(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１方向に沿って配列された複数のノズルが形成されたノズルプレートと、
前記ノズルプレートに積層され、且つ、前記複数のノズルにそれぞれ連通し前記第１方向に配列された複数の第１圧力室と、前記複数の第１圧力室よりも前記第１方向における一方側において前記第１圧力室と並んで配置された第２圧力室と、前記複数の第１圧力室及び前記第２圧力室を覆う振動膜と、を有する流路基板と、
前記流路基板の前記ノズルプレートとは反対側の面において、前記複数の第１圧力室にそれぞれ対応して前記第１方向に配列された複数の第１圧電素子と、
前記流路基板の前記ノズルプレートとは反対側の面において、前記第２圧力室に対応して、前記複数の第１圧電素子よりも前記第１方向における前記一方側において前記第１圧電素子と並んで配置された第２圧電素子と、
前記流路基板の前記ノズルプレートとは反対側の面において、前記複数の第１圧電素子から、前記第１方向と直交する第２方向における一方側にそれぞれ引き出された複数の個別配線と、
前記流路基板の前記ノズルプレートとは反対側の面において、前記第２圧電素子から前記第２方向の前記一方側に引き出された第１端子部と、を有し、
各第１圧電素子は、第１圧電膜と、前記第１圧電膜に設けられ、前記個別配線と接続された第１電極と、前記第１圧電膜を挟んで前記第１電極とは反対側に設けられた第２電極とを有し、
前記第２圧電素子は、第２圧電膜と、前記第２圧電膜に設けられ、前記第１端子部と接続された第３電極と、前記第２圧電膜を挟んで前記第３電極とは反対側に設けられた第４電極とを有し、
前記複数の第１圧電素子の前記第２電極と前記第２圧電素子の前記第４電極とが互いに導通することにより、前記第１方向において前記複数の第１圧電素子と前記第２圧電素子に跨って配置された共通電極が形成され、
前記流路基板の前記ノズルプレートとは反対側の面において、前記共通電極の前記第１方向の前記一方側の端部から、前記第２方向に沿って、前記第２方向の前記一方側に延びる共通配線をさらに備え、
少なくとも、前記第１方向における前記一方側に位置する一部の前記第１圧電素子に接続された前記個別配線は、前記第１圧電素子から、前記第１方向及び第２方向の両方とそれぞれ交差する方向に沿って、前記第１方向の他方側へ向けて延び、
前記第１端子部の少なくとも一部分が、前記第２圧電素子よりも前記第１方向における前記他方側に位置しており、
前記第１端子部は、前記第１方向における前記一方側の端に位置する前記第１圧電素子の前記個別配線と、前記共通配線との間に配置されていることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項２】
前記第１端子部の少なくとも一部分が、前記第１方向における前記一方側の端に位置する前記第１圧電素子と、前記第２方向において並んでいることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項３】
前記第２圧電素子と、前記第１方向における前記一方側の端に位置する前記第１圧電素子との前記第１方向における間隔が、前記複数の第１圧電素子の前記第１方向における配列間隔と等しいことを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出装置。
【請求項４】
前記共通電極は、第１電極層と、この第１電極層に積層された第２電極層とを有し、
前記共通電極は、前記流路基板の、前記複数の第１圧電素子及び前記第２圧電素子に対して、前記第２方向における他方側の領域にも広がって配置され、
前記流路基板の前記ノズルプレートとは反対側の面に接合され、前記複数の第１圧電素子と前記第２圧電素子とを覆うカバー部材をさらに備え、
前記流路基板の、前記カバー部材が接合される領域には、前記共通電極の一部と、前記共通配線の一部が配置され、
前記共通配線は、前記共通電極の前記第１電極層と同じ導電材料で形成された第１配線層と、前記第１配線層に積層され、前記第２電極層と同じ導電材料で形成された第２配線層とを有することを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の液体吐出装置。
【請求項５】
前記流路基板に、前記第２圧力室を、前記カバー部材で覆われた空間に連通させるための連通部が形成されていることを特徴とする請求項４に記載の液体吐出装置。
【請求項６】
前記流路基板の、前記複数の第１圧電素子及び前記第２圧電素子に対して前記第２方向における前記一方側に接合され、前記複数の個別配線及び前記共通配線と電気的に接続される、配線部材を有し、
前記第２圧電素子から引き出された前記第１端子部は、前記配線部材とは接続されていないことを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の液体吐出装置。
【請求項７】
前記第１端子部は、
前記第１方向と平行な第１の辺と、
前記第２方向と平行な第２の辺と、
前記第１方向における前記一方側の端に位置する前記第１圧電素子から引き出された前記個別配線に沿って延び、前記第１の辺と前記第２の辺の両方と交差する第３の辺と、
を有することを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載の液体吐出装置。
【請求項８】
前記流路基板は、前記複数の第１圧力室に対して前記第１方向における前記一方側と前記他方側にそれぞれ配置された、２つの前記第２圧力室を有し、
前記流路基板の前記ノズルプレートとは反対側の面において、前記２つの第２圧力室に対応して、前記複数の第１圧電素子に対して前記第１方向における前記一方側と前記他方側に、２つの前記第２圧電素子がそれぞれ配置され、
前記２つの第２圧電素子から、前記第２方向における前記一方側に、２つの前記第１端子部がそれぞれ引き出され、
前記第１方向における前記他方側に位置する一部の前記第１圧電素子に接続された前記個別配線は、前記第１圧電素子から、前記第１方向及び第２方向の両方とそれぞれ交差する方向に沿って、前記第１方向の前記一方側へ向けて延び、
前記第１方向における前記他方側の前記第２圧電素子から引き出された前記第１端子部の少なくとも一部分が、前記第２圧電素子よりも前記第１方向における前記一方側に位置していることを特徴とする請求項１〜７の何れかに記載の液体吐出装置。
【請求項９】
前記流路基板の前記ノズルプレートとは反対側の面において、前記第２圧電素子から前記第２方向の前記他方側に引き出された第２端子部をさらに有することを特徴とする請求項１〜８の何れかに記載の液体吐出装置。
【請求項１０】
第１方向に沿って配列された複数のノズルが形成されたノズルプレートと、
前記ノズルプレートに積層され、且つ、前記複数のノズルにそれぞれ連通し前記第１方向に配列された複数の第１圧力室と、前記複数の第１圧力室よりも前記第１方向における一方側において前記第１圧力室と並んで配置された第２圧力室と、前記複数の第１圧力室及び前記第２圧力室を覆う振動膜と、を有する流路基板と、
前記流路基板の前記ノズルプレートとは反対側の面において、前記複数の第１圧力室にそれぞれ対応して前記第１方向に配列された複数の第１圧電素子と、
前記流路基板の前記ノズルプレートとは反対側の面において、前記第２圧力室に対応して、前記複数の第１圧電素子よりも前記第１方向における前記一方側において前記第１圧電素子と並んで配置された第２圧電素子と、
前記流路基板の前記ノズルプレートとは反対側の面において、前記複数の第１圧電素子から、前記第１方向と直交する第２方向における一方側にそれぞれ引き出された複数の個別配線と、
前記流路基板の前記ノズルプレートとは反対側の面において、前記第２圧電素子から前記第２方向の前記一方側に引き出された第１端子部と、
前記流路基板の前記ノズルプレートとは反対側の面において、前記第２圧電素子から前記第２方向の前記他方側に引き出された第２端子部と、を有し、
少なくとも、前記第１方向における前記一方側に位置する一部の前記第１圧電素子に接続された前記個別配線は、前記第１圧電素子から、前記第１方向及び第２方向の両方とそれぞれ交差する方向に沿って、前記第１方向の他方側へ向けて延び、
前記第１端子部の少なくとも一部分が、前記第２圧電素子よりも前記第１方向における前記他方側に位置していることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項１１】
前記流路基板の前記ノズルプレートとは反対側の面において、前記複数の第１圧電素子及び前記第２圧電素子に対して一端を向けて、前記第２方向における前記一方側に接合され、前記複数の個別配線と電気的に接続された配線部材をさらに備え、
前記第1端子部は、前記第２圧電素子から前記第２方向の前記一方側に引き出された引出配線と、前記引出配線の先端に接続された端子とを有し、
前記端子の前記複数の第１圧電素子及び前記第２圧電素子側の部分端子が、前記配線部材の一端よりも前記複数の第１圧電素子及び前記第２圧電素子側に位置することを特徴とする請求項１〜１０の何れかに記載の液体吐出装置。
【請求項１２】
第１方向に沿って配列された複数のノズルが形成されたノズルプレートと、
前記ノズルプレートに積層され、且つ、前記複数のノズルにそれぞれ連通し前記第１方向に配列された複数の第１圧力室と、前記複数の第１圧力室よりも前記第１方向における一方側において前記第１圧力室と並んで配置された第２圧力室と、前記複数の第１圧力室及び前記第２圧力室を覆う振動膜と、を有する流路基板と、
前記流路基板の前記ノズルプレートとは反対側の面において、前記複数の第１圧力室にそれぞれ対応して前記第１方向に配列された複数の第１圧電素子と、
前記流路基板の前記ノズルプレートとは反対側の面において、前記第２圧力室に対応して、前記複数の第１圧電素子よりも前記第１方向における前記一方側において前記第１圧電素子と並んで配置された第２圧電素子と、
前記流路基板の前記ノズルプレートとは反対側の面において、前記複数の第１圧電素子から、前記第１方向と直交する第２方向における一方側にそれぞれ引き出された複数の個別配線と、
前記流路基板の前記ノズルプレートとは反対側の面において、前記第２圧電素子から前記第２方向の前記一方側に引き出された第１端子部と、
前記流路基板の前記ノズルプレートとは反対側の面において、前記複数の第１圧電素子及び前記第２圧電素子に対して一端を向けて、前記第２方向における前記一方側に接合され、前記複数の個別配線と電気的に接続された配線部材と、を有し、
少なくとも、前記第１方向における前記一方側に位置する一部の前記第１圧電素子に接続された前記個別配線は、前記第１圧電素子から、前記第１方向及び第２方向の両方とそれぞれ交差する方向に沿って、前記第１方向の他方側へ向けて延び、
前記第１端子部の少なくとも一部分が、前記第２圧電素子よりも前記第１方向における前記他方側に位置しており、
前記第1端子部は、前記第２圧電素子から前記第２方向の前記一方側に引き出された引出配線と、前記引出配線の先端に接続された端子とを有し、
前記端子の前記複数の第１圧電素子及び前記第２圧電素子側の部分端子が、前記配線部材の一端よりも前記複数の第１圧電素子及び前記第２圧電素子側に位置することを特徴とする液体吐出装置。
【請求項１３】
各第１圧電素子は、第１圧電膜と、前記第１圧電膜に設けられ、前記個別配線と接続された第１電極と、前記第１圧電膜を挟んで前記第１電極とは反対側に設けられた第２電極とを有し、
前記第２圧電素子は、第２圧電膜と、前記第２圧電膜に設けられ、前記第１端子部と接続された第３電極と、前記第２圧電膜を挟んで前記第３電極とは反対側に設けられた第４電極とを有し、
前記複数の第１圧電素子の前記第２電極と前記第２圧電素子の前記第４電極とが互いに導通することにより、前記第１方向において前記複数の第１圧電素子と前記第２圧電素子に跨って配置された共通電極が形成され、
前記流路基板の前記ノズルプレートとは反対側の面において、前記共通電極の前記第１方向の前記一方側の端部から、前記第２方向に沿って、前記第２方向の前記一方側に延びる共通配線をさらに備え、
前記配線部材は、前記流路基板の、前記複数の第１圧電素子及び前記第２圧電素子に対して前記第２方向における前記一方側に接合され、前記複数の個別配線及び前記共通配線と電気的に接続され、
前記第１端子部は、前記配線部材とは接続されていないことを特徴とする請求項１２に記載の液体吐出装置。
【請求項１４】
前記第１端子部は、前記第１方向における前記一方側の端に位置する前記第１圧電素子の前記個別配線と、前記共通配線との間に配置されていることを特徴とする請求項１３に記載の液体吐出装置。
【請求項１５】
前記流路基板の前記ノズルプレートとは反対側の面において、前記第２圧電素子から前記第２方向の前記他方側に引き出された第２端子部をさらに有することを特徴とする請求項１２〜１４の何れかに記載の液体吐出装置。
【請求項１６】
第１方向に沿って配列された複数のノズルが形成されたノズルプレートと、
前記ノズルプレートと積層され、且つ、前記複数のノズルにそれぞれ連通し前記第１方向に配列された複数の第１圧力室と、前記複数の第１圧力室よりも前記第１方向における一方側において前記第１圧力室と並んで配置された第２圧力室と、前記複数の第１圧力室及び前記第２圧力室を覆う振動膜と、を有する流路基板と、
前記流路基板の前記ノズルプレートとは反対側の面において、前記複数の第１圧力室にそれぞれ対応して前記第１方向に配列された複数の第１圧電素子と、
前記流路基板の前記ノズルプレートとは反対側の面において、前記第２圧力室に対応して、前記複数の第１圧電素子よりも前記第１方向における前記一方側において前記第１圧電素子と並んで配置された第２圧電素子と、
前記流路基板の前記ノズルプレートとは反対側の面において、前記複数の第１圧電素子から、前記第１方向と直交する第２方向の一方側にそれぞれ引き出された複数の第１個別配線と、
前記流路基板の前記ノズルプレートとは反対側の面において、前記第２圧電素子から前記第２方向の前記一方側に引き出された第１端子部と、
前記流路基板の前記ノズルプレートとは反対側の面において、前記第２圧電素子から前記第２方向の前記他方側に引き出された第２端子部とを有し、
前記第１圧電素子と前記第２圧電素子は、互いに同じ構造を有し、
前記第２圧電素子と、前記第１方向における前記一方側の端に位置する前記第１圧電素子との前記第１方向における間隔が、前記複数の第１圧電素子の前記第１方向における配列間隔と等しいことを特徴とする液体吐出装置。
【請求項１７】
前記流路基板は、前記第２方向において、前記複数の第１個別配線及び前記第１端子部を挟んで、前記複数の第１圧力室及び前記第２圧力室と反対側に配置され、前記第１方向に配列された複数の第３圧力室を有し、
前記流路基板の前記ノズルプレートとは反対側の面において、前記複数の第３圧力室にそれぞれ対応して前記第１方向に配列された複数の第３圧電素子と、
前記複数の第３圧電素子から前記第２方向の他方側にそれぞれ引き出された複数の第２個別配線と、を有し、
前記第１方向における前記一方側の端に位置する前記第３圧電素子は、前記第１方向における前記一方側の端に位置する前記第１圧電素子よりも、前記一方側に配置されており、
前記第２圧電素子から引き出された前記第１端子部の少なくとも一部分が、前記第１方向における前記一方側の端に位置する前記第３圧電素子から引き出された前記第２個別配線と、前記第２方向において並んでいることを特徴とする請求項１６に記載の液体吐出装置。
【請求項１８】
前記流路基板の前記ノズルプレートとは反対側の面において、前記複数の第１圧電素子及び前記第２圧電素子に対して一端を向けて、前記第２方向における前記一方側に接合され、前記複数の第１個別配線と電気的に接続された配線部材をさらに備え、
前記第1端子部は、前記第２圧電素子から前記第２方向の前記一方側に引き出された引出配線と、前記引出配線の先端に接続された端子とを有し、
前記端子の前記複数の第１圧電素子及び前記第２圧電素子側の部分端子が、前記配線部材の一端よりも前記複数の第１圧電素子及び前記第２圧電素子側に位置することを特徴とする請求項１６又は１７に記載の液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を吐出する液体吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、複数のノズルからそれぞれインクを吐出する液体吐出ヘッドを備えた、インクジェット記録装置が開示されている。特許文献１の液体吐出ヘッドは、ノズルプレートと、ノズルプレートに接合された流路形成基板と、流路形成基板の、ノズルプレートとは反対側の面に設けられた複数の圧電素子とを有する。
【０００３】
ノズルプレートには、所定のノズル配列方向に沿って配列された複数のノズルが形成されている。流路形成基板には、複数のノズルに対応して前記ノズル配列方向に沿って配列された複数の圧力室が形成されている。複数の圧力室は振動膜（弾性膜）によって覆われている。複数の圧電素子は、流路形成基板の振動膜の上に、複数の圧力室にそれぞれ対応して設けられ、複数の圧力室と同様に前記ノズル配列方向に沿って配列されている。
【０００４】
流路形成基板には、複数の圧電素子の個別電極から、前記ノズル配列方向と交差する方向にそれぞれ引き出された複数の配線（導電パターン）が形成されている。尚、複数の配線の延在方向は、ノズル配列方向における位置に応じて傾きが変化して、複数の配線は、全体的に扇形となるように配置されている。具体的には、ノズル配列方向の中央側に位置する配線の延在方向は、ノズル配列方向とほぼ直交する一方で、ノズル配列方向の端側に位置する配線の延在方向は、ノズル配列方向と直交する方向に対して傾いている。複数の配線の端部にはＣＯＦ（フレキシブル基板）が接合されている。これにより、複数の圧電素子と、ＣＯＦに実装されたドライバＩＣとが電気的に接続されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１１−６７９９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記特許文献１に開示されているような液体吐出ヘッドにおいて、各圧電素子の特性（例えば、圧電素子によって変形する振動膜の変位、圧電素子の共振周波数や静電容量等）を検査することが可能になっていると、製造段階や検査段階において、各ヘッドの性能評価や不良品検出などを容易に行える。また、上記の特性検査では、測定対象の圧電素子から引き出された配線にプローブを当てて圧電素子に電圧を印加することができれば、検査が簡便になるため好ましい。
【０００７】
しかし、近年のインクジェットヘッドでは、小型化等の観点から、各圧電素子から引き出される配線の幅は狭く、また、配線間のピッチも小さくなっている。また、配線の先端部に設けられた、ＣＯＦと接続される部分の面積も小さい。それゆえ、特性検査の際に、圧電素子から引き出された、ＣＯＦとの接続のための配線に、プローブを当てることが難しくなっている。従って、ノズルから液体を吐出させる圧電素子の特性を、直接的に検査することは容易ではない。
【０００８】
そこで、ノズルから液体を吐出させるための圧電素子とは別に、特性を検査するための専用の圧電素子と、この特性検査用の圧電素子に接続され、プローブを接触させるための端子部とを流路形成基板に設けることが考えられる。ここで、上記の特性検査用の端子部は、プローブを当てることを容易にするために面積をできるだけ大きくしたい。しかし、端子部の面積を大きくすることによって、流路形成基板の平面的なサイズが大きくなると、コストアップに繋がる。
【０００９】
本発明の目的は、流路基板のサイズアップを抑えつつ、圧電素子の特性検査用の端子部の面積を大きくすることが可能な液体吐出装置を提供することである。
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
【００１０】
本発明の液体吐出装置は、第１方向に沿って配列された複数のノズルが形成されたノズルプレートと、前記ノズルプレートに積層され、且つ、前記複数のノズルにそれぞれ連通し前記第１方向に配列された複数の第１圧力室と、前記複数の第１圧力室よりも前記第１方向における一方側において前記第１圧力室と並んで配置された第２圧力室と、前記複数の第１圧力室及び前記第２圧力室を覆う振動膜と、を有する流路基板と、前記流路基板の前記ノズルプレートとは反対側の面において、前記複数の第１圧力室にそれぞれ対応して前記第１方向に配列された複数の第１圧電素子と、前記流路基板の前記ノズルプレートとは反対側の面において、前記第２圧力室に対応して、前記複数の第１圧電素子よりも前記第１方向における前記一方側において前記第１圧電素子と並んで配置された第２圧電素子と、前記流路基板の前記ノズルプレートとは反対側の面において、前記複数の第１圧電素子から、前記第１方向と直交する第２方向における一方側にそれぞれ引き出された複数の個別配線と、前記流路基板の前記ノズルプレートとは反対側の面において、前記第２圧電素子から前記第２方向の前記一方側に引き出された第１端子部と、を有し、
各第１圧電素子は、第１圧電膜と、前記第１圧電膜に設けられ、前記個別配線と接続された第１電極と、前記第１圧電膜を挟んで前記第１電極とは反対側に設けられた第２電極とを有し、前記第２圧電素子は、第２圧電膜と、前記第２圧電膜に設けられ、前記第１端子部と接続された第３電極と、前記第２圧電膜を挟んで前記第３電極とは反対側に設けられた第４電極とを有し、前記複数の第１圧電素子の前記第２電極と前記第２圧電素子の前記第４電極とが互いに導通することにより、前記第１方向において前記複数の第１圧電素子と前記第２圧電素子に跨って配置された共通電極が形成され、前記流路基板の前記ノズルプレートとは反対側の面において、前記共通電極の前記第１方向の前記一方側の端部から、前記第２方向に沿って、前記第２方向の前記一方側に延びる共通配線をさらに備え、
少なくとも、前記第１方向における前記一方側に位置する一部の前記第１圧電素子に接続された前記個別配線は、前記第１圧電素子から、前記第１方向及び第２方向の両方とそれぞれ交差する方向に沿って、前記第１方向の他方側へ向けて延び、前記第１端子部の少なくとも一部分が、前記第２圧電素子よりも前記第１方向における前記他方側に位置しており、前記第１端子部は、前記第１方向における前記一方側の端に位置する前記第１圧電素子の前記個別配線と、前記共通配線との間に配置されていることを特徴とするものである。
【００１１】
複数のノズルにそれぞれ連通する複数の第１圧力室は、ノズルの配列に従って第１方向に配列されている。さらに、複数の圧力室にそれぞれ対応する複数の第１圧電素子も、第１方向に配列されている。第１圧電素子は、第１圧力室を覆う振動膜を変位させることにより、ノズルから液体を吐出させるためのものである。また、第１方向における一方側の端に位置する第１圧電素子に隣接して、第２圧力室に対応した第２圧電素子が配置されている。そして、第２圧電素子に接続された第１端子部にプローブを当てて、第２圧電素子に電圧を印加することで、第２圧力室を覆う振動膜を変位させて測定することができる。また、振動膜の変位の他、第２圧電素子の共振周波数や静電容量を測定することも可能である。このように、第２圧電素子についての様々な特性を測定することにより、第１圧電素子の特性を評価（推定）することができる。
【００１２】
さらに、第１方向における一方側に配置されている一部の第１圧電素子から引き出された個別配線は、圧電素子の配列方向である第１方向と、その直交方向である第２方向の両方と、交差した方向に沿って、第１方向における他方側（第２圧電素子とは反対側）に延びている。このように、第１方向における端に位置する第１圧電素子から引き出された個別配線が、第１方向における他方側に向けて、第２方向に対して斜めに延びている。個別配線が前記他方側に向けて斜めに延びていることにより、この個別配線よりも前記一方側に空いた領域が形成される。そこで、本発明では、上記の空いた領域に、第２圧電素子から引き出された第１端子部が配置され、さらに、第１端子部の少なくとも一部分が第２圧電素子よりも前記他方側に位置した構成となっている。これにより、流路基板のサイズアップを抑えつつ、第１端子部の面積を大きくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本実施形態に係るプリンタの概略的な平面図である。
【図２】ヘッドユニットの平面図である。
【図３】ヘッドユニットの平面図（保護部材概略図示）ある。
【図４】図３のＡ部拡大図である。
【図５】図４のV-V線断面図である。
【図６】図４のVI-VI線断面図である。
【図７】変更形態のヘッドユニットの平面図である。
【図８】別の変更形態のヘッドユニットの平面図である。
【図９】別の変更形態のヘッドユニットの平面図である。
【図１０】別の変更形態のヘッドユニットの平面図である。
【図１１】別の変更形態のヘッドユニットの平面図である。
【図１２】別の変更形態のヘッドユニットの平面図である。
【図１３】別の変更形態のヘッドユニットの平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
次に、本発明の実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係るプリンタの概略的な平面図である。尚、図１に示す前後左右の各方向をプリンタの「前」「後」「左」「右」と定義する。また、図１の紙面手前側を「上」、紙面向こう側を「下」とそれぞれ定義する。以下では、前後左右上下の各方向語を適宜使用して説明する。
【００１５】
（プリンタの概略構成）
図１に示すように、インクジェットプリンタ１は、プラテン２と、キャリッジ３と、インクジェットヘッド４と、カートリッジホルダ５と、搬送機構６と、制御装置７等を備えている。
【００１６】
プラテン２の上面には、被記録媒体である記録用紙１００が載置される。キャリッジ３は、プラテン２と対向する領域において２本のガイドレール１１，１２に沿って左右方向（以下、走査方向ともいう）に往復移動可能に構成されている。キャリッジ３には無端ベルト１３が連結されており、キャリッジ駆動モータ１４が駆動されて無端ベルト１３が走行することで、キャリッジ３が走査方向に移動する。
【００１７】
インクジェットヘッド４はキャリッジ３に搭載されており、キャリッジ３とともに走査方向に移動可能である。インクジェットヘッド４（本発明の液体吐出装置）は、走査方向に並ぶ４つのヘッドユニット２０を備えている。各ヘッドユニット２０は、その下面（図１の紙面向こう側の面）に複数のノズル２５（図３〜図５参照）を有する。尚、インクジェットヘッド４のヘッドユニット２０の詳細構成については後述する。
【００１８】
カートリッジホルダ５には、４色（ブラック、イエロー、シアン、マゼンタ）のインクカートリッジ１５が、それぞれ取り外し可能に装着される。各インクカートリッジ１５は、図示しないチューブによって、対応するヘッドユニット２０とそれぞれ接続されている。インクカートリッジ１５のインクは、チューブを介してヘッドユニット２０に供給される。キャリッジ３の移動と合わせてヘッドユニット２０の複数のノズル２５から、プラテン２上の記録用紙１００へ向けてインクが吐出される。
【００１９】
搬送機構６は、前後方向にプラテン２を挟むように配置された２つの搬送ローラ１６，１７を有する。２つの搬送ローラ１６，１７は、図示しない搬送モータによって互いに同期して駆動され、記録用紙１００を前方（以下、搬送方向ともいう）に搬送する。
【００２０】
制御装置７は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、及び、各種制御回路を含むＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）等を備える。制御装置７は、ＲＯＭに格納されたプログラムをＣＰＵで実行することにより、ＡＳＩＣに、記録用紙１００への印刷処理などの各種処理を実行させる。例えば、印刷処理においては、制御装置７は、ＰＣ等の外部装置から入力された印刷指令に基づいて、インクジェットヘッド４やキャリッジ駆動モータ１４、搬送機構６の搬送モータ等を制御して、記録用紙１００に画像等を印刷させる。より具体的には、キャリッジ３とともにインクジェットヘッド４を走査方向に移動させながらインクを吐出させるインク吐出動作と、搬送ローラ１６，１７によって記録用紙１００を搬送方向に所定量搬送する搬送動作とを、交互に行わせる。
【００２１】
（インクジェットヘッドのヘッドユニットの詳細構成）
次に、インクジェットヘッド４のヘッドユニット２０について説明する。尚、本実施形態の４つのヘッドユニット２０は、全て同じ構成を有するものであるため、そのうちの１つについて説明を行う。図２、図３は、ヘッドユニット２０の平面図である。但し、図３では、図２では実線で明確に示されている保護部材６０が、二点鎖線で概略的に示されている。図４は、図３のＡ部拡大図である。図５は、図４のV-V線断面図である。図６は、図４のVI-VI線断面図である。図２〜図６に示すように、ヘッドユニット２０は、ノズルプレート２１、第１流路基板２２、及び、第２流路基板２３、圧電アクチュエータ２４などを備えている。
【００２２】
（流路部材：ノズルプレート、第１流路基板、及び、第２流路基板）
まず、ノズルプレート２１、第１流路基板２２、及び、第２流路基板２３について説明する。それぞれインク流路が形成された流路部材であり、例えば、シリコン単結晶基板を好適に用いることができる。図５、図６に示すように、これら３つの流路部材は、下から、ノズルプレート２１、第２流路基板２３、第１流路基板２２の順に積層されている。
【００２３】
ノズルプレート２１には、複数のノズル２５が形成されている。図３に示すように、複数のノズル２５は、搬送方向（本発明の第１方向）に配列されて、走査方向（本発明の第２方向）に並ぶ２つのノズル列を構成している。また、左右のノズル列の間では、ノズル２５の位置が、各ノズル列におけるノズル２５の配列間隔の半分（Ｐ／２）だけ搬送方向にずれている。即ち、複数のノズル２５は、２列の千鳥状に等間隔で配列されている。
【００２４】
第１流路基板２２（本発明の流路基板）には、複数のノズル２５にそれぞれ対応した複数の圧力室２６が形成されている。複数の圧力室２６は、搬送方向にＰ／２の等ピッチで並び、走査方向に並ぶ２つの圧力室列２８ａ，２８ｂを構成している。
【００２５】
左側の圧力室列２８ａは、複数の圧力室２６ａ（本発明の第１圧力室）に加えて、搬送方向における両側にそれぞれ２つの検査用圧力室２７（本発明の第２圧力室）を有する。圧力室２６と検査用圧力室２７は、共に、走査方向に長い矩形の平面形状を有し、平面的な大きさも同一である。また、複数の圧力室２６のうちの前後両端に位置する圧力室２６と、検査用圧力室２７との間の距離は、複数の圧力室２６の配列間隔（＝ノズル２５の配列間隔Ｐ）に等しい。尚、左側の圧力室列２８ａを構成する各圧力室２６は、その走査方向における内側（右側）の端部においてノズル２５と重なって配置され、次述の第２流路基板２３に形成された連通孔３４（図５参照）によってノズル２５と連通している。これに対して、検査用圧力室２７はノズル２５と重なっておらず、ノズル２５と連通していない。右側の圧力室列２８ｂは、それぞれノズル２５と連通する複数の圧力室２６ｂ（本発明の第３圧力室）のみを有し、検査用圧力室２７は設けられていない。右側の圧力室列２８ｂを構成する各圧力室２６は、その走査方向における内側（左側）の端部においてノズル２５と重なって配置されている。
【００２６】
第１流路基板２２は、複数の圧力室２６及び検査用圧力室２７を覆う振動膜３０を有する。第１流路基板２２がシリコン単結晶基板である場合は、振動膜３０は、シリコン単結晶基板の上面が酸化されてなるシリコン酸化膜、あるいは、窒化されてなるシリコン窒化膜によって形成される。振動膜３０は、気相法（例えば、スパッタ法やＣＶＤ法等）で形成されたシリコン酸化膜、シリコン窒化膜、あるいは、これらの積層体の何れかであってもよい。尚、図４に示すように、振動膜３０の、検査用圧力室２７を覆う部分には、連通孔３１（本発明の連通部）が形成されている。この連通孔３１によって、振動膜３０の上方の空間と検査用圧力室２７とが連通している。
【００２７】
第２流路基板２３は、ノズルプレート２１と第１流路基板２２との間に配置されている。第２流路基板２３は、図２、図３に示すように、第１流路基板２２よりも一回り大きい。第２流路基板２３の左右両端部の露出部上面には、それぞれ搬送方向に長く延びる２つのインク供給孔３２が形成されている。また、この左右両端部には、２つのインク供給孔３２とそれぞれ連通する２つのマニホールド３３がそれぞれ形成されている。マニホールド３３は、圧力室列２８毎に設けられるものであり、対応する圧力室列２８に属する複数の圧力室２６に跨って搬送方向に延びている。
【００２８】
マニホールド３３の走査方向における内側部分は、複数の圧力室２６の外側の端部と重なって配置され、複数の圧力室２６とマニホールド３３とが連通している。尚、圧力室２６と並んで配置されている検査用圧力室２７は、マニホールド３３とは連通しておらず、検査用圧力室２７にはインクが供給されない。また、第２流路基板２３は、各圧力室２６の内側端部と重なる部分に、それぞれ連通孔３４が形成されている。連通孔３４は、ノズル２５とも重なり、圧力室２６とノズル３５とを１対１で連通させる。
【００２９】
そして、図５に示すように、ノズルプレート２１、第１流路基板２２、及び、第２流路基板２３には、インク供給孔３２及びマニホールド３３に加えて、マニホールド３３から分岐して、圧力室２６、及び、連通孔３４を経てノズル２５に至る個別流路が、複数形成されている。インクカートリッジ１５のインクは、対応するインク供給孔３２に流入する。インクは、インク供給孔３２からマニホールド３３に広がり、マニホールド３３の内側端部と圧力室２６の外側端部との重なり部分で、各圧力室２６に分配される。さらにインクは、圧力室２６内をその内側端部に向かって流れ、連通孔３４を通ってノズル２５に至る。ノズル２５では、インクが、メニスカスを形成して止まる。
【００３０】
（圧電アクチュエータ）
圧電アクチュエータ２４は、第１流路基板２２の振動膜３０の上面に配置されている。この圧電アクチュエータ２４は、複数の圧力室２６にそれぞれ対応して配置された複数の圧電素子４０（本発明の第１圧電素子、第３圧電素子）を有する。さらに、圧電アクチュエータ２４は、２つの検査用圧力室２７にそれぞれ対応して配置された２つの検査用圧電素子４１（本発明の第２圧電素子）も含む。検査用圧電素子４１は、圧電素子４０の特性（振動膜３０の変位特性、圧電素子４０の静電容量など）を検査するためのものである。以下、圧力室２６に対応した圧電素子４０、及び、検査用圧力室２７に対応した検査用圧電素子４１の構成について説明する。
【００３１】
図３、図４に示すように、振動膜３０の上面の、複数の圧力室２６とそれぞれ対向する領域には、複数の個別電極４２（本発明の第１電極）がそれぞれ形成されている。同様に、振動膜３０の上面の、検査用圧力室２７と対向する領域には、検査用個別電極４３（本発明の第３電極）が配置されている。個別電極４２及び検査用個別電極４３は、共に、圧力室２６よりも一回り小さい矩形形状を有し、同じサイズである。図４に示すように、各個別電極４２の、走査方向における内側の端部には、後述する個別配線３５と接続される接続部４２ａが形成されている。検査用個別電極４３の、走査方向における内側の端部にも、後述する配線５６と接続される接続部４３ａが形成されている。個別電極４２、及び、検査用個別電極４３は、例えば、白金（Ｐｔ）で形成されている。
【００３２】
また、振動膜３０の上面には、２つの圧力室列２８にそれぞれ対応して、２つの圧電体４４が帯状に形成されている。各圧電体４４は、対応する圧力室列２８を構成する複数の圧力室２６に跨って搬送方向に延びており、複数の個別電極４２を覆っている。左側の圧電体４４は、複数の個別電極４２に加えて、２つの検査用個別電極４３をも覆っている。このとき、個別電極４２の接続部４２ａと検査用個別電極４３の接続部４３ａは、走査方向の外側が圧電体４４に覆われるが、内側は露出している。圧電体４４は、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を主成分とする圧電材料からなる。あるいは、圧電体４４は、鉛が含有されていない非鉛系の圧電材料で形成されていてもよい。
【００３３】
さらに、図２〜図５に示すように、振動膜３０の上面には、左右の圧電体４４にそれぞれ対応して、２つの共通電極４５が形成されている。各共通電極４５は、対応する圧電体４４の、走査方向における内側端部（個別電極４２の接続部４２ａが設けられている側の端部）を除いて、圧電体４４を覆っている。また、共通電極４５は、圧電体４４を挟んで複数の個別電極４２と対向している。さらに、左側の共通電極４５は、２つの検査用個別電極４３と対向する領域をも覆っている。別の言い方をすれば、左側の共通電極４５では、複数の個別電極４２とそれぞれ対向する複数の電極部分４６（本発明の第２電極）と、２つの検査用個別電極４３とそれぞれ対向する２つの電極部分４７（本発明の第４電極）とが、搬送方向に繋がっている。また、右側の共通電極４５では、複数の個別電極４２とそれぞれ対向する複数の電極部分４６が、搬送方向に繋がっている。
【００３４】
図２、図３に示すように、各共通電極４５は、対応する圧電体４４の上面だけでなく、周囲の振動膜３０の上面にも広がっている。また、２つの共通電極４５の搬送方向における端部（前端部及び後端部）同士が、走査方向に沿って延びる２つの共通配線４８でそれぞれ接続されている。
【００３５】
図３〜図５に示すように、各共通電極４５は、第１電極層４５ａと、第１電極層４５ａの上に積層された第２電極層４５ｂの２層構造を有する。第１電極層４５ａは、圧電体４４の走査方向における内側の端部を除いて、圧電体４４の上面全域を覆っている。また、第１電極層４５ａは、圧電体４４の上面から、走査方向における外側と、搬送方向における上流側、及び、下流側にそれぞれ広がっている。第１電極層４５ａは、例えば、イリジウム（Ｉｒ）で形成されている。第２電極層４５ｂは、圧電体４４の中央部と重なる領域（圧電素子４０，４１の主な活性領域）を除き、第１電極層４５ａを覆っている。第２電極層４５ｂは、例えば、金（Ａｕ）で形成されている。
【００３６】
図５に示すように、第２電極層４５ｂの厚みは、第１電極層４５ａの厚みよりも大きい。厚みの小さい第１電極層４５ａに、厚みの大きい第２電極層４５ｂが積層されることにより、共通電極４５の電気抵抗が低下する。第１電極層４５ａのみの領域では、場所による電気抵抗の違いも抑制される。また、厚みの大きい第２電極層４５ｂは、圧電体４４の中央部には配置されていないことで、この第２電極層４５ｂによって圧電体４４の変形が阻害されにくくなっている。
【００３７】
また、図６に示すように、２つの共通配線４８も、第１配線層４８ａの上に第２配線層４８ｂが積層された２層構造を有する。第１配線層４８ａは、共通電極４５の第１電極層４５ａと同じ厚み、及び、同じ材料（例えば、イリジウム（Ｉｒ））で形成されている。第１電極層４５ａと第１配線層４８ａは、同一の成膜プロセス（例えばスパッタリングなど）によって、同時に形成される。また、第２配線層４８ｂは、共通電極４５の第２電極層４５ｂと同じ厚み、及び、同じ材料（例えば、金（Ａｕ））で形成されている。第２電極層４５ｂと第２配線層４８ｂも、同一の成膜プロセスによって、同時に形成される。
【００３８】
以上の構成において、図４、図５に示すように、１つの圧力室２６と対向する１つの個別電極４２（本発明の第１電極）と、共通電極４５のうちの前記１つの個別電極４２と対向する電極部分４６（本発明の第２電極）と、圧電体４４のうちの前記１つの個別電極４２と対向する圧電部分５０（本発明の第１圧電膜）とによって、１つの圧電素子４０が構成されている。また、１つの検査用圧力室２７と対向する１つの検査用個別電極４３（本発明の第３電極）と、共通電極４５のうちの前記１つの検査用個別電極４３と対向する電極部分４７（本発明の第４電極）と、圧電体４４のうちの前記１つの検査用個別電極４３と対向する圧電部分５１（本発明の第２圧電膜）とによって、１つの検査用圧電素子４１が構成されている。
【００３９】
即ち、本実施形態では、搬送方向に配列された複数の圧電素子４０と２つの検査用圧電素子４１の間で、圧電体４４が連続的に繋がっており、また、圧電体４４の上側の電極（本発明の第２電極及び第４電極）も連続的に繋がっている。また、上述したように、圧電素子４０の個別電極４２と、検査用圧電素子４１の検査用個別電極４３は、同じ材料で同じ形状、及び、同じサイズに形成されている。つまり、圧電素子４０と検査用圧電素子４１とで素子の構造が同一である。尚、２つの素子の構造が同一とは、少なくとも、圧力室２６と対向する領域において、電極及び圧電膜の平面形状、サイズ、厚み、及び、材質がそれぞれ同一であることを言う。
【００４０】
複数の圧電素子４０及び２つの検査用圧電素子４１が、複数の圧力室２６及び２つの検査用圧力室２７に対応して搬送方向に配列されることによって、走査方向に並ぶ２つの圧電素子列５２（５２ａ，５２ｂ）が構成されている。尚、左側の圧電素子列５２ａを構成する圧電素子４０ａが本発明の第１圧電素子に相当し、右側の圧電素子列５２ｂを構成する圧電素子４０ｂが本発明の第３圧電素子に相当する。また、左側の圧電素子列５２ａにおいて、搬送方向における端に位置する圧電素子４０の個別電極４２と、この圧電素子４０と並ぶ検査用圧電素子４１の検査用個別電極４３との、搬送方向における距離は、複数の圧電素子４０の個別電極４２の配列間隔（＝ノズル２５の配列間隔Ｐ）と等しい。つまり、複数の圧電素子４０と前後２つの検査用圧電素子４１が、搬送方向において等間隔に配置されている。
【００４１】
尚、圧電体４４の、共通電極４５と個別電極４２又は検査用個別電極４３とに挟まれた圧電部分５０，５１は、それぞれ、厚み方向において上向き、即ち、下側の個別電極４２又は検査用個別電極４３から、上側の共通電極４５に向かう方向に分極されている。
【００４２】
上記の圧電素子４０の個別電極４２には、個別配線５５が接続されている。左側の圧電素子列５２ａでは、図５に示すように、個別配線５５ａが、圧電体４４の右側端部の上面に端を発し、走査方向の内側に引き出されている。その途中部は、露出した接続部４２ａと接続し、個別電極４２と導通している。図３、図４に示すように、各個別配線５５ａは、右側の圧電素子列５２ｂ近傍まで延びている。右側の圧電素子列５２ｂでも、複数の個別配線５５ｂが、これと同様に引き出され、左側の圧電素子列５２ａ近傍まで延びている。また、後述するが、２つの検査用圧電素子４１からも、それぞれ左側に配線５６が引き出され、配線５６の先端部には端子部５７が形成されている。
【００４３】
尚、複数の個別配線５５の延在方向は同一ではなく、搬送方向における位置に応じて、個別配線５５の延在方向が変化している。搬送方向における中央側では、個別配線５５は、走査方向とほぼ平行に延びる。一方、搬送方向の端側では、個別配線５５は、途中で少し屈曲した後、走査方向に対して傾いた方向に延びている。より具体的には、左側の圧電素子列５２ａでは、複数の個別配線５５ａ（本発明の第１個別配線）が、一旦、内側へ屈曲した後、外側に広がるように走査方向に対して傾斜して延びている。これに対して、右側の圧電素子列５２ｂでは、複数の個別配線５５ｂ（本発明の第２個別配線）が、一旦、外側へ屈曲した後、内側に集まるように走査方向に対して傾斜して延びている。これにより、複数の個別配線５５は、全体的に、左側から右側へ扇状に広がっている。また、２つの圧電素子列５２ａ、５２ｂの間（中間領域）では、複数の個別配線５５が、左右から集まり、搬送方向に等間隔で配置されている。この中間領域で、後述のＣＯＦ６３が、複数の個別配線５５に接続される。尚、各個別配線５５は、金（Ａｕ）などの、電気抵抗率の低い金属材料で形成されている。
【００４４】
以上より、振動膜３０の上面の、走査方向において２つの圧電体４４（２つの圧電素子列５２）の間の領域には、複数の個別配線５５、２本の配線５６、２つの端子部５７、及び、複数の個別配線５５の前後両側に配置された２つの共通配線４８が配置されている。
【００４５】
振動膜３０の上面には、圧電素子４０を保護するカバー部材６０が配置されている。カバー部材６０は、中央の開口部６０ｃを挟んで、走査方向両側にカバー部６０ａ、６０ｂを有する。開口部６０ｃは、図２に示すように矩形状の中空部分であって、複数の個別配線５５、２つの端子部５７、２つの共通配線４８等を露出させている。カバー部６０ａ、６０ｂには、凹部が形成され、振動膜３０側に凹部が開口している。凹部の開口は、図３に示すように、搬送方向に長い矩形状であり、１つの圧力室列２８を内包可能なサイズを持つ。開口部６０ｃを区画する四方の壁部のうち、左右の壁部はカバー部６０ａ、６０ｂと共有され、前後の壁部は２つのカバー部６０ａ、６０ｂを連結している。カバー部材６０は、熱硬化性接着剤６１で振動膜３０の上面に接着される。このとき、左側の第１カバー部６０ａでは、平面視で圧力室列２８ａが凹部の開口に内包され、圧電素子列５２ａが凹部に収容される。右側の第２カバー部６０ｂでは、平面視で圧力室列２８ｂが凹部の開口に内包され、圧電素子列５２ｂが凹部に収容される。
【００４６】
ところで、共通電極４５は、走査方向に関して、圧電体４４の外側に広がっている。この走査方向外側領域で、図５に示すように、カバー部材６０の左右外側の壁部が共通電極４５上に接合されている。また、共通配線４８は、搬送方向における圧電体４４の外側で広がり、走査方向に延びている。この搬送方向外側領域で、図６に示すように、カバー部材６０の前後両側の壁部が共通配線４８上に接合されている。複数の個別配線５５は、走査方向に関して、２つの圧電体４４の内側に配置されている。図６に示すように、カバー部材６０の左右内側の壁部が共通配線４８上に接合されている。ここで、共通電極４５および共通配線４８は、共に２層構造を有し、総厚はほぼ等しい。さらに、上層は、共に下層よりも数倍から数十倍厚く、個別配線５５と厚みがほぼ同じである。そのため、図３において、カバー部材６０が接合される領域のうち、個別配線５５が配置される２つの圧電体４４の間の領域を除く、２つの圧電体４４を取り囲む領域の接合面の高さをほぼ均一にすることができる。また、共通電極４５及び共通配線４８と、個別配線５５とでは、接合面の高さの差が小さいと言える。これにより、カバー部材６０を第１流路基板２２に良好に接合できる。
【００４７】
また、カバー部材６０は、第１流路基板２２の振動膜３０に、熱硬化性の接着剤６１によって接合される。その接合時の加熱の際に、カバー部材６０の凹部内の圧力が上昇すると、カバー部材６０と第１流路基板２２との間で接着不良が生じる虞がある。この点、本実施形態では、接着剤６１による接着作業が、第２流路基板２３やノズルプレート２１を第１流路基板２２に接合する前に行われる。そして、図４に示すように、第１流路基板２２の振動膜３０には、連通孔３１が形成されている。カバー部材６０を接合する際に、凹部内の圧力が、連通孔３１を介して検査用圧力室２７（大気側）へ逃がされる。尚、検査用圧力室２７は、第２流路基板２３のマニホールド３３とは連通しておらず、検査用圧力室２７にはインクが導入されない。そのため、カバー部材６０の内部空間と検査用圧力室２７とが連通孔３１で連通していても、特に問題は生じない。
【００４８】
図２、図３に示すように、カバー部材６０が第１流路基板２２に接合された状態では、複数の個別配線５５と２つの共通配線４８の一部が、開口部６０ｃにおいて露出している。そして、図５に示すように、開口部６０ｃから露出した領域には、ＣＯＦ６３（本発明の配線部材）が接合されている。ＣＯＦ６３には、その途中部にドライバＩＣ６４が実装されている。また、図示は省略するが、ＣＯＦ６３は、プリンタ１の制御装置７（図１参照）にも接続されている。複数の個別配線５５は、ＣＯＦ６３の配線（図示省略）を介してドライバＩＣ６４と接続されている。また、２つの共通配線４８は、ＣＯＦ６３のグランド配線（図示省略）と接続されている。
【００４９】
ドライバＩＣ６４は、制御装置７から送られてきた制御信号に基づいて、各圧電素子４０を駆動するための駆動信号を生成して出力する。出力された駆動信号は、ＣＯＦ６３の配線及び個別配線５５を介して、各圧電素子４０の個別電極４２に供給される。駆動信号に対応して、個別電極４２の電位は、所定の駆動電位とグランド電位との間で変化する。また、２つの共通電極４５の電位は、常に、共通配線４８と同じグランド電位に維持されている。
【００５０】
ドライバＩＣ６４から駆動信号が供給されたときの、圧電素子４０の動作について説明する。駆動信号が供給されていない状態では、個別電極４２はグランド電位にある。この状態から駆動信号が供給され、個別電極４２が駆動電位になると、個別電極４２と共通電極４５との間に電位差が生じる。圧電体４４の活性部（個別電極４２と共通電極４５とに挟まれた圧電部分５０）には、厚み方向の電界が作用する。活性部の分極方向は電界の方向と一致するために、活性部が面方向に収縮する。このとき、活性部と振動膜３０との間で歪み差が生じるため、振動膜３０が圧力室２６側に凸となるように撓む。これにより、圧力室２６の容積が減少し、圧力室２６に連通するノズル２５からは、インクの液滴が吐出される。
【００５１】
（検査用圧電素子の端子部）
図２〜図４に示すように、２つの検査用圧電素子４１の検査用個別電極４３にはそれぞれ配線５６が接続され、これらの配線５６は、走査方向の内側（右側）に引き出されている。そして、２つの配線５６の右端部には、端子部５７（本発明の第１端子部）がそれぞれ形成されている。尚、図４に示すように、個別配線５５は、左から右に向かって広がる扇状に配置されている。端子部５７は、この個別配線５５と共通配線４８が作る略三角形状の隙間領域に配置され、搬送方向の幅が配線５６よりも大きい。端子部５７の左側の縁は、右側から引き出された個別配線５５ｂの左端よりも左側にある。ＣＯＦ６３が接合されたときに、端子部５７の左端部が部分的にＣＯＦ６３から露出する。尚、配線５６及び端子部５７は、個別配線５５と同じ材料（例えば、金）で形成されており、個別配線５５と同じプロセスで形成される。
【００５２】
圧電体４４の電気的検査に関して、検査用圧電素子４１に接続された端子部５７と共通電極４５（又は共通配線４８）とに、それぞれプローブを当てて、その間に電圧を印加する。カバー部材６０の接着前であれば、電圧印加時の振動膜３０の変位量を、レーザー変位計によって測定することができる。カバー部材６０の接着後であっても、検査用圧電素子４１に所定の周波数で電圧を印加したときの電流を計測することにより、活性部の静電容量を測定することもできる。さらに、電圧の周波数を変化させれば、電流値のピークを計測することにより、活性部の共振周波数を測定することもできる。このように、検査用圧電素子４１に電圧を印加して、振動膜３０の変位等に関する特性を測定することにより、圧電素子４０の様々な特性を評価（推定）することができる。
【００５３】
しかし、端子部５７の面積が小さいと、検査用圧電素子４１への電圧印加の際に、プローブを端子部５７に当てることが難しくなる。従って、圧電素子４０の特性検査を容易にするには、端子部５７の面積はできるだけ大きいことが好ましい。
【００５４】
この点、本実施形態では、先に述べたように、複数の個別配線５５は、全体的に右側へ広がる扇形状に配置されている。つまり、前端側に位置する一部の個別配線５５は、走査方向に対して前側に傾斜している。また、後端側に位置する一部の個別配線５５は、走査方向に対して後側に傾斜している。このように、端に位置する個別配線５５が外側に傾斜していることで、この端に位置する個別配線５５ａよりも外側、即ち、個別配線５５と共通配線４８との間に、空いた領域が形成される。
【００５５】
そこで、本実施形態では、上記の空いた領域に、検査用圧電素子４１に接続される端子部５７が配置される。また、端子部５７は、検査用圧電素子４１の検査用個別電極４３よりも、搬送方向における内側に張り出すように形成されている。このように、端子部５７の一部が、検査用圧電素子４１よりも内側に位置しているため、第１流路基板２２のサイズアップを抑えつつ、端子部５７の面積を大きくすることができる。特に、後側の検査用圧電素子４１に接続される端子部５７は、検査用圧電素子４１と隣接する、端の圧電素子４０ａと、走査方向に並ぶ位置にまで配置されているため、端子部５７の面積をさらに大きくすることができる。
【００５６】
また、図３、図４に示すように、端子部５７は、それぞれ、圧電素子４０が並ぶ方向である搬送方向に平行な第１の辺５７ａと、共通配線４８が延びる方向である走査方向に平行な第２の辺５７ｂと、端に位置する圧電素子４０から引き出された個別配線５５に沿って延び、第１の辺５７ａと第２の辺５７ｂの両方と交差する第３の辺５７ｃを有する。そのため、個別配線５５よりも外側の、個別配線５５、検査用圧電素子４１、及び、共通配線４８によって囲まれた領域内において、この領域の境界の近くまで上記３つの辺５７ａ〜５７ｃを近接して配置することにより、端子部５７の面積を極力大きくすることができる。
【００５７】
尚、端子部５７は、２つの圧電体４４の間の領域において、個別配線５５と共通配線４８との間に配置されているため、ＣＯＦ６３によって覆われる。このとき、個別配線５５及び共通配線４８はＣＯＦ６３と電気的に接続される一方で、端子部５７は、ＣＯＦ６３と電気的に接続されていない。
【００５８】
検査用圧電素子４１の特性を測定することによって、インクを吐出するための圧電素子４０の特性を評価するためには、検査用圧電素子４１が、圧電素子４０のすぐ近くに配置されることが好ましい。この点、本実施形態では、搬送方向における端に位置する圧電素子４０と、この圧電素子４０と並んで配置された検査用圧電素子４１の距離が、複数の圧電素子４０の配列間隔Ｐに等しくなっている。また、複数の圧電素子４０と検査用圧電素子４１が等間隔で配置されることから、圧電素子４０と検査用圧電素子４１との間で、素子の変形に関する条件が近くなることによっても、圧電素子４０の特性評価の精度が高くなる。さらに、本実施形態では、圧電素子４０と検査用圧電素子４１とが同じ構造を有するものであるため、圧電素子４０の特性評価の精度がさらに向上する。
【００５９】
また、本実施形態では、複数の圧電素子４０ａに対して、搬送方向における両側に２つの検査用圧電素子４１が配置されているため、これら２つの検査用圧電素子４１の特性をそれぞれ検査することで、それらの間に位置する圧電素子４０ａの特性評価の精度がさらに高まる。
【００６０】
尚、図３に示すように、第１流路基板２２の上面にＣＯＦ６３が接合された状態で、端子部５７の一部がＣＯＦ６３から露出している。そのため、ＣＯＦ６３が接合された状態でも、検査用圧電素子４１を用いた各種の測定を行うことが可能である。
【００６１】
次に、前記実施形態に種々の変更を加えた変更形態について説明する。但し、前記実施形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付してその説明を適宜省略する。
【００６２】
１］前記実施形態では、検査用圧電素子４１から、走査方向における一方側にのみ端子部５７（本発明の第１端子部）が引き出されていたが、走査方向における他方側にも端子部（本発明の第２端子部）が引き出されてもよい。図７のヘッドユニット２０Ａでは、検査用圧電素子４１よりも走査方向における外側（左側）の領域において、共通電極４５に切欠部４５ｃが形成され、この切欠部４５ｃ内に、検査用圧電素子４１から左方に引き出された端子部６７が配置されている。この構成では、２つの端子部５７，６７の間に電圧を印加することで、端子部５７と端子部６７との間の抵抗、即ち、個別電極４２の抵抗を測定することができる。これにより、圧電素子４０の個別電極４２の抵抗を評価することが可能となる。
【００６３】
また、振動膜３０の変位の測定など、端子部と共通電極４５にそれぞれプローブを当てて行う検査の場合には、２つの端子部５７，６７のうちの何れにプローブを当ててもよい。端子部の面積にもよるが、外側に引き出されている端子部６７は、スペース的な余裕があるので、端子部５７よりも、比較的プローブを当てやすい。
【００６４】
２］前記実施形態では、複数の圧電素子４０の、搬送方向（第１方向）における両側に、２つの検査用圧電素子４１が配置されているが、搬送方向における一方側にのみ、検査用圧電素子４１が配置されてもよい。
【００６５】
３］図８のヘッドユニット２０Ｂのように、個別配線５５が、圧電素子４０の個別電極４２から、走査方向と平行な方向に引き出されてもよい。また、前記実施形態と同様に、図８では、搬送方向における端に位置する圧電素子４０ａと、この圧電素子４０ａと並んで配置された検査用圧電素子４１の距離が、複数の圧電素子４０の配列間隔Ｐに等しくなっている。つまり、同一の構造を有する圧電素子４０ａと検査用圧電素子４１が、等間隔で配置されている。従って、検査用圧電素子４１の特性を検査することで、圧電素子４０ａの特性を高い精度で評価することができる。さらに、図９に示すヘッドユニット２０Ｃのように、先の図７の形態と同様に、検査用圧電素子４１から、走査方向における外側（左側）にも端子部６７（本発明の第２端子部）が引き出されてもよい。
【００６６】
４］図１０のヘッドユニット２０Ｄでは、右側の圧電素子列５２ｂの、前側の端に位置する圧電素子４０ｂは、左側の圧電素子列５２ａの、前側の端に位置する圧電素子４０ａよりも後方に位置する。その上で、左側の圧電素子列５２ａの、前端に位置する検査用圧電素子４１ａから引き出された端子部７７ａの少なくとも一部が、右側の圧電素子列５２ｂを構成する圧電素子４０ｂ（本発明の第３圧電素子）から引き出された個別配線５５ｂ（本発明の第２個別配線）と、走査方向において並んで配置されてもよい。この構成では、搬送方向の前方において、左側から引き出された個別配線５５ａの基端部近傍と、この個別配線５５ａと搬送方向の前方に隣接し、右側から引き出された個別配線５５ｂの先端部とが作る隙間領域に、端子部７７ａの少なくとも一部が配置されるため、端子部７７ａを配置することによる第１流路基板２２のサイズアップを抑えることができる。
【００６７】
また、図１０の形態では、右側の圧電素子列５２ｂの後端にも、検査用圧電素子４１ｂが設けられている。この検査用圧電素子４１ｂから引き出された端子部７７ｂも、左側の圧電素子４０ａから引き出された個別配線５５ａと、走査方向に並んで配置されてもよい。このとき、端子部７７ａとその周囲は、端子部７７ｂとその周囲と、点対称の配置関係にあってよい。
【００６８】
５］前記実施形態では、搬送方向の端に位置する圧電素子４０に対して、１つの検査用圧電素子４１が並べて配置されているが、２以上の検査用圧電素子４１が並べて配置されてもよい。
【００６９】
６］前記実施形態では、右側の圧電素子列５２ａにのみ、検査用圧電素子４１が含まれているが、左側の圧電素子列５２ｂにも検査用圧電素子４１が含まれていてもよい。例えば、前記実施形態の図３において、右側の圧電素子列５２ａにおいては、複数の圧電素子４０よりも前側に検査用圧電素子４１が並べて配置され、左側の圧電素子列５２ｂにおいては、複数の圧電素子４０よりも後側に検査用圧電素子４１が並べて配置されてもよい。
【００７０】
７］前記実施形態では、搬送方向に配列された複数の圧力室２６にそれぞれ対応する、複数の圧電素子４０と２つの検査用圧電素子４１の間で、圧電部分５０（本発明の第１圧電膜）と圧電部分５１（本発明の第２圧電膜）が繋がって１つの圧電体４４が形成されているが、複数の圧電部分５０及び２つの圧電部分５１がそれぞれ分離されていてもよい。
【００７１】
８］前記実施形態では、各圧電素子４０において、圧電体４４（圧電膜）の下側に個別電極４２が配置され、上側に共通電極４５が配置されているが、個別電極４２と共通電極４５の配置が上下逆であってもよい。
【００７２】
９］前記実施形態では、図３のように、端側の圧電素子４０から引き出された個別配線５５が、途中で前側又は後側へ屈曲してから、屈曲と反対側（後側又は前側）へ傾斜して延びているが、図１１のヘッドユニット２０Ｅのように、途中で屈曲しない構成であってもよい。尚、この場合は、複数の個別配線５５の、ＣＯＦ６３との接合される部分が搬送方向に等間隔に配置されるようにするため、複数の個別配線５５の間で、個別電極４２との接続位置が搬送方向にずれている。
【００７３】
１０］前記実施形態では、複数の圧電素子４０が、複数の圧力室にそれぞれ対応して、２列に配列されているが、図１２のヘッドユニット２０Ｆ、及び、図１３のヘッドユニット２０Ｇのように、圧電素子４０が１列に配列された構成に対しても本発明を適用することは可能である。
【００７４】
図１２の構成では、複数の圧電素子４０が搬送方向に配列し、各圧電素子４０からは、個別配線５５が走査方向の右方に引き出されている。複数の個別配線５５は、全体として、搬送方向の中央側に傾いて配置されている。そのため、搬送方向の端にある個別配線５５は、走査方向の右端部付近で、共通配線４８との間に略三角形状の隙間領域を作っている。端子部５７が、この隙間領域に配置され、圧電素子列の端に隣接した検査用圧電素子４３と接続されている。走査方向について、端子部５７の右端は、個別配線５５の右端より右側にある。図１３の構成では、個別配線５５が、搬送方向の中央部に対して、外側に傾いて配置されている。そのため、搬送方向の端にある個別配線５５は、その先端部（走査方向の右端部）付近で、共通配線４８との間に略三角形状の隙間領域を作っている。この隙間領域に端子部５７が配置され、圧電素子列の端に隣接した検査用圧電素子４３と接続されている。走査方向について、端子部５７の左端は、図示しないＣＯＦ６３の左端より左側にある。
【００７５】
以上説明した実施形態及びその変更形態は、本発明を、記録用紙にインクを吐出して画像等を印刷するインクジェットヘッドの圧電アクチュエータに適用したものであるが、画像等の印刷以外の様々な用途で使用される液体吐出装置においても本発明は適用されうる。例えば、基板に導電性の液体を吐出して、基板表面に導電パターンを形成する液体吐出装置にも、本発明を適用することは可能である。
【符号の説明】
【００７６】
１  インクジェットプリンタ
４  インクジェットヘッド
２１  ノズルプレート
２２  第１流路基板
２３  第２流路基板
２５  ノズル
２６  圧力室
２７  検査用圧力室
３０  振動膜
３５  個別配線
４０  圧電素子
４１  検査用圧電素子
４２  個別電極
４３  検査用個別電極
４４  圧電体
４５  共通電極
４５ａ  第１電極層
４５ｂ  第２電極層
４８  共通配線
４８ａ  第１配線層
４８ｂ  第２配線層
５５  個別配線
５７  端子部
５７ａ  第１の辺
５７ｂ  第２の辺
５７ｃ  第３の辺
６０  カバー部材
６７  端子部
７７  端子部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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