(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
歯部状の輪郭付きワークを検査するための装置であって、計測軸に沿って移動可能であり前記計測軸に対して斜めに傾斜する側面を持つプローブ素子を有するプローブと、回転軸周りにワークを回転させる駆動装置とを備え、前記プローブ素子は、予め決定可能な力で前記ワークの輪郭に当接可能であり、前記輪郭の第１の歯と第２の歯の間の間隙内に挿入可能であり、前記プローブ素子（１０５）は、探査半径（１１２）を備えた球形プローブチップを有し、該探査半径（１１２）の中心は計測軸（１００）上に位置し、ワーク（１１１）が回転する間、プローブチップを有するプローブ素子（１０５）は、計測軸（１００）から離れる前記第１の歯の後方エッジ（１１３）上を滑って感知し、傾斜する側面（１１５）を有する前記プローブ素子（１０５）は、前記計測軸（１００）に向かう前記第２の歯の前方エッジ（１１４）上に乗り上げ、前記計測軸（１００）は前記回転軸上に垂直に突き当たり、前記前方エッジ（１１４）の計測学的な検出のために前記駆動装置の回転方向は反転可能であり、前記プローブ素子（１０５）は前記計測軸（１００）周りに約プラスマイナス１８０度旋回可能であることを特徴とする装置。
【請求項２】
前記プローブ素子（１０５）は、円錐ピンとして設計され、傾斜した側面（１１５）を構成するためにプローブ素子支承部（１１４）内に斜めに挿入されていることを特徴とする、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記プローブ素子（１０５）は、ばね及び／又は重りによる、予め決定可能な力で、歯部（１０９）に当接可能であることを特徴とする、請求項１又は２に記載の装置。
【請求項４】
請求項１〜３の何れか一項に記載の装置であって、前記プローブ素子（１０５）は、リニアガイド（１０２）上に形成されたディスタンスピース（１０３）に接続可能であり、該ディスタンスピース（１０３）は、スプリングロッド（１０８）を介して前記輪郭プローブ（１０６）のプローブピン（１０７）に結合可能であり、前記リニアガイド（１０２）及び前記輪郭プローブ（１０６）は、自律型の計測ユニット（１１０）を形成するために本体（１０１）上に取り付け可能であることを特徴とする装置。
【請求項５】
前記ディスタンスピース（１０３）は、回転可能に取り付けられ、及び駆動装置（１１８）により約プラス／マイナス１８０度旋回可能であり、前記ディスタンスピース（１０３）が、直接に又は軸方向の僅かな動きを補償する連結部を介して、前記駆動装置（１１８）に連結可能であることを特徴とする、請求項４に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、輪郭付きワーク、特に歯部を備えたワークを検査するための装置に関する。ワークの輪郭は、輪郭プローブにより計測学的に検出可能であり、輪郭及び輪郭プローブは、互いに対して、及び輪郭プローブの計測面に対して直角に、又は接線方向に移動可能である。
【背景技術】
【０００２】
直線、斜め、ヘリンボーン状又は螺旋状の歯付きである、平歯車、傘歯車、冠歯車、ウォームギヤ、内歯車及びスプロケットギヤのみならず、歯付きロッド、歯付きシャフト、同様にスプラインを備えたシャフト、ハブ等を、可能であれば現場、すなわち製造工程の間に、これらの部品の寸法安定性、輪郭形状からのずれ、輪郭角度、輪郭のうねり等からのずれ、基準軸又は基準面に対する輪郭の経過を知るために計測する必要がある、多数のケースがある。この目的のために、既知の多様な計測装置が存在する。手動の費用効果に優れた計測装置によっては、こうした計測要求のわずかな部分が実行できるのみである。いわゆる計測機械は、相手歯車又は親歯車に頼ることの多い、極めて複雑な構成を備えるという欠点があり、計測の実施に比較的時間がかかるため、一般的には現場において製造工程の間に使用することはできず、高額でもある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従って、本発明の課題は、費用効果に優れ、構成が単純で、かつ極めて普遍的に使用可能であり、異なるサイズ、すなわち歯車数、モジュール及び長さ、幅が異なるワークを、ワーク加工の直後に、現場において最短時間で、一方ではワークのサイズの精度、他方では形状及び位置からのずれを知るために計測可能な装置を提案することであり、その際、検査の対象である歯部のための特殊な対応輪郭材又は輪郭素子に頼ることがない。更にこうした装置を用いて、短時間の機械サイクル時間においても１００パーセントの精度の検査を保証するために、例えば複数の面の歯車の歯部、歯付きロッド、及び他の歯付き部品の計測、複合的なスプロケットの輪郭や他のマルチ軌道部品の全ての軌道上での計測のみならず、任意の間隔及び任意の面数を備えた異なる歯部を複数備えた変速機シャフトを、同時かつ完全に互いに独立させて、確実に計測可能とすべきである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
この課題を解決するために、本発明により、導入部で記載された一般的なタイプの装置において、ワークの輪郭に当接可能な、輪郭プローブ（8、9、106）のプローブ素子（8e、9e、105）を、プローブ素子（8e、9e、105）から離れていくワーク（1、111）の輪郭エッジ（113）に探査半径（112）により当接可能であり、及び対向する輪郭エッジ（114）に面した側面（115）を介して、輪郭の間隙から移動可能であるよう構成することが提案される。
【０００５】
このような方法で構成された装置は、上述の課題を達成するのみではなく、単純でありながら効果的なプローブ素子が使用された場合、例えば0.1乃至0.6Nである、極めて低い探査力で、約25乃至100μmの極めて小さい探査半径に亘り、形状からの極めて微細なずれを検出及び評価する可能性を提供するものである。更に、リニアガイドにより本体に接続され、輪郭プローブに連結されたディスタンスピースにプローブ素子を配置することで、自律型の多用途計測ユニットを製造する可能性も生じる。
【０００６】
本発明による装置の更なる特徴は、請求項２乃至１１に開示される。
【０００７】
本発明、並びに本発明の更なる特徴及び効果は、図面に示された実施形態を参照して以下に詳述される。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明による、スプロケット計測のための装置の概略図である。
【図２】経時的に相前後する２つのステップによる、歯車計測のための装置の詳細な断面図である。
【図３】経時的に相前後する２つのステップによる、歯車計測のための装置の詳細な断面図である。
【図４】球形チップを備えた円錐ピンとして構成されたプローブ素子、及び回転可能なディスタンスピースを計測位置で備えた、計測ユニットの断面図である。
【図５】計測位置での基準プローブとして同心プローブを備えた、歯車計測のための装置の断面図である。
【図６】計測位置での基準プローブとして同心及び側方プローブをそれぞれ備えた、冠歯車及び傘歯車計測のための装置の断面図である。
【図７】内歯車計測のための装置の断面図である。
【図８】図７の横断面図である。
【図９】二重スプロケットを備えたシャフトをモニタリングするための装置の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
図１は、本発明による装置が、シャフト１のスプロケット歯部２を計測する図である。このシャフト１は、自体公知の方法で、先端部の間の（図示されていない）受容器内又は回転プリズム上で同軸上に取り付けられ、（図示されていない）駆動装置により駆動される。自体公知であり、図示されてはいないが、シャフト１に接続されている角度計測装置は、シャフト１の回転運動を検出可能である。この実施形態においては、輪郭プローブ８のプローブ素子8eは、両側が円錐形の径方向ディスクとして構成されている。径方向ディスクは、予め決定可能な探査力で、その外半径によりシャフト１の歯部２上に当接し、リニアガイド8d上に取り付けられ、スプリングロッド8bで輪郭プローブ８のプローブピン8aに接続された、ディスタンスピース8cにより保持されている。いわゆる調整誤差は、ディスタンスピース8cがスプリングロッド8bでプローブピン8aに接続されていることにより、弾性的に補償されるが、軸方向の移動は垂直方向で厳格に伝達される。輪郭プローブ８は、自体公知である計測コンピュータに接続され、誘導的又はインクリメンタル型の長さ計測プローブとして構成可能であり、この実施形態においては、装置の固定子４に固定されている。
【００１０】
上述の（図示されていない）駆動装置がシャフト１を動かすと、プローブ素子8eは歯部２上を接線方向に滑り、歯部２の輪郭を、駆動装置に接続された構成部品上の、径方向の動きとして輪郭プローブ８に伝達する。輪郭プローブ８は、その計測値を角度計測装置の計測値と共に、シャフト１の回転運動をモニタするために、自体公知であり、図示されていない計測コンピュータに伝達する。しかし、プローブ素子8eは球形チップを備えた円錐ピンとしても構成可能である。スプロケットの場合、プローブ素子8eの探査半径のサイズは、特に歯の窪みの半径サイズ、歯の表面品質、及び所望される機械的な測定値の平滑化に左右され、歯車探査半径と比較すると約１乃至２ｍｍである。探査力は、ばね、重り、又は他の媒体により与えることが可能である。この場合、効果的な探査力は、装置を斜めに位置させること、又は装置に接続された全ての構成部品と共にリニアガイド8dを斜めに配置することでも変化させることが可能である。
【００１１】
歯部２の歯元の面の傾斜が、約60度である円錐形のプローブ素子8eの角度を超えた場合、プローブ素子8eはその探査位置から引き揚げられ、歯溝から外部に移動される。続く歯頭部を通り過ぎた後、プローブ素子8eはそれから次の歯溝の領域に至り、その計測位置内部へと滑らかに降下され、今度はこの歯溝の輪郭を検出する。スプロケットの計測用に設計されたこうした装置においては、歯部２を計測するために、シャフト１を任意の方向に回転可能であり、歯部２の全体を計測するために必要なのは、１回転のみである。しかし計測の間、シャフト１を360度両方向に回転させ、歯部２の一連の両計測からの平均値を計算することも又賢明であろう。このようにして、可能な限り摩擦の影響を補償することができる。
【００１２】
歯付きシャフト１が２つの先端部の間の摩擦接合に受容されている場合、いずれの先端部がシャフトから駆動されるかに係らず、計測値に差異が生じた場合に滑りを即座に認識し、計測を中止可能とするために、各先端部をその先端部自体の角度計測装置に割り当てることが有利である。
【００１３】
本発明に提案され、図２及び図３に示されるように、本体101上で、一方ではリニアガイド102がディスタンスピース103、プローブ素子支承部104及びプローブ素子105に接続され、他方では、プローブピン107を備えた輪郭プローブ106が、スプリングロッド108によりディスタンスピース103に接続される場合、自律型であり普遍的に使用可能な計測ユニット110が製造される。該計測ユニット110は、平歯車として詳細が示されたワーク111と共に、図２及び図３に示される。図２においては、図３に示された幾つかの符号を参照する。
【００１４】
図２及び図３においては球形プローブチップを備えた円錐ピンとして形成されたプローブ素子105は、プローブ素子105上を移動するワーク111の輪郭エッジ114に対して傾斜し、プローブ素子支承部104内部に挿入されている。球形プローブチップは探査半径112を備え、探査半径112の中心は計測軸100上に位置し、計測軸100は、輪郭プローブ106の作動方向により予め定められ、輪郭プローブ106の回転軸上に垂直に突き当たる。プローブ素子105は、探査半径112により、離れていく、つまり後退する歯元の面113に当接する。そのため、ワーク111が例えば時計周りに回転すると、プローブ素子105は歯部エッジ113上を滑る。相対するエッジ114がプローブ素子105の傾斜する外面115に乗り上げ、ワーク111に駆動されるプローブ素子105を探査力に抗して歯溝116から外部に移動させる前に、プローブ素子105は歯部エッジ113を、先端円から歯底円まで感知する。
【００１５】
ワーク111が輪郭レール、例えば歯付きロッドである場合も、プローブ素子105は又、同一の方法で歯元の面の間を移動する。しかしこの場合、リニアガイドにより支持された計測ユニット110がワーク111に沿って移動する方が、ワーク111が計測ユニット110を通り過ぎるよりも有利であろう。しかし、上述のケースも又、理論的には可能である。
【００１６】
ワーク111上で計測される歯部２が、著しく切り下げられた歯車又はサイクロイド歯部である場合、プローブ素子105を歯部システムの接線方向に、及び／又はプローブ素子105を傾斜させた状態で、対応する方法で移動させ、プローブ素子105の接触ポイントを、その計測経路に沿い、後退する歯元の面113に対して常に確実に当接させることが必要かもしれない。
【００１７】
歯車又は歯付きロッドの歯部計測用に設計されたこうした装置においては、25から100μｍの探査半径112を備えて作動し、プローブ素子105の外面115が、約25乃至35度でリニアガイド102の移動面に対して傾斜するようプローブ素子105を配置することが有利である。その際、円錐形のプローブ素子105の角度は、逃げ角を形成するために、どのような場合においても外面115とリニアガイド102の移動面の間の角度と等しいか、又はそれよりも小さい角度とすべきである。
【００１８】
こうした装置を使用しては、いずれの場合においても、プローブ素子105に対して離れていくエッジ113を計測可能であるため、１つの方向の第１経路の後に駆動装置の方向を反転させ、逆方向で計測を繰り返し、計測ユニット110もそのように置き換えるか又は配置した後に、今度は相対するエッジをプローブ素子105に対して離れていくエッジ113とするということが、これらのエッジを計測学的に同一の方法で、同様に検出可能とするために必要である。
【００１９】
計測ユニット110をこのように置き換えるには、複数の可能性がある。例えば、こうして置き換えるために、計測ユニット110は、計測ユニット110自体の軸を中心に180度回転可能であり、第２の計測ユニット110は、先の計測ユニット110の鏡像となる位置に配置可能である。または、ディスタンスピース103は、２つのプローブ素子を備えて互いに対して鏡像となる位置に配置可能であり、２つのプローブ素子は、計測される輪郭に対して交互に当接可能である。しかし、プローブ素子支承部104及びディスタンスピース103を備えたプローブ素子105を、計測軸100を中心に丁度180度回転させることも又可能である。このためにディスタンスピース103は、遊び無く回転可能に支承された状態でハウジング117に受容され、例えば、直流歯車モータである駆動装置118に連結されるべきである。
【００２０】
図４は、遊び無く回転可能に支承され、直流歯車モータにより駆動されるディスタンスピース103を備えた、こうした計測ユニット110を示す。ディスタンスピース103はハウジング117内に配置され、この場合にはハウジング117によりリニアガイド102に接続されている。図４に示されるように、駆動装置118の歯車モータをハウジング117内に取り付ける、又は本体101に割り当てるという可能性もある。駆動装置118をハウジング117に取り付ける場合、駆動装置118自体も又計測の動きを実行する必要がある。駆動装置118を本体101に付属させる場合、トルクを軸方向に固定することなく、両回転方向に伝達するための対応する連結部が、ディスタンスピース103と駆動装置118の間に必要である。こうした連結部の特に有利な実施形態は、連結部のハブを小型のリニアガイドで接続することで製造できる。こうした実施形態においては、ディスタンスピース103の回転運動を保護するストップ部も又、ディスタンスピース103に割り当てるのが賢明である。
【００２１】
有利には計測軸100と同一とすべきである、ディスタンスピース103の回転軸が、探査半径112の中心点を通り、リニアガイド102の作動方向へ延在するため、プローブ素子105は、この場合後方にあるエッジ113を、同一の方法で検出可能である。これは、先に前方にあったエッジ114が今度は後方エッジ113となり、先の後方エッジ113が前方エッジ114となることを意味する。回転対称のワーク、例えば歯車である場合、計測軸は回転軸と交差すべきである。ロッド形状のワーク、例えば歯付きロッドである場合、計測軸100は輪郭基準ラインに対して直角を成すべきである。
【００２２】
歯部２の形状又は角度からのずれをモニタすることが要求された場合、両エッジ113と114の一連の計測は互いに独立して評価可能である。しかし、歯部２のピッチ、ピッチ径等の通常の特徴も又確認する必要がある場合、一連の計測の両方を互いに参照し合う、つまり同期化させなければならない。これは、対称なＶ字型の刻み目を備えた、いわゆる設定マスタを付加させ、単純な方法で実行される。設定マスタにより、実計測の前に、計測ユニット110又は複数の計測ユニット110の単数又は複数の輪郭プローブ106が、設定マスタの外側輪郭により較正され、及び角度計測装置が刻み目の最低位置により較正され、その後に記録された一連の計測を調和、つまり適合又は一致させるのである。
【００２３】
ワークに対して平行移動可能な計測ユニット110を、例えば歯部109を部分的又は全長に亘って計測する必要がある場合に、使用してもよい。こうした場合、ワーク111の各回転の後に軸運動を中断させ、それにより、一方の軸方向で面毎にワーク111の歯部109を計測し、回転方向の変更の後に、他方の軸方向で対応する面を計測する、又は継続して計測可能、すなわち螺旋状に、全長に亘り両方向で回転方向の変更を考慮に入れるという可能性がある。
【００２４】
しかし、複数の計測ユニット110を歯部に沿って、互いに異なる高さ又は間隔で配置し、これにより複数の面において同時に歯部を計測可能とすることの方が、実質的により有利である。歯車の場合、計測ユニット110は異なる高さで放射状に円周上に配置可能であり、一方歯付きロッドの場合、計測ユニットは互いに単独で、異なる高さに、必要に応じて又異なる間隔で配置される。既述のように設定マスタにより、使用されている全ての計測ユニット110の一連の計測が互いに同期化される。
【００２５】
歯部の同心性、又は平面性及び平行性をも、基準軸又は基準面に基づいてモニタ可能とするために、計測学的に、例えば図６に示すようなプローブにより基準軸又は基準面を検出し、これらを後の数学的評価に組み入れ可能とする可能性がある。このために本発明により、ワーク111が歯車形状である場合、穴の同心性を残りの長さに亘って計測又はモニタ可能とするために、歯車を限られた長さ、例えば２乃至３ｍｍでのみ把持することが提案される。この方法においては、受容されるワークに対応するよう設計された、単純な拡張型マンドレル又はコレットチャックを把持素子として使用可能である。
【００２６】
図５は、こうした実施形態を詳細に示すものである。歯部輪郭を計測する計測ユニット110及びワーク穴の同心性をモニタする計測装置121は、ワークの軸に対して平行に移動可能であり、基準輪郭としての歯部輪郭及び穴の直径の計測が常にひとつの面上で行なわれるよう、有利な態様で連結されている。
【００２７】
しかし、冠歯車、傘歯車及び類似のワーク111の場合も又同様であり、これらの場合、ワーク表面に対する歯部の振れもしばしば重要となる。図６は、螺旋状歯付き冠歯車として設計されたワーク111を備えた、こうした実施形態を示す。螺旋状歯付き冠歯車の歯部は、歯部の角度に対応して斜めに向けられた計測ユニット110に計測される。一方、ワークホルダの同心性はプローブ122により、ワークホルダの振れはプローブ123により検出可能である。
【００２８】
代替的に本発明により、歯車計測用に使用される計測ユニット110を、リニアガイドによりｘ及びｙ方向に自在に移動可能であり、ワーク又はワークホルダの基準面上に支承された、複合型スライドテーブルの形状のプラットフォーム上に組立てることが提案される。これにより、同心性からのずれがすでに機械的に補償され、同心性からずれが生じた場合、ずれの結果である移動を計測ユニット110が正確に正しい角度で実行するため、同心性からのずれを、計測値評価において無視したままにできる。
【００２９】
従って、輪郭レール又は歯付きロッドの検査においては、ｘ方向にのみ自在に移動可能なプラットフォーム上に、計測ユニット110を取り付け可能であり、これにより、基準面と同一の方法で比較することで、歯部の平面性又は平行性を補償可能である。
【００３０】
図８は、内歯車の計測装置を詳細に示す。内歯車においては、ワーク111は既述のようにコレットチャックに保持されており、コレットチャックの上に、特殊な、軸方向に移動可能な計測ユニット110が配置されている。この計測ユニット110も、先に記述した計測装置と実質的に同一の構成部品を備える。この実施形態においては、構成部品の配置のみが異なっており、ディスタンスピース103は、ここでは省略されているプローブ素子支承部104の機能をも果たす。なぜなら、このディスタンスピースは２つのプローブ素子105を備え、該プローブ素子105は、円錐形プローブピンとして設計され、互いに対して鏡像となる位置に配置されているためである。ディスタンスピース103はリニアガイド102に接続され、スプリングロッド108により、輪郭プローブ106のプローブピン107に接続されている。この実施形態のために変更された、計測ユニット110の本体101は、追加的に２つの同心プローブ122の各々に対応する取り付け部を備え、同心プローブ122はワーク111の外径を感知する。従って、歯車の外径上の同心性を備えた面内において、内歯車の歯部も検出可能である。
【００３１】
リニアガイド102をワーク111の回転方向に従って作動させることにより、プローブ素子105を交互に当接させることも可能である。しかし、装置を僅かに斜めに位置させるか又は傾斜させることにより、プローブ素子105を交互に歯部に当接させることも又可能である。（図示されていない）中央の安全装置により、傾斜が変化した場合にディスタンスピース103を装置の中央に保ち、ワーク111の回転方向が変化した後に始めて、対応する計測位置に到達させるべく、ディスタンスピース103を再び開放することが保証可能である。
【００３２】
図９は、本発明による更なる装置を示し、該装置は二重スプロケットを備えたシャフトの計測に適している。この実施形態においては、計測ユニット7、110は二重素子、すなわち２つの歯部を同時に計測するために設計されている。装置は、下方に向いた２つの脚部7b、7cにつながる、上部の横桟7aを備える。この実施形態においては、上から２つのプローブ８、９が横桟7a内の固定位置へと挿入され、これらプローブのプローブピン8a、9aが、下向きに計測ユニット７内の開放スペース内部へ突出する。各プローブピン8a、9aの下部の自由端は、比較的小さな断面を備えたスプリングロッド8b、9bの一方の端部につながり、一方、スプリングロッド8b、9bの他方の端部は各々、計測ユニット７から下向きに突出する、ピストン状のディスタンスピース8c、9cに接続されている。ピストン状のディスタンスピース8c、9cは、概略的にのみ示されたリニアガイド8d、9dにより軸方向に移動可能である。リニアガイド8d、9dは、好適には転動素子に支承されたスライドガイドとして設計され、脚部7b、7cに付属する。
【００３３】
各ディスタンスピース8c、9cは、計測ユニット７から突出する端部に、プローブ素子8e、9eを装備する。この実施形態においては、プローブ素子8e、9eは水平に配置されたピンから構成され、好適にはピンを硬質合金製とする。これらプローブ素子8e、9eは各々、ディスタンスピース8c、9cの、互いに反対を向いた側面から突出し、歯車2a、2bの歯部輪郭上に位置可能である。この図においては、プローブ素子8e、9eは、二重スプロケット２の歯車2a、2bにおいて、歯溝の底部上に当接する。この実施形態においては、計測ユニット７の脚部7cは、下部の端部に、好適には内側に向いた突起部10を備え、該突起部10内でシャフトプローブ11が使用される。シャフトプローブ11のプローブ素子11bは、プローブピン11aの端部上に固定され、基準面としてシャフト１に対し当接するか、又はシャフト１上に当接する。この場合、プローブ素子11bは球状とすることが有利であり、好適には硬質合金製とする。
【００３４】
しかし、本発明による装置を使用して、例えば内歯車の歯部を外部から、その場合同様に傾斜位置をとることが可能なプローブ素子により検査するために、こうした計測ユニット7、110を歯部に対して斜めにも配置可能である。しかし、単なる歯付き歯車、歯付きシャフト又は歯付きロッド以外のワークも、これらの自律型の計測ユニット7、110により計測可能であり、例えばそれらの機能も又検査可能である。例えば、検査すべきワークの輪郭を、内部又は外部のねじ山としてもよい。
【符号の説明】
【００３５】
１  シャフト
２  歯部
2a  歯車
2b  歯車
４  固定子
７  計測ユニット
7a  横桟
7b  脚部
7c  脚部
８  輪郭プローブ
8a  プローブピン
8b  スプリングロッド
8c  ディスタンスピース
8d  リニアガイド
９  輪郭プローブ
9a  プローブピン
9b  スプリングロッド
9c  ディスタンスピース
9d  リニアガイド
10  突起部
11  シャフトプローブ
11a  プローブピン
11b  プローブ素子
100  計測軸
101  本体
102  リニアガイド
103  ディスタンスピース
104  プローブ素子支承部
105  プローブ素子
106  輪郭プローブ
107  プローブピン
108  スプリングロッド
109  歯部
110  計測ユニット
111  ワーク
112  探査半径
113  後方エッジ
114  前方エッジ
115  側面
116  歯溝
117  ハウジング
118  ディスタンスピース駆動部
119  ストップボール
120  ワークホルダ
121  計測装置
122  同心プローブ
123  側方プローブ
【図１】
0006318163.tif 000002
【図２】
0006318163.tif 000003
【図３】
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【図４】
0006318163.tif 000005
【図５】
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【図６】
0006318163.tif 000007
【図７】
0006318163.tif 000008
【図８】
0006318163.tif 000009
【図９】
0006318163.tif 000010