(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
走行経路に沿って走行する走行体と、搬送物を吊り下げ支持する支持体と、前記支持体を前記走行体に対して昇降させる昇降用駆動部と、を備え、
前記支持体が、前記昇降用駆動部にて昇降される昇降部と、前記搬送物の被支持部を支持する搬送物支持部と、前記被支持部の直下に位置する支持用位置及び前記被支持部の直下の位置から退避させた退避用位置に前記搬送物支持部を移動させる支持用駆動部と、を備えている物品搬送車であって、
前記支持体が、前記搬送物支持部を前記支持用位置及び前記退避用位置に移動自在に案内支持する案内支持部と、前記昇降部と前記案内支持部との間に位置して前記案内支持部の荷重を受ける上下方向に弾性変形自在な緩衝体と、を備えて、前記搬送物支持部が前記搬送物を吊り下げ支持している状態で、前記緩衝体が上下方向に弾性変形自在となるように、前記案内支持部と前記昇降部との間に上下方向に隙間が形成されている物品搬送車。
【請求項２】
前記案内支持部が前記昇降部に対して水平方向に沿って移動することを規制する水平規制体が設けられている請求項１記載の物品搬送車。
【請求項３】
前記昇降部が、前記緩衝体を載置支持する載置部分を備え、
前記案内支持部が、前記載置部分より上方に位置して前記緩衝体にて載置支持される被載置部分を備え、
前記搬送物支持部が、前記昇降部より下方に位置している請求項１又は２記載の物品搬送車。
【請求項４】
前記昇降部は、前記載置部分を着脱自在に備えている請求項３記載の物品搬送車。
【請求項５】
前記搬送物支持部が、前記案内支持部により案内される案内部材を備え、
前記案内支持部に対して上下方向の上方側に、前記案内部材が配置され、前記案内支持部に対して上下方向の下方側に前記緩衝体が配置されている請求項１から４のいずれか一項に記載の物品搬送車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、走行経路に沿って走行する走行体と、搬送物を吊り下げ支持する支持体と、前記支持体を前記走行体に対して昇降させる昇降用駆動部と、を備え、前記支持体が、前記昇降用駆動部にて昇降される昇降部と、前記搬送物の被支持部を支持する搬送物支持部と、前記被支持部の直下に位置する支持用位置及び前記被支持部の直下の位置から退避させた退避用位置に前記搬送物支持部を移動させる支持用駆動部と、を備えている物品搬送車に関する。
【背景技術】
【０００２】
かかる物品搬送車の従来例が、特開２００６−２９８５３５号公報（特許文献１）に記載されている。特許文献１の物品搬送車では、支持体に、搬送物支持部を支持用位置及び退避用位置に移動自在に案内支持する案内支持体を備え、搬送物支持部の上面に上下方向に弾性変形自在な緩衝体を備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−２９８５３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような物品搬送車は、搬送物支持部の上面に備えた緩衝体により、支持対象の搬送物の荷重を受け止めている。つまり、搬送物支持部と支持する搬送物の被支持部との間に緩衝体を介在させることで、走行体が走行するときや昇降部が昇降するときの振動が搬送物に伝わることを抑制している。
しかし、搬送物支持部の上面に、上下方向に弾性変形自在な緩衝体を備えることで、搬送物支持部が上下方向に厚くなる。そのため、搬送物支持部にて搬送物の被支持部を支持するべく、搬送物支持部を退避用位置から支持用位置に移動させたときに、搬送物支持部が搬送物の被支持部に干渉し易くなる。
【０００５】
そこで、走行体が走行するときや昇降部が昇降するときの振動が搬送物に伝わることを抑制できながら搬送物支持部が搬送物の被支持部に干渉し難い物品搬送車が求められる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る物品搬送車の特徴構成は、走行経路に沿って走行する走行体と、搬送物を吊り下げ支持する支持体と、前記支持体を前記走行体に対して昇降させる昇降用駆動部と、を備え、前記支持体が、前記昇降用駆動部にて昇降される昇降部と、前記搬送物の被支持部を支持する搬送物支持部と、前記被支持部の直下に位置する支持用位置及び前記被支持部の直下の位置から退避させた退避用位置に前記搬送物支持部を移動させる支持用駆動部と、を備えている物品搬送車において、
前記搬送物支持部が、前記搬送物支持部を前記支持用位置及び前記退避用位置に移動自在に案内支持する案内支持部と、前記昇降部と前記案内支持部との間に位置して前記案内支持部の荷重を受ける上下方向に弾性変形自在な緩衝体と、を備えて、前記支持部が前記搬送物を吊り下げ支持している状態で、前記緩衝体が上下方向に弾性変形自在となるように、前記案内支持部と前記昇降部との間に上下方向に隙間が形成されている点にある。
【０００７】
この特徴構成によれば、昇降部と案内支持部との間に緩衝体が位置しているため、走行体が走行するときの昇降部の振動や昇降部が昇降するときの昇降部の振動を緩衝体にて吸収させることで、搬送物に伝わる振動を抑制できる。
そして、緩衝体を昇降部と案内支持部との間に備えることで、搬送物支持部の上面に緩衝体を備える必要がなく、搬送物支持部の上面に緩衝体を備える場合に比べ、搬送物支持部を上下方向の薄く形成できる。そのため、搬送物支持部にて搬送物の被支持部を支持するべく、搬送物支持部を退避用位置から支持用位置に移動させたときに、搬送物支持部が搬送物の被支持部に干渉し難くできる。
このように、緩衝体を、昇降部と案内支持部との間に案内支持部の荷重を受ける状態で備えることで、走行体が走行するときや昇降部が昇降するときに搬送物に伝わる振動を抑制できながら、搬送物支持部が搬送物の被支持部に干渉し難くできる。
【０００８】
ここで、前記案内支持部が前記昇降部に対して水平方向に沿って移動することを規制する水平規制体が設けられていると好適である。
【０００９】
この構成によれば、案内支持部が昇降部に対して水平方向に移動することが水平規制体にて規制されるため、昇降部を昇降させて物品を移載するときに、案内支持部や搬送物支持部、並びに、搬送物支持部に支持されている物品が水平方向に移動し難いため、昇降部の昇降による物品の移載を適切な位置に移載し易くなる。
【００１０】
また、前記昇降部が、前記緩衝体を載置支持する載置部分を備え、前記案内支持部が、前記載置部分より上方に位置して前記緩衝体にて載置支持される被載置部分を備え、前記搬送物支持部が、前記昇降部より下方に位置していると好適である。
【００１１】
この構成によれば、緩衝体は、昇降部の載置部分と案内支持部の被載置部分の間に圧縮状態で備えられる。そのため、緩衝体を、昇降部の載置部分と案内支持部の被載置部分の間に引張状態で設ける場合に比べて、載置部分や被載置部分に対する取付強度は小さくて済むため、緩衝体の設置が容易になる。
【００１２】
また、前記昇降部は、前記載置部分を着脱自在に備えていると好適である。
【００１３】
この構成によれば、載置部分を昇降部から離脱させることで、緩衝体の下方を開放する、又は、離脱させた載置部分とともに緩衝体を一体的に取り外すことができるため、緩衝体の交換等の緩衝体に対するメンテナンス作業を容易に行える。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】物品搬送設備の側面図
【図２】天井搬送車の側面図
【図３】一対の搬送物支持部が支持用位置に位置している支持機構の縦断側面図
【図４】一対の搬送物支持部が退避用位置に位置している支持機構の縦断側面図
【図５】支持機構の平面図
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明にかかる物品搬送車を物品搬送設備に適用した場合の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１に示すように、物品搬送設備には、天井側に移動経路に沿って配設された走行レール２に案内支持されて移動経路に沿って走行自在な物品搬送車としての天井搬送車１と、搬送物６に収容されている基板に対して処理を行う処理装置３と、その処理装置３に隣接する状態で床面上に設置された支持台４と、が設けられている。天井搬送車１にて搬送される搬送物６は、収容物を収容する搬送容器であり、具体的には、収容物として複数の半導体基板を収容するＦＯＵＰである。
【００１６】
〔搬送物〕
図３に示すように、搬送物６には、複数枚の基板を収容する本体部７と、この本体部７より上方に位置して搬送物６の上端部に備えられた被支持部９と、本体部７と被支持部９とを連結する連結部８と、本体部７の前面に形成された基板出し入れ用の開口を閉じる着脱自在な蓋体（図示せず）と、が備えられている。
被支持部９は、連結部８から容器前後方向及び容器左右方向に突出する形状に形成されている。そして、本体部７の上面と被支持部９の下面との間に挿入用空間１２が形成されている。挿入用空間１２は、搬送物６における被支持部９の下方に形成されており、この挿入用空間１２が、搬送物６における被支持部９の下方に備えられて後述の一対の搬送物支持部３２が容器左右方向に挿入される空間となっている。
【００１７】
〔天井搬送車〕
次に、天井搬送車１について説明を加える。尚、天井搬送車１を説明するにあたり、天井搬送車１の走行方向に沿う方向を前後方向Ｘと称し、その前後方向Ｘと平面視で直交する方向を左右方向Ｙと称して説明する。
また、昇降支持部１７には、搬送物６はその容器左右方向が天井搬送車１の前後方向Ｘに沿う状態で支持される。そのため、以下、搬送物６が昇降支持部１７にて支持されている状態を想定して、搬送物６の容器左右方向を前後方向Ｘとし、搬送物６の容器前後方向を左右方向Ｙとして説明する。
【００１８】
図１及び図２に示すように、天井搬送車１は、走行レール２上を移動経路に沿って走行する走行移動部１６と、走行レール２の下方に位置するように走行移動部１６に吊り下げ支持され且つ搬送物６を支持する支持機構２３を昇降移動自在に支持する昇降支持部１７と、を備えて構成されている。尚、走行移動部１６が、移動経路に沿って移動する走行体に相当し、支持機構２３が、搬送物６を吊り下げ支持する支持体に相当する。
【００１９】
図２に示すように、走行移動部１６には、走行用モータ１９にて回転駆動されて走行レール２の上面を転動する駆動輪２０と、走行レール２の側面に当接する回転自在な案内輪２１と、が設けられている。そして、走行移動部１６は、走行用モータ１９にて駆動輪２０を回転駆動し、案内輪２１が走行レール２にて接触案内されることにより、走行移動部１６が走行レール２に案内されて移動経路に沿って走行するように構成されている。
【００２０】
昇降支持部１７には、搬送物６を吊り下げ支持する上述の支持機構２３と、支持機構２３を昇降させる昇降操作機構２４と、支持機構２３に支持されて支持用高さに位置する搬送物６（図２及び図３参照）の上方側及び前後方向Ｘの両側を覆うカバー部２５と、支持機構２３にて支持用高さで支持された搬送物６の落下を防止する落下防止体２６と、を備えている。
【００２１】
昇降操作機構２４は、先端部に支持機構２３を連結支持した巻き取りベルト２４ａを巻回する巻回体２８と、巻回体２８を回転駆動する昇降用モータ２９と、を備えている。そして、昇降用モータ２９にて巻回体２８を正逆に回転駆動させて、巻き取りベルト２４ａを巻き取り及び繰り出し操作することで、支持機構２３を走行移動部１６に対して昇降移動させるように構成されている。尚、昇降用モータ２９が、昇降用駆動部に相当する。
【００２２】
昇降操作機構２４は、搬送物６の被支持部９における前後方向Ｘの両端部を下方から支持する一対の搬送物支持部３２を備えており、上述の如く昇降用モータ２９にて巻回体２８を正逆に回転駆動させて支持機構２３を昇降移動させることで、一対の搬送物支持部３２を、上昇高さ（図１参照）と、当該支持用高さより低い下降高さとに、昇降移動させるように構成されている。
一対の搬送物支持部３２が上昇高さであると、その一対の搬送物支持部３２にて支持されている搬送物６は支持用高さに位置する。また、一対の搬送物支持部３２が下降高さであると、当該一対の搬送物支持部３２は支持台４上で移載用高さ位置する搬送物６の挿入用空間１２と同じ高さに位置する。
【００２３】
つまり、昇降操作機構２４は、巻き取りベルト２４ａを巻き取って一対の搬送物支持部３２を上昇高さまで上昇させることで、支持機構２３に支持されている搬送物６が支持用高さまで上昇し、巻き取りベルト２４ａを繰り出して一対の搬送物支持部３２を下降高さまで下降させることで、支持機構２３に支持された搬送物６が移載用高さまで下降するようになっている。
【００２４】
落下防止体２６は、前後方向Ｘに並ぶ状態で一対設けられており、一対の落下防止体２６の間隔を、搬送物６の前後方向Ｘの幅より幅狭な受止用間隔（図２参照）と、搬送物６の前後方向Ｘの幅より幅広な退避用間隔と、に位置変更自在に構成されている。
そして、落下防止用モータ３０の駆動により、一対の落下防止体２６の間隔を受止用間隔に変更することで、天井搬送車１の走行中に支持機構２３の搬送物６に対する支持が外れても搬送物６を落下防止体２６にて受け止めることで搬送物６が床面上に落下することを防止できるようになっている。また、落下防止用モータ３０の駆動により、一対の落下防止体２６の間隔を退避用間隔に変更することで、図１に示すように、支持機構２３を昇降移動させて搬送物６を支持台４に受け渡すことや支持台４から搬送物６を受け取れるようになっている。
【００２５】
〔支持機構〕
次に、天井搬送車１の支持機構２３について説明を加える。
図３〜図５に示すように、天井搬送車１の支持機構２３には、巻き取りベルト２４ａの先端部に連結されて昇降操作機構２４にて昇降される昇降部としての昇降体３１と、搬送物６における被支持部９を支持する搬送物支持部３２と、搬送物支持部３２を水平に移動させる支持用モータ３３と、を備えている。搬送物支持部３２が下降高さで且つ支持台４上に物品が位置している状態で、支持用モータ３３の駆動により搬送物支持部３２を水平に移動させることで、搬送物支持部３２を、被支持部９の直下に位置する支持用位置（図３参照）及び被支持部９の直下の位置から退避させた退避用位置（図４参照）に移動させるようになっている。つまり、支持用モータ３３が、支持用駆動部に相当する。
昇降体３１は箱状に形成され、搬送物支持部３２及び支持用モータ３３は、昇降体３１の内部に設置されている。
【００２６】
一対の搬送物支持部３２は、前後方向Ｘに互いに遠近離間移動自在に備えられている。そして、支持用モータ３３の駆動により、一対の搬送物支持部３２を前後方向Ｘに互いに遠近離間移動させることで、一対の搬送物支持部３２の間隔を、支持用間隔と退避用間隔とに切り換えられるように構成されている。支持用間隔は、一対の搬送物支持部３２の前後方向Ｘでの間隔が搬送物６の被支持部９の前後方向Ｘでの幅より狭い間隔である。退避用間隔は、一対の搬送物支持部３２の前後方向Ｘでの間隔が搬送物６の被支持部９の前記前後方向Ｘでの幅より広い間隔である。
【００２７】
そのため、一対の搬送物支持部３２を移載用高さまで下降させた状態で、図３に示すように、一対の搬送物支持部３２を支持用間隔に切り換えることで、一対の搬送物支持部３２の夫々が、移載箇所に位置する搬送物６における挿入用空間１２に挿入されて被支持部９の直下の支持用位置に移動する。また、一対の搬送物支持部３２を移載用高さまで下降させた状態で、図４に示すように、一対の搬送物支持部３２を退避用間隔に切り換えることで、一対の搬送物支持部３２の夫々が、移載箇所に位置する搬送物６における挿入用空間１２から抜出されて被支持部９の直下から退避した退避用位置に移動するようになっている。
【００２８】
図３〜図５に示すように、支持機構２３には、搬送物支持部３２を支持用位置及び退避用位置に移動自在に案内支持する案内支持部３５と、昇降体３１と案内支持部３５との間に位置して案内支持部３５の荷重を受ける上下方向に弾性変形自在な緩衝体３６と、案内支持部３５が昇降体３１に対して水平方向に沿って移動することを規制する水平規制体３７と、を備えている。緩衝体３６はゴム材等の弾性部材にて構成されており、案内支持部３５及び緩衝体３６は、昇降体３１の内部に設置されている。
【００２９】
案内支持部３５には、基枠３９と、基枠３９上に前後方向Ｘに沿って設けられたリニアレール４０と、リニアレール４０にて前後方向Ｘに沿って案内支持される案内部材４１と、搬送物支持部３２と案内部材４１とを連結する連結部材４２と、が備えられている。
連結部材４２は、一対の搬送物支持部３２に対応して前後方向Ｘに並ぶ状態で一対設けられており、一対の連結部材４２の夫々に、対応する搬送物支持部３２を案内するための案内部材４１が支持されている。
【００３０】
また、案内支持部３５にて、連結部材４２に螺合されたボールネジ３４と、そのボールネジ３４を回転駆動させる支持用モータ３３と、が支持されている。
そして、支持用モータ３３にてボールネジ３４を回転駆動させることで、案内部材４１がリニアレール４０に案内されながら一対の搬送物支持部３２が前後方向Ｘに互いに遠近離間移動して、一対の搬送物支持部３２の間隔が支持用間隔と退避用間隔とに切り換えられるようになっている。
【００３１】
水平規制体３７は、基枠３９に連結されたリニアシャフト３７ａと、昇降体３１の底面部３１ａに連結されたリニアブッシュ３７ｂと、で構成されている。リニアシャフト３７ａはリニアブッシュ３７ｂに対して上下方向に移動自在に嵌合されており、また、リニアシャフト３７ａの下端部分がリニアブッシュ３７ｂに接触することで上方への抜け止めが行われている。
水平規制体３７は、基枠３９と昇降体３１の底面部３１ａとを連結しており、この水平規制体３７にて、基枠３９が底面部３１ａに対して設定距離以上上方に離間すること及び基枠３９が底面部３１ａに対して水平方向に移動することが規制されている。
【００３２】
昇降体３１の底面部３１ａには、緩衝体３６を載置支持する載置部分４４が備えられ、案内支持部３５の基枠３９には、載置部分４４より上方に位置して緩衝体３６にて載置支持される被載置部分４５が備えられている。緩衝体３６は、底面部３１ａの載置部分４４と基枠３９の被載置部分４５との間に設けられており、案内支持部３５等の荷重を受けることで圧縮状態で設けられている。
【００３３】
緩衝体３６は、載置部分４４と被載置部分４５とのうちの載置部分４４にのみ連結されている。また、昇降体３１は、載置部分４４を着脱自在に備えており、載置部分４４を支持機構２３から離脱させることでこの載置部分４４とともに緩衝体３６を支持機構２３から取り外すことができる。
【００３４】
このように  昇降体３１と案内支持部３５との間に上下方向に弾性変形自在な緩衝体３６を備えることで、走行移動部１６が走行するときの振動や昇降体３１が昇降するときに搬送物６に伝わる振動を抑制できながら、搬送物支持部３２を上下方向の薄く形成して搬送物支持部３２が搬送物６の被支持部９に干渉し難くしている。
【００３５】
〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、緩衝体３６と水平規制体３７とを設けて、搬送物支持部３２に上下方向の振動が加わることを抑制したが、緩衝体３６のみを設けて、搬送物支持部３２に上下方向及び水平方向の振動が加わることを抑制してもよい。
また、水平規制体３７をリニアシャフト３７ａとリニアブッシュ３７ｂとで構成したが、水平規制体３７の構成は適宜変更可能であり、例えば、水平規制体３７を、基枠３９の横側方に位置するように底面部３１ａから立設させた規制部材にて構成し、基枠３９が規制部材に接触することで、案内支持部３５が昇降体３１に対して水平方向に沿って移動することを規制してもよい。
【００３６】
（２）上記実施形態では、緩衝体３６を圧縮状態で備えたが、昇降体３１に、緩衝体３６の上部に連結された上側連結部分を備え、案内支持部３５に、上側連結部分より下方に位置して緩衝体３６の下部に連結された下部連結部分を備えて、緩衝体３６を引張状態で備えてもよい。
また、上記実施形態では、緩衝体３６を、ゴム材にて構成したが、緩衝体３６を、コイルスプリング等の他の弾性部材にて構成してもよく、また、緩衝体３６として、ショックアブソーバ等の減衰装置を設けてもよい。
【００３７】
（３）上記実施形態では、昇降体３１に載置部分４４を着脱自在に構成して、載置部分４４を離脱させることで開口した開口部から緩衝体３６に対してメンテナンス作業を行えるようにしたが、昇降体３１の側面部分に開閉自在な蓋体を設けて、蓋体を開き操作することで開口した開口部から緩衝体３６に対してメンテナンス作業を行えるようにしてもよい。
【００３８】
（４）上記実施形態では、物品搬送車を、走行レール２の下方に昇降支持部を備えた天井搬送車１としたが、物品搬送車を、走行レール２の上方に下方に昇降支持部を備えた天井搬送車１としてもよい。また、物品搬送車として、床面上や床面に敷設した走行レール２上を走行する床面搬送車としてもよい。
【符号の説明】
【００３９】
１    天井搬送車（物品搬送車）
６    搬送物
９    被支持部
１６    走行移動部（走行体）
２３    支持機構（支持体）
２９    昇降用モータ（昇降用駆動部）
３１    昇降体（昇降部）
３２    搬送物支持部
３３    支持用モータ（支持用駆動部）
３５    案内支持部
３６    緩衝体
３７    水平規制体
４４    載置部分
４５    被載置部分
【図１】
0006327124.tif 000002
【図２】
0006327124.tif 000003
【図３】
0006327124.tif 000004
【図４】
0006327124.tif 000005
【図５】
0006327124.tif 000006