(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動体と、
前記振動体の駆動振動方向と交差する第１方向側に設けられ、前記振動体を振動させる第１固定駆動電極と、
前記第１方向側とは反対側に設けられ、前記振動体を振動させる第２固定駆動電極と、
前記振動体の角速度に応じて変化する信号を検出する固定検出電極と、
前記第１固定駆動電極と接続され、前記駆動振動方向の一方側に延出している第１駆動配線と、
前記第２固定駆動電極と接続され、前記駆動振動方向の前記一方側に延出している第２駆動配線と、
前記固定検出電極と接続され、前記一方側とは反対側に延出している検出配線と、
前記振動体から前記第１方向側に延出し、前記第１固定駆動電極と対向している第１可動駆動電極と、
前記振動体から前記第１方向側とは反対側に延出し、前記第２固定駆動電極と対向している第２可動駆動電極と、
を含み、
前記第１固定駆動電極は、前記第１可動駆動電極の前記一方側、および前記第１可動駆動電極の前記一方側とは反対側に設けられ、
前記第２固定駆動電極は、前記第２可動駆動電極の前記一方側、および前記第２可動駆動電極の前記一方側とは反対側に設けられ、
前記振動体、前記第１可動駆動電極、前記第２可動駆動電極、前記第１固定駆動電極、前記第２固定駆動電極、前記固定検出電極は、前記駆動振動方向に沿って互いに連結された第１構造体および第２構造体を構成し、
前記第１駆動配線は、２つ設けられ、
一方の前記第１駆動配線は、前記第１構造体の前記第１可動駆動電極の前記一方側に設けられた前記第１固定駆動電極、および前記第２構造体の前記第１可動駆動電極の前記一方側とは反対側に設けられた前記第１固定駆動電極と接続され、
他方の前記第１駆動配線は、前記第１構造体の前記第１可動駆動電極の前記一方側とは反対側に設けられた前記第１固定駆動電極、および前記第２構造体の前記第１可動駆動電
極の前記一方側に設けられた前記第１固定駆動電極と接続され、
２つの前記第１駆動配線は、
前記振動体の前記第１方向側に設けられた第１延出部と、
前記振動体の前記一方側にて前記第１方向側とは反対側に延出している第２延出部と、を有し、
前記第２駆動配線は、２つ設けられ、
一方の前記第２駆動配線は、前記第１構造体の前記第２可動駆動電極の前記一方側に設けられた前記第２固定駆動電極、および前記第２構造体の前記第２可動駆動電極の前記一方側とは反対側に設けられた前記第２固定駆動電極と接続され、
他方の前記第２駆動配線は、前記第１構造体の前記第２可動駆動電極の前記一方側とは反対側に設けられた前記第２固定駆動電極、および前記第２構造体の前記第２可動駆動電極の前記一方側に設けられた前記第２固定駆動電極と接続され、
２つの前記第１駆動配線の一方と２つの前記第２駆動配線の一方とが接続され、
２つの前記第１駆動配線の他方と２つの前記第２駆動配線の他方とが接続され、
一方の前記第１駆動配線の前記第１延出部は、第１部分と、第２部分と、を有し、
他方の前記第１駆動配線の前記第１延出部は、第３部分と、第４部分と、を有し、
前記駆動振動方向および前記第１方向を含む平面視で、前記第１部分は、前記第１構造体の前記振動体と、前記第３部分と、の間に位置し、
前記平面視で、前記第４部分は、前記第２構造体の前記振動体と、前記第２部分と、の間に位置している、ジャイロセンサー。
【請求項２】
請求項１において、
前記振動体を支持している固定部と、
前記固定部に接続されている固定電位配線と、
を含み、
前記固定電位配線および前記振動体の材質は、導電性が付与されたシリコンであり、
前記固定電位配線は、前記平面視で、
前記振動体の前記第１方向側とは反対側に設けられて、前記駆動振動方向に沿うように延出し、前記駆動振動方向の長さが、前記振動体よりも長い第１部分と、
前記固定電位配線の前記第１部分の前記駆動振動方向の一端から前記第１方向側に延出している第２部分と、
前記固定電位配線の前記第１部分の前記駆動振動方向の他端から前記第１方向側に延出している第３部分と、
を有し、
前記固定電位配線の前記第２部分と前記固定電位配線の前記第３部分との間に、前記振動体が位置している、ジャイロセンサー。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記第１駆動配線と前記検出配線とは、交差しておらず、
前記第２駆動配線と前記検出配線とは、交差していない、ジャイロセンサー。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項において、
前記振動体にバネ部を介して接続されている変位部と、
前記変位部から延出している可動検出電極と、
を含み、
前記固定検出電極は、前記可動検出電極と対向して設けられている、ジャイロセンサー。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１項において、
前記振動体の形状は、枠状であり、
前記固定検出電極は、前記振動体の内側に設けられている、ジャイロセンサー。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか１項に記載のジャイロセンサーを含む、電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ジャイロセンサーおよび電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、例えばシリコンＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ
Ｓｙｓｔｅｍ）技術を用いて角速度を検出する角速度センサー（ジャイロセンサー）が開発されている。
【０００３】
例えば特許文献１には、振動体と、振動体を振動させる駆動電極と、振動体の角速度に応じて変化する信号を検出する検出電極と、を備えたジャイロセンサーが開示されている。駆動電極および検出電極は、それぞれ駆動配線および検出配線と接続されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平７−２１８２６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記のようなジャイロセンサーでは、駆動配線を介して駆動電極に交流電圧が印加されるため、駆動電極と検出配線とが交差している部分があると、駆動配線と検出配線との間で発生する寄生容量を介して、検出配線に電流が流れることがあった。このような電流は、振動体の角速度に応じて変化する信号と分離することができず、ジャイロセンサーの検出精度が低下してしまうことがあった。
【０００６】
本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、駆動配線と検出配線との間で発生する寄生容量を介して、検出配線に電流が流れることを抑制できるジャイロセンサーを提供することにある。また、本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、上記のジャイロセンサーを有する電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は前述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の態様または適用例として実現することができる。
【０００８】
［適用例１］
本適用例に係るジャイロセンサーは、
振動体と、
平面視で、前記振動体の駆動振動方向と交差する第１方向側に設けられ、前記振動体を振動させる第１固定駆動電極と、
平面視で、前記第１方向側とは反対側に設けられ、前記振動体を振動させる第２固定駆動電極と、
前記振動体の角速度に応じて変化する信号を検出する固定検出電極と、
前記第１固定駆動電極と接続され、前記駆動振動方向の一方側に延出している第１駆動配線と、
前記第２固定駆動電極と接続され、前記駆動振動方向の前記一方側に延出している第２駆動配線と、
前記固定検出電極と接続され、前記一方側とは反対側に延出している検出配線と、
を含む。
【０００９】
このようなジャイロセンサーによれば、第１駆動配線および第２駆動配線と検出配線との間で発生する寄生容量を介して、検出配線に電流が流れることを抑制できる。
【００１０】
［適用例２］
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
前記第１駆動配線は、前記振動体の前記一方側にて前記第１方向とは反対側に延出している部分を有していてもよい。
【００１１】
このようなジャイロセンサーによれば、より確実に、第１駆動配線および第２駆動配線と検出配線との間で発生する寄生容量を介して、検出配線に電流が流れることを抑制できる。
【００１２】
［適用例３］
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
請求項１または２において、
前記第１駆動配線と前記第２駆動配線とが接続されていてもよい。
【００１３】
このようなジャイロセンサーによれば、配線を共通化することができ、配線数を削減することができる。
【００１４】
［適用例４］
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
前記駆動配線と前記検出配線とは、交差していなくてよい。
【００１５】
このようなジャイロセンサーによれば、より確実に、第１駆動配線および第２駆動配線と検出配線との間で発生する寄生容量を介して、検出配線に電流が流れることを抑制できる。
【００１６】
［適用例５］
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
前記振動体から延出している可動駆動電極を含み、
前記第１固定駆動電極および前記第２固定駆動電極は、前記可動駆動電極と対向して設けられていてもよい。
【００１７】
このようなジャイロセンサーによれば、第１駆動配線および第２駆動配線と検出配線との間で発生する寄生容量を介して、検出配線に電流が流れることを抑制できる。
【００１８】
［適用例６］
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
前記振動体にバネ部を介して接続されている変位部と、
前記変位部から延出している可動検出電極と、
を含み、
前記固定検出電極は、前記可動検出電極と対向して設けられていてもよい。
【００１９】
このようなジャイロセンサーによれば、第１駆動配線および第２駆動配線と検出配線との間で発生する寄生容量を介して、検出配線に電流が流れることを抑制できる。
【００２０】
［適用例７］
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
前記振動体の形状は、枠状であり、
前記固定検出電極は、前記振動体の内側に設けられていてもよい。
【００２１】
このようなジャイロセンサーによれば、第１駆動配線および第２駆動配線と検出配線との間で発生する寄生容量を介して、検出配線に電流が流れることを抑制できる。
【００２２】
［適用例８］
本適用例に係る電子機器は、
本適用例に係るジャイロセンサーを含む。
【００２３】
このような電子機器によれば、第１駆動配線および第２駆動配線と検出配線との間で発生する寄生容量を介して、検出配線に電流が流れることを抑制できるジャイロセンサーを有することができる。
本適用例に係るジャイロセンサーは、
振動体と、前記振動体の駆動振動方向と交差する第１方向側に設けられ、前記振動体を振動させる第１固定駆動電極と、前記第１方向側とは反対側に設けられ、前記振動体を振動させる第２固定駆動電極と、前記振動体の角速度に応じて変化する信号を検出する固定検出電極と、前記第１固定駆動電極と接続され、前記駆動振動方向の一方側に延出している第１駆動配線と、前記第２固定駆動電極と接続され、前記駆動振動方向の前記一方側に延出している第２駆動配線と、前記固定検出電極と接続され、前記一方側とは反対側に延出している検出配線と、前記振動体から前記第１方向側に延出し、前記第１固定駆動電極と対向している第１可動駆動電極と、前記振動体から前記第１方向側とは反対側に延出し、前記第２固定駆動電極と対向している第２可動駆動電極と、を含み、前記第１固定駆動電極は、前記第１可動駆動電極の前記一方側、および前記第１可動駆動電極の前記一方側とは反対側に設けられ、前記第２固定駆動電極は、前記第２可動駆動電極の前記一方側、および前記第２可動駆動電極の前記一方側とは反対側に設けられ、前記第１駆動配線は、２つ設けられ、一方の前記第１駆動配線は、前記第１可動駆動電極の前記一方側に設けられた前記第１固定駆動電極と接続され、他方の前記第１駆動配線は、前記第１可動駆動電極の前記一方側とは反対側に設けられた前記第１固定駆動電極と接続され、２つの前記第１駆動配線は、前記振動体の前記第１方向側に設けられた第１延出部と、前記振動体の前記一方側にて前記第１方向側とは反対側に延出している第２延出部と、を有し、前記第２駆動配線は、２つ設けられ、一方の前記第２駆動配線は、前記第２可動駆動電極の前記一方側に設けられた前記第２固定駆動電極と接続され、他方の前記第２駆動配線は、前記第２可動駆動電極の前記一方側とは反対側に設けられた前記第２固定駆動電極と接続され、前記振動体、前記第１可動駆動電極、前記第２可動駆動電極、前記第１固定駆動電極、前記第２固定駆動電極、前記固定検出電極は、前記駆動振動方向に沿って互いに連結された第１構造体および第２構造体を構成し、２つの前記第１駆動配線の一方と２つの前記第２駆動配線の一方とが接続され、２つの前記第１駆動配線の他方と２つの前記第２駆動配線の他方とが接続され、一方の前記第１駆動配線の前記第１延出部は、第１部分と、第２部分と、を有し、他方の前記第１駆動配線の前記第１延出部は、第３部分と、第４部分と、を有し、前記駆動振動方向および前記第１方向を含む平面視で、前記第１部分は、前記第１構造体の前記振動体と、前記第３部分と、の間に位置し、前記平面視で、前記第４部分は、前記第２構造体の前記振動体と、前記第２部分と、の間に位置している。
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
前記振動体を支持している固定部と、前記固定部に接続されている固定電位配線と、を含み、前記固定電位配線および前記振動体の材質は、導電性が付与されたシリコンであり、
前記固定電位配線は、前記平面視で、前記振動体の前記第１方向側とは反対側に設けられて、前記駆動振動方向に沿うように延出し、前記駆動振動方向の長さが、前記振動体よりも長い第１部分と、前記固定電位配線の前記第１部分の前記駆動振動方向の一端から前記第１方向側に延出している第２部分と、前記固定電位配線の前記第１部分の前記駆動振
動方向の他端から前記第１方向側に延出している第３部分と、を有し、前記固定電位配線の前記第２部分と前記固定電位配線の前記第３部分との間に、前記振動体が位置していてもよい。
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
前記第１駆動配線と前記検出配線とは、交差しておらず、前記第２駆動配線と前記検出配線とは、交差していなくてもよい。
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
前記振動体にバネ部を介して接続されている変位部と、前記変位部から延出している可動検出電極と、を含み、前記固定検出電極は、前記可動検出電極と対向して設けられていてもよい。
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
前記振動体の形状は、枠状であり、前記固定検出電極は、前記振動体の内側に設けられていてもよい。
本適用例に係る電子機器は、
本適用例に係るジャイロセンサーを含む。
本適用例に係るジャイロセンサーは、
振動体と、前記振動体の駆動振動方向と交差する第１方向側に設けられ、前記振動体を振動させる第１固定駆動電極と、前記第１方向側とは反対側に設けられ、前記振動体を振動させる第２固定駆動電極と、前記振動体の角速度に応じて変化する信号を検出する固定検出電極と、前記第１固定駆動電極と接続され、前記駆動振動方向の一方側に延出している第１駆動配線と、前記第２固定駆動電極と接続され、前記駆動振動方向の前記一方側に延出している第２駆動配線と、前記固定検出電極と接続され、前記一方側とは反対側に延出している検出配線と、前記振動体から前記第１方向側に延出し、前記第１固定駆動電極と対向している第１可動駆動電極と、前記振動体から前記第１方向側とは反対側に延出し、前記第２固定駆動電極と対向している第２可動駆動電極と、を含み、前記第１固定駆動電極は、前記第１可動駆動電極の前記一方側、および前記第１可動駆動電極の前記一方側とは反対側に設けられ、前記第２固定駆動電極は、前記第２可動駆動電極の前記一方側、および前記第２可動駆動電極の前記一方側とは反対側に設けられ、前記振動体、前記第１可動駆動電極、前記第２可動駆動電極、前記第１固定駆動電極、前記第２固定駆動電極、前記固定検出電極は、前記駆動振動方向に沿って互いに連結された第１構造体および第２構造体を構成し、前記第１駆動配線は、２つ設けられ、一方の前記第１駆動配線は、前記第１構造体の前記第１可動駆動電極の前記一方側に設けられた前記第１固定駆動電極、および前記第２構造体の前記第１可動駆動電極の前記一方側とは反対側に設けられた前記第１固定駆動電極と接続され、他方の前記第１駆動配線は、前記第１構造体の前記第１可動駆動電極の前記一方側とは反対側に設けられた前記第１固定駆動電極、および前記第２構造体の前記第１可動駆動電極の前記一方側に設けられた前記第１固定駆動電極と接続され、２つの前記第１駆動配線は、前記振動体の前記第１方向側に設けられた第１延出部と、前記振動体の前記一方側にて前記第１方向側とは反対側に延出している第２延出部と、を有し、前記第２駆動配線は、２つ設けられ、一方の前記第２駆動配線は、前記第１構造体の前記第２可動駆動電極の前記一方側に設けられた前記第２固定駆動電極、および前記第２構造体の前記第２可動駆動電極の前記一方側とは反対側に設けられた前記第２固定駆動電極と接続され、他方の前記第２駆動配線は、前記第１構造体の前記第２可動駆動電極の前記一方側とは反対側に設けられた前記第２固定駆動電極、および前記第２構造体の前記第２可動駆動電極の前記一方側に設けられた前記第２固定駆動電極と接続され、２つの前記第１駆動配線の一方と２つの前記第２駆動配線の一方とが接続され、２つの前記第１駆動配線の他方と２つの前記第２駆動配線の他方とが接続され、一方の前記第１駆動配線の前記第１延出部は、第１部分と、第２部分と、を有し、他方の前記第１駆動配線の前記第１延出部は、第３部分と、第４部分と、を有し、前記駆動振動方向および前記第１方向を含む平面視で、前記第１部分は、前記第１構造体の前記振動体と、前記第３部分と、の間に位置し、前記平面視で、前記第４部分は、前記第２構造体の前記振動体と、前記第２部
分と、の間に位置している。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本実施形態に係るジャイロセンサーを模式的に示す平面図。
【図２】本実施形態に係るジャイロセンサーを模式的に示す断面図。
【図３】本実施形態に係るジャイロセンサーを模式的に示す断面図。
【図４】本実施形態に係るジャイロセンサーの機能素子を模式的に示す平面図。
【図５】本実施形態に係るジャイロセンサーの動作を説明するための図。
【図６】本実施形態に係るジャイロセンサーの動作を説明するための図。
【図７】本実施形態に係るジャイロセンサーの動作を説明するための図。
【図８】本実施形態に係るジャイロセンサーの動作を説明するための図。
【図９】本実施形態に係るジャイロセンサーの製造工程を模式的に示す断面図。
【図１０】本実施形態に係るジャイロセンサーの製造工程を模式的に示す断面図。
【図１１】本実施形態に係るジャイロセンサーの製造工程を模式的に示す断面図。
【図１２】本実施形態に係る電子機器を模式的に示す斜視図。
【図１３】本実施形態に係る電子機器を模式的に示す斜視図。
【図１４】本実施形態に係る電子機器を模式的に示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
【００２６】
１．  ジャイロセンサー
まず、本実施形態に係るジャイロセンサーについて、図面を参照しながら説明する。図１は、本実施形態に係るジャイロセンサー１００を模式的に示す平面図である。図２は、本実施形態に係るジャイロセンサー１００を模式的に示す図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。図３は、本実施形態に係るジャイロセンサー１００を模式的に示す図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。なお、図１〜図３では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を図示している。
【００２７】
ジャイロセンサー１００は、図１〜図３に示すように、基板１０と、機能素子１０２と、第１駆動配線２０，２１と、第２駆動配線２２，２３と、検出配線３０，３１と、を含むことができる。ジャイロセンサー１００は、さらに、第１接続配線２４，２５と、第２接続配線３２，３３と、固定電位配線４０と、蓋体５０と、を含むことができる。なお、便宜上、図１および図３では、蓋体５０を省略して図示している。
【００２８】
基板１０の材質は、例えば、ガラス、シリコンである。基板１０は、図２に示すように、第１面１１と、第１面１１と反対側の第２面１２と、を有している。図示の例では、第１面１１および第２面１２は、ＸＹ平面と平行な面である。
【００２９】
基板１０の第１面１１には、凹部１４が設けられている。凹部１４の上方には、間隙を介して、機能素子１０２の振動体１１２が設けられている。凹部１４によって、振動体１１２は、基板１０に妨害されることなく、所望の方向に可動することができる。凹部１４の平面形状は、特に限定されないが、例えば、矩形である。基板１０の第１面１１には、図２および図３に示すように、さらに溝部１６，１８が設けられていてもよい。なお、便宜上、図１では、凹部１４および溝部１６，１８の図示を省略している。
【００３０】
機能素子１０２は、基板１０上に（基板１０の第１面１１に）設けられている。以下では、機能素子１０２が、Ｚ軸回りの角速度を検出するジャイロセンサー素子（静電容量型ＭＥＭＳジャイロセンサー素子）である例について説明する。図４は、機能素子１０２を模式的に示す平面図である。なお、図４では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を図示している。
【００３１】
機能素子１０２は、図２および図４に示すように、第１構造体１０６および第２構造体１０８を有している。第１構造体１０６および第２構造体１０８は、Ｘ軸に沿って互いに連結されている。第１構造体１０６は、第２構造体１０８よりも−Ｘ方向側に位置している。構造体１０６，１０８は、図４に示すように、例えば、両者の境界線Ｂ（Ｙ軸に沿った直線）に対して、対称となる形状を有している。なお、図示はしないが、機能素子１０２は、第２構造体１０８を有しておらず、第１構造体１０６によって構成されていてもよい。
【００３２】
構造体１０６，１０８は、図４に示すように、振動体１１２と、第１バネ部１１４と、可動駆動電極１１６と、変位部１２２と、第２バネ部１２４と、可動検出電極１２６と、第１固定駆動電極１３０，１３２と、第２固定駆動電極１３４，１３６と、固定検出電極１４０，１４２と、固定部１５０と、を有することができる。
【００３３】
振動体１１２，バネ部１１４，１２４，可動駆動電極１１６、変位部１２２、可動検出電極１２６、および固定部１５０は、例えば、基板１０に接合されたシリコン基板（図示せず）を加工することにより、一体に形成されている。これにより、シリコン半導体デバイスの製造に用いられる微細な加工技術の適用が可能となり、機能素子１０２の小型化を図ることができる。機能素子１０２の材質は、例えば、リン、ボロン等の不純物がドープされることにより導電性が付与されたシリコンである。
【００３４】
振動体１１２は、例えば、枠状（フレーム状）の形状を有している。振動体１１２の内側には、変位部１２２、可動検出電極１２６、および固定検出電極１４０，１４２が設けられている。
【００３５】
第１バネ部１１４は、一端が振動体１１２に接続され、他端が固定部１５０に接続されている。固定部１５０は、基板１０上に（基板１０の第１面１１に）固定されている。すなわち、固定部１５０の下方には、凹部１４が設けられていない。振動体１１２は、第１バネ部１１４を介して、固定部１５０により支持されている。図示の例では、第１バネ部１１４は、第１構造体１０６および第２構造体１０８において、４つずつ設けられている。なお、第１構造体１０６と第２構造体１０８との境界線Ｂ上の固定部１５０は、設けられていなくてもよい。
【００３６】
第１バネ部１１４は、Ｘ軸方向に振動体１１２を変位し得るように構成されている。す
なわち、振動体１１２の駆動振動方向は、Ｘ軸方向である。より具体的には、第１バネ部１１４は、Ｙ軸方向に（Ｙ軸に沿って）往復しながらＸ軸方向に（Ｘ軸に沿って）延出する形状を有している。なお、第１バネ部１１４は、振動体１１２をＸ軸に沿って振動させることができれば、その数は特に限定されない。
【００３７】
可動駆動電極１１６は、振動体１１２に接続されている。可動駆動電極１１６は、振動体１１２から＋Ｙ方向および−Ｙ方向に延出している。図４に示す例では、可動駆動電極１１６は、複数設けられ、複数の可動駆動電極１１６は、Ｘ軸方向に配列されている。可動駆動電極１１６は、振動体１１２の振動に伴い、Ｘ軸に沿って振動することができる。
【００３８】
第１固定駆動電極１３０，１３２は、基板１０上に（基板１０の第１面１１に）固定されている。第１固定駆動電極１３０，１３２は、平面視において、振動体１１２の＋Ｙ方向側（振動体１１２の駆動振動方向と交差する第１方向側）に設けられている。
【００３９】
第１固定駆動電極１３０，１３２は、振動体１１２から＋Ｙ方向に延出している可動駆動電極（第１可動駆動電極）１１６と対向し、第１可動駆動電極１１６を挟んで設けられている。より具体的には、第１可動駆動電極１１６を挟む第１固定駆動電極１３０，１３２において、第１構造体１０６では、第１可動駆動電極１１６の−Ｘ方向側に第１固定駆動電極１３０が設けられ、第１可動駆動電極１１６の＋Ｘ方向側に第１固定駆動電極１３２が設けられている。第２構造体１０８では、第１可動駆動電極１１６の＋Ｘ方向側に第１固定駆動電極１３０が設けられ、第１可動駆動電極１１６の−Ｘ方向側に第１固定駆動電極１３２が設けられている。図１に示すように、第１固定駆動電極１３０は、第１駆動配線２０と接続され、第１固定駆動電極１３２は、第１駆動配線２１と接続されている。
【００４０】
第１固定駆動電極１３０，１３２は、第１可動駆動電極１１６の数に応じて、複数設けられ、Ｘ軸方向に配列されている。図４に示す例では、第１固定駆動電極１３０，１３２は、櫛歯状の形状を有しており、第１可動駆動電極１１６は、第１固定駆動電極１３０，１３２の櫛歯の間に挿入可能な形状を有している。
【００４１】
第２固定駆動電極１３４，１３６は、基板１０上に（基板１０の第１面１１に）固定されている。第２固定駆動電極１３４，１３６は、平面視において、振動体１１２の−Ｙ方向側（第１方向側とは反対側）に設けられている。
【００４２】
第２固定駆動電極１３４，１３６は、振動体１１２から−Ｙ方向に延出している可動駆動電極（第２可動駆動電極）１１６と対向し、第２可動駆動電極１１６を挟んで設けられている。より具体的には、第２可動駆動電極１１６を挟む第２固定駆動電極１３４，１３６において、第１構造体１０６では、第２可動駆動電極１１６の−Ｘ方向側に第２固定駆動電極１３４が設けられ、第２可動駆動電極１１６の＋Ｘ方向側に第２固定駆動電極１３６が設けられている。第２構造体１０８では、第２可動駆動電極１１６の＋Ｘ方向側に第２固定駆動電極１３４が設けられ、第２可動駆動電極１１６の−Ｘ方向側に第２固定駆動電極１３６が設けられている。図１に示すように、第２固定駆動電極１３４は、第２駆動配線２２と接続され、第２固定駆動電極１３６は、第２駆動配線２３と接続されている。
【００４３】
第２固定駆動電極１３４，１３６は、第２可動駆動電極１１６の数に応じて、複数設けられ、Ｘ軸方向に配列されている。図４に示す例では、第２固定駆動電極１３４，１３６は、櫛歯状の形状を有しており、第２可動駆動電極１１６は、第２固定駆動電極１３４，１３６の櫛歯の間に挿入可能な形状を有している。
【００４４】
固定駆動電極１３０，１３２，１３４，１３６および可動駆動電極１１６は、振動体１１２を振動させるための電極である。
【００４５】
変位部１２２は、第２バネ部１２４を介して、振動体１１２に接続されている。図示の例では、変位部１２２の平面形状は、Ｙ軸に沿った長辺を有する長方形である。なお、図示はしないが、変位部１２２は、振動体１１２の外側に設けられていてもよい。
【００４６】
第２バネ部１２４は、Ｙ軸方向に変位部１２２を変位し得るように構成されている。より具体的には、第２バネ部１２４は、Ｘ軸方向に往復しながらＹ軸方向に延出する形状を有している。なお、第２バネ部１２４は、変位部１２２をＹ軸に沿って変位させることができれば、その数は特に限定されない。
【００４７】
可動検出電極１２６は、変位部１２２に接続されている。可動検出電極１２６は、例えば、複数設けられている。可動検出電極１２６は、変位部１２２から＋Ｘ方向および−Ｘ方向に延出している。
【００４８】
固定検出電極１４０，１４２は、基板１０上に（基板１０の第１面１１に）固定されている。より具体的には、固定検出電極１４０，１４２は、一端が基板１０上に固定され、他端が自由端として変位部１２２側に延出している。
【００４９】
固定検出電極１４０，１４２は、可動検出電極１２６と対向し、可動検出電極１２６を挟んで設けられている。より具体的には、可動検出電極１１８を挟む固定検出電極１４０，１４２において、第１構造体１０６では、可動検出電極１２６の−Ｙ方向側に固定検出電極１４０が設けられ、可動検出電極１１６の＋Ｙ方向側に固定検出電極１４２が設けられている。第２構造体１０８では、可動検出電極１２６の＋Ｙ方向側に固定検出電極１４０が設けられ、可動検出電極１２６の−Ｙ方向側に固定検出電極１４２が設けられている。図１に示すように、固定検出電極１４０は、検出配線３０と接続され、固定検出電極１４２は、検出配線３１と接続されている。
【００５０】
図４に示す例では、固定検出電極１４０，１４２は、複数設けられ、Ｙ軸に沿って交互に配列されている。固定検出電極１４０，１４２および可動検出電極１２６は、振動体１１２の角速度に応じて変化する信号（静電容量）を検出するための電極である。
【００５１】
第１駆動配線２０，２１は、図１〜図３に示すように、基板１０上に設けられている。第１駆動配線２０は、図１に示すように平面視において、第１固定駆動電極１３０と接続されている。第１駆動配線２０は、第１固定駆動電極１３０に交流電圧を印加するための配線である。第１駆動配線２０は、振動体１１２の（機能素子１０２の）＋Ｙ方向側に設けられた第１延出部２０ａと、振動体１１２の（機能素子１０２の）−Ｘ方向側に設けられた第２延出部２０ｂと、を有している。
【００５２】
第１延出部２０ａは、−Ｘ方向側（振動体１１２の駆動振動方向の一方側）に延出している。より具体的には、第１延出部２０ａは、第２構造体１０８の最も＋Ｘ方向側に位置している第１固定駆動電極１３０から、第１構造体１０６の最も−Ｘ方向側に位置している第１固定駆動電極１３０まで延出し、さらに、第１構造体１０６の最も−Ｘ方向側に位置している第１固定駆動電極１３０から、第２延出部２０ｂまで、−Ｘ方向に延出している。
【００５３】
第２延出部２０ｂは、振動体１１２の−Ｘ方向側にて、−Ｙ方向側に延出している。より具体的には、第２延出部２０ｂは、第１延出部２０ａから第２駆動配線２２まで、−Ｙ方向に延出している。
【００５４】
第１駆動配線２１は、図１に示すように平面視において、第１固定駆動電極１３２と接
続されている。第１駆動配線２１は、第１固定駆動電極１３２に交流電圧を印加するための配線である。第１駆動配線２１は、振動体１１２の（機能素子１０２の）＋Ｙ方向側に設けられた第１延出部２１ａと、振動体１１２の（機能素子１０２の）−Ｘ方向側に設けられた第２延出部２１ｂと、を有している。
【００５５】
第１延出部２１ａは、−Ｘ方向側に延出している。より具体的には、第１延出部２１ａは、第２構造体１０８の最も＋Ｘ方向側に位置している第１固定駆動電極１３２から、第１構造体１０６の最も−Ｘ方向側に位置している第１固定駆動電極１３２まで延出し、さらに、第１構造体１０６の第１構造体１０６の最も−Ｘ方向側に位置している第１固定駆動電極１３２から、第２延出部２１ｂまで、−Ｘ方向に延出している。
【００５６】
第２延出部２１ｂは、振動体１１２の−Ｘ方向側にて、−Ｙ方向側に延出している。より具体的には、第２延出部２１ｂは、第１延出部２１ａから第２駆動配線２３まで、−Ｙ方向に延出している。
【００５７】
第１駆動配線２０は、図３に示すように、溝部１６内に設けられている第１部分２０ｃと、第１面１１に設けられている第２部分２０ｄと、を有することができる。第２部分２０ｄは、駆動配線２１が設けられている溝部１８を跨いでいる。第１部分２０ｃの材質は、例えば、金属であり、第２部分２０ｄの材質は、例えば、導電性が付与されたシリコンである。第１部分２０ｃおよび第２部分２０ｄは、互いに接続されている。このような構成により、平面視で駆動配線２０，２１が交差する部分において、駆動配線２０と駆動配線２１とが接触することを防止できる。さらに、駆動配線２０が第１部分２０ｃを有することにより、駆動配線２０と固定電位配線４０とが接触することを防止できる。
【００５８】
同様に、駆動配線２１は、溝部１８内に設けられている第１部分２１ｃと、第１面１１に設けられている第２部分（図示せず）と、を有していてもよい。これにより、駆動配線２１と固定電位配線４０とが接触することを防止できる。
【００５９】
第２駆動配線２２，２３は、図１〜図３に示すように、基板１０上に設けられている。第２駆動配線２２は、図１に示すように平面視において、第２固定駆動電極１３４と接続されている。第２駆動配線２２は、第２固定駆動電極１３４に交流電圧を印加するための配線である。第２駆動配線２２は、振動体１１２の（機能素子１０２の）−Ｙ方向側に設けられている。
【００６０】
第２駆動配線２２は、−Ｘ方向側に延出している。より具体的には、第２駆動配線２２は、第２構造体１０８の最も＋Ｘ方向側に位置している第２固定駆動電極１３４から、第１構造体１０６の最も−Ｘ方向側に位置している第２固定駆動電極１３４まで延出し、さらに、第１構造体１０６の最も−Ｘ方向側に位置している第２固定駆動電極１３４から、第１駆動配線２０の第２延出部２０ｂまで、−Ｘ方向に延出している。すなわち、第１駆動配線２０と第２駆動配線２２とは、接続されている。
【００６１】
第２駆動配線２３は、図１に示すように平面視において、第２固定駆動電極１３６と接続されている。第２駆動配線２３は、第２固定駆動電極１３６に交流電圧を印加するための配線である。第２駆動配線２３は、振動体１１２の（機能素子１０２の）−Ｙ方向側に設けられている。
【００６２】
第２駆動配線２３は、−Ｘ方向側に延出している。より具体的には、第２駆動配線２３は、第２構造体１０８の最も＋Ｘ方向側に位置している第２固定駆動電極１３６から、第１構造体１０６の最も−Ｘ方向側に位置している第２固定駆動電極１３６まで延出し、さらに、最も−Ｘ方向側に位置している第２固定駆動電極１３６から、第１駆動配線２１の
第２延出部２１ｂまで、−Ｘ方向に延出している。すなわち、第１駆動配線２１と第２駆動配線２３とは、接続されている。
【００６３】
第２駆動配線２２，２３は、第１駆動配線２０，２１のように、基板１０の第１面１１に形成された溝部（図示せず）内に設けられた第１部分と、第１面１１に設けられた第２部分と、を有していてもよい。これにより、平面視で駆動配線２２，２３が交差する部分において、駆動配線２２と駆動配線２３とが接触することを防止できる。
【００６４】
駆動配線２０，２２は、図１に示すように平面視において、第１固定駆動電極１３０と第２固定駆動電極１３４とを、振動体１１２の−Ｘ方向側を囲んで、接続している。駆動配線２１，２３は、第１固定駆動電極１３２と第２固定駆動電極１３６とを、振動体１１２の−Ｘ方向側を囲んで、接続している。駆動配線２０，２１，２２，２３は、振動体１１２の（機能素子１０２の）＋Ｘ方向側には設けられていない。
【００６５】
第１接続配線２４，２５は、基板１０上に設けられている。第１接続配線２４は、駆動配線２０，２２の交差部分（接続部分）に接続され、図１に示す例では、該交差部分から−Ｙ方向に延出している。第１接続配線２５は、駆動配線２１，２３の交差部分（接続部分）に接続され、図１に示す例では、該交差部分から−Ｙ方向に延出している。第１接続配線２４，２５は、それぞれ、基板１０上に設けられているパッド（図示せず）と接続されていてもよい。第１接続配線２４，２５は、駆動配線２０，２１のように、基板１０の第１面１１に形成された溝部（図示せず）内に設けられていてもよい。
【００６６】
検出配線３０は、基板１０上に設けられている。検出配線３０は、固定検出電極１４０に接続され、固定検出電極１４０から、振動体１１２の＋Ｘ方向側（振動体１１２の駆動振動方向の一方側とは反対側）に延出している。より具体的には、検出配線３０は、第１構造体１０６の固定検出電極１４０から、第１構造体１０６の振動体１１２の＋Ｘ方向側に延出し、さらに、第２構造体１０８の固定検出電極１４０に接続されて、第２構造体１０８の振動体１１２の＋Ｘ方向側に延出している。
【００６７】
検出配線３１は、基板１０上に設けられている。検出配線３１は、固定検出電極１４２に接続され、固定検出電極１４２から、振動体１１２の＋Ｘ方向側に延出している。より具体的には、検出配線３１は、第１構造体１０６の固定検出電極１４２から、第１構造体１０６の振動体１１２の＋Ｘ方向側に延出し、さらに、第２構造体１０８の固定検出電極１４２に接続されて、第２構造体１０８の振動体１１２の＋Ｘ方向側に延出している。
【００６８】
検出配線３０，３１は、図２に示すように、凹部１４内に設けられている部分を有していてもよい。これにより、検出配線３０，３１と振動体１１２とが接触することを防止できる。さらに、検出配線３０，３１は、駆動配線２０，２１のように、基板１０の第１面１１に形成された溝部（図示せず）内に設けられていてもよい。
【００６９】
検出配線３０は、平面視において、駆動配線２０，２１，２２，２３と交差していない。同様に、検出配線３１は、平面視において、駆動配線２０，２１，２２，２３と交差していない。検出配線３０，３１は、可動検出電極１２６と固定検出電極１４０，１４２との間の静電容量の変化を検出するための配線である。
【００７０】
第２接続配線３２，３３は、基板１０上に設けられている。第２接続配線３２は、検出配線３０に接続され、図１に示す例では、検出配線３０から−Ｙ方向に延出している。第２接続配線３３は、検出配線３１に接続され、図１に示す例では、検出配線３１から−Ｙ方向に延出している。第２接続配線３２，３３は、それぞれ、基板１０上に設けられているパッド（図示せず）と接続されていてもよい。第２接続配線３２，３３は、駆動配線２
０，２１のように、基板１０の第１面１１に形成された溝部（図示せず）内に設けられていてもよい。
【００７１】
第２接続配線３２は、平面視において、第１接続配線２４，２５と交差しないように設けられている。同様に、第２接続配線３３は、平面視において、第１接続配線２４，２５と交差しないように設けられている。
【００７２】
配線２０，２１，２２，２３，２４，２５，３０，３１，３２，３３の材質は、例えば、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）、アルミニウム、金、白金、チタン、タングステン、クロム、導電性が付与されたシリコンである。配線２０，２１，２２，２３，２４，２５，３０，３１，３２，３３の材質は、例えば、上記に示した金属からなる部分と、導電性が付与されたシリコンからなる部分と、を有していてもよい。
【００７３】
固定電位配線４０は、基板１０上に設けられている。固定電位配線４０は、機能素子１０２の固定部１５０に接続されている。図２に示す例では、固定電位配線４０の材質は、導電性が付与されたシリコンであり、固定部１５０と一体に形成されている。固定電位配線４０は、固定部１５０からパッド（図示せず）まで延出していてもよい。固定電位配線４０は、固定部１５０を介して、振動体１１２、可動駆動電極１１６、変位部１２２、および可動検出電極１２６と電気的に接続されている。固定電位配線４０は、振動体１１２等と同じ電位を有していてもよい。なお、固定電位配線４０の材質は、導電性が付与されたシリコンに限定されず、例えば、ＩＴＯ、アルミニウム、金、白金、チタン、タングステン、クロムであってもよい。
【００７４】
蓋体５０は、図２に示すように、基板１０上に設けられている。基板１０および蓋体５０は、パッケージを構成することができる。基板１０および蓋体５０は、キャビティー５２を形成することができ、キャビティー５２に機能素子１０２を収容することができる。キャビティー５２は、例えば、真空で密閉されている。蓋体５０の材質は、例えば、シリコン、ガラスである。
【００７５】
次に、ジャイロセンサー１００の動作について説明する。図５〜図８は、ジャイロセンサー１００の動作を説明するための図である。なお、図５〜図８では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を図示している。また、便宜上、図５〜図８では、機能素子１０２以外の部材の図示を省略し、さらに、可動駆動電極１１６、可動検出電極１２６、固定駆動電極１３０，１３２，１３４，１３６、および固定検出電極１４０，１４２の図示を省略し、機能素子１０２を簡略化して図示している。
【００７６】
振動体１１２から＋Ｙ方向に延出している可動駆動電極（第１可動駆動電極）１１６と第１固定駆動電極１３０，１３２との間、および振動体１１２から−Ｙ方向に延出している可動駆動電極（第２可動駆動電極）１１６と第２固定駆動電極１３４，１３６との間に、図示しない電源によって、電圧を印加すると、可動駆動電極１１６と固定駆動電極１３０，１３２との間、および第２可動駆動電極１１６と第２固定駆動電極１３４，１３６との間に、静電力を発生させることができる（図１および図４参照）。これにより、図５および図６に示すように、第１バネ部１１４をＸ軸に沿って伸縮させることができ、振動体１１２をＸ軸に沿って振動させることができる。
【００７７】
より具体的には、固定電位配線４０を介して可動駆動電極１１６に、一定の電位Ｖｒを与える。さらに、第１接続配線２４および駆動配線２０，２２を介して固定駆動電極１３０，１３４に、Ｖｒを基準として第１交流電圧を印加する。また、第１接続配線２５および駆動配線２１，２３を介して固定駆動電極１３２，１３６に、電位Ｖｒを基準として、第１交流電圧と位相が１８０度ずれた第２交流電圧を印加する。
【００７８】
ここで、第１可動駆動電極１１６を挟む第１固定駆動電極１３０，１３２において、第１構造体１０６では、第１可動駆動電極１１６の−Ｘ方向側に第１固定駆動電極１３０が設けられ、第１可動駆動電極１１６の＋Ｘ方向側に第１固定駆動電極１３２が設けられている（図１および図４参照）。第２構造体１０８では、第１可動駆動電極１１６の＋Ｘ方向側に第１固定駆動電極１３０が設けられ、第１可動駆動電極１１６の−Ｘ方向側に第１固定駆動電極１３２が設けられている（図１および図４参照）。また、第２可動駆動電極１１６を挟む第２固定駆動電極１３４，１３６において、第１構造体１０６では、第２可動駆動電極１１６の−Ｘ方向側に第２固定駆動電極１３４が設けられ、第２可動駆動電極１１６の＋Ｘ方向側に第１固定駆動電極１３６が設けられている（図１および図４参照）。第２構造体１０８では、第２可動駆動電極１１６の＋Ｘ方向側に第２固定駆動電極１３４が設けられ、第２可動駆動電極１１６の−Ｘ方向側に第２固定駆動電極１３６が設けられている（図１および図４参照）。そのため、第１交流電圧および第２交流電圧によって、第１構造体１０６の振動体１１２ａ、および第２構造体１０８の振動体１１２ｂを、互いに逆位相でかつ所定の周波数で、Ｘ軸に沿って振動させることができる。図５に示す例では、振動体１１２ａは、α１方向に変位し、振動体１１２ｂは、α１方向と反対のα２方向に変位している。図６に示す例では、振動体１１２ａは、α２方向に変位し、振動体１１２ｂは、α１方向に変位している。
【００７９】
なお、変位部１２２は、振動体１１２の振動に伴い、Ｘ軸に沿って変位する。同様に、可動検出電極１２６（図１および図４参照）は、振動体１１２の振動に伴い、Ｘ軸に沿って変位する。
【００８０】
図７および図８に示すように、振動体１１２ａ，１１２ｂがＸ軸に沿って振動を行っている状態で、機能素子１０２にＺ軸回りの角速度ωが加わると、コリオリの力が働き、変位部１２２は、Ｙ軸に沿って変位する。すなわち、振動体１１２ａに接続された変位部１２２ａ、および振動体１１２ｂに接続された変位部１２２ｂは、Ｙ軸に沿って、互いに反対方向に変位する。図７に示す例では、変位部１２２ａは、β１方向に変位し、変位部１２２ｂは、β１方向と反対のβ２方向に変位している。図８に示す例では、変位部１２２ａは、β２方向に変位し、第２変位部１２２ｂは、β１方向に変位している。
【００８１】
変位部１２２ａ，１２２ｂがＹ軸に沿って変位することにより、可動検出電極１２６と固定駆動電極１４０との間の距離は、変化する（図１および図４参照）。同様に、可動検出電極１２６と固定駆動電極１４２との間の距離は、変化する（図１および図４参照）。そのため、可動検出電極１２６と固定駆動電極１４０との間の静電容量は、変化する。同様に、可動検出電極１２６と固定駆動電極１４２との間の静電容量は、変化する。
【００８２】
ジャイロセンサー１００では、検出配線３０および固定電位配線４０を介して、可動検出電極１２６と固定検出電極１４０との間に電圧を印加することにより、可動検出電極１２６と固定検出電極１４０との間の静電容量の変化量を検出することができる（図１参照）。さらに、検出配線３１および固定電位配線４０を介して、可動検出電極１２６と固定検出電極１４２との間に電圧を印加することにより、可動検出電極１２６と固定検出電極１４２との間の静電容量の変化量を検出することができる（図１参照）。このようにして、ジャイロセンサー１００は、可動検出電極１２６と固定検出電極１４０，１４２との間の静電容量の変化量により、Ｚ軸回りの角速度ωを求めることができる。
【００８３】
本実施形態に係るジャイロセンサー１００は、例えば、以下の特徴を有する。
【００８４】
ジャイロセンサー１００によれば、第１駆動配線２０，２１は、第１固定駆動電極１３０，１３２と接続され、−Ｘ方向側に延出し、第２駆動配線２２，２３は、第２固定駆動
電極１３４，１３６と接続され、−Ｘ方向側に延出し、検出配線３０，３１は、固定検出電極１４０，１４２と接続され、＋Ｘ方向側に延出している。そのため、ジャイロセンサー１００によれば、検出配線３０は、駆動配線２０，２１，２２，２３と交差しておらず、検出配線３１は、駆動配線２０，２１，２２，２３と交差していない。これにより、駆動配線２０，２１，２２，２３と検出配線３０との間で発生する寄生容量を介して、検出配線３０に電流が流れることを抑制できる。同様に、駆動配線２０，２１，２２，２３と検出配線３１との間で発生する寄生容量を介して、検出配線３１に電流が流れることを抑制できる。その結果、ジャイロセンサー１００は、例えば、高い検出精度を有することができる。
【００８５】
ジャイロセンサー１００によれば、第１駆動配線２０，２１は、振動体１１２の−Ｘ方向にて、第１延出部２０ａ，２１ａから第２駆動配線２２，２３まで、−Ｙ方向に延出している部分（第２延出部２０ｂ，２１ｂ）を有し、検出配線３０，３１は、固定検出電極１４０，１４２から、振動体１１２の＋Ｘ方向側に延出している。そのため、より確実に、駆動配線２０，２１，２２，２３と検出配線３０，３１との間で発生する寄生容量を介して、検出配線３０，３１に電流が流れることを抑制できる。
【００８６】
ジャイロセンサー１００によれば、第１駆動配線２０，２１と第２駆動配線２２，２３とは、接続されている。これにより、配線を共通化することができ、配線数を削減することができる。
【００８７】
２．  ジャイロセンサーの製造方法
次に、本実施形態に係るジャイロセンサーの製造方法について、図面を参照しながら説明する。図９〜図１１は、本実施形態に係る物理量センサー１００の製造工程を模式的に示す断面図であって、図２に対応している。
【００８８】
図９に示すように、基板１０の第１面１１に、凹部１４および溝部１６，１８を形成する。凹部１４および溝部１６，１８は、例えば、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術により形成される。これにより、第１面１１に凹部１４および溝部１６，１８が設けられている基板１０を用意することができる。
【００８９】
図１０に示すように、凹部１４内を含む基板１０上に検出配線３０，３１を形成し、溝部１６，１８内に、それぞれ第１駆動配線２０，２１の第１部分２０ａ，２１ａを形成し、さらに第２駆動配線２２，２３の溝部内に設けられる第１部分（図示せず）を形成する。同時に、基板１０上に接続配線２４，２５，３２，３３を形成することができる。第１駆動配線２０，２１の第１部分２０ａ，２１ａ、第２駆動配線２２，２３の第１部分、および配線２４，２５，３０，３１，３２，３３は、例えば、スパッタ法やＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法などによって成膜された後、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術によってパターニングされることによって形成される。
【００９０】
図１１に示すように、基板１０上に機能素子１０２を形成する。より具体的には、機能素子１０２は、シリコン基板（図示せず）を基板１０の第１面１１に載置（接合）し、該シリコン基板を薄膜化させた後にパターニングすることにより形成される。パターニングは、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術によって行われる。シリコン基板と基板１０の接合は、例えば、陽極接合によって行われる。
【００９１】
機能素子１０２を形成する工程において、駆動配線２０，２１，２２，２３の第１面１１上に設けられる部分（第２部分）を形成して駆動配線２０，２１，２２，２３を形成し、さらに固定電位配線４０を形成することができる。
【００９２】
図２に示すように、基板１０および蓋体５０を接合して、基板１０および蓋体５０によって囲まれるキャビティー５２に機能素子１０２を収容する。基板１０と蓋体５０との接合は、例えば、陽極接合によって行われる。
【００９３】
以上の工程により、ジャイロセンサー１００を製造することができる。
【００９４】
ジャイロセンサー１００の製造方法によれば、上述のとおり、駆動配線２０，２１，２２，２３と検出配線３０，３１との間で発生する寄生容量を介して、検出配線３０，３１に電流が流れることを抑制できるジャイロセンサー１００を形成することができる。
【００９５】
３．  電子機器
次に、本実施形態に係る電子機器について、図面を参照しながら説明する。本実施形態に係る電子機器は、本発明に係るジャイロセンサーを含む。以下では、本発明に係るジャイロセンサーとして、ジャイロセンサー１００を含む電子機器について、説明する。
【００９６】
図１２は、本実施形態に係る電子機器として、モバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューター１１００を模式的に示す斜視図である。
【００９７】
図１２に示すように、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１１０８を有する表示ユニット１１０６と、により構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。
【００９８】
このようなパーソナルコンピューター１１００には、ジャイロセンサー１００が内蔵されている。
【００９９】
図１３は、本実施形態に係る電子機器として、携帯電話機（ＰＨＳも含む）１２００を模式的に示す斜視図である。
【０１００】
図１３に示すように、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１２０８が配置されている。
【０１０１】
このような携帯電話機１２００には、ジャイロセンサー１００が内蔵されている。
【０１０２】
図１４は、本実施形態に係る電子機器として、デジタルスチルカメラ１３００を模式的に示す斜視図である。なお、図１４には、外部機器との接続についても簡易的に示している。
【０１０３】
ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、デジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
【０１０４】
デジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部１３１０が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１３１０は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。
【０１０５】
また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣ
Ｄなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
【０１０６】
撮影者が表示部１３１０に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。
【０１０７】
また、このデジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、ビデオ信号出力端子１３１２には、テレビモニター１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４には、パーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。
【０１０８】
このようなデジタルスチルカメラ１３００には、ジャイロセンサー１００が内蔵されている。
【０１０９】
以上のような電子機器１１００，１２００，１３００は、駆動配線と検出配線との間で発生する寄生容量を介して、検出配線に電流が流れることを抑制できるジャイロセンサー１００を有することができる。
【０１１０】
なお、上記ジャイロセンサー１００を備えた電子機器は、図１２に示すパーソナルコンピューター（モバイル型パーソナルコンピューター）、図１３に示す携帯電話機、図１４に示すデジタルスチルカメラの他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、ヘッドマウントディスプレイ、各種ナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、ロケット、船舶の計器類）、ロボットや人体などの姿勢制御、フライトシミュレーターなどに適用することができる。
【０１１１】
本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法および結果が同一の構成、あるいは目的および効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成または同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【符号の説明】
【０１１２】
１０…基板、１１…第１面、１２…第２面、１４…凹部、１６，１８…溝部、２０…第１駆動配線、２０ａ…第１延出部、２０ｂ…第２延出部、２０ｃ…第１部分、２０ｄ…第２部分、２１…第１駆動配線、２１ａ…第１延出部、２１ｂ…第２延出部、２１ｃ…第１部分、２２，２３…第２駆動配線、２４，２５…第１接続配線、３０，３１…検出配線、３２，３３…第２接続配線、４０…固定電位配線、５０…蓋体、５２…キャビティー、１００…ジャイロセンサー、１０２…機能素子、１０６…第１構造体、１０８…第２構造体、１１２…振動体、１１２ａ…振動体、１１２ｂ…振動体、１１４…第１バネ部、１１６…可動駆動電極、１２２…変位部、１２２ａ…変位部、１２２ｂ…変位部、１２４…第２バネ部、１２６…可動検出電極、１３０，１３２…第１固定駆動電極、１３４，１３６…第
２固定駆動電極、１４０，１４２…固定検出電極、１５０…固定部、１１００…パーソナルコンピューター、１１０２…キーボード、１１０４…本体部、１１０６…表示ユニット、１１０８…表示部、１２００…携帯電話機、１２０２…操作ボタン、１２０４…受話口、１２０６…送話口、１２０８…表示部、１３００…デジタルスチルカメラ、１３０２…ケース、１３０４…ユニット、１３０６…シャッターボタン、１３０８…メモリー、１３１０…表示部、１３１２…ビデオ信号出力端子、１３１４…入出力端子、１４３０…テレビモニター、１４４０…パーソナルコンピューター
【図１】
0006269992.tif 000002
【図２】
0006269992.tif 000003
【図３】
0006269992.tif 000004
【図４】
0006269992.tif 000005
【図５】
0006269992.tif 000006
【図６】
0006269992.tif 000007
【図７】
0006269992.tif 000008
【図８】
0006269992.tif 000009
【図９】
0006269992.tif 000010
【図１０】
0006269992.tif 000011
【図１１】
0006269992.tif 000012
【図１２】
0006269992.tif 000013
【図１３】
0006269992.tif 000014
【図１４】
0006269992.tif 000015