(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１ガラスパネルと、
前記第１ガラスパネルと対向するように配置された第２ガラスパネルと、
前記第１ガラスパネルと前記第２ガラスパネルとの間に配置されて前記第１ガラスパネルと前記第２ガラスパネルとを気密に接合する枠状のシールと、
前記第１ガラスパネルと前記第２ガラスパネルと前記シールとで囲まれた真空空間と、
ガス吸着装置と、
を備え、
前記ガス吸着装置は、
前記真空空間内に位置する第１内側部分および前記真空空間外に位置する第１外側部分を有する第１電極と、
前記真空空間内に位置する第２内側部分および前記真空空間外に位置する第２外側部分を有する第２電極と、
ゲッタを含むガス吸着体を有し、前記第１内側部分と前記第２内側部分との間に接続されるガス吸着部と、
を備え、
前記ガス吸着部は、前記第１内側部分と前記第２内側部分との間に接続される加熱電極を有し、
前記ガス吸着体は、前記加熱電極に接触するように配置される、
ガラスパネルユニット。
【請求項２】
前記第１電極と前記第２電極とは、所定方向において離間し、
前記所定方向は、前記第１ガラスパネルと前記第２ガラスパネルとが対向する方向と交差する方向であり、
前記ガス吸着体は、前記ガス吸着体が前記第１ガラスパネルと前記第２ガラスパネルとのいずれにも接触しないように、前記加熱電極に支持される、
請求項１に記載のガラスパネルユニット。
【請求項３】
前記第１電極、前記第２電極、および、前記加熱電極は、金属箔で形成される、
請求項１または２に記載のガラスパネルユニット。
【請求項４】
第１ガラスパネルと、
前記第１ガラスパネルと対向するように配置された第２ガラスパネルと、
前記第１ガラスパネルと前記第２ガラスパネルとの間に配置されて前記第１ガラスパネルと前記第２ガラスパネルとを気密に接合する枠状のシールと、
前記第１ガラスパネルと前記第２ガラスパネルと前記シールとで囲まれた真空空間と、
ガス吸着装置と、
を備え、
前記ガス吸着装置は、
前記真空空間内に位置する第１内側部分および前記真空空間外に位置する第１外側部分を有する第１電極と、
前記真空空間内に位置する第２内側部分および前記真空空間外に位置する第２外側部分を有する第２電極と、
ゲッタを含むガス吸着体を有し、前記第１内側部分と前記第２内側部分との間に接続されるガス吸着部と、
を備え、
前記ガス吸着体は、導電性を有し、前記第１内側部分と前記第２内側部分との間に電気的に接続され、
前記第１電極と前記第２電極とは、所定方向において離間し、
前記所定方向は、前記第１ガラスパネルと前記第２ガラスパネルとが対向する方向であり、
前記第１内側部分と前記第２内側部分とは前記所定方向で互いに対向し、
前記ガス吸着体は、前記第１内側部分と前記第２内側部分との間に介在されている、
ガラスパネルユニット。
【請求項５】
前記第１電極は、前記第１ガラスパネルにおいて前記第２ガラスパネルと対向する面の全体に形成された第１導電膜であり、
前記第２電極は、前記第２ガラスパネルにおいて前記第１ガラスパネルと対向する面の全体に形成された第２導電膜であり、
前記第１導電膜および前記第２導電膜は、透明である、
請求項４に記載のガラスパネルユニット。
【請求項６】
前記第１導電膜と前記第２導電膜との少なくとも一方は、特定範囲の波長の光を遮断する特性を有する、
請求項５に記載のガラスパネルユニット。
【請求項７】
前記特定範囲は、赤外線と紫外線との少なくとも一方に対応する範囲である、
請求項６に記載のガラスパネルユニット。
【請求項８】
前記ガス吸着体は、導電性を有する粉末と前記ゲッタとの混合物により形成されている、
請求項４〜７のいずれか一つに記載のガラスパネルユニット。
【請求項９】
第１ガラス基板と、
前記第１ガラス基板と対向するように配置された第２ガラス基板と、
前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板との間に配置されて前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板とを気密に接合する枠体と、
前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板と前記枠体とで囲まれた内部空間と、
ガス吸着装置と、
前記内部空間を排気するための排気口と、
を備え、
前記ガス吸着装置は、
前記内部空間内に位置する第１内側部分および前記内部空間外に位置する第１外側部分を有する第１電極と、
前記内部空間内に位置する第２内側部分および前記内部空間外に位置する第２外側部分を有する第２電極と、
ゲッタを含むガス吸着体を有し、前記第１内側部分と前記第２内側部分との間に接続されるガス吸着部と、
を備え、
前記ガス吸着部は、前記第１内側部分と前記第２内側部分との間に接続される加熱電極を有し、
前記ガス吸着体は、前記加熱電極に接触するように配置される、
ガラスパネルユニットの組立て品。
【請求項１０】
第１ガラス基板と、
前記第１ガラス基板と対向するように配置された第２ガラス基板と、
前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板との間に配置されて前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板とを気密に接合する枠体と、
前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板と前記枠体とで囲まれた内部空間と、
ガス吸着装置と、
前記内部空間を排気するための排気口と、
を備え、
前記ガス吸着装置は、
前記内部空間内に位置する第１内側部分および前記内部空間外に位置する第１外側部分を有する第１電極と、
前記内部空間内に位置する第２内側部分および前記内部空間外に位置する第２外側部分を有する第２電極と、
ゲッタを含むガス吸着体を有し、前記第１内側部分と前記第２内側部分との間に接続されるガス吸着部と、
を備え、
前記ガス吸着体は、導電性を有し、前記第１内側部分と前記第２内側部分との間に電気的に接続され、
前記第１電極と前記第２電極とは、所定方向において離間し、
前記所定方向は、前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板とが対向する方向であり、
前記第１内側部分と前記第２内側部分とは前記所定方向で互いに対向し、
前記ガス吸着体は、前記第１内側部分と前記第２内側部分との間に介在されている、
ガラスパネルユニットの組立て品。
【請求項１１】
請求項９又は１０のガラスパネルユニットの組立て品を用意する組立工程と、
排気工程と、
を備え、
前記排気工程では、前記第１電極と前記第２電極とを用いて前記ガス吸着部に電流を流して前記ゲッタを活性化しながら前記排気口を通じて前記内部空間を排気して真空空間を形成する、
ガラスパネルユニットの製造方法。
【請求項１２】
さらに、密閉工程を備え、
前記密閉工程では、前記排気口を塞ぐ、
請求項１１に記載のガラスパネルユニットの製造方法。
【請求項１３】
さらに、密閉工程を備え、
前記ガラスパネルユニットの組立て品は、
前記内部空間を排気空間と通気空間とに仕切る仕切りと、
前記内部空間内に形成され、前記排気空間と前記通気空間とをつなぐ通気路と、
を備え、
前記排気口は、前記通気空間と外部空間とをつなぎ、
前記排気工程では、前記通気路、前記通気空間、前記排気口を介して前記排気空間を排気して真空空間を形成し、
前記密閉工程では、前記仕切りを変形させて前記通気路を塞ぐ、
請求項１１に記載のガラスパネルユニットの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラスパネルユニット、ガラスパネルユニットの組立て品、ガラスパネルユニットの製造方法に関し、特に、断熱用のガラスパネルユニット、ガラスパネルユニットの組立て品、ガラスパネルユニットの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、ゲッタを有する真空排気されたガラスパネルを開示する。ゲッタは、二枚の互いに離間されたガラスシート間に形成されるチャンバ領域内に配置されている。ゲッタは、ステンレス鋼等の金属から形成される円筒リング状のハウジング内に収納されている。特許文献１では、高周波エネルギをハウジングに送ることによってハウジングを加熱して、ゲッタを活性化させる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特表２００３−５０７８４５号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１では、ガラスパネル全体を加熱しなくてもゲッタを活性化させることできる。しかしながら、ハウジングを加熱するための高周波エネルギによってガラス部材（ガラスシート）も部分的に加熱されてしまう。したがって、場合によっては、ガラス部材に部分的な熱膨張が生じ、ガラス部材が破損してしまうおそれがあった。
【０００５】
本発明が解決しようとする課題は、ゲッタの活性化の際にガラス部材が破損しにくいガラスパネルユニットを得ることである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る形態のガラスパネルユニットは、第１ガラスパネルと、前記第１ガラスパネルと対向するように配置された第２ガラスパネルと、前記第１ガラスパネルと前記第２ガラスパネルとの間に配置されて前記第１ガラスパネルと前記第２ガラスパネルとを気密に接合する枠状のシールと、前記第１ガラスパネルと前記第２ガラスパネルと前記シールとで囲まれた真空空間と、ガス吸着装置と、を備える。前記ガス吸着装置は、前記真空空間内に位置する第１内側部分および前記真空空間外に位置する第１外側部分を有する第１電極と、前記真空空間内に位置する第２内側部分および前記真空空間外に位置する第２外側部分を有する第２電極と、ゲッタを含むガス吸着体を有し、前記第１内側部分と前記第２内側部分との間に接続されるガス吸着部と、を備える。
【０００７】
本発明に係る他の形態のガラスパネルユニットの組立て品は、第１ガラス基板と、前記第１ガラス基板と対向するように配置された第２ガラス基板と、前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板との間に配置されて前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板とを気密に接合する枠体と、前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板と前記枠体とで囲まれた内部空間と、ガス吸着装置と、前記内部空間を排気するための排気口と、を備える。前記ガス吸着装置は、前記内部空間内に位置する第１内側部分および前記内部空間外に位置する第１外側部分を有する第１電極と、前記内部空間内に位置する第２内側部分および前記内部空間外に位置する第２外側部分を有する第２電極と、ゲッタを含むガス吸着体を有し、前記第１内側部分と前記第２内側部分との間に接続されるガス吸着部と、を備える。
【０００８】
本発明に係る他の形態のガラスパネルユニットの製造方法は、ガラスパネルユニットの組立て品を用意する組立工程と、排気工程と、を備える。前記ガラスパネルユニットの組立て品は、第１ガラス基板と、前記第１ガラス基板と対向するように配置された第２ガラス基板と、前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板との間に配置されて前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板とを気密に接合する枠体と、前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板と前記枠体とで囲まれた内部空間と、ガス吸着装置と、前記内部空間を排気するための排気口と、を備える。前記ガス吸着装置は、前記内部空間内に位置する第１内側部分および前記内部空間外に位置する第１外側部分を有する第１電極と、前記内部空間内に位置する第２内側部分および前記内部空間外に位置する第２外側部分を有する第２電極と、ゲッタを含むガス吸着体を有し、前記第１内側部分と前記第２内側部分との間に接続されるガス吸着部と、を備える。前記排気工程では、前記第１電極と前記第２電極とを用いて前記ガス吸着部に電流を流して前記ゲッタを活性化しながら前記排気口を通じて前記内部空間を排気して真空空間を形成する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る各形態によれば、ゲッタの活性化の際にガラス部材が破損しにくいガラスパネルユニットが得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】実施形態１のガラスパネルユニットの概略斜視図である。
【図２】実施形態１のガラスパネルユニットの概略平面図である。
【図３】実施形態１のガラスパネルユニットの概略断面図である。
【図４】実施形態１のガラスパネルユニットの製造方法の説明図である。
【図５】実施形態２のガラスパネルユニットの概略平面図である。
【図６】実施形態２のガラスパネルユニットの概略断面図である。
【図７】実施形態２のガラスパネルユニットの製造方法の説明図である。
【図８】実施形態２のガラスパネルユニットの製造方法の説明図である。
【図９】実施形態２のガラスパネルユニットの製造方法の説明図である。
【図１０】実施形態３のガラスパネルユニットの概略斜視図である。
【図１１】実施形態４のガラスパネルユニットの概略断面図である。
【図１２】実施形態５のガラスパネルユニットの概略断面図である。
【図１３】実施形態５のガラスパネルユニットの概略平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
［１．実施形態］
図１〜図１２は、本発明に係る実施形態１〜５のガラスパネルユニット１０（１０Ａ〜１０Ｅ）を示す。ガラスパネルユニット１０Ａ〜１０Ｅは、真空断熱ガラスユニットである。真空断熱ガラスユニットは、少なくとも一対のガラスパネルを備える複層ガラスパネルの一種であって、一対のガラスパネル間に真空空間を有している。
【００１２】
［１−１．実施形態１］
［１−１−１．構成］
図１〜図３に示されるように、本実施形態のガラスパネルユニット１０（１０Ａ）は、第１ガラスパネル２０（２０Ａ）と、第２ガラスパネル３０（３０Ａ）と、シール４０（４０Ａ）と、真空空間５０（５０Ａ）と、ガス吸着装置６０（６０Ａ）と、を備える。さらに、ガラスパネルユニット１０Ａは、複数のスペーサ７０と、排気口７００と、キャップ９１１と、を備える。
【００１３】
ガラスパネルユニット１０Ａは、図４に示されるガラスパネルユニットの組立て品（以下、必要に応じて単に「組立て品」という）１００（１００Ａ）から得られる。つまり、ガラスパネルユニット１０Ａは、組立て品１００Ａから得られるガラスパネルユニットの完成品である。
【００１４】
組立て品１００Ａは、第１ガラス基板２００と、第２ガラス基板３００と、枠体４１０と、内部空間５００と、ガス吸着装置６０Ａと、排気口７００と、を備える。また、組立て品１００Ａは、複数のスペーサ７０を備える。
【００１５】
第１ガラス基板２００は、第１ガラス基板２００の平面形状を定めるガラス板２１０と、コーティング２２０と、を備える。
【００１６】
ガラス板２１０は、矩形状の平板であり、互いに平行な厚み方向の第１面および第２面を有する。ガラス板２１０の第１面および第２面はいずれも平面である。ガラス板２１０の材料は、たとえば、ソーダライムガラス、高歪点ガラス、化学強化ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス、ネオセラム、物理強化ガラスである。
【００１７】
コーティング２２０は、ガラス板２１０の第１面に形成される。コーティング２２０は、透明な赤外線反射膜である。なお、コーティング２２０は、赤外線反射膜に限定されず、所望の物理特性を有する膜であってもよい。
【００１８】
第２ガラス基板３００は、第２ガラス基板３００の平面形状を定めるガラス板３１０を備える。ガラス板３１０は、矩形状の平板であり、互いに平行な厚み方向の第１面および第２面を有する。ガラス板３１０の第１面および第２面はいずれも平面である。
【００１９】
ガラス板３１０の平面形状および平面サイズは、ガラス板２１０と同じである（つまり、第２ガラス基板３００の平面形状は、第１ガラス基板２００と同じである）。また、ガラス板３１０の厚みは、ガラス板２１０と同じである。ガラス板３１０の材料は、たとえば、ソーダライムガラス、高歪点ガラス、化学強化ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス、ネオセラム、物理強化ガラスである。
【００２０】
第２ガラス基板３００は、ガラス板３１０のみで構成されている。つまり、ガラス板３１０が第２ガラス基板３００そのものである。
【００２１】
第２ガラス基板３００は、第１ガラス基板２００に対向するように配置される。具体的には、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とは、ガラス板２１０の第１面とガラス板３１０の第１面とが互いに平行かつ対向するように配置される。また、第１ガラス基板２００の長さ方向、幅方向、および厚み方向は、それぞれ、第２ガラス基板３００の長さ方向、幅方向、および厚み方向と同じである。そして、第１および第２ガラス基板２００，３００の長さ方向、幅方向、および厚み方向は、それぞれ、組立て品１００Ａの長さ方向、幅方向、および厚み方向となる。
【００２２】
枠体４１０は、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００との間に配置され、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを気密に接合する。これによって、枠体４１０と第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とで囲まれた内部空間５００が形成される。
【００２３】
枠体４１０は、熱接着剤（第１熱接着剤）で形成されている。第１熱接着剤は、たとえば、ガラスフリットである。ガラスフリットは、たとえば、低融点ガラスフリットである。低融点ガラスフリットは、たとえば、ビスマス系ガラスフリット、鉛系ガラスフリット、バナジウム系ガラスフリットである。
【００２４】
枠体４１０は、矩形の枠状である。枠体４１０の平面形状は、ガラス板２１０，３１０と同じであるが、枠体４１０の平面サイズはガラス板２１０，３１０より小さい。枠体４１０は、第２ガラス基板３００の外周に沿って形成されている。つまり、枠体４１０は、第２ガラス基板３００上のほぼすべての領域を囲うように形成されている。
【００２５】
第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とは、枠体４１０の第１熱接着剤を一旦溶融させることで、枠体４１０によって気密に接合される。
【００２６】
排気口７００は、内部空間５００と外部空間とをつなぐ孔である。排気口７００は、内部空間５００を排気するために用いられる。排気口７００は、内部空間５００と外部空間とをつなぐように第２ガラス基板３００に形成されている。具体的には、排気口７００は、第２ガラス基板３００の長さ方向の第１端側（図４における右端側）の角部分に位置している。
【００２７】
ガス吸着装置６０（６０Ａ）は、第１電極６１（６１Ａ）と、第２電極６２（６２Ａ）と、ガス吸着部６３（６３Ａ）と、を備える。ガス吸着装置６０Ａは、第２ガラス基板３００（あるいは第１ガラス基板２００）の長さ方向の第２端（図４における左端）に、配置されている。
【００２８】
第１電極６１Ａは、内部空間５００内に位置する第１内側部分６１０および内部空間５００外に位置する第１外側部分６１１を有する。第１電極６１Ａは、さらに、第１内側部分６１０と第１外側部分６１１とを連結する第１連結部分６１２を有する。
【００２９】
第１電極６１Ａは、長尺の平板状である。つまり、第１電極６１Ａの長さ方向の両端部がそれぞれ第１内側部分６１０および第１外側部分６１１であり、第１電極６１Ａの長さ方向の中央部が第１連結部分６１２である。第１電極６１Ａは、第２ガラス基板３００の長さ方向の第２端（図４における左端）に、枠体４１０を、第２ガラス基板３００の長さ方向に沿って横切るように、形成されている。
【００３０】
第１電極６１Ａは、金属箔で形成されている。金属箔は、たとえば、所望の金属（銅、銀、金など）で形成される。なお、金属箔は、１以上の層を有していてもよい。
【００３１】
第２電極６２Ａは、内部空間５００内に位置する第２内側部分６２０および内部空間５００外に位置する第２外側部分６２１を有する。第２電極６２Ａは、さらに、第２内側部分６２０と第２外側部分６２１とを連結する第２連結部分６２２を有する。
【００３２】
第２電極６２Ａは、長尺の平板状である。つまり、第２電極６２Ａの長さ方向の両端部がそれぞれ第２内側部分６２０および第２外側部分６２１であり、第２電極６２Ａの長さ方向の中央部が第２連結部分６２２である。第２電極６２Ａは、第２ガラス基板３００の長さ方向の第２端（図４における左端）に、枠体４１０を、第２ガラス基板３００の長さ方向に沿って横切るように、形成されている。
【００３３】
第２電極６２Ａは、金属箔で形成されている。金属箔は、たとえば、所望の金属（銅、銀、金など）で形成される。なお、金属箔は、１以上の層を有していてもよい。
【００３４】
第１電極６１Ａと第２電極６２Ａとは、所定方向において離間している。所定方向は、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とが対向する方向（第１ガラス基板２００の厚み方向、第２ガラス基板３００の厚み方向）と交差する方向である。特に、所定方向は、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とが対向する方向と直交する方向（第１ガラス基板２００の幅方向、第２ガラス基板３００の幅方向）である。また、第１電極６１Ａと第２電極６２Ａとは、互いに平行している。ただし、第１電極６１Ａと第２電極６２Ａとは、互いに平行していなくてもよい。
【００３５】
ガス吸着部６３Ａは、ガス吸着体６３０（６３０Ａ）を有し、第１内側部分６１０と第２内側部分６２０との間に接続される。ガス吸着部６３Ａは、さらに、加熱電極６３１を有する。
【００３６】
加熱電極６３１は、第１内側部分６１０と第２内側部分６２０との間に接続される。加熱電極６３１は、長尺の平板状であり、上述の所定方向に沿って伸びている。
【００３７】
加熱電極６３１は、金属箔で形成されている。金属箔は、たとえば、所望の金属（銅、銀、金など）で形成される。なお、金属箔は、１以上の層を有していてもよい。加熱電極６３１と、第１電極６１Ａと、第２電極６２Ａとは、一枚の金属箔を用いて形成されている。なお、加熱電極６３１と、第１電極６１Ａと、第２電極６２Ａとは、同じ金属箔を用いて形成しなくてもよい。
【００３８】
ガス吸着体６３０Ａは、長尺の平板状である。ガス吸着体６３０Ａは、加熱電極６３１に接触するように配置される。ガス吸着体６３０Ａは、ガス吸着体６３０Ａが第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とのいずれにも接触しないように、加熱電極６３１に支持される。
【００３９】
ガス吸着体６３０Ａは、不要なガス（残留ガス等）を吸着するために用いられる。不要なガスは、たとえば、枠体４１０などが加熱された際に枠体４１０などから放出されるガスである。
【００４０】
ガス吸着体６３０Ａは、ゲッタを有する。ゲッタは、所定の大きさより小さい分子を吸着する性質を有する材料である。ゲッタは、たとえば、蒸発型ゲッタである。蒸発型ゲッタは、所定温度（活性化温度）以上になると、吸着された分子を放出する性質を有している。そのため、蒸発型ゲッタの吸着能力が低下しても、蒸発型ゲッタを活性化温度以上に加熱することで、蒸発型ゲッタの吸着能力を回復させることができる。蒸発型ゲッタは、たとえば、ゼオライトまたはイオン交換されたゼオライト（たとえば、銅イオン交換されたゼオライト）である。
【００４１】
ガス吸着体６３０Ａは、このゲッタの粉体を備えている。具体的には、ガス吸着体６３０Ａは、ゲッタの粉体を含む液体（たとえばゲッタの粉体を液体に分散して得られた分散液や、ゲッタの粉体を液体に溶解させて得られた溶液）を塗布して固形化することにより形成される。この場合、ガス吸着体６３０Ａを小さくできる。したがって、内部空間５００が狭くてもガス吸着体６３０Ａを配置できる。
【００４２】
ガス吸着装置６０Ａでは、第１および第２外側部分６１１，６２１との間に電圧が印加されると、ガス吸着部６３Ａの加熱電極６３１に電流が流れる。これによって、加熱電極６３１の温度が上昇するから、加熱電極６３１に接触しているガス吸着体６３０Ａ（ゲッタ）の温度も上昇する。したがって、第１および第２外側部分６１１，６２１間に電圧を印加することによって、ゲッタを活性化させることができる。そのため、ガラスパネルユニット１０Ａ全体を加熱しなくてもゲッタを活性化させることできる。また、ゲッタを活性化させるために、ガラス部材（ガラス板２１０，３１０等）が部分的に過度に加熱されて破損してしまう可能性を低くできる。
【００４３】
複数のスペーサ７０は、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００との間隔を所定間隔に維持するために用いられる。つまり、複数のスペーサ７０は、第１ガラスパネル２０Ａと第２ガラスパネル３０Ａとの距離を所望の値に維持するために使用される。
【００４４】
複数のスペーサ７０は、内部空間５００内に配置されている。具体的には、複数のスペーサ７０は、仮想的な矩形状の格子の交差点に配置されている。たとえば、複数のスペーサ７０の間隔は、２ｃｍである。ただし、スペーサ７０の大きさ、スペーサ７０の数、スペーサ７０の間隔、スペーサ７０の配置パターンは、適宜選択することができる。
【００４５】
スペーサ７０は、上記所定間隔とほぼ等しい高さを有する円柱状である。たとえば、スペーサ７０は、直径が１ｍｍ、高さが１００μｍである。なお、各スペーサ７０は、角柱状や球状などの所望の形状であってもよい。
【００４６】
スペーサ７０は、透明な材料を用いて形成される。ただし、各スペーサ７０は、十分に小さければ、不透明な材料を用いて形成されていてもよい。
【００４７】
組立て品１００Ａは、ガラスパネルユニット１０Ａを得るために、次の処理に供される。
【００４８】
まず、第１電極６１Ａと第２電極６２Ａとを用いてガス吸着部６３Ａに電流を流してゲッタを活性化しながら排気口７００を通じて内部空間５００を排気して真空空間５０Ａを形成する。これによって、内部空間５００の排気とゲッタの吸着能力の回復とが同時に行える。次に、キャップ９１１により、排気口７００を塞ぐ。これによって、ガラスパネルユニット１０Ａが得られる。
【００４９】
このようにして得られたガラスパネルユニット１０Ａは、上述したように、第１ガラスパネル２０Ａと、第２ガラスパネル３０Ａと、シール４０Ａと、真空空間５０Ａと、ガス吸着装置６０Ａと、複数のスペーサ７０と、排気口７００と、キャップ９１１と、を備える。なお、ガス吸着装置６０Ａと、複数のスペーサ７０と、排気口７００と、については、既に説明されているから、ここでは詳細な説明は省略する。
【００５０】
ガラスパネルユニット１０Ａでは、組立て体１００Ａの第１ガラス基板２００、第２ガラス基板３００、および枠体４１０が、それぞれ、第１ガラスパネル２０Ａ、第２ガラスパネル３０Ａ、およびシール４０Ａとなる。
【００５１】
第１ガラスパネル２０Ａは、第１ガラスパネル２０Ａの平面形状を定める本体２１（２１Ａ）と、コーティング２２（２２Ａ）と、を備える。第１ガラスパネル２０Ａは、第１ガラス基板２００であるから、本体２１Ａはガラス板２１０であり、コーティング２２Ａはコーティング２２０である。したがって、本体２１Ａも、矩形状であり、互いに平行な厚み方向の第１面（図３における下面）および第２面（図３における上面）を有する。本体２１Ａの第１面および第２面はいずれも平面である。
【００５２】
第２ガラスパネル３０Ａは、第２ガラスパネル３０Ａの平面形状を定める本体３１を備える。第２ガラスパネル３０Ａは第２ガラス基板３００であるから、本体３１Ａはガラス板３１０である。したがって、本体３１Ａも、矩形状であり、互いに平行な厚み方向の第１面（図３における上面）および第２面（図３における下面）を有する。本体３１Ａの第１面および第２面はいずれも平面である。本体３１Ａの平面形状は、本体２１Ａと同じである（つまり、第２ガラスパネル３０Ａの平面形状は、第１ガラスパネル２０Ａと同じである）。
【００５３】
第２ガラスパネル３０Ａは、本体３１Ａのみで構成されている。つまり、本体３１Ａそのものが第２ガラスパネル３０Ａである。
【００５４】
第１ガラスパネル２０Ａと第２ガラスパネル３０Ａとは、本体２１Ａの第２面と本体３１Ａの第１面とが互いに平行かつ対向するように配置されている。つまり、本体２１Ａの第２面はガラスパネルユニット１０の外側に向けられ、本体２１Ａの第１面はガラスパネルユニット１０の内側に向けられる。また、本体３１Ａの第１面はガラスパネルユニット１０の内側に向けられ、本体３１Ａの第２面はガラスパネルユニット１０の外側に向けられる。
【００５５】
ここで、第１ガラスパネル２０Ａの長さ方向、幅方向、および厚み方向は、それぞれ、第２ガラスパネル３０Ａの長さ方向、幅方向、および厚み方向と同じである。そして、第１および第２ガラスパネル２０Ａ，３０Ａの長さ方向、幅方向、および厚み方向は、それぞれ、ガラスパネルユニット１０Ａの長さ方向、幅方向、および厚み方向となる。
【００５６】
シール４０Ａは、真空空間５０を完全に囲むとともに、第１ガラスパネル２０Ａと第２ガラスパネル３０Ａとを気密に接合する。シール４０Ａは、枠体４１０であるから、矩形の枠状であり、熱接着剤（第１熱接着剤）で形成されている。
【００５７】
真空空間５０Ａは、第１ガラスパネル２０Ａと第２ガラスパネル３０Ａとシール４０とで囲まれた空間である。真空空間５０Ａは、上述したように、排気口７００を介して内部空間５００を排気することで形成される。換言すれば、真空空間５０Ａは、真空度が所定値以下の内部空間５００である。所定値は、たとえば、０．１Ｐａである。真空空間５０Ａは、第１ガラスパネル２０Ａと第２ガラスパネル３０Ａとシール４０とキャップ９１１とで完全に密閉されているから、外部空間から分離されている。
【００５８】
ガス吸着装置６０Ａは、上述したように、第１電極６１Ａと、第２電極６２Ａと、ガス吸着部６３Ａと、を備える。ただし、ガラスパネルユニット１０Ａでは、第１および第２内側部分６１０，６２０は真空空間５０Ａ内に位置し、第１および第２外側部分６１１，６２１は真空空間５０Ａ外に位置する。
【００５９】
キャップ９１１は、排気口７００を塞ぐ。キャップ９１１は、第２ガラスパネル３０Ａの本体３１Ａの第２面に取り付けられている。キャップ９１１は、たとえば、排気口７００を介して内部空間５００を排気するために使用される排気管９１０（図４参照）を用いて形成される。具体的には、内部空間５００の排気後に、排気管９１０を変形させて排気管９１０の一端の開口を閉じることで、キャップ９１１が得られる。なお、排気管９１０は、たとえば、適宜の材料（たとえば金属、ガラスなど）で形成される。
【００６０】
［１−１−２．製造方法］
次に、ガラスパネルユニット１０Ａの製造方法について、図４を参照して説明する。
【００６１】
ガラスパネルユニット１０Ａの製造方法は、準備工程と、組立工程と、排気工程と、密閉工程と、を有する。なお、準備工程は、省略してよい。
【００６２】
準備工程は、組立て品１００Ａを得るために、第１ガラス基板２００、第２ガラス基板３００、枠体４１０、内部空間５００、排気口７００、ガス吸着装置６０Ａ、および複数のスペーサ７０を形成する工程である。準備工程は、第１〜第６工程を有する。なお、第２〜第５工程の順番は、適宜変更してもよい。
【００６３】
第１工程は、第１ガラス基板２００および第２ガラス基板３００を形成する工程（基板形成工程）である。たとえば、第１工程では、第１ガラス基板２００および第２ガラス基板３００を作製する。また、第１工程では、必要に応じて、第１ガラス基板２００および第２ガラス基板３００を洗浄する。さらに、第１工程では、金属箔を用いて、第１および第２電極６１Ａ，６２Ａおよび加熱電極６３１を第２ガラス基板３００の所定位置に形成する。なお、第１および第２電極６１Ａ，６２Ａおよび加熱電極６３１は、必ずしも第１工程で形成する必要はない。
【００６４】
第２工程は、排気口７００を形成する工程である。第２工程では、第２ガラス基板３００に、排気口７００を形成する。また、第２工程では、必要に応じて、第２ガラス基板３００を洗浄する。
【００６５】
第３工程は、枠体４１０を形成する工程（シール材形成工程）である。第３工程では、ディスペンサなどを利用して、枠体４１０の材料（第１熱接着剤）を第２ガラス基板３００（ガラス板３１０の第１面）上に塗布する。そして、枠体４１０の材料を乾燥させるとともに、仮焼成する。たとえば、枠体４１０の材料および仕切り４２０の材料が塗布された第２ガラス基板３００を４８０℃で２０分間加熱する。なお、第１ガラス基板２００を第２ガラス基板３００と一緒に加熱してもよい。つまり、第１ガラス基板２００を第２ガラス基板３００と同じ条件（４８０℃で２０分間）で加熱してもよい。これにより、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００との反りの差を低減できる。
【００６６】
第４工程は、スペーサ７０を形成する工程（スペーサ形成工程）である。第４工程では、複数のスペーサ７０を予め形成しておき、チップマウンタなどを利用して、複数のスペーサ７０を、第２ガラス基板３００の所定位置に配置する。なお、複数のスペーサ７０は、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を利用して形成されていてもよい。この場合、複数のスペーサ７０は、光硬化性材料などを用いて形成される。あるいは、複数のスペーサ７０は、周知の薄膜形成技術を利用して形成されていてもよい。
【００６７】
第５工程は、ガス吸着体６３０Ａを形成する工程（ガス吸着体形成工程）である。第５工程では、ゲッタの粉体が分散された溶液を加熱電極６３１の所定位置に塗布し、乾燥させることで、ガス吸着体６３０Ａを形成する。
【００６８】
第１工程から第５工程が終了することで、枠体４１０、排気口７００、ガス吸着装置６０Ａ、複数のスペーサ７０が形成された第２ガラス基板３００が得られる。
【００６９】
第６工程は、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを配置する工程（配置工程）である。第６工程では、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とは、ガラス板２１０の第１面とガラス板３１０の第１面とが互いに平行かつ対向するように配置される。
【００７０】
組立工程は、組立て品１００Ａを用意する工程である。具体的には、組立工程では、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを接合することで、組立て品１００Ａを用意する。つまり、組立工程は、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを枠体４１により気密に接合する工程（溶融工程）である。
【００７１】
組立工程では、第１熱接着剤を一旦溶融させることで、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを気密に接合する。具体的には、第１ガラス基板２００および第２ガラス基板３００は、溶融炉内に配置され、所定の溶融温度で所定の溶融時間だけ加熱される。所定の溶融温度で所定の溶融時間は、枠体４１０の第１熱接着剤によって第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とが気密に接合されるように、設定される。
【００７２】
上述した組立工程（溶融工程）によって、図４に示される組立て品１００Ａが得られる。
【００７３】
排気工程は、第１電極６１Ａと第２電極６２Ａとを用いてガス吸着部６３Ａに電流を流してゲッタを活性化しながら排気口７００を通じて内部空間５００を排気して真空空間５０Ａを形成する工程である。
【００７４】
内部空間５００の排気は、たとえば、真空ポンプを用いて行われる。真空ポンプは、図４に示されるように、排気管９１０と、シールヘッド９２０と、により組立て品１００Ａに接続される。排気管９１０は、たとえば、排気管９１０の内部と排気口７００とが連通するように第２ガラス基板３００に接合される。そして、排気管９１０にシールヘッド９２０が取り付けられ、これによって、真空ポンプの吸気口が排気口７００に接続される。
【００７５】
排気工程では、ゲッタが活性化される。そのため、ゲッタが吸着していた分子（ガス）がゲッタから放出される。そして、ゲッタから放出された分子（つまりガス）は、排気口７００を通じて排出される。したがって、排気工程では、ガス吸着体６３０Ａの吸着能力が回復する。
【００７６】
排気工程では、所定時間（排気時間）だけ、排気口７００を介して内部空間５００を排気する。排気時間は、所望の真空度（たとえば、０．１Ｐａ以下の真空度）の真空空間５０が得られるように設定される。
【００７７】
密閉工程では、排気口７００を塞ぐ。具体的には、排気管９１０の一端の開口を閉じることで、排気口７００を塞ぐキャップ９１１を形成する。これにより、図１〜図３に示されるガラスパネルユニット１０Ａが得られる。
【００７８】
なお、溶融工程では、枠体４１０が加熱されているから、枠体４１０からガスが放出されることがある。枠体４１０から放出されたガスはガス吸着体６３０Ａに吸着されるから、溶融工程によってガス吸着体６３０Ａの吸着能力が低下している場合がある。しかしながら、排気工程では、ガス吸着体６３０Ａの吸着能力を回復させている。したがって、ガス吸着体６３０Ａは、真空空間５０Ａ内に発生したガスを十分に吸着できる。つまり、ガス吸着体６３０Ａが真空空間５０Ａ内に発生したガスを十分に吸着できずに真空空間５０Ａの真空度が悪化すること、を防止できる。
【００７９】
また、溶融工程では、ゲッタを活性化させることが好ましい。シール４０の材料としてゲッタの活性化温度より高い融点（軟化点）の熱接着剤を用いた場合には、溶融工程での溶融温度が活性化温度より高くなるから、ゲッタが活性化される。ここで、ガス吸着装置６０Ａでは、ガス吸着部６３に電流を流すことで直接ゲッタを活性化できる。そのため、ゲッタを活性化するためだけに、溶融工程での溶融温度をゲッタの活性化温度以上とする必要がない。したがって、シール４０の材料としてゲッタの活性化温度より低い融点（軟化点）の熱接着剤（たとえば、ガラスフリット）を用いた場合には、溶融工程での溶融温度をゲッタの活性化温度より低くできる。したがって、ガラスパネルユニット（１０）を低温プロセスで製造でき、製造コストを低減できる。
【００８０】
［１−１−３．特徴］
以上述べた本実施形態のガラスパネルユニット１０Ａは、第１ガラスパネル２０Ａと、第１ガラスパネル２０Ａと対向するように配置された第２ガラスパネル３０Ａと、第１ガラスパネル２０Ａと第２ガラスパネル３０Ａとの間に配置されて第１ガラスパネル２０Ａと第２ガラスパネル３０Ａとを気密に接合する枠状のシール４０Ａと、第１ガラスパネル２０Ａと第２ガラスパネル３０Ａとシール４０Ａとで囲まれた真空空間５０Ａと、ガス吸着装置６０Ａと、を備える。ガス吸着装置６０Ａは、真空空間５０Ａ内に位置する第１内側部分６１０および真空空間５０Ａ外に位置する第１外側部分６１１を有する第１電極６１Ａと、真空空間５０Ａ内に位置する第２内側部分６２０および真空空間５０Ａ外に位置する第２外側部分６２１を有する第２電極６２Ａと、ゲッタを含むガス吸着体６３０Ａを有し、第１内側部分６１０と第２内側部分６２０との間に接続されるガス吸着部６３Ａと、を備える。
【００８１】
また、ガス吸着部６３Ａは、第１内側部分６１０と第２内側部分６２０との間に接続される加熱電極６３１を有する。ガス吸着体６３０Ａは、加熱電極６３１に接触するように配置される。
【００８２】
また、第１電極６１Ａと第２電極６２Ａとは、所定方向において離間する。所定方向は、第１ガラスパネル２０Ａと第２ガラスパネル３０Ａとが対向する方向と交差する方向である。ガス吸着体６３０Ａは、ガス吸着体６３０Ａが第１ガラスパネル２０Ａと第２ガラスパネル３０Ａとのいずれにも接触しないように、加熱電極６３１に支持される。
【００８３】
また、第１電極６１Ａ、第２電極６２Ａ、および、加熱電極６３１は、金属箔で形成される。
【００８４】
本実施形態のガラスパネルユニット１０Ａの組立て品１００Ａは、第１ガラス基板２００と、第１ガラス基板２００と対向するように配置された第２ガラス基板３００と、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００との間に配置されて第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを気密に接合する枠体４１０と、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００と枠体４１０とで囲まれた内部空間５００と、ガス吸着装置６０Ａと、内部空間５００を排気するための排気口７００と、を備える。ガス吸着装置６０Ａは、内部空間５００内に位置する第１内側部分６１０および内部空間５００外に位置する第１外側部分６１１を有する第１電極６１Ａと、内部空間５００内に位置する第２内側部分６２０および内部空間５００外に位置する第２外側部分６２１を有する第２電極６２Ａと、ゲッタを含むガス吸着体６３０Ａを有し、第１内側部分６１０と第２内側部分６２０との間に接続されるガス吸着部６３Ａと、を備える。
【００８５】
本実施形態のガラスパネルユニット１０Ａの製造方法は、ガラスパネルユニットの組立て品１００Ａを用意する組立工程と、排気工程と、を備える。排気工程では、第１電極６１Ａと第２電極６２Ａとを用いてガス吸着部６３Ａに電流を流してゲッタを活性化しながら排気口７００を通じて内部空間５００を排気して真空空間５０Ａを形成する。
【００８６】
また、ガラスパネルユニット１０Ａの製造方法は、さらに、密閉工程を備える。密閉工程では、排気口７００を塞ぐ。
【００８７】
［１−２．実施形態２］
［１−２−１．構成］
本実施形態のガラスパネルユニット１０（１０Ｂ）は、主に、排気口７００および排気口７００を塞ぐキャップ９１１（排気管９１０）を備えていない点で、ガラスパネルユニット１０Ａと異なる。なお、ガラスパネルユニット１０Ａ，１０Ｂに共通する構成は、説明を省略する目的で同じ符号で示される。
【００８８】
図５および図６に示されるように、ガラスパネルユニット１０Ｂは、第１ガラスパネル２０（２０Ｂ）と、第２ガラスパネル３０（３０Ｂ）と、シール４０（４０Ｂ）と、真空空間５０（５０Ｂ）と、ガス吸着装置６０（６０Ａ）と、複数のスペーサ７０と、を備える。
【００８９】
ガラスパネルユニット１０Ｂは、図８に示される組立て品１００（１００Ｃ）から分離された所定部分である。具体的には、ガラスパネルユニット１０Ｂは、図９に示されるように、組立て品１００（１００Ｃ）から不要な部分１１を除去して得られる部分である。
【００９０】
組立て品１００Ｃは、図７に示される組立て品１００（１００Ｂ）に所定の処理を行うことによって得られる。なお、以下では、組立て品１００Ｂと組立て品１００Ｃとを明確に区別するために、必要に応じて、組立て品１００Ｂを仮組立て品という。
【００９１】
仮組立て品１００Ｂは、第１ガラス基板２００と、第２ガラス基板３００と、枠体４１０と、内部空間５００と、仕切り４２０と、２つの通気路８００と、排気口７００と、ガス吸着装置６０Ａと、複数のスペーサ７０と、を備える。なお、組立て品１００Ａ，１００Ｂに共通する構成は、説明を省略する目的で同じ符号で示される。
【００９２】
仕切り４２０は、内部空間５００内に配置される。仕切り４２０は、内部空間５００を、排気空間５１０と通気空間５２０とに仕切る。ただし、仕切り４２０の長さ方向の両端は、枠体４１０とは接触していない。
【００９３】
排気空間５１０は後に排気される空間であり、通気空間５２０は排気空間５１０の排気に使用される空間である。排気口７００は、通気空間５２０と外部空間とをつなぐように形成されている。換言すれば、内部空間５００のうち排気口７００によって直接的に外部空間につながれた空間が通気空間５２０である。
【００９４】
仕切り４２０は、排気空間５１０が通気空間５２０よりも大きくなるように、第２ガラス基板３００の中央よりも第２ガラス基板３００の長さ方向の第１端側（図７における右端側）に形成される。
【００９５】
仕切り４２０は、熱接着剤（第２熱接着剤）で形成されている。第２熱接着剤は、たとえば、ガラスフリットである。ガラスフリットは、たとえば、低融点ガラスフリットである。低融点ガラスフリットは、たとえば、ビスマス系ガラスフリット、鉛系ガラスフリット、バナジウム系ガラスフリットである。第２熱接着剤は、第１熱接着剤と同じであり、第２熱接着剤の軟化点（第２軟化点）は第１接着剤の軟化点（第１軟化点）と等しい。
【００９６】
２つの通気路８００は、内部空間５００内で排気空間５１０と通気空間５２０とをつなぐ。２つの通気路８００の一方は仕切り４２０の一端と枠体４１０との間に形成された空間であり、他方は仕切り４２０の他端と枠体４１０との間に形成された空間である。
【００９７】
上記所定の処理では、第１電極６１Ａと第２電極６２Ａとを用いてガス吸着部６３Ａに電流を流してゲッタを活性化しながら排気口７００を通じて内部空間５００を排気して真空空間５０Ｂを形成する。
【００９８】
また、上記所定の処理では、仕切り４２０を変形させて、通気路８００を塞ぐ隔壁４２を形成することで、真空空間５０Ｂを囲むシール４０Ｂを形成する（図８参照）。仕切り４２０は、第２熱接着剤を含んでいるから、第２熱接着剤を一旦溶融させることで、仕切り４２０を変形させて隔壁４２を形成することができる。
【００９９】
仕切り４２０は、２つの通気路８００を塞ぐように、変形される。このようにして仕切り４２０を変形することで得られた隔壁４２は、真空空間５０Ｂを通気空間５２０から（空間的に）分離する。枠体４１０において真空空間５０Ｂに対応する部分（第１部分）４１、および、隔壁（第２部分）４２が真空空間５０Ｂを囲むシール４０Ｂを構成する。
【０１００】
このようにして得られる組立て品１００Ｃは、図８に示されるように、第１ガラス基板２００と、第２ガラス基板３００と、シール４０Ｂと、真空空間５０Ｂと、通気空間５２０と、ガス吸着装置６０Ａと、複数のスペーサ７０と、排気口７００と、を備える。
【０１０１】
真空空間５０Ｂは、上述したように、通気空間５２０、および排気口７００を介して排気空間５１０を排気することで形成される。換言すれば、真空空間５０Ｂは、真空度が所定値以下の排気空間５１０である。所定値は、たとえば、０．１Ｐａである。真空空間５０Ｂは、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とシール４０Ｂとで完全に密閉されているから、通気空間５２０および排気口７００から分離されている。
【０１０２】
シール４０Ｂは、真空空間５０Ｂを完全に囲むとともに、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを気密に接合する。シール４０Ｂは、矩形の枠状であり、第１部分４１と、第２部分４２と、を有する。第１部分４１は、枠体４１０において真空空間５０Ｂに対応する部分である。つまり、第１部分４１は、枠体４１０において真空空間５０Ｂに面している部分である。第１部分４１は、略Ｕ字状であり、シール４０の四辺のうちの三辺を構成する。第２部分４２は、仕切り４２０を変形することで得られる隔壁である。第２部分４２は、Ｉ字状であり、シール４０の四辺のうちの残りの一辺を構成する。
【０１０３】
このような組立て品１００Ｃは、図９に示されるように、真空空間５０Ｂを有する部分（ガラスパネルユニット）１０Ｂと、通気空間５２０を有する部分（不要な部分）１１と、に分割される。
【０１０４】
不要な部分１１は、主に、第１ガラス基板２００のうち通気空間５２０に対応する部分２３０と、第２ガラス基板３００のうち通気空間５２０に対応する部分３２０と、枠体４１０のうち通気空間５２０に対応する部分４１１と、を含んでいる。なお、ガラスパネルユニット１０の製造コストを考慮すれば、不要な部分１１は小さいほうが好ましい。
【０１０５】
ガラスパネルユニット１０Ｂは、図５および図６に示されるように、第１ガラスパネル２０Ｂと、第２ガラスパネル３０Ｂと、シール４０Ｂと、真空空間５０Ｂと、ガス吸着装置６０Ａと、複数のスペーサ７０と、を備える。なお、シール４０Ｂと、真空空間５０Ｂと、ガス吸着装置６０Ａと、複数のスペーサ７０と、については、既に説明しているから、ここでは詳細には説明しない。
【０１０６】
第１ガラスパネル２０Ｂは、第１ガラス基板２００のうち真空空間５０Ｂに対応する部分である。第１ガラスパネル２０Ｂは、第１ガラスパネル２０Ｂの平面形状を定める本体２１（２１Ｂ）と、コーティング２２（２２Ｂ）と、を備える。
【０１０７】
本体２１Ｂは、第１ガラス基板２００のガラス板２１０のうち真空空間５０Ｂに対応する部分である。本体２１Ｂは、矩形状であり、互いに平行な厚み方向の第１面（図６における下面）および第２面（図６における上面）を有する。本体２１の第１面および第２面はいずれも平面である。
【０１０８】
コーティング２２Ｂは、本体２１Ｂの第２面に形成される。コーティング２２Ｂは、第１ガラス基板２００のコーティング２２０のうち真空空間５０Ｂに対応する部分である。
【０１０９】
第２ガラスパネル３０Ｂは、第２ガラス基板３００のうち真空空間５０Ｂに対応する部分である。真空空間５０Ｂを形成するための排気口７００は、第２ガラス基板３００において通気空間５２０に対応する部分３２０に存在し、排気管９１０は部分３２０に接続されている。そのため、第２ガラスパネル３０には、排気管９１０が接続されておらず、排気口７００も存在していない。
【０１１０】
第２ガラスパネル３０Ｂは、第２ガラスパネル３０Ｂの平面形状を定める本体３１（３１Ｂ）を備える。本体３１Ｂは、第２ガラス基板３００のガラス板３１０のうち真空空間５０Ｂに対応する部分である。
【０１１１】
本体３１Ｂは、矩形状であり、互いに平行な厚み方向の第１面（図６における上面）および第２面（図６における下面）を有する。本体３１Ｂの第１面および第２面はいずれも平面である。本体３１Ｂの平面形状は、本体２１Ｂと同じである（つまり、第２ガラスパネル３０Ｂの平面形状は、第１ガラスパネル２０Ｂと同じである）。
【０１１２】
第２ガラスパネル３０Ｂは、本体３１Ｂのみで構成されている。つまり、本体３１Ｂそのものが第２ガラスパネル３０Ｂである。
【０１１３】
第１ガラスパネル２０Ｂと第２ガラスパネル３０Ｂとは、本体２１Ｂの第２面と本体３１Ｂの第１面とが互いに平行かつ対向するように配置されている。
【０１１４】
［１−２−２．製造方法］
次に、ガラスパネルユニット１０Ｂの製造方法について、図７〜図９を参照して説明する。
【０１１５】
ガラスパネルユニット１０Ｂの製造方法は、準備工程と、組立工程（第１溶融工程）と、排気工程と、密閉工程（第２溶融工程）と、除去工程と、を有する。なお、準備工程は、省略してよい。
【０１１６】
準備工程は、仮組立て品１００Ｂを得るために、第１ガラス基板２００、第２ガラス基板３００、枠体４１０、仕切り４２０、内部空間５００、通気路８００、排気口７００、ガス吸着装置６０Ａ、および複数のスペーサ７０を形成する工程である。準備工程は、第１〜第６工程を有する。なお、第２〜第５工程の順番は、適宜変更してもよい。また、本実施形態における準備工程では、第３工程以外の工程（第１、第２、第４〜第６工程）は、実施形態１と同じであるから、説明を省略する。
【０１１７】
第３工程は、枠体４１０および仕切り４２０を形成する工程（シール材形成工程）である。第３工程では、ディスペンサなどを利用して、枠体４１０の材料（第１熱接着剤）および仕切り４２０の材料（第２熱接着剤）を第２ガラス基板３００（ガラス板３１０の第１面）上に塗布する。そして、枠体４１０の材料および仕切り４２０の材料を乾燥させるとともに、仮焼成する。
【０１１８】
第１溶融工程は、仮組立て品１００Ｂを用意する工程である。具体的には、組立工程では、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを接合することで、仮組立て品１００Ｂを用意する。つまり、組立工程は、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを枠体４１０により気密に接合する工程である。
【０１１９】
第１溶融工程では、第１軟化点以上の所定温度（第１溶融温度）で第１熱接着剤を一旦溶融させることで、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを気密に接合する。具体的には、第１ガラス基板２００および第２ガラス基板３００は、溶融炉内に配置され、第１溶融温度で所定時間（第１溶融時間）だけ加熱される。
【０１２０】
第１溶融温度および第１溶融時間は、枠体４１０の第１熱接着剤によって第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とが気密に接合されるが、仕切り４２０によって通気路８００が塞がれることがないように、設定される。つまり、第１溶融温度の下限は、第１軟化点であるが、第１溶融温度の上限は、仕切り４２０によって通気路８００が塞がれることがないように設定される。なお、第１溶融工程では、枠体４１０からガスが放出されるが、このガスはガス吸着体６３０Ａによって吸着される。
【０１２１】
上述した第１溶融工程によって、図７に示される仮組立て品１００Ｂが得られる。
【０１２２】
本実施形態における排気工程は、実施形態１における排気工程と同様の工程である。つまり、排気工程では、第１電極６１Ａと第２電極６２Ａとを用いてガス吸着部６３Ａに電流を流してゲッタを活性化しながら排気口７００を通じて内部空間５００を排気して真空空間５０Ｂを形成する。ただし、本実施形態では、排気空間５１０が、通気路８００と通気空間５２０と排気口７００とを介して排気されて、真空空間５０Ｂとなる。
【０１２３】
第１溶融工程と排気工程と第２溶融工程とは、第１ガラス基板２００および第２ガラス基板３００（枠体４１０、仕切り４２０、通気路８００、排気口７００、ガス吸着装置６０Ａ、複数のスペーサ７０が形成された第２ガラス基板３００）を溶融炉内に配置したまま行われる。そのため、排気管９１０は、少なくとも第１溶融工程の前に、第２ガラス基板３００に接合される。
【０１２４】
第２溶融工程は、仕切り４２０を変形させて通気路８００を塞ぐ工程である。具体的には、第２溶融工程では、仕切り４２０を変形させて、通気路８００を塞ぐ隔壁４２を形成することで、真空空間５０Ｂを囲むシール４０Ｂを形成する。第２溶融工程では、第２軟化点以上の所定温度（第２溶融温度）で第２熱接着剤を一旦溶融させることで、仕切り４２０を変形させて隔壁４２を形成する。具体的には、第１ガラス基板２００および第２ガラス基板３００は、溶融炉内で、第２溶融温度で所定時間（第２溶融時間）だけ加熱される。
【０１２５】
第２溶融温度および第２溶融時間は、第２熱接着剤が軟化し、通気路８００を塞ぐ隔壁４２が形成されるように設定される。
【０１２６】
隔壁４２が形成されると、真空空間５０Ｂが通気空間５２０から分離される。そのため、真空ポンプで真空空間５０Ｂを排気することはできなくなる。第２溶融工程が終了するまでは、枠体４１０および隔壁４２が加熱されているから、枠体４１０および隔壁４２からガスが放出されることがある。しかしながら、枠体４１０および隔壁４２から放出されたガスは、真空空間５０Ｂ内のガス吸着体６３０Ａに吸着される。そのため、真空空間５０Ｂの真空度が悪化することが防止される。つまり、ガラスパネルユニット１０Ｂの断熱性が悪くなることが防止される。
【０１２７】
第１溶融工程でも、枠体４１０および隔壁４２が加熱されているから、枠体４１０および隔壁４２からガスが放出されることがある。枠体４１０および隔壁４２から放出されたガスはガス吸着体６３０Ａに吸着されるから、第１溶融工程によってガス吸着体６３０Ａの吸着能力が低下している場合がある。しかしながら、排気工程では、ガス吸着体６３０Ａの吸着能力を回復させている。したがって、ガス吸着体６３０Ａは、第２溶融工程において、枠体４１０および隔壁４２から放出されたガスを十分に吸着できる。つまり、ガス吸着体６３０Ａが枠体４１０および隔壁４２から放出されたガスを十分に吸着できずに真空空間５０Ｂの真空度が悪化すること、を防止できる。
【０１２８】
また、第２溶融工程では、排気工程から継続して、通気路８００と通気空間５２０と排気口７００とを介して排気空間５１０を排気する。つまり、第２溶融工程では、第２溶融温度で、通気路８００と通気空間５２０と排気口７００とを介して排気空間５１０を排気しながら、仕切り４２０を変形させて通気路８００を塞ぐ隔壁４２を形成する。これによって、第２溶融工程中に、真空空間５０Ｂの真空度が悪化することがさらに防止される。ただし、第２溶融工程では、必ずしも、通気路８００と通気空間５２０と排気口７００とを介して排気空間５１０を排気する必要はない。
【０１２９】
上述した密閉工程によって、図８に示される組立て品１００Ｃが得られる。
【０１３０】
除去工程は、組立て品１００Ｃから通気空間５２０を有する部分１１を除去することで、真空空間５０Ｂを有する部分であるガラスパネルユニット１０Ｂを得る工程である。具体的には、溶融炉から取り出された組立て品１００Ｃは所定の切断線に沿って切断され、真空空間５０Ｂを有する所定部分（ガラスパネルユニット）１０Ｂと、通気空間５２０を有する部分（不要な部分）１１と、に分割される。なお、切断線の形状は、ガラスパネルユニット１０Ｂの形状によって定まる。
【０１３１】
上述した、準備工程、組立工程、排気工程、密閉工程、および除去工程を経て、ガラスパネルユニット１０Ｂが得られる。
【０１３２】
［１−２−３．特徴］
以上述べた本実施形態のガラスパネルユニット１０Ｂは、第１ガラスパネル２０Ｂと、第１ガラスパネル２０Ｂと対向するように配置された第２ガラスパネル３０Ｂと、第１ガラスパネル２０Ｂと第２ガラスパネル３０Ｂとの間に配置されて第１ガラスパネル２０Ｂと第２ガラスパネル３０Ｂとを気密に接合する枠状のシール４０Ｂと、第１ガラスパネル２０Ｂと第２ガラスパネル３０Ｂとシール４０Ｂとで囲まれた真空空間５０Ｂと、ガス吸着装置６０Ａと、を備える。ガス吸着装置６０Ａは、真空空間５０Ｂ内に位置する第１内側部分６１０および真空空間５０Ｂ外に位置する第１外側部分６１１を有する第１電極６１Ａと、真空空間５０Ｂ内に位置する第２内側部分６２０および真空空間５０Ｂ外に位置する第２外側部分６２１を有する第２電極６２Ａと、ゲッタを含むガス吸着体６３０Ａを有し、第１内側部分６１０と第２内側部分６２０との間に接続されるガス吸着部６３Ａと、を備える。
【０１３３】
また、ガス吸着部６３Ａは、第１内側部分６１０と第２内側部分６２０との間に接続される加熱電極６３１を有する。ガス吸着体６３０Ａは、加熱電極６３１に接触するように配置される。
【０１３４】
また、第１電極６１Ａと第２電極６２Ａとは、所定方向において離間する。所定方向は、第１ガラスパネル２０Ｂと第２ガラスパネル３０Ｂとが対向する方向と交差する方向である。ガス吸着体６３０Ｂは、ガス吸着体６３０Ａが第１ガラスパネル２０Ｂと第２ガラスパネル３０Ｂとのいずれにも接触しないように、加熱電極６３１に支持される。
【０１３５】
また、第１電極６１Ａ、第２電極６２Ａ、および、加熱電極６３１は、金属箔で形成される。
【０１３６】
本実施形態のガラスパネルユニット１０Ｂの組立て品（仮組立て品）１００Ｂは、第１ガラス基板２００と、第１ガラス基板２００と対向するように配置された第２ガラス基板３００と、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００との間に配置されて第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを気密に接合する枠体４１０と、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００と枠体４１０とで囲まれた内部空間５００と、ガス吸着装置６０Ａと、内部空間５００を排気するための排気口７００と、内部空間５００を排気空間５１０と通気空間５２０とに仕切る仕切り４２０と、内部空間５００内に形成され排気空間５１０と通気空間５２０とをつなぐ通気路８００と、を備える。排気口７００は、通気空間５２０と外部空間とをつなぐ。ガス吸着装置６０Ａは、排気空間５１０内に位置する第１内側部分６１０および排気空間５１０外に位置する第１外側部分６１１を有する第１電極６１Ａと、排気空間５１０内に位置する第２内側部分６２０および排気空間５１０外に位置する第２外側部分６２１を有する第２電極６２Ａと、ゲッタを含むガス吸着体６３０Ａを有し第１内側部分６１０と第２内側部分６２０との間に接続されるガス吸着部６３Ａと、を備える。
【０１３７】
本実施形態のガラスパネルユニット１０Ｂの組立て品１００Ｃは、第１ガラス基板２００と、第１ガラス基板２００と対向するように配置された第２ガラス基板３００と、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００との間に配置されて第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを気密に接合する枠体４１０と、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００と枠体４１０とで囲まれた内部空間５００と、ガス吸着装置６０Ａと、内部空間５００を排気するための排気口７００と、内部空間５００を真空空間５０Ｂと通気空間５２０とに仕切る隔壁４２と、を備える。排気口７００は、通気空間５２０と外部空間とをつなぐ。隔壁４２は、内部空間５００を排気空間５１０と通気空間５２０とに仕切る仕切り４２０を、排気空間５１０を内部空間５００内で排気空間５１０と通気空間５２０とをつなぐ通気路８００と通気空間５２０と排気口７００とを介して排気して真空空間５０Ｂとした後に、通気路８００を塞ぐように変形させて得られる。ガス吸着装置６０Ａは、真空空間５０Ｂ内に位置する第１内側部分６１０および真空空間５０Ｂ外に位置する第１外側部分６１１を有する第１電極６１Ａと、真空空間５０Ｂ内に位置する第２内側部分６２０および真空空間５０Ｂ外に位置する第２外側部分６２１を有する第２電極６２Ａと、ゲッタを含むガス吸着体６３０Ａを有し第１内側部分６１０と第２内側部分６２０との間に接続されるガス吸着部６３Ａと、を備える。
【０１３８】
本実施形態のガラスパネルユニット１０Ｂの製造方法は、ガラスパネルユニットの組立て品１００Ｂを用意する組立工程と、排気工程と、を備える。排気工程では、第１電極６１Ａと第２電極６２Ａとを用いてガス吸着部６３Ａに電流を流してゲッタを活性化しながら排気口７００を通じて内部空間５００を排気して真空空間５０Ｂを形成する。
【０１３９】
特に、排気工程では、通気路８００、通気空間５２０、排気口７００を介して排気空間５１０を排気して真空空間５０Ｂを形成する。
【０１４０】
また、ガラスパネルユニット１０Ｂの製造方法は、さらに、密閉工程を備える。密閉工程では、仕切り４２０を変形させて通気路８００を塞ぐ。
【０１４１】
また、ガラスパネルユニット１０Ｂの製造方法は、さらに、除去工程を備える。除去工程では、通気空間５２０を有する部分１１を除去する。
【０１４２】
［１−３．実施形態３］
［１−３−１．構成］
本実施形態のガラスパネルユニット１０（１０Ｃ）は、ガス吸着装置６０Ａの代わりに、ガス吸着装置６０（６０Ｃ）を備えている点で、ガラスパネルユニット１０Ａと異なる。なお、ガラスパネルユニット１０Ａ，１０Ｃに共通する構成は、説明を省略する目的で同じ符号で示される。
【０１４３】
図１０および図１１に示されるように、ガラスパネルユニット１０Ｃは、第１ガラスパネル２０Ａと、第２ガラスパネル３０Ａと、シール４０Ａと、真空空間５０Ｂと、ガス吸着装置６０Ｃと、複数のスペーサ７０と、排気口７００と、キャップ９１１と、を備える。
【０１４４】
ガス吸着装置６０Ｃは、第１電極６１Ａと、第２電極６２Ａと、ガス吸着部６３（６３Ｃ）と、を備える。ガス吸着装置６０Ｃは、第２ガラスパネル３０Ａ（あるいは第１ガラスパネル２０Ａ）の長さ方向の一端（図１１における左端）に、配置されている。
【０１４５】
ガス吸着部６３Ｃは、ガス吸着体６３０（６３０Ｃ）を有し、第１内側部分６１０と第２内側部分６２０との間に接続される。ガス吸着部６３Ｃは、ガス吸着部６３Ａとは異なり、加熱電極６３１を有していない。
【０１４６】
ガス吸着体６３０Ｃは、導電性を有する。また、ガス吸着体６３０Ｃは、長尺の平板状である。ガス吸着体６３０Ｃは、第１内側部分６１０と第２内側部分６２０との間に電気的に接続される。特に、ガス吸着体６３０Ｃは、ガス吸着体６３０Ｃが第１ガラスパネル２０Ａと第２ガラスパネル３０Ａとのいずれにも接触しないように、第１内側部分６１０と第２内側部分６２０とに支持される。たとえば、ガス吸着体６３０Ｃは、導電性の接着剤（好ましくは導電性の熱接着剤）で第１内側部分６１０と第２内側部分６２０とに固定される。
【０１４７】
ガス吸着体６３０Ｃは、導電性を有する粉末とゲッタとの混合物により形成されている。ここで、導電性を有する粉末は、たとえば、金属の粉末である。なお、ゲッタは、たとえば、蒸発型ゲッタである。蒸発型ゲッタは、たとえば、ゼオライトまたはイオン交換されたゼオライト（たとえば、銅イオン交換されたゼオライト）である。
【０１４８】
ガス吸着装置６０Ｃでは、第１および第２外側部分６１１，６２１との間に電圧が印加されると、ガス吸着部６３Ｃのガス吸着体６３０Ｃに電流が流れる。これによって、ガス吸着体６３０Ｃ（ゲッタ）の温度が上昇する。したがって、第１および第２外側部分６１１，６２１間に電圧を印加することによって、ゲッタを活性化させることができる。
【０１４９】
［１−３−２．製造方法］
ガラスパネルユニット１０Ｃは、たとえば、ガス吸着装置６０Ｃを備える組立て品から得られる。この組立て品は、たとえば、第１ガラス基板２００と、第２ガラス基板３００と、枠体４１０と、内部空間５００と、ガス吸着装置６０Ｃと、排気口７００と、を備える。そして、この組立て品を用いて実施形態１に記載の製造方法を実施することで、ガラスパネルユニット１０Ｃが得られる。
【０１５０】
［１−３−３．特徴］
以上述べた本実施形態のガラスパネルユニット１０Ｃは、第１ガラスパネル２０Ａと、第１ガラスパネル２０Ａと対向するように配置された第２ガラスパネル３０Ａと、第１ガラスパネル２０Ａと第２ガラスパネル３０Ａとの間に配置されて第１ガラスパネル２０Ａと第２ガラスパネル３０Ａとを気密に接合する枠状のシール４０Ａと、第１ガラスパネル２０Ａと第２ガラスパネル３０Ａとシール４０Ａとで囲まれた真空空間５０Ａと、ガス吸着装置６０Ｃと、を備える。ガス吸着装置６０Ｃは、真空空間５０Ａ内に位置する第１内側部分６１０および真空空間５０Ａ外に位置する第１外側部分６１１を有する第１電極６１Ａと、真空空間５０Ａ内に位置する第２内側部分６２０および真空空間５０Ａ外に位置する第２外側部分６２１を有する第２電極６２Ａと、ゲッタを含むガス吸着体６３０Ｃを有し、第１内側部分６１０と第２内側部分６２０との間に接続されるガス吸着部６３Ｃと、を備える。
【０１５１】
また、ガス吸着体６３０Ｃは、導電性を有し、第１内側部分６１０と第２内側部分６２０との間に電気的に接続される。
【０１５２】
また、第１電極６１Ａと第２電極６２Ａとは、所定方向において離間する。所定方向は、第１ガラスパネル２０Ａと第２ガラスパネル３０Ａとが対向する方向と交差する方向である。ガス吸着体６３０Ｃは、ガス吸着体６３０Ｃが第１ガラスパネル２０Ａと第２ガラスパネル３０Ａとのいずれにも接触しないように、第１内側部分６１０と第２内側部分６２０とに支持される。
【０１５３】
また、ガス吸着体６３０Ｃは、導電性を有する粉末とゲッタとの混合物により形成されている。
【０１５４】
［１−４．実施形態４］
［１−４−１．構成］
本実施形態のガラスパネルユニット１０（１０Ｄ）は、主に、ガス吸着装置６０Ａの代わりに、ガス吸着装置６０（６０Ｄ）を備えている点で、ガラスパネルユニット１０Ａと異なる。なお、ガラスパネルユニット１０Ａ，１０Ｄに共通する構成は、説明を省略する目的で同じ符号で示される。
【０１５５】
図１１に示されるように、ガラスパネルユニット１０Ｄは、第１ガラスパネル２０（２０Ｄ）と、第２ガラスパネル３０（３０Ａ）と、シール４０（４０Ａ）と、真空空間５０（５０Ａ）と、ガス吸着装置６０Ｄと、複数のスペーサ７０と、排気口７００と、キャップ９１１と、を備える。
【０１５６】
第１ガラスパネル２０Ｄは、コーティング２２（２２Ａ）を備えていない点で、第１ガラスパネル２０Ａと異なる。つまり、第１ガラスパネル２０Ｄは、本体２１（２１Ａ）のみを備えている。ただし、第１ガラスパネル２０Ｄは、コーティング２２Ａを備えていてもよい。
【０１５７】
ガス吸着装置６０Ｄは、第１電極６１（６１Ｄ）と、第２電極６２（６２Ｄ）と、ガス吸着部６３（６３Ｄ）と、を備える。
【０１５８】
第１電極６１Ｄは、第１ガラスパネル２０Ｄにおいて第２ガラスパネル３０Ａと対向する面（本体２１Ａの第１面）の全体に形成された導電膜（第１導電膜）である。第１導電膜（第１電極６１Ｄ）は、透明である。
【０１５９】
第１電極６１Ｄは、真空空間５０Ａ内に位置する第１内側部分６１０および真空空間５０Ａ外に位置する第１外側部分６１１を有する。第１電極６１Ｄは、さらに、第１内側部分６１０と第１外側部分６１１とを連結する第１連結部分６１２を有する。具体的には、第１内側部分６１０は第１導電膜の中央部分であり、第１外側部分６１１は第１導電膜の外周部分であり、第１連結部分６１２は第１導電膜の中央部分と外周部分との間の部分である。なお、第１導電膜は、厳密な意味で第１ガラスパネル２０Ｄにおいて第２ガラスパネル３０Ａと対向する面の全体に形成されていなくてもよく、少なくとも、第１内側部分６１０が第１ガラスパネル２０Ｄにおいて真空空間５０Ａに面する面の全体を覆うように形成されていればよい。
【０１６０】
第１導電膜（第１電極６１Ｄ）は、たとえば、特定範囲の波長の光を遮断する特性を有する。特定範囲は、赤外線と紫外線との少なくとも一方に対応する範囲である。具体的には、第１導電膜は、透明な赤外線反射膜であり、透明導電性材料（ＴｉＯなど）を用いて形成される。したがって、第１導電膜は、コーティング２２Ａと同じ機能を有している。
【０１６１】
第２電極６２Ｄは、第２ガラスパネル３０Ａにおいて第１ガラスパネル２０Ｄと対向する面（本体３１Ａの第１面）の全体に形成された導電膜（第２導電膜）である。第２導電膜（第２電極６２Ｄ）は、透明である。なお、第２導電膜は、特定範囲の波長の光を遮断する特性を有していてもよい。特定範囲は、赤外線と紫外線との少なくとも一方に対応する範囲である。ここで、第２導電膜は、特定範囲の波長の光を遮断する特性を有している場合、第１導電膜は、特定範囲の波長の光を遮断する特性を有していなくてもよい。
【０１６２】
第２電極６２Ｄは、真空空間５０Ａ内に位置する第２内側部分６２０および真空空間５０Ａ外に位置する第２外側部分６２１を有する。第２電極６２Ｄは、さらに、第２内側部分６２０と第２外側部分６２１とを連結する第２連結部分６２２を有する。具体的には、第２内側部分６２０は第２導電膜の中央部分であり、第２外側部分６２１は第２導電膜の外周部分であり、第２連結部分６２２は第１導電膜の中央部分と外周部分との間の部分である。なお、第２導電膜は、厳密な意味で第２ガラスパネル３０Ａにおいて第１ガラスパネル２０Ｄと対向する面の全体に形成されていなくてもよく、少なくとも、第２内側部分６２０が第２ガラスパネル３０Ａにおいて真空空間５０Ａに面する面の全体を覆うように形成されていればよい。
【０１６３】
第２導電膜（第２電極６２Ｄ）は、たとえば、透明導電性材料（ＩＴＯ、ＩＺＯなど）で形成される。
【０１６４】
第１電極６１Ｄと第２電極６２Ｄとは、所定方向において離間している。所定方向は、第１ガラスパネル２０Ｄと第２ガラスパネル３０Ａとが対向する方向（ガラスパネルユニット１０Ｄの厚み方向）である。第１内側部分６１０と第２内側部分６２０とは所定方向で互いに対向している。
【０１６５】
ガス吸着部６３Ｄは、第２ガラスパネル３０Ａ（あるいは第１ガラスパネル２０Ｄ）の長さ方向の一端（図１１における左端）に、配置されている。
【０１６６】
ガス吸着部６３Ｄは、ガス吸着体６３０（６３０Ｄ）を有し、第１内側部分６１０と第２内側部分６２０との間に接続される。ガス吸着部６３Ｄは、ガス吸着部６３Ａとは異なり、加熱電極６３１を有していない。
【０１６７】
ガス吸着体６３０Ｄは、導電性を有する。また、ガス吸着体６３０Ｄは、長尺の平板状である。ガス吸着体６３０Ｄは、第１内側部分６１０と第２内側部分６２０との間に電気的に接続される。特に、ガス吸着体６３０Ｄは、第１内側部分６１０と第２内側部分６２０との間に介在されている。たとえば、ガス吸着体６３０Ｄは、適宜の導電性の接着剤（たとえば導電性の熱接着剤）で第１内側部分６１０と第２内側部分６２０とに固定される。
【０１６８】
ガス吸着体６３０Ｄは、ガス吸着体６３０Ｃと同様に、導電性を有する粉末とゲッタとの混合物により形成されている。
【０１６９】
ガス吸着装置６０Ｄでは、第１および第２外側部分６１１，６２１との間に電圧が印加されると、ガス吸着部６３Ｄのガス吸着体６３０Ｄに電流が流れる。これによって、ガス吸着体６３０Ｄ（ゲッタ）の温度が上昇する。したがって、第１および第２外側部分６１１，６２１間に電圧を印加することによって、ゲッタを活性化させることができる。
【０１７０】
［１−４−２．製造方法］
次に、ガラスパネルユニット１０Ｄの製造方法について説明する。
【０１７１】
ガラスパネルユニット１０Ｄの製造方法は、ガラスパネルユニット１０Ａと同様に、準備工程と、組立工程と、排気工程と、密閉工程と、を有する。なお、準備工程は、省略してよい。
【０１７２】
準備工程は、ガラスパネルユニット１０Ｄの組立て品を得るために、第１ガラス基板２００、第２ガラス基板３００、枠体４１０、内部空間５００、排気口７００、ガス吸着装置６０Ｄ、および複数のスペーサ７０を形成する工程である。準備工程は、第１〜第６工程を有する。なお、第２〜第５工程の順番は、適宜変更してもよい。
【０１７３】
第１工程は、第１ガラス基板２００および第２ガラス基板３００を形成する工程（基板形成工程）である。第１工程では、第１ガラス基板２００および第２ガラス基板３００を作製する。ただし、第１ガラス基板２００は、コーティング２２０を備えていない。さらに、第１工程では、第１ガラス基板２００に第１導電膜（第１電極６１Ｄ）を形成するとともに、第２ガラス基板３００に第２導電層（第２電極６２Ｄ）を形成する。なお、第１および第２導電膜は、スパッタやＣＶＤなどの適宜の方法で形成される。
【０１７４】
第２工程は、排気口７００を形成する工程である。第２工程では、第２ガラス基板３００に、排気口７００を形成する。また、第２工程では、必要に応じて、第２ガラス基板３００を洗浄する。なお、排気口７００は、第２導電膜も貫通するように形成される。
【０１７５】
第３工程は、枠体４１０を形成する工程（シール材形成工程）である。第３工程では、ディスペンサなどを利用して、枠体４１０の材料（第１熱接着剤）を第１導電層または第２導電層上に塗布する。そして、枠体４１０の材料を乾燥させるとともに、仮焼成する。
【０１７６】
第４工程は、スペーサ７０を形成する工程（スペーサ形成工程）である。第４工程では、複数のスペーサ７０を予め形成しておき、チップマウンタなどを利用して、複数のスペーサ７０を、第１導電層または第２導電層の所定位置に配置する。
【０１７７】
第５工程は、ガス吸着部６３Ｄを形成する工程（ガス吸着体形成工程）である。第５工程では、ガス吸着部６３Ｄを、第１導電層または第２導電層の所定位置に形成する。
【０１７８】
第６工程は、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを配置する工程（配置工程）である。第６工程では、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とは、ガラス板２１０の第１面とガラス板３１０の第１面とが互いに平行かつ対向するように配置してされる。
【０１７９】
組立工程は、ガラスパネルユニット１０Ｄの組立て品を用意する工程である。具体的には、組立工程では、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを接合することで、ガラスパネルユニット１０Ｄの組立て品を用意する。つまり、組立工程は、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを枠体４１０により気密に接合する工程（溶融工程）である。また、組立工程において、ガス吸着部６３Ｄを、第１導電層および第２導電層に接合する。
【０１８０】
排気工程は、第１電極６１Ｄと第２電極６２Ｄとを用いてガス吸着部６３Ｄに電流を流してゲッタを活性化しながら排気口７００を通じて内部空間５００を排気して真空空間５０Ａを形成する工程である。
【０１８１】
密閉工程では、排気口７００を塞ぐ。具体的には、排気管９１０の一端の開口を閉じることで、排気口７００を塞ぐキャップ９１１を形成する。これにより、図１１に示されるガラスパネルユニット１０Ｄが得られる。
【０１８２】
［１−４−３．特徴］
以上述べた本実施形態のガラスパネルユニット１０Ｄは、第１ガラスパネル２０Ｄと、第１ガラスパネル２０Ｄと対向するように配置された第２ガラスパネル３０Ａと、第１ガラスパネル２０Ｄと第２ガラスパネル３０Ａとの間に配置されて第１ガラスパネル２０Ｄと第２ガラスパネル３０Ａとを気密に接合する枠状のシール４０Ａと、第１ガラスパネル２０Ｄと第２ガラスパネル３０Ａとシール４０Ａとで囲まれた真空空間５０Ａと、ガス吸着装置６０Ｄと、を備える。ガス吸着装置６０Ｄは、真空空間５０Ａ内に位置する第１内側部分６１０および真空空間５０Ａ外に位置する第１外側部分６１１を有する第１電極６１Ｄと、真空空間５０Ａ内に位置する第２内側部分６２０および真空空間５０Ａ外に位置する第２外側部分６２１を有する第２電極６２Ｄと、ゲッタを含むガス吸着体６３０Ｄを有し、第１内側部分６１０と第２内側部分６２０との間に接続されるガス吸着部６３Ｄと、を備える。
【０１８３】
また、ガス吸着体６３０Ｄは、導電性を有し、第１内側部分６１０と第２内側部分６２０との間に電気的に接続される。
【０１８４】
また、第１電極６１Ｄと第２電極６２Ｄとは、所定方向において離間する。所定方向は、第１ガラスパネル２０Ｄと第２ガラスパネル３０Ａとが対向する方向である。第１内側部分６１０と第２内側部分６２０とは所定方向で互いに対向する。ガス吸着体６３０Ｄは、第１内側部分６１０と第２内側部分６２０との間に介在されている。
【０１８５】
また、第１電極６１Ｄは、第１ガラスパネル２０Ｄにおいて第２ガラスパネル３０Ａと対向する面の全体に形成された第１導電膜である。第２電極６２Ｄは、第２ガラスパネル３０Ａにおいて第１ガラスパネル２０Ｄと対向する面の全体に形成された第２導電膜である。第１導電膜および前記第２導電膜は、透明である。
【０１８６】
また、第１導電膜と第２導電膜との少なくとも一方は、特定範囲の波長の光を遮断する特性を有する。
【０１８７】
また、特定範囲は、赤外線と紫外線との少なくとも一方に対応する範囲である。
【０１８８】
また、ガス吸着体６３０Ｄは、導電性を有する粉末とゲッタとの混合物により形成されている。
【０１８９】
［１−５．実施形態５］
［１−５−１．構成］
本実施形態のガラスパネルユニット１０（１０Ｅ）は、主に、ガス吸着装置６０Ｄの代わりに、ガス吸着装置６０（６０Ｅ）を備えている点で、ガラスパネルユニット１０Ｄと異なる。なお、ガラスパネルユニット１０Ｄ，１０Ｅに共通する構成は、説明を省略する目的で同じ符号で示される。
【０１９０】
図１２および図１３に示されるように、ガラスパネルユニット１０Ｅは、第１ガラスパネル２０（２０Ｄ）と、第２ガラスパネル３０（３０Ａ）と、シール４０（４０Ａ）と、真空空間５０（５０Ａ）と、ガス吸着装置６０Ｅと、複数のスペーサ７０と、排気口７００と、キャップ９１１と、を備える。
【０１９１】
ガス吸着装置６０Ｅは、第１電極６１（６１Ｄ）と、第２電極６２（６２Ｅ）と、ガス吸着部６３（６３Ｄ）と、を備える。
【０１９２】
第２電極６２Ｅは、第２ガラスパネル３０Ａにおいて第１ガラスパネル２０Ｄと対向する面（本体３１Ａの第１面）の一部分に形成された導電膜（第２導電膜）である。第２電極６２Ｅは、矩形状である。第２電極６２Ｅは、第２ガラスパネル３０Ａの長さ方向の一端（図１３における左端）に、枠体４１０を、第２ガラスパネル３０Ａの長さ方向に沿って横切るように、形成されている。
【０１９３】
第２電極６２Ｅは、真空空間５０Ａ内に位置する第２内側部分６２０および真空空間５０Ａ外に位置する第２外側部分６２１を有する。第２電極６２Ｅは、さらに、第２内側部分６２０と第２外側部分６２１とを連結する第２連結部分６２２を有する。
【０１９４】
第２導電膜（第２電極６２Ｅ）は、金属箔で形成されている。金属箔は、たとえば、所望の金属（銅、銀、金など）で形成される。なお、金属箔は、１以上の層を有していてもよい。
【０１９５】
第１電極６１Ｄと第２電極６２Ｅとは、所定方向において離間している。所定方向は、第１ガラスパネル２０Ｄと第２ガラスパネル３０Ａとが対向する方向（ガラスパネルユニット１０Ｅの厚み方向）である。第１内側部分６１０と第２内側部分６２０とは所定方向で互いに対向している。
【０１９６】
ガス吸着装置６０Ｅでは、第１および第２外側部分６１１，６２１との間に電圧が印加されると、ガス吸着部６３Ｄのガス吸着体６３０Ｄに電流が流れる。これによって、ガス吸着体６３０Ｄ（ゲッタ）の温度が上昇する。したがって、第１および第２外側部分６１１，６２１間に電圧を印加することによって、ゲッタを活性化させることができる。
【０１９７】
［１−５−２．製造方法］
ガラスパネルユニット１０Ｅは、ガラスパネルユニット１０Ｄと同様の製造方法により得ることができる。具体的には、第２導電層（第２電極６２Ｄ）の代わりに第２導電層（第２電極６２Ｅ）を形成すればよい。
【０１９８】
［１−５−３．特徴］
以上述べた本実施形態のガラスパネルユニット１０Ｅは、第１ガラスパネル２０Ｄと、第１ガラスパネル２０Ｄと対向するように配置された第２ガラスパネル３０Ａと、第１ガラスパネル２０Ｄと第２ガラスパネル３０Ａとの間に配置されて第１ガラスパネル２０Ｄと第２ガラスパネル３０Ａとを気密に接合する枠状のシール４０Ａと、第１ガラスパネル２０Ｄと第２ガラスパネル３０Ａとシール４０Ａとで囲まれた真空空間５０Ａと、ガス吸着装置６０Ｅと、を備える。ガス吸着装置６０Ｅは、真空空間５０Ａ内に位置する第１内側部分６１０および真空空間５０Ａ外に位置する第１外側部分６１１を有する第１電極６１Ｄと、真空空間５０Ａ内に位置する第２内側部分６２０および真空空間５０Ａ外に位置する第２外側部分６２１を有する第２電極６２Ｅと、ゲッタを含むガス吸着体６３０Ｄを有し、第１内側部分６１０と第２内側部分６２０との間に接続されるガス吸着部６３Ｄと、を備える。
【０１９９】
また、ガス吸着体６３０Ｄは、導電性を有し、第１内側部分６１０と第２内側部分６２０との間に電気的に接続される。
【０２００】
また、第１電極６１Ｄと第２電極６２Ｅとは、所定方向において離間する。所定方向は、第１ガラスパネル２０Ｄと第２ガラスパネル３０Ａとが対向する方向である。第１内側部分６１０と第２内側部分６２０とは所定方向で互いに対向する。ガス吸着体６３０Ｄは、第１内側部分６１０と第２内側部分６２０との間に介在されている。
【０２０１】
また、第１電極６１Ｄは、第１ガラスパネル２０Ｄにおいて第２ガラスパネル３０Ａと対向する面の全体に形成された第１導電膜である。第１導電膜は、透明である。
【０２０２】
また、第１導電膜は、特定範囲の波長の光を遮断する特性を有する。
【０２０３】
また、特定範囲は、赤外線と紫外線との少なくとも一方に対応する範囲である。
【０２０４】
また、ガス吸着体６３０Ｄは、導電性を有する粉末とゲッタとの混合物により形成されている。
【０２０５】
［２．変形例］
実施形態１〜５では、ガラスパネルユニット（１０）は矩形状であるが、ガラスパネルユニット（１０）は、円形状や多角形状など所望の形状であってもよい。つまり、第１ガラスパネル（２０）、第２ガラスパネル（３０）、およびシール（４０）は、矩形状ではなく、円形状や多角形状など所望の形状であってもよい。なお、第１ガラス基板（２００）、第２ガラス基板（３００）、枠体（４１０）、および、隔壁（４２）のそれぞれの形状は、上記実施形態の形状に限定されず、所望の形状のガラスパネルユニット（１０）が得られるような形状であればよい。なお、ガラスパネルユニット（１０）の形状や大きさは、ガラスパネルユニット（１０）の用途に応じて決定される。
【０２０６】
また、第１ガラスパネル（２０）の本体（２１）の第１面および第２面はいずれも平面に限定されない。同様に、第２ガラスパネル（３０）の本体（３１）の第１面および第２面はいずれも平面に限定されない。
【０２０７】
また、第１ガラスパネル（２０）の本体（２１）と第２ガラスパネル（３０）の本体（３１）とは同じ平面形状および平面サイズを有していなくてもよい。また、本体（２１）と本体（３１）とは同じ厚みを有していなくてもよい。また、本体（２１）と本体（３１）とは同じ材料で形成されていなくてもよい。同様に、第１ガラス基板（２００）のガラス板（２１０）と第２ガラス基板（３００）のガラス板（３１０）とは同じ平面形状および平面サイズを有していなくてもよい。また、ガラス板（２１０）とガラス板（３１０）とは同じ厚みを有していなくてもよい。ガラス板（２１０）とガラス板（３１０）とは同じ材料で形成されていなくてもよい。
【０２０８】
また、シール（４０）は、第１ガラスパネル（２０）および第２ガラスパネル（３０）と同じ平面形状を有していなくてもよい。同様に、枠体（４１０）は、第１ガラス基板（２００）および第２ガラス基板（３００）と同じ平面形状を有していなくてもよい。
【０２０９】
また、第１ガラスパネル（２０）は、さらに、所望の物理特性を有して本体（２１）の第２平面に形成されるコーティングを備えていてもよい。あるいは、第１ガラスパネル（２０）は、コーティング（２２）を備えていなくてもよい。つまり、第１ガラスパネル（２０）は、本体（２１）のみで構成されていてもよい。
【０２１０】
また、第２ガラスパネル（３０）は、さらに、所望の物理特性を有するコーティングを備えていてもよい。コーティングは、たとえば、本体（３１）の第１平面および第２平面にそれぞれ形成される薄膜の少なくとも一方を備えていればよい。コーティングは、たとえば、特定波長の光を反射する膜（赤外線反射膜、紫外線反射膜）などである。
【０２１１】
実施形態１〜５では、枠体（４１０）は、第１熱接着剤で形成されている。ただし、枠体（４１０）は、第１熱接着剤に加えて、芯材等の他の要素を備えていてもよい。つまり、枠体（４１０）は、第１熱接着剤を含んでいればよい。また、枠体（４１０）は、第２ガラス基板（３００）のほぼすべての領域を囲うように形成されている。しかしながら、枠体（４１０）は、第２ガラス基板（３００）上の所定の領域を囲うように形成されていればよい。つまり、枠体（４１０）は、第２ガラス基板（３００）のほぼすべての領域を囲うように形成されている必要はない。
【０２１２】
実施形態２では、仕切り（４２０）は、第２熱接着剤で形成されている。ただし、仕切り（４２０）は、第２熱接着剤に加えて、芯材等の他の要素を備えていてもよい。つまり、仕切り（４２０）は、第２熱接着剤を含んでいればよい。また、実施形態２では、仕切り（４２０）はその両端が枠体（４１０）とは連結されていない。そして、仕切り（４２０）の両端と枠体（４１０）との隙間が、通気路（８００）である。ただし、仕切り（４２０）は、その両端の一方のみが枠体（４１０）に連結されていなくてもよく、この場合、仕切り（４２０）と枠体（４１０）との間に一つの通気路（８００）が形成される。あるいは、仕切り（４２０）は、その両端が枠体（４１０）に連結されていてもよい。この場合、通気路（８００）は、仕切り（４２０）に形成された貫通孔であってもよい。あるいは、通気路（８００）は、仕切り（４２０）と第１ガラス基板（２００）との隙間であってもよい。あるいは、仕切り（４２０）は、間隔をあけて配置された２以上の仕切りで形成されていてもよい。この場合、通気路（８００）は、２以上の仕切りの隙間であってもよい。
【０２１３】
実施形態２では、内部空間（５００）は、一つの排気空間（５１０）と一つの通気空間（５２０）とに仕切られている。ただし、内部空間（５００）は、１以上の排気空間（５１０）と１以上の通気空間（５２０）とに仕切られていてもよい。内部空間（５００）が２以上の排気空間（５１０）を有する場合、１つの組立て品（１００）から２以上のガラスパネルユニット（１０）を得ることができる。
【０２１４】
実施形態２では、第２熱接着剤は、第１熱接着剤と同じであり、第２軟化点と第１軟化点は等しい。ただし、第２熱接着剤は、第１熱接着剤と異なる材料であってもよい。たとえば、第２熱接着剤は、第１熱接着剤の第１軟化点と異なる第２軟化点を有していてもよい。ここで、第２軟化点は、第１軟化点より高いことが好ましい。この場合、第１溶融温度を、第１軟化点以上第２軟化点未満とすることができる。このようにすれば、第１溶融工程において、仕切り４２０が変形してしまうことを防止できる。また、第１接着剤および第２熱接着剤は、ガラスフリットに限定されず、たとえば、低融点金属や、ホットメルト接着材などであってもよい。
【０２１５】
実施形態１では、枠体（４１０）の加熱に溶融炉を利用している。また、実施形態２では、枠体（４１０）および仕切り（４２０）の加熱に溶融炉を利用している。しかしながら、加熱は、適宜の加熱手段で行うことができる。加熱手段は、たとえば、レーザや、熱源に接続された伝熱板などである。
【０２１６】
実施形態２では、２つの通気路（８００）が形成されているが、通気路（８００）の数は１以上であればよい。また、通気路（８００）の形状は、特に限定されない。
【０２１７】
実施形態１〜５では、排気口（７００）は、第２ガラス基板（３００）に形成されている。しかし、排気口（７００）は、第１ガラス基板（２００）のガラス板（２１０）に形成されていてもよいし、枠体（４１０）に形成されていてもよい。
【０２１８】
実施形態１〜５では、ガス吸着装置（６０）のガス吸着部（６３）は、第２ガラスパネル（３０）の長さ方向の一端に配置されているが、第２ガラスパネル（３０）の幅方向の一端に配置されていてもよい。つまり、ガス吸着装置（６０）は、所望の位置に配置することができる。
【０２１９】
実施形態１〜５では、第１電極（６１）および第２電極（６２）は、円形状や多角形状など所望の形状であってもよい。また、第１電極（６１）および第２電極（６２）は、金属に限らず、導電性を有する樹脂材料で形成されていてもよい。第１電極（６１）および第２電極（６２）は、異なる材料で形成されていてもよい。
【０２２０】
実施形態１，２では、加熱電極（６３１）は、第１電極（６１）および第２電極（６２）の少なくとも一方と別の材料で形成されていてもよい。
【０２２１】
実施形態１，２では、加熱電極（６３１）は、第１ガラスパネル（２０）および第２ガラスパネル（３０）のいずれにも接触しないように、配置されることが好ましい。また、第１電極（６１）および第２電極（６２）も第１ガラスパネル（２０）および第２ガラスパネル（３０）のいずれにも接触しないように配置してもよい。たとえば、ガス吸着装置（６０）の第１電極（６１）および第２電極（６２）をシール（４０）に固定することで、加熱電極（６３１）、第１電極（６１）、および、第２電極（６２）を、第１ガラスパネル（２０）および第２ガラスパネル（３０）のいずれにも接触しないように、配置することができる。あるいは、ガス吸着装置（６０）は、加熱電極（６３１）と第１ガラスパネル（２０）または第２ガラスパネル（３０）との間に介在される熱絶縁膜を有していてもよい。
【０２２２】
実施形態１，２では、第１外側部分（６１１）および第２外側部分（６２１）は、第１および第２ガラスパネル（２０，３０）より外方に突出しないように形成されていてもよい。あるいは、第１外側部分（６１１）および第２外側部分（６２１）は、第１ガラスパネル（２０）側または第２ガラスパネル（３０）側に折り曲げられた形状であってもよい。
【０２２３】
実施形態４，５では、第１電極（６１）は、実施形態５の第２電極（６２）と同様に、第１ガラスパネル（２０）の一部分を覆うように形成されていてもよい。
【０２２４】
実施形態１〜５では、ガス吸着体（６３０）のゲッタは蒸発型ゲッタであるが、ゲッタは非蒸発型ゲッタであってもよい。非蒸発型ゲッタは、所定温度（活性化温度）以上になると、吸着された分子が内部に入り込むことで、吸着能力が回復する。ただし、蒸発型ゲッタとは異なり、吸着された分子を放出するわけではないので、非蒸発型ゲッタは、ある程度以上の分子を吸着すると、たとえ活性化温度以上に加熱されても、吸着能力が回復しなくなる。
【０２２５】
実施形態１〜５では、ガス吸着体（６３０）は、長尺の平板状であるが、他の形状であってもよい。
【０２２６】
実施形態１，２において、予め形成されたガス吸着体（６３０）が接着剤（好ましくは伝熱性の接着剤）で加熱電極（６３１）に固定されてもよい。また、ガス吸着体（６３０）と加熱電極（６３１）との間には適宜の伝熱部材が介在されていてもよい。
【０２２７】
実施形態３〜５において、ガス吸着体（６３０）は、直接、第１内側部分（６１０）および第２内側部分（６２０）に固定されていてもよい。また、ガス吸着体（６３０）と第１内側部分（６１０）との間には適宜の導電性部材が介在されていてもよいし、ガス吸着体（６３０）と第２内側部分（６２０）との間にも適宜の導電性部材が介在されていてもよい。
【０２２８】
実施形態１〜５では、ガラスパネルユニット（１０）は複数のスペーサ（７０）を備えているが、ガラスパネルユニット（１０）は、一つのスペーサ（７０）を備えていてもよい。あるいは、ガラスパネルユニット（１０）は、スペーサ（７０）を備えていなくてもよい。
【０２２９】
実施形態３〜５のガラスパネルユニット１０Ｃ〜１０Ｅは、実施形態２のガラスパネルユニット１０Ｂと同様に、排気口７００およびキャップ９１１（排気管９１０）を有していなくてもよい。実施形態２のガラスパネルユニット１０Ｂの製造方法を利用することで、排気口７００およびキャップ９１１（排気管９１０）のないガラスパネルユニット１０Ｃ〜１０Ｅが得られる。
【０２３０】
［３．本発明に係る形態］
以上述べた実施形態１〜５および変形例から明らかなように、本発明に係る第１の形態のガラスパネルユニット（１０）は、第１ガラスパネル（２０）と、前記第１ガラスパネル（２０）と対向するように配置された第２ガラスパネル（３０）と、前記第１ガラスパネル（２０）と前記第２ガラスパネル（３０）との間に配置されて前記第１ガラスパネル（２０）と前記第２ガラスパネル（３０）とを気密に接合する枠状のシール（４０）と、前記第１ガラスパネル（２０）と前記第２ガラスパネル（３０）と前記シール（４０）とで囲まれた真空空間（５０）と、ガス吸着装置（６０）と、を備える。前記ガス吸着装置（６０）は、前記真空空間（５０）内に位置する第１内側部分（６１０）および前記真空空間（５０）外に位置する第１外側部分（６１１）を有する第１電極（６１）と、前記真空空間（５０）内に位置する第２内側部分（６２０）および前記真空空間（５０）外に位置する第２外側部分（６２１）を有する第２電極（６２）と、ゲッタを含むガス吸着体（６３０）を有し、前記第１内側部分（６１０）と前記第２内側部分（６２０）との間に接続されるガス吸着部（６３）と、を備える。
【０２３１】
第１の形態によれば、第１および第２外側部分（６１１，６２１）によりガス吸着部（６３）に電流を流すことができる。これによって、ガス吸着部（６３）の温度が上昇し、その結果、ガス吸着体（６３０）のゲッタの温度も上昇するから、ゲッタを活性化させることができる。そのため、ゲッタを活性化させるためにガラス部材が部分的に過度に加熱されて破損してしまう可能性を低くできる。したがって、ゲッタの活性化の際にガラス部材が破損しにくいガラスパネルユニット（１０）が得られる。第１の形態によれば、ガラス部材を加熱しなくても、ガス吸着部（６３）に電流を流すことで直接ゲッタを活性化できる。そのため、シール（４０）の材料としてゲッタの活性化温度より低い融点（軟化点）の熱接着剤（たとえば、ガラスフリット）を用いてシール（４０）を溶融させる工程での温度を活性化温度より低くした場合でも、通電によりゲッタを活性化させることができる。したがって、ガラスパネルユニット（１０）を低温プロセスで製造でき、製造コストを低減できる。
【０２３２】
本発明に係る第２の形態のガラスパネルユニット（１０）は、第１の形態との組み合わせにより実現される。第２の形態では、前記ガス吸着部（６３）は、前記第１内側部分（６１０）と前記第２内側部分（６２０）との間に接続される加熱電極（６３１）を有する。前記ガス吸着体（６３０）は、前記加熱電極（６３１）に接触するように配置される。
【０２３３】
第２の形態によれば、ガス吸着部（６３）が導電性を有していなくても、加熱電極（６３１）によって、ガス吸着部（６３）を加熱することができる。
【０２３４】
本発明に係る第３の形態のガラスパネルユニット（１０）は、第２の形態との組み合わせにより実現される。第３の形態では、前記第１電極（６１）と前記第２電極（６２）とは、所定方向において離間する。前記所定方向は、前記第１ガラスパネル（２０）と前記第２ガラスパネル（３０）とが対向する方向と交差する方向である。前記ガス吸着体（６３０）は、前記ガス吸着体（６３０）が前記第１ガラスパネル（２０）と前記第２ガラスパネル（３０）とのいずれにも接触しないように、前記加熱電極（６３１）に支持される。
【０２３５】
第３の形態によれば、ガス吸着体（６３０）が第１ガラスパネル（２０）および第２ガラスパネル（３０）に直接接触しないから、ガラス部材が破損する可能性をより低減できる。
【０２３６】
本発明に係る第４の形態のガラスパネルユニット（１０）は、第２または第３の形態との組み合わせにより実現される。第４の形態では、前記第１電極（６１）、前記第２電極（６２）、および、前記加熱電極（６３１）は、金属箔で形成される。
【０２３７】
第４の形態によれば、ガス吸着装置（６０）を容易に形成できる。
【０２３８】
本発明に係る第５の形態のガラスパネルユニット（１０）は、第１の形態との組み合わせにより実現される。第５の形態では、前記ガス吸着体（６３０）は、導電性を有し、前記第１内側部分（６１０）と前記第２内側部分（６２０）との間に電気的に接続される。
【０２３９】
第５の形態によれば、ガス吸着体（６３０）自体が発熱するから、効率よくゲッタを活性化できる。
【０２４０】
本発明に係る第６の形態のガラスパネルユニット（１０）は、第５の形態との組み合わせにより実現される。第６の形態では、前記第１電極（６１）と前記第２電極（６２）とは、所定方向において離間する。前記所定方向は、前記第１ガラスパネル（２０）と前記第２ガラスパネル（３０）とが対向する方向と交差する方向である。前記ガス吸着体（６３０）は、前記ガス吸着体（６３０）が前記第１ガラスパネル（２０）と前記第２ガラスパネル（３０）とのいずれにも接触しないように、前記第１内側部分（６１０）と前記第２内側部分（６２０）とに支持される。
【０２４１】
第６の形態によれば、ガス吸着体（６３０）が第１ガラスパネル（２０）および第２ガラスパネル（３０）に直接接触しないから、ガラス部材が破損する可能性をより低減できる。
【０２４２】
本発明に係る第７の形態のガラスパネルユニット（１０）は、第５の形態との組み合わせにより実現される。第７の形態では、前記第１電極（６１）と前記第２電極（６２）とは、所定方向において離間する。前記所定方向は、前記第１ガラスパネル（２０）と前記第２ガラスパネル（３０）とが対向する方向である。前記第１内側部分（６１０）と前記第２内側部分（６２０）とは前記所定方向で互いに対向する。前記ガス吸着体（６３０）は、前記第１内側部分（６１０）と前記第２内側部分（６２０）との間に介在されている。
【０２４３】
第７の形態によれば、ガス吸着体（６３０）が第１ガラスパネル（２０）および第２ガラスパネル（３０）に直接接触しないから、ガラス部材が破損する可能性をより低減できる。
【０２４４】
本発明に係る第８の形態のガラスパネルユニット（１０）は、第７の形態との組み合わせにより実現される。第８の形態では、前記第１電極（６１）は、前記第１ガラスパネル（２０）において前記第２ガラスパネル（３０）と対向する面の全体に形成された第１導電膜である。前記第２電極（６２）は、前記第２ガラスパネル（３０）において前記第１ガラスパネル（２０）と対向する面の全体に形成された第２導電膜である。前記第１導電膜および前記第２導電膜は、透明である。
【０２４５】
第８の形態によれば、ガス吸着装置（６０）を目立たなくできる。
【０２４６】
本発明に係る第９の形態のガラスパネルユニット（１０）は、第８の形態との組み合わせにより実現される。第９の形態では、前記第１導電膜と前記第２導電膜との少なくとも一方は、特定範囲の波長の光を遮断する特性を有する。
【０２４７】
第９の形態によれば、特定範囲の波長の光を遮断する膜を別途に設けなくて済む。
【０２４８】
本発明に係る第１０の形態のガラスパネルユニット（１０）は、第９の形態との組み合わせにより実現される。前記特定範囲は、赤外線と紫外線との少なくとも一方に対応する範囲である。
【０２４９】
第１０の形態によれば、赤外線反射膜や紫外線反射膜を別途に設けなくて済む。
【０２５０】
本発明に係る第１１の形態のガラスパネルユニット（１０）は、第５〜第１０の形態のいずれか一つとの組み合わせにより実現される。第１１の形態では、前記ガス吸着体（６３０）は、導電性を有する粉末と前記ゲッタとの混合物により形成されている。
【０２５１】
第１１の形態によれば、所望の形状を有し導電性を有するガス吸着体（６３０）を容易に作製できる。
【０２５２】
本発明に係る第１２の形態のガラスパネルユニットの組立て品（１００）は、第１ガラス基板（２００）と、前記第１ガラス基板（２００）と対向するように配置された第２ガラス基板（３００）と、前記第１ガラス基板（２００）と前記第２ガラス基板（３００）との間に配置されて前記第１ガラス基板（２００）と前記第２ガラス基板（３００）とを気密に接合する枠体（４１０）と、前記第１ガラス基板（２００）と前記第２ガラス基板（３００）と前記枠体（４１０）とで囲まれた内部空間（５００）と、ガス吸着装置（６０）と、前記内部空間（５００）を排気するための排気口（７００）と、を備える。前記ガス吸着装置（６０）は、前記内部空間（５００）内に位置する第１内側部分（６１０）および前記内部空間（５００）外に位置する第１外側部分（６１１）を有する第１電極（６１）と、前記内部空間（５００）内に位置する第２内側部分（６２０）および前記内部空間（５００）外に位置する第２外側部分（６２１）を有する第２電極（６２）と、ゲッタを含むガス吸着体（６３０）を有し、前記第１内側部分（６１０）と前記第２内側部分（６２０）との間に接続されるガス吸着部（６３）と、を備える。
【０２５３】
第１２の形態によれば、ゲッタの活性化の際にガラス部材が破損しにくいガラスパネルユニット（１０）が得られる。
【０２５４】
本発明に係る第１３の形態のガラスパネルユニットの製造方法は、ガラスパネルユニットの組立て品（１００）を用意する組立工程と、排気工程と、を備える。前記ガラスパネルユニットの組立て品（１００）は、第１ガラス基板（２００）と、前記第１ガラス基板（２００）と対向するように配置された第２ガラス基板（３００）と、前記第１ガラス基板（２００）と前記第２ガラス基板（３００）との間に配置されて前記第１ガラス基板（２００）と前記第２ガラス基板（３００）とを気密に接合する枠体（４１０）と、前記第１ガラス基板（２００）と前記第２ガラス基板（３００）と前記枠体（４１０）とで囲まれた内部空間（５００）と、ガス吸着装置（６０）と、前記内部空間（５００）を排気するための排気口（７００）と、を備える。前記ガス吸着装置（６０）は、前記内部空間（５００）内に位置する第１内側部分（６１０）および前記内部空間（５００）外に位置する第１外側部分（６１１）を有する第１電極（６１）と、前記内部空間（５００）内に位置する第２内側部分（６２０）および前記内部空間（５００）外に位置する第２外側部分（６２１）を有する第２電極（６２）と、ゲッタを含むガス吸着体（６３０）を有し、前記第１内側部分（６１０）と前記第２内側部分（６２０）との間に接続されるガス吸着部（６３）と、を備える。前記排気工程では、前記第１電極（６１）と前記第２電極（６２）とを用いて前記ガス吸着部（６３）に電流を流して前記ゲッタを活性化しながら前記排気口（７００）を通じて前記内部空間（５００）を排気して真空空間（５０）を形成する。
【０２５５】
第１３の形態によれば、ゲッタの活性化の際にガラス部材が破損しにくいガラスパネルユニット（１０）が得られる。
【０２５６】
本発明に係る第１４の形態のガラスパネルユニットの製造方法は、第１３の形態との組み合わせにより実現される。第１４の形態では、ガラスパネルユニットの製造方法は、さらに、密閉工程を備える。前記密閉工程では、前記排気口（７００）を塞ぐ。
【０２５７】
第１４の形態によれば、容易にガラスパネルユニット（１０）を作製することができる。
【０２５８】
本発明に係る第１５の形態のガラスパネルユニットの製造方法は、第１３形態との組み合わせにより実現される。第１３の形態では、ガラスパネルユニットの製造方法は、さらに、密閉工程を備える。前記ガラスパネルユニットの組立て品（１００）は、前記内部空間（５００）を排気空間（５１０）と通気空間（５２０）とに仕切る仕切り（４２０）と、前記内部空間（５００）内に形成され、前記排気空間（５１０）と前記通気空間（５２０）とをつなぐ通気路（８００）と、を備える。前記排気口（７００）は、前記通気空間（５２０）と外部空間とをつなぐ。前記排気工程では、前記通気路（８００）、前記通気空間（５２０）、前記排気口（７００）を介して前記排気空間（５１０）を排気して真空空間（５０）を形成する。前記密閉工程では、前記仕切り（４２０）を変形させて前記通気路（８００）を塞ぐ。
【０２５９】
第１５の形態によれば、排気口（７００）のないガラスパネルユニット（１０）を得ることが可能になる。
【符号の説明】
【０２６０】
１０    ガラスパネルユニット
２０    第１ガラスパネル
３０    第２ガラスパネル
４０    シール
５０    真空空間
６０    ガス吸着装置
６１    第１電極
６１０  第１内側部分
６１１  第１外側部分
６２    第２電極
６２０  第２内側部分
６２１  第２外側部分
６３    ガス吸着部
６３０  ガス吸着体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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