(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力室の壁を形成する圧電素子と、
前記圧電素子と該圧電素子に電力を供給する電線とが配置される配置領域を有する基板と、
前記基板の配置領域と、前記圧電素子の一外壁面と、前記配置領域と前記一外壁面の交線と、を被覆すると共に前記配置領域の外で終端する補修層と、
を有するインクジェットヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載のインクジェットヘッドと、
前記インクジェットヘッドへ用紙を搬送する搬送用ローラとを備えるインクジェットプリンタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、インクジェットヘッド及びインクジェットプリンタに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、インクジェットプリンタは、インクジェットヘッドを介してインクを印刷用紙に噴射する。このようなインクジェットヘッドには、ベース基板上に配置された圧電素子を壁とする圧力室にインクを誘導すると共に、ベース基板に圧電素子に電力を供給するための配線を配置して、所望のタイミングで圧力室を変形させるものがある。
【０００３】
このようなインクジェットヘッドに関連して、インクが流れる方向に傾斜をつけて圧電素子とベース基板とを加工する技術が開発されている。
【０００４】
しかしながら、上述の従来技術でインクジェットヘッドを製造すると、ベース基板と圧電素子とを加工する段階で圧電素子に欠けが発生してしまう。欠けを放置すると耐久性が低下するうえに、印刷精度が低下する。単に補修剤でベース基板に設置された圧電素子の欠けを補修するといった簡便な方法で対処すると、補修剤の端部が後工程の妨げとなって印刷精度が低下する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１１−０３７０５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上述の事情の下になされたもので、印刷精度を確保したインクジェットヘッド及びインクジェットプリンタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、本実施形態に係るインクジェットヘッドは、圧力室の壁を形成する圧電素子と、圧電素子と該圧電素子に電力を供給する電線とが配置される配置領域を有する基板と、基板の配置領域と、圧電素子の一外壁面と、配置領域と一外壁面の交線と、を被覆すると共に配置領域の外で終端する補修層と、を有する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】実施形態１に係るインクジェットヘッドの外見を示す斜視図である。
【図２】インクジェットヘッドの展開斜視図である。
【図３】駆動ユニットの一部を拡大して示す図である。
【図４】インクジェットヘッドの断面図である。
【図５】電極パターン及び配線パターンを示す図である。
【図６】配線パターンを示す図である。
【図７】インクジェットヘッドの断面図である。
【図８】従来のインクジェットヘッドの断面図の一例である。
【図９】インクジェットヘッドの断面図である。
【図１０】アクチュエータの動作を説明するための図である。
【図１１】アクチュエータの動作を説明するための図である。
【図１２】実施形態２に係るインクジェットヘッドの断面図である。
【図１３】配線パターンを示す図である。
【図１４】インクジェットプリンタの構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施形態を、図面を用いて説明する。説明には、相互に直交するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸からなる直交座標系を用いる。なお、同様の又は対応する構成については、各実施形態において同じ符号を用いて説明する。
【００１０】
（実施形態１）
【００１１】
本実施形態に係るインクジェットヘッド１０は、図１に示すように、ベース基板２０、フレーム３０、オリフィスプレート４０を含む。インクジェットヘッド１０は、図１４に示すインクジェットプリンタ７０に装着される。
【００１２】
図２で例示されるように、ベース基板２０は、長手方向をＸ軸方向とする長方形板状の部材である。ベース基板２０は、例えばアルミナといった絶縁性の高い素材からなる。ベース基板２０には、Ｙ軸方向中央部に、Ｘ軸に沿って複数（図２の例では４つ）の開口２１が形成されている。また、開口２１の−Ｙ側には、Ｘ軸に沿って複数（図２の例では４つ）の開口２２‐１が形成される。さらに、開口２１の＋Ｙ側には、Ｘ軸に沿って複数（図２の例では４つ）の開口２２‐２が形成されている。なお、開口２２‐１と開口２２‐２を区別しない場合には、単に開口２２ともいう。インクジェットヘッド１０は、開口２１からインクの供給を受ける。また、開口２２からインクを排出する。本実施形態に係るインクジェットヘッド１０では、開口２１の内径の方が、開口２２の内径よりもやや大きい。
【００１３】
ベース基板２０のフレーム３０とオリフィスプレート４０が配置される側（図２のＺ軸プラス方向）の面は、２つの駆動ユニット５０‐１，５０‐２が配置される。この面を設置面２０ａと呼ぶ。設置面２０ａの開口２１と開口２２‐１との間に、駆動ユニット５０‐１が配置される。さらに、駆動ユニット５０‐２は、設置面２０ａの開口２１と開口２２‐２との間に配置されている。なお、駆動ユニット５０‐１と駆動ユニット５０‐２を区別しない場合には、単に駆動ユニット５０と呼ぶ。
【００１４】
本実施形態では、駆動ユニット５０‐１及び駆動ユニット５０‐２の形状は、共に設置面２０ａに配置された状態でＸ軸方向に長く伸びた四角錐台である。駆動ユニット５０は六面の外壁面を持つ。六面のうち、底面は設置面２０ａに接続される。上面には後述する圧力室Ｓを構成するため、櫛状の凹部が形成される。残る四面は側面である。側面のうち、Ｙ軸方向に伸びる小断面を小口ＳＥと呼ぶと一方、Ｘ軸方向に伸びる最も長い辺を含む２側面を長手面ＬＳと呼ぶ。
【００１５】
設置面２０ａには駆動ユニット５０の外壁面のうち長手面ＬＳと設置面２０ａの交線に沿って陥没する溝部２３ａ〜２３ｄが設けられている。具体的には、駆動ユニット５０‐１の２つの長手面ＬＳのうち、Ｙ軸のマイナス方向の長手面ＬＳと設置面２０ａとの交線に沿って溝部２３ａが設けられている。また、駆動ユニット５０‐１の２つの長手面ＬＳのうち、Ｙ軸のプラス方向の長手面ＬＳと設置面２０ａとの交線に沿って溝部２３ｂが設けられている。さらに、駆動ユニット５０‐２の２つの長手面ＬＳのうち、Ｙ軸のマイナス方向の長手面ＬＳと設置面２０ａとの交線に沿って溝部２３ｃが設けられている。最後に、駆動ユニット５０‐２の２つの長手面ＬＳのうち、Ｙ軸のプラス方向の長手面ＬＳと設置面２０ａとの交線に沿って溝部２３ｄが設けられている。溝部２３ａ〜２３ｄを区別しない場合は、単に溝部２３とも呼ぶ。
【００１６】
駆動ユニット５０は、図３に示すように、ベース基板２０の上面に接着されるベース材５１と、ベース材５１に支持される複数の圧電材５３を有している。
【００１７】
ベース材５１は、ＺＹ断面が台形で、長手方向をＸ軸方向とする部材である。ベース材５１は、チタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電素子からなる。ベース材５１の上面には、上方（＋Ｚ方向）に突出する突出部５１ａが、Ｘ軸に沿って略等間隔に形成されている。ベース材５１の下面は、接着剤によって、ベース基板２０の上面に接着されている。
【００１８】
圧電材５３は、チタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電素子である。圧電材５３は、ＺＹ断面が台形で、ベース材５１に形成された突出部５１ａの上面に接着されている。
【００１９】
圧電材５３とベース材５１に形成された突出部５１ａは、アクチュエータ５０ａを構成している。上述したように、アクチュエータ５０ａを構成する圧電材５３と突出部５１ａは、ともに圧電素子からなる。そして、圧電材５３と突出部５１ａの分極方向はＺ軸に平行であり、圧電材５３の極性と突出部５１ａの極性は逆になっている。駆動ユニット５０は、共に圧電素子によって構成されるベース材５１及び圧電材５３から構成される。そのため、駆動ユニット５０、ベース材５１、及び、圧電材５３を、単にベース基板２０（又は設置面２０ａ）に設置された圧電素子とも呼ぶ。
【００２０】
駆動ユニット５０の上部において、隣接する１組のアクチュエータ５０ａがなす空間が、圧力室Ｓである。言い換えれば、ベース材５１と圧電材５３とによって構成されるアクチュエータ５０ａは、圧力室Ｓの壁を形成する。
【００２１】
ベース基板２０の設置面２０ａには、ベース材５１の長手面ＬＳと設置面２０ａとの交線（図３の例ではベース材５１の長手面ＬＳの底辺）に沿って溝部２３が設けられている。本実施形態では、溝部２３は図４に示すように、ベース基板２０において設置面２０ａよりもｚ軸マイナス方向にえぐられたｚ−ｙ平面の断面が三角形の溝（Ｖ字溝）である。Ｖ字溝である溝部２３は、ベース材５１に面する壁面である対面溝壁２４ａ、及び、ベース材５１側の壁面である素子側溝面２４ｂと、の二つの溝壁を有する。なお、図３では対面溝壁２４ａは黒く塗りつぶされた領域で、素子側溝面２４ｂは灰色に塗りつぶされた領域で、それぞれ示されている
【００２２】
本実施形態の溝部２３は、Ｙ軸方向に５ミリメートル、Ｚ軸方向に１ミリメートルのＶ字溝である。溝部２３の底部（溝部２３のｚ軸マイナス方向の最も深い部分）は、溝部２３の開口部の半ばにある。対面溝壁２４ａは、設置面２０ａに対する傾斜角度（図４のθｉｎｃＡ）が０度より大きく、９０度より小さい斜面を成す。すなわち鋭角の角度を持った斜面を成す。なお、傾斜角度とは、設置面２０ａに対する対面溝壁２４ａの勾配を示す角度である。圧電素子が配置された側を面の側をＺ軸プラス方向、配置されていない面の側をマイナス方向とした場合に、ベース基板２０の設置面２０ａと、溝部２３の対面溝壁２４ａと、がなす角のうち、Ｚ軸プラス側で、かつ、圧電素子（ベース材５１及び圧電材５３)から遠い側の角を傾斜角度と呼ぶ。
【００２３】
このような溝部２３及び長手面ＬＳは、例えば三角錐の砥石で駆動ユニット５０とベース基板２０とを研磨することで形成することができる。
【００２４】
溝部２３は、設置面２０ａに対して０度より大きく９０度より小さい傾斜角度を持つ壁面を、ベース基板２０の設置面２０ａに設置された圧電素子（ベース材５１と圧電材５３）の対面側に有することを条件に、任意の形状を有する溝部で代替可能である。
【００２５】
ベース材５１と圧電材５３とは、長手面ＬＳに沿ってインクが流れるように、傾斜がつけられている。そのため、加工時に設置面２０ａの近辺が欠けやすく、ベース材５１は、ベース基板２０の設置面２０ａとの境界線の近辺に不規則な欠損（欠落部５２）を有する。
【００２６】
欠落部５２を放置すると、インクジェットヘッド１０の印刷精度や製品寿命に悪影響が生じる。また、後述するフォトリソグラフィ処理において障害となる。そこで、設置面２０ａに配置された圧電素子の欠落部５２を含む部位を、補修層５４で覆っている。本実施形態では、図３に示すように、補修層５４はベース材５１の長手面ＬＳのＺ軸マイナス方向１／３の部分（または長手面ＬＳの全面でも良い）を覆っている。補修層５４は熱硬化性の接着剤や紫外線硬化性の接着剤である修復材を所定の厚さ（例えば５０〜１μｍ程度）で塗布して硬化させて形成した層である。補修層５４によりベース材５１の長手面ＬＳの一部又は全体を覆う構成によれば、欠落部５２が生じた位置を確認する必要なく圧電素子に生じた欠損を補修することができる。
【００２７】
本実施形態の補修層５４は、図３に示すように、Ｙ軸マイナス方向において対面溝壁２４ａで終端する。言い換えれば、補修層５４の端部の少なくとも一部は、対面溝壁２４ａに接する。一般に、ベース基板２０と補修層５４との物性により、端部においてベース基板２０と補修層５４とが成す接触角（θｃｏｓＡ）は大きくなる。本実施形態では、図４に示すように、補修層５４の終端部で設置面２０ａに対する傾斜角度（０°＜θｉｎｃＡ＜９０°）が０度より大きく９０より小さい斜面である対面溝壁２４ａに接している。よって、補修層５４の終端部と設置面２０ａとが成す角は、接触角（θｃｏｓＡ）と傾斜角（θｉｎｃＡ）との加算（θｃｏｓＡ＋θｉｎｃＡ）となり、接触角（θｉｎｃＡ）よりも大きくなる。図４の例では、θｃｏｓＡ＋θｉｎｃＡの値は９０度より大きく１８０度より小さい。この構成より生じる効果については後述する。
【００２８】
また、図５に示されるように、複数の圧力室Ｓの内壁面にそれぞれ電極パターン６０が形成される。また、図５と図６に示すように、電極パターン６０には、ベース基板２０の設置面２０ａの端部から圧力室Ｓの内壁面への導電路となる配線パターン６１が接続される。電極パターン６０及び配線パターン６１は薄膜形成された回路パターンである。圧力室Ｓの内側面に位置する電極パターン６０は、アクチュエータ５０ａ（圧電素子）に電圧を印加するための電極として機能する。配線パターンは、圧力室Ｓのそれぞれに対応する電極パターン６０に外部装置（例えばインクジェットヘッド１０を装着したインクジェットプリンタ７０）が出力する電力を、電極パターン６０に供給するために用いられる。配線パターン６１を通じて電極パターン６０に選択的に電圧を印加することで、図１０と図１１に示されるように、直線的になっているアクチュエータ５０ａを屈曲させることができる。アクチュエータ５０ａが屈曲すると圧力室Ｓの体積が小さくなり、圧力室Ｓに充填された印刷インクを吐出させることができる。
【００２９】
本実施形態では電極パターン６０及び配線パターン６１はポジ型のフォトリソグラフィ法で形成されたニッケル膜の上に金箔を乗せた構成をもつ。なお、銅といった他の金属でも代用可能である。なお電極パターン６０及び配線パターン６１は、図１〜図４等においては、他の構成を見やすくするため省略されている。
【００３０】
配線パターン６１は、外部装置が供給する電力を電極パターン６０まで供給するため、内側壁から圧電素子（圧電材５３及びベース材５１）の長手面ＬＳと補修層５４、対面溝壁２４ａを介して設置面２０ａの端部まで伸びる導電路を成す。配線パターン６１は補修層５４の端部（特に対面溝壁２４ａ側の端部）を超えて（跨いで）形成される。
【００３１】
本実施形態では、配線パターン６１はフォトリソグラフィ法を用いて形成する。フォトリソグラフィ法では、回路を形成する面（ここでは設置面２０ａ）の上方向（ここではＺ軸プラス方向）から紫外線を照射してパターンを現像する。照射するＺ軸上部方向から見て陰となる部分があると、陰となる部分にはショート等の形成不良が生じる。
【００３２】
ところが、図８に示すように、圧電素子に欠落部５２が発生すると、欠落部分はＺ軸上方向から見て陰となる。なお、図８では露光の方向を太線の矢印で示している。ただでさえセラミック等の圧電素子は欠けやすい上に、インクの流路を形成するために長手面ＬＳを傾斜させているため、ベース材５１の下部では特に欠落部５２が発生しやすい。そこで、長手面ＬＳの一部又は全面を補修層５４で被覆させることが考えられる。しかし、補修層５４の端部の位置を考慮しないと、補修層５４を構成する素材の物性により、補修層の端部が丸まってひさし状に突き出た縁を構成する（図８）。補修層５４端部の下部には、露光によって影となる領域ＳＨが生じる。ポジ型のフォトリソグラフィ法によって形成される配線パターン６１にショート等の形成不良が発生する。
【００３３】
一方、断面図（図７）で示すように、本実施形態の補修層５４は対面溝壁２４ａで終端する。設置面２０ａと水平の面で終端した場合（例えば図８）のように、補修層５４の終端部がひさし状に突き出た縁にならない。言い換えれば、露光によって生じる影（図８の領域ＳＨ）が無い（あるいは小さい）。
【００３４】
本実施形態では上記構成により、パターン形成を行うＺ軸上部方向から見て陰となる部分が無い（少ない）。よって、本実施形態の配線パターン６１は補修層５４の終端部でも伝導性に異常が少ない。
【００３５】
図２に戻り、フレーム３０は、長手方向をＸ軸方向とする部材である。フレーム３０は、例えば、セラミックやアルミナ、又は、表面が絶縁材料によって被覆されたアルミニウム或いはステンレスなどの金属からなる。また、フレーム３０は、ベース基板２０よりも一回り小さい。
【００３６】
フレーム３０の中央には、開口３１が形成されている。開口３１の内壁面には、外側に向かって窪む複数（例では８つ）の凹部３２が形成されている。フレーム３０は、図９に示されるように、ベース基板２０に接着される。フレーム３０の内壁面に形成された凹部３２に、ベース基板２０に形成された開口２２が位置した状態になる。
【００３７】
図２に戻り、オリフィスプレート４０は、ポリイミド等を素材とし、長手方向をＸ軸方向とする長方形のシートである。オリフィスプレート４０のＸ軸方向の大きさは、フレーム３０のＸ軸方向の大きさに等しい。また、オリフィスプレート４０のＹ軸方向の大きさは、フレーム３０のＹ軸方向の大きさに等しい。
【００３８】
オリフィスプレート４０には、Ｘ軸に沿って等間隔に円形の開口４１１が形成されている。また、開口４１１の＋Ｙ側には、Ｙ軸に沿って等間隔に円形の開口４１２が形成されている。開口４１は、インクジェットヘッド１０を循環するインクを、紙などの記録媒体に吐出するためのノズルとして機能する。これらの開口４１の配列ピッチは、図２に示されるアクチュエータ５０ａのＸ軸方向の配列ピッチに等しい。
【００３９】
オリフィスプレート４０は、図１に示されるように、フレーム３０の上面に接着される。この状態では、図１０に示すように、アクチュエータ５０ａが成す圧力室Ｓそれぞれの上方に、オリフィスプレート４０に設けられた開口４１が位置する。
【００４０】
上述のように構成されるベース基板２０、フレーム３０、オリフィスプレート４０は、ベース基板２０の上面にフレーム３０が接着され、フレーム３０の上面と駆動ユニット５０の圧電素子５３の上面とにオリフィスプレート４０が接着されることで一体化される。
【００４１】
図９は、図１に示されるインクジェットヘッド１０のＡＡ断面を示す図である。図９に示されるように、ベース基板２０、フレーム３０、オリフィスプレート４０が一体化されたときには、圧力室Ｓの上方がオリフィスプレート４０によって塞がれた状態になる。
【００４２】
これにより、ベース基板２０に形成される開口２１，２２と、駆動ユニット５０の圧力室Ｓとの間をインクが循環するための流路が形成される。図９に実線で示されるように、インクジェットヘッド１０では、ベース基板２０の開口２１から流入したインクは、駆動ユニット５０の圧力室Ｓを通過して、ベース基板２０の開口２２から流出する。
【００４３】
また、配線パターン６１を介して電極パターン６０に選択的に電圧を印加すると、アクチュエータ５０ａが、図１０に示される状態から、図１１に示される状態に変形する。インクが図９に実線で示されるように循環しているときに図１０から図１１への変形が起こると、図９の白抜き矢印に示されるように、オリフィスプレート４０に形成された開口４１からインクが吐出する。
【００４４】
以上説明したように、本実施形態のインクジェットヘッド１０は、圧力室Ｓを形成する圧電素子（ベース材５１及び圧電材５３）と、圧電素子が配置される設置面を有すると共に、設置面２０ａに圧電素子の外壁面（長手面ＬＳ）と設置面２０ａとの交線に沿って伸びる溝部２３が設けられたベース基板２０を有する。さらに、圧電素子の外壁面（長手面ＬＳ）を被覆する補修層５４を有する。そして、溝部２３の圧電素子に面する対面溝壁２４ａが、設置面２０ａに対する傾斜角度が０度より大きく９０度より小さい斜面を成すと共に、補修層５４が対面溝壁２４ａで終端する。
【００４５】
このような構成により、圧電素子のうち、欠落部５２が発生しやすい部位（ベース材５１の設置面２０ａに近い部分）を補修層５４で被覆すると共に、配線パターン６１が補修層５４の終端部で伝導性に異常が生じる割合を減じることができる。本実施形態のインクジェットヘッド１０は、低い生産コストで高い印刷精度を実現できる。
【００４６】
また、ベース基板２０には、フォトリソグラフィ法を用いて形成された、圧電素子に電力を供給する電極パターン６０と配線パターン６１が形成されている。
【００４７】
フォトリソグラフィ法では、電極パターン６０や配線パターン６１を一度に低コストで配線することができる。一方、パターン形成のために光を当てるため、露光方向から見て陰となる部分ができると陰となる部分でショート等の形成不良が生じる。補修層５４の端部を対面溝壁２４ａで終端することにより、補修層５４の端部でも良好に回路パターンが形成できる。インクジェットヘッド１０は低い生産コストと高い印刷精度を両立できる。
【００４８】
（実施形態１の変形例）
【００４９】
なお、上記実施形態１では溝部２３はＶ字溝であった。しかし、圧電素子に面する溝壁が設置面２０ａに対して０度より大きくの９０度より小さい傾斜角度を持つことを条件に、Ｖ字溝に変えて他の形状の溝部で代用することも可能である。例えば、底面が丸く、上部が広がったＵ字溝を設置面２０ａに設ける。そして、補修層５４を広がったＵ字の壁で終端させても、実施形態１と類似の効果が得られる。また、さらなる変形例として、溝部の底面が丸い代わりに、平らであっても良い。
【００５０】
また、実施形態１のインクジェットヘッド１０では、補修層５４が被覆する領域として、長手面ＬＳの全面を被覆する例や、下部１／３を被覆する例を示した。しかし、必ずしも長手面ＬＳの下辺すべてを覆う必要は無い。欠落部５２が生じにくい事情があるなど、補修する必要が無い場合には、補修する必要が無い部分は補修剤で被覆しない、という構成も可能である。
【００５１】
同様に、補修層５４の全ての端部が対面溝壁２４ａで終端する必要は無く、一部が終端すれば効果は発生する。配線パターン６１の形成不良が一部のみ改善されたとしても、全く改善されないよりは印刷精度は向上するからである。
【００５２】
また、実施形態１では、図７のθｃｏｓＡ＋θｉｎｃＡの値が９０度より大きく１８０度より小さくなり、露光を行うＺ軸上部方向から見て陰となる部分が無い理想的な角度が保たれる例について説明した。しかし、これに限らず、θｃｏｓＡ＋θｉｎｃＡが９０度以下であっても、Ｚ軸上部方向から見て陰となる部分が設置面２０ａと水平の面で終端した場合（図８）よりも小さくなれば効果は発生する。陰の部分が小さいほど、配線パターンの形成不良の割合は小さくなるためである。対面溝壁２４ａの傾斜がθｉｎｃＡが水平（０度）より大きければよい。
【００５３】
（実施形態２）
【００５４】
次に、実施形態２に係るインクジェットヘッド１１について説明する。インクジェットヘッド１１は、実施形態１のインクジェットヘッド１０と比較して、ベース基板に設けられた溝部の形状や、補修層の端部の位置が異なる。
【００５５】
実施形態２に係るインクジェットヘッド１１は、図２と同様にフレーム３０及びオリフィスプレート４０にベース基板２０‐１が一体化された構成を持つ。ベース基板２０‐１のＺ軸方向プラス方向の面（設置面２０ａ）には、ベース材５１と圧電材５３とを含む圧電素子が設置される。
【００５６】
本実施形態では、図１２に示すように、補修層５４‐１の一端（補修層端部５４ａ）はベース基板２０‐１の側壁で終端する。また、ベース基板２０‐１のもう一端（補修層端部５４ｂ及び５４ｃ）は、図１３に示すように、設置面２０ａのうち、配線パターン６１が形成されていない部分で終端する。なお、本実施形態のベース基板２０‐１にはＶ字溝が設けられている必要は無い。図１２には、断面が台形の溝が図示されている。しかし、ここで図示されている溝は圧電素子の長手面ＬＳを形成する際に付加的に形成されたものであり、本実施形態の機能を発揮するために必須なものではない。
【００５７】
ベース基板２０‐１の表面のうち、圧電素子に電力を供給する電線として機能する配線パターン６１が配置される領域（図１３の太線がある領域）を配置領域と呼ぶ。ベース基板２０‐１の側壁は、ベース基板の表面のうち配線パターン６１が配置されない領域に含まれる。そうすると、図１２及び図１３に示すように、補修層５４‐１の端部（補修層端部５４ａ、５４ｂ及び５４ｃ）はいずれもベース基板２０‐１の表面のうち配置領域の外に位置する。
【００５８】
このため、本実施形態の配線パターン６１は補修層５４の端部を超えて形成する必要がない。図８で示した露光の際に生じる影となる領域ＳＨの影響をうけることなく、圧電素子の補修が可能となる。
【００５９】
インクジェットヘッド１１のその他の構成は、実施形態１に係るインクジェットヘッド１０と同様である。特に、配線パターン６１はフォトリソグラフィ法を用いて形成されている。
【００６０】
以上説明したように、本実施形態に係るインクジェットヘッド１１は、圧力室Ｓの壁を形成する圧電素子（ベース材５１及び圧電材５３）と、圧電素子と圧電素子に電力を供給する配線パターン６１とが配置される配置領域を有するベース基板２０‐１とを有する。さらに、ベース基板２０‐１の配置領域と、圧電素子の一外壁面（長手面ＬＳ）と、配置領域と長手面ＬＳの交線と、を被覆すると共に配置領域の外で終端する補修層５４‐１と、を有する。
【００６１】
補修層５４‐１が配線パターン６１が配置される配置領域の外で終端する構成により、配線パターン６１を補修層の端部を超えて形成する必要性が無い。補修層の端部により配線パターン６１が断線するといった不具合が生じる恐れがない。つまり、インクジェットヘッド１１は、低い製造コストと高い印刷精度とを両立することができる。
【００６２】
また、配線パターン６１（及び電極パターン６０）は、フォトリソグラフィ法を用いて形成されている。
【００６３】
フォトリソグラフィ法では、電極パターン６０や配線パターン６１を一度に低コストで配線することができる。一方、パターン形成のために光を当てるため、影となる部分ができると形成不良となる。補修層５４‐１の端部を配線パターンが配置される配置領域の外で終端させることにより、形成不良の影響を排除することができる。インクジェットヘッド１０は低い生産コストと高い印刷精度を両立できる。
【００６４】
（実施形態２の変形例）
【００６５】
上述の実施形態２では、補修層５４‐１の一端をベース基板２０の側面に、別の端を設置面２０ａ上であって配置領域の外に配置した。しかし、これに限らず補修層の全ての端部をベース基板２０の側面に配置しても良い。あるいは、配線パターン６１の配置が許せば、補修層５４‐１の端部を全て設置面２０ａ上で終端させても良い。
【００６６】
また、本実施形態では、補修層の全ての端部を配置領域外に置く例を紹介したが、補修層の一部を配置領域に終端させてもよい。一部のみでも配線パターンの形成不良が改善されれば効果は生じるからである。
【００６７】
インクジェットヘッド１０を用いたインクジェットプリンタ７０について説明する。インクジェットプリンタ７０は、図１４に示すように、シアン、マゼンダ、イエロー、ブラックのインクジェットヘッド７１Ｃ、７１Ｍ、７１Ｙ、７１Ｋを含む、インクジェット方式のカラープリンタである。
【００６８】
インクジェットプリンタ７０は、例えば記録媒体である用紙Ｐを搬送しながら画像形成を行う装置である。インクジェットプリンタ７０は、外郭を構成する筐体７２を有している。また、インクジェットプリンタ７０は、内部に用紙供給部としての給紙カセット７３と、筐体７２上部に用紙排出部としての排紙トレイ７４を備える。
【００６９】
またインクジェットプリンタ７０は用紙Ｐを外周面上に保持して回転する保持ローラであるドラム７５と、給紙カセット７３からドラム７５の外周に向かう搬送路１０１を介して用紙Ｐを搬送する搬送部７６と、ドラム７５の外周から排紙トレイ７４に向かう搬送路１０２を介して用紙Ｐを搬送する搬送部７７を備える。さらに、インクジェットプリンタ７０はドラム７５から剥離された用紙Ｐの表裏面を反転させ、再びドラム７５に向かう搬送路１０３を介してドラム７５に供給する反転装置７８を備える。
【００７０】
ドラム７５は、時計回り方向ＣＷに回転する。回転方向の上流側から下流側に向かって順番に、保持部７９と、画像形成部８０と、除電剥離部８１と、クリーニング部８２と、を有する。 
保持部７９は、用紙Ｐをドラム７５の外周面に吸着させて保持する。画像形成部８０は、ドラム７５の外周面に保持された用紙Ｐに画像を形成する。除電剥離部８１は用紙Ｐを除電しドラム７５から剥離する。クリーニング部８２はドラム７５を清浄する。
【００７１】
搬送部７６は、搬送路１０１に沿ってガイド部材８３、及び搬送用ローラであるピックアップローラ８４、給紙ローラ対８５、レジストローラ対８６を有する。搬送部７６の搬送用ローラ（８４〜８６）はモータによって駆動されて回転し、用紙Ｐをインクジェットヘッド７１Ｃ、７１Ｍ、７１Ｙ、７１Ｋの方へ搬送する。また搬送部７７は、搬送路１０２に沿ってガイド部材８３、排出用ローラである分離ローラ対８７、搬送ローラ対８８、排出ローラ対８９を有している。これらの排出用ローラ（８７〜８９）はモータによって駆動されて回転し、用紙Ｐを排出する。
【００７２】
搬送路１０１におけるレジストローラ対８６のニップ近傍には用紙Ｐを検知する用紙センサ９０を設けている。またインクジェットプリンタ７０には、操作パネル９１を設けている。また、インクジェットプリンタ７０内には、装置内の状況を監視するためのセンサが各所に配置されている。
【００７３】
ドラム７５は、回転軸７５１と、円筒フレーム７５２と、円筒フレーム７５２の表面に形成された薄い絶縁層７５３と、を備える。
【００７４】
保持部７９は、用紙Ｐをドラム７５に対して押圧する押圧ローラ９３と、押圧ローラ９３の下流側にて帯電による静電気力で用紙Ｐをドラム７５に吸着させる帯電ローラ９４と、を備えている。
【００７５】
帯電ローラ９４は、帯電可能な金属製の帯電軸９４１と、帯電軸９４１の外周に形成された表層部を有し、ドラム７５の表面に対向配置されている。帯電ローラ９４はドラム７５の表面に接離する方向に移動可能になっている。 帯電ローラ９４がドラム７５に近接した状態で帯電ローラ９４に電力が供給されると、用紙Ｐをドラム７５に吸着させる方向の静電気力を発生（帯電）し、静電気力により用紙Ｐはドラム７５の表面に吸着される。
【００７６】
画像形成部８０は、帯電ローラ９４よりも下流側にあって、ドラム７５の表面に対向配置した複数（４色）のインクジェットヘッド７１Ｃ、７１Ｍ、７１Ｙ、７１Ｋを備えている。４色のインクジェットヘッド７１Ｃ、７１Ｍ、７１Ｙ、７１Ｋは、所定のピッチで設けられたノズルから用紙Ｐにインクを吐出して画像を形成する。４色のインクジェットヘッド７１Ｃ、７１Ｍ、７１Ｙ、７１Ｋは、それぞれ図１、図２で説明したような構造を有するインクジェットヘッド１０である。
【００７７】
除電剥離部８１は、用紙Ｐの除電を行う除電部９５と、除電後にドラム７５の表面から用紙Ｐを剥離させる剥離爪９７と、を備えている。
【００７８】
クリーニング部８２は、除電剥離部８１よりも下流側に設け、ドラム７５に接する接触位置とドラム７５から退避する離間位置とで移動可能なクリーニング部材８２１と、クリーニング部材８２１を回転させるモータとを備えている。
【００７９】
反転装置７８は、剥離爪９７で剥離した用紙Ｐを反転させて、再びドラム７５の表面上に供給する。反転装置７８は、ガイド部材８３を介して供給される用紙Ｐを、例えばスイッチバックして反転させる反転経路を有し、反転経路に沿って用紙Ｐを搬送することにより用紙Ｐを反転させる。
【００８０】
また、ベース基板２０には、フォトリソグラフィ法を用いて形成された、圧電素子に電力を供給する電極パターン６０と配線パターン６１が形成されている。
【００８１】
フォトリソグラフィ法では、電極パターン６０や配線パターン６１を一度に低コストで配線することができる。一方、パターン形成のために光を当てるため、露光方向から見て陰となる部分ができると、陰となる部分でショート等の形成不良が生じる。補修層５４‐１の端部を対面溝壁２４ａで終端することにより、補修層５４の端部でも良好に回路パターンが形成できる。インクジェットヘッド１０は低い生産コストと高い印刷精度を両立できる。
【００８２】
以上、本発明の実施形態について説明した。上述の実施形態は以下のように種々の変形が可能である。
【００８３】
実施形態１及び２において、インクジェットヘッド１０又は１１の配線パターン６１はポジ型のフォトリソグラフィ法によって形成された回路パターンであった。しかし、ネガ型のフォトリソグラフィ法によって形成された回路パターンを持つインクジェットヘッドであっても効果を奏する。ネガ型であっても、露光に影ができるとやはり回路パターンの形成に支障をきたすからである。
【００８４】
また、実施形態１及び２において、インクジェットヘッド１０又は１１の配線パターン６１はフォトリソグラフィ法によって形成された回路パターンであった。しかし、本発明はフォトリソグラフィ法に限らずレーザー加工によって形成された配線パターンを持つインクジェットヘッドに対しても有効である。圧電素子（ピエゾ素子）の欠けや補修剤の端部の丸みによってレーザー光が妨げられると、レーザー加工による回路パターン形成が不良となるからである。
【００８５】
本発明の実施形態及び変形例を説明したが、上記実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施しうるものであり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これらの実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００８６】
１０                     インクジェットヘッド
２０、２０‐１                  ベース基板
２０ａ                          設置面
２３                            溝部
２４ａ                          対面溝壁
５０                            駆動ユニット
５１                            ベース材
５２                            欠落部
５４、５４‐１                  補修層
５４ａ、５４ｂ、５４ｃ            補修層端部
７０                            インクジェットプリンタ
８４〜８６               搬送用ローラ
Ｓ                            圧力室
ＬＳ                            長手面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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