(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
小型で、薄く、軽いながら高出力パルスのＸ線を発生させＸ線非破壊検査に用いられるポータブルＸ線検査装置であって、
電源、検査対象にＸ線を照射するＸ線管、前記Ｘ線管に印加するパルス高電圧を複数段の昇圧回路により生成する高電圧化回路群、前記高電圧化回路群でパルス高電圧の発生タイミングおよびパルス幅を可変制御して前記Ｘ線の照射タイミングを決定する駆動回路を内蔵したＸ線源と、
前記Ｘ線源のＸ線発生のタイミングと同期して前記検査対象を透過した前記Ｘ線を感知するデジタル式のＸ線検出器と、
前記Ｘ線検出器の検出信号をデジタル画像として表示・保存可能に処理する制御装置と、
前記デジタル画像を表示するモニタと、
からなり、
前記高電圧化回路群が、
１．２Ｖ〜６ＶをＤＣ５０Ｖ〜８０Ｖに昇圧するＤＣ−ＤＣコンバータ回路を含む第一段高圧回路と、
前記ＤＣ５０Ｖ〜８０Ｖに昇圧された電圧をさらにＡＣ８ｋＶ〜１５ｋＶに昇圧する巻線小型トランスのＤＣ−ＡＣコンバータ回路を含む第二段陽極高圧回路と、
前記ＤＣ５０Ｖ〜８０Ｖに昇圧された電圧をさらにＡＣ５ｋＶ〜１０ｋＶに昇圧する巻線小型トランスのＤＣ−ＡＣコンバータ回路を含む第二段陰極高圧回路と、
前記ＡＣ８ｋ〜１５ｋＶに昇圧された陽極側の電圧をさらにＡＣ５０ｋＶ〜１００ｋＶに昇圧する、コンデンサとダイオードとからなり、前記Ｘ線管に最適化された多段のコッククロフト・ウォルトン回路を含む第三段陽極高圧回路と、
前記ＡＣ５ｋ〜１０ｋＶに昇圧された陰極側の電圧をさらにＡＣ４０ｋＶ〜８０ｋＶに昇圧する、コンデンサとダイオードとからなり、前記極Ｘ線管に最適化された多段のコッククロフト・ウォルトン回路を含む第三段陰極高圧回路と、
からなることを特徴とするポータブルＸ線検査装置。
【請求項２】
前記Ｘ線検出器が、Ｘ線の照射タイミングに同期して、有線あるいは無線の同期信号によりＸ線の検出をすることを特徴とする請求項１に記載のポータブルＸ線検査装置。
【請求項３】
前記同期は、前記制御装置が、Ｘ線検査開始信号であるトリガーを前記Ｘ線源及び前記Ｘ線検出器に有線あるいは無線により送り、前記トリガーを受けて、前記Ｘ線源はＸ線を照射し、前記Ｘ線検出器が前記Ｘ線の検出を開始することを特徴とする請求項２に記載のポータブルＸ線検査装置。
【請求項４】
前記駆動回路が、前記パルス高電圧の値、前記パルス幅及びパルス数の内いずれか１種以上を変動させる制御を行い、前記Ｘ線の照射量を可変としたことを特徴とする請求項１に記載のポータブルＸ線検査装置。
【請求項５】
前記Ｘ線源が、
前記Ｘ線管と、前記Ｘ線管を被覆する絶縁モールドから成る本体と、前記複数段の昇圧回路の内の最終段の昇圧回路、前記電源および前記駆動回路を含む操作部とからなり、
前記本体と前記操作部が分離され、有線あるいは無線で接続され、遠隔操作により、
前記パルス高電圧の値、前記パルス幅及びパルス数を変動させる制御を行い、前記操作部と離れた場所でＸ線を発生させ、前記Ｘ線の照射量を可変としたことを特徴とする請求項１に記載のポータブルＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、小型で、薄く、軽いＸ線非破壊検査に用いられる解像度の高いポータブルＸ線検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
高度成長期に建設された建築物や社会や産業の基盤となる構造物は現在でも使用されている物が多い。これらの安全性確保のため、現場における非破壊検査のニーズが高まっている。
【０００３】
たとえば、図１２に示すように、高度成長期に建設・製造された化学プラントや発電所などのパイプライン１０では、保温材１０ｃ付き配管１０ａの内部管１０ｂの腐食や減肉が問題となっている。そこで、保温材１０ｃを取り外さずに配管１０ａの腐食などを検査するためＸ線透過法が用いられている。
【０００４】
しかし、従来のＸ線源２’はサイズが大きく、重量が重く、電源供給用の配線が必要といった制限から現場での作業性が悪く、多数の配管が設置されているような狭い空間（７０ｍｍ程度、図１２（Ｂ））で使うことは難しかった。そのため、狭い空間でも利用できる小型のＸ線源２が求められていた。
【０００５】
また、プラントのような構造物、例えばパイプライン１０等では検査対象が長大、多数であり、作業員のＸ線被ばく低減や作業の効率化のために、ロボットなどに搭載し、移動しながら検査できる小型軽量のＸ線源２も望まれていた。さらに、Ｘ線源を酷使して膨大な数の検査対象の非破壊検査を行っても、長期間交換不要な長寿命のＸ線源も求められている。
【０００６】
他方、配管の非破壊検査用の非破壊検査装置として、特許文献１が公開されている。特許文献１の非破壊検査装置１ａは、配管用の非破壊検査装置の設置スペースの狭小化及び検査時間の短縮化を図るため、Ｘ線、γ線などの放射線を検査対象の配管２に放射する放射線源３と、放射線源３より放射されて配管２を透過した放射線を取り込んで受像を行うカラーイメージインテンシファイヤ６と、配管２を挟んで各々対向させるべき放射線源３とカラーＩ．Ｉ．６との相対的な位置及び姿勢を定位させる位置決め機構５と、カラーＩ．Ｉ．６から出力されるカラーの信号をそれぞれ波長成分毎に分解して画像処理を行う画像処理装置７とからなる。
【０００７】
しかしながら、特許文献１の発明は、特定の形状、構造の配管であれば検査可能であるが、汎用性がない点が問題であった。加えて、他の検査対象への適用範囲も狭い。Ｘ線源については、長寿命、高解像度、低ランニングコストに関し、具体的な構造、特性について、開示がない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００８−  ５１６５３号公報
【特許文献２】特開２０１２−１３３８９７号公報
【非特許文献】
【０００９】
【非特許文献１】http://beam-physics.kek.jp/bpc/procs/suzuki.pdf「“乾電池駆動超小型電子加速器・高エネルギーＸ線源の開発とその応用”２００９年３月２９日  鈴木良一  産業技術総合研究所」
【非特許文献２】http://www.aist.go.jp/aist_j/press_release/pr2014/pr20140603/pr20140603.html「小型軽量な非破壊検査用パルスX線源を開発」
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
そこで、本発明は、小型で、薄く、軽いＸ線非破壊検査に用いられ、高解像度で、かつ低ランニングコストで、検査対象の種々の形状、構造にも適用できる、汎用性のあるポータブルＸ線検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の課題を解決するために、本発明は、
（１）
小型で、薄く、軽いながら高出力パルスのＸ線を発生させＸ線非破壊検査に用いられるポータブルＸ線検査装置であって、
電源、検査対象にＸ線を照射するＸ線管、前記Ｘ線管に印加するパルス高電圧を複数段の昇圧回路により生成する高電圧化回路群、前記高電圧化回路群でパルス高電圧の発生タイミングおよびパルス幅を可変制御して前記Ｘ線の照射タイミングを決定する駆動回路を内蔵したＸ線源と、
前記Ｘ線源のＸ線発生のタイミングと同期して前記検査対象を透過した前記Ｘ線を感知するデジタル式のＸ線検出器と、
前記Ｘ線検出器の検出信号をデジタル画像として表示・保存可能に処理する制御装置と、
前記デジタル画像を表示するモニタと、
からなり、
前記高電圧化回路群が、
１．２Ｖ〜６ＶをＤＣ５０Ｖ〜８０Ｖに昇圧するＤＣ−ＤＣコンバータ回路を含む第一段高圧回路と、
前記ＤＣ５０Ｖ〜８０Ｖに昇圧された電圧をさらにＡＣ８ｋＶ〜１５ｋＶに昇圧する巻線小型トランスのＤＣ−ＡＣコンバータ回路を含む第二段陽極高圧回路と、
前記ＤＣ５０Ｖ〜８０Ｖに昇圧された電圧をさらにＡＣ５ｋＶ〜１０ｋＶに昇圧する巻線小型トランスのＤＣ−ＡＣコンバータ回路を含む第二段陰極高圧回路と、
前記ＡＣ８ｋＶ〜１５ｋＶに昇圧された陽極側の電圧をさらにＡＣ５０ｋＶ〜１００ｋＶに昇圧する、コンデンサとダイオードとからなり、前記Ｘ線管に最適化された多段のコッククロフト・ウォルトン回路を含む第三段陽極高圧回路と、
前記ＡＣ５ｋＶ〜１０ｋＶに昇圧された陰極側の電圧をさらにＡＣ４０ｋＶ〜８０ｋＶに昇圧する、コンデンサとダイオードとからなり、前記極Ｘ線管に最適化された多段のコッククロフト・ウォルトン回路を含む第三段陰極高圧回路と、
からなることを特徴とするポータブルＸ線検査装置。
（２）
前記Ｘ線検出器が、Ｘ線の照射タイミングに同期して、有線あるいは無線の同期信号によりＸ線の検出をすることを特徴とする（１）に記載のポータブルＸ線検査装置。
（３）
前記同期は、前記制御装置が、Ｘ線検査開始信号であるトリガーを前記Ｘ線源及び前記Ｘ線検出器に有線あるいは無線により送り、前記トリガーを受けて、前記Ｘ線源はＸ線を照射し、前記Ｘ線検出器が前記Ｘ線の検出を開始することを特徴とする（２）に記載のポータブルＸ線検査装置。
（４）
前記駆動回路が、前記パルス高電圧の値、前記パルス幅及びパルス数の内いずれか１種以上を変動させる制御を行い、前記Ｘ線の照射量を可変としたことを特徴とする（１）に記載のポータブルＸ線検査装置。
（５）
前記Ｘ線源が、
前記Ｘ線管と、前記Ｘ線管を被覆する絶縁モールドから成る本体と、前記複数段の昇圧回路の内の最終段の昇圧回路、前記電源および前記駆動回路を含む操作部とからなり、
前記本体と前記操作部が分離され、有線あるいは無線で接続され、遠隔操作により、
前記パルス高電圧の値、前記パルス幅及びパルス数を変動させる制御を行い、前記操作部と離れた場所でＸ線を発生させ、前記Ｘ線の照射量を可変としたことを特徴とする（１）に記載のポータブルＸ線検査装置。
とした。
【発明の効果】
【００１２】
本発明は以上の構成であるので、以下の効果を発揮する。小型で、薄く、軽いＸ線非破壊検査に用いられ、高解像度で、かつ低ランニングコストで、検査対象の種々の形状、構造にも適用できる、汎用性のある小型軽量可搬型Ｘ線検査装置を提供できる。
【００１３】
より具体的には、Ｘ線照射と検出を同期させることで、Ｘ線が照射されたときだけ検出器を動作させるので、Ｘ線が照射されていない間に発生する検出器のバックグラウンドノイズがなくなり、ノイズ成分を減らせるため、Ｓ／Ｎ（Ｓｉｇｎａｌ／Ｎｏｉｓｅ）が良くなり、高解像度画像（綺麗な画像）として検査結果を取得できる。また、厚さ７０ｍｍ以下、重さ６ｋｇ以下の小型軽量なＸ線源が実現でき、さらにＸ線検出器、モニタを組み合わせ、ロボットなどに搭載し、Ｘ線発生とデータ通信を無線通信とすれば、高所、狭小スペースであっても、効率的な非破壊Ｘ線検査が安全に行える。検査コスト、ランニングコストの大きな削減になる。
【００１４】
エージングしたカーボンナノ構造体を電子源に用いることで、予熱が不要ですぐＸ線を照射でき、乾電池でも駆動できるほど省電力で、さらにカーボンナノ構造体Ｘ線管の長寿命化が可能になり、使用頻度が高い現場でも長期間Ｘ線管の交換が不要になる。
【００１５】
加えて、複数段の昇圧回路で、高圧電圧化回路を適正化することで、乾電池などの電源であっても、ミリ秒オーダー短時間で高出力パルスＸ線を発生でき、パルス照射のため、電源および昇圧回路が小型で外部漏えいを最低限に抑えられ、動く物の撮影やＸ線源を移動しながらの撮影も可能になり、Ｘ線検査の応用範囲が広がる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明であるポータブルＸ線検査装置の構成図である。
【図２】本発明であるポータブルＸ線検査装置での撮影方法の説明図である。
【図３】本発明であるポータブルＸ線検査装置で撮影された外被、保温材で内部管を被覆した配管の検査結果である。白枠内に、人工的に付けた傷（スリット）を確認することできる。
【図４】本発明であるポータブルＸ線検査装置のブロック図である。
【図５】Ｘ線源の外観及び収納物の写真である。
【図６】高電圧化の説明図及び写真である。
【図７】第三段階陽極・陰極昇圧回路図の一例である。
【図８】Ｘ線照射と、Ｘ線検出器の検出タイミングの同期の説明図である。
【図９】配管以外の撮影対象のＸ線撮影結果である。（Ａ）は筐体内に収納された基板、（Ｂ）は人の手の撮影画像である。
【図１０】Ｘ線管（カーボンナノ構造体三極式冷陰極Ｘ線管）の説明図である。
【図１１】カーボンナノ構造体冷陰極電子源表面の顕微鏡写真である。
【図１２】従来の非破壊Ｘ線検査装置による配管の検査方法の説明図である。
【図１３】分離型のＸ線源の説明（Ａ）と実物写真（Ｂ）である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、添付図面に基づき、本発明の実施の形態について詳細に説明する。ただし、本発明はそれら実施形態に限定されるものではない。
【実施例１】
【００１８】
図１、４等に示すように、本発明の一例であるポータブルＸ線検査装置１は、Ｘ線源２と、Ｘ線検出器３と、モニタ４ｄ及び制御装置４ａを含むＰＣ４とからなる。本発明では、例えば、配管１０ａから外被１０ｄ、保温材１０ｃを外すことなく、配管１０ａにＸ線２ａを照射して、保温材１０ｃで被覆された内部管１０ｂの劣化等をＸ線撮影（検査画像４ｅ）で確認（Ｘ線非破壊検査）することができる。Ｘ線源２及びＸ線検出器３を、ＰＣ４によって無線通信６、７でも制御することができる。
【００１９】
図２に示すように、検査対象が、配管１０ａであれば、（Ａ）のように全体に、Ｘ線源２からＸ線２ａを配管全体に照射し、配管１０ａの全体像をＸ線検出器３を介して撮影すること、（Ｂ）に示すように、エッジ１０ｅ部分を撮影し、内部管１０ｂの肉厚度合いを検査することもできる。図２（Ｂ）に示すエッジ１０ｅの撮影結果（検査画像４ｅ）を図３に示す。
【００２０】
図３に示すように、Ｘ線源２及びＸ線検出器３を用いた配管１０ａのＸ線非破壊検査（撮影）において、保温材１０ｃで被覆された内部管１０ｂの保温材１０ｃとの境界であるエッジ１０ｅ部分を、内部管画像４ｆと保温材画像４ｇの境界として明確に確認することができるとともに、内部管１０ｂに人工的に形成した傷（スリット４ｈ）もはっきり確認することができる。
【００２１】
以下、本発明の一例であるポータブルＸ線検査装置１の構成について詳しく説明する。
【００２２】
Ｘ線源２は、Ｘ線２ａを検査対象１１に照射するもので、図４−６に示すように、電池２ｂと、駆動回路２ｑと、高電圧化回路群２ｃと、Ｘ線管５からなる。それらは、絶縁モールドで被覆され、筐体２ｒ内に内蔵され、筐体２ｒには操作部２ｆとアンテナ２ｅが設けられる。Ｘ線源２のアンテナ２ｅは、ＰＣ４とＸ線源２との無線通信６に用いられる。
【００２３】
Ｘ線源２は、乾電池（電池２ｂ）１本の電圧（１．２Ｖ）でも駆動し、配管１０ａの鮮明なＸ線画像を撮影するのに十分な放射線エネルギーレベルのＸ線２ａを出力（１００ｋｅＶ〜１５０ｋｅＶ程度）することができるが、より長時間の駆動に耐えるため、６Ｖ等のリチウム電池などを採用するとよい。
【００２４】
駆動回路２ｑは、Ｘ線管５に印加されるパルス高電圧２ｐの生成を制御し、パルス高電圧の値、パルス幅、パルス数を変動させ、Ｘ線２ａの照射量を可変制御する。操作部２ｆは、駆動回路２ｑの設置を入力するボタンである。
【００２５】
高電圧化回路群２ｃは、図６に示すように、電池に接続する（Ｂ）第一段高電圧回路２ｇ、第二段陽極高電圧回路２ｈ及び第二段陰極高電圧回路２ｉと、（Ｃ）第三段陽極昇圧回路２ｋ及び第三段陰極昇圧回路２ｎとからなり、（Ｄ）Ｘ線管５にパルス高電圧２ｐを印加する。図６を参照して、１．２Ｖ〜６Ｖから陽極、陰極合わせてＡＣ１００ｋＶ〜１５０ｋＶ範囲内のパルス高電圧２ｐを生成する機構について説明する。
【００２６】
第一段高電圧回路２ｇは、ＤＣ−ＤＣコンバータによる昇圧回路を含み、乾電池（電池２ｂ）の電圧（１．２Ｖ〜６Ｖ）をＤＣ５０Ｖ〜８０Ｖに昇圧する。
【００２７】
第二段陽極高電圧回路２ｈは、Ｘ線管５の陽極に印加される電圧の二段階目の昇圧回路であり、トランスを用いたＤＣ−ＡＣコンバータによる昇圧回路を含み、おおよそＤＣ８０Ｖの入力電圧をおおよそＡＣ１５ｋＶに昇圧させる。
【００２８】
第二段陰極高電圧回路２ｉは、Ｘ線管５の陰極に印加される電圧の二段階目の昇圧回路であり、陽極と同じようにトランスを用いたＤＣ−ＡＣコンバータによる昇圧回路を含み、おおよそＤＣ８０Ｖの入力電圧をおおよそＡＣ１０ｋＶに昇圧させる。
【００２９】
第三段陽極昇圧回路２ｋは、Ｘ線管５の陽極に印加される電圧の三段階目の昇圧回路であり、多段のコッククロフト・ウォルトン回路でその段数を最適化した回路を含み、おおよそＡＣ１５ｋＶの入力電圧をおおよそＡＣ１００ｋＶに昇圧させる。
【００３０】
第三段陰極昇圧回路２ｎは、Ｘ線管５の陰極に印加される電圧の三段階目の昇圧回路であり、陽極と同じように、多段のコッククロフト・ウォルトン回路でその段数を最適化した回路を含み、おおよそＡＣ１０ｋＶの入力電圧をおおよそＡＣ８０ｋＶに昇圧させる。
【００３１】
第三段陽極、陰極昇圧回路２ｋ、２ｎの回路図を図７に示す。図７に示すように、第三段陽極、陰極昇圧回路２ｋ、２ｎは、コンデンサとダイオードとからなり、冷陰極Ｘ線管の特性に合わせて段数を最適化する点に特徴がある。
【００３２】
乾電池の電圧（１．２Ｖ〜６Ｖ）が、これらの回路を経ることで、およそＡＣ１５０ｋＶのパルス高電圧２ｐとして、Ｘ線管５に印加され、１５０ｋｅＶのＸ線２ａを出射させることができる。
【００３３】
図４に示すように、Ｘ線検出器３は、Ｘ線源２とで検査対象１１を挟む位置に配置され、検査対象１１を透過したＸ線２ａをデジタル式の２次元画像データとして感知し、制御装置４ａに、有線、Ｘ線検出器３のアンテナ３ａを介して無線通信６で送信する。
【００３４】
Ｘ線検出器３としては、例えば、シンチレータ、ＣＣＤ、ＣＭＯＳ、ＣｄＴｅ半導体などが例示される。
【００３５】
ＰＣ４は、図１、４に示すように、モニタ４ｄ、制御装置４ａからなり、Ｘ線検出器３で取得されたデータは、制御装置４ａでモニタ４ｄに表示可能なデータに処理され、モニタ４ｄでリアルタイムに検査対象１１のＸ線画像（検査画像４ｅ）を確認することができる。当然、取得データ、検査画像４ｅは、記録媒体に保存することもできる。制御装置４ａには、後述のＸ線２ａの照射と、Ｘ線検出器３の検出開始の同期を制御するトリガー４ｃを生成する同期生成部４ｂを含む。
【００３６】
次に、図８を参照して、Ｘ線２ａの照射と、Ｘ線検出器３の検出開始の同期機構を説明する。制御装置４ａの同期生成部４ｂが、スタート信号を受けて、Ｘ線検査開始信号であるトリガー４ｃをＸ線源２（駆動回路２ｑ）及びＸ線検出器３に送り、それらがトリガー４ｃを受けて、Ｘ線源２はＸ線２ａを照射し、Ｘ線検出器３はトリガー４ｃからＸ線２ａ照射までの時間ロスを見込んでＸ線２ａの検出を開始する。これにより、検査画像４ｅのノイズを抑制するとともに、周囲環境の被曝低減に資する。
【００３７】
その後、取得された撮影データは、Ｘ線検出器３とＰＣ４との無線通信７で、ＰＣ４に送られ、制御装置４ａによる画像処理が施され、モニタ４ｄに、検査画像４ｅとして、表示される。
【００３８】
このようにしてなる本願発明は、配管１０ａに限らず、図９（Ａ）に示すように、内部に収納された回路の撮影、検査、図９（Ｂ）に示すように、人の手のＸ線撮影等にも利用でき、汎用範囲は極めて広い。また、パルス間隔も任意に、１ｍｓ〜１０００ｍｓなどで設定できるので、高速運動する検査対象を連続撮影することで、鮮明な静止画像が撮影できるとともに、検査画像を連続再生することで、まるで動画のように確認することもできる。
【００３９】
次に、Ｘ線管について説明する。図１０に示すように、Ｘ線管５としては、例えば、カーボンナノ構造体三極式冷陰極Ｘ線管５ａなどがあり、小型で、パルス高電圧２ｐの印加を受けて、陰極５ｂ側のカーボンナノ構造体冷陰極５ｄで発生した電子５ｅを陽極５ｃ側のターゲット５ｆに照射して、Ｘ線２ａを発生させ、出射口５ｇから放出する。なお、Ｘ線管５が、乾電池、バッテリ、商用電源で駆動する原理、構成は、特許文献２及び非特許文献１に詳しく記載されている。
【００４０】
本発明で用いるカーボンナノ構造体三極式冷陰極５ａは、例えば、図１１に示すように、カーボンナノチューブ、カーボンナノウール、ナノダイヤモンドのランダムが混在した先端に向け全体としてテーパー状で、先端から電子５ｅを、Ｘ線２ａを発生させるターゲット５ｆに放出する。ただし、この形状に限定されるものではない。カーボンナノ構造体冷陰極は、例えば、冷陰極に徐々に電圧、電流をかけて、冷陰極の特性を安定させるエージング処理により寿命が延びる。
【実施例２】
【００４１】
図１３に、本発明であるポータブルＸ線検査装置２１のＸ線源分離型の第２の実施例について説明する。
【００４２】
Ｘ線源２２は、Ｘ線管５と、Ｘ線管５を被覆する絶縁モールドから成る本体２２ａと、
複数段の昇圧回路の内の最終段の昇圧回路、電池２ｂなどの電源および駆動回路２ｑを含む操作部２２ｆとからなり、
本体２２ａと操作部２ｆが分離され、例えばコード２２ｂなどの有線、あるいは無線で接続され、遠隔操作により、
パルス高電圧の値、パルス幅及びパルス数を変動させる制御を行い、操作部２２ｆと離れた場所でＸ線２ａを発生させ、Ｘ線２ａの照射量を可変する。これにより、汎用性が高く、被ばくも避けられて、安全なＸ線検査装置となる。Ｘ線検出器３は、Ｘ線２ａの照射に、ＰＣ４及び無線機２３のアンテナ２３ａを介して無線通信６ａ、７ａで同期させることもできる。ＰＣ４と無線機２３は、通信２３ｂで電気的に接続する。
【符号の説明】
【００４３】
１      ポータブルＸ線検査装置
２      Ｘ線源
２’    従来のＸ線源
２ａ    Ｘ線
２ｂ    電池
２ｃ    高電圧化回路群
２ｅ    アンテナ
２ｆ    操作部
２ｇ    第一段高電圧回路
２ｈ    第二段陽極高電圧回路
２ｉ    第二段陰極高電圧回路
２ｋ    第三段陽極昇圧回路
２ｎ    第三段陰極昇圧回路
２ｐ    パルス高電圧
２ｑ    駆動回路
２ｒ    筐体
３      Ｘ線検出器
３ａ    アンテナ
４      ＰＣ
４ａ    制御装置
４ｂ    同期生成部
４ｃ    トリガー
４ｄ    モニタ
４ｅ    検査画像
４ｆ    内部管画像
４ｇ    保温材画像
４ｈ    スリット
５      Ｘ線管
５ａ    カーボンナノ構造体三極式冷陰極Ｘ線管
５ｂ    陰極
５ｃ    陽極
５ｄ    カーボンナノ構造体冷陰極
５ｅ    電子
５ｆ    ターゲット
５ｇ    出射口
５ｈ    中間極
５ｉ    孔
５ｋ    グランド
６      無線通信
６ａ    無線通信
７      無線通信
７ａ    無線通信
１０    パイプライン
１０ａ  配管
１０ｂ  内部管
１０ｃ  保温材
１０ｄ  外被
１０ｅ  エッジ
１１    検査対象
２１    ポータブルＸ線検査装置
２２    Ｘ線源
２２ａ  本体
２２ｂ  コード
２２ｆ  操作部
２３    無線機
２３ａ  アンテナ
２３ｂ  通信
【図１】
0006443994.tif 000002
【図２】
0006443994.tif 000003
【図３】
0006443994.tif 000004
【図４】
0006443994.tif 000005
【図５】
0006443994.tif 000006
【図６】
0006443994.tif 000007
【図７】
0006443994.tif 000008
【図８】
0006443994.tif 000009
【図９】
0006443994.tif 000010
【図１０】
0006443994.tif 000011
【図１１】
0006443994.tif 000012
【図１２】
0006443994.tif 000013
【図１３】
0006443994.tif 000014