(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送用空間に設定された移動経路に沿って移動する移動体、及び、前記移動体と一体移動するとともに前記移動体の移動方向と直交する幅方向で側方に設定された移載対象箇所との間で物品を移載する移載装置を備えて、物品を搬送する物品搬送装置と、
前記搬送用空間に前記幅方向で隣接し作業者が作業するための作業用空間と前記搬送用空間とを前記移動方向に沿って仕切る仕切壁と、
前記仕切壁に設けられて前記作業用空間側と前記搬送用空間側とを連通させる開口と、
前記開口を閉鎖する閉状態と前記開口を開放する開状態とに切換え自在な開閉体と、
前記作業用空間側において前記開口に隣接する前記移載対象箇所である搬出入用移載箇所を監視する位置に設けられて、前記搬出入用移載箇所に侵入する検出対象物の存否を検出する監視検出部と、
前記開閉体が前記閉状態であるときに閉状態信号を出力する閉状態検出部と、
前記開閉体が前記開状態であるときに開状態信号を出力する開状態検出部と、
前記物品搬送装置の搬送作動を制御する制御部と、が備えられた物品搬送設備であって、
前記移載装置は、物品を支持する物品支持体を、平面視で前記移動体と重複する引退位置と、前記引退位置より前記幅方向で前記移動経路の側方に位置する突出位置と、に亘って前記幅方向に沿って出退自在に備え、
前記物品搬送装置は、前記移動体が停止している状態で前記移載対象箇所に対する前記物品支持体の出退動作を伴って当該移載対象箇所との間で物品を移載するように構成され、
前記制御部が、前記開閉体を前記閉状態から前記開状態に切り換える開制御及び前記開閉体を前記開状態から前記閉状態に切り換える閉制御を実行するとともに、前記制御部が前記閉状態信号を受け取っている状態で、前記搬出入用移載箇所との間で前記移載装置により物品を移載する際の前記移動体の停止位置として前記移動経路に設定された搬出入用停止位置まで前記移動経路に沿って前記移動体を移動させる移動制御を実行し、前記移動体が前記搬出入用停止位置に停止しかつ前記制御部が前記開状態信号を受け取っている状態で、前記移載装置に前記搬出入用移載箇所との間で前記物品を移載させる移載制御を実行するように構成され、
前記制御部は、
前記移動体が前記搬出入用停止位置以外の位置にある状態で前記制御部が前記閉状態信号を受け取っていることを少なくとも含む搬送開始条件が成立している場合に、前記移動体の移動及び前記移載装置による物品の移載を含む前記物品搬送装置の搬送作動の開始を許容し、かつ、
前記物品搬送装置の搬送作動を開始させた後において、前記移動体が前記搬出入用停止位置以外の位置にある状態で前記制御部が前記閉状態信号を継続して受け取らなくなった場合は、前記物品搬送装置の搬送作動を中断させ、かつ、
前記物品搬送装置の搬送作動を開始させた後において、前記移動体が前記搬出入用停止位置以外の位置にある状態で前記制御部が前記閉状態信号を受け取っている期間は、前記監視検出部により検出対象物が検出されても前記物品搬送装置の搬送作動を継続させ、
前記制御部は、前記移動体が前記搬出入用停止位置にある状態で前記移載制御の実行中に前記監視検出部が検出対象物を検出したことを条件に当該移載制御を中断するように構成されている物品搬送設備。
【請求項２】
前記制御部は、前記移載制御が中断している状態において前記監視検出部が前記検出対象物を検出しなくなったことを条件に当該中断している前記移載制御を再開するように構成されている請求項１に記載の物品搬送設備。
【請求項３】
前記制御部が、前記物品搬送装置の搬送作動を開始させた後において、前記移動体が前記搬出入用停止位置以外にある状態で前記物品搬送装置の搬送作動を中断させた後は、前記閉状態信号を受け取っていることを含む再開条件が成立している場合に前記物品搬送装置の搬送作動の再開を許容する請求項１又は２に記載の物品搬送設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送用空間に設定された移動経路に沿って移動して物品を搬送する物品搬送装置と、前記搬送用空間に隣接し作業者が作業するための作業用空間と前記搬送用空間とを仕切る仕切壁と、前記仕切壁に設けられて前記作業用空間側と前記搬送用空間側とを連通させる開口と、前記開口を閉鎖する閉状態と前記開口を開放する開状態とに切換え自在な開閉体と、前記搬送用空間と前記作業用空間との並び方向で前記仕切壁よりも前記作業用空間側において前記開口に隣接する監視領域を監視する位置にけられて、前記監視領域における検出対象物の存否を検出する監視検出部と、前記開閉体が前記閉状態であるときに閉状態信号を出力する閉状態検出部と、前記物品搬送装置の搬送作動を制御する制御部と、が備えられた物品搬送設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
上記のような物品搬送設備の従来例として、特許第５１７０８２５号公報（特許文献１）に記載されているように、開閉体が閉であるという条件（以下第１条件と称する）と、監視検出部（例えばライトカーテン等）が検出対象物を検出していないという条件（以下第２条件と称する）と、の双方の条件が成立しているときに物品搬送装置の搬送作動の開始及び継続を許容するように構成されたものがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第５１７０８２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献１の場合、第１条件及び第２条件の双方が成立していることを搬送継続の条件としているため、開閉体が閉状態であっても、監視検出部が検出対象物を検出した場合、物品搬送装置の搬送作動を非常停止させることになる。開閉体が閉状態であれば、仮に監視検出部が検出対象物を検出していたとしても、開口を通じて作業用空間側から搬送用空間側に検出対象物が侵入することはできないので、安全は確保できている。
したがって、開閉体が閉状態のときに監視検出部が検出情報に基づいて物品搬送装置の搬送作動を非常停止させることは、安全が確保されているにもかかわらず物品搬送装置の搬送作動を非常停止させることになり、過剰な安全対策となっている。
【０００５】
このように、特許文献１の物品搬送設備では、過剰な安全対策のために物品搬送設備の搬送効率が犠牲になっている。
しかも、設備によっては、物品搬送装置が非常停止した場合、安全確保の観点から作業者が安全を確認後に再開許可信号を指令しなければ搬送作動を再開できない仕組みを採用する場合もある。このような物品搬送設備では、非常停止後の搬送作動の再開に時間を要するので、益々搬送効率が低下する。
【０００６】
そこで、設備の安全を確保しつつ、搬送効率の低下を抑制できる物品搬送設備が望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る物品搬送設備は、搬送用空間に設定された移動経路に沿って移動する移動体、及び、前記移動体と一体移動するとともに前記移動体の移動方向と直交する幅方向で側方に設定された移載対象箇所との間で物品を移載する移載装置を備えて、物品を搬送する物品搬送装置と、前記搬送用空間に前記幅方向で隣接し作業者が作業するための作業用空間と前記搬送用空間とを前記移動方向に沿って仕切る仕切壁と、前記仕切壁に設けられて前記作業用空間側と前記搬送用空間側とを連通させる開口と、前記開口を閉鎖する閉状態と前記開口を開放する開状態とに切換え自在な開閉体と、前記作業用空間側において前記開口に隣接する前記移載対象箇所である搬出入用移載箇所を監視する位置に設けられて、前記搬出入用移載箇所に侵入する検出対象物の存否を検出する監視検出部と、前記開閉体が前記閉状態であるときに閉状態信号を出力する閉状態検出部と、前記開閉体が前記開状態であるときに開状態信号を出力する開状態検出部と、前記物品搬送装置の搬送作動を制御する制御部と、が備えられた物品搬送設備であって、
前記移載装置は、物品を支持する物品支持体を、平面視で前記移動体と重複する引退位置と、前記引退位置より前記幅方向で前記移動経路の側方に位置する突出位置と、に亘って前記幅方向に沿って出退自在に備え、
前記物品搬送装置は、前記移動体が停止している状態で前記移載対象箇所に対する前記物品支持体の出退動作を伴って当該移載対象箇所との間で物品を移載するように構成され、
前記制御部が、前記開閉体を前記閉状態から前記開状態に切り換える開制御及び前記開閉体を前記開状態から前記閉状態に切り換える閉制御を実行するとともに、前記制御部が前記閉状態信号を受け取っている状態で、前記搬出入用移載箇所との間で前記移載装置により物品を移載する際の前記移動体の停止位置として前記移動経路に設定された搬出入用停止位置まで前記移動経路に沿って前記移動体を移動させる移動制御を実行し、前記移動体が前記搬出入用停止位置に停止しかつ前記制御部が前記開状態信号を受け取っている状態で、前記移載装置に前記搬出入用移載箇所との間で前記物品を移載させる移載制御を実行するように構成され、
前記制御部は、
前記移動体が前記搬出入用停止位置以外の位置にある状態で前記制御部が前記閉状態信号を受け取っていることを少なくとも含む搬送開始条件が成立している場合に、前記移動体の移動及び前記移載装置による物品の移載を含む前記物品搬送装置の搬送作動の開始を許容し、かつ、
前記物品搬送装置の搬送作動を開始させた後において、前記移動体が前記搬出入用停止位置以外の位置にある状態で前記制御部が前記閉状態信号を継続して受け取らなくなった場合は、前記物品搬送装置の搬送作動を中断させ、かつ、
前記物品搬送装置の搬送作動を開始させた後において、前記移動体が前記搬出入用停止位置以外の位置にある状態で前記制御部が前記閉状態信号を受け取っている期間は、前記監視検出部により検出対象物が検出されても前記物品搬送装置の搬送作動を継続させ、
前記制御部は、前記移動体が前記搬出入用停止位置にある状態で前記移載制御の実行中に前記監視検出部が検出対象物を検出したことを条件に当該移載制御を中断するように構成されている点を特徴とする。
【０００８】
制御部が閉状態信号を継続して受け取っていない状態、すなわち、開閉体が閉状態でなくなっている可能性がある状態では、開口が解放されて侵入物が開口から搬送用空間に侵入する虞がある。このような場合には、物品搬送装置の搬送作動を停止させるから、物品搬送装置の搬送作動中において仮に搬送用空間に進入物が開口から侵入したとしても、当該進入した侵入物と物品搬送装置とが干渉する等の事態を回避することができる。なお、継続して受け取っていない状態とは、開閉体は閉状態ではあるが、閉状態検出部の故障等により閉状態信号が出力されていない状態を含む。
また、制御部が閉状態信号を受け取っている状態、すなわち、開閉体が閉状態である場合には、侵入物が開口から搬送用空間に侵入する虞はない。そのため、監視検出部により検出対象物が検出されても、その検出対象物が侵入物として開口から搬送用空間に侵入する可能性はない。このため、監視検出部により検出対象物が検出された後も、物品搬送装置の搬送作動を継続させたとしても設備の安全は確保できる。
このように、開閉体が閉状態である場合には、監視検出部により検出対象物が検出されても物品搬送装置の搬送作動を継続させることによって、必要以上に物品搬送装置の搬送作動を停止させずに済むため、物品搬送装置の搬送効率の低下を抑制することができる。
このように、本特徴構成によれば、設備の安全を確保しつつ、搬送効率の低下を抑制できる物品搬送設備を提供できる。
また、移載装置は、開口の作業用空間側に位置する搬出入用移載箇所との間で物品を授受する為、開口の作業用空間側に突出してくる場合がある。
本特徴構成によれば、移載装置が出退移動中に監視検出部が検出対象物を検出すると移載作動を中断するから、例えば、移載装置が出退移動中に作業用空間で作業する作業者の身体の一部が不意に搬出入用移載箇所に侵入するようなことがあっても、移載装置の作動を停止させることができ、出退移動中の移載装置と作業者等の他物との干渉を防止できる。
【０００９】
本発明に係る物品搬送設備においては、前記制御部は、前記移載制御が中断している状態において前記監視検出部が前記検出対象物を検出しなくなったことを条件に当該中断している前記移載制御を再開するように構成されていることが好ましい。
【００１０】
本構成によれば、搬出入用移載箇所に侵入した作業者の身体の一部が搬出入用移載箇所から退出する等して安全が確保されれば、移載装置が出退移動を自動的に再開するから、例えば作動の再開に当たって作業者が再開許可信号を指令しなければならないシステムと比べて、移動制御の再開に手間取ることもない。
したがって、設備の安全を確保しつつ、搬送効率の低下を一層抑制できる物品搬送設備を提供できる。
【００１１】
本発明に係る物品搬送設備においては、前記制御部が、前記物品搬送装置の搬送作動を開始させた後において、前記移動体が前記搬出入用停止位置以外にある状態で前記物品搬送装置の搬送作動を中断させた後は、前記閉状態信号を受け取っていることを含む再開条件が成立している場合に前記物品搬送装置の搬送作動の再開を許容することが好ましい。
【００１２】
すなわち、開閉体が閉状態であることを条件に物品搬送装置の搬送作動を再開させるから、搬送作動の再開に当たって、開口から侵入した侵入物と移動体との干渉を適正に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】半導体容器保管庫の概略及び移動制御の実行状態を示す平面図
【図２】開口及び開閉体を示す要部拡大図
【図３】制御ブロック図
【図４】制御部の制御を示すフローチャート
【図５】非常停止制御を示す平面図
【図６】移動制御の再開を示す平面図
【図７】移載制御を開始した状態を示す平面図
【図８】移載制御を中断した状態を示す平面図
【図９】移載制御を再開した状態を示す平面図
【図１０】移載制御の完了後移動制御を開始した状態を示す平面図
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面に基づいて本発明の物品搬送設備を半導体容器保管庫に適用した場合の実施形態を説明する。図１に示すように、半導体容器保管庫１０は、走行レール１０Ｒに沿って移動して物品を搬送するスタッカークレーンＣ（物品搬送装置の一例）と、容器Ｂ（物品の一例）を支持する支持体２０を上下方向及び上記移動経路に沿う方向に並べて備えた保管棚１０Ｔと、を備えている。本実施形態では、走行レール１０ＲがスタッカークレーンＣの移動経路となる。
【００１５】
スタッカークレーンＣは、走行レール１０Ｒ上を走行移動する移動体３０と、移動体３０に立設された昇降マストに沿って昇降する昇降体と、昇降体に支持され、移動体３０の移動方向と直交する方向で側方に設定された移載対象箇所との間で容器Ｂを移載する移載装置３０Ｙと、を備えている。なお、以降の説明において、移動体３０の移動方向に沿う方向を左右方向、平面視で移動体３０の移動方向と直交する方向を幅方向と称する。移載装置３０Ｙは、容器Ｂを支持する移載用支持体３０Ｆを、平面視で移動体３０と重複する引退位置と、引退位置より幅方向で移動経路の側方に位置する突出位置と、に亘って幅方向に沿って出退自在に備えている。そして、移載装置３０Ｙは、移動体３０が停止している状態で移載対象箇所に対する移載用支持体３０Ｆの出退動作を伴って当該移載対象箇所との間で容器Ｂを移載するように構成されている。
【００１６】
本実施形態において、半導体容器保管庫１０の周囲は平面視矩形状の包囲壁１１で包囲されている。以降の説明において、包囲壁１１で包囲された空間を搬送用空間１０Ｎと称する。包囲壁１１のうちの走行レール１０Ｒに沿う一対の壁部の一方である壁部１０Ｗを挟んで、作業者が作業するための作業用空間１０Ｇが設定されている。
【００１７】
図１及び図２に示すように、壁部１０Ｗには口部１０Ｋが設けられ、口部１０Ｋから筒状体１２が搬送用空間１０Ｎ側に延出して設けられている。本実施形態では、壁部１０Ｗと、口部１０Ｋから延出して設けられる筒状体１２とが仕切壁に相当し、筒状体１２の搬送用空間１０Ｎ側端部に開口１２Ｋが設けられている。
また、開口１２Ｋを閉鎖する閉状態と開口１２Ｋを開放する開状態とに切換え自在な開閉体Ｄが設けられている。開閉体Ｄは、上下方向に２分割されており、上方側の開閉体Ｄ１が上方に、下方側の開閉体Ｄ２が下方に移動可能となっている。そして、開閉体Ｄ１と開閉体Ｄ２とを互いに接近移動させて閉状態とし、開閉体Ｄ１と開閉体Ｄ２とを互いに離間移動させて開状態とするようになっている。
平面視で筒状体１２と重複する部分には、作業用空間１０Ｇと搬送用空間１０Ｎとで容器Ｂを出し入れするための搬出入用支持体２１が設けられている。搬出入用支持体２１は、移載装置３０Ｙとの間で容器Ｂを移載可能に構成されているとともに、手動搬送台車の移載装置（図示省略）との間でも容器Ｂを移載可能に構成されている。本実施形態では、搬出入用支持体２１が設けられる箇所が搬出入用移載箇所となる。
本実施形態において、平面視で筒状体１２と重複する領域は開口１２Ｋよりも作業用空間１０Ｇ側に存在する。したがって、移載対象箇所として、幅方向で作業用空間１０Ｇ側において開口１２Ｋに隣接する搬出入用移載箇所が設定されている。
【００１８】
筒状体１２における開閉体Ｄの近傍に、開閉体Ｄが開状態であるときに開状態信号を出力し、開閉体Ｄが閉状態であるときに閉状態信号を出力する開閉状態検出部Ｓが設けられている。また、壁部１０Ｗにおける口部１０Ｋよりも作業用空間１０Ｇ側に、口部１０Ｋよりも搬送用空間１０Ｎ側に侵入物が侵入したことを検出するライトカーテンＬＣが設けられている。本実施形態では、開閉状態検出部Ｓが閉状態検出部及び開状態検出部に相当し、ライトカーテンＬＣが監視検出部に相当し、ライトカーテンＬＣが検出作用する部分を含んだ領域が監視領域に相当する。すなわち、搬送用空間１０Ｎと作業用空間１０Ｇとの並び方向で仕切壁（壁部１０Ｗ及び筒状体１２）よりも作業用空間１０Ｇ側において開口１２Ｋに隣接する監視領域を監視する位置にけられて、監視領域における検出対象物の存否を検出するライトカーテンＬＣと、開閉体Ｄが閉状態であるときに閉状態信号を出力し、開閉体Ｄが開状態であるときに開状態信号を出力するリミットスイッチ式の開閉状態検出部Ｓが設けられている。
【００１９】
図３に基づいて、半導体容器保管庫１０の制御構成を説明する。スタッカークレーンＣに設けられる移動制御部Ｈは、移動体３０を走行移動させる走行駆動部Ｍ１の作動、昇降体を昇降させる昇降駆動部Ｍ２の作動、及び、移載装置３０Ｙの移載用支持体３０Ｆを出退させる出退駆動部Ｍ３の作動を制御するようになっている。また、半導体容器保管庫１０全体の稼働状態を管理し移動制御部ＨにスタッカークレーンＣの作動を指令する設備制御部Ｈ１が、作業用空間１０Ｇにおける半導体容器保管庫１０の近傍に固定して設けられている。移動制御部Ｈと設備制御部Ｈ１とは互いに通信可能に構成されており、設備制御部Ｈ１は、スタッカークレーンＣによる容器Ｂの搬送スケジュールを管理するとともに、半導体容器保管庫１０の角部に設けられたセンサーからの情報に基づいて、スタッカークレーンＣの作動の非常停止及び作動の再開を移動制御部Ｈに指令するように構成されている。また、移動制御部Ｈは、スタッカークレーンＣの作動状態（後述の搬送制御の開始や完了、及び、移載制御の開始や完了等）を示す信号を設備制御部Ｈ１に送信する。
【００２０】
設備制御部Ｈ１には、開閉体Ｄを開閉駆動する開閉駆動部ＭＤと、上記開閉状態検出部Ｓと、ライトカーテンＬＣと、作業者が搬送再開を許可することを示す再開許可信号を手動にて入力可能な許可信号入力部Ｑとが接続されている。設備制御部Ｈ１は、開閉駆動部ＭＤに対して開閉体Ｄの開閉指令を指令可能に構成されている。また、設備制御部Ｈ１は、開閉状態検出部Ｓによる開状態信号及び閉状態信号、ライトカーテンＬＣによる検出対象物の検出信号、及び、許可信号入力部Ｑによる再開許可信号を検出可能に構成されている。
本実施形態において、移動制御部Ｈ及び設備制御部Ｈ１が制御部に相当する。
すなわち、制御部が、開閉体Ｄを閉状態から開状態に切り換える開制御及び開閉体を開状態から閉状態に切り換える閉制御を実行するように構成されている。
【００２１】
続いて、本実施形態におけるスタッカークレーンＣによる容器Ｂの搬送制御を、図４のフローチャートに基づいて説明する。
設備制御部Ｈ１は、容器Ｂの搬送スケジュール（事前に計画された搬送計画に沿う容器Ｂの搬送と、作業者による搬送指示に基づく容器Ｂの搬送を含む）に沿って、搬送指令を移動制御部Ｈに指令し、指令ありの場合（＃１：Ｙｅｓ）には、続いて、開閉状態検出部Ｓから閉状態信号を受け取っているか否かを判別する（＃２）。閉状態信号を受け取っていない場合は、閉状態信号を受け取るまで、その後のスタッカークレーンＣの作動の開始を保留する（＃２：Ｎｏ）。閉状態信号を受け取ると（＃２：Ｙｅｓ）、設備制御部Ｈ１は、ライトカーテンＬＣによる検出対象物の検出を無効にするＬＣ無効化制御を開始する（＃３）。以降、ライトカーテンＬＣによる検出対象物の検出を有効にするＬＣ有効化制御（＃１０）が開始されるまで、ライトカーテンＬＣによる検出対象物の検出を無効とする。なお、ＬＣ無効化制御は、ライトカーテンＬＣの作動は停止させず、検出対象物の検出情報が出力されたとしてもその検出情報を無視するような制御と、ライトカーテンＬＣそのものの作動を停止させる制御の双方を含んでいる。
【００２２】
ＬＣ無効化制御が開始されると、移動制御部Ｈは、走行駆動部Ｍ１を作動させて、を搬出入用移載箇所との間で移載装置３０Ｙにより容器Ｂを移載する際の移動体３０の停止位置として移動経路に設定された搬出入用停止位置まで移動体３０を移動経路に沿って移動させる移動制御の実行を開始する（＃４）。移動制御部Ｈは、移動制御の実行開始を示す信号を設備制御部Ｈ１に送信する。
本実施形態では、設備制御部Ｈ１が閉状態信号を受け取っていることが搬送開始条件に相当する。すなわち、設備制御部Ｈ１は、設備制御部Ｈ１が閉状態信号を受け取っていることを含む搬送開始条件が成立している場合に、スタッカークレーンＣの搬送作動の開始を許容する。なお、搬送開始条件としては、設備制御部Ｈ１が閉状態信号を受け取っていることに加え、他の条件を含むものとしてもよい。他の条件としては、例えば、作業者による搬送開始許可指令の受信等を含むことができる。
【００２３】
設備制御部Ｈ１は、移動制御部Ｈから受け取る信号に基づいて、移動制御が完了したか否かを判断するようになっている（＃５）。そして、移動制御が完了していないと判別すると（＃５：Ｎｏ）、引き続き、開閉状態検出部Ｓから受け取っている閉状態信号が途切れたか否かを判別する（＃６）。閉状態信号が途切れていないと判別した場合は、＃５の処理に戻る。設備制御部Ｈ１は、閉状態信号が途切れたと判別すると、図５に示すように、移動制御部Ｈに対してスタッカークレーンの各駆動部の作動を停止させるための信号を送信する非常停止制御を実行する（＃７）。
非常停止制御に伴い、設備制御部Ｈ１は、異常警告ランプや警報オン発生装置等（図示省略）にて作業者にスタッカークレーンＣを非常停止したことを通知する。非常停止を知得した作業者は、搬送用空間１０Ｎ内の侵入物の有無、又は開閉体Ｄの故障の有無等を確認し、異常状態の解消を確認して開閉体Ｄを閉状態とする操作を行う。この操作は、手動で開閉体Ｄを閉操作することで行ってもよいし、開閉体Ｄを閉操作させるための指令情報を設備制御部Ｈ１に入力することで行ってもよい。
非常停止制御は、許可信号入力部Ｑにより再開許可信号が入力されたことを設備制御部Ｈ１が検出するまで継続される（＃８）。設備制御部Ｈ１は、再開許可信号が入力されたことを検出すると（＃８：Ｙｅｓ）、引き続き、設備制御部Ｈ１が閉状態信号を受け取っているか否かを判別し（＃９）、閉状態信号を受け取っている場合には＃２の処理に戻り、移動制御を再開する（図６を参照）。
本実施形態では、設備制御部Ｈ１が再開許可信号の入力を検出したという条件と、設備制御部Ｈ１が閉状態信号を受け取っているという条件の双方が再開条件となる。
すなわち、設備制御部Ｈ１は、スタッカークレーンＣの搬送作動を開始させた後においてスタッカークレーンＣの搬送作動を中断させた後は、閉状態信号を受け取っていることを含む再開条件が成立している場合にスタッカークレーンＣの搬送作動の再開を許容するように構成されている。
なお、上記再開条件として、上記２つの条件の双方が成立している場合とするのではなく、その一方のみとしてもよい。つまり、例えば、設備制御部Ｈ１が閉状態信号を受け取っているという条件のみを再開条件としたり、設備制御部Ｈ１が閉状態信号を受け取っているという条件のみを再開条件としてもよい。また、上記２つの条件に加えて、更なる条件をも満たすことを再開条件とすることも可能である。
【００２４】
移動体３０が搬出入用停止位置に停止すると、移動制御部Ｈは設備制御部Ｈ１に移動制御完了信号を送信する。設備制御部Ｈ１が、移動制御が完了したと判別すると（＃５：Ｙｅｓ）、設備制御部Ｈ１は、ライトカーテンＬＣによる検出対象物の検出を有効にするＬＣ有効化制御を実行する（＃１０）。以降、本フローの終了まで、ライトカーテンＬＣによる検出対象物の検出が有効な状態が継続される。
すなわち、設備制御部Ｈ１は、制御部が閉状態信号を受け取っていることを含む搬送開始条件が成立している場合に、スタッカークレーンＣの搬送作動の開始を許容し、かつ、スタッカークレーンＣの搬送作動を開始させた後において制御部が閉状態信号を継続して受け取らなくなった場合は、スタッカークレーンＣの搬送作動を中断させ、かつ、スタッカークレーンＣの搬送作動を開始させた後において制御部が閉状態信号を受け取っている期間は、ライトカーテンＬＣにより検出対象物が検出されてもスタッカークレーンＣの搬送作動を継続させるように構成されている。
【００２５】
続いて、設備制御部Ｈ１は、開閉状態検出部Ｓから開状態信号を受け取っているか否かを判別する（＃１１）。開状態信号を受け取っていない場合は、開状態信号を受け取るまで、その後のスタッカークレーンＣの作動の開始を保留する（＃１１：Ｎｏ）。開状態信号を受け取ると（＃１１：Ｙｅｓ）、設備制御部Ｈ１は、移載装置３０Ｙに搬出入用移載箇所の搬出入用支持体２１との間で容器Ｂを移載させる移載制御を開始させる開始信号を移動制御部Ｈに送信する（＃１２）。これにより、図７に示すように、移載制御が開始される。移動制御部Ｈは、ライトカーテンＬＣが検出対象物を検出したか否かを判別し（＃１３）、図８に示すように検出対象物を検出した場合（＃１３：Ｙｅｓ）には、出退駆動部Ｍ３の作動を停止して移載制御を中断する（＃１４）。
【００２６】
また、移動制御部Ｈは、移載制御が中断している状態において、ライトカーテンＬＣによって検出対象物を一定時間検出しなくなったか否かを判別し（＃１５）、図９のように検出対象物を検出しなくなった場合（＃１５：Ｙｅｓ）には、当該中断している移載制御を再開させる（＃１６）。移動制御部Ｈは、移載制御が完了するまで移載装置３０Ｙを作動させ（＃１７）、移載制御が完了すると、設備制御部Ｈ１に当該移載制御の完了を示す信号を送信する。
なお、上記＃１５の判別で、検出対象物を一定時間検出しなくなったか否か（検出インターバルと称する）を判別しているのは、検出対象物が監視領域の内と外とで短時間の間に退出と侵入を繰り返しているような場合に、移載制御が停止と再開とを繰り返す事態を抑制する為である。なお、上記検出インターバルは、どのような時間に設定してもよく、また、検出インターバルを設定せずに、検出対象物を検出しなくなると即時移載制御を再開させるようにしてもよい。
【００２７】
移載制御が完了すると、設備制御部Ｈ１は、図１０に示すように開閉体Ｄを閉状態とする。このとき、次の搬送指令があれば、図４のフローチャートを改めて開始することになる。
すなわち、制御部は、移載制御の実行中にライトカーテンＬＣが検出対象物を検出したことを条件に当該移載制御を中断し、当該移載制御が中断している状態においてライトカーテンＬＣが検出対象物を検出しなくなったことを条件に当該中断している移載制御を再開するように構成されている。
【００２８】
〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、物品を、半導体基板を積層して保管するＦＯＵＰ等の半導体容器（容器Ｂ）とする形態を説明したが、物品としては半導体容器に限定されるものではなく、パレットに載置された荷や段ボール等、各種の物品に適用可能である。
また、上記実施形態では、物品搬送装置を、移動体３０に立設された昇降マストに沿って昇降する昇降体を備えたスタッカークレーンＣとする例を説明したが、このような構成に限定されるものではなく、例えば、昇降体を備えない走行台車としてもよい。さらに、上記実施形態では、床面に敷設された走行レール１０Ｒに沿って移動経路が設定され、移動体が走行レール１０Ｒ上を走行移動する例を示したが、移動経路は仮想的に設定されたものであってもよい。すなわち、床面には移動体を案内するためのレールは設けられず、移動制御部Ｈ等に記憶された移動経路に沿って走行する自律走行式の台車としてもよい。この場合においては、搬出入用移載箇所を開口に隣接する箇所に設定するように移動経路を設定する。
【００２９】
さらに、上記実施形態では、移動経路を水平方向に沿う走行経路とする例を示したが、水平方向に対して４５度以下、好ましくは３０度以下の傾斜角を有する経路としてもよく、また、移動経路を上下方向に沿う昇降経路としてもよく、この場合、上下方向に対して４５度以下、好ましくは３０度以下の傾斜角を有する経路としてもよい。
【００３０】
（２）上記実施形態では、開閉体Ｄを壁部１０Ｗよりも幅方向で搬送用空間１０Ｎ側に引退した位置としたが、開閉体Ｄを幅方向で壁部１０Ｗに近接する位置としてもよい。この場合、搬出入用移載箇所は壁部１０Ｗよりも作業用空間１０Ｇ側に突出していてもよい。
このような搬出入用移載箇所の形態として、例えば、搬出入用支持体２１を壁部１０Ｗよりも作業用空間１０Ｇ側に設け、当該搬出入用移載箇所を監視領域とするライトカーテンを、搬出入用移載箇所の周囲から搬出入用移載箇所に侵入する検出対象物を検出可能に設けることが考えられる。
また、上記のような搬出入用移載箇所の別の形態として、例えば、壁部１０Ｗよりも搬送用空間１０Ｎ側と作業用空間１０Ｇ側とに亘って物品を搬送可能で且つ移載装置３０Ｙとの間で物品を授受可能な搬出入装置（例えばコンベヤや台車等）を設け、当該搬出入装置の作業用空間１０Ｇ側端部よりも作業用空間１０Ｇ側に、検出対象物の侵入を検出するライトカーテン等の監視検出部を設ける構成とすることが考えられる。
【００３１】
（３）上記実施形態では、移載装置３０Ｙを、容器Ｂを下方から支持する移載用支持体３０Ｆを備えたフォーク式に構成する例を示したが、移載装置３０Ｙを、物品を側方から挟み込む一対のクランプを備える構成としてもよい。
【００３２】
（４）上記実施形態では、開閉体Ｄを、上下方向に２分割する形態に構成したが、上下方向に１枚の開閉体にて構成してもよい。また、上下方向ではなく左右方向に開閉する構成としてもよい。この場合においても、左右方向に１枚の開閉体を備える構成としてもよいし、左右方向に２枚の開閉体を備える構成としてもよい。また、上下実施形態及び図面に置いては、開閉体をスライド式のものとして記載したが、開閉体は、ヒンジを支点に揺動する揺動扉としたり、ロールシャッター式に構成する等、開口を開閉できる構成であれば各種の構成を適用可能である。
【００３３】
（５）上記実施形態では、閉状態検出部と開状態検出部とを同一の部材（開閉状態検出部Ｓ）とする例を示したが、これらを別部材で構成してもよい。また、上記実施形態では、開閉状態検出部Ｓをリミットスイッチ式のもので構成する例を示したが、例えば、光電式検出器によって開閉体Ｄの存否を検出することで開閉体Ｄの開状態及び閉状態を検出したり、開閉体Ｄに取付けた磁石の接近及び離間によって開閉体Ｄの開状態及び閉状態を検出するリードスイッチにて構成する等、各種の構成を適用可能である。
【００３４】
（６）上記実施形態では、制御部を、半導体容器保管庫１０の近傍に固定して設けられる設備制御部Ｈ１とスタッカークレーンＣに設けられる移動制御部Ｈとから構成する例を示したが、これらを１つの制御部としてもよい。この場合、制御部をスタッカークレーンＣ側に設けられる御部側のみとし、その制御部に設備制御部Ｈ１の機能を持たせる構成としてもよいし、半導体容器保管庫１０の近傍に固定して設けられる制御部のみとし、その制御部に移動制御部Ｈの機能を持たせる構成としてもよい。
【００３５】
（７）上記実施形態では、監視検出部を口部１０Ｋの作業用空間１０Ｇ側に設けたライトカーテンＬＣとし、当該ライトカーテンＬＣの検出部分を含む領域を監視領域とする構成と説明したが、このような構成に限定されるものではなく、例えば、口部１０Ｋの作業用空間１０Ｇ側を撮像する撮像装置を設け、当該撮像装置の撮像領域を監視領域とし、その監視領域の撮像画像に基づいて検出対象物の存否を検出するように構成してもよい。
【００３６】
（８）上記実施形態では、図４のフローチャートにおける＃２において、設備制御部Ｈ１がライトカーテンＬＣによる検出対象物の検出を無効化する構成を説明したが、ライトカーテンＬＣによる検出対象物の検出を無効化せずに、検出対象物を検出した場合には接近注意を警告する警告信号（音声や光等）を発するように構成してもよい。この場合においても、検出対象物を検出した場合で閉状態信号を受け取っていればスタッカークレーンＣの作動は継続させることになる。
【００３７】
（９）上記実施形態では、図４のフローチャートにおける＃１４において移載制御を中断後、移動制御部Ｈが、ライトカーテンＬＣが検出対象物を検出しなくなったことを条件に当該中断している移載制御を再開する構成を説明したが、ライトカーテンＬＣが検出対象物を検出しなくなった場合においても、作業者によって入力される再開許可信号の受信後に移載制御を再開する構成としてもよい。
【００３８】
（１０）上記実施形態では、壁部１０Ｗを、平面視矩形状の包囲壁１１のうちの走行レール１０Ｒに沿う一対の壁部の一方とする構成を説明したが、壁部１０Ｗは、走行経路に沿って設けられて搬送用空間１０Ｎと作業用空間１０Ｇとを仕切るものであればよく、例えば、一対の壁部の双方を仕切壁とする等、仕切壁の設置数量は任意である。また、上記実施形態では、壁部１０Ｗを、平面視矩形状の包囲壁１１の壁部のうちの一部とする例を示したが、包囲壁は矩形状に限らず、三角形又は五角形以上の多角形状であってもよく、また、平面視曲線状の壁体としてもよい。この場合にも、仕切壁は、壁体における走行経路に沿う部分とする。また、上記実施形態では、仕切壁を包囲壁の一部とする例を示したが、仕切壁を、搬送用の領域と作業者が作業するための領域とに二分する壁体としてもよい。この場合、物品搬送装置が移動する領域を搬送用空間として定義し、当該搬送用空間における平面視で仕切壁が設けられる部分以外については、侵入防止柵等で作業者が作業する領域と区分しておくことが好ましい。
【符号の説明】
【００３９】
１０Ｇ    作業用空間
１０Ｋ    開口
１０Ｎ    搬送用空間
１０Ｒ    走行レール（移動経路）
１０Ｗ    仕切壁
２１      搬出入用支持体（搬出入用移載箇所）
３０      移動体
３０Ｆ    移載用支持体
３０Ｙ    移載装置
Ｂ        容器（物品）
Ｃ        スタッカークレーン（物品搬送装置）
Ｄ        開閉体
Ｈ        移動制御部（制御部）
Ｈ１      設備制御部（制御部）
ＬＣ      ライトカーテン（監視検出部）
Ｓ        開閉状態検出部（閉状態検出部、開状態検出部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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