(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の側および第２の側を有するシリコン基板ウェハと、前記シリコン基板ウェハの前記第１の側上に成膜されるシリコンエピタキシャル層とを含み、前記シリコンエピタキシャル層は４×１０１８原子／ｃｍ３以上２×１０１９原子／ｃｍ３以下の濃度の窒素でドープされた、エピタキシャルウェハ。
【請求項２】
前記シリコンエピタキシャル層は窒素でドープされ、前記シリコンエピタキシャル層の上に成膜されるさらなるシリコンエピタキシャル層は窒素でドープされない、請求項１に記載のエピタキシャルウェハ。
【請求項３】
前記シリコンエピタキシャル層は完全にまたは部分的に前記シリコン基板ウェハを被覆する、請求項１または請求項２に記載のエピタキシャルウェハ。
【請求項４】
前記シリコンエピタキシャル層は、元素周期表のＩＩＩ属またはＶ属に属する少なくとも１つの電気的に活性なドーパントでさらにドープされる、請求項１〜３の１つに記載のエピタキシャルウェハ。
【請求項５】
エピタキシャルウェハを製造する方法であって、
第１の側および第２の側を有するシリコン基板ウェハを与えることと、
ある成膜温度で、前記シリコン基板ウェハの前記第１の側上にシリコンエピタキシャル層を成膜することとを含み、
前記シリコンエピタキシャル層は、１つ以上のシリコン前駆物質化合物およびアンモニアを含有する成膜ガス雰囲気の存在下で化学蒸着法によって成膜され、前記成膜温度は９４０℃以下、および前記成膜ガス雰囲気において前記１つ以上のシリコン前駆物質化合物およびアンモニアの分解を引起すのに十分な温度以上であり、前記方法はさらに、前記シリコンエピタキシャル層を、前記成膜中に、４×１０１８原子／ｃｍ３以上２×１０１９原子／ｃｍ３以下の濃度の窒素でドープすることを含む、方法。
【請求項６】
前記シリコンエピタキシャル層は前記アンモニアの存在下において成膜され、さらなるシリコンエピタキシャル層が１つ以上の窒素前駆物質化合物がない状態で前記シリコンエピタキシャル層上に成膜される、請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記エピタキシャルウェハをエピ後アニールすることをさらに含む、請求項５または請求項６に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
発明の背景
この発明は、エピタキシャルウェハ、およびエピタキシャルウェハを製造する方法に向けられる。
【背景技術】
【０００２】
このエピタキシャルウェハは、第１の側および第２の側を有するシリコン基板ウェハと、シリコン基板ウェハの第１の側上に成膜されるシリコンエピタキシャル層とを含む。
【０００３】
この方法は化学蒸着法（ＣＶＤ）によってシリコン基板ウェハの第１の側上にシリコンエピタキシャル層を成膜することを含む。
【０００４】
このエピタキシャルウェハはメモリデバイスおよびマイクロプロセッサのような半導体装置の製造に対して用いられる。
【０００５】
トランジスタのような電子装置構造の小型化は現在進行中であり、いくつかの問題を拡大する。応力場によって引起された転位が電子装置構造を損傷するか、さらには破壊する可能性が、より大きくなっている。
【０００６】
したがって、転位核生成および伝播に抗してエピタキシャル層を強化するべき試みがなされた。
【０００７】
米国２０１０／０１５１６９２  Ａｌは、シリコンエピタキシャル層の表面の酸素濃度が、１．０×１０１７〜１２×１０１７原子／ｃｍ３に設定されるようにエピタキシャルウェハを非酸化雰囲気下で熱処理すること提案する。エピタキシャル層において酸素濃度を上げることは転位生成に対する抵抗を改善すると考えられている。
【０００８】
別の問題は、電子装置の機能的な保全性に有害な影響がある金属性不純物に関係がある。金属性不純物のためのシンクであるゲッタリング部を与えることによってそのような不純物を電子装置構造から遠ざけるべき試みがなされた。最近の開発は、ゲッタリング部に到達するために不純物がカバーしなければならない拡散長を低減するために電子装置構造近くにそのようなゲッタリング部をシフトすることを必要とする。
【０００９】
米国２００６／０１７５６１３  Ａｌは、半導体基板にわたってゲッタリング層を成長させること、およびゲッタリング層にわたってエピタキシャル層を形成することを含む方法を開示する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
この発明の目的は、上記の言及された問題に対して、公知の解決策ほど複雑でなく、より効果的な解決策を与えることである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明者らは、シリコンエピタキシャル層における１×１０１６原子／ｃｍ３以上および１×１０２０原子／ｃｍ３以下の濃度の窒素の存在は、転位の核生成および伝播を低減することを発見した。さらに、この発明に従ってシリコンエピタキシャル層に組入れられた窒素は、酸素窒素相互作用に対して容易に近づきやすく、それは、エピタキシャル層の表面からある深さにおいて酸素ピーク濃度を有する酸素富化領域の形成を可能にする。酸素富化領域は、金属性不純物のためのゲッタリング活動を呈する。
【００１２】
第１の局面によれば、この発明は、第１の側および第２の側を有するシリコン基板ウェハと、シリコン基板ウェハの第１の側上に成膜されるシリコンエピタキシャル層と、オプションとしてシリコンエピタキシャル層の上の１つ以上のさらなるエピタキシャル層とを含み、シリコンエピタキシャル層は１×１０１６原子／ｃｍ３以上および１×１０２０原子／ｃｍ３以下の濃度の窒素でドープされ、または、１つ以上のさらなるエピタキシャル層の少なくとも１つは、１×１０１６原子／ｃｍ３以上および１×１０２０原子／ｃｍ３以下の濃度の窒素でドープされ、または、シリコンエピタキシャル層および１つ以上のさらなるエピタキシャル層の少なくとも１つは、１×１０１６原子／ｃｍ３以上および１×１０２０原子／ｃｍ３以下の濃度の窒素でドープされる、エピタキシャルウェハに向けられる。
【００１３】
窒素でドープされる１つ以上のさらなるエピタキシャル層の少なくとも１つは、好ましくはさらなるシリコンエピタキシャル層である。さらなるエピタキシャル層の各々はさらなるシリコンエピタキシャル層であり得る。
【００１４】
さらなる局面によれば、この発明は第１の局面に従うエピタキシャルウェハに向けられ、シリコンエピタキシャル層は窒素でドープされ、シリコンエピタキシャル層の上に成膜されるさらなるエピタキシャル層は窒素でドープされない。
【００１５】
さらなる局面によれば、この発明は第１の局面に従うエピタキシャルウェハに向けられ、シリコンエピタキシャル層は窒素でドープされず、シリコンエピタキシャル層の上に成膜されるさらなるエピタキシャル層は窒素でドープされる。
【００１６】
さらなる局面によれば、この発明は第１の局面に従うエピタキシャルウェハに向けられ、シリコンエピタキシャル層は、完全にまたは部分的にシリコン基板ウェハを被覆するよう、シリコン基板ウェハ上に成膜される。基板ウェハ上のシリコンエピタキシャル層の存在は、電子装置構造が構築される領域に制限され得る。
【００１７】
さらなる局面によれば、この発明は、第１の局面またはさらなる局面に従うエピタキシャルウェハに向けられ、シリコンエピタキシャル層は、元素の周期表のＩＩＩ属またはＶ属に属する少なくとも１つの電気的に活性なドーパントでさらにドープされる。好ましいドーパントはホウ素、リン、ヒ素およびアンチモンである。
【００１８】
さらなる局面によれば、この発明は、第１の局面またはさらなる局面に従うエピタキシャルウェハに向けられ、窒素でドープされるシリコンエピタキシャル層、または窒素でドープされる１つ以上のさらなるエピタキシャル層の少なくとも１つ、または窒素でドープされるシリコンエピタキシャル層および窒素でドープされる１つ以上のさらなるエピタキシャル層の少なくとも１つは、金属不純物に対するゲッタリング活動を呈する酸素富化領域を含む。酸素富化領域における酸素の濃度は、ピークを含む深さ方向分布を有する。酸素のピーク濃度は、窒素でドープされるシリコンエピタキシャル層および／または窒素でドープされる１つ以上のさらなるエピタキシャル層の少なくとも１つの深さ方向において位置する。
【００１９】
酸素富化領域における酸素のピーク濃度は好ましくは１×１０１７原子／ｃｍ３以上および１×１０１９原子／ｃｍ３以下である（新たなＡＳＴＭ）。
【００２０】
シリコン基板ウェハとシリコンエピタキシャル層との間の界面からの酸素富化領域における酸素のピーク濃度の距離は、好ましくは５０ｎｍ以上および２μｍ以下である。シリコンエピタキシャル層の表面からの深さ方向における酸素富化領域のピーク濃度の位置は、好ましくは、電子的活性領域として用いられるよう意図される領域の深さより深い。
【００２１】
窒素をドープされる１つ以上のさらなるエピタキシャル層の少なくとも１つと、それに近接する、より低い層との間の界面からの酸素富化領域における酸素のピーク濃度の距離は、好ましくは５０ｎｍ以上および２μｍ以下である。
【００２２】
本発明者らは、シリコンエピタキシャル層における窒素の拡散係数が文献(P.Pichler, Intrinsic Point Defects, Impurities, and Their Diffusion in Silicon, Springer (2004), p.383)において公開された拡散係数より著しく低いことを発見した。約５０００倍の拡散係数の低減は、窒素が、公開された文献において検討されたシステムと比較して、異なる態様においてシリコンエピタキシャル層の格子において結合されることを示唆する。
【００２３】
さらなる局面によれば、この発明は、第１の局面またはさらなる局面に記載のエピタキシャルウェハを製造する方法に向けられ、この方法は、
第１の側および第２の側を有するシリコン基板ウェハを設けることと、
ある成膜温度で、シリコン基板ウェハの第１の側上にシリコンエピタキシャル層を、およびオプションとしてシリコンエピタキシャル層の上に１つ以上のさらなるエピタキシャル層を成膜することとを含み、シリコンエピタキシャル層、または１つ以上のさらなるエピタキシャル層の少なくとも１つ、またはシリコンエピタキシャル層および１つ以上のさらなるエピタキシャル層の少なくとも１つは、１つ以上のシリコン前駆物質化合物および１つ以上の窒素前駆物質化合物を含有する成膜ガス雰囲気の存在下で化学蒸着法によって成膜され、成膜温度は９４０℃以下、および成膜ガス雰囲気において１つ以上のシリコン前駆物質化合物および１つ以上の窒素前駆物質化合物の分解を引起すのに十分な温度以上であり、この方法はさらに、シリコンエピタキシャル層、または１つ以上のさらなるエピタキシャル層の少なくとも１つ、またはシリコンエピタキシャル層および１つ以上のさらなるエピタキシャル層の少なくとも１つを、成膜中に、１×１０１６原子／ｃｍ３以上および１×１０２０原子／ｃｍ３以下の濃度の窒素でドープすることを含む。
【００２４】
好適なシリコン基板ウェハは、たとえばＣＺ方法または浮遊帯溶融法によって製造されたシリコン単結晶からウェハを切断し、切断されたウェハの縁部および側部を結晶損傷除去し、成形動作を経させる、たとえばラッピングおよび／または研削し、エッチングそして研磨することによって、得ることができる。
【００２５】
シリコン基板ウェハは、第１の側（前側）および第２の側（裏側）を有する。シリコン基板ウェハの少なくとも第１の側は研磨された表面を有することが好まれる。シリコンエピタキシャル層は化学蒸着法（ＣＶＤ）によってシリコン基板ウェハの第１の側上に成膜される。成膜中において、１つ以上のシリコン前駆物質化合物および１つ以上の窒素前駆物質化合物を含有するガスが、成膜温度に加熱されたシリコン基板ウェハにわたって流れる。前駆物質化合物は、熱により分解され、シリコンエピタキシャル層の成長のためのシリコンおよび窒素を与える。
【００２６】
たとえば、シラン（ＳｉＨ４）、ジシラン（Ｓｉ２Ｈ６）、ジクロロシラン（ＳｉＨ２Ｃｌ２）またはトリクロロシラン（ＳｉＨＣｌ３）のようなシリコン化合物を、シリコン前駆物質化合物として用い得る。
【００２７】
たとえば、窒素を含有するアンモニア（ＮＨ３）または他の有機化合物のような窒素化合物を、シリコン前駆物質化合物として用い得る。
【００２８】
成膜温度は、成膜ガスにおいてシリコン前駆物質化合物および窒素前駆物質化合物の分解を引起すのに十分な温度以上である。さらに、成膜温度は、９４０℃以下、好ましくは９３０℃以下に設定される。
【００２９】
本発明者らは、約９４０℃より高い成膜温度はシリコンエピタキシャル層における窒素の濃度を１×１０１６原子／ｃｍ３より低い値に落とすことを発見した。これらの値は転位の核生成および伝播に抗うシリコンエピタキシャル層の能力を著しく改善するには低すぎる。成膜温度における上昇は１つ以上の窒素前駆物質化合物の流量を増大することによって補償され得る。
【００３０】
この発明に従う窒素のドープと関係するエピタキシャル欠陥は、欠陥エッチング、レーザ散乱検査、または断面走査電子顕微鏡法（ＸＴＥＭ）で検出することができなかった。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】成膜温度にわたって、シリコンエピタキシャル層における窒素の濃度を示す図である。
【図２】シリコン層における窒素の濃度と窒素前駆物質化合物を含有するガスの流量との間の関係を示す。
【図３】シリコンエピタキシャル層の表面からエピタキシャルシリコン層とシリコン基板ウェハとの間の界面に向かう深さ方向における、シリコンエピタキシャル層における窒素の濃度を示す。
【図４】シリコンエピタキシャル層の表面からエピタキシャルシリコン層とシリコン基板ウェハとの間の界面に向かう深さ方向における、シリコンエピタキシャル層における酸素の濃度を示す。
【図５】ビッカース微小圧痕試験の後に形成されるロゼットの概略的な上面図である。
【図６】試験されるエピタキシャルウェハにおけるニッケルの濃度の深さ方向分布を示す。
【図７Ａ】この発明に従うエピタキシャルウェハの例を示す。
【図７Ｂ】この発明に従うエピタキシャルウェハの例を示す。
【図７Ｃ】この発明に従うエピタキシャルウェハの例を示す。
【図７Ｄ】この発明に従うエピタキシャルウェハの例を示す。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
この発明の詳細な記載
以下、この発明は、図面の参照によってより詳細に説明される。
【００３３】
シリコンエピタキシャル層における窒素［Ｎ］の濃度は成膜温度Ｔに依存する（図１）。成膜温度が９６０℃で、アンモニアが窒素前駆物質化合物として用いられ、ジクロロシランがシリコン前駆物質化合物として用いられるという場合では、シリコンエピタキシャル層における窒素濃度は、１×１０１６原子／ｃｍ３よりかなり低く、動的なＳＩＭＳ観測記録の検出限界（ＤＬ）に近い。したがって、シリコンエピタキシャル層における窒素の濃度は成膜温度によって制御することができる。成膜温度を下げることは窒素濃度を増大する。
【００３４】
同様に、シリコンエピタキシャル層における窒素［Ｎ］の濃度は窒素前駆物質化合物を含有するガスの流量Ｆを制御することによって制御することができる（図２）。アンモニアが窒素前駆物質化合物として用いられる場合では、流量を約５０％（３００ｓｃｃｍから４５０ｓｃｃｍに）増大することは、シリコンエピタキシャル層における窒素濃度を少なくとも一桁を超えて増大させる。窒素の取込動向は、単純な成長モデルでは説明することはできない。なんらかの自触媒作用機構を考慮に入れなければならない。
【００３５】
図３は、シリコンエピタキシャル層の表面（Ｄ＝０μｍ）からシリコンエピタキシャル層とシリコン基板ウェハとの間の界面（Ｄ＝２．８μｍ）に向かう方向における深さＤにわたる窒素［Ｎ］の濃度を示す。もしエピタキシャルウェハがエピ後アニールされなかったならば、シリコンエピタキシャル層内における窒素濃度の曲線は、ほとんど平坦である（曲線Ａ１ＮならびにＡ２Ｎ）。曲線Ａ１ＮおよびＡ２Ｎは、窒素前駆物質としてアンモニアを用いた、それぞれ８８０℃および９００℃の成膜温度でのシリコンエピタキシャル層の成膜の後における、シリコンエピタキシャル層およびシリコン基板の一部における窒素の深さ方向濃度を表す。界面の付近において、窒素濃度は、狭い幅を有する明らかな遷移領域内において切換わる。
【００３６】
エピタキシャルウェハがさらにエピ後アニールされると、窒素は部分的にシリコンエピタキシャル層の表面で外拡散される。窒素は基板内に同じ割合では拡散せず、ＳＩＭＳによって測定されるような遷移領域における窒素の濃度は変化しない。曲線Ｂ１ＮおよびＢ２Ｎは、窒素前駆物質としてアンモニアを用いた、それぞれ８８０℃および９００℃の成膜温度でのシリコンエピタキシャル層の成膜の後、エピ後アニール後における、シリコンエピタキシャル層およびシリコン基板の一部における窒素の深さ方向濃度を表す。比較として、曲線Ａ２およびＢ２は、窒素前駆物質を含まない成膜ガスを用いた、９００℃の成膜温度でのシリコンエピタキシャル層の成膜の後、エピタキシャルウェハのエピ後アニール前（Ａ２）および後（Ｂ２）における、シリコンエピタキシャル層およびシリコン基板の一部における窒素の深さ方向濃度をそれぞれ表す。
【００３７】
この発明に従う窒素をドープされるシリコンエピタキシャル層は、酸素窒素相互作用に対する環境を構成し、それは、エピタキシャル層の表面からある深さにおいて酸素ピーク濃度を有する酸素富化領域の形成を可能にする。
【００３８】
図４は、シリコンエピタキシャル層の表面（Ｄ＝０μｍ）からシリコンエピタキシャル層とシリコン基板ウェハとの間の界面（Ｄ＝２．８μｍ）に向かう方向における深さＤにわたる酸素［Ｏ］の濃度を示す。曲線Ａ１ＯおよびＡ２Ｏは、窒素前駆物質としてアンモニアを用いた、それぞれ８８０℃および９００℃の成膜温度でのシリコンエピタキシャル層の成膜の後における、シリコンエピタキシャル層およびシリコン基板の一部における酸素の深さ方向濃度を表す。
【００３９】
酸素富化領域は、シリコンエピタキシャル層において、シリコンエピタキシャル層とシリコン基板ウェハとの間の界面の付近で検出することができる。もし窒素の濃度が少なくとも１×１０１９原子／ｃｍ３ならば、酸素富化領域は、エピタキシャル層の成膜の直後に既に検出することができる。
【００４０】
さらに、本発明者らは、酸素富化領域における酸素のピーク濃度、およびシリコンエピタキシャル層の深さ方向におけるその幅を、さらに増大することができることを発見した。この目的のため、エピタキシャルウェハはエピ後アニールされる。曲線Ｂ１ＯおよびＢ２Ｏは、窒素前駆物質としてアンモニアを用いた、それぞれ８８０℃および９００℃の成膜温度でのシリコンエピタキシャル層の成膜の後、エピ後アニール後における、シリコンエピタキシャル層およびシリコン基板の一部における酸素の深さ方向濃度を表す。窒素をドープされるシリコンエピタキシャル層は酸素のためのシンクとして作用する。シリコン基板ウェハは、シリコンエピタキシャル層内に拡散し窒素と相互作用する酸素源を構成する。酸素の拡散はシリコンエピタキシャル層の成膜中において開始し、後のエピ後アニールによってさらに高められる。
【００４１】
エピ後アニールの熱収支は、好ましくは、典型的には高度なＣＭＯＳプロセスのために用いられる熱収支に対応する。したがって、エピ後アニールは、エピタキシャルウェハの製造業者、または電子装置の製造業者によって実行されてもよい。
【００４２】
図７Ａ〜図７Ｄは、この発明に従うエピタキシャルウェハの例を示す。
図７Ａに従うエピタキシャルウェハは、シリコン基板ウェハＳ、シリコン基板ウェハの第１の側に成膜されるシリコンエピタキシャル層Ｅ、およびシリコンエピタキシャル層の上に成膜されるさらなるエピタキシャル層Ｌを含む。シリコンエピタキシャル層Ｅはこの発明に従って窒素（Ｎ）でドープされ、一方、さらなるエピタキシャル層Ｌは窒素でドープされない。
【００４３】
図７Ｂに従うエピタキシャルウェハは、シリコン基板ウェハＳ、シリコン基板ウェハの第１の側に成膜されるシリコンエピタキシャル層Ｅ、およびシリコンエピタキシャル層の上に成膜されるさらなるエピタキシャル層Ｌを含む。さらなるエピタキシャル層Ｌはこの発明に従って窒素（Ｎ）でドープされ、一方、シリコンエピタキシャル層Ｅは窒素でドープされない。
【００４４】
図７Ｃに従うエピタキシャルウェハは、シリコン基板ウェハＳと、基板ウェハの第１の側に成膜されるシリコンエピタキシャル層Ｅと、シリコンエピタキシャル層Ｅの上に成膜される第１のさらなるエピタキシャル層Ｌ１と、第１のさらなるエピタキシャル層Ｌ１の上に成膜される第２のさらなるエピタキシャル層Ｌ２とを含む。第１のさらなるエピタキシャル層Ｌ１はこの発明に従って窒素（Ｎ）でドープされ、一方、シリコンエピタキシャル層Ｅおよび第２のさらなるエピタキシャル層Ｌ２は、窒素でドープされない。
【００４５】
図７Ｄに従うエピタキシャルウェハは、シリコン基板ウェハＳ、およびシリコン基板ウェハの第１の側に成膜されるシリコンエピタキシャル層Ｅを含む。シリコンエピタキシャル層Ｅはこの発明に従って窒素（Ｎ）でドープされる。
【００４６】
シリコンエピタキシャル層の強度（つまり転位を留めるその能力）は、M.Akatsuka and K. Sueoka, Jpn . J . Apply . Phys , 40, (2001) 1240に記載されるような３つの調製ステップを含むビッカース微小圧痕試験の適用によって調査することができる。
【００４７】
ステップ１：ビッカース微小圧子を用いて、圧痕を規定された負荷でシリコンエピタキシャル層につける。圧痕はシリコンエピタキシャル層において機械的に応力をかけられたゾーンを形成する。
【００４８】
ステップ２：エピタキシャルウェハは、転位の核生成および伝播によってその応力をかけられたゾーンにおける応力緩和を促進するためにＡｒ雰囲気において１０００℃で３時間アニールされる。
【００４９】
ステップ３：エピタキシャルウェハはアニールステップの間に核を形成され伝播された転位を定めるために２分間Wrightエッチングにされる。
【００５０】
調製ステップの後、圧痕および転位は図５において示されるようなロゼットを形成し、ロゼットのサイズＲは式Ｒ＝（Ａ＋Ｂ）／２によって計算され、ＡおよびＢは、転位が圧痕の中心ｃから圧痕の対向する縁部に向かって伝播する距離を指定する。相対的に小さいサイズＲの値は、転位の伝播の効果的な防止を示す。
【００５１】
シリコンエピタキシャル層が金属性不純物を電子装置構造のための領域から遠ざける能力は、ゲッタリング試験によって評価することができる。エピタキシャルウェハの裏側が規定された量の金属性不純物で汚染され、その不純物をエピタキシャルウェハに追込む熱処理が続く。次いで、エピタキシャルウェハの前側を分析して、エピタキシャルウェハのシリコンエピタキシャル層においてゲッタリングされなかった不純物の留分を判断する。著しいゲッタリング活動がシリコン基板ウェハにおいて生じることを排除するために、高い比抵抗および低い酸素含有量を有するシリコン基板ウェハが選択される。そのようなシリコン基板ウェハは低い固有のゲッタリング能力を示す。
【００５２】
実施例（ビッカース微小圧痕試験）
エピタキシャルウェハの異なる３つのサンプルが調製され、それらの２つはこの発明（サンプル１および２）を表し、残りの１つは比較例（サンプル３）を表した。
【００５３】
この発明を表すサンプルは、ジクロロシランをシリコン前駆物質化合物として、およびアンモニアを窒素前駆物質化合物として含有する成膜ガス雰囲気の存在下における化学蒸着法によってシリコン基板ウェハの研磨された前側にシリコンエピタキシャル層を成膜することによって調製された。成膜温度は８８０℃に設定された。サンプル１および２はシリコンエピタキシャル層における窒素の濃度によって互いとは異なった。
【００５４】
比較例を表すサンプル３は、成膜ガスが窒素前駆物質化合物を含有しなかったこと、つまりシリコンエピタキシャル層が窒素でドープされなかったことを除いて、同じ態様で調製された。
【００５５】
調製されたサンプルは、上に記載されたビッカース微小圧痕試験を受けた。圧痕は６００ｍＮの荷重で押してつけられた。以下の表１は圧痕試験の結果を要約する。
【００５６】
【表１】
0006341928.tif 000002
【００５７】
試験は、この発明を表すウェハは、応力に誘導される転位の伝播を妨害するよう改善された能力を有するエピタキシャル層を含むことを立証する。
【００５８】
実施例（ゲッタリング試験）
エピタキシャルウェハの異なる２つのサンプルが調製され、サンプル４はこの発明を表し、サンプル５は比較例を表した。
【００５９】
サンプル４に従うエピタキシャルウェハは、ジクロロシランをシリコン前駆物質化合物として、およびアンモニアを窒素前駆物質化合物として含有する成膜ガス雰囲気の存在下における化学蒸着法によってシリコン基板ウェハの研磨された前側にシリコンエピタキシャル層を成膜することによって調製された。成膜温度は８８０℃に設定された。シリコン基板ウェハは、６０Ωｃｍの比抵抗および５×１０１７原子／ｃｍ３（新たなＡＳＴＭ）の酸素濃度を有した。
【００６０】
サンプル５に従うエピタキシャルウェハは、成膜ガスが窒素前駆物質化合物を含有しなかったこと、つまりシリコンエピタキシャル層が窒素でドープされなかったことを除いて、同じ態様で調製された。
【００６１】
各サンプルウェハの裏側はスピンコーティングによってＮｉを含有する塩で汚染された。選択されたＮｉ汚染レベルは、１×１０１０原子／ｃｍ２、１×１０１１原子／ｃｍ２、および１×１０１２原子／ｃｍ２であった。次いで、サンプルウェハは９００℃で追込み熱処理を受けた。その後、シリコンエピタキシャル層の表面で取得されたＮｉの濃度が、ＶＰＤ−ＩＣＰ−ＭＳによって測定された。以下の表２はゲッタリング試験の結果を要約する。
【００６２】
【表２】
0006341928.tif 000003
【００６３】
結果は、この発明に関するエピタキシャルウェハのシリコンエピタキシャル層において相当なゲッタリング活動の存在を立証する。
【００６４】
この結果も、追込み熱処理の後にシリコンエピタキシャル層およびシリコン基板の一部においてＮｉの深さ方向濃度を分析することによって確認された。段階的なエッチングを含むＵＴＰ（超極微量観測記録）方法を用いて、サンプルウェハのシリコンエピタキシャル層の表面から、５０ｎｍ、１μｍ、２μｍおよび３μｍの距離でＮｉ濃度を観測記録した。図６は、サンプル４（Ｓ４）および５（Ｓ５）で見られた深さ方向分布を示す。この発明に関するエピタキシャルウェハは、Ｎｉがシリコンエピタキシャル層の表面に近い領域に拡散することからかなり保持することができた。Ｎｉは、酸素富化領域と一致するゾーンにおいてゲッタリングされる。
【００６５】
サンプル４を表すエピタキシャルウェハをエピ後アニールすることによって（サンプル６）、Ｎｉをゲッタリングするための能力を高めることができた。アニールされたエピタキシャルウェハは、類似の態様において試験された。以下の表３はゲッタリング試験の結果を要約する。
【００６６】
【表３】
0006341928.tif 000004
【図１】
0006341928.tif 000005
【図２】
0006341928.tif 000006
【図３】
0006341928.tif 000007
【図４】
0006341928.tif 000008
【図５】
0006341928.tif 000009
【図６】
0006341928.tif 000010
【図７Ａ】
0006341928.tif 000011
【図７Ｂ】
0006341928.tif 000012
【図７Ｃ】
0006341928.tif 000013
【図７Ｄ】
0006341928.tif 000014