(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
材料の表面の粗さの測定を可能にするための、光学的な表面粗さ測定可能な構成であって、
前記材料の前記表面を照射するために、平行にされた放射光の第１のビームを生成し、第１の軸に沿って前記第１のビームを向けるための光学的な放射光源と、
前記第１の軸に向かったり、前記第１の軸から離れたりして移動するように、前記光学的な放射光源と前記材料との間で前記構成上に回転可能に設けられ、前記第１の軸に沿って放射光の前記第１のビームに光学的に整列されたとき、前記材料の前記表面を照射するために、前記第１のビームを屈折し、前記第１の軸とは非平行である第２の軸に沿って屈折された放射光の第２のビームを向ける、屈折光学エレメントと、
前記屈折光学エレメントを、前記第１の軸に沿って放射光の前記第１のビームに光学的に整列させるように、前記屈折光学エレメントを移動するためのモータと、
前記第１の軸と第２の軸に沿って前記表面に入射して、前記材料の前記表面から反射された放射光の前記第１のビームと前記第２のビームを検出するよう構成された検出器と、
を備える測定可能な構成。
【請求項２】
前記屈折光学エレメントは、前記第１の軸に沿って放射光の前記第１のビームに光学的に整列されたとき、前記第２の軸に沿った放射光の前記第２のビームが通過するよう構成された前と後ろのほぼ平らな光学的な表面を備え、前記前と後ろの表面はお互いに鋭角に配向される、請求項１に記載の測定可能な構成。
【請求項３】
前記屈折光学エレメントは光学的なウェッジを備える、請求項１または２に記載の測定可能な構成。
【請求項４】
前記屈折光学エレメントはプリズムを備える、請求項１または２に記載の測定可能な構成。
【請求項５】
前記光学的な放射光源はレーザー放射光源を備える、請求項１乃至４のいずれか一項記載の測定可能な構成。
【請求項６】
前記第１の軸と前記第２の軸は５度より小さい角度で配向される、請求項１乃至５のいずれか一項記載の測定可能な構成。
【請求項７】
前記第１の軸と前記第２の軸は２度より小さい角度で配向される、請求項１乃至６のいずれか一項記載の測定可能な構成。
【請求項８】
前記第１の軸と前記第２の軸は、ほぼ１度の角度で配向される、請求項１乃至７のいずれか一項記載の測定可能な構成。
【請求項９】
材料の表面粗さを測定するための光学的な表面粗さ測定構成であって、
請求項１乃至８のいずれか一項記載の光学的な表面粗さ測定可能な構成と、
前記表面粗さの測定を与えるために、検出された放射光の前記第１のビームと前記第２のビームを処理するプロセッサと、を備える構成。
【請求項１０】
材料の表面の粗さの測定を可能にする方法であって、
光学的な放射光源により放射され、第１の軸に沿って向けられた放射光の第１のビームで前記材料の前記表面を照射することと、
前記第１の軸に沿って前記表面に入射して、前記材料の前記表面から反射される放射光の前記第１のビームを検出することと、
モータを使用して屈折光学エレメントを移動することによって、前記光学的な放射光源と前記材料との間で前記第１の軸の中に屈折光学エレメントを整列することと、
前記光学的な放射光源により放射され、前記第１の軸に沿って向けられた放射光の前記第１のビームを、前記第１の軸とは非平行な第２の軸に沿って、前記屈折光学エレメントを用いて屈折させ、前記材料の前記表面が前記第２の軸に沿って向けられた放射光の第２のビームで照射されるようになることと、
前記第２の軸に沿って前記表面に入射し、前記材料の前記表面から反射された放射光の前記第２のビームを検出することと、
のステップを備える方法。
【請求項１１】
材料の表面粗さを測定する方法であって、
請求項１０に記載の材料の表面粗さの測定を可能にする前記方法と、
続いて、前記表面粗さの測定を与えるために、検出された放射光の前記第１のビームと前記第２のビームを処理することと、
のステップを備える方法。
【請求項１２】
検出された放射光の前記第１のビームと前記第２のビームを前記処理することは、前記第１の軸から前記表面から反射された放射光の前記第１のビームを、前記第２の軸から前記表面から反射された放射光の前記第２のビームと相関をとることを備える、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記第１の軸から前記表面から反射された放射光の前記第１のビームと前記第２の軸から前記表面から反射された放射光の前記第２のビームとの相関を採ることは、畳み込みアルゴリズムを用いて、検出された放射光の前記第１のビームと前記第２のビームの間の相関値または係数を生成することを含む、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
以下の関係式
【数１】
0006301477.tif 000006
に従って前記表面粗さＲｑを決定するステップを含み、
ここで、Ｃは相関係数であり、ｋは入射光のビームの波数であり、δαは前記第１の軸に沿った、および、前記第２の軸に沿った前記表面上の放射光の前記第１のビームと前記第２のビームの角度差であり、αは前記材料の表面への入射の絶対角度である、請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
請求項９に記載の構成を、前記構成を通りすぎるシート状の材料を運ぶコンベアの近くに位置決めすることと、
前記構成を動作させ、それによって前記表面の測定をすることと、
のステップを含む、シート状の材料の表面粗さを測定する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学的な表面粗さ測定に関し、および、材料の表面粗さの測定を可能にするための光学的な表面粗さ測定可能な構成と方法とに関する。本発明は、光学的な表面粗さ測定構成と材料の表面粗さ測定の方法とに関する。
【背景技術】
【０００２】
しばしば、材料の平均表面粗さを測定することが必要となる。表面粗さの様々な定義と対応する数の量的なパラメータがある。しかし、特に、測定が、検査下の材料の表面上の高さの変化を示し、これらの高さの変化の平均が、パラメータＲａによって示される。材料の表面粗さを測定するために用いられるいくつかの方法がある。いくつかは、表面粗さの測定を与える針の垂直方向のふれをもちいた、材料の表面上を引かれる針の使用を含む。しかし、この方法では、測定の解像度は針の寸法に制限され、材料の表面上の針の接触圧が表面を傷つけ得る。他の方法は、放射光でもって表面を照らし、生成される結果としてのスペックルにおけるコントラストを解析することを含む。しかしながら、これらの方法の各々は、限られた測定範囲を与え、限られた解像度を有するにすぎない。
【０００３】
代替の方法は、２つの僅かに異なる入射角から放射光の平行にされたビームを用いて材料の表面を照射することを備える。２つの異なる入射角での表面上に入射する放射光が、表面粗さを決定するために相関がとられ、この相関方法が、代替の方法と比較して広げられた測定範囲を提供することが見出された。
【０００４】
僅かに異なる入射角で材料表面を照射するために、材料が回転されるか、または、放射光のビームが偏光されるかのいずれかである。前者は、本来の場所に配された大きい部分の測定のためには常に実用的というわけではない。後者について、図面の図１を参照すると、主要なアプローチは、ビームキューブビームスプリッタ１１を用いてビーム１０の一部を反射することと、ミラー１３を用いて試験部分１２上に反射されたビームを向け直すことである。実験に基づく研究は、様々な技法を用いた表面粗さの測定値の間の最も近い一致が、入射角における差が〜１度のオーダーであるときに起こることを示している。しかし、ビームスプリッタ１１とミラー１３の物理的なサイズは、特に限られた空間において、表面を照射するために用いられるビームの入射角における差（元のものからの反射ビームの物理経路長上でのより低い制限から生じる）上の下限を提示し、表面粗さの測定をするときに達成し得るエラーに対する下限を提示する。
【発明の概要】
【０００５】
本発明に従えば、第１の態様から見られるように、材料の表面粗さの測定を可能にするための、光学的な表面粗さ測定可能な構成が提供され、該構成は、
平行にされた放射光のビームを生成し、材料の表面を照射するために第１の軸に沿ってビームを向ける放射光源と、
ビームを屈折させるために放射光のビームに光学的に整列可能で、材料の表面を照射するために、第１の軸とは非平行である第２の軸に沿って屈折したビームを向ける屈折光学エレメントと、
第１の軸と第２の軸に沿って表面に入射し、材料の表面から反射するようになる放射光を検出するために構成される検出器と、
を備える。
【０００６】
有利なことに、屈折光学エレメントは、放射光の入射ビームの間のより低い角度制限を取り除き、それによって、表面粗さの測定を可能にすることは、低減されたエラーを備える。
【０００７】
屈折光学エレメントは、放射光源からの放射光の波長について実質的に透過であり、エアエレメントの境界面におけるフレネル反射から生じる主要な損失をもった、シリカ等の材料で形成される。一実施形態において、屈折光学エレメントは、放射光のビームが通り抜けるよう構成された、前と後ろのほぼ平らな光学表面を備え、前と後ろの表面は、お互いに鋭角に配向される。屈折光学エレメントは、光学ウェッジ、または、より好適には光学プリズムを備え得る。
【０００８】
光学的な放射光源は、好ましくは、５３２ｎｍの波長を放射する、ダイオード励起、周波数２倍のネオジウムＹＡＧレーザー等のレーザー放射光源を備える。レーザー源は、放射光の有用なスペックルパターンが検出器において生成されるように、ミリメートルオーダのコヒーレンス長を与えることが求められる。波長は、構成における光学エレメントの透過窓と一致し、また、検出器のスペクトル応答と一致するように選ばれる。第１と第２の軸は、好適には５度より小さい、より好適には２度より小さい、更に好適にはほぼ１の角度に配向される。
【０００９】
本発明の第２の態様に従って、材料の表面粗さを測定するための光学的な表面粗さ測定構成が提供され、該構成は、
第１の態様の光学的な表面粗さ測定可能な構成と、
表面粗さの測定を与えるために、検出された放射光を処理するためのプロセッサと、
を備える。
【００１０】
第２の態様の測定構成の好ましい特徴は、第１の態様の測定可能な構成の好ましい特徴の１つまたは複数を備え得る。
【００１１】
本発明の第３の態様に従って、材料の表面粗さの測定を可能にする方法が提供され、該方法は、
第１の軸に沿って向けられた放射光のビームで、材料の表面を照射することと、
材料の表面が第２の軸に沿って向けられた放射光のビームで照射されるようになるように、第１の軸に沿って向けられた放射光のビームを、第１の軸とは非平行である第２の軸に沿って、屈折光学エレメントを用いて、屈折させることと、
第１の軸と第２の軸に沿って表面に入射して、材料の表面から反射されるようになる放射光を検出することと、
のステップを備える。
【００１２】
本発明の第４の態様に従って、材料の表面粗さを測定する方法が提供され、前記方法は、第３の態様に従って材料の表面粗さの測定を可能にする方法と、続いて、表面粗さの測定を与えるために、検出された放射光を処理することとのステップを備える。
【００１３】
一実施形態において、検出された放射光の処理をすることは、第１の軸から表面から反射された放射光と、第２の軸から表面から反射された放射光との相関をとることを備える。これは、畳み込みアルゴリズムを用いて、２組の検出された放射光の間の相関値または係数を生成することを含む。
【００１４】
表面粗さＲｑは、以下の関係に従って決定され得る。
【００１５】
【数１】
0006301477.tif 000002
【００１６】
ここで、Ｃは相関係数であり、αは材料表面への入射の絶対角度である。
【００１７】
本発明の更なる態様に従って、シート状の材料の表面粗さを測定する方法が提供され、該方法は、第２の態様に従った構成を、該構成を通り過ぎてシート状の材料を搬送するコンベアに隣接して位置決めすることと、該構成を操作して、それによって、前記表面粗さを策定すること、とのステップを含む。
【００１８】
本発明の実施形態は、ここで、例としてのみで、添付の図面を参照して記載される。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１は、材料の表面粗さの測定を可能にするための既知の構成の概略図である。
【図２ａ】放射光源に光学的に整列された屈折光学エレメントをもった、本発明の実施形態に従った材料の表面粗さの測定を可能にするための光学的な表面粗さ測定可能な構成の概略図である。
【図２ｂ】図２ｂは、本発明の実施形態に従った、放射光源に光学的に整列された屈折光学エレメントをもった、材料の表面粗さを測定するための光学的な表面粗さ測定構成の概略図である。
【図３ａ】本発明の実施形態に従った、材料の表面粗さの測定を可能にする方法に関連付けられたステップの順序を示すフローチャートである。
【図３ｂ】本発明の実施形態に従った、材料の表面粗さの測定の方法に関連付けられたステップの順序を示すフローチャートである。
【図４】材料の表面粗さを測定するためのポータブル機器の頭上から見た概略平面図である。
【図５】表面粗さが測定される鋼板上の位置に設けられた装置の概略側面図である。
【詳細な説明】
【００２０】
図面の図２ａを参照して、本発明の実施形態に従った、材料１０１の表面粗さの測定を可能にするための光学的な表面粗さ測定可能な構成１００が示される。構成１００は、第１の軸１０４に沿った放射光で材料の表面を照射するために、第１の軸１０４に沿った放射光の平行にされたビーム１０３を生成するよう構成された、レーザー光源等の放射光源１０２を備える。一般的に、第１の軸は、材料の表面との入射の非ゼロ角度（α）を備える。構成１００は、更に、その上への放射光の入射を第２の軸１０６に沿って屈折させるための、第１の軸に沿った放射光源と光学的に整列可能な屈折光学エレメント１０５を備える。
【００２１】
屈折光学エレメント１０５は、その上に入射するビーム１０３を選択的に屈折するよう構成され、屈折されたビーム１０３（図２ａにおいて強調されて示される）は、エレメント１０５を出て、第１の軸１０４とは非平行であるが、エレメント１０５から離れて材料１０１に向かう方向において第１の軸１０４に向かって収束する第２の軸に沿って伝わる。これを達成するために、エレメント１０５の前と後ろの表面１０５ａ、１０５ｂは、各々、実質的に平らであり、エレメント１０５が光学的なプリズムまたはウェッジを備えるように、お互いに関して鋭角に配向される。第２の軸１０６に沿ってエレメント１０５を出る放射光は、また、材料１０１の表面１０１ａを照射するために用いられ、表面１０１ａから反射された放射光の少なくとも一部は、材料１０１の表面粗さの以降の測定を可能にするために、検出器１０７によって捉えられる。
【００２２】
第１の軸１０３に対する第２の軸１０６の角度的な配向、即ちθ０、は、以下の関係に従って決定される。
【００２３】
【数２】
0006301477.tif 000003
【００２４】
ここで、θｉは、ビーム１０３が光学エレメント１０５の前面１０５ａ上に入射する角度、θｗは、エレメント１０５の前と後ろの表面１０５ａ、１０５ｂとの間の角度、ｎは、エレメント１０５の屈折率である。この関係を用いて、好適なプリズムを組み込み、プリズムを好適な入射角度で照射することによって、特定の角度的な配向が決定される。角度的な配向は、一般的に、５度より小さくなるように選択され、一実施形態では、この配向は２度より小さく、より好適には、ほぼ１度のオーダーである。従って、構成１００は、既存の光学的構成と比較して、角度的な配向に対する改良されたより低い制限を少なくとも提供し、構成１００のコンポーネントの物理的な大きさからは独立であることが明らかである。
【００２５】
図面の図２ｂを参照して、材料２０１の表面粗さの測定を与えるための光学的な表面粗さ測定構成２００が示される。測定構成２００は、上述の測定可能な構成１００を備え、よって、類似の態様は、同じ数字だが１００を加えたものを用いて参照されている。
【００２６】
測定構成２００は、更に、やり取りするよう検出器２０７に接続されたプロセッサ２０８を備え、プロセッサ２０８は、表面粗さの値を生成するために検出器２０７によって捉えられた放射光を処理するよう構成される。
【００２７】
図面の図３ａを参照して、本発明の実施形態に従った、材料１０１の表面粗さの測定を可能にする方法３００が示される。方法３００は、第１の軸に沿って向けられた放射光のビームを用いて、ステップ３０１で材料の表面を照射することと、ステップ３０２で表面１０１ａから反射される放射光の少なくとも一部を捉えることを備える。
【００２８】
方法は、更に、放射光源と材料の間に、ステップ３０３において、第１の軸の中に屈折光学エレメントを整列させ、第１の軸１０４と非平行である第２の軸１０６に沿って、ステップ３０４においてビームを屈折させてなり、その後、ステップ３０５において、検出器１０７において表面１０１ａから反射された放射光を捉えることを備える。
【００２９】
本発明の更なる実施形態において、材料２０１の表面粗さを測定する方法４００が提供され、方法４００は、上述した測定を可能にする方法３００を備え、よって、類似のステップは、同じ数字だが１００を加えたものを用いて参照されている。この更なる実施形態の方法４００は、畳み込みアルゴリズムを用いて、２組の検出された放射光の間の相関値または係数を生成するために、ステップ４０６において、プロセッサ２０８を用いて検出された放射光を処理する追加のステップを備える。
【００３０】
相関係数Ｃは、表面粗さパラメータＲｑ、波数ｋ（＝２π／λ）、入射角における差δα（即ち、第１と第２の軸１０４、１０６の角度間隔）、および入射の絶対角度α（これは、材料表面への入射の角度である）に関して表現され得る。従って、ステップ４０６において相関係数がステップ４０６において決定されると、ステップ４０７において、表面粗さＲｑの測定が、プロセッサ２０８を用いて、以下の関係を用いて決定され得る。
【００３１】
【数３】
0006301477.tif 000004
【００３２】
図４を参照して、広範囲の材料の表面粗さを測定するために好適なポータブル装置が示され、図５において、コンベアに沿って動く鋼板上に設けられた装置が示される。ポータブル装置は筐体５０２に収納される。装置の光学的なエレメントは、レーザー５０３、ビーム減衰および拡大手段５０４、移動可能プリズム５０５、カメラ５０６、シャッター５０７を備える。光学的なエレメントをサポートするものは、システム電源５０８、レーザードライバー５０９、シャッター制御モジュール５１０、および、コンピュータ（図示されず）である。
【００３３】
レーザーは、波長５３２ｎｍのCrystaLaser CL532-005-0のダイオード励起固体レーザーである。レーザービームは、電気機械式シャッター５１１を介して、可変減衰器として動作する偏光ビームスプリッタ５１２に通じる。ビームスプリッタ５１２は、Thorlabsから出ているVBA05-532 PBS unitである。ビームスプリッタからの所望でないレーザー放射光は、レーザービームダンプ５１３によって捕えられる。レーザービームは、次に、長焦点距離（ｆ＝２５．４ｍｍ）レンズ５１５が後に続く、短焦点距離（ｆ＝１．４５）ビーム拡張レンズ５１４を通り抜ける。調節可能な絞り５１６が、レンズ５１５の後ろに置かれる。
【００３４】
ビーム減衰および拡大手段５０４から、レーザービームは、ターゲット材料（図５参照）にあたる前に移動可能ウェッジプリズム５０５を選択的に通り抜ける。
【００３５】
ここで用いられるウェッジプリズムは、Crystan Ltd.から出ている、１．３８度のウェッジ角と６．６７ｍｍの中心厚さをもった直径２５ｍｍの溶融石英ウェッジである。ウェッジプリズム５０５は、Thorlabsから出ているMFF001 motorised mirror flipperであるフリッパ５１９上に回転可能に設けられる。筐体シャッター５１７は閉じられるようにバイアスがかけられ、この特定の実施形態では、３つのマイクロスイッチの全てがターゲット材料６０１に対する圧力によって起動されたときにレーザービームの通り抜けを可能にするよう開かれるよう構成される。この実施形態において、この態様は、レーザービームが所望の入射角で材料６０１にあたることを確実にし、安全の特徴として、粗さが測定されている材料に対して装置が十分に押圧されなければレーザービームをブロックする。
【００３６】
ターゲット材料６０１から反射されたレーザービームは、装置の中に戻ってきて、長焦点距離（ｆ＝１００ｍｍ）結像レンズ５１９を介してカメラ５０６に通じる。カメラ５０６は、Thorlabsから出ているDCC1545M high resolution CMOS unitであり、ビーム経路に置かれたプリズム５０５が有るときと無いときのターゲット材料６０１から反射されたイメージを記録する。イメージは、次に、上述の方法においてターゲット材料６０１のための表面粗さの測定を与えるために、コンピュータによって処理される。
【００３７】
ここで図５を参照して、本発明の装置５０１が、海洋船舶を建造することにおいて用いるための鋼板の形態でのターゲット材料を支持する可動コンベア６０２上につりさげられて示される。ここでのターゲット材料は、例えば自動車産業、または、多くの他の産業で用いるためのシート状鋼を同様に備え得ることが理解される。例えば、航空産業で用いるためのアルミニウム合金は、また、発明の装置によって測定される表面粗さを有し得る。いくつかの応用例では、材料がペイント等のコーティングに付着する能力は、その材料の表面粗さに大きく依存し得る。
【００３８】
装置５０１は、コンベア６０２上を通る通路の手すり上に引っ掛けられたキャリア６０３から吊り下げられて示されている。孔５０７がユニットの底に位置付けられ、鋼板に向かって下向きに面している。鋼板のターゲット材料６０１は、矢印の方向に、コンベア６０２上を、装置５０１の下側で移動する。装置５０１は、示されているように、コンベアが動き続けたままで、ターゲット材料から離れて操作されるか、または、鋼板に接触するよう下げられるかのいずれかであってよい。離れて用いられる場合、表面上へのレーザービームの入射の角度は、十分に正確に制御されなければならず、ターゲット材料が装置を通過する速度が、測定をする際に考慮に入れられなければならない。従って、ラインの進行をさえぎることなく、早く動く生産ライン上での装置の使用が期待される。鋼板と接触して用いられる場合、コンベアは、利便性のために、測定を行う間止められ得る。
【００３９】
従って、以上から、上述の構成と方法は、材料の表面粗さの改善された決定を提供することが明らかである。
以下、本願出願当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
［Ｃ１］
材料の表面粗さの測定を可能にするための、光学的な表面粗さ測定可能な構成であって、
前記材料の前記表面を照射するために、平行にされた放射光のビームを生成し、第１の軸に沿って前記ビームを向けるための光学的な放射光源と、
前記ビームを屈折させるために、放射光の前記ビームに光学的に整列可能で、前記材料の前記表面を照射するために、前記第１の軸とは非平行である第２の軸に沿って屈折された前記ビームを向ける、屈折光学エレメントと、
前記第１の軸と第２の軸に沿って前記表面に入射して、前記材料の前記表面から反射されてなる前記放射光を検出するよう構成された検出器と、
を備える測定可能な構成。
［Ｃ２］
前記屈折光学エレメントは、放射光のビームが通過するよう構成された前と後ろのほぼ平らな光学的な表面を備え、前記前と後ろの表面はお互いに鋭角に配向される、［Ｃ１］に記載の測定可能な構成。
［Ｃ３］
前記屈折光学エレメントは光学的なウェッジを備える、［Ｃ１］または［Ｃ２］に記載の測定可能な構成。
［Ｃ４］
前記屈折光学エレメントはプリズムを備える、［Ｃ１］または［Ｃ２］に記載の測定可能な構成。
［Ｃ５］
前記光学的な放射光源はレーザー放射光源を備える、［Ｃ１］乃至［Ｃ４］のいずれか一項記載の測定可能な構成。
［Ｃ６］
前記第１と第２の軸は５度より小さい角度で配向される、［Ｃ１］乃至［Ｃ５］のいずれか一項記載の測定可能な構成。
［Ｃ７］
前記第１と第２の軸は２度より小さい角度で配向される、［Ｃ１］乃至［Ｃ６］のいずれか一項記載の測定可能な構成。
［Ｃ８］
前記第１と第２の軸は、ほぼ１度の角度で配向される、［Ｃ１］乃至［Ｃ７］のいずれか一項記載の測定可能な構成。
［Ｃ９］
材料の表面粗さを測定するための光学的な表面粗さ測定構成であって、
［Ｃ１］乃至［Ｃ８］のいずれか一項記載の光学的な表面粗さ測定可能な構成と、
前記表面粗さの測定を与えるために、前記検出された放射光を処理するプロセッサと、
を備える構成。
［Ｃ１０］
材料の表面粗さの測定を可能にする方法であって、
第１の軸に沿って向けられた放射光のビームで前記材料の前記表面を照射することと、
前記第１の軸に沿って向けられた放射光の前記ビームを、前記第１の軸とは非平行な第２の軸に沿って、屈折光学エレメントを用いて屈折させ、前記材料の前記表面が前記第２の軸に沿って向けられた放射光のビームで照射されるようになることと、
前記第１の軸と第２の軸に沿って前記表面に入射し、前記材料の前記表面から反射されてなる放射光を検出することと、
のステップを備える方法。
［Ｃ１１］
材料の表面粗さを測定する方法であって、  ［Ｃ１０］に記載の材料の表面粗さの測定を可能にする前記方法と、
続いて、前記表面粗さの測定を与えるために、前記検出された放射を処理することと、
のステップを備える方法。
［Ｃ１２］
前記検出された放射光の前記処理することは、前記第１の軸から前記表面から反射された放射光を、前記第２の軸から前記表面から反射された放射光と相関をとることを備える、［Ｃ１１］に記載の方法。
［Ｃ１３］
前記第１の軸から前記表面から反射された放射光と前記第２の軸から前記表面から反射された放射光との相関を採ることは、畳み込みアルゴリズムを用いて、２組の検出された放射光の間の相関値または係数を生成することを含む、［Ｃ１２］に記載の方法。
［Ｃ１４］
以下の関係式
【数４】
0006301477.tif 000005
に従って前記表面粗さＲｑを決定するステップを含み、
ここで、Ｃは相関係数であり、αは前記材料の表面への入射の絶対角度である、［Ｃ１３］に記載の方法。
［Ｃ１５］
［Ｃ９］に記載の構成を、前記構成を通りすぎるシート状の材料を運ぶコンベアの近くに位置決めすることと、
前記構成を動作させ、それによって前記表面の測定をすることと、
のステップを含む、シート状の材料の表面粗さを測定する方法。
【図１】
0006301477.tif 000007
【図２ａ】
0006301477.tif 000008
【図２ｂ】
0006301477.tif 000009
【図３ａ】
0006301477.tif 000010
【図３ｂ】
0006301477.tif 000011
【図４】
0006301477.tif 000012
【図５】
0006301477.tif 000013