(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属基板と、
該金属基板の表面の一部に設けられた厚さが８０μｍ〜１００μｍの圧電体と、
該圧電体の表面に設けられた厚さが５μｍ〜２０μｍの上部電極と、
該上部電極に電気的に接続された第１ケーブルと、
前記金属基板の表面に電気的に接続された第２ケーブルと、
絶縁性及び可撓性を有する材料からなり、前記金属基板の縁部から中央に向かって盛り上がるように突出する曲面状をなし、前記金属基板の表面上で前記圧電体及び上部電極を覆う厚さが１００μｍ〜５ｍｍのコーティング部と、
を備えていることを特徴とする超音波センサ。
【請求項２】
前記金属基板の表面の一部に設けられ絶縁保護材と、
一方の第１端部を上部電極に電気的に接続され、かつ他方の第２端部を前記絶縁保護材に接続され、弛みを持たせた状態で配線された連結ケーブルと、が設けられ、
前記第１ケーブルは、前記連結ケーブルの前記第２端部に電気的に接続され、前記連結ケーブルを介して前記上部電極に接続され、
前記第１ケーブル及び前記第２ケーブルのそれぞれを覆う保護カバーが前記金属基板に固定されていることを特徴とする請求項１に記載の超音波センサ。
【請求項３】
金属基板の表面の一部に圧電体を設け、該圧電体の表面に上部電極を設けることでセンサ本体を形成する工程と、
前記上部電極に対して第１ケーブルを電気的に接続し、前記金属基板の表面に対して第２ケーブルを電気的に接続する工程と、
絶縁性及び可撓性を有する材料を前記センサ本体の上方から垂らすように供給することで、硬化前の前記材料の表面張力によって、前記金属基板の縁部から中央に向かって盛り上がるように突出する曲面状をなすコーティング部を形成させる工程と、
を有することを特徴とする超音波センサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超音波センサ及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、各種のプラントでは、多数の配管や容器等が備えられている。このような配管や容器等（以下「配管等」と称する）に、高温（例えば６０℃〜６００℃）の流体が流通し、または貯留される場合には、経年劣化により、配管等に減肉や亀裂が発生することがある。かかる減肉や亀裂は、内部流体の流れに変化が起こる、湾曲管やエルボ管等の曲面部や、配管等の狭隘部等で発生しやすい。そのため、超音波センサを使用した超音波探傷検査が行われている。
【０００３】
このような超音波探傷検査をする超音波センサとしては、例えば特許文献１に記載されるような、金属基板と、金属基板の表面の一部に設けられた圧電体と、圧電体の表面に設けられた上部電極と、該上部電極に電気的に接続された第１ケーブルと、前記金属基板の表面に電気的に接続された第２ケーブルと、前記金属基板、圧電体、及び上部電極からなるセンサ本体の上面に貼り付けて外部から絶縁保護する耐熱テープ（ポリイミドフィルムテープ）と、を備えた構成のものが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−７４６３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に示すような従来の超音波センサでは、耐熱テープが捲れたり、剥がれ易いことから、耐熱テープとセンサ本体との間に隙間ができ、双方の一体性がなくなり、センサの曲げに対する耐性が低下するという問題があった。そのため、例えばセンサを設置する際やセンサを取り扱う際に、ケーブルに力がかかったり、センサに曲げが作用することにより、ケーブルの電極との接続部が外れる場合があり、その点で改良の余地があった。
【０００６】
本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、センサの曲げに対する耐性を向上させることができ、ケーブルの電極に対する接続が外れることを防止できる超音波センサ及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明に係る超音波センサは、金属基板と、該金属基板の表面の一部に設けられた厚さが８０μｍ〜１００μｍの圧電体と、該圧電体の表面に設けられた厚さが５μｍ〜２０μｍの上部電極と、該上部電極に電気的に接続された第１ケーブルと、前記金属基板の表面に電気的に接続された第２ケーブルと、絶縁性及び可撓性を有する材料からなり、前記金属基板の縁部から中央に向かって盛り上がるように突出する曲面状をなし、前記金属基板の表面上で前記圧電体及び上部電極を覆う厚さが１００μｍ〜５ｍｍのコーティング部と、を備えていることを特徴としている。
【０００８】
また、本発明に係る超音波センサの製造方法は、金属基板の表面の一部に圧電体を設け、該圧電体の表面に上部電極を設けることでセンサ本体を形成する工程と、前記上部電極に対して第１ケーブルを電気的に接続し、前記金属基板の表面に対して第２ケーブルを電気的に接続する工程と、絶縁性及び可撓性を有する材料を前記センサ本体の上方から垂らすように供給することで、硬化前の前記材料の表面張力によって、前記金属基板の縁部から中央に向かって盛り上がるように突出する曲面状をなすコーティング部を形成させる工程と、を有することを特徴としている。
【０００９】
本発明によれば、金属基板、圧電体、及び上部電極からなるセンサ本体の上面が全面にわたって絶縁性及び可撓性を有するコーティング部で被覆されており、しかもコーティング部が金属基板の縁部から中央に向かって突出する曲面状をなしている。すなわち、前記センサ本体がコーティング部によって被覆され絶縁保護されて構造となり、前記センサ本体に直接外部から接触することがなくなるため、そのセンサ本体が損傷し難い構造となる。したがって、超音波センサの設置時や取扱い時の導通の低下を抑えることができる。
このように、前記センサ本体とコーティング部の一体化が図れ、曲げに強い被覆となることから、超音波センサの繰り返しの曲げに対するコーティング部の耐性を向上させることができる。
【００１０】
また、コーティング部は表面張力による盛り上がりによって形成されるので、コーティング部の端部が金属基板の縁部に沿ってきれいに被覆することができる。そのため、コーティング部を塗布する際に、コーティング材料を垂らすようにして表面張力を生じさせることにより容易に被覆することができ、作業の簡略化を図ることができ、またコーティング部の端部を切断する手間が不要となる。
しかも、コーティング部の端部の切断が不要で、かつコーティング部の端部が金属基板の縁部に沿って一致した状態となることから、コーティング部の捲れや剥がれが起こり難くなる。そのため、コーティング部とセンサ本体（電極）との間に隙間が生じて水や導電性ペースト等の接触媒質が進入するといった不具合を抑えることができる。とくに、コーティング部に再剥離性の無い材料を使用することで、さらに前記接触媒質の進入を確実に防止することができる。コーティング部に嫌水性の材料を使用することで、金属部の防錆効果も得ることができる。
【００１１】
さらに、本発明では、上述したようにコーティング材料を垂らすようにして表面張力を生じさせることでコーティング部を形成することができるので、例えばヘラ等を使用して塗布する場合に比べて厚さを管理し易くなり、一定の薄型に製造することができる。
【００１２】
また、本発明に係る超音波センサは、前記金属基板の表面の一部に設けられ絶縁保護材と、一方の第１端部を上部電極に電気的に接続され、かつ他方の第２端部を前記絶縁保護材に接続され、弛みを持たせた状態で配線された連結ケーブルと、が設けられ、前記第１ケーブルは、前記連結ケーブルの前記第２端部に電気的に接続され、前記連結ケーブルを介して前記上部電極に接続され、前記第１ケーブル及び前記第２ケーブルのそれぞれを覆う保護カバーが前記金属基板に固定されるようにしてもよい。
【００１３】
このような構成によれば、第１ケーブルが別部材の連結ケーブルを介して上部電極に接続され、しかも連結ケーブルが弛みを持たせた状態で上部電極と第１ケーブルとに接続され、さらに第１ケーブル及び第２ケーブルのそれぞれを覆う保護カバーが金属基板に固定されていることから、センサ本体の曲げによって第１ケーブルの接続部に作用する引張力を低減することができる。そして、第１ケーブル及び第２ケーブルの撓みやねじれ、或いは剛性力が、上部電極上の連結ケーブルの接続部に作用するのを防止することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の超音波センサ及びその製造方法によれば、センサの曲げに対する耐性を向上させることができ、ケーブルの電極に対する接続が外れることを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の第１の実施の形態における超音波センサを示す断面図である。
【図２】図１に示す超音波センサの上面図である。
【図３】実施例による樹脂の硬化厚さの変化を示す図であって、（ａ）は２時間以内の変化を示す図、（ｂ）は７日以内の変化を示す図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態における超音波センサを示す斜視図である。
【図５】図４に示す超音波センサの上面図である。
【図６】図５に示すＡ−Ａ線断面図であって、超音波センサの縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態による超音波センサ及びその製造方法について、図面に基づいて説明する。かかる実施の形態は、本発明の一態様を示すものであり、この発明を限定するものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。
【００２１】
（第１の実施の形態）
図１及び図２に示すように、本実施の形態による超音波センサ１は、受信した超音波を電気信号に変換したり、電気信号を超音波に変換して発信するセンサであり、例えば超音波探傷検査に用いることができる。
超音波センサ１は、金属基板２と、金属基板２の表面２ａの一部に設けられた圧電体３と、圧電体３の表面３ａに設けられた上部電極４と、上部電極４に電気的に接続された第１ケーブル５Ａと、金属基板２の表面２ａに電気的に接続された第２ケーブル５Ｂと、金属基板２の縁部から中央に向かって盛り上がるように突出する曲面状をなすコーティング部６と、を備えている。超音波センサ１は、分極した圧電体３の両側を金属電極の金属基板（金属基板２、上部電極４）で挟んだ薄型の超音波探触子である。
【００２２】
ここで、本実施の形態では、超音波センサ１を構成する金属基板２、圧電体３、及び上部電極４はその順で積層されており、その積層方向を上下方向といい、上下方向に沿う金属基板２側を下側といい、上部電極４側を上側という。
また、金属基板２、圧電体３、上部電極４、及び第１ケーブル５Ａ、第２ケーブル５Ｂを一体とした構成をセンサ本体１０という。
【００２３】
金属基板２は、上面視で略四角形状をなしており、一対の金属電極のうちの一方（下部電極）を構成し、例えば厚さが２０μｍ〜５０μｍのＳＵＳ（Ｓｔａｉｎｌｅｓｓ  Ｓｔｅｅｌ：ステンレス鋼）薄板、白金薄板、金薄板、またはインコネル薄板など薄板が用いられている。
【００２４】
圧電体３は、超音波の送受信をする薄膜状の圧電素子であり、圧電セラミックスの粉を含んだ溶液を金属基板２の表面２ａの一部に塗布して熱処理することにより成形されている。圧電体３としては、例えば８０μｍ〜１００μｍのチタン酸ジルコン酸鉛膜（ＰＺＴ膜）を使用することができる。圧電体３は、上面視で金属基板２よりも全周にわたって外径寸法が小さい円形状をなしている。
【００２５】
上部電極４は、金属ペースト、蒸着、メッキ、金属箔などにより成形され、例えば、５μｍ〜２０μｍの銀（Ａｇ）ペーストを用いることができる。上部電極４は、圧電体３の表面３ａの一部に、例えば金属ペーストを塗布した後に焼成することにより形成されている。あるいは、圧電体３の表面３ａの一部に、金等の金属ウールを圧着することにより形成されている。また、上部電極４は、上面視で圧電体３よりも小径をなす円形状をなしている。
【００２６】
このように構成される金属基板２、圧電体３、及び上部電極４により形成される部分は、薄膜状になっているため、全体が可撓性及び弾性を有している。
【００２７】
第１ケーブル５Ａ及び第２ケーブル５Ｂは、例えば銀等の金属線からなる信号線である。第１ケーブル５Ａは、Ａｇペースト等の金属ペーストによって上部電極４の上面４ａに接続されている。これにより第１ケーブル５Ａは上部電極４に電気的に接続されている。この第１ケーブル５Ａの接続部分の大きさとしては、例えば５０〜５００μｍとされる。第２ケーブル５Ｂは、Ａｇペースト等の金属ペーストによって、圧電体３が塗布されていない部分の金属基板２の表面２ａに接続されている。これにより第２ケーブル５Ｂは金属基板２に電気的に接続されている。なお、Ａｇペースト等の金属ペーストによる接続とすることで、超音波センサ１が３００℃以上の高温（例えば６００℃）の使用環境であっても、溶けずに高温に耐えることができる。
【００２８】
コーティング部６は、シリコンを含む絶縁性及び可撓性を有するシリコーン等の部材からなる。コーティング部６は、硬化後も柔軟性を維持し、センサ本体１０の上面全体に塗布されて上面保護材として機能する。また、コーティング部６としては、耐熱性を有する部材であることが好ましい。コーティング部６は、ひび割れや可撓性の低下を抑制するために可能な限り薄い厚さで塗布される。例えば、塗布するシリコーンの厚さとしては、１００μｍ〜５ｍｍが好ましい。
また、図２に示すように、コーティング部６は、本実施の形態では透明性を有し、上方から超音波センサ１を見て、コーティング部６を通してセンサ本体１０の上面が視認できる構成となっているが、コーティング部６に着色塗料を含有させた材料であってもかまわない。
なお、本実施の形態では、上述したようにコーティング部６として、シリコンを含む絶縁性及び可撓性を有するシリコーン等の部材を対象としているが、これに限定されることはない。すなわち、コーティング部６は、電気的絶縁性、及び可撓性の用途として、２００℃レベルではシリコンが好適であるが、それ以外（２００℃以下の温度レベル）の環境では、アクリル系、エポキシ系の材料であっても良い。
【００２９】
このように構成される超音波センサ１の製造方法は、先ず、金属基板２の表面２ａの一部に圧電体３を設け、この圧電体３の表面３ａに上部電極４を設けることでセンサ本体１０を形成する。次に、上部電極４に対して第１ケーブル５Ａを電気的に接続し、金属基板２の表面２ａに対して第２ケーブル５Ｂを電気的に接続する。
その後、シリコンを含む絶縁性及び可撓性を有する材料であるシリコーンをセンサ本体１０の上方から例えばヘラや筆のような塗布具を使用して垂らすように供給し、この材料に金属基板２の表面２ａに対する表面張力を生じさせる。これにより、金属基板２の縁部２ｂから中央に向かって盛り上がるように突出する曲面状をなすコーティング部６が形成される。そして、コーティング部が所定の強度に硬化すると、超音波センサ１の製造が完了となる。
【００３０】
次に、上述した構成の超音波センサ１及びその製造方法の作用について、図面に基づいて具体的に説明する。
図１に示すように、上記のような超音波センサ１によれば、金属基板２、圧電体３、及び上部電極４からなるセンサ本体１０の上面が全面にわたってシリコンを含む絶縁性及び可撓性を有するシリコーン樹脂からなるコーティング部６で被覆されており、しかもコーティング部６が金属基板２の縁部２ｂから中央に向かって突出する曲面状をなしている。すなわち、センサ本体１０がコーティング部６によって被覆され絶縁保護されて構造となり、センサ本体１０に直接外部から接触することがなくなるため、そのセンサ本体１０が損傷し難い構造となる。したがって、超音波センサ１の設置時や取扱い時の導通の低下を抑えることができる。
このように、センサ本体１０とコーティング部６の一体化が図れ、曲げに強い被覆となることから、超音波センサ１の繰り返しの曲げに対するコーティング部６の耐性を向上させることができる。
【００３１】
また、コーティング部６は表面張力による盛り上がりによって形成されるので、コーティング部６の端部６ａが金属基板２の縁部２ｂに沿ってきれいに被覆することができる。そのため、コーティング部６を塗布する際に、コーティング材料を垂らすようにして表面張力を生じさせることにより容易に被覆することができ、作業の簡略化を図ることができ、またコーティング部６の端部６ａを切断する手間が不要となる。
【００３２】
しかも、コーティング部６の端部６ａの切断が不要で、かつコーティング部６の端部６ａが金属基板２の縁部２ｂに沿って一致した状態となることから、コーティング部６の捲れや剥がれが起こり難くなる。そのため、コーティング部６とセンサ本体１０（電極）との間に隙間が生じて水や導電性ペースト等の接触媒質が進入するといった不具合を抑えることができる。とくに、コーティング部６に再剥離性の無い材料を使用することで、さらに前記接触媒質の進入を確実に防止することができる。
【００３３】
さらに、本実施の形態では、上述したようにコーティング材料を垂らすようにして表面張力を生じさせることでコーティング部６を形成することができるので、例えばヘラ等を使用して塗布する場合に比べて厚さを管理し易くなり、一定の薄型に製造することができる。
また、コーティング部６の材料を耐熱性を有する材料とすることで、高温環境でも超音波センサ１を使用することができる。
【００３４】
上述した本実施の形態による超音波センサ及びその製造方法では、センサの曲げに対する耐性を向上させることができ、ケーブルの電極に対する接続が外れることを防止できる。
【００３５】
次に、上述した実施の形態による超音波センサ及びその製造方法の効果を裏付けるために行った実施例について以下説明する。
【００３６】
（実施例）
実施例は、上述した第１の実施の形態のセンサ本体１０に対して、各種のシリコーン等の樹脂を塗布し、コーティング部を成形する際の適用性を確認した。
使用した樹脂（コーティング材）は９種類を使用し、それぞれの樹脂において、最高可使温度（℃）、破断時の伸び（％）、材質、粘度（Ｐａ・ｓ）、可使時間（分）を評価した。評価としては、センサ本体（以下、素子という）の上面に樹脂を塗布させたときの適用性（硬化状態、流動性、絶縁性、接着性）で評価し、具体的に評価基準としては、最高可使温度１００℃以上、破断時伸び５０％以上、１液もしくは２液硬化型シリコーン、粘度１００Ｐａ・ｓ以下、可使時間１２０分以内とした。
【００３７】
樹脂の塗布方法は、先ず、組立後の素子の上面のホコリを除去し、金属基板の脱脂を行う。その後、樹脂を容器から出し、ヘラや筆などで素子上面に均一に塗布する。このとき、圧電体（セラミックス膜）の外縁よりも１ｍｍ以上広い範囲に塗布する。そして、水平な場所で安置して硬化させる。なお、塗布した樹脂に気泡が混入しないように、樹脂は混練しないようにした。気泡が混入した場合には、針などで潰して除去した。
例えば、硬化条件としては、Ａ社製のシリコーン系の場合、図３（ａ）、（ｂ）に示すように、２時間以内で１ｍｍ硬化させるためには、温度が常温（２３℃）以上で、湿度が５０％ＲＨ以上とする。図３は、当該樹脂において、温度／湿度の条件による硬化厚さ（ｍｍ）を示している。図３（ａ）は２時間以内の変化を示し、図３（ｂ）は７日以内の変化を示している。
【００３８】
本実施例による評価の結果、９種の樹脂のうち上記評価基準を満たし、超音波センサを形成する適用性が良好である５種（下記、Ａ樹脂〜Ｅ樹脂）を合格とし、さらにその合格した樹脂の優先度を特定した。
この５種のうち優先度の最も高い優先度のＡ樹脂は、１液型硬化型シリコーンの脱アセトン型で低粘度、低分子シロキサン低減の性質を有する材料で、最高可使温度２００℃、破断時伸び２００％、粘度５．５Ｐａ・ｓ、可使時間１１分である。
優先度２番目のＢ樹脂は、１液型硬化型シリコーンの脱アセトン型で低分子シロキサン低減の性質を有する材料で、最高可使温度２００℃、破断時伸び１８０％、粘度２０Ｐａ・ｓ、可使時間６分である。
優先度３番目のＣ樹脂は、１液室温硬化型シリコーンの材料で、最高可使温度２００℃、破断時伸び１５５％、粘度１Ｐａ・ｓ、可使時間８分である。
優先度４番目のＤ樹脂は、１液型硬化型シリコーンの脱アセトン型で低分子シロキサン低減の性質を有する材料で、最高可使温度２００℃、破断時伸び１４０％、粘度０．６Ｐａ・ｓ、可使時間５分である。
優先度５番目のＥ樹脂は、１液型硬化型シリコーンの脱アルコール型の材料で、最高可使温度２００℃、破断時伸び１５０％、粘度１．５Ｐａ・ｓ、可使時間７分である。
【００３９】
次に、本発明の超音波センサ及びその製造方法による他の実施の形態について、添付図面に基づいて説明するが、上述の第１の実施の形態と同一又は同様な部材、部分には同一の符号を用いて説明を省略し、第１の実施の形態と異なる構成について説明する。
【００４０】
（第２の実施の形態）
次に、第２の実施の形態による超音波センサについて、図面に基づいて説明する。
図４乃至図６に示すように、第２の実施の形態による超音波センサ１Ａは、センサの曲げ力によって生じる信号線（第１ケーブル７Ａ及び第２ケーブル７Ｂ）とセンサ本体１０との接続部分に作用する力を低減する構造である。
【００４１】
第２の実施の形態の信号線は、耐熱用の同軸ケーブル７を使用している。同軸ケーブル７は、絶縁体７Ｃに覆われて芯材に相当する第１ケーブル７Ａと、絶縁体７Ｃの周りに設けられる網状のシールド線からなる第２ケーブル７Ｂと、第２ケーブル７Ｂの周囲を覆う外カバー７Ｄ（保護カバー）と、を有している。そして、同軸ケーブル７のセンサ側の端部には、支持板７０（支持材）が取り付けられている。支持板７０は、ステンレス製の薄板からなり、一方の表面に一対の半円状の保持片７１を介して同軸ケーブル７の端部が固定されるようになっている。支持板７０は、同軸ケーブル７の端部に向かうに従って漸次、幅寸法が大きくなるように略三角状に形成されている。
【００４２】
超音波センサ１Ａは、センサ本体１０の構成は上述した第１の実施の形態と同様で金属基板２、圧電体３、及び上部電極４から構成されている。
金属基板２の表面２ａにおける同軸ケーブル７とセンサ本体１０との接続部分には、絶縁保護テープ８（絶縁保護材）が貼り付けられている。絶縁保護テープ８は、例えば耐熱テープ（ポリイミドフィルムテープ）等の、上面側と下面側とを絶縁する機能を有する部材を使用することができる。絶縁保護テープ８は、一部が圧電体３の表面３ａにも重なって配置されている。
【００４３】
同軸ケーブル７は、外カバー７Ｄが固定される一方の保持片７１と支持板７０の一部が金属基板２の表面２ａに載置、または接続されている。
同軸ケーブル７の第１ケーブル７Ａは、連結ケーブル９を介して上部電極４の上面４ａに接続（図中の第１接続部Ｐ１の箇所）されている。具体的に絶縁体７Ｃから突出した状態の第１ケーブル７Ａは、第１接続部Ｐ１における連結ケーブル９の一端をなす第１端部９ａは、上部電極４の上面４ａに電気的に接続されている。そして、連結ケーブル９の他端をなす第２端部９ｂは、絶縁保護テープ８の上面８ａに接続（図中の第２接続部Ｐ２の箇所）されている。第２接続部Ｐ２に位置する連結ケーブル９の第２端部９ｂは、Ｕ字状に湾曲された係止凹部９ｃを形成し、絶縁保護テープ８の上面８ａに固着されている。そして、係止凹部９ｃに第１ケーブル７Ａの先端部分が接触した状態で進入している。この係止凹部９ｃと第１ケーブル７Ａの先端部分が溶着されていてもよい。
【００４４】
連結ケーブル９は、銀の細線からなり、第１接続部Ｐ１と第２接続部Ｐ２との間で弛みをもたせた状態で配線されている。なお、連結ケーブル９は、絶縁保護テープ８の圧電体３と重なる領域上に位置するように配置されている。これにより、連結ケーブル９が金属基板２に接触することが防止されている。
【００４５】
同軸ケーブル７のシールド線からなる第２ケーブル７Ｂは、第３接続部Ｐ３において、絶縁体７Ｃからむき出した状態で、上面視で第１ケーブル７Ａの延長方向に対して略直交する方向に折り曲げられ、絶縁保護テープ８から外れる外側の金属基板２の表面２ａに電気的に接続されている。
【００４６】
第１ケーブル７Ａと第２ケーブル７Ｂとが絶縁された状態のセンサ本体１０の上面には、全面にわたって耐熱テープ（ポリイミドフィルムテープ）６１が貼付されている。この場合、同軸ケーブル７の端部が支持板７０の一部とともにセンサ本体１０に一体的に組み込まれた状態となっている。
なお、耐熱テープ６１に代えて上述した第１の実施の形態と同様のシリコーンからなるコーティング部６（図１参照）で被覆するようにしてもよい。この場合のコーティング部６は、金属基板２の縁部２ｂから中央に向かって盛り上がるように突出する曲面状をなすように設けられる。
【００４７】
図４乃至図６に示すように、第２の実施の形態による超音波センサ１Ａでは、第１ケーブル７Ａが別部材の連結ケーブル９を介して上部電極４の上面４ａに接続され、しかも連結ケーブル９が弛みを持たせた状態で上部電極４と第１ケーブル７Ａとに接続され、さらに第１ケーブル７Ａ及び第２ケーブル７Ｂのそれぞれを覆う外カバー７Ｄが金属基板２に固定されていることから、センサ本体１０の曲げによって第１ケーブル７Ａの接続部に作用する引張力を低減することができる。そして、第１ケーブル７Ａ及び第２ケーブル７Ｂの撓みやねじれ、或いは剛性力が、上部電極４上の連結ケーブル９の接続部に作用するのを防止することができる。
そのため、センサ本体１０の曲げに対する耐性を向上させることができ、ケーブルの電極に対する接続が外れることを防止できる。したがって、超音波センサ１Ａの設置時や取扱い時の導通の低下を抑えることができる。
【００４８】
また、本第２の実施の形態では、同軸ケーブル７の外カバー７Ｄを保持した状態の支持板７０の一部が金属基板２の表面２ａに固定されているので、第１ケーブル７Ａの撓みやねじれ、或いは剛性力が、上部電極４上の連結ケーブル９の接続部に対してより作用し難くなり、センサ本体１０の曲げに対する耐性をさらに向上させることができる。
【００４９】
以上、本発明による超音波センサ及びその製造方法の実施の形態について説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
【００５０】
例えば、本実施の形態では、コーティング部６の材料として、上述した第１の実施の形態ではシリコーンを採用しているが、このような樹脂材料であることに限定されることはない。例えば、耐熱性はシリコーンに比べてやや低下するものの接着剤をコーティング部の材料とすることも可能である。
【００５１】
また、本第２の実施の形態では、同軸ケーブル７を保持する支持板７０を設けているが、このような支持板７０を省略することも可能である。そして、支持板７０の形状、材質についても上記実施の形態に限定されることはない。
さらに、第２の実施の形態において同軸ケーブル７であることに制限されず、第１の実施の形態のように第１ケーブルと第２ケーブルがそれぞれ別体となっている信号線であってもかまわない。
【００５２】
また、上述した超音波センサの製造方法は、とくに制限されるものではなく、適宜な方法により製造することが可能である。したがって、コーティング部６の塗布方向において使用する塗布具、あるいはコーティング材をセンサ本体の上面に垂らす方法など、適宜設定すればよい。
【００５３】
さらに超音波センサの各構成（金属基板２、圧電体３、上部電極４、絶縁保護テープ８、連結ケーブル９等）の形状、大きさ、材質、ケーブルの接続位置等に関しても、上述した実施の形態に限定されることはなく、任意に設定することができる。
【００５４】
その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上記した実施の形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上記した実施の形態を適宜組み合わせてもよい。
【符号の説明】
【００５５】
１、１Ａ  超音波センサ
２  金属基板
２ａ  表面
２ｂ  縁部
３  圧電体
３ａ  表面
４  上部電極
５Ａ  第１ケーブル
５Ｂ  第２ケーブル
６  コーティング部
７  同軸ケーブル
７Ａ  第１ケーブル
７Ｂ  第２ケーブル
７Ｄ  外カバー（保護カバー）
８  絶縁保護テープ
９  連結ケーブル
９ａ  第１端部
９ｂ  第２端部
１０  センサ本体
６１  耐熱テープ
７０  支持板（支持材）
【図１】
0006432097.tif 000002
【図２】
0006432097.tif 000003
【図３】
0006432097.tif 000004
【図４】
0006432097.tif 000005
【図５】
0006432097.tif 000006
【図６】
0006432097.tif 000007