(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に複数の同心円状の溝が形成された第１の溝部を有する被検査物を検査する検査装置であって、
前記被検査物の表面に光を照射する光源と、
前記被検査物に対し、該被検査物の表面に沿う方向に相対移動しながら前記光源で照射された前記被検査物の表面を撮像する撮像部と、
前記撮像部によって撮像された前記第１の溝部の中心座標を検出し、かつ、該第１の溝部を複数の直線状の溝からなる第２の溝部に極座標変換する変換部と、
前記第２の溝部の最暗部から隣接する最暗部までの濃度の変化又は最明部から隣接する最明部までの濃度の変化である濃度パターンを少なくとも１つ検知し、その検知した濃度パターンと基準値との比較に基づいて欠陥の有無を判定する判定部とを備えている
ことを特徴とする検査装置。
【請求項２】
請求項１記載の検査装置において、
前記判定部は、前記検知した濃度パターンと、前記基準値としての隣接する部位から検知された濃度パターンまたは前記基準値としての正常状態における濃度パターンとの比較結果に基づいて欠陥の有無を判定する
ことを特徴とする検査装置。
【請求項３】
請求項１記載の検査装置において、
前記判定部は、前記濃度パターンの濃度の最大値が前記基準値としての所定の第１の閾値以上であるか否か、及び前記濃度パターンの濃度の最小値が前記基準値としての第１の閾値よりも低い第２の閾値以下であるか否かの少なくとも一方に基づいて欠陥の有無を判定する
ことを特徴とする検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スピンドル部を有する表示パネルを自動検査する検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、製造工程中に生じる異物混入等による欠陥を自動で検査する技術が一般によく知られている。
【０００３】
特許文献１では、光照射装置より出射される帯状光を被検査体の表面に照射し、表面層からの反射光量をラインセンサによって検出する技術が開示されている。このものでは、被検査体を一定速度で回転させながら反射光量を検出しており、被検査体の表面に凹凸や異物付着等の欠陥がある場合における反射散乱光を検知して表面層欠陥を検出するようにしている。
【０００４】
特許文献２では、車両用計器の表面側に取り付けられる表示パネルの印刷状態を検査する技術が開示されている。このものでは、表示パネルの基板の表面及び裏面から光源を用いて光を照射しつつ、表示パネルを基板表面が上を向くように搬送しながら上方からカメラで撮影し、その撮影された画像を基に表示パネルの印刷状態を検査するようにしている。
【０００５】
また、位相限定相関法に関する技術として、非特許文献１の技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第２７１２９４０号公報
【特許文献２】特開２０１３−１６０５４４号公報
【非特許文献】
【０００７】
【非特許文献１】青木孝文, 他３名, “位相限定相関法に基づく高精度マシンビジョン”, Fundamentals Review, Vol.1, No.1, p.30-39,2007.
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１，２に開示されたような技術では、被検査体の表面や裏面に光を照射しつつ、被検査体からの反射光量や被検査体表面濃度をカメラの撮像結果から抽出しており、欠陥がある場合には、その抽出結果が正常状態と異なるため、その欠陥を検出することができるものである。
【０００９】
ところで、自動車のメーター文字盤（表示パネル）や時計の文字盤等において、落ち着いた輝きや高級感を演出することを目的として、その表面に細かい同心円状の溝が形成された紋様装飾（以下、スピンドル部ともいう）が設けられる場合がある。スピンドル部は、円形の溝部、すなわち曲線状のエッジ部分を有するため、そのエッジ部分での光の反射を加味して欠陥の検出を行うための画像処理や画像解析が複雑になるという問題がある。
【００１０】
上記の点に鑑み、本発明は、スピンドル部を有する表示パネルの検査において、複雑な解析を要せず、欠陥の有無の判定を容易にすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係る検査装置は、撮像画像を変換部により極座標変換して、その変換した画像に基づいて、濃度パターンを検知し、その検知した濃度パターンに基づく判定を実施するものとした。
【００１２】
すなわち、本発明の第１態様では、表面に複数の同心円状の溝が形成された第１の溝部を有する被検査物を検査する検査装置において、前記被検査物の表面に光を照射する光源と、前記被検査物に対し、該被検査物の表面に沿う方向に相対移動しながら前記光源で照射された前記被検査物の表面を撮像する撮像部と、前記撮像部によって撮像された前記第１の溝部の中心座標を検出し、かつ、該第１の溝部を複数の直線状の溝からなる第２の溝部に極座標変換する変換部と、前記第２の溝部の最暗部から隣接する最暗部まで濃度の変化又は最明部から隣接する最明部までの濃度の変化である濃度パターンを少なくとも１つ検知し、その濃度パターンに基づいて欠陥の有無を判定する判定部とを備えていることを特徴とする。
【００１３】
本態様によると、変換部によって直線状の溝からなる第２の溝部に極座標変換された画像に基づいて濃度パターンを検知し、その検知した濃度パターンに基づく判定を実施することにより、エッジ部分における複雑な画像処理をすることなく、容易に欠陥の有無を判定することができる。
【００１４】
本発明の第２態様では、第１態様記載の検査装置において、前記判定部は、前記検知した濃度パターンと、隣接する部位から検知された濃度パターンまたは正常状態における濃度パターンとの比較結果に基づいて欠陥の有無を判定することを特徴とする。
【００１５】
本態様によると、隣接する複数の部位から検知された濃度パターンまたは正常状態の濃度パターンとの照合に基づいて検査する。すなわち、本態様は濃度パターン同士の比較を用いた判定のため、例えば、検知された濃度パターンの変化を解析して欠陥の有無を判定する手法等と比較して、判定部における処理を軽くすることができる。これにより、検査時間を短縮することができる。
【００１６】
本発明の第３態様では、第１態様記載の検査装置において、前記濃度パターンの濃度の最大値が所定の第１の閾値以上であるか否か、及び前記濃度パターンの濃度の最小値が第１の閾値よりも低い第２の閾値以下であるか否かの少なくとも一方に基づいて欠陥の有無を判定することを特徴とする。
【００１７】
本態様によると、第１及び第２の閾値と濃度パターンの濃度の最大値及び／又は最小値との比較に基づいて欠陥の有無を判定する。すなわち、欠陥の有無の判定を、濃度の最大値及び／又は最小値と、所定の閾値との比較という単純な比較処理で実現することができるため、判定部における処理をさらに軽くすることができる。また、この閾値による判定を複数個の濃度パターンからなる濃度パターン列に適用することにより、シミ等の濃度変化の小さな欠陥においても、容易に検知することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、極座標変換後の濃度パターンに基づいて欠陥の有無の判定をするため、エッジ部分における複雑な画像処理をすることなく、容易に欠陥の有無を判定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】実施形態に係る検査装置の概略構成を示す図である。
【図２】実施形態に係る検査装置で検査する表示パネルの正面図である。
【図３】実施形態に係る検査装置の検査時におけるフローチャートである。
【図４】表示パネルのスピンドル部の極座標変換について説明するための図である。
【図５】検査装置で抽出された濃度パターンの一例を示した図である。
【図６】検査装置で抽出された濃度パターンの他の例を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。以下の好ましい実施形態の説明は、本質的に例示に過ぎず、本発明、その適用範囲あるいはその用途を制限することを意図するものではない。
【００２１】
（検査装置の構成）
図１は実施形態に係る検査装置の概略構成を示し、検査装置１は、車両の運転席前方に設けられる車両用計器（図示せず）の表面側に取り付けられる表示パネル２（図２参照）の製造ラインに設けられ、表示パネル２表面の欠陥の有無を検査するようになっている。
【００２２】
表示パネル２は、図２に示すように、正面視で車幅方向に延びる樹脂製のプレートであり、車幅方向左側にタコメーターの表示部２１が設けられ、車幅方向右側に速度メーターの表示部２５が設けられている。タコメーターの表示部２１の表面には、その中心部に指針とムーブメントとを連結するための略円形状の連結孔２２が形成され、その連結孔２２を中心として外側に広がる同心円状の複数の細かい溝からなるスピンドル部２３が形成されている。２３ａは、スピンドル部２３の凸部であり、２３ｂは、スピンドル部２３の溝部である。同様に、速度メーターの表示部２５の表面には、その中心部に指針とムーブメントとを連結するための略円形状の連結孔２６が形成され、その連結孔２６を中心として外側に広がる同心円状の複数の細かい溝からなるスピンドル部２７が形成されている。２７ａは、スピンドル部２７の凸部であり、２７ｂは、スピンドル部２７の溝部である。２９，２９，２９は、表示パネル２を車両用計器に取り付けるための取付孔である。車両用計器では、この取付孔２９，２９，２９を介して表示パネル２を取り付けた後、表示パネル２の背面側（車両の前側）からＬＥＤ等の光を透過させることによって表示部２１，２５の文字や目盛を夜間等において、点灯表示させるようになっている。なお、本開示において、表示パネル表面の欠陥とは、正常な表示パネル表面と比較して不備がある状態を総称するものであり、例えば、ゴミ等の異物や打痕等による凹凸欠陥や、シミ、汚れ、ムラ等による欠陥を含む概念である。
【００２３】
図１に戻り、検査装置１は、搬送部１１と、搬送部１１の表面に対して所定の角度から光を照射するように配設された光源１２と、搬送部１１の表面を面直方向から撮像するように配設された撮像部１３とを備えている。
【００２４】
搬送部１１には、表示パネル２が載せられており、撮像部１３と表示パネル２の表面（表示部２１，２５のスピンドル部２３，２７）とが対向するようなっている。そして、搬送部１１は、表示パネル２をその表面に沿う水平方向（図１の走査方向）に搬送する。
【００２５】
光源１２は、例えばＬＥＤ照明装置であり、搬送部１１で搬送される表示パネル２の表面に対して所定の角度から光を照射する。光源１２からの光の強度や照射角度は撮像部１３による撮像が好適に実施可能になるように任意に設定することが可能である。なお、光源１２は、ＬＥＤ照明装置に限定されず、他の光源であってもよい。例えば蛍光灯や白熱灯であってもよい。また、光源は照射角度が固定されていても良いし、角度が調整できるようにしてもよい。また、光源は１個に限定されない。例えば、異なる角度から照射する複数の光源であってもよい。
【００２６】
撮像部１３は、例えばＣＣＤ（Charge Coupled Device）ラインセンサカメラであり、搬送部１１で搬送される表示パネル２の表面を面直方向から撮像する。撮像部１３は、表示パネル２の垂直方向（図１の前後方向）の幅よりも広い撮像領域を有している。搬送部１１は、撮像部１３によって表示部２１，２５の水平方向の一端から他端に渡って撮像できるように表示パネル２を搬送する。これにより、撮像部１３によって表示部２１，２５を含む表示パネル２の全面を撮像することができる。なお、撮像部１３は、ＣＣＤラインセンサカメラに限定されず、他の撮像部（撮像装置）であってもよい。例えば、ＣＭＯＳラインセンサカメラであってもよく、ＣＣＤやＣＭＯＳのエリアセンサカメラであってもよい。また、撮像部１３は、表示パネル２の表面を面直方向から撮像するものとしたが、これに限定されない。例えば、面直以外の所定の角度から表示パネル２の表面を撮像するようにしてもよい。
【００２７】
なお、本実施形態では、搬送部１１が撮像部１３によって表示部２１，２５の水平方向の一端から他端に渡って撮像できるように表示パネル２を搬送するものとしたが、これに限定されず、撮像部１３が表示パネル２の表面に沿う方向に相対移動しながら光源１２で照射された表示パネル２の表面を撮像できるように構成されていればよい。例えば、搬送部１１を停止させた状態で、撮像部１３を走査方向又はその逆方向（図１で右方向）に移動させながら表示パネル２の表面を撮像してもよいし、搬送部１１により表示パネル２を走査方向に搬送させつつ、撮像部１３を走査方向と逆方向（図１で右方向）に移動させながら表示パネル２の表面を撮像してもよい。
【００２８】
撮像部１３は、制御盤１４に接続されている。この制御盤１４は、撮像部１３で撮像された画像を取り込み、その画像に基づいて、表示部２１，２５のスピンドル部２３，２７の中心座標を検出する中心座標検出部１５ａと、スピンドル部２３，２７の画像を極座標変換する極座標変換部１５ｂと、欠陥の有無を判定する判定部１６と、後述するマスタ画像等が格納された記憶部１７とを備えている。１５は変換部であり、中心座標検出部１５ａと、極座標変換部１５ｂとを含んでいる。
【００２９】
そして、検査装置１には、撮像部１３で撮像された表示パネルの画像、変換部１５による処理の結果、判定部１６による判定結果等を表示するモニタ１８が設けられている。
【００３０】
（表示パネルの検査）
次に、検査装置１で表示パネル２を検査する際の検査フローを図３のフローチャートに基づいて詳細に説明する。初期状態において、表示パネル２の左端は、撮像部１３の真下よりも右側に位置するものとする。
【００３１】
まず、ステップＳ１において、表示パネル２が搬送部１１によって走査方向に搬送され、その間、撮像部１３が表示パネル２を撮像する。撮像部１３が撮像した画像は、変換部１５の中心座標検出部１５ａに取り込まれる。例えば、表示パネル２を走査方向に複数箇所で分断し、その分断領域毎に順次撮像画像が取り込まれる。なお、撮像部１３からの画像の取り込みは、領域毎に限定されず、リアルタイムで取り込みを行ってもよいし、全領域の撮像が終了した後に一括で取り込んでもよい。
【００３２】
次に、ステップＳ２において、画像の転送を受けた中心座標検出部１５ａでは、位相限定相関法に基づいて、各スピンドル部２３，２７の中心座標を認識する。具体的には、位相限定相関法による演算によって、記憶部１７に記憶された基準となる表示パネルの画像（以下、マスタ画像ともいう）のスピンドル部の中心座標と、撮像された表示パネル２のスピンドル部２３，２７の中心座標とのずれ量が検出可能であり、そのずれ量に基づいて表示パネル２のスピンドル部２３，２７の中心座標を認識する。従来の中心座標の認識方法として、少なくとも３点以上の特徴点、例えば３点の取付孔２９，２９，２９の位置関係を用いて中心座標を認識する方法も考えられるが、この方法ではすべての特徴点が撮像されるまで待つ必要が生じる。これに対し、位相限定相関法ではスピンドル部２３の部分的な画像が撮像されればズレ量の検出が可能であるため、中心座標の認識までの時間を短縮できる利点がある。
【００３３】
ステップＳ３において、極座標変換部１５ｂでは、図４（ａ）に示すように、中心座標検出部１５ａで検出されたスピンドル部２３の中心座標に基づいて、スピンドル部２３の画像を、複数の直線状の凸部３３ａ（図４（ｃ）参照）と複数の直線状の溝３３ｂ（図４（ｃ）参照）とからなるポーラ画像（以下、ストライプ部３３ともいう）に極座標変換する。このとき、ストライプ部３３のＹ方向の長さについて、スピンドル部２３の外周側（図４（ａ）において右側）と、スピンドル部２３の内周側（図４（ａ）において左側）との長さとを同一にするために、スピンドル部２３の内周側に生じた空隙部分（図４（ａ）の右図参照）の内挿処理を行う。内挿処理は、例えば、極座標における同じθ座標の最近傍の画素の値を用いて補間する。図４（ｂ）は、極座標変換により生成されたストライプ部３３の一例を示す図であり、図４（ｃ）は図４（ｂ）の領域ＡＲ１の拡大図である。同様にして、極座標変換部１５ｂは、スピンドル部２７についての極座標変換を行い、ストライプ部３７を生成する。なお、内挿処理方法は、この方法に限定されず、他の方法であってもよい。例えば、隣接する複数のθ座標の画素の値に基づいて内挿処理を実施してもよい。
【００３４】
ステップＳ４において、判定部１６は、ストライプ部３３の隣接する少なくとも２つの溝３３ｂ，３３ｂ間において、Ｘ方向の濃度変化である濃度パターン（以下、単に濃度パターンともいう）を少なくとも１つ抽出し、その抽出された濃度パターンに基づいてスピンドル部２３表面の欠陥の有無を判定する。判定部１６による判定は、種々の方法があるが、ここでは判定方法の一例として（１）局所領域を用いた判定と、（２）閾値を用いた判定とについて詳細に説明する。
【００３５】
（１）局所領域を用いた判定
局所領域を用いた判定では、判定部１６は、ストライプ部３３の画像から２つの溝３３ｂ，３３ｂを含む局所領域ＡＲ２（例えば、５０×５０画素）の画像を切り出し、この局所領域ＡＲ２の画像内から検知した少なくとも１つ以上の濃度パターンを照合する（図４（ｃ）参照）。具体的には、一方の溝３３ｂの最暗部から隣接する溝３３ｂの最暗部までの濃度の変化である濃度パターン（以下、単に濃度パターンともいう）を検知し、その検知した濃度パターンを照合する。このとき、例えば、記憶部１７にあらかじめ正常な表示パネルにおける濃度パターン（図３では基準パターンと記載）を記憶させ、この正常な濃度パターンと上記の検知した濃度パターンとを照合するようにしてもよいし、例えば、局所領域ＡＲ２内から複数の濃度パターンを検知し、その検知した濃度パターン同士を比較することによって互いに照合するようにしてもよい。
【００３６】
図５は、局所領域を用いた判定における濃度パターンをプロットした図面であり、図５（ａ）は欠陥のない局所領域における一方の溝３３ｂの最暗部から隣接する溝３３ｂの最暗部までの濃度パターンであり、図５（ｂ）は欠陥（例えば、異物）を有する局所領域における一方の溝３３ｂの最暗部から隣接する溝３３ｂの最暗部までの濃度パターンの例を示している。ここで、図５では、局所領域ＡＲ２内から４本の濃度パターンを検知し、それらを重ねて表示した例を示している。すなわち、局所領域ＡＲ２のＹ方向において異なる４ヶ所においてＸ方向の濃度変化（濃度パターン）を検知し、それらを重ねて表示している。
【００３７】
図５（ａ）では、４本の濃度パターンがほぼ重なっているのに対し、図５（ｂ）では、１本の濃度パターンが他の濃度パターンと大きく異なっており、欠陥があることがわかる（図５（ｂ）の領域Ｐ参照）。このように、局所領域内における濃度パターンの照合に基づいて検査する。なお、相互のパターンがどの程度ずれた場合に欠陥と判定するかどうかは任意に設定することが可能である。
【００３８】
また、基準パターンと比較して、濃度がＱ％（Ｑは実数）ずれた場合に欠陥と判断する等の方法であってもよい。このように、濃度パターン同士の比較を用いた判定のため、例えば、検知された濃度パターンの変化を解析して欠陥の有無を判定する手段等と比較して、判定部における処理を軽くすることができるため、検査時間を短縮することができる。また、局所領域内から複数のパターンを検知し、その検知した濃度パターン同士を比較する方法であれば、基準パターンと比較する方法よりも、判定部における処理をさらに軽くすることができる。
【００３９】
なお、検知対象は、上記のＹ方向において異なる複数箇所に限定されず、Ｘ方向において異なる複数の場所において濃度変化を検知してもよい。具体的には、例えば、局所領域ＡＲ２とＸ方向に隣接する局所領域を設け、Ｙ方向の同一又は隣接位置について、Ｘ方向の濃度変化（濃度パターン）を複数の局所領域にわたって検知し、それらを重ねて表示するようにしてもよい。
【００４０】
（２）閾値を用いた判定
閾値を用いた判定では、判定部１６は、ストライプ部３３の画像から複数の溝３３ｂを含む領域ＡＲ３（例えば、３０×２００画素）の画像を切り出し、この領域ＡＲ３内の画像について一定の濃度変化の繰り返しからなる濃度パターン列を照合する（図４（ｃ）参照）。具体的には、例えば、濃度の高い側の閾値ＳＵ及び濃度の低い側の閾値ＳＬを定めて、これらの閾値ＳＵ，ＳＬに基づいて欠陥の有無を判定する。欠陥と判定する基準については、任意に設定することができる。例えば、溝３３ｂ，３３ｂ毎に溝部分の濃度の最小値が閾値ＳＬ以上であること、及び凸部３３ａ，３３ａ毎に凸部分の濃度の最大値が閾値ＳＵ以下であることの少なくとも一方である状態が一定期間以上継続（例えば、３回以上継続）したときに、欠陥と判定するようにする方法等が考えられる。
【００４１】
図６は、閾値を用いた判定における濃度パターン列をプロットした図面であり、図６（ａ）は欠陥のない領域ＡＲ３における濃度パターン列であり、図６（ｂ）は欠陥（例えば、シミ）を有する領域ＡＲ３における濃度パターン列の例を示している。ここで、図６では、領域ＡＲ３内の連続した濃度パターン列を表示した例を示している。
【００４２】
図６（ａ）では、全領域にわたって溝３３ｂ，３３ｂ毎に溝部分の濃度が閾値ＳＬ未満であり、かつ、凸部３３ａ，３３ａ毎に凸部分の濃度が閾値ＳＵを超えている。一方で、図６（ｂ）では、溝３３ｂ，３３ｂ毎に溝部分の濃度が閾値ＳL未満になっている一方、凸部３３ａ，３３ａ毎で見ると、中間部分（シミがある部分）において、溝部分の濃度が閾値ＳＵ以下である状態が４回続いており、欠陥があることがわかる。このように、所定の閾値を設け、その閾値に基づいて欠陥の有無を判定することにより、シミ等の濃度変化の小さな欠陥についても容易に検知することができる。なお、図６では、判定部１６は、複数の溝３３ｂを含む領域の濃度パターン列について欠陥の有無を検出するものとしたが、１つ以上の溝３３ｂと１つ以上の凸部３３ａとが含まれる領域においても、濃度パターンのうちの溝３３ｂの濃度が閾値ＳＵ以上であるか否か、及び凸部３３ａの濃度が閾値ＳＬ以下であるか否かの少なくとも一方に基づいて欠陥の有無を検出することができる。
【００４３】
判定部１６による判定の結果は、ステップＳ５においてモニタ１８に表示され、検査は終了となる。
【００４４】
以上のように、本実施形態によると、変換部による極座標変換した画像に基づいて、濃度パターンを検知し、その検知した濃度パターンに基づく判定を実施することにより、複雑な画像処理をすることなく、容易に欠陥の有無を判定することができる。さらに、本開示に係る検査装置では、基準パターンとの比較や他の濃度パターンとの相互比較に基づく判定を行うため、欠陥部分と、エッジの反射とのすみわけをするための光源の照射光量の微調整や、カメラの感度等の調整等をする必要がない。すなわち、検査装置の複雑かつ細かな設定が不要であり、表示パネルの検査が容易である。
【００４５】
なお、上述の実施形態では、検知する濃度パターンは、一方の溝３３ｂの最暗部から隣接する溝３３ｂの最暗部までの濃度の変化であるものとしたが、これに限定されない。具体的には、周期的な濃度変化が得られるパターンであれば他のパターンであってもよい。例えば、濃度パターンとして、一方の凸部３３ａの最明部から隣接する凸部３３ａの最明部までの濃度の変化を適用してもよい。また、濃度パターンとして、一方の溝３３ｂの最暗部から所定の距離だけ離れた位置にある溝３３ｂの最暗部までの濃度の変化又は一方の凸部３３ａの最明部から所定の距離だけ離れた位置にある凸部３３ａの最明部を１つの濃度パターンとしてもよい。このときの所定の距離は、例えば、一方の溝３３ｂの最暗部から２個以上離れた位置にある溝部３３ｂの最暗部までの距離又は一方の凸部３３ａの最明部から２個以上離れた位置にある凸部３３ａの最明部までの距離である。また、最暗部や最明部以外の部分を基準として周期的な濃度変化が得られるような濃度パターンを用いてもかまわない。
【００４６】
また、判定部１６による判定は、（１）局所領域を用いた判定や、（２）閾値を用いた判定に限定されず、濃度パターンから欠陥が発見できる方法であればよく、他の判定方法であってもよい。
【００４７】
また、中心座標検出部１５ａ、極座標変換部１５ｂ、判定部１６での処理において、表示パネル２の画像を図２の境界Ｘ１で表示部２１を含む画像Ｇ１と、表示部２５を含む画像Ｇ２とに分割し、それぞれの画像を用いた並列処理を実行してもよい。これにより、処理時間を短縮することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
本発明は、表面に複数の同心円状の溝が形成された被検査物の検査を容易化することができるため、例えば、スピンドル部を有する自動車のメーター用の表示パネル等の検査において極めて有用である。
【符号の説明】
【００４９】
１  検査装置
２  表示パネル（被検査物）
１１ 搬送部
１２  光源
１３  撮像部
１５  変換部
１６  判定部
２３，２７  スピンドル部（第１の溝部）
【図１】
0006358884.tif 000002
【図２】
0006358884.tif 000003
【図３】
0006358884.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
0006358884.tif 000007