(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ペリクルを収納する容器本体と、該容器本体を覆ってその周縁部で嵌合係止する蓋体とから構成されるペリクル収納容器であって、前記容器本体上には、水平方向に可動して先端部がペリクルフレーム側面に設けられた凹部に挿入されるピンと、該ピンを固定するピン支持手段とを載置し、前記蓋体には、前記容器本体の内部に貫通する開口部を設け、前記ピンには、ピン本体から前記蓋体の開口部の方向に延伸するピン操作部を設けると共に、該ピン操作部は、その上端部が前記開口部を密閉するために貼り付けた粘着シートに接触して接着固定されていることを特徴とするペリクル収納容器。
【請求項２】
前記ピンは、ピン軸部を中心とする旋回操作によって前記ピン支持手段に固定されていることを特徴とする請求項１に記載のペリクル収納容器。
【請求項３】
前記ピンは、該ピンに設けた突起部が前記ピン支持手段に設けた切欠き部に嵌合して固定されていることを特徴とする請求項２に記載のペリクル収納容器。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れかに記載のペリクル収納容器からペリクルを取り出す方法であって、前記蓋体の開口部に貼り付けられた前記粘着シートを剥離して前記開口部を開放した後に、前記蓋体を容器本体上に嵌合係止したままの状態で前記蓋体の外側から前記ピン操作部を操作して、前記凹部に挿入されたピンの先端部を引き抜いて、前記容器本体上に固定されたペリクルを解除し、その後に前記蓋体を取り外してペリクルを取り出すことを特徴とするペリクルの取り出し方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体デバイス、プリント基板または液晶ディスプレイ等を製造する際のゴミ除けとして使用されるリソグラフィー用ペリクルを収納、保管、輸送するペリクル収納容器およびこのペリクル収納容器からペリクルを取り出す方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体製造または液晶ディスプレイ等の製造においては、半導体ウエハーまたは液晶用原板に光を照射してパターンを作製するが、この時に用いるフォトマスクまたはレチクル（以下、短にフォトマスクと記述）にゴミが付着していると、このゴミが光を吸収したり光を曲げてしまうために、転写したパターンが変形したり、エッジががさついたものとなるという問題の他に、下地が黒く汚れたりするなど、寸法、品質、外観などが損なわれるという問題がある。
【０００３】
そのため、これらの作業は、通常クリーンルームで行われているが、それでもフォトマスクを常に清浄に保つことが難しいために、フォトマスク表面にゴミよけとしてペリクルを貼り付けした後に露光を行っている。この場合、異物はフォトマスクの表面には直接付着せずにペリクル上に付着するため、リソグラフィー時に焦点をフォトマスクのパターン上に合わせておけば、ペリクル上の異物は転写に無関係となる。
【０００４】
このようなペリクルは、一般に、光を良く透過させるニトロセルロース、酢酸セルロースまたはフッ素樹脂などからなる透明なペリクル膜を、アルミニウム、ステンレス、樹脂複合材料などからなるペリクルフレームの上端面に貼り付けまたは接着して構成されている。また、ペリクルフレームの下端にはフォトマスクに装着するためのポリブデン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂等からなる粘着層、及び粘着層の保護を目的とした離型層（セパレータ）が設けられている。
【０００５】
しかしながら、このようなペリクルは、マスクに貼付した後ではそれらが形成する閉空間の外部から内部への異物の侵入を防ぐ効果はあるが、ペリクル自体に異物が付着してそれが閉空間の内部にある場合には、フォトマスクへの異物の付着を防ぐことは困難となる。そのため、ペリクル自体に高い清浄性が求められることはもとより、保管、輸送に使用するペリクル収納容器にもその清浄性を維持しうる性能が強く求められている。具体的には、帯電防止性能に優れ擦れた際にも発塵の少ない材質であること、ペリクルおよび構成部品間の接触を極力防ぐ構造であること、外力が加わった際の変形を防ぐ高剛性な構造であることといった点が要求される。
【０００６】
このようなペリクル収納容器は、通常、ＡＢＳ、ＰＭＭＡ、ＰＣ等の樹脂を射出成形または真空成形することによって製造される。これらの成形方法が利用される理由としては、表面が平滑で異物の付着や発塵の恐れが少ないこと、一体成形のため継ぎ目がなく発塵や異物侵入の恐れが少ないこと、複雑形状のものも容易に製造できること、量産性に優れ低コスト化が可能であること、といったメリットがあるからである。
【０００７】
例えば、半導体用やプリント基板用ペリクルの収納容器は、外形の辺長が概ね２００〜３００ｍｍ前後であり、通常、射出成形を利用して製造されている。これら辺長が２００〜３００ｍｍのペリクル収納容器では、ペリクル収納容器の清浄性を保つために、外力が加わった際にも変形しにくいという高剛性が要求されるが、元々、小型で剛性が確保し易く、また、射出成形では厚みを局所的に変えることが容易で要所に肉厚のある補強を加えることができるために、剛性の点で問題となることは少ない。
【０００８】
一方、主として液晶用ペリクルに使用される辺長が５００ｍｍを超えるような大型のペリクル収納容器は、一般に、ＡＢＳ、ＰＭＭＡ等の合成樹脂シートを真空成形して製造されている。何故なら、１箇所または数箇所のゲートから金型内に樹脂を高速注入する射出成形では樹脂の流れる距離が長すぎるため、製法的に困難であるからである。もっとも、真空成形の場合は、金型に加熱した樹脂シートを被せ、真空引きするだけで大型品も容易に成形が可能であるが、厚肉のものが成形できないこと、リブである程度の補強はできるものの、基本的には同じ板厚のシートを折り曲げるだけなので、高剛性のものが作りにくいという問題がある。
【０００９】
ところで、ペリクル収納容器の場合、上記のような剛性の問題の他に、ペリクルをペリクル収納容器にどのように収納するかという問題もある。例えば、特許文献１には、ペリクルを載置台上に支持体で支持しつつ載置すると共に、蓋体内面の当接部でペリクルフレームの上端面を押さえることでペリクルを上下及び水平移動不能に保持・固定する収納方法が記載されている。この方法によれば、ペリクルと容器の各部が擦れあって、塵あい等を発生するおそれが少なく、部品点数も少ないという利点があり、小型の半導体用ペリクルでは一般的に用いられている手法である。
【００１０】
しかしながら、この収納方法を用いる場合、蓋体とペリクル収納容器本体のどちらも高精度に成形されている必要があるため、辺長が５００ｍｍを超えるような大型の液晶用ペリクル収納容器では用いられることはない。何故なら、そのような大型のペリクル収納容器を真空成形で製造する場合、精度の良い成型品が得られないことに加え、収納容器自体の剛性確保が難しく、取扱い時や搬送時に収納容器の変形が避けられず、その場合に容器とペリクルフレームとの擦れが生じて発塵し、品質の低下を招くからである。
【００１１】
そのため、辺長が５００ｍｍを越えるような大型のペリクルの収納方法として、特許文献２には、マスク粘着層を保護するライナーの一部を外側に突出させ、粘着テープにより容器本体に固定して収納する方法が記載されている。この収納方法の場合、その作業が人手で行わざるを得ず、清浄な状態でトレイ上に固定するのが難しいという問題がある。また、テープを剥がして取り出す際に人手がペリクルフレーム付近に接近するために異物が付着するという懸念もある。
【００１２】
また、特許文献３には、ペリクルフレーム外側面に設けた凹部にピンを挿入して容器本体に固定する収納方法が記載されている。この収納方法の場合、脱着に際してさほど人手がペリクルに接近しないから、作業者からの異物の付着が少ないが、輸送中にピンの挿入位置を維持し続ける必要があるという問題がある。これを解決するために、特許文献４には、ピンを挿入位置で固定する方法が記載されているが、この方法によれば、簡単な構造でしかも輸送中にもピンを確実に固定することが可能である。
【００１３】
さらに、特許文献５には、ピンを取り外す際の異物付着をさらに低減させるために、容器の蓋体が閉じている状態で、容器の外部からペリクルを固定するピンを操作してペリクルを容器本体から解除することが可能なペリクル収納容器が記載されている。このペリクル収納容器の場合、ペリクルに異物が付着する恐れの大きいピンの解除作業を蓋体が乗ったままの状態で、しかも収納容器の外部から行うことができるから、ピン解除の操作に伴う作業者からの異物がペリクルへ付着することを防止することができる。
【００１４】
加えて、このペリクル収納容器では、ペリクルが容器本体上でフリーの状態になってから蓋体を開けて、それからハンドリング治具等でペリクルを取り出すから、作業者がペリクルに近づく時間を短縮化することができるため、作業者から異物が付着する恐れを大幅に低減させることができる。また、先にピンを解除しておけば、蓋体を開けてペリクルを取り出すまでの作業を装置化することが比較的容易であり、特に、自動機によってペリクルの取り出し作業を行なう上でも好適である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１５】
【特許文献１】実公平６−４５９６５号
【特許文献２】特開２００４−３６１６４７号
【特許文献３】特許４３９１４３５号
【特許文献４】特許５５８６５５９号
【特許文献５】特許５５８６５６０号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
しかしながら、特許文献５に記載のペリクル収納容器は、特にペリクル固定部１８の構造が複雑であるという問題がある。例えば、ペリクル固定部１８には、ピン２８の回動を防止する回動防止部材として、ピン２８の後端部と凹凸係止する係止部が形成された柱状部４４が突設されているが、この回動防止部材の取り付け精度を確保することが難しいという製造上および運用上の問題がある。また、ピン２８およびピン装着部３２等や回動防止部材は、製造誤差の大きい蓋体の側面に設けた開口部１４ａを経由して取り付けられているため、ピン２８の先端部の位置精度の管理が難しいという問題もある。そのため、ペリクル収納容器を量産した場合に、ピン２８や回動防止部材等の位置調整作業をペリクル収納容器毎に個別に行う必要があるため、量産品による運用が実際上困難であるという問題がある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
そこで、本発明は、ペリクル収納容器の上記問題点に鑑み、このペリクル収納容器の改良に係るものであり、その目的は、ペリクル収納容器の製造の容易化と量産化に適した簡便な構造であって、蓋体が容器本体に嵌合したままの状態でもピンの嵌合・解除が可能なペリクル収納容器を提供することであり、また、ペリクル収納容器から、ペリクルを取り出す際に異物の付着を低減させることができるペリクルの取り出し方法を提供することである。
【００１８】
本発明者らは、上記目的を達成するために鋭意検討を行ったところ、従来のペリクル固定部のピンを改良してピンの嵌合・解除が可能なピン操作部を設けると共に、このピン操作部の接着手段を工夫することで、従来のペリクル固定部の複雑な構造の簡便化を可能としたものである。
【００１９】
すなわち、本発明は、ペリクルを収納する容器本体と容器本体を覆ってその周縁部で嵌合係止する蓋体とから構成されるペリクル収納容器であって、容器本体上には、水平方向に可動して先端部がペリクルフレーム側面に設けられた凹部に挿入されるピンと、このピンを固定するピン支持手段とを載置し、蓋体には、容器本体の内部に貫通する開口部を設け、またピンには、ピン本体から蓋体の開口部の方向に延伸するピン操作部を設けると共に、このピン操作部は、その上端部が開口部を密閉するために貼り付けた粘着シートに接着固定されていることを特徴とするものである。
【００２０】
また、本発明のピンは、ピン軸部を中心とする旋回操作によってピン支持手段に嵌合して固定されていることが好ましく、このピンに設けた突起部がピン支持手段に設けた切欠き部に嵌合して固定されていることがより好ましい。
【００２１】
さらに、本発明のペリクルの取り出し方法は、前記ペリクル収納容器の蓋体の開口部に貼り付けられた粘着シートを剥離して、開口部を開放した後に、蓋体を容器本体上に嵌合係止したままの状態で蓋体の外側からピン操作部を操作して、凹部に挿入されたピンの先端部を引き抜いて、容器本体上に固定されたペリクルを解除し、その後に蓋体を取り外してペリクルを取り出すことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、量産化に適した簡便な構造でありながらもペリクル固定部のピンを確実に固定することができると共に、内部に収納されたペリクルの破損やペリクルへの異物の付着の恐れがない、信頼性の高いペリクル収納容器を提供することができる。また、ペリクルを取り出す際には、蓋体の粘着シートを剥離して開口部を開放し、ペリクルフレームの凹部に挿入されたピンの先端部を引き抜くことで、蓋体が容器本体と嵌合したままの状態でペリクルを容器本体から容易に解除することができるため、取り出し作業に伴う作業者からの異物の付着を低減させることができるという効果が期待できる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の一実施形態を示す斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態を示す平面図である。
【図３】本発明の一実施形態を示す平面図（蓋体を透視）である。
【図４】本発明の一実施形態を示す図３のＡＡ断面図である。
【図５】本発明の一実施形態を示す図４のＢ部拡大図（ペリクル固定部）である。
【図６】本発明の他の実施形態を示すピン支持手段の斜視図である。
【図７】本発明の他の実施形態を示す突起部を有するピンの斜視図である。
【図８】本発明の他の実施形態を示す突起部を有するピンとピン支持手段を組合せた後の斜視図である。
【図９】本発明の他の実施形態を示す突起部を有するピンとピン支持手段の切欠き部を組合せたペリクル固定部の斜視図である。
【図１０】比較例のペリクル固定部の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。本発明は、特に、辺長が５００ｍｍを超えるような、主としてディスプレイ製造用途に用いられる大型のペリクルを収納するペリクル収納容器に適用した場合に効果が大きいが、辺長が１５０ｍｍ程度の半導体製造用または辺長３００ｍｍ程度のプリント基板製造用のペリクルへ適用することもできるものであり、その用途や大きさで限定されるものではない。
【００２５】
ペリクル収納容器１０は、図１に示すように、ペリクル２０を載置する容器本体１１と、それを覆うと共に周縁部で嵌合する蓋体１２から構成される。蓋体１２は、容器本体１１と、クリップ（図示しない）やバックル（図示しない）で締結するか、または粘着テープ（図示しない）でシールすることが好ましい。
【００２６】
容器本体１１と蓋体１２については、ＡＢＳ、ＰＣ、ＰＭＭＡ、ＰＶＣなどの樹脂を射出成形または真空成形にて製作されたものであり、容器本体１１は、付着異物の視認を容易にするために黒色とし、蓋体１２は、内部を確認しやすくするために透明とすることが好ましい。また、異物の付着防止の観点から、樹脂材料へ導電物質の練りこみまたは表面へのコーティングにより帯電防止機能を付与することが好ましい。
【００２７】
ペリクルの辺長が１０００ｍｍを超えるような特に大型の収納容器では、剛性を確保するために、容器本体１１の外側に金属や繊維強化プラスチックなどで製作した補強体を取り付けることもできるが、ペリクル収納容器１０の本体自体をアルミニウム合金などの軽量金属で製作しても良い。
【００２８】
容器本体１１上には、図３に示すように、四か所のピン支持手段１４がボルト（図示しない）により取り付けられている。また、そこにはピン１３のピン軸部１３ａが挿入されており、これらは、がたつきが少なくなおかつスムーズに抜き差しができる間隙で形成されている。
【００２９】
ピン１３については、エポキシ樹脂、ＡＢＳ、ＰＰＳ、ＰＥ、ＰＥＥＫなどの樹脂を射出成型またはトランスファー成型などで一体成型で製作することができる。必要に応じてガラス繊維などのフィラーなどを混入して強度を向上させることも好ましい。また、ピン１３のピン軸部１３ａを剛性確保のためにステンレス鋼などの金属で構成し、樹脂で製作したピン本体１３ｂに圧入または接着等して構成することも良い。
【００３０】
ピン支持手段１４については、ピン１３同様にエポキシ樹脂、ＡＢＳ、ＰＰＳ、ＰＥ、ＰＥＥＫなどの樹脂を射出成型、トランスファー成型などで一体成型で製作することが好ましい。ペリクルフレーム２１を固定するピン１３の数は、これらの実施形態では４箇所となっているが、その他の数、例えば、辺長が特に長いペリクルフレームについては６箇所または８箇所でも構わない。また、これらの実施形態では長辺に設けられているが、短辺であっても、また長辺と短辺の両方にあっても構わない。
【００３１】
ピン１３の先端部には、段差部１３ｃが設けられ、その段差部１３ｃには弾性体１５が嵌め込まれて、ペリクルフレーム２１の凹部２２に直接ピン部材が接触しないようになっていることが好ましく、このことにより発塵を防止することができるからである。その形状は、図５に例示したようなリング状のものをピン先端の細径部に嵌め込む方法の他に、段差部自体を弾性体で形成して取り付けても良い（図示しない）。弾性体１５の材質としては、ニトリルゴム、エチレンプロプレンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴムなどが利用できる。
【００３２】
図５は、本発明のペリクル固定部に係る一実施形態を示す斜視図である。ペリクル２０は、図５に示すように、ペリクルフレーム２１の角部近傍に設けられた凹部２２に挿入したピン１３により支持され、ピン１３は、容器本体１１上のピン支持手段１４に支持される。ここで、ピン１３には、ピン本体１３ｂから蓋体１２の方に延伸したピン操作部１３ｄが設けられている。ピン操作部１３ｄは、ピン１３全体と同じ樹脂で一体成形されていても良いし、ピン本体１３ｂに孔を設け、ステンレス鋼などの金属からなる棒状の部品を圧入するか、接着して構成しても良い。
【００３３】
ピン操作部１３ｄの直上付近の蓋体１２には、図５に示すように、内部と貫通する開口部１２ａが設けられていると共に、開口部１２ａは、粘着シート１２ｂが貼り付けられて密閉されている。開口部１２ａは、蓋体１２を成形した後に切削加工によって形成し、蓋体１２の剛性低下を最小限に抑えるために、その大きさはピン操作部１３ｄの操作において必要最小限の大きさとすることが良い。また、その形状は円形、楕円形、矩形など様々なものが考えられるが、清浄度向上の観点から角のない形状とし、おおむね２０ｘ２０ｍｍ〜４０ｘ４０ｍｍの範囲のものが好ましい。
【００３４】
ピン本体１３ｂから延伸するピン操作部１３ｄは、その先端が蓋体１２の外側平面と面一な位置まで達する長さを有し、開口部１２ａを密閉するように貼り付けられた粘着シート１２ｂに接触（接着）することで固定されている。
【００３５】
ペリクル２０の取り出しに際しては、粘着シート１２ｂを引き剥がすことで、開口部１２ａが現れると共に、ピン操作部１３ｄの固定が解除される。そして、ピン操作部１３ｄの後退操作により、ペリクルフレーム２１の凹部２２からピン１３の先端部を引き抜き、容器本体１１上におけるペリクル２０の固定を解除することができる。
【００３６】
また、蓋体１２を取り外す前に、開口部１２ａを介してペリクル収納容器１０の内外で通気が図られることになるため、蓋体１２の取り外しにより容器内が負圧になることはなく、取り外しが容易になる他、異物の巻き込み防止も期待できる。
【００３７】
本発明のペリクル２０は、ペリクルフレーム２１の側面に凹部２２を設ける必要がある他は、特に制限事項はない。また、凹部２２は、ピン１３の先端部との嵌合や加工の容易さから、直径０．５〜４ｍｍ、深さ１〜５ｍｍの丸孔とすることが好ましいが、その他の形状であっても構わない。
【００３８】
ペリクルフレーム２１は、アルミニウム合金をはじめとする金属、樹脂あるいは樹脂複合材料などからなり、そこに通気孔（図示しない）と、その表面を覆うフィルタ（図示しない）が取り付けられていても良い。また、その側面にはハンドリングのために各所に溝や凹部などを設けても良い。
【００３９】
ペリクルフレーム２１の一面には、図５に示すように、マスク粘着層２３が形成され、その表面には保護用のセパレータ２４が取り付けられている。ペリクルフレーム２１は、矩形が一般的であるが、多角形状、円形など他の形状でも良い。セパレータ２４は、これに代わるその他の手段によってマスク粘着層２３が保護されるのであれば、省略されていても良い。また、マスク粘着層２３の逆側の一面には、ペリクル膜接着層２５が設けられ、ペリクル膜２６が張設されている。
【００４０】
図５に示すペリクル固定部の一実施形態では、ピン支持手段１４上でのピン１３の固定が粘着シート１２ｂとピン操作手段１３ｄとの接着だけに頼っているため、やや信頼性に欠けるところがある。
【００４１】
そこで、ピン１３の固定をより確実とするためには、図６および図７に示すような他の実施形態を採用することがより好ましい。すなわち、ピン１３の一部に突起部１３ｅを設けると共に、ピン支持手段１４には突起部１３ｅと嵌合する切欠き部１４ｃを設けるものである。この実施形態では、ピン軸部１３ａを中心とする旋回操作により、嵌合／解除を可能とした上で、ピン本体１３ｂから延伸した操作部１３ｄを設けるものであり、これらを組み合わせて、旋回操作でピン１３を固定すると、図８に示すようなペリクル固定部の実施態様となる。
【００４２】
図９は、粘着シート１２ｂとピン操作手段１３ｄとの接着の他に、図８に示すペリクル固定部によってピン支持手段１４上のピン１３をより確実に固定する他の実施態様を示す斜視図である。
【００４３】
図９に示す他の実施態様では、ピン支持手段１４は、図６に示すように、孔であるピン挿入部１４ａおよび一方向に開放したＵ字型の溝である導入部１４ｂを有し、導入部１４ｂの一部にはさらに切り欠き部１４ｃが設けられている。この突起部１３ｅは、図８に示すように、ピン１３をピン支持手段１４の導入部１４ｂ奥に突き当たるまで挿入し、旋回させた際に切り欠き部１４ｃに嵌め合うように設計する。そして、この構成により、旋回操作によってピンの嵌合・解除を行うことができる。このときの旋回操作角度は、操作性や嵌合の確実性の観点から、好ましくは３０〜１８０度、さらに好ましくは４５〜９０度の範囲とすることが良い。
【００４４】
ピン操作部１３ｄは、図５に示す実施態様と同様に、蓋体１２の外面と面一な位置に達する長さとし、開口部１２ａを密閉するように貼り付けられた粘着シート１２ｂと接触（接着）することにより固定されている。また、この他の実施形態では、図９に示すように、ピン支持手段１４の切欠き部１４ｃとピン１３の突起部１３ｅの嵌合によりピン１３の位置が固定される上に、さらにピン操作部１３ｄが蓋体１２上の粘着シート１２ｂに接触（接着）して固定されるため、より確実にピン１３の位置を固定することができる。
【００４５】
本発明の図５および図９に示すこれらの実施形態では、蓋体１２上にピン１３の位置を保持するための機械的な部品を一切配置していないため、各部品の製造誤差や組立誤差の蓄積が少ない。また、ピン１３の固定や外部からの操作は、ピン操作部１３ｄ、蓋体１２上に設けた開口部１２ａおよび粘着シート１２ｂを組み合わせた簡便な構成により達成されるため、寸法誤差に対する許容度が大きく、きわめて量産化に適したものである。
【００４６】
また、図９に示す実施形態でも、その操作方法は、図５に示す実施形態と大差なく、ピン１３の旋回動作が加わるだけである。すなわち、蓋体１２に貼り付けられた粘着シート１２ｂを剥離して開口部１２ａを開放した後、蓋体１２の外側からピンセットやそれに類する小道具を使用して、ピン操作部１３ｄを旋回操作してピン１３とピン支持手段１４の嵌合を解除し、その後、後退させることでペリクルフレーム２１の凹部２２に挿入されたピン１３の先端部が引き抜かれて、容器本体１１とペリクル２０の締結が解除されることになる。そして、その後は蓋体１２を取り外して、ハンドリング治具（図示しない）などでペリクル２０を取り出せばよい。
【００４７】
したがって、図９に示す実施形態でも、ピン解除作業に伴って作業者の手がペリクルに近づく際には、ペリクル２０は、蓋体１２で覆われている状態であるから、作業者からの異物の付着を大幅に低減させることができる。
【実施例】
【００４８】
以下、本発明の実施例について詳細に説明する。この実施例では、最初に、樹脂のシート材を用いて、真空成形により図１、図２、図３および図４に示す形状の容器本体１１およびこれと嵌合する蓋体１２を製作した。図１は、両者が組み合わさった状態を示す斜視図であり、この外寸は、外形が１０８０ｘ９６０ｍｍであり、高さが９２ｍｍである。容器本体１１は、黒色でその厚さが５ｍｍの難燃ＡＢＳである。蓋体１２は、その厚さが５ｍｍの透明な難燃ＰＭＭＡであり、成形後に帯電防止塗装（商品名セプルジーダ、信越ポリマー（株）製）を施した。
【００４９】
次に、ＡＢＳを射出成形してピン支持手段１４を製作すると共に、ＰＰＳを射出成形してピン１３を製作した。図６および図７は、それぞれの詳細な形状を示す斜視図であり、図８は、両者を組み合わせた状態を示す斜視図である。
【００５０】
ピン１３は、図７に示すように、ピン軸部１３ａ、ピン本体１３ｂ、ピン操作部１３ｄ、突起部１３ｅから構成されている。ピン軸部１３ａは、ＳＵＳ３０４ステンレス鋼を機械切削して製作したものであり、ＰＰＳ樹脂を射出成型したピン本体１３ｂに圧入されている。また、ピン操作部１３ｄも、同様にＳＵＳ３０４ステンレス鋼を機械切削して製作したものであり、ピン本体１３ｂに設けた孔に圧入されている。さらに、ピン軸部１３ａの先端には段差部１３ｃが設けられ、そこには太さ０．５ｍｍのフッ素ゴム製のリング状弾性体１５が嵌め込まれている。
【００５１】
一方、ピン支持手段１４は、図６に示すように、ピン挿入部１４ａ、導入部１４ｂ、切欠き部１４ｃから構成されている。そして、ピン１３のピン軸部１３ａをピン支持手段１４のピン挿入部１４ａに挿入し、右方向に４５度旋回させた際に、突起部１３ｅがピン支持手段の切欠き１４ｃに嵌め合うようにすれば、図８に示すようなピン１３とピン支持手段１４との組み合せ状態とすることができる。
【００５２】
次に、図８に示す状態に組み合わせた部品を容器本体１１上に載せて、図９に示すように、ピン１３をペリクルフレーム２１に設けた凹部２２に嵌合する位置に調整し、外側からステンレス製ボルト（図示しない）を用いて取り付けた。また、蓋体１２には、容器本体１１に嵌合させた時にピン操作部１３ｄの直上となる領域に２０ｘ３０ｍｍの大きさの角孔１２ａを機械加工により設けた。
【００５３】
そして、このようにして組み立てたペリクル収納容器１０を一度に２０台量産して、実際にペリクル２０を収納して取り付け状態を確認したところ、部品交換や再調整を必要とするものはなく、２０台の全数がそのまま使用可能な品質に維持されていることが確認された。
【００５４】
次に、このペリクル収納容器１０をＣｌａｓｓ１０のクリーンルームに搬入し、界面活性剤と純水で良く洗浄した後、完全に乾燥させた。そして、このペリクル収納容器１０の評価のために、ペリクル２０を収納して輸送試験を行った。
【００５５】
この試験に使用したペリクル２０は、外寸が９３７．５ｘ７５６ｍｍで、内寸が９２５．５ｘ７４０ｍｍであり、高さが約７．２ｍｍである。また、使用したペリクルフレーム２１は、Ａ５０５２アルミニウム合金製に表面黒色アルマイト処理を施したものであり、外寸が９３７．５ｘ７５６ｍｍで、内寸が９２５．５ｘ７４０ｍｍで、高さが５．８ｍｍである。さらに、その角部を外側Ｒ５とし、内側Ｒ２とすると共に、各長辺には、１００ｍｍ間隔で４箇所のφ１．５ｍｍの通気孔（図示しない）と、８５０ｍｍ間隔でφ２．５ｍｍｘ深さ１．８ｍｍの凹部２２を２個設けた。通気孔には、ＰＴＦＥ製メンブレンを用いたシート状フィルタをアクリル粘着剤で取り付けた。
【００５６】
マスク粘着層２３としては、厚さ約１．２ｍｍのシリコーン粘着剤（信越化学工業（株）製）を用いると共に、表面保護のためにセパレータ２４として離型剤を塗布した厚さ０．１ｍｍのＰＥＴシートを取り付けた。ペリクル膜２６の接着層２５としては、厚さ約０．１ｍｍのシリコーン粘着剤（信越化学工業（株）製）を塗布し、これにペリクル膜２６として厚さ３．０μｍのフッ素系樹脂（商品名サイトップ、旭硝子（株）製）を接着した。
【００５７】
次に、ペリクル２０を暗室内に搬入し、集光ランプにより異物を検査した上で、上記ペリクル収納容器１０の容器本体１１上に載置すると共に、ピン１３の先端部をペリクルフレーム２１側面の凹部２２に挿入し、旋回操作により突起部１３ｅをピン支持手段１４の切欠き部１４ｃに嵌合させて組み立てた。その後、蓋体１２を閉じて、開口部１２ａにＰＥＴ製粘着テープにて製作した粘着シート１２ｂを貼り付けて、開口部１２ａを密封すると共に、開口部１２ａから現れているピン操作部１３ｄの端部を接着した。
【００５８】
また、容器本体１１と蓋体１２との周縁部を幅３５ｍｍのＰＥＴ製粘着テープ（図示しない）にて貼り付け固定した後に、内部を清浄にクリーニングした帯電防止ＰＶＣ製袋にて２重に梱包し、内部にクッション材を配した強化ダンボール製梱包箱（図示しない）に収納した。
【００５９】
このように梱包したペリクル収納容器１０をトラックに搭載し、約１０００ｋｍの輸送を行った。そして、輸送後のペリクル収納容器１０をクラス１０のクリーンルームに搬入し、内部の確認を行ったところ、蓋体１２に貼り付けられた粘着シート１２ｂは、密封状態を保っていることが確認された。
【００６０】
また、粘着シート１２ｂを剥離して、容器内部を目視観察したところ、ピン１３の突起部１３ｅは、ピン支持手段１４の切欠き部１４ｃに嵌合したままであり、ピン１３の先端部も、ペリクルフレーム２１の凹部２２に嵌合したままであることが確認された。
【００６１】
次に、先端ラバー付きのピンセット（図示しない）を用いて、操作部１３ｄによりピン１３を旋回して、後方へ約１０ｍｍ程度移動させた後に蓋体１２を取り外して、内部を確認したところ、ペリクル２０は、容器本体１１上に異常なく載置されていることが確認された。また、この状態のままで周囲を暗くして、集光ランプにて容器本体１１とペリクル２０を照射して表面を観察したところ、異物の付着は確認されなかった。
【００６２】
ペリクル２０は、ピン１３を引き抜いてペリクル２０を容器本体１１から解除するまでの作業の間、蓋体１２に覆われていたために、作業者の手から異物がペリクル２０に付着する心配がなく、この作業を極めて容易に行うことができた。また、蓋体１２の取り外し時には、開口部１２ａからの通気により、蓋体１２をスムーズに持ち上げることができた。
【００６３】
最後に、容器本体１１から解除されたペリクル２０を専用ハンドリング治具（図示しない）により暗室内に搬送し、集光ランプにより表面に付着した異物の検査を行ったところ、ペリクル２０に異物の付着は全く見られず、極めて清浄な状態を維持していることが確認された。
【比較例】
【００６４】
図１０は、比較のために製作したペリクル固定部３０を示す斜視図である。この比較例では、ペリクル固定部３０は、ピン３１とピン支持手段１４から構成されており、ペリクルフレームの凹部にピンを挿入して固定する方式は、上記実施例と同様であるが、図１０に示すように、ピン３１には、実施例のピン操作部１３ｄに相当する手段が設けられていない点で実施例と異なっている。なお、ピン支持手段１４は、実施例のものと同一であり、突起部３１ｅが設けられている。
【００６５】
比較例のピン３１は、ピン軸部３１ａ、ピン本体３１ｂ、突起部３１ｅから構成されており、ＰＰＳ樹脂を射出成型したピン本体３１ｂにＳＵＳ３０４ステンレス鋼で製作したピン軸部３１ａを圧入して構成されている。また、突起部３１ｅは、ピン３１を旋回させた際にピン支持手段１４の切欠き部１４ｃと嵌合するように構成されており、ピン３１を旋回固定した状態で蓋体１２を被せた際に、この突起部３１ｅは、蓋体１２の内面に当接する高さに設定されている。さらに、ピン本体３１ｂの端部には、操作用の六角穴３１ｆが設けられており、ピン軸部３１ａの先端の段差部３１ｃにはフッ素ゴムからなる弾性体１５が取り付けられている。
【００６６】
この比較例では、実施例と同様に、容器本体に実施例と同じ仕様のペリクル２０を収納した後、この容器本体に蓋体を嵌合してペリクル収納容器を組立てたが、この蓋体１２には、実施例の開口部１２ａと粘着シート１２ｂに相当するものは設けられていない。
【００６７】
次に、このように組み立てたペリクル収納容器について、全く同様の輸送試験を行うと共に、輸送後のペリクル収納容器をクラス１０のクリーンルームに搬入し、その後、容器本体から蓋体を取り外して、内部の確認を行ったところ、ペリクル２０は、ピン３１により容器本体上にしっかりと固定されていることが確認された。
【００６８】
また、作業者の手を良くエアブローしてクリーニングした後に、注意深く六角レンチをピン３１の後端にある六角穴３１ｆに挿入し、これを旋回させて嵌合を解除すると共に、ピン３１を後方に移動させて凹部２２から引き抜いた。そして、この状態のままで周囲を暗くし、集光ランプを照射して容器本体とペリクル２０の表面上を観察したところ、ペリクル２０の膜面は清浄であったが、容器本体上やペリクル固定部３０の周辺には、大きさが５〜２０μｍの異物が数個飛散しているのが確認された。
【００６９】
さらに、この比較例では、そのピン３１の解除作業が容器本体から蓋体を取り外した状態、すなわちペリクル膜面が露出した状態で非常に慎重に行われたために、実施例のように、蓋体が容器本体に嵌合したままの状態で行われた解除作業と比較して、その所要時間は、およそ１．５倍であった。
【００７０】
最後に、容器本体から解除されたペリクル２０を専用のハンドリング治具（図示しない）にて暗室内に搬送し、集光ランプにより表面に付着した異物の検査を行ったところ、ペリクル膜上に直径１０〜２０μｍ程度の異物１個の付着が確認された。この異物は、圧力２ｋｇｆ／ｃｍ２のエアブローにより容易に除去することができたが、容器本体上の観察ではペリクル２０の膜面は清浄であったことから、ペリクル２０を容器本体１１から持ち上げた際に容器本体上にあった異物が巻き上がってペリクル膜面に付着したものではないかと推察された。
【符号の説明】
【００７１】
１０  ペリクル収納容器
１１  容器本体
１２  蓋体
１２ａ  開口部
１２ｂ  粘着シート
１３  ピン
１３ａ  ピン軸部
１３ｂ  ピン本体
１３ｃ  段差部
１３ｄ  ピン操作部
１３ｅ  突起部
１４  ピン支持手段
１４ａ  ピン挿入部
１４ｂ  導入部
１４ｃ  切欠き部
１５  弾性体
２０  ペリクル
２１  ペリクルフレーム
２２  凹部
２３  マスク粘着層
２４  セパレータ
２５  ペリクル膜接着層
２６  ペリクル膜
３０  ペリクル固定部（比較例）
３１  ピン
３１ａ  ピン軸部
３１ｂ  ピン本体
３１ｃ  段差部
３１ｅ  突起部
３１ｆ  六角穴                    
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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