(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光電子増倍管と、
前記光電子増倍管を動作させるための動作回路と、
前記光電子増倍管および前記動作回路を収容する筐体と、
前記筐体の内側と外側との間を電気的に連通させる導電性の複数の端子を含む端子群と、
を備え、
前記筐体の内側は、５０［Ｔｏｒｒ］以上の気圧に維持されるように気密封止され、
前記動作回路は、昇圧回路と高電圧回路とを備え、
前記端子群は、前記筐体の外側から前記筐体の内側に低電圧を供給するための低電圧供給端子を含み、
前記昇圧回路は、前記低電圧供給端子を介して供給される低電圧を高電圧に昇圧し、
前記高電圧回路は、前記昇圧回路で生成される高電圧を前記光電子増倍管に供給する、
光検出ユニット。
【請求項２】
前記筐体の材料は、絶縁性を有する、
請求項１に記載の光検出ユニット。
【請求項３】
導電性部材を更に備え、
前記導電性部材は、接地された状態で、前記筐体の内面の少なくとも一部を覆うように前記筐体の内側に配置される、
請求項２に記載の光検出ユニット。
【請求項４】
絶縁シートを更に備え、
前記絶縁シートは、前記光電子増倍管及び前記動作回路と、前記導電性部材との間に配置されている、
請求項３に記載の光検出ユニット。
【請求項５】
前記筐体の材料は、導電性を有する、
請求項１に記載の光検出ユニット。
【請求項６】
基板部を更に備え、
前記基板部は、一又は複数の基板を備え、
前記基板部は、前記筐体の内側に配置されており、
前記動作回路は、前記基板部に保持されている、
請求項１〜請求項５の何れか一項に記載の光検出ユニット。
【請求項７】
前記筐体は、検出光透過窓と本体とステムとシール部材とを備え、
前記本体は、光が入射する前記筐体の光入射端と、前記光入射端の反対側にある前記筐体の基端との間に延在しており、
前記検出光透過窓は、前記光入射端において前記本体に接合され、
前記光電子増倍管は、前記本体の内側において前記光入射端に配置され、
前記ステムは、前記本体の内側において前記基端に配置され、
前記動作回路は、前記本体の内側において前記光電子増倍管と前記ステムとの間に配置され、
前記シール部材は、常温で固化され、前記ステムと前記本体との隙間に充填され、前記ステムと前記本体とを接合し、
前記端子群の複数の端子は、前記筐体の外側から内側に前記ステムを貫通している、
請求項１〜請求項６の何れか一項に記載の光検出ユニット。
【請求項８】
前記筐体は、本体とステムと第１のシール部材と第２のシール部材とを備え、
前記本体は、光が入射する前記筐体の光入射端と、前記光入射端の反対側にある前記筐体の基端との間に延在しており、前記光入射端において開口を備え、
前記光電子増倍管は、前記本体の内側において前記光入射端の前記開口に配置され、
前記ステムは、前記本体の内側において前記基端に配置され、
前記動作回路は、前記本体の内側において前記光電子増倍管と前記ステムとの間に配置され、
前記第１のシール部材は、常温で固化され、前記ステムと前記本体との隙間に充填され、前記ステムと前記本体とを接合し、
前記第２のシール部材は、常温で固化され、前記光電子増倍管と前記本体との隙間に充填され、前記光電子増倍管と前記本体とを接合し、
前記端子群の複数の端子は、前記筐体の外側から内側に前記ステムを貫通している、
請求項１〜請求項６の何れか一項に記載の光検出ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光電子増倍管を用いた光検出ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、様々な装置において、光検出のために、光電子増倍管が使用されている。例えば、特許文献１の走査型電子顕微鏡等や、特許文献２の集束イオンビーム装置および荷電粒子検出器などにおいては、光電子増倍管をシンチレータと組み合わせて使用している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平４−３２２０４８号公報
【特許文献２】特開平７−１４２０２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
光電子増倍管の使用にあたっては、光電子増倍管の電子増倍部に供給する高電圧が必須となる。しかしながら、光電子増倍管の配置される外部環境によっては、高電圧の供給が困難な場合がある。例えば真空領域においては耐電圧特性が低下するため、放電の可能性が高くなるおそれがあり、当該環境内において配置された光電子増倍管を安定的に使用することは困難となる場合がある。そのため、例えば上述の先行文献１，２のように、真空領域内で発生した検出光を導光部材によって真空領域外に導出し、光電子増倍管を真空領域外にて配置・動作させることで光検出を行うといった対応を行っている。
【０００５】
しかしながら、検出光の真空領域外への導出のための装置構成が複雑になったり、導光部材による検出光量の損失等の問題が生じる可能性がある。そのため、配置される外部環境に影響を受けることなく、安定に光電子増倍管を用いることが望まれている。
【０００６】
そこで、本発明の目的は、上記の事項を鑑みてなされたものであり、配置される外部環境に影響を受けることなく、安定して動作可能な、光電子増倍管を用いた光検出ユニットを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る光検出ユニットは、光電子増倍管と、光電子増倍管を動作させるための動作回路と、光電子増倍管および動作回路を収容する筐体と、筐体の内側と外側との間を電気的に連通させる導電性の複数の端子を含む端子群と、を備え、筐体の内側は、５０［Ｔｏｒｒ］以上の気圧に維持されるように気密封止され、動作回路は、昇圧回路と高電圧回路とを備え、端子群は、筐体の外側から筐体の内側に低電圧を供給するための低電圧供給端子を含み、昇圧回路は、低電圧供給端子を介して供給される低電圧を高電圧に昇圧し、高電圧回路は、昇圧回路で生成される高電圧を光電子増倍管に供給する。本発明に係る光検出ユニットによれば、高電圧となる昇圧回路、高電圧回路及び光電子増倍管が外部環境（筐体の外側の環境）の影響を受けず、筐体の内側の耐電圧特性を良好に維持できるよう、５０［Ｔｏｒｒ］以上の気圧に維持されるように気密封止された筐体の内側に納められている。そして、筐体の外側から供給されるのは比較的に低い電圧であり、それを耐電圧特性を良好に維持できるよう気密封止された筐体の内側において高電圧に昇圧して用いられるので、耐電圧に関する問題が生じやすい真空領域のような外部環境下であっても、安定した動作が可能となる。
【０００８】
本発明に係る光検出ユニットにおいて、筐体の材料は、絶縁性を有する。よって、筐体の外側の環境に対して、筐体の内側を電気的に安定に保持できるので、光検出ユニットの安定動作が可能となる。
【０００９】
本発明に係る光検出ユニットは、導電性部材を更に備え、導電性部材は、接地された状態で、筐体の内面の少なくとも一部を覆うように筐体の内側に配置される。従って、接地された導電性部材によって、筐体の内側は筐体の外側からの電磁ノイズから遮蔽されるので、光検出ユニットの安定動作が可能となる。
【００１０】
本発明に係る光検出ユニットは、絶縁シートを更に備え、絶縁シートは、光電子増倍管及び動作回路と、導電性部材との間に配置されている。従って、絶縁シートによって、光電子増倍管及び動作回路と導電性部材とを電気的に分離できるので、光検出ユニットの安定動作が可能となる。
【００１１】
本発明に係る光検出ユニットにおいて、筐体の材料は、導電性を有する。従って、筐体が導電性を有するので、筐体の内側は筐体の外側からの電磁ノイズから遮蔽され、光検出ユニットの安定動作が可能となる。
【００１２】
本発明に係る光検出ユニットは、基板部を更に備え、基板部は、一又は複数の基板を備え、基板部は、筐体の内側に配置されており、動作回路は、基板部に保持されている。従って、動作回路は、基板部によって保持されるので、動作回路を筐体の内側に安定に格納でき、光検出ユニットの安定動作が可能となる。
【００１３】
本発明に係る光検出ユニットにおいて、筐体は、検出光透過窓と本体とステムとシール部材とを備え、本体は、光が入射する筐体の光入射端と、光入射端の反対側にある筐体の基端との間に延在しており、検出光透過窓は、光入射端において本体に接合され、光電子増倍管は、本体の内側において光入射端に配置され、ステムは、本体の内側において基端に配置され、動作回路は、本体の内側において光電子増倍管とステムとの間に配置され、シール部材は、常温で固化され、ステムと本体との隙間に充填され、ステムと本体とを接合し、端子群の複数の端子は、筐体の外側から内側にステムを貫通している。このように、筐体は、検出光透過窓と本体とステムと常温で固化するシール部材とによって、筐体の内側の気密性が維持される。よって、光検出ユニットの製造工程中における封止工程では加熱せずに筐体を気密封止できるので、熱による動作回路への影響を回避でき、光検出ユニットの安定動作が可能となる。
【００１４】
本発明に係る光検出ユニットにおいて、筐体は、本体とステムと第１のシール部材と第２のシール部材とを備え、本体は、光が入射する筐体の光入射端と、光入射端の反対側にある筐体の基端との間に延在しており、光入射端において開口を備え、光電子増倍管は、本体の内側において光入射端の開口に配置され、ステムは、本体の内側において基端に配置され、動作回路は、本体の内側において光電子増倍管とステムとの間に配置され、第１のシール部材は、常温で固化され、ステムと本体との隙間に充填され、ステムと本体とを接合し、第２のシール部材は、常温で固化され、光電子増倍管と本体との隙間に充填され、光電子増倍管と本体とを接合し、端子群の複数の端子は、筐体の外側から内側にステムを貫通している。このように、筐体は、本体と光電子増倍管とステムと常温で固化する第１のシール部材及び第２のシール部材とによって、筐体の内側の気密性が維持される。よって、光検出ユニットの製造工程中における封止工程では加熱せずに筐体を気密封止できるので、熱による動作回路への影響を回避でき、光検出ユニットの安定動作が可能となる。また、光電子増倍管の光入射部は、光検出ユニットの外部に露出されているので、光電子増倍管の光入射部は良好に光を受けることができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、配置される外部環境に影響を受けることなく、安定して動作可能な、光電子増倍管を用いた光検出ユニットを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】実施形態に係る光検出ユニットの構成を概略的に示す図である。
【図２】実施形態に係る光検出ユニットの内部の構成を示す図である。
【図３】実施形態に係る光検出ユニットの基板部の二つの基板上の構成を説明するための図である。
【図４】実施形態に係る光検出ユニットの構成を説明するための分解図である。
【図５】実施形態に係る光検出ユニットの変形例の構成を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照して、本発明に係る好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において、可能な場合には、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１８】
図１に、光検出ユニット１の構成を概略的に示す。図２に、光検出ユニット１の内部の構成を示し、図１に示すＩ−Ｉ線における光検出ユニット１の断面の構成を示している。光検出ユニット１は、光電子増倍管３（Photomultiplier  Tube）と筐体２と端子群４と基板部５と動作回路５０とを備え、更に、信号ケーブル６ａと電源ケーブル６ｂとコントロール電圧用ケーブル６ｃと接地用ケーブル６ｄと接地用ケーブル６ｅとを備える。光検出ユニット１は、更に、図２に示す導電性部材２１と絶縁シート２２とを備える。なお、図１には、筐体２の内部の様子を示すために、筐体２の内部を覆う導電性部材２１と絶縁シート２２とが省略されて記載されている。
【００１９】
筐体２は、その内側の空間がその外側の空間に対して気密封止された状態で、光電子増倍管３および動作回路５０等の高電圧を受ける電気部品を収容する。筐体２の内側には、空気、不活性ガス、または空気及び不活性ガスの混合ガスといった絶縁性を持った気体が５０［Ｔｏｒｒ］以上の気圧となるように気密封止された状態で充填されている。なお、筐体２の内側の気圧は、１００［Ｔｏｒｒ］以上でもよく、光検出ユニット１の製造の容易さの点からは、筐体２の内側に大気圧（７６０［Ｔｏｒｒ］程度）の乾燥空気が充填される構成でもよい。また、筐体２の材料は、絶縁性を有する。
【００２０】
そして、動作回路５０は後述の昇圧回路５１を備えるため、後述の端子群４の低電圧供給端子４ａを介して光検出ユニット１に印加され、筐体２の外側から筐体２の内側に導入される電圧は、低電圧、より詳しくは光検出ユニット１の外部雰囲気（筐体２の外側の空間の雰囲気）におけるブレークダウン電圧（breakdown  voltage）よりも低い電圧とすることが可能である。印加される低電圧の具体的な値としては５０［Ｖ］以下であり、２５［Ｖ］以下（例えば３［Ｖ］程度）とすることもできる。例えば、ブレークダウン電圧よりも十分に低い３［Ｖ］の低電圧が光検出ユニット１に導入される場合でも、この３［Ｖ］の低電圧を後述の昇圧回路５１によって１１００［Ｖ］程度の高電圧にまで昇圧することで、光電子増倍管３を駆動させることができる。
【００２１】
筐体２は、検出光透過窓２ｂと本体２ａとステム２ｃとシール部材２ｄとを備える。筐体２は、検出光透過窓２ｂと本体２ａとステム２ｃとシール部材２ｄとによって、筐体２の内側の気密性が形成され、維持される。本体２ａは、長手方向に延在する円筒状の形状を有しており、長手方向の一端には光が入射する光入射端２ｅを有し、長手方向の他端（光入射端２ｅの反対側）には基端２ｆを有する。本体２ａの材料は、絶縁性を有しており、例えばガラスやセラミックである。
【００２２】
検出光透過窓２ｂは、光入射端２ｅにおいて、本体２ａに接合されている。検出光透過窓２ｂの材料は、検出光に対して十分な透過性を有するともに絶縁性を有しており、例えばガラスである。
【００２３】
光電子増倍管３は、本体２ａの内側において、検出光透過窓２ｂに対向するように、光入射端２ｅに配置されている。より具体的には、光電子増倍管３の光入射部３ａが、検出光透過窓２ｂの内側面（筐体２の内部空間側の面であって、筐体２の内部空間への光出射面）に当接した状態で配置されている。光検出ユニット１に入射し検出される光は、検出光透過窓２ｂを透過して光電子増倍管３の光入射部３ａに到り、光電子増倍管３によって電気信号に変換される。
【００２４】
ステム２ｃは、本体２ａの内側において、基端２ｆに配置されている。ステム２ｃは後述する端子群４を気密に保持する円板状の部材であり、例えばガラスやセラミック等といった絶縁性の材料からなる。なお、ステム２ｃは端子群４同士を電気的に離間し、かつ気密に保持出来れば、金属等の導電性部材からなっていてもよい。シール部材２ｄは、常温で固化され、より好ましくは絶縁性を有する気密封止部材、例えばトールシール（torr  seal）である。常温とは、例えば、５〜３５℃の範囲である。シール部材２ｄは、ステム２ｃと本体２ａとの隙間に充填される。シール部材２ｄは、ステム２ｃと本体２ａとを接合すると共に、筐体２の内側を気密封止する。
【００２５】
端子群４は、筐体２の内側と筐体２の外側との間を電気的に連通させる導電性の複数の端子を含む。具体的には、端子群４の複数の端子は、筐体２の外側から内側にステム２ｃを気密に貫通している。端子群４は、例えば、筐体２の外側から筐体２の内側に昇圧用の低電圧を供給するための低電圧供給端子４ａと、筐体２の内側に接地電位を供給するための接地端子４ｂとを含む。
【００２６】
基板部５は、一又は複数の基板を備える。具体的には、基板部５は、基板５ａと基板５ｂと基板５ｃを備え、本体２ａの内側に配置されている。基板５ａと基板５ｂと基板５ｃは、絶縁性を有する基板と、そこに形成された電気回路等を有している。基板５ａと基板５ｂとは、何れも、本体２ａの内側において、本体２ａの長手方向に伸びている形状を備える。基板５ｃは、本体２ａの長手方向に直交する向きに延びている。基板５ａと基板５ｂとは、本体２ａの内側において、互いに離間した状態で重なるように配置されている。基板５ａと基板５ｂとは、基板５ｃの表面に交差する向きに伸びており、基板５ｃに接続されている。基板５ｃは、本体２ａの内側において、光電子増倍管３と基板５ａ及び基板５ｂとの間に配置されており、光電子増倍管３と基板５ａと基板５ｂとに接続されている。より具体的には、基板５ｃは、光電子増倍管３のステムピンを固定すると共に、このステムピンと、基板５ａ及び基板５ｂの電気回路（昇圧回路５１、高電圧回路５２及び発振回路５３等）とを電気的に接続する。
【００２７】
動作回路５０は、光電子増倍管３を動作させるための電子回路である。動作回路５０は、基板部５に保持されている。動作回路５０は、本体２ａの内側において光電子増倍管３とステム２ｃとの間に配置されている。動作回路５０は、昇圧回路５１と高電圧回路５２と発振回路５３とを備える。昇圧回路５１は、図３の（Ｂ）部に示すように、基板５ｂの表面５ｂ１に配置されている。昇圧回路５１は、例えばコッククロフト・ウオルトン（Cockroft-Walton）昇圧回路であり、端子群４の低電圧供給端子４ａを介して供給される低電圧を高電圧に昇圧する。高電圧回路５２は、図３の（Ａ）部に示すように、基板５ａの表面５ａ１に配置されている。高電圧回路５２は、昇圧回路５１で生成される高電圧を光電子増倍管３に供給する。発振回路５３は、図３の（Ｂ）部に示すように、基板５ｂの表面５ｂ１に配置されている。発振回路５３は、トランス７を備える。
【００２８】
信号ケーブル６ａは、端子群４の一の端子と高電圧回路５２とを接続する。電源ケーブル６ｂは、端子群４の低電圧供給端子４ａと昇圧回路５１とを接続する。コントロール電圧用ケーブル６ｃは、端子群４の一の端子と高電圧回路５２とを接続する。接地用ケーブル６ｄは、端子群４の接地端子４ｂと高電圧回路５２とを接続する。接地用ケーブル６ｅは、発振回路５３と導電性部材２１とを接続する。
【００２９】
信号ケーブル６ａは、光検出ユニット１に入射した光に応じた電気信号を外部に出力するためのケーブルである。電源ケーブル６ｂは、昇圧回路５１に低電圧を供給するためのケーブルである。コントロール電圧用ケーブル６ｃは、昇圧回路５１によって昇圧された高電圧を外部からコントロールする信号を光検出ユニット１に導入するためのケーブルである。接地用ケーブル６ｄ，６ｅは、接地電位を光検出ユニット１に導入するためのケーブルである。
【００３０】
導電性部材２１は、筐体２の内側に設けられた通電回路（光電子増倍管３、基板部５、昇圧回路５１、高電圧回路５２、発振回路５３、および信号ケーブル６ａ、電源ケーブル６ｂ、コントロール電圧用ケーブル６ｃ，接地用ケーブル６ｄ，６ｅ等）に対して、筐体２の外側からの電磁波ノイズを遮蔽するために用いられる。導電性部材２１は、接地された状態で、筐体２の内面の少なくとも一部を覆うように筐体２の内側に配置される。具体的には、導電性部材２１は、例えばシート状の金属材料を本体２ａの内面２ｇに沿うような円筒形状に曲げたものであって、通電回路を筐体２の長手方向に沿う方向に覆った状態（円筒内部に通電回路を収容した状態）で筐体２に収容されている。そして、導電性部材２１は、接地端子４ｂを介して接地されるが、端子群４を介することなく別途の接地経路を備えていてもよい。絶縁シート２２は、光電子増倍管３及び動作回路５０と、導電性部材２１とが電気的に接触しないように、光電子増倍管３及び動作回路５０と、導電性部材２１との間に配置されており、例えばポリエステル等の樹脂材料からなる絶縁フィルムを導電性部材２１の内面（光電子増倍管３及び動作回路５０側の面）に沿うような円筒形状に曲げたものである。絶縁シート２２は、その外面が導電性部材２１の内面に接触した状態となっており、導電性部材２１の内面の全面を覆うのが好ましく、例えば本実施形態においては、ステム２ｃ側の端部において、導電性部材２１の端部に対して絶縁シート２２の端部の方がステム２ｃ側に突出している。ただし、導電性部材２１が露出しなければ、光電子増倍管３側の端部のように導電性部材２１の端部と絶縁シート２２の端部が揃っていてもよいし、導電性部材２１のほとんどを絶縁シート２２で覆いつつ、端部領域は絶縁性樹脂などで覆ってもよい。また、光電子増倍管３及び動作回路５０と導電性部材２１とが対向しないような領域（つまり両者の接触の可能性が低い領域）があれば、その領域は覆わなくてもよい。
【００３１】
光検出ユニット１は、更に、固定部材８ａと固定部材８ｂとを備える。固定部材８ａおよび固定部材８ｂは、衝撃吸収性と絶縁性とを備えたものが好ましく、例えば発泡シリコーンからなる。固定部材８ａは、筐体２の光入射端２ｅに配置され、固定部材８ｂは、筐体２の基端２ｆに配置される。
【００３２】
固定部材８ａは、筐体２の光入射端２ｅにおいて、光電子増倍管３と絶縁シート２２との隙間を埋めるように配置されており、光電子増倍管３を筐体２の内側において固定している。固定部材８ｂは、筐体２の基端２ｆにおいて、基板５ａ及び基板５ｂと、ステム２ｃとの間に配置されている。固定部材８ｂは、筐体２の基端２ｆにおいて、基板５ａ及び基板５ｂのそれぞれの端部とステム２ｃとの隙間を埋めるように配置されており、基板５ａ及び基板５ｂそれぞれの当該端部を筐体２の内側において固定している。さらに、固定部材８ｂは、信号ケーブル６ａ、電源ケーブル６ｂ、コントロール電圧用ケーブル６ｃ、接地用ケーブル６ｄと端子群４の各端子との接続部や、接地用ケーブル６ｅにおける導電性部材２１との接続部側の端部を覆うように配置されており、各ケーブルの接続部等に対する保護部材としても機能する。すなわち、図４の（Ａ）部に示すように、円筒形状の導電性部材２１は、本体２ａの内側の内面２ｇの上に内面２ｇを覆うように配置され、円筒形状の絶縁シート２２は、導電性部材２１の内面を覆うように配置されている。そして、図４の（Ｂ）部に示すように、本体２ａの内側において、固定部材８ａと、光電子増倍管３と、基板５ｃと、基板５ａ及び基板５ｂと、固定部材８ｂと、ステム２ｃとが、光入射端２ｅから基端２ｆに向かう本体２ａの長手方向に沿って、この順に配置されていると共に、絶縁シート２２によって覆われている。なお、固定部材８ａと固定部材８ｂは、筐体２内の構成が安定的に固定されていれば、必ずしも必要ではない。
【００３３】
以上説明した光検出ユニット１によれば、高電圧となる昇圧回路５１、高電圧回路５２及び光電子増倍管３が外部環境の影響を受けず、筐体２の内側の耐電圧特性を良好に維持できるよう、５０［Ｔｏｒｒ］以上の気圧に維持されるように気密封止された筐体２の内側に納められている。そして、筐体２の外側から供給されるのは比較的に低い電圧であり、それを耐電圧特性を良好に維持できるよう気密封止された筐体２の内側において高電圧に昇圧して用いられるので、耐電圧に関する問題が生じやすい真空領域のような外部環境下であっても、安定した動作が可能となる。従って、光電子増倍管３等の高電圧がかけられる部分については真空領域外に配置させたり、光電子増倍管３の周囲の真空度に応じて光電子増倍管３の駆動タイミングを調整する等の従来の対応は、光検出ユニット１では不要となる。更に、動作回路５０は、基板部５によって保持されるので、動作回路５０は光検出ユニット１に安定に格納される。更に、本体２ａの材料が絶縁性を有するので、筐体２の外側の環境に対して、筐体２の内側を電気的に安定に保持でき、更に、接地された導電性部材２１を備えることで、筐体２の内側は筐体２の外側からの電磁ノイズからも遮蔽される。一方、絶縁シート２２によって、光電子増倍管３及び動作回路５０と導電性部材２１とを電気的に分離できる。また、シール部材２ｄが常温で固化するので、光検出ユニット１の製造工程中における封止工程では加熱せずに筐体２を気密封止できるので、熱による動作回路５０への影響を回避でき、光検出ユニット１の安定動作が可能となる。
【００３４】
以上、好適な実施の形態において本発明の原理を図示し説明してきたが、本発明は、そのような原理から逸脱することなく配置および詳細において変更され得ることは、当業者によって認識される。本発明は、本実施の形態に開示された特定の構成に限定されるものではない。したがって、特許請求の範囲およびその精神の範囲から来る全ての修正および変更に権利を請求する。
【００３５】
例えば、検出光透過窓２ｂと光入射部３ａとの間に光学フィルタを配置し、所望とする光学条件を、この光学フィルタによって光検出ユニット１に導入することも可能である。同様に、検出光透過窓２ｂに透過波長の帯域特性を持たせ、更に、光入射部３ａにも透過波長の帯域特性を持たせることによって、光検出ユニット１の検出対象となる光の波長域を限定することも可能である。また、レンズ状の検出光透過窓２ｂを用いることによって、受光面積の拡大と、集光量の増加が可能となる。
【００３６】
更に、以上に記載の実施形態に係る光検出ユニット１の構成に対し、図５の（Ａ）部に示す構成が適用できる。図５の（Ａ）部に示す構成は、光検出ユニット１の本体２ａを導電性の金属製の本体２３に替えたものの、光入射端２ｅの拡大図である。図５の（Ａ）部に示す構成の場合、本体２３が導電性の金属製のため、本体２３によって本体２３の内側は本体２３の外側からの電磁ノイズから遮蔽されるので、導電性部材２１は不要となる。図５の（Ａ）部に示す構成では、導電性部材２１が用いられていないので、導電性部材２１を用いる場合に比較して、より簡易な構造が実現できる。このように、筐体２は、導電性を有する材料によって構成されている箇所（金属製の本体２３）を備えることができる。
【００３７】
更に、以上に記載の実施形態に係る光検出ユニット１の構成（図５の（Ａ）部に示す構成を含む）に対し、図５の（Ｂ）部に示す構成が適用できる。図５の（Ｂ）部に示す構成は、光検出ユニット１の光入射端２ｅの構成のうち、検出光透過窓２ｂと固定部材８ａとを廃し、シール部材２ｈを追加したものである。図５の（Ｂ）部に示す構成の場合、筐体２は、本体２ａとステム２ｃとシール部材２ｄ（第１のシール部材）とシール部材２ｈ（第２のシール部材）とを備え、本体２ａは、光入射端２ｅにおいて開口２ｉを備え、光電子増倍管３の光入射部３ａは、筐体２の外部に露出されており、光電子増倍管３は、本体２ａの内側において光入射端２ｅの開口２ｉに配置される。光電子増倍管３と筐体２との隙間には、シール部材２ｈが充填されている。シール部材２ｈは、常温で固化され、より好ましくは絶縁性を有する気密封止部材、例えばトールシールである。シール部材２ｈは、光電子増倍管３と本体２ａとの隙間に充填され、シール部材２ｄと共に筐体２の内側を気密封止し、光電子増倍管３と本体２ａとを接合する。このように、図５の（Ｂ）部に示す構成では、筐体２は、本体２ａとステム２ｃとシール部材２ｄとシール部材２ｈとによって、筐体２の内側の気密性が維持される。また、光電子増倍管３の光入射部３ａは、光検出ユニット１の外部に露出されているので、光電子増倍管３の光入射部３ａは損失無く良好に光を受けることができる。具体的には、図５の（Ｂ）部に示す構成では、検出光透過窓２ｂが用いられていないので、光入射部３ａに入射する光の損失は、検出光透過窓２ｂを用いた場合に比較して低減される。更に、図５の（Ｂ）部に示す構成では、シール部材２ｄ及びシール部材２ｈが常温で固化するので、光検出ユニット１の製造工程中における封止工程では加熱せずに筐体２を気密封止できるので、熱による動作回路５０への影響を回避でき、よって、光検出ユニット１の安定動作が可能となる。なお、本実施形態においては、光入射端２ｅの端部において、導電性部材２１の端部に対して絶縁シート２２の端部の方が開口２ｉ側に突出している。ただし、導電性部材２１が露出しなければ、導電性部材２１の端部と絶縁シート２２の端部が揃っていてもよいし、端部領域を絶縁性樹脂などで覆ってもよい。
【符号の説明】
【００３８】
１…光検出ユニット、２…筐体、２１…導電性部材、２２…絶縁シート、２３，２ａ…本体、２ｂ…検出光透過窓、２ｃ…ステム、２ｄ，２ｈ…シール部材、２ｅ…光入射端、２ｆ…基端、２ｇ…内面、２ｉ…開口、３…光電子増倍管、３ａ…光入射部、４…端子群、４ａ…低電圧供給端子、４ｂ…接地端子、５…基板部、５０…動作回路、５１…昇圧回路、５２…高電圧回路、５３…発振回路、５ａ，５ｂ，５ｃ…基板、５ａ１，５ｂ１…表面、６ａ…信号ケーブル、６ｂ…電源ケーブル、６ｃ…コントロール電圧用ケーブル、６ｄ，６ｅ…接地用ケーブル、７…トランス、８ａ，８ｂ…固定部材。
【図１】
0006343206.tif 000002
【図２】
0006343206.tif 000003
【図３】
0006343206.tif 000004
【図４】
0006343206.tif 000005
【図５】
0006343206.tif 000006