(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
滅菌チェンバと、
前記滅菌チェンバの一側に連結される第１真空ポンプと、
前記滅菌チェンバから流入される蒸気が前記第１真空ポンプを経て排気される際に前記蒸気に含まれる油を捕集するためのオイルミストトラップ部と、
前記第１真空ポンプと前記オイルミストトラップ部に連結される第２真空ポンプを含み、
前記第１真空ポンプは油真空ポンプであって、
前記第２真空ポンプは油を使用しない乾式真空ポンプであることを特徴とする滅菌装置の真空排気システム。
【請求項２】
前記滅菌チェンバの他側に連結される滅菌剤水溶液供給装置をさらに含む請求項１に記載の滅菌装置の真空排気システム。
【請求項３】
前記第２真空ポンプは前記第１真空ポンプの作動油が一定の圧力の真空度に露出するようにし、前記一定の圧力は前記作動油に捕集された水分が沸騰点以下になる圧力であることを特徴とする請求項１に記載の滅菌装置の真空排気システム。
【請求項４】
前記一定の圧力は５０ないし１５０ｍｂの圧力であることを特徴とする請求項３に記載の滅菌装置の真空排気システム。
【請求項５】
前記第２真空ポンプは前記第１真空ポンプと前記オイルミストトラップ部に直列連結されることを特徴とする請求項１に記載の滅菌装置の真空排気システム。
【請求項６】
前記第２真空ポンプと前記第１真空ポンプとの間に第１経路開閉バルブ部を含む請求項５に記載の滅菌装置の真空排気システム。
【請求項７】
前記第１真空ポンプと前記オイルミストトラップ部との間に第２経路開閉バルブ部を含む請求項６に記載の滅菌装置の真空排気システム。
【請求項８】
前記第１真空ポンプと前記オイルミストトラップ部との間に位置する第１経路開閉バルブ部を含み、
前記第１真空ポンプと前記オイルミストトラップ部との間で、前記第２真空ポンプ及び前記第１経路開閉バルブ部は並列連結されることを特徴とする請求項１に記載の滅菌装置の真空排気システム。
【請求項９】
前記第１経路開閉バルブ部はチェックバルブであることを特徴とする請求項８に記載の滅菌装置の真空排気システム。
【請求項１０】
滅菌チェンバと、
前記滅菌チェンバの一側に連結される第１真空ポンプと、
前記滅菌チェンバから流入される蒸気が前記第１真空ポンプを経て排気される際に前記蒸気に含まれる油を捕集するためのオイルミストトラップ部と、
前記第１真空ポンプと前記オイルミストトラップ部に連結される第２真空ポンプを含む滅菌装置の真空廃棄システムの真空排気方法であって、
第１真空ポンプをｏｎさせて真空チェンバを排気する段階と、
第２真空ポンプをｏｎさせて前記第１真空ポンプの作動油を真空状態にする段階と、
前記第１真空ポンプの作動油に捕集された水蒸気を気化させる段階を含む滅菌装置の真空排気システムの真空排気方法。
【請求項１１】
前記第１真空ポンプの作動油に捕集された水蒸気を気化させる段階の後、
前記第１真空ポンプはＯｆｆさせて前記第２真空ポンプのｏｎ状態を維持する段階、および前記第２真空ポンプをＯｆｆさせる段階をさらに含む請求項１０に記載の滅菌装置の真空排気システムの真空排気方法。
【請求項１２】
前記第１真空ポンプの作動油に捕集された水蒸気を気化させる段階の後、
前記第２真空ポンプをＯｆｆさせる段階を含む請求項１０に記載の滅菌装置の真空排気システムの真空排気方法。
【請求項１３】
前記第１真空ポンプをｏｎさせて真空チェンバを排気する段階の後、
前記第１真空ポンプをＯｆｆさせて真空チェンバの排気を終了する段階をさらに含む請求項１０に記載の滅菌装置の真空排気システムの真空排気方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は滅菌装置の真空排気システムに関し、より詳細には真空ポンプ油に水分が捕集されることを防止するための滅菌装置の真空排気システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
医療器具は通常高い圧力下で飽和された水蒸気を利用する高圧蒸気滅菌法を利用したり、熱に弱い器具や材料に損傷を与えないエチレンオキサイドのような化学物質を利用するエチレンオキサイドガス滅菌法などによって滅菌されている。
【０００３】
しかし、高圧蒸気滅菌器は１２０度以上の高温で滅菌するため、最近開発されている合成樹脂で造られた医療器具は変形が生じ、スチールで造られた医療器具は繊細な刃が鈍くなり本来の寿命より寿命が多く減る。特に、最新手術技術の発達につれ、増加している高価の医療機器、器具及び装置は熱や湿気に敏感であるため、滅菌再処理過程で損傷され得るため、高圧蒸気滅菌法は適していない滅菌方法であり得る。
【０００４】
このような機器損傷を最小化できるエチレンオキサイドガス滅菌器は低温で滅菌が可能であるが、被滅菌物にエチレンオキサイドが残留したりこれによる反応生成物によって発癌及び毒性物質が生成され得るため、滅菌後概ね１２時間以上の喚起時間が必要である。また、エチレンオキサイドガスはそれ自体が爆発の危険性が高くかつ突然変異を起こす遺伝的毒性物質として作用し得るという報告があり、発癌物質として規定されているため、その使用に多くの注意を要する。
【０００５】
反面、過酸化水素蒸気を使用した滅菌法は４０〜５０度の温度で３０〜６０分内の短い滅菌時間と人体や環境に無害であるように滅菌後の大気に排出される物質が水と酸素であるため、高圧蒸気滅菌器の短所とエチレンオキサイドガス滅菌器の多様な短所を補完できる。
【０００６】
この際、このような液体過酸化水素蒸気を利用した滅菌法は基本的に水蒸気が存在し、これは真空排気される過程で真空ポンプを経由する。
【０００７】
一般的には真空ポンプを経由する水蒸気の一部は持続的に気化したり空気中に溶解されて排出されるが、完全に排出されず、真空ポンプの油に捕集されて蓄積される。
【０００８】
また、滅菌剤水溶液の水分を除去するなどの過程が滅菌周期に含まれる場合には真空ポンプ油に水分が蓄積される速度はより速くなる。
【０００９】
このような場合、すなわち、水蒸気が水分の形態で真空ポンプ油に持続的に蓄積され、その量が過多になると、真空ポンプの内部の表面が腐食されたり、真空排気能力の低下をもたらす。
【００１０】
また、真空ポンプ油に水分が過多に含まれる場合、排気中のオイルミストトラップ（Ｏｉｌ  ｍｉｓｔ  ｔｒａｐ）などに十分に捕集されず、装備を使用できる空間的な制約が発生する。
【００１１】
また、真空ポンプ油に捕集される水蒸気は過酸化水素水から蒸発された水蒸気だけでなく、洗浄後に充分に乾燥されていない滅菌対象物または高湿度環境で表面に水分が吸着された滅菌対象物などから流入される水蒸気も真空ポンプに水分が捕集されて蓄積されることを加速させる。
【００１２】
一方、油を使用しない乾式真空ポンプの場合は真空排気性能が油真空ポンプに比べて落ち、高価の高真空排気性能を有する乾式真空ポンプを使用する場合は排気量が不足して高用量の容器を真空排気する用途としては適しない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明が解決しようとする課題は、本発明は前記のような問題点を解決するために開発されたものであって、真空ポンプ油に水分が捕集されることを防止するための滅菌装置の真空排気システムを提供することにその目的がある。
【００１４】
本発明の目的は、以上で言及した目的に制限されず、言及されていないまた他の目的は次の記載から当業者に明確に理解できるであろう。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
前記指摘した問題点を解決するために本発明は、滅菌チェンバと、前記滅菌チェンバの一側に連結される第１真空ポンプと、前記滅菌チェンバから流入される蒸気が前記第１真空ポンプを経て排気されるためのオイルミストトラップ部と、前記第１真空ポンプと前記オイルミストトラップ部に連結される第２真空ポンプを含む滅菌装置の真空排気システムを提供する。
【００１６】
また、本発明は前記滅菌チェンバの他側に連結される滅菌剤水溶液供給装置をさらに含む滅菌装置の真空排気システムを提供する。
【００１７】
また、本発明は前記第１真空ポンプは油真空ポンプであることを特徴とする滅菌装置の真空排気システムを提供する。
【００１８】
また、本発明は前記第２真空ポンプは油を使用しない乾式真空ポンプであることを特徴とする滅菌装置の真空排気システムを提供する。
【００１９】
また、本発明は前記第２真空ポンプは前記第１真空ポンプの作動油が一定の圧力の真空度に露出するようにし、前記一定の圧力は前記作動油に捕集された水分が沸騰点以下になる圧力であることを特徴とする滅菌装置の真空排気システムを提供する。
【００２０】
また、本発明は前記第１真空ポンプと前記オイルミストトラップ部との間に位置する第１経路開閉バルブ部を含み、前記第１真空ポンプと前記オイルミストトラップ部との間で、前記第２真空ポンプ及び前記第１経路開閉バルブ部は並列連結することを特徴とする滅菌装置の真空排気システムを提供する。
【００２１】
また、本発明は前記第１経路開閉バルブ部はチェックバルブであることを特徴とする滅菌装置の真空排気システムを提供する。
【００２２】
また、本発明は第１真空ポンプをｏｎさせて真空チェンバを排気する段階と、第２真空ポンプをｏｎさせて前記第１真空ポンプの作動油を真空状態にする段階と、第１真空ポンプの作動油に捕集された水蒸気を気化させる段階を含む滅菌装置の真空排気システムの真空排気方法を提供する。
【００２３】
また、本発明は前記第１真空ポンプの作動油に捕集された水蒸気を気化させる段階の後、前記第１真空ポンプはＯｆｆさせて前記第２真空ポンプのｏｎ状態を維持する段階と、前記第２真空ポンプをＯｆｆさせる段階をさらに含む滅菌装置の真空排気システムの真空排気方法を提供する。
【００２４】
また、本発明は前記第１真空ポンプの作動油に捕集された水蒸気を気化させる段階の後、前記第２真空ポンプをＯｆｆさせる段階を含む滅菌装置の真空排気システムの真空排気方法を提供する。
【００２５】
また、本発明は前記第１真空ポンプをｏｎさせて真空チェンバを排気する段階の後、前記第１真空ポンプをＯｆｆさせて真空チェンバの排気を終了する段階をさらに含む滅菌装置の真空排気システムの真空排気方法を提供する。
【発明の効果】
【００２６】
前記した本発明によれば、前記第１真空ポンプと前記オイルミストトラップ（Ｏｉｌ  Ｍｉｓｔ  Ｔｒａｐ）部に連結される第２真空ポンプを含み、前記第２真空ポンプをｏｎさせて前記第１真空ポンプの作動油を真空状態にすることによって、前記第１真空ポンプに液体状態の水を蒸発させるための一定の圧力を提供するようになり、これにより、前記第１真空ポンプの作動油に捕集された水蒸気を気化させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の第１実施例による滅菌装置の真空排気システムを示す概略的な斜視図である。
【図２】本発明の第１実施例による滅菌装置の真空排気システムの真空排気方法を説明するためのフローチャートである。
【図３】本発明の第１実施例による滅菌装置の真空排気システムの第１適用例を示す概略的な構成図である。
【図４】本発明の第１実施例による滅菌装置の真空排気システムの第１適用例の滅菌方法を示す順序図である。
【図５】本発明の第１実施例による滅菌装置の真空排気システムの第２適用例を示す概略的な構成図である。
【図６】本発明の第２実施例による滅菌装置の真空排気システムを示す概略的な斜視図である。
【図７】本発明の第３実施例による滅菌装置の真空排気システムを示す概略的な斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
本発明の利点及び特徴、これらを達成する方法は添付する図面と共に詳細に後述する実施例において明確になるであろう。しかし、本発明は、以下で開示する実施例に限定されるものではなく、互いに異なる多様な形態で実現されるものであり、本実施例は、単に本発明の開示を完全にし、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者に発明の範疇を完全に知らせるために提供されるものであり、本発明は、請求項の範囲によってのみ定義される。
【００２９】
以下に添付した図面を参照して本発明の実施のための具体的な内容について詳細に説明する。図面とは関係なく同一参照符号は同一構成要素を指称し、「および／または」は、言及されたアイテムのそれぞれおよび一つ以上のすべての組合せを含む。
【００３０】
第１、第２などが多様な構成要素を叙述するために使用されるが、これら構成要素はこれらの用語によって制限されないことはいうまでもない。これらの用語は、単に一つ構成要素を他の構成要素と区別するために使用するものである。したがって、以下で言及される第１構成要素は本発明の技術的思想内で第２構成要素であり得ることは勿論である。
【００３１】
本明細書で使用された用語は実施例を説明するためであり、本発明を制限しようとするものではない。本明細書で、単数型は文句で特に言及しない限り複数型も含む。明細書で使用される「含む（ｃｏｍｐｒｉｓｅｓ）」および／または「含む（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」は言及された構成要素の他に一つ以上の他の構成要素の存在または追加を排除しない。
【００３２】
他に定義されなければ、本明細書で使用されるすべての用語（技術および科学的用語を含む）は、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者が共通に理解できる意味として使用され得る。また一般に使用される辞典に定義されている用語は明白に特別に定義されていない限り理想的にまたは過度に解釈しない。
【００３３】
空間的に相対的な用語である「下（ｂｅｌｏｗ）」、「下（ｂｅｎｅａｔｈ）」、「下部（ｌｏｗｅｒ）」、「上（ａｂｏｖｅ）」、「上部（ｕｐｐｅｒ）」などは図面に図示するように一つの構成要素と異なる構成要素との相関関係を容易に記述するために使用され得る。空間的に相対的な用語は、図面に図示する方向に加え、使用時または動作時の構成要素の互いに異なる方向を含む用語として理解しなければならない。例えば、図面に図示する構成要素をひっくり返す場合、他の構成要素の「下（ｂｅｌｏｗ）」または「下（ｂｅｎｅａｔｈ）」と記述された構成要素は他の構成要素の「上（ａｂｏｖｅ）」に置かれる。したがって、例示的な用語である「下」は下と上の方向をすべて含み得る。構成要素は他の方向にも配向し得、これにより空間的に相対的な用語は配向により解釈される。
【００３４】
以下、添付した図面を参照して本発明の好ましい実施例について詳細に説明する。
【００３５】
図１は本発明の第１実施例による滅菌装置の真空排気システムを示す概略的な斜視図である。
【００３６】
図１を参照すると、本発明の第１実施例による滅菌装置の真空排気システムは滅菌チェンバ１０を含む。
【００３７】
前記滅菌チェンバ１０は滅菌しようとする医療器具や手術用道具のような被滅菌物を入れる容器をいう。このとき、前記滅菌チェンバ１０の一側には前記被滅菌物の出入のためのドアを含み得る。
【００３８】
また、前記滅菌チェンバ１０の一側に連結される滅菌剤水溶液供給装置４０を含み得、前記滅菌剤水溶液供給装置４０から供給された滅菌剤により前記滅菌チェンバ１０で被滅菌物を滅菌し得る。
【００３９】
このとき、前記滅菌剤水溶液供給装置４０と滅菌チェンバ１０との間に滅菌剤水溶液供給調節バルブ４１を含み、適量の滅菌剤水溶液を供給し得る。
【００４０】
一方、本発明で前記滅菌剤は過酸化水素であり得、前記滅菌剤水溶液は過酸化水素水であり得る。
【００４１】
また、本発明の第１実施例による滅菌装置の真空排気システムは前記滅菌チェンバ１０の他側に連結される第１真空ポンプ２０を含み、前記第１真空ポンプ２０は前記滅菌チェンバ１０の内部の気体を抜いて真空状態を形成し得る。
【００４２】
本発明において前記第１真空ポンプ２０は油真空ポンプであることを特徴とし、油を使用しない乾式真空ポンプの場合は真空排気性能が油真空ポンプに比べて落ち、高価の高真空排気性能を有する乾式真空ポンプを使用する場合は排気量が不足して高用量の容器を真空排気する用途としては適しない。したがって本発明で前記第１真空ポンプ２０は油真空ポンプであることが好ましい。
【００４３】
このとき、前記滅菌チェンバ１０と前記第１真空ポンプ２０との間には前記第１真空ポンプ２０の動作を制御できる第１真空バルブ２１が連結され得る。
【００４４】
一方、前記滅菌チェンバ１０と前記第１真空ポンプ２０との間には触媒反応部２２を含み得る。
【００４５】
前記滅菌チェンバ１０から排出され、前記第１真空ポンプ２０に流入される蒸気は有害な状態で排出されるガスを含むが、前記触媒反応部２２はこのような有害性分を酸化させることによって、無害処理された排気ガスを生成し得る。
【００４６】
ただし、本発明で前記触媒反応部２２の有無を制限するものではない。
【００４７】
引続き、図１を参照すると、本発明の第１実施例による滅菌装置の真空排気システムはオイルミストトラップ（Ｏｉｌ  Ｍｉｓｔ  Ｔｒａｐ）部５０を含む。
【００４８】
前記オイルミストトラップ（Ｏｉｌ  Ｍｉｓｔ  Ｔｒａｐ）部５０は前記滅菌チェンバ１０から流入される蒸気が前記第１真空ポンプ２０を経て最終的に排気されることにおいて、蒸気に含まれる油を捕集するための部分であり、前記オイルミストトラップ（Ｏｉｌ  Ｍｉｓｔ  Ｔｒａｐ）部５０を介して油が捕集され、蒸気は通過して排気され得る。
【００４９】
前述した第１真空ポンプ２０とオイルミストトラップ（Ｏｉｌ  Ｍｉｓｔ  Ｔｒａｐ）部５０の場合、滅菌装置で一般的に使用されている構成に該当する。
【００５０】
このとき、このような滅菌剤水溶液を利用した滅菌法は基本的に水蒸気が存在し、これは真空排気される過程で真空ポンプを経由する。
【００５１】
一般的には真空ポンプを経由する水蒸気の一部は持続的に気化するか、空気中に溶解されて排出されるが、完全に排出されず、第１真空ポンプの油に捕集されて蓄積される。
【００５２】
また、後述する本発明の適用例に示すように、滅菌剤水溶液の水分を除去するなどの過程が滅菌周期に含まれる場合は第１真空ポンプ油に水分が蓄積される速度はさらに速くなる。
【００５３】
このような場合、すなわち、水蒸気が水分の形態で第１真空ポンプ油に持続的に蓄積され、その量が過多になると、第１真空ポンプの内部表面が腐食されたり、第１真空排気能力の低下をもたらす。
【００５４】
また、第１真空ポンプ油に水分が過多に含まれる場合、排気中のオイルミストトラップ（Ｏｉｌ  Ｍｉｓｔ  Ｔｒａｐ）部５０に油が十分に捕集されず、油蒸気が許容される空間に装備を設置しなければならないので、装備を使用できる空間的な制約が生じる。
【００５５】
したがって、本発明では第１真空ポンプとして油真空ポンプを使用する場合の水蒸気の一部が油に捕集されて蓄積されることを防止するため、次の第２真空ポンプを導入しようとする。
【００５６】
より具体的に図１を参照すると、本発明の第１実施例による滅菌装置の真空排気システムは前記第１真空ポンプ２０と前記オイルミストトラップ（Ｏｉｌ  Ｍｉｓｔ  Ｔｒａｐ）部５０に連結される第２真空ポンプ３０を含む。
【００５７】
前記第２真空ポンプ３０は油を使用しない乾式真空ポンプであることを特徴とし、前記第２真空ポンプが油真空ポンプである場合、依然として第２真空ポンプの油に水蒸気が捕集されて蓄積される問題点が発生する。したがって、本発明では前記第２真空ポンプ３０は油を使用しない乾式真空ポンプであることが好ましい。
【００５８】
前記第２真空ポンプ３０は前記第１真空ポンプ２０の作動油が一定の圧力の真空度に露出するようにする構成であり、前記一定の圧力は前記作動油に捕集された水分が沸騰点以下になる圧力を意味する。
【００５９】
すなわち、前述したように、第１真空ポンプを経由する水蒸気の一部は持続的に気化するか、空気中に溶解されて排出されるが、完全に排出されず、その一部が第１真空ポンプの油に液体状態で捕集されて蓄積される。
【００６０】
したがって、本発明では前記第１真空ポンプの油に捕集される液体状態の水を気化させるため、前記第１真空ポンプ２０に前記液体状態の水を蒸発させるための一定の真空度を提供し、前記第２真空ポンプ３０は前記第１真空ポンプ２０の油に捕集された液体状態の水を気化させるための一定の真空度を提供する。
【００６１】
前記一定の圧力は作動油に捕集された水分が沸騰点以下になる圧力であることは前述した通りであり、より具体的には、５０ないし１５０ｍｂの圧力であり得る。
【００６２】
したがって、本発明で前記第２真空ポンプ３０は５０ないし１５０ｍｂの圧力を提供できる乾式真空ポンプであり得る。
【００６３】
引続き、前記第１真空ポンプ２０と前記オイルミストトラップ（Ｏｉｌ  Ｍｉｓｔ  Ｔｒａｐ）部５０に連結される第２真空ポンプ３０の連結関係について説明すると次の通りである。
【００６４】
図１を参照すると、前記第２真空ポンプ３０は前記第１真空ポンプ２０と前記オイルミストトラップ（Ｏｉｌ  Ｍｉｓｔ  Ｔｒａｐ）部５０に直列連結される。
【００６５】
このとき、前記第２真空ポンプ３０と前記第１真空ポンプ２０との間には第１経路開閉バルブ部３１を含み、すなわち、前記第１経路開閉バルブ部３１を介して前記第１真空ポンプ２０から流入された水蒸気が第２真空ポンプ３０を経由して最終的に前記オイルミストトラップ部５０を通過し得る。
【００６６】
また、前記第１真空ポンプ２０と前記オイルミストトラップ部５０との間には第２経路開閉バルブ部３２を含み、前記第２経路開閉バルブ部３２を介して前記第１真空ポンプ２０から流入された水蒸気が第２真空ポンプ３０を経由するか、または経由せず、前記オイルミストトラップ部５０を通過し得る。
【００６７】
すなわち、前記第１経路開閉バルブ部３１及び第２経路開閉バルブ部３２の開閉の可否によって、第１真空ポンプ２０から流入された水蒸気が第２真空ポンプ３０を経由するか、または経由しなくても良い。
【００６８】
一方、図１では前記第１経路開閉バルブ部３１及び第２経路開閉バルブ部３２の２個のバルブ部を使用する場合を示しているが、これとは違って、チェックバルブの一つのバルブにより、前記第１経路及び前記第２経路のｏｎ／Ｏｆｆを制御することができる。これについては後述する第３実施例でより具体的に説明する。
【００６９】
以下では、本発明の第１実施例による滅菌装置の真空排気システムの真空排気方法について説明する。
【００７０】
図２は本発明の第１実施例による滅菌装置の真空排気システムの真空排気方法を説明するためのフローチャートである。
【００７１】
図２を参照すると、本発明の第１実施例による滅菌装置の真空排気システムの真空排気方法は、先ず、第１真空ポンプをｏｎさせて真空チェンバを排気する段階を含む（Ｓ１１）。
【００７２】
後述するように、前記第１真空ポンプは滅菌過程でｏｎ／Ｏｆｆを繰り返すことができ、前記第１真空ポンプがｏｎ状態では真空チェンバを排気する段階に該当する。
【００７３】
この場合、前記第１真空ポンプの排気部の真空度は大気圧以上であり得、滅菌チェンバの真空度は１０〜１５０ｍｂであり得る。
【００７４】
一方、Ｓ１１段階では第１真空バルブ２１はｏｐｅｎ状態であり、第１経路開閉バルブ部３１はｃｌｏｓｅ状態、第２経路開閉バルブ部３２はｏｐｅｎ状態であり得る。
【００７５】
次に、第２真空ポンプをｏｎさせて前記第１真空ポンプの作動油を真空状態にする段階を含む（Ｓ１２）。
【００７６】
前述したように、前記第１真空ポンプを経由する水蒸気の一部は持続的に気化するか、または空気中に溶解されて排出されるが、完全に排出されず、その一部が第１真空ポンプの油に液体状態で捕集されて蓄積される。
【００７７】
したがって、本発明では前記第１真空ポンプの油に捕集される液体状態の水を気化させるため、前記第１真空ポンプ２０に前記液体状態の水を蒸発させるための一定の圧力を提供し、前記第２真空ポンプ３０は前記第１真空ポンプ２０の油に捕集された液体状態の水を気化させるための一定の圧力を提供する。
【００７８】
この場合、前記第１真空ポンプの排気部の真空度は大気圧〜５０ｍｂであり得、滅菌チェンバの真空度は１０〜１５０ｍｂであり得る。
【００７９】
一方、Ｓ１２段階では第１真空バルブ２１はｏｐｅｎ状態であり、第１経路開閉バルブ部３１はｏｐｅｎ状態、第２経路開閉バルブ部３２はｃｌｏｓｅ状態であり得る。
【００８０】
このとき、Ｓ１２段階の第２真空ポンプをｏｎさせて前記第１真空ポンプの作動油を真空状態にする段階は、前記第１真空ポンプがｏｎ状態であるか、またはｏｆｆ状態であり得る。
【００８１】
すなわち、第１真空ポンプがｏｎ状態、すなわち、第１真空ポンプを介して真空チェンバを排気することを進行する状態で、Ｓ１２段階の第２真空ポンプをｏｎさせて前記第１真空ポンプの作動油を真空状態にし得る。
【００８２】
また、第１真空ポンプがｏｆｆ状態、第１真空ポンプを介して真空チェンバを排気することが終了した状態で、Ｓ１２段階の第２真空ポンプをｏｎさせて前記第１真空ポンプの作動油を真空状態にし得る。
【００８３】
したがって、本発明では、Ｓ１１段階の前記第１真空ポンプをｏｎさせて真空チェンバを排気する段階を行った後、別途、前記第１真空ポンプをＯｆｆさせて真空チェンバの排気を終了する段階をさらに含み得る。
【００８４】
すなわち、前記第１真空ポンプをＯｆｆさせて真空チェンバの排気を終了する段階の後、２真空ポンプをｏｎさせて前記第１真空ポンプの作動油を真空状態にする段階を行うことができる。
【００８５】
次に、前記第１真空ポンプの作動油に捕集された水蒸気を気化させる段階を含む（Ｓ１３）。
【００８６】
Ｓ１３段階は前述したＳ１２段階と同時に行うことができ、すなわち、第２真空ポンプをｏｎさせて前記第１真空ポンプの作動油を真空状態にすることによって、前記第１真空ポンプ２０に前記液体状態の水を蒸発させるための一定の圧力を提供し、これにより、前記第１真空ポンプの作動油に捕集された水蒸気を気化させ得る。
【００８７】
すなわち、前記第１真空ポンプの作動油に捕集された水蒸気が気化することによって、前記作動油に液体状態の水が捕集されず、最終的に、オイルミストトラップ部５０を経由して外部に排出され得る。
【００８８】
この場合、前記第１真空ポンプの排気部の真空度は５０〜１５０ｍｂであり得、滅菌チェンバの真空度は０．１〜２０ｍｂであり得る。
【００８９】
一方、Ｓ１３段階では第１真空バルブ２１はｏｐｅｎ状態であり、第１経路開閉バルブ部３１はｏｐｅｎ状態、第２経路開閉バルブ部３２はｃｌｏｓｅ状態であり得る。
【００９０】
次に、前記第１真空ポンプはＯｆｆさせて前記第２真空ポンプのｏｎ状態を維持する段階を含む（Ｓ１４）。
【００９１】
すなわち、Ｓ１４段階では第１真空ポンプはＯｆｆとなり、前記滅菌チェンバの排気は終了したが、前記第１真空ポンプの作動油に捕集された液体状態の水を継続して気化させる段階であり得る。
【００９２】
この場合、前記第１真空ポンプの排気部の真空度は５０〜１５０ｍｂであり得、滅菌チェンバの真空度は０．５〜１ｍｂであり得る。
【００９３】
このとき、Ｓ１４段階では第１真空バルブ２１はｃｌｏｓｅ状態であり、第１経路開閉バルブ部３１はｏｐｅｎ状態、第２経路開閉バルブ部３２はｃｌｏｓｅ状態であり得る。
【００９４】
一方、前記Ｓ１４段階の場合、真空排気時間が充分であるため、水蒸気を含む気体がチェンバから排出される速度が遅い場合には通常は省略し得る。
【００９５】
ただし、真空排気時間が短く、かつ第２真空ポンプの排気速度が遅い場合、Ｓ１４段階を追加して行うことができる。したがって、本発明で前記Ｓ１４段階は必須ではない。
【００９６】
次に、前記第２真空ポンプをＯｆｆさせることによって本発明の第１実施例による滅菌装置の真空排気システムの真空排気を完了し得る（Ｓ１５）。
【００９７】
以上のように、本発明では前記第１真空ポンプ２０と前記オイルミストトラップ（Ｏｉｌ  Ｍｉｓｔ  Ｔｒａｐ）部５０に連結される第２真空ポンプ３０を含み、前記第２真空ポンプをｏｎさせて前記第１真空ポンプの作動油を真空状態にすることによって、前記第１真空ポンプ２０に前記液体状態の水を蒸発させるための一定の圧力を提供し、これにより、前記第１真空ポンプの作動油に捕集された水蒸気を気化させ得る。
【００９８】
［発明の実施のための形態］
以下では本発明の第１実施例による滅菌装置の真空排気システムの適用例について説明する。
【００９９】
図３は本発明の第１実施例による滅菌装置の真空排気システムの第１適用例を示す概略的な構成図である。
【０１００】
ただし、本発明で前記真空排気システムは前述した内容と同様であるため、具体的な説明は省略し、以下では第１適用例の滅菌装置について詳細に説明する。
【０１０１】
図３を参照すると、本発明の第１実施例による滅菌装置の真空排気システムの第１適用例１００は滅菌チェンバ１１０を含む。
【０１０２】
前記滅菌チェンバ１１０は滅菌しようとする医療器具や手術用道具のような被滅菌物を入れる容器をいう。このとき、前記滅菌チェンバ１１０の一側には前記被滅菌物の出入のためのドアを含み得る。
【０１０３】
また、前記滅菌チェンバ１１０の一側に連結される第１真空ポンプ２０を含み、前記第１真空ポンプ２０は前記滅菌チェンバ１１０内部の気体を抜いて真空状態を形成させ得る。このとき、前記滅菌チェンバ１１０と前記第１真空ポンプ２０との間には前記真空ポンプ１２０の動作を制御できる第１真空バルブ２１が連結されている。これは前述した通りであるため、以下具体的な説明は省略する。
【０１０４】
引続き図３を参照すると、本発明の第１実施例による滅菌装置の真空排気システムの第１適用例１００は前記滅菌チェンバ１１０の他の一側に連結され、前記滅菌チェンバ１１０に過酸化水素蒸気を供給するための気化器１３０（または、蒸発器ともいう）及び前記気化器１３０に過酸化水素を供給するための過酸化水素供給装置１５０を含む。
【０１０５】
このとき、前記滅菌チェンバ１１０と前記気化器１３０との間に気化バルブ１３１を含み得る。
【０１０６】
また、本発明の第１実施例による滅菌装置の真空排気システムの第１適用例１００は一側は前記気化器１３０と連結され、他側は前記滅菌チェンバ１１０と連結され、前記気化器１３０に供給された過酸化水素を濃縮させるための収集器１４０（または、収集気化器ともいう）を含む。
【０１０７】
このとき、前記滅菌チェンバ１１０と前記収集器１４０との間には気化バルブ１３１を含み得る。
【０１０８】
また、前記滅菌チェンバ１１０と前記収集器１４０の間には収集バルブ１４１を含み得る。
【０１０９】
すなわち、前記滅菌チェンバ１１０と前記収集器１４０との間には気化バルブ１３１と収集バルブ１４１が並列連結され得る。
【０１１０】
一方、前述したように、前記滅菌チェンバ１１０と前記気化器１３０との間には気化バルブ１３１を含み得、すなわち、前記気化バルブ１３１の一側は滅菌チェンバ１１０と連結され、他側は気化器１３０及び収集器１４０と並列連結され得る。
【０１１１】
引続き図３を参照すると、本発明の第１実施例による滅菌装置の真空排気システムの第１適用例１００は、前記収集器１４０と前記気化バルブ１３１を連結する第１連結配管１４２及び前記気化バルブ１３１と前記滅菌チェンバ１１０を連結する第２連結配管１３３を含み得る。
【０１１２】
また、前記収集器１４０と前記収集バルブ１４１を連結する第３連結配管１４３及び前記収集バルブ１４１と前記滅菌チェンバ１１０を連結する第４連結配管１４４を含み得る。
【０１１３】
このとき、図面では前記第４連結配管１４４が前記第２連結配管１３３と連結され、滅菌チェンバ１１０と収集器１４０との間で気化バルブ１３１と収集バルブ１４１が並列連結する場合を示しているが、これとは違って、前記第４連結配管１４４は前記滅菌チェンバ１１０と直接連結され、滅菌チェンバ１１０と収集器１４０との間で気化バルブ１３１と収集バルブ１４１が並列連結され得る。
【０１１４】
また、前記気化器１３０と前記気化バルブ１３１を連結する第５連結配管１３２を含み得、このとき、図面では前記第５連結配管１３２が前記第１連結配管１４２と連結され、気化バルブ１３１が気化器１３０及び収集器１４０と並列連結する場合を示しているが、これとは違って、前記第５連結配管１３２が前記気化バルブ１３１と直接連結され、気化バルブ１３１が気化器１３０及び収集器１４０と並列連結され得る。
【０１１５】
このとき、前記気化バルブ１３１及び前記収集バルブ１４１はｏｐｅｎ／ｃｌｏｓｅ動作によって前記第１連結配管１４２ないし前記第５連結配管１３２の流体の流れを制御することができ、また、前記気化バルブ１３１及び前記収集バルブ１４１は別途の制御部によってｏｐｅｎ／ｃｌｏｓｅ動作を制御することができる。
【０１１６】
また、図面に示すように、収集器１４０と気化バルブ１３１を連結する第１連結配管１４２及び気化バルブ１３１と滅菌チェンバ１１０を連結する第２連結配管１３３は他の連結配管、すなわち、第３連結配管１４３ないし第５連結配管１３２より内径が大きくてもよく、例えば、第３連結配管１４３ないし第５連結配管１３２が１／４ｉｎｃｈ配管である場合、前記第１連結配管１４２及び第２連結配管１３３は１ｉｎｃｈ配管であり得る。これについては後述する。
【０１１７】
一方、図面には示していないが、前記滅菌チェンバ１１０、気化器１３０及び収集器１４０の温度を制御するための温度制御手段を含み得、前記温度制御手段はヒーターであり得、これは当業界において自明であるため、これに関する詳細な説明は省略する。
【０１１８】
また、前記収集器１４０の場合、温度制御手段として冷却手段をさらに含み得、前記冷却手段は冷却水や熱電素子を利用した直接冷却または熱交換器の送風による空冷式など適切な手段を使用し得る。
【０１１９】
以下では、本発明の第１実施例による滅菌装置の真空排気システムの第１適用例を利用した滅菌方法について説明明する。
【０１２０】
図４は本発明の第１実施例による滅菌装置の真空排気システムの第１適用例の滅菌方法を示す順序図である。
【０１２１】
図４を参照すると、本発明の第１実施例による滅菌装置の真空排気システムの第１適用例の滅菌方法は滅菌チェンバ１１０（または、殺菌チェンバともいう）及び気化器１３０を真空排気する段階を含む（Ｓ１１０）。
【０１２２】
前記滅菌チェンバ１１０及び前記気化器１３０を真空排気する段階は、前記第１真空ポンプ２０を作動（ｏｎ状態）させて前記第１真空バルブ２１をｏｐｅｎさせることによって真空排気し得る。
【０１２３】
一方、Ｓ１１０段階、すなわち、滅菌チェンバ及び気化器を真空排気する段階は後述するＳ１６０段階まで持続され得、滅菌チェンバが所定の設定圧力に到達し、水分が除去された過酸化水素液体が収集器に収集が完了すると本段階は完了し得る。
【０１２４】
また、前記気化器１３０を真空排気するため、前記滅菌チェンバ１１０と前記気化器１３０との間の気化バルブ１３１、または前記滅菌チェンバ１１０と前記収集器１４０の間の収集バルブ１４１はｏｐｅｎ状態であり、真空排気中の滅菌チェンバと連通して大気圧以下の圧力になるようにし、次の段階で閉じられる。
【０１２５】
一方、前記滅菌チェンバ１１０及び前記気化器１３０を真空排気する段階と同時に、前記滅菌チェンバ及び前記気化器を前述した温度制御手段によって設定された温度に維持し得る。
【０１２６】
次に、第１温度及び第１圧力の気化器１３０に第１濃度の過酸化水素水を投入する段階を含む（Ｓ１２０）。
【０１２７】
前記過酸化水素水を投入させることは第１濃度の過酸化水素水を貯蔵する過酸化水素供給装置１５０を介して投入され得、一方、図３に示していないが、前記気化器１３０及び前記過酸化水素供給装置１５０との間に過酸化水素水供給調節バルブ（図示せず）を含み、適量の過酸化水素水を供給し得る。
【０１２８】
このとき、前記過酸化水素水の第１濃度は６０重量％以下であり得る。
【０１２９】
前述したように、過酸化水素溶液、すなわち、過酸化水素水を取り扱うことにおいて過酸化水素水の濃度が６０重量％以下に制限されており、それ以上の高濃度の過酸化水素を滅菌剤として使用することは現実的に難しい。
【０１３０】
すなわち、本発明で前記過酸化水素水の第１濃度は取り扱い可能な過酸化水素水の濃度を示したものであり、本発明の趣旨を理解することにおいて重要な意味を持たない。
【０１３１】
また、前記第１温度は６０ないし７０℃であり得、前記第１圧力は８００ｍｂ（ミリバール）ないし大気圧であり得る。
【０１３２】
このとき、Ｓ１２０段階では第１濃度の過酸化水素水が前記気化器１３０に投入されるあいだ、前記気化バルブ１３１及び前記収集バルブ１４１はｃｌｏｓｅ状態であり得、ただし、供給装置によってｏｐｅｎ状態であり得る。
【０１３３】
一方、Ｓ１２０段階で前記滅菌チェンバ１１０の圧力は６００ｍｂないし大気圧であり、温度は４５ないし５５℃であり得、また、前記収集器１４０の圧力は８００ｍｂないし大気圧であり、温度は３８ないし４２℃であり得る。
【０１３４】
このとき、本発明で前記第１温度は前記滅菌チェンバの温度より高いことを特徴とする。
【０１３５】
前記第１温度の場合、過酸化水素水から水蒸気をさらに多く気化させる過程で気化器の温度に該当し、水蒸気の気化過程は非常に強い吸熱反応が起きて気化速度を非常に強く抑制する。
【０１３６】
このとき、気化速度を高めるためには気化器の圧力を低くし、真空度を高める方法もあるが、過酸化水素の気化率も高くなり得るため、過酸化水素の消尽が増加する短所があり、また温度が低い状態では気化に必要な熱量が円滑に供給されにくい。したがって、第１温度は少なくとも滅菌チェンバの温度より高いことが好ましい。
【０１３７】
次に、前記第１濃度の過酸化水素水を気化させて第２濃度の過酸化水素水を形成する段階を含む（Ｓ１３０）。
【０１３８】
すなわち、前記気化器１３０に投入された第１濃度の過酸化水素水が気化（すなわち、水分除去）され、第２濃度の過酸化水素水が形成される。
【０１３９】
前記過酸化水素水の第２濃度は７５重量％ないし８５重量％であり得、Ｓ１３０段階は６０重量％以下の過酸化水素水中の水分を気化させることによって、７５重量％ないし８５重量％濃度の過酸化水素水を形成する過酸化水素水の第１濃縮段階であり得る。
【０１４０】
一般的には、同じ温度と圧力で、水は過酸化水素より蒸気圧が高いためより迅速に蒸発され、水の分子量は過酸化水素より低いため水が過酸化水素より迅速に気象に拡散される。
【０１４１】
したがって、同じ温度及び圧力条件において水（すなわち、水分）は過酸化水素より迅速に蒸発して拡散されるため、過酸化水素水での水は過酸化水素より先に蒸発／拡散されるため、第２濃度の過酸化水素水が形成され得る。
【０１４２】
このとき、蒸発された水は滅菌チェンバ１１０を経由して第１真空ポンプを介して真空排気される。したがって、Ｓ１３０段階で前記第１真空ポンプ２０を作動（ｏｎ状態）させ、前記第１真空バルブ２１及び気化バルブ１３１はｏｐｅｎ状態であり得る。
【０１４３】
一方、Ｓ１３０段階で、前記気化器１３０の温度は気化過程の吸熱反応によって一時的に温度が低くなり、５５ないし６５℃の範囲にあり、圧力は３０ないし８００ｍｂ（ミリバール）であり得る。
【０１４４】
また、蒸発された水が滅菌チェンバ１１０を経由して第１真空ポンプを介して真空排気されるあいだ、前記滅菌チェンバ１１０の圧力は１０ないし６００ｍｂの範囲であり、温度は４５ないし５５℃であり得、また、前記収集器１４０の圧力は２０ないし５００ｍｂの範囲であり、温度は３５ないし４０℃であり得る。
【０１４５】
Ｓ１３０段階が行われながら、チェンバの真空度が１０ｍｂ〜１５０ｍｂになる段階からは排気量は減るが、排気される気体の水蒸気及び過酸化水素蒸気の比率が酸素、窒素などの一般大気より高くなる段階であり、真空ポンプを経由する水蒸気の比率が急激に高まる段階であり、真空ポンプ油内に水蒸気が蓄積される速度が高まる段階である。
【０１４６】
一方、Ｓ１３０段階で、前述した真空排気システムの真空排気が始まる。
【０１４７】
すなわち、Ｓ１３０段階は滅菌過程が行われながら真空ポンプの油に含まれた水分除去が本格的に必要な時期に該当し、したがって、本Ｓ１３０段階で前述したＳ１２段階である第２真空ポンプをｏｎさせて前記第１真空ポンプの作動油を真空状態にする段階を行うことができる。
【０１４８】
ただし、Ｓ１２段階の開始時点をＳ１３０段階に制限するものではなく、必要に応じて後述するＳ１４０段階ないしＳ１６０段階をＳ１２段階の開始時点にすることができる。
【０１４９】
次に、第２温度及び第２圧力の収集器に前記第２濃度の過酸化水素水を投入する段階を含む（Ｓ１４０）。
【０１５０】
前記第２濃度の過酸化水素水を第２温度及び第２圧力の収集器１４０に投入するため、前記第１真空ポンプ２０を作動（ｏｎ状態）状態に、前記第１真空バルブ２１をｏｐｅｎ状態に、前記気化バルブ１３１はｃｌｏｓｅ状態に、前記収集バルブ１４１はｏｎ状態に制御し得る。
【０１５１】
このとき、前記第２温度は３５ないし４２℃であり得、前記第２圧力は８ないし５０ｍｂであり得る。
【０１５２】
また、前記第２濃度の過酸化水素水が気化器１３０から収集器１４０に移動するあいだ、前記気化器１３０の圧力は１０ないし６０ｍｂであり、温度は５５ないし６０℃であり得、前記第２濃度の過酸化水素水は第５連結配管１３２及び第１連結配管１４２を経由して気化器１３０から収集器１４０に移動し得る。
【０１５３】
一方、Ｓ１４０段階においても前記滅菌チェンバ１１０は継続して真空排気され、前記滅菌チェンバ１１０の圧力は１ないし１０ｍｂであり、温度は４５ないし５５℃であり得る。
【０１５４】
このとき、本発明で前記第２温度は前記滅菌チェンバの温度より低いことを特徴とする。
【０１５５】
前記第２温度の場合、第２濃度の過酸化水素水が収集される収集器の温度に該当し、気化器から飽和された過酸化水素蒸気が収集器を経由する過程でチェンバの温度より高いと、過酸化水素蒸気が収集器に凝縮されず、すべてチェンバを介して排気され得る。
【０１５６】
圧力が多少高いＳ１４０／Ｓ１５０段階の初期に過酸化水素蒸気が一部凝縮されても、排気されるチェンバに真空圧力が持続的に加えられる段階で収集器がチェンバの温度より高いと、過酸化水素の蒸発熱は水蒸気に比べて低いため簡単に再気化されて収集器に残らず、結局、後述するＳ１７０段階を行うことができなくなる。したがって、第２温度は少なくとも滅菌チェンバの温度より低いことが好ましい。
【０１５７】
以上で分かるように、本発明ではＳ１３０段階、すなわち、前記第１濃度の過酸化水素水を気化させて第２濃度の過酸化水素水を形成する段階を経た後、Ｓ１４０段階、すなわち、第２温度及び第２圧力の収集器に前記第２濃度の過酸化水素水を投入する段階を行う。
【０１５８】
例えば、Ｓ１３０段階を経ずＳ１４０段階を行うこと、第１濃度の過酸化水素水を収集器に直ちに投入するを考慮することもできるが、次のような理由により好ましくない。
【０１５９】
以下の表１は過酸化水素水の濃度別の過酸化水素蒸気の気化率の例示を示す。
【０１６０】
【表１】
0006323819.tif 000002
【０１６１】
前記表１を参照すると、過酸化水素水の濃度が高くなるほど、また、設定温度が高いほど、過酸化水素蒸気の気化率が水蒸気に比べて相対的に徐々に高まることが分かる。
例えば、５０℃で、６０重量％濃度の過酸化水素水での過酸化水素蒸気の気化率は１３％であるため、残りの８７％は水蒸気であることを意味し、８０重量％濃度の過酸化水素水での過酸化水素蒸気の気化率は４０％であるため、残りの６０％が水蒸気であることを意味する。
【０１６２】
すなわち、Ｓ１３０段階を経ずＳ１４０段階を行うことは例えば、６０重量％濃度の過酸化水素水を収集器に投入することを意味し得、Ｓ１３０段階を行った後Ｓ１４０段階を行うことは８０重量％濃度の過酸化水素水を収集器に投入することを意味し得る。
【０１６３】
このとき、Ｓ１３０段階を経ずＳ１４０段階を行う場合は、Ｓ１３０段階を行った後Ｓ１４０段階を行う場合に比べて初期段階で収集器を通過する水蒸気の比率が相対的に高くなる。
【０１６４】
水蒸気の比率が過酸化水素蒸気より相対的に高い状態で収集器に投入されると、収集器の圧力が高い状態（収集器の温度が４０度である場合、飽和水蒸気圧は７５ｍｂであるため、これより高い圧力）で水蒸気が収集器に進入するため、水蒸気も収集器に凝縮され得る。
【０１６５】
水蒸気も収集器に凝縮されるとは、凝縮される水蒸気の量だけ濃縮される過酸化水素水の濃度に限界があることを意味する。
【０１６６】
したがって、本発明では水蒸気が収集器に先に凝縮され、濃縮される過酸化水素水の濃度に限界が生じることを防止するため、Ｓ１３０段階、すなわち、前記第１濃度の過酸化水素水を気化させて第２濃度の過酸化水素水を形成する段階を経た後、Ｓ１４０段階、すなわち、第２温度及び第２圧力の収集器に前記第２濃度の過酸化水素水を投入する段階を行う。
【０１６７】
次に、前記第２濃度の過酸化水素水中の過酸化水素蒸気は前記収集器に凝縮され、水蒸気は前記収集器から排気させる段階を含む（Ｓ１５０）。
【０１６８】
前述したように、水は過酸化水素より蒸気圧が高いためより迅速に蒸発され、水の分子量は過酸化水素より低いため、水が過酸化水素より迅速に気象に拡散される。したがって、同じ温度及び圧力条件で水（すなわち、水分）は過酸化水素より迅速に蒸発して拡散されるため、過酸化水素水での水は過酸化水素より先に蒸発／拡散されるので、過酸化水素蒸気は前記収集器に凝縮され、水蒸気は前記収集器から排気され、第３濃度の過酸化水素水が形成され得る。
【０１６９】
すなわち、水は過酸化水素よりさらに高い蒸気圧を有する。したがって、蒸気状態で過酸化水素は水よりさらに簡単に凝縮される。したがって、前記収集器に凝縮される過酸化水素水は投入された第２濃度の過酸化水素水の濃度よりさらに高い濃度の過酸化水素を含み得る。
【０１７０】
一方、Ｓ１４０段階で過酸化水素蒸気と水蒸気が通過する配管は第５連結配管、第１連結配管、第３連結配管、第４連結配管の順に移動し、このとき、これら連結配管のうち内径が小さい配管の温度は収集器１４０の温度より高くなければならない。
【０１７１】
これは過酸化水素蒸気が収集器に到達する前後の段階の配管温度が収集器より低いと、先に配管に凝縮された状態で残存し得、内径が小さい配管に凝縮された過酸化水素蒸気はＳ１７０段階で気化するとき、より高い温度に露出されてチェンバに進入する段階で分解による水蒸気含有量が高くなるからである。
【０１７２】
また、前記表１で示すように、先ず濃度が高まった状態（８５重量％未満）で水と過酸化水素の蒸気比率は横並びになり、気化率による濃縮は濃縮効率を低下させる。
【０１７３】
気体状態の過酸化水素蒸気と水蒸気は同じ圧力で凝縮できる温度は違うが、例えば、３５度である場合、過酸化水素は５ｍｂ以上で凝縮され、水蒸気は５５ｍｂ以上で凝縮される。
【０１７４】
したがって、このような違いは例えば、収集バルブを介して真空排気中の収集器温度が３５度であるとき、その圧力が５ｍｂないし５５ｍｂの範囲にある場合、過酸化水素蒸気は凝縮され、水蒸気は収集器から排気され得る。
【０１７５】
このとき、前記過酸化水素水の第３濃度は９０重量％ないし９５重量％であり得、Ｓ１５０段階は７５重量％ないし８５重量％の過酸化水素水中の水分を気化させることによって９０重量％ないし９５重量％濃度の過酸化水素水を形成する過酸化水素水第２濃縮段階であり得る。
【０１７６】
一方、前記ではＳ１４０段階の第２温度及び第２圧力の収集器に前記第２濃度の過酸化水素水を投入する段階及びＳ１５０段階の前記第２濃度の過酸化水素水中の過酸化水素蒸気は前記収集器に凝縮され、水蒸気は前記収集器から排気させる段階が順次に行われる場合を説明したが、これとは違って、Ｓ１４０及びＳ１５０段階は同時に行われる段階であり得る。
【０１７７】
すなわち、第２温度及び第２圧力の収集器に前記第２濃度の過酸化水素水を投入しながら、これと同時に、前記第２濃度の過酸化水素水中の過酸化水素蒸気は前記収集器に凝縮され、水蒸気は前記収集器から排気され得る。
【０１７８】
このとき、蒸発された水は第１真空ポンプを介して真空排気され、したがって、Ｓ１５０段階では前記第１真空ポンプ２０を作動（ｏｎ状態）させて前記第１真空バルブ２１をｏｐｅｎさせることによって真空排気し得、また、蒸発された水が第１真空ポンプを介して真空排気されるため、前記収集バルブ１４１はｏｐｅｎ状態に該当する。
【０１７９】
次に、前記滅菌チェンバの一定の圧力まで低くする段階及び前記第３濃度の過酸化水素水を第４濃度の過酸化水素水に濃縮する段階を含む（Ｓ１６０）。
【０１８０】
このとき、前記一定の圧力とは、滅菌チェンバで滅菌をするための設定圧力でなければならず、また、滅菌剤が過酸化水素蒸気である場合、拡散が容易な真空度でなければならない。
【０１８１】
したがって、前記設定圧力は０．５ないし１．３ｍｂであり得、また、前記滅菌チェンバの温度は４５ないし５５℃であり得る。
【０１８２】
また、前記過酸化水素水の第４濃度は９５重量％以上であり得、Ｓ１６０段階９０重量％ないし９５重量％濃度の過酸化水素水中の水分を気化させることによって、９５重量％以上の過酸化水素水を形成する過酸化水素水の第３濃縮段階であり得る。
【０１８３】
このとき、蒸発された水は第１真空ポンプを介して真空排気され、したがって、Ｓ１６０段階では前記第１真空ポンプ２０を作動（ｏｎ状態）させ、前記第１真空バルブ２１をｏｐｅｎさせることによって真空排気し得る。
【０１８４】
一方、Ｓ１６０段階で前記収集バルブ１４１はｏｐｅｎ状態及びｃｌｏｓｅ状態を繰り返す。
【０１８５】
すなわち、前記第３濃度の過酸化水素水を第４濃度の過酸化水素水に濃縮することにおいて、高濃度の過酸化水素水になるほど、液状の過酸化水素水が蒸発される圧力はさらに低くなる。
【０１８６】
例えば、４５℃の同じ温度条件で、８０重量％濃度の過酸化水素水では約２０ｍｂ以下の圧力で過酸化水素が蒸発するが、９０重量％濃度の過酸化水素水では約１１ｍｂ以下の圧力になると過酸化水素が蒸発する。
【０１８７】
これは前記第３濃度の過酸化水素水を第４濃度の過酸化水素水に濃縮することにおいて、水分だけが気化するのではなく、過酸化水素も気化するため、所定の濃度まで過酸化水素水を濃縮することが難しくなる。
【０１８８】
すなわち、高濃度の過酸化水素は分解反応が持続され得、分解過程で生成された水分は過酸化水素の濃度を低くする。
【０１８９】
したがって、このような少量の不純物の水分を除去するためには、０．１ないし２ｍｂの変動範囲で圧力の上昇／下降を繰り返す場合、気化される過酸化水素が除去されることを抑制しながら水分を効果的に除去することができる。
【０１９０】
このような水分除去方法は濃度が低い段階では非常に長い時間が所要されるが、濃度が高い段階では少量の水分除去が効果的であり、少なくとも高い濃度を維持することにおいて効果的であるといえる。
【０１９１】
したがって、前記滅菌チェンバの一定の圧力まで低くする段階によって、第３濃度の過酸化水素水を含んでいる前記収集器１４０の圧力が持続的に低くなって、より低い圧力で過酸化水素が蒸発することを防止するため、前記収集バルブ１４１はｏｐｅｎ状態及びｃｌｏｓｅ状態を繰り返すことによって、前記収集器１４０の圧力が持続的に低くなることを防止することができる。
【０１９２】
このとき、前記収集器１４０の圧力は５ないし１０ｍｂであり、温度は３５ないし４０℃であり得、前記気化器１３０の圧力は７ないし１０ｍｂであり、温度は６０ないし７０℃であり得る。
【０１９３】
一方、前記Ｓ１６０段階では気化器の水溶液は完全に消尽された状態であるため真空状態で温度が回復され、収集器は高濃縮過酸化水素が収集されて少量の水分が除去されているか、適正圧力を維持しつつ収集器に留まる。
【０１９４】
このとき収集器は過酸化水素の過度な減少を防止するために温度制御手段によってさらに低い温度に下降し得る。
【０１９５】
次に、第４濃度の過酸化水素水の過酸化水素蒸気を滅菌チェンバに投入して被処理物を滅菌処理する段階を含む（Ｓ１７０）。
【０１９６】
Ｓ１７０段階では収集器１４０に位置する第４濃度の過酸化水素水の過酸化水素蒸気を滅菌チェンバ１１０に投入するために気化バルブ１３１はｏｐｅｎ状態であり、収集バルブはｏｐｅｎまたはｃｌｏｓｅ状態に該当する。
【０１９７】
すなわち、収集器１４０から滅菌チェンバ１１０に過酸化水素蒸気が移動することは第１連結配管１４２及び第２連結配管１３３を介して移動し得る。
【０１９８】
このとき、前述したように、本発明で収集器１４０と気化バルブ１３１を連結する第１連結配管１４２及び気化バルブ１３１と滅菌チェンバ１１０を連結する第２連結配管１３３は他の連結配管、すなわち、第３連結配管１４３ないし第５連結配管１３２より内径が大きくてもよく、例えば、第３連結配管１４３ないし第５連結配管１３２が１／４ｉｎｃｈ配管である場合、前記第１連結配管１４２及び第２連結配管１３３は１ｉｎｃｈ配管であり得る。
【０１９９】
これは収集器１４０から滅菌チェンバ１１０に過酸化水素蒸気が第１連結配管１４２及び第２連結配管１３３を介して移動することにおいて、第５連結配管１３２に過酸化水素蒸気が流入されることを防止するためで、相対的に内径が大きい第１連結配管１４２に過酸化水素蒸気が流入され、相対的に内径が小さい第５連結配管１３２には過酸化水素蒸気が流入されない。
【０２００】
また、本発明では過酸化水素蒸気が滅菌チェンバに投入され、被処理物を滅菌処理することにおいて、過酸化水素蒸気の温度が高くない状態で投入されることが好ましい。
【０２０１】
滅菌チェンバに過酸化水素蒸気が十分に飽和される前に収集器で気化された過酸化水素蒸気の温度が滅菌チェンバの温度より高い状態で滅菌チェンバに進入する場合、進入経路に過酸化水素蒸気の密度が過度な状態になって凝縮されやすく、気体状態で滅菌チェンバに拡散する絶対的な量を減少させ、滅菌のための拡散効果に悪影響を与える。
【０２０２】
このとき、本発明では収集器１４０と滅菌チェンバ１１０との間経路の配管が他の経路の配管より内径が大きくても良いが、配管の内径が大きいとは気体の移動量が多いことを意味し、配管の内径が大きいと気体の移動量が多くなるほど真空度による気化駆動力が強く上昇して気体状態の過酸化水素蒸気の温度上昇を防止することができる。
【０２０３】
すなわち、気体の移動量が少ない場合、過酸化水素蒸気が収集器に滞留される時間がそれだけ増加し、過酸化水素の気化及び移動のために温度上昇が必要な収集器で過酸化水素蒸気の分解反応速度は増加し、分解副産物である水蒸気と酸素気体の濃度が高くなる。これは過酸化水素拡散に妨害要素である水蒸気量を最小化させようとする前の段階の目的が気化段階で喪失され、滅菌性能を弱化させ得る。
【０２０４】
したがって、本発明では収集器１４０と滅菌チェンバ１１０との間の経路の配管が他の経路の配管より内径を大きくすることにより、過酸化水素蒸気の温度が高くない状態で滅菌チェンバに投入され得、温度による分解反応が最小化されることによって、気象への十分な拡散により過酸化水素蒸気が被滅菌物に接近することが容易であるため、良好な滅菌効果が得られる。
【０２０５】
一方、第４濃度の過酸化水素水の過酸化水素蒸気を滅菌チェンバに投入することにおいて、過酸化水素は滅菌チェンバに気化拡散するが、前記収集器１４０の温度が前記滅菌チェンバの温度に到達する前に過酸化水素の気化が大部分完了するように前記収集器１４０の昇温速度を制御し得る。
【０２０６】
すなわち、過酸化水素の気化を促進するため、前記収集器１４０を温度制御手段によって加熱できるが、前記収集器を加熱することは、収集器の温度が前記滅菌チェンバの温度に到達する前に過酸化水素の気化が８０％以上完了するように昇温速度を制御することができる。
【０２０７】
このとき、前記滅菌チェンバ１１０の圧力は０．５ないし１５ｍｂであり得、温度は４５ないし５５℃であり得る。
【０２０８】
また、前記収集器１４０の圧力は０．５ないし１５ｍｂであり、温度は３０ないし７０℃であり得、前記気化器１３０の圧力は０．５ないし１５ｍｂであり、温度は６０ないし７０℃以上であり得る。
【０２０９】
一方、Ｓ１７０段階で、前述した真空排気システムの真空排気の段階のうち、Ｓ１４段階またはＳ１５段階を行うことができる。
【０２１０】
前記各段階での圧力及び温度条件を整理すると以下の表２の通りである。
【０２１１】
【表２】
0006323819.tif 000003
【０２１２】
また、各段階での第１真空ポンプ及びバルブの状態を整理すると、以下の表３の通りである。
【０２１３】
【表３】
0006323819.tif 000004
【０２１４】
前述したように、滅菌性能を向上させるため、より濃縮された過酸化水素水を使用することが好ましいが、より濃縮された過酸化水素溶液を使用することは、過酸化水素溶液を取り扱うにおいて過酸化水素溶液の濃度が６０重量％以下に制限されており高い濃度の過酸化水素を滅菌剤として使用することに困難がある。
【０２１５】
しかし、本発明では各段階別の濃縮過程により９５重量％以上の過酸化水素水を滅菌剤として使用することができ、したがって、水蒸気による拡散妨害要因が減り、滅菌効果を大きく向上させることができる。
【０２１６】
また、前述したＳ１３０段階である最初に供給された第１濃度の過酸化水素水溶液から水分を除去し、第２濃度の過酸化水素水溶液を準備した後に、前述したＳ１４０段階及びＳ１５０段階を行うことによって、収集器に水分が接触できる可能性を減少させることができる。
【０２１７】
また、過酸化水素水を収集器に投入することにおいて、過酸化水素水の収集器の圧力と収集器の温度による水分の飽和水蒸気圧、すなわち、気化／凝縮境界圧力を低くすることによって水分が収集器に接触しても凝縮できない条件にすることができる。
【０２１８】
前記のように真空過程で過酸化水素水から水蒸気を除去して過酸化水素蒸気の比率を高めて滅菌剤拡散能力を高める過程が真空排気過程にのみ必要なものではない。
【０２１９】
過酸化水素蒸気を利用する多様な滅菌方法において前記のように第２真空ポンプを利用した真空排気方法は真空排気の能力を持続的に同一に維持させる。
【０２２０】
その理由は、過酸化水素蒸気を利用するためには過酸化水素水溶液を使用しなければならず、過酸化水素蒸気の蒸気圧が非常に低いため、過酸化水素の気化を制御するためには高い真空度が要求され、高い真空度で排気される過程で滅菌剤の他にも滅菌対象物、場合によっては高い湿度の環境によりチェンバに流入された水蒸気により真空ポンプの油は持続的に水分を捕集するしかないからである。
【０２２１】
水分が捕集されると真空排気性能が弱くなり、ポンプ油の変成を促進させ、予想される排気時間が持続的に増加して結局真空ポンプの寿命が短縮される。
【０２２２】
以下では本発明による好ましい実験例について記載する。ただし、本発明は前記実験例に限定されない。
【０２２３】
［実験例］
１００Ｌの内部容積を有し、５０℃を維持する滅菌チェンバで分当り６００Ｌの排気性能を有する油真空ポンプを使用して排気される速度を測定した。
【０２２４】
前記油真空ポンプとオイルミストトラップ（Ｏｉｌ  Ｍｉｓｔ  Ｔｒａｐ）との間にチェック（Ｃｈｅｃｋ）バルブと乾式真空ポンプを並列連結し、滅菌チェンバの真空度が１０ｍｂに到達した後、乾式真空ポンプを作動させて滅菌チェンバの真空度が０．１ｍｂに到達するときまで油真空ポンプと乾式真空ポンプを同時に作動させた。測定を目標にした真空度に到達した後、２個の真空ポンプを消し、チェンバを大気圧にパージ（Ｐｕｒｇｅ）した。測定環境は２７℃、相手湿度５０％であり、大気圧から０．１ｍｂまで真空排気される速度を測定し、大気圧にパージすることまでを１回として１００回を繰り返し実施しながら真空排気される速度を確認し、オイルミストトラップ（Ｏｉｌ  Ｍｉｓｔ  Ｔｒａｐ）に捕集された油の量を測定した。
【比較例】
【０２２５】
１００Ｌの内部容積を有し、５０℃を維持する滅菌チェンバで分当り６００Ｌの排気性能を有する油真空ポンプを使用して排気される速度を測定した。測定環境は２７℃、相手湿度５０％であり、大気圧から０．１ｍｂまで真空排気される速度を測定し、大気圧にパージすることまでを１回として１００回を繰り返し実施しつつ真空排気される速度を確認し、オイルミストトラップ（Ｏｉｌ  Ｍｉｓｔ  Ｔｒａｐ）に捕集された油の量を測定した。
【０２２６】
前記実験例と比較例の実験結果を以下の通りである。
【０２２７】
先ず、前記実験例の実験結果は次の通りである。
【０２２８】
１回目の真空排気速度は２５２秒が所要され、１０回目の真空排気速度は２５５秒、１００回目の真空排気速度は２６２秒所要された。１００回の繰り返しを終えた真空ポンプ油の温度は４５℃ないし５０℃であり、オイルミストトラップ（Ｏｉｌ  Ｍｉｓｔ  Ｔｒａｐ）には１０ｃｃ未満の油が捕集された。真空ポンプの油の温度が常温に回復した後、再び真空排気速度を測定したところ、２５３秒所要された。
【０２２９】
次に、前記比較例の実験結果は次の通りである。
【０２３０】
１回目の真空排気速度は２５１秒所要され、１０回目の真空排気速度は２５５秒、１００回目の真空排気速度は３６１秒所要された。１００回の繰り返しを終えた真空ポンプ油の温度は５９℃ないし６２℃であり、オイルミストトラップ（Ｏｉｌ  Ｍｉｓｔ  Ｔｒａｐ）には８０ｃｃ程度の油が捕集された。捕集された油を再び真空ポンプに投入し、真空ポンプの油の温度が常温に回復した後、再び真空排気速度を測定したところ３３１秒が所要された。
【０２３１】
前記実験例と前記比較例の実験結果から分かるように、実験例の場合、１回目、１０回目及び１００回目の真空排気速度がそれぞれ２５２秒、２５５秒及び２６２秒で大きいな差がないことに対し、比較例の場合、１回目、１０回目及び１００回目の真空排気速度がそれぞれ２５１秒、２５５秒及び３６１秒で徐々に大幅に上昇することが分かる。
【０２３２】
一般的には、油真空ポンプの油の中にトラップされた水蒸気が多ければ多いほど真空排気速度が遅くなる。
【０２３３】
本発明による実験例の場合、真空排気速度に若干の上昇はあるが、１００回目も１回目に比べて真空排気速度が同じ程度であることが分かるが、比較例の場合、１００回目の真空排気速度が１回目に比較して非常に大幅に上昇し、これは結局、油真空ポンプの油の中にトラップされる水蒸気が増加して結局、真空排気速度が非常に遅くなることを意味する。
【０２３４】
一方、実験例において、１００回目の真空ポンプ油の温度は４５℃ないし５０℃であることに対し、比較例において１００回目の真空ポンプ油の温度は５９℃ないし６２℃であることが分かる。
【０２３５】
一般的には水蒸気は気化する過程で吸熱反応をするが、実験例の場合、１００回目の油の温度が比較例に比較してより低く測定され、これは油真空ポンプの油の中にトラップされる水蒸気が気化する過程で吸熱反応をし、油真空ポンプの油温度の上昇を抑制したことを意味する。
【０２３６】
すなわち、実験例の場合、比較例の場合より水蒸気が気化する量が多かったことを意味し、結局、油真空ポンプの油の中にトラップされる水蒸気が比較例より少ないことを示す。
【０２３７】
［適用例］
以下では図３の本発明の第１実施例による滅菌装置の真空排気システムによる効果を測定した。
【０２３８】
先ず、分当り１０００Ｌの性能を有する真空ポンプを使用し、１３０Ｌの内部容積を有する滅菌チェンバで、５５％の過酸化水素水を５．５ｃｃ投入し、真空排気過程で過酸化水素水から水分を除去する過程を経てチェンバの真空度が０．５ｍｂに到達するように真空排気される所用時間を測定し、このときの所用時間は約７分であった。
【０２３９】
次に、過酸化水素蒸気を滅菌チェンバに拡散させて一定時間を維持し、このときの所用時間は約６分であった。
【０２４０】
次に、また真空排気して過酸化水素蒸気を完全に除去し、０．５ｍｂ以下を３分維持する真空排気段階を経た。このときの所要時間は約６分であった。
【０２４１】
前記のような過程を２回連続繰り返すことを１周期と定義するとき、１回当たり総周期の時間は約４０分であり、このとき、油真空ポンプの作動時間は２６分、乾式真空ポンプの作動時間は２２分であった。
【０２４２】
このとき真空排気速度の遅延による１周期の所用時間変化を測定して以下の表４に示す。
【０２４３】
【表４】
0006323819.tif 000005
【０２４４】
表４を参照すると、本発明により乾式真空ポンプを作動させた場合は１００回目、すなわち、５０周期目の所用時間が４０．２分であり、標準時間から０．２分がさらに長く所要されたことに対し、乾式真空ポンプを使用しない場合は１．５分がさらに所要された。
【０２４５】
また、５００回目の場合は０．３分と７．８分であり、非常に大きい差を示していることが分かる。
【０２４６】
すなわち、前述したように、一般的には、油真空ポンプの油の中にトラップされた水蒸気が多ければ多いほど真空排気速度が遅くなるものであり、本発明の場合は油真空ポンプの油の中にトラップされた水蒸気がないため、真空排気速度の遅延による１周期の所用時間の変化に大きな差はないが、乾式真空ポンプを使用しない場合、油の中にトラップされた水蒸気によって真空排気速度の遅延が増えることが分かる。
特に、乾式真空ポンプを使用しない一般的な場合は約６００回目程度を使用すると、油真空ポンプの油に水蒸気がトラップされて油真空ポンプが目標とする真空度に到達せず、真空ポンプとしての役割をすることができないが、本発明による乾式真空ポンプを使用する場合、２０００回までも使用可能であることが分かる。
【０２４７】
図６は本発明の第２実施例による滅菌装置の真空排気システムを示す概略的な斜視図である。
【０２４８】
以下、本発明の第２実施例による滅菌装置の真空排気システムは前述した図１は第１実施例と同様であり得、以下では第１実施例との差異点についてのみ説明する。
【０２４９】
図６を参照すると、本発明の第２実施例による滅菌装置の真空排気システムは前記第１真空ポンプ２０を冷却させるための熱交換器７０を含む。
【０２５０】
前記適用例から分かるように、第１真空ポンプの稼動時間が高い滅菌過程を使用する場合は第１真空ポンプの作動油が加熱され、粘度が落ちるかまたは劣化されて寿命が短くなる。
【０２５１】
したがって、本発明では前記第１真空ポンプの作動油が加熱することを防止するために、前記第１真空ポンプの作動油を冷却させることが好ましく、前記熱交換器７０を介して前記第１真空ポンプの作動油を冷却させることができる。
【０２５２】
このとき、図６に示すように、前記第１真空ポンプの作動油を循環させるための作動油循環ポンプ６０を含み得、すなわち、前記作動油循環ポンプ６０を介して前記作動油が循環し、循環過程で前記熱交換器７０を介して作動油が冷却され得る。
【０２５３】
このとき、図面に示すように、前記作動油が循環するとは、前記第１真空ポンプから作動油が排出されて熱交換器を経由して再び第１真空ポンプに流入されることを意味する。
【０２５４】
したがって、本発明では前記第１真空ポンプの作動油を循環させる過程で熱交換器を介して冷却させることによって、第１真空ポンプの作動油が加熱されて粘度が落ちるかまたは劣化されることを防止することができる。
【０２５５】
図７は本発明の第３実施例による滅菌装置の真空排気システムを示す概略的な斜視図である。
【０２５６】
以下、本発明の第３実施例による滅菌装置の真空排気システムは前述した第１実施例と同様である。
【０２５７】
図７を参照すると、本発明の第３実施例による滅菌装置の真空排気システムは滅菌チェンバ３１０を含む。
【０２５８】
また、前記滅菌チェンバ３１０の一側に連結される滅菌剤水溶液供給装置３４０を含み得、前記滅菌剤水溶液供給装置３４０から供給された滅菌剤により前記滅菌チェンバ３１０で被滅菌物を滅菌することができる。
【０２５９】
このとき、前記滅菌剤水溶液供給装置３４０と滅菌チェンバ３１０との間に滅菌剤水溶液供給調節バルブ３４１を含み、適量の滅菌剤水溶液を供給し得る。
【０２６０】
また、本発明の第３実施例による滅菌装置の真空排気システムは前記滅菌チェンバ３１０の他側に連結される第１真空ポンプ３２０を含み、前記第１真空ポンプ３２０は前記滅菌チェンバ３１０の内部の気体を抜いて真空状態を形成させ得る。
【０２６１】
本発明で前記第１真空ポンプ３２０は油真空ポンプであることを特徴とする。
【０２６２】
このとき、前記滅菌チェンバ３１０と前記第１真空ポンプ３２０との間には前記第１真空ポンプ３２０の動作を制御できる第１真空バルブ３２１が連結され得、また、前記滅菌チェンバ３１０と前記第１真空ポンプ３２０との間には触媒反応部３２２を含み得る。
【０２６３】
引き続き、図７を参照すると、本発明の第３実施例による滅菌装置の真空排気システムはオイルミストトラップ（Ｏｉｌ  Ｍｉｓｔ  Ｔｒａｐ）部３５０を含む。
【０２６４】
前記オイルミストトラップ（Ｏｉｌ  Ｍｉｓｔ  Ｔｒａｐ）部３５０は前記滅菌チェンバ３１０から流入される蒸気が前記第１真空ポンプ３２０を経て最終的に排気されることにおいて、蒸気に含まれる油を捕集するための部分であり、前記オイルミストトラップ（Ｏｉｌ  Ｍｉｓｔ  Ｔｒａｐ）部３５０を介して油は捕集され、蒸気は通過して排気され得る。
【０２６５】
引続き、図７を参照すると、本発明の第３実施例による滅菌装置の真空排気システムは前記第１真空ポンプ３２０と前記オイルミストトラップ（Ｏｉｌ  Ｍｉｓｔ  Ｔｒａｐ）部３５０との間に連結される第２真空ポンプ３３０を含む。
【０２６６】
前記第２真空ポンプ３３０は油を使用しない乾式真空ポンプであることを特徴とする。
【０２６７】
前記第２真空ポンプ３３０は前記第１真空ポンプ３２０の作動油が一定の圧力の真空度に露出されるようにする構成であり、前記一定の圧力は前記作動油に捕集された水分が沸騰点以下になる圧力を意味する。
【０２６８】
前記第２真空ポンプ３３０の機能は前述した第１実施例と同様であるため、以下では具体的な説明は省略する。
【０２６９】
引続き、前記第１真空ポンプ３２０と前記オイルミストトラップ（Ｏｉｌ  Ｍｉｓｔ  Ｔｒａｐ）部３５０に連結される第２真空ポンプ３３０の連結関係について説明する。
【０２７０】
図７を参照すると、前記第２真空ポンプ３３０は前記第１真空ポンプ３２０と前記オイルミストトラップ（Ｏｉｌ  Ｍｉｓｔ  Ｔｒａｐ）部３５０に直列連結される。
【０２７１】
また、前記第１真空ポンプ３２０と前記オイルミストトラップ部３５０との間には第１経路開閉バルブ部３３２を含み、このとき、本発明で前記第１経路開閉バルブ部３３２はチェックバルブであることが好ましい。
【０２７２】
一方、前記第１真空ポンプ３２０と前記オイルミストトラップ部３５０との間で前記第２真空ポンプ３３０及び前記第１経路開閉バルブ部３３２は並列連結される。
【０２７３】
すなわち、本発明の第３実施例では前記第１経路開閉バルブ部３３２を介して前記第１真空ポンプ３２０、前記第１経路開閉バルブ部３３２及び前記オイルミストトラップ部３５０を経由する第１経路を制御することができ、また、前記第２真空ポンプ３３０を介して第１真空ポンプ３２０、前記第２真空ポンプ３３０及び前記オイルミストトラップ部３５０を経由する第２経路を制御することができる。
【０２７４】
一般的には、真空ポンプは自体的にバルブの機能をすることができる。したがって、本発明の第３実施例では図１で説明したように、第１真空ポンプと第２真空ポンプとの間の経路に別途の開閉バルブ部を設けなくても、前記第１真空ポンプ３２０を介して前記第１真空ポンプ３２０から流入された水蒸気が第２真空ポンプ３３０を経由して前記オイルミストトラップ部３５０を通過し得る。
【０２７５】
一方、前述したように、本発明の第３実施例で前記第１経路開閉バルブ部３３２はチェックバルブであることが好ましいが、前記チェックバルブは電気的な信号によって作動することではない、前記チェックバルブに加えられる圧力によってｏｐｅｎ／ｃｌｏｓｅの作動をすることができる。
【０２７６】
すなわち、前記チェックバルブに一定の圧力が加えられる場合、機械的なメカニズムによって前記チェックバルブがｏｐｅｎ状態になり、この場合、前記第１真空ポンプ３２０から流入された水蒸気がチェックバルブである第１経路開閉バルブ部３３２を経由して前記オイルミストトラップ部３５０を通過し得る。
【０２７７】
すなわち、図１で前述したように、本発明の第１実施例では２個のバルブ部を使用して２個の経路を制御したが、本発明の第３実施例では前記第１経路開閉バルブ部３３２を介して前記第１真空ポンプ３２０、前記第１経路開閉バルブ部３３２及び前記オイルミストトラップ部３５０を経由する第１経路を制御することができ、また、前記第２真空ポンプ３３０を介して第１真空ポンプ３２０、前記第２真空ポンプ３３０及び前記オイルミストトラップ部３５０を経由する第２経路を制御することができる。
【０２７８】
以下では、本発明の第３実施例による滅菌装置の真空排気システムの真空排気方法について説明する。本発明の第３実施例による滅菌装置の真空排気システムの真空排気方法は後述する内容を除いては前述した第１実施例と同様である。
【０２７９】
本発明の第３実施例による滅菌装置の真空排気システムの真空排気方法は、先に、第１真空ポンプ３２０をｏｎさせて真空チェンバを排気する段階を含む（Ｓ３１１）。
【０２８０】
一方、Ｓ３１１段階では第１真空バルブ３２１はｏｐｅｎ状態であり、前記第２真空ポンプ３３０はＯｆｆ状態であり、前記第１経路開閉バルブ部３３２、すなわち、チェックバルブは圧力差異によってｏｐｅｎ状態であり得る。
【０２８１】
次に、第２真空ポンプ３３０をｏｎさせて前記第１真空ポンプの作動油を真空状態にする段階を含む（Ｓ３１２）。
【０２８２】
前述したように、前記第１真空ポンプを経由する水蒸気の一部は持続的に気化したり空気中に溶解されて排出されるが、完全に排出されず、その一部が第１真空ポンプの油に液体状態で捕集されて蓄積される。
【０２８３】
したがって、本発明では前記第１真空ポンプの油に捕集される液体状態の水を気化させるため、前記第１真空ポンプ３２０に前記液体状態の水を蒸発させるための一定の圧力を提供し、前記第２真空ポンプ３３０は前記第１真空ポンプ３２０の油に捕集された液体状態の水を気化させるための一定の圧力を提供する。
【０２８４】
一方、Ｓ３１２段階では第１真空バルブ３２１はｏｐｅｎ状態であり、第２真空ポンプ３３０はｏｎ状態であり、第１経路開閉バルブ部３３２はｃｌｏｓｅ状態であり得る。
【０２８５】
次に、前記第１真空ポンプの作動油に捕集された水蒸気を気化させる段階を含む（Ｓ３１３）。
【０２８６】
Ｓ３１３段階は前述したＳ３１２段階と同時に行うことができ、すなわち、第２真空ポンプをｏｎさせて前記第１真空ポンプの作動油を真空状態にすることによって、前記第１真空ポンプ３２０に前記液体状態の水を蒸発させるための一定の圧力を提供するようになり、これによって、前記第１真空ポンプの作動油に捕集された水蒸気を気化させることができる。これは前述した第１実施例と同様であるため、以下では具体的な説明は省略する。
【０２８７】
一方、Ｓ３１３段階では第１真空バルブ３２１はｏｐｅｎ状態であり、第２真空ポンプ３３０はｏｎ状態であり、第１経路開閉バルブ部３３２はｃｌｏｓｅ状態であり得る。
【０２８８】
次に、前記第１真空ポンプはＯｆｆさせて前記第２真空ポンプのｏｎ状態を維持する段階を含む（Ｓ３１４）。
【０２８９】
すなわち、Ｓ３１４段階では第１真空ポンプはＯｆｆとなり、前記滅菌チェンバの排気は終了したが、前記第１真空ポンプの作動油に捕集された液体状態の水を継続的に気化させる段階であり得る。
【０２９０】
このとき、Ｓ３１４段階では第１真空バルブ３２１はｃｌｏｓｅ状態であり、第２真空ポンプ３３０はｏｎ状態であり、第１経路開閉バルブ部３３２はｃｌｏｓｅ状態であり得る。
【０２９１】
次に、前記第２真空ポンプをＯｆｆさせることによって、本発明の第３実施例による滅菌装置の真空排気システムの真空排気を完了し得る。
【０２９２】
以上添付した図面を参照して本発明の実施例について説明したが、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者は本発明がその技術的思想や必須の特徴を変更せずに他の具体的な形態で実施され得るを理解できるであろう。したがって、以上で記述した実施例はすべての面において例示的なものであり、限定的なものではないと理解しなければならない。
【符号の説明】
【０２９３】
１０    滅菌チェンバ
２０    第１真空ポンプ
２１    第１真空バルブ
２２    触媒反応部
３０    第２真空ポンプ
３１    第１経路開閉バルブ部
３２    第２経路開閉バルブ部
５０    オイルミストトラップ（Ｏｉｌ  Ｍｉｓｔ  Ｔｒａｐ）部
１００、２００    適用例
１１０、２１０    滅菌チェンバ
１２０、２２０    真空ポンプ
１３０、２３０    気化器
１４０、２４０    収集器
１３１、２３１    気化バルブ
１４１、２４１    収集バルブ
２５１    燻蒸バルブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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