(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
棒状の磁心と前記磁心に巻回されたコイルとを有し、前記磁心の端部を測定対象物に接近させた際の前記コイルを貫く磁束の変化に基づき膜厚を測定する膜厚計のプローブが固定されるスライド部材と、前記プローブが固定された前記スライド部材を、前記磁心の軸方向にスライドさせるように支持するガイド部材と、を含み、前記ガイド部材は、前記磁心の測定対象物に接近させる側に、前記磁心の軸に対して垂直な平坦面を有する、膜厚計の測定治具とともに用いられ、
前記ガイド部材が嵌め合わされて収容される収容部、及び前記ガイド部材が前記収容部に嵌め合わされた状態において前記平坦面の側に前記プローブの先端を通過させる開口面を有する基体と、
前記開口面の一方の側に前記基体から延出して設けられる、第１接触面を有する第１接触部材と、
前記開口面の前記第１接触部材が延出する側に対向する他方の側に前記基体から延出して設けられる、第２接触面を有する第２接触部材と、
を備え、
前記第１接触部材は、前記第１接触面が、稜線を介して連続する複数の外表面を有する測定対象物の前記外表面の一つである第１外表面に面接触するように設けられ、
前記開口面は、前記収容部に嵌め合わされた前記ガイド部材の前記平坦面が前記第１外表面に稜線を介して連続する第２外表面と対向するように設けられ、
前記第２接触部材は、前記第２接触面が、前記第２外表面に稜線を介して連続する第３外表面に面接触するように、夫々設けられ、
前記第１接触面の前記基体に対する位置及び前記第２接触面の前記基体に対する位置を調節する位置決め機構を備え、
前記第１接触部材及び前記第２接触部材は、前記第１接触面及び前記第２接触面が前記基体から延出する長さを調節する機構を備える、
膜厚計の位置合わせ治具。
【請求項２】
請求項１に記載の膜厚計の位置合わせ治具であって、
前記開口面を通過する前記プローブの先端の位置を中心として前記第１接触面と前記第２接触面とが対称な関係になるように、前記位置決め機構の作動を制御する作動制御機構を備える、
膜厚計の位置合わせ治具。
【請求項３】
請求項１に記載の膜厚計の位置合わせ治具であって、
前記第１接触部材は前記測定対象物の外表面の形状に沿って延出する第１屈曲部を有し、
前記第２接触部材は前記測定対象物の外表面の形状に沿って延出する第２屈曲部を有する、
膜厚計の位置合わせ治具。
【請求項４】
請求項２に記載の膜厚計の位置合わせ治具であって、
前記作動制御機構は、
前記第１接触部材に連続して設けられる第１ラックと、
前記第２接触部材に連続して前記第１ラックと平行に設けられる第２ラックと、
前記第１ラック及び前記第２ラックが夫々対向するように歯合されるピニオンと、
を有する、
膜厚計の位置合わせ治具。
【請求項５】
棒状の磁心と前記磁心に巻回されたコイルとを有し、前記磁心の端部を測定対象物に接近させた際の前記コイルを貫く磁束の変化に基づき膜厚を測定する膜厚計のプローブが固定されるスライド部材と、前記プローブが固定された前記スライド部材を、前記磁心の軸方向にスライドさせるように支持するガイド部材と、を含み、前記ガイド部材は、前記磁心の測定対象物に接近させる側に、前記磁心の軸に対して垂直な平坦面を有する、膜厚計の測定治具とともに用いられ、
前記ガイド部材が嵌め合わされて収容される収容部、及び前記ガイド部材が前記収容部に嵌め合わされた状態において前記平坦面の側に前記プローブの先端を通過させる開口面を有する基体と、
前記開口面の一方の側に前記基体から延出して設けられる、第１接触面を有する第１接触部材と、
前記開口面の前記第１接触部材が延出する側に対向する他方の側に前記基体から延出して設けられる、第２接触面を有する第２接触部材と、
を備え、
前記第１接触部材は、前記第１接触面が、稜線を介して連続する複数の外表面を有する測定対象物の前記外表面の一つである第１外表面に面接触するように設けられ、
前記開口面は、前記収容部に嵌め合わされた前記ガイド部材の前記平坦面が前記第１外表面に稜線を介して連続する第２外表面と対向するように設けられ、
前記第２接触部材は、前記第２接触面が、前記第２外表面に稜線を介して連続する第３外表面に面接触するように、夫々設けられ、
前記第１接触面の前記基体に対する位置及び前記第２接触面の前記基体に対する位置を調節する位置決め機構を備え、
前記開口面を通過する前記プローブの先端の位置を中心として前記第１接触面と前記第２接触面とが対称な関係になるように、前記位置決め機構の作動を制御する作動制御機構を備え、
前記作動制御機構は、
前記第１接触部材に連続して設けられる第１ラックと、
前記第２接触部材に連続して前記第１ラックと平行に設けられる第２ラックと、
前記第１ラック及び前記第２ラックが夫々対向するように歯合されるピニオンと、
を有する、
膜厚計の位置合わせ治具。
【請求項６】
請求項１に記載の膜厚計の位置合わせ治具であって、
前記ガイド部材は筒状体であり、
前記平坦面は前記ガイド部材の前記筒状体の端面を構成し、
前記スライド部材は、前記ガイド部材の前記筒状体の内部空間に密着してスライド可能な外形を有する、
膜厚計の位置合わせ治具。
【請求項７】
請求項１に記載の膜厚計の位置合わせ治具であって、
前記スライド部材は、前記スライド部材を測定対象物の方向にスライドさせた際、前記プローブの外周に突出している凸部に当接して前記プローブを前記測定対象物の方向に移動させるように作用する構造を有する、
膜厚計の位置合わせ治具。
【請求項８】
請求項１に記載の膜厚計の位置合わせ治具であって、
前記平坦面は、前記磁心の軸方向に沿って前記スライド部材を前記測定対象物の方向にスライドさせた際、前記プローブの先端を貫通させる貫通孔を有する、
膜厚計の位置合わせ治具。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか一項に記載の膜厚計の位置合わせ治具であって、
前記膜厚計は、電磁誘導式膜厚計又は渦電流式膜厚計である、
膜厚計の位置合わせ治具。
【請求項１０】
請求項１乃至８のいずれか一項に記載の膜厚計の位置合わせ治具であって、
前記測定対象物は六角ボルトの頭部又は六角ナットである、
膜厚計の位置合わせ治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、膜厚計の位置合わせ治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、検査対象物の角部の塗装膜厚を計測する塗装膜厚計測治具について記載されている。塗装膜厚計測治具は、検査対象物の検査対象部位である角部を挟む二面とそれぞれ当接する二つの当接部を有する第１の部材と、検査対象物の検査対象部位である角部の中心を軸として回動可能であり、電磁膜厚計のプローブが挿嵌される二つの当接部の交差部に連通する孔を有する第２の部材と、を備える。【０００３】
特許文献２には、膜厚計測装置により、撚り線を構成している強磁性体からなる複数の素線のそれぞれを被覆している非磁性膜の厚さを電磁膜厚計を利用して計測する際に用いられる治具について記載されている。上記治具は、撚り線を挟持する挟持部と、電磁膜厚計のプローブが挿入される挿入口を有し、この挿入口から挿入されたプローブの検出部を素線の表面に正対させた状態を保持したまま表面に向けて案内し、検出部を表面あるいは非磁性膜に垂直に当接させる案内部とを備える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−１９７６０号公報
【特許文献２】特開２００８−５１７３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
膜厚計（電磁式（電磁誘導式）膜厚計、渦電流式膜厚計）による膜厚の測定に際しては、十分な測定精度を得るため、図２９に示すように、測定時にプローブ５２を測定対象物２の表面に垂直に（プローブ５２の中心軸が測定対象物２の表面に対して垂直になるように）押し当てる必要があるとともに、プローブ５２の先端を測定対象物２の測定対象部位に正確に当てる必要がある。【０００６】
ここで例えば電力会社においては、電力設備の点検に際し、膜厚計を用いて電力設備の表面に施されているめっき膜厚の測定を行っているが、鉄塔の塔上や狭隘な場所等においてはプローブを測定対象物の表面に垂直に押し当てることが必ずしも容易ではない。また現場には様々な形態の測定対象物が存在するが、測定対象物の形態によってはプローブの先端を測定対象部位に正確に当てることが難しいことがある。【０００７】
本発明はこうした課題を解決すべくなされたものであり、膜厚計を用いた膜厚の測定における作業効率を向上するとともに測定精度を確保することが可能な、膜厚計の位置合わせ治具を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するための本発明のうちの一つは、膜厚計の位置合わせ治具であって、棒状の磁心と前記磁心に巻回されたコイルとを有し、前記磁心の端部を測定対象物に接近させた際の前記コイルを貫く磁束の変化に基づき膜厚を測定する膜厚計のプローブが固定されるスライド部材と、前記プローブが固定された前記スライド部材を、前記磁心の軸方向にスライドさせるように支持するガイド部材と、を含み、前記ガイド部材は、前記磁心の測定対象物に接近させる側に、前記磁心の軸に対して垂直な平坦面を有する、膜厚計の測定治具とともに用いられ、前記ガイド部材が嵌め合わされて収容される収容部、及び前記ガイド部材が前記収容部に嵌め合わされた状態において前記平坦面の側に前記プローブの先端を通過させる開口面を有する基体と、前記開口面の一方の側に前記基体から延出して設けられる、第１接触面を有する第１接触部材と、前記開口面の前記第１接触部材が延出する側に対向する他方の側に前記基体から延出して設けられる、第２接触面を有する第２接触部材と、を備え、前記第１接触部材は、前記第１接触面が、稜線を介して連続する複数の外表面を有する測定対象物の前記外表面の一つである第１外表面に面接触するように設けられ、前記開口面は、前記収容部に嵌め合わされた前記ガイド部材の前記平坦面が前記第１外表面に稜線を介して連続する第２外表面と対向するように設けられ、前記第２接触部材は、前記第２接触面が、前記第２外表面に稜線を介して連続する第３外表面に面接触するように、夫々設けられ、前記第１接触面の前記基体に対する位置及び前記第２接触面の前記基体に対する位置を調節する位置決め機構を備える。【０００９】
本発明によれば、測定治具を用いた膜厚の測定に際し、簡単な操作でプローブの先端を測定対象物（ボルトの頭部やナット等）の測定ポイントに正確に当てることができる。また本発明の位置合わせ治具は、位置決め機構により様々な形態の測定対象物に対応することができる。【００１０】
本発明の他の一つは、上記位置合わせ治具であって、前記開口面を通過する前記プローブの先端の位置を中心として前記第１接触面と前記第２接触面とが対称な関係になるように、前記位置決め機構の作動を制御する作動制御機構を備える。【００１１】
本発明によれば、開口面を通過するプローブの先端の位置を中心として第１接触面と第２接触面とが対称な関係になるように位置決め機構の作動を制御することができ、簡単な操作でプローブの先端を測定ポイントに正確に当てることができる。【００１２】
本発明の他の一つは、上記位置合わせ治具であって、前記第１接触部材は前記測定対象物の外表面の形状に沿って延出する第１屈曲部を有し、前記第２接触部材は前記測定対象物の外表面の形状に沿って延出する第２屈曲部を有する。【００１３】
このように第１接触部材は測定対象物の外表面の形状に沿って延出する第１屈曲部を、第２接触部材は測定対象物の外表面の形状に沿って延出する第２屈曲部を夫々有するので、膜厚の測定に際して位置合わせ治具によって測定対象物が確実にホールドされ、位置合わせ治具と測定対象物のずれを防いでプローブの先端を測定ポイントに正確に当てることができる。【００１４】
本発明の他の一つは、上記位置合わせ治具であって、前記作動制御機構は、前記第１接触部材に連続して設けられる第１ラックと、前記第２接触部材に連続して前記第１ラックと平行に設けられる第２ラックと、前記第１ラック及び前記第２ラックが夫々対向するように歯合されるピニオンと、を有する。【００１５】
本発明の他の一つは、上記位置合わせ治具であって、前記ガイド部材は筒状体であり、前記平坦面は前記ガイド部材の前記筒状体の端面を構成し、前記スライド部材は、前記ガイド部材の前記筒状体の内部空間に密着してスライド可能な外形を有する。【００１６】
本発明の他の一つは、上記位置合わせ治具であって、前記スライド部材は、前記スライド部材を測定対象物の方向にスライドさせた際、前記プローブの外周に突出している凸部に当接して前記プローブを前記測定対象物の方向に移動させるように作用する構造を有する。【００１７】
本発明の他の一つは、上記位置合わせ治具であって、前記第１平坦面は、前記磁心の軸方向に沿って前記スライド部材を前記測定対象物の方向にスライドさせた際、前記プローブの先端を貫通させる貫通孔を有する。【００１８】
本発明の他の一つは、上記測定治具であって、前記膜厚計は、電磁誘導式膜厚計又は渦電流式膜厚計である。【００１９】
本発明の他の一つは、上記位置合わせ治具であって、前記測定対象物は六角ボルトの頭部又は六角ナットである。【００２０】
その他、本願が開示する課題、及びその解決方法は、発明を実施するための形態の欄、及び図面により明らかにされる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、膜厚計を用いた膜厚の測定における作業効率を向上するとともに測定精度を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】膜厚計の測定原理を説明する図である。
【図２】膜厚計の外観を示す図である。
【図３】膜厚計の本体装置の構成を示す図（ブロック図）である。
【図４】本体装置が備える機能及び本体装置が記憶するデータを示す図である。
【図５】校正データ（本例では校正曲線）の一例である。
【図６Ａ】プローブの側面図である。
【図６Ｂ】プローブの断面図である。
【図７】プローブの先端を測定対象物に押し当てている様子を示す図である。
【図８】スライド部材の構成を示す斜視図である。
【図９】ガイド部材の構成を示す斜視図である。
【図１０】スライド部材にプローブを取り付けた状態を示す斜視図である。
【図１１】プローブを取り付けたスライド部材をガイド部材に挿入している様子を示す図である。
【図１２】スライド部材にガイド部材を取り付けた状態を示す図である。
【図１３Ａ】測定対象物の表面とガイド部材の端面の外表面を面的に接触させる様子を示す図である。
【図１３Ｂ】測定対象物の表面とガイド部材の端面の外表面を面的に接触させる様子を示す図である。
【図１４】プローブの他の構成を示す図（側面図）である。
【図１５】図１４に示したプローブの先端を測定対象物の表面に押し当てている様子を示す図である。
【図１６】図１４に示したプローブを図８に示したスライド部材に取り付けた状態を示す斜視図である。
【図１７】図１６に示したスライド部材を−ｙ方向から眺めた図である。
【図１８】位置合わせ治具の斜視図である。
【図１９】位置合わせ治具の分解斜視図である。
【図２０】幅調整ノブを最小幅の位置に設定した状態の位置合わせ治具を上方（＋ｚ方向）から眺めた図である。
【図２１】（ａ）、（ｂ）は、位置合わせ治具を正面方向（＋ｘ方向）から眺めた図であり、（ａ）は幅調整ノブを最小幅の位置に設定した状態、（ｂ）は幅調整ノブを最大幅の位置に設定した状態である。
【図２２】位置合わせ治具を側面方向（＋ｙ方向）から眺めた図である。
【図２３】幅調整ノブを最大幅の位置に設定した状態の位置合わせ治具を上方（＋ｚ方向）から眺めた図である。
【図２４】測定治具を位置合わせ治具に装着する際の様子を示す図である。
【図２５】測定治具を位置合わせ治具に装着した状態を示す斜視図である。
【図２６】測定治具を装着した状態の位置合わせ治具を上方（＋ｚ方向）から眺めた図である。
【図２７】ガイド部材の他の構成を示す斜視図である。
【図２８】他の構成の測定治具を他の構成の位置合わせ治具に装着した様子を示す図である。
【図２９】測定対象物の表面に対してプローブの先端が垂直になるように（プローブの中心軸が測定対象物の表面に対して垂直になるように）押し当てている様子を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、発明を実施するための形態について詳細に説明する。尚、以下の説明において、同一の又は類似する構成について同一の符号を付して重複した説明を省略することがある。
【００２４】
まず本発明の測定治具が適用される膜厚計の原理並びに構成について説明する。以下では電磁誘導式の膜厚計を例として説明するが、本発明の測定治具は、測定対象物（素地、被膜）との間の電磁的な相互作用を利用して膜厚を測定するタイプの膜厚計、例えば、渦電流式膜厚計（渦電流振幅感応式膜厚計）、渦電流位相式膜厚計（渦電流位相変位感応式膜厚計）等に広く適用することができる。
【００２５】
＜測定原理＞
まず図１とともに電磁誘導式膜厚計の測定原理について説明する。膜厚計は、例えば、素地２１の表面に被膜２２が施された測定対象物２の膜厚の測定に用いられる。ここで素地２１は、例えば、鉄、鋼、フェライト系ステンレス等の磁性体であり、被膜２２は、例えば、メッキ（亜鉛メッキ等）、ペイント、樹脂膜等の非磁性被膜である。
【００２６】
同図に示すように、膜厚計のプローブ５２は、鉄等の強磁性体からなる棒状の磁心５２０に一次コイル３１及び二次コイル３２を同軸に巻回した構造を呈する。一次コイル３１に交流電流を流しつつプローブ５２（磁心５２０）の端部（磁心５２０の二次コイル３２側の端部）を測定対象物２の表面に接近させると、プローブ５２（磁心５２０）の端部と測定対象物２との間の距離に応じて二次コイル３２を貫く磁束４の数が変化し、二次コイル３２に誘起される電圧Ｖが変化する。この電圧変化ΔＶを、例えば、電流変化ΔＩとして取得し、取得した電流変化ΔＩを予め作成しておいた校正データ（測定値と膜厚値との換算データ）と対照することで、被膜２２の厚さ、即ち膜厚を求めることができる。
【００２７】
＜膜厚計＞
図２に電磁誘導式膜厚計（以下、膜厚計５と称する。）の外観を示している。膜厚計５は携帯型であり、ユーザが現場に持ち込んで使用することができる。同図に示すように、膜厚計５は、本体装置５１、プローブ５２、及びケーブル５３（コード）を備える。プローブ５２は、ケーブル５３（コード）を介して本体装置５１と電気的に接続される。
【００２８】
本体装置５１は、膜厚の測定に際してユーザが操作入力や測定結果の確認等を行うためのユーザインタフェースを備える。ケーブル５３は、例えば、本体装置５１からプローブ５２の一次コイル３１に交流電流を供給するための配線、二次コイル３２を流れる電流（又は二次コイル３２に誘起される電圧）の計測値を含んだ信号（以下、計測信号と称する。）を本体装置５１に伝えるための配線、上記計測値を取得するタイミングを示す信号（以下、トリガ信号と称する。）を伝えるための配線等を含む。
【００２９】
図３に本体装置５１の構成を示している。同図に示すように、本体装置５１は、プロセッサ５１１、記憶装置５１２、電源回路５１３、入力装置５１４、出力装置５１５、及びＡ／Ｄコンバータ５１６を備える。
【００３０】
プロセッサ５１１は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）やＭＰＵ（Micro Processing Unit）を用いて構成されている。記憶装置５１２は、ＲＡＭ(Random Access Memory)、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＮＶＲＡＭ（Non-Volatile RAM）等を用いて構成されている。
【００３１】
電源回路５１３は、バッテリ（一次電池、二次電池）、ＤＣ／ＤＣコンバータ、ＤＣ／ＡＣインバータ等を含み、本体装置５１やプローブ５２を動作させるのに必要な電力（一次コイル３１に供給する交流電力を含む。）を生成する。
【００３２】
入力装置５１４は、ユーザから情報の入力を受け付けるユーザインタフェースであり、キーパッド、タッチパネル等である。出力装置５１５は、ユーザに情報を提供するユーザインタフェースであり、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）、印字装置、音声出力装置等である。
【００３３】
Ａ／Ｄコンバータ５１６は、プローブ５２からアナログ値として入力される信号をデジタル値に変換する。
【００３４】
図４に本体装置５１が備える機能及び本体装置５１が記憶するデータを示している。同図に示すように、本体装置５１は、校正処理部５２１、測定処理部５２２、膜厚算出部５２３、及び結果出力部５２４の各機能を備える。これらの機能は、本体装置５１のプロセッサ５１１が、記憶装置５１２に格納されているプログラムを読み出して実行することにより、もしくは、本体装置５１が備えるハードウェアにより実現される。同図に示すように、本体装置５１は、校正データ５３１や測定値５３２を記憶する。
【００３５】
上記機能のうち、校正処理部５２１は、例えば、同質の素地２１に異なる厚さ（≧０）で被膜２２を施したいくつかの標準板について膜厚を測定することにより得られる、二次コイル３２の電流変化ΔＩ（又は電圧変化ΔＶ）と膜厚との関係に基づき、校正データ５３１（校正曲線）を生成する。
【００３６】
測定処理部５２２は、プローブ５２から入力される計測信号に基づき二次コイル３２の電流変化ΔＩ（又は電圧変化ΔＶ）を求め、求めた値を測定値５３２として記憶する。
【００３７】
図５に校正データ５３１（校正曲線）の一例を示す。同図において、縦軸は測定値５３２（電流変化ΔＩ）であり、横軸は膜厚である。尚、校正データ５３１は、測定対象物２の材質（素地２１や被膜２２の材質）に応じて異なるので、校正データ５３１は測定対象物２の異なる材質ごとに用意される。
【００３８】
図４に戻り、膜厚算出部５２３は、測定値５３２を校正データ５３１と対照することにより測定対象物２の膜厚を求める。尚、膜厚算出部５２３は、例えば、複数回の測定を実施することにより取得される複数の測定値５３２の平均値を求め、求めた平均値に対応する膜厚を校正データ５３１から取得する。結果出力部５２４は、膜厚算出部５２３によって求められた膜厚を出力装置５１５に出力する。
【００３９】
校正処理部５２１、測定処理部５２２、膜厚算出部５２３、及び結果出力部５２４は、以上の機能に加えて、入力装置５１４を介して本体装置５１に対する設定や指示をユーザから随時受け付ける機能、出力装置５１５を介してユーザに情報を随時提供する機能を有する。
【００４０】
図６Ａはプローブ５２の側面図であり、図６Ｂはプローブ５２の断面図（図６ＡのＸ−Ｘ’線における断面図）である。これらの図に示すように、プローブ５２の外観は略円筒状である。プローブ５２は、その表面の少なくとも一部にローレット加工が施されており、プローブ５２の先端から長手方向に沿って所定長さの部分を構成するプローブ本体６１と、プローブ本体６１のケーブル５３側に設けられるキャップ６２（図６Ｂを参照）及びキャップ６２及びケーブル５３の端部を保護する、樹脂等の素材からなるキャップカバー６３と、を有する。プローブ本体６１の外周には、プローブ本体６１と同心円環状（フランジ状）の凸部６１７が形成されている。
【００４１】
図６Ｂに示すように、プローブ本体６１は、略円筒状の外筒体６１１と、外筒体６１１の内部に外筒体６１１と同軸（プローブ５２の中心軸Ｃと同軸）に収容される略円筒状の内筒体６１２とを有する。プローブ本体６１（内筒体６１２）の先端付近には、内筒体６１２と同軸に配置された筒状のコイルボビン６１３が収容されている。コイルボビン６１３の、プローブ本体６１の先端寄りの位置には、二次コイル３２が巻回される第２ボビン６１３２が設けられている。またコイルボビン６１３の、第２ボビン６１３２よりもケーブル５３寄りの位置には、一次コイル３１が巻回される第１ボビン６１３１が設けられている。同図では一次コイル３１及び二次コイル３２は省略してある。
【００４２】
コイルボビン６１３の中心部分には、コイルボビン６１３の中心軸（プローブ５２の中心軸Ｃと同軸）に沿って、所定径を有する通し孔６１３５が形成されている。この通し孔６１３５には、鉄等の強磁性体からなる棒状（円柱状等）の磁心５２０が、その中心軸がプローブ５２の中心軸Ｃと同軸に挿入されている。
【００４３】
内筒体６１２のコイルボビン６１３よりもケーブル５３寄りの位置には、ケーブル５３の配線６３１の端部が接続されるコネクタ６１５が設けられている。一次コイル３１及び二次コイル３２とケーブル５３の配線６３１とは、コネクタ６１５を介して電気的に接続されている。
【００４４】
内筒体６１２と外筒体６１１との間にはスプリング機構６４が設けられている。内筒体６１２は、このスプリング機構６４によってプローブ５２の先端方向に付勢されている。これにより、内筒体６１２の端面及び磁心５２０の先端は、外筒体６１１の端面６１１１から中心軸Ｃに沿って若干（例えば数ｍｍ程度）突出した状態に保持される。
【００４５】
内筒体６１２のキャップ６２側には、スイッチ６５（電気接点）が設けられている。スイッチ６５は、スプリング機構６４の付勢力に逆らって内筒体６１２が外筒体６１１に押し込まれることによりその接点状態（オン又はオフ）が反転するように構成されている。スイッチ６５は前述したトリガ信号を生成する。スイッチ６５は、ケーブル５３の配線６３１を介して本体装置５１と電気的に接続されている。尚、スイッチ６５と同等の機能を、例えば、圧電素子等の他の種類の素子を用いて実現することもできる。
【００４６】
図７にプローブ５２の先端（プローブ５２から突出する磁心５２０の先端）を測定対象物２の表面に押し当てている様子を示す。同図に示す如く、プローブ５２の先端（内筒体６１２の端面）をスプリング機構６４の付勢力に抗して測定対象物２の表面に押し当てるとスイッチ６５の接点状態が反転し、トリガ信号が生成されて本体装置５１に入力される。本体装置５１はトリガ信号が入力されたタイミングでプローブ５２から二次コイル３２の電流値を取り込む。
【００４７】
＜測定治具の構成＞
続いて、膜厚計５のプローブ５２に装着して用いる測定治具１について説明する。測定治具１は、スライド部材１１とガイド部材１２とを含む。スライド部材１１にはプローブ５２が固定される。ガイド部材１２は、プローブ５２が固定されたスライド部材１１が、プローブ５２の中心軸Ｃ（磁心５２０の中心軸）の方向にスライド（摺動）可能に支持する。スライド部材１１及びガイド部材１２は、例えば、硬質の樹脂や金属等を素材として構成される。尚、外部から内部の様子を視認し易くするため、スライド部材１１やガイド部材１２を例えば透明の素材で構成してもよい。
【００４８】
図８にスライド部材１１の構成（斜視図）を示している。スライド部材１１の全体は略直方体状を呈する。同図に示すように、上記直方体の４つの側面１１１ａ〜１１１ｄのうちの一つ（側面１１１ａ）は開口面になっている。また上記直方体の２つの端面１１２ａ，１１２ｂの夫々には、上記開口面１１１ａ側に、プローブ５２の外径が丁度収容される程度の形態（形状、大きさ）の切り欠き１１２１ａ，１１２１ｂが形成されている。２つの切り欠き１１２１ａ，１１２１ｂは、ユーザがプローブ５２をこれらにしっかりと嵌め込むことにより、プローブ５２の中心軸Ｃ（磁心５２０の中心軸）がスライド部材１１の長手方向と平行になるように、即ち、中心軸Ｃが端面１１２ｂの平坦な外表面（−ｚ側の表面）と垂直（直角）になるように形成されている。このためユーザは、プローブ５２を２つの切り欠き１１２１ａ，１１２１ｂに嵌め込むことで、容易にプローブ５２の中心軸Ｃ（磁心５２０の中心軸）が端面１１２ｂの外表面（−ｚ側の表面）と垂直（直角）になるようにすることができる。尚、同図においては、切り欠き１１２１ａ，１１２１ｂはいずれも半円（奥側）と矩形（手前側）とを組み合わせた形状としているが、切り欠き１１２１ａ，１１２１ｂの態様はこれに限られない。
【００４９】
図９にガイド部材１２の構成（斜視図）を示している。ガイド部材１２は略直方体状の全体形状を呈する。同図に示すように、上記直方体の４つの側面１２１ａ〜１２１ｄによって構成される筒体の内部空間はスライド部材１１の外形が丁度収まる形態（形状、大きさ）となっている。従って、スライド部材１１は、その３つの側面１１１ｂ〜１１１ｄの外周面をガイド部材１２の内周面に密着させながらガイド部材１２に対してスライドさせることができる。
【００５０】
同図に示すように、上記直方体の２つの端面１２２ａ，１２２ｂのうちの一つ（端面１２２ａ）は開口している。また上記直方体の他方の端面１２２ｂには、プローブ５２の外径が通過可能な形態（形状、大きさ）を有する貫通孔１２２１が形成されている。端面１２２ｂの外表面（−ｚ側の表面）は平坦面（以下、第１平坦面とも称する。）になっており、この平坦面は上記直方体の長手方向に対して垂直（直角）である。また上記直方体は、＋ｙ側及び−ｙ側に第１平坦面に垂直（直角）な平坦面１２４ａと平坦面１２４ｂとを有する（以下、平坦面１２４ｂのことを第２平坦面とも称する。）。
【００５１】
側面１２１ａの所定位置にはｙ軸に平行に延びる直方体状の凸条部１２３ａが形成されている。また側面１２１ｃに対向する側面１２１ｃの所定位置にはｙ軸に平行に延びる直方体状の凸条部１２３ｃが形成されている。凸条部１２３ａ及び凸条部１２３ｃは、測定治具１を使用する際にユーザの持ち手として機能する。またこれらは後述する位置合わせ治具７にガイド部材１２を嵌合した際にガイド部材１２の位置合わせ治具７への固定位置を規制する役割（プローブ５２の先端が測定対象物２に当たる位置を正確に位置決めする役割）を果たす。
【００５２】
図１０にスライド部材１１にプローブ５２を取り付けた状態を示す。同図に示すように、プローブ５２は、スライド部材１１の２つの端面１１２ａ，１１２ｂの夫々に設けられている切り欠き１１２１ａ，１１２１ｂに嵌め込むことでスライド部材１１に取り付けられる。
【００５３】
プローブ５２は、例えば、プローブ５２の一方の切り欠き１１２１ａの付近の周囲にスライド部材１１に固定された帯状の部材１１５（例えば、ゴム、針金、結束バンド等）で締め付けることによりスライド部材１１に固定される。尚、プローブ５２をスライド部材１１に固定する方法は必ずしもこの方法に限られない。例えば、プローブ５２はネジ止め等のその他の方法によってスライド部材１１に固定してもよい。
【００５４】
プローブ５２は、他方の切り欠き１１２１ｂの周辺においてプローブ５２の外周に突出している凸部６１７がスライド部材１１の端面１１２ｂの外表面と接触するように、即ち、スライド部材１１が凸部６１７の上（凸部６１７のケーブル５３側の面上）に載置されるようにスライド部材１１に取り付けられる。このため、ユーザが、プローブ５２を測定対象物２の方向に近づけようとしてスライド部材１１を測定対象物２の方向にスライドさせた際はプローブ５２に確実に力を作用させることができ、プローブ５２を容易かつ確実に測定対象物２に接近させることができる。
【００５５】
前述したように、ガイド部材１２の他方の端面１２２ｂの外表面（−ｚ側の表面）は平坦面になっており、上記平坦面は、ガイド部材１２の上記直方体の長手方向に対して垂直（直角）な関係になっている。そのため、プローブ５２をスライド部材１１に固定した状態ではプローブ５２の中心軸Ｃとガイド部材１２の端面１２２ｂの外表面とが垂直（直角）な関係となる。
【００５６】
＜膜厚の測定方法＞
続いて、以上の構成からなる測定治具１を用いて、膜厚計５により測定対象物２の膜厚を測定する手順について説明する。
【００５７】
図１１に示すように、ユーザは、まずプローブ５２を固定したスライド部材１１をガイド部材１２の開口面１２２ａからガイド部材１２の内部に挿入し、スライド部材１１にガイド部材１２を取り付ける。尚、前述したように、ガイド部材１２の内部空間は、スライド部材１１が丁度収まる形態（形状、大きさ）になっているので、ユーザは、スライド部材１１の側面をガイド部材１２に沿ってスライドさせるだけで、スライド部材１１にガイド部材１２を容易に取り付けることができる。
【００５８】
図１２にスライド部材１１にガイド部材１２を取り付けた（挿入した）状態を示す。この状態において、ガイド部材１２の貫通孔１２２１はプローブ５２の中心軸Ｃ（磁心５２０の中心軸）上に位置している。また貫通孔１２２１の径はプローブ５２の径よりも大きい。そのため、ユーザは、スライド部材１１をガイド部材１２の端面１２２ｂの方向にスライドさせることで、プローブ５２の先端を端面１２２ｂの外表面（平坦面）から−ｚ側に突出させることができる。
【００５９】
続いて、図１３Ａに示すように、ユーザは、測定対象物２の表面とガイド部材１２の端面１２２ｂの外表面（平坦面）とを面的に接触させる。前述したように、プローブ５２の中心軸Ｃ（磁心５２０の中心軸）と、ガイド部材１２の端面１２２ｂの外表面（平坦面）とは垂直（直角）の関係になっているので、ユーザは、測定対象物２の表面とガイド部材１２の端面１２２ｂの外表面（平坦面）とを面的に接触させることで、測定対象物２の表面とプローブ５２の中心軸Ｃ（磁心５２０の中心軸）とを、容易に垂直(直角）の関係にすることができる。
【００６０】
続いて、図１３Ｂに示すように、ユーザは、測定対象物２の表面とガイド部材１２の端面１２２ｂの外表面（平坦面）とを面的に接触させた状態を維持しつつ、スライド部材１１を測定対象物２の方向にスライドさせてプローブ５２の先端を測定対象物２の表面の方向に押し込む。これによりプローブ５２の内筒体６１２は、スプリング機構６４の付勢力に抗して外筒体６１１に押し込まれ、その結果、スイッチ６５の接点状態が反転してトリガ信号が本体装置５１に入力される。
【００６１】
尚、同じ測定対象物２の表面について連続して繰り返し測定を行うような場合（例えば、複数の測定値の平均値を求める場合）、ユーザは、一方の手でガイド部材１２を測定対象物２の表面に押し当てたまま他方の手でスライド部材１１を上方にスライドさせてプローブ５２の先端を測定対象物２の表面から１０ｍｍ程度引き上げ、再び前述した手順を行うことにより測定を繰り返す。
【００６２】
以上に説明したように、本実施形態の測定治具１によれば、ユーザは、ガイド部材１２の外表面（平坦面）を測定対象物２の表面に面的に接触させつつスライド部材１１をガイド部材１２に沿ってスライドさせることで、プローブ５２の中心軸Ｃ（磁心５２０の中心軸）を測定対象物２の表面に対して垂直（直角）の関係に維持しつつ磁心５２０の先端を測定対象物２に接近させることができる。そのため、ユーザは簡単な操作で容易かつ高精度で測定対象物２の表面の膜厚を測定することができる。
【００６３】
また測定治具１は、プローブ５２がスライド部材１１を介してガイド部材１２に支持される構成になっているため、プローブ５２の形態に合わせたスライド部材１１を用意することで様々な形態のプローブ５２に広く適用することができる。
【００６４】
またガイド部材１２が筒状になっているため、ユーザは、測定時にガイド部材１２を手で容易にホールドすることができ、本実施形態の測定治具１は作業性にも優れる。
【００６５】
またスライド部材１１は、プローブ５２を、プローブ５２の磁心５２０の中心軸の方向とスライド部材１１がスライドする方向に一致するように固定する構造になっているので、ユーザはプローブ５２をスライド部材１１に取り付けるだけでプローブ５２の磁心５２０の中心軸の方向とスライド部材１１がスライドする方向とを容易に一致させることができる。
【００６６】
＜プローブの他の構成＞
図１４にプローブ５２の他の構成を示している。同図に示すように、このプローブ５２は、外筒体６１１に複数の同心円環状の凸部６１７を有している。これら複数の凸部６１７のうち、最下部の凸部６１７ａについては他の凸部６１７ｂに比べてその外径がやや大きくなっている。
【００６７】
同図において、符号Ａで示すラインは外筒体６１１の端面（即ち外筒体６１１と内筒体６１２の境界）になっており、当該ラインよりも上（＋ｚ側）の部分では内筒体６１２の表面が露出している。また同図において、外筒体６１１の下端面から長さｄで突出する部分は外筒体６１１の内側において内筒体６１２に連続している。
【００６８】
図１５は、図１４に示したプローブ５２の先端を測定対象物２の表面に押し当てている様子を示す図である。同図に示すように、プローブ５２の先端（磁心５２０の先端）を測定対象物２の表面に押し当てることにより、プローブ５２の先端（内筒体６１２の先端）が外筒体６１１の内部に引っ込み、同図においてＡ−Ａ’で示す間隙（長さはｄ）が形成される。
【００６９】
図１６及び図１７は、図１４に示したプローブ５２を図８に示したスライド部材１１に取り付けた状態を示す図であり、図１６はその斜視図、図１７は図１６に示したスライド部材１１を−ｙ方向から眺めた図である。
【００７０】
これらの図に示すように、プローブ５２は、切り欠き１１２１ｂの周辺において、プローブ５２の外周に突出している凸部６１７ａがスライド部材１１の端面１１２ｂの外表面と接触するように、即ち、スライド部材１１が凸部６１７ａの上（ケーブル５３側の面）に載置されるようにスライド部材１１に取り付けられる。このため、ユーザが、プローブ５２を測定対象物２の方向に近づけようとしてスライド部材１１を測定対象物２の方向にスライドさせた際、プローブ５２に確実に力を作用させることができ、プローブ５２を容易かつ確実に測定対象物２に接近させることができる。
【００７１】
またこれらの図に示すように、切り欠き１１２１ｂの周辺において、プローブ５２の外周に突出している凸部６１７ｂのうち最下部の凸部６１７ｂがスライド部材１１の端面１１２ｂの内表面と接触するように、即ち、当該凸部６１７ｂがスライド部材１１の上（端面１１２ｂのケーブル５３側の面の上）に載置されるようにスライド部材１１に取り付けられる。このため、ユーザが、プローブ５２を測定対象物２から引き離そうとしてスライド部材１１を測定対象物２から離れる方向にスライドさせた際、プローブ５２に確実に力を作用させることができ、プローブ５２を容易かつ確実に測定対象物２から引き離すことができる。
【００７２】
＜位置合わせ治具＞
ところで、膜厚計５を用いた膜厚の測定に際して測定精度を確保するにはプローブ５２の先端を測定対象物２の測定対象部位に正確に当てる必要がある。また特定の測定対象部位（以下、測定ポイントＰとも称する。）について繰り返し膜厚を測定する場合はプローブ５２の先端を測定ポイントＰに繰り返し正確に当てる必要がある。
【００７３】
ここで例えば電力会社においては、電力設備の点検に際し、膜厚計５を用いて各種電力設備の表面に施されているめっき膜厚等の膜厚の測定を行っており、送電鉄塔等で使用されている六角ボルトの頭部側面や六角ナットの側面についても測定の対象となる。しかし鉄塔の塔上や狭隘な場所等においては作業者がとることができる姿勢や作業範囲が制限され、プローブ５２を測定対象物の表面に垂直に押し当てることが必ずしも容易ではない。また測定治具１を用いた測定ではプローブ５２の先端付近の様子を測定治具１により外部から視認しづらく、プローブ５２の先端を測定ポイントＰに必ずしも思うように正確に当てることができない。そこで測定治具１を用いて六角ボルトの頭部側面や六角ナットの側面の膜厚を測定する際は、例えば、以下に示す構成からなる治具（以下、位置合わせ治具７と称する。）を用いるとよい。
【００７４】
図１８乃至図２２に位置合わせ治具７の構成を示す。図１８は位置合わせ治具７の斜視図、図１９は位置合わせ治具７の分解斜視図、図２０は位置合わせ治具７を上方（＋ｚ方向）から眺めた図、図２１は位置合わせ治具７を正面方向（＋ｘ方向）から眺めた図、図２２は位置合わせ治具７を側面方向（＋ｙ方向）から眺めた図である。
【００７５】
これらの図に示すように、位置合わせ治具７は、基体７１と、基体７１から延出する第１接触部材７３Ａ及び第２接触部材７３Ｂとを備える。後述するように、膜厚の測定に際し第１接触部材７３Ａ及び第２接触部材７３Ｂはこれらの間に測定対象物２が挟み込まれるように測定対象物２に対して配置される。
【００７６】
基体７１の下方側（−ｚ側）には、天面板７１４、第１側面板７１５Ａ、及び第２側面板７１５Ｂによって囲まれた、測定治具１が装着される内部空間（以下、収容部７１１と称する。）が形成されている。収容部７１１の＋ｘ側には開口面７２が形成されている。また開口面７２の上方（＋ｚ側）には、その＋ｘ側の面が正面板７２０で閉じられる略直方体状のギヤボックス７６が設けられている。ギヤボックス７６には、第１接触部材７３Ａ及び第２接触部材７３Ｂの夫々の基体７１に対する位置を調節するための機構（位置決め機構）が収容されている。
【００７７】
第１接触部材７３Ａは、正面板７２０の−ｙ側に形成されている矩形状の第１スライド溝７２０Ａから＋ｘ方向に延出する第１腕部７２１Ａによって支持されている。また第２接触部材７３Ｂは、正面板７２０の＋ｙ側に形成されている矩形状の第２スライド溝７２０Ｂから＋ｘ方向に延出する第２腕部７２１Ｂによって支持されている。
【００７８】
第１接触部材７３Ａは、第１接触板７３１Ａと第１可動板７３２Ａとを有する。第１接触板７３１Ａは、第１腕部７２１Ａの＋ｘの側に連続して形成され、開口面７２に対して−ｙ側に１２０度の方向に開口面７２から延出している。第１接触板７３１Ａの下端は、収容部７１１の底面付近まで達している。但し第１接触板７３１Ａのｚ軸方向の長さは必ずしも限定されず、測定対象物２の形態に応じて適切に設定される。
【００７９】
第１可動板７３２Ａは、第１接触板７３１Ａを基体７１から離れる方向に延長するように、第１接触板７３１Ａに対してスライド可能に第１接触板７３１Ａに設けられている。尚、第１可動板７３２Ａをスライド可能とするための構造は任意であるが、本実施形態では、一例として、第１可動板７３２Ａに当該第１可動板７３２Ａがスライドする方向に沿って形成される第１スリット７３５Ａと、第１スリット７３５Ａを通り先端が第１接触板７３１Ａに螺合される第１固定ネジ７３４Ａとによって構成している。
【００８０】
第１可動板７３２Ａは、基体７１から離れる側に延出する第１屈曲部７３３Ａを有する。第１屈曲部７３３Ａは、その途中で第１接触板７３１Ａが延出する方向に対して当該第１接触板７３１Ａが屈曲する方向とは逆の方向（＋ｙ側）に１２０度の角度で屈曲している。第１屈曲部７３３Ａが第１可動板７３２Ａから延出する長さは第１可動板７３２Ａよりも短く設定されている。
【００８１】
第２接触部材７３Ｂは、第２接触板７３１Ｂと第２可動板７３２Ｂとを有する。第２接触板７３１Ｂは、第２腕部７２１Ｂの＋ｘの側に連続して形成され、開口面７２に対して＋ｙ側（第１接触板７３１Ａが屈曲する方向とは逆側）に１２０度の方向に開口面７２から延出している。第２接触板７３１Ｂの下端は、収容部７１１の底面付近まで達している。但し第２接触板７３１Ｂのｚ軸方向の長さは必ずしも限定されず、測定対象物２の形態に応じて適切に設定される。
【００８２】
第２可動板７３２Ｂは、第２接触板７３１Ｂを基体７１から離れる方向に延長するように、第２接触板７３１Ｂに対してスライド可能に第２接触板７３１Ｂに設けられている。尚、第２可動板７３２Ｂをスライド可能とするための構造は任意であるが、本実施形態では、一例として、第２可動板７３２Ｂに当該第２可動板７３２Ｂがスライドする方向に沿って形成される第２スリット７３５Ｂと、第２スリット７３５Ｂを通り先端が第２接触板７３１Ｂに螺合される第２固定ネジ７３４Ｂとによって構成している。
【００８３】
第２可動板７３２Ｂは、基体７１から離れる側に延出する第２屈曲部７３３Ｂを有する。第２屈曲部７３３Ｂは、その途中で第２接触板７３１Ｂが延出する方向に対して当該第２接触板７３１Ｂが屈曲する方向とは逆の方向（−ｙ側）に１２０度の角度で屈曲している。第２屈曲部７３３Ｂが第２可動板７３２Ｂから延出する長さは第２可動板７３２Ｂよりも短く設定されている。
【００８４】
図１９に示すように、第１腕部７２１Ａには、ｙ軸方向に所定長さで歯を下向き（−ｚ方向）にして延出する第１ラック７６１Ａを有する第１フレーム７２２Ａが連続している。第１フレーム７２２Ａの上部には、ギヤボックス７６の上面に形成されているスリット７５２から突出する幅調整ノブ７５１が設けられている。一方、第２腕部７２１Ｂには、ｙ軸方向に所定長さで歯を上向き（＋ｚ方向）にして延出する第２ラック７６１Ｂを有する第２フレーム７２２Ｂが連続している。
【００８５】
ギヤボックス７６の底面７６２中央にはｘ軸方向に軸支されたピニオン７６０が設けられている。ピニオン７６０には、上方（＋ｚ方向）から第１ラック７６１Ａの歯が、また下方（−ｚ方向）から第２ラック７６１Ｂの歯が夫々歯合される。即ち、第１ラック７６１Ａ及び第２ラック７６１Ｂは、ピニオン７６０の中心軸に対して互いに対向する側からピニオン７６０に歯合される。ユーザが幅調整ノブ７５１をスリット７５２に沿って移動させるとこの動きはピニオン７６０を介して同時に第２腕部７２１Ｂにも伝達され、第１腕部７２１Ａ及び第２腕部７２１Ｂはｙ軸方向に互いに逆向きに移動する。また第１ラック７６１Ａ及び第２ラック７６１Ｂは、第１接触部材７３Ａ及び第２接触部材７３Ｂがピニオン７６０の中心を含むｘ軸に平行な面に対して対称に配置されるようにピニオン７６０に歯合されている。即ち、第１ラック７６１Ａ、第２ラック７６１Ｂ、及びピニオン７６０は、第１接触部材７３Ａの＋ｙ側を向く平坦面（以下、第１接触面と称する。）、及び第２接触部材７３Ｂの−ｙ側を向く平坦面（以下、第２接触面と称する。）が、プローブ５２の先端の位置を中心として対称な関係になるように制御する機構（以下、作動制御機構とも称する。）を構成する。そのため、ユーザは、第１接触面と第２接触面とがピニオン７６０の中心を含むｘ軸に平行な面に対して常に対称な関係になるように維持しつつ、第１接触面と第２接触面の間隔を調節することができる。
【００８６】
膜厚の測定に際し、位置合わせ治具７は、第１接触面、開口面７２、及び第２接触面が、六角ボルトの頭部や六角ナットの連続する３つの側面形状に沿って面するように配置される。より詳細には、図２０に示すように、位置合わせ治具７は、測定対象物２の測定対象部位（六角ボルトの頭部側面又は六角ナットの側面）の一つ（以下、第１外表面とも称する。）が開口面７２に現れているガイド部材１２の第１平坦面に面接触するように設けられる。またこの状態で、第１外表面の両サイドに稜線を介して連続する測定対象物２の２つの側面のうちの一つ（以下、第２外表面とも称する。）が第１接触板７３１Ａの第１接触面に、他の一つ（以下、第３外表面とも称する。）が第２接触板７３１Ｂの第２接触面に、夫々面接触する。
【００８７】
そしてこれらにより、測定対象物２の第１外表面のｚ軸方向の中央線が、ピニオン７６０の中心を含むｘ軸に平行な面に含まれるように自動的に位置決めされ、プローブ５２の先端が第１外表面に当たる位置のうち、ｙ軸方向の位置が自動的に固定される。一方、プローブ５２が第１外表面に当たるｚ軸方向の高さ位置については、測定治具１の構成により固定される（例えば後述するように、上記高さ位置は第２平坦面が測定対象物２の周囲の平面上に載置されることにより固定される）。
【００８８】
以上の構成により、位置合わせ治具７を測定対象物２の測定対象部位（六角ボルトの頭部側面又は六角ナットの側面）に当てるだけでプローブ５２の先端が測定ポイントＰに正確に当たるようにすることができる。従って、ユーザは、例えば膜厚の繰り返しの測定に際し、プローブ５２の先端を常に同じ測定ポイントＰに容易に位置決めすることができる。
【００８９】
尚、位置合わせ治具７は、幅調整ノブ７５１、第１固定ネジ７３４Ａ、及び第２固定ネジ７３４Ｂを調節することにより、様々なサイズの六角ボルトの頭部や六角ナットに柔軟に適用することができる。例えば、図２０は対応可能な最小サイズに位置合わせ治具７を設定した状態であるが、幅調整ノブ７５１、第１固定ネジ７３４Ａ、及び第２固定ネジ７３４Ｂを調節することにより、図２３に示すように、より大きなサイズの六角ボルトの頭部や六角ナットにも適用することができる。
【００９０】
第１屈曲部７３３Ａ及び第２屈曲部７３３Ｂは、位置合わせ治具７が測定対象物２を確実にホールドするように作用する。即ち、第１屈曲部７３３Ａ及び第２屈曲部７３３Ｂの作用により、測定対象物２が第１接触板７３１Ａの第１接触面、第２接触板７３１Ｂの第２接触面、及びガイド部材１２の第１平坦面によって確実にホールドされ、測定対象物２は位置合わせ治具７から外れにくくなる。これにより、例えば、膜厚の測定時に印加される外力等によってプローブ５２の先端が測定対象物２に当たる位置がずれてしまうのを防ぐことができる。
【００９１】
図２４に測定治具１を位置合わせ治具７に装着する際の様子を示している。同図に示すように、測定治具１は、位置合わせ治具７の下方（−ｚ方向）側から収容部７１１に装着する。図２３に示すように、収容部７１２には嵌合溝７１２ａ及び嵌合溝７１２ｃが形成されている。測定治具１を収容部７１２に装着する際は、凸条部１２３ａについては嵌合溝７１２ａに、凸条部１２３ｃについては嵌合溝７１２ｃに、夫々嵌まるようにする。これにより測定治具１の端面１２２ｂ（第１平坦面）の位置が自動的に固定される。本例では凸条部１２３ａ及び凸条部１２３ｃがガイド部材１２に設けられる位置は、位置合わせ治具７に測定治具１が装着された状態でガイド部材１２の端面１２２ｂの外表面（第１平坦面）が開口面７２と面一となるように設定されており、これにより膜厚の測定に際しガイド部材１２の第１平坦面は測定対象物２の測定対象部位（六角ボルトの頭部側面や六角ナットの側面）に面接触する。
【００９２】
図２５及び図２６に、測定治具１を位置合わせ治具７に装着した状態を示す。図２５は、測定治具１を位置合わせ治具７に装着した状態を示す斜視図であり、図２６は、測定治具１を装着した状態の位置合わせ治具７を上方（＋ｚ方向）から眺めた図である。尚、収容部７１２は、ガイド部材１２の端面１２２ｂから所定長さの部分が丁度収まる形状になっている。
【００９３】
図２５に示すように、位置合わせ治具７に測定治具１が装着された状態において、位置合わせ治具７の底面側（−ｚ側）にはガイド部材１２の平坦面１２４ｂ（第２平坦面）が露出する。そのため、位置合わせ治具７に測定治具１が装着された状態で第２平坦面側を下方（−ｚ方向）に向けて平面上に載置した場合、当該平面と端面１２２ｂ（第１平坦面）は垂直（直角）の関係となる。そのため、例えば、測定対象物２（六角ボルトの頭部や六角ナット）の周囲に存在する平面部分等に、第２平坦面側を下方に向けて測定治具１が装着された状態の位置合わせ治具７を載置することで、プローブ５２の先端が測定対象物２に当たる位置が同じ高さ位置（ｚ軸方向の位置）に精度よく固定される。尚、第１側面板７１５Ａ及び第２側面板７１５Ｂの底面（−ｚ側の端面）が端面１２２ｂ（第１平坦面）と垂直（直角）の関係となっている場合には、第１側面板７１５Ａ及び第２側面板７１５Ｂの底面を上記平面部分に面接触させるようにしてもプローブ５２の先端が測定対象物２に当たる位置を同じ高さ位置に精度よく固定することができる。
【００９４】
以上のように、位置合わせ治具７を用いることで、測定治具１を用いた膜厚の測定に際し、ユーザは簡単な操作でプローブ５２の先端を測定ポイントに正確に当てることができる。
【００９５】
ところで、以上では、ガイド部材１２に凸条部１２３ａ及び凸条部１２３ｃを設け、測定治具１を収容部７１２に装着する際は、凸条部１２３ａを嵌合溝７１２ａに、凸条部１２３ｃを嵌合溝７１２ｃに、夫々嵌合するようにしたが、凸条部１２３ａ及び凸条部１２３ｃ、並びに嵌合溝７１２ａ及び嵌合溝７１２ｃは必ずしも必須の構成ではなく省略することもできる。
【００９６】
図２７に、凸条部１２３ａ及び凸条部１２３ｃを省略したガイド部材１２の斜視図を、また図２８に、収容部７１２に嵌合溝７１２ａ及び嵌合溝７１２ｃを有しない位置合わせ治具７に、図２７に示すガイド部材１２を用いた測定治具１を装着した様子を示す。尚、このように位置合わせ治具７を、凸条部１２３ａ及び凸条部１２３ｃ、並びに嵌合溝７１２ａ及び嵌合溝７１２ｃを省略した構成とした場合、測定治具１のｘ軸方向の規制が無くなるが、一方で、例えば、測定治具１を−ｘ方向から位置合わせ治具７に装着することができる等、装着時の自由度が大きくなる利点がある。
【００９７】
以上、発明を実施するための形態について説明したが、以上の説明は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明はその趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得ると共に本発明にはその等価物が含まれることは勿論である。
【００９８】
例えば、以上に説明した位置合わせ治具７は、六角ボルトの頭部側面や六角ナットの側面と同様の側面形状を有する様々な測定対象物２の膜厚の測定に広く適用することができる。
【符号の説明】
【００９９】
１  測定治具、１１  スライド部材、１２  ガイド部材、１２２ａ，１２２ｂ  端面、１２２１  貫通孔、２  測定対象物、５  膜厚計、５２０  磁心、５２  プローブ、１２３ａ  凸条部、１２３ｃ  凸条部、７  位置合わせ治具、７１  基体、７１１  収容部、７１２ａ  嵌合溝、７１２ｂ  嵌合溝、７１４  天面板、７１５Ａ  第１側面板、７１５Ｂ  第２側面板、７２  開口面、７２０  正面板、７２０Ａ  第１スライド溝、７２０Ｂ  第２スライド溝、７２１Ａ  第１腕部、７２２Ａ  第１フレーム、７２１Ｂ  第２腕部、７２２Ｂ  第２フレーム、７３Ａ  第１接触部材、７３１Ａ  第１接触板、７３２Ａ  第１可動板、７３３Ａ  第１屈曲部、７３Ｂ  第２接触部材、７３１Ｂ  第２接触板、７３２Ｂ  第２可動板、７３３Ｂ  第２屈曲部、７３４Ａ  第１固定ネジ、７３５Ａ  第１スリット、７３４Ｂ  第２固定ネジ、７３５Ｂ  第２スリット、７５１  幅調整ノブ、７５２  スリット、７６  ギヤボックス、７６０  ピニオン、７６１Ａ  第１ラック、７６１Ｂ  第２ラック、７６２  底面
【要約】
膜厚計のプローブに装着して用いる測定治具とともに用いる、膜厚計の位置合わせ治具を提供する。測定治具は、プローブが固定されるスライド部材と、スライド部材をスライドさせるように支持し、測定対象物に接近させる側に平坦面を有するガイド部材と、を含む。位置合わせ治具は、ガイド部材が収容される収容部、及び上記平坦面の側にプローブの先端を通過させる開口面を有する基体と、基体から延出し測定対象物の第１外表面に面接触する第１接触面を有する第１接触部材と、開口面の第１接触部材から延出し測定対象物の第３外表面に面接触する第２接触面を有する第２接触部材と、第１接触面の基体に対する位置及び第２接触面の基体に対する位置を調節する位置決め機構を備える。【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３Ａ】
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【図１３Ｂ】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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