(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１方向に沿って延在するとともに、液体が充填される噴射チャネル及び液体が充填されないダミーチャネルが、第１方向に直交する第２方向に間隔をあけて交互に並設されてなるチャネル列が配設されたアクチュエータプレートと、
前記噴射チャネルの内面に形成された個別電極と、
前記アクチュエータプレートの一方の主面上で前記個別電極に接続された個別配線と、
前記ダミーチャネルの内面に形成された共通電極と、
前記一方の主面上で前記共通電極に接続された共通配線と、を備え、
前記個別配線は、前記アクチュエータプレートのうち、前記チャネル列に対して第１方向の一端側に位置する尾部で外部配線の個別電極用配線に接続され、
前記共通配線は、
前記ダミーチャネルから第１方向の一端側に向けて各別に引き出された引き出し部と、
前記尾部のうち前記個別配線よりも第１方向の一端側に位置する部分で第２方向に沿って延在するとともに、前記引き出し部がまとめて接続された集合部と、
前記集合部に接続されるとともに、前記外部配線の共通電極用配線に接続されるパッド部と、を有し、
前記尾部のうち、前記アクチュエータプレートを厚さ方向から見た平面視で、少なくとも前記集合部と前記個別電極用配線との交差部分には、両者間を離間させる絶縁部が配設されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記絶縁部は、前記尾部のうち、少なくとも前記交差部分を被覆する第１絶縁膜を有していることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記絶縁部は、前記尾部のうち、少なくとも前記交差部分が前記一方の主面に対して窪む共通化凹部を有し、
前記集合部は、前記共通化凹部を通して隣り合う前記引き出し部間に接続されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記絶縁部は、前記尾部のうち、前記個別配線と前記共通配線との間に位置する部分に形成された絶縁化凹部を備え、
前記絶縁化凹部は、前記共通化凹部に連なるとともに、前記個別配線と前記集合部との間を遮ることを特徴とする請求項３記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記アクチュエータプレートには、前記ダミーチャネル内に連通するとともに、前記ダミーチャネルから第１方向の一端側に向けて延びる浅溝部が形成され、
前記浅溝部は、深さが前記噴射チャネルの深さの半分以下になっていることを特徴とする請求項１から請求項４の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記パッド部は、前記個別配線と第１方向で同等の位置に配置されていることを特徴とする請求項１から請求項５の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
前記噴射チャネルの内面には、前記個別電極を被覆する第２絶縁膜が形成されていることを特徴とする請求項１から請求項６の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項８】
請求項１から請求項７の何れか１項に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、を備えていることを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、記録紙（被記録媒体）に液滴状のインクを吐出して、記録紙に画像や文字を記録する装置として、インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）を備えたインクジェットプリンタ（液体噴射装置）がある。
【０００３】
上述したインクジェットヘッドは、インクが充填される吐出チャネル及びインクが充填されないダミーチャネルが交互に並設されたチャネル列を有するアクチュエータプレートと、アクチュエータプレートに積層されるとともに、吐出チャネル内に各別に連通するノズル孔を有するノズルプレートと、を備えている。また、アクチュエータプレートの各チャネルを画成する駆動壁のうち、吐出チャネルを画成する部分には駆動電位Ｖｄｄとする個別電極が形成され、ダミーチャネルを画成する部分には基準電位ＧＮＤとなる共通電極が形成されている。
【０００４】
各個別電極及び共通電極は、アクチュエータプレートの主面上に形成された個別配線及び共通配線を介してフレキシブルプリント基板等の外部配線に接続される（例えば、下記特許文献１参照）。特許文献１において、個別配線及び共通配線は、アクチュエータプレートの主面上において、吐出チャネル及びダミーチャネルに対して互いに反対側に引き出された後、外部配線に接続される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】国際公開２００９／１３９２７３号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述した特許文献１の構成にあっては、個別配線及び共通配線が吐出チャネル及びダミーチャネルに対して互いに反対側に引き出されているため、配線パターンが複雑になるという課題があった。
【０００７】
本発明は、このような事情に考慮してなされたもので、その目的は、配線パターンの簡素化を実現できる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記課題を解決するために以下の手段を提供する。
本発明に係る液体噴射ヘッドは、第１方向に沿って延在するとともに、液体が充填される噴射チャネル及び液体が充填されないダミーチャネルが、第１方向に直交する第２方向に間隔をあけて交互に並設されてなるチャネル列が配設されたアクチュエータプレートと、前記噴射チャネルの内面に形成された個別電極と、前記アクチュエータプレートの一方の主面上で前記個別電極に接続された個別配線と、前記ダミーチャネルの内面に形成された共通電極と、前記一方の主面上で前記共通電極に接続された共通配線と、を備え、前記個別配線は、前記アクチュエータプレートのうち、前記チャネル列に対して第１方向の一端側に位置する尾部で外部配線の個別電極用配線に接続され、前記共通配線は、前記ダミーチャネルから第１方向の一端側に向けて各別に引き出された引き出し部と、前記尾部のうち前記個別配線よりも第１方向の一端側に位置する部分で第２方向に沿って延在するとともに、前記引き出し部がまとめて接続された集合部と、前記集合部に接続されるとともに、前記外部配線の共通電極用配線に接続されるパッド部と、を有し、前記尾部のうち、前記アクチュエータプレートを厚さ方向から見た平面視で、少なくとも前記集合部と前記個別電極用配線との交差部分には、両者間を離間させる絶縁部が配設されていることを特徴とする。
【０００９】
この構成によれば、個別電極用配線と共通配線（集合部）との間での短絡を抑制した上で、個別配線及び共通配線（引き出し部）をチャネル列に対してそれぞれ第１方向の一端側（同一方向）に引き出すことができる。これにより、従来のように例えば個別配線及び共通配線をチャネル列に対して反対側に引き出す場合に比べて、配線パターンの簡素化を図ることができる。この場合、フレキシブルプリント基板等の外部配線との接続作業を簡単に行うことができる等、製造効率の向上も図ることができる。
【００１０】
また、前記絶縁部は、前記尾部のうち、少なくとも前記交差部分を被覆する第１絶縁膜を有していてもよい。
この構成によれば、個別電極用配線と共通配線（集合部）との間に第１絶縁膜が介在することになるので、両者間の短絡を確実に抑制できる。
【００１１】
また、前記絶縁部は、前記尾部のうち、少なくとも前記交差部分が前記一方の主面に対して窪む共通化凹部を有し、前記集合部は、前記共通化凹部を通して隣り合う前記引き出し部間に接続されていてもよい。
この構成によれば、個別電極用配線と共通配線（集合部）との間を確実に離間させることができ、両者間の短絡を抑制できる。
【００１２】
また、前記絶縁部は、前記尾部のうち、前記個別配線と前記共通配線との間に位置する部分に形成された絶縁化凹部を備え、前記絶縁化凹部は、前記共通化凹部に連なるとともに、前記個別配線と前記集合部との間を遮っていてもよい。
この構成によれば、絶縁化凹部が個別配線と共通配線（集合部）との間を遮ることで、例えば無電解めっき等により共通化凹部の内面全体に集合部を形成した場合であっても、個別配線と共通配線（集合部）との間の短絡を抑制できる。この場合、共通化凹部の内面全体に集合部を形成することで、共通配線のインピーダンスを低下させることができる。
【００１３】
また、前記アクチュエータプレートには、前記ダミーチャネル内に連通するとともに、前記ダミーチャネルから第１方向の一端側に向けて延びる浅溝部が形成され、前記浅溝部は、深さが前記噴射チャネルの深さの半分以下になっていてもよい。
この構成によれば、浅溝部の深さが、噴射チャネルの深さの半分以下になっているため、例えば斜め蒸着法等により各電極や配線を成膜する場合において、浅溝部の内面全体に共通配線となる電極材料を成膜することができる。これにより、浅溝部の内面を介してダミーチャネル内の共通電極と共通配線を確実に導通させることができる。
【００１４】
また、前記パッド部は、前記個別配線と第１方向で同等の位置に配置されていてもよい。
この構成によれば、パッド部が個別配線と第１方向で同等の位置に配置されているため、外部配線と個別配線及び共通配線との接続作業をより簡単に行うことができ、製造効率の更なる向上を図ることができる。
【００１５】
また、前記噴射チャネルの内面には、前記個別電極を被覆する第２絶縁膜が形成されていてもよい。
この構成によれば、液体を介して各電極が短絡するのを抑制できるため、水性インク等の導電性を有するインクを用いる等、汎用性を向上させることができる。
【００１６】
本発明に係る液体噴射装置は、上記本発明に係る液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、を備えていることを特徴としている。
この構成によれば、上記本発明に係る液体噴射ヘッドを備えているため、信頼性の高い液体噴射装置を提供できる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、配線パターンの簡素化を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】インクジェットプリンタの概略構成図である。
【図２】インクジェットヘッド及びインク循環手段の概略構成図である。
【図３】第１実施形態におけるインクジェットヘッドの分解斜視図である。
【図４】第１実施形態におけるノズルプレートを取り外した状態のインクジェットヘッドの底面図である。
【図５】図４のＶ−Ｖ線に相当する断面図である。
【図６】図４のＶＩ−ＶＩ線に相当する断面図である。
【図７】第１実施形態におけるノズルプレートを取り外した状態のインクジェットヘッドをＺ方向の一端側から見た斜視図である。
【図８】第１実施形態におけるインクジェットヘッドの製造方法を説明するためのフローチャートである。
【図９】インクジェットヘッドの製造方法を説明するための工程図であって、図６に相当する断面図である。
【図１０】インクジェットヘッドの製造方法を説明するための工程図であって、図６に相当する断面図である。
【図１１】インクジェットヘッドの製造方法を説明するための工程図であって、図６に相当する断面図である。
【図１２】インクジェットヘッドの製造方法を説明するための工程図であって、図６に相当する断面図である。
【図１３】インクジェットヘッドの製造方法を説明するための工程図であって、図６に相当する断面図である。
【図１４】インクジェットヘッドの製造方法を説明するための工程図であって、図６に相当する断面図である。
【図１５】インクジェットヘッドの製造方法を説明するための工程図であって、図６に相当する断面図である。
【図１６】インクジェットヘッドの製造方法を説明するための工程図であって、図５に相当する断面図である。
【図１７】インクジェットヘッドの製造方法を説明するための工程図であって、図５に相当する断面図である。
【図１８】インクジェットヘッドの製造方法を説明するための工程図であって、図５に相当する断面図である。
【図１９】インクジェットヘッドの製造方法を説明するための工程図であって、図５に相当する断面図である。
【図２０】インクジェットヘッドの製造方法を説明するための工程図であって、図５に相当する断面図である。
【図２１】インクジェットヘッドの製造方法を説明するための工程図であって、図５に相当する断面図である。
【図２２】第２実施形態におけるノズルプレートを取り外した状態のインクジェットヘッドをＺ方向の一端側から見た斜視図である。
【図２３】第２実施形態におけるインクジェットヘッドの製造方法を説明するためのフローチャートである。
【図２４】実施形態の他の構成におけるインクジェットヘッドをＺ方向の一端側から見た斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明に係る実施形態について図面を参照して説明する。以下の実施形態では、本発明の液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置の一例として、インク（液体）を利用して記録紙に記録を行うインクジェットプリンタ（以下、単にプリンタという）を例に挙げて説明する。なお、以下の説明に用いる図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
【００２０】
（第１実施形態）
［プリンタ］
図１はプリンタ１の概略構成図である。
図１に示すように、本実施形態のプリンタ１は、紙等の記録紙（被記録媒体）Ｐを搬送する一対の搬送手段（移動機構）２，３と、インクが収容されたインクタンク４と、記録紙Ｐに液滴状のインクを吐出するインクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）５と、インクタンク４とインクジェットヘッド５との間でインクを循環させるインク循環手段６と、インクジェットヘッド５を記録紙Ｐの搬送方向（以下、Ｘ方向とする）と直交する方向（記録紙Ｐの幅方向、以下、Ｙ方向とする）に走査させる走査手段（移動機構）７と、を備えている。なお、図中Ｚ方向はＸ方向及びＹ方向と直交する高さ方向を示す。
【００２１】
搬送手段２は、Ｙ方向に延設されたグリッドローラ１１と、グリッドローラ１１に平行に延設されたピンチローラ１２と、グリッドローラ１１を軸回転させるモータ等の駆動機構（不図示）と、を備えている。同様に、搬送手段３は、Ｙ方向に延設されたグリッドローラ１３と、グリッドローラ１３に平行に延設されたピンチローラ１４と、グリッドローラ１３を軸回転させる駆動機構（不図示）と、を備えている。
【００２２】
インクタンク４は、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの四色のインクのインクタンク４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４ＢがＸ方向に並んで設けられている。なお、本実施形態では、油性インク等の導電性が低いインクが好適に用いられている。
【００２３】
図２はインクジェットヘッド５及びインク循環手段６の概略構成図である。
図１、図２に示すように、インク循環手段６は、インクジェットヘッド５にインクを供給するインク供給管２１、及びインクジェットヘッド５からインクを排出するインク排出管２２を有する循環流路２３と、インク供給管２１に接続された加圧ポンプ２４と、インク排出管２２に接続された吸引ポンプ２５と、を備えている。なお、インク供給管２１及びインク排出管２２は、インクジェットヘッド５を支持する走査手段７の動作に対応可能な可撓性を有するフレキシブルホースからなる。
【００２４】
加圧ポンプ２４は、インク供給管２１内を加圧し、インク供給管２１を介してインクジェットヘッド５の後述する入口側共通インク室９０（図３参照）にインクを送り出している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク供給管２１側は正圧となっている。
吸引ポンプ２５は、インク排出管２２内を減圧し、インクジェットヘッド５の後述する出口側共通インク室９１ａ，９１ｂ（図３参照）からインクを吸引している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク排出管２２側は負圧となっている。そして、インクは、加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５の駆動により、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間を、循環流路２３を介して循環可能となっている。
【００２５】
図１に示すように、走査手段７は、Ｙ方向に延設された一対のガイドレール３１，３２と、一対のガイドレール３１，３２に移動可能に支持されたキャリッジ３３と、キャリッジ３３をＹ方向に移動させる駆動機構３４と、を備えている。駆動機構３４は、一対のガイドレール３１，３２の間に配設された一対のプーリ３５，３６と、一対のプーリ３５，３６間に巻回された無端ベルト３７と、一方のプーリ３５を回転駆動させる駆動モータ３８と、を備えている。
【００２６】
一対のプーリ３５，３６は、一対のガイドレール３１，３２の両端部間にそれぞれ配設される。無端ベルト３７は、一対のガイドレール３１，３２間に配設され、この無端ベルト３７にキャリッジ３３が連結される。キャリッジ３３には、複数のインクジェットヘッド５として、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの四色のインクのインクジェットヘッド５Ｙ，５Ｍ，５Ｃ，５ＢがＹ方向に並んで搭載される。なお、上述した搬送手段２，３及び走査手段７により、インクジェットヘッド５と記録紙Ｐとを相対的に移動させる移動機構を構成している。
【００２７】
＜インクジェットヘッド＞
次に、上述したインクジェットヘッド５について詳述する。なお、インクジェットヘッド５Ｙ，５Ｍ，５Ｃ，５Ｂは、供給されるインクの色以外は何れも同一の構成からなるため、以下の説明では、まとめてインクジェットヘッド５として説明する。
図３はインクジェットヘッド５の分解斜視図、図４はノズルプレート５１を取り外した状態におけるインクジェットヘッド５の底面図である。
図３、図４に示すように、各インクジェットヘッド５は、後述する吐出チャネル７１における延在方向（Ｙ方向（第１方向））の中央部からインクを吐出する、いわゆるサイドシュートタイプのうち、インクタンク４との間でインクを循環させる循環式のインクジェットヘッド５である。また、本実施形態のインクジェットヘッド５は、複数のノズル孔（噴射孔）８５，８６からなるノズル列８７，８８が二列に亘って形成された二列タイプのインクジェットヘッド５である。
【００２８】
インクジェットヘッド５は、ノズルプレート（噴射孔プレート）５１、アクチュエータプレート５２、及びカバープレート５３を主に備えている。そして、インクジェットヘッド５は、これらノズルプレート５１、アクチュエータプレート５２、及びカバープレート５３がこの順で接着剤等によりＺ方向に積層された構成とされている。なお、以下の説明では、上述したＺ方向のうち、ノズルプレート５１側を一端側、カバープレート５３側を他端側として説明する。
【００２９】
＜アクチュエータプレート＞
図５は図４のＶ−Ｖ線に相当する断面図、図６は図４のＶＩ−ＶＩ線に相当する断面図である。
図５、図６に示すように、アクチュエータプレート５２は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料で形成され、その分極方向が厚さ方向（Ｚ方向）に沿って一方向に設定されている。このアクチュエータプレート５２には、Ｘ方向（第２方向）に間隔をあけて並設された複数のチャネル７１，７２からなるチャネル列（第１チャネル列６３及び第２チャネル列６４）が２列配設されている。なお、以下の説明では、主に第１チャネル列６３について説明し、第２チャネル列６４における第１チャネル列６３と対応する箇所には同一の符号を付して説明を省略する。
【００３０】
第１チャネル列６３は、Ｙ方向に沿って延在する複数のチャネル７１，７２が、Ｘ方向に間隔をあけて互いに平行に並んで構成されている。すなわち、各チャネル７１，７２は、Ｙ方向に直線状、かつＸ方向に等間隔に形成されるとともに、圧電体（アクチュエータプレート５２）からなる駆動壁６５によってそれぞれ画成されている。
【００３１】
具体的に、複数のチャネル７１，７２は、インクが充填される吐出チャネル（噴射チャネル）７１と、インクが充填されないダミーチャネル７２と、を有している。そして、これら吐出チャネル７１及びダミーチャネル７２は、Ｘ方向で交互に並んで配列されている。
図３、図６に示すように、吐出チャネル７１は、Ｘ方向から見た側面視において、Ｚ方向の一端側に向けて凸の湾曲形状を呈している。具体的に、吐出チャネル７１は、Ｙ方向の両端部から中央部に向かうに従いＺ方向の一端側に向けて湾曲しながら延びる切り上がり部６６と、各切り上がり部６６間に位置する中間部６７と、を有している。吐出チャネル７１は、中間部６７を通してアクチュエータプレート５２におけるＺ方向の一端側に位置する第１主面５２ａ上に開口し、切り上がり部６６及び中間部６７を通してＺ方向の他端側に位置する第２主面５２ｂ上に開口している。すなわち、アクチュエータプレート５２において、吐出チャネル７１の中間部６７に位置する部分は、Ｚ方向に貫通している。
【００３２】
ダミーチャネル７２は、Ｘ方向から見た側面視において、Ｚ方向の他端側に向けて凸の湾曲形状を呈している。すなわち、ダミーチャネル７２は、吐出チャネル７１に対してＺ方向に反転した形状になっている。具体的に、ダミーチャネル７２は、Ｙ方向の両端部から中央部に向かうに従いＺ方向の他端側に向けて湾曲しながら延びる切り上がり部６８と、各切り上がり部６８間に位置する中間部６９と、を有している。ダミーチャネル７２は、切り上がり部６８及び中間部６９を通してアクチュエータプレート５２の第１主面５２ａ上に開口し、中間部６９を通してアクチュエータプレート５２の第２主面５２ｂ上に開口している。すなわち、アクチュエータプレート５２において、ダミーチャネル７２の中間部６９に位置する部分は、Ｚ方向に貫通している。
【００３３】
したがって、吐出チャネル７１及びダミーチャネル７２は、アクチュエータプレート５２における両主面５２ａ，５２ｂ上でのＹ方向における開口長がそれぞれ異なっている。第１チャネル列６３は、図４に示すように、第１主面５２ａ上においてダミーチャネル７２の開口長が吐出チャネル７１の開口長よりも長くなり、図３に示すように、第２主面５２ｂ上において吐出チャネル７１の開口長がダミーチャネル７２の開口長よりも長くなっている。この場合、図４に示すように、第１主面５２ａ上ではダミーチャネル７２が両切り上がり部６８の長さ分だけ吐出チャネル７１よりもＹ方向の両側に突出している。また、図３に示すように、第２主面５２ｂ上では、吐出チャネル７１が両切り上がり部６６の長さ分だけダミーチャネル７２よりもＹ方向の両側に突出している。
【００３４】
図７は、ノズルプレート５１を取り外した状態のインクジェットヘッド５をＺ方向の一端側から見た斜視図である。
また、図６、図７に示すように、アクチュエータプレート５２の後述する第１尾部７０Ａのうち、ダミーチャネル７２に対してＹ方向の外側（一端側）に位置する部分には、浅溝部７７が形成されている。浅溝部７７は、Ｙ方向の内側端部がダミーチャネル７２内に連通し、Ｙ方向の外側端部がアクチュエータプレート５２のＹ方向における外側端面で開口している。なお、浅溝部７７の深さは、後述する製造工程において、浅溝部７７の底面まで蒸着可能な深さになっており、本実施形態では吐出チャネル７１の半分以下程度になっている。
【００３５】
図３に示すように、第２チャネル列６４は、上述した第１チャネル列６３と同様に吐出チャネル７１及びダミーチャネル７２が交互に並設されてなり、第１チャネル列６３に対してＹ方向に間隔をあけて配設されている。具体的に、第２チャネル列６４の吐出チャネル７１及びダミーチャネル７２は、第１チャネル列６３の吐出チャネル７１及びダミーチャネル７２の配列ピッチに対して半ピッチずれて配列されている。
【００３６】
したがって、図３、図６に示すように、本実施形態のインクジェットヘッド５では、第１チャネル列６３及び第２チャネル列６４の吐出チャネル７１同士、並びに第１チャネル列６３及び第２チャネル列６４のダミーチャネル７２同士が千鳥状（互い違い）に配置されている。すなわち、隣り合うチャネル列６３，６４間において、吐出チャネル７１及びダミーチャネル７２同士がＹ方向で対向している。なお、アクチュエータプレート５２のうち、Ｙ方向の両端部（各チャネル列６３，６４に対してＹ方向の外側に位置する部分はそれぞれ尾部（第１尾部７０Ａ及び第２尾部７０Ｂ）を構成している。
【００３７】
隣り合うチャネル列６３，６４間において、Ｙ方向で対向する吐出チャネル７１及びダミーチャネル７２は、Ｙ方向の内側端部同士がＺ方向で重なり合う位置に相互に近接配置されている。具体的に、Ｙ方向で対向する第１チャネル列６３の吐出チャネル７１及び第２チャネル列６４のダミーチャネル７２は、Ｙ方向の内側に位置する切り上がり部６６，６８の一部同士がＺ方向で重なり合っている。一方、Ｙ方向で対向する第１チャネル列６３のダミーチャネル７２及び第２チャネル列６４の吐出チャネル７１は、Ｙ方向の内側に位置する切り上がり部６８，６６の一部同士がＺ方向で重なり合っている。
【００３８】
この場合、各チャネル列６３，６４における吐出チャネル７１のＹ方向の内側端部同士は、Ｚ方向の他端部（第２主面５２ｂ側）において、Ｘ方向から見て互いに重なり合っている。この場合、アクチュエータプレート５２の第２主面５２ｂ上において、各チャネル列６３，６４の吐出チャネル７１同士がＸ方向で重なり合う領域は、吐出側ラップ領域Ｒ１を構成している。
一方、図４、図６に示すように、各チャネル列６３，６４におけるダミーチャネル７２のＹ方向の内側端部同士は、Ｚ方向の一端部（第１主面５２ａ側）において、Ｘ方向から見て互いに重なり合っている。この場合、アクチュエータプレート５２の第１主面５２ａ上において、各チャネル列６３，６４のダミーチャネル７２同士がＸ方向で重なり合う領域は、ダミー側ラップ領域Ｒ２を構成している。
【００３９】
ここで、図４、図７に示すように、アクチュエータプレート５２の第１主面５２ａ上において、尾部７０Ａ，７０ＢのＹ方向の外側縁部には、Ｚ方向に窪む共通化凹部（絶縁部）７８がアクチュエータプレート５２のＸ方向の一端部から他端部まで形成されている。図示の例において、共通化凹部７８は、尾部７０Ａ，７０Ｂのうち、浅溝部７７に対してＸ方向の両側に位置する部分をＸ方向に沿って延設されている。共通化凹部７８は、Ｘ方向から見た側面視で矩形状を呈している。また、共通化凹部７８は、Ｘ方向で浅溝部７７内に開口し、Ｙ方向の外側端部がアクチュエータプレート５２におけるＹ方向の外側端面で開口している。そして、共通化凹部７８の底面は、第１主面５２ａと平行に延設されるとともに、第１主面５２ａに対して一段下がった位置に配置される。
【００４０】
図３、図５、図６に示すように、アクチュエータプレート５２の駆動壁６５のうち、各吐出チャネル７１に面する内側面（吐出チャネル７１の内面のうち、Ｙ方向で対向する面）には、個別電極７３がそれぞれ形成されている。これら個別電極７３は、Ｚ方向における幅が吐出チャネル７１の半分程度とされ、各吐出チャネル７１の内側面において、Ｚ方向の一端縁から中間部分に至る範囲に形成されている。なお、個別電極７３は、Ｙ方向における長さが吐出チャネル７１の中間部６７と同等（第１主面５２ａ上における吐出チャネル７１の開口長と同等）とされている。
【００４１】
図４、図６に示すように、アクチュエータプレート５２における第１主面５２ａ上の尾部７０Ａ，７０Ｂには、個別電極７３と、後述するフレキシブルプリント基板８０，８１の個別電極用配線８２と、を電気的に接続する複数の個別配線７４が形成されている。個別配線７４は、Ｙ方向に沿って互いに平行に延在する帯状とされ、そのＹ方向の内側端部が吐出チャネル７１の個別電極７３に接続されるとともに、吐出チャネル７１に対してＹ方向の外側に向けて引き出されている。すなわち、個別配線７４は、各吐出チャネル７１の個別電極７３ごとに電気的に分離されるとともに、各チャネル列６３，６４間で互いにＹ方向の逆向きに引き出されている。なお、個別配線７４におけるＹ方向の外側端部は、尾部７０Ａ，７０Ｂ上において、上述した共通化凹部７８の開口縁まで延設されている。
【００４２】
また、図３、図５、図６に示すように、アクチュエータプレート５２の駆動壁６５のうち、各ダミーチャネル７２の内面には、共通電極７５が形成されている。これら共通電極７５は、Ｚ方向における幅がダミーチャネル７２の半分程度とされ、各ダミーチャネル７２の内面のうち、Ｙ方向で対向する内側面及び切り上がり部６８の底面上において、Ｚ方向の一端縁から中間部分に至る範囲に形成されている。
【００４３】
ここで、図４、図６、図７に示すように、アクチュエータプレート５２の第１主面５２ａ上には、共通電極７５と、フレキシブルプリント基板８０，８１の共通電極用配線８３と、を電気的に接続する共通配線７６が形成されている。共通配線７６は、各ダミーチャネル７２からＹ方向の外側に各別に引き出された引き出し部９２と、これら各引き出し部９２がまとめて接続された集合部９３と、共通電極用配線８３が接続されるパッド部９４と、を有している。
【００４４】
引き出し部９２は、上述した浅溝部７７の内面全体（Ｙ方向で対向する内側面、及び底面全体）に形成されている。引き出し部９２のうち、Ｙ方向の内側端部がダミーチャネル７２内の共通電極７５に接続され、Ｙ方向の外側端部が浅溝部７７のＹ方向の外側端縁に位置している。
集合部９３は、上述した共通化凹部７８の底面上（尾部７０Ａ，７０Ｂのうち、上述した個別配線７４よりもＹ方向の外側に位置する部分）の全体に亘って形成され、各引き出し部９２及びパッド部９４にまとめて接続されている。すなわち、共通化凹部７８の立ち上り面上には、集合部９３等の電極は形成されていない。したがって、共通化凹部７８の立ち上り面を介して共通配線７６（集合部９３）と、個別配線７４と、が分離している。
【００４５】
パッド部９４は、アクチュエータプレート５２の第１主面５２ａ上のうち、チャネル列６３，６４に対してＸ方向の両側に位置する非吐出領域であって、上述した個別配線７４とＹ方向で同等の位置（Ｘ方向から見て重なり合う位置）に一対で形成されている。具体的に、パッド部９４は、非吐出領域のＸ方向の全体に亘って形成され、そのＸ方向の内側端部がＸ方向の最外に位置する浅溝部７７内の引き出し部９２に接続されている。一方、パッド部９４は、非吐出領域において、Ｙ方向の外側端部が共通化凹部７８の開口縁まで延設されている。
【００４６】
図４に示すように、アクチュエータプレート５２の第１主面５２ａ上において、第１尾部７０Ａには、第１フレキシブルプリント基板（外部配線）８０が実装されている。第１フレキシブルプリント基板８０には、第１チャネル列６３側の個別電極７３に各別に接続される複数の個別電極用配線８２と、共通電極７５に接続される共通電極用配線８３と、が形成されている。
【００４７】
個別電極用配線８２は、第１尾部７０Ａにおいて第１チャネル列６３側の各個別配線７４に各別に接続され、各個別配線７４を介して個別電極７３を駆動電位Ｖｄｄとする。この場合、個別電極用配線８２は、共通配線７６の集合部９３上を延在しているものの、共通化凹部７８によって集合部９３に対してＺ方向に離間している。
共通電極用配線８３は、共通配線７６のパッド部９４に接続され、パッド部９４を介して各共通電極７５を基準電位ＧＮＤとする。
【００４８】
また、アクチュエータプレート５２の第１主面５２ａ上において、第２尾部７０Ｂには、第２フレキシブルプリント基板（外部配線）８１が実装されている。第２フレキシブルプリント基板８１は、上述した第１フレキシブルプリント基板８０と同様に個別電極用配線８２及び共通電極用配線８３を有している。第２フレキシブルプリント基板８１のうち、個別電極用配線８２は、第２チャネル列６４側の各個別配線７４に各別に接続され、共通電極用配線８３は、第２チャネル列６４側の共通配線７６（パッド部９４）に接続されている。
このように、本実施形態において、各チャネル列６３，６４の個別電極７３は、対応するフレキシブルプリント基板８０，８１の個別電極用配線８２に各別に接続されている。一方、共通電極７５は、共通配線７６の各パッド部９４を介して各フレキシブルプリント基板８０，８１に接続されている。
【００４９】
＜ノズルプレート＞
図３に示すように、ノズルプレート５１は、厚みが５０μｍ程度のポリイミド等のフィルム材からなり、アクチュエータプレート５２の第１主面５２ａ上に接着されている。なお、ノズルプレート５１は、Ｙ方向における幅がアクチュエータプレート５２よりも狭くなっており、アクチュエータプレート５２におけるＹ方向の外側端部（尾部７０Ａ，７０Ｂ）を露出させている。そして、アクチュエータプレート５２のうち、ノズルプレート５１から露出した部分に上述したフレキシブルプリント基板８０，８１がそれぞれ実装されている。
【００５０】
ノズルプレート５１には、Ｘ方向に間隔をあけて並設された複数のノズル孔（第１ノズル孔８５及び第２ノズル孔８６）からなるノズル列（第１ノズル列８７及び第２ノズル列８８）が２列配設されている。
【００５１】
第１ノズル列８７は、ノズルプレート５１をＺ方向に貫通する複数の第１ノズル孔８５を有し、これら第１ノズル孔８５がＸ方向に間隔をあけて一直線上に並んで構成されている。これら第１ノズル孔８５は、上述した第１チャネル列６３の吐出チャネル７１内に連通している。具体的に、第１ノズル孔８５は、第１チャネル列６３の吐出チャネル７１において、Ｙ方向の中央部に位置するように形成され、吐出チャネル７１と同ピッチで形成されている。
【００５２】
第２ノズル列８８は、ノズルプレート５１をＺ方向に貫通する複数の第２ノズル孔８６を有し、上述した第１ノズル列８７と平行に配設されている。各第２ノズル孔８６は、上述した第２チャネル列６４の吐出チャネル７１内に連通している。具体的に、第２ノズル孔８６は、第２チャネル列６４の吐出チャネル７１において、Ｙ方向の中央部に位置するように形成され、吐出チャネル７１と同ピッチで形成されている。したがって、各ダミーチャネル７２は、ノズル孔８５，８６には連通しておらず、ノズルプレート５１によりＺ方向の一端側から覆われている。なお、各ノズル孔８５，８６は、Ｚ方向の一端側に向かうに従い漸次縮径するテーパ状とされている。
【００５３】
＜カバープレート＞
カバープレート５３は、各チャネル列６３，６４を閉塞するようにアクチュエータプレート５２の第２主面５２ｂ上に接着された板状とされている。
図３、図６に示すように、カバープレート５３には、入口側共通インク室９０及び出口側共通インク室（第１出口側共通インク室９１ａ、及び第２出口側共通インク室９１ｂ）が形成されている。
【００５４】
入口側共通インク室９０は、カバープレート５３をＸ方向に沿って延びるスリットとされ、各チャネル列６３，６４の上述した吐出側ラップ領域Ｒ１とＺ方向で対向している。そして、入口側共通インク室９０は、各チャネル列６３，６４の吐出チャネル７１におけるＹ方向の内側端部において、各チャネル列６３，６４の吐出チャネル７１内にまとめて連通している。
【００５５】
第１出口側共通インク室９１ａは、カバープレート５３をＸ方向に沿って延びるスリットとされ、第１チャネル列６３の吐出チャネル７１におけるＹ方向の外側端部とＺ方向で対向している。そして、第１出口側共通インク室９１ａは、第１チャネル列６３の吐出チャネル７１におけるＹ方向の外側端部において、第１チャネル列６３の吐出チャネル７１内にまとめて連通している。
第２出口側共通インク室９１ｂは、第２チャネル列６４の吐出チャネル７１におけるＹ方向の外側端部とＺ方向で対向する部分に形成されている。そして、第２出口側共通インク室９１ｂは、第２チャネル列６４の吐出チャネル７１におけるＹ方向の外側端部において、第２チャネル列６４の吐出チャネル７１内にまとめて連通している。
【００５６】
したがって、入口側共通インク室９０及び各出口側共通インク室９１ａ，９１ｂは、それぞれ各吐出チャネル７１に連通する一方、ダミーチャネル７２には連通していない。
【００５７】
［プリンタの動作方法］
次に、上述したように構成されたプリンタ１を利用して、記録紙Ｐに文字や図形等を記録する場合について以下に説明する。
なお、初期状態として、図１に示す４つのインクタンク４にはそれぞれ異なる色のインクが十分に封入されているものとする。また、インクタンク４内のインクがインク循環手段６を介してインクジェットヘッド５内に充填された状態となっている。
【００５８】
このような初期状態のもと、プリンタ１を作動させると、搬送手段２，３のグリッドローラ１１，１３が回転することで、これらグリッドローラ１１，１３及びピンチローラ１２，１４間に記録紙Ｐを搬送方向（Ｘ方向）に向けて搬送する。また、これと同時に駆動モータ３８がプーリ３５，３６を回転させて無端ベルト３７を動かす。これにより、キャリッジ３３がガイドレール３１，３２にガイドされながらＹ方向に往復移動する。
そしてこの間に、各インクジェットヘッド５より４色のインクを記録紙Ｐに適宜吐出させることで、文字や画像等の記録を行うことができる。
【００５９】
ここで、各インクジェットヘッド５の動きについて、以下に詳細に説明する。
本実施形態のようなサイドシュートタイプのうち、循環式のインクジェットヘッド５では、まず図２に示す加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５を作動させることで、循環流路２３内にインクを流通させる。この場合、インク供給管２１を流通するインクは、入口側共通インク室９０を通り、各チャネル列６３，６４の吐出チャネル７１内に供給される。また、各吐出チャネル７１内のインクは、各出口側共通インク室９１ａ，９１ｂ内に流入し、その後インク排出管２２に排出される。インク排出管２２に排出されたインクは、インクタンク４に戻された後、再びインク供給管２１に供給される。これにより、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間でインクを循環させる。
【００６０】
そして、キャリッジ３３（図１参照）によって往復移動が開始されると、個別電極７３を駆動電位Ｖｄｄとし、共通電極７５を基準電位ＧＮＤとして各電極７３，７５間に電圧を印加する。すると、吐出チャネル７１を画成する２つ駆動壁６５に厚み滑り変形が生じ、これら２つの駆動壁６５が吐出チャネル７１にダミーチャネル７２側へ突出するように変形する。すなわち、本実施形態のアクチュエータプレート５２は分極方向が一方向であり、電極７３，７５が駆動壁６５のＺ方向における中間部分までしか形成されていない。そのため、各電極７３，７５間に電圧を印加することで、駆動壁６５におけるＺ方向の中間部分を中心にしてＶ字状に屈曲変形する。これにより、吐出チャネル７１があたかも膨らむように変形する。
【００６１】
このように、２つの駆動壁６５の圧電厚み滑り効果による変形によって、吐出チャネル７１の容積が増大する。そして、吐出チャネル７１の容積が増大したことにより、入口側共通インク室９０内に貯留されたインクが吐出チャネル７１内に誘導される。そして、吐出チャネル７１の内部に誘導されたインクは、圧力波となって吐出チャネル７１の内部に伝播し、この圧力波がノズル孔８５，８６に到達したタイミングで、電極７３，７５間に印加した電圧をゼロにする。これにより、駆動壁６５が復元し、一旦増大した吐出チャネル７１の容積が元の容積に戻る。この動作によって、吐出チャネル７１の内部の圧力が増加し、インクが加圧される。その結果、液滴状のインクがノズル孔８５，８６を通って外部に吐出されることで、上述したように記録紙Ｐに文字や画像等を記録することができる。
なお、本実施形態におけるインクを吐出チャネル７１の内部に循環させる動作と、吐出チャネル７１からインクを吐出する動作は、個別に実施しても、同時に実施しても構わない。
【００６２】
［インクジェットヘッドの製造方法］
次に、上述したインクジェットヘッド５の製造方法について説明する。なお、以下の説明では、アクチュエータプレート５２の製造方法を主として説明する。図８はインクジェットヘッド５の製造方法を説明するためのフローチャートである。図９〜図２１は、インクジェットヘッド５の製造方法を説明するための工程図であって、図９〜図１５は図６に相当する断面図、図１６〜図２１は図５に相当する断面図である。
【００６３】
図８、図９、図１６に示すように、まず吐出チャネル７１となる凹部９５をアクチュエータプレート５２に形成する（凹部形成工程（Ｓ１））。本実施形態の凹部形成工程（Ｓ１）は、ダイシングブレード９６を用いた切削加工により凹部９５を形成する。具体的には、アクチュエータプレート５２に対して第２主面５２ｂ側からダイシングブレード９６を進入させ、アクチュエータプレート５２に所定深さの凹部９５を形成する。
【００６４】
その後、上述した凹部９５の形成をＸ方向及びＹ方向に間隔をあけて繰り返し行う。このとき、Ｙ方向で隣り合う凹部９５同士を、Ｘ方向に半ピッチずらすとともに、Ｙ方向の内側端部同士がＸ方向から見た側面視で重なり合うように形成する。なお、凹部９５は、Ｘ方向から見た側面視でダイシングブレード９６の曲率半径に倣った円弧状とされるとともに、Ｚ方向における深さがアクチュエータプレート５２を貫通させない程度の深さになっている。
【００６５】
次に、図８、図１０、図１７に示すように、アクチュエータプレート５２の第２主面５２ｂ上にカバープレート５３を接合する（カバープレート接合工程（Ｓ２））。具体的には、入口側共通インク室９０が各凹部９５におけるＹ方向の内側端部でまとめて連通し、かつ各出口側共通インク室９１ａ，９１ｂがＸ方向で隣り合う凹部９５のうち、Ｙ方向の外側端部でそれぞれ連通するように、カバープレート５３をアクチュエータプレート５２に接合する。
【００６６】
続いて、図８、図１１、図１８に示すように、凹部９５がアクチュエータプレート５２を貫通するように、アクチュエータプレート５２を第１主面５２ａ側から研削する（研削工程（Ｓ３））。これにより、アクチュエータプレート５２に吐出チャネル７１が形成される。
【００６７】
次に、図８、図１２、図１９に示すように、アクチュエータプレート５２の第１主面５２ａ上に、後述する電極形成工程（Ｓ６）で用いるマスク９７を形成する（マスク形成工程（Ｓ４））。具体的には、まずアクチュエータプレート５２の第１主面５２ａ上に、感光性ドライフィルム等からなるマスク材料を貼り付ける。次に、フォトリソグラフィ技術を用いてマスク材料をパターニングすることにより、マスク材料のうち、各個別配線７４及び共通配線７６の形成領域、並びに吐出チャネル７１の第１主面５２ａ側の開口部に相当する部分のマスク材料を除去する。なお、マスク形成工程（Ｓ４）では、マスク材料のうち、ダミーチャネル７２の第１主面５２ａ側の開口部に相当する部分のマスク材料を除去しても構わない。
【００６８】
続いて、図８、図１３、図２０に示すように、アクチュエータプレート５２に対してダミーチャネル７２を形成する（ダミーチャネル形成工程（Ｓ５））。ダミーチャネル形成工程（Ｓ５）は、上述した凹部形成工程（Ｓ１）と同様に、ダイシングブレード９６を用いた切削加工等により行う。具体的には、アクチュエータプレート５２のうち、吐出チャネル７１に対してＸ方向の両側に位置する部分に第１主面５２ａ側からダイシングブレード９６を進入させる。これにより、吐出チャネル７１及びダミーチャネル７２がＸ方向に交互に並んで形成される。なお、本実施形態において、ダイシングブレード９６は、アクチュエータプレート５２をＺ方向で貫通する位置まで進入させる。
【００６９】
また、ダミーチャネル形成工程（Ｓ５）において、アクチュエータプレート５２の尾部７０Ａ，７０Ｂに、Ｙ方向の内側端部がダミーチャネル７２内に連通するとともに、Ｙ方向の外側端部がアクチュエータプレート５２のＹ方向の外側端面で開口する浅溝部７７を形成する。
【００７０】
次に、図８、図１４に示すように、アクチュエータプレート５２における尾部７０Ａ，７０ＢのＹ方向の外側縁部に、共通化凹部７８を形成する（共通化凹部形成工程（Ｓ６））。共通化凹部形成工程（Ｓ６）は、例えばダイシングブレード９６を用いた切削加工等により行う。具体的には、アクチュエータプレート５２に対して第１主面５２ａ側からダイシングブレード９６を進入させ、アクチュエータプレート５２上をＸ方向に沿って走行させる。
【００７１】
次に、図８、図１５、図２１に示すように、アクチュエータプレート５２に対して個別電極７３及び共通電極７５、並びに個別配線７４及び共通配線７６を形成する（電極形成工程（Ｓ７））。具体的には、斜め蒸着法等により、Ｚ方向に対してＸ方向に傾斜する方向からアクチュエータプレート５２の第１主面５２ａ側に向けて電極材料を蒸着する。すると、アクチュエータプレート５２の第１主面５２ａ上、及び吐出チャネル７１及びダミーチャネル７２の内面上に、マスク９７の開口部を通して電極材料が成膜される。これにより、アクチュエータプレート５２の第１主面５２ａ上に個別配線７４及び共通配線７６が形成されるとともに、各チャネル７１，７２のＺ方向における中間部分から一端縁に至る部分に個別電極７３及び共通電極７５がそれぞれ形成される。なお、電極形成工程（Ｓ７）において、Ｚ方向に対してＸ方向に傾斜する方向から斜め蒸着を行った場合には、Ｙ方向を向く面（例えば、共通化凹部７８の立ち上り面等）には電極材料は成膜されない。
【００７２】
次に、図８に示すように、アクチュエータプレート５２の第１主面５２ａ上に形成されたマスク９７を除去する（リフトオフ工程（Ｓ８））。
その後、図５〜図８に示すように、アクチュエータプレート５２の第１主面５２ａ上にノズルプレート５１を接合する（ノズルプレート接合工程（Ｓ９））。
さらに、アクチュエータプレート５２の尾部７０Ａ，７０Ｂのうち、ノズルプレート５１から露出した部分にフレキシブルプリント基板８０，８１を実装する。
以上により、本実施形態のインクジェットヘッド５が作製される。
【００７３】
このように、本実施形態では、尾部７０Ａ，７０Ｂのうち、Ｚ方向から見た平面視で集合部９３と個別電極用配線８２との交差部分に、絶縁部となる共通化凹部７８を形成する構成とした。
この構成によれば、個別電極用配線８２と共通配線７６（集合部９３）との間での短絡を抑制した上で、個別配線７４及び引き出し部９２を同一方向（チャネル列６３，６４に対してそれぞれＹ方向の外側）に引き出すことができる。これにより、従来のように例えば個別配線及び共通配線をチャネル列に対して互いに反対側に引き出す場合に比べて、配線パターンの簡素化を図ることができる。その結果、フレキシブルプリント基板８０，８１との接続作業を簡単に行うことができる等、製造効率の向上も図ることができる。
しかも、本実施形態では、共通配線７６のパッド部９４が個別配線７４とＹ方向で同等の位置に配置されているため、フレキシブルプリント基板８０，８１と個別配線７４及び共通配線７６との接続作業をより簡単に行うことができ、製造効率の更なる向上を図ることができる。
【００７４】
さらに、本実施形態では、絶縁部をＺ方向に窪んだ共通化凹部７８とすることで、個別電極用配線８２と共通配線７６（集合部９３）との間を確実に離間させることができ、両者間の短絡を抑制できる。
また、浅溝部７７の深さが、吐出チャネル７１の深さの半分以下になっているため、斜め蒸着法等により各電極７３，７５や配線７４，７６を成膜する場合において、浅溝部７７の内面全体に共通配線７６となる電極材料を成膜することができる。これにより、浅溝部７７の内面を介してダミーチャネル７２内の共通電極７５及び引き出し部９２間や集合部９３上を確実に導通させることができる。
【００７５】
そして、本実施形態のプリンタ１では、上述したインクジェットヘッド５を備えているため、信頼性に優れたプリンタを提供できる。
【００７６】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について説明する。本実施形態では、上述した各電極７３，７５や配線７４，７６を無電解めっきにより形成する点で、上述した第１実施形態と相違している。なお、以下の説明では、上述した第１実施形態と同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。図２２は、第２実施形態におけるインクジェットヘッド１０５の図７に相当する斜視図である。
図２２に示すように、本実施形態のインクジェットヘッド１０５において、アクチュエータプレート１５２は、分極方向がＺ方向で異なる２枚の圧電基板を積層した積層基板とされている（いわゆる、シェブロン基板）。そして、各電極７３，７５のうち、個別電極７３は吐出チャネル７１の内面全体に亘って形成され、共通電極７５はダミーチャネル７２の内面全体に亘って形成されている。
【００７７】
また、アクチュエータプレート５２における尾部７０Ａ，７０ＢのＹ方向の外側縁部には、絶縁部１００が形成されている。絶縁部１００は、アクチュエータプレート５２における尾部７０Ａ，７０ＢのＹ方向の外側縁部において、第１主面５２ａに対して一段下がった絶縁化凹部１０１と、絶縁化凹部１０１に対してＹ方向の外側に連なるとともに、絶縁化凹部１０１からさらに一段下がった共通化凹部７８と、を備えている。
【００７８】
まず、共通化凹部７８は、上述した第１実施形態と同様に、Ｘ方向で浅溝部７７内に開口し、Ｙ方向の外側端部がアクチュエータプレート５２におけるＹ方向の外側端面で開口している。共通化凹部７８の内面（底面及び立ち上がり面）全体には、共通配線７６の集合部９３が形成されている。
【００７９】
絶縁化凹部１０１は、Ｘ方向から見た側面視で矩形状を呈し、共通化凹部７８と第１主面５２ａとの境界部分の角部が切除されて構成されている。具体的に、絶縁化凹部１０１は、Ｚ方向における深さが共通化凹部７８よりも浅くなっているとともに、Ｘ方向における長さが共通化凹部７８と同等に形成されている。また、絶縁化凹部１０１におけるＹ方向の外側端部は、共通化凹部７８内に開口している。なお、絶縁化凹部１０１の内面には、上述した集合部９３は形成されていない。したがって、絶縁化凹部１０１は、第１主面５２ａ上に形成された個別配線７４と、共通化凹部７８内に形成された集合部９３と、を離間させている。
【００８０】
次に、上述したインクジェットヘッド１０５の製造方法について説明する。なお、以下の説明では、共通化凹部形成工程（Ｓ６）以降の工程について説明し、上述した第１実施形態と同様の工程については説明を省略する。図２３は、第２実施形態におけるインクジェットヘッド１０５の製造方法を説明するためのフローチャートである。
図２３に示すように、本実施形態の電極形成工程（Ｓ７）では、各電極７３，７５や配線７４，７６を無電解めっきにより形成する。電極形成工程（Ｓ７）では、まずアクチュエータプレート１５２及びカバープレート５３の接合体のうち、各電極７３，７５や配線７４，７６の形成領域（マスク９７の開口部から露出する領域）に対して触媒を付与する。具体的には、塩化第１錫水溶液に浸漬させ、接合体の表面に塩化第１錫を吸着させるセンシタイジング処理を行う。続いて、接合体を水洗等により軽く洗浄する。その後、接合体を、塩化パラジウム水溶液に浸漬させ、接合体の表面に塩化パラジウムを吸着させる。すると、接合体の表面に吸着した塩化パラジウムと、上述したセンシタイジング処理で吸着した塩化第１錫との間で酸化還元反応が生じることで、触媒として金属パラジウムが析出される（アクチベーティング処理）。
【００８１】
次に、触媒（金属パラジウム）が付与された接合体をめっき液に浸漬させることで、接合体のうち、触媒が付与された部分にめっき被膜が析出される。この場合、集合部９３が共通化凹部７８の内面全体に亘って形成されるため、集合部９３と個別配線７４とが共通化凹部７８と第１主面５２ａとの間の接続部分を介して接続される。
【００８２】
続いて、集合部９３と個別配線７４とを離間させる絶縁化凹部１０１を形成する（絶縁化凹部形成工程（Ｓ１０））。絶縁化凹部形成工程（Ｓ１０）は、例えばダイシングブレード９６を用いた切削加工等により行う。具体的には、アクチュエータプレート５２のうち、共通化凹部７８と第１主面５２ａとの接続部分に位置する角部に対してダイシングブレード９６を進入させ、アクチュエータプレート５２上をＸ方向に沿って走行させる。これにより、共通化凹部７８と第１主面５２ａとの接続部分に位置する角部が切除され、絶縁化凹部１０１が形成されるとともに、集合部９３と個別配線７４とが離間する。
【００８３】
その後、上述した第１実施形態と同様にリフトオフ工程（Ｓ７）及びノズルプレート接合工程（Ｓ８）を行う。なお、絶縁化凹部形成工程（Ｓ１０）は、リフトオフ工程（Ｓ７）の後に行っても構わない。
以上により、本実施形態のインクジェットヘッド１０５が作製される。
【００８４】
この構成によれば、上述した実施形態と同様の作用効果を奏するとともに、無電解めっきにより共通化凹部７８の内面全体に集合部９３を形成した場合であっても、個別配線７４と共通配線７６（集合部９３）との間の短絡を抑制できる。この場合、共通化凹部７８の内面全体に集合部９３を形成することで、共通配線７６のインピーダンスを低下させることができる。
【００８５】
なお、本発明の技術範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【００８６】
例えば、上述した実施形態では、液体噴射装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であっても構わない。
【００８７】
また、上述した実施形態では、ノズル列８７，８８がそれぞれＸ方向に沿って直線状に延在している場合について説明したが、これに限らず、例えばノズル列８７，８８が斜めに延在していてもよい。
また、ノズル孔８５，８６の形状に関しても、円形に限定されるものではない。例えば、三角等の多角形状や、楕円形状や星型形状でも構わない。
また、上述した実施形態では、各チャネル列６３，６４間において、吐出チャネル７１同士及びダミーチャネル７２同士が半ピッチずれた千鳥状に配列された構成について説明したが、これに限られない。吐出チャネル７１同士及びダミーチャネル７２同士が、Ｘ方向で異なる位置に形成されていれば構わない。
【００８８】
さらに、上述した実施形態では、ノズル列８７，８８が二列並んだ二列タイプのインクジェットヘッドについて説明したが、これに限らず、一列や三列以上の複数列のノズル列を有するインクジェットヘッドとしてもよい。
【００８９】
また、上述した実施形態では、集合部９３と個別電極用配線８２との交差部分に共通化凹部７８や絶縁化凹部１０１を形成する構成について説明したが、これに限られない。集合部９３と個別電極用配線８２との短絡を抑制できる構成であれば、適宜設計変更が可能である。例えば、図２４に示すように、尾部７０Ａ，７０Ｂのうち、Ｚ方向から見た平面視で少なくとも集合部９３と個別電極用配線８２との交差部分に、集合部９３を覆う絶縁膜（第１絶縁膜）１０３を形成しても構わない。なお、絶縁膜１０３としては、パリレン（登録商標）やガラス等を好適に用いることができる。また、絶縁膜１０３は、少なくとも集合部９３と個別電極用配線８２との交差部分に形成されていれば、その形成範囲は適宜設計変更が可能であり、例えばアクチュエータプレート５２における第１主面５２ａ全体に亘って形成しても構わない。
【００９０】
また、上述した実施形態では、サイドシュートタイプのうち、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間でインクが循環する循環式について説明したが、これに限られない。
さらに、吐出チャネルの延在方向の端部に臨むノズル孔からインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプのインクジェットヘッドに本実施形態の構成を採用しても構わない。
さらに、上述した実施形態では、パッド部９４がチャネル列６３，６４に対してＸ方向の外側に配置された構成について説明したが、これに限らず、パッド部９４の位置は個別配線７４と交差しない位置であれば適宜設計変更が可能である。
【００９１】
さらに、上述した実施形態では、ダミーチャネル７２内に連通する浅溝部７７を形成した構成について説明したが、これに限らず、浅溝部７７を形成しない構成としても構わない。さらに、浅溝部７７、共通化凹部７８、絶縁化凹部１０１を互いに同等の深さに形成しても構わない。
また、上述した実施形態では、第１主面５２ａ側からダミーチャネル７２を形成し、第２主面５２ｂ側から吐出チャネル７１を形成する構成について説明したが、これに限られない。
【００９２】
また、各電極７３，７５のうち、少なくとも個別電極７３等のインクが接する部分に個別電極７３を被覆するパリレン（登録商標）等の絶縁膜（第２絶縁膜）を形成しても構わない。
この構成によれば、インクを介して各電極７３，７５が短絡するのを抑制できるため、水性インク等の導電性を有するインクを用いる等、汎用性を向上させることができる。
【００９３】
その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上述した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上述した各変形例を適宜組み合わせても構わない。
【符号の説明】
【００９４】
１…インクジェットプリンタ（液体噴射装置）
２，３…搬送手段（移動機構）
５，５Ｙ，５Ｍ，５Ｃ，５Ｂ，１０５…インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）
７…走査手段（移動機構）
５１…ノズルプレート（噴射孔プレート）
５２，１５２…アクチュエータプレート
５２ａ…第１主面（一方の主面）
５２ｂ…第２主面（他方の主面）
６３…第１チャネル列（チャネル列）
６４…第２チャネル列（チャネル列）
７０Ａ，７０Ｂ…尾部
７１…吐出チャネル（噴射チャネル）
７２…ダミーチャネル
７３…個別電極
７４…個別配線
７５…共通電極
７６…共通配線
７８…共通化凹部（絶縁部）
８０…第１フレキシブルプリント基板（外部配線）
８１…第２フレキシブルプリント基板（外部配線）
８２…個別電極用配線
８５…第１ノズル孔（噴射孔）
８６…第２ノズル孔（噴射孔）
９２…引き出し部
９３…集合部
９４…パッド部
１０１…絶縁化凹部
１０３…絶縁膜（第１絶縁膜）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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