(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
鋼板の圧延直角方向に対して30°以内の向きに、不連続領域を部分的に有して延びる、還流磁区を鋼板の圧延方向に複数有し、前記鋼板の一方の面における前記不連続領域での還流磁区のそれぞれの重複部の圧延直角方向の長さα（mm）が前記鋼板の他方の面における前記それぞれの重複部の圧延直角方向の長さβ（mm）より長く、前記長さα（mm）が以下の式（１）を満足し、前記長さβ（mm）が以下の式（２）を満足する方向性電磁鋼板。
0.5（mm）≦α（mm）≦5.0（mm）  …  （１）
0.2α（mm）≦β（mm）≦0.8α（mm）  …  （２）
【請求項２】
複数の高エネルギービーム照射装置のそれぞれから高エネルギービームを照射して、鋼板の圧延直角方向に対して30°以内の向きに、不連続領域を部分的に有して延びる、還流磁区を鋼板の圧延方向に複数形成するに際し、
前記高エネルギービーム照射装置の各々における、高エネルギービームのフォーカスおよび出力のいずれか少なくとも一方を調整して、前記鋼板の照射面における前記不連続領域での還流磁区のそれぞれの重複部の圧延直角方向の長さα（mm）が前記鋼板の非照射面における前記それぞれの重複部の圧延直角方向の長さβ（mm）より長く、前記長さα（mm）が以下の式（１）を満足し、前記長さβ（mm）が以下の式（２）を満足する方向性電磁鋼板の製造方法。
0.5（mm）≦α（mm）≦5.0（mm）  …  （１）
0.2α（mm）≦β（mm）≦0.8α（mm）  …  （２）
【請求項３】
前記高エネルギービームは、レーザビームまたは電子ビームである、請求項２に記載の方向性電磁鋼板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、方向性電磁鋼板およびその製造方法に関し、特に、変圧器の鉄心材料に好適な方向性電磁鋼板およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
方向性電磁鋼板が使用される変圧器は、低鉄損と低騒音であることが求められている。ここで、変圧器の低鉄損化には、方向性電磁鋼板そのものの低鉄損化が有効であり、そのための技術の一つとして、鋼板表面にレーザビーム、プラズマビーム、電子ビーム等を照射することによって磁区を細分化する技術がある。例えば、特許文献１には、最終製品板にレーザビームを照射し、鋼板表層に高転位密度領域を導入し、磁区幅を狭くすることで、鋼板の鉄損を低減する技術が提案されている。また、特許文献２には、電子ビーム照射により方向性電磁鋼板の圧延方向と交差する向きに点列に熱歪みを導入するにあたり、照射点間隔や照射エネルギーを適正化することで、鉄損を低減する技術が記載されている。これらの技術は、主磁区を細分化するだけでなく、鋼板内部に還流磁区と呼ばれる新たな磁区構造を形成することで、低鉄損を実現するものである。【０００３】
しかしながら、鋼板内部の還流磁区が増大すると、かかる鋼板を変圧器に組み込んだときの騒音の発生が問題となる。これは、還流磁区の磁気モーメントが圧延方向に直交する面内に向いているため、方向性電磁鋼板の励磁過程で圧延方向にその向きが変化するのに伴って、磁気歪み（磁歪）が生じるためである。よって、低鉄損と低騒音を両立するためには磁区細分化によって新たに形成される還流磁区の適正化が必要となってくる。
ここで、鉄損と騒音の両特性の改善技術として、特許文献３には、電子ビームを点状に照射して磁区細分化処理を行う場合に、電子ビームの出力に応じて、一点当たりの滞留時間ｔと点間隔Ｘとの関係を制御することで、優れた鉄損特性及び騒音特性を有する方向性電磁鋼板を提供する技術が記載されている。特許文献４には、電子ビーム照射による磁区細分化処理において、熱歪み導入領域の直径Ａと照射ピッチＢとの関係を適正化する技術が記載されている。また、特許文献５には、電子ビーム法によって、還流磁区の圧延方向幅、板厚方向深さ、圧延方向導入間隔を適正化する技術が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特公昭57-2252号公報
【特許文献２】特開2012-036450号公報
【特許文献３】特開2012-172191号公報
【特許文献４】特開2012-036445号公報
【特許文献５】国際公開第2014／068962号
【特許文献６】国際公開第2015／111434号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、鋼板表面に上記レーザビームや電子ビームなどの高エネルギービームを照射する場合、様々な要因によってビーム走査速度やビーム走査幅が制約され、１台の装置でコイル全面に磁区細分化処理を施すことは困難な場合が多い。この場合、コイルの板幅方向に複数台の照射装置を連ね各装置からのビーム照射をコイルの板幅方向につなぐことによって、コイル全幅でのビーム照射が実現する。ところが、このような複数台の照射装置を用いた場合は、それぞれのビーム照射装置がカバーする照射領域の境界部に、還流磁区の「不連続領域」が生じることになる。ここで、隣接する電子ビームの照射領域が重なっている場合、見た目は連続的な還流磁区に見える。しかしながら、重なっている部分は、一つの電子銃によって連続的に照射された部分とエネルギー導入量が異なるため、還流磁区構造の連続性は途絶えている。よって、本発明内では、この隣接する電子ビームの照射領域が重なっている還流磁区部分も還流磁区が直接重なっていない部分とともに「不連続領域」と定義する。
この不連続領域の周辺では鋼板の磁区構造が不均一になるため、変圧器の低鉄損と低騒音を両立させることはより困難になる。また、上述した還流磁区にかかる技術は全て不連続領域以外に着目したものであり、これらの技術をそのまま不連続領域の周辺に適用できるわけではない。【０００６】
ここで、不連続領域の周辺に着目した先行技術としては、特許文献６に記載のものがある。特許文献６には、不連続領域のＴＤ方向（板幅方向）のラップ幅を適正化することによって、鋼板の低鉄損を実現する技術が開示されている。しかしながら、特許文献６の技術を適用すれば、鋼板の低鉄損は実現するものの、各電子銃の照射エリアを重ねる方向に制御しているだけなので、電子銃の照射面と非照射面でのラップ幅が変わらないため、歪みの影響により敏感な磁歪特性については、不連続領域を含まない領域よりも劣化してしまう。また、鉄損の劣化量は抑制されているものの、不連続領域を含まない領域に対して必ずしも同じ鉄損特性にはならないといった問題も残っている。【０００７】
本発明は上記の事情に鑑みてなされたものであり、特に、複数の照射装置で磁区細分化処理を行ったときに不可避的に生じる不連続領域における、鉄損と磁歪特性の劣化が共に抑制された方向性電磁鋼板およびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
さて、鉄損および磁歪特性に影響を与えているのは、ビーム照射によって導入される鋼板への歪み分布であることは知られている。本発明者らは、この歪み分布を評価する指標として、ビームが照射される鋼板表面とビームが照射されない裏面とにおける磁区不連続領域の対比を行うことが適していることを知見した。また、本発明者らは、不連続領域の周辺とそれ以外の部分とでは適正な還流磁区の状態が異なること、すなわち、不連続領域の周辺とそれ以外の部分における適正なビーム照射条件が相違すること、に起因して、板厚方向の還流磁区の形態がそれぞれ異なることを明らかにした。【０００９】
不連続領域の周辺の鉄損および磁歪特性を、不連続領域ではない領域（連続領域）と同レベルにするために必要な構成は以下の通りである。
１）圧延方向に直交する方向であるＴＤ方向に還流磁区の不連続領域が存在し、ビーム照射面とビーム非照射面の還流磁区のＴＤ方向重複代が以下の（１）式および（２）式を満足する方向性電磁鋼板であること。
0.5≦α≦5.0  …  （１）
0.2α≦β≦0.8α  …  （２）
ここで、αは、ビーム照射面における、隣り合う還流磁区のＴＤ方向の長さの重複幅（以下、本発明においてαの単位はmmである）であり、βは、ビーム非照射面における、隣り合う還流磁区のＴＤ方向の長さの重複幅（以下、本発明においてβの単位はmmである）である。
２）鋼板表面への熱エネルギー導入を、複数の高エネルギービーム照射装置（複数のレーザビーム照射装置または複数の電子ビーム照射装置）を設置することで実施する際に、ビーム照射面・非照射面の還流磁区の状態の制御を、ビームの偏向に合わせ、各照射装置のビームフォーカス調整を行うパラメータの中の少なくとも１つを変動させることにより実施すること。
３）上記２）に代えて、または２）に加えて、鋼板表面への熱エネルギー導入を複数の高エネルギービーム照射装置を設置することで実施する際に、ビーム照射面・非照射面の還流磁区の状態の制御を、ビーム偏向に合わせ、各照射装置のビーム出力調整を行うパラメータの中の少なくとも１つを変動させることにより実施すること。【００１０】
上記αおよびβは、磁性コロイドを利用して磁区パターンの可視化が可能なマグネットビュアーによって求めることができる。図１および図２に、磁区観察結果の模式図を示す。本発明では、主磁区を分断するような形で存在している領域を還流磁区（図１中、１〜３で示す）と定義する。また、隣接する電子ビームの照射領域に形成している還流磁区を隣り合う還流磁区（図１中、２および３で示す）と定義する。図１に示されるように、隣り合う還流磁区の重複幅が正（重複している）の場合は、還流磁区によって主磁区が分断されていない領域が存在しないことを意味する。なお、図２に示されるように、隣り合う還流磁区の重複幅が負（重複していない）の場合は、還流磁区によって主磁区が分断されていない領域が存在することを示している。
さらに、本発明の重複幅αとは、鋼板の照射面（本発明において一方の面ともいう）における隣り合う磁区の重複部の圧延直角方向の長さであって、図１においてαおよびβで示す。また、本発明の重複幅βとは、上記αに対応する鋼板の非照射面（本発明において他方の面ともいう）における重複部の圧延直角方向の長さとする。なお、αおよびβは共に、隣り合う磁区のうち、より近接している（狭い）方の重複部の圧延直角方向の長さとする。また、隣り合う磁区が同じ幅で近接している場合は、当然にその数値を採用する。【００１１】
次に、本発明を導くに至った経緯について詳細に説明する。
＜実験1＞
まず、市販の方向性電磁鋼板（0.25mm厚）に、複数台の電子ビーム照射装置を用いて照射線間隔：4.0mm、加速電圧：100kV、走査速度：70m/sec、ビーム電流：4〜20mAの範囲で2mAずつ変更させて、それぞれ照射条件No.1（ビーム電流：4mA）〜No.9（ビーム電流：20mA）とし、磁区細分化処理を施した。
このコイルより不連続領域を含む幅100mm×長さ300mmの試験材および不連続領域を含まない幅100mm×長さ300mmの試験材をそれぞれ採取し、JIS C 2556に規定されている単板磁気特性試験によって磁気特性を評価した。もう一つの重要な特性である磁歪は、レーザドップラー式振動計を用いて鋼板の収縮運動を計測し、川崎製鉄技報 Vol.29 No.3 pp.164-168(1997)に記載の方法で磁歪振動加速度レベルと呼ばれる指標で評価した。ここでは、100〜2000Hzまでの磁歪高調波成分を積算し、磁歪測定時の最大磁束密度は、最大磁束密度1.3〜1.8Tの変圧器騒音と最も相関が高いとされる1.5Tとした。
図３に、上記鉄損特性の評価結果を示す。また、図４に、上記磁歪特性の評価結果を示す。【００１２】
図３に示されるように、不連続領域なしとありの試験材では、良好な鉄損特性を示す照射条件が異なっているが、それぞれの良好な鉄損特性を示す照射条件で得られる鉄損レベルはほぼ同じであった。また、磁歪特性について、図４に示すように、照射条件No.が大きくなるほど特性が劣化する傾向は、不連続領域なしと不連続領域ありの試験材で同じであった。磁歪特性は極めて歪み感受性が高いことが知られている。すなわち、図４の結果から、各照射条件の歪み導入能は照射条件No.が大きくなるにつれて、すなわち、ビーム電流が高くなるにつれて増加していると考えられる。特に、不連続領域が存在する試験材では、条件によっては不連続領域なしの試験材よりも磁歪特性が劣化していた。図３および図４から、鉄損特性が良好な条件であっても、それらの条件の全てが良好な磁歪特性を有する結果にはなっておらず、鉄損と磁歪特性が両立する条件は、鉄損特性が良好な条件よりさらに限定されることが判明した。【００１３】
次に、不連続領域ありの試験材では、鉄損・磁歪特性ともにビーム電流の変化に対する挙動が、不連続領域なしの試験材と異なっていた。そこでその原因を調査するために、不連続領域あり試験材について電子ビームの照射面（表面）と非照射面（裏面）のそれぞれにおいて、還流磁区観察を行った。すなわち、前記αおよび前記βの大きさをそれぞれ調査した。
図５に還流磁区の重複幅α、βを示す。
照射面からの観察では照射条件による大きな差が認められなかったが、非照射面では照射条件によって大きく異なる結果が得られた。ここで、還流磁区は、鋼板の歪みによって形成されるので、照射面・非照射面の還流磁区重複幅が大きく異なっているのは、照射面と非照射面で歪み量が大きく異なっていることを意味している。多くの照射条件で非照射面の重複幅が減少したのは、照射面より導入される歪みが板厚方向には広がり難いためである。【００１４】
この結果より、不連続領域ありの試験材の図３の挙動は次のように説明することができる。
還流磁区が重複している領域は、異なるビーム照射装置からの照射線が圧延方向に互いにずれているぶん、不連続領域なしの領域よりも圧延方向の照射線間隔が狭くなっている。それ故、歪み導入能が高い照射条件No.7、8、9は必要以上の歪みが導入されて、履歴損が大きく劣化し、鉄損が増大したと考えられる。なお、照射線間隔の狭い領域で適正な歪み量であったのは照射条件No.4、5、6である。また、照射条件No.1、2、3では歪み導入量が低く、歪み量が不足したため、十分な磁区細分化効果が得られずに鉄損が劣化したと考えられる。磁歪特性については、歪み感受性が高いので、歪み導入状態の適正範囲が鉄損の場合よりも限定されたと考えられる。【００１５】
以上の結果より、不連続領域付近の素材特性を良好な状態に制御するには、3次元歪み分布(板厚方向を含めた歪み分布)を制御することが重要である。そして、その制御パラメータとして、照射面における還流磁区の重複幅だけでなく、非照射面における還流磁区の重複幅についても組み合わせて用いることが有用であることがわかる。【００１６】
＜実験2＞
実験1の結果より、発明者らは、適正な不連続領域の板厚方向の歪み分布を得るために、鋼板表裏の還流磁区の重複幅をパラメータとして制御すればよいのではないかと考えた。まず、公知な方向性電磁鋼板（0.30mm厚）に、4台の電子銃を用いて磁区細分化処理を施した。照射条件は、加速電圧150kV、走査速度64m/sec、ビーム電流5.0mA、ＲＤ方向（圧延方向）の照射線間隔4.5mm、各電子銃の照射エリアは等分割とし、還流磁区重複幅（ビーム偏光距離の重複幅）を0.1〜10.0mmになるようにした。
このとき、ビーム照射面および非照射面の還流磁区重複幅を制御するために、フォーカスを制御している収束コイルの電流値を偏向位置に合わせて変化させることにした。また、不連続領域部分以外ではジャストフォーカスとなるように収束コイルの電流値を設定し、不連続領域部分ではさまざまなフォーカス条件になるように収束コイルの電流値を変化させた。なお、「フォーカス」とは、ビームの焦点を指し、「ジャストフォーカス」とは、ビームの焦点が、歪みの最も導入しやすい状態にあることを指し、具体的には、鋼板上でビームが最も収束している状態を指す。【００１７】
図６は照射面の還流磁区重複幅を変化させた場合における鉄損と還流磁区の重複割合（β／α）の関係を示している。なお、図６の横軸に関し、重複割合が「−１」や「−２」となる点は、非照射面では重複せず(負)、照射面では重複する(正)ことを意味する。還流磁区重複幅が4.0mmの場合では、照射面と非照射面の割合が0.2から0.9において、特に良好な鉄損特性を示していることが分かった。この鉄損特性は、基準として評価した不連続領域のない試験材の鉄損特性と同レベルであった。
次に、良好な鉄損特性範囲が存在した還流磁区重複幅：4.0mmの試験材について磁歪特性を評価した。その評価結果を図７に示す。鉄損と磁歪特性が両立したのは、鉄損が良好であった条件から更に限定され、照射面での重複幅αと非照射面での重複幅βの比β／αが0.2から0.8であることが判明した。【００１８】
さらに、照射面の還流磁区重複幅と鉄損の関係を調査した。その調査結果を図８に示す。照射面の重複幅が0.5〜6.0mmにおいて良好な特性（不連続領域なしサンプルと同レベル）を示していることが分かった。また、図６および図７の結果により判明した鉄損・磁歪特性が両立する範囲内にある還流磁区重複割合（β／α）は、0.46の試験材であった。この試験材について、磁歪特性を調査した結果を図９に示す。良好な鉄損特性を示した中でも重複幅が0.5〜5.0mmの範囲では、不連続領域なしサンプルと同等レベルの磁歪特性が得られており、鉄損と磁歪特性が両立していることが分かった。【００１９】
以上の結果より、以下の点が明らかとなった。すなわち、不連続領域を含む試験材ついては、ビーム走査幅や照射面の還流磁区重複幅のみの制御だけでは、鋼板中の歪み分布制御は不十分であることが明らかになった。また、鋼板の板厚方向の歪分布は、照射面および非照射面の還流磁区重複幅を評価指標として考慮することが重要であることが明らかになった。【００２０】
本発明は、上記の新規な知見に立脚するものであり、その要旨構成は、以下のとおりである。
１．鋼板の圧延直角方向に対して30°以内の向きに、不連続領域を部分的に有して延びる、還流磁区を有し、前記鋼板の一方の面における前記不連続領域での還流磁区の重複部の圧延直角方向の長さαが前記鋼板の他方の面における前記重複部の圧延直角方向の長さβより長く、前記長さαが以下の式（１）を満足し、前記長さβが以下の式（２）を満足する方向性電磁鋼板。
0.5≦α≦5.0  …  （１）
0.2α≦β≦0.8α  …  （２）【００２１】
２．複数の高エネルギービーム照射装置のそれぞれから高エネルギービームを照射して、鋼板の圧延直角方向に対して30°以内の向きに、不連続領域を部分的に有して延びる、還流磁区を形成するに際し、
前記高エネルギービーム照射装置の各々における、高エネルギービームのフォーカスおよび出力のいずれか少なくとも一方を調整して、前記鋼板の照射面における前記不連続領域での還流磁区の重複部の圧延直角方向の長さαが前記鋼板の非照射面における前記重複部の圧延直角方向の長さβより長く、前記長さαが以下の式（１）を満足し、前記長さβが以下の式（２）を満足する、前記還流磁区を形成する方向性電磁鋼板の製造方法。
0.5≦α≦5.0  …  （１）
0.2α≦β≦0.8α  …  （２）【００２２】
３．前記高エネルギービームは、レーザビームまたは電子ビームである、上記２に記載の方向性電磁鋼板の製造方法。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、特に複数の照射装置で磁区細分化処理を行ったときに不可避的に生じる不連続領域の領域における、鉄損と磁歪特性の劣化が効果的に抑制された方向性電磁鋼板およびその製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】磁区観察結果の模式図である。
【図２】磁区観察結果の他の模式図である。
【図３】鉄損特性の評価結果を示すグラフである。
【図４】磁歪特性の評価結果を示すグラフである。
【図５】還流磁区の重複幅の測定結果を示すグラフである。
【図６】照射面の還流磁区の重複幅を変化させた場合における、鉄損と還流磁区の重複割合との関係を示すグラフである。
【図７】磁歪特性と還流磁区の重複割合との関係を示すグラフである。
【図８】照射面の還流磁区の重複割合を変化させた場合における、鉄損と照射面の還流磁区重複幅との関係を示すグラフである。
【図９】磁歪特性と照射面の還流磁区の重複幅との関係を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
本発明に従う方向性電磁鋼板について以下に具体的に説明する。
［成分組成］
本発明において、方向性電磁鋼板用スラブの成分組成は、二次再結晶が生じる成分組成であればよい。また、インヒビターを利用する場合、例えばAlＮ系インヒビターを利用する場合であればAlおよびＮを、またMnＳ・MnSe系インヒビターを利用する場合であればMnとSeおよび／またはＳを適量含有させればよい。勿論、両インヒビターを併用してもよい。この場合におけるAl、Ｎ、ＳおよびSeの好適含有量は、それぞれ、Al：0.01〜0.065質量％、Ｎ：0.005〜0.012質量％、Ｓ：0.005〜0.03質量％、Se：0.005〜0.03質量％である。なお、仕上げ焼鈍においてAl、Ｎ、ＳおよびSeは純化され、製品板においてはそれぞれ不可避的不純物程度の含有量に低減される。
【００２６】
さらに、本発明は、Al、Ｎ、Ｓ、Seの含有量を制限した、インヒビターを使用しない方向性電磁鋼板にも適用することができる。この場合には、Al、Ｎ、ＳおよびSe量はそれぞれ、Al：100質量ppm以下、Ｎ：50質量ppm以下、Ｓ：50質量ppm以下、Se：50質量ppm以下に抑制することが好ましい。
【００２７】
本発明の方向性電磁鋼板用スラブの基本成分および任意添加成分について具体的に述べると次のとおりである。
Ｃ：0.08質量％以下
Ｃは、熱延板組織の改善のために添加をする。しかしながら、0.08質量％を超えると製造工程中に磁気時効の起こらない50質量ppm以下までＣを低減することが困難になる。そのため、Ｃは、0.08質量％以下とすることが好ましい。なお、下限に関しては、Ｃを含まない素材でも二次再結晶が可能であるので特に設ける必要はない。なお、Ｃは脱炭焼鈍により低減され、製品板においては不可避的不純物程度の含有量となる。
【００２８】
Si：2.0〜8.0質量％
Siは、鋼の電気抵抗を高め、鉄損を改善するのに有効な元素であるが、含有量が2.0質量％に満たないと十分な鉄損低減効果が達成できない。一方、その含有量が8.0質量％を超えると加工性が著しく低下し、また磁束密度も低下する。そのため、Si量は2.0〜8.0質量％の範囲とすることが好ましい。
【００２９】
Mn：0.005〜1.0質量％
Mnは、熱間加工性を良好にする上で必要な元素であるが、含有量が0.005質量％未満ではその添加効果に乏しい。一方、その含有量が1.0質量％を超えると製品板の磁束密度が低下する。そのため、Mn量は0.005〜1.0質量％の範囲とすることが好ましい。
【００３０】
上記の基本成分以外に、磁気特性の改善成分として、次に述べる元素を適宜含有させることができる。
Ni：0.03〜1.50質量％、Sn：0.01〜1.50質量％、Sb：0.005〜1.50質量％、Cu：0.03〜3.0質量％、Ｐ：0.03〜0.50質量％、Mo:0.005〜0.10質量％およびCr:0.03〜1.50質量％のうちから選んだ少なくとも１種
Niは、熱延板組織を改善して磁気特性を向上させるために有用な元素である。しかしながら、含有量が0.03質量％未満では磁気特性の向上効果が小さい。一方、その含有量が1.50質量％を超えると二次再結晶が不安定になり磁気特性が劣化する。そのため、Ni量は0.03〜1.50質量％の範囲とするのが好ましい。
【００３１】
また、Sn、Sb、Cu、Ｐ、MoおよびCrはそれぞれ磁気特性の向上に有用な元素であるが、いずれも上記した各成分の下限に満たないと、磁気特性の向上効果が小さい。一方、上記した各成分の上限量を超えると、二次再結晶粒の発達が阻害される。そのため、それぞれ上記の範囲で含有させることが好ましい。
なお、上記成分以外の残部は、Feおよび製造工程において混入する不可避的不純物である。
【００３２】
次に、本発明の方向性電磁鋼板の製造方法について説明する。
［加熱］
上記した成分組成を有するスラブは、常法に従い加熱する。加熱温度は、1150〜1450℃の範囲が好ましい。
【００３３】
［熱間圧延］
上記加熱後に、熱間圧延を行う。鋳造後、加熱せずに直ちに熱間圧延を行ってもよい。薄鋳片の場合には、熱間圧延を行うこととしてもよく、あるいは、熱間圧延を省略してもよい。熱間圧延を実施する場合は、粗圧延最終パスの圧延温度を900℃以上、仕上げ圧延最終パスの圧延温度を700℃以上で実施することが好ましい。
【００３４】
［熱延板焼鈍］
その後、必要に応じて熱延板焼鈍を施す。このとき、製品板において、ゴス組織を高度に発達させるためには、熱延板焼鈍温度として800〜1100℃の範囲が好適である。熱延板焼鈍温度が800℃未満であると、熱間圧延でのバンド組織が残留し、整粒した一次再結晶組織を得ることが困難になり、二次再結晶の発達が阻害される。一方、熱延板焼鈍温度が1100℃を超えると、熱延板焼鈍後の粒径が粗大化しすぎるために、整粒した一次再結晶組織を得ることが極めて困難となる。
【００３５】
［冷間圧延］
その後、１回または中間焼鈍を挟む２回以上の冷間圧延を施す。中間焼鈍温度は800℃以上1150℃以下の範囲が好適である。また、中間焼鈍時間は、10〜100秒程度の範囲とすることが好ましい。
【００３６】
［脱炭焼鈍］
その後、脱炭焼鈍を行う。脱炭焼鈍は、それぞれ、焼鈍温度：750〜900℃、雰囲気酸化性P H2O/P H2：0.25〜0.60および焼鈍時間：50〜300秒程度の範囲とすることが好ましい。
【００３７】
［焼鈍分離剤の塗布］
その後、焼鈍分離剤を塗布する。ここで、焼鈍分離剤は、主成分をMgOとし、塗布量を8〜15g/m2程度の範囲とすることが好適である。
【００３８】
［仕上げ焼鈍］
その後、二次再結晶およびフォルステライト被膜の形成を目的として仕上げ焼鈍を施す。焼鈍温度は1100℃以上、焼鈍時間は30分以上とすることが好ましい。
【００３９】
［平坦化処理および絶縁コーティング］
仕上げ焼鈍後には、平坦化焼鈍を行って形状を矯正することが有効である。平坦化焼鈍は、焼鈍温度：750〜950℃および焼鈍時間：10〜200秒程度の範囲で実施するのが好適である。
なお、本発明では、平坦化焼鈍前または後に、鋼板表面に絶縁コーティングを施す。ここでの絶縁コーティングとは、鉄損低減のために、鋼板に張力を付与するコーティング（張力コーティング）を意味する。張力コーティングとしては、シリカを含有する無機系コーティングを塗布・焼付により形成したものや、セラミックコーティングを物理蒸着法、化学蒸着法等により形成したものが挙げられる。
【００４０】
［磁区細分化処理］
かくして得られた方向性電磁鋼板に、本発明の特徴の１つである磁区細分化処理を施す。磁区細分化処理は歪み導入型と溝形成型の2種類があるが、本発明では歪み導入型の磁区細分化処理を適用する。以下に、この歪み導入型の好適条件について述べる。
【００４１】
［［歪み導入型の磁区細分化処理方法］］
本発明では、歪み導入装置として高エネルギービーム照射装置を用いる。この高エネルギービーム照射装置としては、レーザビームまたは電子ビーム照射装置が挙げられる。これらの装置は、既に幅広く普及しており、本発明では一般的な照射装置を適宜使用することができる。また、レーザの光源としては、レーザ発振形態は連続波レーザ、パルスレーザのいずれもが好適に使用することができ、レーザ媒質はＹＡＧレーザやＣＯ２レーザ等、種類を問わずに使用することができる。特に、電子ビームは、物質を透過する能力が高いので、板厚方向への歪み導入量を大きく変化させることが可能である。そのため、本発明のように３次元的に歪み分布を制御する場合には、歪み分布を好適範囲に制御しやすいので、好適である。
【００４２】
［［装置の台数］］
さまざまな要因によってビーム走査速度やビーム走査幅が制約され、１台の装置ではコイル全面に対して磁区細分化処理を施すことが困難な場合が多々ある。この場合、コイル全面へのビーム照射は、板幅方向に複数台の照射装置を用いて行われることになる。本発明は、かかる複数台の照射装置を用いたときに生じる上記のような課題を解決するものであるため、本発明にかかる磁区細分化処理は、２台以上の複数の装置を用いることが好ましいが、１台の装置でも不連続に照射する場合があれば適用してもよい。
【００４３】
［［歪み導入分布制御方法］］
本発明では、不連続領域付近の歪み導入分布を３次元に把握する方法として、照射面と非照射面の還流磁区の重複割合を使用することが有効であることを見出した。すなわち、不連続領域付近の鉄損・磁歪特性が、不連続領域なしの領域と同レベルになるためには以下の（１）式および（２）式を満足するように、照射面と非照射面の還流磁区重複割合および照射面の還流磁区重複幅、すなわちαおよびβを制御することが重要である。
0.5≦α≦5.0  …  （１）
0.2α≦β≦0.8α  …  （２）
ここで、
αは、高エネルギービーム照射面における、互いに異なる高エネルギービーム照射装置により形成された隣り合う還流磁区のうちより狭い（近い）方の圧延直角方向の長さの重複幅（mm）、またはこの形成された還流磁区の重なっている部分の圧延直角方向の長さ（mm）である。
一方、βは、上記αに対応する重複部分であって、高エネルギービーム非照射面における、互いに異なる高エネルギービーム照射装置により形成され隣り合って重複するまたは重なり合う還流磁区の圧延直角方向の長さ（mm）である。
なお、高エネルギービーム照射装置を３台以上用いた場合、αおよびβは鋼板の圧延直角方向にそれぞれ複数箇所形成されるが、上記βは、上記αの形成により生じた非照射面における重複部分の幅とする。また、照射面における重複幅αは、非照射面における重複幅βより大きくなる。
ここで、本発明の重複幅αは1.0mm以上とすることが好ましい。
【００４４】
上記（１）式および（２）式を満足するように重複幅を制御する方法としては、フォーカスを制御するパラメータをビーム偏向位置に合わせて変更することが好ましい。具体的には、不連続領域付近以外ではジャストフォーカスになるようにパラメータを変化させ、不連続領域付近については、上記重複幅の制御範囲を満足するように変化させればよい。フォーカスの制御パラメータは特に限定されないが、電子ビーム照射の場合は、収束コイルの電流値やスティグメータコイルの電流値変更など、レーザ照射の場合は、ダイナミックフォーカスレンズの位置変更などでそれぞれ行うことができる。
【００４５】
上記スティグメータコイルの電流値等は、本来、電子ビームの収束性を制御するパラメータではなく、ビーム形状を変化させるパラメータである。しかしながら、ビーム形状のアスペクト比を変化させることで、鋼板への歪み導入量が変化する（より効果的に歪みを導入する場合は、真円に近づけることが好ましい）ので、フォーカス調整パラメータとみなすことができる。また、別の方法としてはビーム出力を偏向位置に合わせて変化させることも有効である。具体的には、不連続領域以外の領域では、しっかりと磁区細分化される出力でビーム照射を行い、不連続領域付近ではビーム出力を低い側に変化させることで、照射面と非照射面の還流磁区の圧延直角方向の重複幅（熱影響幅ラップ状態）を制御するというものである。このとき、ビーム出力の制御パラメータは特に限定されないが、例えば、電子ビームでは加速電圧や、ビーム電流等が挙げられ、レーザ照射ではレーザ発振器の制御に用いる電流指令値等が挙げられる。
【００４６】
［［その他の条件］］
鋼板に照射するレーザの平均出力Ｐや、レーザビームの走査速度Ｖ、レーザビーム径ｄなどは特に制限はなく、本発明の上記パラメータを充足するように組み合わせればよいが、磁区細分化効果を十分に得るためには、レーザビームを走査する単位長さ当たりのエネルギー入熱量Ｐ/Ｖは10W・s/mより大きいことが好ましい。
また、鋼板へのレーザ照射は線状に連続照射しても、点列状にパルス照射してもよい。ここで、点列状にパルス照射する場合には、パルス間隔として0.01〜1.00mmが好適である。また、点列状にパルス照射する場合には、これにより形成される複数の点列から１つの還流磁区が形成される。なお、レーザビームによる照射痕の方向は、鋼板の圧延直角方向に対して30°以内の角度をなす方向である。
【００４７】
一方、電子ビームを照射する場合は、加速電圧Ｅ、ビーム電流Ｉ、ビーム速度Ｖに特に制限はなく、本発明の上記パラメータを充足するように組み合わせればよいが、磁区細分化効果を十分に得るためには、ビームを走査する単位長さ当たりのエネルギー入熱量（Ｅ×Ｉ/Ｖ）は10W・s/mより大きいことが好ましい。また、電子ビーム照射時の真空度は2Pa以下であることが望ましい。これより真空度が悪い（2Paを超える）場合、電子銃から鋼板までの間に存在する残存ガスによって、電子ビームの品質が劣化し、鋼板に導入されるエネルギーが小さくなって、期待通りの磁区細分化効果が得られなくなるためである。
なお、電子ビームによる照射痕の方向は、鋼板の圧延直角方向に対して30°以内の角度をなす方向である。
【００４８】
レーザおよび電子ビームのスポット径は、0.01〜0.3mm程度とし、圧延方向の繰り返し間隔は装置毎に3〜15mm程度、照射方向は、鋼板の圧延方向に対して、60〜120°が好ましく、より好ましくは85〜95°をなす方向であることが好ましい。なお、鋼板に付与される歪み深さは10〜40μm程度とするのが好適である。
上述した以外のその他の製造条件は、方向性電磁鋼板の一般的な製造方法に従えばよい。
【実施例】
【００４９】
（実施例１）
Ｃ：0.04質量％、Si：3.8質量％、Mn：0.1質量％、Ni：0.1質量％、Al：280質量ppm、Ｎ：100質量ppm、Se：120質量ppmおよびＳ：5質量ppmを含有し、残部はFeおよび不可避的不純物の組成になる鋼スラブを、連続鋳造にて製造し、1430℃に加熱後、熱間圧延により板厚：2.0mmの熱延板としたのち、1100℃で20秒の熱延板焼鈍を施した。ついで、冷間圧延により中間板厚：0.40mmとし、雰囲気酸化性PH2O/PH2=0.40、温度：100℃、時間：70秒の条件で中間焼鈍を実施した。その後、塩酸酸洗により表面のサブスケールを除去したのち、再度、冷間圧延を実施して、板厚：0.18mmの冷延板とした。【００５０】
ついで、雰囲気酸化性PH2O/PH2=0.44、均熱温度820℃で300秒間保持する脱炭焼鈍を施し、その後、MgOを主成分とする焼鈍分離剤を塗布し、二次再結晶・フォルステライト被膜形成および純化を目的とした仕上げ焼鈍を1160℃、10hr保定の条件で実施した。そして、60％のコロイダルシリカとリン酸アルミニウムからなる絶縁コーティングを塗布、850℃にて焼付けた。このコーティング塗布処理は、平坦化焼鈍も兼ねている。その後、圧延方向と直角にレーザビームを照射し、非耐熱磁区細分化処理を実施した。非耐熱磁区細分化の処理条件は、コイル幅1200mmに対してレーザ照射装置を6台使用（偏向距離は等分割）、レーザの光源は連続レーザ、平均出力150W、ビーム径200μm、走査速度10m/sec、照射線間隔3.5mm、で行った。【００５１】
不連続領域の周辺の導入歪み量の制御は、フォーカスコイルの位置を偏向位置（ビームの（板幅方向の）照射位置）に合わせてダイナミックに変更すなわち、連続的にフォーカスコイルの位置を各照射場所に応じて変化させてフォーカスを変更させることで実施した。より具体的には、幅方向200mmにわたる鋼板の各照射場所に応じてフォーカス条件を決定しておき、ビームが連続的に幅方向に偏向するのに合わせて、各照射場所のフォーカスを決定した条件に連続的に変更させた。不連続領域以外の領域では、ジャストフォーカスになるようにフォーカスコイルの位置を制御し、不連続領域の周辺では、アンダーフォーカス（焦点が最もあっている場所（収束位置）が鋼板よりも板厚方向の上方に存在しており、鋼板が配置されている位置では焦点がずれた（歪みが導入されにくい）状態）〜ジャストフォーカス〜アッパーフォーカス（焦点が最もあっている場所が鋼板よりも板厚方向の下方に存在しており、鋼板部では焦点がずれた（歪みが導入されにくい）状態）まで様々なフォーカス状態になるように、位置設定を変化させた。これによって、不連続領域の周辺の導入歪み量（歪み分布）が異なる試験材を作製した。次いで、不連続領域を含む100mm幅試験材および不連続領域を含まない100mm幅サンプルを採取し、1.7T、50Hzの鉄損特性および1.5T、50Hzの磁歪振動加速度レベルを評価した。【００５２】
表１にビーム照射面の還流磁区重複幅（ＴＤ方向）および照射面と非照射面の還流磁区重複割合、鉄損特性そして磁歪特性を示す。本発明の範囲内に制御された不連続領域を有するサンプルでは、不連続領域がないサンプルと同程度若しくはそれ以上の鉄損特性と磁歪特性が得られ、鉄損特性と磁歪特性が両立していることが分かる。また、No.11、16、20、24、28、29〜36では、歪み導入量制御が不十分で、鉄損特性は良好であるが、歪み感受性の高い磁歪特性を制御しきれておらず、鉄損特性と磁歪特性が両立していないことが分かる。【００５３】
【表１】
0006432713.tif 000002
【００５４】
（実施例２）
Ｃ：0.05質量％、Si：3.0質量％、Mn：0.5質量％、Ni：0.01質量％、Al：60質量ppm、Ｎ：33質量ppm、Se：10質量ppmおよびＳ：10質量ppmを含有し、残部はFeおよび不可避的不純物の組成になる鋼スラブを、連続鋳造にて製造し、表２に示す鋼スラブを連続鋳造にて製造し、1200℃に加熱した後、熱間圧延により板厚2.7mmの熱延板に仕上げ、950℃で180秒間保持する熱延板焼鈍を施した。ついで、冷間圧延により板厚0.23mmの冷延板とした。【００５５】
ついで、雰囲気酸化性PH2O/PH2=0.58、均熱温度820℃で300秒間保持する脱炭焼鈍を施し、その後、MgOを主成分とする焼鈍分離剤を塗布し、二次再結晶・フォルステライト被膜形成および純化を目的とした仕上げ焼鈍を1250℃、100hr保定の条件で実施した。そして、60％のコロイダルシリカとリン酸アルミニウムからなる絶縁コーティングを塗布、800℃にて焼付けた。このコーティング塗布処理は、平坦化焼鈍も兼ねている。その後、圧延方向と直角に電子ビームを照射し、非耐熱磁区細分化の処理を実施した。非耐熱磁区細分化の処理条件は、コイル幅1200mmに対して電子ビーム照射装置を8台使用（偏向距離は等分割）、加速電圧200kVビーム電流9mA、ビーム径80μm、走査速度100m/sec、照射線間隔5.5mm、で行った。【００５６】
不連続領域の周辺の導入歪み量制御（フォーカス制御）は、収束コイル、またはスティグメータコイルの電流値をダイナミックに変更させる、すなわち、連続的に、制御を行うコイルの電流値を各照射場所に応じて変化させてフォーカスを変更させることで実施した。不連続領域以外の領域では、ジャストフォーカス（歪みが最も導入しやすい条件）になるように電流値を設定し、不連続領域の周辺では、歪み導入状況を変化させるためにジャストフォーカス条件だけでなく、さまざまな電流値を設定した。次いで、不連続領域を含む100mm幅試験材および不連続領域を含まない100mm幅試験材を採取し、1.7T、50Hzの鉄損特性および1.5T、50Hzの磁歪振動加速度レベルを評価した。【００５７】
表２にビーム照射面の還流磁区重複幅（ＴＤ方向）および照射面と非照射面の還流磁区重複割合、鉄損特性そして磁歪特性を示す。本発明の範囲内に制御された不連続領域を有するサンプルは、不連続領域がないサンプルと同程度若しくはそれ以上の鉄損特性と磁歪特性が得られ、鉄損特性と磁歪特性が両立していることが分かる。また、No.9、13、17、18〜21では、歪み導入量制御が不十分で、鉄損特性は良好であるが、歪み感受性の高い磁歪特性を制御しきれておらず、鉄損特性と磁歪特性が両立していないことが分かる。【００５８】
【表２】
0006432713.tif 000003
【００５９】
（実施例３）
Ｃ：0.01質量％、Si：3.5質量％、Mn：0.15質量％、Ni：0.05質量％、Al：270質量ppm、Ｎ：100質量ppm、Se：5質量ppm、およびＳ：60質量ppmを含有し、残部はFeおよび不可避的不純物の組成になる鋼スラブを、連続鋳造にて製造し、1380℃に加熱した後、熱間圧延により板厚1.8mmの熱延板に仕上げ、1100℃で180秒間保持する熱延板焼鈍を施した。ついで、冷間圧延により板厚0.27mmの冷延板とした。【００６０】
ついで、雰囲気酸化性PH2O/PH2=0.45、均熱温度860℃で100秒保持する脱炭焼鈍を施し、その後、MgOを主成分とする焼鈍分離剤を塗布し、二次再結晶・フォルステライト被膜形成および純化を目的とした仕上げ焼鈍を1200℃、60hr保定の条件で実施した。そして、40％のコロイダルシリカとリン酸アルミニウムからなる絶縁コーティングを塗布、820℃にて焼付けた。このコーティング塗布処理は、平坦化焼鈍も兼ねている。その後、圧延方向と直角に電子ビームを照射し、非耐熱磁区細分化処理を実施した。非耐熱磁区細分化の処理条件は、コイル幅1200mmに対して電子ビーム照射装置を８台使用（偏向距離は等分割）、加速電圧60kV、ビーム径300μm、走査速度20m/sec、照射線間隔8mmで行った。【００６１】
不連続領域の周辺の導入歪み量制御は、ビーム電流を偏向位置によってダイナミックに変更させることで実施した。具体的には、不連続領域以外の領域では、ビーム電流を6mAとした。不連続領域の周辺に関しては、偏向終了時のビーム電流値を設定し、ラップ部（還流磁区重複部）に到達した段階で、不連続領域以外の設定電流値より、偏向終了時のビーム電流までリニアに変動させることで実施した。偏向終了時のビーム電流をさまざまに変更することで、不連続領域の周辺の歪み分布を変更することが可能になる。次いで、不連続領域を含む100mm幅試験材および不連続領域を含まない100mm幅試験材を採取し、1.7T、50Hzの鉄損特性および1.5T、50Hzの磁歪振動加速度レベルを評価した。【００６２】
表３にビーム照射面の還流磁区重複幅（ＴＤ方向）および照射面と非照射面の還流磁区重複割合、鉄損特性そして磁歪特性を示す。本発明の範囲内に制御された不連続領域を有するサンプルでは、不連続領域がないサンプルと同程度若しくはそれ以上の鉄損特性と磁歪特性が得られ、鉄損特性と磁歪特性が両立していることが分かる。【００６３】
【表３】
0006432713.tif 000004
【符号の説明】
【００６４】
１  還流磁区
２  還流磁区Ａ
３  還流磁区Ａに対して隣り合う還流磁区
【要約】
本発明に従い、鋼板の圧延直角方向に対して30°以内の向きに、不連続領域を部分的に有しながら延びる、還流磁区を有し、前記鋼板の一方の面における前記不連続領域での還流磁区の重複部の圧延直角方向の長さαが前記鋼板の他方の面における前記重複部の圧延直角方向の長さβより長く、前記長さαが0.5≦α≦5.0を満足し、前記長さβが0.2α≦β≦0.8αを満足することで、複数の照射装置で磁区細分化処理を行ったときに不可避的に生じる不連続領域について、鉄損と磁歪特性の劣化を抑制することができる。【図１】
0006432713.tif 000005
【図２】
0006432713.tif 000006
【図３】
0006432713.tif 000007
【図４】
0006432713.tif 000008
【図５】
0006432713.tif 000009
【図６】
0006432713.tif 000010
【図７】
0006432713.tif 000011
【図８】
0006432713.tif 000012
【図９】
0006432713.tif 000013