(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板収納容器であって、
開口部を有する容器本体と、
前記開口部を閉鎖する蓋体と、
前記容器本体に設けられた取付け部品と、
前記容器本体、前記蓋体及び前記取付け部品の少なくとも１つの表面に沿って延在する補強用リブと、を備え、
前記補強用リブが、洗浄水に作用する力の向きと直交する仮想面に対して傾斜する排水構造を形成するように、延伸方向又は延伸方向と垂直方向に傾斜して配設されており、
前記補強用リブが複数設けられ、
前記複数の補強用リブが、第１の補強用リブと、前記第１の補強用リブに併設された第２の補強用リブと、前記第１の補強用リブと前記第２の補強用リブとの間にあってそれらに交差する方向に設けられた第３の補強用リブとを含み、前記第１の補強用リブ、前記第２の補強用リブ及び前記第３の補強用リブが排水構造を形成し、
前記第３の補強用リブが、前記第１の補強用リブと前記第２の補強用リブに直交する方向に直線状に形成され、前記第１の補強用リブ及び／又は前記第２の補強用リブと交差する手前の位置において切り欠きを有することを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
基板収納容器であって、
開口部を有する容器本体と、
前記開口部を閉鎖する蓋体と、
前記容器本体に設けられた取付け部品と、
前記容器本体、前記蓋体及び前記取付け部品の少なくとも１つの表面に沿って延在する補強用リブと、を備え、
前記補強用リブが、洗浄水に作用する力の向きと直交する仮想面に対して傾斜する排水構造を形成するように、延伸方向又は延伸方向と垂直方向に傾斜して配設されており、
前記補強用リブが複数設けられ、
前記複数の補強用リブが、第１の補強用リブと、前記第１の補強用リブに併設された第２の補強用リブと、前記第１の補強用リブと前記第２の補強用リブとの間にあってそれらに交差する方向に設けられた第３の補強用リブとを含み、前記第１の補強用リブ、前記第２の補強用リブ及び前記第３の補強用リブが排水構造を形成し、
前記第３の補強用リブが、谷型の折曲状部を有するように形成されていることを特徴とする基板収納容器。
【請求項３】
基板収納容器であって、
開口部を有する容器本体と、
前記開口部を閉鎖する蓋体と、
前記容器本体に設けられた取付け部品と、
前記容器本体、前記蓋体及び前記取付け部品の少なくとも１つの表面に沿って延在する補強用リブと、を備え、
前記補強用リブが、洗浄水に作用する力の向きと直交する仮想面に対して傾斜する排水構造を形成するように、延伸方向又は延伸方向と垂直方向に傾斜して配設されており、
前記補強用リブが複数設けられ、
前記複数の補強用リブが、第１の補強用リブと、前記第１の補強用リブに併設された第２の補強用リブと、前記第１の補強用リブと前記第２の補強用リブとの間にあってそれらに交差する方向に設けられた第３の補強用リブとを含み、前記第１の補強用リブ、前記第２の補強用リブ及び前記第３の補強用リブが排水構造を形成し、
前記第３の補強用リブが、前記第１の補強用リブから前記第２の補強用リブに向かって、直線の傾斜状部を有するように形成されていることを特徴とする基板収納容器。
【請求項４】
前記第３の補強用リブが横断面視において前記表面から立ち上がる第１の面とその反対側の第２の面を有し、前記第１の面が前記第２の面よりも前記表面と直交する仮想面に対して大きな傾斜角を有するように形成されることを特徴とする請求項１から３までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウェーハからなる複数の基板を収納する基板収納容器が知られている（例えば、特許文献１参照。）
【０００３】
特許文献１には、開口部を有し複数の基板を整列させた状態で収納する容器本体と、開口部を閉鎖する蓋体とを備える基板収納容器が開示される。容器本体の内面には、基板を支持する一対の支持部材が取り付けれ、容器本体の外面には、搬送やハンドリング、位置決めに用いられる取り付け部材が取り付けられている。これら容器本体や取り付け部材は、一般に樹脂成形品で形成されており、その壁だけで強度を確保することは難しい場合がある。このような場合、一般に、容器本体や取り付け部材に補強用リブを形成することで、必要な剛性を確保している。補強用リブの形状も各種の形状が知られており、例えば、特許文献２の基板収納容器においては、格子状の補強用リブが容器本体の表面に設けられている。
【０００４】
ところで、この種の基板収納容器は、使用期間中、内部の清浄度を維持するため、頻繁に洗浄水で洗浄することが一般に行われている。
【０００５】
図９（ａ）は従来の補強用リブの基本構成を示す図、（ｂ）は従来の補強用リブ上に洗浄水が溜まった状態を示す図である。
【０００６】
図９（ａ）及び（ｂ）に示すように、容器本体や取り付け部材などの壁１００に補強用リブ１０１，１０２を形成すると、基板収納容器の洗浄後に、特定方向に延在する補強用リブ１０２上に洗浄水１０３が溜まってしまう場合がある。ここで、特定方向の補強用リブ１０２は、重力や、乾燥装置における乾燥風の風圧の向きに対して直交する方向に指向するリブである。このような補強用リブ１０２上では、洗浄水１０３が動きにくく溜まってしまうため、洗浄後の基板収納容器の乾燥に多くの時間を要するという問題があった。特に、基板の直径が大きく容器が大型である場合、多くの補強用リブ１０１，１０２が必要になるため、このような問題がより顕著に生じる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特許第３９１６３４２号
【特許文献２】特許第４８２５２４１号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、補強用リブ上の洗浄水を重力や風圧によって一定の方向に動かし、補強用リブ上から円滑に排水し、乾燥時間の短縮が図れ、しかも、洗浄水が残らないため水分による基板への影響を防止できる基板収納容器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、以下の構成によって把握される。
（１）本発明に係る第１の観点は、基板収納容器であって、開口部を有する容器本体と、前記開口部を閉鎖する蓋体と、前記容器本体に設けられた取付け部品と、前記容器本体、前記蓋体及び前記取付け部品の少なくとも１つの表面に沿って延在する補強用リブと、を備え、前記補強用リブが、洗浄水に作用する力の向きと直交する仮想面に対して傾斜する排水構造を形成するように、延伸方向又は延伸方向と垂直方向に傾斜して配設されていることを特徴とする。
【００１０】
（２）上記（１）の構成において、前記補強用リブは、その両端部の間で傾斜状部、折曲状部又は湾曲状部を有してもよい。
【００１１】
（３）上記（１）又は（２）の構成において、前記補強用リブは、その両端部が他の壁面と交差する手前の位置において、切り欠きを有してもよい。
【００１２】
（４）上記（１）から（３）のいずれか１つの構成において、前記補強用リブは、その両端部の中間の位置において、切り欠きを有してもよい。
【００１３】
（５）上記（１）の構成において、前記補強用リブが複数設けられ、前記複数の補強用リブが、第１の補強用リブと、前記第１の補強用リブに併設された第２の補強用リブと、前記第１の補強用リブと前記第２の補強用リブとの間にあってそれらに交差する方向に設けられた第３の補強用リブとを含み、前記第１の補強用リブ、前記第２の補強用リブ及び前記第３の補強用リブが排水構造を形成してもよい。
【００１４】
（６）上記（５）の構成において、前記第３の補強用リブは、前記第１の補強用リブと前記第２の補強用リブに直交する方向に直線状に形成され、前記第１の補強用リブ及び／又は前記第２の補強用リブと交差する手前の位置において切り欠きを有してもよい。
【００１５】
（７）上記（５）又は（６）の構成において、前記第３の補強用リブは、横断面視において前記表面から立ち上がる第１の面とその反対側の第２の面を有し、前記第１の面が前記第２の面よりも前記表面と直交する面に対して大きな傾斜角を有するように形成されてもよい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、補強用リブ上の洗浄水を重力や風圧によって一定の方向に動かし、補強用リブ上から円滑に排水し、乾燥時間の短縮が図れ、しかも、洗浄水が残らないため水分による基板への影響を防止できる基板収納容器が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施形態に係る基板収納容器の分解斜視図である。
【図２】実施形態に係る蓋体の構成の説明図であり、（ａ）は蓋体の本体の斜視図、（ｂ）は施錠機構の分解斜視図、（ｃ）はカバー部材の斜視図である。
【図３】（ａ）は実施形態に係る排水構造の斜視図、（ｂ）は第１変形例に係る排水構造の斜視図である。
【図４】（ａ）は第２変形例に係る排水構造の斜視図、（ｂ）は第３変形例に係る排水構造の斜視図である。
【図５】第４変形例に係る排水構造の斜視図である。
【図６】第５変形例に係る排水構造の斜視図である。
【図７】（ａ）は第６変形例に係る排水構造の斜視図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【図８】他の実施形態に係る基板収納容器の斜視図である。
【図９】（ａ）は従来の補強用リブの基本構成を示す図、（ｂ）は従来の補強用リブ上に洗浄水が溜まった状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための形態（以下、「実施形態」と称する）について詳細に説明する。実施形態の説明の全体を通して同じ要素には同じ番号を付している。
【００１９】
＜第１実施形態＞
図１に示すように、第１実施形態に係る基板収納容器１は、開口部４を前面に有する容器本体２と、開口部４を閉鎖する蓋体１１とを備える。容器本体２は、複数の基板（図示省略）を水平な状態で垂直方向に並べて収納可能であり、容器本体２には、その対向する内表面２ｂに一対の支持部材３が設けられ、支持部材３には、基板の周縁部を水平に支持する支持部が垂直方向に一定間隔で形成されている。蓋体１１の裏面には、基板の端縁部を押圧保持する保持部材１２が取り付けられる。
【００２０】
容器本体２の外表面である天面２ａには、取付け部品７の１つとしてロボティックフランジ７ａが着脱自在に装着される。基板収納容器１は、このロボティックフランジ７ａが自動の天井搬送機に保持されることにより、工程内及び工程間を搬送される。
【００２１】
そして、容器本体２の側面２ｃには、側面２ｃに沿って延在するとともに容器本体２を補強する１つの補強用リブ２１又は複数の補強用リブ群２１が設けられる。さらに、１つの補強用リブ２１又は補強用リブ群２１には、容器本体２が特定の姿勢に保持された状態において、１つの補強用リブ２１又は補強用リブ群２１に付いた洗浄水Ｌを補強用リブ群２１から排水する排水構造３０が設けられる。排水構造３０は、１つの補強用リブ２１又は補強用リブ群２１に付いた洗浄水Ｌを除去する際に洗浄水Ｌに作用する力の向き（重力や乾燥装置の風圧の向き）と直交する方向に対して傾斜する方向に、洗浄水Ｌを排水する。
【００２２】
なお、以下の説明において、複数の補強用リブ群２１と各別の補強用リブを区別して称する場合、「第１の補強用リブ２１ａ、第２の補強用リブ２１ｂ、第３の補強用リブ２１ｃ、・・・」のように「符号２１」に小文字のアルファベットを後続させる。また、「第１の補強用リブ２１ａ、第２の補強用リブ２１ｂ、第３の補強用リブ２１ｃ、・・・」を総じて称する場合、単に「補強用リブ群２１」と記載する。そして、１つの補強用リブ２１というときは、第３の補強用リブ２１ｃを１つの補強用リブ２１として取り扱う。
【００２３】
ここで、特定の姿勢は、基板収納容器１を洗浄水Ｌで洗浄した後、基板収納容器１から洗浄水Ｌを除去するときの基板収納容器１の姿勢であり、この例では、特定の姿勢は、蓋体１１及び開口部４を水平方向に向け、容器本体２の天面２ａを上方に向け、容器本体２の側面２ｃを鉛直方向に向けた姿勢に設定される。特定の姿勢は、この他、蓋体１１及び開口部４を上方に向けた姿勢など、基板収納容器１を乾燥できる姿勢であれば、任意である（以下、同様）。
【００２４】
蓋体１１は、本体１１ａ（図２（ａ）参照）と、この本体１１ａに組み込まれる施錠機構１１ｂ（図２（ｂ）参照）と、施錠機構１１ｂが組み込まれた状態で本体１１ａの一面側を覆うカバー部材１１ｅ（図２（ｃ）参照）とを備える。図２（ｂ）に示すように、施錠機構１１ｂは、図示しないキーによって回転される回転プレート１１ｃと、この回転プレート１１ｃに連結されて図中上下方向にスライド可能な一対の動力伝達プレート１１ｄと、を備え、キーによって回転プレート１１ｃを回転操作して動力伝達プレート１１ｄを上下にスライドさせることにより、蓋体１１を容器本体２に施錠した状態で組み付けることができる。なお、蓋体１１の周壁には、容器本体２との間を密閉するリング形状のシール部材（図示省略）を取り付けることができ、容器本体２と蓋体１１とをシール部材を介して嵌合させた状態で施錠機構１１ｂにより閉鎖することにより、開口部４が密閉される。
【００２５】
容器本体２と蓋体１１は、例えばポリカーボネート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、液晶ポリマー、シクロオレフィンポリマーなどの合成樹脂から形成することができる。また、これらの樹脂に、カーボンパウダー、カーボン繊維、カーボンナノチューブなどを添加して、導電性を付与することもできる。
【００２６】
図２（ｃ）に示すように、カバー部材１１ｅの表面には、１つの方向に延在する１つの補強用リブ２１又は複数の方向に延在する複数の補強用リブ群２１と、容器本体２が特定の姿勢に保持された状態において１つの補強用リブ２１又は補強用リブ群２１に付いた洗浄水Ｌを補強用リブ群２１から排水する排水構造３０とが設けられる。
【００２７】
続いて、容器本体２及びカバー部材１１ｅに設けられる排水構造３０について説明する。図３から図７において、破線の矢印は洗浄水Ｌの流れを示している。また、ここでは、蓋体１１及び開口部４を水平方向に向け、容器本体２の天面２ａを上方に向けた姿勢で基板収納容器１を置き、付着した洗浄水Ｌを重力や乾燥風の風圧によって除去する例を説明する。この例では、洗浄水Ｌに作用する力の向き（重力や風圧の向きであり、図中、白抜きの矢印で示す）が鉛直下方である。
【００２８】
図３（ａ）に示すように、排水構造３０は、容器本体２が特定の姿勢に保持された状態において、例えば鉛直方向に沿って併設された２本の第１の補強用リブ２１ａ及び第２の補強用リブ２１ｂと、それらの間にあってそれらに交差する方向に設けられた第３の補強用リブ２１ｃによって形成される。後述するように、第３の補強用リブ２１ｃの横断面形状は、非等脚台形状、三角形状、半円状など各種の形状から選択可能である。なお、ここでは、第３の補強用リブ２１ｃの両端部に２本の第１の補強用リブ２１ａと第２の補強用リブ２１ｂが対向する構成を例示するが、第３の補強用リブ２１ｃの両端部には、補強用リブ群２１に設けられるねじ穴やピン穴などのボスなど突起や段差を形成する壁面が対向してもよいし、第３の補強用リブ２１ｃは、１つの補強用リブ２１として他の壁面とは交差せず単独で存在するものであってもよい。
【００２９】
第１実施形態では、第３の補強用リブ２１ｃは、山型の折曲状部を有しており、頂部２１ｃ１と、この頂部２１ｃ１から一方の第１の補強用リブ２１ａに向けて延びる第１の部分４１と、頂部２１ｃ１から他方の第２の補強用リブ２１ｂに向けて延びる第２の部分４２と、を備える。第１の部分４１は、水平方向（「洗浄水に作用する力の向きと直交する方向」の一例であり、図中、水平面Ｈで示される）に対して傾斜しており、第２の部分４２は、水平面Ｈに対して第１の部分４１とは逆向きに傾斜している。なお、水平面とは仮想面である（以下、同様）。このように第３の補強用リブ２１ｃに設けられる傾斜面は、第３の補強用リブ２１ｃの延伸方向（長手方向）に沿って上記水平面から傾斜するように形成され、第３の補強用リブ２１ｃが傾斜して配設されることとなる。この山型の頂部２１ｃ１は、１か所に限らず同形状のものが複数箇所連続してあってもよい。
【００３０】
排水構造３０は、第１の部分４１の上面に形成される第１の傾斜面４１ａと、第２の部分４２の上面に形成される第２の傾斜面４２ａと、を有する。第１の傾斜面４１ａは、水平面Ｈに対して第１の傾斜角θ１を有し、第２の傾斜面４２ａは、水平面Ｈに対して第２の傾斜角θ２を有する。第３の補強用リブ２１ｃを用いた排水構造３０は、折曲状の山型を左右対称な形状に形成してもよいし、あるいは、第１の傾斜角θ１と第２の傾斜角θ２とを異なる大きさに設定するなどして、左右非対称な形状に形成することもできる。排水構造３０において設定される傾斜角θ１及びθ２の大きさは、任意に設定可能であるが、５°以上４５°以下の範囲から好適に選択することができる。好ましくは、３０°以下であり、この場合は、第３の補強用リブ２１ｃの設置範囲を過度に広くならないように設置できるので好ましい。
【００３１】
このように構成される排水構造３０においては、第３の補強用リブ２１ｃ上の洗浄水Ｌが、鉛直下方に向く重力や風圧により、第１の傾斜面４１ａ及び第２の傾斜面４２ａを第１の補強用リブ２１ａ及び第２の補強用リブ２１ｂの交差点に向かって良好に流れて落ちるため、第３の補強用リブ２１ｃ上の洗浄水Ｌを一定の方向に動かし、第３の補強用リブ２１ｃ上から円滑に排水することができる。
【００３２】
続いて、第１実施形態に係る排水構造３０の変形例を図３（ｂ）に基づいて説明する。なお、以下の説明では、前述した排水構造３０（図３（ａ）参照）と共通する要素には同じ符号を付して、重複する説明を省略することとする。
【００３３】
図３（ｂ）に示すように、第１実施形態の変形例に係る排水構造３１では、前述した排水構造３０（図３（ａ）参照）において、第３の補強用リブ２１ｃの端部を上下方向に開放する切り欠き２２が設けられている。切り欠き２２は、第３の補強用リブ２１ｃの両端部が第１の補強用リブ２１ａ及び第２の補強用リブ２１ｂと交差する手前の位置において形成されている。この変形例に係る排水構造３１によれば、第３の補強用リブ２１ｃの両端部に向かって流れた洗浄水Ｌが切り欠き２２から下方に流れ落ちる。このため、第３の補強用リブ２１ｃ上から、より円滑に洗浄水Ｌを排水することができる。また、第３の補強用リブ２１ｃの両端に第１の補強用リブ２１ａ及び第２の補強用リブ２１ｂや、突起など他の壁面が存在せず、第３の補強用リブ２１ｃが１つの補強用リブ２１として単独で存在する場合も両端部から排水されるので同様の効果が得られる。
【００３４】
＜第２実施形態＞
第２実施形態は、図４（ａ）に示すように、第１実施形態において、第３の補強用リブ２１ｃを谷型の折曲状部を有するように形成することにより排水構造３２を構成するものである。
【００３５】
第３の補強用リブ２１ｃは、底部２１ｃ２と、この底部２１ｃ２から一方の第１の補強用リブ２１ａに向けて延びる第１の部分５１と、頂部２１ｂ１から他方の第２の補強用リブ２１ｂに向けて延びる第２の部分５２と、を備える。第１の部分５１は、水平面Ｈに対して傾斜しており、第２の部分５２は、水平面Ｈに対して第１の部分５１とは逆向きに傾斜している。ここで、谷型を形成する底部２１ｃ２は、１か所に限らず同形状のものが複数箇所連続してあってもよい。
【００３６】
排水構造３２は、第１の部分５１の上面に形成される第１の傾斜面５１ａと、第２の部分５２の上面に形成される第２の傾斜面５２ａと、を有する。第１の傾斜面５１ａは、水平面Ｈに対して第３の傾斜角θ３を有し、第２の傾斜面５２ａは、水平面Ｈに対して第４の傾斜角θ４を有する。第３の補強用リブ２１ｃ及び排水構造３２は左右対称な形状に形成してもよいし、あるいは、第３の傾斜角θ３と第４の傾斜角θ４とを異なる大きさに設定し、左右非対称な形状に形成することもできる。排水構造３２において設定される傾斜角θ３及びθ４の大きさは、任意に設定可能であるが、先の実施形態と同様に５°以上４５°以下の範囲から好適に選択することができる。
【００３７】
この排水構造３２では、第３の補強用リブ２１ｃ上の洗浄水Ｌが、重力や風圧により、第１の傾斜面５１ａ及び第２の傾斜面５２ａを第３の補強用リブ２１ｃの底部２１ｃ２に向かって良好に流れて落ちるため、第３の補強用リブ２１ｃ上の洗浄水Ｌを一定の方向に動かし、第３の補強用リブ２１ｃ上から円滑に排水することができる。
【００３８】
続いて、第２実施形態に係る排水構造３２の変形例を図４（ｂ）に基づいて説明する。
【００３９】
図４（ｂ）に示すように、第２実施形態の変形例に係る排水構造３３では、前述した排水構造３２（図４（ａ）参照）において、第３の補強用リブ２１ｃの底部２１ｃ２（本発明にいう「第３の補強用リブ２１ｃの中間」の一例）に上下方向に開放する切り欠き２３が設けられている。この変形例に係る排水構造３３によれば、洗浄水Ｌが第３の補強用リブ２１ｃを流れた後、切り欠き２３から下方に落ちる。このため、第３の補強用リブ２１ｃ上から、より円滑に洗浄水Ｌを排水することができる。また、第３の補強用リブ２１ｃの両端に第１の補強用リブ２１ａ及び第２の補強用リブ２１ｂや、突起など他の壁面が存在せず、第３の補強用リブ２１ｃが１つの補強用リブ２１として単独で存在する場合も中間部の切り欠き２３から排水されるので同様の効果が得られる。
【００４０】
＜第３実施形態＞
第３実施形態は、図５に示すように、第１実施形態において、第３の補強用リブ２１ｃを直線の傾斜状部を有するように形成することにより排水構造３４を構成するものである。
【００４１】
第３の補強用リブ２１ｃは、直線状に形成され、水平面Ｈに対して傾斜している。排水構造３４は、第３の補強用リブ２１ｃの上面に形成される第３の傾斜面５３ａを有する。この第３の傾斜面５３ａは、水平面Ｈに対して第５の傾斜角θ５を有する。排水構造３４において設定される傾斜角θ５の大きさは、任意に設定可能であるが、５°以上１０°以下の範囲から好適に選択することができる。
【００４２】
この排水構造３４においても、第３の補強用リブ２１ｃ上の洗浄水Ｌが、重力や風圧により、第３の傾斜面５３ａを第３の補強用リブ２１ｃの高い側の端部から低い側の端部に向かって良好に流れて落ちるため、第３の補強用リブ２１ｃ上の洗浄水Ｌを一定の方向に動かし、第３の補強用リブ２１ｃ上から円滑に排水することができる。なお、図５では、第３の補強用リブ２１ｃの両端部が第１の補強用リブ２１ａ及び第２の補強用リブ２１ｂと接している例を示しているが、排水構造３４においても、その配置場所などの条件を勘案して、第１実施形態の変形例と同様に、下方側となる第２の補強用リブ２１ｂと交差する端部の手前において切り欠き２２を設けてもよい。また、第３の補強用リブ２１ｃの両端に第１の補強用リブ２１ａ及び第２の補強用リブ２１ｂや、突起など他の壁面が存在せず、第３の補強用リブ２１ｃが１つの補強用リブ２１として単独で存在する場合も下方側となる端部から排水されるので同様の効果が得られる。
【００４３】
＜第４実施形態＞
第４実施形態は、図６に示すように、第１実施形態において、第３の補強用リブ２１ｃを山型の湾曲状部を有するように形成することにより排水構造３５を構成するものである。
【００４４】
第３の補強用リブ２１ｃは、全体として湾曲状に形成されるリブであり、排水構造３５は、この第３の補強用リブ２１ｃの上面に形成され、水平面Ｈに対して傾斜する湾曲部（湾曲面）５４を有する。湾曲部５４は、上方に向かって凸状に形成される。さらに、第３の補強用リブ２１ｃの両端部には、上下方向に開放する切り欠き２２が設けられる。排水構造３５において設定される湾曲部（湾曲面）５４の両端の水平面Ｈに対する傾斜角（図示せず）の大きさは、任意に設定可能であるが、先の実施形態と同様に５°以上４５°以下の範囲から好適に選択することができる。
【００４５】
この排水構造３５においても、第３の補強用リブ２１ｃ上の洗浄水Ｌが、重力や風圧により、湾曲部５４上を第３の補強用リブ２１ｃの両端部に向かって良好に流れるため、第３の補強用リブ２１ｃ上の洗浄水Ｌを一定の方向に動かし、さらに、第３の補強用リブ２１ｃの両端部の切り欠き２２から円滑に排水することができる。また、第３の補強用リブ２１ｃの両端に第１の補強用リブ２１ａ及び第２の補強用リブ２１ｂや突起など他の壁面が存在せず、第３の補強用リブ２１ｃが１つの補強用リブ２１として単独で存在する場合も両端部から排水されるので同様の効果が得られる。なお、図６では、第３の補強用リブ２１ｃの両端部において切り欠き２２を設けた例を示しているが、排水構造３５においても、その配置場所などの条件を勘案して、第１実施形態と同様に、切り欠き２２を設けない構成としてもよい。
【００４６】
＜第５実施形態＞
第５実施形態は、図７（ａ）及び図７（ｂ）に示すように、第３実施形態において、第３の補強用リブ２１ｃを第１の補強用リブ２１ａ及び第２の補強用リブ２１ｂと直交する方向に直線状に形成し、その横断面の形状を洗浄水Ｌが流下し易いものとすることにより排水構造３４を構成するものである。
【００４７】
第３の補強用リブ２１ｃは、横断面視において、配置される表面から立ち上がる、上面（第１の面）と、その反対側の下面（第２の面）を有している。上面は第４の傾斜面５５として形成されており、第４の傾斜面５５は、配置される表面と直交する水平面Ｈ１に対して第６の傾斜角θ６で傾斜している。ここでは、第４の傾斜面５５は、横断面視で、第３の補強用リブ２１ｃの基端２１ｆ１側から先端２１ｆ２側に向けて、下り傾斜に形成されている。第３の補強用リブ２１ｃの下面は第５の傾斜面５６として形成され、配置される表面と直交する水平面Ｈ２に対して第７の傾斜角θ７で傾斜しており、θ６とθ７はその角度を異にしている。すなわち、第３の補強用リブ２１ｃは、横断面視において、θ６がθ７よりも大きく設定された非等脚台形状となっている。排水構造３６において設定される傾斜角θ６の大きさは、任意に設定可能であるが、５°以上であることが望ましい。
【００４８】
なお、第３の補強用リブ２１ｃの横断面形状は、非等脚台形状に限らず、下面よりも傾斜角が大きい上面を有する三角形状としてもよい。さらには、下面よりも曲率が小さい上面を有する異形の半円状としてもよい。要するに、上面（第１の面）と、その反対側の下面（第２の面）が非対称となるように、上面が下面よりも大きな傾斜角を有するようにすればよい。
【００４９】
この排水構造３６においても、第３の補強用リブ２１ｃ上の洗浄水Ｌが、重力や風圧により、第４の傾斜面５５を第３の補強用リブ２１ｃの基端２１ｆ１側から先端２１ｆ２側に向かって良好に流れて落ちるため、第３の補強用リブ２１ｃ上の洗浄水Ｌを一定の方向に動かし、第３の補強用リブ２１ｃ上から円滑に排水することができる。また、第３の補強用リブ２１ｃの両端に第１の補強用リブ２１ａ及び第２の補強用リブ２１ｂや、突起など他の壁面が存在せず、第３の補強用リブ２１ｃが１つの補強用リブ２１として単独で存在する場合も両端部から排水されるので同様の効果が得られる。なお、図７（ａ）では、第３の補強用リブ２１ｃの両端部において切り欠き２２を設けた例を示しているが、排水構造３６においても、その配置場所などの条件を勘案して、第１実施形態と同様に、切り欠き２２を設けない構成としてもよい。
【００５０】
第５実施形態に係る第３の補強用リブ２１ｃの横断面形状は、第１〜４実施形態に係る第３の補強用リブ２１ｃに適用してもよく、さらには、各実施形態に係る第１の補強用リブ２１ａ及び／又は第２の補強用リブ２１ｂに適用してもよい。
【００５１】
＜排水構造の配置＞
前述した基板収納容器１（図１参照）においては、第３の補強用リブ２１ｃ及び排水構造３０〜３６を、容器本体２及び蓋体１１に設けた例を示したが、この他、第３の補強用リブ２１ｃ及び排水構造３０〜３６は、容器本体２に取り付けられる各種の取付け部品７に設けることもできる。
【００５２】
図８に示すように、基板収納容器１Ｂは、取付け部品７として、その外表面であって容器本体２の天面２ａに取り付けられる搬送用のロボティックフランジ７ａのほかに、容器本体２の側面２ｃに取り付けられたマニュアルハンドル７ｂ、サイドレール７ｃ、容器本体２の底面２ｄに取り付けられたボトムプレート７ｄ、容器本体２の背面２ｅに取り付けられたタグホルダ７ｅを備える。この例では、これらロボティックフランジ７ａ、マニュアルハンドル７ｂ、サイドレール７ｃ、ボトムプレート７ｄ、タグホルダ７ｅと、支持部材３（図１参照）とからなる群から選択される少なくとも１つの取付け部品７に、前述した第３の補強用リブ２１ｃ及び排水構造３０〜３６を設ける。これにより、各種の取付け部品７においても、洗浄水Ｌを重力や風圧によって円滑に排水することができ、乾燥時間の短縮を図ることができる。
【００５３】
（実施形態の効果）
以上、説明した実施形態の効果について述べる。各実施形態によれば、第３の補強用リブ２１ｃ上の洗浄水Ｌを重力や風圧によって一定の方向に動かし、第３の補強用リブ２１ｃ上から円滑に排水することができ、乾燥時間の短縮を図ることができる。しかも、洗浄水Ｌが残らないため、水分による基板への影響を防止できる基板収納容器１が提供される。
【００５４】
以上、実施形態を用いて本発明を説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施形態に記載の範囲には限定されないことは言うまでもない。上記実施形態に、多様な変更又は改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。またその様な変更又は改良を加えた形態や補強用リブに形成される傾斜面が複数連続する山谷構造であってもよく、複数の山谷構造が連続している場合でも本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。なお、この場合は、谷に相当する箇所に切り欠きを形成するか、補強用リブの延伸方向と垂直方向、すなわち補強用リブが配置される表面と直交する水平面Ｈ１に対して第６の傾斜角θ６で傾斜する傾斜面を形成して排水することが好ましい。
【００５５】
例えば、各実施形態に係る第３の補強用リブ２１ｃ及び排水構造３０〜３６を、配置スペースの広狭、部材や部位に付与すべき強度の確保などの配置場所の条件を勘案して、適宜組み合わせたものとすることができる。また、第１、第４及び第５実施形態では、切り欠き２２を第３の補強用リブ２１ｃの両端部に設けているが、いずれか一方の端部に設けるようにすることもできる。
【符号の説明】
【００５６】
１，１Ｂ…基板収納容器、２…容器本体、２ａ…天面（外表面の）、２ｂ…内表面、２ｃ…側面（外表面の）、２ｄ…底面（外表面の）、２ｅ…背面（外表面の）、３…支持部材、４…開口部、７…取付け部品、７ａ…ロボティックフランジ（フランジ）、７ｂ…マニュアルハンドル、７ｃ…サイドレール、７ｄ…ボトムプレート、７ｅ…タグホルダ、１１…蓋体、１１ａ…本体、１１ｅ…カバー部材、１２…保持部材、２１…１つの補強用リブ又は補強用リブ群、２１ａ…第１の補強用リブ、２１ｂ…第２の補強用リブ、２１ｃ…第３の補強用リブ（１つの補強用リブ）、２２，２３…切り欠き、３０〜３６…排水構造、４１…第１の部分（排水構造３０、３１の）、４２…第２の部分（排水構造３０、３１の）、５１…第１の部分（排水構造３２、３３の）、５２…第２の部分（排水構造３２、３３の）、５４…湾曲部、θ１〜θ７…第１〜第７の傾斜角、Ｈ，Ｈ１，Ｈ２…水平面（仮想面）、Ｌ…洗浄水
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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