(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
装置本体と、前記装置本体に設けたガイド部と、前記ガイド部に沿って正面側に引出自在なマスクホルダと、前記マスクホルダを駆動して、前記マスクホルダに支持されたマスクの位置を微調整するアライメント駆動部と、を有し、前記アライメント駆動部が正面側と背面側に設けられ、正面側アライメント駆動部が駆動モーターと、前記駆動モーター及び前記マスクホルダを連結する連結軸とを備え、前記連結軸が前記駆動モーターから離脱自在に前記マスクホルダに固定され、前記駆動モーターが前記マスクホルダの引出軌跡から外れた位置に配置されたことを特徴とする照射装置。
【請求項２】
前記マスクホルダを構成するホルダフレームに光透過性素材からなる複数本の保持バーが配置され、複数本の保持バーにより前記マスクが吸着保持されることを特徴とする請求項１に記載の照射装置。
【請求項３】
装置本体と、前記装置本体に設けたガイド部と、前記ガイド部に沿って正面側に引出自在なマスクホルダと、前記マスクホルダを駆動して、前記マスクホルダに支持されたマスクの位置を微調整するアライメント駆動部と、を有し、前記アライメント駆動部が正面側と背面側に設けられ、正面側アライメント駆動部が駆動モーターと、前記駆動モーターに固定され、前記駆動モーター及び前記マスクホルダを連結する連結軸とを備え、前記連結軸が前記マスクホルダから離脱自在とされ、前記駆動モーターが前記マスクホルダの引出軌跡から外れた位置に配置されたことを特徴とする照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マスクを保持するマスクホルダを備えた照射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、照射装置として、２枚の光透過性基板間に紫外線硬化性樹脂からなるシール材を設け、シール材内に液晶を封止した液晶パネルに、紫外線を照射してシール材を硬化させて２枚の基板を貼り合わせる照射装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。シール材に紫外線を照射する際に、液晶に紫外線が照射されると、液晶の特性が変化してしまうため、この照射装置では、液晶に対応する位置に、光源の光を遮光するマスクを配置している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−７７５８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
照射装置は、マスクを用いずに照射する場合がある。この場合、例えばマスクを保持するマスクホルダを装置本体から着脱自在に構成することが考えられるが、マスクホルダを装置本体に対して着脱自在に構成すると、マスクホルダを駆動してマスクの位置を微調整するアライメント駆動部を必要とする。このアライメント駆動部はマスクホルダに連結されることとなるため、そのままでは、マスクホルダを装置本体から着脱することは困難である。
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、マスクを保持するマスクホルダを装置本体に対して容易に着脱可能な照射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上述した目的を達成するために、本発明の照射装置は、装置本体と、前記装置本体に設けたガイド部と、前記ガイド部に沿って正面側に引出自在なマスクホルダと、前記マスクホルダを駆動して、前記マスクホルダに支持されたマスクの位置を微調整するアライメント駆動部と、を有し、前記アライメント駆動部が正面側と背面側に設けられ、正面側アライメント駆動部が駆動モーターと、前記駆動モーター及び前記マスクホルダを連結する連結軸とを備え、前記連結軸が前記駆動モーターから離脱自在に前記マスクホルダに固定され、前記駆動モーターが前記マスクホルダの引出軌跡から外れた位置に配置されたことを特徴とする。
【０００６】
上述の構成において、前記マスクホルダを構成するホルダフレームに光透過性素材からなる複数本の保持バーが配置され、複数本の保持バーにより前記マスクが吸着保持されてもよい。
【０００７】
また、本発明の照射装置は、装置本体と、前記装置本体に設けたガイド部と、前記ガイド部に沿って正面側に引出自在なマスクホルダと、前記マスクホルダを駆動して、前記マスクホルダに支持されたマスクの位置を微調整するアライメント駆動部と、を有し、前記アライメント駆動部が正面側と背面側に設けられ、正面側アライメント駆動部が駆動モーターと、前記駆動モーターに固定され、前記駆動モーター及び前記マスクホルダを連結する連結軸とを備え、前記連結軸が前記マスクホルダから離脱自在とされ、前記駆動モーターが前記マスクホルダの引出軌跡から外れた位置に配置されたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、マスクを保持するマスクホルダを装置本体に対して容易に着脱できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施形態に係る照射装置を示す正面図である。
【図２】照射装置を示す背面図である。
【図３】照射装置を示す右側面図である。
【図４】ワーク及びマスクを示す図であり、（Ａ）はワークの断面図、（Ｂ）はワーク及びマスクを示す斜視図である。
【図５】装置本体に設置されたマスクホルダを示す図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図、（Ｃ）は側面図である。
【図６】マスクホルダを示す図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図、（Ｃ）側面図である。
【図７】図５のＡ部分を拡大して示す図である。
【図８】正面側アライメント駆動部を示す図であり、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は側面図、（Ｃ）は連結軸を取り外した状態の平面図、（Ｄ）は取り外した連結軸の平面図である。
【図９】背面側アライメント駆動部を示す図であり、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は背面図、（Ｃ）は側面図、（Ｄ）は上側のＹ軸駆動部を取り外した状態のＸ１軸駆動部の平面図、（Ｅ）は取り外したＹ軸駆動部の平面図である。
【図１０】本発明の変形例に係るマスクホルダ及びマスク支持テーブルを模式的に示す正面図である。
【図１１】図１０の側面図であり、（Ａ）はアライメント使用時、（Ｂ）はマスクホルダの引出時の状態を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
図１は本実施形態に係る照射装置を示す正面図であり、図２は照射装置を示す背面図であり、図３は照射装置を示す右側面図である。
照射装置１は、図１及び図２に示すように、装置本体３０内に紫外線ランプ１０を内蔵し、照射領域たるワーク２の全域を均一な照度（すなわち良好な均斉度）で照射可能な装置である。また、照射装置１は、液晶パネル等の基板をワーク２とし、当該ワーク２に光を照射することでワーク２に用いる光硬化性樹脂を硬化する光硬化装置としても使用される。照射装置１は、複数（本実施形態では、３本）の線状光源によりワーク２を照射するものであり、この照射装置１では、紫外線光源として直管型の高出力な上記紫外線ランプ１０が用いられている。
【００１１】
装置本体３０は、図１〜図３に示すように、箱状を成し、正面３０Ａ及び背面３０Ｂにそれぞれ正面扉３１及び背面扉３２を備えている。これらの正面扉３１及び背面扉３２は、後述するマスクホルダ４０と対向する位置に設けられており、正面扉３１及び背面扉３２を開けることでマスクホルダ４０が外部に露出する。また、正面扉３１は、マスクホルダ４０を引出可能な大きさに形成されている。なお、本実施形態では、マスクホルダ４０を引き出す側を正面としている。装置本体３０の正面側及び背面側にはメンテナンススペースが設けられている。
なお、以下に述べる前後（正面、背面）、左右、上下といった方向は、照射装置１を設置した状態でその正面側から見た場合の方向を示している。
【００１２】
照射装置１は、装置本体３０内に、複数（本実施形態では、３つの）の照射器１Ａ〜１Ｃを備えている。各照射器１Ａ〜１Ｃは、ケース１１内に、１本の紫外線ランプ１０と、紫外線ランプ１０の放射光を制御する主反射板（主反射鏡）１２とを有し、紫外線ランプ１０の軸線方向に直交する幅方向（光源並列方向）Ｗに並列に配列されている。また、照射装置１は、照射器１Ａ〜１Ｃの下方に、補助反射板（補助反射鏡）１４を備えている。これら主反射板１２及び補助反射板１４は、照射装置１の反射鏡を構成している。さらに、照射装置１は、照射器１Ａ〜１Ｃの下方にマスクホルダ４０を備え、このマスクホルダ４０に、紫外線ランプ１０の紫外線を遮光するマスク５０（図４）が保持されている。
【００１３】
ワーク２は、平面視で矩形状に形成されている。このワーク２は、昇降可能に構成された照射ステージ４に載置され、装置本体３０の側面３０Ｃに形成された開閉自在なシャッター３３から搬送ロボット等の搬送手段（不図示）によって装置本体３０内に搬入、搬出される。本実施形態では、右側面にシャッター３３を設けるとともに、搬送ロボットによって当該シャッター３３からワーク２を装置本体３０内に搬入、搬出しているが、シャッター３３の位置やワーク２の移動方向はこれに限定されるものではない。ワーク２が搭載された照射ステージ４は、所定の照射位置（本実施形態では、マスク５０とワーク２の間隔が２ｍｍ程度となる位置）まで上昇する。その際、照射ステージは、後述するマスク支持テーブルの開口３Ａを通過する。
紫外線ランプ１０は、ワーク２の真上に並列に延在している。なお、管長が長いロングアークのランプを紫外線ランプ１０に用いることでワーク２の大面積化を図ることが可能となる。ワーク２は、長辺が紫外線ランプ１０の管軸に沿うように配置されてもよいし、短辺が紫外線ランプ１０の管軸に沿うように配置されてもよい。
【００１４】
照射装置１は、上述の通り、主反射板１２と補助反射板１４とを備え、紫外線ランプ１０の直射光と、主反射板１２、及び補助反射板１４の反射光とでワーク２を均一な照度で照射可能としている。
ここで紫外線ランプ１０の直射光のみによってワーク２を照射した場合、ワーク２の照度分布には、紫外線ランプ１０のランプ管軸方向（長手方向）の輝度分布が略直接的に反映される。
そこで、紫外線ランプ１０から放射されワーク２を外れる光を主反射板１２、及び補助反射板１４で反射し、ワーク２における直射光の照度分布を補うように照らすことで、ワーク２の均斉度が高められている。
【００１５】
主反射板１２は、紫外線ランプ１０の周囲（より正確には上、及び水平方向）に放射する光をワーク２に向けて反射して、ワーク２の被照射面２Ａ（図４）の照度を向上するとともに、照度の均一化を図るものである。主反射板１２は、紫外線ランプ１０の管軸に沿って延びる樋状に形成され、紫外線ランプ１０と対向する面が反射面に形成されている。
【００１６】
ケース１１には、紫外線ランプ１０の直下に、平面視で矩形状の照射開口が形成されており、長手方向が紫外線ランプ１０の長手方向（軸方向）に一致するように設けられている。照射開口の内側には、透過する光の波長を選択する波長選択フィルタ１３が設けられ、この波長選択フィルタ１３によって照射装置１は所望の波長の光を照射するようになっている。なお、本実施形態では、波長選択フィルタ１３を設けたが、紫外線ランプ１０自体で所望の波長の光を出射できる場合には、波長選択フィルタ１３を省略してもよい。また、一枚の波長選択フィルタを紫外線ランプ１０から開口３Ａまでの間に配置してもよい。また、ケース１１は省略してもよい。
【００１７】
補助反射板１４は、主反射板１２とワーク２の間に設けられ、ワーク２の外に漏れる光をワーク２に向けて反射することで、紫外線ランプ１０、及び主反射板１２の照射による照度分布を補うものである。
具体的には、補助反射板１４は、紫外線ランプ１０の両端に対面する一対の補助端板２０（図６）と、紫外線ランプ１０の両側に対面する一対の補助側板２１（図６）とを有している。これら補助端板２０及び補助側板２１がワーク２の四方を囲む略四角筒状に組まれ、その内壁面が反射面として構成されている。本実施形態では、補助反射板１４は、マスクホルダ４０の内側に設けられているが、これに限定されず、例えばマスクホルダ４０の上方に設けてもよい。また、本実施形態では、補助反射板１４は、マスクホルダ４０に設けた補助反射板固定部材１４Ａ（図７）を介してマスクホルダ４０に支持されており、マスクホルダ４０とともに装置本体３０から引き出されるように構成されている。補助反射板１４がマスクホルダ４０と高さ方向でラップしない場合等には、補助反射板１４は装置本体３０に固定してもよい。
係る構成の下、一対の補助端板２０及び一対の補助側板２１の反射光によって紫外線ランプ１０、及び主反射板１２の照射分布が補われる。
なお、本実施形態では、補助反射板１４を設けたが、補助反射板１４は省略してもよい。
【００１８】
図４は、ワーク２及びマスク５０を示す図であり、図４（Ａ）はワーク２の断面図、図４（Ｂ）はワーク２及びマスク５０を示す斜視図である。
ワーク２は、図４に示すように、２枚の基板２Ｂ間に、紫外線硬化性樹脂からなるシール材（液晶封止材）２Ｃを設け、シール材２Ｃ内に液晶２Ｄを封止した液晶パネルである。ワーク２は、シール材２Ｃに紫外線が照射されることで、シール材２Ｃが硬化して２枚の基板２Ｂを貼り合わせられて形成される。一方の基板２Ｂは液晶２Ｄに対応する位置にＴＦＴ（薄膜トランジスタ）回路（不図示）を有するアレイ基板であり、他方の基板２Ｂは液晶２Ｄに対応する位置にカラーフィルタ（不図示）を有するカラーフィルタ基板である。図４は、ＴＦＴ回路を有する基板２Ｂが被照射面２Ａとなるように配置されたワーク２を示す。ここで、シール材２Ｃに紫外線を照射する際に、液晶２Ｄに紫外線が照射されると、液晶２Ｄの特性が変化してしまう。そこで、照射装置１には、液晶２Ｄに向かう光を遮光するマスク５０が設けられている。
【００１９】
マスク５０は、液晶２Ｄに対応する位置に形成される遮光部５１と、シール材２Ｃに対応する位置に形成される透光部５２とを備えて構成されている。マスク５０は、透明素材（本実施形態では、ガラス）を用いて形成され、この透明素材には遮光が必要な部分に遮光素材（例えば、金属コート等）を設けて、遮光部５１を形成するとともに、遮光部５１以外の部分を透明素材のままの透光部５２として形成している。このマスク５０は、図１に示すように、マスクホルダ４０の保持バー４２の下面に吸着されて保持される。
【００２０】
図５は、装置本体３０に設置されたマスクホルダ４０を示す図であり、図５（Ａ）は平面図、図５（Ｂ）は正面図、図５（Ｃ）は側面図である。図６は、マスクホルダ４０を示す図であり、図６（Ａ）は平面図、図６（Ｂ）は正面図、図６（Ｃ）側面図である。図７は、図５のＡ部分を拡大して示す図である。
マスクホルダ４０は、図５及び図６に示すように、平面視略矩形に形成された枠状のホルダフレーム（枠体）４１を備え、このホルダフレーム４１に、棒状の複数（本実施形態では、６つ）の保持バー（保持部）４２を支持して構成されている。ホルダフレーム４１は、保持バー４２を支持可能な剛性を有する材料（例えば、アルミニウム、ステンレス鋼、鉄等の金属、本実施形態では、アルミニウム）を用いて形成されている。
【００２１】
複数の保持バー４２は、光透過性の素材（好ましくは透明部材、本実施形態では石英）を用いて開口３Ａに亘る長さに形成され、両端がホルダフレーム４１に支持されている。本実施形態では、複数の保持バー４２を幅方向Ｗに配列しているが、奥行き方向（Ｙ方向）に配列してもよい。
このように、マスクホルダ４０を複数の保持バー４２を用いて構成することで、１枚の加工精度の高い大きな石英板を用いる必要がないので、マスクホルダ４０を構成する部材を小型化でき、その結果、軽量化とコスト低減を実現できる。なお、本実施形態では、保持バー４２を等間隔に配置しているが、配列間隔は、等間隔に限定されるものではなく、ワーク２のサイズ及びワーク２内部の液晶セルの配置によって適宜設定される。
【００２２】
保持バー４２は、略角筒状に形成され、図示は省略するが、下面（被照射面２Ａ側の面）に吸着溝を備えるとともに、両端面に吸着溝に連通する通路を備えている。この通路には、図６に示すように、チューブ４３が連結され、正面側及び背面側においてそれぞれ、複数の保持バー４２のチューブ４３が継手４４を介して１つに集合され、チューブ接続部４５に接続される。チューブ接続部４５には減圧器（不図示）に接続したチューブ４６が接続される。減圧器を駆動すると、保持バー４２の通路が減圧され、吸着溝からの吸引によってマスク５０が保持バー４２に吸着されて保持される。
【００２３】
照射装置１は、図５に示すように、正面側及び背面側に、マスクホルダ４０を駆動してマスク５０の位置を微調整する正面側アライメント駆動部（アライメント駆動部）６０及び背面側アライメント駆動部（アライメント駆動部）７０をそれぞれ有している。
正面側アライメント駆動部６０は、マスクホルダ４０を幅方向Ｗ（Ｘ２方向）に駆動可能に構成されている。
背面側アライメント駆動部７０は、マスクホルダ４０を幅方向Ｗ（Ｘ１方向）及び奥行き方向（Ｙ方向）に駆動可能に構成されている。
なお、正面側アライメント駆動部６０及び背面側アライメント駆動部７０は、それぞれ幅方向Ｗ略中央に設けられていたが、配置位置はこれに限定されるものではない。
紫外線ランプ１０、減圧器及びアライメント駆動部６０，７０は照射装置１の制御装置９０（図１）に接続されている。この制御装置９０の制御の下、紫外線ランプ１０の点灯や、減圧器及びアライメント駆動部６０，７０の駆動が制御されるようになっている。
【００２４】
図１に示す照射装置１においては、例えば、カラーフィルタを有する基板２Ｂが被照射面２Ａとなるようにワーク２が配置される際等には、マスク５０を使用しないで紫外線を照射する場合がある。その場合に、ワーク２の上側に保持バー４２があると、保持バー４２で反射又は屈折した光の影響によって被照射面２Ａの照度均斉度が悪化してしまう。特に、保持バー４２で反射又は屈折した紫外線が液晶２Ｄに集光する場合には、液晶２Ｄの特性が変化してしまうため、問題となる。そのため、マスク５０の不使用時には保持バー４２を取り外す必要があるが、保持バー４２を取り外す作業は複雑である上、取り外す際に比較的高価な保持バー４２を破損するおそれがある。
【００２５】
そこで、本実施形態では、マスクホルダ４０を容易に着脱自在に構成し、このマスクホルダ４０にマスク５０を保持している。より具体的には、マスクホルダ４０が装置本体３０から引出自在に構成されるとともに、マスクホルダ４０と正面側アライメント駆動部６０及び背面側アライメント駆動部７０とが容易に着脱自在に構成されている。
【００２６】
照射装置１は、図５に示すように、マスクホルダ４０を載置するマスク支持テーブル８０を備え、このマスク支持テーブル８０上でマスクホルダ４０を正面側に引出自在に構成されている。
詳述すると、マスク支持テーブル８０は、平面視略矩形の枠状に形成され、その内面が開口３Ａを構成している。このマスク支持テーブル８０は、図５及び図７に示すように、左右の両側部の上面に、マスクホルダ４０をスライドさせるレール８１と、マスクホルダ４０を案内するガイド部８２とを有している。レール８１は、平面を上方に向けて前後方向に延出しており、このレール８１の側方にガイド部８２が立設している。ガイド部８２はレール８１の側方外側に設けられており、ガイド部８２によってマスクホルダ４０の脱落が防止されるようになっている。
【００２７】
マスクホルダ４０は、ホルダフレーム４１の両側面に、レール８１上をスライド可能な複数（本実施形態では、左右に３つずつ、計６つ）のスライド部４７を備えている。スライド部４７は、マスクホルダ４０のスライド時にレール８１との摩擦を低減するように構成されている。本実施形態では、スライド部４７は、ボールローラーで構成されており、ローラー４７Ａが下向きになりレール８１に当接するように配置されている。このように、スライド部４７を設けることで、マスクホルダ４０が比較的重く（本実施形態では、３０ｋｇを超える）形成されていても、マスクホルダ４０を容易に引出すことができる。なお、スライド部４７の構成は、ボールローラーに限定されるものではない。
マスクホルダ４０には、両側面に、マスクホルダ４０の引出時に把持可能な把手４８が設けられている。
【００２８】
図８は、正面側アライメント駆動部６０を示す図であり、図８（Ａ）は正面図、図８（Ｂ）は側面図、図８（Ｃ）は連結軸を取り外した状態の平面図、図８（Ｄ）は取り外した連結軸の平面図である。
正面側アライメント駆動部６０は、図８に示すように、装置本体３０のマスク支持テーブル８０に固定された駆動モーター６１と、駆動モーター６１及びマスクホルダ４０を連結する連結軸６２とを備えている。駆動モーター６１は、軸方向に移動可能な駆動軸６１Ａと、駆動軸６１Ａに固定された台座部６１Ｂとを有している。
駆動軸６１Ａは、幅方向Ｗ（Ｘ２方向）に沿って配置されており、これにより、マスクホルダ４０が幅方向Ｗ（Ｘ２方向）に駆動される。台座部６１Ｂには、連結軸６２が固定されている。
連結軸６２は、軸部６２Ａを上下に沿って備えるとともに、軸部６２Ａの基端に直動ガイド６８を介してプレート６２Ｂを備えており、このプレート６２Ｂが台座部６１Ｂに複数（本実施形態では、２本）の取付具６３（例えば、ねじ）によって固定される。連結軸６２は、直動ガイド６８に沿って奥行き方向（Ｙ方向）に自由にスライド可能に構成されている。
【００２９】
プレート６２Ｂには、複数（本実施形態では、２本）の位置決めピン６４が形成されるとともに、台座部６１Ｂには位置決め穴６５が形成されている。連結軸６２は、固定時に、位置決めピン６４が位置決め穴６５に嵌合することで位置決めされる。
連結軸６２の軸部６２Ａは、マスクホルダ４０に設けた軸受け部４９に挿入される。軸受け部４９には例えばロータリー・スライドブッシュが用いられており、軸受け部４９と連結軸６２の基部との間には、位置決めピン６４が位置決め穴６５から抜き去ることができる程度の隙間δが形成されている。
また、正面側アライメント駆動部６０は、駆動モーター６１及び連結軸６２の基部を覆う正面側駆動部カバー６６を備えている。正面側駆動部カバー６６は複数（本実施形態では、４本）の固定具６７（例えば、ねじ）によって装置本体３０のマスク支持テーブル８０に固定されている。
【００３０】
正面側アライメント駆動部６０は、正面側駆動部カバー６６が外された状態で、台座部６１Ｂの上面と連結軸６２のプレート６２Ｂの下面との合わせ面に相当する切り離し位置Ｐ１から切り離される。正面側アライメント駆動部６０は、切り離し位置Ｐ１がマスクホルダ４０の下面４０Ａ（ホルダフレーム４１の下面）の下方、すなわち、マスクホルダ４０の引出軌跡から外れた位置に配置されている。これにより、マスクホルダ４０の引出時に駆動モーター６１を取り外す必要がなくなるので、マスクホルダ４０を容易に着脱できる。
【００３１】
図９は、背面側アライメント駆動部７０を示す図であり、図９（Ａ）は正面図、図９（Ｂ）は背面図、図９（Ｃ）は側面図、図９（Ｄ）は上側の駆動モーター及び駆動部分を取り外した状態の平面図、図９（Ｅ）は取り外した駆動モーター及び駆動部分の平面図である。
背面側アライメント駆動部７０は、図９に示すように、装置本体３０のマスク支持テーブル８０に固定された２つの駆動モーター７１，７２と、駆動モーター７１，７２により駆動されるベアリング７９及びマスクホルダ４０を連結する連結体７３とを備えている。駆動モーター７１，７２は、それぞれ、軸方向に移動可能な駆動軸７１Ａ，７２Ａと、駆動軸７１Ａ，７２Ａに固定された駆動部本体７１Ｂ，７２Ｂとを有している。一方の駆動部本体７１Ｂの上面に他方の駆動モーター７２、駆動軸７２Ａ及び駆動部本体７２Ｂが支持されている。図９中、符号７０Ａは背面側アライメント駆動部７０全体の台座を示し、符号Ｐ２は下段側駆動部と上段側駆動部との合わせ面の位置を示す。
駆動軸７１Ａは、幅方向Ｗ（Ｘ１方向）に沿って配置されており、駆動モーター７２の駆動軸７２Ａは奥行き方向（Ｙ方向）に沿って配置されており、これにより、マスクホルダ４０が幅方向Ｗ（Ｘ１方向）及び奥行き方向（Ｙ方向）に駆動される。上述したように、連結軸６２は奥行き方向（Ｙ方向）に自由にスライド可能に構成されており、この駆動モーター７２によって連結軸６２の奥行き方向（Ｙ方向）の位置が調整される。
連結体７３は上側の駆動モーター７２にベアリング７９を介して支持され、この連結体７３に、マスクホルダ４０が複数（本実施形態では、２本）の取付具７４（例えば、ねじ）によって固定される。連結体７３は、上下に延びる略円柱状のベアリング７９に外嵌されており、ベアリング７９の中心軸を中心に回転自在に構成されている。
【００３２】
マスクホルダ４０の背面には、幅方向Ｗ略中央に、位置決めピン７５が形成されるとともに、連結体７３の正面には位置決め穴７６が形成されている。マスクホルダ４０は、固定時に、位置決めピン７５が位置決め穴７６に嵌合することで位置決めされる。
また、背面側アライメント駆動部７０は、駆動モーター７１，７２を覆う背面側駆動部カバー７７を備えている。正面側駆動部カバー６６は複数（本実施形態では、４本）の固定具７８（例えば、ねじ）によって装置本体３０のマスク支持テーブル８０に固定されている。
このように、マスクホルダ４０の正面側及び背面側に位置決めピン６４及び位置決めピン７５を設けることで、マスクホルダ４０を取り外しても、マスクホルダ４０を元の位置に戻すことができ、マスクホルダ４０の位置を再調整する必要がなくなる。なお、位置決めピン６４及び位置決めピン７５はピンに限定されるものではなく、種々の位置決め部材を用いることができる。
【００３３】
次に、マスクホルダ４０の着脱手順について説明する。
本実施形態では、マスクホルダ４０が比較的重く形成されているため、二人以上の作業者によってマスクホルダ４０が着脱される。
マスクホルダ４０を取り外す際には、まず、背面扉３２を開き、背面側のチューブ４６を抜くとともに、取付具７４を外す。次いで、正面扉３１を開き、正面側のチューブ４６を抜くとともに、固定具６７を外して正面側駆動部カバー６６を取り外す。次に、取付具６３を外し、連結軸６２を持ち上げて台座部６１Ｂから分離する。そして、軸受け部４９がマスク支持テーブル８０よりも正面側に位置するまでマスクホルダ４０を正面側に引き出し、連結軸６２を軸受け部４９から下方に抜き去る。最後に、マスクホルダ４０全体を正面側に引き出して搬出する。なお、マスク５０は、ロボット（不図示）によりマスクホルダ４０に対して着脱される。
【００３４】
マスクホルダ４０を取り付ける際には、まず、正面側からマスクホルダ４０をマスク支持テーブル８０に搬入する。次いで、連結軸６２を軸受け部４９に挿入し、連結軸６２を持ち上げた状態で、マスクホルダ４０を奥まで押し入れ、背面側の位置決めピン７５を位置決め穴７６に挿入する。次に、連結軸６２を下げて、正面側の位置決めピン６４を位置決め穴６５に挿入し、取付具６３によってマスクホルダ４０の正面側を固定する。次に、正面側駆動部カバー６６を固定具６７によって固定するとともに、正面側のチューブ４６をチューブ接続部４５に接続し、正面扉３１を閉じる。次に、取付具７４によってマスクホルダ４０の背面側を固定するとともに、背面側のチューブ４６をチューブ接続部４５に接続し、背面扉３２を閉じる。
なお、マスクホルダ４０を同様に着脱できるのであれば、手順はこれに限定されない。
【００３５】
以上説明したように、本実施形態によれば、装置本体３０と、装置本体３０のマスク支持テーブル８０に設けたガイド部８２と、ガイド部８２に沿って正面側に引出自在なマスクホルダ４０と、マスクホルダ４０を駆動して、マスクホルダ４０に支持されたマスク５０の位置を微調整するアライメント駆動部６０，７０と、を有し、アライメント駆動部６０，７０が正面側と背面側に設けられ、正面側アライメント駆動部６０が駆動モーター６１と、駆動モーター６１及びマスクホルダ４０を連結する連結軸６２とを備え、連結軸６２が駆動モーター６１から離脱自在とされる構成とした。この構成により、マスクホルダ４０を駆動モーター６１から容易に離脱させることができるとともに、マスクホルダ４０を容易に引き出すことができるので、保持バー４２をマスクホルダ４０ごと装置本体３０に対して容易に着脱できる。
また、駆動モーター６１がマスクホルダ４０の引出軌跡から外れた位置に配置されるため、マスクホルダ４０の引出時に駆動モーター６１を取り外す必要がなくなるので、マスクホルダ４０を容易に引き出すことができる。
【００３６】
また、本実施形態によれば、マスクホルダ４０を構成するホルダフレーム４１に光透過性素材からなる複数本の保持バー４２が配置され、複数本の保持バー４２によりマスク５０が吸着保持される構成とした。この構成により、複数本の保持バー４２でマスク５０を安定して保持することができるので、マスク５０の位置を正確に調整できる。また、マスク５０の装置本体３０に対する着脱持には、保持バー４２に比べて頑丈に形成可能なホルダフレーム４１を扱うことができるので、保持バー４２の破損を抑制できる。
【００３７】
但し、上述の実施形態は本発明の一態様であり、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能であるのは勿論である。
例えば、上述の実施形態では、マスク支持テーブル８０の上面にレール８１を設け、スライド部４７を、ローラー４７Ａが下向きになりレール８１に当接するように配置する配置構成としていた。しかしながら、レール８１及びローラー４７Ａの配置構成はこれに限定されるものではない。この配置構成に代えてあるいは加えて、マスクホルダ４０にレールを設け、スライド部４７を、ローラー４７Ａを上向きにしてローラー４７Ａが当該レールに当接するように装置本体３０側のマスク支持テーブル８０に設けてもよい。
【００３８】
また、上述した実施形態では、連結軸６２が駆動モーター６１から離脱自在とされていたが、マスクホルダ４０と駆動モーター６１との着脱はこれに限定されるものではない。例えば、図１０及び図１１に示すように、連結軸６２が、駆動モーター６１に固定され、マスクホルダ４０の軸受け部４９から離脱可能に構成されていてもよい。
図１０は、変形例に係るマスクホルダ４０及びマスク支持テーブル８０を模式的に示す正面図である。図１１は、図１０の側面図であり、図１１（Ａ）はアライメント使用時、図１１（Ｂ）はマスクホルダ４０の引出時の状態を示す。
図１０及び図１１の例では、背面側アライメント駆動部を正面側アライメント駆動部６０と略同一に構成している。また、上下に伸縮自在なスライド部８５をマスク支持テーブル８０の左右の両側部に複数（本実施形態では、左右に５つずつ、計１０個）に設けるとともに、スライド部８５に当接するレール８６をホルダフレーム４１の下面４０Ａに設けている。スライド部８５は、上下に伸縮自在してマスクホルダ４０を昇降する昇降機構８５Ａを備え、マスクホルダ４０のスライド時にレール８６との摩擦を低減するように、先端部が例えばボールローラーで構成されている。昇降機構８５Ａは、制御装置９０に接続され、制御装置９０の制御に基づいて伸縮するように構成されている。レール８６は、平面を下方に向けて前後方向に延出している。
マスクホルダ４０を取り外す際には、図１１（Ｂ）に示すように、スライド部８５をすべて上昇させることで、連結軸６２が軸受け部４９から抜け、マスクホルダ４０が正面側及び背面側アライメント駆動部６０から離脱する。これにより、マスクホルダ４０を正面側に引き出すことができる。
なお、図１０及び図１１の例では、駆動モーター６１をマスクホルダ４０の引出軌跡から外れた位置に配置する必要がなくなり、駆動モーター６１の配置の自由度が向上する。また、この実施形態では、正面側及び背面側の連結軸６２がマスクホルダ４０の正面側及び背面側の軸受け部（ロータリー・スライドブッシュ）４９に挿入されることによりマスクホルダ４０の位置が決まるので、位置決めピンやネジ等の連結体を必要としない。
【００３９】
また、上述した実施形態では、アライメント駆動部６０，７０を正面側及び背面側に設けていたが、例えば、両側面側に設けてもよい。この場合、駆動モーター６１をマスクホルダ４０の引出軌跡から外れた位置に配置する必要がなくなる。
【００４０】
また、上述した実施形態では、光透過性素材からなる複数本の保持バー４２によりマスク５０を保持していたが、複数の保持バー４２を１枚の光透過性素材からなる平板（例えば、石英板）で構成してもよい。また、マスク５０をマスクホルダ４０に保持する構成は、保持バー４２や平板に限定されるものではなく、他の部材で保持してもよい。
【００４１】
また、上述した実施形態では、線状光源に３本の紫外線ランプ１０を用いていたが、線状光源の本数はこれに限定されない。また紫外線ランプ１０に代えて、紫外線ＬＥＤ等の発光素子を直線状に配列した線状光源を用いることもできる。また、線状光源が照射する光は紫外線に限定されるものではない。
【００４２】
また、上述した実施形態では、照射装置１を光硬化装置として説明したが、本発明は、種々の照射装置に適用可能である。
【符号の説明】
【００４３】
１  照射装置
３０  装置本体
４０  マスクホルダ
４１  ホルダフレーム
４２  保持バー
５０  マスク
６０  正面側アライメント駆動部（アライメント駆動部）
６１  駆動モーター
６２  連結軸
７０  背面側アライメント駆動部（アライメント駆動部）
８２  ガイド部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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