(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルから噴霧された溶液材料を、絶縁性フィルムに薄膜として堆積するエレクトロスプレー装置であって、
前記薄膜の形成時に前記絶縁性フィルムに接触して前記絶縁性フィルムを支持するフィルム支持部と、
前記薄膜の形成後に前記絶縁性フィルムに対して相対的に移動することにより、前記絶縁性フィルムを前記フィルム支持部から剥離させるための剥離部と、
前記絶縁性フィルムを前記フィルム支持部から剥離させる際に、前記絶縁性フィルムに生じる静電気を除電する除電部とを備える、エレクトロスプレー装置。
【請求項２】
前記除電部は、前記絶縁性フィルムの薄膜が塗布される塗布面側と、前記薄膜が塗布されない非塗布面側とのうちの少なくとも一方に設けられている、請求項１に記載のエレクトロスプレー装置。
【請求項３】
前記除電部は、前記塗布面側に設けられ前記絶縁性フィルムに接触しない状態で前記絶縁性フィルムの除電を行う非接触式除電部と、前記非塗布面側に設けられ前記絶縁性フィルムに接触した状態で前記絶縁性フィルムの除電を行う接触式除電部とを含む、請求項２に記載のエレクトロスプレー装置。
【請求項４】
前記剥離部は、回転可能な剥離ロールを含み、前記剥離ロールの前記絶縁性フィルムに対する相対的な移動の速度と、前記剥離ロールの周速度とが略同じになるように構成されている、請求項１〜３のいずれか１項に記載のエレクトロスプレー装置。
【請求項５】
前記剥離部は、金属からなるとともに接地されている、請求項１〜４のいずれか１項に記載のエレクトロスプレー装置。
【請求項６】
前記剥離部と前記除電部とは、一体的に移動するように構成されており、
前記剥離部と前記除電部とが前記絶縁性フィルムに対して相対的に移動する移動方向の前記剥離部および前記除電部より上流側に設けられ、前記剥離部と前記除電部との前記絶縁性フィルムに対する相対的な移動に伴って、前記絶縁性フィルムの前記フィルム支持部から剥離した部分を前記フィルム支持部から離間させる方向に移動させることにより前記絶縁性フィルムが前記フィルム支持部に再接触するのを抑制する接触抑制部をさらに備える、請求項１〜５のいずれか１項に記載のエレクトロスプレー装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、エレクトロスプレー装置に関し、特に、ノズルから噴霧された溶液材料を、絶縁性フィルムに薄膜として堆積するエレクトロスプレー装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ノズルから噴霧された溶液材料を絶縁性フィルムに薄膜として堆積するエレクトロスプレー装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記特許文献１には、基板が載置される平板状の基板載置部と、電圧が印加された状態の溶液材料を基板に噴霧するノズルとを備えるエレクトロスプレー装置が開示されている。このエレクトロスプレー装置では、基板載置部に載置された基板に電圧が印加されるように構成されている。そして、基板とノズルとの間に生じた電界により、ノズルから基板に溶液材料が飛行することによって、基板に溶液材料が薄膜として堆積される。また、薄膜の形成後は、基板が基板載置部から剥離される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−１３５７０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１のような従来のエレクトロスプレー装置において、基板を基板載置部から剥離させた場合でも、剥離帯電により剥離後の基板に静電気が生じる。また、電圧が印加された状態の溶液材料が塗布（エレクトロスプレー塗布）されることによって基板の表面が帯電し、その結果、基板の裏面にも静電気が生じる。このため、基板が柔軟性を有する場合には、基板を基板載置部から剥離させた後、基板が撓むとともに基板に蓄積される電荷（静電気）により、基板（絶縁性フィルム）が基板載置部（フィルム支持部）に再び吸着する場合があるという問題点がある。
【０００６】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、絶縁性フィルムに生じる静電気に起因して、絶縁性フィルムをフィルム支持部から剥離した後に絶縁性フィルムがフィルム支持部に再び吸着するのを抑制することが可能なエレクトロスプレー装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、この発明の一の局面によるエレクトロスプレー装置は、ノズルから噴霧された溶液材料を、絶縁性フィルムに薄膜として堆積するエレクトロスプレー装置であって、薄膜の形成時に絶縁性フィルムに接触して絶縁性フィルムを支持するフィルム支持部と、薄膜の形成後に絶縁性フィルムに対して相対的に移動することにより、絶縁性フィルムをフィルム支持部から剥離させるための剥離部と、絶縁性フィルムをフィルム支持部から剥離させる際に、絶縁性フィルムに生じる静電気を除電する除電部とを備える。
【０００８】
この一の局面によるエレクトロスプレー装置では、上記のように、絶縁性フィルムをフィルム支持部から剥離させる際に、絶縁性フィルムに生じる静電気を除電する除電部を備える。これにより、剥離の際に絶縁性フィルムに生じる静電気が除電部により除電されるので、絶縁性フィルムに生じる静電気に起因して、絶縁性フィルムをフィルム支持部から剥離した後に絶縁性フィルムがフィルム支持部に再び吸着するのを抑制することができる。
【０００９】
上記一の局面によるエレクトロスプレー装置において、好ましくは、除電部は、絶縁性フィルムの薄膜が塗布される塗布面側と、薄膜が塗布されない非塗布面側とのうちの少なくとも一方に設けられている。このように構成すれば、絶縁性フィルムの再吸着の要因となる絶縁性フィルムの表面に生じる静電気を効果的に除電することができる。
【００１０】
この場合、好ましくは、除電部は、塗布面側に設けられ絶縁性フィルムに接触しない状態で絶縁性フィルムの除電を行う非接触式除電部と、非塗布面側に設けられ絶縁性フィルムに接触した状態で絶縁性フィルムの除電を行う接触式除電部とを含む。このように構成すれば、薄膜が形成される塗布面に除電部が接触することが抑制されるので、薄膜が破損されるのを抑制しながら塗布面の除電を行うことができるとともに、非塗布面側に接触した状態で絶縁性フィルムの除電が行われるので、絶縁性フィルムに生じる静電気をより効果的に除電することができる。
【００１１】
上記一の局面によるエレクトロスプレー装置において、好ましくは、剥離部は、回転可能な剥離ロールを含み、剥離ロールの絶縁性フィルムに対する相対的な移動の速度と、剥離ロールの周速度とが略同じになるように構成されている。このように構成すれば、剥離ロールの表面と絶縁性フィルムの表面とが擦れることが抑制されるので、絶縁性フィルムの表面が傷つくことを抑制することができるとともに、剥離ロールの表面と絶縁性フィルムの表面との擦れによる静電気の発生を抑制することができる。
【００１２】
上記一の局面によるエレクトロスプレー装置において、好ましくは、剥離部は、金属からなるとともに接地されている。このように構成すれば、除電部のみならず剥離部によっても絶縁性フィルムに生じる静電気を除電することができるので、絶縁性フィルムをフィルム支持部から剥離した後に絶縁性フィルムがフィルム支持部に再び吸着するのをより抑制することができる。
【００１３】
上記一の局面によるエレクトロスプレー装置において、好ましくは、剥離部と除電部とは、一体的に移動するように構成されており、剥離部と除電部とが絶縁性フィルムに対して相対的に移動する移動方向の剥離部および除電部より上流側に設けられ、剥離部と除電部との絶縁性フィルムに対する相対的な移動に伴って、絶縁性フィルムのフィルム支持部から剥離した部分をフィルム支持部から離間させる方向に移動させることにより絶縁性フィルムがフィルム支持部に再接触するのを抑制する接触抑制部をさらに備える。このように構成すれば、絶縁性フィルムをフィルム支持部から剥離した後に絶縁性フィルムが撓むことに起因して、絶縁性フィルムがフィルム支持部に再接触するのが接触抑制部により抑制されるので、絶縁性フィルムがフィルム支持部に再び吸着するのをさらに抑制することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、上記のように、絶縁性フィルムに生じる静電気に起因して、絶縁性フィルムをフィルム支持部から剥離した後に絶縁性フィルムがフィルム支持部に再び吸着するのを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の第１実施形態によるエレクトロスプレー装置（薄膜形成時）の構成を示す全体図である。
【図２】本発明の第１実施形態によるエレクトロスプレー装置において絶縁性フィルムを剥離している状態を示す図である。
【図３】本発明の第１実施形態によるエレクトロスプレー装置において絶縁性フィルムを剥離する前の状態を示す図である。
【図４】本発明の第２実施形態によるエレクトロスプレー装置（薄膜形成時）の構成を示す全体図である。
【図５】本発明の第１実施形態の第１変形例によるエレクトロスプレー装置の構成を示す全体図である。
【図６】本発明の第１実施形態の第２変形例によるエレクトロスプレー装置の構成を示す全体図である。
【図７】本発明の第１実施形態の第３変形例によるエレクトロスプレー装置の構成を示す全体図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１７】
（第１実施形態）
図１および図２を参照して、第１実施形態によるエレクトロスプレー装置１００の構成について説明する。なお、図１は、薄膜形成時（薄膜形成前）のエレクトロスプレー装置１００の構成が示されているとともに、図２は、薄膜形成後の絶縁性フィルムの剥離時のエレクトロスプレー装置１００の構成が示されている。
【００１８】
図１に示すように、エレクトロスプレー装置１００は、ノズル１と、アースプレート２と、ロール３および４とを備えている。また、ノズル１とアースプレート２との間には、図示しないマスクが設けられている。また、アースプレート２の表面上（Ｚ１方向側の表面上）には、絶縁性フィルム２００が配置されている。
【００１９】
ノズル１は、溶液材料に電圧を印加した状態で、溶液材料を上方（Ｚ１方向）から下方（Ｚ２方向）に向かって噴霧するように構成されている。そして、ノズル１から噴霧された溶液材料が、絶縁性フィルム２００に薄膜（図示せず）として堆積されるように構成されている。
【００２０】
アースプレート２は、たとえば金属板から構成されており、平板状を有する。アースプレート２は、薄膜の形成時に、絶縁性フィルム２００に接触して絶縁性フィルム２００を支持するとともに接地するように構成されている。なお、アースプレート２は、本発明の「フィルム支持部」の一例である。
【００２１】
ロール３および４は、それぞれ、アースプレート２のＸ１方向側およびＸ２方向側に配置されている。また、ロール３および４は、紙面に垂直なＹ方向に沿って延びるように構成されている。また、ロール３および４は、紙面に垂直なＹ方向に沿った軸を中心に（Ｃ１方向に）回転可能に構成されている。また、ロール３は、Ｚ方向に昇降可能に構成されている。これにより、絶縁性フィルム２００がアースプレート２の表面上方をＸ方向に沿ってスムーズに移動することが可能になる。なお、ロール３は、本発明の「接触抑制部」の一例である。
【００２２】
ここで、第１実施形態では、図２に示すように、エレクトロスプレー装置１００には、薄膜の形成後に絶縁性フィルム２００に対して相対的に移動することにより、絶縁性フィルム２００をアースプレート２から剥離させるための剥離ロール５が設けられている。剥離ロール５は、紙面に垂直なＹ方向に沿って延びるように構成されている。また、剥離ロール５は、紙面に垂直なＹ方向に沿った軸を中心に（Ｃ２方向に）回転可能に構成されている。なお、剥離ロール５は、本発明の「剥離部」の一例である。
【００２３】
そして、剥離ロール５は、薄膜の形成後に絶縁性フィルム２００とアースプレート２との間を、Ｃ２方向に回転しながらＸ２方向に移動するように構成されている。第１実施形態では、剥離ロール５は、剥離ロール５の絶縁性フィルム２００に対する相対的な移動の速度Ｖ１（ｍ／ｓ）と、剥離ロール５の周速度Ｖ２（ｍ／ｓ）とが略同じになるように構成されている。また、剥離ロール５は、剥離ロール５の上方側（Ｚ１方向側）が絶縁性フィルム２００の薄膜が塗布されない非塗布面２００ａ側（下面側、Ｚ２方向側）に接触した状態で、Ｘ２方向に移動するように構成されている。
【００２４】
また、第１実施形態では、剥離ロール５は、金属からなるとともに接地されている。たとえば、剥離ロール５の軸方向（Ｙ方向）端部が接地されている。これにより、絶縁性フィルム２００の非塗布面２００ａ側が、剥離ロール５を介して接地されるように構成されている。
【００２５】
また、第１実施形態では、エレクトロスプレー装置１００には、イオナイザ６および除電ブラシ７が設けられている。イオナイザ６および除電ブラシ７は、絶縁性フィルム２００をアースプレート２から剥離させる際に、絶縁性フィルム２００に生じる静電気を除電するように構成されている。また、イオナイザ６と除電ブラシ７とは、それぞれ、絶縁性フィルム２００の薄膜が塗布される塗布面２００ｂ側（上面側）と、薄膜が塗布されない非塗布面２００ａ側（下面側）とに設けられている。なお、イオナイザ６は、電圧が印加された状態の溶液材料が塗布（エレクトロスプレー塗布）されることによる絶縁性フィルム２００の塗布面２００ｂの帯電を除去し、その結果、塗布面２００ｂの帯電が影響して非塗布面２００ａに静電気が生じることを抑制するように構成されている。また、除電ブラシ７は、絶縁性フィルム２００をアースプレート２から剥離させた際の剥離帯電によって生じる静電気を除去するように構成されている。なお、イオナイザ６と除電ブラシ７は、本発明の「除電部」の一例である。
【００２６】
また、塗布面２００ｂ側に設けられるイオナイザ６は、絶縁性フィルム２００に接触しない状態で絶縁性フィルム２００の除電を行う非接触式である。また、非塗布面２００ａ側に設けられる除電ブラシ７は、絶縁性フィルム２００に接触した状態で絶縁性フィルム２００の除電を行う接触式である。具体的には、イオナイザ６は、雰囲気中の空気をイオン化させ、生成されたイオンにより絶縁性フィルム２００に生じる静電気を中和させるように構成されている。また、除電ブラシ７は、先端に複数の導電性を有する細線７ａが設けられるとともに、接地されている。そして、除電ブラシ７の細線７ａを絶縁性フィルム２００の非塗布面２００ａ側に接触させることにより、絶縁性フィルム２００の非塗布面２００ａ側に生じる静電気が除電されるように構成されている。
【００２７】
また、第１実施形態では、剥離ロール５と、イオナイザ６および除電ブラシ７とは、一体的に移動するように構成されている。また、ロール３は、剥離ロール５、イオナイザ６および除電ブラシ７が、絶縁性フィルム２００に対して相対的に移動する移動方向（Ｘ方向）の、剥離ロール５、イオナイザ６および除電ブラシ７より上流側（Ｘ１方向）に設けられている。そして、ロール３は、剥離ロール５、イオナイザ６および除電ブラシ７の絶縁性フィルム２００に対する相対的な移動に伴って、絶縁性フィルム２００のアースプレート２から剥離した部分２００ｃをアースプレート２から離間させる方向（Ｚ１方向）に移動させるように構成されている。これにより、ロール３は、絶縁性フィルム２００がアースプレート２に再接触するのを抑制するように構成されている。
【００２８】
次に、図１〜図３を参照して、絶縁性フィルム２００の剥離動作について説明する。
【００２９】
まず、図１に示すように、ノズル１から溶液材料が噴霧されることにより、絶縁性フィルム２００の表面上に薄膜が形成される。
【００３０】
次に、図３に示すように、剥離ロール５、イオナイザ６および除電ブラシ７が、ロール３とアースプレート２との間に配置される。
【００３１】
次に、図２に示すように、剥離ロール５がＣ２方向に回転しながらＸ２方向に移動する。また、イオナイザ６および除電ブラシ７も、剥離ロール５と一体的にＸ２方向に移動する。これにより、絶縁性フィルム２００が、Ｘ１方向側から徐々にアースプレート２から剥離される。なお、剥離後の絶縁性フィルム２００の部分２００ｃに生じていた静電気は、イオナイザ６および除電ブラシ７によって除電される。また、剥離ロール５、イオナイザ６および除電ブラシ７の移動に伴って、ロール３が上方（Ｚ１方向）に移動する。これにより、絶縁性フィルム２００がアースプレート２に再接触するのを抑制しながら、絶縁性フィルム２００がアースプレート２から剥離される。
【００３２】
次に、第１実施形態の効果について説明する。
【００３３】
第１実施形態では、上記のように、絶縁性フィルム２００をアースプレート２から剥離させる際に、絶縁性フィルム２００に生じる静電気を除電するイオナイザ６および除電ブラシ７を設ける。これにより、剥離の際に絶縁性フィルム２００に生じる静電気がイオナイザ６および除電ブラシ７により除電されるので、絶縁性フィルム２００に生じる静電気に起因して、絶縁性フィルム２００をアースプレート２から剥離した後に絶縁性フィルム２００がアースプレート２に再び吸着するのを抑制することができる。
【００３４】
また、第１実施形態では、上記のように、イオナイザ６および除電ブラシ７を、それぞれ、絶縁性フィルム２００の薄膜が塗布される塗布面２００ｂ側と、薄膜が塗布されない非塗布面２００ａ側とに設ける。これにより、絶縁性フィルム２００の再吸着の要因となる絶縁性フィルム２００の表面に生じる静電気を効果的に除電することができる。
【００３５】
また、第１実施形態では、上記のように、塗布面２００ｂ側に絶縁性フィルム２００に接触しない状態で絶縁性フィルム２００の除電を行うイオナイザ６を設けるとともに、非塗布面２００ａ側に絶縁性フィルム２００に接触した状態で絶縁性フィルム２００の除電を行う除電ブラシ７を設ける。これにより、薄膜が形成される塗布面２００ｂに除電部が接触することが抑制されるので、薄膜が破損されるのを抑制しながら塗布面２００ｂの除電を行うことができるとともに、非塗布面２００ａ側に接触した状態で絶縁性フィルム２００の除電が行われるので、絶縁性フィルム２００に生じる静電気をより効果的に除電することができる。
【００３６】
また、第１実施形態では、上記のように、回転可能な剥離ロール５を設けて、剥離ロール５の絶縁性フィルム２００に対する相対的な移動の速度Ｖ１と、剥離ロール５の周速度Ｖ２とが略同じになるように構成する。これにより、剥離ロール５の表面と絶縁性フィルム２００の表面とが擦れることが抑制されるので、絶縁性フィルム２００の表面が傷つくことを抑制することができるとともに、剥離ロール５の表面と絶縁性フィルム２００の表面との擦れによる静電気の発生を抑制することができる。
【００３７】
また、第１実施形態では、上記のように、剥離ロール５を、金属から構成するとともに接地する。これにより、イオナイザ６および除電ブラシ７のみならず剥離ロール５によっても絶縁性フィルム２００に生じる静電気を除電することができるので、絶縁性フィルム２００をアースプレート２から剥離した後に絶縁性フィルム２００がアースプレート２に再び吸着するのをより抑制することができる。
【００３８】
また、第１実施形態では、上記のように、剥離ロール５と、イオナイザ６および除電ブラシ７とを、一体的に移動するように構成する。また、剥離ロール５と、イオナイザ６および除電ブラシ７とが絶縁性フィルム２００に対して相対的に移動する移動方向の剥離ロール５、イオナイザ６および除電ブラシ７より上流側に設けられ、剥離ロール５と、イオナイザ６および除電ブラシ７との絶縁性フィルム２００に対する相対的な移動に伴って、絶縁性フィルム２００のアースプレート２から剥離した部分２００ｃをアースプレート２から離間させる方向に移動させることにより絶縁性フィルム２００がアースプレート２に再接触するのを抑制するロール３を設ける。これにより、絶縁性フィルム２００をアースプレート２から剥離した後に絶縁性フィルム２００が撓むことに起因して、絶縁性フィルム２００がアースプレート２に再接触するのがロール３により抑制されるので、絶縁性フィルム２００がアースプレート２に再び吸着するのをさらに抑制することができる。
【００３９】
（第２実施形態）
次に、図４を参照して、第２実施形態によるエレクトロスプレー装置３００の構成について説明する。第２実施形態では、絶縁性フィルム２００が平板状のアースプレート２に支持されていた上記第１実施形態と異なり、絶縁性フィルム４００がロール状のフィルム支持回転体３０２に支持されている。
【００４０】
図４に示すように、エレクトロスプレー装置３００は、複数のノズル３０１と、ロール状のフィルム支持回転体３０２と、剥離ロール３０３と、イオナイザ３０４と、除電ブラシ３０５とを備えている。なお、フィルム支持回転体３０２は、本発明の「フィルム支持部」の一例である。また、剥離ロール３０３は、本発明の「剥離部」の一例である。また、イオナイザ３０４および除電ブラシ３０５は、本発明の「除電部」の一例である。
【００４１】
絶縁性フィルム４００は、フィルム巻出回転体３０６から巻き出されるとともに、フィルム巻取回転体３０７に巻き取られるように構成されている。また、エレクトロスプレー装置３００では、薄膜は、絶縁性フィルム４００が移動した状態で（連続的に）、形成されるように構成されている。
【００４２】
ノズル３０１は、絶縁性フィルム４００の表面に沿うように、複数配置されている。
【００４３】
フィルム支持回転体３０２は、Ｃ３方向に回転可能に構成されているとともに、上方側（Ｚ１方向側）の表面において、絶縁性フィルム４００の下面（非塗布面４００ａ側）を支持するように構成されている。また、フィルム支持回転体３０２は、フィルム巻出回転体３０６から巻き出されるとともにフィルム巻取回転体３０７に巻き取られる絶縁性フィルム４００の移動に伴って、Ｃ３方向に回転可能に構成されている。また、フィルム支持回転体３０２は、接地されている。
【００４４】
剥離ロール３０３は、絶縁性フィルム４００が移動する下流側（巻き取られる側、紙面右側）にフィルム支持回転体３０２に隣接するように配置されている。また、剥離ロール３０３は、フィルム支持回転体３０２と同様に、フィルム巻出回転体３０６から巻き出されるとともにフィルム巻取回転体３０７に巻き取られる絶縁性フィルム４００の移動に伴って、Ｃ４方向に回転可能に構成されている。なお、フィルム支持回転体３０２の周速度Ｖ３（ｍ／ｓ）（絶縁性フィルム４００の移動速度Ｖ３）と、剥離ロール３０３の周速度Ｖ４（ｍ／ｓ）とは、略同一になるように（同期するように）構成されている。
【００４５】
ここで、絶縁性フィルム４００は、薄膜の形成後、フィルム巻取回転体３０７に巻き取られるため、一旦フィルム支持回転体３０２から離間する一方、剥離ロール３０３が設けられない場合には、絶縁性フィルム４００に生じる静電気により再びフィルム支持回転体３０２に吸着する場合がある。また、絶縁性フィルム４００は、薄膜の形成後、フィルム支持回転体３０２から離間せずにフィルム支持回転体３０２に巻き付いてしまう場合がある。そこで、絶縁性フィルム２００が移動する下流側に、絶縁性フィルム４００に対して相対的に移動（回転）する剥離ロール３０３を設けることにより、絶縁性フィルム４００の再吸着およびフィルム支持回転体３０２への巻き付きが抑制される。なお、剥離ロール３０３は、本発明の「剥離部」の一例である。
【００４６】
また、剥離ロール３０３は、金属からなるとともに接地されている。これにより、絶縁性フィルム４００の非塗布面４００ａ側が、剥離ロール３０３を介して接地されるように構成されている。
【００４７】
また、フィルム支持回転体３０２と剥離ロール３０３との間には、イオナイザ３０４と除電ブラシ３０５とが設けられている。イオナイザ３０４と除電ブラシ３０５とは、それぞれ、絶縁性フィルム４００の薄膜が塗布される塗布面４００ｂ側（上面側）と、薄膜が塗布されない非塗布面４００ａ側（下面側）とに設けられている。
【００４８】
次に、第２実施形態の効果について説明する。
【００４９】
第２実施形態では、上記のように、絶縁性フィルム４００をフィルム支持回転体３０２から剥離させる際に、絶縁性フィルム４００に生じる静電気を除電するイオナイザ３０４および除電ブラシ３０５を設ける。これにより、剥離の際に絶縁性フィルム４００に生じる静電気がイオナイザ３０４および除電ブラシ３０５により除電されるので、絶縁性フィルム４００に生じる静電気に起因して、絶縁性フィルム４００をフィルム支持回転体３０２から剥離した後に絶縁性フィルム４００がフィルム支持回転体３０２に再び吸着するのを抑制することができる。
【００５０】
なお、第２実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。
【００５１】
なお、今回開示された実施形態および実施例は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態および実施例の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。
【００５２】
たとえば、上記第１および第２実施形態では、イオナイザと除電ブラシとが絶縁性フィルムの薄膜が塗布される塗布面側と薄膜が塗布されない非塗布面側とに設けられる例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、図５に示す第１変形例によるエレクトロスプレー装置１０１のように、絶縁性フィルム２００の塗布面２００ｂ側にイオナイザ６のみ設けてもよい。また、図６に示す第２変形例によるエレクトロスプレー装置１０２のように、絶縁性フィルム２００の非塗布面２００ａ側に除電ブラシ７のみ設けてもよい。
【００５３】
また、上記第１および第２実施形態では、本発明の非接触式除電部としてイオナイザを用いる例を示したが本発明はこれに限られない。本発明では、イオナイザ以外の非接触式除電部を用いてもよい。
【００５４】
また、上記第１および第２実施形態では、本発明の接触式除電部として除電ブラシを用いる例を示したが本発明はこれに限られない。本発明では、除電ブラシ以外の接触式除電部を用いてもよい。
【００５５】
また、上記第１および第２実施形態では、非塗布面側に除電ブラシ（接触式除電部）を設ける例を示したが本発明はこれに限られない。たとえば、非塗布面側に非接触式除電部を設けてもよい。
【００５６】
また、上記第１実施形態では、イオナイザと除電ブラシとを、剥離ロールよりも絶縁性フィルムが移動する方向の下流側（Ｘ２方向、図２参照）に配置する例を示したが本発明はこれに限られない。たとえば、図７に示す第３変形例によるエレクトロスプレー装置１０３に示すように、イオナイザ６と除電ブラシ７とを、剥離ロール５よりも絶縁性フィルム２００が移動する方向（Ｘ２方向）の上流側（Ｘ１方向）に配置してもよい。
【００５７】
また、上記第１および第２実施形態では、絶縁性フィルムをアースプレート（フィルム支持回転体）から剥離させるために回転可能な剥離ロールを設ける例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、絶縁性フィルムをアースプレート（フィルム支持回転体）から剥離させるために回転しない棒状の部材を設けてもよい。
【００５８】
また、上記第１実施形態では、イオナイザ、除電ブラシおよび剥離ロールが１つずつ（１組）設けられる例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、イオナイザ、除電ブラシおよび剥離ロールを２組設けて、絶縁性フィルムの一方端側（Ｘ１方向側、図２参照）と他方端側（Ｘ２方向側）との両方から剥離するように構成してもよい。
【００５９】
また、上記第１実施形態では、本発明の接触抑制部としてロールを用いる例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明の接触抑制部としてロール以外の部材を設けて、絶縁性フィルムがアースプレートに再接触するのを抑制するように構成してもよい。
【符号の説明】
【００６０】
１  ノズル
２  アースプレート（フィルム支持部）
３  ロール（接触抑制部）
５  剥離ロール（剥離部）
６、３０４  イオナイザ（除電部）
７、３０５  除電ブラシ（除電部）
１００、１０１、１０２、１０３、３００  エレクトロスプレー装置
２００、４００  絶縁性フィルム
２００ａ、４００ａ  非塗布面
２００ｂ、４００ｂ  塗布面
２００ｃ  部分
３０２  フィルム支持回転体（フィルム支持部）
３０３  剥離ロール（剥離部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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