(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ターゲットが一体に形成されたＸ線照射窓を備えた真空容器内に電子銃が配置され、その電子銃からの電子ビームを上記ターゲットに照射することによって発生するＸ線を、上記Ｘ線照射窓を介して外部に取り出すＸ線発生装置において、
上記真空容器が、上記電子銃が固定される本体部と、その本体部に対して真空ベローズを介して移動可能に、かつ、気密に連結された移動部によって構成され、その移動部に上記ターゲットが一体に形成されたＸ線照射窓が設けられているとともに、
上記真空容器の外側には、上記移動部の移動時に上記ターゲットの電子ビーム照射面と上記電子銃との距離を一定に保つべく当該移動部の上記電子銃への接近／離隔方向への移動および傾斜を規制するガイド機構が設けられ、
上記ガイド機構は、上記本体部側に設けられて上記電子ビームの中心軸に直交する面に沿うガイド用平坦面が形成されたガイド部と、上記移動部側に設けられて上記ガイド用平坦面に対向する被ガイド用平坦面が形成された被ガイド部と、上記ガイド用平坦面と被ガイド用平坦面間に配置された少なくとも３個の転動体を備えていることを特徴とするＸ線発生装置。
【請求項２】
上記転動体がボールであり、上記ガイド用平坦面もしくは被ガイド用平坦面には、個々のボールが上記電子ビームの中心軸の回りに各ボールごとに設定された領域から逸脱しないようにそれぞれの転動範囲を規制する規制機構が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のＸ線発生装置。
【請求項３】
上記規制機構が、上記ガイド用平坦面もしくは被ガイド用平坦面に個々のボールを囲むように固定されたリング状部材であることを特徴とする請求項２に記載のＸ線発生装置。
【請求項４】
上記規制機構が、上記ガイド用平坦面もしくは被ガイド用平坦面に個々のボールを収容するように形成された凹所であることを特徴とする請求項２に記載のＸ線発生装置。
【請求項５】
上記規制機構が、上記ガイド用平坦面もしくは被ガイド用平坦面に上記電子ビームの中心軸の回りに環状に形成された溝と、その溝内に設けられて個々のボールの溝内での周方向への移動を規制する仕切り板であることを特徴とする請求項２に記載のＸ線発生装置。
【請求項６】
ターゲットが一体に形成されたＸ線照射窓を備えた真空容器内に電子銃が配置され、その電子銃からの電子ビームを上記ターゲットに照射することによって発生するＸ線を、上記Ｘ線照射窓を介して外部に取り出すＸ線発生装置において、
上記真空容器が、上記電子銃が固定される本体部と、その本体部に対して真空ベローズを介して移動可能に、かつ、気密に連結された移動部によって構成され、その移動部に上記ターゲットが一体に形成されたＸ線照射窓が設けられているとともに、
上記真空容器の外側には、上記移動部の移動時に上記ターゲットの電子ビーム照射面と上記電子銃との距離を一定に保つべく当該移動部の上記電子銃への接近／離隔方向への移動および傾斜を規制するガイド機構が設けられ、
上記ガイド機構は、上記本体部側に設けられたガイド部と、上記移動部側に設けられた被ガイド部とからなり、これらのいずれか一方に平坦面が、他方にはその平坦面にそれぞれ当接する少なくとも３箇所の凸曲面が形成されていることを特徴とするＸ線発生装置。
【請求項７】
上記凸曲面が球面であることを特徴とする請求項６に記載のＸ線発生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、産業用Ｘ線検査装置や医療用Ｘ線検査装置、あるいはＸ線の回折や屈折を利用した各種Ｘ線分析装置や測定装置等に用いられるＸ線発生装置に関し、さらに詳しくは、真空容器内でターゲットに電子を衝突させてＸ線を発生するタイプのＸ線発生装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
真空容器内でターゲットに電子を衝突させてＸ線を発生するタイプのＸ線発生装置は、電子の進行方向とは異なる方向にＸ線を取り出す反射型ターゲットを用いるものと、電子の進行方向とおおよそ同じ方向にＸ線を取り出す透過型ターゲットを用いるものがある。
【０００３】
これらのうち、反射型ターゲットは一般にはバルク材が用いられ、真空容器からＸ線を外部に取り出すためのＸ線照射窓からある程度の距離を隔てた容器奥側に配置されるのに対し、透過型ターゲットは、通常、Ｘ線照射窓に一体に積層形成された構造を採るため、Ｘ線焦点がＸ線照射窓の直近に位置することから、Ｘ線透視像や断層像を構築する装置に用いて、透視拡大率を高くすることができるという利点がある。しかしながらその反面、透過型ターゲットはＸ線照射窓の片面に対して薄膜状に積層形成されるため、電子照射による熱損傷によってその寿命が短くなるという問題がある。
【０００４】
このような透過型ターゲットの寿命を向上させるために、例えば後記特許文献１では、ターゲット面上での電子の照射位置を変化させるべく、ターゲットを随意に移動させるという提案がなされている。この特許文献１には、開放型の真空容器を用い、かつ、透過型ターゲットを備えたＸ線発生装置において、Ｏリングや真空ベローズを介してターゲットを移動させる技術が開示されている。
【０００５】
上記の提案においてゴム製のＯリングを用いる場合の構成を図８に模式的断面図で示す。すなわち、真空容器５０１内に、電子源とその電子源からの電子を加速および集束させるための電極群を備えてなるいわゆる電子銃５０２を収容し、その真空容器５０１内を真空ポンプ５０３により随時に真空引きできるように構成した、いわゆる開放・透過型のＸ線発生装置において、ターゲット５０４を一体に積層形成したＸ線照射窓５０５を、Ｏリング５０６を介して真空容器５０１に装着し、例えば電子銃５０２からの電子ビームＢの軌道に対して偏心した位置で回転移動させることで、ターゲット５０４面上での電子ビームＢの照射位置を変化させるようにしている。
【０００６】
しかしながら、上記のようにゴム製のＯリングを用いる場合は、Ｏリングが有する気体透過性や真空グリース等の蒸発により次第に真空度が悪化する。そのため、図８のようにターボ分子ポンプ等の真空ポンプで常に排気を行う開放型の装置には有効であるが、図９に示すような封じ切りの真空容器を用いたＸ線発生装置、つまり密閉型のＸ線発生装置には適用することができない。すなわち、図９に示す密閉型の装置において、ターゲット６０４を一体に積層形成したＸ線照射窓６０５は、電子銃６０２を収容した真空容器６０１に対して溶接またはロウ付けにより気密に固定されなければ真空度を保てない。
【０００７】
このような密閉型の装置においては、真空ベローズを介して真空容器の一部をターゲットやＸ線照射窓ごと移動させる構造を適用することができる。上記した真空ベローズを用いる場合の構成例について、図１０のターゲット近傍要部を拡大した模式的断面図に基づいて説明する。この例では、電子銃（図示せず）を収容して装置フレーム等に固定される真空容器の本体部７０１の頂部に貫通孔７０１ａを形成し、その貫通孔７０１ａの周囲に真空ベローズ７０２の一端部（下端部）を溶接またはロウ付けにより気密に固定するとともに、その真空ベローズ７０２の他端部（上端部）を同様に移動部７０３に形成された下側に開放する凹部７０３ａの周囲に気密に固定している。
【０００８】
ターゲット７０４を積層形成したＸ線照射窓７０５は凹部７０３ａの天井部分を形成するように移動部７０３に固定されている。したがって、真空容器の本体部７０１の壁体と、その本体部７０１に下端部が連通し、上端部がＸ線照射窓７０５で塞がれた真空ベローズ７０２とが真空容器の内部と外部を仕切る壁体となって、これらの内側領域Ｖが真空状態となる。
【０００９】
電子銃からの電子ビームＢは、本体部７０１から貫通孔７０１ａを通過して真空ベローズ７０２内を経てターゲット７０４に照射される。これにより、真空ベローズ７０２を撓ませて移動部７０３を移動させることで、ターゲット７０４への電子ビームＢの照射位置を変化させることができる。
【００１０】
ここで、例えばこの種のＸ線発生装置をＸ線検査装置等に用いた場合に、Ｘ線焦点の空間座標が変化すると、同一箇所にサンプルを配置しても透視領域が変化する上に、装置システムの各種パラメータの再構成や装置構成部品の位置調整等の様々な再調整が必要となって好ましくない。
したがって、図１０の構成において、移動部７０３の移動は電子ビームＢの照射方向に直交する方向のみに制限する、換言すればターゲット７０４の電子銃に対する接近または離隔方向への移動や傾斜を阻止する必要がある。そのために、図１０では本体部７０１にガイド用の当たり部材７０７等を設け、移動部７０３が当たり部材７０７に摺動接触しながら変位するようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２０００−９０８６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
ところで、図１０の構成において、真空ベローズ７０２にはその内側と外側の圧力差により収縮する向き、つまり本体部７０１側に向かう方向に強い力が作用する。したがって、本体部７０１側の当たり部材７０７と移動部７０３との間の摺動面に強い摩擦力が働いて移動部７０３を容易に移動させることができなくなり、実用上の問題となる。この問題を解決するために、摺動面に潤滑剤を塗布することも考えられるが、長期的に同じ力で移動させるようにすることは困難である。
【００１３】
また、前記したように、透過型ターゲットを用いたＸ線発生装置は透視拡大率を高くすることができる点で反射型ターゲットを用いたものに比して有利である。しかしながら、そのためにはＸ線照射窓に接近した位置に被写体を配置する必要があることから、Ｘ線照射窓の近傍に大きな構造物を設けることは極力避けるべきであるとともに、真空容器の本体部に対する移動部の変位を規制するためのガイド機構における摺動摩擦力低減のためにスペースを設けるようなこともできない。
【００１４】
本発明はこのような実情に鑑みてなされたもので、コンパクトな機構のもとに、真空容器の本体部に対してターゲットおよびＸ線照射窓を保持する移動部を軽い力で容易に変位させることができ、透過型ターゲットを用いることにより得られる高い透視拡大率という長所を損なうことなく、ターゲット寿命を延長させることのできるＸ線発生装置の提供をその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記の課題を解決するため、本発明のＸ線発生装置は、ターゲットが一体に形成されたＸ線照射窓を備えた真空容器内に電子銃が配置され、その電子銃からの電子ビームを上記ターゲットに照射することによって発生するＸ線を、上記Ｘ線照射窓を介して外部に取り出すＸ線発生装置において、上記真空容器が、上記電子銃が固定される本体部と、その本体部に対して真空ベローズを介して移動可能に、かつ、気密に連結された移動部によって構成され、その移動部に上記ターゲットが一体に形成されたＸ線照射窓が設けられているとともに、上記真空容器の外側には、上記移動部の移動時に上記ターゲットの電子ビーム照射面と電子銃との距離を一定に保つべく当該移動部の上記電子銃への接近／離隔方向への移動および傾斜を規制するガイド機構が設けられ、そのガイド機構は、上記本体部側に設けられて上記電子ビームの中心軸に直交する面に沿うガイド用平坦面が形成されたガイド部と、上記移動部側に設けられて上記ガイド用平坦面に対向する被ガイド用平坦面が形成された被ガイド部と、上記ガイド用平坦面と被ガイド用平坦面間に配置された少なくとも３個の転動体を備えていることによって特徴づけられる（請求項１）。
【００１６】
ここで、本発明においては、上記転動体がボールであり、上記ガイド用平坦面もしくは被ガイド用平坦面には、個々のボールが上記電子ビームの中心軸の回りに各ボールごとに設定された領域から逸脱しないようにそれぞれの転動範囲を規制する規制機構が設けられている構成（請求項２）を好適に採用することができる。
【００１７】
上記の規制機構としては、上記ガイド用平坦面もしくは被ガイド用平坦面に個々のボールを囲むように固定されたリング状部材を用いること（請求項３）ができ、あるいは、上記ガイド用平坦面もしくは被ガイド用平坦面に個々のボールを収容するように形成された凹所を設ける構成（請求項４）、さらには、上記ガイド用平坦面もしくは被ガイド用平坦面に上記電子ビームの中心軸の回りに環状に形成された溝と、その溝内に設けられて個々のボールの溝内での周方向への移動を規制する仕切り板を備えた構成（請求項５）とすることもできる。
【００１８】
また、上記と同じ課題を解決するため、請求項６に係る発明は、上記と同様にターゲットが一体に形成されたＸ線照射窓を備えた真空容器内に電子銃が配置され、その電子銃からの電子ビームを上記ターゲットに照射することによって発生するＸ線を、上記Ｘ線照射窓を介して外部に取り出すＸ線発生装置において、上記真空容器が、上記電子銃が固定される本体部と、その本体部に対して真空ベローズを介して移動可能に、かつ、気密に連結された移動部によって構成され、その移動部に上記ターゲットが一体に形成されたＸ線照射窓が設けられているとともに、上記真空容器の外側には、上記移動部の移動時に上記ターゲットの電子ビーム照射面と電子銃との距離を一定に保つべく当該移動部の上記電子銃への接近／離隔方向への移動および傾斜を規制するガイド機構が設けられ、そのガイド機構は、上記本体部側に設けられたガイド部と、上記移動部側に設けられた被ガイド部とからなり、これらのいずれか一方に平坦面が、他方にはその平坦面にそれぞれ当接する少なくとも３箇所の凸曲面が形成されていることによって特徴づけられる。
【００１９】
この請求項６に係る発明における凸曲面の具体的な形状は特に限定されるものではないが、例えば球面を好適に採用することができる（請求項７）。
【００２０】
本発明は、真空ベローズを用いてターゲットを電子銃に対して移動可能に保持し、Ｘ線焦点の位置を一定に保つためにターゲットの移動並びに姿勢を規制するためのガイド機構に作用する摩擦力を、転動体を用いた転がり接触により、もしくは凸曲面と平坦面の接触によって軽減することで、課題を解決しようとするものである。
【００２１】
すなわち、真空容器の本体部に対し、真空ベローズを介してターゲットとＸ線照射窓が設けられた移動部を移動可能に接続することで、真空容器内の真空度の悪化を防止するとともに、真空容器の外部にはターゲットの移動方向と傾斜を規制するためのガイド機構を設け、ターゲットの移動時にＸ線焦点が移動することを防止する。そして、真空容器内外の圧力差に起因する真空ベローズの収縮によるガイド機構の接触部分に作用する摩擦力は、請求項１に係る発明のように、転動体を介して接触部分を転がり接触とすることにより大幅に軽減することができる。
【００２２】
また、請求項６に係る発明においては、ガイド機構の接触部分を凸曲面と平坦面との接触とすることで、平坦面どうしの接触時のようなリンギング現象等の発生を抑制し、転がり接触ほどではないが摩擦力を軽減することができる。
【００２３】
請求項１に係る発明において、ガイド用平坦面と被ガイド用平坦面の間で転動体の相互の位置が大きく偏らない限り、転動体は最低３個あれば移動部を傾かせることなく支持して移動させることができ、また、転動体としてボールを用いることにより、移動部をガイド面に沿って任意の方向に移動させることができる。
【００２４】
そこで、請求項２に係る発明のように、ガイド用平坦面と被ガイド用平坦面の間に３個以上のボールを設けるとともに、これらの個々のボールの位置が電子ビームの中心軸の回りに設定した領域から逸脱しないように、各ボールの転動範囲を規制する規制機構を設けることにより、移動部を繰り返し移動させるうちに各ボールの相対位置が少しずつ変化したとしても、各ボール相互の位置の偏りを一定範囲内に制限することができる。また、この規制機構は、装置の組立時においてボールの取り扱いを容易とすることにも役立つ。
【００２５】
個々のボールの転動範囲を規制する規制機構は、ガイド用平坦面側と被ガイド用平坦面側のいずれに設けてもよい。また、その具体的構成としては、個々ボールの周囲を所定の転動可能な領域で囲むようなリングをいずれかの平坦面に固定する（請求項３）か、あるいはいずれかの平坦面に個々のボールがそれぞれに所定の転動可能な領域を確保できるようなピット状の凹所を形成して各ボールをその凹所内に収容する（請求項４）か、さらには、いずれかの平坦面に円環状の溝を形成し、その溝内を周方向に仕切る仕切り板を設けて個々のボールの転動範囲を規制する構造（請求項５）等を採用することができる。
【００２６】
ガイド機構の接触部分を凸曲面と平坦面との接触とする場合、凸曲面は、例えばガイド部もしくは被ガイド部にボールを溶接またはロウ付け等により固定して球面とすれば、その製作も容易となる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、高い真空度を維持したまま、電子ビームの照射位置に対してターゲットを軽い力で容易に移動させることができ、しかも、この作用効果を得るために大きな構造物を設ける必要がないことから、透視拡大率に影響を及ぼすこともない。これらのことから、本発明は特に密閉型の真空容器を用いた透過型ターゲットを備えるＸ線発生装置に適用すれば、その効果を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の実施形態におけるターゲット近傍を示す模式的縦断面図。
【図２】図１におけるＡ−Ａ線断面図。
【図３】本発明の他の実施形態におけるボール近傍を示す要部断面図。
【図４】本発明の更に他の実施形態におけるボール近傍を示す要部断面図。
【図５】図１の形態に適用可能な移動機構の一例を示す概念図。
【図６】本発明の更に別の実施形態におけるターゲット近傍を示す模式的縦断面図。
【図７】ガイド機構を凸曲面と平坦面との摺動接触とする場合の接触部の構造を示す模式図。
【図８】開放型の真空容器を用いたＸ線発生装置の構成例を示す模式的断面図。
【図９】密閉型の真空容器を用いた図８同様の模式的断面図。
【図１０】真空ベローズを用いてターゲットへの電子ビーム照射位置を変化させる場合のターゲット近傍の要部構成例を示す模式的断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。
図１は本発明の実施の形態におけるターゲット近傍を模式的に示す縦断面図であり、図２は図１におけるＡ−Ａ線断面図である。なお、図１は図２におけるａ−ｂ−ｃ−ｄ−ｅ−ｆ断面に相当している。また、この実施の形態におけるＸ線発生装置の基本的構成は、前記図９と同様に、密閉型の真空容器と透過型ターゲットを用いたものとする。
【００３０】
図１に示す真空容器は、電子銃（図示せず）を収容固定した本体部１と、その本体部１に対して真空ベローズ２を介して気密に連結された移動部３によって構成されている。すなわち、本体部１の頂部に貫通孔１ａが形成されており、その貫通孔１ａの周囲に真空ベローズ２の一端部が溶接またはロウ付けによって気密に固定されている。同様に、真空ベローズ２の他端部は移動部３に形成された凹部３ａの周囲に気密に固定されている。
【００３１】
ターゲット４を積層形成したＸ線照射窓５は、凹部３ａの天井部を形成するように移動部３に固定されている。これにより、本体部１の壁体と、その本体部１に下端部が気密に連通し、かつ、上端部がＸ線照射窓５によって塞がれた真空ベローズ２とが真空容器を形成する壁体となり、これらの内側領域Ｖが真空引きされた状態となっている。
【００３２】
本体部１側に固定された電子銃からの電子ビームＢは、本体部１から貫通孔１ａを通過して真空ベローズ２内を通り、ターゲット４に照射される。
【００３３】
本体部１の上面には、真空ベローズ２の外側を囲むように円環状のガイド部１０が固定されており、このガイド部１０の上面には、電子ビームＢの中心軸に直交する面に沿ったガイド用平坦面１０ａが形成されている。
【００３４】
一方、移動部３の下面には、ガイド用平坦面１０ａに対向するように被ガイド用平坦面１３ａが形成され、この部分が被ガイド部１３を構成している。そして、ガイド用平坦面１０ａと被ガイド用平坦面１３ａの間に、互いに同一サイズの３個のボール（鋼球）１２が介在している。
【００３５】
各ボール１２は、図２に示すようにガイド用平坦面１０ａに固定された３つのリング１１内に１個ずつ配置され、これにより各ボール１２の相互の位置関係が電子ビームＢの中心軸の周りを概ね３等分する位置に規制されており、相互の位置関係が大きく偏ることはない。すなわち、各リング１１は電子ビームＢの中心軸を円心とする円を３等分する位置に固定され、その各リング１１内に配置された各ボール１２の転動範囲がその各リング１１の内側に限定される。これにより、後述するように移動部３を繰り返し移動させたときに、それぞれの移動時に各ボール１２の転動によって各ボール１２の相互の位置関係が多少ずれたとしても、リング１１による規制により各ボール１２の位置関係が大きく偏ることがない。
【００３６】
また、リング１１の存在により、装置の組立時にガイド用平坦面１０ａ上において各ボール１２の位置が規制されることになり、ボール１２の取り扱いを容易にするという利点もある。
【００３７】
以上の構成において、真空容器の内外の圧力差により真空ベローズ２が収縮し、移動部３に設けられた被ガイド用平坦面１３ａが各ボール１２に押し付けられた状態となる。これにより、移動部３はその被ガイド用平坦面１３ａにおいて同一サイズの３個のボール１２を介してガイド用平坦面１０ａに支持された状態となり、電子ビームＢの中心軸に直交する方向に沿った姿勢となる。
【００３８】
移動部３を移動させるには、任意の水平方向から力を加えればよい。このとき、真空容器内外の圧力差による真空ベローズ２の収縮によって移動部３には下向きの強い力が作用しているが、移動部３の下面に形成された被ガイド用平坦面１３ａと本体部１側のガイド用平坦面１０ａの間に、これら両平坦面に対して転がり接触するボール１２が介在しているため、平坦面どうしが面接触している場合に比して、その摩擦抵抗が大幅に軽減され、軽い力で容易に移動させることができる。
【００３９】
以上の実施の形態において特に注目すべき点は、移動部３の移動を規制するガイド機構の摩擦抵抗を、極めてコンパクトな構成によって軽減している点であり、Ｘ線照射窓５のＸ線照射方向外側には構造物や突起等が存在しないことから、透過型ターゲットを用いたＸ線発生装置の利点である高い透視拡大率を何ら損なうことなく本発明を適用することができる。
【００４０】
ここで、以上の例では転動体として３個のボールを用いた例を示したが、転動体の個数は３個以上であれば特に限定されるものではない。
【００４１】
ボール１２の転動範囲を規制する機構としては、上記のようなリング１１を用いるほか、図３および図４に示す構成を採用することができる。図３は転動体（ボール）近傍の別構成例を示すものであって、図３（ａ）は要部を示す縦断面図、図３（ｂ）は図３（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。図３に示す構成は、ガイド部材１０の上面に複数の凹所１１１を形成し、その凹所１１１内にボール１２を１個ずつ配置し、各ボール１２の転動範囲をその凹所１１１の内側に制限するものである。
【００４２】
また、図４は転動体（ボール）近傍のさらなる別構成例を示すものであって、図４（ａ）は要部を示す縦断面図、図４（ｂ）は図４（ａ）のＣ−Ｃ線断面図である。図４に示す構成は、ガイド部材１０の上面に電子ビームＢの中心軸を円心とする円環状の溝２１１を形成してその溝２１１内に複数のボール１２を配置するとともに、溝２１１内での個々のボール１２の周方向への転動範囲を、溝２１１内に固定した２枚一組の仕切り板２１１ａで制限するものである。
【００４３】
以上のようなリング１１や凹所１１１、あるいは溝２１１と仕切り板２１１ａからなる転動範囲の規制機構は、上記の各例で示したように本体部１のガイド部１０側に設けるほか、移動部３の被ガイド部１３側に設けても同等の作用効果を奏することができる。
【００４４】
ところで、以上の実施の形態において移動部３を移動させる機構については何ら限定されるものではないが、一例を図５（ａ），（ｂ）に概念的に示す。なお、図５（ｂ）は図５（ａ）の状態から偏心リング１４を１８０°回転させた状態を表している。
図５に示すように、移動部３の外側に、外周面に対して内周面が偏心している偏心リング１４を配置し、電子ビームＢの中心軸を円心として偏心リング１４を外周面基準で回動させることにより、その内周面が移動部３の外周面に当接して当該移動部３の中心Ｏを電子ビームＢの中心軸に対して偏心させるように構成することができる。
図５から明らかなように、偏心リング１４の回動位置に応じた方向に移動部３を電子ビームＢの中心軸から偏心させることができ、ひいてはターゲット４の電子ビームＢの照射位置を移動部３の中心Ｏから所定距離だけ離れた円上で３６０°にわたって変化させることができる。
【００４５】
ここで、以上の実施の形態においては、真空容器の本体部１の上面にガイド部１０を固定して立ち上げ、ガイド部１０の上面にガイド用平坦面１０ａを形成した例を示したが、例えば図６に示すように、本体部１の上面をそのままガイド用平坦面１０ａとする一方、移動部３の下面に被ガイド部１３を固定して下方に臨ませて、その被ガイド部１３の下面に被ガイド用平坦面１３ａを形成し、これらの平坦面の間に複数のボール１２を介在させるようにしてもよい。この場合においても、各ボール１２はガイド用平坦面１０ａまたは被ガイド用平坦面１３ａのいずれかの側に設けたリング１１等の転動範囲の規制機構によりその転動範囲が規制される。この場合も上記した例と全く同等の作用効果を奏することができる。
【００４６】
また、以上の実施の形態においては、転動体としてボールを用いた例を示したが、本発明では必ずしもボールを用いる必要はなく、他の転動体、例えば円筒コロ等を用いることができる。ただし、円筒コロは一方向にのみ転動が可能であるため、移動部の移動は一次元方向に限られる。したがって、円筒コロを用いる場合には、ガイド用平坦面もしくは被ガイド用平坦面に、電子ビームの中心軸を挟んでその両側に円筒コロの転動方向に沿った互いに平行なガイド溝等を設けて、それぞれのガイド溝内に複数個の円筒コロを収容して各円筒コロの端面をガイドするとともに、その転がり方向に仕切り板等を設けることで、個々の円筒コロの偏りを防止する、といった構成を採用することができる。
【００４７】
さらにまた、ガイド用平坦面の上に、電子ビームの中心軸を挟んでその両側に断面がＶ字形状の溝（Ｖ溝）を平行に形成し、その上にボールを載せた場合も一方向にのみ転動が可能となり、上記の円筒コロと同様の作用効果を発揮する。Ｖ溝は言葉の上では平坦面とは言えないものの、２本のＶ溝上に載せられたボールが接触する線状の位置（４本の直線）は一つの平面に含まれるので、本明細書においてはこのような構成も本発明のガイド用平坦面に含まれるものとする。
【００４８】
以上の各例は転動体を用いて本発明の目的を達成する例を示したものであるが、本発明はこれに限らず、平坦面と凸曲面とを接触させる構成によっても上記の各例に準じた目的効果を奏することができる。この場合における構成は、例えば図１，２に示した実施の形態におけるボール１２に代えて、ガイド部１０の上面に複数の凸曲面を突出形成し、その各凸曲面を移動部３側の被ガイド用平坦面１３ａに当接させるようにする。なお、この場合にはリング１１は当然のことながら不要である。
【００４９】
ただし、部材に対して複数の凸曲面を突出形成することは容易ではないので、例えば図７に示すように、ボール（鋼球）２１をガイド部１０の表面に溶接またはロウ付け等によって固定する方法を採用すればよく、その各ボール２１の頂部に被ガイド用平坦面１３ａを当接させるようにすればよい。
【００５０】
上記の構成によれば、ガイド部１０と被ガイド部１３（被ガイド用平坦面１３ａ）は滑り接触となるが故に、前記の転動体１２を用いて転がり接触させる先の各例に比して摩擦抵抗の軽減効果は若干低くなるものの、平坦面どうしを滑り接触させる場合よりは摩擦抵抗を軽減させることができ、また、平坦面どうしの接触時に生じるリンギング現象を防ぐことができる。
【００５１】
そして、以上のような凸曲面と平坦面とを組み合わせた構成を採用する場合において、凸曲面を本体部１のガイド部１０側に設け、移動部３の被ガイド部１３側に被ガイド用平坦面１３ａを形成するとともに凸曲面を移動部３の被ガイド部１３側に設け、本体部１のガイド部１０側にガイド用平坦面１０ａを形成してもよいことは勿論である。また、凸曲面の形成数は、３箇所以上であれば任意の数とすることができる。
【符号の説明】
【００５２】
１  本体部
１ａ  貫通孔
２  真空ベローズ
３  移動部
３ａ  凹部
４  ターゲット
５  Ｘ線照射窓
１０  ガイド部
１０ａ  ガイド用平坦面
１１  リング
１２  ボール（転動体）
１３  被ガイド部
１３ａ  被ガイド用平坦面
１４  偏心リング
２１  ボール
１１１  凹所
２１１  溝
２１１ａ  仕切り板
５０１，６０１  真空容器
５０２，６０２  電子銃
５０３  真空ポンプ
５０４，６０４  ターゲット
５０５，６０５  Ｘ線照射窓
Ｂ  電子ビーム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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