(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
１心の光ファイバ中に入射された光を単一モード条件を維持しながら伝送可能な複数のコア領域を有するマルチコア光ファイバと、
前記マルチコア光ファイバの前記コア領域から出射する光を所定位置に集光するビームスプリッタと、
前記所定位置に配置され、前記ビームスプリッタが集光した光を１つのモードフィールドの光として出力する集光部と、
を備える光伝送装置であって、
前記コア領域において単一モードで伝送された光を集光することにより、単一モードで伝送可能な光パワーを前記コア領域の数分だけ増加することを特徴とする光伝送装置。
【請求項２】
前記マルチコア光ファイバのファイバ中心とそれぞれの前記コア領域の中心との間隔のうち最長の間隔Λ、前記ビームスプリッタと前記集光部との距離Ｌ、及び前記集光部の開口数ＮＡが、
【数１】
0006348861.tif 000004
であることを特徴とする請求項１に記載の光伝送装置。
【請求項３】
前記マルチコア光ファイバの前記コア領域が、同心円状または同心円状及びファイバ中心に配置されていることを特徴とする請求項１または２に記載の光伝送装置。
【請求項４】
前記マルチコア光ファイバは、クラッドとコアとの屈折率分布がＷ型又はトレンチ型であることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の光伝送装置。
【請求項５】
前記マルチコア光ファイバは、空孔アシスト構造であることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の光伝送装置。
【請求項６】
前記集光部は、
前記マルチコア光ファイバの前記コア領域毎に伝送された異なる波長の光を合波し、合波した前記光を所定の位置に集光し、１つのモードフィールドの光として出力することを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の光伝送装置。
【請求項７】
光源からの光を分岐して、１心の光ファイバ中に入射された光を単一モード条件を維持しながら伝送可能な複数のコア領域を有するマルチコア光ファイバの各コアへ結合し、
前記マルチコア光ファイバの前記コア領域から出射する光を所定位置に集光し、
１つのモードフィールドの光として出力する
光伝送方法であって、
前記コア領域において単一モードで伝送された光を集光することにより、単一モードで伝送可能な光パワーを前記コア領域の数分だけ増加することを特徴とする光伝送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ファイバを用いたハイパワー光を伝送する光伝送装置及び光伝送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
高出力レーザーの進展に伴い、レーザー光を用いた溶接など工業加工への応用が広く利用されている。特に近年では、出力が１０ｋＷに及び高出力なファイバレーザーが開発されており、医療・工業への利用が期待されている。このような高出力ファイバレーザーでは、例えば非特許文献１に示すように、数ｍ以下の短尺の光ファイバにおいてコア面積を拡大することにより、非線形性による出力パワー制限を緩和している。またレーザー加工では、出射光のビーム品質が加工効率に大きく影響する。ビーム品質は出射光のモード状態に強く依存するため、単一モード伝送が可能な光ファイバがファイバレーザ中で使用される。
【０００３】
さらに非特許文献２に示すように、前記の高出力レーザーの出射端に光ファイバを接続し、遠隔からの溶接加工にも応用されている。この場合、出射端のビーム品質は接続した光ファイバにおける高次モードの励振状態が影響する。そのため、コア面積の大きいマルチモード光ファイバは数ｋＷのようなハイパワー光を数十ｍ以上伝送することができるが、出射端におけるビーム品質は低くなる。また単一モード光ファイバを使用することで高いビーム品質の出射光を得ることができるが、単一モード伝送とコア面積の拡大はトレードオフの関係にあり、伝送可能なパワーは制限される。非特許文献３ではフォトニックバンドギャップ構造を用いることで非線形効果を抑圧し、単一モード伝送条件を維持しながらコア面積の拡大を実現している。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００４】
【非特許文献１】姫野、“高出力レーザの基礎と特徴”、フジクラ技報、ｖｏｌ．１、ｐｐ．１−６、２０１４年１月
【非特許文献２】山崎ら、“１０ｋＷレーザ伝送用  ８芯長尺ケーブル”、三菱電線工業時報、第１０５号、ｐｐ．２４−２７、２００８年１０月
【非特許文献３】姫野、“ファイバレーザと先進的光技術”、フジクラ技報、ｖｏｌ．２、ｐｐ．３３−３７、２０１２年２月
【非特許文献４】荒生ら、“レンズ結合型マルチコアファイバ用ファンアウト部品”、信学技報、ＯＦＴ２０１３−６７、ｐｐ．６７−７０、２０１４年２月
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述の通り、従来の単一モード光ファイバでは単一モード伝送条件とコア面積の拡大がトレードオフの関係にあり、伝送可能なパワーおよび距離が制限されるといった課題があった。またフォトニックバンドギャップ構造を用いた光ファイバは製造時の構造偏差による特性ばらつきが非常に大きく、さらに伝送損失も２０ｄＢ／ｋｍと非常に大きいため、遠隔へのハイパワー光伝送には適さないといった課題があった。
【０００６】
そこで、本発明は、上記課題を解決すべく、伝送可能なパワーおよび距離の制限を緩和でき、伝送損失が少ない光伝送装置及び光伝送方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る光伝送装置は、伝送する光をマルチコア光ファイバの各コアへ分散し、受光端においてマルチコア光ファイバの各コアからの出射光を所定の位置で集光することとした。
【０００８】
具体的には、本発明に係る光伝送装置は、
１心の光ファイバ中に複数のコア領域を有するマルチコア光ファイバと、
前記マルチコア光ファイバの前記コア領域から出射する光を所定位置に集光するビームスプリッタと、
前記所定位置に配置され、前記ビームスプリッタが集光した光を１つのモードフィールドの光として出力する集光部と、
を備える。
【０００９】
また、本発明に係る光伝送方法は、光源からの光を分岐して、１心の光ファイバ中に複数のコア領域を有するマルチコア光ファイバの各コアへ結合し、前記マルチコア光ファイバの前記コア領域から出射する光を所定位置に集光し、１つのモードフィールドの光として出力する。
【００１０】
本発明に係る光伝送装置及び光伝送方法は、光をマルチコア光ファイバの各コアへ分散することにより、単一モード条件を維持しながら伝送可能な光パワーをコア数分だけ増加することができる。さらに、マルチコア光ファイバはフォトニックバンドギャップ構造を用いた光ファイバに比べて特性ばらつきが小さく伝送損失も小さい。このため、遠隔へのハイパワー光伝送も可能である。
【００１１】
従って、本発明は、伝送可能なパワーおよび距離の制限を緩和でき、伝送損失が少ない光伝送装置及び光伝送方法を提供することができる。
【００１２】
本発明に係る光伝送装置は、前記マルチコア光ファイバのファイバ中心とそれぞれの前記コア領域の中心との間隔のうち最長の間隔Λ、前記ビームスプリッタと前記集光部との距離Ｌ、及び前記集光部の開口数ＮＡが、
【数１】
0006348861.tif 000002
であることを特徴とする。
上記条件を満たすとき、マルチコア光ファイバの全コアの出射光は集光部へ入射される。従って、光の伝送損失を低減することができる。
【００１３】
本発明に係る光伝送装置は、前記マルチコア光ファイバの前記コア領域が、同心円状または同心円状及びファイバ中心に配置されていることを特徴とする。ビームスプリッタの形状を単純化できるため、装置のコストを低減することができる。
【００１４】
本発明に係る光伝送装置の前記マルチコア光ファイバは、クラッドとコアとの屈折率分布がＷ型又はトレンチ型であることを特徴とする。本発明に係る光伝送装置の前記マルチコア光ファイバは、空孔アシスト構造であってもよい。コアの実効断面積の拡大と単一モード動作の保証に関するトレードオフを緩和することができる。
【００１５】
本発明に係る光伝送装置の前記集光部は、前記マルチコア光ファイバの前記コア領域毎に伝送された異なる波長の光を合波し、合波した前記光を所定の位置に集光し、１つのモードフィールドの光として出力することを特徴とする。本光伝送装置は、マルチコア光ファイバのコア毎に波長が異なるので、マルチコア光ファイバ伝送中におけるコア間の干渉が極めて小さく、安定した光出力が得られる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明は、伝送可能なパワーおよび距離の制限を緩和でき、伝送損失が少ない光伝送装置及び光伝送方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明に係る光伝送装置の構造を説明する図である。
【図２】本発明に係る光伝送装置の構造を説明する図である。
【図３】本発明に係る光伝送装置の構造を説明する図である。
【図４】本発明に係る光伝送装置の集光部のＮＡ（コアとクラッドとの比屈折率差）とビームスプリッタ−集光部間距離との関係を表す特性図である。
【図５】本発明に係る光伝送装置のマルチコア光ファイバの断面図である。
【図６】テープ型多芯ファイバの断面図である。
【図７】光ファイバの実効断面積と伝送可能なパワーとの関係を表す特性図である。
【図８】光ファイバのコア構造の設計例を表す特性図である。
【図９】光ファイバのコア構造と実効断面積の関係を表す特性図である。
【図１０】本発明に係る光伝送装置のマルチコア光ファイバのクラッド径と伝送可能なパワーの関係を説明する図である。
【図１１】光ファイバのコア構造を説明する断面図である。
【図１２】光ファイバのコア構造を説明する断面図である。
【図１３】光ファイバのコア構造を説明する断面図である。
【図１４】光ファイバのコア構造を説明する断面図である。
【図１５】レーザからマルチコア光ファイバの各コア領域へ光を結合する構造を説明する図である。
【図１６】レーザからマルチコア光ファイバの各コア領域へ光を結合する構造を説明する図である。
【図１７】本発明に係る光伝送装置の構造を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
添付の図面を参照して本発明の実施形態を説明する。以下に説明する実施形態は本発明の実施例であり、本発明は、以下の実施形態に制限されるものではない。なお、本明細書及び図面において符号が同じ構成要素は、相互に同一のものを示すものとする。
【００１９】
図１は、本実施形態の光伝送装置の構造を説明する図である。本光伝送装置は、
１心の光ファイバ中に複数のコア領域１１を有するマルチコア光ファイバ１０と、
マルチコア光ファイバ１０のコア領域１１から出射する光を所定位置に集光するビームスプリッタ２０と、
前記所定位置に配置され、ビームスプリッタ２０が集光した光を１つのモードフィールドの光として出力する集光部３０と、
を備える。
ビームスプリッタ２０は、例えばプリズムである。集光部３０は、例えばコリメータである。
【００２０】
マルチコア光ファイバ１０の各コア領域１１を出射した光波はビームスプリッタ２０により、集光部３０の中心位置に入射する。ここで、集光部３０へ入射する光波は、光波の入射角θが集光部３０におけるＮＡ以下である場合に集光部３０に入射でき、ＮＡを超えて入射する光波は漏えいする。
【００２１】
したがって、マルチコア光ファイバ１０のファイバ中心とそれぞれのコア領域１１の中心との間隔Λのうち最も大きいものΛｍａｘ、ビームスプリッタ２０と集光部３０との距離Ｌとが、及び集光部３０のＮＡが、
【数１】
0006348861.tif 000003
であること好ましい。数１の関係を満たすとき、マルチコア光ファイバ１０のコア領域１１からの出射光を全て集光部３０へ入射できる。
【００２２】
図１５及び図１６は、レーザ１からマルチコア光ファイバ１０の各コア領域１１へ光を結合する構造を説明する図である。図１５の構造では、レーザ１が出力した光はビームスプリッタ２でマルチコア光ファイバ１０のコア数分に分岐され、各コア領域１１に結合される。図１６の構造では、コア数と同数のレーザ１およびファンインデバイス３を用い、個々のレーザ出力がファンインデバイス３を経て、１心のマルチコア光ファイバ１０の各コア１１へ入射される。
【００２３】
図２は、集光部３０が、当該波長で単一の伝搬モードのみを伝搬可能な単一コア光ファイバ４０の入射端に前記出射光を結合する場合の光伝送装置を説明する図である。コリメータのような集光部３０を単一コア光ファイバ４０の前段に配置することで集光効率を高めることができる。さらに、単一コア光ファイバ４０は単一のモードのみを伝搬するため、前記出射光は単一コア光ファイバ４０の出射端において１つのモードフィールドとして出射される。
【００２４】
つまり、本光伝送装置は、伝送する光をマルチコア光ファイバ１０の複数のコア領域１１に分割し、各コアでの光パワーを低減することで、１０ｋＷ等のハイパワーな光伝送を可能としている。さらに、本光伝送装置は、集光部３０でマルチコア光ファイバ１０の全コアからの光を集約し、単一コア光ファイバ４０から単一のモードフィールドの光を出射できるため、ビーム品質の高い光を出射することができる。
【００２５】
図３は、集光部３０の構成として単一コア光ファイバ３０ａを用いる場合の光伝送装置を説明する図である。つまり、図３の光伝送装置は、ビームスプリッタ２０からの光を直接単一コア光ファイバ３０ａに入射するタイプである。この場合、前記単一コア光ファイバ３０ａは数ｍｍ〜数ｃｍ以上の長さがあれば十分であり、使用波長帯で単一モード伝搬を保証するものとする。単一コア光ファイバを集光部３０として用いる場合、光波の入射角の微小な軸ずれ等があっても単一のモードのみに結合し品質を劣化する成分が生じないため、高品質な出射光が得られ好ましい。
【００２６】
ここでビームスプリッタ２０の形状はマルチコア光ファイバ１０のコア領域１１の配置によって変化し、コアが多層化するほどビームスプリッタ２０の形状が複雑となり製造の難易度が高くなる。そのためコアはマルチコア光ファイバ１０の中心に対して同心円状に配置すると、ビームスプリッタ２０は多角錐状と単純な構造とすることができ、好ましい。このとき、マルチコア光ファイバ１０の中心部分にコアがあってもよい。
【００２７】
図４は、図３の光伝送装置ついて、マルチコア光ファイバ１０のコア間距離Λに対して必要となるビームスプリッタ２０と集光部３０との間の距離の最小値Ｌｍｉｎを示す。横軸は単一コア光ファイバ３０ａにおけるコア／クラッドの比屈折率差である。距離Λが大きく、また単一コア光ファイバ３０ａの比屈折率差が小さくなるほどＬｍｉｎが大きくなることがわかる。なお、マルチコア光ファイバ１０のいずれのコア間距離も同じとすれば、ビームスプリッタ２０を簡易な構造とすることができ、ビームスプリッタ加工の観点から好ましい。
【００２８】
一方、単一コア光ファイバ３０ａは、マルチコア光ファイバ１０と効率よく接続を行うため、比較的大きな実効断面積が必要である。実効断面積拡大には比屈折率差低減が必須であり、例えば、比屈折率差０．１％以下のような非常にＮＡが小さいものが必要となる（ＮＡと比屈折率差とは比例する。）。
【００２９】
図５は、マルチコア光ファイバ１０の断面図であり、図６は、テープ型多芯ファイバの断面図である。テープ型多芯ファイバは、各ファイバのクラッドの外周に被覆領域があり、ファイバ間距離（コア間距離）は被覆を含めた外径となる。従来の単一コア光ファイバの被覆外径は少なくとも２５０μｍ、ハイパワー光を導波するものでは５００〜１０００μｍに及ぶ。そのため、テープ型多芯ファイバのコア間距離Λは２５０μｍ以上となる。光伝送としてテープ型多芯ファイバを用いた場合、集光部３０の単一コア光ファイバ３０ａの比屈折率差が０．０１％の場合、図４から１ｃｍ前後のＬｍｉｎが必要となる（Λ＝２５０μｍの曲線より。）。
【００３０】
光ファイバの出射光を空間系で集光する場合、焦点距離が数ｍｍ程度である。例えば非特許文献４に示すように出射端から集光部までの距離が数ｍｍ以上と長くなると結合損失が増加することになる。さらに振動等の外乱による損失増加も生じやすくなる。このため、図６のようなテープ型多芯ファイバで光を分散して伝送した場合、Ｌｍｉｎ＝１ｃｍなので、大きな結合損失が発生することになる。
【００３１】
一方マルチコア光ファイバ１０は、各コアが単一のクラッドを共有することから効率よく複数のコアを収容でき、コア間距離を数十μｍ程度で配置することができる。例えばコア間距離が５０μｍであれば、Ｌｍｉｎを１．６ｍｍ以下と非常に短い領域で設計することができる。従って、上述した結合損失を低減できる。結合損失が低減するため、光パワーの低減を行うことができ、水冷等によるファイバ端面の焼損対策も軽減することができる。
【００３２】
図７は、１コアあたりで伝搬可能な光パワーの上限値を示した図である。ハイパワー光伝送ではファイバ中で生じる誘導ラマン散乱（ＳＲＳ）光が制限要因となり、ＳＲＳ発生閾値以上の光パワーは伝搬することができない。図に示すように、より高い光パワーを伝搬するには実効断面積を拡大する、もしくはファイバ長を制限する必要がある。
【００３３】
図８は、波長１０６０ｎｍにおいて単一モード伝送を可能とする光ファイバのコア構造の条件を示す。横軸はコア直径であり、縦軸はコアとクラッドの比屈折率差である。実線は遮断波長に対する条件であり、実線以下の領域で、当該光ファイバが単一モードあるいは基本モードＬＰ０１と第一高次モードＬＰ１１で動作することを意味する。破線は曲げ損失に対する条件であり、所定の曲げ半径（Ｒ＝１４０ｍｍ、Ｒ＝５００ｍｍ）の場合、破線以上の領域でファイバ長１００ｍあたり０．０１ｄＢ以下の損失に抑えることができることを意味する。
【００３４】
例えば、光ファイバを波長１０６０ｎｍにおいて単一モード動作とし、かつ曲げ損失を曲げ半径Ｒ＝１４０ｍｍにおいてファイバ長１００ｍあたり０．０１ｄＢ以下とする場合、コア直径で１９μｍ以下とする必要がある（領域Ｄ参照）。またＬＰ０１モードとＬＰ１１モードはモード間結合が生じにくいことを利用し、両者が伝搬可能な領域においてＬＰ０１モードのみを励振し実効的な単一モード伝送を行うことで、コア構造に対する条件を緩和することができる。例えば前記の曲げ損失の条件に対して、コア直径を３３μｍまで拡大することができる（領域Ｄ’参照）。
【００３５】
単一コア光ファイバ３０ａの入射端の軸ずれやモードフィールド不一致によりＬＰ１１モードがわずかに励振されても、当該入射端で生じたＬＰ１１モードは単一コア光ファイバ３０ａで漏えいするため、単一コア光ファイバ３０ａから出射するビーム品質を劣化することはない。
【００３６】
図９は、コア直径と実効断面積の関係を説明する図である。横軸はコア直径であり、縦軸は実効断面積である。実線は光ファイバが単一モード動作を保証する場合、破線は光ファイバが２モード伝搬可能であり実効的な単一モード伝送を行う場合を表す。単一モード動作の場合コア直径は１８μｍ以下である必要があるため、実効断面積は約３００μｍ２以下となる。
【００３７】
これを図７に適用すればファイバ長１００ｍで１コアあたり０．５ｋＷの伝送が可能となる。実効的な単一モード伝送を行う場合、コア直径は３３μｍまで拡大できるため実効断面積は約６００μｍ２まで拡大でき、１００ｍで１コアあたり１ｋＷの伝送が可能となる。これらのコア構造を用いたマルチコア光ファイバ１０を使用することで、コア数分だけ伝送可能なパワーを増大させることが可能となる。
【００３８】
図１０は、マルチコア光ファイバ１０が伝送可能な光パワーとクラッド径との関係の一例を説明する図である。本例では波長を１０６０ｎｍとし、マルチコア光ファイバ１０の長さを１００ｍ、コア直径および比屈折率差をそれぞれ３０μｍおよび０．０６％とし、コア間隔を５０μｍとした。このコア構造は図８より２モードが伝送可能な領域であり、実効的な単一モード伝送を想定している。
【００３９】
またマルチコア光ファイバ１０の必要なクラッド径は、中心以外のコアにおける伝送損失増加を抑圧する観点から、クラッド外径は最も外側となるコア領域の中心からモードフィールド径の２．５倍以上とした。図中の実線及び破線はそれぞれ、同心円状のみにコアを配置した場合と、中心ならびに同心円状にコアを配置した場合を表す。
【００４０】
図１０より次のことがわかる。本コア構造を同心円状のみに配置した場合、クラッド径１１０μｍ以上で複数のコアを配置することが可能となり、さらにクラッド径を２７０μｍ以上とした場合には１３個のコアが配置でき１０ｋＷのハイパワー光を１００ｍ伝送可能となる。また当該コア構造を中心及び同心円状に配置した場合、１６０μｍ以上のクラッド径で７個以上のコアを配置でき、５ｋＷ以上のハイパワー光を伝送可能となる。
【００４１】
なお図１０に示したコア構造、コア間ピッチおよびファイバ長は一例である。他のコア構造、コア間ピッチおよびファイバ長のマルチコア光ファイバ１０を用いることで単一コア光ファイバよりも飛躍的に高い光パワーを、長距離伝送することが可能となる。
【００４２】
図１１及び図１２は、マルチコア光ファイバ１０のコアの屈折率分布の構造例を説明する図である。図４から図１０では単純なステップ型屈折率分布のコアを持つマルチコア光ファイバで説明したが、図１１に示すようなＷ型、もしくは図１２に示すようなトレンチ型屈折率分布のコアを持つマルチコア光ファイバも採用することができる。これらの屈折率分布のコアを持つマルチコア光ファイバを用いることにより、光伝送装置は、単一モード伝送としながら実効断面積を拡大でき、さらにハイパワーでビーム品質のよい光を伝送することができる。
【００４３】
図１３及び図１４は、マルチコア光ファイバ１０の構造例を説明する図である。図１３は屈折率差と空孔を併用した空孔アシスト構造を説明する。図１４は単一材料に多数の空孔を設けたフォトニック結晶ファイバ構造を説明する。マルチコア光ファイバとして空孔アシスト構造やフォトニック結晶ファイバ構造を採用することによっても、光伝送装置は、単一モード伝送としながら実効断面積を拡大でき、さらにハイパワーでビーム品質のよい光を伝送することができる。
【００４４】
図１７は、本実施形態の光伝送装置の構造を説明する図である。本光伝送装置は、
マルチコア光ファイバ１０の各コア領域１１に異なる波長の光波を伝送しており、
マルチコア光ファイバ１０から出射されビームスプリッタ２０で集光した光波を合波する波長合波器５０を具備し、合波した光を所定の位置に集光し、１つのモードフィールドの光として出力する集光部３０を備える。
【００４５】
本構成では、互いに波長が異なる光波（λ１、λ２）をマルチコア光ファイバ１０の各コア１１に入射する。各コア１１から出射した光はビームスプリッタ２０を介して波長合波器５０に集光し、１つの光波に合波される。波長合波器５０で合波された合波光は集光部３０へ結合される。集光部３０は、前記合波光を集光し、１つのモードフィールドとして単一コア光ファイバ４０へ結合する。なお、構成によっては集光部３０が不要な場合もあるが、集光部３０を配置することで各光波の単一コア光ファイバ４０への結合効率が向上する。図１７の光伝送装置は、マルチコア光ファイバ１０のコア毎に波長が異なるので、マルチコア光ファイバ伝送中におけるコア間の干渉が極めて小さく、安定した光出力が得られ好ましい。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明は、ハイパワー光を用いた工業加工に用いることができる。
【符号の説明】
【００４７】
１：レーザ
２：ビームスプリッタ
３：ファンインデバイス
１０：マルチコア光ファイバ
１１：コア領域
２０：ビームスプリッタ
３０：集光部
３０ａ：単一コア光ファイバ
４０：単一コア光ファイバ
４１：コア領域
５０：波長合波器
【図１】
0006348861.tif 000005
【図２】
0006348861.tif 000006
【図３】
0006348861.tif 000007
【図４】
0006348861.tif 000008
【図５】
0006348861.tif 000009
【図６】
0006348861.tif 000010
【図７】
0006348861.tif 000011
【図８】
0006348861.tif 000012
【図９】
0006348861.tif 000013
【図１０】
0006348861.tif 000014
【図１１】
0006348861.tif 000015
【図１２】
0006348861.tif 000016
【図１３】
0006348861.tif 000017
【図１４】
0006348861.tif 000018
【図１５】
0006348861.tif 000019
【図１６】
0006348861.tif 000020
【図１７】
0006348861.tif 000021