(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動板と、
前記振動板に設けられた圧電振動体と、
を備え、
前記圧電振動体は、
基板と、前記基板に設けられた第１電極と、前記第１電極に設けられた圧電体と、前記圧電体に設けられた第２電極とを有し、
前記第２電極に絶縁層を有し、
前記絶縁層に、前記第１電極と接続される第１リード電極と、前記第２電極と接続される第２リード電極と、を有し、
前記基板と前記振動板とが前記第１電極と前記圧電体と前記第２電極とを挟むように、前記圧電振動体が前記振動板に設けられている、圧電駆動装置。
【請求項２】
請求項１に記載の圧電駆動装置において、
前記振動板は、複数の配線を有する配線層を有し、
前記第１リード電極は、前記複数の配線のうちの第１の配線と接続され、
前記第２リード電極は、前記複数の配線のうちの第２の配線と接続されている、圧電駆動装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の圧電駆動装置において、
前記基板はシリコン基板である、圧電駆動装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか一項に記載の圧電駆動装置において、
前記基板の厚さは、１０μm以上１００μｍ以下である、圧電駆動装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか一項に記載の圧電駆動装置において、
前記圧電体の厚さは、５０ｎｍ以上２０μｍ以下である、圧電駆動装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか一項に記載の圧電駆動装置において、
前記振動板は、第１面及び第２面を有し、
前記圧電振動体は、前記振動板の前記第１面及び前記第２面に設けられている、圧電駆動装置。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか一項に記載の圧電駆動装置において、
前記振動板は、被駆動体に接触する突起部を備える、圧電駆動装置。
【請求項８】
複数のリンク部と
前記複数のリンク部を接続する関節部と、
前記複数のリンク部を前記関節部で回動させる請求項１から７のいずれか一項に記載の圧電駆動装置と、
を備えるロボット。
【請求項９】
請求項８に記載のロボットの駆動方法であって
前記圧電駆動装置の前記第１電極と前記第２電極との間に周期的に変化する電圧を印加することで前記圧電駆動装置を駆動し、前記複数のリンク部を前記関節部で回動させる、ロボットの駆動方法。
【請求項１０】
請求項１から７のいずれか一項に記載の圧電駆動装置の駆動方法であって、
前記第１電極と前記第２電極との間に、周期的に変化する電圧であって、前記圧電体に印加される電界の方向が前記第１電極と前記第２電極のうちの一方の電極から他方の電極に向かう一方向である脈流である電圧を印加する圧電駆動装置の駆動方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電駆動装置及びその駆動方法、ロボット及びその駆動方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電体を振動させて被駆動体を駆動する圧電アクチュエーター（圧電駆動装置）は、磁石やコイルが不要のため、様々な分野で利用されている（例えば特許文献１）。この圧電駆動装置の基本的な構成は、補強板の２つの面のそれぞれの上に、４つの圧電素子が２行２列に配置された構成であり、合計で８つの圧電素子が補強板の両側に設けられている。個々の圧電素子は、圧電体をそれぞれ２枚の電極で挟んだユニットであり、補強板は、圧電素子の一方の電極としても利用される。補強板の一端には、被駆動体としてのローターに接してローターを回転させるための突起部が設けられている。４つの圧電素子のうちの対角に配置された２つの圧電素子に交流電圧を印加すると、この２つの圧電素子が伸縮運動を行い、これに応じて補強板の突起部が往復運動又は楕円運動を行う。そして、この補強板の突起部の往復運動又は楕円運動に応じて、被駆動体としてのローターが所定の回転方向に回転する。また、交流電圧を印加する２つの圧電素子を他の２つの圧電素子に切り換えることによって、ローターを逆方向に回転させることができる。特許文献２では、圧電体を有する圧電振動体の製造方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−３２０９７９号公報
【特許文献２】特開２００８−２２７１２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
圧電駆動装置を小さな空間（例えばロボットの関節内）に収容して用いる場合、従来の圧電体を用いた圧電駆動装置では配線スペースが不足する可能性があるため、圧電体を薄くしたいという要望があった。圧電体を薄くしすぎると、発生力が小さくなり駆動に必要な変位が得られなくなるので、変位を大きくするために機械的品質係数Ｑｍを大きくする必要がある。更に、小さな空間に圧電駆動装置を収容するために発熱を抑える必要があり、機械的品質係数Ｑｍを高くして振動に伴う機械的損失を減らす必要があった。このように、従来は、被駆動体を駆動することができる小型の圧電駆動装置の適切な構成については十分に検討されていなかった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００６】
（１）本発明の一形態によれば、圧電駆動装置が提供される。この圧電駆動装置は、振動板と、前記振動板に設けられた圧電振動体と、を備え、前記圧電振動体は、基板と、前記基板に設けられた第１電極と、前記第１電極に設けられた圧電体と、前記圧電体に設けられた第２電極とを有する。この形態によれば、圧電振動体は、基板を備えているので、圧電体を薄くしても、圧電振動体の機械的強度や機械的品質係数Ｑｍを大きくできる。その結果、小型の圧電駆動装置の適切な構成を実現できる。
【０００７】
（２）上記形態の圧電駆動装置において、前記圧電振動体は、前記第２電極に絶縁層を有し、前記絶縁層に、前記第１電極と接続される第１リード電極と、前記第２電極と接続される第２リード電極と、を有してもよい。この形態によれば、第１リード電極、第２リード電極に配線して、第１リード電極、第２リード電極から電圧を印加できる。第１電極、第２電極に直接配線する場合に比べて、配線を接続する位置の下に圧電体が存在しないので、配線の接続時に圧電体の静電破壊等が起きにくく圧電体の電流リークを抑制できる。
【０００８】
（３）上記形態の圧電駆動装置において、前記第２電極と前記振動板とが前記圧電体と前記第１電極と前記基板とを挟むように、前記圧電振動体が前記振動板に設けられていてもよい。
（４）上記形態の圧電駆動装置において、前記基板と前記振動板とが前記第１電極と前記圧電体と前記第２電極とを挟むように、前記圧電振動体が前記振動板に設けられていてもよい。圧電振動体は、基板側が振動板に接していてもよく、第２電極側が振動板に接していてもよい。
【０００９】
（５）上記形態の圧電駆動装置において、  前記振動板は、複数の配線を有する配線層を有し、前記圧電振動体は、前記第２電極の上に絶縁層を有し、前記第１リード電極は、前記複数の配線のうちの第１の配線と接続され、前記第２リード電極は、前記複数の配線のうちの第２の配線と接続されていてもよい。この形態によれば、振動板上の第１の配線、第２の配線に配線できるので、配線の接続時に圧電体の静電破壊等が起きにくく圧電体の電流リークを抑制できる。
【００１０】
（６）上記形態の圧電駆動装置において、前記基板は、シリコン基板であってもよい。圧電体の機械的品質係数Ｑｍの値は、数千であるのに対し、シリコン基板の機械的品質係数Ｑｍの値は、１０万程度である。したがって、この形態によれば、圧電駆動装置の機械的品質係数Ｑｍの値を大きくできる。
【００１１】
（７）上記形態の圧電駆動装置において、前記基板の厚さは、１０μm以上１００μｍ以下であってもよい。基板の厚さを１０μｍ以上とすれば、基板上の成膜処理の際に基板を比較的容易に取扱うことができる。また、基板の厚みを１００μｍ以下とすれば、薄膜で形成された圧電体の伸縮に応じて、基板を容易に振動させることができる。
【００１２】
（８）上記形態の圧電駆動装置において、前記圧電体の厚さは、５０ｎｍ以上２０μｍ以下であってもよい。圧電体の厚さを５０ｎｍ（０．０５μｍ）以上とすれば、圧電体の伸縮に応じて十分に大きな力を発生することができる。また、圧電体の厚さを２０μｍ以下とすれば、圧電駆動装置を十分に小型化することができる。
【００１３】
（９）上記形態の圧電駆動装置において、  前記振動板は、第１面及び第２面を有し、
前記圧電振動体は、前記振動板の前記第１面及び前記第２面に設けられてもよい。この形態によれば、振動板の第１面及び第２面に圧電素子が設けられているので、圧電駆動装置の駆動力を大きく出来る。
【００１４】
（１０）上記形態の圧電駆動装置において、前記振動板は、被駆動体に接触する突起部を備えていてもよい。この形態によれば、突起部により被駆動体を押して被駆動体を駆動できる。
【００１５】
（１１）本発明の一形態によれば、ロボットが提供される。このロボットは、複数のリンク部と、前記複数のリンク部を接続する関節部と、前記複数のリンク部を前記関節部で回動させる、上記形態のいずれかに記載の圧電駆動装置と、を備える。この形態によれば、圧電駆動装置をロボットの駆動に利用できる。
【００１６】
（１２）本発明の一形態によれば、ロボットの駆動方法が提供される。この駆動方法は、前記圧電駆動装置の前記第１電極と前記第２電極との間に周期的に変化する電圧を印加することで前記圧電駆動装置を駆動し、前記複数のリンク部を前記関節部で回動させる。
【００１７】
（１３）本発明の一形態によれば、上記形態の圧電駆動装置の駆動方法が提供される。この駆動方法は、前記第１電極と前記第２電極との間に、周期的に変化する電圧であって、前記圧電体に印加される電界の方向が前記電極のうちの一方の電極から他方の電極に向かう一方向である脈流である電圧を印加する。この形態によれば、圧電体に印加される電圧は一方向だけなので、圧電体の耐久性を向上できる。
【００１８】
本発明は、種々の形態で実現することが可能であり、例えば、圧電駆動装置の他、圧電駆動装置の駆動方法、圧電駆動装置の製造方法、圧電駆動装置を搭載するロボット、圧電駆動装置を搭載するロボットの駆動方法、送液ポンプ、投薬ポンプ等、様々な形態で実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】第１実施形態の圧電駆動装置の概略構成を示す平面図及び断面図。
【図２】振動板の平面図。
【図３】圧電駆動装置と駆動回路の電気的接続状態を示す説明図である。
【図４】圧電駆動装置の動作の例を示す説明図である。
【図５】圧電駆動装置を長手方向と平行な切断面で切ったときの詳細な断面図。
【図６】圧電駆動装置の製造フローチャート。
【図７】図６のステップＳ１００における圧電振動体の製造プロセスを示す説明図。
【図８】圧電駆動装置と駆動回路との配線の一例を示す説明図。
【図９】本発明の他の実施形態としての圧電駆動装置の断面図。
【図１０】他の実施形態の圧電駆動装置の断面図。
【図１１】他の実施形態の圧電駆動装置の平面図。
【図１２】圧電駆動装置を利用したロボットの一例を示す説明図。
【図１３】ロボット手首部分の説明図。
【図１４】圧電駆動装置を利用した送液ポンプの一例を示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
・第１実施形態：
図１（Ａ）は、本発明の第１実施形態における圧電駆動装置１０の概略構成を示す平面図であり、図１（Ｂ）はそのＢ−Ｂ断面図である。圧電駆動装置１０は、振動板２００と、振動板２００の両面（第１面２１１（「表面」とも呼ぶ）と第２面２１２（「裏面」とも呼ぶ））にそれぞれ配置された２つの圧電振動体１００とを備える。圧電振動体１００は、基板１２０と、基板１２０の上に形成された第１電極１３０と、第１電極１３０の上に形成された圧電体１４０と、圧電体１４０の上に形成された第２電極１５０と、を備えている。第１電極１３０と第２電極１５０は、圧電体１４０を挟持している。２つの圧電振動体１００は、振動板２００を中心として対称に配置されている。２つの圧電振動体１００は同じ構成を有しているので、以下では特に断らない限り、振動板２００の上側にある圧電振動体１００の構成を説明する。
【００２１】
圧電振動体１００の基板１２０は、第１電極１３０と圧電体１４０と第２電極１５０を成膜プロセスで形成するための基板として使用される。また、基板１２０は機械的な振動を行う振動板としての機能も有する。基板１２０は、例えば、Ｓｉ，Ａｌ２Ｏ３，ＺｒＯ２などで形成することができる。Ｓｉ製の基板１２０として、例えば半導体製造用のＳｉウェハーを利用することが可能である。この実施形態において、基板１２０の平面形状は長方形である。基板１２０の厚みは、例えば１０μｍ以上１００μｍ以下の範囲とすることが好ましい。基板１２０の厚みを１０μｍ以上とすれば、基板１２０上の成膜処理の際に基板１２０を比較的容易に取扱うことができる。なお、基板１２０の厚みを５０μｍ以上とすれば、基板１２０をさらに容易に取扱うことができる。また、基板１２０の厚みを１００μｍ以下とすれば、薄膜で形成された圧電体１４０の伸縮に応じて、基板１２０を容易に振動させることができる。
【００２２】
第１電極１３０は、基板１２０上に形成された１つの連続的な導電体層として形成されている。一方、第２電極１５０は、図１（Ａ）に示すように、５つの導電体層１５０ａ〜１５０ｅ（「第２電極１５０ａ〜１５０ｅ」とも呼ぶ）に区分されている。中央にある第２電極１５０ｅは、基板１２０の幅方向の中央において、基板１２０の長手方向のほぼ全体に亘る長方形形状に形成されている。他の４つの第２電極１５０ａ，１５０ｂ，１５０ｃ，１５０ｄは、同一の平面形状を有しており、基板１２０の四隅の位置に形成されている。図１の例では、第１電極１３０と第２電極１５０は、いずれも長方形の平面形状を有している。第１電極１３０や第２電極１５０は、例えばスパッタリングによって形成される薄膜である。第１電極１３０や第２電極１５０の材料としては、例えばＡｌ（アルミニウム）や、Ｎｉ（ニッケル）、Ａｕ（金）、Ｐｔ（白金）、Ｉｒ（イリジウム）などの導電性の高い任意の材料を利用可能である。なお、第１電極１３０を１つの連続的な導電体層とする代わりに、第２電極１５０ａ〜１５０ｅと実質的に同じ平面形状を有する５つの導電体層に区分してもよい。なお、第２電極１５０ａ〜１５０ｅの間の電気的接続のための配線（又は配線層及び絶縁層）と、第１電極１３０及び第２電極１５０ａ〜１５０ｅと駆動回路との間の電気的接続のための配線（又は配線層及び絶縁層）とは、図１では図示が省略されている。
【００２３】
圧電体１４０は、第２電極１５０ａ〜１５０ｅと実質的に同じ平面形状を有する５つの圧電体層として形成されている。この代わりに、圧電体１４０を、第１電極１３０と実質的に同じ平面形状を有する１つの連続的な圧電体層として形成してもよい。第１電極１３０と圧電体１４０と第２電極１５０ａ〜１５０ｅとの積層構造によって、５つの圧電素子１１０ａ〜１１０ｅ（図１（Ａ））が構成される。
【００２４】
圧電体１４０は、例えばゾル−ゲル法やスパッタリング法によって形成される薄膜である。圧電体１４０の材料としては、ＡＢＯ３型のペロブスカイト構造を採るセラミックスなど、圧電効果を示す任意の材料を利用可能である。ＡＢＯ３型のペロブスカイト構造を採るセラミックスとしては、例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、ニオブ酸カリウム、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、タングステン酸ナトリウム、酸化亜鉛、チタン酸バリウムストロンチウム（ＢＳＴ）、タンタル酸ストロンチウムビスマス（ＳＢＴ）、メタニオブ酸鉛、亜鉛ニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等を用いることが可能である。またセラミック以外の圧電効果を示す材料、例えばポリフッ化ビニリデン、水晶等を用いることも可能である。圧電体１４０の厚みは、例えば５０ｎｍ（０．０５μｍ）以上２０μｍ以下の範囲とすることが好ましい。この範囲の厚みを有する圧電体１４０の薄膜は、成膜プロセスを利用して容易に形成することができる。圧電体１４０の厚みを０．０５μｍ以上とすれば、圧電体１４０の伸縮に応じて十分に大きな力を発生することができる。また、圧電体１４０の厚みを２０μｍ以下とすれば、圧電駆動装置１０を十分に小型化することができる。
【００２５】
図２は、振動板２００の平面図である。振動板２００は、長方形形状の振動体部２１０と、振動体部２１０の左右の長辺からそれぞれ３本ずつ延びる接続部２２０とを有しており、また、左右の３本の接続部２２０にそれぞれ接続された２つの取付部２３０を有している。なお、図２では、図示の便宜上、振動体部２１０にハッチングを付している。取付部２３０は、ネジ２４０によって他の部材に圧電駆動装置１０を取り付けるために用いられる。振動板２００は、例えば、ステンレス鋼、アルミニウム、アルミニウム合金、チタン、チタン合金、銅、銅合金、鉄−ニッケル合金などの金属材料で形成することが可能である。
【００２６】
振動体部２１０の上面（第１面）及び下面（第２面）には、圧電振動体１００（図１）がそれぞれ接着剤を用いて接着される。振動体部２１０の長さＬと幅Ｗの比は、Ｌ：Ｗ＝約７：２とすることが好ましい。この比は、振動体部２１０がその平面に沿って左右に屈曲する超音波振動（後述）を行うために好ましい値である。振動体部２１０の長さＬは、例えば３．５ｍｍ以上３０ｍｍ以下の範囲とすることができ、幅Ｗは、例えば１ｍｍ以上８ｍｍ以下の範囲とすることができる。なお、振動体部２１０が超音波振動を行うために、長さＬは５０ｍｍ以下とすることが好ましい。振動体部２１０の厚み（振動板２００の厚み）は、例えば５０μｍ以上７００μｍ以下の範囲とすることができる。振動体部２１０の厚みを５０μｍ以上とすれば、圧電振動体１００を支持するために十分な剛性を有するものとなる。また、振動体部２１０の厚みを７００μｍ以下とすれば、圧電振動体１００の変形に応じて十分に大きな変形を発生することができる。
【００２７】
振動板２００の一方の短辺には、突起部２０（「接触部」又は「作用部」とも呼ぶ）が設けられている。突起部２０は、被駆動体と接触して、被駆動体に力を与えるための部材である。突起部２０は、セラミックス（例えばＡｌ２Ｏ３）などの耐久性がある材料で形成することが好ましい。
【００２８】
図３は、圧電駆動装置１０と駆動回路３００の電気的接続状態を示す説明図である。５つの第２電極１５０ａ〜１５０ｅのうちで、対角にある一対の第２電極１５０ａ，１５０ｄが配線１５１を介して互いに電気的に接続され、他の対角の一対の第２電極１５０ｂ，１５０ｃも配線１５２を介して互いに電気的に接続されている。これらの配線１５１，１５２は成膜処理によって形成しても良く、或いは、ワイヤ状の配線によって実現してもよい。図３の右側にある３つの第２電極１５０ｂ，１５０ｅ，１５０ｄと、第１電極１３０（図１）は、配線３１０，３１２，３１４，３２０を介して駆動回路３００に電気的に接続されている。駆動回路３００は、一対の第２電極１５０ａ，１５０ｄと第１電極１３０との間に周期的に変化する交流電圧又は脈流電圧を印加することにより、圧電駆動装置１０を超音波振動させて、突起部２０に接触するローター（被駆動体）を所定の回転方向に回転させることが可能である。ここで、「脈流電圧」とは、交流電圧にＤＣオフセットを付加した電圧を意味し、その電圧（電界）の向きは、一方の電極から他方の電極に向かう一方向である。また、他の一対の第２電極１５０ｂ，１５０ｃと第１電極１３０との間に交流電圧又は脈流電圧を印加することにより、突起部２０に接触するローターを逆方向に回転させることが可能である。このような電圧の印加は、振動板２００の両面に設けられた２つの圧電振動体１００に同時に行われる。なお、図３に示した配線１５１，１５２，３１０，３１２，３１４，３２０を構成する配線（又は配線層及び絶縁層）は、図１では図示が省略されている。
【００２９】
図４は、圧電駆動装置１０の動作の例を示す説明図である。圧電駆動装置１０の突起部２０は、被駆動体としてのローター５０の外周に接触している。図４に示す例では、駆動回路３００（図３）は、一対の第２電極１５０ａ，１５０ｄと第１電極１３０との間に交流電圧又は脈流電圧を印加しており、圧電素子１１０ａ，１１０ｄは図４の矢印ｘの方向に伸縮する。これに応じて、圧電駆動装置１０の振動体部２１０が振動体部２１０の平面内で屈曲して蛇行形状（Ｓ字形状）に変形し、突起部２０の先端が矢印ｙの向きに往復運動するか、又は、楕円運動する。その結果、ローター５０は、その中心５１の周りに所定の方向ｚ（図４では時計回り方向）に回転する。図２で説明した振動板２００の３つの接続部２２０（図２）は、このような振動体部２１０の振動の節（ふし）の位置に設けられている。なお、駆動回路３００が、他の一対の第２電極１５０ｂ，１５０ｃと第１電極１３０との間に交流電圧又は脈流電圧を印加する場合には、ローター５０は逆方向に回転する。なお、中央の第２電極１５０ｅに、一対の第２電極１５０ａ，１５０ｄ（又は他の一対の第２電極１５０ｂ，１５０ｃ）と同じ電圧を印加すれば、圧電駆動装置１０が長手方向に伸縮するので、突起部２０からローター５０に与える力をより大きくすることが可能である。なお、圧電駆動装置１０（又は圧電振動体１００）のこのような動作については、上記先行技術文献１（特開２００４−３２０９７９号公報、又は、対応する米国特許第７２２４１０２号）に記載されており、その開示内容は参照により組み込まれる。
【００３０】
図５は、図１（Ｂ）に示した断面構造の一例を更に詳細に示した断面図である。圧電振動体１００は、基板１２０と、絶縁層１２５と、第１電極１３０と、圧電体１４０と、第２電極１５０と、絶縁層１６０と、リード電極１７１、１７２と、を備える。なお、図５では、複数の第２電極１５０と、複数のリード電極１７１、１７２については、添え字「ｃ」または「ｄ」を付記して区別している。なお、図５では、図３に示した配線１５１，１５２は図示が省略されている。
【００３１】
絶縁層１２５は、基板１２０上に形成されており、基板１２０と、第１電極１３０との間を絶縁する。第１電極１３０は、絶縁層１２５の上に形成されている。圧電体１４０は、第１電極１３０の上に形成されている。第２電極１５０は、圧電体１４０の上に形成されている。絶縁層１６０は、第２電極１５０の上に形成されている。なお、絶縁層１６０は、第１リード電極１７１が第１電極１３０と接触でき、第２リード電極１７２が第２電極１５０と接触できるように、その一部に開口（コンタクトホール）を有している。第１リード電極１７１は、絶縁層１６０の上に形成され、第１電極１３０と接している。第２リード電極１７２は、絶縁層１６０の上に形成され、第２電極１５０と接している。なお、２つのリード電極１７１，１７２は、互いに直接接続されていない。なお、図５では、図示の都合上、圧電素子１１０ｃと圧電素子１１０ｄの境界に近い位置に第２リード電極１７２ｃ、１７２ｄを形成しているが、圧電素子１１０ｃと圧電素子１１０ｄの境界と反対側、振動板２００の長手方向の両端側にそれぞれ第２リード電極１７２ｃ、１７２ｄが形成されていてもよい。この場合、第１リード電極１７１ｃ、１７１ｄと、第２リード電極１７２ｃ、１７２ｄと幅方向（振動板２００の短手方向）の位置が異なれば、互いに接続されない。第２リード電極１７２ｃ、１７２ｄは、下部に圧電体１４０が存在しない領域まで伸びていても良い。下部に圧電体１４０が存在しない領域で配線１５１、１５２、３１４を第２リード電極に接続すれば、配線の接続による圧電体１４０の静電破壊が発生し難い。
【００３２】
図６は、圧電駆動装置１０の製造フローチャートを示す説明図である。ステップＳ１００では、基板１２０上に圧電素子１１０を形成することによって、圧電振動体１００を形成する。この際、基板１２０としては、例えばＳｉウェハーを利用することができる。１枚のＳｉウェハー上には、圧電振動体１００を複数個形成することが可能である。またＳｉは機械的品質係数Ｑｍの値が１０万程度と大きいため、圧電振動体１００や、圧電駆動装置１０の機械的品質係数Ｑｍを大きく出来る。ステップＳ２００では、圧電振動体１００が形成された基板１２０をダイシングして、個々の圧電振動体１００に分割する。なお、基板１２０をダイシングする前に基板１２０の裏面を研磨して、基板１２０を所望の厚さにしても良い。ステップＳ３００では、２つの圧電振動体１００を振動板２００の両面に接着剤で接着する。ステップＳ４００では、圧電振動体１００の配線層と駆動回路とを配線で電気的に接続する。
【００３３】
図７は、図６のステップＳ１００における圧電振動体１００の製造プロセスを示す説明図である。図７では、基板１２０上に、図５の右半分の上部に示した圧電素子１１０ｄを形成するプロセスを示している。ステップＳ１１０では、基板１２０を準備し、基板１２０の表面に絶縁層１２５を形成する。絶縁層１２５としては、例えば、基板１２０の表面を熱酸化して形成されるＳｉＯ２層を利用することができる。その他に、絶縁層としてアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）、アクリルやポリイミドなどの有機材料を用いることができる。なお、基板１２０が絶縁体である場合には、絶縁層１２５を形成する工程は省略可能である。
【００３４】
ステップＳ１２０では、絶縁層１２５の上に第１電極１３０を形成する。第１電極１３０は、例えば、スパッタリングにより形成できる。
【００３５】
ステップＳ１３０では、第１電極１３０の上に圧電体１４０を形成する。具体的には、例えばゾル−ゲル法を用いて圧電体１４０を形成することが可能である。すなわち、圧電体材料のゾルゲル溶液を基板１２０（第１電極１３０）の上に滴下し、基板１２０を高速回転させることにより、第１電極１３０の上にゾルゲル溶液の薄膜を形成する。その後、２００〜３００℃の温度で仮焼きして第１電極１３０の上に圧電体材料の第１層を形成する。その後、ゾルゲル溶液の滴下、高速回転、仮焼き、のサイクルを複数回繰り返すことによって、第１電極１３０の上に所望の厚さまで圧電体層を形成する。なお、１サイクルで形成される圧電体の一層の厚みは、ゾルゲル溶液の粘度や、基板１２０の回転速度にも依存するが、約５０ｎｍ〜１５０ｎｍの厚さとなる。所望の厚さまで圧電体層を形成した後、６００℃〜１０００℃の温度で焼結することにより、圧電体１４０を形成する。焼結後の圧電体１４０の厚さを、５０ｎｍ（０．０５μｍ）以上２０μｍ以下とすれば、小型の圧電駆動装置１０を実現できる。なお、圧電体１４０の厚さを０．０５μｍ以上とすれば、圧電体１４０の伸縮に応じて十分に大きな力を発生することができる。また、圧電体１４０の厚さを２０μｍ以下とすれば、圧電体１４０に印加する電圧を６００Ｖ以下としても十分に大きな力を発生することができる。その結果、圧電駆動装置１０を駆動するための駆動回路３００を安価な素子で構成できる。なお、圧電体の厚さを４００ｎｍ以上としてもよく、この場合、圧電素子で発生する力を大きく出来る。なお、仮焼きや焼結の温度、時間は、一例であり、圧電体材料により、適宜選択される。
【００３６】
ゾル−ゲル法を用いて圧電体材料の薄膜を形成した後に焼結した場合には、原料粉末を混合して焼結する従来の焼結法と比較して、（ａ）薄膜を形成しやすい、（ｂ）格子方向を揃えて結晶化し易い、（ｃ）圧電体の耐圧を向上できる、というメリットがある。
【００３７】
ステップＳ１４０では、圧電体１４０の上に第２電極１５０を形成する。第２電極１５０の形成は、第１電極と同様に、スパッタリングにより行うことが出来る。
【００３８】
ステップＳ１５０では、第２電極１５０と圧電体１４０をパターニングする。本実施形態では、アルゴンイオンビームを用いたイオンミリングにより、第２電極１５０と圧電体１４０のパターニングを行っている。なお、イオンミリングの時間を制御することにより、第２電極１５０と圧電体１４０のみをパターニングし、第１電極１３０をパターニングしないことが可能である。なお、イオンミリングを用いてパターニングを行う代わりに、他の任意のパターニング方法（例えば、塩素系のガスを用いたドライエッチング）によりパターニングを行っても良い。
【００３９】
ステップＳ１６０では、第１電極１３０と第２電極１５０の上に絶縁層１６０を形成する。絶縁層１６０としては、リン含有シリコン酸化膜（ＰＳＧ膜）、ボロン・リン含有シリコン酸化膜（ＢＰＳＧ膜）、ＮＳＧ膜（ボロンやリン等の不純物を含まないシリコン酸化膜）、窒化ケイ素膜（Ｓｉ３Ｎ４膜）等を用いることが可能である。絶縁層１６０は、例えばＣＶＤ法により形成できる。絶縁層１６０の形成後には、第１電極１３０と第２電極１５０とのコンタクトホール１６３、１６５を形成するためのパターニングを行う。
【００４０】
ステップＳ１７０では、リード電極用の導電体層を形成し、パターニングを行う。この導電体層は、例えばアルミニウムで形成することができ、スパッタリングにより形成される。その後、導電体層をパターニングすることによって、第１リード電極１７１と第２リード電極１７２を形成する。第１リード電極１７１は、第１電極１３０と接続され、第２リード電極１７２は、第２電極１５０と接続されている。なお、圧電素子１１０ａ〜１１０ｅの第１電極１３０が１つの連続的な導電体層を形成する場合には、他の圧電素子１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｅには、第２リード電極１７２が形成されていなくてもよい。第２リード電極１７２は、下部に圧電体１４０が存在しない領域まで伸びていても良い。配線１５１、１５２、３１４を、下部に圧電体１４０が存在しない領域で第２リード電極１７２と接続すれば、配線の接続による影響は、圧電体１４０に及ばない。また、第１リード電極１７１、第２リード電極１７２は、いずれも、絶縁層１６０の上側に残っていてもよい。振動板２００に配線層を形成し、基板１２０と振動板２００の間に圧電素子１１０を配置するときに、振動板２００の配線層と、第１リード電極１７１、第２リード電極１７２との間を、電気的に接続し易くできる。
【００４１】
その後、図示していないが、第１リード電極１７１及び第２リード電極１７２の上にパッシベーション膜を形成する。パッシベーション膜は、例えばＳｉＮ、ポリイミドを用いて形成できる。そして、パッシベーション膜に、第１リード電極１７１及び第２リード電極１７２を配線１５１，１５２，３１０，３１２，３１４，３２０（図３）と接続するための開口部（コンタクトホール）を形成する。
【００４２】
図８は、圧電駆動装置１０と、駆動回路３００との配線の一例を示す説明図である。ここでは、圧電駆動装置１０の表面側と裏面側における配線の結線状態を示している。なお、図示の便宜上電極１５０ａ〜１５０ｅ等のサイズは、図１と多少異なる。圧電駆動装置の表面と裏面には、それぞれ、第２電極１５０ａ、１５０ｂ、１５０ｃ、１５０ｄ、１５０ｅと、第１リード電極１７１ａ、１７１ｂ、１７１ｃ、１７１ｄ、１７１ｅと、第２リード電極１７２ａ、１７２ｂ、１７２ｃ、１７２ｄ、１７２ｅが設けられている。ここでは、圧電素子１１０ａ〜１１０ｅを区別するために、第２電極１５０、第１リード電極１７１、第２リード電極１７２の末尾に添字ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅを付記している。なお、第１電極１３０が１つの連続的な導電体層を形成する場合には、図８において破線で示した第１リード電極１７１ａ、１７１ｂ、１７１ｃ、１７１ｅについては、形成されていなくても良い。
【００４３】
圧電駆動装置１０の各電極を接続する配線は、以下のように配線されている。
・配線１５１は、表面側の第２リード電極１７２ａと１７２ｄとを接続する。
・配線１５２は、表面側の第２リード電極１７２ｂと１７２ｃとを接続する。
・配線１８２ａは、表面側の第２リード電極１７２ａと、裏面側の第２リード電極１７２ａとを接続する。
・配線１８２ｂは、表面側の第２リード電極１７２ｂと、裏面側の第２リード電極１７２ｂとを接続する。
・配線１８２ｃは、表面側の第２リード電極１７２ｃと、裏面側の第２リード電極１７２ｃとを接続する。
・配線１８２ｄは、表面側の第２リード電極１７２ｄと、裏面側の第２リード電極１７２ｄとを接続する。
【００４４】
圧電駆動装置１０の各電極と駆動回路とは、以下のように接続されている。
・配線３１０は、駆動回路３００と、表面側の第２リード電極１７２ｂとを接続する。
・配線３１２は、駆動回路３００と、表面側の第２リード電極１７２ｅ及び裏面側の第２リード電極１７２ｅとを接続する。
・配線３１４は、駆動回路３００と、表面側の第２リード電極１７２ｄとを接続する。
・配線３２０は、駆動回路３００と、表面側の第１リード電極１７１d及び裏面側の第１リード電極１７１dと、を接続する。
【００４５】
配線３１０と３２０の間に交流電圧あるいは脈流電圧を印加すれば、上述したように、圧電素子１１０ｂ、１１０ｃ（図１（Ａ））を駆動できる。また、配線３１４と３２０の間に交流電圧あるいは脈流電圧を印加すれば、圧電素子１１０ａ、１１０ｄ（図１（Ａ））を駆動できる。配線３１２と３２０の間に交流電圧あるいは脈流電圧を印加すれば、圧電素子１１０ｅ（図１（Ａ））を駆動できる。
【００４６】
以上、本実施形態によれば、圧電振動体１００は、基板１２０と、基板１２０上に設けられた第１電極１３０と、第１電極１３０の上に設けられた圧電体１４０と、圧電体１４０の上に設けられた第２電極１５０とを有するので、圧電体１４０の厚さを薄くしても、圧電振動体の機械的強度や機械的品質係数Ｑｍを大きく出来る。また、本実施形態では、基板１２０として、シリコン基板を用いる。圧電体１４０の機械的品質係数Ｑｍの値は、数千であるのに対し、シリコン基板１２０の機械的品質係数Ｑｍの値は、１０万程度である。したがって、圧電駆動装置１０の機械的品質係数Ｑｍの値を大きくできる。
【００４７】
本実施形態によれば、基板１２０の厚さは、１０μm以上１００μｍ以下であってもよい。基板１２０の厚さを１０μｍ以上とすれば、基板１２０上の成膜処理の際に基板１２０を比較的容易に取扱うことができる。また、基板１２０の厚みを１００μｍ以下とすれば、薄膜で形成された圧電体１４０の伸縮に応じて、基板１２０を容易に振動させることができる。
【００４８】
本実施形態によれば、圧電体１４０の厚さを５０ｎｍ（０．０５μｍ）以上２０μｍ以下とするので、小型の圧電駆動装置１０を実現できる。なお、圧電体１４０の厚さを０．０５μｍ以上とすれば、圧電体１４０の伸縮に応じて十分に大きな力を発生することができる。また、圧電体１４０の厚さを２０μｍ以下とすれば、圧電体１４０に印加する電圧を６００Ｖ以下としても十分に大きな力を発生することができる。従って、圧電駆動装置１０を駆動するための駆動回路３００を安価な素子で構成できる。但し、実際には圧電体１４０に印加する電圧は、２０〜４０Ｖの範囲で十分である。なお、圧電体の厚さを４００ｎｍ以上としてもよく、この場合、圧電素子で発生する力を大きく出来る。
【００４９】
本実施形態によれば、圧電振動体１００は、第２電極１５０の上に絶縁層１６０を有し、絶縁層１６０の上に、第１電極１３０と接続される第１リード電極１７１と、第２電極１５０と接続される第２リード電極１７２と、を有しているので、第１リード電極１７１、第２リード電極１７２に配線１５１、１５２、３１０、３１２、３１４、３２０を配線して、第１リード電極１７１、第２リード電極１７２から電圧を印加できる。また、第１電極１３０、第２電極１５０に直接配線する場合に比べて、配線の接続時に圧電体１４０の静電破壊等が起きにくく圧電体１４０の電流リークを抑制できる。
【００５０】
圧電体１４０を、ゾル−ゲル法により形成するようにすれば、薄い圧電体を形成しやすい点で好ましい。また、圧電体の結晶の格子方向を揃え易いので、同じ電圧を加えたときの圧電体の形状の変形を大きくすることができ、また、耐圧を大きく出来る点で好ましい。なお、圧電体１４０は、スパッタ法により形成されていても良い。スパッタ法によっても、ゾル−ゲル法と同様の効果を得ることが出来る。
【００５１】
・圧電駆動装置の他の実施形態：
図９は、本発明の他の実施形態としての圧電駆動装置１０ａの断面図であり、第１実施形態の図１（Ｂ）に対応する図である。この圧電駆動装置１０ａでは、圧電振動体１００が、図１（Ｂ）とは上下を逆にした状態で振動板２００に配置されている。すなわち、ここでは、第２電極１５０が振動板２００に近く、基板１２０が振動板２００から最も遠くなるように配置されている。なお、図９においても、図１（Ｂ）と同様に、第２電極１５０ａ〜１５０ｅの間の電気的接続のための配線（又は配線層及び絶縁層）と、第１電極１３０及び第２電極１５０ａ〜１５０ｅと駆動回路との間の電気的接続のための配線（又は配線層及び絶縁層）とは、図示が省略されている。この圧電駆動装置１０ａも、第１実施形態と同様な効果を達成することができる。
【００５２】
図１０は、図９に示す圧電駆動装置１０ａの製造工程を示す説明図である。ステップＳ５１０では、振動板２００を準備し、絶縁層２０２を形成する。絶縁層２０２は、例えば、ポリイミドなどの絶縁性樹脂を用いて形成可能である。ステップＳ５２０では、絶縁層２０２の上に配線層２０４を形成し、配線層２０４をパターニングする。配線層２０４は、第１の配線と、第２の配線とを含んでいる。配線層２０４としては、銅やアルミニウムを用いることができる。ステップＳ５３０では、配線層２０４の上に絶縁層２０６を形成し、開口部をパターニングする。絶縁層２０６は、例えば、ソルダーレジストを用いて形成できる。
【００５３】
ステップＳ５４０では、図６のステップＳ２００（図７）により個々に作成された圧電振動体１００を振動板２００の両面に貼り付ける。このとき、配線層２０４と、第１リード電極１７１、第２リード電極１７２との間に導電性部材２０８を配置し、導電性部材２０８を介して電気的に接触させる。具体的には、配線層２０４の第１の配線と第１リード電極１７１とを電気的に接触させ、配線層２０４の第２の配線と第２リード電極１７２とを電気的に接触させる。導電性部材２０８を介すれば、振動板２００の配線層２０４と、圧電振動体１００の第１リード電極１７１、第２リード電極１７２と、の間に段差があっても、その段差を緩和して電気的に接触させることができる。導電性部材２０８として、例えば、マイクロバンプや導電性ペーストを用いることが出来る。図１０（Ｅ）の第１面側は、圧電振動体１００を貼り付けた状態、第２面側は、圧電振動体１００を貼り付ける直前の状態を示している。なお、図１０（Ｅ）に示す圧電振動体１００の上部には、上述したパッシベーション膜１８０が形成されている。パッシベーション膜１８０は、第１リード電極１７１、第２リード電極１７２の周りを保護するとともに、第１リード電極１７１、第２リード電極１７２と、他の部材との間の電気的ショートを抑制する。なお、この実施形態では、第２リード電極１７２の形状を、下部に圧電体１４０が存在しない領域まで伸ばしているが、伸ばさなくてもよい。これは、導電性部材２０８を介して振動板２００の配線層２０４と接続されるので、第２リード電極１７２は、下部に圧電体１４０が存在しない領域まで伸ばす必要がないからである。
【００５４】
その後、配線層２０４と、駆動回路３００（図８）を配線３１０、３１２、３１４、３２０で接続する。すなわち、この実施形態では、配線３１０、３１２、３１４、３２０で第１リード電極１７１、第２リード電極１７２に直接配線をするのではなく、配線層２０４を介して配線をする。そのため、振動する圧電振動体１００に直接配線しなくてもよく、圧電振動体１００が振動しても、配線が外れにくい。本実施形態では、圧電振動体１００を振動板２００に貼り付けた後に配線３１０、３１２、３１４、３２０を接続したが、先に、圧電振動体１００に配線３１０、３１２、３１４、３２０を接続した後に、圧電振動体１００を振動板２００に貼り付けてもよい。
【００５５】
図１１（Ａ）は、本発明の更に他の実施形態としての圧電駆動装置１０ｂの平面図であり、第１実施形態の図１（Ａ）に対応する図である。図１１（Ａ）〜（Ｃ）では、図示の便宜上、振動板２００の接続部２２０や取付部２３０は図示が省略されている。図１１（Ａ）の圧電駆動装置１０ｂでは、一対の第２電極１５０ｂ，１５０ｃが省略されている。この圧電駆動装置１０ｂも、図４に示すような１つの方向ｚにローター５０を回転させることが可能である。なお、図１１（Ａ）の３つの第２電極１５０ａ，１５０ｅ，１５０ｄには同じ電圧が印加されるので、これらの３つの第２電極１５０ａ，１５０ｅ，１５０ｄを、連続する１つの電極層として形成してもよい。
【００５６】
図１１（Ｂ）は、本発明の更に他の実施形態としての圧電駆動装置１０ｃの平面図である。この圧電駆動装置１０ｃでは、図１（Ａ）の中央の第２電極１５０ｅが省略されており、他の４つの第２電極１５０ａ，１５０ｂ，１５０ｃ，１５０ｄが図１（Ａ）よりも大きな面積に形成されている。この圧電駆動装置１０ｃも、第１実施形態とほぼ同様な効果を達成することができる。
【００５７】
図１１（Ｃ）は、本発明の更に他の実施形態としての圧電駆動装置１０ｄの平面図である。この圧電駆動装置１０ｄでは、図１（Ａ）の４つの第２電極１５０ａ，１５０ｂ，１５０ｃ，１５０ｄが省略されており、１つの第２電極１５０ｅが大きな面積で形成されている。この圧電駆動装置１０ｄは、長手方向に伸縮するだけであるが、突起部２０から被駆動体（図示省略）に対して大きな力を与えることが可能である。
【００５８】
図１及び図１１（Ａ）〜（Ｃ）から理解できるように、圧電振動体１００の第２電極１５０としては、少なくとも１つの電極層を設けることができる。但し、図１及び図１１（Ａ），（Ｂ）に示す実施形態のように、長方形の圧電振動体１００の対角の位置に第２電極１５０を設けるようにすれば、圧電振動体１００及び振動板２００を、その平面内で屈曲する蛇行形状に変形させることが可能である点で好ましい。
【００５９】
・圧電駆動装置を用いた装置の実施形態：
上述した圧電駆動装置１０は、共振を利用することで被駆動体に対して大きな力を与えることができるものであり、各種の装置に適用可能である。圧電駆動装置１０は、例えば、ロボット（電子部品搬送装置（ＩＣハンドラー）も含む）、投薬用ポンプ、時計のカレンダー送り装置、印刷装置（例えば紙送り機構。ただし、ヘッドに利用される圧電駆動装置では、振動板を共振させないので、ヘッドには適用不可である。）等の各種の機器における駆動装置として用いることが出来る。以下、代表的な実施の形態について説明する。
【００６０】
図１２は、上述の圧電駆動装置１０を利用したロボット２０５０の一例を示す説明図である。ロボット２０５０は、複数本のリンク部２０１２（「リンク部材」とも呼ぶ）と、それらリンク部２０１２の間を回動又は屈曲可能な状態で接続する複数の関節部２０２０とを備えたアーム２０１０（「腕部」とも呼ぶ）を有している。それぞれの関節部２０２０には、上述した圧電駆動装置１０が内蔵されており、圧電駆動装置１０を用いて関節部２０２０を任意の角度だけ回動又は屈曲させることが可能である。アーム２０１０の先端には、ロボットハンド２０００が接続されている。ロボットハンド２０００は、一対の把持部２００３を備えている。ロボットハンド２０００にも圧電駆動装置１０が内蔵されており、圧電駆動装置１０を用いて把持部２００３を開閉して物を把持することが可能である。また、ロボットハンド２０００とアーム２０１０との間にも圧電駆動装置１０が設けられており、圧電駆動装置１０を用いてロボットハンド２０００をアーム２０１０に対して回転させることも可能である。
【００６１】
図１３は、図１２に示したロボット２０５０の手首部分の説明図である。手首の関節部２０２０は、手首回動部２０２２を挟持しており、手首回動部２０２２に手首のリンク部２０１２が、手首回動部２０２２の中心軸Ｏ周りに回動可能に取り付けられている。手首回動部２０２２は、圧電駆動装置１０を備えており、圧電駆動装置１０は、手首のリンク部２０１２及びロボットハンド２０００を中心軸Ｏ周りに回動させる。ロボットハンド２０００には、複数の把持部２００３が立設されている。把持部２００３の基端部はロボットハンド２０００内で移動可能となっており、この把持部２００３の根元の部分に圧電駆動装置１０が搭載されている。このため、圧電駆動装置１０を動作させることで、把持部２００３を移動させて対象物を把持することができる。
【００６２】
なお、ロボットとしては、単腕のロボットに限らず、腕の数が２以上の多腕ロボットにも圧電駆動装置１０を適用可能である。ここで、手首の関節部２０２０やロボットハンド２０００の内部には、圧電駆動装置１０の他に、力覚センサーやジャイロセンサー等の各種装置に電力を供給する電力線や、信号を伝達する信号線等が含まれ、非常に多くの配線が必要になる。従って、関節部２０２０やロボットハンド２０００の内部に配線を配置することは非常に困難だった。しかしながら、上述した実施形態の圧電駆動装置１０は、通常の電動モーターや、従来の圧電駆動装置よりも駆動電流を小さくできるので、関節部２０２０（特に、アーム２０１０の先端の関節部）やロボットハンド２０００のような小さな空間でも配線を配置することが可能になる。
【００６３】
図１３は、上述の圧電駆動装置１０を利用した送液ポンプ２２００の一例を示す説明図である。送液ポンプ２２００は、ケース２２３０内に、リザーバー２２１１と、チューブ２２１２と、圧電駆動装置１０と、ローター２２２２と、減速伝達機構２２２３と、カム２２０２と、複数のフィンガー２２１３、２２１４、２２１５、２２１６、２２１７、２２１８、２２１９と、が設けられている。リザーバー２２１１は、輸送対象である液体を収容するための収容部である。チューブ２２１２は、リザーバー２２１１から送り出される液体を輸送するための管である。圧電駆動装置１０の突起部２０は、ローター２２２２の側面に押し付けた状態で設けられており、圧電駆動装置１０がローター２２２２を回転駆動する。ローター２２２２の回転力は減速伝達機構２２２３を介してカム２２０２に伝達される。フィンガー２２１３から２２１９はチューブ２２１２を閉塞させるための部材である。カム２２０２が回転すると、カム２２０２の突起部２２０２Ａによってフィンガー２２１３から２２１９が順番に放射方向外側に押される。フィンガー２２１３から２２１９は、輸送方向上流側（リザーバー２２１１側）から順にチューブ２２１２を閉塞する。これにより、チューブ２２１２内の液体が順に下流側に輸送される。こうすれば、極く僅かな量を精度良く送液可能で、しかも小型な送液ポンプ２２００を実現することができる。なお、各部材の配置は図示されたものには限られない。また、フィンガーなどの部材を備えず、ローター２２２２に設けられたボールなどがチューブ２２１２を閉塞する構成であってもよい。上記のような送液ポンプ２２００は、インシュリンなどの薬液を人体に投与する投薬装置などに活用できる。ここで、上述した実施形態の圧電駆動装置１０を用いることにより、従来の圧電駆動装置よりも駆動電流が小さくなるので、投薬装置の消費電力を抑制することができる。従って、投薬装置を電池駆動する場合は、特に有効である。
【００６４】
・変形例：
なお、この発明は上記の実施例や実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能であり、例えば次のような変形も可能である。
【００６５】
・変形例１：
上記実施形態では、基板１２０の上に第１電極１３０と圧電体１４０と第２電極１５０とが形成されていたが、基板１２０を省略して、振動板２００の上に第１電極１３０と圧電体１４０と第２電極１５０とを形成するようにしてもよい。
【００６６】
・変形例２：
上記実施形態では、振動板２００の両面にそれぞれ１つの圧電振動体１００を設けていたが、圧電振動体１００の一方を省略することも可能である。但し、振動板２００の両面にそれぞれ圧電振動体１００を設けるようにすれば、振動板２００をその平面内で屈曲した蛇行形状に変形させることがより容易である点で好ましい。
【００６７】
以上、いくつかの実施例に基づいて本発明の実施の形態について説明してきたが、上記した発明の実施の形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨並びに特許請求の範囲を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明にはその等価物が含まれることはもちろんである。
【符号の説明】
【００６８】
１０、１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ、１０ｅ…圧電駆動装置
１２…チューブ
２０…突起部（接触部、作用部）
５０…ローター（被駆動体）
５１…被駆動体の中心
１００…圧電振動体
１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｅ…圧電素子
１２０…基板
１２５…絶縁層
１３０…第１電極
１４０…圧電体
１５０、１５０ａ、１５０ｂ、１５０ｃ、１５０ｄ、１５０ｅ…第２電極
１５１、１５２…配線
１６０…絶縁層
１６３、１６５…コンタクトホール
１７１、１７１ａ、１７１ｂ、１７１ｃ、１７１ｄ、１７１ｅ…第１リード電極
１７２、１７２ａ、１７２ｂ、１７２ｃ、１７２ｄ、１７２ｅ…第２リード電極
１８０…パッシベーション膜
１８１ａ、１８１ｂ、１８２ｃ、１８１ｄ…配線
２００…振動板
２０２…絶縁層
２０４…配線層
２０６…絶縁層
２０８…導電性部材
２１０…振動体部
２１１…第１面
２１２…第２面
２２０…接続部
２３０…取付部
２４０…ネジ
３００…駆動回路
３１０、３１２、３１４、３２０…配線
２０００…ロボットハンド
２００３…把持部
２０１０…アーム
２０１２…リンク部
２０２０…関節部
２０２２…手首回動部
２０５０…ロボット
２２００…送液ポンプ
２２０２…カム
２２０２Ａ…突起部
２２１１…リザーバー
２２１２…チューブ
２２１３…フィンガー
２２２２…ローター
２２２３…減速伝達機構
２２３０…ケース
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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