(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板収納容器であって、
その内部で収納可能な、かつ、その前面に開口を有する筐体と、
前記筐体に着脱して前記開口を開閉する蓋と、
前記筐体の内部に設けられ、基板の下面と接触し、基板を略水平姿勢で載置する棚部材と、
前記筐体の内部に設けられ、基板の端部を支持する筐体用支持部材と、
前記蓋の裏面に取り付けられ、基板の端部を支持する蓋用支持部材と、
前記筐体用支持部材および前記蓋用支持部材の少なくとも一方に形成された、基板の端部を支持する溝部と、
前記溝部の最奥部から延びる下傾斜面の少なくとも一部の傾斜面であり、その傾斜面の下端側を基準に回転可能に構成された可変部と、
前記可変部の傾斜面の角度を変更させる角度変更駆動部と、
を備え、
前記蓋が前記筐体に装着されている状態では、前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材は、基板の下面が前記棚部材と接触していない状態で基板の端部を挟持し、
前記筐体から前記蓋を取り外す際に、前記角度変更駆動部は、前記蓋が前記筐体に装着されている状態と比べ、前記可変部の傾斜面の水平面に対する角度を大きくすることを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
請求項１に記載の基板収納容器において、
前記角度変更駆動部は、気体を供給することで前記可変部の傾斜面の角度を変更させる気体供給部であることを特徴とする基板収納容器。
【請求項３】
請求項２に記載の基板収納容器において、
前記気体供給部は、前記可変部の裏面と隣接する前記溝部に設けられた吹き付け口を有し、
前記気体供給部は、前記吹き付け口から気体を直接供給することで、前記可変部の傾斜面の角度を変更することを特徴とする基板収納容器。
【請求項４】
請求項２に記載の基板収納容器において、
前記気体供給部は、前記可変部の裏面と隣接する前記溝部に設けられたバルーンを有し、
前記気体供給部は、前記バルーンを膨らますことで、前記可変部の傾斜面の角度を変更することを特徴とする基板収納容器。
【請求項５】
請求項１に記載の基板収納容器において、
前記角度変更駆動部は、動力を供給する動力供給部と、
前記可変部に接触して動力を与えることで、前記可変部の傾斜面の角度を変更させる動力付与部材と、
前記動力供給部と前記動力付与部材との間で動力を伝達する動力伝達部と、
を備えていることを特徴とする基板収納容器。
【請求項６】
請求項５に記載の基板収納容器において、
前記動力供給部は、前記筐体に前記蓋を着脱させる際の前後方向の相対的な運動から動力を受ける動力受け部であることを特徴とする基板収納容器。
【請求項７】
請求項１から６のいずれかに記載の基板収納容器において、
前記溝部は、前記筐体用支持部材に形成された筐体用溝部であることを特徴とする基板収納容器。
【請求項８】
請求項１から７のいずれかに記載の基板収納容器において、
前記溝部は、前記蓋用支持部材に形成された蓋用溝部であることを特徴とする基板収納容器。
【請求項９】
請求項１から８のいずれかに記載の基板収納容器を載置可能な載置台と、
前記載置台に載置された前記基板収納容器の前記蓋を開閉する蓋開閉機構と、
を備えたことを特徴とするロードポート装置。
【請求項１０】
請求項１から８のいずれかに記載の基板収納容器を載置可能な載置台と、
前記載置台に載置された前記基板収納容器の前記蓋を開閉する蓋開閉機構と、
基板に対して処理を行う処理ユニットと、
前記載置台に載置された前記基板収納容器から基板を搬出し、前記処理ユニットに搬入する搬送機構と、
を備えたことを特徴とする基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ、フォトマスク用のガラス基板、液晶表示装置用のガラス基板、光ディスク用の基板など（以下、単に「基板」と称する）を収容する基板収納容器、および、これに適用可能なロードポート装置および基板処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板を２つの態様で支持する基板収納容器がある。この種の基板収納容器は、筐体と蓋と棚と筐体側クッションと蓋側クッションを備えている。筐体は基板を収容する。蓋は筐体に着脱する。棚と筐体側クッションは、筐体の内部に設けられる。蓋側クッションは、蓋の内側に設けられる。棚は、基板の下面が棚と接触した状態で、基板を載置する。筐体側クッションと蓋側クッションは、基板を棚から離しつつ、かつ、基板が動かない状態で、基板を挟持する。棚による基板の支持は蓋が筐体から外れているときに行われる。これにより、基板収納容器から基板を搬出したり、基板収納容器に基板を搬入することができる。一方、筐体側クッションと蓋側クッションによる基板の保持は蓋が筐体に装着されているときに行われる。これにより、基板収納容器を輸送するときに基板を好適に保護できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−２２７９４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、蓋を筐体から取り外しても（離脱しても）、筐体側クッションが基板を保持したままであり、基板が筐体側クッションから外れない場合がある。この原因としては、筐体側クッションの表面に損傷が形成されたことや、筐体側クッションと基板Ｗとの摩耗粉が筐体側クッションに堆積したことなどが考えられる。
【０００５】
筐体から蓋を取り外したときに基板が筐体側クッションから外れないと、基板は適切に棚に載置されず、基板同士の間隔が適切に確保できない。このため、外部搬送機構が基板同士の隙間に進入することが困難となる。また、筐体から蓋を取り外したときに基板が筐体側クッションから外れないと、基板の位置が揃わなくなる。このため、外部の搬送機構が基板を保持することが困難となる。
【０００６】
また、筐体から蓋を取り外すときに基板が蓋側クッションに引っかかると、基板は、蓋と共に筐体の開口側に移動し、前後方向において、基板の位置が揃わなくなる。このため、同様に、外部の搬送機構が基板を保持することが困難となる。例えば、基板を保持し損ね、基板を落下させてしまうおそれがある。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、基板を適切に搬出できる基板収納容器、ロードポート装置および基板処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、本発明に係る基板収納容器は、その内部で収納可能な、かつ、その前面に開口を有する筐体と、前記筐体に着脱して前記開口を開閉する蓋と、前記筐体の内部に設けられ、基板の下面と接触し、基板を略水平姿勢で載置する棚部材と、前記筐体の内部に設けられ、基板の端部を支持する筐体用支持部材と、前記蓋の裏面に取り付けられ、基板の端部を支持する蓋用支持部材と、前記筐体用支持部材および前記蓋用支持部材の少なくとも一方に形成された、基板の端部を支持する溝部と、前記溝部の最奥部から斜め下方に延びる下傾斜面の少なくとも一部の傾斜面であり、その傾斜面の下端側を基準に回転可能に構成された可変部と、前記可変部の傾斜面の角度を変更させる角度変更駆動部と、を備え、前記蓋が前記筐体に装着されている状態では、前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材は、基板の下面が前記棚部材と接触していない状態で基板の端部を挟持し、前記筐体から前記蓋を取り外す際に、前記角度変更駆動部は、前記蓋が前記筐体に装着されている状態と比べ、前記可変部の傾斜面の角度を大きくすることを特徴とするものである。
【０００９】
本発明に係る基板収納容器によれば、基板の端部を支持する溝部は、筐体用支持部材および蓋用支持部材の少なくとも一方に形成されている。可変部は、溝部の最奥部から斜め下方に延びる下傾斜面の少なくとも一部の傾斜面であり、その傾斜面の下端側を基準に回転可能に構成されている。そして、筐体から蓋を取り外す際に、角度変更駆動部は、蓋が筐体に装着されている状態と比べ、可変部の傾斜面の水平面に対する角度を大きくする。基板は、可変部により押され、また、基板は、前記傾斜面が鉛直方向に近づくように角度が変更された傾斜面に載置されるので、筐体用支持部材または蓋用支持部材から外し易くなる。そのため、前後方向の基板の位置ズレを抑えて、搬送機構の保持アームが基板を保持し損ねることを防止することができる。したがって、基板を適切に搬出できる。
【００１０】
また、本発明に係る基板収納容器において、前記角度変更駆動部の一例は、気体を供給することで前記可変部の傾斜面の角度を変更させる気体供給部である。気体供給部が気体を供給するので、可変部の傾斜面の角度を変更できる。また、筐体に対する蓋の着脱に関わらず、可変部を駆動でき、駆動するタイミングを任意に設定できる。また、気体供給部は、リンク機構などに比べ、比較的簡単に構成することができる。
【００１１】
また、本発明に係る基板収納容器において、前記気体供給部の一例は、前記可変部の裏面と隣接する前記溝部に設けられた吹き付け口を有し、前記気体供給部は、前記吹き付け口から気体を直接供給することで、前記可変部の傾斜面の角度を変更する。可変部の裏面と隣接した溝部にバルーンが設けられた構成よりも簡単に構成することができる。
【００１２】
また、本発明に係る基板収納容器において、前記気体供給部の一例は、前記可変部の裏面と隣接する前記溝部に設けられたバルーンを有し、前記気体供給部は、前記バルーンを膨らますことで、前記可変部の傾斜面の角度を変更する。可変部の裏面に気体を直接供給する構成よりも少量の気体で、かつ、振動がなく安定して可変部３１を駆動できる。
【００１３】
また、本発明に係る基板収納容器において、前記角度変更駆動部の一例は、動力を供給する動力供給部と、前記可変部に接触して動力を与えることで、前記可変部の傾斜面の角度を変更させる動力付与部材と、前記動力供給部と前記動力付与部材との間で動力を伝達する動力伝達部と、を備えていることである。動力伝達部は、動力供給部から動力付与部材に動力を伝達し、動力付与部材が可変部に接触して動力を与える。そのため、可変部の傾斜面の角度を変更できる。また、気体供給源がなくても、動力供給部により可変部を駆動できる。
【００１４】
また、本発明に係る基板収納容器において、前記動力供給部は、前記筐体に対して前記蓋を着脱させる際の前後方向の相対的な運動から動力を受ける動力受け部であることが好ましい。気体供給源やモータなどが設けられていなくても、筐体に対して蓋を着脱させる際の前後方向の相対的な運動を利用して可変部を駆動できる。
【００１５】
また、本発明に係る基板収納容器において、前記溝部の一例は、前記筐体用支持部材に形成された筐体用溝部である。蓋を筐体から取り外しても、筐体用支持部材の筐体用溝部が基板を保持したままであり、基板が筐体用溝部から外れない場合がある。この場合、後方向に基板が位置ズレし、外部の搬送機構が基板を保持し損ねることがある。しかしながら、可変部を駆動させて、筐体用溝部から基板を外すことができる。そのため、後方向の位置ズレを抑えて、搬送機構の保持アームが基板を保持し損ねることを防止することができる。また、基板は、略水平姿勢で棚部材に載置されているので、基板間の上下方向におけるクリアランスは適切に確保されている。
【００１６】
また、本発明に係る基板収納容器において、前記溝部の一例は、前記蓋用支持部材に形成された蓋用溝部である。筐体から蓋を取り外すときに基板が蓋用支持部材の蓋用溝部に引っかかると、基板は、蓋と共に移動し、前方向の基板の位置が揃わなくなる。この場合も同様に、外部の搬送機構が基板を保持し損ねることがある。しかしながら、可変部を駆動させて、蓋用溝部から基板を外すことができる。そのため、前方向の位置ズレを抑えて、搬送機構の保持アームが基板を保持し損ねることを防止することができる。
【００１７】
また、本発明に係るロードポート装置は、上述した発明に係る基板収納容器を載置可能な載置台と、前記載置台に載置された前記基板収納容器の前記蓋を開閉する蓋開閉機構と、を備えたことを特徴とするものである。本発明に係るロードポート装置によれば、上述した基板収納容器を好適に載置できる。
【００１８】
また、本発明に係る基板処理装置は、上述した発明に係る基板収納容器を載置可能な載置台と、前記載置台に載置された前記基板収納容器の前記蓋を開閉する蓋開閉機構と、基板に対して処理を行う処理ユニットと、前記載置台に載置された前記基板収納容器から基板を搬出し、前記処理ユニットに搬入する搬送機構と、を備えたことを特徴とするものである。本発明に係る基板処理装置によれば、上述した基板収納容器に収容される基板に対して処理を行うことができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明に係る基板収納容器、ロードポート装置および基板処理装置によれば、基板は、可変部により押され、また、基板は、角度が大きくなった傾斜面に載置されるので、筐体用支持部材または蓋用支持部材から外し易くなる。そのため、前後方向の基板の位置ズレを抑えて、搬送機構の保持アームが基板を保持し損ねることを防止することができる。したがって、基板を適切に搬出できる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】（ａ）は蓋が筐体に装着されているときの基板収納容器の外観を示す斜視図であり、（ｂ）は蓋が筐体に装着されていないときの基板収納容器の外観を示す斜視図である。
【図２】（ａ）は実施例１に係る筐体の内部を示す側面図であり、（ｂ）は実施例１に係る筐体の内部を示す平面図であり、（ｃ）は実施例１に係る筐体の内部を示す正面図である。
【図３】（ａ）は蓋および蓋用支持部材を示す斜視図であり、（ｂ）は蓋および蓋用支持部材を示す側面図である。
【図４】可変部を説明するための図である。
【図５】（ａ）は基板処理装置の平面図であり、（ｂ）は基板処理装置の側面図である。
【図６】基板収納容器とロードポート部を示す拡大側面図である。
【図７】（ａ）〜（ｃ）は、実施例１に係る基板収納容器の動作を説明するための図である。
【図８】実施例２に係る筐体の内部を示す側面図である。
【図９】（ａ）、（ｂ）は、実施例２に係る基板収納容器の動作を説明するための部分拡大図である。
【図１０】（ａ）、（ｂ）は、実施例３に係る基板収納容器の構成とその動作の説明のための図である。
【図１１】（ａ）、（ｂ）は、変形例に係る基板収納容器の構成とその動作の説明のための部分拡大図である。
【実施例１】
【００２１】
１．基板収納容器の構成
図１（ａ）、（ｂ）を参照する。基板収納容器１の外形は略直方体である。基板収納容器１は、複数の基板Ｗを収容可能である。「基板Ｗ」は、例えば、半導体ウエハ、フォトマスク用のガラス基板、液晶表示装置用のガラス基板、プラズマディスプレイ用の基板、光ディスク用の基板、磁気ディスク用の基板、光磁気ディスク用の基板などである。
【００２２】
基板収納容器１は、その内部で収納可能な、かつ、その前面に開口Ａを有する筐体２と、筐体２に着脱して開口Ａを開閉する蓋３とを備えている。蓋３は筐体２の前面に取り付けられる。図１（ｂ）に示すように、筐体２の前面には開口Ａが形成されている。蓋３は開口Ａを閉塞する。蓋３が筐体２に着脱するとき、蓋３は、開口Ａと向かい合ったまま、開口Ａに対して略垂直な前後方向に移動する。前後方向は略水平である。筐体２の内部には、基板Ｗを収容するための空間Ｓが形成されている。基板収納容器１は少なくとも１枚の基板Ｗを収納可能に構成されている。基板収納容器１は標準的には２５枚の基板Ｗを収納するが、以下では便宜上、基板Ｗを３枚まで収納可能な基板収納容器１を例にとって説明する。
【００２３】
図１（ａ）、図１（ｂ）に加えて、図２（ａ）乃至図２（ｃ）を参照する。筐体２は、上板部４と底板部５と右側壁部６と左側壁部７と後壁部８とを有する。各部４乃至８は、上述した空間Ｓを画定する。図２（ａ）では右側壁部６と左側壁部７の図示を省略している。図２（ｂ）では、図示の便宜上、上板部４と底板部５の図示を省略している。図２（ｃ）では後壁部８の図示を省略している。
【００２４】
以下では、前後方向のうち、後壁部８から開口Ａに向かう方向を、適宜に「前方向」と呼び、前方向と反対の方向を「後方向」と呼ぶ。
【００２５】
筐体２の内部の側壁部６，７には、棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃが設けられている。棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃは、上下方向に並ぶように配置されている。各棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃは、基板Ｗを略水平姿勢で下方向から支持する。各棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃは、基板Ｗの下面とのみ接触する。なお、本明細書において基板Ｗの下面とは基板Ｗの下部周縁を含む概念である。以下では、棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃを特に区別しない場合には、単に「棚部材１１」と呼ぶ。後述するように、各棚部材１１には基板Ｗが１枚ずつ載置される。後述する保持アーム４７ａは各棚部材１１に基板Ｗを搬入し、また各棚部材１１の基板Ｗを搬出する。したがって、各棚部材１１の間には保持アーム４７ａによる基板Ｗの搬入および搬出が安全に行えるだけの上下間隔（クリアランス）が設けられている。
【００２６】
本実施例では、各棚部材１１は右棚部材１２と左棚部材１３とを含む。右棚部材１２は右側壁部６から張り出しており、左棚部材１３は左側壁部７から張り出している。
【００２７】
筐体２の内部の後壁部８には、さらに、筐体用支持ブロック１４が設けられている。筐体用支持ブロック１４は、筐体２に固定されている。筐体用支持ブロック１４には、筐体用支持部材１６ａ、１６ｂ、１６ｃが形成されている。筐体用支持部材１６ａ、１６ｂ、１６ｃは、上下方向に並ぶように配置されている。各筐体用支持部材１６ａ、１６ｂ、１６ｃは、基板Ｗの端部を支持する。以下、筐体用支持部材１６ａ、１６ｂ、１６ｃを特に区別しない場合には、単に「筐体用支持部材１６」と呼ぶ。
【００２８】
筐体用支持部材１６の材質は、例えば、樹脂である。より好ましくは、筐体用支持部材１６の材質は、弾力性を有する樹脂である。各筐体用支持部材１６には、１つの溝部１７が形成されている。図２（ｂ）に示すように、溝部１７は後方向に凹んでいる。溝部１７は側面視で例えば略Ｖの字形状を呈する。なお、溝部１７は、本発明の筐体用溝部に相当する。
【００２９】
溝部１７は下傾斜面（下傾斜部）１７ａと最奥部１７ｂと上傾斜面（上傾斜部）１７ｃを有する。下傾斜面１７ａは最奥部１７ｂの下側に隣接しており、上傾斜面１７ｃは最奥部１７ｂの上側に隣接している。最奥部１７ｂは開口Ａから見たときに、略水平方向に形成される。下傾斜面１７ａは、最奥部１７ｂから斜め下方に延びるように形成され、上傾斜面１７ｃは、最奥部１７ｂから斜め上方に延びるように形成される。
【００３０】
ここで、筐体用支持部材１６と棚部材１１との高さ関係を説明する。筐体用支持部材１６ｂの最奥部１７ｂの位置は、基板Ｗと接触する棚部材１１ｂの接触面よりも高い。筐体用支持部材１６ｂの下傾斜面１７ａの下端は、棚部材１１ｂの接触面と同等の高さ、または、それよりも低い。筐体用支持部材１６ａと棚部材１１ａとの高さ関係、および、筐体用支持部材１６ｃと棚部材１１ｃとの高さ関係も、同様である。
【００３１】
次に、図３（ａ）、図３（ｂ）を参照して、蓋３について説明する。蓋３が筐体２に装着されているとき、筐体２の内部と接する蓋３の内側面を「裏面３ｂ」と呼ぶ。裏面３ｂには、蓋用支持ブロック２１が固定されている。蓋用支持ブロック２１には、蓋用支持部材２３ａ、２３ｂ、２３ｃが形成されている。蓋用支持部材２３ａ、２３ｂ、２３ｃは、上下方向に並ぶように配置されている。蓋３が筐体２に装着されているとき、蓋用支持部材２３ａ、２３ｂ、２３ｃはそれぞれ、筐体用支持部１６ａ、１６ｂ、１６ｃと略同じ高さ位置で向かい合う。各蓋用支持部材２３ａ、２３ｂ、２３ｃは、基板Ｗの端部を支持する。以下、蓋用支持部材２３ａ、２３ｂ、２３ｃを特に区別しない場合には、単に「蓋用支持部材２３」と呼ぶ。
【００３２】
蓋用支持部材２３の材質は、例えば、樹脂である。より好ましくは、蓋用支持部材２３の材質は、弾力性を有する樹脂である。蓋用支持部材２３は、筐体用支持部材１６と略同様の形状を有している。すなわち、各蓋用支持部材２３には、溝部２４が形成されており、溝部２４は側面視で略Ｖの字形状を呈している。各溝部２４は下傾斜面２４ａと最奥部２４ｂと上傾斜面２４ｃを有する。なお、溝部２４は、本発明の蓋用溝部に相当する。
【００３３】
次に、本発明の特徴部分である可変部３１と気体供給部３３を説明する。図２（ａ）乃至図２（ｃ）、図４を参照する。まず、可変部３１と気体供給部３３を簡単に説明する。基板収納容器１は、溝部１７の最奥部１７ｂから斜め下方に延びる下傾斜面１７ａの少なくとも一部の傾斜面３１ａであり、その傾斜面３１ａの下端側を基準に回転可能に構成された可変部３１を備えている。また、基板収納容器１は、可変部３１の傾斜面３１ａの角度を変更する気体供給部３３を備えている。なお、気体供給部３３は、本発明の傾斜角変更駆動部に相当する。
【００３４】
筐体２から蓋３を取り外す際に、気体供給部３３は、蓋３が筐体２に装着している状態と比べ、可変部３１の傾斜面３１ａの水平面に対する角度を大きくする。これにより、基板Ｗは、可変部３１により前方向に押され、また、基板Ｗは、水平面に対する角度が大きくなった傾斜面３１ａに載置されるので、筐体用支持部材１６から外し易くなる。つまり、筐体用支持部材１６の溝部１７の下傾斜面１７ａから基板Ｗを滑り降り易くすることができる。
【００３５】
次に、可変部３１と気体供給部３３を具体的に説明する。可変部３１は、溝部１７を構成する下傾斜面１７ａ、最奥部１７ｂおよび上傾斜面１７ｃのうち、下傾斜面１７ａの一部および全部のいずれかで構成される。つまり、下傾斜面１７ａは、可変部３１の傾斜面３１ａを含んでいる。また、下傾斜面１７ａの延長上に傾斜面３１ａがあってもよく、下傾斜面１７ａと傾斜面３１ａとの間に段差を有していてもよい。また、下傾斜面１７ａの一部で構成された可変部３１は、例えば、最奥部１７ｂまで達していない形状のものが挙げられる。可変部３１は、例えば、樹脂で形成され、筐体用支持部材１６と同じ材質であってもよい。
【００３６】
また、可変部３１は、傾斜面３１ａの上端側および下端側のうち、下端側の予め設定された位置を基準に回転可能に構成されている。可変部３１はヒンジＨを基準に回転される。ヒンジＨは、可変部３１と溝部１７と回転可能に連結する。ヒンジＨは、例えば、筐体用支持部材１６および可変部３１と共に一体的に形成されたリビングヒンジで構成される。なお、筐体用支持部材１６と可変部３１は、一体的ではなく分離していてもよい。また、ヒンジＨは、傾斜面３１ａから少し離れていてもよい。
【００３７】
気体供給部３３は、不活性ガス（例えば窒素）等の気体を供給することで可変部３１の傾斜面３１ａの角度を変更させるものである。また、気体供給部３３は、可変部３１の裏面に気体を直接当てるように構成されている。具体的には、気体供給部３３は、可変部３１の裏面と隣接する溝部１７に設けられ、可変部３１の裏面に気体を吹き付ける吹き付け口３５と、基板収納容器１の外部機器と接続可能な接続ポート３６と、吹き付け口３５と接続ポート３６とを接続する気体流路３７とを備えている。可変部３１の裏面とは、基板Ｗと接する傾斜面３１ａの反対側の面を示す。
【００３８】
吹き付け口３５は、各溝部１７に設けられている。接続ポート３６と接続可能な外部機器は、後述するロードポート部４２に設けられている。気体流路３７は、図２（ｂ）等のように、筐体用支持部材１６の内部に形成されていてもよい。また、気体流路３７は、管状の配管で構成されてもよいし、筐体用支持部材１６内部、および配管を組み合わせて構成されてもよい。また、可変部３１の傾斜面の角度が所定の角度よりも大きくならないように、図示しない規制部材が設けられている。
【００３９】
２．ロードポート装置および基板処理装置の構成
図５（ａ）、図５（ｂ）を参照して、基板収納容器１が適用される基板処理装置４１を説明する。基板処理装置４１は、ロードポート部４２と処理部４３を備えている。ロードポート部４２は、複数のロードポート装置４２０，４２１，４２２を有している。各ロードポート装置４２０，４２１，４２２はそれぞれ載置台４４と蓋開閉機構４５とを備えている。載置台４４は基板収納容器１を載置する。蓋開閉機構４５は、載置台４４に載置された基板収納容器１を開閉する。蓋開閉機構４５は、シャッター部材４５ａとシャッター部材用駆動機構４５ｂとを備える。シャッター部材４５ａは基板収納容器１に対して蓋３を着脱するとともに、基板収納容器１から取り外した蓋３を保持する。シャッター部材用駆動機構４５ｂは、蓋３をあける場合、シャッター部材４５ａを位置Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３の順に移動させる（図５（ｂ）参照）。シャッター部材４５ａが位置Ｐ１と位置Ｐ２との間で移動するとき、シャッター部材４５ａに保持される蓋３は、開口Ａと向かい合ったまま、前後方向に移動する。
【００４０】
処理部４３は、搬送機構４７と処理ユニット４８を備える。搬送機構４７は、載置台４４に載置された基板収納容器１と処理ユニット４８に対してアクセスする。搬送機構４７は、基板Ｗを保持するための保持アーム４７ａと、保持アーム４７ａを移動させるための保持アーム用駆動機構４７ｂを備えている。処理ユニット４８は基板Ｗに洗浄処理などの処理を行う。
【００４１】
なお、基板処理装置４１は、この装置４１の各構成を統轄的に制御する主制御部４９と、基板処理装置１を操作するための操作部５０とを備えている。主制御部４９は、ＣＰＵ等で構成される。操作部５０は、例えば、液晶モニタなどの表示部と、キーボードやマウス、その他スイッチ等の入力部とを備えている。
【００４２】
次に、図６を参照して外部機器６０について説明する。基板収納容器１が載置台４４に載置されると、基板収納容器１の接続ポート３６と外部機器６０とが接続される。
【００４３】
外部機器６０はロードポート部４２に設けられている。外部機器６０は、気体供給管６１、供給弁６２、気体排出管６３、排出弁６４、三方弁６５、気体共通管６６、気体ポート６７および制御部６８を備えている。気体供給管６１の一端は、気体供給源に接続されている。気体供給管６１の途中には、供給弁６２が設けられている。一方、気体排出管６３の一端は、気体排出部に接続される。気体排出管６３の途中には、排出弁６４が設けられている。気体供給管６１の他端および気体排出管６３の他端は、三方弁６５に接続されている。
【００４４】
三方弁６５にはさらに、気体共通管６６の一端が接続されている。三方弁６５は、気体供給管６１および気体排出管６３のいずれかを気体共通管６６に連通接続する。気体共通管６６の他端は、気体ポート６７に接続されている。気体ポート６７は、接続ポート３６と連通着脱可能である。制御部６８は供給弁６２と排出弁６４と三方弁６５を操作する。これにより、制御部６８は、吹き付け口３５に対する気体の供給および排出を制御する。
【００４５】
なお、気体供給源は、例えば、不活性ガスのボンベである。気体供給管７１の他端は、気体供給ポート７２に接続されている。気体排出部は、ブロアや真空ポンプである。接続ポート３６と気体ポート６７は互いに連結されると、接続ポート３６と気体ポート６７とは共に開かれ、気体流路３７と気体共通管６６が連通される。一方、接続された接続ポート３６と気体ポート６７とが互いに分離すると、接続ポート３６と気体ポート６７とは共に閉じられる。
【００４６】
３．動作例
次に、実施例１に係る基板収納容器１の動作例を説明する。
【００４７】
３．１．基板収納容器１の載置台４４への載置
図６のように、基板処理装置４１のロードポート部４２の載置台４４に基板収納容器１が搬送される。基板収納容器１が載置台４４に搬送されて載置されると、基板収納容器１の接続ポート３６と、ロードポート部４２に設けられた外部機器６０の気体ポート６７とが連結され、気体流路３７と気体共通管６６とが連通する。また、載置台４４に基板収納容器１が載置されると、図示しないセンサが、基板収納容器１の載置を検出する。
【００４８】
例えば、その図示しないセンサの検出情報に基づき、制御部６８は、供給弁６２と排出弁６４と三方弁６５を制御して気体供給源から気体ポート６７に気体を供給する。気体ポート６７に供給された気体、すなわち外部機器６０から供給された気体は、接続ポート３６、気体流路３７および吹き付け口３５を通じ、可変部３１の裏面に直接供給される。
【００４９】
３．２．蓋開閉機構４５による蓋３の取り外し
また、その図示しないセンサの検出情報に基づき、蓋開閉機構４５は、筐体２から蓋３を取り外す。図７（ａ）は、筐体２に蓋３が装着されている状態を示す図である。この状態では、筐体用支持部材１６の溝部１７と、蓋用支持部材２３の溝部２４は、基板Ｗの下面が棚部材１１と接触していない状態で基板Ｗの端部を挟持する。すなわち、溝部１７の最奥部１７ｂと溝部２４の最奥部２４ｂにより、棚部材１１から基板Ｗを離しつつ、基板Ｗの端部を挟持する。これにより、搬送時に基板Ｗの振動等を抑えることができる。
【００５０】
図７（ａ）の状態において、蓋開閉機構４５は筐体２から蓋３を取り外す。蓋開閉機構４５は、シャッター部材４５ａで蓋３を保持し、基板収納容器１の図示しないロック機構によるロックを解除する。そして、蓋開閉機構４５は、蓋３を保持しつつ、蓋３を前方向に移動する。この際、気体供給部３３の吹き出し部３５は、可変部３１の裏面に気体を供給している。これにより、可変部３１には、ヒンジＨを基点として起き上がろうとする力が働いている。
【００５１】
そして、図７（ｂ）のように、筐体２から蓋３を取り外すとき、気体供給部３３は、可変部３１の傾斜面３１ａの水平に対する角度を大きくする。蓋開閉機構４５により蓋３が前方向に移動すると、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３とによる基板Ｗの挟持が解除される。これにより、筐体用支持部材１６および蓋用支持部材２３と、基板Ｗとの間に隙間が生じ、基板Ｗは、溝部１７，２４の下傾斜面１７ａ，２４ａに沿って滑り降りる。そして、最終的に、基板Ｗは、略水平姿勢で棚部材１１に載置される。
【００５２】
ここで、従来であれば上述の問題が生じる。すなわち、筐体２から蓋３を取り外しても、筐体用支持部材１６が基板Ｗを保持したままであり、基板Ｗが筐体用支持部材１６から外れない場合、すなわち、図７（ｃ）のように、筐体用支持部材１６の溝部１７の下傾斜面１７ａから滑り降りない場合がある。この場合、基板Ｗが後方向に位置ずれしているので、搬送機構４７の保持アーム４７ａが基板Ｗを取り損ね、基板Ｗを落下させてしまう可能性がある。また、基板Ｗが棚部材１１に略水平姿勢に載置されないので、基板同士の間隔が適切に確保できない。これにより、図７（ｃ）の斜め姿勢の基板Ｗの１段上の基板Ｗを取り出す際に、斜め姿勢の基板Ｗの表面を引っかいてしまう可能性がある。
【００５３】
しかしながら、基板Ｗの挟持が解除されると、可変部３１により傾斜面３１ａ（下傾斜面１７ａ）の角度が大きくなる。このとき、基板Ｗは可変部３１により前方向に押されて、下傾斜面１７ａを滑り降りるきっかけが与えられ、基板Ｗは下傾斜面１７ａを滑り降り易くなる。また、基板Ｗは、水平面に対する角度が大きくなった傾斜面３１ａに載置されるので、基板Ｗは下傾斜面１７ａを滑り降り易くなる。そのため、基板Ｗを棚部材１１に略水平姿勢で載置される。
【００５４】
３．３．搬送機構４７による基板Ｗの取り出しおよび収納
蓋開閉機構４５は、図５（ａ）のように、シャッター部材４５ａおよび蓋３を位置Ｐ１から、位置Ｐ２、位置Ｐ３のように移動させる。この後、搬送機構４７は、基板収納容器１に収納された基板Ｗを取り出して、所定の処理ユニット４８に搬送する。処理ユニット４８において、予め設定された処理が行われると、搬送機構４７は、処理ユニット４８から搬出された基板Ｗを基板収納容器１内に収納する。
【００５５】
なお、気体供給部３３は、可変部３１を駆動した後、所定のタイミング、又は所定時間経過後に気体の供給を停止させてもよい。例えば、蓋３が位置Ｐ２に到達したタイミングで、制御部６８は、供給弁６２を制御して、気体供給部３３による気体供給を停止してもよい。また、そのタイミングで、制御部６８は、気体排出部へ気体を排出するため、供給弁６２と排出弁６４と三方弁６５を制御して、吹き付け口３５、気体流路３７、接続ポート３６および気体ポート６７等を通じて気体を吸引させてもよい。
【００５６】
３．４．蓋開閉機構４５による蓋３の取り付け
蓋開閉機構４５は、図５（ａ）のように、シャッター部材４５ａで保持した状態の蓋３を位置Ｐ３から、位置Ｐ２、位置Ｐ１へと移動させて筐体２の開口Ａを蓋３で閉じる。蓋開閉機構４５による蓋３の取り付け前は、図７（ｂ）のように、基板Ｗは、棚部材１１に略水平姿勢で載置されている状態である。この状態から蓋３を後方向へ移動させると、基板Ｗは、筐体用支持部材１６の溝部１７と、蓋用支持部材２３の溝部２４とで挟まれて、棚部材１１から基板Ｗが持ち上げられる。蓋開閉機構４５により蓋３の取り付けられると、図７（ａ）のように、最奥部１７ｂ，２４ｂにおいて、筐体用支持部材１６の溝部１７と、蓋用支持部材２３の溝部２４により、棚部材１１から基板Ｗを離しつつ、基板Ｗの端部が挟持される。
【００５７】
なお、蓋開閉機構４５による蓋３の取り付け前に、制御部６８による供給弁６２等の制御によって、気体供給部３による気体供給を停止し、気体を吸引して、可変部３１の傾斜面の水平方向に対する角度を小さくさせてもよい。
【００５８】
３．５．基板収納容器１の載置台４４からの搬送
蓋開閉機構４５は、筐体２に蓋３を取り付けて、図示しないロック機構によりロックする。その後、基板収納容器１は、例えば次の工程の基板処理装置へ搬送される。
【００５９】
なお、気体供給部３３による可変部３１の傾斜面３１ａを大きくするタイミングや、小さくするタイミングは、任意に設定される。例えば、蓋３を前方向へ十分移動した後に、可変部３１の傾斜面３１ａを大きくしてもよい。この場合、蓋３の蓋用支持部材２３は、可変部３１により押されて飛び出した基板Ｗを受け止めて、位置ズレが生じることを防止してもよい。
【００６０】
本実施例によれば、基板Ｗの端部を支持する溝部１７は、筐体用支持部材１６および蓋用支持部材２３に形成されている。可変部３１は、溝部１７の最奥部１７ｂから斜め下方に延びる下傾斜面１７ａの少なくとも一部の傾斜面３１であり、その傾斜面３１の下端側を基準に回転可能に構成されている。そして、筐体２から蓋３を取り外す際に、気体供給部３３は、蓋３が筐体２に装着されている状態と比べ、可変部３１の傾斜面３１ａの水平面に対する角度を大きくする。基板Ｗは、可変部３１により押され、また、基板Ｗは、角度がより大きくなった傾斜面３１ａに載置されるので、筐体用支持部材１６から外し易くなる。そのため、後方向の基板Ｗの位置ズレを抑えて、搬送機構４７の保持アーム４７ａが基板Ｗを保持し損ねることを防止することができる。また、基板Ｗは、略水平姿勢で棚部材１１に載置されているので、基板Ｗ間の上下方向におけるクリアランスは適切に確保されている。したがって、基板Ｗを適切に搬出できる。
【００６１】
また、基板収納容器１は、気体を供給することで可変部３１の傾斜面３１ａの角度を変更させる気体供給部３３を備えている。気体供給部３３が気体を供給することで、可変部３１の傾斜面３１ａの角度を変更できる。また、筐体２に対する蓋３の着脱に関わらず、可変部３１を駆動でき、駆動するタイミングを任意に設定できる。また、気体供給部３３は、後述するリンク機構７０よりも比較的簡単に構成することができる。
【００６２】
また、気体供給部３３は、可変部３１の裏面と隣接する溝部１７に設けられた吹き付け口３５を有し、気体供給部３３は、吹き付け口３５から気体を直接供給することで、可変部３１の傾斜面３１ａの角度を変更する。可変部３１の裏面と隣接した溝部１７にバルーン９１が設けられた構成よりも簡単に構成することができる。
【００６３】
ロードポート部４２は、基板収納容器１を載置可能な載置台４４と、載置台４４に載置された基板収納容器１の蓋３を開閉する蓋開閉機構４５とを備えている。これにより、上述した基板収納容器１を好適に載置できる。
【００６４】
基板処理装置４１は、基板収納容器１を載置可能な載置台４４と、載置台４４に載置された基板収納容器１の蓋３を開閉する蓋開閉機構４５と、基板Ｗに対して処理を行う処理ユニット４８と、載置台４４に載置された基板収納容器１から基板Ｗを搬出し、処理ユニット４８に搬入する搬送機構４７とを備えている。これにより、上述した基板収納容器１に収容される基板Ｗに対して処理を行うことができる。
【実施例２】
【００６５】
次に、図面を参照して本発明の実施例２を説明する。なお、実施例１と重複する説明は省略する。
【００６６】
実施例１では、可変部３１は、気体供給部３３で供給された気体によって駆動されていたが、この点、実施例２では、可変部３１は、リンク機構７０で動力が伝達されることにより駆動される。なお、リンク機構７０が本発明の角度変更駆動部に相当する。
【００６７】
基板収納容器１の筐体３は、図８のように、気体供給部３３に代えて、リンク機構７０を備えている。リンク機構７０は、蓋３が筐体２に装着される際に、蓋３と筐体２とが前後方向に相対的な運動から動力を受けるリンク棒７１と、例えば圧縮コイルバネ等のバネ７２と、リンク棒７１を前後方向に移動可能に支持する案内部材７３と、を備えている。図８において、バネ７２は、リンク棒７１の後方向側に設けられており、バネ７２は、リンク棒７１が後方向に押し込まれると、前方向の復元力が蓄積される。なお、リンク棒７１およびバネ７２が本発明の動力受け部および動力供給部に相当する。
【００６８】
また、リンク機構７０は、可変部３１に接触して動力を与えることで、可変部３１の傾斜面の角度を変更させる動力付与部材７４と、リンク棒７１と動力付与部材７４との間でリンク部材７５ａにより動力を伝達する動力伝達部７５と、を備えている。動力付与部材７４は、可変部３１と軸部７６ａで回転可能に連結されている。動力伝達部７５は、１つ以上のリンク部材７５ａで構成され、適宜、軸部７６ａおよび位置固定軸７６ｂが設けられる。位置固定軸部７６ｂは、設置位置が固定され、その位置でリンク部材７５ａを回転可能に支持する。なお、動力付与部材７４は、軸部７６ａを介して可変部３１と接触し、可変部３１に動力を伝えている。また、可変部３１、リンク部材７５ａおよび軸部７６ａは、図示しない規制部材により連結位置において移動できるようになっていてもよい。
【００６９】
次に、本実施例の基板収納容器１の動作を説明する。図８の二点鎖線で示す蓋３等を後方向に移動させることにより、筐体２に蓋３が取り付けられる。この取り付けの際に、リンク棒７１は蓋３と接触し、蓋３により後方向に押し込まれる。すなわち、リンク棒７１およびバネ７２は、蓋３と筐体２とが前後方向に相対的な運動から動力を受ける。受けた動力は、動力伝達部７５を介在して、動力付与部材７４に伝達される。図９（ａ）において、動力付与部材７４が下がることで、可変部３１の傾斜面３１ａの角度が小さくなる。傾斜面３１ａが小さくなると最奥部１７ｂに基板Ｗが移動し易くなる。なお、リンク棒７１と連動するバネ７２は、押し込まれて復元力が蓄積されている。
【００７０】
一方、図８において、蓋３を前方向に移動させることにより、筐体２から蓋３が取り外される。この取り外しの際も同様に、リンク棒７１およびバネ７２は、蓋３と筐体２とが前後方向に相対的な運動から動力を受ける。すなわち、リンク棒７１は、バネ７２の復元力により、蓋３と共に前方向に移動する。また、バネ７２の復元力は、動力伝達部７５を介在して、動力付与部材７４に伝達される。図９（ａ）において、動力付与部材７４が上方向に移動することで、可変部３１の傾斜面の角度が大きくなる。水平面に対する角度が大きくなった可変部３１により基板Ｗが前方向に押し出され、また、基板Ｗが水平面に対する角度が大きくなった傾斜面３１ａに載置される。そのため、最奥部１７ｂから基板Ｗが移動し易くなる。
【００７１】
本実施例によれば、基板収納容器１は、動力を供給するリンク棒７１およびバネ７２と、可変部３１に接触して動力を与えることで、可変部３１の傾斜面３１ａの角度を変更させる動力付与部材７４と、リンク棒７１およびバネ７２と動力付与部材７４との間で、リンク部材７５ａにより動力を伝達する動力伝達部７５とを備えている。動力伝達部７５は、リンク棒７１から動力付与部材７４に動力を伝達し、動力付与部材７４が可変部３１に接触して動力を与えることで、可変部３１の傾斜面３１ａの角度を変更できる。
【００７２】
また、リンク棒７１およびバネ７２は、筐体２に対して蓋３を着脱させる際の前後方向の相対的な運動から動力を受ける。気体供給源やモータなどが設けられていなくても、筐体２に対して蓋３を着脱させる際の前後方向の相対的な運動を利用して、可変部３１を駆動できる。
【実施例３】
【００７３】
次に、図面を参照して本発明の実施例２を説明する。なお、実施例１と重複する説明は省略する。
【００７４】
実施例１および２では、可変部３１は、筐体２の後壁部８に配置する筐体用支持部材１６に設けられたが、この点、実施例３では、可変部８１は、蓋３の裏面３ｂに配置する蓋用支持部材２３に設けられてもよい。また、実施例１および２のいずれかの構成に、実施例３の構成を追加してもよい。
【００７５】
図１０（ａ）、図１０（ｂ）を参照する。可変部８１は、蓋用支持部材２３に形成された溝部２４に設けられる。また、可変部８１の傾斜面８１ａの水平面に対する角度は、気体供給部８３により変更される。可変部８１および気体供給部８３の構成は、実施例１と略同様である。気体供給部８３は、蓋３および蓋用支持部材２３にまたがって設けられ、吹き付け口８５と接続ポート８６と気体流路８７を備えている。
【００７６】
接続ポート８６は、蓋３の前方向側に設けられる。例えば、シャッター部材４５ａ（図６参照）で蓋３を保持した際に、接続ポート８５は、シャッター部材４５ａに設けられた気体ポート６７と連結される。これにより、図６のような気体供給源によって気体が供給され、気体排気部によって気体が排気される。気体供給部８３に代えて実施例２のリンク機構７０を設けてもよい。
【００７７】
ここで、筐体用支持部材１６と棚部材１１との高さ関係を説明する。筐体用支持部材１６ａの最奥部１７ｂの位置は、棚部材１１に略水平姿勢に載置された基板Ｗと略同じである。そのため、基板Ｗは、最奥部１７ｂに位置した状態で、略水平姿勢で棚部材１１に載置される。筐体用支持部材１６ｂと棚部材１１ｂとの高さ関係、および、筐体用支持部材１６ｃと棚部材１１ｃとの高さ関係も、同様である。また、蓋用支持部材２３ａ〜２３ｃと棚部材１１ａ〜１１ｃとの高さ関係も、実施例１と同様である。
【００７８】
次に、蓋開閉機構４５により蓋３を取り外しおよび取り付けを行ったときの基板収納容器１の動作を説明する。
【００７９】
図１０（ａ）の筐体２に蓋３が取り付けられている状態において、蓋開閉機構４５により蓋３を前方向に移動させて、筐体２から蓋３が取り外す。この際、蓋３は、蓋開閉機構４５のシャッター部材４５ａにより保持され、基板収納容器１の接続ポート８６は、気体ポート６７と連結される。
【００８０】
蓋３を前方向に移動すると、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３とによる基板Ｗの挟持が解除される。筐体用支持部材１６および蓋用支持部材２３と、基板Ｗとに隙間が生じ、基板Ｗは、筐体用支持部材１６および蓋用支持部材２３の溝部１７，２４を滑り降りる。
【００８１】
ここで、従来であれば上述の問題が生じる。すなわち、筐体２から蓋３を取り外すときに基板Ｗが蓋用支持部材２３の溝部２４に引っかかると、基板Ｗは、蓋３と共に筐体２の開口Ａ側（前方向）に飛び出して、前方向において、基板Ｗの位置が揃わなくなる。この場合、基板Ｗが前方向に位置ずれしているので、搬送機構４７の保持アーム４７ａが基板Ｗを取り損ね、基板Ｗを落下させてしまう可能性がある。
【００８２】
しかしながら、基板Ｗの挟持が解除されると、図１０（ｂ）のように、気体供給部８３により可変部８１の裏面に気体が直接供給されているので、可変部８１の傾斜面８１ａの角度が大きくなる。このとき、基板Ｗは可変部８１により後方向に押され、下傾斜面２４ａを滑り降りるきっかけが与えられ、基板Ｗは下傾斜面２４ａを滑り降り易くなる。また、基板Ｗは、角度が大きくなった傾斜面８１ａに載置されるので、基板Ｗは下傾斜面２４ａを滑り降り易くなる。そのため、基板Ｗを棚部材１１に略水平姿勢で載置される。
【００８３】
一方、図１０（ｂ）の筐体２から蓋３が取り外された状態から筐体２に蓋３を取り付ける際に、気体供給部８３による可変部８１への気体の供給を停止させ、また、可変部７１から気体を吸引させる。これにより、可変部８１の傾斜面８１ａの水平面に対する角度は小さくなる。傾斜面８１ａの水平面に対する角度が小さくなると最奥部１７ｂに基板Ｗが移動し易くなる。
【００８４】
本実施例によれば、基板Ｗは、可変部８１により押され、また、基板Ｗは、水平面に対する角度がより大きくなった傾斜面８１ａに載置されるので、蓋用支持部材２３から外し易くなる。そのため、前方向の基板の位置ズレを抑えて、搬送機構４７の保持アーム４７ａが基板Ｗを保持し損ねることを防止することができる。したがって、基板Ｗを適切に搬出できる。なお、本実施例の気体供給部８３は、実施例２のリンク機構７０のような構成で置き換えてもよい。
【００８５】
本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
【００８６】
（１）上述した実施例１，３では、例えば図７（ｂ）のように、気体供給部３３は、可変部３１の裏面に気体を直接供給することで、可変部３１の傾斜面の角度を変更していた。この点、例えば、図１１（ａ）、図１１（ｂ）のように、気体供給部３３は、可変部３１の裏面に設けられたバルーン９１を膨らますことで、可変部３１の傾斜角を変更してもよい。
【００８７】
気体供給部３３は、吹き付け口３５に代えて、可変部３１の裏面と隣接する溝部１７に設けられたバルーン９１を備えている。気体流路３７は、バルーン９１と接続ポート３６の間で気体を流通させるようになっている。バルーン９１に気体が供給されると、図１１（ｂ）のように、バルーン９１が膨張する。バルーン９１が膨張すると、バルーン９１は、可変部３１の裏面から可変部３１を押し、可変部３の傾斜面３１ａの角度を大きくする。また、バルーン９１から気体が排出されると、図１１（ａ）に示すように、バルーン９１が収縮する。なお、実施例３の蓋用支持部材２３の気体供給部８３にも適用可能である。
【００８８】
本変形例によれは、気体供給部３３は、可変部３１の裏面と隣接する溝部１７に設けられたバルーン９１を有し、気体供給部３３は、バルーン９１を膨らますことで、可変部３１の傾斜面３１ａの角度を変更する。可変部３１の裏面に気体を直接供給する構成よりも少量の気体で振動がなく安定して、可変部３１を駆動できる。
【００８９】
（２）上述した各実施例および変形例（１）では、複数の筐体用支持部材１６が一体に成形されていたが、これに限られない。例えば、各筐体用支持部材１６は互いに分離されていてもよい。蓋用支持部材２３の構造についても同様である。
【００９０】
（３）上述した各実施例および各変形例では、複数の筐体用支持部材１６は上下方向に１列に並ぶように配置されていたが、これに限られない。複数の筐体用支持部材１６が上下方向に複数列に並ぶように配置されていてもよい。複数の筐体用支持部材１６が上下方向に千鳥に配置されていてもよい。蓋用支持部材２３の配置についても同様である。
【００９１】
（４）上述した実施例２において、基板収納容器１は、筐体２内の雰囲気を遮蔽するための遮蔽部材をさらに備えてもよい。例えば、遮蔽部材は、基板Ｗが支持されるスペースと、リンク機構７０との間で雰囲気を遮蔽する。これにより、リンク機構７０でパーティクルが発生した場合に、パーティクルが、基板Ｗが支持されるスペースに進入することを防止できる。なお、可動部分については、自由度のあるベローズ等で遮蔽してもよい。
【００９２】
（５）上述した実施例２では、可変部３１の角度変更させるための動力を供給する動力供給部として、リンク棒７１およびバネ７２を用いていたが、これに限定されない。例えば、動力供給部としてモータを用いてもよい。モータは、基板収納容器１の内部あるいは外部に設けられ、外部に設けられる場合は、実施例１の接続ポート３６と気体ポート６７のように、着脱可能であってもよい。また、動力供給部として、操作者が操作するハンドルであってもよい。ハンドルは、基板収納容器１の外部に着脱可能で設けられ、使用時に取り付けるものであってもよい。また、動力供給部として、気体で駆動するシリンダであてもよい。
【００９３】
（６）上述した実施例２では、動力伝達部７５は、リンク部材７５ａ等により構成されているが、カムやギア等のような、接触して動力を伝達する接触伝達部材により構成されていてもよい。接触伝達部材は、リンク部材７５ａを含む。
【００９４】
（７）上述した各実施例では、ロードポート装置４２０、４２１、４２２はそれぞれ、１つの載置台４４を備えていたが、これに限られない。すなわち、複数の載置台を備えるロードポート装置に変更してもよい。また、上述した実施例では、ロードポート装置４２０、４２１、４２２はそれぞれ、１つの基板収納容器１を載置するものであったが、これに限られない。すなわち、複数の基板収納容器１を載置できるロードポート装置に変更してもよい。
【００９５】
（８）上述した各実施例１−３および上記（１）から（７）で説明した各変形実施例については、さらに各構成を他の実施例の構成または他の変形実施例の構成に置換または組み合わせるなどして適宜に変更してもよい。
【符号の説明】
【００９６】
１        …  基板収納容器
２        …  筐体
３        …  蓋
３ｂ      …  裏面
１１      …  棚部材
１６      …  筐体用支持部材
１７，２４…  溝部
１７ａ，２４ａ…  下傾斜面（下傾斜部）
１７ｂ，２４ｂ…  最奥部
１７ｃ，２４ｃ…  上傾斜面（上傾斜部）
２３      …  蓋用支持部材
３１，８１…  可変部
３１ａ，８１ａ…  傾斜面
３３，８３…  気体供給部
３５，８５…  吹き付け口
３６，８６…  接続ポート
３７，８７…  気体流路
４１      …  基板処理装置
４２      …  ロードポート部
４３      …  処理部
４４      …  載置台
４５      …  蓋開閉機構
４７      …  搬送機構
４８      …  処理ユニット
４９      …  主制御部
６８      …  制御部
７０      …  リンク機構
７１      …  リンク棒
７２      …  バネ
７４      …  動力付与部材
７５      …  動力伝達部
７５ａ    …  リンク部材
９１      …  バルーン
４２０、４２１、４２２  …  ロードポート装置
Ｗ        …  基板
Ｈ        …  ヒンジ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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