(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体部と、プローブを保持可能に構成されると共に前記本体部の一端部に設けられた嵌合部に基端部を嵌合可能に構成されて当該プローブを当該一端部側に取り付けるためのプローブ取付部とを備えたプローブユニットであって、
前記プローブ取付部は、先端部に爪部を有して当該プローブ取付部の中心軸の長さ方向に沿って前記基端部から突出するように設けられた腕部と、前記基端部に設けられたリブ状の突起部とを備え、
前記嵌合部は、前記基端部が嵌合する際の前記腕部の進入が可能に構成された第１溝部と、当該第１溝部の長さ方向の奧側に設けられて前記基端部との嵌合状態において前記爪部と係合して前記長さ方向に沿った前記プローブ取付部の移動を規制する係合部と、前記基端部との嵌合状態において前記突起部と係合して前記中心軸を中心とする回転方向に沿った前記プローブ取付部の移動を規制する第２溝部とを備えているプローブユニット。
【請求項２】
前記プローブ取付部は、前記腕部を複数備え、
前記嵌合部は、前記腕部の数と少なくとも同数の前記第１溝部を備えている請求項１記載のプローブユニット。
【請求項３】
前記プローブ取付部は、一対の前記プローブを保持可能に構成され、
前記突起部および前記第２溝部は、前記本体部に対する前記回転方向に沿った前記プローブ取付部の位置が予め決められた位置となる状態においてのみ互いに係合するように構成されている請求項１または２記載のプローブユニット。
【請求項４】
前記本体部は、前記長さ方向に平行な平面部を有し、
前記平面部には、当該プローブユニットを移動機構に取り付けるための取り付け用孔が形成されている請求項１から３のいずれかに記載のプローブユニット。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載のプローブユニットと、当該プローブユニットを介して入出力する電気信号に基づいて測定対象についての被測定量を測定する前記測定部とを備えている測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、本体部と本体部の嵌合部に嵌合可能なプローブ取付部とを備えたプローブユニット、およびそのプローブユニットを備えた測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種のプローブユニットとして、下記特許文献１において出願人が開示したパラレル型プローブユニットが知られている。このパラレル型プローブユニットは、２本の測定プローブを１つの測定対象に接触させて行う四端子法や四端子対法による測定などに用いられるプローブユニットであって、２本の測定プローブを絶縁した状態で並べて構成されている。
【０００３】
一方、出願人は、２本のプローブを保持した状態のプローブ取付部を本体部に取り付けることによって各プローブを本体部に取り付けるように構成したプローブ取付部を既に開発している。このプローブユニットでは、プローブ取付部に形成した雄ねじ部を本体部の一端部に形成した雌ねじ部にねじ込むことによってプローブ取付部を本体部に取り付けることが可能となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平７−２４４１０５号公報（第５頁、第７図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、出願人が既に開発している上記のプローブユニットには、改善すべき以下の課題がある。すなわち、このプローブユニットでは、プローブ取付部の雄ねじ部を本体部の雌ねじ部にねじ込むことによってプローブ取付部を本体部に取り付けている。このため、このプローブユニットでは、プローブ取付部の中心軸（プローブの軸線に平行な軸）を中心とした回転方向における各プローブの位置（向き）が、本体部に対するプローブ取付部のねじ込み量（締め付け方）によって変わることがある。このため、このプローブユニットには、例えば、移動機構にプローブユニットを取り付けてプロービングを行う際に、プローブユニットの本体部と移動機構とを規定通りに位置合わせして取り付けたとしても、本体部に対するプローブ取付部のねじ込み量によってプローブの位置が変わることがある結果、測定対象の被接触部位に対してプローブを接触させることが困難となるおそれがあり、この点の改善が望まれている。
【０００６】
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、被接触部位に対してプローブを確実に接触させ得るプローブユニットおよび測定装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成すべく請求項１記載のプローブユニットは、本体部と、プローブを保持可能に構成されると共に前記本体部の一端部に設けられた嵌合部に基端部を嵌合可能に構成されて当該プローブを当該一端部側に取り付けるためのプローブ取付部とを備えたプローブユニットであって、前記プローブ取付部は、先端部に爪部を有して当該プローブ取付部の中心軸の長さ方向に沿って前記基端部から突出するように設けられた腕部と、前記基端部に設けられたリブ状の突起部とを備え、前記嵌合部は、前記基端部が嵌合する際に前記腕部の進入が可能に構成された第１溝部と、当該第１溝部の長さ方向の奧側に設けられて前記基端部との嵌合状態において前記爪部と係合して前記長さ方向に沿った前記プローブ取付部の移動を規制する係合部と、前記基端部との嵌合状態において前記突起部と係合して前記中心軸を中心とする回転方向に沿った前記プローブ取付部の移動を規制する第２溝部とを備えている。
【０００８】
また、請求項２記載のプローブユニットは、請求項１記載のプローブユニットにおいて、前記プローブ取付部は、前記腕部を複数備え、前記嵌合部は、前記腕部の数と少なくとも同数の前記第１溝部を備えている。
【０００９】
また、請求項３記載のプローブユニットは、請求項１または２記載のプローブユニットにおいて、前記プローブ取付部は、一対の前記プローブを保持可能に構成され、前記突起部および前記第２溝部は、前記本体部に対する前記回転方向に沿った前記プローブ取付部の位置が予め決められた位置となる状態においてのみ互いに係合するように構成されている。
【００１０】
また、請求項４記載のプローブユニットは、請求項１から３のいずれかに記載のプローブユニットにおいて、前記本体部は、前記長さ方向に平行な平面部を有し、前記平面部には、当該プローブユニットを移動機構に取り付けるための取り付け用孔が形成されている。
【００１１】
また、請求項５記載の測定装置は、請求項１から４のいずれかに記載のプローブユニットと、当該プローブユニットを介して入出力する電気信号に基づいて測定対象についての被測定量を測定する前記測定部とを備えている。
【発明の効果】
【００１２】
請求項１記載のプローブユニット、および請求項５記載の測定装置では、先端部に爪部を有してプローブ取付部の基端部から突出するように設けられた腕部と、プローブ取付部の基端部に設けられた突起部とを備えてプローブ取付部が構成され、腕部の進入が可能に構成された第１溝部と、プローブ取付部の基端部との嵌合状態において爪部と係合してプローブ取付部の中心軸の長さ方向に沿ったプローブ取付部の移動を規制する係合部と、プローブ取付部の基端部との嵌合状態において突起部と係合して回転方向に沿ったプローブ取付部の移動を規制する第２溝部とを備えて嵌合部が構成されている。したがって、このプローブユニットおよび測定装置によれば、腕部を第１溝部に進入させることで、プローブ取付部を長さ方向に沿って嵌合部に挿入させることができ、プローブ取付部の挿入によって爪部と係合部とを係合させると共に突起部と第２溝部とを係合させて、プローブ取付部を本体部に固定することができる。このため、このプローブユニットおよび測定装置によれば、ねじ込み量によって回転方向における各プローブの位置が変わって各プローブが回転方向に位置ずれするおそれのあるプローブ取付部をねじ込む構成とは異なり、このようなプローブの位置ずれを確実に防止することができる。したがって、このプローブユニットおよび測定装置によれば、測定対象の被接触部位に対してプローブを確実に接触させることができる結果、被測定量を正確に測定することができる。
【００１３】
また、請求項２記載のプローブユニット、および請求項５記載の測定装置によれば、複数の腕部を備えてプローブ取付部を構成し、腕部の数と少なくとも同数の第１溝部を備えて嵌合部を構成したことにより、１つの腕部だけを備えた構成と比較して、プローブ取付部の中心軸に直交する平面に沿った方向（中心軸をＺ方向としたときのＸＹ方向）に沿ったプローブ取付部の移動を確実に規制することができる。
【００１４】
また、請求項３記載のプローブユニット、および請求項５記載の測定装置では、本体部に対する回転方向に沿ったプローブ取付部の位置が予め決められた位置となる状態においてのみ互いに係合するように各突起部および第２溝部が構成されている。このため、このプローブユニットおよび測定装置によれば、例えば、第２溝部の配置位置が嵌合部の中心軸を対称点とする点対称の位置とはならず、かつ、突起部の配置位置がプローブ取付部の中心軸を対称点とする点対称の位置とはならないように、突起部および第２溝部を構成することで、各突起部が各第２溝部の延長線上に位置する状態（予め決められた位置となる状態）でプローブ取付部を嵌合部に挿入しない限り、プローブ取付部が嵌合部に嵌合しないようにすることができる。したがって、このプローブユニットおよび測定装置によれば、２つのプローブを本体部に取り付ける際の本体部に対する各プローブの位置関係を、確実に予め決められた位置関係（例えば、一方のプローブが本体部の一方の側面側に位置し、他方のプローブが本体部の他方の側面側に位置する位置関係）とさせることができる結果、例えば、本体部に対する各プローブの位置関係が反転して測定対象の被接触部に対するプローブの接触が困難となるような事態を確実に防止することができる。
【００１５】
また、請求項４記載のプローブユニット、および請求項５記載の測定装置によれば、長さ方向に平行な平面部を有して本体部を構成し、プローブユニットを移動機構に取り付けるための取り付け用孔を平面部に形成したことにより、移動機構の取付部の平面部と本体部の平面部とを面的に接触させることで、取付部に対するプローブユニットの位置合わせを正確に行うことができる。このため、このプローブユニットおよび測定装置によれば、回転方向におけるプローブの位置ずれをより確実に防止して、測定対象の被接触部位に対してプローブをより確実に接触させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】測定装置１の構成を示す構成図である。
【図２】プローブユニット２の斜視図である。
【図３】プローブ取付部１３を本体部１１から取り外した状態のプローブユニット２の斜視図である。
【図４】本体部１１の正面図である
【図５】嵌合部２１の構成を示す斜視図である。
【図６】嵌合部２１の構成を示す断面図である。
【図７】プローブ取付部１３の斜視図である。
【図８】プローブ取付部１３の平面図である。
【図９】プローブ取付部１３を突起部５３ｂ側から見た斜視図である。
【図１０】プローブ取付部１３の断面図である。
【図１１】本体部１１に対するプローブ取付部１３の取り付け方法を説明する第１の説明図である。
【図１２】本体部１１に対するプローブ取付部１３の取り付け方法を説明する第２の説明図である。
【図１３】本体部１１に対するプローブ取付部１３の取り付け方法を説明する第３の説明図である。
【図１４】移動機構４に対するプローブユニット２の取り付け方法を説明する説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、プローブユニットおよび測定装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１８】
最初に、測定装置の一例としての測定装置１の構成について、図面を参照して説明する。測定装置１は、図１に示すように、一対のプローブユニット２ａ，２ｂ（以下、区別しないときには「プローブユニット２」ともいう）、測定部３および移動機構４ａ，４ｂ（以下、区別しないときには「移動機構４」ともいう）を備えて、測定対象についての被測定量を四端子法や四端子対法で測定可能に構成されている。
【００１９】
プローブユニット２は、プローブユニットの一例であって、図２，３に示すように、本体部１１、一対のプローブ１２ａ，１２ｂ（以下、区別しないときには「プローブ１２」ともいう）もおよびプローブ取付部１３を備えて構成されている。
【００２０】
本体部１１は、図２〜図４に示すように、全体として箱形に形成されている。また、本体部１１の一端部１１ａには、プローブ取付部１３との嵌合が可能な嵌合部２１が設けられている。嵌合部２１は、図４〜図６に示すように、略円形の開口部の内周部に設けられた溝部３１ａ，３１ｂ（第１の溝部に相当し、以下、区別しないときには「溝部３１」ともいう）、一対の係合部４１，４１および溝部３２ａ〜３２ｃ（第２の溝部に相当し、以下、区別しないときには「溝部３２」ともいう）を備えて構成されている。
【００２１】
溝部３１ａ，３１ｂは、嵌合部２１とプローブ取付部１３とが嵌合する際のプローブ取付部１３における対応する腕部５２ａ，５２ｂ（図７，８参照）の進入が可能に構成されている（図１１〜図１３参照）。この場合、溝部３１ａ，３１ｂは、図４に示すように、嵌合部２１の開口部の中心軸Ａ１を挟んで対向する位置に設けられている。
【００２２】
係合部４１は、図６に示すように、溝部３１ａ，３１ｂの長さ方向の奧側にそれぞれ設けられている。この係合部４１は、嵌合部２１とプローブ取付部１３との嵌合状態（図１３参照）においてプローブ取付部１３における後述する腕部５２ａ，５２ｂの爪部６１と係合して、プローブ取付部１３の中心軸Ａ２（プローブ取付部１３によって保持されている保持状態のプローブ１２の長さ方向に平行な中心軸：図７，１３参照）の長さ方向Ｃ１に沿ったプローブ取付部１３の移動を規制する機能を有している。
【００２３】
溝部３２は、嵌合部２１とプローブ取付部１３との嵌合状態においてプローブ取付部１３における後述する突起部５３ａ〜５３ｃとそれぞれ係合して、プローブ取付部１３の中心軸Ａ２を中心とする回転方向Ｃ２（図７参照）に沿ったプローブ取付部１３の移動を規制する機能を有している。この場合、溝部３２ａ，３２ｃは、図４に示すように、嵌合部２１の開口部の中心軸Ａ１を挟んで対向する位置であって溝部３１ａ，３１ｂの先端部（同図における紙面手前側）の位置に設けられている（図５も参照）。また、溝部３２ｂは、図４に示すように、開口部の内周面における溝部３２ａ，３２ｃの中間の位置に設けられている。このように、このプローブユニット２では、各溝部３２の配置位置が中心軸Ａ１を対称点とする点対称の位置とはなっていないため、各突起部５３ａ〜５３ｃが各溝部３２ａ〜３２ｃの延長線上に位置する状態で（突起部５３ａ〜５３ｃが溝部３２ａ〜３２ｃに一対一で係合するように）プローブ取付部１３を嵌合部２１に挿入しない限り、プローブ取付部１３が嵌合部２１に嵌合しない構成となっている。
【００２４】
また、図２，３に示すように、本体部１１の他端部１１ｂにはケーブル取付部２２が配設され、このケーブル取付部２２から２本のケーブル４０が本体部１１の内部に引き込まれて各プローブ１２にそれぞれ接続される。なお、プローブユニット２（本体部１１）内において各ケーブル４０の端部が各プローブ１２に接続されるが、図３および図７〜図１３では、各プローブ１２に接続されている各ケーブル４０の図示を省略している。
【００２５】
また、本体部１１の側面２４ａ，２４ｂ（以下、区別しないときには「側面２４」ともいう）は、平面部に相当し、図２〜図４に示すように、長さ方向Ｃ１（図７参照）に平行な平面で構成されている。また、各側面２４には、図３，１４に示すように、プローブユニット２（本体部１１）を後述する移動機構４の取付部７１（図１４参照）に固定（ねじ止め）するための複数（一例として、２つ）のねじ孔２５（取り付け用孔）がそれぞれ形成されている。この場合、移動機構４における取付部７１の平面部と側面２４とを面的に接触させた状態で本体部１１を取付部７１にねじ止めすることで（図１４参照）、本体部１１を予め決められた向き（姿勢）で取付部７１に取り付けることが可能となっている。
【００２６】
プローブ取付部１３は、図７〜図１０に示すように、プローブ保持部５１、一対の腕部５２ａ，５２ｂ（以下、区別しないときには「腕部５２」ともいう）、および３つの突起部５３ａ〜５３ｃ（以下、区別しないときには「突起部５３」ともいう）を備えて構成されている。
【００２７】
プローブ保持部５１は、図７〜図９に示すように、一例として、八角錐台状に形成されて、小径の先端部５１ａ側からプローブ１２の先端部が突出する状態でプローブ１２を保持可能に構成されている。また、プローブ保持部５１は、本体部１１の一端部１１ａに設けられている嵌合部２１に基端部５１ｂ（プローブ取付部１３の基端部）が嵌合した嵌合状態において、長さ方向Ｃ１および回転方向Ｃ２に沿った移動が規制され、これによってプローブ保持部５１に保持されているプローブ１２が本体部１１の一端部１１ａ側に取り付けられる。
【００２８】
各腕部５２ａ，５２ｂは、図７〜図９に示すように、中心軸Ａ２の長さ方向Ｃ１（図７参照）に沿ってプローブ１２の先端部が突出する向きとは逆向きにプローブ保持部５１の基端部５１ｂから突出するように基端部５１ｂに設けられている。また、腕部５２ａ，５２ｂの先端部には、本体部１１の嵌合部２１とプローブ取付部１３の基端部（プローブ保持部５１の基端部５１ｂ）との嵌合状態において、嵌合部２１の係合部４１と係合する爪部６１が形成されている。この場合、各腕部５２ａ，５２ｂは、プローブ保持部５１の中心軸Ａ２を挟んで対向する位置に設けられている。
【００２９】
突起部５３は、図７〜図９に示すように、リブ状に形成されて、プローブ保持部５１の基端部５１ｂに設けられている。この場合、突起部５３ａ，５３ｃは、図９に示すように、基端部５１ｂの外周面におけるプローブ保持部５１の中心軸Ａ２を挟んで対向する位置であって、腕部５２ａ，５２ｂの延長上の位置（先端部５１ａ側に延長した位置）に設けられている。また、突起部５３ｂは、基端部５１ｂの外周面における突起部５３ａ，５３ｃの中間の位置に設けられている。
【００３０】
測定部３は、プローブユニット２ａ，２ｂを介して入出力する電気信号に基づいて測定対象についての被測定量を測定する。
【００３１】
移動機構４は、プローブユニット２を取り付け可能に構成されて、測定部３の制御に従ってプローブユニット２を移動させて測定対象の被接触位置にプローブユニット２のプローブ１２を接触させる（プロービングを行う）。また、移動機構４は、プローブユニット２を取り付けるための取付部７１（図１４参照）を備えている。この場合、取付部７１は、同図に示すように、一例として、平面部を有する板状に形成されると共に、固定用のねじ２００を挿通させる挿通孔７２が設けられている。
【００３２】
次に、測定装置１の使用方法について、図面を参照して説明する。一例として、測定対象としての電気部品についてのインピーダンス（被測定量）を測定する際の測定装置１の使用方法について説明する。
【００３３】
最初に、測定開始に先立ち、プローブユニット２の本体部１１に対してプローブ取付部１３を取り付ける方法について説明する。このプローブユニット２では、図７〜図１０に示すように、プローブ取付部１３のプローブ保持部５１によって一対のプローブ１２ａ，１２ｂが保持されており、プローブ取付部１３におけるプローブ保持部５１の基端部５１ｂ（プローブ取付部１３の基端部）を本体部１１の一端部１１ａに設けられている嵌合部２１に嵌合させることで、本体部１１の一端部１１ａにプローブ１２ａ，１２ｂを取り付けることが可能となっている。
【００３４】
プローブ保持部５１の基端部５１ｂを本体部１１の嵌合部２１にさせる際には、プローブ保持部５１によって保持されているプローブ１２の基端部にケーブル４０の端部を接続する（図１１〜図１３では、ケーブル４０の図示を省略している）。次いで、図１１に示すように、プローブ取付部１３におけるプローブ保持部５１の基端部５１ｂに設けられている腕部５２ａ，５２ｂ（腕部５２ａ，５２ｂの各爪部６１）を嵌合部２１に設けられている溝部３１ａ，３１ｂにそれぞれ係合させつつ、プローブ取付部１３を嵌合部２１に挿入する。
【００３５】
ここで、このプローブユニット２では、上記したように、各溝部３２の配置位置が嵌合部２１の中心軸Ａ１を対称点とする点対称の位置とはなっておらず、また、各突起部５３の配置位置もプローブ取付部１３の中心軸Ａ２を対称点とする点対称の位置とはなっていないため、プローブ取付部１３を嵌合部２１に挿入する際には、図９に示す３つの突起部５３ａ〜５３ｃが、図５に示す３つの溝部３２ａ〜３２ｃの延長線上に位置する状態で（突起部５３ａ〜５３ｃが溝部３２ａ〜３２ｃに一対一で係合するように）プローブ取付部１３を嵌合部２１に挿入する。
【００３６】
続いて、図１２に示すように、プローブ取付部１３が嵌合部２１の奥側（同図における上側）に挿入されたときには、腕部５２ａ，５２ｂの先端部に形成されている各爪部６１が嵌合部２１の係合部４１に当接する。次いで、プローブ取付部１３が嵌合部２１の奥側にさらに挿入されたときには、腕部５２ａ，５２ｂが弾性変形しつつ各爪部６１が係合部４１を乗り越えて係合部４１の奥側に移動して、図１３に示すように、各爪部６１と係合部４１とが係合する。この結果、中心軸Ａ２の長さ方向Ｃ１に沿ったプローブ取付部１３の移動が規制される。
【００３７】
また、図１３に示すように、プローブ取付部１３が嵌合部２１の奥側に挿入される際に、プローブ取付部１３の突起部５３ａ〜５３ｃが嵌合部２１の溝部３２ａ〜３２ｃにそれぞれ係合する。この結果、プローブ取付部１３の中心軸Ａ２を中心とする回転方向Ｃ２に沿ったプローブ取付部１３の移動が規制される。これにより、図２に示すように、プローブ取付部１３が本体部１１に取り付けられて、プローブ１２ａ，１２ｂが本体部１１の一端部１１ａに取り付けられる。この場合、同図に示すように、プローブ１２ａが本体部１１の側面２４ａ側に位置し、プローブ１２ｂが本体部１１の側面２４ｂ側に位置するように各プローブ１２ａ，１２ｂが取り付けられる。
【００３８】
このプローブユニット２では、上記したように、中心軸Ａ２の長さ方向Ｃ１に沿った方向に挿入することでプローブ取付部１３を本体部１１に固定することが可能となっている。この場合、プローブ取付部１３を本体部１１にねじ込んで固定する構成では、ねじ込み量（回転量）によって回転方向Ｃ２における各プローブ１２の位置（向き）が変わるため、各プローブ１２が回転方向Ｃ２に位置ずれすることがある。これに対して、このプローブユニット２では、本体部１１に対してプローブ取付部１３をねじ込むことなく固定することができるため、このようなプローブ１２の位置ずれを確実に防止することが可能となっている。
【００３９】
また、このプローブユニット２では、上記したように、各突起部５３ａ〜５３ｃが各溝部３２ａ〜３２ｃの延長線上に位置する状態でプローブ取付部１３を嵌合部２１に挿入しない限り、プローブ取付部１３が嵌合部２１に嵌合しないように構成されている。つまり、このプローブユニット２は、本体部１１に対する回転方向Ｃ２に沿ったプローブ取付部１３の位置が予め決められた位置となる状態においてのみ各突起部５３および各溝部３２が互いに係合するように構成されている。このため、プローブ取付部１３を嵌合部２１に嵌合させた嵌合状態では、２つのプローブ１２ａ，１２ｂの位置関係が本体部１１に対して予め決められた位置関係（この例では、プローブ１２ａが本体部１１の側面２４ａ側に位置し、プローブ１２ｂが本体部１１の側面２４ｂ側に位置する位置関係）となった状態でプローブ１２ａ，１２ｂを本体部１１に取り付けることが可能となっている。
【００４０】
続いて、プローブ１２の取り付け（本体部１１に対するプローブ取付部１３の取り付け）が終了したプローブユニット２を移動機構４に取り付ける。具体的には、図１４に示すように、移動機構４における取付部７１とプローブユニット２の本体部１１との位置合わせを行う。この場合、このプローブユニット２では、本体部１１が平面的に構成された側面２４（平面部）を有しているため、取付部７１の平面部と本体部１１の側面２４とを面的に接触させることで、位置合わせを正確に行うことが可能となっている。次いで、取付部７１に設けられている挿通孔７２に固定用のねじ２００を挿通させ、本体部１１の側面２４に形成されているねじ孔２５にねじ２００をねじ込む。これにより、移動機構４に対するプローブユニット２の取り付けが完了する。
【００４１】
続いて、図１に示すように、各プローブユニット２に接続されているケーブル４０を測定部３に接続する。次いで、図外の操作部を操作して測定開始を指示する。この際に、測定部３が移動機構４ａ，４ｂを制御して、各プローブユニット２ａ，２ｂを移動させ、電気部品の各端子に各プローブユニット２ａ，２ｂのプローブ１２ａ，１２ｂを接触させる。この場合、このプローブユニット２では、上記したように、回転方向Ｃ２におけるプローブ１２の位置ずれが確実に防止されている。また、このプローブユニット２では、位置合わせが正確に行われている。このため、このプローブユニット２では、電気部品（測定対象）の端子（被接触部位）に対してプローブ１２を確実に接触させることが可能となっている。
【００４２】
続いて、測定部３は、測定処理を開始する。この際に、図外の信号源から出力された測定用の電気信号（例えば、測定用電流）が、ケーブル４０および各プローブユニット２ａ，２ｂにおけるプローブ１２ａ，１２ｂの一方を介して電気部品の端子に供給される。次いで、測定部３は、各プローブユニット２ａ，２ｂにおけるプローブ１２ａ，１２ｂの他方およびケーブル４０を介して入力した電気信号（例えば、電圧）を測定すると共に、端子に供給されている測定用電流の電流値を測定する。続いて、測定部３は、測定した電圧値と電流値とに基づいて電気部品のインピーダンスを算出する。次いで、測定部３は、算出したインピーダンスを表示部に表示させる。以上により、測定が終了する。この場合、このプローブユニット２では、電気部品の端子に対してプローブ１２を確実に接触させることが可能なため、インピーダンス（被測定量）を正確に測定することが可能となっている。
【００４３】
このように、このプローブユニット２および測定装置１では、先端部に爪部６１を有して基端部５１ｂから突出するように設けられた腕部５２と、基端部５１ｂに設けられた突起部５３とを備えてプローブ取付部１３が構成され、腕部５２の進入が可能に構成された溝部３１と、基端部５１ｂとの嵌合状態において爪部６１と係合して中心軸Ａ２の長さ方向Ｃ１に沿ったプローブ取付部１３の移動を規制する係合部４１と、嵌合状態において突起部５３と係合して回転方向Ｃ２に沿ったプローブ取付部１３の移動を規制する溝部３２とを備えて嵌合部２１が構成されている。したがって、このプローブユニット２および測定装置１によれば、腕部５２を溝部３１に進入させることで、プローブ取付部１３を長さ方向Ｃ１に沿って嵌合部２１に挿入させることができ、プローブ取付部１３の挿入によって爪部６１と係合部４１とを係合させると共に突起部５３と溝部３２とを係合させて、プローブ取付部１３を本体部１１に固定することができる。このため、このプローブユニット２および測定装置１によれば、ねじ込み量によって回転方向Ｃ２における各プローブ１２の位置が変わって各プローブ１２が回転方向Ｃ２に位置ずれするおそれのあるプローブ取付部１３をねじ込む構成とは異なり、このようなプローブ１２の位置ずれを確実に防止することができる。したがって、このプローブユニット２および測定装置１によれば、測定対象の被接触部位に対してプローブ１２を確実に接触させることができる結果、被測定量を正確に測定することができる。
【００４４】
また、このプローブユニット２および測定装置１によれば、複数（２つ）の腕部５２を備えてプローブ取付部１３を構成し、腕部５２の数と少なくとも同数（２つ）の溝部３１を備えて嵌合部２１を構成したことにより、１つの腕部５２だけを備えた構成と比較して、中心軸Ａ２に直交する平面に沿った方向（中心軸Ａ２をＺ方向としたときのＸＹ方向）に沿ったプローブ取付部１３の移動を確実に規制することができる。
【００４５】
また、このプローブユニット２および測定装置１では、本体部１１に対する回転方向Ｃ２に沿ったプローブ取付部１３の位置が予め決められた位置となる状態においてのみ互いに係合するように各突起部５３および溝部３２が構成されている。このため、このプローブユニット２および測定装置１によれば、上記したように、溝部３２の配置位置が嵌合部２１の中心軸Ａ１を対称点とする点対称の位置とはならず、かつ、突起部５３の配置位置がプローブ取付部１３の中心軸Ａ２を対称点とする点対称の位置とはならないように、突起部５３および溝部３２を構成することで、各突起部５３が各溝部３２の延長線上に位置する状態（予め決められた位置となる状態）でプローブ取付部１３を嵌合部２１に挿入しない限り、プローブ取付部１３が嵌合部２１に嵌合しないようにすることができる。したがって、このプローブユニット２および測定装置１によれば、２つのプローブ１２ａ，１２ｂを本体部１１に取り付ける際の本体部１１に対する各プローブ１２ａ，１２ｂの位置関係を、確実に予め決められた位置関係（上記の例では、プローブ１２ａが本体部１１の側面２４ａ側に位置し、プローブ１２ｂが本体部１１の側面２４ｂ側に位置する位置関係）とさせることができる結果、例えば、本体部１１に対する各プローブ１２ａ，１２ｂの位置関係が反転して測定対象の被接触部に対するプローブ１２ａ，１２ｂの接触が困難となるような事態を確実に防止することができる。
【００４６】
また、このプローブユニット２および測定装置１によれば、長さ方向Ｃ１に平行な平面で構成された側面２４を有して本体部１１を構成し、プローブユニット２を移動機構４の取付部７１に取り付けるためのねじ孔２５を側面２４に形成したことにより、取付部７１の平面部と本体部１１の側面２４とを面的に接触させることで、取付部７１に対するプローブユニット２の位置合わせを正確に行うことができる。このため、このプローブユニット２および測定装置１によれば、回転方向Ｃ２におけるプローブ１２の位置ずれをより確実に防止して、測定対象の被接触部位に対してプローブ１２をより確実に接触させることができる。
【００４７】
なお、プローブユニットおよび測定装置は、上記の構成に限定されない。例えば、一対のプローブ１２を保持可能なプローブ取付部１３を備えた例について上記したが、プローブ１２を１つのみ保持するプローブ取付部を備えた構成や、３つ以上のプローブ１２を保持するプローブ取付部を備えた構成を採用することもできる。
【００４８】
また、２つの腕部５２を備えたプローブ取付部１３を採用した例について上記したが、腕部５２の数は２つに限定されず、１つまたは３つ以上の腕部５２を備えたプローブ取付部１３を採用することもできる。この場合、嵌合部２１に設ける溝部３１の数も腕部５２の数に応じて任意（腕部５２の数以上）に変更することができる。
【００４９】
また、３つの突起部５３を備えたプローブ取付部１３を採用した例について上記したが、突起部５３の数は２つに限定されず、１つまたは２つまたは４つ以上の突起部５３を備えたプローブ取付部１３を採用することもできる。この場合、嵌合部２１に設ける溝部３２の数も突起部５３の数に応じて任意（突起部５３の数以上）に変更することができる。この構成においても、溝部３２の配置位置が嵌合部２１の中心軸Ａ１を対称点とする点対称の位置とはならず、かつ、突起部５３の配置位置がプローブ取付部１３の中心軸Ａ２を対称点とする点対称の位置とはならないように、つまり本体部１１に対する回転方向Ｃ２に沿ったプローブ取付部１３の位置が予め決められた位置となる状態においてのみ互いに係合するように突起部５３および溝部３２を構成するのが好ましい。
【００５０】
また、上記の例では、嵌合部２１の溝部３２ａ，３２ｃを溝部３１ａ，３１ｂの先端部の位置に設け、プローブ取付部１３の突起部５３ａ，５３ｃを腕部５２ａ，５２ｂの延長上の位置に設けているが、溝部３１ａ，３１ｂからそれぞれ離れた位置に溝部３２ａ，３２ｃを設け、対応する溝部３２ａ，３２ｃの位置に合わせて、腕部５２ａ，５２ｂの延長上から離れた位置に突起部５３ａ，５３ｃを設けてもよい。
【００５１】
また、八角錐台状に形成したプローブ保持部５１を採用した例について上記したが、プローブ保持部の形状は、この形状には限定されず、例えば、円錐台状、円柱状、角柱状などの各種の形状の各種の形状のプローブ保持部を採用することができる。
【００５２】
また、プローブユニット２を移動機構４に取り付けて、測定対象の被接触部（電気部品の端子）にプローブ１２ａ，１２ｂを機械的（自動的）に接触させる構成例について上記したが、プローブユニット２を手で持ってプローブ１２を測定対象の被接触位置に接触させる（プロービングを行う）操作を手動で行うこともできる。
【００５３】
また、電気部品を測定対象とする例について上記したが、回路基板などの各種の物品を測定対象とすることができる。また、被測定量には、インピーダンスの他に、電流、電圧、電力および位相などの各種の物理量が含まれる。
【００５４】
また、プローブユニット２ａ，２ｂと測定部３とを備えた測定装置１を例に挙げて説明したが、プローブユニット２ａ，２ｂを他の外部装置に接続して使用することもできる。この場合、外部装置としては、上記した測定部３と同様の測定機能を有する装置や、検査機能を有する装置であってもよいし、測定機能や検査機能を有せずに測定用電流などの受け渡しが可能な中継装置等であってもよい。
【符号の説明】
【００５５】
１  測定装置
２ａ，２ｂプローブユニット
３  測定部
４ａ，４ｂ移動機構
１１  本体部
１１ａ  一端部
１２ａ，１２ｂプローブ
１３  プローブ取付部
２１  嵌合部
２４ａ，２４ｂ側面
２５  ねじ孔
３１，３２  溝部
４１  係合部
５１  プローブ保持部
５１ｂ  基端部
５２ａ，５２ｂ腕部
５３ａ〜５３ｃ突起部
６１  爪部
７１  取付部
Ａ２  中心軸
Ｃ２  回転方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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