(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
タッチパネルセンサであって、
前記タッチパネルセンサの一方の側に設けられ、第１方向に沿って並べられるとともに前記第１方向に交差する方向に沿って延びる複数の第１電極と、
前記タッチパネルセンサの他方の側に設けられ、前記第１方向に直交する第２方向に沿って並べられるとともに前記第２方向に交差する方向に沿って延びる複数の第２電極と、を備え、
前記第１電極は、遮光性および導電性を有する複数の第１導線を、各第１導線の間に四角形状の開口部が形成されるよう網目状に配置することによって構成されており、
前記複数の第１導線が配置された前記タッチパネルセンサの一方の側の領域を、前記第１方向に延びる長さＰ１の一対の第１辺と、前記第２方向に延びる長さＰ２の一対の第２辺とを有する複数の長方形状の単位領域によって区画する場合、各単位領域において前記第１導線は同一のパターンを有しており、ここで、Ｐ１は、前記第１方向における前記第１電極の配列ピッチを表し、Ｐ２は、前記第２方向における前記第２電極の配列ピッチを表し、
前記複数の第１導線は、前記四角形状の開口部の対向する一対の辺を構成する第１種第１導線と、前記四角形状の開口部の対向するその他の一対の辺を構成する第２種第１導線と、に分類され、
各単位領域において、前記複数の第１導線は、以下の条件（１）および（２）を満たすよう配置されている、
（１）前記第１種第１導線または前記第２種第１導線の一方は、前記第１方向に対して３０〜４０°の範囲内の角度を成し、前記第１種第１導線または前記第２種第１導線の他方は、前記第１方向に対して１２０〜１３０°の範囲内の角度を成すこと；
（２）前記単位領域を、前記第１方向に沿ってｍ１個（ｍ１は整数）、前記第２方向に沿ってｎ１個（ｎ１は整数）並べられたｍ１×ｎ１個の長方形格子によって仮想的に分割する場合、前記第１種第１導線は、前記単位領域の前記一対の第１辺上の各格子点または前記一対の第２辺上の各格子点の少なくともいずれか一方を通るよう配置され、かつ、前記第２種第１導線も、前記単位領域の前記一対の第１辺上の各格子点または前記一対の第２辺上の各格子点の少なくともいずれか一方を通るよう配置されること；
前記第２電極は、遮光性および導電性を有する複数の第２導線を、各第２導線の間に四角形状の開口部が形成されるよう網目状に配置することによって構成されており、
前記複数の第２導線は、前記四角形状の開口部の対向する一対の辺を構成する第１種第２導線と、前記四角形状の開口部の対向するその他の一対の辺を構成する第２種第２導線と、に分類され、
前記第１種第２導線または前記第２種第２導線の一方は、前記第１方向に対して５０〜６０°の範囲内の角度を成し、前記第１種第２導線または前記第２種第２導線の他方は、前記第１方向に対して１４０〜１５０°の範囲内の角度を成している、タッチパネルセンサ。
【請求項２】
Ｐ１＝Ｐ２かつｍ１＝ｎ１が成立している、請求項１に記載のタッチパネルセンサ。
【請求項３】
前記複数の第１導線は、前記第１種第１導線および前記第２種第１導線が互いに直交するよう構成されている、請求項２に記載のタッチパネルセンサ。
【請求項４】
前記第１電極は、前記第１電極が延びる方向に沿って並べられた複数の第１膨出部と、隣接する２つの前記第１膨出部を接続する第１ライン部と、を有する、請求項１乃至３のいずれか一項に記載のタッチパネルセンサ。
【請求項５】
前記複数の第２導線は、前記第１種第２導線および前記第２種第２導線が互いに直交するよう構成されている、請求項１乃至４のいずれか一項に記載のタッチパネルセンサ。
【請求項６】
請求項１に記載のタッチパネルセンサを製造する方法であって、
基材と、基材の第１面上に設けられ、遮光性および導電性を有する第１金属層と、前記第１金属層上に設けられた第１感光層と、を含む積層体を準備する工程と、
第１露光マスクを用いて前記第１感光層を露光し、かつ露光された第１感光層を現像することにより、前記第１感光層をパターニングする工程と、
パターニングされた前記第１感光層をレジストとして前記第１金属層をエッチングすることにより、前記複数の第１導線を形成する工程と、を備え、
パターニングされた前記第１感光層、並びに前記第１露光マスクの遮光部および開口部はいずれも、前記単位領域に対応する繰り返し周期を有する、タッチパネルセンサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、外部導体の位置を検出するためのタッチパネルセンサおよびタッチパネルセンサの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
今日、入力手段として、タッチパネル装置が広く用いられている。タッチパネル装置は一般に、タッチパネルセンサ、保護カバー、タッチパネルセンサ上への接触位置を検出する制御回路、配線およびＦＰＣ（フレキシブルプリント基板）などを含んでいる。タッチパネル装置は、多くの場合、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ等の表示装置が組み込まれた種々の装置等（例えば、券売機、ＡＴＭ装置、携帯電話、ゲーム機）に対する入力手段として、表示装置とともに用いられている。このような装置においては、タッチパネルセンサが表示装置の表示面上に配置されており、これによって、表示装置に対する極めて直接的な入力が可能になっている。タッチパネルセンサのうち表示装置の表示領域に対面する領域は透明になっており、タッチパネルセンサのこの領域が、接触位置（接近位置）を検出し得るアクティブエリアを構成するようになる。
【０００３】
タッチパネルセンサとして、投影型容量結合方式のタッチパネルセンサが知られている。容量結合方式のタッチパネルセンサにおいては、位置を検知されるべき外部導体（典型的には、指）が誘電体を介してタッチパネルセンサに接触（接近）する際、新たに奇生容量が発生する。この奇生容量に起因する静電容量の変化に基づいて、タッチパネルセンサ上における外部導体の位置が検出される。このような投影型容量結合方式のタッチパネルセンサは例えば、タッチパネルセンサの一方の側に設けられ、第１方向に沿って所定の配列ピッチで並べられるとともに第１方向に交差する方向に沿って延びる複数の第１電極と、タッチパネルセンサの他方の側に設けられ、第２方向に沿って所定の配列ピッチで並べられるとともに第２方向に交差する方向に沿って延びる複数の第２電極と、を備えている。この場合、第１方向に沿って並べられた複数の第１電極のうちのどの第１電極に、外部導体に起因する静電容量の変化が生じるかに基づいて、第１方向における外部導体の位置が算出される。同様に、第２方向に沿って並べられた複数の第２電極のうちのどの第２電極に、外部導体に起因する静電容量の変化が生じるかに基づいて、第２方向における外部導体の位置が算出される。従って、各第１電極および各第２電極における静電容量の変化を測定することによって、外部導体の位置を特定することが可能である。
【０００４】
従来、第１電極および第２電極は、透光性および導電性を有する透明導電材料から構成されてきた。また近年は、第１電極および第２電極の電気抵抗値を低くするため、第１電極および第２電極を構成する材料として、透明導電材料よりも高い導電性を有する銀や銅、およびそれらの合金などの金属材料が用いられることもある。第１電極および第２電極が金属材料から構成される場合、第１電極および第２電極には、表示装置からの映像光を適切な比率で透過させるための開口部が形成されている。例えば第１電極および第２電極は、金属材料からなり、網目状に配置された導線によって構成されている。
【０００５】
一方、表示装置とタッチパネルセンサの組み合わせにおいて網目状に配置された導線がタッチパネルセンサの一方の側および他方の側に設けられる場合、一方の側に位置する第１電極を構成する導線（以下、第１導線とも称する）と、他方の側に位置する第２電極を構成する導電（以下、第２導線）と、表示装置の画素パターンとの位置関係によっては、干渉縞（以下、モアレとも称する）が生じることがある。モアレの発生は、表示装置に表示される映像を見にくくさせ、この結果、タッチパネル装置の視覚的な操作性を低下させてしまう。モアレは、タッチパネル装置を構成するタッチパネルセンサの各電極間の位置関係だけではなく、表示装置の画素パターンと、タッチパネルセンサの電極の網目状の導線のパターンとの位置関係に基づいて生じることもある。
【０００６】
モアレの発生を抑制するため、特許文献１においては、第１電極が延びる方向に対して時計方向および反時計方向に所定角度傾いた複数の第１導線を正方格子状に配置することによって、第１電極を構成し、また、第２電極が延びる方向に対して時計方向および反時計方向に所定角度傾いた複数の第２導線を正方格子状に配置することによって、第２電極を構成することが提案されている。第１導線および第２導線を傾ける角度としては、９０°未満の角度が提案されている。特許文献１においては、上述のように第１電極および第２電極を構成することによって、第１電極と第２電極との位置関係によって生ずるおそれがある低周波モアレを低減させるとともに、表示装置の画素パターンと網目状の第１電極および第２電極との間で生ずるおそれがある低周波モアレをも低減させるということが実現されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１１−２４８７２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
網目状に配置された複数の第１導線によって第１電極が構成される場合、タッチパネルセンサを設計する作業は、各第１電極の配置、すなわち各第１電極の輪郭を決定する作業に加えて、各第１電極の輪郭によって囲われた領域内に位置する複数の第１導線の配置を決定する作業を含む。従って、第１電極がＩＴＯ等の透明導電材料によって構成される場合に比べて、タッチパネルセンサの設計に要する負荷が高くなっている。
【０００９】
また、第１導線のパターンが目立ってしまうことを抑制するためには、隣接する２つの第１電極において、一方の第１電極を構成する第１導線を延長した線が他方の第１電極を構成する第１導線に重なるように第１導線が配置されていることが好ましい。また、第１電極の間に、第１導線によって構成されたダミー部が配置される場合は、第１電極を構成する第１導線を延長した線がダミー部を構成する第１導線に重なるように第１導線が配置されていることが好ましい。しかしながら、第１導線を第１方向や第２方向に対して傾ける場合、第１導線によって構成される正方格子が並べられる方向、すなわち正方格子の配列方向が、第１電極の配列方向とは相違するようになる。従って、１つの第１電極を構成する第１導線の配置を、その他の第１電極を構成する第１導線の配置として流用した場合、隣接する２つの第１電極の間や、隣接する第１電極とダミー部との間において、一方の第１電極を構成する第１導線を延長した線が他方の第１電極やダミー部を構成する第１導線に重ならない可能性が高い。このため、第１導線のパターンが目立ってしまうことを抑制するためには、複数の第１電極における第１導線の配置をそれぞれ個別に設計することが必要になり、設計に要する負荷がさらに高くなってしまう。
【００１０】
本発明は、このような課題を効果的に解決し得るタッチパネルセンサおよびタッチパネルセンサの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、タッチパネルセンサであって、前記タッチパネルセンサの一方の側に設けられ、第１方向に沿って並べられるとともに前記第１方向に交差する方向に沿って延びる複数の第１電極と、前記タッチパネルセンサの他方の側に設けられ、前記第１方向に直交する第２方向に沿って並べられるとともに前記第２方向に交差する方向に沿って延びる複数の第２電極と、を備え、前記第１電極は、遮光性および導電性を有する複数の第１導線を、各第１導線の間に四角形状の開口部が形成されるよう網目状に配置することによって構成されており、前記複数の第１導線が配置された前記タッチパネルセンサの一方の側の領域を、前記第１方向に延びる長さＰ１の一対の第１辺と、前記第２方向に延びる長さＰ２の一対の第２辺とを有する複数の長方形状の単位領域によって区画する場合、各単位領域において前記第１導線は同一のパターンを有しており、ここで、Ｐ１は、前記第１方向における前記第１電極の配列ピッチを表し、Ｐ２は、前記第２方向における前記第２電極の配列ピッチを表し、前記複数の第１導線は、前記四角形状の開口部の対向する一対の辺を構成する第１種第１導線と、前記四角形状の開口部の対向するその他の一対の辺を構成する第２種第１導線と、に分類され、
各単位領域において、前記複数の第１導線は、以下の条件（１）および（２）を満たすよう配置されている、
（１）前記第１種第１導線または前記第２種第１導線のいずれか一方は、前記第１方向に対して３０〜４０°の範囲内の角度を成すこと；
（２）前記単位領域を、前記第１方向に沿ってｍ１個（ｍ１は整数）、前記第２方向に沿ってｎ１個（ｎ１は整数）並べられたｍ１×ｎ１個の長方形格子によって仮想的に分割する場合、前記第１種第１導線は、前記単位領域の前記一対の第１辺上の各格子点または前記一対の第２辺上の各格子点の少なくともいずれか一方を通るよう配置され、かつ、前記第２種第１導線も、前記単位領域の前記一対の第１辺上の各格子点または前記一対の第２辺上の各格子点の少なくともいずれか一方を通るよう配置されること；
タッチパネルセンサである。
【００１２】
本発明によるタッチパネルセンサにおいて、Ｐ１＝Ｐ２かつｍ１＝ｎ１が成立していてもよい。
【００１３】
本発明によるタッチパネルセンサにおいて、前記複数の第１導線は、前記第１種第１導線および前記第２種第１導線が互いに直交するよう構成されていてもよい。
【００１４】
本発明によるタッチパネルセンサにおいて、前記第１電極は、前記第１電極が延びる方向に沿って並べられた複数の第１膨出部と、隣接する２つの前記第１膨出部を接続する第１ライン部と、を有していてもよい。
【００１５】
本発明によるタッチパネルセンサにおいて、前記第２電極は、遮光性および導電性を有する複数の第２導線を、各第２導線の間に四角形状の開口部が形成されるよう網目状に配置することによって構成されており、前記複数の第２導線は、前記四角形状の開口部の対向する一対の辺を構成する第１種第２導線と、前記四角形状の開口部の対向するその他の一対の辺を構成する第２種第２導線と、に分類され、前記第１種第２導線または前記第２種第２導線のいずれか一方は、前記第１方向に対して５０〜６０°の範囲内の角度を成していてもよい。
【００１６】
本発明によるタッチパネルセンサにおいて、前記複数の第２導線は、前記第１種第２導線および前記第２種第２導線が互いに直交するよう構成されていてもよい。
【００１７】
本発明は、上記記載のタッチパネルセンサの製造方法であって、基材と、基材の第１面上に設けられ、遮光性および導電性を有する第１金属層と、前記第１金属層上に設けられた第１感光層と、を含む積層体を準備する工程と、第１露光マスクを用いて前記第１感光層を露光し、かつ露光された第１感光層を現像することにより、前記第１感光層をパターニングする工程と、パターニングされた前記第１感光層をレジストとして前記第１金属層をエッチングすることにより、前記複数の第１導線を形成する工程と、を備え、パターニングされた前記第１感光層、並びに前記第１露光マスクの遮光部および開口部はいずれも、前記単位領域に対応する繰り返し周期を有する、タッチパネルセンサの製造方法である。
【発明の効果】
【００１８】
本発明において、複数の第１導線が配置されたタッチパネルセンサの一方の側の領域を、第１方向に延びる長さＰ１の一対の第１辺と、第２方向に延びる長さＰ２の一対の第２辺とを有する複数の長方形状の単位領域によって区画する場合、各単位領域において第１導線は同一のパターンを有している。ここで、Ｐ１は、第１方向における前記第１電極の配列ピッチを表し、Ｐ２は、第２方向における前記第２電極の配列ピッチを表している。また、第１電極を構成する複数の第１導線は、四角形状の開口部の対向する一対の辺を構成する第１種第１導線と、四角形状の開口部の対向するその他の一対の辺を構成する第２種第１導線と、に分類される。また複数の第１導線は、以下の条件（１）を満たすよう配置されている。
（１）第１種第１導線または第２種第１導線のいずれか一方は、第１方向に対して３０〜４０°の範囲内の角度を成すこと。
このため、表示装置の画素パターンと第１電極の第１導線との間でモアレが発生してしまうことを抑制することができる。
また複数の第１導線は、以下の条件（２）をさらに満たすよう配置されている。
（２）単位領域を、第１方向に沿ってｍ１個（ｍ１は整数）、第２方向に沿ってｎ１個（ｎ１は整数）並べられたｍ１×ｎ１個の長方形格子によって仮想的に分割する場合、第１種第１導線は、単位領域の一対の第１辺上の各格子点または一対の第２辺上の各格子点の少なくともいずれか一方を通るよう配置され、かつ、第２種第１導線も、単位領域の一対の第１辺上の各格子点または一対の第２辺上の各格子点の少なくともいずれか一方を通るよう配置されること。
この場合、第１方向において、第１種第１導線のパターンは、Ｐ１に対応する繰り返し周期を有するようになり、また第２方向においても、第１種第１導線のパターンは、Ｐ２に対応する繰り返し周期を有するようになる。同様に、第１方向において、第２種第１導線のパターンは、Ｐ１に対応する繰り返し周期を有するようになり、また第２方向においても、第２種第１導線のパターンは、Ｐ２に対応する繰り返し周期を有するようになる。このため、複数の単位領域を第１方向および第２方向に沿って隙間なく並べる場合、単位領域の第１辺および第２辺上において、１つの単位領域を構成する第１種第１導線および第２種第１導線が、隣接するその他の単位領域を構成する第１種第１導線および第２種第１導線と交わるようになる。このことは、１つの単位領域に対応する第１導線の配置を設計すれば、あとは複数の単位領域を並べることによって、タッチパネルセンサの全域にわたる第１導線の配置の設計が完了することを意味している。このため本発明によれば、モアレの発生を抑制することができるよう配置された複数の第１導線を、低い負荷で設計することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１は、本発明の実施の形態におけるタッチ位置検出機能付き表示装置を示す展開図。
【図２】図２は、図１のタッチ位置検出機能付き表示装置におけるタッチパネルセンサを示す平面図。
【図３】図３は、図２において符号IIIが付された一点鎖線で囲まれた部分における第１電極を拡大して示す平面図。
【図４】図４は、図３に示す第１単位領域を第１方向および第２方向に沿ってそれぞれ２つ隙間なく並べた場合を示す平面図。
【図５】図５は、第２電極を構成する複数の第２導線の配置の一例を示す図。
【図６】図６は、図３に示す第１導線と、図５に示す第２導線とを重ねて示す図。
【図７】図７（ａ）〜（ｅ）は、タッチパネルセンサの製造方法を説明するための図。
【図８】図８は、第１電極のパターンの変形例を示す平面図。
【図９】図９（ａ）は、第１感光層を露光するための第１露光マスクのパターンの一例を示す平面図、図９（ｂ）は、図９（ａ）に示す第１露光マスクを用いた露光によってパターニングされた第１感光層をレジストとして第１金属層をエッチングすることによって得られる第１導線のパターンの一例を示す平面図。
【図１０】図１０（ａ）は、第１感光層を露光するための第１露光マスクのパターンの好ましい一例を示す平面図、図１０（ｂ）は、図１０（ａ）に示す第１露光マスクを用いた露光によってパターニングされた第１感光層をレジストとして第１金属層をエッチングすることによって得られる第１導線のパターンの一例を示す平面図。
【図１１】図１１は、タッチパネルセンサの層構成の一変形例を示す断面図。
【図１２】図１２は、図１１に示すタッチパネルセンサの貼り合わせの形態の一変形例を示す断面図。
【図１３】図１３は、図１１に示すタッチパネルセンサの貼り合わせの形態の一変形例を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、図１乃至図７（ａ）〜（ｅ）を参照して、本発明の実施の形態の一例について説明する。なお、本明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。
【００２１】
タッチパネル装置およびタッチ位置検出機能付き表示装置
はじめに図１を参照して、タッチ位置検出機能付き表示装置１０について説明する。図１に示すように、タッチ位置検出機能付き表示装置１０は、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイなどの表示装置１５と、表示装置１５の観察者側に配置されたタッチパネルセンサ３０と、を組み合わせることによって構成されている。表示装置１５は、表示面１６ａを有する表示パネル１６と、表示パネル１６に接続された表示制御部（図示せず）と、を有している。表示パネル１６は、映像を表示することができる矩形状のアクティブエリアＡ１と、アクティブエリアＡ１を取り囲むようにしてアクティブエリアＡ１の外側に配置された非アクティブエリア（額縁領域とも呼ばれる）Ａ２と、を含んでいる。表示制御部は、表示されるべき映像に関する情報を処理し、映像情報に基づいて表示パネル１６を駆動する。表示パネル１６は、表示制御部の制御信号に基づいて、所定の映像を表示面１６ａに表示する。すなわち、表示装置１５は、文字や図等の情報を映像として出力する出力装置としての役割を担っている。
【００２２】
タッチパネルセンサ３０は、表示装置１５の表示面１６ａに、例えば接着層（図示せず）を介して接着されている。図１において、タッチパネルセンサ３０のうち観察者側に位置する面に符号３０ａが付され、表示装置１５側に位置する面に符号３０ｂが付されている。なお図示はしないが、タッチパネルセンサ３０の観察者側には、タッチパネルセンサ３０や表示装置１５を保護するための保護カバーが設けられていてもよい。
【００２３】
タッチパネルセンサ
次に図２を参照して、タッチパネルセンサ３０について説明する。図２は、表示装置１５側から見た場合のタッチパネルセンサ３０を示す平面図である。
【００２４】
ここでは、タッチパネルセンサ３０が、投影型の静電容量結合方式のタッチパネルセンサとして構成される例について説明する。なお、「容量結合」方式は、タッチパネルの技術分野において「静電容量」方式や「静電容量結合」方式等とも呼ばれており、本件では、これらの「静電容量」方式や「静電容量結合」方式等と同義の用語として取り扱う。典型的な静電容量結合方式のタッチパネルセンサは、透光性を有する導電性のパターンを有しており、外部の導体（典型的には人間の指）がタッチパネルセンサに接近することにより、外部の導体とタッチパネルセンサの導電性のパターンとの間でコンデンサ（静電容量）が形成される。そして、このコンデンサの形成に伴った電気的な状態の変化に基づき、タッチパネルセンサ上において外部導体が接近している位置の位置座標が特定される。なお本実施の形態によるタッチパネルセンサ３０において採用されている、後述する技術思想は、自己容量方式または相互容量方式のいずれにも対応可能である。
【００２５】
（第１電極）
図２に示すように、タッチパネルセンサ３０は、タッチパネルセンサ３０の一方の側（観察者側）に設けられ、第１方向Ｄ１に沿って一定の配列ピッチＰ１で並べられた複数の第１電極４１と、タッチパネルセンサ３０の他方の側（表示装置１５側）に設けられ、第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２に沿って一定の配列ピッチＰ２で並べられた複数の第２電極４６と、を備えている。本実施の形態において、第１電極４１は、基材３２の第１面３２ａ上に設けられ、第２電極４６は、同一の基材３２の第２面３２ｂ上に設けられている。図２においては、基材３２の第１面３２ａ側に設けられている構成要素が実線で表され、基材３２の第２面３２ｂ側に設けられている構成要素が点線で表されている。第１電極４１の配列ピッチＰ１および第２電極４６の配列ピッチＰ２は、タッチ位置の検出に関して求められる分解能に応じて定められる。例えば、配列ピッチＰ１は１〜２０ｍｍの範囲内になっており、配列ピッチＰ２は１〜２０ｍｍの範囲内になっている。第１方向Ｄ１における第１電極４１の配列ピッチＰ１および第２方向Ｄ２における第２電極４６の配列ピッチＰ２は、同一でもよく、異なっていてもよい。本実施の形態においては、Ｐ１＝Ｐ２となっている。
【００２６】
図２に示すように、第１電極４１は、第１方向Ｄ１に交差する方向、例えば第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２に沿って帯状に延びている。なお図２においては図示を省略しているが、タッチパネルセンサ３０は、タッチパネルセンサ３０の一方の側において第１電極４１の間に設けられた第１ダミー部４２をさらに備えていてもよい。第１ダミー部４２は、第１電極４１と同様に、基材３２の第１面３２ａ上に設けられる。
【００２７】
図２に示すように、第２電極４６は、第２方向Ｄ２に交差する方向、例えば第２方向Ｄ２に直交する第１方向Ｄ１に沿って帯状に延びている。なお図２においては図示を省略しているが、タッチパネルセンサ３０は、タッチパネルセンサ３０の他方の側において第２電極４６の間に設けられた第２ダミー部４７をさらに備えていてもよい。第２ダミー部４７は、第２電極４６と同様に、基材３２の第２面３２ｂ上に設けられる。
【００２８】
後述するように、第１電極４１、第１ダミー部４２、第２電極４６および第２ダミー部４７はいずれも、金属材料を含む導線によって構成される。
【００２９】
相互容量方式が採用される場合、第１電極４１および第２電極４６の一方が駆動電極になり、他方が、駆動電極からの信号電圧が印加される検出電極となる。例えば、表示装置１５側に位置する第２電極４６が、信号電圧が印加される駆動電極として機能し、観察者側に位置する第１電極４１が、駆動電極からの信号電圧を検出する検出電極として機能するよう、第１電極４１および第２電極４６が利用される。また、観察者側に位置する第１電極４１が、信号電圧が印加される駆動電極として機能し、表示装置１５側に位置する第２電極４６が、駆動電極からの信号電圧を検出する検出電極として機能するよう、第１電極４１および第２電極４６を利用してもよい。
【００３０】
図２に示すように、タッチパネルセンサ３０は、タッチ位置を検出され得る領域に対応する矩形状のアクティブエリアＡａ１と、アクティブエリアＡａ１の周辺に位置する矩形枠状の非アクティブエリアＡａ２と、を含んでいる。アクティブエリアＡａ１および非アクティブエリアＡａ２はそれぞれ、表示パネル１６のアクティブエリアＡ１および非アクティブエリアＡ２に対応して区画されたものである。矩形状のアクティブエリアＡａ１の輪郭は、第１方向Ｄ１に延びる長辺と、第２方向Ｄ２に延びる短辺と、を含んでいる。一般には、表示装置１５の画素パターンの配列方向は、第１方向Ｄ１または第２方向Ｄ２に一致している。
【００３１】
上述の第１電極４１、第１ダミー部４２、第２電極４６および第２ダミー部４７は、アクティブエリアＡａ１内に配置される。また非アクティブエリアＡａ２のうち基材３２の第１面３２ａ上には、図２に示すように、各第１電極４１に電気的に接続された複数の第１額縁配線４４ａと、基材３２の外縁近傍に配置され、各第１額縁配線４４ａに電気的に接続された複数の第１端子部４４ｂと、が設けられている。さらに図２に示すように、非アクティブエリアＡａ２のうち基材３２の第２面３２ｂ上には、各第２電極４６に電気的に接続された複数の第２額縁配線４９ａと、基材３２の外縁近傍に配置され、各第２額縁配線４９ａに電気的に接続された複数の第２端子部４９ｂと、が設けられている。
【００３２】
信号を適切に伝達することができる限りにおいて、第１額縁配線４４ａおよび第１端子部４４ｂ並びに第２額縁配線４９ａおよび第２端子部４９ｂの具体的な構成が特に限られることはない。例えば第１額縁配線４４ａおよび第１端子部４４ｂは、第１電極４１および第１ダミー部４２を構成する後述する第１導線５１と同一の層構成で第１導線５１と同時に形成されるものであってもよい。同様に、第２額縁配線４９ａおよび第２端子部４９ｂは、第２電極４６および第２ダミー部４７を構成する後述する第２導線と同一の層構成で第２導線と同時に形成されるものであってもよい。
【００３３】
（基材）
基材３２は、タッチパネルセンサ３０において誘電体として機能するものである。基材３２を構成する材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）やガラスなど、十分な透光性を有する材料が用いられる。基材３２が例えばＰＥＴを含む場合、ＰＥＴの厚みは例えば１００〜２００μｍの範囲内になっている。なお第１電極４１、第２電極４６、額縁配線４４ａ，４９ａや端子部４４ｂ，４９ｂを適切に保持することができる限りにおいて、基材３２の具体的な構成が特に限られることはない。例えば、ＰＥＴ層などの表面に設けられたハードコート層がさらに基材３２に含まれていてもよい。すなわち本実施の形態において、基材３２とは、何らかの具体的な構造や材料を意味するものではなく、タッチパネルセンサ３０を構成する第１電極４１や第２電極４６などのパターンの下地となるものを意味するに過ぎない。
【００３４】
（第１電極および第１ダミー部）
次に、第１電極４１および第１ダミー部４２のパターンについて詳細に説明する。図３は、図２において符号IIIが付された一点鎖線で囲まれた領域を、観察者側から見た場合を示す平面図である。図３に示すように、第１電極４１および第１ダミー部４２は、遮光性および導電性を有する複数の第１導線５１を、各第１導線５１の間に四角形状の開口部５２が形成されるよう網目状に配置することによって構成されている。第１導線５１は、後述するように、金属材料からなる第１金属層６１を含んでいる。第１導線５１に含まれる金属材料としては、例えば、銀、銅、アルミニウムまたはこれらの合金等を挙げることができる。
【００３５】
次に、第１電極４１および第１ダミー部４２のパターンの規則性について説明する。本実施の形態においては、タッチパネルセンサ３０の一方の側の領域を、第１方向Ｄ１に延びる長さＰ１の一対の第１辺８１と、第２方向Ｄ２に延びる長さＰ２の一対の第２辺８６とを有する複数の長方形状の第１単位領域８０によって区画する場合、各第１単位領域８０において第１導線５１が同一のパターンを有している。ここで長さＰ１は、第１方向Ｄ１における第１電極４１の上述の配列ピッチＰ１に等しく、また長さＰ２は、第２方向Ｄ２における第２電極４６の上述の配列ピッチＰ２に等しい。またタッチパネルセンサ３０の一方の側における複数の第１導線５１のパターンは、複数の第１単位領域８０を第１方向Ｄ１および第２方向Ｄ２に沿って隙間なく並べることによって構成されている。図３は、複数の第１単位領域８０によって構成されたタッチパネルセンサ３０の一方の側の領域のうちの１つの第１単位領域８０を拡大して示している。
【００３６】
図３に示すように、第１電極４１および第１ダミー部４２を構成する複数の第１導線５１は、四角形状の開口部５２の対向する一対の辺を構成する第１種第１導線５３と、四角形状の開口部５２の対向するその他の一対の辺を構成する第２種第１導線５４と、に分類される。図３に示す例において、第１種第１導線５３および第２種第１導線５４は、互いに直交するように配置されており、この結果、四角形状の開口部５２は矩形状になっている。より具体的には、図３に示す四角形状の開口部５２は正方形状になっている。なお、後述する条件（１）および（２）が満たされる限りにおいて、開口部５２の形状が特に限られることはない。例えば、菱形などの平行四辺形や、非平行四辺形などが、開口部５２の形状として採用され得る。開口部５２の寸法は、第１電極４１や第１ダミー部４２が広がる領域の面積のうち開口部５２によって占められる面積の比率（以下、開口率と称する）が十分に高くなり、これによって、表示装置１５からの映像光が適切な透過率でタッチパネルセンサ３０のアクティブエリアＡａ１を透過することができるよう、設定されている。
【００３７】
第１導線５１の線幅は、求められる開口率などに応じて設定されるが、例えば第１導線５１の幅は１〜１０μｍの範囲内、より好ましくは２〜７μｍの範囲内に設定されている。これによって、観察者が視認する映像に対して第１導線５１が及ぼす影響を、無視可能な程度まで低くすることができる。第１導線５１の厚みは、第１電極４１に対して求められる電気抵抗値などに応じて適宜設定されるが、例えば０．１〜４．０μｍの範囲内となっている。
【００３８】
図３に示すように、第１電極４１を構成する第１導線５１と第１ダミー部４２を構成する第１導線５１との間には、複数の分断部５１ａが設けられている。このような分断部５１ａを設けることにより、第１電極４１と第１ダミー部４２との間を電気的に絶縁することができる。分断部５１ａおよび第１導線５１は、１つの分断部５１ａを挟んで隣接する２つの第１導線５１の一方を延長した線が他方の第１導線５１に重なるよう、構成されている。これによって、第１導線５１のパターンが目立ってしまうことを抑制することができる。なお図示はしないが、第１ダミー部４２を構成する第１導線５１同士の間にも、分断部５１ａが設けられていてもよい。
【００３９】
第１電極４１と第１ダミー部４２との間の境界部の形状、すなわち第１電極４１の輪郭は、第１電極４１と第１ダミー部４２との間の分断部５１ａの配置によって画定される。図３において、タッチパネルセンサ３０の一方の側からタッチパネルセンサ３０を見た場合における、すなわち平面視における第１電極４１の輪郭が、一点鎖線によって示されている。
【００４０】
以下、第１導線５１のパターンについてより詳細に説明する。本実施の形態において、複数の第１導線は、以下の条件（１）を満たすよう配置されている。
（１）第１種第１導線５３または第２種第１導線５４のいずれか一方は、第１方向Ｄ１に対して３０〜４０°の範囲内の角度を成すこと。
図３において、第１種第１導線５３が第１方向Ｄ１に対して成す角度がθ１１で表されており、第２種第１導線５４が第１方向Ｄ１に対して成す角度がθ２１で表されている。図３に示す例においては、第１種第１導線５３が第１方向Ｄ１に対して成す角度θ１１が３０〜４０°の範囲内になるよう、第１導線５１が配置されている。上述のように、図３に示す例において第１種第１導線５３および第２種第１導線５４は互いに直交しており、このため、第２種第１導線５４が第１方向Ｄ１に対して成す角度θ２１は１２０〜１３０°の範囲内になっている。
【００４１】
本実施の形態によれば、第１種第１導線５３が第１方向Ｄ１に対して成す角度θ１１が、４５°および９０°のいずれからもある程度ずれた角度になっている。このため、表示装置１５の画素パターンと第１導線５１のパターンとの間でモアレが発生してしまうことを抑制することができる。
【００４２】
ところで、上述のように第１導線５１の第１種第１導線５３を第１方向Ｄ１に対して傾ける場合、第１導線５１が並べられる方向が、第１方向Ｄ１や第２方向Ｄ２とは相違するようになる。この場合、１つの分断部５１ａを挟んで隣接する２つの第１導線５１の一方を延長した線が他方の第１導線５１に重なるようにするためには、従来、複数の第１電極４１における第１導線５１の配置をそれぞれ個別に設計することが必要であった。このため、第１導線５１の配置の設計に要する負荷が極めて高くなっていた。
【００４３】
このような課題を解決するため、本実施の形態においては、以下の条件（２）をさらに満たすように複数の第１導線５１を配置することを提案する。
（２）第１単位領域８０を、第１方向Ｄ１に沿ってｍ１個（ｍ１は整数）、第２方向Ｄ２に沿ってｎ１個（ｎ１は整数）並べられたｍ１×ｎ１個の長方形格子によって仮想的に分割する場合、第１種第１導線５３は、第１単位領域８０の一対の第１辺８１上の各格子点または一対の第２辺８６上の各格子点の少なくともいずれか一方を通るよう配置され、かつ、第２種第１導線５４も、第１単位領域８０の一対の第１辺８１上の各格子点または一対の第２辺８６上の各格子点の少なくともいずれか一方を通るよう配置されること。
図３に示す第１単位領域８０の第１導線５１は、上述の条件（１）に加えて条件（２）をも満たすように配置されている。以下、図３に示す例において条件（２）がどのように満たされているかについて説明する。
【００４４】
図３において、第１単位領域８０を仮想的に分割するｍ１×ｎ１個の長方形格子が点線で示されている。図３においては、第１方向Ｄ１に沿って延びる点線が符号８２で表され、第２方向Ｄ２に沿って延びる点線が符号８７で表されている。図３に示す例において、上述のｍ１およびｎ１はいずれも８になっている。また、長方形格子の格子点のうち、第１方向Ｄ１に延びる第１辺８１上に位置する格子点が符号８３で表され、第２方向Ｄ２に延びる第２辺８６上に位置する格子点が符号８８で表されている。
【００４５】
図３に示すように、複数の第１種第１導線５３はいずれも、第１単位領域８０の一対の第２辺８６上の各格子点８８を通るように配置されている。この場合、第２方向Ｄ２において、第１種第１導線５３のパターンは、Ｐ２／ｎ１すなわちＰ２／８の繰り返し周期を有するようになる。また第１方向Ｄ１においても、第１種第１導線５３のパターンは、Ｐ１／ｔ１１（ｔ１１は整数）の繰り返し周期を有するようになる。ここでｔ１１は、一対の第２辺８６の一方から他方へ第１種第１導線５３が至るまでの間の、第２方向Ｄ２における変位量に対応している。例えば図３に示す例において、第１種第１導線５３は、一対の第２辺８６の一方から他方へ至るまでの間に、第２方向Ｄ２において長方形格子５個分だけ変位する。従って、ｔ１１は５となる。すなわち第１方向Ｄ１において、第１種第１導線５３のパターンは、Ｐ１／５の繰り返し周期を有している。なお上述の条件（１）および（２）を満たすことができる限りにおいて、第１種第１導線５３が一対の第２辺８６の一方から他方へいたるまでの間に第２方向Ｄ２において変位する量が特に限られることはない。
【００４６】
また図３に示すように、複数の第２種第１導線５４はいずれも、第１単位領域８０の一対の第１辺８１上の各格子点８３を通るように配置されている。この場合、第１方向Ｄ１において、第２種第１導線５４のパターンは、Ｐ１／ｍ１すなわちＰ１／８の繰り返し周期を有するようになる。また第２方向Ｄ２においても、第２種第１導線５４のパターンは、Ｐ２／ｔ２１（ｔ２１は整数）の繰り返し周期を有するようになる。ここでｔ２１は、一対の第１辺８１の一方から他方へ第２種第１導線５４が至るまでの間の、第１方向Ｄ１における変位量に対応している。例えば図３に示す例において、第２種第１導線５４は、一対の第１辺８１の一方から他方へ至るまでの間に、第１方向Ｄ１において長方形格子５個分だけ変位する。従って、ｔ２１は５となる。すなわち第２方向Ｄ２において、第２種第１導線５４のパターンは、Ｐ２／５の繰り返し周期を有している。なお上述の条件（１）および（２）を満たすことができる限りにおいて、第２種第１導線５４が一対の第１辺８１の一方から他方へいたるまでの間に第１方向Ｄ１において変位する量が特に限られることはない。
【００４７】
上述のように、本実施の形態において、Ｐ１＝Ｐ２かつｍ１＝ｎ１になっている。また、上述のｔ１１およびｔ２１は互いに等しくなっている。このため、第１種第１導線５３および第２種第１導線５４によって構成される開口部５２は、上述のように正方形状になっている。
【００４８】
上述のように、第１種第１導線５３のパターンおよび第２種第１導線５４のパターンはいずれも、第１方向Ｄ１および第２方向Ｄ２において、Ｐ１およびＰ２を整数で割ることによって算出される繰り返し周期を有している。このため、複数の第１単位領域８０を第１方向Ｄ１および第２方向Ｄ２に沿って隙間なく並べる場合、第１単位領域８０の第１辺８１および第２辺８６上において、１つの第１単位領域８０を構成する第１種第１導線５３および第２種第１導線５４は、隣接するその他の第１単位領域８０を構成する第１種第１導線５３および第２種第１導線５４と交わるようになる。このことは、１つの第１単位領域８０に対応する第１導線５１の配置を設計すれば、あとは複数の第１単位領域８０を並べることによって、タッチパネルセンサ３０の全域にわたる第１導線５１の配置の設計が完了することを意味している。
【００４９】
図４は、図３に示す第１単位領域８０を第１方向Ｄ１および第２方向Ｄ２に沿ってそれぞれ２つ隙間なく並べた場合を示す平面図である。図４に示すように、第１導線５１の第１種第１導線５３および第２種第１導線５４はいずれも、隣接する２つの第１単位領域８０間の第１辺８１上の格子点８３および第２辺８６上の格子点８８で交わっている。すなわち、複数の第１単位領域８０は、第１種第１導線５３および第２種第１導線５４が滑らかに接続されるように並べられている。このため、隣接する２つの第１単位領域８０間で第１種第１導線５３や第２種第１導線５４のパターンが目立ってしまうことを抑制することができる。
【００５０】
（第２電極および第２ダミー部）
次に図５を参照して、第２電極４６および第２ダミー部４７について説明する。上述の第１電極４１および第１ダミー部４２の場合と同様に、第２電極４６および第２ダミー部４７も、遮光性および導電性を有する複数の第２導線５６を、各第２導線５６の間に四角形状の開口部５７が形成されるよう網目状に配置することによって構成されていてもよい。第２導線５６は、後述するように、金属材料からなる第１金属層６１を含んでいる。第２導線５６に含まれる金属材料としては、例えば、銀、銅、アルミニウムまたはこれらの合金等を挙げることができる。第２導線５６の線幅や開口部５７の開口率は、上述の第１導線５１や開口部５２の場合と同様であるので、詳細な説明を省略する。
【００５１】
第１導線５１の場合と同様に、第２導線５６に関しても、タッチパネルセンサ３０の他方の側の領域を、第１方向Ｄ１に延びる長さＰ１の一対の第１辺９１と、第２方向Ｄ２に延びる長さＰ２の一対の第２辺９６とを有する複数の長方形状の第２単位領域９０によって区画する場合、各第２単位領域９０において第２導線５６は同一のパターンを有していてもよい。この場合、タッチパネルセンサ３０の他方の側における複数の第２導線５６のパターンは、複数の第２単位領域９０を第１方向Ｄ１および第２方向Ｄ２に沿って隙間なく並べることによって構成されている。図５は、複数の第２単位領域９０によって構成されたタッチパネルセンサ３０の他方の側の領域のうちの１つの第２単位領域９０を、タッチパネルセンサ３０の一方の側から透視して見た場合の図である。
【００５２】
図５に示すように、第２電極４６および第２ダミー部４７を構成する複数の第２導線５６は、四角形状の開口部５７の対向する一対の辺を構成する第１種第２導線５８と、四角形状の開口部５７の対向するその他の一対の辺を構成する第２種第２導線５９と、に分類される。また図５に示すように、第２電極４６を構成する第２導線５６と第２ダミー部４７を構成する第２導線５６との間には、複数の分断部５６ａが設けられている。分断部５６ａおよび第２導線５６は、１つの分断部５６ａを挟んで隣接する２つの第２導線５６の一方を延長した線が他方の第２導線５６に重なるよう、構成されている。
【００５３】
第２導線５６も、上述の第１導線５１の場合と同様に、モアレが発生することを抑制するとともに、パターンの設計が容易になるように構成されている。具体的には、複数の第２導線５６は、以下の条件（３）を満たすよう配置されている。
（３）第１種第２導線５８または第２種第２導線５９のいずれか一方は、第１方向Ｄ１に対して５０〜６０°の範囲内の角度を成すこと。
図５において、第１種第２導線５８が第１方向Ｄ１に対して成す角度がθ１２で表されており、第２種第２導線５９が第１方向Ｄ１に対して成す角度がθ２２で表されている。図５に示す例においては、第１種第２導線５８が第１方向Ｄ１に対して成す角度θ１２が５０〜６０°の範囲内になるよう、第２導線５６が配置されている。図５に示す例において第１種第２導線５８および第２種第２導線５９は互いに直交しており、このため、第２種第２導線５９が第１方向Ｄ１に対して成す角度θ２２は１４０〜１５０°の範囲内になっている。これらのことにより、表示装置１５の画素パターンと第２導線５６のパターンとの間でモアレが発生してしまうことを抑制することができる。
【００５４】
また複数の第２導線５６は、以下の条件（４）をさらに満たすよう配置されている。
（４）第２単位領域９０を、第１方向Ｄ１に沿ってｍ２個（ｍ２は整数）、第２方向Ｄ２に沿ってｎ２個（ｎ２は整数）並べられたｍ２×ｎ２個の長方形格子によって仮想的に分割する場合、第１種第２導線５８は、第２単位領域９０の一対の第１辺９１上の各格子点または一対の第２辺９６上の各格子点の少なくともいずれか一方を通るよう配置され、かつ、第２種第２導線５９も、第２単位領域９０の一対の第１辺９１上の各格子点または一対の第２辺９６上の各格子点の少なくともいずれか一方を通るよう配置されること。
【００５５】
図５において、第２単位領域９０を仮想的に分割するｍ２×ｎ２個の長方形格子が点線で示されている。図５においては、第１方向Ｄ１に沿って延びる点線が符号９２で表され、第２方向Ｄ２に沿って延びる点線が符号９７で表されている。図５に示す例において、上述のｍ２およびｎ２はいずれも８になっている。また、長方形格子の格子点のうち、第１方向Ｄ１に延びる第１辺９１上に位置する格子点が符号９３で表され、第２方向Ｄ２に延びる第２辺９６上に位置する格子点が符号９８で表されている。なお図５においては、ｍ２およびｎ２が上述のｍ１およびｎ１と同一である例を示したが、これに限られることはなく、ｍ２およびｎ２が上述のｍ１およびｎ１とは異なっていてもよい。
【００５６】
図５に示すように、複数の第１種第２導線５８はいずれも、第２単位領域９０の一対の第１辺９１上の各格子点９３を通るように配置されている。この場合、第１方向Ｄ１において、第１種第２導線５８のパターンは、Ｐ１／ｍ２すなわちＰ１／８の繰り返し周期を有するようになる。また第２方向Ｄ２においても、第１種第２導線５８のパターンは、Ｐ２／ｔ１２（ｔ１２は整数）の繰り返し周期を有するようになる。ここでｔ１２は、一対の第１辺９１の一方から他方へ第１種第２導線５８が至るまでの間の、第１方向Ｄ１における変位量に対応している。例えば図５に示す例において、第１種第２導線５８は、一対の第１辺９１の一方から他方へ至るまでの間に、第１方向Ｄ１において長方形格子５個分だけ変位する。従って、ｔ１２は５となる。すなわち第２方向Ｄ２において、第１種第２導線５８のパターンは、Ｐ２／５の繰り返し周期を有している。
【００５７】
また図５に示すように、複数の第２種第２導線５９はいずれも、第２単位領域９０の一対の第２辺９６上の各格子点９８を通るように配置されている。この場合、第２方向Ｄ２において、第２種第２導線５９のパターンは、Ｐ２／ｎ２すなわちＰ２／８の繰り返し周期を有するようになる。また第１方向Ｄ１においても、第２種第２導線５９のパターンは、Ｐ１／ｔ２２（ｔ２２は整数）の繰り返し周期を有するようになる。ここでｔ２２は、第２辺９６の一方から他方へ第２種第２導線５９が至るまでの間の、第２方向Ｄ２における変位量に対応している。例えば図５に示す例において、第２種第２導線５９は、一対の第２辺９６の一方から他方へ至るまでの間に、第２方向Ｄ２において長方形格子５個分だけ変位する。従って、ｔ２２は５となる。すなわち第１方向Ｄ１において、第２種第２導線５９のパターンは、Ｐ１／５の繰り返し周期を有している。
【００５８】
上述のように、第１種第２導線５８のパターンおよび第２種第２導線５９のパターンはいずれも、第１方向Ｄ１および第２方向Ｄ２において、Ｐ１およびＰ２を整数で割ることによって算出される繰り返し周期を有している。このため、第１導線５１の場合と同様に、第２導線５６を設計する作業を容易化することができる。
【００５９】
図６は、図３に示す第１導線５１のパターンと、図５に示す第２導線５６のパターンとを重ねて示す図である。上述のように、第１導線５１の第１種第１導線５３と第１方向Ｄ１とが成す角度θ１１は３０〜４０°の範囲内になっており、第１導線５１の第２種第１導線５４と第１方向Ｄ１とが成す角度θ２１は１２０〜１３０°の範囲内になっている。また、第２導線５６の第１種第２導線５８と第１方向Ｄ１とが成す角度θ１２は５０〜６０°の範囲内になっており、第２導線５６の第２種第２導線５９と第１方向Ｄ１とが成す角度θ２２は１４０〜１５０°の範囲内になっている。このため、表示装置１５の画素パターンと第１導線５１のパターンおよび第２導線５６のパターンとの間でモアレが発生してしまうことを抑制することができる。また、第１導線５１のパターンと第２導線５６のパターンとの間でモアレが発生してしまうことを抑制することができる。なお図６においては、第１単位領域８０の第１辺８１および第２辺８６と第２単位領域９０の第１辺９１および第２辺９６とが重なるように第１単位領域８０と第２単位領域９０とが重ねられる例を示したが、これに限られることはない。
【００６０】
タッチパネルセンサの製造方法
次に、以上のような構成からなるタッチパネルセンサ３０を製造する方法について、図７（ａ）〜（ｅ）を参照して説明する。
【００６１】
はじめに図７（ａ）に示すように、タッチパネルセンサ３０を作製するための元材としての積層体６０（ブランクとも呼ばれる）を準備する。積層体６０は、基材３２と、基材３２の第１面３２ａ上に設けられ、遮光性および導電性を有する第１金属層６１と、基材３２の第２面３２ｂ上に設けられ、遮光性および導電性を有する第２金属層６６と、を備えている。基材３２の各面３２ａ，３２ｂ上に金属層６１，６６を設ける方法が特に限られることはなく、蒸着法やスパッタリング法などの公知の方法が適宜用いられ得る。
【００６２】
次に図７（ｂ）に示すように、第１金属層６１上に第１感光層７１を設け、かつ、第２金属層６６上に第２感光層７６を設ける。第１感光層７１および第２感光層７６は、特定波長域の光、例えば紫外線に対する感光性を有している。感光層７１，７６のタイプが特に限られることはない。例えば光溶解型の感光層が用いられてもよく、若しくは光硬化型の感光層が用いられてもよい。ここでは、光硬化型の感光層が用いられる例について説明する。第１金属層６１上および第２金属層６６上に第１感光層７１および第２感光層７６を設ける方法としては、例えば、ドライフィルムレジストを第１金属層６１上および第２金属層６６上にそれぞれ貼付するという方法や、感光材を第１金属層６１上および第２金属層６６上にそれぞれ塗布するという方法を採用することができる
【００６３】
（露光工程）
その後、図７（ｂ）に示すように、所定のパターンで遮光部７２ａおよび開口部７２ｂが形成された第１露光マスク７２を第１感光層７１の近傍に設置し、かつ、所定のパターンで遮光部７７ａおよび開口部７７ｂが形成された第２露光マスク７７を第２感光層７６の近傍に設置する。第１露光マスク７２の遮光部７２ａのパターンは、開口部５２および分断部５１ａのパターンに対応しており、第１露光マスク７２の開口部７２ｂのパターンは、第１導線５１のパターンに対応している。また第２露光マスク７７の遮光部７７ａのパターンは、開口部５７および分断部５６ａのパターンに対応しており、第２露光マスク７７の開口部７７ｂのパターンは、第２導線５６のパターンに対応している。次に、第１露光マスク７２に対する第２露光マスク７７の相対位置を調整する。例えば、第１露光マスク７２または第２露光マスク７７のいずれか一方の露光マスクに形成されているアライメントマークを基準として、他方の露光マスクの位置を調整する。若しくは、基材３２などに設けられている同一のアライメントマークを共通に用いて、第１露光マスク７２および第２露光マスク７７の位置を調整する。これによって、第１露光マスク７２に対して高い位置精度で第２露光マスク７７を配置することができる。その後、第１露光マスク７２を介して第１感光層７１に所定のパターンで露光光を照射し、かつ、第２露光マスク７７を介して第２感光層７６に所定のパターンで露光光を照射する露光工程を実施する。なお、第１感光層７１に対する露光光の照射と、第２感光層７６に対する露光光の照射は、同時に実施されてもよく、異なるタイミングで実施されてもよい。
【００６４】
（現像工程）
次に、第１感光層７１および第２感光層７６を現像する。これによって、図７（ｃ）に示すように、パターニングされた第１感光層７１および第２感光層７６を得ることができる。
【００６５】
ここで上述のように、第１導線５１のパターンは、上述の条件（１）および（２）を満たすように配置された第１種第１導線５３および第２種第１導線５４を含む第１単位領域８０を第１方向Ｄ１および第２方向Ｄ２に沿って隙間なく並べることによって構成されている。従って、パターニングされた第１感光層７１のパターン、並びに、第１露光マスク７２の遮光部７２ａのパターンおよび開口部７２ｂのパターンも同様に、第１方向Ｄ１および第２方向Ｄ２において、第１単位領域８０に対応する繰り返し周期を有している。このため、第１露光マスク７２の遮光部７２ａのパターンおよび開口部７２ｂのパターンを全域にわたって個々に設計する場合に比べて、第１露光マスク７２の設計に要する負荷を低減することができる。第２露光マスク７７についても同様である。
【００６６】
（エッチング工程）
その後、図７（ｄ）に示すように、第１感光層７１をレジストとして第１金属層６１をウェットエッチングする。これによって、第１電極４１および第１ダミー部４２の第１導線５１に対応するパターンで第１金属層６１をパターニングすることができる。また、第２感光層７６をレジストとして第２金属層６６をウェットエッチングする。これによって、第２電極４６および第２ダミー部の第２導線５６に対応するパターンで第２金属層６６をパターニングすることができる。次に、図７（ｅ）に示すように、感光層７１，７６を除去する。このようにして、上述のタッチパネルセンサ３０を得ることができる。
【００６７】
なお図示はしないが、第１導線５１および第２導線５６には、第１導線５１および第２導線５６による光の反射を抑制するための低反射処理が施されていてもよい。例えば第１導線５１の表面には、黒化処理が施されていてもよい。また、第２導線５６は、金属材料からなる層に加えて、金属材料からなる層と基材３２の第２面３２ｂとの間に設けられた低反射層をさらに含んでいてもよい。
【００６８】
本実施の形態において、第１導線５１および第２導線５６は、第１方向Ｄ１に対して所定の角度でずらされており、かつ、第１方向Ｄ１および第２方向Ｄ２において第１電極４１の配列ピッチＰ１および第２電極４６の配列ピッチＰ２に対応した繰り返し周期を有している。このため、モアレの発生を抑制することができるよう配置された複数の第１導線５１および第２導線５６、並びに第１導線５１および第２導線５６を製造するために用いられる第１露光マスク７２および第２露光マスク７７を、低い負荷で設計することができる。
【００６９】
変形例
上述した実施の形態に対して様々な変更を加えることが可能である。以下、図面を参照しながら、いくつかの変形例について説明する。以下の説明および以下の説明で用いる図面では、上述した実施の形態と同様に構成され得る部分について、上述の各実施の形態における対応する部分に対して用いた符号と同一の符号を用いることとし、重複する説明を省略する。また、上述した実施の形態において得られる作用効果が変形例においても得られることが明らかである場合、その説明を省略することもある。
【００７０】
（第１の変形例）
上述の実施の形態の形態においては、電極４１，４６が帯状に延びるいわゆるストライプパターンが採用される例を示した。しかしながら、電極４１，４６のパターンが特に限られることはない。例えば図８に示すように、第１電極４１は、第１電極４１が延びる方向に沿って並べられた複数の第１膨出部４１ａと、隣接する２つの第１膨出部４１ａを接続する第１ライン部４１ｂと、を有していてもよい。第２電極４６についても同様である。すなわち、電極４１，４６のパターンとして、いわゆるダイヤモンドパターンが採用されてもよい。
【００７１】
図８に示すダイヤモンドパターンが採用される場合、第１方向Ｄ１および第２方向Ｄ２における第１膨出部４１ａおよび第１ライン部４１ｂの繰り返し周期が、Ｐ１およびＰ２に対応したものとなるよう、第１膨出部４１ａおよび第１ライン部４１ｂが構成される。図８においては、第１方向Ｄ１および第２方向Ｄ２における第１膨出部４１ａおよび第１ライン部４１ｂの繰り返し周期が、それぞれＰ１およびＰ２である例が示されている。これによって、図８に示すように、隣接する２つの第１単位領域８０間でダイヤモンドパターンを滑らかに接続することができる。
【００７２】
（第２の変形例）
次に図９および図１０を参照して、本発明の第２の変形例について説明する。ここでは、ウェットエッチングによって金属層６１，６６をパターニングして導線５１，５６を作製する場合に金属層６１，６６上に形成される感光層７１，７６を露光するための露光マスク７２，７７の具体的なパターンの例について説明する。本実施の形態において、上述の本実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。また、上述の本実施の形態において得られる作用効果が本実施の形態においても得られることが明らかである場合、その説明を省略することもある。
【００７３】
図９（ａ）は、第１感光層７１を露光するための第１露光マスク７２のパターンの一例を示す平面図である。ここでは、第１導線５１の交点５１ｃとなる部分およびその周辺の部分に照射される露光光を生成するための第１露光マスク７２のパターンについて具体的に説明する。図９（ａ）に示すように、第１露光マスク７２は、第１導線５１に対応するパターンで線状に延びる複数の開口部７２ｂと、線状に延びる開口部７２ｂを画定するように広がる遮光部７２ａと、を含んでいる。図９（ａ）において、異なる方向に線状に延びる開口部７２ｂが互いに接続される部分（以下、接続部分とも称する）が符号７２ｋで表され、また線状に延びる開口部７２ｂの交点が符号７２ｃで表されている。図９（ａ）に示す例において、第１露光マスク７２の線状に延びる開口部７２ｂは、交点７２ｃからの距離に依らず同一の幅ｓを有している。
【００７４】
図９（ｂ）は、図９（ａ）に示す第１露光マスク７２を用いて露光することにより得られた第１感光層７１をレジストとして第１金属層６１をウェットエッチングすることによって得られる第１導線５１のパターンの一例を示す平面図である。図９（ｂ）に示すように、異なる方向に延びる第１導線５１が互いに接続される接続部分５１ｋの形状は、第１露光マスク７２の対応する接続部分７２ｋの形状とは異なっている。具体的には、第１導線５１の接続部分５１ｋは、第１露光マスク７２の接続部分７２ｋよりも広がった形状を有している。このことは、第１露光マスク７２を用いて第１感光層７１を露光する際に、第１感光層７１の解像性の限界のため、接続部分７２ｋの形状が完全には第１感光層７１に反映されず、第１露光マスク７２の接続部分７２ｋに対応する第１感光層７１の接続部分の形状が、図９（ｂ）に示す第１導線５１の接続部分５１ｋのように鈍った形状になることに起因していると考えられる。また、第１金属層６１をウェットエッチングする際に、第１露光マスク７２の接続部分７２ｋに対応する第１感光層７１の接続部分のところにまでエッチング液が十分に侵入することができないことにも起因していると考えられる。接続部分５１ｋにおける第１金属層６１のエッチングが不完全なものであるため、図９（ｂ）に示すように、交点５１ｃの近傍における第１導線５１の幅ｗ１が、交点５１ｃから遠い部分における第１導線５１の幅ｗ２よりも大きくなってしまう。このことは、交点５１ｃ近傍の領域における光の反射率が、交点５１ｃから遠い領域における光の反射率よりも高くなり、この結果、交点５１ｃが視認されやすくなる、ということを導く。すなわち、交点５１ｃからの距離に応じて、光の反射率および透過率が局所的にばらついてしまうことが考えられる。
【００７５】
このような課題を考慮すると、図１０（ａ）に示すようなパターンで第１露光マスク７２の接続部分７２ｋが形成されることが好ましいと考えらえる。図１０（ａ）に示す例において、第１露光マスク７２の線状に延びる開口部７２ｂのうち、接続部分７２ｋに接しているまたは接続部分７２ｋを含む部分（以下、第１部分とも称する）が符号７２ｘで表されている。また、第１露光マスク７２の線状に延びる開口部７２ｂのうち、第１部分７２ｘよりも交点７２ｃから遠位に設けられ、かつ第１部分７２ｘに接続されている部分（以下、第２部分とも称する）が符号７２ｙで表されている。また、第２部分７２ｙを交点７２ｃ近傍にまで仮想的に延長した場合の線が点線で表されている。図１０（ａ）に示すように、第１露光マスク７２の線状に延びる開口部７２ｂの第１部分７２ｘは、第２部分７２ｙを延長した点線よりも交点７２ｃ側に位置するよう設けられている。すなわち、第１露光マスク７２の遮光部７２ａは、図９（ａ）に示す場合に比べて、交点７２ｃに向かって突出している。この結果、第１露光マスク７２の線状に延びる開口部７２ｂの第１部分７２ｘの幅ｓ１は、第２部分７２ｙの幅ｓ２よりも小さくなっている。
【００７６】
図１０（ｂ）は、図１０（ａ）に示す第１露光マスク７２を用いて露光することにより得られた第１感光層７１をレジストとして第１金属層６１をウェットエッチングすることによって得られる第１導線５１のパターンの一例を示す平面図である。上述のように、図１０（ａ）に示す例において、第１露光マスク７２の線状に延びる開口部７２ｂの第１部分７２ｘは、第２部分７２ｙを延長した点線よりも交点７２ｃ側に位置するよう設けられている。このことは、ウェットエッチングの際に、第２部分７２ｙを延長した仮想的な点線が互いに交わる部分に対応して除去された第１感光層７１の位置にまでエッチング液が侵入し易くなることを導く。このため図１０（ｂ）に示すように、交点５１ｃ近傍の領域における第１導線５１の幅ｗ１が、交点５１ｃから遠い領域における第１導線５１の幅ｗ２よりも大きくなってしまうことを抑制することができる。これによって、交点５１ｃ近傍の領域における光の反射率が、交点５１ｃから遠い領域における光の反射率よりも高くなってしまうことを抑制することができる。このことにより、交点５１ｃが視認されることを抑制することができる。
【００７７】
なお、第１露光マスク７２の接続部分７２ｋに対応して形成される第１感光層７１の接続部分にエッチング液が侵入し易くなるようにすることができる限りにおいて、第１露光マスク７２の線状に延びる開口部７２ｂの第１部分７２ｘの具体的な形状が特に限られることはなく、様々な形状が適宜採用され得る。また図示はしないが、第２露光マスク７７の線状に延びる開口部７７ｂも、第１露光マスク７２の場合と同様の第１部分および第２部分を有していてもよい。
【００７８】
ところで、タッチパネルセンサ３０において、第１導線５１の交点５１ｃは多数存在しており、従って第１露光マスク７２において、第１導線５１の交点５１ｃに対応する交点７２ｃも多数存在している。このため、接続部分７２ｋの形状の上述の補正が各交点７２ｃに対して個別に実施される場合、第１露光マスク７２の設計の負荷が非常に高くなる。一方、本実施の形態においては上述のように、タッチパネルセンサ３０の第１導線５１のパターン並びに第１露光マスク７２の遮光部７２ａのパターンおよび開口部７２ｂのパターンは、第１方向Ｄ１および第２方向Ｄ２において第１電極４１の配列ピッチＰ１および第２電極４６の配列ピッチＰ２に対応した繰り返し周期を有している。このため、１つの第１単位領域８０に対応する第１露光マスク７２の１つの領域において接続部分７２ｋの形状の補正を実施すれば、その補正を第１露光マスク７２の全域にわたって適用させることができる。
【００７９】
（第３の変形例）
上述の実施の形態の形態においては、第１電極４１および第１ダミー部４２を構成する第１導線５１が、基材３２の第１面３２ａ上に設けられ、第２電極４６および第２ダミー部４７を構成する第２導線５６が、基材３２の第２面３２ｂ上に設けられる例を示した。しかしながら、第１導線５１または第２導線５６が第１方向Ｄ１および第２方向Ｄ２において所定の繰り返し周期を有する限りにおいて、タッチパネルセンサ３０の層構成が特に限られることはない。例えば図１１に示すように、互いに対向する２つの基材３２Ａ，３２Ｂの対向面の一方（第１の基材３２Ａ）に第１導線５１を設け、他方（第２の基材３２Ｂ）に第２導線５６を設け、そして２つの基材３２Ａ，３２Ｂを貼り合わせてもよい。このように２つの基材３２を貼り合わせる場合であっても、第１導線５１によって、タッチパネルセンサ３０の一方の側に設けられる第１電極４１および第１ダミー部４２を構成することができ、また第２導線５６によって、タッチパネルセンサ３０の他方の側に設けられる第２電極４６および第２ダミー部４７を構成することができる。
【００８０】
なお図１１においては、第１の基材３２Ａのうち第１導線５１が設けられている面と、第２の基材３２Ｂのうち第２導線５６が設けられている面とが向かい合うように２つの基材３２Ａ，３２Ｂを貼りあわせる例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、図１２に示すように、第１の基材３２Ａのうち第１導線５１が設けられている面とは反対側の面と、第２の基材３２Ｂのうち第２導線５６が設けられている面とは反対側の面とが向かい合うように、２つの基材３２Ａ，３２Ｂを貼りあわせてもよい。その他にも、図１３に示すように、第１の基材３２Ａのうち第１導線５１が設けられている面とは反対側の面と、第２の基材３２Ｂのうち第２導線５６が設けられている面とが向かい合うように、２つの基材３２Ａ，３２Ｂを貼りあわせてもよい。
【００８１】
（その他の変形例）
上述の実施の形態の形態においては、１つの四角形状の開口部５２を構成する第１種第１導線５３および第２種第１導線５４と、その他の四角形状の開口部５２を構成する第１種第１導線５３および第２種第１導線５４とが互いに平行である例を示した。すなわち、第１導線５１の複数の交点５１ｃが所定の方向に沿って周期的に並ぶよう、第１導線５１が配置される例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、上述の条件（１）および（２）を満たすことができる限りにおいて、１つの四角形状の開口部５２を構成する第１種第１導線５３および第２種第１導線５４と、その他の四角形状の開口部５２を構成する第１種第１導線５３および第２種第１導線５４とが非平行であってもよい。この場合、第１種第１導線５３が第１方向Ｄ１に対して成す角度θ１１、および、第２種第１導線５４が第１方向Ｄ１に対して成す角度θ２１はそれぞれ、複数の第１種第１導線５３が第１方向Ｄ１に対して成す角度の平均値、および複数の第２種第１導線５４が第１方向Ｄ１に対して成す角度の平均値として算出される。第２導線５６についても同様である。
【００８２】
なお、上述した実施の形態に対するいくつかの変形例を説明してきたが、当然に、複数の変形例を適宜組み合わせて適用することも可能である。
【符号の説明】
【００８３】
１０  タッチ位置検出機能付き表示装置
１５  表示装置
３０  タッチパネルセンサ
３２  基材
４１  第１電極
４１ａ  第１膨出部
４１ｂ  第１ライン部
４２  第１ダミー部
４６  第２電極
４７  第２ダミー部
５１  第１導線
５１ａ  切断部
５２  開口部
５３  第１種第１導線
５４  第２種第１導線
５６  第２導線
５６ａ  切断部
５７  開口部
５８  第１種第２導線
５９  第２種第２導線
６０  積層体
６１  第１金属層
６６  第２金属層
７１  第１感光層
７２  第１露光マスク
７６  第２感光層
７７  第２露光マスク
８０  第１単位領域
８１  第１辺
８３  格子点
８６  第２辺
８８  格子点
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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