(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と接触されるマスクプレートと、前記基板と接触した前記マスクプレート上を摺動し、ペースト掻寄せ面で前記マスクプレート上のペーストを掻き寄せることにより、前記マスクプレートに設けられた開口領域にペーストを充填するスキージとを備えたスクリーン印刷装置であって、
前記ペースト掻寄せ面の一部と対向する位置に、前記スキージのアタック角とは異なるアタック角を有する付加スキージが取り付けられたことを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項２】
前記付加スキージは、前記ペースト掻寄せ面のうち、前記スキージよりも高い充填圧でペーストが充填される前記開口領域の上方を通過する部分に取り付けられ、前記付加スキージの有するアタック角は前記スキージの有するアタック角よりも小さい値に設定されたことを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項３】
前記付加スキージは前記スキージに着脱自在に取り付けられることを特徴とする請求項１又は２に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項４】
前記付加スキージはアタック角が異なる他の付加スキージに交換可能であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のスクリーン印刷装置。
【請求項５】
前記付加スキージは前記スキージの長手方向にスライドさせて前記スキージに対する位置を変更できることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のスクリーン印刷装置。
【請求項６】
マスクプレートに基板を接触させる基板接触工程と、前記基板と接触した前記マスクプレート上でスキージを摺動させ、前記スキージのペースト掻寄せ面で前記マスクプレート上のペーストを掻き寄せることにより、前記マスクプレートに設けられた開口領域にペーストを充填するペースト充填工程とを含むスクリーン印刷方法であって、
前記ペースト掻寄せ面の一部と対向する位置に、前記スキージのアタック角とは異なるアタック角を有する付加スキージを取り付けた状態で前記ペースト充填工程を実行することを特徴とするスクリーン印刷方法。
【請求項７】
前記付加スキージを、前記ペースト掻寄せ面のうち、前記スキージよりも高い充填圧でペーストが充填される前記開口領域の上方を通過する部分に取り付け、前記付加スキージの有するアタック角を前記スキージの有するアタック角よりも小さい値に設定したことを特徴とする請求項６に記載のスクリーン印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マスクプレート上でスキージを摺動させることにより、マスクプレートに設けられた開口領域にペーストを充填して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置及びスクリーン印刷方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、マスクプレート上でスキージを摺動させてマスクプレート上のペーストを掻き寄せることにより、マスクプレートに設けられた開口領域にペーストを充填して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置が知られている。このようなスクリーン印刷装置では、基板上に電極が通常の密集度で配置された非ファインピッチ領域のほか、非ファインピッチ領域よりも相対的に高い密集度で電極が配置されたファインピッチ領域が混在している場合、ファインピッチ領域内の電極に対しては非ファインピッチ領域内の電極よりも高い印圧でペーストを印刷する必要がある。このため従来、ファインピッチ領域に対応するマスクプレートの開口領域にペーストを充填する場合には、非ファインピッチ領域に対応するマスクプレートの開口領域にペーストを充填する場合よりも相対的にアタック角の小さいスキージを用いるようにしている。
【０００３】
また、スキージに水平軸回りの回転を与えることより、スキージのマスクプレート上での摺動動作中にアタック角を切り替えることができるようにしたスクリーン印刷装置が考案されている（例えば、下記の特許文献１）。このスクリーン印刷装置では、スキージがファインピッチ領域に対応する開口領域に対してペーストを充填するときには、スキージが非ファインピッチ領域に対応する開口領域に対してペーストを充填するときよりもスキージのアタック角が小さくなるように切り替える。このため、マスクプレートにファインピッチ領域に対応する開口領域と非ファインピッチ領域に対応する開口領域が混在する場合であっても、１回のスキージ摺動動作でペーストを印刷することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−３１５３２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記のようにスキージの摺動動作中にスキージのアタック角を切り替える構成のスクリーン印刷装置では、ペーストの充填圧が異なる開口領域がスキージの摺動方向と直交する方向（スキージの長手方向）に並んでいる場合には、いずれかの開口領域に合わせてアタック角を設定せざるを得ず、どの開口領域に対しても適切な充填圧でペーストを印刷することができるというものではなかった。
【０００６】
そこで本発明は、ペーストの充填圧が異なる複数の開口領域それぞれに対して適切な充填圧でペーストを充填することができるスクリーン印刷装置及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のスクリーン印刷装置は、基板と接触されるマスクプレートと、前記基板と接触した前記マスクプレート上を摺動し、ペースト掻寄せ面で前記マスクプレート上のペーストを掻き寄せることにより、前記マスクプレートに設けられた開口領域にペーストを充填するスキージとを備えたスクリーン印刷装置であって、前記ペースト掻寄せ面の一部と対向する位置に、前記スキージのアタック角とは異なるアタック角を有する付加スキージが取り付けられた。
【０００８】
本発明のスクリーン印刷方法は、マスクプレートに基板を接触させる基板接触工程と、前記基板と接触した前記マスクプレート上でスキージを摺動させ、前記スキージのペースト掻寄せ面で前記マスクプレート上のペーストを掻き寄せることにより、前記マスクプレートに設けられた開口領域にペーストを充填するペースト充填工程とを含むスクリーン印刷方法であって、前記ペースト掻寄せ面の一部と対向する位置に、前記スキージのアタック角とは異なるアタック角を有する付加スキージを取り付けた状態で前記ペースト充填工程を実行する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、ペーストの充填圧が異なる複数の開口領域それぞれに対して適切な充填圧でペーストを充填することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の斜視図
【図２】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の要部の斜視図
【図３】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるスキージの側面図
【図４】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるスキージをアタッチメントスキージとともに示す（ａ）正面図（ｂ）側面図
【図５】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるアタッチメントスキージの（ａ）背面図（ｂ）一部分解背面図
【図６】本発明の一実施の形態におけるアタッチメントスキージが取り付けられたスキージの側面図
【図７】本発明の一実施の形態におけるアタッチメントスキージのスキージに対する取り付け位置を説明する図
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置１を示している。このスクリーン印刷装置１は、上流工程側（作業者ＯＰから見た左側）から基板２を搬入し、基板２上の各電極２ｄ（図２）にペーストＰｓｔを印刷して下流工程側（作業者ＯＰから見た右側）の図示しない部品実装装置に搬出する。本実施の形態では、作業者ＯＰから見た左右方向をＸ軸方向とし、作業者ＯＰから見た前後方向をＹ軸方向とし、上下方向をＺ軸方向とする。
【００１２】
図１において、スクリーン印刷装置１は、基台１０の左側から順に搬入コンベア１１、中間コンベア１２及び搬出コンベア１３を有し、これら搬入コンベア１１、中間コンベア１２及び搬出コンベア１３は基板２の搬送路を形成している。搬入コンベア１１は基板２を外部から搬入して中間コンベア１２に受け渡し、搬出コンベア１３は中間コンベア１２から受け取った基板２を外部に搬出する。中間コンベア１２は搬入コンベア１１によって搬入された基板２を保持して移動させる基板保持移動部１４の一部を構成している。
【００１３】
図１において、基板保持移動部１４の上方にはマスクプレート１５が水平姿勢に設置されている。マスクプレート１５は金属性の板状部材から成り、矩形の枠部材１５ｗによって四辺が支持されている（図２も参照）。図２において、マスクプレート１５には多数の開口１６が設けられている（図３も参照）。開口１６の配置は基板２の電極２ｄの配置に対応している。
【００１４】
図２において、基板２上には電極２ｄが通常の密集度で配置された非ファインピッチ領域Ｒ１のほか、非ファインピッチ領域Ｒ１よりも相対的に高い密集度で電極２ｄが配置されたファインピッチ領域Ｒ２が混在し、これら非ファインピッチ領域Ｒ１及びファインピッチ領域Ｒ２がＸ軸方向に並んでいる。このためマスクプレート１５にも、基板２の非ファインピッチ領域Ｒ１に対応して配置された開口１６の領域（第１の開口領域Ｓ１）と、基板２のファインピッチ領域Ｒ２に対応して配置された開口１６の領域（第２の開口領域Ｓ２）とが混在し、これら第１の開口領域Ｓ１と第２の開口領域Ｓ２がＸ軸方向に並んでいる。このように本実施の形態において、マスクプレート１５は、第１の開口領域Ｓ１と第２の開口領域Ｓ２がＸ軸方向に並んで設けられたものとなっている。
【００１５】
図１及び図２において、マスクプレート１５の上方には往復移動体１７がＸ軸方向に延びて設けられている。往復移動体１７はボールねじ機構から成る往復移動体移動機構１８の作動によってＹ軸方向に往復移動する。往復移動体１７の下方には２つのスクリーン印刷用のスキージ２０がＹ軸方向に対向して設けられている。
【００１６】
図２及び図３において、往復移動体１７の上面には２つの昇降シリンダ２１がＹ軸方向に並んで設けられている。各昇降シリンダ２１はそのピストンロッド２１ａを往復移動体１７の下方に突出させている。各昇降シリンダ２１のピストンロッド２１ａにはスキージ２０が連結されている（図３も参照）。このため昇降シリンダ２１がピストンロッド２１ａを下方に突没させると、そのピストンロッド２１ａに連結されたスキージ２０は往復移動体１７に対して昇降する。２つの昇降シリンダ２１を個別に作動させることで２つのスキージ２０を互いに独立して昇降させることができる。
【００１７】
図２及び図３において、各スキージ２０は、Ｘ軸方向に延びた形状を有しており、ブレード保持部３１と、ブレード保持部３１によって保持された「へら」状のブレード３２を備えている。ブレード保持部３１は昇降シリンダ２１のピストンロッド２１ａに連結された主部４１と、主部４１に接触して設けられたバックアップ部４２と、主部４１に螺入された螺子４３によって主部４１に取り付けられた押さえ部４４を有して成る。ブレード３２はその上半部がバックアップ部４２と押さえ部４４によって挟持されている。主部４１の上面にはＸ軸方向に延びた第１係止溝４１ｍが形成されており、押さえ部４４には同じくＸ軸方向に延びた第２係止溝４４ｍが形成されている。
【００１８】
図３において、ブレード３２の上半部がブレード保持部３１によって挟持された状態で、ブレード３２の下半部はブレード保持部３１の下方に斜めに突出する。ブレード３２がブレード保持部３１の下方に突出する方向は、前方側のスキージ２０（図３の紙面右側のスキージ２０）のブレード３２であれば前下方であり、後方側のスキージ２０（図３の紙面左側のスキージ２０）のブレード３２であれば後下方である。前方側のスキージ２０のブレード３２の後方側の面と、後方側のスキージ２０のブレード３２の前方側の面はそれぞれ、そのスキージ２０によってマスクプレート１５上のペーストＰｓｔを掻き寄せるときのペースト掻寄せ面３２ａとなる。
【００１９】
各スキージ２０は、昇降シリンダ２１によって、ブレード３２の下端がマスクプレート１５の上面から離間した待機位置（図３中に示す紙面右側のスキージ２０参照）と、ブレード３２の下端がマスクプレート１５の上面に当接する当接位置（図３中に示す紙面左側のスキージ２０参照）との間で昇降される。スキージ２０は通常は待機位置に位置され、マスクプレート１５上のペーストＰｓｔを掻き寄せるときに、そのペーストＰｓｔの掻き寄せに使用する側のスキージ２０のみが当接位置に位置される。そして、当接位置に位置させたスキージ２０が前方側のスキージ２０である場合には往復移動体１７を後方に移動させ、当接位置に位置させたスキージ２０が後方側のスキージ２０である場合には（図３）、往復移動体１７を前方に移動させる（図３中に示す矢印Ａ）。これによりマスクプレート１５上のペーストＰｓｔは当接位置に位置したスキージ２０が備えるブレード３２のペースト掻寄せ面３２ａによって掻き寄せられる。そして、ブレード３２の下端がマスクプレート１５の開口１６を通過するときに、その開口１６にペーストＰｓｔが充填される。図３において、ペーストＰｓｔが充填された開口１６を符号１６Ａで示し、まだペーストＰｓｔで充填されていない開口１６を符号１６Ｂで示す。
【００２０】
ブレード３２の下端がマスクプレート１５に当接した状態で、ブレード３２のペースト掻寄せ面３２ａとマスクプレート１５の上面とがなすアタック角（第１のアタック角θ１と称する。図３）は開口１６へのペーストＰｓｔの充填圧に関係するパラメータであり、第１のアタック角θ１の値が小さいほど開口１６へのペーストＰｓｔの充填圧は大きくなる。本実施の形態では、第１のアタック角θ１は、基板２の非ファインピッチ領域Ｒ１に対応するマスクプレート１５の開口領域である第１の開口領域Ｓ１内の開口１６に最適の充填圧を発揮し得る値に設定されている。
【００２１】
図４（ａ），（ｂ）において、スキージ２０のペーストＰｓｔの掻き寄せ時における進行方向（これをスキージ２０から見た前方と称する）の前面側となる位置には、アタッチメントスキージ５０（付加スキージ）が取り付けられている。このアタッチメントスキージ５０は、スキージ２０のペースト掻寄せ面３２ａの一部と対向する位置において、スキージ２０のアタック角（第１のアタック角θ１）とは異なるアタック角（第２のアタック角θ２）でペーストＰｓｔを充填するものである。アタッチメントスキージ５０は、基板２のファインピッチ領域Ｒ２に対応する開口領域である第２の開口領域Ｓ２内の開口１６へのペーストＰｓｔの充填を担当する。
【００２２】
図４（ａ），（ｂ）及び図５（ａ），（ｂ）において、アタッチメントスキージ５０は、スキージ２０に取り付けられるベース部材５１と、ベース部材５１に保持された付加ブレード部材５２と、２つの付勢部材（第１付勢ばね５３と第２付勢ばね５４）及び固定螺子５５から成る。
【００２３】
図４（ａ），（ｂ）及び図５（ａ），（ｂ）において、ベース部材５１は、ブレード保持部３１の押さえ部４４の前面側を上下方向に延びた垂直部６１、垂直部６１の上端からブレード保持部３１の主部４１の上面を後方に延びた水平部６２、垂直部６１の下端から後斜め下方に延びた第１斜め延設部６３、第１斜め延設部６３の下端から後斜め上方に延びた第２斜め延設部６４、垂直部６１の両側部から後方に延びた一対の側壁部６５を備える。水平部６２の後端には下方に突出した第１係止部６２ａが設けられており、垂直部６１の上下方向中間部には後斜め上方に延びた第２係止部６１ａが設けられている。垂直部６１の上下方向中間部の第２係止部６１ａの上方の位置には螺子孔６１ｂが設けられており、この螺子孔６１ｂには前述の固定螺子５５が螺入している。
【００２４】
図５（ａ），（ｂ）において、付加ブレード部材５２は、ベース部材５１の第１斜め延設部６３と第２斜め延設部６４及び一対の側壁部６５によって覆われる基部７１と、基部７１から下方に延出した延出部７２を有している。第１付勢ばね５３はベース部材５１の第１斜め延設部６３に設けられた第１付勢ばね支持孔６３ｈと付加ブレード部材５２の基部７１に前方に開口して設けられた第１付勢ばね収納穴７１ａと間で縮設されており、付加ブレード部材５２をブレード３２のペースト掻寄せ面３２ａに密着させる。
【００２５】
第２付勢ばね５４はベース部材５１の第２係止部６１ａに設けられた第２付勢ばね支持孔６１ｈと付加ブレード部材５２の基部７１の上方に開口して設けられた第２付勢ばね収納穴７１ｂとの間で縮設されており、付加ブレード部材５２の基部７１の下面をベース部材５１の第２斜め延設部６４に押し付けるように下方に付勢する。付加ブレード部材５２の基部７１の下面がベース部材５１の第２斜め延設部６４に上方から当接した状態では、付加ブレード部材５２の下端はブレード３２の下端とほぼ同じ高さに位置する。このように本実施の形態において、第２付勢ばね５４は、ベース部材５１と付加ブレード部材５２との間に設けられて付加ブレード部材５２をベース部材５１の下方に付勢する下方付勢部材となっている。
【００２６】
アタッチメントスキージ５０は、ベース部材５１の第１係止部６２ａが第１係止溝４１ｍ内に位置し、第２係止部６１ａが第２係止溝４４ｍ内に位置することによって、ブレード保持部３１に対する姿勢が保持される。一方、アタッチメントスキージ５０はブレード保持部３１に対してＸ軸方向にスライド自在であり、スキージ２０に対して着脱自在であるとともに、スキージ２０に対する位置を変更することができる。アタッチメントスキージ５０をスキージ２０に対して位置決めした状態で固定螺子５５を螺子孔６１ｂに捻じ込み、固定螺子５５の先端部を押さえ部４４の前面に押し当てることにより、アタッチメントスキージ５０をブレード保持部３１に対して固定することができる。
【００２７】
アタッチメントスキージ５０が取り付けられた状態のスキージ２０を前述の待機位置から下降させると、先ず付加ブレード部材５２の延出部７２の下端がマスクプレート１５に当接する。そして、スキージ２０は第２付勢ばね５４を押し縮めながら下降を続け、ブレード３２の下端がマスクプレート１５に当接したところでスキージ２０は当接位置に位置する（図６）。この状態では、付加ブレード部材５２の延出部７２の前面（延出部前面７２ａと称する）は、ブレード３２の前面側において、ブレード３２に代わってペーストＰｓｔを掻き寄せる面となる。また、この延出部前面７２ａのうち、マスクプレート１５の上面に当接する延出部７２の下端を含んでマスクプレート１５の上面と対向する面は、マスクプレート１５の開口１６へペーストＰｓｔを押し込む面であり、この面を付加ブレード側ペースト充填面７２ｂと称する。
【００２８】
付加ブレード部材５２の下端がマスクプレート１５に当接した状態で、付加ブレード側ペースト充填面７２ｂとマスクプレート１５の上面とがなすアタック角（第２のアタック角θ２）は、開口１６へのペーストＰｓｔの充填圧に関係するパラメータであり、第２のアタック角θ２の値が小さいほど開口１６へのペーストＰｓｔの充填圧は大きくなる。
【００２９】
前述のように、アタッチメントスキージ５０は、ファインピッチ領域Ｒ２に対応する開口領域である第２の開口領域Ｓ２を構成する開口１６へのペーストＰｓｔの充填を担当するものであるから、スキージ２０のペースト掻寄せ面３２ａのうち、スキージ２０よりも高い充填圧でペーストＰｓｔが充填される開口（第２の開口領域Ｓ２内の開口）の上方を通過する部分に取り付けられる。そしてアタッチメントスキージ５０の有する第２のアタック角θ２は、第２の開口領域Ｓ２内の開口１６に最適の充填圧を発揮し得るように、スキージ２０の有する第１のアタック角θ１よりも小さい値に設定されている。
【００３０】
このように本実施の形態におけるアタッチメントスキージ５０は、スキージ２０に取り付けられるベース部材５１と、ベース部材５１に保持された付加ブレード部材５２とを有し、スキージ２０がマスクプレート１５に対して摺動したときに、付加ブレード部材５２がスキージ２０のアタック角（第１のアタック角θ１）とは異なるアタック角（第２のアタック角θ２）でペーストＰｓｔを充填するものとなっている。
【００３１】
次に、上記スクリーン印刷装置１により基板２にペーストＰｓｔを印刷するスクリーン印刷方法の手順について説明する。これには先ず、スクリーン印刷装置１が備える２つのスキージ２０それぞれにアタッチメントスキージ５０を取り付ける。具体的には、アタッチメントスキージ５０を、スキージ２０が備えるペースト掻寄せ面３２ａのうち、スキージ２０よりも高い充填圧でペーストＰｓｔが充填される開口１６（ファインピッチ領域Ｒ２に対応する開口領域である第２の開口領域Ｓ２内の開口１６）の上方を通過する部分に取り付ける。
【００３２】
本実施の形態では、マスクプレート１５はＸ軸方向（スキージ２０の延びる方向）に第２の開口領域Ｓ２が２箇所あるので、これら２箇所の第２の開口領域Ｓ２に対応して両スキージ２０にアタッチメントスキージ５０を取り付ける（図７）。このときアタッチメントスキージ５０は、マスクプレート１５が備える第２の開口領域Ｓ２のそれぞれのＸ軸方向の幅寸法Ｄ（図７）をカバーできるように取り付ける。２つ以上のアタッチメントスキージ５０をスキージ２０の長手方向（Ｘ軸方向）に隣接させて１つの第２の開口領域Ｓ２の幅寸法Ｄをカバーするようにしてもよい。図７では一方のスキージ２０に取り付けるアタッチメントスキージ５０についてのみ示しているが、もう一方のスキージ２０にも同様の要領でアタッチメントスキージ５０を取り付ける。
【００３３】
スクリーン印刷装置１が備える２つのスキージ２０のそれぞれにアタッチメントスキージ５０を取り付けたら、スクリーン印刷装置１を作動させる。スクリーン印刷装置１は、搬入コンベア１１によって基板２を搬入し、中間コンベア１２に受け渡した後、基板保持移動部１４が基板２を保持する。そして、基板２を水平面内方向及び上下方向に移動させ、基板２の電極２ｄがマスクプレート１５の開口１６と合致するように基板２をマスクプレート１５の下面に接触させる（基板接触工程）。
【００３４】
スクリーン印刷装置１は、基板２をマスクプレート１５に接触させたら、昇降シリンダ２１により一方のスキージ２０を下降させて、その下端をマスクプレート１５の上面に当接させる。これにより、下降させたスキージ２０に取り付けられたアタッチメントスキージ５０の付加ブレード部材５２の下端もマスクプレート１５の上面に当接する。
【００３５】
スクリーン印刷装置１は、往復移動体移動機構１８を作動させて往復移動体１７をＹ軸方向に移動させる。これによりスキージ２０及びスキージ２０に取り付けられたアタッチメントスキージ５０は基板２と接触したマスクプレート１５上を摺動し、予めマスクプレート１５上に供給されていたペーストＰｓｔをマスクプレート１５上で掻き寄せる。これによりマスクプレート１５の第１の開口領域Ｓ１内の開口１６にはスキージ２０のブレード３２によって第１のアタック角θ１でペーストＰｓｔが充填され、マスクプレート１５の第２の開口領域Ｓ２内の開口１６にはアタッチメントスキージ５０の付加ブレード部材５２によって第２のアタック角θ２でペーストＰｓｔが充填される（ペースト充填工程。図３及び図６）。
【００３６】
本実施の形態では、上記ペースト充填工程において、アタッチメントスキージ５０の付加ブレード部材５２は、第２付勢ばね５４によって下方に付勢されており、付加ブレード部材５２はマスクプレート１５の上面に密着した状態を維持するので、アタッチメントスキージ５０は所期の充填圧を発揮する。
【００３７】
上記のようにしてマスクプレート１５の第１の開口領域Ｓ１内の開口１６と第２の開口領域Ｓ２内の開口１６にペーストＰｓｔが充填されたら、スクリーン印刷装置１は、基板保持移動部１４を作動させて、基板２をマスクプレート１５から離間（版離れ）させる。そして、中間コンベア１２から搬出コンベア１３に基板２を受け渡し、搬出コンベア１３から基板２を下流工程側の装置に搬出する。
【００３８】
以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷装置１及びスクリーン印刷方法では、スキージ２０のペースト掻寄せ面３２ａの一部と対向する位置に、スキージ２０のアタック角（第１のアタック角θ１）とは異なるアタック角（第２のアタック角θ２）を有するアタッチメントスキージ５０を取り付けた状態でペースト充填工程を実行する。このため、スキージ２０の長手方向に並んだ、ペーストＰｓｔの充填圧が異なる複数の開口領域（第１の開口領域Ｓ１及び第２の開口領域Ｓ２）それぞれに対して適切な充填圧でペーストＰｓｔを充填することができる。
【００３９】
例えば、上述の実施形態に示したように、マスクプレート１５に設けられた開口１６がスキージ２０の摺動方向（Ｙ軸方向）と直交するスキージ２０の長手方向（Ｘ軸方向）に並んで非ファインピッチ領域Ｒ１に対応する第１の開口領域Ｓ１とファインピッチ領域Ｒ２に対応する開口領域に対応する第２の開口領域Ｓ２がある場合には、第１の開口領域Ｓ１に対しては第１のアタック角θ１を有するスキージ２０によって適切な充填圧でペーストＰｓｔを充填し、第２の開口領域Ｓ２に対しては第２のアタック角θ２を有するアタッチメントスキージ５０によって適切な充填圧でペーストＰｓｔを充填することができる。
【００４０】
また、上述の実施の形態におけるスクリーン印刷装置１では、アタッチメントスキージ５０はスキージ２０に着脱自在に取り付けられるので、アタッチメントスキージ５０が必要な時にのみスキージ２０に取り付ければよく、既存のスキージ２０を利用することができる。また、アタッチメントスキージ５０は第２のアタック角θ２の値が異なる他のアタッチメントスキージ５０と交換可能であるので、第２の開口領域Ｓ２に対応するファインピッチ領域Ｒ２の電極２ｄの密集度に応じた第２のアタック角θ２を有するアタッチメントスキージ５０を用意しておけば、基板２の電極２ｄの密集度によらず、適切なペーストＰｓｔの印刷を行うことができる。更に、アタッチメントスキージ５０はスキージ２０の長手方向にスライドさせてスキージ２０に対する位置を変更できるので、アタッチメントスキージ５０のスキージ２０に対する位置決めが容易であり、作業性に優れている。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
ペーストの充填圧が異なる複数の開口領域それぞれに対して適切な充填圧でペーストを充填することができるスクリーン印刷装置及びスクリーン印刷方法を提供する。
【符号の説明】
【００４２】
１  スクリーン印刷装置
２  基板
１５  マスクプレート
２０  スキージ
３２ａ  ペースト掻寄せ面
５０  アタッチメントスキージ（付加スキージ）
Ｓ１  第１の開口領域（開口領域）
Ｓ２  第２の開口領域（開口領域）
Ｐｓｔ  ペースト
【図１】
0006318368.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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