(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板への印刷パターンの開口部を有するマスクに上側から当接する第１当接部を含み、所定の印刷方向に移動して前記マスク上のはんだを前記基板に印刷するスキージと、
少なくとも前記第１当接部の前記印刷方向と交差する幅方向の端部位置で前記マスクに下側から当接する第２当接部を含み、前記印刷方向に移動可能に構成された下面支持部と、
前記スキージの移動および前記下面支持部の移動を制御する制御部とを備え、
前記制御部は、前記基板に対するはんだ印刷動作時以外の所定のタイミングにおいて、前記マスクを前記第１当接部と前記第２当接部とにより上下に挟み込んだ状態で、前記スキージおよび前記下面支持部を前記印刷方向に移動させるはんだ回収動作を実行するように構成されているとともに、前記はんだ回収動作において、直前の印刷動作における前記スキージの前記印刷方向と同じ方向に、前記スキージおよび前記下面支持部を移動させるように構成されている、印刷装置。
【請求項２】
前記第２当接部は、前記幅方向において、前記第１当接部の長さ以上の長さを有する、請求項１に記載の印刷装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記はんだ回収動作において、前記マスク上に残留し前記印刷方向に延在する印刷方向残留はんだに対して、直前の印刷動作における前記スキージの印刷方向とは反対方向側の前記印刷方向残留はんだの端部よりも前記反対方向外側に位置する回収開始位置から、前記第１当接部と前記第２当接部とによる前記はんだ回収動作を実行するように構成されている、請求項１または２に記載の印刷装置。
【請求項４】
前記下面支持部は、前記マスクの下面に当接して前記マスクの下面を清掃するクリーニングヘッドを含むとともに、前記印刷方向に沿って移動可能に構成されたクリーナユニットであり、
前記第２当接部は、前記クリーニングヘッドに設けられている、請求項１〜３のいずれか１項に記載の印刷装置。
【請求項５】
前記クリーナユニットは、前記クリーニングヘッドに設けられ、前記マスクの下面に当接して前記マスクの下面を清拭する通気性のあるクリーニングシートと、前記クリーニングシートを介して前記マスクの下面に負圧を作用させるための吸引孔とをさらに含む、請求項４に記載の印刷装置。
【請求項６】
前記制御部は、前記スキージおよび前記クリーナユニットによる前記はんだ回収動作の実行後、前記はんだ印刷動作前に、前記スキージを前記マスクから離間させるとともに前記クリーニングヘッドを前記マスクの下面に当接させた状態で、前記クリーナユニットを前記印刷方向に移動させるマスク清掃動作を実行するように構成されている、請求項４または５に記載の印刷装置。
【請求項７】
前記下面支持部は、前記基板の側端面を保持するクランプ部材を含むとともに、前記印刷方向に移動可能に構成された基板テーブルであり、
前記第２当接部は、前記クランプ部材に設けられている、請求項１〜３のいずれか１項に記載の印刷装置。
【請求項８】
前記マスクの下面に当接して前記マスクの下面を清掃するクリーニングヘッドを含むとともに、前記印刷方向に沿って移動可能に構成されたクリーナユニットをさらに備え、
前記制御部は、前記スキージおよび前記クランプ部材による前記はんだ回収動作の実行後、前記はんだ印刷動作前に、前記スキージを前記マスクから離間させるとともに前記クリーニングヘッドを前記マスクの下面に当接させた状態で、前記クリーナユニットを前記印刷方向に移動させるマスク清掃動作を実行するように構成されている、請求項７に記載の印刷装置。
【請求項９】
印刷パターンの開口部を有するマスクにより基板にはんだを印刷する印刷装置において、前記基板に対するはんだ印刷動作時以外の所定のタイミングで行うはんだ回収方法であって、
前記基板への印刷パターンの開口部を有する前記マスクの上側から、スキージの第１当接部を当接させるステップと、
少なくとも前記第１当接部の印刷方向と交差する幅方向の端部位置で、前記マスクの下側から下面支持部の第２当接部を当接させるステップと、
前記マスクを前記第１当接部と前記第２当接部とにより上下に挟み込んだ状態で、前記スキージおよび前記下面支持部を、直前の印刷動作における前記スキージの前記印刷方向と同じ方向の前記印刷方向に移動させるステップとを備える、印刷装置のはんだ回収方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、印刷装置および印刷装置のはんだ回収方法に関し、特に、はんだを基板に印刷するスキージを備えた印刷装置および印刷装置のはんだ回収方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、はんだを基板に印刷するスキージを備えた印刷装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記特許文献１には、開口部が形成されたマスクに当接させたスキージを印刷方向に移動（摺動）させて、マスク上に供給されたペーストはんだを基板に印刷する印刷装置が開示されている。印刷時には、マスクの下面に基板が当接した状態で保持される。スキージが印刷方向に移動することにより、マスク上のはんだが開口部内に充填されて基板に転写されるとともに、余分なはんだが掻き取られる。基板の各種サイズにも対応できるように、スキージの接触部（先端部）の印刷方向と直交する幅方向の寸法は、基板の幅方向の寸法よりも大きくなるように設計される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−４３３６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このような印刷装置においては、マスクに対してスキージおよび基板をそれぞれ密着させるために、基板によってマスクが若干押し上げられるように撓められた状態で、スキージがマスク上面を下方に押圧し、この押圧力が基板で支持されるようにしている。この場合、基板の幅方向端部と、スキージの幅方向端部との間の範囲（印刷領域の外側）では、マスクとスキージとの間に隙間ができやすい。そのため、印刷動作を実行すると、マスク上には、スキージの幅方向端部近傍の位置で、印刷方向に沿うようにライン状の残留はんだが形成される。この残留はんだは、通常の印刷動作では掻き取ることができないため、マスク上で残留したままとなる。
【０００６】
残留はんだは、従来、マスクの交換時などにおいて、オペレータの手作業によってマスク上から回収されていた。したがって、従来、マスク上で掻き取れずに残る残留はんだを回収するためにオペレータの作業負担が増大するという問題点がある。
【０００７】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、残留はんだを回収するためのオペレータの作業負担を抑制することが可能な印刷装置および印刷装置のはんだ回収方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、この発明の第１の局面における印刷装置は、基板への印刷パターンの開口部を有するマスクに上側から当接する第１当接部を含み、所定の印刷方向に移動してマスク上のはんだを基板に印刷するスキージと、少なくとも第１当接部の印刷方向と交差する幅方向の端部位置でマスクに下側から当接する第２当接部を含み、印刷方向に移動可能に構成された下面支持部と、スキージの移動および下面支持部の移動を制御する制御部とを備え、制御部は、基板に対するはんだ印刷動作時以外の所定のタイミングにおいて、マスクを第１当接部と第２当接部とにより上下に挟み込んだ状態で、スキージおよび下面支持部を印刷方向に移動させるはんだ回収動作を実行するように構成されているとともに、はんだ回収動作において、直前の印刷動作におけるスキージの印刷方向と同じ方向に、スキージおよび下面支持部を移動させるように構成されている。
【０００９】
この発明の第１の局面による印刷装置では、上記のように、少なくとも第１当接部の印刷方向と交差する幅方向の端部位置でマスクに下側から当接する第２当接部を含み、印刷方向に移動可能に構成された下面支持部を設け、基板に対するはんだ印刷動作時以外の所定のタイミングにおいて、マスクを第１当接部と第２当接部とにより上下に挟み込んだ状態で、スキージおよび下面支持部を印刷方向に移動させるはんだ回収動作を実行するように制御部を構成する。これにより、スキージ（第１当接部）の幅方向端部とマスクとの間に隙間が形成されずに第１当接部とマスクとを密着させた状態で、マスク上のはんだの掻き取りを行うことができる。この結果、はんだ回収動作では、オペレータの手作業によることなく、マスク上でスキージの端部近傍に形成される残留はんだを掻き取ることができるので、残留はんだを回収するためのオペレータの作業負担を抑制することができる。また、はんだ回収動作を行うタイミングを、印刷動作後、残留はんだが硬化する前のタイミングに設定すれば、残留はんだが硬化する前に残留はんだを回収してはんだ溜まりに合流させることができるので、次の印刷動作によってはんだが攪拌され、その結果、残留はんだの硬化（すなわち、再利用性の低下）を抑制することができる。
【００１０】
上記第１の局面による印刷装置において、好ましくは、第２当接部は、幅方向において、第１当接部の長さ以上の長さを有する。このように構成すれば、はんだ回収動作時に、第１当接部の幅方向の全長に渡って、マスクと第１当接部とを密着させることができる。これにより、１回のはんだ回収動作で確実に、マスク上の残留はんだを回収してはんだ溜まりに合流させることができる。
【００１１】
上記第１の局面による印刷装置において、好ましくは、制御部は、はんだ回収動作において、マスク上に残留し印刷方向に延在する印刷方向残留はんだに対して、直前の印刷動作におけるスキージの印刷方向とは反対方向側の印刷方向残留はんだの端部よりも反対方向外側に位置する回収開始位置から、第１当接部と第２当接部とによるはんだ回収動作を実行するように構成されている。このように構成すれば、はんだ回収動作時に、スキージで印刷パターンの開口部にはんだを充填してしまうことを無くすことができる。
【００１２】
上記第１の局面による印刷装置において、好ましくは、下面支持部は、マスクの下面に当接してマスクを清掃するクリーニングヘッドを含むとともに、印刷方向に沿って移動可能に構成されたクリーナユニットであり、第２当接部は、クリーニングヘッドに設けられている。このように構成すれば、マスクの下面や開口部内の清掃のために設けられるクリーナユニットを利用して、マスク上の残留はんだを回収するはんだ回収動作を実施することが可能になる。この結果、専用の下面支持部を別途設けることなく、はんだ回収動作を行うことができるようになる。また、清掃用のクリーニングヘッドをマスクの下面に当接させるので、スキージの第１当接部に付着していたはんだがはんだ回収動作の際にマスクの開口部を通過（開口部から落下する）する場合にも、クリーニングヘッドによってはんだを取り除くことができる。
【００１３】
この場合、好ましくは、クリーナユニットは、クリーニングヘッドに設けられ、マスクの下面に当接してマスクの下面を清拭する通気性のあるクリーニングシートと、クリーニングシートを介してマスクの下面に負圧を作用させるための吸引孔とをさらに含む。このように構成すれば、はんだ回収動作の際にクリーニングヘッドによって、マスクの開口部に入ったはんだをより確実に取り除くことができる。
【００１４】
この場合、好ましくは、制御部は、スキージおよびクリーナユニットによるはんだ回収動作の実行後、はんだ印刷動作前に、スキージをマスクから離間させるとともにクリーニングヘッドをマスクの下面に当接させた状態で、クリーナユニットを印刷方向に移動させるマスク清掃動作を実行するように構成されている。このように構成すれば、スキージの第１当接部に付着していたはんだがはんだ回収動作の際にマスクの開口部内に入り込んでしまう場合でも、開口部内に入り込んだはんだを確実に取り除くことができる。
【００１５】
上記第１の局面による印刷装置において、好ましくは、下面支持部は、基板の側端面を保持するクランプ部材を含むとともに、印刷方向に移動可能に構成された基板テーブルであり、第２当接部は、クランプ部材に設けられている。このように構成すれば、印刷動作時に基板を保持する基板テーブルを利用して、マスク上の残留はんだを回収するはんだ回収動作を実施することが可能になる。この結果、専用の下面支持部を別途設けることなく、はんだ回収動作を行うことができるようになる。
【００１６】
この場合、好ましくは、マスクの下面に当接してマスクの下面を清掃するクリーニングヘッドを含むとともに、印刷方向に沿って移動可能に構成されたクリーナユニットをさらに備え、制御部は、スキージおよびクランプ部材によるはんだ回収動作の実行後、はんだ印刷動作前に、スキージをマスクから離間させるとともにクリーニングヘッドをマスクの下面に当接させた状態で、クリーナユニットを印刷方向に移動させるマスク清掃動作を実行するように構成されている。このように構成すれば、はんだ回収動作中に例えはんだがマスクの開口部内に入ったとしても、次の印刷動作の前にこのはんだをより確実に取り除くことができる。
【００１７】
この発明の第２の局面における印刷装置のはんだ回収方法は、印刷パターンの開口部を有するマスクにより基板にはんだを印刷する印刷装置において、基板に対するはんだ印刷動作時以外の所定のタイミングで行うはんだ回収方法であって、基板への印刷パターンの開口部を有するマスクの上側から、スキージの第１当接部を当接させるステップと、少なくとも第１当接部の印刷方向と交差する幅方向の端部位置で、マスクの下側から下面支持部の第２当接部を当接させるステップと、マスクを第１当接部と第２当接部とにより上下に挟み込んだ状態で、スキージおよび下面支持部を、直前の印刷動作におけるスキージの印刷方向と同じ方向の印刷方向に移動させるステップとを備える。
【００１８】
この発明の第２の局面による印刷装置のはんだ回収方法では、上記のように、少なくとも第１当接部の印刷方向と交差する幅方向の端部位置で、マスクの下側から下面支持部の第２当接部を当接させるステップと、マスクを第１当接部と第２当接部とにより上下に挟み込んだ状態で、スキージおよび下面支持部を印刷方向に移動させるステップとを設ける。これにより、スキージ（第１当接部）の幅方向端部とマスクとを密着させた状態で、スキージの端部近傍に形成される残留はんだを掻き取ることができるので、残留はんだを回収するためのオペレータの作業負担を抑制することができる。また、はんだ回収方法の実施タイミングを、印刷動作後、残留はんだが硬化する前のタイミングに設定すれば、残留はんだが硬化する前に残留はんだを回収してはんだ溜まりに合流させることができるので、次の印刷動作によってはんだが攪拌され、その結果、残留はんだの硬化（すなわち、再利用性の低下）を抑制することができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、上記のように、残留はんだを回収するためのオペレータの作業負担を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の第１および第２実施形態による印刷装置の全体構成を示した模式図である。
【図２】本発明の第１実施形態による印刷装置のマスク、スキージおよびクリーニングヘッドを示した模式的な平面図である。
【図３】本発明の第１実施形態による印刷装置のクリーナユニットを示した模式的な斜視図である。
【図４】（Ａ）は、印刷装置の印刷動作の第１段階（版合わせ）を説明する図である。（Ｂ）は、印刷動作の第２段階（スキージング）を説明する図である。（Ｃ）は、印刷動作の第３段階（版離れ）を説明する図である。
【図５】印刷動作におけるスキージを印刷方向から見た模式図である。
【図６】（Ａ）は、印刷装置のはんだ回収動作の第１段階（回収開始位置への移動）を説明する図である。（Ｂ）は、はんだ回収動作の第２段階（マスクの挟み込み）を説明する図である。（Ｃ）は、はんだ回収動作の第３段階（同期移動）を説明する図である。
【図７】はんだ回収動作におけるスキージを印刷方向から見た模式図である。
【図８】（Ａ）は、印刷装置のマスク清掃動作の第１段階（清掃開始位置への移動）を説明する図である。（Ｂ）は、マスク清掃動作の第２段階（クリーニングヘッドの上昇）を説明する図である。（Ｃ）は、マスク清掃動作の第３段階（移動）を説明する図である。
【図９】本発明の第１実施形態による印刷装置の動作制御を示したフロー図である。
【図１０】図９のはんだ回収動作の動作制御（サブルーチン）を示したフロー図である。
【図１１】（Ａ）は、本発明の第２実施形態による印刷装置のはんだ回収動作の第１段階を説明する図である。（Ｂ）は、はんだ回収動作の第２段階を説明する図である。（Ｃ）は、はんだ回収動作の第３段階を説明する図である。
【図１２】第２実施形態による印刷装置のはんだ回収動作におけるスキージを印刷方向から見た模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２２】
（第１実施形態）
まず、図１〜図８を参照して、本発明の第１実施形態による印刷装置１００の構成について説明する。
【００２３】
第１実施形態による印刷装置１００は、ペーストはんだＳｐを印刷（塗布）材料とし、所定の印刷パターンで開口部Ａｐ（図２参照）が形成されたマスクＭを用いて、基板ＣＢの表面にはんだＳｐをスクリーン印刷する装置である。開口部Ａｐは、基板ＣＢに形成される回路パターンに対応して形成される。
【００２４】
印刷装置１００は、図１に示すように、基台１と、スキージ２１を含むスキージユニット２と、基板テーブル３とを備えている。スキージユニット２および基板テーブル３は、基台１上に配置されている。基板テーブル３上には、クリーナユニット４が設けられている。スキージユニット２は、スキージ２１をＹ方向に移動させることにより印刷動作を行う。Ｙ方向は、本発明の「印刷方向」の一例である。また、図２に示すように、Ｙ方向と交差（直交）するＸ方向を幅方向という。Ｚ方向（図１参照）は、印刷装置１００の上下方向である。
【００２５】
また、印刷装置１００は、図１に示すように、スキージ２１の移動およびクリーナユニット４の移動を制御する制御部５を備える。第１実施形態では、スキージユニット２のスキージ２１とクリーナユニット４とによって、はんだ回収動作が実行される。なお、クリーナユニット４は、本発明の「下面支持部」の一例である。
【００２６】
マスクＭは、図２に示すように、所定のパターンの開口部Ａｐが設けられた印刷領域と、開口が設けられていない非印刷領域とを含んでいる。また、マスクＭは、平面視で矩形形状を有し、外周部がフレーム６に取り付けられている。印刷装置１００は、図示しないマスク保持部によりフレーム６を保持している。
【００２７】
スキージユニット２は、図１に示すように、マスクＭの上方に配置されている。スキージユニット２は、スキージ２１と、スキージＹ軸駆動機構２２と、スキージＺ軸駆動機構２３と、スキージＲ軸駆動機構２４と、はんだ供給部２５とを含んでいる。
【００２８】
スキージ２１は、マスクＭに上側から当接する当接部２１ａを含み、所定の印刷方向Ｙに移動してマスクＭ上のはんだＳｐを基板ＣＢに印刷するように構成されている。また、スキージ２１は、図２に示すように、Ｘ方向に延びるように形成されている。当接部２１ａは、幅方向（Ｘ方向）に長さＬ１を有する。長さＬ１は、基板ＣＢの幅寸法Ｗ（Ｘ方向寸法）よりも大きくなるように形成されている。なお、当接部２１ａは、本発明の「第１当接部」の一例である。
【００２９】
スキージＹ軸駆動機構２２は、図１に示すように、Ｙ軸モータ２２ａ、ボールネジ２２ｂ、ボールナット２２ｃおよび図示しないＹ軸レールを含む。Ｙ軸モータ２２ａがボールネジ２２ｂを回転させ、スキージユニット２に固定されたボールナット２２ｃを移動させることにより、スキージユニット２（スキージ２１）がＹ軸レールに沿ってＹ方向に移動される。スキージＺ軸駆動機構２３は、スキージＲ軸駆動機構２４およびスキージ２１をＺ方向に昇降させるように構成されている。スキージＲ軸駆動機構２４は、スキージ２１をＸ軸中心に回動させるように構成されている。はんだ供給部２５は、マスクＭの上方に配置され、マスクＭの上面上にはんだＳｐを供給する機能を有する。
【００３０】
スキージ２１は、マスクＭに上側（Ｚ１方向側）から所定の印圧（荷重）をかけながら印刷方向（Ｙ方向）に移動されることにより、はんだＳｐをローリング（回転）させながら印刷を行うように構成されている。スキージユニット２は、前後方向（Ｙ方向）に往復移動することにより、スキージ２１をマスクＭの上面に沿って移動させる。往路の印刷時と復路の印刷時とで、スキージ２１は、スキージＲ軸駆動機構２４により互いに反対方向を向くように回動される。
【００３１】
基板テーブル３は、マスクＭの下方位置（Ｚ２側位置）に配置されており、基台１上でＹ方向に往復移動可能に構成されている。基板テーブル３は、基板ＣＢを所定の印刷位置に搬送して保持する動作や、印刷済みの基板ＣＢを搬出する動作を行う。
【００３２】
基板テーブル３は、ベースプレート３ａと、一対のコンベア３１と、クランプ部材（クランププレート）３２と、Ｙ軸移動機構３３と、Ｚ軸移動機構３４と、図示しないＸ軸移動機構およびＲ軸移動機構とを含んでいる。また、ベースプレート３ａには、クリーナユニット４が設けられている。
【００３３】
一対のコンベア３１は、上流側の装置から未印刷の基板ＣＢを搬入し、基板ＣＢを所定の印刷位置に搬送し、印刷済みの基板ＣＢを下流側の装置へ搬出する機能を有している。一対のコンベア３１は、Ｙ方向に所定距離を隔てて互いに平行に配置されている。一対のコンベア３１は、基板ＣＢの搬送方向（Ｘ方向）に沿って延びるように設けられている。また、一対のコンベア３１は、基板ＣＢのＹ方向の両縁部をそれぞれ下面側から支持しつつ搬送するように構成されている。一対のコンベア３１は、搬送する基板ＣＢの幅（Ｙ方向寸法）に対応させてＹ方向の間隔を調整可能に構成されている。
【００３４】
クランプ部材３２は、一対のコンベア３１の上側に隣接するように一対設けられており、基板ＣＢの側端面を保持する機能を有する。具体的には、各クランプ部材３２は、基板ＣＢの搬送方向（Ｘ方向）に直線状に延びるように設けられている。また、一対のクランプ部材３２は、基板ＣＢを挟むようにＹ方向に所定の間隔を隔てて配置されており、図示しない駆動機構（エアシリンダなど）によってＹ方向に往復移動可能に構成されている。これにより、クランプ部材３２は、基板ＣＢのＹ方向の側端面を、マスクＭの下方の所定の印刷位置で両側から挟み込む（クランプする）ことにより固定（保持）するように構成されている。
【００３５】
Ｙ軸移動機構３３は、Ｙ軸モータ３３ａ、ボールネジ３３ｂ、ボールナット３３ｃおよびＹ軸レール３３ｄを含む。Ｙ軸モータ３３ａがボールネジ３３ｂを回転させ、基板テーブル３のベースプレート３ａに固定されたボールナット３３ｃを移動させることにより、ベースプレート３ａ（基板テーブル３）がＹ軸レール３３ｄに沿ってＹ方向に移動される。
【００３６】
ベースプレート３ａの上側にＸ軸移動機構が、Ｘ軸移動機構の上側にＲ軸移動機構がそれぞれ配置され、Ｒ軸移動機構の上側にＺ軸移動機構３４が配置される。Ｚ軸移動機構３４は、Ｚ軸テーブル３４ａ、４本のボールネジ３４ｂ、４個のボールナット３４ｃおよび図示しないＺ軸モータを含む。Ｚ軸テーブル３４ａは基板テーブル３の上方に配置されている。Ｚ軸モータが各ボールネジ３４ｂを回転させ、Ｚ軸テーブル３４ａに固定された各ボールナット３４ｃを移動させることにより、Ｚ軸テーブル３４ａがＺ方向に移動（昇降）される。Ｚ軸テーブル３４ａ上には、基板昇降部３５および一対のブラケット部材３ｂが設けられ、ブラケット部材３ｂの各上部にはコンベア３１およびクランプ部材３２が設けられている。
【００３７】
基板昇降部３５は、一対のコンベア３１の間のＹ方向位置に配置されており、支持板３５ａをＺ方向に移動（昇降）させるように構成されている。支持板３５ａには複数のバックアップピン３５ｂ（図４参照、図１では省略）が配置される。基板昇降部３５は、バックアップピン３５ｂにより基板ＣＢを支持する。
【００３８】
なお、図示しないＸ軸移動機構は、基板ＣＢをＸ方向に移動させる機能を有し、同じく図示しないＲ軸移動機構は、基板ＣＢを水平面内（ＸＹ面内）で回動させる機能を有する。これらのＸ軸移動機構、Ｙ軸移動機構３３およびＲ軸移動機構によってマスクＭに対する基板ＣＢの相対位置（水平面内の位置および傾き）が正確に位置決めされた状態で、Ｚ軸移動機構３４によって基板ＣＢがマスクＭの下面に当接される。
【００３９】
クリーナユニット４は、基板印刷の際にマスクＭに付着したはんだを除去することによりマスクＭを清掃するように構成されている。クリーナユニット４は、ベースプレート３ａ上に配置されており、ベースプレート３ａがＹ方向に移動するのに伴って基板テーブル３と共にＹ方向に移動する。クリーナユニット４は、図３に示すように、シート供給部４１と、クリーニングヘッド４２と、シート回収部４３とを含む。
【００４０】
シート供給部４１は、Ｘ方向に延びる軸部に未使用のクリーニングシートＣｓを巻回した状態で保持している。クリーニングシートＣｓは、シート供給部４１から複数の案内ローラを経て、クリーニングヘッド４２の上面を覆うように通過した後、シート回収部４３まで案内される。クリーニングシートＣｓは、可撓性および通気性を有する布材により構成されている。なお、紙材や皮革など、布材以外の材料により構成されたクリーニングシートを用いてもよい。
【００４１】
クリーニングヘッド４２は、上面である当接面４２ａがマスクＭの下面に当接（クリーニングシートＣｓを介して当接）してマスクＭを清掃するように構成されている。クリーニングヘッド４２は、昇降用駆動源４２ｂにより上下方向（Ｚ方向）に昇降可能に構成されている。クリーニングヘッド４２は、マスクＭをクリーニングする際に上方に移動されることによって、クリーニングシートＣｓを介して当接面４２ａをマスクＭの下面に当接させるように構成されている。なお、当接面４２ａは、本発明の「第２当接部」の一例である。
【００４２】
ここで、第１実施形態では、図２に示すように、当接面４２ａは、少なくともスキージ２１の当接部２１ａの幅方向Ｘの端部位置でマスクＭに下側から当接可能に構成されている。第１実施形態では、当接面４２ａは、幅方向Ｘにおいて、スキージ２１の当接部２１ａの長さＬ１よりも大きい長さＬ２となるように形成されている。したがって、第１実施形態では、当接面４２ａは、スキージ２１の当接部２１ａのＸ方向の端部位置のみならず、当接部２１ａのＸ方向の全幅に渡る範囲で、マスクＭの下面に当接可能に構成されている。また、当接面４２ａは、平坦面状に形成されているとともに、平面視で矩形状に形成されている。当接面４２ａは、Ｙ方向に長さＬ３を有する。
【００４３】
図３に示すように、クリーニングヘッド４２の当接面４２ａには、吸引ユニット（図示せず）に連通する複数の吸引孔４２ｃが、Ｘ方向に沿って配列されている。吸引孔４２ｃには、吸引ユニットから負圧が供給される。これにより、クリーニングヘッド４２は、マスクＭの開口部Ａｐからはみ出てマスクＭの下面に付着し、クリーニングシートＣｓにより拭き取られたはんだを吸引して、クリーニングシートＣｓに吸着させるように構成されている。吸引されたはんだは、クリーニングシートＣｓの通気路となる繊維の隙間部分に保持される。
【００４４】
シート回収部４３は、Ｘ方向に延びる軸部を回転させることにより、使用済みのクリーニングシートＣｓを巻き取るように構成されている。
【００４５】
なお、基板テーブル３には、図１に示すように、マスクＭの下面に付されたマーク（図示せず）を下面側から撮像するマスクカメラ３６が設けられている。また、基板テーブル３よりも上方の所定位置には、基板ＣＢに付されたマーク（図示せず）を撮像する基板カメラ７が設けられている。マスクカメラ３６の撮像画像により、マスクＭの位置が認識される。基板カメラ７の撮像画像により、基板テーブル３に対する基板ＣＢの位置が認識される。認識されたマスク位置と基板位置とに基づいて、基板テーブル３のＹ方向位置、Ｚ軸テーブル３４ａのＸ方向およびＲ方向の各位置が、それぞれ補正されることで、基板ＣＢとマスクＭとの位置合わせに際しての基板ＣＢの位置補正が行われる。これにより、水平面内（ＸＹ平面）におけるマスクＭの開口部Ａｐの位置と、基板ＣＢの位置との相対位置が正確に位置決めされる。
【００４６】
制御部５は、ＣＰＵ５１、メモリ（図示せず）および記憶部５２などを備えたコンピュータからなり、記憶部５２に記憶された印刷プログラムに基づいて各部を制御する機能を有している。また、制御部５は、スキージユニット２、基板テーブル３の各部およびクリーナユニット４などの動作を制御するように構成されている。これにより、制御部５は、印刷装置１００のはんだ印刷動作と、クリーナユニット４によるマスク清掃動作と、スキージ２１およびクリーナユニット４によるはんだ回収動作とを実行するための制御を行う。
【００４７】
ここで、第１実施形態では、制御部５は、基板ＣＢに対するはんだ印刷動作時以外の所定のタイミングにおいて、マスクＭを当接部２１ａ（スキージ２１）と当接面４２ａ（クリーニングヘッド４２）とにより上下に挟み込んだ状態で、スキージ２１およびクリーナユニット４を印刷方向Ｙに移動させるはんだ回収動作を実行するように構成されている。また、制御部５は、スキージ２１およびクリーナユニット４によるはんだ回収動作の実行後、はんだ印刷動作前に、スキージ２１をマスクＭから離間させるとともにクリーニングヘッド４２をマスクＭの下面に当接させた状態で、クリーナユニット４を印刷方向Ｙに移動させるマスク清掃動作を実行するように構成されている。
【００４８】
次に、印刷動作、はんだ回収動作およびマスク清掃動作について説明する。
【００４９】
印刷動作では、まず、図４（Ａ）に示すように、印刷前の基板ＣＢの版合わせが行われる。すなわち、クランプ部材３２によって基板ＣＢがクランプ（固定）され、マスクＭに対する基板ＣＢの相対位置（水平面内の位置および傾き）が正確に位置決めされた状態で、Ｚ軸移動機構３４によって基板ＣＢが所定の印刷位置（Ｚ軸位置）まで上昇される。また、基板ＣＢの下面がバックアップピン３５ｂによって支持される。この結果、基板ＣＢがマスクＭの下面に当接された状態で保持される。基板ＣＢをマスクＭに確実に密着させるため、印刷位置では、基板ＣＢがマスクＭを上方に押し上げて撓ませた状態になる。
【００５０】
次に、図４（Ｂ）に示すように、スキージ２１による掻き取り（スキージング）が行われる。まず、スキージユニット２が移動して、スキージ２１が所定の印刷開始位置（Ｙ軸位置）に位置付けられる。スキージＺ軸駆動機構２３がスキージ２１を下降させ、スキージ２１の当接部２１ａをマスクＭの上面に当接させる。この際、スキージ２１により所定の印圧荷重が基板ＣＢ側（下方）に印加される。そして、当接部２１ａをマスクＭに当接させた状態で、スキージユニット２がＹ方向に移動して、スキージ２１をマスクＭの上面に沿って印刷終了位置まで摺動させる。この結果、マスクＭ上のはんだＳｐがスキージ２１により掻かれながらマスクＭ上を印刷終了位置まで移動（ローリング）する間に、マスクＭの開口部Ａｐ内にはんだが充填される。
【００５１】
この掻き取りの際、図５に示すように、基板ＣＢのＸ方向両端部とスキージ２１の両端部との間の領域では、マスクＭとスキージ２１との間に隙間が形成される。その結果、マスクＭ上面上に、図２に示す残留はんだＳｐ１が発生する。残留はんだＳｐ１は、基板ＣＢが配置される位置（マスクＭの印刷領域）の幅方向Ｘの両側に、基板ＣＢの幅方向の端縁に沿って直線状に形成される。一方、マスクＭ上のはんだＳｐの大部分は、印刷終了位置に運ばれはんだ溜まりＳｐ２を形成する。なお、図２では、残留はんだＳｐ１とはんだ溜まりＳｐ２とをそれぞれ異なるハッチングを付して図示している。なお、残留はんだＳｐ１は、本発明の「印刷方向残留はんだ」の一例である。
【００５２】
掻き取りが終了すると、図４（Ｃ）に示すように、印刷後の基板ＣＢの版離れが行われる。すなわち、Ｚ軸移動機構３４によって基板ＣＢが下降される。この結果、マスクＭの開口部Ａｐ内に充填されたはんだが基板ＣＢ側に残り（転写され）、マスクＭの開口部Ａｐのパターンに応じたはんだの印刷パターンが基板ＣＢに形成される。その後、クランプ部材３２のクランプが解除されるとともに、バックアップピン３５ｂは基板ＣＢから離間し、基板ＣＢは再び一対のコンベア３１に支持される。
【００５３】
版離れによって印刷動作が完了する。印刷済みの基板ＣＢは、コンベア３１によって搬出される。次の基板ＣＢへの印刷動作は、掻き取りの方向が逆になる点を除いて、基本的に同様である。すなわち、次の基板ＣＢの版合わせ後、スキージ２１は、スキージＲ軸駆動機構２４によって逆向きに回動される。そして、今度は、掻き取り（スキージング）がＹ方向逆向きに実施され、版離れによって印刷動作が完了する。印刷済みの基板ＣＢは、コンベア３１によって搬出される。Ｙ２方向側からＹ１方向側の印刷を往路印刷とし、Ｙ１方向側からＹ２方向側の印刷を復路印刷とすると、これらの往路印刷と復路印刷とを交互に繰り返すことにより、生産予定枚数の基板ＣＢの印刷動作が行われる。
【００５４】
次に、はんだ回収動作について説明する。図２に示したように、印刷動作が行われると、マスクＭの上面上において、基板ＣＢが配置される位置（マスクＭの印刷領域）の幅方向Ｘの両側に残留はんだＳｐ１が発生する。はんだ回収動作は、この残留はんだＳｐ１を掻き取り、印刷のためのはんだ溜まりＳｐ２に合流させる動作である。
【００５５】
はんだ回収動作では、まず、図６（Ａ）に示すように、クリーナユニット４およびスキージ２１を所定の回収開始位置（Ｙ軸位置）に移動させる。すなわち、基板テーブル３がＹ方向に移動して、クリーナユニット４が回収開始位置へ位置付けられる。また、スキージユニット２が移動して、スキージ２１がクリーナユニット４と同じ回収開始位置に位置付けられる。回収開始位置は、残留はんだＳｐ１の形成範囲よりもＹ方向外側の位置であって、はんだ溜まりＳｐ２に対してＹ方向反対側の外側位置である。より具体的には、回収開始位置は、マスクＭ上に残留し印刷方向に延在する残留はんだＳｐ１に対して、直前の印刷動作におけるスキージ２１の印刷方向とは反対方向側の残留はんだＳｐ１の端部よりも反対方向外側の位置である。図６（Ａ）の例では、直前の印刷動作がＹ２方向側からＹ１方向側の往路印刷である（はんだ溜まりＳｐ２がＹ１側に位置する）ので、回収開始位置は、残留はんだＳｐ１のＹ２方向側端部よりもＹ２方向外側の位置となる。この結果、Ｙ方向の同じ位置で、クリーニングヘッド４２とスキージ２１とが上下に並ぶように配置される。はんだ溜まりＳｐ２に対してＹ方向反対側とは、本発明の「直前の印刷動作におけるスキージの印刷方向とは反対方向」の一例である。
【００５６】
次に、図６（Ｂ）に示すように、スキージ２１の当接部２１ａとクリーニングヘッド４２の当接面４２ａとによりマスクＭを上下に挟み込ませる。具体的には、まず、クリーナユニット４のクリーニングヘッド４２が、昇降用駆動源４２ｂにより上昇される。これにより、クリーニングヘッド４２の当接面４２ａが、クリーニングシートＣｓを介してマスクＭの下面に当接（密着）する。続いて、スキージ２１が、スキージＺ軸駆動機構２３により下降される。これにより、スキージ２１の当接部２１ａが、マスクＭの上面に当接し、当接部２１ａの下方向の所定の荷重がマスクＭ、およびクリーニングシートＣｓを介してクリーニングヘッド４２の当接面４２ａに支持される。この結果、スキージ２１の当接部２１ａとクリーニングヘッド４２の当接面４２ａとがマスクＭを上下から挟み込むように互いにマスクＭと密着する。なお、クリーニングヘッド４２の当接面４２ａについては、クリーニングシートＣｓを介して密着する。
【００５７】
ここで、図２に示したように、クリーニングヘッド４２（当接面４２ａ）幅方向Ｘの長さＬ２は、スキージ２１（当接部２１ａ）の長さＬ１よりも大きい。このため、図７に示すように、クリーニングヘッド４２（当接面４２ａ）によってマスクＭの下面側を支持するはんだ回収動作の場合、印刷動作と異なり、スキージ２１の全幅に渡ってスキージ２１とマスクＭとを密着させることができる。つまり、マスクＭとスキージ２１との間に隙間が形成されることがない。
【００５８】
次に、図６（Ｃ）に示すように、スキージ２１とクリーナユニット４との同期移動による掻き取り（スキージング）が行われる。すなわち、当接部２１ａ（スキージ２１）と当接面４２ａ（クリーニングヘッド４２）とによりマスクＭを上下に挟み込んだ状態で、スキージユニット２と基板テーブル３とがＹ方向に同期して移動する。より具体的には、スキージ２１とクリーナユニット４とが回収開始位置からＹ方向反対側の回収終了位置まで、相対位置関係を保ったまま同一速度でＹ方向に移動される。この結果、当接部２１ａがマスクＭの上面に沿って移動（摺動）する間に、マスクＭの上面上の残留はんだＳｐ１が掻き取られる。回収終了位置は、印刷終了位置と略同一であり、はんだ溜まりＳｐ２の位置である。これにより、マスクＭ上の残留はんだＳｐ１がはんだ溜まりＳｐ２と合流することにより、残留はんだＳｐ１の回収が完了する。
【００５９】
なお、図６（Ａ）〜図６（Ｃ）では、ベースプレート３ａに配置されクリーナユニット４と一体的にＹ方向に移動する基板テーブル３は図示を省略している。はんだ回収動作に先行して、基板テーブル３は、Ｚ軸移動機構３４によってＺ軸テーブル３４ａが下降され、基板昇降部３５、一対のブラケット部材３ｂ、コンベア３１、およびクランプ部材３２が下降し、マスクＭから離間する。
【００６０】
なお、図６（Ａ）〜図６（Ｃ）では、往路印刷方向へのはんだ回収動作を示したが、復路印刷方向にはんだ回収動作を行うことも可能である。はんだ回収動作の動作方向は、はんだ溜まりＳｐ２がＹ方向のいずれの側に位置するか（直前の印刷動作が往路印刷か復路印刷か）によって決定すればよく、はんだ溜まりＳｐ２に向けてはんだ回収動作を実施すればよい。そのため、第１実施形態では、はんだ回収動作は、直前の印刷動作におけるスキージ２１の印刷方向とは反対方向側の残留はんだＳｐ１の端部よりも反対方向外側の回収開始位置から開始される。図６（Ａ）〜図６（Ｃ）のように直前の印刷動作がＹ１方向に向かう往路印刷であれば、回収開始位置がＹ２方向の外側位置となる。逆に、直前の印刷動作がＹ２方向に向かう復路印刷であれば、回収開始位置がＹ１方向の外側位置となる。言い換えると、はんだ回収動作では、スキージ２１およびクリーナユニット４は、直前の印刷動作におけるスキージ２１の印刷方向と同じ方向に移動するように制御される。
【００６１】
残留はんだＳｐ１は、マスクＭの印刷領域の幅方向Ｘの両側に、基板ＣＢの幅方向の端縁に沿って直線状に形成されるので、はんだ回収動作中には、マスクＭの開口部Ａｐにはんだが充填されることも、開口部Ａｐから下方に落下してはんだが無駄になったり、マスクＭの下面をはんだで汚すこともない。なお、はんだ回収動作をはんだ溜まりＳｐ２の配置された側から行う場合には、マスクＭの開口部Ａｐ内にはんだが充填され、開口部Ａｐから下方に落下してはんだが無駄になったり、マスクＭの下方をはんだで汚す可能性がある。
【００６２】
はんだ回収動作は、制御部５により、印刷動作時以外の所定のタイミングで定期的に実施される。はんだ回収動作の実施タイミングは、印刷動作の合間（基板印刷終了後、次の基板印刷開始前）であって、基板印刷枚数が予め設定された設定枚数に到達した場合、所定の設定時間が経過した場合、または、基板生産が終了する場合（すなわち、現在使用中のマスクＭを交換する場合）である。設定時間の経過は、初回実行時には印刷開始からの経過時間に基づき、２回目以降は前回のはんだ回収動作実施後の次の印刷開始からの経過時間に基づく。設定枚数や、設定時間は、予め記憶部５２に設定されている。
【００６３】
次に、マスク清掃動作について説明する。マスク清掃動作は、マスクＭの下面（マスクＭと基板ＣＢとの間）に付着したはんだや、開口部Ａｐ内に残留したはんだなどをマスクＭから除去して、良好な印刷精度を維持するための動作である。マスク清掃動作は、はんだ回収動作後に実施されるほか、はんだ回収動作とは独立して実施されることがある。なお、マスク清掃動作時には、スキージ２１はマスクＭの上方に離間し、かつ、開口部Ａｐが形成された印刷領域よりもＹ方向外側の退避位置で待機する。
【００６４】
マスク清掃動作では、まず、図８（Ａ）に示すように、クリーナユニット４を所定の清掃開始位置（Ｙ軸位置）に移動させる。すなわち、基板テーブル３がＹ方向に移動して、クリーナユニット４が清掃開始位置へ位置付けられる。清掃開始位置は、開口部Ａｐが形成された印刷領域よりもＹ方向外側の所定位置であり、回収開始位置と同じ位置であってよい。なお、シート回収部４３の巻取によって、クリーニングヘッド４２の当接面４２ａにはクリーニングシートＣｓの未使用部位が配置される。
【００６５】
次に、図８（Ｂ）に示すように、クリーニングヘッド４２の当接面４２ａをマスクＭの下面に当接させる。すなわち、クリーニングヘッド４２が昇降用駆動源４２ｂにより上昇され、当接面４２ａがクリーニングシートＣｓを介してマスクＭの下面に当接（密着）する。
【００６６】
次に、図８（Ｃ）に示すように、当接面４２ａをマスクＭの下面に当接させた状態で、クリーナユニット４をＹ方向に移動させる。すなわち、基板テーブル３によって、スキージユニット２が清掃開始位置からＹ方向反対側の清掃終了位置までＹ方向に移動される。この際、当接面４２ａの複数の吸引孔４２ｃから負圧が供給され、開口部Ａｐ内のはんだがクリーニングシートＣｓ側に吸引される。この結果、開口部ＡｐからマスクＭの下面にはみ出てマスクＭの下面に付着するはんだが拭き取られるとともに、拭き取られたはんだが負圧によりクリーニングシートＣｓの通気路となる繊維の隙間部分に入り込み、確実に吸着保持される。
【００６７】
なお、マスクＭの開口部Ａｐ内に付着（残留）したはんだが硬化する可能性のある場合には、負圧を大きくすることで、クリーニングシートＣｓを介してマスクＭの開口部Ａｐ内に付着（残留）したはんだを吸引して、クリーニングシートＣｓに吸着させるようにできる。
【００６８】
清掃終了位置までクリーナユニット４が移動すると清掃動作が終了する。クリーニングヘッド４２が昇降用駆動源４２ｂにより下降されてマスクＭの下面から離間（図示せず）する。
【００６９】
なお、はんだ回収動作の際にも、マスク清掃動作と同様に当接面４２ａの吸引孔４２ｃから負圧を供給しても良い。
【００７０】
次に、図４、図６、図８〜図１０を参照して、本発明の第１実施形態による印刷装置１００の基本的な動作における制御処理の説明を行う。印刷装置１００の動作制御は、制御部５により行われる。なお、ここでは、マスク清掃動作をはんだ回収動作と同じタイミング（はんだ回収動作終了後）でのみ行う例について説明する。
【００７１】
印刷装置１００の印刷処理が開始されると、図９のステップＳ１において、基板ＣＢが搬入される。具体的には、基板ＣＢが上流側装置からコンベア３１に搬入される。制御部５は、コンベア３１により基板ＣＢを印刷位置まで搬送させる。
【００７２】
ステップＳ２において、基板ＣＢへの印刷動作が行われる。制御部５は、図４（Ａ）の版合わせ、図４（Ｂ）の掻き取り（スキージング）および図４（Ｃ）の版離れの各動作が順次実行されように、スキージユニット２および基板テーブル３などの各部を制御する。この印刷動作の結果、基板ＣＢにはんだが印刷され、マスクＭの上面上には残留はんだＳｐ１が形成される。
【００７３】
ステップＳ３において、制御部５は、印刷済みの基板ＣＢをコンベア３１により搬出させる。印刷済みの基板ＣＢは、下流側の装置へ搬送される。
【００７４】
ここで、第１実施形態では、ステップＳ４において、制御部５は、はんだ回収動作を実行するか否かを判断する。制御部５は、基板印刷枚数が予め設定された設定枚数に到達した場合、所定の設定時間が経過した場合、および、基板生産を終了する場合（印刷予定枚数の基板印刷が完了した場合）のいずれかの条件に該当する場合に、はんだ回収動作を実行すると判断する。上記の各条件のいずれにも該当しない場合、処理がステップＳ６に進む。
【００７５】
上記の各条件のいずれかに該当した場合、制御部５は、ステップＳ５において、はんだ回収動作を実行する。ここでは、図１０を参照してはんだ回収動作の制御処理について説明する。
【００７６】
図１０のステップＳ１１において、制御部５は、基板テーブル３をＹ方向に移動させ、クリーナユニット４を回収開始位置へ位置付ける。次に、ステップＳ１２において、制御部５は、スキージユニット２をＹ方向に移動させ、スキージ２１を回収開始位置に位置付ける。ステップＳ１１およびＳ１２は、図６（Ａ）に示した動作に対応する。
【００７７】
ステップＳ１３において、制御部５は、昇降用駆動源４２ｂを駆動させ、クリーニングヘッド４２を上昇させて、当接面４２ａを（クリーニングシートＣｓを介して）マスクＭの下面に当接（密着）させる。続いて、ステップＳ１４において、制御部５は、スキージＺ軸駆動機構２３を駆動させ、スキージ２１を下降させて、当接部２１ａをマスクＭの上面に当接させる。ステップＳ１３およびＳ１４は、図６（Ｂ）に示した動作に対応する。
【００７８】
ステップＳ１５において、制御部５は、スキージユニット２と基板テーブル３とを回収終了位置に向けてＹ方向に同期して移動させる。この結果、マスクＭの上面上の残留はんだＳｐ１がスキージ２１によって掻き取られ、はんだ溜まりＳｐ２に合流する。ステップＳ１５は、図６（Ｃ）に示した動作に対応する。
【００７９】
その後、ステップＳ１６において、制御部５は、クリーナユニット４により、マスク清掃動作を実行する。ステップＳ１６では、図８（Ａ）〜図８（Ｃ）に示した動作が順次実行されるように、制御部５がクリーナユニット４および基板テーブル３を制御する。ステップＳ１６の詳細は省略する。以上により、ステップＳ５のはんだ回収動作が完了する。
【００８０】
なお、ステップＳ５で残留はんだＳｐ１が回収されても、次に印刷動作（ステップＳ２）が実施されると、マスクＭの上面上に残留はんだＳｐ１が再び形成される。しかし、はんだ回収動作によって残留はんだＳｐ１をはんだ溜まりＳｐ２に合流させることによって、印刷動作とはんだ回収動作とを実行する度に残留はんだＳｐ１が攪拌されることになる。このため、残留はんだＳｐ１が硬化または劣化することが抑制される。
【００８１】
図９のステップＳ６では、制御部５は、生産（印刷）を終了するか否かを判断する。すなわち、制御部５は、印刷予定枚数分の基板印刷が完了したか否かを判断し、未印刷の基板ＣＢが残っている場合には処理がステップＳ１に戻る。ステップＳ１〜Ｓ６の繰り返しによって、基板ＣＢの印刷が印刷予定枚数分だけ実行される。
【００８２】
印刷予定枚数分の基板印刷が完了した場合には、基板印刷動作処理が終了する。上記の通り、印刷を終了する場合には、ステップＳ４において制御部５がはんだ回収動作を実行すると判断し、処理がステップＳ５に進むことになる。このため、印刷を終了する場合、最後にはんだ回収動作およびマスク清掃動作（ステップＳ５）が実行されてから、処理が終了する。したがって、印刷終了時には、はんだ回収動作によってマスクＭ上の残留はんだＳｐ１がはんだ溜まりＳｐ２に合流されるとともに、マスク清掃動作によってマスク下面および開口部Ａｐ内に残留したはんだがマスクＭから除去された状態で、処理が終了する。この結果、ユーザは、マスクＭを交換する際にはんだ溜まりＳｐ２を回収する作業だけで済むようになる。
【００８３】
第１実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
【００８４】
第１実施形態では、上記のように、少なくとも当接部２１ａの幅方向Ｘの端部位置でマスクＭに下側から当接する当接面４２ａを含み、印刷方向Ｙに移動可能に構成されたクリーナユニット４を設ける。また、基板ＣＢに対するはんだ印刷動作時以外において、マスクＭを当接部２１ａと当接面４２ａとにより上下に挟み込んだ状態で、スキージ２１およびクリーナユニット４を印刷方向Ｙに移動させるはんだ回収動作を実行するように制御部５を構成する。これにより、スキージ２１の幅方向Ｘの端部でも当接部２１ａとマスクＭとを密着させた状態で、マスクＭ上のはんだの掻き取りを行うことができる。この結果、オペレータの手作業によることなく、マスクＭ上の残留はんだＳｐ１を掻き取ることができるので、残留はんだＳｐ１を回収するためのオペレータの作業負担を抑制することができる。
【００８５】
また、第１実施形態では、はんだ回収動作を行うタイミングを、基板印刷枚数が予め設定された設定枚数に到達した場合、所定の設定時間が経過した場合、および、基板生産を終了する場合のいずれかの条件を満たしたタイミングに設定する。すなわち、残留はんだＳｐ１が硬化する前の所定のタイミングで定期的にはんだ回収動作を行うように制御部５を構成することによって、残留はんだＳｐ１が硬化する前に残留はんだを回収してはんだ溜まりＳｐ２に合流させることができる。この結果、残留はんだＳｐ１の回収後の次の印刷動作によってはんだが攪拌されることにより、残留はんだＳｐ１の硬化（すなわち、再利用性の低下）を抑制することができる。
【００８６】
第１実施形態では、上記のように、当接面４２ａの長さＬ２を、幅方向Ｘにおいて、当接部２１ａの長さＬ１以上の長さとする。これにより、はんだ回収動作時に、当接部２１ａの幅方向Ｘの全長に渡って、マスクＭと当接部２１ａとを密着させることができる。この結果、１回のはんだ回収動作で確実に、マスクＭ上の残留はんだＳｐ１を回収してはんだ溜まりＳｐ２に合流させることができる。
【００８７】
第１実施形態では、上記のように、クリーニングヘッド４２を含むとともに、印刷方向Ｙに沿って移動可能に構成されたクリーナユニット４を設け、当接面４２ａをクリーニングヘッド４２に設ける。これにより、専用の下面支持部を別途設けることなく、マスクＭの清掃のために設けられるクリーナユニット４を利用してはんだ回収動作を実施することが可能になる。なお、印刷動作後スキージ２１に付着するはんだについて、はんだ溜まりＳｐ２上に落下合流させるのであるが、印刷動作後直にはんだ回収動作に移行する場合には、スキージ２１に付着していたはんだは、はんだの粘度が低いと、このはんだがはんだ回収動作の際にマスクＭの開口部Ａｐを通過（開口部Ａｐから落下する）する可能性がある。この場合でも、クリーニングヘッド４２によってはんだを取り除くことができる。さらに、はんだの粘度が比較的高く、はんだ回収動作中に開口部Ａｐから下方に落下することがない場合であっても、はんだ回収動作後、印刷動作に移行するまでの時間が長い場合には、開口部Ａｐ内に入ったはんだが劣化する可能性がある。しかしながら、クリーニングヘッド４２に負圧を作用させる場合には、より確実にクリーニングヘッド４２によって開口部Ａｐ内に入ったはんだを取り除くことができる。
【００８８】
第１実施形態では、上記のように、はんだ回収動作の実行後、はんだ印刷動作前に、マスク清掃動作を実行するように制御部５を構成する。これにより、スキージ２１に付着していたはんだがはんだ回収動作の際にマスクＭの開口部Ａｐ内に入り込んでしまう場合でも、開口部Ａｐ内に入り込んだはんだを確実に取り除くことができる。
【００８９】
なお、クリーナユニット４を利用したはんだ回収動作において開口部Ａｐ内に入り込んだはんだを完全には取り除くことができない場合でも、クリーナユニット４を利用したはんだ回収動作の実行後、クリーニングヘッド４２に負圧を作用させつつマスク清掃動作を実行することで、開口部Ａｐ内に入り込んだはんだをより確実に取り除くことができる。
【００９０】
また、第１実施形態では、上記のように、はんだ回収動作において、残留はんだＳｐ１に対して、直前の印刷動作におけるスキージ２１の印刷方向とは反対方向側の残留はんだＳｐ１の端部よりも反対方向外側に位置する回収開始位置から、はんだ回収動作を実行するように制御部５を構成する。すなわち、制御部５は、直前にＹ１方向への往路印刷を実施した場合に、反対のＹ２方向外側に回収開始位置を設定し、直前にＹ２方向への復路印刷を実施した場合に、反対のＹ１方向外側に回収開始位置を設定する。これにより、はんだ回収動作時に、スキージで印刷パターンの開口部にはんだを充填してしまうことを無くすことができる。
【００９１】
また、第１実施形態では、上記のように、クリーナユニット４のクリーニングヘッド４２に、マスクＭの下面を清拭する通気性のあるクリーニングシートＣｓと、クリーニングシートＣｓを介してマスクＭの下面に負圧を作用させるための吸引孔４２ｃとを設ける。これにより、はんだ回収動作の際にクリーニングヘッド４２によって、マスクＭの開口部Ａｐに入ったはんだをより確実に取り除くことができる。
【００９２】
（第２実施形態）
以下、図１、図１１および図１２を参照して、本発明の第２実施形態による印刷装置２００について説明する。この第２実施形態では、はんだ回収動作においてクリーナユニット４によりマスクＭの下面を支持するように構成した第１実施形態と異なり、はんだ回収動作においてクランプ部材３２によりマスクＭの下面を支持するように構成した例について説明する。
【００９３】
なお、第２実施形態による印刷装置２００（図１参照）は、制御部１０５のみが上記第１実施形態と異なり、ハードウェア構成（装置構造）は同一であるので、同一の符号を用いて必要な部分のみ説明する。
【００９４】
第２実施形態では、基板ＣＢの側端面を保持するクランプ部材３２を含むとともに、印刷方向Ｙに移動可能に構成された基板テーブル３により、はんだ回収動作におけるマスクＭの下面支持が行われるように、印刷装置２００が構成されている。基板テーブル３は、本発明の「下面支持部」の一例である。
【００９５】
クランプ部材３２は、図１２に示すように、少なくともスキージ２１の当接部２１ａの幅方向Ｘの端部位置でマスクＭに下側から当接する当接面１３２を有する。当接面１３２は、クランプ部材３２の上面である。なお、クランプ部材３２は平坦な上面を有するとともに幅方向Ｘに直線状に延びる細長板状部材である。当接面１３２は、幅方向Ｘにおいて、当接部２１ａの長さＬ１よりも大きい長さＬ４を有する。すなわち、クランプ部材３２自体が、長さＬ４で形成されている。なお、当接面１３２は、本発明の「第２当接部」の一例である。
【００９６】
第２実施形態では、制御部１０５は、はんだ回収動作において、図１１（Ａ）に示すように、基板テーブル３をＹ方向に移動させ、クランプ部材３２を回収開始位置に位置付ける。そして、制御部１０５は、図１１（Ｂ）に示すように、Ｚ軸移動機構３４を駆動してクランプ部材３２の当接面１３２をマスクＭの下面に当接させる。その後、制御部１０５は、図１１（Ｃ）に示すように、回収開始位置でスキージ２１を下降させることにより、マスクＭをスキージ２１の当接部２１ａとクランプ部材３２の当接面１３２とにより上下に挟み込ませる。この状態で、制御部１０５は、スキージユニット２と基板テーブル３と回収開始位置から回収終了位置まで、同期させてＹ方向に移動させる。このようにして、第２実施形態でのはんだ回収動作が実施される。なお、この第２実施形態でも、上記第１実施形態と同様に、制御部１０５は、スキージ２１およびクランプ部材３２によるはんだ回収動作の実行後、はんだ印刷動作前に、スキージ２１をマスクＭから離間させるとともにクリーニングヘッド４２をマスクＭの下面に当接させた状態で、クリーナユニット４を印刷方向に移動させるマスク清掃動作を実行するように構成されている。
【００９７】
第２実施形態のその他の構成は上記第１実施形態と同様である。
【００９８】
第２実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
【００９９】
第２実施形態では、当接面１３２を有するクランプ部材３２含み、印刷方向Ｙに移動可能に構成された基板テーブル３を設ける。また、基板ＣＢに対するはんだ印刷動作時以外において、マスクＭを当接部２１ａと当接面１３２とにより上下に挟み込んだ状態で、スキージ２１および基板テーブル３を印刷方向Ｙに移動させるはんだ回収動作を実行するように制御部１０５を構成する。これにより、上記第１実施形態と同様に、はんだ回収動作では、マスクＭ上の残留はんだＳｐ１を掻き取ることができるので、残留はんだＳｐ１を回収するためのオペレータの作業負担を抑制することができる。また、この第２実施形態でも、はんだ回収動作を所定のタイミングで定期的に行うことによって、残留はんだＳｐ１が硬化する前にはんだ溜まりＳｐ２に合流させることができるので、残留はんだＳｐ１の硬化（すなわち、再利用性の低下）を抑制することができる。
【０１００】
また、第２実施形態では、上記のように、基板ＣＢの側端面を保持するクランプ部材３２を含むとともに、印刷方向Ｙに移動可能に構成された基板テーブル３を設け、当接面１３２をクランプ部材３２に設ける。これにより、専用の下面支持部を別途設けることなく、印刷動作時に基板ＣＢを保持する基板テーブル３を利用して、マスクＭ上の残留はんだＳｐ１を回収するはんだ回収動作を実施することが可能になる。
【０１０１】
第２実施形態のその他の効果は上記第１実施形態と同様である。
【０１０２】
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。
【０１０３】
たとえば、上記第１実施形態では、クリーナユニット４を本発明の下面支持部として用いる例を示し、上記第２実施形態ではクランプ部材３２を有する基板テーブル３を本発明の下面支持部として用いる構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、印刷方向に沿って移動可能な専用の下面支持部をクリーナユニットおよび基板テーブルとは別に設けてもよい。
【０１０４】
また、第１実施形態では、クリーナユニット４が基板テーブル３によって印刷方向Ｙに移動する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。クリーナユニットは基板テーブルとは別個に独立して印刷方向に移動可能であってもよい。
【０１０５】
また、上記第１実施形態および上記第２実施形態では、本発明の第２当接部の一例である当接面４２ａ（１３２）の幅方向Ｘの長さＬ２（Ｌ４）を、本発明の第１当接部の一例である当接部２１ａの長さＬ１よりも大きくした例を示したが、本発明はこれに限られない。第２当接部の長さは、第１当接部の長さと等しくてもよいし、第１当接部の長さよりも小さくてもよい。第２当接部の長さを第１当接部の長さよりも小さくする場合、第１当接部の幅方向Ｘの端部でマスクＭと当接するように、第２当接部を分割して第１当接部の両端部近傍に配置すればよい。この場合、幅方向Ｘの中央部では、第２当接部に隙間ができる結果、残留はんだが形成される可能性がある。しかし、マスクＭの中央部に形成された残留はんだは通常の印刷動作で掻き取ることが可能である。
【０１０６】
また、上記第１実施形態では、はんだ回収動作の実行後、印刷動作の前に、マスク清掃動作（図１０のステップＳ１６）を行う例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、はんだ回収動作における掻き取り動作（図１０のステップＳ１５）の際に、マスクＭの下面側でマスク清掃動作を同時並行で実施してもよい。この場合、ステップＳ１６を省略することができる。この場合、たとえばクリーニングヘッド４２（当接面４２ａ）のＹ方向の幅Ｌ３（図２参照）を大きく（たとえば２倍程度に）して、進行方向の前側ではスキージ２１の当接部２１ａと当接面４２ａとでマスクＭを挟み込むはんだ回収動作を行い、進行方向の後側では当接面４２ａのみがマスクＭの下面と当接しつつ吸引するマスク清掃動作を行う構成であってもよい。
【０１０７】
また、上記第１実施形態では、マスク清掃動作において当接面４２ａの吸引孔４２ｃからはんだの吸引を行う例を示したが、本発明では、はんだ回収動作においても当接面４２ａの吸引孔４２ｃからはんだの吸引を行ってもよい。  
【０１０８】
また、上記第１実施形態では、説明の便宜上、制御部の処理動作を処理フローに沿って順番に処理を行うフロー駆動型のフローチャートを用いて説明したが、本発明はこれに限られない。本発明では、制御部の処理動作を、イベント単位で処理を実行するイベント駆動型（イベントドリブン型）の処理により行ってもよい。この場合、完全なイベント駆動型で行ってもよいし、イベント駆動およびフロー駆動を組み合わせて行ってもよい。
【符号の説明】
【０１０９】
３  基板テーブル（下面支持部）
４  クリーナユニット（下面支持部）
５、１０５  制御部
２１  スキージ
２１ａ  当接部（第１当接部）
３２  クランプ部材
４２  クリーニングヘッド
４２ａ  当接面（第２当接部）
４２ｃ  吸引孔
１００、２００  印刷装置
１３２  当接面（第２当接部）
Ａｐ  開口部
ＣＢ  基板
Ｃｓ  クリーニングシート
Ｍ  マスク
ＳＰ１  残留はんだ（印刷方向残留はんだ）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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