(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
内燃機関の気筒から排出される排気の流れを制御する排気制御弁において、
（ａ）排気が流れる流路（１７〜１９）、この流路（１７〜１９）の周囲に設けられた環状のシート（１１）、および前記流路（１７〜１９）の壁面で開口し、且つこの流路側の開口（２４）から奥側まで延びる軸受孔（１２）を有するハウジング（１、６、７）と、
（ｂ）前記シート（１１）に接離して前記流路（１７〜１９）を開閉する弁体（２）、およびこの弁体（２）と一体移動可能に設けられて、前記軸受孔（１２）内に往復移動可能に収容される弁軸（３）を有し、前記弁体（２）および前記弁軸（３）の軸線方向に往復移動するバルブと、
（ｃ）前記軸受孔（１２）の奥側に設置されて、前記弁軸（３）をその軸線方向に往復摺動可能に支持する筒状の軸受部材（４）と、
（ｄ）この軸受部材（４）よりも前記軸受孔（１２）の流路側に設置されて、前記弁軸（３）の周囲を充填空間（８０）を隔てて覆う中空筒状のパイプ（８１）と、
（ｅ）前記弁軸（３）の外面と前記パイプ（８１）の内面との間を塞ぐように前記充填空間（８０）内に配置されて、前記弁軸に付着した異物を捕集または捕捉するフィルタ（１６）とを備え、
前記フィルタ（１６）は、前記弁軸（３）および前記パイプ（８１）よりも線膨張係数の大きな材質からなるワイヤーメッシュを採用しており、
前記弁軸（３）は、前記パイプ（８１）と実質的同一の線膨張係数を有する第１金属に
よって形成されており、
前記フィルタ（１６）は、前記第１金属よりも低温収縮性および高温膨張性に優れる第
２金属によって形成されていることを特徴とする排気制御弁。
【請求項２】
請求項１に記載の排気制御弁において、
前記パイプ（８１）は、排気中に含まれる異物の前記軸受孔（１２）内への侵入を抑制
するカップ形状のバッフル（１５）に設けられていることを特徴とする排気制御弁。
【請求項３】
請求項２に記載の排気制御弁において、
前記バッフル（１５）は、前記パイプ（８１）の流路側端部に連結されて、前記軸受孔
（１２）の流路側の開口（２４）を覆うカバー（８２）を有していることを特徴とする排
気制御弁。
【請求項４】
請求項３に記載の排気制御弁において、
前記バッフル（１５）は、前記カバー（８２）の内外を連通するよう貫通し、且つ前記
弁軸（３）がその軸線方向に挿通可能な挿通孔（８３）を有していることを特徴とする排
気制御弁。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のうちいずれか１つに記載の排気制御弁において、
前記フィルタ（１６）は、前記弁軸（３）の外面に接触する環状部分を有し、
前記フィルタ（１６）の温度環境が高温環境下では、前記フィルタ（１６）の環状部分
が、前記弁軸（３）の外面に付着したデポジットを掻き落とすスクレーピング機能を有し
ていることを特徴とする排気制御弁。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のうちいずれか１つに記載の排気制御弁において、
前記弁軸（３）および前記パイプ（８１）は、前記フィルタ（１６）よりも線膨張係数
の小さな材質からなることを特徴とする排気制御弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、排気制御弁に関するもので、特に内燃機関（エンジン）の気筒から排出される排出ガス（排気）の一部をＥＧＲガスとして吸気管へ再循環させる排出ガス（排気）再循環装置に使用される排気再循環（ＥＧＲ）制御弁に係わる。
【背景技術】
【０００２】
［従来の技術］
従来より、自動車等の車両には、内燃機関（エンジン）の気筒から排出される排出ガス（排気）の一部をＥＧＲガスとして吸気管へ再循環させる排出ガス（排気）再循環装置（ＥＧＲシステム）が搭載されている。このＥＧＲシステムにおいては、エンジンの気筒へ導入されるＥＧＲガスの流量を制御するＥＧＲガス流量制御弁（以下ＥＧＲ制御弁）を設置している。
【０００３】
このようなＥＧＲ制御弁の一例として、図９に示したように、ハウジング１０１と、第１、第２ポペット弁体１０２および弁軸１０３の軸線方向に往復移動するダブルポペットバルブ（以下ＥＧＲバルブ）と、このＥＧＲバルブを開閉駆動する電動アクチュエータ１０４とを備えたものが公知である（例えば、特許文献１参照）。
ハウジング１０１のバルブボディには、ＥＧＲガスが流れる流路１０５、およびこの流路１０５の周囲に設けられる２つの第１、第２シート１０６が設けられている。また、ハウジング１０１の軸受部１０７には、流路１０５の流路壁面で開口し、この流路側の開口から奥側の開口まで延びる軸受孔１０８が設けられている。
【０００４】
ＥＧＲバルブは、ハウジング１０１の各第１、第２シート１０６に接離して流路１０５を開閉する２つの第１、第２ポペット弁体１０２、およびこれらの第１、第２ポペット弁体１０２と一体移動可能に連結した１本の弁軸１０３を有している。この弁軸１０３は、ハウジング１０１の軸受部１０７に筒状の軸受部材１１１を介して軸線方向に往復移動可能に支持されている。
【０００５】
また、軸受部材１１１よりも流路側の軸受孔１０８には、シール部材１１２が設けられている。また、シール部材１１２よりも流路側には、一端側が開口し、他端側が閉塞されたカップ形状（有底筒状）のホルダパイプ１１３内に金網を収納保持したフィルタ１１４が設けられている。なお、ホルダパイプ１１３の底部には、ＥＧＲバルブの弁軸１０３が往復移動可能に挿通する挿通孔が設けられている。また、ハウジング１０１には、弁軸１０３に対して、ＥＧＲバルブを閉弁（全閉）方向に付勢するリターンスプリング１１５が設置されている。
【０００６】
［従来の技術の不具合］
ところで、エンジンの運転中に、エンジンがＥＧＲ制御弁を開弁させるような運転状況になり、ＥＧＲバルブが開弁作動すると、ハウジング１０１の流路１０５を、燃焼残滓やカーボン粒子等の排気微粒子（粒子状物質：ＰＭ）および未燃燃料等の液体成分が含まれているＥＧＲガスが流れる。
このため、流路１０５を流れる高温のＥＧＲガス中に含まれるＰＭが未燃燃料等の液体成分をバインダーとして、ＥＧＲバルブ、特に第１、第２ポペット弁体１０２および弁軸１０３の表面に付着して堆積物（以下デポジット）を形成する可能性がある。
【０００７】
ここで、従来例１のＥＧＲ制御弁においては、ＥＧＲ制御弁の開弁時に、第１、第２ポペット弁体１０２が各第１、第２シート１０６から離脱して流路１０５を開く際に、ハウジング１０１の軸受部１０７およびフィルタ１１４内に位置していた弁軸１０３の中間部分が、ホルダパイプ１１３の挿入孔より流路１０５内に移動して高温のＥＧＲガスに晒され、弁軸１０３の中間部分の外周面にデポジットが付着する。
【０００８】
そして、ＥＧＲ制御弁の閉弁時に、流路１０５内に突出していた弁軸１０３の中間部分がホルダパイプ１１３およびフィルタ１１４内に戻る際に、弁軸１０３の中間部分に付着したデポジットがフィルタ１１４に捕集（捕捉）されるようになっている。
ところが、エンジンのＥＧＲ（排気）系の高温環境下でＥＧＲバルブの弁軸１０３に付着、堆積したデポジットには、高い粘着性を有する場合があり、フィルタ１１４に捕集されず、弁軸１０３にデポジットが付着した状態で、ＥＧＲバルブが閉弁作動すると、軸受部１０７の軸受孔１０８内にデポジットが侵入してしまう可能性がある。
【０００９】
そこで、従来例１のＥＧＲ制御弁のフィルタ１１４に、ＥＧＲバルブの弁軸１０３に付着したデポジットをＥＧＲバルブの往復移動（開閉）時に掻き落とすデポジット除去機能（スクレーピング機能）を付加することが考えられる。
このように、デポジット除去機能をフィルタ１１４に付加する場合には、ＥＧＲバルブの弁軸１０３とフィルタ１１４との接触力を現状のものよりも強くする必要がある。このように弁軸１０３とフィルタ１１４との接触力を強くした場合には、ＥＧＲバルブをその軸線方向へ往復移動（開閉動作）させる時に大きな摺動抵抗となり、ＥＧＲバルブの弁軸１０３とフィルタ１１４との間の摺動特性を悪化させる可能性がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】国際公開第２０１０／０１８６５０号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明の目的は、バルブの弁軸とフィルタとの接触力を強くしてフィルタによるデポジット掻き落とし効果を高めながらも、フィルタに対する弁軸の摺動抵抗を小さくしてバルブの動作不良を防止（抑制）することのできる排気制御弁を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
請求項１に記載の発明（排気制御弁）によれば、バルブの弁軸およびパイプよりも線膨張係数の大きな材質からなるワイヤーメッシュ構造（状）のフィルタを、このフィルタよりも線膨張係数の小さな材質からなる弁軸と、同じくフィルタよりも線膨張係数の小さな材質からなるパイプとの間に、バルブの弁軸の外面とパイプの内面との間の充填空間を塞ぐように配置する。また、弁軸は、パイプと実質的同一の線膨張係数を有する第１金属によって形成されており、フィルタは、第１金属よりも低温収縮性および高温膨張性に優れる第２金属によって形成されている。これにより、フィルタとバルブの弁軸およびパイプとの線膨張係数差によって使用環境が比較的高温環境下では、フィルタの熱膨張に伴いフィルタと弁軸との接触力が大きくなる。また、使用環境が比較的低温環境下では、フィルタと弁軸との接触力が小さくなる効果が得られる。
【００１３】
また、内燃機関の排気系の高温環境下では、バルブの弁軸に付着するデポジットは、高温で軟化する性質があるため、フィルタと弁軸との接触力が大きくなる効果と合わせて、デポジットが軟化する高温時のみ大きなデポジット掻き落とし効果が得られる。また、デポジットが硬化する低温時では、フィルタと弁軸との接触力が小さくなる効果が得られるため、バルブの弁軸の摺動抵抗を低減することができる。したがって、フィルタに対する弁軸の軸線方向への往復運動が良好となるため、バルブの動作不良の発生を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】ＥＧＲ制御弁のシャフト軸受部を示した断面図である（実施例１）。
【図２】センサカバーを取り外した状態のＥＧＲ制御弁を示した平面図である（実施例１）。
【図３】ＥＧＲ制御弁を示した断面図である（実施例１）。
【図４】ＥＧＲ制御弁を示した断面図である（実施例１）。
【図５】ポペットバルブアッシーと電動アクチュエータを示した斜視図である（実施例１）。
【図６】ポペットバルブアッシーと電動アクチュエータを示した斜視図である（実施例１）。
【図７】（ａ）はエンジン始動直後のようなＥＧＲ制御弁の使用環境が比較的低温時の摺動抵抗の低減効果を示した説明図で、（ｂ）はエンジン運転中のようなＥＧＲ制御弁の使用環境が比較的高温時のデポジット掻き落とし効果を示した説明図である（実施例１）。
【図８】（ａ）は閉弁時のＥＧＲバルブの周辺構造を示した断面図で、（ｂ）は開弁時のＥＧＲバルブの周辺構造を示した断面図である（実施例１）。
【図９】ＥＧＲ制御弁を示した断面図である（従来例１）。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態を、図面に基づいて詳細に説明する。
【実施例】
【００１６】
［実施例１の構成］
図１ないし図８は、本発明を適用したＥＧＲシステムに使用されるＥＧＲ制御弁（実施例１）を示したものである。
【００１７】
本実施例の内燃機関の制御装置（エンジン制御システム）は、例えば自動車等の車両に搭載された車両走行用のディーゼルエンジン等の内燃機関（エンジン）の排気管から吸気管へ排出ガス（排気）の一部であるＥＧＲガスを再循環（還流）させる排気再循環装置（内燃機関の排気装置：以下ＥＧＲシステム）を備えている。
エンジンの各気筒の吸気ポートには、インテークマニホールドを介して、エアクリーナを通過した吸入空気（新気）またはＥＧＲガスが流れる吸気通路を形成する吸気ダクト（吸気管）が接続されている。また、エンジンの各気筒の排気ポートには、エキゾーストマニホールドを介して、エンジンの各気筒に形成された燃焼室から排出された排気が流れる排気通路を形成する排気ダクト（排気管）が接続されている。
【００１８】
ＥＧＲシステムは、エンジンの排気系からエンジンの吸気系へＥＧＲガスを還流させるＥＧＲガスパイプを備えている。このＥＧＲガスパイプ内には、エキゾーストマニホールドまたは排気管内の排気通路からインテークマニホールドまたは吸気管内の吸気通路へＥＧＲガスを流入させるＥＧＲガス流路（後述する）が形成されている。また、ＥＧＲガスパイプには、ＥＧＲガス流路を流れるＥＧＲガスの流量を可変制御（調整）する排気再循環制御弁（以下ＥＧＲ制御弁）が設置されている。
ここで、ＥＧＲシステムは、エンジンの運転状況に基づいてＥＧＲ制御弁のポペットバルブ（ポペット型ＥＧＲバルブ：以下ＥＧＲバルブ）を開閉制御するＥＧＲバルブ制御装置（内燃機関のＥＧＲ制御装置）として使用される。
【００１９】
ＥＧＲ制御弁は、内部にＥＧＲガス流路が形成されるハウジング１と、このハウジング１の内部に往復移動可能に収容されるポペットバルブアッシーと、このポペットバルブアッシーをＥＧＲバルブの軸線方向に開閉駆動する電動アクチュエータとを備えている。
ポペットバルブアッシーは、ハウジング１内のＥＧＲガス流路を開閉するＥＧＲバルブ（バルブ本体２、バルブシャフト３）と、このＥＧＲバルブを閉弁方向に付勢するリターンスプリング４と、バルブシャフト３に一体移動可能に連結された断面コの字状（または断面矩形状）のスコッチヨーク５とを備えている。
【００２０】
ＥＧＲバルブは、ハウジング１のバルブボディ６の内部に往復移動可能に収容される円環状のバルブ本体２、およびハウジング１のシャフト軸受部７の内部に往復移動可能に収容されるバルブシャフト３を備えている。
バルブ本体２は、バルブボディ６に組み付けられたバルブシート１１に接離してバルブボディ６内に形成されるＥＧＲガス流路を開閉（開口面積を変更）するポペット弁体である。
バルブシャフト３は、バルブ本体２と一体移動可能に連結されて、ＥＧＲバルブの軸線方向（バルブ作動方向、往復移動方向）に真っ直ぐに延びる弁軸である。このバルブシャフト３の軸線方向の一端部（先端部）の外周には、バルブ本体２が支持固定されている。また、バルブシャフト３の軸線方向の他端部（基端部）の外周には、スコッチヨーク５が結合固定されている。
【００２１】
ハウジング１には、バルブ本体２を収容すると共に、内部にＥＧＲガス流路が形成されたバルブボディ６、およびバルブシャフト３を収容する円筒状（または角筒状）のシャフト軸受部７等が一体的に設けられている。
また、ハウジング１には、モータＭを収容保持するモータケース８、およびモータＭのの回転を２段減速して出力部材に伝達する減速機構（以下ギアトレーン）を収容するギアケース９等が一体的に設けられている。
ここで、ギアケース９は、ＥＧＲバルブ開度センサである回転角度センサ（図示せず）を搭載するセンサカバー１０との間に、電動アクチュエータ、特にギアトレーン等を収容する収容凹部（後述するギア収容室を含む）を備えている。
【００２２】
また、バルブボディ６の隔壁（仕切り部）の内周、つまりＥＧＲガス流路の括れ部分の流路壁面には、バルブ本体２が着座可能な円環状のバルブシート１１が圧入固定されている。また、シャフト軸受部７は、バルブシャフト３がその軸線方向に貫通する第１軸受孔（以下軸受孔）１２を有している。この軸受孔１２内には、バルブシャフト３をその軸線方向に往復摺動可能に支持する軸受部品が設けられている。この軸受部品は、シャフト軸受部７の内周、つまり軸受孔１２の孔壁面に保持固定されている。軸受部品としては、メタルベアリング（第１軸受部材）１３、シール部材１４、バッフル１５およびワイヤーメッシュフィルタ（以下フィルタ）１６が使用される。
なお、ハウジング１のバルブボディ６やシャフト軸受部７および軸受部品の詳細は、後述する。
【００２３】
次に、本実施例のＥＧＲ制御弁に使用されるＥＧＲバルブの詳細を図１ないし図８に基づいて簡単に説明する。
本実施例のＥＧＲ制御弁は、バルブ本体２がバルブボディ６のバルブシート１１の弁座（シートエッジ）に着座して弁孔である流路孔１８を閉鎖した全閉（閉弁）状態（図８参照）から、モータＭを通電することによりスコッチヨーク５、バルブシャフト３を介して電動アクチュエータの動力（開弁力）がバルブ本体２に加わることによって、バルブ本体２が、インレットポートからＥＧＲガスが流れ込む入口側流路である流路孔１７側、つまりＥＧＲガス（排気）の流れ方向の上流側へ向かって所定のバルブリフト量分だけ外開き（リフト）して流路孔１８を開放する外開き弁方式のポペット型ＥＧＲバルブを採用している。
【００２４】
ＥＧＲバルブは、上述したように、バルブ本体２およびバルブシャフト３によって構成されている。
バルブ本体２は、例えばステンレス鋼等の耐熱金属によって形成されている。このバルブ本体２は、バルブボディ６のバルブシート１１に接離してＥＧＲガス流路（インレットポート→流路孔１７〜１９→アウトレットポート）を閉鎖、開放するバルブヘッドである。
【００２５】
また、バルブ本体２の外周部には、バルブシート１１のシートエッジに着座可能な円錐台形状のバルブシール面（バルブフェース）が一体的に設けられている。また、バルブ本体２の中央部には、バルブシャフト３の軸線方向の先端外周に嵌合する嵌合孔が一体的に設けられている。そして、バルブ本体２は、バルブシャフト３の軸線方向の先端外周に、例えばアーク溶接（ＴＩＧ溶接、抵抗溶接）やレーザー溶接等の溶接手段を用いて溶接固定されている。
【００２６】
バルブシャフト３は、例えばバッフル１５と実質同一の線膨張係数を有するステンレス鋼等の耐熱金属（第１金属）によって形成されている。つまりバルブシャフト３は、フィルタ１６よりも線膨張係数の小さな材質からなる。
バルブシャフト３は、出力部材の回転変位に連動してＥＧＲバルブの軸線方向に往復移動するバルブステムである。また、バルブシャフト３は、ハウジング１の軸受孔１２の奥側に位置する基端側から流路孔１９内へ突出する先端側へ向かって軸線方向に真っ直ぐに延伸されている。また、バルブシャフト３は、シャフト軸受部７の軸受孔１２内に往復移動可能に嵌挿（収容）されている。
なお、バルブ本体２とバルブシャフト３とを一体部品で構成したポペット型のＥＧＲバルブを使用しても良い。
【００２７】
バルブシャフト３は、その軸線方向の両側に第１、第２突出軸部２１、２２をそれぞれ備えている。
第１、第２突出軸部２１、２２間には、シャフト軸受部７の軸受孔１２内に配置される中間軸部２３が設けられている。
第１突出軸部２１は、バルブシャフト３の軸線方向の一端側（先端側）に設けられて、軸受孔１２の流路側の開口２４から流路孔１９内へ突出し、且つ流路孔１９からバルブシート１１内の流路孔１８を通り抜けて流路孔１７内へ突出するように構成されている。
第１突出軸部２１の先端側の外周（先端外周）には、バルブ本体２を溶接により結合固定する結合軸部が設けられている。これにより、バルブ本体２とバルブシャフト３が一体移動可能に連結される。
【００２８】
第２突出軸部２２は、バルブシャフト３の軸線方向の他端側（基端側）に設けられて、軸受孔１２の奥側の開口２５およびメタルベアリング１３の摺動孔の開口からアクチュエータ収容室２６内に突出している。この第２突出軸部２２は、その基端部が、円環状のスプリングシート２７の中央部を貫通する貫通孔を通り抜けた後に、スコッチヨーク５の嵌合部（後述する）内に圧入嵌合されている。そして、第２突出軸部２２の基端部は、中間軸部２３側の第２突出軸部２２よりも外径が小さくなっている。
第２突出軸部２２の外周には、スプリングシート２７の被係止部（内周部分）を係止することが可能な円環状の段差（係止部、環状段差面）が設けられている。
なお、バルブシャフト３の第２突出軸部２２の基端部をスコッチヨーク５の嵌合部にかしめまたはアーク溶接やレーザー溶接等の結合手段を用いて結合固定しても良い。また、バルブシャフト３とスコッチヨーク５を一体部品で構成しても良い。
【００２９】
リターンスプリング４は、ハウジング１のシャフト軸受部７およびバルブシャフト３の第２突出軸部２２の周囲を螺旋状に取り囲むように設置されている。このリターンスプリング４は、バルブシャフト３に対して、ＥＧＲバルブを閉弁（全閉）方向に付勢する弾性力を発生するコイル状のコンプレッションスプリングである。
リターンスプリング４は、スプリングシート２７のスプリング座部とハウジング１の底部（シャフト軸受部７の外周側の円筒凹溝２８の底部）のスプリング座部との間に螺旋状に巻装されたコイル部を有している。
スプリングシート２７は、その内周部分が、スコッチヨーク５の嵌合部の図示下端面と第２突出軸部２２の環状段差面との間に挟持されている。これにより、スプリングシート２７は、バルブシャフト３と一体移動可能に連結（固定）される。
【００３０】
次に、本実施例の電動アクチュエータの詳細を図１ないし図８に基づいて簡単に説明する。
本実施例の電動アクチュエータは、電力の供給を受けるとＥＧＲバルブを往復駆動（開閉駆動）する回転動力（駆動トルク）を発生するモータＭと、このモータＭのモータシャフト２９の回転を２段減速して出力シャフト（後述する）に伝達するギアトレーン（減速機構）と、このギアトレーンの出力ギア（後述する）の回転往復（回動）運動をＥＧＲバルブの直線往復運動（ＥＧＲバルブの軸線方向の往復運動）に変換する変換機構（リンク機構）と、減速機構および変換機構の一部を含んで構成されて、モータＭの駆動トルクをヨーク側に出力する出力部材と、この出力部材の回転角度を検出する回転角度検出装置とを備えている。
【００３１】
ギアトレーンは、モータＭのモータシャフト２９の先端外周に固定された合成樹脂または金属製のピニオンギア（入力ギア、モータギア）３１と、このピニオンギア３１と噛み合って回転する合成樹脂または金属製の中間ギア３２と、この中間ギア３２と噛み合って回転する合成樹脂製の出力ギア（バルブギア）３３と、モータシャフト２９と並列配置された中間バルブシャフト３４と、モータシャフト２９と中間バルブシャフト３４に並列配置された出力シャフト３５とを備えている。
ここで、中間ギア３２は、中間バルブシャフト３４の外周に回転自在に嵌め合わされている。この中間ギア３２には、ピニオンギア３１と噛み合う大径ギア（中間ギア歯）３６、および出力ギア３３と噛み合う小径ギア（中間ギア歯）３７が形成されている。
【００３２】
出力部材は、モータＭの駆動トルクをスコッチヨーク５を介してＥＧＲバルブに伝えるものである。この出力部材は、モータＭの駆動トルクを受けて回転する出力ギア３３と、この出力ギア３３の回転中心軸上に設置されて、出力ギア３３と一体回転可能に連結した出力シャフト３５と、この出力シャフト３５と一体回転可能に連結した出力レバー４１と、この出力レバー４１の突出端部に保持される偏芯ピン（以下ピボットピン）４２と、このピボットピン４２の外周に回転自在に支持されるボールベアリング（以下フォロア）４３と、出力シャフト３５をその回転方向に摺動可能に支持する２連ボールベアリング（第２軸受部材）４５、４６と、これらの２連ボールベアリング４５、４６の外周に圧入固定される円筒カラー４７とを備えている。
なお、円筒カラー４７は、図３では図示が省略されている。また、円筒カラー４７を設けなくても良い。
【００３３】
また、ギアトレーンの出力ギア３３の内周部には、中空円筒状の円筒ボス５１が一体的に形成されている。また、出力ギア３３は、円筒ボス５１よりも半径方向の外側に部分円筒状（扇状）の歯形成部５２を有している。この歯形成部５２の外周には、中間ギア歯３７と噛み合う出力ギア歯５３が所定の角度分だけ扇状に形成されている。
出力ギア３３には、円筒ボス５１の一端側（バルブ側）の開口部を塞ぐように金属プレート５４がインサート成形されている。この金属プレート５４の中央部には、２面幅（出力シャフト３５の空回りを防ぐ構造、回り止め構造）を有する嵌合孔が貫通形成されている。この嵌合孔内には、出力シャフト３５の嵌合軸部５５が回り止めされた状態で嵌合固定されている。これにより、出力ギア３３と出力シャフト３５が一体回転可能に連結される。
【００３４】
出力シャフト３５は、その回転軸方向の両側に第１、第２突出軸部をそれぞれ備えている。また、第１、第２突出軸部間には、中間軸部が設けられている。
第１突出軸部には、２面幅を有する嵌合軸部５５が設けられている。なお、嵌合軸部５５が四角形状の断面を有しても良い。
第２突出軸部は、円形の断面を有している。なお、第２突出軸部に２面幅を設けても良い。
出力シャフト３５の中間軸部の外周には、２連ボールベアリング４５、４６の各内輪が圧入嵌合によって嵌合保持されている。この出力シャフト３５の中間軸部は、ハウジング１のギアケース９のシャフト軸受部（ベアリングホルダ）５６の軸受孔内に回転可能に配置される。
【００３５】
変換機構は、スコッチヨーク５、出力レバー４１、ピボットピン４２およびフォロア４３等を有している。
スコッチヨーク５は、アクチュエータ収容室２６内に収容されている。このスコッチヨーク５は、バルブシャフト３の第２突出軸部２２の外周に結合される嵌合部５７を有している。これにより、バルブシャフト３とスコッチヨーク５が一体移動可能に連結される。このスコッチヨーク５は、フォロア４３を介して、ピボットピン４２からモータＭの駆動トルクを受けてバルブシャフト３の軸線方向に往復移動する。
また、スコッチヨーク５の内部には、フォロア４３が滑動可能に挿入されるヨーク溝５８が形成されている。
【００３６】
出力レバー４１は、出力シャフト３５とピボットピン４２およびフォロア４３とを駆動連結して、モータＭの駆動トルクをピボットピン４２とフォロア４３に伝達するリンクレバーである。この出力レバー４１は、アクチュエータ収容室２６内に配置されている。
出力レバー４１の基端部には、出力シャフト３５の第２突出軸部がその軸線方向に貫通するように圧入嵌合する第１嵌合孔が設けられている。また、出力レバー４１の先端部には、第２嵌合孔がそれぞれ設けられている。なお、第２嵌合孔は、出力シャフト３５の第２突出軸部の回転中心軸から所定の距離だけ偏芯した位置に設けられている。
【００３７】
ピボットピン４２は、出力レバー４１の第２嵌合孔に打ち込まれて出力レバー４１の先端部（出力部）に圧入固定されている。このピボットピン４２は、フォロア４３と共に、スコッチヨーク５のヨーク溝５８内に挿入される。また、ピボットピン４２は、ギアケース９のシャフト軸受部の軸受孔（後述する）の開口および２連ボールベアリング４５、４６の端面からアクチュエータ収容室２６内に突出している。
【００３８】
フォロア４３は、スコッチヨーク５と共に、アクチュエータ収容室２６内に収容されている。このフォロア４３は、ピボットピン４２の外周に回転自在に支持されて、スコッチヨーク５のヨーク溝５８内に摺動（転動）可能に挿入されている。また、フォロア４３は、出力シャフト３５の第２突出軸部の回転中心軸から所定の距離だけ偏芯した位置に設けられている。また、フォロア４３は、出力レバー４１およびピボットピン４２を介して、出力シャフト３５と一体回転可能に連結されている。
なお、ハウジング１の外側に形成されるアクチュエータ収容室２６内には、リターンスプリング４、変換機構およびスプリングシート２７等の機能部品が収容されている。
【００３９】
ここで、電動アクチュエータの動力源であるモータＭは、エンジン制御ユニット（電子制御装置：以下ＥＣＵ）によって電子制御されるモータ駆動回路を介して、外部電源（バッテリ）に電気的に接続されている。
ＥＣＵには、ＣＰＵ、メモリ（ＲＯＭ、ＲＡＭおよびＥＥＰＲＯＭ等）、入力回路（入力部）、出力回路（出力部）、電源回路、タイマー回路等の機能を含んで構成される周知の構造のマイクロコンピュータが設けられている。
【００４０】
ここで、ＥＣＵは、イグニッションスイッチがオン（ＩＧ・ＯＮ）されると、先ず、エンジンの運転状況（エンジン情報）または運転条件（状態）を計算（算出）するのに必要な各種センサの出力信号を取得（入力）するように構成されている。
そして、各種センサからの出力信号（電気信号）は、Ａ／Ｄ変換回路によってＡ／Ｄ変換された後に、マイクロコンピュータの入力部に入力されるように構成されている。このマイクロコンピュータの入力部には、回転角度センサだけでなく、エアフロメータ、クランク角度センサ、アクセル開度センサ、スロットル開度センサ、吸気温センサ、水温センサおよび排出ガスセンサ（空燃比センサ、酸素濃度センサ）等が接続されている。
【００４１】
回転角度検出装置は、出力部材と一体回転可能に設置された円筒状の磁気回路部と、この磁気回路部の回転角度を測定してＥＧＲ制御弁のバルブ位置情報（バルブ開度、ストローク量）を検出する回転角度センサとを備え、磁気回路部と回転角度センサとの相対回転角度の変化を回転角度センサに磁気回路部から与えられる磁気変化によって検出する。
磁気回路部は、出力ギア３３の円筒ボス５１の内周に接着剤等により固定されている。この磁気回路部は、円筒ボス５１の直径方向に２分割された一対の部分円筒状センサヨーク６１、およびこのセンサヨーク６１の分割部間に同一方向に磁極が向いて配置された一対のセンサマグネット（磁石）６２を備えている。
なお、出力ギア３３の円筒ボス５１が合成樹脂の場合には、磁気回路部が円筒ボス５１にインサート成形されていても構わない。
【００４２】
回転角度センサは、センサカバー１０のセンサ搭載部に設置された一対のステータコアの対向部間に挟み込まれて保持されている。この回転角度センサは、半導体ホール素子の感磁面を鎖交する磁束密度に対応した出力信号（アナログ電圧信号）をＥＣＵへ向けて出力するホールＩＣを主体として構成されている。
なお、ホールＩＣの代わりに、ホール素子単体、磁気抵抗素子等の非接触式の磁気検出素子を使用しても良い。
【００４３】
次に、本実施例のハウジング１の詳細を図１ないし図８に基づいて簡単に説明する。
本実施例のハウジング１は、上述したように、バルブボディ６、シャフト軸受部７、モータケース８およびギアケース９を備えている。
バルブボディ６の上流側端面には、排気管の分岐部またはＥＧＲガスパイプの結合フランジの結合端面に複数のスクリューを用いて螺子締結により結合される鍔状の結合フランジ６３が設けられている。
また、バルブボディ６の下流側端面には、吸気管の合流部またはＥＧＲガスパイプの結合フランジの結合端面に複数のスクリューを用いて螺子締結により結合される鍔状の結合フランジ６４が設けられている。
これらの結合フランジは、排気管の分岐部または吸気管の合流部等のエンジン側（車両側）の固定部材に取り付けられる結合端面を有している。これにより、ＥＧＲ制御弁がエンジン側（車両側）の固定部材に固定される。
【００４４】
バルブボディ６の内部には、ＥＧＲガス流路（流路孔１７〜１９）が形成されている。また、バルブボディ６には、ＥＧＲガス流路を、バルブシート１１よりも排気の流れ方向の上流側に位置する第１流路（入口側流路：流路孔１７）と、バルブシート１１よりも排気の流れ方向の下流側に位置する第２流路（出口側流路：流路孔１９）とに区画する円環状（円筒状）の隔壁（仕切り部）が形成されている。
【００４５】
バルブボディ６の隔壁の内周部分には、断面矩形状のバルブシート１１の外周が圧入固定されている。このバルブシート１１のシートエッジには、ＥＧＲバルブが着座可能な円環状の弁座が設けられている。また、バルブシート１１の内部には、ＥＧＲガスが通り抜ける流路孔（弁孔）１８が形成されている。
第１流路（流路孔１７）は、バルブボディ６の上流端面で開口したインレットポート（流路入口）からＥＧＲガスが流れ込む入口流路である。
流路孔１８は、バルブシート１１の中央部を貫通するように設けられて、流路孔１７と流路孔１９とを連通する弁孔（連通孔）である。
第２流路（流路孔１９）は、流路孔１８から流れ込んだＥＧＲガスを、バルブボディ６の下流端面で開口したアウトレットポートへ導く出口流路である。
【００４６】
シャフト軸受部７は、メタルベアリング１３の外環部を保持する円筒状の第１軸受ホルダである。このシャフト軸受部７は、メタルベアリング１３の周囲を円周方向に取り囲むように配置されている。
シャフト軸受部７の内部には、流路孔１９の流路壁面で開口し、この流路側の開口２４から奥側の開口２５までバルブシャフト３の軸線方向に真っ直ぐに延びる軸受孔１２が形成されている。この軸受孔１２の内部には、バルブシャフト３がその軸線方向に往復移動可能に嵌挿されている。
また、軸受孔１２の軸線方向の一端側（流路孔側、流路側）には、流路孔１９の流路壁面で開口した流路側の開口２４が形成されている。
また、軸受孔１２の軸線方向の他端側（流路孔側に対して反対側、奥側）には、アクチュエータ収容室２６の壁面で開口した奥側の開口２５が形成されている。
【００４７】
シャフト軸受部７は、メタルベアリング１３の周囲を円周方向に取り囲むように円筒状の形成されている。このシャフト軸受部７には、メタルベアリング１３の圧入固定位置を規制する第１規制部としての機能を有する円環状の第１段差、およびシール部材１４の圧入固定位置を規制する第２規制部としての機能を有する円環状の第２段差が設けられている。
なお、軸受孔１２には、メタルベアリング１３の外環部を圧入嵌合する軸受圧入孔、シール部材１４の外環部を圧入嵌合するシール圧入孔、およびバッフル１５の外周を保持する円筒状の収容孔（パイプ圧入孔）が設けられている。
【００４８】
モータケース８の内部には、モータＭを収容する凹状のモータ収容室５９が形成されている。このモータケース８の開口部は、モータＭのフロントブラケット６５により塞がれている。
ギアケース９の内部には、ギアトレーンを収容するギア収容室６０が形成されている。このギアケース９の開口部は、センサカバー１０により塞がれている。また、ギアケース９の開口周縁には、センサカバー１０の結合端面に螺子締結により結合される鍔状の結合フランジ６６が設けられている。
【００４９】
ギアケース９には、２連ボールベアリング４５、４６および円筒カラー４７の外環部を保持する円筒状のシャフト軸受部５６が一体的に形成されている。このシャフト軸受部５６は、２連ボールベアリング４５、４６および円筒カラー４７の周囲を円周方向に取り囲むように配置されている。
シャフト軸受部５６は、円筒カラー４７の外環部または２連ボールベアリング４５、４６の外輪を保持する第２軸受ホルダである。このシャフト軸受部５６の内部には、出力シャフト３５が回転可能に嵌挿される第２軸受孔（以下軸受孔）が設けられている。この軸受孔は、円筒カラー４７の外環部が圧入固定される圧入孔を有している。また、ハウジング１のシャフト軸受部７、５６間に形成されるアクチュエータ収容室２６は、バルブボディ６の結合部またはギアケース９の結合部に複数のスクリューを用いて螺子締結により結合される合成樹脂または金属製のケースカバー６７により塞がれている。
【００５０】
センサカバー１０は、合成樹脂によって形成されている。このセンサカバー１０には、ギアケース９の結合フランジ６４の結合端面に複数のスクリュー６８を用いて螺子締結により結合される鍔状の結合フランジ６９が設けられている。
また、センサカバー１０には、モータＭのフロントブラケット６５から外側へ向かって突出する一対のブラシターミナルと一対のモータターミナルとの電気接続を行う内部接続用コネクタ（図示せず）と、一対の第１、第２モータターミナルおよび複数のセンサターミナルと外部回路（ＥＣＵやバッテリ）との電気接続を行う外部接続用コネクタ（図示せず）とが設けられている。
【００５１】
次に、本実施例のメタルベアリング１３の詳細を図１ないし図８に基づいて簡単に説明する。
メタルベアリング１３は、焼結材で形成され、内部に多数の気孔を有し、その内部気孔に潤滑油が含浸された円筒状の焼結含油軸受（円筒滑り軸受、メタルブッシュ）であって、その摺動孔の孔壁面（内周面）に多数の内部気孔の開口（表面気孔）が形成されている。このメタルベアリング１３は、その摺動孔内に嵌挿されるバルブシャフト３の往方向（開弁方向）または復方向（閉弁方向）の直線運動による負圧によって、その内部気孔に浸透している潤滑油がバルブシャフト３との摺動面（内周面）の開口から滲み出すことで、メタルベアリング１３の内周面とバルブシャフト３の外周面との摺動部分の油膜を形成し、この油膜によってバルブシャフト３が往復移動可能に支持される。
【００５２】
メタルベアリング１３は、バルブシャフト３をその移動方向に摺動可能に支持している。このメタルベアリング１３の内部には、バルブシャフト３の外周面をその移動方向に摺動可能に支持する摺動孔が貫通形成されている。また、バルブシャフト３の外周面とメタルベアリング１３の内周面との間には、バルブシャフト３の円滑な往復移動のための摺動クリアランスが設けられている。
また、メタルベアリング１３は、シャフト軸受部７の軸受圧入孔の壁面に圧入固定される円筒状の外環部を有している。この外環部の外周部分は、シャフト軸受部７の軸受圧入孔に気密的に圧入固定される圧入固定部として使用される。また、外環部は、シャフト軸受部７の第１段差に当接することによってメタルベアリング１３の圧入固定位置が規制される。
【００５３】
次に、本実施例のシール部材１４の詳細を図１ないし図８に基づいて簡単に説明する。  シール部材１４は、例えばＬ字状の金属補強環７１およびＩ字状の金属補強環７２によって補強された密閉シールであって、バルブシャフト３のラジアル方向およびスラスト方向に弾性変形が可能な合成ゴム製のシールゴム（弾性変形部）７３を備えている。
シール部材１４は、バルブシャフト３の周囲を円周方向に取り囲むように、メタルベアリング１３よりも軸受孔１２の流路側であるシール圧入孔内に収容されて、シャフト軸受部７の軸受孔１２の孔壁面とバルブシャフト３の外周面との間を気密的に密閉する気密シール部材である。
【００５４】
金属補強環７１、７２は、シャフト軸受部７の軸受孔１２のシール圧入孔の壁面に圧入固定される円筒状の外環部を有している。この外環部の外周部分は、軸受孔１２のシール圧入孔に液密的に圧入固定される圧入固定部として使用される。また、外環部は、シャフト軸受部７の第２段差に当接することによってシール部材１４の圧入固定位置が規制される。
シールゴム７３は、良好な摺動性を有するフッ素ゴム、ニトリルゴムまたはアクリルゴム等の合成ゴムによって構成されている。
シールゴム７３は、バルブボディ６のシャフト軸受部７の内周とバルブシャフト３の中間軸部２３の外周との間に形成される環状隙間を液密的または気密的に密閉シールするガスケット（ダストシール）機能を備えている。
【００５５】
シールゴム７３は、バルブシャフト３の中間軸部２３の周囲を円周方向に取り囲むように、バルブボディ６のシャフト軸受部７の内部に設置されている。
シールゴム７３は、例えばＬ字状に形成されて、バルブシャフト３の中間軸部２３の周囲を円周方向に取り囲む円環部と、この円環部の内周からバルブシャフト３側に斜めに突出した円環状のシールリップを有している。このシールリップは、バルブシャフト３の中間軸部２３の外周面（摺動面）に接触するものの、シャフト摺動は可能となっている。
【００５６】
次に、本実施例のバッフル１５の詳細を図１ないし図８に基づいて簡単に説明する。
バッフル１５は、一端側が開口し、他端側が閉塞されたカップ形状（有底筒状）を呈し、流路孔１９を流れるＥＧＲガス中に含まれる異物（ＰＭやデポジットを含む）が軸受孔１２内に侵入するのを抑制するカップバッフルである。このバッフル１５は、例えばバルブシャフト３と実質同一の線膨張係数を有する薄肉ステンレス鋼等の第１金属によって形成されている。つまりバッフル１５は、フィルタ１６よりも線膨張係数の小さな材質からなる。
【００５７】
また、バッフル１５は、バルブシャフト３の中間軸部２３の外周面とシャフト軸受部７の内周面（軸受孔１２の孔壁面）との間に設置されている。このバッフル１５は、メタルベアリング１３およびシール部材１４よりも軸受孔１２の流路側に保持されて、軸受孔１２内から軸受孔１２の流路側の開口２４を通って流路孔１９内へ一部が突出するように設置されている。
バッフル１５は、バルブシャフト３の中間軸部２３の周囲を円筒状（または角筒状）の充填空間８０を隔てて覆う中空筒状のホルダパイプ８１、および軸受孔１２の流路側の開口２４を覆う円環状（または角環状）のカバー８２を有している。
【００５８】
ホルダパイプ８１は、所定の板厚を有し、バルブシャフト３の中間軸部２３の外周面に沿うように軸線方向に延伸されている。このホルダパイプ８１は、シャフト軸受部７の軸受孔１２内に保持されるパイプ基端部、および軸受孔１２の流路側の開口２４から流路孔１９内へ突出するパイプ突出部等を有している。
パイプ基端部は、シール部材１４の金属補強環７１、７２に接触するように、しかもシャフト軸受部７の軸受孔１２のパイプ圧入孔の壁面に圧入固定される円筒状の外環部を有している。
パイプ突出部は、流路孔１９を流れる高温のＥＧＲガスに直接晒されるように流路孔１９内に露出しており、ＥＧＲガス中に含まれる異物が軸受孔１２内に侵入するのを抑制するバッフルパイプとしての機能を備えている。
【００５９】
カバー８２は、所定の板厚を有し、バルブシャフト３の中間軸部２３の周囲を周方向に取り囲むように円環形状（または角環形状）に形成されている。このカバー８２の中央部には、その板厚方向に挿通孔８３が貫通形成されている。また、カバー８２は、流路孔１９を流れる高温のＥＧＲガスに直接晒されるように流路孔１９内に露出しており、ＥＧＲガス中に含まれる異物が軸受孔１２内に侵入するのを抑制するバッフルプレートとしての機能を備えている。
挿通孔８３は、カバー８２の内外を連通するようにカバー８２を貫通し、且つバルブシャフト３の中間軸部２３がその軸線方向に挿通するように配されている。
バルブシャフト３の中間軸部２３とカバー８２との間には、バルブシャフト３がその軸線方向に往復移動可能となるように所定のクリアランスが形成されている。
【００６０】
次に、本実施例のフィルタ１６の詳細を図１ないし図８に基づいて簡単に説明する。
フィルタ１６は、バルブシャフト３およびバッフル１５よりも線膨張係数の大きな材質からなるワイヤーメッシュ構造を備えている。このフィルタ１６は、第１金属よりも低温収縮性および高温膨張性に優れるアルミニウム合金等の第２金属製の金属細線（ワイヤー、細い金属線）をメッシュ状に編んだワイヤーメッシュを充填空間８０内に充填配置したものである。
フィルタ１６は、バルブシャフト３の中間軸部２３の外周面とバッフル１５のホルダパイプ８１の内周面との間を塞ぐように充填空間８０内に充填配置されている。
なお、充填空間８０は、シール部材１４の金属補強環７１、７２およびシールゴム７３の端面とカバー８２の内面との間の軸方向空間、およびバルブシャフト３の中間軸部２３の外周面とバッフル１５のホルダパイプ８１の内周面との径方向空間を有している。
【００６１】
［実施例１の作用］
次に、本実施例のＥＧＲシステムに使用されるＥＧＲ制御弁の作動を図１ないし図８に基づいて簡単に説明する。
ここで、図８（ａ）は、バルブ本体２がバルブシート１１に着座して流路孔１７〜１９を閉鎖する閉弁（全閉）状態を示した図である。
また、図８（ｂ）は、バルブ本体２がバルブシート１１から所定のバルブリフト量分だけ流路孔１７側に外開き（リフト）して流路孔１７〜１９を開放する開弁状態を示した図である。
【００６２】
本実施例のＥＧＲバルブを往復駆動するモータＭは、ＥＣＵによって通電制御されるように構成されている。
ここで、ＥＣＵは、イグニッションスイッチがオン（ＩＧ・ＯＮ）されると、先ず、エンジンの運転状況（エンジン情報）または運転条件（状態）を計算（算出）するのに必要な各種センサの出力信号を取得（入力）し、エンジンの運転状況または運転条件およびＲＯＭに格納されたプログラムに基づいて、電動アクチュエータのモータＭを電子制御するように構成されている。
【００６３】
ここで、モータＭへの電力供給が成されない運転状況（エンジンの運転状況）では、リターンスプリング４の付勢力によって、バルブ本体２がバルブシート１１のシートエッジ（弁座）に着座することにより、バルブシート１１の流路孔１８を閉鎖する閉弁（全閉）状態となる（図８（ａ）参照）。
したがって、バルブシート１１の中央部に貫通形成される連通孔（ＥＧＲ制御弁の弁孔）である流路孔１８が閉鎖されることで、バルブボディ６内に形成されるＥＧＲガス流路（流路孔１７〜１９）が閉鎖される。これにより、ＥＧＲガスが、エアクリーナを通過した清浄な吸気（新気）に混入しない（ＥＧＲカット）。
【００６４】
次に、ＥＧＲ制御弁を開弁させるような運転状況（エンジンの運転状況）になると、ＥＧＲバルブがその運転状況に対応した所定のバルブ開度（バルブリフト量またはストローク量）に開弁するように開弁作動させる。
そして、モータＭの内部導体（モータ巻線部、電機子コイル等）に電力（モータ駆動電流またはモータ印加電圧）が供給され、モータＭの内部導体に開弁方向（ＥＧＲバルブの開き側）のモータ駆動電流が流れる。よって、モータＭのモータシャフト２９が開弁方向に回転させる。これにより、モータＭの駆動トルクが、ピニオンギア３１、中間ギア３２および出力ギア３３に伝達される。
そして、出力ギア３３と一体回転可能に連結した出力シャフト３５が、出力ギア３３の回転に伴って所定の回転角度分だけ開弁方向に回転する。
【００６５】
そして、出力シャフト３５から駆動トルクが伝達された出力レバー４１が、出力シャフト３５の回転に伴って所定の回転角度（出力ギア３３の作動角度と等しい回転角度）分だけ開弁方向に回転する。
ここで、出力レバー４１の突出端部、つまり出力シャフト３５の回転中心軸から所定の径方向距離分だけ偏芯した位置にピボットピン４２が取り付けられている。そして、ピボットピン４２に支持されたフォロア４３は、出力シャフト３５および出力レバー４１が回転すると、フォロア４３の外周部（外輪）がスコッチヨーク５のヨーク溝５８の溝側面と摺動接触することにより、出力シャフト３５および出力レバー４１の回転運動がバルブシャフト３の直線（往復）運動に変換される。
【００６６】
そして、リターンスプリング４の付勢力に抗して、バルブシャフト３およびスコッチヨーク５がポペット弁体開き側（ＥＧＲバルブの開き側）へ直線移動する。このとき、シャフト軸受部７のメタルベアリング１３によってバルブシャフト３がその移動方向にガイドされているので、バルブシャフト３もポペット弁体開き側へ直線移動する。
そして、バルブシャフト３の直線移動に伴って、バルブシャフト３に一体移動可能に連結されたバルブ本体２が、バルブシート１１より離脱して、エンジンの運転状況に対応した所定のバルブリフト量分だけ流路孔１７側へ向かって外開きすることにより、バルブシート１１の流路孔１８を開放する開弁状態となる（図８（ｂ）参照）。
【００６７】
したがって、バルブシート１１の流路孔１８が開放されることで、バルブボディ６内に形成されるＥＧＲガス流路（流路孔１７〜１９）が開放される。
このため、エンジンの各気筒より流出した排気の一部であるＥＧＲガスが、排気管内に形成される排気通路の分岐部から、ＥＧＲガス流路を経由して、吸気管内に形成される吸気通路の合流部へ再循環される。これにより、エンジンの各気筒に供給される吸気にＥＧＲガスが混入される。
これによって、排気中に含まれる有害物質（例えばＮＯｘ等）が低減される。
【００６８】
このとき、バルブシャフト３の中間軸部２３は、ＥＧＲバルブの閉弁時には、図７および図８（ａ）に示したように、シャフト軸受部７の軸受孔１２、シール部材１４またはバッフル１５内に位置していた部位（図８にメッシュで示した部分）Ａが、図７および図８（ｂ）に示したように、バルブ本体２のストローク分だけ、バッフル１５の挿通孔８３から流路孔１９内に突出する。このため、バルブ本体２、バルブシャフト３の第１突出軸部２１および流路孔１９内に突出した中間軸部２３は、流路孔１７〜１９内を流れるＥＧＲガスに晒されることになり、上述したように、バルブ本体２、バルブシャフト３の第１突出軸部２１および中間軸部２３の外周面にデポジットが付着する。
【００６９】
また、ＥＧＲ制御弁を全閉（閉弁）させるような運転状況（エンジンの運転状況）になると、モータＭの内部導体に電力（モータ駆動電流またはモータ印加電圧）が供給され、モータＭの内部導体に閉弁方向（ＥＧＲバルブの閉じ側）のモータ駆動電流が流れる。よって、モータＭのモータシャフト２９が閉弁方向に回転する。
これにより、バルブ本体２およびバルブシャフト３がリターンスプリング４の付勢力をアシストして閉じ側へ閉弁駆動される。
したがって、バルブシート１１の流路孔１８が閉鎖されることで、バルブボディ６内に形成されるＥＧＲガス流路（流路孔１７〜１９）が閉鎖される。これにより、ＥＧＲガスが、エアクリーナを通過した清浄な吸気（新気）に混入しない（ＥＧＲカット）。
【００７０】
このとき、ＥＧＲバルブの開閉弁時に流路孔１９内に突出していた中間軸部２３の部位Ａは、図７および図８（ａ）に示したように、シャフト軸受部７の軸受孔１２、シール部材１４またはバッフル１５内に戻される。
そして、バッフル１５の挿通孔８３を通り抜ける際に、バルブシャフト３の中間軸部２３とバッフル１５のカバー８２との間のクリアランスよりも中間軸部２３の外周面から突出した状態で、中間軸部２３の外周面に付着していたデポジットは、バッフル１５のカバー８２によって削り落とされる。
そして、残ったデポジットは、充填空間８０内に充填配置されたフィルタ１６に捕集または捕捉される。
【００７１】
ところで、本実施例のＥＧＲ制御弁においては、フィルタ１６の線膨張係数が、バルブシャフト３およびバッフル１５の線膨張係数よりも大きいため、環境温度が比較的高温時には、つまり高温環境下では、バルブシャフト３の中間軸部２３の外周面に対するフィルタ１６の接触力が大きくなる（図７（ｂ）の白抜き矢印参照）。すなわち、エンジン運転中のようなＥＧＲ制御弁の使用環境が比較的高温時には、バルブシャフト３の外周面に対するフィルタ１６の環状部分の大きな接触力によりデポジット掻き落とし効果が得られる。このとき、バルブシャフト３に付着したデポジットが軟化するため、フィルタ１６の環状部分によるデポジットの掻き落とし効果が大きくなる。
【００７２】
したがって、シャフト軸受部７に保持されるバッフル１５の充填空間８０内に充填配置されるフィルタ１６は、バルブシャフト３の中間軸部２３の外周面に接触する環状部分が、バルブシャフト３の中間軸部２３の外周面に付着したデポジットを掻き落とすスクレーピング機能を備えることになる。特に、エンジンのＥＧＲ系の高温環境下でバルブシャフト３の中間軸部２３に付着した高い粘着性を有するデポジットであっても、フィルタ１６の環状部分でバルブシャフト３の中間軸部２３の外周面から掻き落とすことができる。
【００７３】
一方、寒冷時等のエンジン始動直後のようなＥＧＲ制御弁の使用環境が比較的低温時には、つまり低温環境下では、バルブシャフト３の外周面に対するフィルタ１６の環状部分の接触力が小さい（図７（ａ）の白抜き矢印参照）。このとき、バルブシャフト３に付着したデポジットが硬化（堆積固化）するが、フィルタ１６の環状部分の接触力の低下によりフィルタ１６の環状部分に対するバルブシャフト３の摺動抵抗が小さくなる。
これにより、本実施例のＥＧＲ制御弁においては、環境温度が低温である程、フィルタ１６とバルブシャフト３との間の摺動抵抗が小さくなる摺動特性を備えることになる。
【００７４】
［実施例１の効果］
以上のように、本実施例のＥＧＲ制御弁においては、フィルタ１６よりも線膨張係数の小さな材質からなるバルブシャフト３の外周面とバッフル１５のホルダパイプ８１の内周面との間に、バルブシャフト３およびバッフル１５よりも線膨張係数の大きな材質からなるワイヤーメッシュ構造のフィルタ１６を配置している。特にワイヤーメッシュ構造のフィルタ１６を充填空間８０内に充填配置している。
【００７５】
バルブシャフト３は、バッフル１５と実質的同一の線膨張係数を有する第１金属（例えばステンレス鋼等）によって形成されている。
一方、フィルタ１６は、第１金属よりも低温収縮性および高温膨張性に優れる第２金属（例えばアルミニウム合金等）によって形成されている。すなわち、フィルタ１６は、バルブシャフト３およびバッフル１５よりも線膨張係数の大きな材質からなるワイヤーメッシュ構造を備えている。
【００７６】
これによって、デポジットが流動する比較的高温時は、バルブシャフト３およびバッフル１５とフィルタ１６との線膨張係数差によって、フィルタ１６の熱膨張に伴いフィルタ１６とバルブシャフト３との接触力が大きくなる作用効果が得られる。すなわち、エンジンのＥＧＲ系の高温環境（高温のＥＧＲガスにＥＧＲバルブ晒されるような温度環境）下では、バルブシャフト３に付着するデポジットは、高温で軟化する性質があるため、フィルタ１６によるデポジット捕集効果と合わせて、デポジットが軟化する比較的高温時にフィルタ１６の環状部分の大きな接触力によりデポジット掻き落とし効果が得られる。
【００７７】
一方、デポジットが硬化する比較的低温時では、バルブシャフト３およびバッフル１５とフィルタ１６との線膨張係数差によってフィルタ１６とバルブシャフト３との接触力が小さくなる作用効果が得られる。すなわち、エンジン始動直後のように低温環境下では、フィルタ１６とバルブシャフト３との接触力が小さくなるので、バルブシャフト３の摺動抵抗を低減することができる。
したがって、バルブシャフト３とフィルタ１６との間の摺動性を向上することができるので、フィルタ１６に対するバルブシャフト３の軸線方向への往復運動が良好となる。これにより、高い粘着性を有するデポジットをバルブシャフト３の中間軸部２３の外周面から掻き落とすデポジット除去機能をフィルタ１６に付加した場合でも、ＥＧＲバルブの動作不良の発生を抑制することができる。
【００７８】
［変形例］
本実施例では、ギアトレーンの出力ギア３３または出力シャフト３５の回転往復（回動）運動をＥＧＲバルブの直線往復運動（バルブシャフト３の軸線方向の往復運動）に変換する運動方向変換機構として、スコッチヨーク５、出力レバー４１、ピボットピン４２およびフォロア４３等を含む変換機構を採用しているが、運動方向変換機構として、カムまたはスクリューを含む変換機構を採用しても良い。
本実施例では、ＥＧＲバルブをその軸線方向に開閉駆動するアクチュエータとして、
モータＭ、ギアトレーンおよび変換機構を有する電動アクチュエータを採用しているが、電磁（ソレノイド）アクチュエータや流体圧作動アクチュエータを採用しても良い。
【００７９】
本実施例では、本発明の排気制御弁を、内燃機関の排気循環装置（ＥＧＲシステム）に使用されるＥＧＲ制御弁に適用しているが、本発明の排気制御弁を、内燃機関のＥＧＲ系に組み込まれるＥＧＲクーラバイパス弁等に適用しても良い。また、内燃機関の排気系に組み込まれるウェイストゲート弁、スクロール流路切替弁、排気流量制御弁、排気圧力制御弁、排気流路切替弁または排気絞り弁等に適用しても良い。
また、ＥＧＲ制御弁や排気制御弁の弁体として、ポペット型のＥＧＲバルブを採用しているが、バルブとシャフトとの間に変換機構を介することにより、バタフライバルブ、フラップバルブ、プレートバルブ、ロータリバルブ等の回転型バルブを採用しても良い。また、ダブルポペットバルブを採用しても良い。
また、シャフト（弁軸）としてバルブシャフト３の代わりに、軸線方向に延びる作動ロッドを用いても良い。
【００８０】
また、出力シャフト３５の第２突出軸部（出力部）２２に出力レバー４１を組み付ける前に、予め出力レバー４１、ピボットピン４２およびフォロア４３を組み立てて、これらをユニット（サブアッシー）化したフォロアサブアッセンブリを構成し、フォロアサブアッセンブリを出力シャフト３５の第２突出軸部（出力部）２２に組み付けるようにしても良い。
また、ボールベアリングよりなるフォロア４３の代わりに、ピボットピン（支軸）４２の外周に回転自在に支持されるフォロアローラを使用しても良い。
【００８１】
本実施例では、ＥＧＲ（排気）制御弁のバルブとして、ポペット弁体（バルブ本体２）がハウジング１のバルブシート１１の弁座に着座している閉弁（全閉）状態から、バルブ本体２がバルブシート１１よりも排気の流れ方向の上流側に形成される第１流路（流路孔１７）へ向かって所定のバルブリフト量分だけ外開き（リフト）する外開き弁方式のポペット型ＥＧＲバルブを採用しているが、ＥＧＲ（排気）制御弁のバルブとして、ポペット弁体がハウジング１のバルブシート１１の弁座に着座している閉弁（全閉）状態から、ポペット弁体がバルブシート１１よりも排気の流れ方向の下流側に形成される第２流路（流路孔１９）へ向かって所定のバルブリフト量分だけ内開き（リフト）する内開き弁方式のポペット型ＥＧＲバルブを採用しても良い。
【００８２】
本実施例では、ハウジング１のシャフト軸受部７の軸受孔として、バルブシート１１よりも排気の流れ方向の下流側（例えば内燃機関（エンジン）の吸気管内の吸気通路側）に位置する第２流路（流路孔１９）の流路壁面で開口し、且つこの流路側の開口２４から奥側へ延びる軸受孔１２を採用しているが、ハウジング１のシャフト軸受部７の軸受孔として、バルブシート１１よりも排気の流れ方向の上流側（例えば内燃機関（エンジン）の排気管内の排気通路側）に位置する第１流路（流路孔１７）の流路壁面で開口し、且つこの流路側の開口から奥側へ延びる軸受孔を採用しても良い。
この場合、ＥＧＲバルブの弁軸（バルブシャフト３）の第１突出軸部２１は、軸受孔の開口から第１流路（流路孔１７）へ突出し、且つ第１流路（流路孔１７）から弁孔（流路孔１８）を通り抜けて第２流路（流路孔１９）内へ突出するように構成される。
【００８３】
本実施例では、ポペット弁体（バルブ本体２）の外周に、バルブシート１１のシートエッジ（弁座）に着座可能な円錐台形状のバルブシール面を設けたが、ポペット弁体の外周に、バルブシート１１の開口周縁部（弁座）に着座可能な円環状のバルブシール面を設けても良い。
また、例えば自動車等の車両に搭載される内燃機関（エンジン）として、多気筒ディーゼルエンジンの代わりに、多気筒ガソリンエンジンを用いても良い。また、単気筒エンジンに適用しても良い。
【符号の説明】
【００８４】
１  ハウジング
２  バルブ本体（ポペット弁体）
３  バルブシャフト（弁軸）
７  シャフト軸受部
１１  バルブシート
１２  軸受孔
１３  メタルベアリング（軸受部材）
１４  シール部材
１５  バッフル
１６  フィルタ
【図１】
0006256223.tif 000002
【図２】
0006256223.tif 000003
【図３】
0006256223.tif 000004
【図４】
0006256223.tif 000005
【図５】
0006256223.tif 000006
【図６】
0006256223.tif 000007
【図７】
0006256223.tif 000008
【図８】
0006256223.tif 000009
【図９】
0006256223.tif 000010