(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上下方向に並ぶ複数の移載対象箇所の間で物品を搬送する物品搬送装置が備えられ、
前記物品搬送装置が、上下方向に沿って昇降移動する昇降体と、前記昇降体に支持されて自己と前記移載対象箇所との間で前記物品を移載する移載装置と、を備え、
前記移載装置が、前記物品を載置支持する支持体と、前記支持体を前記移載対象箇所に向けて突出させた突出位置と前記昇降体に向けて引退させた引退位置とに出退移動させる出退用駆動装置と、を備えている物品搬送設備であって、
前記支持体が、上下方向に弾性変形自在な支持部材を備えて、当該支持部材にて前記物品を載置支持するように構成され、
上下方向に弾性変形自在な緩衝体が、前記支持部材に載置支持されている前記物品に対して上方に設定距離だけ離間する状態で前記昇降体に備えられ、
前記支持体が、前記出退用駆動装置にて出退移動される基部部材を備え、
前記支持部材が、前記基部部材から上方に突出する状態で前記支持体に備えられ、当該支持部材が、前記物品の下面において上方に凹入する形状に形成された凹入部に下方から係合する係合部と、当該係合部と前記基部部材との間に上下方向に伸縮自在な状態で介在して前記係合部を上方に付勢する弾性部と、を備え、
前記支持部材が前記物品を載置支持している状態において、前記支持部材の前記基部部材からの突出量は、前記凹入部の凹入量より大きく、
前記設定距離が、前記支持部材が前記物品を載置支持している状態において前記凹入部に係合している前記係合部のうち前記凹入部に挿入される部分の上下方向の長さである挿入長さより短い長さに設定され、
前記物品は、半導体基板を収容するＦＯＵＰであり、
前記ＦＯＵＰは、その上端部にフランジ部を備え、
前記緩衝体は、前記ＦＯＵＰが前記引退位置の前記支持部材に載置支持されている状態において、上下方向に沿う上下方向視で前記フランジ部に対して重なる位置で且つ前記フランジ部の上面に対して上方に前記設定距離だけ離間する位置に備えられている物品搬送設備。
【請求項２】
前記緩衝体の下面が、前記物品の上面に沿う形状に形成されている請求項１記載の物品搬送設備。
【請求項３】
前記物品の天面が平坦な面に形成され、
前記緩衝体が、板状に形成されて、前記支持体に載置支持されている前記物品の天面に沿う姿勢で前記昇降体に備えられている請求項２記載の物品搬送設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、上下方向に並ぶ複数の移載対象箇所の間で物品を搬送する物品搬送装置が備えられ、前記物品搬送装置が、上下方向に沿って昇降移動する昇降体と、前記昇降体に支持されて自己と前記移載対象箇所との間で物品を移載する移載装置と、を備え、前記移載装置が、物品を載置支持する支持体と、前記支持体を前記移載対象箇所に向けて突出させた突出位置と前記昇降体に向けて引退させた引退位置とに出退移動させる出退用駆動装置と、を備えている物品搬送設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
かかる物品搬送設備の従来例が、特開平６−１５６６２８号公報（特許文献１）に記載されている。特許文献１の物品搬送設備では、昇降体に、上下方向に弾性変形自在な緩衝体が備えられており、その緩衝体は、フォーク装置９の支持部材に載置支持されている物品の上方に位置している。
特許文献１の物品搬送設備では、緩衝体が、ロードスタビライザ１１と押圧板１５との間にスプリング１６ａを備えて上下方向に弾性変形自在に構成されている。また、緩衝体は、フォーク装置９の支持部材に載置支持されている物品に対して上方から押圧する押圧位置と、フォーク装置９の支持部材に載置支持されている物品に対して上方に離間する離間位置と、に昇降移動させるように構成されている。
そして、昇降体を昇降移動させるときは、緩衝体を下降移動させて押圧位置に位置させることで、緩衝体にて物品を押圧した状態としている。これにより、物品が支持部材から浮き上がらなくすることができ、物品が移載装置から落下することが防止される。特に、昇降体を上昇移動させている途中において昇降体を非常停止させると、上向きの慣性力により物品は支持部材から浮き上がろうとするが、その物品を緩衝体にて上方から押圧しておくことで、物品の浮き上がりを抑制できるので、昇降体を非常停止させた場合でも、物品が移載装置から転落することを防止できる。
また、移載装置の支持部材を出退移動させて移載対象箇所との間で物品を移載するときは、緩衝体を上昇移動させて退避位置に位置させることで、移載する物品が緩衝体に干渉しないようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平６−１５６６２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１の物品搬送設備では、移載装置にて物品を移載する（受け渡す）前は、緩衝体による物品に対する押圧を解除するために、緩衝体を退避位置まで上昇移動させる必要があり、また、移載装置にて物品の移載（受け取り）が完了した後は、緩衝体にて物品を押圧する為に、緩衝体を押圧位置まで下降移動させる必要がある。このように、移載装置にて物品を移載する前後において緩衝体を昇降移動させる必要があるため、移載装置による物品の移載を円滑に行い難いものとなっていた。
【０００５】
そこで、移載装置からの物品の転落を防止しながら移載装置による物品の移載が円滑に行い易い物品搬送設備が求められる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る物品搬送設備の特徴構成は、上下方向に並ぶ複数の移載対象箇所の間で物品を搬送する物品搬送装置が備えられ、前記物品搬送装置が、上下方向に沿って昇降移動する昇降体と、前記昇降体に支持されて自己と前記移載対象箇所との間で前記物品を移載する移載装置と、を備え、前記移載装置が、前記物品を載置支持する支持体と、前記支持体を前記移載対象箇所に向けて突出させた突出位置と前記昇降体に向けて引退させた引退位置とに出退移動させる出退用駆動装置と、を備えている物品搬送設備において、
前記支持体が、上下方向に弾性変形自在な支持部材を備えて、当該支持部材にて前記物品を載置支持するように構成され、上下方向に弾性変形自在な緩衝体が、前記支持部材に載置支持されている前記物品に対して上方に設定距離だけ離間する状態で前記昇降体に備えられ、前記支持体が、前記出退用駆動装置にて出退移動される基部部材を備え、前記支持部材が、前記基部部材から上方に突出する状態で前記支持体に備えられ、当該支持部材が、前記物品の下面において上方に凹入する形状に形成された凹入部に下方から係合する係合部と、当該係合部と前記基部部材との間に上下方向に伸縮自在な状態で介在して前記係合部を上方に付勢する弾性部と、を備え、前記支持部材が前記物品を載置支持している状態において、前記支持部材の前記基部部材からの突出量は、前記凹入部の凹入量より大きく、前記設定距離が、前記支持部材が前記物品を載置支持している状態において前記凹入部に係合している前記係合部のうち前記凹入部に挿入される部分の上下方向の長さである挿入長さより短い長さに設定され、前記物品は、半導体基板を収容するＦＯＵＰであり、前記ＦＯＵＰは、その上端部にフランジ部を備え、前記緩衝体は、前記ＦＯＵＰが前記引退位置の前記支持部材に載置支持されている状態において、上下方向に沿う上下方向視で前記フランジ部に対して重なる位置で且つ前記フランジ部の上面に対して上方に前記設定距離だけ離間する位置に備えられている点にある。
【０００７】
この特徴構成によれば、物品が支持部材から浮き上がる場合でも、その浮き上がった物品が緩衝体にて受け止められるため、物品の設定距離以上の浮き上がりを防止できる。このように物品の支持部材からの浮き上がりを抑制することで、物品が支持部材から転落することを防止できる。また、緩衝体は上下方向に弾性変形自在に構成されているため、物品が緩衝体に受け止められたときの衝撃を抑えることができる。
そして、緩衝体にて受け止められた物品は重力により支持部材上に落下するが、その物品を受け止める支持部材は、上下方向に弾性変形自在に構成されているため、物品が支持部材にて受け止められたときの衝撃を抑えることができる。
【０００８】
また、緩衝体は、支持部材に載置支持されている物品に対して上方に設定距離だけ離間している。そのため、移載装置にて物品を移載するときに、緩衝体を上方に退避させなくても、物品が緩衝体に接触しないように空間が確保されているため、物品と緩衝体との接触を避けながら、物品を移載できる。
このように、物品の設定距離以上の浮き上がりを防止して物品が支持部材から転落することを抑制できながら、緩衝体を昇降移動させることなく移載装置にて物品を移載できるため移載装置による物品の移載が円滑に行い易くなる。
【００１０】
更に、この構成によれば、係合部と基部部材との間に介在する弾性部が上下方向に伸縮することで支持部材が上下方向に弾性変形する。そのため、支持部材における係合部は上下方向に弾性変形する構成とする必要がなく、係合部を硬質に構成してその硬質な係合部を凹入部に係合して物品を載置支持することで、支持部材にて物品を安定よく載置支持し易くなる。
また、支持部材における係合部が凹入部に下方から係合していることで、支持部材にて物品の水平方向への位置ずれを規制できるため、この点でも支持部材にて物品を安定よく載置支持できる。
【００１２】
更に、この構成によれば、設定距離が挿入長さより短い長さに設定されているため、物品が支持部材から浮き上がって当該物品が緩衝体に接触したときは、上端を含む係合部の一部が凹入部へ挿入された状態が維持される。そのため、物品が支持部材から浮き上がった状態でも、上端を含む係合部の一部が凹入部に接触することで、支持部材にて物品の水平方向への位置ずれを規制でき、物品の支持部材からの転落を適確に防止できる。
【００１３】
ここで、前記緩衝体の下面が、前記物品の上面に沿う形状に形成されていると好適である。
【００１４】
この構成によれば、物品が支持部材から浮き上がったときに、物品の上面が緩衝体の下面に面接触して物品の浮き上がりが緩衝体にて受け止められるので、緩衝体にて物品を受け止めたときの物品の姿勢の変化を極力抑えることができる。
【００１５】
また、前記物品の天面が平坦な面に形成され、前記緩衝体が、板状に形成されて、前記支持体に載置支持されている前記物品の天面に沿う姿勢で前記昇降体に備えられていると好適である。
【００１６】
この構成によれば、板状に形成した緩衝体を、支持部材に載置支持されている物品の天面に沿う姿勢で昇降体に備えるだけでよいので、緩衝体を容易に形成でき且つ緩衝体を容易に設置できる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】物品搬送設備の正面図
【図２】移載装置における支持体の一部切欠き斜視図
【図３】容器を載置支持した位置決め部材を示す側面図
【図４】容器を載置支持した状態から更に短縮した位置決め部材を示す側面図
【図５】降し用昇降停止位置に停止している昇降体を示す正面図
【図６】掬い用昇降停止位置に停止している昇降体を示す正面図
【図７】上昇中の昇降体を非常停止したときの容器の挙動を示す図
【図８】制御ブロック図
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明にかかる物品搬送設備の実施形態について、図面に基づいて説明する。
図１に示すように、物品搬送設備には、物品としての容器Ｗを収納する収納部１を複数備えた物品収納棚２と、容器Ｗを搬送するスタッカークレーン３と、物品収納棚２やスタッカークレーン３が設置される設置空間を覆う壁体Ｋと、壁体Ｋを貫通する状態で配設されて容器Ｗを載置搬送する入出庫コンベヤ４と、が備えられている。
【００１９】
物品収納棚２は、対向する状態で一対備えられている。一対の物品収納棚２の夫々には、収納部１が上下方向及び棚横幅方向に並ぶ状態で複数備えられている。そして、複数の収納部１の夫々には、収納した容器Ｗを載置支持する載置体５が備えられている。尚、一対の物品収納棚２の一方（図１において右側に位置する物品収納棚２）には、収納部１に収納されている容器Ｗに不活性気体としての窒素ガスを供給するための窒素ガス供給装置が備えられている。
【００２０】
入出庫コンベヤ４は、壁体Ｋの外側に位置する外部移載箇所４ａと壁体Ｋの内側に位置する内部移載箇所４ｂとの間で容器Ｗを載置搬送するように構成されている。高い位置に設置されている入出庫コンベヤ４の外部移載箇所４ａに対しては、天井搬送車Ｂが容器Ｗの載せ降しを行い、低い位置に設置されている入出庫コンベヤ４の外部移載箇所４ａに対しては、作業者が容器Ｗの載せ降しを行うようになっている。
【００２１】
物品搬送設備では、入出庫コンベヤ４の外部移載箇所４ａに容器Ｗが載せられると、当該容器Ｗは、入出庫コンベヤ４にて外部移載箇所４ａから内部移載箇所４ｂに載置搬送された後、スタッカークレーン３にて内部移載箇所４ｂから収納部１に搬送される。
また、物品搬送設備では、スタッカークレーン３にて容器Ｗが収納部１から入出庫コンベヤ４の内部移載箇所４ｂに搬送されると、当該容器Ｗは、入出庫コンベヤ４にて内部移載箇所４ｂから外部移載箇所４ａに載置搬送された後、天井搬送車Ｂ又は作業者にて外部移載箇所４ａから降ろされる。
このように、スタッカークレーン３は、内部移載箇所４ｂと収納部１との間で容器Ｗを搬送する。尚、内部移載箇所４ｂ及び収納部１が、移載対象箇所に相当し、スタッカークレーン３が、上下方向に並ぶ複数の移載対象箇所の間で物品を搬送する物品搬送装置に相当する。
【００２２】
図５及び図６に示すように、容器Ｗには、複数枚の半導体基板を収容する容器本体部６と、この容器本体部６より上方に位置して容器Ｗの上端部に備えられたフランジ部７と、容器本体部６の前面に形成された基板出し入れ用の基板出入口を閉じる着脱自在な蓋体（図示せず）と、が備えられている。ちなみに、スタッカークレーン３は、容器本体部６の底部を載置支持した状態で容器Ｗを搬送するように構成され、天井搬送車Ｂは、フランジ部７を吊り下げ支持した状態で容器Ｗを搬送するように構成されている。
尚、本実施形態では、半導体基板を収容するＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）を容器Ｗ（物品）としている。
【００２３】
図２、図５及び図６に示すように、容器本体部６の底面（容器Ｗの底面）には、上方に凹入する３つの底面凹部８が放射状に備えられている。この底面凹部８は、上方ほど細い先細り形状に形成されており、底面凹部８の内面が傾斜面に形成されている。
この底面凹部８は、内部移載箇所４ｂや収納部１の容器Ｗがスタッカークレーン３における移載装置１５の支持体１７にて掬われるときに、支持体１７に備えられている位置決め部材９が下方から係合するように備えられている。そして、移載装置１５の支持体１７にて掬われるときに、容器Ｗが支持体１７に対して水平方向にずれている場合は、支持体１７に備えられている位置決め部材９が底面凹部８の内面にて案内されることで、容器Ｗの支持体１７に対する水平方向での位置が適正な位置に修正されるようになっている。
尚、底面凹部８が、物品の下面において上方に凹入する形状に形成された凹入部に相当する。
【００２４】
図５及び図６に示すように、フランジ部７の上面（容器Ｗの上面）には、下方に凹入する上面凹部１０が形成されている。この上面凹部１０は、下方ほど細い先細り形状に形成されており、上面凹部１０の内面が傾斜面に形成されている。
この上面凹部１０は、外部移載箇所４ａに容器Ｗが載置されている状態で天井搬送車Ｂが支持機構ｂを下降移動させたときに、支持機構ｂに備えられている押圧部が係合するように構成されている。そして、図１に示すように、天井搬送車Ｂが支持機構ｂを下降移動させたときに、載置台１ａに載置支持されている容器Ｗに対して支持機構ｂが水平方向にずれている場合は、押圧部が上面凹部１０の内面にて案内されることで、支持機構ｂの容器Ｗに対する水平方向での位置が適正な位置に修正されるようになっている。
尚、フランジ部７の上面における上面凹部１０を除く部分は、平坦な面に形成されている。フランジ部７の上面における上面凹部１０を除く部分が、容器Ｗの天面に相当する。
【００２５】
図１に示すように、スタッカークレーン３は、一対の物品収納棚２の間に形成された走行経路を棚横幅方向に沿って走行する走行台車１２と、その走行台車１２に立設されたマスト１３に沿って昇降移動する昇降体１４と、昇降体１４に支持されて自己と収納部１や内部移載箇所４ｂとの間で容器Ｗを移載する移載装置１５と、を備えている。
そして、スタッカークレーン３は、走行用モータ１２ａ（図８参照）の駆動による走行台車１２の走行、昇降用モータ１４ａ（図８参照）の駆動による昇降体１４の昇降、及び、移載装置１５の作動により、内部移載箇所４ｂと収納部１との間で容器Ｗを搬送するように構成されている。
【００２６】
図５及び図６に示すように、移載装置１５は、容器Ｗを載置支持する支持体１７と、支持体１７を棚横幅方向に沿って移動操作するリンク機構１８と、リンク機構１８の基部が連結された回転台１９と、リンク機構１８を伸縮させて支持体１７を出退移動させる出退用モータ２０（図８参照）と、回転台１９を縦軸心周りに回転させる旋回用モータ２１（図８参照）と、が備えられている。
そして、出退用モータ２０の駆動によりリンク機構１８を伸縮させることで支持体１７が出退方向に沿って移動する。支持体１７は、このように出退方向に沿って移動することで、昇降体１４に向けて引退させた引退位置（図５及び図６において実線で示す位置）と収納部１に向けて突出させた突出位置（図５及び図６において仮想線で示す位置）とに出退移動する。尚、出退用モータ２０が、支持体１７を突出位置と引退位置とに出退移動させる出退用駆動装置に相当する。
また、旋回用モータ２１の駆動により回転台１９を回転させて支持体１７及びリンク機構１８を縦軸心周りに旋回させることで、移載装置１５の姿勢を一対の物品収納棚２のうちの一方に対向する姿勢と他方に対向する姿勢とに切り換えられる。そして、このように移載装置１５の姿勢を切り換えることで、支持体１７が突出する方向を、一対の物品収納棚２のうちの一方の物品収納棚２が存在する方向と他方の物品収納棚２が存在する方向とに切り換えられる。
【００２７】
次に、スタッカークレーン３の作動を制御する制御装置Ｈについて説明する。
複数の収納部１の夫々及び複数の内部移載箇所４ｂの夫々について、棚横幅方向での位置が定められた走行停止位置が予め設定されている。また、複数の収納部１の夫々及び複数の内部移載箇所４ｂの夫々について、上下方向での位置が定められた掬い用昇降停止位置（図６参照）と、その掬い用昇降停止位置よりも設定量高い降し用昇降停止位置（図５参照）とが予め設定されている。そして、これら走行停止位置の情報、掬い用昇降停止位置の情報及び降し用昇降停止位置の情報は、制御装置Ｈに記憶されている。
【００２８】
図６に示すように、掬い用停止位置の高さに昇降体１４が位置している状態では、支持体１７が載置体５より下方に位置しており、図５に示すように、降し用停止位置の高さに昇降体１４が位置している状態では、支持体１７が載置体５よりも上方に位置している。
【００２９】
制御装置Ｈは、収納部１や内部移載箇所４ｂを搬送元や搬送先として、上位の管理手段（図示せず）から搬送元から搬送先まで容器Ｗを搬送する搬送指令が指令されると物品搬送制御を実行する。この物品搬送制御では、掬い用移動処理、掬い用移載処理、降し用移動処理、降し用移載処理の順に実行される。
【００３０】
掬い用移動制御では、搬送元に対応する走行停止位置に走行台車１２を走行させるべく走行用モータ１２ａの作動を制御し、搬送元に対応する掬い用昇降停止位置に昇降体１４を昇降移動させるべく昇降用モータ１４ａの作動を制御する。また、移載装置１５の姿勢が搬送元に対向する姿勢ではない場合は、掬い用移動制御において、回転台１９を１８０°回転させるべく旋回用モータ２１の作動を制御する。
掬い用移載処理では、支持体１７を突出位置に突出（図６に仮想線で示す状態）させた後、搬送元に対応する降し用昇降停止位置まで昇降体１４を上昇移動（図５に仮想線で示す状態）させ、その後、支持体１７を引退位置に引退（図５に実線で示す状態）させるべく、昇降用モータ１４ａ及び出退用モータ２０の作動を制御する。
これら掬い用移動制御と掬い用移載制御とを実行することで、搬送元に位置していた容器Ｗが支持体１７上に移載される。
【００３１】
図５に示すように、降し用移動制御では、搬送先に対応する走行停止位置に走行台車１２を走行させるべく走行用モータ１２ａの作動を制御し、搬送先に対応する降し用昇降停止位置に昇降体１４を昇降移動させるべく昇降用モータ１４ａの作動を制御する。また、移載装置１５の姿勢が搬送先に対向する姿勢でない場合は、降し用移動制御において、回転台１９を１８０°回転させるべく旋回用モータ２１の作動を制御する。
降し用移載制御では、支持体１７を突出位置に突出（図５に仮想線で示す状態）させた後、搬送先に対応する掬い用昇降停止位置まで昇降体１４を下降移動（図６に仮想線で示す状態）させ、その後、支持体１７を引退位置に引退（図６に実線で示す状態）させるべく、昇降用モータ１４ａ及び出退用モータ２０の作動を制御する。
これら降し用移動制御と降し用移載制御とを実行することで、移載装置１５の支持体１７上に位置していた容器Ｗが搬送先に移載される。
【００３２】
壁体Ｋには、スタッカークレーン３が走行する走行経路に作業者が外部から進入するための開閉扉（図示せず）と、その開閉扉の開閉状態を検出する開閉センサＳが備えられている。
制御装置Ｈは、物品搬送制御の実行中に開閉センサＳにて開閉扉の開き状態が検出された場合は、その開閉センサＳの検出情報に基づいて、物品搬送制御を中断してスタッカークレーン３を非常停止させる非常停止制御を実行するように構成されている。
そして、このようにスタッカークレーン３が非常停止したとき、特に、掬い用移動制御や降し移動制御の実行中において昇降台が昇降移動しているときにスタッカークレーン３が非常停止したときに、容器Ｗが移載装置１５から転落することを防止するためや容器Ｗに加わる衝撃を緩和するために、図３及び図４に示すように、スタッカークレーン３の移載装置１５における容器Ｗを載置支持する位置決め部材９が上下方向に弾性変形自在に構成され、また、図５〜図７に示すように、位置決め部材９に載置支持されている容器Ｗの上方に位置するように緩衝体２９が備えられている。
次に、これら位置決め部材９や緩衝体２９について説明する。
【００３３】
移載装置１５の支持体１７は、上下方向に弾性変形自在な位置決め部材９を備えて、当該位置決め部材９にて容器Ｗを載置支持するように構成されている。
説明を加えると、図２に示すように、支持体１７は、リンク機構１８の先端部に連結されて出退用モータ２０にて出退方向に沿って出退移動される基部部材２４と、基部部材２４から上方に突出する状態で基部部材２４に支持されている支持部材としての位置決め部材９と、を備えている。位置決め部材９は、容器Ｗの底面凹部８に対応して支持体１７の３か所に備えられている。
【００３４】
図３及び図４に示すように、位置決め部材９は、容器Ｗの底面凹部８に下方から係合する係合部２５と、係合部２５と基部部材２４との間に上下方向に伸縮自在な状態で介在する弾性部２６と、位置決め部材９と基部部材２４との間に上下方向に伸縮自在な状態で介在する緩衝部２７と、を備えている。
係合部２５は、基部部材２４の貫通孔２４ａに挿通される挿通部２５ａと、基部部材２４の上面より上方に位置して貫通孔２４ａより大径の係合支持部２５ｂと、基部部材２４の下面より下方に位置して貫通孔２４ａより大径の係止部２５ｃと、を備えている。
【００３５】
そして、弾性部２６は、基部部材２４の上面と係合支持部２５ｂの下面との間に上下方向に圧縮された状態で備えられており、係合部２５を上方に向けて付勢する状態で備えられている。この弾性部２６は、上下方向に積み重ねられた複数枚の皿バネにて構成されている。
また、緩衝部２７は、付勢力により弾性部２６が基部部材２４に対して上昇移動したときの衝撃を緩和するように、基部部材２４の下面と係止部２５ｃの上面との間に備えられている。この緩衝部２７は、リング形状の弾性部材（例えばウレタンゴム）にて構成されている。
【００３６】
図５〜図７に示すように、緩衝体２９は、昇降体１４に立設された枠体３０に支持されており、位置決め部材９に載置支持されている容器Ｗに対して上方に設定距離Ｌ１だけ離間する状態で昇降体１４に備えられている。このように備えられている緩衝体２９は、昇降体１４と一体的に移動するように昇降体１４に備えられている。
緩衝体２９は、薄板状に形成れており水平方向に沿う姿勢で備えられている。緩衝体２９の下面は平坦面に形成されており、容器Ｗの天面に沿う形状に形成されている。この緩衝体２９は、比較的比重の小さい多孔質状の弾性部材（例えばシリコンスポンジ）にて構成されている。
【００３７】
設定距離Ｌ１（図７（ａ）参照）は、位置決め部材９が容器Ｗを載置支持している状態において底面凹部８に係合している位置決め部材９のうち底面凹部８に挿入される部分の上下方向の長さである挿入長さＬ２（図３参照）より短い長さに設定されている。尚、設定距離Ｌ１は、容器Ｗが最も重くなる条件で定められており、ＦＯＵＰの場合は半導体基板を満載した状態で定められている。
そして、位置決め部材９が容器Ｗを載置支持している状態において容器Ｗと緩衝体２９とは設定距離Ｌ１だけ離れているため、移載装置１５が支持体１７を引退位置や突出位置に出退移動させるときに、その支持体１７に載置支持されている容器Ｗが緩衝体２９に接触しないようになっている。
【００３８】
このように、容器Ｗを載置支持する位置決め部材９を上下方向に弾性変形自在に構成し、この位置決め部材９に載置支持されている容器Ｗの上方に位置するように緩衝体２９を備えている。そのため、例えば、昇降体１４が上昇移動している途中に非常停止した場合では、次のような挙動となる。
まず、掬い用移動制御や降し用移動制御により、通常の加減速度及び通常の昇降速度で昇降台が上昇移動している場合では、図７（ａ）に示すように３つの位置決め部材９に載置支持されており、容器Ｗと緩衝体２９との間には少なくとも設定距離Ｌ１の空間が確保されている。このとき、図３に示すように、３つの位置決め部材９は、最も伸長した状態から少し短縮した状態となっている。
そして、非常停止制御が実行されて、通常の減速度以上の減速度で減速された場合、図７（ｂ）に示すように、慣性により容器Ｗは支持部材から浮き上がる場合があるが、その浮き上がった容器Ｗは緩衝体２９にて受け止められるため、容器Ｗを受け止める衝撃を抑えながら容器Ｗの位置決め部材９からの転落が防止される。このとき、３つの位置決め部材９が容器Ｗの底面凹部８に挿入された状態に維持されているが、これらの位置決め部材９は最も伸長した状態となっている。
その後、図７（ｃ）に示すように、容器Ｗは落下するが、その落下する容器Ｗは、位置決め部材９にて受け止められるため、容器Ｗが位置決め部材９にて受け止められる衝撃を抑えることができる。
このようにスタッカークレーン３が非常停止したときの容器Ｗの落下や容器Ｗに加わる衝撃を抑えることができる。
【００３９】
尚、容器Ｗが位置決め部材９から浮き上がるとは、容器Ｗが位置決め部材９にて載置支持されている状態における位置決め部材９の下端から容器Ｗの下端までの上下方向の距離に比べて、この位置決め部材９の下端から容器Ｗの下端までの上下方向の距離が長くなることを意味している。そのため、容器Ｗが位置決め部材９から浮き上がるに伴って位置決め部材９が上方に伸長することで、容器Ｗが位置決め部材９から浮き上がっている状態でも位置決め部材９における係合部２５の上端部が容器Ｗの底面凹部８に接触している場合がある。
【００４１】
〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、位置決め部材９の復元力を、位置決め部材９にて容器Ｗを載置支持したときに位置決め部材９が最も伸長した状態と最も短縮した状態との中間の状態となる力に設定したが、位置決め部材９の復元力を、位置決め部材９にて容器Ｗを載置支持したときに、位置決め部材９が最も伸長した状態となる又は最も短縮した状態となる力に設定してもよい。
【００４２】
（２）上記実施形態では、緩衝体２９の形状を、容器Ｗの天面に沿う形状に形成したが、緩衝体２９の形状を、上面凹部１０に嵌合する部分を備えて容器Ｗのフランジ部７の上面に沿う形状に形成する、又は、緩衝体２９の形状を、容器Ｗの容器本体部６の上面に沿う形状に形成する等、物品における天面以外の上面に沿う形状に形成してもよい。
【００４３】
（３）上記実施形態では、弾性部２６を、複数枚の皿バネにて構成したが、弾性部２６を、コイルスプリングやシリコンスポンジ等の他の弾性部材にて構成してもよい。
また、緩衝体２９を、シリコンスポンジにて構成したが、緩衝体２９を、ゴムシートやコイルスプリング等の他の弾性部材にて構成してもよい。
また、上記実施形態では、位置決め部材９に、基部部材２４と係合部２５と弾性部２６とを備えて位置決め部材９を上下方向に伸縮自在に構成したが、位置決め部材９の全体をゴム等の弾性部材にて構成して位置決め部材９を上下方向に伸縮自在に構成してもよい。
【符号の説明】
【００４５】
１    収納部（移載対象箇所）
３    スタッカークレーン（物品搬送装置）
４ｂ  内部載置箇所（移載対象箇所）
８    底面凹部（凹入部）
９    位置決め部材（支持部材）
１４    昇降体
１５    移載装置
１７    支持体
２０    出退用モータ（出退用駆動装置）
２４    基部部材
２５    係合部
２６    弾性部
２９    緩衝体
Ｌ１  設定距離
Ｌ２  挿入長さ
Ｗ    容器（物品）
【図１】
0006435795.tif 000002
【図２】
0006435795.tif 000003
【図３】
0006435795.tif 000004
【図４】
0006435795.tif 000005
【図５】
0006435795.tif 000006
【図６】
0006435795.tif 000007
【図７】
0006435795.tif 000008
【図８】
0006435795.tif 000009