(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
軌道に沿って走行可能な本体部と、前記本体部に対し複数の吊持部材によって昇降可能に設けられた、物品を把持可能な把持部と、を備えた天井搬送車であって、
前記吊持部材と前記把持部との間に配置される防振部を備え、
前記防振部は、
前記本体部の走行方向、又は、前記走行方向と前記把持部の昇降方向との両方に直交する幅方向において、第一荷重が作用する側に配置される第一防振部と、
前記走行方向、又は、前記幅方向において、前記第一荷重よりも大きな第二荷重が作用する側に配置され、前記第一防振部よりも大きな反発力を有する第二防振部と、
を有し、
前記第一防振部及び前記第二防振部は、一又は複数のバネ部材により形成されるバネ部を有し、
前記物品は、被収容物を収容する容器、又は、前記被収容物が収容された前記容器であり、
前記第一防振部における前記バネ部と、前記第二防振部における前記バネ部とは、互いにバネ定数が等しく、
前記容器を把持しない状態において、前記バネ部を形成する一又は複数のバネ部材は、前記把持部に把持された空の状態の前記容器の重心位置と前記把持部の重心位置との間にずれがあることにより生じる、前記容器を持ち上げた際の前記把持部の傾きを解消するように与圧されている、天井搬送車。
【請求項２】
前記把持部は、前記本体部に対して四本の前記吊持部材によって吊り下げられており、
前記四本のうち二本の前記吊持部材は、前記把持部に対して揺動可能に固定された一の揺動部に接続されている、請求項１記載の天井搬送車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、天井搬送車に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の天井搬送車として、例えば、特許文献１に記載された搬送車が知られている。特許文献１に記載の天井搬送車は、天井近くに設けられた軌道に沿って走行する走行車本体と、走行車本体から複数のベルト（吊持部材）によって吊り下げられ、物品を把持可能な昇降台と、を備え、上記昇降台は、ベルト下端を固着する部材と、当該部材を下方に付勢する部材とからなる。この構成の天井搬送車では、複数のベルト間の取り付け位置の誤差、又はベルトの伸び等を原因とする昇降台の傾きを防止することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】実開平３−２８０７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年、搬送する物品が多様化していることから、物品に伝わる振動を低減すると共に、重心が偏っているような物品を吊り下げた際の物品の傾きを小さくすることが求められている。
【０００５】
そこで、本発明の目的は、物品に伝わる振動を低減しつつ、物品を吊り下げた際の物品の傾きを抑制することができる天井搬送車を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の天井搬送車は、軌道に沿って走行可能な本体部と、本体部に対し複数の吊持部材によって昇降可能に設けられた、物品を把持可能な把持部と、を備えた天井搬送車であって、吊持部材と把持部との間に配置される防振部を備え、防振部は、本体部の走行方向、又は、走行方向と把持部の昇降方向との両方に直交する幅方向において、第一荷重が作用する側に配置される第一防振部と、走行方向、又は、幅方向において、第一荷重よりも大きな第二荷重が作用する側に配置され、第一防振部よりも大きな反発力を有する第二防振部と、を有する。
【０００７】
この構成の天井搬送車は、吊持部材と把持部との間に防振部が配置されるので、把持部から物品に伝わる振動を低減することが可能になる。また、物品からの荷重が相対的に大きく作用する側に配置される第二防振部の反発力は、物品からの荷重が相対的に小さく作用する側に配置される第一防振部の反発力に比べて大きい。したがって、物品が把持部に作用させる荷重に偏りがある場合であっても、上記反発力の差によって当該偏りを吸収することができるので、物品を吊り下げた際の物品の傾きを抑制することができる。
【０００８】
本発明の天井搬送車における第一防振部及び第二防振部は、一又は複数のバネ部材により形成されるバネ部を有していてもよい。
【０００９】
この構成の天井搬送車によれば、荷重に対する反発力又は伸びが線形的な特性を示すバネ部材が用いられるので、第一防振部及び第二防振部としての調整が容易となる。
【００１０】
本発明の天井搬送車では、物品は、被収容物を収容する容器、又は、被収容物が収容された容器であり、第一防振部におけるバネ部と、第二防振部におけるバネ部とは、互いにバネ定数が等しく、バネ部を形成する一又は複数のバネ部材は、把持部に把持された空の状態の容器の重心位置と把持部の重心位置との間にずれがあることにより生じる、容器を持ち上げた際の把持部の傾きを解消するように与圧されていてもよい。
【００１１】
この構成の天井搬送車によれば、バネ部を形成する一又は複数のバネ部材は、把持部に把持される空の状態（被収容物が収容されていない状態）の容器の重心位置と把持部の重心位置との間にずれがあることにより生じる、容器を持ち上げた際の把持部の傾きを解消するように与圧されているので、把持部の重心位置に対して偏りのある荷重を作用させるような容器を持ち上げる際の容器の傾きを抑制すると共に、容器に伝わる振動を低減することができる。更に、第一防振部及び第二防振部は互いにバネ定数が等しいバネ部により形成されているので、把持部の重心位置にずれがない位置に収容されていく被収容物の荷重による圧縮量は互いに等しくなる。これにより、被収容物が収容された容器を把持する場合であっても、容器に伝わる振動を低減しつつ、上記容器を持ち上げる際の容器の傾きを抑制することができる。
【００１２】
本発明の天井搬送車の把持部は、本体部に対して四本の吊持部材によって吊り下げられており、上記四本のうち二本の吊持部材は、把持部に対して揺動可能に固定された一の揺動部に接続されていてもよい。
【００１３】
この構成の天井搬送車によれば、把持部は、四本の吊持部材によって吊り下げられつつも、揺動部に接続されていない二本の吊持部材と把持部との二箇所の接続部分、及び、上記把持部において揺動可能に固定された一箇所の揺動部分の三箇所で吊り下げられたような状態となっている。これにより、三本の吊持部材によって吊り下げられている場合と同様の効果が得られ、把持部をより安定した状態で吊り下げることができる。更に、一本の吊持部材が何らかの原因で切断されてしまった場合も、吊持状態を維持することができ、実際に三本の吊持部材で吊り下げられる場合に比べ安全性を高めることができる。
【発明の効果】
【００１４】
物品に伝わる振動を低減しつつ、物品を吊り下げた際の物品の傾きを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】一実施形態に係る天井搬送車を示す正面図である。
【図２】物品の一形態であるＦＯＵＰの構成を示した断面図である。
【図３】図１の搬送装置を前方向から見た側面図である。
【図４】第二接続機構の概略構成を示した正面図である。
【図５】第一接続機構の概略構成を示した正面図である。
【図６】（Ａ）は空の状態のＦＯＵＰが持ち上げられたときの荷重の状態を示す図であり、（Ｂ）は半導体ウェハ又はレチクル等が収容された状態のＦＯＵＰが持ち上げられたときの荷重の状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照して、本発明の好適な一実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。図面の寸法比率は、説明のものと必ずしも一致していない。
【００１７】
図１に示される天井搬送車１は、クリーンルームの天井など、床面より高い位置に設けられる走行レール２に沿って走行する。天井搬送車１は、例えば保管設備と所定のロードポートとの間で物品であるＦＯＵＰ（Front-Opening  Unified  Pod）９０を搬送する。ＦＯＵＰ９０には、例えば、複数枚の半導体ウェハ又はレチクル等（被収容物）が収容される。ＦＯＵＰ９０は、天井搬送車１に保持されるフランジ９５を有している。以下の説明では、説明の便宜のため、図１における左右方向（Ｘ軸方向）を天井搬送車１の前後方向とする。図１における上下方向を天井搬送車１の上下方向（Ｚ軸方向）とする。図１における奥行方向を天井搬送車１の左右方向（幅方向）（Ｙ軸方向）とする。Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸は互いに直交する。
【００１８】
まず、天井搬送車１によって搬送が行われるＦＯＵＰ９０について説明する。図２に示されるように、ＦＯＵＰ９０は、開口部９１Ａが前面側に形成された容器本体９１と、容器本体９１の開口部９１Ａに装着される蓋体９４と、を備えている。容器本体９１の上面９２の略中央部には、ＦＯＵＰ９０を持ち上げるためのフランジ９５が上方に突出するように設けられている。容器本体９１の内側には図示しない複数の半導体ウェハ保持手段が設けられており、ＦＯＵＰ９０内に複数枚の半導体ウェハを収容できるようになっている。また、開口部９１Ａに蓋体９４が装着されることで、ＦＯＵＰ９０内が気密に保持されるようになっている。
【００１９】
本実施形態におけるＦＯＵＰ９０では、蓋体９４は、図示しないロック機構等の部品が固定されているため、質量が比較的大きい。そのため、容器本体９１に蓋体９４が装着されている状態では、図２に示されるように、ＦＯＵＰ９０の左右方向における重心位置Ｇ１は、左右方向においてフランジ９５の中心位置Ｃと比べて左側（蓋体９４側）にずれている。一方、半導体ウェハは、その重心位置がＦＯＵＰ９０のフランジ９５の中心位置Ｃにほぼ一致するように、ＦＯＵＰ９０に収容される。したがって、このようなＦＯＵＰ９０の重心位置の偏りは、ＦＯＵＰ９０内に半導体ウェハが全く収納されていない空の状態で最も大きく、ＦＯＵＰ９０に収容される半導体ウェハの数が増えるほど、当該質量に占める蓋体９４の質量の割合が小さくなるため、半導体ウェハを含むＦＯＵＰ９０全体の重心位置は、フランジ９５の中心位置Ｃに近づいていく。
【００２０】
次に、このようなＦＯＵＰ９０を搬送する天井搬送車１について説明する。図１に示されるように、天井搬送車１は、走行駆動部３と、水平駆動部（本体部）５と、回転駆動部（本体部）６と、昇降駆動部（本体部）７と、昇降装置（把持部）１０と、保持装置（把持部）１１と、を有している。天井搬送車１には、水平駆動部５、回転駆動部６、昇降駆動部７、昇降装置１０及び保持装置１１を覆うように前後方向に一対のカバー８，８が設けられている。一対のカバー８，８は、昇降装置１０が上昇端まで上昇した状態において保持装置１１の下方に、ＦＯＵＰ９０が収容される空間Ｓを形成している。落下防止機構８Ａは、昇降装置１０が上昇端まで上昇した状態において保持装置１１に保持されたＦＯＵＰ９０の落下を防止する。また、揺れ抑制機構８Ｂは、保持装置１１に保持されたＦＯＵＰ９０の天井搬送車１の前後方向（走行方向）及び左右方向の揺れを抑制する。
【００２１】
走行駆動部３は、天井搬送車１を走行レール２に沿って移動させる。走行駆動部３は、走行レール２内に配置されている。走行駆動部３は、走行レール２を走行するローラ（図示しない）を駆動させる。走行駆動部３の下部には、軸３ａを介して水平駆動部５が接続されている。水平駆動部５は、回転駆動部６、昇降駆動部７及び昇降装置１０を水平面内で走行レール２の延在方向に直交する方向（左右方向）に移動させる。回転駆動部６は、水平面内で昇降駆動部７及び昇降装置１０を回転させる。昇降駆動部７は、四本のベルト（吊持部材）の巻き上げ及び繰り出しにより昇降装置１０を昇降させる。なお、昇降駆動部７におけるベルトは、ワイヤ及びロープなど、適宜の吊持部材を用いてもよい。
【００２２】
本実施形態における昇降装置１０は、昇降駆動部７によって昇降可能に設けられており、天井搬送車１における昇降台として機能している。昇降装置１０は、ベース部材１０Ａと、ケース部材１０Ｂと、を有している。保持装置１１は、ＦＯＵＰ９０を保持する。保持装置１１は、Ｌ字状である一対のアーム１２，１２と、各アーム１２，１２に固定されたハンド１３，１３と、一対のアーム１２，１２を開閉させる開閉機構１５と、を備えている。
【００２３】
一対のアーム１２，１２は、開閉機構１５に接続されている。開閉機構１５は、一対のアーム１２，１２を、互いに近接する方向及び互いに離間する方向に移動させる。開閉機構１５の動作により、一対のアーム１２，１２は、前後方向に進退する。これにより、アーム１２，１２に固定された一対のハンド１３，１３が開閉する。本実施形態では、一対のハンド１３，１３が開状態のときに、ハンド１３の保持面がフランジ９５の下面の高さより下方となるように、保持装置１１（昇降装置１０）の高さ位置が調整される。そして、この状態で一対のハンド１３，１３が閉状態となることで、ハンド１３，１３の保持面がフランジ９５の下面の下方へ進出し、この状態で昇降装置１０を上昇させることにより、一対のハンド１３，１３によってフランジ９５が保持（把持）され、ＦＯＵＰ９０の支持が行われる。
【００２４】
図３及び図４に示されるように、第一接続機構（第一防振部）５０及び第二接続機構（第二防振部）４０は、ベルト９と保持装置１１とを接続する機構である。本実施形態では、第一接続機構５０及び第二接続機構４０は、ベルト９と保持装置１１が配置されたベース部材１０Ａとの間に配置されている。言い換えれば、ベルト９は、第一接続機構５０又は第二接続機構４０を介して保持装置１１が配置されたベース部材１０Ａに接続されている。
【００２５】
図３に示されるように、第一接続機構５０は、左右方向において昇降装置１０の右側に設けられている。また、第一接続機構５０は、図４に示されるように前後方向において二箇所に配置されている。第一接続機構５０は、接続部材５１と、揺動部材５３と、第一本体部材５４と、第二本体部材５６と、第一軸部５７，５７と、第一バネ部材（防振部・バネ部材）５８，５８と、を有している。
【００２６】
接続部材５１は、ベルト９に接続される部材である。揺動部材５３は、前後方向に延びると共に、接続部材５１に接続される部材である。揺動部材５３とは、第一ピン部材５２を介して回動可能に接続される。第一本体部材５４は、上端が開口する略Ｕ字状の部材であり、その底部は、水平方向（前後左右方向）に平坦となるように形成されている。第一本体部材５４は、その上端が揺動部材５３の両端にボルト５５によって接続されている。第二本体部材５６は、前後方向における揺動部材５３及び第一本体部材５４の略中心部同士を接続する部材である。
【００２７】
一対の第一軸部５７，５７は、第一本体部材５４から上方に延びる棒状の部材であり、第二本体部材５６を挟むように配置されている。一対の第一バネ部材５８，５８は、所定のバネ定数を有する圧縮コイルバネであり、一対の第一軸部５７，５７にそれぞれ挿通されている。一対の第一バネ部材５８，５８の上端には、ベース部材１０Ａが接触された状態で配置されている。すなわち、ベース部材１０Ａとベルト９との間には、第一接続機構５０の四個の第一バネ部材５８が配置されている。第一バネ部材５８は、ベース部材１０ＡをＦＯＵＰ９０の把持方向（鉛直方向下方）とは反対側の上方へ押圧する。なお、所定のバネ定数については、後段にて詳述する。
【００２８】
第二接続機構４０は、図３に示されるように、左右方向において昇降装置１０の左側に設けられている。第二接続機構４０は、図５に示されるように、前後方向において中央部近傍に配置されている。第二接続機構４０は、接続部材４１，４１と、揺動部材（揺動部）４３と、第三本体部材４５と、第四本体部材４６と、第二軸部４７，４７と、第二バネ部材（防振部・バネ部材）４８，４８と、を有している。
【００２９】
接続部材４１，４１は、ベルト９，９に接続される部材である。揺動部材４３は、一対の接続部材４１，４１と、第三本体部材４５とを接続する部材である。一対の接続部材４１，４１と揺動部材４３とは、回動可能に接続され、一対の第三ピン部材４２，４２を介して接続される。揺動部材４３と第三本体部材４５とは、第四ピン部材４４を介して接続されている。第四本体部材４６は、第三本体部材４５の下端に接続されており、水平方向（前後左右方向）に延びる板材である。
【００３０】
一対の第二軸部４７，４７は、第四本体部材４６から上方に延びる棒状の部材であり、第三本体部材４５を挟むように配置されている。一対の第二バネ部材４８，４８は、一対の第一バネ部材５８，５８と同じバネ定数である所定のバネ定数を有する圧縮コイルバネであり、一対の第二軸部４７，４７にそれぞれ挿通されている。一対の第二軸部４７，４７の上端には、ベース部材１０Ａが接触された状態で配置されている。すなわち、ベース部材１０Ａとベルト９との間には、第二接続機構４０の二個の第二バネ部材４８が配置されている。第二バネ部材４８は、ベース部材１０ＡをＦＯＵＰ９０の把持方向（鉛直方向下方）とは反対側の上方へ押圧する。なお、所定のバネ定数については、後段にて詳述する。
【００３１】
天井搬送車１は、図１及び図３に示されるように、ＦＯＵＰ９０の蓋体９４を走行方向と直交する左右方向の一つである左方向に向けた状態で搬送する。このとき、図６（Ａ）に示されるように、ハンド１３，１３に把持された状態のＦＯＵＰ９０の重心位置Ｇ１と、昇降装置１０の重心位置Ｇ２（四本のベルト９における昇降装置１０の四箇所の接続部の重心位置）との間には「ずれ」がある。このような状態に起因して、ハンド１３，１３がＦＯＵＰ９０を把持して持ち上げた際に昇降装置１０が受ける荷重Ｆは、昇降装置１０の左右方向における左側と右側とで異なる。具体的には、左右方向（走行方向と把持部の昇降方向との両方に直交する幅方向）において左側（第二荷重が作用する側）が受ける荷重（第二荷重）は、右側（第一荷重が作用する側）が受ける荷重（第一荷重）よりも大きくなる。したがって、通常であれば、ハンド１３，１３がＦＯＵＰ９０を把持して持ち上げた場合、ベルト９によって吊り下げられる昇降装置１０は、左右方向において傾いてしまう。
【００３２】
そこで、本実施形態の天井搬送車１では、左右方向左側に配置される第二接続機構４０の反発力Ｆ１１が、左右方向右側に配置される第一接続機構５０の反発力Ｆ１２よりも大きくなるように調整されている。具体的には、ＦＯＵＰ９０を把持しない状態において、第二バネ部材４８によって生成される第二接続機構４０としての反発力が、第一バネ部材５８によって生成される第一接続機構５０としての反発力よりも大きくなるようにしている。すなわち、当該反発力の差によって、上述した荷重差を吸収するようにしている。
【００３３】
上記反発力は、第一バネ部材５８及び第二バネ部材４８のバネ自身が有する材料等の特性だけでなく、第一バネ部材５８及び第二バネ部材４８に作用させられる与圧によって調整することができる。本実施形態では、第一接続機構５０全体としてのバネ定数と、第二接続機構４０全体としてのバネ定数とが互いに等しくなるように、第一バネ部材５８及び第二バネ部材４８の特性がそれぞれ選択されると共に、第一バネ部材５８及び第二バネ部材４８の少なくとも一方には、ハンド１３，１３に把持された状態のＦＯＵＰ９０の重心位置Ｇ１と、昇降装置１０の重心位置Ｇ２との間にずれがあることにより生じるＦＯＵＰ９０の傾きを解消するように与圧（圧縮）されている。
【００３４】
本実施形態では、第一バネ部材５８及び第二バネ部材４８は、ハンド１３，１３に把持されたＦＯＵＰ９０の重心位置Ｇ１と、昇降装置１０における重心位置Ｇ２との間にずれがあることにより生じるＦＯＵＰ９０の傾きを解消するように与圧されている。具体的には、空の状態のＦＯＵＰ９０を持ち上げた際に生じる昇降装置１０の傾きが水平状態となるように（ＦＯＵＰ９０の底面の傾きが解消するように）第一バネ部材５８及び第二バネ部材４８が与圧されている。このような状態に第一バネ部材５８及び第二バネ部材４８が与圧されることにより、ハンド１３，１３が空のＦＯＵＰ９０を持ち上げた際に、昇降装置１０が傾くことを防止している。
【００３５】
一方、半導体ウェハは、昇降装置１０における重心位置Ｇ２と大きなずれが無い位置にＦＯＵＰ９０に収容されていく。すなわち、ＦＯＵＰ９０に収容される一枚以上の半導体ウェハの重心位置Ｇ３と昇降装置１０における重心位置Ｇ２との間には、ずれがほとんどない。したがって、図６（Ｂ）に示されるように、ＦＯＵＰ９０に収容される半導体ウェハによる荷重Ｆ２は、収容される枚数に殆ど関係なく、第一バネ部材５８及び第二バネ部材４８に対して均等に作用する。上述したとおり、本実施形態では、第一接続機構５０全体としてのバネ定数と、第二接続機構４０全体としてのバネ定数とが互いに等しくなるように、第一バネ部材５８及び第二バネ部材４８の特性がそれぞれ選択されているので、ＦＯＵＰ９０を持ち上げた状態においては、同じ大きさの反発力Ｆ２１，Ｆ２２が付与される。すなわち、第一バネ部材５８及び第二バネ部材４８は、均等に圧縮（圧縮量ｄ）される。したがって、半導体ウェハが収容されたＦＯＵＰ９０を吊り下げた際も、昇降装置１０が傾くことは無く、水平状態が維持される。
【００３６】
上記実施形態の天井搬送車１は、ベルト９と昇降装置１０との間に防振部としての第一接続機構５０及び第二接続機構４０が配置されるので、ベルト９からＦＯＵＰ９０に伝わる振動を低減することが可能になる。また、ＦＯＵＰ９０からの荷重が相対的に大きく作用する側に配置される第二接続機構４０の反発力は、ＦＯＵＰ９０からの荷重が相対的に小さく作用する側に配置される第一接続機構５０の反発力に比べて大きい。したがって、ＦＯＵＰ９０が昇降装置１０に作用させる荷重に偏りがある場合であっても、上記反発力の差によって当該偏りを吸収することができるので、ＦＯＵＰ９０を吊り下げた際の傾きを抑制することができる。
【００３７】
上記実施形態の天井搬送車１における第一接続機構５０及び第二接続機構４０は、一又は複数のバネ部材（第一バネ部材５８及び第二バネ部材４８）により形成される。バネ部材は、荷重に対する反発力や伸びが線形的な特性を示すので、左右方向における荷重の偏りを解消するために用いられる第一バネ部材５８及び第二バネ部材４８の与圧の調整及び／又は特性の選択等が容易となる。
【００３８】
上記実施形態の天井搬送車１では、一又は複数の第一バネ部材５８又は第二バネ部材４８は、昇降装置１０に持ち上げられる空の状態のＦＯＵＰ９０の重心位置Ｇ１と昇降装置１０の重心位置Ｇ２との間にずれがあることにより生じる、ＦＯＵＰ９０を持ち上げた際の昇降装置１０の傾きを解消するように与圧されている。このため、昇降装置１０の重心位置Ｇ２に対して偏りのある荷重を作用させるようなＦＯＵＰ９０を持ち上げる際のＦＯＵＰ９０の傾きを抑制することができる。更に、第一接続機構５０としてのバネ定数及び第二接続機構４０としてのバネ定数が互いに等しくなるように形成されている。このため、半導体ウェハが収容されたＦＯＵＰ９０を把持する場合であっても、ＦＯＵＰ９０に伝わる振動を低減しつつ、ＦＯＵＰ９０を持ち上げる際のＦＯＵＰ９０の傾きを抑制することができる。
【００３９】
上記実施形態の天井搬送車１では、昇降装置１０は、四本のベルト９によって吊り下げられつつも、第一接続機構５０に接続されている（第二接続機構４０における揺動部材４３に接続されていない）二本のベルト９と昇降装置１０との二箇所の接続部分、及び、第二接続機構４０において揺動可能に固定された一箇所の第四ピン部材４４の３箇所で吊り下げられたような状態となっている。これにより、三本のベルト９によって吊り下げられている場合と同様の効果が得られ、昇降装置１０をより安定した状態で吊り下げることができる。更に、一本のベルト９が何らかの原因で切断されてしまった場合も、吊持状態を維持することができ、実際に三本のベルト９で吊り下げられる場合に比べ安全性を高めることができる。
【００４０】
以上、一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限られるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【００４１】
上記実施形態では、空の状態のＦＯＵＰ９０を持ち上げた際に生じる昇降装置１０の傾きが水平状態となるように（ＦＯＵＰ９０の傾きが解消するように）第一バネ部材５８及び第二バネ部材４８が与圧されている例を挙げて説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、半導体ウェハが満載された状態のＦＯＵＰ９０を持ち上げた際に生じる昇降装置１０が水平状態となるように（ＦＯＵＰ９０の傾きが解消するように）第一バネ部材５８及び第二バネ部材４８を与圧してもよい。また、所定の重量の半導体ウェハが満載された状態のＦＯＵＰ９０を持ち上げた際に生じる昇降装置１０が水平状態となるように（ＦＯＵＰ９０の傾きが解消するように）第一バネ部材５８及び第二バネ部材４８を与圧してもよい。
【００４２】
上記実施形態では、第一接続機構５０における接続部材５１及び第二接続機構４０における接続部材４１のそれぞれにベルト９が接続される例、すなわち、四本のベルト９によって昇降装置１０が吊り下げられている例を挙げて説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、図５に示されるように、第二接続機構４０においては、接続部材４１ではなく、第四ピン部材４４にベルト９を接続することにより、三本のベルト９によって昇降装置１０が吊り下げられる構成としてもよい。この構成により、より安定した状態で昇降装置１０を吊り下げることが可能になる。
【００４３】
上記実施形態又は変形例では、二つの第二バネ部材４８からなる第二接続機構４０を、昇降装置１０の左右方向左側に配置し、二つの第一バネ部材５８からなる、二つの第一接続機構５０を、昇降装置１０の左右方向右側に配置する例を挙げて説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、第二接続機構４０を、昇降装置１０の左右方向右側に配置し、二つの第一接続機構５０を、昇降装置１０の左右方向左側に配置してもよい。また、第二接続機構４０を、昇降装置１０の左右方向両側に配置したり、二つの第一接続機構５０を、昇降装置１０の左右方向両側に配置したりしてもよい。左右方向において大きな荷重が作用する側に大きな反発力を有する部材を配置する構成とすればよく、バネ部材の本数、バネの特性等はどのような状態であってもよい。
【００４４】
天井搬送車１は、ＦＯＵＰ９０の蓋体９４を前後方向（走行方向）の一方側に向けた状態で搬送する構成においては、左右方向ではなく、前後方向において大きな荷重が作用する側に大きな反発力を有する部材を配置する構成とすればよい。
【００４５】
上記実施形態又は変形例の第一バネ部材５８又は第二バネ部材４８に代えて、又は加えて、例えばシリコーン樹脂等によって形成されるゲル状の弾性体を配置してもよい。この場合であっても、第一バネ部材５８又は第二バネ部材４８を配置する場合と同様に振動及び衝撃を吸収することができる。
【符号の説明】
【００４６】
１…天井搬送車、５…水平駆動部（本体部）、６…回転駆動部（本体部）、７…昇降駆動部（本体部）、９…ベルト（吊持部材）、１０…昇降装置（把持部）、１０Ａ…ベース部材、１０Ｂ…ケース部材、１１…保持装置（把持部）、１３…ハンド、４０…第二接続機構、４３…揺動部材（揺動部）、４８…第二バネ部材（防振部・バネ部材）、５０…第一接続機構、５３…揺動部材、５８…第一バネ部材（防振部・バネ部材）、９０…ＦＯＵＰ（容器・物品）、９１…容器本体、９４…蓋体、９５…フランジ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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