(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロールトゥロール方式のウェット処理装置であって、
少なくとも
ウェット処理部と、
モーターと、
前記モーターに連結したドライブシャフトと、
複数の駆動ロールと、
駆動ロールを受ける軸受けと
を有し、
前記複数の駆動ロールが前記ドライブシャフトに設けた複数の摩擦クラッチの各々と連接されて駆動するウェット処理装置において、
前記駆動ロールのトルクと回転数を調整する摩擦板を押圧する手段が、円筒状のシャフトの外側にコイルバネを同心円状に装着し、前記シャフトに装着した押板を前記コイルバネをシャフトの軸方向に沿って位置を変えることによって、前記摩擦板にかかる力を調整することを特徴とするウェット処理装置。
【請求項２】
前記駆動ロールのトルクと回転数を調整するため、前記摩擦板を押圧する手段が、円筒状のシャフト１の外側にコイルバネ（ｋ１）を同心円状に装着し、シャフト１の内側にシャフト２を備え、シャフト１とシャフト２の間に同心円状に装着したコイルバネ（ｋ２）を配置した二重のコイルバネにおいて、それぞれ独立にシャフト１および２の軸方向に沿って、各々のコイルバネに備えられた押板１と押板２の位置を変えることによって、前記摩擦板にかかる力を調整することであることを特徴とする請求項１に記載のウェット処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ロールに巻かれたフィルムや金属箔などのウェブ状の処理対象物を、ウェット処理するためのロールトゥロール方式のウェット処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
フィルムや金属箔などのウェブの処理装置において、その処理装置の内部のパスが長くなると、ウェブに駆動力を伝える駆動ロールから離れるにつれてウェブのテンションが低下することで、ウェブとロール間の摩擦が低下し、滑りが生じるため、ウェブの蛇行や弛みなどの搬送不良が発生する。
【０００３】
ウェブの蛇行や弛みを防止する方法としては、駆動ロールから離れたフリーロールに駆動力を与えることで回避する技術が開示されている。
【０００４】
例えば、特許文献１には、電磁クラッチを用いてフリーロールに駆動力を与えるウェブの搬送方法および装置が開示されている。しかしながら、電磁クラッチに電力を供給し制御することから、電磁クラッチなどを防水且つ耐薬品性の仕様にする必要があり、装置費用が増加する問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第２７６７９３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記の問題点に鑑み、本発明は、機構が単純で防水仕様などの特別な対策が不要なウェブのテンション制御機構を備えたウェット処理装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決する手段として、請求項１に記載の発明は、ロールトゥロール方式のウェット処理装置であって、少なくともウェット処理部と、モーターと、前記モーターに連結したドライブシャフトと、複数の駆動ロールと、駆動ロールを受ける軸受けとを有し、前記複数の駆動ロールが前記ドライブシャフトに設けた複数の摩擦クラッチの各々と連接されて駆動するウェット処理装置において、前記駆動ロールのトルクと回転数を調整する摩擦板を押圧する手段が、円筒状のシャフトの外側にコイルバネを同心円状に装着し、前記シャフトに装着した押板を前記コイルバネをシャフトの軸方向に沿って位置を変えることによって、前記摩擦板にかかる力を調整することを特徴とするウェット処理装置である。
【００１０】
また、請求項２に記載の発明は、前記駆動ロールのトルクと回転数を調整するため、前記摩擦板を押圧する手段が、円筒状のシャフト１の外側にコイルバネ（ｋ１）を同心円状に装着し、シャフト１の内側にシャフト２を備え、シャフト１とシャフト２の間に同心円状に装着したコイルバネ（ｋ２）を配置した二重のコイルバネにおいて、それぞれ独立にシャフト１および２の軸方向に沿って、各々のコイルバネに備えられた押板１と押板２の位置を変えることによって、前記摩擦板にかかる力を調整することであることを特徴とする請求項１に記載のウェット処理装置である。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のウェット処理装置によれば、ウェット処理部においてもウェブのテンションの低下が起こらず、ウェブの蛇行や弛みといった搬送不良が発生しなくなる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明のウェット処理装置の構成の一例を示す概略説明図。
【図２】本発明のウェット処理装置で使用するウェブのテンション制御機構の構成の一例を示す概略説明図。
【図３】本発明のウェット処理装置で使用する軸受の構成の一例を示す概略説明図。
【図４】本発明のウェット処理装置で使用する軸受の構成の別の一例を示す概略説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明のウェット処理装置を、図１〜４を用いて説明する。
本発明はロールトゥロール方式のウェット処理装置であって、ロールに巻かれた長尺状の被処理物であるウェブを巻き出しロールから巻き出すための巻き出し部と、巻き出されたウェブを洗浄、現像、エッチング、レジスト剥離、水きり、その他のウェット処理するためのウェット処理部と、処理されたウェブを巻き取りロールに巻き取るための巻取り部を備えている。
【００１５】
ウェット処理部には、複数の駆動ロールが備えられており、各々の駆動ロールには、それぞれ駆動ロールのトルクおよび回転数を調整して、ウェブのテンションを制御するための摩擦クラッチが連接されており、動力源であるモータからの動力を駆動ロールに伝えている。
【００１６】
＜ウェット処理装置の構成とその処理内容について＞
図１は、本発明のウェット処理装置の全体構成の一例を説明するための概略説明図であり、巻き出し部とウェット処理部と巻き取り部から構成された最も基本的な構成を示したものである。
【００１７】
それぞれの構成要素には、巻き出しロール、駆動ロール、ダンサーロール、フリーロール、巻き取りロール、などの各種のロールが備えられている。巻き出しロール、フリーロ
ールは、駆動力を持たないロールであり、その他のロールは制御された駆動力が伝達される駆動ロールである。
【００１８】
まず、巻き出しロールから巻き出されたウェブは、最初のフリーロールを経て、次のフリーロールに至る。このフリーロールには駆動ロールがウェブを挟む形で接しており、巻き出しロールからウェブを巻き出す力をウェブに与えている。図１では、このロールを駆動ロールとして示している。この巻き出し用の駆動ロールの駆動系は、ウェット処理部の駆動ロールを駆動する駆動系とは別の駆動系になっている。
【００１９】
次に、ウェブはダンサーロール１を経て、巻き出し部の中のウェット処理部に最も近い部位に備えられた駆動ロールに至る。ダンサーロール１は、ダンサーロール１制御装置によって制御され、その位置を移動することによってウェブのテンションを調整する。前記の駆動ロールは、ウェット処理部の内部にある駆動ロールと同じ駆動系に属し、そのトルクと回転数が制御されている。
【００２０】
次に、ウェブはウェット処理部に入り、ウェット処理部の中で、前段の巻き出し部に最も近い一番目の駆動ロールに至る。この段階では、ウェブはウェット処理部に貯留されている液体には浸からない位置にある。
【００２１】
次に、ウェブはウェット処理部の二番目の駆動ロールに至る。この二番目の駆動ロールは、液体に浸かる位置に備えられている。
【００２２】
次に、ウェブは第三の駆動ロールに至る。この駆動ロールは、第一の駆動ロールと同様に液体に浸からない位置に備えられている。このようにして、ウェブはウェット処理部に貯留されている液体に浸ることにより、処理され、巻き取り部に向かう。
【００２３】
巻き取り部に入ったウェブは、まず最初に、図示していない駆動ロールに至る。この駆動ロールはウェット処理部の駆動ロールと同じ駆動系によって制御され、そのトルクと回転数が制御されている。
【００２４】
次に、ダンサーロールを経て、その次のフリーロールを経て、更にその次のフリーロールを経て、巻き取りロールに巻き取られる。巻き取りロールは、ウェブが巻き取られて行くに連れて、その巻き取り位置の半径が増えて行っても、送られてくるウェブの速度と同じ巻き取り速度になるように、その回転数が制御される。
【００２５】
巻き取り部にあるダンサーロール２は、ダンサーロール２制御装置によって制御され、その位置を移動することによってウェブのテンションを調整する。
【００２６】
以上に説明したように、本発明のウェット処理装置においては、ウェット処理部の駆動ロールのトルクと回転数を、ウェブのテンションが低下しないように制御することにより、ウェブとロール間の摩擦が小さくなり過ぎることにより発生するウェブの蛇行や弛みなどの搬送不良が発生することを防止することが可能である。
【００２７】
＜駆動ロールの制御について＞
図２に示す様に、本発明のウェット処理装置の駆動ロールのトルクと回転数の制御について説明する。本発明のウェット処理装置では、ウェット処理部などの駆動ロールのトルクと回転数の制御には、動力源であるモータからの動力を伝えるドライブシャフトを摩擦クラッチに接続する事によって、モータから伝達されるトルクや回転数を制御可能にしている。
【００２８】
具体的には、駆動ロールを駆動するためのモータからの動力を伝達するドライブシャフトを摩擦クラッチに接続し、モータからの動力を駆動ロールにチェーンなどを介して伝達するためのスプロケット側に動力を伝達する。その際に、軸受の内部における２枚の摩擦板間の押圧力を加減することにより、駆動ロールの回転トルクおよび回転数を制御することを可能としている。２枚の摩擦板とは、モータに連接したドライブシャフトのモータ側に設けられた摩擦板とモータからの動力を駆動ロールに伝達するためのスプロケット側に設けられた摩擦板であり、それらの摩擦板のいずれか一方をもう一方の摩擦板に押圧することにより、駆動ロールのトルクと回転数を制御することを可能としている。
【００２９】
＜軸受について＞
本発明のウェット処理装置における駆動ロールのトルクおよび回転数を制御するために使用する軸受について説明する。
図３は、本発明のウェット処理装置で使用する軸受の一例を示す概略説明図である。
【００３０】
この軸受は、ドライブシャフト１のモータ側にドライブシャフトの同心円状に装着して備えられたコイルバネがあり、動力源であるモータからの駆動力は、ドライブシャフト１の軸方向に沿って移動可能な支持板である押板１の位置を変えることによって、前記コイルバネによりドライブシャフト１のモータ側の摩擦板にかかる力を調整し、モータからスプロケット側の摩擦板に伝達されるトルクと回転数を制御することを可能としたものである。押板１をドライブシャフト１に沿ってスプロケット側に近づけると、コイルバネによって、モータ側の摩擦板をスプロケット側の摩擦板に押し付ける力が増加し、摩擦板間の滑りが小さくなるため、モータからスプロケットに伝達するトルクと回転数は大きくなる。その逆に押板１をスプロケットから遠ざけるとトルクは小さくなる。
【００３１】
図４は、別の軸受の例を示した概略説明図である。
これは、円筒状のドライブシャフト１の外側には、コイルバネ（ｋ１）を同心円状に装着し、内側側には、ドライブシャフト２に同心円状に装着したコイルバネ（ｋ２）を配置した二重のコイルバネであって、各々のコイルバネに備えられた押板１と押板２を、それぞれ独立にドライブシャフト１、２の軸方向に沿って移動し固定可能とした摩擦クラッチである。ただし、ｋ１とｋ２は、それぞれのコイルバネのバネ定数である。
【００３２】
このような軸受によれば、例えば、ｋ２をｋ１の１／１０とすれば、ｋ１のバネ定数を持つコイルバネによって摩擦板に加える力を設定し、更にｋ２のバネ定数を持つコイルバネによって更に加える力を重畳できるが、その力を設定できる分解能が１／１０にできるため、より細かい駆動ロールのトルクと回転数を設定できるメリットがある。
【００３４】
以上に説明したように、本発明のウェット処理装置は、従来、フリーロールであったウェット処理部のロールを駆動ロールに変え、更に軸受にて、個々のロールのトルクと回転数を、ウェブのテンションが低下し過ぎない様に調整することによって、ウェブの蛇行や弛みといった搬送不良を発生させないことを可能にした。
【図１】
0006443018.tif 000002
【図２】
0006443018.tif 000003
【図３】
0006443018.tif 000004
【図４】
0006443018.tif 000005