(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収納する容器本体と、
前記容器本体の開口を閉鎖する蓋体と、
前記蓋体の容器本体側の凹部に設けられて前記基板の前記開口側への移動を規制するリテーナと、
を備えた基板収納容器であって、
前記リテーナが、前記蓋体の容器本体側の凹部に着脱可能に設けられる枠体と、前記枠体に着脱可能に設けられる、弾性部材からなる、細長い支持部と、を備え、
前記支持部は、前記枠体と前記蓋体の容器本体側の凹部との間に配置される基部と、前記枠体に設けられたスリットから突出するように前記基部の一面から一方に延びる突出部と、を備え、
前記突出部の少なくとも一部が前記基板との接触面となり、
前記接触面が、前記支持部の長手方向を通して平坦面又は断面円弧状の一定の形状に形成され、そして、
前記枠体から突出した前記突出部の長手方向の両端が夫々前記突出部の長手方向に沿った前記枠体の両端に達するように設けられている
ことを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
前記接触面が、前記支持部の長手方向を通して断面円弧状に形成されるときに、前記突出部は、前記支持部の短手方向に沿った中央部の突出量が前記支持部の短手方向に沿った両端部の突出量よりも多くなるように形成されている、請求項１に記載の基板収納容器。  
【請求項３】
前記突出部の長手方向の両端それぞれの少なくとも一部には、前記枠体に係合するための切欠きが設けられている、請求項１又は２に記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記基部が、平板状であり、そして、
前記支持部が、前記基部から他方に延びる複数の脚部を有し、かつ、断面中空に形成されている、請求項１〜３のいずれか一項に記載の基板収納容器。
【請求項５】
前記複数の脚部のうち前記基部の短手方向の中央部から他方に延びる一対の中央脚部は、断面ハの字状に形成されている、請求項４に記載の基板収納容器。
【請求項６】
前記複数の脚部のうち一対の脚部は、前記基部の短手方向の両端からそれぞれ他方に延びている、請求項４又は５に記載の基板収納容器。
【請求項７】
前記基部における前記一面と対向する面が、凹状に湾曲した面として形成されている、請求項１〜３のいずれか一項に記載の基板収納容器。
【請求項８】
前記接触面が、接触領域と非接触領域とに分割されている、請求項１〜７のいずれか一項に記載の基板収納容器。
【請求項９】
前記蓋体の容器本体側の凹部と前記支持部との間に、前記支持部の高さを調整するためのスペーサーが配置されている、請求項１〜８のいずれか一項に記載の基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ等の基板を複数枚収納して保管・搬送するための基板収納容器に関し、特には、薄く又は厚く加工された基板を収納して、安全に搬送や輸送するのに好適なリテーナを備えた基板収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
このような基板収納容器は、たとえば下記特許文献１−３に開示されているように、開口を有する容器本体と、容器本体の該開口を閉鎖し得る蓋体とから構成されている。
【０００３】
容器本体には、該開口を通して複数の基板を収納でき、各基板は、水平にかつ互いに離間され面対向されて配置されるようになっている。このため、容器本体の開口側から観た両側の内壁面には、各基板のそれぞれの周辺部を支持する支持部が設けられている。
【０００４】
また、蓋体の裏面（容器本体の開口に対向する面）にはリテーナが取付けられ、該リテーナは、蓋体を容器本体に閉鎖したときに、前記支持部に支持された各基板の前後方向の移動あるいは輸送時の振動を規制して、基板の破損防止や磨耗粉などの汚染物の発生を防止するようになっている。
【０００５】
該リテーナは、一般的にプラスチック製で、各基板の前端部（蓋体側の端部）に係合できる係合部（例えば、Ｖ字溝）を有するとともに、板バネ状の構造等をとって各基板を弾性支持する構造となっている。例えば、３００ｍｍウェーハ用としては国際規格でウェーハの支持ピッチは１０ｍｍで規定されているが、通常７７５ミクロン厚みウェーハの撓みは１ｍｍ未満程度であるため、広い部分の幅が上下３ｍｍ程度のＶ字溝を有するリテーナで蓋体を閉じる際にウェーハ先端を拾い、弾性保持を行う構造となっている。
【０００６】
しかし、ウェーハ表面に電子回路を形成した後、その裏面を研磨し、薄くなったウェーハを基板収納容器にて保管・搬送する場合がある。この場合、例えば通常のウェーハ厚み７７５ミクロンが半分以下となる１０μｍ〜４００μｍまで薄く加工されるため、該ウェーハは自重で撓みが大きく、また研磨あるいは各種加工工程で大きな反りを生じるため、基板収納容器等の支持溝に載置・保管された状態でも従来のリテーナでは蓋体を閉じる際にＶ溝で各ウェーハ先端を拾うことが出来ず、上下に隣り合うウェーハ同士の接触やリテーナそのものとの接触により、ウェーハが損傷する恐れがあった。この対応のため、３００ｍｍ用基板収納容器は通常２５枚のウェーハが収納可能であるが、1枚おきの２０ｍｍピッチ１３枚入れとした上で、反り・撓みの非常に大きい場合はリテーナを取り外して運用することで、搬送時の撓み・振動によるウェーハ同士の接触やリテーナとの接触を回避していた。しかし、このような運用では保管・搬送効率が落ちるだけでなく、搬送時にウェーハが容器内部でがたつくことによる発塵・破損の恐れがあるとともに、取り出し時のウェーハ位置が安定しないため、自動機によるウェーハの取り出し・装置搬入にしばしば問題を生じる。また、通常のウェーハよりも厚いウェーハの場合、Ｖ溝で納めることができない場合があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特許第５２５３４１０号公報
【特許文献２】特開２００４−２４７４６７号公報
【特許文献３】特開２００５−２９４３８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、通常より肉厚の薄い基板が、自重で撓んだり、加工工程で反りを生じた場合でも傷つけることなく該基板の保持ができ、従来のリテーナを蓋体へ取り付けする構造を踏襲した枠体を採用することで、容易に既存の基板収納容器のリテーナと交換可能であり、Ｖ溝よりも厚い基板であっても安定して保持できるようにした、基板を保持可能なリテーナを備える基板収納容器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、以下の構成によって把握される。
（１）本発明の基板収納容器は、基板を収納する容器本体と、前記容器本体の開口を閉鎖する蓋体と、前記蓋体の容器本体側の凹部に設けられて前記基板の前記開口側への移動を規制するリテーナと、を備え、前記リテーナが、前記蓋体の容器本体側の凹部に着脱可能に設けられる枠体と、前記枠体に着脱可能に設けられる、弾性部材からなる、細長い支持部と、を備え、前記支持部は、前記枠体と前記蓋体の容器本体側の凹部との間に配置される基部と、前記枠体に設けられたスリットから突出するように前記基部の一面から一方に延びる突出部と、を備え、前記突出部の少なくとも一部が前記基板との接触面となり、前記接触面が、前記支持部の長手方向を通して平坦面又は断面円弧状の一定の形状に形成され、そして、前記枠体から突出した前記突出部の長手方向の両端が夫々前記突出部の長手方向に沿った前記枠体の両端に達するように設けられていることを特徴とする。
（２）本発明の基板収納容器は、（１）の構成において、前記接触面が、前記支持部の長手方向を通して断面円弧状に形成されるときに、前記突出部は、前記支持部の短手方向に沿った中央部の突出量が前記支持部の短手方向に沿った両端部の突出量よりも多くなるように形成されていることを特徴とする。
（３）本発明の基板収納容器は、（１）又は（２）の構成において、前記突出部の長手方向の両端それぞれの少なくとも一部には、前記枠体に係合するための切欠きが設けられていることを特徴とする。
（４）本発明の基板収納容器は、（１）〜（３）のいずれかの構成において、前記基部が、平板状であり、そして、前記支持部が、前記基部から他方に延びる複数の脚部を有し、かつ、断面中空に形成されていることを特徴とする。
（５）本発明の基板収納容器は、（４）の構成において、前記複数の脚部のうち前記基部の短手方向の中央部から他方に延びる一対の中央脚部は、断面ハの字状に形成されていることを特徴とする。
（６）本発明の基板収納容器は、（４）又は（５）の構成において、前記複数の脚部のうち一対の脚部は、前記基部の短手方向の両端からそれぞれ他方に延びていることを特徴とする。
（７）本発明の基板収納容器は、（１）〜（３）のいずれかの構成において、前記基部における前記一面と対向する面が、凹状に湾曲した面として形成されていることを特徴とする。
（８）本発明の基板収納容器は、（１）〜（７）のいずれかの構成において、前記接触面が、接触領域と非接触領域とに分割されていることを特徴とする。
（９）本発明の基板収納容器は、（１）〜（８）のいずれかの構成において、前記蓋体の容器本体側の凹部と前記支持部との間に、前記支持部の高さを調整するためのスペーサーが配置されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
このように構成した基板収納容器を採用することで、基板がたとえ自重で撓んだり、加工工程で反りを生じた場合でも傷つけることなく該基板の保持ができ、容易に既存の基板収納容器のリテーナと交換可能であり、厚い基板であっても安定して保持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の基板収納容器の一実施形態を示す分解斜視図である。
【図２】本発明の基板収納容器の一実施形態に備えられる蓋体を、リテーナが取り付けられている裏側からみた正面図である。
【図３】図３のＡ−Ａ線における部分断面図である。
【図４】図４（ａ）は、図３のＡ−Ａ線における別の実施形態の部分断面図である。ここで、支持部の形状が図３と異なる。図４（ｂ）は、図４（ａ）における支持部のみを拡大して示す。
【図５】図３のＡ−Ａ線における別の実施形態の部分断面図である。ここで、支持部の形状が図３及び図４と異なる。
【図６】図６（ａ）は、図３のＡ−Ａ線における別の実施形態の部分断面図である。ここで、支持部の形状が図４、図５、及び図６と異なる。図６（ｂ）は、図６（ａ）における支持部のみを拡大して示す。
【図７】リテーナが取り付けられた基板収納容器（特に、蓋体）の部分斜視図（参考図）である。
【図８】図８（ａ）及び（ｂ）は、図７のリテーナを備えた基板収納容器において蓋体開閉時にリテーナで起こる現象を説明するための図面（参考図）である。
【図９】図９（ａ）および９（ｂ）は、図３における枠体及び支持部の長手方向に沿った両端を拡大して示す。
【図１０】本発明の基板収納装置の一実施形態におけるリテーナの枠体と支持部間の位置関係を示す部分斜視図である。
【図１１】図１１（ａ）〜１１（ｃ）は、本発明の一実施形態に係る基板収納容器において蓋体開閉時にリテーナで起こる現象を説明するための図面である。
【図１２】支持部の外表面（接触面）に格子状のパターンを設けた別の実施形態に係るリテーナの部分拡大断面図である。
【図１３】図３のＡ−Ａ線における別の実施形態の部分断面図である。支持部の形状は、該支持部の外表面（接触面）に溝を形成したことを除けば、図５に示したものと同じである。
【図１４】本発明の一実施形態に係る基板収納容器に備えられる蓋体からリテーナを分解させた分解斜視図である。スペーサーを使用することに特徴がある。
【図１５】図１４の各部品を組み立てた組立品の斜視図である。
【図１６】図１４に示されたスペーサーの斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための形態（以下、実施形態）について詳細に説明する。なお、実施形態の説明の全体を通して同じ要素には同じ番号を付している。
【００１３】
図１は、本発明の基板収納容器の一実施形態を示す分解斜視図である。
本発明の基板収納容器の一実施形態１０は、図１に示すように、前面に開口部１１Ａを有するいわゆるフロントオープンボックスタイプの容器本体１１と、この容器本体１の開口部１１Ａを塞ぐ蓋体１２と、蓋体１２に設けられるリテーナ２１（「フロントリテーナ」とも呼ぶ。）と、を備える。容器本体１１の側壁には、基板Ｗの周縁部を水平に支持する一対の支持部材１４（図１では片側の支持部材のみを示す）が、垂直方向に一定間隔で形成されている。支持部材１４は容器本体１１から内方に突出する棚状の部材であり、容器本体１１の開口部が開いた状態では、基板Ｗは支持部材１４によって水平に支持されている。蓋体１２にはリテーナ２１が取り付けられ、蓋体１２とリテーナ２１が一体となって、容器本体１１に取り付けまたは取り外しが行われる。
【００１４】
図２は、本発明の基板収納容器の一実施形態に備えられる蓋体を、リテーナが取り付けられている裏側からみた正面図である。蓋体１２のリテーナ２１は、図２に示すように、長方形枠からなる外枠体２２と、該外枠体２２の長手方向に沿って該外枠体２２のほぼ中央に配置される中央枠体２３と、該中央枠体２３の長手方向に沿って保持される支持部２４と、を備えている。外枠体２２は、互いに平行配置される横枠２２ａと互いに平行配置される縦枠２２ｂとで長方形枠を形成されている。中央枠体２３は、互いに平行配置される支柱部２３ａと互いに平行配置される連結部２３ｂを有し、その中央に長手方向に沿ったスリット（中空部）２３ｄが形成されている。支持部２４は、その長手方向に沿った中央部を除く両脇が、該中央枠体２３によって被われ、蓋体１２と中央枠体２３との間に挟持されている。また、支持部２４の長手方向に沿った中央部には、図３などに示すように、スリット２３ｄを通って中央枠体２３から突出する突出部２４Ｔが設けられている。蓋体１２を容器本体１１に閉塞した状態において、支持部２４の突出部２４Ｔが基板Ｗの周辺の前端部（蓋体側の端部）と当接する。これにより、基板Ｗは容器本体１１の開口側への移動が支持部２４によって規制されるようになっている。この理由から、支持部２４の突出部２４Ｔを「（基板）接触部」とも称する。突出部２４Ｔ等の支持部２４の詳しい構成については後述する。
【００１５】
枠体としての外枠体２２及び中央枠体２３は、たとえば、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトンなどの各種の熱可塑性樹脂、あるいはポリエステル系やポリオレフィン系などの各種の熱可塑性エラストマーによって形成され得る。
【００１６】
支持部２４は、図３に示すように、中央枠体２３の背部に配置され、該中央枠体２３のスリット２３ｄから前方に突出する部分を有して形成されている。即ち、支持部２４は、その横断面が凸状となっており、平板状であるか、平板状の部分を有する基部２４ａと、この基部２４ａの中央付近に長手方向に沿って一方の方向に延びる突出部２４Ｔと、を備えて形成される。突出部２４Ｔの頂面又は外表面（即ち、基板Ｗとの接触面）はその長手方向に沿って凸凹のない滑らかな面となっている。図３には、突出部２４Ｔの頂面又は外表面（即ち、基板Ｗとの接触面）が、溝のない平坦面として設けられている。支持部２４の基部２４ａは中央枠体２３の背部に配置される部分であり、突出部２４Ｔの少なくとも一部は該中央枠体２３のスリット２３ｄから突出するようになっている。この例においては、支持部２４の基部２４ａも突出部２４Ｔも中が詰まった（即ち、中空ではない）ものである。このように、突出部２４Ｔの基板Ｗとの接触面を、支持部の長手方向を通して溝のない平坦面として形成することで、従来のＶ溝では保持できない厚い基板も安定して保持することができる。
【００１７】
前述した支持部２４の形状は、主に図３に基づくものであるが、図４及び図５には、基部２４ａも突出部２４Ｔのいずれも中が詰まっていない、即ち、中空（薄肉）のものを示す。これらを中空にするメリットとして、支持部が柔らかくなるので取り扱い易くなることが挙げられる。その他、図４（ａ）および４（ｂ）に示した支持部２４の形状では、平板状の基部２４ａに支持部の長手方向に沿って複数の脚部が設けられている。好ましくは対称的に形成された二対の脚部のうち、支持部２４の（短手方向の）中央部寄りに設けられた一対の脚部（以下、「中央脚部」とも呼ぶ。）２４Ｆ（ｃ）は断面ハの字状である。より外側に設けられた一対の脚部（即ち、外側脚部）は平板状の基部２４ａの短手方向の両端から（平板に対して）垂直方向に（突出部２４Ｔとは反対方向に）延びている。図５にも対称的に形成された二対の脚部を有する支持部２４が示されているが、ハの字をなす一対の脚部（中央脚部）の角度が図４に示したものと異なる。より具体的に、図４に示した支持部２４（押し出し成形により得たもの）のハの字をなす一対の中央脚部間の角度は約９０°であるのに対して、図５に示した支持部２４（プレス成形により得たもの）のハの字をなす一対の中央脚部間の角度は、図４よりも遥かに小さい。図６（ａ）および６（ｂ）に示す支持部の形状は、図３に示す支持部同様、基部２４ａおよび突出部２４Ｔが中空ではないが、突出部２４Ｔが形成された基部の一面と対向する又は反対側の面が凹状曲面（湾曲した面）となっている。このように中空まではないにしても凹状曲面等を形成することで支持部２４を全体的にやわらかく仕上げることができる。支持部２４を形成することに当たって押し出し成形よりもプレス成形を採用するメリットとしては、より細かい加工が可能である点、材料の変更（硬度の変更等）が可能である点、基板Ｗと接触する表面（突出部２４Ｔの頂面又は外表面）をさらに変えることが可能である点などがある。基板Ｗと接触する突出部２４Ｔの頂面又は外表面（即ち、基板Ｗとの接触面）の加工については、図１２及び１３に基づいて詳述する。
【００１８】
支持部２４の突出部２４Ｔの幅Ｋ（図３）は適宜設定することができるが、基板Ｗと弾性部材で構成された支持部２４が張り付いてしまい、蓋体を開く際に基板Ｗが引きずり出されないように、突出部２４Ｔの頂面（即ち、接触面）の面積を小さく形成することができる。これは、支持部２４の突出部２４Ｔの幅Ｋを小さくすることで達成できる。例えば、支持部２４の突出部２４Ｔの幅Ｋは、スリット２３ｄの幅以下であり、基部２４ａの幅の１／２以下、好ましくは、１／３以下であっても良い。また、突出部２４Ｔの頂面（即ち、基板Ｗとの接触面）の面積をさらに小さくするために、図４、図５、及び図６においては、突出部２４Ｔの頂面又は外表面を、凸凹のない滑らかな面ではあるものの、図３等に示した平坦面よりも（図２のＡ−Ａ線に沿った断面において）突出部２４Ｔの短手方向中央部の突出量が短手方向の両端部よりも多い、湾曲した形状（即ち、円弧状）に形成している。このように両端部よりも中央部の突出量を大きくすることで、基板Ｗとの接触面積をさらに減らすことができる。また、突出部２４Ｔの基板Ｗとの接触面を、支持部の長手方向を通して溝のない断面円弧状にすることで、従来のＶ溝では保持できない厚い基板も安定して保持することができる。
【００１９】
支持部２４は、熱可塑性エラストマー、あるいはゴム材などの弾性部材によって形成されている。即ち、支持部２４は、フッ素ゴム、ニトリルゴム、シリコンゴム、クロロプレンゴム、エチレンプロピレンゴムのうちから選択されるものを含んで構成されている。あるいは、支持部２４は、フッ素ゴムスポンジ、クロロプレンゴムスポンジ、シリコンゴムスポンジ、ニトリルゴムスポンジ、クロロプレンゴムスポンジ、エチレンプロピレンゴムスポンジのうちから選択されるものを含んで構成されている。好ましくは、支持部２４は、基板への影響が少なく、耐熱・圧縮永久ひずみの強い、フッ素ゴムで構成される。支持部２４を弾性部材で構成したことにより、たとえ基板（特に、薄い基板）Ｗに撓み・反りが生じていても、蓋体２の容器本体１への閉鎖にともなう該弾性部材の弾性力によって、各基板Ｗの前端部を押圧して保持可能となる。これにより、輸送時の基板Ｗのがたつきによる破損や汚染を回避でき、その撓み・反りの程度に拘わらず、各基板Ｗの前端部を柔軟に押圧でき、該基板Ｗの移動あるいは振動を適切に規制できるようになる。
【００２０】
このように、支持部２４は弾性部材で形成されるが、上述した作用・機能に鑑み、熱可塑性エラストマーを用いる場合、ＪＩＳ  Ｋ  ６２５３に準拠のデュロメータタイプＥで測定した硬度で１０°以上７０°以下、好ましくは２０°以上５０°以下の範囲、特には、３５゜程度の発泡タイプが好ましい。低硬度の一般的なゴムでは、可塑剤などによりべたつきがあり、場合によっては基板を引きずり出してしまうので、避けたほうが良い。また、ＪＩＳ  Ｋ  ６２５３に準拠のデュロメータタイプＡで測定した硬度で３０°以上９０°以下のゴムを用いる場合でも、内部中空の薄肉形状とすることで同様の効果を得ることが可能となる。さらに、基板Ｗを１３枚収納する場合には、基板１枚あたり３Ｎ以下の保持力（押さえ力）とすることが好ましく、基板Ｗを２５枚収納する場合には、基板１枚あたり１．６Ｎ以下の保持力（押さえ力）とすることが好ましい。このように保持力を調整することで、蓋体１２の開閉装置が、容器本体１１に蓋体１２を押圧するときの力（４０Ｎ）以下とできるので、開閉装置のスペックオーバーによる停止トラブルを回避して、蓋体１２の自動開閉を支障なく行うことができるようになる。また、保持力は、各基板Ｗが輸送時に回転しないような適切な値とすることが必要であり、前述した支持部２４を形成する材料の硬度の他にも、支持部２４の突出量によっても調整可能である。
【００２１】
このように構成した支持部２４は、従来のリテーナ取付部に着脱可能に取り付けることができる。先ず、リテーナ２１の枠体の組立に当たり、従来の方法に基づいて中央枠体２３と外枠体２２との組立がなされる。支持部２４については、突出部２４Ｔの少なくとも一部を中央枠体２３の中空部２３ｄ（図３参照）から突出させ、その基部２４ａを該中央枠体２３の背部に配置させる。支持部２４を従来のリテーナ取付部に取り付けるために、例えば、凸状支持部を中央枠体２３に押さ込むか、中央枠体２３において支持部２４に食い込むリブ等を設けるか、支持部２４の寸法がばらつく場合には、中央枠体２３に相対向する爪部を形成し、これらの爪部によって短めの支持部２４を上下方向あるいは左右方向に引き伸ばして固定する。
【００２２】
以下、このように組み立てたリテーナ２１を蓋体１２に取り付ける方法を説明する。蓋体１２の裏面の中央には、その上下方向（図１における上下方向）に延在する容器本体側の凹部１２ｃ（図１４）が形成されている。リテーナ２１は、該凹部１２ｃ内において、その支持部２４の長手方向が蓋体１２の上下方向に一致づけて配置される。また、図１４によれば、凹部１２ｃの上下方向における一対の側壁面１２ｓには、それぞれ（一方の側壁面は図示されていない）、上下方向に沿ってほぼ等間隔に並設されたリテーナ固定部１２ｄが取付けられている。支持部２４は、中央枠体２３を固定する外枠体２２が蓋体１２の凹部１２ｃに取付けられることによって、該中央枠体２３と蓋体１２の間に挟持され位置決めされるようになっている。なお、蓋体１２に形成されている凹部１２ｃは、従来の構成のリテーナを配置させる箇所になっており、従来の構成のリテーナに替えて本発明に係るリテーナ２１をそのまま配置させ取付けることができる。図１４に示すように、リテーナ２１は、蓋体１２の凹部１２ｃ内に埋設されるように配置され、その被固定部（図示せず）は、凹部１２ｃの側壁面１２ｓに形成されたリテーナ固定部１２ｄに固定されるようになっている。
【００２３】
次に、参考図としての図７及び図８に基づいて、支持部２４とリテーナの枠体２２、２３との関係について説明する。図７によれば、支持部２４の長手方向一端とリテーナ２１の枠体（特に、中央枠体２３）の長手方向一端との間に隙間Ｃが存在する。図７に図示されていないが、支持部２４の長手方向他端においても同様である。図７に示した構造を採用すると図８に示した現象が起こり得る。図８（ａ）は、支持部２４と基板Ｗが接触する前の状態を示す断面図であり、図８（ｂ）は、蓋体を閉めて支持部２４に基板Ｗが接触している状態を示す断面図である。より具体的に、蓋体を閉めると、支持部２４が基板Ｗと接触するようになり、変形される（即ち、押し込まれる）（図８（ｂ）参照）。使用時には、図８（ａ）と図８（ｂ）の状態が繰り返されることとなるので、枠体２２、２３と支持部２４とが擦れることにより発塵が発生してしまう可能性がある。また、図７に示した構造を採用したとき、隙間Ｃに撓んだ基板が誤って入ると該基板が保持しきれない可能性がある。
【００２４】
そこで、本発明者らは、支持部２４の長手方向両端の形状を図９及び図１０に示すように改良した。図７では支持部２４の長手方向端部（両端部）とリテーナの枠体（特に、中央枠体２３）の長手方向端部（両端部）との間に隙間Ｃが存在するが、図９および図１０では、支持部２４の長手方向端部（両端部）とリテーナの中央枠体２３の長手方向端部（両端部）との間には隙間が存在せず、支持部２４（特に、突出部２４Ｔの少なくとも一部）をリテーナの中央枠体２３の長手方向端部（中央枠体の連結部２３ｂに相当する）に載せる形状を採用している。このとき、支持部２４（特に、突出部２４Ｔ）の長手方向の長さと、リテーナの枠体２２，２３の長手方向の長さはほぼ一致している。ただ、支持部２４の基部２４ａの長手方向の長さは、図７に示したものと同様で、必ずしもリテーナ枠体２２、２３の長手方向の長さと一致しなくても良い。即ち、支持部２４の基部２４ａ（それに加えて、中空部２３ｄから突出しない突出部２４Ｔの部分）の長手方向の長さは、リテーナ枠体２２、２３の長手方向の長さよりも短く形成され得る。これに関連して、図１１に示すように、支持部２４の長手方向の両端それぞれに、枠体２２、２３に係合するための切欠き２４Ｎを設けて、支持部の突出部２４Ｔのうちスリット２３ｄから突出した部分が枠体２２，２３の長手方向の両端（又は、支持部の長手方向に沿った枠体の両端）に達する長さとなって、両端においてこの切欠きのない突出部２４Ｔの部分（即ち、スリット２３ｄから突出した突出部２４Ｔの部分）が枠体の両端に載せられる。このとき、枠体の両端に載せられた両端を含めた支持部２４の部分（切欠きのない領域又はスリット２３ｄから突出した突出部２４Ｔの部分）の長手方向の長さは枠体の長手方向の長さ（又は、支持部の長手方向に沿った枠体の両端の長さ）とほぼ同じである。以下、図９および図１０に示した構造を採用する際の利点を、図１１を用いて説明する。
【００２５】
図１１（ａ）は、支持部２４と基板Ｗが接触する前の状態を示す断面図であり、図１１（ｂ）は、蓋体を閉めて支持部２４に基板Ｗが接触している状態を示す断面図であり、図１１（ｃ）は、蓋体を開けて接触状態が解消したときを示す断面図である。切欠き２４Ｎのため支持部２４の長手方向端部の少なくとも一部がリテーナの枠体２２、２３上に載せられるので、図１１（ｂ）に示すように、支持部２４が基板Ｗと接触して押し込まれていても、支持部２４の長手方向端部（枠体に載せられた部分）が枠体２２、２３の長手方向端部よりも沈むことはなく、元に戻る（図１１（ｃ）において点線で囲まれた部分）。そのため、枠体２２、２３と支持部２４とが擦れて発塵してしまうことも起こらない。このような支持部２４の長手方向の端部の特有の形状は、押し出し成形よりもプレス成形を用いることで形成し易い。また、このような支持部２４の端部の形状を採用することで、リテーナの枠体２２、２３と支持部２４との間に隙間Ｃ（図７）が生じないため、撓みの大きい基板Ｗが隙間Ｃに入って保持しきれなくなるという問題も解消できる。
【００２６】
次に、図１２及び図１３に基づいて基板Ｗと支持部２４との接触面積をさらに減らすための構造について説明する。図１２では、支持部２４（特に、突出部２４Ｔ）の頂面（外表面又は基板Ｗとの接触面）に格子状のパターンを形成している。図１３では、支持部２４の突出部２４Ｔの頂面（外表面又は基板Ｗとの接触面）に支持部２４の長手方向に沿って溝Ｇを形成している。図１３は、図５の変形ともいえる。しかし、突出部２４Ｔに設ける溝はこれに限定することなく、様々な形であり得る。その他、突出部２４Ｔの頂面（外表面又は基板Ｗとの接触面）にシボをつけることも考えられる。これらはいずれも基板Ｗと支持部２４との接触面積を減らすことに役立つ。このようにして、突出部２４Ｔにおける基板Ｗとの接触面が接触領域と非接触領域に分割される。
【００２７】
次に、図１４ないし１６に基づいて、支持部２４の高さ調整について説明する。リテーナ２１が埋設される蓋体１２の凹部１２ｃと、リテーナ２１（特に、支持部２４）との間にスペーサー（高さ調整部品）２５を配置して、支持部２４を所定の高さで中央枠体２３から突出させても良い。スペーサー２５の例を図１６に示す。スペーサー２５は十字状の平坦な基部２５Ａａと、十字の平行する二対の両端のうち一対の両端を一定の長さで基部２５aに対してほぼ垂直に折り曲げて形成した一対の折り曲げ部２５ｂと、を有する。一対の折り曲げ部２５ｂには、リテーナ固定部１２ｄの形状に合わせて切欠き部Ｎがそれぞれ形成されているので、リテーナ２１への固定が可能になる。これにより、支持部２４は、スペーサー２５とともに、蓋体２と中央枠体２３に挟持され位置決め配置できるようになっている。
【００２８】
以上、実施形態を用いて本発明を説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施形態に記載の範囲には限定されないことは言うまでもない。上記実施形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。また、その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。  
【符号の説明】
【００２９】
１０              基板収納容器
１１              容器本体
１１Ａ            開口部
１４              支持部材
１２              蓋体
１２ｃ            容器本体側の凹部
２２              外枠体
２３              中央枠体
２３ｄ            中空部（スリット）
２４              支持部
２４ａ            基部
２４Ｔ            突出部
２４Ｆ            脚部
２４Ｆ（ｃ）      中央脚部
２５              スペーサー
Ｗ                基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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