(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上流側から液を一旦溜めるための中間タンク、ポンプ及びディスペンスバルブがこの順に設けられた処理液流路の下流端にノズルが設けられ、前記中間タンクの上流側に位置する処理液タンクから前記処理液流路及びノズルを介して被処理体に処理液を供給する処理液供給装置において、
前記中間タンク内の液面を加圧して当該中間タンク内の液を吐出するための第１の加圧機構と、
前記処理液タンクに代えて前記処理液流路の上流端に接続された洗浄液タンクと、
前記洗浄液タンク内の液面を加圧して当該洗浄液タンク内の液を吐出するための第２の加圧機構と、
前記処理液流路におけるディスペンスバルブの下流側にその一端側が接続され、前記処理液流路における中間タンクの上流側にその他端側が接続される循環路と、
前記中間タンク内を前記第１の加圧機構により加圧して当該中間タンク内の洗浄液を前記処理液流路及び前記循環路を介して洗浄液タンク内に戻し、次いで当該洗浄液タンク内を第２の加圧機構により加圧して前記中間タンク内に洗浄液を再利用するために送り出す操作を繰り返し行うように制御信号を出力する制御部と、
前記洗浄液が繰り返し移動する流路に設けられ、異物を除去するためのフィルタ部と、を備えたことを特徴とする処理液供給装置。
【請求項２】
上流側から液を一旦溜めるための中間タンク、ポンプ及びディスペンスバルブがこの順に設けられた処理液流路の下流端にノズルが設けられ、前記中間タンクの上流側に位置する処理液タンクから前記処理液流路及びノズルを介して被処理体に処理液を供給する処理液供給装置において、
前記処理液タンクに代えて前記処理液流路の上流端に接続された洗浄液タンクと、
前記洗浄液タンク内の液面を加圧して当該洗浄液タンク内の液を吐出するための加圧機構と、
前記処理液流路におけるディスペンスバルブの下流側にその一端側が接続され、前記処理液流路における中間タンクの上流側にその他端側が接続される循環路と、
前記ポンプを駆動することにより前記中間タンク内の洗浄液を前記処理液流路及び前記循環路を介して洗浄液タンク内に戻し、次いで当該洗浄液タンク内を前記加圧機構により加圧して前記中間タンク内に洗浄液を再利用するために送り出す操作を繰り返し行うように制御信号を出力する制御部と、
前記洗浄液が繰り返し移動する流路に設けられ、異物を除去するためのフィルタ部と、を備えたことを特徴とする処理液供給装置。
【請求項３】
前記処理液流路は複数設けられ、
前記循環路の一端側が複数に分岐され、各処理液流路ごとに、分岐された循環路の各分岐路が接続され、
前記フィルタ部は、前記循環路における一端側の前記分岐路の分岐点よりも他端側に設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の処理液供給装置。
【請求項４】
前記循環路は前記処理液供給路に対して着脱自在に構成されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載の処理液供給装置。
【請求項５】
前記循環路の一端側は、２つに分岐され、分岐された一方の分岐路と他方の分岐路とが、処理液供給路を接離自在に分断した分断端に着脱できるように構成されていることを特徴とする請求項４に記載の処理液供給装置。
【請求項６】
上流側から液を一旦溜めるための中間タンク、ポンプ及びディスペンスバルブがこの順に設けられた処理液流路の下流端にノズルが設けられ、前記中間タンクの上流側に位置する処理液タンクから前記処理液流路及びノズルを介して被処理体に処理液を供給する処理液供給装置において、
前記処理液流路における中間タンクよりも上流側に接続され、前記中間タンク内に洗浄液を供給するための洗浄液タンクと、
前記中間タンクとポンプとの間の処理液流路に設けられ、異物を除去するためのフィルタ部と、
前記中間タンク内の洗浄液を前記処理液流路を介してディスペンスバルブの下流側に送り出し、次いで中間タンクから送り出された洗浄液を前記中間タンク内に戻す操作を繰り返し行うように制御信号を出力する制御部と、
前記中間タンクから洗浄液を処理液流路に送り出す操作は、中間タンク内の液面を加圧するために当該中間タンク内を加圧する加圧機構の作用により行うかまたは前記ポンプを駆動することにより行われ、処理液流路から中間タンクに洗浄液を戻す操作は、前記中間タンク内の液面を引き上げるために当該中間タンク内を減圧する減圧機構の作用により行うかまたは前記ポンプを駆動することにより行われることを特徴とする処理液供給装置。
【請求項７】
上流側から液を一旦溜めるための中間タンク、異物を除去するためのフィルタ部、ポンプ及びディスペンスバルブがこの順に設けられた処理液流路の下流端にノズルが設けられ、前記中間タンクの上流側に位置する処理液タンクから前記処理液流路及びノズルを介して被処理体に処理液を供給する処理液供給装置において、
前記処理液流路における中間タンクよりも上流側に接続され、前記中間タンク内に洗浄液を供給するための洗浄液タンクと、
前記中間タンクから処理液流路における前記ディスペンスバルブよりも下流側まで洗浄液を移動させ、次いで中間タンクから送り出された洗浄液を当該下流側から中間タンク内に移動させる操作を繰り返すための液移動機構と、
前記フィルタ部と前記中間タンクとの間に設けられた第１のバルブと、
前記第１のバルブと中間タンクとの間にその一端側が接続されると共に前記ポンプにその他端側が接続され、前記フィルタ部をバイパスすると共に第２のバルブが設けられているバイパス路と、を備え、
前記第１のバルブを開き、第２のバルブを閉じた状態で、洗浄液を前記フィルタ部を介して前記ポンプ内に吸い込み、次いで前記第１のバルブを閉じ、第２のバルブを開いた状態で、前記ポンプから洗浄液をバイパス路側に吐出するように制御信号を出力する制御部と、を備えたことを特徴とする処理液供給装置。
【請求項８】
前記制御部は、洗浄液が移動しているときに、洗浄液の流路に設けられたバルブを、当該バルブからの発塵を促進させるために複数回オンオフさせるように制御信号を出力することを特徴とする請求項１ないし７の何れか一項に記載の処理液供給装置。
【請求項９】
上流側から液を一旦溜めるための中間タンク、ポンプ及びディスペンスバルブがこの順に設けられた処理液流路の下流端にノズルが設けられ、前記中間タンクの上流側に位置する処理液タンクから前記処理液流路及びノズルを介して被処理体に処理液を供給する処理液供給装置を洗浄する方法において、
前記中間タンク内の液面を加圧して当該中間タンク内の液を吐出するための第１の加圧機構と、
前記処理液タンクに代えて前記処理液流路の上流端に接続された洗浄液タンクと、
前記洗浄液タンク内の液面を加圧して当該洗浄液タンク内の液を吐出するための第２の加圧機構と、
前記処理液流路におけるディスペンスバルブの下流側にその一端側が接続され、前記処理液流路における中間タンクの上流側にその他端側が接続される循環路と、
前記洗浄液が繰り返し移動する流路に設けられ、異物を除去するためのフィルタ部と、を用い、
前記洗浄液タンク内の洗浄液を前記第２の加圧機構により前記中間タンク内に送り出す工程と、
然る後、前記中間タンク内を加圧して当該中間タンク内の洗浄液を前記処理液流路及び前記循環路を介して洗浄液タンク内に戻し、次いで当該洗浄液タンク内を加圧して前記中間タンク内に洗浄液を再利用するために送り出す操作を繰り返し行う工程と、を含むことを特徴とする処理液供給装置の洗浄方法。
【請求項１０】
上流側から液を一旦溜めるための中間タンク、ポンプ及びディスペンスバルブがこの順に設けられた処理液流路の下流端にノズルが設けられ、前記中間タンクの上流側に位置する処理液タンクから前記処理液流路及びノズルを介して被処理体に処理液を供給する処理液供給装置を洗浄する方法において、
前記処理液タンクに代えて前記処理液流路の上流端に接続された洗浄液タンクと、
前記洗浄液タンク内の液面を加圧して当該洗浄液タンク内の液を吐出するための加圧機構と、
前記処理液流路におけるディスペンスバルブの下流側にその一端側が接続され、前記処理液流路における中間タンクの上流側にその他端側が接続される循環路と、
前記洗浄液が繰り返し移動する流路に設けられ、異物を除去するためのフィルタ部と、を用い、
前記洗浄液タンク内の洗浄液を前記加圧機構により前記中間タンク内に送り出す工程と、
然る後、前記ポンプを駆動することにより前記中間タンク内の洗浄液を前記処理液流路及び前記循環路を介して洗浄液タンク内に戻し、次いで当該洗浄液タンク内を前記加圧機構により加圧して前記中間タンク内に工程と、を含むことを特徴とする処理液供給装置の洗浄方法。
【請求項１１】
上流側から液を一旦溜めるための中間タンク、ポンプ及びディスペンスバルブがこの順に設けられた処理液流路の下流端にノズルが設けられ、前記中間タンクの上流側に位置する処理液タンクから前記処理液流路及びノズルを介して被処理体に処理液を供給する処理液供給装置を洗浄する方法において、において、
前記処理液タンクに代えて前記処理液流路の上流端に接続された洗浄液タンクと、
前記中間タンクとポンプとの間の処理液流路に設けられ、異物を除去するためのフィルタ部と、を用い、
前記洗浄液タンク内の洗浄液を前記加圧機構により前記中間タンク内に送り出す工程と、
前記中間タンク内の液面を加圧するかまたは前記ポンプを駆動することにより、前記中間タンク内の洗浄液を前記処理液流路を介してディスペンスバルブの下流側に送り出し、次いで前記中間タンク内を減圧するかまたは前記ポンプを駆動することにより、中間タンクから送り出された洗浄液を前記中間タンク内に戻す操作を繰り返し行う工程と、を含むことを特徴とする処理液供給装置の洗浄方法。
【請求項１２】
上流側から液を一旦溜めるための中間タンク、異物を除去するためのフィルタ部、ポンプ及びディスペンスバルブがこの順に設けられた処理液流路の下流端にノズルが設けられ、前記中間タンクの上流側に位置する処理液タンクから前記処理液流路及びノズルを介して被処理体に処理液を供給する処理液供給装置を洗浄する方法において、
前記処理液流路における中間タンクよりも上流側に接続され、前記中間タンク内に洗浄液を供給するための洗浄液タンクと、
前記フィルタ部と前記中間タンクとの間に設けられた第１のバルブと、
前記第１のバルブと中間タンクとの間にその一端側が接続されると共に前記ポンプにその他端側が接続され、前記フィルタ部をバイパスすると共に第２のバルブが設けられているバイパス路と、を用い、
前記中間タンクから処理液流路における前記ディスペンスバルブよりも下流側まで洗浄液を移動させ、次いで中間タンクから送り出された洗浄液を当該下流側から中間タンク内に移動させる操作を繰り返す工程と、
前記第１のバルブを開き、第２のバルブを閉じた状態で、洗浄液を前記フィルタ部を介して前記ポンプ内に吸い込み、次いで前記第１のバルブを閉じ、第２のバルブを開いた状態で、前記ポンプから洗浄液をバイパス路側に吐出する工程と、を含むことを特徴とする処理液供給装置の洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、処理液供給源から処理液流路及びノズルを介して被処理体に処理液を供給する処理液供給装置を洗浄する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程に用いられる枚葉式の液処理装置は、例えばスピンチャックに保持されている基板の表面にノズルから処理液を吐出するように構成されている。液処理としては、レジストパターンを形成するためにレジスト液を基板に塗布する処理、露光後の基板に現像液を供給する処理、あるいはシリコン酸化膜の前駆物質を含む塗布液を基板に塗布する処理などが挙げられる。このような液処理装置に用いられる処理液供給装置は、その先端部にノズルが接続されると共に、途中にバルブ、フィルタ部、ポンプなどの機器を設けた配管の基端側を、処理液タンクに接続して構成される。
【０００３】
配管や機器を含む流路にパーティクル（異物）が付着していると、パーティクルが処理液と共に基板に供給されてしまう。このため例えば液処理装置の立ち上げ時には、配管の上流側にシンナー液などの洗浄液供給源（洗浄液タンク）を接続し、流路の上流側から洗浄液を送液してノズルから吐出させることによりパーティクルの除去を行っている。配管の内径は例えば直径が２ｍｍ程度と小さく、所定流量の洗浄液を通流させると、この洗浄液の液流れにより流路の内壁などに付着するパーティクルが剥がされ、洗浄液と共に下流側に流れてノズルを介して排出される。
【０００４】
そしてノズルから排出された洗浄液中のパーティクルの検査が行われ、このパーティクルが設定値以下になるまで、洗浄液供給源からノズルに向けて洗浄液の通流が続けられる。こうして洗浄処理を行った処理液供給装置では、洗浄液供給源に代えて処理液の供給源が接続され、液処理装置において被処理体例えば半導体ウエハ（以下「ウエハ」という）に対して液処理が行われる。
【０００５】
ところでノズルから吐出された洗浄液は廃棄しているが、回路の微細化に伴い、配管の清浄度をより高くする要請に応えようとすると、より長時間洗浄液を流路に通流させる必要があり、洗浄液の消費量が増大する。従ってコスト面や環境面を考慮すると、従来のように洗浄液を廃棄する手法は得策ではない。  
また流路へ大量の洗浄液を通流させる手法では、洗浄液供給源の容量の関係から、同時に洗浄液供給源から洗浄液を供給できる流路の数には制限がある。従って液処理装置のノズルの数が多い場合には、ある流路を洗浄してから、他の流路に洗浄液供給源を付け替えて洗浄を行う必要があり、全ての流路の洗浄にはかなりの工数が必要となって時間がかかる。
【０００６】
特許文献１には、配管における洗浄対象となるフィルタ部やポンプなどの配管部品の上流側及び下流側に三方弁よりなる流通遮断手段を夫々設け、三方弁に洗浄用の配管を接続して、洗浄液を配管部品に供給して洗浄する手法が記載されている。この手法においては洗浄液の省液化や洗浄時間の短縮化などについては考慮されていないので、本発明の課題を解決できるものではない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００３−２５７９２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、このような事情においてなされたものであり、その目的は、処理液供給源から処理液流路及びノズルを介して被処理体に処理液を供給する処理液供給装置を洗浄するにあたり、洗浄液の省量化及び洗浄時間の短縮化を図ることができる技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
このため本発明の処理液供給装置は、処理液供給源から処理液流路及びノズルを介して被処理体に処理液を供給する処理液供給装置において、
前記処理液流路内に洗浄液を供給するための洗浄液供給源と、
前記処理液流路内を前記処理液供給源寄りの部位から前記ノズル寄りの部位に向けて洗浄液を移動させ、次いで前記ノズル寄りの部位から前記処理液供給源寄りの部位に当該洗浄液を戻す動作を行うための液移動機構と、
前記洗浄液が移動する流路に設けられ、異物を除去するための洗浄用のフィルタ部と、
前記洗浄液供給源から前記処理液流路内に洗浄液を供給し、前記動作を行うように制御信号を出力する制御部と、を備え、
前記液移動機構は、前記洗浄液が移動する流路に設けられたタンクと、このタンク内の液面を加圧して当該タンクから洗浄液を吐出する加圧機構と、を含むことを特徴とする。
他の発明の処理液供給装置は、処理液供給源から処理液流路及びノズルを介して被処理体に処理液を供給する処理液供給装置において、
前記処理液流路内に洗浄液を供給するための洗浄液供給源と、
前記処理液流路における前記ノズル寄りの部位に一端が接続され、当該一端から洗浄液を処理液流路の前記処理液供給源寄りの部位に戻すために処理液流路にバイパスして設けられた循環路と、
前記洗浄液を前記循環路を介して循環させるための液移動機構と、
前記洗浄液が移動する流路に設けられ、異物を除去するための洗浄用のフィルタ部と、
前記洗浄液供給源から前記処理液流路内に洗浄液を供給し、前記液移動機構が洗浄液の移動のための動作を行うように制御信号を出力する制御部と、を備え、
前記液移動機構は、洗浄液タンクと、この洗浄液タンク内の液面を加圧して当該洗浄液タンクから洗浄液を吐出させる加圧機構と、前記洗浄液タンクから吐出した洗浄液が流路を介して送られる中間タンクと、この中間タンク内の液面を加圧して当該中間タンクから洗浄液を処理液流路を介して前記循環路の一端側に向けて吐出させ、前記循環路の一端側から前記洗浄液タンクに戻すための加圧機構と、を含むことを特徴とする。
【００１０】
また本発明の処理液供給装置の洗浄方法は、処理液供給源から処理液流路及びノズルを介して被処理体に処理液を供給する処理液供給装置の洗浄方法において、
前記処理液流路内に洗浄液を供給し、前記処理液流路内を前記処理液供給源寄りの部位から前記ノズル寄りの部位に向けて洗浄液を移動させ、次いで前記ノズル寄りの部位から前記処理液供給源寄りの部位に当該洗浄液を戻して前記処理液流路を洗浄する洗浄工程と、
前記洗浄工程に用いられた洗浄液が、異物を除去するためのフィルタ部を通り、清浄化される清浄化工程と、を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、洗浄液を処理液流路内において、液移動機構により処理液供給源寄りの部位からノズル寄りの部位に向けて移動させ、次いでノズル寄りの部位から処理液供給源寄りの部位に戻すように移動させて洗浄を行っている。洗浄液が移動する流路には洗浄用のフィルタ部が設けられ、フィルタ部により異物が除去された洗浄液が処理供給源寄りの部位に戻されて再使用されるので、洗浄液量の省量化を図ることができる。また洗浄液量が省量化されることから、洗浄液供給源から洗浄液を複数の処理液流路に同時に供給できるので、複数の処理液流路において同時に並行して洗浄処理を行うことができ、全体的な洗浄時間が短縮される。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第1の実施形態に係る処理液供給装置の構成図である。
【図２】本発明の第1の実施形態に係る処理液供給装置の構成図である。
【図３】本発明の第1の実施形態に係る処理液供給装置の構成図である。
【図４】本発明の第1の実施形態に係る処理液供給装置の構成図である。
【図５】本発明の第1の実施形態に係る処理液供給装置の構成図である。
【図６】本発明の第1の実施形態に係る処理液供給装置の構成図である。
【図７】本発明の第1の実施形態に係る処理液供給装置の構成図である。
【図８】本発明の第1の実施形態に係る処理液供給装置の構成図である。
【図９】本発明の第1の実施形態に係る処理液供給装置の構成図である。
【図１０】本発明の第1の実施形態に係る処理液供給装置の変形例の構成図である。
【図１１】本発明の第２の実施形態に係る処理液供給装置の構成図である。
【図１２】本発明の第２の実施形態に係る処理液供給装置の構成図である。
【図１３】本発明の第２の実施形態に係る処理液供給装置の構成図である。
【図１４】本発明の第２の実施形態に係る処理液供給装置の構成図である。
【図１５】本発明の第２の実施形態に係る処理液供給装置の構成図である。
【図１６】本発明の第３の実施形態に係る処理液供給装置の構成図である。
【図１７】本発明の第３の実施形態に係る処理液供給装置の構成図である。
【図１８】本発明の第３の実施形態に係る処理液供給装置の構成図である。
【図１９】本発明の第３の実施形態に係る処理液供給装置の構成図である。
【図２０】本発明の第３の実施形態に係る処理液供給装置の構成図である。
【図２１】本発明の第３の実施形態に係る処理液供給装置の構成図である。
【図２２】ポンプ流路系の他の例を示す構成図である。
【図２３】ポンプ流路系の他の例を示す構成図である。
【図２４】ポンプ流路系の他の例を示す構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
（第１の実施形態）
図１及び図２は、本発明における第１の実施形態に係る液処理装置の一部をなす処理液供給装置を示したものであり、図１及び図２中１０は、洗浄液を貯留する洗浄液タンク（洗浄液供給源）である。洗浄液としては、例えばレジスト液の溶剤であるシンナー液、現像液や塩酸、純水などが用いられ、この洗浄液タンク１０には処理液流路１の上流端が突入して設けられている。洗浄液タンク１０は処理液流路１に着脱自在に設けられるものであり、処理液流路１の洗浄が終了した後、取り外されて、処理液流路１の上流端には処理液例えばレジスト液の供給源であるレジスト液タンク（処理液供給源）が接続される。洗浄液タンク１０は、バルブＶ５を備えたガス供給路５を介して不活性ガス例えば窒素（Ｎ２）ガスの供給源５０に接続されている。これら窒素ガス供給源５０及びガス供給路５は、洗浄液タンク１０内の液面を加圧して洗浄液タンク１０から洗浄液を吐出させる加圧機構を構成している。またガス供給路５には、窒素ガスの排気路５０１が窒素ガス供給源５０とバルブＶ５との間に接続されている。
【００１４】
処理液流路１は、図１に示すように、後述する循環路６の接続部６０よりも下流側にて複数本例えば３本に分岐しており、分岐された各処理液流路を第１の流路２、第２の流路３、第３の流路４と呼ぶことにする。第１の流路２、第２の流路３、第３の流路４の下流端には、夫々ノズル２１、３１、４１が設けられている。これらノズル２１、３１、４１は液処理モジュール１００（図８及び図９参照）に搬送されたウエハに同じ種類の処理液であるレジスト液を供給するものである。液処理モジュール１００は、例えば基板保持部１１０にて鉛直軸まわりに回転自在に保持されたウエハに対して、ノズル２１（３１、４１）からレジスト液を供給し、回転の遠心力によりレジスト液をウエハ表面に進展させて、塗布膜を形成するように構成されている
【００１５】
第１の流路２には、上流側から順にバルブＶ２１、第１の中間タンク２２、ポンプ流路系２３、ディスペンスバルブ（液吐出用バルブ）Ｖ２２、バルブＶ２３が設けられており、ディスペンスバルブＶ２２とバルブＶ２３との間にはバルブＶ６１を備えた循環路６１の一端側が接続されている。ディスペンスバルブＶ２２は、予め設定された液量のレジスト液を吐出する機能を備えたものであり、処理液を設定量吐出させるための供給機器である。同様に第２の流路３には、上流側から順にバルブＶ３１、第２の中間タンク３２、ポンプ流路系３３、ディスペンスバルブＶ３２、バルブＶ３３が設けられ、ディスペンスバルブＶ３２とバルブＶ３３との間にはバルブＶ６２を備えた循環路６２の一端側が接続されている。また第３の流路４には、上流側から順にバルブＶ４１、第３の中間タンク４２、ポンプ流路系４３、ディスペンスバルブＶ４２、バルブＶ４３が設けられ、ディスペンスバルブＶ４２とバルブＶ４３との間にはバルブＶ６３を備えた循環路６３の一端側が接続されている。
【００１６】
循環路６１、６２、６３は各バルブＶ６１、Ｖ６２、Ｖ６３の下流側にて合流し、合流した循環路６にはフィルタ部６４が設けられると共に、循環路６の他端側は、処理液流路１における第１〜第３の流路２〜４の合流点の上流側に接続部６０を介して接続されている。循環路６、６１〜６３は、洗浄液を、処理液流路におけるノズル２１、３１、４１寄りの部位（循環路の一端）から、処理液流路における洗浄液タンク１０寄りの部位に戻すために、処理液流路にバイパスして設けられたものである。フィルタ部６４は、洗浄液中に含まれる例えば５ｎｍサイズ以上のパーティクルを除去するための洗浄用のフィルタ部であり、排出路６４１を備えている。
【００１７】
循環路６、６１〜６３は、例えば一端側が２つに分岐され、分岐された一方の分岐路と他方の分岐路とが、第１の流路２（処理液流路）を接離自在に分断した分断端に着脱できるように設けられると共に、他端側が接続部６０により処理液流路１に着脱自在に接続されるように構成されている。つまり第１の流路２を例にすると、循環路６１の一端側は例えばディスペンスバルブＶ２２よりなる分断端に着脱される一方の分岐路と、バルブＶ２３を備えた他方の分岐路とを備えている。そして第１の流路２に循環路６１を取り付けるときには、一方の分岐路をディスペンスバルブＶ２２を介して第１の流路２に接続すると共に、他方の分岐路をバルブＶ２３を介して第１の流路２に接続し、循環路６の他端側を接続部６０に接続する。また循環路６１、６を取り外したときには、ディスペンスバルブＶ２２にノズル２１が配管を介して取り付けられるように構成されている（図８及び図９参照）。第２の流路３、第３の流路４に設けられる循環路６、６２、６３についても同様である。
【００１８】
第１〜第３の中間タンク２２、３２、４２は、夫々バルブＶ５１、Ｖ５２、Ｖ５３を備えたガス供給路５１、５２、５３及び共通のガス供給路５４を介して窒素ガスの供給源５０に接続されている。これら窒素ガス供給源５０及びガス供給路５４は、中間タンク２２、３２、４２内の液面を夫々加圧して中間タンク２２、３２、４２から洗浄液を循環路６１〜６３、６の一端側に向けて吐出させ、循環路６１〜６３、６の一端側から洗浄液タンク１０に戻すための加圧機構を構成するものである。こうして窒素ガスを第１〜第３の中間タンク２２、３２、４２に夫々供給して加圧することにより、これらタンク２２、３２、４２内の洗浄液が夫々第１〜第３の流路２〜４の下流側に送液されるように構成されている。
【００１９】
第１〜第３の中間タンク２２、３２、４２は同様に構成されているので、図２に示す第１の中間タンク２２を例にして説明する。第１の中間タンク２２には、タンク２２内の洗浄液の量を把握するために、タンク２２内の液面の上限レベルを検知する液面センサ２２１と、タンク２２内の液面の下限レベルを検知する液面センサ２２２とが設けられている。後述するように洗浄液タンク１０から第１の中間タンク２２に洗浄液が供給されるが、タンク２２内の液面が上限レベルに達すると、洗浄液タンク１０からの洗浄液の供給を停止し、タンク２２内の液面が下限レベル以下になると、洗浄液タンク１０からの洗浄液の供給を開始するように制御される。また図２に示すように、第１の中間タンク２２には、バルブＶ６４を備えた排出路２２３と、バルブＶ６５を備えると共に工場の排気系に接続された排気路２２４とが夫々設けられている。第２の中間タンク３２及び第３の中間タンク４２においても第１の中間タンク２２と同様に構成されている。
【００２０】
図１に記載したポンプ流路系２３、３３、４３は、図示の便宜上簡略化して記載したものであり、具体的にはポンプ流路系２３を例にとると、図２に示すように構成されている。例えばポンプ流路系２３は、下流側から順に、ポンプ７１と、洗浄液のトラップ部７２と、フィルタ装着部７３と、第１のバルブＶ７とを備えている。この例では循環路６に設けられたフィルタ部６４が洗浄液を清浄化する洗浄用のフィルタ部として機能するため、流路の洗浄の際には、フィルタ装着部７３にはダミーフィルタが装着される。このダミーフィルタはろ過材が入っていないケーシングである。流路の洗浄処理が終了すると、フィルタ装着部７３にはダミーフィルタの代わりに、処理液中のパーティクルを除去するためのろ過材（フィルタ）が装着され、その後処理液流路１に処理液が供給されて、液処理モジュール１００にて液処理が行われることになる。
【００２１】
ポンプ７１は処理液をノズル２１に吐出するためのものであり、例えばダイヤフラムポンプからなる。図２にはポンプ７１を簡略して描いているが、図２中７１１はダイヤフラム、７１２は洗浄液の流路である。ポンプ７１には、液供給用のバルブＶ７１、液排出用のバルブＶ７２、及びベント用のバルブＶ７３が設けられており、ベント用のバルブＶ７３とトラップ部７２との間は流路７４により接続されている。また第１の流路２における第１のバルブＶ７の上流側とポンプ７１との間にはトラップ部７２を介して、フィルタ装着部７３をバイパスすると共に第２のバルブＶ７５を備えたバイパス路７５が設けられている。さらにフィルタ装着部７３及びトラップ部７２は夫々ベント用のバルブＶ７６、Ｖ７７を介して排出路７６に接続されている。第２の流路３に設けられたポンプ流路系３３及び第３の流路４に設けられたポンプ流路系４３についても同様に構成されている。
【００２２】
この例においては、ディスペンスバルブＶ２２、Ｖ３２、Ｖ４２以外のバルブは、例えばエアオペレートバルブより構成される。またバルブＶ２１、Ｖ３１、Ｖ４１は、循環路６の他端側（処理液流路１と接続される側）と洗浄液タンク１０内との連通と、洗浄液タンク１０内と第１の中間タンク２１（第２の中間タンク３１、第３の中間タンク４１）との連通とを切り替えるためのバルブに相当する。
【００２３】
また処理液供給装置は、処理液流路内を洗浄液タンク１０寄りの部位からノズル２１（３１、４１）寄りの部位に向けて洗浄液を移動させ、次いでノズル２１（３１、４１）寄りの部位から洗浄液タンク１０寄りの部位に洗浄液を戻す動作を行う液移動機構を備えている。この実施の形態では、液移動機構は、洗浄液を処理液流路１〜４及び循環路６１〜６３、６により循環させるように、洗浄液タンク１０と、洗浄液タンク１０内の加圧機構と、中間タンク２２、３２、４２と、これら中間タンク２２、３２、４２の加圧機構と、循環路６１〜６３、６と、を備えて構成されている。
【００２４】
液処理装置にはコンピュータからなる制御部Ｃが設けられ、この制御部Ｃはプログラム格納部２００を有している。プログラム格納部２００には、後述の作用で説明する処理液供給装置の洗浄処理及び液処理モジュールにおける液処理が行われるように命令が組まれた、例えばソフトウェアからなるプログラムが格納される。このプログラムが制御部Ｃに読み出されることで、制御部Ｃは処理液供給装置及び液処理モジュールよりなる液処理装置の各部に制御信号を出力する。それによって、バルブの開閉やポンプの駆動、ノズルの移動、基板保持部の駆動などの各動作が制御され、後述する洗浄処理及び液処理が行われるようになっている。このプログラムは、例えばハードディスク、コンパクトディスク、マグネットオプティカルディスクまたはメモリーカードなどの記憶媒体に収納された状態でプログラム格納部２００に格納される。
【００２５】
また制御部Ｃは、洗浄処理時には、洗浄液タンク１０から処理液流路１内に洗浄液を供給するステップと、処理液流路１内を洗浄液タンク１０寄りの部位からノズル２１、３１、４１寄りの部位に向けて洗浄液を移動させ、次いでノズル２１、３１、４１寄りの部位から洗浄液タンク１０寄りの部位に洗浄液を戻す動作を行うステップと、を実行する制御信号を出力するように構成されている。
【００２６】
さらに制御部Ｃでは、処理液流路１内を洗浄液が移動しているときに、洗浄液の流路に設けられたバルブを当該バルブからの発塵を促進させるために複数回オン、オフさせる制御信号を出力するように構成されている。具体的には、第１の流路２を例にすると、バルブＶ７、Ｖ７１、Ｖ７２、Ｖ２２を所定のタイミングで高速で開閉制御するように構成されている。これらバルブＶ７、Ｖ７１、Ｖ７２、Ｖ２２の高速開閉動作は、例えば１秒間隔でバルブを開く動作（オン）と、閉じる動作（オフ）を複数回繰り返して行うものである。バルブを閉じるときには洗浄液の流れが遮断されるが、閉じた直後にバルブを開くため、このバルブの開閉を行ったとしても洗浄液の通流の妨げにはならない。
【００２７】
続いて本実施形態の作用について説明する。処理液供給装置の洗浄のタイミングは、例えば液処理装置の立ち上げ時に処理液流路を構成する配管などを組み立てた後であり、先ず処理液流路１にフィルタ部６４を備えた循環路６１〜６３、６を取り付けると共に、処理液流路１の上流端に洗浄液タンク１０を接続し、フィルタ装着部７３にダミーフィルタを装着する。
そして洗浄液タンク１０から第１の中間タンク２２、第２の中間タンク３２、第３の中間タンク４２の夫々に洗浄液を供給して、第１の流路２、第２の流路３、第３の流路４にて並行して洗浄処理を実施する。第１の流路２、第２の流路３、第３の流路４では同様に洗浄処理が行われるので、ここでは第１の流路２を例にして説明する。
【００２８】
第１の中間タンク２２への洗浄液の供給は、洗浄液タンク１０（洗浄液供給源）から処理液流路内に洗浄液を供給するステップに相当するものであり、図３に示すように、バルブＶ５、Ｖ２１、Ｖ６５を開き、それ以外のバルブを閉じることにより実施される。これにより窒素ガスが洗浄液タンク１０内に供給されて洗浄液の液面が加圧され、洗浄液タンク１０内の洗浄液が下流側に向けて供給される。第１の中間タンク２２内の洗浄液の液面は液面センサ２２１、２２２により監視され、洗浄液の液面が上限レベルに達すると、バルブＶ５、Ｖ５１を閉じて洗浄液の供給を停止する。
【００２９】
続いて処理液流路内を洗浄液タンク（処理液供給源）１０寄りの部位からノズル２１寄りの部位に向けて洗浄液を移動させ、次いでノズル２１寄りの部位から洗浄液タンク１０寄りの部位に洗浄液を戻す動作を行うステップを実行する。この工程は、図４に示すように、バルブＶ５１、Ｖ７、Ｖ７１、Ｖ７２、Ｖ２２、Ｖ６１を開き、それ以外のバルブを閉じて、窒素ガスを第１の中間タンク２２内に供給することによって、中間タンク２２内の洗浄液を下流側に向けて圧送することにより行われる。
【００３０】
これにより、図４に示すように、第１の中間タンク２２内の洗浄液は、第１の流路２内を通流し、ポンプ流路系２３のフィルタ装着部（この例ではダミーフィルタ）７３、トラップ部７２を介してポンプ７１に供給され、さらに循環路６１、６を介してフィルタ部６４を通流して洗浄液タンク１０に送液される。なお洗浄液タンク１０内に洗浄液を供給するときには、洗浄液タンク１０の排気路５０１のバルブ（図示せず）は開いておく。なお図３及び図４では、洗浄液の通流を模式的に示しており、閉じているバルブについては「Ｃ」を付し、洗浄液が通流する流路については太字で示している。以降の図においても同様である。
この洗浄液の通流により、組み立て直後の配管内に付着したパーティクルが配管から剥がされて処理液流路が洗浄される。一方、洗浄液にはパーティクルが混入するが、この洗浄液がフィルタ６４を通過するときに、パーティクルがフィルタ６４に捕捉され、洗浄液から取り除かれて清浄化される。こうして処理液流路に洗浄液を通流させることにより処理液流路からパーティクルが除去されて洗浄されると共に、フィルタ６４の通過により清浄化された洗浄液が、循環路６により洗浄液タンク１０に戻されることになる。
【００３１】
また第１の中間タンク２２から下流側への洗浄液の送液を開始すると、制御部Ｃにより、バルブＶ７、Ｖ７１、Ｖ７２、Ｖ２２を高速で複数回開閉させる。これにより、バルブＶ７、Ｖ７１、Ｖ７２、Ｖ２２の開閉により発生するおそれがあるパーティクルの発塵を促進して強制的に発生させ、配管に付着しているパーティクルと共に除去する。このバルブＶ７などの開閉動作は、バルブＶ５１を開いて第１の中間タンク２２内に窒素ガスを導入するタイミングで開始してもよいし、バルブＶ５１を開いてから所定時間経過後や、バルブＶ５１を開く前に開始してもよい。またバルブの高速開閉動作を行う回数や高速開閉動作を行っている時間は適宜設定できる。
【００３２】
こうして第１の中間タンク２２から下流側への洗浄液の供給を続け、第１の中間タンク２２内の洗浄液の液面が下限レベルまで下がると、バルブＶ５、Ｖ２１、Ｖ６５を開いて洗浄液タンク１０からの洗浄液の供給を開始する。洗浄液を第１の中間タンク２２へ供給しているときには、第１の中間タンク２２の下流側の流路においては、例えばバルブＶ７、Ｖ７１、Ｖ７２、Ｖ２２、Ｖ６１は開き、その他のバルブは閉じた状態であるが、バルブＶ７、Ｖ７１、Ｖ７２、Ｖ２２、Ｖ６１も閉じてもよい。また洗浄液を第１の中間タンク２２へ供給しているときには、バルブＶ７、Ｖ７１、Ｖ７２、Ｖ２２の高速開閉動作は停止してもよいし、続行してもよい。
そして第１の中間タンク２２内の洗浄液の液面が上限レベルになると、バルブＶ７、Ｖ７１、Ｖ７２、Ｖ２２、Ｖ６１及び排気路５０１のバルブを開き、その他のバルブを閉じて、第１の中間タンク２２の下流側への洗浄液の送液を開始する。
【００３３】
このようにして、洗浄液タンク１０から第１〜第３の中間タンク２２、３２、４２の夫々への洗浄液の供給と、第１〜第３の中間タンク２２、３２、４２から第１〜第３の流路２〜４の夫々の下流側への洗浄液の送液と、を繰り返して行ない、所定の流量例えば５０ｍｌ／分で所定時間例えば１０時間、第１〜第３の流路２〜４に洗浄液を通流させて、フィルタ部６４によりパーティクルを除去する。
【００３４】
続いて、ポンプ７１を駆動させて洗浄する工程を行う。この工程は、例えば図５に示すように、第１のバルブＶ７、バルブＶ７１を開き、その他のバルブを閉じて、ポンプ７１を駆動させて、第１の中間タンク２２内の洗浄液をフィルタ装着部７３及びトラップ部７２を介してポンプ７１内部に吸い込む。洗浄液をポンプ７１により吸い込んでいるときには、例えば第１のバルブＶ７、バルブＶ７１は制御部Ｃにより高速開閉させる。
次いで図６に示すように、バルブＶ７２、Ｖ２２、Ｖ６１及び排気路５０１のバルブを開き、その他のバルブを閉じて、ポンプ７１を駆動させ、ポンプ７１内の洗浄液を下流側に吐出して送液する。洗浄液をポンプ７１により吐出しているときには、例えばバルブＶ７２、Ｖ２２は制御部Ｃにより高速開閉させる。吐出された洗浄液は循環路６１を介して流れて行き、例えばフィルタ部６４を通過して洗浄液タンク１０内に戻される。
【００３５】
こうしてポンプ７１による吸引と吐出の１サイクルを例えば２秒にて行い、このサイクルを繰り返すことにより、ポンプ７１の駆動による発塵を促進してフィルタ部６４により除去する。この工程では、ポンプ７１を駆動させて洗浄液を移動させているので、ポンプ７１も液移動機構を成している。ポンプ７１の駆動を例えば５時間行った後、図７に示すように、バルブＶ５１、Ｖ７、Ｖ７１、Ｖ７２、Ｖ２２、Ｖ２３を開き、その他のバルブを閉じて、第１の中間タンク２２内の洗浄液を下流側に送液し、ノズル２１から吐出させる。そしてこの吐出された洗浄液中のパーティクルの検査を行い、パーティクルが設定値以下であれば洗浄処理を終了する。一方パーティクルが設定値を超えているときには、既述の窒素ガスの加圧による洗浄処理とポンプ動作による洗浄処理の少なくとも一方を行って、再度洗浄液をノズル２１から吐出させ、パーティクルの検査を行う。なおディスペンスバルブＶ２２の下流側の流路は、実際には極めて短いため、ノズル２１へ洗浄液を送液することによって、当該流路内のパーティクルは除去される。
【００３６】
このようにして第１の流路２、第２の流路３、第３の流路４の夫々について洗浄処理を行った後、図８に示すように、循環路６、６１〜６３を処理液流路１から取り外し、ディスペンスバルブＶ２２、Ｖ３２、Ｖ４２にノズル２１、３１、４１を備えた配管を接続する。この後、洗浄液を処理液流路を介してノズル２１、３１、４１に所定時間供給して、ノズル２１、３１、４１から洗浄液を吐出させてもよい。一方、取り外した循環路６、６１〜６３は洗浄処理が行われる。
【００３７】
また洗浄液タンク１０を処理液流路１から取り外し、当該洗浄液タンク１０の代わりに、処理液流路１の上流側にレジスト液の供給源（処理液供給源）１２０を接続すると共に、フィルタ装着部７３に処理液中のパーティクル除去用のフィルタを装着する。そして図９に示すように、処理液流路１、２及びノズル２１（３１、４１）を介して、ウエハＷに対して処理液を供給することにより、液処理モジュール１００において液処理が行われる。なお図９ではノズル２１からウエハＷに対して処理液を供給する様子を示している。例えば液処理モジュール１００において、複数個例えば３個の基板保持部が用意され、３枚のウエハＷに対して液処理を実施できる構成の場合には、ノズル２１、３１、４１から３枚のウエハＷの夫々に対して処理液が供給され、夫々液処理が行われる。
【００３８】
上述の実施形態によれば、洗浄液をフィルタ部６４に通過させ、洗浄液中のパーティクルを除去してから、循環路６を介して洗浄液タンク１０に戻している。そして再び洗浄液を中間タンク２２、３２、４２に送液して、処理液流路１〜４に通流させている。このように、一旦流路に通流させた洗浄液からパーティクルを除去した後、当該洗浄液を再び流路の洗浄に再利用しているので、従来のように洗浄液を廃棄していた場合に比べて、洗浄液使用量が例えば１／１０以下に低減できる。
【００３９】
また洗浄液を再利用し、洗浄液使用量を省量化したことから、洗浄処理に要する時間を従来に比べて短縮することができる。つまり洗浄液使用量が多い場合には、背景技術の欄にて記載したように、洗浄液タンク１０に接続できる処理液流路の個数には制限があり、処理液流路の数が多い場合には、全ての処理液流路を同時に洗浄することができない。これに対して本実施形態によれば、洗浄液を再利用しているため、従来の構成に比べて洗浄液タンク１０に接続できる処理液流路の個数が増加する。そして洗浄液タンク１０に接続した処理液流路の全てにおいて、同時に並行して洗浄処理を行うことができるので、工数が大幅に低減し、結果としてトータルの処理時間が例えば１／４程度に短縮される。
【００４０】
また上述の実施形態では、洗浄液が通流する流路内に配置されたバルブについて強制的に高速で開閉させているので、配管に付着しているパーティクルのみならず、バルブを開閉することによって発塵するおそれがあるパーティクルについても除去することができる。さらにバルブを高速開閉させることにより、洗浄処理と同時にバルブの稼働試験を実施することができ、装置の稼働前に実施する処理の時間を短縮することができる。
さらにまたポンプ７１の駆動による洗浄工程を実施する場合には、ポンプ７１の駆動によって発塵するおそれがあるパーティクルも除去することができる。また窒素ガスの加圧を行わないため、窒素の過溶存による配管やバルブ、ポンプ７１の内壁などにおける表面パーティクルの発生を抑制できる。
【００４１】
さらにまた循環路６、６１〜６３を着脱自在に設けることにより、１つの循環路６、６１〜６３を用意すれば、複数の処理液供給装置の洗浄に用いることができる。また処理液供給装置の洗浄を行った後は取り外すことができるので、液処理モジュール１００にて液処理を行っている間に、循環路６、６１〜６３及びフィルタ部６４の洗浄を行うことができる。但し、循環路６、６１〜６３は液処理モジュール１００にて液処理を行うときに取り外さなくてもよいし、循環路６、６１〜６３を取り外すタイミングは、洗浄処理の最終工程において洗浄液をディスペンスバルブＶ２２の下流側に供給してノズル２１から吐出させる前であってもよい。この場合には、循環路６、６１〜６３を取り外し、ディスペンスバルブＶ２２にノズル２１を取り付けた後、洗浄液をノズル２１に供給する。次いで処理液供給源を処理液流路１の上流側に接続すると共に、処理液中の異物を除去するためのフィルタをフィルタ装着部７３に装着し、液処理を行う。また循環路６、６１〜６３は必ずしも処理液流路１に対して着脱自在に設ける必要はない。
【００４２】
さらにこの実施形態では、バルブの高速開閉及びポンプ駆動による洗浄工程は必ずしも実施する必要はなく、窒素ガスの加圧による洗浄液の移動のみによって洗浄処理を行うようにしてもよい。またポンプ駆動による洗浄工程を実施せずに、窒素ガスの加圧による洗浄工程と、バルブの高速開閉のみを行うようにしてもよいし、バルブの高速開閉を行わずに、窒素ガスの加圧による洗浄工程と、ポンプ駆動による洗浄工程のみを行うようにしてもよい。
【００４３】
以上においてこの実施の形態では、図１０に示すように、洗浄液中のパーティクルをポンプ流路系２３、３３、４３に設けられたフィルタ装着部７３において除去するようにしてもよい。この例が上述の図１に示す例と異なる点は、フィルタ装着部７３に処理液中のパーティクルを除去するためのろ過材（フィルタ）を設けると共に、循環路６にフィルタ部６４が設けられていない点である。この例のフィルタ装着部７３は、洗浄液中のパーティクルを除去するためのフィルタ部と処理液中のパーティクルを除去するためのフィルタ部とを兼用するものである。その他の構成及び洗浄処理の手法については、上述の実施形態と同様である。
【００４４】
（第２の実施形態）
続いて本発明の第２の実施形態について、図１１〜図１５を参照して説明する。この実施形態が、上述の第１の実施形態と異なる点は、第１〜第３の中間タンク２２、３２、４２内を減圧する減圧機構８が設けられると共に、第１〜第３の流路２〜４に循環路６１〜６３、６が接続されておらず、フィルタ装着部７３には処理液中のパーティクルを除去するためのフィルタが装着されることである。この例のフィルタ装着部７３に装着されたフィルタは、洗浄液中のパーティクルを除去するためのフィルタ部と処理液中のパーティクルを除去するためのフィルタ部とを兼用するものである。
【００４５】
例えば第１〜第３の中間タンク２２、３２、４２の排気路２２４、３２４、４２４には、夫々バルブＶ６６、Ｖ６７、Ｖ６８を介して吸引排気路８１が接続され、この吸引排気路８１の他端側に減圧機構８が接続されている。また第１〜第３の流路２〜４の夫々においては、ポンプ流路系２３、３３、４３とノズル２１、３１、４１との間にディスペンスバルブＶ２２、Ｖ３２、Ｖ４２のみを備えている。
【００４６】
さらに制御部Ｃは、ポンプ流路系２３、３３、４３に対して、第１のバルブＶ７を開き、第２のバルブＶ７５を閉じた状態で洗浄液をフィルタ装着部７３のフィルタを介してポンプ７１に吸い込む。次いで第１のバルブＶ７を閉じ、第２のバルブＶ７５を開いた状態で、ポンプ７１から洗浄液をバイパス路７５側に吐出する制御信号を出力するように構成されている。
さらにまた第１〜第３の中間タンク２２、３２、４２の夫々には、液面センサ２２１と液面センサ２２２との間の高さ位置に液面センサ２２３が設けられている。その他の構成は第１の実施形態と同様であり、同じ構成部材については同符号を付し、説明を省略する。
【００４７】
続いてこの実施形態の作用について、第１の流路２を例にして説明する。処理液供給装置の洗浄処理のタイミングや、洗浄液タンク１０から第１中間タンク２２、第２の中間タンク３２、第３の中間タンク４２の夫々に洗浄液を供給し、第１の流路２、第２の流路３、第３の流路４の夫々において並行して洗浄処理が実施される点は第１の実施形態と同様である。
第１の実施形態と同様に、洗浄液タンク１０から洗浄液を、第１の中間タンク２２内の洗浄液の液面が上限レベルに達するまで供給する。そして図１２に示すように、バルブＶ５１、Ｖ７、Ｖ７１、Ｖ７２、Ｖ２２を開き、その他のバルブを閉じて、窒素ガスを第１の中間タンク２２内に供給して加圧することにより、例えば第１の中間タンク２２からノズル２１の内部の流路まで洗浄液を供給する。こうして処理液流路内に洗浄液を通流させることにより当該流路を洗浄し、また洗浄液に混入するパーティクルは、洗浄液がフィルタ装着部７３のフィルタを通過するときに除去される。また洗浄液が通流する流路に設けられたバルブ、つまりＶ７、Ｖ７１、Ｖ７２、Ｖ２２は高速開閉させる。
【００４８】
続いて図１３に示すように、バルブＶ６６、Ｖ７５、Ｖ７１、Ｖ７２、Ｖ２２を開き、その他のバルブを閉じ、減圧機構８により第１の中間タンク２２内を吸引して、この中間タンク２２内を減圧する。これにより第１の流路２内の洗浄液は、ポンプ７１→トラップ部７２→バイパス路７５の経路で第１の中間タンク２２側へ移動し、第１の流路２内の洗浄液が第１の中間タンク２２に吸い上げられる。こうして第１の流路２内の洗浄液を、例えばポンプ７１のバルブＶ７２の直ぐ下流側まで吸引する。つまり第１の流路２においてはバルブＶ７２内は洗浄液があるが、バルブＶ７２の下流側には洗浄液がない状態である。このように洗浄液を第１の中間タンク２２側に移動するときにも、例えば流路に設けられたバルブ、つまりバルブＶ７１、Ｖ７５、Ｖ７２、Ｖ２２は高速開閉させる。
【００４９】
こうして洗浄液は第１の中間タンク２２内を窒素ガスにより加圧することにより、処理液流路内を第１の中間タンク２２からノズル２１に向けて移動し、第１の中間タンク２２内を減圧機構８により減圧することにより、ノズル２１からポンプ流路系２３の下流側まで戻るように移動する。従ってこの例の液移動機構は、洗浄液を処理液流路内を往復移動させるように動作するものであり、例えば洗浄液タンク１０と、洗浄液タンク１０内を加圧する加圧機構と、中間タンク２２、３２、４２と中間タンク２２、３２、４２内を加圧する機構と、減圧機構８と、を備えて構成される。
【００５０】
この例では、例えば第１の中間タンク２２内の洗浄液の液面が上限レベルから下限レベルまで下流側に送液されたときに、第１の中間タンク２２からノズル２１の内部に至る流路全体に洗浄液が行き渡るように設定されている。また第１の中間タンク２２内の洗浄液が下限レベルから液面センサ２２３により検知される中間レベルまで吸い上げられたときに、ポンプ７１のバルブＶ７２の下流側の流路の洗浄液が吸引されて戻されるようになっている。従って液面センサ２２１〜２２３の検出信号に基づいて、バルブＶ５、Ｖ２１、Ｖ５１、Ｖ６６の開閉を制御することにより、洗浄液タンク１０から第１の中間タンク２２への洗浄液の供給と、第１の中間タンク２２からノズル２１までの洗浄液の供給と、ポンプ７１の下流側の流路内の洗浄液の吸引が行われる。
【００５１】
こうして第１の中間タンク２２からノズル２１の内部に至る洗浄液の流路に洗浄液を供給する工程と、ポンプ７１の下流側の流路内の洗浄液を吸引する工程とを複数回繰り返し、洗浄液をノズル２１とポンプ７１との間で往復移動させて、洗浄液中のパーティクルを除去する。
しかる後、ポンプ駆動による洗浄工程を実施する。この工程は、例えばポンプ７１のバルブＶ７２の下流側の流路内の洗浄液を減圧機構８により吸引してから、ポンプ７１を駆動させ、ポンプ７１内に洗浄液を吸い込む工程と、ポンプ７１から洗浄液を吐出する工程と、を交互に複数回繰り返すことにより実施される。
【００５２】
先ずポンプ７１内に洗浄液を吸い込む工程は、例えば図１４に示すように、第１のバルブＶ７、バルブＶ７１を開き、その他のバルブは閉じて、ポンプ７１を駆動させてポンプ内に洗浄液を吸い込む。これにより第１の中間タンク２２内の洗浄液は、順方向つまりノズル２１側へフィルタ装着部７３のフィルタを通過するように移動し、パーティクルが除去される。このとき第１のバルブＶ７、バルブＶ７１は高速開閉させる。
次いでポンプ７１から洗浄液を吐出する工程は、例えば図１５に示すように、バルブＶ７１、第２のバルブＶ７５、バルブＶ６５を開き、その他のバルブは閉じて、ポンプ７１からトラップ部７２側へ向けて洗浄液を吐出する。これによりポンプ７１内の洗浄液は、逆方向つまり第１の中間タンク２２側へ向けて、バイパス路７５を介して移動する。このときバルブＶ７１、第２のバルブＶ７５は高速開閉させる。こうしてポンプ７１内に洗浄液を吸い込む工程と、ポンプ７１から洗浄液を吐出する工程とを複数回繰り返す。この工程では、ポンプ７１の駆動により洗浄液を移動させているので、ポンプ７１も液移動機構を成している。
【００５３】
続いてバルブＶ５１、Ｖ７、Ｖ７１、Ｖ７２、Ｖ２２を開き、その他のバルブを閉じて、第１の中間タンク２２から下流側に第１の流路２を介して洗浄液を供給し、ノズル２１から吐出させる。このときバルブＶ５１、Ｖ７、Ｖ７１、Ｖ７２、Ｖ２２を高速開閉してもよい。そしてこの吐出された洗浄液中のパーティクルの検査を行い、パーティクルが設定値以下であれば洗浄処理を終了する。一方パーティクルが設定値を超えているときには、既述の窒素ガスの加圧による洗浄工程とポンプ動作による洗浄工程の少なくとも一方を所定時間繰り返して、再度洗浄液をノズル２１から吐出させ、パーティクルの検査を行う。
【００５４】
こうして第１の流路２、第２の流路３、第３の流路４の夫々について洗浄処理を行った後、洗浄液タンク１０を処理液流路１から取り外し、当該洗浄液タンク１０の代わりに、処理液流路１の上流側に処理液供給源を接続する。そして処理液供給路１〜４を介して処理液をノズル２１、３１、４１に供給し、液処理モジュール１００においてウエハＷに対して処理液を供給して、液処理が行われる。
【００５５】
第２の実施形態によれば、窒素ガスの加圧による洗浄液の順方向の移動と、減圧機構８の減圧による洗浄液の逆方向の移動とにより、洗浄液を流路内に往復移動させ、順方向に移動するときに洗浄液がフィルタ装着部７３のフィルタを通過する。従ってパーティクルが除去された洗浄液を再利用することができ、従来に比べて洗浄液使用量を削減できる。また洗浄液使用量を削減したことから、複数の処理液流路において、同時に並行して洗浄処理を行うことができ、洗浄処理時間が短縮される。さらに既存の設備に減圧機構８及び吸引排気路８１を追加すればよいため、設備改造が行いやすいという利点もある。洗浄液が通流する流路内に配置されたバルブについて強制的に高速開閉させる効果、ポンプ７１の駆動による洗浄工程の効果は、第１の実施形態と同様である。
【００５６】
第２の実施形態では、バルブの高速開閉及びポンプ駆動による洗浄工程は必ずしも必要はなく、窒素ガスを用いて洗浄液を第１の中間タンク２２の下流側に圧送することのみを行なって洗浄処理を行うようにしてもよい。つまりポンプ駆動による洗浄工程を実施せず、窒素ガスの加圧による洗浄工程と、バルブの高速開閉のみを行うようにしてもよいし、バルブの高速開閉を行わずに、窒素ガスの加圧による洗浄工程と、ポンプ駆動による洗浄工程とのみを行うようにしてもよい。またバルブの高速開閉のタイミングは適宜設定できる。さらに第１の実施形態の処理液供給装置のように循環路６、６１〜６３により洗浄液を移動させる装置においても、第２の実施形態のように、減圧機構８により洗浄液を移動させて洗浄処理を行うようにしてもよいし、ポンプ駆動により洗浄液を往復移動させて洗浄処理を行うようにしてもよい。
【００５７】
（第３の実施形態）
続いて本発明の第３の実施形態について、図１６〜図２１を参照して説明する。この実施形態が上述の第１の実施形態と異なる点は、第１〜第３の流路２〜４に循環路６１〜６３、６が接続されておらず、フィルタ装着部７３には処理液中のパーティクルを除去するためのフィルタが装着されることである。この例のフィルタ装着部７３のフィルタは、洗浄液中のパーティクルを除去するためのフィルタ部と処理液中のパーティクルを除去するためのフィルタ部とを兼用するものである。またポンプ流路系２３、３３、４３とノズル２１、３１、４１との間には、ディスペンスバルブＶ２２、Ｖ３２、Ｖ４３のみを備えている。
【００５８】
また制御部Ｃは、ポンプ流路系２３、３３、４３に対して、第１のバルブＶ７を開き、第２のバルブＶ７５を閉じた状態で洗浄液をフィルタ装着部７３のフィルタを介してポンプ７１に吸い込む。次いで第１のバルブＶ７を閉じ、第２のバルブＶ７５を開いた状態で、ポンプ７１から洗浄液をバイパス路７５側に吐出する制御信号を出力するように構成されている。その他の構成は第１の実施形態と同様であり、同じ構成部材については同符号を付し、説明を省略する。
【００５９】
この例の作用について、第１の流路２を例にして説明する。処理液供給装置の洗浄処理のタイミングや、洗浄液タンク１０から第１の中間タンク２２、第２の中間タンク３２、第３の中間タンク４２の夫々に洗浄液を供給して、第１の流路２、第２の流路３、第３の流路４の夫々において並行して洗浄処理が実施される点は第１の実施形態と同様である。
先ず第１の実施形態と同様に、洗浄液を洗浄液タンク１０から第１の中間タンク２２内に、洗浄液が上限レベルになるまで供給する。そしてバルブＶ５１、Ｖ７、Ｖ７１、Ｖ７２、Ｖ２２を開き、その他のバルブを閉じて、窒素ガスの加圧により、洗浄液を第１の中間タンク２２から例えばノズル２１の内部の流路まで供給する。
【００６０】
続いて吸引工程→第１の逆行工程→ろ過工程→第２の逆行工程よりなる一連のセット動作を実行する。吸引工程では、図１７に示すように、バルブＶ７２、Ｖ２２を開き、その他のバルブを閉じて、ポンプ７１の吸引動作により、ポンプ７１の下流側の洗浄液をポンプ７１内部に吸引する。またバルブＶ７２、Ｖ２２は高速開閉させる。図１７は吸引工程を開始した直後の状態であり、図１８は吸引工程を終了した直後の状態、つまり次の第１の逆行工程を開始した直後の状態を示す。
【００６１】
次に図１８に示す第１の逆行工程を実施する。この工程では、バルブＶ７３、Ｖ７５、Ｖ６５を開き、その他のバルブを閉じて、ポンプ７１の吐出動作により、ポンプ７１内の洗浄液をポンプ７１の上流側に、流路７４及びバイパス路７５を介して送液する。これにより洗浄液は第１の流路２を逆方向に移動して、第１の中間タンク２２の内部に戻される。またバルブＶ７３、Ｖ７５は高速開閉させる。
【００６２】
次いで図１９に示すろ過工程を実施する。図１９はろ過工程を開始した直後（第１の逆行工程を終了した直後）の状態を示し、この工程では、バルブＶ７、Ｖ７１を開き、その他のバルブを閉じて、ポンプ７１の吸い込み動作により、第１の中間タンク２２及びポンプ流路系２３の上流側の流路の洗浄液を順方向に移動させて、ポンプ７１内部に吸い込む。このとき洗浄液はフィルタ装着部７３のフィルタ部を通過するので、洗浄液内のパーティクルが除去される。またバルブＶ７、Ｖ７１は高速開閉させる。
【００６３】
続いて図２０に示すように第２の逆行工程を実施する。この工程は、第１の逆行工程と同様に、バルブＶ７３、Ｖ７５、Ｖ６５を開き、その他のバルブを閉じて、ポンプ７１の吐出動作により、ポンプ７１内の洗浄液を流路７４、バイパス路７５を介して送液する。これにより洗浄液は第１の流路２を逆方向に移動して、第１の中間タンク２２の内部に戻される。またバルブＶ７３、Ｖ７５は高速開閉させる。なお第１の逆行工程及び第２の逆行工程では、バルブＶ７１、Ｖ７５、Ｖ６５を開き、その他のバルブを閉じて、ポンプ７１内の洗浄液をポンプ７１の上流側にバイパス路７５を介して送液するようにしてもよい。
【００６４】
こうして吸引工程→第１の逆行工程→ろ過工程→第２の逆行工程のセットを複数回繰り返す。洗浄液が流路内を通流することにより流路が洗浄されると共に、洗浄液がフィルタ装着部７３のフィルタを通ることにより、洗浄液からパーティクルが除去されて洗浄液が清浄化される。また吸引工程を実施する度に、ポンプ７１の下流側の流路においては、洗浄液が徐々にポンプ７１側に移動するため、例えば洗浄液がポンプ７１のバルブＶ７２近傍まで移動するまで、既述のセットを繰り返す。この例においては、ポンプ７１の駆動により洗浄液を処理液流路内において往復移動させているので、ポンプ７１が液移動機構を成している。
【００６５】
この後、図２１に示すように、バルブＶ５１、Ｖ７、Ｖ７１、Ｖ７２、Ｖ２２を開き、その他のバルブを閉じて、第１の中間タンク２２から下流側に第１の流路２を介して洗浄液を供給し、ノズル２１から吐出させる。そしてこの吐出された洗浄液中のパーティクルの検査を行い、パーティクルが設定値以下であれば洗浄処理を終了する。一方パーティクルが設定値を超えているときには、既述の洗浄工程を所定時間繰り返して、再度洗浄液をノズル２１から吐出させ、パーティクルの検査を行う。
こうして第１の流路２、第２の流路３、第３の流路４の夫々について洗浄処理を行った後、洗浄液タンク１０を処理液流路１から取り外し、当該洗浄液タンク１０の代わりに、処理液流路１の上流側に処理液供給源を接続する。そして処理液流路１〜４を介してノズル２１、３１、４１に処理液を供給することにより、液処理モジュール１００においてウエハＷに対して処理液を供給して液処理が行われる。
【００６６】
第３の実施形態によれば、ポンプ動作により洗浄液を流路内に往復移動させ、順方向に移動するときに洗浄液をフィルタ装着部７３のフィルタを通過させている。従ってパーティクルが除去された洗浄液を再利用でき、従来に比べて洗浄液使用量を削減できる。また洗浄液使用量を削減したことから、複数の処理液流路において同時に並行して洗浄処理を行うことができ、洗浄処理時間が短縮される。さらに既存の設備の改造が不要であり、実施しやすいという利点もある。また洗浄液が通流する流路内に配置されたバルブについて高速開閉する効果及びポンプを駆動させて洗浄処理を行う効果は第１の実施形態と同様であるが、バルブの高速開閉は必ずしも実施する必要はない。またバルブの高速開閉のタイミングは適宜設定できる。さらに第１の実施形態の処理液供給装置のように循環路６、６１〜６３により洗浄液を移動させる装置においても、第３の実施形態のように、ポンプ駆動により洗浄液を往復移動させて洗浄処理を行うようにしてもよい。
この実施形態では、ポンプ７１を駆動させて流路内を第１の中間タンク２２側からノズル２１側に向けて順方向に洗浄液を移動させたが、この順方向の移動を第１の中間タンク２２に窒素ガスを供給して、中間タンク２２内を加圧することにより行うようにしてもよい。
【００６７】
続いてポンプ流路系の他の例について、図２２〜図２４を参照し、第１の流路２に設けられる構成を例にして簡単に説明する。図２２は、２ステージポンプからなるポンプ流路系９１を設ける例である。ポンプ流路系９１は、互いに独立するディスペンスポンプ９１１とフィードポンプ９１２とを備え、これらの間にフィルタ部９１３が設けられている。ディスペンスポンプ９１１とフィードポンプ９１２との間は、パージ用のバルブＶ８１を備えた流路９１４にて接続されている。またフィルタ部９１３はバルブＶ８２を備えた流路９１５によりフィードポンプ９１２に接続されると共に、バルブＶ８３を備えた流路９１６によりディスペンスポンプ９１１に接続されている。さらにフィードポンプ９１２は、液供給用のバルブＶ８４を備えた第１の流路２により第１の中間タンク２２に接続されると共に、ディスペンスポンプ９１１は液排出用のバルブＶ８５を介して第１の流路２のディスペンスバルブＶ２２に接続されている。９１０はベント用のバルブＶ８０を備えた排気路である。
【００６８】
この例では、第１の中間タンク２２内の洗浄液は、フィードポンプ９１２→フィルタ部９１３→ディスペンスポンプ９１１の経路で下流側に向けて流れて行く。このポンプ流路系９１では、フィードポンプ９１２とディスペンスポンプ９１１とを互いに独立して設けているので、フィルタ部９１３を通流する洗浄液の速度（ろ過速度）と、ディスペンスポンプ９１１から下流側に洗浄液を吐出するときの吐出速度とを互いに独立して設定できる。
【００６９】
図２３は、チューブフラムポンプからなるポンプ流路系９２を設ける例である。ポンプ流路系９２は、筐体９２１内にチューブフラム９２２と、圧力伝達用の２次流体部９２３とを備え、２次流体部９２３にプランジャー９２４、ピストン９２５を介してステッピングモータ９２６が接続されている。チューブフラム９２２は、液供給用のバルブＶ８６を備えた第１の流路２を介して第１の中間タンク２２に接続されると共に、流路９２７によりフィルタ部９２８に接続されている。またフィルタ部９２８はディスペンスバルブＶ２２を備えた流路９２９を介して図示しないノズル２１に接続され、ベント用のバルブＶ８７を備えた排気路９２０が設けられている。９３０はベント用のバルブＶ８８を備えた排気路、９３９は圧力センサである。このポンプ流路系９２では、ステッピングモータ９２６と直結したプランジャー９２４により発生した容積変化を２次流体部９２３を介してチューブフラム９２２に伝達することにより、洗浄液の吸い込みと吐出とが行われるように構成されている。
【００７０】
図２４は、ベローズポンプからなるポンプ流路系９３を設ける例である。図２４中９３１はベローズ、９３２はベローズシャフト、９３３はステッピングモータ、９３４はベルト機構である。ベローズ９３１には液供給用のバルブＶ９１を備えた流路９３６を介してフィルタ部９３５が接続されると共に、液排出用のバルブＶ９２を介して第１の流路２により図示しないディスペンスバルブＶ２２に接続されている。またフィルタ部９３５には第１の流路２を介して第１の中間タンク２２が接続されている。９３７はフィルタ部９３５の排出路、９３８は圧力センサである。この例では、ステッピングモータ９３３にてベローズ９３１を伸縮させて洗浄液を吸い込み、ベローズ９３１を反対に駆動させることで、洗浄液を吐出するように構成されている。
【００７１】
以上において、上述の実施形態では、洗浄液からパーティクルを除去するためのフィルタ部に順方向（洗浄液タンク側からノズルに向かう方向）に洗浄液を通過させてパーティクルの除去を行い、パーティクル除去後の洗浄液を再びフィルタ部に逆方向に通過させて、当該洗浄液を洗浄液タンクに戻すようにしてもよい。
また洗浄液タンクに接続される処理液流路の分岐路は、第１〜第３の流路に限られず、３本以上の分岐路を接続し、夫々の分岐路において並行して洗浄処理を行うようにしてもよい。さらに処理液流路を分岐させる必要はなく、洗浄液タンクに１つの処理液流路を介して１つのノズルを接続してもよい。さらにまた処理液流路を複数の分岐路に分岐させる場合においても、必ずしも全ての分岐路を洗浄する必要はなく、一部の分岐路のみに洗浄処理を行うようにしてもよい。
さらにまた第１〜第３の中間タンク２２、３２、４２に洗浄液を供給するタイミングで、バイパス路７５や流路７４に洗浄液を供給して、これらの流路を洗浄することが好ましい。但し、第１〜第３の中間タンク２２、３２、４２に洗浄液を供給する度に、バイパス路７５や流路７４に洗浄液を通流させる必要はなく、これらの流路に洗浄液を供給するタイミングは適宜設定できる。
【符号の説明】
【００７２】
Ｗ          ウエハ
１００      液処理モジュール
１          処理液流路
１０        洗浄液タンク
２          第１の流路
２１、３１、４１        ノズル
２３、３３、４３        ポンプ流路系
３          第２の流路
４          第３の流路
６、６１、６２、６３    循環路
６４        フィルタ部
７１        ポンプ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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