(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材に対して、間欠的に塗工を行う塗工装置であって、
一方向に延びる吐出口が形成されており、前記吐出口に連通する塗工液用空間が内部に形成されているノズルと、
前記塗工液用空間に向けて塗工液を送る送液機構と、
前記送液機構から前記塗工液が送液されている前記塗工液用空間に連通する引込み空間を周期的に形成することによって、前記吐出口からの前記塗工液の吐出を間欠的に停止させるサックバック機構と、
を含み、
前記サックバック機構は、
ノズルの前記塗工液用空間に連通する孔に挿入されており、液密状態で摺動移動可能に構成された摺動部材と、
前記摺動部材を前記孔に沿って周期的に往復移動させるカム機構と、
を有し、
前記カム機構は、
所定の回転軸周りに回転可能に支持されている平面カムと、
前記平面カムを前記回転軸周りに回転させるモータと、
前記平面カムの外周面に接触するカム接触部材と、
前記カム接触部材が前記塗工液用空間に近づく方向であって、かつ前記回転軸周りに回転する前記平面カムの外周面に向けて前記カム接触部材を押すことで、前記カム接触部材を往復運動させる押圧機構と、
前記カム接触部材の往復運動を前記摺動部材に伝達する動力伝達部と、
を有し、
前記カム機構が前記摺動部材を前記塗工液用空間から離れる方向に移動させることによって、前記引込み空間が形成され
前記カム機構が、
前記摺動部材を前記孔における第１位置に向けて移動させることによって、前記吐出口からの前記塗工液の吐出が停止され、
前記摺動部材を前記孔における前記第１位置よりも前記塗工液用空間に近づく第２位置に向けて移動させることで、前記吐出口から前記塗工液が吐出される、塗工装置。
【請求項２】
請求項１に記載の塗工装置であって、
前記平面カムが、
前記引込み空間を形成するための第１半径の円弧状である第１外周部を有する第１扇状部と、
両端部が前記第１外周部に連続し、かつ前記第１半径よりも小さい第２半径である円弧状の第２外周部を有する第２扇状部と、
を有し、
前記カム機構は、
前記カム接触部材を前記第１外周部に接触させることによって、規定期間の間、前記摺動部材を前記第１位置に停止させ、
前記カム接触部材を前記第２外周部に接触させることによって、規定期間の間、前記摺動部材を前記第２位置に停止させる、塗工装置。
【請求項３】
請求項２に記載の塗工装置であって、
前記第１外周部と前記第２外周部との間を接続する２つの接続部分において、一方の接続部分の前記回転軸周りの角度が、他方の接続部分の前記回転軸周りの角度とは相異なる、塗工装置。
【請求項４】
基材に塗膜を形成する塗膜形成システムであって、
第１ローラから送り出された基材を第２ローラで巻取ることによって、所定の搬送方向に連続して基材を搬送する搬送機構と、
前記搬送機構によって搬送される前記基材の主面に対して、塗工液を吐出する請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の塗工装置と、
前記基材に塗工された前記塗工液を乾燥させる乾燥装置と、
を備える、塗膜形成システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、基材に対して塗工液を間欠的に塗工する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１〜４は、間欠塗工を行う装置を開示している。
【０００３】
特許文献１は、スリットダイにサックバック部位を設けることを開示している。このサックバック部位は、ピストンを駆動手段で移動させて塗料を吸引することによって、塗料の吐出を停止するものである。
【０００４】
また、特許文献２は、カムロブで塗工ヘッドの吐出口を周期的に開閉することによって、スラリ状の活物質の吐出および停止を行うことを開示している。
【０００５】
さらに、特許文献３は、ボイスコイルモータでバルブを高速に開閉することで、流体の吐出および停止を制御することを開示している。
【０００６】
また、特許文献４は、カムに連結されたピストンによって可撓板を周期的に変形することで、スリットダイ内の流路部の容積を変動させ、これによって塗布剤の間欠塗工を行うことを開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００６−５１４０７号公報
【特許文献２】特開２０１３−２２５２７号公報
【特許文献３】特開２０１２−４７２４５号公報
【特許文献４】特開２０００−３３３１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１の場合、スリットダイ内の圧力が高圧となるため、ピストンの駆動手段としてサーボモータを採用した際には、高推力のものが要求される。高推力を得る手段として減速機を取付けることが一般的であるが、この場合、推力を上げることはできても、高速に動作させることが困難となる。
【０００９】
また、特許文献２の場合、カムロブで吐出口を確実に塞ぐために、高精度な加工が必要となる。したがって、カムロブの加工精度が低い場合には、高精度な間欠塗工を行うことが困難となるおそれがある。
【００１０】
さらに、特許文献３の場合、複数のバルブを同期して制御する必要があるため、高速動作（例えば、ｍｓｅｃオーダーの動作制御）を実現する場合、制御遅延の発生や、応答性の問題等が生じるおそれがある。
【００１１】
また、特許文献４の場合、ポンプからの供給された分の塗布剤と、可撓板の変形によって引き込んだ分の塗布剤とで、塗布量が決定される。すると、可撓板の変形量が変わると、塗布量を均一に維持することが困難となるおそれがある。
【００１２】
そこで、本発明は、高速でかつ高精度な間欠塗工を行う技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記の課題を解決するため、第１の態様は、基材に対して、間欠的に塗工を行う塗工装置であって、一方向に延びる吐出口が形成されており、前記吐出口に連通する塗工液用空間が内部に形成されているノズルと、前記塗工液用空間に向けて塗工液を送る送液機構と、前記送液機構から前記塗工液が送液されている前記塗工液用空間に連通する引込み空間を周期的に形成することによって、前記吐出口からの前記塗工液の吐出を間欠的に停止させるサックバック機構とを含み、前記サックバック機構は、ノズルの前記塗工液用空間に連通する孔に挿入されており、液密状態で摺動移動可能に構成された摺動部材と、前記摺動部材を前記孔に沿って周期的に往復移動させるカム機構とを有し、前記カム機構は、所定の回転軸周りに回転可能に支持されている平面カムと、前記平面カムを前記回転軸周りに回転させるモータと、前記平面カムの外周面に接触するカム接触部材と、前記カム接触部材が前記塗工液用空間に近づく方向であって、かつ前記回転軸周りに回転する前記平面カムの外周面に向けて前記カム接触部材を押すことで、前記カム接触部材を往復運動させる押圧機構と、前記カム接触部材の往復運動を前記摺動部材に伝達する動力伝達部と、を有し前記カム機構が前記摺動部材を前記塗工液用空間から離れる方向に移動させることによって、前記引込み空間が形成され前記カム機構が、前記摺動部材を前記孔における第１位置に向けて移動させることによって、前記吐出口からの前記塗工液の吐出が停止され、前記摺動部材を前記孔における前記第１位置よりも前記塗工液用空間に近づく第２位置に向けて移動させることで、前記吐出口から前記塗工液が吐出される。
【００１５】
また、第２の態様は、第１の態様に係る塗工装置であって、前記平面カムが、前記引込み空間を形成するための第１半径の円弧状である第１外周部を有する第１扇状部と、両端部が前記第１外周部に連続し、かつ前記第１半径よりも小さい第２半径である円弧状の第２外周部を有する第２扇状部と、を有し、前記カム機構は、前記カム接触部材を前記第１外周部に接触させることによって、規定期間の間、前記摺動部材を前記第１位置に停止させ、前記カム接触部材を前記第２外周部に接触させることによって、規定期間の間、前記摺動部材を前記第２位置に停止させる。
【００１８】
また、第３の態様は、第２の態様に係る塗工装置であって、前記第１外周部と前記第２外周部との間を接続する２つの接続部分において、一方の接続部分の前記回転軸周りの角度が、他方の接続部分の前記回転軸周りの角度とは相異なる。
【００１９】
また、第４の態様は、基材に塗膜を形成する塗膜形成システムであって、第１ローラから送り出された基材を第２ローラで巻取ることによって、所定の搬送方向に連続して基材を搬送する搬送機構と、前記搬送機構によって搬送される前記基材の主面に対して、塗工液を吐出する第１から第３の態様のいずれか１態様に係る塗工装置と、前記基材に塗工された前記塗工液を乾燥させる乾燥装置とを備える。
【発明の効果】
【００２０】
第１から第３の態様に係る塗工装置によると、孔内を移動する部材をカム機構で周期的に移動させることによって、周期的に引込み空間を形成することができる。これによって、高速かつ正確なタイミングで、サックバックを行うことができる。したがって、高速で高精度な間欠塗工を行うことができる。
また、孔内における摺動部材の位置を、第１位置と第２位置との間で周期的に移動させることで、間欠的に塗工液の吐出を行うことができる。
また、回転する平面カムによってカム接触部材を周期運動させることで、その動力を摺動部材に伝達できる。これによって、高速な間欠塗工を実現できる。
【００２２】
また、第２の態様に係る塗工装置によると、カム接触部材が第１外周部及び第２外周部に交互に接触することによって、当該カム接触部材を往復運動させることができる。
また、規定期間の間、摺動部材を第１位置で停止させることで、当該規定期間に対応した期間の間、吐出口からの塗工液の吐出を停止できる。
また、規定期間の間、摺動部材を第２位置で停止させることで、サックバック機構によって塗工液の吐出量が変動することを低減できる。
【００２５】
また、第３の態様に係る塗工装置によると、第１外周部および第２外周部の間を接続する接続部分の形状を非対称とすることによって、摺動部材を、サックバック開始時および吐出開始時のそれぞれで、非対称的に移動させることができる。
【００２６】
また、第４の態様に係る塗膜形成システムによると、孔内を移動する部材をカム機構で周期的に移動させることで引込み空間を形成することによって、高速かつ正確なタイミングで、サックバックを行うことができる。したがって、高速な間欠塗工を正確に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】実施形態に係る塗工装置を示す概略断面図である。
【図２】実施形態に係るカム機構を示す概略正面図である。
【図３】実施形態に係るカム機構を示す概略側面図である。
【図４】実施形態に係る平面カムの概略正面図である。
【図５】実施形態の変形例に係る平面カムを示す概略正面図である。
【図６】実施形態に係る塗工装置を備えた塗膜形成システムを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、添付の図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。なお、この実施形態に記載されている構成要素はあくまでも例示であり、本発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。また、図面においては、理解容易のため、必要に応じて各部の寸法や数が誇張または簡略化して図示されている場合がある。
【００２９】
＜１．  実施形態＞
図１は、実施形態に係る塗工装置１０を示す概略断面図である。バックアップローラ１１に巻回された基材９の主面に向けて、塗工液を吐出する。塗工装置１０としては、例えば、リチウムイオン二次電池の電極製造において、電極材料である活性質を含む塗工液をアルミ箔等の基材に塗工するものとして構成される。塗工装置１０は、ノズル２と、送液機構３と、サックバック機構４とを備えている。
【００３０】
＜ノズル＞
ノズル２には、一方向に延びる吐出口２１が形成されている。ノズル２が、吐出口２１から基材９に向けて塗工液を吐出する場合、吐出口２１の延びる方向が基材９の幅方向に沿う状態で、吐出口２１が基材９に対向する。
【００３１】
ノズル２の内部には、吐出口２１に連通する塗工液用空間２３が形成されている。塗工液用空間２３は、塗工液タンク３１から送られてくる塗工液を貯める空間であって、幅広の吐出口２１から均一に塗工液を吐出するための緩衝空間として機能する。
【００３２】
＜送液機構３＞
送液機構３は、塗工液タンク３１と、供給配管３３と、送液ポンプ３５とを備えている。送液ポンプ３５は、塗工液タンク３１からノズル２の塗工液用空間２３までを接続する供給配管３３上に設けられている。送液ポンプ３５は、塗工液タンク３１の塗工液をノズル２の塗工液用空間２３に向けて、一定流量で送るように構成されている。供給配管３３のうち、送液ポンプ３５からノズル２の塗工液用空間２３までの部分に、供給バルブ３３１が設けられている。供給バルブ３３１は、塗工液をノズル２の塗工液用空間２３に供給する際に開放される。
【００３３】
供給配管３３のうち、送液ポンプ３５からノズル２までの間を接続する部分の途中には、第１排出配管３７が接続されている。当該第１排出配管３７は、塗工液タンク３１まで延びており、その途中に第１排出バルブ３７１が設けられている。第１排出バルブ３７１は、例えば、送液ポンプ３５によるノズル２への送液を停止した場合において、供給配管３３内の余剰の塗工液を塗工液タンク３１に戻すときに開放される。
【００３４】
また、塗工液用空間２３に連通するとともに、塗工液タンク３１まで延びる第２排出配管３９が設けられている。第２排出配管３９の途中には、第２排出バルブ３９１が設けられている。第２排出バルブ３９１は、例えば、送液ポンプ３５によるノズル２への送液を停止した場合において、塗工液用空間２３内に残留した塗工液を塗工液タンク３１に戻すときに開放される。
【００３５】
＜サックバック機構＞
サックバック機構４は、塗工液用空間２３に連通する引込み空間４０を周期的に形成する。塗工液用空間２３に貯められた塗工液が、周期的に形成される引込み空間４０に流れ込むことによって、吐出口からの塗工液の吐出が停止される。これによって、基材９の主面に、塗工液が塗工される塗工区間ＳＣ１と、塗工液が塗工されない非塗工区間ＳＣ２とが形成される。
【００３６】
サックバック機構４は、ノズル２の側部に固定された部分であって、塗工液用空間２３に連通する円筒状の孔４１を形成している。サックバック機構４は、当該孔４１に挿入された摺動部材４３と、当該摺動部材４３を孔４１に沿って周期的に往復移動させるカム機構４５とを備えている。
【００３７】
摺動部材４３は、例えば外周面が弾性部材で構成されており、孔４１内を液密状態で摺動移動できるように構成されている。カム機構４５は、モータ５３の回転運動を往復直線運動に変換する機構である。
【００３８】
図２は、実施形態に係るカム機構４５を示す概略正面図である。図３は、実施形態に係るカム機構４５を示す概略側面図である。カム機構４５は、平面カム５１、モータ５３、カム接触部材５５、押圧機構５７およびサックバックシリンジ５９を備えている。
【００３９】
平面カム５１は、回転軸５１１に軸支された略板状の部材であって、回転軸５１１からの距離が一定でない外周部を有している。モータ５３は、回転軸５１１を回転させることによって、平面カム５１を回転軸５１１周りに回転させる。
【００４０】
カム接触部材５５は、平面カム５１の外周面に接触する部材である。押圧機構５７は、カム接触部材５５、例えばエアシリンダ等で構成されており、カム接触部材５５を平面カム５１の外周面５１Ｓに向けて押圧するように構成されている。カム接触部材５５は、回転する平面カム５１の外周面５１Ｓに押し当てられることによって、矢印Ｄ１の押圧方向に沿って上下に往復運動する。
【００４１】
サックバックシリンジ５９は、カム接触部材５５と摺動部材４３とを接続する棒状部材である。サックバックシリンジ５９は、カム接触部材５５の往復運動を、摺動部材４３に伝達する動力伝達部の一例である。
【００４２】
なお、図示を省略するが、カム接触部材５５にバネを取付けることによって、平面カム５１から受ける反力を低減するようにしてもよい。
【００４３】
図４は、実施形態に係る平面カム５１の概略正面図である。平面カム５１は、弧状の第１外周部６１１を有する第１扇状部６１と、弧状の第２外周部６３１を有する第２扇状部６３とを有している。第１扇状部６１の第１外周部６１１の両端部（点Ｐ，Ｑ）は、それぞれ接続部分６５１，６５３を介して、第２扇状部６３の第２外周部６３１（点Ｒ，Ｓ）の両端部に接続している。
【００４４】
本実施形態に係る平面カム５１においては、第１扇状部６１の第１外周部６１１が半径Ｒ１の円弧を成しており、第２扇状部６３の第２外周部６３１が半径Ｒ２の円弧を成している。図４に示す平面カム５１は、点Ｐから点Ｑまでの円弧上の中心点と、点Ｒから点Ｓまでの円弧上の中心点とを結ぶ直線ＬＮ１によって、左右対称に形成されている。
【００４５】
上述したカム接触部材５５は、第１外周部６１１および第２外周部６３１に接触することで、塗工液用空間２３から離れる方向、及び、塗工液用空間に近づく方向（ここでは、上下方向）に変位する。例えば、平面カム５１が矢印Ｄ２の方向に回転することで、平面カム５１のカム接触部材５５との接触点が、第２外周部６３１の点Ｒから、第１外周部６１１の点Ｐに移動したとする。この場合、カム接触部材５５が二点鎖線で示す位置から実線で示す位置に、第１外周部６１１と第２外周部６３１の半径差ＳＴ１（＝Ｒ１−Ｒ２）の分だけ上昇移動する。すると、その半径差ＳＴ１分、サックバックシリンジ５９が摺動部材４３を塗工液用空間２３から離れる第１位置Ｌ１に向けて移動させる。これによって、孔４１内に引込み空間４０が形成される。塗工液用空間２３内の塗工液が、引込み空間４０に引き込まれることによって、吐出口２１からの塗工液の吐出が停止することとなる。
【００４６】
平面カム５１におけるカム接触部材５５との接触点が第１外周部６１１の点Ｐから点Ｑまで進む間は、図４に示すように、カム接触部材５５が実線で示す位置に維持され、摺動部材４３が第１位置Ｌ１に固定される。すなわち、摺動部材４３が第１位置Ｌ１に規定期間、停止される。その間は、吐出口２１からの塗工液の吐出が停止される。すなわち、矢印Ｄ２方向における、第１外周部６１１の点Ｐから点Ｑまでは、摺動部材４３の引込みを保持する引き保持区間に相当する。
【００４７】
平面カム５１におけるカム接触部材５５との接触点が、第１外周部６１１の点Ｑから第２外周部６３１の点Ｓに移動すると、カム接触部材５５が実線で示す位置から二点鎖線で示す位置に半径差ＳＴ１分だけ下降移動する。すると、その半径差ＳＴ１分、サックバックシリンジ５９が摺動部材４３を塗工液用空間２３に近づく第２位置Ｌ２に向けて移動させる。これによって、引込み空間４０の塗工液が塗工液用空間２３に押し出され、再び吐出口２１からの塗工液の吐出が開始される。
【００４８】
平面カム５１におけるカム接触部材５５との接触点が第２外周部６３１の点Ｓから点Ｒまで進む間は、図４に示すように、カム接触部材５５が二点鎖線で示す位置に維持され、摺動部材４３が第２位置Ｌ２に固定される。すなわち、摺動部材４３が第２位置に規定期間、停止される。このため、接触点が点Ｒに到達するまでは、吐出口２１からの塗工液の吐出が維持される。すなわち、矢印Ｄ２方向における、第２外周部６３１の点Ｓから点Ｒまでは、摺動部材４３の押込みを保持することで、塗工液の吐出を維持する吐出維持区間に相当する。
【００４９】
このように、摺動部材４３を第２位置Ｌ２に固定することによって、塗工液用空間２３の容積が変動することを抑制できる。このため、吐出口２１から吐出される塗工液の流量を、送液ポンプ３５からの送液量に応じた量とすることができる。したがって、サックバック機構４によって、吐出量が変動することを低減できるため、均一な間欠塗工を実現できる。
【００５０】
なお、吐出を開始するために、摺動部材４３を、第２位置Ｌ１から第１位置Ｌ１に移動させる場合に、それらの位置Ｌ１，Ｌ２間の１つまたは２以上の中間位置で、所定期間、停止するように、カム機構４５を構成してもよい。このように、摺動部材４３を、ステップ状に複数回に分けて移動させることで、塗工液用空間２３内の圧力変化が急峻に起こることを低減できる。これによって、摺動部材の移動によって、吐出口２１からの塗工液の吐出量が変動することを低減できる。
【００５１】
図４に示す平面カム５１は、直線ＬＮ１を対称軸として、左右対称に形成されている。このため、接続部分６５１，６５３は、左右対称に形成されている。したがって、カム接触部材５５が二点鎖線示す位置から実線で示す位置に移動する際の移動と、その逆に移動する際の移動とは、高さ位置毎の速度が双方一致しており、対称的な運動となっている。しかしながら、カム機構４５に平面カム５１とは異なる構造の平面カムを採用することも可能である。
【００５２】
図５は、実施形態の変形例に係る平面カム５１ａを示す概略正面図である。この平面カム５１ａでは、引込み空間４０を形成するための弧状の第１外周部６１１ａを有する第１扇状部６１ａと、第１外周部６１１ａの両端部に連続する弧状の第２外周部６３１ａを有する第２扇状部６３とで構成されている。第１扇状部６１ａおよび第２扇状部６３ａの半径は、一定ではない。ただし、回転軸５１１から第１外周部６１１ａの各部分までの距離のうち最も短い距離（最短距離Ｒ１ａ）は、回転軸５１１から第２外周部６３１ａの各部分までの距離のうち最も長い距離（最長距離Ｒ２ａ）よりも長くなっている。
【００５３】
平面カム５１ａを用いた場合、矢印Ｄ２方向における、第１外周部６１１ａの点Ｐａから点Ｑａまでが、引き保持区間に相当する。また、矢印Ｄ２方向における、第２外周部６３１ａの点Ｓａから点Ｒａまでが、吐出維持区間に相当する。
【００５４】
第１外周部６１１ａと、第２外周部６３１ａとの接続部分６５１ａ，６５３ａの形状は、非対称とされている。すなわち、点Ｐａおよび点Ｒａ間の半径差ＳＴ１ａと、点Ｑａおよび点Ｓａ間の半径差ＳＴ２ａとは、相異なっている。なお、塗工液の吐出を確実に停止させるためには、吐出維持区間から引き保持区間につながる接続部分６５１ａの半径差ＳＴ１ａを、引き保持区間から吐出維持区間につながる接続部分６５３ａの半径差ＳＴ２ａよりも大きくすることが好ましい。
【００５５】
また、平面カム５１ａにおいては、接続部分６５１ａにおける点Ｒａから点Ｐａまでの回転軸５１１周りの角度α、および、接続部分６５３ａにおける点Ｑａから点Ｓａまでの回転軸５１１周りの角度βについても、相異なっている。角度αまたは角度βが小さいほど、カム接触部材５５の高さ位置がより急激に変化することになり、摺動部材４３の移動も急峻となる。
【００５６】
摺動部材４３の移動が急峻であるほど、塗工液用空間２３内の圧力変化が急峻に起こることとなる。特に、塗工液の吐出が開始される部分、すなわち、引き保持区間の点Ｑａから吐出維持区間の点Ｓａまで接続部分６５３ａは、圧力変化が小さいことが望ましい。このため、角度βについては、できるだけ大きくし、半径差ＳＴ２ａについては、できるだけ小さいことが望ましい。
【００５７】
以上のように、本実施形態に塗工装置１０によると、カム機構４５を採用したサックバック機構４によって、塗工液用空間２３内の圧力を変化させて、塗工液を間欠的に塗布する。また、平面カム５１を回転させることで、摺動部材４３を上下に昇降させることで、引込み空間４０を正確なタイミングで周期的かつ高速に形成することができる。このため、サックバックを遅延なく行うことができるため、高速な間欠塗工を正確に行うことができる。また、塗工装置１０では、変形しない摺動部材４３を移動させるため、引込み空間４０の形成精度が高くすることができるため、間欠塗工を均一に行うことができる。特に、リチウムイオン電池等の電極部材を製造する場合には、塗工区間ＳＣ１および非塗工区間ＳＣ２の長さ、および、塗工区間ＳＣ１の塗工量について、高い精度が要求される。本塗工装置１０は、このような要求にも十分に対応することができる。
【００５８】
図６は、実施形態に係る塗工装置１０を備えた塗膜形成システム１００を示す図である。塗膜形成システム１００は、第１ローラ７１から送り出されたシート状の基材９を第２ローラ７２で巻取ることで、矢印Ｄ３に示す搬送方向に連続して基材９が搬送される。なお、第１ローラ７１から第２ローラ７２に至るまでの基材９の搬送経路上には、基材９を支持するためのバックアップローラ１１および補助ローラ７３等が適宜配されている。
【００５９】
塗工装置１０の間欠塗工によって、塗工区間ＳＣ１および非塗工区間ＳＣ２が交互に形成された基材９は、乾燥装置８に搬送される。乾燥装置８は、塗工区間ＳＣ１の塗工液を乾燥する。これによって、基材９に塗工区間ＳＣ１に塗膜が形成される。
【００６０】
図６に示す塗膜形成システム１００では、基材９の片側主面にのみ塗膜が形成されているが、さらに、反対側の主面に塗工する塗工装置１０および乾燥装置８を搬送経路上に設けることによって、基材９の両側主面に塗工が行われるようにしてもよい。
【００６１】
＜２．  変形例＞
以上、実施形態について説明してきたが、本発明は上記のようなものに限定されるものではなく、様々な変形が可能である。
【００６２】
例えば、上記実施形態では、孔４１がノズル２の内部に形成されており、引込み空間４０がノズル２に形成されるようにしている。しかしながら、孔４１は、塗工液用空間２３に連通しておれば、他の部位に設けられていてもよい。例えば、ノズル２外の供給配管３３に形成されていてもよい。
【００６３】
また、摺動部材４３を駆動するカム機構４５に用いられている平面カム５１は、板カムとして構成されている。しかしながら、例えば正面カム（溝カム）、反対カムを採用してもよい。また、平面カムの代わりに、立体カム（円筒カム、端面カム、円錐カム、球面カム、射板カム）を採用してもよい。
【００６４】
また、カム接触部材５５は、平端のものが採用されているが、突端または円端のものを採用することで、カム接触部材と平面カム間の摩擦を小さくしてもよい。
【００６５】
また、上記各実施形態および各変形例で説明した各構成は、相互に矛盾しない限り適宜組み合わせたり、省略したりすることができる。
【００６６】
この発明は詳細に説明されたが、上記の説明は、すべての局面において、例示であって、この発明がそれに限定されるものではない。例示されていない無数の変形例が、この発明の範囲から外れることなく想定され得るものと解される。
【符号の説明】
【００６７】
１００  塗膜形成システム
１０  塗工装置
２  ノズル
２１  吐出口
２３  塗工液用空間
３  送液機構
３１  塗工液タンク
３３  供給配管
３３１  供給バルブ
３５  送液ポンプ
３７  第１排出配管
３７１  第１排出バルブ
３９  第２排出配管
３９１  第２排出バルブ
４  サックバック機構
４０  引込み空間
４１  孔
４３  摺動部材
４５  カム機構
５１，５１ａ  平面カム
５１Ｓ  外周面
５１１  回転軸
５３  モータ
５５  カム接触部材
５７  押圧機構
５９  サックバックシリンジ
６１，６１ａ  第１扇状部
６１１，６１１ａ  第１外周部
６３，６３ａ  第２扇状部
６３１，６３１ａ  第２外周部
６５１，６５３  接続部分
６５１ａ，６５３ａ  接続部分
７１  第１ローラ
７２  第２ローラ
７３  補助ローラ
８  乾燥装置
９  基材
Ｌ１  第１位置
Ｌ２  第２位置
Ｒ１ａ  最短距離
Ｒ２ａ  最長距離
ＳＣ１  塗工区間
ＳＣ２  非塗工区間
【図１】
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【図２】
0006445369.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
0006445369.tif 000007