(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
シールケース及びこれを洞貫する回転軸の一方に固定された固定密封環と、その他方に当該固定密封環に押圧接触するべく附勢された状態で当該回転軸の軸線方向に移動可能に保持された可動密封環とを具備して、両密封環の対向端面である密封端面の相対回転摺接作用により被密封流体領域と非密封流体領域とを遮蔽シールするように構成すると共に、被密封流体領域においてシールケースに形成したフラッシング通路から両密封環の相対回転摺接部分に向けてフラッシング液を噴出させるフラッシング手段を設けてある端面接触形メカニカルシールにおいて、
各密封環の外周面であってフラッシング液が接触する部分及び密封端面に、当該密封環の構成材に比して熱伝導係数及び硬度が大きい材料からなるコーティング層を一連に形成してあることを特徴とする端面接触形メカニカルシール。
【請求項２】
前記コーティング層がダイヤモンドで構成されていることを特徴とする、請求項１に記載する端面接触形メカニカルシール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ポンプ、攪拌機、送風機、圧縮機、タービン等の回転機器に軸封手段として装備される端面接触形メカニカルシールであって、特に、密封環のシール部分を冷却するためのフラッシング手段を設けてある端面接触形メカニカルシールに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のこの種の端面接触形メカニカルシールとして、特許文献１の図１、特許文献２の図１又は特許文献３の図１〜図３に開示される如く、シールケース及びこれを洞貫する回転軸の何れか一方の部材に軸線方向に移動可能に保持された可動密封環と、シールケース及び回転軸の何れか他方の部材に固定された固定密封環と、可動密封環を固定密封環へと押圧接触させるべく附勢するスプリングとを具備して、両密封環の相対回転摺接作用により被密封流体領域と非密封流体領域とを遮蔽シールするように構成されており、両密封環の摺接熱等によるトラブルを回避するために、シールケースに形成したフラッシング通路の下流端からフラッシング液を両密封環の相対回転摺接部分（以上「シール部分」という）に向けて噴出させるようにしたフラッシング手段を設けたものが周知である。
【０００３】
【特許文献１】特開平６−１２９９３７号公報（図１）
【特許文献２】特開２００５−０４８８１８公報（図１）
【特許文献３】実開昭６３−１３２１７１号公報（図１〜図３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１の図１、特許文献２の図１又は特許文献３の図１及び図２に開示された端面接触形メカニカルシール（以下「第１従来メカニカルシール」という）では、フラッシング通路の下流端であるフラッシング液噴出孔がシールケース内周部の一箇所に開口されているにすぎないから、たとえフラッシング液噴出孔がシール部分に直対向する近接位置に開口されている場合（特許文献１の図１を参照）にも、一つのフラッシング液噴出孔からフラッシング液を噴出させるだけではシール部分を全周に亘って十分に冷却させることができない。したがって、シール部分の周方向において冷却ムラが生じて、密封端面に熱歪が生じる虞れがある。
【０００５】
一方、特許文献３の図３に開示された端面接触形メカニカルシール（以下「第２従来メカニカルシール」という）では、シールケースに形成するフラッシング通路を、回転軸と同心をなす環状の中空室とこれにフラッシング液を供給するフラッシング液供給通路と中空室に連通され且つシールケース内周部にその周方向に等間隔を隔てた位置で開口する複数のフラッシング液噴出孔とで構成し、これらのフラッシング液噴出孔からシール部分の全周に向けてフラッシング液が噴出されるように工夫されているから、第１従来メカニカルシールのように一つのフラッシング液噴出孔からフラッシング液を噴出させる場合に比してシール部分の冷却を効果的に行いうることが期待される。
【０００６】
ところで、冷却に必要なフラッシング液の流量が多くなる場合（例えば、高圧条件や高速回転条件の場合又は低沸点流体等を扱う場合）、第２従来メカニカルシールのように複数のフラッシング液噴出孔を設けたときにおいても、フラッシング液供給通路が中空室の周方向における一箇所に接続されていることから、つまりフラッシング液供給通路から中空室へのフラッシング液供給が中空室の一箇所において行われることから、このフラッシング液供給箇所に近いフラッシング液噴出孔と当該フラッシング液供給箇所から遠いフラッシング液噴出孔とでは、流路の長短によって圧力損失が同一になることはなく、結果としてフラッシング液の噴出流量、速度が異なり、シール部分を全周に亘って均一に冷却することができない。したがって、第１従来メカニカルシールと同様に、シール部分の周方向に冷却ムラが生じて、密封端面に熱歪が生じる虞れがある。
【０００７】
特に、シールケースに設けられた密封環については、これが回転しないことから、シール部分におけるフラッシング液が噴射される箇所が一定で変化しないため、フラッシング噴射孔が一箇所である場合は勿論、フラッシング噴射孔が複数箇所である場合にもシール部分の周方向に顕著な冷却温度ムラが生じる。
【０００８】
したがって、第１及び第２従来メカニカルシールの何れにあっても、シール部分の冷却がその全周に亘って均一且つ十分に行われず、密封環の摺接面（密封端面）に熱歪が生じて密封環の相対回転摺接が適正に行われず、メカニカルシールによるシール機能（以下「メカニカルシール機能」という）が良好に行われないといった問題がある。
【０００９】
また、一般に、被密封流体領域の流体（以下「被密封流体」という）の一部をフラッシング液として使用しているが、被密封流体が高温流体である場合には、被密封流体を冷却器により冷却した上でフラッシング通路に供給する必要があり、フラッシング液によるシール部分の冷却を十分に行うためには、冷却能力の高い冷却器を必要とし、イニシャルコストないしランニングコストが高いといった問題や回転機器の熱効率の損失が生じる。
【００１０】
本発明は、このような問題を生じることなく、両密封環の相対回転摺接部分をその全周に亘って均一且つ十分に冷却させることができ、長期に亘って良好なメカニカルシール機能を発揮させることができる端面接触形メカニカルシールを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、シールケース及びこれを洞貫する回転軸の一方に固定された固定密封環と、その他方に当該固定密封環に押圧接触するべく附勢された状態で当該回転軸の軸線方向に移動可能に保持された可動密封環とを具備して、両密封環の対向端面である密封端面の相対回転摺接作用により被密封流体領域と非密封流体領域とを遮蔽シールするように構成すると共に、シールケースに形成したフラッシング通路から両密封環の相対回転摺接部分に向けてフラッシング液を噴出させるフラッシング手段を設けてある端面接触形メカニカルシールにおいて、上記の目的を達成すべく、特に、各密封環の外周面であってフラッシング液が接触する部分及び密封端面に、当該密封環の構成材に比して熱伝導係数及び硬度が大きい材料からなるコーティング層を一連に形成しておくことを提案するものである。
【００１２】
かかる端面接触形メカニカルシールの好ましい実施の形態にあっては、前記コーティング層がダイヤモンドで構成される。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の端面接触形メカニカルシールにあっては、各密封環の密封端面に、当該密封環の構成材に比して硬度が大きい材料からなるコーティング層が形成されているから、両密封環の密封端面の相対回転摺接による摩耗や発熱がコーティング層が形成されていない当該密封端面が相対回転摺接する場合に比して可及的に抑制される。
【００１４】
しかも、各密封環の密封端面及びその外周面であってフラッシング液が接触する部分（以下「接液面」という）に、当該密封環の構成材に比して熱伝導係数の大きな材料からなるコーティング層（以下、密封端面に形成されたコーティング層を「密封端面コーティング層」といい、接液面に形成されたコーティング層を「接液面コーティング層」という）が一連に形成されているから、両密封端面で発生した熱は高熱伝導係数の密封端面コーティング層から高熱伝導係数の接液面コーティング層へと伝熱、分散され、上記した如く密封端面の相対回転摺接による発熱が抑制されることとも相俟って、密封端面の温度は更に低下することになる。一方、接液面コーティング層においては、フラッシング液の噴出箇所が接液面の周方向における一箇所であっても複数箇所であっても、また密封環が回転していると否とに拘わらず、フラッシング液による冷却熱が接液面の全周に行きわたることになり、接液面の全周に亘って均一に冷却されることになる。そして、この冷却熱は接液面コーティングからこれに連なる密封端面コーティング層へと伝播され、密封端面５a,６aが全面的に均一に冷却されることになる。したがって、密封端面コーティング層及び接液面コーティング層を形成していない密封環が相対回転摺接する第１及び第２従来メカニカルシールに比して、両密封環の相対回転摺接部分（シール部分）がその全周に亘ってフラッシング液により均一且つ良好に冷却されて、メカニカルシール機能に悪影響を及ぼすような熱歪の発生はこれが可及的に防止される。
【００１５】
したがって、本発明によれば、両密封環の相対回転摺接部分における摩耗、発熱及び熱歪の発生を可及的に防止してメカニカルシール機能を長期に亘って良好に発揮させることができ、第１及び第２従来メカニカルシールに比して耐久性、信頼性に優れた極めて実用的な端面接触形メカニカルシールを提供することができる。
【００１６】
しかも、本発明の端面接触形メカニカルシールにあっては、被密封流体の一部をフラッシング液として使用する場合にあって、被密封流体が高温流体であるときにも、上記した如く、高熱伝導係数のコーティング層の形成によりフラッシング液による冷却効率が高くなるために、フラッシング液として使用する被密封流体の冷却程度を可及的に抑えることができ、冷却能力の高い冷却器を必要とせず、イニシャルコストないしランニングコストを低減することができる。
【００１７】
かかる効果は、特に、コーティング層をダイヤモンドで構成しておくことによって顕著に発揮される。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】図１は本発明に係る端面接触形メカニカルシールの一例を示す断面図である。
【図２】図２は図１の要部を拡大して示す詳細断面図である。
【図３】図３は図２の要部を更に拡大して示す詳細断面図である。
【図４】図４は図１のIV−IV線に沿う断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明を実施するための形態を図面に基づいて具体的に説明する。
【００２０】
図１は本発明に係る端面接触形シールを一次シールとして使用したタンデムダブルシールの一例を示す断面図であり、図２は図１の要部を拡大して示す詳細断面図であり、図３は図２の要部を更に拡大して示す詳細断面図であり、図４は図１のIV−IV線に沿う断面図である。
【００２１】
図１に示す本発明に係る端面接触形メカニカルシールはタンデムダブルシールの一次シールとして使用されたものである。すなわち、このタンデムダブルシールは、図１に示す如く、液体を扱うポンプ等の回転機器に軸封手段として装備されるもので、回転機器の機内領域Ａと機外大気領域Ｂとを、タンデム配置した一次シールたる第１メカニカルシール１と二次シールたる第２メカニカルシール２とにより、両メカニカルシール１，２間に形成された封液領域Ｃを介してシールするように構成されている。
【００２２】
シールケース３には、図１に示す如く、封液領域Ｃに開口する封液供給通路３ａ及び封液排出通路３ｂが形成されていて、封液領域Ｃに適当圧の清水，オイル等の封液Ｓを循環供給するようになっている。なお、シールケース３には、第２メカニカルシール２の基端側において機外大気領域Ｂに開口するドレン通路３ｃが形成されていて、封液Ｓを排出，回収するようになっている。
【００２３】
機内領域Ａ側の一次シールたる第１メカニカルシール１は、図１に示す如く、当該回転機器の軸封部ハウジングに設けられた筒状のシールケース３とこれを洞貫する当該回転機器の回転軸４との間に配設された本発明に係る端面接触形メカニカルシールであり、シールケース３に設けた可動密封環５と、回転軸４に設けた固定密封環６と、シールケース３と可動密封環５との間に介装されたスプリング７と、フラッシング手段８とを具備して、両密封環５，６の対向端面たる密封端面５ａ，６ａの相対回転摺接作用により、その相対回転摺接部分たるシール部分５ａ，６ａの外周側領域である被密封流体領域Ａとその内周側領域である非密封流体領域Ｃとを遮蔽シールするように構成された端面接触形メカニカルシールである。なお、被密封流体領域Ａは機内領域であって、その流体（被密封流体）は液体である。また、非密封流体領域Ｃはメカニカルシール１，２間に形成される機内領域Ａと機外大気領域Ｂとの中間領域であって、後述する如く封液Ｓが循環供給される封液領域である。
【００２４】
可動密封環５は、図１及び図２に示す如く、円筒状の保持環５１の先端部に密封端面形成部５ｂを突出させた状態で焼き嵌め等により嵌合固定された硬質材（炭化ケイ素等のセラミックス、超硬合金（タングステンカーバイド）等）製の円環状体であり、保持環５１の基端部をＯリング５２を介してシールケース３の内周部に嵌合させることにより、シールケース３に回転軸４の軸線方向（以下、単に「軸線方向」という）に移動可能に保持されている。可動密封環５の先端面つまり密封端面形成部５ｂの先端面は、回転軸４の軸線（以下、単に「軸線」という）に直交する環状平滑面である密封端面５ａに構成されている。保持環５１の基端部には環状のスプリング受体５３が嵌合されており、図２に示す如く、こスプリング受体５３に軸線と平行をなして突設したドライブピン５４をシールケース３の内周部に嵌合固定した環状のスプリングリテーナ５５に挿通させることにより、保持環５１つまり可動密封環５を軸線方向における所定範囲での移動を許容させつつシールケース３に対する相対回転が阻止されるようになっている。
【００２５】
固定密封環６は、図１に示す如く、円筒状の保持環６１の先端部に密封端面形成部６ｂを突出させた状態で内嵌保持させた硬質材（炭化ケイ素等のセラミックス、超硬合金等）製の円環状体であり、保持環６１を回転軸４に挿通固定したスリーブ４１の先端部に嵌合固定させることにより、可動密封環５の機内領域Ａ側に配して回転軸４に固定されている。固定密封環６の先端面つまり密封端面形成部６ｂの先端面は、軸線に直交する環状平滑面である密封端面６ａに構成されている。固定密封環６ａの密封端面６ａは、内径を可動密封環５の密封端面５ａより小さく且つ外径を当該密封端面５ａより大きくしたもので、径方向において内外周部分が当該密封端面５ａより食み出している。なお、固定密封環６は、図１に示す如く、ドライブピン６２により保持環６１との相対回転を阻止されると共に保持環６１との間にＯリング６３及び環状の低摩擦シート（例えば、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）製シート）６４を介在させた状態で保持環６１に嵌合固定されている。
【００２６】
スプリング７は、図１に示す如く、スプリング受体５３とスプリングリテーナ５５との間に介装されたコイルスプリングであり、可動密封環５を固定密封環６へと押圧接触させるべく附勢している。
【００２７】
機外大気領域Ｂ側の二次シールたる第２メカニカルシール２は、図１に示す如く、シールケース３と回転軸４との間に配設された端面接触形メカニカルシールであり、シールケース３にＯリング２１を介して軸線方向移動可能且つ相対回転不能に保持された静止密封環２２と、その機内領域Ａ側に配して回転軸４のスリーブ４１に固定された回転密封環２３と、静止密封環２２とシールケース３との間に介装されて静止密封環２２を回転密封環２３へと押圧附勢するスプリング２４とを具備して、両密封環２２，２３の対向端面たる密封端面２２ａ，２３ａの相対回転摺接作用により、その相対回転摺接部分２２ａ，２３ａの外周側領域である被密封流体領域（封液領域）Ｃとその内周側領域である非密封流体領域（機外大気領域）Ｂとを遮蔽シールするように構成されたものである。
【００２８】
フラッシング手段８は、シールケース３から第１メカニカルシール１のシール部分５ａ，６ａ（両密封環５，６の相対回転摺接部分）に向けてフラッシング液Ｆを噴出させるものであり、図２に示す如く、シールケース３に形成したフラッシング通路８１と、被密封流体領域Ａの液体（被密封流体）の一部をフラッシング液Ｆとしてフラッシング通路８１に循環供給するフラッシング液供給装置８２とからなる。フラッシング通路８１は、図１及び図２に示す如く、回転軸４と同心をなして当該回転軸４の軸線方向に延びる円筒状の中空室８１ａと、中空室８１ａの一端部に連通接続されたフラッシング液供給通路８１ｂと、シールケース３の周方向に等間隔を隔てて配置されており、中空室８１ａの他端部からシールケース３の内周面におけるシール部分５ａ，６ａに直対向する部位へと貫通する複数のフラッシング液噴出孔８１ｃ…とからなる。フラッシング液噴出孔８１ｃ…は、図４に示す如く、両密封環５，６の密封端面形成部５ｂ，６ｂの周りに等間隔を隔てて配置されており、フラッシング液Ｆをシール部分５ａ，６ａの全周に向けて噴出させるようになっている。なお、フラッシング液供給装置８２には、被密封流体が高温流体である場合、必要に応じて、フラッシング通路８１に供給するフラッシング液Ｆを冷却する冷却器が付設される。
【００２９】
而して、第１メカニカルシール３にあっては、本発明に従って、各密封環５，６の外周面であってフラッシング液Ｆが接触する部分（接液面）及び密封端面５ａ，６ａに、当該密封環の構成材に比して熱伝導係数及び硬度が大きく且つ摩擦係数が小さな材料からなるコーティング層９ａ，９ｂ及び１０ａ，１０ｂを一連に形成してある。
【００３０】
すなわち、各密封環５，６の密封端面５ａ，６ａには、図１〜図３に示す如く、その全面にコーティング層（密封端面コーティング層）９ａ，１０ａが被覆形成されている。また、フラッシング液噴出孔８１ｃ…から噴出されたフラッシング液Ｆが接触する各密封環５，６の外周面部分である接液面は、保持環５１，６１から突出して被密封流体領域Ａに露出する密封端面形成部５ｂ，６ｂの外周面であり、この接液面には、図１〜図３に示す如く、全周に亘って密封端面コーティング層９ａ，１０ａに連なるコーティング層（接液面コーティング層）９ｂ，１０ｂが被覆形成されている。
【００３１】
而して、コーティング層９ａ，９ｂ及び１０ａ，１０ｂの構成材としては、可動密封環５及び固定密封環６の構成材が炭化ケイ素等のセラミックスや超硬合金等の如何なる密封環構成材であっても、これらより熱伝導係数及び硬度が大きく且つ摩擦係数が小さなダイヤモンドが使用されている。なお、ダイヤモンドコーティング層９ａ，９ｂ及び１０ａ，１０ｂの形成は、熱フィラメント化学蒸着法、マイクロ波プラズマ化学蒸着法、高周波プラズマ法、直流放電プラズマ法、アーク放電プラズマジェット法、燃焼炎法等のコーティング方法によって行われる。なお、以下の説明において、密封環とこれに被覆形成されたコーティング層とを区別する必要があるときは、前者を密封環母材という。
【００３２】
以上のように構成された本発明に係る端面接触形メカニカルシール（第１メカニカルシール）３にあっては、両密封環５，６の密封端面５ａ，６ａにその構成材（密封環母材の構成材）より硬度が大きく且つ摩擦係数が小さい材料の密封端面コーティング層９ａ，１０ａを形成してあることから、第１及び第２従来メカニカルシールのように可動密封環の密封端面と固定密封環の密封端面とが直接に相対回転する場合つまり密封環母材同士が直接に相対回転摺接する場合に比して、密封端面コーティング層９ａ，１０ａで被覆された両密封端面５ａ，６ａの相対回転摺接部分で発生する摩耗量や発熱量が少なくなる。特に、密封端面コーティング層９ａ，１０ａが上記した如くダイヤモンドで構成される場合には、ダイヤモンドが自然界に存在する固体物質で最も硬質のものであり、摩擦係数が炭化ケイ素等のセラミックスや超硬合金等のあらゆる密封環構成材に比して極めて低い（一般に、ダイヤモンドの摩擦係数は０．０３（μ）であり、あらゆる密封環構成材に比して遥かに低摩擦係数のＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）よりも更に１０％以上低い）ものであることから、密封端面コーティング層９ａ，１０ａで被覆された密封端面５ａ，６ａの相対回転摺接によって生じる摩耗や発熱は極めて少ない。
【００３３】
しかも、各密封環５，６の密封端面５ａ，６ａ及びフラッシング液噴出孔８１ｃ…から噴出するフラッシング液Ｆが接触する接液面の全周に、当該密封環５，６の構成材に比して熱伝導係数の大きな材料の密封端面コーティング層９ａ，１０ａ及び接液面コーティング層９ｂ，１０ｂが一連に形成されているから、両密封端面５ａ，６ａの相対回転摺接により発生した熱は高熱伝導係数の密封端面コーティング層９ａ，１０ａから高熱伝導係数の接液面コーティング層９ｂ，１０ｂへと伝熱、分散され、上記した如く密封端面５ａ，６ａの相対回転摺接による発熱が抑制されることとも相俟って、密封端面５ａ，６ａの温度は低下することになる。一方、接液面コーティング層９ｂ，１０ｂにおいては、上記した如くフラッシング液Ｆの噴出箇所（フラッシング液噴出孔）８１ｃ…が前記接液面の周方向における複数箇所である場合は勿論、たとえ当該噴出箇所が一箇所である場合にも、また当該噴出箇所が接液面の全周に亘って相対移動する回転軸４側の固定密封環６については勿論、接液面が当該噴出箇所に対して相対移動しないシールケース３側の可動密封環５についても、フラッシング液Ｆによる冷却熱が接液面コーティング層９ｂ，１０ｂの全周に行きわたることになり、接液面コーティング層９ｂ，１０ｂがその全周に亘って均一に冷却されることになる。そして、この冷却熱は接液面コーティング９ｂ，１０ｂからこれに連なる密封端面コーティング層９ａ，１０ａへと伝播され、密封端面５ａ，６ａが全面的に均一に冷却されることになる。したがって、密封端面コーティング層９ａ，１０ａ及び接液面コーティング層９ｂ，１０ｂを形成していない密封環が相対回転摺接する場合、つまり密封環母材同士が相対回転摺接する第１及び第２従来メカニカルシールに比して、両密封環５，６の相対回転摺接部分（シール部分）５ａ，６ａがその全周に亘ってフラッシング液Ｆにより均一且つ良好に冷却されて、メカニカルシール機能に悪影響を及ぼすような熱歪の発生はこれが可及的に防止される。
【００３４】
このような効果は、コーティング層９ａ，９ｂ及び１０ａ，１０ｂを上記した如くダイヤモンドで構成しておくことにより、ダイヤモンドが全ての固体物質で最も熱伝導率が高く、炭化ケイ素等のセラミックスや超硬合金等のあらゆる密封環構成材に比して熱伝導率が極めて高いものである（例えば、炭化ケイ素の熱伝導率が７０〜１２０Ｗ／ｍＫであるのに対し、ダイヤモンドの熱伝導率は１０００〜２０００Ｗ／ｍＫである）から、極めて顕著に発揮される。
【００３５】
したがって、両密封環５，６の相対回転摺接部分５ａ，６ａにおける摩耗、発熱及び熱歪の発生を可及的に防止してメカニカルシール機能を長期に亘って良好に発揮させることができ、第１及び第２従来メカニカルシールに比して耐久性、信頼性に優れた極めて実用的な端面接触形メカニカルシール（第１メカニカルシール３）を提供することができる。
【００３６】
しかも、図２に示す如く、被密封流体の一部をフラッシング液Ｆとして使用する場合にあって、被密封流体が高温流体であるときにも、上記した如く、高熱伝導係数のコーティング層９ａ，９ｂ及び１０ａ，１０ｂの形成によりフラッシング液Ｆによる冷却効率が高くなるために、フラッシング液Ｆとして使用する被密封流体の冷却程度を可及的に抑えることができ、冷却能力の高い冷却器を必要とせず、イニシャルコストないしランニングコストを低減することができる。
【００３７】
なお、本発明の構成は、上記した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の基本原理を逸脱しない範囲で適宜に改良、変更することができる。
【００３８】
例えば、本発明は上記第２メカニカルシール２を設けず、第１メカニカルシール３をシングルシールとして使用する場合にも適用することができ、また第１メカニカルシール３をシールケースに固定密封環を固定すると共に回転軸に可動密封環を軸線方向移動に保持させるように構成した場合や一方の密封環の密封端面を径方向面幅の微小なナイフエッジシールに構成した場合にも、適用することができる。また、両密封環の密封端面を内外径が同一とした端面接触形メカニカルシールやフラッシング液の接液面が密封環の外周面全面となるような端面接触形メカニカルシールにも適用することができ、更にはフラッシング噴出孔が一つである端面接触形メカニカルシールや被密封流体の一部をフラッシング液として使用しない端面接触形メカニカルシールにも適用することができ、本発明が適用される端面接触形メカニカルシールやフラッシング手段の構成並びに各密封環の構成材（密封環母材の構成材）は限定されず、任意である。
【符号の説明】
【００３９】
１      第１メカニカルシール（端面接触形メカニカルシール）
２      第２メカニカルシール
３      シールケース
３ａ    封液供給通路
３ｂ    封液排出通路
３ｃ    ドレン通路
４      回転軸
５      可動密封環
５ａ    可動密封環の密封端面
５ｂ    可動密封環の密封端面形成部
６      固定密封環
６ａ    密封端面
６ｂ    固定密封環の密封端面形成部
７      スプリング
８      フラッシング手段
９ａ    密封端面コーティング層
９ｂ    接液面コーティング層
１０ａ  密封端面コーティング層
１０ｂ  接液面コーティング層
２１    Ｏリング
２２    静止密封環
２２ａ  静止密封環の密封端面
２３    回転密封環
２３ａ  回転密封環の密封端面
２４    スプリング
４１    スリーブ
５１    保持環
５２    Ｏリング
５３    スプリング受体
５４    ドライブピン
５５    スプリングリテーナ
６１    保持環
６２    ドライブピン
６３    Ｏリング
６４    低摩擦シート
８１    フラッシング通路
８１ａ  中空室
８１ｂ  フラッシング液供給通路
８１ｃ  フラッシング液噴出孔
８２    フラッシング液供給装置
Ａ      機内領域（被密封流体領域）
Ｂ      機外大気領域
Ｃ      封液領域（非密封流体領域）
Ｆ      フラッシング液
Ｓ      封液
【図１】
0006422378.tif 000002
【図２】
0006422378.tif 000003
【図３】
0006422378.tif 000004
【図４】
0006422378.tif 000005