(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
研削ホイールで被研削物を研削する研削装置であって、
前記研削ホイールを取り付け可能なスピンドルを回転させるスピンドル駆動部と、
前記スピンドル駆動部を、前記被研削物に対して接離する方向に移動させる移動部と、
前記スピンドル駆動部の移動に伴う前記スピンドルの傾きの変化を測定する傾き測定部とを備え、
前記移動部は、前記スピンドル駆動部を移動可能に支持する支持部と、当該支持部で支持されたスピンドル駆動部を移動させる進退駆動部とを備え、
前記支持部は、前記スピンドル駆動部に設けられたガイドレールと、前記ガイドレールを摺動可能に保持する摺動保持部とを備えていることを特徴とする研削装置。
【請求項２】
請求項１に記載の研削装置において、
前記スピンドル駆動部には、平面状の被測定面を有する測定部材が取り付けられ、
前記傾き測定部は、前記被測定面の傾きの変化を前記スピンドルの傾きの変化として測定することを特徴とする研削装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の研削装置において、
前記傾き測定部での測定結果に基づいて、前記移動部が異常状態か否かを判断する状態判断部と、
前記状態判断部の判断結果を報知する報知部を備えていることを特徴とする研削装置。
【請求項４】
研削ホイールで被研削物を研削する研削方法であって、
前記研削ホイールを取り付け可能なスピンドルを回転させるスピンドル駆動部に設けられたガイドレールを当該ガイドレールを保持する摺動保持部に対して摺動させることによって、前記スピンドル駆動部を前記被研削物に対して接近させる工程と、
前記スピンドルを前記スピンドル駆動部で回転させて、前記研削ホイールで前記被研削物を研削する工程と、
前記ガイドレールを前記摺動保持部に対して摺動させることによって、前記スピンドル駆動部を、前記被研削物に対して離間させる工程と、
前記スピンドル駆動部の移動に伴う前記スピンドルの傾きの変化を測定する工程とを備えていることを特徴とする研削方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、研削装置および研削方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被研削物の研削に関する技術が知られている（例えば、特許文献１，２参照）。
特許文献１には、被研削物としての半導体ウェーハ（以下、ウェーハという）を研削（表面加工）するための装置が開示されている。
この装置では、ウェーハの両面に押し当てられるリング状定盤が設けられた回転軸の少なくとも一方を偏角可能に支持し、この偏角可能に支持された回転軸の傾き角を測定し、測定された傾き角からウェーハ形状を推定し、推定結果を目標形状と比較演算し、演算結果に応じて偏角可能に支持された回転軸を偏角させている。
【０００３】
特許文献２には、被研削物としてのウェーハを同時両面研削するための方法が開示されている。
この方法を実施するための装置では、向き合った同一線上のスピンドルに固定された２つの回転する研削といしの間において、ウェーハが機械加工される。ウェーハは、機械加工の間、軸方向に、実質的に拘束力のない形式で２つの静圧軸受によって案内され、かつ、半径方向に案内リングによって案内され、かつ、駆動装置によって回転される。そして、半導体ウェーハの研削の間、少なくとも２つのセンサによって、少なくとも１つの静圧軸受と研削といしとの間の半径方向距離が測定され、スピンドル位置の水平方向および垂直方向の修正位置が、前記距離から計算され、この計算に対応してスピンドル位置が修正される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−２５４３１２号公報
【特許文献２】特開２００９−９５９７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、一般的に、特許文献１，２に記載のような構成には、ウェーハに対して、移動側リング状定盤や研削ディスク（以下、移動側リング状定盤および研削ディスクをまとめて、研削ホイールと表現する場合がある）を接離する方向に移動させる移動部が設けられている。例えば、移動部が、研削ホイールを回転させる駆動部と一体的に設けられたガイドレールと、このガイドレールを摺動可能に保持する摺動保持部とを備えている場合、以下のような現象が発生し得る。
【０００６】
ウェーハに対する駆動部の移動が繰り返されると、例えば摺動保持部が摩耗し、ガイドレールの端部が摺動保持部に片当たりするおそれがある。この片当たりした状態で研削ホイールの接離が繰り返されると、摺動保持部の摩耗が促進し、ガイドレールのがたつきが大きくなるおそれがある。
また、ガイドレールのがたつきが大きくなると、ウェーハを研削した後、研削ホイールをウェーハから離間させる瞬間に、研削ホイールの傾きが大きく変化し、研削ホイールがウェーハに衝突してしまうおそれがある。
このため、摺動保持部の摩耗状態に応じて、摺動保持部を交換することで、ガイドレールのがたつきを最小限に抑制することが好ましい。
【０００７】
しかしながら、特許文献１に記載のような構成では、ウェーハを研削するときの研削ホイールの傾き角を測定するだけである。また、特許文献２に記載のような構成では、スピンドルの水平方向および垂直方向の修正位置を決定するだけである。このため、特許文献１，２に記載のような構成では、摺動保持部の摩耗状態、すなわち移動部の異常状態を把握することができない。
また、特許文献１，２に記載のような構成において異常を検知する際には、駆動部を移動部から取り外し、摺動保持部の摩耗状態を目視や測定により確認することが考えられる。しかし、駆動部の取り外し作業や、目視や測定による確認作業のときには、研削を行うことができないため、生産効率が落ちてしまう。さらに、生産効率を落とさないために、研削後のウェーハの品質に基づいて、異常状態を推定することも考えられる。しかし、品質不良のウェーハを確認しないと、異常状態を把握できないため、良品率が落ちてしまう。
【０００８】
本発明の目的は、生産効率および良品率を落とすことなく、移動部の異常状態を把握可能な研削装置および研削方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の研削装置は、研削ホイールで被研削物を研削する研削装置であって、前記研削ホイールを取り付け可能なスピンドルを回転させるスピンドル駆動部と、前記スピンドル駆動部を、前記被研削物に対して接離する方向に移動させる移動部と、前記スピンドル駆動部の移動に伴う前記スピンドルの傾きの変化を測定する傾き測定部とを備え、前記移動部は、前記スピンドル駆動部を移動可能に支持する支持部と、当該支持部で支持されたスピンドル駆動部を移動させる進退駆動部とを備え、前記支持部は、前記スピンドル駆動部に設けられたガイドレールと、前記ガイドレールを摺動可能に保持する摺動保持部とを備えていることを特徴とする。
本発明の研削方法は、研削ホイールで被研削物を研削する研削方法であって、前記研削ホイールを取り付け可能なスピンドルを回転させるスピンドル駆動部に設けられたガイドレールを当該ガイドレールを保持する摺動保持部に対して摺動させることによって、前記スピンドル駆動部を前記被研削物に対して接近させる工程と、前記スピンドルを前記スピンドル駆動部で回転させて、前記研削ホイールで前記被研削物を研削する工程と、前記ガイドレールを前記摺動保持部に対して摺動させることによって、前記スピンドル駆動部を、前記被研削物に対して離間させる工程と、前記スピンドル駆動部の移動に伴う前記スピンドルの傾きの変化を測定する工程とを備えていることを特徴とする。
【００１０】
本発明によれば、スピンドル駆動部の移動に伴うスピンドルの傾きの変化を測定するため、作業者は、この測定結果に基づいて、スピンドル駆動部を移動させる移動部の異常状態を把握することができる。また、スピンドルの傾きの変化を測定する際に、研削作業を停止したり、品質不良のウェーハを確認したりする必要がない。したがって、生産効率および良品率を落とすことなく、移動部の異常状態を把握可能な研削装置および研削方法を提供することができる。
なお、スピンドルの傾きは、スピンドルの軸が被研削物の被研削面に対して、垂直となる状態を基準とした傾きであってもよいし、傾斜する状態を基準とした傾きであってもよい。
【００１１】
本発明の研削装置では、前記スピンドル駆動部には、平面状の被測定面を有する測定部材が取り付けられ、前記傾き測定部は、前記被測定面の傾きの変化を前記スピンドルの傾きの変化として測定することが好ましい。
【００１２】
本発明によれば、従来から利用していた研削装置に測定部材を取り付けるだけの簡単な構成で、スピンドルの傾きの変化を適切に測定することができる。
【００１３】
本発明の研削装置では、前記傾き測定部での測定結果に基づいて、前記移動部が異常状態か否かを判断する状態判断部と、前記状態判断部の判断結果を報知する報知部を備えていることが好ましい。
【００１４】
本発明によれば、作業者は、報知部の報知により移動部の異常状態を容易に把握することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の一実施形態に係る両頭研削加工装置の概略構成を示す模式図であり、一部は図２のI−I線に沿った断面図である。
【図２】両頭研削加工装置を−Ｘ方向側から見た模式図である。
【図３】スピンドル駆動部の傾き角度の計算方法を示す説明図である。
【図４】ガイドレールにがたつきが発生している場合において、スピンドル駆動部がウェーハに対して接近するときの状態を示す模式図である。
【図５】ガイドレールにがたつきが発生している場合において、スピンドル駆動部がウェーハに対して離間するときの状態を示す模式図である。
【図６】ガイドレールにがたつきが発生している場合における、スピンドル駆動部の移動に伴うスピンドル駆動部（スピンドル）の傾き角度の変化を示すグラフである。
【図７】ねじ軸が曲がっている場合における、スピンドル駆動部の移動に伴うスピンドル駆動部（スピンドル）の傾き角度の変化を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。
なお、方向に関する用語は各図に示したＸＹＺ軸を基準として説明する場合がある。
【００１７】
［両頭研削加工装置の構成］
図１に示すように、研削装置としての両頭研削加工装置１は、研削ホイール１０で被研削物としてのウェーハＷを研削する。両頭研削加工装置１は、内部でウェーハＷを保持する図示しないキャリアリングと、キャリアリングで保持されたウェーハＷを挟んで設けられた一対の研削部２０と、研削ホイール１０内に研削液を供給する図示しない研削液供給部とを備えている。
【００１８】
研削部２０は、スピンドル駆動部３０と、支持部４０と、進退駆動部５０と、傾き測定部６０と、報知部７０と、状態判断部としての制御部８０とを備えている。支持部４０および進退駆動部５０は、本発明の移動部９０を構成している。
スピンドル駆動部３０は、スピンドル３１を回転させる。スピンドル駆動部３０は、スピンドル３１を有する回転用モータ３２と、この回転用モータ３２を収容するケース３３とを備えている。
スピンドル３１の先端には、研削ホイール１０を着脱自在に取り付け可能なホイール取付部３４が設けられている。
回転用モータ３２は、制御部８０に電気的に接続されている。
ケース３３は、図２にも示すように、長方形箱状に形成されている。ケース３３の上面（＋Ｚ方向側の面）３３Ａには、測定部材としての測定プレート３５が取り付けられている。測定プレート３５は、平面状の被測定面３５Ａが、上方向（＋Ｚ方向）を向き、かつ、スピンドル３１の中心軸Ｃに対して略平行になるように、上面３３Ａに取り付けられている。
【００１９】
支持部４０は、スピンドル駆動部３０を、ウェーハＷに対して接離する方向（Ｘ軸方向）に移動可能に支持する。支持部４０は、一対のガイドレール４１と、一対の摺動保持部４２とを備えている。
【００２０】
ガイドレール４１は、ケース３３における＋Ｙ方向側の第１側面３３Ｂ、および、−Ｙ方向側の第２側面３３Ｃの下部に、一体的に設けられている。ガイドレール４１は、ウェーハＷに対向する前面３３Ｄ側の端部から、当該前面３３Ｄと反対側の後面３３Ｅ側の端部にかけて、Ｘ軸方向に延びるように設けられている。
ガイドレール４１は、後面３３Ｅ側から見て台形状に形成されている。ガイドレール４１は、第１摺動面４１Ａと、第２摺動面４１Ｂと、第３摺動面４１Ｃとを備えている。第１摺動面４１Ａおよび第２摺動面４１Ｂは、台形の斜辺に対応する位置に設けられている。第３摺動面４１Ｃは、台形の互いに平行な一対の辺のうち、長辺に対応する位置に設けられている。
【００２１】
摺動保持部４２は、図示しないフレームに固定されている。摺動保持部４２は、ガイドレール４１を摺動可能に保持する凹部４２Ａを備えている。凹部４２Ａは、ガイドレール４１の外形状に対応する形状に形成されている。凹部４２Ａは、第１摺動面４１Ａに接する第１接触面４２Ｂと、第２摺動面４１Ｂに接する第２接触面４２Ｃと、第３摺動面４１Ｃに接する第３接触面４２Ｄとを備えている。
摺動保持部４２は、当該摺動保持部４２が摩耗してない状態では、第１，第２，第３接触面４２Ｂ，４２Ｃ，４２Ｄが、それぞれ第１，第２，第３摺動面４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｃに面接触することで、ガイドレール４１を摺動可能に保持するように構成されている。
【００２２】
進退駆動部５０は、Ｘ軸方向に延びるねじ軸５１を回転させる移動用モータ５２と、ねじ軸５１のねじ溝５１Ａに対向する図示しないねじ溝を内周面に有するナット５３と、ねじ軸５１のねじ溝５１Ａとナット５３のねじ溝とにより形成される螺旋状のボール転動空間に転動自在に設けられた図示しない複数のボールと、ねじ軸５１の一端側および他端側を支持する一対の軸受５４とを備えている。
移動用モータ５２は、制御部８０に電気的に接続されている。ナット５３は、ケース３３の下面（−Ｚ方向側の面）３３Ｆにおける後端側（ウェーハＷから遠い側）に設けられている。
進退駆動部５０は、制御部８０の制御に基づいて、移動用モータ５２がねじ軸５１を回転させることで、支持部４０で支持されたスピンドル駆動部３０を＋Ｘ方向および−Ｘ方向に移動させる。
【００２３】
傾き測定部６０は、図示しないフレームに固定されている。傾き測定部６０は、第１センサ６１と、第２センサ６２と、傾き計算部６３とを備えている。
第１，第２センサ６１，６２は、非接触式のセンサである。第１，第２センサ６１，６２は、傾き計算部６３に電気的に接続されている。第１，第２センサ６１，６２は、スピンドル駆動部３０の移動経路の上側において、Ｘ軸方向に並んで設けられている。第１センサ６１は、第２センサ６２よりもウェーハＷ側に設けられている。第１，第２センサ６１，６２は、スピンドル駆動部３０が図１に実線で示す待機位置に位置する場合、および、二点鎖線で示す研削位置に位置する場合において、当該第１，第２センサ６１，６２の下方に被測定面３５Ａが位置するように設けられている。第１，第２センサ６１，６２は、被測定面３５ＡまでのＺ軸方向の距離をそれぞれ検出し、この検出結果を傾き計算部６３に出力する。
【００２４】
傾き計算部６３は、制御部８０に電気的に接続されている。傾き計算部６３は、第１，第２センサ６１，６２からの検出結果に基づいて、被測定面３５Ａの傾きの変化を計算する。例えば、図３に示すような場合において、第１センサ６１から第２センサ６２までの最短距離をＬ１、第１センサ６１から被測定面３５ＡまでのＺ軸方向の距離をＤ１、第２センサ６２から被測定面３５ＡまでのＺ軸方向の距離をＤ２、基準面としてのＸＹ平面ＳＡに対する被測定面３５Ａの傾き角度をθとした場合、傾き計算部６３は、以下の式（１）に基づいて、傾き角度θを計算する。
θ＝Ｔａｎ−１（（Ｄ２−Ｄ１）／Ｌ１）  …  （１）
【００２５】
傾き計算部６３は、傾き角度θの計算結果を制御部８０に出力する。
ここで、上述したように、被測定面３５Ａは、スピンドル３１の中心軸Ｃに対して略平行になるように設けられている。このため、傾き計算部６３で計算された傾き角度θは、ＸＹ平面ＳＡに対するスピンドル３１の傾き角度、すなわちスピンドル３１がウェーハＷに対して垂直となる状態を基準とした傾き角度と略等しくなる。
なお、第１，第２センサ６１，６２のうち、少なくとも一方のセンサは、接触式のセンサであってもよい。
【００２６】
報知部７０は、制御部８０に電気的に接続されている。報知部７０は、制御部８０の制御に基づいて、各種情報を報知する。例えば、報知部７０は、傾き測定部６０で測定されたスピンドル３１の傾き角度の変化に基づく情報を報知する。報知部７０としては、音、文字、記号、色などの作業者が確認できる方法により、各種情報を報知する構成が例示できる。
【００２７】
制御部８０は、図示しない記憶手段に記憶されたプログラムおよびデータをＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）が処理することにより、各種制御を行う。
なお、研削部２０に、スピンドル３１の傾きを自由に調整するためのチルト機構を設けてもよい。
【００２８】
［研削方法］
次に、両頭研削加工装置１を用いた研削方法について説明する。
なお、被測定面３５ＡがＸＹ平面ＳＡと平行となったときに、すなわちスピンドル３１がウェーハＷに対して垂直になったときに、スピンドル３１の傾き角度θが０となる場合を例示して説明する。
【００２９】
まず、作業者は、図示しないキャリアリングでウェーハＷを保持させる。次に、制御部８０は、移動用モータ５２を制御し、研削ホイール１０が取り付けられた一対のスピンドル駆動部３０を、ウェーハＷに対して接近させる。また、制御部８０は、回転用モータ３２を制御して、スピンドル３１を回転させるとともに、図示しない研削液供給部を制御して、研削ホイール１０内に研削液を供給する。そして、制御部８０は、キャリアリングを駆動しウェーハＷを回転させるとともに、研削位置まで移動した一対の研削ホイール１０をウェーハＷの両面に押し当てることで、ウェーハＷを研削する。
制御部８０は、ウェーハＷの研削が終了すると、一対のスピンドル駆動部３０をウェーハＷに対して離間させる。スピンドル駆動部３０が待機位置まで移動したら、作業者やロボットなどにより、研削が終了したウェーハＷが新しいウェーハＷに交換されて、次の研削が行われる。
【００３０】
ここで、制御部８０は、スピンドル駆動部３０が移動している間、傾き計算部６３を制御し、第１センサ６１および第２センサ６２での検出結果に基づいて、スピンドル駆動部３０の移動に伴うスピンドル３１の傾き角度θの計算結果を、所定時間毎あるいは所定位置毎に取得する。例えば、制御部８０は、スピンドル駆動部３０が待機位置と研削位置とを往復移動している間、傾き角度θの計算結果を取得する。
ここで、制御部８０は、ウェーハＷを研削している間、傾き角度θの計算結果を取得しなくてもよい。また、制御部８０は、待機位置と研削位置との間の一部の区間をスピンドル駆動部３０が移動している場合のみ、傾き角度θの計算結果を取得してもよい。
【００３１】
そして、制御部８０は、傾き角度θの変化に基づいて、移動部９０が異常状態であるか否かを判断する。制御部８０は、異常状態であると判断した場合、この異常状態を傾き角度θの変化に基づく情報として、報知部７０を介して作業者に報知する。
【００３２】
ここで、ウェーハＷに対するスピンドル駆動部３０の往復移動が繰り返されると、ガイドレール４１の第１，第２摺動面４１Ａ，４１Ｂ、摺動保持部４２の第１，第２接触面４２Ｂ，４２Ｃのうち少なくとも１つが摩耗する。例えば、図４に示すように、摺動保持部４２の第１，第２接触面４２Ｂ，４２Ｃが摩耗した場合、この摩耗に伴い、ガイドレール４１のがたつきが発生する。
【００３３】
ガイドレール４１のがたつきが発生した状態で、図４に矢印Ａ１で示すように、スピンドル駆動部３０をウェーハＷに対して接近させると、スピンドル駆動部３０は、移動方向の前端が後端よりも上側に位置するように、すなわちスピンドル駆動部３０およびスピンドル３１の傾き角度θが０より大きくなるように傾いた状態で移動する。また、図５に矢印Ａ２で示すように、スピンドル駆動部３０をウェーハＷに対して離間させると、スピンドル駆動部３０は、傾き角度θが０より小さくなるように傾いた状態で移動する。
このようにスピンドル駆動部３０が移動すると、ガイドレール４１の第１摺動面４１Ａ側における移動方向の前端、および、第２摺動面４１Ｂ側における移動方向の後端が、それぞれ摺動保持部４２の第１接触面４２Ｂ、および、第２接触面４２Ｃに片当たりする。このため、第１，第２接触面４２Ｂ，４２Ｃの摩耗が促進し、ガイドレール４１のがたつきがさらに大きくなる。
また、スピンドル駆動部３０が図４および図５に示すように移動すると、スピンドル駆動部３０の移動方向が切り替わるときに、研削ホイール１０の傾きが大きく変化するため、研削ホイール１０の上側がウェーハＷに衝突し、ウェーハＷが傷ついたり破損したりするおそれがある。
【００３４】
制御部８０は、図６に示すように、スピンドル駆動部３０がウェーハＷに対して接近するときに、スピンドル３１の傾き角度θが０を超える第１閾値より大きくなり、かつ、ウェーハＷに対して離間するときに、傾き角度θが０未満の第２閾値より小さい場合、ガイドレール４１のがたつきが発生しているため、移動部９０の支持部４０が異常状態であると判断する。そして、制御部８０は、報知部７０を介して移動部９０が異常状態であることを報知する。
一方、制御部８０は、スピンドル駆動部３０がウェーハＷに対して接近および離間するときの傾き角度θが、第１閾値以下かつ第２閾値以上の場合、支持部４０が異常状態でないと判断する。なお、制御部８０は、支持部４０が異常状態でないと判断した場合、報知部７０を介して、支持部４０が異常状態でないことを報知してもよいし、報知しなくてもよい。
【００３５】
また、ねじ軸５１が曲がっている場合、傾き角度θが図７に示すように、一定の周期で振動するように変化する。この場合、ガイドレール４１の第１摺動面４１Ａ側における移動方向の前端、および、第２摺動面４１Ｂ側における移動方向の後端が、それぞれ摺動保持部４２の第１接触面４２Ｂ、および、第２接触面４２Ｃに強く押し付けられる。その結果、第１，第２接触面４２Ｂ，４２Ｃの摩耗が促進し、ガイドレール４１のがたつきが発生する。
制御部８０は、図７に示すように、傾き角度θの最大値が第１閾値より大きくかつ最小値が第２閾値より小さい場合に、移動部９０の進退駆動部５０が異常状態であると判断し、最大値が第１閾値以下かつ最小値が第２閾値以上の場合に、進退駆動部５０が異常状態でないと判断する。そして、制御部８０は、報知部７０を介して、進退駆動部５０に関する判断結果を報知する。なお、制御部８０は、支持部４０に関する判断結果と、進退駆動部５０に関する判断結果とを、同じように報知してもよいし、異なるように報知してもよい。
【００３６】
そして、作業者は、支持部４０が異常状態であることを把握すると、ガイドレール４１および摺動保持部４２のうち少なくとも一方を交換したり、メンテナンスしたりする。また、作業者は、進退駆動部５０が異常状態であることを把握すると、ねじ軸５１、ナット５３、ボール、軸受５４のうち少なくとも１つを交換したり、メンテナンスしたりする。
【００３７】
［実施形態の作用効果］
上述したような本実施形態では、以下のような作用効果を奏することができる。
（１）両頭研削加工装置１の制御部８０は、スピンドル駆動部３０の移動に伴うスピンドル３１の傾き角度の変化を測定する。このため、作業者は、制御部８０での測定結果に基づいて、移動部９０の支持部４０や進退駆動部５０の異常状態を把握することができる。また、スピンドル３１の傾き角度の変化を測定する際に、研削作業を停止したり、品質不良のウェーハＷを確認したりする必要がない。したがって、生産効率および良品率を落とすことなく、移動部９０の異常状態を把握可能な両頭研削加工装置１を提供することができる。
【００３８】
（２）スピンドル駆動部３０のケース３３に、被測定面３５Ａを有する測定プレート３５を取り付けている。そして、傾き測定部６０は、被測定面３５Ａの傾き角度θの変化をスピンドル３１の傾き角度θの変化として測定する。
このため、従来から利用していた両頭研削加工装置１に測定プレート３５を取り付けるだけの簡単な構成で、スピンドル３１の傾き角度の変化を適切に測定することができる。
【００３９】
（３）両頭研削加工装置１の制御部８０は、移動部９０の状態を、報知部７０を介して報知するため、作業者は移動部９０の異常状態を容易に把握することができる。
【００４０】
［他の実施形態］
なお、本発明は上記実施形態にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々の改良および設計の変更などが可能である。
【００４１】
例えば、スピンドル駆動部３０に測定プレート３５を取り付けずに、傾き測定部６０がケース３３の上面３３Ａの傾き角度の変化をスピンドル３１の傾き角度の変化として測定してもよい。また、図２に二点鎖線で示すように、ケース３３の第１側面３３Ｂに測定プレート３５を設けるとともに、当該測定プレート３５に対向する位置に第１，第２センサ６１，６２を設けてもよい。このような構成にすれば、スピンドル３１のＸＺ平面に対する傾き角度θを測定することができる。
【００４２】
傾き測定部６０に２個のセンサ（第１センサ６１および第２センサ６２）をＸ軸方向に並べて設けたが、３個以上のセンサをＸ軸方向に並べて設けてもよい。また、スピンドル駆動部３０の移動経路の上側に、被測定面３５Ａの傾き角度を測定可能な１個のセンサのみを設けてもよい。
移動部９０が異常状態か否かを制御部８０が判断せずに、制御部８０がスピンドル３１の傾き角度の変化を報知部７０に表示させ、この表示に基づいて作業者が移動部９０の異常状態を把握してもよい。
支持部４０としては、摺動保持部４２の第１，第２，第３接触面４２Ｂ，４２Ｃ，４２Ｄにボールやローラを配置し、このボールやローラを回転させることで、スピンドル駆動部３０を移動させてもよい。
スピンドル３１の傾き角度に応じて、制御部８０がチルト機構を駆動することで、スピンドル３１の傾きを調整するようにしてもよい。
【００４３】
また、ウェーハＷの両面を同時に研削する両頭研削加工を例示したが、ウェーハＷの片面のみの研削加工において本発明の研削装置を用いてもよい。また、被研削物としては、セラミックスや石材など、ウェーハＷ以外のものを対象としてもよい。
【符号の説明】
【００４４】
１…両頭研削加工装置（研削装置）
１０…研削ホイール
３０…スピンドル駆動部
３１…スピンドル
３５Ａ…被測定面
３５…測定ブロック（測定部材）
９０…移動部
６０…傾き測定部
７０…報知部
８０…制御部（状態判断部）
Ｗ…ウェーハ（被研削物）
【図１】
0006327007.tif 000002
【図２】
0006327007.tif 000003
【図３】
0006327007.tif 000004
【図４】
0006327007.tif 000005
【図５】
0006327007.tif 000006
【図６】
0006327007.tif 000007
【図７】
0006327007.tif 000008