(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空ポンプにより真空排気されるチャンバと、該チャンバ内に収納された、気体を通す一方、液体を通さない気体透過性材料からなる脱気チューブと、を具備し、該脱気チューブ中を流通する液体に含まれる気体を該脱気チューブの壁面を通して該脱気チューブ外に取り出して排出する脱気装置において、
a)液体が流れるフローセル、該フローセルに測定光を照射する半導体発光素子を光源とする光照射部、及び、前記測定光が前記フローセルを透過したあとの光を検出する光検出部、を含む吸光測定部と、
b)当該装置に導入された液体が前記脱気チューブを通過したあとに前記フローセルに流れる第１の流路と、当該装置に導入された液体が前記脱気チューブを通過せずに前記フローセルに流れる第２の流路と、を切り替える流路切替部と、
c)前記流路切替部により第１の流路が形成されている状態で前記吸光測定部の光検出部により得られる検出信号と、前記流路切替部により第２の流路が形成されている状態で前記吸光測定部の光検出部により得られる検出信号と、に基づいて脱気性能を反映した情報を算出する、又は脱気性能を判定する信号処理部と、
を備えることを特徴とする脱気装置。
【請求項２】
請求項１に記載の脱気装置であって、
前記吸光測定部のフローセルの入口側端部と出口側端部とに連なる流路の他の端部がそれぞれ開放端であるとともに、前記流路切替部により形成される第１の流路と第２の流路との共通流路であって前記脱気チューブよりも下流側の共通流路の端部が開放端であり、それら開放端同士又はそれら開放端と送液ポンプとを装置外の管路で接続することで、前記脱気チューブを通過した液体が前記フローセルに流れる流路を形成可能としたことを特徴とする脱気装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の脱気装置であって、
前記第１及び第２の流路を経て供給される液体が前記フローセルを通過する又は該フローセルを通過することなく下流側へと流れるように二つの流路を切り替える第２の流路切替部をさらに備えることを特徴とする脱気装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体中に溶存している気体や気泡を除去するための脱気装置に関し、さらに詳しくは、液体クロマトグラフの移動相から溶存空気や気泡を除去するのに好適である、気−液分離膜を用いた減圧脱気方式による脱気装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に液体クロマトグラフ（以下「ＬＣ」と称す）では、移動相容器に貯留された移動相が送液ポンプにより吸引され、試料インジェクタを介してカラムに送給される。所定のタイミングで試料インジェクタから移動相中に試料液が注入されると、該試料液は移動相に押されてカラムに導入され、カラムを通過する間に試料液中の各種成分が時間方向に分離されてカラム出口から溶出する。その溶出液に含まれる成分は例えばフォトダイオードアレイ（ＰＤＡ）検出器などの検出器により検出され、それぞれの成分の濃度に応じた検出信号が得られる。この検出信号に基づいて、時間経過に伴う信号強度の変化を示すクロマトグラムが作成される。
【０００３】
こうしたＬＣにおいて、送液ポンプにより高圧で送給される移動相中に気体が多く含まれていてカラムや検出器セル内で気泡が発生すると、クロマトグラムにおけるピークの変形やスパイクノイズ等の発生の要因となる。また、検出器に到達する移動相に溶解している気体（主として酸素）の量が変化すると、クロマトグラムにおけるベースラインの変動やドリフトなどの要因となる。さらにまた、移動相容器内での気泡発生などによって送液ポンプに気泡が送り込まれると、該ポンプでの送液不良が起こり、ピークの保持時間の変動などをもたらすことがある。そこで、このような分析結果への悪影響を軽減するために、従来のＬＣでは、移動相中の溶存空気や気泡を除去する脱気装置が移動相容器と送液ポンプとの間の流路に設けられる。
【０００４】
脱気にはいくつかの方式があるが、気−液分離膜を用いた減圧脱気方式は広く使用されている方式の一つである。特許文献１、非特許文献１などに記載されているように、この方式による脱気装置（以下、気−液分離膜を用いた減圧脱気方式による脱気装置を単に脱気装置という）は、真空ポンプにより真空排気される（つまり減圧される）真空チャンバ内に、気体を通過させる一方、液体を通さない気体透過性材料（例えばＰＴＦＥ（Polytetrafluoroethylene）系の合成樹脂）からなる脱気チューブを備える。移動相容器から吸引した移動相をこの脱気チューブ中に流通させると、移動相中の溶存空気は脱気チューブの気体透過性材料である壁面を通して真空雰囲気中に取り出され、それによって移動相中の空気は除去される。
【０００５】
上記のような脱気装置を使用したＬＣシステムにおいて測定結果に異常が認められる場合には、脱気性能の低下が原因である可能性がある。また、高い測定精度が要求される場合には僅かな気泡も問題となるため、高い脱気性能が必要となる。こうしたことから、適宜の時点で脱気装置の脱気性能を確認する必要が生じることがある。従来、脱気装置の脱気性能を確認するためには、紫外可視（ＵＶ）分光光度計を用い、移動相を脱気装置に通したときと通さないときとの移動相の吸光度をそれぞれ測定し、その吸光度の変動から脱気性能を判断するのが一般的であった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１２−１６１７２３号公報
【非特許文献】
【０００７】
【非特許文献１】「移動相の脱気  5.脱気方法  5-4)気−液分離膜を用いた減圧脱気」、株式会社島津製作所、［２０１５年１月１４日検索］、インターネット＜URL：http://www.an.shimadzu.co.jp/hplc/support/lib/lctalk/s5/054.htm＞
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、ＬＣシステムに組み込まれている脱気装置の脱気性能を確認するためにＵＶ分光光度計などを別途用意すると、システムが大掛かりになり、コスト的に大きな負担である。また、移動相を脱気装置に通す場合と通さない場合との測定を行うには、移動相の流路を変更する必要があり、作業が面倒で手間と時間が掛かる。こうしたことから、従来、ＬＣシステムに組み込まれた状態の脱気装置の脱気性能の確認は殆ど行われていなかった。
【０００９】
本発明はこうした課題に鑑みて成されたものであり、その目的とするところは、ＵＶ分光光度計等の別の装置を用意したり煩雑な流路の変更作業を行ったりすることなく、簡便に且つ正確にユーザー等が脱気性能を確認することができる脱気装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するためになされた本発明は、真空ポンプにより真空排気されるチャンバと、該チャンバ内に収納された、気体を通す一方、液体を通さない気体透過性材料からなる脱気チューブと、を具備し、該脱気チューブ中を流通する液体に含まれる気体を該脱気チューブの壁面を通して該脱気チューブ外に取り出して排出する脱気装置において、
a)液体が流れるフローセル、該フローセルに測定光を照射する半導体発光素子を光源とする光照射部、及び、前記測定光が前記フローセルを透過したあとの光を検出する光検出部、を含む吸光測定部と、
b)当該装置に導入された液体が前記脱気チューブを通過したあとに前記フローセルに流れる第１の流路と、当該装置に導入された液体が前記脱気チューブを通過せずに前記フローセルに流れる第２の流路と、を切り替える流路切替部と、
c)前記流路切替部により第１の流路が形成されている状態で前記吸光測定部の光検出部により得られる検出信号と、前記流路切替部により第２の流路が形成されている状態で前記吸光測定部の光検出部により得られる検出信号と、に基づいて脱気性能を反映した情報を算出する、又は脱気性能を判定する信号処理部と、
を備えることを特徴としている。
【００１１】
本発明に係る脱気装置において、吸光測定部の光源として用いられる半導体発光素子は、発光ダイオード（ＬＥＤ）、スーパールミネッセンスダイオード（ＳＬＤ）、レーザダイオード（ＬＤ）のいずれかである。こうした半導体発光素子の発光スペクトルのピーク幅は一般的に狭いため、高価な分光器による単色光化を行うことなく、そのまま測定光として利用することができる。また、こうした半導体発光素子は、一般的なＵＶ分光光度計に使用されている重水素ランプやキセノンフラッシュランプなどの光源に比べて格段に小型であり、さらに廉価でもある。したがって、本発明に係る脱気装置における吸光測定部は一般的なＵＶ分光光度計に比べて格段に小型で且つ安価であり、脱気装置の筐体内に容易に組み込むことができる。
【００１２】
本発明に係る脱気装置において、流路切替部は典型的には電磁バルブなどの切替バルブを含む。この流路切替部により第１の流路が形成されているときには、例えば別の送液ポンプの送液動作により本脱気装置に導入されたＬＣ用の移動相等の液体は脱気チューブを通過し、脱気作用を受けたあとにフローセルに流れる。一方、流路切替部により第２の流路が形成されているときには、上記送液ポンプの送液動作により本脱気装置に導入された移動相等の液体は脱気チューブを通過することなく、つまりは脱気作用を受けずにフローセルに流れる。
【００１３】
フローセルに流れる液体中の溶存空気や気泡が多いほど該液体による吸光度は高くなる。そこで、信号処理部は、第１の流路が形成されている状態で吸光測定部の光検出部により得られる検出信号と、第２の流路が形成されている状態で吸光測定部の光検出部により得られる検出信号と、に基づき、例えば両状態における吸光度の差を求める。そして、予め実験的に求めておいた吸光度差と脱気度合いとのおおまかな関係を用いて、実測による吸光度差から脱気度合いを示す指標値を算出し、これを例えば表示部に表示する。或いは、脱気度合いの指標値を所定の閾値と比較し、指標値が閾値を下回る場合に脱気不良であると判断して、その判断結果を表示したり警告報知したりしてもよい。
【００１４】
また本発明に係る脱気装置では、前記吸光測定部のフローセルの入口側端部と出口側端部とに連なる流路の他の端部がそれぞれ開放端であるとともに、前記流路切替部により形成される第１の流路と第２の流路との共通流路であって脱気チューブよりも下流側の共通流路の端部が開放端であり、それら開放端同士又はそれら開放端と送液ポンプとを装置外の管路で接続することで、脱気チューブを通過した液体がフローセルに流れる流路を形成可能とした構成とすることができる。
【００１５】
この構成では、装置外の管路の繋ぎ方を変更することで、フローセルつまりは吸光測定部が送液ポンプの上流側に配置された状態と下流側に配置された状態とを切り替えることができる。即ち、脱気チューブを通過した液体が外部の管路を経て送液ポンプの吸入口に至り、該送液ポンプの吐出口から出た液体が外部の管路を経てフローセルに流れるように流路を構成することができるし、また、脱気チューブを通過した液体が外部の管路を経たあとにフローセルに流れ、フローセルを通過した液体が外部の管路を経て送液ポンプに至るように流路を構成することもできる。一般に、ＬＣシステムにおいて移動相をカラムに送給する送液ポンプは、吐出口側の流路で脈動が極力小さくなるようにその動作が制御される。したがって、送液ポンプの下流側に吸光測定部を配置したほうが、フローセルに流れる液体の脈動は小さくなり、吸光度測定の精度が向上する。
【００１６】
さらにまた、本発明に係る脱気装置では、第１及び第２の流路を経た液体が吸光測定部のフローセルを通過する流路と、該液体がフローセルを通過することなくそのフローセルの下流側へと流れる流路とを切り替える、上記流路切替部とは別の第２の流路切替部を備える構成としてもよい。
【００１７】
この構成では、例えばＬＣシステムにおいて通常の測定を行う際には、第２の流路切替部により移動相がフローセルを通ることなくその下流に流れるように流路を形成する。これにより、脱気された移動相をフローセルを経ずに試料インジェクタ等へと流すことができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明に係る脱気装置によれば、ＵＶ分光光度計などを別途用意することなく、脱気装置のみで脱気性能を確認することができる。したがって、脱気性能の確認のために装置やシステムが大掛かりになることがなく、コストも抑えることができる。また、本発明に係る脱気装置によれば、脱気性能の確認のために面倒な手作業による流路変更が不要であり、測定時間の短縮が可能であるとともに、ユーザーやフィールドエンジニア等の作業担当者の負担も軽減される。さらにまた、本発明に係る脱気装置によれば、例えば試料の測定前や測定の合間といった適宜の時点で手軽に脱気性能を確認することができるため、脱気の不良をいち早く把握することができる。それによって、脱気不良の状態で無駄な測定を実施することを避けることができるとともに、装置のメンテナンス性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施例である脱気装置を含むＬＣの送液部の概略構成図。
【図２】図１中の吸光測定部の概略構成図。
【図３】本発明の一実施例である脱気装置を含むＬＣの送液部の他の例を示す概略構成図。
【図４】吸光度の実測例を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明に係る脱気装置の一実施例について、添付図面を参照して説明する。
図１は本実施例の脱気装置を含むＬＣの送液部の概略構成図、図２は図１中の吸光測定部の概略構成図である。
【００２１】
本実施例の脱気装置２は、密閉可能な箱状の真空チャンバ２０と、該真空チャンバ２０に一端が接続された真空流路２２と、該真空流路２２上に設けられた真空ポンプ２３と、真空チャンバ２０と真空ポンプ２３との間の真空流路２２に接続された圧力センサ２４と、該圧力センサ２４による検出圧力に応じて真空ポンプ２３の動作を制御する脱気制御部２５と、を備える。真空チャンバ２０の内部には、気体を通過させる一方、液体の通過を阻止する気体透過性材料からなる脱気チューブ２１が収容され、脱気チューブ２１の両端はそれぞれ第１電磁バルブ２６のポートｂ及びポートｃに接続されている。第１電磁バルブ２６は、ポートａ−ポートｂ間の流路とポートａ−ポートｃ間の流路とを切り替える３ポート２ポジションバルブである。この第１電磁バルブ２６のポートａ及びポートｃは脱気装置２の流路接続端２ａ及び２ｂにそれぞれ接続されている。
【００２２】
脱気装置２はまた、吸光測定部２８と、該吸光測定部２８で得られた検出信号を処理する信号処理部２９と、を備える。吸光測定部２８はフローセル２８３を含み、フローセル２８３の両端はそれぞれ第２電磁バルブ２７のポートｂ及びポートｃに接続されている。第２電磁バルブ２７は第１電磁バルブ２６と同様の３ポート２ポジションバルブである。この第２電磁バルブ２７のポートａ及びポートｃは脱気装置２の流路接続端２ｃ及び２ｄにそれぞれ接続されている。脱気装置２はさらに、第１、第２電磁バルブ２６、２７を駆動するバルブ駆動部３０、バルブ駆動部３０、吸光測定部２８、脱気制御部２５をそれぞれ制御する制御部３１、信号処理部２９に付設された表示部３２などを備える。
【００２３】
図１に示した構成例では、移動相を貯留した移動相容器１は脱気装置２の流路接続端２ａに接続され、送液ポンプ４０、送液ポンプ制御部４１を含む送液部４の吸引側接続端４ａは脱気装置２の流路接続端２ｂと、送液部４の吐出側接続端４ｂは脱気装置２の流路接続端２ｃと接続されている。さらに、脱気装置２の流路接続端２ｃは図示しない試料インジェクタ（オートサンプラ）に接続されている。
【００２４】
図２に示すように、吸光測定部２８は、ＬＥＤを光源とする光照射部２８１、集光レンズ２８２、移動相が流通するフローセル２８３、集光レンズ２８４、光検出器２８５を含む。ＬＥＤは例えば最大強度を示すピークの中心波長が約２１０nmである深紫外ＬＥＤである。一般に、ＬＥＤの発光波長ピークの幅は狭いため、発光光をそのまま測定光とすることも可能であるが、不要光を除去するためにショートパスフィルタである光学フィルタを組み合わせてもよい。光照射部２８１から発し集光レンズ２８２で集束された光が測定光として移動相が流通するフローセル２８３に照射される。この測定光はフローセル２８３中を透過する際に、主として該フローセル２８３に存在する移動相中の溶存空気や気泡の量に応じた吸収を受け、吸収後の透過光が集光レンズ２８４を経て光検出器２８５に入射する。光検出器２８５は入射した光の光量に対応した検出信号を生成する。
【００２５】
吸光測定部２８は従来の一般的なＵＶ分光光度計とは異なり、単色光を取り出すための分光器は不要であり、光源自体も非常に小型である。したがって、吸光測定部２８は例えば４０（Ｗ）×５０（Ｄ）×３０（Ｈ）mm程度のサイズに十分に収まり、真空チャンバ２０等と同じ筐体内に収納可能である。
【００２６】
ＬＣにおける通常の測定の際には、制御部３１の指示の下、バルブ駆動部３０は、第１電磁バルブ２６ではポートａ−ポートｂ間の流路を形成するように該バルブ２６を切り替え、第２電磁バルブ２７ではポートａ−ポートｃ間の流路を形成するように該バルブ２７を切り替える。送液ポンプ制御部４１の制御の下で、送液ポンプ４０は一定流速で移動相を吸引・吐出する。この送液ポンプ４０の動作により、移動相容器１から吸引された移動相は脱気装置２に導入されて脱気チューブ２１中を流れ、一旦、脱気装置２の外側に出て送液ポンプ４０を経たあと、再び脱気装置２に導入される。そして、吸光測定部２８を経ることなく脱気装置２の外側に出て、試料インジェクタへと送られる。
【００２７】
脱気制御部２５は圧力センサ２４による検出圧力が所定値に維持されるように真空ポンプ２３を駆動する。そのため、真空チャンバ２０内の空間は所定圧に減圧されており、脱気チューブ２１中を通る移動相に溶存している空気は脱気チューブ２１の壁面を透過して真空チャンバ２０側へ取り出され、真空流路２２を経て排気される。これにより、移動相から空気が除去され、脱気された移動相が試料インジェクタへと送られることになる。
【００２８】
脱気装置２の脱気性能を確認する際には、制御部３１の指示の下、バルブ駆動部３０は、第２電磁バルブ２７に対してポートａ−ポートｂ間の流路を形成するように該バルブ２７を切り替える。また、第１電磁バルブ２６に対してはまず所定時間ｔの間、ポートａ−ポートｂ間の流路を形成し、その所定時間ｔが経過したあとにポートａ−ポートｃ間の流路を形成するように、該バルブ２６を切り替える。送液ポンプ４０及び真空ポンプ２３の動作は上述した測定時と同じである。
【００２９】
所定時間ｔが経過するまでの期間には、送液ポンプ４０の動作により、移動相容器１から吸引された移動相は脱気装置２に導入されて脱気チューブ２１中を流れ、一旦、脱気装置２の外側に出て送液ポンプ４０を経たあと、再び脱気装置２に導入される。そして、吸光測定部２８を通ったあとに脱気装置２の外側に出て試料インジェクタへと送られる。このとき、吸光測定部２８では光照射部２８１から発せられた測定光がフローセル２８３に照射され、該フローセル２８３中を透過した光が光検出器２８５に到達して検出信号が出力される。このとき、移動相は脱気チューブ２１中を通るから、減圧された真空チャンバ２０内で移動相中の溶存空気が除去され、脱気された移動相がフローセル２８３に流れる。したがって、このときに吸光測定部２８で得られる検出信号は脱気された移動相による吸光度を反映している。以下、このときの検出信号を脱気時検出信号という。
【００３０】
所定時間ｔが経過したあとの期間には、送液ポンプ４０の動作により、移動相容器１から吸引された移動相は脱気装置２に導入されるものの脱気チューブ２１を通ることなく送液ポンプ４０を経て、再び脱気装置２に導入される。そして、吸光測定部２８を通ったあとに脱気装置２の外側に出て試料インジェクタへと送られる。つまり、このときには、脱気されていない移動相がフローセル２８３に流れる。したがって、このときに吸光測定部２８で得られる検出信号は脱気されていない移動相による吸光度を反映している。以下、このときの検出信号を非脱気時検出信号という。
【００３１】
移動相中に溶存している空気や気泡の量が多いほど光の吸収が大きいため、光検出器２８５に到達する透過光の強度は低くなる。したがって、脱気チューブ２１を移動相が通過する際の脱気性能が高いほど、脱気時検出信号から求まる吸光度と非脱気時検出信号から求まる吸光度との差が大きくなる。つまり、脱気時と非脱気時との吸光度差は脱気の度合いを示している。
【００３２】
図４は吸光度の実測例を示す図である。横軸は経過時間、縦軸は光検出器による検出信号から算出された吸光度出力である。０〜８分の期間には、移動相容器内でヘリウム（Ｈｅ）のバブリングを連続的に行い移動相中の空気をパージしている。したがって、この期間の吸光度出力は移動相中に空気が殆ど溶存していない状態の吸光度であるとみなせる。８分が経過した以降の期間には、移動相容器内で空気のバブリングを連続的に行い、移動相が空気飽和状態となるようにしている。このとき、移動相を脱気チューブに通していない状態では吸光度が大きくなっている。これに対し、移動相を脱気チューブに通して脱気を実行すると吸光度は大きく減少し、脱気をしていない状態とは吸光度に顕著な差が生じる。このことから、吸光度の差から脱気度合いを推定可能であることは明らかである。
【００３３】
そこで、信号処理部２９は脱気時検出信号及び非脱気時検出信号から脱気時と非脱気時との吸光度差を算出し、この吸光度差から推定脱気度を求める。吸光度差から推定脱気度を求めるには、予め実験的に求めておいた吸光度差と脱気度との関係を示すテーブルや計算式などを用いればよい。こうしたテーブルや計算式はユーザーが求める必要はなく、装置メーカーが予め設定しておきさえすればよい。そして、信号処理部２９は、そうして算出した推定脱気度の値を表示部３２に表示し、ユーザーに提示する。
【００３４】
なお、推定脱気度を表示するだけでなく、又は表示する代わりに、推定脱気度を所定の閾値と比較し、推定脱気度が閾値を下回る場合、つまりは脱気性能が不足していると推定される場合には、表示や音による警告報知を行うようにしてもよい。所定の閾値は予め定めておいてもよいが、ユーザーが任意の値を設定できるようにしてもよい。
【００３５】
こうして本実施例の脱気装置２を用いたＬＣシステムでは、適宜の時点で簡便に脱気装置２の脱気性能を確認することができる。脱気性能を確認するために別の装置（ＵＶ分光光度計など）を用意する必要も流路を手作業で変更する必要もなく、そうした確認に要する時間も短くて済む。
【００３６】
図１に示した構成では、吸光測定部２８が送液ポンプ４０の下流側つまりは吐出口側に設けられているが、吸光測定部２８を送液ポンプ４０の上流側つまりは吸引口側に設ける構成とすることもできる。図３は、図１に示した脱気装置２を用い、脱気装置２の流路接続端２ａ〜２ｄへの管路の接続を変更したＬＣの送液部の概略構成図である。この構成では、脱気チューブ２１を通過した移動相が吸光測定部２８に導入され、吸光測定部２８を通過したあとに送液ポンプ４０を経て試料インジェクタに送られる。この構成でも、脱気装置２の脱気性能を確認するための動作は全く同じである。
【００３７】
ただし、一般的にＬＣシステムでは、試料インジェクタを経てカラムに流れる移動相の脈動を抑えるために、送液ポンプの吐出口側で脈動が小さくなるように該送液ポンプの動作が制御されるようになっている。したがって、図１に示した構成例のように、送液ポンプ４０の下流側に吸光測定部２８が位置するように流路を形成したほうが、吸光測定部２８のフローセル２８３に流れる移動相の脈動が小さくなり、脈動による吸光度の変動を軽減することができる。
【００３８】
なお、上記実施例は本発明の一例であり、本発明の趣旨に沿った範囲で適宜変形や修正、追加を行っても本願特許請求の範囲に包含されることは明らかである。
例えば、上記実施例では、吸光測定部２８の光源としてＬＥＤを用いているが、ＬＥＤ以外の半導体発光素子を用いてもよい。また、その波長は吸光度を測定可能なものであれば、特に限定されない。
【符号の説明】
【００３９】
１…移動相容器
２…脱気装置
２０…真空チャンバ
２１…脱気チューブ
２２…真空流路
２３…真空ポンプ
２４…圧力センサ
２５…脱気制御部
２６、２７…電磁バルブ
２８…吸光測定部
２８１…光照射部
２８２、２８４…集光レンズ
２８３…フローセル
２８５…光検出器
２９…信号処理部
３０…バルブ駆動部
３１…制御部
３２…表示部
２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ…流路接続端
４…送液部
４０…送液ポンプ
４１…送液ポンプ制御部
４ａ…吸引側接続端
４ｂ…吐出側接続端
【図１】
0006350307.tif 000002
【図２】
0006350307.tif 000003
【図３】
0006350307.tif 000004
【図４】
0006350307.tif 000005