(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品の搬送元、前記物品の搬送先、及び、前記物品が一時的に保管される保管部の間で前記物品を搬送する搬送装置を備える搬送システムであって、
前記搬送先及び前記保管部のそれぞれは、複数設けられており、
前記搬送元から前記搬送先への前記物品の搬送に関する搬送情報を記憶し、前記搬送情報に基づいて、前記搬送元から各前記搬送先への前記物品の搬送の割合をそれぞれ取得する搬送割合取得部と、
前記搬送割合取得部によって取得された前記搬送割合が所定の閾値以上であるか否かを判定する判定部と、
前記判定部によって前記搬送割合が前記所定の閾値以上であると判定された場合、当該搬送割合における前記搬送先の近傍に配置された前記保管部に前記物品を搬送するように前記搬送装置を制御する制御部と、を備える、搬送システム。
【請求項２】
前記搬送先は、前記物品が入出庫されるポートを有する処理装置であり、
前記物品は、前記処理装置によって処理される被処理物を収容する収容体であり、
前記保管部は、各前記処理装置を含むエリア毎に区分けして配置された棚であり、
前記制御部は、前記搬送割合が前記所定の閾値以上であると判定された場合、当該搬送割合における前記処理装置を含む前記エリアに配置され且つ前記収容体が収容されていない前記棚の中から、当該処理装置に対しての搬送時間が最短である前記棚に前記収容体を搬送するように前記搬送装置を制御する、請求項１記載の搬送システム。
【請求項３】
前記搬送割合取得部は、記憶されている前記搬送情報において、最新の前記搬送情報から所定時間内又は所定の情報量内の前記搬送情報を所定時間毎に取得して、当該搬送情報に基づいて前記搬送割合を取得する、請求項１又は２記載の搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の搬送システムとして、例えば、特許文献１に記載されたシステムが知られている。特許文献１に記載の搬送システムは、搬送車と、搬送情報に基づき搬送車を制御する制御装置と、を有している。制御装置は、搬送した時間を示す実績時間情報と搬送情報とが関連づけられた情報である搬送実績情報を蓄積する蓄積部と、物品を受け取ることができない搬送先を示す不可情報を取得する不可情報取得部と、不可情報に対応する搬送情報を特定する情報特定部と、不可情報に対応する搬送実績情報を抽出し、抽出された実績時間情報に基づき搬送実績情報を順位付けする順位作成部と、順位に従い決定される一つの搬送実績情報に含まれる起点情報を終点情報とする代替情報を作成する代替情報作成部と、代替情報作成部により作成された代替情報を搬送車に送出する搬送情報送出部と、を備える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−８６８９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のような搬送システムは、例えば、半導体や液晶パネル等の製造工場に設置される。製造工場においては、搬送システムによって半導体ウェハや液晶パネルの基材等の物品が搬送される。このような製造工場では、生産効率の向上が求められており、その実現のために、処理装置の稼働効率の向上が求められている。
【０００５】
本発明は、処理装置の稼働効率の向上を図ることができる搬送システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る搬送システムは、物品の搬送元、物品の搬送先、及び、物品が一時的に保管される保管部の間で物品を搬送する搬送装置を備える搬送システムであって、搬送先及び保管部のそれぞれは、複数設けられており、搬送元から搬送先への物品の搬送に関する搬送情報を記憶し、搬送情報に基づいて、搬送元から各搬送先への物品の搬送の割合をそれぞれ取得する搬送割合取得部と、搬送割合取得部によって取得された搬送割合が所定の閾値以上であるか否かを判定する判定部と、判定部によって搬送割合が所定の閾値以上であると判定された場合、当該搬送割合における搬送先の近傍に配置された保管部に物品を搬送するように搬送装置を制御する制御部と、を備える。
【０００７】
この搬送システムでは、搬送元から各搬送先への物品の搬送の割合を取得し、搬送割合が所定の閾値以上であるか否かを判定する。搬送システムでは、搬送割合が所定の閾値以上であると判定された場合、当該搬送割合における搬送先の近傍に配置された保管部に物品を搬送するように搬送装置を制御する。このように、搬送割合に基づいて、物品が搬送される搬送先を予め設定（予測）して、その搬送先の近傍の保管部に物品を保管することにより、搬送指令が出たときに、搬送先に物品を迅速に搬送することができる。したがって、搬送システムでは、搬送時間の短縮化を図ることがでる。これにより、搬送先が処理装置である場合、処理装置において物品（例えば、被処理物等）の搬送待ちの状態が短縮される。その結果、処理装置の稼働効率の向上を図ることができる。
【０００８】
一実施形態においては、搬送先は、物品が入出庫されるポートを有する処理装置であり、物品は、処理装置によって処理される被処理物を収容する収容体であり、保管部は、各処理装置を含むエリア毎に区分けして配置された棚であり、制御部は、搬送割合が所定の閾値以上であると判定された場合、当該搬送割合における処理装置を含むエリアに配置され且つ収容体が収容されていない棚の中から、当該処理装置に対しての搬送時間が最短である棚に収容体を搬送するように搬送装置を制御してもよい。これにより、処理装置に対して収容体（被処理物）を迅速に搬送することができるため、処理装置の稼働率の向上を図ることができる。
【０００９】
一実施形態においては、搬送割合取得部は、記憶されている搬送情報において、最新の搬送情報から所定時間内又は所定の情報量内の搬送情報を所定時間毎に取得して、当該搬送情報に基づいて搬送割合を取得してもよい。このように、新しい搬送情報に基づいて搬送割合を取得することにより、現在の状況に適した搬送が可能となる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、処理装置の稼働効率の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】一実施形態に係る搬送システムを含むインライン設備の構成を示す図である。
【図２】インライン設備を上から見た図である。
【図３】処理装置及びラックの正面図である。
【図４】スタッカクレーンコントローラの構成を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。
【００１３】
図１は、一実施形態に係る搬送システムを含むインライン設備の構成を示す図である。図２は、インライン設備を上から見た図である。図１及び図２に示されるように、インライン設備１は、ＭＥＳ（Manufacturing Execution System）３と、処理装置（搬送元、搬送先）５Ａ，５Ｂ，５Ｃと、ラック７と、搬送システム９と、を備えている。インライン設備１は、例えば、液晶パネルを製造する設備であり、所定の空間を囲い且つクリーンな状態が維持されている建物内に設けられている。以下の説明では、インライン設備１において液晶パネルを製造する形態を一例に説明する。
【００１４】
ＭＥＳ３は、インライン設備１を含む工場の様々な情報を統括して管理する統合生産情報システムである。ＭＥＳ３は、処理装置５Ａ，５Ｂ，５Ｃ及び後述するＭＣＳ１０の情報管理を行う。ＭＥＳ３は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read OnlyMemory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ハードディスクなどで構成されている。ＭＥＳ３と処理装置５Ａ〜５Ｃ及びＭＣＳ１０とは、無線又は有線により、互いに通信可能とされている。
【００１５】
処理装置５Ａ，５Ｂ，５Ｃは、例えば液晶パネルの製造に係る処理を行う装置であり、インライン設備１に複数設置されている。処理装置５Ａ，５Ｂ，５Ｃは、それぞれ実施される処理が異なっている。各処理装置５Ａ，５Ｂ，５Ｃのそれぞれは、複数台ずつ設置されていてもよい（図２では、それぞれ２台ずつ設けられている）。処理装置５Ａ，５Ｂ，５Ｃは、後述するスタッカクレーン１２の走行方向に沿って複数配置されている。すなわち、インライン設備１では、一方向に延在するラインに沿って処理装置５Ａ，５Ｂ，５Ｃが配置されている。本実施形態では、処理装置５Ａ，５Ｂ，５Ｃは、スタッカクレーン１２の走行方向から見て、左右方向のいずれか一方側に配置されている。同じ処理を行う処理装置５Ａ，５Ａ（５Ｂ，５Ｂ、５Ｃ，５Ｃ）は、例えば並んで配置されている。処理装置５Ａ，５Ｂ，５Ｃは、カセットＣを入庫及び出庫するポート５ａを有している。
【００１６】
ラック７は、カセットＣを一時的に保管する棚である。すなわち、ラック７は、搬送元から搬送先にカセットＣが搬送される場合に、搬送元と搬送先との間でカセットＣを一時的に保管する。図２に示されるように、ラック７は、スタッカクレーン１２の走行路を挟んで対向すると共に、スタッカクレーン１２の走行方向に沿って複数配置されている。図３に示されるように、ラック７は、カセットＣを収容する複数の棚部（保管部）７ａを有している。棚部７ａは、高さ方向において複数設けられている。処理装置５Ａ，５Ｂ，５Ｃが配置されている位置に設置されたラック７においては、棚部７ａが処理装置５Ａ，５Ｂ，５Ｃの上方に設けられている。
【００１７】
ラック７の棚部７ａは、処理装置５Ａ，５Ｂ，５Ｃ毎にそれぞれ区分けして配置されている。具体的には、図２に示されるように、棚部７ａは、処理装置５Ａを含むエリアＡ１と、処理装置５Ｂを含むエリアＡ２と、処理装置５Ｃを含むエリアＡ３と、に区分けして配置されている。
【００１８】
搬送システム９は、ＭＣＳ（Material Control System）１０と、スタッカクレーン（搬送装置）１２と、スタッカクレーンコントローラ１４と、を備えている。搬送システム９では、処理装置５Ａ，５Ｂ，５Ｃ、棚部７ａ及びポート８（後述）に対して物品の搬送を行う。本実施形態では、搬送システム９は、処理装置５Ａ，５Ｂ，５Ｃにおいて処理される液晶パネルの基材（被処理物）Ｂが収容されたカセットＣ（収容体、図３参照）を搬送する。ＭＣＳ１０及びスタッカクレーンコントローラ１４は、例えば、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ハードディスクなどで構成されている。ＭＣＳ１０とスタッカクレーンコントローラ１４とは、無線又は有線により、互いに通信可能とされている。ＭＣＳ１０は、スタッカクレーンコントローラ１４の上位コントローラである。
【００１９】
ＭＣＳ１０は、液晶パネルの製造スケジュールに基づいてカセットＣの搬送スケジュールを作成し、搬送スケジュールに基づいて、スタッカクレーンコントローラ１４に搬送指令を送出して指示を行う搬送指示装置である。ＭＣＳ１０は、スタッカクレーンコントローラ１４などの工程間搬送設備とＭＥＳ３との間に設けられ、ＭＥＳ３からの各種指示をスタッカクレーンコントローラ１４に適時伝達し、このスタッカクレーンコントローラ１４からの報告をまとめてＭＥＳ３に伝達する機能を有する。ＭＣＳ１０から送出される搬送指令には、例えば、処理装置５Ａ，５Ｂ，５Ｃからラック７の棚部７ａに特定のカセットＣを搬送する指示が含まれる。この搬送指令においては、ラック７における棚部７ａの詳細なアドレスは設定されていない。すなわち、ＭＣＳ１０から送出される搬送指令においては、棚部７ａにカセットＣを搬送することは示されているものの、棚部７ａの詳細な収納位置については設定されていない。
【００２０】
スタッカクレーン１２は、カセットＣを搬送する。スタッカクレーン１２は、インライン設備１の床に敷設されたレールＲに沿って走行する。スタッカクレーン１２は、ポート８、処理装置５Ａ，５Ｂ，５Ｃ、及び、棚部７ａの間でカセットＣを搬送する。ポート８は、インライン設備１においてカセットＣの入出庫を行う部分であり、第１ポート８ａと、第２ポート８ｂと、を有している。第１ポート８ａは、インライン設備１の外部から内部にカセットＣを入庫する。第２ポート８ｂは、インライン設備１の内部から外部にカセットＣを出庫する。第１ポート８ａ及び第２ポート８ｂは、例えばコンベアを有しており、コンベアによってカセットＣを入庫又は出庫する。
【００２１】
スタッカクレーン１２は、ポート８と棚部７ａとの間、ポート８と処理装置５Ａ，５Ｂ，５Ｃとの間、棚部７ａと処理装置５Ａ，５Ｂ，５Ｃとの間、処理装置５Ａ，５Ｂ，５Ｃと処理装置５Ａ，５Ｂ，５Ｃとの間でカセットＣの搬送を行う。インライン設備１においては、例えば、処理装置５Ａ、処理装置５Ｂ及び処理装置５Ｃのこの順番で処理が実施される。スタッカクレーン１２は、例えば、第１ポート８ａから入庫されたカセットＣを棚部７ａに搬送し、処理装置５Ａにおいて処理可能な状態となった場合には、カセットＣを処理装置５Ａに搬送する。スタッカクレーン１２は、当該処理装置５Ａにおいて処理が終了した場合、処理装置５Ｂにおいて処理が可能な状態でない場合には、カセットＣをラック７の棚部７ａに搬送する。そして、スタッカクレーン１２は、当該処理装置５Ｂにおいて処理可能な状態となった場合には、一時的に保管されたカセットＣを処理装置５Ｂに搬送する。このようなスタッカクレーン１２の動作は、スタッカクレーンコントローラ１４によって制御される。なお、図２では、スタッカクレーン１２を１台だけ示しているが、搬送システム９には、複数のスタッカクレーン１２が設けられていてもよい。
【００２２】
スタッカクレーンコントローラ１４は、スタッカクレーン１２の動作を制御する。スタッカクレーン１２は、ＭＣＳ１０から送出された搬送指令を受け取ると、搬送指令に基づいてカセットＣを搬送するように、スタッカクレーン１２を制御する。
【００２３】
図４は、スタッカクレーンコントローラの構成を示すブロック図である。図４に示されるように、スタッカクレーンコントローラ１４は、記憶部（搬送割合取得部）２０と、搬送割合取得部２２と、判定部２４と、制御部２６と、を備えている。スタッカクレーンコントローラ１４により実施される制御は、例えば、ＲＯＭ及びＲＡＭにより構成される記憶部に格納されているプログラムがＲＡＭ上にロードされてＣＰＵで実行されることにより実現される。
【００２４】
記憶部２０は、スタッカクレーン１２による搬送元から搬送先へのカセットＣの搬送に関する搬送情報（ログ）を記憶する。記憶部２０は、例えば、過去７日分の搬送情報を記憶する。詳細には、記憶部２０は、１日経過毎に、記憶している最古の１日分の搬送情報を消去し、過去７日分の搬送情報を記憶する。記憶部２０は、ＭＣＳ１０から送出された搬送指令から、搬送元を示す情報と搬送先を示す情報とを取得し、これらの情報を搬送情報として記憶する。
【００２５】
搬送割合取得部２２は、搬送元から搬送先への搬送割合を取得する。詳細には、本実施形態では、搬送割合取得部２２は、搬送元から各処理装置５Ａ，５Ｂ，５ＣへのカセットＣの搬送割合を取得する。搬送元には、第１ポート８ａ、処理装置５Ａ，５Ｂ，５Ｃがなり得る。搬送割合取得部２２は、記憶部２０に記憶されている搬送情報から、搬送元から各処理装置５Ａ，５Ｂ，５ＣにカセットＣが搬送されるまでの搬送経緯（搬送履歴）を取得して、処理装置５Ａ，５Ｂ，５ＣへのカセットＣの搬送割合を取得する。詳細には、搬送割合取得部２２は、第１ポート８ａと処理装置５Ａ、処理装置５Ａと処理装置５Ｂ、処理装置５Ａと処理装置５Ｃ、処理装置５Ｂと処理装置５Ｃとの間の搬送経路を取得して、搬送割合を取得する。
【００２６】
具体的には、搬送割合取得部２２は、例えば、処理装置５ＡからのカセットＣの搬送経緯を取得し、処理装置５Ａから処理装置５Ｂ、及び、処理装置５Ａから処理装置５ＣへのカセットＣの搬送割合を取得する。処理装置５Ａから処理装置５ＢにカセットＣが搬送される場合には、例えば、最初に、処理装置５Ａからラック７（棚部７ａ）にカセットＣが搬送され、次に、ラック７から処理装置５ＢにカセットＣが搬送される。同様に、処理装置５Ａから処理装置５ＣにカセットＣが搬送される場合には、例えば、最初に、処理装置５Ａからラック７にカセットＣが搬送され、次に、ラック７から処理装置５ＣにカセットＣが搬送される。なお、処理装置５Ａから処理装置５Ｂ（処理装置５Ｃ）にカセットＣが直接搬送される場合もあり得る。
【００２７】
搬送割合取得部２２は、カセットＣの搬送経緯に基づいて、処理装置５Ａから処理装置５Ｂ、及び、処理装置５Ａから処理装置５ＣへのカセットＣの搬送割合を取得する。本実施形態では、搬送割合取得部２２おいて取得された搬送割合が、処理装置５Ａから処理装置５Ｂへは８０％、処理装置５Ａから処理装置５Ｃへは２０％である場合を一例として説明する。
【００２８】
搬送割合取得部２２は、所定時間毎に記憶部２０から搬送情報を取得して、搬送割合を取得する。このとき、搬送割合取得部２２は、記憶部２０から搬送情報を取得する時、すなわち記憶部２０に記憶されている最新の搬送情報から所定の時間（日数）内に記憶部２０に記憶された搬送情報を抽出して、搬送割合を取得する。なお、搬送割合取得部２２は、最新の搬送情報から所定の情報量内において記憶部２０に記憶された搬送情報を抽出して、搬送割合を取得してもよい。搬送割合取得部２２は、取得した搬送割合を示す搬送割合情報を判定部２４に出力する。
【００２９】
判定部２４は、搬送割合が所定の閾値以上であるか否かを判定する。所定の閾値は、適宜設定されればよいが、例えば、８０％に設定されている。判定部２４は、搬送割合取得部２２から出力された搬送割合情報を受け取ると、搬送割合情報が示す搬送割合が所定の閾値（８０％）以上であるか否かを判定する。判定部２４は、判定結果を示す判定情報を制御部２６に出力する。
【００３０】
制御部２６は、スタッカクレーン１２の動作を制御する。制御部２６は、カセットＣの搬送先（棚部７ａ）を設定し、当該搬送先にカセットＣを搬送するようにスタッカクレーン１２を制御する。制御部２６は、ＭＣＳ１０から送出された搬送指令を受け取った場合、判定部２４から出力された判定情報に基づいて、カセットＣの搬送先である棚部７ａの収納位置（アドレス）を設定する。
【００３１】
具体的には、制御部２６は、判定情報において所定の閾値以上であると判定されている搬送割合における搬送先（処理装置５Ａ，５Ｂ，５Ｃ）の近傍（処理装置５Ａ，５Ｂ，５Ｃの属するエリアＡ１，Ａ２，Ａ３）の棚部７ａを搬送先として設定する。搬送先の近傍の棚部７ａとは、処理装置５Ａ，５Ｂ，５Ｃに対して最も早い搬送時間で搬送することができる棚部７ａを示している。すなわち、制御部２６は、例えば、搬送先が処理装置５Ｂである場合、スタッカクレーン１２の走行時間及び昇降時間（旋回時間を含んでもよい）を算出し、エリアＡ２の空いている棚部７ａにおいて、最も早く処理装置５Ｂに対してカセットＣを搬送することができる棚部７ａを設定する。制御部２６は、設定した棚部７ａにカセットＣを搬送するように、スタッカクレーン１２を制御する。
【００３２】
以上説明したように、本実施形態に係る搬送システム９では、搬送割合取得部２２は、搬送元から各搬送先へのカセットＣの搬送の割合を取得し、判定部２４は、搬送割合が所定の閾値以上であるか否かを判定する。搬送システム９では、制御部２６は、搬送割合が所定の閾値以上であると判定された場合、当該搬送割合における搬送先の近傍に配置された棚部７ａにカセットＣを搬送するようにスタッカクレーン１２を制御する。このように、搬送割合に基づいて、カセットＣが搬送される搬送先を予め設定（予測）して、その搬送先の近傍の棚部７ａにカセットＣを保管することにより、搬送指令が出たときに、搬送先にカセットＣを迅速に搬送することができる。したがって、搬送システム９では、搬送時間の短縮化を図ることができ。これにより、搬送先が処理装置５Ａ〜５Ｃである場合、処理装置５Ａ〜５ＣにおいてカセットＣ（基材Ｂ）の搬送待ちの状態が短縮される。その結果、処理装置の稼働効率の向上を図ることができる。
【００３３】
本実施形態では、制御部２６は、判定部２４によって搬送割合が所定の閾値以上であると判定された場合、当該搬送割合における処理装置５Ａ，５Ｂ，５Ｃを含むエリアＡ１，Ａ２，Ａ３に配置され且つカセットＣが収容されていない棚部７ａの中から、当該処理装置５Ａ，５Ｂ，５Ｃに対しての搬送時間が最短である棚部７ａにカセットＣを搬送するようにスタッカクレーン１２を制御する。これにより、処理装置５Ａ，５Ｂ，５Ｃに対してカセットＣ（基材Ｂ）を迅速に搬送することができるため、処理装置５Ａ，５Ｂ，５Ｃの稼働率の向上を図ることができる。
【００３４】
本実施形態では、搬送割合取得部２２は、記憶部２０に記憶されている搬送情報において、最新の搬送情報から所定時間内の搬送情報を所定時間毎に取得して、当該搬送情報に基づいて搬送割合を取得する。このように、新しい搬送情報に基づいて搬送割合を取得することにより、現在の状況に適した搬送が可能となる。
【００３５】
本発明は、上記実施形態に限定されない。例えば、上記実施形態では、搬送システム９がインライン設備１に設置されている形態を一例に説明したが、搬送システム９は他の設備（装置）に適用されてもよい。
【００３６】
上記実施形態では、インライン設備１において液晶パネルを製造する形態を一例として、搬送システム９においてカセットＣを搬送する構成を一例に説明した。しかし、搬送システム９により搬送される物品は他の物であってもよい。
【符号の説明】
【００３７】
５Ａ，５Ｂ，５Ｃ…処理装置、５ａ…ポート、７…ラック（保管部）、７ａ…棚部（保管部）、９…搬送システム、１２…スタッカクレーン（搬送装置）、２０…記憶部（搬送割合取得部）、２２…搬送割合取得部、２４…判定部、２６…制御部、Ａ１，Ａ２，Ａ３…エリア、Ｂ…基材（被処理物）、Ｃ…カセット（物品、収容体）。
【図１】
0006402595.tif 000002
【図２】
0006402595.tif 000003
【図３】
0006402595.tif 000004
【図４】
0006402595.tif 000005