(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
極性を有し且つ気化した溶媒を含んだ気体から前記溶媒を分離する装置であって、
円形筒状構造の湾曲した第１壁面を有する筐体と、
前記筐体の前記第１壁面に相対して前記筐体内に配置され、前記筐体の前記第１壁面との間に筒状の気体流路を形成する、中心軸側の円筒状の湾曲した第２壁面と、
前記筐体の前記湾曲した第１壁面に配置された電極と、
気体を螺旋状に旋回しながら流れるように誘導する回転駆動部であって、前記筐体の軸方向の一方の端部の中央の前記第２壁面の下端に配置されて、回転駆動部軸方向の前記筐体が配置された側と反対側の端部に吸引口を有し、前記吸引口から前記気体を前記回転駆動部軸方向に吸い込んだのち、前記気体の流れる方向を、前記回転駆動部軸方向から前記筐体の外周の前記第１壁面に向かう方向へ変えたのち、前記筐体内を前記湾曲した第１壁面に沿って前記筐体の軸方向の一方の端部から他方の端部に向かって螺旋状に旋回しながら流れるように誘導する回転駆動部と、
前記筐体の前記軸方向の他方の端部に、前記回転駆動部とは反対側で２つに分岐した第１及び第２排気流路とを有し、
前記第２排気流路は、前記電極に沿って延在するように配置し、
前記電極に電界を印加した状態で、前記回転駆動部の駆動により、前記吸引口から前記回転駆動部軸方向に吸い込んだ前記気体の流れる方向を、前記回転駆動部軸方向から前記筐体の前記第１壁面に向かう方向に変えて前記気体に含まれる前記溶媒を前記電極近傍に集め、前記筐体内を前記第１壁面に沿って前記筐体の前記軸方向の前記一方の端部から前記他方の端部に向かって螺旋状に旋回しながら流すことにより、集めた前記溶媒を含む気体を、前記溶媒を含まない気体から分離して、前記電極を配置した前記第２排気流路から排出するとともに、前記溶媒を含まない気体を前記第１排気流路から排出する、溶媒分離装置。
【請求項２】
前記筐体が、前記一方の端部から前記他方の端部に向かって直径が大きくなるようなテーパー状である、請求項１に記載の溶媒分離装置。
【請求項３】
前記第１及び第２排気流路は、前記筐体の上部の内部に、前記筐体の中心軸側と外周側とに仕切り部で分岐し、前記溶媒を含んだ気体を外周側の前記第２排気流路から排気し、前記溶媒を分離した気体を中心軸側の前記第１排気流路から排気する、請求項１又は請求項２に記載の溶媒分離装置。
【請求項４】
前記回転駆動部の前記回転駆動部軸方向で前記回転駆動部の前記吸引口の反対側に、前記回転駆動部の断面積より大きい断面積を有する仕切り板を有する、請求項１〜３のいずれか１つに記載の溶媒分離装置。
【請求項５】
前記筐体の前記第１壁面に複数の溝を形成し、前記溝の内壁面に前記電極を有する、請求項１〜４のいずれか１つに記載の溶媒分離装置。
【請求項６】
排気部に、請求項１に記載の溶媒分離装置が連通された熱処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、気化した溶媒を含む気体から、溶媒を除去して浄化する溶媒分離装置及び熱処理装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、様々な工業製品若しくは家電の組み立て製造工程、又は、それらの製品の構成部品となる各種電子部品、各種の電池、若しくは、基板などのデバイス製造工程においても、各種の機能を持ったペースト状の材料を塗布したのち、各種熱処理装置によって加熱処理が行われている。ここで、各種熱処理装置とは、例えば、乾燥炉、焼成炉、キュア炉、もしくは電子部品の実装工程などではんだ付けに使用されるリフロー炉などである。それぞれのペースト状の材料には、最終的に製品に必要とされる固形分などに加え、それらを各種の基板又は基材などに塗工するために、それぞれの目的又は必要に応じて、水又は有機溶剤などの各種の溶剤が混入されて粘度調整又は性能調整が施されている。
【０００３】
それらの溶媒は、熱処理装置における加熱工程で、気化及び脱媒の工程を経て、ペースト上の材料から装置内に放出される。これにより、連続的に加熱処理がなされる場合には、装置内に溶媒が連続的に気化して放出され、その結果、装置内雰囲気における溶媒濃度が上がり、様々な不具合につながる可能性がある。例えば、装置内雰囲気中の溶媒濃度が高くなるにつれて、装置内温度での雰囲気中に存在可能な溶媒の量が飽和状態に近づくことで、熱処理対象物の乾燥が困難になり、又は、爆発性を有する溶媒の場合は、飽和蒸気圧まで達していなくても、気化溶媒濃度の爆発限界を超えてしまう可能性もある。そのために、装置外から外気を装置内に定期的又は連続的に供給したり、窒素ガス又はその他の雰囲気（雰囲気ガス）が必要な場合には、それらの雰囲気を装置外から供給する必要がある。さらに、同時に、溶媒濃度が上昇した装置内の雰囲気を装置外に放出する手段が採られる。
【０００４】
図７は、雰囲気の供給と排気とを説明する図である。送風ブロア２で外気を熱処理装置１０１の内部に供給する。熱処理装置１０１内で気化する溶媒を含んだ熱処理装置１０１内の雰囲気の一部を、排気ブロア３で装置外に排出する。排気に含まれ且つ気化した溶媒、特に水蒸気の除去方式は、例えば特許文献１の方式が知られている。
【０００５】
図８は特許文献１の説明図である。特許文献１で開示されている構成は、以下のような構成である。帯電電極４と吸着電極５とは、それぞれ第１の回転軸７と第２の回転軸８を中心に回転するようになっており、第１の回転軸７と第２の回転軸８とは、それぞれ第１の駆動伝達ベルト９と第２の駆動伝達ベルト１０とを介して、駆動モータ６に連通している。この駆動モータ６の駆動により帯電電極４と吸着電極５とは回転するが、この際、帯電電極４と吸着電極５と排気１１７との接触面積が大きくなるように、帯電電極４には貫通穴４ａが、また吸着電極５には貫通穴５ａがそれぞれ配置されている。特許文献１の方式では、供給される排気１１７中の溶媒が気化している場合に、冷却して液化凝集するのではなく、排気流路の上流側で気化した溶媒が、回転する帯電電極４に接触することにより帯電され、流路の下流側の吸着電極５の方向に移動する。そこで、気化した溶媒が、帯電している溶媒の極性とは逆の極性の電荷を持ちかつ回転している吸着電極５に誘引されて、溶媒が吸着電極５に吸着される。この吸着電極５に吸着された溶媒は、吸着電極５の遠心力により水滴回収器１１に回収される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−８７９７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、前記特許文献１の構成では、吸着電極５が排気流路を塞ぐように設置されているため、気体を通過させるための複数の貫通穴５ａを吸着電極５に設けなければならず、さらに、吸着電極５と流路壁面との間に隙間があるため、その隙間又は貫通穴５ａから溶媒を含んだ気体がすり抜け、溶媒が除去されずに吸着電極の下流側に排出されてしまう。
【０００８】
本発明はこのような点に鑑み、溶媒を含んだ気体が電極をすり抜けることなく、気化した溶媒が電極に誘引されながら除去される溶媒分離装置及び熱処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明の１つの態様にかかる溶媒分離装置は、極性を有し且つ気化した溶媒を含んだ気体から前記溶媒を分離する装置であって、
円形筒状構造の湾曲した第１壁面を有する筐体と、
前記筐体の前記第１壁面に相対して前記筐体内に配置され、前記筐体の前記第１壁面との間に筒状の気体流路を形成する、中心軸側の円筒状の湾曲した第２壁面と、
前記筐体の前記湾曲した第１壁面に配置された電極と、
気体を螺旋状に旋回しながら流れるように誘導する回転駆動部であって、前記筐体の軸方向の一方の端部の中央の前記第２壁面の下端に配置されて、回転駆動部軸方向の前記筐体が配置された側と反対側の端部に吸引口を有し、前記吸引口から前記気体を前記回転駆動部軸方向に吸い込んだのち、前記気体の流れる方向を、前記回転駆動部軸方向から前記筐体の外周の前記第１壁面に向かう方向へ変えたのち、前記筐体内を前記湾曲した第１壁面に沿って前記筐体の軸方向の一方の端部から他方の端部に向かって螺旋状に旋回しながら流れるように誘導する回転駆動部と、
前記筐体の前記軸方向の他方の端部に、前記回転駆動部とは反対側で２つに分岐した第１及び第２排気流路とを有し、
前記第２排気流路は、前記電極に沿って延在するように配置し、
前記電極に電界を印加した状態で、前記回転駆動部の駆動により、前記吸引口から前記回転駆動部軸方向に吸い込んだ前記気体の流れる方向を、前記回転駆動部軸方向から前記筐体の前記第１壁面に向かう方向に変えて前記気体に含まれる前記溶媒を前記電極近傍に集め、前記筐体内を前記第１壁面に沿って前記筐体の前記軸方向の前記一方の端部から前記他方の端部に向かって螺旋状に旋回しながら流すことにより、集めた前記溶媒を含む気体を、前記溶媒を含まない気体から分離して、前記電極を配置した前記第２排気流路から排出するとともに、前記溶媒を含まない気体を前記第１排気流路から排出する、溶媒分離装置を提供する。
【発明の効果】
【００１０】
以上のように、本発明の前記態様の溶媒分離装置及び熱処理装置によれば、熱処理装置などの排気発生装置から排出される気化した溶媒を含む排気雰囲気からの溶媒除去において、流路を塞ぐように電極を配置するのではなく、溶媒を含んだ気体を流路の外周に配置した電極方向へ流れるように誘導し、且つ電極に沿って流れるように制御することで、溶媒を含んだ気体が電極をすり抜けることなく、外側壁面の電極に接触することで、排気雰囲気から、溶媒を含んだ気体を分離することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１実施形態における溶媒分離を実施可能な溶媒分離部を含む溶媒分離装置の説明図
【図２】水の分子構造の拡大説明図
【図３Ａ】本発明の第１実施形態における溶媒分離部の説明図
【図３Ｂ】本発明の第１実施形態における溶媒分離部の説明図
【図４Ａ】本発明の第２実施形態における溶媒分離部の説明図
【図４Ｂ】本発明の第２実施形態における溶媒分離部の第１壁面のテーパー角度の拡大説明図
【図４Ｃ】本発明の第２実施形態における溶媒分離部のテーパー角度の拡大説明図
【図５Ａ】本発明の第３実施形態における溶媒分離部の説明図
【図５Ｂ】本発明の第３実施形態における溶媒分離部の説明図
【図５Ｃ】仕切りを設けたファンの斜視図
【図６Ａ】本発明の第４実施形態における溶媒分離部の説明図
【図６Ｂ】図６Ａの電極の説明図
【図７】従来の雰囲気の供給と排気とを説明する説明図
【図８】従来の排気浄化装置の説明図
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００１３】
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態における溶媒分離を実施可能な溶媒分離装置３１の説明図である。溶媒分離装置３１は、排気発生装置の一例としての熱処理装置１に連結されて、ファン２３と、排気ダクト１２と、溶媒分離部１３と、第１の排気ダクト１４と、第２の排気ダクト１５と、排気ブロア１６とを備えている。
【００１４】
熱処理装置１は、例えば、焼成炉、乾燥炉、キュア炉、又は、リフロー炉など、加熱処理を行う炉である。この加熱処理では、加熱対象の各種材料又は部材に応じた加熱を実施し、加熱により熱処理装置１内の雰囲気（気体）中に溶媒２２が気化する。気化した溶媒２２を含む熱処理装置内雰囲気の一部は、熱処理装置１に連通して配置されている排気ダクト１２に導かれる。
【００１５】
排気ダクト１２の下流側には、溶媒分離部１３が連通するように接続されている。この溶媒分離部１３内には、熱処理装置１から排気ダクト１２を介して、ファン２３によって排気雰囲気１７を送り込む。ファン２３は、排気ダクト１２と溶媒分離部１３とを接続する溶媒分離部１３内に配置されている。このファン２３とは、気体を、ファン２３の回転羽の軸方向から回転方向へ流れるように誘導する回転駆動部のことを言う。そして、詳しくは後述するように、排気雰囲気１７中の極性を持ちかつ気化した溶媒２２の気体分子が、電界の影響による静電誘引により、排気雰囲気１７中の溶媒以外の気体分子から分離される。その結果、溶媒２２を含まない部分の第１の排気雰囲気１８と、溶媒２２を含む部分の第２の排気雰囲気１９とに分離されて、排気雰囲気の中で溶媒濃度の偏りが発生する。ここで、静電誘引とは、正の電荷に帯電した物質は負の電荷に引き寄せられ、負の電荷に帯電した物質は正の電荷に引き寄せられることを言う。
【００１６】
このように溶媒分離部１３で互いに分離された、溶媒２２を含まない部分の第１の排気雰囲気１８と、溶媒２２を含む部分の第２の排気雰囲気１９とを、溶媒分離部１３に連通する別々の第１の排気ダクト１４と第２の排気ダクト１５とにそれぞれ導く。溶媒２２を含まない第１の排気雰囲気１８は、ファン２３による圧力により第１の排気ダクト１４を介して溶媒分離部１３外に排出される。一方、溶媒２２を含む第２の排気雰囲気１９については、第２の排気ダクト１５を介して、排気ブロア１６によって溶媒分離部１３外に排出される。なお、排気ブロア１６の能力は、ファン２３に対して、溶媒分離部１３内が正圧になるよう調整されている。
【００１７】
ここで、図２に水の分子構造を示す。図２のように、水については、その分子構造の関係で極性を有するために、電気的に偏りがある。これは、エタノールなどの他の溶媒についても同様である。一般的に溶媒として使用される物質については、分子構造の関係でこのように極性を有することで、他の物質を容易に溶融し得る性質を持つことから、溶媒として利用されている。つまり、溶媒として使用される物質の多くは、極性を有していると言える。このような極性を有する物質の分子が電界の中に置かれた場合に、この電界を発生させる電極が正極の場合でも負極の場合でも、前記分子は静電誘引によって電極に引き寄せられる。これは、電極がプラス電荷の場合は水分子のマイナスに偏った側が、電極がマイナス電荷の場合は水分子のプラスに偏った側が、それぞれ静電誘引にて引き寄せられることによる。
【００１８】
図３Ａ及び図３Ｂは、本発明の第１実施形態における溶媒分離方法の説明図である。熱処理装置１から排出されて溶媒分離部１３内に供給された排気雰囲気１７に含まれる極性を有する溶媒２２を溶媒分離部１３内で分離させる機能について説明する。溶媒分離部１３は、図３Ａに示すように、円形筒状部材２５と、ファン２３と、電極２０と、電圧印加装置２４と、溶媒分離部１３の出口の一部である出口ダクト２７と、図３Ｂに示すように、出口ダクト２７と繋がっている第１の排気ダクト１４と、第２の排気ダクト１５とを備えている。円形筒状部材２５は、円形筒状構造の湾曲した内壁面を内部に有する筐体の一例として機能する。第１の排気ダクト１４と第２の排気ダクト１５とは、第１及び第２排気流路としてそれぞれ機能する。
【００１９】
まず、例えば、図３Ａに示すように、溶媒分離部１３の円形筒状部材２５の内部には、ファン２３を、円形筒状部材２５内の中央下端に設けている。ファン２３は、排気雰囲気（気体）１７を、円形筒状部材２５の外周部分の湾曲した内壁面である第１壁面２６ａの表面沿いの方向へ流す。また、円形筒状部材２５内の中央下端のファン２３の反対側の上端には、第１及び第２の排気ダクト１４，１５へ繋がる出口ダクト２７を設置する。この円形筒状部材２５の第１壁面２６ａの全面には、電極２０を第１壁面２６ａの内部又は外部に設け、電圧印加装置２４から電圧を印加可能としている。印加される電圧の大きさは、溶媒２２の濃度、電極２０の配置長さ、排気雰囲気１７の流速、又は、円形筒状部材２５の大きさなどを考慮して、適宜、決定される。例えば、溶媒２２の例としては水又はエタノール等であり、印加する電圧の例としては３〜８ｋＶである。また、第１壁面に相対する中心軸側の円筒状の湾曲した第２壁面２６ｂについては、電極２０とは絶縁し、アースに接続しておく。
【００２０】
また、図３Ｂに示すように、溶媒分離部１３の上端の出口側の一部である出口ダクト２７には、第１壁面２６ａに沿って第２の排気ダクト１５を設けて、電極２０の近傍に集中した溶媒２２を含む第２の排気雰囲気１９を、第２の排気ダクト１５から溶媒分離部１３の外に排出可能としている。また、第２の排気ダクト１５の内側に、出口ダクト２７の直進方向に沿って第１の排気ダクト１４を設けて、残りの排気雰囲気、すなわち、溶媒２２を含まない第１の排気雰囲気１８を、第１の排気ダクト１４から溶媒分離部１３の外に排出可能としている。第２の排気ダクト１５と第１の排気ダクト１４との間には仕切壁４０が配置されている。よって、溶媒分離部１３の出口側を、第１の排気ダクト１４と第２の排気ダクト１５とに分岐するように構成している。なお、電極２０は、第１壁面２６ａから第２の排気ダクト１５の壁面の少なくとも分岐部分まで設けられている。
【００２１】
このように構成して電圧印加装置２４から電極２０に電圧を印加することで、第２壁面２６ｂと、第２壁面２６ｂに対向する第１壁面２６ａに配置している電極２０との間に電位差が生じ、溶媒分離部１３内に電界２１が発生する。電界２１は、排気雰囲気１７が流れる方向１７ａと直交する方向に発生する。
【００２２】
この状態で、ファン２３により、排気雰囲気１７を熱処理装置１から溶媒分離部１３内に送り込まれる。送り込まれた排気雰囲気１７は、ファン２３により、ファン２３の軸方向から回転方向へ（円形筒状部材２５の軸方向から周方向へ）流れるように誘導する。すると、排気雰囲気１７は、円形筒状部材２５内で、第１壁面２６ａの表面沿いの方向へ螺旋状に旋回しながら上昇する。このとき、分子構造で極性を持つ溶媒２２は、電界２１の影響領域内（電極近傍の領域）に到達すると、静電誘引によって一方向に、具体的には、図３Ａでは電極２０の方向に、誘引される。排気雰囲気１７中に含まれている、気化している溶媒２２の分子それぞれが、同様に、電極２０側に静電誘引によって引き寄せられる。この結果として、所要の経路長を経て、排気雰囲気１７は、その中に含まれる溶媒２２を電極２０近傍の一定領域内に集めたまま、第１及び第２の排気ダクト１４，１５へ繋がる出口ダクト２７へ入っていく。所要の経路長の例としては、効果を奏するためには、少なくとも５０ｃｍ程度あればよい。帯電した粒子は、電界の力で数ｍｓの時間で捕集できるため、装置内の流速が１０ｍ／ｓとし、捕集時間が１０ｍｓとすると、１０ｍ／ｓ×１０ｍｓ＝１０ｃｍ程度以上の長さがあれば、捕集可能である。さらに、電界強度のばらつきなどを考慮すると、所要の経路長として、少なくとも５０ｃｍ程度あれば十分と考えられる。出口ダクト２７へ入った排気雰囲気１７のうち、電極２０の近傍に集中した溶媒２２を含む第２の排気雰囲気１９は、第２の排気ダクト１５から溶媒分離部１３の外に排出される。一方、電極２０から離れかつ溶媒２２を含まない第１の排気雰囲気１８は、第１の排気ダクト１４から溶媒分離部１３の外に排出される。
【００２３】
前記第１実施形態にかかる溶媒分離装置によれば、流路を塞ぐように電極を配置するのではなく、溶媒２２を含んだ排気雰囲気１７を流路の外周に配置した電極２０の方向へ誘導し、且つ電極２０に沿って流れるように制御することで、溶媒２２を含んだ気体が電極をすり抜けることなく、気化した溶媒２２が電極２０に誘引されながら除去することができる。よって、熱処理装置１から排出される排気雰囲気１７に含まれる気化した溶媒２２を除去する場合においても、溶媒２２を含んだ気体が電極２０をすり抜けることなく、外側壁面の電極２０に接触することで、排気雰囲気１７から、溶媒２２を含んだ気体を分離することが可能となる。
【００２４】
（第２実施形態）
図４Ａは、本発明の第２実施形態における溶媒分離装置の説明図である。第２実施形態では、第１実施形態の溶媒分離部１３に代えて、第１壁面２６ａ及び第２壁面２６ｂ及び電極２０が、ファン２３設置側端部（下端部）から反対側端部（上端部）に向かって直径が大きくなるようなテーパー状の構造を有する円錐台筒形状部材２５Ｂで構成された溶媒分離部１３Ｂを配置している。言い換えれば、円錐台筒形状部材２５Ｂ及び電極２０は、排気雰囲気１７の入口側端部から出口側端部に向かって直径が大きくなるようなテーパー状の構造をそれぞれ有している。円錐台筒形状は、円形筒状構造の一例である。
【００２５】
溶媒分離部１３Ｂは、第１壁面２６ａが、排気雰囲気１７の流速ベクトルに対して斜めに角度をつけていることにより、第１壁面２６ａに衝突した排気雰囲気１７を溶媒分離部１３Ｂの第１及び第２の排気ダクト１４，１５の方向へ逃がすことができる。それにより、ファン２３から流入してくる溶媒２２を含んだ排気雰囲気１７が、第１壁面２６ａに及ぼす圧力を低減し、排気雰囲気１７の第１壁面２６ａからの跳ね返りを抑制しながら、第１及び第２の排気ダクト１４，１５へ誘導することが可能となる。
【００２６】
なお、第１壁面２６ａのテーパーの角度は、排気雰囲気１７の流速、又は、円形筒状部材２５の大きさなどを考慮して、適宜、決定される。第１壁面２６ａのテーパーの角度θの範囲について説明する。一例としては、図４Ｂ及び図４Ｃに示すように、ファン２３から横方向に吹き出た直後の排気雰囲気１７の流速ベクトル１７Ｂと第１壁面２６ａとのなす角度θが９０°より大きい角度であれば、第１壁面２６ａに衝突後の気体粒子の流速ベクトルが、排気ダクト１４，１５が在る上方に向くため、はね返りによる気体粒子同士の衝突を緩和でき、溶媒粒子の第１壁面２６ａからの跳ね返り圧力を緩和できる。一方、前記角度θが１３５°より大きい場合、一部の溶媒２２が第１壁面２６ａに接近することなく排気ダクト１４，１５に到達してしまい、溶媒２２の捕集効率が低下する可能性がある。そして、角度θが大きいほど、そのような溶媒２２の割合が増大する傾向がある。よって、第１壁面２６ａのテーパーの角度θは、９０°より大きく１３５°以下であることが望ましい。第２実施形態でも、第１実施形態と同様な作用効果を奏することができる。
【００２７】
（第３実施形態）
図５Ａ及び図５Ｂは、本発明の第３実施形態における溶媒分離装置の説明図である。第３実施形態では、第１実施形態の溶媒分離部１３に代えて溶媒分離部１３Ｃを配置している。溶媒分離部１３Ｃは、溶媒分離部１３において、第１の排気ダクト１４と第２の排気ダクト１５とを、円形筒状部材２５の上部、例えば上端側に配置された仕切部の一例としての仕切筒４１により、円形筒状部材２５の中心軸側と外周側とで分岐させている。そして、円形筒状部材２５の外周部分の内壁である第１壁面２６ａに電極２０を設置し、その電極２０を外周側の第２の排気ダクト１５まで延在させている。仕切筒４１は、円形筒状部材２５の軸方向全長の半分程度でかつ上端側に配置されて、仕切筒４１の無い部分では、排気雰囲気１７から、溶媒２２を含む第２の排気雰囲気１９を分離するようにしている。
【００２８】
ファン２３から円形筒状部材２５内に流入してきた排気雰囲気１７は、ファン２３の遠心力により第１壁面２６ａ側に周方向に流れるように誘導される。第１壁面２６ａに設置した電極２０の電界２１により、排気雰囲気１７中の溶媒２２は、第１壁面２６ａの近傍に集められる。第１壁面２６ａの近傍に集められた溶媒２２を含む第２の排気雰囲気１９は、仕切筒４１の外周側の第２の排気ダクト１５から、溶媒分離部１３Ｃの外に排出される。そして、残りの排気雰囲気、すなわち、溶媒２２を含まない第１の排気雰囲気１８は、仕切筒４１の中心軸側の第１の排気ダクト１４から溶媒分離部１３の外に排出される。
【００２９】
なお、電極２０は、第１壁面２６ａにおいて、仕切筒４１による第２の排気ダクト１５の少なくとも分岐部分まで設けられている。
【００３０】
また、図５Ｃのように、ファン２３の吸引口２３ａの反対側にある円形仕切り板２８の直径をファン２３の直径より大きくすることで、ファン２３から円形筒状部材２５内に流入してくる排気雰囲気１７に含まれる溶媒２２が、円形仕切り板２８で強制的に電極２０に接近させられる。この結果、排気雰囲気１７に含まれる溶媒２２が、電極２０に接近することなく中心軸側の第１の排気ダクト１４へ流れるのを抑制することが可能となる。
【００３１】
第３実施形態の場合、第１実施形態の作用効果に加えて、第１実施形態及び第２実施形態に比べて、第１及び第２の排気ダクト１４，１５の面積を大きくすることができるので、溶媒分離装置による圧力損失を軽減することができる。
【００３２】
（第４実施形態）
図６Ａは、本発明の第４実施形態における溶媒分離装置の説明図である。第４実施形態では、第１実施形態の溶媒分離部１３に代えて溶媒分離部１３Ｄを配置している。溶媒分離部１３Ｄは、図６Ａのように、円形筒状部材２５Ｄの外周部分の壁面が複数の溝２９を掘った形状になっている。その溝２９は、円形筒状部材２５Ｄの下端から第２の排気ダクト１５へ延在するように配置されている。図６Ｂは、図６Ａの外周部分の壁面を拡大したもので、その溝２９の形状に合わせて、溝２９の横方向沿いの平面及び溝２９の最も外側（内部から見て底側）の上下方向沿いの壁面内に電極２０がそれぞれ設置されている。ファン２３から流入してきた排気雰囲気１７に含まれる溶媒２２は、ファン２３の遠心力により溝２９の内部に誘導され、電極２０の電界２１により溝２９内に捕集されながら、第２の排気ダクト１５へ流れる。複数の溝２９を掘った形状の電極２０を設けているので、電極２０により印加される電界２１は、図６Ｂに示すように、上下方向及び直径方向の３方向から溶媒２２に対して加えることになり、溶媒２２が電極２０から離れるのを抑制することができる。また、溝２９の幅と深さとは、排気雰囲気１７の流速、又は、円形筒状部材２５の大きさなどを考慮して、適宜、決定される。電極が溝の上下方向にない場合でも、壁面沿いに溶媒を含んだ気体を誘導するのに効果があるが、電極が溝の上下方向にある場合、電界の影響が及ぶ範囲が広がるのでなおよい。
【００３３】
第１実施形態の作用効果に加えて、このように、複数の溝２９を掘った形状の電極２０を設けて、電界２１を、上下方向及び直径方向の３方向から加えることにより、溶媒２２が電極２０から離れるのを抑制することができ、溶媒２２を電極２０の近傍に留まらせながら第２の排気ダクト１５へ誘導することにより、溶媒２２の分離効率を向上させることができる。
【００３４】
なお、前記様々な実施形態又は変形例のうちの任意の実施形態又は変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。また、実施形態同士の組み合わせ又は実施例同士の組み合わせ又は実施形態と実施例との組み合わせが可能であると共に、異なる実施形態又は実施例の中の特徴同士の組み合わせも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００３５】
本発明の溶媒分離装置及び熱処理装置は、溶媒を含んだ気体が電極をすり抜けることなく、排気雰囲気に含まれる溶媒を効率良く分離することができるため、雰囲気使用量の少ない溶媒分離装置及び熱処理装置として、工業製品又は家電製品の製造工程又は各種電子部品の製造工程における乾燥炉、焼成炉、キュア炉、又はリフロー炉などの各種熱処理を行う熱処理装置などの排気発生装置及びその熱処理装置に適用できる。
【符号の説明】
【００３６】
１    熱処理装置
２    送風ブロア
３    排気ブロア
４    帯電電極
４ａ    貫通穴
５    吸着電極
５ａ    貫通穴
６    駆動モータ
７    第１の回転軸
８    第２の回転軸
９    第１の駆動伝達ベルト
１０    第２の駆動伝達ベルト
１１    水滴回収器
１２    排気ダクト
１３，１３Ｂ，１３Ｃ，１３Ｄ    溶媒分離部
１４    第１の排気ダクト
１５    第２の排気ダクト
１６    排気ブロア
１７    排気雰囲気
１７ａ    排気雰囲気が流れる方向
１８    第１の排気雰囲気
１９    第２の排気雰囲気
２０    電極
２１    電界
２２    溶媒
２３    ファン
２４    電圧印加装置
２５    円形筒状部材
２５Ｂ    円錐台筒形状部材
２６ａ    第１壁面
２６ｂ    第２壁面
２７    出口ダクト
２８    仕切り板
２９    溝
３１    溶媒分離装置
４０    仕切壁
４１    仕切筒
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図５Ｃ】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７】
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【図８】
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