(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
スリット電極板（５１）と、
尖状電極板（５２）とを備え、
前記スリット電極板と前記尖状電極板の間に電圧が印加されたとき、前記スリット電極板と前記尖状電極板の間の作動流体を付勢して輸送する流体輸送装置であって、
前記スリット電極板は、板形状の導電性の板材であり、前記板材の厚み方向に貫通すると共に作動流体が流通する切り欠きが設けられており、
前記尖状電極板は、凸形状に曲がって尖った板であり、かつ、前記スリット電極板に向かって凸形状になるように配置されていることを特徴とする流体輸送装置。
【請求項２】
前記スリット電極板と前記尖状電極板との間に絶縁性のスペーサ（７１、７２）が配置されていることを特徴とする請求項１に記載の流体輸送装置。
【請求項３】
互いに対向して離れて配置される導電性の第１ベース部材（１４）および導電性の第２ベース部材（１３）のうち、前記第１ベース部材に前記スリット電極板が接続され、前記第２ベース部材に前記尖状電極板が接続されることを特徴とする請求項１または２に記載の流体輸送装置。
【請求項４】
前記スリット電極板と前記尖状電極板は、発熱体（２）の近傍において前記発熱体の熱が伝達された前記作動流体を付勢して輸送することで、前記発熱体を冷却することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載の流体輸送装置。
【請求項５】
前記スリット電極板および前記尖状電極板は、波形状に延びていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１つに記載の流体輸送装置。
【請求項６】
前記尖状電極板には、厚み方向に貫通する切り欠きが設けられていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１つに記載の流体輸送装置。
【請求項７】
スリット電極板（５１）と尖状電極板（５２）とを備え、前記スリット電極板と前記尖状電極板の間に電圧が印加されたとき、前記スリット電極板と前記尖状電極板の間の作動流体を付勢して輸送する流体輸送装置を製造する方法であって、
前記スリット電極板を製造する工程と、
前記尖状電極板を製造する工程とを備え、
前記スリット電極板を製造する工程は、板形状の導電性の板材に対して、前記板材の厚み方向に貫通すると共に作動流体が流通する切り欠きを設ける加工を施すことで前記スリット電極板を形成する工程を含み、
前記尖状電極板を製造する工程は、板形状の導電性の板材を曲げ加工することにより平板形状ではなく凸形状に尖った前記尖状電極板を形成し、かつ、前記尖状電極板が前記スリット電極板に向かって凸形状になるように配置する工程を含むことを特徴とする流体輸送装置を製造する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体輸送装置および流体輸送装置を製造する方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、電極対間に電圧が印加されることによって当該電極対の間で付勢される作動流体、および、当該電極対に電圧を印加して当該作動流体を輸送する流体輸送装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。このような流体輸送装置においては、従来、電極対を構成する各電極を、切削、メッキ、エッチングにより製造していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−３５３８８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような電極対においては、電極の背の高さ（すなわち、作動流体の流通する方向に交差する方向の長さ）を高くすることで、作動流体の流量を増大させることができる。しかし、切削、メッキ、エッチングのような従来の方法を用いて製造した場合、電極の背の高さを十分高くすることが困難であった。
【０００５】
具体的には、切削で電極を形成する方法では、電極間の距離が小さいのでカッターとして非常に小径（例えば０．２ｍｍ径）のものを用いる必要があるが、そのようなカッター長を長くすることができないので、背の高い電極を製造することが困難であった。また、メッキのように薄膜を重ねて電極を形成する方法では、薄膜が薄いが故に高さを十分に確保することが困難であった。また、エッチングのように材料を溶かして電極を形成する方法では、溶かし込み深さをあまり大きくすると材料が垂れてしまうので、高さを十分に確保することが困難であった。これらの場合、無理に背の高い電極を作ろうとしても、加工時間の増大によりコスト高となってしまう。
【０００６】
本発明は上記点に鑑み、電極対に電圧を印加して作動流体を輸送する流体輸送装置において、作動流体の流通する方向に交差する方向の電極の長さを従来よりも容易に確保できるようにする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するための請求項１に記載の発明は、スリット電極板（５１）と、
尖状電極板（５２）とを備え、前記スリット電極板と前記尖状電極板の間に電圧が印加されたとき、前記スリット電極板と前記尖状電極板の間の作動流体を付勢して輸送する流体輸送装置であって、前記スリット電極板は、板形状の導電性の板材であり、前記板材の厚み方向に貫通すると共に作動流体が流通する切り欠きが設けられており、前記尖状電極板は、凸形状に曲がって尖った板であり、かつ、前記スリット電極板に向かって凸形状になるように配置されていることを特徴とする流体輸送装置である。
【０００８】
また、請求項８に記載の発明は、スリット電極板（５１）と尖状電極板（５２）とを備え、前記スリット電極板と前記尖状電極板の間に電圧が印加されたとき、前記スリット電極板と前記尖状電極板の間の作動流体を付勢して輸送する流体輸送装置を製造する方法であって、前記スリット電極板を製造する工程と、前記尖状電極板を製造する工程とを備え、前記スリット電極板を製造する工程は、板形状の導電性の板材に対して、前記板材の厚み方向に貫通すると共に作動流体が流通する切り欠きを設ける加工を施すことで前記スリット電極板を形成する工程を含み、前記尖状電極板を製造する工程は、板形状の導電性の板材を曲げ加工することにより平板形状ではなく凸形状に尖った前記尖状電極板を形成し、かつ、前記尖状電極板が前記スリット電極板に向かって凸形状になるように配置する工程を含むことを特徴とする流体輸送装置を製造する方法である。
【０００９】
このように、スリット電極板については、板材に対して厚み方向に貫通する切り欠きを設ける加工を行うことで得られるので、電極の背の高さは、元々の板材の幅を大きくするだけで、確保できる。また、尖状電極板については、板材を加工することにより、平板形状ではなく（すなわち立体的に）凸形状に尖って曲がっており、かつ、スリット電極板に向かって凸形状になるように配置されている。したがって、凸形状の向きと作動流体の流通する方向とは概ね同じなので、電極の背の高さは、元々の板材の幅を大きくするだけで、確保できる。したがって、電極の背の高さ（すなわち、作動流体の流通する方向に交差する方向の電極の長さ）を従来よりも容易に確保できる。
【００１０】
なお、上記および特許請求の範囲における括弧内の符号は、特許請求の範囲に記載された用語と後述の実施形態に記載される当該用語を例示する具体物等との対応関係を示すものである。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】第１実施形態における冷却システムの斜視図である。
【図２】図１のＩＩ矢視図（正面図）である。
【図３】図１のＩＩＩ矢視図（底面図）である。
【図４】図２のＩＶ−ＩＶ断面図である。
【図５】図４のＶ拡大図である。
【図６】図５のＶＩ−ＶＩ断面図である。
【図７】スリット電極板５１の斜視図である。
【図８】尖状電極板５２の斜視図である。
【図９】スリット電極板５１、尖状電極板５２の電気的接続構造および作動流体の流れを示す図である。
【図１０】スリット電極板５１の製造工程を示す図である。
【図１１】尖状電極板５２の製造工程を示す図である。
【図１２】第２実施形態におけるスリット電極板５１の製造工程を示す図である。
【図１３】尖状電極板５２の製造工程を示す図である。
【図１４】スリット電極板５１、尖状電極板５２の配置、電気的接続構造および作動流体の流れを示す図である。
【図１５】第３実施形態におけるスリット電極板５１、尖状電極板５２の配置、電気的接続構造および作動流体の流れを示す図である。
【図１６】第４実施形態におけるスリット電極板５１、尖状電極板５２の配置、電気的接続構造および作動流体の流れを示す図である。
【図１７】第５実施形態におけるスリット電極板５１、尖状電極板５２の配置、電気的接続構造および作動流体の流れを示す図である。
【図１８】第６実施形態におけるスリット電極板５１の製造工程を示す図である。
【図１９】尖状電極板５２の製造工程を示す図である。
【図２０】スリット電極板５１、尖状電極板５２の配置、電気的接続構造および作動流体の流れを示す図である。
【図２１】第７実施形態において、図６と同じ形式で流体輸送装置１の一部を表した断面図である。
【図２２】第８実施形態におけるスリット電極板５１、尖状電極板５２、接着剤８０の構成を示す図である。
【図２３】図２２のＸＸＩＩＩ−ＸＸＩＩＩ断面図である。
【図２４】第９実施形態における冷却システムの底面図である。
【図２５】図５と同じ形式で流体輸送装置１の一部を表した断面図である。
【図２６】第１０実施形態において図５と同じ形式で流体輸送装置１の一部を表した断面図である。
【図２７】他の実施形態における尖状電極板５２の製造方法を示す図である。
【図２８】他の実施形態において図５と同じ形式で流体輸送装置１の一部を表した断面図である。
【図２９】他の実施形態における流体輸送装置の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
（第１実施形態）
以下、第１実施形態について説明する。本実施形態の冷却システムは、図１に示すように、流体輸送装置１、発熱体２、放熱部材３を備えている。流体輸送装置１と放熱部材３は、発熱体２を冷却する冷却装置を構成する。
【００１３】
流体輸送装置１は、作動流体を循環輸送し、それにより、発熱体２の近傍において発熱体２から熱が伝達された作動流体を、放熱部材３の近傍に輸送することで、発熱体２の熱を放熱部材３から外部に放出させる装置である。
【００１４】
発熱体２は、流体輸送装置１の近傍で流体輸送装置１と接触して発熱する物である。発熱体２は、例えば、インバータを構成するスイッチング素子（例えば、ＩＧＢＴ（Insulated Gate Bipolar Transistor））が収容されたパワーカードであってもよい。この場合、インバータは、例えば、ハイブリッド自動車または電気自動車に搭載された走行用バッテリからの電力を用いて車両駆動用モータを駆動するためのインバータであってもよい。
【００１５】
放熱部材３は、流体輸送装置１の近傍で流体輸送装置１と接触する金属製の部材であり、作動流体から伝達された熱を周囲の空気等に放出する。放熱部材３は、複数のフィン形状の突起を有する空冷フィンである。
【００１６】
なお、本実施形態において流体輸送装置１が輸送する作動流体は、電気流体力学（Electrohydrodynamic、略してＥＨＤ）現象を示すＥＨＤ流体である。このようなＥＨＤ流体は、数ｋＶの高電圧を印加しても放電し難い誘電液体であり、周知のＥＨＤ効果により、電圧の印加を受けて流動する。
【００１７】
本実施形態では、このようなＥＨＤ流体ならどのようなものを用いてもよい。例えば、フロリナートを用いてもよい。また、例えば、ＥＨＤ流体のうちでも、電界共役流体（Electro-Conjugate Fluid、略してＥＣＦ）を用いてもよい。
【００１８】
ＥＣＦとしては、例えば、特開２０００−２２２０７２号公報、特開平１１−１２５１７３号公報に記載のように、横軸が導電率σであり縦軸が粘度ηであって作動温度における流体の導電率σと粘度ηとの関係を示すグラフにおいて、導電率σ＝４×１０−１０Ｓ／ｍ、粘度η＝１×１００Ｐａ・ｓで表される点Ｐ、導電率σ＝４×１０−１０Ｓ／ｍ、粘度η＝１×１０−４Ｐａ・ｓで表される点Ｑ、導電率σ＝５×１０−６Ｓ／ｍ、粘度η＝１×１０−４Ｐａ・ｓで表される点Ｒを頂点とする直角三角形の内部に位置する導電率σおよび粘度ηを有する化合物、または、当該三角形の内部に位置する導電率σおよび粘度η を有するように調製された二種類以上の化合物の混合物を用いることができる。例えば、デカン２酸ジブチル（ｄｉｂｕｔｙｌｄｅｃａｎｅ−ｄｉｏａｔｅ）を、ＥＣＦとして用いることができる。また、難燃性・不燃性の含ハロゲン（フッ素、塩素、臭素など）化液体をＥＣＦとして用いることができる。
【００１９】
以下、流体輸送装置１の詳細について説明する。この流体輸送装置１は、図１、図２、図３、図４に示すように、外周壁１１、内周壁１２、天壁１３、底壁１４、絶縁部材１５、ポンプ１６を有している。外周壁１１、内周壁１２、天壁１３、底壁１４、絶縁部材１５は、作動流体の流路およびポンプ１６を内蔵するケーシングを構成する。
【００２０】
外周壁１１は、流体の環状の流路を外周から囲む板形状の金属製部材である。この外周壁１１は、一端で天壁１３と接続し、他端で底壁１４と接続すると共に、内周壁１２と対向する。また、外周壁１１の外側面（流路とは反対側の面）のうち、発熱体２から最も離れた部分には、上述の放熱部材３が固定的に接続されている。
【００２１】
内周壁１２は、流体の環状の流路を内周から囲む板形状の金属製部材である。この内周壁１２は、一端で天壁１３と接続し、他端で底壁１４と接続すると共に、内周壁１２は、外周壁１１と対向する。また、内周壁１２の外側面（流路とは反対側の面）のうち、発熱体２から最も離れた部分には、上述の放熱部材３が固定的に接続されている。
【００２２】
外周壁１１、内周壁１２の一部に放熱部材３が接続されているが、より放熱が必要な場合は、外周壁１１、内周壁１２のより多くの部分や、天壁１３、底壁１４にも放熱部材３を接続することができる。
【００２３】
天壁１３は、流体の環状の流路を上方から覆う穴空きの平板形状の金属製部材である。この天壁１３は、外周端で外周壁１１と接続し、内周端で内周壁１２と接続する。また天壁１３は、底壁１４および絶縁部材１５と対向する。
【００２４】
底壁１４は、流体の環状の流路を下方から覆う穴空きの平板形状の金属製部材である。この底壁１４は、外周端で外周壁１１と接続し、中央部の内周端で内周壁１２と接続し、天壁１５と対向する。この底壁１４に空けられた穴は、中央部に大きく開いた穴の他に、発熱体２およびポンプ１６の近傍においても、穴が空いている。そして底壁１４は、当該発熱体２近傍の穴を囲む内周端にて、絶縁部材１５と接続する。
【００２５】
絶縁部材１５は、流体の環状の流路を下方から覆うと共に、流路側の面にポンプ１６が取り付けられ、流路側と反対側の面に発熱体２が取り付けられる。この絶縁部材１５は絶縁体（例えば樹脂、ガラス、ポリテトラフルオロエチレン、セラミック）から成る平板形状の部材である。この絶縁部材１５は、底壁１４の穴に圧入により嵌合し、その外周端が底壁の内周端と接続し、天壁１３と対向する。絶縁部材１５が絶縁体で形成されているのは、ポンプ１６内の後述する陽極と陰極のケーシング（特に絶縁部材１５）を介した導通を防止するためである。なお、この絶縁部材１５は、図６に示すように、周囲の底壁１４よりも薄く形成されている。
【００２６】
ポンプ１６は、図４に示すように、絶縁部材１５の流路側の面に固定されて流路と接する。このポンプ１６は、流路内の作動流体を付勢することで、作動流体を流路内で循環させる部材であり、図５、図６に示すように、複数個（例えば１０個）のスリット電極板５１、複数個（例えば１０個）の尖状電極板５２を有している。
【００２７】
これら複数個のスリット電極板５１と複数個の尖状電極板５２は、１枚ずつ交互に流路の長手方向４０（図４も参照）に間隔（例えば長手方向４０に０．２ｍｍ）を空けて積層される。なお、流路の長手方向４０は、流路内における作動流体の主流流れの方向である。
【００２８】
個々のスリット電極板５１は、絶縁部材１５の上に尖状電極板５２と１枚ずつ交互に間隔を開けて流路の長手方向４０に積層され、絶縁部材１５に接着、接合等で固定される。スリット電極板５１は、電極として機能するために、導電体（例えば金属）から成っている。
【００２９】
個々のスリット電極板５１の形状は、ジグザグに曲がりながら、流路４０の長手方向に直交すると共に絶縁部材１５の内壁面に平行な方向４１（以下、流路の横方向４１という）に延びる波形状である。
【００３０】
個々のスリット電極板５１の厚みは、例えば０．１ｍｍである。また、個々のスリット電極板５１の高さは、例えば５ｍｍの一定値である。なお、高さとは、流路の長手方向４０とも横方向４１とも９０°で交差する方向（図６の紙面上下方向）である。また、個々のスリット電極板５１には、複数個の貫通穴が厚み方向に空いている。
【００３１】
このスリット電極板５１は、隣り合う尖状電極板５２との間に電圧が印加されることで、電極（具体的には陽極）として機能し、隣り合う尖状電極板５２との間で作動流体を付勢する。これにより、作動流体はスリット電極板５１の各貫通穴を流通する。
【００３２】
個々の尖状電極板５２は、絶縁部材１５の上にスリット電極板５１と１枚ずつ交互に間隔を開けて流路の長手方向４０に積層され、絶縁部材１５に接着、接合等で固定される。尖状電極板５２は、電極として機能するために、導電体（例えば金属）から成っている。
【００３３】
個々の尖状電極板５２の形状は、ジグザグに曲がりながら流路の横方向４１に延びる波形状である。
【００３４】
個々の尖状電極板５２の厚みは、例えば０．１ｍｍである。また、個々の尖状電極板５２の高さは、例えば５ｍｍの一定値である。また、個々の尖状電極板５２には、複数個の貫通穴が厚み方向に空いている。
【００３５】
この尖状電極板５２は、隣り合うスリット電極板５１との間に電圧が印加されることで、電極（具体的には陰極）として機能し、隣り合うスリット電極板５１との間で作動流体を付勢する。これにより、作動流体は尖状電極板５２の各貫通穴を流通する。
【００３６】
また、個々のスリット電極板５１は、図７に示すように、複数個（例えば１０個）の凸状板５１１を有する。また、個々の尖状電極板５２は、図８に示すように、同じ複数個の凸状板５２１を有する。なお、図７、図８は、それぞれ、１枚のスリット電極板５１、尖状電極板５２を単体で表した斜視図である。
【００３７】
個々の凸状板５１１は、ジグザグの１つの山に相当し、凸状板５１１が流路の横方向に複数個連なることで、１枚のスリット電極板５１が形成されている。凸状板５１１は、流路の長手方向４０に直交すると共に、流路の横方向４１の中央部において流路の長手方向４０かつ流体の流れの下流側（以下、前方向と言う）に向かって凸形状に曲がった穴空きの板形状部材である。
【００３８】
そして、各凸状板５１１において、横方向４１の端部５１３の一方または両方が、隣の凸状板５１１と接続する。より具体的には、或るスリット電極板５１の両端に位置する凸状板５１１では、横方向４１の端部５１３の一方のみが隣の凸状板５１１の端部５１３と接続する。また、或るスリット電極板５１の両端以外に位置する凸状板５１１では、横方向４１の端部５１３の両方が隣の凸状板５１１の端部５１３と接続する。
【００３９】
また、凸形状の最も前に突出した頂点部５１２およびその近傍に、裏側（後方向の側）から表側（前方向の側）に流体が流通可能な略楕円形の貫通穴を囲む穴形成部５１４が１つのみ形成されている。ここで、後方向は、前方向とは反対の方向である。
【００４０】
また、凸状板５１１の頂点部５１２から両方の端部５１３までは、平板形状になっている。また、個々の凸状板５１１の頂点部５１２は、前方向および後方向に隣り合う凸状板５２１の頂点部５２２と、流路の横方向４１の位置が、ほぼ一致する。なお、同じスリット電極板５１内で隣り合う２つの凸状板５１１における２つの頂点部５１２間の距離は、例えば１ｍｍ以上５ｍｍ以下である。
【００４１】
個々の凸状板５２１は、ジグザグの１つの山に相当し、凸状板５２１が流路の横方向に複数個連なることで、１枚の尖状電極板５２が形成されている。凸状板５２１は、流路の長手方向４０に直交すると共に、流路の横方向４１の中央部において前方向に向かって凸形状に曲がった穴空きの板形状部材である。
【００４２】
そして、各凸状板５２１において、横方向４１の端部５２３の一方または両方が、隣の凸状板５２１と接続する。より具体的には、或る尖状電極板５２の両端に位置する凸状板５２１では、横方向４１の端部５２３の一方のみが隣の凸状板５２１の端部５２３と接続する。また、或る尖状電極板５２の両端以外に位置する凸状板５２１では、横方向４１の端部５２３の両方が隣の凸状板５２１の端部５２３と接続する。
【００４３】
また、凸形状の最も前方に突出した頂点部５２２と両方の端部５２３の間に、裏側から表側に流体が流通可能な略楕円形の貫通穴を囲む穴形成部５２４が、それぞれ１個ずつ、計２個形成されている。
【００４４】
また、頂点部５２２（より具体的には頂点部５２２の前方側の面）は尖っている。具体的には、一枚の尖状電極板５２に含まれるすべての端部５２３を切るあらゆる断面において、以下のことが成り立つ。すなわち、当該断面内で各端部５２３の前方側の面を構成する線は、その線内における最小の曲率半径が、０．５ｍｍ以下、好ましくは０．２ｍｍ以下となっている。
【００４５】
また、凸状板５２１の頂点部５２２から両端５２３までは、平板形状になっている。また、個々の凸状板５２１の頂点部５２２は、前方向および後方向に隣り合う凸状板５１１の頂点部５１２と、流路の横方向４１の位置が、ほぼ一致する。なお、同じ尖状電極板５２内で隣り合う２つの凸状板５２１における２つの頂点部５２２間の距離は、例えば１ｍｍ以上５ｍｍ以下である。
【００４６】
また、隣り合うスリット電極板５１と尖状電極板５２はジグザグ形状が嵌まり合うように、しかし離隔して配置されている。具体的には、同じスリット電極板５１内で隣り合う２つの凸状板５１１における２つの頂点部５１２の間に、当該スリット電極板５１の前方隣りの尖状電極板５２の一部が存在する。また、同じ尖状電極板５２内で隣り合う２つの凸状板５２１における２つの頂点部５２２の間に、当該尖状電極板５２の前方隣りのスリット電極板５１の一部が存在する。このような嵌り合いにより、スリット電極板５１と尖状電極板５２の電極間距離を短くすることができ、その結果、ＥＨＤ効果を強く発揮させることができる。
【００４７】
また、図９に示すように、これら複数のスリット電極板５１は、導電線を介して直流電源３０の正極に接続されている。また、これら複数の尖状電極板５２は、導電線を介して直流電源３０の負極に接続されている。したがって、互いに隣り合う２つのスリット電極板５１と尖状電極板５２は、それぞれ、１組の電極対の陽極と陰極になる。
【００４８】
次に、上記のような構成の冷却システムの作動について説明する。部材１１〜１５から成るケーシング内の流路に作動流体が収容されている状態で、直流電源３０と各スリット電極板５１および各尖状電極板５２を接続する。
【００４９】
すると、ポンプ１６内におけるすべての尖状電極板５２の一枚一枚が、その前隣りのスリット電極板５１と、１組の電極対となる。具体的には、個々の尖状電極板５２における複数個の頂点部５２２に電界が集中することで、当該頂点部５２２と当該頂点部５２２の前隣りにある穴形成部５１４との間に不均一電界が発生する。
【００５０】
ここでいう不均一電界とは、平面電極と点電極間の電界分布のように、点電極近傍で電界集中が発生することで、等電位線が密な状態と、平面電極近傍で電界集中が緩和され、等電位線が疎な状態が生じているような電界をいう。本実施形態のように尖状電極板５２の頂点部５１２のすぐ前方に穴形成部５１４がある場合、不均一電界が発生する。
【００５１】
不均一電界が発生した場合、ＥＨＤ効果により、頂点部５２２と穴形成部５１４の間の作動流体が付勢される。本実施形態では、スリット電極板５１が陽極となり尖状電極板５２が陰極となった場合に頂点部５２２から穴形成部５１４に付勢されるような作動流体（例えば、（有）新技術マネイジメントからＥＣＦとして供給および販売されているＦＦ−３ＥＨＡ２、ＦＦ−８ＥＨＡ２、ＦＦ−１０１ＥＨＡ２、ＦＦ−９０９ＥＨＡ２、ＦＦ−５０５ＥＨＡ２）が用いられる。
【００５２】
したがって、図９の矢印に示すように、作動流体は各尖状電極板５２の各頂点部５２２から前隣りのスリット電極板５１の貫通穴に流れ込むように強く付勢される。これにより、作動流体は、スリット電極板５１の貫通穴を流通し、更に尖状電極板５２の貫通穴を流通し、更にスリット電極板５１の貫通穴を流通するという振る舞いを繰り返す。この場合、ポンプ１６全体としては、流路の長手方向４０の後方側から前方側に作動流体が付勢され、流路の長手方向４０に沿って流体が循環輸送される。
【００５３】
すると、作動流体は、絶縁部材１５の近傍において、絶縁部材１５を介して発熱体２の熱を受け取ることで加熱され、ポンプ１６に付勢されて流路内を流動して放熱部材３の近傍に至り、放熱部材３の近傍にて外周壁１１、内周壁１２を介して放熱部材３に熱を渡すことで冷却され、再度絶縁部材１５の近傍に戻る。そして、放熱部材３は、作動流体から得た熱を周囲の空気等に放出する。このような作動により、発熱体２の冷却が実現される。
【００５４】
なお、本実施形態では、スリット電極板５１の各端部５１３の後方側の面は、後方側の尖状電極板５２に向かって尖っておらず、後方側の尖状電極板５２に対向するように面取りされている。また、尖状電極板５２の各端部５２３の後方側の面は、後方側のスリット電極板５１に向かって尖っておらず、後方側のスリット電極板５１に対向するように面取りされている。したがって、端部５１３において尖状電極板５２の頂点部５２２のように電界が強く集中することはないので、ＥＨＤ効果が発揮され難い。それ故、各端部５１３、５２３から後方に作動流体が強く付勢されることはない。
【００５５】
次に、本実施形態の冷却システムの製造方法について説明する。まず、発熱体２、放熱部材３、外周壁１１、内周壁１２、天壁１３、底壁１４を製造して一体に組み付ける。更に、まず、ポンプ１６を製造すると共に、絶縁部材１５を製造する。そして、絶縁部材１５にスリット電極板５１、尖状電極板５２を固定する。スリット電極板５１、尖状電極板５２が固定された絶縁部材１５を底壁１４に接合する。そして、流路に作動流体を入れた後、スリット電極５１、尖状電極５２に直流電源３０を電気的に接続することで、冷却システムの製造が完了する。
【００５６】
ポンプ１６を製造する工程は、スリット電極板５１を製造する工程と、尖状電極板５２を製造する工程を含む。ここで、スリット電極板５１の製造方法の詳細について、図１０を用いて説明する。まず、スリット電極板５１の元となる薄板形状の導電性かつ横長の平板形状の板材を、製造したいスリット電極板５１の数と同じ数だけ、用意する。次に、これら板材の個々に対して、図１０（ａ）に示すように、横方向に等間隔に貫通穴を複数個空ける。なお、図１０（ａ）における破線は、折り曲げ位置を表す仮想線である。貫通穴を空けるための穴開け加工としては、例えば、プレス、ドリル、フライス、旋盤等を用いた穴開け加工を採用する。この穴開け加工の工程により、複数個の穴形成部５１４が形成される。
【００５７】
続いて、図１０（ｂ）に示すように、貫通穴の中央位置の各々と、２つの隣り合う貫通穴から等距離にある位置の各々で、スリット電極板５１を折り曲げる。より具体的には、貫通穴の中央位置では高さ方向に延びる折り曲げ線に沿って山折りにし、２つの隣り合う貫通穴から等距離にある位置では高さ方向に延びる折り曲げ線に沿って谷折りにする。スリット電極板５１を曲げるための曲げ加工としては、金型を用いたプレス加工等を採用する。
【００５８】
この曲げ加工の工程により、山折りされた部分が頂点部５１２となり、谷折りされた部分が端部５１３となる。折り曲げ加工の後、スリット電極板５１が完成する。
【００５９】
次に、尖状電極板５２の製造方法の詳細について、図１１を用いて説明する。まず、尖状電極板５２の元となる薄板形状の導電性かつ横長の平板形状の板材を、製造したい尖状電極板５２の数と同じ数だけ、用意する。次に、これら板材の個々に対して、図１１（ａ）に示すように、横方向に等間隔に貫通穴を複数個空ける。この間隔は、スリット電極板５１において貫通穴を空けた間隔の２分の１である。なお、図１１（ａ）における破線は、折り曲げ位置を表す仮想線である。貫通穴を空けるための穴開け加工としては、スリット電極板５１と同じ方法を採用する。
【００６０】
続いて、図１１（ｂ）に示すように、２つの隣り合う貫通穴から等距離にある位置の各々で、尖状電極板５２を折り曲げる。より具体的には、横方向に山折りと谷折りが交互に現れるように曲げる。尖状電極板５２を曲げるための曲げ加工としては、金型を用いたプレス加工等を採用する。
【００６１】
この曲げ加工の工程により、山折りされた部分が頂点部５２２となり、谷折りされた部分が端部５２３となる。なお、頂点部５２２が尖っており、端部５２３が尖っていないようにするためには、例えば、金型の頂点部５２２に当てる部分を尖らせ、金型の端部５２３に当てる部分を尖らせず面取りされた形状にする。
【００６２】
以上説明した通り、本実施形態のポンプ１６において、スリット電極板５１は、作動流体が流通する貫通穴を板形状の導電性の板材の厚み方向に空ける穴開け加工を施すことで、貫通穴が空けられて形成される。
【００６３】
また、尖状電極板５２は、板形状の導電性の板材を加工することにより、平板形状ではなく、すなわち立体的に凸形状に尖って曲がっており、かつ、スリット電極板５１に向かって凸形状になるように配置されている。
【００６４】
このように、スリット電極板５１については、板材に対して厚み方向に貫通穴を空ける加工を行うことで得られるので、作動流体の流通する方向に交差する方向の高さは、元々の板材の幅を大きくするだけで、確保できる。また、尖状電極板５２については、板材を加工することにより、平板形状ではなく（すなわち立体的に）凸形状に尖って曲がっており、かつ、スリット電極板５１に向かって凸形状になるように配置されている。したがって、凸形状の向きと作動流体の流通する方向とは概ね同じなので、作動流体の流通する方向に交差する方向の高さは、元々の板材の幅を大きくするだけで、確保できる。したがって、作動流体の流通する方向に交差する方向の電極の長さを従来よりも容易に確保できる。
【００６５】
また、本実施形態では、絶縁部材１５が底壁１４の内周端に接合されている。したがって、絶縁部材１５の他に強度確保の構造部材として底壁１４が存在することで、絶縁部材１５を薄くすることができる。したがって、絶縁部材１５の熱抵抗が小さくなり、発熱体２から作動流体への熱伝導がより促進される。
【００６６】
なお、本実施形態のポンプ１６は、波形状のスリット電極板５１、尖状電極板５２が多数枚積層された形状となっているので、外見上はコルゲートルーバーフィンが積層された熱交換器の形状に似ている。しかし、熱交換器のコルゲートルーバーフィンは、流れの主流方向がフィンの積層方向に垂直な方向であるのに対し、本実施形態では、流れの主流方向が電極板５１、５２の積層方向である点が異なる。
【００６７】
また、本実施形態では、尖状電極板５２の頂点部５２２の両側に貫通穴が空けられているので、頂点部５２２の前方側に両側から作動流体が流れ込む。したがって、頂点部５２２から前方側のスリット電極板５１の貫通穴への流れがスムースになる。
【００６８】
また、本実施形態では、スリット電極板５１と尖状電極板５２の両方が波形状となっているので、スリット電極板５１、尖状電極板５２の伝熱面積を多く確保することができる。その結果、発熱体２の冷却効果が高まる。また、作動流体の流れに対する強度が高くなるので、スリット電極板５１、尖状電極板５２が倒れ難くなる。
【００６９】
（第２実施形態）
次に第２実施形態について説明する。本実施形態の冷却システムは、第１実施形態の冷却システムに対して、尖状電極板５２の貫通穴を半分に減らしたものである。具体的には、スリット電極板５１は、図１２に示すように、第１実施形態と同様に製造する。しかし、尖状電極板５２は、図１３（ａ）に示すように、貫通穴を、スリット電極板５１と同じ等間隔で空ける。
【００７０】
この場合、穴開け加工が終わって曲げ加工される前のスリット電極板５１と、穴開け加工が終わって曲げ加工される前の尖状電極板５２とは、全く形状が同じである。したがって、同じ板材に同じ穴開け加工を行うことで、スリット電極板５１と尖状電極板５２の両方を製造することができる。したがって、穴開け加工を共通化させることにより、より安価かつ簡便にスリット電極板５１、尖状電極板５２を製造することができる。
【００７１】
続いて、図１３（ｂ）に示すように、２つの隣り合う貫通穴の間を２等分する位置を２等分位置とし、当該２等分位置から隣の貫通穴までの間を更に２等分する位置の各々で、尖状電極板５２を折り曲げる。より具体的には、横方向に山折りと谷折りが交互に現れるように曲げる。この曲げ加工の工程により、山折りされた部分が頂点部５２２となり、谷折りされた部分が端部５２３となる。
【００７２】
このようにして形成された尖状電極板５２の各々においては、図１４に示すように、頂点部５２２と片方のみ端部５２３の間に、裏側から表側に流体が流通可能な略楕円形の貫通穴を囲む穴形成部５２４が１個形成されている。
【００７３】
（第３実施形態）
次に第３実施形態について説明する。本実施形態の冷却システムは、第１実施形態の冷却システムに対して、すべてのスリット電極板５１およびすべての尖状電極板５２の形状を変更したものである。
【００７４】
具体的には、図１５に示すように、各スリット電極板５１においては、端部５１３の後方側の面の形状が、後方側に向かって尖るのではなく、また、後方側に対向して面取りされるのでもない。端部５１３の後方側の面の形状は、後方側に向かって丸まった凸形状になるよう、第１実施形態に対して変更されている。具体的には、一枚のスリット電極板５１に含まれるすべての端部５１３を切るあらゆる断面において、以下のことが成り立つ。すなわち、当該断面内で各端部５１３の後方側の面を構成する線は、その線内における最小の曲率半径が、０．５ｍｍ以上、好ましくは０．７ｍｍ以上となっている。
【００７５】
したがって、端部５１３において尖状電極板５２の頂点部５２２のように電界が強く集中することはないので、ＥＨＤ効果が発揮され難い。それ故、各端部５１３、５２３から後方に作動流体が強く付勢されることはない。すなわち、逆流によるポンプ１６の出力（作動流体の輸送量）の低下を抑制することができる。
【００７６】
もし、各スリット電極板５１において、端部５１３の後方側の面の形状が、後方側に向かって尖っていると、当該端部５１３と、後方側の尖状電極板５２の穴形成部５２４との距離が近いので、ＥＨＤ効果により当該端部５１３と当該穴形成部５２４との間の部分で作動流体が強く付勢される可能性がある。もし作動流体として、電極の正負にかかわらず、当該端部５１３から当該穴形成部５２４に付勢させる作動流体（例えば上述のＦＦ−９０９ＥＨＡ２）が用いられる場合、この部分で作動流体が後ろ向きに付勢されてしまう。この付勢力は、尖状電極板５２の頂点部５２２とスリット電極板５１の穴形成部５１４の間に発生する前方向きの付勢力と逆なので、全体としてポンプ１６の出力が低下してしまうおそれがある。
【００７７】
このように、本実施形態では、端部５１３、５２３のうちでも、ポンプ１６の出力を低下させないために最も効果的な部分である端部５１３を尖らせないような形状にしている。すなわち、流れを抑制したい部分のみに丸みを付与している。
【００７８】
なお、本実施形態における各端部５１３、５２３の形状を曲げ加工で実現するためには、金型の各端部５１３、５２３に当てる部分の形状を所望の形状に形成しておけばよい。
【００７９】
（第４実施形態）
次に第４実施形態について説明する。本実施形態の冷却システムは、第３実施形態の冷却システムに対して、すべてのスリット電極板５２の形状を変更したものである。具体的には、図１６に示すように、各尖状電極板５２のすべての端部５２３の形状が、スリット電極板５１の端部５１３の形状と同じになっている。
【００８０】
このようになっていることで、第３実施形態に比べて、端部５２３と穴形成部５１４の間においてＥＨＤ効果が発揮される可能性がより低くなる。したがって、ポンプ１６の出力をより向上させることができる。
【００８１】
また、スリット電極板５１と尖状電極板５２の曲げ形状を統一することができる。したがって、曲げ加工において、スリット電極板５１と尖状電極板５２のプレス加工に用いる金型を共通のものにすることができる。
【００８２】
（第５実施形態）
次に第４実施形態について説明する。本実施形態の冷却システムは、第４実施形態の冷却システムに対して、すべてのスリット電極板５１の形状を変更したものである。具体的には、図１７に示すように、スリット電極板５１は、平板形状である。つまり、スリット電極板５１は、第１〜第４実施形態のように穴開け加工がされただけで、曲げ加工がされていない。
【００８３】
なお、スリット電極板５１、尖状電極板５２を絶縁部材１５に取り付けた際に、スリット電極板５１の貫通穴と尖状電極板５２の頂点部５２２とが流路の長手方向の一直線に並ぶようになっている。このようにするために、スリット電極板５１の穴開け加工時における貫通穴の左右方向の間隔は、第１〜第４実施形態とは異なっている。
【００８４】
本実施形態においても、尖状電極板５２の頂点部５２２の各々と、当該頂点部５２２の前方側にあるスリット電極板５１の貫通穴との間の部分に、不均一電界が発生する。従って、当該部分において作動流体が前方に付勢され、作動流体が流路の長手方向４１に輸送される。
【００８５】
（第６実施形態）
次に第６実施形態について説明する。本実施形態の冷却システムは、第１実施形態の冷却システムに対して、複数個の突起部７１、７２を追加したものである。
【００８６】
複数個の突起部７１は、図１８に示すように、スリット電極板５１の製造工程において、スリット電極板５１の元となる板材の一面側に、接着等で固定して取り付けられている。具体的には、スリット電極板５１のすべての折り目の各々に対して、当該折り目の一方側の近傍の上下に２個、他方側の近傍の上下に２個、計４個の突起部７１が取り付けられている。なお、これら折り目は、曲げ工程の後に、頂点部５１２および端部５１３となる。
【００８７】
複数個の突起部７２は、図１９に示すように、尖状電極板５２の製造工程において、尖状電極板５２の元となる板材の一面側に、接着等で固定して取り付けられている。具体的には、尖状電極板５２のすべての折り目の各々に対して、当該折り目の一方側の近傍の上下に２個、他方側の近傍の上下に２個、計４個の突起部７２が取り付けられている。なお、これら折り目は、曲げ工程の後に、頂点部５２２および端部５２３となる。
【００８８】
これら突起部７１、７２は、例えば半球形状の絶縁性部材（例えば樹脂部材）であり、半球形状の平面部がそれぞれスリット電極板５１、尖状電極板５２に接続される。
【００８９】
複数枚のスリット電極板５１および複数枚の尖状電極板５２が絶縁部材１５に取り付けられたとき、図２０に示すように、各突起部７１は、取り付け先のスリット電極板５１とその後方隣りの尖状電極板５２の間に介在し、かつ、尖状電極板５２と接触する。またこのとき、各突起部７２は、取り付け先の尖状電極板５２とその後方隣りのスリット電極板５１の間に介在し、かつ、スリット電極板５１と接触する。
【００９０】
このように、突起部７１、７２は、スリット電極板５１と尖状電極板５２の電極間距離を適正に保つスペーサとして機能する。このような突起部７１、７２があることで、電極５１、５２を交互に積層するだけで、簡易かつ高精度に電極５１、５２の位置決めができる。
【００９１】
（第７実施形態）
次に第７実施形態について説明する。本実施形態の冷却システムは、第１〜第６実施形態の冷却システムに対して、ケーシングの構成を変更したものである。具体的には、図２１に示すように、絶縁部材１５の下に、板形状の金属製の構造部材１７が配置されている。
【００９２】
絶縁部材１５と構造部材１７は厚み方向に重なっており、絶縁部材１５の流路側とは反対側の面と、構造部材１７の流路側の面とが、接触している。そして、発熱体２は、構造部材１７の流路側とは反対側の面に接触している。なお、構造部材１７の熱伝導率は、絶縁部材の熱伝導率よりも高い。
【００９３】
このように、強度確保のための構造部材１７を絶縁部材１５と対面して接触させることで、絶縁部材１５を薄くすることができる。したがって、絶縁部材１５の熱抵抗が小さくなり、発熱体２から作動流体への熱伝導がより促進される。
【００９４】
（第８実施形態）
次に第８実施形態について説明する。本実施形態の冷却システムは、第７実施形態の冷却システムに対して、絶縁部材１５の構成を変更したものである。具体的には、図２２、図２３に示すように、各スリット電極板５１および各尖状電極板５２と構造部材１７の間に、当該電極５１、５２の構造部材１７側の端部の形状に沿ってジグザグな線状に、複数本延びている。この場合、絶縁部材１５としては、樹脂フィルムを用いてもよいし、絶縁性の接着剤を用いてもよい。
【００９５】
このようにすることで、絶縁部材１５を更に薄くすることができる。したがって、絶縁部材１５の熱抵抗が小さくなり、発熱体２から作動流体への熱伝導がより促進される。また、絶縁部材１５の材料の量をより低減することができる。
【００９６】
（第９実施形態）
次に第９実施形態について説明する。本実施形態の冷却システムは、第１実施形態の冷却システムに対して一部変更を加えたものである。具体的には、図２４に示すように、絶縁部材１５を廃し、底壁１４において絶縁部材１５を接合する穴が塞がれている。
【００９７】
また、図２５に示すように、流路内において、スリット電極板５１は底壁１４に接触して固定され、尖状電極板５２は天壁１３に接触して固定される。なお、図２５の紙面水平方向でスリット電極板５１、尖状電極板５２を切る断面における、電極５１、５２の配置は、第１実施形態と同様、図６で示したようになる。
【００９８】
また、天壁１３と底壁１４の間に、絶縁体（例えば樹脂）から成る柱形状の絶縁スペーサ１９が複数個配置されている。そして絶縁スペーサ１９は、天壁１３および底壁１４の両方に接触する。この絶縁スペーサ１９により、天壁１３と底壁１４のギャップを確保することで、スリット電極板５１と尖状電極板５２が天壁１３または底壁１４を介して導通しないようにすることができる。
【００９９】
なお、スリット電極板５１と底壁１４はいずれも導電性の金属製なので、はんだ付け、圧接、ろう付け、超音波等の接合方法によって両者が接合されていてもよい。同様に、尖状電極板５２と天壁１３はいずれも導電性の金属製なので、はんだ付け、圧接、ろう付け、超音波等の接合方法によって両者が接合されていてもよい。
【０１００】
この場合、発熱体２は、図２５に示すように、底壁１４のうちスリット電極板５１が接合された部分の裏面に接触するように配置されている。あるいは別の例として、天壁１３のうち尖状電極板５２が接合された部分の裏面に接触するように発熱体２が配置されていてもよい。また更に別の例として、それらの両方に発熱体２が配置されていてもよい。
【０１０１】
天壁１３と底壁１４の両方に発熱体２がある場合は、天壁１３側の発熱体２の上に更に第２の流体輸送装置１を配置し、底壁１４側の発熱体２の下に更に第３の流体輸送装置１を配置してもよい。この場合、天壁１３側の発熱体２には、第２の流体輸送装置１の底壁１４が接触し、底壁１４側の発熱体２には、第３の流体輸送装置１の天壁１３が接触している。
【０１０２】
以上の通り、本実施形態では、スリット電極板５１と発熱体２の間、または、尖状電極板５２と発熱体２の間に、熱伝導率の低い絶縁部材が介在しない。したがって、発熱体２から作動流体への熱伝導がより促進される。なお、本実施形態では、底壁１４が第１ベース部材の一例に相当し、天壁１３が第２ベース部材の一例に相当する。
【０１０３】
（第１０実施形態）
次に第１０実施形態について、図２６を用いて説明する。本実施形態の冷却システムは、第９実施形態の冷却システムに対して複数個の樹脂スペーサ１９を複数個の樹脂スペーサ２０に置き換えたものである。
【０１０４】
各樹脂スペーサ２０の材質は樹脂スペーサ１９と同じである。また、各樹脂スペーサは、スリット電極板５１と天壁１３の間に介在し、スリット電極板５１と天壁１３の両方に接している。この絶縁スペーサ２０により、スリット電極板５１と天壁１３のギャップを確保することで、スリット電極板５１と尖状電極板５２が天壁１３または底壁１４を介して導通しないようにすることができる。
【０１０５】
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。また、上記各実施形態は、互いに無関係なものではなく、組み合わせが明らかに不可な場合を除き、適宜組み合わせが可能である。また、上記各実施形態において、実施形態を構成する要素は、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではない。また、上記各実施形態において、実施形態の構成要素の個数、数値、量、範囲等の数値が言及されている場合、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに特定の数に限定される場合等を除き、その特定の数に限定されるものではない。特に、ある量について複数個の値が例示されている場合、特に別記した場合および原理的に明らかに不可能な場合を除き、それら複数個の値の間の値を採用することも可能である。また、上記各実施形態において、構成要素等の形状、位置関係等に言及するときは、特に明示した場合および原理的に特定の形状、位置関係等に限定される場合等を除き、その形状、位置関係等に限定されるものではない。また、本発明は、上記各実施形態に対する以下のような変形例も許容される。なお、以下の変形例は、それぞれ独立に、上記実施形態に適用および不適用を選択できる。すなわち、以下の変形例のうち任意の組み合わせを、上記実施形態に適用することができる。
【０１０６】
（変形例１）
例えば、第１実施形態の冷却システムに対して、尖状電極板５２の貫通穴の形状を変更してもよい。例えば、第１実施形態では端部５２３を挟んで隣り合っていた２個の貫通穴を、図２７、図２８のように、端部５２３を跨ぐ大きな１つの横長の貫通穴に置き換えてもよい。このように貫通穴を大きくすることで、作動流体の圧損を低減することができ、ひいては、ポンプ１６の出力を向上することができる。
【０１０７】
（変形例２）
上記実施形態では、作動流体の流路は、発熱体２の近傍と放熱部材３の近傍の間を循環するように形成されている。しかし、本発明の流体輸送装置は、必ずしもこのようになっておらずともよい。
【０１０８】
例えば、図２９に示すように、図１の流体輸送装置１から、発熱体２およびその近傍の流路を抜き出した構成も、本発明の流体輸送装置に該当する。このような流体輸送装置は、例えば、作動流体の流路が外部のホースの一端に接続され、当該ホースの他端にラジエターが配置されるような構成となっていてもよい。このような例でも、発熱体２の熱がポンプ１６を構成するスリット電極板５１、尖状電極板５２を介して作動流体に移り、その熱と共に作動流体がポンプ１６によって発熱体２から離れた所に輸送される。
【０１０９】
また、ポンプ１６は、発熱体２の近傍の流路に配置されるのではなく、放熱部材３の近傍の流路に配置されていてもよい。この場合、作動流体の熱がポンプ１６を構成するスリット電極板５１、尖状電極板５２を介して放熱部３に移り、その結果冷却された作動流体がポンプ１６によって放熱部３から離れた所に輸送される。
【０１１０】
あるいは、本発明のポンプ１６は、発熱体近傍でも放熱部の近傍でもない流路中で作動流体を流動させる用途に用いられてもよい。
【０１１１】
また、ポンプ１６は、壁に囲まれていない開放された空間に配置され、当該ポンプ１６の周囲の作動流体を輸送するようになっていてもよい。
【０１１２】
（変形例３）
上記実施形態では、スリット電極板５１、尖状電極板５２が結果的に曲がった形状となるために、スリット電極板５１、尖状電極板５２の元となる板材に対して曲げ加工を施している。しかし、スリット電極板５１、尖状電極板５２が結果的に曲がった形状となるような加工方法は、曲げ加工に限られない。
【０１１３】
（変形例４）
上記各実施形態におけるスリット電極板５１、尖状電極板５２の貫通穴の形状は、上記各実施形態のような円形のものに限られず、例えば、四角形でもよいし、菱形でもよい。
【０１１４】
（変形例５）
上記第９実施形態では、スリット電極板５１は底壁１４と接続し、尖状電極板５２は天壁１３と接続するようになっている。しかし、必ずしもこのようになっておらずともよい。例えば、天壁１３、底壁１４とは別に、導電性金属から成る２枚のベース板を設け、これら２枚のベース板を天壁１３、底壁１４とは非導通に配置する。更に、これら２枚のベース板を互いに対向するようにかつ互いに分離して配置する。そして、これら２枚のベース板のうち１枚（第１ベース部材の一例に相当する）にスリット電極板５１を接触して固定し、他の１枚（第２ベース部材の一例に相当する）に尖状電極板５２を接触して固定するようになっていてもよい。
【０１１５】
（変形例６）
上記第１〜第８実施形態において、天壁１３を廃してもよい。この場合、流路がケーシングの外部に露出することになる。
【０１１６】
（変形例７）
上記実施形態では、各電極５１、５２に貫通穴が空けられている。貫通穴は、全周が電極に囲まれた切り欠きの一種である。しかし、各電極５１、５２に設けられるのは、作動流体が流通すると共に厚み方向に貫通する切り欠きであれば、貫通穴に限らず、一部の周囲が電極に囲まれた切り欠きであってもよい。
【符号の説明】
【０１１７】
１                    流体輸送装置
２                    発熱体
１３                  天壁（第２ベース部材）
１４                  底壁（第１ベース部材）
１６                  ポンプ
５１                  スリット電極板
５２                  尖状電極板
７１、７２            突起部（スペーサ）
【図１】
0006406125.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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