(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
超音波を発生する第１超音波振動子と、前記第１超音波振動子を駆動する第１発振器と、洗浄液を貯留するとともに前記第１超音波振動子の振動面に対向する面が前記振動面に対して凹をなすパラボラ面で形成されている洗浄槽と、を備えており、前記パラボラ面で反射された超音波の焦点位置に配置される洗浄対象物を超音波で洗浄する超音波洗浄装置であって、
超音波が前記洗浄槽に当たることにより生じる前記洗浄槽の振動を減衰させる減衰機構を備え、
前記減衰機構は、前記洗浄槽の壁面に設けられた第２超音波振動子と、前記第１超音波振動子から出力される超音波によって生じる前記洗浄槽の振動波形であって前記第２超音波振動子が設けられた部位の前記振動波形に対して逆位相となる超音波を前記第２超音波振動子から発生させる第２発振器と、備える
超音波洗浄装置。
【請求項２】
前記第２超音波振動子は、前記洗浄槽の壁面であって前記第１超音波振動子の振動面に対向する部位に設けられている
請求項１に記載の超音波洗浄装置。
【請求項３】
前記洗浄槽は、前記第１超音波振動子の配設位置から前記パラボラ面に向かうにつれて外形が細くなる錐体形状に形成されている
請求項１または２に記載の超音波洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超音波洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この超音波洗浄装置は、超音波振動子と、超音波振動子を振動させる発振器と、洗浄対象物を洗浄液に浸すための洗浄槽とを備えている。そして、超音波振動子から照射された超音波を用いて洗浄対象物を洗浄する。
【０００３】
例えば特許文献１に記載の超音波洗浄装置は、超音波振動子の振動面に対向する面がパラボラ面で形成された洗浄槽を備えている。この装置では、超音波振動子から照射された超音波をパラボラ面に反射させて洗浄対象物に集中させることにより、超音波による洗浄効果を高めるようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１−５８３８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、超音波振動子から照射された超音波が洗浄槽に当たることによりその洗浄槽が振動すると、パラボラ面も振動する。そのため、パラボラ面の形状が変化して一定の形状に維持することができなくなり、超音波の集音効果が低下するようになる。従って、洗浄槽にパラボラ面を形成しても、超音波を洗浄対象物に集中させる効果が十分に得られず、超音波を効率よく照射することができないおそれがあり、更なる改善の余地を残すものとなっている。
【０００６】
本発明はこうした実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、洗浄対象物に対して超音波をより効果的に照射することのできる超音波洗浄装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決する超音波洗浄装置は、超音波を発生する超音波振動子と、前記超音波振動子を駆動する発振器と、洗浄液を貯留するとともに前記超音波振動子の振動面に対向する面が前記振動面に対して凹をなすパラボラ面で形成されている洗浄槽と、を備えており、前記パラボラ面で反射された超音波の焦点位置に配置される洗浄対象物を超音波で洗浄する。そして、この超音波洗浄装置は、超音波が前記洗浄槽に当たることにより生じる前記洗浄槽の振動を減衰させる減衰機構を備えている。
【０００８】
同構成によれば、減衰機構を備えることにより、洗浄槽の振動が減衰するようになる。そのため、洗浄槽の振動に起因したパラボラ面の形状変化は小さくなり、超音波の集音効果が低下することを抑えることができる。従って、洗浄対象物に対して超音波をより効果的に照射することができるようになる。
【０００９】
上記超音波洗浄装置において、前記減衰機構は、前記洗浄槽を収容する外槽と、前記洗浄槽の外周面と前記外槽の内周面との間に充填された制振材料とを備えるようにしてもよい。なお、制振材料としては周知の材料、例えば、ゲル状のシリコーン、粘性の高い液体、ゴム、フェルトなどが挙げられる。
【００１０】
同構成によれば、洗浄槽が振動すると、洗浄槽と外槽との間の距離が変化して制振材料が変形することにより、振動エネルギが熱に変換されるため、洗浄槽の振動を減衰させることができるようになり、洗浄槽の振動に起因したパラボラ面の形状変化を小さくすることができる。
【００１１】
また、上記超音波洗浄装置において、前記減衰機構は、前記洗浄槽を収容する外槽と、前記外槽の内周面と前記洗浄槽の外周面との間に配設されて前記外槽の内側で前記洗浄槽を支えるばねとを備えるようにしてもよい。
【００１２】
同構成によれば、洗浄槽が振動すると、洗浄槽と外槽との間の距離が変化してばねが変形することにより、振動エネルギが熱に変換されるため、洗浄槽の振動を減衰させることができるようになり、洗浄槽の振動に起因したパラボラ面の形状変化を小さくすることができる。
【００１３】
また、上記超音波洗浄装置において、前記超音波振動子を第１超音波振動子とし、前記発振器を第１発振器としたときに、前記減衰機構は、前記洗浄槽の壁面に設けられた第２超音波振動子と、前前記第１超音波振動子から出力される超音波によって生じる前記洗浄槽の振動波形であって前記第２超音波振動子が設けられた部位の前記振動波形に対して逆位相となる超音波を前記第２超音波振動子から発生させる第２発振器と、を備えるようにしてもよい。
【００１４】
同構成によれば、上記第２超音波振動子から出力される上記逆位相の超音波によって洗浄槽の振動が打ち消されることにより、洗浄槽の振動が減衰するようになる。従って、洗浄槽の振動に起因したパラボラ面の形状変化を小さくすることができる。
【００１５】
また、第２超音波振動子は、前記洗浄槽の壁面であって前記第１超音波振動子の振動面に対向する部位に設けることが望ましい。
同構成によれば、洗浄槽の壁面であって前記第１超音波振動子の振動面に対向する部位、つまり洗浄槽に設けられたパラボラ面に対して上記逆位相の超音波が伝わるようになるため、パラボラ面の振動を超音波で直接減衰させることができるようになる。
【００１６】
ところで、超音波の振幅が大きくなるほど超音波による洗浄効果は高くなる。また、錐体状の筒体において先が細くなった先端部に向けて超音波を照射すると、その照射された超音波の振幅が筒体内で増幅されるようになる。そこで、上記超音波洗浄装置において、前記洗浄槽は、前記超音波振動子の配設位置から前記パラボラ面に向かうにつれて外形が細くなる錐体形状に形成されていることが好ましい。
【００１７】
同構成によれば、超音波振動子から出力された超音波が増幅されるため、超音波による洗浄効果がさらに高まるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】第１実施形態における超音波洗浄装置の洗浄槽の構造を示す断面図。
【図２】パラボラ面の変形による最大圧力位置の変化を示すグラフ。
【図３】同実施形態の超音波洗浄装置による洗浄効果を示すグラフ。
【図４】第２実施形態における洗浄槽の構造を示す断面図。
【図５】第３実施形態における洗浄槽の構造を示す断面図。
【図６】同実施形態における洗浄槽の振動波形と第２超音波振動子から出力される超音波の波形とを示すグラフ。
【図７】第３実施形態の変形例における超音波洗浄装置の洗浄槽の構造を示す断面図。
【図８】同変形例における洗浄槽の振動波形と第２超音波振動子から出力される超音波の波形とを示すグラフ。
【図９】第１実施形態の変形例における超音波洗浄装置の洗浄槽の構造を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
（第１実施形態）
以下、超音波洗浄装置の第１実施形態について、図１〜図３を参照して説明する。
図１に示すように、この超音波洗浄装置１０は、洗浄液４０が貯留された洗浄槽２１を備えている。この洗浄槽２１に貯留された洗浄液中の水面近傍には、超音波振動子３０が設けられている。超音波振動子３０は、超音波を発生する振動面３０Ａを備えている。この振動面３０Ａは、洗浄槽２１の底面に向けられている。
【００２０】
超音波振動子３０は、高周波電圧を出力する発振器１００に接続されており、この発振器１００によって超音波振動子３０が駆動される。発振器１００は、高周波電圧の周波数や電圧を調整することにより、超音波振動子３０から照射される超音波の周波数や振幅が調整される。
【００２１】
洗浄槽２１において超音波振動子３０の振動面３０Ａに対向する面、つまり洗浄槽２１の底面は、振動面３０Ａに対して凹をなすパラボラ面２１Ａとなるように形成されている。
【００２２】
また、洗浄槽２１は、超音波振動子３０の配設位置からパラボラ面２１Ａに向かうにつれて外形が細くなる円錐形状を有している。
パラボラ面２１Ａの中心部からは、超音波振動子３０の配設方向に延びる棒状の固定部５０が設けられており、この固定部５０の先端部に洗浄対象物Ｗが固定される。また、固定部５０は、パラボラ面２１Ａの焦点位置に洗浄対象物Ｗが配置されるようにその長さが設定されている。
【００２３】
また、本実施形態の超音波洗浄装置１０は、洗浄槽２１の振動を減衰させる減衰機構を備えている。この減衰機構は、洗浄槽２１を収容する外槽２２と、洗浄槽２１の外周面と外槽２２の内周面との間に充填された制振材料２３とを備えている。
【００２４】
外槽２２の形状は、洗浄槽２１の形状と相似であり、洗浄槽２１の外周面全体が外槽２２の内周面全体から一定の距離だけ離間するように、この外槽２２の形状は洗浄槽２１の形状よりもやや大きくされている。そして、洗浄槽２１の外周面全体と外槽２２の内周面全体との間には上記制振材料２３が充填されている。本実施形態では、制振材料２３としてゲル状のシリコーンを使用しているが、他の材料を使用してもよい。例えば、そうした制振材料２３として、粘性が高く洗浄槽２１の振動を減衰させるのに適した液体や、ゴム、あるいはフェルトなどを使用してもよい。
【００２５】
次に、本実施形態の超音波洗浄装置１０による作用を説明する。
先の図１に示すように、超音波振動子３０から出力された超音波Ｓは洗浄液４０内を伝わってパラボラ面２１Ａに当たる。パラボラ面２１Ａに当たった超音波Ｓは、パラボラ面２１Ａで反射されてパラボラ面２１Ａの焦点位置に集音される。この焦点位置には、固定部５０に固定された洗浄対象物Ｗが配置されているため、集音された超音波Ｓによって洗浄対象物Ｗが洗浄される。
【００２６】
ここで、超音波振動子３０から照射された超音波が洗浄槽２１の内壁に当たると洗浄槽２１が振動するため、パラボラ面２１Ａも振動する。このようにしてパラボラ面２１Ａが振動すると、パラボラ面２１Ａの形状が変化して一定の形状に維持することができなくなり、超音波Ｓの集音効果が低下するおそれがある。
【００２７】
そこで、本発明者は、パラボラ面２１Ａの形状変化を抑えることにより集音効果が向上することを確認するために、シミュレーションを行った。
図２に、そのシミュレーション結果を示す。この図２は、超音波洗浄時の洗浄液中の圧力であって、洗浄槽の底面から超音波振動子までの間における洗浄槽中心部の圧力をシミュレーションによって再現した結果である。そして、実線Ｌ１で示す圧力は、パラボラ面の形状を変化させずに一定の形状に維持した場合の再現結果であり、一点鎖線Ｌ２で示す圧力は、パラボラ面の形状を振動によって変化させた場合の再現結果である。
【００２８】
同図２に示されるように、パラボラ面の形状が変化しない場合において最大圧力ＰＶ１が得られる洗浄槽底面からの距離Ｄ１とパラボラ面の焦点位置Ｆとのずれは、パラボラ面の形状が振動によって変化する場合において最大圧力ＰＶ２が得られる同距離Ｄ２とパラボラ面の焦点位置Ｆとのずれに比べて小さくなった。そして、パラボラ面の形状が変化しない場合の上記最大圧力ＰＶ１は、パラボラ面の形状が振動によって変化する場合の上記最大圧力ＰＶ２よりも高くなった。従って、このシミュレーション結果は、パラボラ面の形状変化が小さくなるほど超音波の集音効果の低下が抑えられるようになり、洗浄液の最大圧力が高くなって洗浄効果を高めることができることを示している。
【００２９】
この点、上記超音波洗浄装置１０では、洗浄槽２１が振動すると、洗浄槽２１と外槽２２との間の距離が変化して制振材料２３が変形することにより、振動エネルギが熱に変換される。そのため、洗浄槽２１の振動が減衰される。従って、洗浄槽２１の振動に起因したパラボラ面２１Ａの形状変化は小さくなり、超音波Ｓの集音効果の低下が抑えられる。
【００３０】
ところで、超音波の振幅が大きくなるほど超音波による洗浄効果は高くなる。また、錐体状の筒体において先が細くなった先端部に向けて超音波を照射すると、その照射された超音波の振幅が筒体内で増幅されるようになる。この点、上記洗浄槽２１は、超音波振動子３０の配設位置からパラボラ面２１Ａに向かうにつれて外形が細くなる円錐形状で形成されている。そのため、超音波振動子３０から出力された超音波は洗浄槽２１内で増幅されるようになる。
【００３１】
図３に、錐体形状であって底面がパラボラ形状になっている本実施形態の超音波洗浄装置１０を使った洗浄効果の実験結果と、直方体形状であって底面が平らな洗浄槽を備える超音波洗浄装置（以下、比較例という）を使った洗浄効果の実験結果とを示す。なお、本実施形態の超音波洗浄装置１０を使った実験と比較例の超音波洗浄装置を使った実験とは洗浄槽の形状のみが異なっており、その他の洗浄条件は同一である。
【００３２】
また、この実験では、超音波洗浄後の洗浄対象物Ｗの表面に残っている汚れ（例えば残渣の染みなど）の総面積Ｓ１を洗浄対象物Ｗの総表面積Ｓ２で除して「１００」を乗算した値を「汚れ面積率ＹＲ（％）：ＹＲ＝Ｓ１／Ｓ２×１００」として算出し、この汚れ面積率ＹＲを洗浄効果の指標値とした。なお、汚れ面積率が小さいほど洗浄効果が高いことを示す。また、汚れの総面積Ｓ１は、周知のレーザ式欠陥検査装置を使って計測した。
【００３３】
図３に示すように、比較例での汚れ面積率ＹＲは約０．２％であった。一方、本実施形態の超音波洗浄装置１０では汚れ面積率ＹＲが約０．０５％であった。従って、本実施形態の超音波洗浄装置１０では、比較例に対して汚れ面積率ＹＲが１／４にまで低減しており、洗浄効果の向上が確認された。
【００３４】
以上説明した本実施形態によれば、次の効果を得ることができる。
（１）超音波洗浄装置１０は、洗浄槽２１の振動を減衰させる減衰機構として機能する制振材料２３及び外槽２２を備えているため、パラボラ面２１Ａによる超音波の集音効果が洗浄槽２１の振動によって低下することを抑えることができる。従って、上記減衰機構を備えていない場合と比べて、洗浄対象物Ｗに対して超音波をより効果的に照射することができるようになる。
【００３５】
（２）洗浄槽２１は、超音波振動子３０の配設位置からパラボラ面２１Ａに向かうにつれて外形が細くなる錐体形状にて形成している。そのため、超音波振動子３０から出力された超音波が増幅されるようになり、超音波による洗浄対象物Ｗの洗浄効果をさらに高めることができる。
【００３６】
（第２実施形態）
次に、図４を参照して、超音波洗浄装置の第２実施形態について説明する。
上記第１実施形態では、洗浄槽２１の振動を減衰させる減衰機構として外槽２２及び制振材料２３を使用するようにした。一方、本実施形態では、洗浄槽２１の振動を減衰させる減衰機構として上記外槽２２及びばねを使用するようにしており、この点のみが第１実施形態と異なっている。そこで、以下では、そうした相異点を中心にして本実施形態の超音波洗浄装置を説明する。
【００３７】
図４に示すように、本実施形態の超音波洗浄装置１１は、外槽２２の内周面と洗浄槽２１の外周面との間の複数の箇所において、外槽２２の内周面と洗浄槽２１の外周面とを繋ぐばねが設けられており、洗浄槽２１は外槽２２の内側においてばね２４にて支えられている。
【００３８】
こうした本実施形態の超音波洗浄装置１１でも、洗浄槽２１が振動すると、洗浄槽２１と外槽２２との間の距離が変化してばね２４が変形することにより、振動エネルギが熱に変換される。そのため、洗浄槽２１の振動が減衰される。従って、洗浄槽２１の振動に起因したパラボラ面２１Ａの形状変化は小さくなり、超音波Ｓの集音効果の低下が抑えられる。そのため、本実施形態でも、上記第１実施形態と同様な作用効果を得ることができる。
【００３９】
（第３実施形態）
次に、図５及び図６を参照して、超音波洗浄装置の第３実施形態について説明する。
上記第１実施形態では、洗浄槽２１の振動を減衰させる減衰機構として制振材料２３及び外槽２２を使用した。一方、本実施形態では、洗浄槽２１の振動波形に対して逆位相となる波形を洗浄槽２１に与えることによって、洗浄槽２１の振動を減衰させている。
【００４０】
以下、第１実施形態との相異点を中心にして本実施形態の超音波洗浄装置を説明する。
図５に示すように、本実施形態の超音波洗浄装置１２は、第１実施形態の超音波洗浄装置１０と異なり、外槽２２及び制振材料２３が省略されている。
【００４１】
また、以下では、上記超音波振動子３０を第１超音波振動子３０といい、上記発振器１００を第１発振器１００という。そして、本実施形態の超音波洗浄装置１２は、上記第１超音波振動子３０とは異なる第２超音波振動子３１と、上記第１発振器１００とは異なる第２発振器１２０とを備えている。
【００４２】
第２超音波振動子３１は、洗浄槽２１の外壁面であって上記第１超音波振動子３０の振動面３０Ａに対向する位置、すなわちパラボラ面２１Ａが形成されている位置に設けられている。
【００４３】
第２超音波振動子３１は、高周波電圧を出力する上記第２発振器１２０に接続されており、第２超音波振動子３１から照射される超音波の周波数や振幅は第２発振器１２０によって調整される。なお、本実施形態では、第１発振器１００及び第２発振器１２０は１つの発振器３００内に設けられているが、第１発振器１００及び第２発振器１２０をそれぞれ独立して設けてもよい。
【００４４】
図６に示すように、第１超音波振動子３０から出力される超音波によって生じる洗浄槽２１の振動波形であって第２超音波振動子が設けられた部位の振動波形、つまりパラボラ面２１Ａの振動波形を波形Ａとし、この波形Ａに対して逆位相になる波形を波形Ｂとする。より詳細には、この波形Ｂは、波形Ａと波長ＷＬ及び振幅ＡＭが同一であって、周期が波形Ａに対して半周期ずれた波形である。そして、第１超音波振動子３０による超音波洗浄の実行中は、第２超音波振動子３１から上記波形Ｂの超音波が発生するように第２発振器１２０を作動させる。
【００４５】
次に、本実施形態の超音波洗浄装置１２による作用を説明する。
先の図６に示したように、本実施形態では、第１超音波振動子３０から出力される超音波によって生じる洗浄槽２１の振動波形（波形Ａ）に対して逆位相となる超音波（波形Ｂ）が第２超音波振動子３１から発生する。この第２超音波振動子３１は、洗浄槽２１の外壁面であってパラボラ面２１Ａが形成されている位置に設けられているため、第２超音波振動子３１から発生した逆位相の超音波がパラボラ面２１Ａに伝わってパラボラ面２１Ａの振動を打ち消すことにより、洗浄槽２１に設けられたパラボラ面２１Ａの振動が減衰される。なお、パラボラ面２１Ａの振動を打ち消すには、理想的には、波形Ｂの波長及び振幅が波形Ａの波長及び振幅と同一であることが望ましい。しかし、波形Ｂの波長及び振幅が波形Ａの波長及び振幅にある程度近い状態になっていればパラボラ面２１Ａの振動を減衰させることが可能である。
【００４６】
このように本実施形態の超音波洗浄装置１２では、洗浄槽２１に設けられたパラボラ面２１Ａの振動は、上記第２超音波振動子３１及び上記第２発振器１２０によって構成される減衰機構によって減衰されるために小さくなる。そのため、洗浄槽２１の振動に起因したパラボラ面２１Ａの形状変化も小さくなり、超音波の集音効果の低下が抑えられる。
【００４７】
以上説明した本実施形態によれば、上記第１実施形態で説明した（２）の効果に加えて、以下の効果を得ることができる。
（３）超音波洗浄装置１２は、上記第２超音波振動子３１及び上記第２発振器１２０を備えるようにしているため、パラボラ面２１Ａによる超音波の集音効果が洗浄槽２１の振動によって低下することを抑えることができる。従って、上記第２超音波振動子３１及び上記第２発振器１２０を備えていない場合と比べて、洗浄対象物Ｗに対して超音波をより効果的に照射することができるようになる。
【００４８】
（４）第２超音波振動子３１は、洗浄槽２１の壁面であって第１超音波振動子３０の振動面３０Ａに対向する部位に設けている。従って、洗浄槽２１に設けられたパラボラ面２１Ａの振動を超音波で直接減衰させることができるようになる。
【００４９】
なお、上記各実施形態は、以下のように変更して実施することもできる。
・洗浄槽２１は円錐形状であったが、角錐形状でもよい。
・上記第３実施形態では、洗浄槽２１の外壁面であって第１超音波振動子３０に対向する位置に第２超音波振動子３１を設けるようにしたが、第２超音波振動子３１の配設位置は、洗浄槽２１の壁面であれば適宜変更可能である。例えば、第１超音波振動子３０に対向する位置とは異なる位置に第２超音波振動子３１を設けてもよい。この場合でも、第２超音波振動子３１から出力される逆位相の超音波によって、第２超音波振動子３１が設けられた部位の洗浄槽２１の振動は減衰するようになる。そして、このように洗浄槽２１において第２超音波振動子３１が配設された部位の振動が減衰されると、洗浄槽２１において第２超音波振動子３１が配設されていない他の部位の振動も減衰されるため、洗浄槽２１に設けられたパラボラ面２１Ａの振動も減衰される。従って、この変形例でも、洗浄槽２１の振動に起因したパラボラ面２１Ａの形状変化を小さくすることができる。
【００５０】
・上記第２超音波振動子３１を洗浄槽２１の内壁面に設けてもよい。
・上記第３実施形態では、洗浄槽２１の壁面に第２超音波振動子３１を１つ設けるようにした。
【００５１】
この他、図７に示すように、洗浄槽２１の壁面に第２超音波振動子３１を複数設けるようにしてもよい（一例として、図７には第２超音波振動子３１を２個設ける場合を図示）。なお、洗浄槽２１の振動波形は部位によって異なるため、第２超音波振動子３１を複数設ける場合には、洗浄槽２１において振動波形が同じになる部位（例えば図７に示すように、円錐形状を有する洗浄槽２１の中心軸Ｃに対して線対称となる部位など）に各第２超音波振動子３１を設けることが好ましい。
【００５２】
そしてこの変形例の場合には、以下に説明する超音波を各第２超音波振動子３１から出力させる。
図８に示すように、第１超音波振動子３０から出力される超音波によって生じる洗浄槽２１の振動波形（図８に示す波形Ａ）の振幅ＡＭを振幅ＡＭａとする。また、１つの第２超音波振動子３１から出力される超音波（図８に示す波形Ｂ１）の振幅ＡＭを振幅ＡＭｂとする。また、第２超音波振動子３１の配設数を「ｎ」（ｎ≧２）とする。そして、１つの第２超音波振動子３１から出力される超音波の波形Ｂ１が、波形Ａに対して逆位相の波形であって、かつ波形Ｂ１の振幅ＡＭｂは波形Ａの振幅ＡＭａを「ｎ」で除した値となるように、第２超音波振動子３１を発振させる第２発振器１２０の出力を調整する。そして、各第２超音波振動子３１から上記波形Ｂ１の超音波を同時に出力する。
【００５３】
この場合、各第２超音波振動子３１から出力される超音波の合成波形ＢＡは、波形Ａに対して逆位相の波形であって、かつ振幅ＡＭが波形Ａの振幅ＡＭａと同一になるため、この逆位相の合成波形ＢＡと上記波形Ａとが打ち消し合うことにより、洗浄槽２１の振動が減衰される。なお、洗浄槽２１の振動を打ち消すには、理想的には、波形Ｂ１の波長が波形Ａの波長と同一であり、かつ波形Ｂ１の振幅ＡＭｂが波形Ａの振幅ＡＭａを「ｎ」で除した値と同一であることが望ましい。しかし、波形Ｂ１の波長と波形Ａの波長とが多少ずれていても洗浄槽２１の振動を減衰させることは可能である。また、波形Ｂ１の振幅ＡＭｂと波形Ａの振幅ＡＭａを「ｎ」で除した値とが多少ずれていても洗浄槽２１の振動を減衰させることは可能である。
【００５４】
・上記外槽２２の形状は、洗浄槽２１に対して必ずしも相似である必要はない。例えば、洗浄槽２１が円錐形状を有しており、外槽２２が円筒形状を有していてもよい。
・上記各実施形態及びその変形例における洗浄槽２１や外槽２２はともに錐体形状であった。しかし、上記パラボラ面２１Ａを有する洗浄槽２１と洗浄槽２１の振動を減衰させる減衰機構とを備えることによる効果は、洗浄槽２１や外槽２２が錐体形状以外の形状であっても得ることができる。そのため、洗浄槽２１や外槽２２の形状は適宜変更することができる。
【００５５】
例えば図９に示すように、第１実施形態における洗浄槽２１及び外槽２２を円筒形状にしたり、あるいは角筒形状にしてもよい。同様に、第１実施形態における洗浄槽２１及び外槽２２を円筒形状にしたり、あるいは角筒形状にしてもよい。また、第３実施形態における洗浄槽２１を円筒形状にしたり、あるいは角筒形状にしてもよい。
【符号の説明】
【００５６】
１０、１１、１２…超音波洗浄装置、２１…洗浄槽、２１Ａ…パラボラ面、２２…外槽、２３…制振材料、２４…ばね、３０…超音波振動子（第１超音波振動子）、３０Ａ…振動面、３１…第２超音波振動子、４０…洗浄液、５０…固定部、１００…発振器（第１発振器）、１２０…第２発振器、３００…発振器。
【図１】
0006365458.tif 000002
【図２】
0006365458.tif 000003
【図３】
0006365458.tif 000004
【図４】
0006365458.tif 000005
【図５】
0006365458.tif 000006
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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