(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて物体の拡大像を形成する、顕微鏡結像レンズであって、物体側から順に、
接合レンズを含む、正のパワーを有する第１レンズ群と、
負のパワーを有する接合レンズからなる第２レンズ群と、
各々が正のパワーを有する複数のレンズからなる、全体で正のパワーを有する第３レンズ群と、から構成され、
ＦＬを前記結像レンズの焦点距離とし、Ｄ２を前記結像レンズの最も物体側のレンズ面から前記結像レンズの入射瞳位置までの距離とするとき、以下の条件式
０．３ ＜ Ｄ２／ＦＬ ＜ １．３
を満たすことを特徴とする結像レンズ。
【請求項２】
請求項１に記載の結像レンズにおいて、
ＦＬＧ１を前記第１レンズ群の焦点距離とし、ＦＬＧ２を前記第２レンズ群の焦点距離とし、Ｄ０を前記結像レンズの最も物体側のレンズ面から前記拡大像が形成される像面までの距離とし、Ｄ１を前記結像レンズの最も物体側のレンズ面から前記結像レンズの最も像側のレンズ面までの距離とするとき、以下の条件式
０．３ ＜ ＦＬＧ１／ＦＬ ＜ ３
−４ ＜ ＦＬＧ２／ＦＬ ＜ −０．０５
０．３ ＜ Ｄ１／Ｄ０ ＜ ０．８
を満たすことを特徴とする結像レンズ。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の結像レンズにおいて、
前記第１レンズ群は、像側に凹面を向けた第１レンズを含み、
前記第２レンズ群は、物体側に凹面を向けた第２レンズを含む
ことを特徴とする結像レンズ。
【請求項４】
請求項３に記載の結像レンズにおいて、
前記第１レンズは、前記第１レンズ群の最も像側に配置された、像側に凹面を向けた、単レンズ又は接合レンズからなる、メニスカスレンズであり、
前記第２レンズは、前記第２レンズ群の最も物体側に配置された、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズである
ことを特徴とする結像レンズ。
【請求項５】
請求項４に記載の結像レンズにおいて、
前記第１レンズと前記第２レンズは、合計で４枚以上レンズからなり、
前記第１レンズと前記第２レンズの少なくとも一方は、接合レンズからなる
ことを特徴とする結像レンズ。
【請求項６】
請求項５に記載の結像レンズにおいて、
前記第１レンズと前記第２レンズは、それぞれ接合レンズである
ことを特徴とする結像レンズ。
【請求項７】
請求項４に記載の結像レンズにおいて、
前記第１レンズと前記第２レンズの少なくとも一方は、正のパワーを有するレンズと負のパワーを有するレンズを含む接合レンズであり、
νｌを当該接合レンズに含まれる正のパワーを有する前記レンズのアッベ数のうち最も大きいアッベ数とし、νｓを当該接合レンズに含まれる負のパワーを有する前記レンズのアッベ数のうち最も小さいアッベ数とするとき、以下の条件式
３０＜νｌ−νｓ
を満たすことを特徴とする結像レンズ。
【請求項８】
請求項６に記載の結像レンズにおいて、
前記第１レンズと前記第２レンズは、それぞれ正のパワーを有するレンズと負のパワーを有するレンズを含む接合レンズであり、
νｌ１を前記第１レンズ又は前記第２レンズの一方である第１接合レンズに含まれる正のパワーを有するレンズのアッベ数のうち最も大きいアッベ数とし、νｓ１を前記第１接合レンズに含まれる負のパワーを有するレンズのアッベ数のうち最も小さいアッベ数とし、νｌ２を前記第１レンズ又は前記第２レンズの他方である第２接合レンズに含まれる正のパワーを有するレンズのアッベ数のうち最も大きいアッベ数とし、νｓ２を前記第２接合レンズに含まれる負のパワーを有するレンズのアッベ数のうち最も小さいアッベ数とするとき、以下の条件式
３０＜νｌ１−νｓ１
２５＜νｌ２−νｓ２
を満たすことを特徴とする結像レンズ。
【請求項９】
請求項３乃至請求項８のいずれか１項に記載の結像レンズにおいて、
ＲＧ１を前記第１レンズの像側に向けた前記凹面の曲率半径とし、ＲＧ２を前記第２レンズの物体側に向けた前記凹面の曲率半径とし、ＮｄＧ２を前記第２レンズのd線に対する屈折率又は前記第２レンズを構成する最も物体側のレンズのd線に対する屈折率とし、νｄＧ１を前記第１レンズ群に含まれる正のパワーを有するレンズのアッベ数のうち最も高いアッベ数とするとき、以下の条件式
０ ＜ ｜ＲＧ２／ＲＧ１｜ ＜ ３
１．５ ＜ ＮｄＧ２
７０ ＜ νｄＧ１
を満たすことを特徴とする結像レンズ。
【請求項１０】
請求項１乃至請求項９のいずれか１項に記載の結像レンズにおいて、
前記第３レンズ群は、物体側に凹面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズを含む
ことを特徴とする結像レンズ。
【請求項１１】
請求項１乃至請求項１０のいずれか１項に記載の結像レンズにおいて、
前記第３レンズ群は、
最も物体側に配置された、正のパワーを有する第３レンズと、
最も像側に配置された、正のパワーを有する第４レンズと、を含み、
ＦＬＧ３ａを前記第３レンズの焦点距離とし、ＦＬＧ３ｂを前記第４レンズの焦点距離とするとき、以下の条件式
０．２＜ＦＬＧ３ｂ／ＦＬＧ３ａ＜５
を満たすことを特徴とする結像レンズ。
【請求項１２】
請求項１乃至請求項１１のいずれか１項に記載の結像レンズにおいて、
ＮｄＧ３を前記第３レンズ群に含まれるレンズの屈折率のうち最も大きい屈折率とし、
νｄＧ３を前記第３レンズ群に含まれるレンズのアッベ数のうち最も小さいアッベ数とするとき、以下の条件式
１．７＜ＮｄＧ３
νｄＧ３＜４５
を満たすことを特徴とする結像レンズ。
【請求項１３】
請求項１乃至請求項１２のいずれか１項に記載の結像レンズにおいて、
Ｈａを軸外の主光線が前記結像レンズの最も物体側のレンズ面に入射するときの光線高とし、Ｈｉを前記軸外の主光線が前記拡大像が形成される像面に入射するときの光線高とするとき、以下の条件式
０．３ ＜ Ｈａ／Ｈｉ ＜ １
を満たすことを特徴とする結像レンズ。
【請求項１４】
請求項１乃至請求項１３のいずれか１項に記載の結像レンズにおいて、
Ｅａを前記第１レンズ群に含まれるレンズの最大有効径とし、Ｅｃを前記第３レンズ群に含まれるレンズの最大有効径とするとき、以下の条件式
−０．０４＜（Ｅａ−Ｅｃ）／ＦＬ＜０．０３
を満たすことを特徴とする結像レンズ。
【請求項１５】
請求項１乃至請求項１４のいずれか１項に記載の結像レンズを備える
ことを特徴とする顕微鏡装置。
【請求項１６】
請求項１５に記載の顕微鏡装置において、さらに、
前記結像レンズが形成する前記物体の拡大像を撮像する撮像素子を含み、
Ｌを前記撮像素子の画素サイズとするとき、以下の条件式
１μｍ≦Ｌ≦１７μｍ
を満たすことを特徴とする顕微鏡装置。
【請求項１７】
無限遠補正型の対物レンズと、
顕微鏡結像レンズと、を備え、
前記顕微鏡結像レンズは、物体側から順に、
接合レンズを含む、正のパワーを有する第１レンズ群と、
負のパワーを有する接合レンズからなる第２レンズ群と、
各々が正のパワーを有する複数のレンズからなる、全体で正のパワーを有する第３レンズ群と、から構成され、
ＦＬを前記結像レンズの焦点距離とし、Ｄ２を前記結像レンズの最も物体側のレンズ面から前記結像レンズの入射瞳位置までの距離とするとき、以下の条件式
０．３ ＜ Ｄ２／ＦＬ ＜ １．３
を満たすことを特徴とする撮像光学系。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、顕微鏡結像レンズ、顕微鏡装置、及び、撮像光学系に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、撮像素子の高画素化が著しく、顕微鏡分野においても、広視野と高解像とを両立した観察及び画像取得が可能な顕微鏡装置への期待が高まっている。例えば、このような顕微鏡装置をバーチャルスライドに応用すると、スキャンスピードの高速化が可能になる。また、脳研究等の分野に応用すると、リアルタイムに脳全体を見つつその中の細胞の詳細な観察が可能になる。
【０００３】
このような顕微鏡装置を実現するためには、広い視野を持つ対物レンズが使用されるので、このような対物レンズの性能を十分に発揮することが可能な結像レンズが望まれる。結像レンズについては、例えば、特許文献１に記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平０４−０９３９１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の結像レンズは、像面湾曲とコマ収差の補正が十分ではない。このため、この結像レンズを備えた顕微鏡装置では、視野周辺部における高解像の実現が困難である。また、開口数を大きくしようとすればするほど、軸外収差に起因した性能の劣化が顕著となる。このため、広視野と高解像の両立は困難である。
【０００６】
以上のような実情を踏まえ、本発明は、広い視野を持つ対物レンズに対応可能で、良好な光学性能をもつ顕微鏡結像レンズ、及び、それを備えた顕微鏡装置及び撮像光学系の技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１の態様は、無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて物体の拡大像を形成する、顕微鏡結像レンズであって、物体側から順に、接合レンズを含む、正のパワーを有する第１レンズ群と、負のパワーを有する接合レンズからなる第２レンズ群と、各々が正のパワーを有する複数のレンズからなる、全体で正のパワーを有する第３レンズ群と、から構成され、ＦＬを前記結像レンズの焦点距離とし、Ｄ２を前記結像レンズの最も物体側のレンズ面から前記結像レンズの入射瞳位置までの距離とするとき、以下の条件式を満たす結像レンズを提供する。
０．３ ＜ Ｄ２／ＦＬ ＜ １．３
【０００８】
本発明の第２の態様は、第１の態様に記載の結像レンズにおいて、ＦＬＧ１を前記第１レンズ群の焦点距離とし、ＦＬＧ２を前記第２レンズ群の焦点距離とし、Ｄ０を前記結像レンズの最も物体側のレンズ面から前記拡大像が形成される像面までの距離とし、Ｄ１を前記結像レンズの最も物体側のレンズ面から前記結像レンズの最も像側のレンズ面までの距離とするとき、以下の条件式を満たす結像レンズを提供する。
０．３ ＜ ＦＬＧ１／ＦＬ ＜ ３
−４ ＜ ＦＬＧ２／ＦＬ ＜ −０．０５
０．３ ＜ Ｄ１／Ｄ０ ＜ ０．８
【０００９】
本発明の第３の態様は、第１の態様又は第２の態様に記載の結像レンズにおいて、前記第１レンズ群は、像側に凹面を向けた第１レンズを含み、前記第２レンズ群は、物体側に凹面を向けた第２レンズを含む結像レンズを提供する。
【００１０】
本発明の第４の態様は、第３の態様に記載の結像レンズにおいて、前記第１レンズは、前記第１レンズ群の最も像側に配置された、像側に凹面を向けた、単レンズ又は接合レンズからなる、メニスカスレンズであり、前記第２レンズは、前記第２レンズ群の最も物体側に配置された、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズである結像レンズを提供する。
【００１１】
本発明の第５の態様は、第４の態様に記載の結像レンズにおいて、前記第１レンズと前記第２レンズは、合計で４枚以上レンズからなり、前記第１レンズと前記第２レンズの少なくとも一方は、接合レンズからなる結像レンズを提供する。
【００１２】
本発明の第６の態様は、第５の態様に記載の結像レンズにおいて、前記第１レンズと前記第２レンズは、それぞれ接合レンズである結像レンズを提供する。
【００１３】
本発明の第７の態様は、第４の態様に記載の結像レンズにおいて、前記第１レンズと前記第２レンズの少なくとも一方は、正のパワーを有するレンズと負のパワーを有するレンズを含む接合レンズであり、νｌを当該接合レンズに含まれる正のパワーを有する前記レンズのアッベ数のうち最も大きいアッベ数とし、νｓを当該接合レンズに含まれる負のパワーを有する前記レンズのアッベ数のうち最も小さいアッベ数とするとき、以下の条件式を満たす結像レンズを提供する。
３０＜νｌ−νｓ
【００１４】
本発明の第８の態様は、第６の態様に記載の結像レンズにおいて、前記第１レンズと前記第２レンズは、それぞれ正のパワーを有するレンズと負のパワーを有するレンズを含む接合レンズであり、νｌ１を前記第１レンズ又は前記第２レンズの一方である第１接合レンズに含まれる正のパワーを有するレンズのアッベ数のうち最も大きいアッベ数とし、νｓ１を前記第１接合レンズに含まれる負のパワーを有するレンズのアッベ数のうち最も小さいアッベ数とし、νｌ２を前記第１レンズ又は前記第２レンズの他方である第２接合レンズに含まれる正のパワーを有するレンズのアッベ数のうち最も大きいアッベ数とし、νｓ２を前記第２接合レンズに含まれる負のパワーを有するレンズのアッベ数のうち最も小さいアッベ数とするとき、以下の条件式を満たす結像レンズを提供する。
３０＜νｌ１−νｓ１
２５＜νｌ２−νｓ２
【００１５】
本発明の第９の態様は、第３の態様乃至第８の態様のいずれか１つに記載の結像レンズにおいて、ＲＧ１を前記第１レンズの像側に向けた前記凹面の曲率半径とし、ＲＧ２を前記第２レンズの物体側に向けた前記凹面の曲率半径とし、ＮｄＧ２を前記第２レンズのd線に対する屈折率又は前記第２レンズを構成する最も物体側のレンズのd線に対する屈折率とし、νｄＧ１を前記第１レンズ群に含まれる正のパワーを有するレンズのアッベ数のうち最も高いアッベ数とするとき、以下の条件式を満たす結像レンズを提供する。  
０ ＜ ｜ＲＧ２／ＲＧ１｜ ＜ ３
１．５ ＜ ＮｄＧ２
７０ ＜ νｄＧ１
【００１６】
本発明の第１０の態様は、第１の態様乃至第９の態様のいずれか１つに記載の結像レンズにおいて、前記第３レンズ群は、物体側に凹面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズを含む結像レンズを提供する。
【００１７】
本発明の第１１の態様は、第１の態様乃至第１０の態様のいずれか１つに記載の結像レンズにおいて、前記第３レンズ群は、最も物体側に配置された、正のパワーを有する第３レンズと、最も像側に配置された、正のパワーを有する第４レンズと、を含み、ＦＬＧ３ａを前記第３レンズの焦点距離とし、ＦＬＧ３ｂを前記第４レンズの焦点距離とするとき、以下の条件式を満たす結像レンズを提供する。
０．２＜ＦＬＧ３ｂ／ＦＬＧ３ａ＜５
【００１８】
本発明の第１２の態様は、第１の態様乃至第１１の態様のいずれか１つに記載の結像レンズにおいて、ＮｄＧ３を前記第３レンズ群に含まれるレンズの屈折率のうち最も大きい屈折率とし、νｄＧ３を前記第３レンズ群に含まれるレンズのアッベ数のうち最も小さいアッベ数とするとき、以下の条件式を満たす結像レンズを提供する。
１．７＜ＮｄＧ３
νｄＧ３＜４５
【００１９】
本発明の第１３の態様は、第１の態様乃至第１２の態様のいずれか１つに記載の結像レンズにおいて、Ｈａを軸外の主光線が前記結像レンズの最も物体側のレンズ面に入射するときの光線高とし、Ｈｉを前記軸外の主光線が前記拡大像が形成される像面に入射するときの光線高とするとき、以下の条件式を満たす結像レンズを提供する。
０．３＜ Ｈａ／Ｈｉ ＜ １
【００２０】
本発明の第１４の態様は、第１の態様乃至第１３の態様のいずれか１つに記載の結像レンズにおいて、Ｅａを前記第１レンズ群に含まれるレンズの最大有効径とし、Ｅｃを前記第３レンズ群に含まれるレンズの最大有効径とするとき、以下の条件式を満たす結像レンズを提供する。
−０．０４＜（Ｅａ−Ｅｃ）／ＦＬ＜０．０３
【００２１】
本発明の第１５の態様は、第１の態様乃至第１４の態様のいずれか１つに記載の結像レンズを備える顕微鏡装置を提供する。
【００２２】
本発明の第１６の態様は、第１５の態様に記載の顕微鏡装置において、さらに、前記結像レンズが形成する前記物体の拡大像を撮像する撮像素子を含み、Ｌを前記撮像素子の画素サイズとするとき、以下の条件式を満たす顕微鏡装置を提供する。
１μｍ≦Ｌ≦１７μｍ
【００２３】
本発明の第１７の態様は、無限遠補正型の対物レンズと、顕微鏡結像レンズと、を備え、前記顕微鏡結像レンズは、物体側から順に、接合レンズを含む、正のパワーを有する第１レンズ群と、負のパワーを有する接合レンズからなる第２レンズ群と、各々が正のパワーを有する複数のレンズからなる、全体で正のパワーを有する第３レンズ群と、から構成され、ＦＬを前記結像レンズの焦点距離とし、Ｄ２を前記結像レンズの最も物体側のレンズ面から前記結像レンズの入射瞳位置までの距離とするとき、以下の条件式を満たす撮像光学系を提供する。
０．３ ＜ Ｄ２／ＦＬ ＜ １．３
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、広い視野を持つ対物レンズに対応可能で、良好な光学性能をもつ顕微鏡結像レンズ、及び、それを備えた顕微鏡装置及び撮像光学系の技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の一実施形態に係る顕微鏡装置の構成を例示した図である。
【図２】本発明の実施例１に係る結像レンズの断面図である。
【図３】図２に例示される結像レンズの収差図である。
【図４】本発明の実施例２に係る結像レンズの断面図である。
【図５】図４に例示される結像レンズの収差図である。
【図６】本発明の実施例３に係る結像レンズの断面図である。
【図７】図６に例示される結像レンズの収差図である。
【図８】本発明の実施例４に係る結像レンズの断面図である。
【図９】図８に例示される結像レンズの収差図である。
【図１０】本発明の実施例５に係る結像レンズの断面図である。
【図１１】図１０に例示される結像レンズの収差図である。
【図１２】本発明の実施例６に係る結像レンズの断面図である。
【図１３】図１２に例示される結像レンズの収差図である。
【図１４】本発明の実施例７に係る結像レンズの断面図である。
【図１５】図１４に例示される結像レンズの収差図である。
【図１６】本発明の実施例８に係る結像レンズの断面図である。
【図１７】図１６に例示される結像レンズの収差図である。
【図１８】本発明の実施例９に係る結像レンズの断面図である。
【図１９】図１８に例示される結像レンズの収差図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
図１は、本発明の一実施形態に係る顕微鏡装置１００の構成を示す概略図である。図１に例示される顕微鏡装置１００は、顕微鏡本体２と、光ファイバー４を介して顕微鏡本体２に接続される光源装置３と、対物レンズ８及び結像レンズ１を含む撮像光学系と、撮像素子９を内蔵したデジタルカメラと、を備えている。顕微鏡装置１００は、さらに、ステージ５を対物レンズ８の光軸と直交する方向に移動させるためのＸＹハンドル６と、ステージ５を対物レンズ８の光軸と平行な方向に移動させるためのＺハンドル７を備えている。また、顕微鏡装置１００は、図示しない接眼レンズを備えてもよい。
【００２８】
対物レンズ８は、無限遠補正型の顕微鏡対物レンズである。対物レンズ８は、広視野（即ち、低倍率且つ大きな視野数）で大きな開口数を有するように構成されている。
【００２９】
結像レンズ１は、対物レンズ８と組み合わせて物体（標本Ｓ）の拡大像を形成する顕微鏡結像レンズである。結像レンズ１は、収差が良好に補正され、且つ、大きな視野数と大きな開口数を有するように構成されている。
【００３０】
撮像素子９は、例えば、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）やＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）などであり、対物レンズ８及び結像レンズ１により拡大像が形成される像面に配置される。
【００３１】
撮像素子９は、対物レンズ８及び結像レンズ１が有する広い視野数が十分に生かされるように、サイズの大きなものが望ましい。また、対物レンズ８及び結像レンズ１による高い結像性能が十分に発揮されるように、高精細なものが望ましく、例えば、その画素サイズＬ（つまり、各画素の一辺の長さ）が１μｍから１７μｍであるものが望ましい。これは、１７μｍを上回ると、ナイキスト周波数が撮像光学系のカットオフ周波数を下回ってしまい、その結果、撮像光学系の解像性能が十分に発揮されないからである。また、１μｍを下回ると、撮像光学系のカットオフ周波数を越えてナイキスト周波数は大きくなりすぎてしまい、撮像素子の解像性能が十分に発揮されないからである。
【００３２】
顕微鏡装置１００では、ステージ５上に配置された標本Ｓは、光源装置３から出射し光ファイバー４を介して入射した光によって照明される。照明された標本Ｓは、対物レンズ８及び結像レンズ１により撮像素子９に拡大して投影され、対物レンズ８及び結像レンズ１により形成された標本Ｓの拡大像が撮像素子９で撮像される。また、顕微鏡装置１００が接眼レンズを有している場合であれば、標本Ｓの拡大像がその接眼レンズを介して観察される。
以上のように構成された顕微鏡装置１００によれば、広視野と高解像とを両立した観察及び画像取得を行うことができる。
【００３３】
次に、結像レンズ１の構成及び作用について詳細に説明する。
結像レンズ１は、すでに上述したように、対物レンズ８と組み合わせて物体（標本Ｓ）の拡大像を形成する顕微鏡結像レンズであり、対物レンズ８からの無限遠光束を撮像素子９が配置された像面に集光する。結像レンズ１は、物体側から順に、接合レンズを含む、正のパワーを有する第１レンズ群と、負のパワーを有する第２レンズ群と、各々が正のパワーを有する複数のレンズからなる、全体で正のパワーを有する第３レンズ群と、から構成されている。
【００３４】
第１レンズ群は、その正のパワーにより、対物レンズからの平行光束を収斂光束に変換して軸外光線高を下げる役割と、第１レンズ群に含まれる接合レンズにより、球面収差と軸上色収差を補正する役割と、を主に担っている。
【００３５】
第２レンズ群は、その負のパワーにより、第１レンズ群からの収斂光束を発散方向に屈折させてその収斂度合いを弱めることで、第３レンズ群に向かって光線高を上げながら、光線を出射する。
【００３６】
第３レンズ群は、複数枚の正レンズにより、第１レンズ群及び第２レンズ群で発生した倍率色収差や歪曲収差を補正して、軸上収差と軸外収差のバランスを取る役割と、全体として有する正のパワーにより、像面に光線を集光させる役割と、を主に担っている。なお、軸外主光線は、第３レンズ群で最も高くなる。
【００３７】
結像レンズ１は、レンズ群構成を正−負−正で構成し、第２レンズ群を負のパワーを有するレンズ群とすることで、球面収差、非点収差、コマ収差、及び、ペッツバール和を良好に補正することができる。また、このような構成では、対物レンズの射出瞳位置から結像レンズ１までの距離を長くしても像側で高いテレセントリック性を維持することができるため、軸上収差と軸外収差を良好に補正することができる。さらに、像面湾曲と非点収差も補正されるため、中心から周辺まで均質で且つ広視野をカバーした像を像面に形成することができる。
【００３８】
さらに、コマ収差については、第１レンズ群及び第２レンズ群よりも軸外光線高が高くなる第３レンズ群で発生しやすいことから、第３レンズ群でのコマ収差の発生量を小さく抑えることが結像レンズ１全体のコマ収差の良好な補正に極めて重要である。この点について、結像レンズ１は、第３レンズ群が正のパワーを有する複数枚のレンズを含むことで、第３レンズ群全体で所定の正のパワーを実現しつつ、それら正のパワーを有する各レンズの曲率半径を比較的大きなものとすることができる。これにより、軸外マージナル光線のレンズ面への入射角及びレンズでの屈折角が大きくなりすぎることを防止することができる。その結果、第３レンズ群でのコマ収差の発生量が十分に抑制されるため、結像レンズ１のコマ収差を良好に補正することが可能となる。
【００３９】
以下、結像レンズ１の望ましい構成について説明する。
第１レンズ群は、像側に凹面を向けたレンズ（以降、第１レンズと記す）を含むことが望ましい。結像レンズ１が第１レンズ群内に第１レンズを含むことで、第１レンズ群によって平行光束から変換された収斂光束が第１レンズの像側に向けた凹面へ入射するとき、その収斂光束の入射角度は小さくなる。このため、この凹面が有する負のパワーが、第１レンズ群で発生する球面収差、コマ収差及び非点収差を抑えるように作用する。また、凹面が有する負のパワーは、ペッツバール和の低減にも寄与する。
【００４０】
さらに、第１レンズ群に含まれる第１レンズは、像側に凹面を向けた単レンズ又は接合レンズからなるメニスカスレンズであることが望ましく、第１レンズ群の最も像側に配置されることが更に望ましい。この場合、対物レンズ８からの平行光束は、第１レンズ群において、第１レンズに入射する前に収斂光束に変換され、第１レンズに入射する。第１レンズがメニスカスレンズであれば、物体側の面は凸面であり、その面への入射角は小さくなるため、第１レンズの凸面で発生する球面収差、コマ収差、非点収差を低減することができる。また、第１レンズ群の正パワーを、第１レンズより物体側のレンズ又はレンズ群（以降、第１ａレンズ群と記す。）と第１レンズの凸面に分散させることができるため、第１レンズ群の各面での光線の曲がりを緩やかにすることができる。これにより、第１レンズ群での球面収差の発生量を抑えることができる。このような第１レンズを含む構成は、結像レンズ１のように、入射瞳径が大きく、視野数が大きい結像レンズでは、周辺性能の劣化を避ける上で好適であり、より良好なコマ収差の補正に寄与し得る。
【００４１】
第２レンズ群は、物体側に凹面を向けたレンズ（以降、第２レンズと記す）を含むことが望ましい。結像レンズ１が第２レンズ群内に第２レンズを含むことで、第１レンズ群から出射されて第２レンズ群に入射する収斂光束が第２レンズの物体側に向けた凹面へ入射するとき、その収斂光束の入射角度が大きくなる。このため、この凹面が有する負のパワーが、収斂光束に対して強く作用し、第１レンズ群で発生した球面収差、コマ収差及び非点収差と相殺する方向に収差を発生させる。
【００４２】
さらに、第２レンズ群に含まれる第２レンズは、物体側に凹面を向けた単レンズ又は接合レンズからなるメニスカスレンズであることが望ましく、第２レンズ群の最も物体側に配置されることが更に望ましい。上述したように、第２レンズ群は第３レンズ群に向かって軸外主光線高を上げていく役割を有している。第２レンズの像側の面が平面又は凹面であると、第２レンズから出射した光線の光線高が急激に上がってしまう。これにより、第３レンズ群へ入射する軸外主光線の角度が付きすぎてしまうため、第３レンズ群での軸外収差(コマ収差、倍率色収差)の発生量が大きくなってしまう。このため、第３レンズ群での軸外収差の発生を抑えるためには、第２レンズは物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであることが望ましい。また、第２レンズ群はメニスカスレンズのみから構成されていてもよい。このような第２レンズを含む構成は、結像レンズ１のように、入射瞳径が大きく、視野数が大きい結像レンズでは、周辺性能の劣化を避ける上で好適であり、より良好なコマ収差及び倍率色収差の補正に寄与し得る。
【００４３】
従って、第１レンズ群内に第１レンズを含み、且つ、第２レンズ群内に第２レンズを含む結像レンズ１の構成は、第１レンズ群を介して第２レンズ群から出射された光に生じている球面収差、コマ収差、非点収差量をより少なく抑えることを可能とし、像面湾曲をより良好に補正することができるという点で望ましい。
【００４４】
また、第１レンズと第２レンズは、負のパワーを有する凹面で、正のパワーを有する第１ａレンズ群で生じた軸上色収差及び倍率色収差とは反対の方向に軸上色収差及び倍率色収差を生じさせて、色収差を補正する役割も担っている。このため、第１レンズと第２レンズは、色収差を効果的に打ち消して補正するために、合計で４枚以上からなり、少なくとも一方が接合レンズからなることが望ましい。第１レンズと第２レンズの両方が接合レンズであれば更に望ましい。このような第１レンズ及び第２レンズを含む構成は、結像レンズ１のように、入射瞳径が大きく、視野数が大きい結像レンズでは、周辺性能の劣化を避ける上で好適であり、より良好な倍率色収差の補正に寄与し得る。
【００４５】
なお、第３レンズ群内など、他の場所に接合レンズを入れた場合も、正パワーで発生する色収差を小さくして色収差のバランスをとることは可能である。ただし、その場合、軸外主光線やマージナル光線の光線高が高いため、細かな色収差の調整が困難である。このため、収差補正のために多くのレンズが必要となり、結像レンズ１を構成するレンズ枚数が増加してしまう。
【００４６】
第３レンズ群は、物体側に凹面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズを含むことが望ましい。これにより、第２レンズ群から光線高を上げながら入射する軸外主光線がそのメニスカスレンズに入射するときの入射角が抑えられる。これにより、非点収差を補正しつつコマ収差を良好に補正することが可能となる。
【００４７】
以下、結像レンズ１が満たす条件について説明する。
結像レンズ１は、下記の条件式（４）を満たすように構成されている。
０．３ ＜ Ｄ２／ＦＬ ＜ １．３       ・・・（４）
【００４８】
但し、ＦＬは、結像レンズ１の焦点距離であり、Ｄ２は、結像レンズ１の最も物体側のレンズ面（対物レンズ８に最も近いレンズ面）から結像レンズ１の入射瞳位置（対物レンズ８の射出瞳位置）までの距離である。なお、顕微鏡用の結像レンズは、結像レンズの入射瞳位置が対物レンズの射出瞳位置と同じ位置に成るように配置されるのが通常である。このため、以降では、結像レンズの入射瞳位置と対物レンズの射出瞳位置は実質的に同じ位置を指すものとして説明する。
【００４９】
条件式（４）は、結像レンズ１の入射瞳位置（対物レンズ８の射出瞳位置）が結像レンズ１の物体側に位置する場合に、軸上球面収差と、軸外光線のコマ収差及び非点収差と、を良好に補正するための条件を示している。また、条件式（４）を満たすことで、結像レンズ１は、高いテレセントリック性を実現することができるため、結像レンズ１から出射される光線をＣＣＤイメージセンサなどの撮像素子にとって好適な状態（つまり、光軸と略平行な状態）で出射することができる。結像レンズ１は、少なくとも条件式（４）を満たすことで、広い視野の対物レンズに対応可能で、良好な光学性能を実現することができる。
【００５０】
条件式（４）でＤ２／ＦＬが上限値を超えると、結像レンズ１の入射瞳位置（対物レンズの射出瞳位置）が第１レンズ群から遠くなりすぎる。このため、第１レンズ群に入射する際の軸外の光線高が極端に高くなり、球面収差や軸外光線のコマ収差及び非点収差が大きくなる。また、像側のテレセントリック性も低下する。さらに、結像レンズ１の外径も大きくなるため、製造性も低下する。一方、Ｄ２／ＦＬが下限値を下回ると、結像レンズ１の入射瞳位置（対物レンズの射出瞳位置）が第１レンズ群に近くなりすぎる。このため、第１レンズ群に入射する際の軸外の光線高が十分に高くならない。従って、軸外のコマ収差及び非点収差が良好に補正することが困難となる。また、像側のテレセントリック性も低下する。
【００５１】
以下、結像レンズ１が満たすことが望ましい条件について説明する。
結像レンズ１は、下記の条件式を満足することが望ましい。
０．３ ＜ ＦＬＧ１／ＦＬ ＜ ３         ・・・（５）
−４ ＜ ＦＬＧ２／ＦＬ ＜ −０．０５   ・・・（６）
０．３ ＜ Ｄ１／Ｄ０ ＜ ０．８         ・・・（７）
【００５２】
但し、ＦＬＧ１は、第１レンズ群の焦点距離であり、ＦＬＧ２は、第２レンズ群の焦点距離である。また、Ｄ０は、結像レンズ１の最も物体側のレンズ面から拡大像が形成される像面までの距離であり、Ｄ１は、結像レンズ１の最も物体側のレンズ面から結像レンズ１の最も像側のレンズ面までの距離である。
【００５３】
条件式（５）は、第１レンズ群の焦点距離と全体の焦点距離との関係を規定する式である。条件式（６）は、第２レンズ群の焦点距離と全体の焦点距離との関係を規定する式である。条件式（５）及び条件式（６）を満たすことで、結像レンズ１の第１レンズ群と第２レンズ群のパワー配分が適正な状態となる。これにより、結像レンズ１は、結像レンズ１全体で球面収差とコマ収差をより良好に補正し、且つ、第２レンズ群の負のパワーによりペッツバール和を低減して像面湾曲をより良好に補正することができる。特に、結像レンズ１のように、入射瞳径が大きくまた視野数が大きい結像レンズでは、周辺性能の劣化を避けるためには、より良好な像面湾曲とコマ収差の補正が重要である。このため、条件式（５）及び（６）を満たすことが望ましい。
【００５４】
条件式（５）でＦＬＧ１／ＦＬが上限値を超えると、結像レンズ１全体のパワーに対して第１レンズ群のパワーが弱くなりすぎる。このため、第２レンズ群を含む他のレンズ群のパワーも同様に、結像レンズ全体のパワーに対して弱くなる。これにより、ペッツバール和が大きくなり、像面湾曲、コマ収差が悪化する。一方、ＦＬＧ１／ＦＬが下限値を下回ると、結像レンズ１全体のパワーに対して第１レンズ群のパワーが強くなりすぎる。これにより、他のレンズ群のパワーも同様に、結像レンズ全体のパワーに対して強くなるため、球面収差、コマ収差が悪化する。また、各レンズ群のパワーが強く、偏心敏感度が高いため、わずかなレンズの偏心により諸収差が悪化してしまう。
【００５５】
条件式（６）でＦＬＧ２／ＦＬが上限値を超えると、結像レンズ１全体のパワーに対して第２レンズ群のパワーが強くなりすぎる。これにより、他のレンズ群のパワーも同様に、結像レンズ全体のパワーに対して強くなるため、球面収差、コマ収差が悪化する。また、各レンズ群のパワーが強く、偏心敏感度が高いため、わずかなレンズの偏心により諸収差が悪化してしまう。一方、ＦＬＧ２／ＦＬが下限値を下回ると、結像レンズ１全体のパワーに対して第２レンズ群のパワーが弱くなりすぎる。これにより、ペッツバール和が大きくなり、像面湾曲、コマ収差が悪化する。
【００５６】
条件式（７）は、結像レンズ１の最も物体側のレンズ面（対物レンズ８に最も近い結像レンズ１のレンズ面（以降、第１面と記す。））から結像位置である像面までの距離と、第１面から結像レンズ１の最も像側のレンズ面（像面に最も近い結像レンズのレンズ面（以降、最終面と記す。））までの距離である結像レンズ１全長との関係を規定する式である。条件式（７）を満たすことで、結像レンズ１は、全長を極端に長くすることなく、像面における球面収差、コマ収差及び非点収差を良好に補正し、且つ、像側で高いテレセントリック性を実現することができる。特に、結像レンズ１のように、入射瞳径が大きくまた視野数が大きい結像レンズでは、周辺性能の劣化を避けるためには、より良好な像面湾曲とコマ収差の補正が重要である。このため、条件式（７）を満たすことが望ましい。
【００５７】
条件式（７）でＤ１／Ｄ０が上限値を超えると、第３レンズ群から結像位置までの距離が短くなりすぎる。このため、結像レンズ１の像側に配置される、撮像素子、光路分割素子、及び、同焦調整機構などの配置が困難になってしまう。一方、Ｄ１／Ｄ０が下限値を下回ると、第１レンズ群から第３レンズ群までの距離が短くなりすぎるため、球面収差やコマ収差の補正が困難となる。また、球面収差やコマ収差が補正された場合であっても、各レンズ群のパワーが強くなりすぎるため、レンズ群の偏心敏感度が上昇し、わずかなレンズの偏心により諸収差の悪化が生じてしまう。
【００５８】
結像レンズ１は、第１レンズ群が最も像側に、像側に凹面を向けたメニスカスレンズからなる第１レンズを含み、第２レンズ群が最も物体側に、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズからなる第２レンズを含むとき、以下の条件式を満足することが望ましい。
３０＜νｌ−νｓ                  ・・・（８）
３０＜νｌ１−νｓ１              ・・・（９）
２５＜νｌ２−νｓ２              ・・・（１０）
【００５９】
ただし、第１レンズと第２レンズの少なくとも一方が正のパワーを有するレンズと負のパワーを有するレンズを含む接合レンズ（即ち、色消しレンズ）であるとき、νｌは、その接合レンズに含まれる正のパワーを有するレンズのアッベ数のうち最も大きいアッベ数である。また、νｓは、その接合レンズに含まれる負のパワーを有するレンズのアッベ数のうち最も小さいアッベ数である。
【００６０】
また、第１レンズと第２レンズがそれぞれ正のパワーを有するレンズと負のパワーを有するレンズを含む接合レンズ（即ち、色消しレンズ）であるとき、νｌ１は第１レンズ又は第２レンズの一方である第１接合レンズに含まれる正のパワーを有するレンズのアッベ数のうち最も大きいアッベ数である。νｓ１は第１接合レンズに含まれる負のパワーを有するレンズのアッベ数のうち最も小さいアッベ数である。νｌ２は第１レンズ又は第２レンズの他方である第２接合レンズに含まれる正のパワーを有するレンズのアッベ数のうち最も大きいアッベ数である。νｓ２は第２接合レンズに含まれる負のパワーを有するレンズのアッベ数のうち最も小さいアッベ数である。
【００６１】
条件式（８）から条件式（１０）は、色消しレンズ（第１レンズ及び／又は第２レンズ）を構成する硝材のアッベ数差を規定する式である。
条件式（８）を満たすことで、第１レンズ群で発生した倍率色収差及び軸上色収差を打ち消して、全体として色収差を良好に補正することができる。条件式（８）でνｌ−νｓが下限値を下回ると、色消しレンズでの倍率色収差および軸上色収差の補正量が小さくなるため、結像面における色収差を良好に補正することが困難となる。なお、色消しレンズは、それ以前（つまり、物体側）で生じた色収差とは反対方向に色収差を発生させて、色収差を補正するレンズである。
【００６２】
無限遠補正型の対物レンズ８と結像レンズ１で結像系を構成する場合、視野数が大きい対物レンズ８ではある一定の方向に倍率色収差がでる傾向があり、収差補正が難しい場合がある。そのような場合には、結像レンズ１で対物レンズ８とは逆方向に倍率色収差を出して、結像系全体で倍率色収差を相殺することが望ましい。条件式（９）及び（１０）を満たすことで、結像レンズ１で発生する色収差を複数の色消しレンズで過剰に補正することができる。このため、第１レンズ群で発生した倍率色収差及び軸上色収差に加えて、対物レンズ８で補正しきれなかった倍率色収差も良好に補正することができる。条件式（９）でνｌ１−νｓ１が下限値を下回るか、条件式（１０）でνｌ２−νｓ２が下限値を下回ると、倍率色収差および軸上色収差の補正量が小さくなるため、対物レンズ８で発生した倍率色収差をも取りきることが困難となる。
【００６３】
即ち、結像レンズ１は、結像レンズ単独での高い色収差性能を得るためには、条件式（８）を満たすことが望ましく、対物レンズ８で補正し切れなかった色収差をも補正するためには、条件式（９）及び（１０）を満たすことが望ましい。
【００６４】
結像レンズ１は、第１レンズ群が像側に凹面を向けた第１レンズを含み、第２レンズ群が物体側に凹面を向けた第２レンズを含むとき、以下の条件式を満足することが望ましい。
０ ＜ ｜ＲＧ２／ＲＧ１｜ ＜ ３   ・・・（１１）
１．５ ＜ ＮｄＧ２               ・・・（１２）
７０ ＜ νｄＧ１                 ・・・（１３）
【００６５】
但し、ＲＧ１は、第１レンズの像側に向けた凹面の曲率半径であり、ＲＧ２は、第２レンズの物体側に向けた凹面の曲率半径である。ＮｄＧ２は、第２レンズのd線に対する屈折率、又は、第２レンズが接合レンズである場合には第２レンズを構成する最も物体側のレンズのd線に対する屈折率である。νｄＧ１は、第１レンズ群に含まれる正のパワーを有するレンズのアッベ数のうち最も高いアッベ数である。なお、第１レンズ群内に像側に向けた凹面が複数ある場合には、ＲＧ１は、最も像側の凹面の曲率半径であることが望ましい。
【００６６】
条件式（１１）は、第１レンズの像側に向けた凹面の曲率半径に対する第２レンズの物体側に向けた凹面の曲率半径の比を規定する式である。条件式（１１）を満たすことで、これらのレンズが収差の抑制に効果的に寄与することになるため、第１レンズ群を介して第２レンズ群から出射された光に生じている諸収差量をより少なく抑えることができる。
【００６７】
条件式（１１）で｜ＲＧ２／ＲＧ１｜が上限値を超えると、第１レンズの像側に向けた凹面の曲率半径が小さくなりすぎるか、または、第２レンズの物体側に向けた凹面の曲率半径が大きくなりすぎる。像側に向けた凹面の曲率半径が小さくなりすぎると、第１レンズの凹面で生じる負のパワーが強くなりすぎるため、球面収差、コマ収差及び非点収差が悪化してしまう。また、第２レンズの凹面の曲率半径が大きくなりすぎると、第２レンズ群の負のパワーが弱くなるため、像面湾曲及びコマ収差が悪化してしまう。
【００６８】
条件式（１２）は、第２レンズのd線に対する屈折率を規定する式である。条件式（１２）を満たすことで、ペッツバール和を抑えて良好に像面湾曲を補正することができるため、結像レンズ１全体として、各レンズ群での球面収差、非点収差、コマ収差の発生量を少なくすることが可能となる。条件式（１２）でＮｄＧ２が下限値を下回ると、必要なパワーが生じさせるためには、第２レンズの物体側に向けた凹面の曲率半径を非常に小さくする必要がある。このため、結像レンズ１全体として、球面収差、コマ収差、像面湾曲を良好に補正することが困難となる。
【００６９】
条件式（１３）は、第１レンズ群に含まれる正のパワーを有するレンズのアッベ数のうち最も高いアッベ数を規定する式である。条件式（１３）を満たすことで、軸上光線高が最も高くなる第１レンズ群で、球面収差及び軸上色収差を良好に補正することができる。条件式（１３）でνｄＧ１が下限値を下回ると、球面収差及び軸上色収差を良好に補正することが困難となる。
【００７０】
結像レンズ１は、第３レンズ群が最も物体側に正のパワーを有する第３レンズを含み、最も像側に正のパワーを有する第４レンズを含むとき、以下の条件式を満足することが望ましい。なお、第３レンズ及び第４レンズは、単レンズであっても接合レンズであってもよい。
０．２＜ＦＬＧ３ｂ／ＦＬＧ３ａ＜５      ・・・（１４）
但し、ＦＬＧ３ａは第３のレンズの焦点距離であり、ＦＬＧ３ｂは第４のレンズの焦点距離である。
【００７１】
条件式（１４）は、第３レンズ群内のパワー配分について規定する式である。条件式（１１）を満たすことで、第３レンズ群の正パワーが適切に配分されるため、球面収差、コマ収差、像面湾曲を良好に補正することができる。条件式（１４）でＦＬＧ３ｂ／ＦＬＧ３ａが下限値を下回ると、第３レンズのパワーに対して第４レンズのパワーが大きくなりすぎる。このため、軸外主光線の光線高が高い第４レンズにおいて、大きなコマ収差及び像面湾曲が発生してしまう。条件式（１４）でＦＬＧ３ｂ／ＦＬＧ３ａが上限値を上回ると、第４レンズのパワーに対して第３レンズのパワーが大きくなりすぎる。このため、第３レンズ群で大きな球面収差が発生してしまい、結像レンズ１全体としての収差発生量が増大してしまう。条件式（１４）を満たした構成は、結像レンズ１のように、入射瞳径が大きく視野数が大きい結像レンズでは、周辺性能の劣化を避ける上で好適であり、より良好なコマ収差及び倍率色収差の補正に寄与し得る。
【００７２】
結像レンズ１は、以下の条件式を満足することが望ましい。
１．７＜ＮｄＧ３   ・・・（１５）
νｄＧ３＜４５     ・・・（１６）
【００７３】
但し、ＮｄＧ３は第３レンズ群に含まれるレンズの屈折率のうち最も大きい屈折率であり、νｄＧ３は第３レンズ群に含まれるレンズのアッベ数のうち最も小さいアッベ数である。
【００７４】
条件式（１５）は、第３レンズ群に含まれる正レンズのｄ線に対する屈折率を規定する式である。条件式（１５）を満たすことで、軸外コマ収差を良好に補正しながら、第２レンズ群の負のパワーにより発生する歪曲収差を第３レンズ群の正のパワーのレンズによって低減させることが可能となる。ＮｄＧ３が下限値を下回ると、第３レンズ群に含まれる正レンズのレンズ面の曲率半径が小さくなり、コマ収差または歪曲収差が悪化してしまう。
【００７５】
条件式（１６）は、第３レンズ群に含まれる正レンズのアッベ数を規定する式である。条件式（１６）を満たすことで、最も軸外主光線が高くなる第３レンズ群で、軸外の倍率色収差を良好に補正することができる。νｄＧ３が上限値を上回ると、倍率色収差を良好に補正することが困難となる。
【００７６】
結像レンズ１は、以下の条件式を満足することが望ましい。
０．３ ＜ Ｈａ／Ｈｉ ＜ １                    ・・・（１７）
−０．０４＜（Ｅａ−Ｅｃ）／ＦＬ＜０．０３    ・・・（１８）
【００７７】
但し、Ｈａは軸外の主光線が結像レンズ１の最も物体側のレンズ面に入射するときの光線高であり、Ｈｉはその軸外の主光線が像面に入射するときの光線高である。Ｅａは第１レンズ群に含まれるレンズの最大有効径であり、Ｅｃは第３レンズ群に含まれるレンズの最大有効径である。
【００７８】
条件式（１７）は、軸外主光線の光線高について規定する式である。条件式（１７）を満たすことにより、軸外主光線の光線高が適切な範囲に維持されるため、結像レンズ１のコマ収差を良好に補正することができる。Ｈａ／Ｈｉが下限値を下回ると、軸外光束の下側マージナル光線の曲がりが緩やかになりすぎるため、第３レンズ群でのコマ収差補正が不十分になってしまう。一方、Ｈａ／Ｈｉが上限値を上回ると、軸外光束の上側マージナル光線の曲がりが急になりすぎるため、コマ収差が軸外で急激に悪化してしまう。条件式（１７）を満たした構成は、結像レンズ１のように、入射瞳径が大きく視野数が大きい結像レンズでは、周辺性能の劣化を避ける上で好適であり、より良好なコマ収差及び倍率色収差の補正に寄与し得る。
【００７９】
条件式（１８）は、レンズの有効径について規定する式である。条件式（１８）を満たすことで、軸上光束の射出ＮＡに対する軸外光束の射出ＮＡの劣化を低減することができる。（Ｅａ−Ｅｃ）／ＦＬが下限値を下回ると、第１レンズ群の径が不足するため、軸外光束でのＮＡの劣化がひどくなってしまう。このため、像高が高い部分と低い部分との間で明るさが異なることになり、光量のムラが生じてしまう。一方、（Ｅａ−Ｅｃ）／ＦＬが上限値を上回ると、第１レンズ群が大きくなりすぎて、有効光束が通らない無駄な領域が増加してしまう。また、これに伴い、レンズの加工精度が低下し、枠加工の難易度も上がってしまう。
【００８０】
結像レンズ１は、次の条件式を満たすように構成されていることが望ましい。
０．０４ ＜ ＮＡ                      ・・・（１）
１７００ ≦ ＦＮ／ε                  ・・・（２）
−２ ≦ ＦＮ／ＥＸＰ１ ≦ ２         ・・・（３）
【００８１】
但し、ＮＡは、結像レンズ１の像側の開口数であり、ＦＮは、結像レンズ１の視野数であり、εは、結像レンズ１のｄ線（５８８ｎｍ）に対するエアリーディスク直径（即ち、ε＝１．２２×λ／ＮＡ）である。ＥＸＰ１は、像面から結像レンズ１の射出瞳位置までの距離であり、像面に対して結像レンズ１側に射出瞳位置がある場合には負の値で表し、像面に対して結像レンズ１から離れた側（つまり、結像レンズ１とは反対側）に射出瞳位置がある場合には正の値で表す。なお、結像レンズ１の射出瞳位置は、対物レンズ８の瞳の中心を通る主光線が光軸と交わる位置である。また、視野数とは、最大像高の2倍に相当する。なお、顕微鏡の光学系が形成する光学像を撮像素子９で撮像しデジタル観察を行う場合には、撮像素子９の対角長は結像レンズ１の視野数と同程度であることが望ましい。
【００８２】
条件式（１）は、十分な分解能を得るための条件を示している。また、ＮＡが条件式（１）の下限値を下回らないことで、エアリーディスク径を十分に小さくすること可能となり、十分な分解能を得ることができる。また、ＮＡが大きくなると結像レンズ１を通る光線の径が太くなり、結像レンズ１に必要なレンズ径が大きくなる。ＮＡが条件式（１）の上限値を上回らないことで、結像レンズ１内のレンズ径を製造可能なレベルに抑えることができる。
【００８３】
また、結像レンズ１は、次の条件式を満たすように構成されていてもよい。
０．０４ ＜ ＮＡ ≦０．０８                     ・・・（１−１）
また、結像レンズ１は、次の条件式を満たすように構成されていてもよい。
０．０４５ ≦ ＮＡ ≦０．０８                   ・・・（１−２）
【００８４】
条件式（２）は、十分な分解能と広視野を得るための条件を示している。ＦＮ／εが条件式（２）の下限値を下回らないことで、広視野且つ高分解能な標本観察及び画像取得が可能となる。
また、結像レンズ１は、次の条件式を満たすように構成されていてもよい。
１７００ ≦ ＦＮ／ε ≦１００００                 ・・・（２−１）
【００８５】
条件式（３）は、テレセントリック性を維持するための条件を示している。ＦＮ／ＥＸＰ１が条件式（３）の範囲内にあることで、結像レンズ１のテレセントリック性が維持される。これにより、撮像素子９の角度特性に起因するシェーディングの影響を低減することができる。
【００８６】
なお、条件式（１）から条件式（１８）の任意に組み合わせが、結像レンズに適用されてもよい。また、各式は、上限値及び下限値のいずれか一方のみで限定しても良い。
以下、上述した結像レンズ１の実施例について具体的に説明する。
【実施例１】
【００８７】
図２は、本実施例に係る結像レンズ１０の断面図である。図２に例示される結像レンズ１０は、無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて物体の拡大像を形成する顕微鏡結像レンズである。結像レンズ１０は、物体側から順に、接合レンズＣＬ１を含む、正のパワーを有する第１レンズ群Ｇ１と、負のパワーを有する第２レンズ群Ｇ２と、各々が正のパワーを有する複数のレンズ（Ｌ６、Ｌ７）からなる、全体で正のパワーを有する第３レンズ群Ｇ３と、から構成される。
【００８８】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側から、両凸レンズＬ１と、両凸レンズＬ２と両凹レンズＬ３とからなる接合レンズＣＬ１（第１レンズ）と、からなっている。第２レンズ群Ｇ２は、物体側から、両凹レンズＬ４と両凸レンズＬ５とからなる接合レンズＣＬ２（第２レンズ）からなっている。第３レンズ群Ｇ３は、物体側から、物体側に凹面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ６（第３レンズ）と、両凸レンズＬ７（第４レンズ）とからなっている。第１レンズと第２レンズは、それぞれメニスカス形状を有している。
【００８９】
即ち、正−負−正のパワーを有する３群からなる結像レンズ１０は、第２レンズ群Ｇ２の最も物体側に配置されたレンズが物体側に凹面を向けたレンズ面であるという特徴によって第１レンズ群Ｇ１と第２レンズ群Ｇ２との境界を識別することができる。また、第３レンズ群Ｇ３が正のパワーを有する複数のレンズからなるという特徴によって第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との境界を識別することができる。
【００９０】
結像レンズ１０の各種データは、以下のとおりである。なお、基準波長は、ｄ線（５８７．５６ｎｍ）である。ＮＡは、像側の開口数である。その他の記号は、上述した式（１）から式（１８）と同様である。
ＮＡ＝０．０７、ＦＮ＝３０ｍｍ、
ε＝０．０１０２４８ｍｍ、ＥＸＰ１＝１９９９．９９５２ｍｍ
ＦＬ＝１８０ｍｍ、ＦＬＧ１＝１４２．１９０１ｍｍ、ＦＬＧ２＝−８１．４８８２ｍｍ
Ｄ０＝１８６．８８ｍｍ、Ｄ１＝９０．８５９８ｍｍ、Ｄ２＝１６２．２ｍｍ
ＦＬＧ３ａ＝３１３．５５ｍｍ、ＦＬＧ３ｂ＝１５１．８７６ｍｍ
Ｅａ＝２６．５９５ｍｍ、Ｅｃ＝２２．０９３ｍｍ
【００９１】
結像レンズ１０のレンズデータは、以下のとおりである。なお、レンズデータ中のinfは無限大（∞）を示している。
結像レンズ１０
s         r          d           nd            vd
s0       inf      162.2                         
s1      63.8523     9.3326      1.497         81.54  
s2   -1485.8995     3.1666                         
s3      39.1423    13.9864      1.497         81.54  
s4    -145.3496     6           1.51633       64.14  
s5      26.8639    20.2953                         
s6     -53.5928     8.0905      1.72047       34.71  
s7     110.3106     7.877       1.43875       94.93  
s8    -130         14.8023                      
s9    -288.1082     6           1.59522       67.74    
s10   -114.1428     0.4703                         
s11    176.2945     6           1.85026       32.27   
s12   -475.1754    90.8598442                         
s13      inf                
【００９２】
ここで、sは面番号を、rは曲率半径（ｍｍ）を、dは面間隔（ｍｍ）を、ndはｄ線に対する屈折率を、vdはアッベ数を示す。これらの記号は、以降の実施例でも同様である。なお、面番号s0が示す面は、結像レンズ１０の入射瞳位置（対物レンズの射出瞳位置）の面を示し、面番号s13が示す面は、像面を示している。また、例えば、面間隔d0は、面番号s0が示す面から面番号s1が示す面までの距離を示している。
【００９３】
結像レンズ１０は、以下の式（１Ａ）から（１８Ａ）で示されるように、条件式（１１）を除き条件式（１）から（１８）を満たしている。なお、式（１Ａ）から（１８Ａ）はそれぞれ条件式（１）から（１８）に対応している。また、条件式（１７Ａ）は視野数３０の位置に入射する主光線を例に算出したものである。
ＮＡ ＝ ０．０７                         ・・・（１Ａ）
ＦＮ／ε＝２９２７                        ・・・（２Ａ）
ＦＮ／ＥＸＰ１＝０．０１５               ・・・（３Ａ）
Ｄ２／ＦＬ＝０．９０１                   ・・・（４Ａ）
ＦＬＧ１／ＦＬ＝０．７９０                ・・・（５Ａ）
ＦＬＧ２／ＦＬ＝−０．４５３             ・・・（６Ａ）
Ｄ１／Ｄ０＝０．４８６                   ・・・（７Ａ）
νｌ−νｓ＝６０．２００                  ・・・（８Ａ）
νｌ１−νｓ１＝６０．２００              ・・・（９Ａ）
νｌ２−νｓ２＝１７．４００              ・・・（１０Ａ）
｜ＲＧ２／ＲＧ１｜＝１．９９９           ・・・（１１Ａ）
ＮｄＧ２＝１．７２０                     ・・・（１２Ａ）
νｄＧ１＝８１．５４０                   ・・・（１３Ａ）
ＦＬＧ３ｂ／ＦＬＧ３ａ＝０．４８４        ・・・（１４Ａ）
ＮｄＧ３＝１．８５０                     ・・・（１５Ａ）
νｄＧ３＝３２．２７０                    ・・・（１６Ａ）
Ｈａ／Ｈｉ＝０．９０８                    ・・・（１７Ａ）
（Ｅａ−Ｅｃ）／ＦＬ＝０．０２５          ・・・（１８Ａ）
【００９４】
図３は、図２に例示される結像レンズ１０の収差図であり、物体側から平行光束が入射した場合の像面での収差を示している。図３（ａ）は球面収差図であり、図３（ｂ）は倍率色収差図であり、図３（ｃ）は非点収差図であり、図３（ｄ）はコマ収差図であり、図３（ｅ）は歪曲収差図である。なお、図中の“Ｍ”はメリディオナル成分、“Ｓ”はサジタル成分を示している。
【実施例２】
【００９５】
図４は、本実施例に係る結像レンズ２０の断面図である。図４に例示される結像レンズ２０は、無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて物体の拡大像を形成する顕微鏡結像レンズである。結像レンズ２０は、物体側から順に、接合レンズＣＬ１を含む、正のパワーを有する第１レンズ群Ｇ１と、負のパワーを有する第２レンズ群Ｇ２と、各々が正のパワーを有する複数のレンズ（Ｌ６、Ｌ７）からなる、全体で正のパワーを有する第３レンズ群Ｇ３と、から構成される。なお、第１レンズ群Ｇ１、第２レンズ群Ｇ２、第３レンズ群Ｇ３の境界の識別方法は、実施例１と同様である。
【００９６】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側から、両凸レンズＬ１と、物体側に凸面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ２と物体側に凸面を向けた負のパワーを有するメニスカスレンズＬ３とからなる接合レンズＣＬ１（第１レンズ）と、からなっている。第２レンズ群Ｇ２は、物体側から、物体側に凹面を向けた負のパワーを有するメニスカスレンズＬ４と物体側に凹面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ５とからなる接合レンズＣＬ２（第２レンズ）からなっている。第３レンズ群Ｇ３は、物体側から、物体側に凹面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ６（第３レンズ）と、両凸レンズＬ７（第４レンズ）とからなっている。第１レンズと第２レンズは、それぞれメニスカス形状を有している。
【００９７】
結像レンズ２０の各種データは、以下のとおりである。なお、基準波長は、ｄ線（５８７．５６ｎｍ）である。
ＮＡ＝０．０７、ＦＮ＝３０ｍｍ、
ε＝０．０１０２４８ｍｍ、ＥＸＰ１＝１９９９．４６０２ｍｍ
ＦＬ＝１８０ｍｍ、ＦＬＧ１＝１６０．３２３３ｍｍ、ＦＬＧ２＝−１１．２０４８ｍｍ
Ｄ０＝２０４．９４３７ｍｍ、Ｄ１＝１０７．８９１ｍｍ、Ｄ２＝１６２．２ｍｍ
ＦＬＧ３ａ＝１８７．５６５２ｍｍ、ＦＬＧ３ｂ＝３５２．７１８２ｍｍ
Ｅａ＝２６．３５７ｍｍ、Ｅｃ＝２３．３８ｍｍ
【００９８】
結像レンズ２０のレンズデータは、以下のとおりである。ここで、面番号s0が示す面は、結像レンズ２０の入射瞳位置（対物レンズの射出瞳位置）の面を示し、面番号s13が示す面は、像面を示している。
結像レンズ２０
s         r          d           nd            vd
s0       inf      162.2                             
s1     120.7472    13.1775      1.43875       94.93 
s2    -163.0581     9.7301                    
s3      41.4285    14.5537      1.497         81.54 
s4      50          6.4656      1.51742       52.43 
s5      30.8345    10.7507                    
s6     -53.095      8.117       1.8           29.84 
s7    -187.8877     7.8669      1.43875       94.93 
s8    -124.275     14.613                    
s9    -252.1032     5.947       1.59522       67.74 
s10    -78.0578     0.6331                    
s11    351.1311     6           1.85026       32.27 
s12  -2039.4189   107.0890528                    
s13      inf                                   
【００９９】
結像レンズ２０は、以下の式（１Ｂ）から（１８Ｂ）で示されるように、条件式（１）から（１８）を満たしている。なお、式（１Ｂ）から（１８Ｂ）はそれぞれ条件式（１）から（１８）に対応している。また、条件式（１７Ｂ）は視野数３０の位置に入射する主光線を例に算出したものである。
ＮＡ ＝ ０．０７                         ・・・（１Ｂ）
ＦＮ／ε＝２９２７                        ・・・（２Ｂ）
ＦＮ／ＥＸＰ１＝０．０１５               ・・・（３Ｂ）
Ｄ２／ＦＬ＝０．９０１                   ・・・（４Ｂ）
ＦＬＧ１／ＦＬ＝０．８９１                ・・・（５Ｂ）
ＦＬＧ２／ＦＬ＝−０．０６２             ・・・（６Ｂ）
Ｄ１／Ｄ０＝０．５２６                    ・・・（７Ｂ）
νｌ−νｓ＝６５．０９０                  ・・・（８Ｂ）
νｌ１−νｓ１＝６５．０９０              ・・・（９Ｂ）
νｌ２−νｓ２＝２９．１１０              ・・・（１０Ｂ）
｜ＲＧ２／ＲＧ１｜＝１．７２２           ・・・（１１Ｂ）
ＮｄＧ２＝１．８００                     ・・・（１２Ｂ）
νｄＧ１＝９４．９３０                   ・・・（１３Ｂ）
ＦＬＧ３ｂ／ＦＬＧ３ａ＝１．８８１        ・・・（１４Ｂ）
ＮｄＧ３＝１．８５０                     ・・・（１５Ｂ）
νｄＧ３＝３２．２７０                    ・・・（１６Ｂ）
Ｈａ／Ｈｉ＝０．９０５                    ・・・（１７Ｂ）
（Ｅａ−Ｅｃ）／ＦＬ＝０．０１７          ・・・（１８Ｂ）
【０１００】
図５は、図４に例示される結像レンズ２０の収差図であり、物体側から平行光束が入射した場合の像面での収差を示している。収差図の記載形式は、実施例１と同様である。
【実施例３】
【０１０１】
図６は、本実施例に係る結像レンズ３０の断面図である。図６に例示される結像レンズ３０は、無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて物体の拡大像を形成する顕微鏡結像レンズである。結像レンズ３０は、物体側から順に、接合レンズＣＬ１を含む、正のパワーを有する第１レンズ群Ｇ１と、負のパワーを有する第２レンズ群Ｇ２と、各々が正のパワーを有する複数のレンズ（Ｌ６、Ｌ７）からなる、全体で正のパワーを有する第３レンズ群Ｇ３と、から構成される。なお、第１レンズ群Ｇ１、第２レンズ群Ｇ２、第３レンズ群Ｇ３の境界の識別方法は、実施例１と同様である。
【０１０２】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側から、物体側に凸面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ１と、物体側に凸面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ２と物体側に凸面を向けた負のパワーを有するメニスカスレンズＬ３とからなる接合レンズＣＬ１（第１レンズ）と、からなっている。第２レンズ群Ｇ２は、物体側から、物体側に凹面を向けた負のパワーを有するメニスカスレンズＬ４と物体側に凹面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ５とからなる接合レンズＣＬ２（第２レンズ）からなっている。第３レンズ群Ｇ３は、物体側から、物体側に凹面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ６（第３レンズ）と、物体側に凸面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ７（第４レンズ）とからなっている。第１レンズと第２レンズは、それぞれメニスカス形状を有している。
【０１０３】
結像レンズ３０の各種データは、以下のとおりである。なお、基準波長は、ｄ線（５８７．５６ｎｍ）である。
ＮＡ＝０．０７、ＦＮ＝３０ｍｍ、
ε＝０．０１０２４８ｍｍ、ＥＸＰ１＝１９９９．９４４１ｍｍ
ＦＬ＝１８０ｍｍ、ＦＬＧ１＝２５６．５５７１ｍｍ、ＦＬＧ２＝−２５４．００８３ｍｍ
Ｄ０＝２１４．１４９９ｍｍ、Ｄ１＝１１０．７８２４ｍｍ、Ｄ２＝６２．２ｍｍ
ＦＬＧ３ａ＝２９１．７９６５ｍｍ、ＦＬＧ３ｂ＝３４１．１７２３ｍｍ
Ｅａ＝１７．９２５ｍｍ、Ｅｃ＝１９．５２ｍｍ
【０１０４】
結像レンズ３０のレンズデータは、以下のとおりである。ここで、面番号s0が示す面は、結像レンズ３０の入射瞳位置（対物レンズの射出瞳位置）の面を示し、面番号s13が示す面は、像面を示している。
結像レンズ３０
s         r          d           nd            vd
s0       inf      162.0987                         
s1      96.8617     8.2794      1.497         81.54 
s2     697.1144     2.9741                        
s3      41.59      14.0615      1.497         81.54 
s4     283.4336     6           1.51633       64.14 
s5      31.9707    20.3068                        
s6     -62.9229     8.0051      1.74951       35.33 
s7    -920.5505     7.7895      1.43875       94.93 
s8     -64.3308    14.6329                        
s9    -283.2239     5.8629      1.59522       67.74 
s10   -108.4929     0.1694                        
s11     97.7459    15.286       1.85026       32.27 
s12    136.8257   110.782381                        
s13      inf                                       
【０１０５】
結像レンズ３０は、以下の式（１Ｃ）から（１８Ｃ）で示されるように、条件式（１０）を除き条件式（１）から（１８）を満たしている。なお、式（１Ｃ）から（１８Ｃ）はそれぞれ条件式（１）から（１８）に対応している。また、条件式（１７Ｃ）は視野数３０の位置に入射する主光線を例に算出したものである。
ＮＡ ＝ ０．０７                         ・・・（１Ｃ）
ＦＮ／ε＝２９２７                        ・・・（２Ｃ）
ＦＮ／ＥＸＰ１＝０．０１５               ・・・（３Ｃ）
Ｄ２／ＦＬ＝０．３４６                   ・・・（４Ｃ）
ＦＬＧ１／ＦＬ＝１．４２５                ・・・（５Ｃ）
ＦＬＧ２／ＦＬ＝−１．４１１             ・・・（６Ｃ）
Ｄ１／Ｄ０＝０．５１７                    ・・・（７Ｃ）
νｌ−νｓ＝５９．６００                  ・・・（８Ｃ）
νｌ１−νｓ１＝５９．６００              ・・・（９Ｃ）
νｌ２−νｓ２＝１７．４００              ・・・（１０Ｃ）
｜ＲＧ２／ＲＧ１｜＝１．９６８           ・・・（１１Ｃ）
ＮｄＧ２＝１．７５０                    ・・・（１２Ｃ）
νｄＧ１＝９１．９３０                   ・・・（１３Ｃ）
ＦＬＧ３ｂ／ＦＬＧ３ａ＝１．１６９        ・・・（１４Ｃ）
ＮｄＧ３＝１．８５０                     ・・・（１５Ｃ）
νｄＧ３＝３２．２７０                    ・・・（１６Ｃ）
Ｈａ／Ｈｉ＝０．３４６                    ・・・（１７Ｃ）
（Ｅａ−Ｅｃ）／ＦＬ＝−０．００９          ・・・（１８Ｃ）
【０１０６】
図７は、図６に例示される結像レンズ３０の収差図であり、物体側から平行光束が入射した場合の像面での収差を示している。収差図の記載形式は、実施例１と同様である。
【実施例４】
【０１０７】
図８は、本実施例に係る結像レンズ４０の断面図である。図８に例示される結像レンズ４０は、無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて物体の拡大像を形成する顕微鏡結像レンズである。結像レンズ４０は、物体側から順に、接合レンズＣＬ１を含む、正のパワーを有する第１レンズ群Ｇ１と、負のパワーを有する第２レンズ群Ｇ２と、各々が正のパワーを有する複数のレンズ（Ｌ７、Ｌ８）からなる、全体で正のパワーを有する第３レンズ群Ｇ３と、から構成される。なお、第１レンズ群Ｇ１、第２レンズ群Ｇ２、第３レンズ群Ｇ３の境界の識別方法は、実施例１と同様である。
【０１０８】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側から、両凸レンズＬ１と、物体側に凹面を向けた負のパワーを有するメニスカスレンズＬ２と、物体側に凸面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ３と物体側に凸面を向けた負のパワーを有するメニスカスレンズＬ４とからなる接合レンズＣＬ１（第１レンズ）と、からなっている。第２レンズ群Ｇ２は、物体側から、両凹レンズＬ５と両凸レンズＬ６とからなる接合レンズＣＬ２（第２レンズ）からなっている。第３レンズ群Ｇ３は、物体側から、物体側に凹面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ７（第３レンズ）と、物体側に凸面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ８（第４レンズ）とからなっている。第１レンズと第２レンズは、それぞれメニスカス形状を有している。
【０１０９】
結像レンズ４０の各種データは、以下のとおりである。なお、基準波長は、ｄ線（５８７．５６ｎｍ）である。
ＮＡ＝０．０７、ＦＮ＝３０ｍｍ、
ε＝０．０１０２４８ｍｍ、ＥＸＰ１＝１９９８．７１ｍｍ
ＦＬ＝１８０ｍｍ、ＦＬＧ１＝１２６．３１２２ｍｍ、ＦＬＧ２＝−６４．４３２５ｍｍ
Ｄ０＝１９７．６０６ｍｍ、Ｄ１＝１１１．３８４８ｍｍ、Ｄ２＝１２２．９７６ｍｍ
ＦＬＧ３ａ＝９２．０６１１ｍｍ、ＦＬＧ３ｂ＝１９３．５８８７ｍｍ
Ｅａ＝２５．０３７ｍｍ、Ｅｃ＝２２．１８１ｍｍ
【０１１０】
結像レンズ４０のレンズデータは、以下のとおりである。ここで、面番号s0が示す面は、結像レンズ４０の入射瞳位置（対物レンズの射出瞳位置）の面を示し、面番号s15が示す面は、像面を示している。
結像レンズ４０
s         r          d           nd            vd
s0       inf      197.606                                 
s1      47.7341    11.1697      1.497         81.54   
s2    -103.5787     3.3443                           
s3     -95.8974     4.5224      1.6516        58.55   
s4   -4981.427      1.8525                            
s5      84.0206    14.2254      1.497         81.54  
s6     152.7909     6.2341      1.51633       64.14   
s7      54.2161    21.4746                           
s8     -33.2007     7.938       1.83481       42.71  
s9     141.3339     7.7303      1.43875       94.93  
s10    -43.4424    14.4918                            
s11  -3446.5792     5.7559      1.59522       67.74  
s12   -101.9063     0.4627                          
s13    141.6394    12.183       1.85026       32.27 
s14    978.5669    86.2206                            
s15      inf                                        
【０１１１】
結像レンズ４０は、以下の式（１Ｄ）から（１８Ｄ）で示されるように、条件式（１０）を除き条件式（１）から（１８）を満たしている。なお、式（１Ｄ）から（１８Ｄ）はそれぞれ条件式（１）から（１８）に対応している。また、条件式（１７Ｄ）は視野数３０の位置に入射する主光線を例に算出したものである。
ＮＡ ＝ ０．０７                         ・・・（１Ｄ）
ＦＮ／ε＝２９２７                        ・・・（２Ｄ）
ＦＮ／ＥＸＰ１＝０．０１５               ・・・（３Ｄ）
Ｄ２／ＦＬ＝０．６８３                   ・・・（４Ｄ）
ＦＬＧ１／ＦＬ＝０．７０２                ・・・（５Ｄ）
ＦＬＧ２／ＦＬ＝−０．３５８             ・・・（６Ｄ）
Ｄ１／Ｄ０＝０．５６４                    ・・・（７Ｄ）
νｌ−νｓ＝５２．２２０                  ・・・（８Ｄ）
νｌ１−νｓ１＝５２．２２０              ・・・（９Ｄ）
νｌ２−νｓ２＝１７．４００              ・・・（１０Ｄ）
｜ＲＧ２／ＲＧ１｜＝０．６１２           ・・・（１１Ｄ）
ＮｄＧ２＝１．８３５                    ・・・（１２Ｄ）
νｄＧ１＝８１．５４０                   ・・・（１３Ｄ）
ＦＬＧ３ｂ／ＦＬＧ３ａ＝２．１０３        ・・・（１４Ｄ）
ＮｄＧ３＝１．８５０                     ・・・（１５Ｄ）
νｄＧ３＝３２．２７０                    ・・・（１６Ｄ）
Ｈａ／Ｈｉ＝０．３４６                    ・・・（１７Ｄ）
（Ｅａ−Ｅｃ）／ＦＬ＝０．０１６          ・・・（１８Ｄ）
【０１１２】
図９は、図８に例示される結像レンズ４０の収差図であり、物体側から平行光束が入射した場合の像面での収差を示している。収差図の記載形式は、実施例１と同様である。
【実施例５】
【０１１３】
図１０は、本実施例に係る結像レンズ５０の断面図である。図１０に例示される結像レンズ５０は、無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて物体の拡大像を形成する顕微鏡結像レンズである。結像レンズ５０は、物体側から順に、接合レンズＣＬ１を含む、正のパワーを有する第１レンズ群Ｇ１と、負のパワーを有する第２レンズ群Ｇ２と、各々が正のパワーを有する複数のレンズ（Ｌ６、Ｌ７）からなる、全体で正のパワーを有する第３レンズ群Ｇ３と、から構成される。なお、第１レンズ群Ｇ１、第２レンズ群Ｇ２、第３レンズ群Ｇ３の境界の識別方法は、実施例１と同様である。
【０１１４】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側から、両凸レンズＬ１と、物体側に凸面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ２と物体側に凸面を向けた負のパワーを有するメニスカスレンズＬ３とからなる接合レンズＣＬ１（第１レンズ）と、からなっている。第２レンズ群Ｇ２は、物体側から、物体側に凹面を向けた負のパワーを有するメニスカスレンズＬ４と物体側に凹面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ５とからなる接合レンズＣＬ２（第２レンズ）からなっている。第３レンズ群Ｇ３は、物体側から、物体側に凹面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ６（第３レンズ）と、物体側に凸面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ７（第４レンズ）とからなっている。第１レンズと第２レンズは、それぞれメニスカス形状を有している。
【０１１５】
結像レンズ５０の各種データは、以下のとおりである。なお、基準波長は、ｄ線（５８７．５６ｎｍ）である。
ＮＡ＝０．０７、ＦＮ＝３０ｍｍ、
ε＝０．０１０２４８ｍｍ、ＥＸＰ１＝４２５．２７ｍｍ
ＦＬ＝１８０ｍｍ、ＦＬＧ１＝２６０．３５３５ｍｍ、ＦＬＧ２＝−５７３．９８４６ｍｍ
Ｄ０＝２２６．０３７７８ｍｍ、Ｄ１＝１２０．９６２７ｍｍ、Ｄ２＝２２２．２ｍｍ
ＦＬＧ３ａ＝７４８．３１０４ｍｍ、ＦＬＧ３ｂ＝３１８．４５０２ｍｍ
Ｅａ＝３１．４９７ｍｍ、Ｅｃ＝２８．２９１ｍｍ
【０１１６】
結像レンズ５０のレンズデータは、以下のとおりである。ここで、面番号s0が示す面は、結像レンズ５０の入射瞳位置（対物レンズの射出瞳位置）の面を示し、面番号s13が示す面は、像面を示している。
結像レンズ５０
s         r          d           nd            vd
s0       inf      222.2                           
s1     117.8297     9.5763      1.43875       94.93 
s2  -49640          3.6719                        
s3      59.5431    13.9171      1.618         63.33 
s4     233.3093     6           1.51633       64.14 
s5      42.9641    21.3163                          
s6     -78.9796     8.1503      1.72047       34.71 
s7   -2823.7449     7.9336      1.43875       94.93 
s8     -65.9063    14.9811                          
s9    -282.8478     6.0675      1.497         81.54 
s10   -161.8049     0.7369                          
s11    152.7821    28.6118      1.83481       42.71 
s12    328.6289   105.075038                        
s13      inf        
【０１１７】
結像レンズ５０は、以下の式（１Ｅ）から（１８Ｅ）で示されるように、条件式（１０）を除き条件式（１）から（１８）を満たしている。なお、式（１Ｅ）から（１８Ｅ）はそれぞれ条件式（１）から（１８）に対応している。また、条件式（１７Ｅ）は視野数３０の位置に入射する主光線を例に算出したものである。
ＮＡ ＝ ０．０７                         ・・・（１Ｅ）
ＦＮ／ε＝２９２７                        ・・・（２Ｅ）
ＦＮ／ＥＸＰ１＝０．０７１                 ・・・（３Ｅ）
Ｄ２／ＦＬ＝１．２３４                   ・・・（４Ｅ）
ＦＬＧ１／ＦＬ＝１．４４６                ・・・（５Ｅ）
ＦＬＧ２／ＦＬ＝−３．１８９             ・・・（６Ｅ）
Ｄ１／Ｄ０＝０．５３５                    ・・・（７Ｅ）
νｌ−νｓ＝６０．２２０                  ・・・（８Ｅ）
νｌ１−νｓ１＝６０．２２０              ・・・（９Ｅ）
νｌ２−νｓ２＝０．８１０                ・・・（１０Ｅ）
｜ＲＧ２／ＲＧ１｜＝１．８３８           ・・・（１１Ｅ）
ＮｄＧ２＝１．７２０                    ・・・（１２Ｅ）
νｄＧ１＝９４．９３０                   ・・・（１３Ｅ）
ＦＬＧ３ｂ／ＦＬＧ３ａ＝０．４２６        ・・・（１４Ｅ）
ＮｄＧ３＝１．９３５                     ・・・（１５Ｅ）
νｄＧ３＝４２．７１０                    ・・・（１６Ｅ）
Ｈａ／Ｈｉ＝１．２４４                    ・・・（１７Ｅ）
（Ｅａ−Ｅｃ）／ＦＬ＝０．０１８          ・・・（１８Ｅ）
【０１１８】
図１１は、図１０に例示される結像レンズ５０の収差図であり、物体側から平行光束が入射した場合の像面での収差を示している。収差図の記載形式は、実施例１と同様である。
【実施例６】
【０１１９】
図１２は、本実施例に係る結像レンズ６０の断面図である。図１２に例示される結像レンズ６０は、無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて物体の拡大像を形成する顕微鏡結像レンズである。結像レンズ６０は、物体側から順に、接合レンズＣＬ１を含む、正のパワーを有する第１レンズ群Ｇ１と、負のパワーを有する第２レンズ群Ｇ２と、各々が正のパワーを有する複数のレンズ（Ｌ６、Ｌ７）からなる、全体で正のパワーを有する第３レンズ群Ｇ３と、から構成される。なお、第１レンズ群Ｇ１、第２レンズ群Ｇ２、第３レンズ群Ｇ３の境界の識別方法は、実施例１と同様である。
【０１２０】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側から、物体側に凸面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズ（非球面レンズ）Ｌ１と、両凸レンズＬ２と両凹レンＬ３とからなる接合レンズＣＬ１（第１レンズ）と、からなっている。第２レンズ群Ｇ２は、物体側から、物体側に凹面を向けた負のパワーを有するメニスカスレンズＬ４と物体側に凹面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ５とからなる接合レンズＣＬ２（第２レンズ）からなっている。第３レンズ群Ｇ３は、物体側から、物体側に凹面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ６（第３レンズ、非球面レンズ）と、物体側に凸面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ７（第４レンズ、非球面レンズ）とからなっている。第１レンズと第２レンズは、それぞれメニスカス形状を有している。レンズＬ１、レンズＬ６、レンズＬ７は、いずれも両面が非球面からなる非球面レンズである。
【０１２１】
結像レンズ６０の各種データは、以下のとおりである。なお、基準波長は、ｄ線（５８７．５６ｎｍ）である。
ＮＡ＝０．０７、ＦＮ＝３０ｍｍ、
ε＝０．０１０２４８ｍｍ、ＥＸＰ１＝１９７８．７００６ｍｍ
ＦＬ＝１８０ｍｍ、ＦＬＧ１＝３０６．３９３９ｍｍ、ＦＬＧ２＝−３６８．７９８１ｍｍ
Ｄ０＝２１５．８３１７ｍｍ、Ｄ１＝１０３．９３５７ｍｍ、Ｄ２＝１６２．２ｍｍ
ＦＬＧ３ａ＝３５２．５０７６ｍｍ、ＦＬＧ３ｂ＝３１２．６４３９ｍｍ
Ｅａ＝２６．５３６ｍｍ、Ｅｃ＝２５．６１１ｍｍ
【０１２２】
結像レンズ６０のレンズデータは、以下のとおりである。ここで、面番号s0が示す面は、結像レンズ６０の入射瞳位置（対物レンズの射出瞳位置）の面を示し、面番号s13が示す面は、像面を示している。また、面番号の横にある*マークは、その面が非球面であることを示している。
結像レンズ６０
s         r          d           nd            vd
s0       inf      162.2                            
s1*    102.094      8.64        1.497         81.54
s2*    430.3744     2.5322                         
s3      40.6782    14.02        1.497         81.54
s4   -1456.2435     5.9978      1.51633       64.14
s5      31.4159    19.7771                         
s6     -71.3563     8.012       1.72047       34.71
s7    -352.2736     7.8017      1.43875       94.93
s8     -73.5208    14.6525                         
s9*   -802.0276     5.8765      1.43875       94.93
s10*  -159.9876     0.2926                         
s11*   102.985     16.3333      1.834         37.16
s12*   167.4128   111.8960111                      
s13      inf             
【０１２３】
結像レンズ６０の非球面データは、以下のとおりである。ここで、非球面形状は、下式で示される。但し、Zは、非球面の光軸の方向の座標であり、Yは非球面の光軸と直交する方向の座標であり、Kは円錐係数であり、rは非球面の近軸における曲率半径であり、A2,A4,A6,A8はそれぞれ２次、４次、６次、８次の非球面係数である。Eは１０のべき乗を表わしている。
【数１】
0006397717.tif 000002
第１面s1
K=-2  A2=2.27E-04  A4=1.64E-06  A6=1.20E-09  A8=1.02E-12
第２面s2
K=-0.0716  A2=7.20E-05  A4=1.75E-06  A6=1.41E-09  A8=1.29E-12
第９面s9
K=-0.1061  A2=3.32E-04  A4=3.98E-06  A6=-6.42E-09  A8=4.60E-12
第１０面s10
K=-159.9876  A2=-3.9518E-04  A4=3.36E-06  A6=-7.13E-09  A8=4.42E-12
第１１面s11
K=102.985  A2=-9.02E-05  A4=4.16E-08  A6=1.62E-09  A8=-1.27E-12
第１２面s12
K=167.4128  A2=7.75E-05  A4=1.17E-07  A6=3.29E-09  A8=-2.40E-12
【０１２４】
結像レンズ６０は、以下の式（１Ｆ）から（１８Ｆ）で示されるように、条件式（１０）を除き条件式（１）から（１８）を満たしている。なお、式（１Ｆ）から（１８Ｆ）はそれぞれ条件式（１）から（１８）に対応している。また、条件式（１７Ｆ）は視野数３０の位置に入射する主光線を例に算出したものである。
ＮＡ ＝ ０．０７                         ・・・（１Ｆ）
ＦＮ／ε＝２９２７                        ・・・（２Ｆ）
ＦＮ／ＥＸＰ１＝０．０１５               ・・・（３Ｆ）
Ｄ２／ＦＬ＝０．９０１                   ・・・（４Ｆ）
ＦＬＧ１／ＦＬ＝１．７０２                ・・・（５Ｆ）
ＦＬＧ２／ＦＬ＝−２．０４９             ・・・（６Ｆ）
Ｄ１／Ｄ０＝０．４８２                    ・・・（７Ｆ）
νｌ−νｓ＝６０．２２０                  ・・・（８Ｆ）
νｌ１−νｓ１＝６０．２２０              ・・・（９Ｆ）
νｌ２−νｓ２＝１７．４００              ・・・（１０Ｆ）
｜ＲＧ２／ＲＧ１｜＝２．２７１           ・・・（１１Ｆ）
ＮｄＧ２＝１．７２０                      ・・・（１２Ｆ）
νｄＧ１＝８１．５４０                   ・・・（１３Ｆ）
ＦＬＧ３ｂ／ＦＬＧ３ａ＝０．８８７        ・・・（１４Ｆ）
ＮｄＧ３＝１．８３４                     ・・・（１５Ｆ）
νｄＧ３＝３７．１６０                    ・・・（１６Ｆ）
Ｈａ／Ｈｉ＝０．９０７                    ・・・（１７Ｆ）
（Ｅａ−Ｅｃ）／ＦＬ＝０．００５          ・・・（１８Ｆ）
【０１２５】
図１３は、図１２に例示される結像レンズ６０の収差図であり、物体側から平行光束が入射した場合の像面での収差を示している。収差図の記載形式は、実施例１と同様である。
【実施例７】
【０１２６】
図１４は、本実施例に係る結像レンズ７０の断面図である。図１４に例示される結像レンズ７０は、無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて物体の拡大像を形成する顕微鏡結像レンズである。結像レンズ７０は、物体側から順に、接合レンズＣＬ１を含む、正のパワーを有する第１レンズ群Ｇ１と、負のパワーを有する第２レンズ群Ｇ２と、各々が正のパワーを有する複数のレンズ（Ｌ６、Ｌ７）からなる、全体で正のパワーを有する第３レンズ群Ｇ３と、から構成される。なお、第１レンズ群Ｇ１、第２レンズ群Ｇ２、第３レンズ群Ｇ３の境界の識別方法は、実施例１と同様である。
【０１２７】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側から、物体側に凸面を向けたメニスカスレンズＬ１と、両凸レンズＬ２と両凹レンズＬ３とからなる接合レンズＣＬ１（第１レンズ）と、からなっている。第２レンズ群Ｇ２は、物体側から、両凹レンズＬ４と両凸レンズＬ５とからなる接合レンズＣＬ２（第２レンズ）からなっている。第３レンズ群Ｇ３は、物体側から、物体側に凹面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ６（第３レンズ）と、物体側に凸面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ７（第４レンズ）とからなっている。第１レンズと第２レンズは、それぞれメニスカス形状を有している。
【０１２８】
結像レンズ７０の各種データは、以下のとおりである。なお、基準波長は、ｄ線（５８７．５６ｎｍ）である。
ＮＡ＝０．０７、ＦＮ＝３０ｍｍ、
ε＝０．０１０２４８ｍｍ、ＥＸＰ１＝６１４３ｍｍ
ＦＬ＝１８０ｍｍ、ＦＬＧ１＝５０３．２６２４ｍｍ、ＦＬＧ２＝−８１．４７７９ｍｍ
Ｄ０＝２１６．４１２ｍｍ、Ｄ１＝１１４．４７６５ｍｍ、Ｄ２＝１６２．２ｍｍ
ＦＬＧ３ａ＝１３６．７４６５ｍｍ、ＦＬＧ３ｂ＝１１１．３２４ｍｍ
Ｅａ＝２６．４７ｍｍ、Ｅｃ＝２３．９５１ｍｍ
【０１２９】
結像レンズ７０のレンズデータは、以下のとおりである。ここで、面番号s0が示す面は、結像レンズ７０の入射瞳位置（対物レンズの射出瞳位置）の面を示し、面番号s13が示す面は、像面を示している。
結像レンズ７０
s         r          d           nd            vd
s0       inf      162.2                        
s1      89.9591    23.7981      1.497         81.54 
s2     158.2414     1                             
s3      50.3216    18.0151      1.497         81.54 
s4     -95.0291    23.0142      1.51633       64.14 
s5      32.3459    10.4065                          
s6     -49.5543     6.4182      1.72047       34.71 
s7      99.1751     5.5         1.43875       94.93 
s8     -93.5214     1                             
s9    -132.5229     4.246       1.59522       67.74 
s10    -51.027      1                            
s11     65.2304    20.0785      1.85026       32.27 
s12    180.1594   101.935897                        
s13      inf       
【０１３０】
結像レンズ７０は、以下の式（１Ｇ）から（１８Ｇ）で示されるように、条件式（１０）を除き条件式（１）から（１８）を満たしている。なお、式（１Ｇ）から（１８Ｇ）はそれぞれ条件式（１）から（１８）に対応している。また、条件式（１７Ｇ）は視野数３０の位置に入射する主光線を例に算出したものである。
ＮＡ ＝ ０．０７                         ・・・（１Ｇ）
ＦＮ／ε＝２９２７                        ・・・（２Ｇ）
ＦＮ／ＥＸＰ１＝０．００５               ・・・（３Ｇ）
Ｄ２／ＦＬ＝０．９０１                   ・・・（４Ｇ）
ＦＬＧ１／ＦＬ＝２．７９６                ・・・（５Ｇ）
ＦＬＧ２／ＦＬ＝−０．４５３             ・・・（６Ｇ）
Ｄ１／Ｄ０＝０．５２９                    ・・・（７Ｇ）
νｌ−νｓ＝６０．２２０                  ・・・（８Ｇ）
νｌ１−νｓ１＝６０．２２０              ・・・（９Ｇ）
νｌ２−νｓ２＝１７．４００              ・・・（１０Ｇ）
｜ＲＧ２／ＲＧ１｜＝１．５３２           ・・・（１１Ｇ）
ＮｄＧ２＝１．７２０                    ・・・（１２Ｇ）
νｄＧ１＝８１．５４０                   ・・・（１３Ｇ）
ＦＬＧ３ｂ／ＦＬＧ３ａ＝０．８１４        ・・・（１４Ｇ）
ＮｄＧ３＝１．８５０                     ・・・（１５Ｇ）
νｄＧ３＝３２．２７０                    ・・・（１６Ｇ）
Ｈａ／Ｈｉ＝０．９０９                    ・・・（１７Ｇ）
（Ｅａ−Ｅｃ）／ＦＬ＝０．０１４          ・・・（１８Ｇ）
【０１３１】
図１５は、図１４に例示される結像レンズ７０の収差図であり、物体側から平行光束が入射した場合の像面での収差を示している。収差図の記載形式は、実施例１と同様である。
【実施例８】
【０１３２】
図１６は、本実施例に係る結像レンズ８０の断面図である。図１６に例示される結像レンズ８０は、無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて物体の拡大像を形成する顕微鏡結像レンズである。結像レンズ８０は、物体側から順に、接合レンズＣＬ１を含む、正のパワーを有する第１レンズ群Ｇ１と、負のパワーを有する第２レンズ群Ｇ２と、各々が正のパワーを有する複数のレンズ（Ｌ６、Ｌ７）からなる、全体で正のパワーを有する第３レンズ群Ｇ３と、から構成される。なお、第１レンズ群Ｇ１、第２レンズ群Ｇ２、第３レンズ群Ｇ３の境界の識別方法は、実施例１と同様である。
【０１３３】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側から、両凸レンズＬ１と、両凸レンズＬ２と両凹レンズＬ３とからなる接合レンズＣＬ１（第１レンズ）と、からなっている。第２レンズ群Ｇ２は、物体側から、両凹レンズＬ４と両凸レンズＬ５とからなる接合レンズＣＬ２（第２レンズ）からなっている。第３レンズ群Ｇ３は、物体側から、両凸レンズＬ６（第３レンズ）と、物体側に凹面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ７（第４レンズ）とからなっている。第１レンズと第２レンズは、それぞれメニスカス形状を有している。
【０１３４】
結像レンズ８０の各種データは、以下のとおりである。なお、基準波長は、ｄ線（５８７．５６ｎｍ）である。
ＮＡ＝０．０７、ＦＮ＝３０ｍｍ、
ε＝０．０１０２４８ｍｍ、ＥＸＰ１＝１０８．９９ｍｍ
ＦＬ＝１８０ｍｍ、ＦＬＧ１＝１７７．４９１ｍｍ、ＦＬＧ２＝−７９．０６６４ｍｍ
Ｄ０＝２６８．９７５９ｍｍ、Ｄ１＝２１４．０８８６ｍｍ、Ｄ２＝１６２．２ｍｍ
ＦＬＧ３ａ＝１０２．５８ｍｍ、ＦＬＧ３ｂ＝２２１．０１９１ｍｍ
Ｅａ＝２６．３８７ｍｍ、Ｅｃ＝２７．００６ｍｍ
【０１３５】
結像レンズ８０のレンズデータは、以下のとおりである。ここで、面番号s0が示す面は、結像レンズ８０の入射瞳位置（対物レンズの射出瞳位置）の面を示し、面番号s13が示す面は、像面を示している。
結像レンズ８０
s         r          d           nd            vd
s0       inf      162.2                            
s1     108.373     44.1565      1.497         81.54 
s2    -420.1585    17.4045                          
s3      37.7218    16.3353      1.497         81.54 
s4    -147.0718     7.2894      1.51633       64.14 
s5      26.8628    24.5481                          
s6     -39.8089    12.9467      1.72047       34.71 
s7      77.0609    27.5053      1.43875       94.93 
s8     -71.3383     1                              
s9     196.7487    10.569       1.6968        55.53 
s10   -109.7848     8.7513                          
s11   -700         43.5824      1.85026       32.27 
s12   -152.7466    54.887315                        
s13      inf     
【０１３６】
結像レンズ８０は、以下の式（１Ｈ）から（１８Ｈ）で示されるように、条件式（１０）を除き条件式（１）から（１８）を満たしている。なお、式（１Ｈ）から（１８Ｈ）はそれぞれ条件式（１）から（１８）に対応している。また、条件式（１７Ｈ）は視野数３０の位置に入射する主光線を例に算出したものである。
ＮＡ ＝ ０．０７                         ・・・（１Ｈ）
ＦＮ／ε＝２９２７                        ・・・（２Ｈ）
ＦＮ／ＥＸＰ１＝０．２７５             ・・・（３Ｈ）
Ｄ２／ＦＬ＝０．９０１                   ・・・（４Ｈ）
ＦＬＧ１／ＦＬ＝０．９８６                ・・・（５Ｈ）
ＦＬＧ２／ＦＬ＝−０．４３９             ・・・（６Ｈ）
Ｄ１／Ｄ０＝０．７９６                    ・・・（７Ｈ）
νｌ−νｓ＝６０．２２０                  ・・・（８Ｈ）
νｌ１−νｓ１＝６０．２２０              ・・・（９Ｈ）
νｌ２−νｓ２＝１７．４００              ・・・（１０Ｈ）
｜ＲＧ２／ＲＧ１｜＝１．４８２           ・・・（１１Ｈ）
ＮｄＧ２＝１．７２０                    ・・・（１２Ｈ）
νｄＧ１＝８１．５４０                   ・・・（１３Ｈ）
ＦＬＧ３ｂ／ＦＬＧ３ａ＝２．１５５        ・・・（１４Ｈ）
ＮｄＧ３＝１．８５０                     ・・・（１５Ｈ）
νｄＧ３＝３２．２７０                    ・・・（１６Ｈ）
Ｈａ／Ｈｉ＝０．９０６                    ・・・（１７Ｈ）
（Ｅａ−Ｅｃ）／ＦＬ＝−０．００３          ・・・（１８Ｈ）
【０１３７】
図１７は、図１６に例示される結像レンズ８０の収差図であり、物体側から平行光束が入射した場合の像面での収差を示している。収差図の記載形式は、実施例１と同様である。
【実施例９】
【０１３８】
図１８は、本実施例に係る結像レンズ９０の断面図である。図１８に例示される結像レンズ９０は、無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて物体の拡大像を形成する顕微鏡結像レンズである。結像レンズ９０は、物体側から順に、接合レンズＣＬ１を含む、正のパワーを有する第１レンズ群Ｇ１と、負のパワーを有する第２レンズ群Ｇ２と、各々が正のパワーを有する複数のレンズ（Ｌ６、Ｌ７）からなる、全体で正のパワーを有する第３レンズ群Ｇ３と、から構成される。なお、第１レンズ群Ｇ１、第２レンズ群Ｇ２、第３レンズ群Ｇ３の境界の識別方法は、実施例１と同様である。
【０１３９】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側から、両凸レンズＬ１と、両凸レンズＬ２と両凹レンズＬ３とからなる接合レンズＣＬ１（第１レンズ）と、からなっている。第２レンズ群Ｇ２は、物体側から、両凹レンズＬ４と両凸レンズＬ５とからなる接合レンズＣＬ２（第２レンズ）からなっている。第３レンズ群Ｇ３は、物体側から、両凸レンズＬ６（第３レンズ）と、物体側に凸面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ７（第４レンズ）とからなっている。第１レンズと第２レンズは、それぞれメニスカス形状を有している。
【０１４０】
結像レンズ９０の各種データは、以下のとおりである。なお、基準波長は、ｄ線（５８７．５６ｎｍ）である。
ＮＡ＝０．０７、ＦＮ＝３０ｍｍ、
ε＝０．０１０２４８ｍｍ、ＥＸＰ１＝３５８．０６７９ｍｍ
ＦＬ＝１８０ｍｍ、ＦＬＧ１＝１７６．１３０３ｍｍ、ＦＬＧ２＝−７８．０４０４ｍｍ
Ｄ０＝２４８．８６２３ｍｍ、Ｄ１＝１６９．２７１ｍｍ、Ｄ２＝８２．２ｍｍ
ＦＬＧ３ａ＝１００．５００２ｍｍ、ＦＬＧ３ｂ＝４５２．１５８１ｍｍ
Ｅａ＝１７．９１８ｍｍ、Ｅｃ＝２４．４４７ｍｍ
【０１４１】
結像レンズ９０のレンズデータは、以下のとおりである。ここで、面番号s0が示す面は、結像レンズ９０の入射瞳位置（対物レンズの射出瞳位置）の面を示し、面番号s13が示す面は、像面を示している。
結像レンズ９０
s         r          d           nd            vd
s0       inf       82.2                            
s1     109.277     30           1.497         81.54 
s2    -257.1081     3.8857                          
s3      48.498     25.5599      1.497         81.54 
s4     -52.4895    13.3563      1.51633       64.14 
s5      26.6665    10.0652                          
s6     -53.2581    35           1.72047       34.71 
s7      76.7859    31.0012      1.43875       94.93 
s8    -135.6727     4.8645                          
s9     150.0768    10.8424      1.59522       67.74 
s10    -96.7851     1                               
s11    115.4106     3.696       1.85026       32.27 
s12    162.4912    79.5913                          
s13      inf                  
【０１４２】
結像レンズ９０は、以下の式（１Ｉ）から（１８Ｉ）で示されるように、条件式（１０）及び（１８）を除き条件式（１）から（１８）を満たしている。なお、式（１Ｉ）から（１８Ｉ）はそれぞれ条件式（１）から（１８）に対応している。また、条件式（１７Ｉ）は視野数３０の位置に入射する主光線を例に算出したものである。
ＮＡ ＝ ０．０７                         ・・・（１Ｉ）
ＦＮ／ε＝２９２７                        ・・・（２Ｉ）
ＦＮ／ＥＸＰ１＝０．０８４               ・・・（３Ｉ）
Ｄ２／ＦＬ＝０．４５７                   ・・・（４Ｉ）
ＦＬＧ１／ＦＬ＝０．９７９                ・・・（５Ｉ）
ＦＬＧ２／ＦＬ＝−０．４３４             ・・・（６Ｉ）
Ｄ１／Ｄ０＝０．６８０                    ・・・（７Ｉ）
νｌ−νｓ＝６０．２２０                  ・・・（８Ｉ）
νｌ１−νｓ１＝６０．２２０              ・・・（９Ｉ）
νｌ２−νｓ２＝１７．４００              ・・・（１０Ｉ）
｜ＲＧ２／ＲＧ１｜＝１．９９７           ・・・（１１Ｉ）
ＮｄＧ２＝１．７２１                    ・・・（１２Ｉ）
νｄＧ１＝８１．５４０                   ・・・（１３Ｉ）
ＦＬＧ３ｂ／ＦＬＧ３ａ＝４．４９９        ・・・（１４Ｉ）
ＮｄＧ３＝１．８５０                     ・・・（１５Ｉ）
νｄＧ３＝３２．２７０                    ・・・（１６Ｉ）
Ｈａ／Ｈｉ＝０．４５９                    ・・・（１７Ｉ）
（Ｅａ−Ｅｃ）／ＦＬ＝−０．０３６          ・・・（１８Ｉ）
【０１４３】
図１９は、図１８に例示される結像レンズ９０の収差図であり、物体側から平行光束が入射した場合の像面での収差を示している。収差図の記載形式は、実施例１と同様である。
【符号の説明】
【０１４４】
１、１０、２０、３０、４０、５０、６０、７０、８０、９０      結像レンズ
２          顕微鏡本体
３          光源装置
４          光ファイバー
５          ステージ
６          ＸＹハンドル
７          Ｚハンドル
８          対物レンズ
９          撮像素子
１００      顕微鏡装置
Ｇ１        第１レンズ群
Ｇ２        第２レンズ群
Ｇ３        第３レンズ群
Ｓ          標本
【図１】
0006397717.tif 000003
【図２】
0006397717.tif 000004
【図３】
0006397717.tif 000005
【図４】
0006397717.tif 000006
【図５】
0006397717.tif 000007
【図６】
0006397717.tif 000008
【図７】
0006397717.tif 000009
【図８】
0006397717.tif 000010
【図９】
0006397717.tif 000011
【図１０】
0006397717.tif 000012
【図１１】
0006397717.tif 000013
【図１２】
0006397717.tif 000014
【図１３】
0006397717.tif 000015
【図１４】
0006397717.tif 000016
【図１５】
0006397717.tif 000017
【図１６】
0006397717.tif 000018
【図１７】
0006397717.tif 000019
【図１８】
0006397717.tif 000020
【図１９】
0006397717.tif 000021