(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
検出すべき物理量の変化に基づく直流センサ信号の変化を検出するセンサ信号検知回路において、
直流レベル変動成分に低周波の状態変動成分と高周波のノイズ成分とが重畳された前記直流センサ信号が入力され、前記高周波のノイズ成分と前記直流レベル変動成分を遮断して前記低周波の状態変動成分を出力するローパスフィルタ部と、
前記ローパスフィルタ部を通過した前記直流センサ信号をレベル変換して基準信号を生成する基準信号生成部と、
前記直流センサ信号と前記基準信号とを比較するとともに、その比較結果に基づいてトリガ信号を出力するトリガ信号出力部と、
前記トリガ信号が出力されたときに、前記トリガ信号の出力開始時点における前記基準信号をホールドして、前記トリガ信号が出力されている間はホールドした前記基準信号を前記トリガ信号出力部に出力する基準信号ホールド部とを備え、
前記トリガ信号出力部は、前記トリガ信号が出力されているときに、前記基準信号ホールド部から出力された前記基準信号を、前記直流センサ信号との比較に用いる
ことを特徴とするセンサ信号検知回路。
【請求項２】
請求項１に記載のセンサ信号検知回路において、
前記基準信号ホールド部における前記基準信号のホールドは、コンデンサに電荷が蓄えられて電圧が保持されることにより行われる
ことを特徴とするセンサ信号検知回路。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のセンサ信号検知回路において、
前記直流センサ信号は、圧電素子により駆動されるタッチ信号プローブの正弦波状の出力信号から振幅情報を抽出して得られたものである
ことを特徴とするセンサ信号検知回路。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のセンサ信号検知回路において、
前記基準信号ホールド部は、
前記トリガ信号が出力されていないときには、前記直流センサ信号に由来する変動成分を前記基準信号として出力し、
前記トリガ信号が出力されているときには、前記トリガ信号の出力開始時点でホールドした前記基準信号を出力する
ことを特徴とするセンサ信号検知回路。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、センサ信号検知回路に係り、特にスタイラスの振動状態の変化から接触を検知する振動型タッチ信号プローブの接触検知回路に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被測定物の形状や寸法の測定を行う測定機として、ハイトゲージ、三次元測定機、輪郭測定機等が知られている。これらのうち接触式の測定機では、被測定物との接触を検知するタッチ信号プローブが用いられる。タッチ信号プローブとしては種々のものが知られている。そのひとつに超音波タッチトリガプローブがある（例えば特許文献１）。超音波タッチトリガプローブは、圧電素子によりスタイラスに振動を与え、その振幅や周波数の変化をモニタして接触を検知する。
【０００３】
この圧電素子を用いた接触検知では、圧電素子は正帰還制御によって共振状態で励振されて、圧電素子の検出電極から得られる検出出力信号が正弦波状の信号となる。この正弦波状信号は、接触子が被測定物に接触することにより振幅や周波数が変化する。例えば、図６に示す従来の第１の接触検知回路のように、振幅情報によって接触を検出するには、得られた正弦波状信号から振幅情報のみを検波抽出した直流センサ信号Ｓを得て、この直流センサ信号Ｓの接触による急激な直流レベル低下点でトリガ信号ＴＧを生成する振幅変化検知回路が用いられる。この振幅変化検知回路では、直流センサ信号Ｓを一定の基準電位ＶＲＥＦと比較して、トリガ信号ＴＧを生成している。
【０００４】
しかし、プローブの接触検知に値が一定の基準電位ＶＲＥＦを用いた場合には、プローブが被測定物に接触していないのにもかかわらず、プローブが被測定物に接触したと誤検知することが問題となる。これは以下の原因による。直流センサ信号Ｓは、多くの場合において、直流オフセット分にうねり等によるゆっくりした振幅変化を示す低周波の状態変動成分と高周波のノイズ成分が重畳されている。したがって、基準電位ＶＲＥＦの設定によっては、図６に示すように、直流センサ信号Ｓの急激な直流レベル変化点ではないところで、低周波の状態変動成分と高周波ノイズとが基準電位ＶＲＥＦと重なり、プローブが被測定物に接触したと誤検知して、誤信号が出力されることがあった。この誤検知が検出すべき物理量に対する大きな誤差の原因となっていた。
【０００５】
そのような誤検知を回避するために、直流センサ信号Ｓの直流オフセット分Ｓ０と低周波の状態変動成分Ｓ１とをローパスフィルタを用いて抽出し、この低周波の状態変動成分Ｓ１を含む直流センサ信号（Ｓ０＋Ｓ１）を振幅変換した信号Ｋ（Ｓ０＋Ｓ１）を基準信号として用いる技術が提案されている（例えば特許文献２）。
【０００６】
しかし、図７に示すように、特許文献２に記載された従来の第２の接触検知回路では、タッチ信号プローブが被測定物に接触されたままの状態が継続された場合などにおいて、プローブが被測定物に接触され続けているにもかかわらず、プローブが被測定物から離れたと誤検知して、誤信号が出力されることがあった。
【０００７】
上述した接触の誤検知および非接触の誤検知に対し、これらを回避するための技術が提案されている（例えば特許文献３）。
特許文献３の技術は、上述した特許文献２の技術を基礎としている。
図８に示すように、特許文献３に記載された従来の第３の接触検知回路３００は、ローパスフィルタ３０１と、変換回路３０２と、選択回路３０３と、比較回路３０４と、変換回路３０５とを備えている。
【０００８】
図９に示すように、従来の第３の接触検知回路３００は、比較回路３０４において、直流センサ信号Ｓと基準信号Ｒとを比較し、直流センサ信号Ｓが基準信号Ｒよりも小さいときに、トリガ信号ＴＧを生成する。トリガ信号ＴＧが生成されていないときには、直流センサ信号（Ｓ０＋Ｓ１）を振幅変換した信号Ｒ１＝Ｋ（Ｓ０＋Ｓ１）を基準信号Ｒとして用いている。Ｒ１の値は（Ｓ０＋Ｓ１）に追従して変化する。一方、トリガ信号ＴＧが生成されているときには、トリガ信号ＴＧが立ち上がった時刻ｔ１における基準信号Ｒのサンプリング値Ｒｔ１を用いて信号Ｒ２＝ｍ・Ｒｔ１を算出するとともに、このＲ２を基準信号Ｒとして用いている。Ｒ２の値は一定であり変化しない。そして、トリガ信号ＴＧが立ち下がったとき（時刻ｔ２）には、基準信号Ｒを信号Ｒ１に戻す。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平６−２２１８０６号公報
【特許文献２】特開平１０−１１１１４３号公報
【特許文献３】特開２００９−２７６２３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかし、特許文献３の技術では、基準信号Ｒとして信号Ｒ１＝Ｋ（Ｓ０＋Ｓ１）と信号Ｒ２＝ｍ・Ｒｔ１との両方を算出する必要があるため、構成が複雑になる。
【００１１】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、その目的は、簡単な構成によりセンサ信号の検知を適切に行うことができるセンサ信号検知回路を提供するところにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明のセンサ信号検知回路は、検出すべき物理量の変化に基づく直流センサ信号の変化を検出するセンサ信号検知回路において、直流レベル変動成分に低周波の状態変動成分と高周波のノイズ成分とが重畳された前記直流センサ信号が入力され、前記高周波のノイズ成分と前記直流レベル変動成分を遮断して前記低周波の状態変動成分を出力するローパスフィルタ部と、前記ローパスフィルタ部を通過した前記直流センサ信号をレベル変換して基準信号を生成する基準信号生成部と、前記直流センサ信号と前記基準信号とを比較するとともに、その比較結果に基づいてトリガ信号を出力するトリガ信号出力部と、前記トリガ信号が出力されたときに、前記トリガ信号の出力開始時点における前記基準信号をホールドして、前記トリガ信号が出力されている間はホールドした前記基準信号を前記トリガ信号出力部に出力する基準信号ホールド部とを備え、前記トリガ信号出力部は、前記トリガ信号が出力されているときに、前記基準信号ホールド部から出力された前記基準信号を、前記直流センサ信号との比較に用いることを特徴とする。
【００１３】
本発明では、直流センサ信号から基準信号を生成し、直流センサ信号と基準信号とを比較し、その比較結果に基づいてトリガ信号を出力する。また、トリガ信号が出力されたときに、トリガ信号の出力開始時点における基準信号をホールドして、トリガ信号が出力されている間はホールドした基準信号をトリガ信号出力部に出力する。
このように、トリガ信号の出力時点における基準信号をホールドして、ホールドした基準信号をその後におけるセンサ信号との比較に用いる。これにより、トリガ信号が出力されている間、直流センサ信号と基準信号との比較を安定して行うことができ、センサ信号の検知を正確に行うことができる。
また、本発明では、直流センサ信号をローパスフィルタ部に通すことにより、高周波のノイズ成分と検出すべき急激な直流レベル変動成分とが除去され、低周波の状態変動成分のみを含む直流センサ信号を得ることができる。そのような直流センサ信号を基準信号として比較に用いることで、センサ信号の検知をより正確に行うことができる。
【００１４】
本発明のセンサ信号検知回路において、前記基準信号ホールド部における基準信号のホールドは、コンデンサに電荷が蓄えられて電圧が保持されることにより行われることが好ましい。
【００１５】
本発明では、基準信号ホールド部における基準信号のホールドは、コンデンサに電荷が蓄えられて電圧が保持されることにより行われる。つまり、基準信号ホールド部におけるホールドの実行は、ソフトウェアではなく、コンデンサを有するハードウェアにより行われる。したがって、ホールド用の基準信号を算出する場合と異なり、ホールドのためのソフトウェアを備える必要がなく、その分、構成を簡単にすることができる。
【００１８】
本発明のセンサ信号検知回路において、前記直流センサ信号は、圧電素子により駆動されるタッチ信号プローブの正弦波状の出力信号から振幅情報を抽出して得られたものであることが好ましい。
【００１９】
タッチ信号プローブの正弦波状の出力信号から振幅情報を抽出して直流センサ信号を得ると、直流センサ信号には様々な成分が重畳されている。その中には、温度変化や経時変化等による状態変動成分が含まれる。前述したように本発明では、直流センサ信号から基準信号を生成するので、状態変動成分が直流センサ信号と基準信号の両方に含まれる。つまり、状態変動の影響が両者の比較に対しては及ばない。したがって、ノイズ成分の振幅変換の比率を適切に設定するだけで、確実に直流レベル変化点を検出することができる。
また、本発明のセンサ信号検知回路において、前記基準信号ホールド部は、前記トリガ信号が出力されていないときには、前記直流センサ信号に由来する変動成分を前記基準信号として出力し、前記トリガ信号が出力されているときには、前記トリガ信号の出力開始時点でホールドした前記基準信号を出力することが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施形態に係るセンサ信号検知回路を接触検知回路として適用した接触センサの概略構成を示す図。
【図２】接触検知回路のブロック図。
【図３】サンプルアンドホールド回路の回路図。
【図４】接触検知回路による接触検知を説明するためのグラフ。
【図５】サンプルアンドホールド回路による基準信号の出力処理を示すフローチャート。
【図６】従来の第１の接触検知回路による接触検知の例を説明するためのグラフ。
【図７】従来の第２の接触検知回路による接触検知の例を説明するためのグラフ。
【図８】従来の第３の接触検知回路のブロック図。
【図９】従来の第３の接触検知回路による接触検知の例を説明するためのグラフ。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明に係る実施形態について、図面に基づいて説明する。
図１は、本発明の実施形態に係るセンサ信号検知回路を接触検知回路９として実現した接触センサの概略構成を示す図である。接触センサのスタイラス１は、先端に球状の接触子３を有している。また、スタイラス１の後端にはスタイラス１の姿勢を維持するためのバランサ４が設けられている。また、スタイラス１は、スタイラスホルダ２により軸方向の略中央部を保持されている。
【００２２】
スタイラス１の略中央部には、スタイラス１に振動を与える圧電素子５が取り付けられている。圧電素子５は、スタイラス１に振動を与えるための加振電極５１と、接触子３の接触を検知するための検出電極５２とを備えている。加振電極５１には、駆動回路８から駆動信号が与えられる。
【００２３】
検出電極５２において得られる機械−電気変換出力信号は、検知回路６により検知される。検知回路６の出力信号は駆動回路８に正帰還され、この帰還制御により圧電素子５は所定の共振周波数で励振されるように構成されている。
【００２４】
検知回路６から出力される検出出力信号は、接触子３が被測定物に接触することにより振幅が減少する正弦波状信号である。振幅抽出回路７は、この検知回路６の圧電素子５の検出電極５２から得られた正弦波状信号の振幅情報のみを検波抽出して、直流センサ信号Ｓを出力する。振幅抽出回路７は例えば、交流を直流に変換する全波整流回路と、整流後に残った交流成分を平滑化する平滑回路とを備える。
【００２５】
接触検知回路９は、この直流センサ信号Ｓから、接触子３の接触によって急減に減少する直流レベル変動成分Ｓ３の変化を検出して、トリガ信号ＴＧを出力する。
【００２６】
次に、この接触検知回路９の構成の詳細を、図２のブロック図を参照して説明する。
接触検知回路９は、直流センサ信号Ｓが入力されるローパスフィルタ２１（ローパスフィルタ部）と、ローパスフィルタ２１の出力信号をレベル変換する基準信号生成回路２２（基準信号生成部）と、基準信号生成回路２２の出力信号をサンプルまたはホールドするサンプルアンドホールド回路（基準信号ホールド部）２３と、直流センサ信号Ｓとサンプルアンドホールド回路２３の出力信号との比較結果に基づいてトリガ信号ＴＧを生成し出力するトリガ信号出力回路（トリガ信号出力部）２４とを備えている。
【００２７】
ローパスフィルタ２１に入力される直流センサ信号Ｓは、直流オフセット分Ｓ０と、低周波の状態変動成分Ｓ１（温度変化や経時変化による変動分）と、高周波のノイズ成分Ｓ２と、接触子３の接触により検出される信号成分である直流レベル変動成分Ｓ３とが重畳されている（Ｓ＝Ｓ０＋Ｓ１＋Ｓ２＋Ｓ３）。
【００２８】
ローパスフィルタ２１は、この直流センサ信号Ｓの各成分のうち、高周波のノイズ成分Ｓ２および直流レベル変動成分Ｓ３を遮断し、直流オフセット分Ｓ０および低周波の状態変動成分Ｓ１のみ、つまり（Ｓ０＋Ｓ１）を通過させる。
【００２９】
基準信号生成回路２２は、この出力信号（Ｓ０＋Ｓ１）に係数Ｋ（０<Ｋ<１）を乗算した信号Ｒ１＝Ｋ（Ｓ０＋Ｓ１）を出力する。この信号Ｒ１は、後述する基準信号Ｒとして選択的に用いられる。
【００３０】
なお、この係数Ｋの値は、高周波のノイズ成分Ｓ２の振幅の大きさを考慮して決定される。すなわち、ΔＳ＝（１−Ｋ）（Ｓ０＋Ｓ１）の大きさを、高周波のノイズ成分Ｓ２の最大振幅｜Ｓ２｜よりも大きくすることにより、高周波のノイズ成分Ｓ２に影響されることなく、高精度の接触検出が可能となる。
ただし、係数Ｋを余り小さく設定すると、トリガ信号ＴＧの発生時刻が、実際の接触子３の接触時刻と異なってきてしまうので、係数Ｋは、高周波のノイズ成分Ｓ２の影響を受けない範囲において可能な限り大きい値とするのが望ましい。
【００３１】
サンプルアンドホールド回路２３は、後述するトリガ信号出力回路２４からトリガ信号ＴＧが出力されていないときには、信号Ｒ１＝Ｋ（Ｓ０＋Ｓ１）を逐次取得（サンプル）するとともに、取得した信号Ｒ１を基準信号Ｒとしてトリガ信号出力回路２４に逐次出力する。一方、トリガ信号ＴＧが出力された時にトリガ信号ＴＧの出力開始時における信号をホールドするとともに、トリガ信号ＴＧが出力されている間はホールドした信号を基準信号Ｒとして比較部に出力し続ける。つまり、サンプルアンドホールド回路２３の出力信号は、トリガ信号ＴＧが出力されていないときには信号Ｒ１とともに変動する変動値になり、トリガ信号ＴＧが出力されているときには固定値になる。
【００３２】
図３に示すように、サンプルアンドホールド回路２３は、スイッチ２３１とコンデンサ２３２とを備える。スイッチ２３１は、トリガ信号ＴＧが出力されていないときにオン状態になり、ＴＧが出力されているときにオフ状態になるように構成されている。
サンプルアンドホールド回路２３における信号Ｒ１のサンプルは、スイッチ２３１がオン状態のときに実行される。一方、サンプルアンドホールド回路２３における基準信号Ｒのホールドは、スイッチ２３１がオフ状態のときに実行される。
スイッチ２３１がオフされることにより、コンデンサ２３２の電荷が保持され、入力される信号Ｒ１＝Ｋ（Ｓ０＋Ｓ１）の変動にかかわらず出力する基準信号Ｒがスイッチ２３１のオフ時の値にホールドされる。なお、サンプルアンドホールド回路２３は市販されており、本実施形態においても市販品をそのまま使用することが可能である。
【００３３】
トリガ信号出力回路２４は、直流センサ信号Ｓ（＝Ｓ０＋Ｓ１＋Ｓ２＋Ｓ３）とサンプルアンドホールド回路２３から出力される基準信号Ｒ（＝Ｒ１またはＲｔ１）とを比較し、直流センサ信号Ｓが基準信号Ｒよりも小さいときにトリガ信号ＴＧを生成し出力する。
【００３４】
次に、本実施形態における接触検知回路９の動作を、図４のグラフおよび図５のフローチャートを参照しながら説明する。
ここでは、初期状態においてスタイラス１の接触子３は被測定物（図示せず）から離れており（非接触状態）、その後、接触子３が被測定物に接触し、その接触状態がしばらく維持された後、再び接触子３が被測定物から離れる（非接触状態に移行する）場合を例にとって説明する。
【００３５】
この場合において、直流センサ信号Ｓがローパスフィルタ２１に入力されると（ステップ１（「Ｓ１」と図示。以下同じ））、高周波のノイズ成分Ｓ２および過渡的な直流レベル変動成分Ｓ３が遮断され、直流オフセット分Ｓ０と低周波の状態変動成分Ｓ１のみの信号（Ｓ０＋Ｓ１）が抽出されて（ステップ２）出力される。基準信号生成回路２２は、このローパスフィルタ２１の出力信号（Ｓ０＋Ｓ１）に係数Ｋを乗算し（ステップ３）、信号Ｒ１＝Ｋ（Ｓ０＋Ｓ１）を出力する。
【００３６】
時刻ｔ１までの間（ステップ４：ＹＥＳ）は、スタイラス１の接触子３が被測定物に接触していない非接触状態なので、直流センサ信号Ｓは基準信号Ｒ＝Ｒ１以上になっている。この非接触状態のときには、トリガ信号ＴＧが出力されない（ステップ５）ので、スイッチ２３１がオン状態になっており、逐次変化する信号Ｒ１＝Ｋ（Ｓ０＋Ｓ１）が基準信号Ｒとして出力されている（ステップ６）。
【００３７】
その後、接触子３が被測定物に接触して接触状態に移行すると、直流センサ信号Ｓが急激に減少して、時刻ｔ１において直流センサ信号Ｓが信号Ｒ１を下回る（ステップ４：ＹＥＳ→ＮＯ）。すると、トリガ信号ＴＧが出力され（ステップ７）、サンプルアンドホールド回路２３における基準信号Ｒのホールドが実行される。図４に示すように、時刻ｔ１における信号Ｒ１がＲｔ１になっているので、時刻ｔ１から時刻ｔ２の基準信号Ｒは値Ｒｔ１にホールドされる（ステップ８）。
【００３８】
すなわち、基準信号Ｒが、時刻ｔ１を境にして、直流センサ信号Ｓの増減に従う変動値（信号Ｒ１）から固定値（信号Ｒｔ１）に切り換わる。時刻ｔ１から時刻ｔ２までの間は、接触状態が維持されているので、基準信号Ｒ＝Ｒｔ１が直流センサ信号Ｓと比較される。
【００３９】
その後、接触子３が被測定物から離れると、直流センサ信号Ｓが急激に増加して、時刻ｔ２において直流センサ信号Ｓが信号Ｒ１を上回る（ステップ４：ＮＯ→ＹＥＳ）。すると、トリガ信号ＴＧの出力が停止される（ステップ５）ので、スイッチ２３１がオン状態になり、信号Ｒ１＝Ｋ（Ｓ０＋Ｓ１）がサンプルアンドホールド回路２３から再び出力される（ステップ６）。すなわち、基準信号Ｒが、時刻ｔ２を境にして、固定値（信号Ｒｔ１）から変動値（信号Ｒ１）に切り換わる。
【００４０】
このように、本実施形態では、トリガ信号ＴＧが出力されていないとき（接触子３が非接触状態のとき）には、基準信号Ｒとして直流センサ信号Ｓ由来の変動成分である信号Ｒ１を用い、トリガ信号ＴＧが出力されているとき（接触子３が接触状態のとき）には、基準信号Ｒとして固定値である信号Ｒｔ１を用いる。このように基準信号Ｒを切り換えることにより、変動成分である信号Ｒ１を基準信号Ｒとして使用し続ける場合および固定値である信号Ｒｔ１を基準信号Ｒとして使用し続ける場合と比較して、接触子３の接触／非接触を正確に判定することができる。
【００４１】
また、本実施形態では、固定値である信号Ｒ２の値を、トリガ信号ＴＧの出力開始時点における基準信号Ｒの値に設定する。この設定は、サンプルアンドホールド回路２３のホールドによって行われる。サンプルアンドホールド回路２３はスイッチ２３１およびコンデンサ２３２を用いて簡単に構成することが可能であり、市販もされている。したがって、信号Ｒ２（＝ｍ・Ｒｔ１）をソフトウェアによって算出する前記特許文献３に記載の発明と比較して、接触検知回路９の構成を簡単にすることができる。
【００４２】
本発明は、前記実施形態に限定されるものでなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良などは本発明に含まれる。
例えば、前記実施形態では、接触が検知された場合に、直流レベル変動成分Ｓ３の振幅が減少する場合を説明したが、これとは逆に、接触が検知された場合に直流レベル変動成分Ｓ３の振幅等が増加する場合にも、本発明は適用可能である。ただし、この場合には、係数Ｋの値を１より大きくする（Ｋ>１）必要がある。
【００４３】
前記実施形態では、信号Ｒ１を、ローパスフィルタ２１の出力信号（Ｓ０＋Ｓ１）に係数Ｋを乗算する（Ｒ１＝Ｋ（Ｓ０＋Ｓ１））ことで算出しているが、ローパスフィルタ２１の出力信号（Ｓ０＋Ｓ１）から所定値Ｌを減算する（Ｒ１＝Ｓ０＋Ｓ１−Ｌ）ことで算出してもよい。
【００４４】
前記実施形態では、超音波タッチトリガプローブを用いた接触センサにおいて、直流センサ信号Ｓの振幅を抽出して接触検知を行う例を示したが、本発明はこれに限定されるものではない。たとえば、直流センサ信号Ｓの周波数や位相を検出して、この周波数・位相の変化に基づいて接触を検知するものにも本発明を適用することが可能である。つまり、直流センサ信号Ｓ中に低周波の状態変動成分Ｓ１が含まれるセンサであれば、本発明を適用することが可能である。
【００４５】
前記実施形態では、サンプルアンドホールド回路２３を、スイッチ２３１とコンデンサ２３２とを有するハードウェアで構成していたが、ソフトウェアで構成してもよい。
【００４６】
前記実施形態では、接触子３が被測定物に非接触の状態から接触状態に移行した後、暫くの間接触状態が継続され、その後再び非接触状態に戻る場合を例にとって説明したが、例えば、接触子３が接触状態から非接触状態に戻らず、接触状態が長期間維持されるような場合においても、本発明は適用可能である。
【００４７】
前記実施形態では、トリガ信号ＴＧが出力された（ステップ７）時刻ｔ１と同時に、基準信号Ｒを変動成分である信号Ｒ１から固定値の信号Ｒｔ１に切り換えている（ステップ８）が、この切り換えのタイミングは、時刻ｔ１と同時でなくてもよく、時刻ｔ１の後、所定の時間が経過した後であってもよい。
同様に、前記実施形態では、トリガ信号ＴＧが出力された（ステップ５）時刻ｔ２と同時に、基準信号Ｒを固定値の信号Ｒｔ１から変動成分である信号Ｒ１に切り換えている（ステップ６）が、この切り換えのタイミングは、時刻ｔ２と同時でなくてもよく、時刻ｔ２の後、所定の時間が経過した後であってもよい。
【００４８】
前記実施形態では、センサ信号検知回路を接触検知回路９として実現した例について説明したが、本発明はこれに限らず、例えば圧力検知回路や加速度検知回路として実現することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４９】
本発明は、スタイラスの振動状態の変化から接触を検知する振動型タッチ信号プローブに利用できる。
【符号の説明】
【００５０】
９…接触検知回路（センサ信号検知回路）、２１…ローパスフィルタ（ローパスフィルタ部）、２２…基準信号生成回路（基準信号生成部）、２３…サンプルアンドホールド回路（基準信号ホールド部）、２４…トリガ信号出力回路（トリガ信号出力部）、Ｒ…基準信号、Ｓ…直流センサ信号、Ｓ１…低周波の状態変動成分、Ｓ２…高周波のノイズ成分、Ｓ３…直流レベル変動成分、ＴＧ…トリガ信号。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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