(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と洗浄装置とを相対運動させる相対運動部と、
前記基板に接する第１表面と前記第１表面に対向する第２表面とを有し、弾性機能を備えた弾性フィルムと、
前記弾性フィルムの前記第２表面に向かって流体を噴出する流体噴出手段と、
を備えたことを特徴とする基板の洗浄装置。
【請求項２】
前記相対運動部は、前記基板を搬送する搬送部である請求項１に記載の基板の洗浄装置。
【請求項３】
前記弾性フィルムを第１の弾性フィルム、前記流体噴出手段を第１の流体噴出手段とし、前記第１表面が押し当てられる前記基板の表面を第３表面、前記第３表面と対向する表面を第４表面としたとき、
前記基板の第４表面に接する第５表面と前記第５表面に対向する第６表面とを有し、弾性機能を備えた第２の弾性フィルムと、
前記第２の弾性フィルムの第６表面に向かって流体を噴出する第２の流体噴出手段と、
を備えた請求項１又は２に記載の基板の洗浄装置。
【請求項４】
前記流体は水である請求項１から３のいずれか一項に記載の基板の洗浄装置。
【請求項５】
前記流体噴出手段から噴出される前記流体の圧力は、０．０５ＭＰａ以上３ＭＰａ以下である請求項１から４のいずれか一項に記載の基板の洗浄装置。
【請求項６】
前記弾性フィルムは切込部を有する請求項１から５のいずれか一項に記載の基板の洗浄装置。
【請求項７】
前記弾性フィルムの厚みは１００μｍ以下である請求項１から６のいずれか一項に記載の基板の洗浄装置。
【請求項８】
基板と洗浄装置とを相対運動させる相対運動部と、
前記基板に接する第１表面と前記第１表面に対向する第２表面とを有し、前記第１表面を外側、前記第２表面を内面とした袋状をなす、弾性機能を備えた弾性フィルムと、
前記弾性フィルムの前記第２表面で囲まれた空間内に備えられる変形可能な内容物と、
を備えたことを特徴とする基板の洗浄装置。
【請求項９】
前記基板は、二方向に湾曲した基板である請求項１から８のいずれか一項に記載の基板の洗浄装置。
【請求項１０】
前記基板はガラス板である請求項１から９のいずれか一項に記載の基板の洗浄装置。
【請求項１１】
前記弾性フィルムの前記第１表面は凹凸形状である請求項１から１０のいずれか一項に記載の基板の洗浄装置。
【請求項１２】
前記弾性フィルムは、砥粒と、結合材とを備え、
前記第１表面の凹凸形状は、前記砥粒と前記結合材との混合物によって形成される請求項１１に記載の基板の洗浄装置。
【請求項１３】
基板の表面を洗浄装置によって洗浄する洗浄方法であって、
前記基板と前記洗浄装置とを相対運動手段によって相対的に移動させる相対運動工程と、
前記洗浄装置に備えられ、互いに対面する第１表面と第２表面とを備える弾性フィルムの第２表面に、流体を噴出する流体噴出工程と、
前記流体噴出工程によって、前記第１表面を前記基板の表面に押し当てる押圧工程と、
を備え、
前記押圧工程は、前記相対運動工程中に行われる
ことを特徴とする基板の洗浄方法。
【請求項１４】
基板の表面を洗浄装置によって洗浄する洗浄方法であって、
前記基板と前記洗浄装置とを相対運動手段によって相対的に移動させる相対運動工程と、
前記洗浄装置に備えられ、第１表面を外面、第２表面を内面とし、前記第２表面で囲まれた空間内に変形可能な内容物を有する袋状弾性フィルムと、前記基板とが、前記相対運動手段によって摺動される摺動工程と、を備えることを特徴とする基板の洗浄方法。
【請求項１５】
請求項１３または１４に記載の前記洗浄方法を用いて製造された基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板の洗浄装置、洗浄方法及びその洗浄方法を用いた基板の製造方法に関し、特に付着性の異物が表面に存在する基板の洗浄装置、洗浄方法及びその洗浄方法を用いた基板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板の表面を洗浄する方法として、高圧水を基板に噴射する方法、洗浄液や研磨剤をしみ込ませたスポンジやバフ、ブラシ、研磨パッドなどを基板曲面に押圧しながら回転させ、摺動させる方法などが知られている（特許文献１、２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−１８６６８号公報
【特許文献２】特開２００５−２７１７１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、高圧水を噴射する方法では洗浄能力が不十分であり、付着性の異物に対して大きな洗浄効果は得られなかった。また、回転体を用いた機械的な摺動による方法では、回転機構部分の摩耗粉や機械油が飛散することで、それが被洗浄物である基板に付着してしまい、洗浄に悪影響を及ぼす場合があった。また、基板が湾曲形状の場合、その湾曲面に沿って洗浄するためには、回転体を一定圧力で湾曲面に押し付けるような、より複雑な機構を設ける必要があり、さらに洗浄に悪影響を及ぼす因子が増加するという問題があった。
【０００５】
そこで本願は、洗浄力が高く、かつ簡易な機構で構成される基板の洗浄装置、洗浄方法及びその洗浄方法を用いた基板の製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するため、本発明は、
基板と洗浄装置とを相対運動させる相対運動部と、
前記基板に接する第１表面と前記第１表面に対向する第２表面とを有し、弾性機能を備えた弾性フィルムと、
前記弾性フィルムの前記第２表面に向かって流体を噴出する流体噴出手段と、
を備えたことを特徴とする基板の洗浄装置を提供する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、洗浄力が高く、かつ簡易な機構で構成される基板の洗浄装置、洗浄方法及びその洗浄方法を用いた基板の製造方法を提供する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本願発明に係る洗浄装置の第１実施形態の全体を示す概略図。
【図２】第１実施形態の洗浄工程を直交方向から見た断面図。
【図３】第１実施形態の洗浄工程を搬送方向下流側から見たガラス搬送前の状態の断面図。
【図４】第１実施形態の洗浄工程を搬送方向下流側から見たガラス搬送中の状態の断面図。
【図５】本願発明に係る洗浄装置の第２実施形態を示す直交方向から見た断面図
【図６】本願発明に係る洗浄装置の第３実施形態を示す直交方向から見た断面図
【図７】本願発明に係る洗浄装置の第４実施形態を示す直交方向から見た断面図
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を用いて、本発明に係る湾曲ガラス板の製造装置及及び製造方法の具体的な実施の形態について説明する。なお、形態を説明するための図面において、方向について特に記載のない場合には図面上での方向をいうものとし、各図面の基準の方向は、記号、数字の方向に対応する。
【００１０】
なお、以下「搬送方向」とは、ガラス板を搬送する方向（図１中の矢印Ｘ方向）、「搬送方向に直交する方向（以後、直交方向という）」とは、ガラスを搬送する任意の搬送面上で搬送方向に直交する方向（図１中の矢印Ｙ方向）を指す。
【００１１】
また、以下の実施形態においては、基板としてガラス板を用いた場合を例に説明するが、ガラス以外の基板の洗浄にも使用できるものとする。
【００１２】
さらに、「一方向に湾曲した」とは、基板の形状がある一つの軸の回りに湾曲した単曲形状であることをいう。また、「二方向に湾曲した」とは、基板の形状が直交する二つの軸の回りにそれぞれ湾曲した複曲形状であることをいう。
【００１３】
（第１実施形態）
＜第１実施形態の洗浄装置＞
図１は、本願発明に係る洗浄装置の第１実施形態の全体を示す概略図である。第１実施形態の洗浄装置１０１は、搬送手段と洗浄手段とを備える。洗浄手段は支持手段１０２と、流体噴出手段１０３と、弾性フィルム１０４とを備える。
【００１４】
＜搬送手段＞
搬送手段は、ガラス板Ｇを支持しながら搬送方向の上流側から下流側に向けて搬送する。図１では、ガラス板Ｇは、破線で示された搬送面１０５に沿って、矢印１０６の方向に搬送される。
【００１５】
図１では、搬送手段の一例としてローラコンベアによるガラスの搬送手段を示しているが、従来から知られている搬送手段の任意の構成でよい。特に、ガラス板Ｇの両側の面を同じ工程内で洗浄する場合（後述する第３実施形態の場合）には、搬送手段はガラス板Ｇの面との接触を最小限にし、洗浄の妨げにならない構成であることが好ましい。例えば、図１のようなガラス裏面側から洗浄するための隙間を有したローラベアや、ガラス板Ｇの対向する両辺部分のみ二つのコンベアベルトで支持して、面内には支持する部材の無い構成であると好ましい。
【００１６】
また、本実施形態に限定されず、ガラス板ＧをＹ方向、さらにはＺ方向に搬送する構成でも良い。
【００１７】
さらには、洗浄手段とガラス板Ｇとが相対的に移動する構成であれば、ガラス板Ｇは停止していてもよい。この場合、支持手段１０２、弾性フィルム１０４及び流体噴出手段１０３がガラス板に対して、例えばスライドまたは揺動するような駆動手段を備えていてもよく、搬送手段と駆動手段の両者を備えていてもよい。なお、本明細書において、搬送手段と駆動手段の上位概念として相対運動手段という言葉を用いる。
【００１８】
以下、本明細書においては、搬送手段のみを備えている場合について説明する。また、本明細書において「運動面」とは、相対運動手段による、洗浄装置１０１に対するガラス板Ｇの運動を時々刻々重ね合わせたものを指し、ガラス板Ｇの厚みだけ、厚みを持つものとする。また「搬送面」とは、搬送手段による、ガラス板Ｇの運動を時々刻々重ね合わせたガラス板の搬送路を指し、ガラス板Ｇの厚みだけ、厚みを持つものとする。
【００１９】
＜支持手段及び弾性フィルム＞
支持手段１０２は、搬送面１０５に対して空間を隔てて対向する位置に設けられ、弾性フィルム１０４の一部を固定して支持する。
【００２０】
支持手段１０２の具体的な構成は、弾性フィルム１０４を支持できるものであれば、いかなる構成でもよく、例えば弾性フィルム１０４を挟持するような構成であってもよい。また、図１に示すような棒状の支持手段１０２の場合、支持手段１０２は軸方向に対して回転可能であってもよい。
【００２１】
弾性フィルム１０４は、互いに対面する第１表面１０８と第２表面１０９とを備え、図１では搬送面１０５と接するように設けられ、重力によって暖簾状に垂れ下がった構成である。弾性フィルム１０４は、少なくとも支持手段１０２が設けられる位置と、後述する流体噴出手段１０３の開孔部１０７の軸と搬送面１０５との交点の位置とを結ぶ長さを有する。
【００２２】
また、弾性フィルム１０４の素材は、容易に変形可能なものであればよく、弾性率が低く塑性変形しにくい材料、例えばポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）などの高分子材料が挙げられる。
【００２３】
弾性率の範囲として、例えば、１００ＭＰａ以上５０００ＭＰａ以下、より好ましくは５００ＭＰａ以上４５００ＭＰａ以下、さらに好ましくは１０００ＭＰａ以上４０００ＭＰａ以下の材料が好ましい。
【００２４】
また、弾性フィルム１０４の厚さは１００μｍ以下、望ましくは５０μｍ以下、さらに好ましくは１０μｍ以下であれば、容易に変形可能となるため好ましい。
【００２５】
また、弾性フィルム１０４は、第１表面１０８が搬送方向上流側、第２表面１０９が搬送方向下流側に面するように配置される。第１表面１０８は、研磨性を持つ凹凸形状であると望ましい。例えば、砥粒と結合材を混合させた混合物を第１表面１０８上に形成して、微細な凹凸形状を構成してもよい。このように第１表面１０８を研磨性を持つ凹凸形状とすることで、洗浄能力が向上する。
【００２６】
また、弾性フィルム１０４は、切込部１１０を有して、弾性フィルムのうちガラス板Ｇと接触する側が短冊状になっていてもよい。設ける切込部１１０の数は洗浄するガラス板Ｇの形状によって適宜設定可能である。切込部１１０を設けることで、弾性フィルム１０４のガラス板Ｇの湾曲形状への追従性が高まり、設ける切込部１１０の数が多ければ多いほど、一方向または二方向に湾曲した複雑な湾曲形状に対応できる。
【００２７】
さらに、弾性フィルム１０４を搬送方向、又は直交方向に複数配置してもよい。搬送方向に複数配置することで、より高い洗浄能力が得られる。また、直交方向に複数配置することで、切込部１１０を設けることと同様に、弾性フィルム１０４のガラス板Ｇの湾曲形状への追従性が高まる。
【００２８】
また、図１では、弾性フィルム１０４の支持手段１０２で支持された部分の厚み方向は、搬送方向と同じ方向を向いているが、本実施形態に限定されない。すなわち、ガラス板Ｇの形状によって、弾性フィルム１０４の支持手段１０２で支持された部分の厚み方向は、搬送方向に対していかなる傾きを持っていてもよい。
【００２９】
＜流体噴出手段＞
流体噴出手段１０３は、搬送面１０５に対して、支持手段１０２が設けられた位置と同一側、かつ空間を隔てて対向する位置に設けられる。本実施形態では流体噴出手段１０３は管とノズルを備えた構成であり、搬送面１０５に向かって流体を噴出する開孔部１０７を有する。
【００３０】
開孔部１０７の軸と搬送面１０５との交点は、弾性フィルム１０４と搬送面１０５との交点よりも搬送方向下流側に設けられるが、本実施形態に限定されない。開孔部１０７の軸と搬送面１０５との交点は、弾性フィルム１０４と搬送面１０５との接点と同じ位置でもよい。
【００３１】
本実施形態では、開孔部１０７は直交方向に複数備えられる。搬送方向下流側から見た場合、切込部１１０が複数の開孔部１０７、１０７・・・の間に位置するようになっている。このようにすることで、弾性フィルム１０４の第２表面１０９に的確に流体を当てることができ、搬送されてくるガラス板Ｇに弾性フィルム１０４の第１表面１０８を押し当てることができる。しかし、本実施形態に限定されず、特に切込部１１０を複数設けた場合には、搬送方向下流側から見た場合、開孔部１０７の軸と切込部１１０が同位置に設けられていてもよい。
【００３２】
流体噴出手段１０３で噴出する流体は、洗浄液または空気であってもよい。洗浄液は水であってもよく、水と洗剤を混合させたものであってもよい。
【００３３】
また、開孔部１０７から噴出される流体の圧力は、弾性フィルム１０４の第１表面１０８をガラス板Ｇの湾曲面に沿って好適に押し当てられるように適宜調整される。具体的には、開孔部１０７から噴出される流体の圧力が０．０５ＭＰａ以上３ＭＰａ以下、より好ましくは０．１ＭＰａ以上２ＭＰａ以下、さらに好ましくは０．５ＭＰａ以上１ＭＰａ以下であれば、第１表面１０９によってガラス板Ｇに傷を付けることなく、付着性の異物を削り取ることができるため好ましい。
【００３４】
以上が、洗浄装置の全体構成である。
【００３５】
＜第１実施形態の洗浄方法＞
図２は、本実施形態の洗浄装置を用いた洗浄工程を示す断面図である。また、図３、図４は本実施形態の洗浄装置を搬送方向下流側から見たときを示す図であり、図３は図２のＡ−Ａ断面を示し、図４は図２のＢ−Ｂ断面を示す。図１の洗浄装置の説明で既に述べた構成については、同様の参照符号を使用し、それらの説明は省略する。
【００３６】
まず、ガラス板Ｇは搬送面１０５上を搬送手段によって搬送され、洗浄装置１０１に搬入される搬送工程を経る。なお、前述の通り、ガラス板Ｇと洗浄手段とが相対的に移動すればよく、洗浄手段を運動させる駆動工程を用いてもよい。本明細書において、搬送工程と駆動工程の上位概念として相対運動工程という言葉を用いる。なお、このとき、図２ではガラス板Ｇは付着性の異物２０４が付着している。
【００３７】
搬送方向には、支持手段１０２と流体噴出手段１０３がこの順で配置されており、流体噴出手段１０３の開孔部１０７の軸２０１と搬送面１０５との交点２０２が存在する。またガラス板Ｇが搬送されてくる前の状態では、弾性フィルム１０４は図３のように重力によって支持手段１０２の直下に垂れ下がっている。
【００３８】
次に、ガラス板Ｇの先端が固定手段１０２が設けられている位置よりも搬送方向下流側に位置するように搬送される。このときの搬送中に、弾性フィルム１０４はガラス板Ｇによって持ち上げられ、ガラス板Ｇの形状に追従するように弾性変形し、弾性フィルム１０４の第１表面１０８の一部が、ガラス板Ｇと対向する位置に移動する。一方、弾性フィルム１０４の第２表面１０９は、開口部１０７と対向する位置に移動する。この状態のままさらに搬送されることで、第１表面１０８とガラス板Ｇの表面は、相対運動工程によって、互いに摺動する。
【００３９】
ここで、さらに流体噴出手段１０３より弾性フィルムの第２表面１０９に、流体２０３を噴出する流体噴出工程を経て、その流体２０３の圧力によって、弾性フィルム１０４の第１表面１０８がガラス板Ｇの表面に押し当てられる押圧工程を経る。このように、相対運動工程中に押圧工程が行われて、ガラス板Ｇと弾性フィルム１０４とが摺動することで、ガラス板Ｇの表面に第１表面１０８が押し当てられ、弾性フィルム１０４は、ガラス板Ｇの表面形状に沿って適正に変形し、かつガラス板Ｇの表面の付着性の異物２０４を削り取り、適切に洗浄することが可能となる。
【００４０】
以上のような洗浄装置及び洗浄方法であれば、複雑な機械構造を用いていないため、洗浄装置の機構からの摩耗粉や機械油などが洗浄に悪影響を及ぼす因子を取り除くことができる。また、弾性フィルム１０４の第１の表面１０８に研磨性の凹凸形状を形成すれば、簡易な機構で高い洗浄力を得られる。
【００４１】
さらに、ガラス板Ｇの一部分が急激に屈曲するような複雑形状の場合、また一方向、二方向に湾曲したガラス板Ｇの場合でも、弾性フィルムの柔軟な変形により対応可能であり、ガラス面全体に亘って均一な圧力で洗浄することができる。
【００４２】
また、既に高圧水による洗浄工程が組み込まれているラインであれば、新たな洗浄装置をライン内に設置せずとも、固定手段と弾性フィルムを搬送方向上流側に設置するだけで、高い洗浄効果が得られる本構成へと変更することが可能となる。
【００４３】
ここで、開孔部１０７から噴出される流体２０３は、図２、図４のように放射状に広がる構成であることが望ましい。流体２０３が放射状に広がる構成であれば、一つの開孔部１０で弾性フィルム１０４の広範囲に渡って圧力を加えることができる。また、そのような複数の開孔部１０７によってガラス板Ｇの曲面全体に圧力を加える構成であることが好ましい。複数の開孔部１０７の放射範囲が互いに干渉してもよい。一方、放射状に広がることを抑制したノズルを用いれば、高い圧力で所望の位置に的確に弾性フィルム１０４を押し付けることができる。
【００４４】
また、断面視で弾性フィルム１０４とガラス板Ｇとが接触している長さは、２０ｍｍ以上、より好ましくは３０ｍｍ以上、さらに好ましくは４０ｍｍ以上であれば、充分な洗浄効果が得られる。
【００４５】
また、流体噴出工程は恒常的に行われていてもよく、適切なタイミングで行われてもよい。すなわち、流体噴出手段１０３は、弾性フィルム１０４が開孔部１０７の軸２０１上、かつガラス板Ｇと流体噴出手段１０３との間にあるときのみ流体２０３を噴出してもよく、この場合、ガラス位置検出装置を設け、ガラス板Ｇの位置に応じて流体噴出手段１０３が流体２０３を噴出するようにコントローラを設けることが望ましい。また、流体噴出手段１０３は、ガラス板Ｇ及び弾性フィルム１０４の位置に関わらず、常に流体２０３を搬送面１０５に向けて噴出し続けていてもよい。
【００４６】
（第２実施形態）
＜第２実施形態の洗浄装置と洗浄方法＞
図５は、本発明に係る洗浄装置の第２実施形態を示す断面図である。第１実施形態の説明で既に述べた構成については、同様の参照符号を使用し、それらの説明は省略する。
【００４７】
第２実施形態は、湾曲した弾性フィルム５０４を備え、さらに第１実施形態とは設けられる位置が異なる流体噴出手段５０３を備えている。
【００４８】
弾性フィルム５０４は湾曲した形状をしているが、弾性フィルム５０４の長さは、少なくとも支持手段１０２が設けられる位置と、流体噴出手段５０３の開孔部１０７の軸と搬送面１０５との交点の位置とを結ぶ長さを有する。
【００４９】
このような湾曲した弾性フィルム５０４であれば、開孔部１０７の軸５１１上、かつガラス板Ｇと流体噴出手段５０３との間に存在すれば、弾性フィルム５０４がガラス板Ｇの搬送に伴ってガラス板と接触し、持ちあげられる構成でなくともよい。
【００５０】
図５の場合、流体噴出手段１０３が停止状態では湾曲した弾性フィルム５０４はガラス板Ｇに接触しない状態である。この状態で搬送手段によってガラス板Ｇが搬送されてくると、開孔部１０７の軸５１１上、かつガラス板Ｇと流体噴出手段５０３との間で、第１表面１０８がガラス板Ｇと対向する位置に設けられ、かつ第２表面１０９が開口部１０７と対向する状態となる。
【００５１】
そして、流体噴出手段１０３が流体２０３を噴出させ、弾性フィルム５０４の第２の表面１０９に圧力をかけることで、弾性フィルム５０４が弾性変形し、ガラス板Ｇの表面に押し当てられる。このような構成でも、第１表面１０８がガラス板Ｇの表面に押し当てられ、ガラス板Ｇ表面の付着性の異物２０４を削り取り、適切に洗浄することが可能となる。
【００５２】
また、流体噴出手段５０３は図５に示すように、支持手段１０２と同位置に設けて開孔部１０７の軸５１１は斜めから弾性フィルム５０４に当ててもよい。すなわち、開孔部１０７の軸５１１は所望の角度を設定可能であり、流体噴出手段５０３は支持手段１０２よりも搬送方向下流側に配置する必要はなく、支持手段１０２と同位置もしくは搬送方向上流側に設けられていてもよい。
【００５３】
以上のように、洗浄するガラス板Ｇの形状に合わせて、適正な角度から流体２０３を当てられるように開孔部１０７の軸の角度を調整し、弾性フィルムをガラス板Ｇが搬送されてきた際に、開孔部１０７の軸上に存在するように配置すれば、流体２０３によって弾性フィルムをガラス板Ｇに押し当てることにより、付着性の異物を削り取り、適切に洗浄することが可能となる。
【００５４】
なお、このような構成は、後述するガラス板の第４表面Ｇ４を洗浄する際に好適に用いられる。本構成を後述する図６の第４表面Ｇ４側に用いた場合、図６の構成と比較して、弾性フィルム１０４を持ち上げる必要がないため、必要な流体の圧力を小さくできる。
【００５５】
（第３実施形態）
図６は、本発明に係る洗浄装置の第３実施形態を示す断面図である。第３実施形態によれば、ガラス板Ｇの両側面を同時に洗浄できる。なお、以下第３実施形態において、ガラス板Ｇのうち、弾性フィルム１０４（以下、第１の弾性フィルム１０４という）と接する表面を第３表面Ｇ３、弾性フィルム６０４（以下、第２の弾性フィルム６０４という）と接する表面を第４表面Ｇ４という。
【００５６】
また、第１実施形態の説明で既に述べた構成については、同様の参照符号を使用し、それらの説明は省略する。なお、第１実施形態で説明した構成であって、第３実施形態で新たに備える構成と重複する名称については、以下全て構成の名称の前に「第１の」と付くものとする。同様に第３実施形態で備える構成であって、第１実施形態と重複する名称については、「第２の」と付くものとする。
【００５７】
＜第３実施形態の洗浄装置＞
第３実施形態では、第１実施形態で示したガラス板Ｇの第３表面Ｇ３を洗浄する第１の弾性フィルム１０４などの構成に加え、ガラス板Ｇの第４表面Ｇ４を洗浄するための構成を備えている。
【００５８】
第２の支持手段６０２は、搬送面１０５に対して空間を隔てて対向する位置、かつ第１の支持手段１０２とは搬送面１０５を介して反対側に設けられ、第２の弾性フィルム６０４の一部を固定して支持する。
【００５９】
第２の支持手段６０２の具体的な構成は、弾性フィルム６０４を支持できるものであれば、いかなる構成でもよく、図６では回転可能な支持手段６０２を例示している。
【００６０】
第２の弾性フィルム６０４は、互いに対面する第５表面６０８と第６表面６０９とを備える。後述する第２の流体噴出手段６０３によって流体が噴出される前の状態では、第２の弾性フィルム６０４は図６では重力によって下側に垂れ下がった構成をとる。
【００６１】
第２の弾性フィルム６０４は、少なくとも第２の支持手段６０２が設けられる位置と、第２の流体噴出手段６０３の第２の開孔部６０７の軸６１１と搬送面１０５との交点６１２の位置とを結ぶ長さを有する。
【００６２】
第２の弾性フィルム６０４の構成、配置などは、第１の弾性フィルム１０４の第１表面１０８を第５表面６０８に、第２表面１０９を第６表面６０９に置き換えたものと同じであるため、説明を省略する。同様に第２の流体噴出手段６０３についても、説明を省略する。
【００６３】
＜第３実施形態の洗浄方法＞
ガラス板Ｇの第３表面Ｇ３側の洗浄に関しては、第１実施形態と同様のため説明を省略し、ガラス板Ｇの第４表面Ｇ４側の洗浄に関してのみ説明する。
【００６４】
第３実施形態によれば、まず、ガラス板Ｇは搬送面上を搬送手段によって搬送され、洗浄機１０１に搬入される搬送工程を経る。図６では、ガラス板Ｇの第４表面Ｇ４に付着性の異物２０４が付着している。
【００６５】
搬送方向には、支持手段６０２と流体噴出手段６０３がこの順番で配置されており、第２の流体噴出手段６０３の開孔部６０７の軸６１１と搬送面１０５との交点６１２が存在する。また、ガラス板Ｇが搬送されてくる前の状態では、第２の弾性フィルムは、重力によって下側に垂れ下がっている。
【００６６】
次に、ガラス板Ｇの先端が、固定手段６０２が設けられている位置、さらには第２の流体噴出手段６０３が設けられている位置よりも搬送方向下流側に位置するように搬送される。ここで第２の弾性フィルム６０４は、第２の流体噴出手段６０３から第６表面６０９に向けて流体６１３が噴出される流体噴出工程によって持ち上げられ、さらに流体６１３の圧力によって、ガラス板Ｇに押し付けられる押圧工程を経る。この押圧工程によって、弾性フィルム６０４はガラス板Ｇの第４表面Ｇ４の形状に追従するように弾性変形し、かつ搬送工程によって弾性フィルム６０４とガラス板Ｇとが摺動する。
【００６７】
この際、押し当てる流体６１３の圧力を調整することで、第２の弾性フィルム６０４は、ガラス板Ｇの第４の表面Ｇ４の表面形状に沿って適正に変形しながら押し当てられ、第４表面Ｇ４の付着性の異物２０４を削り取り、適切に洗浄することが可能となる。
【００６８】
以上のような洗浄装置及び洗浄方法であれば、第１実施形態の効果に加えて、搬送中、ガラス板Ｇの第３表面Ｇ３及び第４表面Ｇ４を同時に洗浄することができるため効率的である。
【００６９】
（第４実施形態）
＜第４実施形態の洗浄装置＞
図７は、本願に係る洗浄装置の第４の実施形態を示す断面図である。第４実施形態では、洗浄装置７０１は、搬送手段と洗浄手段とを備え、洗浄手段は支持手段７０２と、弾性フィルム７０４と、内容物７０３とを備える。
【００７０】
搬送手段に関しては、第１実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００７１】
支持手段７０２は、搬送面１０５に対して空間を隔てて対向する位置に設けられ、弾性フィルム７０４の一部を固定して支持する。
【００７２】
支持手段７０２の具体的な構成は、弾性フィルム７０４を支持できるものであれば、いかなる構成でもよく、例えば弾性フィルム７０４を挟持するような構成であってもよい。また、支持手段７０２は軸方向に対して回転可能であってよい。
【００７３】
弾性フィルム７０４は、互いに対面する第１表面７０８と第２表面７０９とを備え、支持手段７０２によって、第１表面７０８を外面、第２の表面７０９を内面とする袋状に支持される（以下、袋状弾性フィルム７０４という）。「袋状」とは、第２の表面７０９で形成された空間に一定量の内容物７０３を保持できる構成であればよく、例えば、すり鉢状や、円筒状の筒を縦割りした半円筒状などでもよい。本実施形態では、弾性フィルム７０４を二つの支持手段７０２によって半円筒状を構成するように支持している。
【００７４】
また、袋状弾性フィルム７０４は、ガラス板Ｇが搬送される前の状態で、搬送面１０５と接触点７０５を持つように配置される。図７では、接触点７０５は交点と同様に描かれているが、袋状弾性フィルム７０４が搬送されてくるガラス板Ｇと少なくとも接触すればよい。図７では、袋状弾性フィルム７０４は、内容物７０３の重さによって垂れ下がった構成である。
【００７５】
また、袋状弾性フィルム７０４の素材、厚み、第１表面７０８の表面性状などは、第１実施形態と同様であるため、説明は省略する。
【００７６】
内容物７０３は、袋状弾性フィルム７０４の第２表面７０８で形成された空間に配置される。内容物７０３は、その重さによって袋状弾性フィルム７０４をガラス板の表面に押し当てる役割を担う。そのため、内容物７０３は液体及び砂など、集合体として柔軟な変形が可能で、かつある程度重量を持つものであればよい。
【００７７】
内容物７０３の重さは、例えば、重力によってガラス板Ｇにかかる圧力が７０ｇｆ／ｃｍ２、より好ましくは１００ｇｆ／ｃｍ２以上となるように設定すればよい。
【００７８】
＜第４実施形態の洗浄方法＞
まず、ガラス板Ｇは搬送面１０５上を搬送手段によって搬送され、洗浄装置１０１に搬入される搬送工程を経る。図７ではガラス板Ｇは付着性の異物２０４が付着している。
【００７９】
搬送方向の搬送面上には、袋状弾性フィルム７０４が存在し、ガラス板Ｇの搬送に伴って、ガラス板Ｇと袋状弾性フィルム７０４が接触し、袋状弾性フィルム７０４は搬送されるガラス板Ｇによって持ち上げられ、ガラス板Ｇの形状に追従するように弾性変形していく。この状態のままさらに搬送されることで、第１表面７０８とガラス板Ｇの表面は、互いに摺動される摺動工程を経る。
【００８０】
ここで、内容物７０３に係る重力によって、袋状弾性フィルム７０４の第１表面７０８がガラス板Ｇの表面に押し当てられる。このようにすることで、袋状弾性フィルム７０４は、ガラス板Ｇの表面形状に沿って変形し、かつガラス板Ｇの表面に第１表面７０８が押し当てられることで、ガラス板Ｇの表面の付着性の異物２０４を削り取り、適切に洗浄することが可能となる。
【００８１】
以上のような洗浄装置及び洗浄方法であれば、流体噴出手段を設けなくとも第１実施形態の効果を得ることができ、設備がさらに簡易な構成となる。また流体などを循環させる必要がなく、ほぼ恒久的に洗浄効果を得ることができる。
【実施例】
【００８２】
付着性の異物が付いた基板を本願発明に係る洗浄装置及び高圧水のみによる洗浄装置で洗浄し、その洗浄能力について比較した結果について説明する。
【００８３】
流体噴出手段の開孔部での水圧、開孔部から搬送面までの距離、開孔部の直径を調整し、搬送面上では約０．６ＭＰａの水圧がかかるようにした。搬送コンベアは毎秒２３０ｍｍの速さでガラス板Ｇを搬送するものとした。
【００８４】
また、実施例では弾性フィルムとしては、基材に厚さ７５μｍのＰＥＴを用い、その第１表面に砥粒と結合材の混合物によって凹凸形状を形成したものを用いた。
【００８５】
また、基板としては自動車用フロントガラスを用い、付着性の異物としては、ガラスペン（汚れ１）、ポスターカラー（汚れ２）、ホワイトボードマーカー（汚れ３）、ソリッドマーカー（汚れ４）、サインペン（汚れ５）の５種類を模擬汚れとした。また、洗浄後、目視により基板表面のキズの有無について確認した。
【００８６】
以上のようにして実験した結果を表１に示す。
【００８７】
【表１】
0006287672.tif 000002
【００８８】
表１において、二重丸印は汚れを８０％以上除去、丸印は汚れを５０％以上除去、三角印は汚れを２０％以上除去、バツ印は汚れに変化がないことを示す。
【００８９】
このように、弾性フィルムを用いることで、洗浄能力が高圧水による洗浄よりも向上していることが分かった。
【００９０】
また、目視で確認できるキズもなく外観品質にも問題ないことが確認できた。
【産業上の利用可能性】
【００９１】
本発明の基板の洗浄装置、洗浄方法及びその洗浄方法を用いた基板の製造方法は、特に、湾曲形状に曲げ成形された基板、例えば自動車用ガラス板の洗浄に好適に使用できる。
【符号の説明】
【００９２】
１０１、５０１、６０１、７０１    洗浄装置
１０２、６０２、７０２            支持手段
１０３、５０３、６０３            流体噴出手段
１０４、５０４、６０４、７０４    弾性フィルム
１０５                            搬送面
１０６                            矢印
１０７、６０７                    開孔部
１０８、７０８                    第１表面
１０９、７０９                    第２表面
１１０                            切込部
２０１、５１１、６１１            軸
２０２、６１２                    交点
２０３、６１３                    流体
２０４                            付着性の異物
６０８                            第５表面
６０９                            第６表面
７０３                            内容物
７０５                            接触点
Ｇ                                ガラス板
Ｇ３                              第３表面
Ｇ４                              第４表面
【図１】
0006287672.tif 000003
【図２】
0006287672.tif 000004
【図３】
0006287672.tif 000005
【図４】
0006287672.tif 000006
【図５】
0006287672.tif 000007
【図６】
0006287672.tif 000008
【図７】
0006287672.tif 000009