(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査物に付着している異物を検査するための異物検査装置であって、
底面に開口部を有する手で持ち運び可能な筐体と、
該筐体の内側上部に配設された撮像部と、
前記被検査物の表面に光を照射するために前記筐体の側面の内側下部に配設された光源部と、
該光源部からの直接光が前記撮像部で受光されないように前記直接光の照射方向を規制する照射方向規制部材とを備え、
前記光源部が、水平面上に対向して配列された複数の発光素子、又は環状の周上に均等配列された複数の発光素子を含んで構成され、
前記複数の発光素子が、前記筐体の側面最下部の位置近傍に配設され、
前記照射方向規制部材が、前記光源部の上下面を挟む形態で水平方向に延設された一対の暗色板で構成され、
前記一対の暗色板のうち、前記光源部の下面側に配設された暗色板が、前記筐体の側面下端部に取り付けられていることを特徴とする異物検査装置。
【請求項２】
前記筐体が、光の反射を抑える暗色板で構成されていることを特徴とする請求項１記載の異物検査装置。
【請求項３】
前記撮像部を水平方向及び／又は垂直方向に移動させるための移動用部材を備え、
前記撮像部及び前記移動用部材の色が、光の反射を抑える暗色であることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の異物検査装置。
【請求項４】
前記筐体に把持部が装備され、
該把持部が、前記筐体の上面外側に取り付けられた持ち手であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかの項に記載の異物検査装置。
【請求項５】
前記被検査物の下に敷く暗色敷板をさらに備え、
該暗色敷板の上に前記筐体が載置可能に構成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかの項に記載の異物検査装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかの項に記載の異物検査装置と、
該異物検査装置から取り込んだ撮像データに基づいて前記被検査物の表面に付着している異物を検出して評価する異物評価手段とを備えていることを特徴とする異物検査システム。
【請求項７】
請求項１〜５のいずれかの項に記載の異物検査装置を構成する前記筐体を前記被検査物の上に載せる工程と、
前記異物検査装置の前記光源部を発光させて、前記撮像部で前記被検査物の表面を撮像する工程と、
前記撮像部で撮像されたデータに基づいて前記被検査物の表面に付着している異物を検出して評価する工程とを含んでいることを特徴とする異物検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は異物検査装置、異物検査システム及び異物検査方法に関し、より詳細にはフィルム、シート又はパネル等の平坦な薄物の表面に付着している異物を検出して評価するための異物検査装置、異物検査システム及び異物検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、平坦な被検査物の表面に向けて光を照射しながら、前記被検査物の表面を撮像することによって前記被検査物の表面に付着している塵埃などの異物を検査する異物検査装置が知られている（例えば、下記の特許文献１〜３を参照）。
【０００３】
しかしながら、従来の異物検査装置は、据え置き型の装置であり、装置内部に被検査物を載置するための検査ステージを備え、該検査ステージの上に被検査物をセットして検査を行うように構成されている。
【０００４】
したがって、従来の異物検査装置は、比較的大型で高価なものになりやすいという課題があった。また、フィルムやシート等の製造工程中において、フィルムやシート等の被検査物表面への異物の付着状態を簡易迅速に検査したいという要望があるが、従来の異物検査装置では、被検査物を検査ステージの上に載置できるサイズに加工するなどの前処理が必要になる場合が多く、また、異物検査装置が設置されている場所に被検査物を運んで、検査ステージの上にセットする必要があった。そのため、検査に手間を要し、被検査物の前記前処理や運搬の途中に被検査物に異物が付着する場合もあり、被検査物表面の異物の付着状態を製造現場等において簡易迅速にしかも精度良く検査することが難しいという課題があった。
【０００５】
また、顕微鏡などの小型の装置で被検査物表面の異物の付着状態を観察する方法もあるが、顕微鏡を使用する場合、検査ステージの上に被検査物をセットしなければならず、上記と同様に被検査物の前処理が必要な場合が多く、また、一度に観察できる範囲が狭いため、広範囲の検査には適していないという課題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−１８０３７１号公報
【特許文献２】特開２０００−１７１４０１号公報
【特許文献３】特開２０１４−２１１２０号公報
【発明の概要】
【課題を解決するための手段及びその効果】
【０００７】
本発明は上記課題に鑑みなされたものであって、被検査物の大きさ及び場所を選ばない異物検査が可能であり、しかも簡易な操作で微小な異物を精度良く検出することができる異物検査装置、該異物検査装置を用いた異物検査システム及び異物検査方法を提供することを目的としている。
【０００８】
上記目的を達成するために本発明に係る異物検査装置（１）は、被検査物に付着している異物を検査するための異物検査装置であって、底面に開口部を有する手で持ち運び可能な筐体と、該筐体の内側上部に配設された撮像部と、前記被検査物の表面に光を照射するために前記筐体の内側下部に配設された光源部と、該光源部からの直接光が前記撮像部で受光されないように前記直接光の照射方向を規制する照射方向規制部材とを備えていることを特徴としている。
【０００９】
上記異物検査装置（１）によれば、前記筐体が手で持ち運ぶことが可能に構成されているため、前記被検査物がある場所に持ち運んで、その場で異物検査を行うことができ、場所を選ばない迅速な検査を行うことができる。また、前記筐体を前記被検査物の上に被せて異物検査を行うことができるので、前記被検査物が、前記筐体の底面開口部の面積よりも大きい場合であっても小さい場合であっても、そのまま検査を行うことができ、前記被検査物の大きさを選ばない検査を行うことができる。さらに、前記照射方向規制部材を備えているので、前記筐体を前記被検査物の上に被せた状態で、前記光源部から光を照射して、前記撮像部で前記被検査物の表面を撮像した場合に、前記光源部からの直接光が前記撮像部で受光されないので、前記光源部から照射された光が前記被検査物の表面に付着している異物に当って反射した乱反射光による像を精度良く検出することができ、微小な異物であっても精度良く検出することができる。
【００１０】
また本発明に係る異物検査装置（２）は、上記異物検査装置（１）において、前記光源部が、前記筐体の底面開口部に配設され、水平面上に対向して配列された複数の発光素子、又は環状の周上に均等配列された複数の発光素子を含んで構成されていることを特徴としている。
【００１１】
上記異物検査装置（２）によれば、前記被検査物の表面に対して略水平の２方向以上から均等に光を照射することができるので、前記被検査物の表面に付着している異物に対してもその周囲から均等に光を照射することができ、前記異物に当って反射した乱反射光を受光することによって前記異物の大きさや形状を明瞭に検出することができる。
【００１２】
また本発明に係る異物検査装置（３）は、上記異物検査装置（１）又は（２）において、前記照射方向規制部材が、前記光源部の上下面を挟む形態で水平方向に延設された暗色板で構成されていることを特徴としている。
【００１３】
上記異物検査装置（３）によれば、前記暗色板によって、前記直接光が前記撮像部で受光されないように前記直接光の上方向への照射を確実に規制することができ、また、前記光源部から照射された光のうち、前記暗色板に当って反射する光を減衰させることができるので、前記撮像部で撮像される画像の周囲が白くぼやけて写るような現象を効果的に防止することができ、前記撮像部の撮像範囲全体で前記異物を明瞭に検出することができる。
【００１４】
また本発明に係る異物検査装置（４）は、上記異物検査装置（１）〜（３）のいずれかにおいて、前記筐体が、光の反射を抑える暗色板で構成されていることを特徴としている。
【００１５】
上記異物検査装置（４）によれば、前記筐体が前記暗色板で構成されているので、装置外部からの光を遮断することができ、また、装置内での光の反射も抑制されるので、前記撮像部によって撮像された画像に、装置内部の構造物が写り込みにくく、前記異物のみを明瞭に検出することができる。また、装置の軽量化を図ることができる。
【００１６】
また本発明に係る異物検査装置（５）は、上記異物検査装置（１）〜（４）のいずれかにおいて、前記撮像部を水平方向及び／又は垂直方向に移動させるための移動用部材を備え、前記撮像部及び前記移動用部材の色が、光の反射を抑える暗色であることを特徴とするとしている。
【００１７】
上記異物検査装置（５）によれば、前記撮像部及び前記移動用部材の色が、光の反射を抑える暗色であるので、前記撮像部や前記移動用部材が、前記撮像部によって撮像された画像に写り込みにくく、前記異物のみを明瞭に検出することが可能となり、前記異物の検出精度を高めることができる。
【００１８】
また本発明に係る異物検査装置（６）は、上記異物検査装置（１）〜（５）のいずれかにおいて、前記筐体に把持部が装備されていることを特徴としている。
【００１９】
上記異物検査装置（６）によれば、前記筐体に前記把持部が装備されているので、人の手による持ち運びが容易となり、また、前記被検査物の上に位置精度良く載せることができる。
【００２０】
また本発明に係る異物検査装置（７）は、上記異物検査装置（１）〜（６）のいずれかにおいて、前記被検査物の下に敷く暗色敷板をさらに備え、該暗色敷板の上に前記筐体が載置可能に構成されていることを特徴としている。
【００２１】
上記異物検査装置（７）によれば、前記被検査物の下に前記暗色敷板を敷き、該暗色敷板の上に前記筐体を載置することにより、前記被検査物の下からの反射や写り込みが少ない状態で、前記被検査物の表面の状態を撮像することができ、検査の精度を高めることができる。
【００２２】
また本発明に係る異物検査システムは、上記異物検査装置（１）〜（７）のいずれかと、該異物検査装置から取り込んだ撮像データに基づいて前記被検査物の表面に付着している異物を検出して評価する異物評価手段とを備えていることを特徴としている。
【００２３】
上記異物検査システムによれば、前記異物検査装置が手で持ち運ぶことができるサイズに小型化されているので、前記被検査物がある場所に前記異物検査装置を持ち運んで、その場で前記被検査物の表面状態を撮像することができる。また、前記異物評価手段によって、その場で前記被検査物の表面に付着している異物を検出して評価することができ、簡易かつ迅速に微小な異物を精度良く検出することができ、利便性の高い異物検査システムを低コストで実現することができる。
【００２４】
また本発明に係る異物検査方法は、上記異物検査装置（１）〜（７）のいずれかを前記被検査物の上に被せる工程と、前記異物検査装置の前記光源部を発光させて、前記撮像部で前記被検査物の表面を撮像する工程と、前記撮像部で撮像されたデータに基づいて前記被検査物の表面に付着している異物を検出して評価する工程とを含んでいることを特徴としている。
【００２５】
上記異物検査方法によれば、前記被検査物がある場所に前記異物検査装置を持ち運んで、その場で前記被検査物の表面状態を撮像することができ、前記被検査物の大きさ及び場所を選ばない異物検査を行うことができる。また、その場で前記被検査物の表面に付着している異物を検出して評価することができ、簡易かつ迅速に微小な異物を精度良く検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の実施の形態に係る異物検査装置の外観斜視図である。
【図２】図１におけるII−II線断面図である。
【図３】図１におけるIII−III線断面図である。
【図４】実施の形態に係る異物検査システムを概略的に示す構成図である。
【図５】実施の形態に係る異物検査装置による異物の検出原理を説明するための図であり、（ａ）は被検査物の表面に異物が存在していない場合、（ｂ）は被検査物の表面に異物が存在している場合の照射光の反射状態を示している。
【図６】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は実施の形態に係る異物検査装置の使用状態を説明するための側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明に係る異物検査装置、異物検査システム及び異物検査方法の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は、実施の形態に係る異物検査装置の外観斜視図である。図２は、図１におけるII−II線断面図、図３は、図１におけるIII−III線断面図である。図４は、実施の形態に係る異物検査システムを概略的に示した構成図である。
【００２８】
なお、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。
【００２９】
異物検査装置１は、被検査物Ｓに付着している塵埃等の異物を検査するための装置である。被検査物Ｓは、透明、半透明又は有色のフィルム材、シート材、パネル材、各種基板等の平坦な薄物（例えば、数μｍ〜数ｍｍ厚の薄物）である。
【００３０】
異物検査装置１は、底面が開口された手で持ち運び可能な筐体１０と、筐体１０の内側上部に配設された撮像部２０と、被検査物Ｓの表面に光を照射するために筐体１０の底面開口部１０ａに対向して配設された一対の光源部３０と、各光源部３０からの直接光が撮像部２０で受光されないように直接光の照射方向を規制する一対の照射方向規制部材４０とを含んで構成されている。
【００３１】
筐体１０は、底面が開口された略直方体（箱型）形状をしており、筐体１０の上面及び側面は、ツヤのある樹脂製の暗色パネル（薄板）１１で構成されている。暗色パネル１１の色は、暗色であれば特に限定されないが、光の反射を抑制する観点から、特に黒色が好ましい。筐体１０の大きさは、例えば、横幅３４０ｍｍ、縦幅１６０ｍｍ、高さ１６０ｍｍ程度に設定することができるが、この大きさに限定されるものではなく、人が手で持ち運ぶことができる大きさであればよい。また、筐体１０の形状は、略直方体形状に限定されるものではなく、底面が開口された略立方体形状、底面が開口された円柱（又は円盤）形状などの形状が採用され得る。また、異物検査装置１の重量は、人が片手で持ち上げて運ぶことができる重さに設計され、持ち運びを容易にするという観点から、２ｋｇ以下に設計することが好ましい。
【００３２】
筐体１０の内側四隅には、縦枠部材１２が配設され、上面の内側四辺には、横枠部材１３Ａが配設され、底面の内側短辺には、横枠部材１３Ｂが配設されている。これら縦枠部材１２と横枠部材１３Ａ、１３Ｂとが連結具１４で連結され、暗色パネル１１が縦枠部材１２、横枠部材１３Ａ、１３Ｂに留め具（ビス）１５で固着されている。縦枠部材１２及び横枠部材１３Ａ、１３Ｂの材質は特に限定されるものではなく、暗色パネル１１が取付け可能で、構造的な強度が確保できれば良く、軽量化の観点からアルミフレーム材を用いることが好ましい。
【００３３】
上面の暗色パネル１１の内側長手方向中央部分には、撮像部２０を水平方向（長手方向）にスライド移動させるためのスライドレール部材（移動用部材）１６が配設されている。スライドレール部材１６には、電動式の直動部材（電動スライダ）や手動式の直動部材などが採用され得る。スライドレール部材１６の色は、撮像部２０で撮像された画像への写り込みを防止するために暗色になっており、暗色パネル１１と同じ色、特に黒色にすることが好ましい。
【００３４】
また、筐体１０の上面暗色パネル１１の外側略中央部には略逆Ｕ字形状をした持ち手１７が取り付けられている。筐体１０の一側面には、光源部３０による光の照射をＯＮ、ＯＦＦするための光源用スイッチ１８と、光源部３０へ電源を供給する電源アダプター（図示せず）を接続するための電源コネクター１９とが配設され、また、撮像部２０のＵＳＢケーブル２３が筐体外部に導出されている。
【００３５】
撮像部２０は、ＣＣＤイメージセンサなどの撮像素子（図示しない）を含んで構成された撮像レンズ部２１、カメラボディ部２２及びケーブル２３を備えた小型のカメラで構成されており、スライドレール部材１６に係合させる係合部材２４を介してスライドレール部材１６に摺動可能に取り付けられている。撮像部２０による撮像面積は、撮像部２０の取付け位置、使用する撮像素子の性能等によって調整することが可能であり、広範囲の撮像が可能となるように構成されている。例えば、200万画素のＣＣＤイメージセンサを用いた場合、８４ｍｍ×６０ｍｍ程度の広い面積を撮像することが可能となっている。
【００３６】
光源部３０は、筐体１０の底面開口部１０ａの短辺に対向する形態で配設されており、横長棒状の取付枠３１と、取付枠３１に所定間隔をあけて配設された複数の発光素子３２とを含んで構成されている。発光素子３２の個数は特に限定されないが、対向して照射される光の強度が同じとなるように、各取付枠３１に同数の発光素子３２が横１列に配設されることが好ましい。発光素子３２の光軸は、被検査物Ｓの表面への光の入射角θi（図５参照）が９０度に近付くように、筐体１０の底面開口部１０ａの端面から数ｍｍ未満、好ましくは３ｍｍ未満の高さに位置するように発光素子３２を配置することが好ましい。このような発光素子３２の配置により、被検査物Ｓの表面からの反射光が撮像部２０で受光されないようにすることが可能となっている。
【００３７】
また、発光素子３２には、白色ＬＥＤ（発光ダイオード）が好適に採用され得るが、これに限定されるものではなく、白色以外のＬＥＤや赤外線ＬＥＤ等も採用することができる。なお、発光素子３２には、照射角度が狭いものを採用することがより好ましい。
【００３８】
光源部３０には、電源コネクター１９に接続された図示しない電源アダプターからＡＣ電源が供給されるように構成されているが、別の実施の形態では、電源コードのない構成、例えば、電池（バッテリー）及び電圧安定化回路を含む電源部（図示せず）を筐体１０に装備した構成にすることもできる。なお、前記電圧安定化回路は、発光素子３２に供給される電圧の変動を抑えて、明るさを安定化させるための回路である。
【００３９】
照射方向規制部材４０は、光源部３０の上下面を挟む形態で水平方向に延設された一対の暗色薄板４１、４２で構成されている。暗色薄板４１、４２はツヤのある樹脂製パネルで構成され、その色は、暗色であれば特に限定されないが、発光素子３２からの光の反射を抑制する観点から黒色が好ましい。暗色薄板４１、４２の横幅（筐体１０の底面開口部１０ａの短辺方向の幅）は、縦枠部材１２の間に収まる幅に設定され、縦幅（筐体１０の底面開口部１０ａの長辺方向の幅）は、光源部３０からの直接光が撮像部２０で受光されないように調整された幅（突き出し長さ）に設定されている。なお、光源部３０からの直接光が撮像部２０で受光されていない状態とは、撮像部２０で撮像された画像の周囲が白くぼやけて写る等の現象が生じていない状態であって、異物が付着していない被検査物Ｓを撮像した場合に、撮像範囲全体が略均一な暗色画像となる状態（暗視野の状態）をいう。
【００４０】
異物検査システム６０は、図４に示したように、異物検査装置１と、異物検査装置１から取り込んだ撮像データに基づいて被検査物Ｓの表面に付着している異物を検出して評価する異物評価装置７０とを含んで構成されている。
【００４１】
異物検査装置１と異物評価装置７０とは、ＵＳＢケーブル２３で接続され、異物検出装置１で撮像された撮像データが異物評価装置７０に送出されるように構成されている。なお、本実施の形態では、異物検査装置１と異物評価装置７０とがＵＳＢケーブル２３で接続されているが、別の実施の形態では、異物検査装置１と異物評価装置７０とに、Bluetooth（登録商標）などの無線通信部（図示せず）を設けて撮像データ等を無線でやり取り可能な構成とすることもできる。
【００４２】
異物評価装置７０は、表示部７１と画像解析処理部７２とを含んで構成され、より具体的には、異物評価手段として機能する画像解析処理ソフトが導入されたパーソナルコンピュータ等で構成されている。画像解析処理部７２では、異物検査装置１から取り込んだ撮像データに所定の閾値を設けて２値化処理等を行い、異物の可視化が可能なように画像解析処理を行い、解析された画像、解析された異物のサイズや位置、異物の付着個数などの数値化された解析結果を表示部７１に出力するように構成されている。
【００４３】
次に実施の形態に係る異物検査装置１による異物検出の原理について、図５に基づいて説明する。被検査物Ｓの表面に異物が存在していない場合、図５（ａ）に示したように、左右の光源部３０から被検査物Ｓの表面に対して大きな入射角θiで照射された光は、被検査物Ｓの表面で正反射される。被検査物Ｓの表面からの正反射光は反射角θrが大きいので、撮像部２０で受光されることはない。したがって、撮像部２０で撮像された画像は、全体が略均一に暗い暗色画像（暗視野画像）となり、異物が存在しない画像が得られる。
【００４４】
一方、被検査物Ｓの表面に異物Ｄ（１０μｍ程度以上のレベルの塵埃等）が存在している場合、図５（ｂ）に示したように、左右の光源部３０から被検査物Ｓの表面に対して大きい入射角θiで照射された光は、被検査物Ｓの表面に存在する異物Ｄに当って乱反射（拡散反射）する。この異物Ｄからの乱反射光は反射角θrが小さいため、撮像部２０で受光されることとなる。したがって、撮像部２０で撮像された画像は、暗色画像の中に異物Ｄの存在部分のみが白く写された画像となり、異物が存在していることが肉眼で確認できる画像が得られる。また、対向する２方向から光が照射されるので、異物の形状や大きさが分かる明瞭な画像を撮像することが可能となっている。
【００４５】
次に、実施の形態に係る異物検査装置１を用いた異物検査方法について説明する。
まず、異物検査装置１の持ち手１７を握って持ち上げた筐体１０を被検査物Ｓの上まで運び、被検査物Ｓの上から筐体１０を覆い被せるように載置する。なお、被検査物Ｓの面積が筐体１０の底面開口部１０ａよりも小さい場合は、図５（ａ）に示したように、被検査物Ｓが底面開口部１０ａ内に収まるように筐体１０を被検査物Ｓの上に被せる。
【００４６】
また、被検査物Ｓの面積が筐体１０の底面開口部１０ａよりも大きい場合は、図５（ｂ）に示したように、被検査物Ｓの検査対象箇所に筐体１０を被せる。また、撮影された画像に被検査物Ｓの下方の写り込みが生じやすい場合には、図５（ｃ）に示したように、被検査物Ｓの下に、表面が清浄な暗色敷板５０を敷き、暗色敷板５０の上に筐体１０を載置する。暗色敷板５０は、黒色等の暗色をしたツヤのある樹脂製パネルで構成することができる。
【００４７】
次に、異物検査装置１の光源用スイッチ１８をＯＮにして光源部３０を発光させて、被検査物Ｓの表面に向けて発光素子３２からの光を照射し、撮像部２０で被検査物Ｓの表面を撮像し、撮像されたデータを異物評価装置７０に送信する。
【００４８】
なお、被検査物Ｓの表面に異物が存在しない場合、図５（ａ）に示したように、光源部３０から照射された光は、被検査物Ｓの表面上で乱反射しないため、撮像部２０で撮像される画像は全体が略均一な暗い画像となる。一方、被検査物Ｓの表面に異物Ｄが存在している場合、図５（ｂ）に示したように、光源部３０から照射された光は、異物Ｄに当って乱反射し、この乱反射光が撮像部２０に取り込まれ、異物Ｄが存在する箇所のみが白く浮き上がった画像を取得することが可能となっている。
【００４９】
次に、異物評価装置７０では、画像解析処理部７２において、異物検査装置１から送信されてきた撮像データを画像解析処理ソフトで設定された条件に基づいて解析し、被検査物Ｓの表面に付着している異物を検出して評価する処理を行う。その後、異物を表した解析画像と、検出された異物のサイズや位置、異物の付着個数などの数値化された解析結果を表示部７１に表示するようになっている。
【００５０】
上記実施の形態に係る異物検査装置１によれば、筐体１０が手で持ち運び可能なようにコンパクトかつ軽量な構成となっているので、例えば製造現場等に持ち運んで、その場で、製造品（被検査物Ｓ）の異物検査を行うことができ、場所を選ばない迅速な検査を行うことができる。また、筐体１０を被検査物Ｓの上に被せて異物検査を行うことができるので、被検査物Ｓが、筐体１０の底面開口部の面積よりも大きい場合であっても小さい場合であっても、そのまま検査を行うことができ、被検査物Ｓの大きさを選ばない検査を行うことができる。
【００５１】
また、暗色板４１、４２からなる照射方向規制部材４０を備えているので、筐体１０を被検査物Ｓの上に被せた状態で、光源部３０から光を照射して、撮像部２０で被検査物Ｓの表面を撮像した場合に、光源部３０からの直接光が撮像部２０では受光されないように直接光の上方向への照射を確実に規制することができる。また、光源部３０から照射された光のうち、暗色板４１、４２に当って反射する光を減衰させることができる。したがって、撮像部２０で撮像される画像の周囲が白くぼやけて写るような現象（ハレーションとも言う）を効果的に防止することができ、撮像部２０の撮像範囲全体で異物を明瞭に検出することができる。また、光源部３０から照射された光が被検査物Ｓの表面に付着している異物に当って反射した乱反射光よる像を精度良く検出することができ、拡大鏡でも発見が困難な５０μｍ程度以下の微小な異物であっても精度良く検出することができる。
【００５２】
また、対向して配置された光源部３０によって被検査物Ｓの表面に対して対向する２方向から均等に光を照射することができるので、被検査物Ｓの表面に付着している異物に対しても対向する２方向から均等に光を照射することができ、異物に当って生じる乱反射光を受光することによって、異物の大きさや形状を明瞭に検出することができる。
【００５３】
また、筐体１０が、光の反射を抑える暗色パネル１１で構成されているので、装置外部からの光を遮断することができ、また、装置内での光の反射も抑制されるので、撮像部２０で撮像された画像に、装置内部の構造物が写り込みにくくなり、異物を明瞭に検出することができる。また、撮像部２０及びスライドレール部材１６の色が、光の反射を抑える黒色であるので、撮像部２０やスライドレール部材１６が、撮像部２０で撮像された画像に写り込みにくくなり、異物の検出精度を高めることができる。
【００５４】
また、被検査物Ｓの下に敷く暗色敷板５０を備えているので、被検査物Ｓの下からの反射や写り込みが多くなる場合には、被検査物Ｓの下に表面を清浄にした暗色敷板５０を敷き、暗色敷板５０の上に筐体１０を載置することにより、被検査物Ｓの下からの反射や写り込みが少ない状態で、被検査物Ｓの表面を撮像することができ、検査の精度を高めることができる。
【００５５】
また、実施の形態に係る異物検査システム６０によれば、異物検査装置１が手で持ち運ぶことができるサイズに小型化されているので、被検査物Ｓがある場所に異物検査装置１を持ち運んで、その場で被検査物Ｓの表面状態を撮像することができる。また、異物評価装置６０によって、その場で被検査物Ｓの表面に付着している異物を可視化可能に検出し、数値化して評価することができ、簡易かつ迅速に微小な異物を精度良く検出することができ、利便性の高い異物検査システムを低コストで実現することができる。
【００５６】
また、実施の形態に係る異物検査方法によれば、被検査物Ｓがある場所に異物検査装置１を持ち運んで、その場で被検査物Ｓの表面状態を撮像することができ、場所を選ばないで異物検査を行うことができる。また、その場で被検査物Ｓの表面に付着している異物を可視化可能に検出し、数値化して評価することができ、簡易かつ迅速に微小な異物を精度良く検出することができ、異物の付着状況の比較などを容易に行うことができる。
【００５７】
なお、上記実施の形態に係る異物検査装置１では、一対の光源部３０が、筐体１０の底面開口部１０ａに対向して配置されているが、光源部３０の配置形態はこれに限定されるものではない。別の実施の形態として、例えば、底面開口部が正方形をした筐体を採用した場合、底面開口部の正方形の４辺に、同一構成の光源部３０及び照射方向規制部材４０（暗色板４１、４２）を設けた構成にすることができる。または、筐体の底面開口部にリング状光源（環状の周上に複数の発光素子が均等配列された光源）を配設し、該リング状光源の上下面を挟む形態で水平方向（リングの中心方向）に延設された環状の暗色板（照射方向規制部材）を設ける構成とすることもできる。これら別の実施の形態においても、上記した実施の形態に係る異物検査装置１と同様の効果を得ることができる。
【００５８】
また、上記実施の形態に係る異物検査装置１では、撮像部２０は、スライドレール部材１６に沿って水平方向に移動可能に設置されているが、別の実施の形態では、撮像部２０を水平方向だけでなく、垂直方向に移動可能な構成としてもよい。例えば、水平方向と垂直方向の２軸方向に駆動させることが可能な小型の直交ロボット（電動アクチュエータ）を筐体の内側上部に設け、該直交ロボットのアーム先端部に撮像部２０を取り付けた構造などが採用され得る。この場合、撮像された画像への写り込みを防止するために、前記直交ロボットの色は黒色等の暗色にすることが好ましい。
【符号の説明】
【００５９】
１  異物検査装置
１０  筐体
２０  撮像部
３０  光源部
４０  照射方向規制部材
５０  暗色敷板
６０  異物検査システム
７０  異物評価装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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