(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料検査システムであって、
試料を保持するように構成されたステージと、
照射光路に沿って照射光を放射するように構成された少なくとも１つの光源と、
複数の瞳開口であって、各々が前記照射光路の第１の部分に沿って導かれた照射光を受光するように構成され、更に前記照射光路の第２の部分に沿って前記照射光の一部を導くように構成された瞳開口と、
前記瞳開口によって前記照射光路の前記第２の部分に沿って導かれた照射光の一部を受光するように構成された視野開口であって、照射光の前記一部を前記照射光路の第３の部分に沿って前記試料の表面へ少なくとも２つの異なった照射角度から導くように構成された１つ以上の視野開口と、
前記試料の前記表面から反射、散乱、又は放射された照射光の一部を受光するように構成された１つ以上の検出器であって、照射光の各部分はそれぞれの瞳開口に関連付けられた検出器と、
前記１つ以上の検出器と通信する少なくとも１つのコンピューティングシステムであって、前記試料の前記表面から反射、散乱、又は放射された照射光の各部分を独立して処理して、少なくとも２つの異なった照射角度について欠陥検出を独立して行うように構成されるとともに、独立して処理された照射光の一部に関連付けられた情報を利用して、前記試料の少なくとも１つの欠陥の位置を決定するように更に構成されている少なくとも１つのコンピューティングシステムと、
を含む、
試料検査システム。
【請求項２】
前記複数の瞳開口は照射光を順次受光するように構成されている、請求項１記載のシステム。
【請求項３】
前記複数の瞳開口は実質的に同時に照射光を受光するように構成されている、請求項１記載のシステム。
【請求項４】
前記複数の瞳開口に隣接して設けられた複数のプリズムを更に備え、各プリズムは照射光の一部をそれぞれの瞳開口から前記照射光路の前記第２の部分に沿って各視野開口に導くように構成されている、請求項３記載のシステム。
【請求項５】
前記複数の瞳開口は少なくとも４つの瞳開口を含み、前記複数の視野開口は少なくとも４つの視野開口を含む、請求項１記載のシステム。
【請求項６】
前記１つ以上の検出器は１つ以上の時間遅延積分カメラを備える、請求項１記載のシステム。
【請求項７】
前記１つ以上の検出器は、前記試料の前記表面からの反射、散乱、又は放射された照射光の一部を順次受光するように構成された１つの検出器を備える、請求項１記載のシステム。
【請求項８】
前記１つ以上の検出器は、前記試料の前記表面からの反射、散乱、又は放射された照射光の一部を実質的に同時に受光するように構成された複数の検出器を備える、請求項１記載のシステム。
【請求項９】
前記複数の検出器は少なくとも４つの検出器を含む、請求項８記載のシステム。
【請求項１０】
前記試料の前記表面から反射、散乱、又は放射された照射光の一部を前記複数の検出器に導くように構成された複数のプリズムを更に備える、請求項８記載のシステム。
【請求項１１】
試料検査システムであって、
試料を保持するように構成されたステージと、
照射光路に沿って照射光を放射するように構成された少なくとも１つの光源と、
前記照射光路の第１の部分に沿って導かれた照射光を実質的に同時に受光するように構成された複数の瞳開口と、
前記複数の瞳開口に隣接して設けられた複数のプリズムであって、各プリズムは照射光の一部をそれぞれの瞳開口から第２の部分に沿って導くように構成された複数のプリズムと、
前記複数のプリズムによって前記照射光路の前記第２の部分に沿って導かれた照射光の一部を実質的に同時に受光するように構成された複数の視野開口であって、各視野開口は照射光の一部をそれぞれの瞳開口から受光するように構成され、更に照射光の前記一部を前記照射光路の第３の部分に沿って前記試料の表面に少なくとも２つの異なった照射角度から導くように構成された複数の視野開口と、
前記試料の前記表面からの反射、散乱、又は放射された照射光の一部を実質的に同時に受光するように構成された複数の検出器であって、各検出器はそれぞれの瞳開口に関連付けられた照射光の一部を受光するように構成された複数の検出器と、
前記複数の検出器と通信する少なくとも１つのコンピューティングシステムであって、前記コンピューティングシステムは、各々の検出器によって受光した照射光の前記一部を独立して処理して、少なくとも２つの異なった照射角度について欠陥検出を独立して行うように構成されるとともに、更に前記独立して処理された照射光の一部に関連付けられた情報を利用して前記試料の少なくとも１つの欠陥の場所を決定するように構成されているコンピューティングシステムと、
を含む、
試料検査システム。
【請求項１２】
前記複数の瞳開口は少なくとも４つの瞳開口を含み、前記複数の視野開口は少なくとも４つの視野開口を含み、及び前記複数の検出器は少なくとも４つの検出器を含む、請求項１１記載のシステム。
【請求項１３】
前記複数の検出器は複数の時間遅延積分カメラを備える、請求項１１記載のシステム。
【請求項１４】
前記試料の前記表面から反射、散乱、又は放射された照射光の一部を前記複数の検出器に導くように構成された複数のプリズムを更に備える、請求項１１記載のシステム。
【請求項１５】
試料検査方法であって、
照射光路に沿って照射する工程と、
複数の瞳開口を利用して前記照射光路の第１の部分に沿って導かれた照射光を受光する工程と、
前記照射光の一部を前記複数の瞳開口から前記照射光路の第２の部分に沿って１つ以上の視野開口へ導く工程と、
照射光の一部を前記１つ以上の視野開口から前記照射光路の第３の部分に沿って試料の表面へ少なくとも２つの異なった照射角度から導く工程と、
１つ以上の検出器を利用して、前記試料の前記表面からの反射、散乱、又は放射された照射光の一部を受光する工程であって、照射光の各部分はそれぞれの瞳開口に関連付けられた工程と、
前記試料検査方法は更に、前記１つ以上の検出器によって受光した照射光の各部分を独立して処理して、少なくとも２つの異なった照射角度について欠陥検出を独立して行う工程と、
前記独立して処理された照射光の一部に関連付けられた情報を利用して、前記試料の少なくとも１つの欠陥の位置を決定する工程と、
を備える、
試料検査方法。
【請求項１６】
照射光が前記複数の瞳開口によって順次受光される、請求項１５記載の方法。
【請求項１７】
照射光が前記複数の瞳開口により実質的に同時に受光される、請求項１５記載の方法。
【請求項１８】
前記複数の瞳開口に隣接して設けられた複数のプリズムを利用して、照射光の一部を各々の瞳開口から前記照射光路の前記第２の部分に沿ってそれぞれの視野開口へ導く工程を更に備える、請求項１７記載の方法。
【請求項１９】
実質的に同時に複数の検出器を利用して、前記試料の前記表面からの反射、散乱、又は放射された照射光の一部を受光する工程を更に備え、照射光の各部分はそれぞれの瞳開口に関連付けられている、請求項１８記載の方法。
【請求項２０】
複数のプリズムを利用して前記試料の前記表面からの反射、散乱、又は放射された照射光の一部を前記複数の検出器に向かわせる工程を更に備える、請求項１９記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
優先権
本出願は以下の米国仮出願の優先権を主張する：
第６１／６５２，７６４号、発明の名称  高速超解像のＴＤＩ検査システム、ダン・キャバンら、２０１２年５月２９日出願、及び、
第６１／７８７，９３１号、発明の名称  多角度検査システム、ダニエル・Ｌ・キャバンら、２０１３年３月１５日出願。
【０００２】
本開示は一般に試料検査の分野に関し、特に複数の異なる角度で試料を独立して撮像することにより検査解像度を改善することに関する。
【背景技術】
【０００３】
半導体デバイスの近代的な製造およびテストに於いて、検査システムは、限定されないがシリコンウェハー又はマスクのような試料の欠陥を検出し、評価するために様々な段階で使用されている。当該分野で公知の様々なシステム及び方法に従うと、試料から反射、散乱、又は放射された照射光に関連付けられた欠陥情報が全ての散乱角度からの平均化された内容を含むように、試料は大きな瞳開口を利用して照射される。試料の欠陥が照射を強く散乱させる角度からの情報内容は、平均化の結果実質的に減衰され、検査解像度の損失につながる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】米国特許出願公開第２００７／００５２９５３号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述の制限なく試料を検査するシステム及び方法が、当該分野において必要とされている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
試料の欠陥は、一般的に光学検査システムの検出能力を超えた光を放射する。しかし、システムの有効な光学解像度を向上させるために、異なる斜方照射角度で得られたデータを組み合わせることができる。一態様において、本開示は、異なる複数の角度で狭帯域又は広帯域の照射光で試料を照射して得られた画像ストリームを独立して処理することにより試料を検査するためのシステムに関する。
【０００７】
様々な実施形態によれば、システムは、試料を支持するように構成されたステージ及び照射光路に沿って光を試料に照射するように構成された少なくとも１つの照射光源を含む。複数の瞳開口は、実質的に同時に又は連続的に照射光路の第１の部分に沿って導かれた照射光を受光するように構成されている。照射光は、各瞳開口を通り照射光路の第２の部分に沿ってそれぞれの視野開口に導かれる。いくつかの実施形態では、複数の重ねられたプリズム又は光を曲げる光学素子と機能的に同等な組み合わせを利用することにより照射光の一部は各瞳開口からパラレルイメージング用の複数の視野開口のそれぞれの視野開口へ平行に導かれる。他の実施形態では、照射光は、各瞳開口を通り独立して光路に沿って連続イメージング用の視野開口へ導かれる。１つ以上の視野開口は、瞳開口から受光した照射光を照射光路の第３の部分に沿って試料の表面に導くように構成されている。
【０００８】
システムは、照射光の各部がそれぞれの瞳開口に関連付けられた試料の表面から反射、散乱、又は放射された光の一部を受光するように構成された１つ以上の検出器を更に含む。１つ以上の検出器と通信する少なくとも１つのコンピューティングシステムは、１つ以上の検出器が受光した光の各部分を独立して処理するように構成されている。コンピューティングシステムは、更に、各検出器に到達する独立して処理された画像に関連付けられた情報を利用して試料の少なくとも１つの欠陥の位置を決定するように構成されている。この構成により、そうしなければ検出器の出力が平均化される場合に失われるであろう周波数内容（即ち、より高い解像度）の保持が可能になる。
【０００９】
いくつかの実施形態では、（並列動作の）複数の検出器は、実質的に同時に、試料の表面から反射、散乱、又は放射された光の一部を受信するように構成される。例えば、複数のプリズムは、試料表面から収集された光の一部を各検出器へ導くように構成される。各検出器は更に、異なる照射角度で試料のパラレルイメージングを可能にするように、それぞれの瞳開口に関連付けられた光の一部を受光するように構成されている。コンピューティングシステムは更に、高速度で高解像度検査のために独立して画像ストリームを並列処理するように構成されている。
【００１０】
別の態様において、本開示は本明細書に記載のシステムの実施形態に従って試料を検査する方法に関する。しかし、この方法の一つ以上の工程は、システムの実施形態に関して説明したもの以外の追加又は代替となる構成によって実行することができることに留意すべきである。この方法は、以下に更に詳細に説明された工程及び／又は機能を実行するように構成された任意の部品の配列を含むと理解されるべきである。
【００１１】
様々な実施形態によれば、方法は、少なくとも以下の工程を含む。照射光路に沿って照射する工程と、複数の瞳開口を利用して、照射光路の第１の部分に沿って導かれた照射光を受光する工程と、複数の瞳開口から照射光路の第２の部分に沿って１つ以上の視野開口へ照射光の一部を導く工程と、１つ以上の視野開口から照射光路の第３の部分に沿って試料の表面へ照射光の一部を導く工程と、１つ以上の検出器を利用して試料の表面からの反射、散乱、又は放射された照射光の一部を受光する工程とを含み、照射光の各部分はそれぞれの瞳開口に関連付けられている。方法は更に、１つ以上の検出器によって受光された照射光の各部分を独立して処理する工程と、独立して処理された照射光の一部に関連付けられた情報を利用することにより試料の少なくとも１つ以上の欠陥の位置を決定する工程とを含む。
【００１２】
前述の概要及び以下の詳細な説明は、例示及び説明のみであり、必ずしも本開示を限定するものではないことを理解すべきである。本明細書に組み込まれ、明細書の一部を構成する添付の図面は、開示の主題を説明する。同時に、説明及び図面は本開示の原理を説明するのに役立つ。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
本開示の多くの利点は、添付の図面を参照することによって当業者によって理解される。
【図１Ａ】空間周波数領域において示された照射されたウェハーの欠陥散乱情報の一例を示す図である。
【図１Ｂ】空間周波数領域において示された代表的な欠陥検査システムの検出範囲を示す図である。
【図１Ｃ】空間周波数領域において示された欠陥散乱情報の検出可能範囲を示す図である。
【図２Ａ】本開示の一実施形態に係わる第１の斜角で照射されるウェハーを示す。
【図２Ｂ】本開示の一実施形態に係わる第２の斜角で照射されるウェハーを示す。
【図３】本開示の１実施形態に係わる第２の斜角でウェハーを照射することによって得られた情報と組み合わせて第１の斜角でウェハーを照射することによって得られた散乱情報を含むウェハーの空間周波数領域において示された欠陥散乱情報の検出可能範囲を示している。
【図４】本開示の一実施形態に係わる検査システムを示すブロック図である。
【図５Ａ】本開示の一実施形態に係わる検査システムの一部を示すブロック図であり、照射光の一部は複数の瞳開口から複数の各視野開口へ導かれる。
【図５Ｂ】本開示の一実施形態に係わる前記検査システムの一部を示す斜視図であり、照射光の一部は複数の瞳開口から複数の各視野開口へ導かれる。
【図６Ａ】本開示の一実施形態に係わる照射光の一部を複数の瞳開口から複数のそれぞれの視野開口へ導くための瞳、視野、及びプリズムの配列を示す。
【図６Ｂ】本開示の一実施形態に係わる照射光の一部を複数の瞳開口から複数のそれぞれの視野開口へ導くための瞳、視野、及びプリズムの配列を示す。
【図６Ｃ】本開示の一実施形態に係わる複数の瞳開口と複数の視野開口との間の照射光マッピングを示す。
【図７】本開示の一実施形態に係わる試料を検査する方法を示すフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
参照することにより、添付の図面に図示されて開示される主題を詳細に説明する。
【００１５】
λは照射光の波長であり及びＮＡは光学システムの開口数であり、光学システムの解像度はλ／ＮＡに比例する。解像度を改善する１つの方法は、λを減少させる及び／又はＮＡを増加させることである。しかし、現在の技術水準では、光源と光学設計の開発は、システムのλを低減すること又はシステムのＮＡを大きくすることがますます困難であるという限界にきている。本開示は、λ及び／又はＮＡの操作を必要とせずに光学システムの解像度の向上を可能にするシステム及び方法に関する。
【００１６】
試料の欠陥は、一般的に光学検査システムによって集光できる範囲を超えた光を発光する。図１Ａは空間周波数領域で表現される欠陥散乱信号の一例を示す。この例では、欠陥のばらつきは±２ＮＡにまで拡張される。典型的な高精度な光学システムは、一般的に±０．９ＮＡまで（図１Ｂに例示されるように）検出できるが、±０．９ＮＡを超えた欠陥散乱情報は検出が可能ではない。図１Ｃはこのようなシステムの達成可能な欠陥散乱情報の例を示している。
【００１７】
しかし、試料が斜角で照射される場合、欠陥散乱分布はシフトする。その結果、システムは、より高いＮＡで欠陥散乱情報を検出することができる。図２Ａ及び図２Ｂはそれぞれ、第１の斜角及び第２の斜角で照射されるウェハーを示す。図２Ａでは、照射光はビームが−０．６ＮＡから照射されるようにシフトされる。そうすることにより、鏡面反射光が＋０．６ＮＡへシフトされて、光学レンズの鏡面反射点から端部までの最大ＮＡは今度は、０．９ＮＡから１．５ＮＡに拡張される。右手側は、それに応じて欠陥散乱分布がどのようにシフトされるかを示している。スペクトルシフトのため、左からのより高いＮＡ欠陥情報は、この光学システムでは妥当である。図２Ｂは、図２Ａに示される方向とは反対の方向から斜めに欠陥を照射する効果を示す。
【００１８】
解像度は、複数の異なる斜方照射角度で得られたデータを組み合わせることによって向上する。図３は、システムによって検出された情報の範囲が±０．９ＮＡより効果的に大きくなるように、２つの異なる斜角からの結果がどのように組み合わされるかを示している。その結果、システムの効果的な光学解像度が向上する。前述の代表的な値及び範囲は、例示的目的のためにのみ提供され、決して本開示を限定するものではないことが本明細書に記載されている。
【００１９】
図４〜図７は、異なる照射角度で収集された複数の画像ストリームを処理することにより試料を検査するシステム及び方法を一般的に説明する。高角度で試料を照射し、試料の各高角度画像を独立して処理することにより、欠陥情報はより高い信号対雑音比（ＳＮＲ）で収集される。いくつかの用途では、この高角度照射によって感度が改善する結果、当該分野の他のシステムで検出される欠陥の約半分のサイズの欠陥の検出が可能になる。検査システムの解像度は、試料の複数の画像を独立して検査することによって向上される。ここで、それぞれの画像は異なる高角度照射光で撮影されている。従って、本システムは、「超解像」検査システムと呼ぶことができる。本明細書で説明されるシステム及び方法は、小さなピクセル用又は上手にサンプリングされた明視野用途用に構成されることができる。しかし、本明細書に記載された様々な構成又は技術は同様にさらなる応用にも拡張できることが考えられる。
【００２０】
本開示を通して使用される用語「試料」は、一般に基板上に形成された１つ以上の「層」又は「フィルム」を含む半導体又は非半導体材料で形成された基板を指す。例えば、半導体又は非半導体材料としては、単結晶シリコン、ヒ化ガリウム、リン化インジウムを含むが、これらに限定されない。基板上に形成された層は、レジスト、誘電体材料、導電体材料、又は半導電体材料を含んでもよいが、これらに限定されない。多くの異なるタイプの試料層は当技術分野で知られており、本明細書で使用する用語試料は、基板とその上に形成することができるいかなるタイプの層を含むことが意図される。
【００２１】
図４は、本開示の一実施形態に従って、異なる照射角度で収集された画像ストリームを独立して処理することにより試料１０２を検査するためのシステム１００を示す。システム１００は、検査のために試料１０２を支持するように構成されたステージ１０４を含む。いくつかの実施形態において、更にステージ１０４は、試料１０２を選択された位置又は方向に動かすように構成されている。従って、ステージ１０４は、ステージ１０４を移動させる又は回転させるように構成されたモータやサーボのような少なくとも１つのアクチュエータを含む、又は機械的に結合されることができる。
【００２２】
システム１００は、一連の光学素子により定義された照射光路に沿って広帯域又は狭帯域で照射できるように構成された少なくとも１つの照射光源１０６を含む。いくつかの実施形態では、照射光路は、照射光路に沿って実質的に均一な照度を達成するために、照射光の周波数を混ぜるために構成されたホモジナイザー１０８を含むことができる。照射光路は、照射瞳１１２上に照射光の焦点を結ぶように構成された少なくとも第１のレンズ１１０、及び視野開口１１８上に照射光の焦点を結ぶように構成された第２のレンズ１１６を更に含む。システム１００は、視野開口１１８から試料１０２の表面へ照射光を導き、更に試料１０２の表面からの反射、散乱、又は放射された光を集光光路に沿って１つ以上の検出器１２４に導くように構成された対物レンズアセンブリ１２０を更に含むことができる。検出器は例えば、時間遅延積分（ＴＤＩ）カメラ又はセンサアレイであるが、これに限定されない。
【００２３】
実施形態では、瞳開口１１２は、照射光路の第１の部分に沿って導かれた光を実質的に同時に受光するように構成された複数の開口を含む。各瞳開口は更に、それぞれのプリズム１１４又は同様に光を曲げる光学素子を通して光の一部を導くように構成されている。プリズム１１４は、光のそれぞれの一部を複数の瞳開口から照射光路の第２の部分に沿って対応する視野開口へ導くように構成されている。各瞳開口及び視野開口のペアはそれぞれの照射角度に関連付けられている。いくつかの実施形態では、瞳面は瞳開口に隣接して（例えば、上に重ねて）設けられた複数のプリズム１１４を更に含む。各視野開口は、それぞれの瞳開口によって定義された異なった照射角度において、それぞれの瞳開口から受光した照射光の一部を照射光路の第３の部分に沿って試料１０２の表面へ導くように構成されている。
【００２４】
図５Ａ及び図５Ｂは、プリズム１１４が瞳１１２の各開口の上に重ねられ、異なった照射角度で同時に試料１０２を結像するのと並行して、照射光ストリームが瞳開口からそれぞれの視野開口に導かれる実施形態を示している。図６Ａ及び図６Ｂは更に、システム１００の様々な実施形態に従って、瞳１１２、重ねられたプリズム１１４、及びそれぞれの視野１１８を例示する。図６Ｃは更に、瞳開口を通りそれぞれの視野開口へ導かれる照射光の一部と一部との間の代表的なマッピングを示す。システム１００が広帯域照射に依存する場合、特大のホモジナイザー１０８はスペクトルのぼけを調節するために利用することができる。
【００２５】
システム１００は、複数の検出器１２４を更に含み、各検出器はそれぞれの瞳開口及び視野開口に関連付けられた角度で試料１０２からの散乱、反射、又は放射された光を受光するように構成されている。検出器１２４に結合した少なくとも１つのコンピューティングシステムは、各検出器１２４により集光された光（即ち、画像ストリーム）の一部を独立して処理することにより、試料１０２の欠陥の位置を特定するように構成されることができる。例えば、コンピューティングシステムは、欠陥を検出するためにそれぞれの検出器１２４からのそれぞれの画像に関する検査アルゴリズムを独立して実行するように構成することができる。検出器の出力が単一の画像に組み合わされる場合、独立した処理は周波数内容の平均化による解像度の損失を避けることができる。
【００２６】
いくつかの実施形態では、コンピューティングシステムは、１つの欠陥が少なくとも２つの検出器チャネル内に見つけられる場合、欠陥がどこに存在するかの投票アルゴリズムを採用するように構成される。したがって、コンピューティングシステムは検出器の出力を組み合わせることなく、欠陥を検査するように構成されている。検出器の出力は、本開示から逸脱することなく、独立して（又は、少なくとも部分的に独立して）当技術分野で公知の代わりのアルゴリズムに従って処理することができる。上記投票アルゴリズムは例示の目的のために含まれ、決して本開示を限定することを意図していない。
【００２７】
なお、本開示全体にわたって説明される様々な工程及び機能は、単一のコンピューティングシステム又は複数のコンピューティングシステムによって実施できる。１つ又は複数のコンピューティングシステムは、パーソナルコンピューティングシステム、メインフレームコンピューティングシステム、ワークステーション、イメージコンピュータ、並列プロセッサ、又は当技術分野で公知の任意の他の装置を含むが、これらに限定されない。一般に、用語「コンピューティングシステム」は、少なくとも１種の担体媒体からプログラム命令を実行するように構成された少なくとも１つのシングルコア又はマルチコアプロセッサを有する任意のデバイスを含むように広く定義することができる。
【００２８】
いくつかの実施形態において、システム１００は、試料１０２の四重極照明から生じる４つの画像ストリームを生成するように構成された４つの瞳開口、重ねられたプリズム１１４、及び４つの視野開口を含む。システム１００は、並列処理するために画像ストリームを実質的に同時に収集するように構成された４つの検出器１２４を更に含むことができる。それは、４つより多い画像ストリームを更に提供するために有利である。例えば、いくつかの実施形態ではシステム１００は、得られた画像ストリームを収集するように構成された８組の瞳開口と視野開口のペア、並びに８つの検出器１２４を含むことができる。
【００２９】
いくつかの実施形態では、異なる角度における平行照射光は別の構成によって達成することができる。例えば、ビームスプリッタを有する複数の狭帯域照射光源又は単一の照射光源１０６は、選択された角度に従って設けられた開口を有する瞳をそれぞれが含む複数の光路に沿って照射するように構成することができる。
【００３０】
照射と処理を並列して行うことにより試料の迅速な検査が可能になる。しかしながら、いくつかの実施形態では、超解像は異なる角度における画像ストリームを順次収集することにより及び／又は各画像ストリームを順次（しかし独立して）処理することにより達成される。このように、瞳開口は順次照射されることができる。例えば、複数の瞳を、それぞれの瞳が選択された照射角度に従って設けられた開口を含む照射光路を通って順次動かすことができる。別の方法として、１つの開口が試料の各画像に照射されるように、瞳１１２は照射光路を通って１つの開口と同時に回転させることができ、又は部分的に覆うことができる。したがって、複数の瞳開口は、重ねられたプリズム１１４又は機能的に同等の光学素子を必要とせずに視野開口に対して異なる角度で照射光を順次導くことができる。
【００３１】
更に、単一の検出器は得られた画像ストリームの各々を順次収集するように、又は複数の検出器１２４の各々は得られた画像ストリームの各々を順次収集するように構成することができる。前述の実施例によって例示されるように、システム１００は、本開示の範囲から逸脱することなく上述の実施形態のいくつかのバリエーションに従って実行される。
【００３２】
図７は上述のシステム１００に従って、試料を検査する方法２００を示す流れ図である。しかし、方法２００の１つ以上の工程は、システム１００の実施形態に関して記載されたものと異なる光学的構成によって実行することができる。方法２００は、以下の工程を実行するための当該分野で現在又は将来において公知の任意のシステム又は構成を含むことを意図している。更に方法２００は、以下に明白には記載されていないシステム１００に関して説明した任意の機能を実行するための工程を含む。
【００３３】
工程２０２において、照射光路に沿って複数の瞳開口に連続して又は実質的に同時に照射できる。いくつかの実施形態では、照射光の一部は各瞳開口及び重ねられたプリズム１１４を通り照射光路の第２の部分に沿って、各瞳開口及び視野開口のペアが選択された照射角度に関連付けられている各視野開口へ平行に導かれる。各瞳開口及び視野開口のペアから得られる照射光の一部は、更に照射光路の第３の部分に沿って試料１０２の表面へ導かれる。工程２０４で、試料１０２（即ち、画像ストリーム）の表面から反射、散乱、又は放射された光の一部は１つ以上の検出器１２４で集光される。各画像ストリームは、それぞれの瞳開口による操作の結果生じる異なる照射角度に関連付けられている。工程２０６で、照射角度の特定の組み合わせに関連付けられた各画像ストリームは独立して処理される。工程２０８で、独立して処理された画像ストリームは、試料１０２の少なくとも１つの欠陥の位置を決定するために利用される。これにより、そうしなければ各画像ストリームに関連付けられた情報が平均化された欠陥信号に組み合わされている場合に失われるであろう保持されている周波数内容によって解像度不良を改善できる。
【００３４】
プロセス及び／又はシステム及び／又は本明細書に記載の他の技術が達成可能なさまざまな手段（例えば、ハードウェア、ソフトウェア、及び／又はファームウェア）があること、そして好ましい目的達成手段は使用されるプロセス及び／又はシステム及び／又は他の技術が展開される状況によって変わることを当業者は認識するであろう。例えば、本明細書に記載されるような方法を実施するプログラム命令は、キャリア媒体を介して送信又は担体媒体上に保存することができる。キャリア媒体は、ワイヤー、ケーブル、又は無線伝送リンクなどの伝送媒体を含むことができる。キャリア媒体はまた、読み出し専用メモリ、ランダムアクセスメモリ、磁気若しくは光ディスク、又は磁気テープなどの記憶媒体を含むことができる。
【００３５】
本明細書に記載される全ての方法は、方法の実施形態の１つ以上の工程の結果を記憶媒体に格納することを含む。結果は、本明細書に記載された結果のいずれかを含んでもよく、当技術分野で公知の任意の方法で格納することができる。記憶媒体は、本明細書に記載の任意の記憶媒体又は当技術分野で公知の任意の他の適切な記憶媒体を含むことができる。結果が格納された後、その結果は記憶媒体にアクセスし、本明細書に記載の実施形態の任意の方法又はシステムで使用され、ユーザに表示するためにフォーマットされ、別のソフトウェアモジュール、方法、又はシステム等によって使用される。更に、結果は「永久に」、「半永久的に」、一時的に、又は若干の期間格納される。例えば、記憶媒体は、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）であってもよく、結果は必ずしも記憶媒体に無期限に存続しなくてもよい。
【００３６】
本発明の特定の実施形態を例示してきたが、本発明の種々の改変及び実施形態が前述の開示の範囲及び精神から逸脱することなく当業者によってなされ得ることは明らかである。従って、本発明の範囲は、添付の特許請求の範囲によってのみ限定されるべきである。
【図１Ａ】
0006305396.tif 000002
【図１Ｂ】
0006305396.tif 000003
【図１Ｃ】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図６Ｃ】
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【図７】
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