(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
放射線を検出して電流信号を出力する放射線検出器、および前記放射線検出器から出力された前記電流信号を電荷として蓄積し、その蓄積された電荷に比例した電圧信号を出力する電荷積分部と、前記電圧信号が所定値に到達した場合にトリガ信号を出力すると共に矩形波パルスを出力する電圧比較部と、前記トリガ信号の出力毎に前記電荷積分部に蓄積された電荷から所定値の電荷を放電させる電荷放電部とを有し、前記電荷の蓄積と前記電荷の放電によって鋸波状に変化する鋸波状パルスを出力する鋸波状パルス生成部を備え、前記電荷放電部は、切換回路を介して前記電荷積分部の入力に接続され、前記電荷の放電時に前記電荷積分部に接続され、前記電荷の蓄積時に前記電荷積分部から切り離される定電流回路と、前記定電流回路と前記電荷積分部との間に接続され、前記電荷の蓄積時に前記切換回路のリーク電流を抑制する第一の逆流遮断回路と、前記電荷積分部の入力に接続され、前記第一の逆流遮断回路と同等の特性の第二の逆流遮断回路を有するリーク電流補償回路を備え、前記第一の逆流遮断回路と前記第二の逆流遮断回路のリーク電流が逆向きで相殺し合うようにしたことを特徴とする放射線測定装置。
【請求項２】
前記放射線検出器および前記鋸波状パルス生成部は、恒温部に設けられ、恒温部は、外套と、前記外套の内部の空気を年間の環境温度の最大値を想定した設定値で制御して循環させる恒温空気循環手段と、前記外套を自立設置させる支持金具とを備えたことを特徴とする請求項１に記載の放射線測定装置。
【請求項３】
前記恒温部は金属ケースを有し、前記鋸波状パルス生成部を金属ケースに収納したことを特徴とする請求項２に記載の放射線測定装置。
【請求項４】
前記金属ケース内において前記第一の逆流遮断回路の空間の代表温度を測定して温度信号を出力し、前記温度信号に基づき計数率の温度補償を行うようにしたことを特徴とする請求項３に記載の放射線測定装置。
【請求項５】
前記外套と前記支持金具の間に断熱板を備えたことを特徴とする請求項２から４のいずれか１に記載の放射線測定装置。
【請求項６】
前記リーク電流補償回路はその入出力間に印加する電圧差を可変でき、その電圧差を発生させる電源について、前記切換回路の入出力に印加する電圧差を発生させる電源と共用するようにしたことを特徴とする請求項１に記載の放射線測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、放射線測定装置に関するもので、特に放射線検出器から出力される電流信号を測定することにより、単位時間当たりの放射線量を測定する放射線測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
原子力発電所、核燃料再処理施設、放射線利用施設等およびそれらの施設周辺に設置される放射線測定装置は、線量率等の測定において、通常の放射線レベルから事故を想定した放射線レベルまでの広い測定レンジをカバーする必要がある。そのために、放射線検出器として、例えば電離箱を使用する場合には、放射線が電離箱に作用した結果発生する１０−１４Ａ（アンペア）オーダから１０−７Ａオーダの微小かつ広いレンジの電流を精度良く測定する必要がある。
【０００３】
このような微少電流を測定するための微少電流測定装置として、入力電流を所定値まで積分して出力する作用を繰り返す電流積分手段と、この電流積分手段による設定時間当たりの繰り返し回数を計数する計数手段と、前記設定時間経過時の電流積分手段における電流積分値を検出する電流積分値検出手段と、前記電流積分手段の特性値と設定時間と前記電流積分値検出手段で検出された電流積分値に基づいて入力電流の電流値を算出する演算手段とを有する装置が用いられ、入力電流の電荷を積分して電圧に変換し、鋸波の出力電圧が所定値の電圧になったら、所定値の電荷を放電させ、電流値に比例する繰り返し周波数の鋸波パルスに変換し、設定時間内における矩形波パルスの数を計数した計数値に、設定時間が経過した時点で測定した鋸波状パルスの電圧値に基づき求めた端数計数値を加算して実計数値とし、実計数値に基づき微小電流を測定するようにしていた（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、特許文献１の電流積分方式に比較して、放射線強度の低い領域で高感度の測定を行う放射線フォトン計数方式がある。この方式では、放射線検出器内の放射線フォトンが吸収された位置において電子―ホール対が生成され、検出器の両電極に向かって移動することにより電極に電荷が誘起され、それによって電流パルスを発生するもので、吸収された放射線フォトンのエネルギーに比例した電圧のパルスに変換され、この放射線フォトンに対する検出器を構成するためにショットキー接合に逆バイアス電圧を印加し、空乏化することによって放射線に対する有感層として用いている。この放射線フォトン計数方式による放射線検出装置においては、電荷増幅器の電流入力端子に電流を供給する電流供給回路を設け、放射線検出器に流れ込む逆バイアスリーク電流が電荷増幅器の帰還抵抗を所定値以上流れないようにして、電荷増幅器の出力電圧をモニタしながらバイアス電圧を微小量ずつ増加させるようにして安定した動作を行うようにすることが提案されている（例えば、特許文献２）。
【０００５】
さらに、放射線を検出することによって得られる検出電流を高い精度で測定する技術として、特に、検出電流を測定するための素子のリーク電流に伴う誤差成分を補正する技術として、特に、微小な電流を測定する際の、温度変化に伴う測定誤差に対して、検出電流用素子の特性と同等の特性のリーク電流用素子を同じ温度条件となるように配置して、リーク電流用素子による測定値を検出電流用素子による測定値から減算するようにして補償する構成が提案されている（例えば、特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開昭６１−８３９６７号公報
【特許文献２】特開平３−７２２８９号公報
【特許文献３】特開２００８−１４５２６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来の微少電流測定装置においては、微少電流測定装置を放射線測定装置に適用した場合、微少電流測定装置の入力には放射線検出器の電流信号に微少電流測定装置のリーク電流が重畳し、そのリーク電流が温度に依存して変化するため、１０−１４Ａオーダの測定レンジ下限付近では放射線検出器からの電流信号に対してリーク電流が相対的に大きくなり、温度変化が大きい使用環境で低放射線量の測定を行う場合に測定誤差が大きくなるという問題があった。
【０００８】
微少電流測定装置は、温度特性の影響を軽減させるため、年間の環境温度の最大値を想定し、その最大温度で恒温化するように木目細かくヒータを制御しているが、屋外設置の場合は電離箱および微少電流測定装置を収容する外套において、日射面から侵入した熱と装置内部発熱を日陰面から放熱するため、季節、天候、周辺環境状況により内部の温度分布が微妙に変化する。この微妙な変化か、特に放電回路のダイオードの逆方向のリーク電流の温度特性に作用して指示が変動するという問題があった。
【０００９】
前述の特許文献３には、温度変化によるリーク電流に伴う誤差を補正するための提案が行われているが、検出電流用素子の特性と同等の特性のリーク電流用素子を同じ温度条件となるように配置することが必要であるため、実際の回路特性を同一にする必要があり、多数の部品の中から同一の特性となるように選定する作業が不可欠となる問題があった。
この発明は前述のような問題点を解決するためになされたものであり、温度特性が良好な高精度の放射線測定装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この発明に係る放射線測定装置は、放射線を検出して電流信号を出力する放射線検出器、および前記放射線検出器から出力された前記電流信号を電荷として蓄積し、その蓄積された電荷に比例した電圧信号を出力する電荷積分部と、前記電圧信号が所定値に到達した場合にトリガ信号を出力すると共に矩形波パルスを出力する電圧比較部と、前記トリガ信号の出力毎に前記電荷積分部に蓄積された電荷から所定値の電荷を放電させる電荷放電部とを有し、前記電荷の蓄積と前記電荷の放電によって鋸波状に変化する鋸波状パルスを出力する鋸波状パルス生成部を備え、前記電荷放電部は、切換回路を介して前記電荷積分部の入力に接続され、前記電荷の放電時に前記電荷積分部に接続され、前記電荷の蓄積時に前記電荷積分部から切り離される定電流回路と、前記定電流回路と前記電荷積分部との間に接続され、前記電荷の蓄積時に前記切換回路のリーク電流を抑制する第一の逆流遮断回路と、前記電荷積分部の入力に接続され、前記第一の逆流遮断回路と同等の特性の第二の逆流遮断回路を有するリーク電流補償回路を備え、前記第一の逆流遮断回路と前記第二の逆流遮断回路のリーク電流が逆向きで相殺し合うようにしたものである。
【発明の効果】
【００１１】
この発明に係る放射線測定装置において、電荷放電部は、定電流回路、切換回路、第一の逆流遮断回路、および第二の逆流遮断回路を有するリーク電流補償回路を備え、定電流回路は所定値の電流を出力し、切換回路は電荷積分部の電荷の放電時に定電流回路の出力を電荷積分部の入力に接続し、電荷積分部の電荷の蓄積時に定電流回路の出力を電荷積分部の入力から切り離し、トリガ信号の出力毎に前記電荷積分部から所定値の電荷を放電させるように制御し、第一の逆流遮断回路は電荷の蓄積時に切換回路のリーク電流を抑制し、リーク電流補償回路は電荷放電部を構成する第一の逆流遮断回路と同等の特性の第二の逆流遮断回路を備え、第一および第二の逆流遮断回路のリーク電流が逆向きで相殺し合うようにしたので、恒温部による温度変動を抑制した条件下で、リーク電流補償回路は電荷放電部を構成する第一の逆流遮断回路のリーク電流を相殺補償するように動作し、温度特性が良好な高精度の放射線測定装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】実施の形態１に係る放射線測定装置の構成を示す図である。
【図２】実施の形態１に係る鋸波状パルス生成部の動作を説明する図である。
【図３】実施の形態１に係る放射線検出器周りの構成を示す図である。
【図４】実施の形態２に係る架台の形状と風の流れを示す図である。
【図５】実施の形態３に係る温度センサの配置と関係する部位を示す図である。
【図６】実施の形態４に係る放射線検出器周りの構成を示す図である。
【図７】実施の形態５に係るリーク電流補償回路周りの構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
実施の形態１
図１は、この発明の実施の形態１の構成を示す。なお、実施の形態１を構成するその他の部位については後述の図３で説明する。
図１において示すように、放射線測定装置は、放射線検出器１、鋸波状パルス生成部２、計数部３、電圧検出部４、演算部５、表示部６、高電圧電源部７を備えており、放射線検出器１は放射線を検出して電流信号を出力する。鋸波状パルス生成部２は、電荷積分部２１、電圧比較部２２、電荷放電部２３を備え、電荷積分部２１は、放射線検出器１から入力された電流信号の電荷を蓄積し、その蓄積された電荷に比例した電圧信号を出力し、電圧比較部２２は、電圧信号が設定された値に到達したらトリガ信号を出力すると共に矩形波パルスを出力し、電荷放電部２３は、電圧比較部２２からトリガ信号を入力する毎に電荷積分部２１に蓄積された電荷から所定値の電荷を放電させる。電荷積分部２１において、電荷の蓄積と電荷の放電が繰り返されることにより、電圧信号は時間経過で鋸波状に変化する鋸波状パルスとして出力される。
【００１４】
計数部３は、矩形波パルスを計数して積算計数値を出力し、電圧検出部４は、設定された定周期時間が経過する毎に鋸波状パルスの電圧値を定周期電圧値として検出し、演算部５は、積算計数値に基づき定周期時間分の定周期計数値を求め、定周期電圧値に基づいて端数計数値を求め、その端数計数値と定周期計数値を加算した合計計数値を求め、それを設定された定周期数まで時系列的に並べられたデータ列に最新データとして取り込むと共に、最古データを破棄してデータ列を最新化し、最新化したデータ列を移動平均して平均計数率を求め、その平均計数率を工学値に変換して出力する。表示部６は、演算部５からの出力された工学値を表示する。高電圧電源部７は、放射線検出器１に高電圧を供給することにより放射線を検出して前記電流信号を出力しうる状態にするものである。
【００１５】
図２は、実施の形態１の鋸波状パルス生成部２の動作を説明するもので、図２（Ａ）の中のａは、電荷積分部２１から出力される鋸波状パルスを示し、図２（Ｂ）の中のｃおよび図２（Ｃ）の中のｄは、その鋸波状パルスの傾斜部が設定された値ｂ（図２（Ａ）に示す）に到達したときに電圧比較部２２から出力されるトリガ信号および矩形波パルスを示す。値ｂは、鋸波状パルスの頂点を決定し、電荷積分部２１の放電量は鋸波状パルスの谷の底ｅのレベルを決定する。ドリフトにより値ｂが多少変動しても放電量が安定していればｂ−ｅの落差は所定の値になるので、ゲインとしての鋸波状パルスおよび矩形波パルスの繰り返し周波数は安定している。演算部５は、設定された定周期時間ΔＴが経過したタイミングで、計数部３から積算計数値が入力され、電圧検出部４から鋸波パルスの電圧値ｆが入力される。
【００１６】
電荷積分部２１は、オペアンプ２１１、電荷積分コンデンサ２１２、オフセット電圧調整用電源２１３、オフセット電圧調整用抵抗群２１４を備えており、オペアンプ２１１の反転入力（−）と出力端子との間に電荷積分コンデンサ２１２を接続することにより、入力電流の電荷は積分されて電圧に変換される。また、オフセット電圧調整用電源２１３の出力電圧をオフセット電圧調整用抵抗群２１４で分圧してオペアンプ２１１の非反転入力（＋）に印加することによりオペアンプ２１１のオフセット電圧を補償している。
【００１７】
電荷放電部２３は、定電流回路２３１、切換回路２３２、切換制御回路２３３、逆流遮断回路２３４、リーク電流補償回路２３５を備え、定電流回路２３１は、例えば定電圧回路２３１１と抵抗２３１２から構成され、所定値の電流を出力する。逆流遮断回路２３４は、例えばダイオードで構成される。切換回路２３２は、電荷積分部２１の電荷の放電時に、定電流回路２３１の出力から逆流遮断回路２３４の順方向ダイオードを経由して所定値の放電電流を一定時間について電荷積分部２１の入力に注入するように切換接続し、電荷積分部２１の電荷の蓄積時に、定電流回路２３１の出力を電荷積分部２１の入力から切り離すと共に、その切り離し後のリーク電流が電荷積分部２１の入力に流れ込まないように、ダイオードのアノードを０Ｖに切換接続し、定電流回路２３１からのリーク電流を０Ｖに迂回させる。この迂回接続により逆流遮断回路２３４としてのダイオードには、逆電圧＋Ｅが印加され、ダイオードから流出するリーク電流は、最小に抑制される。切換回路２３２として、例えば半導体スイッチを使用することにより切換回数の制約をなくしている。
【００１８】
電荷積分部２１の電荷の蓄積時に逆流遮断回路２３４のダイオードに印加される逆電圧ＥをＥ＝ＶＲとし、基準温度をＴＳ（Ｋ  絶対温度）のときのダイオードの逆方向リーク電流をＩＲＳとしたとき、任意の温度Ｔ（Ｋ）の逆方向リーク電流ＩＲは近似的に次のように表わされる。
ＩＲ＝ＩＲＳ・ｅｘｐ｛η（Ｔ−ＴＳ）｝・｛ｅｘｐ（−ｑＶ／ｋＴ）−１｝…（１）
ｑ：電子の電荷量  １.６０×１０−１９（Ｃ  クーロン）
ｋ：ボルツマン定数  １.３８×１０−２３（Ｊ／Ｋ  Ｊ：ジュール）
【００１９】
ダイオードの材質がシリコンの場合、ηは約０.１／Ｋなので（１）式は簡略化されて（２）式のようになり、０Ｖに向かってリーク電流ＩＲが流出し、電荷積分コンデンサ２１２に信号電流に加算される形でＩＲが電荷の蓄積され、このＩＲが誤差要因となる。
ＩＲ＝ＩＲＳ・ｅｘｐ｛０.１×（Ｔ−ＴＳ）｝・｛ｅｘｐ（−ｑＶ／ｋＴ）−１｝…（２）
【００２０】
リーク電流補償回路２３５は、定電流回路２３１を構成する定電圧回路２３１１および抵抗２３１２と同様に、定電圧回路２３５１と抵抗２３５２を備え、逆流遮断回路２３４としてのダイオードと同様に、逆流遮断回路２３５３としてのダイオードを備えている。定電圧回路２３５１が、電圧＋２Ｅを出力して逆流遮断回路２３５３としてのダイオードのアノードに印加すると、そのダイオードのカソードにはオペアンプ２１１の反転入力（−）ＩＲＳの電圧＋Ｅが印加されているので、当該ダイオードには、電荷積分部２１における電荷の蓄積時の逆流遮断回路２３４としてのダイオードと同様に、逆電圧電＋Ｅが常時印加される。したがって、オペアンプ２１１の反転入力（−）においては、電荷積分部２１の電荷の蓄積時に定電流回路２３１の逆流遮断回路２３４としてのダイオードからリーク電流ＩＲが流出するのに対して、反対方向にリーク電流補償回路２３５の逆流遮断回路２３５３としてのダイオードから同量のリーク電流ＩＲが流入し、両者の（２）式のリーク電流ＩＲがキャンセルされることになる。定電圧回路２３５１には可変抵抗（図示せず）が内蔵されており、それを調整することにより所望の出力電圧を得ることができる。
【００２１】
前述の（２）式のＩＲＳについては、同一ロットのものからスクリーニングして特性の揃ったものを使用するが、組み込んだ後は高電圧電源部７を０Ｖとして放射線検出器１の電流出力がない状態にし、基準温度をＴＳ条件下で、定電圧回路２３５１の出力を＋２Ｅにした状態でオフセット電圧調整用抵抗群２１４を調整し、図２のｅが予め決められた下限（例えば十５０ｍＶ）を下回らないような条件のもとに、オペアンプ２１１の反転入力（−）におけるリーク電流が最小となるように、電圧調整用抵抗群によりオフセットを調整する。次に、定電圧回路２３５１の出力電圧を調整してオペアンプ２１１の反転入力（−）におけるリーク電流をキャンセルされるように細密調整を行い、スクリーニングで吸収しきれなかったダイオードのＩＲＳのばらつきを定電圧回路２３５１の調整で吸収することにより、逆流遮断回路２３４のダイオードと逆流遮断回路２３５３のダイオードのそれぞれのリーク電流ＩＲは温度特性を含めてキャンセルされ、軽微な温度変化に対しては良好な温度特性が得られるようになる。
【００２２】
なお、リーク電流の要因となる部品としては、逆流遮断回路２３４としてのダイオード、および電荷積分コンデンサ２１２があり、前者は、演算部５の出力が上昇側に作用し、後者は、出力が低下側に作用する。電荷積分コンデンサ２１２およびその他の軽微なリーク電流要因部品は、リーク電流およびその温度特性を演算部５においてソフトウェア的に処理して影響を問題ない程度に軽減できる。
逆流遮断回路２３４としてのダイオードも、温度が一定であれば同様に演算部５においてリーク電流をソフトウェア的に処理して問題ない程度に影響を軽減できるが、リーク電流の温度特性は温度に過敏に作用するため、温度センサの温度信号に基づく演算部５におけるソフトウェア的補償が難しかったが、前述のようにリーク電流補償回路２３５により補償できる。
【００２３】
以上のように、電荷放電部２３は、逆流遮断回路２３４と同等構成のリーク電流補償回路２３５を備え、その入出力間に逆流遮断回路２３４と同じ逆電圧を印加して電荷積分部２１の反転入力（−）に接続することで、恒温部８による温度変動を抑制した条件下で、リーク電流補償回路２３５は逆流遮断回路２３４のリーク電流を相殺補償するように動作し、温度特性が良好な高精度の放射線測定装置を提供できる。
【００２４】
図３は、恒温空気循環手段としての恒温部８と制御部９の構成を示すもので、恒温部８は、外套８１、ファンヒータ８２、第１の温度センサ８３、架台８４を備え、外套８１は、放射線検出器１、鋸波状パルス生成部２、電圧検出部４、高電圧電源部７、ファンヒータ８２、第１の温度センサ８３を収容し、それらを架台８４が支持した状態で外気の侵入を防止して内部を気密に保持する。第１の温度センサ８３は、外套８１の内部の温度を検出して第１の温度を出力する。離れたところに設置された制御部９は、第１の温度センサ８３からの第１の温度信号に基づいてファンヒータ８２を制御し、外套８１の内部の空気を年間の環境温度の最大値を想定した設定値で制御して循環させ、年間を通して外套８１の内部を例えば３５±０．５度の一定温度に維持する。恒温部８により温度を恒温化することにより、リーク電流補償回路２３５の補償機能が良好に発揮されるようになる。
【００２５】
外套８１および架台８４は、スタンド８５の上に取り付けられて自立して据え付けられる。制御部９は、計数部３、演算部５、表示部６と同様に、例えば、筐体に収納されて局舎とよばれる現場設置の空調設備の整った測定小屋（図示せず）に設置される。なお、電圧検出部を測定小屋に置く場合には、外套８１内にバッファーアンプを設置し、電圧検出部へ出力する鋸波パルスをバッファーアンプで電流増幅することにより耐ノイズ性を強化することができる。
【００２６】
実施の形態２
実施の形態２においては、図３に示した恒温部８の構造を変更したもので、図４に示すように、鋸波状パルス生成部２が、外套８１の内部で金属ケース８６に収納されるようにしたものである。このように金属ケース８６の中に収納されることによって、電気的にシールドされると共にファンヒータ８２による強制的な空気の流れが直接当たらないようになるので、電気的および温度的に敏感な鋸波状パルス生成部２に対して耐ノイズ性を向上できると共に温度安定性を向上させることできるという効果を奏する。
【００２７】
実施の形態３
実施の形態３においては、図５に示すように、恒温部８に第２の温度センサ８７を備え、前記金属ケース８６の内部において逆流遮断回路２３４の空間の代表温度を測定して温度信号を出力し、温度補償係数演算部１０は、その温度信号を、例えば、工場試験段階で取得した温度と温度補償係数のテーブルのデータを記憶させておくことにより、それと照合して温度補償係数を決定して演算部５に出力し、演算部５は、温度補償係数演算部１０からの温度補償係数に基づいて数率の温度補償を行うようにしたので、より高精度の工学値を得ることが可能になる。
【００２８】
実施の形態４
実施の形態４においては、図６に示すように、恒温部８において、外套８１をスタンド８５に直接取付け、そのスタンド８５と架台８４の間に断熱板８８を設け、スタンド８５および外套８１から架台８４への伝熱を遮断したので外套８１の内部の温度変動をより抑制することができる。
【００２９】
実施の形態５
実施の形態５においては、図７に示すように、実施の形態１のリーク電流補償回路２３５の中の定電圧回路２３５１の代わりに、オフセット電圧調整用電源２１３から電圧供給するようにし、定電圧回路２３５１に内蔵されていた可変抵抗の代わりに補償電流調整用抵抗群２３５４を備え、オフセット電圧調整用電源２１３の出力電圧を補償電流調整用抵抗群２３５４で基本的に＋２Ｅに調整し、更に＋２Ｅから微調整してリーク電流の補償をするようにしたので、電源共有により電源変動によるリーク電流の変動をキャンセルできると共にコストも低下させることができる。
【００３０】
なお、この発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変形、省略したりすることが可能である。
【符号の説明】
【００３１】
１  放射線検出器、  ２  鋸波状パルス生成部、  ２１  電荷積分部、
２１１  オペアンプ、  ２１２  電荷積分コンデンサ、
２１３  オフセット電圧調整用電源、  ２１４  オフセット電圧調整用抵抗群、
２２  電圧比較部、  ２３  電荷放電部、  ２３１  定電流回路、
２３１１  定電圧回路、  ２３１２  抵抗、  ２３２  切換回路、
２３３  切換制御回路、  ２３４  逆流遮断回路、  ２３５  リーク電流補償回路、
２３５１  定電圧回路、  ２３５２  抵抗、  ２３５３  逆流遮断回路、
２３５４  補償電流調整用抵抗群、  ３  計数部、  ４  電圧検出部、
５  演算部、  ６  表示部、  ７  高電圧電源部、  ８  恒温部、  ８１  外套、
８２  ファンヒータ、  ８３  第１の温度センサ、  ８４  架台、  ８５  スタンド、
８６  金属ケース、  ８７  第２の温度センサ、  ８８  断熱板、  ９  制御部、
１０  温度補償係数演算部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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