(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電体と、前記圧電体に設けられた電極と、有する圧電素子と、
前記電極に駆動電圧を印加する駆動回路と、
を備え、
前記駆動回路は、前記圧電素子の駆動電流値が、前記圧電素子が標準特性である場合において設定される駆動周波数に対応する駆動電流値である目標電流値に近づくように、前記圧電素子の駆動電流を制御量とし、前記駆動電圧を操作量とするフィードバック制御を実行する、圧電駆動装置。
【請求項２】
請求項１に記載の圧電駆動装置において、
前記駆動回路は、前記駆動電圧又は駆動電力が予め設定された上限値を超えないようにする上限値制御を実行する、圧電駆動装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の圧電駆動装置において、
前記圧電体の厚みは０．０５μｍ以上２０μｍ以下である、圧電駆動装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の圧電駆動装置において、
第１面及び第２面を有する振動板と、
前記圧電素子を含む圧電振動体と、を備え、
前記圧電振動体は、前記振動板の前記第１面及び第２面のうちの少なくとも一方の面に配置されている、圧電駆動装置。
【請求項５】
請求項４に記載の圧電駆動装置において、
前記圧電振動体は、前記振動板の前記第１面及び第２面に配置されている、圧電駆動装置。
【請求項６】
請求項４又は請求項５に記載の圧電駆動装置において、
前記振動板に設けられ、被駆動体と接触可能な突起部を備えている、圧電駆動装置。
【請求項７】
請求項１から請求項６までのいずれか一項に記載の圧電駆動装置において、
前記電極は、第１電極と、第２電極と、を含み、
前記圧電体は、前記第１電極と前記第２電極との間に位置する、圧電駆動装置。
【請求項８】
複数のリンク部と
前記複数のリンク部を接続する関節部と、
前記複数のリンク部を前記関節部で屈曲させる請求項１から請求項７までのいずれか一項に記載の圧電駆動装置と、
を備えるロボット。
【請求項９】
請求項８に記載のロボットの駆動方法であって
前記圧電駆動装置の駆動回路は、前記圧電素子の駆動電流値を制御量とし、前記駆動電圧を操作量とするフィードバック制御を実行することによって、前記複数のリンク部を前記関節部で回動させる、ロボットの駆動方法。
【請求項１０】
請求項１から請求項７までのいずれか一項に記載の圧電駆動装置の駆動方法であって、
前記圧電素子の駆動電流値を制御量とし、前記駆動電圧を操作量とするフィードバック制御を実行する、圧電駆動装置の駆動方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電駆動装置、及び、圧電駆動装置を備えるロボットなどの各種の装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、圧電素子を用いた圧電アクチュエーター（圧電駆動装置）が知られている（例えば特許文献１）。この圧電駆動装置の基本的な構成は、補強板の２つの面のそれぞれの上に、４つの圧電素子が２行２列に配置された構成であり、合計で８つの圧電素子が補強板の両側に設けられている。個々の圧電素子は、圧電体をそれぞれ２枚の電極で挟んだユニットであり、補強板は、圧電素子の一方の電極としても利用される。補強板の一端には、被駆動体としてのローターに接してローターを回転させるための突起部が設けられている。４つの圧電素子のうちの対角に配置された２つの圧電素子に交流電圧を印加すると、この２つの圧電素子が伸縮運動を行い、これに応じて補強板の突起部が往復運動又は楕円運動を行う。そして、この補強板の突起部の往復運動又は楕円運動に応じて、被駆動体としてのローターが所定の回転方向に回転する。また、交流電圧を印加する２つの圧電素子を他の２つの圧電素子に切り換えることによって、ローターを逆方向に回転させることができる。
【０００３】
従来は、印加する交流電圧の周波数（以下、「駆動周波数」とも呼ぶ）を、圧電駆動装置の機械的な共振周波数に近い周波数に設定して、圧電駆動装置の往復運動または楕円運動が効率良く行われるようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−３２０９７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、圧電駆動装置の機械的な共振周波数は、温度条件や負荷条件等の動作条件（外乱）によって変化するため、同じ交流電圧を印加しても、圧電駆動装置の往復運動または楕円運動の変位量が変化し、圧電駆動装置による機械的な駆動状態が変化することになる。このため、圧電駆動装置による機械的な駆動状態をほぼ同じ状態で維持することが困難であるという課題がある。なお、「機械的な駆動状態」とは、圧電駆動装置が被駆動体（例えば、ローター）を動作させる際における被駆動体の動作状態を意味する。
【０００６】
単純には、圧電駆動装置の機械的な共振周波数の変化をフィードバックして、駆動周波数を変化させることが考えられるが、圧電駆動装置の機械的な共振周波数の変化を検出することは困難である。このため、圧電駆動装置の機械的な共振周波数が変化しても、圧電駆動装置による機械的な駆動状態をほぼ同じ状態に維持することを可能とする技術が望まれていた。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
本発明の一形態の圧電駆動装置は；圧電体と、前記圧電体に設けられた電極と、有する圧電素子と；前記電極に駆動電圧を印加する駆動回路と；を備える。前記駆動回路は、前記圧電素子の駆動電流値が、前記圧電素子が標準特性である場合において設定される駆動周波数に対応する駆動電流値である目標電流値に近づくように、前記圧電素子の駆動電流を制御量とし、前記駆動電圧を操作量とするフィードバック制御を実行する。
この形態の圧電駆動装置によれば、圧電素子の駆動電流値が、圧電素子が標準特性である場合において設定される駆動周波数に対応する駆動電流値である目標電流値に近づくように、圧電素子の駆動電流を制御量とし、駆動電圧を操作量とするフィードバック制御を実行することができる。これにより、課題で説明したように圧電駆動装置の機械的な共振周波数が変化しても、圧電駆動装置による機械的な駆動状態が変化しないようにすることが可能となる。
その他、本発明は、以下の形態としても実現することが可能である。
【０００８】
（１）本発明の一形態によれば、圧電体と、前記圧電体に設けられた電極と、有する圧電素子と、前記電極に駆動電圧を印加する駆動回路と、を備える圧電駆動装置が提供される。前記駆動回路は、前記圧電素子の駆動電流値に基づいて、前記駆動電圧を制御する。
この圧電駆動装置によれば、圧電素子の駆動電流値に基づいて、駆動電圧を制御することにより、課題で説明したように圧電駆動装置の機械的な共振周波数が変化しても、圧電駆動装置による機械的な駆動状態が変化しないようにすることが可能となる。
【０００９】
（２）上記圧電駆動装置において、前記駆動回路は、前記圧電素子の駆動電流を制御量とし、前記駆動電圧を操作量とするフィードバック制御を実行するようにしてもよい。
この圧電駆動装置によれば、圧電素子の駆動電流値を制御量とし、駆動電圧を操作量とするフィードバック制御を実行することにより、課題で説明したように圧電駆動装置の機械的な共振周波数が変化しても、圧電駆動装置による機械的な駆動状態をほぼ同じ状態に維持することが可能となる。
【００１０】
（３）上記圧電駆動装置において、前記駆動回路は、前記駆動電圧又は駆動電力が予め設定された上限値を超えないようにする上限値制御を実行するものとしてもよい。
この構成によれば、圧電素子の損傷を抑制することが可能となる。
【００１１】
（４）上記圧電駆動装置において、前記圧電体の厚みは０．０５μｍ以上２０μｍ以下であるものとしてもよい。
この構成によれば、圧電体の厚みが２０μｍを超える場合に比べて、圧電駆動装置の機械的な共振周波数が変化した場合において、圧電駆動装置による機械的な駆動状態をほぼ同じ状態に維持する効果が顕著である。
【００１２】
（５）上記圧電駆動装置において、第１面及び第２面を有する振動板と、前記圧電素子を含む圧電振動体と、を備え、前記圧電振動体は、前記振動板の前記第１面及び第２面のうちの少なくとも一方の面に配置されているものとしてもよい。
この構成によれば、振動板と圧電振動体との振動によって力を発生することができる。
【００１３】
（６）上記圧電駆動装置において、前記圧電振動体は、前記振動板の前記第１面及び第２面に配置されているものとしてもよい。
この構成によれば、振動板の第１面と第２面の両面に圧電振動体が配置されているので、圧電駆動装置の駆動力を大きくできる。
【００１４】
（７）上記圧電駆動装置は、前記振動板に設けられ、被駆動体と接触可能な突起部を備えているものとしてもよい。
この構成によれば、突起部を用いて被駆動体を動作させることができる。
【００１５】
（８）上記圧電駆動装置において、前記電極は、第１電極と、第２電極と、を含み、前記圧電体は、前記第１電極と前記第２電極との間に位置するものとしてもよい。
【００１６】
本発明は、種々の形態で実現することが可能であり、例えば、圧電駆動装置の他、圧電駆動装置の駆動方法、圧電駆動装置の製造方法、圧電駆動装置を搭載するロボット、圧電駆動装置を搭載するロボットの駆動方法、送液ポンプ、投薬ポンプ等、様々な形態で実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】一実施形態の圧電駆動装置の概略構成を示す平面図及び断面図。
【図２】振動板の平面図。
【図３】圧電駆動装置と駆動回路の電気的接続状態を示す説明図。
【図４】圧電駆動装置の動作の例を示す説明図。
【図５】駆動回路の内部構成を示す説明図である。
【図６】駆動電圧発生回路における駆動電流のフィードバック制御について示す説明図である。
【図７】他の実施形態の圧電駆動装置の断面図。
【図８】他の実施形態の圧電駆動装置の平面図。
【図９】圧電駆動装置を利用したロボットの一例を示す説明図。
【図１０】ロボットの手首部分の説明図である。
【図１１】圧電駆動装置を利用した送液ポンプの一例を示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
Ａ．実施形態：
図１（Ａ）は、本発明の一実施形態における圧電駆動装置１０の概略構成を示す平面図であり、図１（Ｂ）はそのＢ−Ｂ断面図である。圧電駆動装置１０は、振動板２００と、振動板２００の両面（第１面２１１と第２面２１２）にそれぞれ配置された２つの圧電振動体１００とを備える。圧電振動体１００は、基板１２０と、基板１２０の上に形成された第１電極１３０と、第１電極１３０の上に形成された圧電体１４０と、圧電体１４０の上に形成された第２電極１５０と、を備えている。第１電極１３０と第２電極１５０は、圧電体１４０を挟持している。２つの圧電振動体１００は、振動板２００を中心として対称に配置されている。２つの圧電振動体１００は同じ構成を有しているので、以下では特に断らない限り、振動板２００の上側にある圧電振動体１００の構成を説明する。
【００１９】
圧電振動体１００の基板１２０は、第１電極１３０と圧電体１４０と第２電極１５０を成膜プロセスで形成するための基板として使用される。また、基板１２０は機械的な振動を行う振動板としての機能も有する。基板１２０は、例えば、Ｓｉ，Ａｌ２Ｏ３，ＺｒＯ２などで形成することができる。Ｓｉ製の基板１２０として、例えば半導体製造用のＳｉウェハーを利用することが可能である。この実施形態において、基板１２０の平面形状は長方形である。基板１２０の厚みは、例えば１０μｍ以上１００μｍ以下の範囲とすることが好ましい。基板１２０の厚みを１０μｍ以上とすれば、基板１２０上の成膜処理の際に基板１２０を比較的容易に取扱うことができる。また、基板１２０の厚みを１００μｍ以下とすれば、薄膜で形成された圧電体１４０の伸縮に応じて、基板１２０を容易に振動させることができる。
【００２０】
第１電極１３０は、基板１２０上に形成された１つの連続的な導電体層として形成されている。一方、第２電極１５０は、図１（Ａ）に示すように、５つの導電体層１５０ａ〜１５０ｅ（「第２電極１５０ａ〜１５０ｅ」とも呼ぶ）に区分されている。中央にある第２電極１５０ｅは、基板１２０の幅方向の中央において、基板１２０の長手方向のほぼ全体に亘る長方形形状に形成されている。他の４つの第２電極１５０ａ，１５０ｂ，１５０ｃ，１５０ｄは、同一の平面形状を有しており、基板１２０の四隅の位置に形成されている。図１の例では、第１電極１３０と第２電極１５０は、いずれも長方形の平面形状を有している。第１電極１３０や第２電極１５０は、例えばスパッタリングによって形成される薄膜である。第１電極１３０や第２電極１５０の材料としては、例えばＡｌ（アルミニウム）や、Ｎｉ（ニッケル）、Ａｕ（金）、Ｐｔ（白金）、Ｉｒ（イリジウム）などの導電性の高い任意の材料を利用可能である。なお、第１電極１３０を１つの連続的な導電体層とする代わりに、第２電極１５０ａ〜１５０ｅと実質的に同じ平面形状を有する５つの導電体層に区分してもよい。なお、第２電極１５０ａ〜１５０ｅの間の電気的接続のための配線（又は配線層及び絶縁層）と、第１電極１３０及び第２電極１５０ａ〜１５０ｅと駆動回路との間の電気的接続のための配線（又は配線層及び絶縁層）とは、図１では図示が省略されている。
【００２１】
圧電体１４０は、第２電極１５０ａ〜１５０ｅと実質的に同じ平面形状を有する５つの圧電体層として形成されている。この代わりに、圧電体１４０を、第１電極１３０と実質的に同じ平面形状を有する１つの連続的な圧電体層として形成してもよい。第１電極１３０と圧電体１４０と第２電極１５０ａ〜１５０ｅとの積層構造によって、５つの圧電素子１１０ａ〜１１０ｅ（図１（Ａ））が構成される。
【００２２】
圧電体１４０は、例えばゾル−ゲル法やスパッタリング法によって形成される薄膜である。圧電体１４０の材料としては、ＡＢＯ３型のペロブスカイト構造を採るセラミックスなど、圧電効果を示す任意の材料を利用可能である。ＡＢＯ３型のペロブスカイト構造を採るセラミックスとしては、例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、ニオブ酸カリウム、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、タングステン酸ナトリウム、酸化亜鉛、チタン酸バリウムストロンチウム（ＢＳＴ）、タンタル酸ストロンチウムビスマス（ＳＢＴ）、メタニオブ酸鉛、亜鉛ニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等を用いることが可能である。またセラミック以外の圧電効果を示す材料、例えばポリフッ化ビニリデン、水晶等を用いることも可能である。圧電体１４０の厚みは、例えば５０ｎｍ（０．０５μｍ）以上２０μｍ以下の範囲とすることが好ましい。この範囲の厚みを有する圧電体１４０の薄膜は、成膜プロセスを利用して容易に形成することができる。圧電体１４０の厚みを０．０５μｍ以上とすれば、圧電体１４０の伸縮に応じて十分に大きな力を発生することができる。また、圧電体１４０の厚みを２０μｍ以下とすれば、圧電駆動装置１０を十分に小型化することができる。
【００２３】
図２は、振動板２００の平面図である。振動板２００は、長方形形状の振動体部２１０と、振動体部２１０の左右の長辺からそれぞれ３本ずつ延びる接続部２２０とを有しており、また、左右の３本の接続部２２０にそれぞれ接続された２つの取付部２３０を有している。なお、図２では、図示の便宜上、振動体部２１０にハッチングを付している。取付部２３０は、ネジ２４０によって他の部材に圧電駆動装置１０を取り付けるために用いられる。振動板２００は、例えば、ステンレス鋼、アルミニウム、アルミニウム合金、チタン、チタン合金、銅、銅合金、鉄−ニッケル合金などの金属材料で形成することが可能である。
【００２４】
振動体部２１０の上面（第１面）及び下面（第２面）には、圧電振動体１００（図１）がそれぞれ接着剤を用いて接着される。振動体部２１０の長さＬと幅Ｗの比は、Ｌ：Ｗ＝約７：２とすることが好ましい。この比は、振動体部２１０がその平面に沿って左右に屈曲する超音波振動（後述）を行うために好ましい値である。振動体部２１０の長さＬは、例えば３．５ｍｍ以上３０ｍｍ以下の範囲とすることができ、幅Ｗは、例えば１ｍｍ以上８ｍｍ以下の範囲とすることができる。なお、振動体部２１０が超音波振動を行うために、長さＬは５０ｍｍ以下とすることが好ましい。振動体部２１０の厚み（振動板２００の厚み）は、例えば５０μｍ以上７００μｍ以下の範囲とすることができる。振動体部２１０の厚みを５０μｍ以上とすれば、圧電振動体１００を支持するために十分な剛性を有するものとなる。また、振動体部２１０の厚みを７００μｍ以下とすれば、圧電振動体１００の変形に応じて十分に大きな変形を発生することができる。
【００２５】
振動板２００の一方の短辺には、突起部２０（「接触部」又は「作用部」とも呼ぶ）が設けられている。突起部２０は、被駆動体と接触して、被駆動体に力を与えるための部材である。突起部２０は、セラミックス（例えばＡｌ２Ｏ３）などの耐久性がある材料で形成することが好ましい。
【００２６】
図３は、圧電駆動装置１０と駆動回路３００の電気的接続状態を示す説明図である。圧電駆動装置１０の５つの第２電極１５０ａ〜１５０ｅのうちで、対角にある一対の第２電極１５０ａ，１５０ｄが配線１５１を介して互いに電気的に接続され、他の対角の一対の第２電極１５０ｂ，１５０ｃも配線１５２を介して互いに電気的に接続されている。これらの配線１５１，１５２は成膜処理によって形成しても良く、或いは、ワイヤ状の配線によって実現してもよい。図３の右側にある３つの第２電極１５０ｂ，１５０ｅ，１５０ｄと、第１電極１３０（図１）は、配線３１０，３１２，３１４，３２０を介して駆動回路３００に電気的に接続されている。駆動回路３００は、一対の第２電極１５０ａ，１５０ｄと第１電極１３０との間に周期的に変化する交流電圧又は脈流電圧を印加することにより、圧電駆動装置１０を超音波振動させて、突起部２０に接触するローター（被駆動体）を所定の回転方向に回転させることが可能である。ここで、「脈流電圧」とは、交流電圧にＤＣオフセットを付加した電圧を意味し、その電圧（電界）の向きは、一方の電極から他方の電極に向かう一方向である。また、他の一対の第２電極１５０ｂ，１５０ｃと第１電極１３０との間に交流電圧又は脈流電圧を印加することにより、突起部２０に接触するローターを逆方向に回転させることが可能である。このような電圧の印加は、振動板２００の両面に設けられた２つの圧電振動体１００に対して同時に行われる。なお、図３に示した配線１５１，１５２，３１０，３１２，３１４，３２０を構成する配線（又は配線層及び絶縁層）は、図１では図示が省略されている。
【００２７】
図４は、圧電駆動装置１０の動作の例を示す説明図である。圧電駆動装置１０の突起部２０は、被駆動体としてのローター５０の外周に接触している。図４に示す例では、駆動回路３００（図３）は、一対の第２電極１５０ａ，１５０ｄと第１電極１３０との間に交流電圧又は脈流電圧を印加しており、圧電素子１１０ａ，１１０ｄは図４の矢印ｘの方向に伸縮する。これに応じて、圧電駆動装置１０の振動体部２１０が振動体部２１０の平面内で屈曲して蛇行形状（Ｓ字形状）に変形し、突起部２０の先端が矢印ｙの向きに往復運動するか、又は、楕円運動する。その結果、ローター５０は、その中心５１の周りに所定の方向ｚ（図４では時計回り方向）に回転する。図２で説明した振動板２００の３つの接続部２２０（図２）は、このような振動体部２１０の振動の節（ふし）の位置に設けられている。なお、駆動回路３００が、他の一対の第２電極１５０ｂ，１５０ｃと第１電極１３０との間に交流電圧又は脈流電圧を印加する場合には、ローター５０は逆方向に回転する。なお、中央の第２電極１５０ｅに、一対の第２電極１５０ａ，１５０ｄ（又は他の一対の第２電極１５０ｂ，１５０ｃ）と同じ電圧を印加すれば、圧電駆動装置１０が長手方向に伸縮するので、突起部２０からローター５０に与える力をより大きくすることが可能である。なお、圧電駆動装置１０（又は圧電振動体１００）のこのような動作については、上記先行技術文献１（特開２００４−３２０９７９号公報、又は、対応する米国特許第７２２４１０２号）に記載されており、その開示内容は参照により組み込まれる。
【００２８】
図５は、駆動回路３００の内部構成を示す説明図である。ここでは、圧電駆動装置１０のうちの一対の圧電素子１１０ａ，１１０ｄに交流電圧又は脈流電圧を印加する回路構成を示す説明図である。なお、図示及び説明は省略するが、圧電駆動装置１０のうちの他の一対の圧電素子１１０ｂ，１１０ｃや中央の圧電素子１１０ｅに交流電圧又は脈流電圧を印加する回路構成も、同様である。
【００２９】
駆動回路３００は、駆動電圧発生回路３４０と、モニター回路３５０と、を含んでいる。駆動電圧発生回路３４０は、接地電位以上の一定レベルの直流電圧に対してプラス側とマイナス側に変動する交流電圧または脈流電圧を駆動電圧として発生する。発生した駆動電圧は、配線３１４，３２０を介して、圧電素子１１０ａ，１１０ｄに印加される。この駆動電圧の周波数（以下、「駆動周波数」とも呼ぶ）は、圧電駆動装置１０の機械的な共振周波数に近い周波数に設定されることが好ましい。なお、この駆動周波数については後述する。モニター回路３５０は、圧電素子１１０ａ，１１０ｄに流れる駆動電流Ｉｐの電流値を検出する電流モニター３５２と、駆動電圧発生回路３４０から第２電極１５０ａ，１５０ｄと第１電極１３０の間に印加される駆動電圧Ｖｐの電圧値を検出する電圧モニター３５４と、を含んでいる。検出した駆動電流値Ｉｐおよび駆動電圧値Ｖｐは、駆動電圧発生回路３４０に供給される。駆動電圧発生回路３４０は、以下で説明するように、駆動電流値Ｉｐを制御量とし、駆動電圧Ｖｐを操作量とするフィードバック制御を実行する。また、駆動電圧発生回路３４０は、以下で説明するように、駆動電圧値Ｖｐに基づいて、発生する駆動電圧Ｖｐを制限することが好ましい。
【００３０】
図６は、駆動電圧発生回路３４０における駆動電流のフィードバック制御について示す説明図である。図６は、駆動電圧Ｖｐの周波数（駆動周波数）ｆｐと一対の圧電素子１１０ａ，１１０ｄのインピーダンスＺ及び駆動電流Ｉｐとの関係を概念的に示すグラフである。
【００３１】
圧電駆動装置１０は、その長手方向の機械的な振動（「縦一次振動」と呼ぶ）の共振周波数ｆｒ１及びその短手方向の蛇行形状の機械的な振動（「屈曲二次振動」と呼ぶ）の共振周波数ｆｒ２を有している。なお、以下では、縦一次振動の共振周波数を単に「縦共振周波数」とも呼び、屈曲二次振動の共振周波数を単に「横共振周波数」あるいは「屈曲共振周波数」とも呼ぶ。また、縦共振周波数および屈曲共振周波数を特に区別しない場合やまとめて示す場合には、単に「共振周波数」とも呼ぶ。
【００３２】
図６の実線は、標準的な使用環境における特性を示している。一般に、一対の圧電素子１１０ａ，１１０ｄのインピーダンスＺは、上記機械的な共振周波数ｆｒ１，ｆｒ２で極小の値をとり、共振周波数ｆｒ１，ｆｒ２からずれた周波数ほどインピーダンスＺの値は大きくなる特性（図６の上段）を有している。また駆動電流Ｉｐの値は、このインピーダンスＺの変化に応じて変化する。すなわち、インピーダンスＺの値が小さくなれば駆動電流Ｉｐの値は大きくなり、インピーダンスＺの値が大きくなれば駆動電流Ｉｐの値は小さくなる特性を有している（図６の下段）。
【００３３】
そこで、通常、圧電駆動装置１０の駆動周波数ｆｐを機械的な共振周波数ｆｒ１，ｆｒ２と同じ周波数、あるいは、その近くの周波数に設定することにより、圧電駆動装置１０の駆動変位量（機械的な変位量）が大きくなるようにしている。ただし、上記したように、機械的な共振周波数には、縦共振周波数ｆｒ１及び屈曲共振振周波数ｆｒ２の２つが存在しているため、それらの間の周波数ｆｔｓを駆動周波数ｆｐとして設定し、縦一次振動および屈曲二次振動の双方の駆動特性が効率良く得られるようにしている。なお、駆動電圧Ｖｐは、初期状態においては、あらかじめ定めた設定電圧値Ｖｔｓに設定されるものとする。もちろん、駆動周波数ｆｐをいずれか一方の共振周波数に設定するようにしてもよい。なお、以下では、縦共振周波数ｆｒ１と屈曲共振振周波数ｆｒ２の間の周波数ｆｔｓを、「設定駆動周波数ｆｔｓ」とも呼ぶ。
【００３４】
ここで、圧電駆動装置１０の機械的な共振周波数ｆｒ１，ｆｒ２は、従来技術において説明したように、温度条件や負荷条件等の種々の動作条件（外乱）によって変化し、これに応じて、インピーダンス特性及び駆動電流特性が変化する。特に、本実施形態の圧電駆動装置１０（図１）のように、圧電体１４０の厚みが、１００μｍ未満（特に、０．０５μｍ以上２０μｍ以下）の薄膜構造の圧電素子を用いた圧電駆動装置の場合には、機械的な共振周波数は上記動作条件の変化による影響を受け易く変化し易くなる。
【００３５】
図６の一点鎖線は、標準的な使用環境に比べて、共振周波数がより高い周波数にずれた場合のインピーダンス特性および駆動電流力特性を示している。この場合の設定駆動周波数ｆｔｓに対応するインピーダンスＺは、標準特性におけるインピーダンス値Ｚｔｓよりも高いインピーダンス値Ｚ１に変化し、これに応じて、駆動電流Ｉｐは、標準特性における設定駆動電流値Ｉｔｓよりも低い電流値Ｉ１に変化する。このため、標準特性の状態、すなわち、共振周波数がずれていない状態に比べて、圧電駆動装置１０の駆動変位量（機械的な変位量）が減少することになる。
【００３６】
そこで、駆動電圧発生回路３４０は、設定駆動電流値Ｉｔｓを目標駆動電流値とし、電流モニター３５２により検出された駆動電流値Ｉｐが目標駆動電流値Ｉｔｓに近付くようにフィードバック制御して駆動電圧Ｖｐを発生する。例えば、図６に示すように、駆動電流値Ｉｐが目標駆動電流値Ｉｔｓよりも低い電流値Ｉ１の場合には、駆動電流値Ｉｐが目標駆動電流値Ｉｔｓに近付くように駆動電圧Ｖｐの電圧値を高くする。逆に、駆動電流値Ｉｐが目標駆動電流値Ｉｔｓよりも大きい電流値の場合には、駆動電流値Ｉｐが目標駆動電流値Ｉｔｓに近付くように駆動電圧Ｖｐの電圧値を低くする。
【００３７】
但し、駆動電圧Ｖｐの電圧値が過度に大きくなると、圧電素子１１０ａ，１１０ｄを損傷させる可能性がある。そこで、駆動電圧発生回路３４０は、駆動電圧値Ｖｐが、予め定めた上限値Ｖｕを超えないように制御することが好ましい。
【００３８】
また、駆動電圧Ｖｐの電圧値が過度に小さくなると、圧電素子１１０ａ，１１０ｄが十分な大きさで変位しない可能性がある。そこで、駆動電圧発生回路３４０は、駆動電圧値Ｖｐが、圧電素子１１０が駆動可能な電圧の下限値Ｖｄを下回らないように制御することが好ましい。但し、駆動電圧Ｖｐの上限値制御と下限値制御の両方又は一方を省略してもよい。
【００３９】
以上のように、本実施形態の圧電駆動装置１０の駆動回路３００は、圧電駆動装置１０の機械的な共振周波数が変化しても、圧電駆動装置１０による機械的な変位量が一定となるように駆動することができる。これにより、圧電駆動装置１０が被駆動体（例えば、ローター）を駆動する際における被駆動体の駆動状態を、圧電駆動装置１０の機械的な共振周波数が変化しても、ほぼ同じ状態に維持することが可能である。
【００４０】
Ｂ．圧電駆動装置の他の実施形態：
図７は、本発明の他の実施形態としての圧電駆動装置１０ａの断面図であり、第１実施形態の図１（Ｂ）に対応する図である。この圧電駆動装置１０ａでは、圧電振動体１００が、図１（Ｂ）とは上下を逆にした状態で振動板２００に配置されている。すなわち、ここでは、第２電極１５０が振動板２００に近く、基板１２０が振動板２００から最も遠くなるように配置されている。なお、図７においても、図１（Ｂ）と同様に、第２電極１５０ａ〜１５０ｅの間の電気的接続のための配線（又は配線層及び絶縁層）と、第１電極１３０及び第２電極１５０ａ〜１５０ｅと駆動回路との間の電気的接続のための配線（又は配線層及び絶縁層）とは、図示が省略されている。この圧電駆動装置１０ａも、第１実施形態と同様な効果を達成することができる。
【００４１】
図８（Ａ）は、本発明の更に他の実施形態としての圧電駆動装置１０ｂの平面図であり、第１実施形態の図１（Ａ）に対応する図である。図８（Ａ）〜（Ｃ）では、図示の便宜上、振動板２００の接続部２２０や取付部２３０は図示が省略されている。図８（Ａ）の圧電駆動装置１０ｂでは、一対の第２電極１５０ｂ，１５０ｃが省略されている。この圧電駆動装置１０ｂも、図４に示すような１つの方向ｚにローター５０を回転させることが可能である。なお、図８（Ａ）の３つの第２電極１５０ａ，１５０ｅ，１５０ｄには同じ電圧が印加されるので、これらの３つの第２電極１５０ａ，１５０ｅ，１５０ｄを、連続する１つの電極層として形成してもよい。
【００４２】
図８（Ｂ）は、本発明の更に他の実施形態としての圧電駆動装置１０ｃの平面図である。この圧電駆動装置１０ｃでは、図１（Ａ）の中央の第２電極１５０ｅが省略されており、他の４つの第２電極１５０ａ，１５０ｂ，１５０ｃ，１５０ｄが図１（Ａ）よりも大きな面積に形成されている。この圧電駆動装置１０ｃも、第１実施形態とほぼ同様な効果を達成することができる。
【００４３】
図８（Ｃ）は、本発明の更に他の実施形態としての圧電駆動装置１０ｄの平面図である。この圧電駆動装置１０ｄでは、図１（Ａ）の４つの第２電極１５０ａ，１５０ｂ，１５０ｃ，１５０ｄが省略されており、１つの第２電極１５０ｅが大きな面積で形成されている。この圧電駆動装置１０ｄは、長手方向に伸縮するだけであるが、突起部２０から被駆動体（図示省略）に対して大きな力を与えることが可能である。
【００４４】
図１及び図８（Ａ）〜（Ｃ）から理解できるように、圧電振動体１００の第２電極１５０としては、少なくとも１つの電極層を設けることができる。但し、図１及び図８（Ａ），（Ｂ）に示す実施形態のように、長方形の圧電振動体１００の対角の位置に第２電極１５０を設けるようにすれば、圧電振動体１００及び振動板２００を、その平面内で屈曲する蛇行形状に変形させることが可能である点で好ましい。
【００４５】
Ｃ．圧電駆動装置を用いた装置の実施形態：
上述した圧電駆動装置１０は、共振を利用することで被駆動体に対して大きな力を与えることができるものであり、各種の装置に適用可能である。圧電駆動装置１０は、例えば、ロボット（電子部品搬送装置（ＩＣハンドラー）も含む）、投薬用ポンプ、時計のカレンダー送り装置、印刷装置（例えば紙送り機構。ただし、ヘッドに利用される圧電駆動装置では、振動板を共振させないので、ヘッドには適用不可である。）等の各種の機器における駆動装置として用いることが出来る。以下、代表的な実施の形態について説明する。
【００４６】
図９は、上述の圧電駆動装置１０を利用したロボット２０５０の一例を示す説明図である。ロボット２０５０は、複数本のリンク部２０１２（「リンク部材」とも呼ぶ）と、それらリンク部２０１２の間を回動又は屈曲可能な状態で接続する複数の関節部２０２０とを備えたアーム２０１０（「腕部」とも呼ぶ）を有している。それぞれの関節部２０２０には、上述した圧電駆動装置１０が内蔵されており、圧電駆動装置１０を用いて関節部２０２０を任意の角度だけ回動又は屈曲させることが可能である。アーム２０１０の先端には、ロボットハンド２０００が接続されている。ロボットハンド２０００は、一対の把持部２００３を備えている。ロボットハンド２０００にも圧電駆動装置１０が内蔵されており、圧電駆動装置１０を用いて把持部２００３を開閉して物を把持することが可能である。また、ロボットハンド２０００とアーム２０１０との間にも圧電駆動装置１０が設けられており、圧電駆動装置１０を用いてロボットハンド２０００をアーム２０１０に対して回転させることも可能である。
【００４７】
図１０は、図９に示したロボット２０５０の手首部分の説明図である。手首の関節部２０２０は、手首回動部２０２２を挟持しており、手首回動部２０２２に手首のリンク部２０１２が、手首回動部２０２２の中心軸Ｏ周りに回動可能に取り付けられている。手首回動部２０２２は、圧電駆動装置１０を備えており、圧電駆動装置１０は、手首のリンク部２０１２及びロボットハンド２０００を中心軸Ｏ周りに回動させる。ロボットハンド２０００には、複数本の把持部２００３が立設されている。把持部２００３の基端部はロボットハンド２０００内で移動可能となっており、この把持部２００３の根元の部分に圧電駆動装置１０が搭載されている。このため、圧電駆動装置１０を動作させることで、把持部２００３を移動させて対象物を把持することができる。
【００４８】
なお、ロボットとしては、単腕のロボットに限らず、腕の数が２以上の多腕ロボットにも圧電駆動装置１０を適用可能である。ここで、手首の関節部２０２０やロボットハンド２０００の内部には、圧電駆動装置１０の他に、力覚センサーやジャイロセンサー等の各種装置に電力を供給する電力線や、信号を伝達する信号線等が含まれ、非常に多くの配線が必要になる。従って、関節部２０２０やロボットハンド２０００の内部に配線を配置することは非常に困難だった。しかしながら、上述した実施形態の圧電駆動装置１０は、通常の電動モーターや、従来の圧電駆動装置よりも駆動電流を小さくできるので、関節部２０２０（特に、アーム２０１０の先端の関節部）やロボットハンド２０００のような小さな空間でも配線を配置することが可能になる。
【００４９】
図１１は、上述の圧電駆動装置１０を利用した送液ポンプ２２００の一例を示す説明図である。送液ポンプ２２００は、ケース２２３０内に、リザーバー２２１１と、チューブ２２１２と、圧電駆動装置１０と、ローター２２２２と、減速伝達機構２２２３と、カム２２０２と、複数のフィンガー２２１３、２２１４、２２１５、２２１６、２２１７、２２１８、２２１９と、が設けられている。リザーバー２２１１は、輸送対象である液体を収容するための収容部である。チューブ２２１２は、リザーバー２２１１から送り出される液体を輸送するための管である。圧電駆動装置１０の突起部２０は、ローター２２２２の側面に押し付けた状態で設けられており、圧電駆動装置１０がローター２２２２を回転駆動する。ローター２２２２の回転力は減速伝達機構２２２３を介してカム２２０２に伝達される。フィンガー２２１３から２２１９はチューブ２２１２を閉塞させるための部材である。カム２２０２が回転すると、カム２２０２の突起部２２０２Ａによってフィンガー２２１３から２２１９が順番に放射方向外側に押される。フィンガー２２１３から２２１９は、輸送方向上流側（リザーバー２２１１側）から順にチューブ２２１２を閉塞する。これにより、チューブ２２１２内の液体が順に下流側に輸送される。こうすれば、極く僅かな量を精度良く送液可能で、しかも小型な送液ポンプ２２００を実現することができる。なお、各部材の配置は図示されたものには限られない。また、フィンガーなどの部材を備えず、ローター２２２２に設けられたボールなどがチューブ２２１２を閉塞する構成であってもよい。上記のような送液ポンプ２２００は、インシュリンなどの薬液を人体に投与する投薬装置などに活用できる。ここで、上述した実施形態の圧電駆動装置１０を用いることにより、従来の圧電駆動装置よりも駆動電流が小さくなるので、投薬装置の消費電力を抑制することができる。従って、投薬装置を電池駆動する場合は、特に有効である。
【００５０】
Ｄ．変形例：
なお、この発明は上記の実施例や実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能であり、例えば次のような変形も可能である。
【００５１】
（１）変形例１：
上記実施形態では、基板１２０の上に第１電極１３０と圧電体１４０と第２電極１５０とが形成されていたが、基板１２０を省略して、振動板２００の上に第１電極１３０と圧電体１４０と第２電極１５０とを形成するようにしてもよい。
【００５２】
（２）変形例２：
上記実施形態では、振動板２００の両面にそれぞれ１つの圧電振動体１００を設けていたが、圧電振動体１００の一方を省略することも可能である。但し、振動板２００の両面にそれぞれ圧電振動体１００を設けるようにすれば、振動板２００をその平面内で屈曲した蛇行形状に変形させることがより容易である点で好ましい。
【００５３】
（３）変形例３：
上記実施形態では、駆動電圧値Ｖｐが、予め定めた上限値Ｖｕを超えないように制御する構成を例に説明したが、駆動電流Ｉｐと駆動電圧Ｖｐの積で表される駆動電力が、予め定めた上限値を超えないように制御するようにしてもよい。
【００５４】
（４）変形例４：
上記実施形態では、成膜プロセスで形成した薄膜状の圧電体１４０を用いた圧電駆動装置１０を例に説明したが、いわゆるバルク状の圧電体を用いた圧電駆動装置を駆動する駆動回路においても適用可能である。いわゆるバルク状の圧電体を用いた圧電駆動装置において、圧電駆動装置の機械的な共振周波数が変化しても、圧電駆動装置による機械的な変位量が一定となるように駆動することができ、圧電駆動装置の機械的な共振周波数が変化しても、圧電駆動装置による機械的な駆動状態を同じ状態で容易に維持することが可能である。なお、「バルク状の圧電体」とは、厚さが１００μｍ以上の圧電体を意味する。ただし、上記実施形態の薄膜状の圧電体１４０を用いた圧電駆動装置１０の方が機械的な共振周波数の変化の影響が大きいので、実施形態のバルク状の薄膜状の圧電体１４０を用いた圧電駆動装置１０の方が、効果が大きい。
【００５５】
以上、いくつかの実施例に基づいて本発明の実施の形態について説明してきたが、上記した発明の実施の形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨並びに特許請求の範囲を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明にはその等価物が含まれることはもちろんである。
【符号の説明】
【００５６】
１０…圧電駆動装置
２０…突起部
５０…ローター
５１…中心
１００…圧電振動体
１１０…圧電素子
１２０…基板
１３０…第１電極
１４０…圧電体
１５０…第２電極
１５１，１５２…配線
２００…振動板
２１１…第１面
２１２…第２面
２１０…振動体部
２２０…接続部
２３０…取付部
２４０…ネジ
３００…駆動回路
３１０，３１２，３１４，３２０…配線
３４０…駆動電圧発生回路
３５０…モニター回路
３５２…電流モニター
３５４…電圧モニター
２０００…ロボットハンド
２００３…把持部
２０１０…アーム
２０１２…リンク部
２０２０…関節部
２０２２…手首回動部
２０５０…ロボット
２２００…送液ポンプ
２２０２…カム
２２０２Ａ…突起部
２２１１…リザーバー
２２１２…チューブ
２２１３…フィンガー
２２２２…ローター
２２２３…減速伝達機構
２２３０…ケース
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0006442913.tif 000009
【図９】
0006442913.tif 000010
【図１０】
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【図１１】
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