(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｆｅ−Ｃｏ合金磁性相の周囲にＳｉを含有する非磁性相を有する粒子からなる平均粒子径１００ｎｍ以下の金属磁性粉末であって、ＦｅとＣｏの総量に対するＳｉ含有量が２.０〜１５.０モル％であり、当該金属磁性粉末とエポキシ樹脂を９０：１０の質量割合で混合して作製した成形体を磁気測定および誘電測定に供したとき、１ＧＨｚにおいて、複素比透磁率の実数部μ’が２.５０以上、かつ前記μ’と複素比誘電率の実数部ε’の比で表されるμ’／ε’比が０.２５以上１.０未満となる性質を有する金属磁性粉末。
【請求項２】
Ｆｅ−Ｃｏ合金磁性相の周囲にＳｉを含有する非磁性相を有する粒子からなる平均粒子径１００ｎｍ以下の金属磁性粉末であって、ＦｅとＣｏの総量に対するＳｉ含有量が２.０〜１５.０モル％であり、保磁力Ｈｃが７９.６ｋＡ／ｍ以下、飽和磁化σｓが１４７Ａｍ2／ｋｇ以上である粉末磁気特性を有し、当該金属磁性粉末とエポキシ樹脂を９０：１０の質量割合で混合して作製した成形体を磁気測定および誘電測定に供したとき、１ＧＨｚにおいて、複素比透磁率の実数部μ’が２.５０以上、かつ前記μ’と複素比誘電率の実数部ε’の比で表されるμ’／ε’比が０.２５以上１.０未満となる性質を有する金属磁性粉末。
【請求項３】
Ｆｅ−Ｃｏ合金磁性相の周囲にＳｉを含有する非磁性相を有する粒子からなる平均粒子径１００ｎｍ以下の金属磁性粉末であって、ＦｅとＣｏの総量に対するＳｉ含有量が２.０〜１５.０モル％であり、保磁力Ｈｃが５９.５ｋＡ／ｍ以下、飽和磁化σｓが１５３Ａｍ2／ｋｇ以上である粉末磁気特性を有し、当該金属磁性粉末とエポキシ樹脂を９０：１０の質量割合で混合して作製した成形体を磁気測定および誘電測定に供したとき、１ＧＨｚにおいて、複素比透磁率の実数部μ’が２.５０以上、かつ前記μ’と複素比誘電率の実数部ε’の比で表されるμ’／ε’比が０.２５以上１.０未満となる性質を有する金属磁性粉末。
【請求項４】
前記成形体を磁気測定および誘電測定に供したとき、１ＧＨｚにおいて、透磁率の損失係数ｔａｎδ（μ）が０.０５未満となる性質を有する請求項１〜３のいずれか１項に記載の金属磁性粉末。
【請求項５】
ＪＩＳ  Ｋ６９１１に準拠した二重リング電極方法により、金属磁性粉末１.０ｇを電極間に挟んで２５ＭＰａ（８ｋＮ）の垂直荷重を付与しながら印加電圧１０Ｖにて測定した場合の体積抵抗率が１.０×１０8Ω・ｃｍ以上である請求項１〜４のいずれか１項に記載の金属磁性粉末。
【請求項６】
ＦｅイオンおよびＣｏイオンを含む水溶液に酸化剤を導入して、ＦｅおよびＣｏを成分に持つ前駆体を析出成長させる工程（前駆体形成工程）、
前記前駆体を含む水溶媒中に水溶性のケイ素化合物を添加して混合し、Ｓｉ含有物質を被着した前駆体（以下「Ｓｉ被着前駆体」という）を得る工程（前駆体へのＳｉ被着工程）、
Ｓｉ被着前駆体の乾燥物を還元性ガス雰囲気中で２５０〜６５０℃に加熱することにより、Ｆｅ−Ｃｏ合金磁性相を持つ金属粉末を得る工程（還元工程）、
還元後の金属粉末を酸化雰囲気中２０〜３００℃に保持して金属粉末粒子表層部の酸化反応を進行させ、Ｓｉ酸化物を含む酸化物被覆層を有する粒子で構成される金属粉末を得る工程（徐酸化工程）、
Ｓｉ酸化物を含む酸化物被覆層を有する粒子で構成される金属粉末に対して、還元性ガス雰囲気中での２５０〜６５０℃の加熱処理と、それに続く前記徐酸化工程に従う処理を１回以上実施する工程（還元・徐酸化反復工程）、
を有する金属磁性粉末の製造方法。
【請求項７】
ＦｅイオンおよびＣｏイオンを含む水溶液に酸化剤を導入して、ＦｅおよびＣｏを成分に持つ前駆体を析出成長させる工程（前駆体形成工程）、
前駆体の乾燥物を還元性ガス雰囲気中で２５０〜６５０℃に加熱することにより、Ｆｅ−Ｃｏ合金磁性相を持つ金属粉末を得る工程（還元工程）、
還元後の金属粉末を酸化雰囲気中２０〜３００℃に保持して金属粉末粒子表層部の酸化反応を進行させ、酸化物被覆層を有する粒子で構成される金属粉末を得る工程（徐酸化工程）、
前記酸化物被覆層を有する粒子で構成される金属粉末に対して、還元性ガス雰囲気中での２５０〜６５０℃の加熱処理と、それに続く前記徐酸化工程に従う処理を１回以上実施する工程（還元・徐酸化反復工程）、
還元・徐酸化反復工程後の金属粉末と水溶性のケイ素化合物を水溶媒中で混合することにより、粉末粒子表面にＳｉ含有物質を被着させる工程（金属粉へのＳｉ被着工程）
を有する金属磁性粉末の製造方法。
【請求項８】
前駆体形成工程において、ＦｅイオンおよびＣｏイオンが存在しており、更に希土類元素（Ｙも希土類元素として扱う）、Ａｌ、Ｍｇの１種以上が存在している水溶液に酸化剤を導入して、ＦｅおよびＣｏ、並びに希土類元素、Ａｌ、Ｍｇの１種以上を成分に持つ前駆体を析出成長させる請求項６または７に記載の金属磁性粉末の製造方法。
【請求項９】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の金属磁性粉末を使用して形成されたアンテナ。
【請求項１０】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の金属磁性粉末を樹脂組成物と混合した成形体を構成部材に有する周波数４３０ＭＨｚ以上の電波を受信、送信または送受信するアンテナ。
【請求項１１】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の金属磁性粉末を使用して形成されたインダクタ。
【請求項１２】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の金属磁性粉末を使用して形成されたＥＭＩフィルタ。
【請求項１３】
Ｆｅ−Ｃｏ合金磁性相の周囲にＳｉを含有する非磁性相を有する粒子からなる平均粒子径１００ｎｍ以下の金属磁性粉末であって、ＦｅとＣｏの総量に対するＳｉ含有量が２.０〜１５.０モル％であり、保磁力Ｈｃが５９.５ｋＡ／ｍ以下、飽和磁化σｓが１５３Ａｍ2／ｋｇ以上である粉末磁気特性を有する金属磁性粉末。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、数百ＭＨｚ〜数ＧＨｚ帯域で使用されるデバイス（電子部品）の構成材料として有用な金属磁性粉末、およびその製造方法に関する。また、その金属磁性粉末を用いたデバイスに関する。上記デバイスの代表例として、アンテナ、インダクタ、ＥＭＩフィルタが挙げられる。
【背景技術】
【０００２】
近年、各種携帯端末をはじめ、数百ＭＨｚ〜数ＧＨｚの電波を通信手段に用いる電子機器が普及している。これらの機器に適した小型アンテナとして、金属磁性粉末を樹脂で固めた成形体と、薄い板状の放射体とを組み合わせたタイプの平面アンテナが知られている。ある周波数に適合するアンテナ長は、比透磁率の実数部μ’と比誘電率の実数部ε’の積（μ’×ε’）の１／２乗に反比例することから、アンテナの小型化を図るためには、使用される周波数域で高いμ’が得られる磁性材料を選択することが有利である。このような観点から、ＧＨｚ域の周波数に対応する小型アンテナ用の磁性材料として、金属Ｆｅや金属Ｃｏを主体とする金属磁性粉末が提案されている（特許文献１〜３）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−９６９２３号公報
【特許文献２】特開２０１０−１０３４２７号公報
【特許文献３】特開２０１３−２３６０２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
アンテナ用磁性材料の特性として、アンテナの小型化を図る上では上述のようにμ’が大きいことが有利となる。また、磁性体の損失を低減する上で損失係数ｔａｎδ（μ）、ｔａｎδ（ε）が小さいことが望ましい。さらに、リターンロス（反射損失）を低減する観点からはμ’／ε’比ができるだけ１に近づいて大きいことが望ましい。しかしながら、金属磁性粉末においてこれら全ての特性を同時に向上させることは容易でない。例えば、特許文献１、２に開示の金属磁性粉末では高いμ’が得られ、それに伴ってμ’／ε’比も比較的良好であるが、損失係数ｔａｎδ（μ）が大きい。特許文献３に開示の金属磁性粉末はｔａｎδ（μ）が小さく、磁気損失の低減が図られたが、この文献にμ’／ε’比を改善する手法は開示されておらず、磁気損失低減とリターンロス低減を高レベルで両立させるには至っていない。
【０００５】
本発明は、樹脂と混合した成形体において、高いμ’を維持した状態で、リターンロスの指標であるμ’／ε’比の向上、および磁気損失の指標であるｔａｎδ（μ）の低減をハイレベルで両立させることができる金属磁性粉末を提供することを目的とする。また、そのような金属磁性粉末を安定して製造する技術を提供することを目的とする。μ’／ε’比の向上やｔａｎδ（μ）の低減は、アンテナのみならず、インダクタ、ＥＭＩフィルタ等のデバイスにおいても有効となる。これは、インダクタ、ＥＭＩフィルタ等のデバイスでは、高いμ’を維持しつつε’を低減することが、浮遊容量に起因する損失を低減させるために有効となるためである。本発明では、上記特性が改善された材料で構成されるアンテナ、インダクタ、ＥＭＩフィルタを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明では、Ｆｅ−Ｃｏ合金磁性相の周囲にＳｉを含有する非磁性相を有する粒子からなる平均粒子径１００ｎｍ以下の金属磁性粉末であって、ＦｅとＣｏの総量に対するＳｉ含有量が２.０〜１５.０モル％であり、保磁力Ｈｃが７９.６ｋＡ／ｍ以下好ましくは５９.５ｋＡ／ｍ以下、飽和磁化σｓが１４７Ａｍ2／ｋｇ以上好ましくは１５３Ａｍ2／ｋｇ以上である粉末磁気特性を有する金属磁性粉末が提供される。この金属磁性粉末は、当該金属磁性粉末とエポキシ樹脂を９０：１０の質量割合で混合して作製した成形体を磁気測定および誘電測定に供したとき、１ＧＨｚにおいて、複素比透磁率の実数部μ’が２.５０以上、かつ前記μ’と複素比誘電率の実数部ε’の比で表されるμ’／ε’比が０.２５以上１.０未満となる性質を有する。また、前記成形体の前記磁気測定において、透磁率の損失係数ｔａｎδ（μ）が０.０５未満となる性質を有する。ここで、複素比透磁率の虚数部をμ”とするとき、損失係数ｔａｎδ（μ）＝μ”／μ’である。上記磁気測定および誘電測定に供する成形体の樹脂としては、エポキシ樹脂を適用すればよい。
【０００７】
上記金属磁性粉末の製造方法として、ＦｅイオンおよびＣｏイオンを含む水溶液に酸化剤を導入して、ＦｅおよびＣｏを成分に持つ前駆体を析出成長させる工程（前駆体形成工程）、
前記前駆体を含む水溶媒中に水溶性のケイ素化合物を添加して混合し、Ｓｉ含有物質を被着した前駆体（以下「Ｓｉ被着前駆体」という）を得る工程（前駆体へのＳｉ被着工程）、
Ｓｉ被着前駆体の乾燥物を還元性ガス雰囲気中で２５０〜６５０℃に加熱することにより、Ｆｅ−Ｃｏ合金磁性相を持つ金属粉末を得る工程（還元工程）、
還元後の金属粉末を酸化雰囲気中２０〜３００℃に保持して金属粉末粒子表層部の酸化反応を進行させ、Ｓｉ酸化物を含む酸化物被覆層を有する粒子で構成される金属粉末を得る工程（徐酸化工程）、
Ｓｉ酸化物を含む酸化物被覆層を有する粒子で構成される金属粉末に対して、還元性ガス雰囲気中での２５０〜６５０℃の加熱処理と、それに続く前記徐酸化工程に従う処理を１回以上実施する工程（還元・徐酸化反復工程）、
を有する製造方法が提供される。
【０００８】
また本発明では、ＦｅイオンおよびＣｏイオンを含む水溶液に酸化剤を導入して、ＦｅおよびＣｏを成分に持つ前駆体を析出成長させる工程（前駆体形成工程）、
前駆体の乾燥物を還元性ガス雰囲気中で２５０〜６５０℃に加熱することにより、Ｆｅ−Ｃｏ合金磁性相を持つ金属粉末を得る工程（還元工程）、
還元後の金属粉末を酸化雰囲気中２０〜３００℃に保持して金属粉末粒子表層部の酸化反応を進行させ、酸化物被覆層を有する粒子で構成される金属粉末を得る工程（徐酸化工程）、
前記酸化物被覆層を有する粒子で構成される金属粉末に対して、還元性ガス雰囲気中での２５０〜６５０℃の加熱処理と、それに続く前記徐酸化工程に従う処理を１回以上実施する工程（還元・徐酸化反復工程）、
還元・徐酸化反復工程後の金属粉末と水溶性のケイ素化合物を水溶媒中で混合することにより、粉末粒子表面にＳｉ含有物質を被着させる工程（金属粉へのＳｉ被着工程）
を有する金属磁性粉末の製造方法が提供される。
【０００９】
上記の前駆体は、オキシ水酸化鉄構造あるいはオキシ水酸化鉄のＦｅサイトの一部をＣｏで置換した構造を持つ。徐酸化工程における前記酸化雰囲気中での処理は、例えば還元後の金属粉末が曝される雰囲気を不活性ガス雰囲気としたのち、当該雰囲気中の酸素濃度を増大させながら２０〜３００℃で金属粉末粒子表層部の酸化反応を進行させる手法が適用できる。
【００１０】
上記の前駆体形成工程において、ＦｅイオンおよびＣｏイオンが存在しており、更に希土類元素（Ｙも希土類元素として扱う）、Ａｌ、Ｍｇの１種以上が存在している水溶液に酸化剤を導入して、ＦｅおよびＣｏ、並びに希土類元素、Ａｌ、Ｍｇの１種以上を成分に持つ前駆体を析出成長させるようにしてもよい。
【００１１】
また、本発明では、上記金属磁性粉末を使用して形成されたアンテナ、インダクタ、ＥＭＩフィルタが提供される。アンテナとしては、例えば上記の金属磁性粉末を樹脂組成物と混合した成形体を構成部材に有する周波数４３０ＭＨｚ以上の電波を受信、送信または送受信するものが特に好適な対象となる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、磁気損失の低減とリターンロスの低減を高レベルで両立させることのできる磁性粉末が提供された。本発明は、数百ＭＨｚから数ＧＨｚ帯域で使用されるアンテナの小型化、高性能化に寄与しうる。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
発明者らは詳細な研究の結果、前駆体を還元焼成して金属磁性粉を得るに際し、
（i）還元焼成前の前駆体に適正量のＳｉ含有物質を被着させておくこと、
（ii）還元焼成後に、徐酸化処理を、途中に還元処理を挟んで繰り返して実施すること、
によって、当該金属磁性粉末を樹脂に混合して得られる成形体において、数百ＭＨｚから数ＧＨｚの周波数域で比誘電率の実数部ε’を低くすることができ、かつ保磁力Ｈｃを下げながら、飽和磁化σｓを向上させることが可能となることにより、当該金属磁性粉末を樹脂に混合して得られる成形体において、数百ＭＨｚから数ＧＨｚの周波数域で比透磁率の実数部μ’が大きく増大し、その結果、μ’／ε’比が増大することを見出した。μ’／ε’比はリターンロスの指標となるパラメータであり、μ’／ε’比の増大はリターンロスの低下を意味する。上記（i）の手法がε’の低下をもたらし、（ii）の手法がσｓの向上によるμ’の向上をもたらす。（ii）の手法がσｓの向上をもたらすメカニズムは現時点で未解明であるが、以下のようなことが考えられる。易酸化性元素であるＳｉは、ＦｅやＣｏなどの金属元素と比べ途中の還元処理でも酸化物として残存しやすい。還元処理と徐酸化処理を繰り返すことにより、粒子表層部の酸化皮膜は次第に非磁性成分であるＳｉ酸化物に富んだ安定した皮膜に改質され、粒子内部は強磁性成分であるＦｅ−Ｃｏ合金に富んだ相に改質されると考えられる。これらの現象が磁気特性の改善に影響しているのではないかと推察される。また、上記（i）（ii）の手法は、上記成形体の損失係数ｔａｎδ（μ）を低く維持する上でも有効であることがわかった。
【００１４】
また、前駆体を（ii）の手法によって金属に還元した後に、金属粉末粒子表面にＳｉ含有物質を被着させる手法も、ε’を低くするうえで有効であり、かつ保磁力Ｈｃを下げながら飽和磁化σｓを向上させ、μ’／ε’比を増大させるうえで有効であることがわかった。この場合、上記（i）の手法（前駆体へのＳｉ被着）は省略してもよい。
【００１５】
《金属磁性粉末》
本発明に従う金属磁性粉末は、Ｆｅ−Ｃｏ合金磁性相の周囲にＳｉを含有する非磁性相の被覆層を有する平均粒子径１００ｎｍ以下の粒子からなる。
〔化学組成〕
ＦｅとＣｏの総量に対するＳｉ含有量（Ｓｉ／（Ｆｅ＋Ｃｏ）モル比）は２.０〜１５.０モル％の範囲に調整されている必要がある。Ｓｉは上述のようにμ’／ε’比を向上させる作用を発揮する。またＳｉが濃化した被覆層は金属磁性粉末の電気抵抗を増大させ、渦電流損に起因するｔａｎδ（μ）を低く維持するうえで有効となる。Ｓｉ含有量が低すぎるとμ’／ε’比の向上作用が十分に発揮されず、リターンロス低減効果が得られない。Ｓｉ含有量が過剰になると非磁性成分の増大に伴い透磁率が低下する。なお、従来から金属磁性粉末には、焼結防止や絶縁性付与などの目的でＡｌを添加することがある。ＡｌとＳｉはともに易酸化性元素である点で共通する。しかし、上述のｔａｎδ（μ）を低く維持しつつ、μ’／ε’比を向上させる効果はＡｌ添加によっては顕在化せず、Ｓｉ添加に特有の効果であるといえる。
【００１６】
Ｆｅに対するＣｏの含有量（Ｃｏ／Ｆｅモル比）は５〜５５モル％であることが好ましい。
Ｆｅ、Ｃｏ、Ｓｉ以外の金属元素として、希土類元素（Ｙも希土類元素として扱う）、Ａｌ、Ｍｇの１種以上を含有することができる。希土類元素、Ａｌ、Ｍｇは、従来公知の金属磁性粉末の製造工程において必要に応じて添加されるものであり、本発明においてもこれらの元素の含有が許容される。ＦｅとＣｏの総量に対して、希土類元素は１０モル％以下、Ａｌは２０モル％以下、Ｍｇは２０モル％以下の範囲で含有させることが望ましい。また、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｓｉ以外の金属元素の総量はＦｅとＣｏの総量に対して２０.０モル％以下とすることが望ましく、１５.０モル％以下とすることがより好ましい。
【００１７】
〔粒子径〕
金属磁性粉末を構成する粒子の粒子径は、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）観察により求めることができる。ＴＥＭ画像上である粒子を取り囲む最小円の直径をその粒子の径（長径）と定める。その径は、金属コアの周囲を覆う被覆層を含めた径を意味する。ランダムに選択した３００個の粒子について径を測定し、その平均値を当該金属磁性粉末の平均粒子径とすることができる。本発明では、平均粒子径が１００ｎｍ以下のものを対象とする。平均粒子径が１００ｎｍを超えると渦電流損が増大し、ｔａｎδ（μ）が増大するため好ましくない。平均粒子径は７０ｎｍ以下であることが好ましく、５０ｎｍ以下であることがより好ましい。一方、平均粒子径が１０ｎｍ未満の超微細粉末は、製造コストの上昇や取り扱い性の低下を伴うので、通常、平均粒子径は１０ｎｍ以上とすればよい。平均粒子径は１５ｎｍ以上であることが好ましく、２０ｎｍ以上であることがより好ましい。ＴＥＭ画像上のある粒子について、長径に対して直角方向に測った最も長い部分の長さを短径と呼び、長径／短径の比を軸比と呼ぶ。上記３００個の粒子についての長径の平均値（すなわち平均粒子径）を平均長径、短径の平均値を平均短径と呼ぶとき、平均長径／平均短径で表される平均軸比は、通常、１.０〜２.５の範囲となる。
【００１８】
〔粉末の磁気特性〕
粉末の磁気特性としては、本発明で対象とするアンテナ用途の場合、保磁力Ｈｃは大きいほどｔａｎδ（μ）が小さくなるため望ましいが、大きすぎるとμ’が低下するため、７９.６ｋＡ／ｍ以下であることが望ましく、通常、３９.８〜７９.６ｋＡ／ｍであればよい。３９.８〜７１.６ｋＡ／ｍであることがより望ましい。飽和磁化σｓは大きいほどμ’が大きくなるため有利となる。種々検討の結果、σｓは１４７Ａｍ2／ｋｇ以上であることが望ましく、通常、１４７〜１７０Ａｍ2／ｋｇであれば実用範囲内である。σｓが１４７Ａｍ2／ｋｇを下回るとμ’の低下が大きくなり、アンテナに使用した際に顕著な小型化を図ることが難しくなる。Ｓｉ酸化物を含む酸化物被覆層を有し、かつＳｉ／（Ｆｅ＋Ｃｏ）モル比が上述のように調整されている金属磁性粉末において、上記のような保磁力Ｈｃおよび飽和磁化σｓを有するものは、後述の成形体評価により、μ’が大きく、リターンロスが小さく、磁気損失が小さい、アンテナに好適な磁気特性が得られる。
【００１９】
その他の粉末特性として、ＢＥＴ比表面積は３０〜１００ｍ2／ｇ、ＴＡＰ密度は０.８〜１.５ｇ／ｃｍ3、角形比ＳＱは０.３〜０.６、ＳＦＤは３.５以下の範囲にそれぞれあることが好ましい。耐候性については、金属磁性粉末を温度６０℃、相対湿度９０％の空気環境に１週間保持する試験前後のσｓの変化量率を表すΔσｓは２０％以下であることが好ましい。ここで、Δσｓ（％）は（試験前のσｓ−試験後のσｓ）／試験前のσｓ×１００によって算出される。絶縁性については、ＪＩＳ  Ｋ６９１１に準拠した二重リング電極方法により、金属磁性粉末１.０ｇを電極間に挟んで２５ＭＰａ（８ｋＮ）の垂直荷重を付与しながら印加電圧１０Ｖにて測定した場合の体積抵抗率が１.０×１０10Ω・ｃｍ以上であることが好ましい。
【００２０】
〔透磁率・誘電率〕
本発明に従う金属磁性粉末の交流磁気・誘電特性は、当該金属磁性粉末とエポキシ樹脂を９０：１０の質量割合で混合して作製した成形体の磁気特性によって評価される。この成形体による１ＧＨｚにおいて、複素比透磁率の実数部μ’が２.５０以上、かつ前記μ’と複素比誘電率の実数部ε’の比で表されるμ’／ε’比が０.２５以上となる性質を有する金属磁性粉末は、透磁率が高いため十分な小型化効果を発揮することができ、かつリターンロスの小さいアンテナの構築に極めて有用である。μ’／ε’比はできるだけ１.０に近い大きい値を示すことが望ましいが、通常、０.５０以下の範囲であれば十分であり、０.４０以下であっても構わない。
また、２ＧＨｚにおいて、複素比透磁率の実数部μ’が２.６０以上、かつ前記μ’と複素比誘電率の実数部ε’の比で表されるμ’／ε’比が０.２７以上となる性質を有することがより好ましい。さらに、３ＧＨｚにおいて、複素比透磁率の実数部μ’が２.７０以上、かつ前記μ’と複素比誘電率の実数部ε’の比で表されるμ’／ε’比が０.２８以上となる性質を有することがより好ましい。
磁気損失については、この成形体による１ＧＨｚのｔａｎδ（μ）が０.０５０以下であることが好ましく、０.０２０以下であることがより好ましい。また、２ＧＨｚのｔａｎδ（μ）が０.１０以下であることがより好ましく、３ＧＨｚのｔａｎδ（μ）が０.２０以下であることがさらに好ましい。これらのｔａｎδ（μ）は小さければ小さいほど好ましいが、通常０.００５以上の範囲で調整されていればよい。
【００２１】
《製造方法》
リターンロスの低減および磁気損失の低減を上記のように高レベルで両立させることのできる金属磁性粉末は、以下のような工程で製造することができる。
〔前駆体形成工程〕
鉄イオンを含有する水溶液に酸化剤を導入してオキシ水酸化鉄の核晶を生成および成長させる。鉄イオンを含有する水溶液としては、水溶性の鉄化合物（硫酸鉄、硝酸鉄、塩化鉄など）を、水酸化アルカリ（ＮａＯＨ、ＫＯＨなど）水溶液や炭酸アルカリ（炭酸ナトリウム、炭酸アンモニウムなど）水溶液で中和して得られる２価のＦｅイオンを含む水溶液が好適である。酸化剤としては、空気などの酸素含有ガスや、過酸化水素などが使用できる。前記鉄イオンを含有する水溶液に酸素含有ガスを通気させるか、過酸化水素などの酸化剤物質を添加することにより、オキシ水酸化鉄の核晶を生成させる。その後、さらに酸化剤の導入を継続して、前記核晶の表面にオキシ水酸化鉄を析出させる。オキシ水酸化鉄粒子の成長が終了するまでの間に、水溶性のコバルト化合物を添加し、Ｆｅ、Ｃｏを含有する前駆体を形成する。水溶性のコバルト化合物としては、硫酸コバルト、硝酸コバルト、塩化コバルトなどが使用できる。コバルトの添加を開始する時期は、核晶の生成開始前（すなわち酸化剤の導入前）とすることが好ましい。この初期段階でコバルトの全量を添加してもよいし、核晶が生成したのちにコバルトを追加投入してもよい。添加方法は、一挙添加、分割添加、連続添加を適宜選択すればよい。
【００２２】
また、核晶の成長が終了するまでに、水溶性の希土類元素（Ｙも希土類元素として扱う）化合物、水溶性のアルミニウム化合物、水溶性のマグネシウム化合物の１種以上を添加して、Ｆｅ、Ｃｏを含有し、更に希土類元素、Ａｌ、Ｍｇの１種以上を含有する前駆体を得ることもできる。これらの添加方法は、一挙添加、分割添加、連続添加を適宜選択すればよい。水溶性の希土類元素化合物としては、例えばイットリウム化合物の場合、硫酸イットリウム、硝酸イットリウム、塩化イットリウムなどが挙げられる。水溶性のアルミニウム化合物としては、硫酸アルミニウム、塩化アルミニウム、硝酸アルミニウム、アルミン酸ナトリウム、アルミン酸カリウムなどが挙げられる。水溶性のマグネシウム化合物としては、硫酸マグネシウム、塩化マグネシウム、硝酸マグネシウムなどが挙げられる。これら添加元素を含有させる場合の含有量に関し、希土類元素／（Ｆｅ＋Ｃｏ）モル比は１０モル％以下の範囲とすることが好ましく、０.１〜５モル％の範囲に管理してもよい。Ａｌ／（Ｆｅ＋Ｃｏ）モル比は２０モル％以下の範囲とすることが好ましく、１〜１５モル％の範囲に管理してもよい。Ｍｇ／（Ｆｅ＋Ｃｏ）モル比は２０モル％以下の範囲とすることが好ましく、１〜１５モル％の範囲に管理してもよい。
【００２３】
必要に応じて、希土類元素（Ｙも希土類元素として扱う）が水溶液中に存在している状態で前記核晶を生成させることができる。核晶を生成する前に添加する希土類元素の添加量を変化させることで、得られる前駆体や最終的に得られる金属磁性粉末を構成する粒子の軸比を制御することができる。さらに、希土類元素（Ｙも希土類元素として扱う）、Ａｌ、Ｓｉ、Ｍｇの１種以上が水溶液中に存在している状態で前記析出成長を進行させることができる。
【００２４】
〔前駆体へのＳｉ被着工程〕
前記前駆体を含む水溶媒（スラリー）中に水溶性のケイ素化合物を添加して混合し、Ｓｉ元素を粒子表面に有する前駆体を得る。この表面処理された前駆体を本明細書では「Ｓｉ被着前駆体」と呼んでいる。水溶性のケイ素化合物としては、例えば珪酸ソーダが好適である。添加するケイ素化合物の量は、ＦｅとＣｏの総モル量に対しＳｉの量が１.０〜２０.０モル％となるように調整することが好ましい。ケイ素化合物が溶解したスラリーを撹拌する。撹拌時のスラリー温度は１０〜１００℃とすることが好ましく、撹拌時間は０.１〜２４ｈの範囲で設定すればよい。この撹拌混合により、前駆体の粒子表面にＳｉ含有物質が被着される。その後、濾過、水洗、乾燥の過程を経て、Ｓｉ被着前駆体が得られる。粒子表面に存在するＳｉの量（以下「Ｓｉ被着量」という）は、添加するケイ素化合物の量、スラリー温度、スラリーｐＨ、撹拌時間などによってコントロールできる。
なお、後述の「金属粉へのＳｉ被着工程」を実施する場合は、この「前駆体へのＳｉ被着工程」を省略することができる。
【００２５】
〔還元工程〕
前駆体の乾燥物を還元性ガス雰囲気中で加熱することにより、Ｆｅ−Ｃｏ合金磁性相を持つ金属粉末を得る。還元性ガスとしては、代表的には水素ガスが挙げられる。加熱温度は２５０〜６５０℃の範囲とすることができ、５００〜６５０℃がより好ましい。加熱時間は１０〜１２０ｍｉｎの範囲で調整すればよい。前駆体として上記の「Ｓｉ被着前駆体」を使用した場合、この還元で得られた粉末を構成する粒子の表面にはＳｉ濃化層が形成されている。
【００２６】
〔徐酸化工程〕
還元工程を終えた金属磁性粉末は、そのまま大気に曝すと急速に酸化するおそれがある。徐酸化工程は、急激な酸化を回避しながら粒子表面に酸化物被覆層を形成させる工程である。還元後の金属粉末が曝される雰囲気を不活性ガス雰囲気とし、当該雰囲気中の酸素濃度を増大させながら２０〜３００℃、より好ましくは５０〜３００℃で金属粉末粒子表層部の酸化反応を進行させる手法が採用できる。前駆体として上記の「Ｓｉ被着前駆体」を使用した場合、Ｓｉ酸化物を含む酸化物被覆層を有する粒子で構成される金属粉末が得られる。上記還元工程と同じ炉中で徐酸化工程を実施する場合は、還元工程を終了後、炉内の還元性ガスを不活性ガスで置換し、上記温度範囲において当該不活性ガス雰囲気中に酸素含有ガスを導入しながら粒子表層部の酸化反応を進行させるとよい。金属粉末を別の熱処理装置に移して徐酸化工程を実施してもよい。また、還元工程後に金属粉末をコンベア等で移動させながら連続的に徐酸化工程を実施することもできる。いずれの場合も、還元工程後に、金属粉末を大気に曝すことなく、徐酸化工程に移行させることが重要である。不活性ガスとしては、希ガスおよび窒素ガスから選ばれる１種以上のガス成分が適用できる。酸素含有ガスとしては、純酸素ガスや空気が使用できる。酸素含有ガスとともに、水蒸気を導入してもよい。水蒸気は酸化皮膜を緻密化させる効果がある。金属磁性粉末を３０〜３００℃好ましくは５０〜３００℃に保持するときの酸素濃度は、最終的には０.１〜２１体積％とする。酸素含有ガスの導入は、連続的または間欠的に行うことができる。徐酸化工程の初期の段階で、酸素濃度が１.０体積％以下である時間を５ｍｉｎ以上キープすることがより好ましい。
【００２７】
〔還元・徐酸化反復工程〕
上記の徐酸化工程を終えた金属粉末に対して、再度、還元処理および徐酸化処理を１回以上施す。具体的には、還元性ガス雰囲気中での２５０〜６５０℃の加熱処理と、それに続く前記徐酸化工程に従う処理を１回以上実施する。この還元・徐酸化反復工程が、本発明では極めて重要である。この工程を採用することによってリターンロスが小さく、かつ磁気損失の小さい金属磁性粉末を得ることが可能となる。そのメカニズムは上述のように推察される。還元・徐酸化反復工程での還元処理では、２５０〜６５０℃での保持時間を１０〜１２０ｍｉｎの範囲で設定すればよい。
【００２８】
〔金属粉へのＳｉ被着工程〕
Ｓｉ含有物質の被着は、前駆体に還元処理および徐酸化処理を施して作製した金属磁性粉末に対して行うこともでき、前駆体に還元・徐酸化工程処理を施して作製した金属磁性粉末に、さらに還元処理および徐酸化処理を１回以上施すことにより作製した還元・徐酸化反復工程処理後の金属磁性粉末に対して行うこともできる。水などの溶媒中に金属磁性粉末を分散させて、水溶性のケイ素化合物を添加して混合し、その後、濾過、水洗、乾燥の過程を経ることにより、Ｓｉ被着金属磁性粉末が得られる。金属粉へのＳｉ被着工程におけるＳｉ被着量についても、前駆体へのＳｉ被着工程におけるＳｉ被着量と同様に、添加するケイ素化合物の量、スラリー温度、スラリーｐＨ、撹拌時間などによってコントロールできる。
【００２９】
《デバイス》
本発明に従う金属磁性粉末は、アンテナ、インダクタ、ＥＭＩフィルタ等のデバイス（電子部品）の構成材料として有用である。例えばアンテナを例に挙げると、導体板と、それに平行に配置される放射板とを有する平面アンテナへの適用が効果的である。当該金属磁性粉末は、平面アンテナに限らず種々の形状、構成のアンテナに使用できる。平面アンテナの構成は例えば特許文献３の図１に開示されている。平面アンテナの小型化手法の１つとして、導体板と放射板との間に高透磁率の磁性体を配置することが有効である。しかし、従来の磁性体は数百ＭＨｚ以上の高周波帯域における損失が大きいため、磁性体を用いるタイプの平面アンテナの普及は遅れている。本発明に従う金属磁性粉末は、４３０ＭＨｚ以上の電波を受信、送信、または送受信するアンテナ用の磁性体素材として極めて有用である。特に７００ＭＨｚ〜６ＧＨｚの周波数帯域で使用されるアンテナへの適用がより効果的である。
【００３０】
本発明に従う金属磁性粉末を樹脂組成物と混合した成形体とし、これをアンテナ、インダクタ、ＥＭＩフィルタ等のデバイスを構成する磁性体に使用する。樹脂としては、公知の熱硬化性樹脂または熱可塑性樹脂を適用すればよい。例えば、熱硬化性樹脂としては、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、イソシアネート化合物、メラミン樹脂、尿素樹脂、シリコーン樹脂などから選択することができる。エポキシ樹脂としては、モノエポキシ化合物、多価エポキシ化合物のいずれか又はそれらの混合物を用いることができる。モノエポキシ化合物や、多価エポキシ化合物は、特許文献３に種々のものが例示されており、それらを適宜選択して使用することができる。熱可塑性樹脂としては、ポリ塩化ビニル樹脂、ＡＢＳ樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリスチレン樹脂、アクニロニトリルスチレン樹脂、アクリル樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂  、ポリサルフォン樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリエーテルサルフォン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリブチレンテレフタレート樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、液晶ポリマー（ＬＣＰ）、フッ素樹脂、ウレタン樹脂などから選択することができる。
【００３１】
金属磁性粉末と樹脂の混合の割合は、金属磁性粉末／樹脂の質量比で表すと、３０／７０以上９９／１以下が好ましく、５０／５０以上９５／５以下がより好ましく、７０／３０以上９０／１０以下がさらに好ましい。樹脂が少なすぎると成形体にならず、多すぎると所望の磁気特性が得られない。
【実施例】
【００３２】
《実施例１》
〔反応元液の作成〕
１ｍｏｌ／Ｌの硫酸第一鉄水溶液と１ｍｏｌ／Ｌの硫酸コバルト水溶液をＦｅ：Ｃｏのモル比が１００：１０となるように混合して約９００ｍＬの溶液とし、これに０.２ｍｏｌ／Ｌの硫酸イットリウム水溶液をＹ／（Ｆｅ＋Ｃｏ）モル比が２.６モル％となるように加えて、約１ＬのＦｅ、Ｃｏ、Ｙ含有溶液を用意した。５０００ｍＬビーカーに、純水２６００ｍＬと、前記Ｆｅ、Ｃｏ、Ｙ含有溶液中のＦｅ2+に対しＣＯ32-が３当量となる量の炭酸アンモニウムを含有する炭酸アンモニウム溶液３５０ｍＬを添加し、温調機で４０℃に維持しながら撹拌し、炭酸アンモニウム水溶液を得た。この炭酸アンモニウム水溶液中に前記Ｆｅ、Ｃｏ、Ｙ含有溶液を全量加え、反応元液とした。
【００３３】
〔前駆体形成〕
上記の反応元液に３ｍｏｌ／ＬのＨ2Ｏ2水溶液を５ｍＬ添加しオキシ水酸化鉄の核晶を生成させた。その後、この液を６０℃に昇温し、反応元液中に存在していた全Ｆｅ2+の４０％が酸化するまで液中に空気を通気した。このときに必要な通気量は、予め予備実験により把握してある。その後、反応元液中のＦｅの総量に対しＣｏ／Ｆｅモル比が１５モル％となる量のＣｏを含有する１ｍｏｌ／Ｌの硫酸コバルト水溶液を追加で添加した。このように、核晶生成後、Ｆｅの酸化が完結する前の途中段階でＣｏを添加する操作を、以下において「Ｃｏ途中添加」という。Ｃｏ途中添加後、０.３ｍｏｌ／Ｌの硫酸アルミニウム水溶液を反応元液中のＦｅとＣｏの総量に対しＡｌ／（Ｆｅ＋Ｃｏ）モル比が５.８モル％となるように添加し、酸化が完結するまで（すなわち前駆体の形成反応が終了するまで）空気を通気した。このようにして前駆体含有スラリーを得た。
【００３４】
〔前駆体へのＳｉ被着処理〕
上記前駆体含有スラリーに、１.６ｍｏｌ／Ｌの珪酸ソーダ（ＪＩＳ規格３号のものを希釈して使用）を当該スラリー中のＦｅとＣｏの総量に対しＳｉ／（Ｆｅ＋Ｃｏ）モル比が５.０モル％となるように添加し、６０℃で１ｈ撹拌したのち、濾過、水洗、空気中１１０℃での乾燥を経て、Ｓｉ被着前駆体の乾燥物（粉末）を得た。
【００３５】
〔還元処理〕
上記のＳｉ被着前駆体の乾燥物を通気可能なバケットに入れ、そのバケットを貫通型還元炉内に装入し、炉内に水素ガスを流しながら６３０℃で４０ｍｉｎ保持することにより還元処理を施した。
【００３６】
〔徐酸化処理〕
還元処理後、炉内の雰囲気ガスを水素から窒素に変換し、窒素ガスを流した状態で炉内温度を降温速度２０℃／ｍｉｎで８０℃まで低下させた。その後、徐酸化処理を行う初期のガスとして、窒素ガス／空気の体積割合が１２５／１となるように窒素ガスと空気を混合したガス（酸素濃度約０.１７体積％）を炉内に導入し、当該混合ガス雰囲気中で金属粉末粒子表層部の酸化反応を進行させた。初期の混合ガス導入開始後、約２０ｍｉｎ経過時点から徐々に空気の混合割合を増大させ、最終的に窒素ガス／空気の体積割合が２５／１となる混合ガス（酸素濃度約０.８０体積％）を炉内に連続的に導入した。徐酸化処理時間は４０ｍｉｎであり、その間、温度は８０℃に維持し、ガスの導入流量もほぼ一定に保った。
【００３７】
〔還元・徐酸化反復処理〕
上記徐酸化処理を終えたのち、炉内温度を再び上昇させ、上記還元処理と同様条件で２回目の還元処理を施し、その後、上記徐酸化処理と同様条件で２回目の徐酸化処理を施した。以上の工程により、金属磁性粉末の供試粉末を得た。
【００３８】
〔粒子径〕
各供試粉末について、ＴＥＭ観察による上述の方法で平均長径（すなわち平均粒子径）、平均短径、平均軸比を求めた。結果を表１中に示す。
〔Ｓｉ含有量〕
供試粉末の組成分析を、Ｓｉについては重量法、その他の元素についてはＩＣＰ発光分析法により行った。分析組成を表１中に示す。
〔Ｓｉ酸化物〕
供試粉末におけるＳｉＯ2を主体とするＳｉ酸化物の存在については、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）観察によるコントラストで判別できる。また、組成分析によってもＳｉ酸化物の存在を確認することができ、例えばＥＳＣＡ、ＴＥＭ−ＥＤＸ、ＸＰＳ、ＳＩＭＳなどの方法を挙げることができる。特に、ＥＳＣＡによれば粒子表面から深さ方向への組成の変化を確認することができ、Ｓｉ酸化物被覆層を判別することができる。また、ＴＥＭ−ＥＤＸによれば粒子にビームを絞ってＥＤＸを照射し、半定量することにより、粒子の大体の組成を確認でき、Ｓｉ酸化物被覆層を判別することができる。Ｓｉ被着処理で被着させたＳｉは、Ｓｉ酸化物として酸化物被覆層を構成しているものと考えられる（前駆体へのＳｉ被着処理を行った以下の各例において同じ）。
【００３９】
〔透磁率・誘電率〕
供試粉末とビスフェノールＦ型エポキシ樹脂（株式会社テスク製；一液性エポキシ樹脂Ｂ−１１０６）を９０：１０の質量割合で秤量し、真空撹拌・脱泡ミキサー（ＥＭＥ社製；Ｖ−ｍｉｎｉ３００）を用いてこれらを混練し、供試粉末がエポキシ樹脂中に分散したペーストとした。このペーストをホットプレート上で６０℃、２ｈ乾燥させて金属粉末と樹脂の複合体としたのち、粉末状に解粒して、複合体粉末とした。この複合体粉末０.２ｇをドーナッツ状の容器内に入れて、ハンドプレス機により９８００Ｎ（１Ｔｏｎ）の荷重をかけることにより、外径７ｍｍ、内径３ｍｍのトロイダル形状の成形体を得た。この成形体について、ネットワーク・アナライザー（アジレント・テクノロジー社製；Ｅ５０７１Ｃ）と同軸型Ｓパラメーター法サンプルホルダーキット（関東電子応用開発社製；ＣＳＨ２−ＡＰＣ７、試料寸法：φ７.０ｍｍ−φ３.０４ｍｍ×５ｍｍ）を用い、０.１〜４.５ＧＨｚにおける複素比透磁率の実数部μ’および虚数部μ”、並びに複素比誘電率の実数部ε’および虚数部ε”を測定し、μ’／ε’比、複素比透磁率の損失係数ｔａｎδ（μ）＝μ”／μ’および複素比誘電率の損失係数ｔａｎδ（ε）＝ε”／ε’を求めた。表３〜表５に、１ＧＨｚ、２ＧＨｚおよび３ＧＨｚにおけるこれらの結果を例示する（以下の各例において同じ）。本例では、μ’が大きく、μ’／ε’比が高く、かつｔａｎδ（μ）が低いという磁気特性・誘電特性を呈し、リターンロスおよび磁気損失の両方を改善することができた。
【００４０】
〔体積抵抗率〕
供試粉末の体積抵抗率は、ＪＩＳ  Ｋ６９１１に準拠した二重リング電極方法により、供試粉末１.０ｇを電極間に挟んで１３〜６４ＭＰａ（４〜２０ｋＮ）の垂直荷重を付与しながら印加電圧１０Ｖにて測定する方法により求めた。測定には、三菱化学アナリテック社製粉体抵抗測定ユニット（ＭＣＰ―ＰＤ５１）、同社製高抵抗抵抗率計ハイレスタＵＰ（ＭＣＰ−ＨＴ４５０）、同社製高抵抗粉体測定システムソフトウェアを用いた。表２中に結果を示す。本例では、荷重２５ＭＰａ（８ｋＮ）での体積抵抗率が１.０×１０8Ω・ｃｍ以上であり、良好な絶縁性を有していた。
【００４１】
〔ＢＥＴ比表面積〕
ＢＥＴ比表面積は、ユアサアイオニクス社製の４ソーブＵＳを用いて、ＢＥＴ一点法により求めた。
〔ＴＡＰ密度〕
ＴＡＰ密度は、ガラス製のサンプルセル（５ｍｍ径×４０ｍｍ高さ）に供試粉末を入れ、タップ高さ１０ｃｍとして、２００回タッピングを行って測定した。
【００４２】
〔粉末の磁気特性および耐候性〕
供試粉末の磁気特性（バルク特性）として、ＶＳＭ装置（東英工業社製；ＶＳＭ−７Ｐ）を使用して、外部磁場７９５.８ｋＡ／ｍ（１０ｋＯｅ）で、保磁力Ｈｃ（ｋＡ／ｍ）、飽和磁化σｓ（Ａｍ2／ｋｇ）、角形比ＳＱを測定した。耐候性については、金属磁性粉末を温度６０℃、相対湿度９０％の空気環境に１週間保持する試験前後のσｓの変化量率Δσｓにより評価した。Δσｓは（試験前のσｓ−試験後のσｓ）／試験前のσｓ×１００によって算出される。これらの結果を表２中に示す。本例では、Ｈｃが７９.６ｋＡ／ｍ以下、σｓが１４７Ａｍ2／ｋｇ以上であり、アンテナ用素材として好適な磁気特性を有していた。耐候性も良好であった。
【００４３】
《実施例２、３》
前駆体へのＳｉ被着処理において、珪酸ソーダの添加量をスラリー中のＦｅとＣｏの総量に対しＳｉ／（Ｆｅ＋Ｃｏ）モル比が１０.０モル％（実施例２）および１５.０モル％（実施例３）としたことを除き、実施例１と同様の条件で実験を行った。表２〜表５に示すように、これらの例では実施例１と同様に各特性において良好な結果が得られた。
【００４４】
《比較例１》
前駆体へのＳｉ被着処理を行わなかったこと、および還元・徐酸化処理を１回のみとし還元・徐酸化反復処理を行わなかったことを除き、実施例１と同様の条件で実験を行った。表１、表２に示すように、本例ではσｓが高いにもかかわらず、μ’／ε’比が低くなり、リターンロスの改善が不十分であった。
【００４５】
《比較例２〜４》
還元・徐酸化処理を１回のみとし還元・徐酸化反復処理を行わなかったことを除き、比較例２、３および４はそれぞれ実施例１、２および３と同様の条件で実験を行った。表２〜表５に示すように、これらの例ではσｓが低く、比較例２はμ’／ε’比が低くなり、比較例３、４ではμ’値が低かった。
【００４６】
《比較例５》
前駆体へのＳｉ被着処理を行わなかったことを除き、実施例１と同様の条件で実験を行った。表１、表２に示すように、本例ではσｓが高いにもかかわらず、μ’／ε’比が低くなり、リターンロスの改善が不十分であった。
【００４７】
《実施例４》
Ｃｏ途中添加を行わず、Ｃｏ／Ｆｅ比を１０モル％としたことを除き、実施例１と同様の条件で実験を行った。表２〜表５に示すように、本例では実施例１と同様に各特性において良好な結果が得られた。
【００４８】
《比較例６》
前駆体へのＳｉ被着処理を行わなかったこと、および還元・徐酸化処理を１回のみとし還元・徐酸化反復処理を行わなかったことを除き、実施例４と同様の条件で実験を行った。表２〜表５に示すように、本例ではσｓが高いにもかかわらず、μ’／ε’比が低くなり、リターンロスの改善が不十分であった。
【００４９】
《比較例７》
前駆体へのＳｉ被着処理を行わなかったことを除き、実施例４と同様の条件で実験を行った。表２〜表５に示すように、本例ではσｓが高いにもかかわらず、μ’／ε’比が低くなり、リターンロスの改善が不十分であった。
【００５０】
《比較例８》
還元・徐酸化処理を１回のみとし還元・徐酸化反復処理を行わなかったことを除き、実施例４と同様の条件で実験を行った。表２〜表５に示すように、本例ではσｓが低く、μ’／ε’比が低くなり、μ’値そのものも低かった。
【００５１】
《実施例５》
〔反応元液の作成〕
１ｍｏｌ／Ｌの硫酸第一鉄水溶液と１ｍｏｌ／Ｌの硫酸コバルト水溶液をＦｅ：Ｃｏのモル比が１００：１０となるように混合して約９００ｍＬの溶液とし、これに０.２ｍｏｌ／Ｌの硫酸イットリウム水溶液をＹ／（Ｆｅ＋Ｃｏ）モル比が２.６モル％となるように加えて、約１ＬのＦｅ、Ｃｏ、Ｙ含有溶液を用意した。５０００ｍＬビーカーに、純水２６００ｍＬと、前記Ｆｅ、Ｃｏ、Ｙ含有溶液中のＦｅ2+に対しＣＯ32-が３当量となる量の炭酸アンモニウムを含有する炭酸アンモニウム溶液３５０ｍＬを添加し、温調機で４０℃に維持しながら撹拌し、炭酸アンモニウム水溶液を得た。この炭酸アンモニウム水溶液中に前記Ｆｅ、Ｃｏ、Ｙ含有溶液を全量加え、反応元液とした。
【００５２】
〔前駆体形成〕
上記の反応元液に３ｍｏｌ／ＬのＨ2Ｏ2水溶液を５ｍＬ添加しオキシ水酸化鉄の核晶を生成させた。その後、この液を６０℃に昇温し、反応元液中に存在していた全Ｆｅ2+の４０％が酸化するまで液中に空気を通気した。このときに必要な通気量は、予め予備実験により把握してある。その後、反応元液中のＦｅの総量に対しＣｏ／Ｆｅモル比が２５モル％となる量のＣｏを含有する１ｍｏｌ／Ｌの硫酸コバルト水溶液を追加で添加した。Ｃｏ途中添加後、０.３ｍｏｌ／Ｌの硫酸アルミニウム水溶液を反応元液中のＦｅとＣｏの総量に対しＡｌ／（Ｆｅ＋Ｃｏ）モル比が５.８モル％となるように添加し、酸化が完結するまで（すなわち前駆体の形成反応が終了するまで）空気を通気した。このようにして前駆体含有スラリーを得た。前駆体スラリー、濾過、水洗、空気中１１０℃での乾燥を経て、前駆体の乾燥物（粉末）を得た。
【００５３】
〔還元処理〕
上記の前駆体の乾燥物を通気可能なバケットに入れ、そのバケットを貫通型還元炉内に装入し、炉内に水素ガスを流しながら６３０℃で４０ｍｉｎ保持することにより還元処理を施した。
【００５４】
〔徐酸化処理〕
還元処理後、炉内の雰囲気ガスを水素から窒素に変換し、窒素ガスを流した状態で炉内温度を降温速度２０℃／ｍｉｎで８０℃まで低下させた。その後、徐酸化処理を行う初期のガスとして、窒素ガス／空気の体積割合が１２５／１となるように窒素ガスと空気を混合したガス（酸素濃度約０.１７体積％）を炉内に導入し、当該混合ガス雰囲気中で金属粉末粒子表層部の酸化反応を進行させた。初期の混合ガス導入開始後、約２０ｍｉｎ経過時点から徐々に空気の混合割合を増大させ、最終的に窒素ガス／空気の体積割合が２５／１となる混合ガス（酸素濃度約０.８０体積％）を炉内に連続的に導入した。徐酸化処理時間は４０ｍｉｎであり、その間、温度は８０℃に維持し、ガスの導入流量もほぼ一定に保った。
【００５５】
〔還元・徐酸化反復処理〕
上記徐酸化処理を終えたのち、炉内温度を再び上昇させ、上記還元処理と同様条件で２回目の還元処理を施し、その後、上記徐酸化処理と同様条件で２回目の徐酸化処理を施した。以上の工程により、金属磁性粉末の供試粉末を得た。
【００５６】
〔金属粉へのＳｉ被着〕
５０００ｍＬビーカーに、純水４５００ｍＬと上記の金属磁性粉末３００ｇを添加し、温調機で６０℃に維持しながら撹拌し、次いで１.６ｍｏｌ／Ｌの珪酸ソーダ（ＪＩＳ規格３号のものを希釈して使用）を当該スラリー中のＦｅとＣｏの総量に対しＳｉ／（Ｆｅ＋Ｃｏ）モル比が５.０モル％となるように添加し、３０℃で１ｈ撹拌したのち、濾過、水洗、空気中１１０℃での乾燥を経て、Ｓｉ被着金属磁性粉末の乾燥物（粉末）の供試粉体を得た。
得られた供試粉体について、実施例１と同様の手法で各測定を行った。表２〜表５に示すように、本例では実施例１と同様に各特性において良好な結果が得られた。
【００５７】
《実施例６》
Ｃｏ／Ｆｅ比を２０モル％とし、硫酸アルミニウム水溶液の添加量をスラリー中のＦｅとＣｏの総量に対しＡｌ／（Ｆｅ＋Ｃｏ）モル比が１５.０モル％となるように添加したことを除き、実施例４と同様の条件で実験を行った。表２〜表５に示すように、本例では実施例１と同様に各特性において良好な結果が得られた。
【００５８】
《比較例９》
還元・徐酸化処理を１回のみとし還元・徐酸化反復処理を行わなかったことを除き、実施例６と同様の条件で実験を行った。表２〜表５に示すように、本例ではμ’／ε’比が低くなり、μ’値そのものも低かった。
【００５９】
【表１】
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【００６０】
【表２】
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【００６１】
【表３】
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【００６２】
【表４】
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【００６３】
【表５】
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