(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体が通過する通路（１）の開度調整を行うバルブ（３）と、このバルブ（３）のバルブ開度に対応したセンサ出力を発生する開度センサ（９）とを備え、
この開度センサ（９）に「バルブ開度に対応したセンサ出力」の書き込みがなされるメモリ（３３）が設けられるバルブ装置の製造方法において、
このバルブ装置の製造方法は、
（ａ）複数のバルブ装置の流量を測定するとともに、測定した複数の流量（Ｑａ）を平均した平均流量（Ｑａ−ａｖｅ）と、誤差のない設計流量（ＱＡ）との差である流量誤差を求め、この流量誤差を織り込んだ「バルブ開度に対応したセンサ出力」を求める前段工程と、
（ｂ）前記前段工程で求めた「バルブ開度に対応したセンサ出力」を流量測定していないバルブ装置のメモリ（３３）に書き込む後段工程と、
を用いることを特徴とするバルブ装置の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載のバルブ装置の製造方法において、
前記後段工程で書き込みを終えたバルブ装置の流量測定を実施し、この流量測定で得られた流量を、次のバルブ装置の書き込みに用いる「バルブ開度に対応したセンサ出力」に反映させることを特徴とするバルブ装置の製造方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のバルブ装置の製造方法において、
前記前段工程は、
前記メモリ（３３）に「バルブ開度に対応したセンサ出力」が書き込まれた複数のバルブ装置で流量測定を実施して平均流量を求める平均流量算出工程と、
前記平均流量、前記開度センサ（９）のセンサ出力、前記バルブ（３）のバルブ開度の３つを整合させる整合工程と、
を備えることを特徴とするバルブ装置の製造方法。
【請求項４】
請求項１〜請求項３のいずれか１つに記載のバルブ装置の製造方法において、
前記前段工程は、複数のバルブ開度で流量の測定を実施することを特徴とするバルブ装置の製造方法。
【請求項５】
請求項４に記載のバルブ装置の製造方法において、
前記前段工程は、少なくとも全閉時と全開時において流量の測定を行うことを特徴とするバルブ装置の製造方法。
【請求項６】
請求項１〜請求項５のいずれか１つに記載のバルブ装置の製造方法において、
前記バルブ装置は、エンジンが排出した排気ガスの一部をＥＧＲガスとして前記エンジンの吸気通路へ戻すＥＧＲ流路（１）の開度調整を行うＥＧＲバルブであることを特徴とするバルブ装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流量制御を行うバルブ装置の製造方法に関し、特にバルブ開度に対応したセンサ出力の書き込み技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
（従来技術）
流量制御を行うバルブ装置の具体例として、ＥＧＲバルブを用いて従来技術を説明する。
アクチュエータによりバルブを操作するＥＧＲバルブでは、アクチュエータによるバルブの操作具合（バルブ開度）を検出する手段として開度センサ（角度センサ等）を搭載している。
【０００３】
ＥＧＲバルブに搭載される開度センサは、「所定のバルブ開度」の時に「予め規定されるセンサ出力」が発生するように設定される。
理解補助の目的で一例を開示すると、
ＥＧＲバルブの製造工程中において、
・バルブ開度が全閉の時にセンサ出力が１．２Ｖ、
・バルブ開度が全開の時にセンサ出力が４．０Ｖ、
を発生するようメモリの書き込みが実施される。
これにより、ＥＧＲバルブにおけるメカ的な「バルブ開度」と、開度センサの出力する電気的な「センサ出力」が一致する。
【０００４】
（従来技術の問題点）
ＥＧＲバルブを「一時的」にオープン制御して流量調整を行う要求がある。また近年では、ＥＧＲバルブを「常時」オープン制御して流量調整を行う要求がある。
この場合（オープン制御時）は、開度センサのセンサ出力に基づいて流量調整を行うため、「センサ出力から求められる流量（演算流量と称す）」と「ＥＧＲバルブを通過する実際の流量（実流量と称す）」と一致させることが望まれる。
【０００５】
しかし、「バルブ開度」と「センサ出力」を一致させても、ＥＧＲバルブを構成する部品形状の偏り（製造誤差）などによって流量誤差（各ＥＧＲバルブに共通する流量の増減の偏り）が生じる可能性がある。その結果、「センサ出力から求める演算流量」と「ＥＧＲバルブを通過する実流量」が一致しない可能性がある。
このため、従来技術で製造したＥＧＲバルブをオープン制御しても、ＥＧＲガスの流量を高精度にコントロールすることができなくなる。
【０００６】
上記では、ＥＧＲバルブを用いて「従来技術の問題点」を説明したが、ＥＧＲバルブのみに生じる問題点ではなく、スロットルバルブやターボチャージャに搭載されるバルブなどの他のバルブ装置であっても、オープン制御する際に同様の問題が生じてしまう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００９−００２３２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、工程数の増加を抑えて「センサ出力から求める演算流量」と「バルブ装置を通過する実流量」を一致させることのできるバルブ装置の製造方法の提供にある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のバルブ装置の製造方法は、先に製造された複数のバルブ装置から流量誤差を求め、その流量誤差を織り込んだ「バルブ開度に対応したセンサ出力（補正後の書込データと称する）」を求める（前段工程）。この前段工程で求めた「補正後の書込データ」を、後に製造される別のバルブ装置（流量測定していないバルブ装置）のメモリに書き込む（後段工程）。このため、工程数を抑えることができる。
また、本発明のバルブ装置の製造方法は、複数のバルブ装置の平均流量を用いて「補正後の書込データ」を求めるため、個々の流量計測中に生じる差圧変動の影響を抑えることができる。このため、流量計測中に生じる差圧変動の影響で「補正後の書込データ」がばらついてしまう不具合を回避でき、「演算流量」と「実流量」を高精度で一致させることができる。
このように、本発明のバルブ装置の製造方法は、工程数の増加を抑えて「センサ出力から求める演算流量」と「バルブ装置を通過する実流量」を一致させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】ＥＧＲバルブの断面図である（実施例１）。
【図２】製造工程を示す流れ図である（実施例１）。
【図３】バルブ開度と流量の関係を示すグラフである（実施例１）。
【図４】公称開度と実開度の関係を示すグラフである（実施例１）。
【図５】製造工程を示す流れ図である（実施例２）。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
発明を実施するための形態を、以下の実施例にて説明する。
【実施例】
【００１２】
以下において本発明を「排気ガス再循環装置（ＥＧＲ装置）のＥＧＲバルブ」に適用した具体的な一例（実施例）を説明する。なお、実施例は、具体的な一例を開示するものであって、本発明が実施例に限定されないことは言うまでもない。
【００１３】
［実施例１］
実施例１を図１〜図４に基づいて説明する。
ＥＧＲバルブは、エンジン（内燃機関）が排出した排気ガスの一部をＥＧＲガスとしてエンジンの吸気通路へ戻すＥＧＲ流路１の開度調整を行うものであり、このＥＧＲバルブがＥＣＵ（エンジン・コントロール・ユニット）により制御される。
【００１４】
ＥＧＲバルブは、排気通路における高排圧発生範囲（ターボの上流）から吸気通路へＥＧＲガスを戻す高圧ＥＧＲ装置に用いられるものであっても良いし、排気通路における低排圧発生範囲（触媒やパティキュレートフィルタの排気下流側）から吸気通路へＥＧＲガスを戻す低圧ＥＧＲ装置に用いられるものであっても良い。
一例として、図１は、低圧ＥＧＲ装置に用いられるＥＧＲバルブを示す。
【００１５】
ＥＧＲバルブは、
・内部にＥＧＲ流路１の一部を形成するハウジング２と、
・ＥＧＲ流路１に配置されるバルブ３と、
・このバルブ３を支持するシャフト４と、
・このシャフト４に回転力を付与する電動アクチュエータ５と、
を備える。
【００１６】
また、電動アクチュエータ５は、
・通電により回転力を発生する電動モータ６と、
・この電動モータ６の回転出力を増幅してシャフト４を駆動する減速装置７と、
・シャフト４（バルブ３）を初期位置（全閉位置）へ戻すリターンスプリング８と、
・バルブ３の開度を検出する開度センサ９と、
を備える。
【００１７】
次に、上記の各構成部品を説明する。
ハウジング２は、金属材料または耐熱性に優れた樹脂材料によって製造される。このハウジング２の内部には、円筒状を呈するＥＧＲ流路１の内壁（ボア）が形成されるものであり、ボア端にはＥＧＲバルブを車両に固定するボルト挿通穴が設けられている。
【００１８】
ハウジング２には、シャフト４が挿入配置されるシャフト挿通穴が設けられている。シャフト４は、図１の左右方向にＥＧＲ流路１を横切るものであり、ＥＧＲ流路１の流線方向（ボア軸）に直交する方向に組付けられる。
シャフト４の先端（図１右側）が挿入配置される部位のシャフト挿通穴の内部には、シャフト４を回転自在に支持する軸受１１が配置されている。また、シャフト挿通穴の先端（図１右端）には、シャフト挿通穴の先端をシールする封止栓１２が固定されている。
【００１９】
同様に、シャフト４の根元側（図１左側）が挿入配置される部位のシャフト挿通穴の内部にも、シャフト４を回転自在に支持するベアリング１３（一例として転がりベアリング）が配置されている。このベアリング１３とＥＧＲ流路１との間のシャフト挿通穴の内部には、ハウジング２とシャフト４の隙間をシールするシール材１４が配置されている。
【００２０】
シャフト４は、金属材料（例えば、鉄、ステンレス等）によって形成された円柱状の棒であり、上述したようにハウジング２に対して回動自在に支持される。
一方、バルブ３は、金属材料（例えば、アルミ、黄銅等）により略円板形状に形成されたバタフライ型の回動弁であり、ＥＧＲ流路１内においてシャフト４に固定される。バルブ３とシャフト４の結合技術は限定されるものではなく、例えば、溶接技術、ネジの締結技術、カシメ技術等によって結合される。
なお、図１では、バルブ３の外周縁に別体のシールリングを用いないシールリングレスタイプを開示するが、もちろん限定するものではない。
【００２１】
電動アクチュエータ５は、上述したハウジング２に組付けられるものであり、ハウジング２にはネジ等によって着脱可能なギヤカバー２１が装着される。
そして、ハウジング２に形成されたモータ収容室に電動モータ６が収容され、ハウジング２とギヤカバー２１との間に形成された空間に、減速装置７、リターンスプリング８等が収容される。
【００２２】
電動モータ６は、通電方向が切り替わることで回転方向が切り替わるとともに、通電量に応じた回転トルクを発生する周知の直流モータであり、モータ収容室に挿入された後、ネジ等によってハウジング２に固定される。
【００２３】
減速装置７は、複数のギヤの組み合わせにより電動モータ６の発生回転を減速させて駆動トルクを増大させてシャフト４に伝達する歯車式減速機であり、電動モータ６と一体に回転するモータギヤ（ピニオンギヤ）２２と、このモータギヤ２２によって回転駆動される中間ギヤ２３と、この中間ギヤ２３によって回転駆動される最終ギヤ（ギヤロータ）２４とからなり、最終ギヤ２４はシャフト４と一体に回動する。
【００２４】
モータギヤ２２は、電動モータ６の出力軸に固定された小径の外歯歯車である。
中間ギヤ２３は、大径ギヤ２３ａと小径ギヤ２３ｂが同芯で設けられた２重歯車であり、ハウジング２とギヤカバー２１により支持される支持軸２５によって回転自在に支持される。そして、大径ギヤ２３ａがモータギヤ２２と常に噛合し、小径ギヤ２３ｂが最終ギヤ２４と常に噛合する。
最終ギヤ２４は、シャフト４の端部に固定された大径の外歯歯車であり、噛合歯（外歯）はバルブ３の回動に伴う範囲のみに設けられている。
【００２５】
リターンスプリング８は、電動モータ６への電流供給が遮断された際に、バルブ３の開度を全閉位置へ戻す。
リターンスプリング８の具体例は、一方向のみに巻かれたシングルコイルスプリングであり、図１に示すように、シャフト４の周囲に同軸的に配置される。
【００２６】
この実施例の開度センサ９は、シャフト４の回転角度を検出することでバルブ３の開度を検出する角度センサであり、開度センサ９が検出した回転角度に応じたセンサ出力（電圧出力）をＥＣＵに与える。
【００２７】
この開度センサ９は、２つの部材の相対回転を非接触で検出する磁気型の回転開度センサ９であり、
・最終ギヤ２４の内部にインサートされてシャフト４と一体に回転する略筒状を呈する磁束発生手段３１と、
・ギヤカバー２１に取り付けられ、磁束発生手段３１から与えられた磁束を略中心部に収束させる磁気検出コア３２と、
・磁気検出コア３２に取り付けられ、磁気検出コア３２の略中心部を通過するの磁束密度に応じたセンサ出力を発生させるホールＩＣ３３と、
を備えて構成される。
【００２８】
ホールＩＣ３３は、
・通過する磁束密度に応じた検出信号（即ち、磁束発生手段３１の回転角度に応じた信号）を出力するホール素子と、
・「検出開度に対応したセンサ出力」が書き込まれるメモリ（例えば、ＥＥＰＲＯＭ等の書き換え可能なＲＯＭ）と、
・ホール素子の出力信号をメモリに書き込まれたデータに基づいてバルブ開度に応じたセンサ出力（電圧出力）として発生する増幅回路と、
を備える。
もちろん、上記は具体的な一例であり、メモリと増幅回路をホールＩＣ３３とは別に設けても良い。
【００２９】
（実施例１の背景技術）
ＥＣＵは、マイクロコンピュータを搭載した周知の電子制御装置であり、ＥＧＲバルブを「常時」あるいは「一時的」にオープン制御して、エンジンに戻されるＥＧＲガス量をコントロールする。このとき（オープン制御時）、ＥＣＵは、開度センサ９の出力するセンサ出力に基づいてＥＧＲガス量をコントロールする。
【００３０】
オープン制御時にＥＧＲガス量を高精度にコントロールするには、センサ出力から求められる「センサ出力から求める演算流量」と、ＥＧＲバルブを実際に通過する「実流量」とを一致させることが望まれる。
しかし、ＥＧＲバルブを構成する部品形状などにより「流量の誤差」が生じる可能性がある。すると、「センサ出力から求める演算流量」と「実流量」が一致しなくなり、オープン制御によってＥＧＲガスの流量を高精度にコントロールすることができなくなる。
【００３１】
そこで、この実施例１では、製造された複数のＥＧＲバルブに共通する「流量誤差」が生じることを利用して、「センサ出力から求められる演算流量」と、ＥＧＲバルブを実際に通過する「実流量」とを一致させる。
【００３２】
（ＥＧＲバルブの製造方法の説明）
この実施例１のＥＧＲバルブ（バルブ装置の一例）は、上述したように、ＥＧＲ流路１（通路の一例）の開度調整を行うバルブ３と、このバルブ３の開度に対応したセンサ出力を発生する開度センサ９とを備えるものであり、開度センサ９は「バルブ開度に対応したセンサ出力」が書き込まれるメモリを有する。
【００３３】
そして、ＥＧＲバルブの製造工程では、
（ａ）複数のＥＧＲバルブの流量を測定して、測定した複数の流量を平均した平均流量から流量誤差を求め、この流量誤差を織り込んだ「バルブ開度に対応したセンサ出力（補正後の書込データ）」を求める前段工程と、
（ｂ）前段工程で求めた「補正後の書込データ」を、メモリの書き込みがなされておらず、且つ流量測定していないＥＧＲバルブ（即ち、次にメモリ書込みを実施するＥＧＲバルブ）のメモリに書き込む後段工程と、
を実施する。
【００３４】
具体的な前段工程は、
（ａ１）メモリに「バルブ開度に対応したセンサ出力」が書き込まれた複数のＥＧＲバルブで流量測定を実施して「平均流量（即ち、平均した実流量）」を求める平均流量算出工程と、
（ａ２）平均流量、センサ出力、バルブ開度の３つを整合させる整合工程と、
を行う。
【００３５】
具体的な整合工程は、
・誤差のない「流量とバルブ開度」と計測で求めた「流量誤差」の関係（図３参照）、
・あるいは、誤差のない「流量とセンサ出力」と計測で求めた「流量誤差」の関係、
を用いて「センサ出力から求める演算流量」と「実流量」を一致させることのできる「バルブ開度に対応したセンサ出力」を求めるものである。
【００３６】
（前段工程の具体例）
前段工程は、上述したように、複数のＥＧＲバルブの流量を測定して平均流量から「複数のＥＧＲバルブの平均的な流量誤差」を事前に把握し、「平均流量」、「センサ出力」、「バルブ開度」の３つを整合さて、「流量に対応したセンサ出力」となる「バルブ開度に対応したセンサ出力」を求める工程である。
【００３７】
前段工程の具体例を、図２（ａ）に基づいて説明する。なお、以下で用いる具体例は、「バルブ開度がバルブ角度」であり、「センサ出力がセンサ電圧」である。
ステップＳ１：「バルブ開度に対応したセンサ出力」をメモリへ書き込む。
一例として、
・バルブ角度０°の時（バルブ開度が全閉：開度０％）に１．２Ｖ、
・バルブ角度７０°の時（バルブ開度が全開：開度１００％）に４．０Ｖ、
になるデータ（例えば、６次元等の多項式等）をメモリに書き込む。
【００３８】
ステップＳ２：上記ステップＳ１で書き込みを行ったＥＧＲバルブを用いて流量測定を実施し、センサ出力に対する実流量を求める。
一例として、センサ出力が４．０Ｖの時（全開時）の実流量Ｑａを計測する。
【００３９】
ステップＳ３：複数のＥＧＲバルブを用いて、上記ステップＳ１とステップ２を繰り返して実施し、複数の実流量を平均した平均流量を求める。バルブ開度に対する複数の実流量の平均流量を図３の実線Ａに示す。
一例として、実流量Ｑａの平均流量Ｑａ−ａｖｅを求める。
なお、流量計測を行うＥＧＲバルブの数は限定するものではいが、多い方が精度的には好ましいものである。
【００４０】
ステップＳ４：「バルブ開度に対する実流量の平均流量（図３の実線Ａ参照）」と「バルブ開度に対して誤差のない設計流量（図３の実線Ｂ参照）」を比較して、その流量差（流量誤差）から補正開度を求める。
具体的に、ＥＧＲバルブに流量誤差が生じない場合は、図４の破線Ｃに示すように、公称開度（ＥＧＲバルブの設計上の開度）と実開度（ＥＧＲバルブの実際の開度）に差が生じない。
これに対し、ＥＧＲバルブに流量誤差が生じる場合は、図４の実線Ｄに示すように、公称開度に対して実開度（ＥＧＲバルブの実際の開度）に誤差が生じる。
そこで、公称開度と実開度の差（公称開度−実開度）から流量誤差を補正した補正開度を求める。
一例として、バルブ角度７０°（バルブ開度が全開）における補正角Ｄａを求める。
【００４１】
ステップＳ５：上記ステップＳ４で求めた補正開度をバルブ開度に織り込む。そして、補正開度を織り込んだ「バルブ開度に対応したセンサ出力（多項式等による補正後の書込データ）」を求める。
一例として、
・バルブ角度０°の時（バルブ開度が全閉：開度０％）に１．２Ｖ、
・「バルブ角度７０°−補正角Ｄａ」の時に４．０Ｖ、
となる「補正後の書込データ」を求める。
以上により、前段工程を終了する。
【００４２】
（後段工程の具体例）
後段工程の具体例を、図２（ｂ）に基づいて説明する。
ステップＳ１１：前段工程で求めておいた「バルブ開度に対応したセンサ出力（補正後の書込データ）」をメモリへ書き込む。
この１回の工程で、後段工程を終了する。
【００４３】
（実施例１の効果１）
この実施例１のＥＧＲバルブの製造方法は、先に製造された複数のＥＧＲバルブから流量誤差を求め、その流量誤差を織り込んだ「バルブ開度に対応したセンサ出力（補正後の書込データ）」を求める（前段工程）。
前段工程で求めた「補正後の書込データ」を、後に製造される別のＥＧＲバルブのメモリに書き込む（後段工程）。
このため、ＥＧＲバルブの製造工程数を抑えることができる。
【００４４】
また、この実施例１のＥＧＲバルブの製造方法では、複数のＥＧＲバルブの平均流量を用いて「補正後の書込データ」を求めるため、個々の流量計測中に生じる差圧変動の影響を抑えることができる。このため、流量計測中に生じる差圧変動の影響で「補正後の書込データ」がばらついてしまう不具合を回避でき、「演算流量」と「実流量」を高精度で一致させることができる。
【００４５】
このように、この実施例１のＥＧＲバルブの製造方法は、製造工程数を抑えて「センサ出力から求める演算流量」と「ＥＧＲバルブを通過するＥＧＲガスの実流量」を一致させることができる。
これにより、ＥＧＲバルブをオープン制御する場合であっても、「演算流量」と「実流量」が一致するため、ＥＧＲガスの流量を高精度にコントロールすることができる。また、製造工程数を抑えることで、流量補正が実施されたＥＧＲバルブのコストを抑えることができる。
【００４６】
（実施例１の効果２）
この実施例１の前段工程では、複数のバルブ開度において流量測定を実施する。即ち、２点以上のバルブ開度で流量測定を行う。
このように、複数のバルブ開度で流量測定を行うことで、「流量誤差」の計測精度を高めることができるため、広い開度範囲で「演算流量」と「実流量」を一致させることができる。
【００４７】
具体的には、少なくとも全閉と全開の２箇所を含んで流量の測定を実施する。このように、全閉と全開を含む２点以上の開度で流量計測を行うことにより、低開度から高開度に至る広い開度範囲で「演算流量」と「実流量」を一致させることができる。
また、多くのバルブ開度のそれぞれで流量を測定する場合、即ち多点の開度で流量計測を行う場合は、測定点が増えることで「演算流量」と「実流量」の一致精度を高めることができる。
【００４８】
［実施例２］
実施例２を図５に基づいて説明する。なお、以下の各実施例において、上記実施例１と同一符合は同一機能物を示すものである。
上記の実施例１では、理解を容易にする目的で、「前段工程」と「後段工程」を独立して説明した。
これに対し、この実施例２は、「後段工程」を終えたＥＧＲバルブの流量を、次のＥＧＲバルブの「前段工程」に反映させることを繰り返えすものである。
【００４９】
具体的に、この実施例２は、「後段工程」で書き込みを終えたＥＧＲバルブの流量測定を実施し、この流量測定で得られた流量を、次のＥＧＲバルブ装置の書き込みに用いる「バルブ開度に対応したセンサ出力」に反映させるものである。
即ち、書き込みを終えたＥＧＲバルブの流量測定（この実施例では製品チェックのための流量検査）を実施する毎に、平均流量を求めるためのサンプル数（即ち、平均流量を求める際に用いる流量のサンプル数）を増やすものである。
【００５０】
具体的な一例を図５に基づき説明する。
ステップＳ１１：上記実施例１で説明したように、後段工程を実施して「バルブ開度に対応したセンサ出力（補正後の書込データ）」をメモリへ書き込む。
ステップＳ２１：書き込みを終えたＥＧＲバルブの流量検査を行う。
ステップＳ２２：流量検査で測定した流量を、これまで測定した流量に追加して平均流量を求める。そして、上記実施例１の前段工程で説明した方法で、ＥＧＲバルブの流量誤差を織り込んだ「バルブ開度に対応したセンサ出力」を求める。これにより、次のＥＧＲバルブの書き込みに用いる前段工程が終了する。
【００５１】
このように、測定流量のサンプル数をＥＧＲバルブが製造される毎に増やすことができるため、ＥＧＲバルブが製造される毎に「演算流量」と「実流量」の一致精度を高めてゆくことができる。
また、この実施例２は、書き込みを終えたＥＧＲバルブの流量の測定を行うが、製造されたＥＧＲバルブの製品チェックのための流量測定を利用するものであるため、製造工程数の増加が抑えられる。
即ち、この実施例２の製造方法は、製造工程数を抑えて「演算流量」と「実流量」の一致精度を高めることができる。
【００５２】
［実施例３］
実施例３を説明する。
上記の実施例１の「前段工程」で用いた複数のＥＧＲバルブ（「補正後の書込データ」を得るために流量測定を実施した初期の複数のＥＧＲバルブ）は、メモリに「未補正データ（ステップＳ１参照）」が書き込まれたものであり、その後に上述したステップＳ１１が実施されていない。
このため、実施例１の「前段工程」で用いた複数のＥＧＲバルブは、従来技術と同様、「センサ出力から求める演算流量」と「ＥＧＲバルブを通過する実流量」が一致しない可能性がある。
【００５３】
そこで、この実施例３は、実施例１の「前段工程」で用いた複数のＥＧＲバルブにも、上述したステップＳ１１を実施して、「補正後の書込データ」を開度センサ９のメモリへ書き込むものである。
即ち、この実施例３は、「未補正の書込データ」が書き込まれたＥＧＲバルブのメモリ（ステップＳ１〜Ｓ５で用いたＥＧＲバルブのメモリ）に、「補正後の書込データ」を上書きするものである。
【００５４】
このように、この実施例３では、実施例１の「前段工程」で用いた複数のＥＧＲバルブのメモリに「補正後の書込データ」を上書きすることで、「初期の複数のＥＧＲバルブ」であっても「演算流量」と「実流量」を高精度で一致させることができる。
【産業上の利用可能性】
【００５５】
上記の実施例では、本発明をＥＧＲバルブに適用する例を示したが、限定するものではない。即ち、オープン制御により流量調整を行う種々のバルブ装置に本発明を適用しても良い。
【００５６】
上記の実施例では、開度センサの具体的な一例として角度センサを用いる例を示したが限定するものではない。
具体的な一例として、バルブ３がスライド操作される場合にはスライドセンサを搭載するバルブ装置に本発明を適用しても良い。即ち、スライドセンサのセンサ出力を本発明を用いて補正しても良い。
【符号の説明】
【００５７】
１  ＥＧＲ流路（流体が通過する通路）
３  バルブ
９  開度センサ
３３  ホールＩＣ（メモリを搭載するＩＣ）
Ｑａ 流量
Ｑａ−ａｖｅ 平均流量
ＱＡ 誤差のない設計流量
【図１】
0006413853.tif 000002
【図２】
0006413853.tif 000003
【図３】
0006413853.tif 000004
【図４】
0006413853.tif 000005
【図５】
0006413853.tif 000006