(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
押圧された部分のみ導電性を生じる異方性導電シートを、テスト回数が所定回数に達したときに所定距離だけ巻き取る回転手段を備える集積回路テスト装置において、
テスト回数が所定回数に達したときに、
押圧された部分のみ導電性を生じる異方性導電シートと、
前記異方性導電シートを格納するケースと、
前記異方性導電シートを供給する供給部と、
前記異方性導電シートを巻き取る巻取部と、を備え、
前記ケースは、前記ケースの前記供給部と前記巻取部の中間部にガイド孔と、ラッチ溝と、シート露出部と、を備えることを特徴とするカートリッジを、所定距離だけ移動する移動手段を備えることを特徴とする集積回路テスト装置。
【請求項２】
押圧された部分のみ導電性を生じる異方性導電シートを、テスト回数が所定回数に達したときに所定距離だけ巻き取る回転手段を備える集積回路テスト装置において、
テスト回数が所定回数に達したときに、
押圧された部分のみ導電性を生じる異方性導電シートと、
前記異方性導電シートを格納するケースと、
前記異方性導電シートを供給する供給部と、
前記異方性導電シートを巻き取る巻取部と、を備え、
前記ケースは、前記異方性導電シートの終端を検知する終端検知機構を備えることを特徴とするカートリッジを、所定距離だけ移動する移動手段を備えることを特徴とする集積回路テスト装置。
【請求項３】
押圧された部分のみ導電性を生じる異方性導電シートを、テスト回数が所定回数に達したときに所定距離だけ巻き取る回転手段を備える集積回路テスト装置において、
テスト回数が所定回数に達したときに、
押圧された部分のみ導電性を生じる異方性導電シートと、
前記異方性導電シートを格納するケースと、
前記異方性導電シートを供給する供給部と、
前記異方性導電シートを巻き取る巻取部と、を備え、
前記供給部は、前記異方性導電シートの弛緩を防止する弛緩防止機構を備えることを特徴とするカートリッジを、所定距離だけ移動する移動手段を備えることを特徴とする集積回路テスト装置。
【請求項４】
押圧された部分のみ導電性を生じる異方性導電シートを、テスト回数が所定回数に達したときに所定距離だけ巻き取る回転手段を備える集積回路テスト装置において、
テスト回数が所定回数に達したときに、
押圧された部分のみ導電性を生じる異方性導電シートと、
前記異方性導電シートを格納するケースと、
前記異方性導電シートを供給する供給部と、
前記異方性導電シートを巻き取る巻取部と、を備え、
前記巻取部は、前記異方性導電シートの反転を防止する反転防止機構を備えることを特徴とするカートリッジを、所定距離だけ移動する移動手段を備えることを特徴とする集積回路テスト装置。
【請求項５】
前記移動手段は、移動方向が、前記異方性導電シートの短手方向であることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の集積回路テスト装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、異方性導電シートを格納するためのカートリッジおよび当該カートリッジを用いた集積回路テスト装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
集積回路の電気特性のテストは、集積回路とテスト装置を電気的に接続することによって行われるが、直接、集積回路とテスト装置を接続するのではなく、集積回路とテスト装置の間に交換が可能な電気接点を配置する構成が一般的である。交換が可能な電気接点を配置する理由のひとつとして、テストの対象となる集積回路の半田がテスト装置に付着することが挙げられる。集積回路の半田がテスト装置の電気接点に付着することによって、電気抵抗が高くなり、テストの正確性が損なわれる。
【０００３】
集積回路のテストにおいては高価なテスト装置を用いる。テスト費用の削減のための工夫としては、一例として、テスト装置の制御を工夫してテスト時間を短くすることが挙げられる。他にも、様々な工夫が試みられている。例えば、電気接点として用いられるソケット式のプローブのノイズを低減するための改良がある（特許文献１）。プローブのノイズの低減は、電気接点の性能を安定なものとし、テスト条件の一定化をもたらし、テストの正確性の向上に寄与する。
【０００４】
半田はプローブに付着する。テストの正確性を維持するために、頻繁にプローブのクリーニングを行い、付着した半田を除去する必要がある。また、集積回路とプローブは通電によって半田の酸化が起こる。半田の酸化によりプローブは劣化する。劣化したプローブは、交換する必要がある。交換を行うたびにテスト装置を停止し、停止時間が長くなるとテスト装置の校正を行う必要がある。テスト費用の削減のためには、プローブのメンテナンスおよび交換を減らして、テスト装置の停止時間を短縮することが重要である。
【０００５】
しかしながら、半田の酸化によるプローブの劣化は必然であり、耐久性の向上には限界がある。そこで、プローブに代わる電気接点として、シート状の異方性導電体が用いられることがある。異方性導電体は、押圧された部分のみ通電する特性を有し、集積回路の小型化、多ピン化、狭ピッチ化に対応することができる。しかし、一般的に、シート状の異方性導電体は耐久性においてソケット式のプローブに劣る。
【０００６】
集積回路のテストにおいて異方性導電体を用いる場合は、シート状であることの特性を活かす工夫ができる。異方性導電体のメンテナンスおよび交換を効率よく実行し、テスト装置の停止時間を短縮するための発明としては、一例として、ロール状の異方性導電シートを適宜巻き取る発明などが挙げられる（特許文献２から６）。
【０００７】
ロール状の異方性導電シートは、一定回数のテストを行った後に巻き取られ、異方性導電体の未使用部分を用いてテストを続行する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００９−１２９８７７号公報
【特許文献２】特開平１１−３２６４４６号公報
【特許文献３】特開２００８−１５７６８１号公報
【特許文献４】特開２００９−１０９４０５号公報
【特許文献５】特開２０１３−２４６８４号公報
【特許文献６】特開平９−４３３０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ロール状の異方性導電シートは、巻き取りによって終端に達すれば、ロールごと交換する必要がある。係る構成においては、ロールごとの交換が容易となる工夫が必要である。
また、ロール状の異方性導電シートは、テストの際には繰り返し押圧される。そのため、ロール状の異方性導電シートは、弛緩および反転が生じる可能性がある。弛緩および反転が生じることによって、異方性導電体の使用済みの部分でテストが行われる、あるいは、異方性導電体を重ねずにテストが行われる状態になることが考えられる。そうなれば、テストごとに条件が異なってしまい、テストの正確性が損なわれる。
【００１０】
また、テストの対象となる集積回路のサイズは多様である。そこで、あらゆる集積回路のサイズに対応するために、ロール状の異方性導電シートの幅を広くすることが考えられる。しかし、幅が広いロール状の異方性導電シートを量産してテストに使用すると、小型の集積回路をテストするときに異方性導電体の未使用部分が大きくなり、効率性を欠く。
【００１１】
そこで、本発明は、反転および弛緩を防止する機構を備え、交換が容易で、ロール状の異方性導電シートを格納することを可能とするカートリッジを提供することを目的とする。また、係るカートリッジを備え、ロール状の異方性導電シートの巻き取りのみならず、カートリッジを、ロール状の異方性導電シートの短手方向に移動することによって、異方性導電シートの未使用部分を用いてテストを続行することを可能とするテスト装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
すなわち、本発明は前記した目的を達成せんとするもので、請求項１の手段は、本発明の集積回路テスト装置は、押圧された部分のみ導電性を生じる異方性導電シートを、テスト回数が所定回数に達したときに所定距離だけ巻き取る回転手段を備える集積回路テスト装置において、テスト回数が所定回数に達したときに、押圧された部分のみ導電性を生じる異方性導電シートと、前記異方性導電シートを格納するケースと、前記異方性導電シートを供給する供給部と、前記異方性導電シートを巻き取る巻取部と、を備え、前記ケースは、前記ケースの前記供給部と前記巻取部の中間部にガイド孔と、ラッチ溝と、シート露出部と、を備えることを特徴とするカートリッジを、所定距離だけ移動する移動手段を備えることを特徴とする。
【００１３】
また、請求項２の手段は、本発明の集積回路テスト装置は、押圧された部分のみ導電性を生じる異方性導電シートを、テスト回数が所定回数に達したときに所定距離だけ巻き取る回転手段を備える集積回路テスト装置において、テスト回数が所定回数に達したときに、押圧された部分のみ導電性を生じる異方性導電シートと、前記異方性導電シートを格納するケースと、前記異方性導電シートを供給する供給部と、前記異方性導電シートを巻き取る巻取部と、を備え、前記ケースは、前記異方性導電シートの終端を検知する終端検知機構を備えることを特徴とするカートリッジを、所定距離だけ移動する移動手段を備えることを特徴とする。
【００１４】
また、請求項３の手段は、本発明の集積回路テスト装置は、押圧された部分のみ導電性を生じる異方性導電シートを、テスト回数が所定回数に達したときに所定距離だけ巻き取る回転手段を備える集積回路テスト装置において、テスト回数が所定回数に達したときに、押圧された部分のみ導電性を生じる異方性導電シートと、前記異方性導電シートを格納するケースと、前記異方性導電シートを供給する供給部と、前記異方性導電シートを巻き取る巻取部と、を備え、前記供給部は、前記異方性導電シートの弛緩を防止する弛緩防止機構を備えることを特徴とするカートリッジを、所定距離だけ移動する移動手段を備えることを特徴とする。
【００１５】
また、請求項４の手段は、本発明の集積回路テスト装置は、押圧された部分のみ導電性を生じる異方性導電シートを、テスト回数が所定回数に達したときに所定距離だけ巻き取る回転手段を備える集積回路テスト装置において、テスト回数が所定回数に達したときに、押圧された部分のみ導電性を生じる異方性導電シートと、前記異方性導電シートを格納するケースと、前記異方性導電シートを供給する供給部と、前記異方性導電シートを巻き取る巻取部と、を備え、前記巻取部は、前記異方性導電シートの反転を防止する反転防止機構を備えることを特徴とするカートリッジを、所定距離だけ移動する移動手段を備えることを特徴とする。
【００１６】
また、請求項５の手段は、本発明の集積回路テスト装置の前記移動手段は、移動方向が、前記異方性導電シートの短手方向であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
請求項１の構成によって、本発明の集積回路テスト装置において用いるカートリッジは、集積回路のテストにおいて、異方性導電シートの交換を効率よく実行し、集積回路テスト装置の停止時間を最小限にとどめる効果がある。
【００１８】
また、請求項２の構成によって、本発明の集積回路テスト装置において用いるカートリッジは、異方性導電シートの終端を検知することが可能である。異方性導電シートの終端を検知することによって、テスト管理者は、あらかじめカートリッジの交換を準備することが可能となり、集積回路テスト装置の停止時間を最小限にとどめることができる効果がある。
【００１９】
また、請求項３の構成によって、本発明の集積回路テスト装置において用いるカートリッジは、異方性導電シートの弛緩を防止することが可能である。異方性導電シートの弛緩を防止することによって、カートリッジは、異方性導電シートの張力を一定に保ち、異方性導電シートの電気接点としての性能の安定性を担保し、テストの正確性に寄与する効果がある。
【００２０】
また、請求項４の構成によって、本発明の集積回路テスト装置において用いるカートリッジは、異方性導電シートの反転を防止することが可能である。異方性導電シートの反転を防止することによって、カートリッジは、異方性導電シートの使用済みの部分の再使用を防止し、異方性導電シートの電気接点としての性能の安定性を担保し、テストの正確性に寄与する効果がある。
【００２１】
また、請求項１ないし５の構成によって、本発明の集積回路テスト装置は、異方性導電シートの巻き取りと同様に、カートリッジの移動を制御し、異方性導電シートの短手方向の未使用部分を最小限にとどめることができる効果がある。それによって、集積回路テスト装置の停止時間を最小限にとどめることができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】実施例における本発明の集積回路テスト装置において用いる異方性導電シート格納カートリッジであり、（ａ）および（ｂ）は斜視図、（ｃ）は平面図、（ｄ）は正面図、（ｅ）は右側面図である。
【図２】実施例における本発明の集積回路テスト装置において用いる異方性導電シート格納カートリッジの分解図である。
【図３】実施例における本発明の集積回路テスト装置の一部であって、カートリッジを集積回路テスト装置に取り付ける説明図であり、（ａ）および（ｂ）は斜視図である。
【図４】実施例における本発明の集積回路テスト装置の全体図である。
【図５】実施例における本発明の集積回路テスト装置の制御装置による制御のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明を実施するための形態を図面にしたがって説明する。
【実施例１】
【００２４】
図１は、本発明の集積回路テスト装置において用いるカートリッジであり、（ａ）および（ｂ）は斜視図、（ｃ）は平面図、（ｄ）は正面図、（ｅ）は右側面図である。
カートリッジ１００は、押圧された部分のみ導電性を生じる異方性導電シート１１０と、異方性導電シート１１０を格納するケース１２０と、異方性導電シート１１０を供給する供給部１３０と、異方性導電シート１１０を巻き取る巻取部１４０と、を備える。
【００２５】
異方性導電シート１１０を格納するケース１２０は、ケース１２０の供給部１３０と巻取部１４０の中間部にガイド孔１２１と、ラッチ溝１２２と、シート露出部１２３と、を備える。加えて、ケース１２０は、供給部カバー１２４と、巻取部カバー１２５と、を備える。
カートリッジ１００は、ガイド孔１２１およびラッチ溝１２２を備えることによって、集積回路テスト装置への装着および交換が容易である。
本構成によって、カートリッジ１００は、集積回路のテストにおいて、異方性導電シート１１０の交換を効率よく実行し、集積回路テスト装置の停止時間を最小限にとどめる効果がある。
【００２６】
ここで、押圧された部分のみ導電性を生じる異方性導電シート１１０は、分散型金属粒子タイプが好ましい。また、異方性導電シート１１０はロール状であることが好ましい。
【００２７】
図２は、本発明のカートリッジ１００の分解図である。図１とあわせて参照されたい。
異方性導電シート１１０は、供給部１３０からシート露出部１２３を経由して巻取部１４０に取り付けられる。ケース１２０は、供給部カバー１２４および巻取部カバー１２５によって、蓋をされる。カートリッジ１００に格納された使用済みの異方性導電シート１１０は、供給部カバー１２４および巻取部カバー１２５を外すことによって、新しい異方性導電シート１１０と交換することが可能である。カートリッジ１００を再利用せず、カートリッジ１００ごと新しい異方性導電シート１１０と交換することも可能である。
【００２８】
ケース１２０は、異方性導電シート１１０の終端を検知する終端検知機構を備える。具体的には、ケース１２０は、終端検知機構として、供給部１３０の側面に終端検知口１２６を備える。図１（ｂ）を参照されたい。
ケース１２０は、終端検知口１２６を備えることによって、異方性導電シート１１０の終端を検知することが可能である。具体的には、異方性導電シート１１０の供給側の端部にセンシングテープ１１１を貼り付け、センシングテープ１１１を終端検知口１２６から検知する。センシングテープ１１１が検知されたときに、テスト管理者は、異方性導電シート１１０の終端が近いことを認識することができる。
本構成によって、テスト管理者は、あらかじめカートリッジの交換を準備することが可能となり、集積回路テスト装置の停止時間を最小限にとどめることができる効果がある。
なお、終端検知機構は、終端検知口１２６を備えるものに限られるものではない。
【００２９】
異方性導電シート１１０を供給する供給部１３０は、異方性導電シート１１０の弛緩を防止する弛緩防止機構を備える。具体的には、供給部１３０は、弛緩防止機構として、供給リール１３１と、供給リール１３１との間に摩擦抵抗を生じる供給軸１３２を備える。
供給部１３０は、供給リール１３１および供給軸１３２を備えることによって、異方性導電シート１１０の弛緩を防止することが可能である。具体的には、異方性導電シート１１０が上方から押圧されたときの力では、摩擦抵抗が上回って供給リール１３１は回転しない。しかし、巻取部１４０が異方性導電シート１１０を巻き取るときの力は、摩擦抵抗を上回って、供給リール１３１は回転する。このように、供給リール１３１と供給軸１３２との間の摩擦抵抗を調整することによって、異方性導電シート１１０の弛緩を防止することができる。
本構成によって、カートリッジ１００は、異方性導電シート１１０の張力を一定に保ち、異方性導電シート１１０の電気接点としての性能の安定性を担保し、テストの正確性に寄与する効果がある。
異方性導電シート１１０と供給リール１３１は、センシングテープ１１１によって接続することが好ましい。
なお、弛緩防止機構は、摩擦抵抗によるものに限られるものではない。
【００３０】
異方性導電シート１１０を巻き取る巻取部１４０は、異方性導電シート１１０の反転を防止する反転防止機構を備える。具体的には、巻取部１４０は、反転防止機構として、シェル型のワンウェイクラッチ機構を備える巻取リール１４１と、一定方向にのみ回転するラチェット機構を備える巻取軸１４２と、を備える。
巻取部１４０は、巻取リール１４１および巻取軸１４２を備えることによって、異方性導電シート１１０の反転を防止することが可能である。具体的には、巻取軸１４２が異方性導電シート１１０を巻き取る方向に回転したときは、巻取リール１４１は、ワンウェイクラッチ機構によって、巻取軸１４２から動力が伝達され、同方向に回転し、異方性導電シート１１０を巻き取る。ここで、巻取リール１４１が異方性導電シート１１０を巻き戻す方向に回転したときは、巻取リール１４１は、ワンウェイクラッチ機構によって、同様に、巻取軸１４２に動力を伝達する。このとき、巻取軸１４２はラチェット機構によって、逆方向には回転しないため、巻取リール１４１は、巻取リール１４１が異方性導電シート１１０を巻き戻す方向に回転することはできない。換言すれば、巻取リール１４１は、異方性導電シート１１０を反転させることはできない。
本構成によって、カートリッジ１００は、異方性導電シート１１０の使用済みの部分の再使用を防止し、異方性導電シート１１０の電気接点としての性能の安定性を担保し、テストの正確性に寄与する効果がある。
なお、反転防止機構は、ワンウェイクラッチ機構およびラチェット機構によるものに限られるものではない。
【００３１】
本実施例におけるワンウェイクラッチ機構は、シェル型のワンウェイクラッチを巻取リール１４１の内側に装着し、巻取リール１４１と連動することで実現する。ワンウェイクラッチは、回転体と、回転体を格納しバネで回転体を支持するシェルを備える。バネによって、回転体は、軸となる巻取軸１４２と接触する。軸がある一方向に回転するときは、軸が回転体およびバネを押し込み、回転体とシェルのカム部が噛み合うことによって、動力の伝達が生じる。軸が逆方向に回転するときは、回転体が、バネの弾性力および軸の回転と連動してシェルのカム部から離れることによって、軸とカム面の間で動力の伝達が生じない。
なお、ワンウェイクラッチは図示を省略している。
【００３２】
また、本実施例におけるラチェット機構は、歯止めと爪を備えることで実現する。本実施例のラチェット機構は、軸となる巻取軸１４２の外側に傾きを有する歯止めが設けられる。さらに、歯止めにかかる爪が設けられる。軸がある一方向に回転するときは、爪は、歯止めの傾きによって、容易に歯止めを越えるが、軸が逆方向に回転するときは、爪は、歯止めを越えることがなく、軸の回転を防止する。
なお、ラチェット機構は図示を省略している。
【００３３】
巻取リール１４１は、シート巻付部１４３およびノブ１４４を備える。
シート巻付部１４３は、３本の円柱が巻取リール１４１の円周に配置されている。異方性導電シート１１０は、巻取側の端部をシート巻付部１４３に巻き付けることによって固定される。異方性導電シート１１０の固定は、３本の円柱によるものに限られず、クランプ構造を巻取リール１４１の円周に配置してもよい。
異方性導電シート１１０に弛緩が生じたときに、テスト管理者は、ノブ１４４を、異方性導電シート１１０を巻き取る方向に回転することによって、弛緩を解消することができる。ノブ１４４が異方性導電シート１１０を巻き取る方向に回転したときは、巻取軸１４２は、ワンウェイクラッチ機構によって、巻取リール１４１からの動力の伝達がなく、巻取リール１４１と巻取軸１４２は空転する。ノブ１４４が異方性導電シート１１０を巻き戻す方向に回転しようとしても、ノブ１４４を備える巻取リール１４１が異方性導電シート１１０を巻き戻す方向に回転できないことは、前述の通りである。
【００３４】
図３は、本発明の集積回路テスト装置の一部であって、カートリッジを集積回路テスト装置に取り付ける説明図であり、（ａ）および（ｂ）は斜視図である。
集積回路テスト装置２００は、カートリッジ１００を装着するホルダー２１０と、ホルダー２１０の下方に置かれるテスト基板２２０と、を備える。
【００３５】
ホルダー２１０は、ラッチレバー２１１と、ガイドピン２１２と、を備える。
ラッチレバー２１１は、ばね機構を備える。ラッチレバー２１１を押しながら、ガイド孔１２１がガイドピン２１２に沿うようにカートリッジ１００をホルダー２１０に挿入する。挿入が完了すると、ラッチレバー２１１のばね機構によって、ラッチ溝１２２にラッチレバー２１１が掛かり、ホルダー２１０はカートリッジ１００を固定する。
【００３６】
図４は、本発明の集積回路テスト装置２００の全体図である。以下、本実施例において、テストの対象となる集積回路は、被検査デバイスと表記する。
集積回路テスト装置２００は、被検査デバイス３００の吸着および搬送を制御するハンドラ駆動装置２３０と、テスト基板２２０にテスト信号を送出およびテスト基板２２０からテスト信号を受信するテスト信号送受装置２４０と、異方性導電シート１１０の巻き取りを制御するシート巻取装置２５０と、ホルダー２１０の移動を制御するホルダー移動装置２６０と、プログラムされたコンピュータによって、ハンドラ駆動装置２３０と、テスト信号送受装置２４０と、シート巻取装置２５０と、ホルダー移動装置２６０と、を制御する制御装置２７０を備える。
ハンドラ駆動装置２３０は、ハンドラを備える。ハンドラは、吸着ノズル２３１を備える。ハンドラ駆動装置２３０の制御によって、吸着ノズル２３１は、被検査デバイス３００を吸着し、ハンドラは、吸着した被検査デバイス３００を運搬する。なお、ハンドラは図示を省略する。
テスト信号送受装置２４０は、テスト基板２２０にテスト信号を送出し、被検査デバイス３００に通電し、テスト基板２２０からテスト信号を受信することによって、被検査デバイス３００の電気特性を取得する。
制御装置２７０は、テスト回数が所定回数に達したときに押圧された部分のみ導電性を生じる異方性導電シート１１０を所定距離だけ巻き取る回転手段と、テスト回数が所定回数に達したときにカートリッジ１００を所定距離だけ移動する移動手段と、を含む制御手段を備える。
【００３７】
ここで、異方性導電シート１１０を所定距離だけ巻き取る回転手段は、異方性導電シート１１０を巻き取る巻取部１４０の巻取軸１４２を、シート巻取装置２５０によって回転することによって実現する。また、カートリッジ１００を所定距離だけ移動する移動手段は、カートリッジ１００を固定したホルダー２１０を、ホルダー移動装置２６０によって移動することによって実現する。ホルダー２１０の移動方向は、異方性導電シート１１０の短手方向である。
なお、所定回数および所定距離については後述する。
本構成よって、集積回路テスト装置２００は、異方性導電シート１１０の巻き取りと同様に、カートリッジ１００の移動を制御し、異方性導電シート１１０の短手方向の未使用部分を最小限にとどめることができる効果がある。それによって、集積回路テスト装置２００の停止時間を最小限にとどめることができる効果がある。
【００３８】
テストの概略を説明する。
カートリッジ１００は、ホルダー２１０によって固定され、テスト基板２２０の上方に配置されている。異方性導電シート１１０は、テスト基板２２０の上方にシート露出部１２３から露出している。テスト基板２２０の上面にはテスト用電極パターンが配置されている。制御装置２７０は、ハンドラ駆動装置２３０を経由して、被検査デバイス３００の上面を吸着ノズル２３１に吸着させ、被検査デバイス３００をテスト基板２２０の上方に搬送し、重ねられた異方性導電シート１１０およびテスト用電極パターンに押圧する。このとき、制御装置２７０は、テスト信号送受装置２４０を経由して、テスト基板２２０にテスト信号を送出し、被検査デバイス３００に通電し、テスト基板２２０からテスト信号を受信することによって、被検査デバイス３００の電気特性を取得する。
【００３９】
図５は、本発明の集積回路テスト装置２００の制御装置２７０による制御のフローチャートである。
テスト管理者は、ホルダー２１０にカートリッジ１００を装着し、制御に必要な情報を入力し、テストを開始する（Ｓ１）。テスト管理者は、制御に必要な情報として、被検査デバイスサイズと、シート使用可能幅と、シート同一面連続テスト可能回数と、を入力する。制御装置２７０は、制御手段として、被検査デバイスサイズと、シート使用可能幅と、シート同一面連続テスト可能回数と、を記憶する第１記憶手段を備える。
被検査デバイスサイズは、被検査デバイス３００の幅および奥行きとし、シート露出部１２３の幅および奥行き以内の値とする。
シート使用可能幅は、異方性導電シート１１０の短手方向の長さとする。
シート同一面連続テスト可能回数は、異方性導電シート１１０の耐用回数であり、未使用部分を使用開始してから使用限界になるまでの回数とする。
【００４０】
ここで、シート同一面連続テスト可能回数は、回転手段および移動手段における所定回数に相当する。具体的には、制御装置２７０は、シート巻取装置２５０またはホルダー移動装置２６０を経由して、テスト回数がシート同一面連続テスト可能回数に達したときに、異方性導電シート１１０を所定距離だけ巻き取る、または、カートリッジ１００を固定したホルダー２１０を所定距離だけ移動する。
また、被検査デバイスサイズは、回転手段および移動手段における所定距離に相当する。具体的には、制御装置２７０は、シート巻取装置２５０またはホルダー移動装置２６０を経由して、異方性導電シート１１０を、被検査デバイス３００の奥行きだけ巻き取る、または、カートリッジ１００を固定したホルダー２１０を、所定距離として、被検査デバイス３００の幅だけ移動する。
【００４１】
ホルダー２１０の初期位置は、テストを開始する前に、異方性導電シート１１０の使用可能部分のうちもっともホルダー２１０寄りの部分でテストを開始するように調整する。図４の異方性導電シート１１０は、仮想の使用順番号が振ってあり、１番の位置からテストを開始すると、異方性導電シート１１０の未使用部分が最も少なくなる。
【００４２】
制御装置２７０は、制御手段として、ハンドラ駆動装置２３０を経由して、被検査デバイス３００を運搬するハンドラ駆動手段を備える。ハンドラ駆動装置２３０の制御によって、吸着ノズル２３１は、被検査デバイス３００を吸着し、ハンドラは、吸着した被検査デバイス３００を運搬する。テスト管理者が、制御に必要な情報を入力し、テストを開始するための操作を行ったときに、制御装置２７０は、ハンドラを駆動し、テストを開始する。
【００４３】
制御装置２７０は、制御に必要な情報を管理し、記憶する。具体的には、制御装置２７０は、制御手段として、ハンドラ押圧回数と、シート同一面使用限界到達回数と、終端検知フラグと、を記憶する第２記憶手段を備える。
ハンドラ押圧回数は、被検査デバイス３００を運搬するハンドラが、重ねられた異方性導電シート１１０およびテスト用電極パターンを押圧した回数である。また、押圧した回数をカウントしたときに、制御装置２７０は、ハンドラ押圧回数が、シート同一面連続テスト可能回数を超えたか否かを判定する（Ｓ２）。
シート同一面使用限界到達回数は、初期値が０であり、ハンドラ押圧回数が第１記憶手段によって記憶されたシート同一面連続テスト可能回数を超えたときに増加する。
終端検知フラグは、真偽からなるブール値であり、初期値は偽である。制御装置２７０は、異方性導電シート１１０の終端を検知する終端検知手段を備える。具体的には、センサーによって、終端検知口１２６からセンシングテープ１１１を検知する。センシングテープ１１１が検知されたときに、制御装置２７０は、終端検知フラグを真にする。
いずれの値も、カートリッジ１００を交換するときに初期値に戻る。
【００４４】
シート同一面使用限界到達回数が増加したときに、制御装置２７０は、ハンドラ押圧回数を初期値に戻し、ハンドラの駆動を一時停止する（Ｓ３）。制御装置２７０は、制御手段として、ハンドラ駆動装置２３０を経由して、ハンドラの駆動を一時停止するハンドラ一時停止手段を備える。
【００４５】
ハンドラの駆動が一時停止したときに、制御装置２７０は、ホルダー２１０を移動するか、異方性導電シート１１０を巻き取るか、を判定するための判定値（ｐ）を算出する（Ｓ４）。制御装置２７０は、制御手段として、ｐを演算によって求める判定値演算手段を備える。
シート使用可能幅が被検査デバイスサイズの幅の２倍以上であれば、ホルダー２１０を被検査デバイスサイズの幅だけ移動することで、異方性導電シート１１０の未使用部分を用いてテストすることができる。シート使用可能幅と被検査デバイスサイズの幅の比の小数点以下を切り捨てた値（ｒ）は、異方性導電シート１１０の短手方向に関する、テストに使用可能な部分の数である。
図４の異方性導電シート１１０の仮想の使用順番号は、ｒが２の場合の例である。
判定値演算手段は、シート同一面使用限界到達回数をｒで除算することによってｐを算出する。
【００４６】
制御装置２７０は、ｐが整数であるか否かによって、制御を分岐する（Ｓ５）。制御装置２７０は、ｐが整数であれば異方性導電シート１１０を巻き取るべきとし、ｐが整数以外であればホルダー２１０を移動するべきとする。
【００４７】
制御装置は、ｐが整数以外である場合は、ｐの整数部が偶数であるか奇数であるかによって、制御を分岐する（Ｓ６）。ここで、制御装置２７０は、移動手段によって、ホルダー２１０を、ｐの整数部が偶数であればカートリッジ１００を引く方向に、ｐの整数部が奇数であればカートリッジ１００を押す方向に移動する（Ｓ７・Ｓ８）。図４の異方性導電シート１１０の仮想の使用順番号でいえば、カートリッジ１００を引く方向とは、２番から１番の方向であり、カートリッジ１００を押す方向とは、４番から３番の方向である。このように移動することによって、異方性導電シート１１０は、１番の部分が使用された後は２番の部分を使用し、３番の部分が使用された後は４番の部分が使用されることになる。
ホルダー２１０の移動距離は、第１記憶手段によって記憶された被検査デバイスサイズの幅に等しい。
【００４８】
制御装置２７０は、ｐが整数である場合は、異方性導電シート１１０を巻き取る（Ｓ９）。制御装置２７０は、回転手段によって、巻取リール１４１を回転し、異方性導電シート１１０を巻き取る。
巻取リール１４１の回転距離は、第１記憶手段によって記憶された被検査デバイスサイズの奥行きと等しい。ここで、シート巻取装置２５０の回転量は、被検査デバイスサイズの奥行きおよび巻取リールの直径から算出することができる。巻取リールの直径は、巻き取り済みの異方性導電シート１１０の厚さを考慮することが好ましい。しかしながら、異方性導電シート１１０の厚さは、巻取リールの直径に対して極めて小さいため、無視してもよい。
【００４９】
また、制御装置２７０は、ｐが整数である場合は、異方性導電シート１１０が終端に達しているか否かを判定する（Ｓ１０）。制御装置２７０は、制御手段として、シート終端通知手段を備える。具体的には、制御装置２７０は、終端検知フラグが真である場合は、テスト管理者に異方性導電シート１１０の終端が近い旨を通知する（Ｓ１１）。
【００５０】
ホルダー２１０の移動または異方性導電シート１１０の巻き取りが行われたときに、制御装置２７０は、ハンドラ駆動手段によって、ハンドラの駆動を再開する（Ｓ１２）。
【００５１】
制御装置２７０は、ハンドラの駆動を停止する信号の有無を確認する（Ｓ１３）。制御装置２７０は、制御手段として、ハンドラ駆動装置２３０を経由して、ハンドラの駆動を停止するハンドラ停止手段を備える。テスト管理者は、いつでも、制御装置２７０にハンドラの駆動を停止する信号を送出することによって、ハンドラの駆動を停止することができる（Ｓ１４）。
【００５２】
異方性導電シート１１０を巻き取るべきかカートリッジ１００を移動すべきかの判定は、図５の手順に限られない。一例として、ｐが整数であるときに、異方性導電シート１１０を巻き取ることと同時に、カートリッジ１００をホルダー２１０の初期位置まで移動する手順が挙げられる。この手順を採用する場合は、ｐの奇偶を判定する必要はなく、ｐが整数ではないときは、カートリッジ１００を引く方向に移動すればよい。
【符号の説明】
【００５３】
１００…カートリッジ、１１０…異方性導電シート、１１１…センシングテープ、１２０…ケース、１２１…ガイド孔、１２２…ラッチ溝、１２３…シート露出部、１２４…供給部カバー、１２５…巻取部カバー、１２６…終端検知口、１３０…供給部、１３１…供給リール、１３２…供給軸、１４０…巻取部、１４１…巻取リール、１４２…巻取軸、１４３…シート巻付部、１４４…ノブ。
２００…集積回路テスト装置、２１０…ホルダー、２１１…ラッチレバー、２１２…ガイドピン、２２０…テスト基板、２３０…ハンドラ駆動装置、２３１…吸着ノズル、２４０…テスト信号送受装置、２５０…シート巻取装置、２６０…ホルダー移動装置、２７０…制御装置。
３００…被検査デバイス。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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