(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体の上にガラスフィルムが積層されたガラスフィルム積層体から、前記ガラスフィルムを引っ張るための引張手段によって、前記ガラスフィルムを積層方向に引っ張って前記支持体から剥離するガラスフィルムの剥離方法であって、
前記引張手段は、
前記ガラスフィルムを吸着するための吸着手段を備え、
前記吸着手段は、吸盤であり、
前記吸盤は前記ガラスフィルムの剥離進行方向に直交する方向を長軸方向とした長円状の形状を有しており、
前記吸着手段によって、前記ガラスフィルムの剥離進行方向に直交する方向における前記ガラスフィルムの実質的に全幅を吸着しつつ、前記ガラスフィルムを剥離する、
ことを特徴とするガラスフィルムの剥離方法。
【請求項２】
前記吸盤は、
前記ガラスフィルムの剥離進行方向に直交する方向における前記ガラスフィルムの幅と実質的に同じ幅を有する、
ことを特徴とする請求項１に記載のガラスフィルムの剥離方法。
【請求項３】
ガラスフィルムと支持体とを積層してガラスフィルム積層体を作製する第一の工程と、
前記ガラスフィルム積層体における前記ガラスフィルムに電子デバイス製造関連処理を行う第二の工程と、
前記電子デバイス製造関連処理後の前記ガラスフィルム積層体から、前記ガラスフィルムに電子デバイス製造関連処理を施して得た電子デバイスを剥離する第三の工程と、
を有する電子デバイスの製造方法であって、
前記第三の工程において、
前記電子デバイスの剥離進行方向に直交する方向を長軸方向とした長円状の形状を有している吸盤を有する吸着手段を準備し、
前記支持体の上に形成された電子デバイスを前記吸着手段によって、前記電子デバイスの剥離進行方向に直交する方向における前記電子デバイスの実質的に全幅を吸着しつつ、前記電子デバイスを剥離する、
ことを特徴とする電子デバイスの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラスフィルムの剥離方法および電子デバイスの製造方法の技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイが普及している。これらのフラットパネルディスプレイにおいては、さらなる薄型化へのニーズが存在している。
フラットパネルディスプレイの薄型化を推進するためには、それに使用するガラス基板の薄型化を図る必要がある。薄板化されたガラス基板としては、以下の特許文献１に記載された厚み２００μｍ以下のガラスフィルムが提案されている。
【０００３】
特許文献１に記載された超薄板のガラスフィルムは可撓性に富むため、デバイス製造関連処理を行う際のハンドリングが行い難いという問題がある。
このため、以下の特許文献２に記載されているように、ガラスフィルムを支持ガラス上に積層してガラスフィルム積層体を形成し、ガラスフィルム積層体の状態でガラスフィルムに対してデバイス製造関連処理を行うことが提案されている。
そして、ガラスフィルム積層体の状態でガラスフィルムに対するデバイス製造関連処理を行った場合には、当該処理後において、支持ガラスからガラスフィルムを剥離する必要がある。
【０００４】
支持ガラスからガラスフィルムを剥離するための方法としては、特許文献３に記載された剥離装置を用いた方法が提案されている。
特許文献３に記載されている剥離装置は、ガラスフィルムの幅方向と長さ方向にそれぞれ列置された複数の吸着パッドでガラスフィルムを吸着し、当該吸着パッドでガラスフィルムを引き剥がすことで、支持ガラスからガラスフィルムを順次離反させる構成としている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−１３２５３１号公報
【特許文献２】特開２０１１−１８３７９２号公報
【特許文献３】特開２０１３−５６７７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献３に記載された剥離装置を用いてガラスフィルムの剥離を行った場合、ガラスフィルムを局部的に引っ張り上げることとなり、図１５（ａ）に示す通り、ガラスフィルムは、波打った状態で支持ガラスから持ち上げられることとなる。
ガラスフィルムが波打つと、ガラスフィルムの端面に過大な応力が作用するおそれが生じ、ガラスフィルムが破損する可能性が高くなっていた。
【０００７】
加えて、吸着パッドで引っ張ってガラスフィルムを剥離させる場合には、ガラスフィルムの幅方向に列置された各吸着パッド間で剥離のタイミングに差が生じることがある。
そして、各吸着パッド間で剥離のタイミングに差が生じると、図１５（ｂ）（ｃ）に示す通り、剥離済の部位と未剥離の部位の境界線が曲線状に形成されることとなり、その結果剥離界面の位置がガラスの両側縁部でずれることとなることでガラスフィルムにねじれの応力が作用することとなり、剥離時にガラスフィルムが破損する可能性が高まることとなっていた。
【０００８】
本発明は、斯かる現状の課題を鑑みてなされたものであり、ガラスフィルムを支持ガラスから剥離するときに、ガラスフィルムに過度の応力が作用することを防止して、剥離時におけるガラスフィルムおよび電子デバイスの破損を防止するガラスフィルムの剥離方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【００１０】
即ち、請求項１に係る発明は、支持体の上にガラスフィルムが積層されたガラスフィルム積層体から、前記ガラスフィルムを引っ張るための引張手段によって、前記ガラスフィルムを積層方向に引っ張って前記支持体から剥離するガラスフィルムの剥離方法であって、前記引張手段は、前記ガラスフィルムを吸着するための吸着手段を備え、前記吸着手段は、吸盤であり、前記吸盤は前記ガラスフィルムの剥離進行方向に直交する方向を長軸方向とした長円状の形状を有しており、前記吸着手段によって、前記ガラスフィルムの剥離進行方向に直交する方向における前記ガラスフィルムの実質的に全幅を吸着しつつ、前記ガラスフィルムを剥離することを特徴とする。
【００１１】
請求項２に係る発明は、前記吸盤は、前記ガラスフィルムの剥離進行方向に直交する方向における前記ガラスフィルムの幅と実質的に同じ幅を有することを特徴とする。
【００１２】
請求項３に係る発明は、ガラスフィルムと支持体とを積層してガラスフィルム積層体を作製する第一の工程と、前記ガラスフィルム積層体における前記ガラスフィルムに電子デバイス製造関連処理を行う第二の工程と、前記電子デバイス製造関連処理後の前記ガラスフィルム積層体から、前記ガラスフィルムに電子デバイス製造関連処理を施して得た電子デバイスを剥離する第三の工程と、を有する電子デバイスの製造方法であって、前記第三の工程において、前記電子デバイスの剥離進行方向に直交する方向を長軸方向とした長円状の形状を有している吸盤を有する吸着手段を準備し、前記支持体の上に形成された電子デバイスを前記吸着手段によって、前記電子デバイスの剥離進行方向に直交する方向における前記電子デバイスの実質的に全幅を吸着しつつ、前記電子デバイスを剥離することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。
【００１４】
請求項１、請求項２に係る発明によれば、ガラスフィルムの剥離時において、ガラスフィルムを幅方向において波打つような変形をさせないようにして、ガラスフィルムに過度の応力が作用することを防止できる。また、ガラスフィルムの剥離時において、支持ガラスからガラスフィルムが剥離する境界位置が描く線を、ガラスフィルムの剥離進行方向に対して、常に略直交させることができ、これにより、ガラスフィルムが剥離の際にねじれることを防止することができ、ガラスフィルムに過度の応力が作用することを防止できる。
【００１５】
請求項３に係る発明によれば、電子デバイスの剥離時において、電子デバイスを幅方向において波打つような変形をさせないようにして、電子デバイスに過度の応力が作用することを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一実施形態に係るガラスフィルムの剥離方法の適用対象たるガラスフィルム積層体の構成を示す斜視模式図。
【図２】ガラスフィルムと支持ガラスの接合メカニズムを説明するための模式図、（ａ）水酸基同士の水素結合の状況を示す図、（ｂ）水分子を介在する水素結合の状況を示す図、（ｃ）加熱に伴う脱水反応による共有結合の増強状況を示す図。
【図３】本発明の一実施形態に係るガラスフィルムの剥離方法におけるガラスフィルムの吸着状況および剥離状況を示す模式図。
【図４】本発明の一実施形態に係るガラスフィルムの剥離方法によるガラスフィルムの剥離進行状況を示す模式図。
【図５】本発明の一実施形態に係るガラスフィルムの剥離方法に用いる第一の形態に係る引張手段を示す斜視模式図。
【図６】第一の形態に係る引張手段を示す模式図、（ａ）平面視模式図、（ｂ）側面視模式図。
【図７】第一の形態に係る引張装置によるガラスフィルムの剥離状況を示す側面視模式図。
【図８】本発明の一実施形態に係るガラスフィルムの剥離方法に用いる第二の形態に係る引張手段を示す斜視模式図。
【図９】第二の形態に係る引張手段を構成する吸着手段の第一の形態を示す模式図、（ａ）側面視模式図、（ｂ）正面視模式図。
【図１０】第二の形態に係る引張手段を構成する吸着手段の第二の形態を示す模式図、（ａ）側面視模式図、（ｂ）正面視模式図。
【図１１】第二の形態に係る引張手段を構成する吸着手段の第三の形態を示す模式図、（ａ）側面視模式図、（ｂ）正面視模式図。
【図１２】本発明の一実施形態に係る電子デバイスの製造方法を示す側面視模式図。
【図１３】電子デバイスを構成するガラスフィルムの作製方法（オーバーフローダウンドロー法）を示す側面視断面模式図。
【図１４】支持ガラス付電子デバイスを示す側面視模式図。
【図１５】従来の剥離方法によるガラスフィルムの剥離状況を示す模式図、（ａ）剥離方向視における模式図、（ｂ）平面視における第１の模式図、（ｃ）平面視における第２の模式図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明に係るガラスフィルムの剥離方法の好適な実施形態について、図面を参照しつつ説明する。
ここではまず、本発明の一実施形態に係るガラスフィルムの剥離方法の適用対象たるガラスフィルム積層体について、説明をする。
本発明の一実施形態に係るガラスフィルムの剥離方法は、ガラスフィルム積層体からガラスフィルムを剥離するための方法である。
ガラスフィルム積層体とは、ガラスフィルムのハンドリング性向上を目的として、支持体の上にガラスフィルムを積層して製造される板状の部材である。そして、ガラスフィルム積層体の状態で、ガラスフィルムに対してデバイス製造関連処理を行い、その後、支持体とガラスフィルムを分離することによって、ガラスフィルムのハンドリング性向上を図つつ、ガラスフィルムに対する処理を精度良く行うことが実現される。
【００１８】
本発明の一実施形態に係るガラスフィルムの剥離方法の適用対象たるガラスフィルム積層体は、厚み２００μｍ以下程度の超薄板ガラスであるガラスフィルムと、ガラスフィルムよりも厚みが大きい薄板ガラスである支持体によって構成される。
尚、ガラスフィルム積層体を構成する支持体は、薄板ガラスのみで構成されるものに限定されず、ガラスフィルムが積層される側の面に、樹脂層や無機薄膜を備えていてもよい。樹脂層を構成する素材としては、例えば、アクリル樹脂やシリコーン樹脂等を採用することができ、無機薄膜の素材としては、例えば、ＩＴＯ、ＺｒＯ２、カーボン等を採用することができる。
支持体が薄板ガラスと樹脂層で構成される場合には、ガラスフィルムと支持ガラスは樹脂層を介して接着され、支持体が薄板ガラスと無機薄膜で構成される場合には、ガラスフィルムと支持ガラスは無機薄膜を介して接着される。
【００１９】
本実施形態では、図１に示すような、ガラスフィルム１と支持ガラス２を直接積層して製造されるガラスフィルム積層体３から、ガラスフィルム１を剥離する場合の剥離方法を例示して説明をする。
【００２０】
ガラスフィルム積層体３では、ガラスフィルム１と支持ガラス２は直接接触した状態で積層される。本実施形態で示すガラスフィルム積層体３は、ガラスフィルム１と支持ガラス２の接触面における各表面粗さＲａが２．０ｎｍ以下のものを使用することが好ましく、これにより接着剤等を用いずに、ガラスフィルム１と支持ガラス２を強固に接着することができる。
【００２１】
図２には、ガラスフィルム１と支持ガラス２が、接着剤を用いずに強固に接着されるメカニズムを示している。ガラスフィルム１と支持ガラス２は、図２（ａ）に示すように、ガラスフィルム１の表面（接触面１ａ）と支持ガラス２の表面（接触面２ａ）に形成された水酸基同士の水素結合により引き付けあうと考えられる。あるいは、図２（ｂ）のように、ガラスフィルム１の表面の水酸基と支持ガラス２の表面の水酸基とが、ガラスフィルム１と支持ガラス２の界面４に存在する水分子が介在した状態で、水素結合により結合することにより、ガラスフィルム１と支持ガラス２とが互いに固着することもあると考えられている。
【００２２】
また、このような状態下で、ガラスフィルム積層体３が加熱されると、図２（ｃ）に示す通り、ガラスフィルム１と支持ガラス２の界面４において、
Ｓｉ−ＯＨ  ＋  ＨＯ−Ｓｉ  →  Ｓｉ−Ｏ−Ｓｉ  ＋  Ｈ２Ｏ
の脱水反応が起こり、共有結合が増えることでガラスフィルム１と支持ガラス２の固着力が強くなると考えられる。
【００２３】
次に、本発明の一実施形態に係るガラスフィルムの剥離方法について、説明をする。
本発明の一実施形態に係るガラスフィルムの剥離方法では、引張手段（図示せず）によってガラスフィルム１の実質的に全幅を吸着し引っ張ることで、ガラスフィルム積層体３からガラスフィルム１を剥離する構成としている。ここで、「ガラスフィルムの実質的に全幅を吸着」とは、ガラスフィルムの両端部にガラスフィルムを一部吸着しない隙間領域があっても良いことを意味し、この場合であったとしても、ガラスフィルムの剥離時にガラスフィルムを吸着していない領域が、ガラスフィルム自身の剛性により変形させずに済む程度の隙間領域とする。尚、ガラスフィルム１を剥離するときには、ガラスフィルム積層体３は、図示しない剥離装置の基台上に配置されており、当該基台により支持ガラス２を吸着することによって固定されている。
【００２４】
引張手段は、ガラスフィルム１を吸着するための吸着手段（図示せず）と、ガラスフィルム１に圧力Ｐを付与するための手段（図示せず）と、を備えている。
そして、本発明の一実施形態に係るガラスフィルムの剥離方法では、図３に示すように、ガラスフィルム１の有効面１ｂを、範囲Ｖにおいて吸着手段によって吸着し、その状態で圧力Ｐを付与してガラスフィルム１を剥離する構成としている。
尚、以下では、吸着手段でガラスフィルム１を吸着する範囲Ｖを吸着範囲Ｖとも呼ぶ。
【００２５】
また、本発明の一実施形態に係るガラスフィルムの剥離方法におけるガラスフィルム１の剥離は、図３に示す矢印Ｘの方向に進行する。尚、以下では、ガラスフィルム１の剥離が進行する矢印Ｘの方向を、剥離進行方向Ｘと呼び、剥離進行方向Ｘはガラスフィルム１の長さ方向に対応している。そして、ガラスフィルム１の長さ方向に直交する方向を、ガラスフィルム１の幅方向と規定する。
【００２６】
尚、ガラスフィルム１に対して圧力Ｐを付与する方向は、支持ガラス２の接触面２ａに対して垂直な方向とするか、または、支持ガラス２の接触面２ａに対して垂直な方向から離進行方向Ｘ側に傾斜させた方向とするのが好ましい。
【００２７】
本発明の一実施形態に係るガラスフィルムの剥離方法では、図３に示す如く、ガラスフィルム積層体３の厚さ方向視において剥離進行方向Ｘに直交する方向におけるガラスフィルム１の幅をＷＧと規定し、剥離進行方向Ｘに直交する方向における吸着範囲Ｖの幅をＷＶと規定するとき、吸着範囲Ｖの幅ＷＶをガラスフィルム１の幅ＷＧと実質的に同じ幅とする。
尚、ここでいう「実質的に同じ幅」とは、吸着範囲Ｖの幅ＷＶと、ガラスフィルム１の幅ＷＧが完全には一致しておらず、ガラスフィルム１の両端部にガラスフィルム１を一部吸着しない隙間領域があっても良いことを意味している。逆に言えば、ガラスフィルム１の全幅をリーク無しに吸着することは、技術的に困難である。この場合の隙間領域は、ガラスフィルム１の剥離時にガラスフィルム１を吸着していない領域が、ガラスフィルム１自身の剛性により変形させずに済む程度の隙間領域とし、「吸着範囲Ｖの幅ＷＶをガラスフィルム１の幅ＷＧと実質的に同じ幅」とすることによって、引張手段によってガラスフィルム１に付与する圧力Ｐを、ガラスフィルム１の全幅に亘って均等に付与することができる。具体的には、吸着範囲Ｖの幅ＷＶは、ガラスフィルム１の幅ＷＧの９０％以上であることが好ましく、９５％以上であることがより好ましく、９９％以上であることが更に好ましい。
【００２８】
また、図３に示す如く、支持ガラス２からガラスフィルム１が剥離されると、ガラスフィルム１と支持ガラス２が接着している部位と剥離している部位との境界線Ｓ（以下、剥離境界線Ｓと呼ぶ）が形成されるが、本発明の一実施形態に係るガラスフィルムの剥離方法では、斯かる剥離境界線Ｓが、ガラスフィルム積層体３の厚さ方向視において直線状に形成される。
【００２９】
そして、本発明の一実施形態に係るガラスフィルムの剥離方法では、図４に示すように、圧力Ｐを付与する吸着範囲Ｖを、剥離進行方向Ｘに向けて順に時々刻々と変更していく（即ち、圧力Ｐを付与する吸着範囲をＶ１、Ｖ２の順に変更していく）ことで、支持ガラス２からガラスフィルム１を剥離する構成としている。
剥離境界線Ｓは、ガラスフィルム積層体３の厚さ方向視において剥離進行方向Ｘに対して直交する方向に形成されるが、図４に示すようにガラスフィルム１の剥離が進行した場合においても、時々刻々と形成位置が変わる剥離境界線Ｓ（Ｓ１、Ｓ２）は、常に直線状であり、かつ、剥離進行方向Ｘに対して直交している。
【００３０】
即ち、本発明の一実施形態に係るガラスフィルム１の剥離方法では、ガラスフィルム積層体３の厚さ方向視において、剥離境界線Ｓを直線状に形成し、かつ、剥離境界線Ｓが常に剥離進行方向Ｘに対して直交するようにしながら、ガラスフィルム１の剥離を進行する構成としており、このような構成によって、剥離したガラスフィルム１が、ガラスフィルム１の幅ＷＧの方向において、波打つことを防止している。
そして、本発明の一実施形態に係るガラスフィルム１の剥離方法では、剥離時にガラスフィルム１が波打つことを防止することによって、剥離時におけるガラスフィルム１の破損を防止している。
【００３１】
ここで、引張手段の具体的な構成について、さらに詳細に説明をする。
本発明の一実施形態に係るガラスフィルムの剥離方法は、図５および図６（ａ）（ｂ）に示すような引張手段１０を用いることによって実現される。
そして、引張手段１０の第一の実施形態である第一引張手段１１は、複数の吸盤２０・２０・・・を備える構成としている。
尚、各吸盤２０は、図示しない真空排気装置と接続されており、吸盤２０の吸着面にガラスフィルム１が接触した状態で、吸盤２０の内側を真空引きすることによって、ガラスフィルム１を吸着することができるように構成される。
【００３２】
吸盤２０は、引張手段１０に備えられる吸着手段の一例であり、図５および図６（ａ）に示すように、ガラスフィルム１の剥離進行方向Ｘに直交する幅方向を長軸方向とした長円状の形状を有しており、ガラスフィルム１の幅と、実質的に同じ長さを有している。
ここでいう「実質的に同じ長さ」とは、吸盤２０によるガラスフィルム１の吸着幅ＷＶが、ガラスフィルム１の幅ＷＧと「実質的に同じ幅」となる長さであり、吸着時において、吸盤２０をガラスフィルム１に対して押圧したときに、吸盤２０が変形する（大きくなる）ことを考慮した幅である。
【００３３】
第一引張手段１１において、複数の吸盤２０・２０・・・は、ガラスフィルム１の剥離進行方向Ｘに向けて等間隔で列置され、各吸盤２０・２０・・・の長軸が、互いに平行となるように配置される。
吸盤２０は、その吸着面がガラスフィルム１の有効面１ｂに対して平行となるように配置されるとともに、図６（ｂ）に示すような変位装置１１ａによって、各吸盤２０・２０・・・を独立して、支持ガラス２の接触面２ａに対して垂直な方向に向けて往復変位することができるように構成される。
【００３４】
そして、本発明の一実施形態に係るガラスフィルム１の剥離方法では、図７に示すように、ガラスフィルム１の有効面１ｂに対して、各吸盤２０・２０・・・をそれぞれ吸着範囲Ｖで吸着させておき、剥離進行方向Ｘにおける上手側に位置する吸盤２０から順番に、吸盤２０を支持ガラス２から離間する方向に変位させることによって、剥離進行方向Ｘにおける上手側から下手側へとガラスフィルム１を剥離する構成としている。
尚、本実施形態では、全吸盤２０・２０・・・によって、同時にガラスフィルム１を吸着しておく構成としているが、少なくとも、圧力Ｐを付与する位置において、吸盤２０によって吸着範囲Ｖを吸着していればよい。また、剥離後のガラスフィルム１を再付着しないように各吸盤２０・２０・・・で吸着して保持する構成としておくのが好適であるが、剥離後のガラスフィルム１は、他の把持手段等によって保持する構成であってもよい。さらに、剥離前のガラスフィルム１は、全吸盤２０・２０・・・によって吸着していなくてもよい。
【００３５】
尚、第一引張手段１１を用いてガラスフィルム１を剥離する際には、ガラスフィルム１と支持ガラス２の界面４に挿入する剥離手段（図示せず）を、適宜併用してもよい。
この場合の剥離手段は、ウォータージェットやエア噴射等のガラスフィルム１との間で物理的接触が生じない流体等の剥離媒体を使用してもよく、また、フィルム状や剃刀状の剥離治具を使用することもできる。また、剃刀状の剥離治具の先端部から液体や気体が噴出する等、適宜流体等の剥離媒体と剥離治具を組み合わせた構成としてもよい。
【００３６】
また、本発明の一実施形態に係るガラスフィルムの剥離方法は、図８に示すような、引張手段１０の第二の実施形態である第二引張手段１２によっても実現することができる。
第二引張手段１２は、回転可能に構成されるローラ部材３０を備える構成としている。以下、ローラ部材３０が転動する形態で説明を行うが、ローラ部材３０とガラスフィルム積層体３とは相対移動していれば良く、ローラ部材３０が固定位置で回転し、ガラスフィルム積層体３が移動する形態でも良い。
【００３７】
ローラ部材３０は、外周面３０ａにおいて吸着手段（図示せず）を備え、回転軸３０ｂ回りに回転可能に構成されるローラ状の部材であり、ガラスフィルム積層体３の厚み方向視において、軸心Ｇが剥離進行方向Ｘに対して直交するように配置される。
そして、ローラ部材３０に付設される吸着手段によってガラスフィルム１を吸着しながら、回転軸３０ｂを剥離進行方向Ｘ側に変位させることで、ローラ部材３０を図８に示す矢印Ａの方向に転動させて、ローラ部材３０の回転に伴って、吸着範囲Ｖにおいて吸着されているガラスフィルム１に圧力Ｐを付与して、支持ガラス２から引き剥がすことができるように構成している。ローラ部材３０の曲率は、１／５００〜１／５０であることが好ましく、１／３５０〜１／１５０であることがより好ましく、１／３５０〜１／２５０であることがさらに好ましい。これにより剥離時にガラスフィルム１が破損することを効果的に防止することができる。尚、ローラ部材３０の曲率が大きいと、剥離の為の設備も大きくなるため、設備をコンパクトにするという観点からも、ローラ部材３０の曲率を小さくすることが好ましい。
【００３８】
尚、第二引張手段１２を用いてガラスフィルム１を剥離する際にも、ガラスフィルム１と支持ガラス２の界面４に挿入する剥離手段（図示せず）を、適宜併用してもよい。
この場合の剥離手段は、ウォータージェットやエア噴射等のガラスフィルム１との間で物理的接触が生じない流体等の剥離媒体を使用してもよく、また、フィルム状や剃刀状の剥離治具を使用することもできる。また、剃刀状の剥離治具の先端部から液体や気体が噴出する等、適宜流体等の剥離媒体と剥離治具を組み合わせた構成としてもよい。
【００３９】
ここで、第二引張手段１２を構成するローラ部材３０の具体的な構成について、さらに詳細に説明をする。
第二引張手段１２は、図９に示すような第一の形態に係るローラ部材３０（以下、第一ローラ部材３１と呼ぶ）を用いて構成することができる。
図９に示す如く、第一ローラ部材３１は、その外周面３１ａにおいて、吸着手段たる複数の吸盤２０・２０・・・を備えている。
各吸盤２０・２０・・・は、第一ローラ部材３１を回転可能に軸支する回転軸３１ｂの軸心Ｇ１を中心として、外周面３１ａから半径方向外側に向けて放射状に突設されており、各吸盤２０・２０・・・の吸着面を半径方向外側に向けている。
【００４０】
このような構成により、ガラスフィルム積層体３の厚み方向視において、第一ローラ部材３１を、軸心Ｇ１が剥離進行方向Ｘに対して直交するように配置するとき、第一ローラ部材３１を構成する各吸盤２０・２０・・・は、ガラスフィルム１の幅方向（幅ＷＶの方向）に対して平行に配置される。
【００４１】
ガラスフィルム積層体３の厚み方向に吸盤２０の吸着面を向けた状態で、吸盤２０をガラスフィルム積層体３のガラスフィルム１に接触させると、吸盤２０によって、ガラスフィルム１を、吸着範囲Ｖにおいて吸着することができる。この場合の第二引張手段１２には、ガラスフィルム１が接触している吸盤２０のみから真空排気がなされるように、真空排気経路を切り換える機構を備えるのが好適である。
【００４２】
そしてこの状態で、回転軸３１ｂを剥離進行方向Ｘ側に変位させることによって、第一ローラ部材３１を矢印Ａの方向（図８参照）に転動させることができる。
そして、第一ローラ部材３１を矢印Ａの方向に転動させることによって、吸着範囲Ｖにおいて吸着されているガラスフィルム１に圧力Ｐ（図３参照）を付与して、第一ローラ部材３１の回転に伴って、支持ガラス２からガラスフィルム１を引き剥がすことができる。
この剥離の際に、ガラスフィルム１に付与される圧力Ｐの方向は、支持ガラス２の厚み方向を基準として、剥離進行方向Ｘ側に若干傾斜した方向となっている。
【００４３】
本発明の一実施形態に係るガラスフィルムの剥離方法では、このような第一ローラ部材３１を備えた第二引張手段１２を使用した場合においても、剥離境界線Ｓが、ガラスフィルム積層体３の厚さ方向視において直線状に形成され、剥離境界線Ｓは、同方向視において剥離進行方向Ｘに対して直交する方向に形成される。
そして、第二引張手段１２を使用した場合においても、ガラスフィルム１の剥離が進行した場合において、時々刻々と形成位置が変わる剥離境界線Ｓは、常に直線状であり、かつ、剥離進行方向Ｘに対して直交している。
【００４４】
即ち、本発明の一実施形態に係るガラスフィルム１の剥離方法に用いる引張手段１０として、第一引張手段１１および第一ローラ部材３１を備えた第二引張手段１２を使用した場合、吸着手段は吸盤２０であり、吸盤２０は、ガラスフィルム１の剥離進行方向Ｘに直交する方向におけるガラスフィルム１の幅ＷＧと実質的に同じ幅ＷＶを有している。
【００４５】
また、本発明の一実施形態に係るガラスフィルム１の剥離方法に用いる第二引張手段１２は、回転軸３１ｂによって回転可能に支持される第一ローラ部材３１を備え、吸着手段は、第一ローラ部材３１の外周面３１ａにおいて、周方向に対して等間隔に配置する複数の吸盤２０・２０・・・によって構成され、第一ローラ部材３１を、回転軸３１ｂの軸方向Ｇ１が、ガラスフィルム１の剥離進行方向Ｘに直交する方向に対して平行となるように配置して、吸盤２０によって、ガラスフィルム１を吸着しつつ、第一ローラ部材３１を剥離進行方向Ｘに向けて転動させて、ガラスフィルム１を剥離するものである。
【００４６】
このように、第一引張手段１１および第一ローラ部材３１を備えた第二引張手段１２を用いてガラスフィルム１を剥離することにより、剥離境界線Ｓを、ガラスフィルム１の剥離進行方向Ｘに対して、常に略直交させることができ、これにより、ガラスフィルム１の剥離時に、ガラスフィルム１が幅方向において波打つことを防止して、ガラスフィルム１に作用する応力を抑えることができる。
【００４７】
また、第二引張手段１２は、図１０に示すような第二の形態に係るローラ部材３０（以下、第二ローラ部材３２と呼ぶ）を用いて構成することができる。
図１０に示す如く、第二ローラ部材３２は、その外周面３２ａにおいて、複数の吸引孔たるスロット３２ｃ・３２ｃ・・・を備えている。
【００４８】
スロット３２ｃは、引張手段１０に備えられる吸着手段の一例であり、図１０に示すように、ガラスフィルム１の剥離進行方向Ｘに直交する幅方向を長軸方向とした長円状の形状を有しており、ガラスフィルム１の幅と、実質的に同じ長さを有している。
そして、各スロット３２ｃ・３２ｃ・・・は、第二ローラ部材３２を回転可能に軸支する回転軸３２ｂの軸心Ｇ２を中心として、外周面３２ａにおいて放射状となる位置に半径方向に向けて開口する孔として形成している。この場合、複数のスロット３２ｃ・３２ｃ・・・の回転方向の孔幅は、２〜２０ｍｍが好ましく、３〜１０ｍｍがより好ましく、４〜１０ｍｍがさらに好ましい。これにより、ガラスフィルム１を適切に剥離することができる。
尚、各スロット３２ｃ・３２ｃ・・・は、図示しない真空排気装置と接続されており、スロット３２ｃの開口面にガラスフィルム１が接触した状態で真空引きをすることによって、ガラスフィルム１を吸着することができるように構成される。この場合の第二引張手段１２には、ガラスフィルム１が接触しているスロット３２ｃのみから真空排気がなされるように、真空排気経路を切り換える機構を備えるのが好適である。
【００４９】
このような構成により、ガラスフィルム積層体３の厚み方向視において、第二ローラ部材３２を、軸心Ｇ２が剥離進行方向Ｘに対して直交するように配置するとき、第二ローラ部材３２に形成される各スロット３２ｃ・３２ｃ・・・は、ガラスフィルム１の幅方向（幅ＷＶの方向）に対して平行に配置される。
【００５０】
ガラスフィルム積層体３の厚み方向にスロット３２ｃの開口面を向けた状態で、スロット３２ｃをガラスフィルム積層体３のガラスフィルム１に宛がうと、スロット３２ｃによって、ガラスフィルム１を、吸着範囲Ｖにおいて吸着することができる。
そして、この状態から、回転軸３２ｂを剥離進行方向Ｘ側に変位させることによって、第二ローラ部材３２を矢印Ａ（図８参照）の方向に転動させることができる。
そして、第二ローラ部材３２を矢印Ａの方向に転動させることによって、吸着範囲Ｖにおいて吸着されているガラスフィルム１に圧力Ｐ（図３参照）を付与して、第二ローラ部材３２の回転に伴って、支持ガラス２からガラスフィルム１を引き剥がすことができる。
【００５１】
本発明の一実施形態に係るガラスフィルムの剥離方法では、このような第二ローラ部材３２を備えた第二引張手段１２を使用した場合においても、剥離境界線Ｓが、ガラスフィルム積層体３の厚さ方向視において直線状に形成され、剥離境界線Ｓは、同方向視において剥離進行方向Ｘに対して直交する方向に形成される。
そして、第二引張手段１２を使用した場合においても、ガラスフィルム１の剥離が進行した場合において、時々刻々と形成位置が変わる剥離境界線Ｓは、常に直線状であり、かつ、剥離進行方向Ｘに対して直交している。
【００５２】
即ち、第二の形態に係る第二引張手段１２は、回転軸３２ｂによって回転可能に支持される第二ローラ部材３２を備え、吸着手段は、第二ローラ部材３２の外周面３２ａにおいて、周方向に対して等間隔で形成される複数の吸引孔たるスロット３２ｃ・３２ｃ・・・であり、スロット３２ｃは、ガラスフィルム１の剥離進行方向Ｘに直交する方向におけるガラスフィルム１の幅ＷＧと実質的に同じ幅ＷＶを有するものである。
【００５３】
また、第二の形態に係る第二引張手段１２では、第二ローラ部材３２を、回転軸３２ｂの軸方向Ｇ２が、ガラスフィルム１の剥離進行方向Ｘに直交する方向に対して平行となるように配置して、スロット３２ｃによって、ガラスフィルム１を吸着しつつ、第二ローラ部材３２を剥離進行方向Ｘに向けて転動させて、ガラスフィルム１を剥離するものである。
【００５４】
このような第二ローラ部材３２を備えた第二引張手段１２を用いてガラスフィルム１を剥離した場合であっても、剥離境界線Ｓを、ガラスフィルム１の剥離進行方向Ｘに対して、常に略直交させることができ、これにより、ガラスフィルム１の剥離時に、ガラスフィルム１が幅方向において波打つことを防止して、ガラスフィルム１に作用する応力を抑えることができる。
【００５５】
さらに、第二引張手段１２は、図１１に示すような第三の形態に係るローラ部材３０（以下、第三ローラ部材３３と呼ぶ）を用いて構成することも可能である。
図１１に示す如く、第三ローラ部材３３は、多孔質体をローラ状に形成して構成される部材であり、外周面３３ａにおいて、多数の吸引孔３３ｃ・３３ｃ・・・を備えている。
各吸引孔３３ｃ・３３ｃ・・・は、第三ローラ部材３３の外周面３３ａにおいて略均等に配置されており、ガラスフィルム１に対して付与する圧力Ｐが、その幅方向（幅ＷＶ方向）において、均等になるように構成している。
尚、各吸引孔３３ｃ・３３ｃ・・・は、図示しない真空排気装置と接続されており、外周面３３ａにガラスフィルム１が接触した状態で真空引きすることによって、外周面３３ａにおいて、ガラスフィルム１を吸着することができるように構成される。
【００５６】
このような構成により、ガラスフィルム積層体３におけるガラスフィルム１の有効面１ｂに第三ローラ部材３３の外周面３３ａを接触させることによって、ガラスフィルム１を、吸着範囲Ｖにおいて吸着することができる。この場合の第二引張手段１２には、ガラスフィルム１が接触する吸着範囲Ｖに対応する範囲の吸引孔３３ｃ・３３ｃ・・・のみから真空排気がなされるように、真空排気経路を切り換える機構を備えるのが好適である。
【００５７】
そして、この状態から、回転軸３３ｂを剥離進行方向Ｘ側に変位させることによって、第三ローラ部材３３を矢印Ａの方向に転動させることができる。
そして、第三ローラ部材３３を矢印Ａ（図８参照）の方向に転動させることによって、吸着範囲Ｖにおいて第三ローラ部材３３に吸着されているガラスフィルム１に圧力Ｐ（図３参照）を付与して、第三ローラ部材３３の回転に伴い支持ガラス２から引き剥がすことができる。
【００５８】
本発明の一実施形態に係るガラスフィルムの剥離方法では、このような第三ローラ部材３３を備えた第二引張手段１２を使用した場合においても、剥離境界線Ｓが、ガラスフィルム積層体３の厚さ方向視において直線状に形成され、剥離境界線Ｓは、同方向視において剥離進行方向Ｘに対して直交する方向に形成される。
そして、第二引張手段１２を使用した場合においても、ガラスフィルム１の剥離が進行した場合において、時々刻々と形成位置が変わる剥離境界線Ｓは、常に直線状であり、かつ、剥離進行方向Ｘに対して直交している。
【００５９】
即ち、第三の形態に係る第二引張手段１２は、回転軸３３ｂによって回転可能に支持される第三ローラ部材３３を備え、吸着手段は、多孔質体で構成される第三ローラ部材３３であり、第三ローラ部材３３をガラスフィルム１の剥離進行方向Ｘに直交する方向におけるガラスフィルム１の幅ＷＧと実質的に同じ幅ＷＶとするものである。
【００６０】
また、第二引張手段１２においては、第三ローラ部材３３を、回転軸３２ｂの軸方向Ｇ３が、ガラスフィルム１の剥離進行方向Ｘに直交する方向に平行となるように配置して、第三ローラ部材３３によって、ガラスフィルム１を吸着しつつ、第三ローラ部材３３を剥離進行方向Ｘに向けて転動させて、ガラスフィルム１を剥離するものである。
【００６１】
このような第三ローラ部材３３を備えた第二引張手段１２を用いてガラスフィルム１を剥離した場合であっても、剥離境界線Ｓを、ガラスフィルム１の剥離進行方向Ｘに対して、常に略直交させることができ、これにより、ガラスフィルム１の剥離時に、ガラスフィルム１が幅方向において波打つことを防止して、ガラスフィルム１に作用する応力を抑えることができる。
【００６２】
即ち、本発明の一実施形態に係るガラスフィルムの剥離方法は、支持ガラス２の上にガラスフィルム１が積層されたガラスフィルム積層体３から、ガラスフィルム１を引っ張るための引張手段１０によって、ガラスフィルム１を積層方向に引っ張って支持ガラス２から剥離する方法であって、引張手段１０は、ガラスフィルム１を吸着するための吸着手段たる吸盤２０、スロット３２ｃ、第三ローラ部材３３等を備え、吸着手段によって、ガラスフィルム１の剥離進行方向Ｘに直交する方向におけるガラスフィルム１の実質的に全幅を吸着しつつ、ガラスフィルム１を剥離するものである。
そして、このような剥離方法を採用することにより、ガラスフィルム１の剥離時において、ガラスフィルム１を幅方向（即ち、幅ＷＶの方向）において波打つような変形をさせないようにして、ガラスフィルム１に過度の応力が作用することを防止できる。
【００６３】
次に、本発明の一実施形態に係る電子デバイスの製造方法について、説明をする。
電子デバイス４０は、図１２に示すように、ガラスフィルム１上に素子４１を形成することによって製造されるものである。
ガラスフィルム１は、極めて薄い部材であり、可撓性に富むものであるため、ガラスフィルム１を単体で搬送し、ガラスフィルム１上に精度良く素子４１を配置することは困難である。
このため、電子デバイス４０は、ガラスフィルム１と支持体たる支持ガラス２を積層し、ガラスフィルム積層体３を形成した後、ガラスフィルム積層体３の状態でガラスフィルム１を搬送するとともに、ガラスフィルム１に対して素子４１を形成して電子デバイス４０を作成し、その後、電子デバイス４０を支持ガラス２から剥離することで、電子デバイス４０を製造する構成としている。
【００６４】
本発明の一実施形態に係る電子デバイスの製造方法は、図１２に示すように、ガラスフィルム１と支持ガラス２とを積層してガラスフィルム積層体３を作製する第一の工程と、ガラスフィルム１への加熱を伴う電子デバイス製造関連処理を行うことでガラスフィルム積層体３のガラスフィルム１上に素子４１を形成し、カバーガラス４２で素子４１を封止することで支持ガラス付電子デバイス４３を作製する第二の工程と、支持ガラス付電子デバイス４３のカバーガラス４２に引張手段１０で引っ張ることで支持ガラス２から電子デバイス４０を剥離する第三の工程と、を備えている。
また、本発明の一実施形態に係る電子デバイスの製造方法では、ガラスフィルム積層体３を構成するガラスフィルム１と支持ガラス２の相互に接触する側の表面粗さＲａを夫々２．０ｎｍ以下としている。
【００６５】
本発明に使用されるガラスフィルム１および支持ガラス２は、ダウンドロー法によって成形されていることが好ましく、オーバーフローダウンドロー法によって成形されていることがより好ましい。
特に、図１３に示すオーバーフローダウンドロー法は、成形時にガラス板の両面が、成形部材と接触しない成形法であり、得られたガラス板の両面（透光面）には傷が生じ難く、研磨しなくても高い表面品位を得ることができる。無論、本発明に使用されるガラスフィルム１および支持ガラス２は、フロート法やスロットダウンドロー法、ロールアウト法、アップドロー法、リドロー法等によって成形されたものであってもよい。
図１３に示すオーバーフローダウンドロー法において、断面が楔型の成形体５０の下端部５１から流下した直後のガラスリボンＧＲは、冷却ローラ５２・５２によって幅方向の収縮が規制されながら下方へ引き伸ばされて所定の厚みまで薄くなる。次に、前記所定厚みに達したガラスリボンＧＲを図示しない徐冷炉（アニーラ）で徐々に冷却し、ガラスリボンＧＲの熱歪を除き、ガラスリボンＧＲを所定寸法に切断することにより、ガラスフィルム１および支持ガラス２が夫々成形される。
【００６６】
本発明の一実施形態に係る電子デバイスの製造方法では、ガラスフィルム１として、シリカガラス、ケイ酸塩ガラスが用いられ、好ましくはホウケイ酸ガラスが用いられ、最も好ましくは無アルカリガラスが用いられる。
尚、ここでいう無アルカリガラスとは、アルカリ成分（アルカリ金属酸化物）が実質的に含まれていないガラスのことであって、具体的には、アルカリ成分が３０００ｐｐｍ以下のガラスのことである。
本発明の一実施形態に係る電子デバイスの製造方法で用いる無アルカリガラスのアルカリ成分の含有量は、好ましくは１０００ｐｐｍ以下であり、より好ましくは５００ｐｐｍ以下であり、さらに好ましくは３００ｐｐｍ以下である。
【００６７】
ガラスフィルム１の厚みは、好ましくは５〜２００μｍ、より好ましくは５〜１００μｍである。
このようにガラスフィルム１の厚みをより薄くすることで、適切な可撓性を付与することができる。
厚みをより薄くしたガラスフィルム１は、ハンドリング性が困難で、かつ、位置決めミスやパターニング時の撓み等の問題が生じやすいが、支持ガラス２を使用することで、第二の工程で電子デバイス製造関連処理等を容易に行うことができる。
尚、ガラスフィルム１の厚みが５μｍ未満であると、ガラスフィルム１の強度が不足がちになり、支持ガラス２からガラスフィルム１を剥離し難くなるおそれがある。
【００６８】
支持ガラス２は、ガラスフィルム１と同様、ケイ酸塩ガラス、シリカガラス、ホウケイ酸ガラス、無アルカリガラス等が用いられる。
支持ガラス２については、ガラスフィルム１との３０〜３８０℃における熱膨張係数の差が、５×１０−７／℃以内のガラスを使用することが好ましい。
これにより、電子デバイス製造関連処理の際に熱処理を伴ったとしても、膨張率の差による熱反りやガラスフィルム１の割れ等を生じ難くすることができ、ガラスフィルム積層体３の安定した積層状態を維持することが可能になる。
そして、膨張率の差を抑える観点から、支持ガラス２とガラスフィルム１とは、同一の組成を有するガラスを使用することが最も好ましい。
支持ガラス２の厚みは、４００μｍ以上であることが好ましい。支持ガラス２の厚みが４００μｍ未満であると、支持ガラス２を単体で取り扱う場合に、強度の面で問題が生じるおそれがある。支持ガラス２の厚みは、４００〜７００μｍであることが好ましく、５００〜７００μｍであることが最も好ましい。
これにより、支持ガラス２でガラスフィルム１を確実に支持することが可能となるとともに、支持ガラス２からガラスフィルム１を剥離する際に生じ得るガラスフィルム１の破損を効果的に抑制することが可能となる。
尚、電子デバイス製造関連処理時に、図示しないセッター上に、ガラスフィルム積層体３を載置する場合は、支持ガラス２の厚みは４００μｍ未満（例えば３００μｍ等、ガラスフィルム１と同一の厚み）でも良い。
【００６９】
図１２に示す通り、本発明に係る電子デバイスの製造方法における第一の工程は、ガラスフィルム１と支持ガラス２とを積層してガラスフィルム積層体３を作製する工程である。
ガラスフィルム１の支持ガラス２との接触面１ａと、支持ガラス２のガラスフィルム１との接触面２ａの表面粗さＲａが２．０ｎｍ以下であることが好ましく、これにより、ガラスフィルム１と支持ガラス２とを接着剤無しで強固に積層し易くなる。
ガラスフィルム１と支持ガラス２とを接着剤無しで強固に積層し易くするためには、本発明において使用するガラスフィルム１および支持ガラス２の夫々の接触面１ａ、２ａの表面粗さＲａは、夫々１．０ｎｍ以下であることが好ましく、０．５ｎｍ以下であることがより好ましく、０．２ｎｍ以下であることが最も好ましい。
【００７０】
一方、ガラスフィルム１の有効面１ｂ（図１参照）の表面粗さは特には限定されないが、有効面１ｂには、後述する第二の工程において成膜等の電子デバイス製造関連処理を行うことから、表面粗さＲａが２．０ｎｍ以下であることが好ましく、１．０ｎｍ以下がより好ましく、０．５ｎｍ以下がさらに好ましく、０．２ｎｍ以下が最も好ましい。支持ガラス２の搬送面２ｂの表面粗さは、特には限定されない。
【００７１】
また、支持ガラス２上にガラスフィルム１を積層する第一の工程は、減圧下で行っても良い。これにより、ガラスフィルム１と支持ガラス２とを積層させた際に生じる気泡を低減させることができる。
【００７２】
本発明の一実施形態に係る電子デバイスの製造方法における第二の工程は、加熱を伴う電子デバイス製造関連処理を行うことで、図１２に示す通り、第一の工程で作製されたガラスフィルム積層体３のガラスフィルム１の有効面１ｂ上に素子４１を形成し、封止基板でガラスフィルム１の有効面１ｂ上に形成された素子４１を封止することで支持ガラス付電子デバイス４３を作製する工程である。
第二の工程における加熱を伴う電子デバイス製造関連処理としては、例えば、ＣＶＤ法
やスパッタリング等による成膜処理等が挙げられる。
ガラスフィルム１の有効面１ｂ上に形成される素子としては、液晶素子、有機ＥＬ素子
、タッチパネル素子、太陽電池素子、圧電素子、受光素子、リチウムイオン２次電池等の
電池素子、ＭＥＭＳ素子、半導体素子等が挙げられる。
【００７３】
そして、素子４１の封止に用いる封止基板としては、前述のガラスフィルム１と同様、ケイ酸塩ガラス、シリカガラス、ホウケイ酸ガラス、無アルカリガラス等からなるカバーガラス４２が用いられる。
【００７４】
カバーガラス４２については、ガラスフィルム１との３０〜３８０℃における熱膨張係数の差が、５×１０−７／℃以内のガラスを使用することが好ましい。
これにより、作製された電子デバイス４０の周辺環境の温度が変化したとしても、膨張率の差による熱反りやガラスフィルム１およびカバーガラス４２の割れ等が生じ難く、破損し難い電子デバイス４０とすることが可能となる。
そして、膨張率の差を抑える観点から、カバーガラス４２とガラスフィルム１とは、同一の組成を有するガラスを使用することが最も好ましい。
【００７５】
カバーガラス４２の厚みは、好ましくは５〜２００μｍ、より好ましくは５〜１００μｍである。これによりカバーガラス４２の厚みをより薄くして、適切な可撓性を付与することができる。カバーガラス４２の厚みが５μｍ未満であると、カバーガラス４２の強度が不足がちになるおそれがある。
【００７６】
第二の工程で作製される支持ガラス付電子デバイス４３の一例として、図１４に有機ＥＬパネルを示す。
ガラスフィルム１の有効面１ｂ上にＣＶＤ法やスパッタリング等の公知の成膜方法により、陽極層４１ａ、正孔輸送層４１ｂ、発光層４１ｃ、電子輸送層４１ｄ、陰極層４１ｅの順に積層して素子４１の一例である有機ＥＬ素子の形成を行う。
その後に、公知のレーザー封止等を使用してカバーガラス４２とガラスフィルム１とを接着することにより、素子４１を封止し、支持ガラス付電子デバイス４３（ここでは支持ガラス付有機ＥＬパネル）を作製する。
尚、図１４に示す形態では、カバーガラス４２とガラスフィルム１とを直接接着しているが、適宜公知のガラスフリットやスペーサ等を使用してカバーガラス４２とガラスフィルム１とを接着しても良い。
【００７７】
本発明の一実施形態に係る電子デバイスの製造方法における第三の工程は、図１２に示す通り、電子デバイス４０を支持ガラス２から剥離する工程である。
また、電子デバイス４０を支持ガラス２から剥離する際には、界面４に剥離手段（図示せず）を挿入してもよく、この場合、剥離手段の先端部から流体を噴出させながら行うようにしてもよい。
即ち、ガラスフィルム積層体３の一実施態様が支持ガラス付電子デバイス４３であり、また、ガラスフィルム１の一実施態様が電子デバイス４０であり、以下の説明におけるガラスフィルム積層体３と支持ガラス付電子デバイス４３、および、以下の説明におけるガラスフィルム１と電子デバイス４０は、それぞれ相互に読み替えることが可能である。
【００７８】
第三の工程における電子デバイス４０の剥離状況を、図７および図１２に示している。
本発明の一実施形態に係る電子デバイス４０の製造方法では、第三の工程において、図７および図１２に示すように、引張手段１０（ここでは、第一引張手段１１）によって、支持ガラス付電子デバイス４３のカバーガラス４２に対して、各吸盤２０・２０・・・を吸着させておき、剥離進行方向Ｘにおける上手側に位置する吸盤２０から順番に、吸盤２０を支持ガラス２から離間する方向に変位させることによって、剥離進行方向Ｘにおける上手側から下手側へと電子デバイス４０を剥離する構成としている。
吸盤２０は、図５および図６（ａ）に示すように、電子デバイス４０の剥離進行方向Ｘに直交する幅方向を長軸方向とした長円状の形状を有しており、電子デバイス４０の幅と、実質的に同じ長さを有している。
【００７９】
尚、ここでは、本発明の一実施形態に係る電子デバイス４０の製造方法の第三の工程において、第一引張手段１１によって、電子デバイス４０を剥離する場合を例示しているが、第三の工程では、図８に示すような第二の形態に係るローラ部材３０を備えた第二引張手段１２を用いて、電子デバイス４０を剥離する構成としてもよい。
【００８０】
即ち、本発明の一実施形態に係る電子デバイス４０の製造方法は、ガラスフィルム１と支持体たる支持ガラス２とを積層してガラスフィルム積層体３を作製する第一の工程と、ガラスフィルム積層体３におけるガラスフィルム１に電子デバイス製造関連処理を行う第二の工程と、電子デバイス製造関連処理後のガラスフィルム積層体３から、ガラスフィルム１に電子デバイス製造関連処理を施して得た電子デバイス４０を剥離する第三の工程と、を有するものであって、第三の工程において、支持ガラス２の上に形成された電子デバイス４０を吸着手段たる吸盤２０によって、電子デバイス４０の剥離進行方向Ｘに直交する方向における電子デバイス４０の実質的に全幅を吸着しつつ、電子デバイス４０を剥離するものである。
【００８１】
そして、本発明の一実施形態に係る電子デバイス４０の製造方法では、電子デバイス４０の剥離時において、電子デバイス４０を幅方向において波打つような変形をさせないようにして、電子デバイス４０に過度の応力が作用することを防止できる。
【符号の説明】
【００８２】
１      ガラスフィルム
２      支持ガラス
３      ガラスフィルム積層体
１０    引張手段
１１    第一引張手段
１２    第二引張手段
２０    吸盤
３０    ローラ部材
３１    第一ローラ部材
３１ａ  外周面
３１ｂ  回転軸
３２    第二ローラ部材
３２ａ  外周面
３２ｂ  回転軸
３２ｃ  スロット
３３    第三ローラ部材
３３ａ  外周面
３３ｂ  回転軸
３３ｃ  吸引孔
４０    電子デバイス
Ｘ      剥離進行方向
Ｖ      吸着範囲
ＷＧ    幅（ガラスフィルム）
ＷＶ    幅（吸着範囲）
【図１】
0006365086.tif 000002
【図２】
0006365086.tif 000003
【図３】
0006365086.tif 000004
【図４】
0006365086.tif 000005
【図５】
0006365086.tif 000006
【図６】
0006365086.tif 000007
【図７】
0006365086.tif 000008
【図８】
0006365086.tif 000009
【図９】
0006365086.tif 000010
【図１０】
0006365086.tif 000011
【図１１】
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【図１２】
0006365086.tif 000013
【図１３】
0006365086.tif 000014
【図１４】
0006365086.tif 000015
【図１５】
0006365086.tif 000016