(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向し合っている第１，第２の主面と、前記第１の主面側において対向し合っている第１，第２の辺部分と、を有し、かつ前記第１の主面の法線方向から傾斜した分極軸方向を有する圧電基板と、
前記圧電基板の前記第１の主面上に設けられており、対向し合っている第１，第２のバスバーと、前記第１のバスバーに一端が接続されている複数本の第１の電極指と、前記第２のバスバーに一端が接続されている複数本の第２の電極指と、をそれぞれ有する第１のＩＤＴ電極及び第２のＩＤＴ電極と、
前記圧電基板の前記第１の主面上に設けられており、前記第１のＩＤＴ電極及び第２のＩＤＴ電極の内のいずれかにそれぞれ電気的に接続されている複数の電極ランドと、
を備え、
前記圧電基板の前記第１，第２の辺部分が、前記圧電基板の前記法線方向及び前記分極軸方向に直交する方向に延びており、前記圧電基板における前記第２の辺部分から前記第１の主面以外の面までの前記分極軸方向に沿う長さよりも、前記圧電基板における前記第１の辺部分から前記第１の主面以外の面までの前記分極軸方向に沿う長さの方が短く、
前記第１のＩＤＴ電極が、該第１のＩＤＴ電極の前記複数本の第１，第２の電極指が延びる方向において前記第２のＩＤＴ電極よりも前記第１の辺部分に近い位置に配置されており、
前記複数の電極ランドが、前記第１のＩＤＴ電極の前記第１のバスバーに前記第２のＩＤＴ電極を介さずに接続されている第１の電極ランドと、該第１の電極ランドとは異なる電極ランドであり、かつ前記第１のＩＤＴ電極の前記第１のバスバーと同電位である第２の電極ランドと、を有する、弾性波装置。
【請求項２】
前記第２の電極ランドが、前記第１のＩＤＴ電極の前記第１のバスバーに前記第２のＩＤＴ電極を介さずに接続されている、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項３】
前記第１の電極ランド及び前記第２の電極ランドが、前記第１のＩＤＴ電極の信号電位に接続される、請求項１または２に記載の弾性波装置。
【請求項４】
前記第２の電極ランドが、前記第１のＩＤＴ電極の前記第１のバスバーに直接接続されていない、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項５】
前記第１の電極ランド及び前記第２の電極ランドが接地電位に接続される、請求項１、２及び４の内のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項６】
前記第１のＩＤＴ電極の前記第１のバスバーが、前記第１のＩＤＴ電極の前記複数本の第１，第２の電極指と前記圧電基板の前記第１の辺部分との間に配置されている、請求項１〜５のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項７】
前記第１，第２のＩＤＴ電極と前記複数の電極ランドとを接続している複数の接続配線をさらに備え、
該複数の接続配線の内で、前記第１のＩＤＴ電極の前記第１のバスバーと前記第１の電極ランドとを接続している接続配線が、前記圧電基板の前記第１の辺部分に最も近い位置に配置されている、請求項１〜６のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項８】
前記複数の電極ランド上にそれぞれ設けられている複数のバンプをさらに備える、請求項１〜７のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、弾性波装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、弾性波装置は、携帯電話機などに広く用いられている。例えば、下記の特許文献１では、ＩＤＴ電極を有する弾性波装置の一例が開示されている。弾性波装置の圧電基板上には、圧電基板の一方主面の辺部分に沿い、複数のパッドが設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−００２５１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載のような弾性波装置の圧電基板においては、圧電効果や焦電効果による電荷の発生により、分極反転が生じ易かった。それによって、圧電特性が劣化し、弾性波装置の挿入損失が大きくなることがあった。
【０００５】
本発明の目的は、圧電基板において分極反転が生じ難く、挿入損失の増大を抑制することができる、弾性波装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る弾性波装置は、対向し合っている第１，第２の主面と、前記第１の主面側において対向し合っている第１，第２の辺部分と、を有し、かつ前記第１の主面の法線方向から傾斜した分極軸方向を有する圧電基板と、前記圧電基板の前記第１の主面上に設けられており、対向し合っている第１，第２のバスバーと、前記第１のバスバーに一端が接続されている複数本の第１の電極指と、前記第２のバスバーに一端が接続されている複数本の第２の電極指と、をそれぞれ有する第１のＩＤＴ電極及び第２のＩＤＴ電極と、前記圧電基板の前記第１の主面上に設けられており、前記第１のＩＤＴ電極及び第２のＩＤＴ電極の内のいずれかにそれぞれ電気的に接続されている複数の電極ランドとを備え、前記圧電基板の前記第１，第２の辺部分が、前記圧電基板の前記法線方向及び前記分極軸方向に直交する方向に延びており、前記第２の辺部分における前記圧電基板の前記分極軸方向に沿う長さよりも、前記第１の辺部分における前記圧電基板の前記分極軸方向に沿う長さの方が短く、前記第１のＩＤＴ電極が、該第１のＩＤＴ電極の前記複数本の第１，第２の電極指が延びる方向において前記第２のＩＤＴ電極よりも前記第１の辺部分に近い位置に配置されており、前記複数の電極ランドが、前記第１のＩＤＴ電極の前記第１のバスバーに前記第２のＩＤＴ電極を介さずに接続されている第１の電極ランドと、該第１の電極ランドとは異なる電極ランドであり、かつ前記第１のＩＤＴ電極の前記第１のバスバーと同電位である第２の電極ランドとを有する。
【０００７】
本発明の弾性波装置のある特定の局面では、前記第２の電極ランドが、前記第１のＩＤＴ電極の前記第１のバスバーに前記第２のＩＤＴ電極を介さずに接続されている。この場合には、圧電基板の第１の辺部分付近において生じた電荷を外部により一層容易に移動させることができる。よって、圧電基板において分極反転がより一層生じ難く、挿入損失の増大をより一層抑制することができる。
【０００８】
本発明の弾性波装置の他の特定の局面では、前記第１の電極ランド及び前記第２の電極ランドが、前記第１のＩＤＴ電極の信号電位に接続される。
【０００９】
本発明の弾性波装置のさらに他の特定の局面では、前記第２の電極ランドが、前記第１のＩＤＴ電極の前記第１のバスバーに直接接続されていない。
【００１０】
本発明の弾性波装置の別の特定の局面では、前記第１の電極ランド及び前記第２の電極ランドが接地電位に接続される。
【００１１】
本発明の弾性波装置のさらに別の特定の局面では、前記第１のＩＤＴ電極の前記第１のバスバーが、前記第１のＩＤＴ電極の前記複数本の第１，第２の電極指と前記圧電基板の前記第１の辺部分との間に配置されている。この場合には、第１の辺部分付近において発生した電荷は、第１のＩＤＴ電極の第１，第２の電極指が設けられている部分に至り難い。従って、第１のＩＤＴ電極の弾性波を励振する部分における圧電特性の劣化が生じ難く、挿入損失の増大を効果的に抑制することができる。
【００１２】
本発明の弾性波装置のさらに別の特定の局面では、前記第１，第２のＩＤＴ電極と前記複数の電極ランドとを接続している複数の接続配線をさらに備え、該複数の接続配線の内で、前記第１のＩＤＴ電極の前記第１のバスバーと前記第１の電極ランドとを接続している接続配線が、前記圧電基板の前記第１の辺部分に最も近い位置に配置されている。この場合には、第１の辺部分において生じた電荷を外部により一層容易に移動させることができる。
【００１３】
本発明の弾性波装置のさらに別の特定の局面では、前記複数の電極ランド上にそれぞれ設けられている複数のバンプがさらに備えられている。この場合には、複数のバンプを介して弾性波装置を外部に電気的に接続することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、圧電基板において分極反転が生じ難く、挿入損失の増大を抑制し得る、弾性波装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の略図的平面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態における圧電基板の斜視図である。
【図３】本発明の第１の実施形態における第１のＩＤＴ電極の電極構造を示す部分切り欠き平面図である。
【図４】比較例の弾性波装置の略図的平面図である。
【図５】本発明の第２の実施形態に係る弾性波装置の略図的平面図である。
【図６】本発明の第３の実施形態に係る弾性波装置の略図的平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００１７】
なお、本明細書に記載の各実施形態は、例示的なものであり、異なる実施形態間において、構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることを指摘しておく。
【００１８】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の略図的平面図である。
【００１９】
弾性波装置１は、圧電基板２を有する。圧電基板２は、対向し合っている矩形形状の第１の主面２ａ及び第２の主面を有する。第１の主面２ａは、第１〜第４の辺部分２ａ１〜２ａ４を有する。圧電基板２は、ＬｉＮｂＯ３やＬｉＴａＯ３などの圧電単結晶からなる。なお、圧電基板２は、圧電セラミックスなどからなっていてもよい。
【００２０】
図２は、圧電基板２の斜視図である。圧電基板２は、第１の主面２ａの法線方向に平行な厚み方向Ｚを有する。圧電基板２は、第１の主面２ａの法線方向から傾斜した分極軸方向Ｃも有する。圧電基板２の第１の辺部分２ａ１及び第２の辺部分２ａ２は、厚み方向Ｚ及び分極軸方向Ｃに直交する方向に延びている。圧電基板２の厚み方向Ｚに沿う長さは、第１の主面２ａにおけるいずれの位置においても等しい。他方、詳細は後述するが、分極軸方向Ｃに沿う圧電基板２の長さを長さＬとしたときに、第１の辺部分２ａ１における長さＬは第２の辺部分２ａ２における長さＬよりも短い。
【００２１】
図１に戻り、圧電基板２の第１の主面２ａ上には、第１のＩＤＴ電極３Ａ及び複数の第２のＩＤＴ電極３Ｂが設けられている。本実施形態では、複数の第２のＩＤＴ電極３Ｂは、第１の主面２ａ上に設けられている第１のＩＤＴ電極３Ａ以外の全てのＩＤＴ電極である。以下に示す図３により、第１のＩＤＴ電極３Ａの詳細を説明する。
【００２２】
図３は、第１の実施形態における第１のＩＤＴ電極３Ａの電極構造を示す部分切り欠き平面図である。なお、図３においては、第１のＩＤＴ電極３Ａに接続されている配線などは省略されている。
【００２３】
図１では矩形に対角線を引いた略図で示されていたが、図３に示すように、第１のＩＤＴ電極３Ａは対向し合っている第１，第２のバスバー３Ａａ１，３Ａａ２を有する。第１のＩＤＴ電極３Ａは、複数本の第１，第２の電極指３Ａｂ１，３Ａｂ２も有する。複数本の第１の電極指３Ａｂ１は、第１のバスバー３Ａａ１にそれぞれ一端が接続されている。複数本の第２の電極指３Ａｂ２は、第２のバスバー３Ａａ２にそれぞれ一端が接続されている。複数本の第１の電極指３Ａｂ１と複数本の第２の電極指３Ａｂ２とは、互いに間挿し合っている。第１のバスバー３Ａａ１は、複数本の第１，第２の電極指３Ａｂ１，３Ａｂ２と、図１に示した圧電基板２の第１の辺部分２ａ１との間に配置されている。
【００２４】
第１のＩＤＴ電極３Ａに電圧を印加することにより、弾性波が励振される。第１のＩＤＴ電極３Ａの弾性波伝搬方向の両側には、反射器が設けられていてもよい。それによって、１ポート型の弾性波共振子を構成することができる。
【００２５】
第１のＩＤＴ電極３Ａと同様に、各第２のＩＤＴ電極も第１，第２のバスバー及び複数本の第１，第２の電極指をそれぞれ有する。なお、後述する図４〜図６でも、第１のＩＤＴ電極及び複数の第２のＩＤＴ電極は、矩形や矩形以外の多角形に対角線を引いた略図により示す。
【００２６】
図１に戻り、第１のＩＤＴ電極３Ａは、第１のＩＤＴ電極３Ａの複数本の第１，第２の電極指が延びる方向において、複数の第２のＩＤＴ電極３Ｂよりも圧電基板２の第１の辺部分２ａ１に近い位置に配置されている。
【００２７】
圧電基板２の第１の主面２ａ上には、複数の電極ランドが設けられている。複数の電極ランドには、第１のＩＤＴ電極３Ａ及び第２のＩＤＴ電極３Ｂの内のいずれかがそれぞれ電気的に接続されている。複数の電極ランドは、第１の電極ランド４Ａと、第１の電極ランド４Ａとは異なる電極ランドである第２の電極ランド４Ｂとを有する。第１，第２の電極ランド４Ａ，４Ｂは、圧電基板２の第１の辺部分２ａ１に沿うように設けられている。第１の電極ランド４Ａは、第１のＩＤＴ電極３Ａの第１のバスバーに、第２のＩＤＴ電極３Ｂを介さずに接続されている。本実施形態では、第２の電極ランド４Ｂも、第１のＩＤＴ電極３Ａの第１のバスバーに、第２のＩＤＴ電極３Ｂを介さずに接続されている。
【００２８】
圧電基板２の第１の主面２ａ上には、複数の接続配線６Ａ，６Ｂが設けられている。複数の接続配線６Ａ，６Ｂは、第１，第２のＩＤＴ電極３Ａ，３Ｂと複数の電極ランドとをそれぞれ接続している。
【００２９】
なお、第１，第２の電極ランドは、第１のＩＤＴ電極の、第１の辺部分から遠い方のバスバーである第２のバスバーに接続されていてもよい。
【００３０】
本実施形態では、第１，第２の電極ランド４Ａ，４Ｂは、第１のＩＤＴ電極３Ａの信号電位に接続される。なお、第１，第２の電極ランドは、接地電位に接続されてもよい。
【００３１】
第１の電極ランド４Ａ上及び第２の電極ランド４Ｂ上には、バンプ５Ａ及びバンプ５Ｂがそれぞれ設けられている。他の複数の電極ランド上にも、それぞれ複数のバンプが設けられている。弾性波装置１は、複数のバンプを介して外部に電気的に接続される。なお、弾性波装置は、バンプ以外により外部に接続されてもよい。
【００３２】
本実施形態の特徴は、１）長さＬが短い第１の辺部分２ａ１に近い位置に第１のＩＤＴ電極３Ａが配置されていることにある。さらに、本実施形態の特徴は、２）第１のＩＤＴ電極３Ａに接続されている第１の電極ランド４Ａと、第１のＩＤＴ電極３Ａの第１のバスバーと同電位の第２の電極ランド４Ｂとを有することにある。それによって、圧電基板２において分極反転が生じ難く、挿入損失の増大を抑制することができる。これを、以下において比較例を用いて説明する。
【００３３】
図４は、比較例の弾性波装置の略図的平面図である。
【００３４】
弾性波装置１０１における第１のＩＤＴ電極３Ａの第１のバスバーは、第１の電極ランド１０４Ａに接続されている。第１のバスバーと同電位の電極ランドは、第１の電極ランド１０４Ａのみである。上記の点以外においては、弾性波装置１０１は、第１の実施形態の弾性波装置１と同様の構成を有する。
【００３５】
ところで、圧電体に作用する電界、応力、熱が大きい場合、分極反転は容易に発生する。圧電基板においては、圧電効果や焦電効果などにより電荷が発生する。このとき、該電荷により、圧電基板に分極軸方向とは反対方向の電界が加えられることがある。この電界の強度が、電界が加わった部分における抗電界を越えた場合、分極反転が生じる。
【００３６】
圧電基板の抗電界は、分極軸方向に沿う圧電基板の長さＬが短いほど小さくなる。ここで、比較例及び本実施形態において長さＬが最も短い部分について、図２を用いて説明する。なお、上述したように、比較例における圧電基板２も、本実施形態と同様の構成を有する。
【００３７】
図２に示されているように、圧電基板２は、第１，第２の辺部分２ａ１，２ａ２から厚み方向Ｚにそれぞれ延びている第１，第２の側面２ｃ，２ｄを有する。さらに、圧電基板２の第２の主面２ｂは、厚み方向Ｚにおいて第１の辺部分２ａ１に対向している第５の辺部分２ｂ１を有する。
【００３８】
図２においては、破線の矢印により圧電基板２の分極軸を示す。本実施形態では、分極軸の基端が第１の主面２ａ側に位置し、終端が第２の主面２ｂ側に位置している。なお、分極軸方向Ｃは、第１の主面２ａの法線方向から傾斜していれば、特に限定されない。
【００３９】
ここで、圧電基板２において、分極軸の基端が第１の主面２ａに位置し、かつ終端が第２の主面２ｂに位置する部分では、上記長さＬは最も長い。よって、第２の辺部分２ａ２における上記長さＬは最も長い。第２の辺部分２ａ２における上記長さＬを長さＬ１とする。
【００４０】
他方、圧電基板２において、分極軸の基端が第１の主面２ａに位置し、かつ終端が第１の側面２ｃに位置する部分では、第５の辺部分２ｂ１から第１の辺部分２ａ１側に近づくほど、長さＬは短くなる。よって、分極軸の終端が第１の側面２ｃの第５の辺部分２ｂ１以外に位置する部分の長さＬを長さＬ２としたとき、長さＬ２は長さＬ１よりも短い。長さＬ２は、分極軸の終端が、第１の辺部分２ａ１に近づくほど短くなる。圧電基板２が理想的な直方体状の形状を有している場合には、第１の辺部分２ａ１における上記長さＬは０となる。もっとも、第１の辺部分２ａ１近傍では、長さＬ２は限りなく０に近い。第１の辺部分２ａ１における長さＬは理想的には０であるが、実際には０に限りなく近い寸法である場合もある。従って、本発明において、長さＬ１と比較される、第２の辺部分における圧電基板の分極軸方向に沿う長さとは、上記０の場合をも含むものとする。従って、長さＬは第１の辺部分２ａ１において最も短い。
【００４１】
図２に示すように圧電基板２が直方体である場合、第１の主面２ａに向かって圧電基板２を視て、第１の主面２ａに分極軸方向Ｃを投影した方向を分極軸投影方向Ｆとし、第１の主面２ａ内において分極軸投影方向Ｆに直交する方向を直交投影方向Ｇとする。第１の辺及び第２の辺は、直交投影方向Ｇに略平行な方向に沿って延びている。すなわち、第１の辺部分２ａ１及び第２の辺部分２ａ２は、直交投影方向Ｇに平行である必要は必ずしもなく、平行な方向からずれていてもよい。より具体的には、第１及び第２の辺部分２ａ１，２ａ２の直交投影方向Ｇからの傾きが、±５°以内であればよい。
【００４２】
また、上記のように、第１，第２の辺部分２ａ１，２ａ２が直交投影方向Ｇに対して傾いている場合、分極軸方向に沿う上記長さＬを考える場合、第１の辺部分２ａ１と第２の辺部分２ａ２とを結ぶ方向を長さ方向とした場合、上記長さＬの長さ方向成分の寸法を、上記長さＬ１やＬ２とすればよい。
【００４３】
分極軸が短い圧電体の部分は、分極軸が長い圧電体の部分に比べて、分極反転が発生しやすい。そのため、第１の辺部分２ａ１においては、抗電界が小さい。よって、弾性波装置１０１においては、第１の辺部分２ａ１において分極反転が生じ易かった。同様に、第１の主面２ａにおける第１の辺部分２ａ１付近においても抗電界が小さく、分極反転が生じ易かった。第１の辺部分２ａ１を基点として、圧電基板２において第１のＩＤＴ電極３Ａが設けられている部分においても、分極反転が生じることがあった。それによって、第２のＩＤＴ電極３Ｂに比べて第１の辺部分２ａ１の近くに位置する第１のＩＤＴ電極３Ａが設けられている部分の圧電特性が劣化し、弾性波装置１０１の挿入損失が大きくなることがあった。特に、圧電基板の端部は、応力、熱の影響を受けやすい。
【００４４】
これに対して、図１に示すように、本実施形態の弾性波装置１は第１，第２の電極ランド４Ａ，４Ｂを有する。第１，第２の電極ランド４Ａ，４Ｂは、それぞれバンプ５Ａ，５Ｂを介して、第１のＩＤＴ電極３Ａの信号電位に互いに並列に接続されている。そのため、第１のＩＤＴ電極３Ａの第１のバスバーと信号電位との間の電気抵抗は小さく、圧電基板２の第１のＩＤＴ電極３Ａが設けられている部分付近において生じた電荷が外部に移動し易い。加えて、放熱性を高めることもできるため、焦電効果による電荷の発生も生じ難い。よって、圧電基板２の第１のＩＤＴ電極３Ａが設けられている部分において、分極反転が生じ難い。従って、圧電特性の劣化も生じ難く、挿入損失の増大を抑制することができる。
【００４５】
さらに、第１の電極ランド４Ａに接続されている第１のＩＤＴ電極３Ａの第１のバスバーは、第１のＩＤＴ電極３Ａの第１，第２の電極指と圧電基板２の第１の辺部分２ａ１との間に配置されている。第１のバスバーは、接続配線６Ａにより第１の電極ランド４Ａに接続されている。
【００４６】
そのため、第１の辺部分２ａ１付近において発生した電荷は、第１，第２の電極指よりも第１の辺部分２ａ１に近い、第１のバスバー及び接続配線６Ａを介して外部に移動する。よって、第１の辺部分２ａ１付近において発生した電荷は、第１，第２の電極指が設けられている部分に至り難い。従って、第１のＩＤＴ電極３Ａの弾性波を励振する部分における圧電特性の劣化が生じ難く、挿入損失の増大を効果的に抑制することができる。
【００４７】
このように、挿入損失の増大を招かずに第１のＩＤＴ電極３Ａを第１の辺部分２ａ１に近づけることができるため、弾性波装置１を小型にすることもできる。
【００４８】
なお、複数の第２のＩＤＴ電極３Ｂは、第１のＩＤＴ電極３Ａよりも第１の辺部分２ａ１から遠い位置に配置されている。そのため、圧電基板２の複数の第２のＩＤＴ電極３Ｂが設けられている部分においては、分極反転は生じ難い。
【００４９】
本実施形態では、第１のＩＤＴ電極３Ａの第１のバスバーに接続されている第２の電極ランド４Ｂは１個である。なお、上記第１のバスバーに第２のＩＤＴ電極を介さずに接続されている第２の電極ランドを複数有していてもよい。この場合には、圧電基板の第１の辺部分２ａ１において、分極反転がより一層生じ難い。
【００５０】
図５は、本発明の第２の実施形態に係る弾性波装置の略図的平面図である。
【００５１】
弾性波装置１１は、第２の電極ランド１４Ｂを複数有する点及び第１，第２の電極ランド１４Ａ，１４Ｂが接地電位に接続されている点において、第１の実施形態と異なる。第１の電極ランド１４Ａと第１のＩＤＴ電極３Ａとを接続している接続配線１６Ａが、圧電基板２の第１の辺部分２ａ１に最も近い位置に配置された接続配線である点も異なる。また、弾性波装置１１の上記以外の電極構造も、第１の実施形態とは異なる。
【００５２】
より具体的には、第２のＩＤＴ電極１３Ｂの個数及び配置が、第１の実施形態とは異なる。複数の電極ランドの配置も、第１の実施形態とは異なる。複数の第２の電極ランド１４Ｂは、第１のＩＤＴ電極３Ａの第１のバスバーに直接接続されていない。複数の第２の電極ランド１４Ｂは、複数の第２のＩＤＴ電極１３Ｂのバスバーにそれぞれ接続されている。なお、第１の実施形態と同様に、第１のＩＤＴ電極３Ａは、第１のＩＤＴ電極３Ａの複数本の第１，第２の電極指が延びる方向において、複数の第２のＩＤＴ電極１３Ｂよりも圧電基板２の第１の辺部分２ａ１に近い位置に配置されている。
【００５３】
上述したように、第１，第２の電極ランド１４Ａ，１４Ｂは、接地電位に接続されている。よって、第１，第２の電極ランド１４Ａ，１４Ｂは、外部に互いに並列に接続されている。そのため、第１の電極ランド１４Ａと接地電位との間の電気抵抗は小さい。よって、第１の辺部分２ａ１付近で発生した電荷を外部に容易に移動させることができる。従って、圧電基板２の第１のＩＤＴ電極３Ａが設けられている部分において分極反転が生じ難く、挿入損失の増大を抑制することができる。
【００５４】
加えて、複数の接続配線１６Ａ，６Ｂの内、接続配線１６Ａは、圧電基板２の第１の辺部分２ａ１に最も近い位置に配置されている。よって、第１の辺部分２ａ１付近において発生した電荷は、第１，第２の電極指が設けられている部分により一層至り難い。従って、挿入損失の増大をより一層抑制することができる。
【００５５】
図６は、第３の実施形態に係る弾性波装置の略図的平面図である。
【００５６】
弾性波装置２１においては、複数の第２の電極ランド１４Ｂの内の１個が、第１のＩＤＴ電極３Ａの第１のバスバーに第２のＩＤＴ電極１３Ｂを介さずに接続されている点で第２の実施形態と異なる。上記の点以外においては、弾性波装置２１は第２の実施形態の弾性波装置１１と同様の構成を有する。
【００５７】
第１の電極ランド１４Ａ及び第２の電極ランド１４Ｂは、接続配線２６Ａにより第１のＩＤＴ電極３Ａの第１のバスバーに接続されている。本実施形態では、第１の電極ランド１４Ａに加えて、第２の電極ランド１４Ｂと接地電位との間の電気抵抗も小さい。よって、圧電基板の第１の辺部分付近において生じた電荷を外部により一層容易に移動させることができる。従って、圧電基板２の第１のＩＤＴ電極３Ａが設けられている部分において分極反転がより一層生じ難い。
【符号の説明】
【００５８】
１…弾性波装置
２…圧電基板
２ａ，２ｂ…第１，第２の主面
２ａ１〜２ａ４…第１〜第４の辺部分
２ｂ１…第５の辺部分
２ｃ，２ｄ…第１，第２の側面
３Ａ，３Ｂ…第１，第２のＩＤＴ電極
３Ａａ１，３Ａａ２…第１，第２のバスバー
３Ａｂ１，３Ａｂ２…第１，第２の電極指
４Ａ，４Ｂ…第１，第２の電極ランド
５Ａ，５Ｂ…バンプ
６Ａ，６Ｂ…接続配線
１１…弾性波装置
１３Ｂ…第２のＩＤＴ電極
１４Ａ，１４Ｂ…第１，第２の電極ランド
１６Ａ…接続配線
２１…弾性波装置
２６Ａ…接続配線
１０１…弾性波装置
１０４Ａ…第１の電極ランド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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