(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
接着シート上の板状部材に少なくとも２方向の張力方向に張力を付与して当該板状部材から形成される複数の片状体の相互間隔を広げる離間装置であって、
前記接着シートを保持する複数の保持手段を備え、
前記保持手段のうちの少なくとも１つは、一方の面と他方の面とから前記接着シートを挟み込む保持部材を備え、当該接着シートの面方向に平行な回転軸を中心として当該保持部材を回転駆動させ、当該保持部材に前記接着シートを巻き付けることで、当該接着シートに張力を付与可能に設けられていることを特徴とする離間装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、離間装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造工程において、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という場合がある）を所定の形状、所定のサイズに切断して複数の片状体としての半導体チップ（以下、単に「チップ」という場合がある）に個片化し、個片化した各チップの相互間隔を広げてからリードフレームや基板等の被搭載物上に搭載することが行われている。チップの相互間隔を広げる装置は、例えば、特許文献１に開示されており、例えば＋Ｘ軸方向、−Ｘ軸方向、＋Ｙ軸方向、−Ｙ軸方向の４方向の張力を接着シートに付与する構成となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−２２３１８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されたような従来の装置では、保持部材を移動させる構成上、当該保持部材の移動範囲を確保しておかなければならず、装置が大型化してしまうという不都合を生じる。
【０００５】
本発明の目的は、装置が大型化することを極力防止することができる離間装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の離間装置は、接着シート上の板状部材に少なくとも２方向の張力方向に張力を付与して当該板状部材から形成される複数の片状体の相互間隔を広げる離間装置であって、前記接着シートを保持する複数の保持手段を備え、前記保持手段のうちの少なくとも１つは、一方の面と他方の面とから前記接着シートを挟み込む保持部材を備え、当該接着シートの面方向に平行な回転軸を中心として当該保持部材を回転駆動させ、当該保持部材に前記接着シートを巻き付けることで、当該接着シートに張力を付与可能に設けられていることを特徴とする。
【０００７】
本発明の離間装置は、前記相互間隔が広げられる複数の片状体の面位置を所定の位置に維持可能な面位置維持手段を備えていることが好ましい。
【発明の効果】
【０００９】
以上のような本発明によれば、接着シートの面方向に平行な回転軸を中心として保持部材を回転駆動させて当該接着シートに張力を付与するため、保持部材の移動範囲を確保する必要がなく、装置が大型化することを極力防止することができる。
【００１０】
この際、面位置維持手段を設ければ、保持部材の回転駆動に伴って片状体の面位置が変化することを抑制することができるので、例えば、光センサや撮像手段等の測定手段で片状体の相互間隔を測定する場合、測定の値が実際の相互間隔とずれてしまうことを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】（Ａ）は本発明の一実施形態に係る離間装置の平面図。（Ｂ）は（Ａ）の側面図。
【図２】図１の離間装置の動作説明図。
【図３】本発明の変形例に係る離間装置の平面図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態において、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、各実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
【００１３】
図１において、離間装置１０は、接着シートＡＳ上の板状部材としての四角形のウエハＷＦに＋Ｘ軸方向、＋Ｙ軸方向、−Ｘ軸方向、−Ｙ軸方向（図２参照）の４方向の張力方向に張力を付与してウエハＷＦから形成される複数の片状体としてのチップＣＰの相互間隔を広げる離間装置であって、接着シートＡＳを保持する複数の保持手段２０と、相互間隔が広げられる複数のチップＣＰの面位置を所定の位置に維持可能な面位置維持手段３０と、チップＣＰの相互間隔を測定する光学センサやカメラ等の測定手段４０とを備えている。なお、保持手段２０および面位置維持手段３０は、中心点ＣＴを中心として前後左右に４体設けられている。また、ウエハＷＦは、切断刃や加圧水等のウエハ切断手段によりチップＣＰに個片化されているか、レーザ光や薬液等のウエハ脆弱化手段によりチップＣＰに個片化可能とされ、接着シートＡＳに仮着されて一体物ＷＫとされている。また、接着シートＡＳは、ウエハＷＦが貼付された被着体貼付領域ＡＷを囲む多角形の包囲領域ＡＣの各頂部ＡＰからそれぞれ接着シートＡＳの外縁方向に延びて、当該包囲領域ＡＣに対して各張力方向の合成方向に張力が付与されることを防止する不干渉切込ＣＵが形成され、包囲領域ＡＣの各辺からそれぞれ＋Ｘ軸方向、−Ｘ軸方向、＋Ｙ軸方向、−Ｙ軸方向に延びる引張領域ＡＬが形成されている。
【００１４】
各保持手段２０は、それぞれ１体の保持部材２１を備えている。各保持部材２１は、面位置維持手段３０に支持され、接着シートＡＳの面方向に平行な回転軸としての出力軸２２Ａで回転プレート２２Ｂを支持する駆動機器としての回動モータ２２と、回転プレート２２Ｂに支持され、その出力軸２３Ａで上把持部材２３Ｂを支持する駆動機器としての回動モータ２３と、回転プレート２２Ｂに支持され、そのスライダ２４Ａで下把持部材２４Ｂの一端側を支持する駆動機器としてのリニアモータ２４と、面位置維持手段３０に支持され、接着シートＡＳの面方向に平行な回転軸としての出力軸２５Ａで回転プレート２５Ｂを支持する駆動機器としての回動モータ２５と、回転プレート２５Ｂに支持され、その出力軸２６Ａで上押え部材２６Ｂを支持する駆動機器としての回動モータ２６と、回転プレート２５Ｂに支持され、そのスライダ２７Ａで下把持部材２４Ｂの他端側を支持する駆動機器としてのリニアモータ２７とを備えている。
【００１５】
面位置維持手段３０は、ベースプレート５０上に支持され、その出力軸３１Ａで回動モータ２２を支持する駆動機器としての直動モータ３１と、その出力軸３２Ａで回動モータ２５を支持する駆動機器としての直動モータ３２と、接着シートＡＳの上面の位置やチップＣＰの上面の位置を検知する光学センサや撮像手段等の面位置検出手段３３とを備えている。
【００１６】
以上の離間装置１０において、ウエハＷＦから形成される複数のチップＣＰの相互間隔を広げる手順を説明する。
先ず、各部材が初期位置で待機する図１中実線で示す離間装置１０に対し、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が一体物ＷＫを同図位置に搬送して位置決する。次いで、図２（Ａ）、（Ｂ）に示すように、各保持手段２０がそれぞれの回動モータ２３、２６および、リニアモータ２４、２７を駆動し、上把持部材２３Ｂを横倒した後、上押え部材２６Ｂで上把持部材２３Ｂを上から押さえ付け、下把持部材２４Ｂを上昇させて接着シートＡＳを上把持部材２３Ｂと下把持部材２４Ｂとで挟み込む。
【００１７】
次に、各保持手段２０がそれぞれの回動モータ２２、２５を駆動し、出力軸２２Ａ、２５Ａを中心として上把持部材２３Ｂと下把持部材２４Ｂとを同じ速度で回転駆動させることで、図２（Ｃ）に示すように、上把持部材２３Ｂと下把持部材２４Ｂとの周りに接着シートＡＳを巻き付け、引張領域ＡＬを＋Ｘ軸方向、−Ｘ軸方向、＋Ｙ軸方向、−Ｙ軸方向の４方向に移動させる。これにより、接着シートＡＳにおける包囲領域ＡＣに＋Ｘ軸方向、−Ｘ軸方向、＋Ｙ軸方向、−Ｙ軸方向の４方向に張力が付与され、チップＣＰの相互間隔が広がる。この際、不干渉切込ＣＵにより、各張力方向の合成方向の張力が包囲領域ＡＣに付与されることを極力抑制することができる。そして、最外周に位置するチップＣＰが所定の位置に達したこと、すなわち、個片化されて広がったウエハＷＦ（相互間隔が広げられたチップＣＰ群）における対向する２辺の所定の位置の幅が所定幅になったことを測定手段４０が検知すると、各保持手段２０がそれぞれの回動モータ２２、２５の駆動を停止する。
【００１８】
ここで、上把持部材２３Ｂと下把持部材２４Ｂとの周りに接着シートＡＳが巻き付くと、巻き付けられた接着シートＡＳの外径が変化し、チップＣＰ群の位置が測定手段４０に近付くため、測定手段４０での測定値が実際の相互間隔とずれてしまったり、接着シートＡＳ上のチップＣＰを保持して搬送し、リードフレームや基板等の被搭載物上に搭載する搬送装置やピックアップ装置等が当該チップＣＰにアクセスする位置がずれてしまったりする場合がある。そこで、図２（Ｃ）に示すように、面位置維持手段３０が面位置検出手段３３の検知結果を基に直動モータ３１、３２を駆動し、それらの出力軸３１Ａ、３２Ａを昇降させてチップＣＰの上面位置が所定の面位置からずれないように制御する。
【００１９】
その後、搬送装置やピックアップ装置等の図示しない搬送手段が各チップＣＰを保持して搬送し、被搭載物上に搭載する。その後、全てのチップＣＰの搬送が終了すると、各保持手段２０および各面位置維持手段３０が各駆動機器を駆動し、各構成部材を初期位置に復帰させた後、チップＣＰが取り外された一体物ＷＫを搬送手段が回収し、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００２０】
以上のような実施形態によれば、接着シートＡＳの面方向に平行な回転軸を中心として保持部材２１を回転駆動させることで、当該接着シートＡＳに張力を付与するため、保持部材２１の移動範囲を確保する必要がなく、装置が大型化することを極力防止することができる。
【００２１】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。
【００２２】
例えば、各保持手段２０は、図３に示すように、保持部材２１Ａを２体備えてもよい。各保持部材２１Ａは、回動モータ２２と、回転プレート２２Ｂに支持され、その出力軸２３Ａで上把持部材２３Ｂの略半分の長さの上把持部材２３Ｃを支持する回動モータ２３と、回転プレート２２Ｂに支持され、そのスライダ２４Ａで下把持部材２４Ｂの略半分の長さの図示しない下把持部材を支持するリニアモータ２４とを備えている。この場合、測定手段４０の測定結果を基に、各保持手段２０が保持部材２１Ａをそれぞれ個別に回転駆動させることで、接着シートＡＳにおける張力方向に直交する交差方向の領域ごとに異なる大きさの張力を付与し、チップＣＰの相互間隔を調整することができる。この場合、例えば、各回動モータ２２が同じ速度、同じ回転量で上、下把持部材２３Ｂ、２４Ｂに接着シートＡＳを巻き付けて各引張領域ＡＬに張力を付与しても、接着シートＡＳの材質や、チップＣＰに切断したときのカッタによる接着シートへの切込み深さ等によって、図３（Ａ）に示すように、各チップＣＰが理論上の位置に配置されない場合がある。このような場合、測定手段４０の測定結果を基に、各保持手段２０が回動モータ２２をそれぞれ個別に駆動し、保持部材２１Ａをそれぞれ個別に回転駆動させて調整動作を行う。これにより、図３（Ｂ）に示すように、各チップＣＰを理論上の位置に配置させることができる。なお、各チップＣＰの理論上の位置とは、個片化されて広げられたウエハＷＦの基準位置の幅から、広げられる前のウエハＷＦの基準位置の幅を差し引き、当該基準位置における複数のチップＣＰ間に形成された間隔ラインの数で割った値分ずつ各チップＣＰが均等に広げられたときの当該各チップＣＰの位置である。
【００２３】
保持手段２０は、２体や３体であってもよいし、５体以上であってもよい。
保持手段が２体の場合、一方の保持手段は、例えば駆動機器としてのチャックシリンダや直動モータ等で接着シートＡＳを保持するだけの構成とし、他方の保持手段２０は、上記の実施形態と同様に接着シートＡＳに張力を付与する構成を備え、例えば、＋Ｘ方向と−Ｘ方向との２方向や＋Ｙ方向と−Ｙ方向との２方向に張力を付与する構成としてもよい。なお、保持手段が３体以上の場合でも、いずれかの保持手段が接着シートＡＳを保持するだけとし、他の保持手段２０が上記の実施形態と同様に接着シートＡＳに張力を付与する構成とすることができる。
【００２４】
保持手段２０は、測定手段４０の測定結果から接着シートＡＳの張力を弱める必要がある場合、接着シートＡＳに張力を付与する回転方向の反対方向に回動モータ２２、２５を回転駆動させてもよい。
保持手段２０は、測定手段４０の測定結果から接着シートＡＳの張力を弱めたり強めたりする必要がある場合、引張領域ＡＬ毎に独立して回動モータ２２、２５を回転駆動させてもよい。
保持手段２０は、各回動モータ２２、２５を回転駆動させずに、各保持手段２０毎に保持部材２１、２１Ａを＋Ｘ軸方向、−Ｘ軸方向、＋Ｙ軸方向、−Ｙ軸方向の４方向に移動させた後、各保持手段２０が回動モータ２２、２５を回転駆動させてチップＣＰの相互間隔を調整してもよい。
保持手段２０は、例えば回転プレート２２Ｂに駆動機器としてのチャックシリンダを設けて接着シートＡＳを保持してもよく、上記実施形態のものに何ら限定されない。
【００２５】
面位置維持手段３０は、一体物ＷＫの上方や下方から接着シートＡＳの上面、下面の位置やチップＣＰの上面、下面の位置を検知してもよく、光学センサや撮像手段等の非接触型のセンサや、リミットスイッチや圧力センサ等の接触型のセンサ等でもよい。
測定手段４０は、なくてもよい。
【００２６】
ウエハＷＦに付与する張力の方向は、２方向や３方向でもよいし、５方向以上でもよく、当該方向の数に合わせて保持手段２０を設ければよい。
板状部材や片状体の形状は、例えば円形、楕円形、三角形や五角形以上の多角形等、その他の形状であってもよい。
【００２７】
また、本発明における接着シートＡＳの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や五角形以上の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよい。また、接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、さらには、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層または複層の中間層を有するものや、中間層のない単層または複層のものであってよい。また、板状部材としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができ、片状体は、それらが個片化されたものであればよい。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ等の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
【００２８】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、保持手段は、接着シートを保持する複数の保持手段を備え、そのうちの少なくとも１つは、一方の面と他方の面とから接着シートを挟み込む保持部材を備え、当該接着シートの面方向に平行な回転軸を中心として当該保持部材を回転駆動させることが可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００２９】
１０    離間装置
２０    保持手段
２１    保持部材
２２Ａ  出力軸（回転軸）
２５Ａ  出力軸（回転軸）
３０    面位置維持手段
ＡＳ    接着シート
ＷＦ    ウエハ（板状部材）
ＣＰ    チップ（片状体）
【図１】
0006427005.tif 000002
【図２】
0006427005.tif 000003
【図３】
0006427005.tif 000004