(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
エッチングされたメタルベースを有し、枠部と、該枠部の内側に所定ピッチで配置された複数のフレキシャ要素とを含むフレームユニットを備えたディスク装置用サスペンションのためのフレキシャ連鎖シートにおいて、
前記枠部が、
前記フレキシャ要素の長さ方向に延びる一対の縦枠と、
前記フレキシャ要素の幅方向に延びかつ各フレキシャ要素のテール部同士をつなぐ第１の横枠と、
前記フレキシャ要素の幅方向に延びかつ各フレキシャ要素の先端部から前記長さ方向に延びる延出部同士をつなぐことによって構成された先端連鎖部からなる第２の横枠とを有し、かつ、
前記先端連鎖部が、
互いに隣り合う前記延出部の間で前記長さ方向に切断される第１の切離し可能部と、
前記先端部と前記延出部との間で前記幅方向に切断される第２の切離し可能部と、
を具備したことを特徴とするディスク装置用サスペンションのためのフレキシャ連鎖シート。
【請求項２】
互いに隣り合う前記フレキシャ要素の前記延出部間に形成された第１の開口と、該第１の開口に臨んで前記延出部同士をつなぎかつ前記第１の切離し可能部を有した第１のブリッジ部とを具備したことを特徴とする請求項１に記載のフレキシャ連鎖シート。
【請求項３】
前記各延出部に形成された第２の開口と、該第２の開口に臨んで該第２の開口の両側に形成され前記先端部と前記延出部とをつなぎかつ前記第２の切離し可能部を有した第２のブリッジ部とを具備したことを特徴とする請求項１または２に記載のフレキシャ連鎖シート。
【請求項４】
前記第１の横枠に第１の位置決め孔が形成され、前記延出部に第２の位置決め孔が形成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のフレキシャ連鎖シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ディスク装置用サスペンションのフレキシャの製造に使用されるディスク装置用サスペンションのためのフレキシャ連鎖シートに関する。
【背景技術】
【０００２】
パーソナルコンピュータ等の情報処理装置に、ハードディスク装置（ＨＤＤ）が使用されている。ハードディスク装置は、スピンドルを中心に回転する磁気ディスクと、ピボット軸を中心に旋回するキャリッジなどを含んでいる。キャリッジのアームに、ディスク装置用サスペンション（これ以降、単にサスペンションと称する）が設けられている。サスペンションは、ロードビーム(load beam)と、ロードビームに重ねて配置されるフレキシャ(flexure)などを有している。フレキシャの先端付近に形成されたジンバル部にスライダを含む磁気ヘッドが取付けられている。磁気ヘッドには、データの読取りあるいは書込み等のアクセスを行なうための素子が設けられている。これらロードビームとフレキシャなどによってヘッドジンバルアセンブリが構成されている。
【０００３】
前記フレキシャは、要求される仕様に応じて様々な形態のものが実用化されている。その一例として配線付フレキシャ(flexure with conductors)が知られている。配線付フレキシャは、薄いステンレス鋼板からなるメタルベースと、このメタルベース上に形成されたポリイミド等の電気絶縁材料からなる絶縁層と、この絶縁層上に形成された複数の導体などを含んでいる。該フレキシャは、ロードビームに重なる基部と、ベースプレートの後方に延出するテール部（フレキシャテール）とを含んでいる。
【０００４】
従来より、フレキシャの生産効率を高めるための１つの手段として、例えば特許文献１あるいは特許文献２に開示されているように、１枚のステンレス鋼板をエッチングすることによって、同一形状の多数のフレキシャ要素を有するフレキシャ連鎖シートを製造することが行なわれている。フレキシャ連鎖シートの一例は、複数のフレームユニットを該シートの長さ方向あるいは幅方向に接続することによって構成されている。各フレームユニットは、それぞれ、枠部と、枠部の内側に所定ピッチで配置された多数のフレキシャ要素とによって構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第５，２７３，２７１号公報
【特許文献２】特許第５，３６５，９４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
前記フレキシャ連鎖シートのフレームユニットの枠部は、フレキシャ要素の長さ方向に沿う一対の縦枠と、フレキシャ要素の幅方向に沿う一対の横枠とを有しているのが通例である。これら縦枠および横枠は、フレキシャ要素とは異なる枠専用の部分であり、最終的に切り除かれてスクラップとなる。横枠の幅（横枠の長さ方向に対し直角な方向の寸法）が大きくなればフレームユニットの長さが大きくなり、ひいては１枚のフレキシャ連鎖シートの長さも大きくなる。
【０００７】
フレキシャの製造工程で使用される装置や治具によっては、１枚のフレキシャ連鎖シートの大きさが制限されることがある。例えばフレキシャ連鎖シートの長さが少しでも大きいと、１枚のフレキシャ連鎖シートに形成することができるフレームユニットの数を１つ減らさなければならない。１つのフレームユニットには、エッチングによって形成された多数（数十から数百）のフレキシャ要素が所定ピッチで配置されているため、フレームユニットを１つ減らすと、多数のフレキシャが一度に減ることになる。このためフレキシャの生産効率が大幅に低下するという問題が生じる。
【０００８】
従ってこの発明は、フレームユニットの枠部を小形化することができることにより、フレキシャの長さが多少大きくなってもフレームユニットの数を減らさずに済むディスク装置用サスペンションのためのフレキシャ連鎖シートを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、エッチングされたメタルベースを有し、枠部と、該枠部の内側に所定ピッチで配置された複数のフレキシャ要素とを含むフレームユニットを備えたディスク装置用サスペンションのためのフレキシャ連鎖シートにおいて、前記枠部が、前記フレキシャ要素の長さ方向に延びる一対の縦枠と、前記フレキシャ要素の幅方向に延びかつ各フレキシャ要素のテール部同士をつなぐ第１の横枠と、前記フレキシャ要素の幅方向に延びかつ各フレキシャ要素の先端部から前記長さ方向に延びる延出部同士をつなぐことによって構成された先端連鎖部からなる第２の横枠とを有し、かつ、前記先端連鎖部が、互いに隣り合う前記延出部の間で前記長さ方向に切断される第１の切離し可能部と、前記先端部と前記延出部との間で前記幅方向に切断される第２の切離し可能部とを具備している。
【００１０】
１つの実施形態では、互いに隣り合う前記フレキシャ要素の前記延出部間に形成された第１の開口と、該第１の開口に臨んで前記延出部同士をつなぎかつ前記第１の切離し可能部を有した第１のブリッジ部とを具備している。また前記各延出部に形成された第２の開口と、該第２の開口に臨んで該第２の開口の両側に形成され前記先端部と前記延出部とをつなぎかつ前記第２の切離し可能部を有した第２のブリッジ部とを具備してもよい。さらに前記第１の横枠に第１の位置決め孔が形成され、前記延出部に第２の位置決め孔が形成されてもよい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、フレキシャ要素の延出部同士をつなぐことによって構成された先端連鎖部を横枠として利用するため、枠部を小形化することができる。このため、フレキシャ要素の長さが多少大きくても、１枚のフレキシャ連鎖シートに形成されるフレームユニットの数を減らさずに済む。このためフレキシャ連鎖シートを用いてフレキシャを製造する場合に、より多くのフレキシャ要素を有するフレキシャ連鎖シートを用いることができ、フレキシャの生産を効率良く行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】ディスク装置の一例を示す斜視図。
【図２】図１に示されたディスク装置の一部の断面図。
【図３】サスペンションの一例を示す平面図。
【図４】図３に示されたサスペンションのフレキシャの平面図。
【図５】１つの実施形態に係るフレキシャ連鎖シートの一部の平面図。
【図６】図５に示されたフレキシャ連鎖シートの一部の拡大図。
【図７】図５に示されたフレキシャ連鎖シートのフレームユニット同士が切り離された状態の平面図。
【図８】切り離された一方のフレームユニットのフレキシャ要素のテール部付近を拡大して示す平面図。
【図９】図８に示されたフレームユニットの横枠から切り離されたテール部の平面図。
【図１０】切り離された一方のフレームユニットのフレキシャ要素の先端部付近を拡大して示す平面図。
【図１１】（Ａ）は図１０に示された第１の切断可能部が切断されたフレキシャ要素の先端部付近の平面図、（Ｂ）は第２の切断可能部が切断されたフレキシャ要素の先端部付近の平面図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下に１つの実施形態に係るフレキシャ連鎖シートについて、図１から図１１を参照して説明する。  
図１に示すハードディスク装置（ＨＤＤ）１０は、ケース１１と、スピンドル１２を中心に回転するディスク１３と、ピボット軸１４を中心に旋回可能なキャリッジ１５と、キャリッジ１５を旋回させるためのポジショニング用モータ１６を有している。ケース１１は蓋（図示せず）によって密閉される。
【００１４】
図２はディスク装置１０の一部を模式的に示す断面図である。キャリッジ１５にアーム１７が設けられている。アーム１７の先端部に、ディスク装置用サスペンション２０（これ以降、単にサスペンション２０と称する）が取付けられている。サスペンション２０の先端に、磁気ヘッドとして機能するスライダ２１が設けられている。ディスク１３が高速で回転することにより、ディスク１３とスライダ２１との間にエアベアリングが形成される。
【００１５】
キャリッジ１５がポジショニング用モータ１６によって旋回すると、サスペンション２０がディスク１３の径方向に移動することにより、スライダ２１がディスク１３の所望トラックまで移動する。スライダ２１には、ディスク１３にデータを記録するための磁気コイルと、ディスク１３に記録されたデータを読取るためのＭＲ（Magneto Resistive）素子などが設けられている。ＭＲ素子は、ディスク１３に記録された磁気信号を電気信号に変換する。
【００１６】
図３はサスペンション２０の一例を示している。サスペンション２０は、ベースプレート３０と、ロードビーム３１と、ヒンジ部３２と、配線付フレキシャ(flexure with conductors)４０とを備えている。これ以降、配線付フレキシャ４０を単にフレキシャ４０と称する。ベースプレート３０のボス部３０ａは、キャリッジ１５のアーム１７（図１と図２に示す）に固定される。
【００１７】
図４はフレキシャ４０を示している。フレキシャ４０は、ロードビーム３１（図３に示す）と重なる基部４０ａと、基部４０ａからベースプレート３０の後方（図３に矢印Ｒで示す方向）に延びるテール部４０ｂとを含んでいる。フレキシャ４０の基部４０ａは、レーザ溶接等の固定手段によってロードビーム３１に固定される。フレキシャ４０の先端部４０ｃ付近にタング４１が形成されている。タング４１にスライダ２１（図２と図３に示す）が取付けられている。テール部４０ｂに複数のテール電極４２が形成されている。
【００１８】
図５は、フレキシャ４０の製造過程で使用されるフレキシャ連鎖シート５０の一部を示す平面図である。図６は、フレキシャ連鎖シート５０の一部を拡大した拡大図である。フレキシャ連鎖シート５０は、複数のフレームユニット５１１〜５１ｎを含んでいる。これらフレームユニット５１１〜５１ｎは、１枚の金属板（例えばステンレス鋼の板）をエッチングしてなるメタルベース６５からなる枠部６０と、枠部６０の内側に所定ピッチで並ぶ複数（数十〜数百）のフレキシャ要素４０´とを有している。メタルベース６５の材料である金属板の一例は、オーステナイト系ステンレス鋼からなり、厚さの一例は１８μｍ（１２〜２５μｍ）である。
【００１９】
各フレームユニット５１１〜５１ｎは、それぞれ、各フレームユニット５１１〜５１ｎの周囲に形成された枠部６０と、枠部６０の内側に所定ピッチで配置された多数（数十〜数百個）のフレキシャ要素４０´とを備えている。フレキシャ要素４０´は、前記ステンレス鋼の板をエッチングしてなるメタルベース６５と、メタルベース６５上に形成された配線部６６とを有している。配線部６６は、メタルベース６５上に形成された絶縁層と、この絶縁層上に形成された銅からなる複数本の導体と、これら導体を覆う電気絶縁性のカバー層を含んでいる。
【００２０】
枠部６０は、フレキシャ要素４０´の長さ方向（図５において矢印Ｘで示す方向）に延びる第１の縦枠７１および第２の縦枠７２と、フレキシャ要素４０´の幅方向（図５において矢印Ｙで示す方向）に延びる第１の横枠７５および第２の横枠７６とを含んでいる。これら一対の縦枠７１，７２と横枠７５，７６とによって、各フレームユニットの全周にわたって連続する枠部６０が形成されている。各フレームユニットごとに、フレキシャ要素４０´のテール部４０ｂの後端４０ｄが第１の横枠７５によって互いにつながれている。
【００２１】
フレキシャ連鎖シート５０の長さ方向（図５において矢印Ｘで示す方向）に隣り合うフレームユニット５１１，５１２間に、スリット８０と、接続部８１と、凹部８２，８３とが形成されている。スリット８０は、第１の開口幅Ｇ１（図６に示す）を有している。スリット８０は、一方のフレームユニット５１１の第１の横枠７５と他方のフレームユニット５１２の第２の横枠７６との間に形成され、横枠７５，７６に沿う方向に延びている。
【００２２】
接続部８１と凹部８２，８３とは、第１の横枠７５に形成されている。接続部８１は、一方のフレームユニット５１１の第１の横枠７５と他方のフレームユニット５１２の第２の横枠７６とを互いにつないでいる。接続部８１は、枠部６０の幅方向（図５に矢印Ｙで示す方向）に間隔を存して少なくとも２箇所に形成されている。これら接続部８１は、それぞれカッタによって切断される切断予定部９１を有している。
【００２３】
接続部８１の両側に凹部８２，８３が形成されている。凹部８２，８３は、それぞれ第２の開口幅Ｇ２（図６に示す）を有している。第２の開口幅Ｇ２は、第１の開口幅Ｇ１よりも大きい。しかも第２の開口幅Ｇ２は前記カッタの厚さよりも大きい。第１の開口幅Ｇ１は前記カッタの厚さよりも小さい。すなわち凹部８２，８３は、前記カッタの挿入を許容する形状と大きさを有している。
【００２４】
さらに第１の横枠７５には、接続部８１とは異なる位置に円形の第１の位置決め孔１００が形成されている。第１の横枠７５の幅Ｗ１（図６と図７に示す）は、第１の位置決め孔１００の外径よりも大きい。ここで言う幅Ｗ１は、第１の横枠７５の長さ方向と直角な方向の幅寸法である。フレキシャ４０の製造工程において、フレキシャ連鎖シート５０を所定位置に保持するために、第１の位置決め孔１００に第１の位置決めピンが挿入されてもよい。
【００２５】
第１の横枠７５は、各フレームユニットのフレキシャ要素４０´のテール部４０ｂ同士をつないでいる。テール部４０ｂと第１の横枠７５との間には、テール部４０ｂを第１の横枠７５から切離す際に切断される切断予定部１０５（図８に２点鎖線で示す）が設けられている。
【００２６】
第２の横枠７６は、第１の横枠７５と同様に、フレキシャ要素４０´の幅方向（図５と図１０に矢印Ｙで示す方向）に延びている。第２の横枠７６は、各フレームユニットに形成されたフレキシャ要素４０´の延出部４０ｅ同士をつなぐことによって構成された先端連鎖部１１０からなる。延出部４０ｅは、各フレキシャ要素４０´ごとに、先端部４０ｃから長さ方向（図５と図１０に矢印Ｘで示す方向）に延びている。
【００２７】
図６，図７および図１０に示されるように、先端連鎖部１１０には、互いに隣り合うフレキシャ要素４０´の延出部４０ｅ，４０ｅ間に第１の開口１１１が形成されている。この第１の開口１１１に臨んで、互いに隣り合う延出部４０ｅ同士をつなぐ一対の第１のブリッジ部１１２，１１３が形成されている。第１のブリッジ部１１２，１１３のそれぞれの幅Ｂ１，Ｂ２（図１０に示す）は、いずれも第２の横枠７６の幅Ｗ２よりも小さい。ここで言う幅Ｗ２は、第２の横枠７６の長さ方向と直角な方向の幅寸法である。
【００２８】
第１のブリッジ部１１２，１１３に、それぞれ第１の切離し可能部Ｃ１，Ｃ２（図１０に２点鎖線で示す）が設けられている。第１の切離し可能部Ｃ１，Ｃ２は、互いに隣り合うフレキシャ要素４０´の延出部４０ｅ同士の間で、フレキシャ要素４０´の長さ方向（矢印Ｘで示す方向）に切断される。
【００２９】
第１のブリッジ部１１２，１１３のそれぞれの幅Ｂ１，Ｂ２は、いずれも第２の横枠７６の幅Ｗ２よりも十分小さく、幅Ｗ２の半分未満である。このため第１の切離し可能部Ｃ１，Ｃ２を個々に切断することは、第２の横枠７６の幅Ｗ２の全長を切断する場合と比較して容易である。
【００３０】
各フレキシャ要素４０´の延出部４０ｅに、それぞれ第２の開口１１５が形成されている。第２の開口１１５の両側には、第２の開口１１５に臨む第２のブリッジ部１１６，１１７が形成されている。第２のブリッジ部１１６，１１７はフレキシャ要素４０´の先端部４０ｃに連なっている。
【００３１】
第２のブリッジ部１１６，１１７に、それぞれ第２の切離し可能部Ｃ３，Ｃ４（図１１（Ａ）に２点鎖線で示す）が設けられている。第２の切離し可能部Ｃ３，Ｃ４は、先端部４０ｃと延出部４０ｅとの間でフレキシャ要素４０´の幅方向（矢印Ｙで示す方向）に切断される。
【００３２】
第２のブリッジ部１１６，１１７のそれぞれの幅Ｂ３，Ｂ４（図１１（Ａ）に示す）は、いずれも延出部４０ｅの幅Ｗ３よりも十分小さく、幅Ｗ３の半分未満である。このため第２の切離し可能部Ｃ３，Ｃ４を個々に切断することは、延出部４０ｅの幅Ｗ３の全長を切断する場合と比較して容易である。
【００３３】
また延出部４０ｅには、各フレキシャ要素４０´ごとに、枠部６０の幅方向（図５に矢印Ｙで示す方向）に一定のピッチで、第２の位置決め孔１２０が形成されている。第２の横枠７６の幅Ｗ２（図６と図７に示す）は、第２の位置決め孔１２０の外径よりも大きい。フレキシャ４０の製造工程において、フレキシャ要素４０´を所定位置に保持するために、第２の位置決め孔１２０に第２の位置決めピンが挿入されてもよい。
【００３４】
本実施形態のフレキシャ連鎖シート５０は、テール部４０ｂの切断予定部１０５（図８に示す）をカッタによって切断することにより、図９に示されるようにテール部４０ｂが第１の横枠７５から切離される。
【００３５】
前記したように、第２の横枠７６をなす先端連鎖部１１０の第１のブリッジ部１１２，１１３に第１の切離し可能部Ｃ１，Ｃ２が設けられている。第１の切離し可能部Ｃ１，Ｃ２をカッタによってフレキシャ要素４０´の長さ方向（図１０に矢印Ｘで示す方向）に切断することにより、図１１（Ａ）に示す延出部４０ｅを備えたフレキシャ要素４０´が得られる。
【００３６】
また第２のブリッジ部１１６，１１７に第２の切離し可能部Ｃ３，Ｃ４が設けられている。第２の切離し可能部Ｃ３，Ｃ４をカッタによって幅方向（図１１（Ａ）に矢印Ｙで示す方向）に切断することにより、図１１（Ｂ）に示すフレキシャ要素４０´が得られる。切り除かれた延出部４０ｅはスクラップとして処理される。
【００３７】
フレキシャの製造工程で使用する装置や治具によっては、１枚のフレキシャ連鎖シートの大きさ（長さと幅）が制限されることがある。その場合、フレキシャ連鎖シートの長さが少しでも許容値を越えると、１枚のフレキシャ連鎖シートに形成することのできるフレームユニットの数を１つ減らさなければならない。１つのフレームユニットには、エッチングによって形成された数十から数百個のフレキシャ要素が所定ピッチで配置されているため、フレームユニットを１つ減らすと、数十から数百個のフレキシャが一度に減ることになる。このためフレキシャの生産効率が大幅に低下するという問題が生じる。
【００３８】
しかるに本実施形態のフレキシャ連鎖シート５０は、フレキシャ要素４０´の延出部４０ｅ同士をつなぐことによって構成された先端連鎖部１１０を第２の横枠７６として利用している。そしてこの先端連鎖部１１０に第１の切離し可能部Ｃ１，Ｃ２と第２の切離し可能部Ｃ３，Ｃ４とが設けられている。このため、従来のようにフレキシャ要素の延出部とは別に形成された第２の横枠を用いるフレキシャ連鎖シートと比較して、枠部６０の大きさ（特に長さ）を小さくすることができた。
【００３９】
このためフレキシャの仕様変更などによってフレキシャ要素の長さが多少大きくなっても、１枚のフレキシャ連鎖シート５０の許容寸法内で従来と同等の数のフレームユニットを確保することができ、フレキシャ要素４０´の数が減ることを回避できる。すなわち１枚のフレキシャ連鎖シート５０に多数のフレキシャ要素４０´を形成することができ、フレキシャ４０を効率良く生産することができる。
【００４０】
なお本発明を実施するに当たり、フレキシャ要素の具体的な形状をはじめとして、フレームユニットやフレキシャ要素の数および配置、第１のブリッジ部および第２のブリッジ部、第１の開口および第２の開口、そして第１の切離し可能部および第２の切離し可能部の形状など、フレキシャ連鎖シートを構成する各要素を種々に変形して実施できることは言うまでもない。
【符号の説明】
【００４１】
１０…ディスク装置（ＨＤＤ）、２０…サスペンション、４０…フレキシャ、４０´…フレキシャ要素、４０ｂ…テール部、４０ｃ…先端部、４０ｄ…テール部後端、４０ｅ…延出部、５０…フレキシャ連鎖シート、５１１〜５１ｎ…フレームユニット、６０…枠部、６５…メタルベース、７１…第１の縦枠、７２…第２の縦枠、７５…第１の横枠、７６…第２の横枠、１００…第１の位置決め孔、１１０…先端連鎖部、１１１…第１の開口、１１２，１１３…第１のブリッジ部、１１５…第２の開口、１１６，１１７…第２のブリッジ部、１２０…第２の位置決め孔、Ｃ１，Ｃ２…第１の切離し可能部、Ｃ３，Ｃ４…第２の切離し可能部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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