(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
短いコヒーレンス長光源又はブロードバンド光源と；前記光源からの光を試料の表面への測定経路に沿ってしかも基準表面への基準経路に沿って導く光導波器と；前記測定経路及び前記基準経路の一つに沿った光を波長分散する波長分散器と；前記試料表面からの光と前記基準表面からの光とを合成して、干渉パターン又はインターフェログラムを生成させる結合器と；前記干渉パターンの光度値を波長の関数として検出する検出器と；該検出した光度値から前記測定経路と前記基準経路とがバランスする波長を判定する判定器と；を備える干渉装置であって、前記波長分散器は、格子波長分散器、プリズム波長分散器、および光学分散媒体の少なくとも１つであり、
前記短いコヒーレンス長光源の波長範囲又は帯域幅の外側の波長の長いコヒーレンス長レーザ源を持つ移相干渉計を更に有し、前記干渉装置は、前記長いコヒーレンス長レーザ源からの光と前記短いコヒーレンス長光源からの光とを合成して、合成したビームを形成するための更なる結合器を持ち、前記導波器は、前記合成したビームを測定ビームと基準ビームとに分離するビームスプリッタと；前記測定ビームを前記試料の方へ導く対物レンズアセンブリと；前記長いコヒーレンス長レーザ源波長を第１の鏡へ、かつ前記短いコヒーレンス長光源の光を前記波長分散器を介して第２の鏡へ導くダイクロイックビーム分離器と；前記第１の鏡の位相をシフトするアクチュエータとを有し、前記干渉装置は、前記第１の鏡から反射された光と前記第２の鏡から反射された光が前記ダイクロイックビーム分離器で再合成されて、前記ビームスプリッタを通過するように構成されて、前記再合成したビームが前記試料から反射して戻ってきたそれらのそれぞれのビームと干渉するように前記結合器を提供し、更なるダイクロイックビームスプリッタは、長いコヒーレンス長干渉光を光検出器へ、かつ短いコヒーレンス長干渉光を前記導波器へ導くために提供されている、干渉装置。
【請求項２】
短いコヒーレンス長光源又はブロードバンド光源と；前記光源からの光を試料の表面への測定経路に沿ってしかも基準表面への基準経路に沿って導く光導波器と；前記測定経路及び前記基準経路の一つに沿った光を波長分散する波長分散器と；前記試料表面からの光と前記基準表面からの光とを合成して、干渉パターン又はインターフェログラムを生成させる結合器と；前記干渉パターンの光度値を波長の関数として検出する検出器と；該検出した光度値から前記測定経路と前記基準経路とがバランスする波長を判定する判定器と；を備える干渉装置であって、前記波長分散器は、格子波長分散器、プリズム波長分散器、および光学分散媒体の少なくとも１つであり、
長いコヒーレンス長レーザ源を持つヘテロダイン干渉計と、前記短いコヒーレンス長光源および前記長いコヒーレンス長レーザ源からの光を合成する結合器と、分離器とを更に備え、前記分離器は、前記合成したビームを前記試料へ導かれる測定ビームと基準ビームとに分割するビームスプリッタと；光を前記長いコヒーレンス長レーザ源の波長で、前記短いコヒーレンス長光源の光から前記波長分散器へ分離するダイクロイックビーム分離器と；前記光周波数をアップシフトして周波数偏移したビームを与える周波数変換器と；前記試料から戻る光を前記長いコヒーレンス長波長および短いコヒーレンス長波長に分離するダイクロイックビームスプリッタと；前記長いコヒーレンス長の光を、前記周波数偏移したビームと干渉して光検出器に入射する光学的に混合した周波数成分を含む干渉ビームを生成する、ビームスプリッタへ偏光する鏡と；光検出器の出力の位相変化を抽出する検出システムとを備える、干渉装置。
【請求項３】
前記周波数変換器は、２つの音響光学装置（ＡＯＤ）から成る、請求項２に記載の干渉装置。
【請求項４】
前記検出システムは、前記長いコヒーレンス長源の周波数と前記アップシフトされた周波数との間の差周波数を表す差周波数で信号を出力する低域通過フィルタと、前記差周波数で位相安定基準電気信号を発生する発生器と、前記基準電気信号を使用して、前記光検出器から得られた信号の前記位相変化を追跡し又はロックするように構成された位相感知検出器とを有する、請求項２又は３に記載の干渉装置。
【請求項５】
短いコヒーレンス長光源又はブロードバンド光源と；前記光源からの光を試料の表面への測定経路に沿ってしかも基準表面への基準経路に沿って導く光導波器と；前記短いコヒーレンス長光源からの光を一本の光ファイバに結合するファイバ光結合器と；該ファイバ光結合器に結合されて、前記光ファイバに存在する光を前記試料に合焦し又は平行にして、前記測定経路上に測定ビームを与える遠隔対物レンズアセンブリであって、前記光の一部分が前記光ファイバに沿って反射されて前記基準経路上に基準ビームを与えるような、部分的な反射表面を持つ、前記遠隔対物レンズアセンブリと；前記測定経路及び前記基準経路の一つに沿った光を波長分散する波長分散器と；前記試料表面からの光と前記基準表面からの光とを合成して、干渉パターン又はインターフェログラムを生成させる更なる結合器と；前記干渉パターンの光度値を波長の関数として検出する検出器と；該検出した光度値から前記測定経路と前記基準経路とがバランスする波長を判定する判定器と；を備える干渉装置であって、前記波長分散器は、格子波長分散器、プリズム波長分散器、および光学分散媒体の少なくとも１つである、干渉装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、干渉装置およびそのような装置を使用する試料特性判定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
高さ、形状、波形、粗さのような表面特性を判定することは、技術の多くの分野において、特に、マイクロ規模およびナノ規模の製造プロセスにおける品質制御および分析に対して重要である。表面特性を測定するために使用される技術は、トランスデューサを使用して、タッチペンを、そのタッチペンと表面との間の相対的な移動の間に特徴づけられる表面をたどるように、枢動可能な又は軸方向に移動可能なタッチペンの変位を判定する接触技術と、光学技術のような、例えば、移相干渉測定のような長いコヒーレンス長干渉技術のような干渉技術である、非接触技術とに分割される。非接触技術は、Chapter 14 of the second edition of “Optical Shop Testing” by Daniel Malacara ISBN 0-471-52232-5（非特許文献１）に記載されており、一連のインターフェログラムは、干渉計の基準位相が変化されときに記録され、それから位相抽出アルゴリズムが、相対的な表面高さに関連する実際の位相を判定するために使用され、又は、白光のような短いコヒーレンス干渉技術又は空間的にインコヒーレントな光源によって生成された干渉縞の振幅が試料表面と基準表面との間のゼロ経路のスキャン経路に沿った位置でピークに達し、それから急激に効果する事実を利用するブロードバンド走査干渉技術、それで、表面高さプロファイルを、試料表面の異なる表面要素又は表面画素に対するコヒーレンスピークのスキャン経路に沿った位置を判定することによって判定するのを可能とする。
【０００３】
白光走査干渉技術は、時間を費やすスキャン経路方向における試料表面と基準表面との間の相対的な移動を必要とし、かつそれ自身試験下の試料が静止していることを必要とする。移相干渉技術のような長いコヒーレンス干渉技術の範囲は制限される。何故なら、位相又は縞模様の不明確さ（２π不明確さ）の問題が起こるからである。
【０００４】
パーベル・パヴィリチェクとゲルド・ハウザー著entitled ”White-light interferometer with dispersion: an accurate fiber-optic sensor for the measurement of distance”, published in Applied Optics, Vol 44, No 15, 20 May 2005 at pages 2978-2983(非特許文献２)の論文は、ファイバ光学マイケルソン干渉計を記載しており、そこでは、８１５ナノメートル（ｎｍ）の中心波長を持つスーパールミネッセントダイオードは、試料（測定）及び基準アーム光ファイバへファイバカップラを介して入力光に結合されている。光ファイバマイケルソン干渉計の試料アームにおけるセンサヘッドは、試料アーム光ファイバからの光を試料表面上へ合焦し、試料アーム光ファイバによってファイバカップラへ戻された、走査された光を収集する、光学システムを含む。基準アーム光ファイバ内の光は、鏡によって、基準アーム光ファイバに戻るように反射され、光ファイバカプラへ戻され、ここで、基準および試料アーム光ファイバからの光が干渉する。基準アーム光ファイバは、試料アーム光ファイバよりも高い波長分散を持つ。それゆえに、基準アーム内の光は、故意に、色分散を受けやすい。これは、干渉計が波長従属光学経路を持ち、そのような各波長がゼロの光学経路差のポイントである、それ自身の個別の「バランス点」を持つ、ことを意味する。結果として生じるインターフェログラムのスペクトル分析は、このバランス点、従って、測定アーム経路の長さを判定するのを可能とする。この方法は、干渉計のある形態において、特に、縞トラッキング干渉計のような長いコヒーレンス長干渉計においてみられる、位相ラッピング（２π不明確さ）の問題のない、一義的な位置測定を提供する。しかしながら、全ての光ファイバマイケルソン干渉計が分離した基準ファイバアームと試料ファイバアームとを持たなければならないという要求は、干渉計がファイバ経路長ドリフトを受けやすく、特に、サブマイクロメータの測定に対して不安定になる、ことを意味する。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００５】
【非特許文献１】Chapter 14 of the second edition of “Optical Shop Testing” by Daniel Malacara ISBN 0-471-52232-5
【非特許文献２】パーベル・パヴィリチェクとゲルド・ハウザー著entitled ”White-light interferometer with dispersion: and accurate fiber-optic sensor for the measurement of distance”, published in Applied Optics, Vol 44, No 15, 20 May 2005 at pages 2978-2983
【非特許文献３】chapter 14 of the third edition of “Optical Shop Testing” edited by Daniel Malacara (ISBN 978-0-471-48404-2)
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一実施形態は、短いコヒーレンス長光源又はブロードバンド光源と；前記光源からの光を試料の表面への測定経路に沿ってしかも基準表面への基準経路に沿って導く光導波器と；前記測定経路及び前記基準経路の一つに沿った光を波長分散する波長分散器と；前記試料表面からの光と前記基準表面からの光とを合成して、干渉パターン又はインターフェログラムを生成させる結合器と；前記干渉パターンの光度値を波長の関数として検出する検出器と；該検出した光度値から前記測定経路と前記基準経路とがバランスする波長を判定する判定器と；を備える干渉装置であって、前記波長分散器は、格子波長分散器、プリズム波長分散器、および光学分散媒体の少なくとも１つである、干渉装置を提供する。
【０００７】
前記波長分散器は、２つの釣り合った透過格子から成ってよい。他の可能性として、前記波長分散器は、２つの釣り合った反射格子から成ってよい。
【０００８】
ここで使用される「光」は必ずしも可視光を意味しない。光は、赤外線の光又は紫外線の光であってよい。ここで使用される「ビーム」は、必ずしも連続ビームを意味せず、それは脈動されてもよく、さもなければ、振幅が変動してもよい。
【０００９】
本発明の実施形態を、例として、添付図面を参照して説明する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】波長分散器を持つ短いコヒーレンス長干渉計の概略図を示す。
【図２】実線において、波数に対する正規化した光度を、点線において、試料表面の表面画素又は表面要素からの光によって生成された干渉における、波数に対する位相差を示すグラフを示す。
【図３】波長分散器が、一対の釣り合った透過格子から成る、短いコヒーレンス長干渉装置の概略図を示す。
【図４】波長分散器が、一対の釣り合った反射格子から成る、短いコヒーレンス長干渉装置の概略図を示す。
【図５】光ファイバカップリングがプローブヘッドに備えられた、短いコヒーレンス長干渉装置の概略図を示す。
【図６】多重化光ファイバカップリングが多数のプローブヘッドに備えられた、短いコヒーレンス長干渉装置の概略図を示す。
【図７】長いコヒーレンス長位相シフト干渉計をも含む、干渉装置の概略図を示す。
【図８】長いコヒーレンス長ヘテロダイン干渉計をも含む、干渉装置の概略図である。
【図９】干渉装置によって使用されてよい、検出器の概略図を示す。
【図１０】干渉装置のデータ処理を提供するためにプログラムされてよい、計算装置の機能図を示す。
【図１１】試料特性判定装置のデータ処理および制御機能の機能図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
一般に図面を参照して、任意の機能ブロック図は、単に、装置内に存在する機能を示すために意図されており、機能ブロック図内に示される各ブロックが必ず個別又は分離した実体であることを意味していると理解すべきない。ブロックによって提供される機能は、個別でよく、又は、装置にわたって又は装置の一部にわたって分散されてよい。加えて、機能は、適切に、配線要素、ソフトウェア要素、又はファームウェア要素、又はそれらの任意の組み合わせを組み込んでよい。
【００１２】
ここで記述された干渉装置は、短いコヒーレンス長光源又はブロードバンド光源と；光源からの光を試料の表面への測定経路に沿ってしかも基準表面への基準経路に沿って導く光導波器と；基準経路に沿った光を波長分散する波長分散器と；試料表面からの光と基準表面からの光とを合成して、干渉パターンを生成させる結合器と；干渉パターンの光度値を波長の関数として検出する検出器と；この検出した光度値から測定経路と基準経路とがバランスする波長を判定する判定器と；を備え、波長分散器は、光ファイバ波長分散器でなく、および／または格子波長分散器、プリズム波長分散器、および光学分散媒体のリストから選択される。
【００１３】
基準経路すなわちアームにおいて波長又は色分散を引き起こすそのような波長分散器を備えることは、この短いコヒーレンス長干渉計（ＳＣＤＲＩ）が、波長従属光学経路を持ち、そのような各波長が、それ自身の別個のバランス点、すなわち、測定経路と基準経路との間の、ゼロ光学経路差の点を持つことを意味する。結果として生じるインターフェログラム又は干渉パターンのスペクトル分析は、このバランス点、従って、測定経路の長さを与えることができる。これは、２π不明確さなしで、すなわち、縞トラキング干渉計のような長いコヒーレンス長干渉計においてみられるような、位相ラッピング問題なしに、もし信頼が波長拡散を与える光ファイバ上で配置されたら起こるかもしれない、ファイバ経路長ドリフトを受けることなく、位置の測定を可能とする。そのような干渉計を、ここでは、短いコヒーレンス分散基準干渉計（ＳＣＤＲＩ）と呼ぶ。
【００１４】
また、そのような短いコヒーレンス分散基準干渉計を使用する試料特性に関する情報を判定するための装置をも記載している。そのような装置は、例として、変位測定および表面度量衡およびフィルム測定が可能であってよい。表面度量衡に対して、適切な対物レンズアセンブリ（プローブ）が、光を被測定表面上に（応用に依存して）合焦する又は平行にするために提供されてよい。それから、合焦された（平行にされた）ビームかまたは試料（被測定物）は、被測定物の表面度量衡を表す一組の測定点を抽出するために、測定経路方向、一般にはｚ方向）と直交する１つ以上の方向、一般にはｘ方向またはｙ方向に走査されてよい。この技術を使用する光学的な透明フィルムの厚さの分析がまた可能であってよい。
【００１５】
短いコヒーレンス長ブロードバンド光源の使用は、共通のファイバ経路技術を使用する安定した光ファイバをベースにした遠隔プローブの使用を可能とする。これは、干渉計の主要部分から遠隔に位置する光ファイバプローブを持つある実施の形態を可能とする。多数プローブが提供されてよく、例えば、光ファイバスイッチを使用する、時分割多重技術を使用する干渉計の主要部分に結合されてよい。
【００１６】
今から、短いコヒーレンス分散基準干渉計の動作原理について、他の型の干渉計が使用されてもよいが、干渉計が色彩的に分散された基準アーム内にビームを持つマイケルソン干渉計である場合を参照して説明する。例えば、Twyman-Green干渉計又はMach-Zehnder干渉計が、色分散を基準アームに加えることによって使用され得る。この記載は、多くの例示的な例によって理解されている。
【００１７】
図１は、短いコヒーレンス長光源又はブロードバンド光源Ｓと、ビームスプリッタＢＳと、それぞれ、測定経路ＭＰおよび基準経路ＲＰを提供する測定表面および基準表面を持つ測定アームおよび基準アームと、結合器として働くビームスプリッタで、測定経路に沿って戻ってくる光と基準経路に沿って戻ってくる光との間の干渉によって生成される干渉信号を検出する検出器Ｄ１と、を有する短いコヒーレンス分散基準干渉計の概略図を示す。短いコヒーレンス長光源又はブロードバンド光源Ｓは、例えば、スーパールミネッセントダイオード（ＳＬＤ）（またスーパールミネッセント発光ダイオード（ＳＬＥＤ）として知られている）又は例えば、ハロゲン光源であるろ過された白光源であってよい。検出器Ｄ１は、波長依存出力を提供する、スペクトロメータから成る。それゆえに、一例として、光は、その波長によって判定された位置で、スペクトロメータのセンサアレイに入射してよい。検出器Ｄ１の出力は、データプロセッサ１００へ供給されてよい。実際問題として測定表面は試験される試料（被測定物）の表面であるけれども、図１を参照したこの記述の目的のために、測定表面および基準表面は、鏡Ｍ１およびＭ２によって形成されている。
【００１８】
また、干渉計の基準アームは、一対の釣り合った透過回折格子Ｇ１およびＧ２として、図１において示されている波長分散器を含む。
【００１９】
ビームスプリッタＢＳから基準鏡Ｍ２へ伝わる光は、両方の回折格子Ｇ１およびＧ２を進み、鏡Ｍ２によって同じ経路に沿って反射され戻される。格子周期と動作波長との組み合わせに依存して、多数の回折次数が、各回折格子Ｇ１およびＧ２で現れる。この分析の目的のために、負の一次−１のみが回折格子Ｇ１から取られ、反対に、正の一次＋１が回折格子Ｇ２から取られる。回折格子Ｇ２の効果は、回折格子Ｇ１からの分散ビームを再平行にすることであり、任意の他の回折された次数は、ブロックされると仮定される。もし必要なら、必要な回折が、他の回折次数のブロッキングによって選択されてよく、それらは、格子上に、又は、適当なスリット又は開口を使用することによって、入射されない。測定経路および基準経路に沿って戻る光は、ビームスプリッタＢＳで再合成され、その結果として生じるインターフェログラムは、出力を提供する検出器Ｄ１によってスペクトル分析され、それから、その出力はデータプロセッサ１００によって処理されてよい。
【００２０】
任意の与えられた回折次数のために、回折角度θは、波長λで増加する。通常の入射の場合、sinθ＝ｍλ／Ｄである。ここで、ｍは回折の次数であり、Ｄは回折周期である。角波数ｋに関して、この関係は、次の数１となる。
【数１】
0006403682.tif 000002
【００２１】
２つの回折格子Ｇ１およびＧ２の間である、Ａ点およびＢ点の間の空気における波数依存光学経路ｒ（ｋ）は、次の数２となる。
【数２】
0006403682.tif 000003
ここで、ｌはＧ１とＧ２との間の垂直距離であり、第１の回折次数ｍ＝１のみが考慮される。
【００２２】
もしビームスプリッタＢＳと測定経路に沿ったある基準位置Ｃとの間の距離ｚが基準鏡Ｍ２からビームスプリッタＢＳの垂直変位に等しく設定され、かつ、この基準点Ｃから測定鏡Ｍ１の変位がｄとして規定されるなら、そのとき基準経路長Ｌｒ＝２［ｚ−ｌ＋ｒ（ｋ）］と測定経路長Ｌｍ＝２（ｚ＋ｄ）との間の光学経路差ＯＰＤは、次の数３で与えられる。
【数３】
0006403682.tif 000004
ここで、ｌ、ｚおよびｄは、光学経路長であって、屈折率が各場合において同になるように、同じ媒体を通るように取られる。
【００２３】
もし、回折パラメータと動作波長範囲が数３において因子Ｄｋ＞＞２πであり、かつ光源Ｓの帯域幅が中央の波数ｋｃに比較して小さいなら、ｒ（ｋ）の変化率は、対象領域上で一定であると考えられ得、それは、数２における線形近似を、
［外１］
0006403682.tif 000005
で置換することができる。ここで、ｋｃは源の中央波数であり、αは次の数４である。
【数４】
0006403682.tif 000006
【００２４】
全体として干渉計を考慮すると、位相差φ（ｋ）は、次の数５によって与えられる２次関数であり、
【数５】
0006403682.tif 000007
それゆえに、結果として生じるインターフェログラム光度は、次の数６によって与えられる。
【数６】
0006403682.tif 000008
ここで、Ｉ０（ｋ）は光源Ｓのスペクトラムであり、Ｖは干渉計のビジビリティコントラストである。
【００２５】
図２は、実線において、波数ｋに対する範囲０〜１内にあるように規格化された測定光度Ｉ（ｋ）を表す一例を示し、点線において、任意の単位における対応する位相差を示す。プロットされた位相関数は、干渉計がバランスされた、波数ｋνで頂点を持つ放物線を形成し、波数ｋνで、測定経路と基準経路との間の光学経路長差（ＯＰＤ）はゼロである。図２は、インターフェログラムが位相頂点すなわちピークで関連づけられた波数について対称であることを示している。
【００２６】
任意の与えられたＯＰＤに対して、干渉計は、単一の波数でのみバランスする。頂点での波数ｋνに対して数５を解き、測定鏡Ｍ１に関して再整理すると、変位ｄは、次の数７のＯＰＤをもたらす。
【数７】
0006403682.tif 000009
【００２７】
干渉計は、ｄ０＝ｒ（ｋｃ）＋αｋｃ−ｌのＯＰＤで起こる、ｋν＝ｋｃのとき、光源の中央波数でバランスする。したがって、この中央のバランスし波数に関連する測定アームの変位ｄｍは、次の数８である。
【数８】
0006403682.tif 000010
【００２８】
それゆえに、バランスの中央点の回りの測定経路方向に沿った（実際問題として、試料又は被測定物であるかもしれない）測定鏡Ｍ１の変位は、インターフェログラムの対称点が起こる波数を判定することによって、間違いなく監視されてよい。波数と変位との間の関係は、数４において規定されるような、係数αと関連づけられたパラメータを変更することによって有効にスケール変更されてよい。
【００２９】
したがって、上述した原理に従って動作する短いコヒーレンス長干渉計は、対称点で波数を判定することによって絶対変位測定システムを生成することができる。対称点は、自己畳み込み（autoconvolution）又は等価演算のような任意の適切なピーク発見演算を使用してデータプロセッサ１００によって計算され得、ピーク値は、対称点と関連している。
【００３０】
図３は、短いコヒーレンス分散基準干渉装置１の概略図を示し、図１の測定鏡Ｍ１が試料ＳＡと取り替えられ、点線によって簡単に示される、対物レンズアセンブリ（光学プローブ）Ｐが試料又は被測定物ＳＡ上に、その応用にふさわしいように、光を合焦し又は平行にするために備えられる。
【００３１】
短いコヒーレンス長光源Ｓからの光は、ビームスプリッタＢＳによって、２つのアーム、すなわち、測定経路ＭＰおよび基準経路ＲＰに沿って導かれる。上述したように、負の一次−１は、回折格子Ｇ１から取られ、正の一次＋１は、回折格子Ｇ１からの分散ビームを再平行にする、回折格子Ｇ２から取られる。測定経路および基準経路に沿って戻る光は、ビームスプリッタＢＳで再合成され、その結果として生じるインターフェログラムは、出力を提供する検出器Ｄ１によってスペクトル分析され、その出力はそれからデータプロセッサ１００によって処理されてよい。
【００３２】
図４は、図３に示されたのと同様の短いコヒーレンス分散基準干渉装置１ａの概略図を示すが、波長分散器が、基準アームにおける２つの釣り合った反射格子Ｇ’１、Ｇ’２によって提供されている。反射格子の使用は、短い経路長で高い効率でより高い分散を提供するかもしれない。何故なら、より高い溝密度が、透過格子とは対照的に反射格子で可能だからである。
【００３３】
図３に示される例においてのように、短いコヒーレンス長光源Ｓは、ビームスプリッタＢＳによって干渉計の２つのアーム、すなわち、測定経路ＭＰおよび基準経路ＲＰに沿って導かれる。この例において、第１の回折次数は、反射格子Ｇ’１から取られ、それによって必要な分散を生成し、等価な回折次数は、反射格子Ｇ’２によって取られ、そこで鏡Ｍ２による反射のビームを再平行にする。測定経路ＭＰおよび基準経路ＲＰに沿って戻る光は、ビームスプリッタＢＳで再び合成され、その結果として生じるインターフェログラムは、出力を提供する検出器Ｄ１によってスペクトル分析され、その出力はそれからデータプロセッサ１００によって処理されてよい。
【００３４】
図３および図４に示された例において、対物レンズアセンブリ（光学プローブ）Ｐは、干渉装置にローカルである。他の可能性として、対物レンズアセンブリ（光学プローブ）は、干渉装置の残りの部分から離れて、光カップリングによって、干渉装置の残りの部分に結合されてよい。
【００３５】
図５は、光ファイバカップリングによって干渉計の残りの部分に結合された、遠隔対物レンズアセンブリ（光学プローブ）Ｐを持つ、短いコヒーレンス分散基準干渉装置の一例を示す。
【００３６】
図５に示される例において、短いコヒーレンス長光源Ｓからの光は、遠隔対物レンズアセンブリ（光学プローブ）Ｐに結合された一本の光ファイバＦに結合されたファイバ光結合器Ｃのアームに結合されている。結合器Ｃは、方向性カップラ、サーキュレータ、又は他の適当なファイバ構成要素の形態をとってよい。
【００３７】
プローブＰは、光ファイバＦに存在する光を試料すなわち被測定物ＳＡ上に合焦し又は平行にして、測定ビームを提供する。プローブＰは、光を測定ビームおよび基準ビームに分割するビームスプリッタを提供する部分的な反射表面を持ち、そのため、基準ビームは、試料ＳＡ上に落ちずに、光ファイバＦに反射して戻る、光の一部分によって提供される。この部分反射率は、フレネル反射によって達成されてよく、プローブの前方表面／空気境界で、或いは光ファイバ端からの光ファイバ／空気境界で、光をプローブＰに提供する。この部分反射率は、もし必要なら、適当な光コーティングの使用によって強化され得る。他の可能性として、部分的な反射表面は、プローブのレンズアセンブリの前方に置かれた分離要素か、又は、レンズアセンブリ内のコーティングされてない／部分反射コートされた表面で提供されてよい。簡単な理由から、コートされた要素は、被測定物ＳＡに最も近い要素であってよい。図５において点線で示された要素ＣＯは、分離要素又はコーティングされてない／部分反射コートされた表面を表している。
【００３８】
この例において、光経路の少なくとも部分を提供するための光ファイバの使用は可能である。何故なら、光ファイバを通る経路は、基準経路および測定経路に共通であり、Ｐ点での部分的に反射する表面と試料ＳＡとの間の距離は、短いコヒーレンス長光源Ｓのコヒーレンス長よりも長く、そのため、測定ビームと基準ビームとは、コヒーレントに干渉することなく、光ファイバを通って戻り伝播する。この伝播の間中、測定ビームおよび基準ビームの両方は、温度変化又は振動のような環境外乱を通してファイバの任意の外乱から結果として生じる同じ位相変化を受けるだろう。
【００３９】
対物レンズアセンブリ（光学プローブ）Ｐは、例えば、バルク光対物レンズアセンブリ又はグレーデッドインデックス光ファイバコリメータ又はグレーデッドインデックス光ファイバ合焦器であってよい。他の可能性として、プローブは、バルク光ファイバコリメータ／合焦器であってよい。他の可能な型のファイバプローブは、溶解ボールレンズと溶解先細ファイバプローブを含む。オプションとして、プローブＰは、測定ビームが一本のファイバにある角度又は角度範囲で存在するのを可能とするように構成されてよく、例えば、プローブは、ビームがファイバに垂直に入力するために存在する、サイド焼成プローブであってよく、例えば、ボーリング穴のような高いアスペクト比の壁上の、難アクセス領域で行われる測定を可能とする。
【００４０】
カップラＣに再び入ると、基準ビームおよび測定ビームの一部は、ファイバコリメータＦＣに伝播し、それは自由空間に平行され、ビームスプリッタＢＳに入射する。ビームスプリッタＢＳは、光を、それぞれの鏡Ｍ３およびＭ４によって終端される２つの経路に分割され、それゆえに、干渉計を形成する。干渉計の基準アームは、波長分散器ＤＰを含み、それを通って伝播する光を色分散させる。波長分散器ＤＰは、ここで述べた任意の形態を持って良く、例えば、上述した、釣り合った反射格子又は釣り合った透過格子でよい。２つの干渉計アームは、それらがプローブＰから伝わる測定ビーム成分および基準ビーム成分にコヒーレント干渉をもたらすように、アンバランスである。結果として生じるインターフェログラムは、出力を提供する検出器Ｄ１によってスペクトル分析され、その出力は、それから、データプロセッサ１００によって処理されてよい。
【００４１】
図６は、もしファイバ光カップラＣが１×Ｎファイバ光スイッチＦＳを通って時分割多重されているときに、図５に示された短いコヒーレンス分散基準干渉装置がどのように多重光学プローブに拡張されるかを示す。これは、干渉装置を、ファイバ光スイッチ出力間を高速で連続的に切り替えることによって、Ｐ１〜ＰＮでラベルしたＮ個の光学プローブに送るのを可能にする。この方法において、幾つかの試料ＳＡ１〜ＳＡＮ、又は単一の試料ＳＡの幾つかの点が測定され得る。
【００４２】
上述した装置の実施の形態は、高分解能測定の抽出を可能とする。高分解能測定を達成する他の方法を、図７および図８を参照して、以下に説明する。
【００４３】
短いコヒーレンス分散基準干渉装置は、変位および表面特徴の測定ための高分解能測定を提供するために、第２の干渉装置と多重化されてよい。第２の干渉装置は、高分解能測定を提供することができるが、縞模様次数の不明確さにより引き起こされた位相不明確さのために制限された範囲を持つ、長いコヒーレンス長源干渉計であってよい。この高分解能の第２の干渉計は、例えば、ホモダイン位相シフト干渉計又はヘテロダイン干渉計であってよく、位相ラッピングが起こる前に、光源波長の半分の範囲に制限される。この例において、短いコヒーレンス分散基準干渉装置は、縞模様次数弁別器として使用され、すなわち、どこかの縞模様次数の位置を正確に特定するために、長いコヒーレンス長干渉計がそのものに作用し、それによって、表面特徴の段階の高い変化や重大な形状のような不連続を持つ試料が測定されるところでさえ、大きい範囲（多数の縞模様次数）上で高分解能装置を動作させることが可能である。
【００４４】
図７は、そのような結合した装置の一例を示す。この例において、高分解能干渉計は、短いコヒーレンス分散基準干渉計の短いコヒーレンス長光源Ｓ２の波長範囲又は帯域幅の外側の波長の長いコヒーレンス長レーザ源Ｓ１を持つ、位相シフトホモダイン干渉計である。例えば、短いコヒーレンス長光源Ｓ２は８１７〜８３７ｎｍ（ナノメートル）の波長範囲をもってよく、長いコヒーレンス光源Ｓ１は６３３ｎｍの波長をもってよい。
【００４５】
長いコヒーレンス長レーザ源Ｓ１からの光と短いコヒーレンス長光源Ｓ２からの光は、結合器Ｃ（それは、例えば、反射鏡、ダイクロイックミラー、又はビームスプリッタであってよいが）によって合成されて、単一のビームを形成し、その単一のビームは、それから、ビームスプリッタＢＳによって２つの干渉計アームへ分離される。測定ビームは、応用に依存して、上述したように、プローブＰによって試料ＳＡ上に、合焦し又は平行にされる。基準ビームは、ダイクロイックビーム分離器ＢＳ２へ伝わり、ダイクロイックビーム分離器ＢＳ２は、光を、長いコヒーレンス長レーザ源の波長で、短いコヒーレント長光源の光から分離する。短いコヒーレンス長光源の光は、波長分散器ＤＰを通って伝わり、鏡Ｍ６によって反射される。長いコヒーレンス長光源の光は、鏡Ｍ５へ伝播し、その鏡Ｍ５は、波形又は関数発生器ＦＧによって駆動されるアクチュエータＡによって移動される。アクチュエータＡは、例えば、圧電素子又は超小型モータであってよい。鏡Ｍ５とアクチュエータＡとの組み合わせは、長いコヒーレンス長干渉計が位相シフト干渉計を形成するような、位相シフタとして働く。位相シフト干渉計は、chapter 14 of the third edition of “Optical Shop Testing” edited by Daniel Malacara (ISBN 978-0-471-48404-2)（非特許文献３）において論じられている。鏡Ｍ５とアクチュエータＡとの組み合わせは、適当なコントローラ又はドライバと一緒に、回転半波長偏光子、移動回折格子、電気光学位相シフタ、又は音響光学位相シフタのような位相シフトを達成するための任意の適当な機構によって取り換えられることができる。
【００４６】
それぞれ鏡Ｍ５およびＭ６から反射された光ビームは、ダイクロイックビーム分離器ＢＳ２で再合成され、ビームスプリッタＢＳを通過し、ここで、それらは、試料ＳＡから反射して戻ってきたそれらの各ビームと干渉する。結果として生じる干渉は、ダイクロイックビームスプリッタＢＳ３を通過し、ここで、それらは再び、フォトダイオードのような速い検出器Ｄ２によって受光される長いコヒーレンス長干渉ビームと、スペクトル分析検出器Ｄ１によってスペクトル分析されることによって受光される短いコヒーレンス長干渉ビームとに分離される。スペクトル分析検出器Ｄ１は、上述した検出器Ｄ１と同じであってよい。検出器Ｄ１およびＤ２の出力は、データプロセッサ１００に供給される。
【００４７】
速い検出器Ｄ２は、位相がシフトされた干渉ビームの光度を監視するように働く。データプロセッサ１００は、位相がシフトされた干渉ビームの光度を記録し、記録した光度を処理して、プローブＰからの試料表面の距離に関連する位相値を判定する。任意の位相シフトアルゴリズムが使用されてよく、例えば、第５７４〜５８０頁で論じられているシュワイダー・ハリハラン又はカリエのような、chapter 14 of the third edition of “Optical Shop Testing” edited by Daniel Malacara (ISBN 978-0-471-48404-2)（非特許文献３）において論じられている、任意の位相シフトアルゴリズムを使用してよい。
【００４８】
スペクトル分析検出器Ｄ１は、例えば、図１および図２に関連して上で略述したような、プローブＰからの試料の距離を確実に判定するように働く。干渉計は、上記数４に従ってスケールされ、すなわち、分散干渉計は、長いコヒーレンス長光源Ｓ１の波長の半分より小さい解像度を提供するようにセットアップされ又は調整され、そのため、長いコヒーレンス長干渉計の縞模様次数が決定され得る。
【００４９】
図８は、ヘテロダイン法が、長いコヒーレンス長干渉計の位相を解決するために使用された、結合した装置の他の例を示す。
【００５０】
図８に示されるように、長いコヒーレンス長レーザ源Ｓ１からの光と、短いコヒーレンス長光源Ｓ２からの光とは、結合器Ｃ（それは、例えば、反射鏡、ダイクロイックミラー、又はビームスプリッタであってよいが）によって合成されて、単一のビームを形成し、その単一のビームは、それから、ビームスプリッタＢＳによって、２つの干渉計アームに分離される。測定ビームは、応用に依存して、プローブＰによって、試料ＳＡ上に合焦又は平行にされる。基準ビームは、ダイクロイックビーム分離器ＢＳ２へ伝わり、ダイクロイックビーム分離器ＢＳ２は、光を、長いコヒーレンス長レーザ源の波長で短いコヒーレンス長光源の光から分離する。
【００５１】
ダイクロイックビームスプリッタＢＳ２で短いコヒーレンス長ビームから分離された長いコヒーレンス長ビームは、光周波数をアップシフトする一対の音響光学デフレクタ（ＡＯＤｓ）ＡＯＤ１およびＡＯＤ２を通過し、光学プローブＰを介して試料ＳＡ上に入射するベース光周波数ビームとヘテロダインするのを可能とする。詳細に述べると、このビームの光周波数は、第１の波形又は関数発生器ＦＧ１によってＡＯＤ１に印加される周波数ｆ１によってダウンシフトされ、ＡＯＤ１からの負の第一次回折ビームは、ＡＯＤ２を通過し、ＡＯＤの開口はすべての背景をぼかすためにスリットとして有効に働くが、必要な回折ビームであり、第２の波形又は関数発生器ＦＧ２によってＡＯＤ２に印加された周波数ｆ２によってアップシフトされ、正の第一次が選択される。したがって、ＡＯＤ２に存在する結果として生じるビームの全体の周波数シフトはｆ２−ｆ１である。試料ＳＡから戻る光は、ダイクロイックビームスプリッタＢＳ３によって長いコヒーレンス長波長と短いコヒーレンス長波長とに分離され、長いコヒーレンス長の光は、鏡Ｍ７によってビームスプリッタＢＳ４の方へ反射され、そのビームスプリッタＢＳ４で、周波数シフトビームと干渉する。光学的に混合した周波数成分を含む干渉ビームは、フォトダイオード検出器Ｄ３に入射する。フォトダイオード検出器Ｄ３の電気的出力は、低域通過フィルタＬＰＦ１を通過し、この低域通過フィルタＬＰＦ１は、光学的プローブＰから試料ＳＡ表面の距離に依存する位相を持つｆ２−ｆ１の差周波数の信号を出力する。位相安定基準信号は、混合器Ｍにおいて、それぞれ、波形又は関数発生器ＦＧ１およびＦＧ２によって提供される周波数ｆ２およびｆ１の信号を電気的に混合することによって生成され、それから、その出力を低域通過フィルタＬＰＦ２を通過させて、差周波数ｆ２−ｆ１のみを抽出する。この電気的に生成された差周波数信号は、位相感度検出器又はロックイン増幅器ＬＩＡに基準信号として入力し、このロックイン増幅器ＬＩＡは、フォトダイオード検出器Ｄ３から得られる信号の位相変化を追跡またはロックする。ロックイン増幅器ＬＩＡは、位相信号出力をデータプロセッサ１００へ提供してもよい。この位相は、光学的プローブＰからの試料表面の距離に関連する。
【００５２】
短いコヒーレンス長光源の光は、波長分散器ＤＰを通って伝わり、鏡Ｍ８によって反射されてビームスプリッタＢＳ２に戻り、それからビームスプリッタＢＳに戻り、ここで、試料から反射された短いコヒーレンス長光源の光と干渉する。短いコヒーレンス長光源の光干渉は、ビームスプリッタＢＳ３によって検出器Ｄ１へ通過され、その出力は、データプロセッサ１００へ通過されてよい。短いコヒーレンス長干渉計は、再び、縞模様次数を判定するために使用される。
【００５３】
任意の適当なスペクトロメータ、スペクトロフォトメータ又はスペクトルグラフ又はモノクロメータが、検出器Ｄ１として使用されることができる。一例が図９に図示されている。この例において、検出器Ｄ１は、格子Ｇ、平行球面鏡ＳＭ、および異なる波長（それぞれ、破線、点線、および実線で示されたλ、λ’およびλ＋λ’）を持つ線形感知要素アレイＣＤ（例えば、ＣＣＤセンサアレイまたはＣＭＯＳセンサアレイ）から成るスペクトロメータであり、異なる波長はアレイＣＤの異なる感知要素上に入射し、そのため、光学的スペクトルグラフが、そのアレイを横切る干渉計に存在するブロードバンド光を線形に分散することによって提供され、それから、電子的インターフェイスによって読み出され、データ入力をデータプロセッサ１００へ提供する。このスペクトロメータの任意の変形が好適であり、例えば、Czerny-Tumerモノクロメータ又はFastie-Ebertモノクロメータが使用されてよい。
【００５４】
図１０は、データプロセッサ１００を提供してもよいコンピューティング装置の簡略化したブロック図を示す。このコンピューティング装置は、例えば、ＰＣ又は他の汎用コンピューティング装置であってよい。示されるように、コンピューティング装置は、メモリ２６（ＲＯＭおよび／またはＲＡＭ）と連結されたプロセッサ２５と、ハードディスクドライブのような大容量記憶装置２７と、フロッピー（登録商標）ディスク、ＣＤＲＯＭ、ＤＶＤ、サムドライブまたはＵＳＢまたはメモリスティックのようなリムーバブル媒体ＲＭ２９を受け入れるリムーバブル媒体ドライブＲＭＤ２８と、ユーザインターフェイス２１と、通信インターフェイスＣＯＭＭＳ３０とを有する。ユーザインターフェイス２１は、例えば、キーボード３１ａおよびポインティングデバイス３１ｂから成るユーザ入力装置と、この例において、ＣＲＴやＬＣＤディスプレイ３６ａのようなディスプレイおよびプリンタ３６ｂから成るユーザ出力装置とからなってよい。通信インターフェイス３０は、本コンピューティング装置が、ローカルエリアネットワークＬＡＮ、ワイドエリアネットワークＷＡＮ、イントラネット又はインターネット上の他のコンピューティング装置と通信可能な、モデム又はネットワークカードであってよい。
【００５５】
プロセッサ２５は、例えば、次の方法の１つ以上によって必要な機能を提供するようにプログラムされてよい。
１．メモリ２６の不揮発性部分又は大容量記憶装置２７のプログラム命令および任意の関連するデータをプリインストールすることによって、
２．リムーバブル媒体ドライブ２８内に受け入れられたリムーバブル媒体２９からプログラム命令および任意の関連するデータをダウンロードすることによって、
３．通信インターフェイス３０を介して他のコンピューティング装置から供給された信号ＳＧとしてプログラム命令および任意の関連するデータをダウンロードすることによって、および
４．ユーザインターフェイスのユーザ入力装置を使用することによって。
【００５６】
また、コンピューティング装置（又はこのコンピューティング装置と通信する異なるコンピューティング装置）は、適切なインターフェイスを介して、上述した光源、アクチュエータ、および関数発生器のような干渉装置の構成要素の動作を制御するように働いてよい。プログラム命令によってプログラムされたとき、コンピューティング装置は、ユーザインターフェイスを介してユーザによって受け取った命令に従って制御される測定動作を可能としてよく、および／またはユーザに分析された測定結果および表示された分析結果を可能としてよい。
【００５７】
他の可能性として、データ処理および制御は、ＤＳＰまたはマイクロコントローラのみまたは任意の適切な組み合わせを使用して任意の適切な方法によって実行されてよい。制御は、ハードワイヤードされ、又は状況や必要に依存してソフトウェア駆動されてよい。
【００５８】
図１１は、データ処理および制御機能が提供されてよい１つの方法を図示するブロック図である。図１１において簡単明解にするために、干渉装置は、示される検出器Ｄ１と長いコヒーレンス長検出システム１００（図８において示されるＤ２又は要素の組み合わせ）のみを持つブロック１０００として簡単に示されている。長いコヒーレンス長源検出システムは、想像線において、それが存在しないかも知れないことを図示するように示されている。
【００５９】
この例において、試料又は非測定物ＳＡは、試料支持体１０１上に支持され、その試料支持体１０１は、それぞれのドライバ１０２ｘおよび１０２ｙによって図１１におけるｘ方向およびｙ方向の少なくとも１つに移動可能で、異なる表面画素（すなわち、干渉計によって映像化される試料表面の領域）を干渉装置によって試験されるのを可能とする。試料支持体は、また、例えば、位置決め目的のために、ｚドライバ１０２ｚによってｚ方向に移動可能であってよい。ドライバの各々は、データ処理及び制御システムの一般的なコントローラ１０４へ出力を提供する、対応するデータロガー１０３ｘ、１０３ｙ、１０３ｚと関連づけられ、決定されるべき干渉装置によって試験される異なる表面画素の相対的なｘおよびｙ（およびもしかするとｚ）位置の決定を可能とする。
【００６０】
データ処理及び制御システムは、図１０を参照して述べたようなのでよいユーザインターフェイス１０５を持ち、ユーザが、干渉装置の動作を制御するための入力命令を可能とし、出力データを見るのを可能とするために使用されてよい。
【００６１】
データプロセッサ１００は、この例においては、スペクトル分析検出器Ｄ１の出力を受信する信号受信機１１０と、例えば、自己相関アルゴリズム又は他の適当なピーク発見アルゴリズムを使用することによって、図１および図２を参照して上述したような中央波数を判定するための中央波数判定器１１１とを有する。試料特徴判定器１１２は、判定した中央波数と適切なデータロガーの出力とを使用して試料特徴を判定するために提供される。例えば、表面プロフィールすなわち二次元表面的特徴は、試料支持体がｘ方向および／またはｙ方向に移動したときに試験される異なる表面画素に対して判定された中央波数から判定されてよい。
【００６２】
また干渉装置が長いコヒーレンス長干渉計を含む場合、データ処理装置は、長いコヒーレンス長データ受信機１１３と長いコヒーレンス長プロセッサ１１４とを含み、長いコヒーレンス長プロセッサ１１４は、例えば、図７に示される干渉装置の場合における位相シフトアルゴリズムを使用して長いコヒーレンス長データを処理する。この場合、試料特徴判定器１１２は、位相又は縞模様次数からあいまいさを除くために中央波数判定器１１１の出力を使用する。
【００６３】
上述したように試料支持体は移動可能であるけれども、干渉装置、特に、プローブヘッドが分離しているか又は試料支持体と干渉装置との間の相対的な移動をもたらすなら、プローブヘッドを移動するようにしてもよいことが分かる。勿論、ドライバ１０２およびそれらの対応するデータロガー１０３のすべてが提供されなくてもよいことが分かる。一例として、表面プロフィールを生成するのを可能とするために、単一のドライバ１０２ｘと対応するデータロガー１０３ｘとがあってよい。
【００６４】
マイケルソン干渉計を上述したが、他の適切な干渉計を使用してもよい。また特定の回折次数を上述したが、他の任意の適切な回折次数を使用してもよい。ある例において、高い次数の回折ビームは、増加した光学的損失を伴うけれども、より色分散を提供するときに好都合かもしれない。上述したように、波長分散は基準経路上に提供される。他の可能性として、波長分散は、プローブとビームスプリッタＢＳとの間の、測定アームに適用されてもよい。
【００６５】
上述した格子、透過又は反射（図４参照）のいずれにせよ、は、存在するビーム（反射鏡に入射する）が平行となるように同一とすべきである。他の可能性として、単一の格子が、反射鏡に入射する前に、ビームを分散し平行するための球面鏡が続くことによって使用されてよい。
【００６６】
上述したように、ｌ、ｚおよびｄはすべて、同じ媒体を通る光学経路であるが、結果的には、経路は異なる媒体を通ってもよく、そのとき、光学的経路長の判定においてそれらの各屈折率を考慮に入れる必要があるだろう。
【００６７】
任意の一例に関連して述べた任意の特徴は、１つのみで使用されるか、又は、述べた他の特徴と組み合わせて使用されてよく、また、任意の他の例の１つ以上の特徴と組み合わせて使用されてよく、又は任意の他の例に任意に組み合わせて使用されてよいと理解されたい。更に、上述していない均等物や設計変更は、また、特許請求の範囲に述べられた発明の範囲を逸脱せずに、用いられてよい。ここで使用している用語「有する」は、必ずしももっぱらのみから成ることを意味せず、他の機能や構成要素を含む装置の可能性を含むことが分かるだろう。
【符号の説明】
【００６８】
Ｓ      短いコヒーレンス長光源又はブロードバンド光源
Ｓ１      長いコヒーレンス長レーザ源
Ｓ２      短いコヒーレンス長光源
ＢＳ      ビームスプリッタ
ＢＳ２      ダイクロイックビーム分離器
ＢＳ３      ダイクロイックビームスプリッタ
ＢＳ４      ビームスプリッタ
ＭＰ      測定経路
ＲＰ      基準経路
Ｄ１      検出器（スペクトル分析検出器）
Ｄ２      速い検出器
Ｄ３      フォトダイオード検出器
Ｍ１〜Ｍ８      鏡
Ｇ１、Ｇ２      透過回折格子
ＳＡ、ＳＡ１〜ＳＡＮ      試料（被測定物）
Ｐ、Ｐ１〜ＰＮ      対物レンズアセンブリ（光学的プローブ）
Ｇ’１〜Ｇ’２      反射格子
Ｃ      ファイバ光結合器（カップラ）
Ｆ      光ファイバ
ＦＣ      ファイバコリメータ
ＤＰ      波長分散器
ＦＳ      １×Ｎファイバ光スイッチ
Ａ      アクチュエータ
ＦＧ、ＦＧ１、ＦＧ２      波形又は関数発生器
ＡＯＤ１、ＡＯＤ２    音響光学デフレクタ
ＬＰＦ１、ＬＰＦ２    低域通過フィルタ
Ｍ      混合器
ＬＩＡ      ロックイン増幅器
Ｇ      格子
ＳＭ      平行球面鏡
ＣＤ      線形感知要素アレイ
１、１ａ      短いコヒーレンス分散基準干渉装置
２１      ユーザインターフェイス
２５      プロセッサ
２６      メモリ
２７      大容量記憶装置
２８      リムーバブル媒体ドライブ（ＲＭＤ）
２９      リムーバブル媒体（ＲＭ）
３０      通信インターフェイス
３１ａ    キーボード
３１ｂ    ポインティングデバイス
３６ａ    ディスプレイ
３６ｂ    プリンタ
１００      データプロセッサ
１０１      試料支持体
１０２ｘ、１０２ｙ、１０２ｚ    ドライバ
１０３ｘ、１０３ｙ、１０３ｚ    データロガー
１０４    一般的なコントローラ
１０５    ユーザインターフェイス
１１０    信号受信機
１１１    中央波数判定器
１１２    試料特徴判定器
１１３    長いコヒーレンス長データ受信機
１１４    長いコヒーレンス長プロセッサ
１０００    干渉装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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