(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
下地膜上にレジストパターンを形成する工程と、
前記レジストパターンをマスクとして用いて前記下地膜をエッチングして前記下地膜に凹部を形成する工程と、
前記下地膜に凹部を形成した後に前記レジストパターンをスリミングする工程と、
前記下地膜の前記スリミングされたレジストパターンで覆われていない領域上に第１のポリマー及び第２のポリマーに対して親和性を有する中性化膜を形成する工程と、
前記スリミングされたレジストパターン上及び前記中性化膜上に、前記第１のポリマー及び前記第２のポリマーを含むブロックコポリマー膜を形成する工程と、
前記ブロックコポリマー膜に対してミクロ相分離を行い、前記第１のポリマーで形成された第１の部分と前記第２のポリマーで形成された第２の部分とが配置されたミクロ相分離パターンを形成する工程と、
前記第１の部分及び前記第２の部分の一方を除去する工程と、
を備えることを特徴とするパターン形成方法。
【請求項２】
前記第１の部分と前記第２の部分とは交互に配置されている
ことを特徴とする請求項１に記載のパターン形成方法。
【請求項３】
前記スリミングされたレジストパターンの表面は、前記第２のポリマーよりも前記第１のポリマーに対して高い親和性を有する
ことを特徴とする請求項１に記載のパターン形成方法。
【請求項４】
前記スリミングされたレジストパターンの表面に対して、前記第１のポリマーに対する親和性を高める処理を行う工程を、さらに備える
ことを特徴とする請求項１に記載のパターン形成方法。
【請求項５】
前記レジストパターンのピッチは、前記ブロックコポリマー膜を構成するブロックコポリマーのピッチの２以上の整数倍である
ことを特徴とする請求項１に記載のパターン形成方法。
【請求項６】
前記スリミングされたレジストパターンのライン幅は、前記ブロックコポリマー膜を構成するブロックコポリマーのハーフピッチの整数倍である
ことを特徴とする請求項１に記載のパターン形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、パターン形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置のリソグラフィ技術として、ＤＳＡ（Directed Self-Assembly）技術を用いた方法が提案されている。ＤＳＡ技術を用いることで、微細なパターンを形成することが可能である。
【０００３】
しかしながら、リソグラフィ技術としてＤＳＡ技術を用いた場合、的確なパターンを形成できない場合がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−１９２３３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
的確なパターンを形成することが可能なパターン形成方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
実施形態に係るパターン形成方法は、下地膜上にレジストパターンを形成する工程と、前記レジストパターンをマスクとして用いて前記下地膜をエッチングして前記下地膜に凹部を形成する工程と、前記下地膜に凹部を形成した後に前記レジストパターンをスリミングする工程と、前記下地膜の前記スリミングされたレジストパターンで覆われていない領域上に第１のポリマー及び第２のポリマーに対して親和性を有する中性化膜を形成する工程と、前記スリミングされたレジストパターン上及び前記中性化膜上に、前記第１のポリマー及び前記第２のポリマーを含むブロックコポリマー膜を形成する工程と、前記ブロックコポリマー膜に対してミクロ相分離を行い、前記第１のポリマーで形成された第１の部分と前記第２のポリマーで形成された第２の部分とが配置されたミクロ相分離パターンを形成する工程と、前記第１の部分及び前記第２の部分の一方を除去する工程と、を備える。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】図１（ａ）及び図１（ｂ）はそれぞれ、第１の実施形態に係るパターン形成方法の一部を模式的に示した断面図である。
【図２】図２（ｃ）及び図２（ｄ）はそれぞれ、第１の実施形態に係るパターン形成方法の一部を模式的に示した断面図である。
【図３】図３（ｅ）及び図３（ｆ）はそれぞれ、第１の実施形態に係るパターン形成方法の一部を模式的に示した断面図である。
【図４】図４（ｇ）及び図４（ｈ）はそれぞれ、第１の実施形態に係るパターン形成方法の一部を模式的に示した断面図である。
【図５】ブロックコポリマーの構成を模式的に示した図である。
【図６】図６（ａ）及び図６（ｂ）はそれぞれ、第２の実施形態に係るパターン形成方法の一部を模式的に示した断面図である。
【図７】図７（ｃ）及び図７（ｄ）はそれぞれ、第２の実施形態に係るパターン形成方法の一部を模式的に示した断面図である。
【図８】図８（ｅ）及び図８（ｆ）はそれぞれ、第２の実施形態に係るパターン形成方法の一部を模式的に示した断面図である。
【図９】図９（ｇ）及び図９（ｈ）はそれぞれ、第２の実施形態に係るパターン形成方法の一部を模式的に示した断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、図面を参照して実施形態を説明する。なお、以下の実施形態１及び２に示した方法は、半導体装置（半導体集積回路装置）の製造方法に適用可能である。
【０００９】
（実施形態１）
図１（ａ）〜図４（ｈ）は、第１の実施形態に係るパターン形成方法を模式的に示した断面図である。以下、図１（ａ）〜図４（ｈ）を参照して、本実施形態のパターン形成方法を説明する。
【００１０】
まず、図１（ａ）に示すように、半導体基板、トランジスタ及び絶縁領域等を含む下部構造１１上に、厚さ１５０ｎｍのＳＯＣ（spin on carbon）膜１２を形成する。この下部構造１１には、本実施形態の方法を用いて形成されたパターンを用いて加工される被加工膜も含まれている。続いて、ＳＯＣ膜１２上に、下地膜となる厚さ３５ｎｍのＳＯＧ（spin on glass）膜１３を形成する。
【００１１】
次に、図１（ｂ）に示すように、ＳＯＧ膜１３上に、レジストパターン１４を形成する。具体的には、まず、ＳＯＧ膜１３上に、ネガ型のフォトレジスト膜を形成する。ネガ型のフォトレジストを用いることで、スペース幅の狭いレジストパターンを形成しやすい。続いて、ＡｒＦエキシマレーザを用い、液浸露光によってフォトレジスト膜を露光する。さらに、現像を行うことで、レジストパターン１４として、ハーフピッチ４５ｎｍのラインアンドスペースパターン（Ｌ／Ｓパターン）が得られる。レジストパターン１４のライン幅及びスペース幅は互いに等しく、いずれも４５ｎｍである。
【００１２】
次に、図２（ｃ）に示すように、レジストパターン１４をマスクとして用いてＳＯＧ膜１３をエッチングして、ＳＯＧ膜１３に凹部１５を形成する。ＳＯＧ膜１３のレジストパターン１４下の部分は凸部１６となる。具体的には、ＣＦ4 ガスを用いたＲＩＥ（reactive ion etching）によってＳＯＧ膜１３をエッチングする。エッチングによって形成される凹部１５の深さは５ｎｍ程度である。このエッチング工程では、レジスト膜厚が十分に大きいため、レジストパターン１４は、ほとんど後退することなく、矩形形状が維持される。そのため、ＳＯＧ膜１３を垂直に加工することができる。
【００１３】
次に、図２（ｄ）に示すように、レジストパターン１４をスリミングする。具体的には、酸素ガス（Ｏ2 ガス）を用いてＲＩＥを行い、ライン幅１５ｎｍのスリミングされたレジストパターン１４ａを形成する。このスリミング工程では、レジストパターン１４の矩形形状をできるだけ維持させるために、低バイアスでＲＩＥを行うことが好ましい。スリミングされたレジストパターン１４ａの表面は、後述するＰＳ（polystyrene、第２のポリマー）よりもＰＭＭＡ（polymethyl methacrylate、第１のポリマー）に対して高い親和性を有している。すなわち、スリミングされたレジストパターン１４ａの表面は、ＰＭＭＡに対するピニング（pinning）部として機能する。ピニング部とは、後述するブロックコポリマーのミクロ相分離の際にＰＭＭＡ部分或いはＰＳ部分の位置を固定する部分のことであり、本実施形態ではＰＭＭＡ部分がピニング部の直上に位置するようになる。
【００１４】
上述したスリミング工程では、スリミングされたレジストパターン１４ａの表面のＰＭＭＡに対する親和性を高める処理として、酸素ガス（Ｏ2 ガス）に窒素ガス（Ｎ2 ガス）、水素ガス（Ｈ2 ガス）、アルゴンガス（Ａｒガス）、ヘリウムガス（Ｈｅガス）及び臭化水素ガス（ＨＢｒガス）の少なくとも１つのガスを添加した混合ガスを用いたＲＩＥを行ってもよい。より一般的には、スリミング工程（ＲＩＥ工程）は、酸素ガス（Ｏ2 ガス）、窒素ガス（Ｎ2 ガス）、水素ガス（Ｈ2 ガス）、アルゴンガス（Ａｒガス）、ヘリウムガス（Ｈｅガス）及び臭化水素ガス（ＨＢｒガス）の少なくとも１つを含むガスを用いて行われる。
【００１５】
また、スリミングされたレジストパターン１４ａの表面のＰＭＭＡに対する親和性を高める処理として、スリミングされたレジストパターン１４ａの表面に所定の物質をデポジションするようにしてもよい。所定の物質には、炭素及びフッ素を含有する物質を用いることができる。例えば、ＣＦ系のガスを用いて、ＣＦX ポリマーをデポジションするようにしてもよい。このようなデポジションプロセスを行うことにより、ＰＭＭＡに対する親和性を高めることができるとともに、後述する中性化膜形成工程においてレジストの溶解を防止することもできる。
【００１６】
次に、図３（ｅ）に示すように、ＳＯＧ膜１３のスリミングされたレジストパターン１４ａで覆われていない領域上に、ＰＭＭＡ（polymethyl methacrylate、第１のポリマー）及びＰＳ（polystyrene、第２のポリマー）の両者に対して親和性を有する中性化膜１７を形成する。具体的には、中性化膜１７を形成するための予備的な膜を全面に形成した後、この予備的な膜をＳＯＧ膜１３と反応させる。さらに、予備的な膜の未反応部分を除去することで、ＳＯＧ膜１３上に選択的に形成された中性化膜１７が得られる。
【００１７】
次に、図３（ｆ）に示すように、スリミングされたレジストパターン１４ａ上及び中性化膜１７上に、ＰＭＭＡ及びＰＳを含むブロックコポリマー膜２０を形成する。具体的には、ブロックコポリマーとしてＰＳ−ｂ−ＰＭＭＡ（polystyrene-b-poly(methyl methacrylate）を含む溶液を、スリミングされたレジストパターン１４ａ上及び中性化膜１７上に塗布する。ＰＳ−ｂ−ＰＭＭＡ中のＰＭＭＡとＰＳとの体積組成比は、１：１である。また、ブロックコポリマーのピッチは３０ｎｍである。図５は、ブロックコポリマーの構成を模式的に示した図である。図５に示すように、ブロックコポリマーの１ピッチは、２つのＰＭＭＡブロックと２つのＰＳブロックとによって規定される。
【００１８】
次に、図４（ｇ）に示すように、ブロックコポリマー膜２０に対してミクロ相分離を行い、ＰＭＭＡ（第１のポリマー）で形成されたＰＭＭＡ部分（第１の部分）２１とＰＳ（第２のポリマー）で形成されたＰＳ部分（第２の部分）２２とが配置されたミクロ相分離パターン２３を形成する。具体的には、ブロックコポリマー膜２０に対して、窒素ガス（Ｎ2 ガス）雰囲気下において２４０℃で２分間の熱処理を施すことで、ミクロ相分離パターン２３が得られる。すなわち、ＰＭＭＡ部分２１とＰＳ部分２２とが交互に配置され、且つスリミングされたレジストパターン１４ａ上（ピニング部上）にＰＭＭＡ部分２１が配置されたミクロ相分離パターン２３が得られる。１つのＰＭＭＡ部分２１は２つのＰＭＭＡブロックで形成され、１つのＰＳ部分２２は２つのＰＳブロックで形成される。したがって、１つのＰＭＭＡ部分２１の幅は１５ｎｍであり、１つのＰＳ部分２２の幅は１５ｎｍである。
【００１９】
以下、上述したミクロ相分離パターン２３について説明する。中性化膜１７は、ＰＭＭＡ成分及びＰＳ成分を含んでいる。そのため、中性化膜１７の水接触角は、ＰＭＭＡの水接触角とＰＳの水接触角との中間である。したがって、ＰＭＭＡ及びＰＳはいずれも、中性化膜に対して親和性を有している。一方、スリミングされたレジストパターン１４ａの表面は、ＰＳよりもＰＭＭＡに対して高い親和性を有しており、ＰＭＭＡに対するピニング部として機能する。そのため、スリミングされたレジストパターン１４ａの表面にはＰＭＭＡが優先的に付着する。また、ブロックコポリマーは、ＰＭＭＡ分子とＰＳ分子とが結合したものである。そして、ＰＭＭＡにはＰＭＭＡが結合し、ＰＳにはＰＳが結合する。そのため、上述した熱処理により、「ＰＭＭＡ−ＰＭＭＡ−ＰＳ−ＰＳ−ＰＭＭＡ−ＰＭＭＡ−ＰＳ−ＰＳ」といった配列が得られる。
【００２０】
本実施形態では、スリミングされたレジストパターン１４ａとＳＯＧ膜（下地膜）１３の段差（凹部１５と凸部１６との段差）とによって、ミクロ相分離パターン２３の配列を規定することができる。したがって、各パターン（スリミングされたレジストパターン１４ａ、凹部１５のパターン、凸部１６のパターン等）の幅及びピッチと、ブロックコポリマーのピッチとの関係を的確に調整しておくことにより、配列制御性に優れたミクロ相分離パターン２３を形成することができる。
【００２１】
次に、図４（ｈ）に示すように、ＰＭＭＡ部分２１及びＰＳ部分２２の一方を除去する。本実施形態では、ＰＭＭＡ部分２１を選択的に除去する。例えば、酸素ガス（Ｏ2 ガス）を用いたＲＩＥによってＰＭＭＡ部分２１を除去する。このとき、ＰＭＭＡ部分２１下の中性化膜１７及びレジストパターン１４ａも除去される。このようにして、ＰＳ部分２２で形成された１５ｎｍのハーフピッチを有するラインアンドスペースパターン（Ｌ／Ｓパターン）が得られる。
【００２２】
その後の工程は図示しないが、ＰＳ部分２２をマスクとして用いてＳＯＧ膜１３をエッチングし、さらにＳＯＧ膜１３をマスクとして用いてＳＯＣ膜１２をエッチングする。これにより、ＰＳ部分２２のパターンがＳＯＧ膜１３及びＳＯＣ膜１２に転写される。さらに、ＳＯＧ膜１３及びＳＯＣ膜１２のパターンをマスクとして用いて、下部構造１１に含まれる被加工膜をエッチングすることで、微細なラインアンドスペースパターン（Ｌ／Ｓパターン）が得られる。
【００２３】
以上のように、本実施形態では、図２（ｃ）の工程において、レジストパターン１４をマスクとして用いてＳＯＧ膜１３をエッチングして、ＳＯＧ膜１３に凹部１５を形成する。このエッチング工程では、レジスト膜厚が十分に大きいため、レジストパターン１４の矩形形状が維持され、ＳＯＧ膜１３を垂直に加工することができる。
【００２４】
仮に、スリミングされたレジストパターンをマスクとして用いてＳＯＧ膜をエッチングしてＳＯＧ膜に凹部を形成したとすると、レジスト膜厚が小さいため、ＳＯＧ膜に的確な凹部を形成することが困難になる。すなわち、マスクとして用いるレジストパターンの膜厚が小さいため、エッチングによって形成されるＳＯＧ膜の凹部と凸部の境界がテーパー形状になりやすく、寸法のばらつきも大きくなりやすい。その結果、所望の位置にミクロ相分離パターンを形成することができなくなる場合がある。
【００２５】
本実施形態では、スリミング前のレジストパターン１４をマスクとして用いてＳＯＧ膜１３をエッチングしており、スリミングされたレジストパターン１４ａはＳＯＧ膜１３のエッチングマスクとして用いていない。したがって、上述したような問題を防止することができ、ＳＯＧ膜１３に的確な凹部パターンを形成することができる。その結果、所望の位置に優れた形状及び寸法精度を有するミクロ相分離パターンを形成することが可能となる。
【００２６】
また、本実施形態では、スリミングされたレジストパターン１４ａとＳＯＧ膜（下地膜）１３の段差（凹部１５と凸部１６との段差）とによって、ミクロ相分離パターン２３の配列を規定することができる。したがって、各パターン（スリミングされたレジストパターン１４ａ、凹部１５のパターン、凸部１６のパターン等）の幅及びピッチと、ブロックコポリマーのピッチとの関係を的確に調整しておくことにより、優れた形状及び寸法精度を有するミクロ相分離パターンを形成することができる。
【００２７】
また、本実施形態では、スリミングされたレジストパターン１４ａの表面のＰＭＭＡに対する親和性を高める処理を行うことで、スリミングされたレジストパターン１４ａの表面をピニング部として的確に機能させることができ、優れた形状及び寸法精度を有するミクロ相分離パターンを形成することができる。
【００２８】
（実施形態２）
図６（ａ）〜図９（ｈ）は、第２の実施形態に係るパターン形成方法を模式的に示した断面図である。なお、基本的な事項は上述した第１の実施形態と類似しているため、第１の実施形態で説明した事項の説明は省略する。
【００２９】
まず、図６（ａ）に示すように、第１の実施形態と同様にして、下部構造１１上にＳＯＣ膜１２及びＳＯＧ膜１３を形成する。ＳＯＣ膜１２及びＳＯＧ膜１３の膜厚は、第１の実施形態と同様である。
【００３０】
次に、図６（ｂ）に示すように、第１の実施形態と同様にして、ネガ型のフォトレジストを用いてＳＯＧ膜１３上にレジストパターン１４を形成する。ただし、本実施形態では、レジストパターン１４のライン幅が３０ｎｍで、スペース幅が６０ｎｍである。
【００３１】
次に、図７（ｃ）に示すように、第１の実施形態と同様にして、レジストパターン１４をマスクとして用いてＳＯＧ膜１３をエッチングして、ＳＯＧ膜１３に凹部１５及び凸部１６を形成する。ただし、本実施形態では、凹部１５の深さは１５ｎｍ程度であり、第１の実施形態よりも深い。
【００３２】
次に、図７（ｄ）に示すように、第１の実施形態と同様にして、レジストパターン１４をスリミングし、ライン幅１５ｎｍのスリミングされたレジストパターン１４ａを形成する。第１の実施形態と同様、スリミングされたレジストパターン１４ａの表面は、ＰＳ（第２のポリマー）よりもＰＭＭＡ（第１のポリマー）に対して高い親和性を有しており、ＰＭＭＡに対するピニング部として機能する。
【００３３】
なお、本実施形態においても、第１の実施形態と同様に、スリミングされたレジストパターン１４ａの表面のＰＭＭＡに対する親和性を高める処理を行うようにしてもよい。
【００３４】
次に、図８（ｅ）に示すように、第１の実施形態と同様にして、ＳＯＧ膜１３のスリミングされたレジストパターン１４ａで覆われていない領域上に、ＰＭＭＡ及びＰＳに対して親和性を有する中性化膜１７を形成する。
【００３５】
次に、図８（ｆ）に示すように、第１の実施形態と同様にして、スリミングされたレジストパターン１４ａ上及び中性化膜１７上に、ＰＭＭＡ及びＰＳを含むブロックコポリマー膜２０を形成する。第１の実施形態と同様に、ブロックコポリマーのピッチは３０ｎｍである。
【００３６】
次に、図９（ｇ）に示すように、第１の実施形態と同様にして、ブロックコポリマー膜２０に対してミクロ相分離を行い、ＰＭＭＡ（第１のポリマー）で形成されたＰＭＭＡ部分（第１の部分）２１とＰＳ（第２のポリマー）で形成されたＰＳ部分（第２の部分）２２とが配置されたミクロ相分離パターン２３を形成する。すなわち、ＰＭＭＡ部分２１とＰＳ部分２２とが交互に配置され、且つスリミングされたレジストパターン１４ａ上（ピニング部上）にＰＭＭＡ部分２１が配置されたミクロ相分離パターン２３が形成される。１つのＰＭＭＡ部分２１の幅は１５ｎｍであり、１つのＰＳ部分２２の幅は１５ｎｍである。
【００３７】
本実施形態でも、第１の実施形態と同様に、スリミングされたレジストパターン１４ａの表面にはＰＭＭＡが優先的に付着する。その結果、第１の実施形態と同様に、ＰＭＭＡ部分２１とＰＳ部分２２とが交互に配置され、且つスリミングされたレジストパターン１４ａ上にＰＭＭＡ部分２１が配置されたミクロ相分離パターン２３が得られる。
【００３８】
本実施形態においても、スリミングされたレジストパターン１４ａによって、ミクロ相分離パターン２３の配列を規定することができる。したがって、スリミングされたレジストパターン１４ａの幅及びピッチと、ブロックコポリマーのピッチとの関係を的確に調整しておくことにより、配列制御性に優れたミクロ相分離パターン２３を形成することができる。
【００３９】
また、本実施形態では、各パターン（スリミングされたレジストパターン１４ａ、凹部１５のパターン、凸部１６のパターン等）の幅及びピッチと、ブロックコポリマーのピッチとの関係を的確に調整しておくことにより、凹部１５上に配置されるＰＭＭＡ部分２１の割合（体積割合）とＰＳ部分２２の割合（体積割合）とを等しくすることができ、且つ凸部１６上に配置されるＰＭＭＡ部分２１の割合（体積割合）とＰＳ部分２２の割合（体積割合）とを等しくすることができる。これにより、ＰＭＭＡ及びＰＳの配列の乱れを抑制することができ、配列制御性に優れたミクロ相分離パターン２３を形成することができる。
【００４０】
次に、図９（ｈ）に示すように、第１の実施形態と同様にして、ＰＭＭＡ部分２１及びＰＳ部分２２の一方を除去する。本実施形態では、ＰＭＭＡ部分２１を選択的に除去する。その結果、１５ｎｍのハーフピッチを有するラインアンドスペースパターン（Ｌ／Ｓパターン）が得られる。
【００４１】
その後の工程は図示しないが、ＰＳ部分２２をマスクとして用いてＳＯＧ膜１３をエッチングし、さらにＳＯＧ膜１３をマスクとして用いてＳＯＣ膜１２をエッチングする。これにより、ＰＳ部分２２のパターンがＳＯＧ膜１３及びＳＯＣ膜１２に転写される。さらに、ＳＯＧ膜１３及びＳＯＣ膜１２のパターンをマスクとして用いて、下部構造１１に含まれる被加工膜をエッチングすることで、微細なラインアンドスペースパターン（Ｌ／Ｓパターン）が得られる。
【００４２】
以上のように、本実施形態でも、第１の実施形態と同様に、スリミング前のレジストパターン１４をマスクとして用いてＳＯＧ膜１３をエッチングしており、スリミングされたレジストパターン１４ａはＳＯＧ膜１３のエッチングマスクとして用いていない。したがって、本実施形態でも、第１の実施形態と同様に、ＳＯＧ膜１３に的確な凹部パターンを形成することができ、所望の位置に優れた形状及び寸法精度を有するミクロ相分離パターンを形成することができる。
【００４３】
また、本実施形態では、凹部１５及び凸部１６のいずれにおいても、ＰＭＭＡ部分２１の割合（体積割合）とＰＳ部分２２の割合（体積割合）とを等しくすることができる。これにより、ＰＭＭＡ及びＰＳの配列の乱れを抑制することができ、配列制御性に優れたミクロ相分離パターン２３を形成することができる。
【００４４】
また、本実施形態では、凹部１５の深さを深くすることによっても、ＰＭＭＡ及びＰＳの配列の乱れを抑制することができ、配列制御性に優れたミクロ相分離パターン２３を形成することができる。
【００４５】
また、本実施形態でも、第１の実施形態と同様に、スリミングされたレジストパターン１４ａの表面のＰＭＭＡに対する親和性を高める処理を行うことで、スリミングされたレジストパターン１４ａの表面をピニング部として的確に機能させることができ、優れた形状及び寸法精度を有するミクロ相分離パターンを形成することができる。
【００４６】
なお、本実施形態の図６（ｂ）の工程において、３０ｎｍのライン幅を有するレジストパターン１４を形成する際に、スリミング技術を用いるようにしてもよい。具体的には、まず、リソグラフィによって、ライン幅及びスペース幅がいずれも４５ｎｍのレジストパターンを形成する。その後、４５ｎｍのライン幅を有するレジストパターンをスリミングすることにより、ライン幅が３０ｎｍでスペース幅が６０ｎｍのレジストパターン１４を形成することができる。
【００４７】
以上、第１及び第２の実施形態を説明したが、第１及び第２の実施形態は以下のような変更が可能である。
【００４８】
上述した第１及び第２の実施形態では、レジストパターン１４のピッチ（９０ｎｍ）は、ブロックコポリマーのピッチ（３０ｎｍ）の３倍であったが、一般的には、レジストパターン１４のピッチは、ブロックコポリマーのピッチの２以上の整数倍とすることが可能である。ただし、ブロックコポリマーを配列させやすくするために、レジストパターン１４のピッチをブロックコポリマーのピッチの６以下の整数倍とすることが好ましい。
【００４９】
また、上述した第１及び第２の実施形態では、スリミングされたレジストパターン１４ａのライン幅（１５ｎｍ）は、ブロックコポリマーのハーフピッチ（１５ｎｍ）に等しかったが、一般的には、スリミングされたレジストパターン１４ａのライン幅は、ブロックコポリマーのハーフピッチの整数倍（特に、奇数倍）とすることが可能である。
【００５０】
また、上述した第１の実施形態では、レジストパターン１４のライン幅（４５ｎｍ）は、ブロックコポリマーのハーフピッチ（１５ｎｍ）の３倍であったが、スリミングされたレジストパターン１４ａとＳＯＧ膜（下地膜）１３の段差（凹部１５と凸部１６との段差）とによって、ミクロ相分離パターン２３の配列を規定するような場合には、一般的には、レジストパターン１４のライン幅は、ブロックコポリマーのハーフピッチの３以上の奇数倍とすることが可能である。また、上述した第２の実施形態では、レジストパターン１４のライン幅（３０ｎｍ）は、ブロックコポリマーのハーフピッチ（１５ｎｍ）の２倍であったが、凹部１５及び凸部１６のいずれにおいても、ＰＭＭＡ部分２１の割合（体積割合）とＰＳ部分２２の割合（体積割合）とを等しくするような場合には、一般的には、レジストパターン１４のライン幅は、ブロックコポリマーのハーフピッチの２以上の偶数倍とすることが可能である。より一般的には、レジストパターン１４のライン幅は、ブロックコポリマーのハーフピッチの２以上の整数倍とすることが可能である。
【００５１】
また、上述した第１の実施形態では、レジストパターン１４のスペース幅（４５ｎｍ）は、ブロックコポリマーのハーフピッチ（１５ｎｍ）の３倍であったが、スリミングされたレジストパターン１４ａとＳＯＧ膜（下地膜）１３の段差（凹部１５と凸部１６との段差）とによって、ミクロ相分離パターン２３の配列を規定するような場合には、一般的には、レジストパターン１４のスペース幅は、ブロックコポリマーのハーフピッチの３以上の奇数倍とすることが可能である。また、上述した第２の実施形態では、レジストパターン１４のスペース幅（６０ｎｍ）は、ブロックコポリマーのハーフピッチ（１５ｎｍ）の４倍であったが、凹部１５及び凸部１６のいずれにおいても、ＰＭＭＡ部分２１の割合（体積割合）とＰＳ部分２２の割合（体積割合）とを等しくするような場合には、一般的には、レジストパターン１４のスペース幅は、ブロックコポリマーのハーフピッチの２以上の偶数倍とすることが可能である。より一般的には、レジストパターン１４のスペース幅は、ブロックコポリマーのハーフピッチの２以上の整数倍とすることが可能である。
【００５２】
また、上述した第１及び第２の実施形態では、レジストパターン１４はネガ型のレジストを用いて形成されていたが、レジストパターン１４をポジ型のレジストを用いて形成してもよい。
【００５３】
また、上述した第１及び第２の実施形態では、ＡｒＦ液浸露光を用いてレジストパターン１４を形成したが、ＥＵＶ（extreme ultraviolet）フォトリソグラフィやナノインプリントリソグラフィを用いてレジストパターン１４を形成してもよい。
【００５４】
以下、上述した実施形態について付記する。
【００５５】
［付記１］
下地膜上にレジストパターンを形成する工程と、
前記レジストパターンをマスクとして用いて前記下地膜をエッチングして前記下地膜に凹部を形成する工程と、
前記下地膜に凹部を形成した後に前記レジストパターンをスリミングする工程と、
前記下地膜の前記スリミングされたレジストパターンで覆われていない領域上に第１のポリマー及び第２のポリマーに対して親和性を有する中性化膜を形成する工程と、
前記スリミングされたレジストパターン上及び前記中性化膜上に、前記第１のポリマー及び前記第２のポリマーを含むブロックコポリマー膜を形成する工程と、
前記ブロックコポリマー膜に対してミクロ相分離を行い、前記第１のポリマーで形成された第１の部分と前記第２のポリマーで形成された第２の部分とが配置されたミクロ相分離パターンを形成する工程と、
前記第１の部分及び前記第２の部分の一方を除去する工程と、
を備えることを特徴とするパターン形成方法。
【００５６】
［付記２］
前記第１の部分と前記第２の部分とは交互に配置されている
ことを特徴とする付記１に記載のパターン形成方法。
【００５７】
［付記３］
前記スリミングされたレジストパターン上には前記第１の部分が配置される
ことを特徴とする付記１に記載のパターン形成方法。
【００５８】
［付記４］
前記スリミングされたレジストパターンの表面は、前記第２のポリマーよりも前記第１のポリマーに対して高い親和性を有する
ことを特徴とする付記１に記載のパターン形成方法。
【００５９】
［付記５］
前記レジストパターンをスリミングする工程は、酸素ガス、窒素ガス、水素ガス、アルゴンガス、ヘリウムガス及び臭化水素ガスの少なくとも１つを含むガスを用いて行われる
ことを特徴とする付記１に記載のパターン形成方法。
【００６０】
［付記６］
前記レジストパターンをスリミングする工程は、酸素ガスと、窒素ガス、水素ガス、アルゴンガス、ヘリウムガス及び臭化水素ガスの少なくとも１つのガスとを含む混合ガスを用いて行われる
ことを特徴とする付記１に記載のパターン形成方法。
【００６１】
［付記７］
前記スリミングされたレジストパターンの表面に対して、前記第１のポリマーに対する親和性を高める処理を行う工程を、さらに備える
ことを特徴とする付記１に記載のパターン形成方法。
【００６２】
［付記８］
前記処理は、前記スリミングされたレジストパターンの表面に所定の物質をデポジションすることを含む
ことを特徴とする付記７に記載のパターン形成方法。
【００６３】
［付記９］
前記所定の物質は、炭素及びフッ素を含有する
ことを特徴とする付記８に記載のパターン形成方法。
【００６４】
［付記１０］
前記第１のポリマーはＰＭＭＡ（polymethyl methacrylate）であり、前記第２のポリマーはＰＳ（polystyrene）である
ことを特徴とする付記１に記載のパターン形成方法。
【００６５】
［付記１１］
前記ミクロ相分離パターンを形成する工程は、前記ブロックコポリマー膜に対して熱処理を施すことを含む
ことを特徴とする付記１に記載のパターン形成方法。
【００６６】
［付記１２］
前記レジストパターンは、ネガ型レジストで形成されている
ことを特徴とする付記１に記載のパターン形成方法。
【００６７】
［付記１３］
前記第１の部分及び前記第２の部分の一方を除去しラインアンドスペースパターンを形成する
ことを特徴とする付記１に記載のパターン形成方法。
【００６８】
［付記１４］
前記レジストパターンはラインアンドスペースパターンである
ことを特徴とする付記１に記載のパターン形成方法。
【００６９】
［付記１５］
前記レジストパターンのピッチは、前記ブロックコポリマー膜を構成するブロックコポリマーのピッチの２以上の整数倍である
ことを特徴とする付記１に記載のパターン形成方法。
【００７０】
［付記１６］
前記スリミングされたレジストパターンのライン幅は、前記ブロックコポリマー膜を構成するブロックコポリマーのハーフピッチの整数倍である
ことを特徴とする付記１に記載のパターン形成方法。
【００７１】
［付記１７］
前記レジストパターンのライン幅は、前記ブロックコポリマー膜を構成するブロックコポリマーのハーフピッチの２以上の整数倍である
ことを特徴とする付記１に記載のパターン形成方法。
【００７２】
［付記１８］
前記レジストパターンのスペース幅は、前記ブロックコポリマー膜を構成するブロックコポリマーのハーフピッチの２以上の整数倍である
ことを特徴とする付記１に記載のパターン形成方法。
【００７３】
［付記１９］
前記レジストパターンのライン幅は、前記ブロックコポリマー膜を構成するブロックコポリマーのハーフピッチの３以上の奇数倍である
ことを特徴とする付記１に記載のパターン形成方法。
【００７４】
［付記２０］
前記レジストパターンのライン幅は、前記ブロックコポリマー膜を構成するブロックコポリマーのハーフピッチの２以上の偶数倍である
ことを特徴とする付記１に記載のパターン形成方法。
【００７５】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００７６】
１１…下部構造      １２…ＳＯＣ膜      １３…ＳＯＧ膜
１４…レジストパターン      １４ａ…スリミングされたレジストパターン
１５…凹部      １６…凸部      １７…中性化膜
２０…ブロックコポリマー膜      ２１…ＰＭＭＡ部分
２２…ＰＳ部分      ２３…ミクロ相分離パターン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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