(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状部材の一方の面に貼付された第１接着シートを当該板状部材の面方向外側で保持する第１シート保持手段と、
前記板状部材に対して相対接近することで、当該板状部材の外側にフレームを配置する配置手段と、
前記第１接着シートを切断することで、前記板状部材に貼付された内側シートと当該内側シートの外側に位置する外側シートとに前記第１接着シートを分割する切断手段と、
前記板状部材の他方の面または前記内側シートと前記フレームとに第２接着シートを貼付する貼付手段とを備え、
前記切断手段は、前記配置手段とともに前記板状部材に対して相対接近して前記フレームの内側で前記第１接着シートを分割可能に設けられていることを特徴とするシート転写装置。
【請求項２】
板状部材の一方の面に貼付された第１接着シートを当該板状部材の面方向外側で保持する工程と、
前記板状部材に対して配置手段が相対接近することで、前記板状部材の外側にフレームを配置する配置工程と、
切断手段で前記第１接着シートを切断することで、前記板状部材に貼付された内側シートと当該内側シートの外側に位置する外側シートとに前記第１接着シートを分割する切断工程と、
前記板状部材の他方の面または前記内側シートと前記フレームとに第２接着シートを貼付する工程とを備え、
前記切断工程は、前記配置手段とともに前記切断手段を前記板状部材に対して相対接近させて前記フレームの内側で前記第１接着シートを分割することを特徴とするシート転写方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート転写装置および転写方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、第１接着シートに貼付された半導体ウエハ（板状部材）（以下、単に「ウエハ」という場合がある）をダイシングしてチップを製造した後、これらのチップを第２接着シートに転写する装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−２４４０１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されたような従来の装置では、チップの外側に第２リングフレーム（フレーム）を配置する動作と第１接着シートを切断する動作とが別々に行われるため、単位時間当たりの処理能力が低下するという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、単位時間当たりの処理能力が低下することを抑制できるシート転写装置および転写方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明のシート転写装置は、板状部材の一方の面に貼付された第１接着シートを当該板状部材の面方向外側で保持する第１シート保持手段と、前記板状部材に対して相対接近することで、当該板状部材の外側にフレームを配置する配置手段と、前記第１接着シートを切断することで、前記板状部材に貼付された内側シートと当該内側シートの外側に位置する外側シートとに前記第１接着シートを分割する切断手段と、前記板状部材の他方の面または前記内側シートと前記フレームとに第２接着シートを貼付する貼付手段とを備え、前記切断手段は、前記配置手段とともに前記板状部材に対して相対接近して前記フレームの内側で前記第１接着シートを分割可能に設けられている、という構成を採用している。
【０００８】
一方、本発明のシート転写方法は、板状部材の一方の面に貼付された第１接着シートを当該板状部材の面方向外側で保持する工程と、前記板状部材に対して配置手段が相対接近することで、前記板状部材の外側にフレームを配置する配置工程と、切断手段で前記第１接着シートを切断することで、前記板状部材に貼付された内側シートと当該内側シートの外側に位置する外側シートとに前記第１接着シートを分割する切断工程と、前記板状部材の他方の面または前記内側シートと前記フレームとに第２接着シートを貼付する工程とを備え、前記切断工程は、前記配置手段とともに前記切断手段を前記板状部材に対して相対接近させて前記フレームの内側で前記第１接着シートを分割する、という構成を採用している。
【発明の効果】
【０００９】
以上のような本発明によれば、板状部材の外側にフレームを配置する工程の最中に、第１接着シートを内側シートと外側シートとに分割できるため、単位時間当たりの処理能力が低下することを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態に係るシート転写装置の側面図。
【図２】図１のシート転写装置の動作説明図。
【図３】本発明の変形例に係るシート転写装置の要部の側面図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前側から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」が図１中手前方向であるＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
【００１３】
図１において、シート転写装置１０は、板状部材としてのウエハＷＦの一方の面ＷＦ１に貼付された第１接着シートＡＳ１を当該ウエハＷＦの面方向外側で保持する第１シート保持手段２０と、ウエハＷＦに対して相対接近することで、当該ウエハＷＦの外側にフレームとしての第２リングフレームＲＦ２を配置する配置手段３０と、第１接着シートＡＳ１を切断することで、ウエハＷＦに貼付された内側シートＡＳ１１と当該内側シートＡＳ１１の外側に位置する外側シートＡＳ１２とに第１接着シートＡＳ１を分割する切断手段４０と、ウエハＷＦの他方の面ＷＦ２または内側シートＡＳ１１と第２リングフレームＲＦ２とに第２接着シートＡＳ２を貼付する貼付手段５０と、スライダ６０Ａで第１シート保持手段２０を支持し、第１シート保持手段２０と貼付手段５０とを相対移動させる駆動機器である移動手段としてのリニアモータ６０とを備えている。なお、第１リングフレームＲＦ１と、当該第１リングフレームＲＦ１の開口部全部または一部を塞ぐように貼付された第１接着シートＡＳ１と、第１接着シートＡＳ１に一方の面ＷＦ１の全面または一部が貼付されたウエハＷＦとで第１一体物ＷＫ１が形成されている。
【００１４】
第１シート保持手段２０は、平面視すなわち上方から見た外形が円形の内側保持手段２１と、内側保持手段２１の外周面に設けられたフランジ２２に配置された駆動機器であるフレーム高さ調整手段としての直動モータ２３と、直動モータ２３の出力軸２３Ａに支持された円環状の外側保持手段２４とを備えている。内側保持手段２１および外側保持手段２４の上面は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な内側保持面２１Ａおよび外側保持面２４Ａとされている。
【００１５】
配置手段３０は、駆動機器としての直動モータ３１の出力軸３１Ａに支持された支持体３２と、支持体３２に対して上下方向に移動可能に設けられるとともに、支持体３２からの脱落を防止するシャフトエンド３３Ａを有するシャフト３３と、シャフト３３を下方に付勢する巻ばねで構成された付勢手段３４と、シャフト３３に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な吸着パッド３５とを備えている。
【００１６】
切断手段４０は、平面視で円環状の切断刃４１と、当該切断刃４１を旋回させる旋回手段４２と、切断刃４１を振動させる超音波振動装置、偏芯モータ、バイブレータ等の振動手段４３とを有している。旋回手段４２は、支持体３２の下面に支持され、切断刃４１を旋回可能に支持する転がり軸受や滑り軸受等の回転軸受４２Ａと、回転軸受４２Ａを構成する回転リング４２Ｂの外周面に設けられた噛合部４２Ｃと、噛合部４２Ｃに噛み合うギア４２Ｆを出力軸４２Ｅで支持する駆動機器としての回動モータ４２Ｄとを備えている。このような構成により、切断手段４０は、配置手段３０とともにウエハＷＦに対して相対接近して第１接着シートＡＳ１を分割可能に設けられている。
【００１７】
貼付手段５０は、剥離シートＲＬに第２接着シートＡＳ２が仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ５１と、原反ＲＳを案内する複数のガイドローラ５２と、剥離シートＲＬを折り返して当該剥離シートＲＬから第２接着シートＡＳ２を剥離する剥離手段としての剥離板５３と、剥離シートＲＬから剥離された第２接着シートＡＳ２をウエハＷＦに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ５４と、駆動機器としての回動モータ５５Ａによって駆動される駆動ローラ５５との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ５６と、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ５７とを備えている。
【００１８】
以上のシート転写装置１０の動作を説明する。
先ず、各部材が初期位置で待機する図１中実線で示すシート転写装置１０に対し、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段によって、ウエハＷＦが内側保持手段２１上の所定の位置に配置されるように第１一体物ＷＫ１が搬送される。すると、第１シート保持手段２０が図示しない減圧手段を駆動し、内側保持面２１Ａおよび外側保持面２４Ａでの吸着保持を開始する。また、人手または図示しない搬送手段によって、第２リングフレームＲＦ２が吸着パッド３５の所定の位置に配置されるように搬送されると、配置手段３０が図示しない減圧手段を駆動し、吸着パッド３５での吸着保持を開始する。
【００１９】
そして、切断手段４０が振動手段４３を駆動し、切断刃４１を振動させるとともに、配置手段３０が直動モータ３１を駆動し、出力軸３１Ａを下降させる。これにより、第２リングフレームＲＦ２が第１リングフレームＲＦ１の上面に載置された後、図２に示すように、付勢手段３４が押し縮められつつ、切断刃４１が第１接着シートＡＳ１に突き刺さる。これにより、第１接着シートＡＳ１が内側シートＡＳ１１と外側シートＡＳ１２とに分割される。このとき、切断手段４０が回動モータ４２Ｄを駆動し、切断刃４１を旋回させてもよい。第１接着シートＡＳ１が分割されると、切断手段４０および配置手段３０が振動手段４３および図示しない減圧手段の駆動を停止した後、配置手段３０が直動モータ３１を駆動し、出力軸３１Ａを初期位置に復帰させて第２リングフレームＲＦ２を第１リングフレームＲＦ１上に置き去りにする。次いで、第１シート保持手段２０が直動モータ２３を駆動し、第２リングフレームＲＦ２の上面とウエハＷＦの他方の面ＷＦ２とが同一面上に位置するように、出力軸２３Ａを下降させる。このとき、第１シート保持手段２０は、外側保持手段２４に対して第２リングフレームＲＦ２が移動しないように、図示しない駆動機器等のフレーム保持手段で当該第２リングフレームＲＦ２を支持することができる。
【００２０】
その後、移動手段がリニアモータ６０を駆動し、スライダ６０Ａを左方向に移動させ、第１リングフレームＲＦ１が所定位置に到達すると、貼付手段５０が回動モータ５５Ａを駆動し、スライダ６０Ａの移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、図１中二点鎖線で示すように、剥離板５３で剥離された第２接着シートＡＳ２が押圧ローラ５４で第２リングフレームＲＦ２およびウエハＷＦの他方の面ＷＦ２に貼付され、第２一体物ＷＫ２が形成される。第２一体物ＷＫ２が形成され、スライダ６０Ａが所定の位置に達すると、移動手段がリニアモータ６０の駆動を停止し、第１シート保持手段２０が図示しない減圧手段の駆動を停止する。その後、人手または図示しない搬送手段が第２一体物ＷＫ２を次工程に搬送するとともに、外側シートＡＳ１２が貼付された第１リングフレームＲＦ１を所定の位置に回収する。そして、移動手段および第１シート保持手段２０が各駆動機器を駆動し、各構成部材を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００２１】
以上のような実施形態によれば、ウエハＷＦの外側に第２リングフレームＲＦ２を配置する工程の最中に、第１接着シートＡＳ１を内側シートＡＳ１１と外側シートＡＳ１２とに分割できるため、単位時間当たりの処理能力が低下することを抑制することができる。
【００２２】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。
【００２３】
第１シート保持手段２０は、ウエハＷＦが内側保持面２１Ａに当接するようにして第１一体物ＷＫ１を保持してもよく、この場合、貼付手段５０が内側シートＡＳ１１と第２リングフレームＲＦ２とに第２接着シートＡＳ２を貼付し、第２接着シートＡＳ２とウエハＷＦとの間に内側シートＡＳ１１が貼付された第２一体物ＷＫ２が形成される。
第１シート保持手段２０は、切断手段４０、７０（図３参照）で第１接着シートＡＳ１を分割する前に、フレーム高さ調整手段で外側保持手段２４を保持して下降させ、当該第１接着シートＡＳ１を引っ張った状態としておくこともできる。この場合、例えば、ウエハＷＦが個片化されて複数のチップとされていた場合、当該チップの間隔を広げて（エキスパンドした状態で）第２接着シートＡＳ２に転写することができる。
内側保持手段２１および外側保持手段２４の少なくとも一方は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段や、接着剤、磁力等で第１一体物ＷＫ１を保持する構成でもよい。
外側保持面２４Ａは、第１リングフレームＲＦ１を介することなく、ウエハＷＦに貼付された第１接着シートＡＳ１を直接支持してもよい。
第１シート保持手段２０が第１接着シートＡＳ１を保持する箇所は、１箇所でもよいし、３箇所以上でもよい。
内側保持手段２１は、平面視楕円形や三角形や四角形以上の多角形やその他の形状でもよく、ウエハＷＦを支持できればよい。
外側保持手段２４は、平面視楕円形や三角形や四角形以上の多角形やその他の形状でもよく、第１リングフレームＲＦ１を支持できればよい。
第１シート保持手段２０は、貼付手段５０で第２接着シートＡＳ２を貼付するときに、第２リングフレームＲＦ２の上面とウエハＷＦの他方の面ＷＦ２とを同一面上に位置させなくてもよい。
第１シート保持手段２０は、フレーム高さ調整手段がなくてもよい。
内側保持手段２１および外側保持手段２４の少なくとも一方は、第１一体物ＷＫ１の保持ができなくてもよい。
フレーム保持手段は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段や、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段や、接着剤、磁力等で外側保持手段２４に対して第２リングフレームＲＦ２が移動しないように支持する構成でもよいし、なくてもよい。
【００２４】
配置手段３０は、ウエハＷＦに対して相対接近する際、当該配置手段３０を停止させておき、第１シート保持手段２０を移動させて接近させてもよいし、第１シート保持手段２０と配置手段３０との両方を移動させて接近させてもよい。
配置手段３０は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段や、接着剤、磁力等で第１リングフレームＲＦ１を保持する構成でもよい。
配置手段３０が第１リングフレームＲＦ１を保持する箇所は、１箇所でもよいし、３箇所以上でもよい。
付勢手段は、ゴムや樹脂等の弾性部材で構成してもよいし、なくてもよい。
【００２５】
切断刃４１は、平面視で楕円形、三角形や四角形以上の多角形の環状でもよいし、ウエハＷＦの外縁形状に何ら関係のない形状でもよい。
切断手段４０は、旋回手段４２を一方向の回転と他方向の回転とを小刻みに繰り返す動作をさせてもよいし、一方向または他方向への連続回転動作または断続回転動作をさせてもよい。
切断手段４０は、旋回手段４２がなくてもよい。
切断手段４０の代わりに、図３に示すように、環状でない切断刃７１を有する切断手段７０を採用していてもよく、この場合、旋回手段４２が切断刃７１を３６０°以上回転させて第１接着シートＡＳ１を分割すればよい。
切断手段４０、７０は、振動手段４３を有さなくてもよい。
切断刃４１、７１の刃縁の形状は、直線状でもよいし、矩形や波形や三角形等の凹凸形状でもよく、切断刃４１の刃縁の形状が直線状の場合、内側保持面２１Ａに対して傾斜した直線状でもよい。
切断手段４０は、切断刃４１を加熱するコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を備えていてもよい。
【００２６】
貼付手段５０は、第２リングフレームＲＦ２およびウエハＷＦに加え、ウエハＷＦからはみ出た内側シートＡＳ１１部分にも第２接着シートＡＳ２を貼付してもよい。
剥離手段は、丸棒やローラ等で構成してもよい。
貼付手段５０は、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用することができ、エア噴き付けにより押圧する構成も採用することができる。
貼付手段５０は、第２接着シートＡＳ２を保持可能な平板状の押圧部材と、当該押圧部材をウエハＷＦ方向に移動させることで当該第２接着シートＡＳ２を第２リングフレームＲＦ２とウエハＷＦとに押圧して貼付する駆動機器とを備えたものでもよい。
貼付手段５０は、剥離シートＲＬに仮着されていない第２接着シートＡＳ２を第２リングフレームＲＦ２とウエハＷＦとに貼付する構成でもよい。
貼付手段５０は、第２リングフレームＲＦ２の開口部全部または一部を塞ぐように第２接着シートＡＳ２を貼付したり、ウエハＷＦの他方の面ＷＦ２または内側シートＡＳ１１の全面または一部に第２接着シートＡＳ２を貼付したりしてもよい。
【００２７】
第２リングフレームＲＦ２およびウエハＷＦに第２接着シートＡＳ２を貼付する際、第１シート保持手段２０を停止させておき、配置手段３０、切断手段４０および貼付手段５０を移動させてもよいし、第１シート保持手段２０、配置手段３０、切断手段４０および貼付手段５０の全てを移動させてもよい。
他の装置で第１シート保持手段２０と貼付手段５０とを相対移動させる場合、シート転写装置１０において移動手段はなくてもよい。
第１、第２リングフレームＲＦ１、ＲＦ２は、環状に繋がっていないものでもよい。
【００２８】
本発明における第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２、板状部材およびフレームの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２が採用された場合は、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、板状部材としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の板状部材に貼付することができる。
【００２９】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、第１シート保持手段は、板状部材の一方の面に貼付された第１接着シートを当該板状部材の面方向外側で保持可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００３０】
１０…シート転写装置
２０…第１シート保持手段
３０…配置手段
４０、７０…切断手段
４１、７１…切断刃
４２…旋回手段
４３…振動手段
５０…貼付手段
ＡＳ１、ＡＳ２…第１、第２接着シート
ＡＳ１１…内側シート
ＡＳ１２…外側シート
ＲＦ２…第２リングフレーム（フレーム）
ＷＦ…ウエハ（板状部材）
ＷＦ１…一方の面
ＷＦ２…他方の面
【図１】
0006445882.tif 000002
【図２】
0006445882.tif 000003
【図３】
0006445882.tif 000004