｗの前部の端部と接触し、蓋用連結板７２は固定台７３と接触する。
【０１４０】
図１２（ｂ）を参照する。蓋３がさらに後方向に移動すると、蓋用連結板７２が傾斜面７３ａを滑り上がり、蓋用昇降機構７１が蓋用案内機構７７に従って上昇する。蓋用支持部材２３の上昇により、蓋用支持部材２３は基板Ｗを持ち上げる。また、基板Ｗの前部の端部は、筐体用支持部材１６の下傾斜部１７ａを滑り上がる。
【０１４１】
蓋用支持部材２３が上方位置に至り、かつ、基板Ｗの前部の端部が最奥部１７ｂに至ると、基板Ｗは第２の支持態様で支持される。
【０１４２】
図１２（ｃ）を参照する。蓋３が開口Ａに移動し、蓋３が筐体２に装着される。蓋用支持部材２３は、基板Ｗから前方向に押圧を受けて、蓋３に近づき、バネ７４は圧縮変形する。具体的には、蓋用支持部材２３は、蓋用案内機構７７に従って上方位置から収縮位置に移動する。基板Ｗは第２の支持態様で支持されたままである。
【０１４３】
２．３．蓋３が筐体２から離脱するときの動作例
図１２（ｃ）示す状態から図１２（ｂ）に示す状態を経由して図１２（ａ）に示す状態に遷移する。以下、簡単に説明する。
【０１４４】
図１２（ｃ）、１２（ｂ）を参照する。蓋３が開口Ａから前方向に移動すると、バネ７４は復元し、蓋用支持部材２３は蓋３から遠ざかる。具体的には、蓋用支持部材２３は、蓋用案内機構７７に従って収縮位置から上方位置に移動する。
【０１４５】
蓋３が、図１２（ｂ）に示す位置から図１２（ａ）において点線で示す位置に移動すると、蓋用昇降機構７１が蓋用支持部材２３を下降させる。具体的には、蓋用連結板７２が傾斜面７３ａを滑り落ち、蓋用支持部材２３が蓋用案内機構７７に従って上方位置から下方位置に移動する。蓋用支持部材２３の下降により、蓋用支持部材２３は基板Ｗを下ろし、棚部材１１に基板Ｗを載置する。また、基板Ｗの前部の端部は、筐体用支持部材１６の最奥部１７ｂから外れ、下傾斜部１７ａを滑り落ちる。その結果、基板Ｗは第１の支持態様で支持される。
【０１４６】
蓋３が図１２（ａ）において実線で示す位置に移動すると、蓋用支持部材２３は基板Ｗから離れる。
【０１４７】
３．実施例４の効果
第２の支持態様に移行するとき、蓋用昇降機構７１は蓋用支持部材２３を上昇させる。蓋用支持部材２３は、基板Ｗと摺動することなく、基板Ｗを持ち上げる。第１の支持態様に移行するとき、蓋用昇降機構７１は蓋用支持部材２３を下降させる。蓋用支持部材２３は、基板Ｗと摺動することなく、基板Ｗを下ろす。よって、第１、第２の支持態様にそれぞれ移行するとき、基板Ｗと蓋用支持部材２３との間における発塵を抑制できる。
【０１４８】
蓋用昇降機構７１は、蓋３を筐体２に着脱する動きに連動して、蓋用支持部材２３を昇降させる。よって、蓋３を筐体２に着脱するタイミングで、基板Ｗの支持態様を切り替えることができる。
【０１４９】
蓋用昇降機構７１は、蓋３を筐体２に取り付ける動きに連動して、蓋用支持部材２３を上昇させるので、蓋３が筐体２に装着された状態では基板Ｗは第２の支持態様で支持される。また、蓋用昇降機構７１は、蓋３が筐体２から離脱する動きに連動して、蓋用支持部材２３を下降させるので、蓋３が筐体２から外れている状態では、基板Ｗは第１の支持態様で支持される。
【０１５０】
固定台７３は、筐体の内部に固定的に設けられている。固定台７３の傾斜面７３ａは、蓋３を筐体２に着脱するときに蓋用支持部材２３と（間接的に）摺動して蓋用支持部材２３を昇降させる。このような固定台７３によれば、蓋３の前後動と蓋用支持部材２３の上下動とを好適に変換できる。
【０１５１】
第２の支持態様で基板Ｗを支持するとき、蓋用支持部材２３の自重は、固定台７３に受け止められるので、基板Ｗに作用しない。よって、基板Ｗを一層適切に保護できる。
【０１５２】
蓋用支持部材２３は水平方向に移動可能に設けられている。よって、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３との間隔を、基板Ｗの外形寸法に一致させることができる。よって、基板Ｗの外形寸法にばらつきや誤差がある場合であっても、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３とは基板Ｗを第２の支持態様で好適に支持できる。
【０１５３】
蓋３が筐体２に装着されている状態では、バネ７４は、蓋用支持部材２３を基板Ｗに押しつけ、それによって、基板Ｗを筐体用支持部材１６に押しつける。これにより、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３との間隔を基板Ｗの外形寸法と好適に一致させることができる。また、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３は基板Ｗを適度な強さで挟持できる。
【０１５４】
蓋用支持部材２３は蓋用案内機構７７に従って移動するので、蓋用支持部材２３の下方位置が水平方向にずれることを好適に防止できる。よって、第１の支持態様で支持される基板Ｗの位置がばらつくことを防止できる。
【０１５５】
特に、蓋用案内機構７７が下方位置と上方位置との間で蓋用支持部材２３を案内する方向は、上下方向の成分のみであり、水平方向の成分を含まない。よって、蓋用支持部材２３の下方位置が水平方向にずれるおそれがない。よって、第１の支持態様で支持される基板Ｗの位置を一定に保つことができる。
【実施例５】
【０１５６】
以下、図面を参照してこの発明の実施例５を説明する。以下の説明では、実施例１、３と同じ構成については同符号を付すことで、詳細な説明を省略する。
【０１５７】
１．基板収納容器の構成
図１３（ａ）、１３（ｂ）を参照する。図１３（ａ）、１３（ｂ）はそれぞれ、蓋３の正面図と側面図を示す。基板収納容器１は、蓋用案内機構８１を備えている。蓋用案内機構８１は、蓋３に対して蓋用支持部材２３を昇降可能に案内する。蓋用案内機構８１は、連結ピン８２と案内部材８３を備える。連結ピン８２は、蓋用支持ブロック２１に固定されている。案内部材８３は、蓋３に固定されている。案内部材８３は、連結ピン８２を挿入するための孔を有している。孔は前後方向に対して傾斜している。より詳しくは、孔は、前方向ほど高くなるように傾斜している。蓋用案内機構８１が蓋用支持部材２３を案内する方向は、上下方向の成分と前後方向の成分を含む。
【０１５８】
以下では、図１３（ａ）、（ｂ）に示す蓋用支持部材２３の位置をそれぞれ、「下方位置」、「上方位置」と呼ぶ。
【０１５９】
図１４（ａ）乃至１４（ｃ）を参照する。筐体用支持部材１６は、筐体２（後壁部８）に直接的に固定されている。筐体用支持部材１６の最奥部１７ｂは、棚部材１１に載置される基板Ｗの端部と接触可能である。
【０１６０】
蓋３が開口Ａと向かい合っているときであって蓋用支持部材２３が下方位置にあるとき、蓋用支持部材２３の最奥部２４ｂは、棚部材１１に載置される基板Ｗの端部と接触可能である。蓋用支持部材２３の下方位置および上方位置の高低差は、棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃのピッチよりも小さい。
【０１６１】
２．動作例
２．１．蓋３が筐体２から外れている状態
図１４（ａ）を参照する。基板Ｗは、第１の支持態様で支持される。筐体用支持部材１６の最奥部１７ｂは基板Ｗと接触している。蓋用支持部材２３は下方位置にある。
【０１６２】
２．２．蓋３を筐体２に取り付けるときの動作例
蓋３が図１４（ａ）に示す位置から図１４（ｂ）に示す位置に移動すると、蓋用支持部材２３の最奥部２４ｂが、基板Ｗの前部の端部と接触する。
【０１６３】
蓋３がさらに後方向に移動すると、蓋用支持部材２３は、基板Ｗから前方向への押圧を受けて、上昇する。具体的には、蓋用支持部材２３は、蓋用案内機構８１に従って下方位置から上昇する。蓋用支持部材２３の上昇によって、蓋用支持部材２３は、最奥部１７ｂで基板Ｗを支持したまま、基板Ｗを持ち上げる。この際、基板Ｗの後部の端部は、筐体用支持部材１６の最奥部１７ｂに支持されたままである。
【０１６４】
図１４（ｃ）を参照する。蓋３が開口Ａに移動し、蓋３が筐体２に装着される。蓋用支持部材２３は上方位置に至る。これにより、基板Ｗは第２の支持態様で支持される。
【０１６５】
２．３．蓋３が筐体２から離脱するときの動作例
図１４（ｃ）、１４（ｂ）を参照する。蓋３が開口Ａから前方向に移動すると、蓋用支持部材２３は自重によって下降する。具体的には、蓋用支持部材２３は、蓋用案内機構８１に従って上方位置から下方位置に移動する。蓋用支持部材２３の下降によって、蓋用支持部材２３は、基板Ｗを支持したまま、基板Ｗを下ろし、基板Ｗを棚部材１１に載置する。これにより、基板Ｗは第１の支持態様で支持される。
【０１６６】
蓋３が前方向にさらに移動すると、図１４（ａ）に示すように、蓋用支持部材２３は基板Ｗから離れる。
【０１６７】
３．実施例５の効果
第１態様から第２の支持態様に移行するとき、蓋用支持部材２３は蓋用案内機構８１に従って上昇する。蓋用支持部材２３は、基板Ｗと摺動することなく、基板Ｗを持ち上げる。第２の支持態様から第１の支持態様に移行するとき、蓋用支持部材２３は蓋用案内機構８１に従って下降する。蓋用支持部材２３は、基板Ｗと摺動することなく、基板Ｗを下ろす。よって、第１、第２の支持態様のいずれに移行するときも、基板Ｗと蓋用支持部材２３との間における発塵を抑制できる。
【０１６８】
蓋用支持部材２３は、蓋３を筐体２に着脱する動きに連動して、昇降する。よって、蓋３を筐体２に着脱するタイミングで、基板Ｗの支持態様を切り替えることができる。
【０１６９】
蓋用支持部材２３は、蓋３を筐体２に取り付ける動きに連動して上昇するので、蓋３が筐体２に装着された状態では基板Ｗは第２の支持態様で支持される。また、蓋用支持部材２３は、蓋３が筐体２から離脱する動きに連動して、下降するので、蓋３が筐体２から外れている状態では、基板Ｗは第１の支持態様で支持される。
【０１７０】
基板Ｗは、蓋３の動きを蓋用支持部材２３に伝える。よって、実施例３の蓋用昇降機構６５を省略することができ、基板収納容器１の構造を簡素化できる。
【０１７１】
蓋用支持部材２３は蓋用案内機構８１に従って移動するので、蓋用支持部材２３の下方位置が水平方向にずれることを好適に防止できる。よって、蓋用支持部材２３が棚部材１１に載置する基板Ｗの位置が、水平方向にずれることがない。すなわち、第１の支持態様で支持される基板Ｗの位置がばらつくことを防止できる。
【０１７２】
案内部材８３が有する孔は、前後方向に対して傾斜している。よって、案内部材８３は、蓋３の前後動を筐体用支持部材１６の上下動に好適に変換できる。
【０１７３】
蓋用案内機構８１が蓋用支持部材２３を案内する方向は、上下方向の成分のほかに、前後方向の成分を含む。このように、蓋用支持部材２３は前後方向に移動可能に設けられている。よって、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３との間隔を、基板Ｗの外形寸法に一致させることができる。
【０１７４】
第２の支持態様で基板Ｗを支持するとき、蓋用支持部材２３は、その自重によって、基板Ｗを筐体用支持部材１６に押し付けている。これにより、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３との間隔を、基板Ｗの外形寸法に容易に一致させることができる。また、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３は基板Ｗを適度な強さで挟持できる。
【０１７５】
この発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
【０１７６】
（１）上述した実施例１では、筐体用昇降機構３１を備える基板収納容器１を例示したが、これに限られない。例えば、筐体用支持部材１６を水平方向に移動可能に構成するとともに、筐体用昇降機構３１はさらに筐体用弾性部材を備えてもよい。筐体用弾性部材は、筐体用支持部材１６が水平方向に移動することによって弾性変形し、筐体用支持部材１６に対して復元力を作用させる。以下、図を参照して、２つの変形実施例を例示する。なお、実施例１と同じ構成については同符号を付すことで、詳細な説明を省略する。
【０１７７】
図１５を参照する。筐体用昇降機構３１はバネ９１を備えている。バネ９１は、例えば、圧縮コイルバネである。バネ９１は筐体２と筐体用支持部材１６との間に設けられている。筐体用支持部材１６が筐体２に対して後方向に移動すると、バネ９１は圧縮変形し、筐体用支持部材１６を前方向に押圧する。
【０１７８】
図１６を参照する。筐体用昇降機構３１は、筐体用連結板９２とバネ９３を備えている。筐体用連結板９２は、可動台３４（傾斜面３４ａ）と摺動可能に接触する。バネ９３は、筐体用連結板９２と筐体用支持部材１６との間に設けられている。筐体用支持部材１６が筐体用連結板９２に対して後方向に移動すると、バネ９３は弾性変形し、筐体用支持部材１６を前方向に押圧する。
【０１７９】
上述したバネ９１、９３はそれぞれ、本発明における筐体用弾性部材の例である。
【０１８０】
これらの変形実施例によれば、筐体用昇降機構３１はバネ９１、９３を備えているので、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３とは、第２の支持態様で基板Ｗを好適に支持できる。
【０１８１】
（２）上述した実施例１および変形実施例において、基板収納容器１は、さらに、筐体用支持部材１６を案内する筐体用案内機構を備えてもよい。以下、図１７、１８を参照して、２つの変形実施例を例示する。
【０１８２】
図１７を参照する。基板収納容器１は、筐体用案内機構９５を備えている。筐体用案内機構９５は、連結ピン９６と案内部材９７を備える。連結ピン９６は筐体用支持ブロック１４に固定されている。案内部材９７は筐体２に固定されている。案内部材９７は、連結ピン９６を挿入するための孔を有している。孔は、上下方向と平行に延びていてもよいし、前後方向に対して傾斜していてもよい。図１７では、後方向ほど高くなるように傾斜している孔を示す。連結ピン９６が案内部材９７に対して摺動することによって、筐体用支持部材１６は筐体２に対して上下方向および前後方向に移動する。
【０１８３】
本変形実施例によれば、筐体用案内機構９５は筐体用支持部材１６を所定の方向に案内できる。
【０１８４】
図１８を参照する。筐体用昇降機構３１は、図１６を用いて説明した筐体用連結板９２とバネ９３を備えている。さらに、基板収納容器１は、筐体用案内機構１０１を備えている。筐体用案内機構１０１は、連結バー１０２と案内部材１０３を備える。連結バー１０２は筐体用連結板９２に固定されている。案内部材１０３は筐体２に固定されている。案内部材１０３は、連結バー１０２を挿入するための孔を有している。孔は、上下方向と平行に延びていてもよいし、前後方向に対して傾斜していてもよい。図１８では、上下方向と平行に延びている孔を示す。連結バー１０２が案内部材１０３に対して摺動することによって筐体用連結板９２は筐体２に対して昇降し、筐体用連結板９２の昇降によって筐体用支持部材１６は筐体２に対して昇降する。このように、筐体用案内機構１０１は、筐体用連結板９２を介して筐体用支持部材１６を案内する。
【０１８５】
（３）上述した実施例１において、バネ３２を省略してもよい。本変形実施例によっても、筐体用昇降機構３１は、筐体用支持部材１６に働く重力を利用して、筐体用支持部材１６を下降させることができる。
【０１８６】
（４）上述した実施例２において、基板収納容器１は、筐体用弾性部材を備えてもよい。
【０１８７】
図１９を参照する。基板収納容器１はバネ１０５を備えている。バネ１０５は筐体２と筐体用支持部材１６との間に設けられている。バネ１０５は、筐体用支持部材１６が筐体２に対して後方向に移動すると、バネ１０５は圧縮変形し、筐体用支持部材１６を前方向に押圧する。バネ１０５は、本発明における筐体用弾性部材の例である。
【０１８８】
これらの変形実施例によれば、基板収納容器１はバネ１０５を備えているので、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３とは、第２の支持態様で基板Ｗを好適に支持できる。
【０１８９】
（５）上述した実施例３において、蓋用昇降機構６５は蓋用弾性部材を備えてもよい。蓋用弾性部材は、蓋３と蓋用支持部材２３との間に設けられ、蓋用支持部材２３が蓋３に対して水平方向に移動することによって弾性変形し、蓋用支持部材２３に対して復元力を作用させる。以下、変形実施例を例示する。
【０１９０】
図２０を参照する。蓋用昇降機構６５はバネ１１１を備えている。バネ１１１は、ラック６７と蓋用支持部材２３との間に設けられている。蓋用支持部材２３がラック６７（蓋３）に近づくと、バネ１１１は圧縮変形し、ラック６７（蓋３）から遠ざかる方向に蓋用支持部材２３を押圧する。バネ１１１は、本発明における筐体用弾性部材の例である。
【０１９１】
本変形実施例によれば、蓋用昇降機構６５はバネ１１１を備えているので、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３とは、第２の支持態様で基板Ｗを好適に支持できる。
【０１９２】
（６）上述した実施例３および変形実施例において、基板収納容器１は、さらに、蓋用支持部材２３を案内する筐体用案内機構を備えてもよい。以下、変形実施例を例示する。
【０１９３】
図２１を参照する。筐体用昇降機構３１は、図２０を用いて説明したバネ１１１を備えている。さらに、基板収納容器１は、蓋用案内機構１１３を備えている。蓋用案内機構１１３は、連結ピン１１４と案内部材１１５を備える。連結ピン１１３は蓋用支持ブロック２１に固定されている。案内部材１１５は蓋３に固定されている。案内部材１１５は、連結ピン１１４を挿入するための孔を有している。孔は、前後方向に延びている。連結ピン１１４が案内部材１１５に対して摺動することによって、蓋用支持部材２３は蓋３に対して前後方向に移動する。本変形実施例によれば、蓋用案内機構１１３は蓋用支持部材２３を所定の方向に案内できる。
【０１９４】
（７）上述した実施例４において、バネ７４を省略してもよい。この場合、案内部材７９は、前後方向に対して傾斜した方向に延びる孔を有することが好ましい。この変形実施例によっても、蓋用支持部材２３に働く重力と蓋用支持部材２３が基板Ｗから受ける押圧を利用して、蓋用支持部材２３を前後方向に移動させることができる。
【０１９５】
また、上述した実施例４において、蓋用案内機構７７を省略してもよい。この変形実施例によっても、蓋用昇降機構７１は蓋用支持部材２３を好適に昇降させることができる。
【０１９６】
（８）上述した実施例５において、基板収納容器１は、さらに、蓋用弾性部材を備えてもよい。
【０１９７】
図２２を参照する。基板収納容器１は、バネ１１７を備えている。バネ１１７は、蓋３と蓋用支持部材２３との間に設けられている。バネ１１７は、蓋用支持部材２３が蓋３に近づくと、バネ１１７は弾性変形し、蓋３から遠ざかる方向に蓋用支持部材２３を押圧する。蓋用弾性部材としてバネ１１７は、本発明における筐体用弾性部材の例である。
【０１９８】
本変形実施例によれば、基板収納容器１はバネ１１７を備えているので、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３とは、第２の支持態様で基板Ｗを好適に支持できる。
【０１９９】
（９）基板収納容器１は、実施例１、２で説明した筐体用昇降機構３１および筐体用案内機構５１のいずれかと、実施例３乃至５で説明した蓋用昇降機構６５、７１および蓋用案内機構８１のいずれかを備えてもよい。
【０２００】
例えば、図２３（ａ）に示すように、基板収納容器１は、実施例１の筐体用昇降機構３１と実施例３の蓋用昇降機構６５を備えてもよい。例えば、図２３（ｂ）に示すように、基板収納容器１は、実施例２の筐体用案内機構５１と実施例５の蓋用案内機構８１を備えてもよい。これらの変形実施例によれば、第１、第２の支持態様のいずれに移行するときも、筐体用支持部材１６および蓋用支持部材２３の双方が基板Ｗと摺動しない。よって、パーティクルの発生を効果的に抑制できる。さらに基板Ｗを水平にして挟持されるので、より安定して基板Ｗを収納することができる。
【０２０１】
（１０）上述した各実施例では、複数の筐体用支持部材１６が一体に成形されていたが、これに限られない。例えば、各筐体用支持部材１６は互いに分離されていてもよい。蓋用支持部材２３の構造についても同様である。
【０２０２】
（１１）上述した各実施例では、蓋３が筐体２から外れている状態では、筐体用支持部材１６は基板Ｗと接触していたが、これに限られない。すなわち、蓋３が筐体２から外れている状態において、筐体用支持部材１６が基板Ｗと接触していなくてもよい。
【０２０３】
（１２）上述した各実施例において、筐体用支持部材１６および蓋用支持部材２３の形状を適宜に変更してもよい。例えば、筐体用支持部材１６が最奥部１７ｂでのみ基板Ｗと接触する場合には、下傾斜部１７ａや上傾斜部１７ｃを省略してもよい。同様に、蓋用支持部材２３が最奥部２４ｂでのみ基板Ｗと接触する場合には、下傾斜部２４ａや上傾斜部２４ｃを省略してもよい。
【０２０４】
（１３）上述した各実施例では、複数の筐体用支持部材１６は上下方向に１列に並ぶように配置されていたが、これに限られない。複数の筐体用支持部材１６が上下方向に複数列に並ぶように配置されていてもよい。複数の筐体用支持部材１６が上下方向に千鳥に配置されていてもよい。蓋用支持部材２３の配置についても同様である。
【０２０５】
（１４）上述した各実施例において、基板収納容器１は、筐体２内において基板Ｗが支持されるスペースを清浄に保つための遮蔽部材をさらに備えてもよい。
【０２０６】
例えば、遮蔽部材は、基板Ｗが支持されるスペースと、筐体用昇降機構３１の少なくとも一部が設置されるスペースとの間で、雰囲気を遮断してもよい。あるいは、遮蔽部材は、基板Ｗが支持されるスペースと、筐体用案内機構５１の少なくとも一部が設置されるスペースとの間で、雰囲気を遮断してもよい。これによれば、筐体用昇降機構３１または筐体用案内機構５１が発生したパーティクルが、基板Ｗが支持されるスペースに進入することを防止できる。
【０２０７】
図２４を参照する。基板収納容器１は、遮蔽部材として隔壁１２１とベローズ１２３を備えている。隔壁１２１は、基板Ｗが支持されるスペースＳ１を、筐体用昇降機構３１が設置されるスペースＳ２から隔てる。隔壁１２１には、筐体用支持部材１６を挿入するための開口が形成されている。筐体用支持部材１６は、隔壁１２１を貫通するように設置されている。筐体用支持部材１６には、ベローズ１２３が取り付けられている。ベローズ１２３の基端部は隔壁１２１に取り付けられている。ベローズ１２３は、筐体用支持部材１６の移動に追従して伸縮または／および屈曲可能である。これら隔壁１２１とベローズ１２３によって、スペースＳ１とスペースＳ２の雰囲気が遮断される。
【０２０８】
なお、隔壁１２１が筐体２に固定されている場合、バネ３２や案内部材５３などを隔壁１２１に取り付けてもよい。
【０２０９】
その他の例として、遮蔽部材を蓋３に取り付けてもよい。これによれば、蓋用昇降機構６５、７１または蓋用案内機構７７、８１が発生したパーティクルが、基板Ｗが支持されるスペースに進入することを防止できる。
【０２１０】
（１５）上述した各実施例において、さらに、基板収納容器１は、筐体２内に気体を供給する気体供給口と、筐体２内の気体を排出する気体排出口を備えてもよい。さらに、気体供給口および気体排出口は、基板Ｗから筐体用昇降機構３１または筐体用案内機構５１に向かって気体が流れるように配置されていることが好ましい。例えば、気体供給口を、気体排出口よりも前方向に配置してもよい。また、気体供給口を、気体排出口よりも下方に配置してもよい。これによれば、筐体用昇降機構３１または筐体用案内機構５１が発生したパーティクルを、基板Ｗが支持されるスペースを通過させずに筐体２の外部に排出することができる。
【０２１１】
図２５はこのように構成した基板収納容器１の平面図である。底板部５の開口Ａに近接した位置にはスペースＳ１と連通するように、気体供給口２０１が複数個形成されている。この気体供給口２０１には気体供給ポート（不図示）が配設される。気体供給ポートは、気体を供給する外部機器と接続可能である。また、底板部５の後壁部８に近接した位置にはスペースＳ２と連通するように気体排出口２０２が複数個形成されている。この気体排出口２０２には気体排出ポート（不図示）が配設される。気体排出供給ポートは、気体を排出する外部機器と接続可能である。さらに、隔壁１２１の後方向位置には連通孔２０３が上下方向に複数個形成される。
【０２１２】
気体供給ポートおよび気体排出ポートをそれぞれ外部機器と接続した状態で、外部機器から不活性ガス等をスペースＳ１に送りこみつつ、スペースＳ２から筐体２内の気体を外部に排出することにより、前方向から後方向への気流が筐体２の内部に形成され、スペースＳ１内の気体がスペースＳ２に向けて排出される。
【０２１３】
（１６）上述した実施例４、５において、案内部材７９、８３は蓋３とは別体であったが、これに限られない。すなわち、蓋３が案内部材７９、８３とは一体であってもよい。例えば、連結ピン７８、８２が摺動する溝を蓋３に形成してもよい。これによれば、蓋３および蓋用支持部材２３の全体を薄型化できる。
【０２１４】
（１７）上述した各実施例では、ロードポート装置４２０、４２１、４２２はそれぞれ、１つの載置台４４を備えていたが、これに限られない。すなわち、複数の載置台を備えるロードポート装置に変更してもよい。また、上述した実施例では、ロードポート装置４２０、４２１、４２２はそれぞれ、１つの基板収納容器１を載置するものであったが、これに限られない。すなわち、複数の基板収納容器１を載置できるロードポート装置に変更してもよい。
【０２１５】
（１８）上述した各実施例１−５および上記（１）から（１７）で説明した各変形実施例については、さらに各構成を他の実施例の構成または他の変形実施例の構成に置換または組み合わせるなどして適宜に変更してもよい。
【符号の説明】
【０２１６】
１  …  基板収納容器
２  …  筐体
３  …  蓋
３ｂ  …  裏面
１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１  …  棚部材
１６ａ、１６ｂ、１６ｃ、１６  …  筐体用支持部材
２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３  …  蓋用支持部材
３１  …  筐体用昇降機構
３４  …  可動台
３４ａ  …  傾斜面
４１  …  基板処理装置
４２…  ロードポート部
４４  …  載置台
４５  …  蓋開閉機構
４７  …  搬送機構
４８  …  処理ユニット
５１、９５  …  筐体用案内機構
６１  …  ロック機構
６５、７１  …  蓋用昇降機構
７３  …  固定台
７４、１１１、１１７  …  バネ（蓋用弾性部材）
７３  …  傾斜面
７７、８１、１１３  …  蓋用案内機構
９１、９３、１０５  …  バネ（筐体用弾性部材）
４２０、４２１、４２２  …  ロードポート装置
Ａ  …  開口
Ｗ  …  基板
【図１】
0006326330.tif 000002
【図２】
0006326330.tif 000003
【図３】
0006326330.tif 000004
【図４】
0006326330.tif 000005
【図５】
0006326330.tif 000006
【図６】
0006326330.tif 000007
【図７】
0006326330.tif 000008
【図８】
0006326330.tif 000009
【図９】
0006326330.tif 000010
【図１０】
0006326330.tif 000011
【図１１】
0006326330.tif 000012
【図１２】
0006326330.tif 000013
【図１３】
0006326330.tif 000014
【図１４】
0006326330.tif 000015
【図１５】
0006326330.tif 000016
【図１６】
0006326330.tif 000017
【図１７】
0006326330.tif 000018
【図１８】
0006326330.tif 000019
【図１９】
0006326330.tif 000020
【図２０】
0006326330.tif 000021
【図２１】
0006326330.tif 000022
【図２２】
0006326330.tif 000023
【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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