(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
正常とみなしうる検出要素が一つの画素に略対応する大きさを有し、かつ異常な検出要素が正方形状に隣接した四つの前記画素に略対応する大きさを有する場合に適用される画像検査装置であって、
各画素の輝度値の代表値を、当該画素を所定位置に含む正方形状に隣接した四つの画素の、輝度値の合計値または平均値として算出する、代表値算出部と、
前記代表値が閾値と同じかあるいは超えている画素を画像中の異常部分として検出する異常検出部と、
を備え、
前記閾値は、前記四つの画素のうち前記所定位置の画素内に正常とみなしうる検出要素が収まり他の三つの画素には検出要素が無い状態で得られた当該所定位置の画素の前記代表値よりも大きく、かつ前記異常な検出要素が当該異常な検出要素の中心と前記所定位置の画素の中心とがほぼ重なるとともに他の三つの画素には当該異常な検出要素以外の検出要素が無い状態で得られた当該所定位置の画素の前記代表値よりも小さくなるよう、設定された、画像検査装置。
【請求項２】
正常とみなしうる検出要素が一つの画素の四分の一に略対応する大きさを有し、かつ異常な検出要素が一つの前記画素に略対応する大きさを有する場合に適用される画像検査装置であって、
各画素の輝度値の代表値を、当該画素を所定位置に含む正方形状に隣接した四つの画素の、輝度値の合計値または平均値として算出する、代表値算出部と、
前記代表値が閾値と同じかあるいは超えている画素を画像中の異常部分として検出する異常検出部と、
を備え、
前記閾値は、前記四つの画素のうち前記所定位置の画素内に正常とみなしうる検出要素が収まり他の三つの画素には検出要素が無い状態で得られた当該所定位置の画素の前記代表値よりも大きく、かつ前記異常な検出要素が当該異常な検出要素の中心と前記所定位置の画素の中心とがほぼ重なるとともに他の三つの画素には当該異常な検出要素以外の検出要素が無い状態で得られた当該所定位置の画素の前記代表値よりも小さくなるよう、設定された、画像検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、画像検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、検査対象面を撮像した画像から当該検査対象面の異常を検出する画像検査装置が知られている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−０１１４９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この種の画像検査装置では、検査対象面を撮像した画像に含まれる正常な要素と異常な要素とをより精度良くあるいはより容易に区別できるのが望ましい。
【０００５】
そこで、本発明の目的の一つは、正常な要素と異常な要素とをより精度良くあるいはより容易に区別することが可能な画像検査装置を得ることである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の実施形態の画像検査装置にあっては、正常とみなしうる検出要素が一つの画素に略対応する大きさを有し、かつ異常な検出要素が正方形状に隣接した四つの前記画素に略対応する大きさを有する場合に適用される画像検査装置であって、各画素の輝度値の代表値を、当該画素を所定位置に含む正方形状に隣接した四つの画素の、輝度値の合計値または平均値として算出する、代表値算出部と、前記代表値が閾値と同じかあるいは超えている画素を画像中の異常部分として検出する異常検出部と、を備え、前記閾値は、前記四つの画素のうち前記所定位置の画素内に正常とみなしうる検出要素が収まり他の三つの画素には検出要素が無い状態で得られた当該所定位置の画素の前記代表値よりも大きく、かつ前記異常な検出要素が当該異常な検出要素の中心と前記所定位置の画素の中心とがほぼ重なるとともに他の三つの画素には当該異常な検出要素以外の検出要素が無い状態で得られた当該所定位置の画素の前記代表値よりも小さくなるよう、設定される。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の実施形態によれば、例えば、正常な要素と異常な要素とをより精度良くあるいはより容易に区別することが可能な画像検査装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は、実施形態の画像検査装置を含む画像検査システムの例示的な側面図である。
【図２】図２は、実施形態の画像検査装置の例示的かつ模式的なブロック図である。
【図３】図３は、実施形態の画像検査装置の制御部の例示的かつ模式的なブロック図である。
【図４】図４は、実施形態の画像検査装置が実行する処理の例示的なフローチャートである。
【図５】図５は、実施形態の画像検査装置で得られた画像に対応する正常な要素および異常な要素が示された例示的な模式図である。
【図６】図６は、実施形態の画像検査装置で得られた画像に対応する正常な要素および異常な要素と画素の大きさとの関係が示された例示的な模式図である。
【図７】図７は、実施形態の画像検査装置における代表値を算出する画素と、当該画素に隣接した代表値を算出する元となる画素との関係が示された例示的な模式図である。
【図８】図８は、実施形態の画像検査装置で得られた画像に対応する異常な要素と画素との関係の一例が示された模式図である。
【図９】図９は、実施形態の画像検査装置で得られた画像に対応する異常な要素と画素との関係の別の一例が示された模式図である。
【図１０】図１０は、実施形態の画像検査装置で得られた画像に対応する正常な要素と画素との関係の一例が示された模式図である。
【図１１】図１１は、実施形態の画像検査装置で得られた画像に対応する異常な要素および正常な要素と画素との図５，６，８〜１０とは別の関係の一例が示された模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の例示的な実施形態が開示される。以下に示される実施形態の構成や制御、ならびに当該構成や制御によってもたらされる作用および結果（効果）は、一例である。本発明は、以下の実施形態に開示される構成や制御以外によっても実現可能であるとともに、基本的な構成や制御によって得られる種々の効果（派生的な効果も含む）を得ることが可能である。
【００１０】
本実施形態では、一例として、図１に示される画像検査システム１（画像検査装置１０）は、検査対象物１００の検査対象面１０１（対象面）を撮像した画像に基づいて検査を行う。検査対象物１００は、一例としては、長尺状や円環状の物体である。図１では、検査対象物１００はシートであり、検査対象面１０１は、シートの側面である。
【００１１】
画像検査システム１は、複数（本実施形態では、一例として二つ）の光源２Ｕ，２Ｄを備えている。光源２Ｕ，２Ｄは、光学装置（光学系部品、光学系）の一例である。光源２Ｕは、検査対象面１０１と直交する方向（垂直方向）に対して一方側（図１の左側）に傾斜した第一の方向から検査対象面１０１の検査対象領域Ａに光を当て、光源２Ｄは、検査対象面１０１と直交する方向（垂直方向）に対して他方側（図１の右側）に傾斜した第二の方向から検査対象面１０１の検査対象領域Ａに光を当てる。第一の方向は、検査対象領域Ａの中央部Ｃに対して、検査対象面１０１に沿う方向（０°）と検査対象面１０１と直交する方向（９０°）との間の第一の角度（例えば４５°）をなす方向であり、第二の方向は、検査対象領域Ａの中央部Ｃに対して、検査対象面１０１に沿う方向（１８０°）ならびに検査対象面１０１と直交する方向（９０°）との間の第二の角度（例えば１３５°）をなす方向である。このように複数の方向から光を当てることで、検査対象面１０１がより明るくなるとともに、一方から光を当てた場合に比べて凹凸による影の影響が低減（減殺）されやすい。なお、本実施形態では、第一の方向（第一の角度）と第二の方向（第二の角度）とは、検査対象面１０１と直交する方向に対して対称であるが、対称でなくてもよい。また、本実施形態では、光源２Ｕ，２Ｄから直接的に検査対象面１０１に光が照射されているが、光源２Ｕならびに光源２Ｄと検査対象面１０１との間にレンズや、ミラー、プリズム等の光学装置（光学系部品、光学系）が設けられてもよい。
【００１２】
撮像部３（撮像装置）は、検査対象面１０１の検査対象領域Ａの中央部Ｃに対して、検査対象面１０１と直交する方向に位置され、検査対象領域Ａを撮像する。検査対象領域Ａは、検査対象面１０１に沿い、その位置での検査対象面１０１の幅方向（搬送方向との直交方向、図１の紙面と垂直な方向）に沿った線状（直線状）の領域である。撮像部３は、当該検査対象領域Ａを撮像するラインセンサである。撮像部３は、検査対象面１０１の幅方向（図１の紙面と垂直な方向）に沿って一列に配置された複数の撮像素子（光電変換素子、図示されず）を有する。撮像部３は、検査対象面１０１の幅方向に沿った線状の画像（画像データ、各光電変換素子に対応した画素毎の輝度値のデータ、輝度値のデータ列）を取得する。各撮像素子は、例えば２５６階調の輝度値のデータを取得する。撮像部３は、撮像される各時刻（タイミング）で、一次元の画像を取得する。よって、検査対象領域Ａは、線状（線分状）の領域である。モノクロ（白黒）の撮像部３の場合、各撮像素子について一つの画像データが取得され、カラーの撮像部３の場合、各撮像素子について複数（例えば、Ｒ（赤）Ｇ（緑）Ｂ（青）の三つ）の画像データが取得される。
【００１３】
また、撮像部３は、検査対象領域Ａが第一の方向からの光が当てられるとともに第二の方向からの光が当てられた状態とで、所定の時間間隔で画像を取得する。検査対象物１００が搬送部４（図２参照）によって図１の右方向へ搬送されている状態で、撮像部３は検査対象面１０１の画像を取得する。よって、検査対象面１０１における撮像領域（検査対象領域Ａ）は、図１の左方向へ順次移動することになる。なお、画像が取得される時間間隔は、十分に短く設定されうる。一例として、光源２Ｕ，２Ｄの発光（光の照射）の切り替えの周波数、すなわち撮像部３によるライン毎の撮像の周波数は、６ｋＨｚに設定される。ラインセンサは、一般的にエリアセンサより応答性が高く、より速い撮像が可能である。
【００１４】
図２に示されるように、画像検査装置１０は、制御部２０（例えばＣＰＵ（central  processing  unit）等）や、ＲＯＭ２１（read  only  memory）、ＲＡＭ２２（random  access  memory）、ＨＤＤ２３（hard  disk  drive）、コントローラ２４（光照射コントローラ）、コントローラ２５（撮像コントローラ）、コントローラ２６（搬送コントローラ）、コントローラ２７（搬送検出コントローラ、アンプ）、コントローラ２８（出力コントローラ）等を備えることができる。コントローラ２４は、制御部２０からの制御信号に基づいて、光源２Ｕ，２Ｄの発光（オン、オフ）等を制御する。なお、開閉を切り替えて光の出射と出射停止とを切り替えるシャッター等の可変装置が設けられた場合には、コントローラ２４は、当該可変装置の動作を制御する。コントローラ２５は、制御部２０からの制御信号に基づいて、撮像部３による撮像を制御する。コントローラ２６は、制御部２０から受けた制御信号に基づいて、搬送部４を制御し、検査対象物１００の搬送（開始、停止、速度等）を制御する。搬送部４は、例えば、コンベヤや、ローラ、モータ等を含む。コントローラ２７は、搬送検出部５の検出信号を得て、制御部２０に検出結果（角度、位置）を送る（入力する）。コントローラ２８は、制御部２０からの制御信号に基づいて、出力部６を制御する。出力部６は、例えば、ＬＣＤ（liquid  crystal  display）や、ＯＥＬＤ（organic  electroluminescent  display）等の表示装置である。また、制御部２０は、不揮発性の記憶部としてのＲＯＭ２１やＨＤＤ２３等にインストールされたプログラム（アプリケーション）を読み出して実行する。ＲＡＭ２２は、制御部２０がプログラムを実行して種々の演算処理を実行する際に用いられる各種データを一時的に記憶する。なお、図２に示されるハードウエアの構成はあくまで一例であって、例えばチップやパッケージにする等、種々に変形して実施することが可能である。また、各種演算処理は、並列処理することが可能であり、制御部２０等は、並列処理が可能なハードウエア構成とすることが可能である。なお、画像検査システム１は、出力部として、スピーカ等の音声出力装置を備えることができる。
【００１５】
制御部２０は、ハードウエアとソフトウエア（プログラム）との協働によって、画像検査装置１０の少なくとも一部として機能（動作）する。すなわち、図３に示されるように、制御部２０は、光照射制御部２０ａや、撮像制御部２０ｂ、搬送制御部２０ｃ、画像取得部２０ｄ、代表値算出部２０ｅ、異常検出部２０ｆ、出力制御部２０ｇ等として機能する。光照射制御部２０ａは、コントローラ２４、ひいては光源２Ｕ，２Ｄまたは可変装置を制御する。撮像制御部２０ｂは、コントローラ２５、ひいては撮像部３を制御する。搬送制御部２０ｃは、コントローラ２６、ひいては搬送部４を制御する。
【００１６】
また、制御部２０は、図４に示されるような手順で画像処理ならびに異常検出を実行する。まずは、制御部２０は、光照射制御部２０ａ、撮像制御部２０ｂ、および画像取得部２０ｄとして機能し、光源２Ｕ，２Ｄや、撮像部３を制御して、画像データを取得する（Ｓ１０）。Ｓ１０で、制御部２０は、搬送速度に応じたタイミング（位置）で撮像を行うとともに、各タイミングで取得した線状の画像データを並べて、二次元の画像データを取得する。次に、制御部２０は、代表値算出部２０ｅとして機能し、二次元の画像データの画素毎に、当該画素に隣接した複数の画素の輝度値に基づく代表値を算出する（Ｓ１１）。
【００１７】
ここで、図５〜７が参照されながら、このＳ１１で画素Ｐ毎に代表値の算出が行われる理由が説明される。図５〜７には、検査対象面１０１についての互いに直交するｉ方向およびｊ方向の二次元の画像データの一例が示されている。破線の枠が画素Ｐを表している。座標ｉは、副走査方向（搬送方向）に沿った画素Ｐの位置に対応し、座標ｊは、主走査方向（搬送方向との直交方向、ラインセンサによる撮像範囲の長手方向）に沿った画素Ｐの位置に対応する。要素Ｅａ，Ｅｎ（画像）は、検査対象面１０１上に存在する典型的な要素の例である。要素Ｅａは、異常な要素（画像、検出対象要素）であり、要素Ｅｎは、正常な要素（画像、非検出対象要素）である。この例では、図５に示されるように、要素Ｅａは、要素Ｅｎよりも大きく、検査対象面１０１上の互いに隣接した複数（正方形状に隣接した四つ）の画素Ｐに対応する領域に、丁度収まる程度の大きさであり、要素Ｅｎは、検査対象面１０１上の一つの画素Ｐに対応する領域に、丁度収まる程度の大きさである。また、ここでは、正常な要素Ｅｎは、検査対象面１０１上では分散される傾向にあり、隣接した複数の画素Ｐに対応した領域に複数の正常な要素Ｅｎが密集して存在する確率が低い場合、あるいは、そのように正常な要素Ｅｎが密集して存在している状態は異常と見なせる場合が、想定される。なお、図中、要素Ｅａ，Ｅｎは、便宜上、模式的に円形（真円）状に描かれているが、実際には、円形状とは限らない。
【００１８】
このような場合に、さらに、異常な要素Ｅａと対応した各画素Ｐ１の輝度値と、正常な要素Ｅｎと対応した各画素Ｐ２の輝度値と、の差が小さい場合にあっては、異常な要素Ｅａを判別するための閾値と、正常な要素Ｅｎを判別するための閾値との差も小さいため、各画素Ｐの輝度値の閾値に対する大小のみでは、当該画素Ｐに対応する要素が正常な要素Ｅｎなのか異常な要素Ｅａなのかを判別できない。このため、異常な画素Ｅａを検出するためには、上述したように、正常な要素Ｅｎは、検査対象面１０１上では分散される傾向にあり、隣接した複数の画素Ｐに対応した領域に複数の正常な要素Ｅｎが密集して存在する確率は低い、あるいは、そのように正常な要素Ｅｎが密集して存在している状態は異常と見なせる、という条件の下、輝度値が閾値以上の複数の画素が互いに隣接しているか否かを判別する演算処理を追加する必要がある。しかし、この判別のために演算処理（プログラム）の条件分岐が増えると、処理に手間がかかり、処理時間および処理負荷の増大が生じかねない。
【００１９】
そこで、本実施形態では、制御部２０は、Ｓ１１で、代表値算出部２０ｅとして機能し、画素Ｐ毎に、当該画素Ｐおよび当該画素Ｐに隣接した複数の画素Ｐの輝度値に基づいて代表値を算出する。具体的には、例えば、図７に示されるように、ｉ＝ｍ，ｊ＝ｎの画素Ｐ（ｍ，ｎ）の代表値を、当該画素Ｐ（ｍ，ｎ）および当該画素Ｐ（ｍ，ｎ）に隣接する複数（例えば三つ）の画素Ｐ（ｍ，ｎ＋１）、Ｐ（ｍ＋１，ｎ）、Ｐ（ｍ＋１，ｎ＋１）の輝度値の合計値、あるいはその平均値として算出する。各画素Ｐ（ｍ，ｎ）、Ｐ（ｍ，ｎ＋１）、Ｐ（ｍ＋１，ｎ）、Ｐ（ｍ＋１，ｎ＋１）の輝度値Ｌ（ｍ，ｎ）、Ｌ（ｍ，ｎ＋１）、Ｌ（ｍ＋１，ｎ）、Ｌ（ｍ＋１，ｎ＋１）について、合計値Ｌｓは、
Ｌｓ＝Ｌ（ｍ，ｎ）＋Ｌ（ｍ，ｎ＋１）
＋Ｌ（ｍ＋１，ｎ）＋Ｌ（ｍ＋１，ｎ＋１）  ・・・  （１）
であり、平均値Ｌａは、
Ｌａ＝Ｌｓ／４  ・・・（２）
である。閾値は、画素毎の閾値の４倍に設定される。なお、代表値は、例えば、中央値など、合計値や平均値以外の値であってもよい。
【００２０】
そして、制御部２０は、異常検出部２０ｆとして機能し、画素Ｐ毎に、代表値と対応する閾値とを比較して、代表値が閾値と同じかあるいは超えていた場合には、当該画素Ｐを異常画素として、検出する（Ｓ１２）。Ｓ１２では、例えば、異常な要素Ｅａ１（Ｅａ）と画素Ｐとが、図８に示されるような位置にある場合、すなわち、異常な要素Ｅａ１の中心に対応する位置（想定位置）と一つの画素Ｐ１の中心とがほぼ重なる場合に、要素Ｅａ１と対応する複数の画素Ｐのうち少なくとも一つの画素Ｐ（例えば画素Ｐ１）の代表値が閾値より大きく、かつ、正常な要素Ｅｎ２（Ｅｎ）と画素Ｐとが、図１０に示されるような位置にある場合に、当該要素Ｅｎ２が含まれる画素Ｐの代表値が閾値より小さくなるように、当該閾値が設定される。換言すれば、図８の状態では、異常な画素Ｐ１が検出される。さらに、そのように設定された閾値によれば、異常な要素Ｅａ２（Ｅａ）と画素Ｐとが、図９に示されるような位置にある場合、少なくとも一つの画素Ｐ（例えば画素Ｐ１）の代表値は、当該閾値以上になる。すなわち、図９の状態でも、異常な画素Ｐ１が検出される。さらに、当該閾値によれば、図１０に示されるような、正常な要素Ｅｎ１，Ｅｎ２（Ｅｎ）に対応した画素Ｐのいずれの代表値も、閾値より小さい。すなわち、図１０の状態では、異常な画素Ｐは検出されない。よって、本実施形態によれば、画素Ｐおよび当該画素Ｐに隣接した複数の画素Ｐの輝度値に基づく代表値が用いられることで、異常な要素Ｅａに対応した画素Ｐ１が、正常な要素Ｅｎに対応した画素Ｐ２とは区別されて、検出されうる。また、Ｓ１１およびＳ１２で、互いに隣接する複数の画素Ｐの代表値を算出する演算が追加されても、代表値が算出されない場合と比べて条件分岐は増えないため、処理時間や処理負荷の増大は抑制されうる。
【００２１】
また、図１１の例では、要素Ｅａは、要素Ｅｎよりも大きく、検査対象面１０１上の一つの画素Ｐに対応する領域に、丁度収まる程度の大きさであり、要素Ｅｎは、検査対象面１０１上の一つの画素Ｐの四分の一に対応する領域に、丁度収まる程度の大きさである。そして、図１１の例でも、正常な要素Ｅｎは、検査対象面１０１上では分散される傾向にあり、隣接した複数の画素Ｐに対応した領域に複数の正常な要素Ｅｎが密集して存在する確率が低い場合、あるいは、そのように正常な要素Ｅｎが密集して存在している状態は異常と見なせる場合が、想定される。この場合、例えば、異常な要素Ｅａ３の中心に対応する位置（想定位置）と一つの画素Ｐ１の中心とがほぼ重なる場合に、要素Ｅａ３と対応する画素Ｐ（例えば画素Ｐ１）の輝度値が閾値より大きく、かつ、正常な要素Ｅｎ４（Ｅｎ）の中心に対応する位置（想定位置）と一つの画素Ｐの中心とがほぼ重なる場合に、当該要素Ｅｎ４が含まれる画素Ｐの代表値が閾値より小さくなるように、当該閾値が設定される。この例の場合も、Ｓ１１およびＳ１２により、異常な要素Ｅａ３，Ｅａ４（Ｅａ）に対応した画素が、正常な要素Ｅｎ３，Ｅｎ４（Ｅｎ）に対応した画素とは区別されて、検出されうる。
【００２２】
次に、制御部２０は、出力制御部２０ｇとして機能し、検査結果を示す画像が出力されるよう、コントローラ２８ひいては出力部６を制御する（Ｓ１３）。
【００２３】
以上、説明したように、本実施形態の画像検査装置１０は、代表値算出部２０ｅと、異常検出部２０ｆと、を備える。代表値算出部２０ｅは、検査対象面１０１の画像における各画素Ｐの輝度値の代表値を、当該画素Ｐおよび当該画素Ｐに隣接した複数の画素Ｐの輝度値に基づいて算出する。異常検出部２０ｆは、代表値に基づいて画像中の異常部分を検出する。よって、本実施形態によれば、例えば、正常な要素Ｅｎと異常な要素Ｅａとをより精度良くあるいはより容易に区別することが可能な画像検査装置１０（画像検査システム１）を得ることができる。すなわち、例えば、画素Ｐおよび当該画素Ｐに隣接した複数の画素Ｐの輝度値に基づく代表値が用いられることで、異常な要素Ｅａに対応した画素Ｐ１が、正常な要素Ｅｎに対応した画素Ｐ２とは区別されて、検出されうる。また、例えば、そのために、互いに隣接する複数の画素Ｐの代表値を算出する演算が追加されるものの、代表値が算出されない場合と比べて条件分岐は増えないため、処理時間や処理負荷の増大が抑制されうる。
【００２４】
また、本実施形態では、例えば、代表値は、画素Ｐおよび当該画素Ｐに隣接した複数の画素Ｐの輝度値の合計値または平均値である。よって、本実施形態によれば、例えば、代表値を、比較的容易に算出することができる。よって、例えば、処理時間や処理負荷の増大が抑制されうる。
【００２５】
また、本実施形態では、例えば、異常検出部２０ｆは、代表値と閾値との比較により、画素Ｐ毎に異常を検出する。よって、本実施形態によれば、例えば、パターンマッチングによらず、すなわち、比較対象となる参照パターンが無い状況にあっても、異常が検出されうる。
【００２６】
また、本実施形態では、例えば、代表値は、画素Ｐおよび当該画素Ｐに隣接した四つの画素Ｐの輝度値の合計値または平均値であり、異常検出部２０ｆは、正常な要素Ｅｎと区別して、当該正常な要素Ｅｎの約４倍の大きさの異常な要素Ｅａの存在を検出する。よって、本実施形態の異常検出は、例えば、検査対象面１０１上に、正常な要素Ｅｎと、当該正常な要素Ｅｎの略４倍の大きさ（例えば、四つの画素Ｐに略対応する大きさ以下）の異常な要素Ｅａとが存在する場合に、効果的である。また、本実施形態の異常検出は、例えば、四つの画素Ｐの範囲には複数の異常な画素Ｅｎが存在しない確率が高い場合に、効果的である。
【００２７】
また、本実施形態では、例えば、異常検出部２０ｆは、一つの画素Ｐに略対応する大きさの正常な要素Ｅｎと区別して、四つの画素Ｐに略対応する大きさの異常な要素Ｅａの存在を検出する。よって、本実施形態の異常検出は、例えば、検査対象面１０１上に、一つの画素Ｐに略対応する大きさの正常な要素Ｅｎと、当該正常な要素Ｅｎの略４倍の大きさの異常な要素Ｅａとが存在する場合に、効果的である。
【００２８】
また、本実施形態では、例えば、異常検出部２０ｆは、一つの画素Ｐの四分の一に略対応する大きさの正常な要素Ｅｎと区別して、一つの画素Ｐに略対応する大きさの異常な要素Ｅａの存在を検出する。よって、本実施形態の異常検出は、例えば、検査対象面１０１上に、一つの画素Ｐの四分の一に略対応する大きさの正常な要素Ｅｎと、当該正常な要素Ｅｎの略４倍の大きさの異常な要素Ｅａとが存在する場合に、効果的である。
【００２９】
以上、本発明の実施形態を例示したが、上記実施形態はあくまで一例である。実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、組み合わせ、変更を行うことができる。また、実施形態の構成や形状は、部分的に他の構成や形状と入れ替えて実施することも可能である。また、各構成や形状等のスペック（構造や、種類、方向、角度、形状、大きさ、長さ、幅、厚さ、高さ、数、配置、位置、材質等）は、適宜に変更して実施することができる。例えば、検査対象物は、シート以外であってもよい。また、画像検査装置は、上述した異常以外の異常を画像処理で検出することができる。また、画像検査装置は、静止状態で取得された画像で検査してもよい。
【符号の説明】
【００３０】
１０…画像検査装置、２０ｅ…代表値算出部、２０ｆ…異常検出部、１０１…検査対象面、Ｅａ…異常な要素、Ｅｎ…正常な要素、Ｐ，Ｐ１，Ｐ２…画素。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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