(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出するノズルを複数有する液滴吐出部を洗浄するクリーニング装置であって、
前記液滴吐出部を洗浄液に浸漬させて洗浄する洗浄手段と、
前記洗浄液に熱エネルギーを供給する複数の発熱素子を備えた熱エネルギー供給手段と、
個々の前記ノズルの液滴吐出不良の有無を検出する液滴吐出不良検出手段と、
個々の前記発熱素子を、個別制御、又は同期制御の少なくとも一方で制御する制御手段と、
を備え、
前記各発熱素子は、一個、又は複数の前記ノズルに対応して配置され、
前記制御手段は、前記液滴吐出不良検出手段が液滴吐出不良を検出した前記ノズルに対応する前記発熱素子のみを制御することを特徴とする液滴吐出部のクリーニング装置。
【請求項２】
液滴を吐出するノズルを複数有する液滴吐出部を洗浄するクリーニング装置であって、
前記液滴吐出部を洗浄液に浸漬させて洗浄する洗浄手段と、
前記洗浄液に熱エネルギーを供給する複数の発熱素子を備えた熱エネルギー供給手段と、
を備え、
前記各発熱素子は、一個、又は複数の前記ノズルに対応して配置され、
前記洗浄手段は、
前記洗浄液を貯留する洗浄液貯留部と、
前記洗浄液貯留部の外部と連通する供給口を介して前記洗浄液貯留部に前記洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、
前記洗浄液貯留部に前記供給口を介して気体を供給する気体供給手段と、
前記洗浄液貯留部の外部と連通する吸引口を介して前記洗浄液貯留部から前記洗浄液、及び前記気体を吸引する洗浄媒体吸引手段と、
を有することを特徴とする液滴吐出部のクリーニング装置。
【請求項３】
液滴を吐出するノズルを複数有する液滴吐出部を洗浄するクリーニング装置であって、
前記液滴吐出部を洗浄液に浸漬させて洗浄する洗浄手段と、
前記洗浄液に熱エネルギーを供給する複数の発熱素子を備えた熱エネルギー供給手段と、
個々の前記ノズルの液滴吐出不良の有無を検出する液滴吐出不良検出手段と、
前記複数の発熱素子のうち液滴吐出不良が検出された前記ノズルに対応する前記発熱素子を選択的に動作させる制御手段と、
を備えることを特徴とする液滴吐出部のクリーニング装置。
【請求項４】
前記洗浄手段と前記液滴吐出部との間で前記洗浄液貯留部内を気密化する気密部材を備えることを特徴とする請求項２に記載の液滴吐出部のクリーニング装置。
【請求項５】
前記熱エネルギー供給手段と前記液滴吐出部のノズルとの位置関係を、相対的に位置決めすることができることを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載の液滴吐出部のクリーニング装置。
【請求項６】
前記洗浄媒体吸引手段は、廃液収容部を介して前記洗浄液貯留部と接続されていることを特徴とする請求項２又は４に記載の液滴吐出部のクリーニング装置。
【請求項７】
前記洗浄液貯留部内の前記洗浄液の温度を測定する温度測定手段を有することを特徴とする請求項２、４又は６に記載の液滴吐出部のクリーニング装置。
【請求項８】
前記液滴吐出部は、ノズル配置面を備えており、
前記洗浄液貯留部内の洗浄液面を越えて前記ノズル配置面が前記洗浄液内に入り込む構成としたことを特徴とする請求項２、４、６又は７に記載の液滴吐出部のクリーニング装置。
【請求項９】
請求項２、４、６乃至８の何れか一項に記載の液滴吐出部のクリーニング装置を用いた液滴吐出部のクリーニング方法であって、
前記熱エネルギー供給手段の動作により前記洗浄液貯留部内の洗浄液中に発生した微細気泡によって液滴吐出部のノズル配置面を洗浄する洗浄工程と、
前記供給口から気体を噴出させて前記ヘッド面を乾燥させる乾燥工程と、
を有することを特徴とする液滴吐出部のクリーニング方法。
【請求項１０】
請求項３に記載の液滴吐出部のクリーニング装置を用いた液滴吐出部のクリーニング方法であって、
前記制御手段によって前記発熱素子を選択的に動作させ、前記液滴吐出不良が検出された前記ノズルを洗浄することを特徴とする液滴吐出部のクリーニング方法。
【請求項１１】
請求項３に記載の液滴吐出部のクリーニング装置を用いた液滴吐出部のクリーニング方法であって、
前記制御手段によって前記発熱素子を順次動作させ、前記洗浄液貯留部内の洗浄液に進行波を発生させることを特徴とする液滴吐出部のクリーニング方法。
【請求項１２】
請求項３に記載の液滴吐出部のクリーニング装置を用いた液滴吐出部のクリーニング方法であって、
前記制御手段によって前記発熱素子を交互動作させ、前記洗浄液貯留部内の洗浄液に定常波を発生させることを特徴とする液滴吐出部のクリーニング方法。
【請求項１３】
請求項１乃至８の何れか一項に記載の液滴吐出部のクリーニング装置を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１４】
請求項１３に記載の液滴吐出装置を備えたことを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク、その他の液体を吐出する液滴吐出部のクリーニング装置、クリーニング方法、液滴吐出装置、及び画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子やプリント基板上に微細な配線パターンから成る電子回路を形成するデバイス製造方法では、従来からフォトリソグラフィー法が多用されてきた。しかし、フォトリソグラフィー法は、トップダウン型のプロセスであり、材料の利用効率が低く、さらに装置が高価であり、工程が複雑で長いため、製造コストを上昇させる原因となっている。
これに対して、近年ではボトムアップ型のプロセスである印刷法、例えば、オフセット印刷法、フレキソ印刷法、スクリーン印刷法、インクジェット印刷法などによるデバイス製造方法に注目が集まっている。これらの印刷法では、金属などの導電性微粒子や有機半導体等を分散・溶解させたインク（機能性インク）などを不導体基板や半導体基板上に塗布し、焼成を行うことでパターンを形成する。特にインクジェット印刷法では、電極、絶縁体、半導体等の基板上に直接描画することができ、マスクなどの装置が不要であるため、安価なデバイス製造方法や少量多品種に対応した製造方法として注目が集まっている。
デバイスの製造にインクジェット印刷法（ピエゾ方式、静電方式、バブルジェット（登録商標）方式など）を用いる場合には、通常の画像形成と比べて高いインク吐出精度と長期の吐出安定性とが求められる。インクジェット印刷法において、ノズル孔内で固化したインクや吐出面に付着したごみなどの異物は、インクの吐出形状、吐出速度、及び吐出方向にバラツキを生じさせ、インクの吐出精度の低下を招く。また、ノズルからの溶媒の蒸発に起因するインク粘度の部分的な上昇（高濃度インク部の発生）や、インク内への気泡の混入によって、吐出精度の低下と吐出安定性の低下（目詰まり等）が起きて、正しく画像を形成することができなくなる。高い吐出精度と吐出安定性とを達成するためには、ノズル孔内や吐出面の状態を常に最適にしておく必要がある。
【０００３】
そこで、インクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）に対して、パージング処理、キャッピング処理、ワイピング処理などの洗浄処理を実施することにより、インク吐出機能の回復が行なわれている。また、インクジェットヘッドの吐出面（ノズル配置面）を撥液性のあるコーティングで覆うことにより、吐出面の清浄性を保つ工夫がされている。
上記パージング処理とは、インクの吐出圧力よりも高い圧力をノズル付近のインクにかけることにより、ノズルから強制的にインクを捨てる（排出させる）動作のことである。これによれば、ノズル内の高濃度インク部を排出させたり、気泡を除去するにより、ノズルの詰まりを防止することができる。しかし、パージング処理では、全てのノズルに均等に圧力を掛けることが難しいため、全てのノズルのインク吐出機能を回復させることが難しい。これは、個々のノズルが他のノズルと連通しているために、インク固化物で遮蔽された吐出不能のノズルに対してだけ圧力を掛けることが難しく、近接する吐出可能な状態にある他のノズルから圧力の開放が行われてしまうためである。また、パージング処理では、吐出面に付着したごみやインク固化物などの除去はできない。
【０００４】
次に、上記キャッピング処理では、吐出面にキャップ構造を当接させて外部と隔離し、キャップ構造内に負圧を発生させることによりノズル内のインクを吸引する動作が行われる。しかし、キャッピング処理もパージング処理と同様、吐出面に付着したごみやインク固化物を除去できない。
そのため、ワイピング処理を行い、吐出面に付着したごみやインク固化物を除去することによってインクの吐出機能の回復が行われている。ワイピング処理とは、特許文献１に開示されているように、ノズル吐出面をブレード状部材により払拭することによってノズル状態の回復を行う動作である。しかし、上記方法ではブレード状部材とノズル端部の接触による磨耗が発生するため、ゴミが発生するという問題があった。また、多くのインクジェットヘッドはノズル配置面を撥水処理しているため、ブレード状部材がノズル配置面に繰り返し接触することで撥水効果が薄れるという問題があった。さらに、インクには粘着力をもった高分子材料が含まれることが多いことに加え、ノズル配置面の撥水効果の低下を防ぐことができる程度の弱い接触圧でブレード状部材による払拭作業を実施する必要があるため、十分に洗浄ができないという問題もあった。
【０００５】
特許文献２には、インクジェットヘッドを洗浄液に浸漬した状態で超音波を付与することで洗浄を行う超音波洗浄手段が記載されている。また、特許文献２による超音波洗浄の後工程を実施する装置として、特許文献３には清掃部材を当接させてインクジェットヘッドの洗浄を行うインクジェットヘッドクリーニング装置が記載されている。
特許文献２の洗浄方法では、ワイピング処理で問題となる撥水面の損傷をある程度低下させることができるが、超音波振動子により与えられるエネルギーは中心部と端部で分布がばらつくために、ノズル配置面を均一に洗浄することはむずかしい。均一に洗浄するために複数個の超音波振動子を並べる方法も考えられるが、装置が大型化するという問題がある。
【０００６】
また、超音波振動子により生成される微細泡（キャビテーション）は洗浄力に寄与するが、同時にノズル配置面の撥水膜にダメージを与える。そのため、洗浄が必要なノズル近傍など、なるべく限定された範囲に微細泡とキャビテーションを発生させることでノズル配置面の損傷を抑える必要がある。最良なのは、ノズルとキャビテーション発生源が１対１で対応していることである。
しかし、超音波振動子を用いてキャビテーションを発生させるためには振動子が大型になるため、ノズルピッチが狭くなればなるほど、１対１で振動子を配置しノズルを選択的に洗浄すること難しくなる。
また、特許文献３の清掃部材を当接させる方法は、ワイピング処理と比較して撥水面の損傷は少ないと考えられるが、接触による撥水面損傷の発生と発塵の可能性は依然として残る。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は上記に鑑みてなされたものであり、ノズル配置面を簡便な構成で均一に洗浄することを可能とし、またノズル配置面の撥水膜の破壊や発塵の影響を抑えつつ洗浄が必要な部分を選択的に洗浄することができる液滴吐出部のクリーニング装置、クリーニング方法、液滴吐出装置、及び画像形成装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために本発明の液滴吐出部のクリーニング装置は、液滴を吐出するノズルを複数有する液滴吐出部を洗浄するクリーニング装置であって、前記液滴吐出部を洗浄液に浸漬させて洗浄する洗浄手段と、前記洗浄液に熱エネルギーを供給する複数の発熱素子を備えた熱エネルギー供給手段と、個々の前記ノズルの液滴吐出不良の有無を検出する液滴吐出不良検出手段と、個々の前記発熱素子を、個別制御、又は同期制御の少なくとも一方で制御する制御手段と、を備え、前記各発熱素子は、一個、又は複数の前記ノズルに対応して配置され、前記制御手段は、前記液滴吐出不良検出手段が液滴吐出不良を検出した前記ノズルに対応する前記発熱素子のみを制御することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明では、洗浄液貯留部に貯留した洗浄液に液滴吐出部のノズル配置面を浸漬し、熱エネルギー供給手段を動作させることによって洗浄液中に微細気泡を発生させ、ノズル配置面の洗浄を行うことができる。
また、発熱素子を複数個形成することによって、ノズル配置面近傍の全域で同じように微細気泡を発生させることができるのでノズル配置面を均一に洗浄することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一実施形態に係る液滴吐出部のクリーニング装置を搭載した液滴吐出装置の平面図である。
【図２】本発明のクリーニング装置の一例としてのヘッドメンテナンスユニットの概略構成を示す拡大図である。
【図３】（ａ）乃至（ｄ）は本発明の洗浄手段による洗浄動作の手順を示す説明図である。
【図４】（ａ）及び（ｂ）は制御手段による熱エネルギー供給手段の制御方法を説明する図である。
【図５】必要な発熱素子にのみに選択的に制御信号を送って発熱させる方法の説明図である。
【図６】第２の実施形態に係る液滴吐出部のクリーニング装置（洗浄手段）の構成を示す説明図である。
【図７】本発明の液滴吐出装置を用いたインクジェット記録装置（画像形成装置）の斜視説明図である。
【図８】図７の画像形成装置の機構部の側面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明を図面に示した実施の形態により詳細に説明する。
《第１の実施形態》
図１は本発明の液滴吐出部のクリーニング装置を搭載した液滴吐出装置の平面図である。
液滴吐出装置１は、ベース２と、液滴吐出部５と、液滴吐出部の駆動機構２０と、吐出不良検出部３０と、液滴吐出部のクリーニング装置４０と、を概略備えており、インクジェット記録装置等の画像形成装置２００（図７、図８）に装備される。
液滴吐出部５は、Ｘステージ２３に沿って進退する可動子に固定されたヘッドキャリッジ７によって支持されて先端面に複数のノズル１１を備えたヘッド９を備えている。
【００１２】
液滴吐出部の駆動機構２０は、ベース２の上面に配置されてＸ方向へ延び、ベース上面よりも高い位置にＸステージを設置するための門型構造体２１と、門型構造体２１によって支持されヘッドキャリッジ７をガイドするＸステージ２３と、記録対象物である基板を載置するための基板テーブル２５と、基板テーブルを設置するＹステージ２７と、ヘッドキャリッジ７を駆動する図示しないモータ等の駆動源と、駆動源等を制御する制御手段１００（図２）と、を概略備えている。
吐出不良検出部３０は、ヘッド９の吐出面に配列されたノズル１１に詰まりや、吐出形状、吐出速度、及び吐出方向の異常（吐出不良）が発生しているか否かを検出する手段である。
液滴吐出部のクリーニング装置４０は、ヘッド９（ノズル１１）の洗浄・乾燥を行うヘッドメンテナンスユニット４１を備えている。
図示した例では、一つのヘッドキャリッジ７に３つのヘッド９が搭載されているが、当該個数に制限はない。
【００１３】
図２は本発明のクリーニング装置の一例としてのヘッドメンテナンスユニットの概略構成を示す拡大図である。
まず、Ｘステージ２３に沿って移動するヘッドキャリッジ７がヘッドメンテナンスユニット４１の上方に移動してきて停止した状態では、ヘッドメンテナンスユニット４１の上方（直上）にはヘッド９のノズル配置面（吐出面）９ａが対向配置されている。ヘッド９のノズル配置面９ａには複数のノズル１１が配置されており、各ノズル１１は下方に位置するヘッドメンテナンスユニット４１と対向配置されている。
ヘッドメンテナンスユニット４１は、ヘッド９（ヘッドキャリッジ７）に対して接近離間自在、即ち相対的に移動する。本実施例ではヘッドメンテナンスユニットを上下方向に進退させているが、ヘッド９側を上下方向に進退させてもよい。
【００１４】
本発明のヘッドメンテナンスユニット４１（クリーニング装置４０）は、液滴を吐出するノズル１１を複数個有する液滴吐出部５（ヘッド９）を洗浄する手段であって、液滴吐出部５の一部、本例ではヘッド９を洗浄液に浸漬させて洗浄する洗浄手段５０を備えている。
洗浄手段５０は、上面に洗浄液貯留部５３を備えたクリーニングプレート（クリーニングベース部材）５１と、クリーニングプレート５１の洗浄液貯留部５３に洗浄液（洗浄媒体）Ｌを供給する洗浄液供給手段（洗浄媒体供給手段）６０と、洗浄液貯留部５３に気体（洗浄媒体）Ａを供給する気体供給手段（洗浄媒体供給手段）６５と、洗浄液貯留部内の使用済みの洗浄液Ｌ、及び気体Ａを吸引して排出する負圧発生手段（洗浄媒体吸引手段）７０と、洗浄液中に熱エネルギーを供給する複数の発熱素子８２を備えた熱エネルギー供給手段８０と、洗浄液の温度を測定する温度測定手段９０と、ヘッド９とクリーニングプレート５１とが接近したときに両者によって圧縮されることにより両者の対向面間に形成される空間Ｓを気密的に封止する環状の弾性体（気密部材）９２と、ヘッドメンテナンスユニット４１をヘッド９に向けて昇降させる図示しない昇降機構と、これらの制御対象を制御する制御手段１００と、から概略構成される。
【００１５】
クリーニングプレート５１は、ヘッド９を洗浄する洗浄液Ｌを貯留するための凹所（空所）である洗浄液貯留部５３と、洗浄液Ｌ（洗浄媒体）や乾燥のための気体Ａ（洗浄媒体）を洗浄液貯留部５３内に供給するための供給口（洗浄媒体供給部）５５と、洗浄後に洗浄液貯留部内に残る汚染された洗浄液Ｌや気体Ａを吸引するための吸引口（洗浄媒体吸引部）５７とを、有する。供給口５５と吸引口５７は、洗浄液貯留部５３の両端部、即ちノズル１１の配列方向に沿った洗浄液貯留部５３の両端部（底部）に配置されている。
洗浄液供給手段（洗浄媒体供給手段）６０は、供給口５５に一端を接続されたダクトＤ１の途中に配置された液体供給ポンプ６１と、ダクトＤ１の他端と接続されて未使用の洗浄液Ｌを収容した洗浄液収容部６２と、を有する。制御手段１００が液体供給ポンプ６１を駆動することにより洗浄液収容部６２内の洗浄液ＬはダクトＤ１の他端から吸引されて供給口５５から洗浄液貯留部５３内に所定量供給される。
気体供給手段（洗浄媒体供給手段）６５は、ダクトＤ１の途中（液体供給ポンプ６１の上流側）から分岐したダクトＤ２の途中に配置された気体供給ポンプ６６を有し、ダクトＤ２の他端は大気中に開放されている。液体供給ポンプ６１を停止させた状態で制御手段が気体供給ポンプ６６を駆動することにより、ダクトＤ２の他端から空気を吸引してダクトＤ１を経て供給口５５から洗浄液貯留部５３内に供給する。気体供給手段６５によって供給された空気Ａは、洗浄液貯留部５３内を乾燥させる。
【００１６】
供給口５５の反対側に配置された吸引口５７にはダクトＤ３の一端が接続されており、ダクトＤ３の他端は廃液収容部７４の内底面の近傍まで延在している。
負圧発生手段（洗浄媒体吸引手段）７０は、ダクトＤ４中に配置された吸引ポンプ７１を有し、ダクトＤ４の一端は大気に開放される一方で、他端は廃液収容部７４内の廃液Ｌ１と接しない高さ位置で終端している。ダクトＤ３の端部は廃液収容部の底面まで延びているが、ダクトＤ４は廃液収容部７４の上部で止まり廃液Ｌ１に触れることがないようになっている。
温度測定手段９０の種類には特に制限は無いが、接触式の温度計が望ましい。接触式温度計によれば、洗浄液貯留部内の洗浄液に接触して液温を直接測定することができるからである。
【００１７】
弾性体９２の材質は、例えば、ニトリルゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム、アクリルゴム等の中から使用するインク種によって適切に選択する。
熱エネルギー供給手段８０は、対向するノズル群の配列方向と同じ方向に複数の発熱素子８２を配列した構成を有する。各発熱素子８２は、ヘッド９のノズル形成面に対向する位置にノズル１１と１対１で配置する。これによって、発熱素子８２が発熱した時に発生する熱エネルギーによって各ノズル近傍の洗浄液中に効率的に微細気泡を発生させることが可能なため、ノズルの洗浄能力を向上させることができる。ただし、発熱素子８２の配置、個数は上記に制限されるものではなく、洗浄力が落ちるがコスト等の面から構成を簡便とするために、２個、又は３個のノズルに対して発熱素子８２が１つという構成も可能である。
つまり、各発熱素子８２は、一個、又は複数の（少なくとも一つの）ノズル１１に対応して配置されている。言い換えれば、一つの発熱素子８２は一つ、又は複数のノズル１１と対応（対向）して配置され、対向するノズルの洗浄を主として担当する。
【００１８】
発熱素子８２が洗浄液中で所定の温度（洗浄液の沸点）に昇温することにより、洗浄液の一部が気泡となり、ノズルの洗浄に寄与することとなる。
発熱素子８２は、ヒータのように抵抗体に電流を流して発熱させるものが小型化に適しており最も好ましい。また、ペルチェ素子、或いはレーザー等の光エネルギーを用いることもできる。
【００１９】
制御手段１００は、熱エネルギー供給手段８０に電圧の印加を行うことにより、個々の発熱素子８２を個別制御、又は、同期制御の少なくとも一方で制御する。
制御手段１００による制御において、印加電圧、波形、周波数は可変であるが、微細気泡は洗浄液の圧力変動により発生するため、印加波形はパルス波形とする。ただし、印加波形に特別な制限は無い。印加電圧については、インクの変性温度に差異があるため、ノズル形成面（洗浄面）が変性温度以上にならないよう適切に選択する必要がある。
本実施例においては、記録開始時、記録終了時、記録中の各段階で、任意の時間間隔にてヘッド９を液滴吐出不良検出部３０上に移動させ吐出不良チェックを行う。液滴吐出不良検出部３０によって少なくとも一つのノズル１１について不吐出等の吐出不良が検出された場合は、Ｘステージ２３を用いてヘッド９をヘッドメンテナンスユニット４１に対向する位置に移動させて洗浄を行う。
【００２０】
吐出不良検出方法としては、例えば特開２００７‐１１１９７１号に開示されているように、液体の吐出方向と直交する方向に発光素子から光を発してその光を受光素子で受ける構成とし、受光素子の受光光量の変化から、液体の吐出不良を検出するものを用いる。なお、これ以外の検出方法を用いても良いことは言うまでも無い。
制御手段１００が、液滴吐出不良検出部３０が液滴吐出不良を検出したノズル１１に対向する発熱素子８２のみを発熱させるように制御することにより、効率の良い洗浄作業を実施することができる。なお、液滴吐出不良を検出したノズル１１に対向する発熱素子８２と、その周辺の他の発熱素子を発熱させてはならない趣旨では無く、洗浄効率向上の理由から必要に応じて他の発熱素子を発熱させることは差し支えない。
【００２１】
次に、図３（ａ）乃至（ｄ）は本発明の洗浄手段５０による洗浄動作の手順を示す説明図である。
吐出不良検出部３０が少なくとも一つのノズル１１が吐出不良状態にあることを検出した場合、制御手段１００は液滴吐出部の駆動機構２０を制御して、ヘッドキャリッジ７をＸステージ２３に沿ってヘッドメンテナンスユニット４１と対向する位置に移動させる。そして、ノズル配置面（ヘッド９の下面）９ａの外周部がクリーニングプレート５１上面に設置された密閉性を確保するための弾性体９２と当接（圧接）するまでヘッドメンテナンスユニットを移動させる（図３（ａ）（ｂ））。ヘッド９とヘッドメンテナンスユニット４１は図示しないピンとブッシュから成る位置決め機構により相対的に位置決めされ、ノズル１１と熱エネルギー供給手段８０も同様に位置決めされる。位置決め機構はピンとブッシュによる構成のみに制限されるものではない。また、前記のような位置決め機構を持たなくても、ヘッド９とメンテナンスユニット４１との相対位置が分かっている場合はXステージ２３のみを用いてX方向の位置決めすることが可能である。弾性体９２を配置する位置は、ノズル配置面９ａと接した時に各ノズルからの吐出に影響を与えることが少ない最も外周部とする。
【００２２】
図３（ｂ）の状態では、ヘッド９とクリーニングプレート５１との間に気密の空間Ｓが形成される。
ノズル配置面９ａの外周部を弾性体９２と当接させて空所Ｓを密閉した状態で、洗浄液供給手段６０により供給口５５を通して洗浄液貯留部５３に洗浄液Ｌを送り貯留させる。洗浄液の貯留後に洗浄液貯留部内を減圧して微細気泡の発生を補助してもよい。但し、減圧により洗浄液貯留部内がインクに含まれる溶媒の蒸気圧以下にはならないようにする。これは、ノズルからの溶媒の蒸発に起因するインク粘度の部分的な上昇（高濃度インク部の発生）や、分散質の凝集、溶解物の析出を避ける為である。
ダクトＤ１、Ｄ２にはその適所にバルブを設けても良い。ダクトＤ３、Ｄ４についても同様である。
【００２３】
次いで、熱エネルギー供給手段８０に制御手段１００から制御信号を送って所定の発熱素子８２を選択的に発熱させることにより、洗浄液貯留部５３内に貯留させた洗浄液Ｌ１中に微細気泡を発生させる。発生した微細気泡が崩壊する際に圧力差が発生するため、吐出不良状態にあるノズルを個別に洗浄することができる（図３（ｃ））。
以上の手順により洗浄工程を終了すると、弾性体９２を介してノズル配置面９ａとクリーニングプレート上面とを気密的に当接させた状態で、気体供給手段６５により供給口５５を通して気体Ａを洗浄液貯留部５３内に送り、同時に吸引口５７から負圧発生手段７０を用いて洗浄液を吸引する。これにより、供給口５５から吸引口５７に向かう液流を発生させ、洗浄液貯留部の壁面近傍、及びノズル配置面近傍に圧力差を生じさせて、洗浄液貯留部、及びノズル配置面の洗浄液、及びゴミを除去することができる。また、洗浄液Ｌが洗浄液貯留部５３から排出された後にも気体供給手段６５からの気体供給を継続することにより、供給口５５から吸引口５７に向かう気流を発生させることができる。この気流により、洗浄液貯留部の壁面近傍及びノズル配置面近傍に圧力差を生じさせることにより洗浄液貯留部及びノズル配置面の洗浄液及びゴミを除去することができる（図３（ｄ））。
【００２４】
このように本発明の一つのクリーニング方法では、熱エネルギー供給手段８０の動作により洗浄液貯留部５３内の洗浄液Ｌ中に発生した微細気泡によって液滴吐出部のノズル配置面９ａを洗浄する洗浄工程と、供給口５５から気体Ａを噴出させてヘッド面を乾燥させる乾燥工程と、を実施することにより、効率的なノズルのクリーニングを実施することができる。
制御手段１００による制御方法（制御信号）としては、同一の制御信号を全ての発熱素子８２に供給して発熱させる方法、順次に同一制御信号をずらして個々の発熱素子８２に供給する方法、隣接する発熱素子８２に供交互に制御信号を供給する方法、必要な発熱素子にのみ制御信号を送る方法等がある。どれか一つの方法を用いるだけでなく、これらの組み合わせでも良い。
【００２５】
以下、各制御方法について図４に基づいて説明する。
全ての発熱素子８２に同一の信号を送って同時に発熱させる場合には、洗浄液貯留部内洗浄液の温度上昇や、洗浄の必要が無い箇所にもキャビテーションによる圧力変動が加わり、ノズル配置面の損傷に繋がるのであまり好ましくない。
【００２６】
次に、図４（ａ）に示したように各発熱素子８２（（１）（２）（３）は発熱素子の番号を示す）に対して順次に同一信号をずらして送ることにより発熱するタイミングを順次ずらす方法では、洗浄液貯留部内の洗浄液に進行波を発生させることができる。図４（ａ）の右図のパルス波形図に示すように各発熱素子（１）（２）（３）に加えるパルスのタイミングを順次ずらすことにより、図４（ａ）の左図のように気泡のサイズが発熱素子毎に異なった状態となり、洗浄液に矢印方向に示す進行波が形成される。このため、インク固化物の拡散を促し、発熱素子８２に同一の信号を送る場合と比較して洗浄力が向上する。また、インク固化物やゴミを吸引口５７付近に集めることも可能となるので、ノズル配置面９ａへの異物の再付着を防止することが可能となる。
このように本例では、制御手段１００によって発熱素子８２を順次動作させ、洗浄液貯留部内の洗浄液に進行波を発生させることができるので、より効率的な洗浄を行うことが可能となる。
【００２７】
また、図４（ｂ）のように隣接する各発熱素子８２に交互に信号を送る場合は、洗浄液貯留部内の洗浄液Ｌに発熱素子８２を腹とする定常波を発生させることができるので、同様に洗浄力が向上する。即ち、図４（ｂ）の右図のパルス波形図に示すように、一つ置きに各発熱素子８２に対して同じタイミングでパルスを印加することにより、図４（ｂ）の右図に示すように洗浄液中に発熱素子８２を腹とする定常波を発生させることができる。
即ち、波長、周期、振幅、早さが同じで進行方向が逆向きの２つの波が重なり合うことによって形成される定常波は、その場に留まって振動を繰り返す状態となるため、洗浄力を向上させることができる。
【００２８】
次に、図５は、必要な発熱素子８２にのみに選択的に制御信号を送って発熱させる方法の説明図である。
必要な発熱素子８２にのみに選択的に制御信号を送って発熱させる方法は、吐出不良のノズルを特定する必要があるために吐出不良検出部３０とともに用いる必要がある。この方法では、洗浄が必要でないノズルには大きな圧力変動を生じさせないため、吐出不良を起こしていないノズルの損傷を最小限に抑えることができる。ヘッド側ではノズル毎に番号が割り当てられており、吐出不良検出部３０を用いて検出した吐出不良ノズルのノズル番号を吐出不良ノズル番号データとして制御手段１００に送り、制御手段は吐出不良ノズル番号データに基づいて、吐出不良ノズル近傍の発熱素子８２の制御を行う。
【００２９】
洗浄の際には、洗浄液貯留部５３に設置された温度測定手段９０により洗浄液Ｌの温度を測定し、ある温度を上回った場合には供給口５５と吸引口５７を通じて、洗浄液の全部もしくは一部の入れ替えを行ってもよい。入れ替えの際の温度はインクの種類、材質の違いに応じて最適な温度を選択する。
このように本例では、制御手段１００によって発熱素子８２を選択的に動作させ、任意のノズル１１を洗浄するようにしたので、より効率的にクリーニングを実施することができる。
本発明では、複数の発熱素子８２を発熱させることによって洗浄液Ｌ中に微細気泡を発生させ、微細気泡を伴った洗浄液の移動エネルギーを利用してノズル１１の洗浄を行う。
【００３０】
個々の発熱素子８２に与える単位面積当たりのエネルギーを大きくすれば微細気泡を発生させることができるので、超音波振動子を利用した洗浄装置と比較して熱エネルギー供給手段８０を小型化することができる。
上述のように、超音波振動子により生成される微細泡（キャビテーション）は洗浄力向上に寄与するが、同時にノズル配置面の撥水膜にダメージを与える。そのため、洗浄が必要なノズル近傍など、なるべく限定された範囲に微細泡とキャビテーションを発生させることでノズル配置面の損傷を抑える必要がある。超音波振動子を用いたクリーニング装置において最良なのは、ノズルとキャビテーション発生源が１対１で対応していることである。
しかし、超音波振動子を用いてキャビテーションを発生させるためには振動子が大型になるため、ノズルピッチが狭くなればなるほど、１対１で振動子を配置しノズルを選択的に洗浄すること難しくなる。
【００３１】
これに対して本発明によれば、熱エネルギー供給手段８０を小型化できるため、狭いピッチで発熱素子を配置して狭いピッチで微細気泡を発生させることが可能となり、ノズル配置面（ヘッド先端のノズル群が配列された面）を全般的に、又は部分的に均一に洗浄できる。つまり、洗浄ムラの発生を防止できる。
【００３２】
また、ノズルピッチが狭い場合であっても、任意のノズル近傍に選択的に微細気泡を発生させることが可能となる。
また、個々の発熱素子８２を、個別制御、又は、同期制御の少なくとも一方で制御するようにしたので、発熱素子８２を個別に制御することにより、特定の領域に微細気泡を発生させて各ノズルを選択的に洗浄することが可能となる。また、各発熱素子８２を順次動作させることで、洗浄液貯留部内で進行波を発生させたり、定常波を発生させることが可能となるため、各発熱素子８２を同時に動作させる場合と比較してノズル配置面の洗浄力が向上する。
【００３３】
また、制御手段１００は、液滴吐出不良検出部３０が液滴吐出不良等の吐出不良を検出したノズルに対応する発熱素子のみを制御するので、吐出不良と判断されたノズルと対応する発熱素子８２を選択的に動作させることが可能になる、このため、微細気泡を洗浄が必要な部分のみに発生させて、吐出不良が発生しているノズル近傍を選択的に洗浄することが可能となる。これにより、超音波振動子を用いて超音波振動を洗浄液の全面に与える方法と比較してノズル配置面の損傷を抑えることができる。
また、洗浄液供給手段６０と、気体供給手段６５と、洗浄媒体吸引手段（負圧発生手段）７０と、を有しているので、洗浄後にノズルから剥離したゴミが再付着することを防止できる。
【００３４】
洗浄液中に微細気泡を発生させてノズル配置面の洗浄を行うことができる。洗浄後には、気体供給手段によってブローすることでゴミの除去とノズル配置面の乾燥とを行うことができる。
洗浄手段５０と液滴吐出部５（ヘッド９）との間で洗浄液貯留部内を気密化する気密部材９２を備えたので、洗浄液貯留部の気密性を保つことが可能になる。そのため、洗浄時の洗浄液や剥離したゴミの飛散を防ぐことができる。
【００３５】
各ノズル１１と各発熱素子８２をより正確な位置関係、位置精度で対向させて配置することが可能になるため、より微細なピッチで配置されたノズル群を有する液滴吐出部の任意のノズル、及びその近傍を選択的に洗浄することが可能となる。
洗浄液貯留部と洗浄液吸引手段との間に廃液収容部７４が設置されているので、洗浄後の廃液やゴミを洗浄液供給手段を通さないで廃液収容部に貯めることができる。そのため、廃液収容部を取り外して再設置するだけでメンテナンスが完了する。
洗浄液貯留部内の温度を測定する温度測定手段が設置されているので、洗浄液の温度を測定することができ、洗浄液を適切な温度に保つことが可能となる。
【００３６】
《第２の実施形態》
図６に第２の実施形態に係る液滴吐出部のクリーニング装置（洗浄手段）の構成を示す。
この実施形態では、洗浄液貯留部５３内にヘッド９が入り込む構成としたので、洗浄液貯留部５３に貯留した洗浄液Ｌ内にヘッド９が深く浸漬することができる。上記実施形態ではノズル配置面９ａを洗浄液面と接触させる程度に浅く浸漬させていたが、本例ではノズル配置面９ａを洗浄液面を越えて下降させて洗浄液内部に浸漬させることにより、ノズル配置面９ａを洗浄液面より下方へ位置させた状態で洗浄を実施する。
【００３７】
このような洗浄を行うために、ヘッド９の外形サイズを洗浄液貯留部５３内に入り込むことができるものとし、上記実施形態の如き弾性体を用いない。
この実施形態においては、ノズル配置面とクリーニングプレート５１の上面とが接触しないため、完全に非接触でノズル配置面９ａを洗浄することができ、ノズル配置面の損傷を抑えることができる。
【００３８】
また、供給口５５と吸引口５７を洗浄液貯留部５３の両側壁に設けることができるため、ノズル配置面と供給口５５の中心部と吸引口５７の中心部の高さとを同じにできる。このため、洗浄後の乾燥工程の際に効率よくノズル配置面から洗浄液・ゴミを除去することができる。即ち、供給口５５から吸引口５７へ向かう液流、気体流が、洗浄対象物であるノズル配置面９ａを最も効率的に洗浄できる経路を経て通過することが可能となる。
【００３９】
《本発明の液滴吐出装置を用いた画像形成装置》
次に、本発明に係る液滴吐出装置は、画像形成装置（インクジェット記録装置）に適用可能である。
図７は本発明の液滴吐出装置を用いたインクジェット記録装置の斜視説明図、図８は同記録装置の機構部の側面説明図である。
図７、図８に示すインクジェット記録装置２００は、記録装置本体２０１の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ、キャリッジに搭載した本発明を実施したインクジェットヘッドからなる記録ヘッド、記録ヘッドへインクを供給するインクカートリッジ等で構成される印字機構部２０２等を収納し、装置本体２０１の下方部には前方側から多数枚の用紙Ｐを積載可能な給紙カセット（或いは給紙トレイでもよい）２０４を抜き差し自在に装着することができ、また、用紙Ｐを手差しで給紙するための手差しトレイ２０５を開閉することができ、給紙カセット２０４或いは手差しトレイ２０５から給送される用紙Ｐを取り込み、印字機構部２０２によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ２０６に排紙する。
【００４０】
印字機構部２０２は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド２０７と従ガイドロッド２０８とでキャリッジ２０９を主走査方向に摺動自在に保持し、このキャリッジ２０９にはイエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインク滴を吐出する本発明に係るインクジェットヘッドからなるヘッド２１０を複数のインク吐出口（ノズル孔）を主走査方向と交差する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。またキャリッジ２０９にはヘッド２１０に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ２１１を交換可能に装着している。
インクカートリッジ２１１は上方に大気と連通する大気口、下方にはインクジェットヘッドへインクを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力によりインクジェットヘッドへ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。また、記録ヘッドとしてここでは各色のヘッド２１０を用いているが、各色のインク滴を吐出するノズル孔を有する１個のヘッドでもよい。
【００４１】
ここで、キャリッジ２０９は後方側（用紙搬送方向下流側）を主ガイドロッド２０７に摺動自在に嵌装し、前方側（用紙搬送方向上流側）を従ガイドロッド２０８に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ２０９を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ２１２で回転駆動される駆動プーリ２１３と従動プーリ２１４との間にタイミングベルト２１５を張装し、このタイミングベルト２１５をキャリッジ２０９に固定しており、主走査モータ２１２の正逆回転によりキャリッジ２０９が往復駆動される。
【００４２】
一方、給紙カセット２０４にセットした用紙Ｐをヘッド２１０の下方側に搬送するために、給紙カセット２０４から用紙Ｐを分離給装する給紙ローラ２１６及びフリクションパッド２１７と、用紙Ｐを案内するガイド部材２１８と、給紙された用紙Ｐを反転させて搬送する搬送ローラ２１９と、この搬送ローラ２１９の周面に押し付けられる搬送コロ２２０及び搬送ローラ２１９からの用紙Ｐの送り出し角度を規定する先端コロ２２１とを設けている。搬送ローラ２１９は副走査モータ２２２によってギヤ列を介して回転駆動される。
そして、キャリッジ２０９の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ２１９から送り出された用紙Ｐを記録ヘッド２１０の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材２２３を設けている。この印写受け部材２２３の用紙搬送方向下流側には、用紙Ｐを排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ２２４、拍車２２５を設け、更に用紙Ｐを排紙トレイ２０６に送り出す排紙ローラ２２６及び拍車２２７と、排紙経路を形成するガイド部材２２８、２２９とを配設している。
記録時には、キャリッジ２０９を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド２１０を駆動することにより、停止している用紙Ｐにインクを吐出して１行分を記録し、用紙Ｐを所定量搬送後次の行の記録を行う。記録終了信号、または、用紙Ｐの後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させて用紙Ｐを排紙する。
【００４３】
また、キャリッジ２０９の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、ヘッド２１０の吐出不良を回復するために、上記実施形態にて説明したクリーニング装置４０を配置している。吐出不良が発生したことが液滴吐出不良検出部３０により検出された場合には、ヘッドメンテナンスユニット４１を作動させて液滴不良状態にあるノズルを洗浄液により洗浄する。洗浄液による洗浄後は洗浄液貯留部５３から洗浄液を排出し、気体供給手段６５から供給される気体により乾燥させる。このため、ノズルに付着したインクやゴミ等は除去され吐出不良が回復される。また、吸引された洗浄液は、洗浄媒体吸引手段７０によって廃液収容部７４に回収される。
なお、本発明の液滴吐出装置は、インク以外の液体を吐出する他の画像形成装置一般に適用することができる。例えば、半導体プロセスで基板上に形成される液体レジストや、パターン材料等を液滴として吐出する装置（画像形成装置）にも適用することができる。
【００４４】
《本発明の構成、作用、効果のまとめ》
第１の本発明に係る液滴を吐出するノズル１１を複数有する液滴吐出部５を洗浄するクリーニング装置４０は、液滴吐出部を洗浄液Ｌに浸漬させて洗浄する洗浄手段５０と、洗浄液に熱エネルギーを供給する複数の発熱素子８２を備えた熱エネルギー供給手段８０と、を備え、各発熱素子８２は、一個、又は複数のノズル１１に対応して配置されていることを特徴とする。
これによれば、複数の発熱素子８２を全体として、或いは選択的に発熱させることによって洗浄液中に微細気泡を発生させてノズル１１の洗浄を行うことができる。発熱素子８２に与える単位面積当たりのエネルギーを大きくすれば洗浄能力が高い状態で微細気泡を発生させることができ、振幅を大きくする必要がある超音波振動子と比較して熱エネルギー供給手段を小型化できる。小型化できるため、狭いピッチで微細気泡を発生させることが可能となるため、ノズル配置面（ヘッド先端のノズル群が配列された面）を均一に洗浄できる。
【００４５】
また、ノズルピッチが狭い場合であっても、ノズルに対応して配置された発熱素子からの発熱によって任意のノズル、及びノズル近傍に選択的に微細気泡を発生させることが可能となる。
ここで「対応して配置」とは、一つの発熱素子が一つのノズルに対して一対一で対向配置されることにより、当該発熱素子からの発熱により形成された微細気泡が直上に対向配置された一つのノズルに供給されて洗浄効率を高める場合を含む。また、一つの発熱素子が複数のノズルに対して対向配置されることにより、当該発熱素子からの発熱により形成された微細気泡が直上に対向配置された複数のノズルに供給されて洗浄効率を高め場合も含む。
【００４６】
また、第１の本発明に係る液滴吐出部のクリーニング装置４０では、個々の発熱素子８２を、個別制御、又は、同期制御の少なくとも一方で制御する制御手段１００を備えていることも特徴とする。
これによれば、発熱素子８２を個別に制御することが可能となる。そのため、特定の領域に微細気泡を発生させて各ノズルを選択的に洗浄することが可能となる。また、各発熱素子８２を順次動作させることで、洗浄液貯留部内で進行波を発生させたり、発熱素子８２を交互に動作させることで発熱素子８２を腹とする定常波を発生させることが可能となるため、発熱素子８２を同時に動作させる場合と比較してノズル配置面の洗浄力が向上する。
【００４７】
さらに、第１の本発明に係る液滴吐出部のクリーニング装置４０では、個々のノズルの吐出不良の有無を検出する液滴吐出不良検出部３０を備え、制御手段１００は、液滴吐出不良検出部３０が液滴吐出不良を検出したノズルに対応する発熱素子のみを制御することも特徴とする。
これによれば、液滴吐出不良検出部３０の検出結果に基づいて、吐出不良と判断されたノズルと対応する発熱素子８２を選択的に動作させることが可能になるので、当該発熱素子８２を動作させることで、微細気泡を洗浄が必要な部分のみに発生させることができる。
それにより、超音波振動子を用いて超音波振動を洗浄液の全面に与える方法と比較してノズル配置面の損傷を抑えることができる。
また、発熱素子を個別に制御する制御手段に併せて液滴吐出不良検出部を設けることで、吐出不良が発生しているノズル近傍を選択的に洗浄することが可能となる。
【００４８】
第２の本発明に係る液滴を吐出するノズル１１を複数有する液滴吐出部５を洗浄するクリーニング装置４０は、液滴吐出部を洗浄液Ｌに浸漬させて洗浄する洗浄手段５０と、洗浄液に熱エネルギーを供給する複数の発熱素子８２を備えた熱エネルギー供給手段８０と、を備え、各発熱素子８２は、一個、又は複数のノズル１１に対応して配置され、洗浄手段５０は、洗浄液Ｌを貯留する洗浄液貯留部５３と、洗浄液貯留部の外部と連通する供給口５５を介して洗浄液貯留部に洗浄液を供給する洗浄液供給手段６０と、洗浄液貯留部に供給口を介して気体を供給する気体供給手段６５と、洗浄液貯留部の外部と連通する吸引口５７を介して洗浄液貯留部から洗浄媒体（洗浄液、及び気体）を夫々吸引する洗浄媒体吸引手段（負圧発生手段）７０と、を有することを特徴とする。
これによれば、新しい洗浄液を供給し、洗浄後のノズル配置面９ａを乾燥させるための気体Ａを供給するための供給口５５と、洗浄後の汚染された洗浄液やゴミを吸引するための吸引口５７を有するので、洗浄後にノズルから剥離したゴミが再付着することを防止できる。
また、洗浄液貯留部に貯留した洗浄液にノズル配置面を浸漬し、洗浄液貯留部底面の熱エネルギー供給手段を動作させることによって洗浄液中に微細気泡（キャビテーション）を発生させ、ノズル配置面の洗浄を行うことができる。洗浄後、気体供給手段によってブローすることでゴミの除去とノズル配置面の乾燥とを行うことができる。また、発熱素子を複数個配置することによって、ノズル配置面近傍の全域で同じように微細気泡を発生させることができるので、ノズル配置面を全域で均一に洗浄することができる。
【００４９】
第３の本発明に係る液滴を吐出するノズル１１を複数有する液滴吐出部５を洗浄するクリーニング装置４０は、液滴吐出部を洗浄液Ｌに浸漬させて洗浄する洗浄手段５０と、洗浄液に熱エネルギーを供給する複数の発熱素子８２を備えた熱エネルギー供給手段８０と、個々のノズル１１の液滴吐出不良の有無を検出する液滴吐出不良検出部３０と、複数の発熱素子のうち液滴吐出不良が検出されたノズルに対応する発熱素子を選択的に動作させる制御手段１００と、を備えることを特徴とする。
これによれば、洗浄液中に発生させた微細気泡により、吐出不良が発生しているノズル近傍を洗浄することが可能となる。
【００５０】
第４の本発明に係る液滴吐出部のクリーニング装置４０では、洗浄手段５０と液滴吐出部５との間で洗浄液貯留部内を気密化する気密部材９２を備えることを特徴とする。
これによれば、ノズル配置面９ａとクリーニングプレート５１が弾性体から成る気密部材９２を介して接触しているため、洗浄液貯留部の気密性を保つことが可能になる。そのため、洗浄時の洗浄液や剥離したゴミの飛散を防ぐことができる。
【００５１】
第５の本発明に係る液滴吐出部のクリーニング装置４０では、熱エネルギー供給手段８０と液滴吐出部のノズル１１との位置関係を相対的に位置決めすることができることを特徴とする。
これによれば、各ノズル１１と各発熱素子８２をより正確な位置関係、位置精度で対向させて配置することが可能になるため、より微細なピッチで配置されたノズル群を有する液滴吐出部の任意のノズル、及びその近傍を選択的に洗浄することが可能となる。
【００５２】
第６の本発明に係る液滴吐出部のクリーニング装置４０では、洗浄媒体吸引手段７０は、廃液収容部７４を介して洗浄液貯留部５３と接続されていることを特徴とする。
これによれば、洗浄液貯留部と洗浄液吸引手段との間に廃液収容部７４が設置されているので、洗浄後の廃液やゴミを洗浄液供給手段を通さないで廃液収容部に貯めることができる。そのため、廃液収容部を取り外して再設置するだけでメンテナンスが完了する。
【００５３】
第７の本発明に係る液滴吐出部のクリーニング装置４０では、洗浄液貯留部内の洗浄液の温度を測定する温度測定手段９０を有することを特徴とする。
これによれば、洗浄液貯留部内の温度を測定する温度測定手段が設置されているので、洗浄液の温度を測定することができ、洗浄液を適切な温度に保つことが可能となる。洗浄液の温度が洗浄に適さない程度に昇温した場合には排出して入れ替える等の措置を行うことが可能となる。
【００５４】
第８の本発明に係る液滴吐出部のクリーニング装置４０では、液滴吐出部５は、ノズル配置面９ａを備えており、洗浄液貯留部内の洗浄液面を越えてノズル配置面が洗浄液内に入り込む構成としたことを特徴とする。
これは第２の実施形態に対応しており、供給口５５と吸引口５７を洗浄液貯留部５３の両側壁に設けることができるため、ノズル配置面と供給口５５の中心部と吸引口５７の中心部の高さとを同じにできる。このため、洗浄後の乾燥工程の際に効率よくノズル配置面から洗浄液・ゴミを除去することができる。即ち、供給口５５から吸引口５７へ向かう液流、気体流が直線状となり、洗浄対象物であるノズル配置面９ａを最も効率的に洗浄できる経路を経て通過することが可能となる。
【００５５】
第９の本発明に係る液滴吐出部のクリーニング方法は、２、４、６乃至８の何れか一項に記載の液滴吐出部のクリーニング装置を用いた液滴吐出部のクリーニング方法であって、熱エネルギー供給手段８０の動作により洗浄液貯留部内の洗浄液中に発生した微細気泡によって液滴吐出部のノズル配置面９ａを洗浄する洗浄工程と、供給口５５から気体を噴出させてヘッド面を乾燥させる乾燥工程と、を有することを特徴とする。
これによれば、ノズルに対して非接触でノズル配置面を洗浄することができるので、ノズルの損傷を抑えることが可能となる。
【００５６】
第１０の本発明に係る液滴吐出部のクリーニング方法は、請求項３に記載の液滴吐出部のクリーニング装置を用いた液滴吐出部のクリーニング方法であって、制御手段１００によって発熱素子８２を選択的に動作（発熱）させ、液滴吐出不良が検出されたノズルを洗浄することを特徴とする。
これによれば、吐出不良を起こしている特定のノズルだけに微細気泡を発生させることができるため、吐出不良を起こしていない正常なノズルの損傷を抑えることができる。
【００５７】
第１１の本発明に係る液滴吐出部のクリーニング方法は、請求項３に記載の液滴吐出部のクリーニング装置を用いた液滴吐出部のクリーニング方法であって、制御手段１００によって発熱素子８２を順次動作させ、洗浄液貯留部内の洗浄液に進行波を発生させることを特徴とする。
これによれば微細気泡の発生パターンを制御することにより洗浄液中に進行波を発生させることができるため、洗浄力を向上させることができる。また、インク固化物やゴミを吸引口付近に集めることも可能となるので、ノズル配置面への再付着を防止することが可能となる。
【００５８】
第１２の本発明に係る液滴吐出部のクリーニング方法は、請求項３に記載の液滴吐出部のクリーニング装置を用いた液滴吐出部のクリーニング方法であって、制御手段１００によって発熱素子を交互動作させ、洗浄液貯留部内の洗浄液に定常波を発生させることを特徴とする。
これによれば、微細気泡の発生パターンを制御することにより定常波を発生させることができるため、洗浄力を向上させることができる。
【００５９】
第１３の本発明に係る液滴吐出装置によれば、請求項１乃至８の何れか一項に記載の液滴吐出部のクリーニング装置を備えたことを特徴とする。
これによれば、発熱素子８２を発熱させることにより洗浄液中に微細気泡を発生させてノズル配置面９ａを洗浄することができる。このため、長期にわたって安定して高精度な描画が可能となる。また、吐出不良検出部を搭載することで、ノズル配置面の特定部位を洗浄することが可能となり、ヘッド寿命の長期化が可能となる。
【００６０】
第１４の本発明に係る画像形成装置によれば、請求項１３に記載の液滴吐出装置を備えたことを特徴とする。
発熱素子８２を発熱させることにより洗浄液中に微細気泡を発生させてノズル配置面を洗浄し、洗浄後にノズル配置面に付着した洗浄液を吹き飛ばすことで非接触洗浄・乾燥を行うことができるクリーニング装置を搭載している。このため、長期にわたって安定して高精度な描画が可能となる。また、吐出不良検出装置を搭載することで、ノズル配置面の特定部位を洗浄することが可能となり、ヘッド寿命の長期化が可能となる。
【符号の説明】
【００６１】
１…液滴吐出装置、２…ベース、３…ノズル、５…液滴吐出部、７…ヘッドキャリッジ、９ａ…ノズル配置面、９…ヘッド、１１…ノズル、１１…発熱素子、２０…駆動機構、２１…門型構造体、２３…Ｘステージ、２５…基板テーブル、２７…Ｙステージ、３０…液滴吐出不良検出部、４０…クリーニング装置、４１…ヘッドメンテナンスユニット、５０…洗浄手段、５１…クリーニングプレート、５３…洗浄液貯留部、５５…供給口、５７…吸引口、６０…洗浄液供給手段（洗浄媒体供給手段）、６１…液体供給ポンプ、６２…洗浄液収容部、６５…気体供給手段（洗浄媒体供給手段）、６６…気体供給ポンプ、７０…負圧発生手段（洗浄媒体吸引手段）、７１…吸引ポンプ、７４…廃液収容部、８０…熱エネルギー供給手段、８２…発熱素子、９０…温度測定手段、９２…気密部材、９２…弾性体、１００…制御手段、２００…画像形成装置、２０１…記録装置本体、２０２…印字機構部、２０４…給紙カセット、２０５…トレイ、２０６…排紙トレイ、２０７…主ガイドロッド、２０８…従ガイドロッド、２０９…キャリッジ、２１０…記録ヘッド、２１１…インクカートリッジ、２１２…主走査モータ、２１４…従動プーリ、２１５…タイミングベルト、２１６…給紙ローラ、２１７…フリクションパッド、２１８…ガイド部材、２１９…搬送ローラ、２２０…搬送コロ、２２１…先端コロ、２２２…副走査モータ、２２３…フィルタ、２２４…減圧装置、２２４…搬送コロ、２２５…拍車、２２６…排紙ローラ、２２７…拍車、２２８…ガイド部材、２１３…駆動プーリ。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００６２】
【特許文献１】特開２０１２−１３５９１８公報
【特許文献２】特開２００９−２９７９５１公報
【特許文献３】特開２０１２−３０１９５公報
【図１】
0006394125.tif 000002
【図２】
0006394125.tif 000003
【図３】
0006394125.tif 000004
【図４】
0006394125.tif 000005
【図５】
0006394125.tif 000006
【図６】
0006394125.tif 000007
【図７】
0006394125.tif 000008
【図８】
0006394125.tif 000009