(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
交差する複数の分割予定ラインに沿って分割起点が形成された被加工物、又は交差する複数の分割予定ラインに沿って個々のチップへと分割された被加工物に貼着したエキスパンドシートを拡張する拡張装置であって、
該被加工物の第一面に平行な第一方向において該被加工物を挟んで互いに対向し、該被加工物より外側の領域で該エキスパンドシートを挟持する第一の挟持手段及び第二の挟持手段と、
該第一面に平行で該第一方向に直交する第二方向において該被加工物を挟んで互いに対向し、該被加工物より外側の領域で該エキスパンドシートを挟持する第三の挟持手段及び第四の挟持手段と、
該第一の挟持手段と該第二の挟持手段とを該第一方向に沿って離反させ、該第三の挟持手段と該第四の挟持手段とを該第二方向に沿って離反させる移動手段と、
該エキスパンドシートの拡張を部分的に抑制する板状の拡張キャンセル部材を、各挟持手段と該被加工物との間に位置する該エキスパンドシートの領域に貼着し、又は該領域から剥離する拡張キャンセル部材着脱手段と、を備え、
該拡張キャンセル部材着脱手段は、互いに隣接して配置された複数の該拡張キャンセル部材を、該被加工物を囲繞するように該エキスパンドシートに貼着することを特徴とする拡張装置。
【請求項２】
交差する複数の分割予定ラインに沿って分割起点が形成された被加工物、又は交差する複数の分割予定ラインに沿って個々のチップへと分割された被加工物に接着シートを介して貼着したエキスパンドシートを拡張し、該接着シートを破断する接着シートの破断方法であって、
該被加工物の第一面に平行な第一方向において該被加工物を挟んで互いに対向する第一の挟持手段及び第二の挟持手段を用い、該被加工物より外側の領域で該エキスパンドシートを挟持し、該第一面に平行で該第一方向に直交する第二方向において該被加工物を挟んで互いに対向する第三の挟持手段及び第四の挟持手段を用い、該被加工物より外側の領域で該エキスパンドシートを挟持する挟持ステップと、
該エキスパンドシートの拡張を部分的に抑制する板状の拡張キャンセル部材を、各挟持手段と該被加工物との間に位置する該エキスパンドシートの領域に貼着する拡張キャンセル部材貼着ステップと、
該拡張キャンセル部材貼着ステップを実施した後に、該第一の挟持手段と該第二の挟持手段とを該第一方向に沿って離反させ、該第三の挟持手段と該第四の挟持手段とを該第二方向に沿って離反させることで、該被加工物に貼着した該エキスパンドシートを拡張して該接着シートを破断する破断ステップと、
該破断ステップを実施した後に、該拡張キャンセル部材を該エキスパンドシートの該領域から剥離する拡張キャンセル部材剥離ステップと、を備えることを特徴とする接着シートの破断方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状の被加工物に貼着したエキスパンドシートを拡張する拡張装置、及び当該拡張装置を用いる接着シートの破断方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハに代表される板状の被加工物を複数のチップへと分割するために、切削ブレードやレーザー光線等を用いて分割の起点を形成し、その後、外力を付与する被加工物の分割方法が実用化されている。この分割方法では、例えば、被加工物にエキスパンドシートを貼着して拡張することで、分割に必要な外力を被加工物に付与している。
【０００３】
ところで、上述のようにエキスパンドシートを拡張して広げたチップの間隔を維持するために、拡張後のエキスパンドシートをフレームに固定できる拡張装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
この拡張装置で拡張したエキスパンドシートをフレームに固定すれば、エキスパンドシートは収縮し難くなるので、時間が経過してもチップの間隔が狭くなることはない。これにより、チップをエキスパンドシートから取り外すピックアップ等の際に、チップ同士の接触を防止できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−２２３８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述した拡張装置では、拡張後のエキスパンドシートに対してフレームを貼着できるように、エキスパンドシートを挟持する挟持機構と被加工物との間のスペースを広めに確保している。しかしながら、この構成では、瞬間的に働く大きな外力で破断可能なＤＡＦ（Die  Attach  Film）等の接着シートを被加工物に貼着する場合に、外力（拡張力）が不足して接着シートを適切に破断できないことがあった。
【０００７】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、被加工物に適切な外力を付与できる拡張装置、及び当該拡張装置を用いる接着シートの破断方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によれば、交差する複数の分割予定ラインに沿って分割起点が形成された被加工物、又は交差する複数の分割予定ラインに沿って個々のチップへと分割された被加工物に貼着したエキスパンドシートを拡張する拡張装置であって、該被加工物の第一面に平行な第一方向において該被加工物を挟んで互いに対向し、該被加工物より外側の領域で該エキスパンドシートを挟持する第一の挟持手段及び第二の挟持手段と、該第一面に平行で該第一方向に直交する第二方向において該被加工物を挟んで互いに対向し、該被加工物より外側の領域で該エキスパンドシートを挟持する第三の挟持手段及び第四の挟持手段と、該第一の挟持手段と該第二の挟持手段とを該第一方向に沿って離反させ、該第三の挟持手段と該第四の挟持手段とを該第二方向に沿って離反させる移動手段と、該エキスパンドシートの拡張を部分的に抑制する板状の拡張キャンセル部材を、各挟持手段と該被加工物との間に位置する該エキスパンドシートの領域に貼着し、又は該領域から剥離する拡張キャンセル部材着脱手段と、を備え、該拡張キャンセル部材着脱手段は、互いに隣接して配置された複数の該拡張キャンセル部材を、該被加工物を囲繞するように該エキスパンドシートに貼着することを特徴とする拡張装置が提供される。
【００１０】
また、本発明によれば、交差する複数の分割予定ラインに沿って分割起点が形成された被加工物、又は交差する複数の分割予定ラインに沿って個々のチップへと分割された被加工物に接着シートを介して貼着したエキスパンドシートを拡張し、該接着シートを破断する接着シートの破断方法であって、該被加工物の第一面に平行な第一方向において該被加工物を挟んで互いに対向する第一の挟持手段及び第二の挟持手段を用い、該被加工物より外側の領域で該エキスパンドシートを挟持し、該第一面に平行で該第一方向に直交する第二方向において該被加工物を挟んで互いに対向する第三の挟持手段及び第四の挟持手段を用い、該被加工物より外側の領域で該エキスパンドシートを挟持する挟持ステップと、該エキスパンドシートの拡張を部分的に抑制する板状の拡張キャンセル部材を、各挟持手段と該被加工物との間に位置する該エキスパンドシートの領域に貼着する拡張キャンセル部材貼着ステップと、該拡張キャンセル部材貼着ステップを実施した後に、該第一の挟持手段と該第二の挟持手段とを該第一方向に沿って離反させ、該第三の挟持手段と該第四の挟持手段とを該第二方向に沿って離反させることで、該被加工物に貼着した該エキスパンドシートを拡張して該接着シートを破断する破断ステップと、該破断ステップを実施した後に、該拡張キャンセル部材を該エキスパンドシートの該領域から剥離する拡張キャンセル部材剥離ステップと、を備えることを特徴とする接着シートの破断方法が提供される。
【発明の効果】
【００１１】
本発明に係る拡張装置及び接着シートの破断方法では、各挟持手段と被加工物との間に位置するエキスパンドシートの領域に板状の拡張キャンセル部材を貼着するので、エキスパンドシートを拡張する際に、この領域が拡張するのを抑制できる。
【００１２】
すなわち、各挟持手段と被加工物との間に位置するエキスパンドシートの領域が拡張して、被加工物に付与される外力が低下することはなくなる。よって、被加工物に適切な外力を付与できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】拡張装置の構成例を模式的に示す斜視図である。
【図２】拡張キャンセル部材着脱機構を下方側から見た斜視図である。
【図３】図３（Ａ）は、挟持ステップを模式的に示す断面図であり、図３（Ｂ）は、拡張キャンセル部材貼着ステップを模式的に示す断面図である。
【図４】拡張キャンセル部材貼着ステップを模式的に示す平面図である。
【図５】図５（Ａ）は、破断ステップを模式的に示す断面図であり、図５（Ｂ）は、拡張キャンセル部材剥離ステップを模式的に示す断面図であり、図５（Ｃ）は、保持ステップを模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係る拡張装置の構成例を模式的に示す斜視図である。なお、図１では、拡張装置の構成要素の一部を省略している。
【００１５】
図１に示すように、拡張装置２は、各構造を支持する基台４を備えている。基台４の上面４ａの中央には、昇降機構６が配置されており、この昇降機構６の上端部には、被加工物１１（図３等参照）を載置する円盤状のテーブル８が固定されている。テーブル８は、例えば、被加工物１１と同程度の大きさに形成されており、昇降機構６によって上下方向に移動する。
【００１６】
テーブル８の近傍には、基台４に対して移動可能な第一の移動基台１０が配置されている。第一の移動基台１０は、基台４に設けられた第一の移動機構（移動手段）１２と連結されており、テーブル８の上面に略平行な第一方向Ｄ１に移動する。
【００１７】
第一の移動基台１０には、被加工物１１に貼着したエキスパンドシート１３（図３参照）を挟持する第一の挟持ユニット（第一の挟持手段）１４が設けられている。第一の挟持ユニット１４は、第一の上側ユニット１６と第一の下側ユニット１８とで構成されている。
【００１８】
第一の上側ユニット１６は、略Ｌ字状の第一の上側アーム部１６ａを含む。第一の上側アーム部１６ａの先端側には、エキスパンドシート１３に当接する第一の上側当接部１６ｂが固定されている。
【００１９】
第一の上側当接部１６ｂは、平面視においてテーブル８より外側の領域に配置されている。また、第一の上側当接部１６ｂは、テーブル８の上面に略平行で第一方向Ｄ１に略直交する第二方向Ｄ２に伸びる直線状に形成されている。第一の上側アーム部１６ａの基端側には、第一の移動基台１０に設けた第一の上側昇降機構１６ｃが連結されている。
【００２０】
同様に、第一の下側ユニット１８は、略Ｌ字状の第一の下側アーム部１８ａを含む。第一の下側アーム部１８ａの先端側には、エキスパンドシート１３に当接する第一の下側当接部１８ｂが固定されている。
【００２１】
第一の下側当接部１８ｂは、第一の上側ユニット１６の第一の上側当接部１６ｂに対応する位置に配置されている。すなわち、第一の下側当接部１８ｂは、平面視においてテーブル８より外側に配置されている。また、第一の下側当接部１８ｂは、第二方向Ｄ２に伸びる直線状に形成されている。第一の下側アーム部１８ａの基端側には、第一の移動基台１０に設けた第一の下側昇降機構１８ｃが連結されている。
【００２２】
このように構成された第一の挟持ユニット１４でエキスパンドシート１３を挟持するには、例えば、第一の上側昇降機構１６ｃで第一の上側当接部１６ｂを下降させ、エキスパンドシート１３の上面に当接させる。
【００２３】
また、第一の下側昇降機構１８ｃで第一の下側当接部１８ｂを上昇させ、エキスパンドシート１３の下面に当接させる。これにより、エキスパンドシート１３は、被加工物１１より外側の領域（第一の挟持領域）において、第二方向Ｄ２に伸びる第一の上側当接部１６ｂ及び第一の下側当接部１８ｂに挟持される。
【００２４】
第一方向Ｄ１においてテーブル８を挟んで第一の挟持ユニット１４と対向する位置には、エキスパンドシート１３を挟持する第二の挟持ユニット（第二の挟持手段）２４が配置されている。第二の挟持ユニット２４の構成は、第一の挟持ユニット１４の構成と同様である。
【００２５】
すなわち、第二の挟持ユニット２４は、第二の移動基台２０に設けられている。この第二の移動基台２０は、第二の移動機構（移動手段）２２によって第一方向Ｄ１に移動する。また、第二の挟持ユニット２４は、第二の上側ユニット２６と第二の下側ユニット２８とで構成されている。
【００２６】
第二の上側ユニット２６は、略Ｌ字状の第二の上側アーム部２６ａを含む。第二の上側アーム部２６ａの先端側には、エキスパンドシート１３に当接する第二の上側当接部２６ｂが固定されている。
【００２７】
第二の上側当接部２６ｂは、平面視においてテーブル８より外側の領域に配置されている。また、第二の上側当接部２６ｂは、第二方向Ｄ２に伸びる直線状に形成されている。第二の上側アーム部２６ａの基端側には、第二の移動基台２０に設けた第二の上側昇降機構２６ｃが連結されている。
【００２８】
同様に、第二の下側ユニット２８は、略Ｌ字状の第二の下側アーム部２８ａを含む。第二の下側アーム部２８ａの先端側には、エキスパンドシート１３に当接する第二の下側当接部２８ｂが固定されている。
【００２９】
第二の下側当接部２８ｂは、第二の上側ユニット２６の第二の上側当接部２６ｂに対応する位置に配置されている。すなわち、第二の下側当接部２８ｂは、平面視においてテーブル８より外側に配置されている。また、第二の下側当接部２８ｂは、第二方向Ｄ２に伸びる直線状に形成されている。第二の下側アーム部２８ａの基端側には、第二の移動基台２０に設けた第二の下側昇降機構２８ｃが連結されている。
【００３０】
第二の挟持ユニット２４でエキスパンドシート１３を挟持するには、例えば、第二の上側昇降機構２６ｃで第二の上側当接部２６ｂを下降させ、エキスパンドシート１３の上面に当接させる。
【００３１】
また、第二の下側昇降機構２８ｃで第二の下側当接部２８ｂを上昇させ、エキスパンドシート１３の下面に当接させる。これにより、エキスパンドシート１３は、被加工物１１より外側の領域（第二の挟持領域）において、第二方向Ｄ２に伸びる第二の上側当接部２６ｂ及び第二の下側当接部２８ｂに挟持される。
【００３２】
さらに、エキスパンドシート１３を挟持した第一の挟持ユニット１４及び第二の挟持ユニット２４を、第一の移動機構１２及び第二の移動機構２２で第一方向Ｄ１に離反させれば、エキスパンドシート１３を第一方向Ｄ１に拡張できる。
【００３３】
第一の挟持ユニット１４及び第二の挟持ユニット２４と隣接する位置には、エキスパンドシート１３を挟持する第三の挟持ユニット（第三の挟持手段）３４が配置されている。第三の挟持ユニット３４の構成は、第一の挟持ユニット１４及び第二の挟持ユニット２４の構成に類似している。
【００３４】
第三の挟持ユニット３４は、第三の移動基台３０に設けられている。この第三の移動基台３０は、第三の移動機構（移動手段）３２によって第二方向Ｄ２に移動する。また、第三の挟持ユニット３４は、第三の上側ユニット３６と第三の下側ユニット３８とで構成されている。
【００３５】
第三の上側ユニット３６は、直線状の第三の上側アーム部３６ａを含む。第三の上側アーム部３６ａの先端側には、エキスパンドシート１３に当接する第三の上側当接部３６ｂが固定されている。
【００３６】
第三の上側当接部３６ｂは、平面視においてテーブル８より外側の領域に配置されている。また、第三の上側当接部３６ｂは、第一方向Ｄ１に伸びる直線状に形成されている。第三の上側アーム部３６ａの基端側には、第三の移動基台３０に設けた第三の上側昇降機構３６ｃが連結されている。
【００３７】
同様に、第三の下側ユニット３８は、直線状の第三の下側アーム部３８ａを含む。第三の下側アーム部３８ａの先端側には、エキスパンドシート１３に当接する第三の下側当接部３８ｂが固定されている。
【００３８】
第三の下側当接部３８ｂは、第三の上側ユニット３６の第三の上側当接部３６ｂに対応する位置に配置されている。すなわち、第三の下側当接部３８ｂは、平面視においてテーブル８より外側に配置されている。また、第三の下側当接部３８ｂは、第一方向Ｄ１に伸びる直線状に形成されている。第三の下側アーム部３８ａの基端側には、第三の移動基台３０に設けた第三の下側昇降機構３８ｃが連結されている。
【００３９】
第三の挟持ユニット３４でエキスパンドシート１３を挟持するには、例えば、第三の上側昇降機構３６ｃで第三の上側当接部３６ｂを下降させ、エキスパンドシート１３の上面に当接させる。
【００４０】
また、第三の下側昇降機構３８ｃで第三の下側当接部３８ｂを上昇させ、エキスパンドシート１３の下面に当接させる。これにより、エキスパンドシート１３は、被加工物１１より外側の領域（第三の挟持領域）において、第一方向Ｄ１に伸びる第三の上側当接部３６ｂ及び第三の下側当接部３８ｂに挟持される。
【００４１】
第二方向Ｄ２においてテーブル８を挟んで第三の挟持ユニット３４と対向する位置には、エキスパンドシート１３を挟持する第四の挟持ユニット（第四の挟持手段）４４が配置されている。第四の挟持ユニット４４の構成は、第三の挟持ユニット３４の構成と同様である。
【００４２】
すなわち、第四の挟持ユニット４４は、第四の移動基台４０に設けられている。この第四の移動基台４０は、第四の移動機構（移動手段）４２によって第二方向Ｄ２に移動する。また、第四の挟持ユニット４４は、第四の上側ユニット４６と第四の下側ユニット４８とで構成されている。
【００４３】
第四の上側ユニット４６は、直線状の第四の上側アーム部４６ａを含む。第四の上側アーム部４６ａの先端側には、エキスパンドシート１３に当接する第四の上側当接部４６ｂが固定されている。なお、図１では、第四の上側当接部４６ｂの一部が省略されている。
【００４４】
第四の上側当接部４６ｂは、平面視においてテーブル８より外側の領域に配置されている。また、第四の上側当接部４６ｂは、第一方向Ｄ１に伸びる直線状に形成されている。第四の上側アーム部４６ａの基端側には、第四の移動基台４０に設けた第四の上側昇降機構４６ｃが連結されている。
【００４５】
同様に、第四の下側ユニット４８は、直線状の第四の下側アーム部４８ａを含む。第四の下側アーム部４８ａの先端側には、エキスパンドシート１３に当接する第四の下側当接部４８ｂが固定されている。
【００４６】
第四の下側当接部４８ｂは、第四の上側ユニット４６の第四の上側当接部４６ｂに対応する位置に配置されている。すなわち、第四の下側当接部４８ｂは、平面視においてテーブル８より外側に配置されている。また、第四の下側当接部４８ｂは、第一方向Ｄ１に伸びる直線状に形成されている。第四の下側アーム部４８ａの基端側には、第四の移動基台４０に設けた第四の下側昇降機構（不図示）が連結されている。
【００４７】
第四の挟持ユニット４４でエキスパンドシート１３を挟持するには、例えば、第四の上側昇降機構４６ｃで第四の上側当接部４６ｂを下降させ、エキスパンドシート１３の上面に当接させる。
【００４８】
また、第四の下側昇降機構で第四の下側当接部４８ｂを上昇させ、エキスパンドシート１３の下面に当接させる。これにより、エキスパンドシート１３は、被加工物１１より外側の領域（第四の挟持領域）において、第一方向Ｄ１に伸びる第四の上側当接部４６ｂ及び第四の下側当接部４８ｂに挟持される。
【００４９】
さらに、エキスパンドシート１３を挟持した第三の挟持ユニット３４及び第四の挟持ユニット４４を、第三の移動機構３２及び第四の移動機構４２で第二方向Ｄ２に離反させれば、エキスパンドシート１３を第二方向Ｄ２に拡張できる。
【００５０】
テーブル８の上方には、拡張キャンセル部材着脱機構（拡張キャンセル部材着脱手段）５０が配置されている。この拡張キャンセル部材着脱機構５０は、移動機構（不図示）に連結されたアクチュエータ５２を含む。アクチュエータ５２は、移動機構によって第一方向Ｄ１（又は、第二方向Ｄ２）に移動する。
【００５１】
このアクチュエータ５２は、柱状の筐体５４と、筐体５４に挿通された２本の支持ロッド５６とを含む。支持ロッド５６の先端側（下端側）には、平面視で略正方形状の支持プレート５８が固定されている。支持プレート５８は、アクチュエータ５２によって上下方向に移動する。
【００５２】
支持プレート５８の下面側には、複数の拡張キャンセル部材６０が設けられている。図２は、拡張キャンセル部材着脱機構５０を下方側から見た斜視図である。拡張キャンセル部材６０は、エキスパンドシート１３に装着可能なゴムシート等の板状物であり、高弾性材でなる複数の係止部材６２によって支持プレート５８の下面側に取り付けられる。
【００５３】
本実施形態では、図２に示すように、被加工物１１に対応した円形の領域を囲むように８個の拡張キャンセル部材６０を配置している。各拡張キャンセル部材６０の端部には、各拡張キャンセル部材６０を第一の挟持ユニット１４、第二の挟持ユニット２４、第三の挟持ユニット３４、第四の挟持ユニット４４のいずれかに係合させるフック６４が配置されている。
【００５４】
次に、上述した拡張装置２を用いる接着シートの破断方法について説明する。まず、被加工物１１に貼着されたエキスパンドシート１３を、第一の挟持ユニット１４、第二の挟持ユニット２４、第三の挟持ユニット３４、及び第四の挟持ユニット４４で挟持する挟持ステップを実施する。図３（Ａ）は、挟持ステップを模式的に示す断面図である。
【００５５】
被加工物１１は、例えば、シリコン等の材料でなる円盤状の板状物であり、交差する複数の分割予定ラインに沿って改質層（分割起点）又は切削溝（分割起点）が形成されている。改質層は、例えば、被加工物１１に吸収され難い波長のレーザー光線を照射することで形成され、切削溝は、例えば、被加工物１１に切削ブレードを切り込ませることで形成される。
【００５６】
被加工物１１の下面（第二面）１１ｂ側には、ＤＡＦ（Die  Attach  Film）等の接着シート１５が設けられている。この接着シート１５は、被加工物１１の下面１１ｂ全体を覆う大きさに形成されており、被加工物１１は、接着シート１５を介してエキスパンドシート１３の中央の領域（被加工物貼着領域）に貼着されている。なお、エキスパンドシート１３の上面には、接着力を備えた糊層が設けられている。
【００５７】
挟持ステップでは、まず、上面（第一面）１１ａ側が上方に露出するように、エキスパンドシート１３に貼着された被加工物１１をテーブル８に載置する。上述のように、第一の挟持ユニット１４及び第二の挟持ユニット２４は、第一方向Ｄ１においてテーブル８を挟んで対向し、第三の挟持ユニット３４及び第四の挟持ユニット４４は、第二方向Ｄ２においてテーブル８を挟んで対向している。
【００５８】
そのため、テーブル８に被加工物１１を載置すると、第一の挟持ユニット１４及び第二の挟持ユニット２４は、被加工物１１を挟んで互いに対向し、第三の挟持ユニット３４及び第四の挟持ユニット４４は、被加工物１１を挟んで互いに対向する。
【００５９】
また、被加工物１１は、上面１１ａ及び下面１１ｂがテーブル８の上面と略平行になるように載置される。すなわち、第一方向Ｄ１及び第二方向Ｄ２は、被加工物１１の上面１１ａ及び下面１１ｂに対して略平行になる。
【００６０】
被加工物１１をテーブル８に載置した後には、図３（Ａ）に示すように、第一の挟持ユニット１４、第二の挟持ユニット２４、第三の挟持ユニット３４、及び第四の挟持ユニット４４でエキスパンドシート１３を挟持する。エキスパンドシート１３を挟持した後には、テーブル８を下方に移動させる。
【００６１】
挟持ステップの後には、第一の挟持ユニット１４、第二の挟持ユニット２４、第三の挟持ユニット３４、及び第四の挟持ユニット４４と、被加工物１１との間に位置するエキスパンドシート１３の領域に拡張キャンセル部材６０を貼着する拡張キャンセル部材貼着ステップを実施する。図３（Ｂ）は、拡張キャンセル部材貼着ステップを模式的に示す断面図であり、図４は、拡張キャンセル部材貼着ステップを模式的に示す平面図である。
【００６２】
拡張キャンセル部材貼着ステップでは、まず、移動機構で支持プレート５８を移動させて、第一の挟持ユニット１４、第二の挟持ユニット２４、第三の挟持ユニット３４、及び第四の挟持ユニット４４で囲まれる領域の上方に位置合わせする。次に、アクチュエータ５２で支持プレート５８を下方に移動させて、各拡張キャンセル部材６０の下面をエキスパンドシート１３の上面に密着させる。
【００６３】
上述のように、エキスパンドシート１３の上面には糊層が形成されているので、各拡張キャンセル部材６０の下面をエキスパンドシート１３の上面に密着させると、図３（Ｂ）に示すように、各拡張キャンセル部材６０は、エキスパンドシート１３に貼着される。
【００６４】
より具体的には、図４に示すように、平面視において、第一の挟持ユニット１４、第二の挟持ユニット２４、第三の挟持ユニット３４、及び第四の挟持ユニット４４と、被加工物１１と、で挟まれる領域に各拡張キャンセル部材６０が貼着される。拡張キャンセル部材６０が貼着される領域（拡張キャンセル部材貼着領域）は、第一の挟持ユニット１４、第二の挟持ユニット２４、第三の挟持ユニット３４、及び第四の挟持ユニット４４と、被加工物１１とで挟まれる領域をほぼ埋めるように設定すると良い。
【００６５】
各拡張キャンセル部材６０をエキスパンドシート１３に貼着した後には、図３（Ｂ）に示すように、第一の上側当接部１６ｂ、第二の上側当接部２６ｂ、第三の上側当接部３６ｂ、及び第四の上側当接部４６ｂにそれぞれ設けられているフック係合部材６６を回動させて、開口６６ａにフック６４を係合させる。
【００６６】
拡張キャンセル部材貼着ステップの後には、被加工物１１に貼着したエキスパンドシート１３を拡張して接着シート１５を破断する破断ステップを実施する。図５（Ａ）は、破断ステップを模式的に示す断面図である。
【００６７】
破断ステップでは、エキスパンドシート１３を挟持した第一の挟持ユニット１４及び第二の挟持ユニット２４を、第一の移動機構１２及び第二の移動機構２２で第一方向Ｄ１に離反させる。
【００６８】
また、エキスパンドシート１３を挟持した第三の挟持ユニット３４及び第四の挟持ユニット４４を、第三の移動機構３２及び第四の移動機構４２で第二方向Ｄ２に離反させる。これにより、エキスパンドシート１３を第一方向Ｄ１及び第二方向Ｄ２に拡張できる。
【００６９】
本実施形態では、上述のように、複数の拡張キャンセル部材６０をエキスパンドシート１３の拡張キャンセル部材貼着領域に貼着しているので、上述のようにエキスパンドシート１３を拡張しても、エキスパンドシート１３の拡張キャンセル部材貼着領域が拡張して、被加工物１１に付与される外力が低下することはない。
【００７０】
また、本実施形態では、上述のように、各拡張キャンセル部材６０を、第一の挟持ユニット１４、第二の挟持ユニット２４、第三の挟持ユニット３４、第四の挟持ユニット４４のいずれかに係合させている。
【００７１】
そのため、第一の挟持ユニット１４、第二の挟持ユニット２４、第三の挟持ユニット３４、及び第四の挟持ユニット４４を移動させると、各拡張キャンセル部材６０も、第一の挟持ユニット１４、第二の挟持ユニット２４、第三の挟持ユニット３４、及び第四の挟持ユニット４４とともに移動する。
【００７２】
これにより、エキスパンドシート１３の被加工物貼着領域を十分に拡張して、被加工物１１に適切な外力を付与できる。この破断ステップによって、被加工物１１は、複数のチップ１７へと分割され、接着シート１５は、各チップ１７に対応する小シート１９へと破断される。
【００７３】
破断ステップの後には、拡張キャンセル部材６０をエキスパンドシート１３から剥離する拡張キャンセル部材剥離ステップを実施する。図５（Ｂ）は、拡張キャンセル部材剥離ステップを模式的に示す断面図である。
【００７４】
拡張キャンセル部材剥離ステップでは、まず、フック係合部材６６を回動させて、フック６４の係合を解除する。次に、アクチュエータ５２で支持プレート５８を上方に移動させて、各拡張キャンセル部材６０をエキスパンドシート１３の拡張キャンセル部材貼着領域から剥離する。
【００７５】
ここで、各拡張キャンセル部材６０の内側の係止部材６２ａは、外側の係止部材６２ｂより短く形成されている。また、係止部材６２ａ及び係止部材６２ｂが挿通される支持プレート５８の開口は、係止部材６２ａ及び係止部材６２ｂの下端側の動きを許容する形状に形成されている。
【００７６】
よって、支持プレート５８を上方に移動させると、各拡張キャンセル部材６０の内側が先に引き上げられる。エキスパンドシート１３から各拡張キャンセル部材６０が完全に剥離されると、拡張キャンセル部材剥離ステップは終了する。
【００７７】
拡張キャンセル部材剥離ステップの後には、チップ１７及び小シート１９を環状のフレームで保持する保持ステップを実施する。図５（Ｃ）は、保持ステップを模式的に示す断面図である。
【００７８】
保持ステップでは、まず、被加工物１１を囲む環状のフレーム２１をエキスパンドシート１３に貼着する。次に、カッター６８でエキスパンドシート１３をフレーム２１に合わせてカットする。これにより、チップ１７及び小シート１９は、エキスパンドシート１３を介して環状のフレームに保持される。
【００７９】
以上のように、本実施形態に係る拡張装置及び接着シートの破断方法では、第一の挟持ユニット１４、第二の挟持ユニット２４、第三の挟持ユニット３４、及び第四の挟持ユニット４４（各挟持手段）と、被加工物１１との間に位置するエキスパンドシート１３の拡張キャンセル部材貼着領域に板状の拡張キャンセル部材６０を貼着して、エキスパンドシート１３を拡張する際に、この拡張キャンセル部材貼着領域が拡張するのを抑制している。これにより、拡張キャンセル部材貼着領域が拡張して、被加工物１１に付与される外力が低下することはなくなり、被加工物１１に適切な外力を付与できる。
【００８０】
なお、本発明は上記実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態では、分割の起点となる改質層又は切削溝が形成された未分割の被加工物１１を用いているが、本発明では、複数のチップへと分割された後の被加工物１１を用いることもできる。この場合、例えば、交差する複数の分割予定ラインに沿ってチップへと分割された被加工物に、接着シート１５を介してエキスパンドシート１３を貼着する。
【００８１】
その他、上記実施形態に係る構成、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【００８２】
２  拡張装置
４  基台
４ａ  上面
６  昇降機構
８  テーブル
１０  第一の移動基台
１２  第一の移動機構（移動手段）
１４  第一の挟持ユニット（第一の挟持手段）
１６  第一の上側ユニット
１６ａ  第一の上側アーム部
１６ｂ  第一の上側当接部
１６ｃ  第一の上側昇降機構
１８  第一の下側ユニット
１８ａ  第一の下側アーム部
１８ｂ  第一の下側当接部
１８ｃ  第一の下側昇降機構
２０  第二の移動基台
２２  第二の移動機構（移動手段）
２４  第二の挟持ユニット（第二の挟持手段）
２６  第二の上側ユニット
２６ａ  第二の上側アーム部
２６ｂ  第二の上側当接部
２６ｃ  第二の上側昇降機構
２８  第二の下側ユニット
２８ａ  第二の下側アーム部
２８ｂ  第二の下側当接部
２８ｃ  第二の下側昇降機構
３０  第三の移動基台
３２  第三の移動機構（移動手段）
３４  第三挟持ユニット（第三の挟持手段）
３６  第三の上側ユニット
３６ａ  第三の上側アーム部
３６ｂ  第三の上側当接部
３６ｃ  第三の上側昇降機構
３８  第三の下側ユニット
３８ａ  第三の下側アーム部
３８ｂ  第三の下側当接部
３８ｃ  第三の下側昇降機構
４０  第四の移動基台
４２  第四の移動機構（移動手段）
４４  第四挟持ユニット（第四の挟持手段）
４６  第四の上側ユニット
４６ａ  第四の上側アーム部
４６ｂ  第四の上側当接部
４６ｃ  第四の上側昇降機構
４８  第四の下側ユニット
４８ａ  第四の下側アーム部
４８ｂ  第四の下側当接部
５０  拡張キャンセル部材着脱機構（拡張キャンセル部材着脱手段）
５２  アクチュエータ
５４  筐体
５６  支持ロッド
５８  支持プレート
６０  拡張キャンセル部材
６２，６２ａ，６２ｂ  係止部材
６４  フック
６６  フック係合部材
６６ａ  開口
６８  カッター
１１  被加工物
１１ａ  上面（第一面）
１１ｂ  下面（第二面）
１３  エキスパンドシート
１５  接着シート
１７  チップ
１９  小シート
２１  フレーム
Ｄ１  第一方向
Ｄ２  第二方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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