(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
台座（１０）と、
複数の研磨すべき加工物を保持するように構築されたキャリア（４００）と、
前記台座（１０）上に取り付けられ、前記キャリア（４００）を設置および位置決めするように構築された１対の位置決め板（１１５）と、
前記台座（１０）上に取り付けられ、前記位置決め板（１１５）を昇降させる昇降機構と、
前記台座（１０）上に取り付けられ、それぞれ前記キャリア（４００）の両端を前記１対の位置決め板（１１５）に押圧するように構築された１対の押圧ヘッド（３１０、３２０）を有する押圧機構と、
前記台座（１０）上に取り付けられ、前記キャリア（４００）上に保持された前記加工物を研磨するように構築された研磨機構とを備え、
前記押圧ヘッド（３１０、３２０）はそれぞれ、前記キャリア（４００）の表面を押圧するように構築された突起（３１０ａ、３２０ａ）を有し、
前記突起は、前記キャリア（４００）の前記表面に向けて円弧状に突出した断面形状を呈する、
研磨装置。
【請求項２】
前記円弧状の突起（３１０ａ、３２０ａ）は、半球形または半円筒形に形成される、
請求項１に記載の研磨装置。
【請求項３】
前記研磨すべき加工物は、光ファイバフェルールアセンブリであり、各光ファイバフェルールアセンブリは、フェルール（５０１）と、前記フェルール（５０１）の内孔内に固定された光ファイバ（５０２）とを備え、
前記キャリア（４００）上に複数の位置決めスロットが形成され、前記光ファイバフェルールアセンブリは、それぞれ前記キャリア（４００）の複数の位置決めスロット内に締め付けられて位置決めされ、
前記研磨機構は、前記光ファイバフェルールアセンブリの端面を研磨するように構築される、
請求項１に記載の研磨装置。
【請求項４】
前記昇降機構は、
前記台座（１０）上に対向して取り付けられた１対の垂直支持板（１１０、１２０）と、
それぞれ前記支持板（１１０、１２０）上に設けられた１対の垂直摺動レール（１１１）と、
それぞれ前記垂直摺動レール（１１１）と摺動可能に嵌合する１対の摺動ブロック（１１２）と、
前記１対の摺動ブロック（１１２）および前記１対の位置決め板（１１５）を連結して前記摺動ブロック（１１２）および前記位置決め板（１１５）を同時に動かすように構築された連結ビーム（１１４）と、
それぞれ前記摺動ブロック（１１２）を駆動して前記垂直摺動レール（１１１）に沿って上下に動かすように前記垂直支持板（１１０、１２０）の一方に取り付けられた第１の駆動機構（１３０）とを備える、
請求項３に記載の研磨装置。
【請求項５】
前記第１の駆動機構（１３０）は、線形アクチュエータを構成する、
請求項４に記載の研磨装置。
【請求項６】
前記第１の駆動機構（１３０）は、空気シリンダ、油圧シリンダ、または電気アクチュエータを構成する、
請求項５に記載の研磨装置。
【請求項７】
前記キャリア（４００）は、ピンと孔が嵌合するように前記位置決め板（１１５）上に位置決めされる、
請求項４に記載の研磨装置。
【請求項８】
前記１対の位置決め板（１１５）はそれぞれ、上方へ垂直に延出する位置決めピン（１１５ａ）を有し、
前記キャリア（４００）の両端にはそれぞれ、位置決め孔（４００ａ）が形成され、
前記位置決め板（１１５）の前記位置決めピン（１１５ａ）は、それぞれ前記キャリア（４００）の前記位置決め孔（４００ａ）内へ嵌め込まれる、
請求項７に記載の研磨装置。
【請求項９】
前記位置決めピン（１１５ａ）および前記位置決め孔（４００ａ）は、前記キャリアの姿勢を変化させることを可能にするように隙間嵌めされる、
請求項８に記載の研磨装置。
【請求項１０】
前記位置決め板（１１５）はそれぞれ、水平延出部分（１１５ｂ）を有し、前記位置決めピン（１１５ａ）は、前記水平延出部分（１１５ｂ）の一端に位置し、
前記キャリア（４００）の両端は、それぞれ前記１対の位置決め板（１１５）の前記水平延出部分（１１５ｂ）上に配置される、
請求項８に記載の研磨装置。
【請求項１１】
前記研磨機構は、前記位置決め板（１１５）の下に設けられた水平支持板（２０）と、前記水平支持板（２０）上に配置された研磨フィルムとを備え、
前記研磨フィルムは、前記水平支持板（２０）とともに往復運動して前記光ファイバフェルールアセンブリの前記端面を研磨するように構築される、
請求項９に記載の研磨装置。
【請求項１２】
前記押圧機構は、それぞれ前記１対の垂直支持板（１１０、１２０）上に取り付けられた１対の第２の駆動機構（２１０、２２０）を備え、
前記１対の第２の駆動機構（２１０、２２０）は、それぞれ前記１対の押圧ヘッド（３１０、３２０）を駆動して前記１対の押圧ヘッド（３１０、３２０）を前記キャリア（４００）の前記表面に押圧するように構築される、
請求項１に記載の研磨装置。
【請求項１３】
前記押圧機構は、弾性の緩衝構成要素（２４０）をさらに備え、前記第２の駆動機構（２１０、２２０）は、前記弾性の緩衝構成要素（２４０）を押圧し、前記弾性の緩衝構成要素（２４０）を通じて前記押圧ヘッド（３１０’、３２０’）を前記キャリア（４００）の前記表面に押圧し、その結果、前記キャリア（４００）に作用する押圧力は、ゼロから所定の値へ徐々に増大する、
請求項１２に記載の研磨装置。
【請求項１４】
前記押圧ヘッド（３１０’、３２０’）はそれぞれ、上部本体部分（３１１）と、前記上部本体部分（３１１）とは別個の下部本体部分（３１２）とを備え、
それぞれ前記上部本体部分（３１１）および前記下部本体部分（３１２）上に受容溝が形成され、前記弾性の緩衝構成要素（２４０）は、前記受容溝内に受容される、
請求項１３に記載の研磨装置。
【請求項１５】
それぞれ前記上部本体部分（３１１）および前記下部本体部分（３１２）内に案内孔が形成され、
それぞれ案内孔内へ案内ロッド（２５０）が挿入され、その結果、前記弾性の緩衝構成要素（２４０）の押圧中、前記上部本体部分（３１０）は、前記下部本体部分（３２０）に対して垂直方向に動くように案内される、
請求項１４に記載の研磨装置。
【請求項１６】
前記第２の駆動機構（２１０、２２０）の作動端は、それぞれ水平押圧板（２３０）を備え、
前記押圧ヘッド（３１０、３２０）の上端面は、それぞれ前記水平押圧板（２３０）に取り付けられる、
請求項１２に記載の研磨装置。
【請求項１７】
前記押圧ヘッド（３１０、３２０）は、弾性材料から作られ、その結果、前記キャリア（４００）に作用する押圧力は、ゼロから所定の値へ徐々に増大する、
請求項１６に記載の研磨装置。
【請求項１８】
前記第２の駆動機構（２１０、２２０）はそれぞれ、線形アクチュエータを構成する、
請求項１２に記載の研磨装置。
【請求項１９】
前記第２の駆動機構（２１０、２２０）はそれぞれ、空気シリンダ、油圧シリンダ、または電気アクチュエータを構成する、
請求項１８に記載の研磨装置。
【請求項２０】
前記垂直摺動レール（１１１）、前記摺動ブロック（１１２）、および前記第１の駆動機構（１３０）は、それぞれ前記垂直支持板（１１０、１２０）の外側に取り付けられ、
前記第２の駆動機構（２１０、２２０）は、それぞれ前記垂直支持板（１１０、１２０）の内側に取り付けられる、
請求項１２に記載の研磨装置。
【請求項２１】
前記キャリア（４００）は、長方形のプロファイルを有する、
請求項１に記載の研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
関連出願の相互参照
本出願は、開示全体が参照により本明細書に組み込まれている、中国国家知識産権局に２０１４年９月１９日に出願された中国特許出願第２０１４１０４０６１１６５号の利益を主張する。
【０００２】
本発明は、研磨装置に関し、より詳細には、光ファイバフェルールアセンブリの端面を研磨する研磨装置に関する。
【背景技術】
【０００３】
光ファイバフェルールアセンブリは、概して、フェルールと、フェルールの内孔内へ挿入された光ファイバとを備える。光ファイバは、接着剤によってフェルールの内孔内に固定することができる。フェルールの内孔内に光ファイバを固定した後、所定の光学的性能を実現するには、光ファイバフェルールアセンブリ全体の前端面を精密に研削および研磨する必要がある。
【０００４】
従来技術では、概して、光ファイバフェルールアセンブリの前端面が研磨されるとき、複数の光ファイバフェルールアセンブリがキャリア上に締め付けられて固定される。次いで、押圧機構が押圧ヘッドを押圧して、キャリアを位置決め構成要素に押圧する。従来技術では、キャリアは、概して、円形または正方形に形成されており、押圧ヘッドは、キャリアをその中心部分で押圧する。しかし、概して、中心を押圧することは、円形または正方形のキャリアのみに適合されており、長方形のキャリアには適合されていない。円形または正方形のキャリアと比較すると、長方形のキャリアは、毎度はるかに多くの光ファイバフェルールアセンブリを保持して、研磨効率を改善することができる。既存の研磨装置を改善して長方形のキャリアに適用することを、当業者は期待している。
【０００５】
さらに、光ファイバフェルールアセンブリの端面が研磨機構によって研削されるとき、キャリアの姿勢はわずかに変化する。しかし、従来技術では、押圧ヘッドは、概して、平坦な底部を有し、したがってキャリアの姿勢の変化に適合されておらず、その結果、キャリアにかかる押圧力はキャリアの表面に対して常に垂直であるとは限らず、それによって光ファイバフェルールアセンブリの研磨精度に影響を及ぼす。
【０００６】
さらに、従来技術では、押圧機構は、弾性の緩衝構成要素を備えていない。したがって、キャリアが押圧されるとき、キャリアに作用する押圧力がゼロから所定の値へ突然増大し、キャリアに衝撃を与え、光ファイバフェルールアセンブリの研磨精度に影響を及ぼす可能性がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、前述の欠点の少なくとも１つの面を克服または軽減するためになされたものである。
【０００８】
したがって、本発明の一目的は、様々な形状を有するキャリアに適合することが可能な研磨装置を提供することである。
【０００９】
本発明の別の目的は、キャリアに作用する押圧力が常にキャリアの表面に対して垂直に維持されることを確実にする研磨装置を提供することである。
【００１０】
本発明のさらに別の目的は、キャリアに作用する押圧力がゼロから所定の値へ徐々に増大することを確実にする研磨装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の一態様によれば、台座と、複数の研磨すべき加工物を保持するように構築されたキャリアと、台座上に取り付けられ、キャリアを設置および位置決めするように構築された１対の位置決め板と、台座上に取り付けられ、位置決め板を昇降させる昇降機構と、台座上に取り付けられ、それぞれキャリアの両端を１対の位置決め板上に押圧するように構築された１対の押圧ヘッドを有する押圧機構と、台座上に取り付けられ、キャリア上に保持された加工物を研磨するように構築された研磨機構とを備え、押圧ヘッドがそれぞれ、キャリアの表面を押圧するように構築された突起を有し、突起は、キャリアの表面に向けて円弧状に突出した断面形状を呈する、研磨装置が提供される。
【００１２】
本発明の例示的な実施形態によれば、円弧状の突起は、半球形または半円筒形に形成される。
【００１３】
本発明の別の例示的な実施形態によれば、研磨すべき加工物は、光ファイバフェルールアセンブリであり、各光ファイバフェルールアセンブリは、フェルールと、フェルールの内孔内に固定された光ファイバとを備え、キャリア上に複数の位置決めスロットが形成され、光ファイバフェルールアセンブリは、それぞれキャリアの複数の位置決めスロット内に締め付けられて位置決めされ、研磨機構は、光ファイバフェルールアセンブリの端面を研磨するように構築される。
【００１４】
本発明の別の例示的な実施形態によれば、昇降機構は、台座上に対向して取り付けられた１対の垂直支持板と、それぞれ支持板上に設けられた１対の垂直摺動レールと、それぞれ垂直摺動レールと摺動可能に嵌合する１対の摺動ブロックと、１対の摺動ブロックおよび１対の位置決め板を連結して摺動ブロックおよび位置決め板を同時に動かすように構築された連結ビームと、それぞれ摺動ブロックを駆動して垂直摺動レールに沿って上下に動かすように垂直支持板の一方に取り付けられた第１の駆動機構とを備える。
【００１５】
本発明の別の例示的な実施形態によれば、第１の駆動機構は、線形アクチュエータである。
【００１６】
本発明の別の例示的な実施形態によれば、第１の駆動機構は、空気シリンダ、油圧シリンダ、または電気アクチュエータである。
【００１７】
本発明の別の例示的な実施形態によれば、キャリアは、ピンと孔が嵌合するように位置決め板上に位置決めされる。
【００１８】
本発明の別の例示的な実施形態によれば、１対の位置決め板はそれぞれ、上方へ垂直に延出する位置決めピンを有し、キャリアの両端にはそれぞれ、位置決め孔が形成され、位置決め板の位置決めピンは、それぞれキャリアの位置決め孔内へ嵌め込まれる。
【００１９】
本発明の別の例示的な実施形態によれば、位置決めピンおよび位置決め孔は、キャリアの姿勢を変化させることを可能にするように隙間嵌めされる。
【００２０】
本発明の別の例示的な実施形態によれば、位置決め板はそれぞれ、水平延出部分を有し、位置決めピンは、水平延出部分の一端に位置し、キャリアの両端は、それぞれ１対の位置決め板の水平延出部分上に配置される。
【００２１】
本発明の別の例示的な実施形態によれば、研磨機構は、位置決め板の下に設けられた水平支持板と、水平支持板上に配置された研磨フィルムとを備え、研磨フィルムは、水平支持板とともに往復運動して光ファイバフェルールアセンブリの端面を研磨する。
【００２２】
本発明の別の例示的な実施形態によれば、押圧機構は、それぞれ１対の垂直支持板上に取り付けられた１対の第２の駆動機構を備え、１対の第２の駆動機構は、それぞれ１対の押圧ヘッドを駆動して１対の押圧ヘッドをキャリアの表面上に押圧するように構築される。
【００２３】
本発明の別の例示的な実施形態によれば、押圧機構は、弾性の緩衝構成要素をさらに備え、第２の駆動機構は、弾性の緩衝構成要素を押圧し、弾性の緩衝構成要素を通じて押圧ヘッドをキャリアの表面上に押圧し、その結果、キャリアに作用する押圧力は、ゼロから所定の値へ徐々に増大する。
【００２４】
本発明の別の例示的な実施形態によれば、押圧ヘッドはそれぞれ、上部本体部分と、上部本体部分とは別個の下部本体部分とを備え、それぞれ上部本体部分および下部本体部分上に受容溝が形成され、弾性の緩衝構成要素は、受容溝内に受容される。
【００２５】
本発明の別の例示的な実施形態によれば、それぞれ上部本体部分および下部本体部分上に案内孔が形成され、それぞれ上部本体部分の案内孔および下部本体部分の案内孔内へ案内ロッドが挿入され、その結果、弾性の緩衝構成要素の押圧中、上部本体部分は、下部本体部分に対して垂直方向に動くように案内される。
【００２６】
本発明の別の例示的な実施形態によれば、第２の駆動機構の作動端は、それぞれ水平押圧板を備え、押圧ヘッドの上端面は、それぞれ水平押圧板に取り付けられる。
【００２７】
本発明の別の例示的な実施形態によれば、押圧ヘッドは、弾性材料から作られ、その結果、キャリアに作用する押圧力は、ゼロから所定の値へ徐々に増大する。
【００２８】
本発明の別の例示的な実施形態によれば、第２の駆動機構はそれぞれ、線形アクチュエータである。
【００２９】
本発明の別の例示的な実施形態によれば、第２の駆動機構はそれぞれ、空気シリンダ、油圧シリンダ、または電気アクチュエータである。
【００３０】
本発明の別の例示的な実施形態によれば、垂直摺動レール、摺動ブロック、および第１の駆動機構は、それぞれ垂直支持板の外側面上に取り付けられ、第２の駆動機構は、それぞれ垂直支持板の内側面上に取り付けられる。
【００３１】
本発明の別の例示的な実施形態によれば、キャリアは、長方形のプロファイルを有する。
【００３２】
本発明の研磨装置の様々な実施形態では、１対の押圧ヘッドが、キャリアをキャリアの両端でそれぞれ１対の位置決め板に押圧する。押圧ヘッドはそれぞれ、キャリアの表面上に直接押圧される円弧状の突起を有し、したがって、キャリアに作用する押圧力は、常にキャリアの表面に対して垂直に維持される。さらに、本発明の一実施形態では、押圧機構は、ばね緩衝部材をさらに備え、したがって、キャリアに作用する押圧力が、ゼロから所定の値へ突然増大することを防止して、キャリアに衝撃を与えるという不都合を回避することができる。
【００３３】
本発明の上記その他の特徴は、添付の図面を参照して本発明の例示的な実施形態について詳細に説明することによって、より明らかになるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の例示的な実施形態による研磨装置の例示的な斜視図である。
【図２】図１の研磨装置の部分断面図である。
【図３】ばねが押圧されずに解放状態で維持されている、本発明の別の例示的な実施形態による研磨装置の押圧ヘッドの例示的な構造図である。
【図４】ばねが完全に押圧されている、図３に示す押圧ヘッドの例示的な構造図である。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
以下、本開示の例示的な実施形態について、添付の図面を参照して詳細に説明する。同じ参照番号は同様の要素を指す。しかし、本開示は、多くの異なる形態で実施することができ、本明細書に記載する実施形態に限定されると解釈されるべきではなく、これらの実施形態は、本開示を完璧かつ完全にし、本開示の概念を当業者に完全に伝えるために提供される。
【００３６】
以下の詳細な記載では、説明の目的のため、開示する実施形態の完璧な理解を提供するために、多数の特有の詳細について述べる。しかし、これらの特有の詳細がなくても１つまたは複数の実施形態を実行することができることが明らかであろう。他の例では、図面を簡略化するために、よく知られている構造およびデバイスを概略的に示す。
【００３７】
本発明の一般概念によれば、台座と、複数の研磨すべき加工物を保持するように構築されたキャリアと、台座上に取り付けられ、キャリアを設置および位置決めするように構築された１対の位置決め板と、台座上に取り付けられ、位置決め板を昇降させる昇降機構と、台座上に取り付けられ、それぞれキャリアの両端を１対の位置決め板に押圧するように構築された１対の押圧ヘッドを有する押圧機構と、台座上に取り付けられ、キャリア上に保持された加工物を研磨するように構築された研磨機構とを備え、押圧ヘッドがそれぞれ、キャリアの表面を押圧するように構築された突起を有し、突起は、キャリアの表面に向けて円弧状に突出した断面形状を呈する、研磨装置が提供される。
【００３８】
図１は、本発明の例示的な実施形態による研磨装置の例示的な斜視図を示し、図２は、図１の研磨装置の部分横断面図を示す。
【００３９】
図１および図２に示すように、本発明の例示的な実施形態では、研磨装置は主に、台座１０、キャリア４００、昇降機構、押圧機構、および研磨機構を備える。
【００４０】
図示の実施形態では、図１および図２に示すように、昇降機構は、台座１０上に取り付けられており、キャリア４００を設置および位置決めする１対の位置決め板１１５を有する。キャリア４００は、研磨すべき加工物５０を保持するように構築される。
【００４１】
図２に示すように、本発明の例示的な実施形態では、研磨すべき加工物は、光ファイバフェルールアセンブリとすることができる。図２に示すように、光ファイバフェルールアセンブリはそれぞれ、フェルール５０１と、フェルール５０１の内孔内に固定された光ファイバ５０２とを備える。研磨機構は、台座１０上に取り付けられており、キャリア４００上に取り付けられた光ファイバフェルールアセンブリの端面を研磨するように構築される。
【００４２】
図示しないが、本発明の一実施形態では、キャリア４００内に複数の位置決めスロットが形成され、それぞれ複数の光ファイバフェルールアセンブリは、キャリア４００の複数の位置決めスロット内に締め付けられて位置決めされる。
【００４３】
本発明の一実施形態では、押圧機構は、台座１０上に取り付けられており、キャリア４００の両端をそれぞれ１対の位置決め板１１５に押圧するように構築された１対の押圧ヘッド３１０、３２０を有する。
【００４４】
本発明の例示的な実施形態では、押圧ヘッド３１０、３２０はそれぞれ、キャリア４００の表面に直接接触してキャリア４００の表面を直接押圧する円弧状の突起３１０ａ、３２０ａを有する。円弧状の突起３１０ａ、３２０ａはそれぞれ、半球形または半円筒形に形成することができる。
【００４５】
図１および図２に示すように、図示の実施形態では、昇降機構は、台座１０上に対向して取り付けられた１対の垂直支持板１１０、１２０と、それぞれ支持板１１０、１２０上に設けられた１対の垂直摺動レール１１１と、それぞれ垂直摺動レール１１１と摺動可能に嵌合する１対の摺動ブロック１１２と、１対の摺動ブロック１１２および１対の位置決め板１１５を連結して摺動ブロック１１２および位置決め板１１５を同時に動かすように構築された連結ビーム１１４と、それぞれ摺動ブロック１１２を駆動して垂直摺動レール１１１に沿って上下に動かすように垂直支持板１１０、１２０の一方に取り付けられた第１の駆動機構１３０とを備える。
【００４６】
本発明の一実施形態では、図１に示すように、摺動ブロック１１２は、連結板１１３によって連結ビーム１１４に連結される。
【００４７】
本発明の例示的な実施形態では、第１の駆動機構１３０は、線形アクチュエータ、たとえば空気シリンダ、油圧シリンダ、または電気アクチュエータを構成することができる。
【００４８】
図２に示すように、本発明の例示的な実施形態では、キャリア４００は、ピンと孔が嵌合するように位置決め板１１５上に位置決めされる。
【００４９】
図示の実施形態では、図２に示すように、１対の位置決め板１１５はそれぞれ、上方へ垂直に延出する位置決めピン１１５ａを備え、キャリア４００の両端にはそれぞれ、位置決め孔４００ａが形成される。さらに、位置決め板１１５の位置決めピン１１５ａは、キャリア４００のそれぞれの位置決め孔４００ａ内へ嵌め込まれる。
【００５０】
本発明の例示的な実施形態では、位置決めピン１１５ａと位置決め孔４００ａとの間にわずかな間隙が位置する。このようにして、光ファイバフェルールアセンブリの端面が研削されるとき、キャリア４００の姿勢がわずかに変化する。キャリア４００の姿勢の変化に適合するために、本発明の図示の実施形態では、押圧ヘッド３１０、３２０の円弧状の突起３１０ａ、３２０ａがそれぞれ半球形または半円筒形に形成される。このようにして、キャリア４００に作用する押圧力は、常にキャリア４００の表面に対して垂直である。
【００５１】
図２を引き続き参照すると、図示の実施形態では、位置決め板１１５はそれぞれ、水平延出部分１１５ｂを有し、位置決めピン１１５ａは、水平延出部分１１５ｂの一端に位置し、キャリア４００の両端は、それぞれ１対の位置決め板１１５の水平延出部分１１５ｂ上に配置される。
【００５２】
図１および図２に示すように、本発明の一実施形態では、研磨機構は、位置決め板１１５の下に設けられた水平支持板２０と、水平支持板２０上に配置された研磨フィルム（図示せず）とを備え、研磨フィルムは、水平支持板２０とともに往復運動して光ファイバフェルールアセンブリの端面を研磨する。研磨フィルムを交換する必要があるとき、第１の駆動機構１３０は、１対の摺動ブロック１１２を１対の位置決め板１１５とともに上方へ動かし、１対の位置決め板１１５上に取り付けられたキャリア４００を持ち上げ、それによってキャリア４００の下の研磨フィルムを交換する。研磨フィルムを交換した後、第１の駆動機構１３０は、１対の摺動ブロック１１２を１対の位置決め板１１５とともに下方へ動かし、所定の位置に到達するまで、１対の位置決め板１１５上に取り付けられたキャリア４００を下げる。
【００５３】
図１および図２に示すように、本発明の例示的な実施形態では、押圧機構は、１対の第２の駆動機構２１０、２２０を備え、第２の駆動機構２１０、２２０は、１対の垂直支持板１１０、１２０上に取り付けられており、それぞれ１対の押圧ヘッド３１０、３２０を駆動して１対の押圧ヘッド３１０、３２０をキャリア４００の表面に押圧するように構築される。
【００５４】
図１および図２に示す実施形態では、第２の駆動機構２１０、２２０の作動端は、それぞれ水平押圧板２３０を備える。押圧ヘッド３１０、３２０の上端面は、それぞれ水平押圧板２３０に取り付けられる。
【００５５】
キャリア４００に作用する押圧力がゼロから所定の値へ徐々に平滑に増大することを確実にするために、本発明の例示的な実施形態では、押圧ヘッド３１０、３２０は、弾性材料から作られる。このようにして、押圧ヘッド３１０、３２０は、下方へ押圧されるとき、徐々に弾性的に変形し、その結果、キャリア４００に作用する押圧力は、キャリア４００に衝撃を与えるのではなく、ゼロから所定の値へ徐々に平滑に増大する。
【００５６】
本発明の例示的な実施形態では、第２の駆動機構２１０、２２０はそれぞれ、線形アクチュエータ、たとえば空気シリンダ、油圧シリンダ、または電気アクチュエータを構成することができる。
【００５７】
図３は、本発明の別の例示的な実施形態による研磨装置の押圧ヘッド３１０’または３２０’の例示的な構造図であり、ばね（弾性の緩衝構成要素２４０）は押圧されずに解放状態で維持されており、図４は、図３に示す押圧ヘッド３１０’または３２０’の例示的な構造図であり、ばね（弾性の緩衝構成要素２４０）は完全に押圧されている。
【００５８】
本発明の例示的な実施形態では、図３および図４に示すように、押圧機構はまた、弾性の緩衝構成要素２４０を備える。第２の駆動機構２１０、２２０は、弾性の緩衝構成要素２４０を押圧し、それによって押圧ヘッド３１０’、３２０’をキャリア４００の表面に押圧し、その結果、キャリア４００に作用する押圧力は、ゼロから所定の値へ徐々に増大する。
【００５９】
図３および図４に示すように、図示の実施形態では、押圧ヘッド３１０’および３２０’はそれぞれ、上部本体部分３１１と、上部本体部分３１１から分離された下部本体部分３１２とを備える。それぞれ上部本体部分３１１および下部本体部分３１２上に受容溝が形成され、弾性の緩衝構成要素２４０は、受容内に受け取られる。
【００６０】
図３および図４に示すように、図示の実施形態では、それぞれ上部本体部分３１１および下部本体部分３１２内に案内孔が形成され、それぞれ案内孔内へ案内ロッド２５０が挿入され、その結果、弾性の緩衝構成要素２４０の押圧中、上部本体部分３１０は、下部本体部分３２０に対して垂直方向に動くように案内される。
【００６１】
図３および図４に示すように、図示の実施形態では、押圧ヘッド３１０’または３２０’の下部本体部分３１２には、キャリア４００の表面に直接接触してキャリア４００の表面を直接押圧する円弧状の突起３１２ａが形成される。
【００６２】
図３および図４に示すように、本発明の例示的な実施形態では、円弧状の突起３１２ａは、半球形または半円筒形に形成することができる。
【００６３】
図１に示すように、本発明の例示的な実施形態では、垂直摺動レール１１１、摺動ブロック１１２、および第１の駆動機構１３０は、それぞれ垂直支持板１１０、１２０の外側に取り付けられる。第２の駆動機構２１０、２２０は、それぞれ垂直支持板１１０、１２０の内側に取り付けられる。
【００６４】
本発明の例示的な実施形態では、図１に示すように、キャリア４００は、実質的な長方形のプロファイルまたは任意の他の適切なプロファイルを有する。
【００６５】
上記の実施形態はすべて例示的な実施形態であることを、当業者には理解されたい。たとえば、構造上または原理上矛盾することなく、当業者であれば、上記の実施形態に多くの修正を加えることができ、異なる実施形態で記載する様々な特徴を互いに自由に組み合わせることができる。
【００６６】
本開示について、添付の図面を参照して説明したが、添付の図面に開示する実施形態は、本発明の好ましい実施形態について例示的に説明することが意図され、本開示に対する限定として解釈されるべきでない。
【００６７】
本開示の一般概念のいくつかの実施形態について図示および説明したが、本開示の原理および精神から逸脱することなく、様々な変更または修正をこれらの実施形態に加えることができ、本開示の範囲は、特許請求の範囲およびその均等物において定義されることが、当業者には理解されよう。
【００６８】
本明細書では、「備える」または「有する」という用語は、他の要素またはステップを除外しないと理解され、「ａ」または「ａｎ」という用語は、複数の要素またはステップを除外しないと理解されたい。加えて、特許請求の範囲内のあらゆる参照番号は、本開示の範囲の限定として理解されるべきでない。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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