(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
積層型圧電素子の変位を利用してバルブの開閉を行う圧電式バルブであって、
外部から供給される圧縮気体を受け入れる気体圧力室を有するバルブ本体と、
弁体、前記弁体の動作に必要な駆動力を変位として発生する積層型圧電素子、前記積層型圧電素子の変位を拡大して前記弁体に作用させる変位拡大機構を有し、前記バルブ本体の内部に配設されるアクチュエータと、を備える圧電式バルブにおいて、
前記積層型圧電素子は、ポリオレフィン系樹脂により表面を覆われ、前記アクチュエータに一体化された状態で前記ポリオレフィン系樹脂に埋設されることを特徴とする圧電式バルブ。
【請求項２】
前記バルブ本体の内部に配設されるプレートをさらに備え、前記アクチュエータは前記プレートに固定され、該プレートとともに前記バルブ本体の内部に配設されるものであって、
前記積層型圧電素子は、前記アクチュエータに一体化され、該アクチュエータが前記プレートに固定された状態で前記ポリオレフィン系樹脂に埋設される請求項１記載の圧電式バルブ。
【請求項３】
前記積層型圧電素子は、前記アクチュエータが前記プレートに固定され、該プレートとともに前記バルブ本体の内部に配設された状態で前記ポリオレフィン系樹脂により埋設される請求項２記載の圧電式バルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層型圧電素子の変位を利用してバルブの開閉を行う圧電式バルブに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、積層型圧電素子の変位を利用してバルブの開閉を行い、圧縮気体を噴出する圧電式バルブが知られている（特許文献１を参照。）。
【０００３】
特許文献１に記載された圧電式バルブは、高速応答性能に優れる積層型圧電素子の特性を利用するものであり、前記積層型圧電素子の小さな変位をテコの原理に基づき拡大する変位拡大機構を備えるものである。
【０００４】
前記圧電式バルブは、前記積層型圧電素子に電圧を印加すると、該積層型圧電素子の伸長方向への変位が前記変位拡大機構を介して弁体に伝わり、該弁体を速やかに移動させて開弁する。
また、前記圧電式バルブは、前記積層型圧電素子への電圧印加を解除すると、該積層型圧電素子の原状復帰に伴う復帰力が前記変位拡大機構を介して前記弁体に伝わり、該弁体を速やかに弁座に当接させて閉弁する。
【０００５】
ところで、積層型圧電素子は、動作に伴う消費エネルギーが少なく、高速動作に適し、小型である等の優れた特長をもつ。
しかしながら、前記積層型圧電素子は、圧電セラミック層を有するために構造的に脆く、前記圧電式バルブの使用に際し、圧縮気体とともに破損片が噴出するおそれがある。
【０００６】
また、前記積層型圧電素子は、高湿環境に弱いため、前記圧電式バルブを高湿環境下で使用する場合には、前記積層型圧電素子に湿気が侵入して該圧電式バルブの寿命が短くなる問題がある。
【０００７】
積層型圧電素子の側面をエポキシ樹脂で被覆した樹脂外装型圧電素子が市販されているが、前記樹脂外装型圧電素子は、破損片の飛散を十分に防止できるものでなく、また耐水性も十分といえるものでない。
【０００８】
前記エポキシ樹脂による被覆層の厚みを増すことで、前記樹脂外装型圧電素子における破損片の飛散防止効果及び耐水性の向上が見込めるが、前記エポキシ樹脂の比較的硬い特性により前記圧電素子の拘束力が増して該圧電素子の変位が阻害される問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２０１３−１２４６９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
そこで、本発明は、積層型圧電素子の変位を利用してバルブの開閉を行う圧電式バルブであって、使用に際し圧縮気体とともに前記積層型圧電素子の破損片が噴出するおそれがなく、高湿環境下で使用した場合でも前記積層型圧電素子に湿気が侵入して寿命が短くなるおそれがない圧電式バルブを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するため、本発明は、
積層型圧電素子の変位を利用してバルブの開閉を行う圧電式バルブであって、
外部から供給される圧縮気体を受け入れる気体圧力室を有するバルブ本体と、
弁体、前記弁体の動作に必要な駆動力を変位として発生する積層型圧電素子、前記積層型圧電素子の変位を拡大して前記弁体に作用させる変位拡大機構を有し、前記バルブ本体の内部に配設されるアクチュエータと、を備える圧電式バルブにおいて、
前記積層型圧電素子は、ポリオレフィン系樹脂により表面を覆われることを特徴とする。
【００１２】
本発明の圧電式バルブは、
前記積層型圧電素子が、前記アクチュエータに一体化された状態で前記ポリオレフィン系樹脂に埋設される。
【００１３】
本発明の圧電式バルブは、
前記バルブ本体の内部に配設されるプレートをさらに備え、前記アクチュエータは前記プレートに固定され、該プレートとともに前記バルブ本体の内部に配設されるものであって、前記積層型圧電素子が、前記アクチュエータに一体化され、該アクチュエータが前記プレートに固定された状態で前記ポリオレフィン系樹脂に埋設されることが好ましい。
【００１４】
本発明の圧電式バルブは、
前記積層型圧電素子が、前記アクチュエータに一体化され、該アクチュエータが前記プレートに固定されて当該プレートとともに前記バルブ本体の内部に配設された状態で前記ポリオレフィン系樹脂により埋設されることが好ましい。
【００１５】
本発明の圧電式バルブに利用して好適な積層型圧電素子は、
圧電セラミック層と内部電極層を交互に積層した積層体を有し、該積層体は、対向する側面に前記内部電極層が露出し、前記内部電極層と導通する外部電極を有してなり、
前記内部電極層が露出する側面が、ポリオレフィン系樹脂により覆われることが好ましい。
また、本発明の圧電式バルブに利用して好適な積層型圧電素子は、
圧電セラミック層と内部電極層を交互に積層した積層体を有し、該積層体は、対向する側面に前記内部電極層が露出し、前記各側面のそれぞれにおいて前記露出した内部電極層が一層おきに絶縁層で被覆され、さらに、前記絶縁層を覆いかつ前記絶縁層によって被覆されていない前記内部電極層と導通する外部電極を有してなり、
前記内部電極層が露出する側面が、ポリオレフィン系樹脂により覆われることが好ましい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の圧電式バルブは、従来のエポキシ樹脂と比較してヤング率が小さく柔軟性に優れる特性を有し、かつ、前記エポキシ樹脂と比較して透湿度が小さく耐水性に優れる特性を有するポリオレフィン系樹脂により覆われる積層型圧電素子を利用するので、当該圧電式バルブの使用に際し圧縮気体とともに前記積層型圧電素子の破損片が噴出することがなく、高湿環境下で使用した場合でも前記積層型圧電素子に湿気が侵入して寿命が短くなるおそれがない。
【００１７】
本発明の圧電式バルブは、積層型圧電素子が、アクチュエータに一体化された状態でポリオレフィン系樹脂に埋設されるので、前記積層型圧電素子の表面が前記ポリオレフィン系樹脂により厚く覆われるものとすることができるので、当該圧電式バルブの使用に際し圧縮気体とともに前記積層型圧電素子の破損片が噴出することがなく、高湿環境下で使用した場合でも前記積層型圧電素子に湿気が侵入して寿命が短くなるおそれがない。
【００１８】
本発明の圧電式バルブは、積層型圧電素子が、アクチュエータに一体化され、該アクチュエータがプレートに固定された状態でポリオレフィン系樹脂に埋設されることとすれば、前記積層型圧電素子の表面が前記ポリオレフィン系樹脂層により厚く覆われるものとすることができるので、当該圧電式バルブの使用に際し圧縮気体とともに前記積層型圧電素子の破損片が噴出することがなく、高湿環境下で使用した場合でも前記積層型圧電素子に湿気が侵入して寿命が短くなるおそれがない。
【００１９】
本発明の圧電式バルブは、積層型圧電素子が、アクチュエータに一体化され、該アクチュエータがプレートに固定されて当該プレートとともにバルブ本体の内部に配設された状態でポリオレフィン系樹脂により埋設されることとすれば、前記積層型圧電素子の表面が前記ポリオレフィン系樹脂層により厚く覆われるものとすることができるので、当該圧電式バルブの使用に際し圧縮気体とともに前記積層型圧電素子の破損片が噴出することがなく、高湿環境下で使用した場合でも前記積層型圧電素子に湿気が侵入して寿命が短くなるおそれがない。
【００２０】
本発明の圧電式バルブに利用して好適な積層型圧電素子は、内部電極層が露出する側面が、従来のエポキシ樹脂と比較してヤング率が小さく柔軟性に優れる特性を有し、かつ、前記エポキシ樹脂と比較して透湿度が小さく耐水性に優れる特性を有するポリオレフィン系樹脂により覆われるので、変位が阻害されることなく破損片の飛散を防止でき、かつ耐水性にも優れる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】積層型圧電素子の断面図。
【図２】圧電式バルブの斜視図。
【図３】圧電式バルブの組立分解図。
【図４】アクチュエータの説明図。
【図５】弁座プレートにアクチュエータを固定した状態の説明図。
【図６】圧電式バルブの断面図であって、弁座プレートをバルブ本体内部に配設した状態の説明図。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
＜積層型圧電素子＞
図１は、積層型圧電素子の代表例であって断面図を示す。
本発明の実施の形態において、積層型圧電素子１は、圧電セラミック層２と内部電極層３を交互に積層した積層体４を有する。前記積層体４は、対向する側面に前記内部電極層３が露出し、前記各側面のそれぞれにおいて前記露出した内部電極層３が一層おきに絶縁層５で被覆され、さらに、前記絶縁層５を覆いかつ前記絶縁層５によって被覆されていない前記内部電極層３と導通する外部電極６を有する。
また、前記積層型圧電素子１は、前記内部電極層３が露出する側面が、ポリエチレンやポリプロピレン等のポリオレフィン系樹脂８により覆われている。
【００２３】
ここで、前記積層型圧電素子１は、少なくとも前記内部電極層３が露出する側面が前記ポリオレフィン系樹脂８により覆われていればよく、好ましくは、前記内部電極層３が露出する側面を含む全ての表面が、前記ポリオレフィン系樹脂８により覆われていればよい。
【００２４】
前記ポリオレフィン系樹脂８は、従来の積層型圧電素子において内部電極層が露出する側面を被覆するエポキシ樹脂と比較してヤング率が小さく柔軟性に優れる特性を有する。
したがって、本発明の実施の形態において、前記積層型圧電素子１は、少なくとも前記内部電極層３が露出する側面、好ましくは、前記内部電極層３が露出する側面を含む全ての表面が、前記ポリオレフィン系樹脂８により厚く覆われるものとした場合でも、変位が阻害されることなく破損片の飛散を防止することができる。
【００２５】
また、前記ポリオレフィン系樹脂８は、前記エポキシ樹脂と比較して透湿度が小さく耐水性に優れる特性を有する。
したがって、本発明の実施の形態において、前記積層型圧電素子１は、少なくとも前記内部電極層３が露出する側面、好ましくは、前記内部電極層３が露出する側面を含む全ての表面が、ポリオレフィン系樹脂８により覆われるので耐水性にも優れる。
【００２６】
なお、上記本発明の実施の形態では、積層型圧電素子として、図１に示すタイプのものを代表例として説明したが、少なくとも内部電極層が露出する側面、好ましくは、前記内部電極層が露出する側面を含む全ての表面が、ポリエチレンやポリプロピレン等のポリオレフィン系樹脂により覆われるものであれば、他のタイプの積層型圧電素子であっても構わない。
【００２７】
＜圧電式バルブ＞
図２は圧電式バルブの斜視図を示す。図３は圧電式バルブの組立分解図を示す。図４はアクチュエータの説明図を示す。図５は弁座プレートにアクチュエータを固定した状態の説明図を示す。図６は圧電式バルブの断面図であって、弁座プレートをバルブ本体内部に配設した状態の説明図を示す。
【００２８】
本発明の実施の形態において、圧電式バルブ１０は、バルブ本体２０、前記バルブ本体２０の内部に配設されるとともに該バルブ本体２０に固定される弁座プレート２５、前記弁座プレート２５の両面にネジで固定されるアクチュエータ３０を備える。
【００２９】
前記バルブ本体２０は、前面が開口するケースであって、内部には外部の圧縮気体供給源（図示せず）から圧縮気体の供給を受ける気体圧力室を備える。
また、前記バルブ本体２０の前面には、コネクタ部５０が設けられる。前記コネクタ部５０の前面には、該バルブ本体２０内に圧縮気体を吸入する気体吸入口５１及び前記圧縮気体を排出する気体排出口５２が開口する。
【００３０】
前記弁座プレート２５は、前記アクチュエータ３０の取り付け部を両面に備えるとともに、前記アクチュエータ３０の後述する弁体３１が当接する弁座２６を有する。また、前記弁座プレート２５の前面には、前記ケースの開口を閉鎖する蓋材２８が取り付けられる。当該蓋材２８には、前記弁座２６の弁座面から前記コネクタ部５０の前面に開口する前記排出口５２へ連通する気体排出路が形成される。さらに、前記蓋材２８には、前記コネクタ部５０の前面に開口する吸入口５１から前記バルブ本体２０内に連通する気体吸入路が形成される。
【００３１】
前記アクチュエータ３０は、図４に示すように、ゴム製好ましくは滑性ゴムの弁体３１、該弁体３１の動作に必要な駆動力を変位として発生する積層型圧電素子３２、前記積層型圧電素子３２の変位を拡大して前記弁体３１に作用させる変位拡大機構３３を備える。
【００３２】
前記変位拡大機構３３は、前記積層型圧電素子３２の変位を拡大する変位拡大部３４と、前記積層型圧電素子３２の変位を前記変位拡大部３４に伝達する変位伝達部３５を有し、前記弁体３１の動作方向の軸線、ここでは、前記弁体３１と前記積層型圧電素子３２の長手方向軸線を結ぶ直線（以下、「中心線」という。）に対して対称に配置される。
【００３３】
前記変位伝達部３５は、前記積層型圧電素子３２の一端が接合されるＵ字状のベース基板３６と、前記積層型圧電素子３２の他端が接合されるキャップ部材３７を有する。前記積層型圧電素子３２が前記Ｕ字状のベース基板３６の空間内に配設されることで、前記変位拡大機構３３は前記積層型圧電素子３２の長手方向軸線を中心として対称な配置とされる。
【００３４】
ここで、前記積層型圧電素子３２は、前記Ｕ字状のベース基板３６の空間内であって該ベース基板３６のＵ字状底部と前記キャップ部材３７との間に組み込まれ、前記ベース基板３６のＵ字状底部を塑性変形させることで、前記一端が前記ベース基板３６のＵ字状底部に接合され、前記他端が前記キャップ部材３７に接合される。
【００３５】
前記変位拡大部３４は、前記中心線に対して対称な配置とされる第１及び第２変位拡大部３４ａ，３４ｂから構成される。
前記第１変位拡大部３４ａは、第１及び第２ヒンジ３９，４０、第１アーム４１及び第１板バネ４２を有する。前記第１ヒンジ３９の一端は前記Ｕ字状のベース基板３６の一方側先端に対し一体とされ、前記第２ヒンジ４０の一端は前記キャップ部材３７に対し一体とされる。前記第１アーム４１の外側先端部には、前記第１板バネ４２の一端が接合され、該第１板バネ４２の他端には前記弁体３１の一方側の側端部が接合される。
【００３６】
他方、前記第２変位拡大部３４ｂは、第３及び第４ヒンジ４３，４４、第２アーム４５及び第２板バネ４６を有する。前記第３ヒンジ４３の一端は前記Ｕ字状のベース基板３６の他方側先端に対し一体とされ、前記第４ヒンジ４４の一端は前記キャップ部材３７に対し一体とされる。前記第２アーム４５の外側先端部には、前記第２板バネ４６の一端が接合され、該第２板バネ４６の他端には前記弁体３１の他方側の側端部が接合される。
ここで、前記変位拡大機構３３は、例えばステンレス材等の金属材料を打ち抜いて一体に成形することができる。
【００３７】
上記アクチュエータ３０は、閉弁状態において前記積層型圧電素子３２に通電すると、当該積層型圧電素子３２が伸長する。当該積層型圧電素子３２の伸長に伴う変位は、前記変位拡大機構３３において、前記第１及び第３ヒンジ３９，４３を支点、前記第２及び第４ヒンジ４０，４４を力点、前記第１及び第２アーム４１，４５の外側先端部を作用点としてテコの原理により拡大され、前記第１及び第２アーム４１，４５の外側先端部を大きく変位させる。
【００３８】
そして、前記第１及び第２アーム４１，４５の外側先端部の変位は、前記第１及び第２板バネ４２，４６を介して前記弁体３１を前記弁座２６から離間させ、前記気体排出路を開放する。
【００３９】
他方、上記アクチュエータ３０は、前記積層型圧電素子３２への通電が解除されると該積層型圧電素子３２が収縮し、当該収縮が前記変位拡大機構３３を介して前記弁体３１を前記弁座２６に着座させ、前記気体排出路を閉鎖する。
【００４０】
本発明の実施の形態において、前記圧電式バルブ１０の積層型圧電素子３２には、少なくとも内部電極層が露出する側面、好ましくは、前記内部電極層が露出する側面を含む全ての表面が、ポリエチレンやポリプロピレン等のポリオレフィン系樹脂により覆われている積層型圧電素子（例えば、図１に示すタイプの積層型圧電素子１。）を利用することができる。
【００４１】
前記積層型圧電素子３２は、少なくとも前記内部電極層が露出する側面、好ましくは、前記内部電極層が露出する側面を含む全ての表面が、前記ポリオレフィン系樹脂により厚く覆われるものとした場合でも、変位が阻害されることなく破損片の飛散を防止することができる。
したがって、前記圧電式バルブ１０において、前記積層型圧電素子３２として、少なくとも内部電極層が露出する側面、好ましくは、前記内部電極層が露出する側面を含む全ての表面が、ポリエチレンやポリプロピレン等のポリオレフィン系樹脂により覆われている積層型圧電素子を利用することとすれば、使用に際し排出口５２から圧縮気体ともに前記積層型圧電素子３２の破損片が噴出することがない。
【００４２】
また、前記積層型圧電素子３２は、少なくとも前記内部電極層が露出する側面、好ましくは、前記内部電極層が露出する側面を含む全ての表面が、ポリオレフィン系樹脂により覆われるものとした場合には、耐水性にも優れる。
したがって、前記圧電式バルブ１０において、前記積層型圧電素子３２として、少なくとも内部電極層が露出する側面、好ましくは、前記内部電極層が露出する側面を含む全ての表面が、ポリエチレンやポリプロピレン等のポリオレフィン系樹脂により覆われている積層型圧電素子を利用することとすれば、当該圧電式バルブ１０を高湿環境下で使用した場合でも、前記積層型圧電素子３２に湿気が侵入して寿命が短くなるおそれがない。
【００４３】
ここで、図４〜図６は、積層型圧電素子３２をポリオレフィン系樹脂８０に埋設する例を示している。
図４に示すように、本発明の実施の形態において、積層型圧電素子３２は、一端がベース基板３６に接合され、他端がキャップ部材３７に接合されて、アクチュエータ３０に一体化された状態で、ポリオレフィン系樹脂８０に埋設されるものとすることができる。
【００４４】
前記積層型圧電素子３２は、前記アクチュエータ３０において、前記変位拡大機構３３の前記変位拡大部３４を除く、前記変位伝達部３５側とともに前記ポリオレフィン系樹脂８０に埋設されることとすればよく、好ましくは、図４に示すように、一端が接合される前記ベース基板３６のＵ字状底部及び他端が接合される前記キャップ部材３７とともに前記ポリオレフィン系樹脂８０に埋設されることとする。
【００４５】
また、図５に示すように、本発明の実施の形態において、前記圧電式バルブ１０は、積層型圧電素子３２を前記アクチュエータ３０に一体化し、該アクチュエータ３０を前記弁座プレート２５に固定した状態で、前記積層型圧電素子３２を前記ポリオレフィン系樹脂８０に埋設することもできる。
【００４６】
前記積層型圧電素子３２は、前記弁座プレート２５上に溶融した状態の前記ポリオレフィン系樹脂を流し込むことで、前記ポリオレフィン系樹脂１００に埋設されることとすればよく、例えば図５に示すように、前記アクチュエータ３０における前記変位拡大機構３３の前記変位拡大部３４を除く、前記変位伝達部３５側とともに前記ポリオレフィン系樹脂８０に埋設されることとすることができる。また、図４に示すように、前記積層型圧電素子３２は、一端が接合される前記ベース基板３６のＵ字状底部及び他端が接合される前記キャップ部材３７とともに前記ポリオレフィン系樹脂８０に埋設されることとすることもできる。
【００４７】
さらに、図６に示すように、本発明の実施の形態において、前記圧電式バルブ１０は、積層型圧電素子３２を前記アクチュエータ３０に一体化し、該アクチュエータ３０を前記弁座プレート２５に固定し、該弁座プレート２５を前記バルブ本体２０の内部に配設した状態で、前記積層型圧電素子３２を前記ポリオレフィン系樹脂８０に埋設することもできる。
【００４８】
前記積層型圧電素子３２は、前記バルブ本体２０の内部に溶融した状態の前記ポリオレフィン系樹脂を流し込むことで、前記ポリオレフィン系樹脂８０に埋設されることすればよく、例えば図６に示すように、前記アクチュエータ３０における前記変位拡大機構３３の前記変位拡大部３４を除く、前記変位伝達部３５側とともに前記ポリオレフィン系樹脂８０に埋設されることとすることができる。また、図４に示すように、前記積層型圧電素子３２は、一端が接合される前記ベース基板３６のＵ字状底部及び他端が接合される前記キャップ部材３７とともに前記ポリオレフィン系樹脂８０に埋設されることとすることもできる。
【００４９】
上記図４〜図６に示す各例において、前記積層型圧電素子３２は、前記アクチュエータ３０における前記変位拡大機構３３の前記変位拡大部３４を除く、前記変位伝達部３５側とともに前記ポリオレフィン系樹脂８０に埋設されることとし、好ましくは、図４に示すように、一端が接合される前記ベース基板３６のＵ字状底部及び他端が接合される前記キャップ部材３７とともに前記ポリオレフィン系樹脂８０に埋設されることとするので、前記アクチュエータ３０は、前記ポリオレフィン系樹脂８０により動作を阻害されるおそれがない。
【００５０】
また、上記図４〜図６に示す各例においても、前記圧電式バルブ１０は、前記積層型圧電素子３２の表面が前記ポリオレフィン系樹脂８０により厚く覆われるものとすることができるので、使用に際し排出口４１から圧縮気体ともに前記積層型圧電素子３２の破損片が噴出するおそれがなく、また、高湿環境下で使用した場合でも、前記積層型圧電素子３２に湿気が侵入して寿命が短くなるおそれがない。
【００５１】
上記図４〜図６に示す各例において、前記積層型圧電素子３２としては、少なくとも内部電極層が露出する側面がポリオレフィン系樹脂により覆われている積層型圧電素子（例えば、図１に示すタイプの積層型圧電素子１。）の他、内部電極層が露出する側面を有する種々のタイプの積層型圧電素子を利用することができる。
【００５２】
前記積層型圧電素子３２として、少なくとも前記内部電極層が露出する側面がポリオレフィン系樹脂により覆われている積層型圧電素子を利用する場合には、前記積層型圧電素子３２を前記アクチュエータに一体化するに際し、前記ベース基板３６側と前記キャップ部材３７側における各接合部において、該積層型圧電素子３２の表面から前記ポリオレフィン系樹脂が脱落するおそれがあるが、上記図４〜図６に示す各例では、前記積層型圧電素子３２が前記アクチュエータに一体化された後に前記ポリオレフィン系樹脂８０に埋設されるので、前記圧電式バルブ１０は、前記ポリオレフィン系樹脂８０により表面が厚く覆われる積層型圧電素子３２を備えるものとすることができる。
【００５３】
なお、本発明は、上記実施の形態に限るものでなく、発明の範囲を逸脱しない限りにおいてその構成を適宜変更できることはいうまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本発明は、積層型圧電素子の変位を利用してバルブの開閉を行う圧電式バルブであって、使用に際し圧縮気体とともに前記積層型圧電素子の破損片が噴出することがなく、高湿環境下で使用した場合でも前記積層型圧電素子に湿気が侵入して寿命が短くなるおそれがないため、さまざまな用途及びさまざまな場面で利用できる。
【符号の説明】
【００５５】
１      積層型圧電素子
２      セラミック層
３      内部電極層
４      積層体
５      絶縁層
６      外部電極
７      リード線
８      ポリオレフィン系樹脂
１０      圧電式バルブ
２０      バルブ本体
２５      弁座プレート
２６      弁座
２８      蓋材
３０      アクチュエータ
３１      弁体
３２      積層型圧電素子
３３      変位拡大機構
３４      変位拡大部
３５      変位伝達部
３６      ベース基板
３７      キャップ部
３９      第１ヒンジ
４０      第２ヒンジ
４１      第１アーム
４２      第１板バネ
４３      第３ヒンジ
４４      第４ヒンジ
４５      第２アーム
４６      第２板バネ
５０      コネクタ部
５１      気体吸入口
５２      気体排出口
８０      ポリオレフィン系樹脂
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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