(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の配置規則に従って第１の位置に配置された複数のワークを、第２の配置規則に従って第２の位置に再配置する機能を備えた切断装置であって、
第１の方向に沿って等間隔に順次配置された複数の係着部材を含む本体部と、
前記本体部を前記第１の位置から前記第２の位置へ移動させる移動機構と、
前記本体部および前記移動機構を制御する制御部とを備え、
前記本体部は、前記制御部からの指令に従って、等間隔を維持したまま、係着部材の間隔を前記第１の方向に沿って調整可能に構成されており、
前記制御部は、
ワークの係着に使用される係着部材を前記複数の係着部材から第１の所定数おきに選択すること、および、前記第２の位置におけるワークの配置対象となる配置位置を複数の配置位置から第２の所定数おきに選択すること、の少なくとも一方を行うとともに、当該選択に応じて係着部材の間隔を決定し、
前記第２の配置規則に含まれる配置位置の間隔が、係着部材の調整可能な間隔の最大値より大きい場合に、または、係着部材の調整可能な間隔の最小値より小さい場合に、前記ワークの配置対象となる配置位置が前記ワークの係着に使用される係着部材の調整可能な間隔の最小値から最大値の範囲内になるように、前記第１の所定数および前記第２の所定数を決定し、
前記制御部は、
（１）前記第１の所定数おきに選択された係着部材をワークの係着に使用するとともに、前記複数の配置位置のすべてをワークの配置対象として、複数のワークを同時に搬送する第１のモードと、
（２）前記複数の係着部材のすべてをワークの係着に使用するとともに、前記第２の所定数おきに選択された配置位置をワークの配置対象として、複数のワークを同時に搬送する第２のモードと、
（３）前記第１の所定数おきに選択された係着部材をワークの係着に使用するとともに、前記第２の所定数おきに選択された配置位置をワークの配置対象として、複数のワークを同時に搬送する第３のモードと、
（４）１つの係着部材をワークの係着に使用するとともに、１つの配置位置をワークの配置対象として、ワークを１つずつ個別に搬送する第４のモードと、のうちからいずれかのモードを選択する、切断装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記第２の配置規則に含まれる配置位置の間隔が、係着部材の調整可能な間隔の最大値より大きい場合に、または、係着部材の調整可能な間隔の最小値より小さい場合に、前記係着部材が前記第１の方向に沿って移動できる範囲内で、前記ワークの係着に使用される係着部材の間隔が当該配置位置の間隔と一致できるように、前記第１の所定数および前記第２の所定数を決定する、請求項１に記載の切断装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記係着部材が前記第１の方向に沿って移動できる範囲内で、ワークの係着に使用される係着部材の間隔が前記ワークの配置対象となる配置位置の間隔と一致できるように、第１の所定数および第２の所定数を決定する、請求項１に記載の切断装置。
【請求項４】
前記制御部は、
前記第２の配置規則に含まれる配置位置の間隔が、係着部材の調整可能な間隔の最大値より大きい場合に、前記ワークの配置対象となる配置位置が前記ワークの係着に使用される係着部材の調整可能な間隔の最小値から最大値の範囲内になるように、前記第１の所定数をすべての係着部材を使用する場合に相当する第１の初期値から１つずつ増やしていき、
前記第１の所定数の最大値に到達しても係着部材の調整可能な間隔の最小値から最大値の範囲内に収まらない場合に、前記第２の所定数を１つ増やした上で、再び前記第１の所定数を前記第１の初期値から１つずつ増やす処理を、前記ワークの配置対象となる配置位置が前記ワークの係着に使用される係着部材の調整可能な間隔の最小値から最大値の範囲内に収まるまで繰り返す、請求項１〜３のいずれか１項に記載の切断装置。
【請求項５】
前記制御部は、
前記第２の配置規則に含まれる配置位置の間隔が、係着部材の調整可能な間隔の最小値より小さい場合に、前記ワークの配置対象となる配置位置が前記ワークの係着に使用される係着部材の調整可能な間隔の最小値から最大値の範囲内になるように、前記第２の所定数をすべての配置位置を使用する場合に相当する第２の初期値から１つずつ増やしていき、
前記第２の所定数の最大値に到達しても係着部材の調整可能な間隔の最小値から最大値の範囲内に収まらない場合に、前記第１の所定数を１つ増やした上で、再び前記第２の所定数を前記第２の初期値から１つずつ増やす処理を、前記ワークの配置対象となる配置位置が前記ワークの係着に使用される係着部材の調整可能な間隔の最小値から最大値の範囲内に収まるまで繰り返す、請求項１〜４のいずれか１項に記載の切断装置。
【請求項６】
前記制御部は、ワークの係着に使用されない係着部材について、ワークとの接触を制限する、請求項１〜５のいずれか１項に記載の切断装置。
【請求項７】
第１の方向に沿って等間隔に順次配置された複数の係着部材を有する切断装置の移載機構を用いて、第１の配置規則に従って第１の位置に配置された複数のワークを、第２の配置規則に従って第２の位置に再配置する搬送方法であって、
ワークの係着に使用される係着部材を前記複数の係着部材から第１の所定数おきに選択すること、および、前記第２の位置におけるワークの配置対象となる配置位置を複数の配置位置から第２の所定数おきに選択すること、の少なくとも一方を行うとともに、当該選択に応じて係着部材の間隔を決定するステップと、
係着部材の間隔を前記第１の方向に沿って前記決定された間隔に変更するステップと、
変更後の間隔で前記係着部材を用いてワークを係着した状態で、前記切断装置の移載機構を前記第１の位置から前記第２の位置へ移動させるステップとを備え、
前記係着部材の間隔を決定するステップは、前記第２の配置規則に含まれる配置位置の間隔が、係着部材の調整可能な間隔の最大値より大きい場合に、または、係着部材の調整可能な間隔の最小値より小さい場合に、前記ワークの配置対象となる配置位置が前記ワークの係着に使用される係着部材の調整可能な間隔の最小値から最大値の範囲内になるように、前記第１の所定数および前記第２の所定数を決定するステップと、
（１）前記第１の所定数おきに選択された係着部材をワークの係着に使用するとともに、前記複数の配置位置のすべてをワークの配置対象として、複数のワークを同時に搬送する第１のモードと、
（２）前記複数の係着部材のすべてをワークの係着に使用するとともに、前記第２の所定数おきに選択された配置位置をワークの配置対象として、複数のワークを同時に搬送する第２のモードと、
（３）前記第１の所定数おきに選択された係着部材をワークの係着に使用するとともに、前記第２の所定数おきに選択された配置位置をワークの配置対象として、複数のワークを同時に搬送する第３のモードと、
（４）１つの係着部材をワークの係着に使用するとともに、１つの配置位置をワークの配置対象として、ワークを１つずつ個別に搬送する第４のモードと、のうちからいずれかのモードを選択するステップとを含む、搬送方法。
【請求項８】
第１の方向に沿って等間隔に順次配置された複数の係着部材を有する切断装置の移載機構を用いて、第１の配置規則に従って第１の位置に配置された複数のワークを、第２の配置規則に従って第２の位置に再配置する搬送プログラムであって、前記搬送プログラムはコンピュータに
ワークの係着に使用される係着部材を前記複数の係着部材から第１の所定数おきに選択すること、および、前記第２の位置におけるワークの配置対象となる配置位置を複数の配置位置から第２の所定数おきに選択すること、の少なくとも一方を行うとともに、当該規則的な選択に応じて係着部材の間隔を決定するステップと、
係着部材の間隔を前記第１の方向に沿って前記決定された間隔に変更するステップと、
変更後の間隔で前記係着部材を用いてワークを係着した状態で、前記切断装置の移載機構を前記第１の位置から前記第２の位置へ移動させるステップとを実行させ、
前記係着部材の間隔を決定するステップは、前記第２の配置規則に含まれる配置位置の間隔が、係着部材の調整可能な間隔の最大値より大きい場合に、または、係着部材の調整可能な間隔の最小値より小さい場合に、前記ワークの配置対象となる配置位置が前記ワークの係着に使用される係着部材の調整可能な間隔の最小値から最大値の範囲内になるように、前記第１の所定数および前記第２の所定数を決定するステップと、
（１）前記第１の所定数おきに選択された係着部材をワークの係着に使用するとともに、前記複数の配置位置のすべてをワークの配置対象として、複数のワークを同時に搬送する第１のモードと、
（２）前記複数の係着部材のすべてをワークの係着に使用するとともに、前記第２の所定数おきに選択された配置位置をワークの配置対象として、複数のワークを同時に搬送する第２のモードと、
（３）前記第１の所定数おきに選択された係着部材をワークの係着に使用するとともに、前記第２の所定数おきに選択された配置位置をワークの配置対象として、複数のワークを同時に搬送する第３のモードと、
（４）１つの係着部材をワークの係着に使用するとともに、１つの配置位置をワークの配置対象として、ワークを１つずつ個別に搬送する第４のモードと、のうちからいずれかのモードを選択するステップとを実行させる、搬送プログラム。
【請求項９】
第１の方向に沿って等間隔に順次配置された複数の係着部材を有する切断装置の移載機構を用いて、第１の配置規則に従って第１の位置に配置された複数のワークを、第２の配置規則に従って第２の位置に再配置する搬送プログラムを格納した記録媒体であって、前記搬送プログラムはコンピュータに
ワークの係着に使用される係着部材を前記複数の係着部材から第１の所定数おきに選択すること、および、前記第２の位置におけるワークの配置対象となる配置位置を複数の配置位置から第２の所定数おきに選択すること、の少なくとも一方を行うとともに、当該規則的な選択に応じて係着部材の間隔を決定するステップと、
係着部材の間隔を前記第１の方向に沿って前記決定された間隔に変更するステップと、
変更後の間隔で前記係着部材を用いてワークを係着した状態で、前記切断装置の移載機構を前記第１の位置から前記第２の位置へ移動させるステップとを実行させ、
前記係着部材の間隔を決定するステップは、前記第２の配置規則に含まれる配置位置の間隔が、係着部材の調整可能な間隔の最大値より大きい場合に、または、係着部材の調整可能な間隔の最小値より小さい場合に、前記ワークの配置対象となる配置位置が前記ワークの係着に使用される係着部材の調整可能な間隔の最小値から最大値の範囲内になるように、前記第１の所定数および前記第２の所定数を決定するステップと、
（１）前記第１の所定数おきに選択された係着部材をワークの係着に使用するとともに、前記複数の配置位置のすべてをワークの配置対象として、複数のワークを同時に搬送する第１のモードと、
（２）前記複数の係着部材のすべてをワークの係着に使用するとともに、前記第２の所定数おきに選択された配置位置をワークの配置対象として、複数のワークを同時に搬送する第２のモードと、
（３）前記第１の所定数おきに選択された係着部材をワークの係着に使用するとともに、前記第２の所定数おきに選択された配置位置をワークの配置対象として、複数のワークを同時に搬送する第３のモードと、
（４）１つの係着部材をワークの係着に使用するとともに、１つの配置位置をワークの配置対象として、ワークを１つずつ個別に搬送する第４のモードと、のうちからいずれかのモードを選択するステップとを実行させる、搬送プログラムを格納した記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、第１の配置規則に従って第１の位置に配置された複数のワークを、第２の配置規則に従って第２の位置に再配置する機能を備えた製造装置、ならびに、それに向けられた搬送方法、搬送プログラムおよび搬送プログラムを格納した記録媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
各種の製造プロセスにおいて、規則的に配置された複数のワークの効率的な搬送が必要になる場合がある。例えば、複数の電子部品を基板上に一括して装着した後に封止成形し、その封止成形した基板を、指定された切断パターンに従って切断することで複数のパッケージを生成するプロセスが想定される。このようなプロセスでは、生成された複数のパッケージ（「ワーク」の一例に相当する）を再配置した上で、次工程などに搬送する必要がある。
【０００３】
基板上に装着される複数の電子部品の数・種類・大きさは様々であり、かつ、切断パターンも様々である。そのため、パッケージ自体の大きさや各パッケージの配置パターンも多くのバリエーションが存在する。このように様々な態様で配置される複数のパッケージを搬送することを考慮して、例えば、特開２００８−１８６９８１号公報（特許文献１）には、搬送前セット部から搬送後セット部に複数のワークを搬送する際に、係着部材の位置を変化させることで、パッケージ搬送の効率性を高めることのできる搬送装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−１８６９８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述の特開２００８−１８６９８１号公報（特許文献１）に開示される搬送装置であっても、係着部材の調整範囲は有限であり、次工程に向けて、係着部材の調整範囲の最小値より小さい間隔でパッケージを再配置しなければならない場合には、パッケージを１つずつ個別に搬送せざるを得なかった。同様に、次工程に向けて、係着部材の調整範囲の最大値より大きい間隔でパッケージを再配置しなければならない場合にも、パッケージを１つずつ個別に搬送せざるを得なかった。
【０００６】
そのため、ある配置規則に従って配置された複数のワークを、搬送元の配置規則とは異なる様々な配置規則に従って再配置しなければならないような場合であっても、より効率的なワーク搬送を実現できる構成が要望されている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のある局面に従えば、第１の配置規則に従って第１の位置に配置された複数のワークを、第２の配置規則に従って第２の位置に再配置する機能を備えた製造装置が提供される。製造装置は、第１の方向に沿って等間隔に順次配置された複数の係着部材を含む本体部と、前記本体部を前記第１の位置から前記第２の位置へ移動させる移動機構と、前記本体部および前記移動機構を制御する制御部とを含む。前記本体部は、前記制御部からの指令に従って、等間隔を維持したまま、係着部材の間隔を前記第１の方向に沿って調整可能に構成されている。前記制御部は、前記第２の配置規則に応じて、前記複数の係着部材のうちワークの係着に使用される係着部材、および、前記第２の配置規則に含まれる複数の配置位置のうちワークの配置対象となる配置位置、の少なくとも一方を規則的に選択するとともに、当該規則的な選択に応じて係着部材の間隔を決定する。
【０００８】
好ましくは、前記制御部は、ワークの係着に使用される係着部材を前記複数の係着部材から第１の所定数おきに選択する。
【０００９】
さらに好ましくは、前記制御部は、前記第２の配置規則に含まれる配置位置の間隔が係着部材の調整可能な間隔の最大値より大きい場合に、前記係着部材が前記第１の方向に沿って移動できる範囲内で、ワークの係着に使用される係着部材の間隔が当該配置位置の間隔と一致できるように、前記第１の所定数を決定する。
【００１０】
好ましくは、前記制御部は、ワークの配置対象となる配置位置を前記複数の配置位置から第２の所定数おきに選択する。
【００１１】
さらに好ましくは、前記制御部は、前記第２の配置規則に含まれる配置位置の間隔が係着部材の調整可能な間隔の最小値より小さい場合に、前記係着部材が前記第１の方向に沿って移動できる範囲内で、ワークの係着に使用される係着部材の間隔が当該配置位置の間隔と一致できるように、前記第２の所定数を決定する。
【００１２】
好ましくは、前記制御部は、前記係着部材が前記第１の方向に沿って移動できる範囲内で、ワークの係着に使用される係着部材の間隔がワークの配置対象となる配置位置の間隔と一致できるように、第１の所定数および第２の所定数を決定し、ワークの係着に使用される係着部材を前記複数の係着部材から前記第１の所定数おきに選択し、ワークの配置対象となる配置位置を前記複数の配置位置から前記第２の所定数おきに選択する。
【００１３】
好ましくは、前記制御部は、ワークの係着に使用されない係着部材について、ワークとの接触を制限する。
【００１４】
本発明の別の局面に従えば、第１の方向に沿って等間隔に順次配置された複数の係着部材を有する装置を用いて、第１の配置規則に従って第１の位置に配置された複数のワークを、第２の配置規則に従って第２の位置に再配置する搬送方法が提供される。搬送方法は、前記第２の配置規則に応じて、前記複数の係着部材のうちワークの係着に使用される係着部材、および、前記第２の配置規則に含まれる複数の配置位置のうちワークの配置対象となる配置位置、の少なくとも一方を規則的に選択するとともに、当該規則的な選択に応じて係着部材の間隔を決定するステップと、係着部材の間隔を前記第１の方向に沿って前記決定された間隔に変更するステップと、変更後の間隔で前記係着部材を用いてワークを係着した状態で、前記装置を前記第１の位置から前記第２の位置へ移動させるステップとを含む。
【００１５】
本発明のさらに別の局面に従えば、第１の方向に沿って等間隔に順次配置された複数の係着部材を有する装置を用いて、第１の配置規則に従って第１の位置に配置された複数のワークを、第２の配置規則に従って第２の位置に再配置する搬送プログラムが提供される。前記搬送プログラムはコンピュータに、前記第２の配置規則に応じて、前記複数の係着部材のうちワークの係着に使用される係着部材、および、前記第２の配置規則に含まれる複数の配置位置のうちワークの配置対象となる配置位置、の少なくとも一方を規則的に選択するとともに、当該規則的な選択に応じて係着部材の間隔を決定するステップと、係着部材の間隔を前記第１の方向に沿って前記決定された間隔に変更するステップと、変更後の間隔で前記係着部材を用いてワークを係着した状態で、前記装置を前記第１の位置から前記第２の位置へ移動させるステップとを実行させる。
【００１６】
本発明のさらに別の局面に従えば、上述の搬送プログラムを格納した記録媒体が提供される。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、ある配置規則に従って配置された複数のワークを、搬送元の配置規則とは異なる様々な配置規則に従って再配置しなければならないような場合であっても、より効率的なワーク搬送を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本実施の形態に従う製造装置の全体構成を示す模式図である。
【図２】本実施の形態に従う製造装置に採用される移載機構を示す模式図である。
【図３】図２に示す移載装置における吸着ヘッドの可動機構を説明するための模式図である。
【図４】図２に示す移載装置における吸着ヘッドの吸着機構を説明するための模式図である。
【図５】本実施の形態に従う制御部のハードウェア構成および関連する移載装置のコンポーネントを示す模式図である。
【図６】本実施の形態に従う製造装置における搬送処理の概略を説明するための模式図である。
【図７】本実施の形態に従う製造装置における搬送処理において使用するピッチおよびピッチ数について説明する模式図である。
【図８】本実施の形態に従う製造装置における搬送処理の全体処理手順を示すフローチャートである。
【図９】図８に示すプレースパターンの算出処理の処理手順を示すフローチャートである。
【図１０】図８に示すプレースパターンの算出処理の処理手順を示すフローチャートである。
【図１１】図８に示すプレースパターンの算出処理の処理手順を示すフローチャートである。
【図１２】本実施の形態に従う製造装置の移載機構（移載装置）において採用されるロック機構の動作を説明するための図である。
【図１３】本実施の形態に従う製造装置の移載機構（移載装置）において採用されるロック機構の動作を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
本発明の実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、図中の同一または相当部分については、同一符号を付してその説明は繰返さない。本発明の実施の形態においては、製造装置の典型例として、半導体製品の製造装置について説明する。典型例として、本実施の形態に従う製造装置は、シンギュレーション工程（個片化工程）に向けられた切断装置に関する。
【００２０】
［Ａ．製造装置の全体構成］
まず、本実施の形態に従う製造装置１の全体構成についてその概略を説明する。図１は、本実施の形態に従う製造装置１の全体構成を示す模式図である。図１を参照して、製造装置１は、複数の電子部品を基板上に一括して装着した後に封止成形された基板（以下、「被切断物５」とも称す。）を、指定された切断パターンに従って切断することで複数のパッケージ（以下、パッケージ全体または個別のパッケージを「ワーク」とも称す。）を生成する。そして、製造装置１は、生成した複数のパッケージを指定されたトレイ２７上に再配置した上で、次工程へ送出する。
【００２１】
図１に示す製造装置１は、受入モジュール２と、切断モジュール３と、払出モジュール４とを含む。各モジュールの名前は、その機能に応じたものになっている。受入モジュール２は、前工程から被切断物５を受入れる部分であり、適切なタイミングで被切断物５を切断モジュール３へ渡す。切断モジュール３は、指定された切断パターンに従って被切断物５を切断する。払出モジュール４は、被切断物５が切断されることで生成される複数のパッケージ（ワーク７）を、指定されたトレイ２７に、指定された規則に従って再配置した上で、次工程へ送出する。
【００２２】
典型的には、図１に示すそれぞれのモジュールを個別に組み立てた上で、互いに連結することで、製造装置１が構成される。このようなモジュール単位の構成を採用することで、モジュール同士を容易に装着できるとともに、互いに分離することもできる。そのため、事後的なモジュールの交換やモジュールの追加が容易になる。さらに、特定のモジュールの多重化といった変形も容易である。モジュールの区切りをより小さく、あるいは、より大きくしてもよい。モジュール構造に限定されることなく、装置全体を一体的に構成してもよい。
【００２３】
以下、各モジュールについてより詳細に説明する。なお、説明の便宜上、紙面左右方向を「Ｘ方向」と称し、紙面上下方向を「Ｙ方向」と称し、紙面鉛直方向を「Ｚ方向」と称する。また、ＸＹ平面での回転を「θ」で表す。
【００２４】
受入モジュール２は、プレステージ２１を有しており、受入れられた被切断物５は、まずプレステージ２１上に配置される。図１には、説明の便宜上、切断パターン５１を被切断物５の表面上に破線で示すが、現実には、被切断物５の表面に切断パターン５１が明示されているわけではない。
【００２５】
切断モジュール３は、切断用ステージ２２と、切断用ステージ２２を移動させる切断用移動機構２３と、スピンドル２４と、スピンドル２４と機械的に結合された回転刃２５と、位置決め用カメラ２８とを含む。プレステージ２１上の被切断物５は、図示しない移送機構によって、切断用ステージ２２上に配置される。続いて、切断用移動機構２３は、スピンドル２４および回転刃２５に近接するように、切断用ステージ２２をＹ方向へ移動させて、切断処理が開始される。切断処理においては、指定された切断パターンに従って、切断用移動機構２３が切断用ステージ２２（すなわち、被切断物５）をＹ方向およびθ回転させるとともに、スピンドル２４がＸ方向に移動する。このような連係動作によって、回転刃２５が指定された切断パターンに従って被切断物５上を通過することになる。切断処理が完了すると、切断用移動機構２３は、切断用ステージ２２を当初の位置に戻す。
【００２６】
払出モジュール４は、インデックステーブル２６と、トレイ２７と、移載機構８とを含む。切断用ステージ２２上の切断後の被切断物５（すなわち、パッケージの集合体６）は、図示しない移送機構によって、インデックステーブル２６上に配置される。続いて、移載機構８が、インデックステーブル２６上のパッケージの集合体６に含まれる各パッケージ（ワーク７）を係着した状態で移動させて、指定された配置パターンに従ってトレイ２７上に置載する。図１には、一例として、複数の移載装置８０Ａ，８０Ｂ（以下、「移載装置８０」とも総称する。）を含む移載機構８を示す。移載装置８０は、Ｘ方向およびＺ方向に移動可能に構成されており、後述するような処理によって決定された搬送モードに従って、インデックステーブル２６からトレイ２７へワーク７を搬送する。本実施の形態においては、係着する一形態として、真空発生器（エジェクタ）を利用して吸引力を発生させることでワーク７を吸着する。払出モジュール４は、吸引源として、１つ以上の真空ポンプ９が設けられている。
【００２７】
上述した製造装置１における処理は、制御部１００によって制御される。制御部１００のハードウェア構成およびソフトウエア構成については、後述する。
【００２８】
［Ｂ．移載機構の構成］
次に、図１に示す移載機構８の構成についてより詳細に説明する。移載機構８（移載装置８０）は、ある配置規則に従ってインデックステーブル２６が配置されている位置（第１の位置）に配置された複数のワーク７を、別の配置規則に従ってトレイ２７が配置されている位置（第２の位置）に再配置する機能を実現する。図１には、２つの移載装置８０が並列に配置される構成を示すが、単独の移載装置８０からなる構成を採用してもよいし、より多くの移載装置８０が並列配置された構成を採用してもよい。以下では、説明の便宜上、１つの移載装置８０について着目して説明する。
【００２９】
図２は、本実施の形態に従う製造装置１に採用される移載機構８を示す模式図である。図２を参照して、移載機構８において、移載装置８０は、その回転面がＸＹ平面と平行に張られたベルト８５に結合されている。より具体的には、移載装置８０は、複数の吸着ヘッド８４＿１〜８４＿７（以下、「吸着ヘッド８４」とも総称する。）が配置された本体部８２と、ベルト８５を回転駆動するサーボモータ８３とを含む。サーボモータ８３が回転駆動することで、本体部８２は、Ｘ方向に所定距離だけ離れて配置されたインデックステーブル２６とトレイ２７との間を自在に移動できる。
【００３０】
複数の吸着ヘッド８４は、ワーク７を係着するための一つの構成例であり、真空ポンプ９（図１）が発生する負圧を用いて、ワーク７を吸引することで、ワーク７を係着する。本明細書において、「ワークを係着する」とは、ワーク７との間で何らかの結合力を発揮させることで、ワーク７を自由に搬送できる状態にすることを意味する。係着の手段としては、吸引に限定されることなく、ワーク７を側面で把持する方法、ワーク７を底面から支持する方法、磁気により生じる吸引力を利用する方法、および、静電気により生じる吸引力を利用する方法などを採用してもよい。
【００３１】
本体部８２において、複数の吸着ヘッド８４は、Ｘ方向に沿って配置されるとともに、吸着ヘッド８４の間隔は、ワーク７の幅に応じて、Ｘ方向に拡大および縮小できるようになっている。
【００３２】
図２に示すように、移載装置８０（移載機構８）は、Ｘ方向（第１の方向）に沿って等間隔に順次配置された複数の吸着ヘッド８４（係着部材）を含む本体部８２と、本体部８２をインデックステーブル２６が配置されている位置（第１の位置）からトレイ２７が配置されている位置（第２の位置）へ移動させる移動機構（ベルト８５およびサーボモータ８３）を含む。そして、本体部８２および移動機構は、制御部１００によって制御される。
【００３３】
インデックステーブル２６は、被切断物５を切断することで生成される複数のパッケージが配置される部材であり、各ワーク７が配置される凹部２６１が行列状に形成されている。搬送時などに、凹部２６１のそれぞれに配置されるワーク７を固着するために、凹部２６１の底面には、吸引口２６２が設けられている。吸引口２６２を通じて負圧を生じさせることで、凹部２６１に配置されたワーク７が周辺の影響を受けて吹き飛ぶといった事態を防止できる。
【００３４】
トレイ２７についても、ワーク７が配置される凹部２７１が行列状に形成されている。但し、トレイ２７における凹部２７１の配置構成は、インデックステーブル２６における凹部２６１の配置構成とは必ずしも一致していない。そのため、移載装置８０（移載機構８）が両者の配置構成の不一致を整合化する。
【００３５】
図１および図２には、吸着ヘッド８４の間隔は、Ｘ方向に拡大および縮小するように構成されており、かつ、移載機構８（移載装置８０）自体もＸ方向に移動する構成を例示する。すなわち、移動機構（ベルト８５およびサーボモータ８３）は、本体部８２をＸ方向（第１の方向）に移動させる。一方で、インデックステーブル２６およびトレイ２７は、Ｙ方向に移動するように構成されている。このような構成を採用することで、移載機構８（移載装置８０）、インデックステーブル２６、およびトレイ２７をそれぞれの方向に独立して制御できるので、制御性および効率性を高めることができる。
【００３６】
但し、移載機構８（移載装置８０）の移動方向は、図１および図２に示す構成に限られず、Ｙ方向に移動させてもよい。すなわち、吸着ヘッド８４の間隔を調整する方向と、本体部８２が移動する方向とを一致させてもよいし、異ならせてもよい。また、移動機構としては、図２に示すベルト８５およびサーボモータ８３の構成に限られず、例えば、ボールネジを用いた構成やリニアモータを用いた構成を採用してもよい。
【００３７】
図３は、図２に示す移載装置８０における吸着ヘッド８４の可動機構を説明するための模式図である。図３を参照して、本体部８２において、７つの吸着ヘッド８４＿１〜８４＿７が配置されており、これらの吸着ヘッド８４は、ガイド８６２を貫通するように構成されるとともに、ベルトによってそれぞれの間隔が調整される。
【００３８】
移載装置８０は、駆動プーリー８７１，８８１，８９１およびそれぞれ対応する従動プーリー８７２，８８２，８９２を含む。駆動プーリー８７１，８８１，８９１は、互いに異なる直径を有するとともに、共通の回転軸を有している。駆動プーリー８７１，８８１，８９１は、その回転軸の長軸方向（図３に示す例では紙面上下方向）に、所定間隔だけ離れた状態で配置されている。一方、従動プーリー８７２，８８２，８９２は、同一の直径を有するとともに、共通の回転軸を有している。従動プーリー８７２，８８２，８９２についても、その回転軸の長軸方向（図３に示す例では紙面上下方向）に、所定間隔だけ離れた状態で配置されている。
【００３９】
駆動プーリー８７１，８８１，８９１の中心にある回転軸は、連結部８６１を介して回転駆動機構であるサーボモータ８６と機械的に結合されている。制御部１００（図１）からのピッチ変更指令に応答して、サーボモータ８６が回転すると、連結部８６１を介して連結された回転軸が回転し、それに伴って、駆動プーリー８７１，８８１，８９１が同一の角速度で回転する。なお、本明細書において、「ピッチ」とは、同種類の部材が整列配置されている状態において、隣接する部材の中心間同士の距離を意味する。
【００４０】
駆動プーリー８７１，８８１，８９１と対応する従動プーリー８７２，８８２，８９２との間には、ベルト８７３，８８３，８９３がそれぞれ懸架されており、駆動プーリー８７１，８８１，８９１の回転に伴って、それぞれベルト８７３，８８３，８９３が周回することになる。
【００４１】
駆動プーリー８７１，８８１，８９１の直径および従動プーリー８７２，８８２，８９２の直径は、吸着ヘッド８４の間隔が変化しても、複数の吸着ヘッド８４の配置が等間隔に維持されるように決定される。より具体的には、駆動プーリー８７１，８８１，８９１の直径は、それぞれφ２Ｌ，φＬ，φ３Ｌ（一設計例としては、φ３０ｍｍ，φ１５ｍｍ，φ４５ｍｍ）のように、φＬの整数倍になるように設計されている。一方、従動プーリー８７２，８８２，８９２の直径は、いずれもφＬとなるように設計されている。
【００４２】
図３に示す７つの吸着ヘッド８４＿１〜８４＿７のうち、最も外端側にある吸着ヘッド８４＿１および８４＿７は、固着具８９４によって、最も直径の大きな駆動プーリー８９１に懸架されているベルト８９３に固着されている。吸着ヘッド８４＿１および８４＿７とそれぞれ内側に隣接する吸着ヘッド８４＿２および８４＿６は、固着具８７４によって、２番目に直径の大きな駆動プーリー８７１に懸架されているベルト８７３に固着されている。吸着ヘッド８４＿２および８４＿６とそれぞれ内側に隣接する吸着ヘッド８４＿３および８４＿５は、固着具８８４によって、最も直径の小さな駆動プーリー８８１に懸架されているベルト８８３に固着されている。なお、図３に示す移載装置８０において、吸着ヘッド８４＿４は、本体部８２と一体化されている。
【００４３】
駆動プーリー８７１，８８１，８９１のそれぞれの直径を図３に示すように設計することで、サーボモータ８６がある回転角だけ回転した場合に、吸着ヘッド８４＿１および８４＿７は、吸着ヘッド８４＿３および８４＿５が元の位置から移動する距離（ΔＤ）を基準にすると、その３倍（ΔＤ×φ３Ｌ／φＬ＝３ΔＤ）だけ移動することになる。同様に、吸着ヘッド８４＿２および８４＿６は、基準の距離の２倍（ΔＤ×φ２Ｌ／φＬ＝２ΔＤ）だけ移動することになる。
【００４４】
このように、サーボモータ８６の回転角に応じて、それぞれの吸着ヘッド８４は、所定比率の関係をもつ移動量だけそれぞれ移動するので、複数の吸着ヘッド８４の等間隔配置は維持される。すなわち、移載装置８０の本体部８２は、制御部１００からの指令に従って、等間隔を維持したまま、吸着ヘッド８４（係着部材）の間隔をＸ方向（第１の方向）に沿って調整可能に構成されている。
【００４５】
図３には、ベルトおよび駆動プーリーによって吸着ヘッド８４のピッチを調整する構成について例示した。これに限られることなく、任意の構成を採用できる。第１の例として、複数の溝を有する溝付プレートと、エアシリンダ等の駆動機構とを有する構成を採用できる。各吸着ヘッド８４（図３）の中央部は、本体部８２に固定されたレールに沿って移動可能にそのレールに拘束される。レールに沿う方向がピッチを調整する方向（調整方向）である。各吸着ヘッド８４の上部には、その吸着ヘッド８４の本体に直交して一端が固定された棒状部材が設けられる。各棒状部材の他端は、それぞれ溝付プレートが有する複数の溝にはめ込まれ、それぞれの溝に沿って動くことができる。溝付プレートが有する複数の溝は、それぞれ調整方向に対して斜めに交わるようにして、複数個設けられる。複数の溝は、溝付プレートの中心線を挟んで対称に配置される。複数の溝のうち上述した中心線に最も近い位置にある一対の溝は、調整方向に対して直交する方向から少しだけ傾いて設けられる。この傾きは、溝において上側（駆動機構に近い側）が上述した中心線に近づくような傾きである。溝が中心線から離れるにしたがって傾きは順次大きくなる。この構成によれば、溝付プレートが下降すれば吸着ヘッド８４のピッチが小さくなり、溝付プレートが上昇すれば吸着ヘッド８４のピッチが大きくなる。
【００４６】
第２の例として、円柱状部材の周面に設けられた傾いた複数の溝と、円柱状部材の軸の回りにその円柱状部材を回転させるモータ等の駆動機構とを有する構成を採用できる。傾いた複数の溝は、円柱状部材の長さ方向における中心線（軸に直交する中心線）を挟んで対称に配置される。各吸着ヘッド８４（図３）の本体に直交して一端が固定された棒状部材の他端がそれらの溝にはめ込まれ、それぞれの溝に沿って動くことができる。この構成によれば、円柱状部材が一方向に回転すれば吸着ヘッド８４のピッチが小さくなり、他方向に回転すれば吸着ヘッド８４のピッチが大きくなる。
【００４７】
図４は、図２に示す移載装置８０における吸着ヘッド８４の吸着機構を説明するための模式図である。図４には、Ｎ個の吸着ヘッド８４＿１，８４＿２，…，８４＿Ｎを有する移載装置８０の例を示す。移載装置８０には、真空ポンプ９に接続された吸気側配管８１６、および、フィルタ８１９を介して大気に開放された排気側配管８１８が設けられている。各吸着ヘッド８４＿１，８４＿２，…，８４＿Ｎは、電磁弁８１０＿１，８１０＿２，…，８１０＿Ｎを介して、吸気側配管８１６および排気側配管８１８のうち一方と選択的に接続される。制御部１００（図１）からの吸着指令に従って、ソレノイド８１２＿１，８１２＿２，…，８１２＿Ｎ（以下、「ソレノイド８１２」とも総称する。）が駆動される。ソレノイド８１２の駆動に応じて、電磁弁８１０＿１，８１０＿２，…，８１０＿Ｎは、個別配管８１４＿１，８１４＿２，…，８１４＿Ｎを吸気側配管８１６または排気側配管８１８にそれぞれ選択的に接続する。すなわち、電磁弁８１０＿１，８１０＿２，…，８１０＿Ｎは、本体部８２を構成する吸着ヘッド８４の数だけ設けられ、真空ポンプ９（吸引源）との間の接続を開通／遮断させることで、指定された吸着ヘッド８４のみを選択的に有効化する。個別配管８１４＿１，８１４＿２，…，８１４＿Ｎの経路中には、フィルタ８１３＿１，８１３＿２，…，８１３＿Ｎがそれぞれ設けられている。
【００４８】
典型的には、ソレノイド８１２＿１，８１２＿２，…，８１２＿Ｎは、通常状態（ソレノイドが駆動されていない状態）において、各個別配管８１４を排気側配管８１８に接続するように構成される。後述するように、複数の吸着ヘッド８４のうち、一部分の吸着ヘッド８４のみがワーク７の搬送に使用される場合には、当該ワーク７の搬送に使用される吸着ヘッド８４に対応するソレノイド８１２のみが駆動される。
【００４９】
このような構成を採用することで、複数の吸着ヘッド８４のうち、ワーク７の搬送に使用される吸着ヘッド８４を自在に選択することができる。
【００５０】
［Ｃ．制御部の構成］
次に、制御部１００の構成について説明する。図５は、本実施の形態に従う制御部１００のハードウェア構成および関連する移載装置８０のコンポーネントを示す模式図である。図５には、典型例として、汎用的なアーキテクチャに従うコンピュータを採用した制御部１００の構成例を示す。制御部１００では、汎用ＯＳ（Operating System）およびリアルタイムＯＳがそれぞれ実行されることで、ＨＭＩ（Human-Machine Interface）機能および通信機能と、リアルタイム性が要求される制御機能とを両立する。
【００５１】
より具体的には、制御部１００は、主たるコンポーネントとして、入力部１０２と、出力部１０４と、メインメモリ１０６と、光学ドライブ１０８と、演算部１１０と、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）１２０と、ネットワークインターフェイス１１２と、サーボモータインターフェイス１１４と、アクチュエータインターフェイス１１６とを含む。これらのコンポーネントは、内部バス１１９を介して互いにデータを遣り取りできるように接続されている。
【００５２】
入力部１０２は、ユーザからの操作を受付けるコンポーネントであり、典型的には、キーボード、タッチパネル、マウス、トラックボールなどを含む。出力部１０４は、制御部１００での処理結果などを外部へ出力するコンポーネントであり、典型的には、ディスプレイ、プリンタ、各種インジケータなどを含む。メインメモリ１０６は、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）などで構成され、演算部１１０で実行されるプログラムのコードやプログラムの実行に必要な各種ワークデータを保持する。
【００５３】
演算部１１０は、ＨＤＤ１２０に格納されたプログラムを読出して、入力されたデータに対して処理を実行する処理主体である。本実施の形態に従う制御部１００の演算部１１０は、汎用ＯＳおよび当該汎用ＯＳ上で動作する各種アプリケーション、ならびに、リアルタイムＯＳおよび当該リアルタイムＯＳ上で動作する各種アプリケーションをそれぞれ並列的に実行できるように構成される。一例として、演算部１１０は、複数のプロセッサからなる構成（いわゆる「マルチプロセッサ」）、単一のプロセッサ内に複数のコアを含む構成（いわゆる「マルチコア」）、および、マルチプロセッサとマルチコアとの両方の特徴を有する構成、のいずれかで実現される。
【００５４】
ＨＤＤ１２０には、典型的には、汎用ＯＳ１２２と、リアルタイムＯＳ１２４と、ＨＭＩプログラム１２６と、制御プログラム１２８とが格納される。汎用ＯＳ１２２およびリアルタイムＯＳ１２４は、それぞれメインメモリ１０６に展開された上で、演算部１１０によってそれぞれ実行される。ＨＭＩプログラム１２６は、汎用ＯＳ１２２の実行環境下で動作し、主として、ユーザとの遣り取りに係る処理を実現する。制御プログラム１２８は、リアルタイムＯＳ１２４の実行環境下で動作し、製造装置１を構成するそれぞれのコンポーネントを制御する。
【００５５】
本実施の形態に従う制御部１００において実行される各種プログラムは、ＤＶＤ−ＲＯＭ（Digital Versatile Disc Read Only Memory）などの記録媒体１０８Ａに格納されて流通する。記録媒体１０８Ａは、光学ドライブ１０８でその内容が読取られてＨＤＤ１２０にインストールされる。すなわち、本発明のある局面は、制御部１００を実現するためのプログラムおよび当該プログラムを格納する何らかの記録媒体を含む。これらの記録媒体としては、光学記録媒体の他、磁気記録媒体、光磁気記録媒体、半導体記録媒体などを用いてもよい。なお、本実施の形態に従う搬送プログラムは、主として、制御プログラム１２８内に含まれる。
【００５６】
なお、図５には、ＨＤＤ１２０に複数種類のプログラムがインストールされている形態を例示するが、これらのプログラムを一つのプログラムとして一体化してもよいし、さらに別のプログラムの一部として組み入れてもよい。
【００５７】
ネットワークインターフェイス１１２は、外部装置との間でネットワークを介してデータを遣り取りする。典型的には、ネットワークインターフェイス１１２は、上位ネットワークにある製造管理コンピュータなどから品種情報（被切断物５の切断パターンやパッケージの配置パターンなど）を受信するとともに、製造装置１の製造状態などの情報を製造管理コンピュータへ送信する。ネットワークインターフェイス１１２と外部装置との間の接続は、イーサネット（登録商標）などに従う有線接続でもよいし、無線ＬＡＮなどの無線接続でもよい。
【００５８】
ＨＤＤ１２０にインストールされるプログラムは、ネットワークインターフェイス１１２を介してサーバから取得するようにしてもよい。つまり、本実施の形態に従う制御部１００を実現するプログラムは、任意の方法でダウンロードしてＨＤＤ１２０にインストールするようにしてもよい。
【００５９】
サーボモータインターフェイス１１４およびアクチュエータインターフェイス１１６は、移載装置８０を構成するコンポーネントに対する制御を仲介する。
【００６０】
サーボモータインターフェイス１１４は、移載機構８に設けられているサーボモータを駆動するサーボドライバに対して指令を与える。より具体的には、サーボモータインターフェイス１１４は、フィールドバス１１５を介してサーボドライバ１３１，１３２，１３３に接続される。サーボドライバ１３１は、移載装置８０をＸ方向に移動させるためのサーボモータ１３４を駆動する。サーボドライバ１３２は、吸着ヘッド８４の間隔を変更するためのサーボモータ８６（図３）を駆動する。サーボドライバ１３３は、移載装置８０をＺ方向に移動させるためのサーボモータ１３６（図１２，図１３）を駆動する。
【００６１】
アクチュエータインターフェイス１１６は、フィールドバス１１７を介して、リレー１４０＿１，リレー１４０＿２，…，リレー１４０＿Ｎに接続されるとともに、フィールドバス１１８を介して、リレー１５０＿１，リレー１５０＿２，…，リレー１５０＿Ｎに接続される。
【００６２】
リレー１４０＿１，リレー１４０＿２，…，リレー１４０＿Ｎは、制御部１００からの指令に応答して、ソレノイド８１２＿１，８１２＿２，…，８１２＿Ｎをそれぞれ活性化する。図４に示すように、ソレノイド８１２＿１，８１２＿２，…，８１２＿Ｎは、電磁弁８１０＿１，８１０＿２，…，８１０＿Ｎをそれぞれ駆動することで、対応する吸着ヘッド８４＿１，８４＿２，…，８４＿Ｎを有効化する。
【００６３】
リレー１５０＿１，リレー１５０＿２，…，リレー１５０＿Ｎは、制御部１００からの指令に応答して、シリンダー１５２＿１，１５２＿２，…，１５２＿Ｎをそれぞれ駆動する。シリンダー１５２＿１，１５２＿２，…，１５２＿Ｎは、ワーク７の搬送に使用されない吸着ヘッド８４をワーク７から離した状態に維持する。シリンダー１５２＿１，１５２＿２，…，１５２＿Ｎを用いた構成については、図１２および図１３を参照して後述する。
【００６４】
図５には、演算部１１０がプログラムを実行することで、本実施の形態に従う制御部１００を実現する構成例について説明したが、これに限られることなく、本発明に係る製造装置または搬送方法が現実に実装される時代の技術水準に応じた構成を適宜採用することができる。例えば、制御部１００が提供する機能の全部または一部をＬＳＩ（Large Scale Integration）またはＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）などの集積回路を用いて実装してもよいし、ＦＰＧＡ（Field-Programmable Gate Array）などの再プログラム可能な回路素子を用いて実装してもよい。さらにあるいは、図５に示す制御部１００が提供する機能を複数の処理主体が互いに協働することで実現してもよい。例えば、制御部１００が提供する機能を複数のコンピュータを連係させて実現してもよい。
【００６５】
［Ｄ．概要］
次に、本実施の形態に従う製造装置１における搬送処理について、関連技術と比較して概略する。図６は、本実施の形態に従う製造装置１における搬送処理の概略を説明するための模式図である。
【００６６】
関連技術において、複数の吸着ヘッド８４を使用して複数のワーク７を一括搬送する場合には、複数の吸着ヘッド８４と複数のワーク７とをそれぞれの順序に従って関連付ける。搬送元のインデックステーブル２６においては、規則的に形成された凹部２６１に対して、ワーク７が所定の配置規則に従って配置されており、搬送先のトレイ２７においては、規則的に形成された凹部２７１に対して、ワーク７が所定の配置規則に従って再配置（置載）される。このとき、吸着ヘッド８４の間隔は、トレイ２７上においてワーク７の配置対象となる配置位置（すなわち、トレイ２７に形成された複数の凹部２７１のうちあるサイクルにおいてワーク７が置載される凹部２７１）の間隔に整合するように調整される。
【００６７】
なお、搬送元および搬送先におけるそれぞれのワーク７の配置規則は、インデックステーブル２６およびトレイ２７自体の構造（すなわち、凹部の数および大きさなど）に依存するだけではなく、切断パターンなどに応じたワーク７の配置制約（例えば、千鳥配置（チェッカーフラグパターン）など）などにも依存して定められる。
【００６８】
例えば、最も左端に位置する吸着ヘッド８４＿１が搬送先（図１に示す例では、トレイ２７）の凹部２７１＿１にワーク７を置載するように設定されると、吸着ヘッド８４＿１の右隣にある吸着ヘッド８４＿２は、トレイ２７上において凹部２７１＿１の右隣にある凹部２７１＿２に関連付けられる。すなわち、複数の吸着ヘッド８４の配置順序と搬送先の凹部２７１の配置順序とは、一対一で対応付けられる。
【００６９】
本願発明者は、このような吸着ヘッド８４とトレイ２７上の凹部２７１との関連付けの規則を採用した場合には、トレイ２７上の凹部２７１の配置規則が吸着ヘッド８４の調整範囲に整合するときにはうまく機能するが、整合しないときには、複数のワーク７を一括して搬送できないという新たな課題を見出した。
【００７０】
図６（Ａ）（関連技術）には、吸着ヘッド８４の間隔を最大にした状態の一例を示す。図６（Ａ）（関連技術）を参照して、トレイ２７上の凹部２７１の間隔が吸着ヘッド８４の間隔の調整可能な最大値より大きい場合には、吸着ヘッド８４＿１が凹部２７１＿１にワーク７を置載することはできるが、吸着ヘッド８４＿１に隣接する吸着ヘッド８４＿２が凹部２７１＿１に隣接する凹部２７１＿２にワーク７を置載することはできない。このような場合には、複数の吸着ヘッド８４のうちワーク７の係着に使用される吸着ヘッド８４を間引く、すなわち所定数（この例では、１つ）ずつ飛ばして選択することで、吸着ヘッド８４の見かけ上の間隔を拡大する。図６（Ａ）（本実施の形態）に示す例では、吸着ヘッド８４＿１および８４＿３が凹部２７１＿１および２７２＿２にそれぞれワーク７を置載することになる。吸着ヘッド８４＿２は、ワーク７の係着には使用されない。なお、ワーク７の係着に使用される吸着ヘッド８４＿１および８４＿３の間隔は、適宜調整される。
【００７１】
このように、制御部１００は、ワーク７の係着に使用される吸着ヘッド８４（係着部材）を複数の吸着ヘッド８４（係着部材）から所定数おきに選択する。特に、トレイ２７上の凹部２７１（配置位置）の間隔が吸着ヘッド８４の調整可能な間隔の最大値より大きい場合（図６（Ａ）に示す場合）には、制御部１００は、吸着ヘッド８４がＸ方向（第１の方向）に沿って移動できる範囲内で、ワーク７の係着に使用される吸着ヘッド８４が対象となる凹部２７１の間隔と一致できるように、吸着ヘッド８４の選択に係る所定数（飛ばし数）を決定する。
【００７２】
一方、図６（Ｂ）（関連技術）には、吸着ヘッド８４の間隔を最小にした状態の一例を示す。図６（Ｂ）（関連技術）を参照して、トレイ２７上の凹部２７１の間隔が吸着ヘッド８４の間隔の調整可能な最小値より小さい場合には、吸着ヘッド８４＿１が凹部２７１＿１にワーク７を置載することはできるが、吸着ヘッド８４＿１に隣接する吸着ヘッド８４＿２が凹部２７１＿１に隣接する凹部２７１＿２にワーク７を置載することはできない。このような場合には、複数の凹部２７１のうちワーク７の配置対象となる凹部２７１（配置位置）を間引く、すなわち所定数（この例では、１つ）ずつ飛ばして選択することで、凹部２７１の見かけ上の間隔を拡大する。図６（Ｂ）（本実施の形態）に示す例では、吸着ヘッド８４＿１，８４＿２，８４＿３が凹部２７１＿１，２７１＿３，２７１＿５にそれぞれワーク７を置載することになる。このとき、凹部２７１＿２，２７１＿４には、次サイクル以降の搬送処理においてワーク７が置載されることになる。なお、ワーク７の係着に使用される吸着ヘッド８４＿１，８４＿２，８４＿３の間隔は、適宜調整される。
【００７３】
このように、制御部１００は、ワーク７の配置対象となるトレイ２７上の凹部２７１（配置位置）を複数の凹部２７１から所定数おきに選択する。特に、凹部２７１（配置位置）の間隔が吸着ヘッド８４の調整可能な間隔の最小値より小さい場合（図６（Ｂ）に示す場合）には、制御部１００は、吸着ヘッド８４がＸ方向（第１の方向）に沿って移動できる範囲内で、ワーク７の係着に使用される吸着ヘッド８４の間隔がワーク７の配置対象となる凹部２７１の間隔と一致できるように、凹部２７１の選択に係る所定数（飛ばし数）を決定する。
【００７４】
説明の便宜上、図６（Ａ）には、使用される吸着ヘッド８４を複数の吸着ヘッド８４から所定数おきに選択する例を示し、および図６（Ｂ）には、ワーク７の配置対象となる凹部２７１を複数の凹部２７１から所定数おきに選択する例を示すが、両者を併せてもよい。すなわち、吸着ヘッド８４を複数の吸着ヘッド８４から所定数おきに選択するとともに、ワーク７の配置対象となる凹部２７１を複数の凹部２７１から所定数おきに選択してもよい。それぞれの飛ばし数を調整することで、トレイ２７上にワーク７を置載する際の配置規則が複雑な場合であっても、吸着ヘッド８４の選択規則と凹部２７１の選択規則とのより効率的な組合せを決定できる。
【００７５】
以上のとおり、本実施の形態に従う製造装置１の制御部１００は、搬送先の配置規則（すなわち、トレイ２７上のワーク７が配置されるべきレイアウト）に応じて、複数の吸着ヘッド８４（係着部材）のうちワーク７の係着に使用される吸着ヘッド８４、および、搬送先の配置規則（すなわち、トレイ２７上に形成された凹部２７１のレイアウト）に含まれる複数の凹部２７１（配置位置）のうちワーク７の配置対象となる凹部２７１、の少なくとも一方を規則的に選択する。併せて、制御部１００は、当該規則的な選択に応じて吸着ヘッド８４の間隔を決定する。このような処理を採用することで、ある配置規則に従って配置された複数のワーク７を、搬送元の配置規則とは異なる様々な配置規則に従って再配置しなければならないような場合であっても、より効率的なワーク搬送を実現できる。
【００７６】
［Ｅ．処理手順］
次に、ワーク７の搬送過程における、吸着ヘッド８４およびトレイ２７上の凹部２７１の規則的な選択、ならびに、吸着ヘッド８４の設定の具体的な処理手順の一例について詳述する。以下の説明においては、「規則的な選択」として、一列に配置された複数の吸着ヘッド８４または凹部２７１から、所定数おきに対象を選択する例を説明するが、これに限定されず、以下に説明するような、吸着ヘッド８４と凹部２７１との間の幾何学的な関係が保たれるのであれば、どのような選択方法を採用してもよい。
【００７７】
（ｅ１：前提知識）
まず、以下の処理手順の前提となる考え方や変数などについて、先に説明する。図７は、本実施の形態に従う製造装置１における搬送処理において使用するピッチおよびピッチ数について説明する模式図である。
【００７８】
図７（Ａ）を参照して、吸着ヘッド８４の間隔を「ヘッド有効ピッチＰ１」として定義する。ヘッド有効ピッチＰ１は、隣接する２つの吸着ヘッド８４について、それぞれの中心軸の間の距離を意味する。また、ワーク７の係着に使用される吸着ヘッド８４の間隔を「見かけ上のヘッド有効ピッチＰ２」として定義する。すべての吸着ヘッド８４を使用して複数のワーク７を搬送する場合には、見かけ上のヘッド有効ピッチＰ２は、ヘッド有効ピッチＰ１と一致する。一方、使用される吸着ヘッド８４を間引く場合には、見かけ上のヘッド有効ピッチＰ２は、ヘッド有効ピッチＰ１の整数倍（Ｎ倍）になる。この整数Ｎを「ヘッドピッチ数Ｎ」として定義する。ヘッドピッチ数Ｎは、吸着ヘッド８４を飛ばす数＋１に相当する。図７（Ａ）に示す例では、吸着ヘッド８４を１つずつ飛ばすので、ヘッドピッチ数Ｎ＝１＋１＝２となる。
【００７９】
また、凹部２７１の間隔を「トレイ列ピッチＰ３」として定義する。トレイ列ピッチＰ３は、隣接する２つの凹部２７１について、それぞれの中心軸の間の距離を意味する。
【００８０】
図７（Ｂ）に示す例では、吸着ヘッド８４を２つずつ飛ばしているので、ヘッドピッチ数Ｎ＝２＋１＝３となる。また、図７（Ｂ）に示す例において、トレイ２７上に存在する凹部２７１についてのトレイ列ピッチがＰ３となる。その上で、搬送の各サイクルにおいて、ワーク７の配置対象となる凹部２７１の間隔を「見かけ上のトレイ列ピッチＰ４」として定義する。トレイ列ピッチ数Ｍは、凹部２７１を飛ばす数＋１に相当する。図７（Ｂ）に示す例では、凹部２７１を１つずつ飛ばして配置されているので、トレイ列ピッチ数Ｍ＝１＋１＝２となる。
【００８１】
図７（Ｂ）に示す例において、ヘッド有効ピッチＰ１、ヘッドピッチ数Ｎ、トレイ列ピッチＰ３（固定値）、および、トレイ列ピッチ数Ｍの間には、「Ｎ×Ｐ１＝Ｍ×Ｐ３」の関係が成立する。この式を変形すると、ヘッド有効ピッチＰ１は、以下の数式で表すことができる。
【００８２】
ヘッド有効ピッチＰ１＝トレイ列ピッチＰ３×Ｍ／Ｎ
すなわち、ヘッドピッチ数Ｎ（あるいは、吸着ヘッド８４を飛ばす数）およびトレイ列ピッチ数Ｍ（あるいは、凹部２７１を飛ばす数）を調整するにあたって、上述の数式に従って算出されるヘッド有効ピッチＰ１が吸着ヘッド８４の調整可能な間隔の範囲内にあるか否かを評価することで、何らかのヘッドピッチ数Ｎとトレイ列ピッチ数Ｍとの組合せが妥当であるか否かを決定できる。
【００８３】
以上のような前提知識の下、インデックステーブル２６からトレイ２７へのワーク７の搬送に係る処理手順について説明する。
【００８４】
（ｅ２：全体処理手順）
本実施の形態によれば、Ｘ方向（第１の方向）に沿って等間隔に順次配置された複数の吸着ヘッド８４（係着部材）を有する移載装置８０を用いて、搬送元の配置規則に従ってインデックステーブル２６が配置されている位置（第１の位置）に配置された複数のワーク７を、搬送先の配置規則に従ってトレイ２７が配置されている位置（第２の位置）に再配置する搬送方法が提供される。
【００８５】
図８は、本実施の形態に従う製造装置１における搬送処理の全体処理手順を示すフローチャートである。図８に示す各ステップは、典型的には、制御部１００の演算部１１０が制御プログラム１２８（図５）を実行することで実現される。すなわち、制御プログラム１２８は、搬送方法を実現するためのプログラムを含む。
【００８６】
図８を参照して、まず、制御部１００は、品種情報を取得する（ステップＳ２）。品種情報は、インデックステーブル２６上に配置されるワーク７の集合体６の配置情報、および、トレイ２７の配置情報を含む。品種情報は、ユーザが入力部１０２を操作して入力することもできるし、ネットワークインターフェイス１１２を介して上位ネットワークにある製造管理コンピュータなどから品種情報を取得することもできる。なお、ユーザが品種情報を入力する際には、ＨＭＩプログラム１２６が実行されることで提供されるＨＭＩ機能が利用されてもよい。
【００８７】
制御部１００は、取得した品種情報に基づいて、品種情報ファイルを必要に応じて作成し、ＨＤＤ１２０などに格納する。ＨＤＤ１２０に格納された品種情報ファイルを適宜読出して使用することで、ユーザが同一の品種情報を再度入力する手間を省略する。
【００８８】
続いて、制御部１００は、ワーク７をトレイ２７上に置載するためのパターン（以下、「プレースパターン」とも称す。）を算出する（ステップＳ４）。プレースパターンは、典型的には、搬送モード、ヘッドピッチ数Ｎ、トレイ列ピッチ数Ｍ、ヘッド有効ピッチＰ１の情報を含む。ステップＳ４における処理の詳細については、後述する。
【００８９】
続いて、制御部１００は、インデックステーブル２６上に配置されるワーク７およびトレイ２７上に配置されるワーク７の配置マップをそれぞれ生成する（ステップＳ６）。これらの配置マップは、ワーク７の搬送状態を管理するテーブルであり、典型的には、インデックステーブル２６およびトレイ２７のそれぞれの位置に関連付けて、各ワーク７の状態値（搬送前、搬送中、搬送完了）が格納されるとともに、搬送処理の進行に伴って、対象のワーク７の状態値が順次更新される。
【００９０】
続いて、制御部１００は、所定のトリガータイミングで、ステップＳ４において算出したプレースパターン、および、ステップＳ６において生成した配置マップの情報に基づいて、移載機構８（移載装置８０）を構成するそれぞれのサーボモータの軌道（各時刻における座標値）、および、各吸着ヘッド８４の状態値（電磁弁８１０およびシリンダー１５２の状態）を決定する（ステップＳ８）。トリガータイミングは、典型的には、インデックステーブル２６からのワーク７の係着開始タイミング、または、トレイ２７へのワーク７の配置完了タイミングである。
【００９１】
続いて、制御部１００は、ステップＳ８において決定した情報に従って、サーボモータインターフェイス１１４およびアクチュエータインターフェイス１１６を介して、対象のコンポーネントに指令を与える。より具体的には、制御部１００は、ステップＳ４において決定されたプレースパターンに含まれるヘッド有効ピッチＰ１の情報に基づいて、吸着ヘッド８４の間隔を調整する（ステップＳ１０）。すなわち、制御部１００は、吸着ヘッド８４（係着部材）の間隔をＸ方向（第１の方向）に沿って決定された間隔（ヘッド有効ピッチＰ１）に変更する。
【００９２】
続いて、制御部１００は、搬送対象のワーク７を吸着ヘッド８４で係着する（ステップＳ１２）とともに、吸着ヘッド８４の間隔を再調整する（ステップＳ１４）。そして、制御部１００は、ワーク７を係着した状態で、搬送先のトレイ２７の位置まで吸着ヘッド８４を移動し（ステップＳ１６）、ワーク７をトレイ２７に載置する（ステップＳ１８）。すなわち、制御部１００は、変更後の間隔で吸着ヘッド８４（係着部材）を用いてワーク７を係着した状態で、移載装置８０をインデックステーブル２６が配置されている位置（第１の位置）からトレイ２７が配置されている位置（第２の位置）へ移動させる。すなわち、制御部１００は、変更後の間隔で吸着ヘッド８４（係着部材）を用いてワーク７を係着した状態で、移載装置８０をインデックステーブル２６が配置されている位置（第１の位置）からトレイ２７が配置されている位置（第２の位置）へ移動させる。なお、吸着ヘッド８４の間隔を再調整（ステップＳ１４）と、搬送先のトレイ２７の位置までの吸着ヘッド８４の移動（ステップＳ１６）とを並行して実施してもよい。
【００９３】
これらの処理によって、移載機構８（移載装置８０）による、当該サイクルにおけるワーク７のインデックステーブル２６からトレイ２７への搬送が実行される。
【００９４】
ワーク７のインデックステーブル２６からトレイ２７への搬送が完了すると、制御部１００は、ステップＳ６において生成した配置マップの情報を更新する（ステップＳ２０）。すなわち、制御部１００は、インデックステーブル２６上に配置されたワーク７のうち、トレイ２７への搬送が完了したワーク７についての状態値を更新する。
【００９５】
制御部１００は、インデックステーブル２６上に配置されたすべてのワーク７のトレイ２７への搬送が完了したか否かを判断する（ステップＳ２２）。搬送されていないワーク７が残っている場合（ステップＳ２２においてＮＯの場合）、ステップＳ８以下の処理が繰返される。
【００９６】
一方、すべてのワーク７のトレイ２７への搬送が完了している場合（ステップＳ２２においてＹＥＳの場合）、制御部１００は、現在の品種情報を更新する必要があるか否かを判断する（ステップＳ２４）。現在の品種情報を更新する必要がない場合（ステップＳ２４においてＮＯの場合）、ステップＳ６以下の処理が繰返される。
【００９７】
これに対して、現在の品種情報を更新する必要がある場合（ステップＳ２４においてＹＥＳの場合）、品種情報の取得待ちの状態になる（ステップＳ２）。
【００９８】
（ｅ３：プレースパターンの算出手順）
次に、図８に示すフローチャートにおける、プレースパターンの算出処理（ステップＳ４）について詳述する。図９〜図１１は、図８に示すプレースパターンの算出処理の処理手順を示すフローチャートである。図９〜図１１に示す処理手順において、制御部１００は、搬送先の配置規則（すなわち、トレイ２７上のワーク７が配置されるべきレイアウト）に応じて、複数の吸着ヘッド８４（係着部材）のうちワーク７の係着に使用される吸着ヘッド８４、および、搬送先の配置規則に含まれる複数の配置位置（トレイ２７上の凹部２７１）のうちワーク７の配置対象となる配置位置、の少なくとも一方を規則的に選択する。併せて、制御部１００は、当該規則的な選択に応じて吸着ヘッド８４の間隔を決定する。
【００９９】
図９を参照して、制御部１００は、まず、トレイ列ピッチＰ３がヘッド有効ピッチＰ１の最大値ＭＡＸより大きいか否かを判断する（ステップＳ１００）。すなわち、制御部１００は、図６（Ａ）に示すように、ワーク７の係着に使用される吸着ヘッド８４を間引く必要があるか否かを判断する。トレイ列ピッチＰ３がヘッド有効ピッチＰ１の最大値ＭＡＸより大きい場合（ステップＳ１００においてＹＥＳの場合）には、図１０に示すステップＳ２００以下の処理が実行される。
【０１００】
これに対して、トレイ列ピッチＰ３がヘッド有効ピッチＰ１の最大値ＭＡＸ以下である場合（ステップＳ１００においてＮＯの場合）には、制御部１００は、トレイ列ピッチＰ３がヘッド有効ピッチＰ１の最小値ＭＩＮより小さいか否かを判断する（ステップＳ１０２）。すなわち、制御部１００は、図６（Ｂ）に示すように、ワーク７の配置対象となる凹部２７１を間引く必要があるか否かを判断する。トレイ列ピッチＰ３がヘッド有効ピッチＰ１の最小値ＭＩＮより小さい場合（ステップＳ１０２においてＹＥＳの場合）には、図１１に示すステップＳ３００以下の処理が実行される。
【０１０１】
これに対して、トレイ列ピッチＰ３がヘッド有効ピッチＰ１の最小値ＭＩＮ以上である場合（ステップＳ１０２においてＮＯの場合）には、調整範囲内において、ヘッド有効ピッチＰ１をトレイ列ピッチＰ３と一致させることができることを意味する。すなわち、吸着ヘッド８４および凹部２７１のいずれについても間引く必要はない。そのため、制御部１００は、プレースパターンとして、複数のワーク７を一括して搬送する「一括プレース」モードを搬送モードとして選択するとともに、ヘッドピッチ数Ｎ、およびトレイ列ピッチ数Ｍをいずれも「１」に設定する（ステップＳ１０４）。また、制御部１００は、ヘッド有効ピッチＰ１を「トレイ列ピッチＰ３」に設定する。そして、処理は図８のステップＳ４が完了し、ステップＳ６へ進む。
【０１０２】
次に、図１０を参照して、ステップＳ２００以下の処理について説明する。ステップＳ２００以下の処理は、トレイ列ピッチＰ３がヘッド有効ピッチＰ１の最大値ＭＡＸより大きい場合に実行され、主として、ワーク７の搬送に使用される吸着ヘッド８４を何個ずつ飛ばすのか（あるいは、ヘッドピッチ数Ｎ）を決定する。但し、吸着ヘッド８４とワーク７とを整合させるために、トレイ列ピッチ数Ｍを調整することもある。ステップＳ２００以下の処理においては、ヘッドピッチ数Ｎを主位的、トレイ列ピッチ数Ｍを副次的に順次変更することで、最適なヘッドピッチ数Ｎおよびトレイ列ピッチ数Ｍの組を決定する。
【０１０３】
効率的な搬送を実現するためには、より多くの吸着ヘッド８４を使用する、すなわちヘッドピッチ数Ｎをより小さくすることが好ましい。
【０１０４】
制御部１００は、まず、トレイ列ピッチ数Ｍの初期値を「１」に設定する（ステップＳ２００）とともに、ヘッドピッチ数Ｎの初期値を「１」に設定する（ステップＳ２０２）。
【０１０５】
続いて、制御部１００は、現在のヘッドピッチ数Ｎおよび現在のトレイ列ピッチ数Ｍによって算出されるヘッド有効ピッチＰ１（＝トレイ列ピッチＰ３×Ｍ／Ｎ）がヘッド有効ピッチＰ１の最小値ＭＩＮから最大値ＭＡＸの範囲内にあるか否かを判断する（ステップＳ２０４）。
【０１０６】
ヘッド有効ピッチＰ１がヘッド有効ピッチＰ１の最小値ＭＩＮから最大値ＭＡＸの範囲内にある場合（ステップＳ２０４においてＹＥＳの場合）には、制御部１００は、プレースパターンとして、複数のワーク７を一括して搬送する「一括プレース」モードを搬送モードとして選択するとともに、ヘッドピッチ数Ｎおよびトレイ列ピッチ数Ｍをそれぞれの現在値に設定する（ステップＳ２０６）。また、制御部１００は、ヘッド有効ピッチＰ１を「トレイ列ピッチＰ３×Ｍ／Ｎ」に設定する。そして、処理は図８のステップＳ４が完了し、ステップＳ６へ進む。
【０１０７】
これに対して、ヘッド有効ピッチＰ１がヘッド有効ピッチＰ１の最小値ＭＩＮから最大値ＭＡＸの範囲内にない場合（ステップＳ２０４においてＮＯの場合）には、現在のヘッドピッチ数Ｎでは、凹部２７１の実際の間隔に整合できないことを意味するので、制御部１００は、ヘッドピッチ数Ｎを増加させて、凹部２７１の実際の間隔に整合できるか否かを判断する。それに先立って、制御部１００は、ヘッドピッチ数Ｎをさらに増加させることができるか否かを判断する（ステップＳ２０８）。すなわち、制御部１００は、現在のヘッドピッチ数Ｎが「吸着ヘッドの総数−１」に到達しているか否かを判断する。現在のヘッドピッチ数Ｎが「吸着ヘッドの総数−１」に到達している場合は、移載装置８０の両端に配置されている２つの吸着ヘッド８４を使用する状態（見かけ上のヘッド有効ピッチＰ２を最大化した状態）を意味し、そのような状態であっても凹部２７１の実際の間隔に整合できないということは、複数のワーク７の一括搬送が不可能であることを意味する。
【０１０８】
ヘッドピッチ数Ｎをさらに増加させることができる場合（ステップＳ２０８においてＹＥＳの場合）には、制御部１００は、現在のヘッドピッチ数Ｎを１だけインクリメントし（ステップＳ２１０）、ステップＳ２０４以下の処理を再度実行する。
【０１０９】
これに対して、ヘッドピッチ数Ｎをこれ以上増加させることができない場合（ステップＳ２０８においてＮＯの場合）には、現在のヘッドピッチ数Ｎおよびトレイ列ピッチ数Ｍでは、凹部２７１の実際の間隔に整合できないことを意味するので、制御部１００は、トレイ列ピッチ数Ｍを増加させて、凹部２７１の実際の間隔に整合できるか否かを判断する。それに先立って、制御部１００は、トレイ列ピッチ数Ｍをさらに増加させることができるか否かを判断する（ステップＳ２１２）。すなわち、制御部１００は、現在のトレイ列ピッチ数Ｍが「トレイ列総数−１」に到達しているか否かを判断する。ここで、「トレイ列総数」は、トレイ２７上においてＸ方向に沿って配置された凹部２７１の総数を意味する。
【０１１０】
トレイ列ピッチ数Ｍをさらに増加させることができる場合（ステップＳ２１２においてＹＥＳの場合）には、制御部１００は、現在のトレイ列ピッチ数Ｍを１だけインクリメントし（ステップＳ２１４）、ステップＳ２０２以下の処理を再度実行する。
【０１１１】
これに対して、現在のトレイ列ピッチ数Ｍが「トレイ列総数−１」に到達している場合は、トレイ２７の両端に位置する２つの凹部２７１に対してワーク７を一括搬送しようとする状態（見かけ上のトレイ列ピッチＰ４を最大化した状態）を意味し、そのような状態であっても整合できないということは、複数のワーク７の一括搬送が不可能であることを意味する。そのため、トレイ列ピッチ数Ｍをこれ以上増加させることができない場合（ステップＳ２１２においてＮＯの場合）には、制御部１００は、プレースパターンとして、ワーク７を１つずつ個別に搬送する「個別プレース」モードを搬送モードとして選択するとともに、ヘッドピッチ数Ｎ、およびトレイ列ピッチ数Ｍをいずれも「１」に設定する（ステップＳ２１６）。また、制御部１００は、ヘッド有効ピッチＰ１をヘッド有効ピッチＰ１の最大値ＭＡＸに設定する。この場合、トレイ列ピッチＰ３は、ヘッド有効ピッチＰ１の最大値ＭＡＸより大きいので、個別プレースモードにおけるヘッド有効ピッチＰ１は、ヘッド有効ピッチＰ１の最大値ＭＡＸに設定される。そして、処理は図８のステップＳ４が完了し、ステップＳ６へ進む。
【０１１２】
図１０において、ステップＳ２０４〜Ｓ２１０およびＳ２０２〜Ｓ２１４のループ処理は、整合可能なヘッドピッチ数Ｎとトレイ列ピッチ数Ｍとの組合せを探索する処理に相当する。すなわち、制御部１００は、吸着ヘッド８４（係着部材）がＸ方向（第１の方向）に沿って移動できる範囲内で、ワーク７の係着に使用される吸着ヘッド８４の間隔がワーク７の配置対象となる凹部２７１の間隔と一致できるように、吸着ヘッド８４および凹部２７１の飛ばし数をそれぞれ決定する。
【０１１３】
以上のような処理によって、トレイ列ピッチＰ３がヘッド有効ピッチＰ１の最大値ＭＡＸより大きい場合のプレースパターンが設定される。
【０１１４】
次に、図１１を参照して、ステップＳ３００以下の処理について説明する。ステップＳ３００以下の処理は、トレイ列ピッチＰ３がヘッド有効ピッチＰ１の最小値ＭＩＮより小さい場合に実行され、主として、ワーク７の配置対象となる凹部２７１を何個ずつ飛ばすのか（あるいは、トレイ列ピッチ数Ｍ）を決定する。一方で、効率的な搬送を実現するためには、より多くのワーク７を一括して搬送する、すなわちトレイ列ピッチ数Ｍをより小さくすることが好ましい。そのため、制御部１００は、トレイ列ピッチ数Ｍを主位的、ヘッドピッチ数Ｎを副次的に順次変更することで、最適なトレイ列ピッチ数Ｍとヘッドピッチ数Ｎとの組合せを決定する。
【０１１５】
制御部１００は、まず、ヘッドピッチ数Ｎの初期値を「１」に設定する（ステップＳ３００）とともに、トレイ列ピッチ数Ｍの初期値を「１」に設定する（ステップＳ３０２）。
【０１１６】
続いて、制御部１００は、現在のヘッドピッチ数Ｎおよび現在のトレイ列ピッチ数Ｍによって算出されるヘッド有効ピッチＰ１（＝トレイ列ピッチＰ３×Ｍ／Ｎ）がヘッド有効ピッチＰ１の最小値ＭＩＮから最大値ＭＡＸの範囲内にあるか否かを判断する（ステップＳ３０４）。
【０１１７】
ヘッド有効ピッチＰ１がヘッド有効ピッチＰ１の最小値ＭＩＮから最大値ＭＡＸの範囲内にある場合（ステップＳ３０４においてＹＥＳの場合）には、制御部１００は、プレースパターンとして、複数のワーク７を一括して搬送する「一括プレース」モードを搬送モードとして選択するとともに、ヘッドピッチ数Ｎおよびトレイ列ピッチ数Ｍをそれぞれの現在値に設定する（ステップＳ３０６）。また、制御部１００は、ヘッド有効ピッチＰ１を「トレイ列ピッチＰ３×Ｍ／Ｎ」に設定する。そして、処理は図８のステップＳ４が完了し、ステップＳ６へ進む。
【０１１８】
これに対して、ヘッド有効ピッチＰ１がヘッド有効ピッチＰ１の最小値ＭＩＮから最大値ＭＡＸの範囲内にない場合（ステップＳ３０４においてＮＯの場合）には、現在のトレイ列ピッチ数Ｍでは、凹部２７１の実際の間隔に整合できないことを意味するので、制御部１００は、トレイ列ピッチ数Ｍを増加させて、凹部２７１の実際の間隔に整合できるか否かを判断する。それに先立って、制御部１００は、トレイ列ピッチ数Ｍをさらに増加させることができるか否かを判断する（ステップＳ３０８）。すなわち、制御部１００は、現在のトレイ列ピッチ数Ｍが「トレイ列総数−１」に到達しているか否かを判断する。この判断処理は、上述のステップＳ２１２と同様であるので、処理の意味についての説明は繰返さない。
【０１１９】
トレイ列ピッチ数Ｍをさらに増加させることができる場合（ステップＳ３０８においてＹＥＳの場合）には、制御部１００は、現在のトレイ列ピッチ数Ｍを１だけインクリメントし（ステップＳ３１０）、ステップＳ３０４以下の処理を再度実行する。
【０１２０】
これに対して、トレイ列ピッチ数Ｍをこれ以上増加させることができない場合（ステップＳ３０８においてＮＯの場合）には、現在のトレイ列ピッチ数Ｍおよびヘッドピッチ数Ｎでは、凹部２７１の実際の間隔に整合できないことを意味するので、制御部１００は、ヘッドピッチ数Ｎを増加させて、凹部２７１の実際の間隔に整合できるか否かを判断する。それに先立って、制御部１００は、ヘッドピッチ数Ｎをさらに増加させることができるか否かを判断する（ステップＳ３１２）。すなわち、制御部１００は、現在のヘッドピッチ数Ｎが「吸着ヘッドの総数−１」に到達しているか否かを判断する。この判断処理は、上述のステップＳ２０８と同様であるので、処理の意味についての説明は繰返さない。
【０１２１】
ヘッドピッチ数Ｎをさらに増加させることができる場合（ステップＳ３１２においてＹＥＳの場合）には、制御部１００は、現在のヘッドピッチ数Ｎを１だけインクリメントし（ステップＳ３１４）、ステップＳ３０２以下の処理を再度実行する。
【０１２２】
これに対して、現在のヘッドピッチ数Ｎが「吸着ヘッドの総数−１」に到達している場合は、移載装置８０の両端に配置されている吸着ヘッド８４が使用する状態（見かけ上のヘッド有効ピッチＰ２を最大化した状態）を意味し、そのような状態であっても凹部２７１の実際の間隔に整合できないということは、複数のワーク７の一括搬送が不可能であることを意味する。そのため、ヘッドピッチ数Ｎをこれ以上増加させることができない場合（ステップＳ３１２においてＮＯの場合）には、制御部１００は、プレースパターンとして、ワーク７を１つずつ個別に搬送する「個別プレース」モードを搬送モードとして選択するとともに、ヘッドピッチ数Ｎ、およびトレイ列ピッチ数Ｍをいずれも「１」に設定する（ステップＳ３１６）。また、制御部１００は、ヘッド有効ピッチＰ１をヘッド有効ピッチＰ１の最小値ＭＩＮに設定する。この場合、トレイ列ピッチＰ３は、ヘッド有効ピッチＰ１の最小値ＭＩＮより小さいので、個別プレースモードにおけるヘッド有効ピッチＰ１は、ヘッド有効ピッチＰ１の最小値ＭＩＮに設定される。そして、処理は図８のステップＳ４が完了し、ステップＳ６へ進む。
【０１２３】
図１１において、ステップＳ３０４〜Ｓ３１０およびＳ３０２〜Ｓ３１４のループ処理は、整合可能なトレイ列ピッチ数Ｍとヘッドピッチ数Ｎとの組合せを探索する処理に相当する。すなわち、制御部１００は、吸着ヘッド８４（係着部材）がＸ方向（第１の方向）に沿って移動できる範囲内で、ワーク７の配置対象となる凹部２７１の間隔がワーク７の係着に使用される吸着ヘッド８４の間隔と一致できるように、凹部２７１および吸着ヘッド８４の飛ばし数をそれぞれ決定する。
【０１２４】
以上のような処理によって、トレイ列ピッチＰ３がヘッド有効ピッチＰ１の最小値ＭＩＮより小さい場合のプレースパターンが設定される。
【０１２５】
［Ｆ．吸着ヘッドの固定機構］
本実施の形態に従う製造装置１の移載機構８（移載装置８０）では、搬送先の配置規則に応じて、複数の吸着ヘッド８４のうち一部または全部を選択的に有効化して、ワーク７の搬送を効率化する。このとき、ワーク７の搬送に使用されない吸着ヘッド８４については、ワーク７に接触させないようにすることが好ましい。一方で、移載機構８（移載装置８０）では、１つのサーボモータ１３６（図５）を用いて、複数の吸着ヘッド８４を一括してＺ方向に移動させるような構成を採用している。そこで、ワーク７の搬送に使用されない吸着ヘッド８４については、ワーク７に接触させないようにするロック機構を採用する。
【０１２６】
図１２および図１３は、本実施の形態に従う製造装置１の移載機構８（移載装置８０）において採用されるロック機構の動作を説明するための図である。図１２には、ロック無し状態の吸着ヘッド８４を示し、図１３には、ロック状態の吸着ヘッド８４を示す。また、図１２（Ａ）および図１３（Ａ）には、移載装置８０がスタンバイ位置にある状態を示し、図１２（Ｂ）および図１３（Ｂ）には、移載装置８０が吸着位置にある状態を示す。
【０１２７】
図１２および図１３を参照して、吸着ヘッド８４は、水平方向に延びるフレーム８４３の一端と機械的に結合されている。フレーム８４３は、その他端の端面がガイド部材８４１と滑合するように構成されている。ガイド部材８４１の上端部および下端部には、それぞれ係止部が設けられており、これによって、フレーム８４３と滑合可能な範囲が制限される。図１２に示すロック無状態において、フレーム８４３は、その自重によって、ガイド部材８４１の下端部の係止部と接触した状態に保たれる。ガイド部材８４１は、運動変換機構８４５を介してサーボモータ１３６と機械的に接続されており、サーボモータ１３６が回転することで、ガイド部材８４１は、Ｚ方向に沿って変位する。ガイド部材８４１がＺ方向に沿って変位することで、フレーム８４３およびフレーム８４３と機械的に結合された吸着ヘッド８４もＺ方向に沿って変位する。
【０１２８】
フレーム８４３と吸着ヘッド８４との中間部には、シリンダー１５２が設けられており、さらにシリンダー１５２の内部にはピストンロッド１５４が設けられ、ピストンロッド１５４の先端面１５３と対向する位置に固定部材８４２が設けられている。固定部材８４２には、ピストンロッド１５４の先端面１５３の形状に応じた切欠部が形成されている。固定部材８４２は、フレーム８４３がＺ方向下向きに移動した場合に、フレーム８４３に設けられたシリンダー１５２と接触して、Ｚ方向上向きの抗力を発生する。
【０１２９】
図１２に示すように、ロック無し状態においては、ピストンロッド１５４の先端面１５３が引っ込んだ状態に維持されるので、先端面１５３と固定部材８４２の内底面８４２１との間で接触することなく、吸着ヘッド８４がワーク７を吸着することが可能な位置まで下降する。
【０１３０】
これに対して、図１３に示すように、ロック状態においては、ピストンロッド１５４の先端面１５３が飛び出した状態に維持されるので、先端面１５３と固定部材８４２との間で干渉が生じる。すなわち、ピストンロッド１５４の先端面１５３と固定部材８４２の内底面８４２１とが接触することで、フレーム８４３の下降が阻止される。すなわち、図１３（Ｂ）に示すように、フレーム８４３とガイド部材８４１とのリンクが外れて、フレーム８４３はガイド部材８４１の下端部の係止部から浮いた状態になる。このような状態になることで、スタンバイ位置での高さが維持され、吸着ヘッド８４の先端がワーク７に接触することはない。
【０１３１】
このように、制御部１００は、ワーク７の係着に使用されない吸着ヘッド８４について、ワーク７との接触を制限する。ワーク７との接触を制限された吸着ヘッド８４は、トレイ２７上においても、ワーク７および凹部２７１に接触することはない。このようなロック機構を採用して、ワーク７の搬送に使用される吸着ヘッド８４のみをワーク７に選択的に接触させるようにすることで、搬送対象ではないワーク７に対する悪影響を低減できる。
【０１３２】
［Ｇ．利点］
本実施の形態に従う製造装置１の制御部１００によれば、インデックステーブル２６上にある配置規則に従った配置されたワーク７の集合体６（複数のワーク７）を、トレイ２７上に別の配置規則に従ってワーク７の集合体６を再配置するような場合に、インデックステーブル２６およびトレイ２７のそれぞれにおける配置規則が多種多様であっても、より効率的なワーク搬送を実現できる。すなわち、吸着ヘッド８４の調整範囲では、吸着ヘッド８４の間隔（ヘッド有効ピッチ）とトレイ２７上においてワーク７の配置対象となる配置位置（ワーク７が配置される凹部２７１）とを整合させることができない場合であっても、複数の吸着ヘッド８４および複数の配置位置（凹部２７１）の少なくとも一方を規則的に選択、すなわち間引くことで、見かけ上の間隔（見かけ上のピッチ）をより拡大することができる。このような見かけ上のピッチを拡大して調整することで、様々な配置規則に従って配置／再配置され得る複数のワーク７についても、より効率的な搬送を実現できる。
【０１３３】
なお、本実施の形態に従う調整方法は、吸着ヘッド８４の調整範囲内で吸着ヘッド８４の間隔と配置位置（凹部２７１）の間隔とを整合させることができる場合に限って実行されるようにしてもよい。
【０１３４】
今回開示された実施の形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施の形態の説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【０１３５】
１  製造装置、２  受入モジュール、３  切断モジュール、４  払出モジュール、５  被切断物、６  ワークの集合体、７  ワーク、８  移載機構、９  真空ポンプ、２１  プレステージ、２２  切断用ステージ、２３  切断用移動機構、２４  スピンドル、２５  回転刃、２６  インデックステーブル、２７  トレイ、２８  位置決め用カメラ、５１  切断パターン、８０，８０Ａ，８０Ｂ  移載装置、８２  本体部、８３，８６，１３４，１３６  サーボモータ、８４  吸着ヘッド、８５，８７３，８８３，８９３  ベルト、１００  制御部、１０２  入力部、１０４  出力部、１０６  メインメモリ、１０８  光学ドライブ、１０８Ａ  記録媒体、１１０  演算部、１１２  ネットワークインターフェイス、１１４  サーボモータインターフェイス、１１５，１１７，１１８  フィールドバス、１１６  アクチュエータインターフェイス、１１９  内部バス、１２２  汎用ＯＳ、１２４  リアルタイムＯＳ、１２６  ＨＭＩプログラム、１２８  制御プログラム、１３１，１３２，１３３  サーボドライバ、１４０，１５０  リレー、１５２  シリンダー、１５３  先端面、１５４  ピストンロッド、２６１，２７１  凹部、２６２  吸引口、８１０  電磁弁、８１２  ソレノイド、８１３，８１９  フィルタ、８１４  個別配管、８１６  吸気側配管、８１８  排気側配管、８４１  ガイド部材、８４２  固定部材、８４２１  内底面、８４３  フレーム、８４５  運動変換機構、８６１  連結部、８６２  ガイド、８７１，８８１，８９１  駆動プーリー、８７２，８８２，８９２  従動プーリー、８７４，８８４，８９４  固着具。
【図１】
0006382132.tif 000002
【図２】
0006382132.tif 000003
【図３】
0006382132.tif 000004
【図４】
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【図５】
0006382132.tif 000006
【図６】
0006382132.tif 000007
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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