(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
パネルの表面に、液状で光透過性を有する光硬化性樹脂を塗布する塗布方法であって、
前記パネルは、光透過性を有する本体と、前記本体の表面周縁に形成された遮光層と、を備え、
前記パネルの前記表面の周縁部には、前記遮光層が形成された第一の領域と前記遮光層が形成されていない第二の領域との境界部に段差が形成されており、
前記塗布方法は、
光硬化性樹脂を吐出可能なスリット状のノズルを備えた塗布ヘッドが、前記パネルの前記表面上を相対的に移動するように、前記塗布ヘッド又は前記パネルの一方を移動させる移動工程と、
前記移動工程中に、前記ノズルから前記光硬化性樹脂を前記パネルの前記表面に吐出する塗布工程と、
前記塗布工程中に、前記パネル上の前記光硬化性樹脂の膜厚をコントロールユニットにて制御する制御工程と、を含み、
前記制御工程では、
前記第一の領域、前記第二の領域及び前記段差における前記光硬化性樹脂の表面全体が平坦となるよう、前記コントロールユニットは前記第二の領域の前記光硬化性樹脂の膜厚を前記第一の領域の前記光硬化性樹脂の膜厚よりも薄くなるように制御する、
ことを特徴とする塗布方法。
【請求項２】
請求項１記載の塗布方法であって、
前記制御工程では、
前記光硬化性樹脂の吐出液量で前記膜厚を制御する、
ことを特徴とする塗布方法。
【請求項３】
請求項１記載の塗布方法であって、
前記制御工程では、
前記塗布ヘッド又は前記パネルの移動速度で前記膜厚を制御する、
ことを特徴とする塗布方法。
【請求項４】
請求項１記載の塗布方法であって、
前記制御工程では、
前記パネルの前記表面からの前記ノズルの高さで前記膜厚を制御する、
ことを特徴とする塗布方法。
【請求項５】
請求項１記載の塗布方法であって、
前記制御工程では、
前記光硬化性樹脂の吐出液量、
前記塗布ヘッド又は前記パネルの移動速度、
前記パネルの前記表面からの前記ノズルの高さ、
の少なくともいずれか２つで前記膜厚を制御する、
ことを特徴とする塗布方法。
【請求項６】
請求項１に記載の塗布方法であって、
前記パネルは方形であり、
前記ノズルは、前記パネルの互いに対向する一対の辺と平行に配置され、
前記移動工程では、
前記一対の辺と直交する方向に、前記塗布ヘッド又は前記パネルの一方を移動させ、
前記塗布工程では、
前記一対の辺に沿って形成された前記遮光層上では、前記光硬化性樹脂の膜厚が相対的に薄くなるように制御し、
前記一対の辺に沿って形成された前記遮光層間では、前記光硬化性樹脂の膜厚が相対的に厚くなるように制御する、
ことを特徴とする塗布方法。
【請求項７】
パネルの表面に、液状で光透過性を有する光硬化性樹脂を塗布する塗布装置であって、
光硬化性樹脂を吐出可能なスリット状のノズルを備えた塗布ヘッドと、
前記パネルの前記表面上を相対的に移動するように、前記塗布ヘッド及び前記パネルの少なくとも一方を移動させる移動機構と、
前記塗布ヘッドと前記移動機構とを制御する制御ユニットと、を備え、
前記パネルは、光透過性を有する本体と、前記本体の表面周縁に形成された遮光層と、を備え、
前記パネルの前記表面の周縁部には、前記遮光層が形成された第一の領域と前記遮光層が形成されていない第二の領域との境界部に段差が形成されており、
前記制御ユニットは、
前記移動機構により前記塗布ヘッド及び前記パネルの少なくとも一方を移動させる移動制御と、
前記移動制御中に、前記ノズルから前記光硬化性樹脂を前記パネルの前記表面に吐出する塗布制御と、
前記塗布制御中に、前記パネル上の前記光硬化性樹脂の膜厚を制御する膜厚制御と、を実行し、
前記膜厚制御では、
前記第一の領域、前記第二の領域及び前記段差における前記光硬化性樹脂の表面全体が平坦となるよう、前記第二の領域の前記光硬化性樹脂の膜厚を前記第一の領域の前記光硬化性樹脂の膜厚よりも薄くなるように制御する、
ことを特徴とする塗布装置。
【請求項８】
請求項７記載の塗布装置であって、
前記膜厚制御では、
前記光硬化性樹脂の吐出液量で前記膜厚を制御する、
ことを特徴とする塗布装置。
【請求項９】
請求項７記載の塗布装置であって、
前記膜厚制御では、
前記塗布ヘッド又は前記パネルの移動速度で前記膜厚を制御する、
ことを特徴とする塗布装置。
【請求項１０】
請求項７記載の塗布装置であって、
前記膜厚制御では、
前記パネルの前記表面からの前記ノズルの高さで前記膜厚を制御する、
ことを特徴とする塗布装置。
【請求項１１】
請求項７記載の塗布装置であって、
前記膜厚制御では、
前記光硬化性樹脂の吐出液量、
前記塗布ヘッド又は前記パネルの移動速度、
前記パネルの前記表面からの前記ノズルの高さ、
の少なくともいずれか２つで前記膜厚を制御する、
ことを特徴とする塗布装置。
【請求項１２】
第一のパネルと第二のパネルとを備える積層体の製造方法であって、
請求項１〜６のいずれか１項に記載の塗布方法により、前記第一のパネルの一方面に、液状の光硬化性樹脂を塗布する工程と、
光硬化性樹脂が塗布された前記第一のパネルを保持する保持工程と、
前記第二のパネルを前記第一のパネルの前記一方面に重ねる積層工程と、
前記第一のパネルと前記第二のパネルとの積層体に、厚み方向の押圧力を付与する押圧工程と、を備える、
ことを特徴とする製造方法。
【請求項１３】
請求項１２に記載の製造方法であって、
前記押圧工程では、
前記第一のパネル及び前記第二のパネルの一方にローラを当接し、前記積層体又は前記ローラの一方を移動させることで、前記積層体を厚み方向に押圧する、
ことを特徴とする製造方法。
【請求項１４】
請求項１２又は１３に記載の製造方法であって、
前記積層体に紫外線を照射して前記光硬化性樹脂を硬化させる工程を更に備える、
ことを特徴とする製造方法。
【請求項１５】
請求項１２〜１４のいずれか１項に記載の製造方法であって、
前記第一のパネルが光透過性を有するカバーパネルであり、
前記第二のパネルが画像表示パネルであり、
前記積層体が画像表示装置であり、
前記保持工程では、表面に光硬化性樹脂が塗布された前記カバーパネルを、前記表面が上向きの姿勢で保持し、
前記積層工程では、前記カバーパネルが貼り合わされる面が下向きの姿勢で前記画像表示パネルをその上側から吸着する吸着ユニットで保持し、かつ、前記画像表示パネルを前記カバーパネル上に重ね、
前記押圧工程では、
前記カバーパネルをその下側からフリーローラで前記画像表示パネル側に当接し、前記フリーローラを移動させることで、前記画像表示装置を厚み方向に押圧する、
ことを特徴とする製造方法。
【請求項１６】
第一のパネルと第二のパネルとを備える積層体の製造装置であって、
請求項７に記載の塗布装置と、
前記塗布装置により、一方面に光硬化性樹脂が塗布された前記第一のパネルを保持する保持ユニットと、
前記第二のパネルを前記第一のパネルの前記一方面に重ねる積層ユニットと、
前記第一のパネルと前記第二のパネルとの積層体を厚み方向に押圧する押圧ユニットと、を備える、
ことを特徴とする製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、主に、パネルに液状の光硬化性樹脂を塗布する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
テレビ、パソコン、携帯端末等のディスプレイとして、液晶表示パネル等の画像表示パネルと、カバーパネルと、を接着して貼り合せたものが知られている（例えば特許文献１）。これらのパネルを貼り合せる接着剤としては、光硬化性樹脂を用いることが知られている。光硬化性樹脂は、例えば、カバーパネル表面に塗布され、画像表示パネルと貼り合わされる。その後、光硬化性樹脂に紫外線を照射し、光硬化性樹脂が硬化される。
【０００３】
光硬化性樹脂を塗布するパネルの表面に段差がある場合がある。例えば、上述したカバーパネルの場合、パネル本体の表面周縁に遮光層が形成されており、遮光層がある部分と無い部分との境界に段差が生じる。カバーパネルの表面に光硬化性樹脂の液膜を塗布すると、この段差の部分において液膜表面にも段差が生じる場合がある。液膜に段差が生じている状態で画像表示パネルを貼り合せると、気泡の混入や剥離の要因となりえる。そこで、遮光層の厚さよりも厚く光硬化性樹脂を塗布することで、液膜表面の段差をキャンセルすることが提案されている（特許文献１〜３）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第５１３８８２０号公報
【特許文献２】特許第５２１８８０２号公報
【特許文献３】特開２０１３−１５６６４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、光硬化性樹脂を遮光層の厚さよりも厚く塗布するだけでは、液膜表面の段差が残ってしまう場合がある。
【０００６】
本発明の目的は、パネル表面の段差に起因する液膜表面の段差の発生を低減することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明によれば、パネルの表面に、液状で光透過性を有する光硬化性樹脂を塗布する塗布方法であって、前記パネルは、光透過性を有する本体と、前記本体の表面周縁に形成された遮光層と、を備え、前記パネルの前記表面の周縁部には、前記遮光層が形成された第一の領域と前記遮光層が形成されていない第二の領域との境界部に段差が形成されており、前記塗布方法は、光硬化性樹脂を吐出可能なスリット状のノズルを備えた塗布ヘッドが、前記パネルの前記表面上を相対的に移動するように、前記塗布ヘッド又は前記パネルの一方を移動させる移動工程と、前記移動工程中に、前記ノズルから前記光硬化性樹脂を前記パネルの前記表面に吐出する塗布工程と、前記塗布工程中に、前記パネル上の前記光硬化性樹脂の膜厚をコントロールユニットにて制御する制御工程と、を含み、前記制御工程では、前記第一の領域、前記第二の領域及び前記段差における前記光硬化性樹脂の表面全体が平坦となるよう、前記コントロールユニットは前記第二の領域の前記光硬化性樹脂の膜厚を前記第一の領域の前記光硬化性樹脂の膜厚よりも薄くなるように制御する、ことを特徴とする塗布方法が提供される。
【０００８】
また、本発明によれば、パネルの表面に、液状で光透過性を有する光硬化性樹脂を塗布する塗布装置であって、光硬化性樹脂を吐出可能なスリット状のノズルを備えた塗布ヘッドと、前記パネルの前記表面上を相対的に移動するように、前記塗布ヘッド及び前記パネルの少なくとも一方を移動させる移動機構と、前記塗布ヘッドと前記移動機構とを制御する制御ユニットと、を備え、前記パネルは、光透過性を有する本体と、前記本体の表面周縁に形成された遮光層と、を備え、前記パネルの前記表面の周縁部には、前記遮光層が形成された第一の領域と前記遮光層が形成されていない第二の領域との境界部に段差が形成されており、前記制御ユニットは、前記移動機構により前記塗布ヘッド及び前記パネルの少なくとも一方を移動させる移動制御と、前記移動制御中に、前記ノズルから前記光硬化性樹脂を前記パネルの前記表面に吐出する塗布制御と、前記塗布制御中に、前記パネル上の前記光硬化性樹脂の膜厚を制御する膜厚制御と、を実行し、前記膜厚制御では、前記第一の領域、前記第二の領域及び前記段差における前記光硬化性樹脂の表面全体が平坦となるよう、前記第二の領域の前記光硬化性樹脂の膜厚を前記第一の領域の前記光硬化性樹脂の膜厚よりも薄くなるように制御する、ことを特徴とする塗布装置が提供される。
【０００９】
また、本発明によれば、上記塗布方法を用いた製造方法、及び、上記塗布装置を用いた製造装置が提供される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、パネル表面の段差に起因する液膜の段差の発生を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態に係る製造装置の平面図。
【図２】図１の製造装置の図１における矢印Ｄ１方向矢視図。
【図３】図１の製造装置の図１における矢印Ｄ２方向矢視図。
【図４】（Ａ）は図１の製造装置の図２における矢印Ｄ３方向矢視図、（Ｂ）は積層体の説明図。
【図５】制御ユニットのブロック図。
【図６】（Ａ）〜（Ｃ）は図１の製造装置の動作説明図。
【図７】（Ａ）〜（Ｃ）は図１の製造装置の動作説明図。
【図８】（Ａ）及び（Ｂ）は図１の製造装置の動作説明図。
【図９】（Ａ）及び（Ｂ）は図１の製造装置の動作説明図。
【図１０】（Ａ）はパネル表面の段差の説明図、（Ｂ）は液膜表面の段差の説明図、（Ｃ）〜（Ｅ）は膜厚の制御例を示す図。
【図１１】（Ａ）〜（Ｄ）は図１の製造装置の動作説明図。
【図１２】（Ａ）〜（Ｃ）は図１の製造装置の動作説明図。
【図１３】図１の製造装置の動作説明図。
【図１４】（Ａ）〜（Ｃ）は図１の製造装置の動作説明図。
【図１５】（Ａ）〜（Ｃ）は図１の製造装置の動作説明図。
【図１６】図１の製造装置の動作説明図。
【図１７】別例の製造装置の平面図。
【図１８】別例の製造装置の平面図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。各図において、矢印Ｘ及びＹは互いに直交する水平方向を示し、矢印Ｚは上下方向を示す。
【００１３】
＜第１実施形態＞
＜装置の概要＞
図１は本発明の一実施形態に係る製造装置Ａの平面図、図２は製造装置Ａの図１における矢印Ｄ１方向矢視図、図３は製造装置Ａの図１における矢印Ｄ２方向矢視図、図４（Ａ）は製造装置Ａの図２における矢印Ｄ３方向矢視図である。図４（Ｂ）は製造対象となる積層体の分解斜視図である。
【００１４】
製造装置Ａは、２枚のパネルの積層体を製造する装置である。本実施形態の場合、図４（Ｂ）に示すように、方形のパネルＰ１と方形のパネルＰ２との積層体ＬＢを製造する。パネルＰ１はカバーパネル、パネルＰ２は画像表示パネルであり、その積層体ＬＢは画像表示装置を構成するものである。画像表示パネルであるパネルＰ２は例えば液晶表示パネル（例えば、ＬＣＤ）であり、その表示面側（図４（Ｂ）では下面である）にカバーパネル（例えば、カバーガラス）であるパネルＰ１が貼り付けられる。パネルＰ１は光透過性を有するパネル本体ＭＢを備える。パネル本体ＭＢは例えばガラス板や樹脂板である。パネルＰ２が貼り付けられる、パネル本体ＭＢの表面（図４（Ｂ）では上面である）の周縁には遮光層ＬＳが形成されている。
【００１５】
製造装置Ａは、装置のレイアウト上、搬入領域Ｒ１と、処理領域Ｒ２と、搬出領域Ｒ３とを備える。搬入領域Ｒ１では、パネルＰ１の供給元の装置からパネルＰ１が受け渡され、パネルＰ１が搬入される。処理領域Ｒ２ではパネルＰ１に対する光硬化性樹脂の塗布と、パネルＰ２の貼り合わせとを行う。搬出領域Ｒ３では処理領域Ｒ２で貼り合わされた２枚のパネルＰ１及びＰ２の積層体ＬＢが供給先の装置に受け渡され、積層体ＬＢが搬出される。
【００１６】
製造装置Ａは、塗布装置１と、保持ユニット２と、積層ユニット３と、押圧ユニット４と、搬入台５と、を備える。
【００１７】
＜塗布装置＞
塗布装置１は、パネルＰ１の表面に、液状の光硬化性樹脂を塗布する装置であり、塗布ヘッド１０と、移動機構１１及び１２と、を備える。まず、移動機構１２の構成から説明する。
【００１８】
移動機構１２は、パネルＰ１を水平姿勢でＹ方向に移動させる機構であり、製造装置Ａ全体のパネル搬送機構を兼ねている。移動機構１２は、本実施形態の場合、複数のエア浮上テーブル１２１と、複数のスライドユニット１２３と、スライドユニット１２３毎に設けられたレール１２２と、を備える。
【００１９】
エア浮上テーブル１２１は空気孔が多数形成された水平な上面を備えている。空気孔は、エア浮上テーブル１２１内部の通路を介して不図示のエア装置に連通している。エア装置は、ポンプに代表される空気供給装置又は空気吸引装置である。空気孔から空気を噴出することで、パネルＰ１を浮遊状態で支持することができる。また、エア浮上テーブル１２１の一部を、一部の空気孔から空気を噴出し、他の一部の空気孔から空気を吸引し、ベルヌーイチャックとすることで、パネルＰ１を安定して、かつ精密に浮遊状態で支持することができる。
【００２０】
エア浮上テーブル１２１は、パネルＰ１の搬送方向であるＹ方向に延設されている。より詳しくは、搬入領域Ｒ１から搬出領域Ｒ３に渡って延設されている。したがって、製造装置Ａの全領域においてパネルＰ１及び積層体ＬＢを非接触で支持可能である。エア浮上テーブル１２１は、２つ設けられており、互いに平行に延設され、かつ、Ｘ方向に離間して配置されている。２つのエア浮上テーブル１２１のＸ方向の隙間は複数のスライドユニット１２３の移動空間を形成している。エア浮上テーブル１２１の上面には、溝１２１ａが形成されている。溝１２１ａは後述する昇降ユニット１３のピン１３１の退避空間となっている。
【００２１】
スライドユニット１２３は、エア浮上テーブル１２１上で浮遊状態で支持されているパネルＰ１を、搬入領域Ｒ１から搬出領域Ｒ３に渡って搬送する。スライドユニット１２３は、Ｙ方向に延設されたレール１２２の案内により、不図示の駆動機構によりＹ方向に往復移動可能である。駆動機構は、例えば、ボールネジ機構、ベルト伝動機構等を採用可能である。スライドユニット１２３は２つ設けられている。スライドユニット１２３毎に駆動機構を設けて独立して移動可能とすることで、１つのパネルの搬送途中で次のパネルの搬送を開始すること、すなわち別々の領域に位置する２枚のパネルを別々のタイミングで搬送することが可能となる。
【００２２】
スライドユニット１２３は、吸着部１２３１と、当接部１２３２と、スライダ１２３３と、昇降機構１２３４とを備える。吸着部１２３１は、吸着孔１２３１ａが形成された上面を備えている。この上面はパネルＰ１の下面に吸着可能な水平な吸着面を構成している。吸着孔１２３１ａは、吸着部１２３１内部の通路を介して不図示の空気装置に連通している。空気装置は、ポンプに代表される空気吸引装置である。吸着孔１２３１ａから空気を吸引することでパネルＰ１を吸着保持することが可能となる。
【００２３】
当接部１２３２は、パネルＰ１の端縁に当接可能である。本実施形態の場合、当接部１２３２は吸着部１２３１の上部に支持軸を介して回転自在に設けられたローラである。当接部１２３２は主として、パネル搬入時にパネルＰ１の姿勢を調整する際に、パネルＰ１の端縁（上流側の端縁）に当接する。吸着部１２３１の吸着面のＺ方向の位置は、当接部１２３２のＺ方向下端から上端までの範囲内に設定されている。このため、吸着部１２３１の吸着面は、当接部１２３２の支持軸が立設している部位よりも一段高い位置に位置している。
【００２４】
スライダ１２３３はレール１２２と係合し、レール１２２に案内されてＹ方向に移動可能である。昇降機構１２３４は、スライダ１２３３上に搭載されている。昇降機構１２３４は例えばエアシリンダ、電動シリンダ、電磁ソレノイド等のアクチュエータをその駆動源として含む。吸着部１２３１は昇降機構１２３４に搭載されており、昇降機構１２３４により昇降される。吸着部１２３１は、吸着面がエア浮上テーブル１２１の上面よりも上方に位置する吸着位置と、吸着部１２３１全体がエア浮上テーブル１２１の上面よりも下方に位置する退避位置との間で昇降される。吸着位置は吸着部１２３１をパネルＰ１に吸着保持させる位置であり、吸着部１２３１はエア浮上テーブル１２１の上面よりも僅かに上方に位置する。
【００２５】
次に、塗布ヘッド１０と移動機構１１について説明する。塗布ヘッド１０は処理領域Ｒ２においてエア浮上テーブル１２１の上方に配置されており、エア浮上テーブル１２１の上面に対向するように配置されたノズル１０１を備える。ノズル１０１は液状で光透過性を有する光硬化性樹脂を吐出可能である。
【００２６】
ノズル１０１はＸ方向に延在するスリット状のノズルであり、光硬化性樹脂はＸ方向に広がる幕状に下方へ連続的に吐出される。パネルを搬送しながら光硬化性樹脂を吐出することでパネルＰ１の表面に光硬化性樹脂の液膜を形成することができる。
【００２７】
移動機構１１は、塗布ヘッド１０のＸ方向の両端部にそれぞれ設けられており、塗布ヘッド１０を水平姿勢で支持する。各移動機構１１は、不図示の駆動機構を備え、互いに同期的に制御されて塗布ヘッド１０をＺ方向に移動する。換言すると、移動機構１１は塗布ヘッド１０を水平姿勢に保持したまま、昇降する。塗布ヘッド１０はＹ方向及びＸ方向には移動不能である。駆動機構は、例えば、ボールネジ機構、ベルト伝動機構等を採用可能である。
【００２８】
次に、塗布装置１周辺の構成について説明する。搬入領域Ｒ１には昇降ユニット１３と、調整ユニット１４及び１５とが設けられている。
【００２９】
昇降ユニット１３は、外部の装置と製造装置Ａとの間でパネルＰ１の受け渡しを行うユニットである。搬入領域Ｒ１における昇降ユニット１３の数は２つである。昇降ユニット１３は搬出領域Ｒ３にも設けられており、その数は２つである。ここでは外部の装置と製造装置Ａとの間で積層体ＬＢの受け渡しを行う。
【００３０】
昇降ユニット１３は、複数のピン１３１と、支持部材１３２と、昇降機構１３３と、を備える。複数のピン１３１は支持部材１３２に支持されて上方向に延びている。各ピン１３１は、エア浮上テーブル１２１の溝１２１ａに設けられた上下方向の貫通孔に挿入されている。複数のピン１３１は等長であり、それらの先端（上端）の高さは面一である。
【００３１】
支持部材１３２はエア浮上テーブル１２１の下方に位置し、ピン１３１の下端が固定されている。昇降機構１３３は、例えばエアシリンダ、電動シリンダ、電磁ソレノイド等のアクチュエータをその駆動源として含み、支持部材１３２を昇降する。支持部材１３２の昇降によりピン１３１も昇降する。ピン１３１は、その先端がエア浮上テーブル１２１の上面１０よりも上方に突出した上昇位置と、ピン１３１の先端がエア浮上テーブル１２１の上面よりも下方に位置する降下位置と、の間で昇降される。図２、図３及び図４（Ａ）はピン１３１が降下位置にある場合を示しており、ピン１３１の先端は溝１２１ａ内に位置している。
【００３２】
調整ユニット１４及び１５は、搬入領域Ｒ１においてパネルＰ１の姿勢を調整してその位置決めを行う。調整ユニット１４はＸ方向におけるパネルＰ１の姿勢を調整し、調整ユニット１５はＹ方向におけるパネルＰ１の姿勢を調整する。
【００３３】
調整ユニット１４は搬入領域Ｒ１に複数設けられており、２つのエア浮上テーブル１２１を挟んでＸ方向の両側に配置されている。調整ユニット１４は、円柱状の当接部１４１と、駆動部１４２とを備える。駆動部１４２は、例えばエアシリンダ、電動シリンダ、電磁ソレノイド等のアクチュエータをその駆動源として含み、当接部１４１をＸ方向に往復移動する。駆動部１４２の駆動により、当接部１４１は、エア浮上テーブル１２１からより離れた退避位置からエア浮上テーブル１２１により近づく位置決め位置へ移動可能である。位置決め位置において当接部１４１はパネルのＸ方向の端縁に当接してその姿勢調整及び位置決めが可能である。調整ユニット１５も調整ユニット１４と同様の構成であるが、その当接部はパネルＰ１のＹ方向の端縁（下流側端縁）に当接してその姿勢調整及び位置決めが可能である。
【００３４】
＜保持ユニット＞
次に、保持ユニット２について説明する。保持ユニット２は、塗布装置１により、一方面に光硬化性樹脂が塗布されたパネルＰ１を保持するユニットである。保持ユニット２にパネルＰ１が保持された状態でパネルＰ２が積層される。
【００３５】
保持ユニット２は、複数の保持機構２０と、複数の支持部材２４及び２５とを備える。保持機構２０は４つ設けられており、そのうちの２つが２つのエア浮上テーブル１２１のＸ方向の一方側方において、Ｙ方向に互いに離間して配置されている。残りの２つは２つのエア浮上テーブル１２１のＸ方向の他方側方において、Ｙ方向に互いに離間して配置されている。
【００３６】
保持機構２０は、保持部２１と、支持部２２と、昇降機構２３とを備える。保持部２１は、パネルＰ１の隅部下面に当接するように配置された爪状の部材である。支持部２２は保持部２１を支持する部材である。昇降機構２３は例えばエアシリンダ、電動シリンダ、電磁ソレノイド等のアクチュエータをその駆動源として含み、支持部２２を昇降する機構である。支持部２２を昇降することで保持部２１も昇降することになる。各保持機構２０の保持部２１は、同じ高さに位置し、それらの昇降動作は同期的に行われる。
【００３７】
支持部材２４は保持機構２０を支持する梁部材であり、１つの支持部材２４に２つの保持機構２０が、吊り下げられるようにして支持される。支持部材２５は支持部材２４の両端部に設けられ、支持部材２４を水平姿勢で支持する柱部材である。
【００３８】
＜積層ユニット＞
積層ユニット３は、搬入台５に搬入されたパネルＰ２を保持ユニット２に保持されたパネルＰ１の上方に搬送し、降下して重ねる機構である。積層ユニット３は、吸着ユニット３１と、支持部材３２と、可動ユニット３３と、レール部材３４と、複数の支柱３５とを備える。
【００３９】
吸着ユニット３１は、その下面が水平な吸着面を構成している。この吸着面には空気孔が形成されており、吸着ユニット３１内部の通路を介して不図示の空気吸引装置に接続されている。空気吸引装置は例えばポンプである。空気孔から空気を吸引することで、吸着ユニット３１はパネルＰ２の上面を負圧吸引して吸着する。
【００４０】
支持部材３２は、可動ユニット３３によって昇降されるＺ方向に延びる昇降軸であり、吸着ユニット３１は支持部材３２の下端に固定されている。可動ユニット３３は支持部材３２を昇降する昇降機構を備える。昇降機構は例えばボールねじ機構やベルト伝動機構等を採用可能である。レール部材３４はＸ方向に水平に延設されており、その両端部が支柱３５により支持されている。可動ユニット３３は不図示の駆動機構によってレール部材３４の案内によってＸ方向に往復移動可能である。駆動機構は例えばボールねじ機構やベルト伝動機構等を採用可能である。可動ユニット３３のＸ方向の移動と、支持部材３２の昇降とによって吸着ユニット３１はＸ−Ｚ平面上を移動可能である。
【００４１】
＜押圧ユニット＞
押圧ユニット４は、保持ユニット２の各保持部２１上で水平保持されて重ねられたパネルＰ１とパネルＰ２の積層体ＬＢに、その厚み方向（ここではＺ方向）の押圧力を付与する機構である。なお、パネルＰ１とパネルＰ２とは互いに接して重ねられてもよいし、僅かに離間して重ねられてもよい。押圧ユニット４は、ローラ４１と、複数の支持部４２と、複数の昇降機構４３と、複数のスライダ４４と、複数のレール４５とを備える。支持部４２と昇降機構４３とスライダ４４とレール４５とは２組設けられており、昇降機構４３はスライダ４４に搭載され、支持部４２は昇降機構４３に搭載されている。
【００４２】
ローラ４１は、２つのエア浮上テーブル１２１を跨るようにＸ方向に水平に延設されている。ローラ４１は、その両端部が支持部４２に回転自在に支持されて自由回転可能なフリーローラである。レール４５は、２つのエア浮上テーブル１２１を挟んで両側にそれぞれ配置されており、Ｙ方向に水平に延設されている。スライダ４４はレール４５と係合してレール４５の案内によりＹ方向に移動可能である。スライダ４４は不図示の駆動機構によってＹ方向に往復移動可能である。２つのスライダ４４を同期的に移動させることで、ローラ４１をＹ方向に平行移動することができる。
【００４３】
昇降機構４３は例えばエアシリンダ、電動シリンダ、電磁ソレノイド等のアクチュエータをその駆動源として含み、支持部４２を昇降する。２つの支持部４２を同期的に昇降移動させることで、ローラ４１をＺ方向に平行移動（昇降）することができる。
【００４４】
＜搬入台＞
搬入台５は、外部の装置と製造装置Ａとの間でパネルＰ２の受け渡しを行うユニットである。搬入台５は、エア浮上テーブル５１と、昇降ユニット５２とを備える。エア浮上テーブル５１は、エア浮上テーブル１２１と同様の構成であり、空気孔が多数形成された水平な上面を備え、空気孔から空気を噴出することでパネルＰ２を浮遊状態で支持することができる。
【００４５】
昇降ユニット５２は昇降ユニット１３と同様の構成であり、複数のピン５２１と、支持部材５２２と、昇降機構５２３と、を備える。複数のピン５２１は支持部材５２２に支持されて上方向に延びている。各ピン５２１は、エア浮上テーブル５１の溝５１ａに設けられた上下方向の貫通孔に挿入されている。複数のピン５２１は等長であり、それらの先端（上端）の高さは面一である。
【００４６】
支持部材５２２はエア浮上テーブル５１の下方に位置し、ピン５２１の下端が固定されている。昇降機構５２３は、例えばエアシリンダ、電動シリンダ、電磁ソレノイド等のアクチュエータをその駆動源として含み、支持部材５２２を昇降する。支持部材５２２の昇降によりピン５２１も昇降する。ピン５２１は、その先端がエア浮上テーブル５１の上面１０よりも上方に突出した上昇位置と、ピン５２１の先端がエア浮上テーブル５１の上面よりも下方に位置する降下位置と、の間で昇降される。
【００４７】
エア浮上テーブル５１の周囲には、調整ユニット５３及び５４が配設されている。調整ユニット５３及び５４は、エア浮上テーブル５１上でパネルＰ２の姿勢を調整してその位置決めを行う。調整ユニット５３はＹ方向におけるパネルＰ２の姿勢を調整し、調整ユニット５４はＸ方向におけるパネルＰ２の姿勢を調整する。調整ユニット５３及び５４は、調整ユニット１４又は１５と同様の構成であり、姿勢調整及び位置決めの原理も同様である。
【００４８】
＜制御ユニット＞
図５は製造装置Ａの制御を行う制御ユニット６のブロック図である。制御ユニット６は、ＣＰＵ等の処理部６１と、ＲＡＭ、ＲＯＭ等の記憶部６２と、外部デバイスと処理部６１とをインターフェースするインターフェース部６３と、を含む。インターフェース部６３には、ホストコンピュータとの通信を行う通信インターフェースも含まれる。ホストコンピュータは、例えば、製造装置Ａが配置された製造設備全体を制御するコンピュータである。
【００４９】
処理部６１は記憶部６２に記憶されたプログラムを実行し、各種のセンサ６５の検出結果や上位のコンピュータ等の指示に基づいて、各種のアクチュエータ６４を制御する。各種のセンサ６５には、例えば、スライドユニット１２３の位置を検出するセンサ、塗布ヘッド１０の位置を検出するセンサ、支持部４２の位置を検出するセンサ、吸着ユニット３１の位置を検出するセンサ等、各種のセンサが含まれる。各種アクチュエータ６４には、例えば、エア浮上テーブル１２１、５１用の空気装置、吸着部１２３１用の空気装置、吸着ユニット２１用の空気装置、塗布ヘッド１０の駆動源、各種機構の駆動源等が含まれる。
【００５０】
＜制御例＞
処理部６１の制御例について図６（Ａ）〜図１６を参照して説明する。ここでは製造装置ＡへのパネルＰ１、Ｐ２の搬入、パネルＰ１に対する搬送、パネルＰ１に対する光硬化性樹脂の塗布、パネルＰ１とパネルＰ２との貼り合わせ、及び、積層体ＬＢの搬出という一連の動作について説明する。
【００５１】
図６（Ａ）は外部の装置により搬入領域Ｒ１にパネルＰ１が搬入される直前の状態を示している。搬入領域Ｒ１に設けられた２台の昇降ユニット１３は、各ピン１３１が上昇位置に位置している。吸着部１２３１は搬入領域Ｒ１の上流端の位置（初期位置という）において退避位置に位置している。調整ユニット１４の当接部１４１は退避位置に位置している。図示していないが調整ユニット１５も同様である。エア浮上テーブル１２１の空気孔１２から空気が噴出される。
【００５２】
図６（Ｂ）は外部の装置により搬入領域Ｒ１にパネルＰ１が搬入された状態を示している。パネルＰ１は、遮光層ＬＳが形成された表面を上面として、水平姿勢で複数のピン１３１上に載置される。その後、図６（Ｃ）に示すように搬入領域Ｒ１に設けられた２台の昇降ユニット１３は、各ピン１３１を降下位置に降下する。これによりパネルＰ１が複数のピン１３１からエア浮上テーブル１２１に移載される。このとき、パネルＰ２はエア浮上テーブル１２１の上面に密着するのではなく、上面から若干浮き上がった浮遊状態で支持される。
【００５３】
次に、パネルＰ１の姿勢調整及び位置決めを行う。図７（Ａ）に示すように、各調整ユニット１４が駆動され、当接部１４１が位置決め位置に移動する。位置決め位置における当接部１４１間のＸ方向の離間距離は、パネルＰ１のＸ方向の幅に略等しい。このため、パネルＰ１の姿勢が乱れていた場合は、パネルＰ１の側縁に当接部１４１が当接し、姿勢及び位置が調整される。これにより、パネルＰ１の四辺のうち、Ｙ方向両側に位置する互いに対向する一対の辺は、Ｘ方向（ノズル１０１の延設方向）と平行になる。また、Ｘ方向両側に位置する残りの一対の辺はＹ方向と平行になる。
【００５４】
並行して、パネルＰ１のスライドユニット１２３に対するＹ方向の位置決めを行う。調整ユニット１５は、駆動部１５２の駆動によりその当接部１５１が位置決め位置に移動する。パネルＰ１の移動には２つのスライドユニット１２３のうちの一方を用いる。図７（Ｂ）に示すように吸着部１２３１が昇降機構１２３４によって吸着位置に上昇される。
【００５５】
図７（Ｃ）に示すように、スライドユニット１２３をパネルＰ１のサイズに応じて設定された距離だけＹ方向に移動して停止する。このとき、吸着部１２３１の当接部１２３２がパネルＰ１の搬送方向上流側端縁（搬送方向後端縁）に当接し、パネルＰ１がＹ方向に移動する。吸着部１２３１の停止時における当接部１２３２と当接部１５１とのＹ方向の離間距離は、パネルＰ１のＹ方向の幅に略等しい。これにより、パネルＰ１がスライドユニット１２３に対してＹ方向に位置決めされる。
【００５６】
以上により、パネルＰ１の姿勢調整及び位置決めが完了する。この段階で吸着部１２３１の吸着孔１２３１ａからの空気の吸引を行い、吸着部１２３１にパネルＰ１を吸着保持させる。図８（Ａ）に示すように、調整ユニット１４及び１５の各当接部１４１、１５１を退避位置に戻す。
【００５７】
次に、パネルＰ１に光硬化性樹脂を塗布する工程に移る。図８（Ｂ）に示すように塗布ヘッド１０を降下位置に降下させる。続いて図９（Ａ）に示すようにパネルＰ１を吸着しているスライドユニット１２３を搬送方向下流側に向かって走行させ、パネルＰ１を塗布ヘッド１０下方へ移動する。
【００５８】
図９（Ｂ）に示すように、パネルＰ１を塗布ヘッド１０のノズル１０１に臨ませてこれを通過するようにパネルＰ１を移動する。これにより、塗布ヘッド１０はパネルＰ１の表面上を相対的にＹ方向に移動することになる。この移動工程中に図９（Ｂ）に示すように、ノズル１０１から光硬化性樹脂ＲＧ（単に樹脂ＲＧという場合がある）を吐出することで、樹脂ＲＧの液膜がパネルＰ１の表面に塗布される。パネルＰ１上の、樹脂ＲＧの吐出開始位置ＳＰと吐出終了位置ＥＰとは、貼り合わされるパネルＰ２の面積に応じて設定される。これらの位置とノズル１０１から吐出する樹脂ＲＧの幕の幅は、パネルＰ１とパネルＰ２とを貼り付けたときに、パネルＰ２の周囲に余剰の樹脂ＲＧがはみ出さないように設定される。
【００５９】
ここで、パネルＰ１上には、遮光層ＬＳが形成された部分と、形成されていない部分との境界で遮光層ＬＳの厚さ分の段差が生じている。この段差に起因して、パネルＰ１上の樹脂ＲＧの液膜表面にも段差が生じることは好ましくない。そこで、段差が生じないようにパネルＰ１上の樹脂ＲＧの膜厚を制御する。
【００６０】
遮光層ＬＳの段差は、その部位にしたがって、図１０（Ａ）に示すように２種類に大別できる。遮光層ＬＳはパネルＰ１の各辺に沿って形成されるので、方形の枠状をなしている。段差ＢＰ１はＸ方向に延びる部分であり、段差ＢＰ２はＹ方向に延びる部分である。段差ＢＰ２においては、樹脂ＲＧの粘度調整によって樹脂ＲＧの段差の発生を抑制できる。その理由は以下の通りである。
【００６１】
ノズル１０１から吐出される樹脂ＲＧの幕は、図１０（Ａ）に示すようにＸ方向に延びている。段差ＢＰ２においては、樹脂ＲＧの幕に対する遮光層ＬＳの塗布面積が極めて小さい。したがって、遮光層ＬＳが形成されていない部分と遮光層ＬＳとの間での樹脂ＲＧの流動によって、段差の発生を抑制することが可能である。
【００６２】
また、段差ＢＰ２においては、塗布ヘッド１０に挟み込むシムの形状や厚み等の調整によって樹脂ＲＧの段差の発生を抑制することも可能である。
【００６３】
一方、段差ＢＰ１においては、段差ＢＰ１を通過する際、樹脂ＲＧの幕に対する遮光層ＬＳの塗布面積と遮光層ＬＳが形成されていない部分の塗布面積とが半々になる。このため、遮光層ＬＳが形成されていない部分と遮光層ＬＳとの間での樹脂ＲＧの流動だけでは、段差の発生を抑制することが困難であり、図１０（Ｂ）に示すように、樹脂ＲＧの表面に段差が生じやすい。
【００６４】
そこで、段差ＢＰ１を通過する前後で樹脂ＲＧの膜厚を変化させることで、段差の発生を抑制する。基本的な考え方としては、パネルＰ１の搬送方向上流側及び下流側の各辺に沿って形成された遮光層ＬＳ上の樹脂ＲＧの膜厚と比較して、これらの遮光層ＬＳ−ＬＳ間（本体ＭＢが露出している部分）では樹脂ＲＧの膜厚が相対的に厚くなるように膜厚を制御する。換言すると、遮光層ＬＳ上では遮光層ＬＳ−ＬＳ間と比較して、樹脂ＲＧの膜厚が相対的に薄くなるように膜厚を制御する。
【００６５】
図１０（Ｃ）〜（Ｅ）は膜厚の制御例を示している。図１０（Ｃ）は、樹脂ＲＧの吐出量で膜厚を制御する例を示している。同図の例では、パネルＰ１とノズル１０１との位置に対する樹脂ＲＧの吐出量を例示している。パネルＰ１の移動方向（Ｙ方向）で前側、後側の各遮光層ＬＳ上では吐出量を少なくし、遮光層ＬＳ−ＬＳの間では吐出量を多くする。遮光層ＬＳ上と比較し、これらの遮光層ＬＳ−ＬＳ間では相対的に膜厚を厚くでき、樹脂ＲＧの段差の発生を抑制できる。
【００６６】
図１０（Ｄ）は塗布ヘッド１０とパネルＰ１との相対移動速度で膜厚を制御する例を示している。本実施形態の場合、塗布ヘッド１０はＹ方向に固定されているので、パネルＰ１の移動速度を変化させることになる。同図の例では、パネルＰ１とノズル１０１との位置に対するパネルＰ１の移動速度を例示している。パネルＰ１の移動方向（Ｙ方向）で前側、後側の各遮光層ＬＳがノズル１０１下を通過する場合には、パネルＰ１の移動速度を速く、遮光層ＬＳ−ＬＳの間では移動速度を遅くする。遮光層ＬＳ上と比較し、これらの遮光層ＬＳ−ＬＳ間では相対的に膜厚を厚くでき、樹脂ＲＧの段差の発生を抑制できる。
【００６７】
図１０（Ｅ）はパネルＰ１の表面からのノズル１０１の高さで膜厚を制御する例を示している。本実施形態の場合、塗布ヘッド１０は移動機構１１により昇降できるので、パネルＰ１の表面からのノズル１０１の高さを変更することができる。同図の例では、パネルＰ１とノズル１０１との位置に対するノズル１０１の高さを例示している。パネルＰ１の移動方向（Ｙ方向）で前側（図１１（Ｅ）では一点鎖線で図示）、後側の各遮光層ＬＳがノズル１０１下を通過する場合には、高さｈ１とし、遮光層ＬＳ−ＬＳの間（図１１（Ｅ）では実線で図示）では高さｈ２（＜ｈ１）とする。高さが高い方が樹脂ＲＧがパネルＰ１上で広がり易く膜厚が薄くなる。よって、遮光層ＬＳ上と比較し、これらの遮光層ＬＳ−ＬＳ間では相対的に膜厚を厚くでき、樹脂ＲＧの段差の発生を抑制できる。
【００６８】
なお、図１０（Ｃ）〜図１０（Ｅ）の膜厚制御例は、単独で採用してもよいし、少なくともいずれか２つ以上を組み合わせてもよい。組み合わせることで調整可能な膜厚の範囲を広げることが可能となる。
【００６９】
次に、パネルＰ１とパネルＰ２とを貼り合わせる工程に移る。パネルＰ１に対する上記の処理に並行して、外部の装置により搬入台５にパネルＰ２が搬入される。昇降ユニット５２は、各ピン５２１が上昇位置に位置した状態にあり、エア浮上テーブル５１の空気孔１２から空気が噴出される。そして、図１における矢印１１Ａ方向矢視図を図１１（Ａ）に示すように、エア浮上テーブル５１上にパネルＰ２が搬入される。パネルＰ２はパネルＰ１と貼り合わされる面を下向きとした水平姿勢で複数のピン５２１上に載置される。この姿勢でパネルＰ２を搬入、搬送し、パネルＰ１はパネルＰ２と貼り合わせる面を上向きの姿勢で、搬入、搬送することにより、両者を貼り合わせる際に、パネルＰ１やパネルＰ２の上下面の姿勢を変更するための、”持ち替え”が不要となる。
【００７０】
図１１（Ｂ）に示すように昇降ユニット５２により、各ピン５２１を降下位置に降下させる。これによりパネルＰ２が複数のピン５２１からエア浮上テーブル５１に移載される。このとき、パネルＰ２はエア浮上テーブル５１の上面に密着するのではなく、若干浮き上がった浮遊状態で支持される。
【００７１】
続いて、パネルＰ２の姿勢調整及び位置決めを行う。図１１（Ｂ）及び図１１（Ｃ）に示すように、各調整ユニット５３、５４の駆動部５３２、５４２が駆動され、当接部５３１、５４１が位置決め位置に移動する。位置決め位置における当接部５３１間のＹ方向の離間距離は、パネルＰ２のＹ方向の幅に略等しい。また、位置決め位置における当接部５４１間のＸ方向の離間距離は、パネルＰ２のＸ方向の幅に略等しい。このため、パネルＰ２の姿勢が乱れていた場合は、パネルＰ２の側縁に当接部５３１、５４１が当接し、姿勢及び位置が調整される。樹脂ＲＧが塗布されたパネルＰ１は保持ユニット２へ移動している。
【００７２】
以上により、パネルＰ２の姿勢調整及び位置決めが完了する。その後、図１１（Ｄ）に示すように、駆動部５３２、５４２が、調整ユニット５３、５４の各当接部５３１、５４１を退避位置に戻すと共に、昇降ユニット５２が、各ピン５２１を上昇位置に上昇させ、パネルＰ２が持ち上げられる。
【００７３】
パネルＰ２の搬入に並行して、樹脂ＲＧが塗布されたパネルＰ１を保持ユニット２で保持する。図１２（Ａ）に示すように、保持ユニット２の各保持部２１はエア浮上テーブル１２１の上面よりも下側の待機位置に位置している。図１２（Ｂ）に示すようにパネルＰ１が各保持部２１上の位置に移動される。スライドユニット１２３の吸着部１２３１での吸着を解除し、図１２（Ｃ）に示すように各昇降機構２３を同期的に駆動して各保持部２１を同期的に上昇する。これによりパネルＰ１がスライドユニット１２３から保持部２１に移載される。各保持部２１はパネルＰ１の四隅の樹脂ＲＧが塗布されていない部分を下から支え、ローラ４１よりも高い保持位置まで上昇される。
【００７４】
次に、積層ユニット３により搬入台５に搬入されたパネルＰ２を保持ユニット２に保持されたパネルＰ１の上方に搬送して積層する。まず、図１３で一点鎖線及び矢印Ａ１３１，Ａ１３２で示すように、吸着ユニット３１を搬入台５上に移動し、パネルＰ２上に降下させてパネルＰ２を吸着する。
【００７５】
続いて、図１３で実線及び矢印Ａ１３３〜Ａ１３５で示すように、吸着ユニット３１を上昇してパネルＰ１上に移動し、吸着ユニット３１を降下してパネルＰ１上にパネルＰ２を重ねる。このとき、パネルＰ１とパネルＰ２とは僅かに接触するか或いは僅かに離間した状態にあり、パネルＰ２は吸着ユニット３１に支持されたままである。
【００７６】
次に、パネルＰ１とパネルＰ２の積層体ＬＢに厚み方向の押圧力を付与する。まず、図１４（Ａ）に示すように、ローラ４１をパネルＰ１の下へ移動する。ローラ４１は、後に保持部２１と干渉しないよう、保持部２１の真下を避けた上で、パネルＰ１の搬送方向で下流側端縁近傍に移動される。スライドユニット１２３は上流側へ後退される。
【００７７】
続いて、図１４（Ｂ）に示すように、昇降機構４３によりローラ４１を上昇させ、パネルＰ１の下面に当接して上方（パネルＰ２側）へ押圧する。押圧の反力は吸着ユニット３１を介して積層ユニット３により受けられる。積層体ＬＢはローラ４１と吸着ユニット３１とで挟持された状態となる。この状態で、図１４（Ｃ）に示すようにローラ４１をＹ方向に移動し、保持部２１と干渉しない範囲でパネルＰ１の搬送方向で上流側の端縁近傍まで移動する。ローラ４１はフリーローラであるので、転動しながらパネルＰ１の下面を搬送方向下流側から上流側にかけて押圧する。これにより、積層体ＬＢの全域に渡ってパネルＰ１とパネルＰ２とが樹脂ＲＧを挟んで圧着された状態となり、樹脂ＲＧの粘性でパネルＰ１とパネルＰ２とが仮接着された状態となる。この状態では、積層体ＬＢは吸着ユニット３１に実質的に支持されている。
【００７８】
次に、積層体ＬＢを吸着ユニット３１からスライドユニット１２３へ移載する。まず、図１５（Ａ）に示すように昇降機構４３によりローラ４１を降下させる。図１５（Ｂ）に示すようにローラ４１を元の位置へＹ方向に移動する。また、スライドユニット１２３を積層体ＬＢの下方へ移動する。図１５（Ｃ）に示すように、保持ユニット２の各保持部２１を待機位置に降下させ、吸着ユニット３１を降下させて積層体ＬＢをエア浮上テーブル１２１上に位置させる。スライドユニット１２３の吸着部１２３１での吸着を再開し、保持ユニット３１の吸着を解除することで、積層体ＬＢが保持ユニット３１からスライドユニット１２３へ移載される。
【００７９】
次に、積層体ＬＢを搬出する工程に移る。図１６に示すように、スライドユニット１２３を移動して、積層体ＬＢを搬出エリアＲ３の昇降ユニット１３上に移動する。吸着ユニット３１は次の処理を行うべく、上昇後、Ｘ方向に移動される。積層体ＬＢが搬出エリアＲ３の昇降ユニット１３上に到達すると、各ピン１３１を上昇させて積層体ＬＢの下面に当接させた後、スライドユニット１２３の吸着部１２３１による積層体ＬＢの吸着を解除する。これにより積層体ＬＢはエア浮上テーブル１２１からピン１３１に移載され、供給先の装置に受け渡し可能な状態となる。
【００８０】
このように本実施形態の製造装置Ａでは、パネルＰ１に対する樹脂ＲＧの塗布においては、遮光層ＬＳの存在による段差の影響を抑制して、表面が平坦な液膜を形成でき、パネルＰ１とパネルＰ２との貼り合わせを良好に行える。その結果、良好な品質の積層体ＬＢを効率よく製造することができる。また、パネルＰ１に対する樹脂ＲＧの塗布からパネルＰ１とパネルＰ２との貼り合わせまでの動作を連続的に行うことができ、積層体ＬＢの製造効率を向上できる。
【００８１】
なお、本実施形態では、パネルＰ１とパネルＰ２として、カバーパネル及び画像表示パネルを例示したが、本発明はこれ以外のパネルにも適用可能である。パネルＰ１とパネルＰ２の形状も方形に限られず、各種の形状に対応可能である。樹脂ＲＧの段差の要因として、遮光層ＬＳの存在による段差を例示したが、本発明はこれ以外の段差を要因とする樹脂ＲＧの段差の抑制にも適用可能である。
【００８２】
本実施形態では、パネルＰ１に対する樹脂の塗布の際、パネルＰ１をＹ方向に移動する構成としたが、塗布ヘッド１０をＹ方向に移動する構成としてもよい。図１０（Ｅ）を参照して説明したノズル１０１の高さ変更は、塗布ヘッド１０を昇降するのではなく、パネルＰ１を昇降するようにしてもよい。
【００８３】
本実施形態では、パネルＰ１の移動機構１２として、エア浮上テーブル１２１とスライドユニット１２３とを組み合わせた構成としたが、これに限られず、ベルトコンベアやローラコンベア等、各種の移動機構を採用可能である。
【００８４】
本実施形態では、積層ユニット３が吸着ユニット３１によってパネルＰ２を吸着保持する構成としたが、保持機構はこれに限られずクランプ機構等の機械式保持機構等、他の保持機構を採用してもよい。
【００８５】
本実施形態では、積層体ＬＢの押圧に際して、ローラ４１を採用したが、これ以外の押圧機構も採用可能である。また、積層体ＬＢの押圧に際して、ローラ４１をＹ方向に移動する構成としたが、積層体ＬＢをＹ方向に移動する構成としてもよい。更に、ローラ４１をパネルＰ１下面に当接する構成としたが、これとは逆に、積層体ＬＢを下側から支えてパネルＰ２上面側からパネルＰ１側へ押圧する構成としてもよい。
【００８６】
本実施形態では、保持ユニット２によるパネルＰ１の保持機構として、保持部２１上にパネルＰ１を載せる構成としたが、吸着保持やクランプ機構等の機械式保持機構等、他の保持機構も採用可能である。
【００８７】
＜第２実施形態＞
積層体ＬＢの樹脂ＲＧの硬化を促進する構成を設けてもよい。図１７は本実施形態の製造装置Ｂの平面図である。製造装置Ｂは製造装置Ａに硬化促進装置７を追加したものであり、他の構成は製造装置Ａと同じである。
【００８８】
硬化促進装置７は、処理領域Ｒ２において、塗布ヘッド１０よりもＹ方向の下流側に配置されている。硬化促進装置７は、Ｘ方向に延設され、その両端部が支柱７２で支持されてエア浮上テーブル１２１の上面よりも上方に水平に配置されている。
【００８９】
硬化促進装置７は、Ｘ方向に延設された光源７１を備える。光源７１は紫外線を照射する。積層体ＬＢが硬化促進装置７の下方を移動する際、光源７１により積層体ＬＢに紫外線を照射する工程を実行することで、樹脂ＲＧの硬化が促進され、パネルＰ１とパネルＰ２との接着を強固なものとすることができる。
【００９０】
＜第３実施形態＞
パネルＰ１の樹脂ＲＧの硬化を促進する構成を設けてもよい。図１８は本実施形態の製造装置Ｃの平面図である。製造装置Ｃは製造装置Ｂに硬化促進装置８とシャッタ装置９とを追加したものであり、他の構成は製造装置Ｂと同じである。なお、製造装置Ｃにおいて硬化促進装置７を設けない構成も採用可能である。
【００９１】
硬化促進装置８は、処理領域Ｒ２において、塗布ヘッド１０よりもＹ方向の下流側で、保持ユニット２等よりも上流側に配置されている。つまり、パネルＰ１とパネルＰ２との貼り合わせ位置よりも上流側に位置している。
【００９２】
硬化促進装置８の構成は硬化促進装置７と同じである。つまり、硬化促進装置８は、Ｘ方向に延設され、その両端部が支柱８２で支持されてエア浮上テーブル１２１の上面よりも上方に水平に配置されている。硬化促進装置８は、Ｘ方向に延設された光源８１を備える。光源８１は紫外線を照射する。パネルＰ１が硬化促進装置８の下方を移動する際、光源８１によりパネルＰ１に紫外線を照射する工程を実行することで、樹脂ＲＧを半硬化させることができる。これにより、パネルＰ１とパネルＰ２とを貼り合わせる際に、気泡の混入を防ぎ、両者の位置ずれ等を防止して積層体ＬＢの取扱いを容易化することができる。
【００９３】
シャッタ装置９は、塗布ヘッド１０と硬化促進装置８との間に配置されている。シャッタ装置９は、Ｘ方向に延設され、その両端部が支柱９２で支持されてエア浮上テーブル１２１の上面よりも上方に水平に配置されている。シャッタ装置９は、塗布ヘッド１０と硬化促進装置８との間を遮光可能な可動のシャッタ９１を備える。
【００９４】
シャッタ装置９は、パネルＰ１がシャッタ装置９の下方を通過するとシャッタ９１を降下して塗布ヘッド１０と硬化促進装置８との間を遮光する。その後、硬化促進装置８が駆動され紫外線が照射される。シャッタ９１の存在により塗布ヘッド１０は紫外線から遮光され、ノズル１０１に付着している樹脂ＲＧが固化することを抑制できる。パネルＰ１が硬化促進装置８を通過して光源９１の駆動が停止されるとシャッタ９１は上昇される。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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