(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一層以上の配線層を含む第１配線構造と、前記第１配線構造に形成された第１コイルと、前記第１配線構造上に形成された第１絶縁膜と、を有する第１半導体チップと、
一層以上の配線層を含む第２配線構造と、前記第２配線構造に形成された第２コイルと、前記第２配線構造上に形成された第２絶縁膜と、を有する第２半導体チップと、
前記第１半導体チップの前記第１絶縁膜と前記第２半導体チップの前記第２絶縁膜との間に介在する絶縁シートと、
を備え、
前記第１半導体チップと前記第２半導体チップとは、前記第１半導体チップの前記第１絶縁膜と前記第２半導体チップの前記第２絶縁膜とが互いに対向する向きで、前記絶縁シートを介して重ねられており、
前記第１コイルと前記第２コイルとは、磁気的に結合され、
前記第１配線構造の最上層の配線層である第１最上層配線層に、第１配線および第１ダミー配線が形成されており、
前記第２配線構造の最上層の配線層である第２最上層配線層に、第２配線および第２ダミー配線が形成されており、
前記絶縁シートに重なる領域の前記第１絶縁膜の上面には、前記第１配線の厚みの１／２以上の大きさの段差は形成されておらず、
前記絶縁シートに重なる領域の前記第２絶縁膜の上面には、前記第２配線の厚みの１／２以上の大きさの段差は形成されていない、半導体装置。
【請求項２】
請求項１記載の半導体装置において、
前記絶縁シートに重なる領域の前記第１絶縁膜の上面には、２μｍ以上の大きさの段差は形成されておらず、
前記絶縁シートに重なる領域の前記第２絶縁膜の上面には、２μｍ以上の大きさの段差は形成されていない、半導体装置。
【請求項３】
請求項１記載の半導体装置において、
前記第１コイルと前記第２コイルとは、平面視で重なっている、半導体装置。
【請求項４】
請求項１記載の半導体装置において、
前記第１最上層配線層に、前記第１コイルが形成され、
前記第２最上層配線層に、前記第２コイルが形成されている、半導体装置。
【請求項５】
請求項１記載の半導体装置において、
前記第１ダミー配線および前記第２ダミー配線は、それぞれ孤立パターンである、半導体装置。
【請求項６】
請求項１記載の半導体装置において、
前記第１ダミー配線および前記第２ダミー配線は、それぞれ浮遊電位のパターンである、半導体装置。
【請求項７】
請求項１記載の半導体装置において、
前記第１半導体チップは、前記第２半導体チップと対向せずかつ前記絶縁シートと重なっていない第１非対向領域を有し、
前記第２半導体チップは、前記第１半導体チップと対向せずかつ前記絶縁シートと重なっていない第２非対向領域を有している、半導体装置。
【請求項８】
請求項７記載の半導体装置において、
前記第１最上層配線層に、第１パッドが形成され、
前記第２最上層配線層に、第２パッドが形成され、
前記第１パッドは、前記第１半導体チップの前記第１非対向領域に配置され、
前記第２パッドは、前記第２半導体チップの前記第２非対向領域に配置されている、半導体装置。
【請求項９】
請求項８記載の半導体装置において、
前記第１ダミー配線は、前記第１最上層配線層において、前記絶縁シートと重なる領域と前記絶縁シートに重ならない領域とに配置され、
前記第２ダミー配線は、前記第２最上層配線層において、前記絶縁シートと重なる領域と前記絶縁シートに重ならない領域とに配置されている、半導体装置。
【請求項１０】
請求項８記載の半導体装置において、
前記第１ダミー配線は、前記第１最上層配線層において、前記絶縁シートと重なる領域に配置され、前記絶縁シートとは重ならない領域には配置されておらず、
前記第２ダミー配線は、前記第２最上層配線層において、前記絶縁シートと重なる領域に配置され、前記絶縁シートとは重ならない領域には配置されていない、半導体装置。
【請求項１１】
請求項８記載の半導体装置において、
前記第１半導体チップを搭載するチップ搭載部と、
第１リードおよび第２リードと、
前記第１リードと前記第１半導体チップの前記第１パッドとを電気的に接続する第１導電性接続部材と、
前記第２リードと前記第２半導体チップの前記第２パッドとを電気的に接続する第２導電性接続部材と、
前記第１半導体チップ、前記第２半導体チップ、前記絶縁シート、前記チップ搭載部、前記第１導電性接続部材、前記第２導電性接続部材、前記第１リードの一部および前記第２リードの一部を封止する封止部と、
を更に有する、半導体装置。
【請求項１２】
請求項１記載の半導体装置において、
前記第１ダミー配線は、前記第１最上層配線層における前記絶縁シートと重なる領域において、前記第１コイルおよび前記第１配線が形成されていない領域に、均等に配置され、
前記第２ダミー配線は、前記第１最上層配線層における前記絶縁シートと重なる領域において、前記第２コイルおよび前記第２配線が形成されていない領域に、均等に配置されている、半導体装置。
【請求項１３】
請求項１記載の半導体装置において、
前記第１絶縁膜および前記第２絶縁膜は、それぞれ積層絶縁膜である、半導体装置。
【請求項１４】
請求項１３記載の半導体装置において、
前記第１絶縁膜および前記第２絶縁膜のそれぞれの最上層の膜は、樹脂材料からなる、半導体装置。
【請求項１５】
請求項１４記載の半導体装置において、
前記第１絶縁膜および前記第２絶縁膜は、それぞれ、窒化シリコン膜と前記窒化シリコン膜上の樹脂膜との積層膜からなる、半導体装置。
【請求項１６】
請求項１記載の半導体装置において、
前記第１配線構造は複数の配線層を含み、
前記第１コイルは、前記第１配線構造を構成する複数の配線層のうちの２層以上の配線層に形成されたコイル用配線により形成され、
前記第２配線構造は複数の配線層を含み、
前記第２コイルは、前記第２配線構造を構成する複数の配線層のうちの２層以上の配線層に形成されたコイル用配線により形成されている、半導体装置。
【請求項１７】
請求項１記載の半導体装置において、
前記第１配線構造は複数の配線層を含み、
前記第１配線構造において、前記第１最上層配線層よりも下層に、前記第１コイルが形成され、
前記第２配線構造は複数の配線層を含み、
前記第２配線構造において、前記第２最上層配線層よりも下層に、前記第２コイルが形成されている、半導体装置。
【請求項１８】
請求項１記載の半導体装置において、
磁気的に結合した前記第１コイルおよび前記第２コイルを介して、前記第１半導体チップと前記第２半導体チップとの間で信号が伝達される、半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置に関し、例えば、それぞれにインダクタが形成された２つの半導体チップを対向に配置して形成された半導体装置に好適に利用できるものである。
【背景技術】
【０００２】
入力される電気信号の電位が互いに異なる２つの回路の間で電気信号を伝達する技術として、フォトカプラを用いた技術がある。フォトカプラは、発光ダイオードなどの発光素子とフォトトランジスタなどの受光素子を有しており、入力された電気信号を発光素子で光に変換し、この光を受光素子で電気信号に戻すことにより、電気信号を伝達している。
【０００３】
これに対し、２つのインダクタを磁気結合（誘導結合）させることにより、電気信号を伝達する技術が開発されている。
【０００４】
特開平１１−２１９８２４号公報（特許文献１）には、表面実装型バランストランスに関する技術が開示されている。
【０００５】
特開２０１１−５４８００号公報（特許文献２）には、第１半導体チップと第２半導体チップにそれぞれインダクタを形成し、互いのチップ間の信号伝達をインダクタの誘導結合を用いて行う半導体装置に関する技術が開示されている。そして特許文献２には、これら２つの半導体チップ間には、絶縁性の接着層を設けてもいいと記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平１１−２１９８２４号公報
【特許文献２】特開２０１１−５４８００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
それぞれにインダクタが形成された２つの半導体チップを対向させて配置し、磁気結合により電気信号を伝達する半導体装置においては、互いのチップ間で絶縁破壊を生じる可能性がある。
【０００８】
その他の課題と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
一実施の形態によれば、半導体装置は、絶縁シートを介して重ねられた第１半導体チップおよび第２半導体チップを有している。第１半導体チップは、一層以上の配線層を含む第１配線構造と、前記第１配線構造に形成された第１コイルと、前記第１配線構造上に形成された第１絶縁膜とを有している。第２半導体チップは、一層以上の配線層を含む第２配線構造と、前記第２配線構造に形成された第２コイルと、前記第２配線構造上に形成された第２絶縁膜とを有している。前記第１半導体チップと前記第２半導体チップとは、前記第１半導体チップの前記第１絶縁膜と前記第２半導体チップの前記第２絶縁膜とが互いに対向する向きで、前記絶縁シートを介して重ねられており、前記第１コイルと前記第２コイルとは磁気的に結合されている。そして、前記第１配線構造の最上層の配線層である第１最上層配線層に、第１配線および第１ダミー配線が形成され、前記第２配線構造の最上層の配線層である第２最上層配線層に、第２配線および第２ダミー配線が形成されている。
【発明の効果】
【００１０】
一実施の形態によれば、半導体装置の信頼性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】一実施の形態の半導体装置を用いた電子装置の一例を示す回路図である。
【図２】信号の伝送例を示す説明図である。
【図３】一実施の形態の半導体パッケージの上面図である。
【図４】図３の半導体パッケージの平面透視図である。
【図５】図３の半導体パッケージの平面透視図である。
【図６】図３の半導体パッケージの平面透視図である。
【図７】図３の半導体パッケージの平面透視図である。
【図８】図３の半導体パッケージの平面透視図である。
【図９】図３の半導体パッケージの断面図である。
【図１０】図３の半導体パッケージの断面図である。
【図１１】図３の半導体パッケージの製造工程中の断面図である。
【図１２】図１１に続く半導体パッケージの製造工程中の断面図である。
【図１３】図１２に続く半導体パッケージの製造工程中の断面図である。
【図１４】図１３に続く半導体パッケージの製造工程中の断面図である。
【図１５】図１４に続く半導体パッケージの製造工程中の断面図である。
【図１６】図１５に続く半導体パッケージの製造工程中の断面図である。
【図１７】一実施の形態の半導体装置を用いた電子システムの一例を示す説明図である。
【図１８】一実施の形態の半導体チップの断面図である。
【図１９】一実施の形態の半導体チップの平面図である。
【図２０】一実施の形態の半導体チップの製造工程中の断面図である。
【図２１】図２０に続く半導体チップの製造工程中の断面図である。
【図２２】図２１に続く半導体チップの製造工程中の断面図である。
【図２３】図２２に続く半導体チップの製造工程中の断面図である。
【図２４】図２３に続く半導体チップの製造工程中の断面図である。
【図２５】図２４に続く半導体チップの製造工程中の断面図である。
【図２６】図２５に続く半導体チップの製造工程中の断面図である。
【図２７】図２６に続く半導体チップの製造工程中の断面図である。
【図２８】図２７に続く半導体チップの製造工程中の断面図である。
【図２９】図２８に続く半導体チップの製造工程中の断面図である。
【図３０】図２９に続く半導体チップの製造工程中の断面図である。
【図３１】図３０に続く半導体チップの製造工程中の断面図である。
【図３２】図３１に続く半導体チップの製造工程中の断面図である。
【図３３】図９の半導体パッケージの一部を拡大して示した部分拡大断面図である。
【図３４】検討例の半導体チップの断面図である。
【図３５】検討例の半導体チップの平面図である。
【図３６】段差の発生について説明する説明図である。
【図３７】段差の発生について説明する説明図である。
【図３８】検討例の半導体チップを図９の半導体パッケージの半導体チップに適用した場合の、その半導体パッケージの一部を拡大して示した部分拡大断面図である。
【図３９】図３８の部分拡大断面図である。
【図４０】メタルパターン間距離と絶縁膜の段差の大きさとの相関の一例を示すグラフである。
【図４１】他の実施の形態の半導体チップの平面図である。
【図４２】他の実施の形態の半導体チップの断面図である。
【図４３】図４２の半導体チップを図９の半導体パッケージの半導体チップに適用した場合の、その半導体パッケージの一部を拡大して示した部分拡大断面図である。
【図４４】他の実施の形態の半導体チップの断面図である。
【図４５】他の実施の形態の半導体チップの平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下の実施の形態においては便宜上その必要があるときは、複数のセクションまたは実施の形態に分割して説明するが、特に明示した場合を除き、それらはお互いに無関係なものではなく、一方は他方の一部または全部の変形例、詳細、補足説明等の関係にある。また、以下の実施の形態において、要素の数等（個数、数値、量、範囲等を含む）に言及する場合、特に明示した場合および原理的に明らかに特定の数に限定される場合等を除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でもよい。さらに、以下の実施の形態において、その構成要素（要素ステップ等も含む）は、特に明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではないことは言うまでもない。同様に、以下の実施の形態において、構成要素等の形状、位置関係等に言及するときは、特に明示した場合および原理的に明らかにそうでないと考えられる場合等を除き、実質的にその形状等に近似または類似するもの等を含むものとする。このことは、上記数値および範囲についても同様である。
【００１３】
以下、実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一の機能を有する部材には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。また、以下の実施の形態では、特に必要なとき以外は同一または同様な部分の説明を原則として繰り返さない。
【００１４】
また、実施の形態で用いる図面においては、断面図であっても図面を見易くするためにハッチングを省略する場合もある。また、平面図であっても図面を見易くするためにハッチングを付す場合もある。
【００１５】
（実施の形態１）
＜回路構成について＞
図１は、一実施の形態の半導体装置を用いた電子装置（半導体装置）の一例を示す回路図である。なお、図１において、点線で囲まれた部分が、半導体チップＣＰ１内に形成され、一点鎖線で囲まれた部分が半導体チップＣＰ２内に形成され、二点差線で囲まれた部分が半導体パッケージＰＫＧ内に形成されている。
【００１６】
図１に示される電子装置は、半導体チップ（半導体装置）ＣＰ１，ＣＰ２を内蔵する半導体パッケージ（半導体装置）ＰＫＧを備えている。半導体チップＣＰ１内には、送信回路ＴＸ１および受信回路ＲＸ２が形成され、半導体チップＣＰ２内には、受信回路ＲＸ１および送信回路ＴＸ２と駆動回路ＤＲとが形成されている。また、図１に示される電子装置は、制御回路ＣＣも有しており、この制御回路ＣＣは、半導体パッケージＰＫＧの外部に設けられた別の半導体チップ内に形成されている。
【００１７】
送信回路ＴＸ１および受信回路ＲＸ１は、制御回路ＣＣからの制御信号を駆動回路ＤＲに伝達するための回路である。また、送信回路ＴＸ２および受信回路ＲＸ２は、駆動回路ＤＲからの信号を制御回路ＣＣに伝達するための回路である。制御回路ＣＣは、駆動回路ＤＲを制御または駆動し、駆動回路ＤＲは、負荷ＬＯＤを駆動する。半導体チップＣＰ１，ＣＰ２は半導体パッケージＰＫＧに内蔵され、負荷ＬＯＤは、半導体パッケージＰＫＧの外部に設けられている。
【００１８】
送信回路ＴＸ１と受信回路ＲＸ２とを含む半導体チップＣＰ１内の回路には、電源電圧ＶＣＣ１が供給され、接地電圧ＧＮＤ１により接地される。また、送信回路ＴＸ２と受信回路ＲＸ１とを含む半導体チップＣＰ２内の回路には、電源電圧ＶＣＣ２が供給され、接地電圧ＧＮＤ２により接地される。電源電圧ＶＣＣ１と電源電圧ＶＣＣ２は互いに同一の電圧でもよく、また異なる電圧であってもよい。接地電圧ＧＮＤ１と接地電圧ＧＮＤ２も同様に、互いに同一の電圧でもよく、また異なる電圧であってもよい。
【００１９】
送信回路ＴＸ１と受信回路ＲＸ１との間には、磁気結合（誘導結合）したコイル（インダクタ）ＣＬ１ａ，ＣＬ１ｂからなるトランス（変成器、変換器、磁気結合素子、電磁結合素子）ＴＲ１が介在しており、送信回路ＴＸ１から受信回路ＲＸ１へ、このトランスＴＲ１を介して（すなわち磁気結合したコイルＣＬ１ａ，ＣＬ１ｂを介して）信号を伝達することができる。これにより、半導体チップＣＰ２内の受信回路ＲＸ１は、半導体チップＣＰ１内の送信回路ＴＸ１が送信した信号を受信することができる。従って、制御回路ＣＣは、送信回路ＴＸ１、トランスＴＲ１および受信回路ＲＸ１を介して、駆動回路ＤＲに信号（制御信号）を伝達することができる。
【００２０】
トランスＴＲ１を構成するコイルＣＬ１ａ，ＣＬ１ｂのうち、コイルＣＬ１ａは半導体チップＣＰ１内に形成され、コイルＣＬ１ｂは半導体チップＣＰ２内に形成されている。すなわち、トランスＴＲ１は、半導体チップＣＰ１内に形成されたコイルＣＬ１ａと、半導体チップＣＰ２内に形成されたコイルＣＬ１ｂとにより形成されている。コイルＣＬ１ａおよびコイルＣＬ１ｂは、それぞれインダクタとみなすこともできる。また、トランスＴＲ１は、磁気結合素子とみなすこともできる。
【００２１】
また、送信回路ＴＸ２と受信回路ＲＸ２との間には、磁気結合（誘導結合）したコイル（インダクタ）ＣＬ２ｂ，ＣＬ２ａからなるトランス（変成器、変換器、磁気結合素子、電磁結合素子）ＴＲ２が介在しており、送信回路ＴＸ２から受信回路ＲＸ２へ、このトランスＴＲ２を介して（すなわち磁気結合したコイルＣＬ２ｂ，ＣＬ２ａを介して）信号を伝達することができる。これにより、半導体チップＣＰ１内の受信回路ＲＸ２は、半導体チップＣＰ２内の送信回路ＴＸ２が送信した信号を受信することができる。従って、駆動回路ＤＲは、送信回路ＴＸ２、トランスＴＲ２および受信回路ＲＸ２を介して、制御回路ＣＣに信号を伝達することができる。
【００２２】
トランスＴＲ２を構成するコイルＣＬ２ｂ，ＣＬ２ａのうち、コイルＣＬ２ａは半導体チップＣＰ１内に形成され、コイルＣＬ２ｂは半導体チップＣＰ２内に形成されている。すなわち、トランスＴＲ２は、半導体チップＣＰ１内に形成されたコイルＣＬ２ａと、半導体チップＣＰ２内に形成されたコイルＣＬ２ｂとにより形成されている。コイルＣＬ２ｂおよびコイルＣＬ２ａは、それぞれインダクタとみなすこともできる。また、トランスＴＲ２は、磁気結合素子とみなすこともできる。
【００２３】
トランスＴＲ１は、半導体チップＣＰ１内に形成されたコイルＣＬ１ａと、半導体チップＣＰ２内に形成されたコイルＣＬ１ｂとにより形成されているが、コイルＣＬ１ａとコイルＣＬ１ｂとは、導体によっては繋がっておらず、磁気的に結合している。このため、コイルＣＬ１ａに電流が流れると、その電流の変化に応じてコイルＣＬ１ｂに誘導起電力が発生して誘導電流が流れるようになっている。コイルＣＬ１ａが一次コイルで、コイルＣＬ１ｂが二次コイルである。これを利用して、送信回路ＴＸ１からトランスＴＲ１のコイルＣＬ１ａ（一次コイル）に信号を送って電流を流し、それに応じてトランスＴＲ１のコイルＣＬ１ｂ（二次コイル）に生じた誘導電流（または誘導起電力）を受信回路ＲＸ１で検知（受信）することで、送信回路ＴＸ１が送った信号に応じた信号を、受信回路ＲＸ１で受け取ることができる。
【００２４】
また、トランスＴＲ２は、半導体チップＣＰ２内に形成されたコイルＣＬ２ｂと、半導体チップＣＰ１内に形成されたコイルＣＬ２ａとにより形成されているが、コイルＣＬ２ｂとコイルＣＬ２ａとは、導体によっては繋がっておらず、磁気的に結合している。このため、コイルＣＬ２ｂに電流が流れると、その電流の変化に応じてコイルＣＬ２ａに誘導起電力が発生して誘導電流が流れるようになっている。コイルＣＬ２ｂが一次コイルで、コイルＣＬ２ａが二次コイルである。これを利用して、送信回路ＴＸ２からトランスＴＲ２のコイルＣＬ２ｂ（一次コイル）に信号を送って電流を流し、それに応じてトランスＴＲ２のコイルＣＬ２ａ（二次コイル）に生じた誘導電流（または誘導起電力）を受信回路ＲＸ２で検知（受信）することで、送信回路ＴＸ２が送った信号に応じた信号を、受信回路ＲＸ２で受け取ることができる。
【００２５】
送信回路ＴＸ１からトランスＴＲ１を経由して受信回路ＲＸ１に至る経路と、送信回路ＴＸ２からトランスＴＲ２を経由して受信回路ＲＸ２に至る経路とにより、半導体チップＣＰ１と半導体チップＣＰ２との間で信号の送受信を行う。すなわち、送信回路ＴＸ１が送信した信号を受信回路ＲＸ１が受信し、送信回路ＴＸ２が送信した信号を受信回路ＲＸ２が受信することにより、半導体チップＣＰ１と半導体チップＣＰ２との間で信号の送受信を行うことができる。上述のように、送信回路ＴＸ１から受信回路ＲＸ１への信号の伝達には、トランスＴＲ１（すなわち磁気結合したコイルＣＬ１ａ，ＣＬ１ｂ）が介在し、また、送信回路ＴＸ２から受信回路ＲＸ２への信号の伝達には、トランスＴＲ２（すなわち磁気結合したコイルＣＬ２ｂ，ＣＬ２ａ）が介在する。駆動回路ＤＲは、半導体チップＣＰ１から半導体チップＣＰ２に送信された信号（すなわち送信回路ＴＸ１からトランスＴＲ１を介して受信回路ＲＸ１に送信された信号）に応じて、負荷ＬＯＤを駆動させることができる。負荷ＬＯＤとしては、用途に応じて様々な負荷があるが、例えば、モータあるいはモータ駆動用のインバータなどを例示できる。
【００２６】
半導体チップＣＰ１と半導体チップＣＰ２とは、電圧レベル（基準電位）が異なっている。例えば、半導体チップＣＰ１は、低電圧（例えば数Ｖ〜数十Ｖ）で動作または駆動される回路（例えば制御回路ＣＣ）を有する低電圧領域に、後述のワイヤＢＷおよびリードＬＤなどを介して接続される。また、半導体チップＣＰ２は、前記低電圧よりも高電圧（例えば１００Ｖ以上）で動作または駆動される回路（例えば負荷ＬＯＤ）を有する高電圧領域に、後述のワイヤＢＷおよびリードＬＤなどを介して接続される。しかしながら、半導体チップＣＰ１，ＣＰ２間での信号の伝達はトランスＴＲ１，ＴＲ２を介在しているため、異電圧回路間での信号の伝達が可能である。
【００２７】
トランスＴＲ１，ＴＲ２においては、一次コイルと二次コイルとの間に、大きな電位差が発生する場合がある。逆に言えば、大きな電位差が発生する場合があるため、導体では繋がずに磁気結合させた一次コイルと二次コイルを信号の伝達に用いている。このため、トランスＴＲ１を形成するにあたって、コイルＣＬ１ａとコイルＣＬ１ｂとの間の絶縁耐圧をできるだけ高くしておくことが、半導体チップＣＰ１，ＣＰ２を内蔵する半導体パッケージＰＫＧ、あるいはそれを用いた電子装置の信頼性を向上させる上で重要である。また、トランスＴＲ２を形成するにあたって、コイルＣＬ２ｂとコイルＣＬ２ａとの間の絶縁耐圧をできるだけ高くしておくことが、半導体チップＣＰ１，ＣＰ２を内蔵する半導体パッケージＰＫＧ、あるいはそれを用いた電子装置の信頼性を向上させる上で重要である。
【００２８】
なお、図１では、制御回路ＣＣを半導体チップＣＰ１，ＣＰ２以外の半導体チップに内蔵させる場合について示しているが、他の形態として、制御回路ＣＣを半導体チップＣＰ１内に内蔵させることもできる。また、図１では、駆動回路ＤＲを半導体チップＣＰ２内に内蔵させる場合について示しているが、他の形態として、駆動回路ＤＲを、半導体チップＣＰ１，ＣＰ２以外の半導体チップに内蔵させることもできる。
【００２９】
＜信号の伝送例について＞
図２は、信号の伝送例を示す説明図である。
【００３０】
送信回路ＴＸ１は、送信回路ＴＸ１に入力された方形波の信号ＳＧ１のエッジ部分を取り出して一定パルス幅の信号ＳＧ２を生成し、トランスＴＲ１のコイルＣＬ１ａ（一次コイル）に送る。この信号ＳＧ２による電流がトランスＴＲ１のコイルＣＬ１ａ（一次コイル）に流れると、それに応じた信号ＳＧ３が誘導起電力によりトランスＴＲ１のコイルＣＬ１ｂ（二次コイル）に流れる。この信号ＳＧ３を受信回路ＲＸ１で増幅し、更に方形波に変調することで、方形波の信号ＳＧ４が受信回路ＲＸ１から出力される。これにより、送信回路ＴＸ１に入力された信号ＳＧ１に応じた信号ＳＧ４を、受信回路ＲＸ１から出力することができる。このようにして、送信回路ＴＸ１から、受信回路ＲＸ１に信号が伝達される。送信回路ＴＸ２から受信回路ＲＸ２への信号の伝達も、同様に行うことができる。
【００３１】
また、図２では、送信回路から受信回路への信号の伝達の一例を挙げたが、これに限定されず、種々変更可能であり、磁気結合されたコイル（一次コイルおよび二次コイル）を介して信号を伝達する手法であればよい。
【００３２】
＜半導体パッケージの構成例について＞
次に、本実施の形態の半導体パッケージの構成例について説明する。なお、半導体パッケージは半導体装置とみなすこともできる。
【００３３】
図３〜図８は、本実施の形態の半導体パッケージ（半導体装置）ＰＫＧを示す平面図であり、図９および図１０は、本実施の形態の半導体パッケージＰＫＧを示す断面図である。なお、図３〜図８のうち、図３は、半導体パッケージＰＫＧの上面図（上面側の平面図）であり、図４〜図７は、半導体パッケージＰＫＧを上面側から透視して見たときの平面透視図であり、図８は、半導体パッケージＰＫＧを下面側から透視して見たときの平面透視図である。図４では、封止樹脂部ＭＲは透視しており、封止樹脂部ＭＲの外形（外周）を二点鎖線で示してある。図５は、図４から半導体チップＣＰ２およびワイヤＢＷを取り除いた平面透視図に対応し、図６は、図５から更に絶縁シートＺＳを取り除いた平面透視図に対応し、図７は、図６から更に半導体チップＣＰ１を取り除いた平面透視図に対応している。また、図８では、図４と同様に、封止樹脂部ＭＲを透視しており、封止樹脂部ＭＲの外形（外周）を二点鎖線で示してあるが、図８と図４とでは、半導体パッケージＰＫＧを見る方向が逆である。また、図３および図４のＡ−Ａ線の断面図が、図９にほぼ対応し、図３および図４のＢ−Ｂ線の断面図が、図１０にほぼ対応している。
【００３４】
図３〜図１０に示される半導体パッケージＰＫＧは、半導体チップＣＰ１，ＣＰ２を含む半導体パッケージである。以下、半導体パッケージＰＫＧの構成について、具体的に説明する。
【００３５】
図３〜図１０に示される半導体パッケージＰＫＧは、半導体チップＣＰ１，ＣＰ２と、半導体チップＣＰ１を搭載するダイパッドＤＰと、複数のリードＬＤと、半導体チップＣＰ１，ＣＰ２間に挟まれた絶縁シートＺＳと、半導体チップＣＰ１とリードＬＤとの間や半導体チップＣＰ２とリードＬＤとの間を接続する複数のワイヤＢＷと、これらを封止する封止樹脂部ＭＲとを有している。
【００３６】
封止部としての封止樹脂部（封止部、封止樹脂、封止体）ＭＲは、例えば熱硬化性樹脂材料などの樹脂材料などからなり、フィラーなどを含むこともできる。封止樹脂部ＭＲにより、半導体チップＣＰ１，ＣＰ２、ダイパッドＤＰ、絶縁シートＺＳ、複数のリードＬＤおよび複数のワイヤＢＷが封止され、電気的および機械的に保護される。封止樹脂部ＭＲは、その厚さと交差する平面形状（外形形状）は例えば矩形（四角形）とすることができる。
【００３７】
半導体チップＣＰ１の素子形成側の主面である半導体チップＣＰ１の表面には、複数のパッド（パッド電極、ボンディングパッド）ＰＤ１が形成されている。それら複数のパッドＰＤ１は、半導体チップＣＰ１の外部接続端子である。半導体チップＣＰ１の各パッドＰＤ１は、半導体チップＣＰ１の内部に形成された半導体集積回路（例えば上記送信回路ＴＸ１または上記受信回路ＲＸ２など）に電気的に接続されている。
【００３８】
半導体チップＣＰ２の素子形成側の主面である半導体チップＣＰ２の表面には、複数のパッドＰＤ２が形成されている。それら複数のパッドＰＤ２は、半導体チップＣＰ２の外部接続端子である。半導体チップＣＰ２の各パッドＰＤ２は、半導体チップＣＰ２の内部に形成された半導体集積回路（例えば上記送信回路ＴＸ２、上記受信回路ＲＸ１または上記駆動回路ＤＲなど）に電気的に接続されている。
【００３９】
なお、半導体チップＣＰ１において、パッドＰＤ１が形成された側の主面を半導体チップＣＰ１の表面と呼び、それとは反対側の主面を、半導体チップＣＰ１の裏面と呼ぶものとする。また、半導体チップＣＰ２において、パッドＰＤ２が形成された側の主面を半導体チップＣＰ２の表面と呼び、それとは反対側の主面を、半導体チップＣＰ２の裏面と呼ぶものとする。半導体チップＣＰ１，ＣＰ２のそれぞれの表面は、主として後述の絶縁膜ＰＡの上面により形成されている。
【００４０】
半導体チップＣＰ１は、半導体チップＣＰ１の表面が上方を向き、半導体チップＣＰ１の裏面がダイパッドＤＰの上面と対向するように、チップ搭載部であるダイパッドＤＰの上面上に搭載（配置）され、半導体チップＣＰ１の裏面がダイパッドＤＰの上面にダイボンド材（接着材）ＤＢを介して接着されて固定されている。
【００４１】
半導体チップＣＰ２は、半導体チップＣＰ２の表面が半導体チップＣＰ１の表面と対向するように、半導体チップＣＰ１の表面上に絶縁シート（絶縁接着シート）ＺＳを介して搭載（配置）されて固定されている。すなわち、半導体チップＣＰ２は、半導体チップＣＰ２の表面が半導体チップＣＰ１の表面側を向き、半導体チップＣＰ２の裏面が上方を向くように、半導体チップＣＰ１の表面上に搭載（配置）されているが、半導体チップＣＰ２（の表面）と半導体チップＣＰ１（の表面）との間には、絶縁シートＺＳが介在している。半導体チップＣＰ１と半導体チップＣＰ２とは、絶縁シートＺＳを間に介して絶縁シートＺＳの厚みの分だけ離間しており、互いに電気的に絶縁されている。
【００４２】
平面視において、半導体チップＣＰ１と半導体チップＣＰ２とは、部分的に重なっており、その重なり領域において、半導体チップＣＰ２（の表面）と半導体チップＣＰ１（の表面）との間に絶縁シートＺＳが介在している。すなわち、平面視において、半導体チップＣＰ１の表面全体が半導体チップＣＰ２と重なっているわけではなく、また、半導体チップＣＰ２の表面全体が半導体チップＣＰ１と重なっているわけではない。半導体チップＣＰ１は、平面視で半導体チップＣＰ２に重なる領域と重ならない領域とを有し、また、半導体チップＣＰ２は、平面視で半導体チップＣＰ１に重なる領域と重ならない領域とを有している。なお、平面視とは、半導体チップＣＰ１の主面または半導体チップＣＰ２の主面あるいはその両方と略平行な平面で見た場合に対応している。
【００４３】
半導体チップＣＰ１は、複数のパッドＰＤ１を有しているが、それら複数のパッドＰＤ１は、半導体チップＣＰ１の表面のうち、平面視で半導体チップＣＰ２に重ならない領域に配置されている。このため、半導体チップＣＰ１に設けられた複数のパッドＰＤ１は、絶縁シートＺＳで覆われていない。また、半導体チップＣＰ２は、複数のパッドＰＤ２を有しているが、それら複数のパッドＰＤ２は、半導体チップＣＰ２の表面のうち、平面視で半導体チップＣＰ１に重ならない領域に配置されている。このため、半導体チップＣＰ２に設けられた複数のパッドＰＤ２は、絶縁シートＺＳで覆われていない。
【００４４】
別の見方をすると、半導体チップＣＰ１の表面は、半導体チップＣＰ２の表面に対向する領域と対向しない領域とを有しており、半導体チップＣＰ１の表面に設けられた複数のパッドＰＤ１は、半導体チップＣＰ１の表面のうち、半導体チップＣＰ２の表面に対向しない領域に配置されている。そして、半導体チップＣＰ１に設けられた複数のパッドＰＤ１は、絶縁シートＺＳで覆われていない。また、半導体チップＣＰ２の表面は、半導体チップＣＰ１の表面に対向する領域と対向しない領域とを有しており、半導体チップＣＰ２の表面に設けられた複数のパッドＰＤ２は、半導体チップＣＰ２の表面のうち、半導体チップＣＰ１の表面に対向しない領域に配置されている。そして、半導体チップＣＰ２に設けられた複数のパッドＰＤ２は、絶縁シートＺＳで覆われていない。
【００４５】
つまり、半導体チップＣＰ１は、半導体チップＣＰ２と対向せずかつ絶縁シートＺＳと重なっていない領域を有しており、その領域（半導体チップＣＰ２と対向せずかつ絶縁シートＺＳと重なっていない領域）に複数のパッドＰＤ１が配置されている。また、半導体チップＣＰ２は、半導体チップＣＰ１と対向せずかつ絶縁シートＺＳと重なっていない領域を有しており、その領域（半導体チップＣＰ１と対向せずかつ絶縁シートＺＳと重なっていない領域）に複数のパッドＰＤ２が配置されている。
【００４６】
半導体チップＣＰ１が有する複数のパッドＰＤ１は、半導体チップＣＰ２と重なっておらず（対向しておらず）、絶縁シートＺＳで覆われていないため、パッドＰＤ１へのワイヤＢＷの接続が可能になる。また、半導体チップＣＰ２が有する複数のパッドＰＤ２は、半導体チップＣＰ１と重なっておらず（対向しておらず）、絶縁シートＺＳで覆われていないため、パッドＰＤ２へのワイヤＢＷの接続が可能になる。
【００４７】
絶縁シートＺＳは、絶縁性の材料からなるシート状（フィルム上）の部材である。絶縁シートＺＳは、接着性を有しており、例えばＤＡＦ（Die Attach Film）を用いることができる。絶縁シートＺＳの互いに反対側に位置する主面のうち、一方の主面に半導体チップＣＰ１の表面が接着され、他方の主面に半導体チップＣＰ２の表面が接着されている。このため、絶縁シートＺＳは、半導体チップＣＰ１と半導体チップＣＰ２とを接着または固定する機能も有している。
【００４８】
絶縁シートＺＳの材料としては、例えば、熱硬化性の樹脂または熱可塑性の樹脂を用いることができる。このうち、熱可塑性の樹脂を絶縁シートＺＳの材料として用いれば、より好ましい。半導体チップＣＰ１と半導体チップＣＰ２とを間に絶縁シートＺＳを介して積み重ねるが、絶縁シートＺＳの材料として熱硬化性の樹脂を用いた場合よりも、絶縁シートＺＳの材料として熱可塑性の樹脂を用いた場合の方が、絶縁シートＺＳの厚みが初期の厚みから変化しにくい。このため、絶縁シートＺＳの材料として熱硬化性の樹脂を用いた場合よりも、絶縁シートＺＳの材料として熱可塑性の樹脂を用いた場合の方が、半導体チップＣＰ１と半導体チップＣＰ２との間の絶縁耐圧を確保しやすくなる。
【００４９】
リードＬＤは、導電体で形成されており、好ましくは銅（Ｃｕ）または銅合金などの金属材料からなる。各リードＬＤは、リードＬＤのうちの封止樹脂部ＭＲ内に位置する部分であるインナリード部と、リードＬＤのうちの封止樹脂部ＭＲ外に位置する部分であるアウタリード部とからなり、リードＬＤのアウタリード部は、封止樹脂部ＭＲの側面から封止樹脂部ＭＲ外に突出している。隣り合うリードＬＤのインナリード部間は、封止樹脂部ＭＲを構成する材料により満たされている。各リードＬＤのアウタリード部は、半導体パッケージＰＫＧの外部接続用端子部（外部端子）として機能することができる。各リードＬＤのアウタリード部は、アウタリード部の端部近傍の下面が封止樹脂部ＭＲの下面よりも若干下に位置するように折り曲げ加工されている。
【００５０】
他の形態として、各リードＬＤのアウタリード部を折り曲げないことも可能である。その場合、封止樹脂部ＭＲの側面から各リードＬＤのアウタリード部を突出させ、封止樹脂部ＭＲの下面または上面に平行な方向に延在させることができる。
【００５１】
半導体チップＣＰ１の表面の各パッドＰＤ１と半導体チップＣＰ２の表面の各パッドＰＤ２とは、各リードＬＤのインナリード部に、導電性接続部材であるワイヤＢＷを介してそれぞれ電気的に接続されている。
【００５２】
ここで、半導体パッケージＰＫＧが有する複数のリードＬＤのうち、ワイヤＢＷを介して半導体チップＣＰ１のパッドＰＤ１に電気的に接続されたリードＬＤを、符号ＬＤ１を付してリードＬＤ１と称することとする。また、半導体パッケージＰＫＧが有する複数のリードＬＤのうち、ワイヤＢＷを介して半導体チップＣＰ２のパッドＰＤ２に電気的に接続されたリードＬＤを、符号ＬＤ２を付してリードＬＤ２と称することとする。
【００５３】
すなわち、半導体チップＣＰ１の表面の各パッドＰＤ１は、各リードＬＤ１のインナリード部にワイヤＢＷを介してそれぞれ電気的に接続され、半導体チップＣＰ２の表面の各パッドＰＤ２は、各リードＬＤ２のインナリード部にワイヤＢＷを介してそれぞれ電気的に接続されている。つまり、半導体チップＣＰ１の表面の各パッドＰＤ１に一端が接続されたワイヤＢＷの他端は、各リードＬＤ１のインナリード部の上面に接続されている。また、半導体チップＣＰ２の表面の各パッドＰＤ２に一端が接続されたワイヤＢＷの他端は、各リードＬＤ２のインナリード部の下面に接続されている。
【００５４】
なお、半導体チップＣＰ１のパッドＰＤ１がワイヤＢＷを介して接続されるリードＬＤ１と、半導体チップＣＰ２のパッドＰＤ２がワイヤＢＷを介して接続されるリードＬＤ２とは、互いに相違するリードＬＤである。また、半導体チップＣＰ１のパッドＰＤ１と半導体チップＣＰ２のパッドＰＤ２とは、ワイヤＢＷを介して接続されてはいない。このため、半導体チップＣＰ１のパッドＰＤ１と、半導体チップＣＰ２のパッドＰＤ２とは、導体を介しては接続されていない。
【００５５】
封止樹脂部ＭＲの平面形状を構成する矩形（四角形）において、複数のリードＬＤ１と複数のリードＬＤ２とは、互いに反対側の辺（側面）に配置されている。
【００５６】
ワイヤ（ボンディングワイヤ）ＢＷは、導電性の接続部材（接続用部材）であるが、より特定的には導電性のワイヤであり、例えば金（Ａｕ）線または銅（Ｃｕ）線などの金属細線からなる。ワイヤＢＷは、封止樹脂部ＭＲ内に封止されており、封止樹脂部ＭＲから露出されない。
【００５７】
上述したように、半導体チップＣＰ１と半導体チップＣＰ２とは、半導体チップＣＰ１の表面と半導体チップＣＰ２の表面とが対向するように、絶縁シートＺＳを間に挟んで対向配置されている。そして、半導体チップＣＰ１内には、上述したコイルＣＬ１ａ，ＣＬ２ａが形成され、半導体チップＣＰ２内には、上述したコイルＣＬ１ｂ，ＣＬ２ｂが形成されている。半導体チップＣＰ１内に形成されているコイルＣＬ１ａと半導体チップＣＰ２内に形成されているコイルＣＬ１ｂとは、平面視で重なっており、半導体チップＣＰ１内に形成されているコイルＣＬ２ａと半導体チップＣＰ２内に形成されているコイルＣＬ２ｂとは、平面視で重なっている。すなわち、半導体チップＣＰ１内に形成されているコイルＣＬ１ａと半導体チップＣＰ２内に形成されているコイルＣＬ１ｂとが互いに対向し、かつ、半導体チップＣＰ１内に形成されているコイルＣＬ２ａと半導体チップＣＰ２内に形成されているコイルＣＬ２ｂとが互いに対向するように、半導体チップＣＰ１と半導体チップＣＰ２とが絶縁シートＺＳを介して対向配置されている。
【００５８】
半導体チップＣＰ１内に形成されているコイルＣＬ１ａと半導体チップＣＰ２内に形成されているコイルＣＬ１ｂとは、磁気結合（誘導結合）して、上記トランスＴＲ１を構成し、半導体チップＣＰ１内に形成されているコイルＣＬ２ａと半導体チップＣＰ２内に形成されているコイルＣＬ２ｂとは、磁気結合（誘導結合）して、上記トランスＴＲ２を構成している。
【００５９】
半導体チップＣＰ１内のコイルＣＬ１ａと半導体チップＣＰ２内のコイルＣＬ１ｂとの間には、半導体チップＣＰ１が有する絶縁膜（後述の絶縁膜ＰＡに対応）と、半導体チップＣＰ２が有する絶縁膜（後述の絶縁膜ＰＡに対応）と、絶縁シートＺＳとが介在している。また、半導体チップＣＰ１内のコイルＣＬ２ａと半導体チップＣＰ２内のコイルＣＬ２ｂとの間には、半導体チップＣＰ１が有する絶縁膜（後述の絶縁膜ＰＡに対応）と、半導体チップＣＰ２が有する絶縁膜（後述の絶縁膜ＰＡに対応）と、絶縁シートＺＳとが介在している。このため、半導体チップＣＰ１内のコイルＣＬ１ａと半導体チップＣＰ２内のコイルＣＬ１ｂとは、導体を介しては繋がっておらず、また、半導体チップＣＰ１内のコイルＣＬ２ａと半導体チップＣＰ２内のコイルＣＬ２ｂとは、導体を介しては繋がっていない。
【００６０】
半導体チップＣＰ１と半導体チップＣＰ２との間での電気信号の伝送は、トランスＴＲ１，ＴＲ２を介してのみ行われる。すなわち、半導体チップＣＰ１内に形成された回路（上記送信回路ＴＸ１など）から、半導体チップＣＰ１内のコイルＣＬ１ａ（一次コイル）および半導体チップＣＰ２内のコイルＣＬ１ｂ（二次コイル）を介して電磁誘導で伝達された信号だけが、半導体チップＣＰ２（上記受信回路ＲＸ１）に伝送される。また、半導体チップＣＰ２内に形成された回路（上記送信回路ＴＸ２など）から、半導体チップＣＰ２内のコイルＣＬ２ｂ（一次コイル）および半導体チップＣＰ１内のコイルＣＬ２ａ（二次コイル）を介して電磁誘導で伝達された信号だけが、半導体チップＣＰ１（上記受信回路ＲＸ２）に伝送される。
【００６１】
次に、半導体パッケージＰＫＧの製造工程の一例について、図１１〜図１６を参照しながら説明する。図１１は、半導体パッケージＰＫＧの製造工程中の断面図であり、上記図９に相当する断面が示されている。
【００６２】
半導体パッケージＰＫＧは、例えば次のようにして製造することができる。
【００６３】
すなわち、まず、図１１に示されるように、ダイパッドＤＰと複数のリードＬＤとがフレーム枠に連結されたリードフレームを用意する。
【００６４】
次に、図１２に示されるように、ダイボンディング工程を行って、リードフレームのダイパッドＤＰ上にダイボンド材（接着材）ＤＢを介して半導体チップＣＰ１を搭載して接合する。この際、半導体チップＣＰ１の裏面がダイパッドＤＰの上面に対向するように、半導体チップＣＰ１の裏面をダイパッドＤＰの上面にダイボンド材ＤＢで接合する。
【００６５】
次に、図１３に示されるように、半導体チップＣＰ２の表面が半導体チップＣＰ１の表面に対向するように、半導体チップＣＰ１の表面上に絶縁シートＺＳを介して半導体チップＣＰ２を搭載して固定する。この際、半導体チップＣＰ１の表面に絶縁シートＺＳを貼り付けてから、その絶縁シートＺＳ上に半導体チップＣＰ２を搭載するか、あるいは、半導体チップＣＰ２の表面に絶縁シートＺＳを貼り付けてから、その絶縁シートＺＳの反対面（半導体チップＣＰ１が貼り付けられた面とは反対側の面）を半導体チップＣＰ１の表面に貼り付ければよい。
【００６６】
次に、図１４に示されるように、ワイヤボンディング工程を行って、半導体チップＣＰ１の複数のパッドＰＤ１および半導体チップＣＰ２の複数のパッドＰＤ２と、複数のリードＬＤとを、複数のワイヤＢＷでそれぞれ接続する。この際、例えば、半導体チップＣＰ１の表面の複数のパッドＰＤ１と複数のリードＬＤ１とを複数のワイヤＢＷを介してそれぞれ接続してから、リードフレームを反転させ、半導体チップＣＰ２の表面の複数のパッドＰＤ２と複数のリードＬＤ２とを複数のワイヤＢＷを介してそれぞれ接続すればよい。あるいは、半導体チップＣＰ１と半導体チップＣＰ２に対するワイヤボンディングの順番を逆にし、先に半導体チップＣＰ２の表面の複数のパッドＰＤ２と複数のリードＬＤ２とを複数のワイヤＢＷを介してそれぞれ接続してから、リードフレームを反転させ、半導体チップＣＰ１の表面の複数のパッドＰＤ１と複数のリードＬＤ１とを複数のワイヤＢＷを介してそれぞれ接続することもできる。ワイヤボンディング工程を行うことにより、半導体チップＣＰ１の複数のパッドＰＤ１が、複数のリードＬＤ１と複数のワイヤＢＷを介して電気的に接続され、半導体チップＣＰ２の複数のパッドＰＤ２が、複数のリードＬＤ２と他の複数のワイヤＢＷを介して電気的に接続される。
【００６７】
次に、図１５に示されるように、樹脂封止工程を行って、半導体チップＣＰ１，ＣＰ２、ダイパッドＤＰ、絶縁シートＺＳ、複数のリードＬＤおよび複数のワイヤＢＷを封止する封止樹脂部ＭＲを形成する。
【００６８】
次に、それぞれのインナリード部が封止樹脂部ＭＲに封止されている複数のリードＬＤをリードフレームのフレーム枠から切断して分離する。それから、図１６に示されるように、複数のリードＬＤのアウタリード部を折り曲げ加工する。このようにして、半導体パッケージＰＫＧを製造することができる。また、リードＬＤの折り曲げ加工を行わない場合もあり得る。
【００６９】
なお、ここでは、半導体パッケージＰＫＧにおいて、ダイパッドＤＰ上に半導体チップＣＰ１が搭載される場合について説明したが、他の形態として、半導体パッケージＰＫＧにおいて、半導体チップＣＰ１と半導体チップＣＰ２とを入れ換えることもでき、その場合、ダイパッドＤＰ上には半導体チップＣＰ２が搭載されることになる。
【００７０】
また、ここでは、半導体パッケージＰＫＧのパッケージ形態として、ＳＯＰ（Small Outline Package)の場合を例に挙げて説明したが、ＳＯＰ以外にも適用可能である。
【００７１】
ここで、半導体パッケージＰＫＧが搭載される製品用途例について説明する。例えば、自動車、洗濯機などの家電機器のモータ制御部、スイッチング電源、照明コントローラ、太陽光発電コントローラ、携帯電話器、あるいはモバイル通信機器などがある。
【００７２】
例えば、自動車用途の場合、半導体チップＣＰ１が、低電圧の電源電圧が供給される低電圧チップであり、その際の供給電源電圧は、例えば５Ｖ程度である。一方、駆動回路ＤＲの駆動対象（後述のインバータＩＮＶなど）の電源電圧は、例えば６００Ｖ〜１０００Ｖもしくはそれ以上の高電圧であり、駆動対象（後述のインバータＩＮＶなど）から、この高電圧が半導体チップＣＰ２に供給される場合があり得る。
【００７３】
＜半導体装置を用いた電子システムについて＞
次に、本実施の形態の半導体パッケージ（半導体装置）ＰＫＧを用いた電子システム（電子装置）の一例について説明する。図１７は、本実施の形態の半導体パッケージＰＫＧを用いた電子システム（電子装置）の一例、ここでは電気自動車システム、を示す説明図（回路ブロック図）である。
【００７４】
図１７に示される電子システム（ここでは電気自動車システム）は、モータＭＯＴなどの負荷と、インバータ（インバータ回路）ＩＮＶと、電源ＢＡＴと、制御部（制御回路）ＣＴＣとを有している。モータＭＯＴとしては、例えば３相モータなどを用いることができる。３相モータは、位相の異なる３相の電圧により駆動するように構成されている。上記半導体パッケージＰＫＧは、制御部ＣＴＣとインバータＩＮＶとの間に接続されている。
【００７５】
図１７の電子システム（ここでは電気自動車システム）においては、電源ＢＡＴが、リレーＲＹおよびコンバータ（昇圧コンバータ）ＣＮＶを介して、インバータＩＮＶに接続され、電源ＢＡＴの電圧（電力）がインバータＩＮＶに供給されるようになっている。電源ＢＡＴとインバータＩＮＶとの間にコンバータＣＮＶを介在させているため、電源ＢＡＴの電圧（直流電圧）は、コンバータＣＮＶでモータ駆動に適した電圧に変換（昇圧）されてから、インバータＩＮＶに供給される。リレーＲＹは、電源ＢＡＴとコンバータＣＮＶとの間に介在し、電源ＢＡＴとコンバータＣＮＶとの間が、接続状態となるか切断状態となるかを、リレーＲＹによって切り替えることができる。
【００７６】
また、インバータＩＮＶにはモータＭＯＴが接続され、電源ＢＡＴからコンバータＣＮＶを介してインバータＩＮＶに供給された直流電圧（直流電力）は、インバータＩＮＶで交流電圧（交流電力）に変換されて、モータＭＯＴに供給されるようになっている。モータＭＯＴは、インバータＩＮＶから供給された交流電圧（交流電力）によって駆動される。
【００７７】
モータＭＯＴは、自動車のタイヤ（車輪）などを回転（駆動）させることができる。
【００７８】
例えば、ハイブリッド車の場合は、モータＭＯＴの出力軸とエンジンＥＮＧの出力軸とが、動力分配機構ＢＫで合成され、そのトルクは、車軸ＳＪへ伝達される。車軸ＳＪはディファレンシャルＤＦを介して駆動輪ＤＴＲと連動する。大きな駆動力が必要とされる場合などには、エンジンＥＮＧとともにモータＭＯＴを駆動し、それらの出力トルクは、動力分配機構ＢＫで合成され、車軸ＳＪを介して駆動輪ＤＴＲに伝達されて、駆動輪ＤＴＲを駆動することができる。それほど大きな駆動力が必要とされない場合（例えば一定速度で走行する場合）などには、エンジンＥＮＧを停止し、モータＭＯＴのみで駆動輪ＤＴＲを駆動することができる。また、ハイブリッド車の場合は、モータＭＯＴに加えてエンジンＥＮＧも必要であるが、エンジンを有さない電気自動車の場合は、エンジンＥＮＧは省略することができる。
【００７９】
インバータＩＮＶには、半導体パッケージＰＫＧを介して制御部（コントローラ）ＣＴＣが接続されており、この制御部ＣＴＣによってインバータＩＮＶが制御されるようになっている。すなわち、電源ＢＡＴからインバータＩＮＶに直流電圧（直流電力）が供給され、制御部ＣＴＣにより制御されたインバータＩＮＶによって交流電圧（交流電力）に変換されて、モータＭＯＴに供給され、モータＭＯＴを駆動することができる。制御部ＣＴＣは、例えばＥＣＵ（Electronic Control Unit：電子制御ユニット）により構成されており、ＭＣＵ（Micro Controller Unit）のような制御用の半導体チップを内蔵している。リレーＲＹとコンバータＣＮＶも、制御部ＣＴＣによって制御することができる。
【００８０】
但し、制御部ＣＴＣとインバータＩＮＶとは、直接的に信号の伝達を行っているのではなく、制御部ＣＴＣとインバータＩＮＶとの間には、上記半導体パッケージＰＫＧが介在している。すなわち、制御部ＣＴＣとインバータＩＮＶとの間の信号の伝達には、半導体パッケージＰＫＧが介在している。図１７の電子システム（ここでは電気自動車システム）においては、上記図１の上記制御回路ＣＣは図１７の制御部ＣＴＣに対応し、上記図１の上記負荷ＬＯＤは図１７のインバータＩＮＶに対応している。半導体パッケージＰＫＧの上記リードＬＤ１が制御部ＣＴＣに接続され、半導体パッケージＰＫＧの上記リードＬＤ２がインバータＩＮＶに接続される。また、上記図１の上記駆動回路ＤＲを半導体パッケージＰＫＧの外部の半導体チップに内蔵させた場合は、その半導体チップ（駆動回路ＤＲを内蔵する半導体チップ）が図１７における半導体パッケージＰＫＧとインバータＩＮＶとの間に介在することになる。制御部ＣＴＣから上記送信回路ＴＸ１、上記トランスＴＲ１および上記受信回路ＲＸ１を経由して駆動回路ＤＲに伝達された信号（制御信号）に応じて、駆動回路ＤＲがインバータＩＮＶを制御または駆動するための信号（制御信号または駆動信号）を出力し、その信号（制御信号または駆動信号）がインバータＩＮＶに入力される。制御部ＣＴＣは、半導体パッケージＰＫＧを介してインバータＩＮＶを制御することができる。
【００８１】
インバータＩＮＶは、パワー半導体素子（パワートランジスタ）を有しており、パワー半導体素子としては、ＩＧＢＴ（Insulated Gate Bipolar Transistor：絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ）などを例示できる。例えば、モータＭＯＴが３相モータの場合は、インバータＩＮＶは３相に対応して６つのＩＧＢＴを有している。インバータＩＮＶが有するパワー半導体素子に、駆動回路ＤＲからの信号（制御信号または駆動信号）が入力される。インバータＩＮＶが有するパワー半導体素子がＩＧＢＴの場合は、そのＩＧＢＴのゲート電極に駆動回路ＤＲからの信号（制御信号または駆動信号）が入力される。制御部ＣＴＣは、半導体パッケージＰＫＧを介してインバータＩＮＶのパワー半導体素子（例えばＩＧＢＴ）を制御し、それによってインバータＩＮＶを制御することができる。
【００８２】
制御部ＣＴＣによってインバータＩＮＶのパワー半導体素子（例えばＩＧＢＴ）に流れる電流を制御することにより、モータＭＯＴを駆動（回転）させるようになっている。すなわち、制御部ＣＴＣによってインバータＩＮＶのパワー半導体素子（例えばＩＧＢＴ）のオン／オフを制御することにより、モータＭＯＴを駆動することができる。
【００８３】
上述のように、半導体パッケージＰＫＧは、上記半導体チップＣＰ１，ＣＰ２を内蔵しているが、半導体チップＣＰ１と半導体チップＣＰ２とは、電圧レベル（基準電位）が異なっている。例えば、駆動回路ＤＲは、インバータＩＮＶを駆動または制御するため、インバータＩＮＶに接続されており、半導体チップＣＰ２の基準電位（電圧レベル）は、駆動対象のインバータＩＮＶの電源電圧ＶＣＣにほぼ一致する電圧に上昇する場合がある。この電源電圧ＶＣＣは、かなりの高電圧（例えば数百Ｖ〜数千Ｖ程度）である。このことは、駆動回路ＤＲを半導体チップＣＰ２とは別の半導体チップに内蔵させた場合も同様である。このため、半導体チップＣＰ１と半導体チップＣＰ２とで、電圧レベル（基準電位）に大きな差が生じてしまう。つまり、半導体チップＣＰ２には、半導体チップＣＰ１に供給されている電源電圧（例えば数Ｖ〜数十Ｖ程度）よりも高い電圧（例えば数百Ｖ〜数千Ｖ程度）がインバータＩＮＶから供給される場合がある。
【００８４】
しかしながら、上述のように、半導体チップＣＰ１と半導体チップＣＰ２との間で電気的に伝わるのは、半導体チップＣＰ１内の一次コイル（ＣＬ１ａ）から半導体チップＣＰ２内の二次コイル（ＣＬ１ｂ）へ電磁誘導で伝達された信号か、あるいは、半導体チップＣＰ２内の一次コイル（ＣＬ２ｂ）から半導体チップＣＰ１内の二次コイル（ＣＬ２ａ）へ電磁誘導で伝達された信号だけである。このため、半導体チップＣＰ１の電圧レベル（基準電位）と半導体チップＣＰ２の電圧レベル（基準電位）が相違していても、半導体チップＣＰ２の電圧レベル（基準電位）が半導体チップＣＰ１に入力されたり、あるいは、半導体チップＣＰ１の電圧レベル（基準電位）が半導体チップＣＰ２に入力されることを、的確に防止することができる。すなわち、半導体チップＣＰ２の基準電位（電圧レベル）が駆動対象のインバータＩＮＶの電源電圧ＶＣＣ（例えば数百Ｖ〜数千Ｖ程度）にほぼ一致する電圧にまで上昇したとしても、この半導体チップＣＰ２の基準電位が半導体チップＣＰ１に入力されることを的確に防止することができる。このため、電圧レベル（基準電位）が異なる半導体チップＣＰ１，ＣＰ２間で電気信号の伝達を的確に行うことができる。
【００８５】
また、電気自動車システムにおいては、周辺温度の上昇や下降が繰り返された場合に、熱応力によって絶縁シートＺＳと半導体チップＣＰ（ＣＰ１，ＣＰ２）とが剥離することを防ぐ必要がある。例えば、品質基準ＡＥＣ−Ｑ１００に準じた環境温度試験においては、温度サイクル試験で−６５℃〜１５０℃で５００サイクル以上の耐久力を有することが必要とされる。本実施の形態では、そのような環境においても、絶縁シートＺＳと半導体チップＣＰ（ＣＰ１，ＣＰ２）の剥離を防ぐことができる。
【００８６】
また、半導体チップＣＰ１と半導体チップＣＰ２の信頼性を高めることができる。また、半導体パッケージＰＫＧの信頼性を向上させることができる。また、半導体パッケージＰＫＧを用いた電子装置の信頼性を向上させることができる。
【００８７】
また、磁気的に結合したコイルを利用して半導体チップ間の信号の伝達を行っていることにより、半導体パッケージＰＫＧの小型化を図ることができる。
【００８８】
また、電源電圧ＶＣＣを高くする場合は、それに伴い半導体パッケージＰＫＧの耐圧、すなわち半導体パッケージＰＫＧ内の半導体チップＣＰ１と半導体チップＣＰ２との間の耐圧、を高めることが必要になる。それに対して、本実施の形態では、後述するように、半導体パッケージＰＫＧ内の半導体チップＣＰ１と半導体チップＣＰ２との間の耐圧を向上させることができ、従って、半導体パッケージＰＫＧの耐圧を向上させることができる。半導体パッケージＰＫＧの耐圧（半導体チップＣＰ１，ＣＰ２間の耐圧）を向上できたことにより、コンバータＣＮＶで変換（昇圧）されてインバータＩＮＶに供給される電源電圧ＶＣＣを高くすることが可能になる。従って、インバータＩＮＶに供給される電源電圧ＶＣＣを高くすることで、モータＭＯＴに流す電流を増加させることができ、モータＭＯＴの速度（回転速度）を向上させることができる。
【００８９】
＜半導体チップの構造について＞
図１８は、本実施の形態の半導体チップ（半導体装置）ＣＰの断面構造を模式的に示す断面図であり、図１９は、本実施の形態の半導体チップ（半導体装置）ＣＰの平面図である。図１９には、半導体チップＣＰにおける、最上層の配線層（ここでは第４配線層）のメタルパターンが示されている。ここで、最上層の配線層（ここでは第４配線層）のメタルパターンは、後述の導電膜ＣＤによって形成されたパターンである。
【００９０】
図１８および図１９に示される半導体チップＣＰは、上記半導体チップＣＰ１または上記半導体チップＣＰ２に対応する半導体チップである。すなわち、上記半導体チップＣＰ１および上記半導体チップＣＰ２は、いずれも、図１８および図１９に示される半導体チップＣＰの構成を適用することができる。
【００９１】
本実施の形態の半導体チップＣＰは、単結晶シリコンなどからなる半導体基板ＳＢを利用して形成された半導体チップである。
【００９２】
図１８に示されるように、本実施の形態の半導体チップ（半導体装置）ＣＰを構成する単結晶シリコンなどからなる半導体基板ＳＢに、ＭＩＳＦＥＴ（Metal Insulator Semiconductor Field Effect Transistor)などの半導体素子が形成されている。
【００９３】
例えば、半導体基板ＳＢ１にｐ型ウエルＰＷおよびｎ型ウエルＮＷが形成され、ｐ型ウエルＰＷ上にゲート絶縁膜ＧＦを介してｎチャネル型ＭＩＳＦＥＴ用のゲート電極Ｇ１が形成され、ｎ型ウエルＮＷ上にゲート絶縁膜ＧＦを介してｐチャネル型ＭＩＳＦＥＴ用のゲート電極Ｇ２が形成されている。ゲート絶縁膜ＧＦは、例えば酸化シリコン膜などからなり、ゲート電極Ｇ１，Ｇ２は、例えば、不純物を導入した多結晶シリコン膜（ドープトポリシリコン膜）などからなる。
【００９４】
半導体基板ＳＢのｐ型ウエルＰＷ内には、ｎチャネル型ＭＩＳＦＥＴのソース・ドレイン用のｎ型半導体領域ＮＳが形成され、半導体基板ＳＢのｎ型ウエルＮＷ内には、ｐチャネル型ＭＩＳＦＥＴのソース・ドレイン用のｐ型半導体領域ＰＳが形成されている。ゲート電極Ｇ１と、そのゲート電極Ｇ１の下のゲート絶縁膜ＧＦと、ゲート電極Ｇ１の両側のｎ型半導体領域ＮＳ（ソース・ドレイン領域）とにより、ｎチャネル型ＭＩＳＦＥＴＱｎが形成される。また、ゲート電極Ｇ２と、そのゲート電極Ｇ２の下のゲート絶縁膜ＧＦと、ゲート電極Ｇ２の両側のｐ型半導体領域ＰＳ（ソース・ドレイン領域）とにより、ｐチャネル型ＭＩＳＦＥＴＱｐが形成される。ｎ型半導体領域ＮＳは、ＬＤＤ（Lightly doped Drain）構造とすることもでき、この場合、ゲート電極Ｇ１の側壁上には、サイドウォールスペーサとも称される側壁絶縁膜が形成される。同様に、ｐ型半導体領域ＰＳは、ＬＤＤ構造とすることもでき、この場合、ゲート電極Ｇ１の側壁上には、サイドウォールスペーサとも称される側壁絶縁膜が形成される。
【００９５】
なお、ここでは、半導体基板ＳＢに形成する半導体素子として、ＭＩＳＦＥＴを例に挙げて説明しているが、この他、容量素子、抵抗素子、メモリ素子または他の構成のトランジスタなどを形成してもよい。半導体チップＣＰが上記半導体チップＣＰ１の場合は、半導体基板ＳＢに形成された半導体素子により、上記送信回路ＴＸ１および受信回路ＲＸ２が形成され、半導体チップＣＰが上記半導体チップＣＰ２の場合は、半導体基板ＳＢに形成された半導体素子により、上記送信回路ＴＸ２、受信回路ＲＸ１および上記駆動回路ＤＲが形成される。
【００９６】
また、ここでは、半導体基板ＳＢとして単結晶シリコン基板を例に挙げて説明しているが、他の形態として、半導体基板ＳＢとして、ＳＯＩ（Silicon On Insulator）基板などを用いることもできる。
【００９７】
半導体基板ＳＢ上には、一層以上の配線層を含む配線構造が形成されており、好ましくは、複数の層間絶縁膜と複数の配線層とにより多層配線構造が形成されている。
【００９８】
すなわち、半導体基板ＳＢ上に、複数の層間絶縁膜ＩＬ１，ＩＬ２，ＩＬ３，ＩＬ４が形成され、この複数の層間絶縁膜ＩＬ１，ＩＬ２，ＩＬ３，ＩＬ４に、プラグＶ１、ビア部Ｖ２，Ｖ３，Ｖ４および配線Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４が形成されている。
【００９９】
具体的には、半導体基板ＳＢ上に、上記ＭＩＳＦＥＴを覆うように、絶縁膜として層間絶縁膜ＩＬ１が形成されており、この層間絶縁膜ＩＬ１上に、配線Ｍ１が形成されている。配線Ｍ１は、第１配線層（最下層の配線層）の配線である。層間絶縁膜ＩＬ１上には、配線Ｍ１を覆うように、絶縁膜として層間絶縁膜ＩＬ２が形成されており、この層間絶縁膜ＩＬ２上に、配線Ｍ２が形成されている。配線Ｍ２は、第１配線層よりも１つ上層の配線層である第２配線層の配線である。層間絶縁膜ＩＬ２上には、配線Ｍ２を覆うように、絶縁膜として層間絶縁膜ＩＬ３が形成されており、この層間絶縁膜ＩＬ３上に、配線Ｍ３が形成されている。配線Ｍ３は、第２配線層よりも１つ上層の配線層である第３配線層の配線である。層間絶縁膜ＩＬ３上には、配線Ｍ３を覆うように、絶縁膜として層間絶縁膜ＩＬ４が形成されており、この層間絶縁膜ＩＬ４上に、配線Ｍ４が形成されている。配線Ｍ４は、第３配線層よりも１つ上層の配線層である第４配線層の配線である。第４配線層は、最上層の配線層である。
【０１００】
プラグＶ１は、導電体からなり、配線Ｍ１の下層に形成され、すなわち層間絶縁膜ＩＬ１中に層間絶縁膜ＩＬ１を貫通するように形成され、プラグＶ１の上面が配線Ｍ１の下面に接することで、配線Ｍ１に電気的に接続されている。また、プラグＶ１の底部は、半導体基板ＳＢに形成された種々の半導体領域（例えばｎ型半導体領域ＮＳまたはｐ型半導体領域ＰＳなど）や、ゲート電極Ｇ１，Ｇ２などに接続されている。これにより、配線Ｍ１は、プラグＶ１を介して、半導体基板ＳＢに形成された種々の半導体領域やゲート電極Ｇ１，Ｇ２などに電気的に接続される。
【０１０１】
ビア部Ｖ２は、導電体からなり、配線Ｍ２と配線Ｍ１との間に形成されて、すなわち層間絶縁膜ＩＬ２中に形成されて、配線Ｍ２と配線Ｍ１とを接続している。ビア部Ｖ２は、配線Ｍ２と一体的に形成することもできる。また、ビア部Ｖ３は、導電体からなり、配線Ｍ３と配線Ｍ２との間に形成されて、すなわち層間絶縁膜ＩＬ３中に形成されて、配線Ｍ３と配線Ｍ２とを接続している。ビア部Ｖ３は、配線Ｍ３と一体的に形成することもできる。また、ビア部Ｖ４は、導電体からなり、配線Ｍ４と配線Ｍ３との間に形成されて、すなわち層間絶縁膜ＩＬ４中に形成されて、配線Ｍ４と配線Ｍ３とを接続している。ビア部Ｖ４は、配線Ｍ４と一体的に形成することもできる。
【０１０２】
図１８および図１９に示される半導体チップＣＰにおいては、第４配線層が最上層の配線層であり、配線Ｍ４が、最上層配線である。第１配線層（配線Ｍ１）、第２配線層（配線Ｍ２）、第３配線層（配線Ｍ３）および第４配線層（配線Ｍ４）により、半導体基板ＳＢに形成された半導体素子（例えば上記ＭＩＳＦＥＴ）の所望の結線がなされており、所望の動作をなし得る。
【０１０３】
最上層配線である第４配線層によってパッド（パッド電極、ボンディングパッド）ＰＤが形成されている。すなわち、配線Ｍ４と同層にパッドＰＤが形成されている。つまり、配線Ｍ４とパッドＰＤとは、同層の導電層により同工程で形成されている。このため、配線Ｍ４と同様に、パッドＰＤも、層間絶縁膜ＩＬ４上に形成されている。
【０１０４】
また、最上層の配線層である第４配線層によってコイルＣＬ１，ＣＬ２が形成されている。すなわち、パッドＰＤおよび配線Ｍ４と同層にコイルＣＬ１，ＣＬ２（コイルＣＬ１用のコイル配線ＣＷおよびコイルＣＬ２用のコイル配線ＣＷ）が形成されている。つまり、配線Ｍ４とパッドＰＤとコイルＣＬ１，ＣＬ２（コイルＣＬ１用のコイル配線ＣＷおよびコイルＣＬ２用のコイル配線ＣＷ）とは、同層の導電層により同工程で形成されている。このため、配線Ｍ４およびパッドＰＤと同様に、コイルＣＬ１，ＣＬ２（コイルＣＬ１用のコイル配線ＣＷおよびコイルＣＬ２用のコイル配線ＣＷ）も、層間絶縁膜ＩＬ４上に形成されている。コイルＣＬ１（コイルＣＬ１用のコイル配線ＣＷ）とコイルＣＬ２（コイルＣＬ２用のコイル配線ＣＷ）とは、同層に形成されている。
【０１０５】
また、本実施の形態では、最上層の配線層である第４配線層によってダミー配線ＤＭが形成されている。すなわち、パッドＰＤ、配線Ｍ４およびコイルＣＬ１，ＣＬ２と同層にダミー配線ＤＭが形成されている。つまり、配線Ｍ４とパッドＰＤとコイルＣＬ１，ＣＬ２とダミー配線ＤＭとは、同層の導電層により同工程で形成されている。このため、配線Ｍ４、パッドＰＤおよびコイルＣＬ１，ＣＬ２と同様に、ダミー配線ＤＭも、層間絶縁膜ＩＬ４上に形成されている。
【０１０６】
なお、図１８において、ダミー配線ＤＭを判別可能とするために、ダミー配線ＤＭだけ、ドットのハッチングを付して示してある。また、図１９は、平面図であるが、図面を見やすくするために、最上層の配線層である第４配線層のメタルパターンにハッチングを付してある。但し、図１９においても、ダミー配線ＤＭを判別可能とするために、第４配線層のメタルパターンのうち、ダミー配線ＤＭだけ、ドットのハッチングを付して示し、他は斜線のハッチングを付してある。
【０１０７】
ダミー配線ＤＭは、電流を流すため（あるいは電圧を印加するため）に必要な配線（メタルパターン）ではない。すなわち、ダミー配線ＤＭは、配線として機能するものではなく、パッドとして機能するものでもなく、素子（例えばコイル）として機能するものでもなく、ダミーのメタルパターンである。つまり、ダミー配線ＤＭは、回路構成上は不要な配線（メタルパターン）である。ダミー配線は、浮遊電位のパターンである。すなわち、ダミー配線ＤＭは、電気的にはフローティング（浮遊電位）となるメタルパターンである。
【０１０８】
このため、ダミー配線ＤＭは、半導体チップＣＰに形成した回路（例えば上記送信回路ＴＸ１，ＴＸ２、受信回路ＲＸ１，ＲＸ２、駆動回路ＤＲなど）を構成するために必要なメタルパターンではなく、また、パッドＰＤと回路を接続するために形成した配線でもなく、また、回路とコイルＣＬ１またはコイルＣＬ２とを接続するために形成した配線でもない。本実施の形態では、ダミー配線ＤＭは、詳細は後で説明するが、半導体チップＣＰにおける最上層の絶縁膜の表面（ここでは絶縁膜ＰＡの上面、すなわち樹脂膜ＰＡ２の上面）の平坦性を高めるために、形成されている。ダミー配線ＤＭは、孤立パターンである。図１９では、ダミー配線ＤＭは、矩形状のパターンとして形成されているが、ライン状のパターンとして形成することもできる。
【０１０９】
このように、本実施の形態の半導体チップＣＰでは、半導体基板ＳＢ上に一層以上の配線層（より好ましくは複数の配線層）を含む配線構造が形成され、その配線構造が有する配線層のうちの最上層の配線層（ここでは第４配線層）に、パッドＰＤと配線Ｍ４とコイルＣＬ１，ＣＬ２（コイル配線ＣＷ）とダミー配線ＤＭとが形成されている。例えば、層間絶縁膜ＩＬ４上に形成した導電膜（後述の導電膜ＣＤに対応）をパターニングすることにより配線Ｍ４を形成する場合は、その導電膜をパターニングする際に、配線Ｍ４だけでなくパッドＰＤ、コイルＣＬ１，ＣＬ２（コイル配線ＣＷ）およびダミー配線ＤＭも形成することができる。
【０１１０】
コイルＣＬ１は、上記コイルＣＬ１ａまたはコイルＣＬ１ｂに対応するものであり、コイルＣＬ２は、上記コイルＣＬ２ａまたはコイルＣＬ２ｂに対応するものであり、パッドＰＤは、上記パッドＰＤ１またはパッドＰＤ２に対応するものである。すなわち、半導体チップＣＰが上記半導体チップＣＰ１の場合は、コイルＣＬ１は上記コイルＣＬ１ａに対応し、コイルＣＬ２は上記コイルＣＬ２ａに対応し、パッドＰＤは、上記パッドＰＤ１に対応する。半導体チップＣＰが上記半導体チップＣＰ２の場合は、コイルＣＬ１は上記コイルＣＬ１ｂに対応し、コイルＣＬ２は上記コイルＣＬ２ｂに対応し、パッドＰＤは、上記パッドＰＤ２に対応する。
【０１１１】
コイルＣＬ１とコイルＣＬ２は、それぞれ、層間絶縁膜ＩＬ４上において渦巻き状（コイル状、ループ状）に周回するコイル配線（コイル状の配線）ＣＷにより形成されている。コイル配線ＣＷは、コイル用配線とみなすことができる。すなわち、コイルＣＬ１は、コイルＣＬ１用のコイル配線ＣＷによって形成され、コイルＣＬ２は、コイルＣＬ２用のコイル配線ＣＷによって形成され、コイルＣＬ１用のコイル配線ＣＷとコイルＣＬ２用のコイル配線ＣＷとは、繋がっておらず、互いに分離されて離間されている。
【０１１２】
配線Ｍ４、コイルＣＬ１，ＣＬ２（コイル配線ＣＷ）およびダミー配線ＤＭは、絶縁膜（保護膜、表面保護膜）ＰＡで覆われており、露出されていないのに対して、パッドＰＤは、少なくとも一部が絶縁膜ＰＡの開口部ＯＰから露出されている。但し、パッドＰＤの一部は、絶縁膜ＰＡで覆われている。すなわち、開口部ＯＰからパッドＰＤが露出されているが、平面視で開口部ＯＰと重ならない部分のパッドＰＤは、絶縁膜ＰＡで覆われている。具体的には、パッドＰＤの中央部は絶縁膜ＰＡで覆われておらず、パッドＰＤの外周部は絶縁膜ＰＡで覆われている。
【０１１３】
パッドＰＤは、半導体チップＣＰの内部配線と電気的に接続されている。例えば、パッドＰＤと一体的に形成された配線Ｍ４を設けておき、このパッドＰＤと一体的に形成された配線Ｍ４が、その配線Ｍ４の直下に設けられたビア部Ｖ４を介して配線Ｍ３と接続されることで、パッドＰＤを配線Ｍ３に電気的に接続することができる。また、パッドＰＤの直下にビア部Ｖ４を設け、そのビア部Ｖ４を介してパッドＰＤを配線Ｍ３に電気的に接続することもできる。
【０１１４】
なお、半導体チップＣＰの内部配線は、半導体基板ＳＢ上の多層配線構造に形成されている配線のことであり、ここでは、配線Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４からなる。
【０１１５】
コイルＣＬ１，ＣＬ２のそれぞれは、半導体チップＣＰの内部配線と電気的に接続されており、半導体チップＣＰの内部配線を介して、半導体チップＣＰ内に形成された回路に接続されている。例えば、コイルＣＬ１の一方の端部の直下にビア部Ｖ４を設け、そのビア部Ｖ４を介してコイルＣＬ１の一方の端部を配線Ｍ３に電気的に接続することができ、また、コイルＣＬ１の他方の端部の直下に他のビア部Ｖ４を設け、そのビア部Ｖ４を介してコイルＣＬ１の他方の端部を他の配線Ｍ３に電気的に接続することができる。また、例えば、コイルＣＬ２の一方の端部の直下にビア部Ｖ４を設け、そのビア部Ｖ４を介してコイルＣＬ２の一方の端部を配線Ｍ３に電気的に接続することができ、また、コイルＣＬ２の他方の端部の直下に他のビア部Ｖ４を設け、そのビア部Ｖ４を介してコイルＣＬ２の他方の端部を他の配線Ｍ３に電気的に接続することができる。
【０１１６】
また、図１８および図１９では、半導体基板ＳＢ上に形成される配線層の数が４層の場合（配線Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４の計４層の場合）を示しているが、配線層の数は４層に限定されず、種々変更可能であるが、２層以上が好ましい。
【０１１７】
図１８に示されるように、層間絶縁膜ＩＬ４上には、配線Ｍ４およびコイルＣＬ１，ＣＬ２を覆うように絶縁膜ＰＡが形成されている。この絶縁膜ＰＡは、半導体チップＣＰの最上層の膜（絶縁膜）である。絶縁膜ＰＡは、半導体チップＣＰの表面保護膜として機能することができる。絶縁膜ＰＡにより、配線Ｍ４、コイルＣＬ１，ＣＬ２およびダミー配線ＤＭが覆われて保護されている。また、絶縁膜ＰＡは、パッシベーション膜とみなすこともできる。
【０１１８】
絶縁膜ＰＡは、好ましくは、窒化シリコン膜ＰＡ１と窒化シリコン膜ＰＡ１上の樹脂膜ＰＡ２との積層膜からなる。樹脂膜ＰＡ２は、好ましくはポリイミド膜（ポリイミド樹脂膜）である。ポリイミド（polyimide）膜は、繰り返し単位にイミド結合を含む高分子であり、有機絶縁膜の一種である。樹脂膜ＰＡ２としては、ポリイミド膜の他に、エポキシ系、ＰＢＯ系、アクリル系、ＷＲＰ系の樹脂等、他の有機絶縁膜を用いることもできる。ポリイミド系樹脂は、２００℃以上の高耐熱が求められるデバイスに好適に使用される有機樹脂であるが、材料の熱膨張係数や延性等の機械的強度、キュア温度等に応じて使い分けることができる。半導体チップＣＰの最上層（最表面）の膜を樹脂膜ＰＡ２としたことで、半導体チップＣＰを扱いやすくなる（ハンドリングが行いやすくなる）などの利点も得られる。
【０１１９】
窒化シリコン膜ＰＡ１と樹脂膜ＰＡ２とは、それぞれ絶縁膜であるため、絶縁膜ＰＡは、複数の絶縁膜（具体的には窒化シリコン膜ＰＡ１と樹脂膜ＰＡ２の２つの絶縁膜）を積層した積層絶縁膜とみなすこともできる。なお、本願において、積層絶縁膜とは、複数の絶縁膜が積層された積層膜を意味する。上述したように、パッドＰＤは、絶縁膜ＰＡの開口部ＯＰから露出されており、一方、配線Ｍ４とコイルＣＬ１，ＣＬ２とダミー配線ＤＭとは、絶縁膜ＰＡで覆われているため露出されていない。
【０１２０】
絶縁膜ＰＡは、パッドＰＤの少なくとも一部を露出する開口部ＯＰを有しているが、絶縁膜ＰＡは、窒化シリコン膜ＰＡ１と樹脂膜ＰＡ２との積層膜であるため、絶縁膜ＰＡの開口部ＯＰは、樹脂膜ＰＡ２の開口部ＯＰ２と、窒化シリコン膜ＰＡ１の開口部ＯＰ１とにより形成される。
【０１２１】
パッドＰＤは、絶縁膜ＰＡの開口部ＯＰから露出されている。すなわち、パッドＰＤ上に開口部ＯＰが設けられることで、パッドＰＤが絶縁膜ＰＡの開口部ＯＰから露出されている。このため、絶縁膜ＰＡの開口部ＯＰから露出するパッドＰＤに、上記ワイヤＢＷなどの導電性の接続部材を接続することができる。
【０１２２】
半導体チップＣＰが上記半導体チップＣＰ１の場合は、半導体チップＣＰ（ＣＰ１）内に、上記送信回路ＴＸ１、上記受信回路ＲＸ２およびコイルＣＬ１，ＣＬ２（上記コイルＣＬ１ａ，ＣＬ２ａに対応）が形成されている。この場合、コイルＣＬ１（上記コイルＣＬ１ａに対応）は、半導体チップＣＰ（ＣＰ１）の内部配線を介して、半導体チップＣＰ（ＣＰ１）内の上記送信回路ＴＸ１に接続され、コイルＣＬ２（上記コイルＣＬ２ａに対応）は、半導体チップＣＰ（ＣＰ１）の内部配線を介して、半導体チップＣＰ内（ＣＰ１）の上記受信回路ＲＸ２に接続されている。
【０１２３】
また、半導体チップＣＰが上記半導体チップＣＰ２の場合は、半導体チップＣＰ（ＣＰ２）内に上記受信回路ＲＸ１、上記送信回路ＴＸ２およびコイルＣＬ１，ＣＬ２（上記コイルＣＬ１ｂ，ＣＬ２ｂに対応）が形成されている。この場合、コイルＣＬ１（上記コイルＣＬ１ｂに対応）は、半導体チップＣＰ（ＣＰ２）の内部配線を介して、半導体チップＣＰ（ＣＰ２）内の上記受信回路ＲＸ１に接続され、コイルＣＬ２（上記コイルＣＬ２ｂに対応）は、半導体チップＣＰ（ＣＰ２）の内部配線を介して、半導体チップＣＰ（ＣＰ２）内の上記送信回路ＴＸ２に接続されている。
【０１２４】
また、図１８および図１９に示されるように、半導体チップＣＰの外周部には、シールリングＳＲが形成されている。シールリングは、ガードリングと称する場合もある。シールリングＳＲは、平面視において、半導体チップＣＰの外周部に、半導体チップＣＰの外周に沿って周回するように、形成されている。このため、平面視において、シールリングＳＲは、半導体チップＣＰの外周に沿って環状（リング状）に形成されているが、半導体チップＣＰの外形が略矩形であることに対応して、シールリングＳＲの外形は、略矩形か、あるいは、その矩形の角に丸みを持たせた形状または矩形の角を落とした形状とすることができる。半導体チップＣＰにおいて、平面視で、シールリングＳＲで囲まれた領域内に、種々の回路や半導体素子が形成されている。このため、上述したｎチャネル型ＭＩＳＦＥＴＱｎ、ｐチャネル型ＭＩＳＦＥＴＱｐ、配線Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４、パッドＰＤ、コイルＣＬ１，ＣＬ２（コイル配線ＣＷ）およびダミー配線ＤＭは、半導体チップＣＰにおいて、平面視で、シールリングＳＲで囲まれた領域内に形成（配置）されている。
【０１２５】
シールリングＳＲは、シールリング用の配線（金属パターン）Ｍ１ａ，Ｍ２ａ，Ｍ３ａ，Ｍ４ａと、シールリング用のビア部（金属パターン）Ｖ１ａ，Ｖ２ａ，Ｖ３ａ，Ｖ４ａとにより形成されている。シールリング用の配線Ｍ１ａは、配線Ｍ１と同層に同工程で同材料により形成され、シールリング用の配線Ｍ２ａは、配線Ｍ２と同層に同工程で同材料により形成され、シールリング用の配線Ｍ３ａは、配線Ｍ３と同層に同工程で同材料により形成され、シールリング用の配線Ｍ４ａは、配線Ｍ４と同層に同工程で同材料により形成されている。また、シールリング用のビア部Ｖ１ａは、プラグＶ１と同層に同工程で同材料により形成され、シールリング用のビア部Ｖ２ａは、ビア部Ｖ２と同層に同工程で同材料により形成され、シールリング用のビア部Ｖ３ａは、ビア部Ｖ３と同層に同工程で同材料により形成され、シールリング用のビア部Ｖ４ａは、ビア部Ｖ４と同層に同工程で同材料により形成されている。
【０１２６】
シールリングＳＲは、これらシールリング用の配線Ｍ１ａ，Ｍ２ａ，Ｍ３ａ，Ｍ４ａおよびシールリング用のビア部Ｖ１ａ，Ｖ２ａ，Ｖ３ａ，Ｖ４ａにより、金属の壁状に形成されている。すなわち、シールリングＳＲは、シールリング用の配線Ｍ４ａとビア部Ｖ４ａと配線Ｍ３ａとビア部Ｖ３ａと配線Ｍ２ａとビア部Ｖ２ａと配線Ｍ１ａとビア部Ｖ１ａとが上下方向に並ぶことにより、金属の壁状に形成されている。つまり、シールリング用のビア部Ｖ１ａと配線Ｍ１ａとビア部Ｖ２ａと配線Ｍ２ａとビア部Ｖ３ａと配線Ｍ３ａとビア部Ｖ４ａと配線Ｍ４ａとは、形成されている層が相違し、この順で下から上に積み重ねられ、全体としてシールリングＳＲを形成している。従って、シールリング用のビア部Ｖ１ａと配線Ｍ１ａとビア部Ｖ２ａと配線Ｍ２ａとビア部Ｖ３ａと配線Ｍ３ａとビア部Ｖ４ａと配線Ｍ４ａとは、それぞれ、平面視において半導体チップＣＰの外周部に、半導体チップＣＰの外周に沿って周回するように、形成されている。
【０１２７】
シールリングＳＲを設けたことにより、半導体チップＣＰの製造時のダイシング工程（切断工程）において、ダイシングブレードによって切断面にクラックが生じた場合に、そのクラックの伸展を、シールリングＳＲによって停止させることができる。また、半導体チップＣＰの切断面（側面）からの水分の侵入をシールリングＳＲによって停止させることができる。
【０１２８】
このため、シールリング用の配線Ｍ１ａ，Ｍ２ａ，Ｍ３ａ，Ｍ４ａおよびビア部Ｖ１ａ，Ｖ２ａ，Ｖ３ａ，Ｖ４ａは、素子または回路の間を結線するために形成したものではなく、シールリングＳＲを形成するために形成したものである。
【０１２９】
また、図１８では、コイルＣＬ１，ＣＬ２の直下には、ＭＩＳＦＥＴなどの素子（半導体素子）を形成しない場合が示されている。この場合、ＭＩＳＦＥＴなどの素子（半導体素子）が、コイルＣＬ１，ＣＬ２が生じる磁場の影響を受けるのを抑制または防止することができる。他の形態として、コイルＣＬ１，ＣＬ２の直下に、ＭＩＳＦＥＴなどの素子（半導体素子）を形成することもでき、この場合は、半導体チップの小型化（小面積化）に有利となる。
【０１３０】
＜半導体チップの製造工程について＞
次に、本実施の形態の半導体チップ（半導体装置）ＣＰの製造工程について説明する。以下の製造工程により、上記図１８および図１９の半導体チップＣＰが製造される。
【０１３１】
図２０〜図３２は、本実施の形態の半導体チップ（半導体装置）ＣＰの製造工程中の要部断面図である。図２０〜図３２には、上記図１８に相当する断面図が示されている。
【０１３２】
まず、図２０に示されるように、例えば１〜１０Ωｃｍ程度の比抵抗を有するｐ型の単結晶シリコンなどからなる半導体基板（半導体ウエハ）ＳＢを用意（準備）する。この段階では、半導体基板ＳＢは、半導体ウエハの状態である。
【０１３３】
次に、半導体基板ＳＢの主面に、例えばＳＴＩ（Shallow Trench Isolation）法などにより、素子分離領域ＳＴを形成する。素子分離領域ＳＴは、半導体基板ＳＢに溝を形成し、その溝に絶縁膜を埋め込むことにより、形成される。半導体基板ＳＢにおいて、素子分離領域ＳＴで規定（画定）された活性領域に、後述のようにＭＩＳＦＥＴが形成される。
【０１３４】
次に、図２１に示されるように、半導体基板ＳＢ（の活性領域）に、ＭＩＳＦＥＴなどの半導体素子を形成する。
【０１３５】
すなわち、イオン注入法を用いてｐ型ウエルＰＷおよびｎ型ウエルＮＷを形成し、ｐ型ウエルＰＷおよびｎ型ウエルＮＷ上にゲート絶縁膜ＧＦを介してゲート電極Ｇ１，Ｇ２を形成し、イオン注入法を用いてｎ型半導体領域ＮＳおよびｐ型半導体領域ＰＳを形成する。これにより、半導体基板ＳＢにｎチャネル型ＭＩＳＦＥＴＱｎとｐチャネル型ＭＩＳＦＥＴＱｐとが形成される。その後、サリサイド（Salicide：Self Aligned Silicide）技術により、ｎ型半導体領域ＮＳ、ｐ型半導体領域ＰＳおよびゲート電極Ｇ１，Ｇ２の各上部（表層部）などに、低抵抗の金属シリサイド層（図示せず）を形成することもできる。
【０１３６】
次に、図２２に示されるように、半導体基板ＳＢの主面（主面全面）上に、ＭＩＳＦＥＴＱｎ，Ｑｐを覆うように、層間絶縁膜ＩＬ１を形成する。層間絶縁膜ＩＬ１は、例えば、酸化シリコン膜の単体膜や、あるいは、窒化シリコン膜と該窒化シリコン膜よりも厚い酸化シリコン膜との積層膜（窒化シリコン膜が下層側で酸化シリコン膜が上層側）などからなる。層間絶縁膜ＩＬ１の成膜後、必要に応じて、層間絶縁膜ＩＬ１の表面（上面）をＣＭＰ（Chemical Mechanical Polishing：化学的機械的研磨）法により研磨するなどして、層間絶縁膜ＩＬ１の上面を平坦化することもできる。
【０１３７】
次に、層間絶縁膜ＩＬ１上にフォトリソグラフィ技術を用いて形成したフォトレジスト層（図示せず）をエッチングマスクとして用いて、層間絶縁膜ＩＬ１をドライエッチングすることにより、層間絶縁膜ＩＬ１にコンタクトホール（貫通孔、孔）を形成する。それから、このコンタクトホール内に導電膜を埋め込むことにより、導電性のプラグ（接続用導体部）Ｖ１を形成する。この際、シールリング用のビア部Ｖ１ａも形成される。
【０１３８】
プラグＶ１を形成するには、例えば、コンタクトホールの内部（底部および側壁上）を含む層間絶縁膜ＩＬ１上に、スパッタリング法またはプラズマＣＶＤ法などによりバリア導体膜（例えばチタン膜、窒化チタン膜、あるいはそれらの積層膜）を形成する。それから、タングステン膜などからなる主導体膜をＣＶＤ法などによってバリア導体膜上にコンタクトホールを埋めるように形成する。その後、コンタクトホールの外部（層間絶縁膜ＩＬ１上）の不要な主導体膜およびバリア導体膜をＣＭＰ法またはエッチバック法などによって除去する。これにより、層間絶縁膜ＩＬ１の上面が露出し、層間絶縁膜ＩＬ１のコンタクトホール内に埋め込まれて残存するバリア導体膜および主導体膜により、プラグＶ１が形成される。図２２では、図面の簡略化のために、プラグＶ１は、主導体膜とバリア導体膜を一体化して示してある。プラグＶ１は、その底部で、ｎ型半導体領域ＮＳ、ｐ型半導体領域ＰＳ、ゲート電極Ｇ１またはゲート電極Ｇ２などと電気的に接続される。
【０１３９】
次に、図２３に示されるように、プラグＶ１が埋め込まれた層間絶縁膜ＩＬ１上に、最下層の配線層である第１配線層の配線Ｍ１を形成する。配線Ｍ１を形成するには、まず、プラグＶ１が埋め込まれた層間絶縁膜ＩＬ１上に、第１配線層用の導電膜を形成する。この第１配線層用の導電膜は、例えば、下から順に、バリア導体膜（例えばチタン膜、窒化チタン膜、あるいはそれらの積層膜）とアルミニウム膜とバリア導体膜（例えばチタン膜、窒化チタン膜、あるいはそれらの積層膜）との積層膜からなり、スパッタリング法などを用いて形成することができる。この第１配線層用の導電膜における前記アルミニウム膜は、配線Ｍ１を形成するためのアルミニウム膜とみなすことができる。それから、この第１配線層用の導電膜をフォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を用いてパターニングすることにより、配線Ｍ１を形成することができる。この際、シールリング用の配線Ｍ１ａも形成される。プラグＶ１は、その上面が配線Ｍ１に接することで、配線Ｍ１と電気的に接続される。
【０１４０】
配線Ｍ１を形成するための上記アルミニウム膜は、純アルミニウム膜に限定されず、アルミニウムを主成分とする導電材料膜（但し金属伝導を示す導電材料膜）を用いることができる。例えば、Ａｌ（アルミニウム）とＳｉ（シリコン）との化合物膜または合金膜、あるいは、Ａｌ（アルミニウム）とＣｕ（銅）との化合物膜または合金膜、あるいは、Ａｌ（アルミニウム）とＳｉ（シリコン）とＣｕ（銅）との化合物膜または合金膜を、配線Ｍ１を形成するためのアルミニウム膜として好適に用いることができる。また、このアルミニウム膜におけるＡｌ（アルミニウム）の組成比は５０ａｔ％（原子％）より大きい（すなわちＡｌリッチである）ことが好ましい。このことは、配線Ｍ１を形成するための上記アルミニウム膜だけでなく、配線Ｍ２を形成するためのアルミニウム膜、配線Ｍ３を形成するためのアルミニウム膜、および配線Ｍ４を形成するためのアルミニウム膜についても同様である。
【０１４１】
また、ここでは配線Ｍ１を、導電膜をパターニングする手法で形成する場合について説明した。他の形態として、配線Ｍ１を、ダマシン法により形成することもできる。この場合、プラグＶ１が埋め込まれた層間絶縁膜ＩＬ１上に絶縁膜を形成してから、その絶縁膜に配線溝を形成し、その配線溝に導電膜を埋め込むことで、埋込配線（例えば埋込銅配線）としての配線Ｍ１を形成することができる。このことは、後で形成する配線Ｍ２や配線Ｍ３についても同様である。
【０１４２】
次に、図２４に示されるように、半導体基板ＳＢの主面（主面全面）上に、すなわち層間絶縁膜ＩＬ１上に、配線Ｍ１を覆うように、層間絶縁膜ＩＬ２を形成する。層間絶縁膜ＩＬ２は、酸化シリコン膜などからなり、ＣＶＤ法などを用いて形成することができる。層間絶縁膜ＩＬ２の成膜後、層間絶縁膜ＩＬ２の表面（上面）をＣＭＰ法により研磨するなどして、層間絶縁膜ＩＬ２の上面の平坦性を高めることもできる。
【０１４３】
次に、層間絶縁膜ＩＬ２上にフォトリソグラフィ技術を用いて形成したフォトレジスト層（図示せず）をエッチングマスクとして用いて、層間絶縁膜ＩＬ２をドライエッチングすることにより、層間絶縁膜ＩＬ２にスルーホール（貫通孔、孔）を形成する。それから、このスルーホール内に導電膜を埋め込むことにより、導電性のビア部（接続用導体部）Ｖ２を形成する。この際、シールリング用のビア部Ｖ２ａも形成される。ビア部Ｖ２は、導電性のプラグとみなすこともできる。ビア部Ｖ２は、プラグＶ１と同様の手法により形成することができるが、ビア部Ｖ２は、プラグＶ１と、導電膜の材料を異ならせることもできる。例えば、プラグＶ１は、タングステン膜を主体とし、ビア部Ｖ２は、アルミニウム膜を主体とすることもできる。
【０１４４】
次に、図２５に示されるように、ビア部Ｖ２が埋め込まれた層間絶縁膜ＩＬ２上に、第２配線層の配線Ｍ２を形成する。配線Ｍ２を形成するには、まず、ビア部Ｖ２が埋め込まれた層間絶縁膜ＩＬ２上に、第２配線層用の導電膜を形成する。この第２配線層用の導電膜は、上記第１配線層用の導電膜と同様の材料を用いることができる。それから、この第２配線層用の導電膜をフォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を用いてパターニングすることにより、配線Ｍ２を形成することができる。この際、シールリング用の配線Ｍ２ａも形成される。ビア部Ｖ２は、その下面が配線Ｍ１に接することで配線Ｍ１と電気的に接続され、その上面が配線Ｍ２に接することで配線Ｍ２と電気的に接続される。すなわち、ビア部Ｖ２は、配線Ｍ１と配線Ｍ２とを電気的に接続している。
【０１４５】
次に、図２６に示されるように、半導体基板ＳＢの主面（主面全面）上に、すなわち層間絶縁膜ＩＬ２上に、配線Ｍ２を覆うように、層間絶縁膜ＩＬ３を形成する。層間絶縁膜ＩＬ３は、酸化シリコン膜などからなり、ＣＶＤ法などを用いて形成することができる。層間絶縁膜ＩＬ３の成膜後、層間絶縁膜ＩＬ３の表面（上面）をＣＭＰ法により研磨するなどして、層間絶縁膜ＩＬ３の上面の平坦性を高めることもできる。
【０１４６】
次に、層間絶縁膜ＩＬ３上にフォトリソグラフィ技術を用いて形成したフォトレジスト層（図示せず）をエッチングマスクとして用いて、層間絶縁膜ＩＬ３をドライエッチングすることにより、層間絶縁膜ＩＬ３にスルーホール（貫通孔、孔）を形成する。それから、このスルーホール内に導電膜を埋め込むことにより、導電性のビア部（接続用導体部）Ｖ３を形成する。この際、シールリング用のビア部Ｖ３ａも形成される。ビア部Ｖ３は、導電性のプラグとみなすこともできる。ビア部Ｖ３は、ビア部Ｖ２と同様の導電材料により同様の手法で形成することができる。
【０１４７】
次に、図２７に示されるように、ビア部Ｖ３が埋め込まれた層間絶縁膜ＩＬ３上に、第３配線層の配線Ｍ３を形成する。配線Ｍ３を形成するには、まず、ビア部Ｖ３が埋め込まれた層間絶縁膜ＩＬ３上に、第３配線層用の導電膜を形成する。この第３配線層用の導電膜は、上記第１配線層用の導電膜や上記第２配線層用の導電膜と同様の材料を用いることができる。それから、この第３配線層用の導電膜をフォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を用いてパターニングすることにより、配線Ｍ３を形成することができる。この際、シールリング用の配線Ｍ３ａも形成される。ビア部Ｖ３は、その下面が配線Ｍ２に接することで配線Ｍ２と電気的に接続され、その上面が配線Ｍ３に接することで配線Ｍ３と電気的に接続される。すなわち、ビア部Ｖ３は、配線Ｍ２と配線Ｍ３とを電気的に接続している。
【０１４８】
次に、図２８に示されるように、半導体基板ＳＢの主面（主面全面）上に、すなわち層間絶縁膜ＩＬ３上に、配線Ｍ３を覆うように、層間絶縁膜ＩＬ４を形成する。層間絶縁膜ＩＬ４は、酸化シリコン膜などからなり、ＣＶＤ法などを用いて形成することができる。層間絶縁膜ＩＬ４の成膜後、層間絶縁膜ＩＬ４の表面（上面）をＣＭＰ法により研磨するなどして、層間絶縁膜ＩＬ４の上面の平坦性を高めることもできる。
【０１４９】
次に、層間絶縁膜ＩＬ４上にフォトリソグラフィ技術を用いて形成したフォトレジスト層（図示せず）をエッチングマスクとして用いて、層間絶縁膜ＩＬ４をドライエッチングすることにより、層間絶縁膜ＩＬ４にスルーホール（貫通孔、孔）を形成する。それから、このスルーホール内に導電膜を埋め込むことにより、導電性のビア部（接続用導体部）Ｖ４を形成する。この際、シールリング用のビア部Ｖ４ａも形成される。ビア部Ｖ４は、導電性のプラグとみなすこともできる。ビア部Ｖ４は、ビア部Ｖ３と同様の導電材料により同様の手法で形成することができる。
【０１５０】
次に、ビア部Ｖ４が埋め込まれた層間絶縁膜ＩＬ４上に、第４配線層の配線Ｍ４とパッドＰＤとコイルＣＬ１，ＣＬ２（コイルＣＬ１，ＣＬ２を構成するコイル配線ＣＷ）とダミー配線ＤＭとを形成する。配線Ｍ４とパッドＰＤとコイルＣＬ１，ＣＬ２（コイル配線ＣＷ）とダミー配線ＤＭとを形成するには、まず、図２９に示されるように、ビア部Ｖ４が埋め込まれた層間絶縁膜ＩＬ４上に、第４配線層用の導電膜ＣＤを形成する。この導電膜ＣＤは、例えば、下から順に、バリア導体膜（例えばチタン膜、窒化チタン膜、あるいはそれらの積層膜）とアルミニウム膜とバリア導体膜（例えばチタン膜、窒化チタン膜、あるいはそれらの積層膜）との積層膜からなり、スパッタリング法などを用いて形成することができる。導電膜ＣＤは、第４配線層用の導電膜であるが、配線Ｍ４形成用の導電膜とパッドＰＤ形成用の導電膜とコイルＣＬ１，ＣＬ２（コイル配線ＣＷ）形成用の導電膜とダミー配線ＤＭ形成用の導電膜とシールリング用の配線Ｍ４ａ形成用の導電膜とを兼ねている。それから、この導電膜ＣＤをフォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を用いてパターニングすることにより、図３０に示されるように、配線Ｍ４とパッドＰＤとコイルＣＬ１，ＣＬ２（コイル配線）とダミー配線ＤＭとシールリング用の配線Ｍ４ａとを形成することができる。配線Ｍ４とパッドＰＤとコイルＣＬ１（コイルＣＬ１を構成するコイル配線ＣＷ）とコイルＣＬ２（コイルＣＬ２を構成するコイル配線ＣＷ）とダミー配線ＤＭとシールリング用の配線Ｍ４ａとは、それぞれ、パターニングされた導電膜ＣＤからなる。なお、図３０において、ダミー配線ＤＭを判別可能とするために、ダミー配線ＤＭだけ、ドットのハッチングを付して示してある。
【０１５１】
ビア部Ｖ４は、その下面が配線Ｍ３に接することで配線Ｍ３と電気的に接続され、その上面が配線Ｍ４、パッドＰＤ、コイルＣＬ１（コイルＣＬ１を構成するコイル配線ＣＷ）またはコイルＣＬ２（コイルＣＬ２を構成するコイル配線ＣＷ）に接することで、配線Ｍ４、パッドＰＤ、コイルＣＬ１またはコイルＣＬ２と電気的に接続される。すなわち、ビア部Ｖ４は、配線Ｍ３と配線Ｍ４とを電気的に接続するか、あるいは配線Ｍ３とパッドＰＤとを電気的に接続するか、あるいは配線Ｍ３とコイルＣＬ１（コイルＣＬ１を構成するコイル配線ＣＷ）とを電気的に接続するか、あるいは配線Ｍ３とコイルＣＬ２（コイルＣＬ２を構成するコイル配線ＣＷ）とを電気的に接続している。なお、ダミー配線ＤＭは、素子または回路間などを接続する配線として機能するものではないため、ダミー配線ＤＭの直下にビア部Ｖ４を設ける必要はない。
【０１５２】
半導体チップＣＰが上記半導体チップＣＰ１に対応する場合は、コイルＣＬ１とコイルＣＬ２は、それぞれ上記コイルＣＬ１ａとコイルＣＬ２ａであり、パッドＰＤは上記パッドＰＤ１である。半導体チップＣＰが上記半導体チップＣＰ２に対応する場合は、コイルＣＬ１とコイルＣＬ２は、それぞれ上記コイルＣＬ１ｂとコイルＣＬ２ｂであり、パッドＰＤは上記パッドＰＤ２である。
【０１５３】
また、ここでは、ビア部Ｖ４と配線Ｍ４とを別工程で形成する場合について説明した。他の形態として、ビア部Ｖ４を、配線Ｍ４、パッドＰＤおよびコイルＣＬ１，ＣＬ２（コイルＣＬ１，ＣＬ２を構成するコイル配線ＣＷ）と同工程で形成することもでき、この場合、ビア部Ｖ４は、配線Ｍ４、パッドＰＤ、コイルＣＬ１（コイルＣＬ１を構成するコイル配線ＣＷ）またはコイルＣＬ２（コイルＣＬ２を構成するコイル配線ＣＷ）と一体的に形成される。この場合、層間絶縁膜ＩＬ４にビア部Ｖ４用のスルーホールを形成した後、このスルーホールを埋めるように層間絶縁膜ＩＬ４上に上記導電膜ＣＤを形成してから、この導電膜ＣＤをフォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を用いてパターニングすることにより、配線Ｍ４とパッドＰＤとコイルＣＬ１，ＣＬ２（コイル配線ＣＷ）とダミー配線ＤＭとを形成する。これにより、配線Ｍ４とパッドＰＤとコイルＣＬ１，ＣＬ２（コイル配線ＣＷ）とダミー配線ＤＭが形成されるとともに、配線Ｍ４、パッドＰＤ、コイルＣＬ１（コイルＣＬ１を構成するコイル配線ＣＷ）またはコイルＣＬ２（コイルＣＬ２を構成するコイル配線ＣＷ）と一体的に形成されたビア部Ｖ４も形成されることになる。
【０１５４】
また、上記ビア部Ｖ２と上記配線Ｍ２とを同工程で形成することもでき、その場合は、上記ビア部Ｖ２は上記配線Ｍ２と一体的に形成される。また、上記ビア部Ｖ３と上記配線Ｍ３とを同工程で形成することもでき、その場合は、上記ビア部Ｖ３は上記配線Ｍ３と一体的に形成される。
【０１５５】
パッドＰＤの平面形状は、例えば、配線Ｍ４の配線幅よりも大きな辺を有する略矩形状の平面形状とすることができる。パッドＰＤは、好ましくは、アルミニウムを主体とするアルミニウムパッドであり、配線Ｍ４は、好ましくは、アルミニウムを主体とするアルミニウム配線である。
【０１５６】
なお、アルミニウムパッドおよびアルミニウム配線に用いているアルミニウム膜としては、Ａｌ（アルミニウム）とＳｉ（シリコン）との化合物膜または合金膜、あるいは、Ａｌ（アルミニウム）とＣｕ（銅）との化合物膜または合金膜、あるいは、Ａｌ（アルミニウム）とＳｉ（シリコン）とＣｕ（銅）との化合物膜または合金膜などを好適に用いることができる。Ａｌ（アルミニウム）の組成比は５０ａｔ％より大きい（すなわちＡｌリッチである）ことが好適である。
【０１５７】
次に、図３１に示されるように、半導体基板ＳＢの主面（主面全面）上に、すなわち層間絶縁膜ＩＬ４上に、配線Ｍ４、パッドＰＤ、コイルＣＬ１，ＣＬ２（コイル配線ＣＷ）ダミー配線ＤＭおよびシールリング用の配線Ｍ４ａを覆うように、窒化シリコン膜ＰＡ１を形成する。窒化シリコン膜ＰＡ１は、ＣＶＤ法などにより形成することができる。窒化シリコン膜ＰＡ１の成膜法として、ＨＤＰ（High Density Plasma：高密度プラズマ）−ＣＶＤ法は、特に好適である。窒化シリコン膜ＰＡ１の厚み（形成膜厚）は、例えば０．３μｍ程度とすることができる。
【０１５８】
窒化シリコン膜ＰＡ１を成膜する前の段階では、配線Ｍ４、パッドＰＤ、コイルＣＬ１，ＣＬ２（コイル配線ＣＷ）、ダミー配線ＤＭおよびシールリング用の配線Ｍ４ａは露出されていた。そして、窒化シリコン膜ＰＡ１を成膜すると、配線Ｍ４、パッドＰＤ、コイルＣＬ１，ＣＬ２（コイル配線ＣＷ）、ダミー配線ＤＭおよびシールリング用の配線Ｍ４ａは、窒化シリコン膜ＰＡ１で覆われるため、露出していない状態になる。
【０１５９】
次に、窒化シリコン膜ＰＡ１に開口部ＯＰ１を形成する。開口部ＯＰ１は、パッドＰＤ上の窒化シリコン膜ＰＡ１を選択的に除去することにより形成され、開口部ＯＰ１が平面視でパッドＰＤに内包されるように形成される。例えば、窒化シリコン膜ＰＡ１を成膜した後、窒化シリコン膜ＰＡ１上にフォトリソグラフィ技術を用いてフォトレジストパターン（図示せず）を形成し、このフォトレジストパターンをエッチングマスクとして用いて、窒化シリコン膜ＰＡ１をドライエッチングすることにより、窒化シリコン膜ＰＡ１に開口部ＯＰ１を形成することができる。開口部ＯＰ１は、窒化シリコン膜ＰＡ１を貫通するように形成され、開口部ＯＰ１からパッドＰＤの少なくとも一部が露出される。また、窒化シリコン膜ＰＡ１に開口部ＯＰ１を形成する際に、スクライブ領域の窒化シリコン膜ＰＡ１を除去することが好ましい。
【０１６０】
また、パッドＰＤを、上述のようにバリア導体膜とその上のアルミニウム膜とその上のバリア導体膜との積層膜により形成した場合は、開口部ＯＰ１から露出するバリア導体膜（上層側のバリア導体膜）をエッチングによって除去し、パッドＰＤを構成するアルミニウム膜を開口部ＯＰ１から露出させることが好ましい。
【０１６１】
また、開口部ＯＰ１からパッドＰＤを構成するアルミニウム膜を露出させた後、開口部ＯＰ１から露出するアルミニウム膜上に、下地金属膜（図示せず）を形成することもできる。下地金属膜は、例えばニッケル（Ｎｉ）膜と該ニッケル（Ｎｉ）膜上の金（Ａｕ）膜との積層膜などからなる。下地金属膜を形成すれば、この下地金属膜に上記ワイヤＢＷを接続することになるため、上記ワイヤＢＷを接続しやすくすることができる。
【０１６２】
次に、図３２に示されるように、半導体基板ＳＢの主面（主面全面）上に、すなわち窒化シリコン膜ＰＡ１上に、樹脂膜ＰＡ２を形成する。樹脂膜ＰＡ２は、半導体基板ＳＢの主面全面に形成するため、窒化シリコン膜ＰＡ１上と、窒化シリコン膜ＰＡ１の開口部ＯＰ１から露出するパッドＰＤ上とに形成されることになる。樹脂膜ＰＡ２としては、ポリイミド膜などを好適に用いることができる。樹脂膜ＰＡ２は、例えば塗布法により形成することができる。樹脂膜ＰＡ２の厚み（形成膜厚）は、窒化シリコン膜ＰＡ１の厚み（形成膜厚）よりも厚く、例えば３μｍ程度とすることができる。
【０１６３】
樹脂膜ＰＡ２は、半導体基板ＳＢの主面全面に形成するため、窒化シリコン膜ＰＡ１上と、窒化シリコン膜ＰＡ１の開口部ＯＰ１から露出するパッドＰＤ上とに形成されることになる。樹脂膜ＰＡ２を成膜する前の段階では、窒化シリコン膜ＰＡ１の開口部ＯＰ１からパッドＰＤが露出されていたが、樹脂膜ＰＡ２を成膜すると、窒化シリコン膜ＰＡ１の開口部ＯＰ１から露出されていたパッドＰＤは、樹脂膜ＰＡ２で覆われるため、露出していない状態になる。
【０１６４】
次に、樹脂膜ＰＡ２に開口部ＯＰ２を形成する。開口部ＯＰ２は、例えば次のようにして形成することができる。すなわち、樹脂膜ＰＡ２を感光性樹脂膜として形成しておき、この感光性樹脂からなる樹脂膜ＰＡ２を露光、現像することにより、開口部ＯＰ２となる部分の樹脂膜ＰＡ２を選択的に除去することで、樹脂膜ＰＡ２に開口部ＯＰ２を形成する。その後、熱処理を施して、樹脂膜ＰＡ２を硬化させる。開口部ＯＰ２は、樹脂膜ＰＡ２を貫通するように形成され、開口部ＯＰ２からパッドＰＤの少なくとも一部が露出される。
【０１６５】
また、他の形態として、樹脂膜ＰＡ２上にフォトリソグラフィ技術を用いて形成したフォトレジスト層をエッチングマスクとして用いて、樹脂膜ＰＡ２をドライエッチングすることにより、樹脂膜ＰＡ２に開口部ＯＰ２を形成することもでき、その場合は、樹脂膜ＰＡ２は感光性樹脂膜でなくともよい。
【０１６６】
樹脂膜ＰＡ２の開口部ＯＰ２は、窒化シリコン膜ＰＡ１の開口部ＯＰ１を平面視で内包するように形成される。このため、樹脂膜ＰＡ２に開口部ＯＰ２を形成すると、窒化シリコン膜ＰＡ１の開口部ＯＰ１の内壁は、樹脂膜ＰＡ２で覆われずに露出された状態になる。また、樹脂膜ＰＡ２に開口部ＯＰ２を形成する際に、スクライブ領域の樹脂膜ＰＡ２を除去することが好ましい。
【０１６７】
このようにして、パッドＰＤの少なくとも一部を露出する開口部ＯＰを有する絶縁膜ＰＡが形成される。絶縁膜ＰＡは、窒化シリコン膜ＰＡ１と樹脂膜ＰＡ２とからなる。絶縁膜ＰＡは、パッドＰＤの少なくとも一部を露出する開口部ＯＰを有しているが、この開口部ＯＰは、樹脂膜ＰＡ２の開口部ＯＰ２と、窒化シリコン膜ＰＡ１の開口部ＯＰ１により形成されている。絶縁膜ＰＡの開口部ＯＰの内壁は、樹脂膜ＰＡ２の開口部ＯＰ２の内壁と、窒化シリコン膜ＰＡ１の開口部ＯＰ１の内壁と、開口部ＯＰ１の内壁と開口部ＯＰ２の内壁との間に位置しかつ樹脂膜ＰＡ２で覆われていない窒化シリコン膜ＰＡ１の上面とにより、形成される。
【０１６８】
その後、必要に応じて半導体基板ＳＢの裏面側を研削または研磨して半導体基板ＳＢの厚みを薄くしてから、半導体基板ＳＢを半導体基板ＳＢ上の積層構造体とともに、ダイシング（切断）する。この際、半導体基板ＳＢと半導体基板ＳＢ上の積層構造体は、スクライブ領域に沿って、ダイシング（切断）される。これにより、半導体基板ＳＢ（半導体ウエハ）の各チップ領域から半導体チップが取得される。
【０１６９】
このようにして、半導体チップ（半導体装置）ＣＰを製造することができる。
【０１７０】
＜半導体チップの重ね合わせについて＞
図３３は、上記図９の半導体パッケージＰＫＧの一部を拡大して示した部分拡大断面図である。なお、図３３では、図面を見やすくするために、封止樹脂部ＭＲ、ダイパッドＤＰおよびリードＬＤについては、図示を省略している。
【０１７１】
図３３では、半導体チップＣＰ１，ＣＰ２の断面構造には、図１８の半導体チップＣＰの断面構造が適用されている。すなわち、図３３において、半導体チップＣＰ１および半導体チップＣＰ２のそれぞれの断面構造は、上記図１８の半導体チップＣＰの断面構造とほぼ同様である。但し、実際には、半導体チップＣＰ１内に形成された回路と半導体チップＣＰ２内に形成された回路との相違に応じて、半導体チップＣＰ１と半導体チップＣＰ２とで、半導体素子や配線は相違しているが、上述した半導体チップＣＰの構成や製法についての説明内容は、半導体チップＣＰ１と半導体チップＣＰ２とで共通である。
【０１７２】
上記図１８および図３３に示されるように、半導体チップＣＰ１は、一層以上の配線層（より好ましくは複数の配線層）を含む配線構造と、その配線構造に形成されたコイルＣＬ１ａ，ＣＬ２ａと、その配線構造上に形成された絶縁膜ＰＡとを有している。また、半導体チップＣＰ２は、一層以上の配線層（より好ましくは複数の配線層）を含む配線構造と、その配線構造に形成されたコイルＣＬ１ｂ，ＣＬ２ｂと、その配線構造上に形成された絶縁膜ＰＡとを有している。そして、半導体チップＣＰ１と半導体チップＣＰ２とは、半導体チップＣＰ１の絶縁膜ＰＡと半導体チップＣＰ２の絶縁膜ＰＡとが互いに対向する向きで、絶縁シートＺＳを介して重ねられている。半導体チップＣＰ１の絶縁膜ＰＡと半導体チップＣＰ２の絶縁膜ＰＡとの間に、絶縁シートＺＳが介在している。半導体チップＣＰ１のコイルＣＬ１ａと半導体チップＣＰ２のコイルＣＬ１ｂとは、平面視で重なっており、磁気的に結合されている。また、半導体チップＣＰ１のコイルＣＬ２ａと半導体チップＣＰ２のコイルＣＬ２ｂとは、平面視で重なっており、磁気的に結合されている。
【０１７３】
なお、図３３においては、図面を見やすくするために、半導体チップＣＰ１，ＣＰ２内に形成された上記コイル配線ＣＷを黒の塗りつぶしによって示し、それ以外のハッチングは省略している。
【０１７４】
半導体チップＣＰ１のコイルＣＬ１ａと半導体チップＣＰ２のコイルＣＬ１ｂとは、導体では接続されておらず、磁気的に結合され、半導体チップＣＰ１のコイルＣＬ２ａと半導体チップＣＰ２のコイルＣＬ２ｂとは、導体では接続されておらず、磁気的に結合されている。
【０１７５】
半導体チップＣＰ１のコイルＣＬ１ａと半導体チップＣＰ２のコイルＣＬ１ｂとの間には、半導体チップＣＰ１の絶縁膜ＰＡと、半導体チップＣＰ２の絶縁膜ＰＡと、絶縁シートＺＳとが介在しており、半導体チップＣＰ１の絶縁膜ＰＡと半導体チップＣＰ２の絶縁膜ＰＡと絶縁シートＺＳとによって絶縁されている。また、半導体チップＣＰ１のコイルＣＬ２ａと半導体チップＣＰ２のコイルＣＬ２ｂとの間には、半導体チップＣＰ１の絶縁膜ＰＡと、半導体チップＣＰ２の絶縁膜ＰＡと、絶縁シートＺＳとが介在しており、半導体チップＣＰ１の絶縁膜ＰＡと半導体チップＣＰ２の絶縁膜ＰＡと絶縁シートＺＳとによって絶縁されている。このため、半導体チップＣＰ１と半導体チップＣＰ２との間の耐圧（絶縁耐圧）は、半導体チップＣＰ１の絶縁膜ＰＡと半導体チップＣＰ２の絶縁膜ＰＡと絶縁シートＺＳとによって確保することができる。従って、半導体チップＣＰ１のコイルＣＬ１ａと半導体チップＣＰ２のコイルＣＬ１ｂとの間の耐圧（絶縁耐圧）と、半導体チップＣＰ１のコイルＣＬ２ａと半導体チップＣＰ２のコイルＣＬ２ｂとの間の耐圧（絶縁耐圧）とは、半導体チップＣＰ１の絶縁膜ＰＡと半導体チップＣＰ２の絶縁膜ＰＡと絶縁シートＺＳとによって確保することができる。
【０１７６】
また、半導体チップＣＰ１，ＣＰ２のそれぞれにおいて、絶縁膜ＰＡの厚みを厚くし過ぎると、半導体チップを製造する際に半導体ウエハが反りやすくなり、半導体チップＣＰ１，ＣＰ２の製造工程を行いにくくなってしまう。一方、絶縁シートＺＳの厚みは制御しやすく、所望の厚みの絶縁シートＺＳを用いて上記半導体パッケージＰＫＧを製造することができる。このため、絶縁シートＺＳの厚みは、半導体チップＣＰ１の絶縁膜ＰＡの厚みよりも大きいことが好ましく、また、半導体チップＣＰ２の絶縁膜ＰＡの厚みよりも大きいことが好ましい。言い換えると、半導体チップＣＰ１の絶縁膜ＰＡの厚みと、半導体チップＣＰ２の絶縁膜ＰＡの厚みとは、それぞれ、絶縁シートＺＳの厚みよりも小さいことが好ましい。これにより、半導体チップの製造工程中に半導体ウエハが反るのを抑制または防止できるため、半導体チップＣＰ１，ＣＰ２の製造工程を行いやすくなるとともに、半導体チップＣＰ１と半導体チップＣＰ２との間の耐圧は、主として絶縁シートＺＳによって十分に確保することができるようになる。
【０１７７】
＜本発明者の検討について＞
本発明者は、上記図３３や後述の図３８のように、２つの半導体チップを絶縁シート（ＺＳ）を間に挟んで重ね合わせ、一方の半導体チップのコイルと他方の半導体チップのコイルとを磁気結合（誘導結合）させ、それら磁気結合したコイルを介して、一方の半導体チップから他方の半導体チップへ信号を伝達する技術について検討している。
【０１７８】
この技術によれば、一方の半導体チップと他方の半導体チップとの間の絶縁耐圧を、絶縁シート（ＺＳ）の厚さによって調整することができる。例えば、高い絶縁耐圧が必要であれば、２つの半導体チップの間に介在する絶縁シート（ＺＳ）の厚みを厚くすれば、一方の半導体チップと他方の半導体チップとの間の絶縁耐圧を高めることができる。
【０１７９】
本発明者の検討によれば、２つの半導体チップの間に絶縁シート（ＺＳ）を挟んで、一方の半導体チップのコイルと他方の半導体チップのコイルとを重ね合わせ、一方の半導体チップのコイルと他方の半導体チップのコイルとを磁気的に結合させた半導体パッケージ（半導体装置）では、次のような課題が生じることが分かった。すなわち、２つの半導体チップの間に介在する絶縁シート（ＺＳ）がその半導体チップから剥離してしまい、一方の半導体チップと他方の半導体チップとの間の耐圧（絶縁耐圧）が低下する現象が発生する虞があることを見出した。以下、図３４および図３５の検討例を参照しながら、具体的に説明する。
【０１８０】
図３４は、本発明者が検討した検討例の半導体チップ（半導体装置）ＣＰ１００の断面図であり、本実施の形態の上記図１８に相当するものである。図３５は、図３４の検討例の半導体チップＣＰ１００の平面図であり、本実施の形態の上記図１９に相当するものであり、最上層の配線層（ここでは第４配線層）のメタルパターンが示されている。
【０１８１】
図３４および図３５に示される半導体チップＣＰ１００が、上記図１８および図１９に示される本実施の形態の半導体チップＣＰと主として相違しているのは、図３４および図３５に示される半導体チップＣＰ１００では、上記ダミー配線ＤＭに相当するものが形成されていないことである。すなわち、上記図１８および図１９に示される本実施の形態の半導体チップＣＰでは、最上層の配線層（ここでは第４配線層）にダミー配線ＤＭが形成されている。それに対して、図３４および図３５に示される検討例の半導体チップＣＰ１００では、最上層の配線層（ここでは第４配線層）に上記ダミー配線ＤＭに相当するものは形成されていない。
【０１８２】
図３４および図３５に示される検討例の半導体チップＣＰ１００では、最上層の配線層に上記ダミー配線ＤＭに相当するものは形成されていないことを反映して、絶縁膜ＰＡの上面（すなわち樹脂膜ＰＡ２の上面）に、段差ＤＳが形成されている。この段差ＤＳは、最上層の配線層において、メタルパターンが形成されていない空スペースがあり、その空きスペースの面積がある程度大きいと、発生してしまう。段差ＤＳの大きさ（高さ）は、最上層の配線層に形成された配線Ｍ４、コイル配線ＣＷおよびパッドＰＤの厚み（高さ）と概ね同じである。
【０１８３】
ここで、段差ＤＳの発生について、図３６および図３７を参照して説明する。図３６および図３７は、段差ＤＳの発生について説明する説明図（断面図）であり、検討例の半導体チップＣＰ１００の一部が示されている。
【０１８４】
図３６の（ａ）および図３７の（ａ）には、検討例の半導体チップＣＰ１００において、層間絶縁膜ＩＬ４上に最上層の配線層（ここでは第４配線層）が形成された段階が示され、図３６の（ｂ）および図３７の（ｂ）には、最上層の絶縁膜である絶縁膜ＰＡが形成された段階が示されている。なお、図３６および図３７に示されるメタルパターンＭＰは、最上層の配線層に形成されたメタルパターンであり、上記図３５に示されるパッドＰＤ、配線Ｍ４あるいはコイル配線ＣＷに対応している。なお、図３６には、メタルパターンＭＰ同士が近接している領域の断面が示され、図３７には、メタルパターンＭＰ同士がかなり離れている領域の断面が示されている。すなわち、図３７におけるメタルパターンＭＰ同士の間隔は、図３６におけるメタルパターンＭＰ同士の間隔よりも、かなり大きくなっている。
【０１８５】
図３６の（ａ）のように隣り合うメタルパターンＭＰの間隔がある程度小さい場合には、絶縁膜ＰＡを形成すると、図３６の（ｂ）のように、隣り合うメタルパターンＭＰの間の領域において、絶縁膜ＰＡの上面には、段差はほとんど発生せず、絶縁膜ＰＡの上面はほぼ平坦になる。
【０１８６】
しかしながら、図３７の（ａ）のように隣り合うメタルパターンＭＰの間隔がある程度大きい場合には、絶縁膜ＰＡを形成すると、図３７の（ｂ）のように、隣り合うメタルパターンＭＰの間の領域において、絶縁膜ＰＡの上面には、段差ＤＳが発生してしまい、絶縁膜ＰＡの上面は平坦ではなく、段差ＤＳを有する状態になってしまう。この段差ＤＳの大きさ（高さ）ｈ１は、メタルパターンＭＰの厚み（高さ）ｈ２と概ね同じである（ｈ１＝ｈ２）。
【０１８７】
図３４および図３５に示される半導体チップＣＰ１００では、上記ダミー配線ＤＭに相当するものが形成されていないため、図３７のように隣り合うメタルパターンＭＰの間隔が大きい領域が生じ、そこで絶縁膜ＰＡの上面に段差ＤＳが生じてしまうのである。
【０１８８】
図３８は、検討例の半導体チップＣＰ１００を上記図９の半導体パッケージＰＫＧの半導体チップに適用した場合の、その半導体パッケージの一部を拡大して示した部分拡大断面図であり、上記図３３に相当するものである。図３８に示されるように、２つの半導体チップＣＰ１０１，ＣＰ１０２が、絶縁シートＺＳを間に挟んで重ねられているが、半導体チップＣＰ１０１，ＣＰ１０２の断面構造には、図３４の検討例の半導体チップＣＰ１００の断面構造が適用されている。このため、図３８の半導体チップＣＰ１０１，ＣＰ１０２では、上記ダミー配線ＤＭに相当するものが形成されていないことを反映して、最上層の絶縁膜ＰＡの上面に段差ＤＳが形成されている。また、図３９は、図３８の段差ＤＳ付近を拡大して示す部分拡大断面図である。
【０１８９】
２つの半導体チップＣＰ１０１，ＣＰ１０２が絶縁シートＺＳを間に挟んで重ねられている場合、半導体チップＣＰ１０１の絶縁膜ＰＡと半導体チップＣＰ１０２の絶縁膜ＰＡとの間に絶縁シートＺＳが介在することになる。絶縁膜ＰＡの上面が平坦であれば、絶縁シートＺＳは絶縁膜ＰＡの上面に密着できるが、絶縁膜ＰＡの上面に段差ＤＳが形成されていると、図３９に示されるように、その段差ＤＳに隣接する位置で、絶縁シートＺＳが絶縁膜ＰＡに密着できずに、絶縁シートＺＳと絶縁膜ＰＡとの間に隙間（空間、空隙）ＶＤが発生してしまう。
【０１９０】
図３９に示されるように、段差ＤＳに隣接する位置で絶縁シートＺＳと絶縁膜ＰＡとの間に隙間ＶＤが生じていると、この隙間ＶＤを起点として絶縁シートＺＳが半導体チップＣＰ１０１や半導体チップＣＰ１０２から剥離しやすくなる。絶縁シートＺＳが半導体チップＣＰ１０１や半導体チップＣＰ１０２から剥離してしまうと、半導体チップＣＰ１０１と半導体チップＣＰ１０２の間の耐圧（絶縁耐圧）が低下することにつながる。特に、磁気結合した半導体チップＣＰ１０１内のコイルと半導体チップＣＰ１０２内のコイルとの間の耐圧（絶縁耐圧）が低下することにつながる。このため、半導体装置（半導体パッケージ）が高電圧動作時に絶縁破壊されるなど、信頼性の低下を招いてしまう。また、絶縁シートＺＳが半導体チップＣＰ１０１や半導体チップＣＰ１０２から剥離してしまうと、その剥離箇所が水分などの侵入経路となるため、耐湿性が低下することにつながる。このため、半導体装置（半導体パッケージ）が高湿潤環境で絶縁破壊されるなど、信頼性の低下を招いてしまう。
【０１９１】
＜主要な特徴と効果について＞
本実施の形態の半導体装置（半導体パッケージＰＫＧ）においては、半導体チップＣＰ１と半導体チップＣＰ２とが絶縁シートＺＳを介して重ねられており、半導体チップＣＰ１内のコイル（ＣＬ１ａ，ＣＬ２ａ）と半導体チップＣＰ２内のコイル（ＣＬ１ｂ，ＣＬ２ｂ）とが磁気的に結合されている。
【０１９２】
これにより、半導体チップＣＰ１と半導体チップＣＰ２との間の信号伝達を、コイル（インダクタ）の磁気結合（誘導結合）を用いて行うことができる。
【０１９３】
本実施の形態とは異なり、信号伝達用のトランスを構成する一次コイルと二次コイルとを同じ半導体チップ内に形成した場合を仮定する。この場合には、同じ半導体チップ内に形成された一次コイルと二次コイルとの間の耐圧（絶縁耐圧）は、その一次コイルと二次コイルとの間に介在する層間絶縁膜により確保することになる。しかしながら、層間絶縁膜の厚みを厚くし過ぎると、半導体装置（半導体チップ）の製造工程中に半導体ウエハが反りやすくなり、半導体装置（半導体チップ）の製造工程を行いにくくなってしまう。また、層間絶縁膜の厚みを厚くし過ぎると、配線構造を形成しにくくなる。このため、層間絶縁膜の厚みを厚くするのには限界があるため、同じ半導体チップ内に形成された一次コイルと二次コイルとの間の耐圧（絶縁耐圧）を高くするには限界がある。
【０１９４】
それに対して、本実施の形態では、信号伝達用のトランスを構成する一次コイルと二次コイルとを、別々の半導体チップに形成している。すなわち、半導体チップＣＰ１内に形成されたコイルと半導体チップＣＰ２内に形成されたコイルとを磁気的に結合させて、信号伝達用のトランスを形成している。そして、半導体チップＣＰ１と半導体チップＣＰ２との間に絶縁シートを介在させている。このため、一次コイルと二次コイルとの間の耐圧（絶縁耐圧）は、半導体チップＣＰ１においてコイル（ＣＬ１ａ，ＣＬ２ａ）上に形成されている絶縁膜（ＰＡ）と、半導体チップＣＰ２においてコイル（ＣＬ１ｂ，ＣＬ２ｂ）上に形成されている絶縁膜（ＰＡ）と、半導体チップＣＰ１と半導体チップＣＰ２との間に介在する絶縁シートＺＳとにより、確保することができる。絶縁シートＺＳの厚みは、要求される耐圧（絶縁耐圧）に応じて選択することができるため、一次コイルと二次コイルとの間の耐圧（絶縁耐圧）を容易かつ的確に高くすることができる。例えば、一次コイルと二次コイルとの間の耐圧（絶縁耐圧）に対する要求水準が高い仕様の場合には、その仕様に合わせて絶縁シートＺＳの厚みを厚くすることで、その仕様を満足する半導体装置（半導体パッケージ）を提供することができる。
【０１９５】
しかしながら、本発明者の検討によれば、上記検討例を参照して説明したように、半導体チップＣＰ１０１，ＣＰ１０２を絶縁シートＺＳを介して重ねた構成の半導体パッケージにおいて、上記段差ＤＳに起因して段差ＤＳに隣接する位置に上記隙間ＶＤ（上記図３９参照）が形成されてしまうと、絶縁シートＺＳが半導体チップＣＰ１０１，ＣＰ１０２から剥離しやすくなる。絶縁シートＺＳの剥離は、半導体チップＣＰ１０１内のコイルと半導体チップＣＰ１０２内のコイルとの間の耐圧（絶縁耐圧）の低下を招いてしまう。これは、半導体装置（半導体パッケージ）の信頼性の低下につながる。
【０１９６】
それに対して、本実施の形態では、半導体チップＣＰ１の配線構造の最上層の配線層に、ダミー配線ＤＭを形成している。同様に、半導体チップＣＰ２の配線構造の最上層の配線層に、ダミー配線ＤＭを形成している。最上層の配線層において、ダミー配線ＤＭを形成したことにより、半導体チップＣＰ１，ＣＰ２の最上層の絶縁膜ＰＡの上面に上記段差ＤＳのような段差が形成されるのを、抑制または防止することができるようになる。
【０１９７】
半導体チップの最上層の絶縁膜ＰＡにおいて、上記段差ＤＳが生じるのは、メタルパターンが形成されていない空きスペースがあり、その空きスペースの面積が大きい箇所であり、そこでは隣り合うメタルパターンの間隔が大きくなることで、絶縁膜ＰＡの上面に上記段差ＤＳが発生してしまう。最上層の配線層にダミー配線ＤＭを形成していない検討例（上記図３４および図３５）の場合に比べて、ダミー配線ＤＭを形成した場合は、パッドＰＤや配線Ｍ４やコイル配線ＣＷが形成されていない領域にダミー配線ＤＭが形成されることになり、その分、最上層の配線層におけるメタルパターンの間隔を小さくすることができる。すなわち、ダミー配線ＤＭが形成された分、最上層の配線層における空きスペース（メタルパターンが形成されていない領域）を減らすことができ、それによって、最上層の配線層におけるメタルパターンの間隔を小さくすることができる。このため、絶縁膜ＰＡの上面に上記段差ＤＳのような段差が形成されるのを、抑制または防止することができる。
【０１９８】
半導体チップＣＰ１，ＣＰ２の配線構造の最上層の配線層に、ダミー配線ＤＭを形成しているのは、半導体チップＣＰ１，ＣＰ２の最上層の絶縁膜ＰＡの上面に、上記段差ＤＳのような段差が形成されるのを抑制または防止するためである。そして、絶縁膜ＰＡの上面に上記段差ＤＳのような段差が形成されるのを抑制または防止するのは、上記段差ＤＳに隣接する位置で絶縁シートＺＳと絶縁膜ＰＡとの間に上記隙間ＶＤが生じるのを防止し、それによって、絶縁シートＺＳが半導体チップ（ＣＰ１，ＣＰ２）から剥離してしまうのを防止するためである。このため、半導体チップ（ＣＰ１，ＣＰ２）の最上層の絶縁膜ＰＡの上面において、上記段差ＤＳのような段差が形成されるのを抑制または防止する必要があるのは、絶縁シートＺＳと重なっている領域である。半導体チップ（ＣＰ１，ＣＰ２）の最上層の絶縁膜ＰＡの上面において、絶縁シートＺＳと重なっていない領域は、上記段差ＤＳのような段差が形成されていたとしても、絶縁シートＺＳと絶縁膜ＰＡとの間の上記隙間ＶＤの発生にはつながらず、従って、絶縁シートＺＳの剥離にはつながらない。従って、半導体チップＣＰ１，ＣＰ２のそれぞれにおいて、絶縁シートＺＳと重なる領域の絶縁膜ＰＡの上面に、上記段差ＤＳのような段差が形成されるのを抑制または防止することが重要である。
【０１９９】
このため、半導体チップＣＰ１，ＣＰ２のそれぞれにおいて、絶縁シートＺＳと重なる領域の絶縁膜ＰＡの上面に上記段差ＤＳのような段差が形成されるのを抑制または防止するために、本実施の形態では、ダミー配線ＤＭに関連して種々の工夫を施しており、以下のような特徴を有していることがより好ましい。
【０２００】
本実施の形態では、最上層の配線層にダミー配線ＤＭを形成することにより、半導体チップ（ＣＰ１，ＣＰ２）の最上層の絶縁膜ＰＡの上面に上記段差ＤＳのような段差が形成されるのを抑制または防止している。この観点で、半導体チップＣＰ１，ＣＰ２のそれぞれにおいて、絶縁シートＺＳと重なる領域では、絶縁膜ＰＡの上面には、配線Ｍ４の厚さ（高さ）Ｔ１の１／２以上の大きさ（高さ）の段差が形成されないように、ダミー配線ＤＭを形成することが望ましい。すなわち、本実施の形態では、半導体チップＣＰ１，ＣＰ２のそれぞれにおいて、最上層の配線層にダミー配線ＤＭを形成し、その結果として、半導体チップＣＰ１，ＣＰ２のそれぞれにおいて、絶縁シートＺＳと重なる領域では、絶縁膜ＰＡの上面に、配線Ｍ４の厚み（高さ）Ｔ１の１／２以上の大きさ（高さ）の段差が形成されていない状態となっていることが望ましい。
【０２０１】
なお、配線Ｍ４の厚み（高さ）Ｔ１や絶縁膜ＰＡの上面の段差の大きさ（高さ）は、配線Ｍ４や絶縁膜ＰＡの厚さ方向（半導体基板ＳＢの主面に略垂直な方向）の寸法に対応している。配線Ｍ４とパッドＰＤとコイル配線ＣＷとダミー配線ＤＭとは、ほぼ同じ厚さを有しているため、パッドＰＤ、コイル配線ＣＷおよびダミー配線ＤＭの各厚み（高さ）は、配線Ｍ４の厚みＴ１とほぼ同じである。配線Ｍ４の厚み（高さ）Ｔ１は、図１８に示されているが、上記図３７の（ｂ）に示されるメタルパターンＭＰの厚み（高さ）ｈ２と同じである（Ｔ１＝ｈ２）。絶縁膜ＰＡの段差（ＤＳ）の大きさ（ｈ１）は、図３７の（ｂ）に示されている。絶縁膜ＰＡの上面の段差の大きさ（高さ）は、絶縁膜ＰＡの上面の段差の高低差に対応している。
【０２０２】
また、絶縁膜ＰＡの上面に配線Ｍ４の厚み（高さ）Ｔ１の１／２以上の大きさ（高さ）の段差が形成されないということは、配線Ｍ４の厚みＴ１が３μｍの場合は、絶縁膜ＰＡの上面に１．５μｍ以上の大きさ（高さ）の段差が形成されないことに対応し、配線Ｍ４の厚みＴ１が６μｍの場合は、絶縁膜ＰＡの上面に３μｍ以上の大きさ（高さ）の段差が形成されないことに対応する。
【０２０３】
本実施の形態とは異なり、上記図３４および図３５の検討例のようにダミー配線ＤＭを形成しない場合には、絶縁膜ＰＡの上面に、メタルパターンＭＰの厚み（高さ）ｈ２と同程度の大きさ（高さ）ｈ１を有する段差ＤＳ、従って配線Ｍ４の厚み（高さ）Ｔ１と同程度の大きさ（高さ）ｈ１を有する段差ＤＳが形成される。それに対して、本実施の形態では、ダミー配線ＤＭを形成したことにより、絶縁シートＺＳと重なる領域の絶縁膜ＰＡの上面に、配線Ｍ４の厚みＴ１と同程度の大きさｈ１を有する段差ＤＳが形成されるのを防止し、その結果として、絶縁シートＺＳと重なる領域では、絶縁膜ＰＡの上面に、配線Ｍ４の厚みＴ１の１／２以上の大きさの段差が形成されていない状態とすることができる。これにより、絶縁シートＺＳと絶縁膜ＰＡとの間に上記隙間ＶＤのような隙間が発生するのを抑制または防止でき、それによって、半導体チップＣＰ１，ＣＰ２から絶縁シートＺＳが剥離するのを抑制または防止することができる。従って、半導体装置（半導体パッケージ）の信頼性を向上させることができる。
【０２０４】
また、絶縁シートＺＳと重なる領域の絶縁膜ＰＡの上面に微小な段差が形成されていても、その段差に隣接する位置には、絶縁シートＺＳと絶縁膜ＰＡとの間の隙間は発生しにくく、従って、絶縁シートＺＳの剥離にはつながりにくい。このため、絶縁膜ＰＡの上面に形成される段差の大きさ（高さ）を小さくすることも、半導体チップＣＰ１，ＣＰ２から絶縁シートＺＳが剥離する現象を抑制または防止するのに有効である。本実施の形態では、最上層の配線層にダミー配線ＤＭを形成することによって、絶縁シートＺＳと重なる領域の絶縁膜ＰＡの上面に形成される段差の大きさ（高さ）を小さくすることができ、好ましくは、絶縁膜ＰＡの上面に形成される段差の大きさ（高さ）を配線Ｍ４の厚み（高さ）Ｔ１の１／２よりも小さくすることができる。これにより、半導体チップＣＰ１，ＣＰ２から絶縁シートＺＳが剥離する現象が発生するのを抑制または防止することができ、半導体装置（半導体パッケージ）の信頼性を向上させることができる。
【０２０５】
更に、本実施の形態では、半導体チップＣＰ１，ＣＰ２のそれぞれにおいて、絶縁シートＺＳと重なる領域では、絶縁膜ＰＡの上面には、２μｍ以上の大きさ（高さ）の段差が形成されないように、ダミー配線ＤＭを形成することが望ましい。すなわち、絶縁シートＺＳと重なる領域の絶縁膜ＰＡの上面に、配線Ｍ４の厚み（高さ）Ｔ１の１／２以上の大きさの段差が形成されず、かつ、２μｍ以上の大きさ（高さ）の段差が形成されないように、ダミー配線ＤＭを配置することが望ましい。つまり、本実施の形態では、半導体チップＣＰ１，ＣＰ２のそれぞれにおいて、ダミー配線ＤＭを形成したことにより、絶縁シートＺＳと重なる領域の絶縁膜ＰＡの上面に、配線Ｍ４の厚み（高さ）Ｔ１の１／２以上の大きさ（高さ）の段差が形成されず、かつ、２μｍ以上の大きさ（高さ）の段差が形成されていない状態となっていることが望ましい。これにより、配線Ｍ４の厚み（高さ）Ｔ１にかかわらず、半導体チップＣＰ１，ＣＰ２から絶縁シートＺＳが剥離する現象が発生するのをより的確に抑制または防止することができ、半導体装置（半導体パッケージ）の信頼性をより的確に向上させることができる。
【０２０６】
また、本実施の形態では、半導体チップ（ＣＰ１，ＣＰ２）の最上層の配線層において、シールリング用の配線Ｍ４ａの内側の領域（すなわち周回するシールリング用の配線Ｍ４ａに囲まれた領域）に、パッドＰＤ、配線Ｍ４、コイル配線ＣＷおよびダミー配線ＤＭを配置している。このため、ダミー配線ＤＭを形成したことにより、平面視でシールリング用の配線Ｍ４ａの内側の領域（すなわち周回するシールリング用の配線Ｍ４ａに平面視で囲まれた領域）において、絶縁膜ＰＡの上面に上記段差ＤＳのような段差が形成されるのを抑制または防止することができる。この観点で、本実施の形態では、半導体チップＣＰ１，ＣＰ２のそれぞれにおいて、最上層の配線層にダミー配線ＤＭを形成し、その結果として、絶縁シートＺＳと重なる領域で、かつ、平面視でシールリング用の配線Ｍ４ａの内側の領域で、絶縁膜ＰＡの上面に、配線Ｍ４の厚み（高さ）Ｔ１の１／２以上の大きさ（高さ）の段差が形成されていない状態となっていることが望ましい。また、半導体チップＣＰ１，ＣＰ２のそれぞれにおいて、最上層の配線層にダミー配線ＤＭを形成し、その結果として、絶縁シートＺＳと重なる領域で、かつ、平面視でシールリング用の配線Ｍ４ａの内側の領域で、絶縁膜ＰＡの上面に、配線Ｍ４の厚みＴ１の１／２以上の大きさの段差が形成されず、かつ、２μｍ以上の大きさの段差が形成されていない状態となっていることが、更に望ましい。これにより、絶縁シートＺＳと重なる領域で、かつ、平面視でシールリング用の配線Ｍ４ａの内側の領域（すなわち周回するシールリング用の配線Ｍ４ａに平面視で囲まれた領域）において、絶縁膜ＰＡの上面に上記段差ＤＳのような段差が形成されるのを抑制または防止することができ、半導体チップＣＰ１，ＣＰ２から絶縁シートＺＳが剥離する現象が発生するのを抑制または防止することができる。従って、半導体装置（半導体パッケージ）の信頼性を向上させることができる。
【０２０７】
また、本実施の形態では、半導体チップＣＰ１，ＣＰ２のそれぞれにおいて、絶縁シートＺＳと重なる領域では、配線Ｍ４およびコイル配線ＣＷが形成されていない領域に、ダミー配線ＤＭが均等（均一）に配置されていることが好ましい。すなわち、本実施の形態では、半導体チップＣＰ１，ＣＰ２のそれぞれの最上層の配線層において、パッドＰＤや配線Ｍ４やコイル配線ＣＷが形成されていない領域があれば、そこにダミー配線ＤＭを均等に配置することが好ましい。これにより、絶縁膜ＰＡの上面に段差が形成されるのを防止しやすくなる。
【０２０８】
また、半導体チップＣＰ１，ＣＰ２の最上層の配線層において、隣り合うメタルパターンの間隔が４μｍ以下になるように、ダミー配線ＤＭを配置することが好ましい。すなわち、最上層の配線層において、隣り合うメタルパターンの間隔が４μｍよりも大きくなるような空きスペースがあれば、そこにはダミー配線ＤＭを配置することが好ましい。別の見方をすると、半導体チップＣＰ１，ＣＰ２の最上層の配線層において、そこ（ある地点）から４μｍ以内にメタルパターンが全く形成されていないような地点が生じないように、ダミー配線ＤＭを配置することが好ましい。これにより、絶縁膜ＰＡの上面に段差が形成されるのを防止しやすくなる。ここで、メタルパターンは、上記導電膜ＣＤにより形成されたパターンであり、パッドＰＤ、配線Ｍ４、コイル配線ＣＷ、シールリング用の配線Ｍ４ａおよびダミー配線ＤＭを含んでいる。
【０２０９】
図４０は、絶縁膜ＰＡと絶縁シートＺＳとの界面で剥離が発生しなかったときの、メタルパターン間距離（すなわち隣り合うメタルパターンの間隔）と、絶縁膜ＰＡの段差（ＤＳ）の大きさ（ｈ１）との相関の一例を示すグラフである。図４０に示されるように、メタルパターン間距離（すなわち隣り合うメタルパターンの間隔）が大きくなるにしたがって、絶縁膜ＰＡの段差（ＤＳ）の大きさ（ｈ１）が大きくなる。上述のように、絶縁膜ＰＡの段差（ＤＳ）の大きさ（ｈ１）は２μｍ以下が好ましく、また、隣り合うメタルパターンの間隔（すなわちメタルパターン間距離）は４μｍ以下がより好ましいため、図４０のグラフにおいて、ハッチングを付した領域が、特に好適な領域となる。
【０２１０】
また、最上層の配線層に渦巻き状のコイル配線ＣＷを形成しているが、そのコイル配線ＣＷの内側に、ダミー配線ＤＭを配置することが好ましい（図１９参照）。これにより、コイル配線ＣＷの内側の位置において、絶縁膜ＰＡの上面に上記段差ＤＳのような段差が形成されるのを抑制または防止することができる。また、最上層の配線層に渦巻き状のコイル配線ＣＷを形成しているが、そのコイル配線ＣＷの外側に、そのコイル配線ＣＷを囲むように、ダミー配線ＤＭを配置することが好ましい（図１９参照）。これにより、コイル配線ＣＷの外側の位置において、絶縁膜ＰＡの上面に上記段差ＤＳのような段差が形成されるのを抑制または防止することができる。
【０２１１】
つまり、最上層の配線層に渦巻き状のコイル配線ＣＷを形成しているが、そのコイル配線ＣＷの内側にダミー配線ＤＭを配置し、また、コイル配線ＣＷの外側に、そのコイル配線ＣＷを囲むようにダミー配線ＤＭを配置することが好ましい。これにより、コイル配線ＣＷが形成された領域の近傍において、絶縁膜ＰＡの上面に上記段差ＤＳのような段差が形成されるのを抑制または防止することができる。
【０２１２】
コイル配線ＣＷが形成された領域の近傍において、絶縁膜ＰＡの上面に上記段差ＤＳが形成されていると、その段差ＤＳに隣接する位置で絶縁シートＺＳと絶縁膜ＰＡの間に上記隙間ＶＤが形成され、その隙間ＶＤを起点として絶縁シートＺＳの剥離が発生するため、半導体チップＣＰ１のコイル配線ＣＷと半導体チップＣＰ２のコイル配線ＣＷとの間の耐圧に対する影響が大きい。このため、最上層の配線層において、コイル配線ＣＷの内側にダミー配線ＤＭを配置し、また、コイル配線ＣＷの外側にそのコイル配線ＣＷを囲むようにダミー配線ＤＭを配置することは、コイル配線ＣＷが形成された領域の近傍において、絶縁シートＺＳの剥離を防止できることにつながるため、半導体チップＣＰ１のコイルと半導体チップＣＰ２のコイルとの間の耐圧向上に、特に有効である。
【０２１３】
このように、ダミー配線ＤＭに関連して種々の工夫を施すことにより、半導体装置（半導体パッケージ）の信頼性を、より向上させることができる。
【０２１４】
上述したように、本願発明者は、上記「本発明者の検討について」の欄で説明したような検討を行い、その結果、ダミー配線ＤＭの導入に至っている。通常、半導体チップの上面は、平坦性が要求されないため、半導体チップの最上層の配線層に、最上層の絶縁膜の平坦性を確保するためのダミー配線を形成する必要はない。しかしながら、本発明者は、２つの半導体チップを絶縁シートを介して重ね合わせ、それら半導体チップ内にそれぞれ形成されたコイル同士を磁気結合して信号を伝達する技術を検討し、半導体チップの最上層の絶縁膜（ＰＡ）に上記段差ＤＳが形成されていると、絶縁シート（ＺＳ）の剥離が発生して半導体装置（半導体パッケージ）の信頼性の低下を招くことを見出した。このような課題を見出したからこそ、半導体チップの最上層の絶縁膜（ＰＡ）に上記段差ＤＳのような段差を形成しないようにすることが重要であることに気づき、その結果、半導体チップの最上層の配線層にダミー配線ＤＭを形成することに至ったものである。このため、ダミー配線ＤＭの導入は、上記課題に気付いたからこそ、成し得たものと言える。
【０２１５】
また、本実施の形態とは異なり、信号伝達用のトランスを構成する一次コイルと二次コイルとを同じ半導体チップ内に形成した場合を仮定する。この場合には、同じ半導体チップ内に形成された一次コイルと二次コイルとの電位差がかなり大きくなることがあり得るため、同じ半導体チップ内に高電圧領域と低電圧領域とが存在し、両領域の電位差がかなり大きくなることがあり得る。この場合、半導体チップ内にダミー配線を設けることは、同じ半導体チップ内に存在する高電圧領域と低電圧領域との間の耐圧を低下させてしまい、その半導体チップの信頼性の低下につながるため、得策ではない。
【０２１６】
それに対して、本実施の形態では、信号伝達用のトランスを構成する一次コイルと二次コイルとを、別々の半導体チップに形成しているため、磁気的に結合されかつ電位差が大きな一次コイルと二次コイルとが同じ半導体チップ内に存在することはない。このため、半導体チップ内にダミー配線ＤＭを形成しても、その半導体チップの信頼性の低下を招かずに済む。
【０２１７】
また、本実施の形態では、半導体チップＣＰ１内にコイルＣＬ１ａとコイルＣＬ２ａとを形成し、半導体チップＣＰ２内にコイルＣＬ１ｂとコイルＣＬ２ｂとを形成し、半導体チップＣＰ１のコイルＣＬ１ａと半導体チップＣＰ２のコイルＣＬ１ｂとを磁気的に結合させ、半導体チップＣＰ１のコイルＣＬ２ａと半導体チップＣＰ２のコイルＣＬ２ｂとを磁気的に結合させている。すなわち、半導体チップＣＰ１と半導体チップＣＰ２との間の信号の伝達経路は、磁気結合（誘導結合）したコイルを経由する経路だけであるが、コイルＣＬ１ａ，ＣＬ１ｂを経由する経路と、コイルＣＬ２ａ，ＣＬ２ｂを経由する経路との２系統がある。
【０２１８】
しかしながら、半導体チップＣＰ１と半導体チップＣＰ２との間の信号の伝達経路（磁気結合したコイルを経由する伝達経路）は、２系統に限定されない。例えば、半導体チップＣＰ１においてコイルＣＬ２ａの形成を省略し、半導体チップＣＰ２においてコイルＣＬ２ｂの形成を省略し、半導体チップＣＰ１のコイルＣＬ１ａと半導体チップＣＰ２のコイルＣＬ１ｂとを磁気的に結合させ、磁気結合したコイルＣＬ１ａ，ＣＬ１ｂを介して半導体チップＣＰ１と半導体チップＣＰ２との間で信号を伝達することもできる。この場合は、半導体チップＣＰ１と半導体チップＣＰ２との間の信号の伝達経路（磁気結合したコイルを経由する伝達経路）は、１系統となる。また、半導体チップＣＰ１内に３つ以上のコイルを形成し、半導体チップＣＰ２内に３つ以上のコイルを形成し、半導体チップＣＰ１内の各コイルと、半導体チップＣＰ２内の各コイルとを磁気的に結合させ、磁気結合したコイルを介して半導体チップＣＰ１と半導体チップＣＰ２との間で信号を伝達することもできる。この場合は、半導体チップＣＰ１と半導体チップＣＰ２との間の信号の伝達経路（磁気結合したコイルを経由する伝達経路）は、３系統以上となる。
【０２１９】
（実施の形態２）
図４１は、本実施の形態２の半導体チップ（半導体装置）ＣＰの平面図であり、上記実施の形態１の上記図１９に対応するものである。上記図１９と同様に、図４１には、半導体チップＣＰにおける最上層の配線層のメタルパターンが示されており、平面図であるが、図面を見やすくするために、最上層の配線層のメタルパターンにハッチングを付してある。但し、上記図１９と同様に、図４１においても、ダミー配線ＤＭを判別可能とするために、最上層の配線層のメタルパターンのうち、ダミー配線ＤＭだけ、ドットのハッチングを付して示し、他は斜線のハッチングを付してある。
【０２２０】
本実施の形態２が上記実施の形態１と相違しているのは、次の点である。
【０２２１】
すなわち、上記実施の形態１では、上記図１９にも示されるように、半導体チップＣＰの最上層の配線層において（従って半導体チップＣＰ１，ＣＰ２のそれぞれの最上層の配線層において）、平面視で絶縁層ＺＳと重なる領域と重ならない領域のどちらにも、ダミー配線ＤＭを形成していた。
【０２２２】
それに対して、本実施の形態２では、図４１にも示されるように、半導体チップＣＰの最上層の配線層において（従って半導体チップＣＰ１，ＣＰ２のそれぞれの最上層の配線層において）、平面視で絶縁層ＺＳと重なる領域にはダミー配線ＤＭを形成しているが、平面視で絶縁層ＺＳと重ならない領域にはダミー配線ＤＭを形成していない。すなわち、上記図１９に示される最上層の配線層のメタルパターンのうち、平面視で絶縁層ＺＳと重ならない領域に配置されたダミー配線ＤＭを無くしたものが、図４１に対応することになる。
【０２２３】
なお、図４１には、半導体チップＣＰ（半導体チップＣＰ１，ＣＰ２）のうち、絶縁シートＺＳと重なる領域ＲＧ１を、一点鎖線で囲んで示してある。図４１において、絶縁シートＺＳと重なる領域ＲＧ１内にダミー配線ＤＭが配置されており、絶縁シートＺＳと重ならない領域（すなわち絶縁シートＺＳと重なる領域ＲＧ１以外の領域）には、ダミー配線ＤＭは配置されていない。
【０２２４】
これ以外は、本実施の形態２は、上記実施の形態１と基本的には同じであるので、ここではその繰り返しの説明は省略する。
【０２２５】
本実施の形態２では、半導体チップＣＰ（ＣＰ１，ＣＰ２）の最上層の配線層において、平面視で絶縁層ＺＳと重なる領域にはダミー配線ＤＭを形成しているが、平面視で絶縁層ＺＳと重ならない領域にはダミー配線ＤＭを形成していない。このため、本実施の形態２では、半導体チップ（ＣＰ１，ＣＰ２）の最上層の絶縁膜ＰＡの上面において、絶縁シートＺＳと重なっていない領域は、上記段差ＤＳのような段差が形成されることになるが、これは、絶縁シートＺＳと絶縁膜ＰＡとの間の上記隙間ＶＤの発生にはつながらず、従って、絶縁シートＺＳの剥離にはつながらない。そして、半導体チップＣＰ（ＣＰ１，ＣＰ２）の最上層の配線層において、平面視で絶縁層ＺＳと重なる領域に形成したダミー配線ＤＭについては、本実施の形態２も上記実施の形態１と共通である。このため、本実施の形態２においても、半導体チップＣＰ（半導体チップＣＰ１，ＣＰ２）において、ダミー配線ＤＭを形成したことにより、上記実施の形態１と同様に、絶縁シートＺＳと重なる領域の絶縁膜ＰＡの上面に上記段差ＤＳのような段差が形成されるのを抑制または防止できるため、上記実施の形態１とほぼ同様の効果を得ることができる。
【０２２６】
本実施の形態２では、上記実施の形態１で得られる効果に加えて、更に次のような効果も得ることができる。
【０２２７】
すなわち、本実施の形態２では、半導体チップＣＰ（ＣＰ１，ＣＰ２）の最上層の配線層において、平面視で絶縁層ＺＳと重ならない領域にはダミー配線ＤＭを形成していないため、ダミー配線ＤＭに起因してパッドＰＤや配線Ｍ４に形成される寄生容量を減らすことができる。寄生容量を減らすことができることで、信号伝送の遅延を生じにくくすることができるなど、半導体装置の性能をより向上させることができるようになる。
【０２２８】
（実施の形態３）
図４２は、本実施の形態３の半導体チップ（半導体装置）ＣＰの断面図であり、上記実施の形態１の上記図１８に対応するものである。上記図１８と同様に、図４２においても、ダミー配線ＤＭを判別可能とするために、ダミー配線ＤＭだけ、ドットのハッチングを付して示してある。図４３は、図４２に示される本実施の形態３の半導体チップＣＰを上記図９の半導体パッケージＰＫＧの半導体チップに適用した場合の、その半導体パッケージの一部を拡大して示した部分拡大断面図であり、上記実施の形態１の上記図３３に相当するものである。図４３に示されるように、２つの半導体チップＣＰ１，ＣＰ２が、絶縁シートＺＳを間に挟んで重ねられているが、それら半導体チップＣＰ１，ＣＰ２の断面構造には、図４２の本実施の形態３の半導体チップＣＰの断面構造が適用されている。なお、図４３においては、図面を見やすくするために、半導体チップＣＰ１，ＣＰ２内に形成されたコイル配線ＣＷを黒の塗りつぶしによって示し、それ以外のハッチングは省略している。
【０２２９】
本実施の形態３が上記実施の形態１と相違しているのは、次の点である。
【０２３０】
すなわち、上記実施の形態１では、上記図１８および図３３にも示されるように、半導体チップＣＰ（ＣＰ１，ＣＰ２）において、コイル（ＣＬ１，ＣＬ２）を構成するコイル配線ＣＷは、最上層の配線層に形成されていた。
【０２３１】
それに対して、本実施の形態３では、図４２および図４３にも示されるように、半導体チップＣＰ（ＣＰ１，ＣＰ２）において、コイル（ＣＬ１，ＣＬ２）を構成するコイル配線ＣＷは、複数の配線層に形成されている。図４２および図４３の場合は、最上層の配線層である第４配線層と、その下の第３配線層と、その下の第２配線層との合計３層の配線層に、それぞれコイル配線ＣＷが形成され、それら３層のコイル配線ＣＷによって、コイルＣＬ１，ＣＬ２のそれぞれが形成されている。なお、３層のコイル配線ＣＷ同士は、ビア部Ｖ４，Ｖ３を介して接続することができる。
【０２３２】
すなわち、上記実施の形態１では、半導体チップＣＰ（ＣＰ１，ＣＰ２）において、コイルＣＬ１，ＣＬ２のそれぞれを、最上層の配線層に形成された配線（コイル配線ＣＷ）によって形成していた。それに対して、本実施の形態３では、半導体チップＣＰ（ＣＰ１，ＣＰ２）において、コイルＣＬ１，ＣＬ２のそれぞれを、複数の配線層に形成された配線（コイル配線ＣＷ）によって形成している。
【０２３３】
なお、本実施の形態３において、コイル配線ＣＷを形成する配線層の数は３層に限定されず、２層以上であればよい。また、半導体基板ＳＢ上に形成される配線層の数は４層に限定されない。
【０２３４】
このため、半導体チップＣＰ（ＣＰ１，ＣＰ２）は、複数の配線層を含む配線構造（多層配線構造）を有しているが、本実施の形態３では、半導体チップＣＰ（ＣＰ１，ＣＰ２）の配線構造を構成する複数の配線層のうちの２層以上の配線層のパターン（コイル配線ＣＷ）により、コイルＣＬ１，ＣＬ２のそれぞれが形成されている。
【０２３５】
これ以外は、本実施の形態３は、上記実施の形態１と基本的には同じであるので、ここではその繰り返しの説明は省略する。
【０２３６】
本実施の形態３においても、上記実施の形態１と同様に、ダミー配線ＤＭを設けたことに伴い、上記実施の形態１とほぼ同様の効果を得ることができる。
【０２３７】
本実施の形態３では、上記実施の形態１で得られる効果に加えて、更に次のような効果も得ることができる。
【０２３８】
すなわち、本実施の形態３では、コイル（ＣＬ１，ＣＬ２）を、２層以上の配線層に形成された配線（コイル配線ＣＷ）によって形成しているため、１層の配線層に形成された配線（コイル配線ＣＷ）によって形成した場合に比べて、コイルの巻き数（ターン数）を増加させることができる。これにより、半導体装置の性能をより向上させることができるようになる。また、コイルの巻き数（ターン数）が同じであれば、コイルを配置するのに要する面積を小さくすることができるため、半導体チップの小型化（小面積化）を図ることができ、ひいては、半導体パッケージの小型化を図ることができる。また、半導体チップの製造コストを低減でき、ひいては、半導体パッケージの製造コストを低減することができる。
【０２３９】
また、本実施の形態３は、上記実施の形態２と組み合わせることも可能である。
【０２４０】
（実施の形態４）
図４４は、本実施の形態４の半導体チップ（半導体装置）ＣＰの断面図であり、上記実施の形態１の上記図１８に対応するものである。図４５は、本実施の形態４の半導体チップＣＰの平面図であり、上記実施の形態１の上記図１９に対応するものである。上記図１８と同様に、図４４においても、ダミー配線ＤＭを判別可能とするために、ダミー配線ＤＭだけ、ドットのハッチングを付して示してある。また、上記図１９と同様に、図４５には、半導体チップＣＰにおける最上層の配線層のメタルパターンが示されており、平面図であるが、図面を見やすくするために、最上層の配線層のメタルパターンにハッチングを付してある。但し、上記図１９と同様に、図４５においても、ダミー配線ＤＭを判別可能とするために、最上層の配線層のメタルパターンのうち、ダミー配線ＤＭだけ、ドットのハッチングを付して示し、他は斜線のハッチングを付してある。
【０２４１】
本実施の形態４が上記実施の形態１と相違しているのは、次の点である。
【０２４２】
すなわち、上記実施の形態１では、上記図１８および図１９にも示されるように、半導体チップＣＰ（ＣＰ１，ＣＰ２）において、コイルＣＬ１，ＣＬ２（コイルＣＬ１，ＣＬ２を構成するコイル配線ＣＷ）は、最上層の配線層に形成されていた。
【０２４３】
それに対して、本実施の形態４では、半導体チップＣＰ（ＣＰ１，ＣＰ２）は複数の配線層を含む配線構造（多層配線構造）を有しているが、図４４および図４５からも分かるように、半導体チップＣＰ（ＣＰ１，ＣＰ２）において、コイルＣＬ１，ＣＬ２（コイルＣＬ１，ＣＬ２を構成するコイル配線ＣＷ）は、最上層の配線層よりも下層の配線層に形成している。すなわち、本実施の形態４では、半導体チップＣＰ（ＣＰ１，ＣＰ２）における配線構造（多層配線構造）において、最上層の配線層よりも下層に、コイルＣＬ１，ＣＬ２（コイル配線ＣＷ）が形成されている。
【０２４４】
図４４の場合は、コイルＣＬ１，ＣＬ２（コイル配線ＣＷ）を、最上層の配線層よりも１つ下層の配線層（ここでは第３配線層）に形成しているが、最上層の配線層よりも２つ以上下層の配線層に形成することも可能である。
【０２４５】
本実施の形態４では、コイルＣＬ１，ＣＬ２（コイル配線ＣＷ）は、最上層の配線層よりも下層の配線層に形成しているため、図４５のようにコイル配線ＣＷは最上層の配線層には形成されておらず、その代わりに、最上層の配線層において、コイルＣＬ１，ＣＬ２（コイル配線ＣＷ）の上方の位置にも、ダミー配線ＤＭを形成することが好ましい。すなわち、上記図１９に示されるようなコイル配線ＣＷは、本実施の形態４では、最上層の配線層よりも下層の配線層に形成され、図１９でコイル配線ＣＷが形成されていた領域には、図４５の場合はダミー配線ＤＭが形成されることになる。
【０２４６】
これ以外は、本実施の形態４は、上記実施の形態１と基本的には同じであるので、ここではその繰り返しの説明は省略する。
【０２４７】
本実施の形態４においても、上記実施の形態１と同様に、ダミー配線ＤＭを設けたことに伴い、上記実施の形態１とほぼ同様の効果を得ることができる。
【０２４８】
また、上記実施の形態１のように、半導体チップＣＰ（ＣＰ１，ＣＰ２）において、コイルＣＬ１，ＣＬ２（コイル配線ＣＷ）を最上層の配線層に形成した場合には、コイルＣＬ１，ＣＬ２（コイル配線ＣＷ）の厚みを大きくすることができるため、コイルＣＬ１，ＣＬ２（コイル配線ＣＷ）の抵抗を低減することができるという利点を得られる。これは、最上層の配線層の配線（メタルパターン）の厚みは、最上層の配線層よりも下層の配線層の配線の厚みよりも大きいためである。
【０２４９】
一方、本実施の形態４のように、半導体チップＣＰ（ＣＰ１，ＣＰ２）において、コイルＣＬ１，ＣＬ２（コイル配線ＣＷ）を、最上層の配線層よりも下層の配線層に形成した場合には、半導体チップＣＰ１内のコイルと半導体チップＣＰ２内のコイルとの間の耐圧を更に高めることができるという利点を得られる。
【０２５０】
また、本実施の形態４は、上記実施の形態２，３のいずれか一方または両方と組み合わせることも可能である。
【０２５１】
以上、本発明者によってなされた発明をその実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
【符号の説明】
【０２５２】
ＢＡＴ  電源
ＢＫ  動力分配機構
ＢＷ  ワイヤ
ＣＣ  制御回路
ＣＤ  導電膜
ＣＬ１，ＣＬ１ａ，ＣＬ１ｂ，ＣＬ２，ＣＬ２ａ，ＣＬ２ｂ  コイル
ＣＮＶ  コンバータ
ＣＰ，ＣＰ１，ＣＰ２  半導体チップ
ＣＴＣ  制御部
ＣＷ  コイル配線
ＤＢ  ダイボンド材
ＤＦ  ディファレンシャル
ＤＭ  ダミー配線
ＤＰ  ダイパッド
ＤＲ  駆動回路
ＤＳ  段差
ＤＴＲ  駆動輪
ＥＮＧ  エンジン
Ｇ１，Ｇ２  ゲート電極
ＧＦ  ゲート絶縁膜
ＧＮＤ  接地電位
ｈ１  大きさ
ｈ２  厚み
ＩＬ１，ＩＬ２，ＩＬ３，ＩＬ４  層間絶縁膜
ＩＮＶ  インバータ
ＬＤ，ＬＤ１，ＬＤ２  リード
ＬＯＤ  負荷
Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４  配線
Ｍ１ａ，Ｍ２ａ，Ｍ３ａ，Ｍ４ａ  シールリング用の配線
ＭＯＴ  モータ
ＭＰ  メタルパターン
ＭＲ  封止樹脂部
ＮＳ  ｎ型半導体領域
ＮＷ  ｎ型ウエル
ＯＰ，ＯＰ１，ＯＰ２  開口部
ＰＡ  絶縁膜
ＰＡ１  窒化シリコン膜
ＰＡ２  樹脂膜
ＰＤ，ＰＤ１，ＰＤ２  パッド
ＰＫＧ  半導体パッケージ
ＰＳ  ｐ型半導体領域
ＰＷ  ｐ型ウエル
Ｑｎ  ｎチャネル型ＭＩＳＦＥＴ
Ｑｐ  ｐチャネル型ＭＩＳＦＥＴ
ＲＧ１  領域
ＲＸ１，ＲＸ２  受信回路
ＲＹ  リレー
ＳＢ  半導体基板
ＳＪ  車軸
ＳＧ１，ＳＧ２，ＳＧ３，ＳＧ４  信号
ＳＲ  シールリング
ＳＴ  素子分離領域
Ｔ１  厚み
ＴＲ１，ＴＲ２  トランス
ＴＸ１，ＴＸ２  送信回路
Ｖ１  プラグ
Ｖ２，Ｖ３，Ｖ４  ビア部
Ｖ１ａ，Ｖ２ａ，Ｖ３ａ，Ｖ４ａ  シールリング用のビア部
ＶＣＣ  電源電圧
ＶＤ  隙間
ＺＳ  絶縁シート
【図１】
0006434763.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
0006434763.tif 000013
【図１３】
0006434763.tif 000014
【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
0006434763.tif 000017
【図１７】
0006434763.tif 000018
【図１８】
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【図１９】
0006434763.tif 000020
【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
0006434763.tif 000023
【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
0006434763.tif 000036
【図３６】
0006434763.tif 000037
【図３７】
0006434763.tif 000038
【図３８】
0006434763.tif 000039
【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４４】
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【図４５】
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