(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
原子化材料で作製された管状ターゲット体（４ａ、４ｂ）と、前記ターゲット体（４ａ、４ｂ）に結合可能であって陰極原子化システムに前記ターゲット体（４ａ、４ｂ）を結合するための２つの結合片（１０ａ、１０ｂ）とを、有する陰極原子化システムのためのターゲット（２ａ、２ｂ）であって、
−ここで、第１の結合片は、前記ターゲット体（４ａ、４ｂ）の第１端に結合可能であり、第２の結合片は、前記ターゲット体（４ａ、４ｂ）の第２端に結合可能であり、
少なくとも１つの結合片が、ターゲット体の末端において対応する円錐状開口に噛み合うように、設計されている円錐状外面を有しており、
各結合片（１０ａ、１０ｂ）を回転しないようにターゲット体（４ａ、４ｂ）に結合するために、少なくとも１つのロック手段（１２ａ−ｈ）が各結合片（１０ａ、１０ｂ）上に形成されており、少なくとも１つの突出部又は少なくとも１つのラッチングつまみを有する前記少なくとも１つのロック手段（１２ａ−ｈ）が各結合片（１０ａ、１０ｂ）と一体的に形成されていること、及び前記少なくとも１つのロック手段が、前記ターゲット体（４ａ、４ｂ）の端面上の少なくとも１つの凹部（１４ａ−ｈ）に噛み合うように、設計されていることを特徴とするターゲット。
【請求項２】
前記少なくとも１つのロック手段（１２ａ−ｈ）が、少なくとも１つの凹部を有するフランジとして形成されている請求項１に記載のターゲット。
【請求項３】
前記少なくとも１つのロック手段が、前記ターゲット体（４ａ、４ｂ）上の対応するラッチングレセプタクルに噛み合うように、設計されている、ラッチング要素を有している請求項１又は２に記載のターゲット。
【請求項４】
前記少なくとも１つのロック手段が、差込封鎖要素として、形成されている請求項１、２又は３に記載のターゲット。
【請求項５】
前記ターゲット体軸（Ａ）に対して垂直な結合軸を有する少なくとも１つの確保要素が、少なくとも１つの結合片について、備えられている請求項１〜４のいずれか１項に記載のターゲット。
【請求項６】
少なくとも１つの結合片（１０ａ、１０ｂ）が、接着結合又ははんだ付けによって、ターゲット体（４ａ、４ｂ）に一体的に結合されている請求項１〜５のいずれか１項に記載のターゲット。
【請求項７】
少なくとも１つの結合片（１０ａ、１０ｂ）が、その外周に少なくとも１つの溝（１６ａ−ｅ）を有している請求項１〜６のいずれか１項に記載のターゲット。
【請求項８】
導電性材料が、結合片（１０ａ、１０ｂ）とターゲット体（４ａ、４ｂ）との間に、配置されている請求項１〜７のいずれか１項に記載のターゲット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、管状ターゲット体を有する陰極原子化システムのためのターゲットに関する。
【背景技術】
【０００２】
引用文献１には、陰極原子化システムのための管状ターゲットが開示されている。一つの態様によれば、各事例において、バッキングチューブ又は結合チューブが、原子化材料で製造された管状ターゲット体の両端に、配置されている。ターゲットは、バッキングチューブによって、システムに組み込まれており、バッキングチューブは、ターゲット体から突き出している。一つの態様では、バッキングチューブは、ターゲット体の開口端に挿入されており、ねじによってしっかりと保持されている。このねじは、バッキングチューブのフランジを介して、ターゲット体の一端に、ねじ込まれている。別法では、ユニオンナットのための外側のねじ山がターゲット体に付されており、このユニオンナットにより、バッキングチューブのフランジを、ターゲット体の端面に押し付けることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】欧州特許第１２２５２４９Ｂ１号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の課題は、容易に確実に搭載することができる管状ターゲットを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この課題は、請求項１の特徴により、達成することができる。
【０００６】
従属請求項は、有利な態様に関する。
【０００７】
請求項１によれば、原子化材料で作製された管状ターゲット体と該管状ターゲット体に固定可能な２つの結合片を有する陰極原子化システムのためのターゲットが提供される。
結合片により、ターゲット体は、陰極原子化システムないしスパッタリングシステムに結合し又は固定することができる。第１の結合片は、ターゲット体の第１端に結合することができ、第２の結合片は、ターゲット体の第２端に結合することができる。結合片は、一つ又はそれ以上の部品から製造し又は構成することができ、これにより、ターゲット体の陰極原子化システムへの信頼し得る真空密結合を保証することができる。
【０００８】
各結合片は、個々の結合片が回転することのないように、結合片をターゲット体に締め付け又は固定するために、少なくとも１つのロック手段を有する。即ち、個々の結合片がターゲット体に結合された後は、管状ターゲットの長手軸の回りに個々の結合片が回転することは、少なくとも１つのロック手段によって、妨害され又は不可能とされる。換言すれば、少なくとも１つのロック手段は、個々の結合片がターゲット体のまわりを回転することを確実に防止する。ロック手段は、例えば、結合片がターゲット体上の最終の即ち動作位置に来たときにターゲット体上の対応する切り取り部に係合し又はラッチする突出部又はラッチング要素として、結合片上に形成してもよい。換言すれば、少なくとも１つのロック手段は、各結合片上に形成され、使用中に−即ち、システムにおけるターゲットの回転に際して−結合片に伝えられたトルクがターゲット体に信頼性良く伝えられることを確実にする。管状ターゲット体の長手軸のまわりの結合片の回転又は移動は、防止される。特許文献１では、結合チューブは、ねじによって、フランジによって又はユニオンナットによって、ターゲット体上に確保されている。これとは対照的に、本発明は、ロック手段が個々の結合片上に形成され、特に、結合片と一体に形成されているターゲットを提供する。即ち、本発明によれば、より少ない部品で構成されているターゲットが提供され、この結果、ターゲット体と結合片との間の確実な結合を損なうことなく、より簡単で、従って、時間節約的なターゲットの搭載が可能になる。
【０００９】
個々の結合片上のロック手段は、好適には、ターゲット体の外周上の少なくとも１つの凹部に噛み合うように設計される。例えば、少なくとも１つのロック手段は、個々の結合片上に、一つ若しくはそれ以上の突出部として又は一つ若しくはそれ以上のラッチングつまみとして、形成される。
【００１０】
特に好適には、少なくとも１つのロック手段が少なくとも１つの凹部、妨害物又は間隙を有するフランジとして形成される。これにより、フランジは、個々の結合片が挿入され又は押し込まれたときに、ターゲット体上の対応する凹部と噛み合う。例えば、ターゲット体の末端は、隆起を有し、これがフランジ上の対応する凹部と噛みあう。回転が防止された係止を提供するために、例えば、少なくとも２つ、３つ、４つ又は８つの凹部がフランジに備えられる。
【００１１】
一つの態様によれば、前記少なくとも１つのロック手段は、ターゲット体上の対応するラッチングレセプタクルに噛み合う要素として形成される。例えば、ロック手段は、スプリングピンとして又はスプリングで引っ張ったラッチングラグ（つまみ）として形成される。ここで、スプリングピン又はラッチングラグは、結合片がターゲット体中に挿入され最終位置に到達したときに、ターゲット体中の対応するレセプタクル又は窪みと噛み合う。
【００１２】
結合片は、再分離できるようにターゲット体に結合できることが好ましい。換言すると、ターゲット体の動作寿命の終わりに、結合片を、例えば、新しいターゲット体に挿入するために、ターゲット体から再び分離することができる。例えば、結合片とターゲット体との間に、差込封鎖が設けられている。換言すると、前記少なくとも１つのロック手段は、差込封鎖要素として、形成されている。例えば、対応する突出部又はつまみが結合片上に形成され、対応して、つまみと噛み合う長手方向の又は横方向の溝がターゲット体に形成されている。或いは、長手方向及び横方向の溝又は長手方向及び横方向の窪みが結合片に備えられており、ターゲット体上に形成された対応する突起又はつまみが、これに噛み合う。このようにして、結合片は、容易にそして確実に再分離可能なように、ターゲット体に結合される。
【００１３】
好適には、管状ターゲット体の軸に垂直な結合軸を有する少なくとも１つの確保要素が、少なくとも１つの結合片について、備えられている。例えば、少なくとも１つのねじ、リベット又は割りピンが備えられている。これらは、結合片及びターゲット体により、ターゲット体の軸に垂直に導かれており、回転することがないように、ターゲット体の結合片に結合している。
【００１４】
１つの態様によれば、少なくとも１つの結合片が、ターゲット体に一体的に結合されている。例えば、結合片は、ターゲット体に接着結合され又ははんだ付けされていて、これにより、部品間の電気的伝導結合が確立される。特に、はんだ付け又は接着結合は、部品間の結合をより安定的にする。ターゲットの動作寿命が終わった後に、部品間の結合を分離して、結合片を再使用することができる。例えば、ターゲットを加熱すると、接着剤が分解し又ははんだが液状化し、結合が切り離され、結合片がターゲット体から分離する。
【００１５】
好ましい態様によれば、原子化材料製の管状ターゲット体と、ターゲット体を陰極原子化システムに結合するための２つの結合片とを、有する陰極原子化システムのためのターゲットが提供される。第１の結合片は、ターゲット体の第１の末端にねじ込むことができ、第２の結合片は、ターゲット体の第２の末端にねじ込むことができる。例えば、結合片が外部ねじ山を有し、ターゲット体が対応する内部ねじ山を有するか、又は、結合片が内部ねじ山を有し、ターゲット体が対応する外部ねじ山を有する。更に、２つの結合片は、ターゲット体に一体的に結合されている。例えば、これらは、お互いに、接着結合され、はんだ付けされ、又は溶接されている。換言すれば、ねじ結合が、一体結合により追加的に確保されていて、この場合、上述のとおり、結合は、加熱により、再び、分離して、再利用のために、ターゲット体から結合片をねじ外すことができる。
【００１６】
１つの態様によれば、少なくとも１つの結合片は、その外周に少なくとも１つの窪みを有しており、その中にはんだ材料を導入して結合片をターゲット体に結合することができる。例えば、結合片に少なくとも１つの外周溝が備えられており、この中にはんだ板状小片又ははんだリングを載置した後、部品を一緒にし又はねじ止めすると、結合片がターゲット体に挿入され、次いで、ターゲット体が加熱されると、はんだが融解して、ターゲット体が結合片に結合される。このようにして、ターゲットの部品が、容易に、迅速にそして確実に、お互いに結合される。
【００１７】
好ましくは、黒鉛箔、銅メッシュ又は上述のような電導性接着剤若しくははんだ材料等の、電導性材料が、結合片とターゲット体との間に配列され、部品の電気的結合の信頼性を確実にする。
【００１８】
１つの態様によれば、少なくとも１つの結合片は円錐状外面を有し、これは、ターゲット体の一端で、対応する円錐状開口に噛み合うように設計されている。換言すれば、円錐状結合が、結合片とターゲット体との間に、形成され、この結合は、上述のように、ロック手段により、回転から追加的に守られている。
【００１９】
ターゲット体に結合している結合片は、管状ターゲット体の全長に亘って伸びていないのが好ましい。換言すると、結合片は、ターゲット体の個々の末端に挿入することができる。このようにして、結合片の外側を指向している末端に、陰極原子化システムに結合するために、更に、結合要素、例えば突起又はフランジ、を備えることができる。
【００２０】
本発明の実施態様を、図を参照しながら、更に詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】図１は、第１の態様による管状ターゲットの軸方向平面図である。
【図２】図２は、図１に示したターゲットの横断面図である。
【図３】図３は、第２の態様による管状ターゲットの軸方向平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
図１は、第１の態様による管状ターゲット２ａの長手方向軸Ａの方向の平面図である。ターゲット２ａは、陰極原子化システムで使用するように設計されていて、原子化材料製の管状ターゲット体４ａを有している。ターゲット２ａの両端は、同一の又は寸分違わない形状を有しており、従って、明確化のために、図では、ターゲット２ａの又はターゲット４ａの一端のみを示す。管状結合片１０ａは、それぞれの場合において、ターゲット体４ａの開口端に挿入されている。ターゲット２ａは、結合片１０ａにより、陰極原子化システムに結合することができる。使用中、ターゲット２ａは、例えば中空ターゲット２ａの内部空間に配置された冷却装置及び磁気装置を備えた、システムの真空チャンバーに、設置することができる。結合片１０ａは、ターゲット２ａと系との間の気密結合を保証する。
【００２３】
ターゲット体４ａは、結合片１０ａを同心円的に包囲しており、結合片１０ａは、ターゲット体４ａ（図２）から突き出して、ターゲット２ａをシステムに接続している。結合片１０ａは、それぞれの場合において、ターゲット体４ａの端部に押し込まれており、例えば、フランジ又はシステムに結び付けるための他の突出要素が、結合片１０ａの外側の、即ち露出した、端部に形成される。
【００２４】
図２は、図１に示された管状ターゲット２ａの端部の、線Ｄ−Ｄに沿った横方向断面図を示す。示されている結合片１０ａは、ターゲット２ａの他端に配置された第２の結合片（図示せず）に対応する。結合片１０ａは、半径方向に、フランジ要素１２ａ−ｄ、即ち突出部、を有し、これらは、ターゲット体４ａの他端面上の対応する切り込み１４ａ−ｄ、即ち窪み、に噛み合うように設計されている。フランジ要素１２ａ−ｄ及び切り込み１４ａ−ｄは、押し込まれた結合片１０ａを、ターゲット体４ａのまわりに回らないように、確保している。言い換えると、フランジ要素１２ａ−ｄは、ターゲット体４ａ上に、結合片１０ａを回転しないように固定している。
【００２５】
複数の外周溝１６ａ−ｅが、ターゲット体４ａに押し込まれた結合片１０ａの外周に亘って設けられている。ターゲット体４ａへの挿入の前に、はんだ材料が溝１６ａ−ｅに、例えばはんだ線又ははんだ板状小片の形で、導入される。挿入後、ターゲット２ａ又はターゲット２ａの端部領域が熱せられ、導入されたはんだ材料が融解して、気密な電導性の結合が結合片１０ａとターゲット体４ａとの間に、確立される。
【００２６】
ターゲット体４ａは、受容用開口を有しており、この開口に結合片１０ａが押し込まれる。ターゲット体上の内部の窪み６は、押し込まれた結合片１０ａの深さ止めとして機能する。ターゲット体４ａの内径Ａ及び結合片１０ａの内径Ｃは、同一か又は実質的に同一であり、従って、これら２つの部品間に段差のない平坦な推移が可能になる。封止リング８は、窪み６の中に配置され、上述のはんだ付けに加えて、結合片１０ａとターゲット体４ａとの間の気密結合を確実にする。或いは、封止リング８は、備えられていなくてもよい。
【００２７】
図３は、第２の態様によるターゲット体２ｂの平面図である。特に言及しなければ、ターゲット２ｂの要素及び機能は、ターゲット２ａの第１の態様について上述した要素及び機能に対応する。第１の態様とは対照的に、結合片１０ｂは、より幅の広いフランジ要素１２ｅ−ｈを備えており、対応して、ターゲット体４ｂには、より幅の広い切り込み１４ｅ−ｈが備えられている。より幅の広いフランジ要素１２ｅ−ｈは、例えば、陰極原子化システムにおけるターゲット２ｂの、動作中におけるせん断ストレス又は回転に対して、より回復力に富む。或いは、結合片とターゲット体との間の回転が防止された結合を確立するためには、例えば、ただ１つのフランジ要素が備えられていてもよく、複数のフランジ要素が備えられていてもよい。
【符号の説明】
【００２８】
２ａ−ｂ    管状ターゲット
４ａ−ｂ    ターゲット体
６          窪み
８          封止リング
１０ａ−ｂ  結合片
１２ａ−ｈ  フランジ要素
１４ａ−ｈ  切り込み
１６ａ−ｅ  外周溝
Ａ          ターゲット軸
Ｂ          ターゲット体の内径
Ｃ          結合片の内径
【図１】
0006341917.tif 000002
【図２】
0006341917.tif 000003
【図３】
0006341917.tif 000004