(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
計測部分と診断部分から構成される、設備や構造物の状態監視や診断のための無線式診断装置システムであって、前記計測部分においては、物理量を計測するためのセンサと、前記計測部分に電力を供給する光電池と、前記センサで計測した信号および前記光電池の電圧信号を無線で発信することが可能で、無線信号を受信できる無線受・発信部と、前記光電池に電力を発生させる投光器と、前記センサにテスト信号を与える負荷発生素子と、を備え、前記診断部分においては、前記計測部分に無線で指令を送信し、前記計測部分からの信号を受信する無線受・発信部と、前記計測部分と前記診断部分の動作を制御する制御器と、前記計測部分からの信号に基づき、前記計測部分に提供すべき電力が十分であるか否か、および前記センサに異常があるか否かを診断し、対象物の状態を監視・診断する状態診断部と、を備えることを特徴とする設備や構造物の状態監視・診断を行うための無線式診断装置システム。
【請求項２】
請求項１に記載の無線式診断装置システムにおいて、前記投光器を一つ以上用いて前記光電池に光を照射することにより前記計測部分に電力を発生・供給する投光発電方法。
【請求項３】
請求項２に記載の投光発電方法において、前記光電池の電圧信号を無線通信により前記診断部分に送信し、前記光電池の発電電圧を規定値に達しているか否かを検査・診断することにより前記計測部分に十分な電力の供給を確認・確保することを特徴とする光発電検査方法。
【請求項４】
請求項１に記載の無線式診断装置システムを用いた対象物の状態監視・診断において、請求項２に記載の投光発電方法により前記計測部分に電力を発生・供給する工程と、請求項３に記載の光発電検査方法により前記光電池の発電量を検査・診断し、前記投光器を用いて前記光電池に光を照射することにより十分な電力を発生させる工程と、前記負荷発生素子から発生した負荷信号に基づき、前記センサの良否を検査・診断する工程と、前記光電池の発電電圧が規定値に達したこと、および前記センサに異常がないことが確認できた後、前記計測部分と前記診断部分との相互通信により対象物の状態監視・診断を行う工程と、を有することを特徴とする対象物の状態監視・診断方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は設備や施設などの状態監視・診断の分野において、人間が容易に届かない高所や人間にとって危険な場所などにおける診断信号を計測し、対象設備や施設の状態を効率良く監視・診断することに関するものである。
【背景技術】
【０００２】  従来は設備や施設（特に大型設備・構造物）の状態監視・診断を行う場合、物理量（振動や歪など）を計測すべき箇所が多く、数多くのセンサと配線（電源・信号線）が必要であるが、ワイヤレス（無線）センサ・システムによる計測システムも多く提案されている。しかし、数多くのセンサやアンプなどにどのような手法で電源を長期間かつ確実に供給するかは大きな課題になっている。また、長期間設置されているセンサ自体に不備や故障が発生する可能性もある。たとえば、センサを固定する部分の緩み、センサを接着する接着剤の劣化、センサ自身の劣化による故障などの不具合が生じる。これらの不具合を検知しなければ、測定した信号は不備になり、誤診断をもたらすことになる。【０００３】  例えば、特許文献１には、振動発電素子と、振動センサと、無線発信手段を備えた振動センサシステムが開示されている。特許文献１のセンサシステムは、測定対象物の振動エネルギーを電力に変え、その振動をセンサで検知し、振動データを無線送信するものである。また例えば、特許文献２には、圧力変動を検知するセンサを支持基板上に載置し、その上部に電子部品素子とアンテナパターンを設けたセンサモジュールが開示されている。特許文献２のセンサモジュールによれば、圧力センサモジュールの検知信号を小さい伝送損失でアンテナから送信するものである。特許文献３は機械エネルギーを交流電力に変換する発電素子と、交流電力を直流電力に変換する変換回路とを含めて構成するもので、発電素子は、振動エネルギーを交流電力に変換する振動発電素子を用いるものである。特許文献３は構造物の振動を利用して発電し、蓄積した電気エネルギーをセンサ等に利用する。特許文献５，６は無線センサー群によるデータ収集法に関するものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−２９２３１９号公報
【特許文献２】特開２００５−２０８０５５号公報
【特許文献３】特開２０１３−１２２７１８号公報
【特許文献４】特許第３９８４１８５号
【特許文献５】特許第５１４５５０１号
【特許文献６】特許公開２００８−２５５５７０
【０００５】  しかしながら、特許文献１〜４に開示されたセンサ・システムは共に、対象物の振動という機械的なエネルギーを利用して発電し、センサ・システムに提供する方法であるが、振動レベルの小さい箇所においては発電に必要な機械的なエネルギーがセンサの電力供給に十分でない。また、一般に構造物や設備の振動レベルが変動するから、振動による発電で得られた電力は安定でない。電力を蓄積する装置も提案されているが、コストの増加や電力を蓄積する装置の劣化・故障も問題になる。特許文献５，６には多くの無線センサで構成される計測システムにどのように安定的な電力を提供するかを示されていない。【０００６】  また、特許文献１〜６の無線センサに異常が発生した場合、簡便に確認できる手段が示されていない。もし、センサに異常（センサを固定する部分の緩み、接続線の不良、センサを接着する接着剤の劣化、センサ自身の劣化、アンプの故障など）が発生すれば、測定した信号は不備であり、誤った診断結果をもたらすことになる。【０００７】  さらに、光電池を利用する場合、自然光が弱い箇所（トンネルの内部や橋梁の下など）や夜間において光電池の発電力が不足になる難点もある。【０００８】  センサの自己診断に関しては、文献７にはオフラインで負荷発生器を用い、加速度センサに直接負荷を加え、センサが正常に反応するかどうか診断する発明が開示されている。文献８にはオフラインで、加速度センサが発生すると同じ疑似信号を回路に入力し、正常に作動するかどうか診断する発明が開示されている。文献９には、加速度センサからのデータをデータベース化し、基本周波数からのズレ度合から加速度センサの異常を判断する発明が開示されている。文献１０にはオフラインで、圧電素子が発する超音波発をＡＥセンサに受信させ、この受信レベルに対応させて出力するＡＥセンサの出力レベルから異常を診断する発明が開示されている。【０００９】  これら先行技術は文献９を除き何れもオフラインでの診断であり、本願発明が対象とする橋梁やトンネルなど、オフライン化の困難な対象物の診断には適用困難である。また、文献９の診断方法はデータの真偽をチェックするのみで、これだけでセンサ異常を診断することはできない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【特許文献７】実開平７−８７７６
【特許文献８】特開２０１０−１６０１１２
【特許文献９】特開２００９−２５１８２２
【特許文献１０】特開平７−５５６５１
【０００１０】  本発明のセンサ検査方法では、センサの近傍または外部または内部に配置・実装される負荷発生素子を用いて、検査対象のセンサが検知できる負荷（振動など）を発生することによりセンサに異常があるか否かを診断現場のオンラインで検査するものであり、文献７〜１０の方法とは異なる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００１１】  大型構造物や設備の状態監視・診断を行うときに用いられる数多くのセンサ・システムに安定的な電力（電源）を適時に提供し、また、誤診断を防ぐために電源系統とセンサの異常を検知する有効な方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００１２】  上記に述べたような課題を解決するために、本発明では、大型構造物や設備の状態監視のための計測部分（１）に必要な電源として光電池（２）を用い、投光器（６）を用いて光電池（２）に光を照射することにより計測部分（１）に十分な電力を提供する。また、センサ（アンプや接続線を含む）（５）の異常の有無を検査するために、負荷発生素子（３，４）、無線受・発信器（７、１０）、信号取集器（１１）および状態診断器（１３）を用いてセンサ（アンプや接続線を含む）（５）の動作を診断し、異常がないと判定した後、状態監視・診断のための信号を無線受・発信器（７、１０）と信号取集器（１１）を用いて計測・収集して、状態診断器（１３）により状態診断を行う。
【発明の効果】
【００１３】  本発明によれば、大型構造物（橋梁、トンネル、建物など）や設備（配管、タンク、港湾機械など）の状態監視・診断する場合、診断信号（振動信号や歪信号など）を測定するために用いられる数多くの無線式センサに安定的な電力（電源）を適時に提供し、センサ（アンプや接続線を含む）に異常が発生したときに、その異常を検知することにより誤診断を防ぎ、電池交換やセンサ・システム検査に伴うメンテナンス作業を最小限にでき、長期間にわたって状態監視・診断装置システムの信頼性を向上することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の無線式診断装置システムの構成要素である。
【図２】本発明における投光発電手段とセンサ検査手段を有する実施形態の流れである。
【図３】本発明における投光発電手段を有する実施形態の流れである。
【図４】本発明におけるセンサ検査手段を有する実施形態の流れである。
【図５】本発明の無線式診断装置システムの構成例（振動加速度センサおよび複数光電池を使用する例）である。
【図６】本発明の無線式診断装置システムの構成例（振動加速度センサおよび単一光電池を使用する例）である。
【図７】センサと負荷発生素子との位置関係を示すグラフである。
【図８】光電池に投光機の光を照射する前後の光電池の電圧例を示すグラフである。
【図９】振動信号による振動センサ（加速度センサ）を検査する例を示すグラフである。
【図１０】振動信号によるＡＥセンサを検査する例を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１５】  図１には本発明の診断装置システムの構成要素を示す。構成要素には大きく分けて計測部分（１）と診断部分（９）からなる。
【００１６】  計測部分（１）には、以下の要素が含まれるが、本発明が以下の構成要素によって限定されることはない。
（２）光電池
計測部分の各構成要素に必要な電力を供給するための光電池であり、必要な時に蓄電池を設けることもできる。
（３）負荷発生素子
センサに異常があるか否かを検査・確認するものである。すなわち、センサ（５）が負荷発生素子の負荷信号を検知でき、負荷発生素子の負荷信号を用いて、センサに異常があるか否かを検査・確認する。
（４）予備負荷発生素子
負荷発生素子の予備として用いられるものである。動作負荷発生素子が故障したとき、または負荷発生素子の負荷信号が検知できないときに、予備負荷発生素子を動作させ、負荷発生素子の負荷信号の検知を再び試みることにより、センサなどを含めた計測部分に異常があるか否かを検査・確認する。なお、予備負荷発生素子を複数設けることもできる。
（５）センサ（アンプや接続線を含む）
対象物の状態監視・診断のために、物理量の計測に用いられるものである。計測すべき物理量は診断対象によって異なるが、たとえば、振動加速度・速度・変位、歪み、温度、ＡＥなどがある。
（６）投光器
光電池（２）へ照射することにより計測部に提供する十分な電力を発生させるものである。投光器（６）は特定方向に強い光が出るような照明器具（たとえば、探照灯，サーチライト、フラッドライト，スポットライトなど）である。
（７）無線受・発信部（計測部分）
診断部分からの指令（負荷発生素子の動作開始やセンサの計測開始など）を無線で受信し、計測部分の信号（計測信号や電圧信号）を診断部分へ送信するものである。
（８）無線中継器
計測部分と診断部分が遠く離れている場合、無線信号を確実に受送信するために、無線信号を中継するものである。なお、計測部分と診断部分との距離が比較的近く、無線信号を確実に受送信できる場合は無線中継器を省くこともできる。
【００１７】  診断部分（９）には、以下の要素が含まれる。
（１０）無線受・発信部（診断部分）
計測部分に指令（負荷発生素子の動作開始やセンサの計測開始など）を送信し、計測部分からの信号（計測信号や電圧信号）を受信するものである。
（１１）信号採集器
計測部分からの信号（計測信号や電圧信号）を採集・保存するものである。
（１２）制御器
対象物の状態監視・診断のために、計測部分と診断部分の動作を制御するものである。
（１３）状態診断器
計測部分からの信号（計測信号や電圧信号）に基づき、計測部分に異常があるか否かを診断し、対象物の状態を監視・診断するものである。
【００１８】  図２に示すように、本実施形態の流れは以下の通りである。
（ａ）光電池の電圧信号を測定し、無線受・発信部（計測部分）により診断部分へ送信する。
（ｂ）無線受・発信部（診断部分）が受信する。
（ｃ）信号採集器で電圧信号を収集した後、状態診断器により光電池の電圧値が基準値（計測部分に十分な電力を提供できる電圧値）範囲内であるか否かを検査・診断する。
（ｄ）光電池の電圧値が基準値（計測部分に十分な電力を提供できる基準値）範囲内でなければ、投光器による光電池へ照射する。
（ｅ）照射時間が規定時間（光電池の電力が十分なレベルになる照射時間）以上でなければ、（ａ）へ戻る。
（ｆ）光電池の電圧値が基準値範囲内でなく、しかも照射時間が規定時間（光電池の電力が十分なレベルになる照射時間）以上であれば、光電池系統に異常が生じた可能性があるから、光電池の修理や交換などの対策措置をとる。
（ｇ）光電池の電圧値が基準値範囲内であれば、負荷発生素子を動作させ、負荷を発生させる。
（ｈ）センサによる負荷発生素子の負荷を検知・計測し、負荷信号を無線受・発信部（計測部分）により診断部分へ送信する。
（ｉ）状態診断器が信号収集器で取集した前記の負荷信号の検査を行い、センサの動作を確認する。
（ｊ）センサ・システムに異常があるか否かを判定する。
（ｋ）センサ・システムに異常がないと判定されれば、センサで計測した状態監視・診断用の信号を無線受・発信部（診断部分）で受信し、信号採集器で計測信号を採集する。
（ｌ）状態診断器が信号収集器で取集した前記の計測信号に基づき、対象物の状態を診断する。また、診断の結果に基づき、必要な対策措置をとる。
（ｍ）センサ・システムに異常があると判定されれば、予備負荷発生素子を動作させる。
（ｎ）センサによる予備負荷発生素子の負荷信号を検知・計測し、負荷信号を無線受・発信部（計測部分）により診断部分へ送信する。
（ｏ）状態診断器が信号収集器で取集した前記の負荷信号の検査を行い、センサの動作を確認する。
（ｐ）センサ・システムに異常があるか否かを判定する。
（ｑ）センサ・システムに異常があると判定されれば、計測部分に異常発生の可能性があり、修復などの対策措置をとる。
（ｒ）センサ・システムに異常がないと判定されれば、負荷発生素子に異常発生の可能性があり、修復などの対策措置をとる。また、センサ・システムに異常がないため、（ｋ）へ進める。
【００１９】  図３は、本実施形態において、投光発電手段を有するが、センサ検査手段を有しない場合の流れを示す。この場合は、図３に示すように、計測や処理の流れは図２に示した（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ），（ｅ），（ｆ），（ｋ），（ｌ）と同じである。
【００２０】  図４は、本実施形態において、センサ検査手段を有するが、投光発電手段を有しない場合の流れを示す。この場合は、図４に示すように、計測や処理の流れは図２に示した（ｇ）（ｈ）、（ｉ）、（ｊ）、（ｋ）、（ｌ）、（ｍ），（ｎ），（ｏ），（ｐ），（ｑ），（ｒ）と同じである。なお、この場合は、計測部分に対して投光発電手段を実施しなくても十分な電力が得られているとする。
【実施例】
【００２１】  前記の実施形態に従って本発明の好適な実施例について、図面を参照しながら説明する。ただし、以下に述べる実施例は本発明を適用した形態の例であって、本発明が以下の実施例によって限定されることはない。【００２２】  図５は振動センサあるいはＡＥセンサ（図５の中に「振動センサｏｒＡＥセンサ」と表記する）および複数の光電池を用いた無線式診断装置システムの構成例を示す。この例では、振動センサあるいはＡＥセンサを用いて、対象物の振動信号あるいはＡＥ信号を計測することにより対象物の状態を監視・診断する例である。以下、図２に照らして、図５に示す無線式診断装置システムの動作流れを説明する。【００２３】（ａ）光電池（２ａ）の電圧信号を測定し、無線受・発信部（７ａ）により診断部分へ送信する。
（ｂ）無線受・発信部（１０ａ）が受信する。
（ｃ）信号採集器（１１ａ）で電圧信号を収集した後、状態診断器（１３ａ）により光電池（２ａ）の電圧値が基準値（計測部分に十分な電力を提供できる電圧値）範囲内であるか否かを検査・診断する。
（ｄ）光電池（２ａ）の電圧値が基準値（計測部分に十分な電力を提供できる基準値）範囲内でなければ、投光器（６ａ）による光電池（２ａ）へ照射する。
（ｅ）照射時間が規定時間（光電池の電力が十分なレベルになる照射時間）以上でなければ、（ａ）へ戻る。
（ｆ）光電池（２ａ）の電圧値が基準値範囲内でなく、しかも照射時間が規定時間（光電池（２ａ）の電力が十分なレベルになる照射時間）以上であれば、光電池（２ａ）系統に異常が生じた可能性があるから、光電池（２ａ）の修理や交換などの対策措置をとる。
（ｇ）光電池（２ａ）の電圧値が基準値範囲内であれば、負荷発生素子である振動発生器（３ａ）を動作させる。
（ｈ）センサ（振動センサあるいはＡＥセンサ）（５ａ）による振動発生器（３ａ）の振動信号あるいはＡＥ信号（図５の中に「振動ｏｒＡＥ信号」と表記する）を検知・計測し、振動信号あるいはＡＥ信号を無線受・発信部（７ａ）により診断部分へ送信する。
（ｉ）状態診断部（１３ａ）が信号収集器（１１ａ）で取集した振動信号あるいはＡＥ信号の検査を行い、センサ（振動センサあるいはＡＥセンサ）（５ａ）の動作を確認する。
（ｊ）センサ（振動センサあるいはＡＥセンサ）（５ａ）に異常があるか否かを判定する。
（ｋ）センサ（振動センサあるいはＡＥセンサ）（５ａ）に異常がないと判定されれば、センサ（振動センサあるいはＡＥセンサ）（５ａ）で計測した状態監視・診断用の信号を診断部分の無線受・発信部（１０ａ）で受信し、信号採集器（１１ａ）で計測信号を採集する。
（ｌ）状態診断部（１３ａ）が信号収集器（１１ａ）で取集した振動信号あるいはＡＥ信号に基づき、対象物の状態を診断する。また、診断の結果に基づき、必要な対策措置をとる。
（ｍ）センサ（振動センサあるいはＡＥセンサ）（５ａ）に異常があると判定されれば、予備負荷発生素子である予備振動発生器（４ａ）を動作させる。
（ｎ）センサ（振動センサあるいはＡＥセンサ）（５ａ）による予備振動発生器（４ａ）の負荷信号（振動信号あるいはＡＥ信号）を検知・計測し、負荷信号を無線受・発信部（１０ａ）により診断部分へ送信する。
（ｏ）状態診断部（１３ａ）が信号収集器（１１ａ）で取集した負荷信号によりセンサ（振動センサあるいはＡＥセンサ）（５ａ）の動作を確認する。
（ｐ）センサ（振動センサあるいはＡＥセンサ）（５ａ）に異常があるか否かを判定する。
（ｑ）センサ（振動センサあるいはＡＥセンサ）（５ａ）に異常があると判定されれば、修復、交換、予備センサ適用などの対策措置をとる。
（ｒ）センサ（振動センサあるいはＡＥセンサ）（５ａ）に異常がないと判定されれば、振動発生器（３ａ）に異常発生の可能性があり、修復などの対策措置をとる。また、センサ（振動センサあるいはＡＥセンサ）（５ａ）に異常がないため、センサ（振動センサあるいはＡＥセンサ）（５ａ）で計測した状態監視・診断用の信号を診断部分の無線受・発信部（１０ａ）で受信し、信号採集器（１１ａ）で計測信号（振動信号あるいはＡＥ信号）を採集するとともに、状態診断部（１３ａ）が信号収集器（１１ａ）で取集した計測信号に基づき、対象物の状態を診断する。また、診断の結果に基づき、必要な対策措置をとる。【００２４】  図６は振動センサあるいはＡＥセンサ（図６の中に「振動センサｏｒＡＥセンサ」と表記する）および単一光電池を用いた無線式診断装置システムの構成例を示す。この例では、図５と同様に対象物の状態を、振動センサあるいはＡＥセンサを用いて、対象物の振動信号あるいはＡＥ信号を計測することにより監視・診断する例であるが、図５の内容との違いは単一光電池を用いるところのみである。よって、図６の無線式診断装置システムの動作流れは図５と同じであるので、動作の流れの説明を省略する。【００２５】  センサ（５ａ）と負荷発生素子（３ａ）・予備負荷発生素子（４ａ）との位置関係を図７に示す。図７（ａ）は負荷発生素子（３ａ）と予備負荷発生素子（４ａ）を重ねてセンサの上に設置しているのを示す。図７（ｂ）は負荷発生素子（３ａ）と予備負荷発生素子（４ａ）を重ねてセンサの近傍に設置しているのを示す。図７（ｃ）は負荷発生素子（３ａ）と予備負荷発生素子（４ａ）を重ねないでセンサの近傍に設置しているのを示す。図７（ｄ）は負荷発生素子（３ａ）と予備負荷発生素子（４ａ）をセンサの内部に実装されているのを示す。【００２６】  図８には光電池に投光機の光を照射する前後の光電池の電圧例を示す。光電池の電圧は投光機の光を照射する前に０．７Ｖ程度であったが、投光機の光を照射した後、センサ（アンプを含む）に必要な電圧５Ｖのまで上がった。【００２７】  図９には図７（ａ）のように負荷発生素子（振動発生器）（３ａ）と予備負荷発生素子（予備振動発生器）（４ａ）を重ねて振動センサ（加速度センサ）の上に設置している場合、加速度センサが様々な状態において、振動発生器が動作する前後に加速度センサで検知した振動信号の時系列とスペクトルの例を示す。以下これらの例について説明する。【００２８】  図９（ａ），（ｂ）は振動発生器が動作する前に加速度センサで計測した時系列波形とスペクトルである。このとき、センサに異常が生じているか否かは分からない。【００２９】  図９（ｃ），（ｄ）は振動発生器が動作した後、加速度センサで計測した時系列波形とスペクトルであり、センサに異常が発生していない例である。このとき、異常が発生していない根拠は、スペクトルのグラフにおいて、１５０Ｈｚの処に２ｍｖのピーク値があることである。【００３０】  図９（ｅ），（ｆ）は振動発生器が動作した後、加速度センサで計測した時系列波形とスペクトルであり、センサに異常が発生している例（加速度センサのマグネット台座が緩んでいる例）である。このとき、異常が発生し���根拠は、この時のスペクトルが正常時のスペクトル（ｄ）に比べて、大きく変化したことである。すなわち、１２０Ｈｚの処に２ｍｖのピーク値があることである。【００３１】  図９（ｇ），（ｈ）は振動発生器が動作した後、加速度センサで計測した時系列波形とスペクトルであり、センサに異常が発生している例（加速度センサが測定箇所から完全に脱落した例）である。このとき、異常が発生した根拠は、この時のスペクトルが正常時のスペクトル（ｄ）に比べて、大きく変化したことである。すなわち、１３７Ｈｚの処に２６．９ｍｖのピーク値があることである。【００３２】  図９（ｇ），（ｈ）は振動発生器が動作した後、加速度センサで計測した時系列波形とスペクトルであり、センサに異常が発生している例（加速度センサの接続線の接触不良が発生例）である。このとき、異常が発生した根拠は、この時のスペクトルが正常時のスペクトル（ｄ）に比べて、大きく変化したことである。すなわち、このときのスペクトルは、正常時のスペクトルにある１５０Ｈｚの処の２ｍｖのピーク値が無くなっていることである。【００３３】  図１０には図７（ａ）のように負荷発生素子（振動発生器）（３ａ）と予備負荷発生素子（予備振動発生器）（４ａ）を重ねないでＡＥセンサの近傍に設置している場合、ＡＥセンサが様々な状態において、振動発生器が動作する前後にＡＥセンサで検知したＡＥ信号の時系列とスペクトルの例を示す。以下これらの例について説明する。【００３４】  図１０（ａ），（ｂ）は振動発生器が動作する前にＡＥセンサで計測した時系列波形とスペクトルである。このとき、センサに異常が生じているか否かは分からない。【００３５】  図１０（ｃ），（ｄ）は振動発生器が動作した後、ＡＥセンサで計測した時系列波形とスペクトルであり、センサに異常が発生していない例である。このとき、異常が発生していない根拠は、スペクトルのグラフにおいて、６２ｋＨｚの処に１２ｍｖのピーク値があることである。【００３６】  図１０（ｅ），（ｆ）は振動発生器が動作した後、ＡＥセンサで計測した時系列波形とスペクトルであり、センサに異常が発生している例（ＡＥセンサと被測体との間に接触不良が発生した例）である。このとき、異常が発生した根拠は、この時のスペクトルが正常時のスペクトル（ｄ）に比べて、大きく変化したことである。すなわち、６９ｋＨｚの処に１．９ｍｖの最大なピーク値があることである。【００３７】  図１０（ｇ），（ｈ）は振動発生器が動作した後、ＡＥ度センサで計測した時系列波形とスペクトルであり、センサに異常が発生している例（ＡＥセンサの接続線の接触不良が発生例）である。このとき、異常が発生した根拠は、この時のスペクトルが正常時のスペクトル（ｄ）に比べて、大きく変化したことである。すなわち、２３ｋＨｚの処に０．１５ｍｖの最大なピーク値があることである
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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