(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
凸状の角部から両側に延びる一対の直線部を有する突起を、金属板の板面から前記金属板をエッチングすることにより形成するために、前記金属板の板面に前記突起がエッチングにより侵食されないように前記突起を覆うレジストを形成する際に、前記角部を形成するための前記レジストが有する頂部と前記角部との第一距離を、前記直線部を形成するための前記レジストの縁部と前記直線部との最小の距離である第二距離よりも長くし、前記直線部の長さが長い場合は短い場合と比して、前記第一距離を前記第二距離よりも長くする程度を減らして、前記レジストを前記金属板に形成するレジスト形成工程と、
前記レジスト形成工程で前記レジストが形成された前記金属板をエッチングするエッチング工程と、
を備える金属製の板部材の製造方法。
【請求項２】
凹状の角部から両側に延びる一対の直線部を有する切欠きを、金属板の板面から前記金属板をエッチングすることにより形成するために、前記金属板の板面に前記切欠きがエッチングにより侵食されないように前記切欠きを覆うレジストを形成する際に、前記角部を形成するための前記レジストが有する頂部と前記角部との第一距離を、前記直線部を形成するための前記レジストの縁部と前記直線部との最大の距離である第二距離よりも短くし、前記直線部の長さが長い場合は短い場合と比して、前記第一距離を前記第二距離よりも短くする程度を減らして、前記レジストを前記金属板に形成するレジスト形成工程と、
前記レジスト形成工程で前記レジストが形成された前記金属板をエッチングするエッチング工程と、
を備える金属製の板部材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属製の板部材の製造方法、レジスト、及び金属発熱体に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に記載のパターン状金属膜の製造方法は、金属膜（金属板）上にパターン状のレジスト膜（レジスト）を形成する工程と、金属膜をエッチングする工程とを備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−２４３８３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来、金属板の板面にレジストを形成してエッチングにより所望の輪郭の板部材を得ようとする場合、一定のエッチング量を考慮してレジストの形状が決められている。
【０００５】
このため、金属板に形成されるレジストの形状は、板部材の輪郭を一定量オフセットさせた形状と同様の形状とされていた。このレジストを用いて、直線部と角部とを有する板部材をエッチングにより形成しようとすると、設計上の製品形状と同等の形状の板部材を得ることが困難な場合がある。これは、直線部を形成する場合と角部を形成する場合とでは、エッチングされる量が異なるためである。
【０００６】
本発明の課題は、直線部と角部とを備えた板部材をエッチングで形成する場合に、形成された板部材を設計上の製品形状に近づけることである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に係る金属製の板部材の製造方法は、凸状の角部から両側に延びる一対の直線部を有する突起を、金属板の板面から前記金属板をエッチングすることにより形成するために、前記金属板の板面に前記突起がエッチングにより侵食されないように前記突起を覆うレジストを形成する際に、前記角部を形成するための前記レジストが有する頂部と前記角部との第一距離を、前記直線部を形成するための前記レジストの縁部と前記直線部との最小の距離である第二距離よりも長くし、前記直線部の長さが長い場合は短い場合と比して、前記第一距離を前記第二距離よりも長くする程度を減らして、前記レジストを前記金属板に形成するレジスト形成工程と、前記レジスト形成工程で前記レジストが形成された前記金属板をエッチングするエッチング工程と、
を備えることを特徴とする。
【０００８】
請求項２に係る金属製の板部材の製造方法は、凹状の角部から両側に延びる一対の直線部を有する切欠きを、金属板の板面から前記金属板をエッチングすることにより形成するために、前記金属板の板面に前記切欠きがエッチングにより侵食されないように前記切欠きを覆うレジストを形成する際に、前記角部を形成するための前記レジストが有する頂部と前記角部との第一距離を、前記直線部を形成するための前記レジストの縁部と前記直線部との最大の距離である第二距離よりも短くし、前記直線部の長さが長い場合は短い場合と比して、前記第一距離を前記第二距離よりも短くする程度を減らして、前記レジストを前記金属板に形成するレジスト形成工程と、前記レジスト形成工程で前記レジストが形成された前記金属板をエッチングするエッチング工程と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
請求項１の金属製の板部材の製造方法によれば、突起に対してオフセット量が一定の場合と比して、直線部と凸状の角部とを備えた板部材をエッチングで形成する場合に、形成された板部材を設計上の製品形状に近づけることができる。
【００１３】
請求項２の金属製の板部材の製造方法によれば、切欠きに対してオフセット量が一定の場合と比して、直線部と凹状の角部とを備えた板部材をエッチングで形成する場合に、形成された板部材を設計上の製品形状に近づけることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】（Ａ）（Ｂ）本発明の第１実施形態に係る金属発熱体の製造方法に用いられる蛇行レジストと、製品形状を示した拡大平面図である。
【図２】本発明の第１実施形態の比較形態に係る金属発熱体の製造方法に用いられるレジストと、製品形状を示した拡大平面図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係る金属発熱体を備えた発熱部材を示した斜視図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係る金属発熱体を備えた発熱部材を示した平面図である。
【図５】本発明の第１実施形態に係る金属発熱体の製造方法に用いられる凸状の角部のレジストオフセット量を決める手順を説明するのに用いた説明図である。
【図６】本発明の第１実施形態に係る金属発熱体の製造方法に用いられる凹状の角部のレジストオフセット量を決める手順を説明するのに用いた説明図である。
【図７】本発明の第１実施形態に係る金属発熱体の製造方法において凸状の角部のレジストオフセット量を決める際に用いた計算結果をグラフで示した図面である。
【図８】本発明の第１実施形態に係る金属発熱体の製造方法において凹状の角部のレジストオフセット量を決める際に用いた計算結果をグラフで示した図面である。
【図９】（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）本発明の第１実施形態に係る金属発熱体の製造方法に用いられる角部のレジストオフセット量を決める手順を説明するのに用いた模式図である。
【図１０】（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）（Ｄ）（Ｅ）（Ｆ）本発明の第１実施形態に係る金属発熱体の製造方法の各工程を示した説明図である。
【図１１】本発明の第１実施形態に係る金属発熱体を用いた定着装置を示した側面図である。
【図１２】本発明の第１実施形態に係る金属発熱体を用いた画像形成装置である。
【図１３】（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）本発明の第２実施形態に係る金属発熱体を示した平面図及び拡大平面図である。
【図１４】（Ａ）（Ｂ）本発明の第３実施形態に係る金属発熱体を示した拡大平面図である。
【図１５】本発明の第１実施形態に係る金属発熱体の製造方法に用いられる蛇行レジストの変形例を示した拡大平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
＜第１実施形態＞
本発明の第１実施形態に係る金属製の板部材の製造方法、レジスト、及び金属発熱体の一例について図１〜図１２に従って説明する。先ず、本第１実施形態に係る金属板の製造方法によって製造された金属発熱体を備える電子写真方式の画像形成装置について説明する。なお、図中に示す矢印ＵＰは、鉛直方向の上方を示す。
【００１９】
（画像形成装置）
画像形成装置１０は、図１２に示されるように、画像を保持する像保持体１２と、像保持体１２の表面を帯電する帯電部材１４と、帯電した像保持体１２を露光して静電潜像を形成する露光装置１６と、を備えている。さらに、画像形成装置１０は、静電潜像をトナー画像として可視化する現像装置１８と、記録媒体としてのシート部材Ｐに像保持体１２のトナー画像を転写する転写部材２０と、転写されたトナー画像をシート部材Ｐに定着する定着装置２２とを備えている。また、画像形成装置１０は、シート部材Ｐが積載される積載部材２６と、積載部材２６に積載されたシート部材Ｐをシート部材Ｐの搬送経路２８に沿って搬送する複数の搬送ロール３０とを備えている。なお、定着装置２２については、詳細を後述する。
【００２０】
上記構成による画像形成装置１０では、帯電、露光、現像により像保持体１２に形成されたトナー画像が、搬送ロール３０によって搬送されるシート部材Ｐに転写ロール２０によって転写される。そして、シート部材Ｐに転写されたトナー画像は、定着装置２２によってシート部材Ｐに定着されるようになっている。
【００２１】
（定着装置）
次に、定着装置２２について説明する。
【００２２】
図１１に示されるように、定着装置２２は、磁界が印加された際に発生する渦電流により発熱する発熱層（図示省略）を備えた筒状の定着ベルト４０と、定着ベルト４０との間でシート部材Ｐを搬送すると共にシート部材Ｐを定着ベルト４０に押し付ける押付ロール４２と、を備えている。さらに、定着装置２２は、定着ベルト４０の内周面から押付ロール４２に向けて定着ベルト４０を押圧する加圧パッド４４と、交番電流を流すことにより定着ベルト４０の発熱層に磁界を印加する電磁誘導方式の発熱装置４６と、を備えている。また、定着装置２２は、定着ベルト４０を定着ベルト４０の周方向に回転させる図示せぬ駆動部材を備えている。
【００２３】
発熱装置４６は、定着ベルト４０を挟んで押付ロール４２の反対側に配置され、電磁誘導コイル（励磁コイル）４６Ａを備えている。さらに、発熱装置４６によって発熱する部分の定着ベルト４０の内周面と対向するように、定着ベルト４０を加熱する円弧状の発熱部材５０（補助ヒータ）が、定着ベルト４０の内部に配置されている。
【００２４】
この発熱部材５０を発熱させて定着ベルト４０を加熱することで、発熱部材５０を備えていない場合と比して、短い時間で定着ベルト４０が定着温度に達するようになっている。
【００２５】
（要部）
次に、発熱部材５０について説明する。
【００２６】
発熱部材５０は、図３、図４に示されるように、一方向（図中矢印Ｂ方向）に延び、ポリイミド樹脂により形成された一対の絶縁フイルム５２と、この一対の絶縁フイルム５２に挟まれた金属発熱体５４（板部材の一例）と、を備えている。そして、夫々の絶縁フイルム５２の厚さは、２５〔μｍ〕とされている。
【００２７】
なお、各図には、発熱部材５０の構成が容易に理解できるように、円弧状の発熱部材５０を平面状に展開した状態の発熱部材５０が示されている。以後の説明においても発熱部材５０を平板状に展開した状態で説明する。
【００２８】
また、発熱部材５０が定着装置２２（図１１参照）に配置される際には、前述した一方向が装置奥行き方向（図１１の紙面奥行き方向）となるように、発熱部材５０が定着装置２２に配置されるようになっている。
【００２９】
〔金属発熱体〕
次に、金属発熱体５４について説明する。
【００３０】
金属発熱体５４は、厚さ３０〔μｍ〕のＳＵＳ３０４（ステンレス鋼）を用いて形成されている。そして、この金属発熱体５４は、図４に示すように、一方向に対して蛇行する蛇行部位５６と、蛇行部位５６の両端に形成され、一方向に延びると共に絶縁フイルム５２から外部に露出する一対の電圧印加部位５８と、を備えている。この電圧印加部位５８に図示せぬ電圧印加部材によって電圧が印加されることで、金属発熱体５４が発熱するようになっている。
【００３１】
蛇行部位５６は、図１（Ｂ）に示されるように、凸状の突起６０と、突起６０の輪郭に対して内側に特定量離れて形成される切欠き７０と、を有している。
【００３２】
以下突起６０、及び切欠き７０について説明する。
【００３３】
設計上の突起６０は、前述した一方向（図中矢印Ｂ方向）に対して直交する方向（図中矢印Ｃ方向）に突出した凸状の角部６２（角部の一例）から一側に延びる直線状の直線部６４（直線部の一例）と、他側に延びる直線部６５（直線部の一例）とを有している。そして、角部６２において直線部６４の一端と直線部６５の一端との成す角度（図中θ１）は、１２０〔度〕とされ、直線部６４の長さと直線部６５の長さとは同様で、３００〔μｍ〕とされている。
【００３４】
さらに、突起６０は、直線部６４の他端と６５の他端から屈曲して（図中矢印Ｃ方向）延びる直線部６６、６７を有している。そして、直線部６４の他端と直線部６６の一端とから角部６８が形成され、直線部６５の他端と直線部６７の一端とから角部６９が形成されている。さらに、直線部６４の他端と直線部６６の一端との成す角度（図中θ２）及び直線部６５の他端と直線部６７の一端との成す角度（図中θ３）は、共に１２０〔度〕とされている。
【００３５】
また、設計上の切欠き７０は、角部６２に対応する凹状の角部７２（角部の一例）から一側に延びる直線状の直線部７４（直線部の一例）と、他側に延びる直線部７５（直線部の一例）とを有している。そして、直線部７４の一端と直線部７５の一端との成す角度（図中θ４）は、１２０〔度〕とされ、直線部７４の長さと直線部７５の長さとは同様で、１５０〔μｍ〕とされている。
【００３６】
さらに、切欠き７０は、直線部７４の他端と、７５の他端から屈曲して（図中矢印Ｃ方向）延びる直線部７６、７７を有している。そして、直線部７４の他端と直線部７６の一端とから角部７８が形成され、直線部７５の他端と直線部７７の一端とから角部７９が形成されている。さらに、直線部７４の他端と直線部７６の一端との成す角度（図中θ５）、及び直線部７５と直線部７７との成す角度（図中θ６）は、共に１２０〔度〕とされている。
【００３７】
〔金属発熱体の製造方法〕
次に、金属製の板部材の製造方法の一例として金属発熱体の製造方法について説明する。
【００３８】
図１０（Ａ）（Ｂ）に示されるように、先ず、レジスト塗布工程では、厚さ３０〔μｍ〕のＳＵＳ３０４の板材１５０（金属板の一例）の両面に、ポジ型のフォトレジスト１５２を厚み１〔μｍ〕で塗布する。
【００３９】
次に、図１０（Ｃ）に示されるように、露光工程では、エッチングパターンが形成されたフイルム原版１５４をフォトレジスト１５２が塗布された板材１５０に密接させて固定する。そして、フイルム原版１５４に向けて露光を行い、金属発熱体５４の設計形状を覆うように蛇行した蛇行パターン１６０（図１（Ａ）参照）をフォトレジスト１５２に焼き付ける。
【００４０】
次に、図１０（Ｄ）に示されるように、現像工程では、蛇行パターン１６０がフォトレジスト１５２に露光転写された板材１５０に対して現像液を用いて現像処理を行う。これにより、露光されたエリアのフォトレジスト１５２は現像液に溶解し、フォトレジスト１５２が、蛇行した蛇行レジスト１４０（レジストの一例：図１（Ａ）参照）となる。なお、蛇行レジスト１４０については詳細を後述する。
【００４１】
次に、図１０（Ｅ）に示されるように、エッチング工程では、ウェットエッチング又はドライエッチングを行う。ウェットエッチングを行う場合は、板材１５０をエッチング液（一例として塩化第２鉄溶液）に浸漬させる（作用させる）、又は板材１５０にエッチング液を吹き掛けることにより、現像により露出した板材１５０の露出部分をウェットエッチングする。ドライエッチングを行う場合は、板材１５０に反応性気体を吹き掛けることにより、現像により露出した板材１５０の露出部分をドライエッチングする。
【００４２】
次に、図１０（Ｆ）に示されるように、レジスト剥離工程では、水酸化ナトリウム溶液を用いて、板材１５０に塗布されている蛇行レジスト１４０を除去する。これにより、金属発熱体５４が製造される。
【００４３】
〔蛇行レジスト〕
次に、蛇行レジスト１４０について説明する。
【００４４】
図１（Ａ）には、金属発熱体５４の突起６０及び切欠き７０を形成するための蛇行レジスト１４０の屈曲部位が示されている。
【００４５】
図１（Ａ）の二点鎖線で示す突起６０及び切欠き７０をエッチングで形成するための実線で示す蛇行レジスト１４０の縁部は、突起６０の縁部より外側へ、切欠き７０の縁部より内側へオフセットされている。このように、蛇行レジスト１４０は、突起６０の縁部より外側へオフセットした外側蛇行パターン１７０（外側の実線と二点鎖線との間の領域）と、切欠き７０の縁部より内側へオフセットした内側蛇行パターン１８０（内側の実践と二点鎖線との間の領域）と、を有している。
【００４６】
これは、エッチング工程においてエッチング媒体は、蛇行レジスト１４０の裏面に侵入して板材１５０をエッチングする（所謂サイドエッチング）。突起６０が外側蛇行パターン１７０に対して小さく形成され、切欠き７０が内側蛇行パターン１８０に対して大きく形成されるためである。なお、設計上の製品の縁部（図１（Ａ）に示す二点鎖線）に対してフォトレジストの縁部をオフセットさせた量をレジストオフセット量と言う。
【００４７】
図１（Ａ）に示されるように、外側蛇行パターン１７０は、直線状の複数の線分から構成され、蛇行レジスト１４０は、角部６２を形成するための頂部１４０Ａを有している。そして、突起６０における凸状の角部６２と頂部１４０Ａとのレジストオフセット量（図中寸法Ｇ：第一距離の一例）は、直線部６４、６５と外側蛇行パターン１７０（レジストの縁部）とのレジストオフセット量（図中寸法Ｈ：第二距離の一例）と異なり、直線部６４、６５のレジストオフセット量より大きくされている（長くされている）。なお、図中にはレジストオフセット量の違いが容易に理解できるように、突起６０から一定量オフセットした形状（従来技術の形状）が一点鎖線で示されている。
【００４８】
これは、角部６２では、周囲からサイドエッチングが侵攻する（サイドエッチングにより侵食される）ため、サイドエッチングの侵攻量が直線部６４、６５に比して大きいからである。つまり、図２の二点鎖線で示されるように、レジストオフセット量を一定とすると、エッチング工程後に得られる凸状の角部６２の直交方向に対する突出量（実線）が、設計上の角部６２の突出量（破線）に対して小さくなってしまう。
【００４９】
なお、角部６８、６９のレジストオフレット量の考え方についても、角部６２のレジストオフセット量の考え方と同様である。
【００５０】
また、図１（Ａ）に示されるように、内側蛇行パターン１８０は、直線状の複数の線分から構成され、蛇行レジスト１４０は、凹状の角部７２を形成するための頂部１４０Ｂを有している。そして、切欠き７０における角部７２と頂部１４０Ｂとのレジストオフセット量（図中寸法Ｅ：第一距離の一例）は、直線部７４、７５と外側蛇行パターン１７０とのレジストオフセット量（図中寸法Ｆ：第二距離の一例）と異なり、直線部７４、７５のレジストオフセット量より小さくされている。なお、図中にはレジストオフセット量の違いが容易に理解できるように、切欠き７０から一定量オフセットした形状が一点鎖線で示されている。
【００５１】
これは、角部７２では、サイドエッチングが周囲に広がりながら侵攻する（進む）ため、サイドエッチングの侵攻量が直線部７４、７５に比して小さいからである。つまり、図２の二点鎖線で示されるように、レジストオフセット量を一定とすると、エッチング工程後に得られる凹状の角部７２の切欠き量（実線）が、設計上の角部７２の切欠き量（破線）に対して小さくなってしまう。
【００５２】
なお、角部７８、７９のレジストオフセット量の考え方についても、角部７２のレジストオフセット量の考え方と同様である。
【００５３】
ここで、サイドエッチングの侵攻量が直線部と角部とで異なる理由について具体的に説明する。
【００５４】
図９（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）に示す実線はフォトレジストの縁部であり、二点鎖線は設計上の製品形状の縁部である。設計上の製品形状の縁部から一定量オフセットさせることでフォトレジストの縁部（実線）が形成されている。
【００５５】
図９（Ａ）に示す直線部では、レジストオフセット量（図中寸法Ｋ）と、フォトレジストの縁部の長さ（図中寸法Ｌ）と、金属板の板厚（Ｔ：図示せず）との積から算出される体積が、サイドエッチングの侵攻量となる。そして、直線部では、サイドエッチングの侵攻量と、設計上の製品形状の縁部とするためにエッチングされるべき必要量（図中斜線部）と、が同様となっている。
【００５６】
一方、図９（Ｂ）に示す凸状の角部でも、直線部と同様に、レジストオフセット量（図中寸法Ｋ）と、フォトレジストの縁部の長さ（図中寸法Ｌ）と、金属板の板厚（Ｔ：図示せず）との積から算出される体積が、サイドエッチングの侵攻量となる。
【００５７】
しかし、設計上の製品形状の縁部とするためにエッチングされるべき必要量（図中斜線部）は、サイドエッチングの侵攻量に対して小さい。
【００５８】
つまり、設計上の製品形状の縁部とするためにエッチングされるべき必要量と、サイドエッチングの侵攻量との差が、過剰エッチング量となる。このように、設計上の製品形状の縁部を一定量オフセットさせることでフォトレジストが形成されている場合には、凸状の角部におけるサイドエッチングの侵攻量は、直線部におけるサイドエッチングの侵攻量に比して、大きくなる。
【００５９】
また、図９（Ｃ）に示す凹状の角部でも、直線部と同様に、レジストオフセット量（図中寸法Ｋ）と、フォトレジストの長さ（図中寸法Ｌ）と、金属板の板厚（Ｔ：図示せず）との積から算出される体積が、サイドエッチングの侵攻量となる。
【００６０】
しかし、設計上の製品形状の縁部とするためにエッチングされるべき必要量（図中斜線部）は、サイドエッチングの侵攻量に対して大きい。
【００６１】
つまり、設計上の製品形状の縁部とするためにエッチングされるべき必要量と、サイドエッチングの侵攻量との差が、不足エッチング量となる。このように、設計上の製品形状の縁部を一定量オフセットさせることでフォトレジストが形成されている場合には、凹状の角部におけるサイドエッチングの侵攻量は、直線部におけるサイドエッチングの侵攻量に比して、小さくなる。
【００６２】
次に、突起６０の角部６２のレジストオフセット量を決める手順について説明する。
【００６３】
先ず、図７に示されるグラフについて説明する。図７に示すグラフの横軸は、図１（Ｂ）における、角部６２と角部７２を通る直線と角部６８と角部７８を通る直線（または、角部６２と角部７２を通る直線と角部６９と角部７９を通る直線）の交点Ｕ１から角部６２（または角部６８、角部６９）までの距離を示している。縦軸は、レジストオフセット量を一定とした場合の角部６２におけるサイドエッチングの過達量〔μｍ〕（エッチング量）とされている。このグラフより、角部６２と角部７２を通る直線と角部６８と角部７８を通る直線（または、角部６２と角部７２を通る直線と角部６９と角部７９を通る直線）の交点から角部６２（または角部６８、角部６９）までの距離が短い程、角部６２の過達量が大きくなることが分かる。
【００６４】
以下、直線部６４、６５の長さに基づいて、直線部６４、６５に対する角部６２の過達量を算出する算出方法について図５を用いて説明する。
【００６５】
最初に、前述した過剰エッチング量（以下「過剰量Ｑ１」）を、サイドエッチングの侵攻量と、設計上の製品形状とするためにエッチングされるべき必要量との差からから求める。過剰量Ｑ１を求める際に、図９（Ａ）（Ｂ）に示すレジストオフセット量（寸法Ｋ）は、３５〔μｍ〕とし、板材１５０の板厚を３０〔μｍ〕とした。そして、本実施形態では、過剰量Ｑ１は、３２０００〔μｍ３〕と求められた。
【００６６】
図５には、点線で突起６０の設計上の製品形状が示されている。一方、レジストオフセット量を一定とした場合に、角部６２が直線部６４、６５に対して後退した形状が実線で示されている。そうすると、斜線部分の体積が過剰量Ｑ１に相当する。過剰量Ｑ１は、三角形ＡＢＣの部分の体積（以下「体積Ｃ１）」）と、三角形ＡＢＤの部分の体積（以下「体積Ｃ２）」との差とである。
【００６７】
そして、直線部６４、６５の長さをＲ１とし、板材１５０の厚さをＴとし、過達量をＺ１とすると、下記式（１）〜（４）が成り立つ。
【００６８】
（過剰量Ｑ１）＝（体積Ｃ１）−（体積Ｃ２）・・（１）
（体積Ｃ１）＝｛１／２×（√３・Ｒ１）／２×Ｒ１／４｝×Ｔ・・（２）
（体積Ｃ２）＝｛１／２×（√３・Ｒ１）／２×（Ｒ１／４−Ｚ１）｝×Ｔ・・（３）
式（１）（２）（３）より
Ｚ１＝４／（√３・Ｒ１・Ｔ）×（過剰量Ｑ１）・・（４）
前述したように、直線部６４、６５の長さが３００〔μｍ〕で、厚さＴが３０〔μｍ〕であるため、過達量Ｚ１は、８．２〔μｍ〕となる（図７参照）。
【００６９】
このため、本第１実施形態では、図１（Ａ）に示す寸法Ｈを３５〔μｍ〕とすると、この過達量Ｚ１を考慮して、図１（Ａ）に示す寸法Ｇは、４３．２〔μｍ〕（３５＋８．２）となる。）
次に、切欠き７０の角部７２のレジストオフセット量を決める手順について説明する。
【００７０】
先ず、図８に示されるグラフについて説明する。図８に示すグラフの横軸は、図１（Ｂ）における、角部６２と角部７２を通る直線と角部６８と角部７８を通る直線（または、角部６２と角部７２を通る直線と角部６９と角部７９を通る直線）の交点Ｕ１から角部７２（または角部７８、角部７９）までの距離を示している。縦軸は、レジストオフセット量を一定とした場合の角部７２におけるサイドエッチングの未達量〔μｍ〕（エッチング量）とされている。このグラフより、角部６２と角部７２を通る直線と角部６８と角部７８を通る直線（または、角部６２と角部７２を通る直線と角部６９と角部７９を通る直線）の交点から角部７２（または角部７８、角部７９）までの距離が短い程、未達量が大きくなることが分かる。
【００７１】
以下、直線部７４、７５の長さに基づいて、直線部７４，７５に対する角部７２の未達量を算出する算出方法について図６を用いて説明する。
【００７２】
最初に、前述した不足エッチング量（以下「不足量Ｑ２」）を、サイドエッチングの侵攻量と、設計上の製品形状とするためにエッチングされるべき必要量と、から求める。不足量Ｑ２を求める際に、図９（Ａ）（Ｃ）に示すレジストオフセット量（寸法Ｋ）は、３５〔μｍ〕とし、板材１５０の板厚を３０〔μｍ〕とした。そして、本実施形態では、不足量Ｑ２は、３２０００〔μｍ３〕と求められた。
【００７３】
図６には、点線で切欠き７０の設計上の製品形状が示されている。一方、レジストオフセット量を一定とした場合に、角部７２が直線部７４、７５に対して未達の形状が実線で示されている。そうすると、斜線部分の体積が不足量Ｑ２に相当する。不足量Ｑ２は、三角形ａｂｃの部分の体積（以下「体積ｃ１）」）と、三角形ａｂｄの部分の体積（以下「体積ｃ２）」との差とである。
【００７４】
そして、直線部７４、７５の長さをＲ２とし、板材１５０の厚さをＴとし、未達量をＺ２とすると、下記式（５）〜（８）が成り立つ。
【００７５】
（不足量Ｑ２）＝（体積ｃ１）−（体積ｃ２）・・（５）
（体積ｃ１）＝｛１／２×（√３・Ｒ２）／２×Ｒ２／４｝×Ｔ・・（６）
（体積ｃ２）＝｛１／２×（√３・Ｒ２）／２×（Ｒ２／４−Ｚ２）｝×Ｔ・・（７）
式（５）（６）（７）より
Ｚ２＝４／（√３・Ｒ２・Ｔ）×（不足量Ｑ２）・・（８）
前述したように、直線部７４、７５の長さが１５０〔μｍ〕で、厚さＴが３０〔μｍ〕であるため、未達量Ｚ２は、１６．４〔μｍ〕となる（図８参照）。
【００７６】
このため、本第１実施形態では、図１（Ａ）に示す寸法Ｆを３５〔μｍ〕とすると、この未達量Ｚ２を考慮して、図１（Ａ）に示す寸法Ｅは、１８．６〔μｍ〕（３５−１６．４）となる。
【００７７】
（要部方法の作用）
以上説明したように、本実施形態に係る金属発熱体の製造方法によれば、突起６０における角部６２のレジストオフセット量は、直線部６４、６５のレジストオフセット量より大きくされている（長くされている）。そして、角部６２のレジストオフセット量を直線部６４、６５のレジストオフセット量より大きくする程度（長くする程度）については、直線部６４、６５の長さに基づいて決められている。これにより、エッチングによって形成される突起６０の製品形状が設計上の製品形状に近づく。
【００７８】
また、切欠き７０における角部７２のレジストオフセット量は、直線部７４、７５のレジストオフセット量より小さくされている（短くされている）。そして、角部７２のレジストオフセット量を直線部７４、７５のレジストオフセット量より小さくする程度（短くする程度）については、直線部７４、７５の長さに基づいて決められている。これにより、エッチングによって形成される切欠き７０の製品形状が設計上の製品形状に近づく。
【００７９】
また、金属発熱体５４の製品形状が設計上の製品形状に近づくため、形状の相違による不良率が低下する。
【００８０】
また、金属発熱体５４の製品形状が設計上の製品形状に近づくため、レジスト幅の均一性が保たれ、規定値（設計狙い値）に近い金属発熱体５４の発熱量が得られる。
【００８１】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態に係る金属製の板部材の製造方法、レジスト、金属発熱体の一例について図１３に従って説明する。なお、第１実施形態と同一部材等については、同一符号を付してその説明を省略し、第１実施形態と異なる部分を主に説明する。
【００８２】
第２実施形態に係る金属発熱体３００は、図１３（Ｂ）に示すように、３個の屈曲部３０２Ａを有する基本形状３０２（図１３（Ｃ）参照）が連続して接続されることで形成されている。各屈曲部３０２Ａは、１２０〔度〕で屈曲している。さらに、この基本形状３０２が連続して接続することで金属発熱体３００には、図１３（Ａ）に示されるように、一方向（図中矢印Ｂ方向）に延びる７列の配線（符号省略）が形成されている。
【００８３】
また、金属発熱体３００は、金属発熱体３００の一方側の部分に形成された共通の電圧印加部３０４、及び金属発熱体３００の他方側の部分に形成された個別の電圧印加部３０６、３０８、３１０を有している。電圧印加部３０６、３０８、３１０は、この順番で図中下側から順番に配置されている。
【００８４】
また、金属発熱体３００に形成された配線は、３系統に分かれている。第１の系列は、電圧印加部３０４から図中下から第１段目の配線、及び一方向の中央側の図中下から第２段目から第５段目までに並ぶ配線を介して電圧印加部３０６まで所謂一筆書きで至っている。
【００８５】
また、第２の系列は、電圧印加部３０４から一方向において第１の系列に対して外側に配置された図中下から第２段目から５段目までに並ぶ配線、及び図中下から第６段目の配線を介して電圧印加部３０８まで所謂一筆書きで至っている。
【００８６】
さらに、第３の系列は、電圧印加部３０４から一方向において両端側の図中下から第３段目から第６段目までに並ぶ配線、及び図中下から７段目の配線を介して電圧印加部３０８まで所謂一筆書きで至っている。
【００８７】
なお、第２実施形態の作用は、第１実施形態の作用と同様である。
【００８８】
＜第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態に係る金属製の板部材の製造方法、レジスト、金属発熱体の一例について図１４に従って説明する。なお、第２実施形態と同一部材等については、同一符号を付してその説明を省略し、第２実施形態と異なる部分を主に説明する。
【００８９】
第３実施形態に係る金属発熱体４００は、図１４（Ａ）に示すように、５個の屈曲部４０２Ａを有する基本形状４０２（図１４（Ｂ）参照）が連続して接続されることで形成されている。各屈曲部４０２Ａは、１２０〔度〕で屈曲している。
【００９０】
なお、第３実施形態の作用は、第２実施形態の作用と同様である。
【００９１】
なお、本発明を特定の実施形態について詳細に説明したが、本発明は係る実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内にて他の種々の実施形態をとることが可能であることは当業者にとって明らかである。例えば、上記第１実施形態では、直線部６４の長さと直線部６５の長さとが同様とされたが、異なっていてもよい。同様に、直線部７４の長さと直線部７５の長さとが同様とされたが、異なっていてもよい。
【００９２】
また、上記第１実施形態では、特に説明しなかったが、角部６８、６９、及び角部７８、７９についても、前述した同様の手順で、過達量Ｚ１、又は未達量Ｚ２が求められる。
【００９３】
また、上記実施形態では、特に説明しなかったが、例えば、直線部の長さが、実施形態よりも充分に長い場合には、図１５に示されるように、レジストの輪郭において、直線部と平行になる部分（図中Ｊ部）が、生じてもよい。
【００９４】
また、上記実施形態では、厚さ３０μｍのＳＵＳ３０４の板材を用いて説明したが、他の厚さ及び材質の金属板を用いてもよい。
【符号の説明】
【００９５】
５４            金属発熱体
６０            突起
６２            角部
６４            直線部
６５            直線部
７０            切欠き
７２            角部
７４            直線部
７５            直線部
１４０          蛇行レジスト（レジストの一例）
１４０Ａ        頂部
１４０Ｂ        頂部
１５０          板材（金属板の一例）
３００          金属発熱体
４００          金属発熱体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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