(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
検出軸を有する第１センサー部品と、
検出軸を有する第２センサー部品と、
前記第１センサー部品に接続されている第１リードと、
前記第２センサー部品に接続されている第２リードと、を有し、
前記第２センサー部品は、平面視で、少なくとも一部が前記第１センサー部品と重なって配置されており、
前記第１リードの前記第１センサー部品との接続部側の端部と、前記第２リードの前記第２センサー部品との接続部側の端部とが、同一面内に位置していることを特徴とする物理量センサー。
【請求項２】
前記第１センサー部品および前記第２センサー部品を覆う樹脂部を有している請求項１に記載の物理量センサー。
【請求項３】
前記第１センサー部品に接続されており、平面視で、前記第１リードと異なる方向に延在している第３リードと、
前記第２センサー部品に接続されており、平面視で、前記第２リードと異なる方向に延在している第４リードと、を有している請求項１または２に記載の物理量センサー。
【請求項４】
平面視で、前記第１リードと前記第２リードとが交互に配置されている請求項３に記載の物理量センサー。
【請求項５】
前記第１リードは、第１固定部材を介して前記第１センサー部品に機械的に接続されている請求項１ないし４のいずれか１項に記載の物理量センサー。
【請求項６】
前記第１固定部材は、導電性を有し、
前記第１リードは、前記第１固定部材を介して前記第１センサー部品に電気的に接続されている請求項５に記載の物理量センサー。
【請求項７】
前記第１リードは、導電性の第１ワイヤーを介して前記第１センサー部品に電気的に接続されている請求項５に記載の物理量センサー。
【請求項８】
前記第２リードは、第２固定部材を介して前記第２センサー部品に機械的に接続されている請求項１ないし７のいずれか１項に記載の物理量センサー。
【請求項９】
前記第２固定部材は、導電性を有し、
前記第２リードは、前記第２固定部材を介して前記第２センサー部品に電気的に接続されている請求項８に記載の物理量センサー。
【請求項１０】
前記第２リードは、導電性の第２ワイヤーを介して前記第２センサー部品に電気的に接続されている請求項９に記載の物理量センサー。
【請求項１１】
少なくとも１つの前記第１リードと、少なくとも１つの前記第２リードとが電気的に接続されている請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の物理量センサー。
【請求項１２】
前記第１リードの前記接続部側の端部および前記第２リードの前記接続部側の端部は、それぞれ、前記第１センサー部品と前記第２センサー部品の間に位置している請求項１ないし１１のいずれか１項に記載の物理量センサー。
【請求項１３】
一方の主面に第１リードが接続されている第１センサー部品と、一方の主面に第２リードが接続されている第２センサー部品とを、前記一方の主面同士が対向するように重ねて配置する工程と、
前記第１リードおよび前記第２リードが同一面内に位置するように、前記第１リードおよび前記第２リードを固定した状態で、前記第１センサー部品および前記第２センサー部品を樹脂で封止する工程と、を含んでいることを特徴とする物理量センサーの製造方法。
【請求項１４】
前記樹脂で封止する工程の後に、
前記第１リードおよび第２リードを屈曲変形させる工程を含んでいる請求項１３に記載の物理量センサーの製造方法。
【請求項１５】
請求項１ないし１２のいずれか１項に記載の物理量センサーを有していることを特徴とする電子機器。
【請求項１６】
請求項１ないし１２のいずれか１項に記載の物理量センサーを有していることを特徴とする移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物理量センサー、物理量センサーの製造方法、電子機器および移動体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、特許文献１には、ジャイロセンサーとしての第１センサー部品と、加速度センサーとしての第２センサー部品と、第１センサー部品に接続されている第１リードフレームと、第２センサー部品に接続されている第２リードフレームと、を備え、第１センサー部品と第２センサー部品とが重なるように、第１リードフレームが折り曲がった屈曲部を有している物理量センサーが開示されている。しかしながら、このような構成では、第１リードフレームの屈曲部の角度を制御することが難しく、第２センサー部品に対する第１センサー部品の姿勢が所望の姿勢からずれ易い。また、第１センサー部品および第２センサー部品をモールドする際、樹脂の注入圧力によって第１リードフレームが撓み易く、このことからも第２センサー部品に対する第１センサー部品の姿勢が所望の姿勢からずれ易い。このような姿勢のずれが生じると、第１センサー部品の検出軸と第２センサー部品の検出軸とが所定の関係からずれてしまい、検出精度が低下する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−２２２６１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、第１センサー部品と第２センサー部品の姿勢ずれ、すなわち、第１センサー部品の検出軸と第２センサー部品の検出軸のずれを低減することのできる物理量センサー、物理量センサーの製造方法、電子機器および移動体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］
本適用例の物理量センサーは、検出軸を有する第１センサー部品と、
検出軸を有する第２センサー部品と、
前記第１センサー部品に接続されている第１リードと、
前記第２センサー部品に接続されている第２リードと、を有し、
前記第２センサー部品は、平面視で、少なくとも一部が前記第１センサー部品と重なって配置されており、
前記第１リードの前記第１センサー部品との接続部側の端部と、前記第２リードの前記第２センサー部品との接続部側の端部とが、同一面内に位置していることを特徴とする。
これにより、第１センサー部品と第２センサー部品の姿勢ずれ、すなわち、第１センサー部品の検出軸と第２センサー部品の検出軸のずれが低減された物理量センサーが得られる。
【０００７】
［適用例２］
本適用例の物理量センサーでは、前記第１センサー部品および前記第２センサー部品を覆う樹脂部を有していることが好ましい。
これにより、第１センサー部品および第２センサー部品を保護することができる。
【０００８】
［適用例３］
本適用例の物理量センサーでは、前記第１センサー部品に接続されており、平面視で、前記第１リードと異なる方向に延在している第３リードと、
前記第２センサー部品に接続されており、平面視で、前記第２リードと異なる方向に延在している第４リードと、を有していることが好ましい。
これにより、例えば、第１リードおよび第２リードを固定した状態で第１センサー部品および第２センサー部品をモールドする際、第１センサー部品と第２センサー部品の姿勢制御をより精度よく行うことができる。そのため、第１、第２センサー部品の姿勢ずれがより効果的に低減される。
【０００９】
［適用例４］
本適用例の物理量センサーでは、平面視で、前記第１リードと前記第２リードとが交互に配置されていることが好ましい。
これにより、例えば、第１リードおよび第２リードを固定した状態で第１センサー部品および第２センサー部品をモールドする際、第１センサー部品と第２センサー部品の姿勢制御をより精度よく行うことができる。そのため、第１、第２センサー部品の姿勢ずれがより効果的に低減される。
また、例えば、第１リードと第２リードとを電気的に接続する必要がある場合には、当該接続を簡単に行うことができる。
【００１０】
［適用例５］
本適用例の物理量センサーでは、前記第１リードは、第１固定部材を介して前記第１センサー部品に機械的に接続されていることが好ましい。
これにより、第１リードをより強固に第１センサー部品に接続することができる。
【００１１】
［適用例６］
本適用例の物理量センサーでは、前記第１固定部材は、導電性を有し、
前記第１リードは、前記第１固定部材を介して前記第１センサー部品に電気的に接続されていることが好ましい。
これにより、装置構成の簡略化を図ることができる。
【００１２】
［適用例７］
本適用例の物理量センサーでは、前記第１リードは、導電性の第１ワイヤーを介して前記第１センサー部品に電気的に接続されていることが好ましい。
これにより、比較的簡単に、第１リードと第１センサー部品を電気的に接続することができる。また、例えば、第１リードの配置や、第１センサー部品の端子の配置の自由度が増す。
【００１３】
［適用例８］
本適用例の物理量センサーでは、前記第２リードは、第２固定部材を介して前記第２センサー部品に機械的に接続されていることが好ましい。
これにより、第２リードをより強固に第２センサー部品に接続することができる。
【００１４】
［適用例９］
本適用例の物理量センサーでは、前記第２固定部材は、導電性を有し、
前記第２リードは、前記第２固定部材を介して前記第２センサー部品に電気的に接続されていることが好ましい。
これにより、装置構成の簡略化を図ることができる。
【００１５】
［適用例１０］
本適用例の物理量センサーでは、前記第２リードは、導電性の第２ワイヤーを介して前記第２センサー部品に電気的に接続されていることが好ましい。
これにより、比較的簡単に、第２リードと第２センサー部品を電気的に接続することができる。また、例えば、第２リードの配置や、第２センサー部品の端子の配置の自由度が増す。
【００１６】
［適用例１１］
本適用例の物理量センサーでは、少なくとも１つの前記第１リードと、少なくとも１つの前記第２リードとが電気的に接続されていることが好ましい。
これにより、第１、第２センサー部品を、例えばモールド樹脂内で接続することができるため、外部端子の数が低減され、装置の小型化を図ることができる。
【００１７】
［適用例１２］
本適用例の物理量センサーでは、前記第１リードの前記接続部側の端部および前記第２リードの前記接続部側の端部は、それぞれ、前記第１センサー部品と前記第２センサー部品の間に位置していることが好ましい。
これにより、装置の低背化を図ることができる。
【００１８】
［適用例１３］
本適用例の物理量センサーの製造方法は、一方の主面に第１リードが接続されている第１センサー部品と、一方の主面に第２リードが接続されている第２センサー部品とを、前記一方の主面同士が対向するように重ねて配置する工程と、
前記第１リードおよび前記第２リードが同一面内に位置するように、前記第１リードおよび前記第２リードを固定した状態で、前記第１センサー部品および前記第２センサー部品を樹脂で封止する工程と、を含んでいることを特徴とする。
これにより、第１センサー部品と第２センサー部品の姿勢ずれ、すなわち、第１センサー部品の検出軸と第２センサー部品の検出軸のずれが低減された物理量センサーが得られる。
【００１９】
［適用例１４］
本適用例の物理量センサーの製造方法では、前記樹脂で封止する工程の後に、
前記第１リードおよび第２リードを屈曲変形させる工程を含んでいることが好ましい。
これにより、第１リードおよび第２リードで外部端子を形成することができる。
【００２０】
［適用例１５］
本適用例の電子機器は、上記適用例の物理量センサーを有していることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い電子機器が得られる。
【００２１】
［適用例１６］
本適用例の移動体は、上記適用例の物理量センサーを有していることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い移動体が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の第１実施形態に係る物理量センサーを示す断面図である。
【図２】図１に示す物理量センサーが有する加速度センサー部品の側面図である。
【図３】図２に示す加速度センサー部品が有する加速度センサー素子の平面図である。
【図４】図３中のＡ−Ａ線断面図である。
【図５】図１に示す物理量センサーが有する角速度センサー部品の断面図である。
【図６】図５に示す角速度センサー部品が有する加速度センサー素子の平面図である。
【図７】図６に示す角速度センサー素子の駆動を説明する平面図である。
【図８】（ａ）が角速度センサー部品の平面図（上面図）、（ｂ）が角速度センサー部品の平面図（下面図）である。
【図９】第１リードおよび第２リードの位置関係を示す側面図である。
【図１０】（ａ）が図１に示す物理量センサーの上面図、（ｂ）が同図（ａ）中のＢ−Ｂ線断面図である。
【図１１】図１に示す物理量センサーの製造方法を説明するための図である。
【図１２】図１に示す物理量センサーの製造方法を説明するための図である。
【図１３】図１に示す物理量センサーの製造方法を説明するための図である。
【図１４】図１に示す物理量センサーの製造方法を説明するための図である。
【図１５】本発明の第２実施形態に係る物理量センサーの断面図である。
【図１６】図１５に示す物理量センサーが備える加速度センサー部品および角速度センサー部品の平面図である。
【図１７】（ａ）が本発明の第３実施形態に係る物理量センサーの平面図、（ｂ）が同図（ａ）中のＣ−Ｃ線断面図である。
【図１８】図１７に示す物理量センサーの製造方法を説明するための図である。
【図１９】図１７に示す物理量センサーの製造方法を説明するための図である。
【図２０】図１７に示す物理量センサーの製造方法を説明するための図である。
【図２１】図１７に示す物理量センサーの製造方法を説明するための図である。
【図２２】本発明の第２実施形態に係る物理量センサーの平面図である。
【図２３】本発明の電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。
【図２４】本発明の電子機器を適用した携帯電話機（スマートフォン、ＰＨＳ等も含む）の構成を示す斜視図である。
【図２５】本発明の電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。
【図２６】本発明の移動体を適用した自動車を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の物理量センサー、物理量センサーの製造方法、電子機器および移動体を添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００２４】
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る物理量センサーを示す断面図である。図２は、図１に示す物理量センサーが有する加速度センサー部品の側面図である。図３は、図２に示す加速度センサー部品が有する加速度センサー素子の平面図である。図４は、図３中のＡ−Ａ線断面図である。図５は、図１に示す物理量センサーが有する角速度センサー部品の断面図である。図６は、図５に示す角速度センサー部品が有する加速度センサー素子の平面図である。図７は、図６に示す角速度センサー素子の駆動を説明する平面図である。図８は、（ａ）が角速度センサー部品の平面図（上面図）、（ｂ）が角速度センサー部品の平面図（下面図）である。図９は、第１リードおよび第２リードの位置関係を示す側面図である。図１０は、（ａ）が図１に示す物理量センサーの上面図、（ｂ）が同図（ａ）中のＢ−Ｂ線断面図である。図１１ないし図１４は、それぞれ、図１に示す物理量センサーの製造方法を説明するための図である。なお、以下では、説明の便宜上、図１中の上側を「上」、下側を「下」とも言う。また、互いに直交する３つの軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸とし、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ軸方向」、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ軸方向」、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ軸方向」とも言う。
【００２５】
図１に示す物理量センサー１は、加速度と角速度を検出することのできる複合センサーである。このような物理量センサー１は、加速度センサー部品（第１センサー部品）２と、角速度センサー部品（第２センサー部品）３と、加速度センサー部品２と接続されている第１リード４と、角速度センサー部品３に接続されている第２リード５と、を有し、第１、第２リード４、５の先端部（実装端子４ａ、５ａ）を露出させた状態で加速度センサー部品２および角速度センサー部品３が樹脂Ｒでモールドされている。以下、これら各部について順次説明する。
【００２６】
（加速度センサー部品２）
加速度センサー部品２は、所定の軸方向の加速度を検出することができる。このような加速度センサー部品２の構成としては、加速度を検出することができれば、如何なる構成のものであってもよいが、例えば、次のような構成とすることができる。
【００２７】
加速度センサー部品２は、図２に示すように、ＩＣチップ２０と、ＩＣチップ２０上に配置（接合）されている加速度センサー素子２１と、を有し、加速度センサー素子２１が樹脂２９でモールドされている。
【００２８】
また、加速度センサー素子２１は、図３および図４に示すように、ガラス基板から形成されているベース基板２２と、シリコン基板から形成され、ベース基板２２の上面に接合されている蓋体２３と、ベース基板２２と蓋体２３とで形成された内部空間Ｓ１に配置されている素子片２４と、を有している。
【００２９】
また、ベース基板２２には、素子片２４とベース基板２２との接触を防止するための凹部２２１と、配線２５１、２５２、２５３が引き回されている凹部２２２、２２３、２２４と、が形成されている。なお、配線２５１、２５２、２５３の一端部は、端子２５１ａ、２５２ａ、２５３ａとなっており、これら端子２５１ａ、２５２ａ、２５３ａは、蓋体２３から露出するように配置されている。
【００３０】
また、素子片２４は、支持部２４１、２４２と、可動部２４３と、連結部２４４、２４５と、第１固定電極指２４８と、第２固定電極指２４９と、を有している。また、可動部２４３は、基部２４３ａと、基部２４３ａからＹ軸方向両側に突出している複数の可動電極指２４３ｂと、を有している。このような素子片２４は、例えば、リン、ボロン等の不純物がドープされたシリコン基板から形成されている。
【００３１】
支持部２４１、２４２は、それぞれ、ベース基板３１の上面に接合されており、支持部２４１が導電性バンプＢ１を介して配線２５１に電気的に接続されている。そして、これら支持部２４１、２４２の間に可動部２４３が設けられ、可動部２４３は、連結部２４４、２４５を弾性変形させることで、支持部２４１、２４２に対して矢印ａで示すようにＸ軸方向に変位可能となっている。
【００３２】
また、第１固定電極指２４８は、可動電極指２４３ｂのＸ軸方向一方側に配置され、対応する可動電極指２４３ｂに対して間隔を隔てて噛み合う櫛歯状をなすように複数並んでいる。このような複数の第１固定電極指２４８は、その基端部にて、ベース基板２２の上面に接合されると共に、導電性バンプＢ２を介して配線２５２に電気的に接続されている。これに対して、第２固定電極指２４９は、可動電極指２４３ｂのＸ軸方向他方側に配置され、対応する可動電極指２４３ｂに対して間隔を隔てて噛み合う櫛歯状をなすように複数並んでいる。このような複数の第２固定電極指２４９は、その基端部にて、ベース基板２２の上面に接合されると共に、導電性バンプＢ３を介して配線２５３に電気的に接続されている。
【００３３】
蓋体２３は、下面に開口する凹部２３１を有し、凹部２２１と凹部２３１とで素子片２４を収容する内部空間Ｓを形成するようにして、その下面がベース基板２２の上面に接合されている。また、蓋体２３の上から製膜したＳｉＯ２膜（無機膜）２６によって、凹部２２２、２２３、２２４を塞いでいる。
【００３４】
ＩＣチップ２０には、例えば、加速度センサー素子２１を駆動する（加速度を検出することができる状態とする）駆動回路や、加速度センサー素子２１からの出力に基づいて加速度を検出する検出回路や、検出回路から出力される信号を所定の信号に変換して出力する出力回路等が含まれている。このようなＩＣチップ２０の表面には複数の接続端子２０１が設けられており、これら接続端子２０１は、ボンディングワイヤーＢＷ１を介して加速度センサー素子２１と電気的に接続されている。また、ＩＣチップ２０の裏面には複数の外部端子２０２が設けられており、これら外部端子２０２には固定部材６を介して第１リード４が接続されている。
【００３５】
このような構成の加速度センサー部品２は、次のようにして加速度を検出することができる。すなわち、Ｘ軸方向の加速度が加わると、その加速度の大きさに基づいて、可動部２４３がＸ軸方向に変位する。このような変位に伴って、可動電極指２４３ｂと第１固定電極指２４８との間の静電容量Ｃ１および可動電極指２４３ｂと第２固定電極指２４９との間の静電容量Ｃ２の大きさがそれぞれ変化する。これら静電容量Ｃ１、Ｃ２の変化（差動信号）に基づいて検出回路が加速度を検出し、検出された加速度が出力回路から出力される。
【００３６】
以上、加速度センサー部品２の一例について説明したが、加速度センサー部品２の構成としては、加速度を検出することができればこれに限定されない。特に、本実施形態の加速度センサー部品２ではＸ軸方向の加速度だけを検出することのできる１軸検出型の加速度センサー素子２１を用いているが、検出軸は、Ｙ軸方向であってもよいし、Ｚ軸方向であってもよい。また、例えば、加速度センサー素子２１として、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の加速度を検出することのできる２軸検出型の加速度センサー素子を用いてもよいし、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向の加速度を検出することのできる３軸検出型の加速度センサー素子を用いてもよい。この場合には、例えば、加速度センサー素子２１内に素子片２４を互いの検出軸が直交するように２つ以上配置すればよい。なお、Ｚ軸の加速度を検出する素子片については、所謂「シーソー揺動型」の素子片を用いることができる。
【００３７】
（角速度センサー部品３）
角速度センサー部品３は、所定の軸まわりの角速度を検出することができる。このような角速度センサー部品３の構成としては、角速度を検出することができれば、如何なる構成のものであってもよいが、例えば、次のような構成とすることができる。
【００３８】
角速度センサー部品３は、図５に示すように、パッケージ３０と、パッケージ３０内に収容されている振動型の角速度センサー素子３２およびＩＣチップ３９と、を有している。以下、これら各部について順次説明する。
【００３９】
パッケージ３０は、上面に開口する凹部３５１を有する箱状のベース基板３５と、凹部３５１の開口を塞いでベース基板３５に接合されている板状のリッド３６と、を有している。そして、凹部３５１の開口がリッド３６によって塞がれることにより形成された内部空間Ｓ２内に、角速度センサー素子３２およびＩＣチップ３９が収納されている。内部空間Ｓ２の雰囲気としては、特に限定されないが、真空状態（例えば、１０Ｐａ以下の減圧状態）であることが好ましい。
【００４０】
また、ベース基板３５の凹部３５１は、ベース基板３５の上面に開口する有底の第１凹部３５１ａと、第１凹部３５１ａの底部に開口し、第１凹部３５１ａよりも小さい有底の第２凹部３５１ｂと、を有している。そして、第２凹部３５１ｂの底面にＩＣチップ３９が配置され、第１凹部３５１ａの底面に角速度センサー素子３２が配置されている。角速度センサー素子３２は、内部配線等によってＩＣチップ３９に電気的に接続され、同じく、ＩＣチップ３９は、内部配線等によってベース基板３５の下面に配置されている複数の外部端子３７と電気的に接続されている。そして、外部端子３７には固定部材６を介して第２リード５が接続されている。
【００４１】
角速度センサー素子３２は、図６に示すように、振動片３３と、振動片３３に形成されている図示しない電極と、を有している。振動片３３は、例えば、水晶Ｚ板をパターニングして形成されており、中央部に位置する基部３３１と、基部３３１からＸ軸方向両側に延出している第１、第２検出腕３３２ａ、３３２ｂと、基部３３１からＹ軸方向両側に延在している第１、第２連結腕３３３ａ、３３３ｂと、第１連結腕３３３ａの先端部からＸ軸方向両側に延出している第１、第２駆動腕３３４ａ、３３４ｂと、第２連結腕３３３ｂの先端部からＸ軸方向両側に延出している第３、第４駆動腕３３４ｃ、３３４ｄと、基部３３１を介して対向配置されている支持部３３５ａ、３３５ｂと、支持部３３５ａと基部３３１とを連結する梁部３３６ａ、３３６ｂと、支持部３３５ｂと基部３３１とを連結する梁部３３６ｃ、３３６ｄと、を有している。そして、支持部３３５ａ、３３５ｂにおいて導電性接着剤３４を介してベース基板３５に接合されている。
【００４２】
一方、ＩＣチップ３９は、例えば、角速度センサー素子３２を駆動振動させるための駆動回路や、角速度ωが加わったときに角速度センサー素子３２に生じる検出振動を検出する検出回路や、検出回路から出力される信号を所定の信号に変換して出力する出力回路等が含まれている。
【００４３】
このような構成の角速度センサー部品３は、次のようにして角速度を検出することができる。すなわち、角速度センサー部品３に角速度が加わらない状態において、ＩＣチップ３９から角速度センサー素子３２へ駆動信号を印加すると、図７（ａ）に示すように、第１〜第４駆動腕３３４ａ〜３３４ｄが矢印Ａに示す方向に屈曲振動を行う。このとき、第１、第２駆動腕３３４ａ、３３４ｂと第３、第４駆動腕３３４ｃ、３３４ｄとが対称に振動しているため、第１、第２検出腕３３２ａ、３３２ｂは、ほとんど振動しない。このような駆動振動を行っている状態で、角速度センサー部品３にＺ軸まわりの角速度ωが加わると、図７（ｂ）に示すような検出振動Ｂ、Ｃが励振される。そして、この振動により第１、第２検出腕３３２ａ、３３２ｂに発生した電荷を信号として取り出し、この信号に基づいてＩＣチップ３９が角速度ωを検出し、検出した角速度が出力される。
【００４４】
以上、角速度センサー部品３の一例について説明したが、角速度センサー部品３の構成としては、角速度を検出することができればこれに限定されない。特に、本実施形態の角速度センサー部品３ではＺ軸まわりの加速度だけを検出することのできる１軸検出型であるが、検出軸は、Ｘ軸であってもよいし、Ｙ軸であってもよい。また、例えば、角速度センサー部品３は、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸のうちの２つの軸まわりの角速度を検出することのできる２軸検出型でもよいし、３つの軸まわりの角速度を検出することのできる３軸検出型であってもよい。この場合には、例えば、パッケージ３０内に、角速度センサー素子３２を互いの検出軸が直交するように２つ以上配置すればよい。
【００４５】
（第１リード４および第２リード５）
図１および図８（ａ）に示すように、第１リード４は、８本設けられており、これら８本の第１リード４は、それぞれ、その基端部に置いて加速度センサー部品２の裏面２ａ（ＩＣチップ２０の底面）に導電性の固定部材６を介して機械的に接続（すなわち接合／固定）されている。また、各第１リード４は、固定部材６を介して対応する外部端子２０２と電気的に接続されている。このように、固定部材６を用いて、加速度センサー部品２と第１リード４とを機械的および電気的に接続することで、物理量センサー１の構成が簡単なものとなる。なお、固定部材６としては、導電性および接着性を有していれば、特に限定されず、例えば、半田、金ろう、銀ろう等の金属ろう材、樹脂系の導電性接着剤等を用いることができる。
【００４６】
また、８本の第１リード４には、平面視で＋Ｘ軸方向に延在する第１リード４’と、反対に、−Ｘ軸方向に延在する第１リード４”とが含まれている。このように、第１リード４がＸ軸方向両側に延在するように配置されることで、後述する製造工程中の加速度センサー部品２の姿勢をより安定させることができる。このことについては、後述する製造方法にて改めて説明する。
【００４７】
また、各第１リード４は、延在方向の途中で高さ方向に折り曲げられている。これにより、各第１リード４は、ＸＹ面内方向に延在する基端部４１および先端部４３と、基端部４１と先端部４３の間に位置しＸＹ面に対して傾斜している傾斜部４２と、を有する構成となり、基端部４１が加速度センサー部品２と接続され、先端部４３が実装端子４ａとして機能する。このような形状とすることで、物理量センサー１を実装し易くなる。
【００４８】
同様に、図１および図８（ｂ）に示すように、第２リード５は、８本設けられており、これら８本の第２リード５は、それぞれ、その基端部に置いて角速度センサー部品３の裏面３ａ（ベース基板３５の底面）に、導電性の固定部材６を介して機械的に接続（すなわち接合／固定）されている。また、各第２リード５は、固定部材６を介して対応する外部端子３７と電気的に接続されている。このように、固定部材６を用いて、角速度センサー部品３と第１リード４とを機械的および電気的に接続することで、物理量センサー１の構成が簡単なものとなる。
【００４９】
また、８本の第２リード５には、平面視で＋Ｘ軸方向に延在する第２リード５’と、反対に、−Ｘ軸方向に延在する第２リード５”とが含まれている。このように、第２リード５がＸ軸方向両側に延在するように配置されることで、後述する製造工程中の角速度センサー部品３の姿勢をより安定させることができる。このことについては、後述する製造方法にて改めて説明する。
【００５０】
また、各第２リード５は、延在方向の途中で高さ方向に折り曲げられている。これにより、各第２リード５は、ＸＹ面内方向に延在する基端部５１および先端部５３と、基端部５１と先端部５３の間に位置しＸＹ面に対して傾斜している傾斜部５２と、を有する構成となり、基端部５１が角速度センサー部品３と接続され、先端部５３が実装端子５ａとして機能する。
【００５１】
このような第１リード４が接続されている加速度センサー部品２と第２リード５が接続されている角速度センサー部品３とは、図１に示すように、第１リード４が接続されている裏面２ａと第２リード５が接続されている裏面３ａとが対向するように、平面視で重なって配置されている。このように、加速度センサー部品２と角速度センサー部品３を高さ方向に重ねて配置することで、物理量センサー１のＸＹ面内への広がりを抑えることができ、物理量センサー１の小型化を図ることができる。また、加速度センサー部品２および角速度センサー部品３を裏面２ａ、３ａ同士が対向するように配置することで、これらの間の隙間（空間）に第１、第２リード４、５の基端部４１、５１が配置される。そのため、例えば、第１リード４が加速度センサー部品２の上側に位置していたり、第２リード５が角速度センサー部品３の下側に位置していたりする場合と比較して、物理量センサー１の低背化を図ることができる。
【００５２】
また、第１リード４の基端部４１と第２リード５の基端部５１は、同一のＸＹ面内（同一面内）に位置している。このように、基端部４１、５１を互いに同一面内に配置することで、加速度センサー部品２と角速度センサー部品３をほぼ平行に、所定の位置関係で配置することができる。そのため、加速度センサー部品２と角速度センサー部品３の姿勢（相対的位置関係）のずれ、すなわち、加速度センサー部品２の検出軸と角速度センサー部品３の検出軸のずれを低減することができる。そのため、角速度および加速度を共に、所望の精度で、精度よく検出することができる。
【００５３】
ここで、「基端部４１、５１が同一面内に位置している」とは、図９（ａ）に示すように、基端部４１の厚さ方向の中心４０１と基端部５１の厚さ方向の中心５０１とが同一面内に位置している場合に限られず、図９（ｂ）および（ｃ）に示すように、中心４０１、５０１がＺ軸方向にずれていても、基端部４１の厚さ方向の少なくとも一部の領域と基端部５１の厚さ方向の少なくとも一部の領域とが同一面内に位置している場合も含まれる。なお、本実施形態では、第１リード４と第２リード５がほぼ同じ厚さを有しているが、これらの厚さは、異なっていてもよい。
【００５４】
また、第１リード４および第２リード５は、図１０に示すように、平面視で、互いに重なり合わないように、また、交互に並ぶように配置されている。このように、第１、第２リード４、５を交互に配置することで、第１リード４の配設ピッチおよび第２リード５の配設ピッチをそれぞれ広く確保することができる。そのため、例えば、加速度センサー部品２と第１リード４の電気的な接続や角速度センサー部品３と第２リード５の電気的な接続を、より正確に行うことができる。具体的には、例えば、１つの固定部材６がそれと対応しない第１リード４と接触してショートを起こしてしまうようなことを低減することができる。
【００５５】
次に、物理量センサー１の製造方法について説明する。
物理量センサー１の製造方法は、第１リード４が接続されている加速度センサー部品２と、第２リード５が接続されている角速度センサー部品３とを用意し、これらを高さ方向に重ね合わせて配置する第１工程と、第１リード４および第２リード５が同一面内に位置するように、第１リード４および第２リード５を固定した状態で、加速度センサー部品２および角速度センサー部品３をモールドする第２工程と、第１リード４および第２リード５を屈曲変形させる第３工程と、を含んでいる。
【００５６】
［第１工程］
まず、複数の第１リード４が接続された加速度センサー部品２と、複数の第２リード５が接続された角速度センサー部品３と、を用意する。
【００５７】
具体的には、まず、図１１（ａ）に示すように、複数の第１リード４と、各第１リード４の先端部を連結している外枠４９と、を有する第１リード層４０を用意する。次に、図１１（ｂ）に示すように、各第１リード４の基端部４１と加速度センサー部品２の外部端子２０２とを位置合わせし、これらを固定部材６を介して機械的および電気的に接続する。これにより、裏面２ａ（一方の主面）に第１リード４が接続された加速度センサー部品２が得られる。
【００５８】
角速度センサー部品３についても同様であり、まず、図１２（ａ）に示すように、複数の第２リード５と、各第２リード５の先端部を連結している外枠５９と、を有する第２リード層５０を用意する。次に、図１２（ｂ）に示すように、各第２リード５の基端部５１と角速度センサー部品３の外部端子３７とを位置合わせし、これらを固定部材６を介して機械的および電気的に接続する。これにより、裏面３ａ（一方の主面）に第２リード５が接続された角速度センサー部品３が得られる。
【００５９】
なお、この時点では、第１リード４および第２リード５は、それぞれ、屈曲しておらず、平坦な形状をなしている。また、第１リード層４０は、加速度センサー部品２の裏面２ａとほぼ平行であり、第２リード層５０は、角速度センサー部品３の裏面３ａとほぼ平行である。
【００６０】
次に、図１３（ａ）に示すように、加速度センサー部品２の裏面２ａと、角速度センサー部品３の裏面３ａとが向かい合うように、加速度センサー部品２と角速度センサー部品３とを厚さ方向に重ねて配置する。
【００６１】
［第２工程］
次に、図１３（ｂ）に示すように、モールド用の上金型９１と下金型９２とで、第１リード４および第２リード５を挟み込む。これにより、第１リード４および第２リード５が同一面内に位置した状態で固定されると共に、上金型９１および下金型９２で形成されている内部空間Ｓ内で加速度センサー部品２および角速度センサー部品３の相対的位置が固定される。また、固定された状態では、加速度センサー部品２と角速度センサー部品３がほぼ平行に配置され、加速度センサー部品２の検出軸と角速度センサー部品３の検出軸が所望の角度を有した状態となる。
【００６２】
次に、図示しない注入孔を介して内部空間Ｓ内に樹脂Ｒを注入することで、図１４（ａ）に示すように、加速度センサー部品２および角速度センサー部品３を樹脂Ｒで封止する。これにより、実質的に図１３（ｂ）の状態を保ったまま、加速度センサー部品２および角速度センサー部品３の相対的位置が樹脂Ｒによって固定される。なお、樹脂Ｒとしては、特に限定されないが、熱硬化性のエポキシ樹脂等を用いることができる。
【００６３】
［第３工程］
次に、金型から取り出し、第１、第２リード層４０、５０の外枠４９、５９を切断等によって除去した後、プレス機等を用いて、図１４（ｂ）に示すように、第１リード４および第２リード５を折り曲げ、これにより、第１リード４および第２リード５の先端部に実装端子４ａ、５ａを形成する。この際、必要に応じて、第１リード４および第２リード５の先端部分をカットして、第１リード４および第２リード５の長さを整えてもよい。前述したように、既に、加速度センサー部品２と角速度センサー部品３の相対的位置が樹脂Ｒによって固定されているため、第１リード４および第２リード５を屈曲変形させる際に生じる応力等によって、加速度センサー部品２と角速度センサー部品３の相対的位置が変化することは実質的にない。
【００６４】
以上により、物理量センサー１が得られる。このような製造方法によれば、加速度センサー部品２と角速度センサー部品３の相対的位置のずれが低減されるため、すなわち、加速度センサー部品２の検出軸と角速度センサー部品３の検出軸の相対的位置関係のずれが低減されるため、優れた検出特性を有する物理量センサー１を製造することができる。特に、第３工程によって実装端子４ａ、５ａを形成しておくことで、後に実装し易い物理量センサー１となる。
【００６５】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の物理量センサーの第２実施形態について説明する。
【００６６】
図１５は、本発明の第２実施形態に係る物理量センサーの断面図である。図１６は、図１５に示す物理量センサーが備える加速度センサー部品および角速度センサー部品の平面図である。
【００６７】
本実施形態にかかる物理量センサーでは、加速度センサー部品と第１リードの接続方法および角速度センサー部品と第２リードの接続方法が異なる以外は、前述した第１実施形態にかかる物理量センサーと同様である。
【００６８】
なお、以下の説明では、第２実施形態の物理量センサーに関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図１５および図１６では前述した実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
【００６９】
図１５および図１６に示すように、本実施形態の物理量センサー１では、前述した第１実施形態と比較して、加速度センサー部品２が上下逆さまになって第１リード４と接続されており、同様に、角速度センサー部品３が上下逆さまになって第２リード５と接続されている。すなわち、加速度センサー部品２は、外部端子２０２が配置されている裏面２ａを上側にして配置されており、裏面２ａと対向する表面２ｂにて固定部材６を介して第１リード４と接続されている。同様に、角速度センサー部品３は、外部端子３７が配置されている裏面３ａを下側にして配置されており、裏面３ａと対向する表面３ｂにて固定部材６を介して第２リード５と接続されている。ここで、本実施形態の固定部材６は、導電性を有しておらず、加速度センサー部品２と第１リード４の機械的な接続および角速度センサー部品３と第２リード５の機械的な接続のみを行っている。その替りに、加速度センサー部品２（外部端子２０２）と第１リード４とは、ボンディングワイヤーＢＷ１によって電気的に接続されており、角速度センサー部品３（外部端子３７）と第２リード５とは、ボンディングワイヤーＢＷ２によって電気的に接続されている。なお、固定部材６としては、特に限定されず、例えば、樹脂系の接着剤を用いることができる。
【００７０】
このような構成とすることで、外部端子２０２の配置を第１リード４の配置に対応させる必要がなくなるため、外部端子２０２の配置の自由度が増す。同様に、外部端子３７の配置を第２リード５の配置に対応させる必要がなくなるため、外部端子３７の配置の自由度が増す。
【００７１】
このような第２実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【００７２】
＜第３実施形態＞
次に、本発明の物理量センサーの第３実施形態について説明する。
【００７３】
図１７は、（ａ）が本発明の第３実施形態に係る物理量センサーの平面図、（ｂ）が同図（ａ）中のＣ−Ｃ線断面図である。図１８ないし図２１は、それぞれ、図１７に示す物理量センサーの製造方法を説明するための図である。
【００７４】
本実施形態にかかる物理量センサーでは、第１リードと第２リードの構成が異なる以外は、前述した第１実施形態にかかる物理量センサーと同様である。
【００７５】
なお、以下の説明では、第３実施形態の物理量センサーに関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図１７ないし図２１では前述した実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
【００７６】
図１７に示すように、本実施形態の物理量センサー１は、さらに、加速度センサー部品２に接続されている２本の第１ダミーリード（第３リード）７１を有している。これら第１ダミーリード７１は、第１リード４と同様に、その基端部において固定部材６を介して加速度センサー部品２の裏面２ａに設けられているダミー端子２０３に機械的に接続され、一方が＋Ｙ軸方向に延在し、他方が−Ｙ軸方向に延在している。このような第１ダミーリード７１は、物理量センサー１の製造工程中に機能するリードであり、加速度センサー部品２との電気的な接続（信号の入出力が可能な状態での電気的な接続）は図られていない。
【００７７】
同様に、本実施形態の物理量センサー１は、さらに、２本の第２ダミーリード（第４リード）７２を有している。これら第２ダミーリード７２は、第２リード５と同様に、その基端部において固定部材６を介して角速度センサー部品３の裏面３ａに設けられているダミー端子３８に機械的に接続され、一方が＋Ｙ軸方向に延在し、他方が−Ｙ軸方向に延在している。このような第２ダミーリード７２は、物理量センサー１の製造工程中に機能するリードであり、角速度センサー部品３との電気的な接続は図られていない。
【００７８】
このような第１、第２ダミーリード７１、７２を設けることで、後述する製造方法で説明するように、加速度センサー部品２と角速度センサー部品３の姿勢ずれをより低減することができる。
【００７９】
次に、物理量センサー１の製造方法について説明する。
物理量センサー１の製造方法は、第１リード４および第１ダミーリード７１が接続されている加速度センサー部品２と第２リード５および第２ダミーリード７２が接続されている角速度センサー部品３とを用意し、これらを高さ方向に重ね合わせて配置する第１工程と、第１、第２リード４、５および第１、第２ダミーリード７１、７２が同一面内に位置するように、これらを固定した状態で、加速度センサー部品２および角速度センサー部品３をモールドする第２工程と、第１、第２ダミーリード７１、７２を切断すると共に、第１、第２リード４、５を屈曲変形させる第３工程と、を含んでいる。
【００８０】
［第１工程］
まず、第１リード４および第１ダミーリード７１が接続された加速度センサー部品２と、第２リード５および第２ダミーリード７２が接続された角速度センサー部品３と、を用意する。
【００８１】
具体的には、まず、図１８（ａ）に示すように、第１リード４および第１ダミーリード７１と、これらの先端部を連結している外枠４９と、を有する第１リード層４０を用意する。次に、図１８（ｂ）に示すように、第１リード層４０と加速度センサー部品２とを位置合わせし、これらを固定部材６を介して接続する。これにより、裏面２ａに第１リード４および第１ダミーリード７１が接続された加速度センサー部品２が得られる。
【００８２】
角速度センサー部品３についても同様であり、まず、図１９（ａ）に示すように、第２リード５および第２ダミーリード７２と、これらの先端部を連結している外枠５９と、を有する第２リード層５０を用意する。次に、図１９（ｂ）に示すように、第２リード層５０と角速度センサー部品３とを位置合わせし、これらを固定部材６を介して接続する。これにより、裏面３ａに第２リード５および第２ダミーリード７２が接続された角速度センサー部品３が得られる。
【００８３】
次に、図２０（ａ）に示すように、加速度センサー部品２の裏面２ａと、角速度センサー部品３の裏面３ａとが向かい合うように、加速度センサー部品２と角速度センサー部品３とを厚さ方向に重ねて配置する。
【００８４】
［第２工程］
次に、図２０（ｂ）に示すように、モールド用の上金型９１と下金型９２とで、第１リード４、第１ダミーリード７１、第２リード５、第２ダミーリード７２を挟み込む。これにより、第１リード４、第１ダミーリード７１、第２リード５、第２ダミーリード７２が同一面内に位置した状態で固定されると共に、上金型９１および下金型９２で形成されている内部空間Ｓ内で加速度センサー部品２および角速度センサー部品３の相対的位置が固定される。ここで、この状態では、加速度センサー部品２は、第１リード４によってＸ軸方向から両持ち支持されていると共に、第１ダミーリード７１によってＹ軸方向から両持ち支持されているため、内部空間Ｓ内での姿勢がより安定し、所望の姿勢からのずれがより低減される。同様に、角速度センサー部品３は、第２リード５によってＸ軸方向から両持ち支持されていると共に、第２ダミーリード７２によってＹ軸方向から両持ち支持されているため、内部空間Ｓ内での姿勢がより安定し、所望の姿勢からのずれがより低減される。したがって、加速度センサー部品２と角速度センサー部品３の姿勢ずれをより低減することができる。
【００８５】
次に、図示しない注入孔を介して内部空間Ｓ内に樹脂Ｒを注入することで、図２１（ａ）に示すように、加速度センサー部品２および角速度センサー部品３を樹脂Ｒで封止する。これにより、実質的に図２０（ｂ）の状態を保ったまま、加速度センサー部品２および角速度センサー部品３の相対的位置が樹脂Ｒによって固定される。なお、樹脂Ｒとしては、特に限定されないが、熱硬化性のエポキシ樹脂等を用いることができる。
【００８６】
［第３工程］
次に、金型から取り出し、外枠４９、５９および第１、第２ダミーリード７１、７２（樹脂Ｒから突出している部分）を切断等によって除去した後、プレス機等を用いて、図２１（ｂ）に示すように、第１リード４および第２リード５を折り曲げ、これにより、第１リード４および第２リード５の先端部に実装端子４ａ、５ａを形成する。以上により、物理量センサー１が得られる。
【００８７】
このような第３実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【００８８】
＜第４実施形態＞
次に、本発明の物理量センサーの第４実施形態について説明する。
図２２は、本発明の第４実施形態に係る物理量センサーの平面図である。
【００８９】
本実施形態にかかる物理量センサーでは、主に、所定の第１リードと第２リードが電気的に接続されていること以外は、前述した第１実施形態にかかる物理量センサーと同様である。
【００９０】
なお、以下の説明では、第４実施形態の物理量センサーに関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図２２では前述した実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
【００９１】
本実施形態の物理量センサー１では、加速度センサー部品２からＩＣチップ２０が省略されており、替りに、ＩＣチップ２０の機能が、角速度センサー部品３のＩＣチップ３９に含まれている。すなわち、ＩＣチップ３９には、例えば、角速度センサー素子３２および加速度センサー素子２１を駆動する駆動回路や、角速度センサー素子３２および加速度センサー素子２１からの信号を補正する補正回路や、角速度センサー素子３２および加速度センサー素子２１からの信号に基づいて角速度および加速度を検出する検出回路や、求めた角速度および加速度所定を所定の信号に変換して外部に出力する出力回路等が含まれている。
【００９２】
このように、本実施形態の物理量センサー１では、角速度センサー部品３のＩＣチップ３９に、加速度を検出する回路が含まれているため、加速度を検出するためには、加速度センサー部品２をＩＣチップ３９に電気的に接続しなければならず、図２２に示すように、所定の第１リード４が対応する第２リード５にボンディングワイヤーＢＷ３を介して電気的に接続されている。このような構成とすることで、実装端子４ａ、５ａの数を削減することができるため、物理量センサー１の小型化を図ることができると共に、実装がより容易となる。
【００９３】
なお、第１リード４と第２リード５の接続としては、特に限定されないが、例えば、電源系においては、加速度センサー素子２１の信号処理を行う回路の電源用の第１リード４と角速度センサー素子３２の信号処理を行う回路の電源用の第２リード５とを電気的に接続したり、加速度センサー素子２１の信号処理を行う回路のグランド用の第１リード４と角速度センサー素子３２の信号処理を行う回路のグランド用の第２リード５とを電気的に接続したりすることができる。
【００９４】
このような第４実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【００９５】
（電子機器）
次に、本発明の電子機器を説明する。
【００９６】
図２３は、本発明の電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。
【００９７】
この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１１０８を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、物理量センサー１が内蔵されている。
【００９８】
図２４は、本発明の電子機器を適用した携帯電話機（スマートフォン、ＰＨＳ等も含む）の構成を示す斜視図である。
【００９９】
この図において、携帯電話機１２００は、アンテナ（図示せず）、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１２０８が配置されている。このような携帯電話機１２００には、物理量センサー１が内蔵されている。
【０１００】
図２５は、本発明の電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。
【０１０１】
ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
【０１０２】
ディジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部１３１０が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１３１０は、被写体を電子画像として表示するファインダとして機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
【０１０３】
撮影者が表示部１３１０に表示された被写体像を確認し、シャッタボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリ１３０８に転送・格納される。また、このディジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニタ１４３０が、デ−タ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリ１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニタ１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。このようなディジタルスチルカメラ１３００には、例えば、手振れ補正に用いるための物理量センサー１が内蔵されている。
このような電子機器は、物理量センサー１を備えるので、優れた信頼性を有する。
【０１０４】
なお、本発明の電子機器は、図２３のパーソナルコンピューター（モバイル型パーソナルコンピューター）、図２４の携帯電話機、図２５のディジタルスチルカメラの他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンタ）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニタ、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシュミレータ等に適用することができる。
【０１０５】
（移動体）
次に、本発明の移動体を説明する。
【０１０６】
図２６は、本発明の移動体を適用した自動車を示す斜視図である。
自動車１５００には物理量センサー１が内蔵されており、例えば、物理量センサー１によって車体１５０１の姿勢を検出することができる。物理量センサー１の検出信号は、車体姿勢制御装置１５０２に供給され、車体姿勢制御装置１５０２は、その信号に基づいて車体１５０１の姿勢を検出し、検出結果に応じてサスペンションの硬軟を制御したり、個々の車輪１５０３のブレーキを制御したりすることができる。
【０１０７】
以上、本発明の物理量センサー、物理量センサーの製造方法、電子機器および移動体を図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、本発明は、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。
【符号の説明】
【０１０８】
１……物理量センサー
２……加速度センサー部品
２ａ……裏面
２ｂ……表面
２０……ＩＣチップ
２０１……接続端子
２０２……外部端子
２０３……ダミー端子
２１……加速度センサー素子
２２……ベース基板
２２１……凹部
２２２、２２３、２２４……凹部
２３……蓋体
２３１……凹部
２４……素子片
２４１、２４２……支持部
２４３……可動部
２４３ａ……基部
２４３ｂ……可動電極指
２４４、２４５……連結部
２４８……第１固定電極指
２４９……第２固定電極指
２５１、２５２、２５３……配線
２５１ａ、２５２ａ、２５３ａ……端子
２９……樹脂
３……角速度センサー部品
３ａ……裏面
３ｂ……表面
３０……パッケージ
３１……ベース基板
３２……角速度センサー素子
３３……振動片
３３１……基部
３３２ａ……第１検出腕
３３２ｂ……第２検出腕
３３３ａ……第１連結腕
３３３ｂ……第２連結腕
３３４ａ……第１駆動腕
３３４ｂ……第２駆動腕
３３４ｃ……第３駆動腕
３３４ｄ……第４駆動腕
３３５ａ、３３５ｂ……支持部
３３６ａ、３３６ｂ、３３６ｃ、３３６ｄ……梁部
３４……導電性接着剤
３５……ベース基板
３５１……凹部
３５１ａ……第１凹部
３５１ｂ……第２凹部
３６……リッド
３７……外部端子
３８……ダミー端子
３９……ＩＣチップ
４……第１リード
４’……第１リード
４”……第１リード
４ａ……実装端子
４０……第１リード層
４０１……中心
４１……基端部
４２……傾斜部
４３……先端部
４９……外枠
５……第２リード
５’……第２リード
５”……第２リード
５ａ……実装端子
５０……第２リード層
５０１……中心
５１……基端部
５２……傾斜部
５３……先端部
５９……外枠
６……固定部材
７１……第１ダミーリード
７２……第２ダミーリード
９１……上金型
９２……下金型
１１００……パーソナルコンピューター
１１０２……キーボード
１１０４……本体部
１１０６……表示ユニット
１１０８……表示部
１２００……携帯電話機
１２０２……操作ボタン
１２０４……受話口
１２０６……送話口
１２０８……表示部
１３００……ディジタルスチルカメラ
１３０２……ケース
１３０４……受光ユニット
１３０６……シャッタボタン
１３０８……メモリ
１３１０……表示部
１３１２……ビデオ信号出力端子
１３１４……入出力端子
１４３０……テレビモニタ
１４４０……パーソナルコンピューター
１５００……自動車
１５０１……車体
１５０２……車体姿勢制御装置
１５０３……車輪
Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３……導電性バンプ
ＢＷ１、ＢＷ２、ＢＷ３……ボンディングワイヤー
Ｓ、Ｓ１、Ｓ２……内部空間
【図１】
0006398730.tif 000002
【図２】
0006398730.tif 000003
【図３】
0006398730.tif 000004
【図４】
0006398730.tif 000005
【図５】
0006398730.tif 000006
【図６】
0006398730.tif 000007
【図７】
0006398730.tif 000008
【図８】
0006398730.tif 000009
【図９】
0006398730.tif 000010
【図１０】
0006398730.tif 000011
【図１１】
0006398730.tif 000012
【図１２】
0006398730.tif 000013
【図１３】
0006398730.tif 000014
【図１４】
0006398730.tif 000015
【図１５】
0006398730.tif 000016
【図１６】
0006398730.tif 000017
【図１７】
0006398730.tif 000018
【図１８】
0006398730.tif 000019
【図１９】
0006398730.tif 000020
【図２０】
0006398730.tif 000021
【図２１】
0006398730.tif 000022
【図２２】
0006398730.tif 000023
【図２３】
0006398730.tif 000024
【図２４】
0006398730.tif 000025
【図２５】
0006398730.tif 000026
【図２６】
0006398730.tif 000027