(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向し合っている第１，第２の主面と、前記第１の主面側において対向し合っている第１，第２の辺部分と、を有し、かつ前記第１の主面の法線方向から傾斜した分極軸方向を有する圧電基板と、
前記圧電基板の前記第１の主面上に設けられており、対向し合っている第１，第２のバスバーと、前記第１のバスバーに一端が接続されている複数本の第１の電極指と、前記第２のバスバーに一端が接続されている複数本の第２の電極指と、をそれぞれ有する第１のＩＤＴ電極及び第２のＩＤＴ電極と、
前記圧電基板の前記第１の主面上に設けられており、前記第１，第２のＩＤＴ電極にそれぞれ電気的に接続されている複数のバンプと、
を備え、
前記圧電基板の前記第１，第２の辺部分が、前記圧電基板の前記法線方向及び前記分極軸方向に直交する方向に延びており、前記圧電基板における前記第２の辺部分から前記第１の主面以外の面までの前記分極軸方向に沿う長さよりも、前記圧電基板における前記第１の辺部分から前記第１の主面以外の面までの前記分極軸方向に沿う長さの方が短く、
前記第１のＩＤＴ電極が、該第１のＩＤＴ電極の前記複数本の第１，第２の電極指が延びる方向において前記第２のＩＤＴ電極よりも前記第１の辺部分に近い位置に配置されており、
前記複数のバンプが、前記第１の辺部分に沿うように設けられている第１，第２，第３のバンプを含む３つ以上の第１の辺バンプを有し、前記第１，第２のバンプが前記第１のＩＤＴ電極を前記第１の辺部分に平行な方向において挟むように配置されており、前記第１，第２のバンプ間の距離が、各前記第１の辺バンプにおける互いに隣り合うバンプ間の距離の内で最も短い、弾性波装置。
【請求項２】
対向し合っている矩形形状の第１，第２の主面と、前記第１の主面側において対向し合っている第１，第２の辺部分と、該第１，第２の辺部分を接続する第３，第４の辺部分を有し、かつ前記第１の主面の法線方向から傾斜した分極軸方向を有する圧電基板と、
前記圧電基板の前記第１の主面上に設けられており、対向し合っている第１，第２のバスバーと、前記第１のバスバーに一端が接続されている複数本の第１の電極指と、前記第２のバスバーに一端が接続されている複数本の第２の電極指と、をそれぞれ有する第１のＩＤＴ電極及び第２のＩＤＴ電極と、
前記圧電基板の前記第１の主面上に設けられており、前記第１，第２のＩＤＴ電極にそれぞれ電気的に接続されている複数のバンプと、
を備え、
前記圧電基板の前記第１，第２の辺部分が、前記圧電基板の前記第１の主面に沿い、かつ前記分極軸方向に直交する方向に延びており、前記圧電基板における前記第２の辺部分から前記第１の主面以外の面までの前記分極軸方向に沿う長さよりも、前記圧電基板における前記第１の辺部分から前記第１の主面以外の面までの前記分極軸方向に沿う長さの方が短く、
前記第１のＩＤＴ電極が、該第１のＩＤＴ電極の前記複数本の第１，第２の電極指が延びる方向において前記第２のＩＤＴ電極よりも前記第１の辺部分に近い位置に配置されており、
前記複数のバンプが、前記第１の辺部分に沿うように設けられている第１，第２，第３のバンプを含む３つ以上の第１の辺バンプを有し、
前記第１の辺部分に平行な方向において前記第１，第２のバンプが前記第１のＩＤＴ電極を挟むように配置されており、
前記第１，第２のバンプ間の距離が、各前記第１の辺バンプにおいて他の互いに隣り合うバンプ間の距離よりも短い、弾性波装置。
【請求項３】
前記複数のバンプが、前記圧電基板の前記第２の辺部分に沿うように設けられている複数の第４のバンプを含む複数の第２の辺バンプを有し、前記第１のバンプと前記第２のバンプとの距離が、各前記第２の辺バンプにおける互いに隣り合うバンプ間の距離のいずれよりも短い、請求項１または２に記載の弾性波装置。
【請求項４】
前記第１のバンプと前記第２のバンプとの距離が、全ての各前記バンプの互いに隣り合うバンプ間の距離の内で最も短い、請求項１〜３のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項５】
前記第１のバンプ及び前記第２のバンプの内の少なくともいずれか一方が、前記第１のＩＤＴ電極に接続されている、請求項１〜４のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項６】
前記第１のバンプ及び前記第２のバンプが、前記第１のＩＤＴ電極に接続されている、請求項５に記載の弾性波装置。
【請求項７】
前記第１のＩＤＴ電極と前記複数のバンプとを接続している接続配線をさらに備え、
前記接続配線が、前記第１のＩＤＴ電極よりも前記圧電基板の前記第１の辺部分に近い位置に配置されている、請求項５または６に記載の弾性波装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、弾性波装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、弾性波装置は、携帯電話機などに広く用いられている。例えば、下記の特許文献１では、ＩＤＴ電極を有する弾性波装置の一例が開示されている。弾性波装置の圧電基板上には、圧電基板の一方主面の辺部分に沿い、複数のパッドが設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−００２５１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載のような弾性波装置の圧電基板においては、圧電効果や焦電効果による電荷の発生により、分極反転が生じ易かった。それによって、圧電特性が劣化し、弾性波装置の挿入損失が大きくなることがあった。
【０００５】
本発明の目的は、圧電基板において分極反転が生じ難く、挿入損失の増大を抑制することができる、弾性波装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る弾性波装置のある広い局面では、対向し合っている第１，第２の主面と、前記第１の主面側において対向し合っている第１，第２の辺部分と、を有し、かつ前記第１の主面の法線方向から傾斜した分極軸方向を有する圧電基板と、前記圧電基板の前記第１の主面上に設けられており、対向し合っている第１，第２のバスバーと、前記第１のバスバーに一端が接続されている複数本の第１の電極指と、前記第２のバスバーに一端が接続されている複数本の第２の電極指と、をそれぞれ有する第１のＩＤＴ電極及び第２のＩＤＴ電極と、前記圧電基板の前記第１の主面上に設けられており、前記第１，第２のＩＤＴ電極にそれぞれ電気的に接続されている複数のバンプとを備え、前記圧電基板の前記第１，第２の辺部分が、前記圧電基板の前記法線方向及び前記分極軸方向に直交する方向に延びており、前記第２の辺部分における前記圧電基板の前記分極軸方向に沿う長さよりも、前記第１の辺部分における前記圧電基板の前記分極軸方向に沿う長さの方が短く、前記第１のＩＤＴ電極が、該第１のＩＤＴ電極の前記複数本の第１，第２の電極指が延びる方向において前記第２のＩＤＴ電極よりも前記第１の辺部分に近い位置に配置されており、前記複数のバンプが、前記第１の辺部分に沿うように設けられている第１，第２，第３のバンプを含む３つ以上の第１の辺バンプを有し、前記第１，第２のバンプが前記第１のＩＤＴ電極を前記第１の辺部分に平行な方向において挟むように配置されており、前記第１，第２のバンプ間の距離が、各前記第１の辺バンプにおける互いに隣り合うバンプ間の距離の内で最も短い。
【０００７】
本発明に係る弾性波装置の他の広い局面では、対向し合っている矩形形状の第１，第２の主面と、前記第１の主面側において対向し合っている第１，第２の辺部分と、該第１，第２の辺部分を接続する第３，第４の辺部分を有し、かつ前記第１の主面の法線方向から傾斜した分極軸方向を有する圧電基板と、前記圧電基板の前記第１の主面上に設けられており、対向し合っている第１，第２のバスバーと、前記第１のバスバーに一端が接続されている複数本の第１の電極指と、前記第２のバスバーに一端が接続されている複数本の第２の電極指と、をそれぞれ有する第１のＩＤＴ電極及び第２のＩＤＴ電極と、前記圧電基板の前記第１の主面上に設けられており、前記第１，第２のＩＤＴ電極にそれぞれ電気的に接続されている複数のバンプとを備え、前記圧電基板の前記第１，第２の辺部分が、前記圧電基板の前記第１の主面に沿い、かつ前記分極軸方向に直交する方向に延びており、前記第２の辺部分における前記圧電基板の前記分極軸方向に沿う長さよりも、前記第１の辺部分における前記圧電基板の前記分極軸方向に沿う長さの方が短く、前記第１のＩＤＴ電極が、該第１のＩＤＴ電極の前記複数本の第１，第２の電極指が延びる方向において前記第２のＩＤＴ電極よりも前記第１の辺部分に近い位置に配置されており、前記複数のバンプが、前記第１の辺部分に沿うように設けられている第１，第２，第３のバンプを含む３つ以上の第１の辺バンプを有し、前記第１の辺部分に平行な方向において前記第１，第２のバンプが前記第１のＩＤＴ電極を挟むように配置されており、前記第１，第２のバンプ間の距離が、各前記第１の辺バンプにおいて他の互いに隣り合うバンプ間の距離よりも短い。
【０００８】
本発明の弾性波装置の他の特定の局面では、前記複数のバンプが、前記圧電基板の前記第２の辺部分に沿うように設けられている複数の第４のバンプを含む複数の第２の辺バンプを有し、前記第１のバンプと前記第２のバンプとの距離が、各前記第２の辺バンプにおける互いに隣り合うバンプ間の距離のいずれよりも短い。この場合には、圧電基板がより一層変形し難く、圧電効果による電荷の発生を効果的に抑制することができる。よって、分極反転がより一層生じ難く、挿入損失の増大をより一層抑制することができる。
【０００９】
本発明の弾性波装置のさらに他の特定の局面では、前記第１のバンプと前記第２のバンプとの距離が、全ての各前記バンプの互いに隣り合うバンプ間の距離の内で最も短い。この場合には、圧電基板がより一層変形し難く、圧電効果による電荷の発生をより一層効果的に抑制することができる。
【００１０】
本発明の弾性波装置の別の特定の局面では、前記第１のバンプ及び前記第２のバンプの内の少なくともいずれか一方が、前記第１のＩＤＴ電極に接続されている。この場合には、圧電効果などにより生じた電荷を外部に容易に移動させることができる。よって、分極反転がより一層生じ難く、挿入損失の増大をより一層抑制することができる。
【００１１】
本発明の弾性波装置のさらに別の特定の局面では、前記第１のバンプ及び前記第２のバンプが、前記第１のＩＤＴ電極に接続されている。この場合には、圧電効果などにより生じた電荷を外部により一層容易に移動させることができる。
【００１２】
本発明の弾性波装置のさらに別の特定の局面では、前記第１のＩＤＴ電極と前記複数のバンプとを接続している接続配線がさらに備えられており、前記接続配線が、前記第１のＩＤＴ電極よりも前記圧電基板の前記第１の辺部分に近い位置に配置されている。この場合には、第１の辺部分付近において発生した電荷は、第１のＩＤＴ電極の第１，第２の電極指が設けられている部分により一層至り難い。従って、挿入損失の増大をより一層抑制することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、圧電基板において分極反転が生じ難く、挿入損失の増大を抑制し得る、弾性波装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の略図的平面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態における圧電基板の斜視図である。
【図３】本発明の第１の実施形態における第１のＩＤＴ電極の電極構造を示す部分切り欠き平面図である。
【図４】比較例の弾性波装置の略図的平面図である。
【図５】本発明の第２の実施形態に係る弾性波装置の略図的平面図である。
【図６】本発明の第３の実施形態に係る弾性波装置の略図的平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００１６】
なお、本明細書に記載の各実施形態は、例示的なものであり、異なる実施形態間において、構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることを指摘しておく。
【００１７】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の略図的平面図である。
【００１８】
弾性波装置１は、圧電基板２を有する。圧電基板２は、対向し合っている第１の主面２ａ及び第２の主面を有する。第１の主面２ａ及び第２の主面は、矩形形状を有する。第１の主面２ａは、対向し合っている第１，第２の辺部分２ａ１，２ａ２を有する。第１の主面２ａは、第１，第２の辺部分２ａ１，２ａ２を接続する第３，第４の辺部分２ａ３，２ａ４も有する。圧電基板２は、ＬｉＮｂＯ３やＬｉＴａＯ３などの圧電単結晶からなる。なお、圧電基板２は、圧電セラミックスなどからなっていてもよい。
【００１９】
図２は、圧電基板２の斜視図である。圧電基板２は、第１の主面２ａの法線方向に平行な厚み方向Ｚを有する。圧電基板２は、第１の主面２ａの法線方向から傾斜した分極軸方向Ｃも有する。圧電基板２の第１の辺部分２ａ１及び第２の辺部分２ａ２は、厚み方向Ｚ及び分極軸方向Ｃに直交する方向に延びている。圧電基板２の厚み方向Ｚに沿う長さは、第１の主面２ａにおけるいずれの位置においても等しい。他方、詳細は後述するが、分極軸方向Ｃに沿う圧電基板２の長さを長さＬとしたときに、第１の辺部分２ａ１における長さＬは第２の辺部分２ａ２における長さＬよりも短い。
【００２０】
図１に戻り、圧電基板２の第１の主面２ａ上には、第１のＩＤＴ電極３Ａ及び複数の第２のＩＤＴ電極３Ｂが設けられている。本実施形態では、複数の第２のＩＤＴ電極３Ｂは、第１の主面２ａ上に設けられている第１のＩＤＴ電極３Ａ以外の全てのＩＤＴ電極である。以下に示す図３により、第１のＩＤＴ電極３Ａの詳細を説明する。
【００２１】
図３は、第１の実施形態における第１のＩＤＴ電極３Ａの電極構造を示す部分切り欠き平面図である。なお、図３においては、第１のＩＤＴ電極３Ａに接続されている配線などは省略されている。
【００２２】
図１では矩形に対角線を引いた略図で示されていたが、図３に示すように、第１のＩＤＴ電極３Ａは対向し合っている第１，第２のバスバー３Ａａ１，３Ａａ２を有する。第１のＩＤＴ電極３Ａは、複数本の第１，第２の電極指３Ａｂ１，３Ａｂ２も有する。複数本の第１の電極指３Ａｂ１は、第１のバスバー３Ａａ１にそれぞれ一端が接続されている。複数本の第２の電極指３Ａｂ２は、第２のバスバー３Ａａ２にそれぞれ一端が接続されている。複数本の第１の電極指３Ａｂ１と複数本の第２の電極指３Ａｂ２とは、互いに間挿し合っている。第１のバスバー３Ａａ１は、複数本の第１，第２の電極指３Ａｂ１，３Ａｂ２と、図１に示した圧電基板２の第１の辺部分２ａ１との間に配置されている。
【００２３】
第１のＩＤＴ電極３Ａに電圧を印加することにより、弾性波が励振される。第１のＩＤＴ電極３Ａの弾性波伝搬方向の両側には、反射器が設けられていてもよい。それによって、１ポート型の弾性波共振子を構成することができる。第１のＩＤＴ電極３Ａの弾性波伝搬方向に第１の辺部分２ａ１が延びている。
【００２４】
第１のＩＤＴ電極３Ａと同様に、各第２のＩＤＴ電極も対向し合う第１，第２のバスバー及び第１，第２のバスバーに一端が接続された複数本の第１，第２の電極指をそれぞれ有する。なお、後述する図４〜図６でも、第１のＩＤＴ電極及び複数の第２のＩＤＴ電極は、矩形や矩形以外の多角形に対角線を引いた略図により示す。
【００２５】
図１に戻り、第１のＩＤＴ電極３Ａは、第１のＩＤＴ電極３Ａの複数本の第１，第２の電極指が延びる方向において、複数の第２のＩＤＴ電極３Ｂよりも圧電基板２の第１の辺部分２ａ１に近い位置に配置されている。
【００２６】
本実施形態では、第１のＩＤＴ電極３Ａにおいて励振される弾性波と第２のＩＤＴ電極３Ｂにおいて励振される弾性波とは互いに平行な方向に伝搬する。ここで、圧電基板２の第１の主面２ａ上の弾性波伝搬方向に直交する方向において、第１のＩＤＴ電極３Ａの第１，第２のバスバーと矩形形状の圧電基板２の端部との最短距離を距離Ｈ１とする。より具体的には、弾性波装置１における距離Ｈ１は、第１のＩＤＴ電極３Ａの第１のバスバーと第１の辺部分２ａ１との距離である。同様に、圧電基板２の端部と第２のＩＤＴ電極３Ｂの第１，第２のバスバーとの最短距離を距離Ｈ２とする。このとき、距離Ｈ２は、第１の辺部分２ａ１に最も近い第２のＩＤＴ電極３Ｂの第１のバスバーと、第１の辺部分２ａ１との距離である。距離Ｈ１は距離Ｈ２より短いことが好ましく、第１の辺部分２ａ１に沿って並ぶ第１のＩＤＴ電極３Ａ以外のＩＤＴ電極のバスバーと圧電基板２の端部との最短距離よりも短いことが好ましい。
【００２７】
圧電基板２の第１の主面２ａ上には、複数のバンプが設けられている。より具体的には、第１の主面２ａ上には複数の電極ランドが設けられており、該複数の電極ランド上に各バンプが設けられている。複数の電極ランド及び複数のバンプには、第１のＩＤＴ電極３Ａ及び第２のＩＤＴ電極３Ｂの内のいずれかがそれぞれ電気的に接続されている。弾性波装置１は、複数のバンプを介して外部に電気的に接続される。
【００２８】
複数のバンプは、圧電基板２の第１の辺部分２ａ１に沿うように設けられている複数の第１の辺バンプを有する。本実施形態では、複数の第１の辺バンプは、第１，第２，第３のバンプ５Ａ，５Ｂ，５Ｃを有する。第１のバンプ５Ａ及び第２のバンプ５Ｂは、第１のＩＤＴ電極３Ａを第１の辺部分２ａ１に平行な方向において挟むように配置されている。
【００２９】
複数のバンプは、第２の辺部分２ａ２に沿うように設けられている複数の第２の辺バンプも有する。複数の第２の辺バンプは、複数の第４のバンプ５Ｄを有する。さらに、複数のバンプは、第１〜第４のバンプ５Ａ〜５Ｄ以外の複数の第５のバンプ５Ｅ及び第６のバンプ５Ｆも有する。圧電基板２は、第１及び第２の辺部分２ａ１，２ａ２を接続する第３及び第４の辺部分２ａ３，２ａ４を有する矩形形状である。複数の第５のバンプ５Ｅは、第３及び第４の辺部分２ａ３，２ａ４に沿って配置されている。第６のバンプ５Ｆは、第１の主面２ａにおける内側に配置されており、いずれの辺部分にも沿っていない。なお、第１，第２のバンプ５Ａ，５Ｂ以外のバンプの個数及び配置は、特に限定されない。
【００３０】
第１のバンプ５Ａは、第１のＩＤＴ電極３Ａの第１のバスバーに、第２のＩＤＴ電極３Ｂを介さずに接続されている。なお、第１のバンプは、第１のＩＤＴ電極の、第１の辺部分から遠い方のバスバーである第２のバスバーに接続されていてもよい。あるいは、第１のバンプは、第１のＩＤＴ電極に接続されていなくてもよい。
【００３１】
圧電基板２の第１の主面２ａ上には、複数の接続配線６Ａ，６Ｂが設けられている。複数の接続配線６Ａ，６Ｂは、第１，第２のＩＤＴ電極３Ａ，３Ｂと複数の電極ランド及び複数のバンプとをそれぞれ接続している。第１，第２のＩＤＴ電極３Ａ，３Ｂはトラップフィルタを含むラダー型フィルタ回路の一部を形成している。
【００３２】
本実施形態の特徴は、１）第１の辺部分２ａ１の分極軸方向Ｃに沿う圧電基板２の長さＬが短く、この第１の辺部分２ａ１に近い位置に第１のＩＤＴ電極３Ａが配置されていることにある。また、本実施形態の特徴は、２）第１のＩＤＴ電極３Ａを挟むように配置されている第１のバンプ５Ａと第２のバンプ５Ｂとの距離Ｄ１が、第１〜第３のバンプ５Ａ〜５Ｃにおいて互いに隣り合うバンプ間の距離Ｄ１，Ｄ２の内で最も短いことにある。さらに、第１のバンプ５Ａと第２のバンプ５Ｂとの距離Ｄ１が、全てのバンプ５Ａ〜５Ｅの互いに隣り合うバンプ間の距離Ｄ１〜Ｄ８の内で最も短いことにある。それによって、圧電基板２において分極反転が生じ難く、挿入損失の増大を抑制することができる。これを、以下において比較例を用いて説明する。
【００３３】
図４は、比較例の弾性波装置の略図的平面図である。
【００３４】
弾性波装置１０１における矩形形状の第１の主面２ａの端部との距離Ｈ１が最も近い第１のＩＤＴ電極３Ａの第１のバスバーは、接続配線１０６Ａを介して第１のバンプ１０５Ａに接続されている。図４の第１のバンプ１０５Ａと第２のバンプ５Ｂ間の距離Ｄ１１は、第１のバンプ１０５Ａと第３のバンプ５Ｃ間の距離Ｄ１２よりも長い。上記の点以外においては、弾性波装置１０１は、第１の実施形態の弾性波装置１と同様の構成を有する。
【００３５】
ところで、圧電体に作用する電界、応力、熱が大きい場合、分極反転は容易に発生する。より詳細には、圧電基板においては、圧電効果や焦電効果などにより電荷が発生する。このとき、該電荷により、圧電基板に分極軸方向とは反対方向の電界が加えられることがある。この電界の強度が、電界が加わった部分における抗電界を越えた場合、分極反転が生じる。
【００３６】
圧電基板の抗電界は、分極軸方向に沿う圧電基板の長さＬが短いほど小さくなる。ここで、比較例及び本実施形態において長さＬが最も短い部分について、図２を用いて説明する。なお、上述したように、比較例における圧電基板２も、本実施形態と同様の構成を有する。
【００３７】
図２に示されているように、圧電基板２は、第１，第２の辺部分２ａ１，２ａ２から厚み方向Ｚにそれぞれ延びている第１，第２の側面２ｃ，２ｄを有する。さらに、圧電基板２の第２の主面２ｂは、厚み方向Ｚにおいて第１の辺部分２ａ１に対向している第５の辺部分２ｂ１を有する。
【００３８】
図２においては、破線の矢印により圧電基板２の分極軸を示す。本実施形態では、分極軸の基端が第１の主面２ａ側に位置し、終端が第２の主面２ｂ側に位置している。なお、分極軸方向Ｃは、第１の主面２ａの法線方向から傾斜していれば、特に限定されない。
【００３９】
ここで、圧電基板２において、分極軸の基端が第１の主面２ａに位置し、かつ終端が第２の主面２ｂに位置する部分では、上記長さＬは最も長い。よって、第２の辺部分２ａ２における上記長さＬは最も長い。第２の辺部分２ａ２における上記長さＬを長さＬ１とする。
【００４０】
他方、圧電基板２において、分極軸の基端が第１の主面２ａに位置し、かつ終端が第１の側面２ｃに位置する部分では、第５の辺部分２ｂ１から第１の辺部分２ａ１側に近づくほど、長さＬは短くなる。よって、分極軸の終端が第１の側面２ｃに位置し、かつ第５の辺部分２ｂ１以外に位置する部分の長さＬを長さＬ２としたとき、長さＬ２は長さＬ１よりも短い。長さＬ２は、分極軸の終端が、第１の辺部分２ａ１に近づくほど短くなる。圧電基板２が理想的な直方体状の形状を有している場合には、第１の辺部分２ａ１における上記長さＬは０となる。もっとも、第１の辺部分２ａ１近傍では、長さＬ２は限りなく０に近い。第１の辺部分２ａ１における長さＬは理想的には０であるが、実際には０に限りなく近い寸法である場合もある。従って、本発明において、長さＬ１と比較される、第１の辺部分における圧電基板の分極軸方向に沿う長さとは、上記０の場合をも含むものとする。従って、長さＬは第１の辺部分２ａ１において最も短い。
【００４１】
分極軸が短い圧電体の部分は、分極軸が長い圧電体の部分に比べて、分極反転が発生しやすい。そのため、圧電基板２の第１の辺部分２ａ１においては、抗電界が小さい。ここで、圧電基板２に熱衝撃を加えられたときなどには、圧電基板２が変形し、圧電効果により電荷が生じる。弾性波装置１０１においては、上記のように電荷が生じることにより、抗電界が小さい第１の辺部分２ａ１において分極反転が生じ易かった。同様に、第１の主面２ａにおける第１の辺部分２ａ１付近においても抗電界が小さく、分極反転が生じ易かった。
【００４２】
第１の辺部分２ａ１を基点として、圧電基板２の第１のＩＤＴ電極３Ａが設けられている部分においても、分極反転が生じることがあった。それによって、第２のＩＤＴ電極３Ｂに比べて第１の辺部分２ａ１の近くに位置する第１のＩＤＴ電極３Ａが設けられている部分の圧電特性が劣化し、弾性波装置１０１の挿入損失が大きくなることがあった。特に、圧電基板の端部は、応力、熱の影響を受けやすい。
【００４３】
これに対して、図１に示すように、本実施形態の弾性波装置１では、第１のＩＤＴ電極３Ａを挟むように配置されている第１のバンプ５Ａと第２のバンプ５Ｂとの距離Ｄ１が、第１の辺部分２ａ１及び第２の辺部分２ａ２に沿って並ぶ全てのバンプである第１〜第４のバンプ５Ａ〜５Ｄにおいて互いに隣り合うバンク間の距離Ｄ１〜Ｄ４で最も短い。さらに、第１〜４の辺部分２ａ１〜２ａ４に沿って並ぶ全てのバンプ５Ａ〜５Ｅにおいて互いに隣り合うバンプ間の距離Ｄ１〜Ｄ８の距離の内で最も短い。それによって、圧電基板２に力が加わったとしても、圧電基板２の端部から最も近くに配置されている第１のＩＤＴ電極３Ａが設けられている部分付近は変形が抑制され、圧電効果による電荷の発生を抑制することができる。よって、圧電基板２の第１のＩＤＴ電極３Ａが設けられている部分において、図４に示した構成に比べて分極反転が生じ難い。従って、圧電特性の劣化も生じ難く、挿入損失の増大を抑制することができる。
【００４４】
なお、第１のバンプと第２のバンプとの距離は、第１の辺部分に沿うように設けられている各バンプにおいて互いに隣り合うバンプ間の距離の内で最も短いことが好ましい。このとき、第１のバンプと第２のバンプとの距離は、第２のバンプと第３のバンプとの距離より大きくなければよい。それによって、圧電効果による電荷は生じ難く、挿入損失の増大を抑制することができる。
【００４５】
より好ましくは、第１のバンプと第２のバンプとの距離が、圧電基板の第２の辺部分に沿って設けられている複数の第４のバンプにおける互いに隣り合うバンプ間の距離のいずれよりも短いことが望ましい。図２に示した第２の辺部分２ａ２では、分極軸方向Ｃに沿う圧電基板の長さＬが最も長く、抗電界が大きい。そのため、電荷が発生しても分極反転が生じ難い。よって、各第４のバンプ間の距離よりも短い距離になるように、抗電界が小さい第１の辺部分側において第１，第２のバンプを配置することにより、挿入損失の増大をより効果的に抑制することができる。
【００４６】
さらに好ましくは、本実施形態のように、互いに隣り合う第１のバンプ５Ａと第２のバンプ５Ｂとの距離Ｄ１が、矩形形状の圧電基板２の第１の主面２ａの周縁部に並んで配置された他の全てのバンプ５Ａ〜５Ｅにおける、辺部の延びる方向に互いに隣り合うバンプ間の距離Ｄ２〜Ｄ８よりも短いことが望ましい。
【００４７】
本実施形態では、第１のＩＤＴ電極３Ａの弾性波伝搬方向から見て、第１のＩＤＴ電極３Ａの全ての部分と第１，第２のバンプ５Ａ，５Ｂとが重なっている。それによって、第１のＩＤＴ電極３Ａが設けられている部分及び第１の辺部分２ａ１の変形を効果的に抑制することができる。よって、圧電効果による電荷は生じ難い。
【００４８】
なお、第１のＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向から見て、第１のＩＤＴ電極の一部と第１，第２のバンプとが重なっていてもよい。この場合においても、第１のＩＤＴ電極が設けられている部分及び第１の辺部分は変形し難い。
【００４９】
第１のバンプ５Ａは、第１のＩＤＴ電極３Ａに接続されている。それによって、放熱性を高めることができる。よって、焦電効果による電荷も発生し難い。
【００５０】
加えて、第１のバンプ５Ａと第２のバンプ５Ｂとは第１のＩＤＴ電極３Ａを挟むように設けられており、かつ距離が近い。すなわち、第１のＩＤＴ電極３Ａと第１のバンプ５Ａとの距離も近く、第１のＩＤＴ電極３Ａの第１のバスバーと第１のバンプ５Ａとを接続している接続配線６Ａも短い。よって、第１のＩＤＴ電極３Ａと第１のバンプ５Ａとの間の電気抵抗は小さい。従って、第１のＩＤＴ電極３Ａが設けられている部分付近の電荷を、接続配線６Ａ及び第１のバンプ５Ａを介して外部に容易に移動させることができる。
【００５１】
さらに、第１のＩＤＴ電極３Ａの第１のバスバーは、第１のＩＤＴ電極３Ａの第１，第２の電極指と圧電基板２の第１の辺部分２ａ１との間に配置されている。そのため、第１の辺部分２ａ１付近において発生した電荷は、第１，第２の電極指よりも第１の辺部分２ａ１に近い、第１のバスバー及び接続配線６Ａを介して外部に移動する。よって、第１の辺部分２ａ１付近において発生した電荷は、第１，第２の電極指が設けられている部分に至り難い。従って、第１のＩＤＴ電極３Ａの弾性波を励振する部分における圧電特性の劣化が生じ難く、挿入損失の増大を効果的に抑制することができる。
【００５２】
このように、挿入損失の増大を招かずに第１のＩＤＴ電極３Ａを第１の辺部分２ａ１に近づけることができるため、弾性波装置１を小型にすることもできる。
【００５３】
なお、複数の第２のＩＤＴ電極３Ｂは、第１のＩＤＴ電極３Ａよりも第１の辺部分２ａ１から遠い位置に配置されている。そのため、圧電基板２の複数の第２のＩＤＴ電極３Ｂが設けられている部分においては、分極反転は生じ難い。
【００５４】
図５は、本発明の第２の実施形態に係る弾性波装置の略図的平面図である。
【００５５】
弾性波装置１１においては、第１のバンプ１５Ａと第１のＩＤＴ電極３Ａとを接続している接続配線１６Ａが、圧電基板２の第１の辺部分２ａ１に最も近い位置に配置された接続配線である点が第１の実施形態と異なる。また、弾性波装置１１の上記以外の電極構造も、第１の実施形態とは異なる。
【００５６】
より具体的には、第２のＩＤＴ電極１３Ｂの個数及び配置が、第１の実施形態とは異なる。複数のバンプの配置も、第１の実施形態とは異なる。なお、第１の実施形態と同様に、第１のＩＤＴ電極３Ａは、第１のＩＤＴ電極３Ａの複数本の第１，第２の電極指が延びる方向において、複数の第２のＩＤＴ電極１３Ｂよりも圧電基板２の第１の辺部分２ａ１に近い位置に配置されている。
【００５７】
複数の接続配線１６Ａ，６Ｂの内、接続配線１６Ａは、圧電基板２の第１の辺部分２ａ１に最も近い位置に配置されている。よって、第１の辺部分２ａ１付近において発生した電荷は、第１，第２の電極指が設けられている部分により一層至り難い。従って、挿入損失の増大をより一層抑制することができる。
【００５８】
図６は、第３の実施形態に係る弾性波装置の略図的平面図である。
【００５９】
弾性波装置２１においては、第２のバンプ２５Ｂが、第１のＩＤＴ電極３Ａの第１のバスバーに第２のＩＤＴ電極１３Ｂを介さずに接続されている点で第２の実施形態と異なる。上記の点以外においては、弾性波装置２１は第２の実施形態の弾性波装置１１と同様の構成を有する。
【００６０】
第１のバンプ１５Ａ及び第２のバンプ２５Ｂは、接続配線２６Ａにより第１のＩＤＴ電極３Ａの第１のバスバーに接続されている。本実施形態では、第１のバンプ１５Ａに加えて、第２のバンプ２５Ｂを介して電荷を外部に移動させることができる。よって、第１のＩＤＴ電極３Ａが設けられている部分付近の電荷を外部により一層容易に移動させることができる。同様に、圧電基板２の第１の辺部分２ａ１付近において生じた電荷も、外部により一層容易に移動させることができる。従って、圧電基板２の第１のＩＤＴ電極３Ａが設けられている部分において分極反転がより一層生じ難い。
【符号の説明】
【００６１】
１…弾性波装置
２…圧電基板
２ａ，２ｂ…第１，第２の主面
２ａ１〜２ａ４…第１〜第４の辺部分
２ｂ１…第５の辺部分
２ｃ，２ｄ…第１，第２の側面
３Ａ，３Ｂ…第１，第２のＩＤＴ電極
３Ａａ１，３Ａａ２…第１，第２のバスバー
３Ａｂ１，３Ａｂ２…第１，第２の電極指
５Ａ〜５Ｆ…第１〜第６のバンプ
６Ａ，６Ｂ…接続配線
１１…弾性波装置
１３Ｂ…第２のＩＤＴ電極
１５Ａ…第１のバンプ
１６Ａ…接続配線
２１…弾性波装置
２５Ｂ…第２のバンプ
２６Ａ…接続配線
１０１…弾性波装置
１０５Ａ…第１のバンプ
１０６Ａ…接続配線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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