(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
２つの基板の間に、
エネルギー線により硬化して剥離力が低下するエネルギー線硬化型粘着剤層と、
温度変化により剥離力が変化する感温型粘着剤層と、を設け、
前記２つの基板を仮固定する仮固定方法に用いる粘着シートであって、
前記エネルギー線硬化型粘着剤層と、前記感温型粘着剤層と、を備え、
前記エネルギー線硬化型粘着剤層および前記感温型粘着剤層との間には、芯材が存在しない
ことを特徴とする粘着シート。
【請求項２】
請求項１に記載の粘着シートにおいて、
前記感温型粘着剤層は、側鎖結晶性ポリマーを含有し、かつ前記側鎖結晶性ポリマーの融点以下の温度で剥離力が低下する層である
ことを特徴とする粘着シート。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の粘着シートにおいて、
前記２つの基板のうち一方の基板は、フレキシブル基板であり、他方の基板は、リジット基板である
ことを特徴とする粘着シート。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の粘着シートにおいて、
前記２つの基板の少なくとも一方は、前記エネルギー線を透過させる透明基板である
ことを特徴とする粘着シート。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の粘着シートにおいて、
前記２つの基板を仮固定した後に、仮固定後の基板の少なくとも一方に熱処理を含む加工を行う
ことを特徴とする粘着シート。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の粘着シートにおいて、
前記エネルギー線硬化型粘着剤層および前記感温型粘着剤層の外側に設けられた剥離フィルムをさらに備える
ことを特徴とする粘着シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、仮固定方法および粘着シートに関する。
【背景技術】
【０００２】
有機薄膜トランジスタ（有機ＴＦＴ）、発光素子（ＬＥＤ）、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）などの製造工程においては、製造工程での加工や搬送のしやすさの観点から、フレキシブル基板（樹脂フィルムなど）をガラスなどの剛直な支持体基板へ仮固定する場合がある。
このように仮固定を行う方法としては、粘着シートを用いた仮固定方法が提案されている。しかしながら、上記の製造工程では、フレキシブル基板上に設けられた半導体層や導体（金属層）を焼結したり配向を制御する目的で熱処理が施される場合が多い。このような場合、フレキシブル基板を剥離する際に、粘着シートの剥離力が高くなる傾向がある。その結果、フレキシブル基板に過度の力がかかり、フレキシブル基板上の半導体層や導体などが破損してしまう問題があった。また、粘着シートによっては熱処理によって発泡などによってフレキシブル基板に変形を起こさせ、半導体層や導体などに負荷を与え、不良を発生させやすくしてしまう問題もあった。
上記のような問題を解決するために、粘着力を熱により可逆的に制御できる易剥離性粘着シートを用い、２つの基板を仮固定する方法が提案されている（特許文献１および２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−１５３２０３号公報
【特許文献２】特開２０１１−２１９６１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献１または２に記載の易剥離性粘着シートを用いた場合、熱処理を施したとしても所定温度以下の条件で、フレキシブル基板を剥離すれば、粘着シートの剥離力を低下させることができるので、このフレキシブル基板上の半導体層や導体などへの負荷を小さくすることができる。しかしながら、フレキシブル基板を剥離した後の支持体基板には、粘着剤が残っており、この粘着剤の除去や洗浄が困難なために、支持体基板の再利用が困難であった。
【０００５】
そこで、本発明の目的は、仮固定後の基板の剥離が容易であり、かつ仮固定に使用された基板から粘着剤の除去が容易である仮固定方法、および粘着シートを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様に係る仮固定方法は、２つの基板の間に、エネルギー線により硬化して剥離力が低下するエネルギー線硬化型粘着剤層と、温度変化により剥離力が変化する感温型粘着剤層と、を設け、前記２つの基板を仮固定することを特徴とする方法である。
この構成によれば、２つの基板を仮固定し、加工を行った後に、２つの粘着剤層と２つの基板とを次のようにして容易に剥離できる。すなわち、エネルギー線硬化型粘着剤層にエネルギー線を照射した後であれば、このエネルギー線硬化型粘着剤層の剥離力が低下するので、このエネルギー線硬化型粘着剤層から基板を容易に剥離できる。一方で、例えば温度を所定温度以下とすれば、感温型粘着剤層の剥離力が低下するので、この感温型粘着剤層から基板を容易に剥離できる。なお、仮固定後の感温型粘着剤層単独では、粘着剤の除去や洗浄が困難である。しかし、エネルギー線硬化型粘着剤層にエネルギー線を照射した後であれば、このエネルギー線硬化型粘着剤層は、感温型粘着剤層を担持可能な薄膜となる。そして、この薄膜を基板から剥離することで、担持されている感温型粘着剤層を一緒に基板から剥離し、基板から粘着剤を除去できる。
【０００７】
本発明の一態様に係る仮固定方法においては、前記感温型粘着剤層は、側鎖結晶性ポリマーを含有し、かつ前記側鎖結晶性ポリマーの融点以下の温度で剥離力が低下する層であることが好ましい。
この構成によれば、側鎖結晶性ポリマーの融点以下とすれば、感温型粘着剤層の剥離力が低下するので、この感温型粘着剤層から基板を容易に剥離できる。
【０００８】
本発明の一態様に係る仮固定方法においては、前記２つの基板のうち一方の基板は、フレキシブル基板であり、他方の基板は、リジット基板であることが好ましい。
この構成によれば、フレキシブル基板をリジット基板に仮固定することで、各種製品の製造工程での加工や搬送をしやすくできる。そして、加工後のフレキシブル基板を容易に剥離でき、フレキシブル基板を剥離した後のリジット基板からエネルギー線硬化型粘着剤層および感温型粘着剤層を容易に剥離できる。それ故、支持体基板として利用したリジット基板を再利用できる。
【０００９】
本発明の一態様に係る仮固定方法においては、前記２つの基板の少なくとも一方は、前記エネルギー線を透過させる透明基板であることが好ましい。
この構成によれば、加工を行った後の基板を剥離する際に、エネルギー線硬化型粘着剤層と基板とを先に剥離することができる。すなわち、両方の基板が透明基板でない場合には、一方の基板を剥離して、感温型粘着剤層またはエネルギー線硬化型粘着剤層を露出させた後でなければ、エネルギー線硬化型粘着剤層にエネルギー線を照射できない。これに対し、この構成によれば、一方の基板を剥離する前であっても、透明基板を通してエネルギー線硬化型粘着剤層にエネルギー線を照射できる。そして、エネルギー線硬化型粘着剤層と基板とを先に剥離し、その後、感温型粘着剤層と基板とを剥離できる。
【００１０】
本発明の一態様に係る仮固定方法においては、前記２つの基板を仮固定した後に、仮固定後の基板の少なくとも一方に熱処理を含む加工を行ってもよい。
このように仮固定後の基板に熱処理を行う場合には、粘着シートの剥離力が高くなり、基板に負荷がかかりやすくなる傾向にある。しかし、本発明の一態様に係る仮固定方法によれば、エネルギー線硬化型粘着剤層にエネルギー線を照射するか、或いは、温度を所定温度以下とすれば、エネルギー線硬化型粘着剤層または感温型粘着剤層の剥離力を低下させることができる。そのため、仮固定後の基板に熱処理を行う場合であっても、エネルギー線硬化型粘着剤層および感温型粘着剤層から基板を容易に剥離できる。
【００１１】
本発明の一態様に係る粘着シートは、前記仮固定方法に用いる粘着シートであって、前記エネルギー線硬化型粘着剤層と、前記感温型粘着剤層と、を備えることを特徴とするものである。
この構成の粘着シートを用いれば、エネルギー線硬化型粘着剤層および感温型粘着剤層という２つの異なる層を一つの工程で、設けることができる。
【００１２】
本発明の一態様に係る粘着シートにおいては、前記エネルギー線硬化型粘着剤層および前記感温型粘着剤層の外側に設けられた剥離フィルムをさらに備えることが好ましい。
この構成によれば、エネルギー線硬化型粘着剤層および感温型粘着剤層が剥離フィルムに覆われているので、粘着シートとしての取り扱い性に優れるとともに、使用前におけるこれらの粘着剤層の表面汚染を抑制できる。
【００１３】
本発明の一態様に係る粘着シートにおいては、前記エネルギー線硬化型粘着剤層および前記感温型粘着剤層との間には、芯材が存在しないことが好ましい。
本発明の一態様に係る粘着シートで、エネルギー線硬化型粘着剤層が、感温型粘着剤層を担持可能な薄膜となる。そのため、芯材がない場合でも、基板からエネルギー線硬化型粘着剤層および感温型粘着剤層を容易に剥離できる。さらに、熱処理などによる温度変化を要因とする芯材の形状変化がなく、これによる基板への負荷を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第一実施形態に係る粘着シートを示す概略断面図である。
【図２】本発明の第一実施形態に係る仮固定方法、およびこの仮固定方法により仮固定した２つの基板をそれぞれ剥離する方法を示す説明図である。
【図３】本発明の第二実施形態に係る仮固定方法を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
［第一実施形態］
以下、本発明について実施形態を例に挙げて説明する。本発明は実施形態の内容に限定されるものではない。
第一実施形態では、粘着シートを用いて、フレキシブル基板をリジット基板に仮固定する仮固定方法を例に挙げて、図面に基づいて説明する。まず、本実施形態に係る粘着シートについて説明する。
【００１６】
（粘着シート）
本実施形態に係る粘着シート１は、図１に示すように、感温型粘着剤層１１と、エネルギー線硬化型粘着剤層１２と、これらの外側に設けられた剥離フィルム１３，１４と、を備えている。
【００１７】
感温型粘着剤層１１は、温度変化により剥離力が変化する層であり、例えば温度を所定温度以下とすれば、剥離力が低下する層である。
感温型粘着剤層１１は、側鎖結晶性ポリマーを含有し、かつ前記側鎖結晶性ポリマーの融点以下の温度で剥離力が低下する層が好ましい。
側鎖結晶性ポリマーは、温度変化に対応して結晶状態と流動状態とを可逆的に起こすポリマーである。感温型粘着剤層１１は、この側鎖結晶性ポリマーを主成分として含有する。
融点とは、ある平衡プロセスにより、最初は秩序ある配列に整合されていたポリマーの特定部分が無秩序状態となる温度を意味するものとする。融点は、示差熱走査熱量計（ＤＳＣ）によって１０℃／分の測定条件で測定して得られる値である。
感温型粘着剤層１１の融点の範囲としては、好ましくは室温（例えば２５℃）以下、より好ましくは０℃以上１５℃以下が挙げられる。融点の温度が高すぎると、仮固定を行っている間に意図しない剥離が起こってしまう可能性がある。また、融点が低すぎると、結露や霜付着による不良が起こらないよう特別な対策が必要となる場合がある。
【００１８】
側鎖結晶性ポリマーは、側鎖結晶性ポリマーを構成するモノマー（以下、「モノマー」と言うことがある。）を重合させて得られる重合体からなる。モノマーとしては、例えば炭素数１６以上の直鎖状アルキル基を有する（メタ）アクリレート、炭素数１〜６のアルキル基を有する（メタ）アクリレート、極性モノマーなどが挙げられる。これらは１種を単独で用いても２種以上を混合して用いてもよい。
【００１９】
炭素数１６以上の直鎖状アルキル基を有する（メタ）アクリレートとしては、例えばセチル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、エイコシル（メタ）アクリレート、ベヘニル（メタ）アクリレートなどの炭素数１６〜２２の線状アルキル基を有する（メタ）アクリレートが挙げられる。
炭素数１〜６のアルキル基を有する（メタ）アクリレートとしては、例えばメチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、ヘキシル（メタ）アクリレートなどが挙げられる。
極性モノマーとしては、例えばアクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸などのカルボキシル基を有するエチレン性不飽和モノマー；２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシヘキシル（メタ）アクリレートなどのヒドロキシル基を有するエチレン性不飽和モノマーなどが挙げられる。
【００２０】
モノマーの重合割合としては、炭素数１６以上の直鎖状アルキル基を有する（メタ）アクリレートを３０〜１００質量部、炭素数１〜６のアルキル基を有する（メタ）アクリレートを０〜７０質量部、極性モノマーを０〜１０質量部とすることが好ましい。モノマー種や重合割合としては、重合して得られる側鎖結晶性ポリマーの融点が前記所定の温度となるように選択することが好ましい。
【００２１】
重合方法としては、特に限定されるものではなく、例えば溶液重合法、塊状重合法、懸濁重合法、乳化重合法などが挙げられる。例えば溶液重合法を採用する場合には、上述したモノマーを溶剤に加えて混合し、４０〜９０℃程度で２〜１０時間程度攪拌すればよい。
【００２２】
側鎖結晶性ポリマーを構成する重合体の質量平均分子量としては、２０万以上１００万以下であることが好ましく、４０万以上７０万以下であることがより好ましい。質量平均分子量は、重合体をゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）によって測定し、得られた測定値をポリスチレン換算した値である。
【００２３】
一方、このような側鎖結晶性ポリマーとともに感温型粘着剤層１１を構成する材料としては、例えばポリエチレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリカーボネート、エチレン酢酸ビニル共重合体、エチレンエチルアクリレート共重合体、エチレンポリプロピレン共重合体、ポリ塩化ビニルなどの合成樹脂が挙げられる。
【００２４】
感温型粘着剤層１１の厚みは、特に限定されないが、通常、２μｍ以上２００μｍ以下である。厚みが前記下限未満では、仮固定のための剥離力が十分に得られなくなる可能性があり、他方、前記上限を超えると、熱処理により粘着剤層が変形しやすくなる傾向がある。
【００２５】
エネルギー線硬化型粘着剤層１２は、エネルギー線により硬化して剥離力が低下する層である。
エネルギー線硬化型粘着剤層１２は、初期の剥離力が大きく、しかもエネルギー線照射後には剥離力が大きく低下する、エネルギー線硬化型の粘着剤からなる層であることが好ましい。
【００２６】
エネルギー線硬化（紫外線硬化、電子線硬化）型の粘着剤としては、特に紫外線硬化型の粘着剤を用いることが好ましい。エネルギー線硬化型の粘着剤は、一般的には、アクリル系粘着剤と、エネルギー線重合性化合物とを主成分としてなる。エネルギー線硬化型の粘着剤に用いられるエネルギー線重合性化合物としては、例えば、光照射によって三次元網状化しうる分子内に光重合性炭素−炭素二重結合を少なくとも２個以上有する低分子量化合物が用いられる。
【００２７】
アクリル系粘着剤はアクリル共重合体を主成分とする。アクリル共重合体としては、例えば、主成分である（メタ）アクリル酸のアルキルエステルと、これと共重合し得る極性単量体（官能基含有単量体）とを重合した重合体が挙げられる。
【００２８】
（メタ）アクリル酸のアルキルエステルとしては、アルキル基の炭素数が１〜１２である（メタ）アクリル酸のアルキルエステルが好適に用いられ、具体的には、アクリル酸メチル、メタクリル酸メチル、アクリル酸エチル、メタクリル酸エチル、アクリル酸プロピル、メタクリル酸プロピル、アクリル酸ｎ−ブチル、メタクリル酸ｎ−ブチル、アクリル酸イソブチル、メタクリル酸イソブチル、アクリル酸ペンチル、メタクリル酸ペンチル、アクリル酸ヘキシル、メタクリル酸ヘキシル、アクリル酸オクチル、メタクリル酸オクチル、アクリル酸２−エチルヘキシル、メタクリル酸２−エチルヘキシル、アクリル酸ラウリル、メタクリル酸ラウリルなどが挙げられる。極性単量体（官能基含有単量体）としては、アクリル酸、メタクリル酸、アクリル酸２−ヒドロキシエチル、メタクリル酸２−ヒドロキシエチルなどが挙げられる。アクリル共重合体は１種を単独で用いても２種以上を混合して用いてもよい。
【００２９】
アクリル共重合体の分子量は、１０万以上であることが好ましく、１５万以上２００万以下であることがより好ましい。また、アクリル共重合体のガラス転移温度は、通常２０℃以下であり、好ましくは−７０℃以上１０℃以下である。
【００３０】
分子内に光重合性炭素−炭素二重結合を少なくとも２個以上有する低分子量化合物としては、具体的には、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、１，４−ブチレングリコールジアクリレート、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、市販のオリゴエステルアクリレートなどを用いることができる。
【００３１】
さらに、エネルギー線重合性化合物として、上記のようなアクリレート系化合物のほかに、ウレタンアクリレート系オリゴマーを用いることもできる。ウレタンアクリレート系オリゴマーは、ポリエステル型またはポリエーテル型などのポリオール化合物と、多価イソシアネート化合物（例えば、２，４−トリレンジイソシアネート、２，６−トリレンジイソシアネート、１，３−キシリレンジイソシアネート、１，４−キシリレンジイソシアネート、ジフェニルメタン４，４−ジイソシアネートなど）を反応させて得られる末端イソシアネートウレタンプレポリマーに、ヒドロキシル基を有するアクリレートまたはメタクリレート（例えば、２−ヒドロキシエチルアクリレートまたは２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリレート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、ポリエチレングリコールアクリレート、ポリエチレングリコールメタクリレートなど）を反応させて得られる。
【００３２】
また、エネルギー線硬化型粘着剤層１２は、側鎖にエネルギー線重合性基を有するエネルギー線硬化型共重合体（以下「アダクトポリマー」と言うことがある。）から形成されていてもよい。このようなエネルギー線硬化型共重合体は、粘着性とエネルギー線硬化性とを兼ね備える性質を有している。側鎖にエネルギー線重合性基を有するエネルギー線硬化型共重合体としては、公知のものを適宜用いることができる。
【００３３】
エネルギー線硬化型共重合体は、側鎖に官能基含有単量体を有するアクリル共重合体と、当該官能基に反応する置換基とエネルギー線重合性基を有する化合物とを反応させることにより得られる。このようなアクリル共重合体としては、前述したアクリル共重合体において例示した（メタ）アクリル酸のアルキルエステルと官能基単量体の共重合体が挙げられる。また、置換基とエネルギー線重合性基を有する化合物の例としては、メタクリロイルオキシエチルイソシアナート、メタ−イソプロペニル−α，α−ジメチルベンジルイソシアナート、メタクリロイルイソシアナート、アリルイソシアナート、グリシジル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル酸などがある。
【００３４】
エネルギー線硬化型共重合体の分子量は、１０万以上であることが好ましく、１５万〜２００万であることがより好ましい。また、アクリル共重合体のガラス転移温度は、通常２０℃以下であり、好ましくは−７０℃以上１０℃以下である。
【００３５】
エネルギー線硬化型粘着剤には、アクリル系粘着剤とエネルギー線重合性化合物、あるいはエネルギー線硬化型共重合体に、さらに光重合開始剤が配合されることが好ましい。エネルギー線硬化型粘着剤層に光重合開始剤を用いることで、照射するエネルギー線として紫外線（ＵＶ）を用いた場合であっても十分な硬化性が得られ、基板との剥離性が向上する。
光重合開始剤としては、具体的には、ベンゾフェノン、アセトフェノン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾイン安息香酸、ベンゾイン安息香酸メチル、ベンゾインジメチルケタール、２,４−ジエチルチオキサンソン、１-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、ベンジルジフェニルサルファイド、テトラメチルチウラムモノサルファイド、アゾビスイソブチロニトリル、ベンジル、ジベンジル、ジアセチル、２−クロールアンスラキノンあるいは２,４,６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、２−ベンゾチアゾール−Ｎ，Ｎ−ジエチルジチオカルバメート、オリゴ｛２−ヒドロキシ−２−メチル−１−［４−（１−プロペニル）フェニル］プロパノン｝などが挙げられる。光重合開始剤は単独で用いても二種以上を混合して用いてもよい。
【００３６】
また、エネルギー線硬化型粘着剤には、本発明の目的を損なわない範囲で他の成分が配合されていてもよい。他の成分としては、架橋剤、硬化剤、無機充填材、有機充填剤、可塑剤、帯電防止剤、酸化防止剤、顔料、染料などが挙げられる。これらは、それぞれ単独で用いても二種以上を混合して用いてもよい。
【００３７】
エネルギー線硬化型粘着剤層１２の厚みは、特に限定されないが、通常、２μｍ以上２００μｍ以下である。厚みが前記下限未満では、仮固定のための剥離力が十分に得られなくなる可能性があり、他方、前記上限を超えると、熱処理により粘着剤層が変形しやすくなる傾向がある。
【００３８】
剥離フィルム１３，１４は、保管時や輸送時における粘着面の保護のため、或いは貼付時のキャリアとして、それぞれの粘着面に積層される。剥離フィルム１３，１４としては、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどの寸法安定性のあるプラスチックフィルムにシリコーン樹脂などの剥離剤を塗布し層を形成したものが使用される。
粘着シート１の貼付作業を円滑に行うためには、感温型粘着剤層１１の面に積層した剥離フィルム１３およびエネルギー線硬化型粘着剤層１２の面に積層した剥離フィルム１４との剥離力に差を設けることが好ましい。基板のうち先に貼付する側の粘着面には剥離力が小さい（軽剥離）側の剥離フィルムが積層され、後に貼付する側の粘着面には剥離力の大きい（重剥離）側の剥離フィルムが積層された構成を有する。このような構成であることによって、粘着シート１を２つの基板２，３へ貼付する作業がスムーズに行えるようになる。感温型粘着剤層１１の面に積層した剥離フィルム１３が軽剥離の剥離フィルムであり、エネルギー線硬化型粘着剤層１２に積層した剥離フィルム１４が重剥離の剥離フィルムであってもよいし、その反対の組み合わせであってもよい。剥離フィルムと粘着剤層との対応は、作業工程がスムーズとなるよう貼付装置などの機能に合わせて適宜選択すればよい。
なお、剥離フィルムとしては、プラスチックフィルムの両面に剥離剤層を形成した１枚のフィルムを用い、その片面に感温型粘着剤層１１およびエネルギー線硬化型粘着剤層１２を積層しロール状に巻き取ることによって、粘着面の両面が保護される形態としてもよい。
【００３９】
このような粘着シート１は、例えば、感温型粘着剤層１１からなるシートと、エネルギー線硬化型粘着剤層１２なるシートをそれぞれ製膜し、それぞれの片面を貼り合わせることによって製造することが好ましい。
まず、感温型粘着剤またはエネルギー線硬化型粘着剤について、それぞれを形成する成分を溶媒に溶解して適度な粘度を有する塗布剤を用意する。次に、剥離フィルム１３の剥離面に感温型粘着剤を形成する塗布剤を塗布し、乾燥して、感温型粘着剤層１１を形成する。他方で、剥離フィルム１４の剥離面にエネルギー線硬化型粘着剤を形成する塗布剤を塗布し、乾燥して、エネルギー線硬化型粘着剤層１２を形成する。塗布処理の手段としては、例えばナイフコーター、ロールコーター、ロールナイフコーター、ダイコーター、カーテンコーター、グラビアコーター、ロッドコーターなどが挙げられる。続いて、感温型粘着剤層１１の露出面とエネルギー線硬化型粘着剤層１２の露出面を対向させ、貼り合わせる。これにより、剥離フィルム１３、感温型粘着剤層１１、エネルギー線硬化型粘着剤層１２および剥離フィルム１４の順となる粘着シート１が得られる。
【００４０】
また、上記の製造方法では感温型粘着剤層１１またはエネルギー線硬化型粘着剤層１２を塗布乾燥の後に直接貼り合わせる製造方法を示した。この製造方法に換えて、感温型粘着剤層１１またはエネルギー線硬化型粘着剤層１２のいずれか一方または両方が、塗布乾燥された後、粘着剤層の露出面に別の剥離フィルムを貼り合せて、所定の期間保管した後、当該別の剥離フィルムを剥離してもう一方の粘着剤層に貼り合わせる製造方法を採用してもよい。この場合、塗布剤を塗布する剥離フィルムを別の剥離フィルムに換えて、露出した粘着面に貼り合わせる剥離フィルムを剥離フィルム１３または剥離フィルム１４としてもよい。また、一方の粘着剤層は別の剥離フィルムを貼り合せて所定期間を保管したものを使用し、もう一方の粘着剤層を塗布乾燥した直後の粘着剤層面に、別の剥離フィルムを剥離しながら貼り合わせる製造方法が採用されてもよい。
【００４１】
さらに粘着シート１は、感温型粘着剤層１１とエネルギー線硬化型粘着剤層１２を別途に製膜せず、２層が積層されたシートとして一括で製膜する方法が採用されてもよい。２層を一括で製膜する方法としては、吐出口が複数組み込まれた塗工ヘッドを有するダイコーターやカーテンコーターを用い、それぞれの塗布剤を別の吐出口から剥離フィルム１３または剥離フィルム１４の剥離面に塗布し、一括で乾燥する。得られた感温型粘着剤層１１とエネルギー線硬化型粘着剤層１２の積層体の露出面に、もう一方の剥離フィルムを積層して、粘着シート１を得る製造方法が挙げられる。
【００４２】
感温型粘着剤層１１の剥離力については、下記に示す条件（Ａ１）、（Ａ２）および（Ａ３）の全てを満たすことが好ましい。このような場合、感温型粘着剤層１１は、常温であれば、十分な剥離力を有している。そして、例えば温度を所定温度以下（例えば１０℃以下）とすれば、感温型粘着剤層１１の剥離力が低下するので、この感温型粘着剤層１１から基板を容易に剥離できる。なお、基板は、感温型粘着剤層１１が粘着する対象物であり、その材質は、ガラス、シリコン、プラスチックなどである。
条件（Ａ１）：温度２３℃における基板に対する剥離力が、７００ｍＮ／２５ｍｍ以上（より好ましくは１０００ｍＮ／２５ｍｍ以上１００００ｍＮ／２５ｍｍ以下）である。
条件（Ａ２）：感温型粘着剤層１１に対して熱処理（例えば１５０℃１時間）を施した場合に、温度２３℃における基板に対する剥離力が、７００ｍＮ／２５ｍｍ以上（より好ましくは１０００ｍＮ／２５ｍｍ以上２００００ｍＮ／２５ｍｍ以下）である。
条件（Ａ３）：感温型粘着剤層１１に対して熱処理（例えば１５０℃１時間）を施した場合に、温度５℃における基板に対する剥離力が、５００ｍＮ／２５ｍｍ以下（より好ましくは１０ｍＮ／２５ｍｍ以上３００ｍＮ／２５ｍｍ以下）である。
なお、剥離力（１８０°剥離強度）は、ＪＩＳ  Ｚ０２３７に記載に準拠する方法により測定できる。
【００４３】
エネルギー線硬化型粘着剤層１２の剥離力については、下記に示す条件（Ｂ１）〜（Ｂ４）のうち、条件（Ｂ１）〜（Ｂ３）の全てを満たすことが好ましく、条件（Ｂ１）〜（Ｂ４）の全てを満たすことが特に好ましい。このような場合、エネルギー線硬化型粘着剤層１２は、エネルギー線を照射する前であれば、十分な剥離力を有している。そして、エネルギー線硬化型粘着剤層１２にエネルギー線を照射した後であれば、このエネルギー線硬化型粘着剤層１２の剥離力が低下するので、このエネルギー線硬化型粘着剤層から基板を容易に剥離できる。なお、基板は、エネルギー線硬化型粘着剤層１２が粘着する対象物であり、その材質は、ガラス、シリコン、プラスチックなどである。
条件（Ｂ１）：温度２３℃における基板に対する剥離力が、８００ｍＮ／２５ｍｍ以上（より好ましくは１０００ｍＮ／２５ｍｍ以上１００００ｍＮ／２５ｍｍ以下）である。
条件（Ｂ２）：エネルギー線硬化型粘着剤層１２に対して熱処理（例えば１５０℃１時間）を施した場合において、温度２３℃における基板に対する剥離力が、８００ｍＮ／２５ｍｍ以上（より好ましくは１０００ｍＮ／２５ｍｍ以上２００００ｍＮ／２５ｍｍ以下）である。
条件（Ｂ３）：エネルギー線硬化型粘着剤層１２に対して熱処理（例えば１５０℃１時間）を施した場合において、温度５℃における基板に対する剥離力が、８００ｍＮ／２５ｍｍ以上（好ましくは１０００ｍＮ／２５ｍｍ以上１００００ｍＮ／２５ｍｍ以下）である。
条件（Ｂ４）：エネルギー線硬化型粘着剤層１２に対して熱処理（例えば１５０℃１時間）を施し、温度５℃２０分放置した後、さらにエネルギー線（例えば光量２００ｍＪ／ｃｍ２の紫外線）を照射した場合において、温度２３℃における基板に対する剥離力が、７００ｍＮ／２５ｍｍ以下（より好ましくは１０ｍＮ／２５ｍｍ以上６００ｍＮ／２５ｍｍ以下）である。
【００４４】
（仮固定方法）
次に、本実施形態に係る仮固定方法について説明する。
図２は、第一実施形態に係る仮固定方法、およびこの仮固定方法により仮固定した２つの基板をそれぞれ剥離する方法を示す説明図である。
本実施形態に係る仮固定方法においては、図２（Ｂ）に示すように、フレキシブル基板２およびリジット基板３の間に、エネルギー線硬化型粘着剤層１２と、感温型粘着剤層１１と、を設け、フレキシブル基板２およびリジット基板３を仮固定する（仮固定工程）。
また、本実施形態においては、感温型粘着剤層１１に積層される剥離フィルム１３が軽剥離を示す剥離フィルムであり、エネルギー線硬化型粘着剤層１２に積層される剥離フィルム１４が重剥離を示す剥離フィルムである粘着シート１が使用される。
仮固定工程においては、粘着シート１から剥離フィルム１３が剥離され感温型粘着剤層１１を表出してフレキシブル基板２に貼付する。続いて、剥離フィルム１４を剥離してエネルギー線硬化型粘着シートを表出してリジット基板３へ対向させ、双方を貼り合せて、フレキシブル基板２およびリジット基板３を仮固定する（図２（Ａ）および（Ｂ）参照）。
【００４５】
フレキシブル基板２およびリジット基板３の材質は、特に限定されず、ガラス、シリコン、プラスチックなどが挙げられる。プラスチックとしては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフテート（ＰＥＮ）、ポリカーボネート（ＰＣ）などが挙げられる。これらは、以下に説明する各種製品の製造のために、適宜表面コート処理がなされた基板が使用されてもよい。
なお、本実施形態では、フレキシブル基板２およびリジット基板３は、いずれもエネルギー線を透過させる透明基板を用いている。また、フレキシブル基板２の材質は、プラスチックであり、リジット基板３の材質は、ガラスである。
【００４６】
本実施形態に係る仮固定方法により仮固定したフレキシブル基板２およびリジット基板３を、各種製品の製造工程に応じて加工する（加工工程）。
ここで、各種製品としては、特に限定されないが、有機薄膜トランジスタ（有機ＴＦＴ）、発光素子（ＬＥＤ）、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）などが挙げられる。例えば、有機ＴＦＴを製造する場合の加工工程としては、フレキシブル基板２上に、ソース・ドレイン電極、半導体層、絶縁層およびゲート電極などの機能性膜を、湿式方式（印刷法、スピンコート法、ディスペンサー法、スプレー法など）により形成する工程などが挙げられる。
このような加工工程では、上記のような機能製膜を焼結したり配向を制御する目的で熱処理が施されてもよい。熱処理としては、例えば、１００℃以上２２０℃以下で、１分間以上１２０分間以下の熱処理などを採用できる。
【００４７】
次に、加工工程後のフレキシブル基板２およびリジット基板３から、図２（Ｃ）に示すように、フレキシブル基板２を剥離する（第一剥離工程）。
第一剥離工程においては、まず、加工工程後のフレキシブル基板２およびリジット基板３の温度を所定温度以下（例えば１０℃以下）とし、その後、当該温度下でフレキシブル基板２を剥離する。このようにすれば、感温型粘着剤層１１の剥離力が低下するので、この感温型粘着剤層１１からフレキシブル基板２を容易に剥離できる。
第一剥離工程後のリジット基板３には、図２（Ｄ）に示すように、リジット基板３上に感温型粘着剤層１１およびエネルギー線硬化型粘着剤層１２が残っている。
【００４８】
次に、第一剥離工程後のリジット基板３上のエネルギー線硬化型粘着剤層１２に対し、エネルギー線を照射する（エネルギー線照射工程）。なお、このエネルギー線照射工程は、第一剥離工程前に行ってもよいが、このような場合、感温型粘着剤層１１およびエネルギー線硬化型粘着剤層１２の剥離力については、下記に示す条件（Ｃ１）を満たすことが好ましい。下記に示す条件（Ｃ１）を満たす場合には、フレキシブル基板２と感温型粘着剤層１１とを容易に剥離できる。
条件（Ｃ１）：粘着シート１の感温型粘着剤層１１側とフレキシブル基板２において、条件（Ａ３）における剥離力が、粘着シート１のエネルギー線硬化型粘着剤層１２側とリジット基板３において、条件（Ｂ３）における剥離力よりも小さい。
エネルギー線硬化型粘着剤層１２は、エネルギー線の照射により、剥離力が大幅に低下する。エネルギー線としては、紫外線、電子線などが用いられる。また、その照射量は、エネルギー線の種類によって様々であり、特に限定されない。例えば紫外線を用いる場合には、通常、照度が１ｍＷ／ｃｍ２以上１０００ｍＷ／ｃｍ２以下であり、光量４０ｍＪ／ｃｍ２以上１０００ｍＪ／ｃｍ２以下である。
【００４９】
次に、エネルギー線照射工程後のリジット基板３から、図２（Ｅ）に示すように、感温型粘着剤層１１およびエネルギー線硬化型粘着剤層１２を剥離する（第二剥離工程）。
第二剥離工程においては、エネルギー線照射工程によりエネルギー線硬化型粘着剤層１２の剥離力が低下しているので、このエネルギー線硬化型粘着剤層１２をリジット基板３から容易に剥離できる。また、このエネルギー線硬化型粘着剤層１２は、感温型粘着剤層１１を担持可能な薄膜となっている。そして、この薄膜をリジット基板３から剥離することで、担持されている感温型粘着剤層１１を一緒にリジット基板３から剥離できる。
【００５０】
（第一実施形態の作用効果）
本実施形態によれば、次のような作用効果を奏することができる。
（１）フレキシブル基板２およびリジット基板３を仮固定し、加工を行った後に、温度を所定温度以下とすれば、感温型粘着剤層１１の剥離力が低下するので、フレキシブル基板２を容易に剥離できる。
（２）エネルギー線照射工程によりエネルギー線硬化型粘着剤層１２の剥離力を低下させ、さらに、エネルギー線硬化型粘着剤層１２を感温型粘着剤層１１が担持可能な薄膜としているので、リジット基板３から感温型粘着剤層１１およびエネルギー線硬化型粘着剤層１２を一緒に剥離し、リジット基板３から粘着剤を容易に除去できる。それ故、支持体基板として利用したリジット基板３を再利用できる。
（３）フレキシブル基板２をリジット基板３に仮固定することで、各種製品の製造工程での加工や搬送をしやすくできる。
（４）粘着シート１では、エネルギー線硬化型粘着剤層１２および感温型粘着剤層１１が剥離フィルム１３に覆われているので、使用前におけるこれらの粘着剤層の表面汚染を抑制できる。
（５）粘着シート１では、芯材を設けないので、粘着シートの構成が簡易となり、また、熱処理などによる温度変化を要因とする芯材の形状変化がなく、これによる基板への負荷を抑制できる。
【００５１】
［第二実施形態］
次に、本発明の第二実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態の第１の粘着シート４および第２の粘着シート５は、前記第一実施形態における感温型粘着剤層１１およびエネルギー線硬化型粘着剤層１２とそれぞれ実質的に同様であるから、その詳細な説明は省略または簡略化する。
図３は、第二実施形態に係る仮固定方法を示す説明図である。
前記第一実施形態では感温型粘着剤層１１とエネルギー線硬化型粘着剤層１２とが積層された粘着シート１が使用された。これに対し、第二実施形態では、感温型粘着剤層１１とその両面に積層される軽剥離フィルム１５および重剥離フィルム１６とからなる第１の粘着シート４、並びに、エネルギー線硬化型粘着剤層１２とその両面に積層される軽剥離フィルム１７および重剥離フィルム１８とからなる第２の粘着シート５が使用される。
【００５２】
本実施形態に係る仮固定方法においては、第１の粘着シート４の軽剥離フィルム１５が剥離されて表出した感温型粘着剤層１１とフレキシブル基板２を貼り合わせるとともに、他方で、第２の粘着シート５の軽剥離フィルム１７が剥離されて表出したエネルギー線硬化型粘着剤層１２とリジット基板３を貼り合わせる。さらに、感温型粘着剤層１１上の重剥離フィルム１６およびエネルギー線硬化型粘着剤層１２上の重剥離フィルム１８をそれぞれ剥離し、表出した感温型粘着剤層１１とエネルギー線硬化型粘着剤層１２を貼り合せて、フレキシブル基板２とリジット基板３を仮固定する（図３（Ａ）および（Ｂ）参照）。
【００５３】
本実施形態に係る仮固定方法においては、次に、仮固定工程後のフレキシブル基板２およびリジット基板３を、各種製品の製造工程に応じて加工する（加工工程）。
次いで、フレキシブル基板２およびリジット基板３から、所定の温度に冷却することによりフレキシブル基板２を剥離する（第一剥離工程）。そして、感温型粘着剤層１１およびエネルギー線硬化型粘着剤層１２が残っているリジット基板３に対し、エネルギー線を照射することにより、リジット基板３から感温型粘着剤層１１およびエネルギー線硬化型粘着剤層１２を一緒に剥離する（第二剥離工程）。
本実施形態によれば、前記第一実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
【００５４】
［実施形態の変形］
本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良などは本発明に含まれるものである。
例えば、前述の実施形態では、フレキシブル基板２に感温型粘着剤層１１が積層し、リジット基板３にエネルギー線硬化型粘着剤層１２が積層する仮固定方法が示された。これに対し、フレキシブル基板２とエネルギー線硬化型粘着剤層１２、リジット基板３と感温型粘着剤層１１が積層する仮固定方法であってもよい。
【００５５】
また、前述の実施形態では、所定温度に冷却することにより感温型粘着剤層１１と基板との界面の剥離操作を先に行い、エネルギー線照射によりエネルギー線硬化型粘着剤層１２を硬化してからエネルギー線硬化型粘着剤層１２と基板との界面の剥離操作を後に行う仮固定方法が示されている。これに対し、エネルギー線照射によるエネルギー線硬化型粘着剤層を硬化し、エネルギー線硬化型粘着剤層１２と基板との界面を先に剥離し、所定温度に冷却することにより感温型粘着剤層１１と基板との界面の剥離操作を後に行ってもよい。また、エネルギー線照射によるエネルギー線硬化型粘着剤層１２を硬化したままエネルギー線硬化型粘着剤層１２を剥離せず、所定温度に冷却することにより感温型粘着剤層１１と基板との界面の剥離操作を行い、その次にエネルギー線硬化型粘着剤層１２と基板との界面を剥離してもよい。この場合、エネルギー線照射は剥離操作の直前ではなく、各種製品に対する加工工程または熱処理などが行われる前に行われてもよい。
【００５６】
さらに、前述の実施形態では、粘着シート１には芯材が用いられなかったが、感温型粘着剤層１１とエネルギー線硬化型粘着剤層１２の層間に芯材が積層された粘着シートが用いられてもよい。各種製品の製造工程に応じて採用される加工条件に対し、当該芯材が必要十分な耐性を有していれば、それぞれの基板かへの負荷を抑制できる。この場合、粘着シートの引張強度が増すため、剥離操作による粘着剤層の破断が起こりにくくなる。
【００５７】
前述の実施形態では、フレキシブル基板２とリジット基板３とを仮固定しているが、これに限定されない。つまり、前述の実施形態では、各種製品の製造工程での加工や搬送のしやすさの観点から、フレキシブル基板２をリジット基板３に仮固定しているが、仮固定の目的は限定されない。仮固定の目的に拘わらず、様々な基板同士を仮固定できる。
前述の実施形態では、フレキシブル基板２およびリジット基板３として透明基板を用いているが、これに限定されない。例えば、フレキシブル基板２およびリジット基板３の両方の基板が不透明な基板であってもよい。しかし、このような場合には、一方の基板を剥離して、感温型粘着剤層１１またはエネルギー線硬化型粘着剤層１２を露出させた後でなければ、エネルギー線硬化型粘着剤層１２にエネルギー線を照射できない。
【実施例】
【００５８】
次に、本発明を実施例および比較例によりさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの例によってなんら限定されるものではない。
［実施例１］
ブチルアクリレート、メチルメタクリレートおよびヒドロキシアクリレートからなる共重合体（質量比：６２／１０／２８）１００質量部にメタクリロイルオキシエチルイソシアネート２２．４質量部を反応させ、側鎖にメタクリロイル基が導入されたアダクトポリマー（Ｍｗ：６００，０００）を得た。このアダクトポリマーの固形分３０質量部、イソシアネート架橋剤（トーヨーケム社製、商品名：ＢＨＳ−８５１５）１質量部および光重合開始剤（チバスペシャリティケミカルズ社製、商品名：イルガキュア１８４）３質量部を希釈溶剤として酢酸エチルを用いて希釈混合し、濃度２６質量％の粘着剤用の塗液を用意した。
この粘着剤用の塗液を剥離フィルム（リンテック社製、商品名：ＳＰ−ＰＥ３８１１（Ｓ））の剥離面にナイフコーターにより塗布し、加熱乾燥してエネルギー線硬化型粘着剤層（紫外線硬化型）を形成した。得られたエネルギー線硬化型粘着剤層の膜厚は２５μｍであった。
一方、感温型粘着シート（ニッタ社製、商品名：インテリマーテープ、クールオフタイプ、融点７℃）から片面の剥離フィルムを剥離して粘着面を表出し、この粘着面に上記で得られたエネルギー線硬化型粘着剤層の表面をラミネータにより積層し、感温型粘着剤層およびエネルギー線硬化型粘着剤層からなる粘着シートを得た。
【００５９】
［実施例２］
実施例１におけるエネルギー線硬化型粘着剤層の塗液を次の組成に変更した以外は、実施例１と同様にして粘着シートを得た。
ブチルアクリレートおよびヒドロキシエチルアクリレートの共重合体（質量比：８５／１５）１００質量部にメタクリロイルオキシエチルイソシアネート１２質量部を反応させ、側鎖にメタクリロイル基が導入されたアダクトポリマー（Ｍｗ：６００，０００）を得た。このアダクトポリマーの固形分３５質量部、イソシアネート架橋剤（トーヨーケム社製、商品名：ＢＨＳ−８５１５）１質量部および光重合開始剤（チバスペシャリティケミカルズ社製、商品名：イルガキュア１８４）４質量部を希釈溶剤として酢酸エチルを用いて希釈混合し、濃度３０質量％の粘着剤用の塗液を用意した。
【００６０】
［比較例１］
感温型粘着シート（ニッタ社製、商品名：インテリマーテープ、クールオフタイプ、融点７℃）を感温型粘着剤層が単層からなる粘着シートとした。
［比較例２］
実施例１で作成したエネルギー線硬化型粘着剤層の露出した面に剥離フィルム（リンテック社製、商品名：ＳＰ−ＰＥＴ５０Ｃ）を積層して、エネルギー線硬化型粘着剤層が単層からなる粘着シートとした。
［比較例３］
実施例２で作成したエネルギー線硬化型粘着剤層の露出した面に剥離フィルム（リンテック社製、商品名：ＳＰ−ＰＥＴ５０Ｃ）を積層して、エネルギー線硬化型粘着剤層が単層からなる粘着シートとした。
【００６１】
［剥離力試験］
実施例および比較例の粘着シートの一方の面（実施例については、エネルギー線硬化型粘着剤層側の面）の剥離フィルムを剥離し、露出した粘着剤面にポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）粘着テープ（ＰＥＴ厚２５μｍ、強粘着タイプ）を積層し、幅２５ｍｍに切断し、その後、反対面（実施例については、感温型粘着剤層側の面）の剥離フィルムを剥離して、フレキシブル基板として厚さ１２５μｍのＰＥＮフィルム（帝人デュポン社製、商品名：テオネックスＰＱＤＡ５）を被着体として、２３℃５０ＲＨ％環境下にて１ｋｇロールで貼付して、ＰＥＮフィルムに対する剥離力試験用のサンプルを得た。その後、各サンプルに下記負荷条件１〜３および５のいずれかを施した後、下記測定条件１〜３および５のいずれかにて、万能引張試験機により１８０°方向に３００ｍｍ／分で被着体から剥離を行い、ＰＥＮフィルムに対する剥離力（単位：ｍＮ／２５ｍｍ）を測定した。得られた結果を表１に示す。
一方で、実施例および比較例の粘着シートの他方の面（実施例については、感温型粘着剤層側の面）の剥離フィルムを剥離し、露出した粘着剤面にＰＥＴ粘着テープ（ＰＥＴ厚２５μｍ、強粘着タイプ）を積層し、幅２５ｍｍに切断し、その後、反対面（実施例については、エネルギー線硬化型粘着剤層側の面）の剥離フィルムを剥離して、リジット基板としてガラス板（無アルカリガラス、Ｃｏｒｎｉｎｇ社製、商品名：ＥａｇｌｅＸＧ）を被着体として、２３℃５０ＲＨ％環境下にて１ｋｇロールで貼付して、ガラス板に対する剥離力試験用のサンプルを得た。その後、各サンプルに下記負荷条件１〜４のいずれかを施した後、下記測定条件１〜４のいずれかにて、万能引張試験機により１８０°方向に３００ｍｍ／分で被着体から剥離を行い、ガラス板に対する剥離力（単位：ｍＮ／２５ｍｍ）を測定した。得られた結果を表１に示す。
（負荷条件／測定条件）
条件１：負荷なし／２３℃５０ＲＨ％（注１）
条件２：１５０℃１時間の熱処理／２３℃５０ＲＨ％（注１）
条件３：１５０℃１時間の熱処理／５℃（注２）
条件４：１５０℃１時間の熱処理−５℃２０分の冷却処理−常温にて光量２００ｍＪ／ｃｍ２の紫外線（ＵＶ）照射／２３℃５０ＲＨ％（注１）
条件５：１５０℃１時間の熱処理−常温にて光量２００ｍＪ／ｃｍ２のＵＶ照射／２３℃５０ＲＨ％（注１）
（注１）「２３℃５０ＲＨ％」は、２３℃５０ＲＨ％環境下に２０分放置した後に、同環境下で剥離力試験を行った。
（注２）「５℃」は、５℃の環境試験室に２０分放置した後に、同環境下で剥離力試験を行った。
【００６２】
【表１】
0006356564.tif 000002
【００６３】
（注３）比較例２および比較例３のＰＥＮフィルムへの剥離力については、上記条件３の代わりに、上記条件５での剥離力を測定している。なお、比較例２および比較例３のＰＥＮフィルムへの上記条件３での剥離力（１５０℃１時間の熱処理後における５℃での剥離力）は、上記条件２での剥離力（１５０℃１時間の熱処理後における２３℃５０ＲＨ％での剥離力）とほぼ同等である。このように、熱処理後に温度５℃としても剥離力が低下しないため、ＰＥＮフィルムを容易には剥離できない。そこで、比較例２および比較例３については、熱処理後にＵＶ照射して剥離力を低下させた上記条件５にて評価している。
［剥離性の評価］
ＰＥＴ粘着テープを積層しない以外は上記の剥離力試験でのサンプル作成と同じ操作を行ってサンプルを作成した。そして、被着体がＰＥＮフィルムの場合は、上記条件３にて剥離力試験を行い、被着体がガラス板の場合は、上記条件４にて剥離力試験を行った。なお、比較例２および比較例３のＰＥＮフィルムへの剥離力については、上記条件５にて剥離力試験を行った。この剥離力試験後のサンプルについて、被着体の糊残り状態および粘着シートの状態を観察した。剥離性の評価基準は次の通りとした。得られた結果を表２に示す。
Ａ：剥離後の被着体に糊残りがなく、粘着シートに破断などの損傷がない。
Ｂ：剥離後の被着体に糊残りは観察されないが、粘着シートが一部破断する。
Ｃ：糊残りおよび粘着シートの損傷が起こる。
【００６４】
［総合剥離性］
上記剥離性の評価において、ＰＥＮ面およびガラス面での評価がともにＡであり、それぞれの剥離操作で問題が発生しなかった場合の総合剥離性の評価をＡとし、それ以外の場合の総合剥離性の評価をＢとした。
【００６５】
【表２】
0006356564.tif 000003
【００６６】
表２に示す結果からも明らかなように、実施例１，２においては、ＰＥＮ面およびガラス面の剥離性、並びに剥離バランスが全て良好であることが確認された。このことから、２つの基板の間に、エネルギー線硬化型粘着剤層および感温型粘着剤層の両方が設けられている場合（実施例１，２）には、熱処理後に温度５℃とすることで、感温型粘着剤層からＰＥＮフィルムを糊残りもなく剥離でき、さらにＵＶ照射により、ガラス板から粘着シートを糊残りもなく剥離できる。つまり、このような場合には、仮固定後の基板の剥離が容易であり、かつ仮固定後の粘着剤の除去が容易であることが確認された。すなわち、リジット基板を仮固定の支持体基板に使用した場合に、次の仮固定における支持体基板として再利用が可能であることがわかった。
これに対し、２つの基板の間に、感温型粘着剤層のみが設けられている場合（比較例１）には、ガラス板上での糊残りおよび粘着シートの損傷が起こることが分かった。
また、２つの基板の間に、エネルギー線硬化型粘着剤層のみが設けられている場合（比較例２，３）には、ＵＶ照射後に剥離すれば、剥離後の被着体に糊残りは観察されないが、粘着シートが一部破断することが分かった。
【符号の説明】
【００６７】
１…粘着シート、１１…感温型粘着剤層、１２…エネルギー線硬化型粘着剤層、１３，１４，１５，１６，１７，１８…剥離フィルム、２…フレキシブル基板、３…リジット基板。
【図１】
0006356564.tif 000004
【図２】
0006356564.tif 000005
【図３】
0006356564.tif 000006