(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
弾性力を有する板素材から打ち抜かれた本体が、折曲されて形成された、ポゴピン部及びバレル部のツーピース（two piece）構造からなり、
前記ポゴピン部は、上端に外部接触点が形成された、筒形状に折曲されて形成された上部プランジャーと、下端に外部接触点が形成された、筒形状に折曲されて形成された下部プランジャーと、前記打ち抜かれた本体の少なくとも一つ以上の山形状に打ち抜かれた部位が外側から中心部の内側に巻き取るように折曲されて形成された、前記上部プランジャーの下端と前記下部プランジャーの上端に連結されて一つ以上のバネで形成されたバネ部とを備え、
前記バレル部は、前記ポゴピン部の一部を覆う筒形構造であって、その外側面に外側に弾性力を有するバレル固定バネ部が突出形成され、
前記ポゴピン部は、上部プランジャーの下端に連結した上部バネと、下部プランジャーの上端に連結した下部バネと、前記上部バネと前記下部バネとの間を連結する筒形状に折曲された内部バレルとを備え、
前記バレル部のバレル胴体に内側に固定突起が突出形成され、それに対応する位置の内部バレルに固定孔が形成され、前記固定突起が前記固定孔にはめ込まれて組み立てられることを特徴とする、プローブピン。
【請求項２】
弾性力を有する板素材から打ち抜かれた本体が、折曲されて形成された、ポゴピン部及びバレル部のツーピース（two piece）構造からなり、
前記ポゴピン部は、上端に外部接触点が形成された、筒形状に折曲されて形成された上部プランジャーと、下端に外部接触点が形成された、筒形状に折曲されて形成された下部プランジャーと、前記打ち抜かれた本体の少なくとも一つ以上の山形状に打ち抜かれた部位が外側から中心部の内側に巻き取るように折曲されて形成された、前記上部プランジャーの下端と前記下部プランジャーの上端に連結されて一つ以上のバネで形成されたバネ部とを備え、
前記バレル部は、前記ポゴピン部の一部を覆う筒形構造であって、その外側面に外側に弾性力を有するバレル固定バネ部が突出形成され、
前記バレル固定バネ部は、前記バレル部のバレル胴体に並んで打孔されたバレル固定バネ溝の間の板部分を外側に突出するように折曲したバレル固定バネ板であることを特徴とする、プローブピン。
【請求項３】
前記バレル固定バネ部は、前記バレル部のバレル胴体の一部が外側に開くように折曲してハウジング本体のハウジング貫通孔に前記バレル部が挿入される時、外側に弾発作用する組立締結片であることを特徴とする、請求項１に記載のプローブピン。
【請求項４】
前記上部プランジャーと下部プランジャーの片側又は両側に外側に案内突起が突出形成され、前記バレル部のバレル胴体にこれに対応する長孔形態の案内孔が形成されて案内突起が案内孔に沿って上下に緩衝作動することを特徴とする、請求項１に記載のプローブピン。
【請求項５】
前記上部プランジャーと下部プランジャーに切欠及び上下折曲によって内外側に弾発作動する弾発密着部が突出形成されてバレル部の内周面に弾発密着することを特徴とする、請求項１に記載のプローブピン。
【請求項６】
弾性力を有する板素材から打ち抜かれた本体が、折曲されて形成された、ポゴピン部及びバレル部のツーピース（two piece）構造からなり、
前記ポゴピン部は、上端に外部接触点が形成された、筒形状に折曲されて形成された上部プランジャーと、下端に外部接触点が形成された、筒形状に折曲されて形成された下部プランジャーと、前記打ち抜かれた本体の少なくとも一つ以上の山形状に打ち抜かれた部位が外側から中心部の内側に巻き取るように折曲されて形成された、前記上部プランジャーの下端と前記下部プランジャーの上端に連結されて一つ以上のバネで形成されたバネ部とを備え、
前記バレル部は、前記ポゴピン部の一部を覆う筒形構造であって、その外側面に外側に弾性力を有するバレル固定バネ部が突出形成され、
前記バレル部のバレル胴体に内側に固定突起が突出形成され、それに対応する位置の上部プランジャーや下部プランジャーに固定孔が形成されて前記固定突起が前記固定孔にはめ込まれて組み立てられることを特徴とする、プローブピン。
【請求項７】
弾性力を有する板素材を打ち抜きして、プローブピンの上部プランジャー、下部プランジャー、バネ部が連結したポゴピン部と、バレル固定バネ部を備えたバレル部を形成するための平面形状の打ち抜きした本体を形成するパンチング段階；
前記ポゴピン部の前記バネ部を形成するために少なくとも一つ以上の山形状に打ち抜きした本体を外側から中心部の内側に巻き取るように折曲し、前記上部プランジャーと前記下部プランジャーを筒形状に折曲し、これと別途に前記バレル部は前記ポゴピン部を覆うことができる程度に一部のみを折曲するフォーミング段階；及び
前記バレル部が前記ポゴピン部を覆うように折曲して結合した後、前記バレル部を追加で折曲する結合段階；を含み、
前記フォーミング段階で、前記バレル部にバレル固定バネ溝を並んで打孔し、前記バレル固定バネ溝の間の板部分を外側に突出するように折曲してバレル固定バネ板を形成することを特徴とする、プローブピンの製造方法。
【請求項８】
弾性力を有する板素材を打ち抜きして、プローブピンの上部プランジャー、下部プランジャー、バネ部が連結したポゴピン部と、バレル固定バネ部を備えたバレル部を形成するための平面形状の打ち抜きした本体を形成するパンチング段階；
前記ポゴピン部の前記バネ部を形成するために少なくとも一つ以上の山形状に打ち抜きした本体を外側から中心部の内側に巻き取るように折曲し、前記上部プランジャーと前記下部プランジャーを筒形状に折曲し、これと別途に前記バレル部は前記ポゴピン部を覆うことができる程度に一部のみを折曲するフォーミング段階；及び
前記バレル部が前記ポゴピン部を覆うように折曲して結合した後、前記バレル部を追加で折曲する結合段階；を含み、
前記パンチング段階で上部プランジャーの下端に連結した上部バネと、下部プランジャーの上端に連結した下部バネと、前記上部バネと前記下部バネとの間を連結する内部バレルを備えるバネ部を有する打ち抜きした本体を形成し、前記内部バレルの両側に半円溝を形成して前記バレル部のバレル胴体に固定突起を形成し、
前記フォーミング段階で折曲によって内部バレルの両側の半円溝に互いを突き合わせるようにして真円の固定孔を形成し、
前記結合段階でバレル胴体の固定突起を内部バレルの固定孔にはめ込んで結合することを特徴とする、プローブピンの製造方法。
【請求項９】
弾性力を有する板素材を打ち抜きして、プローブピンの上部プランジャー、下部プランジャー、バネ部が連結したポゴピン部と、バレル固定バネ部を備えたバレル部を形成するための平面形状の打ち抜きした本体を形成するパンチング段階；
前記ポゴピン部の前記バネ部を形成するために少なくとも一つ以上の山形状に打ち抜きした本体を外側から中心部の内側に巻き取るように折曲し、前記上部プランジャーと前記下部プランジャーを筒形状に折曲し、これと別途に前記バレル部は前記ポゴピン部を覆うことができる程度に一部のみを折曲するフォーミング段階；及び
前記バレル部が前記ポゴピン部を覆うように折曲して結合した後、前記バレル部を追加で折曲する結合段階；を含み、
前記パンチング段階で上部プランジャーもしくは下部プランジャーの両側に半円溝を形成し、前記バレル部のバレル胴体に固定突起を形成し、
前記フォーミング段階で折曲によって上部プランジャーもしくは下部プランジャーの両側の半円溝を互いに突き合わせるようにして真円の固定孔を形成し、
前記結合段階でバレル胴体の固定突起を上部プランジャーもしくは下部プランジャーの固定孔にはめ込んで結合することを特徴とする、プローブピンの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブピン及びその製造方法に関し、さらに詳細には、中間のバネによって上下に緩衝作動してポゴピン部とバレル部の２つのピースから構成される２ピース構造からなるプローブピン及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、ウエハーに形成された素子と半導体チップパッケージをテストするためのテストソケットなどの電気、電子機械部品には上下に接点構造を有するバネタイプのプローブピンを使用している。
【０００３】
このようなバネタイプのプローブピンは一般に韓国特許登録第１０−１０３１６３４号などに多様な形態で知られているが、これは上、下接点部の間にバネを連結形成した構造からなり、上下に荷重が印加されるとバネが弾発緩衝作動する。
【０００４】
図１は従来のプローブピンのソケット結合構造を示す断面図であり、図２は図１の分解図であって、図１及び図２に示されたように、バレルサスペンド型プローブピン８０１が挿入されるソケットは上下二つの本体の上部ソケット８０５と下部ソケット８０７に分離構成され、上部ソケット８０５と下部ソケット８０７に上部挿入孔８１１と下部挿入孔８１５がそれぞれ形成される。
【０００５】
また、前記上部挿入孔８１１と下部挿入孔８１５の中央に上部サスペンド溝８１３と下部サスペンド溝８１７が形成され、バレルサスペンド型プローブピン８０１の中央外側にサスペンド突起８０３が突出形成される。
【０００６】
このような構成によって下部ソケット８０７の下部挿入孔８１５に前記バレルサスペンド型プローブピン８０１を挿入し、前記下部ソケット８０７の上部に上部ソケット８０５を結合するが、下部ソケット８０７の下部挿入孔８１５に既に挿入されたバレルサスペンド型プローブピン８０１を上部ソケット８０５の上部挿入孔８１１に挿入して結合する。
【０００７】
この時、バレルサスペンド型プローブピン８０１の中央外側のサスペンド突起８０３が上部ソケット８０５の上部挿入孔８１１の中央に位置する上部サスペンド溝８１３と下部ソケット８０７の下部挿入孔８１５の中央に位置する下部サスペンド溝８１７に挿入されるように位置して離脱するのを防ぐ。
【０００８】
しかし、前述した従来のバレルサスペンド型プローブピン８０１は上下に分離した上部ソケット８０５と下部ソケット８０７に組み立てられるので加工が複雑になり、組立時にバレルサスペンド型プローブピン８０１が損傷する問題点があった。
【０００９】
また、前記上部ソケット８０５と下部ソケット８０７にバレルサスペンド型プローブピン８０１を組み立てるための上部挿入孔８１１と下部挿入孔８１５のアライメント公差を精密に合わせなければならないので加工性が悪く、これにより加工と組立コストが多くかかる。
【００１０】
また、前記下部ソケット８０７の下部挿入孔  ８１５にバレルサスペンド型プローブピン８０１を挿入した後、上部ソケット８０５の上部組立孔８１１を挿入して装着するので分解、組立による作業性に劣り、特に下部ソケット８０７の下部挿入孔８１５にバレルサスペンド型プローブピン８０１を挿入装着時に下部ソケット８０７が横転する場合にバレルサスペンド型プローブピン８０１が下部挿入孔８１５から離脱して再挿入しなければならないなど組立において不便さがあった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】韓国特許登録第１０−１０３１６３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明は、前述したような従来の問題点を解決するために案出したものであって、その目的は、バレル部の外側にバレル固定バネ部を突出形成してハウジング本体のハウジング貫通孔にプローブピンを挿入装着時にバレル固定バネ部の弾性力で固定組立されて加工及び組立が簡単で、組立時にプローブピンの損傷を防ぐことができるプローブピン及びその製造方法を提供することにある。
【００１３】
また、本発明の他の目的は、プローブピンが組み立てられるソケットやハウジングを単純な構造で製作して加工や組立コストを減らすことができるプローブピン及びその製造方法を提供することにある。
【００１４】
また、本発明のまた別の目的はバネ固定タイプとしてプローブピンをソケットやハウジングに形成された一つの貫通孔に挿入組立するので、プローブピンが離脱せずに分離した上部と下部の本体による上下にそろえなければならない不便さを避けることができ、組立の不便さを減らすことができるプローブピン及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記目的を達成するための本発明の一実施例によるプローブピンは、ポゴピン部とバレル部の２ピース構造からなり、
【００１６】
前記ポゴピン部は、上端に外部接触点が形成された上部プランジャーと、下端に外部接触点が形成された下部プランジャーと、前記上部プランジャーの下端と前記下部プランジャーの上端に連結されて一つ以上のバネで形成されたバネ部を備え、
【００１７】
前記バレル部は、前記ポゴピン部の一部を覆う筒形構造であって、その外側面に外側に弾性力を有するバレル固定バネ部が突出形成されたことを特徴とする。
【００１８】
本発明の他の実施例によるプローブピンは、上端に外部接触点が形成された上部プランジャー；
下端に外部接触点が形成された下部プランジャー；
前記上部プランジャーの下端に連結されて緩衝作用する上部バネ；
前記下部プランジャーの上端に連結されて緩衝作用する下部バネ；及び
前記上部バネと前記下部バネとの間に位置して筒形状に形成され、その外側面に外側に弾性力を有するように突出形成されたバレル固定バネ部を備える内部バレル；を含んで構成される。
【００１９】
本発明の実施例によるプローブピンの製造方法は、弾性力を有する板素材を打ち抜きして、プローブピンの上部プランジャー、下部プランジャー、バネ部が連結したポゴピン部と、バレル固定バネ部を備えたバレル部を形成するための平面形状の打ち抜きした本体を形成するパンチング段階；
前記ポゴピン部のバネ部を形成するために打ち抜きした本体を外側から中心部の内側に巻取るように折曲し、上部プランジャーと下部プランジャーを筒形状に折曲し、これと別途にバレル部は前記ポゴピン部を覆うことができる程度に一部のみを折曲するフォーミング段階；及び
前記バレル部が前記ポゴピン部を覆うように折曲して結合した後、前記バレル部を追加で折曲する結合段階；を含んで構成される。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】従来のプローブピンのソケット結合構造を示す断面図である。
【図２】従来のプローブピンのソケット結合構造を示す分解図である。
【図３】本発明の第１実施例によるプローブピンの組立構造を示す図面である。
【図４】図３の断面図である。
【図５】図３の正面図である。
【図６】図３に示したプローブピンのハウジング結合構造を示す断面図である。
【図７】本発明の第２実施例によるプローブピンの正面図である。
【図８】本発明の第３実施例によるプローブピンの正面図である。
【図９】本発明の第４実施例によるプローブピンの一部断面図である。
【図１０】本発明の第５実施例によるプローブピンの断面図である。
【図１１】本発明の第１実施例によるプローブピンの製造方法を示す工程別の図面である。
【図１２】本発明の第５実施例によるプローブピンの固定突起と固定孔について説明するためのパンチング段階の板素材を示す図面である。
【図１３】本発明の第６実施例によるプローブピンの固定突起と固定孔について説明するためのパンチング段階の板素材を示す図面である。
【図１４】図１３によって製造された第６実施例によるプローブピンのハウジング結合構造を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
図３は本発明の第１実施例によるプローブピンの組立構造を示す図面であり、図４は図３の断面図であり、図５は図３の正面図である。
【００２２】
図３ないし図５に示したように、本発明の第１実施例によるプローブピンはポゴピン部１１０とバレル部１５０の２ピース構造からなる。
【００２３】
ポゴピン部１１０は上部プランジャー１１１と下部プランジャー１１３との間にバネ部１３０が一体に形成されて導電性材質からなり、上部プランジャー１１１の外側接触点とバネ部１３０と下部プランジャー１１３の外側接触点が電気的に連結される。
【００２４】
上部プランジャー１１１と下部プランジャー１１３はバネ部１３０によって緩衝作用や弾発作用する時に長手上下方向に直進性が確保されるように円筒形構造をなすが、必要に応じて多角形や板状に形成してもよい。
【００２５】
また、図面では上部プランジャー１１１や下部プランジャー１１３の接点構造は山状の単一接点構造を示すが、クラウン状の多接点構造や平坦構造、円形構造など多様な形態で形成することができる。
【００２６】
バネ部１３０は一つ以上のバネで構成することができ、一つのバネからなる時は一つのバネの両端に上部プランジャー１１１の下端と下部プランジャー１１３の上端が一体に形成される。
【００２７】
二つ以上のバネからなる時はバネ部１３０が上部バネ１３１と下部バネ１３３に分離構成され、二つのバネ１３１、１３３の間に連結本体が一体に形成されるが、一例として内部バレル１３５が一体に形成される。
【００２８】
この時、内部バレル１３５がバレル部１５０に固定される場合ポゴピン部１１０は上下の荷重や動きが互いにそれぞれ作用するダブルストロークで作動する。
【００２９】
また、内部バレル１３５をバレル部１５０に固定されない場合ポゴピン部１１０は上下の動きが連動する単一ストロークで作動する。
【００３０】
この時、内部バレル１３５をバレル部１５０に固定するためにバレル部１５０の一部を円筒内部方向に入るように折曲して形成した固定ストッパ１６３を使用することができる。
内部バレル１３５を固定する方法は、多様な形態が可能であり、バレル部１５０の組立締結部１６０に組立締結溝１６１を形成して組立締結溝１６１を通じてめっき液で固定することもできる。
【００３１】
バレル部１５０はポゴピン部１１０が組み立てられた状態でポゴピン部１１０に異物が入らないように側傍が密閉されるように形成され、バレル部１５０の内周面は上部プランジャー１１１や下部プランジャー１１３がバネ部１３０によって上下運動する時に直進性が確保されるようにプランジャー１１１、１１３の外周面と同じ形で形成される。
バレル部１５０のバレル胴体１５１は円筒形が最もよく使用されるが、これを多角形や他の形態で形成することもできる。
また、バレル部１５０には後述するハウジング（ソケット）に固定させるためにバレル固定バネ部１７０が備えられる。
【００３２】
バレル固定バネ部１７０は、バレル部１５０の一箇所以上の側面にバレル固定バネ溝１７３を長手方向に並んで二つ打孔して、二つのバネ溝１７３の間に形成された長手方向の板部分を押して折曲してなるバネ板１７１であり、外側に弾性力が及ぶようにする。
この弾性力によってバレル部１５０の外側のハウジングやソケットの貫通孔にバレル部１５０が固定される。
【００３３】
図１１は前述した第１実施例によるプローブピンの製造方法を示す工程別の図面である。
図１１に示されたように、第１実施例によるプローブピンの製造方法はパンチング段階Ｓ７１０、フォーミング段階Ｓ７２０及び結合段階Ｓ７３０を含んで構成される。
これは上下に加えられる圧力（荷重）に対して弾発緩衝作動して上下に電気的に連結される接点構造を有して外側のハウジングにバネの弾性力によって固定されるプローブピンの具体的な製造方法を示す。
【００３４】
まず、パンチング段階Ｓ７１０は弾性力を有する板素材７０１を打ち抜きし、上部プランジャー１１１、下部プランジャー１１３、バネ部１３０を連結したポゴピン部１１０と、バレル固定バネ部１７０を備えたバレル部１５０を形成するための平面形状の打ち抜きした本体を形成する段階である。
前記パンチング段階７１０では製作しようとするプローブピンの展開された展開図を打ち抜きして次の段階であるフォーミング段階Ｓ７２０に使用されるように板素材７０１をパンチング加工する。
この時、上部プランジャー１１１、下部プランジャー１１３、バネ部１３０の展開図を互いに連結した単一本体からなるように形成し、製作後にも電気的抵抗が最小化したポゴピン部１１０になるようにする。
【００３５】
次のフォーミング段階Ｓ７２０はパンチング段階Ｓ７１０以後、ポゴピン部１１０のバネ部１３０を形成するために少なくとも一つ以上の山形状の打ち抜きした本体を外側から中心部の内側に巻取るように折曲し、上部プランジャー１１１と下部プランジャー１１３を円筒形状に折曲し、これと別途バレル部１５０は後でポゴピン部１１０を覆うことができる程度に一部のみを折曲する段階である。
【００３６】
特にポゴピン部１１０とバレル部１５０を別途空間でフォーミングし、バレル部１５０は最終形状にフォーミングせずにポゴピン部１１０に結合することができる程度のみに折曲して仕上げる。
【００３７】
この時、バレル部１５０の側面にバレル固定バネ溝１７３を長手方向に並んで二つ打孔し、二つのバネ溝１７３の間に長手方向の板部分を形成し、この板部分を押して折曲してバネ板１７１が形成されるようにするバレル固定バネ部の形成段階を行ってバレル部１５０にバレル固定バネ部１７０を形成する。
【００３８】
最後に結合段階Ｓ７３０はバレル部１５０を追加で折曲してプローブピン１５０に完全結合する段階であって、フォーミング段階Ｓ７２０で完全に折曲されていない状態のバレル部１５０をポゴピン部１１０を覆うように結合し、覆った状態でバレル部１５０を再び追加で折曲して完成に至る。
【００３９】
図６は図３に示したプローブピンのハウジング結合構造を示す断面図である。
図６に示されたように、プローブピンハウジング４００はハウジング本体４０１とハウジング貫通孔４０３で構成される。
前記ハウジング本体４０１は半導体ウエハー検査のためのインターポーザーのハウジングやカメラモジュールまたはＰＣＢをテストするためのテストモジュールのプローブピン１００が固定される本体を総じて呼ぶものであり、プローブピン１００の固定本体としていかなる形態も特定せずに多様な形状で形成して使用することができる。
【００４０】
前記ハウジング本体４０１の材質は非導電性物質であればすべて使用可能であり、プラスチック系列を使用してもよい。
前記ハウジング貫通孔４０３は一つのハウジング本体４０１に上下に貫通されるように多数形成されるものであり、プローブピン１００のバレル固定バネ部１７０の外側に及ぶ弾性力によってプローブピン１００が固定される大きさの直径を有する円筒形で構成される。
【００４１】
図７は本発明の第２実施例によるプローブピンの正面図である。
【００４２】
図４の第１実施例によるプローブピンでバレル固定バネ部１７０の形態がバレル部１５０の側面の突出型バレル固定バネ板１７１の形態ではなく、バレル部１５０  自体に組立締結片１８０を置いてバレル部１５０をプローブピンハウジング４００に固定する。
前記組立締結片１８０はポゴピン部１１０の外側バレル部１５０の一部を円周上少なくとも１箇所以上に上下切欠して形成され、前記組立締結片１８０を外側に開くように折曲して内外側に弾性力を及ぼすようになる。
【００４３】
図８は本発明の第３実施例によるプローブピンの正面図である。
プローブピン１００、は図８に示されたように、上端に外部接触点が形成された上部プランジャー１１１、下端に外部接触点が形成された下部プランジャー１１３、前記上部プランジャー１１１の下端に連結されて緩衝作用されるように形成された上部バネ１３１、前記下部プランジャー１１３の上端に連結されて緩衝作用されるように形成された下部バネ１３３、上部バネ１３１と下部バネ１３３との間に位置して円筒形に形成され、外側に弾性力が作用するように突出形成されたバレル固定バネ部１７０を備える内部バレル１３５を含んで構成される。
【００４４】
すなわち、前記プローブピン１００の外側に別途バレル部１５０が備えられず、内部バレル１３５自体にバレル固定バネ部１７０が備えられる。
この時、前記バレル固定バネ部１７０の構造は前述した第１実施例でのバレル固定バネ部１７０と同一なので、ここでは詳細な説明を省略する。
このような第３実施例は内部バレル１３５の外側にバレル固定バネ部１７０を形成してプローブピン１００を前記ハウジング本体１４１に形成されたハウジング貫通孔１４３に組み立てることができ、プローブピン１００を簡単に挿入して一気に組み立て、前記プローブピン１００のバネ部１３０がハウジング本体１４１のハウジング貫通孔１４３内部から内外側に弾性力が作用するように作動しながら組立状態を維持するようにする。
【００４５】
図９は本発明の第４実施例によるプローブピンの一部断面図である。
【００４６】
第４実施例は図４の第１実施例によるプローブピン１００で案内突起１１３ａと案内孔１５３及び弾発密着部１１２、１１４をさらに構成したものである。
すなわち、上部プランジャー１１１と下部プランジャー１１３の片側や両側に外側に案内突起１１３ａを突出形成してバレル部１５０のバレル胴体１５１にこれに対応する長孔形態の案内孔１５３をさらに形成して、案内孔１５３に沿って上下に緩衝作動する場合、案内作動と同時にバレル部１５０がバネ部１３０と一体に形成された上部プランジャー１１１と下部プランジャー１１３から離脱しないように構成される。
また、上部プランジャー１１１と下部プランジャー１１３には切欠及び上下折曲によって内外側に弾発作動する弾発密着部１１２１１４を対向するように突出形成して上部プランジャー１１１と下部プランジャー１１３がバレル部１５０の内周面に弾発密着するように構成される。
ここで前記案内突起１１３ａはバレル胴体１５１の外側に突出しないように構成される。
【００４７】
図１０は本発明の第５実施例によるプローブピンの断面図である。
【００４８】
第５実施例は図４の第１実施例によるプローブピン１００で内部バレル１３５をバレル部１５０に固定するために固定ストッパ１６３や組立締結溝１６１を形成せずに、その代わりにバレル部１５０のバレル胴体１５１に内側に固定突起１５５が突出形成され、これに対応する位置の内部バレル１３５に固定孔１３６が形成されて前記固定突起１５５にはめ込まれて組み立てられることで内部バレル１３５がバレル部１５０に固定される。
これと反対に、バレル部１５０のバレル胴体１５１に固定孔が形成され、内部バレル１３５に外側に固定突起を形成することもできる。
これによってプローブピン１００は上下荷重や動きが互いにそれぞれ作用するダブルストロークで作動する。
第５実施例によるプローブピン１００では上部プランジャー１１１の上端に形成された外部接触点と下部プランジャー１１３の下端に形成された外部接触点が円形構造であることを示す。
【００４９】
図１２は本発明の第５実施例によるプローブピンの固定突起と固定孔について説明するためのパンチング段階の板素材を示す図面である。
まず、パンチング段階Ｓ７１０では弾性力を有する板素材７０１をパンチング加工し、上部プランジャー１１１、下部プランジャー１１３、バネ部１３０を連結したポゴピン部１１０と、バレル固定バネ部１７０を備えたバレル部１５０を形成するための平面形状の打ち抜きした本体が形成される。
この時、上部プランジャー１１１、下部プランジャー１１３、バネ部１３０の展開図を互いに連結した単一本体からなるように形成し、製作後にも電気的抵抗が最小化したポゴピン部１１０になるようにする。
【００５０】
また、前記パンチングによって前記バレル部１５０のバレル胴体１５１には固定突起１５５が形成され、内部バレル１３５の両側には半円溝１３６ａ、１３６ｂが形成される。
以後フォーミング段階Ｓ７２０で打ち抜きした本体を外側から中心部の内側に巻取るように折曲して上部プランジャー１１１と下部プランジャー１１３及びバネ部１３０を円筒形状に折曲し、これと別途にバレル部１５０は前記ポゴピン部１１０を覆うことができる程度に一部のみを折曲する。
前記フォーミングによって内部バレル１３５の両側の半円溝１３６ａ、１３６ｂが互いに突き合わされて円形の固定孔１３６が形成され、以後結合段階Ｓ７３０でバレル胴体１５１の固定突起１５５が内部バレル１３５の固定孔１３６にはめ込まれて固定される。
【００５１】
図１３は本発明の第６実施例によるプローブピンの固定突起と固定孔について説明するためのパンチング段階の板素材を示す図面である。
【００５２】
第６実施例によるプローブピン１００はポゴピン部１１０をバレル部１５０に固定するためにバレル部１５０のバレル胴体１５１に内側に固定突起１５５が突出形成され、これに対応する位置の上部プランジャー１１１に固定孔１１５が形成されて固定突起１５５にはめ込まれて組み立てられることで上下の荷重や動きが下部に作用する単一ストロークで作動する。
もちろん、第６実施例によるプローブピン１００にも前記バレル部１５０をハウジングソケット４００に固定させるためにバレル固定バネ部１７０が備えられる。
【００５３】
まず、パンチング段階Ｓ７１０では弾性力を有する板素材７０１をパンチング加工し、上部プランジャー１１１、下部プランジャー１１３、バネ部１３０を連結したポゴピン部１１０と、バレル固定バネ部１７０を備えたバレル部１５０を形成するための平面形状の打ち抜きした本体が形成される。
この時、上部プランジャー１１１、下部プランジャー１１３、バネ部１３０の展開図を互いに連結した単一本体からなるように形成し、製作後にも電気的抵抗が最小化したポゴピン部１１０になるようにする。
【００５４】
また、前記パンチングによって前記バレル部１５０のバレル胴体１５１には固定突起１５５が形成され、上部プランジャー１１１の両側には半円溝１１５ａ、１１５ｂが形成される。
以後フォーミング段階Ｓ７２０で打ち抜きした本体を外側から中心部の内側に巻取るように折曲し、上部プランジャー１１１と下部プランジャー１１３及びバネ部１３０を円筒形状に折曲し、これと別途にバレル部１５０は前記ポゴピン部１１０を覆うことができる程度に一部のみを折曲する。
前記フォーミングによって上部プランジャー１１１の両側の半円溝１１５ａ、１１５ｂが互いに突き合わされて真円の固定孔１１５が形成され、以後結合段階Ｓ７３０でバレル胴体１５１の固定突起１５５が上部プランジャー１１１の固定孔１１５にはめ込まれて固定される。
したがって、上部プランジャー１１１は固定されて下部プランジャー１１３のみがバネ部１３０によって上下に昇降するようになる。
【００５５】
図１４は図１３によって製造された第６実施例によるプローブピンのハウジング結合構造を示す断面図である。
図１４に示されたように、プローブピンハウジング４００はハウジング本体４０１とハウジング貫通孔４０３で構成される。
【００５６】
前記ハウジング本体４０１は半導体ウエハー検査のためのインターポーザーのハウジングやカメラモジュールまたはＰＣＢをテストするためのテストモジュールのプローブピン１００が固定される本体を総じて呼ぶものであり、プローブピン１００の固定本体としていかなる形態も特定せずに多様な形状で形成して使用することができる。
前記ハウジング本体４０１の材質は非導電性物質であればすべて使用可能であり、プラスチック系列を使用してもよい。
【００５７】
ここでは上部プランジャー１１１の上端に形成された外部接触点が半導体２００のボール２１０に接触して電気的に連結するためのクラウン状の多接点構造であり、下部プランジャー１１３の下端に形成された外部接触点がＰＣＢ３００に接触して電気的に連結するための円形構造であることを示す。
【００５８】
前記ハウジング貫通孔４０３は一つのハウジング本体４０１に上下に貫通されるように多数形成されるものであり、プローブピン１００のバレル固定バネ部１７０によってプローブピン１００が固定される大きさの直径を有する円筒形で構成される。
【００５９】
ここではハウジング本体４０１が一つのものを例に挙げたが、図１のように上下に分離するハウジング本体に組み立ててテストすることもできる。
【符号の説明】
【００６０】
１００    プローブピン
１１０    ポゴピン部
１１１    上部プランジャー
１１３    下部プランジャー
１３０    バネ部
１３１    上部バネ
１３３    下部バネ
１３５    内部バレル
１５０    バレル部
１５１    バレル胴体
１６０    組立締結部
１７０    バレル固定バネ部
１７１    バレル固定バネ板
１７３    バレル固定バネ溝
１８０    組立締結片
２００    半導体
３００    ＰＣＢ
４００    プローブピンハウジング
４０１    ハウジング本体
４０３    ハウジング貫通孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0006308401.tif 000008
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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