(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力センサ及び増幅電子回路を有する圧力測定システムであって：
前記圧力センサは：
−  変形可能な膜であって、前記変形可能な膜の上に抵抗ブリッジが配置され、前記変形可能な膜に加えられる圧力によってもたらされる前記変形可能な膜の変形を示すブリッジ電圧を送出することができる、変形可能な膜と；
−  前記変形可能な膜の変形を制限するための制限システムであって、前記変形可能な膜における過大な圧力又は真空圧力の場合に前記ブリッジ電圧を制限できる、制限システムと；を有し、
前記増幅電子回路は、前記抵抗ブリッジに接続されて、前記ブリッジ電圧に応じた出力電圧を送出でき、
前記制限システム及び前記増幅電子回路は、前記出力電圧が、前記圧力センサにおける及び／又は前記増幅電子回路における故障の場合と、前記変形可能な膜における過大な圧力若しくは真空圧力の場合を区別することを可能にするように、共同で構成され、
前記制限システム及び前記増幅電子回路は：
−  公称動作において、前記出力電圧が、前記変形可能な膜におけるＰｍｉｎとＰｍａｘとの間の圧力に対して、公称電圧値Ｖｓｍｉｎと公称電圧値Ｖｓｍａｘとの間で直線的に変化するように；
−  前記変形可能な膜における過大な圧力の場合に、前記出力電圧が、Ｐｍａｘより大きい前記変形可能な膜における圧力に対する飽和電圧Ｖｓ＿ｓａｔ＿ｍａｘで飽和するように増加するように；
−  前記変形可能な膜における真空圧力の場合、前記出力電圧が、Ｐｍｉｎより小さい前記膜における圧力差に対する飽和電圧Ｖｓａｔ＿ｍｉｎで飽和するよう減少するように；
−  前記圧力センサにおける及び／又は前記増幅電子回路における故障の場合に、前記出力電圧が、高故障電圧Ｖｄｅｆａｕｌｔ＿ｈｉｇｈと前記増幅電子回路の供給電圧との間の電圧に達するように、又は０と低故障電圧Ｖｄｅｆａｕｌｔ＿ｌｏｗとの間に達するように；共同で構成される；
圧力測定システム。
【請求項２】
前記高故障電圧Ｖｄｅｆａｕｌｔ＿ｈｉｇｈは、前記飽和電圧Ｖｓ＿ｓａｔ＿ｍａｘより真に大きく、前記飽和電圧Ｖｓ＿ｓａｔ＿ｍａｘは、前記公称電圧値Ｖｓｍａｘより真に大きく、前記低故障電圧Ｖｄｅｆａｕｌｔ＿ｌｏｗは、前記飽和電圧Ｖｓａｔ＿ｍｉｎより真に小さく、前記飽和電圧Ｖｓａｔ＿ｍｉｎは、前記公称電圧値Ｖｓｍｉｎより真に小さい、
請求項１に記載の圧力測定システム。
【請求項３】
前記変形可能な膜は、第１の部分及び前記第１の部分を囲む第２の部分を有し、前記第２の部分は、自由空間を画定するよう前記第１の部分の厚さより大きい厚さを有し、前記膜は前記自由空間の上に浮かせられている、
請求項１又は２に記載の圧力測定システム。
【請求項４】
前記制限システムは、前記変形可能な膜の前記変形を制限できる下方端部停止部を有し、前記下方端部停止部は、前記変形可能な膜の下に配置されている、
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の圧力測定システム。
【請求項５】
前記制限システムはさらに、前記変形可能な膜の変形を制限できる上方端部停止部を有し、前記上方端部停止部は、前記変形可能な膜の上に配置されている、
請求項４に記載の圧力測定システム。
【請求項６】
前記下方端部停止部は、前記下方端部停止部の平らな面から前記膜に向かって前記自由空間の中に延びる島部を含み、前記島部は、前記島部と前記膜の前記第１の部分との間の接触の場合に、前記島部と前記膜の前記第１の部分との間の接触面積が、前記膜の前記第１の部分の面積に比べて小さい、
請求項３を引用する請求項４又は請求項３を引用する請求項４を引用する請求項５に記載の圧力測定システム。
【請求項７】
前記制限システムは、中心を通る凹部を含み、前記圧力測定システムは、その結果、差動的に圧力を測定できる、
請求項１乃至６のいずれか１項に記載の圧力測定システム。
【請求項８】
前記制限システムは、次の材料：ガラス；石英；アルミナ；セラミック；合金；Ｓｉ；ＳｉＣ；サファイア；の中から選ばれた材料で作られる、
請求項１乃至７のいずれか１項に記載の圧力測定システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力測定システムの分野、特に変形可能な膜を持つ圧力センサを有するものに関する。
【背景技術】
【０００２】
圧力測定システムは従来、検出される圧力を示す電気信号を送出するための圧力センサ及び出力信号を得るためにセンサから来る電気信号を増幅するための増幅電子回路を有する。
【０００３】
電子回路は、センサから来る信号を増幅することを可能にする。出力信号の電圧の高レンジ及び低レンジは、故障を信号で伝えることを可能にする。例えば、電子回路は、故障検出領域としてある範囲を保ちながら、センサから来る電気信号を増幅できる。
【０００４】
しかし、センサを残しておくと、電気信号は圧力に応じて直線的に増加するので、出力信号Ｖｓ、センサから来る信号の増幅されたバージョンＶｅは、圧力測定システムが故障していないときでさえ、過大な圧力の場合の故障専用の高電圧ゾーンに達し得る。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
したがって、過大な圧力の場合とセンサの故障の場合とを識別することができる必要がある。
【０００６】
本発明は、過大な圧力の場合とセンサの故障の場合とを識別することを提案する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
このために、本発明は、
圧力センサであって：
変形可能な膜に加えられた圧力によってもたらされる変形可能な膜の変形を示すブリッジ電圧を送出することができる抵抗ブリッジ（ｒｅｓｉｓｔｉｖｅ  ｂｒｉｄｇｅ）がその上に配置される、変形可能な膜と；
変形可能な膜における過大な圧力又は過小な真空圧力（ｖａｃｕｕｍ  ｐｒｅｓｓｕｒｅ）の場合にブリッジ電圧を制限できる変形可能な膜の変形を制限するためのシステムと；を有する、
圧力センサと；
ブリッジ電圧に応じた出力電圧を送出できる抵抗ブリッジに接続される増幅電子回路と；を有し、
制限システム及び電子回路は、出力電圧が、圧力センサにおける及び／又は電子回路における故障の場合と、変形可能な膜における過大な圧力若しくは真空圧力の場合を区別することを可能にするように、共同で構成される、
圧力測定システムを提案する。
【０００８】
本発明は、有利には、単独で又は技術的に可能な組み合わせのいずれか１つを取られる、以下の特徴によって達成される：
−  制限システム及び電子回路は：公称（ｎｏｍｉｎａｌ）動作において、出力電圧が、変形可能な膜におけるＰｍｉｎとＰｍａｘとの間の圧力に対して、２つの値Ｖｓ＿ｍｉｎとＶｓ＿ｍａｘとの間で直線的に変化するように；及び変形可能な膜における過大な圧力の場合に、出力電圧が、Ｐｍａｘより大きい変形可能な膜における圧力に対する飽和電圧Ｖｓ＿ｓａｔ＿ｍａｘで飽和するように増加するように；共同で構成される；
−  制限システム及び電子回路はさらに、真空圧力の場合、出力電圧が、Ｐｍｉｎより小さい（膜における）圧力差に対して飽和電圧Ｖｓａｔｍｉｎで飽和するよう減少するように、共同で構成される；
−  制限システム及び電子回路はさらに、圧力センサにおける及び／又は電子回路における故障の場合に、出力電圧Ｖｓが、高故障電圧Ｖｄｅｆａｕｌｔ＿ｈｉｇｈと電子回路の供給電圧Ｖ２との間の電圧に達するように、又は０と低故障電圧Ｖｄｅｆａｕｌｔ＿ｌｏｗとの間に達するように、共同で構成される；
−  高故障電圧Ｖｄｅｆａｕｌｔ＿ｈｉｇｈは、飽和電圧値Ｖｓ＿ｓａｔ＿ｍａｘより真に大きい；
−  飽和電圧Ｖｓ＿ｓａｔ＿ｍａｘは、公称電圧値Ｖｓｍａｘより真に大きい；
−  低故障電圧Ｖｄｅｆａｕｌｔ＿ｌｏｗは、飽和電圧Ｖｓ＿ｓａｔ＿ｍｉｎより真に小さい；
−  飽和電圧Ｖｓ＿ｓａｔ＿ｍｉｎは、公称電圧値Ｖｓｍｉｎより真に小さい；
−  変形可能な膜は、第１の部分及び第１の部分を囲む第２の部分を有し、第２の部分は、自由空間を画定するような方法で第１の部分の厚さより大きい厚さを有し、膜は自由空間の上に浮かせられている；
−  制限システムは、変形可能な膜の変形を制限できる下方端部停止部を有し、下方端部停止部は、変形可能な膜の下に配置されている；
−  制限システムはさらに、変形可能な膜の変形を制限できる上方端部停止部を有し、上方端部停止部は、変形可能な膜の上に配置されている；
−  下方端部停止部は、下方端部停止部の平らな面から膜に向かって自由空間の中に延びる島部を含み、島部は、島部と膜の第１の部分との間の接触の場合に、島部と膜の第１の部分との間の接触面積が、膜の第１の部分の面積に比べて小さい；
−  制限システムは、中心を通る凹部を含み、測定システムは、その結果、差動的に圧力を測定できる；
−  制限システムは、次の材料の中から選ばれた材料で作られる：ガラス；石英；アルミナ；セラミック；合金；Ｓｉ；ＳｉＣ；サファイア。
【０００９】
過大な圧力の場合、本発明は、制限システムが、この膜の移動は、圧力センサのブリッジ電圧を制限するという、したがって、圧力測定システムの出力電圧Ｖｓを制限するという結果をもたらす、膜の移動を停止させることを可能にする。
【００１０】
本発明はしたがって、過大な圧力に割り当てられたゾーンでの出力電圧Ｖｓを制限するために、そして結果として、それとセンサ及び／又は電子回路における故障を示す電子回路の飽和電圧との間を識別するための、電子回路の増幅並びに圧力センサの及び特に（公称動作における）変形システムの寸法決定の共同の調整に依存する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
本発明の他の特徴、目的及び利点は、単に説明的且つ非限定的であるとともに添付図面を参照して読まれなければならない以下の記載から明らかになるであろう。
【図１】本発明の第１の実施形態による圧力測定システムを示す。
【図２】本発明の第２の実施形態による圧力測定システムを示す。
【図３】本発明による圧力測定システムの配線図を示す。
【図４】本発明の第１の実施形態による圧力測定システムの動作を示す。
【図５】本発明の第２の実施形態による圧力測定システムの動作を示す。
【図６】本発明による圧力測定システムの変形可能な膜の変形を制限するためのシステムの実施形態を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
全ての図面において、同様の要素は同じ参照数字を持つ。
【００１３】
図１及び２を参照すると、第１及び第２の実施形態による、圧力測定システムは、検出された圧力を示す電圧Ｖｅを送出することができる圧力センサ１、１’及び圧力センサ１，１’に接続された増幅電子回路２を有する。
【００１４】
電子回路２は、圧力センサ１、１’から来る電圧Ｖｅに応じた出力電圧Ｖｓを送出することができる。
【００１５】
圧力センサ１、１’は特に、その上に抵抗ブリッジ１０が配置される変形可能な膜１１を有し、ブリッジ抵抗として知られる電圧Ｖｅを送出することを可能にする。このブリッジ電圧Ｖｅはしたがって、（膜の上又は下で）変形可能な膜１１に加えられる圧力Ｐ、Ｐ’を示す。
【００１６】
図３は、図１及び２それぞれに示された第１及び第２の実施形態による測定システムの配線図を示す。
【００１７】
抵抗ブリッジ１０は特に、変形可能な膜１１の変形を電気抵抗の変動に変換する４つのひずみゲージによって形成される４つの抵抗成分Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４で形成される。
【００１８】
図１及び２に戻ると、圧力測定システム１、１’はさらに、圧力センサ１、１’の変形可能な膜における過大な圧力又は真空（過小な）圧力の場合にブリッジ電圧Ｖｅを制限できる膜１１の変形を制限するためのシステム１２、１２’を有する。
【００１９】
特に、制限システム１２、１２’及び電子回路２は、出力電圧Ｖｓが、圧力センサ１、１’における過大な圧力又は真空圧力の場合による圧力センサ１及び／又は電子回路２の破損の場合を区別することを可能にするように、共同して構成される。
【００２０】
圧力センサ１（したがって、抵抗ブリッジ）は、ブリッジ供給電圧Ｖ１によって駆動され、増幅電子回路は、電子回路の供給電圧Ｖ２によって駆動される。
【００２１】
公称モードにおいて、電子回路２は、出力電圧Ｖｓが、範囲［Ｐｍｉｎ−Ｐｍａｘ］に含まれる変形可能な膜における圧力の値に対するＶｓｍｉｎとＶｓｍａｘとの間の値で変化するように、ブリッジ電圧Ｖｅを増幅する。
【００２２】
絶対圧センサ１の場合、圧力Ｐが、変形可能な膜１１の上に加えられ、より高い圧力Ｐとして知られている。この場合、変形可能な膜１１における過大な圧力は、閾値Ｐｍａｘより高い圧力Ｐｈｉｇｈｅｒに対応する。
【００２３】
差圧センサ１、１’の場合、より高い圧力Ｐが、変形可能な膜１１の上に加えられるとともに、他の圧力Ｐ’が変形可能な膜１１の下に加えられ、より低い圧力として知られている。この場合、変形可能な膜１１における過大な圧力は、Ｐ−Ｐ’＞Ｐｍａｘに対応し、変形可能な膜１１における真空圧力は、Ｐ−Ｐ’＜Ｐｍｉｎに対応する。公称モードはしたがって、ＰｍｉｎとＰｍａｘとの間の圧力差を対象としている。
【００２４】
図１に示された第１の実施形態によれば、制限システム１２はしたがって、変形可能な膜１１の上に加えられる圧力Ｐを制限することができる。この実施形態によれば、過大な圧力の場合のみが、圧力センサ１及び／又は電子回路２における故障の場合から区別されることができる。
【００２５】
特に、この第１の実施形態によれば、制限システム１２は、変形可能な膜１１の下の自由空間３に配置される下方端部停止部１２の形態で現れている。
【００２６】
下方端部停止部１２及び変形可能な膜は好ましくは、ガラス、石英ケイ酸塩、パイレックス（登録商標）、サファイア、アルミナ、Ｓｉ、ＳｉＣで作られる材料であることができる支持基板１３の上に配置される。
【００２７】
支持基板１３の厚さは典型的には、５００μｍから２０００μｍの間である。
【００２８】
膜１１及び下方端部停止部１２は、アノードシールによって、又は中間層を伴う若しくは中間層無しの分子結合又は原子結合を用いて、又は焼結若しくはろう付けによって、支持基板１３に接続される。
【００２９】
加えて、図１を参照すると、下方端部停止部１２は、概して台形形状であり、大きい底部は支持基板１３の上に配置され、小さい底部は、膜１１の真下、特にその第２の部分１１ｂの下に配置され、この小さい底部は端部停止部の平らな面を規定する。
【００３０】
差圧センサの場合、下方端部停止部１２は、典型的には円錐形状の中心を通る凹部１２０を有する。
【００３１】
図４は、（下方端部停止部１２を持つ）第１の実施形態による圧力測定システムの動作を示す。この図３では、出力電圧Ｖｓ（ボルト）は、圧力センサ１の膜１１に加えられる圧力Ｐ（バール）の関数であり、出力電圧Ｖｓは、次の関係Ｖｓ＝Ｇ×Ｖｅ＋オフセットによって与えられ、Ｇは増幅係数、オフセットはスケールオフセットである。
【００３２】
依然として図４を参照すると、公称動作は、（ＶｓｍｉｎとＶｓｍａｘとの間のＶｓに対する）第１のゾーンＺ１を規定し、過大な圧力の飽和は、（ＰｍａｘとＰｏｖｅｒｐｒｅｓｓｕｒｅ＿ｍａｘとの間の圧力に対するＶｓｍａｘとＶｓ＿ｓａｔ＿ｍａｘとの間のＶｓに対する）過大な圧力ゾーンとして知られる第２のゾーンＺ２を規定し、圧力センサ１及び／又は電子回路におけるある故障が上方故障ゾーン：（電圧Ｖｄｅｆａｕｌｔ＿ｈｉｇｈと供給電圧Ｖ２との間のＶｓに対する）第３のゾーンを規定し、圧力センサ１及び／又は電子回路における他の故障が、下方故障ゾーン：（０とＶｄｅｆａｕｌｔ＿ｌｏｗとの間のＶｓに対する）第４のゾーンを規定する。
【００３３】
好ましくは、飽和電圧Ｖｓ＿ｓａｔ＿ｍａｘは、公称電圧Ｖｓｍａｘより大きい。さらに、故障電圧Ｖｄｅｆａｕｌｔ＿ｈｉｇｈは好ましくは、飽和電圧Ｖｓ＿ｓａｔ＿ｍａｘと供給電圧Ｖ２との間である。最後に、故障電圧Ｖｄｅｆａｕｌｔ＿ｌｏｗは好ましくは、公称電圧Ｖｓｍｉｎより低いが、ゼロでない。
【００３４】
第２の実施形態によれば、図２を参照すると、第１の実施形態による圧力測定システム１を形成する要素に加えて、第２の実施形態による圧力側的システム１’は、膜の上に加えられる圧力を制限することに加えて、膜１１の下に加えられる圧力Ｐ’（より低い圧力）を制限することができる（特に、差圧測定システムの場合に）。特に、制限システム１２’は、過大な圧力の場合に加えて、差Ｐ−Ｐ’が負であるときの真空圧の場合を検出することができる。
【００３５】
第２の実施形態によれば、制限システムは、下方端部停止部１２、変形可能な膜１１の上に配置された上方端部停止部１２’を有する。
【００３６】
上方端部停止部１２’は、その中心に凹部１２０’を有し、アノードシールを用いて又は中間層を伴う若しくは中間層無しの分子結合又は原子結合を用いて、又は焼結若しくはろう付けによって、膜１１に接続されている。
【００３７】
制限システム１２、１２’は好ましくは、膜１１のものと同じ材料からなる又は合金、サファイア、アルミナ、セラミック、石英若しくはガラスで作られる。それは、支持部材１３のものと同じ材料で作られることさえできる。
【００３８】
図５は、（下方端部停止部１２及び上方端部停止部１２’を持つ）第２の実施形態による圧力測定システムの動作を示す。
【００３９】
この図５では、出力電圧Ｖｓ（ボルト）は、圧力センサ１の膜１１に加えられる圧力差Ｐ−Ｐ’（バール）の関数であり、出力電圧Ｖｓは、次の関係Ｖｓ＝Ｇ×Ｖｅ＋オフセットによって与えられ、Ｇは増幅係数、オフセットはスケールオフセットである。
【００４０】
この図５では、第１のゾーンＺ１、第２のゾーンＺ２、第３のゾーンＺ３及び第４のゾーンＺ４に加えて、Ｐｖａｃｕｕｍ  ｐｒｅｓｓｕｒｅ＿ｍｉｎとＰｍｉｎとの間の膜１１における圧力差Ｐ’−Ｐ＜０に対するＶｓａｔ＿ｍｉｎとＶｓｍｉｎとの間のＶｓに対する真空圧力ゾーンとして知られる第５のゾーンがある。
【００４１】
好ましくは、飽和電圧Ｖｓａｔ＿ｍｉｎは、公称電圧Ｖｓｍｉｎより小さい。さらに、故障電圧Ｖｄｅｆａｕｌｔ＿ｌｏｗは好ましくは、飽和電圧Ｖｓａｔ＿ｍｉｎより小さい。
【００４２】
結果として、制限システム１２、１２’及び電子回路は共同で、
−  公称動作では、出力電圧Ｖｓは、所定の圧力範囲［Ｐｍｉｎ−Ｐｍａｘ］に対して２つの値ＶｓｍｉｎとＶｓｍａｘとの間で変化するように；
−  過大な圧力の場合、出力電圧Ｖｓは、Ｐｍａｘより大きい変形可能な膜における圧力（又は圧力差）に対する飽和電圧Ｖｓ＿ｓａｔ＿ｍａｘに飽和するように増加するように；
−  圧力センサ１及び／又は電子回路２における故障の場合、出力電圧Ｖｓは、圧力センサ１及び／又は電子回路２における故障がセンサ１における過大な圧力又は真空圧力の場合と見なされないように、電子回路の電圧Ｖｄｅｆａｕｌｔ＿ｈｉｇｈ（Ｚ３）又はＶｄｅｆａｕｌｔ＿ｌｏｗ（Ｚ４）に達するように；
−  真空圧力の場合、出力電圧が、変形可能な膜１１における圧力差Ｐ’−Ｐ＜ｍｉｎに対する２つの値Ｖｓａｔ＿ｍｉｎとＶｓ＿ｍｉｎ（Ｚ５）との間で変化するよう減少するように；
構成される。
【００４３】
有利には、圧力センサは、番号ＦＲ２８５９２８１又はＦＲ２９８２０２３で公開された特許出願に記載されたような絶対圧センサ又は差圧センサであり、すなわち、圧力センサは、自由空間の上に浮かせられる膜１１を有し、自由空間の中に端部停止部の形態で現れる圧力制限システムが配置される。圧力センサが変形可能な膜における圧力を制限するためのシステムを有する限り、国際出願ＷＯ９０／０４７０１に記載されたような、圧力センサの他の形態も想定されることができる。
【００４４】
好ましくは、図１及び２に示されるように、変形可能な膜１１は、第１の部分１１ａ及び第１の部分１１ａを囲む第２の部分１１ｂを有し、第２の部分１１ｂは、自由空間３を画定するような方法で第１の部分１１ａの厚さより大きい厚さを有し、膜１１は自由空間３の上に浮かせられている。
【００４５】
第１の部分１１ａの厚さは、典型的には２０から１００μｍの間であり、値は、測定されることになる機械的な又は力学的な量の範囲にしたがって定められる。
【００４６】
図６は、第１及び第２の実施形態による圧力測定システムで使用される下方端部停止部の実施形態を示し、端部停止部は、下方端部停止部１２の平らな面から膜１１に向かって自由空間３の中に延びる島部１２１−１２８を含む。
【００４７】
このような島部１２１−１２８は隆起構造を形成するので、島部１２１−１２８と膜１１の第１の部分１１ａとの間の接触の場合に、島部１２１−１２８と膜１１の第１の部分１１ａとの間の接触面積は、膜１１の第１の部分１１ａの面積に比べて小さい。
【００４８】
このように形成された島部はしたがって、圧力差を測定できる圧力測定システムの状況で、膜１１と下方端部停止部１２との間の空間の液体の最適な循環を可能にする。
【００４９】
島部１２１−１２８は有利には、下方端部停止部の平らな面に対してゼロ度より大きい鋭角に配向された傾斜小面を含む。それらは、特にメサの形である。
【００５０】
島部１２１−１２８はまた、下方端部停止部１２と膜１１との間に位置する空間の中の（圧力測定システムの使用中の温度変動の場合における、例えば−５０℃から１８０℃）液体の密度の変動に起因する誤差を最小化することを可能にする。
【００５１】
島部は、好ましくは１０μｍから５０μｍの間の高さ、及び底部における２０μｍから２００μｍの間の幅を有する。
【００５２】
さらに、島部１２１−１２８は、膜の第１の部分及び島部が、５から３０μｍの間の距離、好ましくは１０μｍ、離間されるように、寸法決めされる。
【００５３】
上述のように、分離部が下方端部停止部１２と膜１１との間に存在する。この分離部は、膜１１の変形の最大距離を示す。このように、この分離部より大きい変形はその後、膜１１を、過大な圧力に結び付けられる過度な変形を防ぐ下方端部停止部１２に当接させる。特に島部に対して、膜１１は、過大な圧力が圧力センサ１に加えられる場合に、当接する。
【００５４】
有利には、この分離部の値は、それより上では膜が損傷をうけるリスクがある閾値分離を持つ膜１１の変形に対する抵抗のパラメータ（特に、その厚さ及びそれが形成される材料に依存する）に応じて選択されることができる。
【００５５】
したがって、問題となっている用途にしたがって下方端部停止部１２のパラメータを調整することができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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