(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
水平面内で一方向に回転可能なターンテーブルと、
このターンテーブルの面上の周方向に互いに離間して固定された複数の保持機構と、
前記ターンテーブルの回転に伴って円形の回転経路上を移動する前記保持機構のうち、第１の位置にある保持機構に対してパッケージの搬送および搬出を行うパッケージ搬送装置と、
前記回転経路上の第２の位置にある保持機構が保持しているパッケージ上にリッドを搬送し、このリッドと前記パッケージの仮付けおよび前記リッドと前記パッケージの第１の方向のシーム溶接を行う仮付け・本付け用溶接ヘッドと、
前記回転経路上の第３の位置にある保持機構が保持しているパッケージとこのパッケージ上のリッドに対して、前記第１の方向と直交する第２の方向のシーム溶接を行う本付け用溶接ヘッドと、
前記保持機構を駆動する開閉機構とを備え、
各保持機構は、
平板状の台座と、
この台座の面内でそれぞれ台座の中心に向かって閉じる方向と中心から離れて開く方向に動くことが可能で、台座の中心に載置される前記パッケージを４方向から囲んで保持するように配置される４つの爪と、
前記台座の表側の前記４つの爪と機械的に連結され、前記台座の裏側に突出するように設けられた柱状の４つの可動ポールと、
前記４つの爪が閉じる方向に前記４つの可動ポールをそれぞれ付勢する４つの弾性体とを備え、
前記開閉機構は、
前記４つの可動ポールの間に配置され、前記４つの爪が開閉する方向に前記４つの可動ポールを動かす平板状のカムと、
このカムを水平面内で回転させて前記４つの爪を開閉させることが可能なカム回転機構とを備え、
前記４つの弾性体の弾性力は、前記台座の面内のＸ方向にある２つの爪のうち、第１の爪を付勢する第１の弾性体の弾性力が第２の爪を付勢する第２の弾性体の弾性力よりも強く、前記台座の面内のＹ方向にある２つの爪のうち、第３の爪を付勢する第３の弾性体の弾性力が第４の爪を付勢する第４の弾性体の弾性力よりも強くなるように予め設定され、
前記カムの平面形状は、このカムの回転に伴う前記４つの可動ポールの動きによって前記４つの爪が閉じるときに、前記第２の爪の移動量が前記第１の爪の移動量よりも大きく、前記第４の爪の移動量が前記第３の爪の移動量よりも大きくなるように予め設定されることを特徴とするシーム溶接装置。
【請求項２】
水平面内で一方向に回転可能なターンテーブルと、
このターンテーブルの面上の周方向に互いに離間して固定された複数の保持機構と、
前記ターンテーブルの回転に伴って円形の回転経路上を移動する前記保持機構のうち、第１の位置にある保持機構に対してパッケージの搬送および搬出を行うパッケージ搬送装置と、
前記回転経路上の第２の位置にある保持機構が保持しているパッケージ上にリッドを搬送し、このリッドと前記パッケージの仮付けおよび前記リッドと前記パッケージの第１の方向のシーム溶接を行う仮付け・本付け用溶接ヘッドと、
前記回転経路上の第３の位置にある保持機構が保持しているパッケージとこのパッケージ上のリッドに対して、前記第１の方向と直交する第２の方向のシーム溶接を行う本付け用溶接ヘッドと、
前記回転経路上の第１の位置に配設され、前記保持機構を駆動する開閉機構とを備え、
各保持機構は、
平板状の台座と、
この台座の面内でそれぞれ台座の中心に向かって閉じる方向と中心から離れて開く方向に動くことが可能で、台座の中心に載置される前記パッケージを４方向から囲んで保持するように配置される４つの爪と、
前記台座の表側の前記４つの爪と機械的に連結され、前記台座の裏側に突出するように設けられた柱状の４つの可動ポールと、
前記４つの爪が閉じる方向に前記４つの可動ポールをそれぞれ付勢する４つの弾性体とを備え、
前記開閉機構は、
前記４つの可動ポールの間に配置され、前記４つの爪が開閉する方向に前記４つの可動ポールを動かす平板状のカムと、
このカムを水平面内で回転させて前記４つの爪を開閉させることが可能なカム回転機構と、
前記カムを昇降させることが可能なカム昇降機構とを備え、
前記回転経路上の第１の位置にある保持機構に対して前記カムを上昇させて前記４つの可動ポールの間に配置し、この保持機構の前記４つの爪を開閉させた後、前記ターンテーブルが回転する前に、前記カムを前記４つの可動ポールの間の位置から下降させることを特徴とするシーム溶接装置。
【請求項３】
請求項１または２記載のシーム溶接装置において、
前記仮付け・本付け用溶接ヘッドは、前記リッドの第１の方向の２辺上の各１点を１対の第１のローラ電極により前記パッケージに仮付けした後、前記リッドの第１の方向の２辺を前記第１のローラ電極により前記パッケージにシーム溶接し、
前記本付け用溶接ヘッドは、前記リッドの第２の方向の２辺を１対の第２のローラ電極により前記パッケージにシーム溶接することを特徴とするシーム溶接装置。
【請求項４】
請求項３記載のシーム溶接装置において、
さらに、前記第１、第２のローラ電極に溶接電流を供給する１台の電源を備えることを特徴とするシーム溶接装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばＩＣ、水晶振動子等の回路素子の容器に蓋を溶接するシーム溶接装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣ（Integrated Circuit）、水晶振動子等の回路素子の封止作業は、パッケージにこれらの回路素子を収納して、配線や試験調整作業を行った後の最終製造工程として行われる。封止方法としては、樹脂封止、気密封止などがある。
気密封止法は、金属又はセラミックスのパッケージの中に素子を収納固定し、乾燥した不活性ガス雰囲気中でリッド（蓋）をかぶせて素子を完全に密封する方法である。この気密封止法によれば、水分などの不純物の侵入がなく、また局所加熱による封止なので、熱応力の影響も少なく樹脂封止に比べて高い封止信頼性を得ることができる。
【０００３】
この気密封止法のひとつであるシーム溶接法を用いて、パッケージにリッドを溶接するシーム溶接装置がある。このシーム溶接装置は、円板状のローラ電極によってワークに圧力を加えながら電流を流すことにより、発生するジュール熱によってワークを溶融させて接合を得るものである。
【０００４】
図８はシーム溶接装置によるシーリング作業を説明する図である。シーム溶接装置は、円板状のローラ電極１００ａ，１００ｂと、ローラ電極１００ａ，１００ｂに給電する導電シャフト１０１ａ，１０１ｂと、導電シャフト１０１ａ，１０１ｂに給電する電極ホルダ１０２ａ，１０２ｂと、電極ホルダ１０２ａ，１０２ｂを保持する電極保持アーム１０３ａ，１０３ｂとを備えている。図８における１０４はＩＣや水晶振動子等のチップ、１０５はチップ１０４を収納するパッケージ、１０６はリッドである。
【０００５】
このシーム溶接装置は、リッド１０６にローラ電極１００ａ，１００ｂを所定の圧力下で接触させる。そして、パッケージ１０５を載置した図示しないトレイあるいは電極保持アーム１０３ａ，１０３ｂを移動させながら、給電ブロック１０２ａ、導電シャフト１０１ａ、ローラ電極１００ａ、リッド１０６、ローラ電極１００ｂ、導電シャフト１０１ｂ、給電ブロック１０２ｂという経路で電流を流すことにより、リッド１０６がパッケージ１０５に溶接される。
【０００６】
このように従来のシーム溶接装置は、通電により接合部に発生するジュール熱を利用してパッケージ１０５とリッド１０６とを接合するものであるが、ローラ電極１００ａ，１００ｂをリッド１０６に押し付けながら回転させたときに、リッド１０６が位置ずれを起こし易いという欠点があった。
【０００７】
そこで、従来はシーム溶接する前工程として、リッド１０６をパッケージ１０５上に載置して位置決めし、仮付け用溶接ヘッドの電極でリッド１０６とパッケージ１０５をスポット溶接した後、このリッド１０６が仮付けされたパッケージ１０５をシームエリアに搬送して、上記した手順でシーム溶接を行うようにしていた（特許文献１、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平１１−９７５６３号公報
【特許文献２】特開２００３−４６０１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
特許文献１、特許文献２に開示されたシーム溶接装置では、リッドの位置ずれ防止のための仮付けを行う仮付けエリアとシーム溶接を行うシームエリアという２つのエリアが必要となり、装置が大型になるという問題点があった。
【００１０】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、仮付けとシーム溶接の機構を備えたシーム溶接装置を小型化することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明のシーム溶接装置は、水平面内で一方向に回転可能なターンテーブルと、このターンテーブルの面上の周方向に互いに離間して固定された複数の保持機構と、前記ターンテーブルの回転に伴って円形の回転経路上を移動する前記保持機構のうち、第１の位置にある保持機構に対してパッケージの搬送および搬出を行うパッケージ搬送装置と、前記回転経路上の第２の位置にある保持機構が保持しているパッケージ上にリッドを搬送し、このリッドと前記パッケージの仮付けおよび前記リッドと前記パッケージの第１の方向のシーム溶接を行う仮付け・本付け用溶接ヘッドと、前記回転経路上の第３の位置にある保持機構が保持しているパッケージとこのパッケージ上のリッドに対して、前記第１の方向と直交する第２の方向のシーム溶接を行う本付け用溶接ヘッドと、前記保持機構を駆動する開閉機構とを備え、各保持機構は、平板状の台座と、この台座の面内でそれぞれ台座の中心に向かって閉じる方向と中心から離れて開く方向に動くことが可能で、台座の中心に載置される前記パッケージを４方向から囲んで保持するように配置される４つの爪と、前記台座の表側の前記４つの爪と機械的に連結され、前記台座の裏側に突出するように設けられた柱状の４つの可動ポールと、前記４つの爪が閉じる方向に前記４つの可動ポールをそれぞれ付勢する４つの弾性体とを備え、前記開閉機構は、前記４つの可動ポールの間に配置され、前記４つの爪が開閉する方向に前記４つの可動ポールを動かす平板状のカムと、このカムを水平面内で回転させて前記４つの爪を開閉させることが可能なカム回転機構とを備え、前記４つの弾性体の弾性力は、前記台座の面内のＸ方向にある２つの爪のうち、第１の爪を付勢する第１の弾性体の弾性力が第２の爪を付勢する第２の弾性体の弾性力よりも強く、前記台座の面内のＹ方向にある２つの爪のうち、第３の爪を付勢する第３の弾性体の弾性力が第４の爪を付勢する第４の弾性体の弾性力よりも強くなるように予め設定され、前記カムの平面形状は、このカムの回転に伴う前記４つの可動ポールの動きによって前記４つの爪が閉じるときに、前記第２の爪の移動量が前記第１の爪の移動量よりも大きく、前記第４の爪の移動量が前記第３の爪の移動量よりも大きくなるように予め設定されることを特徴とするものである。
【００１３】
また、本発明のシーム溶接装置は、水平面内で一方向に回転可能なターンテーブルと、このターンテーブルの面上の周方向に互いに離間して固定された複数の保持機構と、前記ターンテーブルの回転に伴って円形の回転経路上を移動する前記保持機構のうち、第１の位置にある保持機構に対してパッケージの搬送および搬出を行うパッケージ搬送装置と、前記回転経路上の第２の位置にある保持機構が保持しているパッケージ上にリッドを搬送し、このリッドと前記パッケージの仮付けおよび前記リッドと前記パッケージの第１の方向のシーム溶接を行う仮付け・本付け用溶接ヘッドと、前記回転経路上の第３の位置にある保持機構が保持しているパッケージとこのパッケージ上のリッドに対して、前記第１の方向と直交する第２の方向のシーム溶接を行う本付け用溶接ヘッドと、前記回転経路上の第１の位置に配設され、前記保持機構を駆動する開閉機構とを備え、各保持機構は、平板状の台座と、この台座の面内でそれぞれ台座の中心に向かって閉じる方向と中心から離れて開く方向に動くことが可能で、台座の中心に載置される前記パッケージを４方向から囲んで保持するように配置される４つの爪と、前記台座の表側の前記４つの爪と機械的に連結され、前記台座の裏側に突出するように設けられた柱状の４つの可動ポールと、前記４つの爪が閉じる方向に前記４つの可動ポールをそれぞれ付勢する４つの弾性体とを備え、前記開閉機構は、前記４つの可動ポールの間に配置され、前記４つの爪が開閉する方向に前記４つの可動ポールを動かす平板状のカムと、このカムを水平面内で回転させて前記４つの爪を開閉させることが可能なカム回転機構と、前記カムを昇降させることが可能なカム昇降機構とを備え、前記回転経路上の第１の位置にある保持機構に対して前記カムを上昇させて前記４つの可動ポールの間に配置し、この保持機構の前記４つの爪を開閉させた後、前記ターンテーブルが回転する前に、前記カムを前記４つの可動ポールの間の位置から下降させることを特徴とするものである。
また、本発明のシーム溶接装置の１構成例において、前記仮付け・本付け用溶接ヘッドは、前記リッドの第１の方向の２辺上の各１点を１対の第１のローラ電極により前記パッケージに仮付けした後、前記リッドの第１の方向の２辺を前記第１のローラ電極により前記パッケージにシーム溶接し、前記本付け用溶接ヘッドは、前記リッドの第２の方向の２辺を１対の第２のローラ電極により前記パッケージにシーム溶接することを特徴とするものである。
また、本発明のシーム溶接装置の１構成例は、さらに、前記第１、第２のローラ電極に溶接電流を供給する１台の電源を備えることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、水平面内で一方向に回転可能なターンテーブルを用い、回転経路上の第１の位置でパッケージの搬送と搬出を行い、回転経路上の第２の位置でパッケージの仮付けと第１の方向のシーム溶接を行い、回転経路上の第３の位置でパッケージの第２の方向のシーム溶接を行うようにしたことにより、パッケージの仮付けとシーム溶接のために広いエリアを取る必要がなくなるので、従来のシーム溶接装置よりも装置を小型化することができる。
【００１５】
また、本発明では、各保持機構を台座と４つの爪と４つの可動ポールと４つの弾性体とから構成し、開閉機構をカムとカム回転機構とから構成し、４つの弾性体の弾性力を、台座の面内のＸ方向にある２つの爪のうち、第１の爪を付勢する第１の弾性体の弾性力が第２の爪を付勢する第２の弾性体の弾性力よりも強く、台座の面内のＹ方向にある２つの爪のうち、第３の爪を付勢する第３の弾性体の弾性力が第４の爪を付勢する第４の弾性体の弾性力よりも強くなるように設定し、カムの平面形状を、このカムの回転に伴う４つの可動ポールの動きによって４つの爪が閉じるときに、第２の爪の移動量が第１の爪の移動量よりも大きく、第４の爪の移動量が第３の爪の移動量よりも大きくなるように設定することにより、Ｘ，Ｙ方向共に片側を位置決めの基準として、パッケージを精度良く保持することができる。本発明では、同一の保持機構を使って、サイズの異なる様々なパッケージを精度良く保持することができるので、サイズの異なるパッケージ毎に保持機構を変える必要がなく、コストを抑えることができる。
【００１６】
また、本発明では、保持機構を駆動する開閉機構を１箇所のみ設けることにより、コストを抑えることができる。
【００１７】
また、本発明では、仮付け・本付け用溶接ヘッドの第１のローラ電極と本付け用溶接ヘッドの第２のローラ電極に１台の電源から溶接電流を供給することにより、電源を共用化することができ、コストを抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の参考例に係るシーム溶接装置の構成を示す平面図である。
【図２】本発明の参考例に係るシーム溶接装置の動作を説明するフローチャートである。
【図３】本発明の参考例に係るシーム溶接装置の電気的な接続関係を示すブロック図である。
【図４】本発明の参考例に係るシーム溶接装置の仮付け・本付け用溶接ヘッドの正面図および側面図である。
【図５】本発明の参考例に係るシーム溶接装置の仮付け・本付け用溶接ヘッドによる仮付けおよびＸ方向のシーム溶接を説明する側面図である。
【図６】本発明の参考例に係るシーム溶接装置の本付け用溶接ヘッドによるＹ方向のシーム溶接を説明する側面図である。
【図７】本発明の実施の形態に係るシーム溶接装置の保持機構の平面図および下面図、保持機構と開閉機構の側面図、保持機構がパッケージを保持した様子を示す平面図、並びに開閉機構のカムの下面図である。
【図８】シーム溶接装置によるシーリング作業を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
［参考例］
以下、本発明の参考例について図面を参照して説明する。図１は本発明の参考例に係るシーム溶接装置を上から見た平面図である。シーム溶接装置は、パッケージ内の部品の酸化を防ぐために内部が窒素で満たされるチャンバ１と、パッケージ載置用のトレイ１２を収容するラック１３を、シーム溶接装置内に搬入するためのローダー２と、ラック１３を搬送するラック搬送装置３と、ラック１３から取り出されたトレイ１２を搬送するトレイ搬送装置４と、パッケージ１０を保持する保持機構５０を４箇所備え、水平面内で一方向に回転可能なターンテーブル５と、トレイ１２上に載置されたパッケージ１０のターンテーブル５への搬送、およびシーム溶接終了後のパッケージ１０のトレイ１２への搬出を行うパッケージ搬送装置６と、リッドカセット１４上に載置されたリッド１１をターンテーブル５上に載置されたパッケージ１０上に搬送し、リッド１１とパッケージ１０の仮付けおよび一方向のシーム溶接を行う仮付け・本付け用溶接ヘッド７と、仮付け・本付け用溶接ヘッド７によるシーム溶接と直交する方向のシーム溶接を行う本付け用溶接ヘッド８と、シーム溶接装置全体を制御する制御装置９と、保持機構５０によって保持されているパッケージ１０を撮像するカメラ１５とを備えている。
【００２０】
ローダー２は、チャンバ１との間に設けられた引き戸２１を開閉する引き戸開閉機構２２と、ラック１３をチャンバ１内に搬送するラック搬送機構２３とを備えている。
ラック搬送装置３は、ラック１３に収容されたトレイ１２を引き出し、溶接終了後のパッケージ１０が載置されたトレイ１２をラック１３に戻すトレイ引出・収容機構３０と、ラック１３をローダー２に戻すラック搬送機構３１とを備えている。
【００２１】
ターンテーブル５は、ターンテーブル５のＸＹ平面上の、軸５１を中心とする正方形の４頂点の位置（ターンテーブル５の周方向の位置）に１つずつ配置された、パッケージ１０を保持するための保持機構５０と、軸５１を中心としてターンテーブル５をＸＹ平面内で一方向に回転させることが可能なターンテーブル回転機構５２と、保持機構５０を駆動する開閉機構５３とを備えている。
【００２２】
後述のように、ターンテーブル５は上から見たときに反時計廻りの９０度の回転を繰り返し行うので、各保持機構５０は、ターンテーブル５の回転に伴い円形の経路上を移動し、その回転経路上で４つの位置を取り得る。本参考例では、図１のＡの位置を保持機構５０の回転経路上の第１の位置、図１のＢの位置を保持機構５０の回転経路上の第２の位置、図１のＣの位置を保持機構５０の回転経路上の第３の位置、図１のＤの位置を保持機構５０の回転経路上の第４の位置とする。つまり、ターンテーブル５を上から見たときに、軸５１から第１の位置の方向を０度の方向とすると、第４の位置は９０度の方向にあり、第３の位置は１８０度の方向にあり、第２の位置は２７０度の方向にある。
【００２３】
パッケージ搬送装置６は、パッケージ１０を真空吸着するパッケージ吸着機構６０と、このパッケージ吸着機構６０をＸ，Ｙ，Ｚ方向（ＺはＸ，Ｙ方向と垂直な方向、すなわち図１の紙面に垂直な方向）に動かすことが可能で、真空吸着したパッケージ１０をターンテーブル５へ搬送し、溶接終了後のパッケージ１０をターンテーブル５からトレイ１２に戻すパッケージ搬送機構６１とを備えている。
【００２４】
以下、本参考例のシーム溶接装置の構成および動作について詳細に説明する。図２は本参考例のシーム溶接装置の動作を説明するフローチャート、図３はシーム溶接装置の電気的な接続関係を示すブロック図である。
【００２５】
まず、シーム溶接の対象となるパッケージ１０は複数個が１つのトレイ１２に並べて載置され、このトレイ１２がラック１３に収容されるようになっている。作業員は、シーム溶接装置のアクセスドア２０を開いてラック１３をローダー２内の所定の搬入位置（図１のＥの位置）に搬入する（図２ステップＳ１）。
【００２６】
制御装置９は、引き戸開閉機構２２を制御して引き戸２１を開き、ラック搬送機構２３を制御してラック１３を押し出すようにしてチャンバ１内の所定の位置（図１のＦの位置）に搬送させる（図２ステップＳ２）。制御装置９は、ラック１３の搬送後、引き戸開閉機構２２を制御して引き戸２１を閉じ、チャンバ１の気密性を保つ。
【００２７】
制御装置９は、トレイ引出・収容機構３０を制御し、ローダー２によって搬送されたラック１３からトレイ１２を引き出させる（図２ステップＳ３）。さらに、制御装置９は、トレイ搬送装置４を制御し、ラック搬送装置３がラック１３から引き出したトレイ１２を所定のトレイ搬送位置（図１のＧの位置）まで搬送させる（図２ステップＳ４）。
【００２８】
トレイ１２の搬送完了後、制御装置９は、回転経路上の第１の位置（図１のＡの位置）にある保持機構５０にＸ，Ｙ方向のシーム溶接が完了したパッケージ１０が保持されているかどうかを判定する（図２ステップＳ５）。ここでは、シーム溶接が完了したパッケージ１０がないので、ステップＳ１０に進む。
【００２９】
制御装置９は、パッケージ搬送機構６１を制御して、パッケージ吸着機構６０をトレイ１２上の未処理のパッケージ１０の上に移動させた後、パッケージ吸着機構６０を下降させてパッケージ１０を吸着させ、パッケージ吸着機構６０を上昇させる。そして、制御装置９は、パッケージ搬送機構６１を制御して、パッケージ１０を吸着したままパッケージ吸着機構６０を保持機構５０の回転経路上の第１の位置（図１のＡの位置）の真上に移動させた後、パッケージ吸着機構６０を下降させてパッケージ１０をターンテーブル５上の保持機構５０の箇所に下ろし、パッケージ吸着機構６０による吸着を停止させてパッケージ１０を解放した後、パッケージ吸着機構６０を上昇させる。こうして、パッケージ１０をターンテーブル５上に搬送する（図２ステップＳ１０）。
【００３０】
制御装置９は、回転経路上の第１の位置にある保持機構５０を制御して、パッケージ１０を保持させる（図２ステップＳ１１）。なお、保持機構５０の構成と動作の詳細については後述する。
【００３１】
パッケージ１０の保持後、制御装置９は、ターンテーブル回転機構５２を制御して、軸５１を中心としてターンテーブル５をＸＹ平面内で反時計廻りに９０度回転させる（図２ステップＳ１２）。この回転により、ステップＳ１１でパッケージ１０を保持しているターンテーブル５の保持機構５０は、回転経路上の第２の位置（図１のＢの位置）まで移動する。
【００３２】
図４（Ａ）は仮付け・本付け用溶接ヘッド７の正面図、図４（Ｂ）は仮付け・本付け用溶接ヘッド７の側面図である。仮付け・本付け用溶接ヘッド７は、金属等の導電材料からなる円板状の１対のローラ電極７０ａ，７０ｂと、ローラ電極７０ａ，７０ｂに給電する、金属等の導電材料からなる円柱状の導電シャフト７１ａ，７１ｂと、導電シャフト７１ａ，７１ｂを回動自在に軸支すると同時に導電シャフト７１ａ，７１ｂに給電する、金属等の導電材料からなる電極ホルダ７２ａ，７２ｂと、１対のローラ電極７０ａ，７０ｂの間に配置される吸着ノズル７３と、電極ホルダ７２ａ，７２ｂを吊り下げる形で支持する支持部材７４と、吸着ノズル７３を吊り下げる形で支持し、支持部材７４に対して吸着ノズル７３を相対的に上下動させることが可能な吸着ノズル昇降機構７５と、支持部材７４をＸ，Ｙ方向に移動させることが可能な支持部材駆動機構７６（図３のみ図示）と、支持部材７４をＺ方向に移動させることが可能な支持部材昇降機構７７（図３のみ図示）と、支持部材７４をＸＹ平面内で回動させることが可能な支持部材回動機構７８（図３のみ図示）とを備えている。なお、図４（Ｂ）では、吸着ノズル７３を見易くするため、ローラ電極７０ｂと電極ホルダ７２ｂの記載を省略している。
【００３３】
円柱状の導電シャフト７１ａ，７１ｂは、それぞれ電極ホルダ７２ａ，７２ｂの貫通穴に挿入されて支えられており、滑り摩擦で回転するようになっている。ローラ電極７０ａ，７０ｂは、導電シャフト７１ａ，７１ｂの一端に取付けられている。電極ホルダ７２ａ，７２ｂは、導電シャフト７１ａ，７１ｂの軸受として機能すると同時に、導電シャフト７１ａ，７１ｂに電流を供給する役目を果たす。
【００３４】
制御装置９は、図１のＢの位置にある保持機構５０と保持機構５０によって保持されているパッケージ１０とをカメラ１５で上から撮像し、画像処理によってパッケージ１０の位置および角度を認識する。ここで、画像処理を行う理由は、パッケージ１０の上にリッド１１を正確に載せて正確に溶接を行うためである。なお、画像処理については周知の技術であるので、詳細な説明は省略する。
【００３５】
制御装置９は、仮付け・本付け用溶接ヘッド７の支持部材駆動機構７６を制御して、吸着ノズル７３がリッドカセット１４上の未処理のリッド１１の上に来るように支持部材７４を移動させた後、支持部材昇降機構７７を制御して、支持部材７４と共に吸着ノズル７３を下降させてリッド１１を吸着させ、支持部材７４と共に吸着ノズル７３を上昇させる。そして、制御装置９は、支持部材駆動機構７６と支持部材回動機構７８とを制御して、吸着ノズル７３が保持機構５０の回転経路上の第２の位置（図１のＢの位置）の真上に来るように支持部材７４を移動させた後、支持部材昇降機構７７を制御して、支持部材７４と共に吸着ノズル７３を下降させてリッド１１をパッケージ１０の上に載せる。こうして、リッド１１をパッケージ１０上に搬送することができる（図２ステップＳ１３）。このとき、制御装置９は、上記の画像処理の結果を基に、リッド１１がパッケージ１０の上に正確に載るように、リッド１１の位置および角度を調整する。
【００３６】
図５（Ａ）〜図５（Ｆ）は仮付け・本付け用溶接ヘッド７による仮付けおよびＸ方向のシーム溶接を説明する側面図である。制御装置９は、図５（Ａ）に示すようにワーク１６（パッケージ１０とリッド１１）にローラ電極７０ａ，７０ｂと吸着ノズル７３とを接触させたまま、電源１７から電極ホルダ７２ａ、導電シャフト７１ａ、ローラー電極７０ａ、ワーク１６、ローラー電極７０ｂ、導電シャフト７１ｂ、電極ホルダ７２ｂという経路で電流を流す。これにより、リッド１１がパッケージ１０に仮付けされる（図２ステップＳ１４）。仮付け完了後、制御装置９は、電源１７からの電流供給を停止させる。
【００３７】
次に、制御装置９は、吸着ノズル７３による吸着を停止させ、吸着ノズル昇降機構７５を制御して、図５（Ｂ）に示すように吸着ノズル７３のみを上昇させる（図２ステップＳ１５）。吸着ノズル７３の上昇後、制御装置９は、ローラ電極７０ａ，７０ｂをワーク１６に接触させたまま、支持部材駆動機構７６を制御して、図５（Ｃ）に示すようにローラ電極７０ａ，７０ｂをＨの方向に移動させ、ローラ電極７０ａ，７０ｂをワーク１６のＸ方向の端の位置まで移動させる。
【００３８】
そして、制御装置９は、ローラ電極７０ａ，７０ｂをワーク１６に接触させたまま、支持部材駆動機構７６を制御して、図５（Ｄ）に示すようにローラ電極７０ａ，７０ｂをＩの方向に移動させながら、電源１７から電極ホルダ７２ａ、導電シャフト７１ａ、ローラー電極７０ａ、ワーク１６、ローラー電極７０ｂ、導電シャフト７１ｂ、電極ホルダ７２ｂという経路で電流を流す。こうして、ローラ電極７０ａ，７０ｂがワーク１６上を回転しながら移動することにより、リッド１１のＸ方向の２辺がパッケージ１０にシーム溶接される（図２ステップＳ１６）。シーム溶接完了後、制御装置９は、電源１７からの電流供給を停止させる。
【００３９】
シーム溶接完了後、制御装置９は、ローラ電極７０ａ，７０ｂをワーク１６に接触させたまま、支持部材駆動機構７６を制御して、図５（Ｅ）に示すようにローラ電極７０ａ，７０ｂをＨの方向に移動させ、ローラ電極７０ａ，７０ｂを溶接時と逆方向に回転させた後、支持部材昇降機構７７を制御して、図５（Ｆ）に示すようにローラ電極７０ａ，７０ｂを上昇させる（図２ステップＳ１７）。ローラ電極７０ａ，７０ｂをシーム溶接時と逆方向に回転させる理由は、ワーク１６をローラ電極７０ａ，７０ｂから引き剥がすためである。
【００４０】
次に、制御装置９は、ターンテーブル回転機構５２を制御して、軸５１を中心としてターンテーブル５をＸＹ平面内で反時計廻りに９０度回転させる（図２ステップＳ１８）。この９０度の回転により、Ｘ方向のシーム溶接が完了したパッケージ１０を保持しているターンテーブル５の保持機構５０は、回転経路上の第３の位置（図１のＣの位置）まで移動する。
【００４１】
ステップＳ１８のターンテーブル５の回転完了後、制御装置９は、回転経路上の第１の位置（図１のＡの位置）にある保持機構５０にＸ，Ｙ方向のシーム溶接が完了したパッケージ１０が保持されているかどうかを判定する（図２ステップＳ１９）。ここでは、シーム溶接が完了したパッケージ１０がないので、ステップＳ２４に進む。
【００４２】
ステップＳ２４では、制御装置９は、パッケージ搬送装置６を制御して、トレイ搬送位置（図１のＧの位置）にあるトレイ１２上の未処理のパッケージ１０を保持機構５０の回転経路上の第１の位置（図１のＡの位置）に搬送させる（図２ステップＳ２４）。この処理はステップＳ１０と同じである。さらに、制御装置９は、回転経路上の第１の位置にある保持機構５０を制御して、パッケージ１０を保持させる（図２ステップＳ２５）。この処理はステップＳ１１と同じである。
【００４３】
図６（Ａ）〜図６（Ｆ）は本付け用溶接ヘッド８によるＹ方向のシーム溶接を説明する側面図である。本付け用溶接ヘッド８は、金属等の導電材料からなる円板状の１対のローラ電極８０ａ，８０ｂと、ローラ電極８０ａ，８０ｂに給電する、金属等の導電材料からなる円柱状の導電シャフト（不図示）と、この導電シャフトを回動自在に軸支すると同時に導電シャフトに給電する、金属等の導電材料からなる電極ホルダ（不図示）と、この電極ホルダを吊り下げる形で支持する支持部材（不図示）と、本付け用溶接ヘッド８の支持部材をＸ，Ｙ方向に移動させることが可能な支持部材駆動機構８１（図３のみ図示）と、本付け用溶接ヘッド８の支持部材をＺ方向に移動させることが可能な支持部材昇降機構８２（図３のみ図示）と、本付け用溶接ヘッド８の支持部材をＸＹ平面内で回動させることが可能な支持部材回動機構８３（図３のみ図示）とを備えている。本付け用溶接ヘッド８は、図４（Ａ）、図４（Ｂ）に示した仮付け・本付け用溶接ヘッド７から吸着ノズル７３と吸着ノズル昇降機構７５とを省いた構成に相当する。したがって、本付け用溶接ヘッド８の詳細な説明は省略する。
【００４４】
制御装置９は、本付け用溶接ヘッド８の支持部材駆動機構８１と支持部材回動機構８３とを制御して、ローラ電極８０ａ，８０ｂが保持機構５０の回転経路上の第３の位置（図１のＣの位置）の真上に来るように本付け用溶接ヘッド８の支持部材を移動させた後、支持部材昇降機構８２を制御して、ローラ電極８０ａ，８０ｂを下降させてワーク１６（パッケージ１０とリッド１１）の上に載せる（図２ステップＳ２６）。このとき、制御装置９は、図６（Ａ）に示すようにローラ電極８０ａ，８０ｂをワーク１６の端の位置に下降させる。
【００４５】
なお、パッケージ１０が図１のＢの位置にあったときに画像処理によってパッケージ１０の位置および角度を認識しているので、カメラによる撮像と画像処理を再度行う必要はなく、制御装置９は、上記の画像処理の結果を基に、ローラ電極８０ａ，８０ｂをワーク１６の端の位置に正確に下ろすことができる。
【００４６】
続いて、制御装置９は、ローラ電極８０ａ，８０ｂをワーク１６に接触させたまま、支持部材駆動機構８１を制御して、図６（Ｂ）に示すようにローラ電極８０ａ，８０ｂをＩの方向に移動させながら、電源１７から本付け用溶接ヘッド８の一方の電極ホルダ、導電シャフト、ローラー電極８０ａ、ワーク１６、ローラー電極８０ｂ、本付け用溶接ヘッド８の他方の導電シャフト、電極ホルダという経路で電流を流す。こうして、ローラ電極８０ａ，８０ｂがワーク１６上を回転しながら移動することにより、リッド１１のＹ方向の２辺がパッケージ１０にシーム溶接される（図２ステップＳ２７）。
【００４７】
なお、ローラ電極８０ａ，８０ｂが移動する方向は図５（Ｄ）の場合と全く同じであるが、ステップＳ１８の処理によってワーク１６が９０度回転しているので、溶接されるのはリッド１１のＹ方向となる。シーム溶接完了後、制御装置９は、電源１７からの電流供給を停止させる。
【００４８】
シーム溶接完了後、制御装置９は、ローラ電極８０ａ，８０ｂをワーク１６に接触させたまま、支持部材駆動機構８１を制御して、図６（Ｃ）に示すようにローラ電極８０ａ，８０ｂをＨの方向に移動させ、ローラ電極８０ａ，８０ｂを溶接時と逆方向に回転させた後、支持部材昇降機構８２を制御して、図６（Ｄ）に示すようにローラ電極８０ａ，８０ｂを上昇させる（図２ステップＳ２８）。上記と同様に、ローラ電極８０ａ，８０ｂをシーム溶接時と逆方向に回転させる理由は、ワーク１６をローラ電極８０ａ，８０ｂから引き剥がすためである。
【００４９】
次に、制御装置９は、ターンテーブル回転機構５２を制御して、軸５１を中心としてターンテーブル５をＸＹ平面内で反時計廻りに９０度回転させる（図２ステップＳ２９）。この９０度の回転により、Ｘ，Ｙ方向のシーム溶接が完了したパッケージ１０を保持しているターンテーブル５の保持機構５０は、回転経路上の第４の位置（図１のＤの位置）まで移動する。ターンテーブル５の回転完了後、ステップＳ５に戻る。
【００５０】
ステップＳ５では、制御装置９は、回転経路上の第１の位置（図１のＡの位置）にある保持機構５０にＸ，Ｙ方向のシーム溶接が完了したパッケージ１０が保持されているかどうかを判定する。ここでは、シーム溶接が完了したパッケージ１０がないので、ステップＳ１０に進む。上記と同様に、ステップＳ１０〜Ｓ１９，Ｓ２４〜Ｓ２９の処理が実施されると、Ｘ，Ｙ方向のシーム溶接が完了したパッケージ１０を保持しているターンテーブル５の保持機構５０は、回転経路上の第１の位置まで移動する。
【００５１】
制御装置９は、回転経路上の第１の位置にある保持機構５０にＸ，Ｙ方向のシーム溶接が完了したパッケージ１０が保持されているので（図２ステップＳ５においてＹＥＳ）、この保持機構５０を制御して、Ｘ，Ｙ方向のシーム溶接が完了したパッケージ１０の保持を解除させる。続いて、制御装置９は、パッケージ搬送機構６１を制御して、パッケージ吸着機構６０を保持機構５０に保持されている、Ｘ，Ｙ方向のシーム溶接が完了したパッケージ１０の上に移動させた後、パッケージ吸着機構６０を下降させてパッケージ１０を吸着させ、パッケージ吸着機構６０を上昇させる。そして、制御装置９は、パッケージ搬送機構６１を制御して、パッケージ１０を吸着したままパッケージ吸着機構６０を、トレイ搬送位置（図１のＧの位置）にあるトレイ１２上に移動させた後、パッケージ吸着機構６０を下降させてパッケージ１０をトレイ１２上の空いている箇所に下ろし、パッケージ吸着機構６０による吸着を停止させてパッケージ１０を解放した後、パッケージ吸着機構６０を上昇させる。こうして、Ｘ，Ｙ方向のシーム溶接が完了したパッケージ１０を排出する（図２ステップＳ６）。
【００５２】
また、制御装置９は、ステップＳ１９において回転経路上の第１の位置にある保持機構５０にＸ，Ｙ方向のシーム溶接が完了したパッケージ１０が保持されていると判定した場合も、ステップＳ６と同じ処理を行う（図２ステップＳ２０）。
【００５３】
ステップＳ６，Ｓ２０の処理完了後、制御装置９は、トレイ１２上の全てのパッケージ１０のシーム溶接が完了したかどうかを判定する（図２ステップＳ７，Ｓ２１）。トレイ１２上にシーム溶接が完了していない未処理のパッケージ１０ある場合は、ステップＳ１０，Ｓ２４に進む。
【００５４】
一方、トレイ１２上の全てのパッケージ１０のシーム溶接が完了している場合（ステップＳ７，Ｓ２１においてＹＥＳ）、制御装置９は、トレイ搬送装置４を制御し、トレイ搬送位置（図１のＧの位置）にあるトレイ１２をラック搬送装置３のトレイ引出・収容機構３０に渡す位置まで搬送させ、さらにトレイ引出・収容機構３０を制御し、トレイ搬送装置４によって搬送されたトレイ１２をラック搬送装置３内にあるラック１３に戻す（図２ステップＳ８，Ｓ２２）。
【００５５】
続いて、制御装置９は、ローダー２の引き戸開閉機構２２を制御して引き戸２１を開き、ラック搬送機構３１を制御してラック１３を押し出すようにしてローダー２内に搬送させる（図２ステップＳ９，Ｓ２３）。制御装置９は、ラック１３の搬送後、引き戸開閉機構２２を制御して引き戸２１を閉じ、チャンバ１の気密性を保つ。こうして、ラック１３をローダー２内に戻すことができる。ローダー２内のラックは、作業員がアクセスドア２０を開いて取り出すことができる。
【００５６】
なお、本参考例では、１枚のトレイ１２の処理が完了した時点でシーム溶接装置の処理を終えているが、ラック１３内に複数枚のトレイ１２が収容されている場合には、トレイ１２毎にステップＳ３〜Ｓ８，Ｓ１０〜Ｓ２２，Ｓ２４〜Ｓ２９の処理を行ない、ラック１３に収容された全てのトレイ１２について処理が完了した時点で、ステップＳ９，Ｓ２３のラック搬出処理を行えばよい。
【００５７】
本参考例では、保持機構５０の回転経路上の第１の位置（図１のＡの位置）でパッケージ１０の搬送と搬出を行い、保持機構５０の回転経路上の第２の位置（図１のＢの位置）でパッケージ１０の仮付けとＸ方向のシーム溶接を行い、保持機構５０の回転経路上の第３の位置（図１のＣの位置）でパッケージ１０のＹ方向のシーム溶接を行うようにしたことにより、パッケージ１０の仮付けとシーム溶接のために広いエリアを取る必要がなくなるので、特許文献１、特許文献２に開示された従来のシーム溶接装置よりも装置を小型化することができる。また、本参考例では、１台の電源１７でパッケージ１０の仮付けとＸ方向のシーム溶接、およびＹ方向のシーム溶接を行うことができる。
【００５８】
［実施の形態］
次に、本発明の実施の形態について説明する。本実施の形態では、ターンテーブル５の保持機構５０と、保持機構５０を駆動する開閉機構５３について詳細に説明する。本実施の形態においても、シーム溶接装置の構成は参考例と同じであるので、図１〜図６の符号を用いて説明する。
【００５９】
図７（Ａ）はターンテーブル５の保持機構５０を上から見た平面図、図７（Ｂ）は保持機構５０を下から見た下面図、図７（Ｃ）は保持機構５０と開閉機構５３とを横から見た側面図、図７（Ｄ）は保持機構５０がパッケージ１０を保持した様子を示す平面図、図７（Ｅ）は開閉機構５３のカム５９の下面図である。なお、図７（Ａ）〜図７（Ｅ）は保持機構５０が回転経路上の第１の位置（図１のＡの位置）にある場合を示している。
【００６０】
保持機構５０は、平板状の台座５４と、台座５４上のＸＹ平面内でそれぞれ所定の２方向に動くことが可能な可動部材５５ａ，５５ｂ，５５ｃ，５５ｄと、一端が可動部材５５ａ，５５ｂ，５５ｃ，５５ｄに固定された、パッケージ１０を保持するための爪５６ａ，５６ｂ，５６ｃ，５６ｄと、台座５４の表側の可動部材５５ａ，５５ｂ，５５ｃ，５５ｄと機械的に連結され、台座５４の裏側に突出するように設けられた円柱状の可動ポール５７ａ，５７ｂ，５７ｃ，５７ｄと、爪５６ａ，５６ｂ，５６ｃ，５６ｄが閉じる方向に可動ポール５７ａ，５７ｂ，５７ｃ，５７ｄを付勢する弾性体であるばね５８ａ，５８ｂ，５８ｃ，５８ｄとから構成される。
【００６１】
保持機構５０を上から見たときに、台座５４の中心５４０から０度の方向に可動部材５５ａと爪５６ａと可動ポール５７ａとがあるとすると、可動部材５５ｄと爪５６ｄと可動ポール５７ｄとは９０度の方向にあり、可動部材５５ｃと爪５６ｃと可動ポール５７ｃとは１８０度の方向にあり、可動部材５５ｂと爪５６ｂと可動ポール５７ｂとは２７０度の方向にある。
【００６２】
開閉機構５３は、ターンテーブル５の下部、具体的には図１に示すように保持機構５０の回転経路上の第１の位置（図１のＡの位置）に配置されている。この開閉機構５３は、可動ポール５７ａ，５７ｂ，５７ｃ，５７ｄを動かす平板状のカム５９と、カム５９をＺ方向に移動させることが可能なカム昇降機構９０と、カム５９をＸＹ平面内で一方向に回転させることが可能なカム回転機構９１とから構成される。
【００６３】
可動部材５５ａと爪５６ａと可動ポール５７ａとは、図７（Ａ）のＸ方向に沿って動くことができ、パッケージ１０を保持するときには−Ｘ方向に動き、パッケージ１０を解放するときには＋Ｘ方向に動く。可動部材５５ｂと爪５６ｂと可動ポール５７ｂとは、図７（Ａ）のＹ方向に沿って動くことができ、パッケージ１０を保持するときには＋Ｙ方向に動き、パッケージ１０を解放するときには−Ｙ方向に動く。可動部材５５ｃと爪５６ｃと可動ポール５７ｃとは、Ｘ方向に沿って動くことができ、パッケージ１０を保持するときには＋Ｘ方向に動き、パッケージ１０を解放するときには−Ｘ方向に動く。可動部材５５ｄと爪５６ｄと可動ポール５７ｄとは、Ｙ方向に沿って動くことができ、パッケージ１０を保持するときには−Ｙ方向に動き、パッケージ１０を解放するときには＋Ｙ方向に動く。
【００６４】
また、可動ポール５７ａは、ばね５８ａによって爪５６ａが閉じる方向（−Ｘ方向）に付勢され、可動ポール５７ｂは、ばね５８ｂによって爪５６ｂが閉じる方向（＋Ｙ方向）に付勢され、可動ポール５７ｃは、ばね５８ｃによって爪５６ｃが閉じる方向（＋Ｘ方向）に付勢され、可動ポール５７ｄは、ばね５８ｄによって爪５６ｄが閉じる方向（−Ｙ方向）に付勢されている。このとき、ばね５８ａの弾性力が最も強く、ばね５８ｂの弾性力が２番目に強く、ばね５８ｃ，５８ｄの弾性力が最も弱くなるように、各ばね５８ａ，５８ｂ，５８ｃ，５８ｄの弾性力が予め設定されている。
【００６５】
制御装置９は、回転経路上の第１の位置（図１のＡの位置）にある保持機構５０にパッケージ１０を搬送したり、この保持機構５０に保持されているパッケージ１０を搬出したりするときに（図２ステップＳ６，Ｓ１０，Ｓ２０，Ｓ２４）、爪５６ａ，５６ｂ，５６ｃ，５６ｄを開く。具体的には、制御装置９は、カム昇降機構９０を制御し、カム５９を上昇させる。この上昇により、カム５９は図７（Ｃ）のＪの位置まで移動する。
【００６６】
そして、制御装置９は、カム回転機構９１を制御し、カム５９をＸＹ平面内で一方向（下から見て時計廻り）に回転させる。このとき、制御装置９は、カム５９の外縁のうち、カム５９の回転中心５９０からの距離が遠い４点５９１ａ，５９１ｂ，５９１ｃ，５９１ｄがそれぞれ可動ポール５７ａ，５７ｂ，５７ｃ，５７ｄと接触するようにカム５９を回転させる。カム５９を下から見たときに、回転中心５９０から０度の方向に点５９１ａがあるとすると、点５９１ｂは９０度の方向にあり、点５９１ｃは１８０度の方向にあり、点５９１ｄは２７０度の方向にある。このように、カム５９の外縁の点５９１ａ，５９１ｂ，５９１ｃ，５９１ｄが可動ポール５７ａ，５７ｂ，５７ｃ，５７ｄと接触する状態を、第１の状態（図７（Ｂ）の状態）と呼ぶ。なお、カム５９の回転中心５９０は、台座５４の中心５４０と同じＸＹ位置にある。
【００６７】
第１の状態とすることにより、可動ポール５７ａ，５７ｂ，５７ｃ，５７ｄがカム５９によって押される状態となるので、この可動ポール５７ａ，５７ｂ，５７ｃ，５７ｄの動きに伴って、可動部材５５ａと爪５６ａとは＋Ｘ方向に動き、可動部材５５ｂと爪５６ｂとは−Ｙ方向に動き、可動部材５５ｃと爪５６ｃとは−Ｘ方向に動き、可動部材５５ｄと爪５６ｄとは＋Ｙ方向に動く。こうして、爪５６ａ，５６ｂ，５６ｃ，５６ｄが開くので、台座５４上の爪５６ａ，５６ｂ，５６ｃ，５６ｄに囲まれた空間にパッケージ１０を載置したり、爪５６ａ，５６ｂ，５６ｃ，５６ｄによるパッケージ１０の保持を解除したりすることができる。
【００６８】
次に、制御装置９は、回転経路上の第１の位置（図１のＡの位置）にある保持機構５０にパッケージ１０を保持させるときに（図２ステップＳ１１，Ｓ２５）、爪５６ａ，５６ｂ，５６ｃ，５６ｄを閉じる。具体的には、制御装置９は、カム回転機構９１を制御し、カム５９をＸＹ平面内で一方向（下から見て時計廻り）に回転させる。このとき、制御装置９は、カム５９の外縁のうち、カム５９の回転中心５９０からの距離が近い４点５９２ａ，５９２ｂ，５９２ｃ，５９２ｄがそれぞれ可動ポール５７ａ，５７ｂ，５７ｃ，５７ｄと接触するようにカム５９を回転させる。
【００６９】
カム５９を下から見たときに、回転中心５９０から０度の方向に点５９２ａがあるとすると、点５９２ｂは９０度の方向にあり、点５９２ｃは１８０度の方向にあり、点５９２ｄは２７０度の方向にある。このように、カム５９の外縁の点５９２ａ，５９２ｂ，５９２ｃ，５９２ｄが可動ポール５７ａ，５７ｂ，５７ｃ，５７ｄと接触する状態を、第２の状態と呼ぶ。
【００７０】
ここで、カム５９の回転中心５９０と点５９２ａとの距離は、回転中心５９０と点５９１ａとの距離よりも短く、回転中心５９０と点５９２ｂとの距離は、回転中心５９０と点５９１ｂとの距離よりも短く、回転中心５９０と点５９２ｃとの距離は、回転中心５９０と点５９１ｃとの距離よりも短く、回転中心５９０と点５９２ｄとの距離は、回転中心５９０と点５９１ｄとの距離よりも短くなるようにカム５９の平面形状が予め設定されている。さらに、点５９２ａ，５９２ｂ，５９２ｃ，５９２ｄのうち、回転中心５９０と点５９２ａとの距離が最も長く、回転中心５９０と点５９２ｂとの距離が２番目に長く、回転中心５９０と点５９２ｃとの距離が３番目に長く、回転中心５９０と点５９２ｄとの距離が最も短くなるように設定されている。
【００７１】
第１の状態から第２の状態へと遷移させることにより、カム５９の外縁が可動ポール５７ａ，５７ｂ，５７ｃ，５７ｄを押す力が弱まるので、ばね５８ａ，５８ｂ，５８ｃ，５８ｄの弾性力によって、可動部材５５ａと爪５６ａと可動ポール５７ａとは−Ｘ方向に動き、可動部材５５ｂと爪５６ｂと可動ポール５７ｂとは＋Ｙ方向に動き、可動部材５５ｃと爪５６ｃと可動ポール５７ｃとは＋Ｘ方向に動き、可動部材５５ｄと爪５６ｄと可動ポール５７ｄとは−Ｙ方向に動く。
【００７２】
こうして、爪５６ａ，５６ｂ，５６ｃ，５６ｄが閉じるので、台座５４上の爪５６ａ，５６ｂ，５６ｃ，５６ｄに囲まれた空間に載置されたパッケージ１０を、図７（Ｄ）に示すように爪５６ａ，５６ｂ，５６ｃ，５６ｄによって４方向から押さえ、保持することができる。
【００７３】
ここで、上記のようなカム５９の平面形状の設定により、爪５６ｄの移動量が最も大きく、爪５６ｃの移動量が２番目に大きく、爪５６ｂの移動量が３番目に大きく、爪５６ａの移動量が最も小さくなる。したがって、Ｘ方向に関しては爪５６ａよりも爪５６ｃが大きく動いて、パッケージ１０を爪５６ａに押し付けるように働く。このとき、ばね５８ａの弾性力が最も強く設定されているので、このばね５８ａの弾性力によって爪５６ａがパッケージ１０を押し止める力は、爪５６ｃがパッケージ１０を押す力よりも強くなる。こうして、保持機構５０の台座５４上でパッケージ１０のＸ方向の位置を精度良く位置決めすることができる。
【００７４】
同様に、Ｙ方向に関しては爪５６ｂよりも爪５６ｄが大きく動いて、パッケージ１０を爪５６ｂに押し付けるように働く。このとき、ばね５８ｂの弾性力が２番目に強く設定されているので、このばね５８ｂの弾性力によって爪５６ｂがパッケージ１０を押し止める力は、爪５６ｄがパッケージ１０を押す力よりも強くなる。こうして、保持機構５０の台座５４上でパッケージ１０のＹ方向の位置を精度良く位置決めすることができる。
【００７５】
制御装置９は、保持機構５０にパッケージ１０を保持させた後、カム昇降機構９０を制御し、カム５９を下降させる。この下降により、カム５９は図７（Ｃ）のＫの位置まで移動する。
以後は、保持機構５０は、回転経路上の第１の位置（図１のＡの位置）に戻って上記のように爪５６ａ，５６ｂ，５６ｃ，５６ｄが開くまで、パッケージ１０を保持する状態を維持し続ける。
【００７６】
なお、爪５６ａ，５６ｂ，５６ｃ，５６ｄを開くためにカム５９を上昇させる場合には、カム５９の回転状態を第２の状態にしてカム５９を上昇させ、第１の状態までカム５９を回転させるようにすればよい。また、爪５６ａ，５６ｂ，５６ｃ，５６ｄが閉じている状態で可動ポール５７ａ，５７ｂ，５７ｃ，５７ｄの間が狭くなり過ぎると、カム５９を上昇させたときにカム５９が可動ポール５７ａ，５７ｂ，５７ｃ，５７ｄの間に入ることができなくなってしまう。そこで、爪５６ａ，５６ｂ，５６ｃ，５６ｄには図示しないストッパ機構が設けられており、爪５６ａ，５６ｂ，５６ｃ，５６ｄが閉じる状態を調整できるようになっており、カム５９を上昇させるときには、カム５９が可動ポール５７ａ，５７ｂ，５７ｃ，５７ｄの間に入ることができるようになっている。
【００７７】
以上のように、本実施の形態では、ばね５８ａ，５８ｂ，５８ｃ，５８ｄの弾性力の設定とカム５９の形状の設定によって、Ｘ，Ｙ方向共に片側（Ｘ方向は爪５６ａ側、Ｙ方向は爪５６ｂ側）を位置決めの基準として、パッケージ１０を精度良く保持することができる。通常、異なるサイズのパッケージをシーム溶接する場合、そのサイズに有った保持機構を使用するが、本実施の形態では、同一の保持機構５０を使って、サイズの異なる様々なパッケージ１０を精度良く保持することができる。これにより、サイズの異なるパッケージ毎に保持機構５０を変える必要がなくなるので、コストを抑えることができる。
【００７８】
また、本実施の形態では、保持機構５０を駆動する開閉機構５３を１箇所のみ設け、保持機構５０が開閉機構５３の真上に来たときに保持機構５０の爪５６ａ，５６ｂ，５６ｃ，５６ｄを開閉させるようにしたので、複数箇所に開閉機構５３を設ける必要がなく、コストを抑えることができる。
【００７９】
参考例および実施の形態で説明した制御装置９は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、記憶装置およびインタフェースを備えたコンピュータと、これらのハードウェア資源を制御するプログラムによって実現することができる。ＣＰＵは、記憶装置に格納されたプログラムに従って参考例および実施の形態で説明した処理を実行する。
【産業上の利用可能性】
【００８０】
本発明は、シーム溶接に適用することができる。
【符号の説明】
【００８１】
１…チャンバ、２…ローダー、３…ラック搬送装置、４…トレイ搬送装置、５…ターンテーブル、６…パッケージ搬送装置、７…仮付け・本付け用溶接ヘッド、８…本付け用溶接ヘッド、９…制御装置、１０…パッケージ、１１…リッド、１２…トレイ、１３…ラック、１４…リッドカセット、１５…カメラ、１６…ワーク、１７…電源、２０…アクセスドア、２１…引き戸、２２…引き戸開閉機構、２３…ラック搬送機構、３０…トレイ引出・収容機構、３１…ラック搬送機構、５０…保持機構、５１…軸、５２…ターンテーブル回動機構、５３…開閉機構、５４…台座、５５ａ，５５ｂ，５５ｃ，５５ｄ…可動部材、５６ａ，５６ｂ，５６ｃ，５６ｄ…爪、５７ａ，５７ｂ，５７ｃ，５７ｄ…可動ポール、５８ａ，５８ｂ，５８ｃ，５８ｄ…ばね、５９…カム、６０…パッケージ吸着機構、６１…パッケージ搬送機構、７０ａ，７０ｂ，８０ａ，８０ｂ…ローラ電極、７１ａ，７１ｂ…導電シャフト、７２ａ，７２ｂ…電極ホルダ、７３…吸着ノズル、７４…支持部材、７５…吸着ノズル昇降機構、７６，８１…支持部材駆動機構、７７，８２…支持部材昇降機構、７８，８３…支持部材回動機構、９０…カム昇降機構、９１…カム回転機構。
【図１】
0006423636.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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