(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の面と前記第１の面と反対の第２の面とを有し、前記第１の面に垂直な厚さ方向を有する脆性基板を準備する工程と、
刃先を前記脆性基板の第１の面上へ押し付けながら前記第１の面上で前記刃先を移動させることによって前記脆性基板の前記第１の面上に塑性変形を発生させることで、第１および第２の部分を有するトレンチラインを形成する工程とを備え、前記トレンチラインを形成する工程は、前記トレンチラインの少なくとも前記第１の部分の直下において前記脆性基板が前記トレンチラインと交差する方向において連続的につながっている状態であるクラックレス状態が得られるように行われ、さらに
前記脆性基板の前記第１の面がテーブルに対向するように前記脆性基板を前記テーブル上に置く工程と、
前記脆性基板の前記第２の面のうち前記トレンチラインの前記第１の部分に対向する第３の部分に接触しかつ前記第２の部分に対向する第４の部分から離れるように前記脆性基板の前記第２の面に応力印加部材を接触させる工程とを備え、前記応力印加部材を接触させる工程は前記第１の部分がクラックレス状態に保持されるように行われ、さらに
前記応力印加部材が前記脆性基板の前記第２の面の前記第３の部分に接触している状態を保ちつつ、前記応力印加部材を前記脆性基板の前記第２の面の前記第４の部分に接触させることにより、前記トレンチラインの前記第２の部分から前記第１の部分へ向かって伸展するクラックを発生させることによって、前記トレンチラインに沿って前記脆性基板を分断する工程を備える、脆性基板の分断方法。
【請求項２】
前記脆性基板を分断する工程の前に、前記トレンチラインの前記第１および第２の部分のうち前記第２の部分にのみ沿ってクラックを発生させる工程をさらに備える、請求項１に記載の脆性基板の分断方法。
【請求項３】
前記トレンチラインを形成する工程において、前記トレンチラインの前記第２の部分を形成するために前記刃先に加えられる荷重は、前記トレンチラインの前記第１の部分を形成するために前記刃先に加えられる荷重よりも高い、請求項２に記載の脆性基板の分断方法。
【請求項４】
前記脆性基板の前記第１の面の縁に前記刃先を乗り上げさせることによって前記縁に欠けを形成する工程をさらに備え、前記トレンチラインの前記第２の部分は前記欠け上に位置する、請求項１に記載の脆性基板の分断方法。
【請求項５】
前記脆性基板を分断する工程の前に、前記脆性基板に、前記トレンチラインの前記第２の部分が露出した端面を形成する工程と、
前記端面の表面粗さを増大させる工程と
をさらに備える、請求項１に記載の脆性基板の分断方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は脆性基板の分断方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
フラットディスプレイパネルまたは太陽電池パネルなどの電気機器の製造において、ガラス基板などの脆性基板を分断することがしばしば必要となる。まず基板上にスクライブラインが形成され、次にこのスクライブラインに沿って基板が分断される。スクライブラインは、刃先を用いて基板を機械的に加工することによって形成され得る。刃先が基板上を摺動または転動することで、基板上に塑性変形によるトレンチが形成されると同時に、このトレンチの直下には垂直クラックが形成される。その後、ブレーク工程と称される応力付与がなされる。これにより上記垂直クラックを厚さ方向に完全に進行させることで、基板が分断される。
【０００３】
基板が分断される工程は、基板にスクライブラインを形成する工程の直後に行われることが比較的多い。しかしながら、スクライブラインを形成する工程とブレーク工程との間において基板を加工する工程を行なうことも提案されている。
【０００４】
たとえば国際公開第２００２／１０４０７８号の技術によれば、有機ＥＬディスプレイの製造方法において、封止キャップを装着する前に各有機ＥＬディスプレイとなる領域毎にガラス基板上にスクライブラインが形成される。このため、封止キャップを設けた後にガラス基板上にスクライブラインを形成したときに問題となる封止キャップとガラスカッターとの接触を回避させることができる。
【０００５】
また、たとえば国際公開第２００３／００６３９１号の技術によれば、液晶表示パネルの製造方法において、２つのガラス基板が、スクライブラインが形成された後に貼り合わされる。これにより１度のブレーク工程で２枚の脆性基板を同時にブレークすることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】国際公開第２００２／１０４０７８号
【特許文献２】国際公開第２００３／００６３９１号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記従来の技術によれば、脆性基板への加工がスクライブラインの形成後に行われ、その後の応力付与によりブレーク工程が行われる。このことは、脆性基板への加工時にスクライブライン全体に沿って垂直クラックが既に存在していることを意味する。よって、この垂直クラックの厚さ方向におけるさらなる伸展が加工中に意図せず発生することで、加工中は一体であるべき脆性基板が分離されてしまうことがあり得た。また、スクライブラインの形成工程と基板のブレーク工程との間に基板の加工工程が行われない場合においても、通常、スクライブラインの形成工程の後かつ基板のブレーク工程の前に基板の搬送または保管が必要であり、その際に基板が意図せず分断されてしまうことがあり得た。
【０００８】
上記課題を解決するために本発明者は独自の分断技術を開発してきた。この技術によれば、脆性基板が分断される位置を規定するラインとして、まず、その直下にクラックを有しないトレンチラインが形成される。トレンチラインが形成されることにより、脆性基板が分断されることになる位置が規定される。その後、トレンチラインの直下にクラックが存在していない状態が維持されていれば、トレンチラインに沿った分断が容易には生じにくい。この状態を用いることで、脆性基板が分断されることになる位置を予め規定しつつも、分断されるべき時点より前に脆性基板が意図せず分断されることを防ぐことができる。
【０００９】
上述したようにトレンチラインは、通常のスクライブラインに比して、それに沿った分断が発生しにくい。これにより脆性基板の意図しない分断が防がれる一方で、脆性基板の分断をトレンチラインに沿って正確に行うことの難易度が高くなるという問題があった。
【００１０】
本発明は以上のような課題を解決するためになされたものであり、その目的は、その直下にクラックを有しないトレンチラインに沿った分断を正確に行うことができる脆性基板の分断方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
脆性基板の分断方法は、以下の工程を有する。
【００１２】
第１の面と第１の面と反対の第２の面とを有し、第１の面に垂直な厚さ方向を有する脆性基板が準備される。
【００１３】
刃先を脆性基板の第１の面上へ押し付けながら第１の面上で刃先を移動させることによって脆性基板の第１の面上に塑性変形を発生させることで、第１および第２の部分を有するトレンチラインが形成される。トレンチラインを形成する工程は、トレンチラインの少なくとも第１の部分の直下において脆性基板がトレンチラインと交差する方向において連続的につながっている状態であるクラックレス状態が得られるように行われる。
【００１４】
脆性基板の第１の面がテーブルに対向するように脆性基板がテーブル上に置かれる。
【００１５】
脆性基板の第２の面のうちトレンチラインの第１の部分に対向する第３の部分に接触しかつ第２の部分に対向する第４の部分から離れるように脆性基板の第２の面に応力印加部材が接触させられる。応力印加部材を接触させる工程は第１の部分がクラックレス状態に保持されるように行われる。
【００１６】
応力印加部材が脆性基板の第２の面の第３の部分に接触している状態を保ちつつ、応力印加部材を脆性基板の第２の面の第４の部分に接触させることにより、トレンチラインの第２の部分から第１の部分へ向かって伸展するクラックを発生させることによって、トレンチラインに沿って脆性基板が分断される。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、脆性基板を分断するためにトレンチラインの第２の部分から第１の部分へ向かってクラックが伸展する際に、第２の面のうち第１の部分に対向する第３の部分が予め応力印加部材に接触している。これによりクラックがトレンチラインの第１の部分から外れて伸展することが抑制される。よってトレンチラインに沿った分断を正確に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施の形態１における脆性基板の分断方法を概略的に示すフロー図である。
【図２】本発明の実施の形態１における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す上面図である。
【図３】図２の線ＩＩＩ−ＩＩＩに沿う概略断面図である。
【図４】図２の線ＩＶＡ−ＩＶＡに沿う概略断面図（Ａ）、および図２の線ＩＶＢ−ＩＶＢに沿う概略断面図（Ｂ）である。
【図５】本発明の実施の形態１における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す上面図である。
【図６】図５の線ＶＩ−ＶＩに沿う概略断面図である。
【図７】図５の線ＶＩＩ−ＶＩＩに沿う概略断面図である。
【図８】本発明の実施の形態１における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す上面図である。
【図９】図８の線ＩＸ−ＩＸに沿う概略断面図である。
【図１０】図８の線Ｘ−Ｘに沿う概略断面図である。
【図１１】本発明の実施の形態１における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す上面図である。
【図１２】本発明の実施の形態１における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す断面図である。
【図１３】本発明の実施の形態１における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す断面図である。
【図１４】図１３の矢印ＸＩＶに対応する視野による概略的な側面図である。
【図１５】本発明の実施の形態１における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す断面図である。
【図１６】本発明の実施の形態１における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す断面図である。
【図１７】本発明の実施の形態１における脆性基板の分断方法に用いられるスクライビング器具の構成を概略的に示す側面図（Ａ）、および図１７（Ａ）の矢印ＸＶＩＩに対応する視野による刃先の底面図（Ｂ）である。
【図１８】本発明の実施の形態１の第１の変形例における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す上面図である。
【図１９】本発明の実施の形態１の第２の変形例における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す上面図である。
【図２０】本発明の実施の形態１の第３の変形例における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す上面図である。
【図２１】本発明の実施の形態１の第４の変形例における脆性基板の分断方法に用いられるスクライビング器具の構成を概略的に示す側面図（Ａ）、および図２１（Ａ）の矢印ＸＸＩに対応する視野による刃先の底面図（Ｂ）である。
【図２２】本発明の実施の形態２における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す上面図である。
【図２３】本発明の実施の形態２における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す上面図である。
【図２４】本発明の実施の形態２における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す上面図である。
【図２５】本発明の実施の形態２の第１の変形例における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す上面図である。
【図２６】本発明の実施の形態２の第１の変形例における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す上面図である。
【図２７】本発明の実施の形態２の第２の変形例における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す上面図である。
【図２８】本発明の実施の形態２の第３の変形例における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す上面図である。
【図２９】本発明の実施の形態２における脆性基板の分断方法に用いられるスクライビング器具の構成を概略的に示す側面図である。
【図３０】図２９におけるスクライビングホイールおよびピンの構成を概略的に示す正面図（Ａ）、および図３０（Ａ）の部分拡大図（Ｂ）である。
【図３１】本発明の実施の形態３における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す上面図である。
【図３２】本発明の実施の形態３における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す上面図である。
【図３３】本発明の実施の形態４における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す上面図である。
【図３４】本発明の実施の形態４における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す上面図である。
【図３５】本発明の実施の形態４における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す上面図である。
【図３６】本発明の実施の形態４における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す上面図である。
【図３７】本発明の実施の形態４における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す上面図である。
【図３８】本発明の実施の形態５における脆性基板の分断方法を概略的に示すフロー図である。
【図３９】本発明の実施の形態５における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す上面図である。
【図４０】図３９の線ＸＬ−ＸＬに沿う視野で本発明の実施の形態５における脆性基板の分断方法の工程を順に示す概略部分断面図（Ａ）〜（Ｃ）である。
【図４１】図３９の線ＸＬＩＡ−ＸＬＩＡに沿う概略断面図でありクラックレス状態におけるトレンチラインの構成を示す図（Ａ）、および、トレンチライン直下にクラックラインが形成された状態を同様の視野で示す断面図（Ｂ）である。
【図４２】本発明の実施の形態５における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す上面図である。
【図４３】本発明の実施の形態５における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す断面図である。
【図４４】本発明の実施の形態５における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す断面図である。
【図４５】図４４の矢印ＸＬＶに対応する視野による概略的な側面図である。
【図４６】本発明の実施の形態５における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す断面図である。
【図４７】本発明の実施の形態５における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す断面図である。
【図４８】本発明の実施の形態６における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す上面図である。
【図４９】本発明の実施の形態７における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す上面図である。
【図５０】本発明の実施の形態７における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す上面図である。
【図５１】本発明の実施の形態７における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す上面図である。
【図５２】本発明の実施の形態８における脆性基板の分断方法を概略的に示すフロー図である。
【図５３】本発明の実施の形態８における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す上面図である。
【図５４】本発明の実施の形態８における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す上面図である。
【図５５】図５４の矢印ＸＬＶの視野による脆性基板の端面の概略部分側面図である。
【図５６】本発明の実施の形態８における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す断面図である。
【図５７】本発明の実施の形態８における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す断面図である。
【図５８】本発明の実施の形態８における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す断面図である。
【図５９】本発明の実施の形態８における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す断面図である。
【図６０】本発明の実施の形態９における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す上面図である。
【図６１】本発明の実施の形態９における脆性基板の分断方法の一工程を概略的に示す上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面に基づいて本発明の各実施の形態における脆性基板の分断方法について説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰返さない。
【００２０】
（実施の形態１）
本実施の形態のガラス基板１１（脆性基板）の分断方法について、フローＦＬ１（図１）を参照しつつ、以下に説明する。
【００２１】
図２〜図４を参照して、ガラス基板１１が準備される（図１：ステップＳ１１０）。ガラス基板１１は、上面ＳＦ１（第１の面）と、下面ＳＦ２（第１の面と反対の第２の面）とを有する。またガラス基板１１は、上面ＳＦ１に垂直な厚さ方向ＤＴを有する。
【００２２】
また刃先を有するスクライビング器具が準備される。スクライビング器具の詳細については後述する。
【００２３】
次に、刃先がガラス基板１１の上面ＳＦ１上へ押し付けられながら、上面ＳＦ１上で刃先５１が始点Ｎ１から途中点Ｎ２を経由して終点Ｎ３へ移動させられる。これによってガラス基板１１の上面ＳＦ１上に塑性変形が発生させられる。これによって上面ＳＦ１上に、始点Ｎ１から途中点Ｎ２を経由して終点Ｎ３へ延びるトレンチラインＴＬが形成される（図１：ステップＳ１２０）。図２においては、方向ＤＡへの刃先の移動により、３つのＴＬが形成される。
【００２４】
トレンチラインＴＬを形成する工程は、トレンチラインＴＬの一部として低荷重区間ＬＲ（第１の部分）を形成する工程（図１：ステップＳ１２０Ｌ）と、トレンチラインＴＬの一部として高荷重区間ＨＲ（第２の部分）を形成する工程（図１：ステップＳ１２０Ｈ）とを含む。図２においては、始点Ｎ１から途中点Ｎ２まで低荷重区間が形成され、途中点Ｎ２から終点Ｎ３まで高荷重区間が形成される。高荷重区間ＨＲを形成する工程において刃先５１に加えられる荷重は、低荷重区間ＬＲを形成する工程で用いられる荷重よりも高い。逆に言えば、低荷重区間ＬＲを形成する工程において刃先５１に加えられる荷重は、高荷重区間ＨＲを形成する工程で用いられる荷重よりも低く、たとえば、高荷重区間ＨＲの荷重の３０〜５０％程度である。そのため、高荷重区間ＨＲの幅は、低荷重区間ＬＲの幅よりも大きい。たとえば、高荷重区間ＨＲが幅１０μｍを有し、低荷重区間ＬＲが幅５μｍを有する。また高荷重区間ＨＲの深さは、低荷重区間ＬＲの深さよりも大きい。トレンチラインＴＬの断面は、たとえば、角度１５０°程度のＶ字形状を有する。
【００２５】
トレンチラインＴＬを形成する工程は、トレンチラインＴＬの高荷重区間ＨＲおよび低荷重区間ＬＲの直下においてガラス基板１１がトレンチラインＴＬと交差する方向ＤＣ（図４（Ａ）および（Ｂ））において連続的につながっている状態であるクラックレス状態が得られるように行われる。このためには、刃先に加えられる荷重が、ガラス基板１１の塑性変形を発生させる程度に大きく、かつ、この塑性変形部を起点としたクラックを発生させない程度に小さくされる。
【００２６】
次に、クラックライン（図１：ステップＳ１３０）が、以下のように形成される。
【００２７】
図５〜図７を参照して、まず、ガラス基板１１の上面ＳＦ１上において高荷重区間ＨＲに交差するアシストラインＡＬが形成される。アシストラインＡＬは、ガラス基板１１の厚さ方向に浸透するクラックを伴う。アシストラインＡＬは、通常のスクライブ方法によって形成し得る。
【００２８】
次に、アシストラインＡＬに沿ってガラス基板１１が分離される。この分離は、通常のブレーク工程によって行い得る。この分離をきっかけとして、厚さ方向におけるガラス基板１１のクラックがトレンチラインＴＬに沿って、トレンチラインＴＬのうち高荷重区間ＨＲにのみ伸展させられる。
【００２９】
図８および図９を参照して、以上により、トレンチラインＴＬの低荷重区間ＬＲおよび高荷重区間ＨＲのうち高荷重区間ＨＲにのみ沿ってクラックが発生させられる。具体的には、高荷重区間ＨＲのうち、分離によって新たに生じた辺と、途中点Ｎ２との間の部分に、クラックラインＣＬが形成される。クラックラインＣＬが形成される方向は、トレンチラインＴＬが形成された方向ＤＡ（図２）と反対である。なお、分離によって新たに生じた辺と終点Ｎ３との間の部分にはクラックラインＣＬが形成されにくい。この方向依存性は、高荷重区間ＨＲの形成時における刃先の状態に起因するものであり、詳しくは後述する。
【００３０】
図１０を参照して、クラックラインＣＬによってトレンチラインＴＬの高荷重区間ＨＲの直下において、ガラス基板１１はトレンチラインＴＬの延在方向と交差する方向ＤＣにおいて連続的なつながりが断たれている。ここで「連続的なつながり」とは、言い換えれば、クラックによって遮られていないつながりのことである。なお、上述したように連続的なつながりが断たれている状態において、クラックラインＣＬのクラックを介してガラス基板１１の部分同士が接触していてもよい。
【００３１】
次に、トレンチラインＴＬに沿ってガラス基板１１を分断するブレーク工程が行われる（図１：ステップＳ１４０）。この際に、ガラス基板１１に応力を加えることによってクラックラインＣＬを起点として低荷重区間ＬＲに沿ってクラックが伸展させられる。クラックが伸展する方向（図１１における矢印ＰＲ）は、トレンチラインＴＬが形成された方向ＤＡ（図２）と反対である。
【００３２】
次に上記ブレーク工程の詳細について、以下に説明する。
【００３３】
図１２を参照して、ガラス基板１１の上面ＳＦ１が敷物８１を介してテーブル８０に対向するように、クラックラインＣＬが形成されたガラス基板１１（図９）が敷物８１を介してテーブル８０上に置かれる。敷物８１は、ガラス基板１１およびテーブル８０の材料に比して変形しやすい材料からなる。
【００３４】
図１３および図１４を参照して、ブレークバー８５（応力印加部材）が準備される。ブレークバー８５は、図１４に示すように、ガラス基板１１の表面を局所的に押し付けることができるように突出した形状を有することが好ましく、図１４においては略Ｖ字状の形状を有する。図１３に示すように、この突出部分は直線状に延在している。
【００３５】
次に、ブレークバー８５がガラス基板１１の下面ＳＦ２の一部に接触させられる。この接触部分は、下面ＳＦ２のうち厚さ方向（図１３における縦方向）においてクラックラインＣＬと対向する部分ＳＰ４から離れている。部分ＳＰ４は、下面ＳＦ２のうち厚さ方向において高荷重区間ＨＲと対向する部分でもある。
【００３６】
次に、矢印ＣＴ１に示すように、上記接触部分が、トレンチラインＴＬの低荷重区間ＬＲに沿って拡張され、部分ＳＰ４の方へ近づく。上述した最初の接触時、またはそれに続く接触部分の拡張によって、ブレークバー８５が下面ＳＦ２上において、低荷重区間ＬＲに対向する部分ＳＰ３（第３の部分）に接触し、かつ上述した部分ＳＰ４（第４の部分）からは離れた状態が生じる。このような選択的な接触は、たとえば、ある程度の弾性を有するブレークバー８５の姿勢を変化させることにより容易に得られる。なおこの時点では、低荷重区間ＬＲはクラックレス状態に保持されている。
【００３７】
図１５を参照して、矢印ＣＴ２に示すようにさらに拡張が進むことにより、上記接触部分が部分ＳＰ４に達する。言い換えれば、ブレークバー８５がガラス基板１１の下面ＳＦ２の部分ＳＰ３に接触している状態を保ちつつ、ブレークバー８５がガラス基板１１の下面ＳＦ２の部分ＳＰ４に接触させられる。これによりブレークバー８５は、前述した工程によってクラックラインＣＬのうち低荷重区間ＬＲに先に応力を印加し、その後、さらにクラックラインＣＬにも同時に応力を印加する。この応力によりクラックラインＣＬ（図１５）から低荷重区間ＬＲに沿ってクラックが伸展する（図１６の矢印ＰＲ参照）。言い換えれば、トレンチラインＴＬの高荷重区間ＨＲから低荷重区間ＬＲへ向かって伸展するクラックが発生させられる。この結果、トレンチラインＴＬに沿ってガラス基板１１が分断される。
【００３８】
以上のブレーク工程により、ガラス基板の分断（図１１）が行われる。
【００３９】
図１７（Ａ）および（Ｂ）を参照して、上述したトレンチラインＴＬの形成に適したスクライビング器具５０について説明する。スクライビング器具５０は、スクライブヘッド（図示せず）に取り付けられることによってガラス基板１１に対して相対的に移動することにより、ガラス基板１１に対するスクライブを行うものである。スクライビング器具５０は刃先５１およびシャンク５２を有する。刃先５１は、シャンク５２に保持されている。
【００４０】
刃先５１には、天面ＳＤ１（第１の面）と、天面ＳＤ１を取り囲む複数の面とが設けられている。これら複数の面は側面ＳＤ２（第２の面）および側面ＳＤ３（第３の面）を含む。天面ＳＤ１、側面ＳＤ２およびＳＤ３は、互いに異なる方向を向いており、かつ互いに隣り合っている。刃先５１は、天面ＳＤ１、側面ＳＤ２およびＳＤ３が合流する頂点を有し、この頂点によって刃先５１の突起部ＰＰが構成されている。また側面ＳＤ２およびＳＤ３は、刃先５１の側部ＰＳを構成する稜線をなしている。側部ＰＳは突起部ＰＰから線状に延びている。また側部ＰＳは、上述したように稜線であることから、線状に延びる凸形状を有する。
【００４１】
刃先５１はダイヤモンドポイントであることが好ましい。すなわち刃先５１はダイヤモンドから作られていることが好ましい。この場合、容易に、硬度を高く、表面粗さを小さくすることができる。より好ましくは刃先５１は単結晶ダイヤモンドから作られている。さらに好ましくは結晶学的に言って、天面ＳＤ１は｛００１｝面であり、側面ＳＤ２およびＳＤ３の各々は｛１１１｝面である。この場合、側面ＳＤ２およびＳＤ３は、異なる向きを有するものの、結晶学上、互いに等価な結晶面である。
【００４２】
なお単結晶でないダイヤモンドが用いられてもよく、たとえば、ＣＶＤ(Chemical Vapor Deposition)法で合成された多結晶体ダイヤモンドが用いられてもよい。あるいは、微粒のグラファイトや非グラファイト状炭素から、鉄族元素などの結合材を含まずに焼結された多結晶体ダイヤモンド、またはダイヤモンド粒子を鉄族元素などの結合材によって結合させた焼結ダイヤモンドが用いられてもよい。
【００４３】
シャンク５２は軸方向ＡＸに沿って延在している。刃先５１は、天面ＳＤ１の法線方向が軸方向ＡＸにおおよそ沿うようにシャンク５２に取り付けられることが好ましい。
【００４４】
スクライビング器具５０を用いたトレンチラインＴＬの形成においては、まずガラス基板１１の上面ＳＦ１に刃先５１が押し付けられる。具体的には、刃先５１の突起部ＰＰおよび側部ＰＳが、ガラス基板１１が有する厚さ方向ＤＴへ押し付けられる。
【００４５】
次に、押し付けられた刃先５１が上面ＳＦ１上で方向ＤＡへ摺動させられる。方向ＤＡは、突起部ＰＰから側部ＰＳに沿って延びる方向を上面ＳＦ１上に射影したものであり、軸方向ＡＸを上面ＳＦ１上へ射影した方向におおよそ対応している。摺動時、刃先５１はシャンク５２によって上面ＳＦ１上を引き摺られる。この摺動によって、ガラス基板１１の上面ＳＦ１上に塑性変形が発生させられる。この塑性変形によりトレンチラインＴＬが形成される。
【００４６】
なお本実施の形態における始点Ｎ１から終点Ｎ３へのトレンチラインＴＬの形成において、刃先５１が方向ＤＢへ移動させられるとすると、言い換えれば、刃先５１の移動方向を基準として刃先５１の姿勢が逆方向に傾いているとすると、図９に示すクラックラインＣＬの形成、および図１６に示すクラックの進行が、方向ＤＡを用いた場合に比して生じにくくなる。より一般的に言えば、方向ＤＡへの刃先５１の移動により形成されたトレンチラインＴＬにおいては、方向ＤＡとは逆方向にクラックが伸展しやすい。一方で、方向ＤＢへの刃先５１の移動により形成されたトレンチラインＴＬにおいては、方向ＤＢと同方向にクラックが伸展しやすい。このような方向依存性は、トレンチラインＴＬの形成時に生じる塑性変形に起因してガラス基板１１内に生じる応力分布と関連しているのではないかと推測される。
【００４７】
本実施の形態によれば、ガラス基板１１を分断するためにトレンチラインＴＬの高荷重区間ＨＲから低荷重区間ＬＲへ向かってクラックが伸展する際に（図１６：矢印ＰＲ）、図１５に示すように、下面ＳＦ２のうち低荷重区間ＬＲに対向する部分が予めブレークバー８５に接触している。これによりクラックがトレンチラインＴＬの低荷重区間ＬＲから外れて伸展することが抑制される。よってトレンチラインＴＬに沿った分断を正確に行うことができる。
【００４８】
またガラス基板１１を分断する工程の前に、トレンチラインＴＬの低荷重区間ＬＲおよび高荷重区間ＨＲのうち高荷重区間ＨＲにのみ沿ってクラックラインＣＬが形成される（図９）。つまり、ブレーク工程に先立ち、ガラス基板１１の分断の起点としてのクラックラインＣＬが形成される。これによりブレーク工程におけるガラス基板１１の分断をより確実に行うことができる。
【００４９】
また、ガラス基板１１が分断される位置を規定するためのトレンチラインＴＬ（図２および図３）の形成に際して、高荷重区間ＨＲに比して低荷重区間ＬＲにおいて、刃先５１（図１７（Ａ））に加えられる荷重が軽減される。これにより刃先５１へのダメージを小さくすることができる。
【００５０】
また低荷重区間ＬＲおよび高荷重区間ＨＲのうち低荷重区間ＬＲがクラックレス状態である場合（図８および図９）、ガラス基板１１が分断される起点となるクラックが低荷重区間ＬＲにはない。よってこの状態においてガラス基板１１に対して任意の処理を行う場合、低荷重区間ＬＲに不慮の応力が加わっても、ガラス基板１１の意図しない分断が生じにくい。よって上記処理を安定的に行うことができる。
【００５１】
また低荷重区間ＬＲおよび高荷重区間ＨＲの両方がクラックレス状態である場合（図２および図３）、ガラス基板１１が分断される起点となるクラックがトレンチラインＴＬにない。よってこの状態においてガラス基板１１に対して任意の処理を行う場合、トレンチラインＴＬに不慮の応力が加わっても、ガラス基板１１の意図しない分断が生じにくい。よって上記処理をより安定的に行うことができる。
【００５２】
またトレンチラインＴＬはアシストラインＡＬの形成前に形成される。これにより、トレンチラインＴＬの形成時にアシストラインＡＬが影響を及ぼすことを避けることができる。特に、トレンチラインＴＬ形成のために刃先５１がアシストラインＡＬ上を通過した直後における形成異常を避けることができる。
【００５３】
次に実施の形態１の変形例について、以下に説明する。
【００５４】
図１８を参照して、アシストラインＡＬがトレンチラインＴＬを交差することをきっかけとして、クラックラインＣＬが形成されてもよい。アシストラインＡＬの形成時にガラス基板１１に加わる応力が大きい場合、このような事象が生じ得る。
【００５５】
図１９を参照して、ガラス基板１１の上面ＳＦ１に、まずアシストラインＡＬが形成され、その後にトレンチラインＴＬ（図１９において図示せず）が形成されてもよい。
【００５６】
図２０を参照して、アシストラインＡＬは、平面レイアウトにおいて高荷重区間ＨＲと交差するように、ガラス基板１１の下面ＳＦ２上に形成されてもよい。これにより、アシストラインＡＬおよびトレンチラインＴＬの両方を、互いに影響を及ぼし合うことなく形成することができる。
【００５７】
図２１（Ａ）および（Ｂ）を参照して、スクライビング器具５０（図１７（Ａ）および（Ｂ））の代わりに、スクライビング器具５０ｖが用いられてもよい。刃先５１ｖは、頂点と、円錐面ＳＣとを有する円錐形状を有する。刃先５１ｖの突起部ＰＰｖは頂点で構成されている。刃先の側部ＰＳｖは頂点から円錐面ＳＣ上に延びる仮想線（図２１（Ｂ）における破線）に沿って構成されている。これにより側部ＰＳｖは、線状に延びる凸形状を有する。
【００５８】
（実施の形態２）
図２２を参照して、まずガラス基板１１が準備される。また刃先を有するスクライビング器具が準備される。スクライビング器具の詳細については後述する。
【００５９】
次に、ガラス基板１１の上面ＳＦ１上における方向ＤＢへの刃先の移動により、後述する高荷重区間ＨＲ（図２３）に交差することになるアシストラインＡＬが上面ＳＦ１上に形成される。
【００６０】
図２３を参照して、方向ＤＢへの刃先の移動により、ガラス基板１１の上面ＳＦ１上において始点Ｑ１から途中点Ｑ２およびＱ３を経由して終点Ｑ４までトレンチラインＴＬが形成される。始点Ｑ１から途中点Ｑ２まで、および途中点Ｑ３から終点Ｑ４までのトレンチラインＴＬは低荷重区間ＬＲとして形成される。途中点Ｑ２から途中点Ｑ３までのトレンチラインＴＬは高荷重区間ＨＲとして形成される。
【００６１】
次に、アシストラインＡＬに沿ってガラス基板１１が分離される。この分離は、通常のブレーク工程によって行い得る。この分離をきっかけとして、厚さ方向におけるガラス基板１１のクラックがトレンチラインＴＬに沿って、トレンチラインＴＬのうち高荷重区間ＨＲにのみ伸展させられる。
【００６２】
図２４を参照して、上述したクラックの伸展により、トレンチラインＴＬの一部に沿ってクラックラインＣＬが形成される。具体的には、高荷重区間ＨＲのうち、分離によって新たに生じた辺と、途中点Ｑ３との間の部分に、クラックラインＣＬが形成される。クラックラインＣＬが形成される方向は、トレンチラインＴＬが形成された方向ＤＢ（図２３）と同じである。なお、分離によって新たに生じた辺と途中点Ｑ２との間の部分にはクラックラインＣＬが形成されにくい。この方向依存性は、高荷重区間ＨＲの形成時における刃先の状態に起因するものであり、詳しくは後述する。
【００６３】
次に、実施の形態１と同様のブレーク工程（図１２〜図１６）により、クラックラインＣＬを起点としてトレンチラインＴＬに沿って途中点Ｑ３から終点Ｑ４に向かってクラックを伸展させるブレーク工程が行われる。これにより脆性基板１１が分断される。
【００６４】
図２５および図２６を参照して、第１の変形例として、まずトレンチラインＴＬが形成され、その後、アシストラインＡＬが形成されてもよい。図２７を参照して、第２の変形例として、アシストラインＡＬの形成をきっかけとして、クラックラインＣＬが形成されてもよい。図２８を参照して、アシストラインＡＬは、平面レイアウトにおいて高荷重区間ＨＲと交差するように、ガラス基板１１の下面ＳＦ２上に形成されてもよい。また本実施の形態においては高荷重区間ＨＲが途中点Ｑ２からＱ３まで形成されるが、高荷重区間ＨＲはアシストラインＡＬと交差する部分に形成されていればよく、たとえば始点Ｑ１から途中点Ｑ３まで形成されてもよい。
【００６５】
図２９を参照して、次に本実施の形態におけるトレンチラインＴＬの形成に適したスクライビング器具５０Ｒについて説明する。スクライビング器具５０Ｒは、スクライビングホイール５１Ｒと、ホルダ５２Ｒと、ピン５３とを有する。スクライビングホイール５１Ｒは、おおよそ円盤状の形状を有しており、その直径は、典型的には数ｍｍ程度である。スクライビングホイール５１Ｒは、ホルダ５２Ｒにピン５３を介して、回転軸ＲＸ周りに回転可能に保持されている。
【００６６】
スクライビングホイール５１Ｒは、刃先が設けられた外周部ＰＦを有する。外周部ＰＦは、回転軸ＲＸ周りに円環状に延びている。外周部ＰＦは、図３０（Ａ）に示すように、目視レベルでは稜線状に切り立っており、それによって、稜線と傾斜面とからなる刃先を構成している。一方、顕微鏡レベルでは、図３０（Ｂ）に示すように、スクライビングホイール５１Ｒが上面ＳＦ１内へ侵入することによって実際に作用する部分（図３０（Ｂ）の二点鎖線よりも下方）において外周部ＰＦの稜線は微細な表面形状ＭＳを有する。表面形状ＭＳは、正面視（図３０（Ｂ））において、有限の曲率半径を有する曲線形状を有することが好ましい。スクライビングホイール５１Ｒは、超硬合金、焼結ダイヤモンド、多結晶ダイヤモンドまたは単結晶ダイヤモンドなどの硬質材料を用いて形成されている。上述した稜線および傾斜面の表面粗さを小さくする観点でスクライビングホイール５１Ｒ全体が単結晶ダイヤモンドから作られてもよい。
【００６７】
スクライビング器具５０Ｒを用いたトレンチラインＴＬの形成は、ガラス基板１１の上面ＳＦ１上でスクライビングホイール５１Ｒを転動させることによって（図２９：矢印ＲＴ）、スクライビングホイール５１Ｒが上面ＳＦ１上を方向ＤＢへと進行することにより行われる。この転動による進行は、スクライビングホイール５１Ｒに荷重Ｆを加えることによってスクライビングホイール５１Ｒの外周部ＰＦをガラス基板１１の上面ＳＦ１上へ押し付けながら行われる。これによりガラス基板１１の上面ＳＦ１上に塑性変形を発生させることで、溝形状を有するトレンチラインＴＬが形成される。荷重Ｆは、ガラス基板１１の厚さ方向ＤＴに平行な垂直成分Ｆｐと、上面ＳＦ１に平行な面内成分Ｆｉとを有する。方向ＤＢは面内成分Ｆｉの方向と同じである。
【００６８】
なお、トレンチラインＴＬの形成は、方向ＤＢへ移動するスクライビング器具５０Ｒによる代わりに、方向ＤＢへ移動するスクライビング器具５０（図１７（Ａ）および（Ｂ））または５０ｖ（図２１（Ａ）および（Ｂ））が用いられてもよい。
【００６９】
なお、上記以外の構成については、上述した実施の形態１の構成とほぼ同じであるため、同一または対応する要素について同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。
【００７０】
本実施の形態によっても、実施の形態１とほぼ同様の効果が得られる。また本実施の形態においては、固定された刃先ではなく回転する刃先を用いてトレンチラインＴＬを形成することができるため、刃先の寿命を長くすることができる。
【００７１】
（実施の形態３）
図３１を参照して、まず、ガラス基板１１と、刃先を有するスクライビング器具とが準備される。刃先の移動により、ガラス基板１１の上面ＳＦ１上において点Ｒ１およびＲ６の間にトレンチラインが形成される。点Ｒ１および点Ｒ２の間と、点Ｒ３およびＲ４の間と、点Ｒ５およびＲ６の間のトレンチラインＴＬは高荷重区間ＨＲとして形成される。点Ｒ２およびＲ３の間と、点Ｒ４およびＲ５の間のトレンチラインＴＬは低荷重区間ＬＲとして形成される。トレンチラインＴＬの形成方法は、上述した実施の形態１または２（それらの変形例を含む）で説明した任意のものを用い得る。
【００７２】
次に、各々が高荷重区間ＨＲに交差する複数のブレークラインＢＬに沿って、ガラス基板１１が分離される。このブレークラインＢＬの形成は、通常のスクライブ工程やトレンチラインＴＬから垂直クラックを発生させる工程など、どのような方法で行われてもよく、ブレークラインＢＬの分離は通常のブレーク工程によって行い得る。
【００７３】
図３２を参照して、上述したガラス基板１１の分離をきっかけとして、分離によって新たに生じた辺と、その辺を挟む１対の途中点のうちの一方との間の部分に、クラックラインＣＬが形成される。クラックラインＣＬが形成される方向は、トレンチラインＴＬが方向ＤＡ（図１７（Ａ）または図２１（Ａ））へ形成された場合は方向ＤＡと反対であり、トレンチラインＴＬが方向ＤＢ（図１７（Ａ）、図２１（Ａ）または図２９）へ形成された場合は方向ＤＢと同じである。
【００７４】
次に、実施の形態１と同様のブレーク工程（図１２〜図１６）により、クラックラインＣＬを起点としてトレンチラインＴＬに沿ってクラックを伸展させるブレーク工程が行われる。これにより脆性基板１１が分断される。
【００７５】
本実施の形態によれば、ガラス基板１１が分断される位置を、複数のトレンチラインＴＬと、それに交差する複数のブレークラインＢＬとによって規定することができる。
【００７６】
（実施の形態４）
図３３を参照して、刃先５１の方向ＤＡへの移動により（図１７（Ａ）参照）、ガラス基板１１の上面ＳＦ１上において端点Ｓ１およびＳ３の間にトレンチラインが方向ＤＬに形成される。端点Ｓ１および途中点Ｓ２の間のトレンチラインＴＬは低荷重区間ＬＲとして形成される。途中点Ｓ２および端点Ｓ３の間のトレンチラインＴＬは高荷重区間ＨＲとして形成される。
【００７７】
図３４を参照して、次に、刃先５１をガラス基板１１の上面ＳＦ１上へ押し付けながらガラス基板１１の上面ＳＦ１上で刃先５１を方向ＤＡ（図１７（Ａ））移動させることによって、ガラス基板１１の上面ＳＦ１上に塑性変形を発生させることで、上面ＳＦ１上においてトレンチラインＴＬの低荷重区間ＬＲと交差する交差トレンチラインＴＭが、方向ＤＭに形成される。交差トレンチラインＴＭを形成する工程は、トレンチラインＴＬと同様、クラックレス状態が得られるように行われる。つまり、交差トレンチラインＴＭを形成する工程は、交差トレンチラインＴＭの直下においてガラス基板１１が交差トレンチラインＴＭと交差する方向において連続的につながっている状態であるクラックレス状態が得られるように行われる。
【００７８】
次に、交差トレンチラインＴＭと交差するブレークラインＢＭに沿ってガラス基板１１が分離される。この分離は、通常のスクライブ工程およびブレーク工程によって行い得る。ブレークラインＢＭは、交差トレンチラインＴＭとトレンチラインＴＬとの交差点から方向ＤＭへずれた点において交差トレンチラインＴＭと交差する。この分離をきっかけとして、交差トレンチラインＴＭに沿って、ガラス基板１１の厚さ方向に浸透するクラックを伴うクラックラインＣＭ（図３５）が形成される。
【００７９】
次に、トレンチラインＴＬの高荷重区間ＨＲに交差するブレークラインＢＬに沿ってガラス基板１１が分離される。この分離は、通常のスクライブ工程およびブレーク工程によって行い得る。この分離をきっかけとして、高荷重区間ＨＲに沿って、ガラス基板１１の厚さ方向に浸透するクラックを伴うクラックラインＣＬ（図３６）が形成される。
【００８０】
次に、実施の形態１と同様のブレーク工程（図１２〜図１６）により、クラックラインＣＬを起点としてトレンチラインＴＬに沿ってクラックを伸展させるブレーク工程が行われる。これによりトレンチラインＴＬに沿って脆性基板１１が分断される（図３７）。その後、クラックラインＣＭに沿ってブレーク工程が行われ、脆性基板１１がさらに分断される。
【００８１】
本実施の形態によれば、ガラス基板１１が分断される位置を、トレンチラインＴＬと、それに交差する交差トレンチラインＴＭとによって規定することができる。
【００８２】
なお、刃先５１（図１７（Ａ））に代わり、刃先５１ｖ（図２１（Ａ））が用いられてもよい。またトレンチラインＴＬの形成は、方向ＤＬ（図３３）と逆方向に行われてもよく、その場合、刃先５１（図１７（Ａ））は方向ＤＢへ移動される。同様に、交差トレンチラインＴＭの形成は、方向ＤＭ（図３４）と逆方向に行われてもよく、その場合、刃先５１（図１７（Ａ））は方向ＤＢへ移動される。刃先が方向ＤＢへ移動される場合は、刃先５１に代わり、スクライビングホイール５１Ｒ（図２９）の刃先が用いられてもよい。
【００８３】
（実施の形態５）
図３８は、本実施の形態におけるガラス基板１１（脆性基板）の分断方法を概略的に示すフローＦＬ２である。図３９は、ステップＳ２２０（図３８）直後の状態を概略的に示す上面図である。図４０は、図３９の線ＸＬ−ＸＬに沿う視野で工程を順に示す概略部分断面図（Ａ）〜（Ｃ）である。
【００８４】
まずガラス基板１１が準備される（図３８：ステップＳ２１０）。ガラス基板１１は、縁ＥＧを有する上面ＳＦ１と、下面ＳＦ２とを有する。またガラス基板１１は、上面ＳＦ１に垂直な厚さ方向ＤＴを有する。また刃先が設けられたスクライビングホイール５１Ｒ（図３０（Ａ））を有するスクライビング器具５０Ｒ（図２９）が準備される。
【００８５】
次に、矢印Ｍ１（図４０（Ａ））に示すスクライビングホイール５１Ｒの移動により、その刃先がガラス基板１１の上面ＳＦ１の縁ＥＧに接触する。次に、ガラス基板１１へ刃先を押し付けながらガラス基板１１上で刃先が移動させられる（図３８：ステップＳ２２０）。以下、その工程について説明する。
【００８６】
まず、矢印Ｍ２（図４０（Ｂ））に示すスクライビングホイール５１Ｒの移動により、ガラス基板１１の縁ＥＧに刃先が乗り上げる。これにより、縁ＥＧ上の一の位置である始点Ｎ１（図３９）に欠けＣＰ（図４０（Ｃ））が形成される（図３８：ステップＳ２２０Ｃ）。
【００８７】
次に、上記のように欠けＣＰを形成する工程によって始点Ｎ１に乗り上げた刃先をガラス基板１１の上面ＳＦ１上へ押し付けながら、矢印Ｍ３（図４０（Ｃ））に示すように、上面ＳＦ１上で、刃先が設けられたスクライビングホイール５１Ｒが移動させられる。これによって、ガラス基板１１の上面ＳＦ１上に塑性変形が発生する。その結果、始点Ｎ１から、上面ＳＦ１上の他の位置である終点Ｎ３まで、トレンチラインＴＬ（第１のトレンチライン）が形成される（図３８：ステップＳ２２０Ｔ）。よってトレンチラインＴＬは、欠けＣＰから離れた第１の部分ＴＰ１（図４３参照）と、欠けＣＰ上に位置する第２の部分ＴＰ２（図４３参照）とを有する。トレンチラインＴＬは、欠けＣＰから離れて位置する部分の直下において、前述したクラックレス状態が得られるように形成される。なお欠けＣＰも、その直下においてクラックレス状態が得られるように形成されることが好ましい。
【００８８】
図４１（Ａ）を参照して、トレンチラインＴＬを形成する工程は、トレンチラインＴＬの直下においてガラス基板１１がトレンチラインＴＬと交差する方向ＤＣにおいて連続的につながっている状態であるクラックレス状態が得られるように行われる。クラックレス状態においては、塑性変形によるトレンチラインＴＬは形成されているものの、それに沿ったクラックは形成されていない。よってガラス基板１１に曲げモーメントが加わっても、トレンチラインＴＬに沿った分断は容易には生じない。クラックレス状態を得るためには、刃先がガラス基板１１に押し付けられる荷重が過度に大きくならないようにすればよい。なお図４１（Ｂ）は、図４１（Ａ）の比較例を示すものであり、トレンチラインＴＬと、それに沿ってその直下に延びるクラックであるクラックラインＣＬとが形成された状態を示す。
【００８９】
上述したトレンチラインＴＬの形成工程が必要に応じて繰り返されることにより、所望の数のトレンチラインが形成され得る。図３９は、３つのトレンチラインＴＬが形成される場合を例示している。
【００９０】
図４２を参照して、次にブレーク工程が行われる。具体的には、ガラス基板１１に応力を加えることにより、欠けＣＰを起点としたクラックを始点Ｎ１から終点Ｎ３へ伸展させることによって、トレンチラインＴＬに沿ってガラス基板１１が分断される（図３８：ステップＳ２３０）。ブレーク工程はトレンチラインＴＬの数に応じて複数回行い得る。なおブレーク工程のより詳細な方法は後述する。
【００９１】
以上により、トレンチラインＴＬに沿ってガラス基板１１が分断される。
【００９２】
次に本実施の形態におけるブレーク工程について、以下に説明する。
【００９３】
図４３を参照して、ガラス基板１１の上面ＳＦ１が敷物８１を介してテーブル８０に対向するように、トレンチラインＴＬが形成されたガラス基板１１（図３９）が敷物８１を介してテーブル８０上に置かれる。
【００９４】
図４４および図４５を参照して、ブレークバー８５が準備される。ブレークバー８５は、図４５に示すように、ガラス基板１１の表面を局所的に押し付けることができるように突出した形状を有することが好ましく、図４５においては略Ｖ字状の形状を有する。図４４に示すように、この突出部分は直線状に延在している。
【００９５】
次に、ブレークバー８５がガラス基板１１の下面ＳＦ２の一部に接触させられる。この接触部分は、下面ＳＦ２のうち厚さ方向（図９における縦方向）においてトレンチラインＴＬの部分ＴＰ２と対向する部分ＳＰ４から離れている。
【００９６】
次に、矢印ＣＴ１に示すように、上記接触部分が、トレンチラインＴＬに沿って拡張され、部分ＳＰ４の方へ近づく。上述した最初の接触時、またはそれに続く接触部分の拡張によって、ブレークバー８５が下面ＳＦ２のうちトレンチラインＴＬの部分ＴＰ１に対向する部分ＳＰ３（第３の部分）に接触し、かつ上述した部分ＳＰ４（第４の部分）からは離れた状態が生じる。このような選択的な接触は、たとえば、ある程度の弾性を有するブレークバー８５の姿勢を変化させることにより容易に得られる。なおこの時点では、トレンチラインＴＬの部分ＴＰ１はクラックレス状態に保持されている。
【００９７】
図４６を参照して、矢印ＣＴ２に示すようにさらに拡張が進むことにより、上記接触部分が部分ＳＰ４に達する。言い換えれば、ブレークバー８５が下面ＳＦ２の部分ＳＰ３に接触している状態を保ちつつ、ブレークバー８５が下面ＳＦ２の部分ＳＰ４に接触させられる。これによりブレークバー８５は、前述した工程によってトレンチラインＴＬの部分ＴＰ１に先に応力を印加し、その後、さらに欠けＣＰにも同時に応力を印加する。この応力により欠けＣＰからトレンチラインＴＬに沿ってクラックが伸展する（図４７の矢印ＰＲ参照）。言い換えれば、トレンチラインＴＬの部分ＴＰ２から部分ＴＰ１へ向かって伸展するクラックが発生させられる。この結果、トレンチラインＴＬに沿ってガラス基板１１が分断される。
【００９８】
以上のブレーク工程により、ガラス基板１１の分断（図４２）が行われる。
【００９９】
本実施の形態によれば、ガラス基板１１を分断するために、トレンチラインＴＬの部分ＴＰ２から部分ＴＰ１へ向かってクラックが伸展する際に（図４７：矢印ＰＲ）、図４６に示すように、下面ＳＦ２のうち部分ＴＰ１に対向する部分ＳＰ３が予めブレークバー８５に接触している。これによりクラックがトレンチラインの部分ＴＰ１から外れて伸展することが抑制される。よってトレンチラインＴＬに沿った分断を正確に行うことができる。
【０１００】
またトレンチラインＴＬに沿ってクラックを伸展させるきっかけとして、ガラス基板１１の縁ＥＧに形成された欠けＣＰが用いられる。この欠けＣＰは、トレンチラインＴＬの形成開始時に移動する刃先がガラス基板１１の縁ＥＧを乗り上げるだけで形成される。よってトレンチラインＴＬに沿ったガラス基板１１の分断を簡素な工程で行うことができる。
【０１０１】
また欠けＣＰの形成には、スクライビングホイール５１Ｒの刃先、すなわち回転する刃先、が用いられる。これにより、ダイヤモンドポイントのような固定された刃先が用いられる場合に比して、ガラス基板１１の縁ＥＧに刃先が乗り上げる際に刃先が受けるダメージが抑制される。
【０１０２】
（実施の形態６）
図４８を参照して、本実施の形態においては、トレンチラインＴＬの一部として高荷重区間ＨＲを形成する工程と、トレンチラインＴＬの一部として低荷重区間ＬＲを形成する工程とが行われる。高荷重区間ＨＲは、始点Ｎ１から、始点Ｎ１と終点Ｎ３との間の途中点Ｎ２まで形成される。低荷重区間ＬＲは途中点Ｎ２から終点Ｎ３まで形成される。低荷重区間ＬＲを形成する工程において刃先に加えられる荷重は、高荷重区間ＨＲを形成する工程で用いられる荷重よりも低い。
【０１０３】
なお、上記以外の構成については、上述した実施の形態５の構成とほぼ同じであるため、同一または対応する要素について同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。
【０１０４】
本実施の形態によれば、トレンチラインＴＬのうち欠けＣＰから延びる部分である高荷重区間ＨＲが、高荷重による塑性変形で形成される。これにより、低荷重区間ＬＲで用いられる低荷重による塑性変形でトレンチラインＴＬ全体が形成される場合に比して、欠けＣＰからトレンチラインＴＬへクラックが発生しやすくなる。よってブレーク工程（図４３〜図４７）において、欠けＣＰをきっかけとしたクラックをより確実に発生させることができる。よってこのクラックの伸展を用いた、トレンチラインＴＬに沿ったガラス基板１１の分断をより確実に行うことができる。
【０１０５】
なお図３９においては終点Ｎ３がガラス基板１１の縁ＥＧから離れているが、終点Ｎ３はガラス基板１１の縁ＥＧ上（図３９の例においてはガラス基板１１の表面ＳＦ１の右辺の縁上）に位置してもよい。
【０１０６】
（実施の形態７）
図４９を参照して、まず、実施の形態５とほぼ同様の方法により、その始点に欠けＣＰを伴い、かつ終点まで延びるトレンチラインＴＬが、方向ＤＬへ向けて形成される。
【０１０７】
図５０を参照して、次に、荷重を加えることによって刃先をガラス基板１１の上面ＳＦ１上へ押し付けながら、上面ＳＦ１上で刃先が方向ＤＭへ向けて移動させられる。これによってガラス基板１１の上面ＳＦ１上に塑性変形を発生させることで、交差トレンチラインＴＭ（第２のトレンチライン）が点Ｔ１およびＴ６の間に形成される。交差トレンチラインＴＭの形成は、トレンチラインＴＬ（図４１（Ａ））に関して実施の形態５において説明したのと同様に、交差トレンチラインＴＭに関してクラックレス状態が得られるように行われる。
【０１０８】
点Ｔ１および点Ｔ２の間と、点Ｔ３およびＴ４の間と、点Ｔ５およびＴ６の間は、交差トレンチラインＴＭの一部として高荷重区間ＨＳが形成される。点Ｔ２およびＴ３の間と、点Ｔ４およびＴ５の間は、交差トレンチラインＴＭの一部として低荷重区間ＬＳが形成される。高荷重区間ＨＳを形成する工程において刃先に加えられる荷重は、低荷重区間ＬＳを形成する工程で用いられる荷重よりも高い。高荷重区間ＨＳはトレンチラインＴＬと交差する。なお交差トレンチラインＴＭの形成方法は、トレンチラインＴＬの形成方法と同様のものを用いることができる。
【０１０９】
次に、実施の形態５と同様のブレーク工程により、欠けＣＰを起点としてトレンチラインＴＬに沿ってクラックが伸展させられる。これによりトレンチラインＴＬに沿ってガラス基板１１が分断される（図５１）。この分断をきっかけとして交差トレンチラインＴＭのうち高荷重区間ＨＳにのみクラックが伸展する。この結果、交差トレンチラインＴＭの一部に沿ってクラックラインＣＬが形成される。具体的には、分断によって新たに生じた辺と、その辺を挟む１対の途中点のうちの一方との間の部分において、高荷重区間ＨＳにクラックラインＣＬが形成される。
【０１１０】
なお分断によって新たに生じた辺と、その辺を挟む１対の途中点のうちの他方との間の部分においては、高荷重区間ＨＳであってもクラックラインＣＬが形成されにくい。この理由は、クラックラインＣＬに沿ったクラックの伸展のしやすさに方向依存性があるためである。この方向依存性は、ガラス基板１１がスクライブされた際に生じる内部応力の分布に起因すると推測される。
【０１１１】
高荷重区間ＨＳにおいては、図４１（Ｂ）に示すように、ガラス基板１１は交差トレンチラインＴＭの直下においてクラックラインＣＬによって、交差トレンチラインＴＭの延在方向と交差する方向ＤＣにおいて連続的なつながりが断たれている。ここで「連続的なつながり」とは、言い換えれば、クラックによって遮られていないつながりのことである。なお、上述したように連続的なつながりが断たれている状態において、クラックラインＣＬのクラックを介してガラス基板１１の部分同士が接触していてもよい。
【０１１２】
次に、実施の形態５と同様のブレーク工程によりガラス基板１１に応力を加えることによって、クラックラインＣＬを起点として低荷重区間ＬＳに沿ってクラックが伸展する。これにより、交差トレンチラインＴＭに沿ってガラス基板１１が分断される。すなわち、前述したトレンチラインＴＬに沿った分断に加えてさらに、交差トレンチラインＴＭに沿った分断が行われる。
【０１１３】
本実施の形態によれば、実施の形態５とほぼ同様の効果が得られる。またガラス基板１１が分断される位置を、トレンチラインＴＬと、それに交差する交差トレンチラインＴＭとによって規定することができる。
【０１１４】
（実施の形態８）
図５２は、本実施の形態におけるガラス基板１１（脆性基板）の分断方法を概略的に示すフローＦＬ３である。図５３は、ステップＳ３２０（図５２）直後の状態を概略的に示す上面図である。
【０１１５】
まずガラス基板１１が準備される（図５２：ステップＳ３１０）。ガラス基板１１は、上面ＳＦ１と、その反対の面である下面とを有する。また、刃先５１が設けられたスクライビング器具５０（図１７（Ａ））が準備される。
【０１１６】
次に、刃先がガラス基板１１の上面ＳＦ１上へ押し付けられながら移動させられる。これによって上面ＳＦ１上に塑性変形が発生する。その結果、上面ＳＦ１上で点Ｎ１から点Ｎ２（一の点）を経由して点Ｎ３へ延びるトレンチラインＴＬが形成される（図５２：ステップＳ３２０）。トレンチラインＴＬが形成される際、刃先は点Ｎ２上をスクライブ方向ＤＬ（一の方向）へ移動する。なお点Ｎ１〜Ｎ３は上面ＳＦ１上における位置を表している。
【０１１７】
上述したトレンチラインＴＬの形成工程が必要に応じて繰り返されることにより、所望の数のトレンチラインＴＬが形成され得る。図５３は、３つのトレンチラインＴＬが形成される場合を例示している。
【０１１８】
トレンチラインＴＬを形成する工程は、前述したクラックレス状態（図４１（Ａ））が得られるように行われる。なおクラックレス状態にない状態（図４１（Ｂ））においては、ガラス基板１１が、トレンチラインＴＬの直下においてトレンチラインＴＬに沿って延びるクラックラインＣＬによって、トレンチラインＴＬと交差する方向ＤＣにおいて分断されている。ガラス基板を分断するために形成される従来の典型的なスクライブラインは、クラックラインＣＬを伴うものであり、クラックレス状態で形成されるものではない。
【０１１９】
次に、ガラス基板１１の上面ＳＦ１上の点Ｎ２においてトレンチラインＴＬと交差するブレークラインＢＬに沿ってガラス基板１１が分離される。この分離は、たとえば、ブレークラインＢＬに沿った通常のスクライブラインの形成と、その後の通常のブレーク工程とにより行い得る。
【０１２０】
図５４を参照して、上記分離により、トレンチラインＴＬが露出した端面ＳＥが形成される（図５２：ステップＳ３３０）。トレンチラインＴＬが露出した箇所での端面ＳＥの法線方向（法線ベクトル）ＤＮは、スクライブ方向ＤＬ（図５３）の成分を有する。法線方向ＤＮとスクライブ方向ＤＬとは、ほぼ同じであることが好ましい。
【０１２１】
図５５を参照して、ガラス基板１１を分離する工程は、クラックレス状態が維持されるように行われる。そのためには、前述したトレンチラインＴＬの形成時に刃先に加えられる荷重が、上面ＳＦ１における塑性変形を発生させるのに十分な大きさとされつつも、過度に大きくならないようにすればよい。
【０１２２】
次に、端面ＳＥの表面粗さが増大させられる。この工程は、端面ＳＥの少なくともトレンチラインＴＬが露出した箇所に対して、微小な破砕を伴う機械的加工を行うことによって行うことができ、具体的には、端面ＳＥのトレンチラインＴＬが露出した箇所を研削することによって行うことができる。この研削は、たとえばヤスリや軸付砥石などの工具を用いて行うことができる。
【０１２３】
次に、トレンチラインＴＬに沿ってガラス基板１１が分断される（図５２：ステップＳ３４０）。この目的で、トレンチラインＴＬが端面ＳＥ上において露出した箇所に応力を加えるブレーク工程により、この箇所を起点としてトレンチラインＴＬに沿ってクラックが伸展させられる。ブレーク工程はトレンチラインＴＬの数に応じて複数回行い得る。以下、好ましいブレーク工程の詳細について説明する。
【０１２４】
図５６を参照して、ガラス基板１１の上面ＳＦ１が敷物８１を介してテーブル８０に対向するように、トレンチラインＴＬが形成されたガラス基板１１（図５３）が敷物８１を介してテーブル８０上に置かれる。
【０１２５】
図５７を参照して、ブレークバー８５が準備される。次に、ブレークバー８５がガラス基板１１の下面ＳＦ２の一部に接触させられる。この接触部分は、ガラス基板１１の端面ＳＥから離れている。
【０１２６】
次に、矢印ＣＴ１に示すように、上記接触部分が、トレンチラインＴＬに沿って拡張され、端面ＳＥの方へ近づく。上述した最初の接触時、またはそれに続く接触部分の拡張によって、ブレークバー８５が、下面ＳＦ２のうちトレンチラインＴＬの端面ＳＥから離れた部分ＴＰ１に対向する部分ＳＰ３に接触し、かつ、下面ＳＦ２のうちトレンチラインＴＬの端面ＳＥにつながる部分ＴＰ２からは離れた状態が生じる。このような選択的な接触は、たとえば、ある程度の弾性を有するブレークバー８５の姿勢を変化させることにより容易に得られる。なおこの時点では、トレンチラインＴＬの部分ＴＰ１はクラックレス状態に保持されている。
【０１２７】
図５８を参照して、矢印ＣＴ２に示すようにさらに拡張が進むことにより、上記接触部分が部分ＳＰ４に達する。言い換えれば、ブレークバー８５が下面ＳＦ２の部分ＳＰ３に接触している状態を保ちつつ、ブレークバー８５が下面ＳＦ２の部分ＳＰ４に接触させられる。これによりブレークバー８５は、前述した工程によってトレンチラインＴＬの部分ＴＰ１に先に応力を印加し、その後、さらに端面ＳＥにおいて露出部を有する部分ＴＰ２にも同時に応力を印加する。この応力により上記露出部からトレンチラインＴＬに沿ってクラックが伸展する（図５９の矢印ＰＲ参照）。言い換えれば、トレンチラインＴＬの部分ＴＰ２から部分ＴＰ１へ向かって伸展するクラックが発生させられる。この結果、トレンチラインＴＬに沿ってガラス基板１１が分断される。
【０１２８】
以上のブレーク工程により、ガラス基板１１の分断が行われる。
【０１２９】
スクライビング器具５０（図１７（Ａ））が本実施の形態に適用される場合、押し付けられた刃先５１は上面ＳＦ１上で方向ＤＡへ摺動させられる。方向ＤＡと反対の方向ＤＢが用いられると、本実施の形態においてはトレンチラインＴＬに沿ったクラックが発生しにくくなる。このような方向依存性は、トレンチラインＴＬの形成に起因して生じるガラス基板１１内の応力の分布に起因すると推測される。なお変形例として、スクライビング器具５０ｖ（図２１（Ａ））が用いられてもよい。
【０１３０】
本実施の形態によれば、ガラス基板１１を分断するために、トレンチラインＴＬの部分ＴＰ２から部分ＴＰ１へ向かってクラックが伸展する際に（図５９：矢印ＰＲ）、図５８に示すように、下面ＳＦ２のうち部分ＴＰ１に対向する部分ＳＰ３が予めブレークバー８５に接触している。これによりクラックがトレンチラインの部分ＴＰ１から外れて伸展することが抑制される。よってトレンチラインＴＬに沿った分断を正確に行うことができる。
【０１３１】
またトレンチラインＴＬに沿ってクラックを伸展させるきっかけとなる部分を形成するために、トレンチラインＴＬが露出した端面ＳＥ（図５５）の表面粗さが増大させられる。これにより、トレンチラインＴＬが端面ＳＥ上において露出した箇所を起点としたクラックが発生しやすくなる。よって、その直下にクラックを有しないトレンチラインＴＬ（図３（Ａ））に沿った分断を、トレンチラインＴＬが低荷重で形成された場合においても行うことができる。
【０１３２】
（実施の形態９）
図６０を参照して、実施の形態８（図５３）とほぼ同様に、ガラス基板１１の上面ＳＦ１上にトレンチラインＴＬが形成される。ただし本実施の形態においては、スクライビングホイール５１Ｒを有するスクライビング器具５０Ｒ（図２９）が用いられることが好ましい。
【０１３３】
次に、実施の形態８と同様、ブレークラインＢＬに沿ってガラス基板１１が分離される。
【０１３４】
図６１を参照して、上記分離により、トレンチラインＴＬが露出した端面ＳＥが形成される。トレンチラインＴＬが露出した箇所での端面ＳＥの法線方向ＤＮは、本実施の形態においては、スクライブ方向ＤＬ（図６０）と反対方向の成分を有する。法線方向ＤＮとスクライブ方向ＤＬとは、ほぼ逆であることが好ましい。
【０１３５】
次に、実施の形態８とほぼ同様の工程が行われる。すなわち、端面ＳＥの表面粗さが増大させられ、続いてトレンチラインＴＬに沿ってガラス基板１１が分断される。
【０１３６】
本実施の形態によっても実施の形態８とほぼ同様の効果が得られる。さらに本実施の形態によれば、トレンチラインＴＬの形成にスクライビングホイール５１Ｒを用いることができる。なおスクライビングホイール５１Ｒが実施の形態８に適用されると、本実施の形態に比して、トレンチラインＴＬに沿ったクラックが発生しにくい。
【０１３７】
なおスクライビング器具５０Ｒの代わりにスクライビング器具５０（図１７（Ａ））または５０ｖ（図２１（Ａ））が用いられてもよい。この場合、実施の形態８とは逆に、方向ＤＡではなくその反対方向である方向ＤＢが用いられることが好ましい。これにより、トレンチラインＴＬに沿ったクラックがより発生しやすくなる。
【０１３８】
上記各実施の形態による脆性基板の分断方法はガラス基板に対して特に好適に適用されるが、脆性基板は、ガラス以外の材料から作られていてもよい。たとえば、ガラス以外の材料として、セラミックス、シリコン、化合物半導体、サファイア、または石英が用いられてもよい。
【符号の説明】
【０１３９】
ＥＧ  縁
ＡＬ  アシストライン
ＣＬ，ＣＭ  クラックライン
ＣＰ  欠け
ＳＥ  端面
ＳＦ１  上面（第１の面）
ＨＲ，ＨＳ  高荷重区間（第２の部分）
ＴＰ２  第２の部分
ＳＦ２  下面（第２の面）
ＬＲ，ＬＳ  低荷重区間（第１の部分）
ＴＰ１  第１の部分
ＴＬ  トレンチライン
ＳＰ３  第３の部分
ＳＰ４  第４の部分
１１  ガラス基板（脆性基板）
５０，５０Ｒ，５０ｖ  スクライビング器具
５１，５１ｖ  刃先
５１Ｒ  スクライビングホイール
８０  テーブル
８１  敷物
８５  ブレークバー
【図１】
0006413694.tif 000002
【図２】
0006413694.tif 000003
【図３】
0006413694.tif 000004
【図４】
0006413694.tif 000005
【図５】
0006413694.tif 000006
【図６】
0006413694.tif 000007
【図７】
0006413694.tif 000008
【図８】
0006413694.tif 000009
【図９】
0006413694.tif 000010
【図１０】
0006413694.tif 000011
【図１１】
0006413694.tif 000012
【図１２】
0006413694.tif 000013
【図１３】
0006413694.tif 000014
【図１４】
0006413694.tif 000015
【図１５】
0006413694.tif 000016
【図１６】
0006413694.tif 000017
【図１７】
0006413694.tif 000018
【図１８】
0006413694.tif 000019
【図１９】
0006413694.tif 000020
【図２０】
0006413694.tif 000021
【図２１】
0006413694.tif 000022
【図２２】
0006413694.tif 000023
【図２３】
0006413694.tif 000024
【図２４】
0006413694.tif 000025
【図２５】
0006413694.tif 000026
【図２６】
0006413694.tif 000027
【図２７】
0006413694.tif 000028
【図２８】
0006413694.tif 000029
【図２９】
0006413694.tif 000030
【図３０】
0006413694.tif 000031
【図３１】
0006413694.tif 000032
【図３２】
0006413694.tif 000033
【図３３】
0006413694.tif 000034
【図３４】
0006413694.tif 000035
【図３５】
0006413694.tif 000036
【図３６】
0006413694.tif 000037
【図３７】
0006413694.tif 000038
【図３８】
0006413694.tif 000039
【図３９】
0006413694.tif 000040
【図４０】
0006413694.tif 000041
【図４１】
0006413694.tif 000042
【図４２】
0006413694.tif 000043
【図４３】
0006413694.tif 000044
【図４４】
0006413694.tif 000045
【図４５】
0006413694.tif 000046
【図４６】
0006413694.tif 000047
【図４７】
0006413694.tif 000048
【図４８】
0006413694.tif 000049
【図４９】
0006413694.tif 000050
【図５０】
0006413694.tif 000051
【図５１】
0006413694.tif 000052
【図５２】
0006413694.tif 000053
【図５３】
0006413694.tif 000054
【図５４】
0006413694.tif 000055
【図５５】
0006413694.tif 000056
【図５６】
0006413694.tif 000057
【図５７】
0006413694.tif 000058
【図５８】
0006413694.tif 000059
【図５９】
0006413694.tif 000060
【図６０】
0006413694.tif 000061
【図６１】
0006413694.tif 000062