(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
エンジンの排気ガスを吸気通路に還流するＥＧＲ流路（２）の開度を操作する弁体（３）と、
この弁体を駆動する動力を発生するモータ（５）と、
前記ＥＧＲ流路の一部をなすとともに、前記弁体を収容する筒（９）を有する金属製のボディ（６）と
を備え、
前記弁体の上流側と下流側との間の差圧に基づき、前記モータが通電制御されて前記弁体が駆動されるバルブユニット（１）において、
前記ボディには、前記筒の上流側、下流側の両側に配管が接続され、これらの配管の内周は、前記ＥＧＲ流路を成し、
前記弁体の上流側と下流側それぞれのガス圧に感応する感圧素子（７、２７〜２９）が、前記ＥＧＲ流路の外に配置され、
前記弁体の上流側と下流側それぞれのガス圧を前記感圧素子に導く上流圧導入路（５１、５２）、下流圧導入路（６１、６２）が、前記筒の内周面に開口しており、
前記ボディには、前記モータに電力を供給するための導通体（１２）を保持する樹脂部（８）が設けられ、
この樹脂部は、前記導通体とともに、前記感圧素子を保持することを特徴とするバルブユニット。
【請求項２】
請求項１に記載のバルブユニットにおいて、
前記感圧素子は、前記弁体の上流側のガス圧に感応する上流側素子（２８）、および前記弁体の下流側のガス圧に感応する下流側素子（２９）であり、
前記上流側素子および前記下流側素子のそれぞれから得られる信号に基づき、前記弁体の上流側と下流側との間の差圧を示す信号を発生する信号処理部（３１）が配置され、
前記樹脂部は、前記導通体とともに、前記信号処理部および前記感圧素子としての前記上流側素子、前記下流側素子を保持することを特徴とするバルブユニット。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のバルブユニットにおいて、
前記感圧素子から得られる信号に基づき、前記モータの動作を制御するための演算を行って制御信号を出力する制御回路（７２）と、
前記制御信号に応じて、前記モータへの電力の供給を操作する駆動回路（７３）とを備え、
前記樹脂部は、前記導通体とともに、前記制御回路および前記駆動回路を保持することを特徴とするバルブユニット。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のうちのいずれか１つに記載のバルブユニットにおいて、
前記下流圧導入路（５２）は、前記弁体の軸（４）から前記筒の内径の２．５倍下流側に離れた位置で、前記筒の内周面に開口していることを特徴とするバルブユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エンジンの排気ガスを吸気通路へ還流させるＥＧＲ装置を構成するバルブユニットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、ＥＧＲ装置に用いられるバルブユニットでは、以下のような弁体、モータおよび金属製のボディを備えるものが周知となっている。
ここで、弁体は、排気ガスを吸気通路に還流するＥＧＲ流路の開度を操作している。一方、モータは、弁体を駆動する動力を発生する。
また、ボディは、弁体を収容する筒を有する。この筒は、ＥＧＲ流路の一部をなす。さらに、筒の上流側、下流側の両側には、配管が接続されている。この配管の内周もＥＧＲ流路の一部をなす。以下、ＥＧＲ流路を形成する配管をＥＧＲ配管と呼ぶ。
ところで、ＥＧＲ装置では、ＥＧＲ流路を通過する排気ガスの流量を制御するため、弁体の上流側と下流側との間の差圧（以下、単に差圧と呼ぶことがある。）に基づき、モータを通電制御して弁体を駆動する構成が公知となっている（例えば、特許文献１）。
【０００３】
しかし、差圧に基づく制御が行われるＥＧＲ装置では、次のような問題がある。
すなわち、上記のＥＧＲ装置では、差圧を検出するために、弁体の上流側、下流側それぞれのガス圧に感応する感圧素子をＥＧＲ流路の外に配置している。そして、上流側、下流側それぞれのＥＧＲ配管に、ガス圧を取り出すための穴を開けて、別途、配管を接続し、ガス圧をＥＧＲ流路の外に導いて感圧素子に感応させる。以下、ＥＧＲ流路からガス圧を取り出して感応素子に導くための配管を圧力導出管と呼ぶ。
このため、ＥＧＲ配管に穴を開けたり、ＥＧＲ配管に圧力導出管を接続したりする作業が必要となる。この結果、製造工数が高くなってしまい、また、バルブユニットの近傍に作業スペースを確保する必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−０４３７９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、上記問題点に鑑みて成されたものであり、その目的は、弁体の上流側と下流側との間の差圧に基づきモータを通電制御して弁体を駆動するＥＧＲ装置において、ＥＧＲ配管に穴を開けたり、ＥＧＲ配管に圧力導出管を接続したりする作業を不要とすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載の発明によれば、ボディの筒の上流側、下流側の両側に配管が接続されている。この配管の内周は、ＥＧＲ流路をなす。
また、ＥＧＲ流路の外には、感圧素子が配置されている。この感圧素子は、弁体の上流側と下流側それぞれのガス圧に感応する。
また、ボディの筒の内周面には、上流圧導入路と下流圧導入路とが開口している。上流圧導入路は、弁体の上流側のガス圧を感圧素子に導く。また、下流圧導入路は、弁体の下流側のガス圧を感圧素子に導く。
さらに、ボディには、モータに電力を供給するための導通体を保持する樹脂部が設けられ、樹脂部は、導通体とともに感圧素子を保持する。
これによって、弁体の上流側と下流側との間の差圧に基づきモータを通電制御して弁体を駆動するＥＧＲ装置において、ＥＧＲ配管に穴を開けたり、ＥＧＲ配管に圧力導出管を接続したりする作業が不要となる。
この結果、製造工数が高くならず、また、バルブユニットの近傍に作業スペースを確保する必要がなくなる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】バルブユニットを示した断面図である（実施形態１）。
【図２】バルブユニットを示した断面図で、図１の横方向の図である（実施形態１）。
【図３】ボディに取り付けられるカバーを示した平面図である（実施形態１）。
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ断面図である（実施形態１）。
【図５】カバーに保持された差圧センサを示した断面図である（実施形態１）。
【図６】モータの制御装置を示した断面図である（実施形態１）。
【図７】モータの制御装置と差圧センサを示したブロック図である（実施形態１）。
【図８】バルブユニットを示した断面図である（実施形態２）。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、図面を参照しながら、発明を実施するための形態を説明する。
【０００９】
［実施形態１の構成］
図１ないし図７は、本発明を適用した実施形態１を示したものである。
【００１０】
本実施形態のバルブユニット１は、自動車等の車両のエンジンルーム内に配置されたＥＧＲ装置に使用される。
ＥＧＲ装置は、エンジンからの排気ガスをＥＧＲガスとして排気通路から吸気通路に還流するＥＧＲ流路２を有している。
バルブユニット１は、ＥＧＲ流路２の開度を操作する金属製の弁体３と、この弁体３の弁軸４を駆動する動力を発生するモータ５と、このモータ５を収容する金属製のボディ６とを備えている。このバルブユニット１は、弁体３の上流側、下流側との間の差圧に基づき、モータ５が通電制御されて弁体３が開閉駆動される。
ＥＧＲ流路２の外には、弁体３の上流側、下流側との間の差圧を検出する差圧センサ７が配置されている。
【００１１】
ボディ６には、図１ないし図３に示したように、樹脂製のカバー８が取り付けられている。
ボディ６は、ＥＧＲ流路２の一部をなす円筒状の筒９を有する。この筒９には、円筒状のノズル１１が嵌め込まれている。
また、筒９の上流側には、排気通路から分岐したＥＧＲ配管が接続されている。また、筒９の下流側には、吸気通路に合流するＥＧＲ配管が接続されている。
カバー８は、モータ５に電力を供給するための導通体１２を保持している。また、カバー８には、モータ５と外部回路との電気的な接続を行う外部接続用コネクタ１３が設けられている。
【００１２】
外部回路としては、エンジン制御を行うエンジン制御ユニット（以下、ＥＣＵ１４と呼ぶ）やバッテリ等が挙げられる。
ＥＣＵ１４には、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等の機能を含んで構成される周知の構造のマイクロコンピュータが設けられている。マイクロコンピュータの入力部には、エアフローメータ、クランク角度センサ、アクセル開度センサ、吸気温センサ、水温センサ等が接続されている。
ＥＣＵ１４は、各種センサからの出力信号によってエンジンの運転状態を演算している。また、ＲＯＭ、ＲＡＭ等のメモリには、モータ５の通電制御用の制御プログラムが格納されている。
【００１３】
弁体３は、弁軸４を回転軸として回転することで、ＥＧＲ流路２の開度を操作してＥＧＲ率を調整する。この弁体３は、円板形状を呈する。また、弁体３の外周溝には、シールリング１５が嵌め込まれている。弁体３の閉弁時には、シールリング１５がノズル１１の内周面に密着する。これにより、シールリング１５は、弁体３の外周面とノズル１１の内周面との間の隙間をシールする。
弁軸４は、軸方向の一端側がＥＧＲ流路２内に突出している。この弁軸４の一端側には、弁体３が取り付けられている。
弁軸４は、軸方向の他端側がボディ６の収容室１６内に突出している。収容室１６内には、減速機構が収容されている。
また、弁軸４の周囲には、弁体３を閉弁側に付勢するコイルスプリング１７が収容されている。
【００１４】
モータ５は、ボディ６の収容室１８内に収容されている。このモータ５の出力軸には、減速機構のピニオンギア２１が固定されている。また、モータ５の端子は、導通体１２の接続部１９と電気的に接続している。導通体１２は、後述するモータ制御装置を介してモータ５とＥＣＵ１４とを接続している。
減速機構は、モータ５の回転を２段減速して弁軸４に伝える。この減速機構は、モータ５の出力軸と一体回転するピニオンギア２１、このピニオンギア２１と噛み合って回転する中間ギア２２、およびこの中間ギア２２と噛み合って回転する出力ギア２３を有する。  中間ギア２２は、中間軸２４の外周に相対回転可能に配されている。
出力ギア２３は、弁軸４の他端側に取り付けられている。これにより、出力ギア２３は、弁体３および弁軸４と一体回転する。
【００１５】
［実施形態１の特徴］
ボディ６は、アルミニウムダイカストにより形成されている。このボディ６には、差圧センサ７および導通体１２を保持する樹脂部が設けられている。この樹脂部は、カバー８である。
カバー８は、絶縁性の合成樹脂により形成されている。
差圧センサ７は、図７に示したように、弁体３の上流側と下流側それぞれのガス圧に感応する感圧素子２７を有する。したがって、カバー８は、導通体１２とともに、感圧素子２７を保持している。
ここで、弁体３の上流側のガス圧に感応する感圧素子２７を、上流側素子２８と呼ぶ。また、弁体３の下流側のガス圧に感応する感圧素子２７を、下流側素子２９と呼ぶ。
【００１６】
上流側素子２８は、４つのゲージ抵抗をブリッジ接続して構成されたブリッジ回路である。この上流側素子２８は、圧力センサチップ３３のダイアフラム３４の表面に形成されている。
圧力センサチップ３３は、半導体基板であって、カバー８のセンサ搭載部に接着剤により接着されている。この圧力センサチップ３３は、薄肉状のダイアフラム３４を有する。このダイアフラム３４は、圧力センサチップ３３の裏面から凹部を形成することで設けられる。
また、ダイアフラム３４の裏面側には、ダイアフラム３４に弁体３の上流側のガス圧を印加するための上流圧測定室３５が形成されている。
そして、上流圧測定室３５に弁体３の上流側のガス圧が導入されると、上流側のガス圧に基づきダイアフラム３４が歪む。このダイアフラム３４の歪みに応じてゲージ抵抗の抵抗値が変化する。この抵抗値の変化に応じてブリッジ回路の電圧が変化し、この電圧の変化に対応した上流圧信号がブリッジ回路から出力される。
【００１７】
下流側素子２９は、４つのゲージ抵抗をブリッジ接続して構成されたブリッジ回路である。この下流側素子２９は、圧力センサチップ３６のダイアフラム３７の表面に形成されている。
圧力センサチップ３６は、半導体基板であって、カバー８のセンサ搭載部に接着剤により接着されている。この圧力センサチップ３６は、薄肉状のダイアフラム３７を有する。このダイアフラム３７は、圧力センサチップ３６の裏面から凹部を形成することで設けられる。
また、ダイアフラム３７の裏面側には、ダイアフラム３７に弁体３の下流側のガス圧を印加するための下流圧測定室３８が形成されている。
そして、下流圧測定室３８に弁体３の下流側のガス圧が導入されると、下流側のガス圧に基づきダイアフラム３７が歪む。このダイアフラム３７の歪みに応じてゲージ抵抗の抵抗値が変化する。この抵抗値の変化に応じてブリッジ回路の電圧が変化し、この電圧の変化に対応した下流圧信号がブリッジ回路から出力される。
上流圧測定室３５は、カバー８に一体成形された隔壁３９によって下流圧測定室３８と気密的に区画されている。
【００１８】
差圧センサ７は、感圧素子２７の他に、信号処理部３１を備えている。
信号処理部３１は、半導体基板である回路チップ３２の表面に搭載されている。この回路チップ３８は、圧力センサチップ３３、３６間に設置されている。
信号処理部３１は、上流側素子２８、下流側素子２９それぞれから得られる上流圧信号、下流圧信号に基づき、弁体３の上流側と下流側との間の差圧を示す検出差圧信号を発生する。
また、カバー８は、導通体１２とともに、上流側素子２８、下流側素子２９および信号処理部３１を保持している。
【００１９】
ボディ６の外側面には、収容室１６、１８が設けられている。収容室１６、１８は、ボディ６の外側面から凹部を形成することで設けられる。
ボディ６の収容室１６、１８の周縁部には、カバー８をボルト締結により取り付けるための環状のフランジ４１が設けられている。
カバー８の周縁部には、フランジ４１の結合端面と気密的に結合する環状のフランジ４２が設けられている。
また、ボディ６には、弁軸４の上流側の筒９の外周とフランジ４１の上流側部分とを繋ぐ上流側壁４３が一体的に形成されている。また、ボディ６には、弁軸４の下流側の筒９の外周とフランジ４１の下流側部分とを繋ぐ下流側壁４４が一体的に形成されている。
【００２０】
ボディ６およびカバー８には、弁体３の上流側のガス圧を上流側素子２８に導くための上流圧導出路５１、５２が設けられている。この上流圧導出路５１、５２は、穴径がφ２〜３ｍｍとなっている。
上流圧導出路５１は、ボディ６に形成されている。上流圧導出路５２は、カバー８に形成されている。
上流圧導出路５１は、加工工具により穿設された加工穴である。
上流圧導出路５１は、上流側壁４３を弁体３の回転軸方向と平行な方向に貫通している。この上流圧導出路５１の入口は、筒９の内周面に開口している。また、上流圧導出路５１の出口は、フランジ４１の結合端面に開口している。
上流圧導出路５２の入口は、フランジ４２の結合端面に開口している。また、上流圧導出路５２は、凹溝５３および樹脂製の蓋体５４によって構成されている。
凹溝５３は、上流圧導出路５２の入口から上流圧測定室３５まで真っ直ぐに延びている。また、蓋体５４は、上流圧導出路５２の入口以外の凹溝５３の開口部分を塞いでいる。  
【００２１】
ボディ６およびカバー８には、弁体３の下流側のガス圧を下流側素子２９に導くための下流圧導出路６１、６２が設けられている。下流圧導出路６１は、ボディ６に形成されている。下流圧導出路６２は、カバー８に形成されている。
下流圧導出路６１は、加工工具により穿設された加工穴である。
下流圧導出路６１は、下流側壁４４を弁体３の回転軸方向と平行な方向に貫通している。この下流圧導出路６１の入口は、筒９の内周面に開口している。また、下流圧導出路６１の出口、フランジ４１の結合端面に開口している。
下流圧導出路６２の入口は、フランジ４２の結合端面に開口している。また、下流圧導出路６２は、凹溝６３および樹脂製の蓋体６４によって構成されている。
凹溝６３は、下流圧導出路６２の入口から下流圧測定室３８まで真っ直ぐに延びている。また、蓋体６４は、下流圧導出路６２の入口以外の凹溝６３の開口部分を塞いでいる。  そして、凹溝５３、６３は、カバー８の樹脂一体成形時に型抜きにより設けられる。
蓋体５４、６４は、カバー８とは別部品で構成されている。また、蓋体５４、６４は、溶着または接着によりカバー８の凹部５５、６５に取り付けられている。
【００２２】
カバー８は、導通体１２とともに、この導通体１２中に配されるモータ制御装置７１を保持している。このモータ制御装置７１は、制御回路７２および駆動回路７３等により構成されている。
ここで、ＥＣＵ１４は、エンジンの運転状態および制御プログラムに基づいて、モータ５を通電制御するための目標差圧信号を制御回路７２に対して出力する。
また、信号処理部３１は、感圧素子２７から得られる上流圧信号、下流圧信号に基づき、検出差圧信号を制御回路７２に対して出力する。
制御回路７２には、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等の機能を含んで構成される周知の構造のマイクロコンピュータが設けられている。マイクロコンピュータの入力部には、差圧センサ７およびＥＣＵ１４が接続されている。また、マイクロコンピュータの出力部には、駆動回路７３が接続されている。
【００２３】
カバー８には、平板状の回路基板７４が保持されている。この回路基板７４は、接着剤によりカバー８の凹部７５の底面に取り付けられている。
回路基板７４上には、制御回路７２および駆動回路７３が設けられている。
制御回路７２は、回路基板７４に実装される電気部品等によって構成されている。
制御回路７２は、ＥＣＵ１４から得られる目標差圧信号と、信号処理部３１から得られる検出差圧信号との偏差に基づきモータ５を制御するための演算を行う。そして、制御回路７２は、演算によって制御信号を生成し、駆動回路７３に対して出力する。具体的には、目標差圧信号と検出差圧信号との偏差がなくなるように、公知のＰＩＤ制御を用いて、駆動回路７３に与える制御信号を出力する。
駆動回路７３は、回路基板７４上に実装される半導体スイッチング素子等によって構成されている。この駆動回路７３には、バッテリからの電力が、外部接続用コネクタ１３、導通体１２を介して給電される。
また、駆動回路７３は、制御回路７２から得られる制御信号に応じて、半導体スイッチング素子を駆動する。これにより、接続部１９を介してモータ５に電力が供給されるため、モータ５が動作する。
【００２４】
ここで、弁体３の上流側と下流側との間の差圧が目標差圧よりも大きい場合には、弁体３の開度が大きくなるようにモータ５への電力の供給を操作する。これにより、弁体３の下流側のガス圧が高くなり、ＥＧＲ流路２を通過するＥＧＲガスの流量が減る。この結果、ＥＧＲガスの流量が目標差圧に対応したＥＧＲ量に近づく。
また、弁体３の上流側と下流側との間の差圧が目標差圧よりも小さい場合には、弁体３の開度が小さくなるようにモータ５への電力の供給を操作する。これにより、弁体３の下流側のガス圧が低くなり、ＥＧＲ流路２を通過するＥＧＲガスの流量が増える。この結果、ＥＧＲガスの流量が目標差圧に対応したＥＧＲ量に近づく。
【００２５】
［実施形態１の効果］
以上のように、本実施形態のバルブユニット１においては、ボディ６の筒９の内周面に、上流圧導出路５１および下流圧導出路６１の入口が開口している。
また、ボディ６には、上流圧導出路５１および下流圧導出路６１が設けられている。また、カバー８には、上流圧導出路５２および下流圧導出路６２が設けられている。
これによって、ＥＧＲ装置において、ＥＧＲ配管に穴を開けたり、ＥＧＲ配管に圧力導出管を接続したりする作業が不要となる。
この結果、製造工数が高くならない。また、バルブユニット１の近傍に作業スペースを確保する必要がなくなる。また、圧力導出管を廃止できるので、部品点数や取付工数を減らすことができる。
【００２６】
ところで、バルブユニット１が搭載される車両の仕様やエンジン機種によって、弁体３の直径や筒９の内径が異なっている。このため、筒９の内径が異なる多種類のボディ６のバリエーションを用意する必要がある。
本実施形態のバルブユニット１では、ダイカスト成形後のボディ６に対して加工工具により穴開け加工することで、上流圧導出路５１および下流圧導出路６１を形成している。  これにより、ボディ６への穴開け加工を追加するだけで、上記のような筒９の内径が異なる多種類のボディ６のバリエーションに対しても簡単に上流圧導出路５１および下流圧導出路６１を形成できる。
したがって、車両の仕様やエンジン機種に合わせた多種類のボディ６のバリエーションが設定し易くなる。
また、上流圧導出路５１、下流圧導出路６１それぞれの出口の位置を標準化した場合には、上流圧導出路５２、下流圧導出路６２を形成した１種類のカバー８を用意するだけで、多種類のボディ６のバリエーションに対して１種類のカバー８を共通使用することができる。これにより、カバー８の成形型費を低減できる。
【００２７】
また、金属製のボディ６に樹脂製のカバー８を取り付け、そのカバー８に差圧センサ７、制御回路７２および駆動回路７３を保持しているので、別部品を追加することなく、ボディ６に対する差圧センサ７、制御回路７２および駆動回路７３の絶縁を施すことができる。
また、カバー８の凹溝５３、６３に別体部品である蓋体５４、６４を組み付けることで、カバー８の内面に上流圧導出路５２および下流圧導出路６２を形成することができる。これにより、成形型の型費を節約することができる。
また、モータ５と外部とを接続する外部接続用コネクタと、感圧素子２７と外部とを接続する外部接続用コネクタとを別々に設ける必要がないので、部品点数を削減できる。
【００２８】
また、上流側素子２８、下流側素子２９および信号処理部３１を別々の場所に設置し、これらをハーネスやコネクタ等で接続したものと比べて、部品点数を削減でき、車両への搭載性を向上することができる。
また、導通体１２とともに、差圧センサ７、制御回路７２および駆動回路７３をカバー８に保持している。これにより、差圧センサ７を構成する各機能部品や差圧センサ７に上流側、下流側それぞれのガス圧を導く上流圧導出路５２および下流圧導出路６２をカバー８に集約している。また、モータ５の通電制御を行う各機能部品をカバー８に集約している。この結果、カバー８をモジュール化できるとともに、各機能部品を個別に組み立てるのに必要な部品組み立て費が不要となる。
【００２９】
また、モータ５をボディ６の収容室１８内に収容し、導通体１２とともに、制御回路７２および駆動回路７３をカバー８に保持している。これにより、ＥＣＵ１４内に制御回路７２や駆動回路７３を設ける必要がなくなる。
また、バルブユニット１は、モータ５を内蔵し、且つ制御回路７２や駆動回路７３が一体的に組み込まれている。これにより、モータ５の駆動回路がＥＣＵ１４内に不要となるので、駆動回路を内蔵しないＥＣＵを搭載した車両のメーカに対しても、バルブユニット１を販売することが可能となる。したがって、バルブユニット１の拡販が容易となる。
また、モータ５、制御回路７２および駆動回路７３を別々の場所に設置し、これらをハーネスやコネクタ等で接続したものと比べて、部品点数を削減でき、車両への搭載性を向上することができる。
【００３０】
［実施形態２の構成］
図８は、本発明を適用した実施形態２を示したものである。ここで、実施形態１と同じ符号は、同一の構成または機能を示すものであって、説明を省略する。
【００３１】
本実施形態の下流圧導出路６１は、その入口が、弁体３の弁軸４から筒９の内径Ｘの２．５倍下流側に離れた位置で、筒９の内周面に開口している。
ところで、弁体３の下流側のＥＧＲ流路２内においては、弁体３の開度が小さい程、ＥＧＲガスの流速変動が大きい。
そこで、下流圧導出路６１の入口を弁軸４から筒９の内径Ｘの２．５倍下流側に離れた位置で開口させる。これによって、下流圧導出路６１の入口をＥＧＲガスの流速が安定する場所に設けることができる。これにより、ＥＧＲガスの流速変動に伴う、弁体３の下流側のガス圧の測定値の変動を抑えることができる。この結果、ＥＧＲガスの流速変化による測定誤差を抑えることができる。したがって、下流側素子２９において、安定した下流側のガス圧の測定を行うことができる。
なお、筒９の内径Ｘとして、ノズル１１の内径を用いても良い。また、筒９の内径Ｘとして、弁体３の直径を用いても良い。
以上のように、本実施形態のバルブユニット１においては、実施形態１と同様な効果を奏する。
【００３２】
［変形例］
本実施形態では、樹脂部であるカバー８に感圧素子２７を保持しているが、ボディ６に薄肉状のダイアフラムを形成し、このダイアフラムの表面に感圧素子２７を形成しても良い。この場合には、ボディ６に感圧素子２７が保持される。
本実施形態では、樹脂部であるカバー８に上流側素子２８、下流側素子２９および信号処理部３１を保持しているが、カバー８に上流側素子２８、下流側素子２９を保持し、信号処理部３１を別の場所に設置しても良い。
また、ダイアフラムの表面に弁体３の上流側のガス圧を導き、そのダイアフラムの裏面に弁体３の下流側のガス圧を導き、ダイアフラムに１つの感圧素子を設けても良い。この場合、１つの感圧素子によって、弁体３の上流側と下流側との間の差圧を検知できる。
例えばダイアフラムの表面、裏面にそれぞれ上流側のガス圧、下流側のガス圧を作用させて、ダイアフラムに歪みを発生させる。このダイアフラムのに歪みに応じた信号を発生させる。この信号が、弁体３の上流側と下流側との間の差圧に応じた検出差圧信号となる。
【００３３】
本実施形態では、ボディ６の樹脂部であるカバー８に制御回路７２および駆動回路７３を保持しているが、カバー８に制御回路７２を保持し、別の場所に駆動回路７３を設置しても良い。また、カバー８に駆動回路７３を保持し、別の場所に制御回路７２を設置しても良い。また、ボディ６の樹脂部とは別の場所に制御回路７２および駆動回路７３を設置しても良い。
また、制御回路７２と駆動回路７３との間に、制御回路７２からの制御信号に応じたデューティ比のパルス幅変調信号を生成する変調信号生成回路を接続しても良い。
この場合、駆動回路７３は、パルス幅変調信号のデューティ比に応じた電圧をモータ５に印加する。これにより、モータ５が通電制御されて弁体３が開閉駆動する。
【００３４】
本実施形態では、感圧素子２７として、４つのゲージ抵抗をブリッジ接続して構成されたブリッジ回路を採用しているが、感圧素子２７として、薄肉状のダイアフラムにゲージ抵抗を形成したセンサチップを採用しても良い。
また、バルブユニット１に、弁体３の開度を検出する開度センサを一体的に組み込んでも良い。
本発明は、上述の実施形態に限定されることなく、種々変形して実施することができる。
【符号の説明】
【００３５】
１  バルブユニット
２  ＥＧＲ流路
３  弁体
５  モータ
６  ボディ
７  差圧センサ
８  カバー（樹脂部）
１２ 導通体
２７  感圧素子
５１  上流圧導入路
６１  下流圧導入路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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