(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電加工機における加工間隙に生じさせるパルス放電を制御する電源制御装置であって、
前記加工間隙に生じた放電電圧の電圧レベルを検出する電圧レベル検出部と、
前記電圧レベルと電圧レベル基準値とを比較し、比較結果を出力する電圧レベル比較器と、
前記比較結果に基づいて、複数の判定方式のうちの指定された前記判定方式により放電パルスが異常であるか否かを判定する判定部と、
を備え、
前記判定方式を加工中に指定可能であり、
前記複数の判定方式は、前記電圧レベルが電圧レベル基準値を下回った後、遅延時間後に放電パルスを遮断させる判定方式を含むことを特徴とする放電加工機の電源制御装置。
【請求項２】
前記複数の判定方式は、前記電圧レベルが電圧レベル基準値を下回る累積時間に基づいて、放電パルスが異常であるか否かを判定する第１の判定方式を含むことを特徴とする請求項１に記載の放電加工機の電源制御装置。
【請求項３】
前記判定部は、前記第１の判定方式により判定を行う場合、前記累積時間が基準判定時間以上となる場合に放電パルスが異常であると判定し、
前記複数の判定方式は、前記第１の判定方式において前記基準判定時間の異なる複数の判定方式を含むことを特徴とする請求項２に記載の放電加工機の電源制御装置。
【請求項４】
前記複数の判定方式は、前記放電電圧に重畳される高周波成分が高周波成分基準値を下回る累積時間に基づいて、放電パルスが異常であるか否かを判定する判定方式を含むことを特徴とする請求項１から３のいずれか１つに記載の放電加工機の電源制御装置。
【請求項５】
前記複数の判定方式は、前記遅延時間の異なる複数の判定方式を含むことを特徴とする請求項１から４のいずれか１つに記載の放電加工機の電源制御装置。
【請求項６】
放電加工機における加工間隙に生じさせるパルス放電を制御する電源制御装置であって、
前記加工間隙に生じた放電電圧の電圧レベルを検出する電圧レベル検出部と、
前記電圧レベルと電圧レベル基準値とを比較し、比較結果を出力する電圧レベル比較器と、
前記比較結果に基づいて、複数の判定方式のうちの指定された前記判定方式により放電パルスが異常であるか否かを判定する判定部と、
規定時間内に異常と判定された放電パルスの数に基づいて、指定されている判定方式が適切であるか否かを判定する設定判定部と、
前記設定判定部により前記指定されている判定方式が適切でないと判定された場合、前記指定されている判定方式を変更する判定制御部と、
を備え、
前記判定方式を加工中に指定可能であることを特徴とする放電加工機の電源制御装置。
【請求項７】
前記加工間隙の放電電流を検出する放電電流検出部と、
前記放電電流の平均値を算出する平均放電電流算出部と、
前記平均値と平均放電電流基準値とを比較する平均放電電流比較器と、
を備え、
前記判定制御部は、前記平均放電電流比較器による比較結果に基づいて前記指定されている判定方式が適切であるか否かを判定することを特徴とする請求項６に記載の放電加工機の電源制御装置。
【請求項８】
判定方式を指定する入力を受け付け、受け付けた前記判定方式を前記判定部へ設定する判定設定部、を備えることを特徴とする請求項１から７のいずれか１つに記載の放電加工機の電源制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工用電源を用いて加工電極と被加工物との間に放電を生じさせる放電加工機において、加工用電源を制御する電源制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
放電加工機は、対向配置された加工電極と被加工物との間である加工間隙に、パルス状の短い期間の放電であるパルス放電を繰り返し生じさせて被加工物を放電加工する放電加工機である。放電加工機は、加工間隙に加工用の電圧である加工電圧を印加する加工電源を有し、加工電源は電源制御装置により制御される。例えば、電源制御装置は、加工間隙に生じさせるパルス放電の放電パルス幅すなわち放電時間幅と、加工電圧を印加しない期間である休止時間とを制御する。【０００３】
放電加工機においては、いわゆるアーク放電と呼ばれる異常放電が発生することがあるが、この異常放電の発生は、放電電圧の低下となって現れる。異常放電の状態が継続すると、電極の異常摩耗、突起物の発生といった問題が生じる可能性がある。したがって、放電加工機の電源制御装置には、異常放電を抑制するように、放電時間幅、休止時間などを制御する機能が求められている。【０００４】
例えば、特許文献１には、異常放電を抑制するために、放電電圧が基準電圧を下回ったときに放電時間幅を短縮させる技術が開示されている。また、特許文献１には、放電電圧の高周波成分と放電電圧とに基づいて放電パルスが正常パルスであるか異常パルスであるかを判定し、連続して異常パルスと判定された回数および連続して正常パルスと判定された回数に基づいて休止時間を変更する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第５２６４７８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載の技術では、放電パルスが正常パルスであるか異常パルスであるかの判定に用いる基準値が固定であり、加工状態によっては基準値が適切でない場合もあるという問題がある。例えば、特許文献１に記載の技術では、基準値が適切でなく異常パルスと判定される回数が必要以上に多くなると、休止時間の延長が必要以上に行われ加工速度が低下する可能性がある。【０００７】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、加工速度の低下を抑制しつつ異常放電を抑制することができる放電加工機の電源制御装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、放電加工機における加工間隙に生じさせるパルス放電を制御する電源制御装置であって、加工間隙に生じた放電電圧の電圧レベルを検出する電圧レベル検出部と、電圧レベルと電圧レベル基準値とを比較し、比較結果を出力する電圧レベル比較器と、を備える。また、電源制御装置は、比較結果に基づき、複数の判定方式のうちの指定された判定方式により放電パルスが異常であるか否かを判定する判定部と、を備える。本発明の電源制御装置は、判定方式を加工中に指定可能であり、複数の判定方式は、電圧レベルが電圧レベル基準値を下回った後、遅延時間後に放電パルスを遮断させる判定方式を含む。
【発明の効果】
【０００９】
本発明にかかる放電加工機の電源制御装置は、加工速度の低下を抑制しつつ異常放電を抑制することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】実施の形態１にかかる放電加工機の電源制御装置の構成例を示す図
【図２】実施の形態１の電源制御装置のハードウェア構成例を示す図
【図３】実施の形態１のプロセッサを備える処理回路の構成例を示す図
【図４】実施の形態１の電源制御装置における各信号の一例を示す図
【図５】実施の形態１の電源制御装置における動作の一例を示すフローチャート
【図６】実施の形態１による加工性能を比較例と比較して示す加工特性図
【図７】実施の形態２にかかる放電加工機の電源制御装置の構成例を示す図
【図８】実施の形態２の電源制御装置における各信号の一例を示す図
【図９】実施の形態２の判定制御装置における処理手順の一例を示すフローチャート
【図１０】実施の形態３にかかる放電加工機の電源制御装置の構成例を示す図
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下に、本発明の実施の形態にかかる放電加工機の電源制御装置を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
【００１２】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１にかかる放電加工機の電源制御装置の構成例を示す図である。図１に示した電源制御装置１００は、本発明にかかる放電加工機の電源制御装置であり、放電加工機において加工電源１を制御する。放電加工機は、加工電源１、加工電極２および電源制御装置１００を備える。本実施の形態の放電加工機は、例えば形彫放電加工機である。放電加工機は、加工電極２と被加工物３との間である加工間隙にパルス放電を生じさせることにより被加工物３を加工する。電源制御装置１００は、放電加工機における加工間隙に生じさせるパルス放電を制御する。加工間隙にパルス放電を生じさせるため、被加工物３は導体である。
【００１３】
電源制御装置１００は、加工電源１を制御する。加工電源１は、電源制御装置１００からの制御に従って、規定のパルス幅の放電であるパルス放電を加工間隙に生じさせるための加工電圧を加工電極２と被加工物３とに印加する。電源制御装置１００により加工電圧の印加が開始された後、加工放電が開始される。本実施の形態では、規定のパルス幅に対応する時間を加工放電時間と呼ぶ。加工放電時間の間、加工放電が行われた後、電源制御装置１００は加工放電を休止させる。その後、電源制御装置１００は、あらかじめ定められた休止時間が経過すると、再び加工電圧の印加が開始される。このように、加工放電が繰り返えされることにより、被加工物３が加工される。ただし、後述するように、電源制御装置１００は、加工放電時間の途中で異常パルスと判定した場合には放電パルスを遮断する。この場合、放電パルスの遮断により放電パルスのパルス幅は規定のパルス幅より短縮される。
【００１４】
電源制御装置１００は、電圧レベル検出装置４、電圧レベル比較器５、基準値設定装置６、判定部７、判定設定装置８および放電パルス制御装置９を備える。
【００１５】
電圧レベル検出装置４は、加工間隙に生じた放電電圧の電圧レベルを検出する電圧レベル検出部である。基準値設定装置６は、放電電圧レベルに対する基準電圧レベルの電圧である基準電圧ＶCを出力する。電圧レベル比較器５の反転入力端すなわち図１において−と記載された入力端は、電圧レベル検出装置４の出力端に接続される。電圧レベル比較器５の非反転入力端すなわち図１において＋と記載された入力端は基準値設定装置６に接続される。これにより、電圧レベル比較器５の反転入力端には、電圧レベル検出装置４により検出された放電電圧レベルが入力され、電圧レベル比較器５の非反転入力端には、基準値設定装置６から出力される基準電圧ＶCが入力される。したがって、電圧レベル比較器５は、電圧レベル検出装置４により検出された電圧レベルと電圧レベル基準値とを比較し、比較結果を出力する。
【００１６】
すなわち、電圧レベル比較器５は、電圧レベル検出装置４から出力された放電電圧レベルが基準電圧ＶCを上回る場合は、電圧レベルが正常であることを示す信号であるＬ（Ｌｏｗ）レベルの信号を出力する。また、電圧レベル比較器５は、電圧レベル検出装置４から出力された放電電圧レベルが基準電圧ＶCを下回る場合は、電圧レベルが異常であることを示す信号であるＨ（Ｈｉｇｈ）レベルの信号を出力する。電圧レベル比較器５から出力された信号は、判定部７に入力される。なお、ここでは、Ｌレベルが正常であり、Ｈレベルが異常である例を説明するが、正常と異常の論理を反転させ、Ｌレベルが異常でありＨレベルが正常となるように構成してもよい。
【００１７】
電圧レベル比較器５は、電圧レベル検出装置４から出力された放電電圧レベルが基準電圧ＶCを放電時間内の途中から下回る場合は、放電電圧レベルが基準電圧ＶCを下回った時点でＬレベルからＨレベルに立ち上げることで、１回の放電パルスの放電時間の終了をまたずに、電圧レベルの異常を判定部７に通知することができる。
【００１８】
判定部７は、電圧レベル比較器５から入力される信号に基づいて、放電パルスが正常パルスであるか否かを判定する。判定部７は、判定設定装置８から、後述する設定情報を受け取った場合には、設定情報に基づいて判定に関するパラメータを設定する。判定部７はＡ方式およびＢ方式の２つの方式の判定を行うことが可能である。第１の方式であるＡ方式は、放電電圧レベルが基準電圧ＶCを下回る累積時間が基準判定時間ＴR以上となった場合に異常パルスと判定して放電パルスを遮断する方式である。第２の方式であるＢ方式は、放電電圧レベルが基準電圧ＶCを下回ると異常パルスと判定し、異常パルスと判定してから遅延時間Ｔd後に放電パルスを遮断する方式である。判定方式を指定する情報、基準判定時間ＴRおよび遅延時間Ｔdの初期値はあらかじめ判定部７に設定されていてもよいし、これらの初期値についても判定設定装置８が入力を受け付けてもよい。
【００１９】
判定部７は、Ａ方式が指定されているとき、以下の動作を実施する。判定部７は、電圧レベル比較器５から入力される信号がＨレベルである累積時間を求め、累積時間と判定設定装置８から入力される基準判定時間ＴRとに基づいて、放電パルスが正常パルスであるか否かを判定する。具体的には、電圧レベル比較器５から出力された信号は一定周期で入力されるとし、判定部７は、電圧レベル比較器５からＨレベルの信号が入力されると累積時間を増加させ、電圧レベル比較器５からＬレベルの信号が入力されると累積時間を増加させないことを繰り返す。そして、判定部７は、累積時間と基準判定時間ＴRとの大小関係を比較する。判定部７は、累積時間が基準判定時間ＴRを下回る場合は、加工間隙に生じている放電パルスを正常パルスと判定し、累積時間が基準判定時間ＴRに達した場合は、加工間隙に生じている放電パルスを異常パルスと判定して累積時間を０にリセットする。そして、判定部７は、判定結果を示す信号を放電パルス制御装置９へ出力する。また、判定部７は、加工放電の開始からあらかじめ定められた加工放電時間が経過すると、この累積時間を０にリセットする。
【００２０】
判定部７は、Ｂ方式が指定されているとき、以下の動作を実施する。判定部７は、電圧レベル比較器５から入力される信号がＬレベルである間は放電パルスを正常パルスと判定し、判定結果を示す信号を放電パルス制御装置９へ出力する。また、判定部７は、電圧レベル比較器５から入力される信号がＨレベルとなると放電パルスを異常パルスと判定し、異常パルスであるという判定結果を、異常パルスと判定してから遅延時間Ｔdが経過した後に放電パルス制御装置９へ出力する。
【００２１】
以上のように、判定部７は、電圧レベル比較器５の比較結果に基づき、複数の判定方式のうちの指定された判定方式により放電パルスが異常であるか否かを判定する。また、本実施の形態では、判定方式を加工前にあらかじめ指定することも可能であり、加工中に指定可能である。複数の判定方式は、電圧レベル比較器５の比較結果に基づき、電圧レベルが電圧レベル基準値を下回る累積時間に基づいて、放電パルスが異常であるか否かを判定する第１の判定方式を含む。また、複数の判定方式は、比較結果に基づき、電圧レベルが電圧レベル基準値を下回った後、遅延時間後に放電パルスを遮断させる第２の判定方式を含む。
【００２２】
判定設定装置８は、判定部７における放電異常の判定に関するパラメータを示す設定情報の入力を受け付けることが可能であり、設定情報の入力を受け付けた場合、受け付けた設定情報を判定部７へ出力する。すなわち、判定設定装置８は、判定方式を指定する入力を受け付け、受け付けた判定方式を判定部７へ設定する判定設定部である。設定情報は、判定方式を指定する情報、基準判定時間ＴRおよび遅延時間Ｔdのうち少なくとも１つを含む。本実施の形態では、後述するように判定部７はＡ方式およびＢ方式の２つの方式の判定を行うことが可能である。判定方式を指定する情報は、これら２つの方式のうちどちらを指定するかを示す情報である。基準判定時間ＴRは、Ａ方式が指定されている場合に、判定部７の判定において用いられるパラメータである。遅延時間Ｔdは、Ｂ方式が指定されている場合に、判定部７の判定において用いられるパラメータである。基準判定時間ＴRおよび遅延時間Ｔdの詳細は後述する。
【００２３】
放電パルス制御装置９は、あらかじめ定められた加工放電時間と休止時間とに基づいて放電パルスが生成されるよう加工電源１を制御する。放電パルス制御装置９は、判定部７により異常パルスであると判定されたことを示す信号が入力されると放電パルスを遮断する。詳細には、放電パルス制御装置９は、例えば、加工電圧の印加を停止させるように加工電源１を制御することにより、放電パルスを遮断する。または、放電パルス制御装置９は、加工電圧を印加したままで、加工電極と被加工物との間の距離を絶縁距離まで物理的に広げるなどにより放電パルスを遮断してもよく、放電パルスの遮断方法は、上述した例に限定されない。
【００２４】
次に、本実施の形態の電源制御装置１００のハードウェア構成について説明する。図２は、本実施の形態の電源制御装置１００のハードウェア構成例を示す図である。図２に示すように、電源制御装置１００は、処理回路２０１、入力部２０２および出力部２０３を備える。入力部２０２は、キーボード、マウスなど、ユーザからの入力を受け付ける手段である。出力部２０３は、モニタ、ディスプレイなど画面表示を行う手段である。入力部２０２と出力部２０３とは、一体化されて、タッチパネルなどにより実現されてもよい。なお、ここでは、電源制御装置１００が直接、ユーザからの入力を受け付け可能な構成例を説明するが、電源制御装置１００は、外部の機器がユーザから受け付けた情報を取得するように構成されてもよい。この場合、入力部２０２は、外部の機器から情報を受信する回路であり、出力部２０３は外部の機器へ情報を送信する回路である。図２では、処理回路２０１を１つ図示しているが、処理回路２０１は複数であってもよい。
【００２５】
図１に示した判定設定装置８は、処理回路２０１、入力部２０２および出力部２０３により実現される。判定設定装置８が、ユーザからの入力を受け付ける場合、出力部２０３に入力を促す画面を表示し、入力部２０２により入力を受け付ける。
【００２６】
図１に示した電圧レベル検出装置４、電圧レベル比較器５、判定部７および放電パルス制御装置９は、処理回路２０１により実現される。処理回路２０１は、デジタル回路であってもアナログ回路であってもよい。電圧レベル検出装置４を実現する処理回路２０１は、電圧検出回路であり、基準値設定装置６は基準電圧ＶCの電圧を出力する電圧生成回路である。また、判定設定装置８の一部、電圧レベル検出装置４、電圧レベル比較器５、判定部７および放電パルス制御装置９を実現する処理回路２０１は、専用のハードウェアとして実装される処理回路であってもよいし、プロセッサを備える回路であってもよい。専用のハードウェアとして実装される処理回路は、例えば、ＡＳＩＣ（Application  Specific  Integrated  Circuit）、ＦＰＧＡ（Field  Programmable  Gate  Array）、またはこれらを組み合わせたものである。
【００２７】
判定設定装置８の一部、電圧レベル検出装置４、電圧レベル比較器５、判定部７および放電パルス制御装置９を実現する処理回路２０１がプロセッサを備える回路である場合、この処理回路２０１は例えば図３に示す構成の回路である。図３は、プロセッサを備える処理回路２０１の構成例を示す図である。プロセッサを備える処理回路２０１は、ＣＰＵ（Central  Processing  Unit）などであるプロセッサ３０１およびメモリ３０２を備える。プロセッサ３０１は、ＣＰＵ、マイクロプロセッサ等である。メモリ３０２は、例えば、ＲＡＭ（Random  Access  Memory）、ＲＯＭ（Read  Only  Memory）、フラッシュメモリ、等の、不揮発性または揮発性の半導体メモリ、磁気ディスク等が該当する。
【００２８】
上記の処理回路２０１が図３に示した構成により実現される場合、判定設定装置８の一部、電圧レベル検出装置４、電圧レベル比較器５、判定部７および放電パルス制御装置９を実現する機能が実現されるためのプログラムが、プロセッサ３０１により実行されることにより実現される。メモリ３０２は、プロセッサ３０１によりプログラムが実行される際の記憶領域としても用いられる。また、判定設定装置８の一部、電圧レベル検出装置４、電圧レベル比較器５、判定部７および放電パルス制御装置９は、一部が専用のハードウェアである処理回路により実現され、残部が上述した図３に示した処理回路２０１により実現されてもよい。
【００２９】
次に、本実施の形態の動作について説明する。ここで、電圧レベル比較器５が異常を示す信号を出力した場合に直ちに放電パルスを遮断する例を比較例とすると、比較例では瞬間的な電圧脈動による放電電圧レベルの低下と異常放電による放電電圧レベルの低下とを正確に判定することができない。このため、比較例では瞬間的な電圧脈動によって放電パルスの遮断が行われ、加工速度が低下するという問題がある。
【００３０】
そこで、実施の形態１では、Ａ方式の判定が指定されている場合、瞬間的な電圧脈動による放電電圧レベルの低下の場合には放電パルスの遮断が行われないように、放電電圧レベルが基準電圧ＶCを下回った累積時間が基準判定時間ＴR以上となったときに放電パルスの遮断を実施する。これにより、異常放電の影響を抑制しつつ加工速度の低下を抑制することができる。さらに、基準判定時間ＴRを固定とせずに変更できるようにすることで、放電加工機の特性、加工条件などに応じて、適切に放電電圧レベルの低下と瞬間的な電圧脈動とを判別することができる。加工条件とは、加工時間、電極消耗といった加工結果に、影響を与えるパラメータであり、使用者が任意に設定可能なパラメータである。例えば、加工条件は、印加電圧値、パルス幅、休止時間などである。
【００３１】
また、実施の形態１では、Ｂ方式の判定が指定されている場合、電圧レベル比較器５が異常を示す信号を出力してから遅延時間Ｔdの後に放電パルスを遮断する。これにより、異常放電の影響を抑制しつつ加工速度の低下を抑制することができる。さらに、遅延時間Ｔdを固定とせずに変更できるようにすることで、放電加工機の特性、加工条件などに応じて、異常放電の影響の抑制と加工速度の低下の抑制とのバランスを適切に調整することができる。
【００３２】
さらに、本実施の形態では、Ａ方式およびＢ方式の２つの方式のいずれを用いるかを指定することができる。放電加工機の特性、加工条件などに応じて判定方式が選択されることで、より適切に異常放電の影響の抑制と加工速度の低下の抑制とのバランスを適切に調整することができる。
【００３３】
図４は、本実施の形態の電源制御装置１００における各信号の一例を示す図である。図４は、Ａ方式の判定が行われる場合の電源制御装置１００における各信号の一例を示している。
【００３４】
図４において横軸は時間を示している。図４の（Ａ）には、加工間隙の電圧の一例が示され、図４の（Ｂ）には、電圧レベル検出装置４により検出された電圧レベルの一例が示されている。図４の（Ａ）および（Ｂ）において破線で示されている波形は、放電パルスの遮断が行われなかったと仮定した場合の波形を示している。図４の（Ｃ）には、電圧レベル比較器５から出力される信号の一例が示されている。図４の（Ｄ）の下段には、判定部７において算出される累積時間の一例が示されている。図４の（Ｄ）の上段には判定部７に設定される基準判定時間ＴRの値が示されている。図４に示した例では、はじめは基準判定時間ＴRがＴ0に設定され、時刻ｔａで基準判定時間ＴRが、Ｔ0より大きいＴ1に変更される例を示している。
【００３５】
図４では、３種類の放電状態（１）〜（３）での各信号が示されている。電圧降下３０ａ，３０ｂ，３０ｃは、加工電圧の印加後に加工間隙の電圧があらかじめ定められた放電電圧レベルに降下する電圧降下を示している。放電電圧があらかじめ定められた放電電圧レベルに降下すると加工放電が始まる。正常な状態では、加工放電の開始後、加工放電時間の間放電が行われる。正常状態３１ａは、電圧降下３０ａ，３０ｂ，３０ｃの後、加工間隙の電圧が、基準電圧ＶCを上回っている状態を示している。異常状態３１ｂは、電圧レベル比較器５が基準電圧ＶCを下回っている状態を示している。
【００３６】
放電状態（１）は、加工放電時間の途中で、電圧レベル比較器５が異常を示す値となり、累積時間がＴ0に達するため、判定部７により異常パルスと判定され、異常放電が生じたため、放電パルス幅の遮断制御が行われる例を示している。放電状態（２）では、いわゆる正常放電が行われ、すなわち加工放電時間の途中で異常パルスと判定されない例を示している。また、放電状態（２）における加工放電時間の終了後の時刻ｔａに基準判定時間ＴRがＴ0からＴ1に変更される。放電状態（３）は、基準判定時間ＴRがＴ1に変更されているため、図４の（Ｂ）には、電圧レベル検出装置４により検出された電圧レベルの波形が放電状態（１）と同様であっても、正常放電が行われる例を示している。
【００３７】
放電状態（１）では、図４の（Ａ）に示した加工間隙の電圧が、加工間隙に印加された加工電圧から電圧降下３０ａにより正常状態３１ａとなる。その後、電圧の脈動により一時的に異常状態３１ｂとなる。この脈動は一時的なものであり、放電パルスが遮断されなければ加工間隙の電圧は異常状態３１ｂの後再び正常状態３１ａとなる。電圧レベル検出装置４から出力される電圧の検出値は、図４の（Ｂ）に示すように、異常状態３１ｂでは、電圧レベルの異常を示す値となる。したがって、電圧レベル比較器５の出力レベルが基準電圧ＶCを下回っている間、電圧レベル比較器５から出力される信号は異常を示すＨレベル状態３２となる。
【００３８】
判定部７において算出される累積時間、すなわち電圧レベル比較器５の出力レベルがＨレベルとなる累積時間は、図４の（Ｄ）に示すように、Ｈレベル状態３２の間増加する。そして、累積時間がＴ0に達すると、判定部７は、異常パルスと判定し、この判定結果を放電パルス制御装置９へ出力し、放電パルス制御装置９により放電パルスが遮断される。判定部７は、累積時間がＴ0に達すると累積時間を０にリセットする。
【００３９】
放電状態（２）では、加工放電時間の間、加工間隙の電圧が、基準電圧ＶCを上回っているので、放電パルスの遮断は行われない。上述した通り、放電状態（２）の加工放電時間の後、基準判定時間ＴRがＴ1に変更されたとする。
【００４０】
ここで、仮に、基準判定時間ＴRがＴ0に固定されている場合、上述した脈動による一時的な電圧の降下があった場合、放電状態（１）に示すように異常パルスと判定され放電パルスが遮断される。これに対し、基準判定時間ＴRがＴ1に変更された後の放電状態（３）では、放電状態（１）と同様の脈動による電圧の降下があり、電圧レベル比較器５から出力される信号は異常を示すＨレベル状態３３となっても、累積時間がＴ1に達しないうちに、再び電圧レベル比較器５の出力レベルが基準電圧ＶCを上回るようになるため、累積時間は増加しなくなる。これにより、累積時間がＴ1に達しないため、放電パルスの遮断は行われない。本実施の形態では、基準判定時間ＴRを変更可能であるため、このように、例えば、正常放電の状態がある程度続いている場合に、ユーザからの入力により基準判定時間ＴRをＴ0からＴ1に変更することにより、放電パルスの遮断を抑制することができる。
【００４１】
図５は、本実施の形態の電源制御装置１００における動作の一例を示すフローチャートである。図４では、Ａ方式の判定を行った例を説明したが、図５を用いて電源制御装置１００における全体動作を説明する。まず、判定部７は、判定のためのパラメータを初期値に設定する（ステップＳ１）。このパラメータは、Ａ方式およびＢ方式のうちどちらを用いるかを示す情報を含む。初期値のパラメータとしてＡ方式が指定される場合には、初期値として設定されるパラメータには基準判定時間が含まれる。初期値のパラメータとしてＢ方式が指定される場合には、初期値として設定されるパラメータには遅延時間が含まれる。
【００４２】
加工電源１は、放電パルス制御装置９の制御に従って加工間隙に加工電圧を印加する（ステップＳ２）。判定部７は、判定方式がＡ方式に設定されている場合（ステップＳ３  Ｙｅｓ）、電圧レベル比較器５から出力される信号に基づいて、加工電圧レベルが基準値を下回るか否かを判断し（ステップＳ４）、加工電圧レベルが基準値を下回らない場合（ステップＳ４  Ｎｏ）、加工放電の開始から加工放電時間が経過したか否かを判断する（ステップＳ５）。なお、判定部７は、加工電圧の印加後一定時間が経過したことにより加工放電の開始と判定してもよいし、電圧レベル検出装置４により検出される電圧値が規定値以下となった場合に加工放電の開始と判定してもよい。これらの加工放電の開始の判定方法を加工内容などによって使い分けてもよい。
【００４３】
加工放電の開始から加工放電時間が経過していない場合（ステップＳ５  Ｎｏ）、判定部７はステップＳ４へ戻る。加工放電の開始から加工放電時間が経過した場合（ステップＳ５  Ｙｅｓ）、累積時間を０にリセットし（ステップＳ６）、判定部７はパラメータ変更の入力があったか否かを判断する（ステップＳ７）。具体的には、ステップＳ７では、判定部７は、判定設定装置８から設定情報が入力されたか否かを判断する。パラメータ変更の入力があった場合（ステップＳ７  Ｙｅｓ）、判定部７は、入力されたパラメータすなわち設定情報により示されるパラメータに基づいて、パラメータを変更する（ステップＳ８）。パラメータ変更の入力がない場合（ステップＳ７  Ｎｏ）、処理はステップＳ９へ進む。なお、ここでは、判定部７は判定設定装置８から任意の時刻で設定情報を受信可能であるが、判定部７がパラメータを変更するのは加工放電時間が終了した時点である例を説明する。しかしながら、パラメータを変更するタイミングはこの例に限定されない。すなわち、ステップＳ７およびステップＳ８は任意のタイミングで実施可能である。
【００４４】
ステップＳ８の後、放電パルス制御装置９は、休止時間が経過したか否かを判断し（ステップＳ９）、休止時間が経過していない場合（ステップＳ９  Ｎｏ）、ステップＳ９を繰り返す。休止時間が経過した場合（ステップＳ９  Ｙｅｓ）、ステップＳ２からの処理が再び実施される。
【００４５】
ステップＳ４で、加工電圧レベルが基準値を下回った場合（ステップＳ４  Ｙｅｓ）、判定部７は、累積時間を増加させる（ステップＳ１０）。次に、判定部７は、累積時間が基準判定時間以上であるか否かを判断し（ステップＳ１１）、累積時間が基準判定時間以上でない場合（ステップＳ１１  Ｎｏ）、ステップＳ５へ処理を進める。累積時間が基準判定時間以上である場合（ステップＳ１１  Ｙｅｓ）、判定部７は、異常放電、すなわち異常パルスであると判定する（ステップＳ１２）。ステップＳ１２では、さらに、判定部７は、異常パルスであるという判定結果を示す信号を放電パルス制御装置９へ出力し、累積時間を０にリセットする。放電パルス制御装置９は異常パルスであることを示す信号を受信し、放電パルスを遮断する（ステップＳ１３）。ステップＳ１３の後、処理はステップＳ５へ進む。
【００４６】
また、ステップＳ３で、判定方式がＡ方式に設定されていない場合、すなわちＢ方式に設定されている場合（ステップＳ３  Ｎｏ）、判定部７は、加工電圧レベルが基準値を下回るか否かを判断する（ステップＳ１４）。なお、ここでは、判定方式は、Ａ方式またはＢ方式のどちらかに設定されているとする。加工電圧レベルが基準値を下回る場合（ステップＳ１４  Ｙｅｓ）、Ｂ方式において判定部７は、瞬時に異常放電、すなわち異常パルスであると判定し（ステップＳ１５）、遅延時間Ｔdの経過後、放電パルスの遮断が行われる（ステップＳ１６）。ステップＳ１６では、具体的には、遅延時間Ｔdの経過後、異常パルスと判定したことを示す判定結果を放電パルス制御装置９へ出力し、放電パルス制御装置９により放電パルスが遮断される。ステップＳ１６の後、処理はステップＳ５へ進む。加工電圧レベルが基準値を下回らない場合（ステップＳ１４  Ｎｏ）、処理はステップＳ５へ進む。なお、Ｂ方式が選択されているときは、ステップＳ６の処理は実施されなくてもよい。
【００４７】
次に、本実施の形態の効果について具体例を挙げて説明する。図６は、実施の形態１による加工性能を比較例と比較して示す加工特性図である。図６では、加工性能として、加工時間および電極消耗が示されている。図６の左側では、縦軸は加工時間（ｍｉｎ（分））を示し、図６の右側では、縦軸は加工電極２先端付近での電極消耗すなわち加工電極２の側面の消耗量（μｍ）を示している。図６における加工時間および電極消耗のそれぞれのグラフにおいて、左側が比較例による加工性能を示し、右側が実施の形態１による加工性能を示している。比較例では、加工電圧レベルが基準値を下回るとパルス遮断を行うこととする。
【００４８】
図６に示した例では、加工深さを２０ｍｍとして放電加工を行った場合の加工特性が示されている。図６に示した例では、加工電極２は、１５ｍｍ角のグラファイトであり、被加工物３は鋼であり、液処理は無噴流である。加工条件は、ピーク電流値８０Ａ、パルス幅すなわち加工放電時間２５６μｓ、休止時間１２８μｓである。
【００４９】
図６に示すように、実施の形態１による加工性能において、電極消耗は比較例と同等のまま、加工時間を比較例より短縮できることがわかる。このように、実施の形態１によれば、加工電圧レベルが基準電圧を下回った累積時間が基準判定時間以上となった場合に放電パルスを遮断するようにした。または、加工電圧レベルが基準値を下回った後遅延時間の後に放電パルスを遮断するようにした。このため、異常パルスによる影響を抑制しつつ、加工電圧レベルが基準値を下回るとパルス遮断を行う場合に比べ、加工速度の低下を抑制することができる。また、放電パルスが異常パルスであるか否かに用いる判定に用いるパラメータを変更可能とした。これにより、より適切にパラメータを設定することができる。適切にパラメータを設定することで、加工間隙での異常放電の発生を抑制して加工電極２および被加工物３の損傷を防ぐことができ、また、炭化物の付着などの粒状突起物を防ぎつつ、過剰に放電パルスを遮断することなく的確に放電パルスを遮断し、加工速度を向上させることができる。
【００５０】
また、累積時間が基準判定時間以上となった場合に放電パルスを遮断する場合には、異常放電による放電電圧レベルの低下とノイズに起因するような電圧の脈動などによる放電電圧レベルの低下とを的確に判断することができ、放電パルスの不要な遮断を抑制することができる。
【００５１】
また、本実施の形態では、加工中に応じて判定方式、基準判定時間、遅延時間などを変更可能である。したがって、本実施の形態では、加工状況に応じて基準判定時間、遅延時間などを変更可能である。加工状況とは、加工結果に影響を与える制御できない要因であり、加工間隙での加工屑の滞留状態、加工機間のバラつきなどが例示される。使用者が、加工状況に応じて、加工中に応じて判定方式、基準判定時間、遅延時間などを変更することで、加工間隙での異常放電の発生を抑制しつつ放電パルスの不要な遮断を抑制することができる。
【００５２】
なお、本実施の形態では、判定方式、基準判定時間、遅延時間を入力により変更可能としたが、これに限らず、以下のような構成としてもよい。
（１）判定方式をＡ方式だけとし、基準判定時間を変更可能とする。
（２）判定方式をＢ方式だけとし、遅延時間を変更可能とする。
（３）基準判定時間および遅延時間を固定とし、判定方式を変更可能とする。
【００５３】
なお、Ａ方式が指定されているときに、基準判定時間が変更された場合も、一種の判定方式の変更と考えることができる。すなわち、同じＡ方式の判定を行っていても基準判定時間が異なれば判定方式が異なると考えることができる。同様に、Ｂ方式の判定を行っているときに、遅延時間を変更した場合も判定方式を変更したと考えることができる。したがって、上記の（１）、（２）の場合であっても、判定部７は複数の判定方式に対応可能であり、複数の判定方式のうち指定された判定方式により判定を行うことになる。すなわち、複数の判定方式は、第１の判定方式において基準判定時間の異なる複数の判定方式を含み、第２の判定方式において遅延時間の異なる複数の判定方式を含む。
【００５４】
また、以上の例では、判定方式を２つの方式から指定可能としたが、３つ以上の判定方式に対応可能なように構成し、３つ以上の判定方式のなかから判定方式を指定できるようにしてもよい。例えば、特許文献１に記載されているように、高周波成分と基準電圧Ｖrefとの比較結果に基づいて異常パルスであるか否かを判定する判定方式を追加し、３つの判定方式のなかから判定方式を指定可能としてもよい。なお、この場合には、高周波成分と基準電圧Ｖrefとの比較により異常と判定された場合にただちに放電パルスを遮断するのではなく上述した通り異常と判定された累積時間が基準判定時間異常となった場合に放電パルスを遮断するようにしてもよい。すなわち、複数の判定方式は、放電電圧に重畳される高周波成分が高周波成分基準値を下回る累積時間に基づいて、放電パルスが異常であるか否かを判定する第３の判定方式を含んでいてもよい。この場合の基準判定時間についても変更可能なように構成してもよい。
【００５５】
なお、基準電圧ＶCについても判定設定装置８により入力可能とし、基準電圧ＶCを変更可能としてもよい。
【００５６】
実施の形態２．
図７は、本発明の実施の形態２にかかる放電加工機の電源制御装置の構成例を示す図である。実施の形態２の電源制御装置１００ａは、実施の形態１の電源制御装置１００に、第２判定部１０、判定基準設定装置１１および判定制御装置１２を追加し、判定部７の代わりに第１判定部７ａを備える。実施の形態１と同様の機能を有する構成要素には実施の形態１と同一の符号を付して重複する説明を省略する。以下では、実施の形態１と異なる部分を主に説明する。
【００５７】
第１判定部７ａは、実施の形態１の判定部７と同様に、電圧レベル比較器５から出力される信号に基づいて、異常パルスであるか否かを判定し、判定結果を放電パルス制御装置９へ出力する。第１判定部７ａは、さらに、規定時間内の異常パルス数を計数し、規定時間内の異常パルス数を第２判定部１０へ出力する。また、第１判定部７ａは、判定設定装置からの設定情報に基づいて判定における各パラメータを設定する。
【００５８】
判定基準設定装置１１は、規定時間内の異常パルス数が適切であるか否かを判定するための基準範囲である下限値ＮLおよび上限値ＮHの入力を受け付け可能である。判定基準設定装置１１は、下限値ＮLおよび上限値ＮHを第２判定部１０へ出力する。第２判定部１０は、第１判定部７ａから入力された、規定時間内の異常パルス数と、判定基準設定装置１１から入力された下限値ＮLおよび上限値ＮHとに基づいて、異常パルス判定に関する設定が適切であるか否かを判定し、判定結果を判定制御装置１２へ出力する。すなわち、判定基準設定装置１１は、規定時間内に異常と判定された放電パルスの数に基づいて、指定されている判定方式が適切であるか否かを判定する設定判定部である。異常パルス判定に関する設定は、実施の形態１で述べた各パラメータとして設定可能な各項目の設定であり、基準電圧の設定が含まれていてもよい。
【００５９】
詳細には、第２判定部１０は、規定時間内の異常パルス数が下限値ＮLから上限値ＮHまでの間である基準範囲内であれば、異常パルス判定に関する設定が適切であると判定する。また、第２判定部１０は、規定時間内の異常パルス数が下限値ＮLから上限値ＮHまでの間である基準範囲内でなければ、異常パルス判定に関する設定が適切でないと判定する。第２判定部１０は、異常パルス判定に関する設定が適切でないと判定した場合は、規定時間内の異常パルス数が下限値ＮLを下回ったか、または規定時間内の異常パルス数が上限値ＮHを超えたかのいずれであるかを示す情報も判定結果として判定制御装置１２へ出力する。
【００６０】
判定制御装置１２は、規定時間ごとに第２判定部１０から出力される判定結果を監視し、判定結果が、設定が適切であることを示す場合は、現在の設定を維持するよう制御する、すなわち現在の設定を変更しない。また、判定制御装置１２は、規定時間ごとの第２判定部１０からの出力される判定結果を監視し、判定結果が、設定が適切でないことを示す場合は、パラメータのうちの少なくとも１つを変更するよう第１判定部７ａへ指示する。判定制御装置１２は、規定時間内に異常と判定された放電パルスの数に基づいて、指定されている判定方式が適切でないと判定された場合、指定されている判定方式を変更する判定制御部である。例えば、判定制御装置１２は、判定方式を切替えてもよいし、第１判定部７ａがＡ方式で判定を行っている場合は基準判定時間を変更してもよいし、第１判定部７ａがＢ方式で判定を行っている場合は遅延時間を変更してもよいし、基準電圧を変更してもよい。または、これらを組み合わせて実施してもよい。例えば、判定制御装置１２は、第１判定部７ａがＡ方式で判定を行っているときに、規定時間内の異常パルス数が上限値ＮHを超えた場合、基準判定時間を延長する。これにより、規定時間内の異常パルス数を減らすことができる。なお、第１判定部７ａがどの判定方式により判定を行っているかは、例えば第１判定部７ａが判定制御装置１２へ通知する。
【００６１】
本実施の形態の第１判定部７ａ、第２判定部１０、判定基準設定装置１１および判定制御装置１２は、実施の形態１の判定部７などと同様に処理回路により実現される。
【００６２】
次に、本実施の形態の動作について説明する。図８は、本実施の形態の電源制御装置１００ａにおける各信号の一例を示す図である。図８は、Ａ方式の判定が行われる場合の電源制御装置１００ａにおける各信号の一例を示している。図８における（Ａ）から（Ｄ）までは、実施の形態１で説明した図４における（Ａ）から（Ｄ）と同様である。図８の（Ｅ）は、第１判定部７ａにより計数される規定時間ｔ0における異常パルス数を示している。
【００６３】
実施の形態１では、ユーザからの入力などにより基準判定時間をＴ0からＴ1へ変更していた、しかし、ユーザからの入力によりパラメータを変更するには、ユーザである作業者または加工条件作成者が、加工条件に応じて適切に判定手段および判定基準をあらかじめ選択する必要があるため、熟練度を要するという問題がある。そこで、実施の形態２では、第２判定部１０が、第１判定部７ａにより計数される規定時間ｔ0における異常パルス数が基準範囲内でない場合、電源制御装置１００ａがパラメータを変更する。図８に示した例では、規定時間ｔ0が終了した時点で第１判定部７ａにより計数される規定時間ｔ0における異常パルス数が基準範囲を超えているので、第２判定部１０は、設定が不適切であり基準範囲の上限値ＮHを超えているという判定結果を判定制御装置１２へ出力する。図８に示した例では、判定制御装置１２は、これにより、基準判定時間をＴ0からＴ1へ延長する。これにより、実施の形態１と同様に、放電状態（３）においては、異常パルスと判定されず放電パルスの遮断は行われない。
【００６４】
図９は、実施の形態２の判定制御装置１２における処理手順の一例を示すフローチャートである。判定制御装置１２は、第２判定部１０から出力された判定結果に基づいて、規定時間における異常パルス数が下限値を下回るか否かを判断し（ステップＳ２１）、規定時間における異常パルス数が下限値を下回る場合（ステップＳ２１  Ｙｅｓ）、パラメータを変更し（ステップＳ２２）、処理を終了する。判定制御装置１２は、規定時間における異常パルス数が下限値を下回らない場合（ステップＳ２１  Ｎｏ）、規定時間における異常パルス数が上限値を上回るか否かを判断する（ステップＳ２３）。規定時間における異常パルス数が上限値を上回る場合（ステップＳ２３  Ｙｅｓ）、パラメータを変更し（ステップＳ２４）、処理を終了する。規定時間における異常パルス数が上限値を上回らない場合（ステップＳ２３  Ｎｏ）、処理を終了する。
【００６５】
判定制御装置１２が、規定時間における異常パルス数が基準範囲を超えた場合に、どのパラメータをどのように変更するかについては、上限値を超えた場合と下限値を下回った場合とでそれぞれあらかじめ設定しておけばよい。または、判定設定装置８が、これらの設定についてもユーザからの入力を受け付けて判定制御装置１２へ出力するようにしてもよい。
【００６６】
このように、実施の形態２によれば、作業者または加工条件作成者の熟練度に依らず、異常パルスであるか否かの判定に関するパラメータを適切に設定することができる。このため、作業者または加工条件作成者の熟練度に依らず、加工間隙での異常放電の発生を抑制して加工電極２および被加工物３の損傷を防ぐことができ、また、炭化物の付着などの粒状突起物を防ぎつつ、過剰に放電パルスを遮断することなく的確に放電パルスを遮断し、加工速度を向上させることができる。
【００６７】
また、実施の形態２においても、実施の形態１と同様に判定方式をＡ方式とＢ方式との間で切替え可能である。例えば、第１判定部７ａがＢ方式で判定を行っているときに、規定時間内の異常パルス数が上限値ＮHを超えた場合、遅延時間を変更しても、基本的に異常パルス数は変わらないため、第２判定部１０において異常パルス数は基準範囲ＮL〜ＮHの範囲に収まらないと判定される。このような場合には、判定方式をＢ方式からＡ方式に切替えることで、第２判定部１０において異常パルス数を基準範囲ＮL〜ＮHに収まるよう制御できることがある。なお、判定方式の切替え方法は、どのような方法を用いてもよく、上述した例に限定されない。
【００６８】
実施の形態３．
図１０は、本発明の実施の形態３にかかる放電加工機の電源制御装置の構成例を示す図である。実施の形態３の電源制御装置１００ｂは、実施の形態２の電源制御装置１００ａに、放電電流検出装置１３、平均放電電流算出装置１４および平均放電電流比較器１５を追加し、判定基準設定装置１１および判定制御装置１２の代わりに判定基準設定装置１１ａおよび判定制御装置１２ａを備える。実施の形態２と同様の機能を有する構成要素には実施の形態２と同一の符号を付して重複する説明を省略する。以下では、実施の形態２と異なる部分を主に説明する。
【００６９】
放電電流検出装置１３は、加工放電が行われている間の、加工間隙の放電電流値を検出する。すなわち、放電電流検出装置１３は、加工間隙の放電電流を検出する放電電流検出部である。平均放電電流算出装置１４は、放電電流検出装置１３より出力される放電電流値に基づいて、規定時間tIにおける平均電流値を算出し、算出した平均電流値を平均放電電流比較器１５へ出力する。すなわち、放電電流の平均値を算出する平均放電電流算出部である。平均放電電流比較器１５は、平均放電電流算出装置１４から出力された平均放電電流値と、判定基準設定装置１１ａから出力される基準平均電流値ＩCとの比較を行い、比較結果を判定制御装置１２ａへ出力する。すなわち、平均放電電流比較器１５は、平均値と平均放電電流基準値とを比較する。
【００７０】
判定基準設定装置１１ａは、実施の形態２の判定基準設定装置１１と同様の機能を有するとともに、さらに基準平均電流値ＩCの入力を受け付け、基準平均電流値ＩCを平均放電電流比較器１５へ出力する。判定制御装置１２ａは、第２判定部１０から入力される判定結果と、平均放電電流比較器１５から出力される比較結果とに基づき、異常パルスの判定における設定が適切であるか否かを判定し、判定結果に基づいて第１判定部７ａを制御する。すなわち、判定制御装置１２ａは、平均放電電流比較器１５による比較結果に基づいて指定されている判定方式が適切であるか否かを判定する。
【００７１】
判定制御装置１２ａは、例えば、第２判定部１０から入力される判定結果が、設定が適切であることを示す場合でも、平均放電電流比較器１５から出力される比較結果が、平均放電電流値が基準平均電流値ＩC未満である場合には、第１判定部７ａの設定を変更するといったように２つの結果を用いた制御を実施することができる。または、逆に、第２判定部１０から入力される判定結果と、平均放電電流比較器１５から出力される比較結果とのうちどちらかが少なくとも一方が、設定が適切であることを示している場合は、第１判定部７ａの設定を変更しないといった制御を行うことも可能である。
【００７２】
判定基準設定装置１１ａ、判定制御装置１２ａ、放電電流検出装置１３、平均放電電流算出装置１４および平均放電電流比較器１５は、実施の形態２の判定基準設定装置１１および判定制御装置１２と同様に処理回路により実現される。なお、放電電流検出装置１３を実現する処理回路としては、抵抗などを含む電流検出回路を用いることができる。
【００７３】
このように、実施の形態３によれば、第２判定部１０による判定結果以外に、１つの別の基準を設ける例を説明したが、さらに別の基準を設けて、これらを用いて第１判定部７ａの設定の制御を行ってもよい。
【００７４】
また、実施の形態３では、第２判定部１０から入力される判定結果と平均放電電流比較器１５から入力される比較結果とに基づき、判定制御装置１２ａが第１判定部７ａの設定を制御する例を説明したが、平均放電電流比較器１５から入力される比較結果だけに基づいて判定制御装置１２ａが第１判定部７ａの設定を制御してもよい。
【００７５】
以上の実施の形態に示した構成は、本発明の内容の一例を示すものであり、別の公知の技術と組み合わせることも可能であるし、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、構成の一部を省略、変更することも可能である。
【符号の説明】
【００７６】
１  加工電源、２  加工電極、３  被加工物、４  電圧レベル検出装置、５  電圧レベル比較器、６  基準値設定装置、７  判定部、７ａ  第１判定部、８  判定設定装置、９  放電パルス制御装置、１０  第２判定部、１１，１１ａ  判定基準設定装置、１２，１２ａ  判定制御装置、１３  放電電流検出装置、１４  平均放電電流算出装置、１５  平均放電電流比較器、１００，１００ａ，１００ｂ  電源制御装置。
【要約】
本発明は、放電加工機における加工間隙に生じさせるパルス放電を制御する電源制御装置（１００）であって、加工間隙に生じた放電電圧の電圧レベルを検出する電圧レベル検出装置（４）と、電圧レベルと電圧レベル基準値とを比較し、比較結果を出力する電圧レベル比較器（５）と、比較結果に基づき、複数の判定方式のうちの指定された判定方式に基づいて放電パルスが異常であるか否かを判定する判定部（７）と、を備え、判定方式を加工中に指定可能である。【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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