(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
供給対象に供給する被供給液の温度を調整して当該供給対象に供給可能に構成された温度調整装置であって、
圧縮機から吐出された冷媒が、第１凝縮器、第１膨張弁および第１蒸発器をこの順で通過して当該圧縮機に吸入されるように配管された第１冷媒流路と、前記圧縮機から吐出された前記冷媒が、第２凝縮器、第２膨張弁および第２蒸発器をこの順で通過して当該圧縮機に吸入されるように配管された第２冷媒流路と、前記圧縮機から吐出された前記冷媒の前記第１冷媒流路に対する流入量および前記第２冷媒流路に対する流入量を調整する流入量調整部とを有する冷凍サイクル、並びに、
前記第１蒸発器および前記第２凝縮器を収容可能に構成されると共に前記被供給液の流入が可能な第１流入口および当該被供給液の流出が可能な第１流出口がそれぞれ設けられた第１圧力容器を有し、前記第１蒸発器内の前記冷媒との熱交換、および前記第２凝縮器内の前記冷媒との熱交換によって前記第１圧力容器内の前記被供給液の温度を調整可能に構成された第１熱交換器を備え、
前記第１蒸発器は、前記冷媒の通過が可能な第１管状体を有するチューブ式蒸発器で構成され、
前記第２凝縮器は、前記冷媒の通過が可能な第２管状体を有するチューブ式凝縮器で構成され、
前記第１熱交換器は、外側筒部および当該外側筒部内に収容された内側筒部を備えて前記第１圧力容器が構成されると共に、当該外側筒部および当該内側筒部の間に構成された第１液流路と当該内側筒部の内側に構成された第２液流路とが当該第１圧力容器における一端部側で連通させられ、当該第１液流路に連通するようにして当該第１圧力容器における他端部側に前記第１流入口および前記第１流出口のいずれか一方が設けられ、かつ当該第２液流路に連通するようにして当該第１圧力容器における当該他端部側に当該第１流入口および当該第１流出口の他方が設けられると共に、前記第１液流路内および前記第２液流路内の双方に前記第１管状体および前記第２管状体がそれぞれ配設されている温度調整装置。
【請求項２】
前記第１凝縮器および前記第２蒸発器を収容可能に構成されると共に熱媒液の流入が可能な第２流入口および当該熱媒液の流出が可能な第２流出口がそれぞれ設けられた第２圧力容器を有し、当該第２圧力容器内の前記熱媒液との熱交換によって前記第１凝縮器内の前記冷媒を凝縮可能に構成されると共に、当該第２圧力容器内の当該熱媒液との熱交換によって前記第２蒸発器内の前記冷媒を蒸発可能に構成された第２熱交換器を備え、
前記第１凝縮器は、前記冷媒の通過が可能な第３管状体を有するチューブ式凝縮器で構成され、
前記第２蒸発器は、前記冷媒の通過が可能な第４管状体を有するチューブ式蒸発器で構成されている請求項１記載の温度調整装置。
【請求項３】
前記被供給液としての純水を温度調整して前記供給対象に供給可能に構成されている請求項１または２記載の温度調整装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被供給液の温度を調整して供給対象に供給可能に構成された温度調整装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の温度調整装置として、出願人は、熱媒液を温度調整してワイヤ放電加工装置などの供給対象に供給可能な熱媒液温度調整装置（以下、単に「温度調整装置」ともいう）を備えた温度調整システムを下記の特許文献に開示している。この場合、出願人が開示している温度調整システムにおける温度調整装置は、熱交換部、冷凍サイクル、ヒータおよび制御部を備え、熱媒液の一例である純水を温度調整して供給対象に供給することができるように構成されている。また、熱交換部は、純水を貯留可能に構成されると共に、冷凍サイクルによる冷却、またはヒータによる加熱によって純水の温度を調整することができるように構成されている。
【０００３】
具体的には、出願人が開示している温度調整装置では、冷凍サイクルの蒸発器およびヒータが上記の熱交換部内に収容されると共に、供給対象に供給すべき純水の温度が規定温度よりも高いときには蒸発器によって冷却し、供給対象に供給すべき純水の温度が規定温度よりも低いときにはヒータによって加熱することにより、目標温度範囲内の温度となるように純水の温度を調整する構成が採用されている。これにより、出願人が開示している温度調整装置によれば、ワイヤ放電加工装置（供給対象）の温度を加工処理に適した目標温度範囲内の温度に維持することができる結果、加工対象体を高精度に加工することが可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−５６５９９号公報（第５−１１頁、第１−４図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、出願人が開示している温度調整装置には、以下のような改善すべき課題が存在する。すなわち、出願人が開示している温度調整装置では、供給対象に供給すべき純水（熱交換部内に導入される純水）の温度が規定温度よりも高いときには、蒸発器によって冷却し、純水の温度が規定温度よりも低いときには、ヒータによって加熱する構成が採用されている。この場合、供給対象に供給する被供給液（上記の例では、純水）の温度が非常に低いときには、被供給液を加熱して規定温度まで温度上昇させる際にヒータによって大量の電力が消費され、ランニングコストが上昇するおそれがある。
【０００６】
また、例えば、半導体製造装置や医療機器などを供給対象として被供給液を高精度に温度調整して供給する際には、蒸発器によって冷却した被供給液をヒータによって加熱することで目標温度に調整する処理が行われる。このような処理（精密温調処理）に際しては、例えば温度調整前の被供給液の温度が目標温度よりも僅かに低い温度であったとしても、蒸発器によって冷却した分だけヒータによって被冷却液を加熱する必要が生じることから、蒸発器によって被供給液を冷却することなくヒータによって加熱する処理を行うよりもヒータの消費電力が増加し、ランニングコストが上昇する。
【０００７】
このため、出願人は、消費電力が多いヒータによる被供給液の加熱に代えて、被供給液を冷却するための上記の冷凍サイクルとは異なる冷凍サイクルの凝縮器によって被供給液を加熱可能な温度調整装置を開発した。
【０００８】
具体的には、図４に示すように、出願人が開発した温度調整装置１ｘ（以下、出願人が開発した従来の装置に関する構成要素については、符号の末尾に「ｘ」を付して説明する）は、圧縮機１１ｘから吐出された冷媒が、凝縮器１２ａｘ、膨張弁１３ａｘおよび蒸発器１４ａｘをこの順で通過して圧縮機１１ｘに吸入されるように配管された冷媒流路Ｌ１ｘと、圧縮機１１ｘから吐出された冷媒が、凝縮器１２ｂｘ、膨張弁１３ｂｘおよび蒸発器１４ｂｘをこの順で通過して圧縮機１１ｘに吸入されるように配管された冷媒流路Ｌ２ｘと、圧縮機１１ｘから吐出された冷媒の冷媒流路Ｌ１ｘ，Ｌ２ｘに対する流入量を調整する分流弁１５ａｘ，１５ｂｘとを有する冷凍サイクル２ｘを備えている。
【０００９】
また、この温度調整装置１ｘは、貯水槽３ｘ内の純水Ｗａｘ（被供給液）をポンプ４ｘによって圧送することにより、純水Ｗａｘが、蒸発器１４ａｘを有する熱交換器５ａｘ、および凝縮器１２ｂｘを有する熱交換器５ｂｘをこの順で通過して供給対象に供給される構成が採用されている。さらに、この温度調整装置１ｘでは、熱交換器５ａｘに圧送される純水Ｗａｘと蒸発器１４ａｘ内の冷媒との熱交換によって純水Ｗａｘが冷却されると共に、熱交換器５ｂｘに圧送される純水Ｗａｘと凝縮器１２ｂｘ内の冷媒との熱交換によって純水Ｗａｘが加熱される構成が採用されている。
【００１０】
したがって、貯水槽３ｘ内の純水Ｗａｘの温度が規定温度よりも高いときには、制御部７ｘが分流弁１５ｂｘを制御して冷媒流路Ｌ２ｘ（凝縮器１２ｂｘ）への冷媒の流入量を減少させる（または、冷媒流路Ｌ２ｘへの冷媒の供給を停止させる）と共に、分流弁１５ａｘを制御して冷媒流路Ｌ１ｘ（蒸発器１４ａｘ）への冷媒の流入量を増加させることにより、熱交換器５ａｘにおいて充分に冷却された純水Ｗａｘを供給対象に供給することができる。また、貯水槽３ｘ内の純水Ｗａｘの温度が規定温度よりも低いときには、制御部７ｘが分流弁１５ａｘを制御して冷媒流路Ｌ１ｘ（蒸発器１４ａｘ）への冷媒の流入量を減少させる（または、冷媒流路Ｌ１ｘへの冷媒の供給を停止させる）と共に、分流弁１５ｂｘを制御して冷媒流路Ｌ２ｘ（凝縮器１２ｂｘ）への冷媒の流入量を増加させることにより、熱交換器５ｂｘにおいて充分に加熱された純水Ｗａｘを供給対象に供給することができる。
【００１１】
これにより、出願人が開発した温度調整装置１ｘでは、純水Ｗａｘの温度が低いときに、ヒータによってこれを規定温度まで上昇させるのに要する電力量よりも少ない電力で純水Ｗａｘを規定温度まで温度上昇させることが可能となった。しかしながら、出願人が開発した温度調整装置１ｘでは、純水Ｗａｘを冷却するための熱交換器５ａｘと、純水Ｗａｘを加熱するための熱交換器５ｂｘとを備え、これらが配管Ｐａｘによって相互に接続された構成が採用されている。このため、両熱交換器５ａｘ，５ｂｘおよび配管Ｐａｘによって占有されるスペースの分だけ、温度調整装置１ｘが大型化しているという現状があり、これを改善するのが好ましい。また、冷却用の熱交換器５ａｘおよび加熱用の熱交換器５ｂｘを別個に用意し、これらを配管Ｐａｘによって相互に接続する構成を採用している分だけ、温度調整装置１ｘの製造コスト（材料コストおよび組立てコスト）の低減が困難となっているため、この点も改善するのが好ましい。
【００１２】
この場合、例えば、両熱交換器５ａｘ，５ｂｘをプレート式熱交換器で構成することによって温度調整装置１ｘをある程度小型化できる可能性がある。しかしながら、この種の装置では、地球温暖化現象に対する影響が小さい各種の冷媒が開発されており、それらの冷媒を使用する冷凍回路は、既存の冷媒を使用する一般的な冷凍回路と比較して冷媒流路内の冷媒圧力が高い傾向がある。したがって、地球温暖化現象に対する影響が小さい冷媒を採用して温度調整装置１ｘを構成する場合には、熱交換器５ａｘ，５ｂｘにおいて冷媒が漏出することのないように充分な耐圧性を確保する必要がある。特に、圧縮機１１ｘから吐出された直後の高圧の冷媒が導入される熱交換器５ｂｘ（凝縮器１２ｂｘ）では、充分に高い耐圧性を確保する必要がある。このため、占有スペースを小さくするためにプレート式熱交換器を採用するにも拘わらず、充分な耐圧性を確保するために構成部品の強度を充分に高める必要が生じることから、大幅なサイズダウンを望めないだけでなく、製造コストも高騰するおそれがある。
【００１３】
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、省スペース化および製造コストの低減を図りつつランニングコストを充分に低減し得る温度調整装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的を達成すべく、請求項１記載の温度調整装置は、供給対象に供給する被供給液の温度を調整して当該供給対象に供給可能に構成された温度調整装置であって、圧縮機から吐出された冷媒が、第１凝縮器、第１膨張弁および第１蒸発器をこの順で通過して当該圧縮機に吸入されるように配管された第１冷媒流路と、前記圧縮機から吐出された前記冷媒が、第２凝縮器、第２膨張弁および第２蒸発器をこの順で通過して当該圧縮機に吸入されるように配管された第２冷媒流路と、前記圧縮機から吐出された前記冷媒の前記第１冷媒流路に対する流入量および前記第２冷媒流路に対する流入量を調整する流入量調整部とを有する冷凍サイクル、並びに、前記第１蒸発器および前記第２凝縮器を収容可能に構成されると共に前記被供給液の流入が可能な第１流入口および当該被供給液の流出が可能な第１流出口がそれぞれ設けられた第１圧力容器を有し、前記第１蒸発器内の前記冷媒との熱交換、および前記第２凝縮器内の前記冷媒との熱交換によって前記第１圧力容器内の前記被供給液の温度を調整可能に構成された第１熱交換器を備え、前記第１蒸発器は、前記冷媒の通過が可能な第１管状体を有するチューブ式蒸発器で構成され、前記第２凝縮器は、前記冷媒の通過が可能な第２管状体を有するチューブ式凝縮器で構成され、前記第１熱交換器は、外側筒部および当該外側筒部内に収容された内側筒部を備えて前記第１圧力容器が構成されると共に、当該外側筒部および当該内側筒部の間に構成された第１液流路と当該内側筒部の内側に構成された第２液流路とが当該第１圧力容器における一端部側で連通させられ、当該第１液流路に連通するようにして当該第１圧力容器における他端部側に前記第１流入口および前記第１流出口のいずれか一方が設けられ、かつ当該第２液流路に連通するようにして当該第１圧力容器における当該他端部側に当該第１流入口および当該第１流出口の他方が設けられると共に、前記第１液流路内および前記第２液流路内の双方に前記第１管状体および前記第２管状体がそれぞれ配設されている。
【００１６】
請求項２記載の温度調整装置は、請求項１記載の温度調整装置において、前記第１凝縮器および前記第２蒸発器を収容可能に構成されると共に熱媒液の流入が可能な第２流入口および当該熱媒液の流出が可能な第２流出口がそれぞれ設けられた第２圧力容器を有し、当該第２圧力容器内の前記熱媒液との熱交換によって前記第１凝縮器内の前記冷媒を凝縮可能に構成されると共に、当該第２圧力容器内の当該熱媒液との熱交換によって前記第２蒸発器内の前記冷媒を蒸発可能に構成された第２熱交換器を備え、前記第１凝縮器は、前記冷媒の通過が可能な第３管状体を有するチューブ式凝縮器で構成され、前記第２蒸発器は、前記冷媒の通過が可能な第４管状体を有するチューブ式蒸発器で構成されている。
【００１７】
請求項３記載の温度調整装置は、請求項１または２記載の温度調整装置において、前記被供給液としての純水を温度調整して前記供給対象に供給可能に構成されている。
【発明の効果】
【００１８】
請求項１記載の温度調整装置によれば、第１管状体を有するチューブ式蒸発器で構成された第１蒸発器、および第２管状体を有するチューブ式凝縮器で構成された第２凝縮器を第１圧力容器内に収容して構成した第１熱交換器を備え、第１蒸発器内の冷媒との熱交換、および第２凝縮器内の冷媒との熱交換によって第１圧力容器内の被供給液の温度を調整可能に構成したことにより、ヒータによって被供給液を加熱する構成と比較してランニングコストを充分に低減することができるだけでなく、冷凍サイクルによって被供給液を冷却するための熱交換器、および被供給液を加熱するための熱交換器を別個に設けた構成の温度調整装置と比較して、両熱交換器を一体化している分だけ、部品点数が少なく、かつ組立て工数を少なくすることができるため、製造コストを充分に低減することができ、しかも、省スペース化を図ることができる。
【００１９】
また、外側筒部および内側筒部を備えて第１圧力容器を構成すると共に、外側筒部および内側筒部の間の第１液流路および内側筒部の内側の第２液流路の双方に第１管状体および第２管状体をそれぞれ配設して第１熱交換器を構成したことにより、第１熱交換器内において充分に長い時間をかけて被供給液を冷却したり加熱したりすることができるため、温度調整前の被供給液の温度が非常に高い温度のとき、および温度調整前の被供給液の温度が非常に低い温度のときのいずれにおいても、被供給液の温度を目標とする温度まで確実に温度調整することができる。
【００２０】
請求項２記載の温度調整装置によれば、第３管状体を有するチューブ式凝縮器で構成された第１凝縮器、および第４管状体を有するチューブ式蒸発器で構成された第２蒸発器を第２圧力容器内に収容して構成した第２熱交換器を備え、第２圧力容器内の熱媒液との熱交換によって第１凝縮器内の冷媒を凝縮させ、かつ第２圧力容器内の熱媒液との熱交換によって第２蒸発器内の冷媒を蒸発可能に構成したことにより、冷媒凝縮用の熱交換器、および冷媒蒸発用の熱交換器を別個に設けた構成の温度調整装置と比較して、両熱交換器を一体化している分だけ、部品点数が少なく、かつ組立て工数を少なくすることができるため、製造コストを一層低減することができ、かつ一層省スペース化を図ることができる。
【００２１】
請求項３記載の温度調整装置によれば、被供給液としての純水を温度調整して供給対象に供給可能に構成したことにより、供給対象に対して、目標温度範囲内の温度に調整した純水を低コストで確実に供給することができる。また、純水による腐食を回避するために高耐食性金属材料を用いて熱交換器等を製作したとしても、部品点数が少ない分だけ、その製造コストの高騰を回避することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施の形態に係る温度調整装置１の構成図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る温度調整装置１における熱交換器５の断面図である。
【図３】本発明の実施の形態に係る温度調整装置１における熱交換器６の断面図である。
【図４】出願人が開発した従来の温度調整装置１ｘの構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、添付図面を参照して、温度調整装置の実施の形態について説明する。
【００２４】
最初に、「温度調整装置」の一例である温度調整装置１の構成について、添付図面を参照して説明する
【００２５】
図１に示す温度調整装置１は、「温度調整装置」の一例である循環式精密温度調整装置であって、「被供給液」の一例である純水Ｗａの温度を調整して半導体製造装置や医療機器などの「供給対象」（図示せず）に対して供給し、「供給対象」から回収した純水Ｗａを再び温度調整して「供給対象」に再送することができるように構成されている。具体的には、温度調整装置１は、冷凍サイクル２、貯水槽３、ポンプ４、熱交換器５，６、制御部７および温度センサ８が、図示しない筐体内に収容されて一体化されている。
【００２６】
冷凍サイクル２は、圧縮機１１、凝縮器１２ａ，１２ｂ、膨張弁１３ａ，１３ｂ、蒸発器１４ａ，１４ｂおよび分流弁１５ａ，１５ｂを備え、後述するように、制御部７の制御に従い、ポンプ４によって熱交換器５内に圧送される純水Ｗａの温度を調整する。
【００２７】
この場合、本例の温度調整装置１（冷凍サイクル２）では、圧縮機１１から吐出された冷媒（一例として、Ｒ４１０Ａ冷媒）が、「第１凝縮器」、「第１膨張弁」および「第１蒸発器」にそれぞれ相当する凝縮器１２ａ、膨張弁１３ａおよび蒸発器１４ａをこの順で通過して圧縮機１１に吸入される冷媒流路Ｌ１が「第１冷媒流路」に相当する。また、本例の温度調整装置１（冷凍サイクル２）では、圧縮機１１から吐出された冷媒が、「第２凝縮器」、「第２膨張弁」および「第２蒸発器」にそれぞれ相当する凝縮器１２ｂ、膨張弁１３ｂおよび蒸発器１４ｂをこの順で通過して圧縮機１１に吸入される冷媒流路Ｌ２が「第２冷媒流路」に相当する。
【００２８】
さらに、本例の温度調整装置１（冷凍サイクル２）では、分流弁１５ａ，１５ｂが「流入量調整部」に相当し、後述するように、制御部７の制御に従い、分流弁１５ａが、圧縮機１１から吐出された冷媒の冷媒流路Ｌ１に対する流入量を調整し、分流弁１５ｂが、圧縮機１１から吐出された冷媒の冷媒流路Ｌ２に対する流入量を調整する。
【００２９】
貯水槽３は、「供給対象」に供給する純水Ｗａ（「供給対象」から回収した純水Ｗａ）を貯水可能に構成されている。この場合、本例の温度調整装置１では、一例として、冷凍サイクル２による温調前の純水Ｗａ（配管Ｐａ１を介して「供給対象」から回収した純水Ｗａ）を貯水可能に貯水槽３が配設されている。このような構成に代えて（または、このような構成に加えて）、冷凍サイクル２による温調後の純水Ｗａを貯水可能な「貯水槽」（図示せず）を熱交換器５と「供給対象」との間（配管Ｐａ３）に配設することもできる。
【００３０】
ポンプ４は、貯水槽３内の純水Ｗａを熱交換器５に圧送する。この場合、本例の温度調整装置１では、貯水槽３と熱交換器５とを相互に接続する配管Ｐａ２、熱交換器５、および熱交換器５と「供給対象」とを相互に接続する配管Ｐａ３によって貯水槽３から「供給対象」に至る密閉流路が構成されている。これにより、本例の温度調整装置１では、後述するように、ポンプ４が貯水槽３から熱交換器５に配管Ｐａ２を介して純水Ｗａを圧送する圧送力によって熱交換器５内の純水Ｗａが配管Ｐａ３を介して「供給対象」に圧送される。
【００３１】
熱交換器５は、「第１熱交換器」の一例であって、図２に示すように、蒸発器１４ａおよび凝縮器１２ｂを収容可能に構成されると共に純水Ｗａの流入が可能な流入口Ｈａ１（「第１流入口」の一例）および純水Ｗａの流出が可能な流出口Ｈｂ１「第１流出口」の一例）がそれぞれ設けられた圧力容器２１（「第１圧力容器」の一例）を備えている。この熱交換器５は、蒸発器１４ａ内の冷媒との熱交換によって圧力容器２１内の純水Ｗａを冷却したり、凝縮器１２ｂ内の冷媒との熱交換によって圧力容器２１内の純水Ｗａを加熱したりする（純水Ｗａの温度を調整する）ことができるように構成されている。
【００３２】
この場合、本例の温度調整装置１（熱交換器５）では、蒸発器１４ａが、冷媒の通過が可能な冷媒配管３１ａ，３１ｂ（以下、区別しないときには「冷媒配管３１」ともいう）を有する「チューブ式蒸発器（コイル式蒸発器）」で構成されている。また、本例の温度調整装置１（熱交換器５）では、凝縮器１２ｂが、冷媒の通過が可能な冷媒配管４１ａ，４１ｂ（以下、区別しないときには「冷媒配管４１」ともいう）を有する「チューブ式凝縮器（コイル式凝縮器）」で構成されている。なお、本例の熱交換器５では、両冷媒配管３１が「第１管状体」に相当し、かつ両冷媒配管４１が「第２管状体」に相当する。
【００３３】
さらに、本例の温度調整装置１（熱交換器５）では、上記の圧力容器２１が、筒状部２１ａ、底板２１ｂおよび天板２１ｃと、仕切部２２とを備えて構成されている。この場合、この熱交換器５では、一例として、筒状部２１ａが円筒状に形成されると共に、筒状部２１ａの下方開口部が底板２１ｂによって閉塞され、かつ筒状部２１ａの上方開口部が天板２１ｃによって閉塞されて、筒状部２１ａ、底板２１ｂおよび天板２１ｃによって「外側筒部」が構成されている。また、この熱交換器５では、「内側筒部」に相当する仕切部２２が筒状部２１ａよりも小径の円筒状に形成されると共に、一例として、その下端部が底板２１ｂの内面に接するように筒状部２１ａ内に配設されて、仕切部２２の上端部と天板２１ｃの内面との間に隙間Ｓ１が設けられている。
【００３４】
これにより、本例の熱交換器５では、筒状部２１ａおよび仕切部２２の間に構成された被供給液流路Ｌａ１（「第１液流路」の一例）と、仕切部２２の内側に構成された被供給液流路Ｌｂ１（「第２液流路」の一例）とが圧力容器２１における上端部側（前述した隙間Ｓ１の部位：「第１圧力容器における一端部側」の一例）で連通した状態となっている。
【００３５】
さらに、この熱交換器５では、一例として、筒状部２１ａ（圧力容器２１の周面）における下端部寄りの位置（「第１圧力容器における他端部側」の一例）に、被供給液流路Ｌａ１に連通するようにして「第１流入口」に相当する流入口Ｈａ１が開口されている（「第１流入口および第１流出口のいずれか一方」が「第１流入口」の構成の例）。また、この熱交換器５では、底板２１ｂの中央部（「第１圧力容器における他端部側」の一例）に、被供給液流路Ｌｂ１に連通するようにして「第１流出口」に相当する流出口Ｈｂ１が開口されている（「第１流入口および第１流出口の他方」が「第１流出口」の構成の例）。この場合、この熱交換器５では、配管Ｐａ２を接続するための配管接続部２３ａが流入口Ｈａ１に配設され、かつ配管Ｐａ３を接続するための配管接続部２３ｂが流出口Ｈｂ１に配設されている。
【００３６】
また、この熱交換器５では、蒸発器１４ａを構成する冷媒配管３１ａ，３１ｂ、および凝縮器１２ｂを構成する冷媒配管４１ａ，４１ｂが、上記の被供給液流路Ｌａ１および被供給液流路Ｌｂ１の双方に位置するように圧力容器２１内に収容されている。なお、図２では、熱交換器５の構成についての理解を容易とするために、冷媒配管３１によって構成された蒸発器１４ａ（蒸発器を構成するコイル部）における高さ方向の中央部、および冷媒配管４１によって構成された凝縮器１２ｂ（凝縮器を構成するコイル部）における高さ方向の中央部の図示を省略して破線で表している。
【００３７】
この場合、本例の熱交換器５では、一例として、流入口Ｈａ１から圧力容器２１内に導入された純水Ｗａが、圧力容器２１の下端部側部位から上端部側部位に向かって被供給液流路Ｌａ１内を移動した後に、圧力容器２１の上端部側部位から下端部側部位に向かって被供給液流路Ｌｂ１内を移動して流出口Ｈｂ１から圧力容器２１の外部に流出させられるのに対し、冷凍サイクル２の冷媒が、圧力容器２１の下端部側部位から上端部側部位に向かって被供給液流路Ｌｂ１内を移動した後に、圧力容器２１の上端部側部位から下端部側部位に向かって被供給液流路Ｌａ１内を移動して圧力容器２１の外部に流出させられるように冷媒配管３１，４１が配置されている。
【００３８】
また、この熱交換器５では、被供給液流路Ｌａ１内において冷媒配管３１，４１が筒状部２１ａの内周面（仕切部２２の外周面）に沿って螺旋状に巻回されると共に、被供給液流路Ｌｂ１内において冷媒配管３１，４１が仕切部２２の内周面に沿って螺旋状に巻回されている。これにより、本例の熱交換器５では、被供給液流路Ｌａ１，Ｌｂ１を通過させられる純水Ｗａと、冷媒配管３１，４１を通過させられる冷媒とが相互に熱交換させられる時間が充分に長くなっている。
【００３９】
熱交換器６は、「第２熱交換器」の一例であって、一例として、上記の熱交換器５と同様に構成されている。具体的には、図３に示すように、熱交換器６は、蒸発器１４ｂおよび凝縮器１２ａを収容可能に構成されると共に水道水Ｗｂ（一例として、「熱媒液」の一例）の流入が可能な流入口Ｈａ２（「第２流入口」の一例）および水道水Ｗｂの流出が可能な流出口Ｈｂ２「第２流出口」の一例）がそれぞれ設けられた圧力容器５１（「第２圧力容器」の一例）を備えている。この熱交換器６は、圧力容器５１内の水道水Ｗｂとの熱交換によって凝縮器１２ａ内の冷媒を冷却してこれを凝縮させると共に、圧力容器５１内の水道水Ｗｂとの熱交換によって蒸発器１４ｂ内の冷媒を加熱してこれを蒸発させることができるように構成されている。
【００４０】
この場合、本例の温度調整装置１（熱交換器６）では、蒸発器１４ｂが、冷媒の通過が可能な冷媒配管６１ａ，６１ｂ（以下、区別しないときには「冷媒配管６１」ともいう）を有する「チューブ式蒸発器（コイル式蒸発器）」で構成されている。また、本例の温度調整装置１（熱交換器６）では、凝縮器１２ａが、冷媒の通過が可能な冷媒配管７１ａ，７１ｂ（以下、区別しないときには「冷媒配管７１」ともいう）を有する「チューブ式凝縮器（コイル式凝縮器）」で構成されている。なお、本例の熱交換器６では、両冷媒配管６１が「第３管状体」に相当し、かつ両冷媒配管７１が「第４管状体」に相当する。
【００４１】
さらに、本例の温度調整装置１（熱交換器６）では、上記の圧力容器５１が、筒状部５１ａ、底板５１ｂおよび天板５１ｃと、仕切部５２とを備えて構成されている。この場合、この熱交換器６では、一例として、円筒状に形成された筒状部５１ａにおける下方開口部が底板５１ｂによって閉塞され、かつ筒状部５１ａの上方開口部が天板５１ｃによって閉塞されている。また、この熱交換器６では、筒状部５１ａよりも小径の円筒状に形成された仕切部５２の下端部が底板５１ｂの内面に接するようにして筒状部５１ａ内に仕切部５２が配設されて、仕切部５２の上端部と天板５１ｃの内面との間に隙間Ｓ２が設けられている。これにより、本例の熱交換器６では、筒状部５１ａおよび仕切部５２の間に構成された熱媒液流路Ｌａ２と、仕切部５２の内側に構成された熱媒液流路Ｌｂ２とが圧力容器５１における上端部側（前述した隙間Ｓ２の部位）で連通した状態となっている。
【００４２】
さらに、この熱交換器６では、一例として、筒状部５１ａ（圧力容器５１の周面）における下端部寄りの位置に、熱媒液流路Ｌａ２に連通するようにして「第２流入口」に相当する流入口Ｈａ２が開口されている。また、この熱交換器６では、底板５１ｂの中央部に、熱媒液流路Ｌｂ２に連通するようにして「第２流出口」に相当する流出口Ｈｂ２が開口されている。この場合、この熱交換器６では、配管Ｐｂ１（図１参照）を接続するための配管接続部５３ａが流入口Ｈａ２に配設され、かつ配管Ｐｂ２（図１参照）を接続するための配管接続部５３ｂが流出口Ｈｂ２に配設されている。
【００４３】
また、この熱交換器６では、蒸発器１４ｂを構成する冷媒配管６１ａ，６１ｂ、および凝縮器１２ａを構成する冷媒配管７１ａ，７１ｂが、上記の熱媒液流路Ｌａ２および熱媒液流路Ｌｂ２の双方に位置するように圧力容器５１内に収容されている。なお、図３では、熱交換器６の構成についての理解を容易とするために、冷媒配管６１によって構成された蒸発器１４ｂ（蒸発器を構成するコイル部）における高さ方向の中央部、および冷媒配管７１によって構成された凝縮器１２ａ（凝縮器を構成するコイル部）における高さ方向の中央部の図示を省略して破線で表している。
【００４４】
この場合、本例の熱交換器６では、一例として、流入口Ｈａ２から圧力容器５１内に導入された水道水Ｗｂが、圧力容器５１の下端部側部位から上端部側部位に向かって熱媒液流路Ｌａ２内を移動した後に、圧力容器５１の上端部側部位から下端部側部位に向かって熱媒液流路Ｌｂ２内を移動して流出口Ｈｂ２から圧力容器５１の外部に流出させられるのに対し、冷凍サイクル２の冷媒が、圧力容器５１の下端部側部位から上端部側部位に向かって熱媒液流路Ｌｂ２内を移動した後に、圧力容器５１の上端部側部位から下端部側部位に向かって熱媒液流路Ｌａ２内を移動して圧力容器５１の外部に流出させられるように冷媒配管６１，７１が配置されている。
【００４５】
また、この熱交換器６では、熱媒液流路Ｌａ２内において冷媒配管６１，７１が筒状部５１ａの内周面（仕切部５２の外周面）に沿って螺旋状に巻回されると共に、熱媒液流路Ｌｂ２内において冷媒配管６１，７１が仕切部５２の内周面に沿って螺旋状に巻回されている。これにより、本例の熱交換器６では、熱媒液流路Ｌａ２，Ｌｂ２を通過させられる水道水Ｗｂと、冷媒配管６１，７１を通過させられる冷媒とが相互に熱交換させられる時間が充分に長くなっている。
【００４６】
制御部７は、温度調整装置１を総括的に制御する。具体的には、制御部７は、ポンプ４を制御して貯水槽３から熱交換器５に配管Ｐａ２を介して純水Ｗａを圧送させることにより、熱交換器５を通過させた純水Ｗａを熱交換器５から「供給対象」に配管Ｐａ３を介して圧送させる（熱交換器５において温度調整した純水Ｗａの「供給対象」への供給）。また、制御部７は、温度センサ８からのセンサ信号に基づいて純水Ｗａの温度を特定し、特定した温度が、予め設定された温度範囲内の温度（「供給対象」に供給すべき純水Ｗａの温度として設定された温度）となるように冷凍サイクル２を制御する。なお、冷凍サイクル２の制御による純水Ｗａの温度調整については、後に詳細に説明する。温度センサ８は、一例として、配管Ｐａ３に配設されており、熱交換器５から「供給対象」に供給される純水Ｗａの温度を検出してセンサ信号を出力する。
【００４７】
次に、温度調整装置１による純水Ｗａの供給処理について、添付図面を参照して説明する。
【００４８】
この温度調整装置１の使用に際しては、まず、純水Ｗａを供給する「供給対象」の近傍に温度調整装置１を設置する。この際には、一例として、「供給対象」に接続された浄化装置（「供給対象」において使用された純水Ｗａから不純物を除去する装置：図示せず）と温度調整装置１の貯水槽３とを配管Ｐａ１によって相互に接続すると共に、「供給対象」と温度調整装置１の熱交換器５（配管接続部２３ｂ）とを配管Ｐａ３によって相互に接続する。これにより、浄化装置から配管Ｐａ１を介して回収される純水Ｗａが貯水槽３内に貯水される状態となる。次いで、ポンプ４内、配管Ｐａ２内、熱交換器５内および配管Ｐａ３内に純水Ｗａを供給して脱気する。
【００４９】
続いて、図示しない上水道源と温度調整装置１の熱交換器６（配管接続部５３ａ）とを配管Ｐｂ１によって相互に接続すると共に、図示しない排水処理設備と熱交換器６（配管接続部５３ｂ）とを配管Ｐｂ２によって相互に接続する。次いで、上水道源から配管Ｐｂ１を介して水道水Ｗｂを供給することにより、配管Ｐｂ１内、熱交換器６内および配管Ｐｂ２内を脱気する。以上により、温度調整装置１によって「供給対象」に純水Ｗａを供給する準備が整う。
【００５０】
一方、図示しない操作部のスイッチ操作によって「供給対象」への純水Ｗａの供給開始を指示されたときに、制御部７は、ポンプ４を制御して貯水槽３から熱交換器５に配管Ｐａ２を介して純水Ｗａを圧送させると共に、冷凍サイクル２における圧縮機１１を制御して冷媒の圧縮を開始させる。また、制御部７は、温度センサ８からのセンサ信号に基づき、熱交換器５から配管Ｐａ３を介して「供給対象」に供給される純水Ｗａの温度を特定する。
【００５１】
この際に、温度センサ８からのセンサ信号に基づいて特定した純水Ｗａの温度が予め設定された温度範囲よりも高い温度のときに、制御部７は、冷凍サイクル２によって純水Ｗａを冷却する「冷却処理」を実行する。具体的には、制御部７は、まず、分流弁１５ａ，１５ｂを制御することにより、圧縮機１１から吐出された冷媒の冷媒流路Ｌ１に対する流入量を増加させ、かつ冷媒流路Ｌ２に対する冷媒の流入量を減少させる。
【００５２】
この際に、冷媒流路Ｌ１に流入した冷媒は、熱交換器６内の凝縮器１２ａにおいて水道水Ｗｂとの熱交換によって冷却されることで凝縮させられ、膨張弁１３ａを通過して熱交換器５内の蒸発器１４ａ内に吐出されることで純水Ｗａとの熱交換によって蒸発した後に、圧縮機１１に吸引される。また、冷媒流路Ｌ２に流入した冷媒は、熱交換器５内の凝縮器１２ｂにおいて純水Ｗａとの熱交換によって冷却されることで凝縮させられ、膨張弁１３ｂを通過して熱交換器６内の蒸発器１４ｂ内に吐出されることで水道水Ｗｂとの熱交換によって蒸発した後に、圧縮機１１に吸引される。
【００５３】
これにより、冷媒流路Ｌ２に流入させられる冷媒の量よりも、冷媒流路Ｌ１に流入させられる冷媒の量の方が多くなっている本例では、熱交換器５内における蒸発器１４ａ内の冷媒との熱交換によって熱交換器５内の純水Ｗａが充分に冷却される結果、熱交換器５から配管Ｐａ３に流出する純水Ｗａの温度が設定温度範囲内の充分に低い温度となる。なお、本例とは相違するが、「被供給液」を高精度に温度調整する必要がないとき（目標温度範囲が広いとき）には、冷媒流路Ｌ２への冷媒の流入を停止させる制御を行うこともできる。
【００５４】
この場合、本例の温度調整装置１では、前述したように、熱交換器５内の被供給液流路Ｌａ１，Ｌｂ１が圧力容器２１の上方部位（隙間Ｓ１の部位）において連通させられて流入口Ｈａ１から流出口Ｈｂ１までの充分に長い流路（圧力容器２１の筒長方向の長さの約２倍の長さの流路）が熱交換器５内に形成されている。また、本例の温度調整装置１では、上記の被供給液流路Ｌａ１，Ｌｂ１の双方に蒸発器１４ａを構成する冷媒配管３１ａ，３１ｂが配設されている。したがって、配管Ｐａ２を介して熱交換器５に圧送された純水Ｗａは、流入口Ｈａ１から熱交換器５内に流入してから、被供給液流路Ｌａ１，Ｌｂ１を通過して流出口Ｈｂ１から配管Ｐａ３に流出するまで、充分に長い時間に亘って蒸発器１４ａ内（冷媒配管３１ａ，３１ｂ内）の冷媒と熱交換させられる結果、純水Ｗａが確実に冷却される。
【００５５】
また、本例の温度調整装置１では、熱交換器６内における水道水Ｗｂとの熱交換によって凝縮器１２ａ内で充分な量の冷媒が凝縮させられるため、熱交換器５内において純水Ｗａを冷却するのに必要となる充分な量の冷媒が膨張弁１３ａを通過して蒸発器１４ａ内に供給される。これにより、貯水槽３内の純水Ｗａの温度が非常に高い温度であったとしても、熱交換器５内においてこの純水Ｗａを充分に冷却することが可能となっており、設定温度範囲内の温度に調整した純水Ｗａを「供給対象」に対して継続的に供給することが可能となっている。
【００５６】
この場合、本例の温度調整装置１では、前述したように、熱交換器６内の熱媒液流路Ｌａ２，Ｌｂ２が圧力容器５１の上方部位（隙間Ｓ２の部位）において連通させられて流入口Ｈａ２から流出口Ｈｂ２までの充分に長い流路（圧力容器５１の筒長方向の長さの約２倍の長さの流路）が熱交換器６内に形成されている。また、本例の温度調整装置１では、上記の熱媒液流路Ｌａ２，Ｌｂ２の双方に凝縮器１２ｂを構成する冷媒配管７１ａ，７１ｂが配設されている。したがって、配管Ｐｂ１を介して熱交換器６に圧送された水道水Ｗｂは、流入口Ｈａ２から熱交換器６内に流入してから、熱媒液流路Ｌａ２，Ｌｂ２を通過して流出口Ｈｂ２から配管Ｐｂ２に流出するまで、充分に長い時間に亘って凝縮器１２ａ内（冷媒配管７１ａ，７１ｂ内）の冷媒と熱交換させられる結果、凝縮器１２ａ内の冷媒が確実に凝縮させられる。
【００５７】
一方、温度センサ８からのセンサ信号に基づいて特定した純水Ｗａの温度が設定温度範囲よりも低い温度のときに、制御部７は、冷凍サイクル２によって純水Ｗａを加熱する「加熱処理」を実行する。具体的には、制御部７は、まず、分流弁１５ａ，１５ｂを制御することにより、圧縮機１１から吐出された冷媒の冷媒流路Ｌ２に対する流入量を増加させ、かつ冷媒流路Ｌ１に対する冷媒の流入量を減少させる。
【００５８】
この際に、冷媒流路Ｌ２に流入した冷媒は、熱交換器５内の凝縮器１２ｂにおいて純水Ｗａとの熱交換によって冷却されることで凝縮させられ、膨張弁１３ｂを通過して熱交換器６内の蒸発器１４ｂ内に吐出されることで水道水Ｗｂとの熱交換によって蒸発した後に、圧縮機１１に吸引される。また、冷媒流路Ｌ１に流入した冷媒は、熱交換器６内の凝縮器１２ａにおいて水道水Ｗｂとの熱交換によって冷却されることで凝縮させられ、膨張弁１３ａを通過して熱交換器５内の蒸発器１４ａ内に吐出されることで純水Ｗａとの熱交換によって蒸発した後に、圧縮機１１に吸引される。
【００５９】
これにより、冷媒流路Ｌ１に流入させられる冷媒の量よりも、冷媒流路Ｌ２に流入させられる冷媒の量の方が多くなっている本例では、熱交換器５内における凝縮器１２ｂ内の冷媒との熱交換によって熱交換器５内の純水Ｗａが充分に加熱される結果、熱交換器５から配管Ｐａ３に流出する純水Ｗａの温度が設定温度範囲内の充分に高い温度となる。なお、本例とは相違するが、「被供給液」を高精度に温度調整する必要がないとき（目標温度範囲が広いとき）には、冷媒流路Ｌ１への冷媒の流入を停止させる制御を行うこともできる。
【００６０】
この場合、本例の温度調整装置１では、前述したように、熱交換器５内に形成された充分に長い被供給液流路Ｌａ１，Ｌｂ１の双方に凝縮器１２ｂを構成する冷媒配管４１ａ，４１ｂが配設されている。したがって、配管Ｐａ２を介して熱交換器５に圧送された純水Ｗａは、流入口Ｈａ１から熱交換器５内に流入してから、被供給液流路Ｌａ１，Ｌｂ１を通過して流出口Ｈｂ１から配管Ｐａ３に流出するまで、充分に長い時間に亘って凝縮器１２ｂ内（冷媒配管４１ａ，４１ｂ内）の冷媒と熱交換させられる結果、純水Ｗａが確実に加熱される。
【００６１】
また、本例の温度調整装置１では、熱交換器５内における純水Ｗａとの熱交換によって凝縮させられた大量の冷媒が、膨張弁１３ｂを通過して蒸発器１４ｂ内に供給されたときに、この冷媒が、熱交換器６内における水道水Ｗｂとの熱交換によって確実に蒸発させられる。これにより、貯水槽３内の純水Ｗａの温度が非常に低い温度であり、凝縮器１２ｂに対して大量の冷媒を供給する必要があるときにも、液状の冷媒が圧縮機１１に吸引されて圧縮機１１が破損する事態を回避しつつ、設定温度範囲内の温度に調整した純水Ｗａを「供給対象」に対して継続的に供給することが可能となっている。
【００６２】
この場合、本例の温度調整装置１では、前述したように、熱交換器６内に形成された充分に長い熱媒液流路Ｌａ２，Ｌｂ２の双方に蒸発器１４ｂを構成する冷媒配管６１ａ，６１ｂが配設されている。したがって、配管Ｐｂ１を介して熱交換器６に圧送された水道水Ｗｂは、流入口Ｈａ２から熱交換器６内に流入してから、熱媒液流路Ｌａ２，Ｌｂ２を通過して流出口Ｈｂ２から配管Ｐｂ２に流出するまで、充分に長い時間に亘って蒸発器１４ｂ内（冷媒配管６１ａ，６１ｂ内）の冷媒と熱交換させられる結果、蒸発器１４ｂ内の冷媒が確実に蒸発させられる。
【００６３】
さらに、この温度調整装置１では、前述したように、蒸発器１４ａを構成する冷媒配管３１、および凝縮器１２ｂを構成する冷媒配管４１の双方が圧力容器２１内に収容され、純水Ｗａを冷却するための「熱交換器」と、純水Ｗａを加熱するための「熱交換器」とが一体的に形成されている。したがって、この温度調整装置１では、出願人が開発した従来の温度調整装置１ｘとは異なり、冷却用の熱交換器５ａｘ、および加熱用の熱交換器５ｂｘを別個に用意することなく、１つの熱交換器５によって純水Ｗａの温度を任意に調整することが可能となっている。
【００６４】
この場合、「被供給液」として純水Ｗａの温度を調整する「温度調整装置」では、純水Ｗａに接触している部位の腐食を回避するために、「熱交換器」や「配管」などをステンレススチール等の高耐食性金属材料で形成する必要がある。したがって、出願人が開発した従来の温度調整装置１ｘのように２つの熱交換器５ａｘ，５ｂｘを別個に形成して配管Ｐａｘによって相互に接続した場合には、高価な高耐食性金属材料を大量に使用することから、製造コストの低減が困難となる。これに対して、本例の温度調整装置１では、１つの熱交換器５によって純水Ｗａの加熱および冷却を行う構成を採用したことで、出願人が開発した従来の温度調整装置１ｘと比較して高耐食性金属材料の使用量が充分に少なくなっている。
【００６５】
また、図４に示すように、出願人が開発した従来の温度調整装置１ｘでは、熱交換器５ａｘにおいて純水Ｗａｘを冷却するために蒸発器１４ａｘに供給すべき冷媒を、水道水Ｗｂｘとの熱交換によって凝縮させるための熱交換器６ａｘ（凝縮器１２ａｘを収容した熱交換器）と、熱交換器５ｂｘにおいて純水Ｗａｘを加熱するのに使用されて凝縮器１２ｂｘから吐出された冷媒を、水道水Ｗｂｘとの熱交換によって蒸発させるための熱交換器６ｂｘ（蒸発器１４ｂｘを収容した熱交換器）とを別個に用意し、両熱交換器６ａｘ，６ｂｘを配管Ｐｂｘによって相互に連結する構成が採用されている。
【００６６】
このため、従来の温度調整装置１ｘでは、２つの熱交換器６ａｘ，６ｂｘおよび配管Ｐｂｘによって占有されるスペースの分だけ、温度調整装置１ｘが大型化している現状がある。また、従来の温度調整装置１ｘでは、冷媒凝縮用の熱交換器６ａｘおよび冷媒蒸発用の熱交換器６ｂｘを別個に用意し、かつ配管Ｐｂｘによってこれらを相互に接続する構成を採用している分だけ、温度調整装置１ｘの製造コスト（材料コストおよび組立てコスト）の低減が困難となっているという現状もある。
【００６７】
これに対して、この温度調整装置１では、前述したように、蒸発器１４ｂを構成する冷媒配管６１、および凝縮器１２ａを構成する冷媒配管７１の双方が圧力容器５１内に収容され、冷媒蒸発用の「熱交換器」と、冷媒凝縮用の「熱交換器」とが一体的に形成されている。したがって、この温度調整装置１では、出願人が開発した従来の温度調整装置１ｘとは異なり、熱交換器６ａｘ，６ｂｘを別個に用意することなく、１つの熱交換器６によって冷凍サイクル２を正常に動作させることが可能となっている。
【００６８】
この場合、前述したように、出願人が開発した従来の温度調整装置１における熱交換器５ａｘ，５ｂｘや、熱交換器６ａｘ，６ｂｘのうちのいずれか、またはすべてを「プレート式熱交換器」で構成することにより、「被供給液」を冷却するための「熱交換器」（熱交換器５ａｘに代わる熱交換器）、「被供給液」を加熱するための「熱交換器」（熱交換器５ｂｘに代わる熱交換器）、冷媒凝縮用の「熱交換器」（熱交換器６ａｘに代わる熱交換器）、および冷媒蒸発用の「熱交換器」（熱交換器６ｂｘに代わる熱交換器）を別個に配設しても、これらによって占有されるスペースを省スペース化できる可能性がある。しかしながら、例えば本例の温度調整装置１のようにＲ４１０Ａ冷媒を採用したときには、既存の一般的な冷媒を採用した冷凍回路よりも、冷媒流路Ｌ１ｘ，Ｌ２ｘ内の冷媒圧力が高くなる。このため、各プレート式熱交換器の耐圧性を確保する必要が生じることから、大幅なサイズダウンを望めないだけでなく、製造コストも高騰するおそれがある。
【００６９】
これに対して、圧力容器２１内にチューブ式の蒸発器１４ａ（冷媒配管３１）や、チューブ式の凝縮器１２ｂ（冷媒配管４１）を収容した熱交換器５、および圧力容器５１内にチューブ式の蒸発器１４ｂ（冷媒配管６１）や、チューブ式の凝縮器１２ａ（冷媒配管７１）を収容した熱交換器６では、大型化を招くことなく、充分に高い耐圧性を確保することが可能となっている。したがって、本例の温度調整装置１では、地球温暖化現象に対する影響が小さいＲ４１０Ａ冷媒等の次世代冷媒を採用して、純水Ｗａの温度を任意に調整することが可能となっている。
【００７０】
このように、この温度調整装置１によれば、冷媒配管３１ａ，３１ｂを有する「チューブ式蒸発器」で構成された蒸発器１４ａ、および冷媒配管４１ａ，４１ｂを有する「チューブ式凝縮器」で構成された凝縮器１２ｂを圧力容器２１内に収容して構成した熱交換器５を備え、蒸発器１４ａ内の冷媒との熱交換、および凝縮器１２ｂ内の冷媒との熱交換によって圧力容器２１内の純水Ｗａの温度を調整可能に構成したことにより、ヒータによって純水Ｗａを加熱する構成と比較してランニングコストを充分に低減することができるだけでなく、冷凍サイクル２によって純水Ｗａを冷却するための「熱交換器」、および純水Ｗａを加熱するための「熱交換器」を別個に設けた構成の「温度調整装置」と比較して、両「熱交換器」を一体化している分だけ、部品点数が少なく、かつ組立て工数を少なくすることができるため、製造コストを充分に低減することができ、しかも、省スペース化を図ることができる。
【００７１】
また、この温度調整装置１によれば、筒状部２１ａ、底板２１ｂ、天板２１ｃおよび仕切部２２を備えて圧力容器２１を構成すると共に、筒状部２１ａおよび仕切部２２の間の被供給液流路Ｌａ１および仕切部２２の内側の被供給液流路Ｌｂ１の双方に冷媒配管３１ａ，３１ｂ，４１ａ，４１ｂをそれぞれ配設して熱交換器５を構成したことにより、熱交換器５内において充分に長い時間をかけて純水Ｗａを冷却したり加熱したりすることができるため、温度調整前の純水Ｗａの温度が非常に高い温度のとき、および温度調整前の純水Ｗａの温度が非常に低い温度のときのいずれにおいても、純水Ｗａの温度を目標とする温度まで確実に温度調整することができる。
【００７２】
さらに、この温度調整装置１によれば、冷媒配管６１ａ，６１ｂを有する「チューブ式凝縮器」で構成された凝縮器１２ａ、および冷媒配管７１ａ，７１ｂを有する「チューブ式蒸発器」で構成された蒸発器１４ｂを圧力容器５１内に収容して構成した熱交換器６を備え、圧力容器５１内の水道水Ｗｂとの熱交換によって凝縮器１２ａ内の冷媒を凝縮させ、かつ圧力容器５１内の水道水Ｗｂとの熱交換によって蒸発器１４ｂ内の冷媒を蒸発可能に構成したことにより、冷媒凝縮用の「熱交換器」、および冷媒蒸発用の「熱交換器」を別個に設けた構成の「温度調整装置」と比較して、両「熱交換器」を一体化している分だけ、部品点数が少なく、かつ組立て工数を少なくすることができるため、製造コストを一層低減することができ、かつ一層省スペース化を図ることができる。
【００７３】
また、この温度調整装置１によれば、「被供給液」としての純水を温度調整して「供給対象」に供給可能に構成したことにより、「供給対象」に対して、目標温度範囲内の温度に調整した純水Ｗａを低コストで確実に供給することができる。また、純水Ｗａによる腐食を回避するために高耐食性金属材料を用いて熱交換器５等を製作したとしても、部品点数が少ない分だけ、その製造コストの高騰を回避することができる。
【００７４】
なお、「温度調整装置」の構成は、上記の温度調整装置１の構成に限定されるものではない。例えば、上記の温度調整装置１における熱交換器６に代えて、出願人が開発した従来の温度調整装置１ｘにおける熱交換器６ａｘ，６ｂｘおよび配管Ｐｂｘを配管Ｐｂ１，Ｐｂ２の間に配設して「温度調整装置」を構成することもできる（「第２熱交換器」を備えていない構成の一例）。また、そのような構成の「温度調整装置」における熱交換器６ａｘ，６ｂｘのいずれか、または双方に代えて、周囲の空気と冷媒とを熱交換させる「熱交換器」を配設して「温度調整装置」を構成することもできる（「第２熱交換器」を備えていない構成の他の一例）。
【００７５】
また、「被供給液」としての純水Ｗａを温度調整して「供給対象」に供給する例について説明したが、「水道水」、「不凍液」および「オイル」などの各種の液体を「被供給液」として温度調整して「供給対象」に供給する構成を採用することができる。さらに、「熱媒液」としての水道水Ｗｂを「第２熱交換器」としての熱交換器６に供給する例について説明したが、「不凍液」や「オイル」などの各種の液体を「熱媒液」として「第２熱交換器」に供給する構成を採用することができる。
【符号の説明】
【００７６】
１  温度調整装置
２  冷凍サイクル
３  貯水槽
４  ポンプ
５  熱交換器
６  熱交換器
７  制御部
８  温度センサ
１１  圧縮機
１２ａ，１２ｂ  凝縮器
１３ａ，１３ｂ  膨張弁
１４ａ，１４ｂ  蒸発器
１５ａ，１５ｂ  分流弁
２１，５１  圧力容器
２１ａ，５１ａ  筒状部
２１ｂ，５１ｂ  底板
２１ｃ，５１ｃ  天板
２２，５２  仕切部
２３ａ，２３ｂ，５３ａ，５３ｂ  配管接続部
３１ａ，３１ｂ，４１ａ，４１ｂ，６１ａ，６１ｂ，７１ａ，７１ｂ  冷媒配管
Ｈａ１，Ｈａ２  流入口
Ｈｂ１，Ｈｂ２  流出口
Ｌ１，Ｌ２  冷媒流路
Ｌａ１，Ｌｂ１  被供給液流路
Ｌａ２，Ｌｂ２  熱媒液流路
Ｐａ１〜Ｐａ３，Ｐｂ１，Ｐｂ２  配管
Ｓ１，Ｓ２  隙間
Ｗａ  純水
Ｗｂ  水道水
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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