(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
厚さ０．３２ｍｍ以下の絶縁基板と、
前記絶縁基板の第１主面に接合され、当該第１主面との接合面とは反対側の面に半導体素子が接合される回路パターンと、
前記絶縁基板の第２主面に接合された裏面パターンと、
前記裏面パターンの前記第２主面との接合面とは反対側の面に接合された放熱板と、
を備え、
前記回路パターンのコーナー部の曲率半径が、前記裏面パターンのコーナー部の曲率半径よりも大きく、
前記回路パターンのコーナー部は、前記裏面パターンのコーナー部よりも平面視で１ｍｍ以上内側にある、
半導体装置。
【請求項２】
前記絶縁基板のコーナー部は隅切りされている、
請求項１に記載の半導体装置。
【請求項３】
前記絶縁基板のコーナー部の輪郭は曲線状である、
請求項１に記載の半導体装置。
【請求項４】
前記回路パターンおよび前記裏面パターンは銅を含む、
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の半導体装置。
【請求項５】
前記回路パターンおよび前記裏面パターンはアルミニウムを含む、
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の半導体装置。
【請求項６】
前記回路パターンおよび前記裏面パターンは、前記絶縁基板とロウ材により接合されている、
請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の半導体装置。
【請求項７】
前記回路パターンおよび前記裏面パターンは、前記絶縁基板と直接接合されている、
請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の半導体装置。
【請求項８】
前記絶縁基板は窒化アルミニウムからなる、
請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の半導体装置。
【請求項９】
前記絶縁基板は窒化シリコンからなる、
請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の半導体装置。
【請求項１０】
前記半導体素子はシリコンカーバイド半導体素子である、
請求項１から請求項９のいずれか一項に記載の半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体装置に関し、特に絶縁基板を有する半導体装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
絶縁基板上に形成された回路パターンに半導体素子が配置された半導体装置の製造工程において、絶縁基板を放熱板に接合する工程がある。絶縁基板（セラミック板の両面に金属パターンが接合された部材）を、例えば放熱板にはんだ接合する際、はんだ接合時の熱応力により、絶縁基板に引張応力が発生し、絶縁基板にクラックが生じる問題があった。この熱応力は、絶縁基板の４隅のパターン端部に集中して発生する。
【０００３】
この熱応力に対する従来の対策事例として、前記金属パターンの表パターンと裏パターンをセットパターン化する技術が特許文献１において開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−１１８６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１における技術により、絶縁基板に発生する熱応力を低減することが可能である。しかしながら、製品の歩留まりを改善するためには、熱応力のさらなる低減が要求される。
【０００６】
本発明は以上のような課題を解決するためになされたものであり、絶縁基板に発生する熱応力をより低減してクラックの発生をより抑制した半導体装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る半導体装置は、厚さ０．３２ｍｍ以下の絶縁基板と、絶縁基板の第１主面に接合され、第１主面との接合面とは反対側の面に半導体素子が接合される回路パターンと、絶縁基板の第２主面に接合された裏面パターンと、回路パターンに接合された半導体素子と、裏面パターンの第２主面の接合面とは反対側の面に接合された放熱板と、を備え、回路パターンのコーナー部の曲率半径が、裏面パターンのコーナー部の曲率半径よりも大きく、回路パターンのコーナー部は、裏面パターンのコーナー部よりも平面視で１ｍｍ以上内側にある。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る半導体装置によれば、回路パターンのコーナー部の曲率半径を、裏面パターンのコーナー部の曲率半径よりも大きくし、コーナー部において、回路パターンを裏面パターンよりも平面視で１ｍｍ以上内側に設ける。この構成により、厚さ０．３２ｍｍ以下の絶縁基板のコーナー部に集中して発生する熱応力を、回路パターンと裏面パターンのオフセット長をゼロにした場合よりも低減することができる。これにより絶縁基板に発生するクラックをより抑制することができる。よって、製造工程での歩留が向上する。つまり、生産性が向上する。また、絶縁基板のクラック耐量が上がり、半導体装置の信頼性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】実施の形態１に係る半導体装置の平面図である。
【図２】実施の形態１に係る半導体装置のコーナー部の平面図である。
【図３】実施の形態１に係る半導体装置の絶縁基板のコーナー部の応力分布を示す図である。
【図４】比較例の半導体装置のコーナー部の平面図である。
【図５】比較例の半導体装置の絶縁基板のコーナー部の応力分布を示す図である。
【図６】実施の形態１と比較例の絶縁基板に発生する応力の大きさの比較を示す図である。
【図７】実施の形態１に係る半導体装置の絶縁基板のコーナー部に発生する応力のオフセット長依存性を示す図である。
【図８】実施の形態１に係る半導体装置のコーナー部の断面図である。
【図９】実施の形態２に係る半導体装置のコーナー部の平面図である。
【図１０】実施の形態２に係る半導体装置のコーナー部の別の例を示す図である。
【図１１】実施の形態３に係る半導体装置のコーナー部の平面図である。
【図１２】実施の形態４に係る半導体装置のコーナー部の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
＜実施の形態１＞
図１は本実施の形態１に係る半導体装置の平面図である。また、図２は図１の領域Ｄを拡大した平面図である。
【００１３】
図１に示すように、本実施の形態１における半導体装置は、放熱板１と、放熱板１上に配置された（換言すれば、裏面に放熱板１が配置された）絶縁基板２と、絶縁基板２上に配置された半導体素子（図示せず）を備える。放熱板１（ベース板とも呼ぶ）の素材は、例えば銅である。なお、放熱板１は、放熱性を満足するのであれば、銅に限らず、例えばアルミニウムでもよい。
【００１４】
絶縁基板２の表面（第１主面）には回路パターン３が形成されている。絶縁基板２の裏面（第２主面）には裏面パターン４（図８参照）が形成されている。絶縁基板２の素材は、例えば窒化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）である。回路パターン３および裏面パターン４の素材は金属である。回路パターン３および裏面パターン４は、例えば銅からなるか、あるいは、銅を主材としてなる（即ち、銅を含む）。
【００１５】
回路パターン３および裏面パターン４は、絶縁基板２の第１、第２主面のそれぞれにロウ材により接合されている。
【００１６】
回路パターン３表面（即ち、第１主面との接合面とは反対側の面）には、図示しない半導体素子が接合されている。ここで、半導体素子は、シリコンカーバイド（ＳｉＣ）を含む半導体材料で形成された半導体素子である。裏面パターン４の絶縁基板２とは反対側の面と、放熱板１とは、はんだ接合されている。
【００１７】
本実施の形態１では、図２に示すように、回路パターン３のコーナー部３ａの曲率半径が、裏面パターン４のコーナー部４ａの曲率半径よりも大きいことを特徴とする。また、図２に示すように、回路パターン３のコーナー部３ａは裏面パターン４のコーナー部４ａよりも平面視で内側に形成されている。本実施の形態１の構成により、絶縁基板２の４隅のパターン端部に集中して発生する熱応力を低減することができる。
【００１８】
図３は、本実施の形態１における絶縁基板２を放熱板１に接合する際に絶縁基板２のコーナー部に発生する応力の分布を示す図である。コーナー部において、応力の大きさは１５０ＭＰａ程度であることがわかる。
【００１９】
本実施の形態１の半導体装置と応力の発生を比較するための比較例を図４に示す。図４に示す比較例は、本実施の形態１（図２）とは逆に、回路パターン３のコーナー部３ａの曲率半径が、裏面パターン４のコーナー部４ａの曲率半径よりも小さくなっている。図５は、比較例における絶縁基板２を放熱板１に接合する際に絶縁基板２のコーナー部に発生する応力の分布を示す図である。コーナー部において、応力の大きさは２００ＭＰａ程度であることがわかる。
【００２０】
図６は、本実施の形態１の絶縁基板２と、比較例の絶縁基板２に発生する応力の大きさの比較を示す図である。図６から、本実施の形態１の絶縁基板２において発生する応力の大きさが比較例よりも低減されていることがわかる。
【００２１】
図７は、本実施の形態１の絶縁基板２に発生する応力とオフセット長との関係を示す図である。図８は、図２の線分Ｃ−Ｃにおける断面図である。オフセット長とは、図８に示すように、コーナー部における回路パターン３の外郭から裏面パターン４の外郭までの距離を意味する。図７には、絶縁基板２の厚みを０．３２ｍｍと０．６３５ｍｍに設定した場合のそれぞれについて、点Ａ，Ｂにおいて発生する応力の大きさが示されている。なお、図７において、オフセット長を変化させる際は、回路パターン３の寸法を固定して、裏面パターン４およびはんだ５の寸法を変化させている。
【００２２】
図８から、オフセット長が０ｍｍ以上の範囲の全体的な傾向として、絶縁基板２の厚みを０．６３５ｍｍから０．３２ｍｍに薄くすると応力が小さくなる傾向が読み取れる。つまり、絶縁基板２の厚みがより薄い方がより短いオフセット長で応力を低減することができる。
【００２３】
また、絶縁基板２の厚みが０．３２ｍｍの場合に着目すると、オフセット長を１ｍｍにすれば（図７中のデータ点Ｆ）、オフセット長が０ｍｍの場合（図７中のデータ点Ｅ）よりも、点Ａ，Ｂの両方において応力を低減できることがわかる。さらに、図７中のデータ点Ｇに示すように、オフセット長を１ｍｍよりも長くすることにより、さらに応力を低減することができる。
【００２４】
なお、本実施の形態１において、回路パターン３および裏面パターン４は、アルミニウムからなるか、あるいは、アルミニウムを主材としてなる（即ち、アルミニウムを含む）としてもよい。また、本実施の形態１において、回路パターン３および裏面パターン４は、絶縁基板２とロウ接合されているとしたが、絶縁基板２と直接接合されていてもよい。また、本実施の形態１において、絶縁基板２は窒化アルミニウムであるとしたが、窒化シリコンであってもよい。
【００２５】
＜効果＞
本実施の形態１における半導体装置は、絶縁基板２と、絶縁基板２の第１主面に接合され、第１主面との接合面とは反対側の面に半導体素子が接合される回路パターン３と、絶縁基板２の第２主面に接合された裏面パターン４と、回路パターン３に接合された半導体素子と、裏面パターン４の第２主面との接合面とは反対側の面に接合された放熱板１と、を備え、回路パターン３のコーナー部３ａの曲率半径が、裏面パターン４のコーナー部４ａの曲率半径よりも大きく、回路パターン３のコーナー部３ａは、裏面パターン４のコーナー部４ａよりも平面視で内側にある。
【００２６】
従って、本実施の形態１の半導体装置によれば、回路パターン３のコーナー部３ａの曲率半径を、裏面パターン４のコーナー部４ａの曲率半径よりも大きくし、回路パターン３のコーナー部３ａを裏面パターン４のコーナー部４ａよりも平面視で内側に設ける。この構成により、絶縁基板２のコーナー部に集中して発生する熱応力を、回路パターン３と裏面パターン４のオフセット長をゼロにした場合よりも低減することができる。これにより絶縁基板２に発生するクラックをより抑制することができる。よって、製造工程での歩留が向上する。つまり、生産性が向上する。また、絶縁基板２のクラック耐量が上がり、半導体装置の信頼性が向上する。
【００２７】
また、本実施の形態１における半導体装置において、回路パターン３および裏面パターン４は銅を含む。従って、回路パターン３および裏面パターン４の素材として導電性に優れた銅を用いることで、導電性と組み立て性を両立させた半導体装置を得ることが可能である。
【００２８】
また、本実施の形態１における半導体装置において、回路パターン３および裏面パターン４はアルミニウムを含んでもよい。従って、回路パターン３および裏面パターン４の素材として、導電性に優れ、ボンディング可能で、比較的安価な素材であるアルミニウムを用いることで、より低コストで半導体装置を製造することが可能である。
【００２９】
また、本実施の形態１における半導体装置において、回路パターン３および裏面パターン４は、絶縁基板２とロウ材により接合されている。従って、ロウ材により接合することによって、接合部の不良を低減させることが可能である。
【００３０】
また、本実施の形態１における半導体装置において、回路パターン３および裏面パターン４は、直接接合されていてもよい。従って、直接接合することによって、製造コストをより低減することが可能である。
【００３１】
また、本実施の形態１における半導体装置において、絶縁基板２は窒化アルミニウムからなる。従って、絶縁基板２を窒化アルミニウムにすることにより、放熱性を向上させることが可能である。
【００３２】
また、本実施の形態１における半導体装置において、絶縁基板２は窒化シリコンからなってもよい。従って、絶縁基板２を窒化シリコンにすることにより、絶縁基板２の放熱性および抗折強度を向上させることが可能である。これにより、絶縁基板２のクラック耐性を向上させることが可能である。
【００３３】
また、本実施の形態１における半導体装置において、半導体素子はシリコンカーバイド半導体素子である。従って、半導体素子の高温動作が可能となり、半導体装置の使用温度範囲が広くなる。
【００３４】
＜実施の形態２＞
図９は、図１を本実施の形態２の半導体装置とした場合に図１の領域Ｄを拡大した平面図である。本実施の形態２では、実施の形態１（図２）とは回路パターン３のコーナー部３ａの形状が異なる。その他の構成は実施の形態１と同じため、説明を省略する。
【００３５】
図９に示すように、本実施の形態２の回路パターン３のコーナー部３ａは、折れ線状に形成されている。本実施の形態２では、回路パターン３のコーナー部３ａは、隅切りされた形状となっている。
【００３６】
なお、実施の形態１と同様、回路パターン３は裏面パターン４よりも平面視で内側に形成されている。
【００３７】
図１０は、本実施の形態２の回路パターン３のコーナー部３ａの別の例を示す図である。図１０においても、回路パターン３のコーナー部３ａは、折れ線状に形成されている。
【００３８】
＜効果＞
本実施の形態２における半導体装置は、絶縁基板２と、絶縁基板２の第１主面に接合され、第１主面との接合面とは反対側の面に半導体素子が接合される回路パターン３と、絶縁基板２の第２主面に接合された裏面パターン４と、回路パターン３に接合された半導体素子と、裏面パターン４の第２主面との接合面とは反対側の面に接合された放熱板１と、を備え、回路パターン３のコーナー部３ａは折れ線状に形成され、回路パターン３のコーナー部３ａは、裏面パターン４のコーナー部４ａよりも平面視で内側にある。
【００３９】
従って、回路パターン３のコーナー部３ａを折れ線状に形成することにより、回路パターン３の設計の自由度が向上し、絶縁基板２の面積を縮小することが可能である。よって、半導体装置の小型化が可能である。また、回路パターン３のコーナー部３ａを裏面パターン４のコーナー部４ａよりも平面視で内側に形成することにより、絶縁基板２に発生するクラックを抑制することができる。よって、製造工程での歩留が向上する。つまり、生産性が向上する。また、絶縁基板２のクラック耐量があがり、信頼性が向上する。
【００４０】
また、本実施の形態２における半導体装置において、回路パターン３および裏面パターン４は銅を含む。従って、回路パターン３および裏面パターン４の素材として導電性に優れた銅を用いることで、導電性と組み立て性を両立させた半導体装置を得ることが可能である。
【００４１】
また、本実施の形態２における半導体装置において、回路パターン３および裏面パターン４はアルミニウムを含んでもよい。従って、回路パターン３および裏面パターン４の素材として、導電性に優れ、ボンディング可能で、比較的安価な素材であるアルミニウムを用いることで、より低コストで半導体装置を製造することが可能である。
【００４２】
また、本実施の形態２における半導体装置において、回路パターン３および裏面パターン４は、絶縁基板２とロウ材により接合されている。従って、ロウ材により接合することによって、接合部の不良を低減させることが可能である。
【００４３】
また、本実施の形態２における半導体装置において、回路パターン３および裏面パターン４は、直接接合されていてもよい。従って、直接接合することによって、製造コストをより低減することが可能である。
【００４４】
また、本実施の形態２における半導体装置において、絶縁基板２は窒化アルミニウムからなる。従って、絶縁基板２を窒化アルミニウムにすることにより、放熱性を向上させることが可能である。
【００４５】
また、本実施の形態２における半導体装置において、絶縁基板２は窒化シリコンからなってもよい。従って、絶縁基板２を窒化シリコンにすることにより、絶縁基板２の放熱性および抗折強度を向上させることが可能である。これにより、絶縁基板２のクラック耐性を向上させることが可能である。
【００４６】
また、本実施の形態２における半導体装置において、半導体素子はシリコンカーバイド半導体素子である。従って、半導体素子の高温動作が可能となり、半導体装置の使用温度範囲が広くなる。
【００４７】
＜実施の形態３＞
図１１は、図１を本実施の形態３の半導体装置とした場合に図１の領域Ｄを拡大した平面図である。本実施の形態３では、実施の形態１（図２）とは絶縁基板２のコーナー部２ａの形状が異なる。その他の構成は実施の形態１と同じため、説明を省略する。
【００４８】
図１１に示すように、本実施の形態３の絶縁基板２のコーナー部２ａは、隅切りされた形状となっている。
【００４９】
従って、絶縁基板２のコーナー部２ａを隅切りすることにより、絶縁基板２の面積を縮小することができる。よって、実施の形態１で述べた効果に加えて、半導体装置の小型化が可能である。
【００５０】
＜実施の形態４＞
図１２は、図１を本実施の形態４の半導体装置とした場合に図１の領域Ｄを拡大した平面図である。本実施の形態４では、実施の形態１（図２）とは絶縁基板２のコーナー部２ａの形状が異なる。その他の構成は実施の形態１と同じため、説明を省略する。
【００５１】
図１２に示すように、本実施の形態４の絶縁基板２のコーナー部２ａの輪郭は曲線状である。
【００５２】
従って、絶縁基板２のコーナー部２ａの輪郭を曲線状にすることによって、実施の形態１で述べた応力を低減する効果をより向上させることができる。よって、絶縁基板２のクラック耐量がより上がり、半導体装置の信頼性がより向上する。
【００５３】
なお、本発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。
【符号の説明】
【００５４】
１  放熱板、２  絶縁基板、２ａ，３ａ，４ａ  コーナー部、３  回路パターン、４  裏面パターン、５  はんだ。
【図１】
0006395530.tif 000002
【図２】
0006395530.tif 000003
【図３】
0006395530.tif 000004
【図４】
0006395530.tif 000005
【図５】
0006395530.tif 000006
【図６】
0006395530.tif 000007
【図７】
0006395530.tif 000008
【図８】
0006395530.tif 000009
【図９】
0006395530.tif 000010
【図１０】
0006395530.tif 000011
【図１１】
0006395530.tif 000012
【図１２】
0006395530.tif 000013