(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品と、前記電子部品が接続されている回路基板と、前記回路基板に接続された前記電子部品を埋設している埋設層と、前記埋設層の表面に付与され、かつ前記回路基板の接地用電極に接続されている導電性膜とを備えた電子回路モジュールの、前記導電性膜と前記接地用電極との間の電気抵抗の測定を行なうための電気抵抗測定プローブであって、
一端に底部を有する管状のプローブ本体と、
各々一方主面と他方主面とを有する第１の電極および第２の電極と、
を含み、
前記底部は、貫通孔と、前記プローブ本体の長手方向の中心軸と直交する頂面を有する台状の突出部とを備えており、
前記貫通孔は、前記突出部の頂面に形成されており、
前記第１の電極および前記第２の電極は、各々の一方主面が前記プローブ本体の長手方向の中心軸と直交するように、各々の他方主面が前記底部の端面に接合され、かつ前記突出部によって互いに電気的に絶縁されており、
前記第１の電極の一方主面、前記第２の電極の一方主面、および前記突出部の頂面は、同一平面内にあることを特徴とする、電気抵抗測定プローブ。
【請求項２】
電子部品と、前記電子部品が接続されている回路基板と、前記回路基板に接続された前記電子部品を埋設している埋設層と、前記埋設層の表面に付与され、かつ前記回路基板の接地用電極に接続されている導電性膜とを備えた電子回路モジュールの、前記導電性膜と前記接地用電極との間の電気抵抗の測定を行なうための電気抵抗測定プローブであって、
一端に底部を有する管状のプローブ本体と、
各々一方主面と他方主面とを有する第１の電極および第２の電極と、
を含み、
前記底部は、貫通孔を備えており、
前記第１の電極および前記第２の電極は、各々の一方主面が前記プローブ本体の中心軸と直交するように、各々の他方主面が前記底部の端面に接合され、かつ互いに電気的に絶縁されており、
前記第１の電極および前記第２の電極のいずれか一方には、前記貫通孔と連通する電極貫通孔が形成されており、
前記第１の電極の一方主面および前記第２の電極の一方主面は、同一平面内にあることを特徴とする、電気抵抗測定プローブ。
【請求項３】
前記底部は、前記プローブ本体の中心軸と直交する頂面を有する台状の突出部をさらに備えており、
前記第１の電極および前記第２の電極は、前記突出部によって互いに電気的に絶縁されており、
前記第１の電極の一方主面、前記第２の電極の一方主面、および前記突出部の頂面は、同一平面内にあることを特徴とする、請求項２に記載の電気抵抗測定プローブ。
【請求項４】
電子部品と、前記電子部品が接続されている回路基板と、前記回路基板に接続された前記電子部品を埋設している埋設層と、前記埋設層の表面に付与され、かつ前記回路基板の接地用電極に接続されている導電性膜とを備えた電子回路モジュールの、前記導電性膜と前記接地用電極との間の電気抵抗の測定を行なうための電気抵抗測定プローブであって、
一端に底部を有する管状のプローブ本体と、
第１の電極ピンおよび第２の電極ピンと、
を含み、
前記底部は、貫通孔を備えており、
前記底部の端面には、離間して設けられた第１の凹部および第２の凹部が形成されており、
前記第１の電極ピンは、前記第１の凹部内に先端が前記底部の端面から突出した状態で設置され、かつ該先端が前記プローブ本体の長手方向の中心軸方向に進退自在であり、前記第２の電極ピンは、前記第１の電極ピンと絶縁された状態で、前記第２の凹部内に先端が前記底部の端面から突出した状態で設置され、かつ該先端が前記プローブ本体の長手方向の中心軸方向に進退自在であり、
前記第１の電極ピンの先端、前記第２の電極ピンの先端、および前記底部の前記第１の凹部および前記第２の凹部が設けられている端面は、前記電気抵抗の測定時に同一平面内にあることを特徴とする、電気抵抗測定プローブ。
【請求項５】
前記底部は、前記プローブ本体の外周面から張り出した鍔部を有することを特徴とする、請求項１ないし４のいずれか１項に記載の電気抵抗測定プローブ。
【請求項６】
電子部品と、前記電子部品が接続されている回路基板と、前記回路基板に接続された前記電子部品を埋設している埋設層と、前記埋設層の表面に付与され、かつ前記回路基板の接地用電極に接続されている導電性膜とを備えた電子回路モジュールの、前記導電性膜と前記接地用電極との間の電気抵抗の測定を行なうための電気抵抗測定システムであって、
請求項１ないし５のいずれか１項に記載の電気抵抗測定プローブと、
測定基板と、
電気抵抗測定装置と、
を含み、
前記測定基板は、一方主面に第１の上部端子および第２の上部端子を有し、他方主面に第１の下部端子および第２の下部端子を有し、かつ内部に接地用導体を有しており、
前記第１の上部端子と前記第１の下部端子とは、前記接地用導体を介して接続され、前記第２の上部端子と前記第２の下部端子とは、前記接地用導体を介さずに接続されており、
前記電気抵抗測定装置は、定電流を供給する第１の電流源端子および第２の電流源端子、ならびに前記定電流が被測定物を流れる際に発生する電圧降下を測定する第１の電圧測定端子および第２の電圧測定端子を有しており、
前記第１の電流源端子は、前記電気抵抗測定プローブの前記第２の電極または前記第２の電極ピンに接続され、前記第２の電流源端子は、前記測定基板の前記第１の下部端子に接続され、前記第１の電圧測定端子は、前記電気抵抗測定プローブの前記第１の電極または前記第１の電極ピンに接続され、前記第２の電圧測定端子は、前記測定基板の前記第２の下部端子に接続されており、
前記第１の接地用電極と前記第１の上部端子とが接触し、前記第２の接地用電極と前記第２の上部端子とが接触するように、前記電子回路モジュールが前記測定基板の一方主面上に載置され、かつ前記第１の電極および前記第２の電極と、前記導電性膜とを接触させた状態で、４端子測定法に基づく前記導電性膜と前記接地用電極との間の電気抵抗の測定回路が形成されることを特徴とする、電気抵抗測定システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、電気抵抗測定プローブ、およびそれを用いた電気抵抗測定システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、回路基板に電子部品を接続し、モジュール化してなる電子回路モジュールを用いることにより、電子機器の高性能化および製造の効率化が進められている。そのような電子回路モジュールＭの一例を図１１に示す。
【０００３】
電子回路モジュールＭでは、回路基板Ｂの一方主面Ｂ１上に形成された接続用ランドＣＬ１〜ＣＬ５に、回路を構成する電子部品ＥＣ１、ＥＣ２が接続されている。また、一方主面Ｂ１上には、電子部品ＥＣ１、ＥＣ２を埋設する埋設層Ｒが形成されている。回路基板Ｂの内部には、接地用導体ＧＰを含むパターン導体Ｐｍおよびビア導体Ｖが設けられている。回路基板Ｂの他方主面Ｂ２には、第１の接地用電極Ｅ１および第２の接地用電極Ｅ２を含む接地用電極、ならびに第１の信号電極Ｓ１および第２の信号電極Ｓ２を含む信号電極が形成されている。
【０００４】
また、埋設層Ｒの表面および回路基板Ｂの側面には、接地用導体ＧＰおよびビア導体Ｖを介して接地用電極に接続され、シールドとして機能する導電性膜Ｃが設けられている。
【０００５】
電子回路モジュールＭは、シールド性能の検査のため、導電性膜Ｃと接地用電極との間の導通状態を表す電気抵抗を測定してから出荷されている。特開２０１２−１５９３５９号公報（特許文献１）には、そのような電気抵抗測定システムの一例が提案されている。
【０００６】
図１２は、特許文献１に記載されている電気抵抗測定システム３００の模式図である。電気抵抗測定システム３００は、測定基板ＭＢと、電気抵抗測定プローブＰｒと、制御装置ＣＵとを備えている。
【０００７】
測定基板ＭＢは、測定対象である電子回路モジュールＭが載置され、かつ不図示の測定端子が設けられている載置面ＭＢａを有し、台座ＰＤに固定配置されている。測定基板ＭＢの外側面には、測定端子と電気的に接続された接続端子ＭＢｂが設けられており、不図示のケーブルを介して接続端子ＭＢｂと制御装置ＣＵとが電気的に接続されている。
【０００８】
電気抵抗測定プローブＰｒは、載置面ＭＢａに載置された電子回路モジュールＭの導電性膜Ｃと接触するように、駆動機構ＤＵによって図１２中の矢印Ｘ、Ｙ、Ｚの方向に駆動される。制御装置ＣＵは、導電性膜Ｃに接触した電気抵抗測定プローブＰｒと、導電性膜Ｃと電子回路モジュールＭの回路基板内の配線を介して電気的に接続された不図示の接地用電極と接触する測定端子との間の電気抵抗を測定する。
【０００９】
電気抵抗測定システム３００では、上記の構成により、電子回路モジュールＭに設けられた導電性膜Ｃと接地用電極との間の電気抵抗を、電子回路モジュールＭの他の電気的特性と一緒に検査することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２０１２−１５９３５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
電気抵抗測定システム３００において、電気抵抗測定プローブＰｒは、導通状態を測定する際に電子回路モジュールＭを吸着保持するための吸引ノズルでもある。しかしながら、導通状態を測定するために導電性膜Ｃと接触する電極と、吸引孔との位置関係は明示されていない。電子回路モジュールＭがトレイから測定基板ＭＢの載置面ＭＢａに搬送される際には、電気抵抗測定プローブＰｒの先端が導電性膜Ｃに密着し、吸引孔の内部が十分な負圧となっている必要がある。
【００１２】
一方、電極の存在により、電気抵抗測定プローブＰｒの先端と導電性膜Ｃとの密着度合いが低下すると、吸引孔の内部が十分な負圧とならず、搬送中に電子回路モジュールＭが電気抵抗測定プローブＰｒの先端から落下してしまう虞がある。
【００１３】
そこで、この発明の目的は、電子回路モジュールを確実に吸着した状態で、導電性膜と接地用電極との間の電気抵抗を測定することのできる電気抵抗測定プローブ、およびそれを用いた電気抵抗測定システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
この発明では、電子回路モジュールを確実に吸着した状態で、導電性膜と接地用電極との間の電気抵抗を測定するため、電気抵抗測定プローブの先端の構造についての改良が図られる。
【００１５】
この発明は、まず電気抵抗測定プローブに向けられる。
【００１６】
この発明に係る電気抵抗測定プローブは、電子部品と、電子部品が接続されている回路基板と、回路基板に接続された電子部品を埋設している埋設層と、埋設層の表面に付与され、かつ回路基板の接地用電極に接続されている導電性膜とを備えた電子回路モジュールの、導電性膜と接地用電極との間の電気抵抗の測定を行なうためのものである。
【００１７】
この発明に係る電気抵抗測定プローブは、一端に底部を有する管状のプローブ本体と、各々一方主面と他方主面とを有する第１の電極および第２の電極と、を含む。プローブ本体の底部は、貫通孔と、プローブ本体の長手方向の中心軸と直交する頂面を有する台状の突出部とを備えている。また、貫通孔は、突出部の頂面に形成されている。第１の電極および第２の電極は、各々の一方主面がプローブ本体の長手方向の中心軸と直交するように、各々の他方主面が底部の端面に接合され、かつ突出部によって互いに電気的に絶縁されている。そして、第１の電極の一方主面、第２の電極の一方主面、および突出部の頂面は、同一平面内にある。
【００１８】
上記の電気抵抗測定プローブでは、第１の電極の一方主面、第２の電極の一方主面、および減圧装置と連通する貫通孔が形成されている突出部の頂面が、同一平面内にある。そのため、電気抵抗測定プローブの先端と導電性膜とが密着し、プローブ本体の他端に減圧装置を接続してプローブ本体の内部を減圧した際に、十分な負圧が発生する。
【００１９】
すなわち、電子回路モジュールの導電性膜と接地用電極との間の電気抵抗の測定を行なう際に、電子回路モジュールが電気抵抗測定プローブの先端から外れることがない。したがって、電気抵抗測定プローブの先端に電子回路モジュールを確実に吸着させ、導電性膜と接地用電極との間の電気抵抗を確実に測定することができる。
【００２０】
この発明に係る別の電気抵抗測定プローブは、前述の電気抵抗測定プローブと同じく、前述の電子回路モジュールにおける導電性膜と接地用電極との間の電気抵抗の測定を行なうためのものである。
【００２１】
この発明に係る別の電気抵抗測定プローブは、一端に底部を有する管状のプローブ本体と、各々一方主面と他方主面とを有する第１の電極および第２の電極と、を含む。底部は、貫通孔を備えている。第１の電極および第２の電極は、各々の一方主面がプローブ本体の長手方向の中心軸と直交するように、各々の他方主面が底部の端面に接合され、かつ互いに電気的に絶縁されている。第１の電極および第２の電極のいずれか一方には、プローブ本体の底部の貫通孔と連通する電極貫通孔が形成されている。そして、第１の電極の一方主面および第２の電極の一方主面は、同一平面内にある。
【００２２】
上記の電気抵抗測定プローブでは、第１の電極および第２の電極のいずれか一方に、プローブ本体の底部の貫通孔と連通する電極貫通孔が形成されており、第１の電極の一方主面および第２の電極の一方主面が、同一平面内にある。第１の電極と第２の電極とは、両者の間にある空間により電気的に絶縁されることになる。この場合、電気抵抗測定プローブの先端と導電性膜との密着度合いは、第１の電極および第２の電極の高さ位置のみに依存する。その調整は容易であるため、電気抵抗測定プローブの先端と導電性膜とを容易に密着させることができる。
【００２３】
すなわち、プローブ本体の他端に減圧装置を接続してプローブ本体の内部を減圧した際に、十分な負圧が発生する。したがって、電気抵抗測定プローブの先端に電子回路モジュールを確実に吸着させ、導電性膜と接地用電極との間の電気抵抗を確実に測定することができる。
【００２４】
この発明に係る別の電気抵抗測定プローブは、以下の特徴を備えることが好ましい。すなわち、プローブ本体の底部は、プローブ本体の長手方向の中心軸と直交する頂面を有する台状の突出部をさらに備えている。第１の電極および第２の電極は、突出部によって互いに電気的に絶縁されている。そして、第１の電極の一方主面、第２の電極の一方主面、および突出部の頂面は、同一平面内にある。
【００２５】
上記の電気抵抗測定プローブでは、第１の電極と第２の電極との間に突出部を介在させている。すなわち、プローブ本体を構成する材料として、絶縁抵抗の十分高い材料を用いることにより、第１の電極と第２の電極との間の電気的な絶縁性を向上させることができる。そして、第１の電極の一方主面、第２の電極の一方主面、および突出部の頂面が、同一平面内にある。
【００２６】
したがって、電気抵抗測定プローブの先端に電子回路モジュールを確実に吸着させ、導電性膜と接地用電極との間の電気抵抗を確実に測定することができる。
【００２７】
この発明に係るさらに別の電気抵抗測定プローブは、前述の電気抵抗測定プローブと同じく、前述の電子回路モジュールにおける導電性膜と接地用電極との間の電気抵抗の測定を行なうためのものである。
【００２８】
この発明に係るさらに別の電気抵抗測定プローブは、一端に底部を有する管状のプローブ本体と、第１の電極ピンおよび第２の電極ピンと、を含む。底部は、貫通孔を備えている。底部の端面には、離間して設けられた第１の凹部および第２の凹部が形成されている。
【００２９】
ここで、第１の電極ピンは、第１の凹部内に先端が底部の端面から突出した状態で設置され、かつその先端がプローブ本体の長手方向の中心軸方向に進退自在となっている。第２の電極ピンは、第１の電極ピンと絶縁された状態で、第２の凹部内に先端が底部の端面から突出した状態で設置され、かつその先端がプローブ本体の長手方向の中心軸方向に進退自在となっている。そして、第１の電極ピンの先端、第２の電極ピンの先端、および底部の第１の凹部および第２の凹部が設けられている端面は、電気抵抗の測定時に同一平面内にある。
【００３０】
上記の電気抵抗測定プローブでは、第１の電極ピンが第１の凹部内に先端が底部の端面から突出した状態で設置され、かつその先端がプローブ本体の長手方向の中心軸方向に進退自在となっている。また、第２の電極ピンが第２の凹部内に先端が底部の端面から突出した状態で設置され、かつその先端がプローブ本体の長手方向の中心軸方向に進退自在となっている。
【００３１】
したがって、電気抵抗測定プローブの先端と導電性膜とを接触させる際、第１の電極ピンおよび第２の電極ピンの先端がまず導電性膜に接触する。次いで、プローブ本体の底部の端面が導電性膜に接触する。そのため、各電極ピンの先端と導電性膜との接触を維持したまま、電気抵抗測定プローブの先端と導電性膜とを密着させることができる。
【００３２】
すなわち、プローブ本体の他端に減圧装置を接続してプローブ本体の内部を減圧した際に、十分な負圧が発生する。したがって、電気抵抗測定プローブの先端に電子回路モジュールを確実に吸着させ、導電性膜と接地用電極との間の電気抵抗を確実に測定することができる。
【００３３】
この発明に係る前述の電気抵抗測定プローブの各々は、以下の特徴を備えることが好ましい。すなわち、プローブ本体の底部は、プローブ本体の外周面から張り出した鍔部を有する。
【００３４】
上記の電気抵抗測定プローブでは、プローブ本体の外周面から張り出した面積の広い鍔部を有する。すなわち、電気抵抗測定プローブの先端に電子回路モジュールを吸着させたとき、電子回路モジュールが鍔部によって支えられるため、その姿勢が安定する。したがって、電気抵抗測定プローブの先端に電子回路モジュールを確実に吸着させ、導電性膜と接地用電極との間の電気抵抗を確実に測定することができる。
【００３５】
また、この発明は、電気抵抗測定システムにも向けられる。
【００３６】
この発明に係る電気抵抗測定システムは、前述の電子回路モジュールにおける導電性膜と、第１の接地用電極および第２の接地用電極を含む接地用電極との間の電気抵抗の測定を行なうためのものである。
【００３７】
この発明に係る電気抵抗測定システムは、この発明に係る前述の電気抵抗測定プローブと、測定基板と、電気抵抗測定装置と、を含む。測定基板は、一方主面に第１の上部端子および第２の上部端子を有し、他方主面に第１の下部端子および第２の下部端子を有し、かつ内部に接地用導体を有している。
【００３８】
第１の上部端子と第１の下部端子とは、接地用導体を介して接続され、第２の上部端子と第２の下部端子とは、接地用導体を介さずに接続されている。電気抵抗測定装置は、定電流を供給する第１の電流源端子および第２の電流源端子、ならびに定電流が被測定物を流れる際に発生する電圧降下を測定する第１の電圧測定端子および第２の電圧測定端子を有している。
【００３９】
ここで、第１の電流源端子は、電気抵抗測定プローブの第２の電極または第２の電極ピンに接続され、第２の電流源端子は、測定基板の第１の下部端子に接続されている。また、第１の電圧測定端子は、電気抵抗測定プローブの第１の電極または第１の電極ピンに接続され、第２の電圧測定端子は、測定基板の第２の下部端子に接続されている。
【００４０】
上記の電気抵抗測定システムにおいては、第１の接地用電極と第１の上部端子とが接触し、第２の接地用電極と第２の上部端子とが接触するように、電子回路モジュールが測定基板の一方主面上に載置される。その状態で、第１の電極および第２の電極と、導電性膜とを接触させることにより、４端子測定法に基づく導電性膜と接地用電極との間の電気抵抗の測定回路が形成される。
【００４１】
すなわち、上記の電気抵抗測定システムでは、電気抵抗測定プローブと、測定基板と、電気抵抗測定装置との接続に用いられる配線の電気抵抗の影響を受けることなく、電圧測定を行なうことができる。したがって、電子回路モジュールにおける導電性膜と接地用電極との間の電気抵抗の測定を高精度に行なうことができる。
【発明の効果】
【００４２】
この発明に係る電気抵抗測定プローブでは、電子回路モジュールの導電性膜と接地用電極との間の電気抵抗の測定を行なう際に、電子回路モジュールが電気抵抗測定プローブの先端から外れることがない。したがって、導電性膜と接地用電極との間の電気抵抗を確実に測定することができる。
【００４３】
また、この発明に係る電気抵抗測定システムでは、電気抵抗測定プローブと、測定基板と、電気抵抗測定装置との接続に用いられる配線の電気抵抗の影響を受けることなく、電圧測定を行なうことができる。したがって、電子回路モジュールにおける導電性膜と接地用電極との間の電気抵抗の測定を高精度に行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】この発明に係る電気抵抗測定プローブの第１の実施形態である電気抵抗測定プローブ１０の、側面図、正面図、正面図のＢ１−Ｂ１線を含む面の矢視断面図、および側面図のＡ１−Ａ１線を含む面の矢視断面図である。
【図２】この発明に係る電気抵抗測定プローブの第２の実施形態である電気抵抗測定プローブ２０の、側面図、正面図、および正面図のＢ２−Ｂ２線を含む面の矢視断面図である。
【図３】この発明に係る電気抵抗測定プローブの第３実施形態である電気抵抗測定プローブ３０の、正面図、および正面図のＢ３−Ｂ３線を含む面の矢視断面図である。
【図４】この発明に係る電気抵抗測定プローブの第４の実施形態である電気抵抗測定プローブ４０の、正面図、および正面図のＢ４−Ｂ４線を含む面の矢視断面図である。
【図５】この発明に係る電気抵抗測定プローブの第５の実施形態である電気抵抗測定プローブ５０の、正面図、および正面図のＢ５−Ｂ５線を含む面の矢視断面図である。
【図６】この発明に係る電気抵抗測定プローブの第６の実施形態である電気抵抗測定プローブ６０の、正面図、および正面図のＢ６−Ｂ６線を含む面の矢視断面図である。
【図７】この発明に係る電気抵抗測定プローブの第７の実施形態である電気抵抗測定プローブ７０の、側面図、正面図、および正面図のＢ７−Ｂ７線を含む面の矢視断面図である。
【図８】この発明に係る電気抵抗測定システムに用いられる測定基板ＭＢの一例を説明するための断面図である。
【図９】この発明に係る電気抵抗測定システムの第１の実施形態である電気抵抗測定システム１００の模式図である。
【図１０】この発明に係る電気抵抗測定システムの第２の実施形態である電気抵抗測定システム２００の模式図である。
【図１１】電子回路モジュールＭの一例を説明するための断面図である。
【図１２】背景技術の電気抵抗測定システム３００の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００４５】
以下にこの発明の実施形態を示して、本発明の特徴とするところをさらに詳しく説明する。
【００４６】
−電気抵抗測定プローブの第１の実施形態−
この発明に係る電気抵抗測定プローブの第１の実施形態である電気抵抗測定プローブ１０について、図１を用いて説明する。電気抵抗測定プローブ１０は、前述の図１１に一例を示したような電子回路モジュールＭの、導電性膜Ｃと接地用電極との間の電気抵抗の測定を行なうためのものである。
【００４７】
図１（Ａ）は、電気抵抗測定プローブ１０の側面図である。図１（Ａ）では、後述の貫通孔１ｂを透視して示している。図１（Ｂ）は、電気抵抗測定プローブ１０の正面図である。図１（Ｃ）は、電気抵抗測定プローブ１０の、図１（Ｂ）のＢ１−Ｂ１線を含む面の矢視断面図である。図１（Ｄ）は、電気抵抗測定プローブ１０の、図１（Ａ）のＡ１−Ａ１線を含む面の矢視断面図である。
【００４８】
電気抵抗測定プローブ１０は、管状のプローブ本体１と、一方主面２ａ１および他方主面２ａ２を有する第１の電極２ａと、一方主面２ｂ１および他方主面２ｂ２を有する第２の電極２ｂとを含む。プローブ本体１は、例えばポリエーテルエーテルケトンのような、絶縁抵抗および強度の十分高い材料で形成されており、一端に底部１ａを有し、他端に不図示の減圧装置が接続される。
【００４９】
プローブ本体１の底部１ａは、貫通孔１ｂと、プローブ本体１の長手方向の中心軸ａｘと直交する頂面ｔｐとを有し、底部１ａの直径上に設けられた台状の突出部１ｃを備えている。また、貫通孔１ｂは、突出部１ｃの頂面ｔｐに形成されている。したがって、電子回路モジュールＭは、突出部１ｃの頂面ｔｐに吸引される。
【００５０】
なお、図１では、貫通孔１ｂは、その中心軸がプローブ本体１の長手方向の中心軸ａｘと同一となるように、突出部１ｃの中央に設けられている。一方、貫通孔１ｂの中心軸と、プローブ本体１の長手方向の中心軸ａｘとがずれていてもよい。すなわち、貫通孔１ｂは、突出部１ｃの頂面ｔｐに、減圧時の空気のリークが発生しないように形成されていれば、その形成位置は問わない。
【００５１】
第１の電極２ａおよび第２の電極２ｂは、平板状であり、各々の一方主面が中心軸ａｘと直交するように、各々の他方主面がプローブ本体１の底部１ａの端面に接合され、かつ突出部１ｃによって互いに電気的に絶縁されている。なお、図１においては、第１の電極２ａおよび第２の電極２ｂは、同じ面積の弓形である。一方、第１の電極２ａおよび第２の電極２ｂの形状はこれに限らず、任意の形状とすることができる。
【００５２】
また、第１の電極２ａおよび第２の電極２ｂの各々には、後述する電気抵抗測定装置との接続に必要な配線を取り付ける端子が設けられているが、図１においては図示を省略している。そして、第１の電極２ａの一方主面２ａ１、第２の電極２ｂの一方主面２ｂ１、および突出部１ｃの頂面ｔｐは、同一平面内にある。
【００５３】
そのため、電気抵抗測定プローブ１０の先端と電子回路モジュールＭの導電性膜Ｃとが密着する。すなわち、プローブ本体１の他端に不図示の減圧装置を接続してプローブ本体１の内部を減圧した際に、電子回路モジュールＭが十分な負圧で電気抵抗測定プローブ１０の先端に吸着保持される。したがって、電子回路モジュールＭが電気抵抗測定プローブ１０の先端から外れることがなく、導電性膜Ｃと接地用電極との間の電気抵抗を確実に測定することができる。
【００５４】
なお、図１では、突出部１ｃはプローブ本体１の直径方向に延び、長手方向の端部がプローブ本体１の外周面に到達するように形成されている。一方、突出部１ｃの長手方向の端部が、管状のプローブ本体１の外周面まで到達せず、第１の電極２ａと第２の電極２ｂとの間の一部に空間が存在するようにしてもよい。すなわち、第１の電極２ａの一方主面２ａ１、第２の電極２ｂの一方主面２ｂ１、および突出部１ｃの頂面ｔｐが同一平面内にあり、かつ減圧時の空気のリークが発生しなければ、突出部１ｃの形状は問わない。
【００５５】
−電気抵抗測定プローブの第２の実施形態−
この発明に係る電気抵抗測定プローブの第２の実施形態である電気抵抗測定プローブ２０について、図２を用いて説明する。電気抵抗測定プローブ２０は、図１に示した電気抵抗測定プローブ１０と同様の電気抵抗の測定を行なうためのものであるが、プローブ本体１の底部１ａの形状に特徴がある。それ以外の電気抵抗測定プローブ１０と共通する箇所の説明については省略する。
【００５６】
図２（Ａ）は、電気抵抗測定プローブ２０の側面図である。図２（Ａ）では、貫通孔１ｂを透視して示している。図２（Ｂ）は、電気抵抗測定プローブ２０の正面図である。図２（Ｃ）は、電気抵抗測定プローブ２０の、図２（Ｂ）のＢ２−Ｂ２線を含む面の矢視断面図である。
【００５７】
電気抵抗測定プローブ２０では、プローブ本体１の底部１ａは、プローブ本体１の外周面から張り出した鍔部１ｄを有する。図２では、第１の電極２ａおよび第２の電極２ｂは、突出部１ｃが形成されている箇所以外の鍔部１ｄを被覆するように、プローブ本体１の底部１ａの端面に接合されている。なお、第１の電極２ａおよび第２の電極２ｂは、鍔部１ｄの少なくとも一部を被覆するように、底部１ａの端面に接合されていればよい。
【００５８】
そのため、電気抵抗測定プローブ２０の先端に電子回路モジュールＭを吸着させたとき、電子回路モジュールＭが鍔部１ｄによって支えられるため、その姿勢が安定する。したがって、導電性膜Ｃと接地用電極との間の電気抵抗をより確実に測定することができる。
【００５９】
なお、図２では、突出部１ｃはプローブ本体１の直径方向に延び、長手方向の端部が鍔部１ｄの外周面に到達するように形成されている。一方、第１の実施形態と同様に、突出部１ｃの長手方向の端部が、鍔部１ｄの外周面まで到達せず、第１の電極２ａと第２の電極２ｂとの間の一部に空間が存在するようにしてもよい。
【００６０】
−電気抵抗測定プローブの第３の実施形態−
この発明に係る電気抵抗測定プローブの第３の実施形態である電気抵抗測定プローブ３０について、図３を用いて説明する。電気抵抗測定プローブ３０は、図２に示した電気抵抗測定プローブ２０と同様の電気抵抗の測定を行なうためのものであるが、プローブ本体１の底部１ａの形態に特徴がある。それ以外の電気抵抗測定プローブ２０と共通する箇所の説明については省略する。
【００６１】
図３（Ａ）は、電気抵抗測定プローブ３０の正面図である。図３（Ｂ）は、電気抵抗測定プローブ３０の、図３（Ａ）のＢ３−Ｂ３線を含む面の矢視断面図である。
【００６２】
電気抵抗測定プローブ３０では、第１の電極２ａおよび第２の電極２ｂは、各々の一方主面がプローブ本体１の長手方向の中心軸ａｘと直交するように、各々の他方主面がプローブ本体１の底部１ａの端面に接合され、かつ互いに電気的に絶縁されている。なお、図３においては、第１の電極２ａおよび第２の電極２ｂは、異なる面積の弓形であり、第１の電極２ａの方が第２の電極２ｂより大きな面積を有する。
【００６３】
ここで、プローブ本体１の底部１ａは、貫通孔１ｂを有しているが、突出部１ｃを有しておらず、第１の電極２ａと第２の電極２ｂとは、両者の間にある空間Ｇにより絶縁されている。また、第１の電極２ａには、貫通孔１ｂと連通する電極貫通孔２ａｂが形成されている。すなわち、電子回路モジュールＭは、第１の電極２ａに吸引される。そして、第１の電極２ａの一方主面２ａ１および第２の電極２ｂの一方主面２ｂ１は、同一平面内にある。
【００６４】
そのため、電気抵抗測定プローブ３０の先端と導電性膜Ｃとの密着度合いは、第１の電極２ａおよび第２の電極２ｂの高さ位置のみに依存し、突出部１ｃの高さ位置を考慮する必要がない。各電極だけであれば高さ位置の調整は容易であるため、電気抵抗測定プローブ３０の先端と導電性膜Ｃとを容易に密着させることができる。したがって、導電性膜Ｃと接地用電極との間の電気抵抗を確実に測定することができる。
【００６５】
−電気抵抗測定プローブの第４の実施形態−
この発明に係る電気抵抗測定プローブの第４の実施形態である電気抵抗測定プローブ４０について、図４を用いて説明する。電気抵抗測定プローブ４０は、図２に示した電気抵抗測定プローブ２０と同様の電気抵抗の測定を行なうためのものであるが、プローブ本体１の底部１ａの形態と、第１の電極２ａおよび第２の電極２ｂの形態とに特徴がある。それ以外の電気抵抗測定プローブ２０と共通する箇所の説明については省略する。
【００６６】
図４（Ａ）は、電気抵抗測定プローブ４０の正面図である。図４（Ｂ）は、電気抵抗測定プローブ４０の、図４（Ａ）のＢ４−Ｂ４線を含む面の矢視断面図である。
【００６７】
電気抵抗測定プローブ４０では、第１の電極２ａおよび第２の電極２ｂは、平板状であるが、電気抵抗測定プローブ１０のような弓形ではなく同心の円環である。ここで、プローブ本体１の底部１ａは、電気抵抗測定プローブ３０と同様に貫通孔１ｂを有しているが、突出部１ｃを有しておらず、第１の電極２ａと第２の電極２ｂとは、両者の間にある空間Ｇにより絶縁されている。また、図４では、一端が第２の電極２ｂに到達し、他端が鍔部１ｄの外周面に到達する孔ｈが形成されている。この孔ｈは後述する電気抵抗測定装置との接続に必要な配線を通すためのものである。
【００６８】
第２の電極２ｂには、プローブ本体１の底部１ａの貫通孔１ｂと連通し、第１の電極２ａおよび第２の電極２ｂと同心である電極貫通孔２ｂｂが形成されている。すなわち、電子回路モジュールＭは、第２の電極２ｂに吸引される。そして、第１の電極２ａの一方主面２ａ１および第２の電極２ｂの一方主面２ｂ１は、同一平面内にある。
【００６９】
そのため、電気抵抗測定プローブ３０と同様に、電気抵抗測定プローブ４０の先端と導電性膜Ｃとを容易に密着させることができる。したがって、導電性膜Ｃと接地用電極との間の電気抵抗を確実に測定することができる。また、電気抵抗測定プローブ４０の電極貫通孔２ｂｂは、第２の電極２ｂの中心に位置するようにしているので、加工が容易でもある。
【００７０】
−電気抵抗測定プローブの第５の実施形態−
この発明に係る電気抵抗測定プローブの第５の実施形態である電気抵抗測定プローブ５０について、図５を用いて説明する。電気抵抗測定プローブ５０は、図３に示した電気抵抗測定プローブ３０と同様の第１の電極２ａおよび第２の電極２ｂを有するが、プローブ本体１の底部１ａの形態に特徴がある。それ以外の電気抵抗測定プローブ３０と共通する箇所の説明については省略する。
【００７１】
図５（Ａ）は、電気抵抗測定プローブ５０の正面図である。図５（Ｂ）は、電気抵抗測定プローブ５０の、図５（Ａ）のＢ５−Ｂ５線を含む面の矢視断面図である。
【００７２】
電気抵抗測定プローブ５０では、プローブ本体１の底部１ａは、貫通孔１ｂと、プローブ本体１の長手方向の中心軸ａｘと直交する頂面ｔｐとを有し、底部１ａの直径からずれた位置にある弦上に設けられた台状の突出部１ｃを有している。すなわち、貫通孔１ｂは、突出部１ｃの頂面ｔｐに形成されていない。そして、第１の電極２ａの一方主面２ａ１、第２の電極２ｂの一方主面２ｂ１、および突出部１ｃの頂面ｔｐは、同一平面内にある。
【００７３】
そのため、プローブ本体１を構成する材料として、絶縁抵抗の十分高い材料を用いることにより、第１の電極２ａと第２の電極２ｂとの間の電気的な絶縁性を向上させることができる。そして、図３に示した電気抵抗測定プローブ３０と同様に、電気抵抗測定プローブ３０の先端と電子回路モジュールＭの導電性膜Ｃとが密着する。したがって、導電性膜Ｃと接地用電極との間の電気抵抗を確実に測定することができる。
【００７４】
−電気抵抗測定プローブの第６の実施形態−
この発明に係る電気抵抗測定プローブの第６の実施形態である電気抵抗測定プローブ６０について、図６を用いて説明する。電気抵抗測定プローブ６０は、図４に示した電気抵抗測定プローブ４０と同様の第１の電極２ａおよび第２の電極２ｂを有するが、プローブ本体１の底部１ａの形態に特徴がある。それ以外の電気抵抗測定プローブ４０と共通する箇所の説明については省略する。
【００７５】
図６（Ａ）は、電気抵抗測定プローブ６０の正面図である。図６（Ｂ）は、電気抵抗測定プローブ６０の、図６（Ａ）のＢ６−Ｂ６線を含む面の矢視断面図である。
【００７６】
電気抵抗測定プローブ６０では、プローブ本体１の底部１ａは、貫通孔１ｂと、プローブ本体１の長手方向の中心軸ａｘと直交する頂面ｔｐを有し、第１の電極２ａおよび第２の電極２ｂと同心の円環状かつ台状の突出部１ｃを有している。そして、第１の電極２ａの一方主面２ａ１、第２の電極２ｂの一方主面２ｂ１、および突出部１ｃの頂面ｔｐは、同一平面内にある。
【００７７】
そのため、プローブ本体１を構成する材料として、絶縁抵抗の十分高い材料を用いることにより、第１の電極２ａと第２の電極２ｂとの間の電気的な絶縁性を向上させることができる。そして、図４に示した電気抵抗測定プローブ４０と同様に、電気抵抗測定プローブ４０の先端と電子回路モジュールＭの導電性膜Ｃとが密着する。したがって、導電性膜Ｃと接地用電極との間の電気抵抗を確実に測定することができる。
【００７８】
−電気抵抗測定プローブの第７の実施形態−
この発明に係る電気抵抗測定プローブの第７の実施形態である電気抵抗測定プローブ７０について、図７を用いて説明する。電気抵抗測定プローブ７０は、図２に示した電気抵抗測定プローブ２０と同様の電気抵抗の測定を行なうためのものであるが、プローブ本体１の底部１ａの形態と、第１の電極２ａおよび第２の電極２ｂの形態とに特徴がある。それ以外の電気抵抗測定プローブ２０と共通する箇所の説明については省略する。
【００７９】
図７（Ａ）は、電気抵抗測定プローブ７０の側面図である。図７（Ａ）では、貫通孔１ｂを透視して示している。図７（Ｂ）は、電気抵抗測定プローブ７０の正面図である。図７（Ｃ）は、電気抵抗測定プローブ７０の、図７（Ｂ）のＢ７−Ｂ７線を含む面の矢視断面図である。
【００８０】
電気抵抗測定プローブ７０では、第１の電極２ａが第１の電極ピンとなっており、第２の電極２ｂが第２の電極ピンとなっている。図７においては、プローブ本体１の底部１ａの端面には、それぞれ長手方向がプローブ本体１の中心軸ａｘと平行となるように離間して設けられた円柱状の、第１の凹部３ａおよび第２の凹部３ｂが形成されている。ただし、第１の凹部３ａおよび第２の凹部３ｂは、上記の形状に限定されるものではない。なお、図７では、プローブ本体１の底部１ａが鍔部１ｄを有しており、第１の凹部３ａおよび第２の凹部３ｂは、鍔部１ｄの中心軸ａｘを挟んで対称となる位置に形成されている。
【００８１】
また、鍔部１ｄには、一端が第１の凹部３ａの底面に到達し、他端が底部１ａの第１の凹部３ａが設けられていない外表面に到達する孔ｈ１が形成されている。さらに、一端が第２の凹部３ｂの底面に到達し、他端が底部１ａの第２の凹部３ｂが設けられていない外表面に到達する孔ｈ２が形成されている。この孔ｈ１および孔ｈ２は、後述する電気抵抗測定装置との接続に必要な配線を通すためのものである。
【００８２】
第１の電極ピンは、剛体部２ａｓと弾性部２ａｅとを備えており、第１の凹部３ａ内にその先端（剛体部２ａｓの先端）がプローブ本体１の底部１ａの端面から突出した状態で設置されている。そして、第１の電極ピンは、弾性部２ａｅの変位によりその先端がプローブ本体１の長手方向の中心軸ａｘ方向に進退自在となっている。また、第２の電極ピンは、剛体部２ｂｓと弾性部２ｂｅとを備えており、第１の電極ピンと絶縁された状態で、第１の凹部３ａ内にその先端（剛体部２ｂｓの先端）がプローブ本体１の底部１ａの端面から突出した状態で設置されている。そして、第２の電極ピンは、第１の電極ピンと同様に、弾性部２ｂｅの変位によりその電極ピンの先端がプローブ本体１の長手方向の中心軸ａｘ方向に進退自在となっている。
【００８３】
電気抵抗測定プローブ７０の先端と導電性膜Ｃとを接触させる際、第１の電極ピンおよび第２の電極ピンの先端がまず導電性膜Ｃに接触する。次いで、弾性部２ａｅおよび弾性部２ｂｅが変位し、第１の電極ピンの先端および第２の電極ピンの先端が導電性膜Ｃと接触したまま、プローブ本体１の底部１ａの端面が導電性膜Ｃに接触する。すなわち、第１の電極ピンの先端、第２の電極ピンの先端、およびプローブ本体１の底部１ａの第１の凹部３ａおよび第２の凹部３ｂが設けられている端面は、電気抵抗の測定時に同一平面内にある。
【００８４】
そのため、これまで説明した電気抵抗測定プローブと同様に、電気抵抗測定プローブ７０の先端と電子回路モジュールＭの導電性膜Ｃとが密着する。したがって、導電性膜Ｃと接地用電極との間の電気抵抗を確実に測定することができる。
【００８５】
−電気抵抗測定システムの第１の実施形態−
この発明に係る電気抵抗測定システムの第１の実施形態である電気抵抗測定システム１００について、図８および図９を用いて説明する。電気抵抗測定システム１００は、前述の図１１に一例を示したような電子回路モジュールＭの、導電性膜Ｃと接地用電極との間の電気抵抗の測定を行なうためのものである。
【００８６】
図８は、電気抵抗測定システム１００で用いられる測定基板ＭＢの一例の断面図である。測定基板ＭＢは、一方主面に第１の上部端子ＵＥ１および第２の上部端子ＵＥ２を有し、他方主面に第１の下部端子ＬＥ１および第２の下部端子ＬＥ２を有し、かつ内部に接地用導体ＧＬを有している。第１の上部端子ＵＥ１と第１の下部端子ＬＥ１とは、接地用導体ＧＬを介して、ビア導体Ｖにより接続されている。一方、第２の上部端子ＵＥ２と第２の下部端子ＬＥ２とは、接地用導体ＧＬを介さずに、ビア導体Ｖにより接続されている。
【００８７】
また、測定基板ＭＢの一方側面には、一方主面上に設けられた不図示のパターン導体により第３の上部端子ＵＥ３と接続された第１の接続端子ＭＢｂ１が設けられている。さらに測定基板ＭＢの一方側面と対向する他方側面には、同じく不図示のパターン導体により第４の上部端子ＵＥ４と接続された第２の接続端子ＭＢｂ２が設けられている。
【００８８】
図９は、電気抵抗測定システム１００の模式図である。電気抵抗測定システム１００は、図２に示した電気抵抗測定プローブ２０と、図８に示した測定基板ＭＢと、電気抵抗測定装置ＭＭと、を含む。電気抵抗測定装置ＭＭは、第１の電流源端子ＭＩ１および第２の電流源端子ＭＩ２、ならびに第１の電圧測定端子ＭＶ１および第２の電圧測定端子ＭＶ２を有している。各々の電流源端子は、被測定物に定電流を供給するための端子である。また、各々の電圧測定端子は、定電流が被測定物を流れる際に発生する電圧降下を測定するための端子である。
【００８９】
第１の電流源端子ＭＩ１は、電気抵抗測定プローブ２０の第２の電極２ｂに接続され、第２の電流源端子ＭＩ２は、測定基板ＭＢの第１の下部端子ＬＥ１に接続されている。また、第１の電圧測定端子ＭＶ１は、電気抵抗測定プローブ２０の第１の電極２ａに接続され、第２の電圧測定端子ＭＶ２は、測定基板ＭＢの第２の下部端子ＬＥ２に接続されている。
【００９０】
なお、電気抵抗測定システム１００には、上記の構成要素以外に、高周波特性測定装置ＮＡが含まれている。高周波特性測定装置ＮＡは、第１の高周波特性測定端子ＮＴ１および第２の高周波特性測定端子ＮＴ２を有している。第１の高周波特性測定端子ＮＴ１は、測定基板ＭＢの第１の接続端子ＭＢｂ１と接続されている。また、第２の高周波特性測定端子ＮＴ２は、測定基板ＭＢの第２の接続端子ＭＢｂ２と接続されている。
【００９１】
次に、電気抵抗測定システム１００による、電子回路モジュールＭにおける導電性膜Ｃと接地用電極との間の電気抵抗の測定の概略を説明する。
【００９２】
複数個の電子回路モジュールＭは、例えば不図示のチップトレーなどに並べられた状態で準備されている。そして、電子回路モジュールＭは、電気抵抗測定プローブ２０により吸引保持され、測定基板ＭＢの一方主面上に載置される。前述のように、電気抵抗測定プローブ２０の第１の電極２ａの一方主面２ａ１、第２の電極２ｂの一方主面２ｂ１、および突出部１ｃの頂面ｔｐは、同一平面内にある。
【００９３】
すなわち、減圧時に電気抵抗測定プローブ２０の先端からの空気のリークがなく、電子回路モジュールＭは、電気抵抗測定プローブ２０の先端から外れることがない。したがって、電子回路モジュールＭは、チップトレーから測定基板ＭＢまで確実に搬送され、第１の電極２ａおよび第２の電極２ｂと、導電性膜Ｃが密着した状態で、導電性膜Ｃと接地用電極との間の電気抵抗が測定される。
【００９４】
測定基板ＭＢは、電子回路モジュールＭが測定基板ＭＢの一方主面上に載置された際に、第１の接地用電極Ｅ１と第１の上部端子ＵＥ１とが接触し、第２の接地用電極Ｅ２と第２の上部端子ＵＥ２とが接触するように構成されている。その状態で、第１の電極２ａおよび第２の電極２ｂと、導電性膜Ｃとを接触させることにより、４端子測定法に基づく導電性膜Ｃと接地用電極との間の電気抵抗の測定回路が形成される。
【００９５】
すなわち、電気抵抗測定システム１００では、各々の構成要素の接続に用いられる配線の電気抵抗の影響を受けることなく、定電流の通電に対する被測定物による電圧降下測定を行なうことができる。したがって、電子回路モジュールＭにおける導電性膜Ｃと接地用電極との間の電気抵抗の測定を高精度に行なうことができる。
【００９６】
なお、測定基板ＭＢは、電子回路モジュールＭが測定基板ＭＢの一方主面上に載置された際に、第１の信号電極Ｓ１と第３の上部端子ＵＥ３とが接触し、第２の信号電極Ｓ２と第４の上部端子ＵＥ４とが接触するようにも構成されている。
【００９７】
前述のように、第１の高周波特性測定端子ＮＴ１は、測定基板ＭＢの第１の接続端子ＭＢｂ１と接続されており、第２の高周波特性測定端子ＮＴ２は、測定基板ＭＢの第２の接続端子ＭＢｂ２と接続されている。すなわち、電子回路モジュールＭが測定基板ＭＢの一方主面上に載置された際には、高周波特性測定装置ＮＡによる高周波特性の測定も可能になっている。したがって、電気抵抗測定システム１００は、電子回路モジュールＭにおける導電性膜Ｃと接地用電極との間の電気抵抗の測定と、高周波特性の測定を同時に行なうことができる。
【００９８】
−電気抵抗測定システムの第２の実施形態−
この発明に係る電気抵抗測定システムの第２の実施形態である電気抵抗測定システム２００について、図１０を用いて説明する。電気抵抗測定システム２００は、構成要素として、電気抵抗測定プローブ７０を含んでいる。それ以外の電気抵抗測定システム１００と共通する箇所の説明については省略する。
【００９９】
電気抵抗測定プローブ７０では、第１の電極２ａが第１の電極ピンとなっており、第２の電極２ｂが第２の電極ピンとなっている。前述のように、第１の電極ピンおよび第２の電極ピンは、各々が備える弾性部の変位によりその先端がプローブ本体１の長手方向の中心軸ａｘ方向に進退自在となっている。
【０１００】
電子回路モジュールＭが電気抵抗測定プローブ７０により吸引保持される際、第１の電極ピンおよび第２の電極ピンの先端がまず導電性膜Ｃに接触する。次いで、各々の弾性部が変位し、第１の電極ピンの先端および第２の電極ピンの先端が導電性膜Ｃと接触したまま、プローブ本体１の底部１ａの端面が導電性膜Ｃに接触する。
【０１０１】
すなわち、減圧時に電気抵抗測定プローブ７０の先端からの空気のリークがなく、電子回路モジュールＭは、電気抵抗測定プローブ７０の先端から外れることがない。したがって、電子回路モジュールＭは、チップトレーから測定基板ＭＢまで確実に搬送され、第１の電極ピンおよび第２の電極ピンと、導電性膜Ｃが密着した状態で、導電性膜Ｃと接地用電極との間の電気抵抗が測定される。したがって、電気抵抗測定システム２００は、電気抵抗測定システム１００と同様に、４端子測定法に基づいて、電子回路モジュールＭにおける導電性膜Ｃと接地用電極との間の電気抵抗の測定を高精度に行なうことができる。
【０１０２】
なお、この発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、この発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることができる。また、この明細書に記載の各実施形態は、例示的なものであり、異なる実施形態間において、構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることを指摘しておく。
【符号の説明】
【０１０３】
１０、２０、３０、４０、５０、６０、７０    電気抵抗測定プローブ
１    プローブ本体
１ａ    底部
１ｂ    貫通孔
１ｃ    突出部
２ａ    第１の電極
２ａ１    第１の電極の一方主面
２ａ２    第１の電極の他方主面
２ａｂ    第１の電極の電極貫通孔
２ａｓ    第１の電極ピンの剛体部
２ａｅ    第１の電極ピンの弾性部
２ｂ    第２の電極
２ｂ１    第２の電極の一方主面
２ｂ２    第２の電極の他方主面
２ｂｂ    第２の電極の電極貫通孔
２ｂｓ    第２の電極ピンの剛体部
２ｂｅ    第２の電極ピンの弾性部
ａｘ    プローブ本体の中心軸
ｔｐ    突出部の頂面
１００、２００    電気抵抗測定システム
ＭＢ    測定基板
ＧＬ    接地用導体
ＵＥ１    第１の上部端子
ＵＥ２    第２の上部端子
ＬＥ１    第１の下部端子
ＬＥ２    第２の下部端子
ＭＭ    電気抵抗測定装置
ＭＩ１    第１の電流源端子
ＭＩ２    第２の電流源端子
ＭＶ１    第１の電圧測定端子
ＭＶ２    第２の電圧測定端子
Ｍ    電子回路モジュール
Ｂ    回路基板
Ｂ１    回路基板の一方主面
Ｂ２    回路基板の他方主面
Ｃ    導電性膜
Ｅ１    第１の接地用電極
Ｅ２    第２の接地用電極
Ｒ    埋設層
【図１】
0006435973.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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