(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
微小液滴を噴射するための複数のノズルを有するノズルプレートと前記ノズルと連通した複数の圧力室の隔壁を構成する壁部とが一体に形成された一体形成部材と、
前記一体形成部材の上に形成された少なくとも１層の機能膜と、
複数の前記圧力室間に形成された絶縁層と、
前記ノズルプレート上に圧電薄膜で形成され、前記ノズルから液滴を噴射するための圧電アクチュエータと、
前記圧力室に液体を供給する手段とを有することを特徴とする液滴噴射装置。
【請求項２】
前記機能膜は、前記圧電薄膜に対して格子整合性を有する膜であることを特徴とする請求項１に記載の液滴噴射装置。
【請求項３】
前記機能膜は、導電性酸化物材料であることを特徴とする請求項１または２に記載の液滴噴射装置。
【請求項４】
前記一体形成部材は、電鋳法を用いて一体成形することを特徴とする請求項１に記載の液滴噴射装置。
【請求項５】
液体を保持するカートリッジと、
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の液滴噴射装置と、
を備える画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、液滴噴射装置および画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のオンデマンド型の液滴噴射装置は、例えば、ＰＺＴといった電気機械変換素子を用いるタイプのものと、発熱素子を用いるサーマルタイプの２種類に大別される。液滴吐出ヘッドは、一般的に、液滴であるインク滴を吐出する複数のノズルが並設され、各ノズル毎に独立した加圧液室（圧力室）に連通している。各加圧液室には、インク供給路を介して共通液室が連通しており、外部のインク供給口から共通液室に供給されたインクを各々の加圧液室へ分配するようにしている。各加圧液室と振動板、あるいはノズルプレートとは接着して接合する構成が一般的である。
【０００３】
近年、小型化や高密度化の要求により、ヘッドを構成する部材も更に小型化が進み、加工・組付けの精度を出すのが非常に難しくなっている。中でも接合面の管理は特に難しく、使用した接着剤のはみ出しや位置ズレ、接着不良などの問題を解決することが要望されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平７−１７８９０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このような問題を解決するために、Ｎｉ電鋳法を用いて、加圧液室の隔壁と振動板、あるいはノズルプレートとを同一材料で形成することで接着剤のはみ出しや位置ズレ、接着不良などの問題の解決を行っている。しかしながら、この従来方法では、加圧液室の隔壁全体をＮｉ電鋳法を用いて製造しているので、時間がかかるうえ、コストが高くなる。さらに、加圧液室隔壁と振動板あるいは、ノズルプレートの求められる機能の差異により、電鋳鋳型を複数用意することや、積層構造をとる必要があり、製造プロセスを複雑にする問題がある。
【０００６】
本実施の形態は、製造プロセスを複雑にすることなく、低コストで液滴噴射装置および画像形成装置を提供することが課題である。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
実施形態によれば、液滴噴射装置は、一体形成部材と、少なくとも１層の機能膜と、絶縁層と、圧電アクチュエータと、液体供給手段とを有する。一体形成部材は、微小液滴を噴射するための複数のノズルを有するノズルプレートとノズルと連通した複数の圧力室の隔壁を構成する壁部とが一体に形成される。機能膜は、一体形成部材の上に形成される。絶縁層は、複数の圧力室間に形成される。圧電アクチュエータは、ノズルプレート上に圧電薄膜で形成され、ノズルから液滴を噴射する。液体供給手段は、圧力室に液体を供給する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】第１の実施の形態のインクジェットヘッドが搭載されるインクジェット画像形成装置の全体の概略構成を示す図。
【図２】第１の実施の形態のインクジェットヘッドの概略構成を示す縦断面図。
【図３】第１の実施の形態のインクジェットヘッドの圧力室が円形の場合のノズルの配置と個別電極の配置の例を示す平面図。
【図４】第１の実施の形態のインクジェットヘッドの電鋳用の鋳型を示す要部の縦断面図。
【図５】第１の実施の形態のインクジェットヘッドの電鋳用の鋳型に一体形成部材を製膜する電鋳工程を示す要部の縦断面図。
【図６】第１の実施の形態のインクジェットヘッドの一体形成部材にシード層を形成する機能膜成膜工程を示す要部の縦断面図。
【図７】第１の実施の形態のインクジェットヘッドの一体形成部材の複数の圧力室の隔壁間に絶縁層を形成する絶縁層形成工程を示す要部の縦断面図。
【図８】第１の実施の形態のインクジェットヘッドの一体形成部材のノズルプレート上に圧電アクチュエータの圧電薄膜を形成する圧電素子形成工程を示す要部の縦断面図。
【図９】第１の実施の形態のインクジェットヘッドの一体形成部材の圧電アクチュエータの圧電薄膜上に個別電極を形成した状態を示す要部の縦断面図。
【図１０】第２の実施の形態のインクジェットヘッドの概略構成を示す縦断面図。
【図１１】第２の実施の形態のインクジェットヘッドの電鋳用の鋳型を示す要部の縦断面図。
【図１２】第２の実施の形態のインクジェットヘッドの電鋳用の鋳型に電鋳法により一体形成部材を製膜する電鋳工程を示す要部の縦断面図。
【図１３】第２の実施の形態のインクジェットヘッドの一体形成部材の複数の圧力室の隔壁間に絶縁層を形成する絶縁層形成工程を示す要部の縦断面図。
【図１４】圧力室が矩形の場合のノズルの配置と個別電極の配置の例を示す平面図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
［第１の実施の形態］  
図１乃至図９は、第１の実施の形態を示す。図１は、本実施の形態の液滴噴射装置の一例であるインクジェットヘッドが搭載されるインクジェット画像形成装置の概略構成を示す図である。
【００１０】
用紙カセット１００および１０１は、サイズの異なる用紙ｐを保持する。給紙ローラ１０２または１０３は選択された用紙サイズに対応した用紙ｐを用紙カセット１００、または１０１から取り出し、搬送ローラ対１０４、１０５およびレジストローラ対１０６に搬送する。
【００１１】
搬送ベルト１０７には駆動ローラ１０８と２本の従動ローラ１０９とによって張力が与えられている。搬送ベルト１０７の表面には所定間隔で多数の小径貫通孔が設けられている。搬送ベルト１０７は、繊維にゴムを積層し、表面を研磨して製作される無端ベルトであり、全面に図示しない小径孔が開けられている。搬送ベルト１０７は、ステンレス鋼などの有端ベルトに端部処理を行って形成しても良い。
【００１２】
搬送ベルト１０７の駆動ローラ１０８と接触する面である裏面には負圧チャンバ１１１の天板が密着するように設置されている。負圧チャンバ１１１は、ダクト２３を介してファン１１０に連結されている。負圧チャンバ１１１は、多数の溝と孔が設けられた上部天板と空気排出用のダクト２３接続用の孔が設けられた箱型筐体である。その中空状の筐体の内部がファン１１０の吸引により負圧に設定される。
【００１３】
吸引ファン１１０により発生する吸引力によって、ダクト２３、負圧チャンバ１１１、搬送ベルト１０７上の多数の小径孔を通して用紙ｐは搬送ベルト１０７の搬送面に吸着する。そして、用紙ｐは搬送ベルト１０７に吸着されたまま搬送される。
【００１４】
本実施の形態のインクジェット画像形成装置は、４色インクジェットヘッドを備えている。搬送ベルト１０７の上方には画像データに応じて用紙にインクを吐出するライン型のインクジェットヘッド１１５が４列並んで設けられている。上流（図中の左側）から順にシアン（Ｃ）インクを吐出するインクジェットヘッド１１５Ｃ、マゼンタ（Ｍ）インクを吐出するインクジェットヘッド１１５Ｍ、イエロー（Ｙ）インクを吐出するインクジェットヘッド１１５Ｙ、ブラック（ＢＫ）インクを吐出するインクジェットヘッド１１５ＢＫが配置されている。更に、各インクジェットヘッド１１５には、各色インクが保持されているシアン（Ｃ）インクカートリッジ１１６Ｃ、マゼンタ（Ｍ）インクカートリッジ１１６Ｍ、イエロー（Ｙ）インクカートリッジ１１６Ｙ、ブラック（ＢＫ）インクカートリッジ１１６ＢＫが設けられている。そして、それぞれのインクジェットヘッド１１５とインクカートリッジ１１６とはチューブ１１８で連結されている。
【００１５】
インクジェットヘッド１１５の本体の端面には所定のピッチでノズルが設けられている。また、インクジェットヘッド１１５は、周知のいずれかの方法で印刷される。
【００１６】
排紙側（図中の右側）には、搬送ローラ対１１２、１１３、１１４及び排紙ローラ対１２６が設置されている。用紙ｐは排紙ローラ対１２６によって排紙トレイ１１７に排出される。
【００１７】
両面印字を行なう際に用紙ｐをもう一度給紙側（図中の左側）に送るための搬送ガイド１３０、搬送ローラ対１２０、１２１、１２２、１２３、１２４、１２５及び、用紙ｐの経路を裏面印刷のために切り替える搬送ガイド１３１が設置されている。搬送ガイド１３０、１３１は、支点を中心にガイド先端の向きが変わるように構成されている。搬送ガイド１３０は、用紙ｐの搬送ルートを排紙側と給紙側に切り替える。搬送ガイド１３１は、用紙ｐを反転させる経路と、裏面印刷用に搬送するための搬送経路とを切り替える。搬送ローラ対１２０、１２１、１２２、１２３、１２４、１２５は反転機構の一部を構成し、反転機構は各インクジェットヘッド１１５の上側及び上側と直交する方向に位置している。
【００１８】
搬送ベルト１０７の用紙搬送方向後段すなわちインクジェットヘッド１１５より搬送方向下流側には画像が形成された用紙ｐを乾燥させる記録媒体乾燥ユニット３２０が設置されている。記録媒体乾燥ユニット３２０には、温風ヒーター、セラミックヒーター、ラバーヒーター、もしくはハロゲンヒーターなどが用いられる。記録媒体乾燥ユニット３２０は、搬送される用紙ｐの表面温度を３０℃以上、好ましくは４０℃〜８０℃の範囲になるように加熱する。
【００１９】
図２は、本実施の形態のインクジェットヘッドを説明するための概略構成を示す縦断面図である。図２中で、１は圧力室の隔壁、２はノズル口、３は機能膜、４は圧電素子、５は絶縁層、６は圧力室、７は個別電極、８はノズルプレートである。
【００２０】
本実施の形態では各圧力室６は円形に形成されている。この圧力室６の形状は、例えば直径が０．３ｍｍ、深さが０．５ｍｍに設定されている。この圧力室６の一端（図２中で上端）は、円形の端板６ａで塞がれている。本実施の形態では、圧力室６の一端側の端板６ａは、ノズルプレート８および圧力室６の隔壁１と一体に形成された一体形成部材９によって形成されている。この一体形成部材９は、例えば電鋳鋳型２１（図４参照）の表面上に電鋳法によりＮｉを製膜したものである。ここで、一体形成部材９のＮｉ膜の厚みは、例えば１〜２０μｍの範囲であり、好ましくはおよそ２μｍである。
【００２１】
圧力室６の円形の端板６ａの中央には、ノズル口２が形成されている。ノズル口２は、円筒状の筒体２ａによって形成されている。この筒体２ａは、先細状のテーパー面によって形成されている。本実施の形態では、ノズル口２は、例えば直径が３０μｍに設定されている。
【００２２】
また、各圧力室６の他端（図２中で下端）は、開口され、円形開口部６ｂが形成されている。各圧力室６の円形開口部６ｂは、共通インク室１０に接合されている。共通インク室１０における各圧力室６との接合壁部には、連通孔（インク流路）１０ａがそれぞれ形成されている。
【００２３】
共通インク室１０の一側部には、適宜のジョイント部１１を介してインクチューブ１２の一端が連結されている。このインクチューブ１２の他端は、インクタンク１３に連結されている。そして、この共通インク室１０と、ジョイント部１１と、インクチューブ１２と、インクタンク１３とによって圧力室６にインクなどの液体を供給する手段１４が形成されている。
【００２４】
また、機能膜３は、一体形成部材９の外表面に積層させた圧電薄膜シード層を形成するものである。この機能膜３は、圧電素子４の圧電薄膜に対して格子整合性を有する膜である。本実施の形態では、例えば一体形成部材９の外表面にスパッタ法によってＳｒＲｕＯ３（ＳＲＯ）を製膜して機能膜３を形成した。なお、機能膜３のＳＲＯ膜の厚さは、例えば５０〜５００ｎｍの範囲であり、好ましくは３００ｎｍである。そして、この機能膜３は、一体形成部材９とともに共通電極１５を構成するものである。また、機能膜３の材料は、ＳＲＯに限定されるものではなく、例えばＴｉＯ２、ＲｕＯ２、ＺｎＯ、ＩｒＯ２、ＮｉＯなども使用することができる。
【００２５】
また、絶縁層５は、複数の圧力室６の隔壁１間に形成されている。絶縁層５の材料としては、例えば、エポキシ樹脂を用いている。圧電素子４は、一体形成部材９のノズルプレート８の上にのみ形成されている。圧電素子４の材料としては、ＫＮｂＯ３を用いた。ＫＮｂＯ３は、鉛を含まない圧電材料であり、環境整合性の高い材料である。Ｐｂ（Ｚｒ・Ｔｉ）Ｏ３（ＰＺＴ）材料を用いてもよい。本実施の形態では、圧電素子４の厚さは、例えば１〜２０μｍの範囲であり、好ましくは２μｍである。個別電極７は、圧電素子４の上に形成されている。この個別電極７は、例えばＰt電極によって形成されている。これら複数の個別電極７は、図３に示すように絶縁層５に設けられた複数の通電パターン２２に個別に電気的に接続されている。
【００２６】
次に、上記構成のインクジェットヘッドの作成工程を図４〜図９を参照して説明する。まず、図４に示す電鋳鋳型２１を成形する工程が行われる。この電鋳鋳型２１の成形工程では、鋳型２１の形成方法は様々な方法がある。例えば、転写を用いる方法と直接造形する方法がある。本実施の形態では、図示しないＳｉ基板にドライエッチング法を用いて所望の形状の圧力室６と対応する圧力室対応空間部と、ノズル口２の筒体２ａと対応する空間であるノズル口対応空間部を形成する。その後、Ｓｉ基板の圧力室対応空間部とノズル口対応空間部にエポキシ樹脂を充填して、転写し、電鋳鋳型２１を形成した。これにより、電鋳鋳型２１には、圧力室６と対応する圧力室対応部２１ａと、ノズル口２の筒体２ａと対応するノズル口対応部２１ｂとが形成されている。さらに、電鋳鋳型２１とするため、表面にＮｉをスパッタ法により成膜し、電極とした。
【００２７】
次に、電鋳鋳型２１に電鋳法により一体形成部材９を製膜する一体形成部材９の製膜工程が行われる。この一体形成部材９の製膜工程では、図５に示すように電鋳鋳型２１の表面上に電鋳法によりＮｉを製膜することで、圧力室６の一端側の端板６ａと、ノズルプレート８および圧力室６の隔壁１とが一体成形された一体形成部材９が形成される。
【００２８】
続いて、一体形成部材９の表面に少なくとも１層の機能膜を形成する機能膜形成工程が行われる。ここでは、図６に示すように、Ｎｉ電鋳膜である一体形成部材９の表面に機能膜であるＳＲＯをスパッタ法により製膜して機能膜３が形成される。
【００２９】
この機能膜３の形成後、図７に示すように複数の圧力室６の隔壁１間にエポキシ樹脂を用いて絶縁層５を形成する絶縁層形成工程が行われる。絶縁層５の形成は、概ね圧力室６の隔壁１の高さと同一となるようにディスペンサを用いて、複数の圧力室６の隔壁１間のくぼみの部分にエポキシ樹脂を充填する。このとき、充填量の制御、レベリングなどを考慮して、ノズルプレート８の部分にエポキシ樹脂が付着しないよう作製する。この状態で、所望の温度、時間により硬化させた。絶縁層５の充填は、産業用インクジェットプリンタ（３Ｄプリンタ）を用いることでより理想的な構造が実現できる。
【００３０】
絶縁層５の形成後、図８に示すように、ノズルプレート８上に圧電素子４を形成する圧電素子形成工程が行われる。この圧電素子形成工程では、水熱合成法を用いる。水熱合成法では、ノズルプレート８上の機能膜３であるＳＲＯ膜の表面のみ圧電素子４のＫＮｂＯ３膜が形成される選択成膜であるため、ノズルプレート８の機能膜３上にのみ圧電膜であるＫＮｂＯ３膜が形成される。このとき、絶縁層５の表面には圧電膜であるＫＮｂＯ３膜が形成されない。圧電素子４の圧電薄膜の形成後、図９に示すようにノズル口２の開口部を開口させる位置まで、圧電素子４の圧電薄膜を研磨して所定の厚さ、例えば２μｍの圧電素子４を形成する。
【００３１】
続いて、図９に示す電極形成工程が行われる。この電極形成工程では、スパッタ法により例えばＰt電極を圧電素子４の前面に製膜し、フォトリソグラフィ法によりノズルプレート８上の圧電素子４の所望の領域に個別電極７を形成した。個別電極７は、Ａｕや、ＡｌなどのＰt以外の金属材料でもよい。この電極形成工程においても産業用インクジェットプリンタの金属ナノインクを用いて所望の電極を形成することが可能である。この場合、レジストやマスクが不要となるため、工程の簡素化、低コスト化が可能である。
【００３２】
続いて、電鋳鋳型２１を除去する工程が行われる。この電鋳鋳型２１の除去には、ドライエッチング法を用いる。これにより、電鋳鋳型２１の部分に圧力室６の空間が形成される。
【００３３】
電鋳鋳型２１の除去後、各圧力室６の円形開口部６ｂ側の端部に共通インク室１０が接合され、圧力室６に液体を供給する手段１４が形成されて液滴噴射装置が完成する。
【００３４】
次に、上記構成の作用について説明する。本実施の形態のインクジェットヘッドの共通インク室１０には複数の連通孔１０ａを介して各々圧力室６が設けられており、該圧力室６の一端にはノズル口２が設けられている。該圧力室６の各々に対応し、情報記録用の駆動電圧信号（駆動パルス）に応じて圧電素子４を駆動し、圧力室６の容積を変化させる。この容積変化によって、ノズル口２からインク小滴が噴射される。
【００３５】
本実施の形態では、隣接する圧力室６の隔壁１と、該圧力室６の容積変化を生み出すための振動板を兼ねるノズルプレート８とを同じ素材で一体成形した一体形成部材９を設けている。そのため、圧力室６の隔壁１とノズルプレート８とを接着剤を使って接合する工程を省略できるため、接着剤のはみ出しや接着不良がなくなる。また、Ｎｉ電鋳法を用いて、圧力室６の隔壁１と振動板を兼ねるノズルプレート８とを一体成形しており、接合面が存在しないため、接合時の位置ズレや接着剤のはみ出しがない。さらに、圧力室６の隔壁１と振動板を兼ねるノズルプレート８の求められる機能の差異により、電鋳鋳型２１を複数用意することや、積層構造をとる必要がなく、製造プロセスを簡素化できる。
【００３６】
以上の説明から明らかなように、本実施の形態のインクジェットヘッドでは、以下のような効果がある。  
（１）圧力室６の隔壁１と振動板を兼ねるノズルプレート８を同一素材で一体成形することにより、部材同志の線膨張係数の違いによる反りの発生を防ぐことができる。さらに、接着剤を使っての接合が無いため、接着剤のはみ出しや接着不良といった問題を考慮する必要が無くなる。また、別工程でそれぞれの部品を作成し、組み立てる工程を省略でき、同一工程上で成形することができ、コストを削減することができる。
【００３７】
（２）Ｎｉ電鋳鋳型２１を使用することで、圧力室６の隔壁１の厚さを比較的大きくすることができる。さらに、複数の圧力室６の隔壁１間にエポキシ樹脂を用いて絶縁層５を形成したので、インクに対する接液性や圧力室６の隔壁１の剛性が得られる。また、電鋳法により形成するため、圧力室６の隔壁１と振動板を兼ねるノズルプレート８との接合面が存在しないため、接合時の位置ズレや接着剤のはみ出しがない。
【００３８】
（３）複数の圧力室６の隔壁１間にエポキシ樹脂を用いて絶縁層５を形成したので、圧力室６の隔壁１の剛性が得られるため、隣接する圧力室６への圧力伝搬や、圧力室６の隔壁１での圧力吸収を抑えることができる。
【００３９】
（４）一度のＮｉ電鋳鋳型２１の型抜きで複数の圧力室６の隔壁１と振動板を兼ねるノズルプレート８とを同時に一体成形できるため、ダイヤフラム構造や圧力室６の隔壁１の部分の成形といった複数の後工程が必要ない。そのため、時間及びコストを大幅に下げることができる。
【００４０】
（５）３Ｄプリンターなどの導入により、リソグラフィを全く用いないフルアディティブ法の適応が可能である。
【００４１】
［第２の実施の形態］  
（構成）  
図１０乃至図１３は、第２の実施の形態を示す。図１０は、第２の実施の形態のインクジェットヘッドの概略構成を示す縦断面図である。図１０中で、１は圧力室の隔壁、２はノズル口、５は絶縁層、６は圧力室、８はノズルプレート、３１は個別電極、３２は圧電素子、３３は振動板である。なお、図１０乃至図１３中で、図２乃至図９と同一部分には同一の符号を付してその説明を省略する。
【００４２】
第１の実施の形態では、圧力室６の一端側の端板６ａと、ノズルプレート８および圧力室６の隔壁１と一体に形成された一体形成部材９を形成し、ノズルプレート８に圧電素子４を設けた構成を示した。本実施の形態ではこれに替えて圧力室６におけるノズルプレート８と対向する面側に圧電素子３２を設けている。圧電素子３２は、圧力室６におけるノズルプレート８と対向する面側に接着される振動板３３に固定されている。この振動板３３と圧電素子３２とによって圧力室６を変形する圧電アクチュエータが形成されている。本実施の形態では、第１の実施の形態と同様に圧力室６の一端側の端板６ａは、ノズルプレート８および圧力室６の隔壁１と一体に形成された一体形成部材９によって形成されている。
【００４３】
図１１〜図１３は、図１０に示すインクジェットヘッドの作成工程を示す図である。図１１は、電鋳鋳型４１の構造断面図を示す。第１の実施の形態と同様に、図示しないＳｉ基板に所望の形状の圧力室６と対応する圧力室対応空間部と、ノズル口２と対応する空間であるノズル口対応空間部を形成する。その後、Ｓｉ基板の圧力室対応空間部とノズル口対応空間部にエポキシ樹脂を充填、転写し、電鋳鋳型４１を形成した。これにより、電鋳鋳型４１には、圧力室６と対応する圧力室対応部４１ａと、ノズル口２と対応するノズル口対応部４１ｂとが形成されている。さらに、電鋳鋳型４１とするため、表面にＮｉをスパッタ法により成膜し、電極とした。
【００４４】
次に、図１２に示すように、電鋳鋳型４１にＮｉ電鋳膜を形成して、ノズルプレート８と圧力室６の隔壁１とが一体に形成された一体形成部材９を同時に作製する。一体形成部材９のＮｉ電鋳膜の厚みは、１０μｍとした。圧力室６の形状は、直径が３００μｍ、深さが５００μｍとした。
【００４５】
さらに、図１３に示すように、複数の圧力室６の隔壁１間に絶縁層５を形成した。絶縁層５は、エポキシ樹脂をノズルプレート８の上面とほぼ面一になるように、ディスペンサで充填し、硬化させた。
【００４６】
その後、裏面から電鋳鋳型４１をドライエッチングで除去する。続いて、圧電素子３２を形成したダイヤフラムである振動板３３を圧力室６におけるノズルプレート８と対向する面側に貼り付ける。さらに、圧電素子３２の外面に個別電極３１を形成し、液滴噴射装置を完成させた。 
この方法によれば、エッチング法によるインクジェットヘッドの作成に比べて材料の除去を大幅に排除することができるため、リソグラフィ工程で使用する材料を大幅に削減することができる。
【００４７】
［変形例］  
図１４は、圧力室６が矩形の場合のノズル口２の配置と個別電極７の配置の例を示す平面図である。本変形例は、複数の個別電極７は、絶縁層５に設けられた複数の通電パターン４２に個別に電気的に接続されている。
【００４８】
これらの実施形態によれば、製造プロセスを簡素化し、接着剤での接合箇所を減らし、接着不良による問題を起り難くし、また、成形工程やコストを少なくすることができる液滴噴射装置を提供することができる。
【００４９】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。  
以下に、本願出願の当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。 
［１］微小液滴を噴射するための複数のノズルを有するノズルプレートと前記ノズルと連通した複数の圧力室の隔壁を構成する壁部とが一体に形成された一体形成部材と、前記一体形成部材の上に形成された少なくとも１層の機能膜と、複数の前記圧力室間に形成された絶縁層と、前記ノズルプレート上に圧電薄膜で形成され、前記ノズルから液滴を噴射するための圧電アクチュエータと、前記圧力室に液体を供給する手段とを有することを特徴とする液滴噴射装置。 
［２］前記機能膜は、前記圧電薄膜に対して格子整合性を有する膜であることを特徴とする請求項１に記載の液滴噴射装置。 
［３］前記機能膜は、導電性酸化物材料であることを特徴とする請求項１または２に記載の液滴噴射装置。 
［４］前記一体形成部材は、電鋳法を用いて一体成形することを特徴とする請求項１に記載の液滴噴射装置。 
［５］微小液滴を噴射するための複数のノズルを有するノズルプレートと前記ノズルと連通した複数の圧力室の隔壁を構成する壁部とが一体に形成された一体形成部材と、複数の前記圧力室間に形成された絶縁層と、前記圧力室における前記ノズルプレートと対向する面側に配置され、前記圧力室を変形する圧電アクチュエータと、前記圧力室に液体を供給する手段とを備えることを特徴とする液滴噴射装置。
【符号の説明】
【００５０】
１…圧力室の隔壁、２…ノズル口、３…機能層、４…圧電素子、５…絶縁層、６…圧力室、７…電極、８…ノズルプレート、９…一体形成部材、１４…液体を供給する手段、２１…電鋳鋳型。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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