(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１接触対象に接触する、線材を折り曲げて形成した接触部と、圧縮時に蓄勢して伸長方向に付勢するコイルスプリング部とが同一線材により一体的に形成された接触付勢用コイルスプリングと、
第２接触対象に接触する板状のプランジャーであって、上記接触付勢用コイルスプリングにおける基端側の線材部分が当該プランジャーの平面に電気的に接触すると共に、上記コイルスプリング部によって上記伸長方向に伸縮可能に支持されるプランジャーと
を備え、
上記接触付勢用コイルスプリングが、上記接触部を形成した上記線材の端部を、上記接触部を形成している平面と同一平面上で上記プランジャー側に引き出した結合部を有し、
上記プランジャーが、上記接触部における基端側の線材部分、及び、上記結合部を挟持するように２つ設けられている
ことを特徴とする電気的接触子。
【請求項２】
上記接触部が、上記第１接触対象側に向かう線材部分と、上記第１接触対象に接触する線材部分と、上記第１接触対象側から離れる線材部分とを有することを特徴とする請求項１に記載の電気的接触子。
【請求項３】
上記第１接触対象に接触する上記接触部の線材部分が波状に延長し、上記第１接触対象側に突出している複数の突出部で上記第１接触対象に接触することを特徴とする請求項２に記載の電気的接触子。
【請求項４】
上記接触付勢用コイルスプリングにおいて、少なくとも、上記コイルスプリング部の下端部が、密着小径部となっていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の電気接触子。
【請求項５】
第１接触対象及び第２接触対象間を電気的に接触する電気的接触子を複数有する電気的接続装置において、
少なくとも一部の電気的接触子として、請求項１〜４のいずれかに記載の電気的接触子を適用したことを特徴とする電気的接続装置。
【請求項６】
請求項１〜４のいずれかに記載の第１の電気的接触子以外の、プランジャーを利用した第２の電気的接触子も適用しており、上記第１の電気的接触子のプランジャーと上記第２の電気的接触子のプランジャーとが同一形状のものであることを特徴とする請求項５に記載の電気的接続装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は電気的接触子及び電気的接続装置に関し、例えば、配線基板や半導体集積回路等に備えられた電極に接触する電気的接触子や、複数の電気的接触子を有する電気的接続装置に適用し得るものである。
【背景技術】
【０００２】
対向して配設された配線基板上の電気回路等を互いに電気的に接続する電気的接触子は良く知られている。このような電気的接触子としては、例えば、特許文献１や特許文献２に記載のものを挙げることができる。
【０００３】
特許文献１に記載の電気的接触子１は、図２２、図２３に示すように、同じ形状の２つの接触ピン２と、コイルスプリング３とを有する。接触ピン２は、主に、係止爪４と、係止孔５と、フランジ部６と、ピン先端部２Ａとを有する。係止爪４は、対向して２つ設けられ、可撓性のある支持棒部４Ａで支持されている。これにより、２つの係止爪４は、互いに近接離間するようになっている。係止孔５は、他方の接触ピン２の係止爪４が嵌合する孔で、係止爪４の幅に合わせて矩形状に形成されている。これにより、２つの接触ピン２が長手方向の軸周りに９０度ずらして上下方向に向き合い、上下方向に沿った相対的な接近によって係合することにより、他方の接触ピン２の係止孔５の開口に、一方の接触ピン２の２つの係止爪４が係止して２つの接触ピン２が連結されるようなっている。フランジ部６は、コイルスプリング３が当接される部分である。２つの接触ピン２がそれぞれコイルスプリング３に挿入された状態で係合することにより、コイルスプリング３の両端がそれぞれ各フランジ部６に当接して電気的接触子１が組み立てられる。このように組み立てられた電気的接触子１の両端部はそれぞれ、外部の電極等に電気的に接続するピン先端部２Ａとなる。
【０００４】
また、特許文献２に記載の電気的接触子７は、図２４に示すように、プランジャー８と、コイルスプリング９とを有する。プランジャー８は、細長い板状に形成され、その上部にコイルスプリング９を受ける幅広部８Ａが設けられ、この幅広部８Ａの上部に電極と接触する端子部８Ｂが形成されている。幅広部８Ａの下部には、コイルスプリング９内に上下動自在に挿入される心棒部８Ｃが形成されている。コイルスプリング９は、心棒部８Ｃを上下動自在に挿入できる内径に形成されている。コイルスプリング９の下端部側の径は徐々に小さくなっており、最も径が小さい下端部が外部の電極等に接触される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特表２００８−５１６３９８号公報
【特許文献２】特開２００４−１５２４９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載の電気的接触子１は、当該電気的接触子１の伸縮に伴って一方の接触ピン２の係止爪４が他方の接触ピン２の係止孔５の周縁に何度も接触すると、係止爪４や支持棒部４Ａが摩耗等で損傷することがあり、耐久性に欠けるということができる。
【０００７】
また、各接触ピン２は、その係止爪４が相手側の係止孔５に係合するだけで、互いの接触面積が小さいため、電気的接続を主に担うのはコイルスプリング３となる。係止爪４や支持棒部４Ａの部分は、コイルスプリング３内に挿入された状態で、広がって相手側の係止孔５に嵌合する必要があるため、コイルスプリング３が接触ピン２を締め付けるほどの内径にすることは難しい。さらに、コイルスプリング３は圧縮スプリングで、接触ピン２との接触点も少ないため、各接触ピン２とコイルスプリング３との間は密着性が弱くなる。そのため、各接触ピン２のフランジ部６とコイルスプリング３との接触部分が中心的な電気の流れる通路になるが、接触面積が狭くて摩耗、腐食等を起こし易く、電気的接触性が悪い。また、接触ピン２の接触端がＶ字状の切り込みになっており、半球状のバンプ電極が接触対象の場合に、Ｖ字の奥行方向への多少の位置ずれで、電気的接触性が一気に悪くなってしまう。
【０００８】
さらに、異なる長さの電気的接触子１を実現するためには、接触ピン２もコイルスプリング３もその長さ用のものを適用しなければならない。電気的接触子１の種類が多い場合には、各要素部品に係るコストも高いものとなってしまう。
【０００９】
特許文献２に記載の電気的接触子７は、プランジャー８とコイルスプリング９との２部品で形成されるという利点がある。しかし、コイルスプリング９の内径が、プランジャー８の心棒部８Ｃを上下動自在に挿入できる寸法に設定されているため、プランジャー８とコイルスプリング９とが互いに接触したりしなかったりして電気的接触性は悪い。プランジャー８とスプリング９とを電気的に接続するのは、主に、プランジャー８の幅広部８Ａとスプリング９の上端部との接点になる。そのため、接触面積が狭くて摩耗、腐食等によって接触不良を起こしやすく、電気的接触性が悪くて耐久性に欠けるという問題がある。
【００１０】
また、コイルスプリング９の端部で一方の電極に接するが、コイルスプリング９は螺旋状に巻回されているため、端部の切れ端近傍は水平ではなく、この点でも電気的接触性は悪い。
【００１１】
さらに、異なる長さの電気的接触子７を実現するために、プランジャー８とコイルスプリング９もその長さ用のものを適用すると、各要素部品に係るコストも高いものとなってしまう。これに対して、コイルスプリング９だけを異なる長さ用に用意した場合、長い電気的接触子７では、プランジャー８が内部に位置していないコイルスプリング９の部分が長くなり、径方向に何らかの外力が加わると容易に変形し、電気的接触子７として十分に機能し得ない恐れがある。
【００１２】
本発明は、以上のような点に鑑みてなされたものであり、十分な電気的接触性を少ない要素数で実現できる電気的接触子や、そのような電気的接触子を適用した電気的接続装置を提供しようとしたものである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
第１の本発明の電気的接触子は、（１）第１接触対象に接触する、線材を折り曲げて形成した接触部と、圧縮時に蓄勢して伸長方向に付勢するコイルスプリング部とが同一線材により一体的に形成された接触付勢用コイルスプリングと、（２）第２接触対象に接触する板状のプランジャーであって、接触付勢用コイルスプリングにおける基端側の線材部分が当該プランジャーの平面に電気的に接触すると共に、コイルスプリング部によって伸長方向に伸縮可能に支持されるプランジャーとを備え、接触付勢用コイルスプリングが、接触部を形成した線材の端部を、接触部を形成している平面と同一平面上でプランジャー側に引き出した結合部を有し、プランジャーが、接触部における基端側の線材部分、及び、結合部を挟持するように２つ設けられていることを特徴とする。
【００１４】
ここで、上記プランジャーが、上記プランジャー部における基端側の線材部分を挟持するように２つ設けられていることが好ましい。
【００１５】
また、上記接触部が、上記第１接触対象側に向かう線材部分と、上記第１接触対象に接触する線材部分と、上記第１接触対象側から離れる線材部分とを有することが好ましく、さらに、上記第１接触対象に接触する上記接触部の線材部分が波状に延長し、上記第１接触対象側に突出している複数の突出部で上記第１接触対象に接触することが好ましい。
【００１６】
第２の本発明は、第１接触対象及び第２接触対象間を電気的に接触する電気的接触子を複数有する電気的接続装置において、少なくとも一部の電気的接触子として、第１の本発明の電気的接触子を適用したことを特徴とする。
【００１７】
ここで、第１の本発明の電気的接触子（第１の電気的接触子）以外の、プランジャーを利用した第２の電気的接触子も適用しており、上記第１の電気的接触子のプランジャーと上記第２の電気的接触子のプランジャーとが同一形状のものであることが好ましい。
【発明の効果】
【００１８】
第１の本発明によれば、十分な電気的接触性を少ない要素数で実現できる電気的接触子を実現できる。第２の本発明によれば、第１の本発明の電気的接触子を適用した電気的接続装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】第１の実施形態の電気的接触子を示す斜視図である。
【図２】第１の実施形態の電気的接続装置を示す平面図である。
【図３】第１の実施形態の電気的接続装置を示す断面図（図２のIII−III線矢視断面図）である。
【図４】第１の実施形態の電気的接続装置を示す断面図（図２のIV−IV線矢視断面図）である。
【図５】第１の実施形態の電気的接続装置における電気的接触子の装着部分を示す要部拡大断面図であり、被検査体の電極に接触していない状態を示す電気的接触子の正面又は側面を示す断面図である。
【図６】第１の実施形態の電気的接続装置における電気的接触子の装着部分を示す要部拡大断面図であり、被検査体の電極に接触している状態を示す電気的接触子の正面又は側面を示す断面図である。
【図７】信号波形重視電気的接触子を示す正面図である。
【図８】信号波形重視電気的接触子を示す側面図である。
【図９】図７のIX−IX線矢視断面図である。
【図１０】図７のX−X線矢視断面図である。
【図１１】信号波形重視電気的接触子の第１プランジャーを示す正面図である。
【図１２】信号波形重視電気的接触子の第２プランジャーを示す正面図である。
【図１３】信号波形重視電気的接触子のコイルスプリングを示す正面図である。
【図１４】第１の実施形態の電気的接触子を示す正面図である。
【図１５】第１の実施形態の電気的接触子を示す側面図である。
【図１６】第１の実施形態の電気的接触子を示す平面図である。
【図１７】第１の実施形態の電気的接触子を示す底面図である。
【図１８】第１の実施形態の電気的接触子におけるプランジャー兼用コイルスプリングを示す正面図である。
【図１９】第１の実施形態の電気的接触子におけるプランジャー兼用コイルスプリングを示す側面図である。
【図２０】第１の実施形態の電気的接触子におけるプランジャー兼用コイルスプリングのプランジャー部の接触部の形状例を示す説明図である。
【図２１】第１の実施形態の電気的接触子におけるプランジャー兼用コイルスプリングのプランジャー部の結合部線材が描く軌跡例を示す説明図である。
【図２２】従来の電気的接触子（その１）を示す斜視図である。
【図２３】図２２の電気的接触子の分解斜視図である。
【図２４】従来の電気的接触子（その２）を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
（Ａ）第１の実施形態
以下、本発明による電気的接触子及び電気的接続装置の第１の実施形態を、図面を参照しながら説明する。
【００２１】
まず、第１の実施形態の電気的接触子が適用されている第１の実施形態の電気的接続装置１１について、図２〜図６を参照しながら説明する。なお、第１の実施形態の電気的接続装置１１は、被検査体が四角形であるものであるが、被検査体が他の形状のものであっても、本発明を適用可能である。
【００２２】
図２は、第１の実施形態の電気的接続装置を示す平面図であり、図３は、図２のIII−III線矢視断面図であり、図４は、図２のIV−IV線矢視断面図である。また、図５及び図６はそれぞれ、第１の実施形態の電気的接続装置における電気的接触子の装着部分を示す要部拡大断面図であり、図５は、電気的接触子が被検査体の電極に接触していない状態を示し、図６は、電気的接触子が被検査体の電極に接触している状態を示している。ここで、図５（Ａ）及び図６（Ａ）はそれぞれ、電気的接触子の正面側を目視し得るように描いた断面図であり、図５（Ｂ）及び図６（Ｂ）はそれぞれ、電気的接触子の側面側を目視し得るように描いた断面図である。なお、以下では、図２〜図６での上下方向に従って、「上下」に言及することとする。
【００２３】
電気的接続装置１１は、被検査体１２の通電試験等に用いる装置である。被検査体１２は、例えば、集積回路等の半導体デバイスである。被検査体１２は、その下面に複数のバンプ電極１３（図５、図６参照）が設けられている。バンプ電極１３は、被検査体１２の下面に設けられた電極である。複数のバンプ電極１３は、被検査体１２の下面に、一列、複数列、マトリクス状又は他の配列で備えられている。
【００２４】
電気的接続装置１１は、主に、配線基板１５と、下側ハウジング１６と、上側ハウジング１７と、フレーム１８と、ガイド板１９と、電気的接触子とを有する。
【００２５】
第１の実施形態の電気的接続装置１１は、２種類の電気的接触子を適用している。図５及び図６は、一方の電気的接触子２０を装着している状態を示している。他方の電気的接触子２００が第１の実施形態の電気的接触子であり、電気的接触子２０とほぼ同様にして、電気的接続装置１１における電気的接触子の装着部分に装着される。電気的接触子２０は、後述するように、第１の実施形態の電気的接触子２００より導電性が良好であり、主として、信号波形に重みがある部分での測定に利用される（以下、電気的接触子２０を信号波形重視電気的接触子と呼ぶこともある）。
【００２６】
配線基板１５は、下側ハウジング１６、上側ハウジング１７等を支持する板状の配線基板である。配線基板１５の配線は、被検査体１２を試験するテスタ本体（図示せず）の配線に接続されている。配線基板１５は、テスタ本体側の電極を構成する部材であって、電気的接触子２０、２００の下端部が配線基板１５の上面に設けられたコンタクトパット２２に接触して電気的に導通される。
【００２７】
下側ハウジング１６は、上側ハウジング１７と重ね合わされた状態で電気的接触子２０、２００を支持するための部材である。下側ハウジング１６には、電気的接触子２０、２００の下端部が挿入される第１支持孔１６Ａが、電気的接触子２０、２００の外径よりも少し大きい径を有して設けられている。複数の第１支持孔１６Ａは、被検査体１２の下面の各バンプ電極１３に対応した位置にそれぞれ設けられている。第１支持孔１６Ａ内には、電気的接触子２０、２００を受けて支持する下側受け部１６Ｂが形成されている。下側受け部１６Ｂは、第１支持孔１６Ａの下端部の内径を小さくして形成されている。下側受け部１６Ｂに後述する信号波形重視電気的接触子２０の下側支持肩部７３若しくは第１の実施形態の電気的接触子２００の下側支持肩部２７３が引っ掛かり、電気的接触子２０、２００の下端部が貫通するように下側受け部１６Ｂの内径が設定されている。下側受け部１６Ｂに電気的接触子２０、２００の下側支持肩部７３、２７３が引っ掛かることにより、電気的接触子２０、２００が下側受け部１６Ｂで支持されるようになっている。
【００２８】
下側ハウジング１６は、配線基板１５の上側に重ねられている。配線基板１５の上面における各第１支持孔１６Ａに対応する位置に、テスタ本体に配線で接続されたコンタクトパッド２２が設けられている。各コンタクトパッド２２には、第１支持孔１６Ａに挿入された電気的接触子２０、２００の下端部が押圧されて接触されており、電気的な接触を実現している。
【００２９】
下側ハウジング１６には、ピン頭部嵌合孔２３（図３参照）が設けられている。このピン頭部嵌合孔２３は、ガイドピン３７の頭部３９が嵌合するための孔である。ピン頭部嵌合孔２３の内径は、このガイドピン３７の頭部３９の外径とほぼ同じ寸法に設定されて、ガイドピン３７の頭部３９が遊びなく嵌合するようになっている。
【００３０】
上側ハウジング１７は、下側ハウジング１６と協働して、電気的接触子２０、２００の全体を支持するための部材である。上側ハウジング１７は、下側ハウジング１６に重ねられて、これら下側ハウジング１６と上側ハウジング１７とで、電気的接触子２０、２００を、電気的接触子２０、２００が伸縮できる状態で支持するようになっている。上側ハウジング１７には、下側ハウジング１６の第１支持孔１６Ａに対応する位置に、第２支持孔１７Ａが設けられている。第２支持孔１７Ａは、第１支持孔１６Ａの上側開口と同じ内径（電気的接触子２０、２００の外径よりも少し大きい径）に形成されて、内部に電気的接触子２０、２００を上下動可能に収納して支持する。複数の第２支持孔１７Ａは、被検査体１２の下面に備えられた各バンプ電極１３に対応する位置にそれぞれ設けられて、収納している電気的接触子２０、２００の上端部をバンプ電極１３に電気的に接触させるようになされている。
【００３１】
第２支持孔１７Ａ内には、電気的接触子２０、２００を上側から支持する上側受け部１７Ｂが形成されている。上側受け部１７Ｂは、第２支持孔１７Ａの上端部の内径を小さくして形成されている。上側受け部１７Ｂに、後述する信号波形重視電気的接触子２０の上側支持肩部７９若しくは第１の実施形態の電気的接触子２００の上側支持肩部２７９が引っ掛かり、電気的接触子２０、２００の上端部が貫通することにより、電気的接触子２０、２００が上側受け部１７Ｂで支持されるように上側受け部１７Ｂの内径が設定されている。
【００３２】
第１支持孔１６Ａと第２支持孔１７Ａとで、電気的接触子２０、２００全体を受け入れて支持する電気的接触子支持孔２７が構成されている。電気的接触子２０、２００が、電気的接触子支持孔２７に受け入れられた状態で、電気的接触子２０、２００は蓄勢状態（外力が加わって縮んだ状態）にあり、電気的接触子２０、２００の下端部は配線基板１５の上面に設けられたコンタクトパット２２を押圧した状態になる。
【００３３】
上側ハウジング１７には、ピン軸部嵌合孔２８（図３参照）が設けられている。ピン軸部嵌合孔２８は、後述するガイドピン３７の軸部４０が嵌合される孔である。ピン軸部嵌合孔２８の内径は、ガイドピン３７の軸部４０の外径とほぼ同じ寸法に設定されてガイドピン３７の軸部４０を遊びなく嵌合するようになっている。
【００３４】
フレーム１８は、配線基板１５、下側ハウジング１６及び上側ハウジング１７を一体的に固定して支持すると共に、ガイド板１９を上下動可能に支持するための部材である。フレーム１８は、主に、外枠部３１と、固定用フランジ部３２と、上下動支持用フランジ部３３（図４参照）とを有する。
【００３５】
外枠部３１は、下側ハウジング１６、上側ハウジング１７及びガイド板１９の周縁部を囲うように、四角形の枠体状に形成されている。外枠部３１の下面には、位置決め用ピン（又は位置決め用孔；いずれも図示せず）が設けられ、配線基板１５の上面には、外枠部３１側の位置決め用ピン（又は位置決め用孔）に対応して、位置決め用孔（又は位置決め用ピン；いずれも図示せず）が設けられている。これにより、外枠部３１の下面の位置決め用ピン（又は位置決め用孔）と、配線基板１５の上面の位置決め用孔（又は位置決め用ピン）とが嵌合して、外枠部３１と配線基板１５とが正確に位置決めされて支持されるようになっている。外枠部３１の四隅には、固定ネジ３５（図２参照）が取り付けられている。固定ネジ３５は、外枠部３１の四隅の貫通孔（図示せず）を介して配線基板１５のネジ孔（図示せず）にねじ込まれて、これら外枠部３１と配線基板１５とを固定している。
【００３６】
固定用フランジ部３２は、外枠部３１の四角筒状の開口部の対向する内側面に、互いに対向するように２つ設けられている。各固定用フランジ部３２は、互いに内側へ水平に伸びた、ほぼ半円板状に形成されている。各固定用フランジ部３２の下面の高さ（配線基板１５からの高さ）は、下側ハウジング１６及び上側ハウジング１７を重ねた高さとほぼ同じ値に設定されている。これにより、配線基板１５上に重ねられた下側ハウジング１６及び上側ハウジング１７を、各固定用フランジ部３２と配線基板１５とで挟んで支持するようになっている。ここで、固定用フランジ部３２の下に上側ハウジング１７と下側ハウジング１６を入れたときに、下側ハウジングの下面が外枠部３１の下面と同じになるようになされている。
【００３７】
各固定用フランジ部３２の中央には、ガイドピン３７が嵌合するピン孔３８が形成されている。ピン孔３８の内径は、ガイドピン３７の軸部４０の外径とほぼ同じ寸法に設定されている。
【００３８】
ガイドピン３７は、頭部３９と軸部４０とを有する。頭部３９は、下側ハウジング１６のピン頭部嵌合孔２３の内径とほぼ同じ外径の円板状に形成されている。軸部４０は、上側ハウジング１７のピン軸部嵌合孔２８及び固定用フランジ部３２のピン孔３８の内径とほぼ同じ外径の円棒状に形成されている。
【００３９】
下側ハウジング１６のピン頭部嵌合孔２３と、上側ハウジング１７のピン軸部嵌合孔２８と、各固定用フランジ部３２のピン孔３８とは、ガイドピン３７が通されることにより、同一軸心上に軸が位置するように設けられている。
【００４０】
ガイドピン３７の頭部３９が下側ハウジング１６のピン頭部嵌合孔２３に嵌合し、軸部４０が上側ハウジング１７のピン軸部嵌合孔２８及び固定用フランジ部３２のピン孔３８に嵌合し、下側ハウジング１６、上側ハウジング１７及びフレーム１８の位置決めを行っている。下側ハウジング１６及び上側ハウジング１７を、フレーム１８の各固定用フランジ部３２の下面と配線基板１５とで上下から挟んでフレーム１８の開口内に支持することにより、これら配線基板１５、下側ハウジング１６、上側ハウジング１７及びフレーム１８が、互いに正確に位置決めされて一体的に固定されている。
【００４１】
上下動支持用フランジ部３３は、ガイド板１９を上下動可能にフレーム１８の開口内に支持するための部分である。上下動支持用フランジ部３３は、四角形の枠体状のフレーム１８における開口部の四隅にそれぞれ形成されている。各上下動支持用フランジ部３３は、図４に示すように、主に、板部４２と、ガイドネジ孔４３と、スプリング孔４４とを備える。
【００４２】
板部４２は、フレーム１８の外枠部３１の四隅のそれぞれに設けられたフレーム１８と一体化している板材であり、隅を形成する２つの枠部分を連絡するように懸架されている。板部４２の下面の高さは、固定用フランジ部３２の下面と同じ高さになるように設定されている。板部４２の上面の高さは、板部４２の上面とガイド板１９のフランジ部５４の下面とが互いに当接することで、被検査体１２のバンプ電極１３と電気的接触子２０、２００の上端部とが最適に接触するように設定されている。具体的には、被検査体１２のバンプ電極１３と電気的接触子２０、２００の上端部とが接触して、電気的接触子２０、２００が押し縮められる状態（図６参照）になるように板部４２の上面の高さが設定されている。
【００４３】
板部４２には、ガイドネジ孔４３とスプリング孔４４とが設けられている。ガイドネジ孔４３は、ガイドネジ４６を螺合するためのネジ孔である。ガイドネジ孔４３は、各板部４２の中央部に１つだけ設けられている（図２参照）。スプリング孔４４は、スプリング４７を支持するための孔である。スプリング孔４４は、各ガイドネジ孔４３の両側に２つずつ設けられている。
【００４４】
ガイドネジ４６は、フレーム１８の開口内におけるガイド板１９の位置を規定すると共に、ガイド板１９の上下動を可能とするためのネジである。ガイドネジ４６は、頭部４８と、ガイド部４９と、ネジ棒部５０とから構成されている。
【００４５】
頭部４８は、ガイド板１９を抑えて抜け落ちを防止する部分である。頭部４８の上面には、マイナスドライバーが係合するマイナス溝５１が形成されている。
【００４６】
ガイド部４９は、ガイド板１９の上下動を案内する部分である。ガイド部４９は、頭部４８とネジ棒部５０との間に設けられ、ガイド板１９のガイド孔５９に嵌合してガイド板１９の上下動を案内する。ガイド部４９の長さは、頭部４８の下面がガイド板１９と接触して支持された状態（ガイド板１９が、スプリング４７で押し上げられた状態）で、電気的接触子２０、２００の上端部がガイド板１９の縮小部５７に受け入れられるように設定されている。図５は、電気的接触子２０、２００の上端部がガイド板１９の縮小部５７に受け入れられる状態を示している。
【００４７】
ネジ棒部５０は、板部４２にガイドネジ４６を固定するための部分である。ネジ棒部５０は、板部４２のガイドネジ孔４３と螺合してガイドネジ４６を板部４２に固定している。
【００４８】
スプリング４７は、ガイド板１９を弾性的に支持するための部材である。スプリング４７の上端は、板部４２のスプリング孔４４に装着されてガイド板１９のフランジ部５４の裏面に当接されている。計８本のスプリング４７が、４本のガイドネジ４６のガイド部４９に上下動可能に支持されたガイド板１９を下側から付勢している。これにより、ガイド板１９のフランジ部５４がガイドネジ４６の頭部４８の下面に接触するまで上方へ押し上げられ、コンタクト前の待機状態になっている。
【００４９】
ガイド板１９は、被検査体１２を電気的接続装置１１に装着する際に、被検査体１２を位置決めして支持すると共に、被検査体１２の各バンプ電極１３と対応する電気的接触子２０、２００とを整合させるための部材である。ガイド板１９は、主に、受入凹部５３と、フランジ部５４とから構成されている。
【００５０】
受入凹部５３は、被検査体１２を受け入れて支持する部分である。受入凹部５３は、ほぼ四角形の皿状に形成されている。受入凹部５３の底部の内側は四角形に形成され、その寸法は被検査体１２の外形よりも僅かに大きく設定されている。ここでは、被検査体１２が四角形のために受入凹部５３の底部の内側も四角形に形成されているが、被検査体１２が他の形状の場合には、受入凹部５３の底部の内側も被検査体１２に合わせた形状になる。
【００５１】
被検査体１２が受入凹部５３の底部の内側に装着された状態で、被検査体１２の位置決めがなされるようになっている。受入凹部５３の底板部５５には、多数のガイド孔５６が設けられている。ガイド孔５６は、被検査体１２の各バンプ電極１３を案内して受け入れるための開口である。各ガイド孔５６は、バンプ電極１３よりも僅かに大きく形成され、バンプ電極１３を容易に受け入れられるようになっている。被検査体１２が受入凹部５３に受け入れられることにより、被検査体１２の各バンプ電極１３が、各ガイド孔５６の内部の上側に位置できるようになっている。
【００５２】
ガイド孔５６の下端部には、バンプ電極１３を通さず、電気的接触子２０、２００の上端部を受け入れる縮小部５７が形成されている。縮小部５７は、電気的接触子２０、２００の上端部を貫通して受け入れることを許して、電気的接触子２０、２００がバンプ電極１３と接触することを可能にする。
【００５３】
受入凹部５３の上側開口５３Ａの下側には傾斜面５３Ｂが形成されている。傾斜面５３Ｂは、被検査体１２を案内して受入凹部５３の底部に導くためのものである。
【００５４】
フランジ部５４は、フレーム１８の上下動支持用フランジ部３３に対応する受入凹部５３の四隅の位置に形成されている。各フランジ部５４には、ガイドネジ４６の頭部４８が当接するざぐり部５８が設けられている。ざぐり部５８には、ガイドネジ４６のガイド部４９に上下動可能に嵌合するガイド孔５９が設けられている。フランジ部５４のガイド孔５９にガイドネジ４６のガイド部４９が嵌合して上下動可能に支持され、フランジ部５４による支持によりスプリング４７でガイド板１９が上方へ付勢される。ガイドネジ４６を回して、被検査体１２が装着された受入凹部５３を下方へ押すことにより、ガイド板１９が押し下げられ、被検査体１２のバンプ電極１３と、電気的接触子２０、２００の上端部が接触して検査が行われるようになっている。
【００５５】
上述したように、第１の実施形態の電気的接続装置１１は、２種類の電気的接触子２０及び２００を適用している。ガイド板１９のガイド孔５６の上面近傍や、上側ハウジング１７の上側受け部１７Ｂの上面近傍等に、その位置のバンプ電極１３に接触している電気的接触子が電気的接触子２０又は電気的接触子２００のいずれであるかを表すマーカを設けるようにしても良い。例えば、マーカとしては、異なる着色や記号（「○」、「△」など）や突起形状等を挙げることができ、また、一方のみにマーカを付与し、他方にマーカを付与しないことで識別可能とするようにしても良い。
【００５６】
以下ではまず、信号波形重視電気的接触子２０の構成を説明し、第１の実施形態の電気的接触子２００については、信号波形重視電気的接触子２０との相違を中心に説明する。
【００５７】
図７〜図１３はそれぞれ、信号波形重視電気的接触子２０の全体又は構成要素を示す投影図である。信号波形重視電気的接触子２０は、１つの第１プランジャー６２と、２つの第２プランジャー６３と、１つのコイルスプリング６４とを有する。
【００５８】
第１プランジャー６２は、信号波形重視電気的接触子２０が接触する２部材のうちの第１接触対象である電極等（第１の実施形態の電気的接続装置１１に適用されている場合には配線基板１５のコンタクトパッド２２）に接触するための板状のプランジャーである。第１プランジャー６２は、導電性を有するように形成されており、その形成方法は限定されるものではない。例えば、板材に対する切削加工や抜き打ち加工等により第１プランジャー６２を形成しても良く、また、フォトリソグラフィー技術を用いて第１プランジャー６２を形成しても良い。形成する元の材料が導電性材料でなければ、外形的には形成された第１プランジャー６２になる前の状態にメッキや塗布により導電性材を付着して第１プランジャー６２を完成させるようにしても良い。後述する第２プランジャー６３の形成方法も、第１プランジャー６２の形成方法と同様である。
【００５９】
第１プランジャー６２は、図１１に示すように、概ね、結合部６６と、バネ受け部６７と、接触片６８とに分かれている。第１のプランジャー６２の長さは、電気的接続装置１１に組み付けられたときに、配線基板１５のコンタクトパッド２２から上側ハウジング１７の上面の高さ寸法とほぼ等しくされている（図５（Ａ）参照）。
【００６０】
結合部６６は、第１プランジャー６２と２つの第２プランジャー６３とが互いに結合される際に直接重ね合わされて、第１プランジャー６２と第２プランジャー６３とを電気的に接触するための部分である。結合部６６は、長い板状に形成されており、第２プランジャー６３に広い面積で安定して接触させることができるようになされている。結合部６６の部分は、結合棒部６９と、先端挿入部７０と、抜け止め部７１とに分けることができる。
【００６１】
結合棒部６９は、コイルスプリング６４に支持されるための部分であり、コイルスプリング６４よりも少し長い寸法に設定されている。結合棒部６９の幅寸法は、コイルスプリング６４の密着小径部８４の内径とほぼ同じ寸法に設定されている。結合棒部６９の断面形状の四隅部分がコイルスプリング６４の密着小径部８４の内径部に接する。コイルスプリング６４の密着小径部８４の内径部の円形状が結合棒部６９の外接円と一致又は僅かに小さくなっており、結合棒部６９をコイルスプリング６４の密着小径部８４が僅かに締め付ける状態に組み付けられる（図９、図１０参照）。
【００６２】
先端挿入部７０は、組立時に、結合棒部６９のコイルスプリング６４内への挿入を案内するための部分である。先端挿入部７０は、結合棒部６９の先端部（図１１中の上端部）に形成されている。先端挿入部７０は、差し入れる方向に対して障害になららないように、なだらかで湾曲した傾斜面を有し、コイルスプリング６４内に容易に挿入できるようになっている。先端挿入部７０は、組み付けられたときには、２つの第２プランジャー６３の接触片７７の間に位置して、接触片７７の突起７７Ａの間隔を安定させるように機能する。接触片７７の突起７７Ａの間隔は、先端挿入部７０の厚さ、従って、結合部６６の厚さで規定され、結合部６６の厚さ寸法は、接触片７７の突起７７Ａの間隔が考慮されて定められている。
【００６３】
抜け止め部７１は、先端挿入部７０がコイルスプリング６４内に挿入されたとき、先端挿入部７０がコイルスプリング６４から抜けないようにするための部分である。抜け止め部７１は、バネ受け部６７と反対の端部に形成されている。抜け止め部７１は、先端挿入部７０の基端部を両側に突起させて形成されている。両側に突起した抜け止め部７１の幅は、コイルスプリング６４の端部の密着小径部８４の内径よりも僅かに食み出すように設定されている（図９参照）。
【００６４】
バネ受け部６７は、コイルスプリング６４を受けるための部分である。バネ受け部６７は、結合部６６と接触片６８との境界部分に設けられている段部である。結合部６６の幅に比べて接触片６８は幅を広く形成され、これらの境界の段部がバネ受け部６７になっている。バネ受け部６７にコイルスプリング６４の端部の密着小径部８４が当接する。コイルスプリング６４の弾性力によって、第１プランジャー６２が電気的接触子２２の要素として多少の上下動を許容するように支持されている。
【００６５】
接触片６８は、当該電気的接触子２０の第１接触対象（配線基板１５のコンタクトパッド２２）に接触して電気的に接続するための部分である。接触片６８は、結合部６６の基端側（図１１の下側）に続いて一体的に設けられている。接触片６８は、下側ハウジング１６の第１支持孔１６Ａ及び上側ハウジング１７の第２支持孔１７Ａの内径よりも少し小さい幅寸法を有するほぼ矩形状の矩形板状部と、下側ハウジング１６の下側受け部１６Ｂを貫通する、矩形板状部に連続している矩形板状部より幅の小さい寸法の先端部で形成されている。接触片６８の先端部は、平坦面状の配線基板１５のコンタクトパッド２２に安定して接触するように曲線状に形成されている。接触片６８には、矩形板状部と先端部の境に下側支持肩部７３が形成されている。下側支持肩部７３は、下側ハウジング１６の下側受け部１６Ｂに引っ掛かって、接触片６８が第１支持孔１６Ａから抜け落ちないようになっている。下側支持肩部７３が下側ハウジング１６の下側受け部１６Ｂに引っ掛かった状態で、接触片６８の端部（図５、図９の下端部）が第１支持孔１６Ａから下方へ突出するようになっている。
【００６６】
第２プランジャー６３は、第１プランジャー６２と協働して、２つの接触対象間を、すなわち、第１接触対象（配線基板１５のコンタクトパッド２２）と第２接触対象（バンプ電極１３）との間を電気的に導通させるための板状のプランジャーである。第２プランジャー６３は、第２接触対象（バンプ電極１３）を直接の接触対象としている。
【００６７】
第２プランジャー６３は、図１２（Ａ）に示すように、概ね、結合部７５と、バネ受け部７６と、接触片７７とに分かることができる。ここで、図１２（Ａ）は第２プランジャー６３自体を示しているが、図１２（Ｂ）及び（Ｃ）は第２プランジャー６３の変形例を示している。
【００６８】
２つの第２プランジャー６３は第１プランジャー６２を挟み、その状態でコイルスプリング６４により組み付けられ、当該信号波形重視電気的接触子２０が構成される。２つの第２プランジャー６３の結合部７５が対向する状態で、第１プランジャー６２の結合部６６を挟み込んでいる。１つの第１プランジャー６２と２つの第２プランジャー６３とが電気的に接続した状態で、各プランジャー６２、６３がコンタクトパッド２２とバンプ電極１３にそれぞれ接触して、コンタクトパッド２２及びバンプ電極１３間を電気的に導通させる。
【００６９】
２つの第２プランジャー６３は同一形状を有する。同一形状の第２プランジャー６３を対向させて当該信号波形重視電気的接触子２０を構成することにより、第２接触対象（バンプ電極１３）への良好な接触を行うことができる。２つの第２プランジャー６３はそれぞれ、第１プランジャー６２の挟持状態でも互いに独立してスライドできるようになっている。第２接触対象（バンプ電極１３）の形状が、ボール状の形状など多少の位置ずれによって接触高さ等が変化するような形状でも、独立したスライドを可能としているため、その接触高さの変化などに、各第２プランジャー６３の上下方向の位置が追従して電気的な接触の確実性を高めることができる。
【００７０】
結合部７５は、第１プランジャー６２と第２プランジャー６３とが互いに結合される際に、第１プランジャー６２の結合部６６と重ね合わされて電気的に接触するための部分である。２つの第２プランジャー６３の結合部７５が第１プランジャー６２の結合部６６を両側から挟持して、第１プランジャー６２と第２プランジャー６３とを電気的に接触させる。結合部７５は、第１プランジャー６２の結合部６６との接触をできるだけ広い面積で実現できるように、長い板状に形成されている。結合部７５は、結合棒部８０と、先端挿入部８１と、抜け止め部８２とから構成されている。
【００７１】
結合棒部８０は、第１プランジャー６２の結合部６６を挟持したままコイルスプリング６４に支持されるための部分であり、コイルスプリング６４よりも少し長い寸法に設定されている。結合棒部８０の断面寸法（幅、厚さ寸法）は、第１プランジャー６２の結合棒部６９とそれを挟む２つの結合棒部８０でできる、横断面で見て計８つの隅部分（図９参照）が、コイルスプリング６４の密着小径部８４の内径部に内接す程度の寸法に選定されている。言い換えると、コイルスプリング６４の密着小径部８４の内径が、結合棒部８０、６９、８０が結合された断面形状の外接円となる寸法に設定され、結合棒部８０、６９、８０の結合体を僅かに締め付ける状態になされている（図９、図１０参照）。このような締め付け状態となるように、結合棒部の８０の幅寸法は、第１プランジャー６２の結合棒部６９の幅寸法よりも狭い寸法となっている。
【００７２】
先端挿入部８１は、結合棒部８０のコイルスプリング６４内への挿入を案内するための部分である。先端挿入部８１は、結合棒部８０より先端側（図１２中の下側）に形成されている。先端挿入部８１は、差し入れる方向に対して障害になららないような外形を有し、コイルスプリング６４内にスムーズに挿入できるようになっている。例えば、第１プランジャー６２の結合棒部６９と一方の第２プランジャー６３の結合棒部８０とがコイルスプリング６４内に予め挿入された状態で、最後に他方の第２プランジャー６３の結合棒部８０がコイルスプリング６４内に挿入され、この際、他方の結合棒部８０の先端挿入部８１がコイルスプリング６４内にスムーズに挿入できるようになっている。
【００７３】
抜け止め部８２は、先端挿入部８１がコイルスプリング６４内に挿入されたとき、この先端挿入部８１がコイルスプリング６４から抜けないようにするための部分である。抜け止め部８２は、先端挿入部８１の基端部（結合棒部８０と先端挿入部８１の境界部分）に設けられている。抜け止め部８２は、先端挿入部８１の基端部を両側に突起させて形成されている。この両側に突起した抜け止め部８２の幅寸法は、組み上げたときに、コイルスプリング６４の端部の密着小径部８４の内径よりも僅かに食み出すように設定されている（図１０参照）。すなわち、第１プランジャー６２の結合棒部６９の両側に２つの結合棒部８０が重ねられた状態で、結合棒部６９の両側に重ね合わされる２つの抜け止め部８２の外側に位置する４つの隅部（図１０に示す、抜け止め部８２の外側に位置する各２つの隅部）が、コイルスプリング６４の端部の密着小径部８４の内径よりも僅かに食み出すように設定されている。
【００７４】
バネ受け部７６は、コイルスプリング６４の一端が当接してその付勢力を受けるための部分である。バネ受け部７６は、結合部７５と接触片７７との境界部分に設けられた段部である。結合部７５の幅に比べて接触片７７は幅を広く形成され、境界にできる幅の差を有する部分（段部）がバネ受け部７６になっている。バネ受け部７６にコイルスプリング６４の端部の密着小径部８４が当接することで、第２プランジャー６３が、電気的接触子２２内において、コイルスプリング６４によってスライド可能に支持されている。
【００７５】
接触片７７は、第２接触対象（バンプ電極１３）に接触して電気的に接続するための部材である。接触片７７は、結合部７５の基端側（図１２の上側）に続いて一体的に設けられている。接触片７７は、幅寸法が上側ハウジング１７の第２支持孔１７Ａの内径よりも少し小さい寸法のほぼ矩形板状部と、上側ハウジング１７の上側受け部１７Ｂを貫通してガイド板１９の縮小部５７に入り込む、矩形板状部の幅寸法より小さい幅寸法の先端部とで形成されている。接触片７７には、矩形板状部と先端部の境に上側支持肩部７９が形成されている。上側支持肩部７９は、上側ハウジング１７の上側受け部１７Ｂに引っ掛かって、接触片７７が第２支持孔１７Ａから抜け出ないようになっている。上側支持肩部７９が上側ハウジング１７の上側受け部１７Ｂに引っ掛かった状態で、接触片７７の上端部（図１２参照）が第２支持孔１７Ａから上方へ突出するようになっている。
【００７６】
各接触片７７の上端部先端は、２つの突起状に形成されている。すなわち、接触片７７の先端の中央がＵ字状に窪んで凹部が形成され、凹部の両側に２つの突起７７Ａが形成されている。さらに、突起７７Ａには、テーパ面７７Ｂ（図８参照）が形成されている。これにより、２つの突起７７Ａはそれぞれ、２つの切っ先状に形成されている。上述した凹部を挟んで対向する２つのテーパ面７７Ｂが作る空間は、バンプ電極１３の頂部の膨らみを受入る空間として働く。これにより、バンプ電極１３と、第２プランジャー６３との接触時に、バンプ電極１３の頂部側は、２つのテーパ面７７Ｂが作る空間に受け入れられ、第２プランジャー６３の先端に接触してもバンプ電極１３が過度に押し潰されることを防止できる。２つの第２プランジャー６３が第１プランジャー６２を挟持したときに、テーパ面７７Ｂが周囲から見える外側に配設される（図８参照）。計４つの突起７７Ａが、バンプ電極１３に確実に接触し、その接触点でバンプ電極１３に多少刺さって、電気的に確実に接触するようになっている。
【００７７】
第２プランジャー６３は、図１２（Ｂ）及び（Ｃ）に示すように、２つの突起７７Ａが第２プランジャー６３の幅方向に拡がり易い構成上の工夫（スリット）を導入するようにしても良い。
【００７８】
コイルスプリング６４は、図１３に示すように、第１プランジャー６２及び第２プランジャー６３の結合棒部６９、８０の外周を覆い、各バネ受け部６７、７６にそれぞれ各端部が当接して各プランジャー６２、６３に対して上下動を許容するように支持し、第１プランジャー６２及び第２プランジャー６３間を電気的に導通させる部材である。コイルスプリング６４の両端部間に、第１プランジャー６２及び第２プランジャー６３の結合部６６、７５が重ね合わさって状態で支持される。
【００７９】
コイルスプリング６４は、中間部が大径で両端部が小径に形成されている。中間部の径は、第１プランジャー６２の結合棒部６９と、それを挟み込む２つの第２プランジャー６３の結合棒部８０の作る断面形状が当接しない大きさ（図９参照）に選定されており、中間部が伸縮するコイルスプリングとして機能する部分である。中間部の外径は、第１プランジャー６２及び第２プランジャー６３の最大幅寸法より少し大きく設定されている。コイルスプリング６４における小径の両端部は密着小径部８４となっている。密着小径部８４の内径は、第１プランジャー６２の結合棒部６９と、それを挟み込む２つの第２プランジャー６３の結合棒部８０の作る断面形状に外接する外接円の径よりも僅かに小さく設定されている。
【００８０】
信号波形重視電気的接触子２０は、１つの第１のプランジャー６２と２つの第２のプランジャー６３とを、それぞれの接触片６８、７７を反対の向きにして結合部６６、７５を重ね合わせた状態でコイルスプリング６４により一体とされ、各バネ受け部６７、７６の位置でコイルスプリング６４を係止し、第１のプランジャー６２及び第２のプランジャー６３を離間不能にしかもスライド可能に組み立てられたものである。
【００８１】
次に、第１の実施形態の電気的接触子２００の構成を説明する。図１、図１４〜図１９はそれぞれ、第１の実施形態の電気的接触子２００の全体又は構成要素を示す斜視図又は投影図である。
【００８２】
第１の実施形態の電気的接触子２００は、２つのプランジャー２６３と、１つのプランジャー兼用コイルスプリング２０１とを有する。
【００８３】
第１の実施形態の電気的接触子２００における２つのプランジャー２６３は、信号波形重視電気的接触子２０における２つの第２のプランジャー６３と同一又は同様なものである。そのため、プランジャー２６３の詳細構成の説明は省略する（図１２参照）。第１の実施形態の電気的接触子２００におけるプランジャー２６３と、信号波形重視電気的接触子２０における第２のプランジャー６３とが同一の場合に、第１の実施形態の電気的接触子２００と信号波形重視電気的接触子２０とで部品を共通化でき、コスト削減に寄与できる。
【００８４】
以下の説明においては、プランジャー２６３の各部に対する符号として、第２のプランジャー６３における対応する部分の符号より「２００」だけ大きい符号を用い、プランジャー２６３の各部要素を特定することとする。
【００８５】
プランジャー兼用コイルスプリング２０１は、この１部材で、信号波形重視電気的接触子２０における第１のプランジャー６２とコイルスプリング６４の機能を共に発揮するような部材である。
【００８６】
プランジャー兼用コイルスプリング２０１は、プランジャー部２６２とコイルスプリング部２６４とを有する。
【００８７】
プランジャー部２６２は、信号波形重視電気的接触子２０における第１のプランジャー６２と同様な機能を発揮する部分である。プランジャー部２６２は、第１の実施形態の電気的接触子２００が接触する２部材のうちの第１接触対象（第１の実施形態の電気的接続装置１１に適用されている場合には配線基板１５のコンタクトパッド２２）に接触するための部分であり、プランジャー部２６２を構成している線材部分は同一平面上に設けられている。この平面は、信号波形重視電気的接触子２０における第１のプランジャー６２の板材が設けられている平面に対応付けることができる。プランジャー部２６２は、結合部２６６と接触部２６８とを有する。
【００８８】
接触部２６８は、当該電気的接触子２００の第１接触対象（配線基板１５のコンタクトパッド２２）に接触して電気的に接続する部分である。接触部２６８は、コイルスプリング部２６４から連続している線材を、第１のプランジャー６２における接触片６８の外形に沿って這わせたと同様な形状を有し、その形状が接触片６８の外形にほぼ一致するようになされている。そのため、下側支持肩部２７３も備え、下側支持肩部２７３は、下側ハウジング１６の下側受け部１６Ｂに引っ掛かって、接触部２６８が不必要に第１支持孔１６Ａから突出しないようになっている。接触部２６８の先端部形状は、図１８に示すものに限定されず、図２０に例示するような他の形状を有していても良い。図２０（Ａ）は２点で接する先端部形状の例を示し、図２０（Ｂ）は直線状に接する先端部形状の例を示し、図２０（Ｃ１）及び図２０（Ｃ２）は線材が延長している平面から一部が食み出し、接触長さを長くした先端部形状の例を示している。
【００８９】
結合部２６６は、コイルスプリング部２６４の内部空間内で、２つのプランジャー２６３に挟持され、プランジャー部２６２と２つのプランジャー２６３とを電気的に結合する線材部分である。結合部２６６を構成する線材は、接触部２６８を構成する線材から連続している。２つのプランジャー２６３に挟持されるように、上述した平面上に線材を直線状若しくは曲線状に延長させて結合部２６６を形成させれば良く、線材が描く軌跡は限定されない。図２１は、結合部２６６の線材が描く軌跡の数例を示している。図２１（Ａ）は、接触部２６８から線材を僅かに引き出して結合部２６６とした例を示している。図２１（Ｂ）は、接触部２６８から線材を上方に波状に引き出して結合部２６６とした例を示している。図２１（Ｃ）は、接触部２６８から線材を上方に直線状に引き出して結合部２６６とした例を示している。図２１（Ｄ）は、接触部２６８から線材を上方に直線状に引き出し、その後、下方に直線状に折り返して結合部２６６とした例を示している。図２１（Ｂ）〜図２１（Ｄ）に示すような、接触部２６８の上方にある程度の長さを確保した結合部２６６の長さは、結合部２６６を挟持するプランジャー２６３の結合棒部２８０の長さ以下となるように選定されている。
【００９０】
コイルスプリング部２６４は、２つのプランジャー２６３を支持すると共に、圧縮時には、プランジャー２６３を上方に、自己から連続するプランジャー部２６２の接触部２６８を下方に付勢するものである。コイルスプリング部２６４は、上端部及び中間部が大径で下端部が小径に形成されている。上端部及び中間部の径は、プランジャー部２６２の結合部２６６と、それを挟み込む２つのプランジャー２６３の結合棒部２８０の作る断面形状が当接しない大きさ（図１６参照）に選定されている。コイルスプリング部２６４の上端の線材は、２つのプランジャー２６３の間に挟まれるように、上端部及び中間部を上方から見た場合の円形を２分する線（直径）上を延びている（図１６参照）。中間部が、伸縮するコイルスプリングとして機能する部分である。コイルスプリング部２６４における小径の下端部は密着小径部２８４となっている。密着小径部２８４が、プランジャー部２６２とそれを挟持した２つのプランジャー２６３となる部分を小径により締め付けて（図１７参照）、プランジャー部２６２及びプランジャー２６３を相互にスライド可能に支持する部分である。
【００９１】
第１の実施形態の電気的接触子２００では、コイルスプリング部２６４の下端部にだけ密着小径部２８４を設けたものであったが、コイルスプリング部２６４の上端部や中間部の一部などにも密着小径部を設けて、プランジャー部２６２及びプランジャー２６３を相互にスライド可能に支持する部分を増やし、より安定な支持を行うことができるようにしても良い。
【００９２】
以上のように構成された信号波形重視電気的接触子２０や第１の実施形態の電気的接触子は、次のようにして使用される。
【００９３】
まず、電気的接続装置１１に被検査体１２が装着される。このとき、被検査体１２は、ガイド板１９の受入凹部５３に装着される。すなわち、被検査体１２は、上側開口５３Ａの傾斜面５３Ｂに沿って位置決めされながら底板部５５に装着される。これにより、被検査体１２のバンプ電極１３が底板部５５のガイド孔５６に受け入れられる。また、信号波形重視電気的接触子２０の接触片７７の上端部や第１の実施形態の電気的接触子２００の接触片２７７の上端部は、縮小部５７に受け入れられている。
【００９４】
この状態で、被検査体１２が押し下げられると、各バンプ電極１３が、信号波形重視電気的接触子２０における２つの第２プランジャー６３の突起７７Ａや、第１の実施形態の電気的接触子２００における２つのプランジャー２６３の突起２７７Ａに接触して、各電気的接触子２０、２００が押し縮められる（例えば、図５の状態から図６の状態への変化参照）。
【００９５】
接触片７７、２７７の先端の突起７７Ａ、２７７Ａがバンプ電極１３に接触しようとするとき、突起７７Ａ、２７７Ａはバンプ電極１３の球面上を円周方向に滑ろうとして、互いに相離れる方向へ移動する力が働いてバンプ電極１３に確実に接触する。
【００９６】
信号波形重視電気的接触子２０が押し縮められた状態で、スライド可能に挟持された第１プランジャー６２及び第２プランジャー６３間は電気的に確実に接触される。また、第１の実施形態の電気的接触子２００が押し縮められた状態で、スライド可能に挟持されたプランジャー兼用コイルスプリング２０１のプランジャー部２６２と、プランジャー２６３との間は電気的に接触される。
【００９７】
ここで、２つの第２プランジャー６３や２つのプランジャー２６３はそれぞれ、独立してスライドするようになっているため、バンプ電極１３が変形している場合等、２つの第２プランジャー６３の突起７７Ａや２つのプランジャー２６３の突起２７７Ａへの接触部分の高さが違う場合でも、２つの第２プランジャー６３や２つのプランジャー２６３がその形状に追随してずれながら接触する。
【００９８】
これにより、２つの接触対象（配線基板１５のコンタクトパットとバンプ電極１３）間が信号波形重視電気的接触子２０や第１の実施形態の電気的接触子２００で電気的に接続される。この状態で、信号波形重視電気的接触子２０や第１の実施形態の電気的接触子２００を介して２つの接触対象間に電気的信号が伝送される。
【００９９】
信号波形重視電気的接触子２０においては、第１プランジャー６２及び第２プランジャー６３が共に平板状に形成され、面接触により電気的信号を授受する。一方、第１の実施形態の電気的接触子２００においては、プランジャー兼用コイルスプリング２０１のプランジャー部２６２は線材で形成され、プランジャー２６３が平板状に形成され、線接触により電気的信号を授受する。そのため、電気的信号の授受の観点からは、信号波形重視電気的接触子２０の方が第１の実施形態の電気的接触子２００より性能が高いということができる。
【０１００】
第１の実施形態の電気的接続装置１１が適用される検査装置において、被検査体１２から取り込む信号は、信号波形の形状のウェイトが大きい信号もあれば、信号波形より任意時点での論理（「１」か「０」）や定電圧値や定電流値にウェイトが大きい信号（デジタル信号など）もある。すなわち、２つの接触対象間の伝送に要求される精度に厳しい信号があれば、それよりも精度の要求が緩い信号もある。第１の実施形態の電気的接続装置１１では、前者の信号を伝送する箇所には信号波形重視電気的接触子２０を適用し、後者の信号を伝送する箇所には第１の実施形態の電気的接触子２００を適用している。
【０１０１】
第１の実施形態の電気的接触子２００によれば、以下の効果を奏することができる。
【０１０２】
第１の実施形態の電気的接触子２００によれば、プランジャー兼用コイルスプリングが１部材でプランジャーの機能とコイルスプリングの機能とを発揮するため、部品数を少なくできる。その結果、簡易な組立て工程や低廉化を期待できる。
【０１０３】
また、プランジャー兼用コイルスプリングにおける第１接触対象と接触する部分は、プランジャーに近似した外形形状を有しているので、接触対象との接触を良好なものとすることができる。上述したように、特許文献２に記載のコイルスプリングで接触対象と接触する技術では、螺旋線材の端部で接触対象と接触しているため、接触が悪いものとなっていた。
【０１０４】
さらに、第１の実施形態の電気的接触子２００によれば、当該電気的接触子２００におけるプランジャー２６３として、信号波形重視電気的接触子２０における第２プランジャー６３と同じ部材を適用することも可能であり、この点からも、安価にすることが可能である。
【０１０５】
さらにまた、第１の実施形態の電気的接触子２００によれば、長さが異なる第１の実施形態の電気的接触子２００を実現する場合において、プランジャー兼用コイルスプリング２０１の長さ（例えば、接触部の長さ）を変えることで対応可能であり、プランジャー２６３を、異なる長さの電気的接触子で共用することができる。また、プランジャー兼用コイルスプリング２０１の線材の径の選定により、２つのプランジャー２６３間の間隔を容易に選定することができる。
【０１０６】
また、第１の実施形態の電気的接触子２００によれば、第１接触対象との接触部分として、コイル線材を折り曲げて形成した接触部を適用するようにしているので、先端形状の自由度が高く、接触対象の形状などに応じた先端形状を適用することができる。
【０１０７】
第１の実施形態の電気的接続装置１１によれば、信号波形重視電気的接触子２０及び第１の実施形態の電気的接触子２００を測定時に流れる信号の性質等に応じて使い分けるようにしたので、信号波形をさほど重視していない箇所の２部材の接触対象間に電気的接触子２００を適用でき、各箇所に応じて、その箇所に適した品質な電気的接触子を適用することができる。その結果、第１の実施形態の電気的接続装置１１を安価なものとすることができる。
【０１０８】
（Ｂ）他の実施形態
上記第１の実施形態の説明においても種々変形実施形態に言及したが、さらに、以下に例示するような変形実施形態を挙げることができる。
【０１０９】
第１の実施形態の電気的接続装置１１では、信号波形重視電気的接触子２０及び第１の実施形態の電気的接触子２００を混在したものであったが、搭載している電気的接触子が全て第１の実施形態の電気的接触子２００であるように電気的接続装置を構成しても良いことは勿論である。
【０１１０】
上記では、第２プランジャー６３を２つ第１プランジャー６２を１つ設けた信号波形重視電気的接触子２０や、プランジャー２６３を２つプランジャー兼用コイルスプリング２０１におけるプランジャー部２６２が１つの第１の実施形態の電気的接触子２００を示したが、第１接触対象や第２接触対象に接続するプランジャーやプランジャー部がそれぞれ１つずつ設けるようにしても良い。この場合、コイルスプリング６４やプランジャー兼用コイルスプリング２０１の両端又は一端の密着小径部の径を、１つずつのプランジャーやプランジャー部を考慮して選定し、支持できるようにすれば良い。逆に、第１接触対象に接続するプランジャーが１つで第２接触対象に接続するプランジャー又はプランジャー部が２つであっても良い。コイル線材で２つのプランジャー部を構成する場合、接触部に相当する部分を上下方向に２重巻きするようにして構成すれば良い。
【０１１１】
本発明の電気的接触子は、配線基板や半導体集積回路等に備えられた電極などに接触される装置全般に用いることができる。また、本発明の電気的接続装置は、本発明の電気的接触子を少なくとも一部に用いた装置であり、装置の用途は検査装置に限定されるものではない。
【符号の説明】
【０１１２】
１１…電気的接続装置、１２…被検査体、１３…バンプ電極（第２接触対象）、１５…配線基板、１６…下側ハウジング、１７…上側ハウジング、１８…フレーム、１９…ガイド板、２０…信号波形重視電気的接触子、２２…配線基板のコンタクトパッド（第１接触対象）、６２…第１プランジャー、６３…第２プランジャー、６３…コイルスプリング、２００…第１の実施形態の電気的接触子、２０１…プランジャー兼用コイルスプリング、２６２…プランジャー部、２６３…プランジャー、２６４…コイルスプリング部、２６６…結合部、２６８…接触部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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