(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガイド穴を有するガイドと、
前記ガイド穴に配設された細長い本体の端に先端部を備えるプローブであって、前記プローブは、テスト中の電子デバイス（ＤＵＴ）の端子による前記先端部への接触力に応答して、前記先端部が前記端子の表面に接触しかつ前記表面に沿ってスライドするように構成される、プローブと、を備え、
前記細長い本体は、前記ガイド穴の第１接触領域上に接触しかつ前記第１接触領域に支えられて動く第１パターン形成された領域と、前記先端部にかかる接触力に応答して前記ガイド穴内で前記細長い本体が動くのに従って前記ガイド穴の第２接触領域上に接触しかつ前記第２接触領域に支えられて動く第２パターン形成された領域と、を有し、
前記先端部は、前記第１パターン形成された領域が前記第１接触領域に支えられて動きかつ前記第２パターン形成された領域が前記第２接触領域に支えられて動くのに従って、前記端子の前記表面に沿った前記先端部の横方向の移動を有するパターンで動き、前記横方向の移動は、前記第１パターン形成された領域及び前記第２パターン形成された領域の組み合わせられた関数である、
電子接触器装置。
【請求項２】
前記第１パターン形成された領域は、前記細長い本体の側面内に延在するか又は前記側面から延在する一つ以上の表面を有し、
前記第２パターン形成された領域は、前記細長い本体の側面内に延在するか又は前記側面から延在する一つ以上の表面を有し、
前記組み合わせられた関数は、前記第１パターン形成された領域の前記一つ以上の表面と前記第２パターン形成された領域の前記一つ以上の表面とに対応する、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記第１接触領域は、前記ガイドの第１表面における前記ガイド穴の第１開口部に近接する前記ガイド穴の内側であり、
前記第２接触領域は、前記ガイドの第２表面における前記ガイド穴の第２開口部に近接する前記ガイド穴の内側であり、
前記第１表面は、前記第２表面の反対側にある、請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記細長い本体と前記ガイド穴の内側側壁との間に隙間がある、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記第１パターン形成された領域の前記一つ以上の表面は、少なくとも二つの隣接する湾曲した表面を有する、請求項２に記載の装置。
【請求項６】
前記第１パターン形成された領域の前記一つ以上の表面は、前記細長い本体の一つ以上の側面から離れていく、請求項２に記載の装置。
【請求項７】
前記第１パターン形成された領域の前記表面の少なくとも一つは湾曲している、請求項２に記載の装置。
【請求項８】
前記第１パターン形成された領域の前記一つ以上の表面は、前記細長い本体の前記側面から別々に離れていく表面を有する、請求項２に記載の装置。
【請求項９】
前記先端部の前記横方向の移動は、前記端子の前記表面に沿った第１方向に向かう前記先端部の移動と、続いて、前記第１方向とは実質的に反対の前記端子の前記表面に沿った第２方向に向かう前記先端部の移動と、を含む、請求項１に記載の装置。
【請求項１０】
前記プローブは、前記細長い本体の反対側の端に第２先端部をさらに備える、請求項１に記載の装置。
【請求項１１】
前記細長い本体の最長の長さ及び前記接触力の方向は、鉛直軸に沿って方向付けられ、
前記先端部の前記横方向の移動は、前記鉛直軸に対して直交する平面内である、請求項１に記載の装置。
【請求項１２】
テスト中の電子デバイス（ＤＵＴ）のテストを制御するためのテスタの電気的インターフェースを有する配線基板と、
ガイド穴を有するガイドと、
前記ＤＵＴの接触端子に配設されかつ前記電気的インターフェースに電気的に接続される導電性プローブと、を備え、
前記各プローブは、前記ガイド穴のうち対応するガイド穴の一つに配設される細長い本体の端に先端部を有し、
前記細長い本体は、前記対応するガイド穴の第１接触領域上に接触しかつ前記第１接触領域に支えられて動く第１パターン形成された領域と、前記ＤＵＴの前記端子のうちの一つによる前記先端部への接触力に応答して前記細長い本体が前記対応するガイド穴内で動くのに従って、前記対応するガイド穴の第２接触領域上に接触しかつ前記第２接触領域に支えられて動く第２パターン形成された領域と、を有し、
前記先端部は、前記第１パターン形成された領域が前記第１接触領域に支えられて動くかつ前記第２パターン形成された領域が前記第２接触領域に支えられて動くのに従って、前記端子のうち一つの表面に沿った前記先端部の横方向の移動を有するパターンで動き、前記横方向の移動は、前記第１パターン形成された領域及び前記第２パターン形成された領域の組み合わせられた関数である、
プローブカードアセンブリ。
【請求項１３】
前記第１パターン形成された領域は、前記細長い本体の側面内に延在するか又は前記側面から延在する一つ以上の表面を有し、
前記第２パターン形成された領域は、前記細長い本体の側面内に延在するか又は前記側面から延在する一つ以上の表面を有し、
前記組み合わせられた関数は、前記第１パターン形成された領域の前記一つ以上の表面と前記第２パターン形成された領域の前記一つ以上の表面とに対応する、請求項１２に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項１４】
各前記プローブについて、
前記第１接触領域は、前記ガイドの第１表面における前記対応するガイド穴の第１開口部に近接する前記対応するガイド穴の内側であり、
前記第２接触領域は、前記ガイドの第２表面における前記対応するガイド穴の第２開口部に近接する前記対応するガイド穴の内側であり、
前記第１表面は、前記第２表面の反対側になる、請求項１３に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項１５】
前記細長い本体と前記ガイド穴の内側側壁との間に隙間がある、請求項１４に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項１６】
前記第１パターン形成された領域の前記一つ以上の表面は、少なくとも二つの隣接する湾曲した表面を有する、請求項１３に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項１７】
各前記プローブについて、前記第１パターン形成された領域の前記一つ以上の表面は、前記プローブの前記細長い本体の一つ以上の側面から離れていく、請求項１３に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項１８】
前記第１パターン形成された領域の前記表面の少なくとも一つは湾曲している、請求項１７に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項１９】
前記第１パターン形成された領域の前記一つ以上の表面は、前記細長い本体の前記側面から別々に離れていく表面を有する、請求項１３に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項２０】
前記先端部の前記横方向の移動は、前記端子のうち一つの前記表面に沿った第１方向に向かう前記先端部の移動と、続いて、前記第１方向とは実質的に反対の前記端子のうち一つの前記表面に沿った第２方向に向かう前記先端部の移動と、を含む、請求項１３に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項２１】
各前記プローブに対して、
前記細長い本体の最長の長さ及び前記接触力の方向は、鉛直軸に沿い、
前記先端部の前記横方向の移動は、前記鉛直軸に対して直交する平面内である、請求項１２に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項２２】
前記第１パターン形成された領域の前記一つ以上の表面の形状は、前記第２パターン形成された領域の前記一つ以上の表面の形状と実質的に同じである、請求項２に記載の装置。
【請求項２３】
前記第１パターン形成された領域と前記第２パターン形成された領域は、実質的に同じ形状を有する、請求項１に記載の装置。
【請求項２４】
前記第１パターン形成された領域における前記細長い本体の水平断面は、前記鉛直軸まわりの前記細長い本体の回転を与える輪郭を有し、
前記先端部は、前記第１パターン形成された領域が前記第１接触領域に支えられて動きかつ前記第２パターン形成された領域が前記第２接触領域に支えられて動くのに従って、前記横方向の移動及び前記回転を有するパターンで動く、請求項１１に記載の装置。
【請求項２５】
前記第１パターン形成された領域は、前記第１パターン形成された領域が前記第１接触領域に支えられて動くのに従って前記細長い本体を回転させる輪郭を有する、請求項１に記載の装置。
【請求項２６】
前記細長い本体の断面形状は、多角形であり、
前記第１パターン形成された領域は、前記細長い本体の第１の側面上にあり、
前記第２パターン形成された領域は、前記細長い本体の第２の側面上にあり、
前記第１の側面と前記第２の側面は、前記細長い本体の隣接した面である、請求項１に記載の装置。
【請求項２７】
前記第１パターン形成された領域の前記一つ以上の表面の形状は、前記第２パターン形成された領域の前記一つ以上の表面の形状と実質的に同じである、請求項１３に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項２８】
前記第１パターン形成された領域と前記第２パターン形成された領域は、実質的に同じ形状を有する、請求項１２に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項２９】
前記第１パターン形成された領域における前記細長い本体の水平断面は、前記鉛直軸まわりの前記細長い本体の回転を与える輪郭を有し、
前記先端部は、前記第１パターン形成された領域が前記第１接触領域に支えられて動きかつ前記第２パターン形成された領域が前記第２接触領域に支えられて動くのに従って、前記横方向の移動及び前記回転を有するパターンで動く、請求項２１に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項３０】
前記第１パターン形成された領域は、前記第１パターン形成された領域が前記第１接触領域に支えられて動くのに従って前記細長い本体を回転させる輪郭を有する、請求項１２に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項３１】
前記細長い本体の断面形状は、多角形であり、
前記第１パターン形成された領域は、前記細長い本体の第１の側面上にあり、
前記第２パターン形成された領域は、前記細長い本体の第２の側面上にあり、
前記第１の側面と前記第２の側面は、前記細長い本体の隣接した面である、請求項１２に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項３２】
前記先端部への前記接触力がないときに、
前記細長い本体の第１の部分が、前記ガイドの第１側面における前記ガイド穴の第１開口部から延在し、前記細長い部分の第２の部分が、前記ガイドの前記第１側面と反対側の第２側面における前記ガイド穴の第２開口部から延在し、前記細長い本体の前記第１の部分と前記第２の部分の間にある中間部分が、前記ガイド穴の内側に配置され、
前記細長い本体が前記ガイド穴の前記第１開口部と接触しないように、前記細長い本体の前記中間部分と前記ガイド穴の前記第１開口部との間に十分な隙間がある、請求項１に記載の装置。
【請求項３３】
前記先端部への前記接触力がないときに、
前記細長い本体の第１の部分が、前記ガイドの第１側面における前記ガイド穴の第１開口部から延在し、前記細長い部分の第２の部分が、前記ガイドの前記第１側面と反対側の第２側面における前記ガイド穴の第２開口部から延在し、前記細長い本体の前記第１の部分と前記第２の部分の間にある中間部分が、前記ガイド穴の内側に配置され、
前記細長い本体が前記ガイド穴の前記第１開口部と接触しないように、前記細長い本体の前記中間部分と前記ガイド穴の前記第１開口部との間に十分な隙間がある、請求項１２にプローブカードアセンブリ。
【請求項３４】
前記先端部は、前記第１パターン形成された領域が前記第１接触領域に支えられて動きかつ前記第２パターン形成された領域が前記第２接触領域に支えられて動くのに従って、前記細長い本体の実質的な捩れを含まない前記横方向の移動を有するパターンで動く、請求項１に記載の装置。
【請求項３５】
前記細長い本体の前記第２パターン形成された領域ではなく前記第１パターン形成された領域が、前記第１接触領域上に接触しかつ前記第１接触領域に支えられて動き、
前記細長い本体の前記第１パターン形成された領域ではなく前記第２パターン形成された領域が、前記第２接触領域上に接触しかつ前記第２接触領域に支えられて動く、請求項１に記載の装置。
【請求項３６】
前記先端部は、前記第１パターン形成された領域が前記第１接触領域に支えられて動きかつ前記第２パターン形成された領域が前記第２接触領域に支えられて動くのに従って、前記細長い本体の実質的な捩れを含まない前記横方向の移動を有するパターンで動く、請求項１２に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項３７】
前記細長い本体の前記第２パターン形成された領域ではなく前記第１パターン形成された領域が、前記第１接触領域上に接触しかつ前記第１接触領域に支えられて動き、
前記細長い本体の前記第１パターン形成された領域ではなく前記第２パターン形成された領域が、前記第２接触領域上に接触しかつ前記第２接触領域に支えられて動く、請求項１２に記載のプローブカードアセンブリ。
【発明の詳細な説明】
【背景技術】
【０００１】
[0001]  一方のデバイスの端子をもう一方のデバイスに接続されたプローブに対して押し付けることによって、電子デバイスの間に電気的な接続が生じ得る。プローブの拭き取り動作（又はこすり動作ともいう）を端子上で行うことにより、プローブが端子上の酸化物又はその他の非導電性材料を突破することが可能となる。これによってプローブと端子との間に比較的低抵抗の電気接続を形成することができる。
【０００２】
[0002]  図１Ａは、ガイドプレート１０８の穴１０６を通って延在するプローブ１０４を有する電子デバイス１０２の側断面図を図示する。図１Ｂ及び図１Ｃにおいて示されるように、もう一方の電子デバイス１１０との電気接続は、プローブ１０４に対してもう一方の電子デバイス１１０の端子１１２を押し付けることによって生じ得る。図１Ｂは、端子１１２とプローブ１０４との最初の接触を図示する。もう一方の電子デバイス１１０が図１Ｂに示される最初の接触を通り過ぎて電子デバイス１０２に向かって動くにしたがって、プローブ１０４は撓む（例えば、縮む又は歪む）あるいは動く。図１Ｃにおいて示されるように、プローブ１０４がガイド穴１０６の内側側壁に接触するまで、プローブ１０４の接触端部は端子１１２を動作Ｓで横切って拭き取る。その後、もう一方の電子デバイス１１０が電子デバイス１０２に向かって動き続けるのに従って、ガイド穴１０６の側壁は、プローブ１０４の接触端部の更に横方向への移動を制御する。
【発明の概要】
【０００３】
[0003]  本発明の実施形態は、ガイド穴の側壁上の接触領域上に乗るパターン形成された領域を有するプローブを含み、それによってプローブの接触先端部がパターン形成された領域に関連するパターンで動くということが理解される。パターン形成された領域は、プローブの側面内に延在する又は側面から外に延在する一つ以上の表面を備えることができる。そのため端子上の接触先端部の拭き取り動作は、パターン形成された領域の表面のパターンによってあらかじめ選択されることができる。本明細書において、「接触領域上に……乗る」とは、「接触領域に支えられて動く」ことを意味する。
【０００４】
[0004]  いくつかの実施形態において、電子接触器装置はガイド及び導電性プローブを備え得る。ガイドはガイド穴を備えることができ、プローブはガイド穴に配設することができる細長い本体の端に先端部を有することができる。細長い本体は、先端部にかかる力に応答してガイド穴内で細長い本体が動くのに従って、ガイド穴の第１内側側壁の第１接触領域上に接触しかつ乗る第１のパターン形成された領域を備え得る。第１パターン形成された領域が第１接触領域上に乗るのに従って、先端部は第１パターン形成された領域の（複数の）表面の関数である横方向のパターンを備えるパターンで動くことができる。
【０００５】
[0005]  いくつかの実施形態において、プローブカードアセンブリは、配線基板、ガイド及び導電性プローブを備えることができる。配線基板は、テスト中の電子デバイス（ＤＵＴ）のテストを制御するためのテスタの電気的インターフェースを備えることができ、ガイドはガイド穴を有することができる。導電性プローブは、ＤＵＴの端子を接触するように配設されることができ、また電気的インターフェースに電気的に接続されることができる。各プローブは、細長い本体の端に先端部を含むことができ、その先端部は対応するガイド穴の一つに配設され得る。細長い本体は、先端部に対するＤＵＴの端子のうち一つの力に応答して細長い本体が対応するガイド穴内で動くのに従って、対応するガイド穴の第１内側側壁の第１接触領域上に接触しかつ乗る第１パターン形成された領域を備えることができる。先端部は、第１接触領域上に第１パターン形成された領域が乗るのに従って、端子上を第１パターン形成された領域の（複数の）表面の関数である横方向のパターンを備えるパターンで動くことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１Ａ】[0006]  電子デバイスの端子がプローブに押し付けられるにつれ、従来のプローブが拭き取られることを示す。
【図１Ｂ】[0006]  電子デバイスの端子がプローブに押し付けられるにつれ、従来のプローブが拭き取られることを示す。
【図１Ｃ】[0006]  電子デバイスの端子がプローブに押し付けられるにつれ、従来のプローブが拭き取られることを示す。
【図２Ａ】[0007]  本発明のいくつかの実施形態による電子接触器装置の側面図を示す。
【図２Ｂ】[0007]  本発明のいくつかの実施形態による電子接触器装置の下面図を示す。
【図２Ｃ】[0008]  本発明のいくつかの実施形態による図２Ａ及び図２Ｂの装置における一つのプローブの一部の部分的な側断面図を示す。
【図３Ａ】[0009]  本発明のいくつかの実施形態による電子デバイスの端子が接触先端部に押し付けられた際のプローブの接触先端部の移動パターンを示す。
【図３Ｂ】[0009]  本発明のいくつかの実施形態による電子デバイスの端子が接触先端部に押し付けられた際のプローブの接触先端部の移動パターンを示す。
【図３Ｃ】[0009]  本発明のいくつかの実施形態による電子デバイスの端子が接触先端部に押し付けられた際のプローブの接触先端部の移動パターンを示す。
【図４】[0010]  本発明のいくつかの実施形態によるプローブの細長い本体上のパターン形成された領域を構成することができる表面の一例を示す。
【図５】[0010]  本発明のいくつかの実施形態によるプローブの細長い本体上のパターン形成された領域を構成することができる表面の一例を示す。
【図６】[0010]  本発明のいくつかの実施形態によるプローブの細長い本体上のパターン形成された領域を構成することができる表面の一例を示す。
【図７】[0010]  本発明のいくつかの実施形態によるプローブの細長い本体上のパターン形成された領域を構成することができる表面の一例を示す。
【図８Ａ】[0011]  本発明のいくつかの実施形態によるパターン形成された領域を有するプローブの部分側面図を示す。
【図８Ｂ】[0011]  本発明のいくつかの実施形態によるプローブに回転を付与するための輪郭の一例を図示しているプローブの上断面図を示す。
【図９】[0012]  本発明のいくつかの実施形態によるパターン形成された領域を有するプローブの部分斜視図を示す。
【図１０Ａ】[0013]  本発明のいくつかの実施形態による図２Ａ及び図２Ｂの電子デバイスを含むプローブヘッドアセンブリを有するプローブカードアセンブリを備える、ＤＵＴをテストするためのテストシステムを示す。
【図１０Ｂ】[0014]  本発明のいくつかの実施形態による図１０Ａのプローブカードアセンブリのプローブのうちの一つの部分断面図を示す。
【図１１】[0015]  本発明のいくつかの実施形態によりガイド穴に配設されかつガイド穴の内側側壁の接触領域上に接触しかつ乗るためのパターン形成された領域を有する図２Ａから図２Ｃのプローブを備えることができるソケットを示す。
【図１２】[0016]  本発明のいくつかの実施形態によりプローブのパターン形成された領域は、他の状態ではプローブの側面の通常の特徴である領域の例を示す。
【図１３】[0016]  本発明のいくつかの実施形態によりプローブのパターン形成された領域は、他の状態ではプローブの側面の通常の特徴である領域の例を示す。
【図１４】[0016]  本発明のいくつかの実施形態によりプローブのパターン形成された領域は、他の状態ではプローブの側面の通常の特徴である領域の例を示す。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
[0017]  本明細書は本発明の例示的な実施形態及び用途を記載する。しかしながら、本発明は、これら例示的な実施形態及び用途、もしくは例示的な実施形態及び用途が本明細書中において動作する又は記載される手法に限定されるものではない。さらに、図は簡略図又は部分図を示しうるものであり、図中の要素の寸法は誇張されうるものであり、そうでなければ、明確化を求める比率にされるものではない。加えて、用語「上にある（on）」、「に取り付けられる（attached to）」又は「に結合される（coupled to）」が本明細書中において使用される場合、１つの物体が別の物体の直接上にある、取り付けられる、又は結合される、もしくは１つの物体と別の物体との間に１つ又は複数の介在する物体があるかどうかに関わらず、１つの物体（例えば、材料、層、基板等）が別の物体「上にある」、「に取り付けられる」又は「に結合される」ものとされうる。また、方向（例えば、上方（above）、下方（below）、上部（top）、底部（bottom）、側部（side）、上（up）、下（down）、真下（under）、上（over）、さらに上（upper）、さらに下（lower）、水平（horizontal）、垂直（vertical）、「ｘ」、「ｙ」、「ｚ」等）は、提供される場合、相対的なものであり、単に例として及び説明及び記載の容易性のために提供されるものであり、限定するものではない。加えて、要素の列挙（例えば、要素ａ、ｂ、ｃ）について参照する場合、そのような参照は、列挙された要素の任意の１つのみ、列挙された要素の全てより少数の任意の組み合わせ、及び／又は、列挙された要素全ての組み合わせ、を含むことを意図するものである。
【０００８】
[0018]  本明細書において、次に示す用語は以下の意味を有する。「ゆがむ(buckle)」は、曲がる、ねじれる、ひずむ、又は潰れることを意味し、また「縮む(compress)」という用語は、少ない体積又は少ない空間に押圧されることあるいは押し付けることによって又はあたかも押しつけたかのようにすることにより小型にすることを意味する。「撓む（flex）」という用語は、力に応答した移動を意味する広義の用語であるため、「撓む」は、ゆがむことあるいは縮むことによる動きを含む。「移す（translate）」という用語は、特定の方向への移動を意味し、「細長い(elongated)」は長く細いことあるいは物又は構造を説明するときに使用される場合にはその物又は構造の長さがその幅よりも長いということを意味する。
【０００９】
[0019]  本明細書では、「パターン形成された領域(patterned region)」は、単に平らな表面ではなく少なくとも一つの曲面又は二つの表面の間に非連続性を備える。
【００１０】
[0020]  本明細書では、「横方向（lateral）」は、側面に関連する(relating to)、側面に置かれる(situated at)あるいは側面上に置かれる(situated on)ことを意味し、プローブの接触端部の横方向の動き、動作、拭き取り又はこすりは、プローブの側面に対する動き、動作、拭き取り又はこすりを意味する。そのため、例えば、最初に概ね垂直軸上に整列されたプローブの接触端部の横方向の動き、動作、拭き取り又はこすりは、縦軸の側面に対する接触端部の動き、動作、拭き取り又はこすりを含む。
【００１１】
[0021]  本明細書では、「拭き取り」及び「こすり」という用語は同義語である。
【００１２】
[0022]  本明細書では、「従順（compliant)」とは力に応答して動く又は、しなうことが可能であることを意味する。従順という用語は、塑性変形及び／又は弾性変形を包含する。塑性変形とは、力に応答した物体の変形（すなわち、形や位置の変形）であり、力が取り除かれたあとも物体が完全には復元されない変形である。力に応答して弾性変形する構造は、力が取り除かれたあとその最初の形や位置に十分に復元される。弾性変形する物体は、本明細書では弾性である（elastic）あるいは弾性物体（elastic object）であると言われる。本明細書では、「弾力性 (resilient)」という用語は弾性と同義語である。
【００１３】
[0023]  図２Ａから図２Ｃは、本発明の態様の具体化である電子接触器装置２００の一例を図示する。図２Ａ及び図２Ｂにおいて示されるように、接触器装置２００は基板２０２を含み得る。導電性プローブ２０４（３つ示されているがそれよりも少なくても多くてもよい）は、基板２０２から延在することができる。各プローブ２０４は、基部２０６と、接触先端部２１０と、基部２０６と接触先端部２１０の間の細長い本体２０８と、を備えることができる。各プローブ２０４の細長い本体２０８は、ガイド２１２内のガイド穴２１８を通って延在することができる。各プローブの細長い本体２０８は、図２Ｂにおいて、細長い本体２０８の長さに沿った軸２３０を切り口とする正方形の断面を有していると示されているが、断面は長方形、三角形、その他の多角形（例えば、六角形）、円、楕円等の他の形であってもよい。また細長い本体２０８は、細長い本体２０８の長さに沿った複数の断面を有し得る。例えば細長い本体２０８は、細長い本体２０８の長さの一部に沿った円形の断面及び細長い本体２０８の長さの他の部分に沿った長方形又は楕円の断面を有し得る。本明細書に記載の如く、このような断面における変形は、プローブ２０４の動作に作用するように調整することができる。
【００１４】
[0024]  接触先端部２１０と同様の第２の先端部は、基部２０６に取って代わることができる。そのため各プローブ２０４は、細長い本体２０８の接触先端部２１０とは反対の端部において基部２０６の代わりに第２の先端部を備え得る。
【００１５】
[0025]  基板２０２は、配線基板であってよい。例えば基板２０２は、プローブ２０４の基部２０６が取りつけられるあるいは電気的に接続されることができる導電性端子（図示されず）を備えることができる。基板２０２は、内部導電線及び／又は外部導電線（例えば、基板２０２上及び／又は基板２０２内の導電性トレース及び／又はバイア）（図示されず）を備えてもよい。配線（図示されず）は、プローブ２０４を基板２０２上及び／又は基板２０２内の端子（図示されず）及び／又は電気部品（図示されず）に電気的に接続することができる。いくつかの実施形態においては、基板２０２はプリント回路板、配線を備えたセラミック基板（図示されず）等であってよい。
【００１６】
[0026]  プローブ２０４は、スプリングコンタクトプローブであってよい。図示されるように、各プローブ２０４は基部２０６と、接触先端部２１０と、基部２０６と接触先端部２１０との間の細長い本体２０８と、を備え得る。細長い本体２０８は、従順であり得、またいくつかの実施形態においては弾力性（すなわち、弾性）を有し得る。上述したように、基部２０６は基板２０２に取り付けることができる。各接触先端部２１０は、電子デバイス２１６の端子２１４に接触した後に端子２１４に電気的に接続されるようなパターンで構成されかつ配設されることができる。
【００１７】
[0027]  ガイド２１２は、プローブ２０４のうちの一つのプローブの細長い本体２０８が通過することのできるガイド穴２１８（図２Ｂおよぶ図２Ｃを参照）を含むことができる。例えばガイド２１２は、プレートや基板等であってよい。ガイド２１２は、基板２０２に結合されるか、さもなければ基板２０２に対して固定されることができる。
【００１８】
[0028]  図２Ｃに示されるように、細長い本体２０８の各プローブ２０４は、細長い本体２０８に沿って位置づけられた一つ以上のパターン形成された領域２２２（２カ所が示されているがそれよりも少なくても多くてもよい）を含むことができ、それにより接触先端部２１０にかかる力（例えば、端子２１４との接触による力）がプローブ２０４をガイド穴２１８内で動かすにつれ、各パターン形成された領域２２２はガイド穴２１８の内側側壁２２０の一部である対応する接触領域２２４上に接触しかつ乗る。接触領域２２４に沿ってパターン形成された領域が乗ることによって、接触先端部２１０はパターン形成された領域２２２の関数（本明細書では「関数」は線形又は非線形、連続又は不連続であり得る）であり得る移動パターンで動く。図３Ａから図３Ｃに、以下に説明される一例が図示される。
【００１９】
[0029]  図２Ｃにおいて示されるように、各パターン形成された領域２２２が接触領域２２４のうちの一カ所から距離Ｄ離れるように、細長い本体２０８は、最初はガイド穴２１８内に位置づけられることができる。しかしながら、いくつかの実施形態において、パターン形成された領域と対応する接触領域２２４との間に初期距離Ｄが存在しないこともあり得る。それにかかわらず、図２Ｃにおいても示されるように、細長い本体２０８と一つ以上のガイド穴２１８の内側側壁２２０との間に隙間Ｇがあり得る。いくつかの実施形態において、細長い本体２０８と内側側壁２２０の全体より少ない部分及び／又は一つ以上の内側側壁２２０の一部のみとの間に隙間Ｇがあり得る。いくつかの実施形態において、細長い本体２０８といずれの内側側壁２２０との間に隙間Ｇが存在しないこともあり得る。それにかかわらず、示されるように、いくつかの実施形態において、接触領域２２４はガイド２１２の反対側の表面においてガイド穴２１８の開口部に近接し得る。
【００２０】
[0030]  各パターン形成された領域２２２は、プローブ２０４の細長い本体２０８の側面２２８から延在する及び／又は側面２２８に延在する一つ以上の表面２２６を備え得る。つまり、細長い本体２０８の側面２２８は特定の形状を有し得る。例えば、細長い本体２０８の側面２２８は、それ自体が特定の形状の表面を備えることができる。例えば細長い本体２０８が多角形（例えば、正方形又は長方形）の断面を有する場合は、側面２２８は平らな表面の形状を有し得る。その場合、パターン形成された領域２２２の一つ以上の表面２２６は、側面２２８の平らな表面内に及び／又は平らな表面から延在することができるため側面２２８の平らな表面とは形状上区別される。その代わりに、細長い本体２０８が円形又は楕円形の断面を有する場合には、側面２２８は、軸２３０に巻きつく細長い本体２０８の湾曲した外表面の一部を備え得る。その場合、パターン形成された領域２２２の一つ以上の表面２２６は、側面２２８の湾曲した表面内に及び／又は湾曲した表面から延在することができるため側面２２８の湾曲した表面とは幾何学上区別される。そのため各パターン形成された領域２２２は、幾何学上特異な特徴を形成するあるいはプローブ２０４の細長い本体２０８の側面２２８内に及び／又は側面２２８から延在し、かつ細長い本体２０８の側面２２８及び全体的な外輪郭の形状とは幾何学上異なりかつそれらに対して特異な特徴を形成する一つ以上の表面２２６を備えることができる。言い換えれば、パターン形成された領域２２２の一つ以上の表面２２６は、プローブ２０４の細長い本体２０８の側面２２８の幾何学形状における一つの不連続部又は複数の不連続部であってよい。
【００２１】
[0031]  パターン形成領域２２２の各表面２２６は、平ら又は湾曲等であってよい。例えば、各表面２２６は、スプライン、曲線、折れ線、一連の曲線、一連の線、一連の曲線及び線等を備え得る。さらに、図２Ｃに図示される例では、各パターン形成された領域２２２が細長い本体２０８内に延在しているように図示されているが、パターン形成された領域２２２は、代替的に、細長い本体２０８内に又は細長い本体２０８から延在してよい。パターン形成された領域２２２の例は図４から図７に図示され、これらの例は以下に説明される。
【００２２】
[0032]  図２Ａにおいて示されるように、プローブ２０４はいくつかの実施形態においては垂直プローブであってよい。そのためプローブ２０４の基部２０６、細長い本体２０８及び接触先端２１０は図２Ａに示されるように全体的に垂直軸２３０に沿って整列されることができる。示されるように、細長い本体２０８の長さは全体的に垂直軸２３０に沿って方向付けが可能である。しかしながら他の実施形態では、プローブ２０４は垂直プローブである必要はない。そのため図２Ａにおけるプローブ２０４の方向付けは一例でしかなく制限を設けるものではない。
【００２３】
[0033]  図３Ａから図３Ｃは、電子デバイス２１６の端子２１４（図２Ａを参照）がプローブ２０４の接触先端部２１０に押し付けられることの一例を図示する。接触先端部２１０に結果としてかかる力は、プローブ２０４をガイド穴２１８に動かすことができ、それによってパターン形成された領域２２２は対応する接触領域２２４上に接触しかつ乗ることができ、またそれによって接触先端部２１０が端子２１４上において移動パターンＳ２で動くことができる。本明細書における例では端子２１４がプローブ２０４と接触するよう動かされると記載されているが、接触器装置２００（したがってプローブ２０４）は代替的に又は付加的に端子２１４と接触するように動かされる（例えば、押し付けられる）ことができる。
【００２４】
[0034]  図３Ａは、図２Ｃにおいて示されるようにプローブ２０４がガイド穴２１８内にあるのを図示し、また図２Ａにおいて示される電子デバイス２１６の端子２１４を図示する。基準線３０２は、端子２１４と接触先端部２１０との最初の接触時における端子２１４の場所を表す（以下、参照線３０２は「第１接触」と呼ばれる。）。上記のごとく、いくつかの実施形態においては、パターン形成された領域２２２の間に距離Ｄがあるガイド穴２１８内に最初に位置づけられることができる細長い本体２０８と、対応する接触領域２２４との間には最初に隙間Ｇがあってよい。同じく上記のごとく、いくつかの実施形態においてはそのような隙間Ｇや距離Ｇは存在し得ない。
【００２５】
[0035]  図３Ｂは、図３Ａのプローブ２０４及び端子２１４について、端子２１４が概ね「ｚ」軸（「ｚ」軸は上記のごとく、いくつかの実施形態において垂直軸２３０に相当する）に沿って接触器装置２００(図２Ａ参照)に向かって動いていることから、端子２１４は位置３０４にあることを示す。位置３０４において端子２１４は、接触先端部２１０との第１接触３０２を通過して初期（例えば、第１）オーバートラベル（over travel）ＯＴ１の距離動かされている。
【００２６】
[0036]  図３Ｂにおいても示されるように、オーバートラベルＯＴ１の距離を動く間、細長い本体２０８も概ね「ｘ、ｙ」面（「ｘ、ｙ」面は、垂直軸２３０に対して概ね水平であり得る）内で動くことができ、その結果端子２１４上の第１拭き取り動作Ｓ１が生じる。細長い本体２０８も、各パターン形成された領域２２２の第１端が対応する接触領域２２４と概ね整列されるように概ね「ｚ」軸に沿って動く。上記事項を達成するために、距離Ｄ及び隙間Ｇ（図２Ｃ及び３Ａ参照）は、オーバートラベルＯＴ１の距離に対して選択され得る。細長い本体２０８は、端子２１４がオーバートラベルＯＴ１の距離を動くにつれ撓む（例えば、縮む又は歪む）及び／又はガイド穴２１８内で動くことができる。上述したように、プローブ２０４は垂直プローブであってよく、また上記の接触先端部に係る力は概ね垂直であってよい。
【００２７】
[0037]  図３Ｃは、図３Ａの端子２１４が概ね「ｚ」軸に沿って、接触器装置２００（図２Ａ参照）に向かって更に（例えば、第２）オーバートラベルＯＴ２の距離にわたり動いている際の図３Ａのプローブ２０４及び端子２１４を図示する。端子２１４がオーバートラベルＯＴ２の距離を動くにつれ、パターン形成された領域２２２は接触領域２２４上に接触しかつ乗ることができ、それが原因となって接触先端部２１０が端子２１４上で第２動作パターンＳ２で動くこととなる。上述したように、いくつかの実施形態においては、プローブ２０４は垂直プローブであってよく、また図３Ｃにおいて示されたように、動作Ｓ２は横方向の動き（すなわち、プローブ２０４の最初の軸２３０の側面への動き）であってよい。それに係らず、各パターン形成された領域２２２がオーバートラベルＯＴ２の間、対応する接触領域２２４上に乗るように、各パターン形成された領域２２２の大きさは少なくともオーバートラベルＯＴ２の距離に相当する。
【００２８】
[0038]  第２動作パターンＳ２は、パターン形成された領域２２２の表面２２６の各形状の関数あるいは各形状に関連する又は対応する関数であってよい。例えば、プローブ２０４の細長い本体２０８上にパターン形成された領域２２２が一つしかない場合には、プローブ２０４の接触先端部２１０の第２動作パターンＳ２は、パターン形成された領域２２２の表面２２６の形状の関数であってよい。もう一つの例として、プローブ２０４の細長い本体の２０８上に複数のパターン形成された領域２２２がある場合は、プローブ２０４の接触先端部２１０の第２動作パターンＳ２は、これらのパターン形成された領域２２２の組み合わせの関数であってよい。そのため第２動作パターンＳ２は対応する接触領域２２４上に一つのパターン形成された領域２２２が乗っていることの結果、あるいは対応する接触領域２２４上に一つ以上のパターン形成された領域２２２が乗っていることによる複合効果であり得る。そのためプローブ２０４の接触先端部２１０の第２動作パターンＳ２は、パターン形成された領域２２２の数及び場所ならびに各パターン形成された領域２２２の表面２２６の構成などといったパラメータによってプログラムされることが可能である。プローブ２０４上に複数のパターン形成された領域２２２がある場合には、パターン形成された領域２２２は同じ又は異なったものであってよく、またパターン形成された領域２２２はお互いを補強及び／又は打ち消すように構成されることができる。事実、プローブ２０４上の複数のパターン形成された領域２２２は、第２動作パターンＳ２が接触先端部２１０の明らかな横方向の動きを構成しないように、構成され得る。
【００２９】
[0039]  図３Ａから図３Ｃに図示される例において、パターン形成された領域２２２はオーバートラベルＯＴ２の間対応する接触領域２２４上に乗る湾曲した表面２２６を備える。図示される湾曲した表面２２６によって、端子２１４上の接触端部２１０の動作Ｓ２は始めは一方向の動作となり、次に実質的に反対方向の動作となり得る。しかしながら、上述のようにこれは一例にすぎず、動作Ｓ２に様々な異なる動作を付与するように構成されたさまざまな異なる形状の一つ以上の表面２２６を備えることができる。図４から図７はその他の例を図示する。
【００３０】
[0040]  図４に示されるように、パターン形成された領域２２２は、プローブ２０４の細長い本体２０８の側面２２８内に延在するというよりも側面から延在する表面４０４及び４０６を備えることができる。さらには、表面４０４及び４０６は湾曲しているというよりも直線であり得る。図４に示される例においては、細長い本体２０８の側面２２８から離れていく表面４０４の角度Ａ１は、側面２２８から離れていく表面４０６の角度Ａ２よりも大きく、また表面４０４の長さは方面４０６の長さよりも長い。結果として、接触先端部２１０の動作Ｓ２（図３Ｃを参照）は、オーバートラベルＯＴ２の間は対応する接触領域２２４上に表面４０４が乗るのに従ってゆっくりとした一方向への移動となり、また対応する接触領域２２４上に表面４０６が乗るのに従って、反対方向へのより急激な移動となり得る。しかしながら、図４に図示されるパターン形成された特徴２２２の構成は、異なる動作パターンＳ２を作成するために変えられることができる。例えば、角度Ａ１は角度Ａ２よりも大きくてもよく、また表面４０４の長さは表面４０６の長さよりも短くてもよい。その他の例として、角度Ａ１及び角度Ａ２は略等しくあってよく、また表面４０４及び４０６の長さは略等しくあってよい。
【００３１】
[0041]  図５は、直線の表面５０４及び５０６がプローブ２０４の細長い本体２０８の側面２２８内に延在するパターン形成領域２２２の一例を図示する。図示されるように、表面５０４は細長い本体２０８の側面２２８から角度Ａ１で離れていくことができ、また表面５０６は細長い本体２０８の側面２２８から角度Ａ２で離れていくことができる。
【００３２】
[0042]  図６は、オーバートラベルＯＴ２の間対応する接触領域２２４上に乗る湾曲した表面６０４及び直線の表面６０６を備えるパターン形成された領域２２２の一例を図示する。代替的に、表面６０６は湾曲された表面であってよく、またそのため表面６０４及び６０６は隣接したあるいは連結した表面であってよい。図７は、細長い本体２０８の側面２２８から別々に離れていく直列の表面を備えるパターン形成された領域２２２の一例を図示する。例えば、図７に示されるように、別々に離れていく直列の表面は、オーバートラベルＯＴ２の間対応する接触領域２２４上に乗る起伏に富む又は波形のパターン７０２を形成することができる。接触先端部２１０の対応する動作Ｓ２は、反復される往復動作であってよい。
【００３３】
[0043]  上記の例は概ね横方向の動き、こすり又は拭き取りパターンを作成するが、プローブ２０４はパターンＳ２にその他のタイプの動きを含むように構成されることもできる。図８Ａ及び図８Ｂに一例が図示される。図８Ａは上述したようなパターン形成された領域２２２を有するプローブ２０４の細長い本体２０８及び先端部２０４の一部の図を示す。図８Ｂは、パターン形成された領域２２２を切り口とする細長い本体２０８の上断面図である。示されるように、パターン形成された領域２２２は接触先端部２１０を回転させる（例えば、概ね軸２３０の周り）ことのできる輪郭８０２を更に含むことができ、それによってオーバートラベルＯＴ２の間対応する接触領域２２４上にパターン形成された領域２２２が乗るのにしたがって動作パターンＳ２に回転成分を付与する。パターンＳ２の動作に回転成分を付与するための方法のその他の例としては、２０１１年１１月３日に出願された米国特許出願番号第１３／２８８，９２５（代理人整理番号Ｐ３９７−ＵＳ）の図２６Ｃ、２６Ｄ、２７、３０、３１Ａ及び３１Ｂに図示される技術が含まれる。前述の米国特許出願番号第１３／２８８，９２５は参照により本明細書に組み込まれる。
【００３４】
[0044]  図９は、更に他の変形を図示する。図９に示されるように、プローブ２０４の細長い本体２０８が多角形（例えば、図９に図示されるように正方形又は長方形）の断面を有する場合、パターン形成された領域２２２は、細長い本体２０８の側面２２８aのいずれか一つ以上であってよい。図９に示された例において、細長い本体２０８の同一平面上にない（例えば、平行ではない）側面２２８ａ及び２２８ｂ上にパターン形成された領域２２２がある。代替的及び付加的には、側面２２８ｃ及び２２８ｄ上にパターン形成された領域２２２があってよい。図９の例において示されるように、同一平面上にない（例えば、平行ではない）側面２２８ａ及び２２８ｂ上にパターン形成された領域２２２がある場合、結果として生じる第２動作Ｓ２（図３Ｃ参照）は「ｘ、ｙ」面（例えば、垂直軸２３０に対して概ね垂直である面）内において複数の方向に生じ得る。例えば、第２動作Ｓ２は螺旋状や回状などの移動成分を備え得る。
【００３５】
[0045]  ガイド穴２１８の対応する接触領域２２４上に乗るパターン形成された領域２２２を有するプローブ２０４には多くの可能な使途及び用途がある。図１０Ａ、１０Ｂ及び１０に例が図示される。
【００３６】
[0046]  図１０Ａは、ＤＵＴ１０１６をテストするためのプローブカードアセンブリ１０１４を備えるテストシステム１０００を図示する。ＤＵＴ（これはテスト中のデバイス（Device under test）の頭字語である）１０１６は、いかなる電子デバイス又はテストされるべきデバイスであってもよく、それらには単一化されていない半導体ウェハの一つ以上のダイ、ウェハ（実装されたウェハ又は実装されていないウェハ）から単一化された一つ以上の半導体ダイ、キャリヤ又はその他の保持デバイスにおいて配設される単一化された半導体ダイのアレイの一つ以上のダイ、一つ以上のマルチダイ電子デバイス、一つ以上のプリント回路版又はその他のタイプの電子デバイス又はデバイスが制限なしに含まれる。
【００３７】
[0047]  テスタ１００２は、ＤＵＴ１０１６のテストを制御するように構成され得る。テスタ１００２は、例えば、コンピュータ又はそのようなテストを制御するようにプログラムされたコントローラであってよい。通信チャネル１００４（例えば、ケーブル、ワイヤ、光ファイバ、無線通信手段等）は、テスタ１００２とプローブカードアセンブリ１０１４との間に個別の信号電力供給路を設け得る。以下に説明されるように、プローブカードアセンブリ１０１４は、ＤＵＴ１０１６の端子１０１８に更なる信号電力供給路を設け得る。
【００３８】
[0048]  図１０Ａに示されるように、プローブカードアセンブリ１０１４は配線基板１００８、インターコネクタ１０１０及びプローブヘッドアセンブリ１０１２を備え得る。配線基板１００８、インターコネクタ１０１０及びプローブヘッドアセンブリ１０１２は、ブラケット、ネジ、ボルト及び／又はその他の適切な手段（図示されず）によって固定されることができる。
【００３９】
[0049]  配線基板１００８は、通信チャネル１００４と電気的に接続するように構成された電気コネクタ１００６（例えば、テスタ１００２への電気的インターフェース）を含み得る。コネクタ１００６は、ポゴピン、ゼロ挿入力コネクタ、又は通信チャネル１００４との電気的な接続に最適なその他の電気接続デバイスを受容するためのパッドであってよい。配線基板１００８は、コネクタ１００６からの導電路（図示されず）を更に含み得る。それらの導電路（図示されず）は、例えば、配線基板１００８上及び／又は配線基板１００８内に導電性トレース及び／又はバイアを備え得る。配線基板１００８は、プリント回路板、セラミック基板等であってよい。
【００４０】
[0050]  示されているように、プローブヘッドアセンブリ１０１２は、図２Ａ及び図２Ｂの電子デバイス２００を備え得る。つまり、プローブヘッドアセンブリ１０１２は、上述のいかなる変形を含み、基板２０２（基板２０２はプローブ基板であってよい）、プローブ２０４及びガイド２１２を備え得る。そのため、図１０Ｂに示されるように、各プローブ２０４の細長い本体２０８はガイド２１２内のガイド穴２１８のうちの一つに配設されることができ、また細長い本体２０８はガイド穴２１８の内側壁２２０の対応する接触領域２２４上に接触しかつ乗るように構成された一つ以上のパターン形成された領域２２２を備え得る。基板２０２は、プローブ２０４への導電路（図示されず）を備えることができる。それらの導電路（図示されず）は、例えば、基板２０２上及び／又は基板２０２内に導電性トレース及び／又はバイアを備え得る。
【００４１】
[0051]  インターコネクタ１０１０（インターコネクタ１０１０はインターポーザ、ワイヤ等を備え得る）は配線基板１００８の電路（図示されず）を基板２０２の電路（図示されず）に電気的に接続することができる。そのためプローブカードアセンブリ１０１４は、通信チャネル１００４の信号電力経路をＤＵＴ１０１６の端子１０１８に接続することができる。その後テスタ１００２は、例えばＤＵＴ１０１６に通信チャネル１００４とプローブカードアセンブリ１０１４を介して信号及び電力を供給することによって、ＤＵＴ１０１６のテストを制御することができ、またテスタ１００２はプローブカードアセンブリ１０１４及び通信チャネル１００４を介してＤＵＴ１０１６からの信号を受信することができる。
【００４２】
[0052]  図１０Ａに図示されるプローブカードアセンブリ１０１４の構成は一例にすぎず、変形が可能である。例えば、配線基板１００８には複数のプローブヘッドアセンブリ１０１２が接続され得る。もう一つの例としては、基板２０２は配線基板１００８に直接電気的に接続されることができ、またそのためインターコネクタ１０１０が含まれる必要性がない。当然、プローブカードアセンブリ１０１４は機械的補強材（図示されず）等のその他の要素を含み得る。
【００４３】
[0053]  ＤＵＴ１０１６は以下のようにテストすることができる。ＤＵＴ１０１６の端子１０１８は、概して図３Ａから図３Ｃに示されるプローブ２０４の接触先端部２１０に対して押し付けられることができ、それによって同じく概して図３Ａから図３Ｃにおいて示されるように、各接触先端部２１０は対応する端子１０１８をこする。プローブ２１０が端子１０１８に接触することで、テスタ１００２は通信チャネル１００４及びプローブカードアセンブリ１０１４を介してＤＵＴ１０１６に提供されることができるテスト信号を生成することができる。ＤＵＴ１０１６によって生成される反応信号は、ＤＵＴ１０１６からプローブカードアセンブリ１０１４及び通信チャネル１００４を介してテスタ１００２に提供され得る。テスタ１００２は、応答信号を分析することによって、ＤＵＴ１０１６（又はＤＵＴ１０１６のうちのいずれかの部分）がテスト信号に対して適切に応答したかどうか決定され、またその結果としてＤＵＴ１０１６のテストの合否が決定される。テスタ１００２は、代替的又は付加的にＤＵＴ１０１６の性能を評価することができる。上述したように、ＤＵＴ１０１６は個別の電子デバイス（例えば、半導体ダイ）を備えることができ、またテスタ１００２はＤＵＴ１０１６の構成要素である個別のデバイスのテストの合否を決定し得る及び／又はそれらの個別のデバイスを評価し得る。
【００４４】
[0054]  図１１は、電子デバイス１１０４のためのデバイス部位１１０２を有する配線基板１１０８を備える電気ソケット１１００を図示する。示されているように、プローブ２０４の基部２０６は、（例えば、上述のように図２Ａ及び図２Ｂにおいて基部２０６が基板２０２に接続されるのと同様に）配線基板１１０８に接続されてよく、また上述のようにプローブ２０４の細長い本体２０８は、ガイド２１２内のガイド穴２１８（図１１において図示せず）を通過することができる。さらには、示されてはいないが、細長い本体２０８は、ガイド穴２１８の内側側壁２２０の対応する接触領域２２４上に接触しかつ乗る一つ以上のパターン形成された領域２２２を有することができ、それによって、概して図３Ａから図３Ｃにおいて示されかつ上述されるように、対応する端子１１０６をプローブ２０４の先端接触部２１０に対して押し付けるのに従ってプローブ２０４の先端接触部２１０が端子１１０６をこする。
【００４５】
[0055]  配線基板１１０８は、配線基板１１０８上及び／又は配線基板１１０８内に導電性トレース（図示されず）及び／又はバイア（図示されず）などの電路（図示されず）を備え得る。これらの電路（図示されず）は、プローブ２０４のうちの一つを配線基板１１０８上、配線基板１１０８内又は配線基板１１０８に接続されるその他のプローブ２０４、電気端子（図示されず）、電気部品（図示されず）等に電気的に接続することができる。
【００４６】
[0056]  プローブ２０４のパターン形成された領域２２２の一つ以上の表面２２６は、プローブ２０４の細長い本体２０８の側面２２８内に延在及び／又は細長い本体２０８の側面２２８から延在する幾何学上特異な特徴として、図２Ｃ、図３Ａから図３Ｃ、図４から図８Ａ、図９及び図１０Ｂにおいて図示されかつ上述されているが、パターン形成された領域２２２は、代替的に又は付加的に細長い本体２０８の側面２２８の通常の表面の特徴の一部を備え得る。図１２から図１４が例を図示する。
【００４７】
[0057]  図１２において図示されるように、プローブ２０４の細長い本体２０８の第１側面２２８ａは本体２０８の長さに沿って連続する湾曲した表面を備えてよく、また細長い本体２０８の反対側の第２側面２２８ｂも本体２０８の長さに沿って連続する湾曲した表面１２０４を備えてよい。例えば、いくつかの実施形態において、細長い本体２０８の湾曲した表面１２０２は、プローブ２０４の基部２０６から接触先端部２１０まで連続していてよく、また湾曲した表面１２０４は、同じく基部２０６から接触先端部２１０まで連続していてよい。いくつかの実施形態において、湾曲した表面１２０２の曲率半径と湾曲した表面１２０４の曲率半径は実質的に同じでよい。他の実施形態において、湾曲した表面１２０２及び１２０４は異なる曲率半径を有してよい。さらなる例として、いくつかの実施形態において、湾曲した表面１２０４と１２０４はお互いに実質的に平行であってよい。
【００４８】
[0058]  それにかかわらず、（上述したように）ガイド穴２１８の内側表面２２０の対応する接触領域２２４上に掛かりかつ乗るパターン形成された領域２２２の一つ以上の表面２２６は、連続する湾曲した表面１２０２及び１２０４の領域であってよい、そのため図１２に示される例における細長い本体２０８の側面２２８ａ上の第１パターン形成された領域２２２ａの一つ以上の表面２２６ａは、湾曲した表面１２０２の領域であってよく、また第２側面２２８ｂ上の第２パターン形成された２２２ｂの一つ以上の表面２２６ｂは、湾曲した表面１２０４の領域であってよい。概ね上述したように、図３Ａから図３Ｃに関して、パターン形成された領域２２２ａ及び２２２ｂがオーバートラベルＯＴ２の距離にわたって接触領域２２４に掛かりかつ接触するのに従って、第１及び第２パターン形成された領域２２２ａ及び２２２ｂに対応する連続した湾曲した表面１２０２及び１２０４の一部に対応するプローブ２０４の接触先端部２１０に対して動作パターンＳ２を付与することができる（特に、図３Ｃを参照。）。
【００４９】
[0059]  図１３は、プローブ２０４の細長い本体２０８の通常の特徴の領域にパターン形成された領域２２２が対応する他の例を図示する。示されるように、プローブ２０４の細長い本体２０８の第１側面２２８ａは複数の隣接しているが非連続である表面を備え得る。例えば、示されるように、その他の表面のうち第１側面２２８ａは第１連続表面１３０４及び第２連続表面１３０６を備えることができ、また第１表面１３０４が第２表面１３０４とぶつかる所には切れ目１３０２があってよい。表面１３０４及び１３０６は、平ら又は湾曲等を含む様々な形状のうちのいずれかであってよい。同じく示されるように、細長い本体２０８の第１パターン形成された領域２２２ａは切れ目１３０２を有することができ、また切れ目のすぐそばに第１及び第２表面１３０４及び１３０６を有し得る。同じく示されるように、細長い本体２０８の反対側の第２側面２２８ｂも複数の近接ではあるが非連続の表面を備え得る。例えば、示されるように、第２側面２２８ｂはその他の表面のうち、第１連続表面１３１０及び第２連続表面１３１２を備えることができまた第１表面１３１０が第２表面１３１２とぶつかる所には切れ目１３０８があってよい。表面１３１０及び１３１２は、平ら又は湾曲等を含む様々な形状のうちのいずれかであってよい。同じく示されるように、細長い本体２０８の第２パターン形成された領域２２２ｂは切れ目１３０８を有することができ、また切れ目１３０８のすぐそばに第１及び第２表面１３１０及び１３１２を有し得る。
【００５０】
[0060]  そのため、図１３において示される細長い本体２０８の第１側面２２８ａ上の第１パターン形成された領域２２２ａの一つ以上の表面２２６ａは、表面１３０４及び１３０６の領域であってよく、また第２側面２２８ｂ上の第2パターン形成された領域２２２ｂの一つ以上の表面２２６ｂが、例えば図１３において図示されるように、表面１３１０及び１３１２の領域であってよい。そのため、図１３に図示されるガイド穴２１８の内側表面２２０の対応する接触領域２２４に（上述のように）掛かりかつ接触することのできるパターン形成された領域２２２は、近接ではあるが非連続の表面１３０４、１３０６、１３１０及び１３１２の領域であってよい。概ね上述したように、図３Ａから図３Ｃに関して、図１３のパターン形成された領域２２２ａ及び２２２ｂがオーバートラベルＯＴ２の距離にわたって接触領域２２４に掛かりかつ接触するのに従って、プローブ２０４の接触先端部２１０に対して動作パターンＳ２が付与することができる（特に、図３Ｃを参照。）。ここで、プローブ２０４は、パターン形成された領域２２２ａに対応するものとして図１３において特定される部分１３０４と１３０６及び切れ目１３０２と、パターン形成された領域２２２ｂに対応するものとして図１３において特定される部分１３１０と１３１２及び切れ目１３０８と、に対応する。
【００５１】
[0061]  図１４に図示されるように、プローブ２０４の細長い本体２０８の第１側面２２８ａは本体２０８の長さに沿って、連続する波状の湾曲した表面１４０２を有することができ、また細長い本体２０８の反対側の第２側面２２８ｂも本体２０８の長さに沿って、連続する波状の湾曲した表面１４０４を有することができる。例えば、いくつかの実施形態において、細長い本体２０８の波状表面１４０２はプローブ２０４の基部２０６から接触先端部２１０まで連続していてよく、また波状表面１４０４も同じく基部２０６から接触先端部２１０まで連続していてよい。いくつかの実施形態において、波状表面１４０２及び１４０４は、互いに実質的に平行であってよい。しかしながら、いくつかの実施形態においては、波状表面１４０２及び１４０４は、互いに実質的に平行ではない。
【００５２】
[0062]  それにかかわらず、ガイド穴２１８の内側表面２２０の対応する接触領域２２４上に（上述のように）掛かりかつ乗るパターン形成された領域２２２は、波状の湾曲した表面１４０２及び１４０４の領域であってよい。そのため、図１４において図示される例における細長い本体２０８の第１側面２２８ａ上の第１パターン形成された領域２２２ａの一つ以上の表面２２６ａは、波状表面１４０２の領域であってよく、また第２側面２２８ｂ上の第２パターン形成された領域２２２ｂの一つ以上の表面２２６ｂは、波状表面１４０４の領域であってよい。概ね上述したように、図３Ａから図３Ｃに関して、パターン形成された領域２２２ａ及び２２２ｂがオーバートラベルＯＴ２の距離にわたって接触領域２２４に掛かりかつ接触するのに従って、第１及び第２パターン形成された領域２２２ａ及び２２２ｂに対応する波状表面１４０２及び１４０４の一部に対応するプローブ２０４の接触先端部２１０に対して動作パターンＳ２を付与することができる（特に、図３Ｃを参照。）。
【００５３】
[0063]  パターン形成された領域２２２がプローブ２０４の本体２０８の側面２２６の通常の特徴の領域に対応する、図１２から図１４に図示される実施形態は例にすぎず、側面２２６のその他の曲線、形、配置等が使用されてよい。さらには、プローブ２０４上には前述の二つの領域２２２ａ及び２２２ｂよりも多い又は少ない領域があってよく、また二つの領域２２２ａ及び２２２ｂよりも多い領域がある場合は、それらの領域はプローブ２０４の反対側の２２８ａ及び２２２ｂ上にある必要はない。それにかかわらず、前述の変更のいずれかを含むプローブ２０４の例は、図１０のプローブカードアセンブリ１０１４又は図１１のソケット１１００において使用され得る。
【００５４】
[0064]  本明細書では本発明の特定の実施形態及び用途について説明してきたが、これらの実施形態及び用途は単なる例示としてのものであり、多くの変形が可能である。例えば、本明細書において図示される例において、パターン形成された領域２２２はプローブ２０４の細長い本体２０８上に示され、また接触領域２２４はガイド穴２１８の内側側壁２２０上に示されるが、接触領域２２４はプローブ２０４の細長い本体２０８上にあってよくまたパターン形成された領域２２２はガイド穴２１８上の内側側壁２２０上にあってよい。
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図１Ｃ】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図４−５】
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【図６−７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図９】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１１】
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【図１２−１３】
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【図１４】
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