(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
送水される清水を純水に精製するイオン交換手段と、該イオン交換手段によって精製された純水を該イオン交換手段から送出する送出手段と、を備える純水精製装置であって、
該イオン交換手段は、
イオン交換樹脂と
流入口を備える天井部と、送出口を備える底部と、該天井部と該底部とを連結する側部とを有し、該イオン交換樹脂を収容する容器と、から構成され、
上方の流入口から該清水が該容器に供給され、
該容器は、該清水を供給する配管を該流入口に接続する接続手段を備え、
該接続手段は、
該配管と連結し、該配管を該流入口に固定する連結固定部と、
該容器に挿入され、該清水を該容器に供給する導入管部を備え、
該導入管部は、
底部が広い円錐台形状で、傾斜した側部に噴出口が周方向沿って形成され、
該底部が邪魔板となり、該導入管部の該噴出口から供給される該清水は、該噴出口から放射状に噴出することを特徴とする純水精製装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、純水精製装置の特にイオン交換樹脂容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス製造工程で用いられる純水は、水道水等と比較して、不純物が限界近くまで除去されたものであり、フィルタ等である程度の不純物が除去された清水からイオン交換手段によってイオン分の除去が行われるのが通常である。半導体ウエーハ等を切削して分割する切削装置でも純水が用いられ、切削装置から排出される加工水から切削屑及び各種イオンを除去して再び切削装置に供給される純水精製装置の一種である加工廃液処理装置にもイオン交換手段が用いられる（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
これらの装置のイオン交換手段は、ガラス繊維等で耐圧強化されている樹脂性の硬質な容器にイオン交換樹脂を収容し、その容器のイオン交換樹脂に清水を通すことでイオン分を除去し純水に精製している。硬質な容器はその構造が複雑であるため高価で重量が重く、交換にはコストと工数がかかるという課題があった。そこで、安価で軽い単層樹脂製の容器を用いる事を可能とした純水精製装置を本願発明者は発案した。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第５０８６１２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
純水精製装置は、例えば切削装置に接続される場合、切削装置が稼働を停止していると純水精製装置に供給される水も停止される。この場合、容器の下方から清水を供給し上方から純水を排出する容器の形式では、容器内の空気は容器外に排出されやすいが、水の流れに沿ってイオン交換樹脂が容器内で上方に溜まり易く、清水の供給が停止すると、上方に溜まったイオン交換樹脂が容器の底部に向かって落ちてくるという現象が発生する。更にこの現象は、イオン交換樹脂がイオン分を吸着すると樹脂自体の体積も収縮し、容器内の空間が増えるためより顕著となる。この際、イオン交換樹脂として所定の混合比で混合されたカチオン樹脂（強酸性陽イオン交換樹脂）とアニオン樹脂（強塩基性陰イオン交換樹脂）とがその比重比差によって分級してしまい（参考：カチオン樹脂の方が比重が大きい）、イオン交換の効果が充分発揮できないという課題があった。
【０００６】
本発明は、上記問題にかんがみなされたもので、その目的は、イオン交換の効果を充分に発揮することができる純水精製装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の純水精製装置は、送水される清水を純水に精製するイオン交換手段と、該イオン交換手段によって精製された純水を該イオン交換手段から送出する送出手段と、を備える純水精製装置であって、該イオン交換手段は、イオン交換樹脂と流入口を備える天井部と、送出口を備える底部と、該天井部と該底部とを連結する側部とを有し、該イオン交換樹脂を収容する容器と、から構成され、上方の流入口から該清水が該容器に供給され、該容器は、該清水を供給する配管を該流入口に接続する接続手段を備え、該接続手段は、該配管と連結し、該配管を該流入口に固定する連結固定部と、該容器に挿入され、該清水を該容器に供給する導入管部を備え、該導入管部は、底部が広い円錐台形状で、傾斜した側部に噴出口が周方向沿って形成され、該底部が邪魔板となり、該導入管部の該噴出口から供給される該清水は、該噴出口から放射状に噴出することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
そこで、本願発明の純水精製装置では、イオン交換手段を、所謂ダウンフローで清水を通水する構成としたため、イオン交換の効果を充分に発揮することができる、という効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、実施形態に係る純水精製装置と隣接される加工装置としての切削装置の構成例を示す斜視図である。
【図２】図２は、実施形態に係る純水精製装置の構成例を分解して示す分解斜視図である。
【図３】図３は、実施形態に係る純水精製装置のイオン交換手段を示す側断面図である。
【図４】図４は、実施形態に係る純水精製装置のイオン交換手段の接続部材を示す図である。
【図５】図５は、実施形態の変形例に係る純水精製装置のイオン交換手段の接続部材を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
【００１２】
〔実施形態〕
本発明の実施形態に係る純水精製装置を図面に基いて説明する。図１は、実施形態に係る純水精製装置と隣接される加工装置としての切削装置の構成例を示す斜視図である。図２は、実施形態に係る純水精製装置の構成例を分解して示す分解斜視図である。図３は、実施形態に係る純水精製装置のイオン交換手段を示す側断面図である。図４（ａ）は、実施形態に係る純水精製装置のイオン交換手段の接続部材を示す側部図である。図４（ｂ）は、実施形態に係る純水精製装置のイオン交換手段の接続部材を示す上面図である。
【００１３】
実施形態に係る純水精製装置１は、図１に示す加工装置としての切削装置１００に隣接されて配置される。切削装置１００は、図１に示すように、被加工物Ｗを保持するチャックテーブル１１０と、チャックテーブル１１０に保持された被加工物Ｗを切削するための切削ブレード１２１と切削ブレード１２１に切削水を供給する切削供給ノズル１２２とを備えた切削手段１２０と、チャックテーブル１１０をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動手段（図示せず）と、切削手段１２０をＹ軸方向に移動させるＹ軸移動手段（図示せず）と、切削手段１２０をＺ軸方向に移動させるＺ軸移動手段（図示せず）と、チャックテーブル１１０をＺ軸と平行な軸心回りに回転させる回転駆動源（図示せず）等を備えている。切削装置１００は、Ｘ軸移動手段と、Ｙ軸移動手段と、Ｚ軸移動手段及び回転駆動源により、チャックテーブル１１０と切削手段１２０とをＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向及びＺ軸と平行な軸心回りに相対的に移動させて、被加工物Ｗを切削してチップに分割するものである。
【００１４】
なお、被加工物Ｗは、本実施形態では、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハである。また、本発明では、被加工物Ｗは、電子部品に使用される各種セラミック基板、樹脂基板、ガラス基板などであってもよい。被加工物Ｗは、図１に示すように、粘着シートＳに貼着され、粘着シートＳに環状フレームＦが貼着されて、粘着シートＳを介して環状フレームＦに装着される。
【００１５】
また、切削装置１００は、切削前後の被加工物Ｗを複数収容するカセットエレベータ１３０と、カセットエレベータ１３０に被加工物Ｗを出し入れする搬出入手段１４０と、切削後の被加工物Ｗを洗浄する洗浄手段１５０と、搬出入手段１４０とチャックテーブル１１０と洗浄手段１５０とに亘って被加工物Ｗを搬送する搬送手段１６０と、を備えている。
【００１６】
切削装置１００は、搬出入手段１４０によりカセットエレベータ１３０内から切削前の被加工物Ｗを取り出し、取り出された被加工物Ｗを搬送手段１６０によりチャックテーブル１１０に搬送する。そして、切削装置１００は、チャックテーブル１１０により被加工物Ｗを保持し、Ｘ軸移動手段と、Ｙ軸移動手段と、Ｚ軸移動手段及び回転駆動源により、チャックテーブル１１０と切削手段１２０とをＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向及びＺ軸回りに相対的に移動させて、切削水を供給しながら被加工物Ｗを切削してチップに分割する。切削装置１００は、切削後の被加工物Ｗを搬送手段１６０によりチャックテーブル１１０から洗浄手段１５０に搬送した後、洗浄手段１５０により洗浄する。そして、切削装置１００は、洗浄後の被加工物Ｗを搬送手段１６０により搬出入手段１４０に搬送し、搬出入手段１４０によりカセットエレベータ１３０内に収容する。
【００１７】
純水精製装置１は、切削装置１００からの切削屑と切削水などからなる廃液を純水に精製して再利用するためのものである。純水精製装置１は、図２に示すように、廃液収容手段２０と、廃液ろ過手段３０と、清水収容手段４０と、純水精製手段５０と、純水温度調整手段９０と、図示しない制御手段と、を備える。
【００１８】
廃液収容手段２０は、切削装置１００により排出された廃液を収容するものである。廃液収容手段２０は、配管２３を通して切削装置１００から供給された廃液を収容する廃液タンク２１と、廃液タンク２１内の廃液を送給する廃液送給ポンプ２２を備えている。
【００１９】
廃液ろ過手段３０は、廃液収容手段２０から送給された廃液から切削屑を除去して清水に精製するものである。廃液ろ過手段３０は、廃液収容手段２０から送給された廃液が配管３１を介して導入される第１のフィルタ３２と、廃液が配管３１を介して導入される第２のフィルタ３３と、第１のフィルタ３２及び第２のフィルタ３３を着脱自在に設けた清水受けパン３６などを備えている。廃液送給ポンプ２２と第１のフィルタ３２及び第２のフィルタ３３とを接続する配管３１には、電磁開閉弁３４ａ，３４ｂが設けられている。電磁開閉弁３４ａ，３４ｂが開くと、第１のフィルタ３２及び第２のフィルタ３３に廃液が導入される。また、配管３１には、廃液の圧力を検出する圧力検出手段３５が取り付けられている。
【００２０】
第１のフィルタ３２及び第２のフィルタ３３は、導入された廃液をろ過し、廃液中の切削屑を捕捉して、清水に精製する。第１のフィルタ３２及び第２のフィルタ３３は、精製した清水を清水受けパン３６上に流出する。清水受けパン３６は、フレキシブルホースなどからなる配管３７を通して清水を清水収容手段４０に送る。
【００２１】
清水収容手段４０は、廃液ろ過手段３０からの清水を貯留するものである。清水収容手段４０は、配管３７を通して廃液ろ過手段３０から供給された清水を収容する清水貯留タンク４１を備えている。
【００２２】
純水精製手段５０は、清水を純水に精製するものである。純水精製手段５０は、加圧ポンプ５１と、紫外線照射手段５２と、第１のイオン交換手段５３と、第２のイオン交換手段５４と、吸引ポンプ５５（送出手段に相当）と、精密フィルタ５６などを備える。加圧ポンプ５１は、清水貯留タンク４１内の清水を配管５７を通して紫外線照射手段５２に送給する。紫外線照射手段５２は、導入された清水に紫外線を照射して有機物を分解し殺菌する。紫外線照射手段５２は、配管５８を通して第１のイオン交換手段５３及び第２のイオン交換手段５４の流入口７１（図３に示す）に接続している。紫外線照射手段５２と第１のイオン交換手段５３及び第２のイオン交換手段５４とを接続する配管５８には、電磁開閉弁５９ａ，５９ｂが設けられている。電磁開閉弁５９ａ，５９ｂが開くと、第１のイオン交換手段５３及び第２のイオン交換手段５４に清水が導入される。
【００２３】
第１のイオン交換手段５３及び第２のイオン交換手段５４は、清水収容手段４０から送水される清水をイオン交換して純水に精製するものである。また、第１のイオン交換手段５３及び第２のイオン交換手段５４の流出口７２（図３に示す）と吸引ポンプ５５と精密フィルタ５６とを接続する配管６０には、第１のイオン交換手段５３及び第２のイオン交換手段５４の流出口７２からの純水の圧力を検出する圧力検出手段６１ａ，６１ｂが取り付けられている。
【００２４】
吸引ポンプ５５は、圧力検出手段６１ａ，６１ｂよりも下流側に配置され、配管６０内の第１のイオン交換手段５３及び第２のイオン交換手段５４によって精製された純水を第１のイオン交換手段５３及び第２のイオン交換手段５４から所定の水圧で精密フィルタ５６及び純水温度調整手段９０に向けて送出する。なお、本実施形態では、吸引ポンプ５５は、第１のイオン交換手段５３及び第２のイオン交換手段５４によって精製された純水を所定の圧力としての０．３ＭＰａ（ゲージ圧）で配管６０を通して精密フィルタ５６に送出する。精密フィルタ５６は、イオン交換樹脂７４（図３に示す）などの樹脂屑などの微細な物質を捕捉するものである。純水温度調整手段９０は、純水を所定温度に調整して切削装置１００の切削水供給手段に循環するものである。
【００２５】
第１のイオン交換手段５３及び第２のイオン交換手段５４は、図３に示すように、流入口７１と流出口７２を備え、流出口７２に配管６０を介して吸引ポンプ５５が連結される容器７３と、容器７３に収容されるイオン交換樹脂７４とから構成される。
【００２６】
容器７３は、イオン交換樹脂７４を収容するものである。容器７３は、図３に示すように、流入口７１を備える天井部７３ａと、流出口７２を備えかつ天井部７３ａに対面しかつ天井部７３ａよりも下方に配置される底部７３ｂと、天井部７３ａと底部７３ｂとを連結する円筒状の側部７３ｃとを有して、流入口７１と流出口７２とを除いて内部が密閉されている。流入口７１と流出口７２とは、円筒状に形成され、天井部７３ａ、底部７３ｂ及び側部７３ｃと同軸に配置されている。天井部７３ａと底部７３ｂとは、外観が円錐台形状に形成されている。天井部７３ａの表面の容器７３全体の軸心Ｐ（図３に一点鎖線で示す）とのなす角度Θ１は、底部７３ｂの表面の軸心Ｐとのなす角度Θ２よりも大きい。
【００２７】
容器７３は、ＰＯ（polyolefin）、ＰＥＴ（polyethylene  terephthalate）、ＰＥ（polyethylene）、ＰＶＣ（polyvinyl  chloride）などで構成され、単層樹脂で形成されている。容器７３は、０〜−０．０１ＭＰａ（ゲージ圧）程度の内部の水圧に耐えることができる程度の強度を有している。このために、容器７３は、内部の水圧が大きく変化すると、内部の水圧に応じて変形することとなる。容器７３は、射出成型、ブロー成型、押し出し成型などの安価に大量に生産可能な方法により製造される。
【００２８】
また、容器７３は、清水を供給する配管５８を流入口７１に接続する接続手段７５と、純水を送出する配管６０を流出口７２に接続する流出側接続手段７６とを備えて、常に上方の流入口７１から清水が容器７３内に供給される。なお、接続手段７５と流出側接続手段７６とは、構成が等しいので、以下、接続手段７５を代表して説明する。
【００２９】
接続手段７５は、配管５８を流入口７１に接続する接続部材７７と、配管５８と接続部材７７に固定可能で、接続部材７７を流入口７１に固定可能な着脱キャップ７８とを備えている。接続部材７７は、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、配管５８と連結し、配管５８を流入口７１に固定する連結固定部７７ａと、容器７３内に挿入され、清水を容器７３に供給する導入管部７７ｂを一体に備える。連結固定部７７ａは、円筒状に形成され、かつ、流入口７１内に通されて容器７３外に突出するとともに、配管５８内に挿入されて配管５８と連結する。
【００３０】
導入管部７７ｂは、連結固定部７７ａの容器７３の内側の端部に連なっている。導入管部７７ｂは、外観が円錐台形状に形成されている。導入管部７７ｂの流出口７２と対面する底部７７ｃは、連結固定部７７ａの外径よりも広く形成されている。導入管部７７ｂの連結固定部７７ａと底部７７ｃとを連結する側面７７ｄは、連結固定部７７ａから底部７７ｃに向かうにしたがって徐々に外径が広くなる様に軸心Ｐに対して傾斜している。この傾斜した側面７７ｄには、清水を容器７３内に導く噴出口７７ｅが周方向沿って間隔をあけて形成されている。本実施形態では、噴出口７７ｅは、連結固定部７７ａから底部７７ｃに向かう方向に直線状に延びている。なお、底部７７ｃには、開口や孔などが一切設けられていない。
【００３１】
導入管部７７ｂは、配管５８を通して清水が供給される。導入管部７７ｂに供給された清水は、底部７７ｃが邪魔板となり、噴出口７７ｅを通して容器７３内に供給される。そして、導入管部７７ｂの噴出口７７ｅから容器７３内に供給される清水は、底部７７ｃによって跳ね返されて、噴出口７７ｅから斜め上方に向かって放射状に噴出する。
【００３２】
また、流出側接続手段７６の接続部材７７は、図３に示すように、連結固定部７７ａが流出口７２内に通されて容器７３外に突出するとともに、配管６０内に挿入されて配管６０と連結し、導入管部７７ｂが、底部７７ｃが流入口７１と対面した状態で容器７３内に挿入され、側面７７ｄが連結固定部７７ａから底部７７ｃに向かうにしたがって徐々に外径が広くなる様に軸心Ｐに対して傾斜している。流出側接続手段７６の接続部材７７は、イオン交換樹脂７４により精製された純水を噴出口７７ｅから取り込んで、取り込んだ純水を導入管部７７ｂを通して配管６０に供給する。
【００３３】
着脱キャップ７８は、接続部材７７の連結固定部７７ａを流入口７１及び流出口７２に着脱自在とするものである。着脱キャップ７８は、二層構造であったり、複数の材料を組み合わせて構成されてもよい。イオン交換樹脂７４としては、アニオン交換樹脂、カチオン交換樹脂のうちの少なくとも一方などが用いられる。なお、本実施形態では、イオン交換樹脂７４としては、アニオン交換樹脂、カチオン交換樹脂の両方が所定の割合で容器７３内に充填されている。カチオン樹脂は、アニオン樹脂よりも比重が大きい。イオン交換樹脂７４は、清水が供給されると、イオン分が吸着して、体積収縮を起こし、イオン交換樹脂７４間に隙間を生じさせる。
【００３４】
第１のイオン交換手段５３及び第２のイオン交換手段５４は、流入口７１から導入された清水を容器７３内のイオン交換樹脂７４間に導き、イオン交換樹脂７４によりイオン交換して純水に精製し、流出口７２から吸引ポンプ５５に送り出す。
【００３５】
制御手段は、純水精製装置１を構成する上述した構成要素をそれぞれ制御して、純水精製装置１により廃液を純水に精製させるものである。制御手段は、圧力検出手段３５，６１ａ，６１ｂの検出結果に基いて、電磁開閉弁３４ａ，３４ｂ，５９ａ，５９ｂ、加圧ポンプ５１及び吸引ポンプ５５を制御して、廃液を廃液収容手段２０に収容した後、廃液ろ過手段３０でろ過して清水に精製し、清水を清水収容手段４０に収容した後、純水精製手段５０で純水に精製し、精密フィルタ５６及び純水温度調整手段９０に向けて送出して、純水精製装置１により廃液を純水に精製させる。なお、制御手段は、例えばＣＰＵ等で構成された演算処理装置やＲＯＭ、ＲＡＭ等を備える図示しないマイクロプロセッサを主体として構成されている。また、制御手段には、純水精製開始情報などの処理情報を入力する操作盤（図示せず）が接続されている。
【００３６】
制御手段は、純水精製装置１に廃液を純水に精製させる際には、吸引ポンプ５５から精密フィルタ５６に送出される純水の圧力を０．３ＭＰａ（ゲージ圧）に調整する。そして、制御手段は、圧力検出手段６１ａ，６１ｂの検出結果に基いて、配管６０内即ち流出口７２から流出される純水の圧力が０ＭＰａ（ゲージ圧）から−０．０１ＭＰａ（ゲージ圧）となるように、加圧ポンプ５１を制御する。即ち、制御手段は、第１のイオン交換手段５３及び第２のイオン交換手段５４の容器７３内の純水の圧力を０ＭＰａ（ゲージ圧）から−０．０１ＭＰａ（ゲージ圧）に維持する。
【００３７】
なお、第１のイオン交換手段５３及び第２のイオン交換手段５４の容器７３内の純水の圧力が−０．０１ＭＰａ（ゲージ圧）よりも低くなると、容器７３内にイオン交換樹脂７４に付着していた気泡が大量に発生して、イオン交換樹脂７４の性能を充分に発揮できなくなる。また、第１のイオン交換手段５３及び第２のイオン交換手段５４の容器７３内の純水の圧力が０ＭＰａ（ゲージ圧）よりも高くなると、容器７３内に正圧がかかり、容器７３を頑丈な圧力容器とする必要があるからである。こうすることで、純水精製装置１は、吸引ポンプ５５によって第１のイオン交換手段５３及び第２のイオン交換手段５４にかかる吸引力を、加圧ポンプ５１の清水の加圧によって緩和する。
【００３８】
以上のように、実施形態に係る純水精製装置１によれば、流入口７１を容器７３の上方に設け、流出口７２を容器７３の下方に設けて、イオン交換手段５３，５４の容器７３内において常に上方から下方に向けて清水を流す、所謂ダウンフローで清水を通水する構成としている。このために、純水精製装置１は、イオン交換手段５３，５４への清水の供給が停止されても、イオン吸着などにより体積が変化したイオン交換樹脂７４同士が容器７３内で移動することを抑制することができる。したがって、純水精製装置１は、イオン交換手段５３，５４への清水の供給が停止されても、容器７３内でイオン交換樹脂７４であるアニオン樹脂とカチオン樹脂が分離する事を抑制することができる。よって、純水精製装置１は、清水の供給、停止が繰り返されても、イオン交換樹脂７４の分離を抑制でき、イオン交換の効果を充分に発揮することができる、という効果を奏する。
【００３９】
また、純水精製装置１は、イオン交換手段５３，５４の接続部材７７が底部７７ｃと、噴出口７７ｅが設けられた側面７７ｄとを有して外観が円錐台形状に形成されている。このために、純水精製装置１は、イオン交換手段５３，５４の接続部材７７内に導かれた清水が底部７７ｃに衝突して、導入管部７７ｂの傾斜した側面７７ｄに設けられた噴出口７７ｅから清水が斜め上方に放射状に噴出して容器７３内に供給される。したがって、純水精製装置１は、使用開始時の初期の通水水張り時でも、イオン交換手段５３，５４の容器７３内から効率的に空気を排出でき、且つ、ダウンフローの最短経路で清水が排出されることが無く、容器７３内の隅々のイオン交換樹脂７４に清水を行き渡らせることができる。よって、純水精製装置１は、できる限りイオン交換樹脂７４に長く清水を接触させることができ、清水のイオン交換、即ち純水への精製を確実に実施できるという効果も奏する。
【００４０】
さらに、純水精製装置１は、イオン交換手段５３，５４の容器７３の天井部７３ａの表面の軸心Ｐに対する角度Θ１が、底部７３ｂの表面の軸心Ｐに対する角度Θ２よりも大きいので、イオン交換手段５３，５４の容器７３の上下を間違うことを抑制することができる。特に、純水精製装置１は、イオン交換手段５３，５４の容器７３内に複数のイオン交換樹脂７４を多層化させて収容した場合に、上下の設置即ち通水方向を誤ることを抑制することができる。
【００４１】
さらに、純水精製装置１は、イオン交換手段５３，５４の容器７３の天井部７３ａの表面の軸心Ｐに対する角度Θ１が、底部７３ｂの表面の軸心Ｐに対する角度Θ２よりも大きいので、流入口７１から導入され噴出口７７ｅから斜め上方に噴出される清水が、天井部７３ａに干渉することを抑制できる。したがって、純水精製装置１は、流入口７１から導入され噴出口７７ｅから噴出される清水を容器７３内の隅々のイオン交換樹脂７４に行き渡らせることができる。
【００４２】
また、純水精製装置１は、イオン交換手段５３，５４の容器７３の天井部７３ａの表面の軸心Ｐに対する角度Θ１が、底部７３ｂの表面の軸心Ｐに対する角度Θ２よりも大きいので、容器７３の下端部ではイオン交換されて精製された純水を流出口７２に速やかに集めることができる。
【００４３】
第１のイオン交換手段５３及び第２のイオン交換手段５４の容器７３にかかる水圧が低くてすむため、例えばＰＯ（polyolefin）やＰＥＴ（polyethylene  terephthalate）などの樹脂により単層で構成された容器７３をイオン交換手段５３，５４の容器に用いることができる。このために、使用済みのイオン交換樹脂７４を容器７３ごと廃棄する際に、イオン交換手段５３，５４が軽量のため処理作業も容易になり、処理費用も安くすむという効果もある。また、イオン交換手段５３，５４が軽量で単純な構成であるため、輸送に係るコストも安く、イオン交換樹脂７４の交換も容易となる。したがって、純水精製装置１は、ランニングコストの低コスト化を図ることができる。
【００４４】
さらに、純水精製装置１は、イオン交換手段５３，５４の容器７３を水圧に応じて変形しやすい安価な構成にするためにも、イオン交換手段５３，５４の容器７３内において常に上方から下方に向けて清水を流すので、イオン交換樹脂７４の分離を抑制でき、イオン交換の効果を充分に発揮することができる、という効果を奏する。
【００４５】
〔変形例〕
本発明の実施形態の変形例に係る純水精製装置を図面に基いて説明する。図５（ａ）は、実施形態の変形例に係る純水精製装置のイオン交換手段の接続部材を示す側部図である。図５（ｂ）は、実施形態の変形例に係る純水精製装置のイオン交換手段の接続部材を示す上面図である。なお、図５において、実施形態と同一部分には、同一符号を付して説明を省略する。
【００４６】
実施形態の変形例に係る純水精製装置１の接続手段７５，７６の接続部材７７は、導入管部７７ｂの側面７７ｄに清水を容器７３内に導く噴出口７７ｅが周方向沿って直線状に形成されている。実施形態の変形例では、噴出口７７ｅは、側面７７ｄの略全周に亘って設けられている。なお、本発明では、噴出口７７ｅは、周方向沿って等間隔に複数形成されてもよい。変形例に係る純水精製装置１の接続手段７５，７６の接続部材７７の導入管部７７ｂは、底部７７ｃが供給された清水の邪魔板となり、清水を噴出口７７ｅを通して容器７３内に供給する。そして、導入管部７７ｂの噴出口７７ｅから容器７３内に供給される清水は、底部７７ｃによって跳ね返されて、噴出口７７ｅから斜め上方に向かって放射状に噴出する。
【００４７】
実施形態の変形例に係る純水精製装置１によれば、実施形態と同様に、イオン交換手段５３，５４の容器７３内において上方から下方に向けて清水を流す、所謂ダウンフローで清水を通水する構成としているために、イオン交換の効果を充分に発揮することができる、という効果を奏する。
【００４８】
本発明では、純水精製装置１は、切削装置１００に限ることなく、加工装置としての研磨装置や研削装置からの廃液を純水に精製してもよい。
【００４９】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
【符号の説明】
【００５０】
１  純水精製装置
５３  第１のイオン交換手段
５４  第２のイオン交換手段
５５  吸引ポンプ（送出手段）
５８，６０  配管
７１  流入口
７２  流出口
７３  容器
７３ａ  天井部
７３ｂ  底部
７３ｃ  側部
７４  イオン交換樹脂
７５  接続手段
７７ａ  連結固定部
７７ｂ  導入管部
７７ｃ  底部
７７ｄ  側面
７７ｅ  噴出口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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