(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被印刷物の表面に、各種塗布物としてのインクを塗布して印刷するスクリーン印刷に用いられるスクリーンマスクであって、
印刷時に被印刷物に当接されるスクリーンマスク本体部には、印刷時に前記被印刷物に対向する側である表面側から裏面側に貫通形成された、前記インクを裏面側から表面側に透過させる、略枠型の印刷パターンが形成されると共に、
該印刷パターンが形成されていない領域である非印刷領域には、少なくとも凹状の形状に形成され、前記表面側から裏面側に貫通していない、印刷時に前記被印刷物の表面に非接触となる非接触部が複数形成され、
前記非接触部は、前記印刷パターンから離間した位置に設けられると共に、前記印刷パターンと前記非接触部との間は、所定の幅にわたって、前記印刷パターン及び前記非接触部のいずれも形成されない非形成領域が設けられ、
前記印刷パターンの外側の前記スクリーンマスク本体部と前記印刷パターンの内側の前記スクリーンマスク本体部とは、前記インクを透過させるメッシュ状に形成されたスクリーンメッシュによって連結され、前記印刷パターンにはスクリーンメッシュが露出するように形成されたことを特徴とするスクリーンマスク。
【請求項２】
前記非接触部は、同一形状に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のスクリーンマスク。
【請求項３】
前記非接触部は、正面視略円形の凹部、正面視略多角形の凹部、正面視略線形の凹部のうち少なくとも何れか一つの形状であることを特徴とする請求項２に記載のスクリーンマスク。
【請求項４】
前記スクリーンマスク本体部の前記非接触部が設けられた部分の表面粗さは、該表面粗さをＲａとした場合、
Ｒａ≧０．３（単位：μｍ）
であることを特徴とする請求項１乃至３の何れか一つに記載のスクリーンマスク。
【請求項５】
前記スクリーンマスク本体部の表面の少なくとも一部に、導電性部材が塗布されて形成された導電層が設けられていることを特徴とする請求項１乃至４の何れか一つに記載のスクリーンマスク。
【請求項６】
被印刷物の表面に、各種塗布物としてのインクを塗布して印刷するスクリーン印刷に用いられるスクリーンマスクの製造方法であって、
光硬化性の乳剤を未硬化の状態でスクリーンメッシュ上に塗布する塗布工程と、
該塗布工程によって略平板状に形成された前記乳剤を、一部がフォトマスクで遮光された状態で露光する露光工程と、
該露光工程において露光されなかった前記乳剤の未硬化部分を洗い流す現像工程とを備え、
前記露光工程において、略枠型の部分と複数の微少領域とを露光せずに前記未硬化部分とし、
前記現像工程において、略枠型の部分と前記微少領域との前記未硬化部分を洗い流すことで、
印刷時に前記被印刷物に当接されるスクリーンマスク本体部には、印刷時に前記被印刷物に対向する側である表面側から裏面側に貫通形成された、前記インクを裏面側から表面側に透過させる、略枠型の印刷パターンが形成されると共に、
前記スクリーンマスク本体部の表面側には、少なくとも凹状の形状に形成され、前記表面側から裏面側に貫通していない、印刷時に前記被印刷物の表面に非接触となる非接触部が複数形成され、
前記非接触部は、前記印刷パターンから離間した位置に設けられると共に、前記印刷パターンと前記非接触部との間は、所定の幅にわたって、前記印刷パターン及び前記非接触部のいずれも形成されない非形成領域が設けられ、
前記印刷パターンの外側の前記スクリーンマスク本体部と前記印刷パターンの内側の前記スクリーンマスク本体部とは、前記スクリーンメッシュによって連結され、前記印刷パターンにはスクリーンメッシュが露出するように形成されるように構成されることを特徴とするスクリーンマスクの製造方法。
【請求項７】
被印刷物の表面に、各種塗布物としてのインクを塗布して印刷するスクリーン印刷に用いられるスクリーンマスクの製造方法であって、
光硬化性の乳剤を未硬化の状態でスクリーンメッシュ上に塗布する塗布工程と、
該塗布工程によって略平板状に形成された前記乳剤の表面側に、表面に多数の微少な凹凸が形成されたフィルムを貼りつける貼付工程と、
該貼付工程の後に前記乳剤を乾燥させ、該乾燥の後に前記フィルムを剥離させる剥離工程と、
前記剥離工程において前記フィルムが剥離された前記乳剤を、一部がフォトマスクで遮光された状態で露光する露光工程と、
該露光工程において露光されなかった前記乳剤の未硬化部分を洗い流す現像工程とによって前記スクリーンマスクを形成し、
該形成された前記スクリーンマスクにおいて、
印刷時に被印刷物に当接されるスクリーンマスク本体部には、印刷時に前記被印刷物に対向する側である表面側から裏面側に貫通形成された、前記インクを裏面側から表面側に透過させる、略枠型の印刷パターンが形成されると共に、
該印刷パターンが形成されていない領域である非印刷領域には、少なくとも凹状の形状に形成され、前記表面側から裏面側に貫通していない、印刷時に前記被印刷物の表面に非接触となる非接触部が複数形成され、
前記非接触部は、前記印刷パターンから離間した位置に設けられると共に、前記印刷パターンと前記非接触部との間は、所定の幅にわたって、前記印刷パターン及び前記非接触部のいずれも形成されない非形成領域が設けられ、
前記印刷パターンの外側の前記スクリーンマスク本体部と前記印刷パターンの内側の前記スクリーンマスク本体部とは、前記スクリーンメッシュによって連結され、前記印刷パターンにはスクリーンメッシュが露出するように形成されるように構成されることを特徴とするスクリーンマスクの製造方法。
【請求項８】
被印刷物の表面に、各種塗布物としてのインクを塗布して印刷するスクリーン印刷に用いられるスクリーンマスクの製造方法であって、
光硬化性の乳剤を未硬化の状態でスクリーンメッシュ上に塗布する塗布工程と、
該塗布工程によって略平板状に形成された前記乳剤の表面側に、表面に多数の微少な凹凸が形成されたフィルムの表面に前記乳剤が塗布された部材を貼りつける貼付工程と、
該貼付工程の後に前記乳剤を乾燥させ、該乾燥の後に前記フィルムを剥離させる剥離工程と、
前記剥離工程において前記フィルムが剥離された前記乳剤を、一部がフォトマスクで遮光された状態で露光する露光工程と、
該露光工程において露光されなかった前記乳剤の未硬化部分を洗い流す現像工程とによって前記スクリーンマスクを形成し、
該形成された前記スクリーンマスクにおいて、
印刷時に被印刷物に当接されるスクリーンマスク本体部には、印刷時に前記被印刷物に対向する側である表面側から裏面側に貫通形成された、前記インクを裏面側から表面側に透過させる、略枠型の印刷パターンが形成されると共に、
該印刷パターンが形成されていない領域である非印刷領域には、少なくとも凹状の形状に形成され、前記表面側から裏面側に貫通していない、印刷時に前記被印刷物の表面に非接触となる非接触部が複数形成され、
前記非接触部は、前記印刷パターンから離間した位置に設けられると共に、前記印刷パターンと前記非接触部との間は、所定の幅にわたって、前記印刷パターン及び前記非接触部のいずれも形成されない非形成領域が設けられ、
前記印刷パターンの外側の前記スクリーンマスク本体部と前記印刷パターンの内側の前記スクリーンマスク本体部とは、前記スクリーンメッシュによって連結され、前記印刷パターンにはスクリーンメッシュが露出するように形成されるように構成されることを特徴とするスクリーンマスクの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、スクリーン印刷に用いられるスクリーンマスク及びその製造方法の技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、印刷方法のひとつとして、スクリーン印刷が知られている。これは、印刷パターンを開口形成したスクリーンマスクを介して被印刷物上にインクを塗布することで、被印刷物上に印刷パターンと同じ図柄を印刷する手法である。印刷の際は、スクリーンマスクの一方面側にインクを置き、他方面側を被印刷物の印刷面に対向させた状態で、スキージ（ゴム製又は金属製のへら）でスクリーンマスクを被印刷物に押し当てながら、インクを被印刷物側へ押し出して印刷を行う（例えば、特許文献１参照）。スキージを移動させたのち、スクリーンマスクが被印刷物の表面から剥離すると、被印刷物の表面に印刷された状態となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−３５１６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１に記載の発明においては、印刷パターンが形成されていない非印刷領域の面積が大きい場合、この、スクリーンマスクを被印刷物に押し当てた後、非印刷領域においてスクリーンマスクと被印刷物とが貼り付いて剥がれなくなってしまう事態が起こりうる。これにより、インクが所望の領域に適切に塗布されず、正しく印刷されなくなってしまう問題がある。また、被印刷物に貼り付いたスクリーンマスクを剥がす際にスクリーンマスクと被印刷物との間に剥離帯電が起こり、これによりインクが被印刷物の表面に飛び散ってしまい、正しく印刷されなくなってしまう問題がある。
【０００５】
本発明はこのような問題に鑑みてなされたものであり、非印刷領域の大きさに関わらず、印刷時に被印刷物への貼り付きや剥離帯電が起こることを抑止し、正しくスクリーン印刷ができるようにするスクリーンマスク、及びスクリーンマスクの製造方法を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
かかる課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、被印刷物の表面に、各種塗布物としてのインクを塗布して印刷するスクリーン印刷に用いられるスクリーンマスクであって、印刷時に被印刷物に当接されるスクリーンマスク本体部には、印刷時に前記被印刷物に対向する側である表面側から裏面側に貫通形成された、前記インクを裏面側から表面側に透過させる、略枠型の印刷パターンが形成されると共に、該印刷パターンが形成されていない領域である非印刷領域には、少なくとも凹状の形状に形成され、前記表面側から裏面側に貫通していない、印刷時に前記被印刷物の表面に非接触となる非接触部が複数形成され、前記非接触部は、前記印刷パターンから離間した位置に設けられると共に、前記印刷パターンと前記非接触部との間は、所定の幅にわたって、前記印刷パターン及び前記非接触部のいずれも形成されない非形成領域が設けられ、前記印刷パターンの外側の前記スクリーンマスク本体部と前記印刷パターンの内側の前記スクリーンマスク本体部とは、前記インクを透過させるメッシュ状に形成されたスクリーンメッシュによって連結され、前記印刷パターンにはスクリーンメッシュが露出するように形成されたことを特徴とする。
【０００８】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の構成に加え、前記非接触部は、同一形状に形成されていることを特徴とする。
【０００９】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の構成に加え、前記非接触部は、正面視略円形の凹部、正面視略多角形の凹部、正面視略線形の凹部のうち少なくとも何れか一つの形状であることを特徴とする。
【００１０】
請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３の何れか一つに記載の構成に加え、前記スクリーンマスク本体部の前記非接触部が設けられた部分の表面粗さは、該表面粗さをＲａとした場合、
Ｒａ≧０．３（単位：μｍ）
であることを特徴とする。
【００１１】
請求項５に記載の発明は、請求項１乃至４の何れか一つに記載の構成に加え、前記スクリーンマスク本体部の表面の少なくとも一部に、導電性部材が塗布されて形成された導電層が設けられていることを特徴とする。
【００１２】
請求項６に記載の発明は、被印刷物の表面に、各種塗布物としてのインクを塗布して印刷するスクリーン印刷に用いられるスクリーンマスクの製造方法であって、光硬化性の乳剤を未硬化の状態でスクリーンメッシュ上に塗布する塗布工程と、該塗布工程によって略平板状に形成された前記乳剤を、一部がフォトマスクで遮光された状態で露光する露光工程と、該露光工程において露光されなかった前記乳剤の未硬化部分を洗い流す現像工程とを備え、前記露光工程において、略枠型の部分と複数の微少領域とを露光せずに前記未硬化部分とし、前記現像工程において、略枠型の部分と前記微少領域との前記未硬化部分を洗い流すことで、印刷時に前記被印刷物に当接されるスクリーンマスク本体部には、印刷時に前記被印刷物に対向する側である表面側から裏面側に貫通形成された、前記インクを裏面側から表面側に透過させる、略枠型の印刷パターンが形成されると共に、前記スクリーンマスク本体部の表面側には、少なくとも凹状の形状に形成され、前記表面側から裏面側に貫通していない、印刷時に前記被印刷物の表面に非接触となる非接触部が複数形成され、前記非接触部は、前記印刷パターンから離間した位置に設けられると共に、前記印刷パターンと前記非接触部との間は、所定の幅にわたって、前記印刷パターン及び前記非接触部のいずれも形成されない非形成領域が設けられ、前記印刷パターンの外側の前記スクリーンマスク本体部と前記印刷パターンの内側の前記スクリーンマスク本体部とは、前記スクリーンメッシュによって連結され、前記印刷パターンにはスクリーンメッシュが露出するように形成されるように構成されることを特徴とする。
【００１３】
請求項７に記載の発明は、被印刷物の表面に、各種塗布物としてのインクを塗布して印刷するスクリーン印刷に用いられるスクリーンマスクの製造方法であって、光硬化性の乳剤を未硬化の状態でスクリーンメッシュ上に塗布する塗布工程と、該塗布工程によって略平板状に形成された前記乳剤の表面側に、表面に多数の微少な凹凸が形成されたフィルムを貼りつける貼付工程と、該貼付工程の後に前記乳剤を乾燥させ、該乾燥の後に前記フィルムを剥離させる剥離工程と、前記剥離工程において前記フィルムが剥離された前記乳剤を、一部がフォトマスクで遮光された状態で露光する露光工程と、該露光工程において露光されなかった前記乳剤の未硬化部分を洗い流す現像工程とによって前記スクリーンマスクを形成し、該形成された前記スクリーンマスクにおいて、印刷時に被印刷物に当接されるスクリーンマスク本体部には、印刷時に前記被印刷物に対向する側である表面側から裏面側に貫通形成された、前記インクを裏面側から表面側に透過させる、略枠型の印刷パターンが形成されると共に、
該印刷パターンが形成されていない領域である非印刷領域には、少なくとも凹状の形状に形成され、前記表面側から裏面側に貫通していない、印刷時に前記被印刷物の表面に非接触となる非接触部が複数形成され、前記非接触部は、前記印刷パターンから離間した位置に設けられると共に、前記印刷パターンと前記非接触部との間は、所定の幅にわたって、前記印刷パターン及び前記非接触部のいずれも形成されない非形成領域が設けられ、前記印刷パターンの外側の前記スクリーンマスク本体部と前記印刷パターンの内側の前記スクリーンマスク本体部とは、前記スクリーンメッシュによって連結され、前記印刷パターンにはスクリーンメッシュが露出するように形成されるように構成されるを備えたことを特徴とする。
【００１４】
請求項８に記載の発明は、被印刷物の表面に、各種塗布物としてのインクを塗布して印刷するスクリーン印刷に用いられるスクリーンマスクの製造方法であって、光硬化性の乳剤を未硬化の状態でスクリーンメッシュ上に塗布する塗布工程と、該塗布工程によって略平板状に形成された前記乳剤の表面側に、表面に多数の微少な凹凸が形成されたフィルムの表面に前記乳剤が塗布された部材を貼りつける貼付工程と、該貼付工程の後に前記乳剤を乾燥させ、該乾燥の後に前記フィルムを剥離させる剥離工程と、前記剥離工程において前記フィルムが剥離された前記乳剤を、一部がフォトマスクで遮光された状態で露光する露光工程と、該露光工程において露光されなかった前記乳剤の未硬化部分を洗い流す現像工程とによって前記スクリーンマスクを形成し、該形成された前記スクリーンマスクにおいて、印刷時に被印刷物に当接されるスクリーンマスク本体部には、印刷時に前記被印刷物に対向する側である表面側から裏面側に貫通形成された、前記インクを裏面側から表面側に透過させる、略枠型の印刷パターンが形成されると共に、該印刷パターンが形成されていない領域である非印刷領域には、少なくとも凹状の形状に形成され、前記表面側から裏面側に貫通していない、印刷時に前記被印刷物の表面に非接触となる非接触部が複数形成され、前記非接触部は、前記印刷パターンから離間した位置に設けられると共に、前記印刷パターンと前記非接触部との間は、所定の幅にわたって、前記印刷パターン及び前記非接触部のいずれも形成されない非形成領域が設けられ、前記印刷パターンの外側の前記スクリーンマスク本体部と前記印刷パターンの内側の前記スクリーンマスク本体部とは、前記スクリーンメッシュによって連結され、前記印刷パターンにはスクリーンメッシュが露出するように形成されるように構成されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１に記載の発明によれば、スクリーンマスク本体部の印刷パターンが形成されていない領域である非印刷領域に、少なくとも凹状の形状に形成され、表面側から裏面側に貫通していない非接触部が複数形成されたことにより、非接触部を有しないものに比べ、印刷時におけるスクリーンマスク本体部と被印刷物との接触面積を減少させ、印刷時のスクリーンマスク本体部と被印刷物との貼り付きや剥離帯電の発生を抑止することができる。そして、非接触部を非印刷領域に設けたことにより、被印刷物との接触面積が大きい箇所において貼り付きや剥離帯電の発生を効果的に抑止できる。これにより、非印刷領域の大きさに関わらず、印刷時に被印刷物への貼り付きや剥離帯電が起こることを抑止し、正しくスクリーン印刷ができるようにすることができる。
【００１６】
請求項１に記載の発明によれば、非接触部は、印刷パターンから離間した位置に設けられたことにより、印刷パターンと非接触部が重なって印刷に影響を及ぼすことを抑止しつつ、印刷時に被印刷物への貼り付きや剥離帯電が起こることを抑止できる。
【００１７】
請求項２に記載の発明によれば、非接触部は同一形状に形成されていることにより、非接触部を簡易に形成することができる。
【００１８】
請求項３に記載の発明によれば、非接触部の形状を簡素化し、非接触部を一層簡易に形成することができる。
【００１９】
請求項４に記載の発明によれば、印刷時における被印刷物への貼り付きや剥離帯電を、適切な状態で抑止できる。
【００２０】
請求項５に記載の発明によれば、導電層により、スクリーンマスク本体部の帯電を防ぎ、剥離帯電を抑止できる。
【００２１】
請求項６に記載の発明によれば、スクリーンマスクに印刷パターンを形成するのと同じ工程で非接触部を形成できるので、非接触部を簡易に形成することができる。また、非接触部は、印刷パターンから離間した位置に設けられたことにより、印刷パターンと非接触部が重なって印刷に影響を及ぼすことを抑止しつつ、印刷時に被印刷物への貼り付きや剥離帯電が起こることを抑止できる。
【００２２】
請求項７、請求項８に記載の発明によれば、乳剤の表面に貼り付けたフィルムにより、スクリーンマスク全面に、非接触部を簡易に形成することができる。また、非接触部は、印刷パターンから離間した位置に設けられたことにより、印刷パターンと非接触部が重なって印刷に影響を及ぼすことを抑止しつつ、印刷時に被印刷物への貼り付きや剥離帯電が起こることを抑止できる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】この実施の形態１のスクリーンマスクとフォトマスクの全体図である。
【図２】同上スクリーンマスクの、スクリーンマスク本体部の印刷パターンと非印刷領域の部分を示す部分拡大図である。
【図３】この実施の形態１のスクリーンマスクの、図２に示す領域Ａ部分の部分拡大図である。
【図４】同上スクリーンマスクの塗布工程開始時の状態を示す概念図である。
【図５】同上スクリーンマスクの塗布工程完了時の状態を示す概念図である。
【図６】同上スクリーンマスクとフォトマスクの露光工程における状態を示す側面視の概念図である。
【図７】同上スクリーンマスクの現像工程が終了した状態を示す側面視の概念図である。
【図８】同上スクリーンマスクの、凹部を略線状に形成した変形例を示す部分拡大図である。
【図９】この実施の形態２のスクリーンマスクにおける、貼付工程の開始時の状態を示す概念図である。
【図１０】同上スクリーンマスクにおける、貼付工程が完了した状態を示す概念図である。
【図１１】同上スクリーンマスクにおける、剥離工程が完了した完了した状態を示す概念図である。
【図１２】この実施の形態３のスクリーンマスクにおける、貼付工程の開始時の状態を示す概念図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
［発明の実施の形態１］
図１乃至図８は、この発明の実施の形態１を示す。
【００２５】
［基本構成］
図１に示す、この実施の形態１に示すスクリーンマスク１Ａは、スクリーン印刷に用いられるものである。スクリーンマスク１Ａによるスクリーン印刷は、例えば、チップ部品（コンデンサー、チップ抵抗、インダクター、サーミスター等）、タッチパネル、ＬＣＤシール印刷、ＬＴＣＣ、太陽電池用電極印刷、その他の電子部品等の製造に用いられるものである。スクリーンマスク１Ａは、被印刷物の表面に、各種塗布物としてのインクを塗布して印刷する際に用いられる。
【００２６】
このスクリーンマスク１Ａは、図１に示す、フォトマスク２を用いた露光によって印刷パターンと「非接触部」としての凹部３を形成する（この製造工程については後述する。）。
【００２７】
このスクリーンマスク１Ａは、図１に示すように、四角枠形のフレーム部４の内側に略板状のスクリーンマスク本体部５が形成されている。スクリーンマスク本体部５は、スクリーンメッシュ６と、スクリーン７とを有する。スクリーンメッシュ６は、フレーム部４の内部にスクリーン７を保持するための構成であり、周縁部がフレーム部４に保持されている。スクリーンメッシュ６は、ステンレス等の金属、ポリエステル等の樹脂により、インクを透過できる程度の孔部が多数開口されたメッシュ状に形成されている。スクリーン７は、スクリーンメッシュ６上に配設された、光硬化性の樹脂組成物、例えばＰＶＡ、ＰＶＡｃ、シリコン樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂等からなる板状の部材である。
【００２８】
図２に示すように、スクリーン７には、印刷パターン８と、「非接触部」としての多数の凹部３とが形成されている。図７に示すように、印刷パターン８は、スクリーン７の表面側（スクリーン７の、被印刷物（図示せず）に対して印刷を行う際に、被印刷物（図示せず）の表面に対向する側のこと。本明細書において同じ。）から裏面側まで貫通形成している。この印刷パターン８は、スクリーン印刷時にインクが表面側から裏面側へと透過され、被印刷物（図示せず）の表面に回路や基板のパターンを描画させる。
【００２９】
図７に示すように、凹部３は、凹状の窪み形状に形成されている。凹部３は、表面側から裏面側に貫通しておらず、表面側（図１に図示されている側、及び、図７において上側に図示されている側）のみに形成されている。後述する通り、この凹部３は、スクリーンマスク１Ａの製造方法において、スクリーン７上に、印刷パターン８と同じ工程において設けられる。
【００３０】
図１，図２に示すように、この実施の形態１において、凹部３は、スクリーン７上の印刷パターン８が設けられていない領域である非印刷領域９に設けられている。この実施の形態１において、凹部３が設けられる非印刷領域９は、領域の面積が大きくなって、スクリーン印刷時にスクリーン７が被印刷物（図示せず）に貼り付いてしまったり、スクリーン７を被印刷物（図示せず）から剥がす際に大きな剥離帯電が発生したりする可能性の高い場所とする。
【００３１】
凹部３が形成される非印刷領域９の形状や大きさや位置は、印刷パターン８の位置や大きさや形状等によって任意に決定される。ただし、領域の面積の大きさや、被印刷物（図示せず）の貼り付きや大きな剥離帯電の発生可能性の如何によらず、スクリーン７の印刷パターン８が設けられている任意の箇所を、凹部３が設けられる非印刷領域９としてもよい。
【００３２】
また、凹部３は、印刷パターン８から離間した位置に設けられている。具体的には、この実施の形態１においては、図２に示すように、印刷パターン８と凹部３との間に最低０．５ｍｍ望ましくは１ｍｍ以上の非形成領域１０が設けられる。この非形成領域１０は、印刷パターン８に近接して凹部３が形成されて印刷時の不具合（例えば、印刷の歪みやずれなど）が生ずることを抑止するために、凹部３を設けない領域として形成されたものである。この、非形成領域１０の大きさは、スクリーン７の大きさや、印刷パターン８の位置や大きさや形状等によって任意に決定される。
【００３３】
この実施の形態１において、凹部３は、全て同一の大きさの正面視円形の窪みとして陥没形成されている。それぞれの凹部３は、スクリーン７全体に対して表面積の小さい、微少領域として形成される。図３に示す通り、それぞれの凹部３の直径Ｄはφ１５μｍ、凹部３同士の間隔Ｌ１は１０μｍ（中心点同士の間隔Ｌ２は２５μｍ）であり、凹部３の深さは２μｍである。また、全ての凹部３は、隣接する３つの凹部３同士が正三角形を形成するように配設されている。これにより、非印刷領域９を被印刷物に接触させた際の接触面積は、凹部３を設けない場合に比べて４８．５％減少している。
【００３４】
なお、凹部３の直径Ｄ、凹部同士の間隔Ｌ１や中心点同士の間隔Ｌ２、隣接する凹部３同士の配置形状等は、スクリーン７の大きさや、印刷パターン８の位置や大きさや形状等によって任意に決定される。また、個々の凹部３の形状は、正面視略円形のみに限定されず、正面視三角形、正面視四角形、正面視略星形等の正面視略多角形であってもよい。
【００３５】
［スクリーンマスクの製造方法］
次に、この実施の形態１のスクリーンマスク１Ａの製造方法について説明する。
【００３６】
＜フォトマスク＞
この実施の形態１において、スクリーンマスク１Ａを製造する際は、図１に示すフォトマスク２を使用する。このフォトマスク２は、ガラス、ＰＥＴフィルム等の光を透過する部材で構成されている。フォトマスク２には、それぞれ光を透過しない材質にて形成された、スクリーン印刷用パターン１２と、凹部加工用パターン１３とが設けられている。スクリーン印刷用パターン１２は、スクリーン７上に印刷パターン８を形成するために設けられたものであり、凹部加工用パターン１３はスクリーン７上に凹部３を形成するために設けられたものである。
【００３７】
＜塗布工程＞
この実施の形態１のスクリーンマスク１Ａを製造する際は、まず、図４に示すように、フレーム部４の枠内にスクリーンメッシュ６を略平面となるように取り付ける。この状態で、図４に示すように、スクリーンメッシュ６上に、乳剤１４を塗布する。この乳剤１４は、光硬化性の樹脂たとえばＰＶＡ、ＰＶＡｃ、シリコン樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂等を包含する液体であり、図４に示すように、スクリーンメッシュ６の面を略垂直方向に置いた状態で、スクリーンメッシュ６の下方から上方に向けてスクリーンメッシュ６上に略平板状に塗布する。＜塗布工程＞が完了すると、図５に示すように、スクリーンメッシュ６上には、塗布された乳剤１４が略平板状を形成する。
【００３８】
＜露光工程＞
この＜塗布工程＞が完了したのち、図６に示すように、＜露光工程＞にて、乳剤１４を露光する。具体的には、図６に示すように、乳剤１４の表面側（スクリーン７を形成し、被印刷物に対して印刷を行う際に、被印刷物の表面に対向する側のこと。）を紫外線ランプや紫外線ＬＥＤ等の照明１５側に向け、照明１５と乳剤１４との間にフォトマスク２を介在させた状態で照明１５を点灯させ、乳剤１４の表面を照らす。これにより、乳剤１４の照明１５が照射された部分は、紫外線によって硬化する。
【００３９】
一方、図６に示すように、フォトマスク２上にはスクリーン印刷用パターン１２と凹部加工用パターン１３が形成されている。スクリーン印刷用パターン１２と凹部加工用パターン１３は紫外線を透過させないように構成されているので、乳剤１４上には、スクリーン印刷用パターン１２と凹部加工用パターン１３に略等しい領域が遮光されて紫外線が照射されず、スクリーン印刷用パターン１２に対応する第一の未硬化領域１６と、凹部加工用パターン１３に対応する第二の未硬化領域１７とが、それぞれ未硬化部分として残る。
【００４０】
＜現像工程＞
上記の＜露光工程＞が完了した乳剤１４は、＜露光工程＞において、水や溶剤により、乳剤１４の表面側を洗い流す。これにより、露光されなかった乳剤１４の未硬化部分が洗い流される。
【００４１】
このとき、スクリーン印刷用パターン１２に対応する第一の未硬化領域１６（図６参照）は全て洗い流され、表面側から裏面側まで貫通する。これにより、図７に示す印刷パターン８が形成される。
【００４２】
一方、凹部加工用パターン１３は、フォトマスク２及び乳剤１４の表面積に対して微少領域として形成されており、凹部加工用パターン１３に対応する第二の未硬化領域１７（図６参照）は、アスペクト比（ここでは、個々の第二の未硬化領域１７の表面側の面積と深さとの比のこと）が、未硬化領域１７の面積に比して深さが著しく大きいため、表面側の一部は洗い流されても、裏面側まで貫通することができない。そのため、第二の未硬化領域１７は表面側から裏面側へと貫通せず、乳剤１４の表面側のみが凹状に陥没した形状に形成される。これにより、図７に示す凹部３が形成される。
【００４３】
以上の各工程により加工された乳剤１４はスクリーン７を形成する。これにより、スクリーンマスク１Ａが完成する。
【００４４】
＜スクリーン印刷＞
以上のような製造方法で完成したスクリーンマスク１Ａは、スクリーン印刷に用いられる。具体的には、このスクリーンマスク１Ａの、スクリーン７の表面側を被印刷物（図示せず）の表面に対向させて配置し、スクリーン７の裏面側に高粘度のペースト状のインク（図示せず）を載せ、スクリーン７の裏面側の全面にわたり、スキージ（図示せず）を被印刷物（図示せず）側に押しつけながら移動させる。これにより、スクリーン７が被印刷物に当接し、印刷パターン８から被印刷物（図示せず）側にインクが透過し、被印刷物（図示せず）上にパターン印刷がなされる。なお、インクは、印刷対象の種類（例えば、電子部品、ディスプレイ、等）によって多様な組成が用いられる。
【００４５】
一方、スクリーン７の非印刷領域９に設けられた凹部３は、スクリーン７が被印刷物（図示せず）の表面に押しつけられても被印刷物（図示せず）に当接しない。このため、スクリーン７の表面側と被印刷物（図示せず）の表面との接触面積は、凹部３が設けられていないものに比して小さくなるため、印刷の工程において、非印刷領域９が被印刷物（図示せず）に貼り付いてしまうことは防止される。また、スクリーン７の表面側と被印刷物（図示せず）の表面との接触面積が小さい分、スクリーン７が被印刷物（図示せず）から剥がれるときに剥離帯電が発生する事態も抑止できる。
【００４６】
以上、この実施の形態１においては、スクリーンマスク本体部５の印刷パターン８が形成されていない非印刷領域９に、凹状の形状に形成され、表面側から裏面側に貫通していない凹部３が複数形成されたことにより、凹部３を有しないスクリーンマスクに比べ、印刷時におけるスクリーンマスク本体部５と被印刷物（図示せず）との接触面積を減少させ、印刷時のスクリーンマスク本体部５と被印刷物（図示せず）との貼り付きや剥離帯電の発生を抑止することができる。そして、凹部３を非印刷領域９に設けたことにより、被印刷物（図示せず）との接触面積が大きい箇所において貼り付きや剥離帯電の発生を効果的に抑止できる。これにより、非印刷領域９の大きさに関わらず、印刷時にスクリーンマスク本体部５の被印刷物（図示せず）への貼り付きや剥離帯電が起こることを抑止し、正しくスクリーン印刷ができるようにすることができる。
【００４７】
この実施の形態１においては、凹部３は、非形成領域１０を介して印刷パターン８から離間した位置に設けられたことにより、印刷パターン８と凹部３が重なって印刷に影響を及ぼすことを抑止しつつ、印刷時にスクリーンマスク本体部５の被印刷物（図示せず）への貼り付きや剥離帯電が起こることを抑止できる。
【００４８】
この実施の形態１においては、凹部３は同一形状の正面視略円形に形成されていることにより、凹部３を簡易に形成することができる。
【００４９】
この実施の形態１においては、表面粗さＲａを適切な値とすることにより、印刷時におけるスクリーンマスク本体部５の被印刷物（図示せず）への貼り付きや剥離帯電を、適切な状態で抑止できる。
【００５０】
この実施の形態１においては、スクリーンマスク１Ａに印刷パターン８を形成するのと同じ工程で凹部３を形成できるので、凹部３を簡易に形成することができる。
【００５１】
なお、この実施の形態１においては、「非接触部」としての凹部３を正面視略円形とし、凹部３を非印刷領域９に規則的かつ均一に配列させた構成としたが、これに限定されず、凹部３を、不均一に（例えばスクリーン７の中央部から周辺部に向かうにつれて凹部３同士の配設密度が高くなるように設けた構成など）設けてもよい。また、凹部３は、正面視略円形もしくはこれに類する略点形状に形成されることにも限定されず、例えば図８に示すように、凹部３を正面視略線形状とし、このような凹部３が非印刷領域９に多数形成された構成としてもよい。この、図８に示す事例においては、それぞれの凹部３の幅は１０μｍ、凹部３同士の間隔は１０μｍに形成されている。ただし、凹部３の幅や凹部３同士の間隔はこの値のみには限定されず、乳剤１４の厚さ等の兼ね合いにより、これ以上としてもこれ以下としてもよい。なお、凹部３の幅は、３０μｍ以下とするのが好適である。
【００５２】
この実施の形態１においては、凹部３が形成される非印刷領域９をスクリーン７の表面側の一部のみとしたが、スクリーン７の印刷パターン８以外の略全域を非印刷領域９として凹部３を設ける構成としてもよい。このような構成とすることで、スクリーン７の略全域において、被印刷物に接触させた際の接触面積を少なくし（例えば、スクリーン７略全域の被印刷物（図示せず）への接触面積を、凹部３を設けない場合に比べて４８．５％減少させた状態とし）、印刷時のスクリーンマスク本体部５と被印刷物（図示せず）との貼り付きや剥離帯電の発生を抑止することができる。
【００５３】
［この発明の実施の形態２］
図９乃至図１１に、この発明の実施の形態２を示す。
【００５４】
［基本構成］
この実施の形態２におけるスクリーンマスク１Ｂは、実施の形態１のスクリーンマスク１Ａにおける凹部３（図１参照）に替えて、スクリーンマスク１Ｂにおけるスクリーンマスク本体部５の表面側に、「非接触部」としての凹凸部２１が設けられている。なお、後述する通り、この実施の形態２の凹凸部２１は、スクリーン印刷の際に、凹凸形状のうちの凹状となった部分が被印刷物の表面に非接触となる。
【００５５】
スクリーン７の、凹凸部２１が設けられた非印刷領域９の表面粗さは、表面粗さをＲａとした場合、
Ｒａ≧０．３（単位：μｍ）・・・（１）
である。好ましくは、０．５μｍ前後、例えば
０．３≦Ｒａ≦１．０××（単位：μｍ）・・・（２）
である。
なお、上記（１）及び（２）の値は、株式会社キーエンス製のＶＫ−８７１０にて測定した値である。
ただし、この表面粗さＲａは、スクリーン７の大きさや、印刷パターン８の位置や大きさや形状等によって、上記以外の数値に任意に決定されてもよい。
【００５６】
この実施の形態２の凹凸部２１は、スクリーンマスク本体部５におけるスクリーン７の表面側における、印刷パターン８の部分以外の略全面に形成されている。即ち、この実施の形態２のスクリーンマスク１Ｂは、実施の形態１のスクリーンマスク１Ａの非形成領域１０（図１参照）に対応するものが存在しない。これは、この凹凸部２１の個々の凹凸は、サブミクロン単位の大きさであって、実施の形態１のスクリーンマスク１Ａの個々の凹部３の大きさよりも小さく形成されているため、印刷パターン８に近接して設けられていてもスクリーン印刷の際に印刷に支障をきたす可能性が低いからである。
【００５７】
そして、この実施の形態２におけるスクリーンマスク１Ｂのそれ以外の構成は、この実施の形態１のスクリーンマスク１Ａと同じである。
【００５８】
［スクリーンマスクの製造方法］
次に、この実施の形態１のスクリーンマスク１Ｂの製造方法について説明する。
【００５９】
＜フォトマスク＞
この実施の形態２で用いるフォトマスク（図示せず）は、図１に示すフォトマスク２と同様の構成であるが、凹部３を形成するための凹部加工用パターン１３（図１参照）に対応する構成は存在しない。
【００６０】
＜貼付工程＞
この実施の形態２においては、実施の形態１における＜塗布工程＞の後、乳剤１４の表面にフィルム２２を貼り付ける貼付工程を行う。具体的には、図９及び図１０に示すように、乳剤１４の表面側略全面に、フィルム２２の表面を対向させて、貼り付ける。このフィルム２２は、表面に多数の微少な凹凸が形成されており、このフィルム２２を乳剤１４に貼りつけることにより、乳剤１４の表面側にフィルム２２表面の凹凸が転写される。
【００６１】
＜剥離工程＞
上記の＜貼付工程＞において、図１０に示すように、乳剤１４の表面側にフィルム２２を貼り付けた状態で乳剤１４を乾燥させた後、＜剥離工程＞において、乾燥した乳剤１４の表面側からフィルム２２を剥離する。これにより、図１１に示すように、乳剤１４の表面側には、フィルム２２の凹凸が転写されて形成された凹凸部２１が形成される。
【００６２】
この＜剥離工程＞ののち、この乳剤１４に対し、実施の形態１と同様の＜露光手順＞及び＜現像手順＞を行い、スクリーンマスク１Ｂが完成する。これにより、乳剤１４の表面側に形成された凹凸部２１は、そのままスクリーン７の表面側の凹凸部２１となる（図１１参照）。
【００６３】
このスクリーンマスク１Ｂは、スクリーン印刷の際にスクリーン７を被印刷物（図示せず）の表面に押しつけると、凹凸部２１のうち、凹状に凹んだ部分がスクリーン７の表面側に当接しない。このため、印刷時の被印刷物（図示せず）に対するスクリーン７の接触面積が、凹凸部２１を形成していないスクリーンに比べて少なくなる。そのため、印刷時にスクリーンマスク本体部５の被印刷物（図示せず）への貼り付きや剥離帯電が起こることを抑止することができる。
【００６４】
［発明の実施の形態３］
図１２に、この発明の実施の形態３を示す。
【００６５】
この実施の形態３のスクリーンマスク１Ｃにおいては、実施の形態２のスクリーンマスク１Ｂと同様、スクリーンマスク本体部５におけるスクリーン７の表面側に、「非接触部」としての凹凸部２１が形成されるが、実施の形態２の［貼付工程］における工程の内容が、この発明の実施の形態２と異なる。それ以外は、実施の形態２と同じである。
【００６６】
即ち、この実施の形態３においては、実施の形態２の＜塗布工程＞に替えて、図１２に示すような＜塗布工程＞が行われる。この実施の形態３の＜塗布工程＞においては、スクリーンメッシュ６上に塗布されて略平板状に形成された未乾燥の乳剤１４に対し、表面に未乾燥の乳剤１４が塗布された部材の乳剤１４を接合させる。
【００６７】
この乳剤１４が乾燥したのち、実施の形態２と同様の［剥離工程］が行われ、乳剤１４からフィルム２２を剥離される。
【００６８】
この＜剥離工程＞ののち、この乳剤１４に対し、実施の形態１と同様の＜露光手順＞及び＜現像手順＞を行うことで、スクリーンマスク１Ｃが完成する。
【００６９】
このスクリーンマスク１Ｃは、乳剤１４同士の貼り付けという簡素な手順により、印刷時にスクリーンマスク本体部５の被印刷物（図示せず）への貼り付きや剥離帯電が起こることを抑止することができるスクリーンマスク１Ｃを形成できる。
【００７０】
［発明の実施の形態４］
この発明の実施の形態４においては、上記発明の実施の形態１乃至３の何れかにて形成したスクリーンマスク１Ａ、１Ｂ、１Ｃについて、いずれかの工程、例えば現像工程の後に、乳剤１４（即ちスクリーン７）の表面側に導電性部材を塗布して導電層（図示せず）を形成する点が相違する。導電層（図示せず）の厚さや配設位置は、スクリーン７の大きさや、印刷パターン８の位置や大きさや形状等に基づいて任意に決定される。
【００７１】
この実施の形態４においては、スクリーン７の表面側に設けた導電層により、スクリーンマスク本体部５（図１参照）の帯電を防ぎ、剥離帯電を抑止できる。
【００７２】
なお、上記各実施の形態では、「非接触部」を凹部３（図１参照）のみ、又は凹凸部２１（図１１参照）のみとしたが、これに限定されず、一のスクリーンマスク例えばスクリーンマスク１Ａに凹部３と凹凸部２１を双方設けることもできる。
【００７３】
また、上記各実施の形態においては、実施の形態１の「非接触部」としての凹部３を略凹形状とし、実施の形態２、３の「非接触部」としての凹凸部２１を略凹凸形状としたが、これに限定されず、実施の形態１の凹部３に替えて凹凸形状としたり、実施の形態２、３の凹凸部２１に替えて凹形状のみとすることもできる。即ち、印刷時に被印刷物（図示せず）に対する非印刷領域９の接触面積を減少させられる構成であれば、どのようなものであってもよい。
【００７４】
また、上記実施の形態１においては、スクリーン７を光硬化性の乳剤１４によって形成し、露光工程と現像工程にて凹部３を形成したが、これに限定されず、いかなる方法で凹部３を形成してもよい。
【００７５】
なお、上記各実施の形態は本発明の例示であり、本発明が上記実施の形態のみに限定されることを意味するものではないことは言うまでもない。
【符号の説明】
【００７６】
１Ａ，１Ｂ，１Ｃ・・・スクリーンマスク
２・・・フォトマスク
３・・・凹部（非接触部）
５・・・スクリーンマスク本体部
６・・・スクリーンメッシュ
８・・・印刷パターン
９・・・非印刷領域
１４・・・乳剤
２１・・・凹凸部（非接触部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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