(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
直列に接続されかつ所定の線上に配置された、紫外線を放出する複数の固体発光素子を有する固体発光素子列を、前記所定の線に交差する方向に複数並べて基板上に配置した発光部と；
前記発光部の１以上の前記固体発光素子列に対応しかつ対応する固体発光素子列の固体発光素子に流れる電流値を変更可能な２以上の電流調整手段と；
前記基板が取り付けられる基板取付部と、前記基板取付部から離れる方向へ突出すると共に前記所定の線に交差する方向に沿って延びて前記発光部の前記交差する方向に隣り合う２以上の前記固体発光素子列にまたがる複数のフィンと、を有するヒートシンクと、前記複数のフィンの間に沿って前記所定の線に交差する方向における前記複数のフィンの上流側から下流側へ向かって前記複数のフィンの間を通過する流体を流動させるように配置されたファンと、を備え、前記発光部の前記交差する方向に隣り合う２以上の前記固体発光素子列の前記固体発光素子が発する熱を前記複数のフィンによって放熱する放熱手段と；
前記電流調整手段を制御する制御手段と；を具備し、
前記制御手段は、前記複数の固体発光素子列の前記固体発光素子が放出する紫外線の相対照度が等しくなるように、前記電流調整手段に前記固体発光素子列の前記固体発光素子に流れる電流値を変更させる光源装置。
【請求項２】
前記発光部の所定の位置に設けられかつ前記所定の位置の温度を検出可能な温度検出手段を具備し、
前記制御手段は、前記温度検出手段の検出結果に基づいて、前記電流調整手段に前記固体発光素子列の前記固体発光素子に流れる電流値を変更させる請求項１記載の光源装置。
【請求項３】
前記温度検出手段を、前記流体の流動方向に沿って間隔をあけて複数設けた請求項２記載の光源装置。
【請求項４】
前記固体発光素子は、ピーク波長が２４０ｎｍ以上４５０ｎｍ以下の紫外線を放出する請求項１〜請求項３のうちいずれか一項に記載の光源装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、液晶の硬化などに用いられ、複数の固体発光素子を備えた光源装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、液晶パネルの硬化や重合、貼り合わせなどの光反応工程において、紫外線を放出する固体発光素子を有する光源装置が用いられる。光源装置は、複数の固体発光素子を直列に接続して構成される固体発光素子列を並列に複数接続して、所定の面積に紫外線を照射する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第２０１４／１０３５９８号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、従来の光源装置においては、点灯時の固体発光素子列間の温度のばらつきにより、不均一な照度で紫外線を照射してしまうことがある。したがって、光源装置においては、被照射物に対する紫外線の不均一な照射を抑制することが求められる。
【０００５】
本発明は、被照射物に対する紫外線の不均一な照射を抑制する光源装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
実施形態の光源装置は、発光部と、電流調整手段と、放熱手段と、制御手段を具備する。発光部は、直列に接続されかつ所定の線上に配置された、紫外線を放出する複数の固体発光素子を有する固体発光素子列を備える。発光部は、固体発光素子列を所定の線に交差する方向に複数並べて配置している。電流調整手段は、２以上設けられ、発光部の１以上の固体発光素子列に対応しかつ対応する固体発光素子列の固体発光素子に流れる電流値を変更可能である。放熱手段は、所定の線に交差する方向に流体を流動させて発光部の交差する方向に隣り合う２以上の固体発光素子列の固体発光素子が発する熱を放熱する。制御手段は、電流調整手段を制御する。制御手段は、複数の固体発光素子列の固体発光素子が放出する紫外線の相対照度が等しくなるように、電流調整手段に固体発光素子列の固体発光素子に流れる電流値を変更させる。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、被照射物に対する紫外線の不均一な照射を抑制する光源装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は、実施形態に係る光源装置を備えた紫外線照射装置の概略の構成を示す図である。
【図２】図２は、図１中のＩＩ−ＩＩ線の断面図である。
【図３】図３は、実施形態に係る光源装置の発光部を下方から示す概略の構成を示すブロック図である。
【図４】図４は、実施形態１の変形例１に係る光源装置の概略の構成を下方から示す概略の構成を示すブロック図である。
【図５】図５は、実施形態１の変形例２に係る光源装置の概略の構成を下方から示す概略の構成を示すブロック図である。
【図６】図６は、実施形態２に係る光源装置の概略の構成を下方から示す概略の構成を示すブロック図である。
【図７】図７は、実施形態３に係る光源装置の概略の構成を下方から示す概略の構成を示すブロック図である。
【図８】図８は、実施形態４に係る光源装置の概略の構成を下方から示す概略の構成を示すブロック図である。
【図９】図９は、実施形態５に係る光源装置の構成を示す図である。
【図１０】図１０は、実施形態６に係る光源装置を備えた紫外線照射装置のＹ軸方向視の側面図である。
【図１１】図１１は、実施形態６に係る光源装置の概略の構成を示す斜視図である。
【図１２】図１２は、実施形態６に係る光源装置の側面図である。
【図１３】図１３は、実施形態６の変形例１に係る光源装置の概略の構成を示す斜視図である。
【図１４】図１４は、実施形態６の変形例２に係る光源装置の概略の構成を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下で説明する実施形態等に係る光源装置１，１−１，１−２，２，３，４，５，６，６−１，６−２は、発光部２０と、電流調整手段３０と、放熱手段４０と、制御手段７０を具備する。発光部２０は、直列に接続されかつ所定の線上に配置された、紫外線を放出する複数の固体発光素子２３を有する固体発光素子列２２を備える。発光部２０は、固体発光素子列２２を所定の線に交差する方向に複数並べて配置している。電流調整手段３０は、２以上設けられ、発光部２０の１以上の固体発光素子列２２に対応しかつ対応する固体発光素子列２２の固体発光素子２３に流れる電流値を変更可能である。放熱手段４０は、所定の線に交差する方向に流体を流動させて発光部２０の交差する方向に隣り合う２以上の固体発光素子列２２の固体発光素子２３が発する熱を放熱する。制御手段７０は、電流調整手段３０を制御する。制御手段７０は、複数の固体発光素子列２２の固体発光素子２３が放出する紫外線の相対照度が等しくなるように、電流調整手段３０に固体発光素子列２２の固体発光素子２３に流れる電流値を変更させる。
【００１０】
また、以下で説明する実施形態等に係る光源装置１，１−１，１−２，２，３，４，５，６，６−１，６−２において、発光部２０の所定の位置に設けられかつ所定の位置の温度を検出可能な温度検出手段６０を具備し、制御手段７０は、温度検出手段６０の検出結果に基づいて、電流調整手段３０に対応する固体発光素子列２２の固体発光素子２３に流れる電流値を変更させる。
【００１１】
また、以下で説明する実施形態等に係る光源装置１，１−１，１−２，２，３，４，５，６，６−１，６−２において、温度検出手段６０を、流体の流動方向に沿って間隔をあけて複数設ける。
【００１２】
また、以下で説明する実施形態等に係る光源装置１，１−１，１−２，２，３，４，５，６，６−１，６−２において、固体発光素子２３は、ピーク波長が２４０ｎｍ以上４５０ｎｍ以下の紫外線を放出する。
【００１３】
［実施形態１］
次に、本発明の実施形態１に係る光源装置１を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態に係る光源装置を備えた紫外線照射装置の概略の構成を示す図、図２は、図１中のＩＩ−ＩＩ線の断面図、図３は、実施形態に係る光源装置の発光部を下方から示す概略の構成を示すブロック図である。
【００１４】
実施形態１に係る光源装置１（以下、単に光源装置と記す）は、図１に示された紫外線照射装置１００を構成する。紫外線照射装置１００は、例えば、液晶パネルの硬化や重合、貼り合わせなどの光反応工程に用いられ、所定の波長の紫外線を被照射物Ｗ(図１に示す)に照射する装置である。
【００１５】
紫外線照射装置１００は、図１に示すように、光源装置１と、被照射物Ｗを載置面１０ａ上に載置するステージ１０などを備えている。なお、以下、載置面１０ａと平行な互いに直交する方向をＸ軸方向、Ｙ軸方向と記し、載置面１０ａと直交する方向をＺ軸方向と記す。光源装置１は、発光部２０と、複数の電流調整手段３０（図３に示す）と、放熱手段４０と、筺体５０と、温度検出手段６０と、制御手段７０を具備する。
【００１６】
発光部２０は、図１及び図３に示すように、実装基板２１（基板に相当）と、複数の固体発光素子列２２とを備える。実装基板２１は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向、即ち載置面１０ａと平行に配置される。実装基板２１は、載置面１０ａとＺ軸方向に沿って対向する表面２１ａ上に固体発光素子列２２を構成する複数の固体発光素子２３を実装している。実装基板２１は、固体発光素子２３を、Ｘ軸方向とＹ軸方向との双方に沿って表面２１ａに並べて、面上に配置している。実装基板２１は、固体発光素子２３を予め定められたパターン通りに接続する。
【００１７】
複数の固体発光素子列２２は、実装基板２１の表面２１ａ上に実装された複数の固体発光素子２３を有する。各固体発光素子列２２を構成する固体発光素子２３は、実装基板２１上に所定の線上としてのＸ軸方向と平行な直線上に配置され、かつアノードとカソードとが直列に接続されている。固体発光素子２３は、紫外線を放出する。固体発光素子列２２を構成する固体発光素子２３には、直流電源２４（図３に示す）からの電力が供給される。発光部２０は、複数の固体発光素子列２２を所定の線としてのＸ軸方向に直交（交差）するＹ軸方向に複数並べて配置している。複数の固体発光素子列２２は、互いに並列に接続されて、直流電源２４に対して並列に接続されている。このために、複数の固体発光素子列２２には、直流電源２４から供給される電力がＸ軸方向と平行な図１〜図３に示す矢印Ｋに沿って電流として流れることとなる。こうして、発光部２０は、ｎ（自然数）個の固体発光素子列２２を有している。即ち、発光部２０は、固体発光素子列として、第１固体発光素子列２２、第２固体発光素子列２２、・・・、第ｎ−１固体発光素子列２２、第ｎ固体発光素子列２２を有している。
【００１８】
固体発光素子列２２を構成する固体発光素子２３は、一様にあらゆる方向に振動した紫外線を放出するものであり、ＬＥＤ（Light  Emitting  Diode）、ＬＤ（Laser  Diode）などで構成される。固体発光素子２３は、ピーク波長が２４０ｎｍ以上４５０ｎｍ以下の紫外線を放出するものである。なお、本明細書でいうピーク波長とは、固体発光素子２３が放出する紫外線のうちの相対照度が最も強い紫外線の波長をいう。また、本発明でいう相対照度とは、光放出部１０、すなわち、固体発光素子１２から放出される紫外線の相対照度を表す指標である。相対照度は、例えばウシオ電機製の紫外線積算光量計ＵＩＴ−２５０、受光器ＵＶＤ−Ｓ３６５などのいわゆる照度計を用いて測定した照度を規格化し相対な照度として用いることができる。なお、照度計は上記に限定されず、例えばオーク製作所製のＵＶ−ＭＯ３Ａ、受光器ＵＶ−ＳＮ３５を用いてもよい。また、相対照度は、例えば被照射物Ｗが置かれる位置に、紫外線を受光して電気信号を出力する受光素子を用いて相対的に紫外線の強度の変化を検出するものでもよい。
【００１９】
電流調整手段３０は、２以上設けられ、発光部２０の１以上の固体発光素子列２２に対応して設けられている。実施形態１では、電流調整手段３０は、固体発光素子列２２と１対１で対応している。電流調整手段３０は、例えば、抵抗値が変更可能な可変抵抗器などで構成され、対応する固体発光素子列２２を構成する複数の固体発光素子２３と直列に接続されている。電流調整手段３０は、抵抗値を変更することで、対応する固体発光素子列２２の固体発光素子２３に流れる電流値を変更可能なものである。電流調整手段３０は、実装基板２１に実装されてもよく、実装基板２１外に配置されてもよい。
【００２０】
放熱手段４０は、所定の線としてのＸ軸方向に対して直交（交差）するＹ軸方向に実装基板２１の裏面２１ｂに沿って、流体としての気体を流動させて発光部２０の交差する方向としてのＹ軸方向に隣り合う２以上の固体発光素子列２２の固体発光素子２３が発する熱を光源装置１外に放熱するものである。実施形態１では、放熱手段４０は、Ｙ軸方向に気体を流動させて、すべての固体発光素子列２２の固体発光素子２３が発する熱を光源装置１外に放熱する。放熱手段４０は、図１及び図２に示すように、ヒートシンク４１と、放熱ファン４２などで構成されている。ヒートシンク４１は、発光部２０の実装基板２１の表面２１ａの裏側の裏面２１ｂに取り付けられている。ヒートシンク４１は、アルミニウム合金などの熱抵抗の低い材料（金属など）で構成されている。本実施形態で、ヒートシンク４１は、実装基板２１の裏面２１ｂに取り付けられた平板状の基板取付部４１ａと、基板取付部４１ａからステージ１０から離れる方向に突出した複数のフィン４１ｂとを一体に備えている。フィン４１ｂは、基板取付部４１ａからＺ軸方向に突出しかつＹ軸方向に直線状に延びた平板状に形成され、Ｘ軸方向に間隔をあけて等間隔に複数設けられている。
【００２１】
放熱ファン４２は、ヒートシンク４１のＹ軸方向の一端部に取り付けられて、回転することで、光源装置１外の流体としての気体をヒートシンク４１のフィン４１ｂ間などに取り込み、フィン４１ｂ間に流動させた後、光源装置１外に排出する。放熱ファン４２は、気体をフィン４１ｂ間に流動させることで、固体発光素子列２２の固体発光素子２３が発する熱を実装基板２１、ヒートシンク４１などを介して、光源装置１外に放熱する。
【００２２】
また、本発明で、放熱手段４０は、実装基板２１の裏面２１ｂに取り付けられかつ内側が密閉されて内側に流体としての液体が流動される箱状のヒートパイプと、ヒートパイプ内の液体を流動させるポンプなどで構成されてもよい。
【００２３】
筺体５０は、実装基板２１の裏面２１ｂ及び放熱手段４０のヒートシンク４１を覆うものである。本実施形態で、筺体５０は、Ｙ軸方向の両端部が開口した箱状に形成されている。筺体５０は、放熱手段４０の放熱ファン４２が回転することで、放熱ファン４２から離れた側の一方の開口部５０ａを通して流体としての気体を取り込み、放熱ファン４２寄りの他方の開口部５０ｂからヒートシンク４１により加熱された気体を外部に排出する。
【００２４】
温度検出手段６０は、発光部２０の所定の位置に設けられかつ所定の位置の温度を検出可能なものである。実施形態１では、温度検出手段６０は、放熱手段４０による流体としての気体の流動方向であるＹ軸方向に間隔をあけて発光部２０に複数設けられている。実施形態１で、温度検出手段６０は、実装基板２１の表面２１ａの筺体５０の一方の開口部５０ａ寄りの端のＸ軸方向の中央と、実装基板２１の表面２１ａの筺体５０の他方の開口部５０ｂ寄りの端のＸ軸方向の中央とのそれぞれに設けられ、合計二つ設けられている。温度検出手段６０は、検出結果を制御手段７０に出力する。
【００２５】
制御手段７０は、紫外線照射装置１００による紫外線の照射動作を制御するものである。制御手段７０は、例えばＣＰＵ等で構成された演算処理装置やＲＯＭ、ＲＡＭ等を備える図示しないマイクロプロセッサを主体として構成されており、処理動作の状態を表示する表示手段や、オペレータが処理内容情報などを登録する際に用いる操作手段と接続されている。
【００２６】
制御手段７０は、光源装置１の発光部２０の各固体発光素子列２２に対応して設けられた電流調整手段３０を制御して、各固体発光素子列２２内の固体発光素子２３に流れる電流値を変更する。制御手段７０は、各固体発光素子列２２内の固体発光素子２３に流れる電流値を変更する際に、複数の固体発光素子列２２の固体発光素子２３が放出する紫外線の相対照度が等しくなるように、温度検出手段６０の検出結果に基づいて、各電流調整手段３０に対応する固体発光素子列２２内の固体発光素子２３に流れる電流値を変更させる。
【００２７】
次に、紫外線照射装置１００の被照射物Ｗの処理動作を説明する。まず、オペレータが処理内容情報を制御手段７０に登録し、処理動作の開始指示があった場合に、処理動作を開始する。処理動作が開始されると、制御手段７０は、光源装置１の放熱手段４０の放熱ファン４２を作動させる。
【００２８】
そして、紫外線照射装置１００は、放熱手段４０の放熱ファン４２を作動させてから所定時間経過すると、ステージ１０の載置面１０ａ上に被照射物Ｗを載置し、発光部２０の各固体発光素子列２２の各固体発光素子２３から紫外線を放出して、載置面１０ａ上の被照射物Ｗに紫外線を照射する。制御手段７０は、電流調整手段３０を制御して、各固体発光素子列２２に電力を印加する。一定時間、紫外線が照射された被照射物Ｗは、ステージ１０の載置面１０ａ上から取り外され、紫外線照射前の被照射物Ｗがステージ１０の載置面１０ａに載置される。前述した工程と同様に、紫外線を照射する。
【００２９】
本発明の紫外線照射装置１００は、必要に応じて、光源装置１とステージ１０との間にフィルタや光学素子を設けてよい。
【００３０】
前述した構成の実施形態に係る光源装置１は、制御手段７０が複数の固体発光素子列２２の固体発光素子２３が放出する紫外線の相対照度が等しくなるように、各電流調整手段３０に対応する固体発光素子列２２の固体発光素子２３に流れる電流値を変更させる。このために、光源装置１は、被照射物Ｗに照射される紫外線の照度ムラを抑制できる。よって、光源装置１は、被照射物Ｗに対する紫外線の不均一な照射を抑制することができる。
【００３１】
また、光源装置１は、発光部２０の所定の位置としての実装基板２１の表面２１ａ上の温度を検出する温度検出手段６０を備え、制御手段７０が温度検出手段６０の検出結果に基づいて、各電流調整手段３０を制御する。このために、光源装置１は、被照射物Ｗに照射される紫外線の照度ムラを抑制できる。このために、光源装置１は、複数の固体発光素子列２２の固体発光素子２３が放出する紫外線の相対照度が極力等しくなるようにすることができ、被照射物Ｗに照射される紫外線の照度ムラを抑制できる。よって、光源装置１は、被照射物Ｗに対する紫外線の不均一な照射を抑制することができる。
【００３２】
また、光源装置１には、温度検出手段６０を、流体の流動方向に沿って間隔をあけて複数設けることで、各電流調整手段３０に対応する固体発光素子列２２の固体発光素子２３に流れる電流値を変更させることができる。このために、光源装置１は、複数の固体発光素子列２２の固体発光素子２３が放出する紫外線の相対照度が極力等しくなるようにすることができ、被照射物Ｗに照射される紫外線の照度ムラを抑制できる。よって、光源装置１は、被照射物Ｗに対する紫外線の不均一な照射を抑制することができる。
【００３３】
また、光源装置１には、固体発光素子２２のピーク波長が２４０ｎｍ以上４５０ｎｍ以下の紫外線を放出することで、被照射物Ｗに対する紫外線の不均一な照射を抑制することができる。
【００３４】
［変形例１］
次に、本発明の実施形態１の変形例１に係る光源装置１−１を図面に基づいて説明する。図４は、実施形態１の変形例１に係る光源装置の概略の構成を下方から示す概略の構成を示すブロック図である。図４において、前述した実施形態１と同一部分には、同一符号を付して説明を省略する。
【００３５】
実施形態１の変形例１に係る光源装置１−１は、図４に示すように、温度検出手段６０を具備していない。さらに、光源装置１−１の制御手段７０は、予め記憶しておいた値に基づき、電流調整手段３０を制御する。
【００３６】
実施形態１の変形例１に係る光源装置１−１は、実施形態１と同様に、被照射物Ｗに照射される紫外線の照度ムラを抑制でき、被照射物Ｗに対する紫外線の不均一な照射を抑制することができる。
【００３７】
［変形例２］
次に、本発明の実施形態１の変形例２に係る光源装置１−２を図面に基づいて説明する。図５は、実施形態１の変形例２に係る光源装置の概略の構成を下方から示す概略の構成を示すブロック図である。図５において、前述した実施形態１と同一部分には、同一符号を付して説明を省略する。
【００３８】
実施形態１の変形例２に係る光源装置１−２は、図５に示すように、各固体発光素子列２２に対応させた温度検出手段６０を具備している。即ち、変形例２に係る光源装置１−２は、固体発光素子列２２と温度検出手段６０とが１対１で対応し、対応している固体発光素子列２２と温度検出手段６０とが近接する位置に配置されている。
【００３９】
実施形態１の変形例２に係る光源装置１−２は、実施形態１と同様に、被照射物Ｗに照射される紫外線の照度ムラを抑制でき、被照射物Ｗに対する紫外線の不均一な照射を抑制することができる。
【００４０】
［実施形態２］
次に、本発明の実施形態２に係る光源装置２を図面に基づいて説明する。図６は、実施形態２に係る光源装置の概略の構成を下方から示す概略の構成を示すブロック図である。図６において、前述した実施形態１等と同一部分には、同一符号を付して説明を省略する。
【００４１】
実施形態２に係る光源装置２は、図６に示すように、各固体発光素子列２２がＸ軸方向と平行な複数の直線上に直列に接続した固体発光素子２３を配置している。また、図６には、温度検出手段６０を省略しているが、実施形態２では、温度検出手段６０を実施形態１、変形例２と同様に配置してもよい。
【００４２】
実施形態２に係る光源装置２は、実施形態１と同様に、被照射物Ｗに照射される紫外線の照度ムラを抑制でき、被照射物Ｗに対する紫外線の不均一な照射を抑制することができる。
【００４３】
［実施形態３］
次に、本発明の実施形態３に係る光源装置３を図面に基づいて説明する。図７は、実施形態３に係る光源装置の概略の構成を下方から示す概略の構成を示すブロック図である。図７において、前述した実施形態１、実施形態２等と同一部分には、同一符号を付して説明を省略する。
【００４４】
実施形態３に係る光源装置３は、図７に示すように、各固体発光素子列２２がＸ軸方向と平行な複数の直線上に直列に接続した固体発光素子２３を配置している。なお、実施形態３では、実施形態１と同様に、各固体発光素子列２２をＸ軸方向と平行な１本の直線上に固体発光素子２３を配置してもよい。また、図７には、温度検出手段６０を省略しているが、実施形態３では、温度検出手段６０を実施形態１、変形例２と同様に配置してもよい。
【００４５】
さらに、実施形態３に係る光源装置３の放熱手段４０は、図７に示すように、Ｙ軸方向の両端に気体を筺体５０内に吸引するファン４３を設け、Ｙ軸方向の中央から筺体５０外に気体を排出する排出口４４を設けている。
【００４６】
実施形態３に係る光源装置３は、実施形態１等と同様に、被照射物Ｗに照射される紫外線の照度ムラを抑制でき、被照射物Ｗに対する紫外線の不均一な照射を抑制することができる。
【００４７】
［実施形態４］
次に、本発明の実施形態４に係る光源装置４を図面に基づいて説明する。図８は、実施形態４に係る光源装置の概略の構成を下方から示す概略の構成を示すブロック図である。図８において、前述した実施形態１等と同一部分には、同一符号を付して説明を省略する。
【００４８】
実施形態４に係る光源装置４は、各固体発光素子列２２をＸ軸方向と平行な直線状に形成し、図８に示すように、互いに隣り合う各固体発光素子列２２に流れる電流の向きを逆向きにしている。また、図８には、温度検出手段６０を省略しているが、実施形態４では、温度検出手段６０を実施形態１、変形例２と同様に配置してもよい。さらに、図８で、電流調整手段３０を省略しているが、本発明では、各固体発光素子列２２に対応させて電流調整手段３０を設けている。また、図８では、制御手段７０を省略している。
【００４９】
実施形態４に係る光源装置４は、実施形態１等と同様に、被照射物Ｗに照射される紫外線の照度ムラを抑制でき、被照射物Ｗに対する紫外線の不均一な照射を抑制することができる。
【００５０】
［実施形態５］
次に、本発明の実施形態５に係る光源装置５を図面に基づいて説明する。図９（ａ）は、実施形態５に係る光源装置の側面図であり、図９（ｂ）は、実施形態５に係る光源装置の概略の構成を下方から示す平面図である。図９において、前述した実施形態１等と同一部分には、同一符号を付して説明を省略する。
【００５１】
実施形態５に係る光源装置５は、図９（ａ）に示すように、裏面２１ｂが互いに間隔をあけて対向するように実装基板２１を一対設け、各実装基板２１の表面２１ａ上にＸ軸方向と平行な複数の固体発光素子列２２を設けている。また、筺体５０が、実装基板２１のＸ軸方向の両端を連結し、放熱手段４０が実装基板２１間でＹ軸方向に沿って気体を流動させる。また、図９には、温度検出手段６０を省略しているが、実施形態５では、温度検出手段６０を実施形態１、変形例２と同様に配置してもよい。さらに、図９で、電流調整手段３０を省略しているが、本発明では、各固体発光素子列２２に対応させて電流調整手段３０を設けている。また、図９では、制御手段７０を省略している。
【００５２】
実施形態５に係る光源装置５は、実施形態１等と同様に、被照射物Ｗに照射される紫外線の照度ムラを抑制でき、被照射物Ｗに対する紫外線の不均一な照射を抑制することができる。
【００５３】
［実施形態６］
次に、本発明の実施形態６に係る光源装置６を図面に基づいて説明する。図１０は、実施形態６に係る光源装置を備えた紫外線照射装置のＹ軸方向視の側面図であり、図１１は、実施形態６に係る光源装置の概略の構成を示す斜視図であり、図１２は、実施形態６に係る光源装置の側面図である。図１３は、実施形態６の変形例１に係る光源装置の概略の構成を示す斜視図であり、図１４は、実施形態６の変形例２に係る光源装置の概略の構成を示す斜視図である。図１０〜図１４において、前述した実施形態１等と同一部分には、同一符号を付して説明を省略する。
【００５４】
実施形態６に係る光源装置６は、図１１及び図１２に示すように、断面円環状の実装基板２１の外周面２１ａに複数の固体発光素子列２２を設けている。固体発光素子列２２は、実装基板２１の外周面２１ａ上に所定の線としての周上に配置されかつ直列に接続された複数の固体発光素子２３を有している。複数の固体発光素子列２２は、所定の線に直交（交差）するＹ軸方向に複数並べて配置されている。放熱手段４０は、Ｙ軸方向に沿って実装基板２１の内側に流体としての気体を流動させて、固体発光素子２３が発する熱を放熱する。また、温度検出手段６０を実装基板２１の外周面２１ａのＹ軸方向の両端に設けている。さらに、実施形態６に係る光源装置６を備えた紫外線照射装置１００は、光源装置６の固体発光素子２３が放出した紫外線をステージ１０の載置面１０ａ上の被照射物Ｗに向かって反射するミラー１０１を備えている。
【００５５】
また、実施形態６の変形例１に係る光源装置６−１は、図１３に示すように、各固体発光素子列２２に対応して温度検出手段６０を設け、実施形態６の変形例２に係る光源装置６−２は、図１４に示すように、温度検出手段６０を設けていない。
【００５６】
実施形態６、変形例１及び変形例２に係る光源装置６，６−１，６−２は、実施形態１等と同様に、被照射物Ｗに照射される紫外線の照度ムラを抑制でき、被照射物Ｗに対する紫外線の不均一な照射を抑制することができる。
【００５７】
前述した実施形態１〜６等の光源装置１，１−１，１−２，２，３，４，５，６，６−１，６−２は、液晶パネルの硬化や重合、貼り合わせなどの光反応工程に用いられる紫外線照射装置１００を構成する例を示している。しかしながら、本発明の光源装置１，１−１，１−２，２，３，４，５，６，６−１，６−２は、例えば、半導体製造装置や化学物質の光化学反応などの多種多様な装置を構成してもよい。
【００５８】
また、前述した実施形態１〜５では、Ｘ軸方向と平行な直線上に直列に接続した複数の固体発光素子２３を並べて固体発光素子列２２を構成したが、本発明では、これに限定されない。例えば、直列に接続した複数の固体発光素子２３を所定の線としての円上に並べて、固体発光素子列２２を構成しても良い。この場合、複数の固体発光素子列２２は、同心円上に配置されることが望ましい。
【００５９】
本発明の実施形態及び変形例を説明したが、これらの実施形態及び変形例は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これらの実施形態及び変形例は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これらの実施形態及び変形例は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【００６０】
１，１−１，１−２，２，３，４，５，６，６−１，６−２  光源装置
２０  発光部
２１  実装基板（基板）
２２  固体発光素子列
２３  固体発光素子
３０  電流調整手段
４０  放熱手段
６０  温度検出手段
７０  制御手段
Ｗ  被照射物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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