(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも二つの半径方向のインレットを有するスプリットフロー真空ポンプであって、真空ポンプがステーターディスクと、シャフト上に設けられたローターディスクを有し、シャフト上に少なくとも一つのディスクパケットが設けられているスプリットフロー真空ポンプにおいて、
シャフト（１３）内に半径方向に少なくとも二つの溝（３９，４０，５３，５４，５７，５８）及び／又は孔部（５５，５６）が設けられており、これらがシャフトの軸方向において、シャフト（１３）の周囲方向においてよりも長く形成されており、
シャフト（１３）上に少なくとも一つのスリーブ（５９）が設けられており、
スリーブ（５９）が少なくとも一方の端部（１０６）に担持リング（１０３）を有し、
少なくとも一つのスリーブ（５９）が、一方の側（１０５）でシャフト（１３）上に、そして反対の側（１０６）で少なくとも一つの担持リング（１０３）上に支承されており、スリーブ（５９）を担持するシャフト（１３）の領域と、少なくとも一つの担持リング（１０３）の間に、マグネット支承部の少なくとも一つのマグネットリングが設けられていることを特徴とするスプリットフロー真空ポンプ。
【請求項２】
少なくとも二つの溝（３９，４０，５３，５４，５７，５８）及び／又は孔部（５５，５６）がシャフト（１３）内に放射相称に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のスプリットフロー真空ポンプ。
【請求項３】
少なくとも二つの溝（３９，４０，５３，５４，５７，５８）及び／又は孔部（５５，５６）が少なくとも一つのリングを形成しつつシャフト（１３）内に設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載のスプリットフロー真空ポンプ。
【請求項４】
溝（３９，４０，５３，５４，５７，５８）及び／又は孔部（５５，５６）が長方形の及び／又は外側から内側に向かって先細の、及び／又は外側から内側に向かって拡張する、及び／又は段形状に逃された断面を有することを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載のスプリットフロー真空ポンプ。
【請求項５】
孔部（５５，５６）が貫通穴として形成されていることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載のスプリットフロー真空ポンプ。
【請求項６】
シャフト（１３）上の少なくとも溝（３９，４０，５３，５４，５７，５８，６３，６４）及び／又は孔部の領域に、スリーブ（５９）が設けられていることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載のスプリットフロー真空ポンプ。
【請求項７】
先細の領域における少なくとも一方の軸端部（１０４）に、少なくとも一つのスリーブ（５９）が設けられていることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項の記載のスプリットフロー真空ポンプ。
【請求項８】
少なくとも一つのスリーブ（５９）が中実材料のシャフト（１３）の領域に設けられていることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載のスプリットフロー真空ポンプ。
【請求項９】
少なくとも一つのスリーブ（５９）がローター軸を有さない領域で二つのシャフト要素（１０７，１０８）の間に設けられていることを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載のスプリットフロー真空ポンプ。
【請求項１０】
スリーブ（５９）内に、少なくとも一つの孔部（８３）が設けられていることを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載のスプリットフロー真空ポンプ。
【請求項１１】
シャフト（１３）が、長手軸に沿って設けられた内部穴（１１６）を有することを特徴とする請求項１から１０のいずれか一項に記載のスプリットフロー真空ポンプ。
【請求項１２】
内部穴（１１６）が設けられているシャフト端部（１１０）が、断面において内部支承ピボットを有なさい鍋形状に形成されていることを特徴とする請求項１１に記載のスプリットフロー真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スプリットフローポンプの形式の真空ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
いわゆるスプリットフローポンプは、例えば質量分析システムの複数のチャンバーを同時に真空引きするために実践で使用されている。スプリットフロー真空ポンプによって、複数の個々のポンプからなるポンプシステムを省略することが可能であり、そして複数のチャンバーの真空引きは唯一のポンプで実施することが可能である。
【０００３】
スプリットフロー真空ポンプは、真空システムの為に少ないスペース要求のみを要するというメリットを有している。スプリットフロー真空ポンプは、分析装置内のみでなく、例えばリーク探索装置内で使用される。その分析原理は同様に質量分析計（独語：Ｍａｓｓｅｎｓｐｅｋｔｒｏｍｅｔｒｉｅ）に関する。
【０００４】
特許文献１から複数の吸引コネクターを有し、これが其々、装置、例えば質量分析計の一つの真空チャンバーと接続されるターボ分子ポンプが公知である。吸引コネクターは、ガスを、ローターの軸方向に間隔をあけた異なる箇所に導く。ローター軸に沿って複数の、複数のいわゆるローターステーターパケットが設けられている。これらは其々ガスを圧縮する。高真空側のステーターパケットは、そのインレットとそのアウトレットの間の圧力比率を発生させる。インレットは、第一の真空チャンバーと接続されている。アウトレットは次のローターステーターパケットのインレットと接続されている。追加的に、二つのローターステーターパケットの間のこの領域は、第二の真空チャンバーと接続されている。第一のローターステーターパケットにより発生される圧力比率と、真空チャンバーの間の劣悪なコンダクタンス（独語：Ｌｅｉｔｗｅｒｔ）に基づいて、両方の真空チャンバー内の圧力は異なる。ローターステーターパケットの相応の数量によって、複数の真空チャンバーが、異なる圧力に真空引きされることが可能である。その際、各吸引コネクターには、ローターステーターパケットが付設される。直径と比較して、とても長いローターは、取扱いが困難であるということが示されている。と言うのは、ローターは、毎分数１０，０００回転の領域の回転数で運転されるからである。
【０００５】
複数の真空ポンプで装置を真空引きする別のバリエーションは、各真空ポンプに適当なフランジを設けることである。これらには、その後、圧力領域に適当な真空ポンプが接続される。この方法は、複数の真空ポンプの為の高いコストのため、好まれない。更に、コンパクトな装置に対する要求が存在する。しかしこれらは、複数の真空ポンプによっては実現されることが不可能である。
【０００６】
複数の適用例において、複数の真空チャンバーは直列に設けられており、そして孔部（複数）によって低いコンダクタンスで互いに接続されている。列の他方の端部から、真空チャンバー内部のガス圧は減少する。孔部は、粒子線が、これらを通して、そしてひいては真空チャンバーの列を通して進むことが可能であるように形成されている。最も低い圧力の真空チャンバーは、しばしば分析装置、例えば質量分析計を含んでいる。
【０００７】
実践から、三つ又は四つの半径方向インレットを有し、そして少なくとも四つのポンプ段を有するスプリットフロー真空ポンプが公知である。ポンプ段は、通常ターボ分子ポンプ段である。これらは、しばしば別のポンプ段、例えばホルベックポンプ段又はゲーデポンプ段と組み合わせられている。
【０００８】
先行技術から公知のスプリットフロー真空ポンプの構造長及びローター回転数は、特にローターの固有振動によって制限される。ローターは、固有振動周波数の領域では長期にわたって運転されることができない。制限的な要素は、一つにはモーター端部である可能性がある。これにおいては、コスト上の理由から、大きなシャフト直径による、つまりより大きな駆動マグネットとモーターステーターによる補強は目的に合わない。他方で、極めて大きな構造長においては、ローターと特にローター軸の形式上の態様が問題である可能性がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】ドイツ連邦共和国特許出願公開第４３  ３１  ５８９  Ａ１号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明が基礎とする技術的課題は、スプリットフロー真空ポンプであって、長いシャフトを有する長いスプリットフロー真空ポンプを形成することができるようにシャフトの重量が、同じ強度のまま減少されているスプリットフロー真空ポンプを提供することである。さらに、ローター軸が少なくとも一つのシャフト端部を有し、当該シャフト端部が低コストで所望の強度を有するスプリットフロー真空ポンプが提供されるべきである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
この技術的課題は、請求項１に記載の特徴を有するスプリットフロー真空ポンプによって、又は請求項６に記載の特徴を有するスプリットフロー真空ポンプによって、又は請求項１５に記載の特徴を有するスプリットフロー真空ポンプによって解決される。
【００１２】
発明に係るスプリットフロー真空ポンプは少なくとも二つの半径方向のインレットを有し、シンクポンプは、ステーターディスクとシャフト上に設けられたローターディスクを有し、シャフト上には少なくとも一つのディスクパケットが設けられている。このスプリットフロー真空ポンプは、シャフト内に半径方向に少なくとも二つの溝及び／又は孔部が設けられており、これらがシャフトの軸方向においてシャフトの周囲方向においてよりも長く形成されていること、又はシャフトが軸方向において少なくとも一つのネック部を有することにおいて際立っている。
【００１３】
複数のインレットを有するより長いスプリットフロー真空ポンプにおいては、ローター、特にローター軸の形式上の態様がクリティカルである。よって、質量と、これにともないシャフトの重量も、同じ強度（特に半径方向における強度）のまま、減少させることが試みられる必要がある。
【００１４】
これは、本発明によって、特にシャフトが溝と孔部を有することによって達成される。溝及び／又は孔部は、有利には軸方向の穿孔、例えばシャフト内の複数のミルスロット（独語：Ｅｉｎｆｒａｅｓｕｎｇ）である。有利には、溝及び／又は孔部は、ローターディスクが設けられていない領域に設けられている。
【００１５】
本発明の特に有利な実施形に従い、二つの溝及び／又は孔部が、放射相称にシャフト内に設けられていることが意図されている。これは、シャフトが回転対称のままで、かつアンバランスを有さないように意図されている。
【００１６】
本発明の別の有利な実施形にしたがい、少なくとも二つの溝及び／又は孔部が、少なくとも一つのリングを形成しつつシャフト内に設けられていることが意図されている。これは、ローターディスク又はディスクパケットが設けられていない領域内に、溝及び／又は孔部が設けられており、詳しく言うとシャフトの周囲にわたって均等に分配されて設けられていることを意味する。
【００１７】
シャフト内に、ローターディスク又はディスクパケットが設けられていない領域が複数存在するとき、これら領域は溝及び／又は孔部を設けられていることが可能である。
【００１８】
有利には、溝及び／又は孔部は、長方形の断面及び／又は円すい形に先細の断面及び／又は円すい形に拡張された断面及び／又は段形状に逃された断面を有している。溝及び／又は孔部の形成の際、異なる断面が考え得る。断面の形状の態様は、各適用範囲に応じる。
【００１９】
本発明の別の有利な実施形は、孔部が貫通穴として形成されていることを意図する。シャフトの中心軸まで設けられていない溝の他に、シャフト内に、貫通穴として形成された孔部が設けられていることも可能である。つまり、シャフトの表面の様々な複数の孔が、シャフトのコアの領域に集まっている。
【００２０】
本発明の他の実施形は、少なくとも二つの半径方向のインレットを有するスプリットフロー真空ポンプを意図する。その際、真空ポンプはステーターディスク及びシャフト上に設けられたローターディスクを有する。シャフト上には、少なくとも一つのディスクパケットが設けられており、これは、シャフト上に少なくとも一つのスリーブが設けられている点で際立っている。
【００２１】
シャフト上にスリーブを設ける事によって、ローターの固有振動周波数が変更されることが可能であるので、ローターは、固有振動周波数の領域で運転される必要がない。これによって、支承力も減少されることが可能である。
【００２２】
その上、ローター軸の出発材料を大きくすることなく、曲げ剛性の高い大きな外直径を製造することが可能である。これによってコスト削減が可能である。
【００２３】
本発明の有利な実施形は、スリーブが少なくとも一方の端部においてリングを有することを意図している。リングによってスリーブは、例えば、先細のシャフト端部に設けられることが可能である。しかしまた、基本的に、スリーブをシャフト上、例えばシャフトの一定の外直径上にタイトに設ける可能性も存在する。
【００２４】
本発明の有利な実施形に従い、シャフト上、少なくとも溝及び／又は孔部及び／又は少なくとも一つのネック部の領域に、スリーブを設けられている。溝及び／又は孔部及び／又は少なくとも一つのネック部の領域にスリーブを設けることによって、ローター軸の安定性は上げられる。特に、ネック部は、シャフトの強度に通じる。これはスリーブによって補償されることが可能である。
【００２５】
本発明の別の実施形は、少なくとも一方のシャフト端部、先細の領域に、少なくとも一つのスリーブが設けられていることを意図する。
【００２６】
シャフト端部は、通常、支承部、例えばボール支承部又はマグネット支承部内に設けられることができるように先細となっている。
【００２７】
スリーブは、シャフトの強度の向上に貢献する。
【００２８】
本発明の有利な実施形に従い、少なくとも一つのスリーブは、一方の側ではシャフト上に、そして他方の側では少なくとも担持リング上に支承されている。シャフトが例えば、段形状の長手方向断面を有し、つまり、これが段形状に先細となっているとき、スリーブは、二つの隣接する段の領域の設けられることが可能である。より大きな直径を有する段上では、スリーブが直接シャフト上に載置されている。より小さな直径を有する段上では、スリーブが少なくとも一つの担持リング上に載置されている。
【００２９】
本発明の特に好ましい実施形は、スリーブを担持するシャフトの領域と、少なくとも一つの担持リングの間に、マグネット支承部の少なくとも一つのマグネットリングが設けられている。これによって、シャフトをシャフト端部において補強し、しかしそれにもかかわらず複数のマグネットリングを設けることが可能である。これらマグネットリングは、シャフトのより小さな直径上に設けられており、これによって安価である。
【００３０】
本発明の有利な実施形は、中実材料によるシャフトの領域に少なくとも一つのスリーブが設けられていることを意図する。この実施形によって、ローターが固有振動周波数の領域で運転されることが無いよう、ローターの固有振動周波数を変更することが可能である。
【００３１】
本発明の変更された有利な実施形は、少なくとも一つのスリーブが、ローター軸の無い領域で、複数のシャフト要素の間に設けられていることを意図している。この場合、シャフトは分割されたシャフトとして形成され、そしてスリーブがシャフト要素を接続している。これによって、ローター軸の重量が明らかに減少され、この事は、シャフトの形式上の態様に有利に働く。
【００３２】
本発明の別の有利な実施形は、スリーブ内に少なくとも一つの孔部が設けられていることを意図している。孔部は、有利には、溝及び／又は孔部及び／又はネック部の領域に設けられている。真空ポンプの領域においては、真空引きの際、ガス充填された中空空間が存在しないべきである。というのは、これらガス充填された中空空間は、真空引きの間、脱気され、これによって本来達成可能なポンプの最終圧力が達成されないからである。
【００３３】
少なくとも一つのスリーブは、有利には金属から成っている。金属として、アルミニウム、チタン、又はステンレスが選択されることが可能である。少なくとも一つのスリーブは、炭素繊維による複合材料、例えば炭素繊維強化プラスチックから成ることも可能である。金属と炭素繊維による複合材料のコンビネーションを使用する可能性も存在する。
【００３４】
有利には、スリーブの軸方向の長さは、その外直径よりも大きい。この実施形に従い、スリーブは理想的にはシャフトの強度の改善に貢献する。
【００３５】
ローターのモーター端部には、少なくとも一つのスリーブが、モーター磁石の前後においてローター軸に固定されているように、形成されていることが可能である。これによって、小さな直径を有するマグネットリングを形成し、これによって安価に形成することが可能である。少なくとも一つのスリーブは、高真空側では、ローター軸に取り付けられていることが可能であり、そして支承端部の方向では、例えばリングによってシャフトと接続されていることが可能である。
【００３６】
ローターが二つのディスクパケットの間において補強されるべきとき、ここでも同様に発明に係るスリーブが設けられていることが可能である。このスリーブは、中実シャフト上に設けられることが可能である。中実シャフトとスリーブの間の接続は、例えばシュリンク（又は縮着、独語：Ｓｃｈｒｕｍｐｆｅｎ）、プレス、及び／又は接着、又は多の固定形式によって行われることができる。
【００３７】
更に、スリーブをシャフトの領域において、少なくとも一つのネック部、又は少なくとも一つの収縮部（独語：Ｅｉｎｄｒｅｈｕｎｇ）及び／又は溝及び／又は孔部と共に設けることが可能である。ローターの小さな直径で強度にあまり貢献しない減少された質量によって、ローターの固有周波数がスリーブによって高められる。その際、載置力が、このようにして減少され、そして例えば、永久磁石支承部の使用の際に場合によってはリングマグネット対がコスト削減のため省略されることが可能であることも、ポジティブである。
【００３８】
組立方向において少なくとも一つのスリーブの前にローターディスクが組み立てられているとき、ローターディスクの嵌合シートは、スリーブの外直径よりも小さな外直径上に設けられていることが可能である。これは、そうでない場合にローターディスクの結束部（この周りにローター羽根が設けられている）が、大きすぎる嵌合直径の場合に弱すぎ、これによってローターディスクは運転中もはや確実にローターに固定されていないであろうというときに有利である。
【００３９】
その上、ローター軸の出発材料を大きくする必要なく、大きな曲げ強度の外直径を製造することが可能であり、これによってコスト削減が可能である。
【００４０】
本発明の有利な実施形によって、スリーブ上に、外側の側面に追加的にポンプ構造が設けられている。ポンプ構造は、例えばターボ構造、クロスチャネル構造、ネジ溝構造、又はホルベック構造、又はこれら構造の組み合わせであることが可能である。
【００４１】
少なくとも一つのリングがスリーブに設けられるとき、少なくとも一つのリングは、一方で又は両方で好ましくはスリーブの端部に設けられていることが可能である。リングはスリーブに固定的に設けられていることが可能である。少なくとも一つのリングをスリーブと一体に形成する可能性も存在する。リングは内部リングとちしてスリーブに形成されている。
【００４２】
スリーブは強度を上げるのに使用される。特に、ネック部の領域、つまりシャフトが、ローターディスク及び／又はローターパケットが設けられている直径よりも小さな直径を有する領域では、強度を上げるためスリーブが設けられていることが可能である。スリーブ内には複数の孔部が設けられていることが可能である。スリーブによってカバーされるシャフト内の中空空間を脱気することができるようにである。
【００４３】
スリーブは有利には、シャフトの弾性モジュール及び密度の商よりも大きい弾性モジュール及び密度を有する材料から成る。
【００４４】
本発明の他の有利な実施形は、少なくとも二つの半径方向のインレットを有するスプリットフロー真空ポンプを意図する。その際、真空ポンプはステーターディスク及びシャフト上に設けられたローターディスクを有する。その際、シャフト上には少なくとも一つのディスクパケットが設けられている。これは、シャフトが、長手軸に沿って設けられた内部穴を有すること点において際立っている。
【００４５】
この措置によって、シャフトの重量は明らかに削減される。しかしながら、強度、特に半径方向の強度は維持される。この措置によってローターの形式上の態様は明らかに改善される。
【００４６】
本発明の別の特に有利な実施形に従い、シャフト端部（この中に内部穴が設けられている）は、断面において内側の支承ピボット（独語：Ｌａｇｅｒｚａｐｆｅｎ）を有さない鍋形状（独語：ｔｏｐｆｆｏｅｒｍｉｇ）に形成されていることが意図されている。内部の支承ピボットを省略することにより、内部穴を上述したシャフト端部内に設けることが可能である。
【００４７】
発明に係るスプリットフロー真空ポンプの有利な発展形は、少なくとも三つの半径方向のインレットと、少なくとも四つのポンプ段を有している。その際、少なくとも一つのポンプ段は、ターボ分子ポンプ段として形成されている。その際、少なくとも三つのインレットは主インレットとして形成されており、これらは、軸方向においてポンプ段の間に設けられている。当該スプリットフロー真空ポンプは、追加的に、少なくとも一つの半径方向の副インレットが設けられており、これが少なくとも一つのターボ分子ポンプ段の領域に設けられていることを意図している。
【００４８】
真空ポンプのこの有利な形成によって、主インレットに追加的に少なくとも一つの副インレットを設けることが可能である。主インレットは、先行技術から公知のように、ポンプ段の間に設けられている。有利な実施形に従い、少なくとも一つのターボ分子ポンプ段の領域に設けられている少なくとも一つの別のインレットが設けられている。これは、いわゆるタッピング、つまりインレットがターボ分子ポンプ段の間でなく、タッピングが半径方向において、少なくとも一つのターボ分子ポンプ段のディスクパケット内に通じることを意味する。
【００４９】
これによって明らかに多くのタッピング、つまり所定の軸方向構造長で唯一のポンプを有する複数のインレットが達成される。本発明によって、短い軸方向長で、できる限り多くのチャンバーを真空引きすることが可能である。
【００５０】
本発明の有利な実施形に従い、少なくとも一つの副インレットは中心軸を有し、そして中心軸は、少なくとも一つのターボ分子ポンプ段の第一および最終ディスクの間に設けられている。
【００５１】
これは、副インレットが、実際に、少なくとも一つのターボ分子ポンプ段のディスクパケットのディスクの間に設けられていることを意味する。これによってポンプ段の間に設けられている先行技術に属するインレットに追加的に、追加的な複数のインレットが達成されるので、より多くの真空チャンバーが真空引きされることが可能である。
【００５２】
本発明の別の有利な実施形に従い、少なくとも一つの副インレットが、少なくとも一つのターボ分子ポンプ段の二つのステーターディスクの間、及び／又は二つのローターディスクの間、及び／又はステーターディスクとローターディスクの間に設けられていることが意図されている。
【００５３】
これは、副インレットがステーターパケットのディスクの間に設けられており、一方、主インレットがステーターパケットの間に設けられていることを意味する。
【００５４】
本発明の別の有利な実施形に従い、少なくとも一つの副インレットは、少なくとも一つのターボ分子ポンプ段の隣接する二つのステーターディスクの間、及び／又は隣接する複数のローターディスクの間、及び／又はステーターディスクと隣接するローターディスクの間に設けられている。これは、副インレットがその直径に関して比較的小さく選択され、そしてディスクの間に設けらていることを意味する。
【００５５】
有利には、少なくとも一つの副インレットの吸引性能が、主インレットの吸引性能よりも低いことが意図されている。
【００５６】
副インレットは、真空引きすべきマルチチャンバーシステムのタッピングの数量を高めることに使用される。
【００５７】
個々のポンプ段の間、つまり個々のディスクパケット又は他のポンプ段例えばゲーデポンプ段、又はホルベックポンプ段の間には、比較的大きなスペースがあるので、主インレットは比較的大きな断面を有することが可能である。副インレットは、ターボ分子ポンプ段のディスクの間に通じており、そしてこの理由から比較的小さな断面のみを有する。
【００５８】
本発明の別の有利な実施形に従い、ｎのディスクにおいてｎ−１の副インレットが設けられていることが意図されている。
【００５９】
これは、副インレットの数量がディスクの数量よりも少ないことを意味する。ターボ分子ポンプのディスクパケットが二つのディスクから形成されるとき、これら両方のディスクの間に一つの副インレットが設けられていることが可能である。
【００６０】
しかしまた、複数の半径方向の副インレットをターボ分子ポンプ段の領域内に設けることも可能である。同様に、複数のターボ分子ポンプ段において、これらいずれのターボ分子ポンプ段にも一または複数の副インレットを設けるうことも可能である。異なるターボ分子ポンプ段は、副インレットを有して、又は有さず形成されていることが可能である。
【００６１】
有利には、少なくとも一つのターボ分子ポンプ段に追加的に、少なくとも一つのホルベックポンプ段及び／又はジーグバーンポンプ段、及び／又は、ゲーデポンプ段、及び／又はサイドチャネルポンプ段及び／又はネジ溝ポンプ段が設けられていることが意図されている。
【００６２】
スプリットフロー真空ポンプは、通常、一または複数のターボ分子ポンプ段と、少なくとも一つの別の上述したポンプ段から成る。
【００６３】
異なるポンプ段の組み合わせによって、真空引きすべき複数のチャンバー内の圧力比率は相応して調整されることが可能である。
【００６４】
複数のポンプ段の間、例えば二つのターボ分子ポンプ段の間に、一つの主インレットを設ける事、及び例えば追加的に一つのホルベックポンプ段を設けることが可能である。発明に従い、追加的に、少なくとも一つのターボ分子ポンプ段の領域に、少なくとも一つの別の副インレットが設けられる。
【００６５】
本発明の別の有利な実施形に従い、ターボ分子ポンプ段が一または複数のローターディスクから、及び／又は一または複数のステーターディスクから形成されていることが意図されている。
【００６６】
ポンプ段は、通常、少なくとも一つのステーターディスクと少なくとも一つのローターディスクから成る。しばしば、交互に入れ子式に介入している複数のステーターディスク及び複数のローターディスクが設けられている。本発明に従い有利には、ｎのディスクにおいてｎ−１の副インレットが設けられていることが意図されている。例えばターボ分子ポンプ段を形成するステーターディスクとローターディスクが設けられているとき、インレットはこれらディスクの間に設けられている。
【００６７】
本発明の別の有利な実施形は、ターボ分子ポンプ段のステーターディスクと隣接するローターディスクが、軸方向長さＬを決定すること、及び二つのターボ分子ポンプ段の間の間隔が、少なくともこの長さＬと同じ長さであることを意図する。
【００６８】
これによって、少なくとも一つのステーターディスク及び／又はローターディスクが少なくとも一つのターボ分子ポンプ段を形成することが決定されている。隣接するステーターディスク及び／又は隣接するローターディスクの間の間隔が、長さＬを超えるほど大きいとき、発明に従い新たなターボ分子ポンプ段が始まる。ターボ分子ポンプ段の間のこの領域におけるインレットは主インレットとして考えられる。ターボ分子ポンプ段の領域のインレット自体は、副インレットと考えられる。
【００６９】
本発明の別の実施形に従い、ターボ分子ポンプ段は少なくとも一つのローターディスクから形成されていることが意図されている。
【００７０】
インレットに関する発明に係る実施形は、基本的にターボ分子ポンプにおいても適用可能である。
【００７１】
有利には、ポンプ段は、少なくとも一つのローターディスクと少なくとも一つのステーターディスクから成る。この場合、副インレットはローターディスクとステーターディスクの間に設けられている。
【００７２】
発明に係るスプリットフロー真空ポンプの他の有利な実施形は、少なくとも二つの半径方向のインレットを有し、その際、真空ポンプは複数のステーターディスクと、シャフト上に設けられた複数のローターディスクを有し、その際、シャフト上には、少なくとも二つのディスクパケットが設けられており、その際、シャフトは、少なくとも二つの異なる外直径を有し、そしてディスクパケットは外直径に合わせられた内直径を有する。当該真空ポンプは、シャフトが、最大の直径を有する領域に追加して、軸方向において両側に、より小さな直径を有する少なくとも二つの領域を有することを意図している。
【００７３】
発明に係る実施形は、シャフト上に多数の個々のディスクパケットを可能とする。この実施形に従い、四つ、又はより多くのディスクパケットをローターに設けることが可能である。
【００７４】
シャフトは、最大の直径を有する領域に追加して、軸方向において両側に、其々、より小さな直径を有する二つの領域を有することによって、この領域に其々少なくとも一つのディスクパケットが設けられることが可能である。これによって、最大の直径を有する領域をストッパーとして使用し、そして軸方向でこれに続く、わずかに小さな直径を有する領域、最大の直径を有する領域の両側に其々、少なくとも一つのディスクパケットを設けることが可能である。これに続く、ここでもまたわずかに小さな直径を有する領域には、其々、少なくとも一つの別のディスクパケットが設けられることが可能である。最大の直径を有する領域は、其々、ディスクパケットの為のストッパーとして使用される。これらは、わずかに小さな直径を有する領域に組付けられている。この場合、シャフトには左から及び右から、各二つのパケットがずりあげられる（独語：ａｕｆｇｅｓｃｈｏｂｅｎ）ので、二つのみの直径を有する四つのパケットが設けられ、このことは、ローターディスク及びディスクパケットに関して極めて多くの同部材が使用可能であるというメリットを有する。
【００７５】
スプリットフロー真空ポンプの構造において、組立の際に極めて高い正確性を保持することが必要である。ステーターディスクパケットは、互いに間隔をあけて設けられており、これに伴いローターディスクパケットも互いに間隔をあけて設けられているので、シャフト上にストッパーを作ることは意味がある。多くのストッパーが存在するほど、ディスクにおいてより少ない公差が必要であり、そしてステーターディスクとローターディスクの間の間隙は小さく形成されることが可能である。
【００７６】
ストッパーを省略するとき、ローターディスクは、相応して正確に製造されている必要があり、このことは高い製造コストを意味し、又はローターディスクとステーターディスクの間の間隔が相応して広く選択される必要があり、これによって製造公差は、ステーターディスクとローターディスクの間の衝突へと通じない。
【００７７】
ストッパーがスリーブによって形成されないとき、すくなくとも一つのリングパケットは、有利にはストッパーに対して組付けられている。
【００７８】
本発明の特に好ましい実施形に従い、より小さな直径を有する領域は、最大の直径を有する領域の両側で、其々、対として同じ直径を有している。これによって、第一のより小さな直径に、最大の直径を有する領域の両側に同じディスクパケット、つまり同じ直径を有するディスクパケットを組付けることも可能である。これは、更に減少された直径を有するこの領域に続く領域にも同じことが言える。これによって、四つのっディスクパケット（これらは製造に関していうと二つの直径のみを有する必要がある）を組付ける可能性が存在する。これによって多数の同じ部材が予め組付けられることが可能であり、このことは製造コストを著しく下げる。
【００７９】
本発明の別の有利な実施形に従い、異なる直径を有する領域の間の移行部がディスクパケットの為のストッパーとして形成されていることが意図されている。このストッパーによって、ローターディスクのディスクパケットが、ステーターディスクの間に正確に位置決めされていること、及び個々のディスクパケットの製造公差が、シャフトの全長にわたって加算されることが無いということが保証されている。
【００８０】
本発明の別の有利な実施形に従い、シャフトはピラミッド形状の対象な構造を意図している。この場合、シャフトの両側に其々同じディスクパケットが設けられることが可能である。基本的に、シャフトを段差を設け形成することが可能である。シャフトが少なくとも部分的に円すい形に先細に形成することも可能である。
【００８１】
シャフトの異なる形状、つまり段差を設けた形状と円錐形の形状は、互いに組み合わせられることも可能である。
【００８２】
発明に係るスプリットフロー真空ポンプの別の有利な実施形は、ハウジング、ハウジング内に回転可能し支承されたシャフト、及びハウジングに設けられたステーターディスクを有し、シャフトにはローターディスクが設けられている。このスプリットフロー真空ポンプは、ハウジングが少なくとも二つのハウジング領域を有し、これらが熱的に分離されて形成されているか、又はこれらの間に減ぜられた熱的な連結が形成されていることを意図している。真空ポンプにおいては、しばしば、ポンプの一方の側を加熱し、レシーバーのより良好な真空引きを達成することが望まれる。ポンプの反対の側（これは多くの場合、支承部が設けられている側である）は、場合によっては加熱されず、又はこの側は場合によっては冷却されすらする。障害の無いシャフトの支承を図るためである。
【００８３】
これは、真空ポンプの一部は、極めて高い温度にさらされる一方で、真空ポンプの反対の部分は、比較的低い温度を有する必要があるということを意味する。
【００８４】
この理由から、少なくとも両方のハウジング領域の間で、熱制限を達成することが意図されている。
【００８５】
本発明の有利な実施形に従い、少なくとも二つのハウジング領域が、二つのハウジング領域の壁厚に対して減少させられた壁厚を有するハウジング部分によって接続されていることが意図されている。
【００８６】
これは、両方のハウジング領域の間の壁部領域が、他のハウジングよりも薄い断面を有していることを意味する。このためハウジングは、例えばネック部を有する。
【００８７】
本発明の別の有利な実施形に従い、ハウジング部分の領域内に、ハウジングの熱伝導性よりも低い熱伝導性を有する材料から成る補強部が設けられていることが意図されている。特に、ネック部を有する領域内には、そのような補強部が有利に設けられることが可能である。
【００８８】
本発明の別の有利な実施形は、少なくとも二つのハウジング領域が、二つの分離したハウジング部材から形成されていること、及びハウジング部材の間に少なくとも一つの熱シールが設けられていることを意図している。有利には、シールは、ハウジングよりも悪い熱伝導性を有する。有利には、シールは、ガラス及び／又はセラミック及び／又はプラスチックから形成されていることが可能である。このシールによって、ハウジングの加熱される部分から冷却される部分への熱伝達が起こらない。
【００８９】
有利には、ハウジング内に、少なくとも一つの孔部、及び／又は少なくとも一つの溝が設けられている。この中に加熱要素及び／又はハウジングを加熱するためのコイル及び／又は冷却要素が設けられている。この装置によって、相応して高い温度を有すべきハウジングの領域を加熱することが可能であり、ハウジングの冷却されるべき領域を冷却することが可能である。
【００９０】
本発明の別の有利な実施形に従い、少なくとも一つの真空ポンプと少なくとも一つのレシーバーを有する真空システムが意図され、この真空システムにおいて、真空ポンプとレシーバーの間に、解除可能な接続部が設けられており、その際、接続部のシールの為に環境側に向かって少なくとも一つのエラストマーシールが設けられており、真空側の方向に少なくとも一つの間隙シールが設けられている。これは、エラストマーシールと間隙シールの間に少なくとも一つの吸引チャネル及び／又は少なくとも一つの吸引開口部が設けられていることを意図している。
【００９１】
この実施形は、環境側のシール箇所においてエラストマーシールが使用されるというメリットを有する。これは好ましはОリングとして形成されている。エラストマーシールと例えば超高真空コネクターの間には、第二のシール要素として少なくとも一つの間隙シールが使用される。レシーバー（チャンバー）の面とポンプハウジングの面は、互いに押し合わせられる。
【００９２】
発明に係る真空ポンプは、ローター軸内に、溝及び／又は孔部及び／又はネック部を有する。ローター軸の少なくとも一方の端部には、少なくとも一つのスリーブが設けられていることが可能である。少なくとも一つのスリーブをローターディスクパケット及び／又はローターディスクの前又は間に設ける可能性も存在する。少なくとも一つのスリーブは、ローター軸の中実材料の領域に設けられていることが可能である。少なくとも一つのスリーブは、少なくとも一つのネック部及び／又は溝及び／又は孔部をカバーするよう形成されていることが可能である。このスリーブは、ローター軸の無い領域に設けられていることも可能である。この場合、ローター軸は分割されたシャフトとして形成されており、そして少なくとも一つのスリーブを支持し、そしてローター軸の無い領域をカバーしている。シャフトは、シャフトの長手軸に沿って内部穴を有するシャフトとして形成されていることが可能である。これら実施形は、スプリットフロー真空ポンプにおいて個々に、又は任意の組み合わせで使用されることが可能である。
【００９３】
本発明の別の特徴及びメリットは、添付の図面に基づき生ずる。図面中には、発明に係る真空ポンプの複数の実施形が例示的にのみ表されて理う。
【図面の簡単な説明】
【００９４】
【図１】発明に係る真空ポンプを有する装置の長手方向断面図
【図２】シャフト端部におけるスリーブを有するローターの長手方向断面
【図３】図２の詳細
【図４】ディスクパケットの間のスリーブを有するローターの長手方向断面
【図５】変更された実施形に従うディスクパケットの間のスリーブを有するローターの長手方向断面
【図６】ネック部を有するローターの長手方向断面
【図７】ディスクパケットの間のスリーブと分割されたローター軸を有するローターの長手方向断面
【図８】ローター軸の横断面
【図９】シャフトの変更された実施例の長手方向断面
【図１０】内部穴を有するローターのシャフト端部の長手方向断面
【図１１】主インレット及び副インレットを有するディスクパケットを有するローターの簡略図
【図１２】スプリットフロー真空ポンプの長手方向断面
【図１３】ローターに設けられたローターディスクを有するローターの原理図
【図１４】タイトフィットされたローターディスクを有するシャフトの長手方向断面
【図１５】先行技術に従うスプリットフロー真空ポンプのローターの原理図
【図１６】変更された実施例の図
【図１７】真空コネクターを有する真空ポンプの斜視図
【図１８】ポンプ効果を発する構造を有するスリーブの横断面
【図１９】ポンプ効果を発する構造を有するスリーブの変更された実施例の横断面
【発明を実施するための形態】
【００９５】
図１は、真空ポンプ１を示す。この真空ポンプはいわゆるスプリットフロー真空ポンプとして形成されている。真空ポンプ１は、マルチチャンバー真空装置２と接続されている。マルチ真空装置２は、四つのチャンバー３，４，５，６を有している。これらは真空ポンプ１によって真空引きされるべきである。チャンバー３，４，５，６内のガス圧は、この順番に上昇する。チャンバー３，４，５，６は、分離壁７，８，９によって互いに分離されている。その際、孔部９，１０，１１が接続部を形成している。これら孔部９，１０，１１は、例えば粒子線が全てのチャンバー３，４，５，６を通して進むことが可能であるよう設けられ、そして寸法決めされている。特に、第一の分離壁７は、第一のチャンバー３と第二のチャンバー４を互いに分離し、他方で第二の分離壁８が第二のチャンバー４と第三のチャンバー５を分離し、そして第三の分離壁９が第三のチャンバー５を第四のチャンバー６から分離している。図１内の破線矢印は、ガスフローを表している。
【００９６】
真空ポンプ１は、シャフト１３を有している。これは、ローターディスク１４から１９を担持している。ローターディスク１４から１８は、ステーターディスク２０と介入状態にある。ローターディスク１４，１５，１６は、第一のディスクパケット２１を、そしてローターディスク１７から１９は第二のディスクパケット２２を形成している。ディスクパケット２２は、ステーター２０と共に高真空側のローターステーターパケットを形成する。ディスクパケット２１は、ステーターディスク２０と共に、中間真空側のローターステーターパケットを形成する。両方のパケット中の翼部は、その際、先行技術において公知であるように、ステーター側においてもローター側においても担持リングに固定され、又はこれと一体に形成されている。高真空側のローターステーターパケットの前に、第一のガスインレット２３が、予真空側のローターステーターパケットの前に、第二のガスインレット２４が存在している。
【００９７】
マルチチャンバー真空装置から、第一の主インレット２３は真空ポンプ１内へと通じている。第二のチャンバー４から第二の主インレット２４が真空ポンプ１内へと通じている。真空チャンバー５から別の主インレット２５が真空ポンプ１内へと、そして真空チャンバー６から別の主インレット２６が真空ポンプ１内へと通じている。
【００９８】
主インレット２３，２４，２５，２６は、ターボ分子ポンプ段２１，２２の間に設けられている。
【００９９】
ターボ分子ポンプ段２２の領域内には、第一の副インレットが設けられている。これは、真空チャンバー５から真空ポンプ１内へと通じている。その上、真空チャンバー６から、ターボ分子ポンプ段２１の領域の別の副インレット２８が真空ポンプ１内へ通じている。
【０１００】
よってインレットの数量は、副インレット２７，２８によって高められる。副インレット２７，２９は、ターボ分子ポンプ段２１，２２の領域に設けられている。
【０１０１】
ローター軸１３は、異なる直径を有する複数の領域を有する。
【０１０２】
第一の領域２９は、最も大きな直径の領域である。シャフト１３の両側には、より小さな直径を有する二つの部材３０，３１が接続している。これに、個々でもまた、シャフト１３の更に小さな直径を有する領域３２，３３が接続している。シャフト１３の最も大きな直径の領域２９内にはローターディスクが設けられていない。領域３０内には、ローターディスク１６が設けられている。このローターディスクは、ストッパー３４（領域２９と領域３０の間の段形状の節によって形成されている）によって局所的に明らかに固定されている。
【０１０３】
同じことは、ストッパー３５によって領域３０，３２の間に固定されるローターディスク１５に対しても言える。
【０１０４】
同じことは、ストッパー３６によってシャフト１３に固定されるローターディスク１７、及びストッパー３７によってシャフト１３に固定されるローターディスク１８に対しても言える。ローターディスク１４，１５とローターディスク１８，１９の間には、各一つのスペーサースリーブ３８が設けられいてる。ストッパー３４から３７によってローターディスク１４から１９がシャフト１３上で正確に配置されるので、ローターディスク１４から１９とステーターディスク２０の間に狭い間隙が形成されることが可能である。
【０１０５】
本発明の別のメリットは、ローターディスク１４から１９がシャフト上で正確に配置され、これによって極めて小さな間隙が形成されることが可能である点にある。これによって真空ポンプ１のポンプ性能は高められる。四つの同じ部材の使用によって、ポンプは製造で価格メリットがある。本実施例においては、最も大きい直径を有するシャフト１３の領域２９の両側に、各二つの、其々同じ内直径を有するローターディスクパケットが設けられている。
【０１０６】
本発明の別の有利な実施形は、最も大きな直径２９の領域内に複数の溝３９，４０が設けられ、これらがシャフトの質量を減少させるという実施形である。スプリットフロー真空ポンプは、とても長い構造長を有しているので、ローターと特にローター軸の形式上の態様は重要である。個の理由から、本発明に従い、質量とひいてはシャフトの重量も、同じ強度のまま減少される。
【０１０７】
真空ポンプ１は、ハウジング４１を有する。ハウジング４１の高真空側と予真空側の間の熱伝達を減少させるために、ハウジング４１はネック部４２を有している。このネック部によって熱伝導性が減少される。ネック部４２の領域内には追加的に、図示されていない補強部が設けられている。ハウジングは、ネック部４２の領域内において分割されて形成されていることも可能であり、そしてハウジングの両方の部材の間には、熱シールが設けられていることが可能である。
【０１０８】
シャフト１３は、マグネット支承部４３によって一方の側に支承されている。単に簡略的にのみ表されたホルダー４３ａ内にカウンター支承部４３ｂが設けられている。他方の側には支承部は表されていない。図示されていない側の支承部は、例えばオイル潤滑されたボール支承部であることが可能である。
【０１０９】
図１内には、ターボ分子ポンプ段２１，２２のみが表されている。
【０１１０】
ターボ分子ポンプ段に加えて追加的に、ホルベックポンプ段及び／又はジーグバーンポンプ段及び／又はゲーデポンプ段及び／又はサイドチャネルポンプ段及び／又はネジ溝ポンプ段を設ける可能性も存在する。
【０１１１】
ローターディスク１５とステーターディスク２０は軸方向でみて軸方向長Ｌを有する。ターボ分子ポンプ段２１，２２の間の間隔は長さＬよりも大きい。
【０１１２】
図２及び図３は、ローター軸１３を示す。この上にローターディスクパケット２１，２２，４４が設けられている。ローター軸１３は、段差を設けられ形成されているので、ローターディスクパケット２１，２２，４４は其々段に当接し、これによって正確に位置決めされている。
【０１１３】
ローター軸１３の端部１０４には、スリーブ５９が設けられている。このスリーブは、一方の端部１０５がシャフト１３に支持されており、そしてその他方の端部１０６が担持リング１０３に支持されている。担持リング１０３は、更にローター軸１３に支持されている。
【０１１４】
スリーブは、よってローター軸１３上で前後でモーター磁石１０１に支承されている。スリーブ５９によって、ローターの強度、特に著しく先細となっている端部１０４における強度が明らかに高められる。同時に、モーター磁石１０１、つまり磁石リングは、通常の比較的小さな直径で製造されることが可能であり、このことはコスト削減に作用する。シャフト１３が、より大きな直径を有するシャフト端部１０４によって、強度に関して改善されると、モーター磁石も同様に大きく構成される必要があろう。このことはコストに不利に働くであろう。
【０１１５】
図４は他の実施例を示す。図４に従い、ローター軸１３は、ディスクパケット２１，２２の間のスリーブ５９によって補強される。スリーブ５９は、中実シャフト１３上に設けられている。これは、シュリンク、プレス、又は接着によってシャフト１３に固定されていることが可能である。スリーブ５９は、ディスクパケット２１，２２の間の間隔を完全に、又はほぼ完全に埋める。これは、ディスクパケット２１，２２の間のスペースを完全に埋め、同時に、図１のスリーブ３８のようなスペーサースリーブの機能を担う。
【０１１６】
図５は、変更された実施例を示す。この実施例においては、スリーブ５９がローター軸１３上においてディスクパケット２１，２２の間に配置されている。スリーブ５９は、ディスクパケット２１に対する間隔を有して設けられている。スリーブ５９は、中実材料からなるシャフト１３上に固定されており、そしてローター軸１３を補強している。
【０１１７】
図１５は、ローター軸１３を示す。このローター軸は、ネック部１０２を有している。ネック部１０２の領域には、スリーブ５９が設けられている。スリーブ５９は、孔部８３を有する。これによってネック部１０２が脱気されることが可能である。真空ポンプによってレシーバーが真空引きされると、同時に、真空ポンプの領域の中間空間（例えばネック部１０２のようなもの）が、合わせて真空引きされる。というのは、さもないと、中間空間１０２の真空引き過程の間、脱気され、ひいては真空ポンプの最終圧力が達成されることが不可能でだからである。
【０１１８】
図７は、ローター軸１３を示す。このローター軸は、複数のシャフト要素１０７，１０８を有する分割されたローター軸として形成されている。シャフト要素１０７，１０８は、スリーブ５９によって互いに接続されている。この実施形によって、ローターの固有振動周波数が、長期にわたって許容可能な運転が可能であるように変更される。スリーブ５９は、ここでもまた複数の孔部８３を有している。これらを通してシャフト要素１０７，１０８の間の中空空間１０９が真空引きされることが可能である。
【０１１９】
図２から７内では同じ部材は同じ参照符号を付されている。
【０１２０】
図８は、どのように溝３９，４０が形成されることが可能であるか異なる可能性を示す。
【０１２１】
図８において、シャフト１３内には溝の様々な実施形が表されている。これら溝は同じ断面を有し、シャフト１３内に回転対称に設けられている。図８内に表された実施形は、単なる例示である。実践では、其々、実施形が選択され、そしてシャフト内で回転対称に設けられる。
【０１２２】
図８内には、溝５３が示されている。この溝は、長方形の断面を有している。溝５４は、第二の実施形に従い中心軸Ｍの方向において円すい形に先細に形成されている。
【０１２３】
孔部５５は、これらがシャフト１３内の複数の貫通穴を形成するよう形成されている。孔部５５は点５６に集中している。溝５７は、段形状に逃された断面を有している。溝５８は、中心軸の方向に円すい形に拡張するよう形成されている。この実施形は、シャフト１３が高い強度を保つというメリットを有している。シャフト１３の外半径の材料は、内直径の材料における形式上の強度よりも強い。この理由から、溝５８は、特に有利な実施形である。
【０１２４】
溝に対して追加的に、スリーブ５９が設けられていることも可能である。スリーブ５９は、堅牢な材料から形成されているが、低い質量を有するべきである。
【０１２５】
スリーブ５９は、有利には溝の領域内に複数の孔部８３を有する。この孔部は、溝５３，５４，５７，５８及び／又は孔部５５が真空引きされることが可能であり、ひいてはこれらがレシーバーの真空引きの間、脱気されないことに使用される。
【０１２６】
図９は溝３９，４０を有するシャフト１３を示す。溝３９，４０は、軸方向でみてある高さに設けられている。つまりこれらはシャフト１３内で一つのリングを形成する。その上、ローターディスク１４，１５が設けられていない別の領域内には、別の溝６３，６４が設けられている。これらは同様に軸方向に互いに対応して設けられており、そして溝からなる第二のリングを形成する。更に、二つのスリーブ５９である。これらは溝３９，４０，６３，６４をカバーする。スリーブ５９は、孔部８３を有する。溝３９，４０，６３，６４を真空引きすることができるようにである。
【０１２７】
図１０は、ローター軸１３のシャフト端部１１０を示す。シャフト１３は、マグネット支承部１１１によって担持されている。マグネット支承部１１１のマグネットリング１１２は、シャフト１３に設けられている。マグネット支承部１１１のマグネットリング１１３はハウジング１１４に設けられている。
【０１２８】
追加的にボール支承部１１４が設けられている。これは緊急用支承部として形成されている。ボール支承部１１４は、ばね１１５によって予負荷をかけられている。シャフト１３内には、内部穴１１６が設けられている。これによってシャフトの重量は、明らかに減少されるので、ローターの形式上の態様が変更される。
【０１２９】
図１１は、ローターディスクパケット４４，４５，４６を有するシャフト１３を示す。これらは、図示されていないステーターディスクパケットとターボ分子ポンプ段４４，４５，４６を形成する。ガス流は、矢印４７によって表されている。
【０１３０】
矢印４８は、二つの主インレット２４，２５からターボ分子ポンプ段４５，４６に供給されるガス流を表す。矢印４９は、ターボ分子ポンプ段４４，４５の領域の二つの副インレット２７，２９からポンプシステムに供給されるガス流をあらわす。
【０１３１】
副インレット２７，２９は、ターボ分子ポンプ段４４，４５の領域に設けられる一方で、主インレット２４，２５は、その供給部をターボ分子ポンプ段４４，４５及び４６の間に有している。
【０１３２】
図１２は、真空ポンプ１を示す。これによってもう一度、ターボ分子ポンプ段４４，４５，４６，４９を有することが明確にされる。ターボ分子ポンプ段４４，４５，４６，４９はローターディスク及びステーターディスクから成る。これらは互いに介入しあって設けられている。その上、主インレット２３，２４，２５，２６が設けられている。これらは、ポンプ段４４の前、又はポンプ段４４，４５，４６，４９の間に設けられている。
【０１３３】
シャフト１３は、マグネット支承部４３およびボール支承部５０によって支承されている。ボール支承部５０はオイル潤滑されたボール支承部である。シャフト１３はモーター５１によって駆動される。
【０１３４】
ターボ分子ポンプ段４４の領域内には、副インレット２７が設けられている。ターボ分子ポンプ段４５の領域には、副インレット２８が設けられており、そしてターボ分子ポンプ段４６の領域には副インレット５２が設けられている。
【０１３５】
この実施形によってインレットの数量は、四つの主インレット２３，２４，２５，２６から全部で七つのインレットへと、つまり追加的に三つの副インレット２７，２８，５２だけ高められる。
【０１３６】
図１３は、シャフト１２の部分図を示す。シャフト１３は、図１に表された最も大きな直径を有する領域２９、これに引き続くより小さな直径を有する領域３０，３１、そして更にこれに続く更に小さくなった直径を有する領域３２，３３を有している。領域３０，３１内にはローターディスク１６，１７が設けられている。領域３２，３３内には、ローターディスク１５，１８，１９が設けられている。ローターディスク１５，１８，１９は、全て同じ内直径を有している。ローターディスク１６，１７は同じ内直径を有している。これによって、同じ部材の数量が多くなることによって価格メリットのあるポンプを構成することが可能である。
【０１３７】
領域２９，３０の間の直径差は、ストッパー３４を形成する。領域２９，３０の間には、ストッパー３６が設けられている。領域３０，３２の間には、ストッパー３５が設けられており、そして領域３１，３３の間には、ストッパー３７が設けられている。
【０１３８】
ディスク１５，１６の組立方向は矢印Ａによって表されている。ローターディスク１７，１８，１９の組立方向は矢印Ｂによって表されている。Ｍによってシャフト１３の中心軸が表されている。シャフト１３とローターディスク１５，１６，１７，１８，１９は中心軸Ｍを中心に回転対称に構成されている。
【０１３９】
図１４はターボ分子ポンプ段２１，２２を有するシャフト１３を示す。ローターディスク１４，１５，１６，１７，１８，１９が設けられていない領域に、シャフト１３は、溝３９，４０を有する
【０１４０】
シャフト１３の周囲方向におけるよりも軸方向においてより大きな広がりを有する溝の形成によって、シャフトの質量が減少されるので、ローターの形式上の態様は明らかに改善される。
【０１４１】
図１５は、二つのターボ分子ポンプ段２１，２２を有するシャフト１３を示す。これらは、スプリットフローポンプのハウジング４１内に設けられている。ハウジング４１がインレット２４を有する。
【０１４２】
これは、先行技術に属する実施形に対して、顧客ハウジング６０がインレット６１を有し、このインレットが半径方向においてインレット２４に対してオフセットされて形成されていることを示す。ポンプ及びカスタマーチャンバー６０の軸方向長さは、合致しない。
【０１４３】
図１６に従い、それにもかかわらずできる限り高いコンダクタンスがどのように図られることが可能であるかという解決策が表されている。ハウジング４１は、このため、インレット２４の領域にウェブ６２を有する。ステーターディスク（図示せず）が固定されることが可能であるウェブの形成によって、インレット２４の領域により大きな断面と、これに伴いより高いコンダクタンスが得られる。
【０１４４】
図１７は、真空コネクター７２，７３，７５を有する真空ポンプ１を有する。真空コネクター７２は、エラストマーシール７６及び間隙シール７７を有する。エラストマーシール７６と間隙シール７７の間には、吸引チャネル７８が設けられいてる。この中に中間吸引部７９が設けられている。真空コネクター７５内には、吸引開口部８０が設けられている。中間吸引部７９は、導通穴８１内へと通じている。これは、中間段７３に向かって案内されている。真空コネクター７５のシール装置の為に接続チャネル８２が設けられているので、真空コネクター７５は、吸引開口部８０を介して同様に導通穴８２を介して真空引きされる。
【０１４５】
図１８は、スリーブ５９を示す。このスリーブはキャリア１１７を有している。このキャリアは、基本的にシリンダー側面形状の基礎部分として形成されている。キャリアの半径方向外側には、複数の構造要素１１８を有する構造化部が設けられている。これら構造化部は、図示された実施例においては、スリーブ５９の長手軸の方向において延伸された直線状のウェブとして形成されている。構造要素１１８は、ホルベックポンプ段又はクロスチャネルポンプ段として形成されていることが可能である。構造要素１１８は、他のポンプ段構造を有することも可能である。
【０１４６】
図１９は、シャフト１３を示す。これにスリーブ５９が設けられている。スリーブ５９は、ターボ分子ポンプ構造を担持している。これは複数のディスク１１９，１２０から成っている。スリーブ５９に接してローターディスク１４が設けられている。
【０１４７】
スリーブ５９のターボ分子構造内には、ディスク１１９，１２０によって形成され、ステーターディスク１２１，１２２，１２３が介入している。
【０１４８】
ディスク１４，１１９から１２０は、簡略的にのみ表されている。
【符号の説明】
【０１４９】
１    真空ポンプ
２    マルチチャンバー真空装置
３    チャンバー
４    チャンバー
５    チャンバー
６    チャンバー
７    分離壁
８    分離壁
９    分離壁
１０    孔部
１１    孔部
１２    孔部
１３    シャフト
１４    ローターディスク
１５    ローターディスク
１６    ローターディスク
１７    ローターディスク
１８    ローターディスク
１９    ローターディスク
２０    ステーターディスク
２１    ディスクパケットを有するターボ分子ポンプ段
２２    ディスクパケットを有するターボ分子ポンプ段
２３    主インレット
２４    主インレット
２５    主インレット
２６    主インレット
２７    副インレット
２８    副インレット
２９    最も大きな直径を有するシャフト１３の領域
３０    より小さな直径を有するシャフト１３の領域
３１    より小さな直径を有するシャフト１３の領域
３２    最も小さい直径を有するシャフト１３の領域
３３    最も小さい直径を有するシャフト１３の領域
３４    ストッパー
３５    ストッパー
３６    ストッパー
３７    ストッパー
３８    スリーブ
３９    溝
４０    溝
４１    ハウジング
４２    ネック部
４３    マグネット支承部
４３ａ  ホルダー
４３ｂ  カウンター支承部
４４    ローターディスクパケットを有するターボ分子ポンプ段
４５    ローターディスクパケットを有するターボ分子ポンプ段
４６    ローターディスクパケットを有するターボ分子ポンプ段
４７    ガス流の矢印
４８    ガス流の矢印
４９    ターボ分子ポンプ段
５０    ボール支承部
５１    モーター
５２    副インレット
５３    溝
５４    溝
５５    孔部
５６    切断点
５７    溝
５８    溝
５９    スリーブ
６０    ハウジング
６１    インレット
６２    ウェブ
７２    真空コネクター
７３    真空コネクター
７５    真空コネクター
７６    エラストマーシール
７７    間隙シール
７８    吸引チャネル
７９    中間吸引部
８０    吸引開口部
８１    導通穴
８２    接続部
８３    孔部
１０１  モーター磁石
１０２  シャフトのネック部
１０３  リング
１０４  ローター軸１３の端部
１０５  スリーブ５９の端部
１０６  スリーブ５９の端部
１０７  シャフト要素
１０８  シャフト要素
１０９  中空空間
１１０  シャフト端部
１１１  マグネット支承部
１１２  マグネットリング
１１３  マグネットリング
１１４  ボール支承部
１１５  ばね
１１６  内部穴
１１７  キャリア
１１８  構造要素
１１９  ローターディスク
１２０  ローターディスク
１２１  ステーターディスク
１２２  ステーターディスク
１２３  ステーターディスク
１２４  副インレット
１２５  副インレット
１２６  ローター
１２７  結束部
Ａ      矢印
Ｂ      矢印
Ｌ      軸方向の長さ
Ｍ      中心軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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