(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状ワークを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルで保持する板状ワークに対し切削を施す切削ブレードを有する切削手段と、を備える切削装置であって、
該切削手段は、該切削ブレードの側面に向けて切削水を供給する供給口を有し該切削ブレードを挟んだ位置に配設される一対のノズルを備え、
該一対のノズルは、該供給口と該切削ブレードの一方の側面とが所定距離離間して配設された第１のノズルと、該供給口と該切削ブレードの他方の側面との距離を調節する調節機構を有する第２のノズルとにより構成され、
該調節機構は、該第２のノズルを該切削ブレードの該他方の側面に対して接近及び離間させる方向に案内する案内部と、
該案内部で案内される該第２のノズルの該供給口と該切削ブレードの該他方の側面との距離を調節する調節部と、
該調節部で位置調節された該第２のノズルを固定する固定部と、を備え、
該調節機構によって、該第１のノズルの該供給口と該切削ブレードの該一方の側面との距離と、該第２のノズルの該供給口と該切削ブレードの該他方の側面との距離とを一致させることを特徴とする切削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削ブレードの側面に向けて切削水を供給するノズルを有する切削装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
被加工物である板状ワークに対して切削加工を施す装置としては、例えば板状ワークを保持する保持テーブルと、保持テーブルに保持された板状ワークに切り込んで切削加工を施す切削ブレードと、切削ブレードを挟んだ位置に配設された一対のノズルとを少なくとも備えているものがあり、一対のノズルから切削ブレードの両側面に向けて切削水をシャワー状に供給して切削ブレードを冷却しながら、板状ワークを切削している。一対のノズルは、切削ブレードのサイズに応じて高さ方向に位置を調整したり、切削送り方向に位置を調整したりしている（例えば下記の特許文献１−３を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−０５９８６４号公報
【特許文献２】特開２００２−３１９５５３号公報
【特許文献３】特開２００２−３１３７５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上記したような切削装置において、切削ブレードに切削水を供給しながら板状ワークを切削するときに、切削ブレードの一方の側面と一方のノズルの噴き出し口との距離と、切削ブレードの他方の側面と他方のノズルの噴き出し口との距離とが異なっていると、切削ブレードの切削送り方向に対して直交する方向にかかる切削水の圧力のバランスが悪くなる。そのため、板状ワークに形成される切削溝の片面側が荒れてしまい、板状ワークを高精度に切削することができないという問題がある。
【０００５】
本発明は、上記の事情にかんがみてなされたもので、切削ブレードの両側面と一対のノズルの供給口との距離を等距離に調節することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、板状ワークを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルで保持する板状ワークに対し切削を施す切削ブレードを有する切削手段と、を備える切削装置であって、該切削手段は、該切削ブレードの側面に向けて切削水を供給する供給口を有し該切削ブレードを挟んだ位置に配設される一対のノズルを備え、該一対のノズルは、該供給口と該切削ブレードの一方の側面とが所定距離離間して配設された第１のノズルと、該供給口と該切削ブレードの他方の側面との距離を調節する調節機構を有する第２のノズルとにより構成され、該調節機構は、該第２のノズルを該切削ブレードの該他方の側面に対して接近及び離間させる方向に案内する案内部と、該案内部で案内される該第２のノズルの該供給口と該切削ブレードの該他方の側面との距離を調節する調節部と、該調節部で位置調節された該第２のノズルを固定する固定部と、を備え、該調節機構によって、該第１のノズルの該供給口と該切削ブレードの該一方の側面との距離と、該第２のノズルの該供給口と該切削ブレードの該他方の側面との距離とを一致させることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の切削装置は、切削手段において切削ブレードの側面に向けて切削水を供給する供給口を有し切削ブレードを挟んだ位置に配設される一対のノズルを備え、一対のノズルは、供給口と切削ブレードの一方の側面とが所定の距離だけ離間して配設された第１のノズルと、供給口と切削ブレードの他方の側面との距離を調節する調節機構を有する第２のノズルとにより構成したため、調節機構の調節部によって、第２のノズルの供給口と切削ブレードの他方の側面との距離を第１のノズルの供給口と切削ブレードの一方の側面との距離に一致させた後、位置調節された第２のノズルを調節機構の固定部で固定することにより、切削ブレードの両側面と一対のノズルの供給口との距離を同じにすることができる。
これにより、第１のノズルの供給口及び第２のノズルの供給口から切削ブレードの両側面に向けて切削水をバランスよく供給することができ、切削ブレードの両側面のうちいずれか一方に切削水による負荷が大きくかかることがなくなる。よって、切削ブレードにより板状ワークに形成される切削溝の片面側が荒れることはなく、板状ワークを高精度に切削可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】切削装置の一例を示す斜視図である。
【図２】切削手段の構成を示す正面図である。
【図３】調節機構の第１例を示す断面図である。
【図４】調節機構の第１例によって、厚さの異なる切削ブレードに交換した場合に切削ブレードの側面と第２のノズルの供給口との距離を調節する状態を示す断面図である。
【図５】調節機構の第２例を示す断面図である。
【図６】調節機構の第２例によって、厚さの異なる切削ブレードに交換した場合に切削ブレードの側面と第２のノズルの供給口との距離を調節する状態を示す断面図である。
【図７】調節機構を示す断面図である。
【図８】調節機構の第３例によって、厚さの異なる切削ブレードに交換した場合に切削ブレードの側面と第２のノズルの供給口との距離を調節する状態を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
図１に示す切削装置１は、装置ベース２を有しており、装置ベース２の前部には、複数の被加工物を収容するカセット３を備えている。装置ベース２の上面２ａには、被加工物が仮置きされる仮置き領域４と、被加工物を保持するチャックテーブル５と、カセット３から切削前の被加工物を搬出するとともにカセット３に切削後の被加工物を搬入する搬入出手段７と、仮置き領域４とチャックテーブル５との間で被加工物を搬送する第１の搬送手段８とを備えている。
【００１０】
チャックテーブル５は、被加工物を吸引保持する保持面５ａを有し、保持面５ａは、図示しない吸引源に接続されている。チャックテーブル５の周囲はカバー部６によってカバーされており、チャックテーブル５はカバー部６とともに切削送り方向（Ｘ軸方向）に移動可能となっている。
【００１１】
チャックテーブル５の移動経路の上方には、被加工物の切削すべき領域を検出するための撮像を行う撮像手段９と、検出された切削すべき領域に切削を施す切削手段１０とを備えている。撮像手段９は、撮像レンズと光学系の撮像素子とを少なくとも有している。装置ベース２の中央部分には、切削手段１０によって切削された被加工物に対して洗浄が行われる洗浄領域１１と、切削後の被加工物をチャックテーブル５から洗浄領域１１に搬送する第２の搬送手段１２とが配設されている。
【００１２】
切削手段１０は、Ｙ軸方向の軸心を有するスピンドル１３と、スピンドル１３を回転可能に囲繞するスピンドルハウジング１４と、スピンドル１３の先端に装着された切削ブレード１５と、切削ブレード１５を回転可能に覆うブレードカバー１６と、切削ブレード１５を挟んで切削ブレード１５の側面に向けて切削水を供給する一対の切削水供給ノズル２０とを備えている。図示しないモータによって駆動されてスピンドル１３が所定の回転速度で回転することにより、切削ブレード１５を所定の回転速度で回転させることができる。
【００１３】
ブレードカバー１６は、スピンドルハウジング１４に固定される後側カバー１６０と、後側カバー１６０に対して脱着可能な前側カバー１６１とにより構成されている。図２に示すように、ブレードカバー１６の中央には、スピンドル１３の先端に装着される切削ブレード１５を回転可能に収容するスペース１６２を有している。
【００１４】
切削水供給ノズル２０は、図２に示すように、ブレードカバー１６の下端隅部から下方に延び、水平方向に屈曲して切削ブレード１５の側面に沿って配設されている。この切削水供給ノズル２０は、図３に示すように、切削ブレード１５を中央にして対称に配置される一対のノズルであって、後側カバー１６０の下部に装着される第１のノズル２１と、前側カバー１６１の下部に装着される第２のノズル２２とにより構成されている。第１のノズル２１及び第２のノズル２２は、後側カバー１６１及び前側カバー１６０の内部に形成された流路並びに開閉バルブ２５を介して切削水供給源２６に接続されている。
【００１５】
第１のノズル２１は、切削ブレード１５の一方の側面１５ａ側に向いて開口した供給口２３を複数備えている。第１のノズル２１は、供給口２３と切削ブレード１５の一方の側面１５ａとが所定の距離離れるように配設されている。開閉バルブ２５を開くと、第１のノズル２１の供給口２３から切削ブレード１５の一方の側面１５ａに向けて切削水を供給することができる。
【００１６】
第２のノズル２２は、切削ブレード１５の他方の側面１５ｂ側に向いて形成された供給口２４を複数備えている。開閉バルブ２５を開くと、第２のノズル２２の供給口２４から切削ブレード１５の他方の側面１５ｂに向けて切削水を供給することができる。
【００１７】
また、第２のノズル２２は、供給口２４と切削ブレード１５の他方の側面１５ｂとの距離を所望の距離に調節する調節機構３０を備えている。調節機構３０は、前側カバー１６１のＹ軸方向の移動を案内することにより第２のノズル２２を切削ブレード１５の他方の側面１５ｂに対して接近及び離間する方向に案内する案内部３１と、案内部３１によって案内される第２のノズル２２の供給口２４と切削ブレード１５の他方の側面１５ｂとの距離を調節する調節部３２と、調節部３２によって位置調節された第２のノズル２２を固定する固定ナット３３とを備えている。
【００１８】
案内部３１は、例えばピンによって構成されており、後側カバー１６０の内部に形成された凹状の溝１６３に固定されている。図示の例では、案内部３１は２つ配設されているが、この個数には限定されない。
【００１９】
調節部３２は、雄ねじを有する第１の部材３２０と、第１の部材３２０に連接される第２の部材３２１とを有している。前側カバー１６１の内部に形成されたシャフト１６５の内周面には雌ねじが形成されており、その雌ねじには第１の部材３２０の雄ねじが螺合している。第２の部材３２１は、後側カバー１６０の内部に形成された挿通孔１６６に挿通されている。
【００２０】
第２の部材３２１には、伸縮自在のスプリング３４が巻かれている。第１の部材３２０の回転にともなって第２の部材３２１が回転した際に、スプリング３４は、調節部３２とともに後側カバー１６０がガタつくのを防止できる。
【００２１】
このように構成される調節機構３０を用いて第２のノズル２２と切削ブレード１５の他方の側面１５ｂとの距離を調節する際には、例えば作業者が調節部３２の第１の部材３２０を所定の方向に回すことにより、前側カバー１６１を後側カバー１６０に対して接近及び離反する方向に移動させ、案内部３１が案内溝１６４に沿って前側カバー１６１に対して進退することで、第２のノズル２２を切削ブレード１５の他方の側面１５ｂに接近及び離間する方向に移動させることができる。第２のノズル２２を所望の位置に移動させた後は、固定ナット３３で調節部３２を締めることにより第２のノズル２２がＹ軸方向に動かないように固定することができる。
【００２２】
切削装置１を用いて板状ワークＷを切削する動作について説明する。図１に示す板状ワークＷは、被加工物の一例であって、特に材質等が限定されるものではない。板状ワークＷの切削時には、板状ワークＷはテープＴを介して環状のフレームＦと一体となって形成され、これがカセット３に複数収容されている。
【００２３】
搬入出手段７は、フレームＦと一体となった板状ワークＷをカセット３から引き出して仮置き領域４に仮置きする。次いで、仮置き領域４に仮置きされた板状ワークＷを第１の搬送手段８によってチャックテーブル５に搬送する。チャックテーブル５の保持面５ａに板状ワークＷを載置した後、図示しない吸引源が作動することにより、チャックテーブル５の保持面５ａで板状ワークＷを吸引保持し、カバー部６とともにチャックテーブル５を切削送り方向（Ｘ軸方向）に移動させ、切削手段１０の下方に移動させる。このとき、撮像手段９によってチャックテーブル５に保持された板状ワークＷの上面を撮像し、板状ワークＷを個々のデバイスに分割するための領域を認識する。
【００２４】
次いで、切削手段１０によって板状ワークＷの上面に対して切削を行う。具体的には、切削手段１０の下方にチャックテーブル５を移動させつつ、スピンドル１３が所定の回転速度で回転し、切削ブレード１５を所定の回転速度で回転させるとともに、切削手段１０をＺ軸方向に下降させる。回転する切削ブレード１５を板状ワークＷの上面に切り込ませ、切削手段１０と保持テーブル５とを切削送り方向に相対移動させながら板状ワークＷの上面から切削を施す。
【００２５】
板状ワークＷの切削中は、図３に示した開閉バルブ２５を開き、第１のノズル２１の供給口２３から切削ブレード１５の一方の側面１５ａに向けて切削水を供給するとともに、第２のノズル２２の供給口２４から切削ブレード１５の他方の側面１５ｂに向けて切削水を供給する。このように切削ブレード１５の両側面に切削水を供給しながら、切削ブレード１５を冷却しながら板状ワークＷを切削し、板状ワークＷを個々のデバイスに分割する。その後、切削後の板状ワークＷは、第２の搬送手段１２によって洗浄領域１１に搬送され、洗浄領域１１で板状ワークＷの洗浄が行われた後、カセット３に収容される。
【００２６】
切削ブレード１５の両側面に切削水を供給するときに、切削ブレード１５の両側面にバランスよく切削水の圧力がかかるようにするため、図３に示す調節機構３０を用いて第２のノズル２２の位置を調節し、第１のノズル２１の供給口２３と切削ブレード１５の一方の側面１５ａとの所定の距離Ｌ１と、第２のノズル２２の供給口２４と切削ブレード１５の他方の側面１５ｂとの距離Ｌ２とを一致させる動作について説明する。なお、所定の距離Ｌ１は、切削ブレードに対する冷却効果及び洗浄効果を良好に得ることができる適正な距離（例えば７．５ｍｍ）にあらかじめ設定する。第２のノズル２２の位置調節は、例えば装置のメンテナンス時や切削ブレードの交換時に行うことができる。
【００２７】
まず、図３に示す距離Ｌ１よりも距離Ｌ２の方が長くなっている場合は、固定ナット３３を緩めた状態において、調節部３２の第１の部材３２０を例えば時計回りに回し、前側カバー１６１を後側カバー１６０に接近させる。これにより、案内部３１が案内溝１６４に沿って前側カバー１６１に対して前進し、第２のノズル２２を切削ブレード１５の他方の面１５ｂに接近する方向に所定の距離（距離Ｌ２から距離Ｌ１を引いた距離）だけ移動させる。このようにして第２のノズル２２の位置を調節した後距離Ｌ２が距離Ｌ１に一致したら、固定ナット３３で調節部３２を締めて第２のノズル２２を固定する。
【００２８】
一方、距離Ｌ１よりも距離Ｌ２の方が短くなっている場合は、固定ナット３３を緩めた状態において、調節部３２の第１の部材３２０を例えば反時計周りに回し、前側カバー１６１を後側カバー１６０から離反させる。これにより、案内部３１が案内溝１６４に沿って前側カバー１６１に対して後退し、第２のノズル２２を切削ブレード１５の他方の面１５ｂに対して離間する方向に所定の距離（距離Ｌ１から距離Ｌ２を引いた距離）だけ移動させる。このようにして第２のノズル２２の位置を調節した後距離Ｌ２が距離Ｌ１に一致したら、上記同様に、固定ナット３３で調節部３２を締めて第２のノズル２２を固定する。
【００２９】
図４に示すように、図３に示した切削ブレード１５を厚みが薄いタイプの切削ブレード１７に交換した場合にも、調節機構３０を用いて、第１のノズル２１の供給口２３と切削ブレード１７の一方の側面１７ａとの距離Ｌ３と、第２のノズル２２の供給口２４と切削ブレード１７の他方の側面１７ｂとの距離Ｌ４とを一致させる。なお、距離Ｌ３は、例えば７．５ｍｍにあらかじめ設定する。
【００３０】
具体的には、所定の距離Ｌ３よりも距離Ｌ４の方が長くなっている場合は、上記した調節機構３０と同様の動作によって、第２のノズル２２を切削ブレード１７の他方の面１７ｂに接近する方向に所定の距離（距離Ｌ４から距離Ｌ３を引いた距離）だけ移動させ距離Ｌ４を距離Ｌ３に一致させる。一方、距離Ｌ３よりも距離Ｌ４の方が短くなっている場合は、第２のノズル２２を切削ブレード１７の他方の面１７ｂに対して離間する方向に所定の距離（距離Ｌ３から距離Ｌ４を引いた距離）だけ移動させ距離Ｌ４を距離Ｌ３に一致させる。このようにして、第２のノズル２２の位置を調節した後は、固定ナット３３で調節部３２を締めて第２のノズル２２を固定する。
【００３１】
このように、調節機構３０は、第２のノズル２２を切削ブレード１５，１７の他方の側面１５ｂ，１７ｂに対して接近及び離間する方向に案内する案内部３１と、第２のノズル２２の供給口２４と該他方の側面１５ｂ，１７ｂとの距離Ｌ２，Ｌ４を調節する調節部３２と、調節部３２で位置調節された第２のノズル２２の位置を固定する固定ナット３３とを備え、第２のノズル２２を切削ブレード１５，１７の他方の側面１５ｂ，１７ｂに対して接近させたり離間させたりすることで、第１のノズル２１と切削ブレード１５，１７の一方の面１５ａ，１７ａとの距離Ｌ１，Ｌ３と、該距離Ｌ２，Ｌ４とを一致させた後、固定ナット３３で第２のノズル２２を固定できるため、第１のノズル２１の供給口２３及び第２のノズル２２の供給口２４から切削ブレード１５，１７の両側面に向けて切削水を等しい圧力でバランスよく供給することが可能となる。
【００３２】
図５に示す調節機構４０は、第２のノズル２２の位置を調節する調節機構の第２例である。調節機構４０は、上記した調節機構３０と同様に、第２のノズル２２を切削ブレード１５の他方の側面１５ｂに対して接近及び離間する方向に案内する案内部４１と、案内部４１によって案内される第２のノズル２２の供給口２４と切削ブレード１５の他方の側面１５ｂとの距離を調節する調節部４２とを備えている。調節部４２は、第１の部材４２０と、第１の部材４２０に連接される第２の部材４２１とを有している。第２の部材４２１には、調節部４２のガタつきを防止するスプリング４４が巻かれている。
【００３３】
調節機構４０は、調節部４２によって位置調節された前側カバー１６１の位置を固定することにより第２のノズル２２の位置を固定する伸縮自在の固定スプリング４３を備えている。固定スプリング４３の一端は、第１の部材４２０の一端側に巻かれて前側カバー１６１の側壁に当接し、固定スプリング４３の他端は、第１の部材４２０の頭部に当接している。
【００３４】
次に、図５に示す調節機構４０によって第２のノズル２２の位置を調節し、距離Ｌ１と距離Ｌ２とを一致させる動作について説明する。距離Ｌ１よりも距離Ｌ２の方が長くなっている場合は、調節部４２の第１の部材４２０を例えば時計回りに回し、前側カバー１６１を後側カバー１６０に接近させることにより、案内部４１が案内溝１６４に沿って前側カバー１６１に対して前進し、第２のノズル２２を切削ブレード１５の他方の面１５ｂに接近する方向に所定の距離（距離Ｌ２から距離Ｌ１を引いた距離）だけ移動させる。このとき、固定スプリング４３が調節部４２の回転にともない縮む。こうして第２のノズル２２を位置調節した後距離Ｌ２が距離Ｌ１に一致したら、縮んだ固定スプリング４３がその状態を維持することによって第２のノズル２２が動かないように固定する。
【００３５】
一方、距離Ｌ１よりも距離Ｌ２の方が短くなっている場合は、調節部４２の第１の部材４２０を例えば反時計回りに回し、前側カバー１６１を後側カバー１６０から離反させることにより、案内部４１が案内溝１６４に沿って前側カバー１６１に対して後退し、第２のノズル２２を切削ブレード１５の他方の面１５ｂから離間する方向に所定の距離（距離Ｌ１から距離Ｌ２を引いた距離）だけ移動させる。このとき、固定スプリング４３が調節部４２の回転にともない伸びる。こうして第２のノズル２２を位置調節した後距離Ｌ２が距離Ｌ１に一致したら、伸びた固定スプリング４３がその状態を維持することによって第２のノズル２２を固定する。
【００３６】
図６に示すように、図５に示した切削ブレード１５を厚みが薄いタイプの切削ブレード１７に交換した場合にも、調節機構４０を用いて、第１のノズル２１の供給口２３と切削ブレード１７の一方の側面１７ａとの距離Ｌ３と、第２のノズル２２の供給口２４と切削ブレード１７の他方の側面１７ｂとの距離Ｌ４とを一致させる。具体的には、距離Ｌ３よりも距離Ｌ４の方が長くなっている場合は、上記した図５の場合と同様の動作によって、第２のノズル２２を切削ブレード１７の他方の面１７ｂに対し接近する方向に所定の距離（距離Ｌ４から距離Ｌ３を引いた距離）だけ移動させて距離Ｌ４が距離Ｌ３に一致させる。一方、距離Ｌ３よりも距離Ｌ４の方が短くなっている場合は、第２のノズル２２を切削ブレード１７の他方の面１７ｂに対して離間する方向に所定の距離（距離Ｌ３から距離Ｌ４を引いた距離）だけ移動させて距離Ｌ４を距離Ｌ３に一致させる。このようにして、第２のノズル２２の位置を調節した後は、固定スプリング４３によって第２のノズル２２を固定する。
【００３７】
このように、調節機構４０は、上記した調節機構３０の固定ナット３３に代えて固定スプリング４３を備えたものであり、第１のノズル２１と切削ブレード１５，１７の一方の面１５ａ，１７ａとの距離Ｌ１，Ｌ３と、該距離Ｌ２，Ｌ４とを一致させた後、固定スプリング４３によって、位置調節された第２のノズル２２を固定することができるため、調節機構３０と同様に、第１のノズル２１の供給口２３及び第２のノズル２２の供給口２４から切削ブレード１５，１７の両側面に向けて切削水をバランスよく供給することができる。
【００３８】
図７に示す調節機構５０は、第２のノズル２２の位置を調節する調節機構の第３例である。調節機構５０は、上記した調節機構３０と同様に、第２のノズル２２を切削ブレード１５の他方の側面１５ｂに対して接近及び離間する方向に案内する案内部５１と、案内部５１によって案内される第２のノズル２２の供給口２４と切削ブレード１５の他方の側面１５ｂとの距離を調節する調節部５２とを備えている。調節部５２は、第１の部材５２０と、第１の部材５２０に連接される第２の部材５２１とを有している。第２の部材５２１の一端側には、調節部５２のガタつきを防止するスプリング５４が巻かれている。
【００３９】
調節機構５０は、調節部５２によって位置調節された第２のノズル２２の位置を固定する固定スプリング５３を、前側カバー１６１に形成された案内溝１６４ａの内部に備えている。固定スプリング５３は、一端が案内部５１に固定されている。
【００４０】
次に、図７に示す調節機構５０によって第２のノズル２２の位置を調節し、距離Ｌ１と距離Ｌ２とを一致させる動作について説明する。距離Ｌ１よりも距離Ｌ２の方が長くなっている場合は、第１の部材５２０を例えば時計回りに回し、前側カバー１６１を後側カバー１６０に接近させることにより、案内部５１が案内溝１６４ａに沿って前側カバー１６１に対して前進する。このとき、案内部５１の前進にともない、固定スプリング５３が縮む。そして、第２のノズル２２を切削ブレード１５の他方の面１５ｂに接近する方向に所定の距離（距離Ｌ２から距離Ｌ１を引いた距離）だけ移動させて距離Ｌ２が距離Ｌ１に一致したら、縮んだ固定スプリング５３によって第２のノズル２２を固定する。
【００４１】
一方、距離Ｌ１よりも距離Ｌ２の方が短くなっている場合は、第１の部材５２０を例えば反時計回りに回し、前側カバー１６１を後側カバー１６０から離反させることにより、案内部５１が案内溝１６４ａに沿って前側カバー１６１に対して後退する。このとき、後退する案内部５１にともない、固定スプリング５３が伸びる。そして、第２のノズル２２を切削ブレード１５の他方の面１５ｂから離間する方向に所定の距離（距離Ｌ１から距離Ｌ２を引いた距離）だけ移動させて距離Ｌ２が距離Ｌ１に一致したら、伸びた固定スプリング５３によって第２のノズル２２を固定する。
【００４２】
図８に示すように、図７に示した切削ブレード１５を厚みが薄いタイプの切削ブレード１７に交換した場合にも、調節機構５０を用いて、第１のノズル２１の供給口２３と切削ブレード１７の一方の側面１７ａとの距離Ｌ３と、第２のノズル２２の供給口２４と切削ブレード１７の他方の側面１７ｂとの距離Ｌ４とを一致させる。具体的には、距離Ｌ３よりも距離Ｌ４の方が長くなっている場合は、上記図７と同様の動作によって、第２のノズル２２を切削ブレード１７の他方の面１７ｂに対し接近する方向に所定の距離（距離Ｌ４から距離Ｌ３を引いた距離）だけ移動させて距離Ｌ４が距離Ｌ３に一致させる。一方、距離Ｌ３よりも距離Ｌ４の方が短くなっている場合は、第２のノズル２２を切削ブレード１７の他方の面１７ｂに対し離間する方向に所定の距離（距離Ｌ３から距離Ｌ４を引いた距離）だけ移動させて距離Ｌ４が距離Ｌ３に一致させる。このようにして、第２のノズル２２の位置を調節した後は、固定スプリング５３によって第２のノズル２２を固定する。
【００４３】
このように、調節機構５０は、上記した調節機構３０の固定ナット３３に替えて固定スプリング５３をブレードカバー１６の内部に備えたため、第１のノズル２１と切削ブレード１５，１７の一方の面１５ａ，１７ａとの距離Ｌ１，Ｌ３と、第２のノズル２２と切削ブレード１５，１７の他方の面１５ｂ、１７ｂとの距離Ｌ２，Ｌ４とをそれぞれ一致させた後、固定スプリング５３が案内溝１６４ａ内において作用することにより、位置調節された第２のノズル２２を固定でき、第１のノズル２１の供給口２３及び第２のノズル２２の供給口２４から切削ブレード１５，１７の両側面に向けて切削水をバランスよく供給することができる。
【符号の説明】
【００４４】
１：切削装置  ２：装置ベース  ２ａ：上面  ３：カセット  ４：仮置き領域
５：チャックテーブル  ５ａ：保持面  ６：カバー部  ７：搬入出手段
８：第１の搬送手段  ９：撮像手段  １０：切削手段  １１：洗浄領域
１２：第２の搬送手段  １３：スピンドル  １４：スピンドルハウジング
１５：切削ブレード  １５ａ：一方の側面  １５ｂ：他方の側面
１６：ブレードカバー  １６０：後側カバー  １６１：前側カバー
１６２：スペース  １６３：溝  １６４，１６４ａ：案内溝
１６５：シャフト挿通孔  １６６：挿通孔
１７：切削ブレード  １７ａ：一方の側面  １７ｂ：他方の側面
２０：切削水供給ノズル  ２１：第１のノズル  ２２：第２のノズル
２３，２４：供給口  ２５：開閉バルブ  ２６：切削水供給源
３０：調節機構  ３１：案内部  ３２：調節部  ３２０：第１の部材
３２１：第２の部材  ３３：固定ナット  ３４：スプリング
４０：調節機構  ４１：案内部  ４２：調節部  ４２０：第１の部材
４２１：第２の部材  ４３：固定スプリング  ４４：スプリング
５０：調節機構  ５１：案内部  ５２：調節部  ５２０：第１の部材
５２１：第２の部材  ５３：固定スプリング  ５４：スプリング
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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