(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂を含浸することによって複合材料を構成する強化基材の表面に、前記表面に直交する直交方向に対して傾斜した方向からプラズマを照射して、前記強化基材の表面を改質する強化基材の表面改質方法であって、
前記強化基材を互いに対向するように配置し、
互いに対向して配置される前記強化基材の間に向けて前記プラズマを照射することによって、対向する前記強化基材の表面の双方に前記プラズマを照射する強化基材の表面改質方法。
【請求項２】
前記直交方向に対して３０°以上傾斜した方向から、前記強化基材の表面に前記プラズマを照射する請求項１に記載の強化基材の表面改質方法。
【請求項３】
前記強化基材の一部に前記強化基材が互いに対向する凹部を形成するように前記強化基材を搬送し、
前記凹部のうち互いに対向する面に、前記プラズマを照射する請求項１または２に記載の強化基材の表面改質方法。
【請求項４】
前記凹部において、前記凹部が形成されない他の前記強化基材に対する遠位側の幅を、前記他の強化基材に対する近位側の幅よりも、大きく形成する請求項３に記載の強化基材の表面改質方法。
【請求項５】
前記プラズマの照射形状に沿う形状を有するように前記凹部の形状を形成する請求項３または４に記載の強化基材の表面改質方法。
【請求項６】
互いに反対の向きに凹む前記凹部を少なくとも２つ形成するように前記強化基材を搬送し、
それぞれの前記凹部のうち互いに対向する面に、前記プラズマを照射する請求項３〜５のいずれか１項に記載の強化基材の表面改質方法。
【請求項７】
前記プラズマの照射方向に交差する方向から、前記プラズマに対して圧縮空気を噴射することによって前記プラズマの照射方向を変更する請求項１〜６のいずれか１項に記載の強化基材の表面改質方法。
【請求項８】
樹脂を含浸することによって複合材料を構成する強化基材の表面に、前記表面に直交する直交方向に対して傾斜した方向からプラズマを照射して、前記強化基材の表面を改質する照射部を有する強化基材の表面改質装置であって、
前記強化基材は互いに対向するように配置され、
前記照射部は、互いに対向して配置される前記強化基材の間に向けて前記プラズマを照射することによって、対向する前記強化基材の表面の双方に前記プラズマを照射する強化基材の表面改質装置。
【請求項９】
前記照射部は、前記直交方向に対して３０°以上傾斜した方向から、前記強化基材の表面に前記プラズマを照射する請求項８に記載の強化基材の表面改質装置。
【請求項１０】
前記強化基材を搬送する搬送部と、
前記強化基材の一部に前記強化基材が互いに対向する凹部を形成する複数のローラと、をさらに有する請求項８または９に記載の強化基材の表面改質装置。
【請求項１１】
前記複数のローラは、前記凹部において、前記凹部が形成されない他の前記強化基材に対する遠位側の幅を、前記他の強化基材に対する近位側の幅よりも、大きく形成する請求項１０に記載の強化基材の表面改質装置。
【請求項１２】
前記複数のローラは、前記プラズマの照射形状に沿う形状を有するように前記凹部の形状を形成する請求項１０または１１に記載の強化基材の表面改質装置。
【請求項１３】
前記搬送部は、互いに反対の向きに凹む前記凹部を少なくとも２つ形成するように前記強化基材を搬送し、
前記照射部は、それぞれの前記凹部のうち互いに対向する面に、前記プラズマを照射する請求項１０〜１２のいずれか１項に記載の強化基材の表面改質装置。
【請求項１４】
前記プラズマの照射方向に交差する方向から、前記プラズマに対して圧縮空気を噴射することによって前記プラズマの照射方向を変更する噴射部をさらに有する請求項８〜１３のいずれか１項に記載の強化基材の表面改質装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、強化基材の表面改質方法及び表面改質装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、自動車の車体軽量化のために強化基材に樹脂を含浸させた複合材料が自動車部品として用いられている。このような強化基材としては、例えば、炭素繊維、ガラス繊維、ポリアミド繊維などが挙げられる。一般的に強化基材は樹脂との接着性が低いために、強化基材の、樹脂に対する接着性を向上させる必要がある。
【０００３】
これに関連して、例えば下記の特許文献１には、芳香族ポリアミド繊維に対して繊維の配置面に直交する方向からプラズマを照射することによって、芳香族ポリアミド繊維の表面を改質して接着性を改良する接着性改良方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開昭６１−２５８０６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載の接着性改良方法では、芳香族ポリアミド繊維に対して、配置面に直交する方向からプラズマを照射している。このように、プラズマを直交方向から照射すると、照射箇所において逃げ場がないためプラズマガスは圧縮されて高温となり、かつ中心の高温部分にさらされるため、被照射物である強化基材を損傷させる虞がある。したがって、特許文献１に記載の接着性改良方法では、プラズマ照射による強化基材の損傷を低減させるために、十分な照射距離を設けて、プラズマを長時間照射することにより表面改質を行っている。すなわち、表面改質効果を得るためにプラズマを効率よく照射できていない可能性がある。
【０００６】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであり、強化基材の損傷を低減しつつ、効率よくプラズマを強化基材に照射して強化基材の表面を改質する強化基材の表面改質方法及び表面改質装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成する本発明に係る強化基材の表面改質方法は、樹脂を含浸することによって複合材料を構成する強化基材の表面に、前記表面に直交する直交方向に対して傾斜した方向からプラズマを照射して、前記強化基材の表面を改質する方法である。また、前記強化基材を互いに対向するように配置し、互いに対向して配置される前記強化基材の間に向けて前記プラズマを照射することによって、対向する前記強化基材の表面の双方に前記プラズマを照射する。
【０００８】
また上記目的を達成する本発明に係る強化基材の表面改質装置は、樹脂を含浸することによって複合材料を構成する強化基材の表面に、前記表面に直交する直交方向に対して傾斜した方向からプラズマを照射して、前記強化基材の表面を改質する照射部を有する。また、前記強化基材は互いに対向するように配置され、前記照射部は、互いに対向して配置される前記強化基材の間に向けて前記プラズマを照射することによって、対向する前記強化基材の表面の双方に前記プラズマを照射する。
【発明の効果】
【０００９】
上記のように構成した強化基材の表面改質方法及び表面改質装置によれば、強化基材の表面に直交方向に対して傾斜した方向からプラズマを照射することによって、強化基材の表面を改質する。よって、プラズマガスは強化基材の表面に傾斜して照射されるためプラズマガスの圧縮が抑制され、かつ中心の高温部分を逃して照射することができる。したがって、強化基材の損傷を低減しつつ、効率よくプラズマを強化基材に照射して強化基材の表面を改質することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】第１実施形態に係る強化基材の表面改質装置を示す概略図である。
【図２】第１実施形態に係る表面改質方法を説明するための概略図である。
【図３】第１実施形態に係る表面改質方法の効果の一例を説明するためのグラフである。
【図４】対比例に係る表面改質方法を説明するための概略図である。
【図５】図５（Ａ）は、プラズマ照射前の強化基材を示す顕微鏡写真であって、図５（Ｂ）は、対比例に係る表面改質方法によってプラズマを照射した後の強化基材を示す顕微鏡写真である。
【図６】第２実施形態に係る表面改質方法を説明するための概略図である。
【図７】改変例１に係る表面改質方法を説明するための概略図である。
【図８】改変例２に係る表面改質方法を説明するための概略図である。
【図９】改変例３に係る表面改質方法を説明するための概略図である。
【図１０】改変例４に係る表面改質方法を説明するための概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
＜第１実施形態＞
以下、添付した図面を参照しながら、本発明の第１実施形態を説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。図面の寸法比率は、説明の都合上誇張されており、実際の比率とは異なる場合がある。
【００１２】
図１は、本発明の第１実施形態に係る強化基材２１０の表面改質装置１を示す概略図である。図２は、第１実施形態に係る表面改質方法を説明するための概略図である。図３は、第１実施形態に係る表面改質方法の効果の一例を説明するためのグラフである。図４は、対比例に係る表面改質方法を説明するための概略図である。図５（Ａ）は、プラズマ照射前の強化基材２１０を示す顕微鏡写真であって、図５（Ｂ）は、対比例に係る表面改質方法によってプラズマＰを照射した後の強化基材２１０を示す顕微鏡写真である。
【００１３】
まず、表面改質装置１によって表面が改質される強化基材２１０について説明する。強化基材２１０は、樹脂を含浸することによって複合材料を構成する。複合材料は、強化基材２１０と組み合わせることによって樹脂単体に比べて高い強度及び剛性を備える。
【００１４】
強化基材２１０は、炭素繊維、ガラス繊維、有機繊維等の織物シートによって形成される。本実施形態では、一例として、熱膨張係数が小さく寸法安定性に優れ、高温下においても機械的特性の低下が少ない炭素繊維を挙げて説明する。強化基材２１０は、炭素繊維が１，０００本から５０，０００本程度の束の状態で、いわゆるボビン状に構成される。
【００１５】
第１実施形態に係る強化基材２１０の表面改質装置１は、図１に示すように、張力制御部１０と、照射部２０と、搬送部３０と、を有する。
【００１６】
張力制御部１０は、搬送部３０によって搬送される強化基材２１０の張力を制御して、強化基材２１０の歪みを防止する。張力制御部１０は、ボビン状の強化基材２１０がセットされる配置部１１と、強化基材２１０の歪みを防止する４つのローラ１２〜１５と、を有する。
【００１７】
照射部２０は、強化基材２１０に対してプラズマＰを照射する。照射部２０は、強化基材２１０の表面２１１にＹ方向（表面２１１に直交する直交方向）に対して傾斜した方向からプラズマＰを照射して、強化基材２１０の表面２１１を改質する。また、照射部２０は、Ｙ方向に対して３０°以上傾斜した方向から強化基材２１０の表面２１１にプラズマＰを照射することが好ましい。
【００１８】
照射部２０の電源としては、交流電源２１を用いることが好ましい。交流電源２１はアース（接地）される。
【００１９】
強化基材２１０にプラズマＰを照射することによって、炭素繊維を構成する炭素表面に酸性官能基が導入されるため、強化基材２１０の表面２１１は改質され、樹脂との接着性が向上する。
【００２０】
搬送部３０は、強化基材２１０を図１の矢印方向に搬送しつつ、表面２１１が改質された強化基材２１０を再度ボビン状に巻き取る。搬送部３０は、モータ３１と、モータ３１により回転されることで強化基材２１０を巻き取る巻き取り部３２と、を有する。
【００２１】
次に、図２、図４、図５を参照して、対比例に係る表面改質方法及び本実施形態に係る表面改質方法を説明する。
【００２２】
まず図４を参照して、対比例に係る表面改質方法を説明する。対比例に係る表面改質方法では、照射部９２０が、強化基材２１０の表面２１１に、Ｙ方向からプラズマＰを照射する。
【００２３】
このようにＹ方向からプラズマＰを照射すると、強化基材２１０の表面２１１において、プラズマガスは逃げ場がないため圧縮されて高温となり、かつ中心の高温部分にさらされるため、強化基材２１０を損傷させる。すなわち、図５（Ａ）及び図５（Ｂ）に示すように、炭素繊維である強化基材２１０は細径化して、強度が低下する。
【００２４】
次に、図２を参照して、本実施形態に係る表面改質方法を説明する。
【００２５】
本実施形態に係る表面改質方法は、強化基材２１０の表面２１１に、Ｙ方向に対して傾斜した方向からプラズマＰを照射して、強化基材２１０の表面２１１を改質する方法である。さらに、Ｙ方向から３０°以上傾斜した方向から、強化基材２１０の表面２１１にプラズマＰを照射することが好ましい。
【００２６】
以下、プラズマＰの照射条件の一例について説明する。
【００２７】
プラズマ電圧は、プラズマＰの発生し易さの観点から、例えば２００〜４００Ｖであって、２６０〜２８０Ｖであることが好ましい。
【００２８】
パルス放電周波数は、プラズマＰの発生し易さの観点から、例えば１０〜３０ｋＨｚであって、１６〜２０ｋＨｚであることが好ましい。
【００２９】
プラズマ照射距離Ｌは、例えば２〜３０ｍｍであって、１０〜１５ｍｍであることが好ましい。プラズマ照射距離Ｌが短いと強化基材２１０が損傷する可能性があり、長いと表面改質効果が小さくなる。
【００３０】
プラズマ照射時間は、例えば０．１〜５．０秒であって、０．５〜１．０秒であることが好ましい。プラズマ照射時間が短いと表面改質効果が小さくなり、長いと強化基材２１０が損傷する可能性がある。
【００３１】
プラズマガスとしては、例えば酸素、窒素、またはヘリウムを０．５％以上含む混合ガスを用いることができる。プラズマＰによって活性化した酸素、窒素、またはヘリウムが強化基材２１０表面に付着することで接着性が向上する。
【００３２】
上述のようにＹ方向に対して傾斜した方向からプラズマＰを照射することによって、プラズマガスの圧縮が抑制されつつ、中心の高温部分を逃して照射することができる。したがって、強化基材２１０の損傷を低減しつつ、効率よくプラズマＰを強化基材２１０に照射することができる。
【００３３】
このように表面２１１が改質された強化基材２１０は、ＲＴＭ（Ｒｅｓｉｎ  Ｔｒａｎｓｆｅｒ  Ｍｏｌｄｉｎｇ）成形法や、フィラメントワインディング成形法のような複合材料の成形法に適用され得る。
【００３４】
図３において、横軸は、Ｙ方向からの傾斜角度を示し、縦軸は、強化基材２１０の引張強度及び強化基材２１０の表面２１１に導入された酸性官能基量を示す。ここでは、図３において点線で示すように、プラズマＰ照射前の引張強度が１４２０ＭＰａである強化基材２１０を例に挙げて説明する。
【００３５】
図３に示すように、Ｙ方向からの傾斜角度が大きくなるほど、強化基材２１０の引張強度及び酸性官能基量は増大する。すなわち、Ｙ方向からの傾斜角度を大きくして照射することによって、強化基材２１０の引張強度を高めつつ、樹脂に対する接着性を向上することができる。ここで、傾斜角度が３０°を超えた場合、引張強度は照射前の引張強度である１４２０ＭＰａを超えるため、傾斜角度を３０°以上とすることが好ましい。
【００３６】
以上説明したように、本実施形態に係る強化基材２１０の表面改質方法は、樹脂を含浸することによって複合材料を構成する強化基材２１０の表面２１１に、Ｙ方向に対して傾斜した方向からプラズマＰを照射して、強化基材２１０の表面２１１を改質する。このため、プラズマガスの圧縮が抑制され、かつ中心の高温部分を逃して照射することができる。したがって、強化基材２１０の損傷を低減しつつ、効率よくプラズマＰを強化基材２１０に照射して、強化基材２１０の表面２１１を改質することができる。
【００３７】
また、Ｙ方向に対して３０°以上傾斜した方向から、強化基材２１０の表面２１１にプラズマＰを照射する。このため、図３に示すように、プラズマＰを照射しない場合と比較して、強化基材２１０の引張強度を高めることができる。
【００３８】
また、以上説明したように、本実施形態に係る強化基材２１０の表面改質装置１は、強化基材２１０の表面２１１に、Ｙ方向に対して傾斜した方向からプラズマＰを照射して、強化基材２１０の表面２１１を改質する照射部２０を有する。このため、プラズマガスの圧縮が抑制され、かつ中心の高温部分を逃して照射することができる。したがって、強化基材２１０の損傷を低減しつつ、効率よくプラズマＰを強化基材２１０に照射して、強化基材２１０の表面２１１を改質することができる。
【００３９】
また、照射部２０は、Ｙ方向に対して３０°以上傾斜した方向から、強化基材２１０の表面２１１にプラズマＰを照射する。このため、図３に示すように、プラズマＰを照射しない場合と比較して、強化基材２１０の引張強度を高めることができる。
【００４０】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態を説明する。第１実施形態と共通する部分は説明を省略し、第２実施形態のみに特徴のある箇所について説明する。
【００４１】
図６は、第２実施形態に係る表面改質方法を説明するための概略図であって、図２に対応する図である。
【００４２】
第２実施形態に係る強化基材２１０の表面改質装置２は、図６に示すように、照射部１２０と、強化基材２１０の一部に強化基材２１０が互いに対向する凹部２１２を形成する複数のローラ４０と、を有する。張力制御部１０及び搬送部３０の構成は、第１実施形態に係る表面改質装置１と同様であるため説明は省略する。
【００４３】
照射部１２０は、Ｙ方向に沿って配置される。照射部１２０は、凹部２１２のうち互いに対向して配置される強化基材２１０の間に向けてプラズマＰを照射することによって、対向する強化基材２１０の表面２１１の双方の面２１２Ａ，２１２ＢにプラズマＰを照射する。この構成によれば、照射部１２０がＹ方向に対して傾斜しないように配置されるため、照射部１２０のＸ方向の幅を抑えることができる。また、第１実施形態において照射部２０の傾斜角度を大きくすることによって発生する、強化基材２１０との干渉を防止することができる。
【００４４】
照射部１２０は、上述のように凹部２１２が形成された箇所に、Ｙ方向からプラズマＰを照射する。また、強化基材２１０は凹部２１２において、互いに対向するようにＹ方向に沿って形成される。したがって、強化基材２１０の表面２１１に直交する略Ｘ方向に対して傾斜した方向から、強化基材２１０の表面２１１にプラズマＰが照射される。
【００４５】
複数のローラ４０は、第１のローラ４１、第２のローラ４２、第３のローラ４３、第４のローラ４４、及び第５のローラ４５を有する。
【００４６】
第１のローラ４１は、強化基材２１０の一部をＹ方向下向きに折り曲げる。
【００４７】
第２のローラ４２は、第１のローラ４１とともに強化基材２１０の一部がプラズマＰの照射形状に沿うように配置される。
【００４８】
第３のローラ４３は、第１のローラ４１によってＹ方向下向きに折り曲げられた強化基材２１０をＹ方向上向きに折り曲げる。
【００４９】
第４のローラ４４は、第５のローラ４５とともに強化基材２１０の一部がプラズマＰの照射形状に沿うように配置される。
【００５０】
第５のローラ４５は、第３のローラ４３によってＹ方向上向きに折り曲げられた強化基材２１０をＸ方向左向きに折り曲げる。
【００５１】
第３のローラ４３の直径は、第１のローラ４１及び第５のローラ４５の間隔よりも大きく形成される。このため、凹部２１２において、Ｙ方向下側（凹部２１２が形成されない強化基材２１０に対する遠位側）の幅を、Ｙ方向上側（凹部２１２が形成されない強化基材２１０に対する近位側）の幅よりも大きく形成することができる。この構成によれば、張力制御部１０及び搬送部３０によって強化基材２１０を張った状態において、第１のローラ４１及び第５のローラ４５において、強化基材２１０に対し矢印の方向の張力Ｔを発生させることができる。よって、プラズマＰを照射する際に、強化基材２１０がばたつくことを防止でき、照射距離を均一にすることができる。したがって、表面改質の効果が均一な強化基材２１０を得ることができる。
【００５２】
次に、本実施形態に係る照射方法を説明する。
【００５３】
本実施形態に係る照射方法では、搬送部３０が、強化基材２１０の一部に強化基材２１０が互いに対向する凹部２１２を形成するように強化基材２１０を搬送する。
【００５４】
照射部１２０は、凹部２１２のうち対向する面２１２Ａ，２１２Ｂの間に向けてプラズマＰを照射することによって、対向する面２１２Ａ，２１２ＢにプラズマＰを照射する。
【００５５】
以上説明したように、本実施形態に係る強化基材２１０の表面改質方法では、強化基材２１０を互いに対向するように配置する。強化基材２１０の表面改質方法では、互いに対向して配置される強化基材２１０の間に向けてプラズマＰを照射することによって、対向する強化基材２１０の表面２１１の双方にプラズマＰを照射する。この方法によれば、同時に、対向する面２１２Ａ，２１２ＢにプラズマＰを照射することができ、より効率よくプラズマＰを強化基材２１０に照射することができる。
【００５６】
また、強化基材２１０の一部に強化基材２１０が互いに対向する凹部２１２を形成するように強化基材２１０を搬送し、凹部２１２のうち互いに対向する面２１２Ａ，２１２ＢにプラズマＰを照射する。このため、強化基材２１０の表面２１１を連続的に改質することができ、生産性が向上する。また、照射部１２０がＹ方向に対して傾斜しないため、照射部１２０のＸ方向の幅を抑えることができる。また、第１実施形態において照射部２０の傾斜角度を大きくすることによって発生する、強化基材２１０との干渉を防止することができる。
【００５７】
また、凹部２１２において、Ｙ方向下側の幅を、Ｙ方向上側の幅よりも大きく形成する。このため、プラズマＰを照射する際に、強化基材２１０がばたつくことを防止でき、照射距離を均一にすることによって、表面改質の効果が均一な強化基材２１０を得ることができる。
【００５８】
また、プラズマＰの照射形状に沿う形状を有するように凹部２１２の形状を形成する。このため、プラズマＰの照射形状に沿った強化基材２１０の表面２１１にプラズマＰを照射することができ、より多い面積にプラズマＰを照射することができる。したがって、より効率よくプラズマＰを強化基材２１０に照射することができる。
【００５９】
また、以上説明したように、本実施形態に係る強化基材２１０の表面改質装置２では、強化基材２１０は互いに対向するように配置される。また、照射部１２０は、互いに対向して配置される強化基材２１０の間に向けてプラズマＰを照射することによって、対向する強化基材２１０の表面２１１の双方にプラズマＰを照射する。このため、同時に、対向する面２１２Ａ，２１２ＢにプラズマＰを照射することができ、より効率よくプラズマＰを強化基材２１０に照射することができる。
【００６０】
また、強化基材２１０を搬送する搬送部３０と、強化基材２１０の一部に強化基材２１０が互いに対向する凹部２１２を形成する複数のローラ４０と、をさらに有する。このため、強化基材２１０の表面２１１を連続的に改質することができ、生産性が向上する。また、照射部１２０がＹ方向に対して傾斜しないため、照射部１２０のＸ方向の幅を抑えることができる。また、第１実施形態において照射部２０の傾斜角度を大きくすることによって発生する、強化基材２１０との干渉を防止することができる。
【００６１】
また、複数のローラ４０は、凹部２１２において、Ｙ方向下側の幅を、Ｙ方向上側の幅よりも大きく形成する。このため、プラズマＰを照射する際に、強化基材２１０がばたつくことを防止でき、照射距離を均一にすることによって、表面改質の効果が均一な強化基材２１０を得ることができる。
【００６２】
また、複数のローラ４０は、プラズマＰの照射形状に沿う形状を有するように凹部２１２の形状を形成する。このため、プラズマＰの照射形状に沿った強化基材２１０の表面２１１にプラズマＰを照射することができ、より多い面積にプラズマＰを照射することができる。したがって、より効率よくプラズマＰを強化基材２１０に照射することができる。
【００６３】
以下、上述した実施形態の改変例を例示する。
【００６４】
＜改変例１＞
図７は、改変例１に係る表面改質方法を説明するための概略図であって、図２に対応する図である。上述した第２実施形態では、凹部２１２は一か所にのみ形成された。しかしながら、図７に示すように互いに反対の向きに凹むように、凹部２１２が２つ形成されてもよい。この構成によれば、右側の凹部２１２において強化基材２１０の下面２１１ａに、左側の凹部２１２において強化基材２１０の上面２１１ｂに、それぞれプラズマＰが照射される。したがって強化基材２１０の両面２１１ａ，２１１ｂにプラズマＰが照射されるため、より均一に強化基材２１０の表面２１１を改質することができる。また、凹部２１２は、３つ以上設けられてもよい。
【００６５】
＜改変例２＞
図８は、改変例２に係る表面改質方法を説明するための概略図であって、図２に対応する図である。上述した第１実施形態では照射部２０をＹ方向に対して傾斜して配置することによって、強化基材２１０の表面２１１にプラズマＰを傾斜して照射した。しかしながら、図８に示すように、照射部１２０をＹ方向に沿って配置させ、Ｙ方向に交差する方向からプラズマＰに対して噴射部３００が圧縮空気Ａを噴射させて、強化基材２１０の表面２１１にプラズマＰを傾斜して照射してもよい。この構成によれば、照射部１２０がＹ方向に対して傾斜しないため、照射部１２０のＸ方向の幅を抑えることができる。また、第１実施形態において照射部２０の傾斜角度を大きくすることによって発生する、強化基材２１０との干渉を防止することができる。
【００６６】
＜改変例３＞
図９は、改変例３に係る表面改質方法を説明するための概略図であって、図２に対応する図である。上述した第２実施形態では第２のローラ４２及び第４のローラ４４を用いることによって、強化基材２１０がプラズマＰの照射形状に沿う形状を有するように凹部２１２の形状を形成した。しかしながら、図９に示すように、第１のローラ４１、第５のローラ４５、及び第６のローラ４６を用いることによって、強化基材２１０がプラズマＰの照射形状に沿う形状を有するように凹部３１２の形状を形成してもよい。
【００６７】
＜改変例４＞
図１０は、改変例４に係る表面改質方法を説明するための概略図であって、図２に対応する図である。上述した第２実施形態では、第３のローラ４３の直径が、第１のローラ４１及び第５のローラ４５の間隔よりも大きく形成されることによって、Ｙ方向下側の幅を、Ｙ方向上側の幅よりも大きく形成した。しかしながら、図１０に示すように、第７のローラ４７及び第８のローラ４８を配置することによって、Ｙ方向下側の幅を、Ｙ方向上側の幅よりも大きく形成してもよい。
【００６８】
本発明は、上述した実施形態及び改変例のみに限定されるものではなく、特許請求の範囲内において種々改変することができる。
【００６９】
上述した実施形態では、搬送部３０によって強化基材２１０を搬送したが、搬送しない形態であってもよい。
【符号の説明】
【００７０】
１，２    表面改質装置、
２０，１２０    照射部、
３０    搬送部、
４０    複数のローラ、
４１    第１のローラ、
４２    第２のローラ、
４３    第３のローラ、
４４    第４のローラ、
４５    第５のローラ、
４６    第６のローラ、
４７    第７のローラ、
４８    第８のローラ、
２１０    強化基材、
２１１    強化基材の表面、
２１２，３１２    凹部、
２１２Ａ，２１２Ｂ    凹部の対向する面、
３００    噴射部、
Ｐ    プラズマ。
【図１】
0006319000.tif 000002
【図２】
0006319000.tif 000003
【図３】
0006319000.tif 000004
【図４】
0006319000.tif 000005
【図５】
0006319000.tif 000006
【図６】
0006319000.tif 000007
【図７】
0006319000.tif 000008
【図８】
0006319000.tif 000009
【図９】
0006319000.tif 000010
【図１０】
0006319000.tif 000011