(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１液体流路が開口され、当該第１液体流路から液体が流入する第１空間と、
前記第１空間とは反対側の底面に複数の第２液体流路が開口され、当該第２液体流路から液体が流出する第２空間と、
前記第１空間と前記第２空間との間に設けられて、通過する液体を濾過するフィルターと、
前記第２空間の底面から前記フィルター側に向けて突出した支持突起と、
を備え、
前記支持突起は、点状の突起であり、
前記第２空間の底面には、第２液体流路毎に前記フィルター側から前記第２液体流路の開口に向けて縮径した凹室が形成され、
各凹室は、隣り合う第２液体流路の開口間において前記底面から前記フィルター側に向けて隆起した尾根により区画されると共に、前記尾根と前記フィルターとの間の隙間により連通していることを特徴とする流路部材。
【請求項２】
前記第２液体流路の前記第２空間への開口位置は、前記第１液体流路の前記第１空間への開口位置に対して、フィルターに平行な面の面内方向に偏心していることを特徴とする請求項１に記載の流路部材。
【請求項３】
前記支持突起の先端部と前記フィルターとを固定したことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の流路部材。
【請求項４】
前記支持突起の先端部には、熱可塑性を有する溶着部を備え、
前記溶着部の溶着により前記支持突起の先端部と前記フィルターとが固定されたことを特徴とする請求項３に記載の流路部材。
【請求項５】
前記支持突起は、前記フィルターの長手方向における少なくとも２つの第２液体流路の開口中心間に挟まれた領域内に設けられていることを特徴とする請求項１から請求項４の何れか一項に記載の流路部材。
【請求項６】
第１液体流路が開口され、当該第１液体流路から液体が流入する第１空間と、
前記第１空間とは反対側の底面に複数の第２液体流路が開口され、当該第２液体流路から液体が流出する第２空間と、
前記第１空間と前記第２空間との間に設けられて、通過する液体を濾過するフィルターと、
前記第２空間の底面から前記フィルター側に向けて突出した支持突起と、
を備え、
前記支持突起は、点状の突起であり、
前記第２空間は、少なくとも３つ以上の第２液体流路を備え、
前記支持突起は、少なくとも前記複数の第２液体流路の開口中心に囲まれた領域内に設けられていることを特徴とする請求項５に記載の流路部材。
【請求項７】
前記支持突起は、前記領域内に複数設けられていることを特徴とする請求項５又は請求項６に記載の流路部材。
【請求項８】
前記フィルターは、第２空間の開口縁に固定され、
前記支持突起は、前記第２空間における前記領域の外側に設けられ、
少なくともこの領域の外側に設けられた支持突起は、前記フィルターが固定された領域における当該フィルターの前記第２空間側の面よりも前記第１空間側に突出していることを特徴とする請求項５から請求項７の何れか一項に記載の流路部材。
【請求項９】
請求項１から請求項８の何れか一項に記載の流路部材を備えたことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項１０】
請求項９に記載のインクジェットヘッドを備えたことを特徴とするインクジェットプリンター。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体に含まれる異物等を除去するフィルターを有する流路部材、流路部材を備えたインクジェットヘッド及びインクジェットプリンターに関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットプリンターはパーマネントヘッドを備え、このパーマネントヘッドから各種の液体を噴射（吐出）する装置である。インクジェットプリンター（ｉｎｋ  ｊｅｔ  ｐｒｉｎｔｅｒ）とは、非衝撃式印字装置であって、文字が用紙上にインクの粒子又は小滴の噴射によって形成されるものである（ＪＩＳ  Ｘ００１２−１９９０）。複数の点で表現される文字や画像を印字するプリンターであるドットプリンターの一形態であり、インクの粒子又は小滴の噴射によって形成される複数の点で表現される文字や画像を印字する。また、パーマネントヘッド（ｐｅｒｍａｎｅｎｔ  ｈｅａｄ）とは、インクの液滴を連続的又は断続的に生成する、プリンター本体の機械部又は電気部である（以下、「インクジェットヘッド」（Ｉｎｋｊｅｔ‐ｈｅａｄ）という）（ＪＩＳ  Ｚ８１２３−１：２０１３）。このインクジェットプリンターは、画像記録装置として使用されるほか、ごく少量の液体を所定位置に正確に着弾させることができるという特長を活かして各種の製造装置にも応用されている。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターを製造するディスプレイ製造装置、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレイやＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極形成装置、バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置に応用されている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは液状のインクを噴射し、ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドではＲ（Ｒｅｄ）・Ｇ（Ｇｒｅｅｎ）・Ｂ（Ｂｌｕｅ）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは生体有機物の溶液を噴射する。
【０００３】
上記のインクジェットヘッドは、液体の一種であるインクが充填されたインクカートリッジから流路部材内の液体流路を介して圧力室にインクを取り込み、圧電素子（アクチュエーターの一種）の駆動により圧力室内のインクに圧力変動を生じさせることで、ノズルからインク滴を噴射させている。また、流路部材は、インクに含まれる気泡や異物等を除去するために、液体流路の途中にフィルターを設けたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−１０１５７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このようなフィルターを備えた流路部材では、流れるインクの圧力によりフィルターが下流側に変形することがあった。特に、粘度が比較的高い溶剤インク等がフィルターを通過する場合、フィルターが下流側に変形し易い。そして、フィルターが下流側に変形して下流側の液体流路の壁面、例えばフィルターが配置されるフィルター室の底面等に接触すると、フィルターの有効面積が減少して圧力損失が増大してしまう。これにより、下流側の液体流路の背圧が減少し、ノズルに形成されたインクのメニスカスが破壊されてしまう虞があった。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的はフィルターによる圧力損失を抑制した流路部材、流路部材を備えたインクジェットヘッド及びインクジェットプリンターを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の流路部材は、上記目的を達成するために提案されたものであり、第１液体流路が開口され、当該第１液体流路から液体が流入する第１空間と、
前記第１空間とは反対側の底面に第２液体流路が開口され、当該第２液体流路から液体が流出する第２空間と、
前記第１空間と前記第２空間との間に設けられて、通過する液体を濾過するフィルターと、
前記第２空間の底面から前記フィルター側に向けて突出した支持突起と、
を備え、
前記支持突起は、点状の突起であることを特徴とする。
【０００８】
本発明によれば、流れる液体の圧力によってフィルターが底面側に押圧された場合でも、このフィルターが底面に貼り付くことを抑制できる。これにより、フィルターの有効面積（実行濾過面積）が減少することを抑制できる。また、フィルターと底面との間隔を狭くすることができ、流路部材の低背化を実現できる。また、支持突起を点状に形成したので、第２空間に混入した気泡が支持突起に引っかかり難くなる。これにより、気泡の排出性を向上させることができる。
【０００９】
上記構成において、前記第２液体流路の前記第２空間への開口位置は、前記第１液体流路の前記第１空間への開口位置に対して、フィルターに平行な面の面内方向に偏心していることが望ましい。
【００１０】
この構成によれば、第１液体流路の開口と第２液体流路の開口とを対称に対向配置する必要が無いため、設計の自由度が増す。また、第２液体流路の開口と第１液体流路の開口とをフィルターを挟んで対称に対向配置した場合と比較して、第１液体流路の開口から流入した液体が分散してフィルターを通過し易いので、フィルターの有効面積を増やすことができる。
【００１１】
上記各構成において、前記支持突起の先端部と前記フィルターとを固定することが望ましい。
【００１２】
この構成によれば、支持突起の先端部とフィルターとが擦れることによる異物の発生を防止できる。
【００１３】
また、上記構成において、前記支持突起の先端部には、熱可塑性を有する溶着部を備え、
前記溶着部の溶着により前記支持突起の先端部と前記フィルターとを固定することが望ましい。
【００１４】
この構成によれば、支持突起の先端部とフィルターとを容易に固定できる。
【００１５】
さらに、上記各構成において、前記第２空間は、複数の第２液体流路を備え、
前記支持突起は、前記フィルターの長手方向における少なくとも２つの第２液体流路の開口中心間に挟まれた領域内に設けられていることが望ましい。
【００１６】
この構成によれば、複数の第２液体流路に対応してそれぞれ第２空間及びフィルターを設ける必要が無いため、部品点数を減らすことができる。また、第２液体流路毎にフィルターを固定する領域やこの第２液体流路を区画する壁部等を設ける必要が無いため、流路部材を小型化することができる。また、支持突起が第２液体流路の開口中心間に挟まれた領域内に設けられるため、フィルターの撓みによる底面への貼り付きをより確実に抑制することができる。
【００１７】
また、上記構成において、前記第２空間は、少なくとも３つ以上の第２液体流路を備え、
前記支持突起は、少なくとも前記複数の第２液体流路の開口中心に囲まれた領域内に設けられていることが望ましい。
【００１８】
この構成によれば、フィルターの撓みによる底面への貼り付きを更に確実に抑制することができる。
【００１９】
さらに、上記各構成において、前記第２空間の底面には、第２液体流路毎に前記フィルター側から前記第２液体流路の開口に向けて縮径した凹室が形成され、
各凹室は、隣り合う第２液体流路の開口間において前記底面から前記フィルター側に向けて隆起した尾根により区画されると共に、前記尾根と前記フィルターとの間の隙間により連通していることが望ましい。
【００２０】
この構成によれば、尾根とフィルターとの間に隙間が設けられているため、フィルターの有効面積が減少することを抑制できる。また、尾根の傾斜により流速を速めることができ、気泡排出性を向上させることができる。
【００２１】
また、上記各構成において、前記支持突起は、前記領域内に複数設けられていることが望ましい。
【００２２】
この構成によれば、フィルターの撓みによる底面への貼り付きを一層確実に抑制することができる。
【００２３】
さらに、上記各構成において、前記フィルターは、第２空間の開口縁に固定され、
前記支持突起は、前記第２空間における前記領域の外側に設けられ、
少なくともこの領域の外側に設けられた支持突起は、前記フィルターが固定された領域における当該フィルターの前記第２空間側の面よりも前記第１空間側に突出していることが望ましい。
【００２４】
この構成によれば、フィルターの撓みによる底面への貼り付きをより確実に抑制することができる。
【００２５】
そして、本発明のインクジェットヘッドは、上記各構成の流路部材を備えたことを特徴とする。
【００２６】
また、本発明のインクジェットプリンターは、上記構成のインクジェットヘッドを備えたことを特徴とする。
また、上記目的を達成するために提案される本発明の流路部材は、以下の構成を備えたものであってもよい。
すなわち、第１液体流路が開口され、当該第１液体流路から液体が流入する第１空間と、
前記第１空間とは反対側の底面に複数の第２液体流路が開口され、当該第２液体流路から液体が流出する第２空間と、
前記第１空間と前記第２空間との間に設けられて、通過する液体を濾過するフィルターと、
前記第２空間の底面から前記フィルター側に向けて突出した支持突起と、
を備え、
前記支持突起は、点状の突起であり、
前記第２空間の底面には、第２液体流路毎に前記フィルター側から前記第２液体流路の開口に向けて縮径した凹室が形成され、
各凹室は、隣り合う第２液体流路の開口間において前記底面から前記フィルター側に向けて隆起した尾根により区画されると共に、前記尾根と前記フィルターとの間の隙間により連通していることを特徴とする。
本発明によれば、流れる液体の圧力によってフィルターが底面側に押圧された場合でも、このフィルターが底面に貼り付くことを抑制できる。これにより、フィルターの有効面積（実行濾過面積）が減少することを抑制できる。また、フィルターと底面との間隔を狭くすることができ、流路部材の低背化を実現できる。また、支持突起を点状に形成したので、第２空間に混入した気泡が支持突起に引っかかり難くなる。これにより、気泡の排出性を向上させることができる。また、尾根とフィルターとの間に隙間が設けられているため、フィルターの有効面積が減少することを抑制できる。また、尾根の傾斜により流速を速めることができ、気泡排出性を向上させることができる。さらに、複数の第２液体流路に対応してそれぞれ第２空間及びフィルターを設ける必要が無いため、部品点数を減らすことができる。また、第２液体流路毎にフィルターを固定する領域やこの第２液体流路を区画する壁部等を設ける必要が無いため、流路部材を小型化することができる。
上記構成において、前記第２液体流路の前記第２空間への開口位置は、前記第１液体流路の前記第１空間への開口位置に対して、フィルターに平行な面の面内方向に偏心していることが望ましい。
当該構成によれば、この構成によれば、第１液体流路の開口と第２液体流路の開口とを対称に対向配置する必要が無いため、設計の自由度が増す。また、第２液体流路の開口と第１液体流路の開口とをフィルターを挟んで対称に対向配置した場合と比較して、第１液体流路の開口から流入した液体が分散してフィルターを通過し易いので、フィルターの有効面積を増やすことができる。
上記各構成において、前記支持突起の先端部と前記フィルターとを固定することが望ましい。
この構成によれば、支持突起の先端部とフィルターとが擦れることによる異物の発生を防止できる。
また、上記構成において、前記支持突起の先端部には、熱可塑性を有する溶着部を備え、
前記溶着部の溶着により前記支持突起の先端部と前記フィルターとを固定することが望ましい。
この構成によれば、支持突起の先端部とフィルターとを容易に固定できる。
さらに、上記各構成において、前記支持突起は、前記フィルターの長手方向における少なくとも２つの第２液体流路の開口中心間に挟まれた領域内に設けられていることが望ましい。
この構成によれば、支持突起が第２液体流路の開口中心間に挟まれた領域内に設けられるため、フィルターの撓みによる底面への貼り付きをより確実に抑制することができる。
また、本発明の流路部材は、第１液体流路が開口され、当該第１液体流路から液体が流入する第１空間と、
前記第１空間とは反対側の底面に複数の第２液体流路が開口され、当該第２液体流路から液体が流出する第２空間と、
前記第１空間と前記第２空間との間に設けられて、通過する液体を濾過するフィルターと、
前記第２空間の底面から前記フィルター側に向けて突出した支持突起と、
を備え、
前記支持突起は、点状の突起であり、
前記第２空間は、少なくとも３つ以上の第２液体流路を備え、
前記支持突起は、少なくとも前記複数の第２液体流路の開口中心に囲まれた領域内に設けられていることを特徴とする。
本発明によれば、流れる液体の圧力によってフィルターが底面側に押圧された場合でも、このフィルターが底面に貼り付くことを抑制できる。これにより、フィルターの有効面積（実行濾過面積）が減少することを抑制できる。また、フィルターと底面との間隔を狭くすることができ、流路部材の低背化を実現できる。また、支持突起を点状に形成したので、第２空間に混入した気泡が支持突起に引っかかり難くなる。これにより、気泡の排出性を向上させることができる。
また、上記各構成において、前記支持突起は、前記領域内に複数設けられていることが望ましい。
この構成によれば、フィルターの撓みによる底面への貼り付きを一層確実に抑制することができる。
さらに、上記各構成において、前記フィルターは、第２空間の開口縁に固定され、
前記支持突起は、前記第２空間における前記領域の外側に設けられ、
少なくともこの領域の外側に設けられた支持突起は、前記フィルターが固定された領域における当該フィルターの前記第２空間側の面よりも前記第１空間側に突出していることが望ましい。
この構成によれば、フィルターの撓みによる底面への貼り付きをより確実に抑制することができる。
そして、本発明のインクジェットヘッドは、上記各構成の流路部材を備えたことを特徴とする。
また、本発明のインクジェットプリンターは、上記構成のインクジェットヘッドを備えたことを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】プリンターの斜視図である。
【図２】第１ヘッド本体の分解斜視図である。
【図３】第１ヘッド本体の平面図である。
【図４】第１ヘッド本体の断面図である。
【図５】第２ヘッド本体の平面図である。
【図６】記録ヘッドの分解斜視図である。
【図７】記録ヘッドの断面図である。
【図８】記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。
【図９】第１実施形態におけるフィルター室の平面図である。
【図１０】第１実施形態におけるフィルター室の断面図である。
【図１１】第１実施形態におけるフィルター室の断面図である。
【図１２】従来のフィルター室の断面図である。
【図１３】第１実施形態におけるフィルターと支持突起との固定を説明する要部を拡大した断面図である。
【図１４】第１実施形態の第１変形例におけるフィルターと支持突起との固定を説明する要部を拡大した断面図である。
【図１５】第１実施形態の第２変形例におけるフィルター室の平面図である。
【図１６】第２実施形態におけるフィルター室の平面図である。
【図１７】第２実施形態の変形例におけるフィルター室の平面図である。
【図１８】第３実施形態におけるフィルター室の平面図である。
【図１９】第３実施形態の変形例におけるフィルター室の平面図である。
【図２０】第４実施形態におけるフィルター室の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下においては、本発明のインクジェットプリンターとして、インクジェット式画像記録装置（以下、プリンターＩ）を例に挙げて説明する。
【００２９】
まず、本実施形態におけるプリンターＩの構成について、図１を参照して説明する。プリンターＩは、記録紙等の記録媒体Ｓの表面に対し、液体状のインクを噴射して画像等の記録を行う装置である。このプリンターＩは、インクジェットヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッド１）を備え、この記録ヘッド１が取り付けられるキャリッジ３、キャリッジ３を主走査方向に移動させるキャリッジ移動機構を備えている。また、プリンターＩは、記録媒体Ｓを副走査方向に移送する機構として、例えば、プラテンローラー８を備えている。この移送機構としては、プラテンローラー８のほか、ドラム等を用いてもよい。ここで、上記のインクは、本発明の液体の一種であり、液体供給源としてのインクカートリッジ１Ａに貯留されている。このインクカートリッジ１Ａは、記録ヘッド１に対して着脱可能に装着される。なお、インクカートリッジ１Ａがプリンター本体４側に配置され、当該インクカートリッジ１Ａからインク供給チューブを通じて記録ヘッド１に供給される構成を採用することもできる。
【００３０】
上記のキャリッジ移動機構は、タイミングベルト７を備えている。そして、このタイミングベルト７はＤＣモーター等のパルスモーター６により駆動される。従ってパルスモーター６が作動すると、キャリッジ３は、プリンター本体４に架設されたガイドロッド５に案内されて、主走査方向に往復移動する。
【００３１】
次に、記録ヘッド１内に設けられたヘッド本体２について説明する。図２は、ヘッド本体２の一例である第１ヘッド本体２Ａの分解斜視図である。また、図３は、第１ヘッド本体２Ａの平面図であり、図４は、図３におけるＡ−Ａ′線断面図である。なお、各図には、ノズル列方向を第１の方向Ｘ、このノズル列が並設された方向（ノズル列に直交する方向）を第２の方向Ｙ、各部材の積層方向又はインク滴の噴射方向を第３の方向Ｚとして、各方向（Ｘ、Ｙ、Ｚ）の関係を記載している。本実施形態では、これら各方向（Ｘ、Ｙ、Ｚ）が直交しているが、各構成の配置関係は必ずしも直交するものに限定されない。
【００３２】
第１ヘッド本体２Ａは、図４に示すように、ヘッドチップ１１とケース部材４０とを備えている。ヘッドチップ１１は、流路形成基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０、保護基板３０、コンプライアンス基板４５等の複数の部材が積層されて成る。
【００３３】
流路形成基板１０は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）やニッケル（Ｎｉ）などの金属、ＺｒＯ２あるいはＡｌ２Ｏ３を代表とするセラミック材料、ガラスセラミック材料、ＭｇＯ、ＬａＡｌＯ３のような酸化物などから構成される。本実施形態では、流路形成基板１０は、シリコン単結晶基板からなる。この流路形成基板１０には、一側（ケース部材４０とは反対側）の面から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室１２が第１の方向Ｘに沿って複数列設されている。この圧力発生室１２の列は、第２の方向Ｙに沿って２列並設されている。本実施形態の圧力発生室１２は、第２の方向Ｙに長尺な空部であり、ノズル２１毎に形成されている。
【００３４】
流路形成基板１０の一側の面には、連通板１５が積層されている。本実施形態の連通板１５は、（Ｘ、Ｙ）面において、すなわち平面視において、流路形成基板１０よりも大きな面積を有している。この連通板１５には、圧力発生室１２とノズル２１とを連通するノズル連通路１６がノズル２１毎に設けられている。このように連通板１５を設けることによってノズル２１と圧力発生室１２との距離を離すことができる。これにより、ノズル２１近傍のインク中に含まれる水分が蒸発することによって、当該ノズル２１近傍のインクが増粘したとしても、この増粘の影響が圧力発生室１２中のインクに影響を与えることを抑制することができる。
【００３５】
また、連通板１５には、図４に示すように、マニホールド１００の一部を構成する第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８が形成されている。第１マニホールド部１７は、連通板１５を厚さ方向（第３の方向Ｚ）に貫通して設けられている。一方、第２マニホールド部１８は、連通板１５を厚さ方向に貫通することなく、流路形成基板１０側に薄肉部を残す形でノズルプレート２０側に開口して設けられている。さらに、連通板１５には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一側（ノズル連通路１６とは反対側）に連通する供給連通路１９が、圧力発生室１２毎に独立して設けられている。この供給連通路１９によって、第２マニホールド部１８と圧力発生室１２とが連通する。すなわち、本実施形態では、各ノズル２１に対応する個別流路として供給連通路１９、圧力発生室１２及びノズル連通路１６が形成されている。
【００３６】
このような連通板１５としては、ステンレス鋼（ＳＵＳ）やニッケル（Ｎｉ）などの金属、または、ジルコニウム（Ｚｒ）などのセラミックス等を用いることができる。なお、連通板１５は、流路形成基板１０と線膨張係数が同等の材料が好ましい。すなわち、連通板１５として流路形成基板１０と線膨張係数が大きく異なる材料を用いた場合、加熱や冷却されることで、流路形成基板１０と連通板１５との線膨張係数の違いにより反りが生じてしまう。本実施形態では、連通板１５として流路形成基板１０と同じ材料、すなわち、シリコン単結晶基板を用いることで、熱による反りや熱によるクラック、剥離等の発生を抑制している。
【００３７】
連通板１５の流路形成基板１０とは反対側の面には、ノズルプレート２０が積層されている。このノズルプレート２０には、ドット形成密度に対応したピッチで複数のノズル２１が第１の方向Ｘに沿って列状に開設されている。本実施形態では、３６０ｄｐｉに対応するピッチで３６０個のノズル２１を列設することでノズル列（ノズル群の一種）が構成されている。このノズル２１は、各圧力発生室１２とノズル連通路１６を介して連通する。すなわち、同じ種類の液体（インク）を噴射するノズル２１が第１の方向Ｘに並設され、この第１の方向Ｘに並設されたノズル列が第２の方向Ｙに２列形成されている。
【００３８】
本実施形態のノズルプレート２０は、平面視において、流路形成基板１０及び連通板１５よりも小さな面積を有している。具体的には、ノズルプレート２０の第２の方向Ｙにおける寸法が、ノズル連通路１６とノズル２１とを液密状態で連通させ得る接合代が確保できる限り、可及的に小さく設定されている。これにより、ノズルプレート２０を小型化することができ、コストの削減を図ることができる。なお、本実施形態では、ノズルプレート２０のノズル２１が開口されて、インク滴が吐出される面を液体噴射面２０ａと称する。
【００３９】
このようなノズルプレート２０としては、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属、ポリイミド樹脂のような有機物、又はシリコン単結晶基板等を用いることができる。なお、ノズルプレート２０として連通板１５と同じ材料、すなわち、シリコン単結晶基板を用いることで、ノズルプレート２０と連通板１５との線膨張係数を同等にすることができ、加熱や冷却されることによる反りや熱によるクラック、剥離等の発生を抑制することができる。
【００４０】
また、連通板１５の流路形成基板１０とは反対側の面であって、第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８が開口する面には、コンプライアンス基板４５が設けられている。このコンプライアンス基板４５は、平面視において連通板１５と略同じ大きさで形成されており、コンプライアンス基板４５の内側にノズルプレート２０が露出可能な大きさの第１露出開口部４５ａが開口している。本実施形態のコンプライアンス基板４５は、封止膜４６と、固定基板４７とが積層されて成る。封止膜４６は、可撓性を有するフィルム状の薄膜（例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）等により形成された厚さが２０μｍ以下の薄膜）からなり、固定基板４７は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属からなる硬質な材料で形成される。この固定基板４７のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４８となっているため、マニホールド１００の一方面（下面）は可撓性を有する封止膜４６のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部４９となる。本実施形態では、２つのマニホールド１００に対応して、ノズルプレート２０を挟んで第２の方向Ｙの両側に２つのコンプライアンス部４９が形成されている。
【００４１】
流路形成基板１０の連通板１５とは反対側には、振動板５０が積層されている。本実施形態の振動板５０は、流路形成基板１０側に設けられた酸化シリコンからなる弾性膜５１と、弾性膜５１上に設けられた酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５２と、を備えている。流路形成基板１０に形成された圧力発生室１２の他方面（圧電素子１３０側の面）は、この振動板５０によって画成されている。そして、この圧力発生室１２を画成する振動板５０は、後述する圧電素子１３０の変形に応じて上下に変位する。これにより、圧力発生室１２の容積を変動させることができる。
【００４２】
振動板５０の絶縁体膜５２上には、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０が、この順に積層されたアクチュエーター（圧力発生手段）の一種である圧電素子１３０が形成されている。一般的には、圧電素子１３０の何れか一方の電極を複数の圧力発生室１２に亘って連続して設けられた共通電極とし、他方の電極を圧力発生室１２毎に設けられた個別電極とする。すなわち、個別電極及び圧電体層７０は、圧力発生室１２毎にパターニングされている。そして、両電極６０、８０に挟まれた圧電体層７０の部分が、電圧の印加により圧電歪みが生じる能動部となる。本実施形態では、第１電極６０を共通電極とし、第２電極８０を個別電極としている。このため、複数の圧力発生室１２に亘って連続して設けられている第１電極６０が振動板の一部として機能する。なお、これには限られず、駆動回路や配線の都合により、第１電極６０を個別電極とし、第２電極８０を共通電極としてもよい。また、上述の弾性膜５１及び絶縁体膜５２を設けずに、第１電極６０のみが振動板として作用するようにしてもよい。すなわち、第１電極６０を直接基板（流路形成基板１０）上に設けるようにしてもよい。ただし、流路形成基板１０上に直接第１電極６０を設ける場合には、第１電極６０とインクとが導通しないように第１電極６０を絶縁性の保護膜等で保護するのが好ましい。なお、ここで言う基板上とは、基板の直上も、間に他の部材が介在した状態（上方）も含むものである。その他、圧電素子１３０自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。
【００４３】
個別電極である各第２電極８０の一側（供給連通路１９とは反対側）の端部は、例えば、金（Ａｕ）等からなるリード電極９０の一端部にそれぞれ接続される。このリード電極９０の他端部は、２列に形成された圧電素子１３０の列の間であって、保護基板３０の貫通孔３２に対応する位置まで延設され、駆動回路１２０を備えた配線部材１２１に接続されている。この配線部材１２１は、可撓性（フレキシブル）なシート状のもの、例えば、ＣＯＦ基板等を用いることができる。なお、配線部材１２１には、駆動回路１２０を設けなくてもよい。要するに、配線部材１２１は、ＣＯＦ基板に限定されず、ＦＦＣ、ＦＰＣ等であってもよい。本実施形態では、１つの配線部材１２１が、それぞれの圧電素子１３０の列から引き出されたリード電極９０の他端部に接続されている。このように、２列に並設された圧電素子１３０の列に１つの配線部材１２１を設けることで、配線部材１２１とリード電極９０とを接続するスペースを小さくすることができ、記録ヘッド１の小型化を図ることができる。なお、配線部材１２１の数はこれに限定されず、圧電素子１３０の列毎に配線部材１２１を設けるようにしてもよい。
【００４４】
また、振動板５０の圧電素子１３０側の面には、流路形成基板１０と略同じ大きさを有する保護基板３０が接合されている。保護基板３０は、圧電素子１３０を保護するための空間である保持部３１を有する。この保持部３１は、第１の方向Ｘに列設された圧電素子１３０の列に沿って、当該列毎に独立して設けられている。本実施形態では、２列に形成された圧電素子１３０の列に対応して、保持部３１が２条形成されている。この２条に形成された保持部３１の間には、厚さ方向に貫通した貫通孔３２が設けられている。リード電極９０の他端部は、この貫通孔３２内に露出し、配線部材１２１と電気的に接続されている。
【００４５】
保護基板３０の流路形成基板１０とは反対側の面には、樹脂や金属等からなるケース部材４０が固定されている。本実施形態のケース部材４０は、平面視において上述した連通板１５と略同一形状に形成され、その内部に流路形成基板１０及び保護基板３０を収容可能な深さの凹部４１が形成されている。この凹部４１は、平面視において保護基板３０及び流路形成基板１０よりも広い開口面積を有している。また、凹部４１の流路形成基板１０及び保護基板３０が収容される部分より外側には、当該部分よいも深い第３マニホールド部４２となる部分が形成されている。そして、凹部４１に保護基板３０及び流路形成基板１０等が収容された状態において、ケース部材４０の凹部４１の内面（天井面）と保護基板３０の上面とが接合されると共に、保護基板３０の外側においてケース部材４０の底面（ノズルプレート２０側の面）と連通板１５とが接合される。これにより、凹部４１のノズルプレート２０側の開口面が連通板１５によって封止される。なお、このようなケース部材４０の材料としては、樹脂や金属等を用いることができる。例えば、ケース部材４０を、樹脂材料の成形により作成することで、量産コストを抑えることができる。
【００４６】
そして、流路形成基板１０の第２の方向Ｙにおける外方（ノズル列側とは反対側）には、ケース部材４０と保護基板３０及び流路形成基板１０とによって第３マニホールド部４２が画成される。この第３マニホールド部４２は、連通板１５に設けられた第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８と連通し、本実施形態のマニホールド１００を構成する。すなわち、マニホールド１００は、第１マニホールド部１７、第２マニホールド部１８及び第３マニホールド部４２を備えている。本実施形態のマニホールド１００は、第２の方向Ｙにおいて、圧力発生室１２の外方に、２列の圧力発生室１２の列に対応して２つ独立して形成されている。すなわち、圧力発生室１２の列毎に１つのマニホールド１００が設けられている。言い換えると、ノズル群毎にマニホールド１００が設けられている。各マニホールド１００には、それぞれインクが供給され、同じマニホールド１００に連通するノズル群からは同じ種類のインクが噴射されるように構成されている。なお、同じ種類のインクが供給されるマニホールド１００を、ヘッド本体２内で連通させることもできる。
【００４７】
また、ケース部材４０には、マニホールド１００に連通して各マニホールド１００にインクを供給するための導入口４４、及び、保護基板３０の貫通孔３２に連通して配線部材１２１が挿通される接続口４３が設けられている。本実施形態の導入口４４は、マニホールド１００毎に設けられている。すなわち、一方（図４における左側）のノズル列に対応するマニホールド１００に連通する第１導入口４４Ａと、他方（図４における右側）のノズル列に対応するマニホールド１００に連通する第２導入口４４Ｂと、を備えている。なお、第１導入口４４Ａ、第２導入口４４Ｂを導入口４４と総称する。接続口４３は、第１導入口４４Ａと第２導入口４４Ｂとの間において、ケース部材４０を第３の方向Ｚに貫通する状態で形成されている。配線部材１２１は、接続口４３及び貫通孔３２に挿通され、すなわち、第３の方向Ｚに挿通され、リード電極９０を介して圧電素子１３０に接続される。
【００４８】
そして、このような構成の第１ヘッド本体２Ａでは、インクを噴射する際に、導入口４４を介してインクを取り込み、マニホールド１００からノズル２１に至るまで液体流路内部をインクで満たす。その後、駆動回路１２０からの信号に従い、圧力発生室１２に対応する各圧電素子１３０に電圧を印加することにより、圧電素子１３０と共に振動板５０を撓み変形させる。これにより、圧力発生室１２内の圧力を変化させ、この圧力変化を利用してノズル２１からインク滴を噴射させている。
【００４９】
なお、本実施形態では、ヘッド本体２の一例として第１ヘッド本体２Ａを例示したが、特にこれに限定されるものではない。例えば、上述した第１ヘッド本体２Ａと略同じ構造を有するが、マニホールド１００が第１の方向Ｘに３つに分割された第２ヘッド本体２Ｂを記録ヘッド１に備えることもできる。特に、本実施形態の記録ヘッド１では、第１ヘッド本体２Ａと第２ヘッド本体２Ｂとをそれぞれ備えている。なお、第１ヘッド本体２Ａ及び第２ヘッド本体２Ｂをヘッド本体２と総称する。
【００５０】
本実施形態の記録ヘッド１に搭載される第２ヘッド本体２Ｂについて、図５を参照して説明する。なお、図５は、第２ヘッド本体２Ｂを示す平面図である。第２ヘッド本体２Ｂでは、第１ヘッド本体２Ａと同様に、第２の方向Ｙにおいてノズル列が形成されたノズルプレート２０の両側にマニホールド１００が設けられている。このマニホールド１００は、それぞれ第１の方向Ｘに複数（本実施形態では３つ）に分割されている。すなわち、本実施形態の第２ヘッド本体２Ｂには、第１の方向Ｘに３個並設されたマニホールド１００の列が第２の方向Ｙに２列設けられて、合計６個のマニホールド１００を備えている。また、コンプライアンス部４９（コンプライアンス基板４５の開口部４８）は、区画されたマニホールド１００毎に形成されている。さらに導入口４４は、平面視において各マニホールド１００のほぼ中心にそれぞれ開口されている。したがって、第１の方向Ｘに３個並設された導入口４４の列が、第２の方向Ｙに２列設けられている。なお、本実施形態では、上述した第１ヘッド本体２Ａと同様に、第２の方向Ｙの一方（図５における左側）の導入口４４を第１導入口４４Ａと称し、他方（図５における右側）の導入口４４を第２導入口４４Ｂと称する。また、第２ヘッド本体２Ｂのその他の構成は、第１ヘッド本体２Ａと同様であるため、説明を省略する。
【００５１】
次に、このような第１ヘッド本体２Ａ及び第２ヘッド本体２Ｂを有する本実施形態の本実施形態の記録ヘッド１について詳細に説明する。なお、図６は、記録ヘッド１の分解斜視図であり、図７は、記録ヘッド１の断面図である。また、図８は、記録ヘッド１の要部を拡大した断面図である。
【００５２】
図示するように、記録ヘッド１は、ノズル２１からインク滴を噴射する２つのヘッド本体２（第１ヘッド本体２Ａ、第２ヘッド本体２Ｂ）と、これら２つのヘッド本体２を保持すると共にヘッド本体２にインクを供給する流路ユニット２００と、流路ユニット２００に保持された配線基板３００と、ヘッド本体２の液体噴射面２０ａ側に設けられたカバーヘッド４００と、を備えている。
【００５３】
流路ユニット２００は、図８に示すように、内部にフィルター２１６が配置されるフィルター室５２０を含む上流流路５００が設けられた上流流路部材２１０（本発明における流路部材に相当）と、下流流路６００が設けられた下流流路部材２２０と、上流流路５００と下流流路６００とを液密状態で接続するシール部材２３０と、を備えている。
【００５４】
本実施形態の上流流路部材２１０は、第１上流流路部材２１１と、第２上流流路部材２１２と、第３上流流路部材２１３とが、第３の方向Ｚ（第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに直交する方向）に積層されて構成されている。また、各部材２１１、２１２、２１３内には、上流流路５００を構成する第１上流流路５０１、第２上流流路５０２、フィルター室５２０（上流フィルター室５０３、下流フィルター室５０４）、及び第３上流流路５０５が形成されている。なお、上流流路部材２１０は特にこれに限定されるものではなく、単一の部材であっても、２以上の複数の部材で構成されていてもよい。また、上流流路部材２１０を構成する複数の部材の積層方向も特に限定されず、第１の方向Ｘ、第２の方向Ｙであってもよい。
【００５５】
第１上流流路部材２１１は、図７及び図８に示すように、上面側（下流流路部材２２０とは反対面側）に、インクカートリッジ１Ａに接続される接続部２１４を有する。本実施形態の接続部２１４は、インクカートリッジ１Ａ内に挿入される中空針状の部材であり、インクカートリッジ１Ａ内に貯留されたインクを、内部に形成された第１上流流路５０１を通じて後述する第２上流流路５０２に導入する。なお、接続部２１４には、インクカートリッジ１Ａなどの液体貯留手段が直接接続されてもよく、また、インクタンクなどの液体貯留手段がチューブ等の供給管などを介して接続されてもよい。さらに、液体貯留手段又はチューブ等と、接続部２１４との間に自己封止弁を設け、この自己封止弁内の流路と接続部２１４とを接続するようにしてもよい。その他、接続部２１４としては、針状の部材に限られず、インクの供給側と受側にそれぞれインクを吸収可能な多孔質部材を設け、この多孔質部材同士を接触させることで、インクを授受する構成を採用することも可能である。いずれの構成にしても、液体貯留手段からのインクは、接続部２１４の内部に設けられた第１上流流路５０１を介して、記録ヘッド１内に導入される。なお、第１上流流路５０１は、第２上流流路５０２の位置に応じて、第３の方向Ｚに延びる流路や、第３の方向Ｚに直交する方向、すなわち（Ｘ、Ｙ）面方向に延びる流路等で構成されている。また、本実施形態の第１上流流路部材２１１の接続部２１４の周囲には、インクカートリッジ１Ａを位置決めするためのガイド壁２１５が設けられている。
【００５６】
第２上流流路部材２１２は、第１上流流路部材２１１の下面側（接続部２１４とは反対面側）に固定されている。この第２上流流路部材２１２の内部には、第１上流流路５０１に連通する第２上流流路５０２（本発明における第１液体流路に相当）、及びこの第２上流流路５０２よりも下流側（第３上流流路部材２１３側）において、第２上流流路５０２より内径が拡幅された、フィルター室５２０の上流側を構成する上流フィルター室５０３（本発明における第１空間に相当）が形成されている。また、第３上流流路部材２１３は、第２上流流路部材２１２の下面側（第１上流流路部材２１１とは反対面側）に固定されている。この第３上流流路部材２１３の内部には、フィルター室５２０の下流側を構成し、フィルター２１６を介して上流フィルター室５０３と連通する下流フィルター室５０４（本発明における第２空間に相当）、及び下流フィルター室５０４の上流フィルター室５０３（フィルター２１６）とは反対側の底面５０４ａに開口した第３上流流路５０５（本発明における第２液体流路に相当）が形成されている。フィルター室５２０に配置されるフィルター２１６は、インクに含まれる気泡や異物を除去するための部材であり、本実施形態では、下流フィルター室５０４の上流側の開口縁に固定されている。このフィルター室５２０（上流フィルター室５０３、下流フィルター室５０４）及びフィルター２１６に関し、詳しくは後述する。
【００５７】
なお、第３上流流路５０５は、下流フィルター室５０４の底面５０４ａに対して複数開口してもよく、本実施形態では、第３上流流路５０５が底面５０４ａに２個開口されている。また、第３上流流路部材２１３の下面（下流流路部材２２０側の面）には、下方に向けて突出した第１突起部２１７が設けられている。この第１突起部２１７は、各第３上流流路５０５に対応してそれぞれ設けられており、第１突起部２１７のそれぞれの先端面に第３上流流路５０５の下流端である排出口５０６が開口している。本実施形態では、１つの下流フィルター室５０４に連通する２つの第３上流流路５０５のうち、一方（図８における左側）の第３上流流路５０５の下流端である排出口５０６を第１排出口５０６Ａと称し、他方（図８における右側）の第３上流流路５０５の下流端である排出口５０６を第２排出口５０６Ｂと称する。すなわち、上流流路５００は、下流流路部材２２０側に２つの排出口５０６（第１排出口５０６Ａ及び第２排出口５０６Ｂ）を有している。
【００５８】
このような上流流路５００が設けられた第１上流流路部材２１１、第２上流流路部材２１２及び第３上流流路部材２１３は、例えば、接着剤や、溶着等によって一体的に積層されている。なお、各上流流路部材２１１、２１２、２１３をネジやクランプ等で固定することもできる。しかしながら、第１上流流路５０１から第３上流流路５０５に至るまでの接続部分における液密性を確保する観点から、各上流流路部材２１１、２１２、２１３を接着剤や溶着等で接合するのが好ましい。これにより、各上流流路部材２１１、２１２、２１３の接続部分からインクが漏出することを抑制することができる。また、本実施形態では、図６及び図７に示すように、４つの接続部２１４が上流流路部材２１０に設けられているため、これに対応して、４つの独立した上流流路５００が上流流路部材２１０に設けられている。そして、下流フィルター室５０４の底面５０４ａには２つの第３上流流路５０５が開口しているため、すなわち、各上流流路５００は下流側で２つに分岐されているため、合計８個の排出口５０６が上流流路部材２１０に設けられている。
【００５９】
シール部材２３０を介して上流流路部材２１０の下方に接続される下流流路部材２２０は、上流流路５００と接続される下流流路６００を備えている。本実施形態の下流流路部材２２０は、第１下流流路部材２２２と、第２下流流路部材２２３とからなる。下流流路６００の上流側は、下流流路部材２２０の上面（上流流路部材２１０側の面）から上方に向けて突出した第２突起部２２１の内部に設けられている。そして、下流流路６００の上端は、第２突起部２２１の先端面に開口し、後述するシール部材２３０の連通流路２３２を介して排出口５０６と連通する。本実施形態では、第１排出口５０６Ａに連通する下流流路６００を第１接続流路６００Ａと称し、第２排出口５０６Ｂに連通する下流流路６００を第２接続流路６００Ｂと称する。
【００６０】
また、下流流路６００の下端は、上流流路部材２１０とは反対側の面に開口し、ヘッド本体２の導入口４４と連通する。具体的には、第１接続流路６００Ａが第１導入口４４Ａに連通し、第２接続流路６００Ｂが第２導入口４４Ｂに連通する。本実施形態の記録ヘッド１では、上述のように導入口４４が２つ（第１導入口４４Ａ及び第２導入口４４Ｂがそれぞれ１つ）設けられた第１ヘッド本体２Ａと、導入口４４が６つ（第１導入口４４Ａ及び第２導入口４４Ｂがそれぞれ３つ）設けられた第２ヘッド本体２Ｂとを備えていため、これに対応して、第１接続流路６００Ａ及び第２接続流路６００Ｂがそれぞれ４つ設けられている。各下流流路６００は、第３の方向Ｚに延びる流路や、第３の方向Ｚに直交する方向、すなわち（Ｘ、Ｙ）面方向に延びる流路等で構成され、その下端部が各導入口４４の開口する位置に合わせて開口している。本実施形態の第１接続流路６００Ａは、図８に示すように、第３の方向Ｚに沿って直線状に形成されている。一方、第２接続流路６００Ｂは、第２導入口４４Ｂから第３の方向Ｚに沿って直線状に延設する第１流路６０１と、第１流路６０１の下流側の端部から（Ｘ、Ｙ）面方向に延在する第２流路６０２と、第２流路６０２の下流側の端部から第２導入口４４Ｂに向けて第３の方向Ｚに沿って直線状に延設する第３流路６０３と、から構成されている。なお、接続流路６００が第３の方向Ｚに対して斜めに傾斜する構成を採用することもできるが、本実施形態のように、（Ｘ、Ｙ）面方向に延在する第２流路６０２を備える構成を採用する方が、接続流路６００が専有するスペースを小さくできるので、記録ヘッド１の小型化を図ることができる。
【００６１】
なお、本実施形態の下流流路部材２２０は、第１下流流路部材２２２と、第２下流流路部材２２３とからなり、第２接続流路６００Ｂは、これらに亘って形成されている。具体的には、第１流路６０１が第１下流流路部材２２２に形成され、第２流路６０２が第１下流流路部材２２２と第２下流流路部材２２３との接合面に形成され、第３流路６０３が第２下流流路部材２２３に形成されている。このようにすることで、第２流路６０２を下流流路部材２２０内に容易に形成することができる。なお、第１接続流路６００Ａは、第２下流流路部材２２３に形成されている。また、下流流路部材２２０の第１接続流路６００Ａと第２接続流路６００Ｂとの間には、ヘッド本体２の接続口４３に連通し、配線部材１２１が挿通される配線部材挿通孔２２４が設けられている。さらに、第２下流流路部材２２３の下面には、ヘッド本体２が収容されるヘッド収容空間（図示を省略）が形成されている。
【００６２】
上流流路部材２１０と下流流路部材２２０との間には、上流流路５００と下流流路６００とを繋ぐ継手として、両流路５００、６００を接続するシール部材２３０が設けられている。このシール部材２３０は、記録ヘッド１に用いられるインクに対して耐インク性を有し、且つ弾性変形可能な材料（弾性材料）からなる。このようなシール部材２３０としては、例えば、ゴムやエラストマー等を用いることができる。そして、シール部材２３０には、内部に連通流路２３２が設けられた管状部分２３１が、下流流路６００毎に形成されている。これにより、管状部分２３１の連通流路２３２を介して上流流路部材２１０の上流流路５００と下流流路部材２２０の下流流路６００とが連通される。なお、管状部分２３１の上端面（上流流路部材２１０側の端面）には、第１突起部２１７が挿入される環状の第１凹部２３３が設けられている。また、管状部分２３１の下端面（下流流路部材２２０側の端面）には、第２突起部２２１が挿入される第２凹部２３４が設けられている。そして、第１凹部２３３に挿入された第１突起部２１７の先端面と、第２凹部２３４に挿入された第２突起部２２１の先端面との間で管状部分２３１は第３の方向Ｚに所定の圧力が印加された状態で保持されている。このように上流流路５００及び連通流路２３２、並びに連通流路２３２及び下流流路６００は、圧力が印加された状態で接続されるため、上流流路５００と下流流路６００とが連通流路２３２を介して液密状態で連通する。
【００６３】
なお、本実施形態では、上流流路５００および下流流路６００が８つ設けられているため、これに対応して、シール部材２３０には８つの管状部分２３１が一体的に設けられている。また、本実施形態では、シール部材２３０に第３の方向Ｚに圧力を印加して、上流流路５００と下流流路６００とを接続するようにしたが、これに限られない。例えば、管状部分２３１の第１凹部２３３の内周面と第１突起部２１７の外周面、あるいは管状部分２３１の第２凹部２３４の内周面と第２突起部２２１の外周面とを密着させるように、径方向である（Ｘ、Ｙ）面方向に圧力を印加して流路を接続するようにしてもよい。
【００６４】
シール部材２３０と下流流路部材２２０との間には、配線部材１２１が接続される配線基板３００が設けられている。この配線基板３００には、配線部材１２１及びシール部材２３０の管状部分２３１が挿入される挿通孔が設けられている。本実施形態では、図６及び図７に示すように、配線部材１２１及び第１接続流路６００Ａに対応する管状部分２３１が挿通される第１挿通孔３０１と、第２接続流路６００Ｂに対応する管状部分２３１が挿通される第２挿通孔３０２とが設けられている。第１挿通孔３０１は、配線基板３００の第２の方向Ｙにおける中央部分に開口し、２つの配線部材１２１、及び、この２つの配線部材１２１の間に設けられた４つの第１接続流路６００Ａに対応する４つの管状部分２３１が挿通される。また、第２挿通孔３０２は、配線基板３００の第２の方向Ｙにおける第１挿通孔３０１の両側に開口し、第２接続流路６００Ｂに対応して設けられた管状部分２３１がそれぞれ挿通される。なお、本実施形態では、２つのヘッド本体２に共通する１つの配線基板３００を設けたが、これには限られず、ヘッド本体２毎に分割して設けるようにしてもよい。本実施形態のように、２つのヘッド本体２に共通する１枚の配線基板３００を用いることで、部品点数を減少させて組立作業を簡略化することができる。
【００６５】
また、図６及び図８に示すように、配線基板３００の上面（上流流路部材２１０側の面）であって、第１挿通孔３０１の開口縁部には、配線部材１２１が接続される端子部３１０が形成されている。第１挿通孔３０１に挿通された配線部材１２１の上端部は、配線基板３００の上面に沿って屈曲され、配線基板３００の端子部３１０と接続されている。さらに、配線基板３００には、図示しない配線や電子部品等が搭載されている。端子部３１０に接続された配線は、（Ｘ、Ｙ）面方向に延在し、配線基板３００の第２の方向Ｙの両端部側に設けられたコネクター３２０に接続されている。そして、このコネクター３２０には、図示しない外部配線が接続される。なお、下流流路部材２２０には、コネクター３２０を露出するためのコネクター接続口２２５が設けられている。これにより、外部配線をコネクター３２０に接続することができる。
【００６６】
そして、第１ヘッド本体２Ａ及び第２ヘッド本体２Ｂは、第２の方向Ｙに並んだ状態で、流路ユニット２００のヘッド収容空間内に収容されている。なお、流路ユニット２００（第２下流流路部材２２３）とヘッド本体２との固定方法は特に限定されず、例えば、接着剤により接着したり、弾性材料からなるシール部材を間に介してネジ等により固定したりすることができる。しかしながら、小型のヘッド本体２を複数固定する場合、弾性材料からなるシール部材を介して固定することは困難であるため、ヘッド本体２と流路ユニット２００とは接着剤により接着することが好ましい。
【００６７】
また、図６〜図８に示すように、流路ユニット２００の下面側には、カバーヘッド４００が取り付けられている。本実施形態のカバーヘッド４００は、複数のヘッド本体２を覆う大きさを有し、ヘッド本体２のコンプライアンス基板４５の下面に接合されて、コンプライアンス部４９の流路（マニホールド１００）とは反対側の空間を封止している。このように、コンプライアンス部４９をカバーヘッド４００で覆うことで、記録媒体Ｓが接触したとしても、コンプライアンス部４９が破壊されことを抑制することができる。また、コンプライアンス部４９にインクが付着することを抑制し、さらに、カバーヘッド４００の表面に付着したインクを例えばワイパーブレード等で払拭することができる。これにより、記録媒体Ｓがカバーヘッド４００に付着したインク等で汚れることを抑制することができる。また、カバーヘッド４００には、ノズル２１を露出する第２露出開口部４０１が設けられている。本実施形態の第２露出開口部４０１は、ノズルプレート２０を露出する大きさ、すなわち、コンプライアンス基板４５の第１露出開口部４５ａと略同じ開口を有している。なお、本実施形態のカバーヘッド４００は、各ヘッド本体２に共通して設けられたが、ヘッド本体２毎に独立して設けられていてもよい。また、カバーヘッド４００とコンプライアンス部４９との間の空間は、図示しない大気開放路を介して大気開放されている。
【００６８】
次に、第１実施形態のフィルター室５２０（上流フィルター室５０３、下流フィルター室５０４）及びフィルター２１６について、図９〜図１４を参照して詳細に説明する。図９は、本実施形態におけるフィルター室５２０の平面図であり、図１０は、図９におけるＢ−Ｂ′線断面図である。また、図１１は、インクが流れている状態におけるフィルター室５２０の断面図であり、図１２は、従来のフィルター室５２０の断面図を比較例として示したものである。さらに、図１３は、第１実施形態におけるフィルター２１６と支持突起２４０との固定を説明する要部を拡大した断面図であり、図１３（ａ）は、フィルター２１６と支持突起２４０とを固定する前の状態を示す模式図、図１３（ｂ）は、フィルター２１６と支持突起２４０とを固定した後の状態を示す模式図である。また、図１４は、第１実施形態の第１変形例におけるフィルター２１６と支持突起２４０との固定を説明する要部を拡大した断面図であり、図１４（ａ）は、フィルター２１６と支持突起２４０とを固定する前の状態を示す模式図、図１４（ｂ）は、フィルター２１６と支持突起２４０とを固定した後の状態を示す模式図である。
【００６９】
図１０に示すように、第２上流流路部材２１２に形成された上流フィルター室５０３は、その天井面（下流フィルター室５０４とは反対側の面）に第２上流流路５０２が開口している。この上流フィルター室５０３は、第２上流流路５０２の開口縁から下流側（フィルター２１６側）に向けて拡径し、この下流側の端部が第２上流流路部材２１２側に開口している。すなわち、上流フィルター室５０３の天井面は、フィルター２１６側の開口縁から第２上流流路５０２の開口縁に向けて僅かに傾斜している。本実施形態の第２上流流路５０２は、上流フィルター室５０３の略中央に開口している。また、上流フィルター室５０３の下流側の開口縁は、平面視において、第３上流流路部材２１３に形成されたフィルター取付空間５０７（後述）と略同じ形状に形成されている。すなわち、本実施形態の上流フィルター室５０３は、平面視において長方形状に形成されている。そして、上流フィルター室５０３は、フィルター取付空間５０７に取り付けられたフィルター２１６を介して下流フィルター室５０４と連通している。
【００７０】
本実施形態の下流フィルター室５０４は、図９に示すように、平面視において、上流側の開口縁が長方形状に形成されている。この下流フィルター室５０４の開口縁よりも上流側、すなわち上流フィルター室５０３と下流フィルター室５０４との間には、図１０に示すように、フィルター取付空間５０７が形成されている。このフィルター取付空間５０７は、下流フィルター室５０４の開口縁よりも僅かに大きい内法に形成されている。このため、下流フィルター室５０４の開口の周縁部分に段差が形成されている。この段差の上流フィルター室５０３に対向する面が、フィルター２１６が取り付けられるフィルター取付面５０７ａとなる。このフィルター取付面５０７ａには、フィルター２１６が取り付けられる前の状態において、第２上流流路部材２１２側に突出した熱可塑性を有するダイレクター２１８が設けられている。フィルター２１６は、ダイレクター２１８に押しつけられた状態で当該ダイレクター２１８を熱で溶融させた後、再び固化させることでフィルター取付面５０７ａに固定される。なお、ダイレクター２１８は、溶融後にはフィルター２１６の微細孔内及び第３上流流路部材２１３側の面に広がるため、図９、図１０等では、溶融前のダイレクター２１８を破線で示している。
【００７１】
フィルター取付面５０７ａに取り付けられるフィルター２１６は、図９に示すように、平面視において、フィルター取付空間５０７の内径よりも小さく、且つ下流フィルター室５０４の開口径よりも大きい長方形状に形成されている。すなわち、フィルター２１６の外形形状は、下流フィルター室５０４（下流フィルター室５０４の上流側の開口部）の形状と略同じ形状になっている。そして、下流フィルター室５０４の上流側の開口部は、このフィルター２１６により封止されている。なお、フィルター２１６のうち、下流フィルター室５０４の開口部に対向する領域が実際にインクを濾過する領域であり、この領域の外側の部分がフィルター取付空間５０７に固定される固定部分である。このフィルター２１６の固定部分は、下流フィルター室５０４の開口縁とは異なる形状であってもよい。例えば、フィルター２１６の固定部分の一部を幅広に形成したり、固定部分の一部を外側に突出したりしてもよい。しかしながら、この固定部分の幅が広すぎると、隣り合うフィルター２１６の間隔が広くなり、上流流路部材２１０が長手方向Ｌ及び短手方向Ｓの面内方向に大型化する虞がある。したがって、フィルター２１６の固定部分は、できるだけ小さい面積で形成することが望ましい。すなわち、フィルター２１６の固定部分は、フィルター２１６のインクが通過する領域の外周に亘って略同じ幅で、可及的に狭く形成することが望ましい。
【００７２】
なお、このようなフィルター２１６は、通過するインクを濾過できれば、すなわちインク中に含まれるゴミや気泡などの異物を除去することができれば、どのようなものであってもよい。例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属や樹脂等からなる繊維を細かく編むことで複数の微細孔が形成されたシート状のものや、金属や樹脂等の板状部材に複数の微細孔を貫通させたものなどを用いることができる。特に、金属からなる繊維を平畳織や綾畳織によりメッシュ状に織り込んだものは、異物を除去し易い。このため、本実施形態では、フィルター２１６としてステンレス鋼（ＳＵＳ）からなる繊維を綾畳織りしたものを用いている。その他、フィルター２１６としては、不織布等を用いることもできる。なお、フィルター２１６として、異物を引っかけ易いものや厚さが薄いものは、下流側に撓み易くなる虞がある。しかしながら、本実施形態では、後述するようにフィルター２１６の撓みを抑制する構成を備えているため、フィルター２１６の選択の幅を広げることができる。
【００７３】
また、下流フィルター室５０４は、その底面５０４ａ（上流フィルター室５０３とは反対側の面）に第３上流流路５０５が開口している。本実施形態では、２つの第３上流流路５０５が設けられており、これら第３上流流路５０５の開口部５１０が下流フィルター室５０４の底面５０４ａに２つ設けられている。なお、一方（図９、図１０等における左側）の開口部５１０を第１開口部５１０Ａと称し、他方（図９、図１０等における右側）の開口部５１０を第２開口部５１０Ｂと称する。図９に示すように、第１開口部５１０Ａと第２開口部５１０Ｂとは、下流フィルター室５０４の短手方向Ｓ（或いはフィルター２１６の短手方向Ｓ）における開口位置が揃えられている。一方、下流フィルター室５０４の長手方向Ｌ（或いはフィルター２１６の長手方向Ｌ）における開口位置は、所定の間隔を開けるように配置されている。本実施形態では、図１０に示すように、第１開口部５１０Ａ及び第２開口部５１０Ｂの開口位置は、上流フィルター室５０３に開口した第２上流流路５０２の開口位置に対して、フィルター２１６に平行な面（（Ｘ、Ｙ）面）の面内方向に偏心している。具体的には、第１開口部５１０Ａは、下流フィルター室５０４を長手方向Ｌに２等分した一方の領域内における下流フィルター室５０４の中央寄りに形成されている。第２開口部５１０Ｂは、下流フィルター室５０４を長手方向Ｌに２等分した他方の領域内における下流フィルター室５０４の他側（中央とは反対側）の開口縁寄りに形成されている。
【００７４】
なお、下流フィルター室５０４の短手方向Ｓ（或いはフィルター２１６の短手方向Ｓ）は、記録ヘッド１における第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの何れか一方と一致し、下流フィルター室５０４の長手方向Ｌ（或いはフィルター２１６の長手方向Ｌ）は、他方と一致する。その他、短手方向Ｓ或いは長手方向Ｌが、（Ｘ、Ｙ）面内で第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの双方と交差する方向となるように配置することもできる。
【００７５】
これら第１開口部５１０Ａと第２開口部５１０Ｂとの間であって、下流フィルター室５０４の長手方向Ｌにおける略中央には、底面５０４ａからフィルター２１６側に向かって隆起した尾根２１９が形成されている。この尾根２１９は、下流フィルター室５０４の短手方向Ｓにおける一側の端部から他側の端部に亘って直線状に形成されている。また、尾根２１９の開口部５１０からの高さは、当該尾根２１９の先端が撓んでいない状態のフィルター２１６に接触することが無いように、すなわち、当該尾根２１９の先端とフィルター２１６との間に隙間が形成されるように、フィルター取付面５０７ａよりも低く形成されている。この尾根２１９によって、下流フィルター室５０４の一側には第１開口部５１０Ａが開口する第１凹室５１１Ａが区画されると共に、下流フィルター室５０４の他側には第２開口部５１０Ｂが開口する第２凹室５１１Ｂが区画される。すなわち、隣り合う開口部５１０間に尾根２１９を形成することで、開口部５１０毎に凹室５１１を形成することができる。そして、これら第１凹室５１１Ａと第２凹室５１１Ｂとは、尾根２１９の先端とフィルター２１６との間に形成された隙間により連通している。
【００７６】
また、各凹室５１１は、底面５０４ａが上流側（フィルター２１６側）から開口部５１０に向けて縮径している。すなわち、各凹室５１１（下流フィルター室５０４）の底面５０４ａは、フィルター２１６側から各開口部５１０の縁に向けて僅かに傾斜している。これにより開口部５１０から離れた位置でフィルター２１６を通過したインクの流速を速めることができ、気泡排出性を向上することができる。本実施形態では、第１開口部５１０Ａ及び第２開口部５１０Ｂの開口位置が偏心しているため、第１凹室５１１Ａの第１開口部５１０Ａより尾根２１９側の底面５０４ａ、及び第２凹室５１１Ｂの第２開口部５１０Ｂより尾根２１９とは反対側の底面５０４ａは比較的急峻になり、第１凹室５１１Ａの第１開口部５１０Ａより尾根２１９とは反対側の底面５０４ａ、及び第２凹室５１１Ｂの第２開口部５１０Ｂより尾根２１９側の底面５０４ａは比較的緩やかになる。
【００７７】
このように、下流フィルター室５０４に２つの凹室５１１を設け、それぞれの凹室５１１に第３上流流路５０５を連通させたので、第３上流流路５０５に対応してそれぞれ下流フィルター室５０４及びフィルター２１６を設ける必要が無く、第３上流流路５０５毎にそれぞれフィルター２１６を設ける場合に比べて、部品点数を減らすことができる。その結果、製造コストを低減することができる。また、例えば、第２液体流路毎にフィルター２１６を設ける場合、フィルター２１６毎にフィルター取付面５０７ａを設ける必要があるため、上流流路部材２１０が大型化する虞がある。さらに、フィルター２１６毎に下流フィルター室５０４が必要になり、下流フィルター室５０４を区画する壁部の分だけ大型化してしまう虞もある。これに対して、本実施形態では、第２液体流路毎にフィルター２１６を固定する領域（フィルター取付面５０７ａ）やこの第２液体流路を区画する壁部等を設ける必要が無いため、流路部材を小型化することができる。加えて、凹室５１１を区画する尾根２１９とフィルター２１６との間に隙間を設けたので、尾根２１９と対向する部分のフィルター２１６を利用することができる。これにより、フィルター２１６の有効面積が減少することを抑制できる。そして、尾根２１９により形成される傾斜によりインクの流速を速めることができ、気泡排出性を向上させることができる。
【００７８】
なお、尾根２１９は、下流フィルター室５０４の長手方向Ｌにおける略中央に形成されているため、第１凹室５１１Ａに相対向するフィルター２１６の有効面積と第２凹室５１１Ｂに相対向するフィルター２１６の有効面積とが略同じに揃えられる。これにより、第１開口部５１０Ａに供給するインクのフィルター２１６による圧力損失と、第２開口部５１０Ｂに供給するインクのフィルター２１６による圧力損失を略同じに揃えることができる。これにより、記録ヘッド１に供給するインクの圧力損失のばらつきを抑制することができる。
【００７９】
また、例えば、下流フィルター室５０４の長辺と短辺の関係を上記実施形態の構成と逆にして、下流フィルター室５０４を短手方向Ｓに分割する尾根２１９によって２つの凹室５１１を区画することもできる。しかしながら、この場合、２つの凹室５１１の長手方向Ｌ及び短手方向Ｓのアスペクト比が大きくなり、フィルター２１６（凹室５１１の開口周縁）から開口部５１０までの距離が場所により大きく異なることになる。このため、フィルター２１６を通過して開口部５１０に向かうインクの流速（あるいは、流路抵抗）にばらつきが生じ易くなり、流速が遅い領域に気泡が滞留する虞がある。このため、本実施形態のように、長手方向Ｌの中央に尾根２１９を形成して凹室５１１を形成することが望ましい。このようにすれば、フィルター２１６から開口部５１０に向かうインクの流速のばらつきを抑えることができる。
【００８０】
ここで、従来のフィルター室５２０の場合には、図１２に示すように、上流フィルター室５０３から下流フィルター室５０４に向かって流れるインクの圧力によってフィルター２１６が下流フィルター室５０４の底面５０４ａ側に押圧された場合、フィルター２１６が底面５０４ａ側に撓み変形し、この底面５０４ａに貼り付いてしまう虞があった。特に、本実施形態のように、２つの第３上流流路５０５に共通するフィルター２１６を１つ設ける場合には、第３上流流路５０５毎にフィルター２１６を個別に設ける場合にと比べて、１つのフィルター２１６の面積が広くなる。フィルター２１６の面積が広くなると、押圧された際のフィルター２１６の撓み量が大きくなるため、下流フィルター室５０４の底面５０４ａに貼り付き易くなってしまう。その結果、インクが通過する領域が小さくなり、すなわち、フィルター２１６の有効面積が減少し、圧力損失が増大してしまう問題があった。また、本実施形態のように、開口部５１０が凹室５１１の中央から偏心して設けられていると、上流フィルター室５０３から開口部５１０にむかうインクの流速がばらつき易くなり、フィルター２１６に係る圧力が偏り易くなる。すなわち、フィルター２１６に係る押圧力が部分的に高くなり、フィルター２１６が一層撓み易くなる。このため、インクの流速を抑える観点から、第３上流流路５０５の開口部５１０を、凹室５１１の略中央に設けることも考えられるが、第３上流流路５０５が設けられる上流流路部材２１０よりも下流側の部材、例えば、下流流路部材２２０等の設計の都合上、第３上流流路５０５の開口部５１０を凹室５１１の略中央に設けることができない場合がある。また、開口部５１０を凹室５１１の略中央に設けることにより、他の部材の構造が設計的に制限され、製造コストが増大したり、記録ヘッド１が大型化したりする虞もある。このため、本実施形態のように、開口部５１０を凹室５１１の中央から偏心して設けることが望ましい。
【００８１】
上記のような問題を解決するために、本実施形態では、インクの流速のばらつき等によってフィルター２１６が底面５０４ａ側に押圧されたとしてもフィルター２１６が底面５０４ａに貼り付かないように、下流フィルター室５０４の底面５０４ａに支持突起２４０を設けている。具体的には、支持突起２４０は、図１０に示すように、下流フィルター室５０４の底面５０４ａからフィルター２１６側へ向けて突出した点状の突起である。本実施形態では、第３の方向Ｚに沿って上方に突出した円柱状に形成されている。この支持突起２４０の断面積は、フィルター２１６の面積（下流フィルター室５０４の上流側の開口面積）に対して十分小さいことが望ましく、さらに下流側の流路の内径の面積よりも十分小さいことが望ましい。本実施形態では、支持突起２４０の断面積が第３上流流路５０５の内径の面積（すなわち開口部５１０の開口面積）の半分以下になるように形成されている。これにより、気泡が支持突起２４０に引っかかり難くなり、気泡排出性が向上する。また、支持突起２４０に引っかかり得る気泡の大きさを小さくできる。これにより、インクの噴射時において、支持突起２４０に付着した気泡が下流側に向けて流れたとしても、この気泡により下流側の流路（第３上流流路５０５）の流れが妨げられることを抑制できる。
【００８２】
そして、支持突起２４０の先端部には、熱可塑性を有する溶着部２４０ａが設けられている。この溶着部２４０ａにより、支持突起２４０の先端部とフィルター２１６とが固定されている。具体的には、フィルター２１６を溶着部２４０ａに押しつけた状態で当該溶着部２４０ａを熱で溶融させた後、再び固化させることで支持突起２４０とフィルター２１６とを固定している。これにより、フィルター２１６の下面（下流フィルター室５０４側の面）が支持突起２４０に支持される状態となる。なお、溶着部２４０ａは、溶融後にはフィルター２１６の微細孔内及び支持突起２４０の先端面に広がるため、図１０等では、溶融前の溶着部２４０ａを破線で示している。また、本実施形態では、溶着部２４０ａとフィルター２１６との固定は、フィルター２１６の外周部分を固定するダイレクター２１８と同じ工程で行われる。この点については、後述する。さらに、本実施形態の溶着部２４０ａは、支持突起２４０の径よりも小径な円柱状に形成されており、支持突起２４０の先端面から上方に突出している。また、ダイレクター２１８の上端及び溶着部２４０ａの上端は、フィルター２１６に溶着される前の状態において、略同じ高さに揃えられている。
【００８３】
そして、溶着部２４０ａが設けられる支持突起２４０の先端面（溶着部２４０ａを除いた支持突起２４０の先端面）は、フィルター取付面５０７ａにおけるフィルター２１６の下面よりも上方（上流フィルター室５０３側）に設けられている。ここで、この支持突起２４０の先端面のフィルター取付面５０７ａに固定されたフィルター２１６の下面からの突出量ｈ（図１０参照）は、大きすぎるとフィルター２１６と上流フィルター室５０３との間隔が狭くなり、フィルター２１６上で保持できる気泡の量が減少する虞がある。これにより、気泡を排出させるクリーニング動作を行う頻度が高まり、インクの消費が増大してしまう。また、記録ヘッド１の寿命が短くなる虞もある。さらに、支持突起２４０の先端面の突出量ｈが大きすぎると、フィルター２１６をフィルター取付面５０７ａ側に押圧する際に、支持突起２４０がフィルター２１６を突き破る虞がある。一方、支持突起２４０の先端面がフィルター取付面５０７ａに固定されたフィルター２１６の下面よりも下方に設けられていると、フィルター２１６がインクの圧力によって撓んだ際に、底面５０４ａに貼り付く虞がある。このため、支持突起２４０の先端面は、フィルター取付面５０７ａにおけるフィルター２１６の下面より突出させ、且つその突出量ｈをダイレクター２１８のフィルター取付面５０７ａからの突出量よりも低くすることが望ましい。
【００８４】
このような支持突起２４０は、本実施形態では、図９に示すように、下流フィルター室５０４内に６個設けられている。具体的には、下流フィルター室５０４の短手方向Ｓに並設された２つの支持突起２４０で構成された組を、下流フィルター室５０４の長手方向Ｌに等間隔に３カ所設けている。ここで、長手方向Ｌに並設された３組の支持突起２４０は、下流フィルター室５０４を長手方向Ｌに４つの領域に等分割した際の各領域の境界位置に配置されている。なお、下流フィルター室５０４を長手方向Ｌに４等分した領域を一方（図９における左側）から他方（図９における右側）に向けて順番にＬ１／４、Ｌ２／４、Ｌ３／４、Ｌ４／４とし、Ｌ１／４とＬ２／４との境界に設けられた支持突起２４０を第１支持突起２４１、Ｌ２／４とＬ３／４との境界に設けられた支持突起２４０を第２支持突起２４２、Ｌ３／４とＬ４／４との境界に設けられた支持突起２４０を第３支持突起２４３と称する。また、本実施形態では、第１開口部５１０ＡはＬ２／４に設けられ、第２開口部５１０ＢはＬ４／４に設けられている。このため、長手方向Ｌにおける第１開口部５１０Ａの開口中心と第２開口部５１０Ｂの開口中心との間に挟まれた領域Ｒ１は、Ｌ２／４の途中からＬ４／４の途中に亘る領域となり、この領域Ｒ１内に第２支持突起２４２の組及び第３支持突起２４３の組が設けられることになる。すなわち、フィルター２１６の下流フィルター室５０４と相対向する領域のうち、第１開口部５１０Ａの中心を通る短手方向Ｓに沿った線７００と、第２開口部５１０Ｂの中心を通る短手方向Ｓに沿った線７０１との間の領域Ｒ１内に、第２支持突起２４２の組及び第３支持突起２４３の組が設けられている。また、第２支持突起２４２の組は、長手方向Ｌにおける中央に形成されているため、図１０に示すように尾根２１９の先端から突出した状態になっている。このため、この第２支持突起２４２の組よりフィルター２１６の長手方向Ｌの中央部を支持することができる。一方、領域Ｒ１から外れたＬ１／４とＬ２／４との境界を含む領域には、第１支持突起２４１の組が設けられている。
【００８５】
ここで、フィルター２１６は、短手方向Ｓにおける中央が最も撓み易いため、支持突起２４０は、短手方向Ｓの中央部に設けるのが望ましい。例えば、下流フィルター室５０４を短手方向Ｓに４等分した領域を一方（図９における上側）から他方（図９における下側）に向けて順番にＳ１／４、Ｓ２／４、Ｓ３／４、Ｓ４／４とした場合、Ｓ２／４及びＳ３／４の領域に支持突起２４０の組を設けることが望ましい。さらに、下流フィルター室５０４を短手方向Ｓに３等分した領域を一方（図９における上側）から他方（図９における下側）に向けて順番にＳ１／３、Ｓ２／３、Ｓ３／３とした場合、Ｓ２／３の領域に支持突起２４０の組を設けることが一層望ましい。本実施形態では、各支持突起２４０の組を構成する短手方向Ｓに並設された２つの支持突起２４０が、Ｓ２／４及びＳ３／４の領域内であって、Ｓ１／３とＳ２／３との境界及びＳ２／３とＳ３／３との境界にそれぞれ設けられている。
【００８６】
このように、下流フィルター室５０４の底面５０４ａに支持突起２４０を備えたので、図１１に示すように、上流フィルター室５０３から下流フィルター室５０４に向かって流れるインクの圧力によってフィルター２１６が底面５０４ａ側に押圧された場合でも、このフィルター２１６が底面５０４ａに貼り付くことを抑制できる。これにより、フィルター２１６の有効面積（実行濾過面積）が減少することを抑制できる。特に、溶剤系のインクを使用する場合、増粘によりゲル状になったインクがフィルター２１６を通過する可能性がある。このようなゲル状のものがフィルター２１６よりも下流側に取り込まれると、ゲル状のインクが移動する部分の流速が遅くなると共に、フィルター２１６に係る圧力に偏りが発生する。その結果、フィルター２１６が底面５０４ａ側に押圧され易くなる虞があるが、このような場合でも、支持突起２４０によりフィルター２１６の撓みを抑制することができる。
【００８７】
また、フィルター２１６の撓みが抑制されるため、フィルター２１６と底面５０４ａとの間隔を狭くすることができ、すなわち、下流フィルター室５０４を第３の方向Ｚに浅くでき、上流流路部材２１０の低背化、ひいては、記録ヘッド１の低背化を実現できる。さらに、下流フィルター室５０４が第３の方向Ｚに浅くなるため、下流フィルター室５０４が第３の方向Ｚに深い場合と比べて、インクの流速を速くすることができ、気泡排出性を向上させることができる。また、長手方向Ｌにおける第１開口部５１０Ａの開口中心と第２開口部５１０Ｂの開口中心との間に挟まれた領域Ｒ１に支持突起２４０を備えたので、フィルター２１６の撓みによる底面５０４ａへの貼り付きをより確実に抑制することができる。特に、長手方向Ｌの中央部に支持突起２４０を備えることができるので、撓み量が大きくなり易いフィルター２１６の長手方向Ｌの中央部を支持することができる。さらに、支持突起２４０を点状に形成したので、下流フィルター室５０４に気泡が混入したとしても、当該気泡が支持突起２４０に引っかかり難くなる。これにより、下流フィルター室５０４内に気泡が滞留し難くなり、気泡の排出性を向上させることができる。また、支持突起２４０によりフィルター２１６の有効面積が減少することを抑制できる。その結果、フィルター２１６を小型化することができる。
【００８８】
また、支持突起２４０を領域Ｒ１内に複数設けたので、図１１に示すように、フィルター２１６の底面５０４ａ側への撓み量が支持突起２４０間で分割されて小さくなり、フィルター２１６の底面５０４ａへの貼り付きを一層確実に抑制することができる。その結果、フィルター２１６が下流フィルター室５０４の底面５０４ａに貼り付くことによる圧力損失の増大を抑制でき、ノズル２１内のインクのメニスカスが破壊されることを抑制できる。加えて、領域Ｒ１の外側にも支持突起２４０が設けられているため、フィルター２１６の撓みによる底面５０４ａへの貼り付きをより確実に抑制することができる。すなわち、本実施形態では、図１１に示すように、第１リブ２４１、第２リブ２４２及び第３リブ２４３によって分割された４つの領域Ｌ１／４、Ｌ２／４、Ｌ３／４、Ｌ４／４に、フィルター２１６の底面５０４ａ側への撓み変形を分散させるので、各領域におけるフィルター２１６の撓み量が小さくなり、フィルター２１６の底面５０４ａへの貼り付きをより確実に抑制することができる。なお、領域Ｒ１内に少なくとも支持突起２４０を１つ設けていれば、フィルター２１６の底面５０４ａへの貼り付きを抑制する効果が得られるが、領域Ｒ１の外側も含め、複数支持突起２４０を設けた方がより効果が得られる。
【００８９】
ここで、支持突起２４０の先端をフィルター２１６に固定しない場合、上述した効果は得られるものの、フィルター２１６の撓み、膨張によるずれ、外力による衝撃や振動等に起因するフィルター２１６と支持突起２４０と擦れにより、支持突起２４０の先端が削られる虞があった。このため、フィルター２１６や支持突起２４０から削れた異物等が下流フィルター室５０４内に発生し、開口部５１０を通って下流側に流れる虞があった。しかしながら、本実施形態では、支持突起２４０の先端部とフィルター２１６とを固定したので、支持突起２４０の先端部とフィルター２１６とが擦れることによる異物の発生を防止できる。
【００９０】
支持突起２４０の先端部とフィルター２１６との固定方法について説明する。図１３（ａ）に示すように、フィルター取付面５０７ａのダイレクター２１８及び支持突起２４０の溶着部２４０ａの上にフィルター２１６を配置する。この状態で、熱圧着治具等により、熱を加えながらフィルター２１６の上面（底面５０４ａとは反対側）から下方に向けて押圧する。これにより、図１３（ｂ）に示すように、ダイレクター２１８及び溶着部２４０ａが溶融し、フィルター２１６の微細孔内に浸透する。その後、溶融したダイレクター２１８及び溶着部２４０ａが固化することで、フィルター取付面５０７ａ及び支持突起２４０の先端面にフィルター２１６が固定される。このような、ダイレクター２１８及び溶着部２４０ａは、例えば、ポリフェニレンエーテル樹脂（ＰＰＥ）、ポリエチレン樹脂（ＰＥ）、ポリスチレン樹脂（ＰＳ）、ポリアミド樹脂（ＰＡ）、ＡＢＳ樹脂等の熱可塑性樹脂や、これらの混合物からなり、支持突起２４０と共に第３上流流路部材２１３と一体的に形成されている。本実施形態では、耐熱性、耐インク性、線膨張性等の観点から、変性ポリフェニレンエーテル樹脂（ｍ−ＰＰＥ）を用いて、第３上流流路部材２１３を成形している。
【００９１】
このように、熱可塑性を有する溶着部２４０ａを支持突起２４０の先端部に備えたので、フィルター２１６と支持突起２４０とを強固且つ容易に固定できる。なお、本実施形態では、フィルター取付面５０７ａよりも支持突起２４０の先端面の方が上方に位置しているため、図１３（ｂ）に示すように、フィルター２１６が引っ張られた状態になり、フィルター２１６の撓みが一層抑制される。また、ダイレクター２１８及び溶着部２４０ａに熱を加える方法としては、超音波や高周波等を用いる方法も採用することもできる。さらに、フィルター２１６の固定方法としては、ダイレクター２１８及び溶着部２４０ａを設けずに、接着剤により固定することもできる。しかしながら、例えば、溶剤インク等のように、フィルター２１６を通過する液体によっては、接着剤が劣化する恐れがあるため、本実施形態のようにダイレクター２１８及び溶着部２４０ａによりフィルター２１６を溶着することが望ましい。
【００９２】
また、フィルター２１６に支持突起２４０を固定する方法としては、上記した方法に限られない。例えば、図１４に示す第１実施形態の第１変形例では、フィルター２１６に固定孔２１６ａを開設し、この固定孔２１６ａに溶着部２４０ａを挿通した状態で、その先端をかしめるようにしている。具体的には、図１４（ａ）に示すように、まず、フィルター取付面５０７ａのダイレクター２１８上にフィルター２１６を配置する。この時、フィルター２１６の支持突起２４０に対応する位置に開設された固定孔２１６ａに支持突起２４０の先端に設けられた溶着部２４０ａを挿通させる。この状態で、熱圧着治具等により、熱を加えながらフィルター２１６の上面側から下方に向けて押圧する。これにより、図１４（ｂ）に示すように、ダイレクター２１８が溶融してフィルター２１６の微細孔内に浸透すると共に、溶着部２４０ａの先端部がフィルター２１６の上面に沿って固定孔２１６ａの内径よりも大きく広がる。この際、溶融した溶着部２４０ａの一部がフィルター２１６の微細孔内に浸透するようにしてもよい。そして、この状態で溶融したダイレクター２１８及び溶着部２４０ａを固化させることで、フィルター取付面５０７ａ及び支持突起２４０の先端面にフィルター２１６を固定することができる。
【００９３】
ところで、上記した第１実施形態では、支持突起２４０を円柱状に形成したが、点状、すなわち柱状であれば、どのような形状であってもよい。例えば、三角柱や四角柱等の多角柱状に形成することができる。また、下流フィルター室５０４を分断しなければ、例えば、図１８に示す第３実施形態のように、上面から見て線状（長方形状）の支持突起２４０（支持壁２５０）を採用することもできる。なお、第３実施形態については後述する。さらに、上記した第１実施形態では、１つのフィルター室５２０に対して第３上流流路５０５を２つ備えたが、すなわち１つの下流フィルター室５０４に対して２つの開口部５１０を開口したが、これには限られない。１つの下流フィルター室５０４に対して１つの開口部５１０を開口することもできる。この場合、本実施形態のように、第２上流流路５０２の開口と第３上流流路５０５の開口（開口部５１０）とが、相対向せずに、（Ｘ、Ｙ）面内方向に偏心していることが望ましい。このようにすれば、第２上流流路５０２の開口と第３上流流路５０５の開口とを対称に対向配置する必要が無いため、設計の自由度が増す。すなわち、第２上流流路５０２より上流側の流路や第３上流流路５０５より下流側の流路の位置に合わせて、第２上流流路５０２及び第３上流流路５０５を配置することができる。また、第２上流流路５０２の開口と第３上流流路５０５の開口とを対称に対向配置した場合と比較して、第２上流流路５０２の開口から流入したインクが分散してフィルター２１６を通過し易いので、フィルター２１６の有効面積を増やすことができる。さらに、記録ヘッド１の構成に応じて、１つの下流フィルター室５０４に対して複数の第３上流流路５０５の開口（開口部５１０）を設けることもできる。例えば、図２０に示す第４実施形態では、１つの下流フィルター室５０４に対して３つの開口部５１０を設けている。なお、第４実施形態については後述する。
【００９４】
また、上記した第１実施形態では、２つの開口部５１０が短手方向Ｓにおいて同じ位置に揃えられていたが、これには限られない。例えば、図１５に示す第１実施形態の第２変形例では、第１開口部５１０Ａと第２開口部５１０Ｂとが短手方向Ｓに所定の間隔を開けて配置されている。具体的には、第１開口部５１０Ａは、下流フィルター室５０４を短手方向Ｓに３等分した領域のうち、Ｓ１／３とＳ２／３との境界に設けられている。また、第２開口部５１０Ｂは、下流フィルター室５０４を短手方向Ｓに３等分した領域のうち、及びＳ２／３とＳ３／３との境界に設けられている。なお、第１開口部５１０Ａ及び第２開口部５１０Ｂの長手方向Ｌにおける位置は、上記した第１実施形態と同じである。そして、本変形例でも長手方向Ｌにおける第１開口部５１０Ａの開口中心と第２開口部５１０Ｂの開口中心との間に挟まれた領域Ｒ１に支持突起２４０（第２支持突起２４２及び第３支持突起２４３）を設けることで、フィルター２１６の撓み変形による下流フィルター室５０４の底面５０４ａへの貼り付きをより確実に抑制することができる。なお、その他の構成は、上記した第１実施形態と同じであるため、説明を省略する。
【００９５】
また、上記した第１実施形態では、上流フィルター室５０３、下流フィルター室５０４、フィルター取付空間５０７及びフィルター２１６の外形が、平面視において長方形状に形成されたが、これには限られない。例えば、図１６に示す第２実施形態では、上流フィルター室５０３、下流フィルター室５０４、フィルター取付空間５０７及びフィルター２１６の外形が、楕円形状に形成されている。すなわち、上流フィルター室５０３の下流側の開口縁とフィルター取付空間５０７とが略同じ内径の楕円形状に形成されると共に、下流フィルター室５０４の上流側の開口縁がフィルター取付空間５０７よりも僅かに小さい内径の楕円形状に形成されている。また、フィルター２１６は、フィルター取付空間５０７の内径よりも小さく、且つ下流フィルター室５０４の上流側の開口縁の内径よりも大きい楕円形状に形成されている。この場合、楕円形状における長軸の軸方向に沿った方向が長手方向Ｌであり、楕円形状における短軸の軸方向に沿った方向が短手方向Ｓである。
【００９６】
そして、本実施形態でも、上記した第１実施形態と同様に、下流フィルター室５０４を長手方向Ｌに４等分した領域のうち、Ｌ２／４の領域に第１開口部５１０Ａが設けられ、Ｌ４／４の領域に第２開口部５１０Ｂが設けられている。また、Ｌ１／４とＬ２／４との境界に２つの第１支持突起２４１が設けられ、Ｌ２／４とＬ３／４との境界に２つの第２支持突起２４２が設けられ、Ｌ３／４とＬ４／４との境界に２つの第３支持突起２４３が設けられている。さらに、これら短手方向Ｓに間隔を開けて配置された２つの支持突起２４０は、下流フィルター室５０４を短手方向Ｓに３等分した領域のうち、Ｓ１／３とＳ２／３との境界及びＳ２／３とＳ３／３との境界に設けられている。すなわち、長手方向Ｌにおける第１開口部５１０Ａの開口中心と第２開口部５１０Ｂの開口中心との間に挟まれた領域Ｒ１内に、第２支持突起２４２の組及び第３支持突起２４３の組が設けられ、領域Ｒ１の外側の領域に、第１支持突起２４１の組が設けられている。
【００９７】
このように、本実施形態でも、支持突起２４０を領域Ｒ１内に複数設けたので、フィルター２１６の底面５０４ａ側への撓み量が支持突起２４０間で分割されて小さくなり、フィルター２１６の底面５０４ａへの貼り付きを一層確実に抑制することができる。その結果、フィルター２１６が下流フィルター室５０４の底面５０４ａに貼り付くことによる圧力損失の増大を抑制でき、ノズル２１内のインクのメニスカスが破壊されることを抑制できる。加えて、領域Ｒ１の外側にも支持突起２４０が設けられているため、フィルター２１６の撓みによる底面５０４ａへの貼り付きをより確実に抑制することができる。なお、その他の構成は、上記した第１実施形態と同じであるため、説明を省略する。
【００９８】
また、上記した第１実施形態の第２変形例と同様に、第１開口部５１０Ａと第２開口部５１０Ｂとを短手方向Ｓに所定の間隔を開けて配置することもできる。すなわち、図１７に示す第２実施形態の変形例では、第１開口部５１０Ａが、下流フィルター室５０４を短手方向Ｓに３等分した領域のうち、Ｓ１／３とＳ２／３との境界に設けられている。また、第２開口部５１０Ｂは、下流フィルター室５０４を短手方向Ｓに３等分した領域のうち、及びＳ２／３とＳ３／３との境界に設けられている。なお、第１開口部５１０Ａ及び第２開口部５１０Ｂの長手方向Ｌにおける位置は、上記した第２実施形態と同じである。そして、本変形例でも長手方向Ｌにおける第１開口部５１０Ａの開口中心と第２開口部５１０Ｂの開口中心との間に挟まれた領域Ｒ１に支持突起２４０（第２支持突起２４２及び第３支持突起２４３）を設けることで、フィルター２１６の撓み変形による下流フィルター室５０４の底面５０４ａへの貼り付きをより確実に抑制することができる。なお、その他の構成は、上記した第２実施形態と同じであるため、説明を省略する。
【００９９】
さらに、上記した各実施形態では、支持突起２４０を点状に形成したが、これには限られない。気泡の引っかかりを抑制する効果及びフィルター２１６の有効面積の減少を抑制する結果が減少するものの、支持突起を線状に形成した支持壁２５０を設けることもできる。例えば、図１８に示すは第３実施形態では、平面視において長方形状に形成された支持壁２５０が設けられている。なお、本実施形態の上流フィルター室５０３、下流フィルター室５０４、フィルター取付空間５０７及びフィルター２１６の外形は、上述した第１実施形態と同様に、平面視において長方形状に形成されている。また、第１開口部５１０Ａ及び第２開口部５１０Ｂも、上述した第１実施形態と同様の位置に開口している。
【０１００】
本実施形態の支持壁２５０は、下流フィルター室５０４の底面５０４ａからフィルター２１６側へ向けて突出した板状に形成されている。この支持壁２５０は、平面視において長手方向が、下流フィルター室５０４の２つの対角線７１０、７１１に沿うように配置されている。具体的には、一方の対角線７１０に沿って等間隔に５つ、他方の対角線７１１に沿って下流フィルター室５０４の角部に２つ、合計７つ設けられている。ここで、本実施形態では、一方の対角線７１０上に配置された５つの支持壁２５０を、下流フィルター室５０４の一側（図１８における左側）の角部から他側（図１８における右側）の角部に向かって、第１支持壁２５１、第２支持壁２５２、第３支持壁２５３、第４支持壁２５４、第５支持壁２５５と称する。また、他方の対角線７１１上に配置された２つの支持壁２５０を、下流フィルター室５０４の一側の角部から他側の角部に向かって、第６支持壁２５６、第７支持壁２５７と称する。そして、各支持壁２５０の先端部には、溶着部２６０が形成され、この溶着部２６０により支持壁２５０の先端部とフィルター２１６とが溶着されている。本実施形態の溶着部２６０は、溶融する前の状態で、平面視において支持壁２５０よりも小さく形成されている。なお、図１８では、溶融する前の溶着部２６０を破線で表している。
【０１０１】
また、本実施形態では、長手方向Ｌにおける第１開口部５１０Ａの開口中心と第２開口部５１０Ｂの開口中心との間に挟まれた領域Ｒ１内に、第３支持壁２５３、第４支持壁２５４が配置されている。また、領域Ｒ１から一側に外れた領域には、第１支持壁２５１、第２支持壁２５２及び第６支持壁２５６が配置され、他側に外れた領域には、第５支持壁２５５及び第７支持壁２５７が配置されている。なお、第１支持壁２５１、第５支持壁２５５、第６支持壁２５６及び第７支持壁２５７は、下流フィルター室５０４の四隅において、下流フィルター室５０４の内壁面から連続して設けられている。また、各支持壁部２５１、２５２、２５３、２５４、２５５、２５６、２５７の板厚は、同じに揃えられている。
【０１０２】
このように、本実施形態でも、支持壁２５０を領域Ｒ１内に複数設けたので、フィルター２１６の底面５０４ａ側への撓み量を抑えることができる。これにより、フィルター２１６の底面５０４ａへの貼り付きを一層確実に抑制することができる。その結果、フィルター２１６が下流フィルター室５０４の底面５０４ａに貼り付くことによる圧力損失の増大を抑制でき、ノズル２１内のインクのメニスカスが破壊されることを抑制できる。加えて、領域Ｒ１の外側にも支持突起２４０が設けられているため、フィルター２１６の撓みによる底面５０４ａへの貼り付きをより確実に抑制することができる。そして、本実勢形態では、平面視において長方形状の支持壁２５０によりフィルター２１６を支持したので、フィルター２１６を支持する面積を増やすことができる。これにより、フィルター２１６の底面５０４ａ側への撓み量を一層抑えることができる。なお、その他の構成は、上記した第１実施形態と同じであるため、説明を省略する。
【０１０３】
なお、上記した第３実施形態では、各支持壁部２５１、２５２、２５３、２５４、２５５、２５６、２５７の板厚は、同じに揃えられていたが、これには限られず、異なる板厚にすることもできる。例えば、図１９に示す第３実施形態の変形例では、支持壁部２５０の板厚が、フィルター２１６の中心、すなわち、長手方向Ｌの中心に近づくほど厚くなるように形成されている。具体的には、フィルター２１６の中心に最も近い第３支持壁部２５３の板厚が最も厚くなり、フィルター２１６の中心から最も遠い第１支持壁２５１、第５支持壁２５５、第６支持壁２５６及び第７支持壁２５７の板厚が最も薄くなっている。また、第１支持壁２５１と第３支持壁部２５３との間に位置する第２支持壁部２５３、及び、第３支持壁２５３と第５支持壁部２５５との間に位置する第４支持壁部２５４の板厚は、第１支持壁２５１及び第５支持壁部２５５の板厚よりも厚く、且つ第３支持壁部２５３の板厚よりも薄くなっている。
【０１０４】
これにより、比較的に撓みが大きいフィルター２１６の中心部を、第３支持壁２５３により確実に支持することができる。また、比較的に撓みが小さいフィルター２１６の四隅の部分は、板厚が薄い第１支持壁２５１、第５支持壁２５５、第６支持壁２５６及び第７支持壁２５７により支持されるので、フィルター２１６の有効面積が減少することを抑制できる。なお、その他の構成は、上記した第３実施形態と同じであるため、説明を省略する。
【０１０５】
ところで、第３実施形態及びその変形例では、板状の支持壁２５０のみを設けたが、これには限られない。支持壁２５０と、上記した第１実施形態の点状の支持突起２４０とを混在させてもよい。この場合、支持面積が大きい支持壁２５０を、比較的に撓みが大きいフィルター２１６の中心部に配置することが望ましい。
【０１０６】
ところで、図２０に示す第４実施形態のように、例えば記録ヘッド１の構成に応じて、１つの下流フィルター室５０４に対して３つの第３上流流路５０５の開口（開口部５１０）が設けられている場合、これら３つの開口部５１０の開口中心に囲まれた領域Ｒ２内に支持突起２４０を設けることが望ましい。
【０１０７】
具体的に説明すると、第４実施形態の下流フィルター室５０４の底面５０４ａには、長手方向Ｌの一側（図２０における左側）から他側（図２０における右側）に向けて順に、第１開口部５１０Ａ、第２開口部５１０Ｂ、第３開口部５１０Ｃが設けられている。第１開口部５１０Ａ及び第３開口部５１０Ｃは、短手方向Ｓにおいて同じ位置に揃えられており、第２開口部５１０Ｂは、短手方向Ｓにおいて第１開口部５１０Ａ及び第３開口部５１０Ｃと所定の間隔を開けて配置されている。また、尾根２１９は、第１開口部５１０Ａと第２開口部５１０Ｂとの間、第２開口部５１０Ｂと第３開口部５１０Ｃとの間及び第１開口部５１０Ａと第３開口部５１０Ｃとの間にそれぞれ設けられている。これにより、第１開口部５１０Ａが開口する第１凹室５１１Ａ、第２開口部５１０Ｂが開口する第２凹室５１１Ｂ及び第３開口部５１０Ｃが開口する第３凹室５１１Ｃが区画される。これら３つの凹室５１１は、上述した第１実施形態と同様に、尾根２１９の先端とフィルター２１６との間に形成された隙間により連通している。
【０１０８】
そして、支持突起２４０は、平面視において第１開口部５１０Ａの開口中心、第２開口部５１０Ｂの開口中心及び第３開口部５１０Ｃの開口中心を結んだ三角形の領域Ｒ２内に設けられている。なお、この領域Ｒ２は、長手方向Ｌにおける第１開口部５１０Ａの開口中心と第３開口部５１０Ｃの開口中心との間に挟まれた領域Ｒ１に含まれる。すなわち、支持突起２４０は、領域Ｒ１内に設けられている。このように、本実施形態でも、支持突起２４０を領域Ｒ１内に設けたので、フィルター２１６の底面５０４ａ側への撓み量を抑えることができる。特に、本実施形態では、支持突起２４０を３つの開口部５１０の開口中心に囲まれた領域Ｒ２内に設けたので、フィルター２１６の底面５０４ａ側への撓み量をより確実に抑えることができる。これにより、フィルター２１６の底面５０４ａへの貼り付きを更に確実に抑制することができる。なお、その他の構成は、上記した第１実施形態とおなじであるため、説明を省略する。
【０１０９】
なお、上記した第４実施形態では、支持突起２４０を１つだけ設けたが、これには限られない。領域Ｒ２を含む領域Ｒ１の内側及び領域Ｒ１の外側に支持突起２４０を複数設けるようにしてもよい。また、下流フィルター室５０４に対して３つの第３上流流路５０５の開口（開口部５１０）が設けられたが、これには限られない。下流フィルター室５０４に対して３つ以上の開口部５１０を設けてもよい。さらに、開口部５１０の位置は、下流側の流路の構成（位置）に応じて適宜に設定し得る。
【０１１０】
ところで、上記した各実施形態では、平面視において、長手方向Ｌ及び短手方向Ｓを有する形状のフィルター室５２０及びフィルター２１６について例示したが、これには限られない。長手方向Ｌ及び短手方向Ｓを有さない形状、例えば、平面視において、長方形状や円形状のものにも本発明を適用することができる。また、上記した第２上流流路５０２は、上流フィルター室５０３の略中央に開口したが、これには限られない。第２上流流路５０２よりも上流側の流路の構成（位置）に応じて、第２上流流路５０２の開口位置は適宜に設定し得る。
【０１１１】
また、上記したプリンターＩでは、記録ヘッド１がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、これには限られない。例えば、記録ヘッド１を固定し、記録紙等の記録媒体Ｓを副走査方向に移動させて印刷を行う、所謂ライン型のプリンターにも本発明を適用することができる。さらに、上記した記録ヘッド１では、２つのヘッド本体２（第１ヘッド本体２Ａ、第２ヘッド本体２Ｂ）を備えたものを例示したが、これには限られない。ヘッド本体２を１つ備えた記録ヘッドや、ヘッド本体２を３つ以上備えた記録ヘッド等にも本発明を適用することができる。
【０１１２】
そして、以上では、インクジェットプリンターとして、インクジェットヘッドの一種である記録ヘッド１を備えたプリンター１を例に挙げて説明したが、これには限られず、流路及びフィルターが設けられた流路部材を搭載する他のインクジェットプリンターにも適用することができる。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターを製造するディスプレイ製造用プリンター（ディスプレイ製造用液体噴射装置）に搭載される色材噴射ヘッド，有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレイやＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極製造用プリンター（電極製造用液体噴射装置）に搭載される電極材噴射ヘッド等にも本発明を適用することができる。その他、流路及びフィルターが設けられた流路部材を備えたインクジェットプリンター以外の装置等にも本発明を適用することができる。
【符号の説明】
【０１１３】
Ｉ…プリンター，１…記録ヘッド，２…ヘッド本体，４…プリンター本体，２１…ノズル，１００…マニホールド，１３０…圧電素子，２００…流路ユニット，２１０…上流流路部材，２１１…第１上流流路部材，２１２…第２上流流路部材，２１３…第３上流流路部材，２１６…フィルター，２１８…ダイレクター，２１９…尾根，２２０…下流流路部材，２３０…シール部材，２４０…支持突起，２４０ａ…溶着部，２５０…支持壁，２６０…溶着部，３００…配線基板，４００…カバーヘッド，５００…上流流路，５０１…第１上流流路，５０２…第２上流流路，５０３…上流フィルター室，５０４…下流フィルター室，５０４ａ…底面，５０５…第３上流流路，５０７…フィルター取付空間，５０７ａ…フィルター取付面，５１０…開口部，５１１…凹室，５２０…フィルター室，６００…下流流路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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