(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードと、該切削ブレードが着脱自在に装着される切削手段と、被加工物を加工するために設定された加工条件に基づいて該切削手段を制御する制御手段と、該切削ブレードが収容されるブレードケースを保持するブレードケースホルダーと、該ブレードケースホルダーが固定されるカバーと、を備え、
該ブレードケースには、該切削ブレードの使用履歴情報を無線で読み出し、無線で書き込むことのできるＩＣタグが設けられており、
該制御手段は、該ブレードケースホルダーで保持した該ブレードケースの該ＩＣタグから該切削ブレードの使用履歴情報を無線で読み出し、該切削ブレードの使用履歴情報を無線で該ＩＣタグへと書き込む読み書き手段に接続され、
該読み書き手段は、該カバーの該ブレードケースホルダーと対向する領域に配置され、
該読み書き手段で該ＩＣタグから読み出した該切削ブレードの使用履歴情報を加工条件に反映させ、被加工物を加工した後の該切削ブレードの使用履歴情報を該読み書き手段で該ＩＣタグに書き込むことを特徴とする切削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状の被加工物を切削する切削装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハのような板状の被加工物を複数のチップへと分割する際には、例えば、円環状の切削ブレードを装着した切削装置が使用される。切削ブレードは、ビトリファイドやレジノイド等の結合材料にダイヤモンドやＣＢＮ等の砥粒を混合して形成され、ある程度まで摩耗すると廃棄される。
【０００３】
ところで、多品種少量の生産を行うメーカー等では、被加工物の特性に合わせて切削ブレードを交換する機会が多く、まだ使用できる切削ブレードを切削装置から取り外すこともある。このように切削装置から取り外された切削ブレードは、通常、ブレードケースに収容された状態で保管される。
【０００４】
切削ブレードの保管においては、後の使用（再使用）に備えて切削ブレードの使用履歴を適切に管理しておくことが重要である。そこで、使用履歴を含む情報を記憶できる無線ＩＣタグを埋め込んだ切削ブレードが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−５１５９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述のような切削ブレードでは、製造の過程で無線ＩＣタグが破損しやすく、製造コスト等の点において実用的でない。また、切削時の振動や衝撃等で、無線ＩＣタグが破損することもあった。
【０００７】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、切削ブレードの使用履歴を容易かつ適切に管理できる切削装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によれば、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードと、該切削ブレードが着脱自在に装着される切削手段と、被加工物を加工するために設定された加工条件に基づいて該切削手段を制御する制御手段と、該切削ブレードが収容されるブレードケースを保持するブレードケースホルダーと、該ブレードケースホルダーが固定されるカバーと、を備え、該ブレードケースには、該切削ブレードの使用履歴情報を無線で読み出し、無線で書き込むことのできるＩＣタグが設けられており、該制御手段は、該ブレードケースホルダーで保持した該ブレードケースの該ＩＣタグから該切削ブレードの使用履歴情報を無線で読み出し、該切削ブレードの使用履歴情報を無線で該ＩＣタグへと書き込む読み書き手段に接続され、該読み書き手段は、該カバーの該ブレードケースホルダーと対向する領域に配置され、該読み書き手段で該ＩＣタグから読み出した該切削ブレードの使用履歴情報を加工条件に反映させ、被加工物を加工した後の該切削ブレードの使用履歴情報を該読み書き手段で該ＩＣタグに書き込むことを特徴とする切削装置が提供される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係る切削装置は、切削ブレードが装着される切削手段と、切削手段を制御する制御手段と、切削ブレードが収容されるブレードケースを保持するブレードケースホルダーと、を備え、制御手段は、ブレードケースホルダーで保持したブレードケースのＩＣタグから切削ブレードの使用履歴情報を読み出し、切削ブレードの使用履歴情報をＩＣタグへと書き込む読み書き手段に接続されている。
【００１１】
そのため、読み書き手段でＩＣタグから読み出した切削ブレードの使用履歴情報を加工条件に反映させ、また、被加工物を加工した後の切削ブレードの使用履歴情報を読み書き手段でＩＣタグに書き込むことができる。これにより、切削ブレードの使用履歴を容易かつ適切に管理できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】切削装置の構成例を模式的に示す図である。
【図２】切削ユニットの構成例を模式的に示す分解斜視図である。
【図３】ブレードケースの構成例を模式的に示す斜視図である。
【図４】ブレードケースの構成例を模式的に示す平面図である。
【図５】ブレードケースホルダーの構成例を模式的に示す斜視図である。
【図６】変形例に係る切削装置において、ブレードケースホルダーの周辺の構造を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係る切削装置の構成例を模式的に示す図である。図１に示すように、切削装置２は、各構造を支持する基台４を備えている。
【００１４】
基台４の上方には、基台４を覆うカバー６が設けられている。カバー６の内側には、空間が形成されており、切削ブレード８を含む切削ユニット（切削手段）１０が収容されている。切削ユニット１０は、切削ユニット移動機構（不図示）によって前後方向（Ｙ軸方向、割り出し送り方向）に移動する。
【００１５】
切削ユニット１０の下方には、被加工物１１を吸引保持するチャックテーブル１２が設けられている。チャックテーブル１２は、チャックテーブル移動機構（不図示）によって左右方向（Ｘ軸方向、加工送り方向）に移動し、回転機構（不図示）によって鉛直軸（Ｚ軸）の周りに回転する。
【００１６】
基台４の角部には、カセットエレベーター１４が配置されている。カセットエレベーター１４の上面には、複数の被加工物１１を収容可能なカセット１６が載置される。被加工物１１は、例えば、シリコン、サファイア、樹脂等でなる円形の板状物である。カセットエレベーター１４は、昇降可能に構成されており、この被加工物１１を搬出、搬入できるように、カセット１６の位置を高さ方向（Ｚ軸方向）において調整する。
【００１７】
カバー６の前面６ａには、ユーザインタフェースとなるタッチパネル式のモニター１８が設けられている。また、カバー６の側面６ｂには、ブレードケースホルダー２０が配置されている。ブレードケースホルダー２０の詳細は後述する。
【００１８】
モニター１８は、加工装置２の各部を制御する制御装置（制御手段）２２と接続されている。制御装置２２は、モニター１８を通じて設定される加工条件等に基づいて、切削ユニット１０、切削ユニット移動機構、チャックテーブル１２、チャックテーブル移動機構等の動作を制御する。
【００１９】
図２は、切削ユニット１０の構成例を模式的に示す分解斜視図である。なお、図２では、切削ユニット１０の構成要素の一部を省略している。図２に示すように、切削ユニット１０は、スピンドルハウジング２４に回転可能に支持されたスピンドル２６を含む。
【００２０】
スピンドル２６の先端部には、切削ブレード８を固定するためのフランジ２８が装着されている。フランジ２８は、径方向外向きに延出されたフランジ部３０と、フランジ部３０の表面（前面）から突出するボス部３２とで構成されている。
【００２１】
フランジ部３０の裏面（後面）側には、スピンドル２６の先端部と嵌合する嵌合部（不図示）が形成されている。この嵌合部にスピンドル２６の先端部を嵌め込んだ状態でボルト３４を締め込めば、フランジ２８はスピンドル２６に固定される。
【００２２】
切削ブレード８は、いわゆるハブブレードであり、円盤状の支持基台３６の外周に、リング状の切り刃３８が固定されている。支持基台３６の中央には、フランジ２８のボス部３２が挿通される開口３６ａが形成されている。この開口３６ａにボス部３２を挿通することで、切削ブレード８はフランジ２８に装着される。
【００２３】
切り刃３８は、例えば、ビトリファイドやレジノイド、金属（代表的には、ニッケル）等の結合材料にダイヤモンドやＣＢＮ等の砥粒を混合して円環状に形成されている。なお、本実施形態では、切削ブレード８としてハブブレードを用いているが、切り刃のみでなる、いわゆるワッシャーブレードを用いてもよい。
【００２４】
フランジ２８に切削ブレード８が装着された状態で、ボス部３２の先端部には円環状の固定リング４０が取り付けられる。これにより、切削ブレード８は、フランジ２８と固定リング４０とで挟持される。
【００２５】
図３は、切削ブレード８を収容するブレードケースの構成例を模式的に示す斜視図であり、図４は、ブレードケースの構成例を模式的に示す平面図である。図３に示すように、ブレードケース４２は、切削ブレード８を収容する収容部４４と、収容部４４に収容された切削ブレード８の脱落を防ぐ蓋部４６とを含む。
【００２６】
収容部４４及び蓋部４６は、隣接する２個の角部を円弧状に切り欠いた半矩形状の板状部材であり、切り欠かれていない側の外周に設けられた連結部４８（図４）によって互いに連結されている。連結部４８は、収容部４４に対して蓋部４６を開閉するヒンジとして機能する。連結部４８と反対側の外周には、爪部５０が形成されている。
【００２７】
蓋部４６と対面する収容部４４の内表面には、円柱状の凸部４４ａが形成されている。この凸部４４ａを切削ブレード８の開口３６ａに挿通し、蓋部４６を閉じることで、切削ブレード８をブレードケース４２内に収容できる。
【００２８】
図４に示すように、蓋部４６の連結部４８側には、非接触（無線）で受信した切削ブレード８の使用履歴情報を記憶し、また、記憶した使用履歴情報を非接触（無線）で送信するＩＣタグ５２が設けられている。なお、このＩＣタグ５２は、収容部４４に設けられても良い。また、ＩＣタグ５２は、無線ＩＣタグ、ＲＦＩＤタグ等と表記されることもある。
【００２９】
図５は、ブレードケースホルダー２０の構成例を模式的に示す斜視図である。本実施形態のブレードケースホルダー２０は、例えば、切削ブレード８の装着後に空となったブレードケース４２を保持するために使用される。
【００３０】
図５に示すように、ブレードケースホルダー２０は、ブレードケース４２が挿通されるスリット状の開口を備えた保持部２０ｂを含む。保持部２０ｂの下方には、保持部２０ｂに挿通されたブレードケース４２の爪部５０側を下方から支持する支持部２０ｃが配置されている。支持部２０ｃには、爪部５０に対応して切り欠かれた切り欠き部２０ｄが形成されている。
【００３１】
また、ブレードケースホルダー２０は、蓋部材４６の外表面に形成された凸部４６ａ（図４）に対応する溝部２０ａを備えている。ブレードケース４２は、この溝部２０ａに沿って凸部４６ａをスライドさせるように、爪部５０側を下に向けた状態で保持部２０ｂに挿通される。
【００３２】
溝部２０ａには、ブレードケース４２に設けられたＩＣタグ５２から使用履歴情報を読み出し、また、使用履歴情報をＩＣタグ５２へと書き込むためのリーダライタ（読み書き手段）５４が設けられている。このリーダライタ５４は、ブレードケースホルダー２０で保持したブレードケース４２のＩＣタグ５２と対応する位置に配置され、制御装置２２と接続されている。
【００３３】
制御装置２２は、リーダライタ５４でＩＣタグ５２から読み出した切削ブレード８の使用履歴情報を被加工物１１の加工条件に反映させる。また、制御装置２２は、被加工物１１を加工した後の切削ブレード８の使用履歴情報をリーダライタ５４でＩＣタグ５２に書き込む。
【００３４】
使用履歴情報の読み出し及び書き込みは、例えば、オペレータからの指示に基づいて行われる。ただし、所定のタイミングで行われるように自動制御されても良い。また、リーダライタ５４は、使用履歴情報を送受信するための最小限の構成要素（例えば、アンテナ）を備えていれば良い。この場合、他の構成要素はリーダライタ５４の外部に配置される。
【００３５】
次に、上述した切削装置２で切削ブレード８の使用履歴情報を管理する管理方法について説明する。例えば、使用履歴のある切削ブレード８を切削装置２に装着する場合を想定する。すなわち、切削ブレード８を収容するブレードケース４２のＩＣタグ５２には、既に何らかの使用履歴情報が記憶されている。
【００３６】
まず、ブレードケース４２から切削ブレード８を取り出して切削ユニット１０に装着する。切削ブレード８を装着した後には、空となったブレードケース４２をブレードケースホルダー２０に保持させる。
【００３７】
この状態で、例えば、モニター１８に表示される「読み出し」アイコンをタッチして使用履歴情報の読み出しを指示すると、リーダライタ５４は、ＩＣタグ５２に記憶されている使用履歴情報を読み出して制御装置２２に通知する。制御装置２２は、この使用履歴情報を被加工物１１の加工条件に反映させる。
【００３８】
使用履歴情報は、例えば、「切削ブレード８で加工した被加工物の属性」、「切削ブレード８の残存量」、「切削ブレード８の摩耗量」、「切削ブレード８の寿命」、「切削ブレード８の使用日時」、「切削ブレード８の使用時間」、「切削ブレード８が装着されていた装置」、「加工の際に発生したトラブルの状況」等の情報である。
【００３９】
使用履歴情報に「切削ブレード８の残存量」が含まれている場合、例えば、制御装置２２は、この「切削ブレード８の残存量」に基づき、被加工物１１に対する切削ブレード８の切り込み深さを調整する。これにより、切削ブレード８の残存量に合わせて被加工物１１を適切に切削できるようになる。
【００４０】
被加工物１１の切削が完了すると、切削ブレード８を切削ユニット１０から取り外す。この場合、例えば、モニター１８に表示される「書き込み」アイコンをタッチして使用履歴情報の書き込みを指示すると、制御装置２２は、切削後の新たな使用履歴情報をリーダライタ５４に通知する。
【００４１】
リーダライタ５４は、制御装置２２から通知された新たな使用履歴情報をＩＣタグ５２に書き込む。切削ユニット１０から取り外された切削ブレード８は、新たな使用履歴情報が書き込まれたブレードケース４２に収容され、保管される。
【００４２】
以上のように、本実施形態に係る切削装置２は、切削ブレード８が装着される切削ユニット（切削手段）１０と、切削ユニット１０を制御する制御装置（制御手段）２２と、切削ブレード８が収容されるブレードケース４２を保持するブレードケースホルダー２０と、を備え、制御装置２２は、ブレードケースホルダー２０で保持したブレードケース４２のＩＣタグ５２から切削ブレード８の使用履歴情報を読み出し、切削ブレード８の使用履歴情報をＩＣタグ５２へと書き込むリーダライタ（読み書き手段）５４に接続されている。
【００４３】
そのため、リーダライタ５４でＩＣタグ５２から読み出した切削ブレード８の使用履歴情報を加工条件に反映させ、また、被加工物１１を加工した後の切削ブレード８の使用履歴情報をリーダライタ５４でＩＣタグ５２に書き込むことができる。これにより、切削ブレード８の使用履歴を容易かつ適切に管理できる。
【００４４】
なお、本発明は上記実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態の切削装置２では、ブレードケースホルダー２０にリーダライタ５４を配置しているが、リーダライタ５４は、少なくともＩＣタグ５２との間で切削ブレード８の使用履歴情報を送受信できる位置に配置されていれば良い。
【００４５】
図６は、変形例に係る切削装置において、ブレードケースホルダー２０の周辺の構造を模式的に示す図である。図６に示すように、変形例に係る切削装置６２では、ブレードケースホルダー２０が固定されるカバー６の側面６ｂにリーダライタ（読み書き手段）５４が配置されている。このように、ブレードケースホルダー２０と対向する領域にリーダライタ５４を配置する場合にも、ＩＣタグ５２との間で使用履歴情報を適切に送受信できる。
【００４６】
その他、上記実施形態に係る構成、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【００４７】
２，６２  切削装置
４  基台
６  カバー
６ａ  前面
６ｂ  側面
８  切削ブレード
１０  切削ユニット（切削手段）
１２  チャックテーブル
１４  カセットエレベーター
１６  カセット
１８  モニター
２０  ブレードケースホルダー
２０ａ  溝部
２０ｂ  保持部
２０ｃ  支持部
２０ｄ  切り欠き部
２２  制御装置（制御手段）
２４  スピンドルハウジング
２６  スピンドル
２８  フランジ
３０  フランジ部
３２  ボス部
３４  ボルト
３６  支持基台
３６ａ  開口
３８  切り刃
４０  固定リング
４２  ブレードケース
４４  収容部
４４ａ  凸部
４６  蓋部
４８  連結部
５０  爪部
５２  ＩＣタグ
５４  リーダライタ（読み書き手段）
１１  被加工物
【図１】
0006406956.tif 000002
【図２】
0006406956.tif 000003
【図３】
0006406956.tif 000004
【図４】
0006406956.tif 000005
【図５】
0006406956.tif 000006
【図６】
0006406956.tif 000007