(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
燃料タンク（８）の蒸発燃料漏れを検出する検査装置であって、
圧力センサ（２１）と、
前記圧力センサが設けられた圧力通路（２６）と前記燃料タンクに連通するタンク通路（２５）とを連通する第１連通路（２７）に設けられた基準オリフィス（２２）と、
吸入口（２０１）または吐出口（２０２）の一方が大気と連通する大気通路（２４）に連通し、他方が前記圧力通路に連通し、前記圧力通路を減圧または加圧可能なポンプ（２０）と、
前記ポンプの駆動により変化する前記圧力通路と前記大気通路との差圧に応じて動作し、前記圧力通路に通じる第２連通路（２８）の前記圧力通路以外への連通を遮断すると共に前記大気通路と前記タンク通路とを連通する状態と、前記大気通路における前記ポンプおよび大気以外への連通を遮断すると共に前記第２連通路と前記タンク通路とを連通する状態とを切り替え可能な切替弁（３０、７０）と、
を備える検査装置。
【請求項２】
前記切替弁は、
圧力室（３２）、大気圧室（３３）およびタンク圧室（３４）が形成されたハウジング（３１）と、
前記圧力通路と前記圧力室とを連通する圧力導入ポート（３５）と、
前記大気通路と前記大気圧室とを連通する大気ポート（３６）と、
前記タンク通路と前記タンク圧室とを連通するタンクポート（３７）と、
前記第２連通路と前記タンク圧室とを連通する通気ポート（３８）と、
前記圧力室と前記大気圧室との差圧に応じて動作する弁部材（４０、９０）と、
を有する請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記弁部材は、前記圧力通路に通じる前記第２連通路の前記圧力通路以外への連通を遮断すると共に前記大気通路と前記タンク通路とを連通する第１位置と、前記大気通路における前記ポンプおよび大気以外への連通を遮断すると共に前記第２連通路と前記タンク通路とを連通する第２位置とを移動可能であり、
前記弁部材が前記第２位置から前記第１位置に移動するときの前記圧力室と前記大気圧室との差圧の絶対値は、前記弁部材が前記第１位置から前記第２位置に移動するときの前記圧力室と前記大気圧室との差圧の絶対値より小さい請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記弁部材は、
前記圧力室と前記大気圧室とを仕切り、前記圧力室と前記大気圧室との差圧を受けて動作するダイアフラム（４２、９２）と、
一方のシート面（４５）が前記通気ポートに設けられた第１弁座（３８１、３８２）に着座および離座し、他方のシート面（４６）が前記タンク圧室と前記大気圧室との間に設けられた第２弁座（３３１、３３２）に着座および離座し、前記ダイアフラムと共に動作する弁体（４３、９０１、９０２）と、
を有し、
前記弁体は、前記第２弁座に着座したときに前記大気圧室側に露出する第２受圧面（４２、９０４）が前記第１弁座に着座したときに前記通気ポート側に露出する第１受圧面（４１、９０３）より小さい請求項３に記載の検査装置。
【請求項５】
前記ポンプを低速回転したときに前記基準オリフィスが設けられた前記第１連通路のみを通過する気圧を第１基準圧（Ｐｒｅｆ１）とし、前記ポンプを高速回転したときに前記第１連通路および前記第２連通路を通過する気圧を第２基準圧（Ｐｒｅｆ２）とすると、
前記弁部材が前記第１位置から前記第２位置に移動するときの前記圧力通路と前記大気通路との差圧の絶対値は、前記第１基準圧の絶対値または前記第１基準圧に基づいて設定された漏れ判断の閾値（Ｔ）の絶対値より大きく、且つ、前記第２基準圧の絶対値より小さく設定され、
前記弁部材が前記第２位置から前記第１位置に移動するときの前記圧力通路と前記大気通路との差圧の絶対値は、前記第１基準圧の絶対値または前記漏れ判断の閾値の絶対値より小さく、且つ、０より大きく設定されている請求項３または４のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項６】
前記圧力通路は、前記圧力導入ポートに連通している側から順に前記ポンプの前記吸入口または前記吐出口、前記切替弁と前記圧力通路とを連通する前記第２連通路、前記第１連通路に連通しており、
前記圧力通路の前記第２連通路に接続している部位（Ｐ２６１）から前記圧力導入ポートに接続している部位（Ｐ２６４）までの間に設けられた通気オリフィス（２３）をさらに備える請求項２〜５のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項７】
前記圧力通路は、前記圧力導入ポートに連通している側から順に前記ポンプの前記吸入口または前記吐出口、前記切替弁と前記圧力通路とを連通する前記第２連通路、前記第１連通路に連通しており、
前記圧力通路の前記第２連通路に接続している部位（Ｐ２６１）から前記ポンプの前記吸入口または前記吐出口に接続している部位（Ｐ２６２）までの間に設けられる逆止弁（６０、８０）をさらに備える請求項２〜６のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項８】
前記逆止弁は、ノーマルオープン式であって、前記ポンプが前記圧力通路を減圧するとき、前記圧力通路の前記第２連通路に接続する側の前記逆止弁のポート（６１１）における圧力が前記圧力通路の前記ポンプの前記吸入口または前記吐出口に接続する側の前記逆止弁のポート（６１２）における圧力に比べ所定値以上大きくなるとき閉弁する請求項７に記載の検査装置。
【請求項９】
前記逆止弁は、ノーマルクローズ式であって、前記ポンプが前記圧力通路を加圧するとき、前記圧力通路の前記ポンプの前記吸入口または前記吐出口に接続する側の前記逆止弁のポート（８１２）における圧力が前記圧力通路の前記第２連通路に接続する側の前記逆止弁のポート（８１１）における圧力に比べ所定値以上大きくなるとき開弁する請求項７に記載の検査装置。
【請求項１０】
前記切替弁と前記圧力通路とを連通する前記第２連通路に設けられた通気オリフィス（２３）をさらに備える請求項２から９のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項１１】
圧力センサ（２１）と、
前記圧力センサが設けられた圧力通路（２６）と燃料タンク（８）に連通するタンク通路（２５）とを連通する第１連通路（２７）に設けられた基準オリフィス（２２）と、
吸入口（２０１）または吐出口（２０２）の一方が大気と連通する大気通路（２４）に連通し、他方が前記圧力通路に連通し、前記圧力通路を減圧または加圧可能なポンプ（２０）と、
前記ポンプの駆動により変化する前記圧力通路と前記大気通路との差圧に応じて動作し、前記圧力通路に通じる第２連通路（２８）の前記圧力通路以外への連通を遮断すると共に前記大気通路と前記タンク通路とを連通する状態と、前記大気通路における前記ポンプおよび大気以外への連通を遮断すると共に前記第２連通路と前記タンク通路とを連通する状態とを切り替え可能な切替弁（３０、７０）と、
を備える検査装置を用いた蒸発燃料漏れの検査方法において、
前記切替弁が前記圧力通路に通じる前記第２連通路の前記圧力通路以外への連通を遮断すると共に前記大気通路と前記タンク通路とを連通した状態で、前記ポンプを低速回転させ、前記圧力センサが検出した圧力を第１基準圧として記憶する第１基準圧検出工程（Ｓ２−Ｓ４）と、
前記ポンプを低速回転から高速回転に切り替えて前記切替弁を動作させ、前記切替弁が前記大気通路の前記ポンプおよび大気以外への連通を遮断すると共に前記第２連通路と前記タンク通路とを連通した状態で、前記タンク通路を減圧するタンク減圧工程（Ｓ５−Ｓ８）と、
前記タンク減圧工程と同じ前記切替弁の状態で、前記ポンプを低速回転させ、前記圧力センサが検出した圧力をシステム圧として記憶するシステム圧検出工程（Ｓ９−Ｓ１１）と、
前記第１基準圧と前記システム圧とを比較し、前記第１基準圧の絶対値より前記システム圧の絶対値が小さいとき、または、前記システム圧と前記第１基準圧との差の絶対値が所定の閾値より小さいとき、前記燃料タンクの蒸発燃料漏れが基準値よりも大きいと判定し、
前記第１基準圧の絶対値より前記システム圧の絶対値が大きく、かつ、前記システム圧と前記第１基準圧との差の絶対値が所定の閾値より大きいとき、前記燃料タンクの蒸発燃料漏れが前記基準値よりも小さいと判定する判定工程（Ｓ１２−Ｓ１４）と、
を含む検査方法。
【請求項１２】
前記判定工程を小径判定工程とし、前記基準値を小径基準値とし、前記小径基準値よりも大きい前記基準値を大径基準値とし、
前記ポンプを高速回転したときに前記第１連通路および前記第２連通路を通過する気圧を第２基準圧とすると、
前記タンク減圧工程において、前記圧力センサが検出した圧力の絶対値が前記第２基準圧の絶対値と同一またはそれより小さい状態が所定時間継続したとき、前記燃料タンクの蒸発燃料漏れが前記大径基準値よりも大きいと判定する大径判定工程（Ｓ２０−Ｓ２２）をさらに含む請求項１１に記載の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸発燃料の漏れを検査する検査装置および検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、燃料タンク内で発生する蒸発燃料の漏れ、および、燃料タンクで発生した蒸発燃料を回収するキャニスタからの蒸発燃料の漏れを検査する検査装置が知られている。
特許文献１に記載の検査装置は、次に示す方法によって蒸発燃料の漏れを検査している。その方法は、先ず、内燃機関の停止時に、大気に通じる流路と基準オリフィスに通じる流路とポンプに通じる流路とをこの順で連通させた状態でポンプを作動し、基準オリフィスに通じる流路の圧力を基準圧として検出する。次に、電磁弁を駆動し、大気に通じる流路を遮断し、ポンプに通じる流路とキャニスタおよびタンクに通じる流路とが連通するように切り替える。続いて、ポンプを作動して燃料タンクを減圧し、キャニスタおよびタンクに通じる流路の圧力をシステム圧として検出する。最後に、基準圧とシステム圧とを比較することにより、キャニスタおよび燃料タンクの蒸発燃料漏れが許容範囲内であるか否かを判定する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−１５２６７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、特許文献１に記載の検査装置は、大気に通じる流路と基準オリフィスに通じる流路とポンプに通じる流路とキャニスタおよびタンクに通じる流路との連通および遮断を、電磁弁を用いて切り替えている。その電磁弁の駆動部は、コイル、固定子および可動子等から構成されている。そのため、電磁弁の駆動部により、検査装置の体格が大型化することが考えられる。また、電磁弁の駆動により、検査装置が消費する電力が増大することが懸念される。
【０００５】
本発明は、上述の問題に鑑みてなされたものであり、体格を小型化すると共に消費電力を低減することが可能な検査装置および検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
第１発明による検査装置は、圧力センサ（２１）、基準オリフィス（２２）、ポンプ（２０）および切替弁（３０、７０）を備える。圧力センサが設けられた圧力通路（２６）と、燃料タンク（８）に連通するタンク通路（２５）とを連通する第１連通路（２７）に基準オリフィスは設けられる。ポンプは、吸入口（２０１）または吐出口（２０２）の一方が大気と連通する大気通路（２４）に連通し、他方が圧力通路に連通し、圧力通路を減圧または加圧可能である。切替弁は、ポンプの駆動により変化する圧力通路と大気通路との差圧に応じて動作し、圧力通路に通じる第２連通路（２８）の圧力通路以外への連通を遮断すると共に大気通路とタンク通路とを連通する状態と、大気通路におけるポンプおよび大気以外への連通を遮断すると共に第２連通路とタンク通路とを連通する状態とを切り替え可能である。
【０００７】
これにより、検査装置は、圧力通路と大気通路との差圧に応じて動作する切替弁を備えることにより、従来の検査装置が備えていた電磁弁を廃止することが可能である。したがって、検査装置は、構成を簡素なものとするとともに、体格を小型化することが可能である。また、検査装置は、電磁弁を使用しないので、消費電力を低減することが可能である。
【０００８】
第２発明は、蒸発燃料漏れの検査方法の発明である。この検査方法は、第１基準圧検出工程、タンク減圧工程、システム圧検出工程および判定工程を含む。第１基準圧検出工程では、切替弁が圧力通路に通じる第２連通路の圧力通路以外への連通を遮断すると共に大気通路とタンク通路とを連通した状態で、ポンプを低速回転させ、圧力センサが検出した圧力を第１基準圧として記憶する。タンク減圧工程では、ポンプを低速回転から高速回転に切り替えて切替弁を動作させ、切替弁が大気通路におけるポンプおよび大気以外への連通を遮断すると共に第２連通路とタンク通路とを連通した状態で、タンク通路を減圧する。システム圧検出工程では、タンク減圧工程と同じ切替弁の状態で、ポンプを低速回転させ、圧力センサが検出した圧力をシステム圧として記憶する。判定工程では、第１基準圧とシステム圧とを比較し、第１基準圧の絶対値よりシステム圧の絶対値が小さいとき、または、システム圧と第１基準圧との差の絶対値が所定の閾値より小さいとき、燃料タンクの蒸発燃料漏れが基準値よりも大きいと判定する。また、判定工程では、第１基準圧の絶対値よりシステム圧の絶対値が大きく、かつ、システム圧と第１基準圧との差の絶対値が所定の閾値より大きいとき、燃料タンクの蒸発燃料漏れが基準値よりも小さいと判定する。ここでいう絶対値とは大気圧を０とした場合の相対圧に対する絶対値のことである。
なお、本明細書においてシステム圧とは、切替弁が大気通路におけるポンプおよび大気以外への連通を遮断すると共に第２連通路とタンク通路とを連通した状態でポンプを低速回転させたときに、圧力センサが検出した圧力をいう。
【０００９】
これにより、蒸発燃料漏れの検査方法は、ポンプの回転数の変更により切替弁を作動することが可能である。また、この検査方法は、ポンプを高速回転させて燃料タンクおよびキャニスタを減圧することで、処理を短時間で終了させることが可能である。したがって、この検査方法は、検査に消費される電力を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第１実施形態による検査装置が適用されるエンジンの吸気系統を示す模式図である。
【図２】図１のＩＩ部分の拡大図である。
【図３】図１のＩＩ部分において、切替弁が作動した状態を示す拡大図である。
【図４】切替弁の作動圧と戻り圧との関係を示すグラフである。
【図５】本発明の第１実施形態による検査装置における蒸発燃料漏れの検査方法のフローチャートである。
【図６】本発明の第１実施形態による検査装置における蒸発燃料漏れの検査方法のフローチャートである。
【図７】本発明の第１実施形態による検査装置における蒸発燃料漏れの検査のタイムチャートである。
【図８】本発明の第１実施形態による検査装置における蒸発燃料漏れの検査の各段階における説明図である。
【図９】本発明の第１実施形態による検査装置における蒸発燃料漏れの検査の各段階における説明図である。
【図１０】本発明の第２実施形態による検査装置における検査方法のフローチャートである。
【図１１】本発明の第２実施形態による検査装置における検査方法のフローチャートである。
【図１２】本発明の第３実施形態による検査装置の模式図である。
【図１３】本発明の第４実施形態による検査装置の模式図である。
【図１４】本発明の第４実施形態による検査装置における検査方法のフローチャートである。
【図１５】本発明の第４実施形態による検査装置における蒸発燃料漏れの検査のタイムチャートである。
【図１６】本発明の第５実施形態による検査装置の模式図である。
【図１７】本発明の第６実施形態による検査装置の模式図である。
【図１８】図１７において、切替弁が作動した状態を示す模式図である。
【図１９】本発明の第６実施形態による検査装置における蒸発燃料漏れの検査のタイムチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の複数の実施形態による検査装置および検査方法を図面に基づいて説明する。なお、複数の実施形態において、実質的に同一の構成には同一の符号を付して説明を省略する。
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態による検査装置は、燃料タンクおよびキャニスタからの蒸発燃料の漏れの検査に用いられるものである。
図１は、第１実施形態の検査装置１が適用されたエンジン２を模式的に示している。エンジン２に空気を導入する吸気通路３には、スロットル弁４およびインジェクタ５が設けられている。インジェクタ５から吸気通路３に噴射された燃料は、吸気通路３を流れる空気とともにエンジン２の燃焼室６に導入され、燃焼室６で燃焼した後、排気通路７を経由して大気へ排出される。
【００１２】
インジェクタ５に供給する燃料が貯留された燃料タンク８の内側には、燃料の蒸発により蒸発燃料が発生する。その蒸発燃料を処理するため、燃料タンク８と吸気通路３とは、第１パージ通路９、キャニスタ１０および第２パージ通路１１を通じて連通している。燃料タンク８で発生した蒸発燃料は第１パージ通路９を流れ、キャニスタ１０が有する活性炭等の吸着材１２に吸着保持される。
【００１３】
エンジン２の運転中、第２パージ通路１１に設けられたパージ弁１３が開弁すると、キャニスタ１０に吸着保持された蒸発燃料は吸着材１２から離脱し、第２パージ通路１１を経由して吸気通路３に除去される。
検査装置１は、上述した燃料タンク８、キャニスタ１０、第１パージ通路９および第２パージ通路１１から外気への蒸発燃料漏れを検査するものである。
【００１４】
図２に示すように、検査装置１は、ポンプ２０、圧力センサ２１、切替弁３０、基準オリフィス２２および通気オリフィス２３などを備えている。また、検査装置１には、大気通路２４、タンク通路２５、圧力通路２６、第１連通路２７および第２連通路２８などが形成されている。
大気通路２４は、フィルタ２９を介して大気開放されている。また、大気通路２４は、後述する切替弁３０の大気ポート３６に連通している。
タンク通路２５は、キャニスタ１０に連通している。キャニスタ１０は、上述した第１パージ通路９を経由して燃料タンク８に連通している。
【００１５】
ポンプ２０は、例えば、図示していないモータにより回転する図示していない羽根車の回転数に応じて吸入口２０１から吐出口２０２へ空気を送るベーンポンプである。
ポンプ２０は、吸入口２０１が圧力通路２６に連通し、吐出口２０２が大気通路２４に連通している。ポンプ２０は、圧力通路２６を減圧および加圧可能である。圧力通路２６は、第１連通路２７、第２連通路２８、および後述する切替弁３０の圧力導入ポート３５に連通している。
なお、このポンプ２０は、羽根車の回転方向を逆転させると、吐出口２０２から吸入口２０１へ空気を送ることも可能である。そのため、ポンプ２０は、吐出口２０２と吸入口２０１を逆にして取り付けることも可能である。即ち、吐出口２０２と吸入口２０１は便宜上の名称である。
【００１６】
圧力通路２６に設けられた圧力センサ２１は、圧力通路２６の気圧を検出し、その信号を車両の電子制御装置（以下「ＥＣＵ」という）５０に伝送する。ＥＣＵ５０は、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭおよび入出力ポート等を有するコンピュータである。ＥＣＵ５０は、圧力センサ２１から入力される信号に基づき、燃料タンク８等の蒸発燃料の漏れを検出する。また、ＥＣＵ５０は、ポンプ２０のモータへ供給する電力を制御することにより、ポンプ２０の羽根車の回転数を制御可能である。
【００１７】
第１連通路２７は、圧力通路２６とタンク通路２５とを切替弁３０を介することなく連通している。その第１連通路２７に基準オリフィス２２が設けられている。基準オリフィス２２は、燃料タンク８における蒸発燃料漏れが許容される開口の大きさより小さく設定されている。例えば、現行のＣＡＲＢ（Ｃａｌｉｆｏｒｎｉａ  Ａｉｒ  Ｒｅｓｏｕｒｃｅｓ  Ｂｏａｒｄ：カリフォルニア大気資源局）およびＥＰＡ（Ｅｎｖｉｒｏｎｍｅｎｔａｌ  Ｐｒｏｔｅｃｔｉｏｎ  Ａｇｅｎｃｙ：米国環境省）の基準では、φ０．５ｍｍ相当の開口からの蒸発燃料漏れの検出が要求されている。第１実施形態では、基準オリフィス２２の断面積は、例えばφ０．２５ｍｍに設定されている。
第２連通路２８は、圧力通路２６と後述する切替弁３０の通気ポート３８とを連通する。その第２連通路２８に通気オリフィス２３が設けられている。なお、第２連通路２８に通気オリフィス２３を設けない構成としてもよい。
【００１８】
切替弁３０は、ポンプ２０の駆動により変化する圧力通路２６と大気通路２４との差圧に応じて動作する差圧弁である。切替弁３０は、ハウジング３１、弁部材４０およびスプリング４１を有する。
ハウジング３１は、内側に圧力室３２、大気圧室３３およびタンク圧室３４が形成されている。また、ハウジング３１には、圧力導入ポート３５、大気ポート３６が設けられている。
圧力導入ポート３５は、圧力通路２６と圧力室３２とを連通している。大気ポート３６は、大気通路２４と大気圧室３３とを連通している。タンクポート３７は、タンク通路２５とタンク圧室３４とを連通している。通気ポート３８は、第２連通路２８とタンク圧室３４とを連通している。
なお、ハウジング３１は、単一の部材から構成されていても、複数の部材から構成されていてもよく、或いは、その一部が大気通路２４、タンク通路２５、圧力通路２６、第２連通路２８などを形成する部材と一体に構成されていてもよい。即ち、第１実施形態では、圧力室３２、大気圧室３３およびタンク圧室３４を形成している部材をハウジング３１というものとする。
【００１９】
弁部材４０は、ダイアフラム４２および弁体４３を有する。
ダイアフラム４２は、圧力室３２と大気圧室３３とを仕切り、圧力室３２と大気圧室３３との差圧を受けて動作する。ダイアフラム４２は、圧力室３２に設けられたスプリング４１により、大気圧室３３側に付勢されている。
弁体４３は、ダイアフラム４２に接続する接続部４４を有し、ダイアフラム４２と共に動作する。図２に示すように、弁体４３は、一方のシート面４５が通気ポート３８に設けられた第１弁座３８１に着座および離座可能である。また、図３に示すように、弁体４３は、他方のシート面４６がタンク圧室３４と大気圧室３３との間に設けられた第２弁座３３１に着座および離座可能である。
なお、スプリング４１を設けることなく、ダイアフラム４２自身の弾性力により、弁体４３が第１弁座３８１に着座するように構成してもよい。
【００２０】
図２に示すように、弁体４３が第１弁座３８１に着座するとき、第２連通路２８における圧力通路２６以外への連通が遮断される一方、大気通路２４とタンク通路２５とは、連通している。弁体４３が第１弁座３８１に着座したときの位置を第１位置と称する。
一方、図３に示すように、弁体４３が第２弁座３３１に着座するとき、大気通路２４におけるポンプ２０および大気以外への連通が遮断される一方、第２連通路２８とタンク通路２５とは、連通している。弁体４３が第２弁座３３１に着座したときの位置を第２位置と称する。
弁体４３は、第１位置と第２位置とを移動可能である。
【００２１】
図２に示すように、弁体４３が第１弁座３８１に着座しているときに弁体４３が通気ポート３８側に露出する面を第１受圧面４３１と称する。また、図３に示すように、弁体４３が第２弁座３３１に着座しているときに弁体４３が大気圧室３３側に露出する面を第２受圧面４３２と称する。ここで、第２弁座３３１の開口面積は、第１弁座３８１の開口面積より小さく形成されているため、第２受圧面４３２は、第１受圧面４３１より小さい。そのため、弁体４３が第２位置にあるときにタンク圧室３４と大気圧室３３との差圧が弁体４３に作用する力は、弁体４３が第１位置にあるときに第２連通路２８とタンク圧室３４との差圧が弁体４３に作用する力より小さいものとなる。なお、上述したように第２連通路２８は圧力通路２６に連通している。したがって、弁体４３が第２位置から第１位置に移動するときの大気通路２４と圧力通路２６との差圧は、弁体４３が第１位置から第２位置に移動するときの大気通路２４と圧力通路２６との差圧より小さいものとなる。
【００２２】
弁体４３が第１位置から第２位置に移動するときの大気通路２４と圧力通路２６との差圧を作動圧と称する。また、弁体４３が第１位置から第２位置に移動するときの大気通路２４と圧力通路２６との差圧を戻り圧と称する。
【００２３】
図４では、切替弁３０の作動圧および戻り圧の関係を示している。
図４において、横軸は０よりも小さい値を示している。また、図４および以下の説明において、特に断りなく圧力の大小をいう場合、大気圧を０とした場合の相対圧の絶対値をいうものとする。
図４の実線Ａは、第１連通路２７に設けられた基準オリフィス２２のみを通過する空気の圧力と、その流量との特性を示している。以下、この特性を、基準オリフィス特性という。
図４の破線Ｂは、第１連通路２７に設けられた基準オリフィス２２および第２連通路２８に設けられた通気オリフィス２３の両方を通過する空気の圧力と、その流量との特性を示している。以下、この特性を、基準および通気オリフィス特性という。
【００２４】
図４の実線Ｃは、ポンプ２０を低速回転させたときの流路抵抗と、その流量との特性を示している。
図４の破線Ｄは、ポンプ２０を高速回転させたときの流路抵抗と、その流量との特性を示している。
なお、ポンプ２０の低速回転とは、ポンプ２０のモータに所定の電流を供給してポンプ２０の羽根車を回転させたときの状態、または、ポンプ２０のモータまたは羽根車を所定の回転数で回転させたときの状態をいう。
また、ポンプ２０の高速回転とは、低速回転時よりも大きい所定の電流をポンプ２０のモータに供給してポンプ２０の羽根車を回転させたときの状態、または、低速回転時よりも速い所定の回転数でポンプ２０のモータまたは羽根車を回転させたときの状態をいう。
ポンプ２０に供給する電流値または回転数は、実験などにより適宜設定することが可能である。なお、ポンプ２０の高速回転時の回転数は、ポンプ２０の駆動により燃料タンク８を減圧した際に燃料タンク８が変形等により潰れることの無い回転数に設定されている。図４では、燃料タンク８が変形等により潰れる圧力を符号Ｅで示している。
【００２５】
実線Ａに示す基準オリフィス特性におけるポンプ２０の低速回転時の圧力を第１基準圧Ｐｒｅｆ１と称する。第１基準圧Ｐｒｅｆ１に基づいて圧力センサ２１の出力誤差等を考慮して設定された漏れ判断の閾値を符号Ｔで示す。
また、破線Ｂに示す基準および通気オリフィス特性におけるポンプ２０の高速回転時の圧力を第２基準圧Ｐｒｅｆ２と称する。第２基準圧Ｐｒｅｆ２は、ポンプ２０の駆動により燃料タンク８を減圧した際に燃料タンク８が変形等により潰れる圧力より小さい値となるように設定されている。
【００２６】
弁部材４０の作動圧は、第１基準圧Ｐｒｅｆ１または漏れ判断の閾値Ｔより大きく、且つ、第２基準圧Ｐｒｅｆ２より小さく設定されている。また、弁部材４０の戻り圧は、第１基準圧Ｐｒｅｆ１または漏れ判断の閾値Ｔより小さく、且つ、０より大きく設定されている。これにより、弁部材４０は、作動圧と戻り圧とに所定のヒステリシスを有する。即ち、大気通路２４と圧力通路２６との差圧が第１基準圧Ｐｒｅｆ１または漏れ判断の閾値Ｔより大きく、且つ、第２基準圧Ｐｒｅｆ２より小さい圧力のとき、弁部材４０は第１位置から第２位置に移動する。一方、大気通路２４と圧力通路２６との差圧が第１基準圧Ｐｒｅｆ１または漏れ判断の閾値Ｔより小さく、且つ、０より大きい圧力のとき、弁部材４０は第２位置から第１位置に移動する。
【００２７】
次に、蒸発燃料漏れの検査方法について、図５および図６のフローチャート、図７のタイムチャート、並びに、図８および図９の模式図およびグラフを参照して説明する。
なお、図７の上段は蒸発燃料漏れの検査における時間軸を示し、中段は時間の経過に伴うポンプ２０の回転数を示すグラフであり、下段は時間の経過に伴う圧力センサ２１の検出圧の変化を示すグラフである。なお、ポンプ２０は、正転時に圧力通路２６を減圧するものとする。ここでも、圧力の大小をいう場合、絶対値をいうものとする。
【００２８】
蒸発燃料漏れの検査は、エンジン２の運転が停止した後、所定時間が経過すると開始される。その所定時間は、車両の温度が安定するために必要な時間に設定されている。
ステップ（以下、単に「Ｓ」という）１でＥＣＵ５０は、大気圧Ｐ０を検出する。この処理は、図７の時刻ｔ０から時刻ｔ１の前において、ポンプ２０が停止した状態で行われる。そのとき、切替弁３０は第１位置にあり、圧力通路２６と第１連通路２７と大気通路２４とが連通している。そのため、圧力センサ２１は大気圧Ｐ０を検出し、ＥＣＵ５０に伝送する。ＥＣＵ５０は、大気圧Ｐ０に基づいて算出した車両の標高に応じ、その後の処理に用いられる各種パラメータを補正する。
【００２９】
Ｓ２でＥＣＵ５０は、ポンプ２０を低速回転にて駆動する。この処理では、図７の時刻ｔ１において、ポンプ２０が低速回転で駆動を開始すると、それ以降、圧力センサ２１の検出圧が低下し始める。そのとき、図８（Ａ１）に示す切替弁３０は、第１位置の状態にある。図８の（Ａ１）では、ポンプ２０の駆動によって減圧される流路にハッチを記載している。そのポンプ２０の駆動により、圧力通路２６に連通する第１連通路２７の基準オリフィス２２を空気が流れる。
【００３０】
Ｓ３でＥＣＵ５０は、ポンプ２０の駆動開始から所定時間が経過したか否かを判定する。ＥＣＵ５０は、所定時間が経過するまで、Ｓ３の処理を繰り返す。この処理では、図７の時刻ｔ１以降に低下した圧力センサ２１の検出圧が、時刻ｔ２で第１基準圧Ｐｒｅｆ１に到達する。そして、時刻ｔ２以降、第１基準圧Ｐｒｅｆ１が維持される。
なお、Ｓ３において、ＥＣＵ５０は、所定時間の経過を判定することに代えて、またはそれと共に、圧力センサ２１の検出圧が所定の圧力に到達し、その所定の圧力を維持している状態か否かを判定する処理を行ってもよい。その場合、ＥＣＵ５０は、圧力センサ２１の検出圧がその所定の圧力に到達するまでＳ３の処理を繰り返す。
【００３１】
Ｓ４でＥＣＵ５０は、圧力センサ２１の検出圧を第１基準圧Ｐｒｅｆ１として記憶する。この処理は、図７の時刻ｔ２からｔ３の間に行われる。そのときの流量特性を図８（Ａ２）のグラフに符号Ｍ１で示す。
【００３２】
Ｓ５でＥＣＵ５０は、ポンプ２０の駆動を高速回転に切り替える。この処理では、図７の時刻ｔ３でポンプ２０が高速回転に切り替わる。このとき、図８（Ｂ１）にハッチで示した流路が減圧され、切替弁３０が切り替え動作を開始する。そのときの流量特性は、図８（Ｂ２）のグラフに示す符号Ｍ１から実線Ａに沿って流量および圧力が増大する方向（図８（Ｂ２）中の実線矢印Ａｈ１の方向）へ移行してゆく。
【００３３】
Ｓ６で切替弁３０は、第１位置から第２位置に切り替わる。即ち、図８（Ｃ１）に示すように、切替弁３０は第２位置の状態となる。この処理により、図７の時刻ｔ４以降、圧力センサ２１の検出圧が低下する。そのときの流量特性は、図８（Ｃ２）のグラフにおいて符号Ｍ１で示すものから符号Ｍ２に示すものを経由し、符号Ｍ３に示すものへ移行してゆく。
【００３４】
Ｓ７で圧力センサ２１の検出圧は、第２基準圧Ｐｒｅｆ２となる。この処理では、図７の時刻ｔ５以降、圧力センサ２１の検出圧は第２基準圧Ｐｒｅｆ２を維持する。また、時刻ｔ５以降、破線Ｆで示すように、キャニスタ１０内および燃料タンク８内も減圧され、第２基準圧Ｐｒｅｆ２に近づいてゆく。このとき、図８（Ｄ１）にハッチで示した流路が減圧され、キャニスタ１０内および燃料タンク８内も減圧される。そのときの流量特性は、図８（Ｄ２）のグラフに符号Ｍ３で示すものである。
【００３５】
Ｓ８でＥＣＵ５０は、圧力センサ２１の検出圧が第２基準圧Ｐｒｅｆ２になってから所定時間が経過したか否かを判定する。ＥＣＵ５０は、所定時間が経過するまで、Ｓ８の処理を繰り返す。
なお、Ｓ８において、ＥＣＵ５０は、所定時間の経過を判定することに代えて、またはそれと共に、圧力センサ２１の検出圧が第２基準圧Ｐｒｅｆ２より大きくなったか否かを判定する処理を行ってもよい。その場合、ＥＣＵ５０は、圧力センサ２１の検出圧が、第２基準圧Ｐｒｅｆ２より大きくなるまでＳ８の処理を繰り返す。また、ＥＣＵ５０は、圧力センサ２１の検出圧がポンプが高速回転に切り替わってから所定時間が経過したか否かを判定する処理を行ってもよい。
【００３６】
Ｓ８の処理では、図９（Ｅ１）にハッチで示した流路がさらに減圧され、キャニスタ１０内および燃料タンク８内もさらに減圧されている。これにより、燃料タンク８またはキャニスタ１０に基準オリフィス２２の断面積と通気オリフィス２３の断面積との合計以下の小さい穴が開いている場合、または、燃料タンク８またはキャニスタ１０に穴が開いていない場合、図７の時刻ｔ６以降、圧力センサ２１の検出圧が第２基準圧Ｐｒｅｆ２よりも低下する。そのときの流量特性は、図９（Ｅ２）のグラフに符号Ｍ３で示すものから実線矢印Ａｈ２に沿って符号Ｍ４で示すものへと移行する。
一方、燃料タンク８またはキャニスタ１０に、基準オリフィス２２の断面積と通気オリフィス２３の断面積との合計よりも大きい穴が開いている場合、図７の圧力センサ２１の検出圧のグラフに破線Ｘで示すように、検出圧は第２基準圧Ｐｒｅｆ２を維持する。
ＥＣＵ５０は、圧力センサ２１の検出圧が第２基準圧Ｐｒｅｆ２となってから所定時間が経過すると、処理をＳ９に移行する。
【００３７】
Ｓ９でＥＣＵ５０は、ポンプ２０の駆動を低速回転に切り替える。この処理では、図７の時刻ｔ７でポンプ２０が低速回転に切り替わり、それ以降、検出圧が小さくなっていく。このとき、図９（Ｆ１）にハッチで示した流路の圧力が小さいものとなるが、切替弁３０は切り替わることなく第２位置の状態を維持する。そのときの流量特性は、図９（Ｆ２）のグラフで符号Ｍ４で示すものから、符号Ｍ５で示すものへ移行してゆく。
【００３８】
Ｓ１０でＥＣＵ５０は、ポンプ２０の駆動を低速回転に切り替えてから所定時間が経過したか否かを判定する。ＥＣＵ５０は、所定時間が経過するまで、Ｓ１０の処理を繰り返す。この処理では、図７の時刻ｔ８以降、圧力センサ２１の検出圧が一定の圧力に維持される。そのときの流量特性は、図９（Ｆ２）のグラフに符号Ｍ５で示すものである。
なお、Ｓ１０において、ＥＣＵ５０は、所定時間の経過を判定することに代えて、またはそれと共に、圧力センサ２１の検出圧が所定圧を維持するようになったか否かを判定する処理を行ってもよい。その場合、ＥＣＵ５０は、圧力センサ２１の検出圧が、所定圧を維持するようになるまでＳ１０の処理を繰り返す。
【００３９】
Ｓ１１でＥＣＵ５０は、圧力センサ２１の検出圧をシステム圧Ｐｔとして記憶する。この処理は、図７の時刻ｔ８からｔ９の間に行われる。
【００４０】
Ｓ１２でＥＣＵ５０は、第１基準圧Ｐｒｅｆ１とシステム圧Ｐｔとを比較する。ＥＣＵ５０は、システム圧Ｐｔの絶対値が第１基準圧Ｐｒｅｆ１の絶対値より大きく、かつ、システム圧Ｐｔの絶対値と第１基準圧Ｐｒｅｆ１の絶対値との差が所定の閾値より大きいとき、処理をＳ１３に移行する。なお、ここでの所定の閾値は、圧力センサ２１の出力誤差等を考慮して設定された値であり、漏れ判断の閾値Ｔと第１基準圧Ｐｒｅｆ１との差である。
【００４１】
Ｓ１３でＥＣＵ５０は、燃料タンク８またはキャニスタ１０からの蒸発燃料漏れの穴が基準値よりも小さいと判定する。なお、基準値とは、基準オリフィス２２の断面積に対応する値である。
【００４２】
一方、Ｓ１２でＥＣＵ５０は、システム圧Ｐｔの絶対値が第１基準圧Ｐｒｅｆ１の絶対値以下であるとき、または、システム圧Ｐｔの絶対値と第１基準圧Ｐｒｅｆ１の絶対値との差が所定の閾値以下であるとき、処理をＳ１４に移行する。これは、圧力センサ２１の検出圧が、図７の下段のグラフに破線Ｙで示すもの（図７に示すシステム圧Ｐｔｙ）となる場合である。
【００４３】
Ｓ１４でＥＣＵ５０は、燃料タンク８またはキャニスタ１０からの蒸発燃料漏れが基準値よりも大きいと判定する。
Ｓ１５でＥＣＵ５０は、次のエンジン運転時にインストルメントパネルの警告ランプを点灯させる処理を行う。
【００４４】
Ｓ１６でＥＣＵ５０は、ポンプ２０の駆動を停止するか、または、ポンプ２０の羽根車を逆回転させる。いずれの場合でも、図７の時刻ｔ９以降、検出圧が小さくなる。
図７の時刻ｔ９以降に実線で示したように、ポンプ２０の羽根車を逆回転させた場合、図９（Ｇ１）でハッチで示した流路が加圧され、圧力通路２６と大気通路２４との差圧が切替弁３０の戻り圧より小さくなると、切替弁３０が第２位置から第１位置への切り替え動作を開始する。
ポンプ２０の駆動を停止した場合、図９（Ｇ１）でハッチで示した流路の圧力が０に近づき、圧力通路２６と大気通路２４との差圧が切替弁３０の戻り圧より小さくなると、切替弁３０は第２位置から第１位置への切り替え動作を開始する。
切替弁３０が第１位置に切り替わると、Ｓ１７でＥＣＵ５０はポンプ２０の駆動を停止し、処理を終了する。
【００４５】
なお、切替弁３０が第１位置に切り替わった後、ＥＣＵ５０はポンプ２０を低速回転で正転駆動してもよい。その処理を行う場合、図７の時刻ｔ１０以降に圧力センサ２１の検出圧が低下し、時刻１１以降に第１基準圧Ｐｒｅｆ１を維持する。このとき、図９（Ｈ１）にハッチで示した流路が減圧され、圧力通路２６に連通する第１連通路２７の基準オリフィス２２を空気が流れる。そのときの流量特性は、図９（Ｈ２）のグラフに符号Ｍ５で示すものから、符号Ｍ１で示すものへ移行する。このとき、ＥＣＵ５０は、時刻１１以降に検出した第１基準圧Ｐｒｅｆ１と、Ｓ４で検出した第１基準圧Ｐｒｅｆ１とを比較し、それらの値の誤差が所定範囲内か否かを判定する。
なお、ＥＣＵ５０は大気圧Ｐ０を再度計測し、その検出値とＳ１で検出した大気圧Ｐ０と比較し、それらの値の誤差が所定範囲内か否かを判定してもよい。
ＥＣＵ５０は、それらの一方の誤差または両方の誤差が所定範囲内のものである場合、処理を終了する。一方、ＥＣＵ５０は、それらの一方の誤差または両方の誤差が所定範囲より大きい場合、Ｓ１３から１５で行った判定を破棄する。
【００４６】
上述した検査方法において、Ｓ２からＳ４の処理が第１基準圧検出工程に相当し、Ｓ５からＳ８の処理がタンク減圧工程に相当し、Ｓ９からＳ１１の処理がシステム圧検出工程に相当し、Ｓ１２からＳ１４の処理が判定工程に相当する。
【００４７】
第１実施形態の検査装置１または検査方法は、次の作用効果を奏する。
（１）第１実施形態の検査装置１は、圧力通路２６と大気通路２４との差圧に応じて動作する切替弁３０を備えることにより、従来の検査装置１が備えていた電磁弁を廃止することが可能である。したがって、検査装置１は、構成を簡素なものとするとともに、体格を小型化することが可能である。また、検査装置１は、電磁弁を使用しないので、消費電力を低減することが可能である。
さらに、検査装置１は、その流路構成により、ポンプ２０の駆動により圧力通路２６の減圧のみを行うことで、基準オリフィス２２による基準圧力、すなわち、第１基準圧Ｐｒｅｆ１と、燃料タンク８を減圧したときのシステム圧Ｐｔの両方を検出することが可能である。したがって、検査装置１は、ポンプ２０の羽根車の回転方向が同じ状態で、基準圧力およびシステム圧Ｐｔの両方が検出できるので、検出精度を高めることができる。
【００４８】
（２）第１実施形態の検査装置１が備える切替弁３０は、ハウジング３１の内側に圧力室３２、大気圧室３３およびタンク圧室３４が形成されている。その圧力室３２と大気圧室３３との差圧に応じて弁部材４０が動作する。この切替弁３０の構成により、ポンプ２０の回転数の制御により圧力室３２と大気圧室３３との差圧を変え、弁部材４０を動作させることが可能である。
【００４９】
（３）第１実施形態では、切替弁３０が備える弁部材４０は、弁部材４０が第１位置から第２位置に移動するときの圧力室３２と大気圧室３３との差圧の絶対値より、弁部材４０が第２位置から第１位置に移動するときの圧力室３２と大気圧室３３との差圧の絶対値の方が小さい。
これにより、ポンプ２０を高速回転して弁部材４０を第２位置の状態とした後、圧力室３２と大気圧室３３との差圧の絶対値を小さくしても、弁部材４０を第２位置に留めることが可能である。そのため、弁部材４０を第２位置とした状態で、ポンプ２０を低速回転させてシステム圧Ｐｔを検出することができる。
【００５０】
（４）第１実施形態では、切替弁３０が備える弁部材４０は、ダイアフラム４２、およびそのダイアフラム４２と共に動作する弁体４３を有する。弁体４３は、第１弁座３８１に着座したときに通気ポート３８側に露出する第１受圧面４３１より、第２弁座３３１に着座したときに大気ポート３６側に露出する第２受圧面４３２の方が小さい。
これにより、弁部材４０が第１位置にあるときにタンク圧室３４と第２連通路２８との差圧により弁体４３が受ける力よりも、弁部材４０が第２位置にあるときにタンク圧室３４と大気圧室３３との差圧により弁体４３が受ける力が小さいものとなる。したがって、切替弁３０は、作動圧の絶対値より、戻り圧の絶対値を小さくすることが可能である。
【００５１】
（５）第１実施形態では、切替弁３０の作動圧の絶対値が、第１基準圧Ｐｒｅｆ１の絶対値または漏れ判断の閾値（Ｔ）の絶対値より大きく、且つ、第２基準圧Ｐｒｅｆ２の絶対値より小さく設定される。
これにより、第１基準圧Ｐｒｅｆ１を測定した後、弁部材４０を第１位置から第２位置に移動し、タンクを短時間で減圧することが可能である。
また、第１実施形態では、切替弁３０の戻り圧の絶対値が、第１基準圧Ｐｒｅｆ１の絶対値または漏れ判断の閾値（Ｔ）の絶対値より小さく、且つ、０より大きく設定される。
これにより、弁部材４０を第２位置に留めた状態で、ポンプ２０を低速回転させ、システム圧Ｐｔを測定することが可能である。
【００５２】
（６）第１実施形態の検査装置１は、第２連通路２８に通気オリフィス２３を備える。
通気オリフィス２３は、切替弁３０の弁部材４０が第１位置と第２位置とを移動している途中で、大気通路２４およびタンク通路２５から第２連通路２８および圧力通路２６を通じて圧力導入ポート３５から圧力室３２へ空気が流れることを抑制する。したがって、通気オリフィス２３は、弁部材４０の動作を保証することができる。
【００５３】
（７）第１実施形態による蒸発燃料漏れの検査方法は、第１基準圧検出工程（Ｓ２―Ｓ４）、タンク減圧工程（Ｓ５―Ｓ８）、システム圧検出工程（Ｓ９―Ｓ１１）および判定工程（Ｓ１２―Ｓ１４）を含む。
これにより、蒸発燃料漏れの検査方法は、ポンプ２０の回転数の変更により切替弁３０の動作を制御することが可能である。また、この検査方法は、ポンプ２０を高速回転させて燃料タンク８およびキャニスタ１０を減圧することで、蒸発燃料漏れ検査を短時間で終了させることが可能である。したがって、この検査方法は、蒸発燃料漏れ検査に消費される電力を低減することができる。
【００５４】
（第２実施形態）
本発明の第２実施形態による蒸発燃料漏れの検査方法を図１０および図１１のフローチャートを参照して説明する。
第２実施形態の検査方法において、Ｓ１からＳ７の処理は、第１実施形態の処理と同じである。
【００５５】
第２実施形態では、Ｓ７に続くＳ２０でＥＣＵ５０は、圧力センサ２１の検出圧が第２基準圧Ｐｒｅｆ２より大きくなったか否かを判定する。Ｓ２０で、ＥＣＵ５０は、圧力センサ２１の検出圧が第２基準圧Ｐｒｅｆ２より大きくなったと判定すると、処理をＳ９に移行する。
一方、Ｓ２０で、ＥＣＵ５０は、圧力センサ２１の検出圧が第２基準圧Ｐｒｅｆ２以下であると判定した場合、処理をＳ２１に移行し、圧力センサ２１の検出圧が第２基準圧Ｐｒｅｆ２になってから所定時間が経過したか否かを判定する。Ｓ２１でＥＣＵ５０は、所定時間が経過していない場合、処理をＳ２０に戻す。
【００５６】
一方、Ｓ２１で、ＥＣＵ５０は、圧力センサ２１の検出圧が第２基準圧Ｐｒｅｆ２になってから所定時間が経過した場合、処理をＳ２２に移行する。ここでの所定時間は、ポンプ２０の駆動により燃料タンク８およびキャニスタ１０の減圧を十分に行うことのできる時間に設定される。
【００５７】
Ｓ２２でＥＣＵ５０は、燃料タンク８またはキャニスタ１０に、基準オリフィス２２の断面積と通気オリフィス２３の断面積との合計よりも大きい穴が開いていると判定する。第２実施形態では、基準オリフィス２２の断面積と通気オリフィス２３の断面積との合計を、大径基準値と称する。これに対し、基準オリフィス２２の断面積を小径基準値と称する。
【００５８】
Ｓ２３でＥＣＵ５０は、次のエンジン運転時にインストルメントパネルの警告ランプを点灯させる処理を行い、処理を終了する。
【００５９】
上述のとおり、Ｓ２０で、ＥＣＵ５０は、圧力センサ２１の検出圧が第２基準圧Ｐｒｅｆ２より大きいと判定した場合、処理をＳ９に移行する。続くＳ９からＳ１２のＹＥＳ判定までの処理は、第１実施形態の処理と同じである。
Ｓ１２でＥＣＵ５０は、システム圧Ｐｔの絶対値が第１基準圧Ｐｒｅｆ１の絶対値以下であるとき、または、システム圧Ｐｔの絶対値と第１基準圧Ｐｒｅｆ１の絶対値との差が所定の閾値より小さいとき、処理をＳ２４に移行する。
【００６０】
Ｓ２４でＥＣＵ５０は、燃料タンク８またはキャニスタ１０からの蒸発燃料漏れが小径基準値よりも大きく、大径基準値より小さいと判定する。そして、Ｓ１５でＥＣＵ５０は、次のエンジン運転時にインストルメントパネルの警告ランプを点灯させる処理を行う。
続くＳ１６およびＳ１７の処理は、第１実施形態の処理と同じである。
上述した検査方法において、Ｓ２０からＳ２２の処理が大径判定工程に相当し、Ｓ１２、Ｓ１３およびＳ２４の処理が小径判定工程に相当する。
【００６１】
第２実施形態の検査方法は、大径判定工程により、大径基準値よりも大きい蒸発燃料漏れを検出することが可能である。また、小径判定工程により、小径基準値と大径基準値との間の蒸発燃料漏れを検出することが可能である。
【００６２】
（第３実施形態）
本発明の第３実施形態による検査装置１を図１２に示す。第３実施形態では、切替弁３０の弁部材４０が、第１弁体４０１と第２弁体４０２を有する。第１弁体４０１は第１弁座３８１に着座および離座可能であり、第２弁体４０２は第２弁座３３１に着座および離座可能である。第１弁体４０１と第２弁体４０２とは所定の距離を離して設けられている。これにより、切替弁３０において第１位置と第２位置とを切り替えるために弁部材４０が移動する時間を短くすることが可能である。そのため、この切替弁３０は、弁部材４０が第１位置と第２位置とを移動している途中で、大気通路２４およびタンク通路２５からタンク圧室３４に流入した空気が、通気ポート３８から第２連通路２８および圧力通路２６を通じ、圧力導入ポート３５から圧力室３２へ流れる流量を低減することが可能である。したがって、この切替弁３０は、弁部材４０の動作を保証することができる。
なお、弁部材４０が第１位置と第２位置とを移動する時間を短くすることで、第２連通路２８の通気オリフィス２３を廃止することも可能である。なお、第２連通路２８の流路断面積を調整し、第２連通路２８に通気オリフィス２３と同じ機能を持たせることも可能である。
【００６３】
（第４実施形態）
本発明の第４実施形態による検査装置１を図１３に示す。第４実施形態では、通気オリフィス２３は、圧力通路２６の第２連通路２８と吸入口２０１との間に設けられている。具体的には、図１３に示すように、圧力通路２６が圧力導入ポート３５から順に、ポンプ２０の吸入口２０１、第２連通路２８、第１連通路２７に連通している場合、通気オリフィス２３は、圧力通路２６の第２連通路２８に接続する部位Ｐ２６１と圧力通路２６の吸入口２０１に接続する部位Ｐ２６２との間に設けられる。このとき、通気オリフィス２３の断面積は、基準オリフィス２２の断面積に比べ大きい。
【００６４】
次に、第４実施形態による蒸発燃料漏れの検査方法について、図１４のフローチャート、および、図１５のタイムチャートを参照して説明する。第４実施形態による蒸発燃料漏れの検査方法は、図１４および図６に示すフローチャートに沿って行われる。なお、図１５の上段は蒸発燃料漏れの検査における時間軸を示し、中段は時間の経過に伴うポンプ２０の回転数を示すグラフであり、下段は時間の経過に伴う圧力センサ２１の検出圧の変化を示すグラフである。なお、ポンプ２０は、正転時に圧力通路２６を減圧するものとする。ここでも、圧力の大小をいう場合、絶対値をいうものとする。
【００６５】
第４実施形態の検査方法において、Ｓ１からＳ６の処理は、第１実施形態の処理と同じである。Ｓ５でポンプ２０の駆動を高速回転に切り替えると、図１５の時刻ｔ４以降、圧力センサ２１の検出圧は徐々に低下する。圧力センサ２１の検出圧が作動圧に到達すると、弁部材４０が第１位置から第２位置に向けて移動を開始する（Ｓ６）。第４実施形態では、弁部材４０が移動を開始すると、圧力センサ２１の検出圧は、図１５の時刻ｔ５において一旦大気圧まで戻り、その後、キャニスタ１０内および燃料タンク８内の圧力波形（破線Ｆ）と同じ変化を示す。このとき、燃料タンク８またはキャニスタ１０に、基準オリフィス２２の断面積と通気オリフィス２３の断面積との合計よりも大きい穴が開いている場合、図１５の破線Ｘで示すように、当該穴の面積に応じた圧力で一定となる。
【００６６】
Ｓ４０でＥＣＵ５０は、圧力センサ２１の検出圧が目標値になってから所定時間が経過したか否かを判定する。ＥＣＵ５０は、所定時間が経過するまで、Ｓ４０の処理を繰り返す。ここで、Ｓ４０における目標値は、燃料タンク８の耐圧や検出すべき穴の大きさなどから決定される値である。
なお、Ｓ４０において、ＥＣＵ５０は、所定時間の経過を判定することに代えて、またはそれと共に、圧力センサ２１の検出圧が目標値より大きくなったか否かを判定する処理を行ってもよい。その場合、ＥＣＵ５０は、圧力センサ２１の検出圧が、目標値より大きくなるまでＳ４０の処理を繰り返す。また、ＥＣＵ５０は、圧力センサ２１の検出圧がポンプが高速回転に切り替わってから所定時間が経過したか否かを判定する処理を行ってもよい。
ＥＣＵ５０は、圧力センサ２１の検出圧が目標値となってから所定時間が経過すると、処理をＳ９に移行する。
続くＳ９からＳ１７の処理は、第１実施形態の処理と同じである。
【００６７】
検査装置１において、弁体４３が第２位置にあるとき、大気圧室３３と圧力室３２とは、第２連通路２８および圧力通路２６を介して連通している。このとき、通気オリフィス２３により圧力室３２と大気圧室３３との差圧を形成することができる。これにより、弁体４３が第２位置にある状態を維持することができる。
また、システム圧Ｐｔを検出するとき、圧力センサ２１近傍の圧力通路２６と燃料タンク８内およびキャニスタ１０内とは、圧力通路２６の圧力センサ２１に接続している部位Ｐ２６３から第２連通路２８に接続する部位Ｐ２６１までの圧力通路２６、第２連通路２８、タンク圧室３４、および、タンク通路２５を介して連通している。第４実施形態による検査装置１では、この圧力通路２６の圧力センサ２１に接続している部位Ｐ２６３から第２連通路２８に接続する部位Ｐ２６１までの圧力通路２６や第２連通路２８に、通気オリフィス２３のような気体が流れるための抵抗となる部位がないため、精度良くキャニスタ１０内および燃料タンク８内の漏れを検出することができる。
【００６８】
（第５実施形態）
本発明の第５実施形態による検査装置１を図１６に示す。第５実施形態では、通気オリフィス２３とポンプ２０との間の圧力通路２６上に逆止弁６０が設けられている。
具体的には、図１４に示すように、逆止弁６０は、圧力通路２６の部位Ｐ２６１と部位Ｐ２６２との間であって、通気オリフィス２３のポンプ２０側に設けられている。逆止弁６０は、ハウジング６１、弁部材６２およびスプリング６３を有する。
【００６９】
ハウジング６１は、二つのポート６１１、６１２を有する。ポート６１１は、通気オリフィス２３が設けられている圧力通路２６に連通している。ポート６１２は、部位Ｐ２６２側の圧力通路２６と連通している。二つのポート６１１、６１２は、ハウジング６１が有する弁室６１０に連通している。
【００７０】
弁部材６２は、弁室６１０に収容され往復移動可能に設けられている。弁部材６２は、ポート６１２の内側の周囲に突出するよう形成されている弁座６１３に当接可能である。
【００７１】
スプリング６３は、弁座６１３の径内方向に設けられている。スプリング６３の一端は、ハウジング６１の内壁に当接している。スプリング６３の他端は、弁部材６２に当接している。スプリング６３は、弁部材６２が弁座６１３から離間するよう弁部材６２を付勢する。
【００７２】
第５実施形態による蒸発燃料漏れの検査方法は、図１４および図６に示すフローチャートに沿って行われる。
逆止弁６０では、ポート６１１側の気体の圧力とポート６１２側の気体の圧力との間に比較的大きな圧力差がない場合、例えば、Ｓ９でポンプ２０の駆動を低速回転にしているとき、弁部材６２は弁座６１３から離間しているため、ポート６１１とポート６１２との間での気体の流れを許容する。一方、ポート６１１側の気体の圧力がポート６１２側の気体の圧力に比べ所定値以上大きくなる場合、例えば、Ｓ１６でポンプ２０の駆動を停止させるとき、弁部材６２が弁座６１３に当接し、ポート６１１とポート６１２との間での気体の流れを遮断する。すなわち、逆止弁６０は、ノーマルオープン式の逆止弁である。
【００７３】
第５実施形態による検査装置１では、Ｓ１６においてポンプ２０の駆動を停止し圧力室３２や燃料タンク８などを大気圧に戻すとき、容積の大小関係から燃料タンク８やキャニスタ１０などに圧力室３２から気体が流入する。このため、圧力室３２の圧力を上昇させ弁体４３が第１位置に復帰するまでの時間が長くなる。
そこで、第５実施形態による検査装置１では、逆止弁６０によって圧力室３２から燃料タンク８やキャニスタ１０への逆流を防止し、弁体４３が第１位置に復帰するまでの時間を短くする。これにより、蒸発燃料漏れの検査にかかる時間を短くすることができる。  
【００７４】
（第６実施形態）
本発明の第６実施形態による検査装置１を図１７および図１８に示す。第６実施形態では、切替弁３０とは構成が異なる切替弁７０を備えると共に、通気オリフィス２３とポンプ２０との間の圧力通路２６上に逆止弁８０が設けられている。第６実施形態による検査装置１では、ポンプ２０が燃料タンク８内およびキャニスタ１０内を加圧することによって燃料タンク８およびキャニスタ１０の蒸発燃料漏れを検査する。
【００７５】
切替弁７０は、ポンプ２０の駆動により変化する圧力通路２６と大気通路２４との差圧に応じて動作する差圧弁である。切替弁７０は、ハウジング３１、弁部材９０およびスプリング９１を有する。
【００７６】
弁部材９０は、ダイアフラム９２、第１弁体９０１、および、第２弁体９０２を有する。
ダイアフラム９２は、圧力室３２と大気圧室３３とを仕切り、圧力室３２と大気圧室３３との差圧を受けて動作する。
第１弁体９０１および第２弁体９０２は、ダイアフラム９２に接続する接続部９４を有し、ダイアフラム９２と共に動作する。
【００７７】
第１弁体９０１は、通気ポート３８から突出している接続部９４のダイアフラム９２に接続する側とは反対側の端部に設けられている。これにより、第１弁体９０１は、ハウジング３１の外側において接続部９４と共に往復移動する。第１弁体９０１は、通気ポート３８の外側の周囲に設けられた第１弁座３８２に着座および離座可能である。第１弁体９０１は、第１弁体９０１の第１弁座３８２側とは反対側に設けられているスプリング９１によって第１弁座３８２に着座するよう付勢されている。なお、スプリング９１を設けることなく、ダイアフラム９２自身の弾性力により、第１弁体９０１が第１弁座３８２に着座するように構成してもよい。
【００７８】
第２弁体９０２は、接続部９４のダイアフラム９２側であって、大気圧室３３を往復移動可能なよう設けられている。第２弁体９０２は、タンク圧室３４と大気圧室３３との間においてダイアフラム９２の方向に突出するよう設けられた第２弁座３３２に着座および離座可能である。第２弁体９０２が第２弁座３３２に着座しているとき、第１弁体９０１は、第１弁座３８２から離座するよう構成されている。
【００７９】
図１７に示すように、第１弁体９０１が第１弁座３８２に着座するとき、第２連通路２８における圧力通路２６以外への連通が遮断される一方、大気通路２４とタンク通路２５とは、連通している。第１弁体９０１が第１弁座３８２に着座したときの位置を第１位置と称する。
一方、図１８に示すように、第２弁体９０２が第２弁座３３２に着座するとき、大気通路２４におけるポンプ２０および大気以外への連通が遮断される一方、第２連通路２８とタンク通路２５とは、連通している。弁体４３が第２弁座３３１に着座したときの位置を第２位置と称する。弁部材９０は、第１位置と第２位置とを移動可能である。
【００８０】
図１７に示すように、第１弁体９０１が第１弁座３８２に着座しているときに第１弁体９０１が通気ポート３８側に露出する面を第１受圧面９０３と称する。また、図１８に示すように、第２弁体９０２が第２弁座３３２に着座しているときに第２弁体９０２が大気圧室３３側に露出する面を第２受圧面９０４と称する。
ここで、第２弁座３３２の開口面積は、第１弁座３８２の開口面積より小さく形成されているため、第２受圧面９０４は、第１受圧面９０３より小さい。そのため、弁部材９０が第２位置にあるときにタンク圧室３４と大気圧室３３との差圧が第２弁体９０２に作用する力は、弁部材９０が第１位置にあるときに第２連通路２８とタンク圧室３４との差圧が第１弁体９０１に作用する力より小さいものとなる。したがって、弁部材９０が第２位置から第１位置に移動するときの大気通路２４と圧力通路２６との差圧は、弁体４３が第１位置から第２位置に移動するときの大気通路２４と圧力通路２６との差圧より小さいものとなる。
【００８１】
弁部材９０が第１位置から第２位置に移動するときの大気通路２４と圧力通路２６との差圧を作動圧と称する。また、弁部材９０が第１位置から第２位置に移動するときの大気通路２４と圧力通路２６との差圧を戻り圧と称する。切替弁７０における作動圧および戻り圧の関係は、切替弁３０と同じである。
【００８２】
逆止弁８０は、ハウジング８１、弁部材８２およびスプリング８３を有する。
【００８３】
ハウジング８１は、二つのポート８１１、８１２を有する。ポート８１１は、通気オリフィス２３が設けられている圧力通路２６に連通している。ポート８１２は、圧力通路２６の吐出口２０２に接続する部位Ｐ２６２と連通している。二つのポート８１１、８１２は、ハウジング８１が有する弁室８１０に連通している。
【００８４】
弁部材８２は、弁室８１０に収容され往復移動可能に設けられている。弁部材８２は、ポート８１２の内側の周囲に形成されている弁座８１３に当接可能である。
【００８５】
スプリング８３は、弁部材８２の弁座８１３とは反対側に設けられている。スプリング８３の一端は、ハウジング８１の内壁に当接している。スプリング８３の他端は、弁部材８２に当接している。スプリング８３は、弁部材８２が弁座８１３に当接するよう弁部材８２を付勢する。
【００８６】
逆止弁８０では、ポート８１２側の気体の圧力がポート８１１側の気体の圧力に比べて所定値より小さい場合、弁部材８２は弁座８２３に当接するため、ポート８１１とポート８１２との間での気体の流れを規制する。一方、ポート８１２側の気体の圧力がポート８１１側の気体の圧力に比べ所定値以上大きくなる場合、例えば、ポンプ２０が低速回転で駆動しているとき、弁部材８２が弁座８１３から離間し、ポート８１１とポート８１２との間での気体の流れが許容される。すなわち、逆止弁８０は、ノーマルクローズ式の逆止弁である。
【００８７】
次に、第６実施形態による蒸発燃料漏れの検査方法について、図１９のタイムチャートを参照して説明する。第６実施形態による蒸発燃料漏れの検査方法は、図１４および図６に示すフローチャートに沿って行われる。なお、図１９の上段は蒸発燃料漏れの検査における時間軸を示し、中段は時間の経過に伴うポンプ２０の回転数を示すグラフであり、下段は時間の経過に伴う圧力センサ２１の検出圧の変化を示すグラフである。なお、ポンプ２０は、正転時に圧力通路２６を加圧するものとする。ここでは、圧力の大小をいう場合、絶対値をいうものとする。
【００８８】
蒸発燃料漏れの検査は、エンジン２の運転が停止した後、所定時間が経過すると開始される。その所定時間は、車両の温度が安定するために必要な時間に設定されている。
Ｓ１でＥＣＵ５０は、大気圧Ｐ０を検出する。この処理は、図１９の時刻ｔ０から時刻ｔ１までの間において、ポンプ２０が停止した状態で行われる。このとき、切替弁７０は第１位置にある。
【００８９】
Ｓ２でＥＣＵ５０は、ポンプ２０を低速回転にて駆動する。図１９の時刻ｔ１において、ポンプ２０が低速回転で駆動を開始すると、それ以降、圧力センサ２１の検出圧が上昇し始める。ポンプ２０の駆動により、圧力通路２６に連通する第１連通路２７の基準オリフィス２２を空気が流れる。
【００９０】
Ｓ３でＥＣＵ５０は、ポンプ２０の駆動開始から所定時間が経過したか否かを判定する。この処理では、図１９の時刻ｔ１以降に上昇した圧力センサ２１の検出圧が、時刻ｔ２で第１基準圧Ｐｒｅｆ１に到達する。そして、時刻ｔ２以降、第１基準圧Ｐｒｅｆ１が維持される。なお、Ｓ３において、ＥＣＵ５０は、所定時間の経過を判定することに代えて、またはそれと共に、圧力センサ２１の検出圧が所定の圧力に到達し、その所定の圧力を維持している状態か否かを判定する処理を行ってもよい。
【００９１】
Ｓ４でＥＣＵ５０は、圧力センサ２１の検出圧を第１基準圧Ｐｒｅｆ１として記憶する（図１９の時刻ｔ２からｔ３までの間）。
【００９２】
Ｓ５でＥＣＵ５０は、ポンプ２０の駆動を高速回転に切り替える。図１９の時刻ｔ３でポンプ２０の駆動を高速回転に切り替えると、図１９の時刻ｔ４以降、圧力センサ２１の検出圧は徐々に上昇する。圧力センサ２１の検出圧が作動圧に到達すると、弁部材９０が第１位置から第２位置に向けて移動を開始する（Ｓ６）。第６実施形態では、弁部材９０が移動すると、圧力センサ２１の検出圧は、図１９の時刻ｔ５において、一旦大気圧まで戻り、その後、キャニスタ１０内および燃料タンク８内の圧力波形（破線Ｆ）と同じ変化を示す。
【００９３】
Ｓ６で弁部材９０が第１位置から第２位置に向けて移動しているとき、キャニスタ１０内および燃料タンク８内は加圧される。これにより、燃料タンク８またはキャニスタ１０に基準オリフィス２２の断面積と通気オリフィス２３の断面積との合計以下の小さい穴が開いている場合、または、燃料タンク８またはキャニスタ１０に穴が開いていない場合、圧力センサ２１の検出圧は、システム圧Ｐｔより大きくなる。
一方、燃料タンク８またはキャニスタ１０に、基準オリフィス２２の断面積と通気オリフィス２３の断面積との合計よりも大きい穴が開いている場合、図１９の圧力センサ２１の検出圧のグラフに破線Ｘで示すように、検出圧は、燃料蒸気が漏れ出すおそれがある穴の大きさに対応する圧力を維持する。
【００９４】
Ｓ４０でＥＣＵ５０は、圧力センサ２１の検出圧が目標値になってから所定時間が経過したか否かを判定する。ＥＣＵ５０は、所定時間が経過するまで、Ｓ４０の処理を繰り返す。ＥＣＵ５０は、圧力センサ２１の検出圧が目標値となってから所定時間が経過すると、処理をＳ９に移行する。
また、ＥＣＵ５０は、ポンプが高速回転に切り替わってから所定時間が経過したか否かを判定してもよい。
【００９５】
Ｓ９でＥＣＵ５０は、ポンプ２０の駆動を低速回転に切り替える。この処理では、図１９の時刻ｔ７でポンプ２０が低速回転に切り替わり、それ以降、検出圧が小さくなっていくが、切替弁７０は切り替わることなく第２位置の状態を維持する。
【００９６】
Ｓ１０でＥＣＵ５０は、ポンプ２０の駆動を低速回転に切り替えてから所定時間が経過したか否かを判定する。ＥＣＵ５０は、所定時間が経過するまで、Ｓ１０の処理を繰り返す。この処理では、図１９の時刻ｔ８以降、圧力センサ２１の検出圧が一定の圧力に維持される。
なお、Ｓ１０において、ＥＣＵ５０は、所定時間の経過を判定することに代えて、またはそれと共に、圧力センサ２１の検出圧が所定圧を維持するようになったか否かを判定する処理を行ってもよい。
【００９７】
Ｓ１１でＥＣＵ５０は、圧力センサ２１の検出圧をシステム圧Ｐｔとして記憶する。この処理は、図１９の時刻ｔ８からｔ９の間に行われる。
【００９８】
Ｓ１２でＥＣＵ５０は、第１基準圧Ｐｒｅｆ１とシステム圧Ｐｔとを比較する。ＥＣＵ５０は、システム圧Ｐｔの絶対値が第１基準圧Ｐｒｅｆ１の絶対値より大きく、かつ、システム圧Ｐｔと第１基準圧Ｐｒｅｆ１との差の絶対値が所定の閾値より大きいとき、処理をＳ１３に移行する。
【００９９】
Ｓ１３でＥＣＵ５０は、燃料タンク８またはキャニスタ１０からの蒸発燃料漏れの穴が基準値よりも小さいと判定する。
【０１００】
一方、Ｓ１２でＥＣＵ５０は、システム圧Ｐｔの絶対値が第１基準圧Ｐｒｅｆ１の絶対値以下であるとき、または、システム圧Ｐｔと第１基準圧Ｐｒｅｆ１との差の絶対値が所定の閾値以下であるとき、処理をＳ１４に移行する。これは、圧力センサ２１の検出圧が、図１９の下段のグラフに破線Ｙで示すもの（図１９に示すシステム圧Ｐｔｙ）となる場合である。
【０１０１】
Ｓ１４でＥＣＵ５０は、燃料タンク８またはキャニスタ１０からの蒸発燃料漏れが基準値よりも大きいと判定する。
Ｓ１５でＥＣＵ５０は、次のエンジン運転時にインストルメントパネルの警告ランプを点灯させる処理を行う。
【０１０２】
Ｓ１６でＥＣＵ５０は、ポンプ２０の駆動を停止するか、または、ポンプ２０の羽根車を逆回転させる。いずれの場合でも、図１９の時刻ｔ９以降、検出圧が小さくなる。圧力通路２６と大気通路２４との差圧が切替弁７０の戻り圧より小さくなると、切替弁７０は第２位置から第１位置への切り替え動作を開始する。
【０１０３】
切替弁７０が第１位置に切り替わると、Ｓ１７でＥＣＵ５０はポンプ２０の駆動を停止する。このとき、ノーマルクローズ式の逆止弁である逆止弁８０は、ポート８１１とポート８１２との間での気体の流れを遮断している。これにより、燃料タンク８やキャニスタ１０に比べ容積が小さい圧力室３２の圧力がある程度大気圧に近くなった後、燃料タンク８内やキャニスタ１０内の圧力が大気圧に戻る。
このようにして、第６実施形態による蒸発燃料漏れの検査方法を終了する。
【０１０４】
第６実施形態による検査装置１では、燃料タンク８およびキャニスタ１０を加圧し、蒸発燃料漏れの検査を行う。このとき、Ｓ１６においてポンプ２０の駆動を停止し圧力室３２や燃料タンク８などを大気圧に戻すとき、容積の大小関係から燃料タンク８やキャニスタ１０などに圧力室３２から気体が流入する。このため、圧力室３２の圧力を上昇させ弁体４３が第１位置に復帰するまでの時間が長くなる。このとき、逆止弁８０によって圧力室３２から燃料タンク８やキャニスタ１０への逆流を防止する。これにより、弁部材９０が第１位置に復帰するまでの時間を短くすることができる。
【０１０５】
また、第６実施形態による検査装置１では、弁部材９０は、第１弁座３８２に着座可能な第１弁体９０１と第２弁座３３２に着座可能な第２弁体９０２とを有している。第１弁体９０１および第２弁体９０２は、所定の距離を離して設けられているため、切替弁７０において第１位置と第２位置とを切り替えるために弁部材９０が移動する時間を短くすることができる。  
【０１０６】
（他の実施形態）
上述した実施形態では、検査装置１は、ポンプ２０の駆動により圧力通路２６の減圧を行うことで、切替弁３０を動作させ、第１基準圧Ｐｒｅｆ１、第２基準圧Ｐｒｅｆ２およびシステム圧Ｐｔの検出を行った。これに対し、他の実施形態では、検査装置１は、ポンプ２０の駆動により圧力通路２６の加圧を行うことで、切替弁３０を動作させ、第１基準圧Ｐｒｅｆ１、第２基準圧Ｐｒｅｆ２およびシステム圧Ｐｔの検出を行ってもよい。この場合、図７の中段に示したポンプ２０の駆動は、回転数０を中心として正転と逆転を反転させたグラフとなる。また、図７の下段に示した圧力センサ２１の検出圧の変化は、大気圧Ｐ０を中心として減圧側と加圧側とを反転させたグラフとなる。
このように、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の形態に適用可能である。
【０１０７】
第４〜６実施形態では、通気オリフィス２３は、圧力通路２６の第２連通路２８に接続する部位Ｐ２６１と圧力通路２６の吸入口２０１または吐出口２０２に接続する部位Ｐ２６２との間に設けられている。しかしながら、通気オリフィス２３は、圧力通路２６の圧力導入ポート３５に接続する部位Ｐ２６４（図１３参照）と部位Ｐ２６２との間、または、圧力通路２６の部位Ｐ２６２と部位Ｐ２６１との間に設けられればよい。また、第１、２実施形態の第２連通路２８に設けられる通気オリフィス２３と併用してもよい。
【０１０８】
第６実施形態では、検査装置１は、逆止弁８０を備えるとした。逆止弁８０はなくてもよい。また、通気オリフィス２３もなくてもよい。
【符号の説明】
【０１０９】
１  ・・・検査装置
２０・・・ポンプ
２１・・・圧力センサ
２２・・・基準オリフィス
２４・・・大気通路
２５・・・タンク通路
２６・・・圧力通路
２７・・・第１連通路
２８・・・第２連通路
３０、７０・・・切替弁
【図１】
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【図２】
0006358287.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0006358287.tif 000009
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
0006358287.tif 000016
【図１６】
0006358287.tif 000017
【図１７】
0006358287.tif 000018
【図１８】
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【図１９】
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