(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動体と、
前記可動体を第１の方向に振動させるためのドライブ電圧が与えられるドライブ電極と、
前記可動体を所定の位置で停止させる少なくとも１つのストッパーと、
前記可動体を前記所定の位置にホールドするためのホールド電圧が与えられるホールド電極と、
前記第１の方向に振動している前記可動体に働くコリオリ力に基づく前記可動体の第２の方向の振動の振幅に依存する所定物理量を検出する検出部と、
前記検出部で検出された所定物理量に基づいて前記可動体の角速度を算出する角速度算出部と、
を備えることを特徴とする角速度取得装置。
【請求項２】
前記所定物理量は、前記可動体に含まれる可動電極部と前記可動電極部の近傍に設けられた固定電極部との間のキャパシタンスに基づく物理量である
ことを特徴とする請求項１に記載の角速度取得装置。
【請求項３】
前記可動体が前記所定の位置にホールドされているときに、前記可動体は前記少なくとも１つのストッパーに接触し且つ前記ホールド電極に接触していない
ことを特徴とする請求項１に記載の角速度取得装置。
【請求項４】
前記検出部は、前記可動体に働くコリオリ力に基づく前記第２の方向の振動が非定常状態であるときに前記所定物理量を検出する
ことを特徴とする請求項１に記載の角速度取得装置。
【請求項５】
可動体と、
前記可動体を第１の方向に振動させるためのドライブ電圧が与えられるドライブ電極と、
前記可動体を所定の位置で停止させる少なくとも１つのストッパーと、
前記可動体を前記所定の位置にホールドするためのホールド電圧が与えられるホールド電極と、
を備え、
前記可動体は、前記第１の方向に振動している前記可動体に働くコリオリ力に基づく前記可動体の第２の方向の振動の振幅に依存する所定物理量を検出するために設けられた可動電極部を含む
ことを特徴とする角速度取得用の電子部品。
【請求項６】
前記可動体は複数の突出部を有し、前記ホールド電極は複数の突出部を有し、
前記可動体の突出部と前記ホールド電極の突出部とは交互に配置されている
ことを特徴とする請求項５に記載の電子部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、角速度取得装置及び角速度取得用の電子部品に関する。
【背景技術】
【０００２】
ジャイロセンサを用いた角速度取得装置では、可動体に働くコリオリ力に基づく振動の振幅から角速度が取得される。
【０００３】
しかしながら、ジャイロセンサを用いた従来の角速度取得装置では、消費電力が大きくなるという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】米国特許第６９２８８７２号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
消費電力を低減することが可能な角速度取得装置及び角速度取得用の電子部品を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
実施形態に係る角速度取得装置は、可動体と、前記可動体を第１の方向に振動させるためのドライブ電圧が与えられるドライブ電極と、前記可動体を所定の位置で停止させる少なくとも１つのストッパーと、前記可動体を前記所定の位置にホールドするためのホールド電圧が与えられるホールド電極と、前記第１の方向に振動している前記可動体に働くコリオリ力に基づく前記可動体の第２の方向の振動の振幅に依存する所定物理量を検出する検出部と、前記検出部で検出された所定物理量に基づいて前記可動体の角速度を算出する角速度算出部と、を備える。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】実施形態に係る角速度取得用の電子部品の構成を模式的に示した平面図である。
【図２】実施形態に係る角速度取得用の電子部品を半導体基板上に形成したときの構成を模式的に示した図である。
【図３】実施形態に係る角速度取得装置の全体構成を示したブロック図である。
【図４】実施形態に係る角速度取得装置の動作を説明するためのタイミングチャートである。
【図５】コリオリ力に基づく可動体の振動の一例を示した図である。
【図６】実施形態に係る角速度取得用の電子部品のホールド電極の第１の構成例を模式的に示した平面図である。
【図７】実施形態に係る角速度取得用の電子部品のホールド電極の第２の構成例を模式的に示した平面図である。
【図８】実施形態に係る角速度取得用の電子部品のホールド電極の第３の構成例を模式的に示した平面図である。
【図９】実施形態に係る角速度取得用の電子部品のストッパーの第１の構成例を模式的に示した平面図である。
【図１０】実施形態に係る角速度取得用の電子部品のストッパーの第２の構成例を模式的に示した平面図である。
【図１１】実施形態に係る角速度取得用の電子部品のストッパーの第３の構成例を模式的に示した平面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、図面を参照して実施形態を説明する。
【０００９】
図１は、実施形態に係る角速度取得用の電子部品の構成を模式的に示した平面図である。本実施形態に係る角速度取得用の電子部品は、ＭＥＭＳ（micro electro-mechanical systems）技術を用いて形成されており、ジャイロセンサのセンシング部品として用いられる。
【００１０】
図１に示した角速度取得用の電子部品（ＭＥＭＳ部品）は、可動体１０、ドライブ電極２０、ストッパー３０、ホールド電極４０及び固定電極部５０を備えている。
【００１１】
可動体１０は、主マス（mass）構成部１１、可動電極部１２、電極部１３、ストップ構造構成部１４及び電極部１５を含んでいる。これらの主マス（mass）構成部１１、可動電極部１２、電極部１３、ストップ構造構成部１４及び電極部１５は、一体に構成されており、Ｘ方向及びＹ方向（Ｘ方向に垂直な方向）に可動である。
【００１２】
ドライブ電極２０は、電極部１３の近傍に設けられており、可動体１０をＹ方向（第１の方向）に強制的に振動させるためのドライブ電圧が与えられる。ドライブ電極２０に与えられるドライブ電圧は、ＡＣ電圧である。ドライブ電極２０に与えられるＡＣ電圧に応じて可動体１０をＹ方向に強制的に振動させることができる。
【００１３】
ストッパー３０は、ストップ構造構成部１４の近傍に設けられており、可動体１０を所定の位置で停止させる機能を有している。すなわち、ストッパー３０にストップ構造構成部１４が接触することで、可動体１０を所定の位置で停止させることができる。具体的には、ストッパー３０は凹部を有しており、この凹部に可動体１０のストップ構造構成部１４が接触するように構成されている。ストッパー３０の電位は、可動体１０の電位と同じにするか、或いはフローティングにする。なお、図１に示した例では、２つのストッパー３０を設けているが、少なくとも１つのストッパーが設けられていればよく、ストッパーの数は１つでもよいし３つ以上でもよい。
【００１４】
ホールド電極４０は、電極部１５の近傍に設けられており、可動体１０を上述した所定の位置にホールドするためのホールド電圧が与えられる。ホールド電極４０に与えられるホールド電圧は、ＤＣ電圧である。ホールド電極４０に与えられるＤＣ電圧によってホールド電極４０と電極部１５との間に静電引力が生じ、電極部１５をホールド電極４０に引き寄せることができる。これにより、ストッパー３０にストップ構造構成部１４が接触し、可動体１０が所定の位置で停止する。したがって、可動体１０が所定の位置にホールドされているときには、可動体１０はストッパー３０に接触し且つホールド電極４０に接触していない。
【００１５】
固定電極部５０は、可動電極部１２の近傍に設けられており、固定電極部５０と可動電極部１２とによって可変キャパシタが構成されている。この可変キャパシタのキャパシタンスの変化を検出することで、可動体１０の角速度を検出することができる。以下、説明を加える。
【００１６】
可動体１０がＹ方向（第１の方向）に振動している最中に可動体１０が回転運動をしていると、コリオリ力によって可動体１０がＸ方向（第１の方向に垂直な第２の方向）に振動する。一般に、角速度は、可動体１０に働くコリオリ力に基づく可動体１０のＸ方向の振動の振幅に比例する。したがって、可動体１０のＸ方向の振動の振幅から、可動体１０の回転運動に基づく角速度を算出することが可能である。本実施形態では、コリオリ力によって可動体１０がＸ方向に振動すると、固定電極部５０と可動電極部１２との距離（電極間の間隔）が変化し、可変キャパシタのキャパシタンスが変化する。このキャパシタンスの変化を検出することで、可動体１０のＸ方向の振動の振幅を求めることができ、可動体１０の角速度を算出することができる。
【００１７】
なお、上述した角速度取得用の電子部品（ＭＥＭＳ部品）は、半導体基板上に形成される。具体的には、図２に示すように、半導体基板２００上にトランジスタ及び配線等を含む回路領域３００が形成され、回路領域３００上に上述した電子部品（ＭＥＭＳ部品）を含むＭＥＭＳ領域１００が形成される。
【００１８】
図３は、実施形態に係る角速度取得装置の全体構成を示したブロック図である。
【００１９】
図３に示した角速度取得装置は、図１に示した構成に加えて、ドライブ回路６０、電圧印加回路７０、検出部８０及び角速度算出部９０を備えている。
【００２０】
ドライブ回路６０は、ドライブ電極２０に印加されるドライブ電圧（ＡＣ電圧）を発生する回路である。電圧印加回路７０は、ホールド電極４０に印加されるホールド電圧（ＤＣ電圧）を発生する回路である。
【００２１】
検出部８０では、Ｙ方向（第１の方向）に振動している可動体１０に働くコリオリ力に基づく可動体１０のＸ方向（第２の方向）の振動の振幅に依存する所定物理量を検出する。本実施形態では、所定物理量は、可動体１０に含まれる可動電極部１２と可動電極部１２の近傍に設けられた固定電極部５０との間のキャパシタンスに基づく物理量である。すでに述べたように、コリオリ力によって可動体１０がＸ方向に振動すると、固定電極部５０と可動電極部１２とで構成される可変キャパシタのキャパシタンスが変化する。このキャパシタンスの変化を検出することで、可動体１０のＸ方向の振動の振幅を求めることができる。具体的には、検出部８０では、可変キャパシタのキャパシタンスに基づく固定電極部５０と可動電極部１２との間の電位差を検出している。電位差を検出することで、可動体１０のＸ方向の振動の振幅を実質的に求めることができる。
【００２２】
角速度算出部９０では、検出部８０で検出された所定物理量に基づいて可動体１０の角速度を算出する。すでに述べたように、角速度はコリオリ力に基づく可動体１０のＸ方向の振動の振幅に比例するため、検出部８０での検出結果に基づいて可動体１０の角速度を算出することができる。
【００２３】
次に、図４に示したタイミングチャートを参照して、本実施形態に係る角速度取得装置の動作を説明する。
【００２４】
まず、角速度取得装置を起動すると、可動体１０は初期状態から動作を開始する。初期状態では、可動体１０は、所定の位置（可動体１０のストップ構造構成部１４がストッパー３０に接触している状態の位置）にホールドされておらず、Ｙ方向の自由振動の中心位置に静止している。この初期状態において、ドライブ回路６０からドライブ電極２０にドライブ電圧（ＡＣ電圧）を印加し、可動体１０をＹ方向に強制振動させる。図４では、時刻ｔ０から強制振動が開始される。なお、ドライブ回路６０からドライブ電極２０にドライブ電圧が与えられるのは、通常は上述した角速度取得装置の起動時のみである。
【００２５】
可動体１０のＹ方向の振動の振幅が一定レベルに達した後、時刻ｔ１で強制振動を停止させる。具体的には、可動体１０のＹ方向の振動の振幅がピークに達したときに、ドライブ電極２０へのドライブ電圧の供給を停止するとともに、電圧印加回路７０からホールド電極４０へのホールド電圧（ＤＣ電圧）の印加を開始する。このホールド電圧によってホールド電極４０と電極部１５との間に静電引力が生じ、電極部１５がホールド電極４０に引き寄せられる。その結果、ストッパー３０にストップ構造構成部１４が接触し、可動体１０が所定の位置で停止する。このとき、可動体１０の電極部１５は、ホールド電極４０に接触していない。以後、上述した時刻ｔ０からｔ１までの期間を初期設定期間Ｐ０と呼ぶことにする。
【００２６】
初期設定期間Ｐ０が終了すると、センシング期間が開始される。センシング期間では、可動体１０は、Ｙ方向に間欠的に振動する。図４の例では、時刻ｔ１から時刻ｔ２までの期間Ｐ１及び時刻ｔ３から時刻ｔ４までの期間Ｐ３では、可動体１０はホールド電圧によって上述した所定の位置にホールドされており、可動体１０の振動は停止している。以後、この振動が停止している期間をホールド期間と呼ぶことにする。時刻ｔ２から時刻ｔ３までの期間Ｐ２及び時刻ｔ４から時刻ｔ５までの期間Ｐ４では、可動体１０はＹ方向に振動している。以後、この可動体１０がＹ方向に振動している期間を振動期間と呼ぶことにする。時刻ｔ５以降においても同様に、ホールド期間と振動期間とが一定周期で交互に繰り返される。
【００２７】
ホールド期間から振動期間へ移行させる際には、ホールド電極４０へのホールド電圧の印加を停止させる。その結果、可動体１０は、所定の位置にホールドされた状態から解放された後、Ｙ方向への自由振動を開始する。すなわち、振動期間では、ドライブ回路６０からドライブ電極２０にドライブ電圧は供給されず、可動体１０はＹ方向に自由振動を行う。
【００２８】
可動体１０が自由振動を開始してから所定時間が経過し、可動体１０のＹ方向の振動がピークに達したときに、電圧印加回路７０からホールド電極４０にホールド電圧が印加される。その結果、上述した初期設定期間Ｐ０の終了時点（時刻ｔ１）での動作と同様に、ホールド電極４０に与えられるホールド電圧によってホールド電極４０と電極部１５との間に静電引力が生じ、電極部１５がホールド電極４０に引き寄せられる。これにより、ストッパー３０にストップ構造構成部１４が接触し、可動体１０が所定の位置で停止する。このとき、可動体１０の電極部１５は、ホールド電極４０に接触していない。
【００２９】
可動体１０がＹ方向に自由振動している振動期間において、可動体１０が回転運動をしていると、コリオリ力によって可動体１０がＸ方向に振動する。すでに述べたように、コリオリ力によって可動体１０がＸ方向に振動すると、固定電極部５０と可動電極部１２との距離（電極間の間隔）が変化し、固定電極部５０と可動電極部１２とで構成される可変キャパシタのキャパシタンスが変化する。このキャパシタンスの変化を検出することで、可動体１０のＸ方向の振動の振幅を求めることができ、可動体１０の角速度を算出することができる。
【００３０】
検出部８０では、上述した可変キャパシタのキャパシタンスに基づく所定物理量を検出する。すなわち、検出部８０では、可動体１０がＹ方向に自由振動している振動期間において所定物理量を検出する。具体的には、検出部８０では、可変キャパシタのキャパシタンスに基づく固定電極部５０と可動電極部１２との間の電位差を検出している。電位差を検出することで、可動体１０のＸ方向の振動の振幅を求めることができる。
【００３１】
本実施形態では、検出部８０は、可動体１０に働くコリオリ力に基づくＸ方向の振動が非定常状態であるときに、上述した所定物理量を検出する。以下、この点について説明を加える。
【００３２】
図５は、コリオリ力に基づく可動体１０のＸ方向の振動の一例を示した図である。縦軸は、Ｘ方向の振幅比（定常状態の振幅（Ａｓｔ）に対する振幅比（Ａ／Ａｓｔ））を示している。
【００３３】
図５に示すように、可動体１０のＸ方向の振動は、非定常状態の振動が生じた後に定常状態の振動に移行する。非定常状態では振動の振幅が変化しており、定常状態では振動の振幅が一定になっている。また、本実施形態では、非定常状態においてＸ方向の振動に所望の周期でうなり（beat）が生じるように、可動体１０のＸ方向のマス成分及びＹ方向のマス成分を調整している。そのため、図５に示した例では、非定常状態の振動において、うなりが生じている。
【００３４】
上述したことからわかるように、Ｘ方向の振動が定常状態に達するまでには一定時間が必要である。そのため、振動が定常状態のときに所定物理量を検出する場合には、ある程度の時間が必要である。振動が非定常状態のときに検出動作を行うことで、短時間で所定物理量の検出を行うことができる。
【００３５】
上述したように、本実施形態では、可動体１０に働くコリオリ力に基づくＸ方向の振動が非定常状態であるときに所定物理量を検出する。そのため、本実施形態では、図４に示すように、Ｘ方向の振動が定常状態に達する前に振動期間が終了している。すなわち、Ｘ方向の振動が定常状態に達する前にホールド電極４０にホールド電圧が印加され、可動体１０はＸ方向の振動が定常状態に達する前に所定の位置にホールドされる。
【００３６】
上記のようにして検出部８０で検出された所定物理量は角速度算出部９０に送られ、角速度算出部９０では所定物理量に基づいて可動体１０の角速度を算出する。角速度はコリオリ力に基づく可動体１０のＸ方向の振動の振幅に比例するため、検出部８０での検出結果に基づいて可動体１０の角速度を算出することができる。
【００３７】
以上のように、本実施形態では、ストッパー３０及びホールド電極４０を設けることにより、可動体１０を所定の位置にホールドすることができる。そして、所定の位置にホールドされた状態から可動体１０を解放することで可動体１０に自由振動を生じさせ、可動体１０が自由振動をしている期間内に所定物理量を検出する。上述した可動体１０のホールド動作及び可動体１０の自由振動動作では、電力はほとんど消費されない。したがって、本実施形態では、ジャイロセンサの消費電力を低減することができ、消費電力の少ない角速度取得装置を得ることが可能となる。
【００３８】
なお、上述した実施形態では、コリオリ力に基づくＸ方向の振動が非定常状態であるときに所定物理量を検出するようにしたが、コリオリ力に基づくＸ方向の振動が定常状態であるときに所定物理量を検出するようにしてもよい。
【００３９】
次に、ホールド電極４０の種々の構成例について説明する。
【００４０】
図６は、ホールド電極４０の第１の構成例を模式的に示した平面図である。本構成例では、可動体１０の電極部１５が櫛歯状の複数の突出部１５ａを有し、ホールド電極４０が櫛歯状の複数の突出部４０ａを有し、可動体１０の突出部１５ａとホールド電極４０の突出部４０ａとが交互に配置されている。具体的には、本構成例では、可動体１０の電極部１５の突出部１５ａ及びホールド電極４０の突出部４０ａはいずれも、Ｙ方向（第１の方向）に突出しており、Ｘ方向（第２の方向）に配列されている。このように、可動体１０の電極部１５の突出部１５ａとホールド電極４０の突出部４０ａとを交互に配置することで、電極部１５とホールド電極４０との対向部分の面積を増加させることができ、電極部１５とホールド電極４０との間の静電引力を大きくすることができる。
【００４１】
図７は、ホールド電極４０の第２の構成例を模式的に示した平面図である。本構成例でも、可動体１０の電極部１５が複数の突出部１５ａを有し、ホールド電極４０が複数の突出部４０ａを有し、可動体１０の突出部１５ａとホールド電極４０の突出部４０ａとが交互に配置されている。具体的には、本構成例では、可動体１０の電極部１５の突出部１５ａ及びホールド電極４０の突出部４０ａはいずれも、Ｘ方向（第２の方向）に突出しており、Ｙ方向（第１の方向）に配列されている。本構成例においても、第１の構成例と同様に、電極部１５とホールド電極４０との対向部分の面積を増加させることができ、電極部１５とホールド電極４０との間の静電引力を大きくすることができる。また、本構成例では、ホールド電極４０の突出部４０ａと可動体１０の電極部１５の突出部１５ａとのＹ方向の間隔を小さくすることができるため、電極部１５とホールド電極４０との間の静電引力を大きくすることができる。
【００４２】
図８は、ホールド電極４０の第３の構成例を模式的に示した平面図である。本構成例でも、可動体１０の電極部１５が複数の突出部１５ａを有し、ホールド電極４０が複数の突出部４０ａを有し、可動体１０の突出部１５ａとホールド電極４０の突出部４０ａとが交互に配置されている。具体的には、本構成例では、可動体１０の電極部１５の突出部１５ａ及びホールド電極４０の突出部４０ａはいずれも、Ｙ方向（第１の方向）に対して斜め方向に突出しており、Ｙ方向（第１の方向）に配列されている。本構成例では、突出部１５ａ及び突出部４０ａが斜め方向に突出しているため、電極部１５とホールド電極４０との対向部分の面積を増加させることができ、電極部１５とホールド電極４０との間の静電引力を大きくすることができる。
【００４３】
次に、ストッパー３０の種々の構成例について説明する。
【００４４】
図９は、ストッパー３０の第１の構成例を模式的に示した平面図である。本構成例では、ストッパー３０は、可動体１０のストップ構造構成部１４が接触する一対の傾斜面３０ａを有している。また、可動体１０のストップ構造構成部１４の先端部は一対の傾斜面１４ａを有している。ストッパー３０の傾斜面３０ａとストップ構造構成部１４の傾斜面１４ａとは、互いに接触するように構成されている。また、傾斜面３０ａと傾斜面１４ａとが接触している状態で、ストップ構造構成部１４の最先端部１４ｂはストッパー３０の凹部の底面３０ｂに接触しないように構成されている。本構成例では、ストッパー３０の一対の傾斜面３０ａによって、可動体１０のストップ構造構成部１４を正規の位置で確実にホールドすることができる。また、本構成例では、ストップ構造構成部１４の最先端部１４ｂがストッパー３０の凹部の底面３０ｂに接触しないため、ストップ構造構成部１４の最先端部１４ｂの摩耗を防止することができる。
【００４５】
図１０は、ストッパー３０の第２の構成例を模式的に示した平面図である。図１に示した実施形態では、可動体１０の両側に対応する位置に２つのストッパー３０を設けていたが、本構成例では、可動体１０の中央に対応する位置にもさらにストッパー３０を設けている。このように、中央部にもストッパー３０を設けることで、可動体１０のストップ構造構成部１４がストッパー３０に接触したときに、可動体１０が中央部でたわむことを防止することができ、可動体１０の変形（特に、電極部１５の変形）を抑制することができる。
【００４６】
図１１は、ストッパー３０の第３の構成例を模式的に示した平面図である。図１１（ａ）はホールド電極４０にホールド電圧を印加する前の状態を示しており、図１１（ｂ）はホールド電極４０にホールド電圧を印加しているときの状態を示している。本構成例では、ストッパー３０が、係合部（爪部）３１、電極部３２及びバネ部３３を含んでいる。すでに述べたように、ホールド電極４０にホールド電圧を印加すると、ホールド電極４０と可動体１０の電極部１５との間に静電引力が生じ、電極部１５がホールド電極４０に引き寄せられる。このとき、ホールド電極４０とストッパー３０の電極部３２との間にも静電引力が生じ、電極部３２がホールド電極４０に引き寄せられる。その結果、ストッパー３０の係合部（爪部）３１と可動体１０の係合部（爪部）１６とが係合し、可動体１０を所定の位置で停止させることができる。
【００４７】
以下、上述した実施形態の内容を付記する。
【００４８】
[付記１]
可動体と、
前記可動体を第１の方向に振動させるためのドライブ電圧が与えられるドライブ電極と、
前記可動体を所定の位置で停止させる少なくとも１つのストッパーと、
前記可動体を前記所定の位置にホールドするためのホールド電圧が与えられるホールド電極と、
前記第１の方向に振動している前記可動体に働くコリオリ力に基づく前記可動体の第２の方向の振動の振幅に依存する所定物理量を検出する検出部と、
前記検出部で検出された所定物理量に基づいて前記可動体の角速度を算出する角速度算出部と、
を備えることを特徴とする角速度取得装置。
【００４９】
[付記２]
前記所定物理量は、前記可動体に含まれる可動電極部と前記可動電極部の近傍に設けられた固定電極部との間のキャパシタンスに基づく物理量である
ことを特徴とする付記１に記載の角速度取得装置。
【００５０】
[付記３]
前記可動体が前記所定の位置にホールドされているときに、前記可動体は前記少なくとも１つのストッパーに接触し且つ前記ホールド電極に接触していない
ことを特徴とする付記１に記載の角速度取得装置。
【００５１】
[付記４]
前記可動体は、前記所定の位置にホールドされた状態から解放された後に前記第１の方向に自由振動を開始する
ことを特徴とする付記１に記載の角速度取得装置。
【００５２】
[付記５]
前記検出部は、前記可動体が前記第１の方向に自由振動しているときに前記所定物理量を検出する
ことを特徴とする付記１に記載の角速度取得装置。
【００５３】
[付記６]
前記検出部は、前記可動体に働くコリオリ力に基づく前記第２の方向の振動が非定常状態であるときに前記所定物理量を検出する
ことを特徴とする付記１に記載の角速度取得装置。
【００５４】
[付記７]
前記可動体は、前記可動体に働くコリオリ力に基づく前記第２の方向の振動が定常状態に達する前に前記所定の位置にホールドされる
ことを特徴とする付記１に記載の角速度取得装置。
【００５５】
[付記８]
前記可動体は、前記第１の方向に間欠的に振動する
ことを特徴とする付記１に記載の角速度取得装置。
【００５６】
[付記９]
前記ホールド電圧は、前記可動体の前記第１の方向の振動がピークに達したときに前記ホールド電極に与えられる
ことを特徴とする付記１に記載の角速度取得装置。
【００５７】
[付記１０]
前記可動体は複数の突出部を有し、前記ホールド電極は複数の突出部を有し、
前記可動体の突出部と前記ホールド電極の突出部とは交互に配置されている
ことを特徴とする付記１に記載の角速度取得装置。
【００５８】
[付記１１]
可動体と、
前記可動体を第１の方向に振動させるためのドライブ電圧が与えられるドライブ電極と、
前記可動体を所定の位置で停止させる少なくとも１つのストッパーと、
前記可動体を前記所定の位置にホールドするためのホールド電圧が与えられるホールド電極と、
を備え、
前記可動体は、前記第１の方向に振動している前記可動体に働くコリオリ力に基づく前記可動体の第２の方向の振動の振幅に依存する所定物理量を検出するために設けられた可動電極部を含む
ことを特徴とする角速度取得用の電子部品。
【００５９】
[付記１２]
前記所定物理量は、前記可動電極部と前記可動電極部の近傍に設けられた固定電極部との間のキャパシタンスに基づく物理量である
ことを特徴とする付記１１に記載の電子部品。
【００６０】
[付記１３]
前記可動体が前記所定の位置にホールドされているときに、前記可動体は前記少なくとも１つのストッパーに接触し且つ前記ホールド電極に接触していない
ことを特徴とする付記１１に記載の電子部品。
【００６１】
[付記１４]
前記可動体は複数の突出部を有し、前記ホールド電極は複数の突出部を有し、
前記可動体の突出部と前記ホールド電極の突出部とは交互に配置されている
ことを特徴とする付記１１に記載の電子部品。
【００６２】
[付記１５]
前記可動体の複数の突出部及び前記ホールド電極の複数の突出部はいずれも、前記第２の方向に配列されている
ことを特徴とする付記１４に記載の電子部品。
【００６３】
[付記１６]
前記可動体の複数の突出部及び前記ホールド電極の複数の突出部はいずれも、前記第１の方向に配列されている
ことを特徴とする付記１４に記載の電子部品。
【００６４】
[付記１７]
前記可動体の複数の突出部及び前記ホールド電極の複数の突出部は、前記第１の方向に対して斜め方向に突出している
ことを特徴とする付記１４に記載の電子部品。
【００６５】
[付記１８]
前記ストッパーは、前記可動体が接触する凹部を有する
ことを特徴とする付記１１に記載の電子部品。
【００６６】
[付記１９]
前記ストッパーは、前記可動体が接触する一対の傾斜面を有する
ことを特徴とする付記１１に記載の電子部品。
【００６７】
[付記２０]
前記ストッパーは、前記可動体を前記所定の位置で停止させる係合部を有する
ことを特徴とする付記１１に記載の電子部品。
【００６８】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００６９】
１０…可動体      １１…主マス構成部      １２…可動電極部
１３…電極部      １４…ストップ構造構成部      １４ａ…傾斜面
１５…電極部      １５ａ…突出部      １６…係合部
２０…ドライブ電極
３０…ストッパー      ３０ａ…傾斜面      ３０ｂ…凹部の底面
３１…係合部      ３２…電極部      ３３…バネ部
４０…ホールド電極      ４０ａ…突出部
５０…固定電極部      ６０…ドライブ回路      ７０…電圧印加回路
８０…検出部      ９０…角速度算出部
１００…ＭＥＭＳ領域      ２００…半導体基板      ３００…回路領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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