(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
案内レール及び／又は移送レール(15;115,117)に沿う長さ方向に把持装置(6)と移送装置(7)とを有する把持具移送ユニット(KT)をリニアモータ駆動体により走行でき、
リニアモータ駆動体は、移送装置(7)に堅固に取り付けられかつ移送装置(7)と共に走行できる永久磁石(503a)形式の二次側(503)と、二次側(503)から微小間隙(Sp)だけ離間して固定されて電磁場を形成する一次側(502)とを有し、
一次側(502)は、二次側(503)を前進させる二次側(503)のモータ作用側(MA)となり、
把持装置(6)は、帯状材料(F)の端縁を固定して帯状材料平面(FE)を形成する挟持装置を有するリニアモータ駆動型移送装置(7)において：
移送装置は、
ａ）移送装置(7)の下方に配置されるリニアモータ駆動体のみを有し、又は
ｂ）移送装置(7)の上方に配置されるリニアモータ駆動体のみを有し、又は
ｃ）下方のリニアモータ駆動体の最大の出力に対して最大で７５%の出力のみで上方のリニアモータ駆動体及び／又は付属装置を駆動できるように、移送装置(7)の上方にも下方にも配置されるリニアモータ駆動体を有し、
移送帯状物平面(FE)を形成する移送帯状物(F)を把持装置(6)に固定でき、
単独のリニアモータ駆動体又は２個のリニアモータ駆動体を使用するとき、より強いリニアモータ駆動体のモータ作用側(MA)に対して移送帯状物平面(FE)を配置する作用面間隔(H)は、移送装置(7)に設けられる二次側(503)の長さ(L)より小さいか又はそれに等しいことを特徴とするリニアモータ駆動される移送装置。
【請求項２】
把持具移送ユニット(KT)の支持荷重を支持しかつ案内レール(15;115,117)の上方の走行面(15a)上で転動する走行ローラ(505a)及び／又は滑動する滑動片を備え、
把持具移送ユニット(KT)の搬送方向(VR)での走行ローラ(505a)間の中心軸間隔(RA)及び／又は滑動片の中心軸又は重心(SP)の間の中心軸間隔(RA)を二次側(503)の長さ(L)より小さいか又はそれに等しい値に設定した請求項１に記載の移送装置。
【請求項３】
二次側(503)の長さ(L)は、≦１５０mmであり、かつ
二次側(503)の長さ(L)は、≧４０mmである請求項１又は２に記載の移送装置。
【請求項４】
案内レール及び／又は支持レール(15;115,117)の中央を垂直に貫通する案内レール平面(SE)と把持具移送ユニット(KT)の重心(G)との最大水平間隔(c)は、≦５０mmである請求項１、２又は３に記載の移送装置。
【請求項５】
案内レール及び／又は移送レール(15;115,117)の上方の走行面(15a)上に少なくとも２個の走行ローラ(505a)及び／又は滑動片(505’a)を搬送方向(VR)に互いに離間して配置し、
複数の走行ローラ(505a)の中心軸間及び／又は複数の滑動片(505’a)の中心軸間の側方軸間隔(d)は、案内レール平面(SE)に対する把持具移送ユニット(KT)の重心(G)の最大水平間隔(c)に対して下記条件を満たして設定され：
c  ≦  １.５d
側方軸間隔(d)は、上方の一対の走行ローラ(505,505a)の回転軸に対して垂直に配置され又は走行ローラ(505,505a)に対応する一対の滑動片の中央を通り垂直に配置される中央平面に交差する間隔である請求項１〜４の何れか１項に記載の移送装置。
【請求項６】
側方軸間隔(d)は、≦４０mmであり、かつ側方軸間隔(d)が≧１２mmである請求項５に記載の移送装置。
【請求項７】
案内レール及び／又は移送レール(15;115,117)の上方の走行面(15a)上に搬送方向(VR)に互いに離間して走行ローラ(505a)及び／又は滑動片(505’a)を配置し、
走行ローラ(505a)及び／又は滑動片(505’a)を配置する中心軸間隔(RA)は、≦１５０mmでありかつ≧４０mmである請求項１〜６の何れか１項に記載の移送装置。
【請求項８】
移送平面(FE)とモータ作用側(MA)との間の作用面間隔(H)は、≦１５０mmであり、かつ≧４０mmである請求項１〜７の何れか１項に記載の移送装置。
【請求項９】
少なくとも１個又は異なる出力を生ずる少なくとも２個のリニアモータ駆動体を案内レール平面(SE)に対して対称に配置し、
一次側(502)のモータ幅全体(MB)又は二次側(503)のモータ幅全体(MB’)の１５%より小さく、案内レール平面(SE)から一次側(502)の中心及び／又は二次側(503)の中心を離間して、各一次側(502)及び／又は一次側(502)と協働する付属の二次側(503)の幅（MB,MB’）を設定した請求項１〜８の何れか１項に記載の移送装置。
【請求項１０】
移送装置(7)に対して第１のリニアモータ駆動体を下方に配置し、第２のリニアモータ駆動体を上方に配置し、上方のリニアモータ駆動体は、下方のリニアモータ駆動体の出力の７０%より小さい最大出力を有する請求項１〜９の何れか１項に記載の移送装置。
【請求項１１】
把持具移送ユニット(KT)の上方と下方に各ノズルボックス(NB)を配置し、
把持具移送ユニット(KT)の下方のみ又は上方のみにリニアモータ駆動体を設けるとき、移送帯状物(F)を挟持する把持具面(25e)を上方と下方のノズルボックス(NB)間の中央に配置し又は上方と下方のノズルボックス(NB)間の間隔全体(B)に対して１０%より少なく把持具面(25e)を変位させる請求項１〜１０の何れか１項に記載の移送装置。
【請求項１２】
把持具移送ユニット(KT)の下方のみ又は上方のみに配置されるリニアモータ駆動体を介して把持具移送ユニット(KT)を、上方と下方のノズルボックス(NB)間のボックス間隔(B)内に配置し、
７００mmより小さくボックス間隔(B)を設定した請求項１〜１１の何れか１項に記載の移送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リニアモータで駆動される移送装置、特に請求項１の前文に記載する同時延伸装置形式の延伸装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
延伸装置は、特に樹脂箔薄膜（プラスチックフィルム）の形成に適用される。縦方向と横方向に同時に樹脂薄膜を延伸する所謂、同時延伸装置が公知である。また、例えば、まず縦方向に樹脂薄膜を延伸し、その後連続して横方向に（又はその逆に）樹脂薄膜を延伸する２段階連続延伸装置も公知である。
【０００３】
延伸すべき材料、通常、帯状材料の両側で一周する案内レール上に走行可能に配置される把持具により樹脂薄膜が把持される。その場合に、把持具は、進入領域（例えば、延伸すべき樹脂箔の端縁を進入領域で把持する）から延伸領域（移送方向に対して横方向成分をもって拡張しかつ互いに離間する方向に延伸領域で案内レール部分上で対向する把持具を移動する）を介して排出領域に順次走行し、その後、排出領域内で、樹脂薄膜（箔）は、例えば所定の内部応力緩和処理及び／又は熱処理を受けることがあり、復路では再び進入領域に走行することができる。
【０００４】
特に、同時又は連続的な延伸装置形式の同時又は連続的な頭記移送システムは、垂直対称平面に対して対称に配置されて一周する通常２個の案内軌道を有し、各案内軌道は、部分的に又は完全に一周する案内レールを有し（例えば、駆動ホィール又は転向ホィールの隣に）、移送部材は、案内レールに沿って案内軌道上を走行し又は移動される。移送ユニットは、通常、把持具ユニットと駆動ユニットとを有する移送装置とも称する場合もある。滑動片を介して、ローラ部材を介して又は滑動片及びローラ部材の組み合わせを介して案内レール上で移送装置を案内しかつ電力を供給することができる。
【０００５】
移送装置の駆動は、移送システムの各駆動装置に依存する。例えば、チェーンで移送システムを駆動するとき、把持装置は、直接又は接続部を介してチェーンに駆動接続される。その場合に、チェーンは、移送ユニットの一体的な構成要素となる。チェーンを有するチェーンシステムを使用し、例えば、案内レールに沿って水平面と垂直面で回転する走行ローラを介してチェーンが支承される、この種の移送システムは、例えば、特許文献１から公知である。走行ローラの代わりに、例えば滑り軸受を使用して部分的に他の案内手段を使用できることも、特許文献１に開示される。
【０００６】
更に、ローラ軸受を有する移送システムは、特許文献２から公知である。従って、前記全ての場合に、移送システム全体は、移送チェーンを介して駆動される。
【０００７】
また、移送チェーン（例えば、駆動装置の一体的な構成要素としての）を介さずに、基本的にリニアモータで各移送ユニットを駆動する移送システム及び特に同時延伸装置も知られる。この種のリニアモータ駆動される移送システムは、例えば、特許文献３又は特許文献４から公知である。
【０００８】
リニアモータで駆動される移送システム及び特に延伸及び同時延伸装置は、通常、本来の駆動又は移送ユニットに把持装置が接続部を介して接続されて構成される。例えば、フランジに取り付けられて駆動力を導入する永久磁石形式（付属の磁力を使用する）の二次側は、所謂、駆動ユニット又は移送ユニットと一体に走行可能に取り付けられる。その場合に、リニアモータ駆動体を介して駆動される移送ユニットとリニアモータ駆動体との間に永久磁石を使用するこの種の二次側を搭載しない空転する移送ユニット、所謂「遊動輪」を設けることもできる。勿論、構造的に駆動される移送ユニットと同様に被駆動型の移送ユニットを形成することができ、適切な把持具により帯状薄膜の端縁を把持して、搬送（引出）方向に帯状薄膜を連続的に搬送するので、同様に延伸すべき帯状材料を介して、通常、延伸すべき樹脂薄膜を介して伝達される帯状薄膜の牽引力により、遊動輪を一体に移動することができる。リニアモータを介して駆動される移送ユニットは、把持具ユニットを介してかつ移送装置を通して延伸すべき樹脂薄膜を移動し、駆動される移送ユニット間に取り付けられる被駆動移送ユニットは、延伸装置を通して移動する樹脂薄膜を介して一体に移動される。
【０００９】
各移送システムに応じて滑り案内装置及び／又はローラ案内装置を介して又はローラユニット又は両者の組み合わせを介して、案内レール及び／又は支持レール上の移送ユニットを案内することができる。
【００１０】
所謂、一次ユニット、即ち案内軌道に沿って固定位置に設けられるコイルと巻き線を介して発生する適切な電磁場により、永久磁石（所謂二次側）を搭載する移送ユニットを案内軌道に沿って前進させ、搬送することができる。
【００１１】
リニアモータ駆動されるこの種の延伸装置では、案内軌道、即ち案内レールに対して対称に一次側と二次側を配置すると、移送ユニットの上側と下側に設けられるモータの牽引力がほぼ無効になることが、従来技術、例えば特許文献５又は特許文献６から、知られる。
【００１２】
しかし他に、一次側と二次側の非対称配置も知られる。例えば、特許文献５は、図１３に示す既知の非対称移送システムを開示する。非対称システムは、特許文献７（図４及び図５）から公知であり、前記移送システムは、十分な牽引力を発生しない欠陥がある。そのため、高価な構成部を採用しなければならずかつ／又は湾曲部内で一次側に極めて複雑な構造を必要とする難点がある。
【００１３】
上方と下方に配置されるリニアモータ駆動体を配置する対称構造にも、勿論欠点がある。案内レールの上方に配置されるリニア駆動体と案内レールの下方に配置されるリニア駆動体とが対称に牽引力を発生すると、垂直方向の力がほぼ無効になり、その結果移送ユニット、即ち把持具がほぼ無重力でレール状を走行する状態が問題になる。その場合に、案内レール間に形成される溝間距離又は溝変化負荷によって振動（震動）を発生することがある。この振動は、最終的に、特に延伸装置の帰還領域内で、軸受損傷と不安定な運動状態の原因となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１４】
【特許文献１】独国特許第４４３６６７６号公報
【特許文献２】欧州特許第０４７１０５２号公報
【特許文献３】国際公開第８９／１２５４３号公報
【特許文献４】独国特許第４４４１０２０号公報
【特許文献５】欧州特許第０４２２０３５号公報
【特許文献６】欧州特許第０４５５６３２号公報
【特許文献７】特開２００２−１０３４４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
そこで、本発明の課題は、移送装置、特に延伸装置の改良型リニアモータ駆動体及び小負荷で移送ユニットを安定して走行できる同時延伸装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明では、請求項１に記載する特徴により前記課題を解決する。本発明の好適な形態を下位請求項に記載する。
【００１７】
本発明は、安定した付加的な小駆動力を発生して振動（震動）を回避し又は抑制する非対称のリニアモータ駆動装置を使用する着想から出発する。
【００１８】
換言すると、本発明は、特に、単にリニアモータ駆動体形式の非対称リニアモータ駆動体を移送ユニットの下方に配置し、対向する上方のリニアモータ駆動体を省略して、移送ユニットに作用する重力の他に、更に牽引力を発生し、付加的に移送システム全体を安定して駆動できる移送装置を提供する。
【００１９】
代替的な解決法では、移送ユニットの下方ではなく、上方の片側のみにリニアモータ駆動体を配置することが考えられる。前記２解決法では、更に、移送システムの組立高さに関連する加熱炉内の加熱開口（ノズルボックス）の間隔も減少できる利点がある。従って、工程加熱用のエネルギ需要を削減できる。また、リニアモータの一次側列のみを冷却すればよい。全体として、移送システムの安定化の他に、加熱炉のエネルギ需要を著しく削減できる。
【００２０】
更に、本発明では、案内軌道、特に案内レールの上方と下方にリニアモータ駆動体を配置するが、異なる出力であれば、非対称のリニアモータ駆動体も配置できる。その場合に、一方のリニアモータ駆動体は、他方より低い出力を有する。例えば、上方に配置するリニアモータ駆動体は、案内レールの下方に配置するリニアモータ駆動体の最大出力の７５%のみ、即ち、その牽引力の７５%より大きくないことが好ましい。低出力リニアモータ駆動体は、高出力リニアモータ駆動体の６０%、５０%又は４０%のみ、及び更に低い出力、力及び特に牽引力しか発生しない場合もある。その場合に、低出力リニアモータ駆動体と高出力リニアモータ駆動体を下方、即ち案内レールの下方に配置することが好ましい。
【００２１】
勿論、この構造自体は、本発明による所望の利点を充分に実現するものとは言えない。
【００２２】
頭記のように、非対称リニアモータで駆動する移送システムは、既に従来知られるが、既知の移送システムは、勿論非対称に導入される駆動力を同時に、各移送ユニットを安定的に動作させて牽引力を発生しないものである。そこで、本発明は、特に更に充分な飛躍を提案する。
【００２３】
従って、本発明では、モータ上側に対して所定の間隔に把持具での作用面（平面）を保持し（案内レールの下方にリニアモータ駆動体を配置するとき）かつ／又は代替的若しくは付加的に案内レールの上方にリニアモータ駆動体を配置するとき、モータ下側に対して把持具での作用面を所定の間隔（作用面間隔）に維持して、各移送ユニットの不都合な振動を減少し又は抑制して、走行動作の安定性を一層改善することができる。延伸装置では、把持具による作用面は、把持具により延伸すべき薄膜を把持具面に挟持して保持する平面であり、延伸工程での外力が作用する薄膜平面である。
【００２４】
また、上方又は下方に設けられるリニアモータ駆動体のモータ上側又はモータ下側に対する作用面間隔に対して、二次側の磁石長さを所定の比率に保持しなければならない。これにより、下方又は上方に設けられる二次側（磁石）による牽引力の発生に有害な振動の誘発を確実に抑制することが好ましい。
【００２５】
更に、いわゆる案内長さ、即ち走行方向に見て、ローラ及び／又は滑り軸受間の間隔を二次側の磁石長さよりも小さいときにのみ、装置全体が所望の結果を生ずることが明らかである。ローラ軸受を使用するとき、案内長さは、軸受軸の中心間距離で定められる。滑り軸受を使用するとき、案内長さは、走行方向に隣接する滑り軸受の中心軸に対する第１の滑り軸受の中心軸間距離によって定められる。
【００２６】
また、本発明では、他の好適な実施の形態も提案できる。
【００２７】
特に、案内軌道の下方にのみリニアモータ駆動体を配置するとき、そうでない場合には案内軌道の下方で水平軸を中心に回転する対向ローラ又は支持ローラを省略することができる。即ち、重力のみならず、移送ユニットの下方に配置されるリニアモータ駆動体の牽引力も移送ユニットに作用するからである。
【００２８】
この場合に、通常の矩形断面の案内軌道の代わりに、特に全く断面形状の異なる案内軌道、例えば水平軸を中心に回転する走行ローラ又は互いに離間する位置で少なくとも間接的に滑動片を支持する案内レールの支持突起を有する案内軌道を使用できる。
【００２９】
また、付属の把持具を含めて移送ユニットの重心が、案内レールを通って延びる中央の垂直平面から最大寸法までしか変位しない場合も効果的である。従って、支持ユニットのより中央に外力が作用するので、有害な傾斜作用を回避できる。
【００３０】
案内レールの中央からの把持具駆動装置の重心の最大の間隔は、更に他の変量、即ち案内レールの上側で転動する上方の一対のローラの予め定められた側方変位に依存し、一対のローラを介して重量とリニアモータ駆動体を介して導入される各把持具／移送ユニットの牽引力を支持できる。
【００３１】
更に、本発明では、案内レール及び／又は支持レールの上側で長手方向に走行可能な支持ローラ及び／又は滑動片に対しリニアモータ駆動体装置から対称に負荷が加えられることが好ましい。
【００３２】
本発明での解決法は、非対称のリニアモータ駆動体を従来では常に回避してきたので、それだけ驚くべきものである。従来では、リニアモータ駆動体の非対称構造は、発生する牽引力全体が減少するのみならず（特に、上側又は下側のみに唯一のリニアモータ駆動体を配置するとき）、例えば、単一のリニアモータ駆動体のみを下方に配置して、重力と駆動力とが重畳すると、牽引力により走行ローラ及び／又は滑動片の負荷も悪化すると考えられた。
【００３３】
最終的に移送装置全体で一次側と二次側との間の牽引力を安定させる手段として非対称のリニアモータ駆動体を使用できることは、驚くべき事実である。
【００３４】
本発明では、リニアモータ駆動体の一次側と二次側の間の牽引力を安定化する手段として利用すると、従来発生した振動を回避できる。その場合に、全駆動状態で移送ユニットを円滑に走行できる。
【００３５】
更に、本発明では、エネルギ消費も最低限に抑制できる。更に、加熱炉内で移送帯状物（箔）と通気部との間に微小間隔を形成して、移送システムの組立高さを顕著に減少できる。また、必要な空気量、関連する換気装置及び加熱器の出力が減少する。更に、加熱炉の全組立高さが減少して、投資額を低減できる利点がある。
【００３６】
従来の駆動装置は、加熱炉内に２列のモータを配置して、多額の損失が発生した。減少する全組立高さにより、複数のノズルボックス間隔を著しく削減できる。従って、適切な薄膜処理温度に加熱する加熱炉に必要な加熱出力を極力減少できる。更に、リニアモータのモータ列の冷却出力のみ必要である。
【００３７】
好適な１列のリニアモータ（移送ユニットの下方に配置することが好ましい）のみを使用する本発明では、極めて小さい冷却出力でよく、特に、樹脂薄膜を形成する延伸すべき帯状材料に要する延伸温度又は維持に必要なエネルギ需要、即ち加熱炉の加熱出力も同様に著しく減少できる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
図面について本発明を詳細に以下説明する。
【００３９】
【図１ａ】加熱炉内部の処理側と帰還側に共通の支持体構造を有する同時延伸装置を示す図式平面図
【図１ｂ】把持具移送ユニットの処理側から分離した帰還側を示す図１ａの変形実施の形態を示す図式平面図
【図２】リニアモータ駆動する把持具移送ユニットの第１の実施の形態を示す同時延伸装置の案内レールの長手方向に対して直角に見た図式断面図
【図３】案内レールの下方のみにリニアモータ駆動体を配置した図２とは異なる実施の形態を示す断面図
【図４】案内レールの上方のみにリニアモータ駆動体を配置した図３とは異なる実施の形態を示す断面図
【図５】把持具移送ユニットに加わる複数の外力を示す斜視図
【図６ａ】箔平面の下方に配置したリニアモータのモータ作用面と箔平面との間の作用面間隔を示す変形実施の形態の図式側面図
【図６ｂ】ガイドレールの下方にリニアモータ駆動体を配置し、モータ作用面の下方に箔平面を配置した図６ａとは異なる実施の形態の図式側面図
【図７】走行動作を改善する他の構造的特徴と条件を示す把持具移送ユニットの搬送方向に対して直角方向に見た図式側面図
【図８】案内レールを中央で垂直に貫通する案内レール平面に対して把持具移送ユニットの重心の最大側方間隔を示す把持具移送ユニットの断面図
【図９】図８と比較して、横に傾斜する危険を回避する複数の案内ローラ間の側方最大間隔を示す断面図
【図１０】把持具移送ユニットの変形実施の形態を示す断面図
【図１１】把持具移送ユニットの別の変形実施の形態を示す断面図
【発明を実施するための形態】
【００４０】
リニアモータで駆動する同時延伸装置に適用した本発明の移送装置の実施の形態を以下説明する。
【００４１】
本発明に使用する同時延伸装置は、図１ａに示すように、図面平面に対して垂直な中央対称平面SEに対して対称に配置されかつ対称に形成される２個の駆動装置を有する。図１ａは、中央対称平面SEに対して対称にかつ搬送（引出）方向1に配置される２個の駆動装置を示し、特に、樹脂箔薄膜F形式の処理、即ち延伸すべき帯状材料は、循環式の軌道2上で周回する２個の駆動装置間を通り引出方向1に移動される。
【００４２】
未延伸の樹脂箔薄膜F（同時延伸装置は、概説する処理帯状物（薄膜）Fを適切に処理して、縦方向と横方向に同時に延伸するが、下記に説明する箔（樹脂製薄膜）の実施の形態では、本発明は、帯状樹脂箔に限定されない）を進入領域E内で同時延伸装置内に導入して、例えば、図２に示す、特に、所謂、操作側（OS−operator side）と駆動側（DS−drive side）の薄膜Fの両端縁を把持具により把持又は挟持できる。その後、薄膜（箔）Fは、後続の予熱領域PH内で加熱され、次に、長手方向と横方向に同時に延伸される延伸領域Rに供給される。次に、延伸された薄膜Fは、薄膜の張力を緩和する種々の熱処理領域HTを通過する。その後、所謂、排出領域A内の張力緩和の最終段階で適切な手段により薄膜は、同時延伸装置から除去され搬出される。
【００４３】
また、図１ｂに示すように、軌道2を構成する案内レール15は、加熱炉Oを通って薄膜Fを前進させる延伸領域と、加熱炉Oの外側を通って排出領域Aから侵入領域Eに戻る帰還領域との異なる領域を通って循環軌道2を構成する。その限りでは、案内レール15は、既知の延伸装置と付属の上部構造とに設けられるものと同一である。
【００４４】
図２は、リニアモータで駆動される同時延伸装置と、付属の把持具移送ユニットKTとを断面で示す。
【００４５】
図２に示す把持具移送ユニットKTは、把持装置6と、移送装置7と、把持装置6と移送装置7とを接続し結合する接続部8とを有する。接続部8は、必要に応じて移送装置7又は把持装置6に設けて、相手方の装置を接続することができる。接続部8の下方に設けられかつ下方に向かって開放するＵ字状の開口部より、把持装置6の下部は、本来の移送装置7から分離される。
【００４６】
把持装置6は、常法通り、部分的にナイフフラップ25cとも称する把持具レバー25cを有する。把持具レバー25cは、案内レール15に対して平行に配置される把持具軸25bに回転可能に取り付けられ、把持具レバー25cは、特に開放位置と閉鎖位置の間で双方向に把持具軸25b周りに傾斜可能に揺動できる。必要に応じて、例えば、揺動可能な２つの把持具レバーを個別にかつ案内レール15方向の前後に設けることもできる。
【００４７】
水平方向に離間して配置される２つの把持具側面を備え又は有する把持具ホルダ25aが図示の把持機構又は把持部25に設けられる。２つの把持具側面間に水平の把持具軸25bが取り付けられ、把持具レバー25cは、図２に示す解放位置と、解放位置から反時計方向に回転した固定位置との間で揺動可能に把持具軸25bに適切に軸着され、例えば、箔延伸装置では、把持具レバー25cが固定位置にあるとき、把持具レバー25cの下方に設けられるグリップ又は当接部25d と把持具面（テーブル）25eとの間に薄膜（移送帯状物）Fを固定、保持又は挟持できる。
【００４８】
当接部25dとは反対側の把持具レバー25cの上端でＵ字状に形成される磁石終端部25gは、例えば、案内レール15に対して横方向に延伸する断面で成形され、磁石終端部25gは、案内レール15に沿う適切な機構と協働動作を行い、この協働動作により、進入領域E内では、把持具レバー25cを解放位置から固定位置に回転させて、移送帯状物又は帯状薄膜Fの端縁を当接部25dと把持具面25eとの間で挟持して、把持装置6により締付け固定すると共に、延伸装置終端の排出領域Aでは、閉鎖位置から開放位置に把持具レバー25cを揺動させて、帯状薄膜Fの端縁を再び把持装置6から解放する。
【００４９】
適切なリニアモータ駆動を実行する同時延伸装置の本来の構造を示す例えば、特許文献６又は特許文献１の開示内容の全範囲を本明細書に引用する。図２に断面で示す案内レール又は支持レール15は、特に上部に形成される水平の上部走行面15aと、下部に形成される水平の画成面又は下部走行面15bと、垂直に配置される２つの走行面、即ち把持装置6側に垂直に配置される第１の走行面15cと、第１の走行面15cに対し対向しかつ離間してかつ把持装置6とは反対側に垂直に配置される第２の走行面15dとを備える矩形断面を有する。
【００５０】
本実施の形態では、各走行面15a、15bに１対の走行ローラ（輪、ホィール）505が接触し、水平の中心軸を中心に回転する一対の上部走行ローラ505aが上部走行面１５上で転動する。付属の移送装置7と、移送装置7に接続される把持装置6の全重量は、一対の走行ローラ505aにより支持される。
【００５１】
また、図示の実施の形態では、水平の回転軸を中心に回転する一対の下部走行ローラ505bは、下部走行面15b上で転動する。関連する付属の把持装置6と共に移送装置7は、案内レール15から上方に離間する危険を阻止して、移送装置7を安全に走行させる目的で、一対の下部走行ローラ505bを使用する。勿論、通常の重量と後述のリニアモータ駆動の作動では、案内レール15に対して十分な密着力を発生するので、一対の下部走行ローラ505bを省く場合もある。
【００５２】
また、把持装置6側で垂直の第１の走行面15cに対して転動する一対のローラ505cと、把持装置6の反対側で垂直の第２の走行面15dに対して転動する一対のローラ505dとが設けられ、ローラ505cと、505dにより移送装置7が案内されかつ支承される。該当する案内レール15は、案内レールの長手方向に分離して配置される複数の水平支持体を介して間隔を空けて保持され、水平支持体は、各把持装置6から反対側に形成される自由空間401内で上方走行ローラ505dと下方走行ローラ505dとの間に配置され、案内レール15に強固に結合される。
【００５３】
走行ローラ505の代わりに、適切な滑動片505’、例えば、滑動片505’a、505’b、505’c及び505’dを設けてもよい。また、一部に走行ローラを使用し、一部に滑動片を使用する組み合わせ走行支持構造の実施の形態も可能である。
【００５４】
適切な移送装置7は、所定の場所に固定される一次側502と、把持具移送装置KTと共に移動する二次側503とを有するリニアモータを介して駆動される。換言すると、同時に移送レール15として用いられる（モノレール）案内レール15を介して、把持具、即ち把持装置6は、移送装置7と共に一次側502と二次側503によって長手方向に走行しかつ移動する。
【００５５】
一次側502は、案内レール及び移送レール15に対して平行に取り付けられる。二次側503は、把持装置6に保持される各保持箱503b内に固定される永久磁石503aを有する。
【００５６】
図２及び下記図に示すように、一次側502と二次側503の間に形成される微小間隙Spを通過して一次側502から発生する電磁波が、移送装置7に設けられた永久磁石503aに作用して、移送装置7は、搬送方向に移動する。
【００５７】
図示の実施の形態とは異なり、ローラ軸受の代わりに、好適な特に小摩擦係数の摺動層で被覆した滑動面15a-15dを案内レール15の所謂走行面に形成して、完全に又は部分的に滑り軸受を設けることができる。
【００５８】
本発明では、例えば、リニアモータ駆動体の上方又は下方、好ましくは上方の一次側（モータ）に、下方のリニアモータ駆動体502、502aよりも低い、好ましくは極めて低い消費電力のリニアモータを延伸装置の帰還側に配置して、移送装置7及び関連する把持装置6に発生する振動を減少する場合もある。このため、上方の一次側502,502bで発生する搬送力と吸引力を含む牽引力は、対応する動力、即ち下方の一次側502,502aで発生する駆動力及び／又は牽引力の７５%より少なく、特に最大で７０%、６０%、５０%、４０%、３０%、２５%又は２０%よりも少なくてよい。
【００５９】
特に、上方に配置するノズルボックスNBと下方に配置するノズルボックスNB形式の図式で示すノズルボックスNB（nozzle boxes）との間に処理すべき移送する帯状薄膜F、特に延伸すべき樹脂薄膜を案内して、エネルギ節約可能性を本明細書で説明する。
【００６０】
図２と図３に断面で示す上下のノズルボックスNBは、常に箔平面FEに対して対称に配置され、上下一対で両側にモータを配置するとき、図２に示すように、箔平面間隔A/2で配置される。モータを非対称に配置するとき、特に、案内レールの下方に設けられる単一のリニアモータ駆動のみを使用して、組立空間を節約することが好ましい。この場合に、垂直上下に配置される２つのノズルボックスNBを図３に示すボックス間隔Bで配置できるが、上方と下方とに配置されるリニアモータ駆動体のボックス間隔Bは、図２に示す実施の形態のノズルボックス間の間隔Aよりも小さい。しかし、下方に配置されるリニアモータ駆動体のみを有する図３の実施の形態でも、２つのノズルボックスNB間の中央に薄膜平面FEを対称に配置して、上方と下方の各ノズルボックスNBから箔平面間隔B/2で、移送薄膜、即ち樹脂薄膜F及び把持装置6の把持具面25eを離間させて位置決めしなければならない。このように、上下非対称配置では、間隔B<Aとなるので、箔平面間隔B/2で箔平面に対して中心対称にノズルボックスNBを配置しなければならない（その場合に、例えば、２５０mmと７００mmの間の値に間隔Aを設定できるのに対し、例えば１５０mmから７００mmの値、従って特に６００mmよりも小さく、特に５００mm、４００mm、３００mm、２５０mmよりも小さく、かつ特に２５０mmよりも小さい値にボックス間隔Bを設定できる）。前記のように、箔平面FE（従って、移送帯状物）の正確な中央位置は、明白に好ましい位置であり、従って、上方からも下方からも、ノズルボックスNBから移送帯状物に作用する搬送力が均衡となる位置である。正確な中央位置から変位するときの特に上方と下方のノズルボックスNB間の間隔の変位を極力減少しなければならず、特に１０%より少なく、可能であれば９%、８%、７%、６%、５%、４%、３%、２%より少なく、特に１%より少ないことが望ましい。
【００６１】
図３に示す好適な実施の形態では、下方に配置される一次側502,502aと、移送装置7の下方に形成される永久磁石503aを有する単一のリニアモータ駆動体のみを使用するため、搬送力及び牽引力は、移送装置7の重力に加えて把持装置6に加えられる。
【００６２】
図４は、上方に配置される一次側502,502bをもってリニアモータ駆動体を上方に配置して、付加的に下方のリニアモータ駆動体を省略する非対称構造の本発明の原則的な実施の形態を示す。
【００６３】
前記構造は、極力安定な少振動の駆動体を実現するには、勿論不充分である。
【００６４】
本発明では、付加的に設けられる装置を更によく整理するために、まず、案内軌道上で周回運動する間に移送装置7と、把持装置6とに発生する外力を図５について以下説明する。
【００６５】
移送ユニットが案内軌道上で周回するとき、変動する作動状態により、移送帯状物と特に樹脂箔薄膜が延伸すると、移送装置7に作用する外力の方向が部分的かつ過渡的に反転することがある。この場合に、延伸領域Rの始端で薄膜を延伸する移動方向とは逆の力を発生しかつ延伸領域の終端では、移動方向に牽引力を発生しなければならない。外力の反転は、非対称の構造では原理的に発生し、上と下に同等出力レベルのリニアモータを設けて、リニアモータ駆動体を対称に配置しても、移送装置7と把持装置6自体に作用する外力とモーメントに加えて、トルク、傾斜力及び傾斜モーメントが発生する。更に、延伸装置が搬送する好適な樹脂箔薄膜形式の延伸すべき移送帯状物により発生する延伸力FRと重力FG、モータ力FM及び付加的な遠心力も、付加的に移送ユニットTKに作用する。
【００６６】
図５は、移送装置7に発生する外力とトルク（モーメント）の作用を図式で示す。座標軸mは、案内レールに沿う搬送方向（距離）を示し、座標軸tは、ベクトルmに対する直角方向を示す。座標軸zは、ベクトルmとベクトルtとを含む平面に対し直角である。この座標系は、勿論、機械方向MD又は横の方向付けTD、延伸すべき特に樹脂薄膜形式の移送帯状物の移送方向に対して直角な横方向に代えるべきものではない。例えば、延伸力FRが発生する力方向から関連するトルクDz、Dt及びDmが形成される。
【００６７】
水平の上部走行面15aと下部走行面15bとに対し、リニアモータ駆動体は、対称に配置され、支持ローラ505a（及び505b）に対称の負荷を発生して、付属の把持装置6を有する移送ユニットを極力静寂で少振動で走行させることができる。
【００６８】
図２、図３及び図４に示すように、下方に配置されるリニアモータのみ、上方に配置されるリニアモータのみ又は下方と上方の両方に配置されるリニアモータ（勿論動力性能の大きさが異なる２つのリニアモータ駆動体）を有する駆動装置を設けるかに無関係に、各リニアモータ駆動体は、磁気コイル形式の付属の一次側及び移送装置7に形成されて一体に走行でき、磁石形式の二次側と共に、案内レールを通って延びる対称平面SEに対して対称に配置される。換言すると、付属の一次側及び／又は二次側の各中心点又は重心SPは、二次側503の全モータ幅MB又はMB’に対し、案内レール15の中央を通過する垂直の対称平面SEから２０%より多くは変位せず、特に１５%、１０%より少なく、特に５%、４%、３%、２%より少なく又は特に１%より少なく変位する（図３）。（SPは、例えば、設定値３２mmを有し、全モータ幅MBを寸法値１８０mmに設定できるが、前記設定値をかなりの範囲内で変更できる）。
【００６９】
本発明では、延伸装置、特に同時延伸装置により移動すべき帯状材料の箔平面FE形式の平面内部に延伸力が作用するが、モータ作用側MA、即ち二次下側に対し箔平面FEを所定の作用面間隔Hに設定する事項を図６ａと図６ｂについて以下説明する。
【００７０】
図６ａに示す実施の形態では、薄膜平面FEは、下方に配置されるリニアモータ駆動体の上方に設けられる。図６ｂに示す実施の形態では、図６ａとは異なり、下方に配置されるリニアモータ駆動体のモータ作用面MAの下方に薄膜平面又は箔平面FEが配置される。
【００７１】
特に、図３と図６ａに示すように、薄膜平面FEとモータ作用面MAとの作用面間隔Hは、磁石長さLよりも大きくてはならず、図示の実施の形態では、磁石長さLを１２５mmの寸法値に設定することができる。（磁石長さLの寸法値も、かなりの範囲内で変更できる）。磁石長さLの最大寸法値は、例えば、１６０mmより大きくてはならず、特に１５０mm、１４０mm、１３０mm、１２０mm又は１００mmより大きくてはならない。他方で、磁気的長さLは、４０mmより小さくてはならず、特に４０mm、６０mm、７０mm、８０mm、９０mm又は１００mmより小さくてはならない。
【００７２】
また、薄膜平面FEとモータ作用面MAとの作用面間隔Hの正値は、図６ａに示すように、（下方に配置されるリニアモータの）モータ作用面MAの上方に薄膜平面FEを配置することを意味する。４０mmから１５０mmの範囲内に作用面間隔Hの寸法値を設定することが好ましい。換言すると、作用面間隔Hは、特に１４０mm、１３０mm、１２０mm、１１０mm又は１００mmよりも大きくない値を有する。他方で、作用面間隔Hの寸法値は、特に５０mm、６０mm、７０mm、８０mm又は９０mmより小さくてはならない。また、図６ｂに示すように、作用面間隔Hを明らかに負の寸法値にも設定でき、図６ｂに示すように、モータ作用面MAの下方に対応する負の寸法値を設定できることを意味する。
【００７３】
リニアモータ駆動体をモータ作用面MAの上方のみに配置する場合にも、同様の原則を適用できる。
【００７４】
しかし、把持具移送ユニットKTとリニアモータ駆動体が満たすべき更に他の条件を図７について説明する。
【００７５】
図７は、搬送方向VRに対して直角方向から見た適切な把持具移送ユニットKTの側面を示す。把持具移送ユニットKTは、上方の走行面15a上で転動する走行ローラ505aと、下方の走行面15b上で転動する反対側の走行ローラ505bとを有する。走行ローラ505a,505bは、搬送方向に互いに離間して配置される。
【００７６】
また、二次側503に長さLが付与される。
【００７７】
更に、図７は、永久磁石503a（箱503bを備え又は備えない）を有する二次側503は、薄膜平面FEとモータ作用側MAとの間の作用面間隔Hに対して所定の比率に設定される所定の磁石長さLを有する。作用面間隔Hと磁石長さLとの比は、下記不等式を満たさなければならない：
H/L  ≦  １.０
【００７８】
下方に配置されるリニアモータ駆動体を実現するときのみ、下方の片側に設けられる永久磁石503aは、力方向の変換に伴う有害な振動の発生を抑制できる条件で配置される。この条件は、通常、不等式H/L≦１を満足するときに該当する。図７は、図６に示す上方に配置される一対の走行ローラ505,505aの中心軸間隔RA又は下方に配置される一対の走行ローラ505,505bの前回転ローラと後回転ローラの中心軸間隔RAは、下記不等式を満足して、最終的に振動を回避しつつ良好な状態を形成する。
RA  ≦  L
【００７９】
また、図７は、付属の把持装置6と移送装置7とを有する把持具移送ユニットKTを搬送方向VRに対して直角方向に見た側面図を示す。図示のように、搬送方向VRでは、移送装置7に配置される走行ローラ又は一対の走行ローラの一対の走行ローラ軸505’間の中心軸間隔RAは、４０mmよりは小さくなくかつ通常１５０mmよりは大きくなく、選択される。多くの場合に、５０mm、６０mm、７０mm、８０mm、９０mm又は１００mmを上回る値及び１４０mm、１３０mm、１２０mm、１１０mm又は１００mmを下回る値が好ましくかつ充分である。
【００８０】
これは特に、上方に配置される重量を支持する走行ローラ505aに該当し、走行ローラ505aは、重量と下方に配置されるリニアモータを介して発生する付加的な力を吸収しかつ支持しなければならず、その場合に下方に配置されるリニアモータを有する実施の形態が特に有効である（上方と下方にリニアモータを配置すると、下方に配置されるリニアモータ、即ち下方に配置される一次側が、前記のように、上方に配置されるリニアモータよりも大きい引張力と牽引力を発生するリニアモータ駆動体が有効である）。
【００８１】
前記実施の形態では、ローラ又は一対のローラの代わりに、滑動片又は一対の滑動片を使用して適切に間隔及び特に中心軸間隔RAの寸法を設計するとき、走行方向に隣接する２つの滑動片の各中心軸間の間隔を図７に示す。
【００８２】
前記説明から、特に、作用面間隔Hと磁石長さLとの比は、
H/L  ≦  １.０
であり、かつ同時に
RA  ≦  L
のとき、リニアモータ駆動体が発生する牽引力は、常にかつ特に安定して作用し、特に延伸装置の帰還走行でも、極めて振動の少ない状態で移送ユニットを走行できる好適な走行状態を達成することができる。好適な走行状態は、薄膜平面FEをリニアモータの下方又は上方に配置するか否か、逆に、薄膜平面FEの上方又は下方にリニアモータを配置するか否かに無関係に成立する。
【００８３】
作用面間隔Hと磁石長さLとの比は、
H/L  ≦  １.０
であり又は下記不等式：
RA  ≦  L
を満たす条件での使用でも、勿論好適な走行状態が可能である。
【００８４】
リニアモータ駆動体を備える工作機械では、中心軸間隔RAは極めて大きく、ステータHの長さと間隔、即ち中心軸間隔RAも同様である。
【００８５】
把持具間の衝突の場合及びナイフフラップの開放と閉鎖の場合にも、移動方向とは逆に作用する付加的な力が発生するので、同様の状態が成立する。
【００８６】
次に、図８は、把持装置6、移送装置7及び把持装置6と移送装置7を結合する接続部8を把持具移送ユニットKTに設けて、把持具移送ユニットKTの重心Gは、案内レール15を中央で貫通し、垂直に延伸する案内レール平面SEは、重心Gから最大水平間隔cを越えない状態を示す。
【００８７】
最大水平間隔cは、例えば４０mmより大きいと、傾斜作用が増大して、不安定状態を助長する危険があり得る。各把持具移送ユニットKTの重心Gは、案内レールを貫通する案内レール平面SEから４０mmより少なく、特に３５mm、３０mm、２５mm、２０mm、１５mm、１０mm、５mmより少なく離間することが望ましい。換言すると、重心Gが案内レール平面SEに接近する程、条件がより改善される。
【００８８】
図８の構造に発生する無視できない公差又は許容誤差内でも、案内レール及び／又は支持レール15に対して把持具移送ユニットKTが傾斜する危険があり得る状態を図９に示す。上方の一対の走行ローラ505,505aの回転軸を通過する垂直中心平面間に側方軸間隔dを形成し、案内レール及び／又は支持レール15を中心で貫通する案内レール平面SEと重心Gとの間に最大水平間隔cを形成すると、最大水平間隔ｃと側方軸間隔ｄとを所定の比率内に保持しなければならない。従って、重心Gの最大水平間隔cと側方軸間隔dとに下記不等式を成立させて、受容可能な範囲内に傾斜モーメントを制限しなければならない：
c  ≦  １.５d
【００８９】
特に、下記不等式による条件が有効である：
c  ≦  １.４d
c  ≦  １.３d
c  ≦  １.２d
c  ≦  １.１d又は
c  ≦  １.０d
【００９０】
その場合に、側方軸間隔d値は、最終的に案内レール15の厚み、即ち上方の走行面又は滑り面15aの幅に依存する。側方軸間隔d値は、通常４０mmより小さく、特に３７.５mm、３５mm、３２.５mm、３０mm、２７.５mm、２５mm、２２.５mmより小さく又は２０mmより小さく設定でき又は設定すべきである。他方で、側方軸間隔d値は、通常、少なくとも１２mmの値を有する。また、側方軸間隔d値は、１５mm、１７.５mm、２０mm、２２.５mmより大きく又は２０mmでもよい。
【００９１】
前記寸法により、最大水平間隔cの寸法も設定できる。案内レール15の中央を貫通する案内レール平面SE内に重心が配置されないとき、最適な場合には、最大水平間隔c値を０に設定できる。その場合に、最大水平間隔cは、５０mmを上回らず、特に、可能なら、≦４５mm、特に≦４０mm、３５mm、３０mm、２５mm、２０mm、１５mm、１０mmであり、特に≦５mmの値に設定できる。
【００９２】
また、下方の走行ローラ505,505bを最適な高さに配置して、本発明の主旨に沿って更に改良できる。
【００９３】
延伸装置内で樹脂薄膜形状の移送帯状物を張渡す平面を形成する箔高さは、箔平面FEを形成し、案内レール及び／又は支持レール15の下方の走行面15bの高さ又はそれより低い位置に箔平面FEを配置すると好ましい。
【００９４】
特に、唯一のリニアモータ駆動体を部分的に下方に配置するとき、対向ローラ505bを省略する場合（重力とリニアモータ駆動体により導入される牽引力とを上方の走行ローラ505,505aで完全に支持する場合）もあるので、帯状材料平面FEは、通常最低位置にあり、垂直軸を中心に回転するローラ505c及び／又は505dは、案内レール及び／又は支持レール15上で転動し又は適切な滑動片が滑動し案内される高さにある。この位置及び／又は平面を走行ローラ平面LEと称する。この状態を図６ａに示す。
【００９５】
最後に、異なる案内レール15でも原則的に本発明の利点を実現できる完全に異なる２つの実施の形態を説明する。
【００９６】
図１０に示す変形実施の形態では、逆Ｔ型断面状の案内レール15,15aは、特に、垂直の案内レール部115と、案内レール部115の下部に接続される水平の案内レール部117と有する。案内レール部115は、中央に垂直に配置され、水平の案内レール部117は、案内レール部115の下部に接続されかつ案内レール部115から両側に張出し、上方のローラ又は一対のローラ505,505aは、水平の案内レール部117上で搬送方向に転動して移動でき、垂直の案内レール部115と水平の案内レール部分117は、把持具移送ユニットKTと、下方に配置されるリニアモータ駆動体を介して誘起される牽引力の全負荷を吸収することができる。この領域内に代替的又は補足的な滑動片も、基本的に走行ローラの代わりに配置することができる。
【００９７】
図１０に示す実施の形態では、垂直軸を中心に回転する適切な走行ローラ及び一対の走行ローラ505c,505dは、垂直の案内レール部115に互いに反対面で形成される２つの垂直走行面15c又は15dに接して回転する。
【００９８】
本来の支持体7は、上方に向く開放部を備える転倒C型断面状に形成され、転倒C型断面状に形成される移送装置7の内部空間領域内に、上方を向く開放部601を通して垂直の案内レール部115が嵌入される。他の実施の形態と同様に、永久磁石503aと箱503bとを有する二次側503は、移送装置7の下側に形成され又は設けられる。下方に配置されるリニアモータ駆動体は、二次側503から微小間隔離間して下方に配置される付属の一次側502を有し、リニアモータ駆動体は、案内レール部115と堅固に結合される共通の支持装置TEによって保持される。
【００９９】
図１１に示す変形実施の形態は、図１０に示す実施の形態と同様の基本構造で形成される。しかし、図１１では、図１０とは異なり、案内レール15の上方に配置される垂直の案内レール部115は、比較的短く形成され、案内レール部115は、支持装置TE全体の一部として下方に配置される水平部117に接続され、水平の回転軸内で回転する走行ローラ及び一対の走行ローラ505,505aは、水平部117上で転動する。下方の水平案内レール部117に適切な間隔で垂直走行路119が付加的に設けられ、垂直走行路119の頂部の高い位置に走行面15aが形成され、走行ローラ505,505aは、走行面15a上で転動する。案内レール15の長手方向に対して横（直角）方向に互いに離間して配置される一対の垂直走行路119間に形成される収容空間603内にリニアモータ駆動体の一次側502を収容することができる。
【０１００】
図１０と図１１に示す２つの実施の形態では、支持装置TEにより、共通して把持具移送ユニットTKの重量を支持し、リニアモータ駆動体を介して導入される搬送力又は牽引力を支持する一対の水平走行面15aを互いに大きな側方間隔で離間させ、例えば、図８について説明した傾斜力又は特に許容誤差により把持具移送ユニットKTに発生し得る危険な傾斜力を極めて良好に吸収し又は阻止できる場合もある。
【０１０１】
従って、図１０と図１１に示す実施の形態では、特に不等式：
c  ≦  １.５d
で示す関係は、遥かに容易に維持され又は変換される。前記実施の形態では、案内レール平面SEと重心Gとの最大水平間隔cは、垂直の案内レール部115の案内レール115の左側面と右側面に配置される２つの走行ローラ15c,15dの側方軸間隔d又は同様に設けられる滑動片間の側方軸間隔dよりも小さく又は極めて小さい。
【符号の説明】
【０１０２】
(6)・・把持装置、  (7)・・移送装置、  (15;115,117)・・案内レール及び／又は移送レール、  (502)・・一次側、  (503)・・二次側、  (503a)・・永久磁石、  (F)・・帯状材料（移送帯状物）、  (FE)・・帯状材料平面（移送帯状物平面）、  (H)・・作用面間隔、  (KT)・・把持具移送ユニット、  (L)・・長さ、  (MA)・・モータ作用側、  (Sp)・・微小間隙、
【図１ａ】
0006348179.tif 000002
【図１ｂ】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
0006348179.tif 000007
【図６ａ】
0006348179.tif 000008
【図６ｂ】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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