(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
二つの接合対象物（６、７）をアーク溶接するアーク溶接装置（１）において、
前記二つの接合対象物が当接する部位の近傍に設けられ、前記二つの接合対象物が当接する部位との間にアークプラズマ（Ｐ１）を形成する電極（１２）と、
前記電極の径方向外側に設けられ、前記アークプラズマの径方向外側に気体を供給する気体供給孔（２２０、２３０、２４０、２５０）を複数有する気体供給部（２２）と、
前記気体供給部と前記電極との間に設けられ、前記気体供給部が前記アークプラズマの径方向外側に供給する気体を吸引する気体吸引孔（２１０）を有する気体吸引部（２１）と、
前記電極と電気的に接続し、前記二つの接合対象物と異なる極性の電力を前記電極に供給する電力供給部（３０）と、
前記気体供給部が前記アークプラズマの径方向外側に供給する気体を貯留する気体貯留部（４０）と、
を備え、
前記電極を挟むよう設けられる一対の気体供給孔（２２０、２４０）は、前記電極から第一距離（Ｌ１）離れた位置に形成され、
前記一対の気体供給孔とは別に前記電極を挟むよう設けられる一対の気体供給孔（２３０、２５０）は、前記電極から前記第一距離より長い第二距離（Ｌ２）離れた位置に形成され、
前記一対の気体供給孔は、前記アークプラズマの径方向外側に第一圧力の気体を供給し、前記一対の気体供給孔とは別に前記電極を挟むよう設けられる一対の気体供給孔は、前記アークプラズマの径方向外側に前記第一圧力より低い圧力である第二圧力の気体を供給することを特徴とするアーク溶接装置。
【請求項２】
前記一対の気体供給孔及び前記電極の中心軸上の点を通る第一の仮想線（ＶＬ１）と、前記一対の気体供給孔とは別に前記電極を挟むよう設けられる一対の気体供給孔及び前記電極の中心軸上の点を通る第二の仮想線（ＶＬ２）とは前記電極の中心軸上で直角に交差し、
前記アークプラズマは、前記電極の中心軸に垂直な方向の断面形状が前記第二の仮想線の方向に長辺を有する楕円形状であることを特徴とする請求項１に記載のアーク溶接装置。
【請求項３】
前記気体吸引部の径方向内側に前記電極を収容する収容空間（２６０）を有する電極収容部（２６）をさらに備え、
前記収容空間には前記アークプラズマに向かう気体が流れることを特徴とする請求項１または２に記載のアーク溶接装置。
【請求項４】
前記気体供給部及び前記気体吸引部と前記二つの接合対象物とが当接する方向に前記気体供給部及び前記気体吸引部を付勢する付勢手段（２７）をさらに備え、
前記気体供給部が前記アークプラズマの径方向外側に所定圧以上の気体を供給するとき、前記気体供給部の前記二つの接合対象物側の端面（７０１）と前記二つの接合対象物の前記気体供給部側の端面（６７１）との間には隙間（ＳＰ２）が形成されることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載のアーク溶接装置。
【請求項５】
前記一対の気体供給孔は、前記二つの接合対象物に近づくに従って前記電極に近づくよう形成されていることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載のアーク溶接装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、二つの接合対象物をアーク溶接するアーク溶接装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、二つの接合対象物と当該二つの接合対象物が当接する部位の近傍に設けられる電極とにそれぞれ極性が異なる電力を供給し二つの接合対象物と電極との間を流れるアーク電流を利用して二つの接合対象物を溶接するアーク溶接装置が知られている。例えば、特許文献１には、アーク電流によるアークプラズマを形成可能な溶接ガスを二つの接合対象物と電極との間に供給可能な溶接ガス供給孔を有する電極を備え、アークプラズマを安定させるアーク溶接装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−５１５２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
一般に、アーク溶接におけるアークプラズマのエネルギー密度は、１００〜１０００Ｗ／ｍｍ2程度と比較的低い。このため、アーク溶接は、接合対象物における溶融幅が広くかつ溶け込みが浅い低アスペクト比の加工となるため、接合部分のひずみが大きくなりやすく、また、高速での加工が困難である。一方、ひずみを小さくし、かつ、加工速度を速くするためには、エネルギー密度が１００００〜１００００００Ｗ／ｍｍ2程度のレーザ溶接が用いられるが、設備が高価なため加工コストが高くなる問題がある。
【０００５】
本発明は、高速で接合しつつ接合後の接合対象物のひずみを小さくするアーク溶接装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、二つの接合対象物を溶接するアーク溶接装置であって、電極、気体供給部、気体吸引部、電力供給部、及び、気体貯留部を備える。
電極は、二つの接合対象物が当接する部位の近傍に設けられ、二つの接合対象物が当接する部位との間にアークプラズマを形成する。
気体供給部は、電極の径方向外側に設けられ、アークプラズマの径方向外側に気体を供給する気体供給孔を複数有する。
気体吸引部は、複数の気体供給部と電極との間に設けられ、気体供給部が二つの接合対象物が当接する部位と電極との間のアークプラズマの径方向外側に供給する気体を吸引する気体吸引孔を有する。
電力供給部は、電極と電気的に接続し、二つの接合対象物と異なる極性の電力を電極に供給する。
気体貯留部は、気体供給部がアークプラズマの径方向外側に供給する気体を貯留する。
本発明のアーク溶接装置は、電極を挟むよう設けられる一対の気体供給孔が電極から第一距離離れた位置に形成され、一対の気体供給孔とは別に電極を挟むよう設けられる一対の気体供給孔が電極から第一距離より長い第二距離離れた位置に形成されることを特徴とする。また、本発明のアーク溶接装置は、一対の気体供給孔がアークプラズマの径方向外側に第一圧力の気体を供給し、一対の気体供給部とは別に電極を挟むよう設けられる一対の気体供給部がアークプラズマの径方向外側に第一圧力より低い圧力である第二圧力の気体を供給することを特徴とする。
【０００７】
本発明のアーク溶接装置では、気体供給部は、二つの接合対象物が当接する部位と電極との間のアーク電流によるアークプラズマの径方向外側に気体を供給する。当該アークプラズマの径方向外側に供給される気体は、気体供給部と電極との間に設けられる気体吸引部によって径内方向に吸引される。これにより、当該アークプラズマの径方向外側には、径外方向から径内方向に向かう気体の流れが形成される。この気体の流れによってアークプラズマの形状を自由に変更することができる。
【０００８】
さらに、本発明のアーク溶接装置では、電極を挟むよう設けられる一対の気体供給孔は、アークプラズマの径方向外側に第一圧力の気体を供給する。一方、一対の気体供給孔とは別に電極を挟むよう設けられる一対の気体供給孔は、電極から第一距離より長い第二距離離れた位置に形成され、第一圧力より低い圧力である第二圧力の気体を当該アークプラズマの径方向外側に供給する。これにより、アークプラズマは、一対の気体供給孔を結ぶ方向に圧縮されるため、一対の気体供給孔を結ぶ方向においてアークプラズマのエネルギー密度を上げることができ、溶融幅が狭くかつ溶け込みが深い高アスペクト比での溶接を行うことができる。また、アークプラズマは、一対の気体供給孔とは別に電極を挟むよう設けられる一対の気体供給孔を結ぶ方向の長さが一対の気体供給孔を結ぶ方向の長さより長くなるため、このアークプラズマが長くなる方向に沿って二つの接合対象物をアーク溶接すると、比較的広い範囲を短時間で溶接することができる。
【０００９】
このように、本発明のアーク溶接装置は、アークプラズマの径外方向から径内方向に向かう気体の流れによって、比較的広い範囲において溶融幅が狭くかつ溶け込みが深い高アスペクト比での溶接を短時間で行うことができる。これにより、本発明のアーク溶接装置は、高速で接合対象物を接合しつつ接合後の接合対象物のひずみを小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第一実施形態によるアーク溶接装置の模式図である。
【図２】本発明の第一実施形態によるアーク溶接装置が備えるノズルの断面図である。
【図３】本発明の第一実施形態によるアーク溶接装置が備えるノズルの斜視図である。
【図４】図２のＩＶ−ＩＶ線断面図である。
【図５】図２のＶ−Ｖ部拡大図である。
【図６】本発明の第二実施形態によるアーク溶接装置が備えるノズルの断面図である。
【図７】本発明の第二実施形態によるアーク溶接装置が備えるノズルの断面図であって、図６とは異なる断面図である。
【図８】本発明の第三実施形態によるアーク溶接装置が備えるノズルの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の複数の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１２】
（第一実施形態）
本発明の第一実施形態によるアーク溶接装置を図１から図５に基づいて説明する。
第一実施形態によるアーク溶接装置１は、接合対象物６、７をアーク溶接によって接合する装置である。アーク溶接装置１は、図１に示すように、溶接部１０、「電力供給部」としての電源３０、気体貯留部４０、制御部５０などから構成されている。
【００１３】
溶接部１０は、アーク溶接装置１に挿入される接合対象物６、７が当接する部位との間にアーク電流を流し、接合対象物６と接合対象物７とをアーク溶接する。溶接部１０は、電極１２、電位付加部１４、「気体供給部」及び「気体吸引部」としてのノズル２０、電極支持部１６を有している。
【００１４】
電極１２は、図１に示すように、ノズル２０の内部に収容されている。電極１２は、接合対象物６と接合対象物７とが当接する部位の近傍に設けられている。電極１２は、電極支持部１６を介して電源３０と電気的に接続している（図１の接続配線Ｃ１２）。
【００１５】
電位付加部１４は、接合対象物６と接合対象物７とが当接する部位の電極１２とは反対側に設けられている。電位付加部１４は、電源３０と電気的に接続している（図１の接続配線Ｃ１４）。また、電位付加部１４は、接合対象物６、７と電気的に接続している。電位付加部１４は、接合対象物６、７を電極１２の極性とは異なる極性となるよう二つの接合対象物６、７に電力を供給する。これにより、接合対象物６、７と電極１２との間にアーク電流が流れ、アークプラズマＰ１が形成される（図２、３、４、５参照）。
【００１６】
ノズル２０は、電極１２とともに電極支持部１６に支持されている。ノズル２０は、電源３０を介して気体貯留部４０と接続している（図１の接続配管Ｃ２０１、Ｃ２０２）。ノズル２０は、接合対象物６と接合対象物７とが当接する部位と電極１２との間のアークプラズマＰ１の径方向外側に気体を供給しつつ当該気体を吸引する。ノズル２０の詳細な構成は後述する。
【００１７】
電極支持部１６は、接合対象物６と接合対象物７とが当接する部位の近傍に電極１２の一方の端部１２１が位置するよう電極１２及びノズル２０を支持する。
【００１８】
電源３０は、電極１２及び電位付加部１４と電気的に接続している。電源３０は、制御部５０の指令に応じて電極１２の極性と電位付加部１４の極性とを異ならせるよう電力を供給する。
【００１９】
気体貯留部４０は、ノズル２０がアークプラズマＰ１の径方向外側に供給する気体、例えば、ヘリウムやアルゴンなどに水素が混合された気体、を貯留している。気体貯留部４０が貯留する気体は、電源３０及び接続配管Ｃ２０１、Ｃ２０２を通ってノズル２０に供給される。
【００２０】
制御部５０は、入力操作用のボタン、設定条件を表示するディスプレイ、並びに、記憶手段としてのＲＡＭ、及び、ＲＯＭなどを有するマイクロコンピュータなどから構成されている。制御部５０は、電源３０と電気的に接続している。制御部５０は、例えば、あらかじめ入力されているプログラムに基づいてアーク溶接装置１を制御する信号を電源３０に出力する。電源３０では、当該信号に基づいて、電極１２及び電位付加部１４に供給する電力やノズル２０が供給する気体の圧力などを制御する。
【００２１】
次に、ノズル２０の構成について図２〜５に基づいて詳細に説明する。図２は、ノズル２０の中心軸ＣＡ１に垂直な方向のノズル２０の断面図であって、ノズル２０における接合対象物６、７近傍の部位をノズル２０の内部を気体が流れる方向からみた断面図である。図３は、ノズル２０の斜視図であって、ノズル２０の一部分、具体的には、ノズル２０の四分の一に当たる部分の断面図である。図２、３には、アーク溶接装置１において接合対象物６、７が移動する方向を溶接線方向Ｄ１として白抜き矢印で示してある。
【００２２】
ノズル２０は、形状が略直方体状の部材である。ノズル２０は、気体吸引部２１、気体供給部２２などから形成されている。第一実施形態では、気体吸引部２１と気体供給部２２とは、一体に形成されている。
【００２３】
気体吸引部２１は、ノズル２０の略中央に設けられている。気体吸引部２１は、気体吸引孔２１０を有する。気体吸引孔２１０には、電極１２が収容されている。気体吸引孔２１０は、図４、５に示す点線矢印Ｆ２１０のように、アークプラズマＰ１の周辺の気体を吸引する。
【００２４】
気体供給部２２は、気体吸引部２１の径方向外側に気体吸引部２１を囲むよう設けられている。気体供給部２２は、気体供給孔２２０、２３０、２４０、２５０を有している。
【００２５】
気体供給孔２２０、２３０、２４０、２５０のうち、気体供給孔２２０、２４０は、電極１２を挟むよう形成されている。具体的には、図２に示すように、中心軸ＣＡ１を通り溶接線方向Ｄ１の方向に延びる仮想線及び中心軸ＣＡ１を通り溶接線方向Ｄ１とは反対の方向に延びる仮想線を接合対象物６、７の移動軸Ａ６７とし、電極１２の中心軸と同軸である中心軸ＣＡ１上の点を通り気体供給孔２２０と気体供給孔２４０とを結ぶ仮想線を第一の仮想線ＶＬ１とすると、移動軸Ａ６７と第一の仮想線ＶＬ１とは中心軸ＣＡ１上で垂直に交差するよう気体供給孔２２０、２４０は形成されている。また、気体供給孔２２０、２４０は、それぞれ中心軸ＣＡ１上の点までの距離が同じ距離であって、当該距離はいずれも第一距離Ｌ１となるよう形成されている。
気体供給孔２２０、２４０は、図４に示すように、中心軸ＣＡ１に平行に形成されている第一気体供給孔２２１、２４１と接合対象物６、７に近づくに従って電極１２に近づくよう形成される第二気体供給孔２２２、２４２から構成されている。気体供給孔２２０、２４０は、図４に示す点線矢印Ｆ２２０、Ｆ２４０のように、アークプラズマＰ１の径方向外側に第一圧力の気体を供給する。気体供給孔２２０、２４０は、特許請求の範囲に記載の「一対の気体供給孔」に相当する。
【００２６】
気体供給孔２３０、２５０は、電極１２を挟むよう形成されている。具体的には、図２に示すように、中心軸ＣＡ１上の点を通り気体供給孔２３０と気体供給孔２５０とを結ぶ仮想線を第二の仮想線ＶＬ２とすると、移動軸Ａ６７と第二の仮想線ＶＬ２とは同じ直線となるよう気体供給孔２３０、２５０は形成されている。また、気体供給孔２３０、２５０は、それぞれ中心軸ＣＡ１上の点までの距離が同じ距離であって、当該距離はいずれも第一距離Ｌ１より長い第二距離Ｌ２となるよう形成されている。気体供給孔２３０、２５０は、図５に示す点線矢印Ｆ２３０、Ｆ２５０のように、アークプラズマＰ１の径方向外側に第一圧力より低い第二圧力の気体を供給する。気体供給孔２３０、２５０は、特許請求の範囲に記載の「一対の気体供給孔とは別に電極を挟むよう設けられる一対の気体供給孔」に相当する。
【００２７】
ノズル２０では、気体供給部２２がアークプラズマＰ１の径方向外側に供給する気体を気体吸引部２１が吸引する。これにより、図４に示す点線矢印Ｆ２２、Ｆ２４、及び、図５に示す点線矢印Ｆ２３、Ｆ２５のように、アークプラズマＰ１の径外方向から径内方向に向かう気体の流れを形成する。アークプラズマＰ１の径方向外側における気体の流れによってアークプラズマＰ１の中心軸ＣＡ１に垂直な方向の断面形状は、図２に示すように、第二の仮想線ＶＬ２上に長辺を有する楕円形状となる。
【００２８】
第一実施形態によるアーク溶接装置１では、接合対象物６と接合対象物７とを溶接するとき、電極１２と接合対象物６、７との間を流れるアーク電流によってアークプラズマＰ１が形成される。このアークプラズマＰ１の径方向外側では、気体供給部２２と気体吸引部２１とによって点線矢印Ｆ２２、Ｆ２３、Ｆ２４、Ｆ２５で示すようなアークプラズマＰ１の径外方向から径内方向に向かう気体の流れが形成されている。第一実施形態では、この気体の流れによってアークプラズマＰ１の形状を自由に変更することができる。
【００２９】
さらに、アーク溶接装置１では、気体供給孔２２０、２４０は、気体供給孔２３０、２５０に比べ電極１２の近くに形成されている。また、気体供給孔２２０、２４０は、気体供給孔２３０、２５０が供給する第二圧力の気体より高い第一圧力の気体をアークプラズマＰ１の径方向外側に供給する。これにより、図４に示すように、アークプラズマは、気体供給孔２２０と気体供給孔２４０とを結ぶ方向に圧縮されるため、気体供給孔２２０と気体供給孔２４０とを結ぶ方向におけるアークプラズマＰ１のエネルギー密度を上げることができる。したがって、アーク溶接装置１では、図４に示すように、接合対象物６、７が当接する部位に形成される溶融部６７の幅が比較的狭く、かつ、溶融部６７の溶け込みが比較的深い溶接を行うことができる。
また、図５に示すように、アークプラズマＰ１の形状は、気体供給孔２３０と気体供給孔２５０とを結ぶ方向の長さが気体供給孔２２０と気体供給孔２４０とを結ぶ方向の長さより長くなるため、気体供給孔２３０と気体供給孔２５０とを結ぶ方向と移動軸Ａ６７の方向とを同じにすると、比較的広い範囲を短時間で溶接することができる。
このように、第一実施形態によるアーク溶接装置１は、アークプラズマＰ１の径外方向から径内方向に向かって流れる気体によって、比較的広い範囲において溶融幅が狭くかつ溶け込みが深い高アスペクト比での溶接を短時間で行うことができる。これにより、高速で接合対象物６、７を接合しつつ接合後の接合対象物６、７の溶融部６７におけるひずみを小さくすることができる。
【００３０】
また、アーク溶接装置１では、高アスペクト比かつ高速で接合対象物６、７を接合することができるため、高価な設備を使用するレーザ溶接に比べ、加工コストを低減することができる。
【００３１】
また、アーク溶接装置１では、図４に示すように、第二気体供給孔２２２、２４２は、接合対象物６、７に近づくに従って電極１２に近づくよう形成されている。これにより、気体供給孔２２０、２４０を流れる気体は、アークプラズマＰ１の径内方向に向かって流れるため、アークプラズマＰ１の形状は気体供給孔２２０と気体供給孔２４０とを結ぶ方向にさらに短くなり、アークプラズマのエネルギー密度をさらに上げることができる。したがって、溶融部６７の幅をさらに狭くし、かつ、溶融部６７の溶け込みをさらに深くすることができる。
【００３２】
（第二実施形態）
次に、本発明の第二実施形態によるアーク溶接装置を図６、７に基づいて説明する。第二実施形態は、気体吸引部と電極との間に電極収容部を備える点が第一実施形態と異なる。なお、第一実施形態と実質的に同一の部位には同一の符号を付し、説明を省略する。
【００３３】
第二実施形態によるアーク溶接装置が備えるノズル６０の断面図を図６、７に示す。ノズル６０は、気体吸引部２１、気体供給部２２に加えて電極収容部２６を有する。
【００３４】
電極収容部２６は、気体吸引孔２１０に収容されている略筒状の部材である。電極収容部２６は、ノズル２０の中心軸ＣＡ１方向に電極収容部２６を貫通する収容空間２６０を有する。収容空間２６０には、電極１２が収容されている。また、収容空間２６０には、図６、７の点線矢印Ｆ２６０に示すように、アークプラズマＰ１に向かって、例えば、ヘリウムやアルゴンなどの不活性の気体が流れている。収容空間２６０からアークプラズマＰ１の近傍に流れ出た気体は、図６、７の実線矢印Ｆ２６に示すように、気体吸引孔２１０に吸引される。
【００３５】
第二実施形態によるアーク溶接装置では、収容空間２６０をアークプラズマＰ１に向かって流れる気体によって電極１２の一方の端部１２１の近傍に形成されるアークプラズマＰ１が接合対象物６、７に押し付けられる。これにより、アークプラズマのエネルギー密度をさらに上げることができる。したがって、第二実施形態は、第一実施形態と同じ効果を奏するとともに、溶融部６７の幅をさらに狭くし、かつ、溶融部６７の溶け込みをさらに深くすることができる。
【００３６】
また、第二実施形態によるアーク溶接装置では、アークプラズマＰ１に向かって流れる気体によってアークプラズマＰ１が電極１２の一方の端部１２１から比較的離れた位置に形成されるため、アークプラズマＰ１による電極１２の酸化を防止することができる。
【００３７】
（第三実施形態）
次に、本発明の第三実施形態によるアーク溶接装置を図８に基づいて説明する。第三実施形態は、ノズルを付勢する付勢手段を備える点が第一実施形態と異なる。なお、第一実施形態と実質的に同一の部位には同一の符号を付し、説明を省略する。
【００３８】
第三実施形態によるアーク溶接装置では、ノズル７０は、「付勢手段」としてのスプリング２７を有している。
スプリング２７は、気体吸引部２１及び気体供給部２２と接合対象物６、７とが当接する方向に気体吸引部２１及び気体供給部２２を付勢する。
【００３９】
第三実施形態によるアーク溶接装置では、気体供給部２２が所定圧以上の気体を供給すると、気体吸引部２１及び気体供給部２２の接合対象物６、７側の端面７０１と接合対象物６、７のノズル２０側の端面６７１との間に隙間ＳＰ２が形成される。隙間ＳＰ２に供給される気体の圧力がスプリング２７の付勢力より大きく、かつ、一定であると、端面７０１と端面６７１との距離を一定に保つことができるため、接合対象物６、７の表面の形状に影響されることなく、隙間ＳＰ２を流れる気体の流れを一定に保つことができる。これにより、径方向外側における気体の流れによって形状が変更可能なアークプラズマの形状を安定させることができる。したがって、第三実施形態は、第一実施形態と同じ効果を奏するとともに、高いアスペクト比を安定させることができる。
【００４０】
（他の実施形態）
（ア）上述の実施形態では、気体供給孔は四つ設けられるとした。しかしながら、気体供給孔の数はこれに限定されない。
【００４１】
（イ）上述の実施形態では、一対の気体供給孔を結ぶ仮想線と当該一対の気体供給孔とは別の１つの気体供給孔を結ぶ仮想線とは、ノズルの中心軸上で垂直に交差するとした。しかしながら、気体供給孔が形成される位置はこれに限定されない。一対の気体供給孔を結ぶ仮想線と当該一対の気体供給孔とは別の１つの気体供給孔を結ぶ仮想線とは重なってなければよい。
【００４２】
（ウ）上述の実施形態では、気体吸引部と気体供給部とは一体に形成されるとした。気体吸引部と気体供給部とは別々に形成されてもよい。
【００４３】
（エ）気体供給部が供給する気体は、電源を介して気体貯留部が供給するとした。しかしながら、気体貯留部は、電源を介することなく気体供給部に気体を供給してもよい。
【００４４】
（オ）上述の実施形態では、電極支持部に支持されている電極と電位付加部との間に接合対象物を挿入し、アーク溶接を行うこととした。しかしながら、固定されている接合対象物に対して電極及び電位付加部を移動し、アーク溶接をおこなってもよい。
【００４５】
（カ）上述の実施形態では、電位付加部によって接合対象物の極性を電極の極性と異ならせるようにした。しかしながら、電位付加部はなくてもよい。電極に供給する電力の極性を接合対象物の極性と異なるようにしてもよい。
【００４６】
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の形態で実施可能である。
【符号の説明】
【００４７】
１      ・・・アーク溶接装置、
６、７  ・・・接合対象物、
１２    ・・・電極、
２１    ・・・気体吸引部、
２１０  ・・・気体吸引孔、
２２    ・・・気体供給部、
２２０、２３０、２４０、２５０・・・気体供給孔、
３０    ・・・電源（電力供給部）、
４０    ・・・気体貯留部。
【図１】
0006344203.tif 000002
【図２】
0006344203.tif 000003
【図３】
0006344203.tif 000004
【図４】
0006344203.tif 000005
【図５】
0006344203.tif 000006
【図６】
0006344203.tif 000007
【図７】
0006344203.tif 000008
【図８】
0006344203.tif 000009