(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
給気口が形成してある給気ポートを有するパージ対象容器の内部に清浄化ガスを前記給気ポートを通して吹き込むためのガスパージユニットであって、
前記清浄化ガスを吹き出すノズル口を持つ給気ノズルと、
前記ノズル口の周囲を囲むように前記給気ノズルに基端部が固定され、弾性変形可能な筒状部材と、
前記筒状部材の先端部に設けられ、前記給気ポートに着脱自在に接触可能な接触部材とを有し、
前記接触部材の硬度が前記筒状部材の硬度よりも高いことを特徴とするガスパージユニット。
【請求項２】
前記接触部材の硬度は、当該接触部材が接触する給気ポートの接触面の硬度よりも高い請求項１に記載のガスパージユニット。
【請求項３】
前記接触部材は、前記筒状部材とは異なる材料で構成してある請求項１または２に記載のガスパージユニット。
【請求項４】
前記筒状部材は、前記給気ノズルに固定される基端部と、前記基端部と前記先端部とを連絡する筒本体とを有し、
前記基端部に近い前記筒本体の内径よりも、前記先端部に近い前記筒本体の内径が大きい請求項１〜３のいずれかに記載のガスパージユニット。
【請求項５】
前記筒状部材は、前記給気ノズルに固定される基端部と、前記基端部と前記先端部とを連絡する筒本体とを有し、
前記基端部に近い前記筒本体の内径よりも、前記先端部に近い前記筒本体の内径が小さい請求項１〜３のいずれかに記載のガスパージユニット。
【請求項６】
前記接触部材は、前記筒状部材の先端部を覆うリング状被覆部材である請求項１〜５のいずれかに記載のガスパージユニット。
【請求項７】
前記接触部材は、前記筒状部材の先端部に埋め込まれるリング状埋込部材である請求項１〜５のいずれかに記載のガスパージユニット。
【請求項８】
前記接触部材は、
前記筒状部材の先端部の内縁に設けられる取付部と、
前記取付部から径方向の外側に広がる拡径部と、
前記拡径部に形成され、前記給気ポートの接触面に着脱自在に接触する接触部分とを有する請求項１〜５のいずれかに記載のガスパージユニット。
【請求項９】
前記接触部材は、
前記筒状部材の先端部の内縁に設けられる取付部と、
前記取付部から径方向の外側に広がる拡径部と、
前記拡径部の外周に形成され、前記給気ポートの接触面に着脱自在に接触する凸状の接触凸部とを有する請求項１〜５のいずれかに記載のガスパージユニット。
【請求項１０】
排気口が形成してある排気ポートを有するパージ対象容器の内部から清浄化ガスを前記排気ポートを通して排気するためのガスパージユニットであって、
前記清浄化ガスを排気するノズル口を持つ排気ノズルと、
前記ノズル口の周囲を囲むように前記排気ノズルに基端部が固定され、弾性変形可能な筒状部材と、
前記筒状部材の先端部に設けられ、前記排気ポートに着脱自在に接触可能な接触部材とを有し、
前記接触部材の硬度が前記筒状部材の硬度よりも高いことを特徴とするガスパージユニット。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれかに記載のガスパージユニットを有するロードポート装置。
【請求項１２】
請求項１〜１０のいずれかに記載のガスパージユニットを有するパージ対象容器の設置台。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガスパージユニット、ロードポート装置およびパージ対象容器の設置台に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば半導体の製造工程では、ロードポート装置の載置台にガス給気ノズルを配置し、ウエハ搬送容器の底面に設けられたガス給気ポートに当該給気ノズルを接触させ、パージガスを導入することでウエハ搬送容器の内雰囲気をパージガスによって清浄化する技術がある（ボトムパージ）。
【０００３】
このような技術において、ガス給気ポートの位置のばらつきや傾きによって、ガス給気ノズルとガス給気ポートとの間で位置ずれ生じる恐れがあった。このような隙間が生じることによって、ガス給気ノズルから給気される不活性ガスが漏れたり、隙間を介してウエハ搬送容器の内部に外気が混入する問題がある。
【０００４】
このような課題を解決するため、ガス給気ノズル先端をパージガスの導入圧に追従するような可撓性シールを用いる技術がある（特許文献１）。また、給気ノズルを支持する支持部材に関しノズルが傾動可能な態様とすることで、傾きに追従する技術もある（特許文献２）。
【０００５】
特許文献１では、ガス給気ポートと接触する部位が可撓性シール部材であるため、パージガス導入の観点では隙間を埋める効果が期待できる。しかしながら、別工程においてウエハ搬送容器を載置台から脱離するにあたり、可撓性シール部材がガス給気ポートに固着してしまい、脱離が困難になるといった問題が生じる。可撓性のある部材の変形部位が長時間直接接触し続けるため、パージガスの導入圧によって当該部材が固着してしまうものと考えられる。
【０００６】
一方、特許文献２においては、給気ノズルを傾動することによって傾斜に追従しており、ノズル位置の調整は可能ではある。しかしながら、給気ノズルと傾動支持部との間にわずかでも付着物が生じた場合に追従性の妨げになりうる。また、給気ノズルの可動領域を確保しなければならず、ノズルユニット全体として小型化が困難である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】米国特許第６１６４６６４号公報
【特許文献２】特開２０１４−３６１８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、このような実状に鑑みてなされ、その目的は、シール特性に優れ、パージ対象容器の内部を清浄化ガスで満たすことが容易であり、しかもノズルとポートとの脱離がスムーズなガスパージユニット、ロードポート装置およびパージ対象容器の設置台を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明の第１の観点に係るガスパージユニットは、
給気口が形成してある給気ポートを有するパージ対象容器の内部に清浄化ガスを前記給気ポートを通して吹き込むためのガスパージユニットであって、
前記清浄化ガスを吹き出すノズル口を持つ給気ノズルと、
前記ノズル口の周囲を囲むように前記給気ノズルに基端部が固定され、弾性変形可能な筒状部材と、
前記筒状部材の先端部に設けられ、前記給気ポートに着脱自在に接触可能な接触部材とを有し、
前記接触部材の硬度が前記筒状部材の硬度よりも高いことを特徴とする。
【００１０】
本発明の第２の観点に係るガスパージユニットは、
排気口が形成してある排気ポートを有するパージ対象容器の内部から清浄化ガスを前記排気ポートを通して排気するためのガスパージユニットであって、
前記清浄化ガスを排気するノズル口を持つ排気ノズルと、
前記ノズル口の周囲を囲むように前記排気ノズルに基端部が固定され、弾性変形可能な筒状部材と、
前記筒状部材の先端部に設けられ、前記排気ポートに着脱自在に接触可能な接触部材とを有し、
前記接触部材の硬度が前記筒状部材の硬度よりも高いことを特徴とする。
【００１１】
本発明のガスパージユニットでは、給気ノズル（または排気ノズル／以下同様）に設けられた筒状部材の先端部に設けられた接触部材がパージ対象容器の給気ポート（または排気ポート／以下同様）に着脱自在に接触する。接触部材が取り付けられた筒状部材は、弾性変形可能な弾性部材で構成してある。そのため、パージ対象容器の位置ズレや傾きなどにより、給気ポートの位置ずれや傾きがある場合であっても、弾性変形可能な筒状部材が変形することで、接触部材は、給気口（または排気口／以下同様）の周囲で給気ポートに密着して接触する。そのため、筒状部材は、ノズル口および給気口を外気から良好に遮断してシールし、これらを気密に連結することができる。
【００１２】
したがって、ノズル口から給気（または排気／以下同様）される清浄化ガスは、外部に漏れることなく、しかも外気が混入することなく、給気口からパージ対象容器の内部に流入し（または排気／以下同様）、その内部を良好に清浄化ガスで満たし、内部をクリーンな状態に維持することができる。
【００１３】
さらに、接触部材は、弾性変形可能な筒状部材よりも硬度が高いため、筒状部材の先端が接触する場合に比較して、給気ポートに長時間で接触していたとしても、接触部材自体は変形せず、給気ポートに対する固着を効果的に防止することができる。また、摩耗を防止することができ、パーティクルの発生を抑制することができると共に、チリ・ホコリによる作動不具合が生じることもない。
【００１４】
さらにまた、給気ノズルのノズル口と、可動部（筒状部材）と、位置調整部（接触部材）とが独立した構成となるため、ノズル自体は傾斜せず、ノズルへの付着物による可動性の低下によるシール性の低下などが生じない。また、ノズル自体は傾斜しないことから、ノズルへの清浄化ガスの給気が容易である。さらに弾性変形可能な部分は、局所的な部位に構成すれば良いのでノズル全体の小型化も可能となる。
【００１５】
好ましくは、前記接触部材の硬度は、当該接触部材が接触する給気ポートの接触面の硬度よりも高い。このように構成することで、給気ポートに対する固着を、より効果的に防止することができる。
【００１６】
好ましくは、前記接触部材は、前記筒状部材とは異なる材料で構成してある。このように構成することで、接触部材の硬度を筒状部材に比較して容易に高くすることができる。なお、筒状部材の先端部を、化学処理や物理処理などで変質させて硬化させることにより、硬度が高い接触部材を形成しても良い。
【００１７】
前記筒状部材は、前記給気ノズルに固定される基端部と、前記基端部と前記先端部とを連絡する筒本体とを有しても良く、
前記基端部に近い前記筒本体の内径よりも、前記先端部に近い前記筒本体の内径が大きくしても良い。
【００１８】
その場合には、接触部材と給気ポートとの接触性をさらに向上させることができる。また、筒状部材の基端部が固定される給気ノズルの台座の径を小さくすることが可能になる。
【００１９】
あるいは、前記基端部に近い前記筒本体の内径よりも、前記先端部に近い前記筒本体の内径が小さくしてもよい。このように構成することで、給気ノズルから給気ポートに向かう清浄化ガスの流れが良くなる。
【００２０】
前記接触部材は、前記筒状部材の先端部を覆うリング状被覆部材であってもよい。あるいは、前記接触部材は、前記筒状部材の先端部に埋め込まれるリング状埋込部材であってもよい。
【００２１】
あるいは、前記接触部材は、
前記筒状部材の先端部の内縁に設けられる取付部と、
前記取付部から径方向の外側に広がる拡径部と、
前記拡径部に形成され、前記給気ポートの接触面に着脱自在に接触する接触部分とを有してもよい。
【００２２】
あるいは、前記接触部材は、
前記筒状部材の先端部の内縁に設けられる取付部と、
前記取付部から径方向の外側に広がる拡径部と、
前記拡径部の外周に形成され、前記給気ポートの接触面に着脱自在に接触する凸状の接触凸部とを有してもよい。
【００２３】
本発明のロードポート装置は、上述したガスパージユニットを有する。本発明のパージ対象容器の設置台は、上述したガスパージユニットを有する。本発明のガスパージユニットは、その他の装置や場所に設置しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】図１は本発明の一実施形態に係るガスパージユニットが適用されるロードポート装置の概略図である。
【図２】図２は図１に示すロードポート装置に組み込まれているガスパージユニットとパージ対象容器としてのフープとの関係を示す断面図である。
【図３Ａ】図３Ａは図２に示すガスパージユニットの詳細な要部断面図であり、給気ポートが給気ノズルに離れている状態を示す。
【図３Ｂ】図３Ｂは図２に示すガスパージユニットの詳細な要部断面図であり、給気ポートが給気ノズルに傾いて取り付けられた状態を示す。
【図４Ａ】図４Ａは図３Ａおよび図３Ｂに示すガスパージユニットに用いられるシール装置の要部断面図である。
【図４Ｂ】図４Ｂは本発明の他の実施形態に係るガスパージユニットに用いられるシール装置の要部断面図である。
【図４Ｃ】図４Ｃは本発明のさらに他の実施形態に係るガスパージユニットに用いられるシール装置の要部断面図である。
【図４Ｄ】図４Ｄは本発明のさらに他の実施形態に係るガスパージユニットに用いられるシール装置の要部断面図である。
【図４Ｅ】図４Ｅは本発明のさらに他の実施形態に係るガスパージユニットに用いられるシール装置の要部断面図である。
【図４Ｆ】図４Ｆは本発明のさらに他の実施形態に係るガスパージユニットに用いられるシール装置の要部断面図である。
【図４Ｇ】図４Ｇは本発明のさらに他の実施形態に係るガスパージユニットに用いられるシール装置の要部断面図である。
【図５Ａ】図５Ａはフープの扉がロードポート装置により開けられる工程を示す概略図である。
【図５Ｂ】図５Ｂは図５Ａの続きの工程を示す概略図である。
【図５Ｃ】図５Ｃは図５Ｂの続きの工程を示す概略図である。
【図５Ｄ】図５Ｄは図５Ｃの続きの工程を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。
【００２６】
第１実施形態
図１に示すように、本発明の一実施形態に係るロードポート装置１０は、半導体処理装置６０に連結してある。ロードポート装置１０は、設置台１２と、その設置台１２に対して、Ｘ軸方向に移動可能な可動テーブル１４とを有する。なお、図面において、Ｘ軸が可動テーブル１４の移動方向を示し、Ｚ軸が鉛直方向の上下方向を示し、Ｙ軸がこれらのＸ軸およびＺ軸に垂直な方向を示す。
【００２７】
可動テーブル１４のＺ軸方向の上部には、複数のウエハ１を密封して保管して搬送するポットやフープなどで構成される密封搬送容器２が着脱自在に載置可能になっている。密封搬送容器２は、ケーシング２ａを有する。ケーシング２ａの内部には、被処理物たるウエハ１を内部に収めるための空間が形成されている。ケーシング２ａは、水平方向に存在するいずれか一面に開口を有する略箱状の形状を有する。
【００２８】
また、密封搬送容器２は、ケーシング２ａの開口２ｂを密閉するための蓋４を備えている。ケーシング２ａの内部に水平に保持されたウエハ１を鉛直方向に重ねる為の複数の段を有する棚（不図示）が配置されており、ここに載置されるウエハ１各々はその間隔を一定として容器２の内部に収容される。
【００２９】
ロードポート装置１０は、密封搬送容器２の内部に密封状態で収容してあるウエハを、クリーン状態を維持しながら、半導体処理装置６０の内部に、移し替えるためのインターフェース装置である。このロードポート装置１０は、壁部材１１の受渡口１３を開閉するドア１８を有する。壁部材１１は、半導体処理装置６０の内部をクリーン状態に密封するケーシングの一部、または半導体処理装置６０とロードポート装置１０とを連結するイーフェム（ＥＦＥＭ）などの装置の内部をクリーン状態に密封するケーシングの一部として機能するようになっている。ドア１８の動きについては、図５Ａ〜図５Ｄを用いて簡単に説明する。
【００３０】
図５Ａに示すように、テーブル１４の上に容器２が設置されると、後述するボトムガスパージが行われる。そして、図５Ｂに示すように、ボトムガスパージが行われた状態で、テーブル１４がＸ軸方向に移動し、容器２の開口２ｂを気密に塞いでいる蓋４が取り付けられている開口縁部２ｃが、壁部材１１の受渡口１３の内部に入り込む。
【００３１】
それと同時に、壁１１の内部（テーブル１４とは反対側）に位置するドア１８が、容器２の蓋４に係合する。その際に、開口縁部２ｃと受渡口１３の開口縁との間はガスケットなどによりシールされ、これらの間は良好に密封される。その後に、図５Ｃに示すように、ドア１８を蓋４と共に、Ｘ軸方向に平行移動させ、あるいは回動移動させて、蓋４を開口縁部２ｃから取り外し、開口２ｃを開き、容器２の内部と壁１１の内部とを連通させる。その際にも、ボトムガスパージを継続させて動作させても良いし、ボトムパージに加えて、壁１１の内部から容器２の内部に向けて、窒素ガスやその他の不活性ガスなどのパージガス（清浄化ガス）を吹き出す（フロントパージ）ようにしても良い。
【００３２】
次に、図５Ｄに示すように、壁１１の内部で、ドア１８をＺ軸下方に移動させれば、容器２の開口２ｂは、壁１１の内部に対して完全に開き、壁１１の内部に配置されたロボットハンドなどにより、開口２ｂを通して、壁１１の内部に、ウエハ１の受渡が行われる。その際にも、容器２の内部および壁１１の内部は、外気から遮断され、ボトムパージおよび／またはフロントパージが継続されても良く、容器２の内部はクリーンな環境に維持される。容器２の内部にウエハ１を戻して容器２をテーブル１４から取り外すには、上記の逆の動作を行えば良い。
【００３３】
図２に示すように、可動テーブル１４の上面１４ａには、１つ以上の位置決めピン１６が埋設されており、ケーシング２ａの下面に設けられた位置決め部３の凹部に位置決めピン１６が嵌合することにより、容器２と可動テーブル１４との位置関係が一義的に決定される。
【００３４】
ウエハ１の保管や搬送中には、密封搬送容器２の内部は密封され、ウエハ１の周囲は、クリーンな環境に維持される。密封搬送容器２が可動テーブル１４の上面１４ａに位置決めされて設置されると、密封搬送容器２の下面に形成してある給気ポート５と排気ポート６とが、それぞれ給気用ガスパージユニット２０の給気用シール装置３０と、排気用ガスパージユニット４０の排気用シール装置５０とに気密に連結される。本実施形態では、給気用ガスパージユニット２０および排気用ガスパージユニット４０により、容器２の内部のボトムガスパージ処理が行われる。なお、図面においては、理解を容易にするために、密封搬送容器２に比較して、給気ポート５、排気ポート６、給気用ガスパージユニット２０、および排気用ガスパージユニット４０などを拡大して図示してあるが、実際の寸法比とは異なる。
【００３５】
給気ポート５および排気ポート６にはそれぞれ給気口５ａおよび排気口６ａが形成してあり、これらは、逆止弁５ｂ，６ｂを介してケーシング２ａの内部に連通可能になっている。給気口５ａの途中に設けられた逆止弁５ｂは、給気口５ａを通してケーシング２ａの内部に所定以上の圧力で入り込もうとする清浄化ガスの流入は許容するが、その逆の排気を許容しない弁である。
【００３６】
排気口６ａの途中に設けられた逆止弁６ｂは、排気口５ａを通してケーシング２ａの内部から所定以上の圧力で排出されようとする清浄化ガスの排出は許容するが、その逆の給気を許容しない弁である。これらの弁５ｂ，６ｂを設けることで、給気ポート５または排気ポート６にガスパージユニット２０または４０が接続されない限りは、容器２の搬送中や保管中に、容器２の内部が給気口５ａまたは排気口６ａを通して外気と連通することはない。
【００３７】
図２に示すように、本実施形態では、給気用ガスパージユニット２０と排気用ガスパージユニット４０とは、同様な構造を有する。これらのユニット２０および４０は、可動デーブル１４の内部に収容してあり、これらのユニット２０および４０におけるシール装置３０および５０の頭部のみが、テーブル１４の上面１４ａからＺ軸方向の上部に飛び出している。
【００３８】
給気用ガスパージユニット２０は、たとえば窒素ガスやその他の不活性ガスなどの清浄化ガスを供給するための給気流路２２が形成してある給気部材２４を有し、給気部材２４はテーブル１４の内部に配置してある。給気部材２４のＺ軸方向の上部には、ノズル口２６が形成してある給気ノズル２８が気密に連結してあり、ノズル口２６と給気流路２２とが連通している。ノズル口２６は、給気用シール装置３０の内部に気密に連通している。
【００３９】
排気用ガスパージユニット４０は、たとえば窒素ガスや不活性ガスなどの清浄化ガスを排気するための排気流路４２が形成してある排気部材４４を有し、排気部材４４はテーブル１４の内部に配置してある。排気部材４４のＺ軸方向の上部には、ノズル口４６が形成してある排気ノズル４８が気密に連結してあり、ノズル口４６と排気流路４２とが連通している。ノズル口４６は、排気用シール装置５０の内部に気密に連通している。
【００４０】
本実施形態では、給気用シール装置３０と排気用シール装置５０とは、同一な構成を有するために、給気用シール装置３０についてのみ詳細に説明し、排気用シール装置５０の説明は省略する。
【００４１】
図４Ａに示すように、給気用シール装置３０は、筒状部材３１を有する。筒状部材３１は、筒本体３１ａを有し、筒本体３１ａの基端部３２が給気ノズル２８の上端部に埋め込まれて固定してあり、筒本体３１ａがノズル口２６の周囲を囲むようになっている。
【００４２】
筒本体３１ａの途中には、拡径フランジ部３１ｂが一体的に形成してある。本実施形態では、拡径フランジ部３１ｂは、水平板状に広がるように形成してある。拡径フランジ部３１ｂを含む筒本体３１ａの先端部３３には、その先端部３３を覆うように、リング状の接触部材３４がカシメ止めや接着などの手段で接合してある。接触部材３４は、ノズル口２６を囲み、筒状部材の先端部３３を覆うリング状被覆部材であり、その横断面形状は、上側に半円状に凸部となる形状である。
【００４３】
接触部材３４の硬度は、弾性変形可能な筒状部材３１の硬度よりも高く、接触部３４が給気口５aに接触する際に変形する程度の硬さであるＯリング３５に対し、変形を生じない硬さであることが好ましい。たとえば筒状部材３１は、弾力性に富んで使用圧力においてガスを透過させない材料と厚みで構成される。具体的には、筒状部材３１は、たとえばゴム、軟質プラスチック、スポンジなどで構成される。
【００４４】
また、接触部材３４は、弾力性に乏しく硬度が高く、使用圧力においてガスを透過させない材料と厚みで構成される。具体的には、接触部材３４は、たとえばアルミニウム、鋼、銅、チタニウムなどの金属で構成されるが、硬度が高い材料であれば金属に限らず、プラスチックなどで構成されても良い。
【００４５】
本実施形態では、図４Ａに示すように、基端部３２に近い筒本体３１ａの内径ｄ１よりも、先端部３３に近い筒本体３１ａの内径ｄ２が大きい。また、ノズル口２６の内径をｄ０とすれば、ｄ０＜ｄ１＜ｄ２の関係にある。
【００４６】
図３Ａおよび図３Ｂに示すように、上側に断面半円状の凸部となる接触部材３４の凸部は、給気ポート５の給気口５ａを囲む接触下面５ｃに接触する。接触下面５ｃには、図示省略してあるシール用ガスケットシートが装着してあっても良い。ガスケットシートは、弾力性を有し、接触部材３４の硬度は、接触部材３４が接触する給気ポート５の接触下面５ｃの硬度よりも高い。
【００４７】
図３Ｂに示すように、筒状部材３１は、弾性変形が可能な部材、たとえばゴムなどで構成されるために、テーブル１４に対して容器２が多少傾斜して設置されたとしても、筒状部材３１が弾性変形し、接触部材３４の断面半円状の凸部は、接触下面５ｃに対して全周にわたり密着して、内部の気密性が保たれる。
【００４８】
図３Ｂに示す状態で、給気流路２２にパージガスを供給すれば、ノズル口２６の内部圧力が高まり、逆止弁５ｂが開き、ノズル口２６から給気口５ａを通り、容器２の内部にパージガスが供給される。容器２の内部では、パージガスによる圧力が高まり、図２に示す排気口６ａの逆止弁６ｂが開き、排気口６ａ、ノズル口４６および排気流路４２を通して、パージガスが排気される。そのため、容器２の内部は、清浄なパージガスで満たされ、容器２の内部の清浄度が向上する。
【００４９】
本実施形態のガスパージユニット２０および４０では、給気ノズル２８（または排気ノズル４８／以下同様）に設けられた筒状部材３１の先端部に設けられた接触部材３４が容器２の給気ポート５（または排気ポート６／以下同様）に着脱自在に接触する。接触部材３４が取り付けられた筒状部材３１は、弾性変形可能な弾性部材で構成してある。そのため、図３Ｂに示すように、容器２の位置ズレや傾きなどにより、給気ポート５の位置ずれや傾きがある場合であっても、弾性変形可能な筒状部材３１が変形することで、接触部材３４は、給気口５ａ（または排気口６ａ／以下同様）の周囲で給気ポート５に密着して接触する。そのため、筒状部材３１は、ノズル口２６および給気口５ａを外気から良好に遮断してシールし、これらを気密に連結することができる。
【００５０】
そのため、ノズル口２６から給気（または排気／以下同様）されるパージガスは、外部に漏れることなく、しかも外気が混入することなく、給気口５ａから容器２の内部に流入し（または排気／以下同様）、その内部を良好にパージガスで満たし、内部をクリーンな状態に維持することができる。
【００５１】
さらに、接触部材３４は、弾性変形可能な筒状部材３１よりも硬度が高いため、筒状部材３１の先端が直接に接触する場合に比較して、給気ポート５に長時間で接触していたとしても、接触部材３４自体は変形せず、給気ポート５に対する固着を効果的に防止することができる。また、給気ノズル２８のノズル口２６と、可動部である筒状部材３１と、位置調整部である接触部材３４とが独立した構成となるため、ノズル２８自体は傾斜せず、ノズル２８への付着物による可動性の低下によるシール性の低下などが生じない。また、ノズル２８自体は傾斜しないことから、ノズル２８への清浄化ガスの給気が容易である。さらに弾性変形可能な部分は、局所的な部位に構成すれば良いのでノズル２８全体の小型化も可能となる。
【００５２】
本実施形態では、接触部材３４の硬度が、当該接触部材３４が接触する給気ポート５の接触下面５ｃの硬度よりも高い。このように構成することで、給気ポート５の接触下面５ｃに対する接触部材３４の固着を、より効果的に防止することができる。
【００５３】
さらに本実施形態では、接触部材３４は、筒状部材３１とは異なる材料で構成してあることから、接触部材３４の硬度を筒状部材３１に比較して容易に高くすることができる。
【００５４】
また、本実施形態では、図４Ａに示すように、基端部３２に近い筒本体３１ａの内径ｄ１よりも、先端部３３に近い筒本体３１ａの内径が大きくしてあるため、接触部材３４と給気ポート５（図３Ｂ参照）との接触性をさらに向上させることができる。また、筒状部材３１の基端部３２が固定される給気ノズル２８の台座の径を小さくすることが可能になる。
【００５５】
第２実施形態
図４Ｂ〜図４Ｇは、本発明の他の実施形態に係るガスパージユニットに用いられるシール装置の要部断面図であり、給気または排気の双方または片方に用いられ、下述する以外は、前述した第１実施形態と同様な構成を有し、同様な作用効果を奏する。
【００５６】
図４Ｂに示すシール装置３０ａでは、筒状部材３１の筒本体３１ａが、テーパ状に内径が大きくなる拡径フランジ部３１ｂ１を有する。テーパ状に内径が大きくなる拡径フランジ部３１ｂ１を筒本体３１ａが有することで、筒状部材３１の弾力性（特にＺ軸方向の弾力性）が向上する。
【００５７】
図４Ｃに示すシール装置３０ｂでは、筒状部材３１の筒本体３１ａが、内径が先端部３３に向けて小さくなる縮径フランジ部３１ｂ２を有する。すなわち、基端部３２に近い筒本体３１ａの内径ｄ１よりも、先端部３３に近い筒本体３１ａの内径ｄ２が小さい。このように構成することで、図４Ｃに示す給気ノズル２６から図３Ｂに示す給気ポート５に向かうパージガスの流れが良くなる。
【００５８】
図４Ｄに示すシール装置３０ｃでは、筒状部材３１の筒本体３１ａが、内径が先端部３３に向けてテーパ状に小さくなる縮径フランジ部３１ｂ３を有する。このように構成することで、図４Ｄに示す給気ノズル２６から図３Ｂに示す給気ポート５に向かうパージガスの流れがさらに良くなる。また、筒状部材３１の弾力性（特にＺ軸方向の弾力性）が向上する。
【００５９】
図４Ｅに示すシール装置３０ｄでは、筒状部材３１の筒本体３１ａが、内径が先端部３３に向けてテーパ状に小さくなる縮径フランジ部３１ｂ４を有する。また、接触部材３４ｄは、筒状部材３１の先端部３３の内縁に設けられる取付部３５ｄと、取付部３５ｄから径方向の外側に広がる拡径部３６ｄと、拡径部３６ｄに形成され、図３Ｂに示す給気ポート５の接触下面５ｃに着脱自在に接触する平面状の接触部分３７ｄとを有する。
【００６０】
このように構成することで、図４Ｅに示す給気ノズル２６から図３Ｂに示す給気ポート５に向かうパージガスの流れがさらに良くなる。また、筒状部材３１の弾力性（特にＺ軸方向の弾力性）が向上する。さらに接触部分３７ｄを有するために、接触部材３４ｄと図３Ｂに示す給気ポート５の接触下面５ｃとの密着性が向上し、シール特性も向上する。
【００６１】
図４Ｆに示すシール装置３０ｅでは、筒状部材３１の筒本体３１ａが、内径が先端部３３に向けてテーパ状に小さくなる縮径フランジ部３１ｂ４を有する。また、接触部材３４ｅは、筒状部材３１の先端部３３の内縁に設けられる取付部３５ｅと、取付部３５ｅから径方向の外側に広がる拡径フランジ部３６ｅと、拡径フランジ部３６ｅの外周に形成され、図３Ｂに示す給気ポート５の接触下面５ｃに着脱自在に接触する断面半円凸状の接触凸部３７ｅとを有する。
【００６２】
このように構成することで、図４Ｆに示す給気ノズル２６から図３Ｂに示す給気ポート５に向かうパージガスの流れがさらに良くなる。また、筒状部材３１の弾力性（特にＺ軸方向の弾力性）が向上する。さらに接触凸部３７ｅを有するために、接触部材３４ｅと図３Ｂに示す給気ポート５の接触下面５ｃとの密着性が向上し、シール特性も向上する。さらにまた接触凸部３７ｅが、筒状部材３１の先端部の外周側に配置してあるために、図３Ｂに示す給気ポート５の接触下面５ｃが大きく傾斜しても、接触凸部３７ｅが追随変位しやすく、接触下面５ｃと接触部材３４ｅとの密着性に優れている。
【００６３】
図４Ｇに示すシール装置３０ｆは、図４Ａに示すシール装置３０の変形例であり、リング形状で断面円形の接触部材３４ｆは、筒状部材３１の先端部３３に一部が埋め込まれるリング状埋込部材である。
【００６４】
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々に改変することができる。
【００６５】
たとえば、ガスパージユニット２０および４０は、必ずしも同じ構成を有することなく、異なる構成を有していても良い。たとえば一方が、図４Ａ〜図４Ｆのいずれかのシール装置を持ち、他方が、それ以外のシール装置を有していても良い。あるいは、ガスパージユニット２０および４０のいずれか一方のみが、本発明に係るガスパージユニットの構成を有していても良い。
【００６６】
さらに、上述した実施形態では、筒状部材３１と接触部材３４，３４ａ〜３４ｆとを別部材で構成したが、それに限らず、これらを同一部材で一体に構成し、接触部材３４，３４ａ〜３４ｆに対応する部分で、筒状部材３１に対応する部分の硬度よりも高くなるようにしてもよい。具体的には、たとえば筒状部材３１の全体をゴム部材で構成し、その先端部のみを硬化処理することで、接触部材を形成しても良い。硬化処理としては、たとえば加熱による熱硬化、紫外線硬化などが例示される。
【００６７】
また、上述した実施形態では、本発明のガスパージユニットを、ロードポート装置１０に適用したが、それ以外の装置にも適用しても良い。たとえば複数の容器２を並べて保管しておく棚や設置台などに本発明のガスパージユニットを取り付けても良い。あるいは、本発明のガスパージユニットは、その他の装置や場所に設置しても良い。
【符号の説明】
【００６８】
１…  ウエハ
２…  密封搬送容器
２ａ…  ケーシング
２ｂ…  開口
２ｃ…  開口縁部
３…  位置決め部
４…  蓋
５…  給気ポート
５ａ…  給気口
６…  排気ポート
６ａ…  排気口
１０…  ロードポート装置
１１…  壁部材
１２…  設置台
１３…  受渡口
１４…  可動テーブル
１６…  位置決めピン
１８…  ドア
２０…  給気用ガスパージユニット
２２…  給気流路
２４…  給気部材
２６…  ノズル口
２８…  給気ノズル
３０，３０ａ〜３０ｆ…  給気用シール装置
３１…  筒状部材
３１ａ…  筒本体
３１ｂ，３１ｂ１…  拡径フランジ部
３１ｂ２…  縮径フランジ部
３１ｂ３，３１ｂ４…  筒状テーパ部
３２…  基端部
３３…  先端部
３４，３４ｄ，３４ｆ…  接触部材
３５ｄ，３５ｅ…  取付部
３６ｄ，３６ｅ…  拡径部
３７ｄ…  接触部分
３７ｅ…  接触凸部
４０…  排気用ガスパージユニット
４２…  排気流路
４４…  排気部材
４６…  ノズル口
４８…  排気ノズル
５０…  排気用シール装置
６０…  半導体処理装置
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図４Ｄ】
0006323245.tif 000009
【図４Ｅ】
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【図４Ｆ】
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【図４Ｇ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図５Ｃ】
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【図５Ｄ】
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