(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送される板状体の厚みを形成する搬送方向に平行な側面を照らす投光器と、
前記側面の反射光を受光して撮像する撮像装置と、
前記撮像装置から前記側面までの撮像距離を取得する撮像距離取得部と、
撮像距離毎に前記撮像装置の受光量を定めた情報と、撮像距離によらない共通の基準受光量とを含む距離対受光量情報を記憶する記憶部と、
前記距離対受光量情報から前記撮像距離取得部により取得された対象撮像距離に応じた受光量を算出し、前記算出した受光量と前記基準受光量との乖離が大きいほど大きな補正量で、前記対象撮像距離において前記撮像装置が受光した受光量を補正して前記基準受光量に一致させる受光量調整部と、
を備えることを特徴とする板状体側面の表面疵撮影装置。
【請求項２】
前記撮像装置は、前記板状体に替えて設置された表面の反射特性が均一な基準板を複数のサンプル撮像距離で撮像し、
前記基準受光量は、前記複数のサンプル撮像距離における前記撮像装置の受光量を平均したサンプル撮像距離平均受光量であり、
前記距離対受光量情報は、前記複数のサンプル撮像距離において前記撮像装置が受光した受光量に基づいて、撮像距離と受光量との関係を定めた、前記投光器の数の２倍の次数の近似式を含み、
前記受光量調整部は、
前記近似式から前記撮像距離取得部により取得された対象撮像距離に応じた計算受光量を算出し、
前記サンプル撮像距離平均受光量を前記算出された計算受光量で除算して前記対象撮像距離に応じた撮像距離補正ゲインを算出し、
前記対象撮像距離において前記撮像装置が受光した受光量を、前記撮像距離補正ゲインを乗じて補正すること、
を特徴とする請求項１記載の板状体側面の表面疵撮影装置。
【請求項３】
前記距離対受光量情報は、さらに、前記板状体の厚み方向に定めた複数の厚み方向位置のそれぞれについて定めた複数の近似式を含み、前記複数の近似式のそれぞれは、前記複数のサンプル撮像距離において前記撮像装置が受光した受光量に基づいて、撮像距離と受光量との関係を定めた、前記投光器の数の２倍の次数の近似式であり、
前記受光量調整部は、
前記複数の近似式のそれぞれについて、前記対象撮像距離に応じた計算受光量を算出し、
前記算出された複数の計算受光量に基づいて、前記対象撮像距離における厚み方向位置と受光量との関係を定めた第２の近似式を算出し、
前記算出された複数の計算受光量を平均して前記対象撮像距離における厚み方向平均受光量を算出し、
前記第２の近似式から所定の厚み方向位置に応じた計算受光量を算出し、
前記厚み方向平均受光量を前記所定の厚み方向位置に応じた計算受光量で除算して前記所定の厚み方向位置に応じた厚み方向補正ゲインを算出し、
前記対象撮像距離の前記所定の厚み方向位置において前記撮像装置が受光した受光量を、前記撮像距離補正ゲインおよび前記厚み方向補正ゲインを乗じて補正すること、
を特徴とする請求項２記載の板状体側面の表面疵撮影装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、板状体側面の表面疵撮影装置に関する。特に、鉄鋼製造設備の製鋼工程においてスラブ側面の表面疵を撮影する表面疵撮影装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図６は、従来の表面疵撮影装置について説明するための図である。被測定物体である板状体１は矢印で示す搬送方向に搬送される。板状体１は、例えば鉄鋼製造設備の製鋼工程において鋳造されたスラブである。複数の投光器３ａは、板状体１の上面を照らす位置に設けられる。撮像装置２ａは、板状体１の搬送方向に垂直な板幅方向にライン状視野を有し、板状体１の上面を周期的に撮像する。表面疵撮影装置は、収集される画像データを搬送方向に繋げていくことにより板状体１の上面の全体画像を生成する。板状体１の上面には、複数の投光器３ａと板状体１との位置関係に応じて板幅方向に明るさ分布が生じるため、画像には明暗が生じる。そのため、従来の表面疵撮影装置では、板幅方向の視野位置と撮像装置２ａの受光量との関係を定めた視野位置対受光量補正テーブル６を用いて、視野位置対受光量調整部５により画像の明暗を是正していた。視野位置対受光量補正テーブル６は、板状体１を測定する位置に反射特性が均一な基準板を設置し、基準板の表面を撮像装置２ａで撮像し、図７に一例を示すような、撮像画像の視野位置に対する受光量の分布を取得し、その平均受光量を算出し、全視野位置において平均受光量と実際の受光量の差異を無くす補正ゲインを算出するためのものである。視野位置対受光量調整部５は、撮影した画像に対して、視野位置対受光量補正テーブル６を参照し、画像の板幅方向の各視野位置における明るさに補正ゲインを乗じることにより、画像の明度が均一になるよう補正していた。
【０００３】
尚、出願人は、表面疵撮影装置に関連するものとして、以下に記載する文献を認識している。特許文献１（特開平７−３１１１６１号公報）には、予め走査型変位検出器で鋼片の反り及び凹凸変形を検出し、検出したプロフィール形状に沿って定焦点カメラを鋼片との距離が一定となるように変動させて撮影する方法が開示されている。特許文献２（特開２０００−２２１１３７号公報）には、被検出物の品種により、撮像装置の撮像時間、投光器の強度を設定する方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平７−３１１１６１号公報
【特許文献２】特開２０００−２２１１３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
製鋼工程において鋳造されたスラブである板状体は、製品仕様によって板幅や板厚が異なる。製品仕様の違いによる板状体の板厚の違いは板幅の違いに比して小さい。そのため、製品仕様による撮像装置および投光器と板状体の上面との距離変動は小さい。よって、板状体の上面を撮像する場合には、撮像距離を一定とみなして、図６に示す表面疵撮影装置によって画像を均一の明るさに補正できる。
【０００６】
ところで、板状体の厚みを形成する側面についても表面疵を検査することが望まれている。製品仕様の違いによる板状体の板幅の違い（数メートル）は、板厚の違い（数センチメートル〜数十センチメートル）に比して大きい。そのため、製品仕様による撮像装置および投光器と板状体の側面との距離変動は大きく、板状体の照度は、投光器の仕様・配置および距離に応じて大きく変動する。その結果、撮像装置から板状体の側面までの撮像距離に応じて撮像装置の受光量を補正しなければ、製品の板幅によって撮像した板状体の側面の画像の明るさは不均一になる。
【０００７】
図６に示す表面疵撮影装置は、板状体の板幅方向の視野位置と撮像装置の受光量との関係を定めた視野位置対受光量補正テーブル６を有しているが、撮像距離と受光量との関係を定めた補正テーブルは有していない。そのため、図６に示す表面疵撮影装置は、製品に応じた撮像距離の変動に対応できず、撮像した板状体の側面の画像の明るさは製品の板幅毎に不均一になってしまう。
【０００８】
特許文献１にも、撮像距離に起因する明るさ変動分の調整機能は無く、大きな距離変動が生じた場合には距離に応じて画像に明暗が生じてしまう。さらに、走査型変位検出器が別途必要であるため装置がコスト増となり、機械的駆動部分が多くなるため保守箇所が増えてしまう。特許文献２にも、被検出物の距離変動に応じた明暗調整機能は無い。
【０００９】
この発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、板状体の側面の照度が撮像距離に応じて大きく変動する場合であっても、各撮像距離において撮像された画像を均一明度に補正できる板状体側面の表面疵撮影装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
第１の発明は、上記の目的を達成するため、板状体側面の表面疵撮影装置であって、
搬送される板状体の厚みを形成する側面を照らす投光器と、
前記側面の反射光を受光して撮像する撮像装置と、
前記撮像装置から前記側面までの撮像距離を取得する撮像距離取得部と、
撮像距離毎に前記撮像装置の受光量を定めた情報と、撮像距離によらない共通の基準受光量とを含む距離対受光量情報を記憶する記憶部と、
前記距離対受光量情報から前記撮像距離取得部により取得された対象撮像距離に応じた受光量を算出し、前記算出した受光量と前記基準受光量との乖離が大きいほど大きな補正量で、前記対象撮像距離において前記撮像装置が受光した受光量を補正して前記基準受光量に一致させる受光量調整部と、を備えることを特徴とする。
【００１１】
また、第２の発明は、第１の発明において、
前記撮像装置は、前記板状体に替えて設置された表面の反射特性が均一な基準板を複数のサンプル撮像距離で撮像し、
前記基準受光量は、前記複数のサンプル撮像距離における前記撮像装置の受光量を平均したサンプル撮像距離平均受光量であり、
前記距離対受光量情報は、前記複数のサンプル撮像距離において前記撮像装置が受光した受光量に基づいて、撮像距離と受光量との関係を定めた、前記投光器の数の２倍の次数の近似式を含み、
前記受光量調整部は、
前記近似式から前記撮像距離取得部により取得された対象撮像距離に応じた計算受光量を算出し、
前記サンプル撮像距離平均受光量を前記算出された計算受光量で除算して前記対象撮像距離に応じた撮像距離補正ゲインを算出し、
前記対象撮像距離において前記撮像装置が受光した受光量を、前記撮像距離補正ゲインを乗じて補正すること、を特徴とする。
【００１２】
また、第３の発明は、第２の発明において、
前記距離対受光量情報は、さらに、前記板状体の厚み方向に定めた複数の厚み方向位置のそれぞれについて定めた複数の近似式を含み、前記複数の近似式のそれぞれは、前記複数のサンプル撮像距離において前記撮像装置が受光した受光量に基づいて、撮像距離と受光量との関係を定めた、前記投光器の数の２倍の次数の近似式であり、
前記受光量調整部は、
前記複数の近似式のそれぞれについて、前記対象撮像距離に応じた計算受光量を算出し、
前記算出された複数の計算受光量に基づいて、前記対象撮像距離における厚み方向位置と受光量との関係を定めた第２の近似式を算出し、
前記算出された複数の計算受光量を平均して前記対象撮像距離における厚み方向平均受光量を算出し、
前記第２の近似式から所定の厚み方向位置に応じた計算受光量を算出し、
前記厚み方向平均受光量を前記所定の厚み方向位置に応じた計算受光量で除算して前記所定の厚み方向位置に応じた厚み方向補正ゲインを算出し、
前記対象撮像距離の前記所定の厚み方向位置において前記撮像装置が受光した受光量を、前記撮像距離補正ゲインおよび前記厚み方向補正ゲインを乗じて補正すること、を特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
第１の発明によれば、板状体の側面の照度が撮像距離に応じて大きく変動する場合であっても、各撮像距離において撮像された画像を均一明度に補正できる。撮像距離が異なっても、板状体の側面を撮像した画像を均一明度に補正できるため、板状体の側面の表面疵の検出精度や効率を高めることができる。
【００１４】
第２の発明によれば、撮像距離と受光量との関係を定めた、投光器の数の２倍の次数の近似式を用いる。この近似式を用いることで、任意の対象撮像距離における受光量を、精度高くサンプル撮像距離平均受光量に一致させることができる。
【００１５】
第３の発明によれば、撮像距離が異なっても、板状体の側面を撮像した画像を均一明度にすると共に、板状体１の厚み方向についても画像を均一明度に補正できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施の形態１における表面疵撮影装置の概念構成図である。
【図２】本発明の実施の形態１における表面疵撮影装置が有する２つのモードについて説明するための図である。
【図３】本発明の実施の形態１における距離対受光量情報１０の生成について説明するための図である。
【図４】本発明の実施の形態２における表面疵撮影装置が有する２つのモードについて説明するための図である。
【図５】本発明の実施の形態２における距離対受光量情報１０の生成について説明するための図である。
【図６】従来の表面疵撮影装置について説明するための図である。
【図７】従来の表面疵撮影装置における視野位置対受光量補正テーブル６について説明するための図である。
【図８】表面疵撮影装置が有する処理回路のハードウェア構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について詳細に説明する。尚、各図において共通する要素には、同一の符号を付して重複する説明を省略する。
【００１８】
実施の形態１．
＜実施の形態１のシステム構成＞
図１は、本発明の実施の形態１における表面疵撮影装置の概念構成図である。表面疵撮影装置は、被測定物体である板状体１の側面の表面疵の発見を容易にするために、板状体１の側面の表面を撮像した画像を均一明度に補正する機能を有する。
【００１９】
被測定物体である板状体１は、搬送設備により搬送される。例えば、板状体１は、鉄鋼製造設備の製鋼工程において鋳造された帯状の鋼板であり、長手方向に搬送される。板状体１は、製品仕様毎に板幅や板厚が異なる。製品仕様の違いによる板状体１の板幅の違い（数メートル）は、板厚の違い（数センチメートル〜数十センチメートル）に比して大きい。
【００２０】
撮像装置２は、板状体１の搬送方向に平行な側面の一部をその視野に含む位置に配置されている。撮像装置２は、板状体１の搬送方向に垂直な板厚方向にライン状（帯状）の視野を有する。
【００２１】
撮像装置２は、搬送される板状体１の側面を短周期で撮像し、その画像データを画像データ収集部４に送信する。短周期とは、撮像した画像データを繋げて板状体１の側面の全体画像を生成できる程度に短い周期である。画像データ収集部４は、撮像装置２から周期的に送信される画像データを収集し記憶する。
【００２２】
投光器３は、少なくとも板状体１の側面を照らす位置に配置されている。好ましくは、投光器３は複数配置され、図１には一例として２つの投光器３が描かれている。投光器３は、板状体１に光を照射し、撮像装置２は、板状体１からの反射光を受光する。
【００２３】
上述したように、製品仕様毎に板状体１の板幅は大きく異なる。そのため、製品仕様による撮像装置２および投光器３と板状体１の側面との距離変動は大きい。板状体１の照度は、投光器３の仕様・配置および距離に応じて大きく変動する。本実施の形態における表面疵撮影装置では、板状体１の側面の表面疵の発見を容易にするために、板状体１の側面を撮像した画像が撮像距離によらず均一明度になるように補正する。
【００２４】
距離対受光量情報１０は、撮像装置２から板状体１の側面までの撮像距離に応じて画像の明暗を是正するための情報である。距離対受光量情報１０は、撮像距離毎に撮像装置２の受光量を定めた情報を含む。この情報は撮像距離毎に撮像装置２の受光量を定めた関係式であってもよいしテーブルであってもよい。また、距離対受光量情報１０は、撮像距離によらない共通の基準受光量を含む。
【００２５】
撮像距離情報１１は、製品仕様毎に、撮像装置２から板状体１の側面まで撮像距離（以下、対象撮像距離と記す。）を定めた情報である。撮像距離情報１１は、上位計算機（図示省略）から取得した板状体１の板幅データと、予め定められた撮像装置２の位置データとに基づいて、表面疵撮影装置が備える撮像距離取得部（図示省略）により算出される。
【００２６】
距離対受光量調整部９は、距離対受光量情報１０と撮像距離情報１１とに基づいて、画像データ収集部４が収集した各周期の画像が撮像距離によらず均一明度になるよう補正する。そのために、距離対受光量調整部９は、距離対受光量情報１０から撮像距離取得部により取得された対象撮像距離に応じた受光量を算出し、算出した受光量と基準受光量との乖離が大きいほど大きな補正量で、対象撮像距離において撮像装置２が受光した受光量を補正して基準受光量に一致させる。
【００２７】
全体画像生成部７は、距離対受光量調整部９により撮像距離に起因した明暗が是正された画像を搬送方向に繋げることにより板状体１の側面の全体画像を生成する。表示装置８は生成された全体画像を表示する。
【００２８】
実施の形態１における表面疵撮影装置は、図１に示す構成に加えて、図２に示すモード切り替え部１３、距離別受光量算定部１４、距離対受光量情報生成部１５を備えている。
【００２９】
図２は、本発明の実施の形態１における表面疵撮影装置が有する２つのモードについて説明するための図である。表面疵撮影装置は、距離対受光量情報１０を生成する情報生成モードと、生成した距離対受光量情報１０を用いて搬送される板状体１の表面疵を撮影する操業モードと選択的に実行可能である。モード切り替え部１３は、外部信号を受けて情報生成モードと操業モードとを切り替え可能である。
【００３０】
（情報生成モード）
まず、情報生成モードについて説明する。情報生成モードでは、距離別受光量算定部１４、距離対受光量情報生成部１５を用いて距離対受光量情報１０を生成する。
【００３１】
情報作成モードでは、板状体１に替えて表面の反射特性が均一な基準板１２が用いられる。基準板１２の上下端には、上下端が識別できるよう一定パターンなどの目印ラインが付される。基準板１２は、撮像装置２から複数のサンプル撮像距離に設置される。一例として、図２にはサンプル撮像距離ｄ１〜ｄ５が描かれている。撮像装置２は、複数のサンプル撮像距離ｄ１〜ｄ５に設置された基準板１２を撮像する。画像データ収集部４は、撮像装置２から周期的に送信される画像データを収集し記憶する。
【００３２】
図３は、本発明の実施の形態１における距離対受光量情報１０の生成について説明するための図である。距離対受光量情報１０には、サンプル撮像距離平均受光量と、撮像距離と受光量との関係を定めた近似式が含まれる。
【００３３】
まず、サンプル撮像距離平均受光量について説明する。距離別受光量算定部１４は、各サンプル撮像距離において収集された画像データから、すべてのサンプル撮像距離における撮像装置２の受光量を平均したサンプル撮像距離平均受光量を算出する。具体的には、所定のサンプル撮像距離ｄでの基準板１２の上下端間の受光量の平均値をＡｖｅ２（ｄ）とする。すべてのサンプル撮像距離ｄ１〜ｄ５における受光量Ａｖｅ２（ｄ１）〜Ａｖｅ２（ｄ５）の平均値をサンプル撮像距離平均受光量Ａｖｅ３とする。なお、図３は一例であり、サンプル撮像距離の点数は５点に限定されるものではなく、複数であればよい。
【００３４】
次に、撮像距離と受光量との関係を定めた近似式について説明する。距離対受光量情報生成部１５は、複数のサンプル撮像距離ｄ１〜ｄ５において撮像装置２が受光した受光量Ａｖｅ２（ｄ１）〜Ａｖｅ２（ｄ５）に基づいて多項式近似を行い、撮像距離と受光量との関係を定めた近似式を生成する。近似式は、投光器３の台数の２倍の次数の多項式であり、近似曲線を示す近似式は、受光量ｈ、撮像距離ｄ、関数ｆを用いてｈ＝ｆ（ｄ）で表される。
【００３５】
（操業モード）
次に、操業モードについて説明する。操業モードは、製品仕様に応じた板状体１の表面疵を検査するモードである。操業モードでは、情報作成モードで生成された距離対受光量情報１０に基づいて、距離対受光量調整部９、全体画像生成部７、表示装置８を用いて画像を均一明度に補正し、画面に表示する。
【００３６】
距離対受光量調整部９は、まず、上述した近似式を用いて、上述した撮像距離取得部により取得された対象撮像距離（撮像装置２から板状体１の側面までの距離）に応じた計算受光量を算出する。次に、サンプル撮像距離平均受光量を算出された計算受光量で除算して対象撮像距離に応じた撮像距離補正ゲインを算出する。撮像距離補正ゲインは、撮像装置２が受光した実際の受光量をサンプル撮像距離平均受光量に一致させるための補正値である。
【００３７】
具体的には、対象撮像距離ｄｍにおける、上述した近似式ｆ（ｄｍ）と撮像距離補正ゲインＧａ（ｄｍ）とサンプル撮像距離平均受光量Ａｖｅ３との関係は式（１）で表される。式（１）より対象撮像距離ｄｍにおける撮像距離補正ゲインＧａ（ｄｍ）は、式（２）で表される。
【００３８】
【数１】
0006398950.tif 000002
【００３９】
次に、距離対受光量調整部９は、対象撮像距離ｄｍにおいて撮像装置２が受光した実際の受光量を、撮像距離補正ゲインＧａ（ｄ）を乗じて補正する。具体的には、対象撮像距離ｄｍ、厚み方向位置（ｋ）で撮像装置２が受光した測定受光量をｖ（ｄｍ・ｋ）として、補正後受光量Ｖ（ｄｍ・ｋ）を以下の式（３）より算出する。なお、本実施の形態では、厚み方向位置（ｋ）毎に異なる受光量補正は行われない。
【００４０】
【数２】
0006398950.tif 000003
【００４１】
以上説明したように、本発明の実施の形態１の構成によれば、製品仕様によって板状体１の板幅が大きく変動し、板状体１の側面の照度が撮像距離に応じて大きく変動する場合であっても、各撮像距離において撮像された画像を均一明度に補正できる。撮像距離が異なっても、板状体１の側面を撮像した画像を均一明度に補正できるため、板状体１の側面の表面疵の検出精度や効率を高めることができる。
【００４２】
また、撮像距離と受光量との関係を定めた、投光器の数の２倍の次数の近似式を用いることで、任意の対象撮像距離における受光量を、精度高くサンプル撮像距離平均受光量に一致させることができる。
【００４３】
実施の形態２．
次に、図４、図５を参照して本発明の実施の形態２について説明する。実施の形態２では、実施の形態１における対象撮像距離に応じた受光量の補正に加えて、対象撮像距離において板状体１の厚み方向（高さ方向）に生じる明るさ分布を考慮して、厚み方向の明度が均一になるように補正する。
【００４４】
図４は、本発明の実施の形態２における表面疵撮影装置が有する２つのモードについて説明するための図である。図４に示す構成は、距離対受光量調整部９が距離対受光量調整部９ａに、距離対受光量情報生成部１５が距離対受光量情報生成部１５ａに置き換えられている点を除いて図２に示す構成と同様である。図２と同様の構成については、同一の符号を付してその説明を省略または簡略する。
【００４５】
実施の形態１と同様に、表面疵撮影装置は、距離対受光量情報１０を生成する情報生成モードと、生成した距離対受光量情報１０を用いて搬送される板状体１の表面疵を撮影する操業モードと選択的に実行可能である。モード切り替え部１３は、外部信号を受けて情報生成モードと操業モードとを切り替え可能である。
【００４６】
（情報生成モード）
まず、情報生成モードについて説明する。情報生成モードでは、距離別受光量算定部１４、距離対受光量情報生成部１５ａを用いて距離対受光量情報１０を生成する。距離別受光量算定部１４については、実施の形態１と同様であるため説明は省略する。
【００４７】
距離対受光量情報生成部１５ａは、実施の形態１で述べた距離対受光量情報生成部１５の機能を含む。距離対受光量情報生成部１５ａは、さらに、板状体１の厚み方向に定めた複数の厚み方向位置のそれぞれについて定めた複数の近似式を生成する機能を備える。複数の近似式のそれぞれは、複数のサンプル撮像距離において撮像装置２が受光した受光量に基づいて撮像距離と受光量との関係を定めた、投光器３の数の２倍の次数の近似式である。
【００４８】
図５は、本発明の実施の形態２における距離対受光量情報１０の生成について説明するための図である。距離対受光量情報１０には、実施の形態１において距離別受光量算定部１４が算出したサンプル撮像距離平均受光量、距離対受光量情報生成部１５が生成した近似式に加えて、距離対受光量情報生成部１５ａに置いて生成される板状体１の複数の厚み方向位置（ｋ）のそれぞれについて定めた複数の近似式が含まれる。
【００４９】
距離対受光量情報生成部１５ａは、所定の厚み方向位置ｋにおいて各サンプル撮像距離で基準板１２を撮像した撮像装置２の受光量に基づいて、所定の厚み方向位置ｋにおける撮像距離ｄと受光量との関係を定めた近似式（式（４））を生成する。
【００５０】
【数３】
0006398950.tif 000004
【００５１】
図５に示す例では、距離対受光量情報生成部１５ａは、一定ピッチ毎の厚み方向位置ｋ１〜ｋｎのそれぞれについて近似式ｈ（ｄ・ｋ１）〜ｈ（ｄ・ｋｎ）を算出する。
【００５２】
（操業モード）
次に、操業モードについて説明する。操業モードは、製品仕様に応じた板状体１の表面疵を検査するモードである。操業モードでは、情報作成モードで生成された距離対受光量情報１０に基づいて、距離対受光量調整部９ａ、全体画像生成部７、表示装置８を用いて画像を均一明度に補正し、画面に表示する。
【００５３】
距離対受光量調整部９ａは、上述した実施の形態１の距離対受光量調整部９と同様の機能を含み、撮像距離取得部により取得された対象撮像距離ｄｍ（撮像装置２から板状体１の側面までの距離）に応じた撮像距離補正ゲインＧａ（ｄｍ）を算出する。
【００５４】
距離対受光量調整部９ａは、さらに、以下の機能を有する。距離対受光量調整部９ａは、まず、上述した複数の近似式ｈ（ｄ・ｋ１）〜ｈ（ｄ・ｋｎ）のそれぞれについて、対象撮像距離ｄｍにおける計算受光量Ｐｋ１（ｄｍ）〜Ｐｋｎ（ｄｍ）を算出する。さらに、距離対受光量調整部９ａは、各計算受光量Ｐｋ１（ｄｍ）〜Ｐｋｎ（ｄｍ）を平均して対象撮像距離ｄｍにおける厚み方向平均受光量Ａｖｅ４（ｄｍ）を算出する。
【００５５】
次に、距離対受光量調整部９ａは、各計算受光量Ｐｋ１（ｄｍ）〜Ｐｋｎ（ｄｍ）に基づいて多項式近似を行い、対象撮像距離ｄｍにおける所定の厚み方向位置ｋと受光量との関係を定めた第２の近似式（式（５））を算出する。
【００５６】
【数４】
0006398950.tif 000005
【００５７】
次に、距離対受光量調整部９ａは、所定の厚み方向位置ｋに応じた計算受光量を算出し、厚み方向平均受光量を所定の厚み方向位置ｋに応じた計算受光量で除算して前記所定の厚み方向位置に応じた厚み方向補正ゲインＧｂ（ｄｍ・ｋ）を算出する。対象撮像距離ｄｍの所定の厚み方向位置ｋにおける厚み方向補正ゲインＧｂ（ｄｍ・ｋ）は、式（６）で表される。
【００５８】
【数５】
0006398950.tif 000006
【００５９】
次に、距離対受光量調整部９ａは、対象撮像距離ｄｍの前記所定の厚み方向位置ｋにおいて撮像装置２が受光した測定受光量を、撮像距離補正ゲインＧａ（ｄｍ）および厚み方向補正ゲインＧｂ（ｄｍ・ｋ）を乗じて補正する。
【００６０】
具体的には、対象撮像距離ｄｍの厚み方向位置ｋにおいて撮像装置２が受光した測定受光量をｖ（ｄｍ・ｋ）として、補正後受光量Ｖ（ｄｍ・ｋ）を以下の式（７）より算出する。
【００６１】
【数６】
0006398950.tif 000007
【００６２】
以上説明したように、本発明の実施の形態２の構成によれば、実施の形態１と同様に、撮像距離が異なっても、板状体の側面を撮像した画像を均一明度に補正できる。加えて、各厚み方向位置ｋ１〜ｋｎについて式（７）を用いて測定受光量を補正することで、板状体１の厚み方向についても画像を均一明度に補正できる。
【００６３】
（ハードウェア構成例）
図８は、表面疵撮影装置が有する処理回路のハードウェア構成を示す図である。図２の符号４、７、９、１０、１１、１３、１４、１５および図４の符号９ａ、１５ａは、表面疵撮影装置が有する機能の一部を示し、各機能は処理回路により実現される。例えば、処理回路は、少なくとも１つのプロセッサ２１と少なくとも１つのメモリ２２とを備える。例えば、処理回路は、少なくとも１つの専用のハードウェア２３を備える。
【００６４】
処理回路がプロセッサ２１とメモリ２２とを備える場合、各機能は、ソフトウェア、ファームウェア、又はソフトウェアとファームウェアとの組み合わせにより実現される。ソフトウェアおよびファームウェアの少なくとも一方は、プログラムとして記述される。ソフトウェアおよびファームウェアの少なくとも一方は、メモリ２２に格納される。プロセッサ２１は、メモリ２２に記憶されたプログラムを読み出して実行することにより、各機能を実現する。プロセッサ２１は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）、中央処理装置、処理装置、演算装置、マイクロプロセッサ、マイクロコンピュータ、ＤＳＰともいう。例えば、メモリ２２は、ＲＡＭ、ＲＯＭ、フラッシュメモリ、ＥＰＲＯＭ、ＥＥＰＲＯＭ等の、不揮発性又は揮発性の半導体メモリ、磁気ディスク、フレキシブルディスク、光ディスク、コンパクトディスク、ミニディスク、ＤＶＤ等である。
【００６５】
処理回路が専用のハードウェア２３を備える場合、処理回路は、例えば、単一回路、複合回路、プログラム化したプロセッサ、並列プログラム化したプロセッサ、ＡＳＩＣ、ＦＰＧＡ、又はこれらを組み合わせたものである。例えば、各機能は、それぞれ処理回路で実現される。例えば、各機能は、まとめて処理回路で実現される。
【００６６】
また、各機能について、一部を専用のハードウェア２３で実現し、他部をソフトウェア又はファームウェアで実現してもよい。
【００６７】
このように、処理回路は、ハードウェア２３、ソフトウェア、ファームウェア、又はこれらの組み合わせによって各機能を実現する。
【００６８】
尚、上述した実施の形態１においては、メモリ２２が第１の発明における「記憶部」に、距離対受光量調整部９が第１および第２の発明における「受光量調整部」に、それぞれ相当している。また、上述した実施の形態２においては、距離対受光量調整部９ａが第３の発明における「受光量調整部」に相当している。
【符号の説明】
【００６９】
１  板状体
２、２ａ  撮像装置
３、３ａ  投光器
４  画像データ収集部
５  視野位置対受光量調整部
６  視野位置対受光量補正テーブル
７  全体画像生成部
８  表示装置
９、９ａ  距離対受光量調整部
１０  距離対受光量情報
１１  撮像距離情報
１２  基準板
１３  モード切り替え部
１４  距離別受光量算定部
１５、１５ａ距離対受光量情報生成部
２１  プロセッサ
２２  メモリ
２３  ハードウェア
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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