(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
負圧取扱装置または負圧締付装置（１０）のためのバルブ（３０ａ，３０ｂ）であって、
吸込側（４０ａ，４０ｂ）および負圧供給装置へ接続するための負圧供給側（３８ａ，３８ｂ）を有するバルブハウジング（３２ａ，３２ｂ）と、
排出貫通部（４４）を介して前記負圧供給側（３８ａ，３８ｂ）と接続された制御室（４８）を前記バルブハウジング（３２ａ，３２ｂ）の中で区切る柔軟な分離壁（４６）と、
開放位置と閉止位置との間で可動である、前記柔軟な分離壁（４６）に配置された弁体（５４）とを有しており、
前記制御室で生じている負圧に依存して前記柔軟な分離壁（４６）を変形させながら前記制御室の容積が低減されて、前記弁体（５４）が開放位置から閉止位置へと動き、それにより、前記吸込側（４０ａ）が使用されていない状態で自由な吸込がなされると前記制御室（４８）で生じる負圧に基づいて前記弁体（５４）が閉止位置へと動き、前記弁体（５４）は前記制御室（４８）と前記吸込側（４０ａ，４０ｂ）を流動接続するための吸引側貫通部（６４）を有しているバルブ（３０ａ，３０ｂ）において、
前記弁体（５４）は、閉止位置のときに前記排出貫通部（４４）を閉止するとともに開放位置のときに前記排出貫通部（４４）を開放するシール部（５６）を有しており、
前記シール部（５６）は、前記排出貫通部（４４）を閉止するためにバルブハウジング（３２ａ，３２ｂ）のシール座（６０）に当接するように位置する
バルブ（３０ａ，３０ｂ）。
【請求項２】
前記シール部（５６）は、前記柔軟な分離壁（４６）から負圧供給側（３８ａ、３８ｂ）に向かう方向に延在している請求項１に記載のバルブ（３０ａ，３０ｂ）。
【請求項３】
前記弁体（５４）は前記柔軟な分離壁（４６）を貫通しており、前記シール部（５６）は前記分離壁（４６）の一方の側に位置するとともに案内区域（６２）が他方の側に位置していることを特徴とする請求項１または２に記載のバルブ（３０ａ，３０ｂ）。
【請求項４】
前記吸引側貫通部（６４）は、空気が吸入されたときに前記吸込側（４０ａ，４０ｂ）と前記制御室（４８）との間で負圧が形成されるように、前記吸込側（４０ａ，４０ｂ）から前記制御室（４８）への吸込流に対する流動抵抗を定義する絞り個所（６６）を有していることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載のバルブ（３０ａ，３０ｂ）。
【請求項５】
前記吸引側貫通部（６４）は前記案内区域（６２）を通路状に延びており、前記弁体（５４）は前記柔軟な分離壁（４６）と前記シール部（５６）との間に、前記吸引側貫通部（６４）が前記制御室（４８）へ連通する接続開口部（６８）を有していることを特徴とする、請求項３に記載のバルブ（３０ａ，３０ｂ）。
【請求項６】
前記シール部（５６）は、前記排出貫通部（４４）のほうを向く、変形可能な壁部によって区切られるテーパ状または吸引カップ状の凹部（５８）を有していることを特徴とする、請求項１〜５のうちいずれか１項に記載のバルブ（３０ａ，３０ｂ）。
【請求項７】
前記柔軟な分離壁（４６）は周回する縁部に沿って前記バルブハウジング（３２ａ，３２ｂ）に取付られていることを特徴とする、請求項１〜６のうちいずれか１項に記載のバルブ（３０ａ，３０ｂ）。
【請求項８】
前記柔軟な分離壁（４６）は、前記弁体（５４）が開放位置にあるとき閉止位置への運動に抗して初期応力をかけられるように張力をかけられていることを特徴とする、請求項１〜７のうちいずれか１項に記載のバルブ（３０ａ，３０ｂ）。
【請求項９】
前記制御室（４８）とは反対側を向いている前記柔軟な分離壁（４６）の側に、前記吸込側（４０ａ，４０ｂ）と圧力接続された吸引側室（５２）が形成されていることを特徴とする、請求項１〜８のうちいずれか１項に記載のバルブ（３０ａ，３０ｂ）。
【請求項１０】
前記バルブハウジング（３２ａ，３２ｂ）はベース部分（３４ａ，３４ｂ）およびこれと結合された閉止部分（３６ａ，３６ｂ）を備えるように多部分で構成されており、前記柔軟な分離壁（４６）は、前記制御室（４８）が前記ベース部分（３４ａ，３４ｂ）に延びるとともに前記閉止部分（３６ａ，３６ｂ）への接続部のところで前記柔軟な分離壁（４６）によって区切られるように、前記ベース部分（３４ａ，３４ｂ）と前記閉止部分（３６ａ，３６ｂ）との間に挟み込まれていることを特徴とする、請求項１〜９のうちいずれか１項に記載のバルブ（３０ａ，３０ｂ）。
【請求項１１】
把持されるべき工作物に当接するための吸引室（２０）を有する吸引体（１８）と、請求項１〜１０のいずれか１項に記載のバルブ（３０ａ，３０ｂ）とを備え、前記吸引室（２０）は前記バルブ（３０ａ，３０ｂ）の吸込側（４０ａ，４０ｂ）と接続されている吸引把持装置（１０）。
【請求項１２】
前記吸引体（１８）は、前記弁体（５４）が開放位置から閉止位置へ動くときに前記吸引体（１８）が押し出された吸引位置から引き戻された受動位置へと動くように、前記柔軟な分離壁（４６）と結合されていることを特徴とする、請求項１１に記載の吸引把持装置（１０）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、請求項１の前提部分に記載されている、負圧取扱装置または負圧締付装置のためのバルブに関する。これは、吸引個所が未装填のときに自動的に閉じ、そのようにして、バルブの吸込側から負圧供給側への望ましくない漏れを防止するバルブである。
【背景技術】
【０００２】
吸引個所が使用されていない状態にあるとき望ましくない漏れを回避するために、たとえば特許文献１は、ボールとして構成された弁体が流動通路に変位可能に配置された流動弁を示している。未装填の吸引個所を通って自由に吸込がなされると、流動通路にあるボールが、大きい流動パルスに基づいてシール座に向かって一緒に動かされ、流動通路を閉止する。流動パルスによる作動開始に基づき、このような種類のバルブは流動衝撃が生じたときに故障が起こりやすい。吸引個所が装填されているときにも、吸込プロセスの開始時における初期の流動衝撃に基づき、望ましくない仕方で閉止位置をとる可能性がある。
【０００３】
これに加えて、吸込側が使用されていない状態にあるとき、流動パルスに基づいて自動的な閉止が行われるのではなく、自由な吸込の際に生じる静的な圧力差によって開始されるバルブも知られている。特許文献２は、請求項１の前提部分の構成要件を備えるバルブを示している。弁体の柔軟な区域によって区切られる制御室が、負圧供給側と常時接続されている。制御室が圧縮されると柔軟な区域が変形して、弁体が閉止位置へ移されるようになっている。吸込側に対して、制御室は流動に関して完全に閉鎖されている。吸込側が使用されていない状態のときに吸込がなされると、吸込側では負圧が生じない。このことは、制御室と吸込側との間の静的な圧力差に基づいて制御室が圧縮されて、弁体が閉止位置へと移されるという結果につながる。このことは、流動パルスによって作動するバルブと比べたとき、流動衝撃による障害を回避することができるという利点をもたらす。しかしながら、自動的な閉止のための時間スケールや圧力変動に対する感度を、そのつどバルブによって制御される負圧取扱装置ないし負圧締付装置に合わせて適合化させなければならない。
【０００４】
請求項１の前提部分の構成要件を備える負圧弁が特許文献３に記載されており、その場合、弁体は円板状の部材によって形成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】ドイツ特許出願公開第３４２９４４４Ａ１号明細書
【特許文献２】ドイツ特許第１９８１４２６２Ｃ２号明細書
【特許文献３】ドイツ特許出願公開第１０２１６２２０Ａ１号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
以上を背景とする本発明の課題は、吸込側が使用されていない状態にあるときに、負圧供給側と吸込側との間での望ましくない漏れを回避するとともに、その際に流動衝撃に対する望ましくない感度を回避し、ならびに、制御される負圧取扱装置または負圧締付装置の特性に合わせた適合化を可能にすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この課題は請求項１に記載のバルブによって解決され、ならびに、請求項１０に記載の吸引把持装置によって解決される。出発点となるのは、閉止位置が流動パルスによってではなく、吸込側が使用されていない状態にあるときに生じる、バルブのそれぞれ異なる領域の間の静的な圧力差によって惹起される、自動的に閉止するバルブである。このバルブは、少なくとも１つの吸込開口部を有する吸込側と、負圧供給装置へ接続するための排出接続部を備える負圧供給側とを有している。負圧供給側と吸込側との間にバルブハウジングが設けられている。バルブハウジングの中には、吸込側に対して制御室を区切る柔軟な分離壁、たとえば隔膜が設けられている。制御室は排出貫通部を介して負圧供給側と流動接続されている。柔軟な分離壁には、開放位置と閉止位置との間で可動である弁体が配置されている。この弁体は、吸込側に対して負圧供給側を封止するために付属のシール座に当接可能であるシール部を有している。シール部は、特に、弁体が閉止位置にあるときに制御室が負圧供給側に対して封止されるように構成される。具体的にはシール部は、閉止位置のときに排出貫通部を閉止するとともに、開放位置のときに排出貫通部を開放するように配置されている。このときバルブは、制御室と吸込側との間の圧力差に依存して、特に制御室で吸込側に対して生じる負圧に依存して、柔軟な分離壁を変形させながら制御室の容積を低減することができるように構成されており、その際に弁体が開放位置から閉止位置へと動く。それにより、吸込側が使用されていない状態にあるときに自由な吸込がなされると、制御室で吸込側に対して生じる静的な負圧に基づき、弁体が閉止位置へと動く。
【０００８】
弁体は、開放位置が成立しているときに分離壁で区切られた制御室と吸込側を流動接続して、吸込側から制御室へ空気を吸入可能であるようにする吸引側貫通部を有している。弁体が柔軟な分離壁を貫通していて、シール部が分離壁の一方の側に位置するとともに、弁体の案内区域が分離壁の他方の側に位置することによって、高い機能安全性を有するコンパクトな構成が実現される。
【０００９】
バルブピストンが開放位置にあるとき、制御室では負圧供給部から提供される負圧が常時印加され、制御室を圧縮させようとする。吸込側から吸入される空気が吸引側貫通部を通って制御室の中へ追加流入するが、この流動は吸引側貫通部によって制限される。吸込側が未使用であるとき（自由な吸込）、比較的大きな流動が流動抵抗を介して圧力差をもたらし、すなわち吸込側に対する制御室内の負圧をもたらす。圧力差が事前設定された値または事前設定可能な値に達すると、このことは制御室の圧縮をもたらし、そのような圧縮は、分離壁を変形させながらのバルブピストンの閉止位置への運動と結びついている。その帰結として、シール部がバルブハウジングの付属のシール座に当接して、排出貫通部が閉止されるようになっている。負圧供給側と接続されている排出貫通部で生じる負圧に基づき、バルブピストンのシール部は閉止位置で保たれる。バルブは閉じたまま保たれ、弁体は閉止位置で吸引固定される。
【００１０】
したがって弁体は、吸込側が使用されていない状態にあるとき、流動パルスによって直接的に閉止位置へと移されるのではなく、制御室と吸込側との間で生じる静的な圧力差によって移される。本発明によるバルブでは、柔軟な分離壁の構成によって、特にその柔軟性によって、吸引側貫通部の構成によって、および／または排出貫通部の構成によって、負圧供給部ないし制御されるべき装置の流動工学的な特性に合わせた適合化を行うことができる。特に、バルブの反応感度を規定することができる。
【００１１】
吸込側と負圧供給側は接続部材を含むことができ、たとえば吸込側にはたとえば吸引グリッパなどの負圧取扱装置または負圧締付装置と接続するための吸込接続部材、そして負圧供給側には負圧供給装置に接続するための供給接続部材を含むことができる。
【００１２】
流動抵抗を調整するために、およびこれに伴って吸込側を通る吸引流に依存して生じる吸込側と制御室との間の負圧を調整するために、吸引側貫通部は絞り個所を有しているのが好ましい。絞り個所は、特に、流動抵抗を設定可能かつ変更可能であるように調整可能に構成されている。そのために、高い流動抵抗に相当する絞り位置と、比較的低い流動抵抗に相当する開放位置との間で可動である絞りアクチュエータが設けられていてよい。このことは、たとえば絞り通路にねじ込み可能な無頭ねじによって具体化することができる。流動抵抗の調整可能性は、バルブ感度の設定を可能にする。絞り個所の流動抵抗は、制御室から排出貫通部を通る吸引流に対する流動抵抗よりも大きいのが好ましい。絞り個所における吸引側貫通部の流動断面積は、もっとも狭い個所における排出貫通部の最小の流動断面積よりも小さいのが好ましい。
【００１３】
吸引側貫通部は案内区域で通路状に延びることができるとともに、柔軟な分離壁と弁体のシール部との間に設けられた、吸引側貫通部および吸込側と制御室との接続を成立させる接続開口部へ連通することができる。バルブピストンの通路状の区域に、絞り個所が配置されていてよいのが好ましい。
【００１４】
シール部は、テーパ状または吸引カップ状の凹部を区切っているのが好ましく、特に凹部を周回するシールリップを備えている。この凹部は排出口のほうを向いている。閉止位置のとき、凹部は、負圧供給側と接続されているが制御室に対して封止された吸引固定室を定義する。閉止位置のときには吸引固定室が排気され、バルブピストンが閉止位置のときに吸引固定される。特に、凹部はシール部の変形可能な壁部によって区切られて、閉止位置での吸引固定のときに吸引固定室が圧縮されて平坦に押圧され、シール部がシール座に当接するようになっている。
【００１５】
柔軟な分離壁は、周回する縁部に沿ってバルブハウジングに取付られるのが好ましい。特に、バルブハウジングは多部分で構成されており、分離壁はその取付のために、バルブハウジングのそれぞれ組合せ可能な部分の間でその縁部に沿って挟み込まれる。分離壁は、特に、弁体のための支持隔膜としての役目を果たす。弁体は、柔軟な分離壁のところで、周回する縁部から間隔をおいているのが好ましく、特に中央部で柔軟な分離壁に保持される。
【００１６】
分離壁の張力および／または弾性により、閉止位置への運動に対抗する、開放位置にあるときの弁体に対する初期応力を設定することができる。それによって自動閉止式のバルブの反応感度を調整することができ、特に、これを超えたときに弁体が閉止位置を占めるような圧力差を調整することができる。柔軟な分離壁の張力を調整可能である調整装置が設けられていることも考えられる。柔軟な分離壁に電気活性ポリマーを利用することや、柔軟な分離壁の内部のチャンバに電気粘性流体を入れることも考えられ、それにより、電圧を印加することによって柔軟な分離壁の剛性と柔軟性を調整可能である。
【００１７】
柔軟な分離壁は、制御室と反対を向いているほうの柔軟な分離壁の側で吸引側室が形成されるように延びているのが好ましい。この吸引側室は、特に、吸込側の吸込開口部と圧力接続されており、ないしはそのような吸込開口部へ連通している。それによって吸引側室は、吸込側で生じている圧力によって付勢される。すなわち柔軟な分離壁は、一方では制御室で生じている負圧で付勢され、他方では吸込側の圧力で付勢される。したがって分離壁の変形は、吸込側から制御室への流動のときに生じる、分離壁の両方の側での静的な圧力差に依存して行われる。
【００１８】
弁体は、柔軟な分離壁と一体的に構成されていてよい。バルブハウジングは、特に、ベース部分と閉止部分とを有するように多部分で構成される。ベース部分は閉止部分と結合され、その際に、柔軟な分離壁がベース部分と閉止部分との間で挟み込まれるのが好ましい。特に、その場合に制御室はベース部分の中へと延びる。このような実施形態により、バルブの製造や組立が簡素化される。
【００１９】
さらに別の実施形態のために、排出貫通部は、制御室から排出貫通部を通って負圧供給側へと向かう吸引流に対する流動抵抗を定義する排出絞り個所を有することができる。排出絞り個所も、上で吸引側貫通部との関連で説明したように、流動抵抗を調整可能であるように構成されていてよい。
【００２０】
冒頭で課された課題は、把持されるべき工作物に当接するための吸引室を備える吸引体を有し、吸引室は上で説明した種類のバルブの吸込側と接続されている、請求項１０に記載の吸引把持装置によっても解決される。このとき吸引体は、柔軟な分離壁および／または弁体と結合されているのが好ましく、それにより、弁体が開放位置から閉止位置へ動いたとき、吸引体が押し出された吸引位置から引き戻された受動位置へと動くことになる。特に吸引体は、吸込室と反対を向いているほうの柔軟な分離壁の側に位置する、上で説明した弁体の案内区域と結合される。
【００２１】
吸引把持装置は、バルブハウジングを包囲する、ないしはこれを形成する装置ハウジングを有しているのが好ましい。吸引体は、押し出された吸引位置にあるときにバルブハウジングから突き出して工作物に当接可能であるように、装置ハウジングの中に配置されていてよい。閉止位置へバルブが切り換わると、吸引体は受動位置へと引き戻される。このことが特に好ましいのは、たとえば面状吸引グリッパの場合に該当するように、相並んで配置された複数の吸引体を吸引把持装置が含んでいる場合である。それにより、把持されるべき工作物の縁部に完全に密着して当接しておらず、そのためにそれぞれの吸込側を通る漏れが残っている吸引体が、他の吸引体の吸引作用に抗して、把持された工作物を吸引把持装置から押し離してしまうのを防止することができる。上述した実施形態では、そのような使用されていない吸引器は弁体の運動とともに閉止位置へと引き込まれる。
【００２２】
次に、本発明のその他の具体的事項や実施形態について、図面を参照しながら詳しく記述、説明する。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】図１は、吸引把持装置１０の一部分の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
図１は、吸引把持装置１０の一部分を断面図として示している。この吸引把持装置１０は、吸引把持装置１０が使用されるときに、把持されるべき工作物１６のほうを向く当接面１４を備える装置ハウジング１２を有している。複数の吸引体１８が相並んで当接面１４に配置されている。各々の吸引体１８は、工作物１６を吸着するためにこれに密着して当接する、吸込方向に開いた吸引室２０を区切っている。
【００２５】
それぞれ１つの吸引体１８に付属するように、それぞれの吸引室２０への負圧供給を制御するためのバルブが設けられている。図１の図面では、相並んで配置された２つのバルブ３０ａ，３０ｂを見ることができる。バルブ３０ａ，３０ｂは装置ハウジング１２に収容されている。その意味で、装置ハウジング１２のそれぞれ１つの区域が、それぞれ１つの３０ａ，３０ｂのためのそれぞれ１つの付属のバルブハウジング３２ａ，３２ｂを形成する（符号へのアルファベットの添字は、それぞれバルブ３０ａ，３０ｂへの付属性を表す）。
【００２６】
装置ハウジング１２は多部分で構成されており、それにより、バルブハウジング３２ａ，３２ｂも多部分で構成されている。したがって、各々のバルブハウジング３２ａ，３２ｂは、第１の装置ハウジングにより形成されるベース部分３４ａ（ないし３４ｂ）と、これと結合された、下側に位置する第２の装置ハウジングによりそれぞれ形成される閉止部分３６ａ，３６ｂとを含んでいる。
【００２７】
装置ハウジング１２の上側区域には、図示しない負圧供給装置と連通する負圧供給通路２２が延びており、この負圧供給装置を用いて、空気またはその他の流体を負圧供給通路２２から排気することができる。負圧供給通路２２は、バルブ３０ａ，３０ｂの負圧供給側３８ａ，３８ｂの排出接続部にそれぞれ供給を行う。
【００２８】
それぞれのバルブハウジング３２ａ，３２ｂを形成する装置ハウジング１２の区域は、それぞれの負圧供給側３８ａ，３８ｂと、吸込開口部を有するバルブ３０ａ，３０ｂの吸込側４０ａ，４０ｂとの間に延びている。吸込側４０ａ，４０ｂは、それぞれの吸引室２０と連通している。その意味でバルブハウジング３２ａ，３２ｂは、吸込側４０ａ，４０ｂと負圧供給側３８ａ，３８ｂとの間に延びている。当然ながら、負圧供給側を介してたとえば負圧供給通路および負圧供給装置と接続されるとともに、吸込側を介して吸引把持装置の吸引室と接続可能である別々に構成されたバルブハウジング３２を、各々のバルブ３０ａ，３０ｂが有してもよい。
【００２９】
バルブハウジング３２ａ，３２ｂのベース部分３４ａ，３４ｂには、当接面１４から離れて負圧供給通路２２に向かう方向に延びる、たとえば円筒状のバルブハウジング空洞部４２が刻設されている。バルブハウジング空洞部４２は、排出貫通部４４を介して、負圧供給側３８ａ，３８ｂと流動接続されている。排出貫通部４４には、流動抵抗を設定するための詳しくは図示しない絞り個所を設けてもよい。
【００３０】
下側に位置する閉止部分３６ａ，３６ｂと、上側に位置するベース部分３４ａ，３４ｂとの間に、柔軟な隔膜として構成された柔軟な分離壁４６が挟み込まれている。柔軟な分離壁４６は、バルブハウジング空洞部４２の中で、排出貫通部４４を介して負圧供給側３８ａ，３８ｂと接続された制御室４８を区切っている。
【００３１】
閉止部分３６ａ，３６ｂは、バルブハウジング空洞部４２と実質的に同軸に配置されたハウジング破断部５０を有している。それにより、制御室４８と反対を向いているほうの柔軟な分離壁４６の側で吸引側室５２が形成される。この吸引側室は、あとで詳しく説明するように、吸込側４０ａ，４０ｂおよびこれに伴って吸引室２０とも圧力接続されている。その意味で柔軟な分離壁４６は、一方では制御室４８で生じている圧力で付勢されるとともに、他方では吸引側室５２で生じている圧力で付勢される。
【００３２】
柔軟な分離壁４６には弁体５４が配置されており、この弁体は、柔軟に変形可能な材料で構成された、分離壁４６から負圧供給側３８ａ，３８ｂに向かって延びるシール部５６を有している。シール部５６は、排出貫通部４４に向かう方向に開いた、テーパ状または吸引カップ状の凹部５８を有している。この凹部は、シール部５６によってシールリップ状に包囲されている。弁体１４はバルブハウジング空洞部４２の中で、（一例としてバルブ３０ｂに図示する）開放位置と、（バルブ３０ａに図示する）閉止位置との間で軸方向へスライド可能である。閉止位置のとき、凹部５８を包囲するシール部５６のシールリップ状の領域が、図示した例では排出貫通部４４を有しているバルブハウジング３２ａ，３２ｂの壁部により形成されるシール座６０に当接する。この閉止位置のとき、シール部５６が負圧供給側３８ａ，３８ｂを制御室４８に対して封止する。開放位置（バルブ３０ｂ参照）では、負圧供給通路２２から排出貫通部４４を通って制御室４８への流動接続が成立する。
【００３３】
弁体５４は柔軟な分離壁４６を貫通し、吸引側室５２へ突出している側で案内部６２を形成する。案内部６２はハウジング破断部５０の中でクリアランスをもって案内されており、それにより、柔軟な分離壁４６に接する吸引側室５２では、吸込側４０ａ，４０ｂで生じている圧力が印加される。
【００３４】
弁体５４には、案内部６２の内部を、長手方向中心穴のような形式で通路状に延びる吸引側貫通部６４が貫通し
ている。吸引側貫通部６４は制御室４８を吸引側室５２と接続し、およびそれに伴って吸込側４０ａ，４０ｂと接続する。
【００３５】
吸引側貫通部６４の過程で絞り個所６６が向けられており、この絞り個所によって、吸引側室５２ないし吸込側４０ａ，４０ｂから吸引側貫通部６４を通って制御室４８に入る流動に対する流動抵抗を設定することができる。図示した例では絞り個所６６は、弁体５４のための差込部分として構成された案内部６２にある貫通通路として構成されている。したがって差込部分を交換することで、絞り個所６６の流動抵抗を変更することができる。
【００３６】
通路状に構成された吸引側貫通部６４は、弁体５４の案内部６２から負圧供給側３８ａ，３８ｂへと向かう方向で柔軟な分離壁４６を貫いて延びるとともに、制御室４８への弁体５４の接続開口部６８に連通する。このとき接続開口部６８は、シール部５６と柔軟な分離壁４６との間に配置され、たとえば吸引側貫通部６４に向かって半径方向に延びる破断部として構成されるのが好ましい。
【００３７】
図示した例では隔膜状の柔軟な分離壁４６は、初期応力をかけられた状態でバルブハウジング３２ａ，３２ｂに配置されているのが好ましい。それにより弁体５４が、バルブ３０ｂに図示する開放位置からの偏向に抗して初期応力をかけられる。
【００３８】
バルブ３０ａについて吸込側４０ａに図示するように、吸込側がときに吸込が行われると、まず最初に生じるのは、吸引室２０から吸込側４０ａ、吸引側貫通部６４を通って制御室４８へと入り、そこから排出貫通部４４を通って負圧供給通路２２へと通じる流動である。しかし、この流動は絞り個所６６によって制限されるので、吸込側４０ａが未装填のとき、吸引室２０およびこれに伴って吸引側室５２でさほどの負圧は生成され得ない。排出貫通部４４を介して制御室が排気される。その意味において、絞り個所６６によって設定される流動抵抗に基づき、吸引側室５２ないし吸込側４０ａに対して制御室４８で負圧が形成される。その帰結として、柔軟な分離壁４６が制御室４８の容積を縮小するように撓む（バルブ３０ａの図面参照）。このとき弁体５４は開放位置から閉止位置の方向へ動く。その際にシール部５６がシール座６０に当接して、排出貫通部４４を覆う。その帰結として制御室４８が負圧供給側３８ａに対して封止され、負圧供給は凹部５８により定義される部分室でのみ吸引をすることになる。弁体５４は閉止位置で吸引固定される。制御室４８では、絞り個所６６による圧力補償を通じて、吸引側室５２で生じている吸込側４０ａの圧力が引き続き生じる。したがって、未装填の吸込側４０ａによる自由な吸込がなされると、バルブ３０ａが自動的に閉止位置へと切り換わる。
【００３９】
吸引体１８吸引室２０が工作物１６によって封止されると（その様子はバルブ３０ｂについて図示されている）、絞り６６を通ってさほどの流動が行われなくなり、したがって、制御室４８では吸引側室５２に対して十分な圧力差が形成されない。すると柔軟な分離壁４６の撓みが行われず、バルブ３０ｂで図示するように、弁体５４が開放位置で保たれる。
【図１】
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