(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象ガスに含まれる成分の分析を行う多成分ガス分析システムであって、
前記測定対象ガスを介した光の吸収スペクトルに基づいて、前記測定対象ガスに含まれる第１成分を構成する複数のコンポーネントの成分比率をそれぞれ分析する分光分析装置と、
前記測定対象ガスの密度を測定する密度測定装置と、
前記分光分析装置の分析結果と前記密度測定装置の測定結果とを用いて、前記測定対象ガスに含まれる成分のうちの前記分光分析装置で分析できない第２成分を構成する複数のコンポーネントの成分比率をそれぞれ求める演算装置と
を備えることを特徴とする多成分ガス分析システム。
【請求項２】
前記演算装置は、前記分光分析装置の分析結果を用いて算出される前記測定対象ガスの密度と、前記密度測定装置で測定される密度とを比較して、前記測定対象ガスに含まれる前記第２成分を構成する複数のコンポーネントの成分比率をそれぞれ求めることを特徴とする請求項１記載の多成分ガス分析システム。
【請求項３】
前記測定対象ガスの圧力を測定する圧力計と、
前記測定対象ガスの温度を測定する温度計と
を備えており、
前記演算装置は、前記分光分析装置の分析結果及び前記密度測定装置の測定結果に加えて、前記圧力計及び前記温度計の測定結果を用いて、前記第２成分を構成する複数のコンポーネントの成分比率をそれぞれ求めることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の多成分ガス分析システム。
【請求項４】
前記分光分析装置は、フーリエ変換赤外分光分析計、近赤外分光分析計、レーザガス分析計、又はラマン分光計であることを特徴とする請求項１から請求項３の何れか一項に記載の多成分ガス分析システム。
【請求項５】
前記密度測定装置は、ガス密度計又は質量流量計であることを特徴とする請求項１から請求項４の何れか一項に記載の多成分ガス分析システム。
【請求項６】
測定対象ガスに含まれる成分の分析を行う多成分ガス分析方法であって、
前記測定対象ガスを介した光の吸収スペクトルに基づいて、前記測定対象ガスに含まれる第１成分を構成する複数のコンポーネントのそれぞれの成分比率の分析を分光分析装置によって実施する第１ステップと、
前記測定対象ガスの密度を測定する第２ステップと、
前記第１ステップの分析結果と前記第２ステップの測定結果とを用いて、前記測定対象ガスに含まれる成分のうちの前記分光分析装置で分析できない第２成分を構成する複数のコンポーネントの成分比率をそれぞれ求める第３ステップと
を有することを特徴とする多成分ガス分析方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多成分ガス分析システム及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
測定対象ガスに含まれる特定成分の濃度の測定は、ガスクロマトグラフと呼ばれる装置を用いて行われるのが一般的である。このガスクロマトグラフは、カラムと呼ばれる管状の経路と、カラムの終端に設けられたガス濃度検出器とを備えており、カラムを移動する時間の違いによって測定対象ガスを成分毎に分離し、分離された成分をガス濃度検出器で検出することで測定対象ガスに含まれる成分毎の濃度を測定する。
【０００３】
また、測定対象ガスに含まれる特定成分の濃度の測定は、分光分析装置を用いて行われることもある。この分光分析装置は、特定波長の光（例えば、赤外光）を射出する光源と、光源からの光を受光する受光器とを備えており、光源から射出された光を測定対象ガスに照射し、測定対象ガスを透過した光を受光器で受光して吸収スペクトル（波長毎の吸光度を示すスペクトル）を求めることによって、測定対象ガスに含まれる成分毎の濃度を測定する。
【０００４】
以下の特許文献１〜３には、測定対象ガスに含まれる複数の成分を分析（測定）することが可能な従来技術が開示されている。具体的に、以下の特許文献１には、ＦＴ−ＩＲ（フーリエ変換赤外分光分析計）を用いた多成分ガス分析方法が開示されており、以下の特許文献２には、赤外吸収法によるガス分析法が開示されている。また、以下の特許文献３には、ＦＴ−ＩＲ装置とＳＰＩ−ＭＳ（一光子イオン化質量分析）装置を用いた多成分ガス測定システムが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−３４６８０１号公報
【特許文献２】特開２００１−０９９７８１号公報
【特許文献３】特開２０１３−１７４５５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上述したガスクロマトグラフは、測定対象ガスに含まれる複数の成分の濃度を精度良く測定することが可能であるものの、測定には数分程度の時間を要してしまう。このため、測定対象ガスに含まれる成分を連続的に分析する必要がある用途（例えば、熱量調整や燃焼ガスの成分監視を行う必要があるプロセスの管理用途）には適さないという問題がある。
【０００７】
これに対し、上述した分光分析装置は、数秒程度の短時間で測定を行うことができるため、測定対象ガスに含まれる成分を連続的に分析する必要がある用途にも用いることが可能であると考えられる。しかしながら、分光分析装置は、光の吸光度に基づいて測定対象ガスに含まれる成分の濃度を測定するものであるため、測定できる成分の種類が限定されるという問題がある。例えば、分光分析装置は、赤外光を吸収する成分（例えば、メタン（ＣＨ４）やエタン（Ｃ２Ｈ６）等）を測定することはできるが、赤外光を吸収しない成分（例えば、水素（Ｈ２）、酸素（Ｏ２）、窒素（Ｎ２）等の２原子分子）を測定するのは困難であるという問題がある。
【０００８】
尚、上述の赤外光を吸収しない成分が測定対象ガスに含まれる場合であっても、その成分が１つのみであれば、分光分析装置を用いてその成分の比率（成分比率）を測定することが可能である。具体的には、分光分析装置を用いて赤外光を吸収する成分の成分比率をそれぞれ測定し、これら成分比率の総和を全体から差し引くことで、赤外光を吸収しない成分の成分比率を求めることができる。しかしながら、赤外光を吸収しない成分が測定対象ガスに複数含まれる場合には、これら成分の各々の成分比率を求めることはできない。
【０００９】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、分光分析装置で分析することができない成分が測定対象ガスに複数含まれる場合であっても、測定対象ガスに含まれる各成分の成分比率を連続的に求めることが可能な多成分ガス分析システム及び方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明の多成分ガス分析システムは、測定対象ガス（Ｇ）に含まれる成分の分析を行う多成分ガス分析システム（１）であって、前記測定対象ガスを介した光の吸収スペクトルに基づいて、前記測定対象ガスに含まれる第１成分を構成する各コンポーネントの成分比率を分析する分光分析装置（１１）と、前記測定対象ガスの密度を測定する密度測定装置（１２）と、前記分光分析装置の分析結果と前記密度測定装置の測定結果とを用いて、前記測定対象ガスに含まれる成分のうちの前記分光分析装置で分析できない第２成分を構成する各コンポーネントの成分比率を求める演算装置（１５）とを備えることを特徴としている。
また、本発明の多成分ガス分析システムは、前記演算装置が、前記分光分析装置の分析結果を用いて算出される前記測定対象ガスの密度と、前記密度測定装置で測定される密度とを比較して、前記測定対象ガスに含まれる前記第２成分を構成する各コンポーネントの成分比率を求めることを特徴としている。
また、本発明の多成分ガス分析システムは、前記測定対象ガスの圧力を測定する圧力計（１３）と、前記測定対象ガスの温度を測定する温度計（１４）とを備えており、前記演算装置が、前記分光分析装置の分析結果及び前記密度測定装置の測定結果に加えて、前記圧力計及び前記温度計の測定結果を用いて、前記第２成分を構成する各コンポーネントの成分比率を求めることを特徴としている。
また、本発明の多成分ガス分析システムは、前記分光分析装置が、フーリエ変換赤外分光分析計、近赤外分光分析計、レーザガス分析計、又はラマン分光計であることを特徴としている。
また、本発明の多成分ガス分析システムは、前記密度測定装置が、ガス密度計又は質量流量計であることを特徴としている。
本発明の多成分ガス分析方法は、測定対象ガス（Ｇ）に含まれる成分の分析を行う多成分ガス分析方法であって、前記測定対象ガスを介した光の吸収スペクトルに基づいて、前記測定対象ガスに含まれる第１成分を構成する各コンポーネントの成分比率の分析を分光分析装置（１１）によって実施する第１ステップ（Ｓ１１）と、前記測定対象ガスの密度を測定する第２ステップ（Ｓ１２）と、前記第１ステップの分析結果と前記第２ステップの測定結果とを用いて、前記測定対象ガスに含まれる成分のうちの前記分光分析装置で分析できない第２成分を構成する各コンポーネントの成分比率を求める第３ステップ（Ｓ１３）とを有することを特徴としている。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、測定対象ガスに含まれる第１成分を構成する各コンポーネントの成分比率を分析する分光分析装置に加えて測定対象ガスの密度を測定する密度測定装置を設け、分光分析装置の分析結果と密度測定装置の測定結果とを用いて、測定対象ガスに含まれる成分のうちの分光分析装置で分析できない第２成分を構成する各コンポーネントの成分比率を求めるようにしているため、分光分析装置で分析することができない成分（第２成分）が測定対象ガスに複数含まれる場合であっても、測定対象ガスに含まれる各成分の成分比率を連続的に求めることが可能であるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施形態による多成分ガス分析システムの要部構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の一実施形態による多成分ガス分析システムの動作の一例を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照して本発明の一実施形態による多成分ガス分析システム及び方法について詳細に説明する。図１は、本発明の一実施形態による多成分ガス分析システムの要部構成を示すブロック図である。図１に示す通り、本実施形態の多成分ガス分析システム１は、分光分析装置１１、密度測定装置１２、圧力計１３、温度計１４、及び演算制御装置１５（演算装置）を備えており、測定対象ガスＧに含まれる成分の分析を行う。
【００１４】
本実施形態では、理解を容易にするために、測定対象ガスＧは、メタン（ＣＨ４）、エタン（Ｃ２Ｈ６）、プロパン（Ｃ３Ｈ８）、ブタン（Ｃ４Ｈ１０）、及びペンタン（Ｃ５Ｈ１２）（第１成分）と、水素（Ｈ２）及び窒素（Ｎ２）（第２成分）とを含むものとする。以下では、説明を簡単にするために、メタン、エタン、プロパン、ブタン、ペンタンの分子量を、それぞれ「１６」、「３０」、「４４」、「５８」、「７２」とし、水素及び窒素の分子量を、それぞれ「２」、「１４」とする。尚、上記のメタン、エタン、プロパン、ブタン、及びペンタンは、第１成分を構成するコンポーネントであり、上記の水素及び窒素は、第２成分を構成するコンポーネントである。
【００１５】
尚、このような測定対象ガスＧは、図１に示す通り、メタン、エタン、プロパン、ブタン、ペンタン、及び窒素を含む天然ガスＧ１と水素ガスＧ２とが、ガス混合器ＭＸで混合されることによって得られるものとする。水素ガスＧ２は、例えば風力発電によって得られた電力によって水を分解することによって得られたものであり、再生可能エネルギーを有効利用するため、天然ガスＧ１と混合されて使用される。図１に示す通り、ガス混合器ＭＸに対する水素ガスＧ２の供給経路には、水素ガスＧ２の供給量を調整するためのバルブＶが設けられている。
【００１６】
分光分析装置１１は、測定対象ガスＧを介した光（例えば、赤外光）の吸収スペクトルに基づいて、測定対象ガスＧに含まれる成分（メタン、エタン、プロパン、ブタン、ペンタン）を分析する。尚、分光分析装置１１は、測定対象ガスＧに含まれる上記の成分（メタン、エタン、プロパン、ブタン、ペンタン）以外の成分（水素及び窒素）の分析はできない。これらの成分は、測定対象ガスＧを介する光を吸収しないからである。この分光分析装置１１は、例えば測定対象ガスＧにレーザ光（例えば、赤外レーザ光）を照射し、測定対象ガスＧを透過したレーザ光の吸収スペクトルに基づいて、測定対象ガスＧに含まれる成分を測定するレーザガス分析計である。
【００１７】
密度測定装置１２は、測定対象ガスＧの密度（単位体積当たりの質量）を測定する。つまり、密度測定装置１２は、分光分析装置１１で分析できる成分（メタン、エタン、プロパン、ブタン、ペンタン）と、分光分析装置１１で分析できない成分（水素、窒素）とを含む測定対象ガスＧの密度を測定する。このような密度測定装置１２を設けるのは、分光分析装置１１で分析できない成分（水素、窒素）の成分比率を求めるためである。この密度測定装置１２は、例えばガス密度計である。
【００１８】
圧力計１３は、測定対象ガスＧの圧力を測定し、温度計１４は、測定対象ガスＧの温度を測定する。これら圧力計１３及び温度計１４は、測定対象ガスＧの圧力及び温度に応じて変化する測定対象ガスＧの密度を補正（例えば、１気圧、０［℃］における密度に補正）するために設けられる。尚、測定対象ガスＧの圧量及び温度が一定で予め既知である場合には、圧力計１３及び温度計１４を省略することも可能である。
【００１９】
ここで、一般的に、気体の密度は、単位体積当たりの分子数（モル数）と分子量との積によって求められ、単位体積当たりの分子数ｎは、以下の式に示す通り、気体の圧力ｐ、温度（絶対温度）Ｔ、及び気体定数Ｒによって表される。
ｎ＝ｐ／ＲＴ
上記式から分かる通り、単位体積当たりの分子数ｎ（即ち、気体の密度）は、気体の圧力Ｐと温度Ｔとによって変化するため、この変化を補正するために、圧力計１３及び温度計１４が設けられる。
【００２０】
演算制御装置１５は、分光分析装置１１の分析結果と密度測定装置１２との測定結果とを用いて、測定対象ガスＧに含まれる成分のうちの分光分析装置１１で分析できない成分（水素、窒素）の成分比率を求める。具体的に、演算制御装置１５は、分光分析装置１１の分析結果を用いて算出される測定対象ガスＧの密度と、密度測定装置１２で測定される密度とを比較して、測定対象ガスＧに含まれる水素及び窒素の成分比率を求める。このとき、演算制御装置１５は、圧力計１３及び温度計１４が設けられている場合には、これらの測定結果も用いて水素及び窒素の成分比率を求める。
【００２１】
ここで、測定対象ガスＧに含まれるメタン、エタン、プロパン、ブタン、ペンタンの成分比率を、それぞれａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅとする。また、測定対象ガスＧからメタン、エタン、プロパン、ブタン、ペンタンを除いた成分（水素及び窒素）の水素の比率をｒとする。測定対象ガスＧの密度ρは、以下の（１）式で表される。
ρ＝ρ１＋ρ２  …（１）
【００２２】
但し、上記（１）式の右辺のρ１はメタン、エタン、プロパン、ブタン、ペンタンの密度であり、以下の（２）式で表される。また、上記（１）式の右辺のρ２は、水素及び窒素の密度であり、以下の（３）式で表される。尚、以下の（２）式及び（３）式中のｋは、測定対象ガスＧの圧力及び温度で定まる定数である。
ρ１＝ｋ（１６ａ＋３０ｂ＋４４ｃ＋５８ｄ＋７２ｅ）  …（２）
ρ２＝ｋ（（２ｒ＋１４（１−ｒ））・（１−（ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＋ｅ）））  …（３）
【００２３】
測定対象ガスＧに含まれるメタン、エタン、プロパン、ブタン、ペンタンの成分比率（上記（２）式及び（３）式中の変数ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ）は、分光分析装置１１の分析結果から得られる。演算制御装置１５は、分光分析装置１１の分析結果を用いて上記（１）〜（３）式から算出される測定対象ガスＧの密度ρと、密度測定装置１２で測定される測定対象ガスＧの密度とを比較することにより、水素及び窒素の比率（上記（３）式中の変数ｒ）を求め、最終的に測定対象ガスＧに含まれる水素及び窒素の成分比率を求める。
【００２４】
具体的に、演算制御装置１５は、以下に示す方法で、測定対象ガスＧに含まれる水素の成分比率を求める。尚、測定対象ガスＧに含まれる水素の成分比率が求められれば、測定対象ガスＧに含まれる窒素の成分比率も求められる。まず、演算制御装置１５は、分光分析装置１１の分析結果を用いて以下の（４）式から測定対象ガスＧに含まれる水素及び窒素の混合気体の成分比率ｆを求める。
ｆ＝１−（ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＋ｅ）  …（４）
【００２５】
次に、演算制御装置１５は、密度測定装置１２、圧力計１３、及び温度計１４の測定結果を用いて以下の（５），（６）式から測定対象ガスＧの分子量Ｍを求める。
ρ０＝（ρ／Ｐ）×（Ｔ／２７３．１５）  …（５）
Ｍ＝２２．４×ρ０  …（６）
尚、上記（５）式は、１気圧、０［℃］における測定対象ガスＧの密度ρ０を求める式である。上記（５）式中のρは、密度測定装置１２で測定される測定対象ガスＧの密度であり、Ｐは、圧力計１３で測定される測定対象ガスＧの圧力であり、Ｔは、温度計１４で測定される測定対象ガスＧの温度（絶対温度）である。
【００２６】
次いで、演算制御装置１５は、分光分析装置１１の分析結果、上記（４）式から得られた水素及び窒素の混合気体の成分比率ｆ、及び上記（６）式から得られた測定対象ガスＧの分子量Ｍを用いて、以下の（７）式から測定対象ガスＧに含まれる水素及び窒素の混合気体の平均分子量Ｍａを求める。
Ｍａ＝（Ｍ−（１６ａ＋３０ｂ＋４４ｃ＋５８ｄ＋７２ｅ））／ｆ  …（７）
【００２７】
続いて、演算制御装置１５は、上記（７）式から得られた水素及び窒素の混合気体の平均分子量Ｍａを用いて、以下の（８）式から上記混合気体に含まれる水素の比率ｒを求める。
Ｍａ＝２×ｒ＋１４×（１−ｒ）
ｒ＝（１４−Ｍａ）／１２  …（８）
最後に、演算制御装置１５は、上記（４）式から得られた水素及び窒素の混合気体の成分比率ｆと、上記（８）式から得られた上記混合気体に含まれる水素の比率ｒとを用いて、以下の（９）式から測定対象ガスＧに含まれる水素の成分比率ｆ（Ｈ２）を求める。
ｆ（Ｈ２）＝ｆ×ｒ  …（９）
尚、演算制御装置１５は、以下の（１０）式から測定対象ガスＧに含まれる窒素の成分比率ｆ（Ｎ２）を求める。
ｆ（Ｎ２）＝ｆ×（１−ｒ）  …（１０）
【００２８】
また、演算制御装置１５は、求めた水素及び窒素の成分比率を、液晶表示装置等の表示装置を備える表示部１５ａに表示する。尚、水素及び窒素の成分比率に加えて、メタン、エタン、プロパン、ブタン、ペンタンの成分比率を表示部１５ａに表示しても良い。また、演算制御装置１５は、求めた水素の成分比率に基づいて、バルブＶの開度を制御する。例えば、演算制御装置１５は、天然ガスＧ１と水素ガスＧ２との混合比が一定以上（例えば、１５％以上）にならないように、バルブＶの開度を制御する。
【００２９】
次に、上記構成における多成分ガス分析システム１の動作について簡単に説明する。図２は、本発明の一実施形態による多成分ガス分析システムの動作の一例を示すフローチャートである。尚、図２に示すフローチャートは、例えば連続して繰り返し実行され、或いは予め規定された時間間隔で繰り返し実行される。
【００３０】
図２に示すフローチャートの処理が開始されると、まず分光分析装置１１によって、測定対象ガスＧを分析する処理が行われる（ステップＳ１１：第１ステップ）。具体的には、測定対象ガスＧに対してレーザ光を照射し、測定対象ガスＧを透過したレーザ光を受光して吸収スペクトルを求め、求めた吸収スペクトルに基づいて、測定対象ガスＧに含まれる成分（メタン、エタン、プロパン、ブタン、ペンタン）の成分比率を求める処理が行われる。
【００３１】
次に、密度測定装置１２によって、測定対象ガスＧの密度を測定する処理が行われる（ステップＳ１２：第２ステップ）。尚、ステップＳ１２の処理は、ステップＳ１１の処理の前に行われても良く、ステップＳ１１の処理と並列して行われても良い。続いて、分光分析装置１１の分析結果及び密度測定装置１２の測定結果に加えて、圧力計１３及び温度計１４の測定結果を用いて、測定対象ガスＧに含まれる水素及び窒素の成分比率を算出する処理が演算制御装置１５で行われる（ステップＳ１３）。
【００３２】
具体的には、まず、分光分析装置１１の分析結果を用いて、前述した（４）式から測定対象ガスＧに含まれる水素及び窒素の混合気体の成分比率ｆを求める処理が行われる。次いで、分光分析装置１１の分析結果と、密度測定装置１２、圧力計１３、及び温度計１４の測定結果とを用いて、前述した（５）〜（８）式から測定対象ガスＧに含まれる水素及び窒素の混合気体の水素の比率ｒを求める処理が行われる。最後に、前述した（９）式及び（１０）式から測定対象ガスＧに含まれる水素の成分比率ｆ（Ｈ２）及び窒素の成分比率ｆ（Ｎ２）をそれぞれ求める処理が行われる。
【００３３】
以上の処理が終了すると、算出した水素及び窒素の成分比率を表示部１５ａに表示する処理が演算制御装置１５で行われる（ステップＳ１４）。尚、水素及び窒素の成分比率とともに、メタン、エタン、プロパン、ブタン、ペンタンの成分比率を表示するようにしても良い。また、必要に応じて、ステップＳ１３で算出された水素の成分比率に基づいてバルブＶの開度を制御する処理が演算制御装置１５で行われる（ステップＳ１５）。例えば、天然ガスＧ１と水素ガスＧ２との混合比が一定以上（例えば、１５％以上）にならないように、バルブＶの開度を制御する処理が行われる。
【００３４】
以上の通り、本実施形態では、測定対象ガスＧを介した光の吸収スペクトルに基づいて測定対象ガスＧに含まれる分を分析する分光分析装置１１に加えて、測定対象ガスＧの密度を測定する密度測定装置１２を設け、これら分光分析装置１１の分析結果と密度測定装置１２の測定結果とを用いて、測定対象ガスＧに含まれる成分の成分比率を求めるようにしている。このため、分光分析装置１１で分析することができない成分（例えば、水素及び窒素等）が測定対象ガスＧに複数含まれていても、これら成分の成分比率を連続的に測定することができる。
【００３５】
以上、本発明の一実施形態による多成分ガス分析システム及び方法について説明したが、本発明は上記実施形態に制限されることなく、本発明の範囲内で自由に変更が可能である。例えば上述した実施形態では、測定対象ガスＧに含まれるメタン、エタン、プロパン、ブタン、ペンタン以外の成分が、水素及び窒素である場合を例に挙げて説明したが、この成分は、水素及び窒素に限られる訳ではない。この成分は、水素及び窒素以外に、酸素（Ｏ２）、塩素（Ｃｌ２）等の２原子分子であっても良く、一酸化炭素（ＣＯ）、二酸化炭素（ＣＯ２）、硫黄酸化物（ＳＯｘ）、窒素酸化物（ＮＯｘ）等の分子であっても良い。即ち、分子量の異なる複数種類のガスであれば良い。
【００３６】
また、上述した実施形態では、分光分析装置１１としてレーザガス分析計を例に挙げたが、分光分析装置１１は、レーザガス分析計に限られる訳ではない。分光分析装置１１は、レーザガス分析計以外に、例えばＦＴ−ＩＲ（フーリエ変換赤外分光分析計）、ＮＩＲ（近赤外分光分析計）、又はラマン分光計等を用いることができる。
【００３７】
また、上述した実施形態では、密度測定装置１２としてガス密度計を例に挙げたが、密度測定装置１２は、ガス密度計に限られる訳ではない。密度測定装置１２は、ガス密度計以外に、例えばコリオリ質量流量計、熱式質量流量計等の質量流量計を用いることができる。
【符号の説明】
【００３８】
１      多成分ガス分析システム
１１    分光分析装置
１２    密度測定装置
１３    圧力計
１４    温度計
１５    演算制御装置
Ｇ      測定対象ガス
【図１】
0006269576.tif 000002
【図２】
0006269576.tif 000003