(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の線または点が第１方向に配列された検査パターンを、第１方向に湾曲した鏡面体に写して撮影することにより得られる画像に基づいて前記鏡面体の曲げ状態を検査する検査方法において、
前記検査パターンからの光が前記鏡面体で正反射される位置に設置されたカメラにより、前記鏡面体を介して前記検査パターンにフォーカスを合わせて撮影を行う撮影ステップと、
前記撮影ステップで撮影された撮影画像に対して、前記第１方向に沿う複数の領域を設定し、前記複数の領域内の線または点間の距離に基づいて前記鏡面体の曲げ状態を検査する検査ステップと、
を備え、
前記鏡面体は、前記第１方向において曲率が異なっており、
前記検査ステップでは、前記撮影画像を前記曲率に応じた大きさの領域に分割する検査方法。
【請求項２】
前記鏡面体は、凹面が、前記カメラ及び前記検査パターン側へ向けられている請求項１記載の検査方法。
【請求項３】
前記カメラは、前記第１方向に長いライン状のエリアを撮影するラインセンサカメラである請求項１または２記載の検査方法。
【請求項４】
前記カメラは、前記第１方向及び前記第１方向に垂直な第２方向を含む面状のエリアを撮影するエリアセンサカメラである請求項１または２記載の検査方法。
【請求項５】
前記カメラと前記検査パターンとからなる撮影機構と前記鏡面体とのいずれかは、前記撮影機構と前記鏡面体との相対的な位置関係を変化させる移動機構により、前記第１方向に垂直な第２方向に移動する請求項1〜４のいずれか１項に記載の検査方法。
【請求項６】
前記検査パターンを照明する光源を設けた請求項１〜５いずれか１項に記載の検査方法。
【請求項７】
前記検査パターンは、１次元のライン格子であり、
前記光源は前記格子を背後から照明し、
前記カメラは、前記光源からの照明光のうち、前記格子を透過して前記鏡面体で反射された光を受光する請求項６記載の検査方法。
【請求項８】
前記検査ステップでは、前記複数の領域内の線または点間の距離を測定し、測定した距離が適正範囲内に存在するか否かに基づいて、前記鏡面体の曲げ状態の良否が判定される請求項１〜７のいずれか１項に記載の検査方法。
【請求項９】
前記検査ステップでは、前記複数の領域のそれぞれについて領域内の線または点の平均ピッチが測定され、測定された平均ピッチに基づいて、前記判定が行われる請求項８記載の検査方法。
【請求項１０】
前記検査ステップでは、前記複数の領域のそれぞれについて領域内の複数の線間の距離または複数の点間の距離が測定され、測定された複数の線間の距離または複数の点間の距離基づいて、前記判定が行われる請求項８記載の検査方法。
【請求項１１】
複数の線または点が第１方向に配列された検査パターンを、第１方向に湾曲した鏡面体に写して撮影することにより得られる画像に基づいて前記鏡面体の曲げ状態を検査する検査装置において、
前記検査パターンからの光が前記鏡面体で正反射される位置に設置され、前記鏡面体を介して前記検査パターンにフォーカスを合わせて撮影を行うカメラと、
前記カメラで撮影された撮影画像に対して、前記第１方向に沿う複数の領域を設定し、前記複数の領域内の線または点間の距離に基づいて前記鏡面体の曲げ状態を検査する検査部と、
を備え、
前記鏡面体は、前記第１方向において曲率が異なっており、
前記検査部は、前記撮影画像を前記曲率に応じた大きさの領域に分割する検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、湾曲した鏡面体の曲げ状態を検査する検査方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
検査対象物の歪や凹凸を検査する各種の技術が知られている。例えば、下記特許文献１には、鏡面体（検査対象物）に写る検査パターンを撮影し、撮影により得られた撮影画像に基づいて鏡面体を検査する検査方法が記載されている。下記特許文献１では、鏡面体に複数の線（ライン）からなる検査パターンを写して反射像を撮影し、撮影されたラインに基づいて反射像の各部の歪みなどを測定している。
【０００３】
また、下記特許文献２には、透明な検査対象物を介して検査パターンを撮影することによって得られる撮影画像に基づいて検査を行う検査方法が記載されている。下記特許文献２では、複数のラインまたは点（ドット）からなる検査パターンを、透明な検査対象物を介して撮影する。そして、撮影画像において検査対象物の周辺部に対応する領域については、ラインの幅またはドットの大きさを測定し、検査対象物の中心部に対応する領域については、隣り合うライン間またはドット間の距離を測定し、測定結果が適正範囲内であれば良品と判定し、測定結果が適正範囲を超えている場合は不良品と判定する。このように、下記特許文献２は、検査対象物の部位に応じて測定方法を変えながら、検査対象物の各部の歪みなどを測定している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１−１６５９０７
【特許文献２】特開平３−１３５７０４
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記特許文献１は、検査対象物を細分化した各領域の違いを考慮せずに測定を行うため、各々の領域に適した検査を行うことができない。これに対し、上記特許文献２は、各領域の違いを考慮して、測定方法を変えながら測定を行うため、各々の領域に適した検査が可能である。しかし、上記特許文献２は、各領域のそれぞれを個別に検査するものであり、例えば、複数の領域に渡って全体的になだらかに湾曲しているなど、広い範囲に渡る曲げ状態の検査については想定されておらず、適正な検査ができないといった問題があった。
【０００６】
本発明は、上記背景を鑑みてなされたものであり、例えば、検査対象物の全体などの広範囲に渡る曲げ状態を、適正に検査することが可能な検査方法及び装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明の検査方法は、複数の線または点が第１方向に配列された検査パターンを、第１方向に湾曲した鏡面体に写して撮影することにより得られる画像に基づいて鏡面体の曲げ状態を検査する検査方法において、撮影ステップと、検査ステップとを備えている。撮影ステップでは、検査パターンからの光が鏡面体で正反射される位置に設置されたカメラにより、鏡面体を介して検査パターンにフォーカスを合わせて撮影を行う。検査ステップでは、撮影ステップで撮影された撮影画像に対して、第１方向に沿う複数の領域を設定し、複数の領域内の線または点間の距離に基づいて鏡面体の曲げ状態を検査する。
【０００８】
鏡面体は、凹面が、カメラ及び検査パターン側へ向けられているものでもよい。
【０００９】
鏡面体は、第１方向において曲率が異なっており、検査ステップでは、撮影画像を曲率に応じた大きさの領域に分割してもよい。
【００１０】
カメラは、第１方向に長いライン状のエリアを撮影するラインセンサカメラであってもよい。
【００１１】
カメラは、第１方向及び第１方向に垂直な第２方向を含む面状のエリアを撮影するエリアセンサカメラであってもよい。
【００１２】
カメラと検査パターンとからなる撮影機構と鏡面体とのいずれかは、撮影機構と鏡面体との相対的な位置関係を変化させる移動機構により、第１方向に垂直な第２方向に移動するものでもよい。
【００１３】
検査パターンを照明する光源を設けてもよい。
【００１４】
検査パターンは、１次元のライン格子であり、光源は格子を背後から照明し、カメラは、光源からの照明光のうち、格子を透過して鏡面体で反射された光を受光するものでもよい。
【００１５】
検査ステップでは、複数の領域内の線または点間の距離を測定し、測定した距離が適正範囲内に存在するか否かに基づいて、鏡面体の曲げ状態の良否が判定されるものでもよい。
【００１６】
検査ステップでは、複数の領域のそれぞれについて領域内の線または点の平均ピッチが測定され、測定された平均ピッチに基づいて、判定が行われるものでもよい。
【００１７】
検査ステップでは、複数の領域のそれぞれについて領域内の複数の線間の距離または複数の点間の距離が測定され、測定された複数の線間の距離または複数の点間の距離基づいて、判定が行われるものでもよい。
【００１８】
また、本発明の検査装置は、複数の線または点が第１方向に配列された検査パターンを、第１方向に湾曲した鏡面体に写して撮影することにより得られる画像に基づいて鏡面体の曲げ状態を検査する検査装置において、カメラと、検査部とを備えている。カメラは、検査パターンからの光が鏡面体で正反射される位置に設置され、鏡面体を介して検査パターンにフォーカスを合わせて撮影を行う。検査部は、カメラで撮影された撮影画像に対して、第１方向に沿う複数の領域を設定し、複数の領域内の線または点間の距離に基づいて鏡面体の曲げ状態を検査する。
【発明の効果】
【００１９】
本発明では、線または点が配列された検査パターンを検査対象物に写して撮影することにより得られた撮影画像に対し、第１方向、すなわち、検査対象物が湾曲している方向に沿って複数の領域を設定し、これら複数の領域内の線または点間の距離に基づいて検査対象物の曲げ状態を検査する。このため、検査対象体の全体などの広範囲に渡る曲げ状態を適正に検査することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】鏡面体の平面図であり、（Ａ）が上面図、（Ｂ）が第１方向の側面図、（Ｃ）が第２方向の側面図である。
【図２】ミラーの製造工程を示す説明図である。
【図３】本発明の検査装置の平面図であり、（Ａ）が第２方向の側面図、（Ｂ）が第１方向の側面図、（Ｃ）が上面図である。
【図４】制御部の機能を示す機能ブロック図である。
【図５】カメラにより撮影された検査用画像を示す説明図である。
【図６】判定テーブルの説明図である。
【図７】検査手順を示すフローチャートである。
【図８】検査ステップの手順を示すフローチャートである。
【図９】第１領域の検査結果を示す説明図である。
【図１０】第２領域の検査結果を示す説明図である。
【図１１】第３領域の検査結果を示す説明図である。
【図１２】検査ステップの手順を示すフローチャートである。
【図１３】カメラにより撮影された検査用画像を示す説明図である。
【図１４】判定テーブルの説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
［第１実施形態］
図１（Ａ）〜（Ｃ）に、本発明の第１実施形態の検査装置１０（図３参照）により検査される検査対象物である鏡面体２０を示す。鏡面体２０は、例えば、トラックなど大型車両のバックミラーに加工される湾曲したガラス板である。なお、鏡面体２０は、入射した光の少なくとも一部を反射するもの、より具体的には、後述するライン格子（検査パターン）５０が写るものあればよい。よって、鏡面体２０の素材は、前述したガラス以外であってもよい。また、鏡面体２０の用途も前述した自動車以外の用途であってもよい。もちろん、メッキやコーティングなどの表面加工が施されたものや、着色されたものも鏡面体２０に含まれる。
【００２２】
図１（Ａ）、同図（Ｂ）に示すように、鏡面体２０は、第１方向の全体に渡って湾曲している。鏡面体２０は、第１方向の全体としての曲率「１／Ｒ」が「１／８００（ｍｍ）」〜「１／１５００（ｍｍ）」程度となっているが、第１方向の位置毎に曲げ状態が異なっている。具体的には、罫線２２を堺に曲げ状態が異なっており、罫線２２よりも右側部分については、他の部分よりも曲率が大きくなっている。
【００２３】
また、図１（Ａ）、同図（Ｃ）に示すように、鏡面体２０は、第１方向と直交する第２方向についても全体的に湾曲している。一方、第２方向への湾曲については、第１方向への湾曲とは異なり、全体が一律の曲率で湾曲されている。すなわち、鏡面体２０は、第１方向においては、位置によって異なる曲率で湾曲しており、第２方向においては、位置によらず一律の曲率で湾曲している。
【００２４】
図２に示すように、鏡面体２０は、曲げ工程２４を経た後に、本発明の検査装置１０により検査を行う検査工程２６に搬入される。曲げ工程２４は、平板上のガラス板を加熱して所定の形状に湾曲させる工程であり、別工程で制作された平板状のガラス板が搬入される。曲げ工程２４には、上面が湾曲した成形用の型が設けられている。成形用の型としては、例えば、炉石が用いられ（以下、成形用の型を炉石と称する）、曲げ工程２４に搬入されたガラス板は、炉石上にセットされて加熱され、炉石の形状に沿って湾曲される。このように、曲げ工程２４を経て平板状のガラス板が湾曲されることにより、図１に示すように湾曲した鏡面体２０が生成される。
【００２５】
生成された鏡面体２０は、検査工程２６に搬入されて曲げ状態の検査が行われる。曲げ工程２４では、例えば、１つの炉石に２枚のガラス板が重ねた状態でセットされてしまったり、正しい位置にガラス板がセットされなかったなどにより、所定の形状に湾曲されない不良品が発生する場合がある。検査工程２６では、このような不良品を検出し、所定の形状に湾曲されている良品との仕分けが行われる。
【００２６】
検査工程２６で良品と判定された鏡面体２０は、メッキ工程２８に搬入される。メッキ工程２８では、鏡面体２０の凹面に対して、例えば、クロムメッキ等が施される。これにより、ミラーが生成され、生成されたミラーがミラーベースなどの基材に取り付けられることにより製品としてのバックミラーが完成する。
【００２７】
図３（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、検査工程２６には、検査装置１０が設けられている。検査装置１０は、鏡面体２０を搬送する搬送装置３０と、ライン格子（検査パターン）５０と、ライン格子５０を照明する光源３２と、鏡面体２０に写るライン格子５０を撮影するためのカメラ３４と、検査装置１０の各部を駆動制御して検査を実行させる制御部（検査部）３６とを備えている。
【００２８】
搬送装置３０は、鏡面体２０を保持する治具３８を備えている。治具３８は、鏡面体２０が載置されるテーブル４０と、鏡面体２０の第１方向の一側部を抑える抑え部材４２と、鏡面体２０の第１方向の他側部を抑える抑え部材４４とを備えている。治具３８は、例えば、テーブル４０がベルトコンベアなどの移動体上に設けられており、第２方向にスライドする。
【００２９】
鏡面体２０は、凹面を上方へ向けた状態でテーブル４０に載置され、抑え部材４２、４４により第１方向の両側から押さえ込まれることによって治具３８に固定され、治具３８とともに第２方向にスライド移動する。鏡面体２０は、この移動に伴ってカメラ３４の下方に設けられた撮影範囲内を通過する。検査装置１０は、この移動の間にカメラ３４が撮影した撮影画像に基づいて鏡面体２０の曲げ状態の検査を行う。
【００３０】
ライン格子５０は、第２方向に長い棒状（ライン状）の格子５０ａを、第１方向に所定ピッチで配列することによって構成される。なお、ライン格子５０は、本実施形態のように、格子５０ａとして機能する棒状の部材を、間隔を開けて配列したものでもよいし、例えば、透明なフイルムに遮光性の塗料を塗布し、塗料が塗布された部分を格子５０ａとして機能させるものであってもよい。また、遮光性を有する板状の部材に、スリット状の開口を並べて形成したものでもよい。
【００３１】
光源３２は、ライン格子５０の背後（鏡面体２０とは反対側）に配置され、ライン格子５０を背後から照明する。これにより、ライン格子５０の格子５０ａ間を透過した光源３２からの照明光が鏡面体２０の凹面に入射する。光源３２からの照明光は、入射光軸Ｓ１（図３（Ａ）参照）に沿って鏡面体２０に入射した後、鏡面体２０により正反射され、反射光軸Ｓ２（図３（Ａ）参照）に沿って鏡面体２０から遠ざかり、カメラ３４へ向けて進む。
【００３２】
なお、本実施形態では、隣接する格子５０ａの第１方向の中心間距離が１２００（μｍ）となるように、すなわち、１２００（μｍ）ピッチで格子５０ａを第１方向に並べることによってライン格子５０を構成している。また、本実施形態では、入射光軸Ｓ１に沿って鏡面体２０に入射する照明光の入射位置から、ライン格子５０までの距離を「Ｌ１（図３（Ａ）参照）」としたときに、Ｌ１＝１００（ｍｍ）となる位置にライン格子５０を配置している（図３（Ａ）参照）。
【００３３】
カメラ３４は、例えば、ＣＣＤなどの固体撮像素子を備えたデジタルカメラである。カメラ３４は、ライン格子５０からの光が鏡面体２０で正反射される位置、すなわち、前述した反射光軸Ｓ２上に配置されている（図３（Ａ）参照）。そして、カメラ３４は、鏡面体２０を介してライン格子５０にフォーカスを合わせて撮影を行う。具体的には、カメラ３４は、カメラ３４から反射光軸Ｓ２に沿って鏡面体２０に到達するまでの距離を「Ｌ２（図３（Ａ）参照）」としたときに、この「Ｌ２」に、前述した「Ｌ１」を加えた「Ｌ１＋Ｌ２」をフォーカス距離として撮影を行う。このように、カメラ３４は、鏡面体２０に写るライン格子５０の虚像を撮影するものである。
【００３４】
なお、本実施形態では、カメラ３４として、第１方向及び第２方向を含む面状のエリアを撮影するエリアセンサカメラを用いている。そして、このカメラ３４により、鏡面体２０の全体を含む範囲を撮影範囲として撮影を行っている（図３（Ｂ）、同図（Ｃ）参照）。
【００３５】
また、前述のように、カメラ３４は、前面にライン格子５０が配置された光源３２からの光が正反射される位置に配置され、鏡面体２０に写るライン格子５０の虚像を撮影するものであり、本実施形態では、鏡面体２０の少なくとも一部にライン格子５０の虚像が写った画像をカメラ３４で撮影できるように、カメラ３４及び光源３２並びにライン格子５０の配置位置や配置角度、大きさなどが決定されている（図３（Ａ）〜（Ｃ）、図５（Ａ）参照）。そして、後述するように、検査装置１０は、鏡面体２０に写るライン格子５０の虚像を用いて鏡面体２０の湾曲状態を検査する。
【００３６】
このように、検査装置１０は、鏡面体２０に写るライン格子５０の虚像を用いて検査を行うため、鏡面体２０のうちライン格子５０の写る範囲が検査可能な範囲となる。そして、検査装置１０では、鏡面体２０の凹面にライン格子５０を写して検査を行う構成としている。このため、鏡面体２０の凸面にライン格子５０を写して検査を行う構成と比較して、鏡面体２０に写る範囲が狭い。
【００３７】
換言すると、鏡面体２０の凹面にライン格子５０を写す場合と、鏡面体２０の凸面にライン格子５０と写す場合とでは、前者の場合の方が後者の場合よりも、鏡面体２０にライン格子５０が大きく写る（前者の方が鏡面体２０の全体のうち、ライン格子５０の写る領域が占める割合が大きくなる）。すなわち、前者の場合と後者の場合とでライン格子５０の大きさが同じである場合、前者の場合の方が後者の場合よりも検査可能な範囲が広くなる。また、前者の場合と後者の場合とで検査可能な範囲を等しくする場合、前者の場合の方が後者の場合よりもライン格子５０や光源３２を小型化できる。
【００３８】
制御部３６には、カメラ３４により撮影された撮影画像が送信される。制御部３６は、鏡面体２０が治具３８に固定されると、搬送装置３０を制御して治具３８を移動させ、この移動に同期してカメラ３４に撮影を実行させる。そして、撮影された撮影画像を解析することによって、鏡面体２０の曲がり状態を検査する（図４、図７、図８参照）。なお、本実施形態では、幅分解能が８０（μｍ）、流れ分解能が８０（μｍ）となるように、カメラ３４の画角や画素数、撮影レート（１枚の画像を撮影する際の電荷蓄積時間）鏡面体２０の搬送速度などが決定されている。そして、制御部３６は、この環境下で検査を行う例で説明を行う。
【００３９】
図４に示すように、制御部３６は、検査装置１０の作動に伴って、撮影制御部６０、領域設定部６２、測定部６４、曲げ状態判定部６６として機能する。撮影制御部６０は、搬送装置３０及びカメラ３４を制御して、鏡面体２０の搬送制御及びカメラ３４の撮影制御を行うことにより、図５（Ａ）に示す検査用画像７０を取得する。検査用画像７０は、カメラ３４により撮影された撮影画像のうち、鏡面体２０が画像の中央部に位置する画像である。また、前述のようにカメラ３４及び光源３２並びにライン格子５０は、鏡面体２０の少なくとも一部にライン格子５０が写った画像を撮影できるように構成されている。このため、検査用画像７０においても、鏡面体２０の少なくとも一部にライン格子５０が写っている。
【００４０】
なお、画像の中央部に鏡面体２０が位置する撮影画像（検査用画像）を得るためには、例えば、図示しないセンサにより治具３８の位置を検知し、画像の中央部に鏡面体２０が位置する地点まで治具３８が移動したときに撮影を実行させればよい。また、治具３８を移動させながら所定のサイクルで繰り返し撮影を実行させ、撮影された画像を解析して画像の中央部に鏡面体２０が位置する撮影画像を、検査用画像７０として取得する構成としてもよい。
【００４１】
図４に戻り、領域設定部６２は、撮影制御部６０により取得された検査用画像７０に対して複数の領域を設定する。図５（Ａ）において四角形の破線で囲んだ範囲を拡大した同図（Ｂ）に示すように、本実施形態では、鏡面体２０の罫線２２から右側の部分に、第１方向に沿って、第１〜第３の３つの領域を設定する。
【００４２】
第１領域は、罫線２２よりも右側から順に１本目〜５本目の格子５０ａを含む領域である。また、第２領域は、罫線２２よりも右側から順に６本目〜１０本目の格子５０ａを含む領域である。さらに、第３領域は、罫線２２よりも右側から順に１１本目〜１５本目の格子５０ａを含む領域である。このように、各領域は、領域内に含まれる格子５０ａの本数は共通しているが、鏡面体２０が湾曲しているため、各領域の大きさは異なっている。具体的には、各領域の大きさは、鏡面体２０の湾曲率に応じた大きさとなり、本実施形態では、右側の領域ほど大きさが大きくなっている。
【００４３】
再度図４に戻り、測定部６４は、第１〜第３の各領域のそれぞれにおいて、領域内の格子５０ａの平均ピッチを測定する。図５（Ｂ）において円形の破線で囲んだ範囲を拡大した同図（Ｃ）に示すように、本実施形態では、格子５０ａの幅方向（第１方向）の中心の間隔であり、かつ、鏡面体２０の第２方向の中心線７２上における格子５０ａの間隔、すなわち、図５（Ｃ）において「×」を記した指標間の間隔「Ｌ３」を、２本の（１組の）格子５０ａ間の距離（ピッチ）とし、各領域内の格子５０ａの平均ピッチを測定する。また、本実施形態では、検査用画像７０を構成する複数の画素のうち、平均ピッチが何画素分に相当するかを測定、すなわち、単位を画素として平均ピッチを測定する
【００４４】
再び図４に戻り、曲げ状態判定部６６は、測定部６４により測定された平均ピッチが適正範囲内であるか否かを調べ、この結果に基づいて鏡面体２０の曲げ状態が正常であるか否かを判定する。図６に示すように、曲げ状態判定部６６には、判定テーブル６６ａが設けられている。判定テーブル６６ａは、第１〜第３の各領域のそれぞれにおける平均ピッチの適正範囲を規定したものである。曲げ状態判定部６６は、測定部６４により測定された第１〜第３の各領域の平均ピッチを判定テーブル６６ａに照合し、測定された平均ピッチが適正範囲内であるか否かを調べる。そして、第１〜第３の全ての領域において適正範囲内である場合、鏡面体２０の曲げ状態が正常であると判定し、いずれかの領域において適正範囲外である場合、鏡面体２０の曲げ状態が異常であると判定する。
【００４５】
この後、曲げ状態が正常であると判定された鏡面体２０は、良品として扱われ、次のメッキ工程２８へ搬入される。一方、曲げ状態が異常であると判定された鏡面体２０は、不良品として扱われ、次のメッキ工程２８へは搬入されず、不良発生の原因究明などに用いられる。
【００４６】
以下、検査装置１０による検査手順について、図７、図８をもとに説明を行う。図７に示すように、検査装置１０は、作動に伴って撮影ステップと検査ステップとを実行する。撮影ステップは、検査用画像７０を取得するステップである。撮影ステップでは、ライン格子５０からの光（光源３２からの照明光のうち、ライン格子５０を通過した照明光）が、鏡面体２０で正反射される位置に配置されたカメラ３４により、鏡面体２０を介してライン格子５０にフォーカスを合わせて（すなわち、フォーカス距離を「Ｌ１＋Ｌ２」として）撮影が実行され、検査用画像７０が取得される。
【００４７】
図８に示すように、検査ステップでは、検査用画像７０に対し、第１方向に沿って複数の領域（本実施形態では第１〜第３領域の３つの領域）が設定される。次に、各領域内の格子５０ａの平均ピッチが算出される。続いて、算出された各領域における格子５０ａの平均ピッチを、判定テーブル６６ａに照合することにより、各領域の格子５０ａの平均ピッチが適正範囲内か否かが調べられる。そして、全て領域において平均ピッチが適正範囲内である場合は、鏡面体２０の曲げ状態が正常であると判定され、いずれかの領域において平均ピッチが適正範囲外である場合は、鏡面体２０の曲げ状態が異常と判定される。
【００４８】
図９〜図１１に、本発明の検査装置１０を用いて実際に検査を行った際の検査結果を示す。なお、この検査では、検査対象としてサンプルＡ〜Ｈの８種類の鏡面体２０を検査した。以下に示すように、サンプルＡ〜Ｈのうち、サンプルＡ〜Ｃは、良品、すなわち曲げ状態が適正と判定すべきものであり、サンプルＤ〜Ｈは、不良品、すなわち、曲げ状態が適正でないと判定すべきものである。
【００４９】
サンプルＡ：曲がりが弱いものの良品とみなせるもの
サンプルＢ：曲がりが適切な良品
サンプルＣ：製品のタイプが異なるものの曲がりは適切な良品
サンプルＤ：曲がりが正常でない不良品
サンプルＥ：炉石に斜めにセットされ曲がりが正常でない不良品
サンプルＦ：１つの炉石に２枚のガラス板がセットされてしまい、曲がりが弱い不良品
サンプルＧ：表面が波打つように変形してしまった不良品
サンプルＨ：曲がりが正常でない不良品
【００５０】
図９に示すように、第１領域においては、サンプルＤ、Ｅ、Ｆ、Ｈの平均ピッチが適正範囲を超えていることが検出された。また、図１０に示すように、第２領域においては、サンプルＥ、Ｆ、Ｇの平均ピッチが適正範囲を超えていることが検出された。同様に、図１１に示すように、第３領域においても、サンプルＥ、Ｆ、Ｇの平均ピッチが適正範囲を超えていることが検出された。そして、これら各領域の検出結果から、全ての領域において平均ピッチが適正範囲内であるサンプルＡ、Ｂ、Ｃの曲げ状態が適正と判定され、残りのサンプルは曲げ状態が適正でないと判定された。
【００５１】
前述のように、サンプルＡ、Ｂ、Ｃは曲げ状態が適正と判定されるべき良品であり、それ以外は曲げ状態が適正でないと判定されるべき不良品であるため、本発明の検査装置１０により適切な検査が可能であることが確認できた。
【００５２】
また、本発明の検査装置１０では、鏡面体２０が湾曲している第１方向に沿った複数の領域において曲げ状態を調べて最終的な検査結果を導出することで、複数の領域に渡って広範囲に湾曲している場合であっても不良品を漏れ無く検出できることが確認できた。すなわち、第１領域だけでは、サンプルＧが不良品であることを検出できず（図９参照）、また、第２領域や第３領域だけではサンプルＤ、Ｈが不良品であることが検出できないが（図１０、図１１参照）、本発明の検査装置１０のように、鏡面体２０が湾曲している第１方向に沿った複数の領域において曲げ状態を調べることで、不良品のサンプルであるサンプルＤ〜Ｈを全て検出できることが確認できた。
【００５３】
以上のように、本発明では、検査対象物の湾曲方向（第１方向）に沿った複数の領域において曲げ状態を調べて最終的な検査結果を導出するので、広範囲に渡る曲げ状態を適正に検査することが可能である。
【００５４】
また、本実施形態では、３本以上の格子が含まれるように領域の設定を行い、各領域内の格子の平均ピッチに基づいて検査を行っている。このため、例えば、各領域内に２本の格子のみが含まれ、この２本の格子間の距離（１組の格子間の距離）のみに基づいて検査を行う場合と比較して、広範囲に渡る曲げ状態を適正に検査できる。
【００５５】
つまり、１組の格子間の距離のみに基づいて検査を行う場合、複数組の格子間の平均ピッチに基づいて検査を行う場合と比較して、相対的に検査範囲が小さくなってしまう。そして、検査範囲が小さいと、この小さな検査範囲内に存在する、良品と判定して問題無い程度の微細な傷や僅かな窪みなどの影響が相対的に大きくなってしまい、適正な検査の妨げとなってしまう場合がある。すなわち、良品と判定して問題無い程度の微細な傷や僅かな窪みにより、本来は良品と判定されるべき鏡面体が不良品と判定されてしまう場合がある。これに対して、本実施形態のように複数組の格子間の平均ピッチに基づいて検査を行う構成とすることで、良品と判定して問題無い程度の微細な傷や窪みなど影響を排除し、広範囲に渡る曲げ状態を適正に検査できる。
【００５６】
［第２実施形態］
続いて、本発明の第２実施形態について説明を行う。前述した第１実施形態は、検査用画像７０に設定した複数の領域のそれぞれにおいて、隣り合う格子５０ａ間の平均ピッチを算出し、この平均ピッチに基づいて、鏡面体２０の曲げ状態が正常か否かを検査する構成である。これに対して、第２実施形態は、検査用画像７０に設定した複数の領域のそれぞれにおいて、領域内の複数の格子間距離（少なくとも１つの格子を跨ぐ離れた格子間の距離）を測定し、測定した複数の格子間距離に基づいて検査を行う構成である。なお、第２実施形態、及び第２実施形態以降の説明では、上述した第１実施形態と同様の部材については同様の符号を付して説明を省略する。
【００５７】
第２実施形態では、第１実施形態と同様に、検査装置１０の作動に伴って撮影ステップと検査ステップとが実行される（図７参照）。そして、撮影ステップでは、第１実施形態と同様の条件でカメラ３４による撮影が行われて検査用画像７０が取得される（図５（Ａ））参照）。
【００５８】
また、図１２、及び、図５（Ａ）の四角形の指標で囲まれた範囲を拡大した図１３（Ａ）に示すように、検査ステップでは、検査用画像７０に対して第１〜第３の３つの領域が設定される。図１３（Ａ）において、第１〜第３の各領域は、第１実施形態と同様の領域として設定される。すなわち、第１領域には、罫線２２より右側の１番目〜５番目の格子５０ａが含まれ、第２領域には、罫線２２より右側の６番目〜１０番目の格子５０ａが含まれ、第３領域には、罫線２２より右側の１１番目〜１５番目の格子５０ａが含まれる（図５（Ｂ）参照）。
【００５９】
一方、第２実施形態の検査ステップでは、検査用画像７０に複数の領域が設定された後は、第１実施形態とは異なり、各領域内の複数の格子間の距離が測定される。具体的には、図１３（Ａ）において円形の指標で囲まれた範囲を拡大した図１３（Ｂ）に示すように、第１領域においては、１番目の格子５０ａから５番目の格子５０ａまでの距離「Ｌ４」が測定される。同様に、第２領域においては、６番目の格子５０ａから１０番目の格子５０ａまでの距離「Ｌ５」が測定され、第３領域においては、１１番目の格子５０ａから１５番目の格子５０ａまでの距離「Ｌ６」が測定される。なお、この測定は、測定部６４（図４参照）により行われる。
【００６０】
図１４に示すように、曲げ状態判定部６６（図４参照）には、前述した判定テーブル６６ａ（図６参照）に代えて、判定テーブル６６ｂが設けられている。判定テーブル６６ｂは、前述した判定テーブル６６ａの各領域の適正範囲の上限値と下限値をそれぞれ４倍にしたものである。そして、曲げ状態判定部６６は、測定部６４により測定された第１〜第３の各領域の複数（本例では５本分）の格子間の距離を判定テーブル６６ｂに照合して、測定された距離が適正範囲内であるか否かを調べ、第１〜第３の全ての領域において適正範囲内である場合、鏡面体２０の曲げ状態が正常であると判定し、いずれかの領域において適正範囲外である場合、鏡面体２０の曲げ状態が異常であると判定する（図１２参照）。このような構成とした第２実施形態においても、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００６１】
さらに、第２実施形態によれば、第１実施形態のように各領域内の格子の平均ピッチに基づいて検査を行う構成と比較して、処理を簡略化できるといった効果が得られる。つまり、第１、第２実施形態のように領域内に５本の格子が存在する場合、領域内には隣り合う格子の組が４組存在する（格子の間は４つできる）。このため、第１実施形態のように平均ピッチを求める場合、４組の格子の間隔（ピッチ）を測定し（４回の測定を行い）、測定した４つの値を合計して合計値を算出し、合計値を４で割るといった処理を、設定した領域の数だけ（すなわち、３回）行うことで検査が可能となる。これに対し、第２実施形態では、各領域について１回の測定を行うだけで検査が可能となるので測定の回数を減らすことができる。また、合計値を算出したり、合計値を割って平均値を算出する必要もない。よって、第２実施形態は、第１実施形態と比較して処理が簡単である。
【００６２】
なお、本発明は上記実施形態に限定されず細部の構成については適宜変更できる。例えば、検査用画像に設定する領域は、検査対象物の曲がり状態を検査する方向（第１方向）に沿って設けられていれば良いので、その他の点、例えば、領域の数や大きさ位置、範囲などについては自由に設定できる。例えば、一部が重複するように各領域を設定してもよいし、隣接するように各領域を設定してもよいし、間隔を開けて各領域を設定してもよい。ただし、前述のように、領域内に存在する格子の数が２本以下であると広範囲に渡る曲げ状態を適正に検査することが難しくなる。よって、３本以上の格子が含まれるように各領域を設定することが好ましい。
【００６３】
なお、上記実施形態では、検査パターンとして、複数の線状の格子を第１方向に並べたライン格子を用いる例で説明をしたが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、検査パターンとして、複数の点状の格子を第１方向に並べた点格子を用いてもよい。また、ライン格子や点格子は、複数の線または点状の部材を、間隔を開けて配列することで格子として機能させるものに加え、例えば、透明なフイルムに遮光性の塗料を塗布し、塗料が塗布された部分を格子として機能させるものでもよい。また、遮光性を有する板状の部材に、開口を形成し、開口以外の部分を格子として機能させるものでもよい。
【００６４】
また、上記実施形態では、カメラとして、第１方向及び第２方向を含む平面状のエリアを撮影するエリアセンサカメラを用いる例で説明をしたが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、カメラとして、第１方向に長いライン状のエリアを撮影するラインセンサカメラを用いてもよい。
【００６５】
また、上記実施形態では、光源を検査パターンの背後（鏡面体とは反対側）に配置し、検査パターンを背後から照明する例で説明をしたが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、白色のスクリーン上に遮光性の塗料を塗布することによって検査パターンを構成し、スクリーン（検査パターン）を前方（鏡面体側）から照明する構成、すなわち、光源を検査パターンの前方に配置する構成としてもよい。この場合、光源からの照明光は、スクリーンのうち検査パターンの塗布されていない部分で反射され、鏡面体へ向かう。なお、検査パターンが太陽光などの外光により背後または正面から照明されている環境においては、外光を光源として利用してもよい。この場合、別途（外光以外の）光源を設ける必要がなくなり、構成を簡略化できる。
【００６６】
また、上記実施形態では、曲げ状態判定部が、曲げ状態が適正範囲内であるか否かを判定する例で説明をしたが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、曲げ状態判定部が、曲げ状態が適正範囲内であるか否かを調べ、さらに、曲げ状態が適正範囲内に有るか否かによって不良品か否かを判定する構成としてもよい。すなわち、曲げ状態判定部が、曲げ状態の検査に加え、検査結果に基づいて不良品か否かの判定を行う構成としてもよい。
【符号の説明】
【００６７】
１０  検査装置
２０  鏡面体（検査対象物）
２２  罫線
２４  曲げ工程
２６  検査工程
３０  搬送装置
３２  光源
３４  カメラ
３６  制御部（検査部）
３８  治具
５０  ライン格子（検査パターン）
５０ａ  格子
６０  撮影制御部
６２  領域設定部
６４  測定部
６６  曲げ状態判定部
６６ａ、６６ｂ  判定テーブル
７０  検査用画像
７２  中心線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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