(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースと、上記ベースに対して上下２段のガイド機構を介して移動可能に設置されたスライダと、を具備し、
上記上下２段のガイド機構のうちの何れか一方のガイド機構は球体の２点接触の左右２列構造であり、何れか他方のガイド機構は球体の４点接触の左右２列構造であり、
上記球体の２点接触の左右２列構造であるガイド機構の予圧が、上記球体の４点接触の左右２列構造であるガイド機構の予圧より高いことを特徴とするリニアガイド。
【請求項２】
請求項１記載のリニアガイドにおいて、
上記球体の４点接触の左右２列構造であるガイド機構の球体の４点接触を維持できる範囲で、上記球体の２点接触の左右２列構造の予圧を高くすることを特徴とするリニアガイド。
【請求項３】
請求項１又は請求項２記載のリニアガイドにおいて、
上記予圧の調整は上記球体のゲージを調整することにより行うようにしたことを特徴とするリニアガイド。
【請求項４】
請求項１〜請求項３の何れかに記載のリニアガイドにおいて、
上記上下２段のガイド機構の球体の呼び直径、球体の個数、球体が転動する転動溝の形状の少なくとも１つを異なるものとしたことを特徴とするリニアガイド。
【請求項５】
請求項１〜請求項３の何れかに記載のリニアガイドにおいて、
上記上下２段のガイド機構の球体の呼び直径、球体の個数、球体が転動する転動溝の形状を同じものとしたことを特徴とするリニアガイド。
【請求項６】
請求項１〜請求項４の何れかに記載のリニアガイドにおいて、
上記球体の２点接触の左右２列構造であるガイド機構はサーキュラーアーク構造であり、上記球体の４点接触の左右２列構造であるガイド機構はゴシックアーク構造であることを特徴とするリニアガイド。
【請求項７】
請求項１〜請求項６の何れかに記載のリニアガイドにおいて、
上記スライダは上記ベースの内側で移動可能に設置されていることを特徴とするリニアガイド。
【請求項８】
請求項１〜請求項６の何れかに記載のリニアガイドにおいて、
上記スライダは上記ベースの外側で移動可能に設置されていることを特徴とするリニアガイド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、アクチュエータのスライダをガイドするリニアガイドに係り、特に、過度に摺動抵抗を増大させることなく剛性の向上と定格荷重の増大を図り、且つ、製造の容易化を図ることができるように工夫したものに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のリニアガイドの構成を開示するものとして、例えば、特許文献１、特許文献２、等がある。
まず、特許文献１に記載された「軽量型リニアガイド装置」は、上下２列合計４列で各列２点接触のゴシックアーク形状溝を有するいわゆる「オフセットゴシックアーク型」のリニアガイド装置である。このリニアガイド装置は、略Ｕ字型の案内レールの内側にスライダが移動可能に設置された構成になっている。
【０００３】
上記案内レールの両内側面には上下２列合計４列のボール転動溝が形成されている。これらボール転動溝は、２つの円弧が上下方向に対象に組み合わされた横断面形状を成している。また、上記スライダの両外側面にも、上下２列合計４列の同様のボール転動溝が形成されている。
【０００４】
上記案内レール側のボール転動溝の上下方向の間隔は、上記スライダ側のボール転動溝の上下方向の間隔よりも、例えば、小さくなるように設定されている。
【０００５】
上記スライダの内部には、幅方向両側にそれぞれ上下２列合計４列のボール循環路が形成されている。また、上記スライダの前後端にはそれぞれエンドキャップが設置されていて、これらエンドキャップには、それぞれ上下２列合計４列の反転路が形成されていると推測される。
上記案内レール側のボール転動溝と上記スライダ側のボール転動溝の間の空間と上記スライダのボール循環路、及び、上記エンドキャップの反転路内には複数のボールが転動・循環される。
【０００６】
上記スライダの上側からの負荷が小さい場合は、上記ボールのうち、上側の列のボールは、上記スライダ側のボール転動溝の下側の面と接触しているとともに、上記案内レール側のボール転動溝の上側の面と接触している。また、下側の列のボールは、上記スライダ側のボール転動溝の上側の面と接触しているとともに、上記案内レール側のボール転動溝の下側の面と接触している。つまり、上記スライダの上側からの負荷が小さい場合は、上記下側の列のボールのみで上記スライダを支持している。
【０００７】
しかし、上記スライダの上側からの負荷が大きい場合は、上記ボールのうち、上側の列のボールが、上記スライダ側のボール転動溝の上側の面と接触しているとともに、上記ガイドレール側のボール転動溝の下側の面と接触するようになり、上側の列のボールにも荷重が作用するようになる。
このように、上記スライダの上側からの負荷が大きくなると、上記上側の列のボールと上記下側の列のボールの両方によって上記スライダを支持するようになり、大きい負荷に対応できる状態へ移行する。
つまり、負荷が小さい場合には下側の２列で支持し、負荷が大きくなると上下４列で支持することになる。
【０００８】
次に、特許文献２に記載された「リニアガイド装置」であるが、これも上下２列合計４列で各列２点接触の「オフセットゴシックアーク型」のリニアガイド装置である。このリニアガイド装置は、ガイドレールに略逆Ｕ字型のスライダが跨った状態で移動可能に設置されている。
【０００９】
上記ガイドレールの両外側面には上下２列合計４列のボール転動溝が形成されている。これらボール転動溝は、それぞれ、２つの円弧が上下方向に対象に組み合わされた横断面形状を成している。また、上記スライダの両内側面にも上下２列合計４列の同様のボール転動溝が形成されている。
【００１０】
上記スライダの内部には、幅方向両側にそれぞれ上下２列合計４列のボール循環路が形成されている。また、上記スライダの前後端にはそれぞれエンドキャップが設置されている。これらエンドキャップには、それぞれ、上下２列合計４列の反転路が形成されている。
上記ガイドレール側のボール転動溝と上記スライダ側のボール転動溝の間の空間と上記スライダのボール循環路、及び、上記エンドキャップの反転路内には複数のボールが転動・循環される。
【００１１】
また、上記ガイドレール側のボール転動溝の上下方向の間隔は、上記スライダ側のボール転動溝の上下方向の間隔よりも、小さくなるように設定されている。そして、上記スライダの上側からの負荷が小さい場合は、上記ボールのうち、上側の列のボールは、上記スライダ側のボール転動溝の下側の面と接触しているとともに、上記ガイドレール側のボール転動溝の上側の面と接触している。また、下側の列のボールは、上記スライダ側のボール転動溝の上側の面と接触しているとともに、上記ガイドレール側のボール転動溝の下側の面と接触している。そして、上記スライダの上側からの負荷が小さい場合は、上記上側の列のボールには荷重が加わらず、上記下側の列のボールのみで、上記スライダを支持する。
【００１２】
しかし、上記スライダの上側からの負荷が大きい場合は、上記ボールのうち、上側の列のボールが、上記スライダ側のボール転動溝の上側の面と接触しているとともに、上記ガイドレール側のボール転動溝の下側の面と接触するようになり、上記上側の列のボールにも荷重が加わるようになる。このように、上記スライダの上側からの負荷が大きくなると、上記上側の列のボールと上記下側の列のボールの両方によって上記スライダを支持するようになり、大きい負荷に対応できる状態へ移行する。
つまり、負荷が小さい場合には上側の２列で支持し、負荷が大きくなると、上下４列で支持することになる。
なお、サーキュラーアーク構造で、上下２列ずつの合計４列で、各列のボールはそれぞれ２点において接触している構成のものもある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】実開平２−４３５１８号公報
【特許文献２】実公昭６３−２４２５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
しかし、上記従来の構成では、次のような問題があった。
まず、特許文献１、特許文献２の何れに記載されたリニアガイドも、小負荷時は２列支持であり、また、大負荷時は４列支持となるが、各列２点接触であるため、剛性が低く、特に、モーメント負荷に対する剛性が低いという問題があった。又、同じ理由により、定格荷重が小さいという問題もあった。
このような問題に対しては、上下２列合計４列で各列４点接触の「ゴシックアーク型」のリニアガイド装置の適用が想定されるが、それでは、摺動抵抗が増大してしまうことになる。
また、特許文献１、特許文献２に記載された考案によると、リニアガイド装置を、大負荷対応状態へ速やかに移行させるためには、案内レール（ガイドレール）側のボール転動溝の上下方向の間隔とスライダ側のボール転動溝の上下方向の間隔との差を小さくする必要があり、そのためには、極めて精度の高い隙間管理を伴う加工が必要となり、リニアガイドの製造が困難になってしまうという問題もあった。
【００１５】
本発明は、このような点に基づいてなされたもので、その目的とするところは、過度に摺動抵抗を増大させることなく剛性の向上と定格荷重の増大を図り、且つ、製造の容易化を図るこが可能なリニアガイドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記課題を解決するべく本願発明の請求項1によるリニアガイドは、ベースと、上記ベースに対して上下２段のガイド機構を介して移動可能に設置されたスライダと、を具備し、上記上下２段のガイド機構のうちの何れか一方のガイド機構は球体の２点接触の左右２列構造であり、何れか他方のガイド機構は球体の４点接触の左右２列構造であり、上記球体の２点接触の左右２列構造であるガイド機構の予圧が、上記球体の４点接触の左右２列構造であるガイド機構の予圧より高いことを特徴とするものである。
又、請求項２によるリニアガイドは、請求項１記載のリニアガイドにおいて、上記球体の４点接触の左右２列構造であるガイド機構の球体の４点接触を維持できる範囲で、上記球体の２点接触の左右２列構造の予圧を高くすることを特徴とするものである。
又、請求項３によるリニアガイドは、請求項１又は請求項２記載のリニアガイドにおいて、上記予圧の調整は上記球体のゲージを調整することにより行うようにしたことを特徴とするものである。
又、請求項４によるリニアガイドは、請求項１〜請求項３の何れかに記載のリニアガイドにおいて、上記上下２段のガイド機構の球体の呼び直径、球体の個数、球体が転動する転動溝の形状の少なくとも１つを異なるものとしたことを特徴とするものである。
又、請求項５によるリニアガイドは、請求項１〜請求項３の何れかに記載のリニアガイドにおいて、上記上下２段のガイド機構の球体の呼び直径、球体の個数、球体が転動する転動溝の形状を同じものとしたことを特徴とするものである。
又、請求項６によるリニアガイドは、請求項１〜請求項４の何れかに記載のリニアガイドにおいて、上記球体の２点接触の左右２列構造であるガイド機構はサーキュラーアーク構造であり、上記球体の４点接触の左右２列構造であるガイド機構はゴシックアーク構造であることを特徴とするものである。
又、請求項７によるリニアガイドは、請求項１〜請求項６の何れかに記載のリニアガイドにおいて、上記スライダは上記ベースの内側で移動可能に設置されていることを特徴とするものである。
又、請求項８によるリニアガイドは、請求項１〜請求項６の何れかに記載のリニアガイドにおいて、上記スライダは上記ベースの外側で移動可能に設置されていることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１７】
以上述べたように、本願発明の請求項１のリニアガイドによると、ベースと、上記ベースに対して上下２段のガイド機構を介して移動可能に設置されたスライダと、を具備し、上記上下２段のガイド機構のうちの何れか一方のガイド機構は球体の２点接触の左右２列構造であり、何れか他方のガイド機構は球体の４点接触の左右２列構造であるので、摺動抵抗を過度に増大させることなく剛性と定格荷重の向上を図ることができる。
又、請求項２のリニアガイドによると、請求項１記載のリニアガイドにおいて、上記球体の２点接触の左右２列構造であるガイド機構の予圧が、上記球体の４点接触の左右２列構造であるガイド機構の予圧より高いため、簡単な構成により、上記リニアガイドを摺動抵抗の低減を図った、駆動系にとって有利な直動案内を実現できる。
又、請求項３のリニアガイドによると、請求項２記載のリニアガイドにおいて、上記球体の４点接触の左右２列構造であるガイド機構の球体の４点接触を維持できる範囲で、上記球体の２点接触の左右２列構造の予圧を高くしたため、外部から作用する荷重の大きさに関わらず、高い剛性と定格荷重を実現できる。
又、請求項４のリニアガイドによると、請求項２又は請求項３記載のリニアガイドにおいて、上記予圧の調整は上記球体のゲージを調整することにより行うようにしたため、容易に製造することができる。
又、請求項５によるリニアガイドは、請求項１〜請求項４の何れかに記載のリニアガイドにおいて、上記上下２段のガイド機構の球体の呼び直径、球体の個数、球体が転動する転動溝の形状の少なくとも１つを異なるものとしたため、上記上下２段のガイド機構のそれぞれについて、別々に、上記球体の呼び直径や個数、及び、上記球体が転動する転動溝の形状を設定することで、部品同士の干渉による制約を受けず、設計の自由度を高めることができ、更に、例えば、上記２段のガイド機構のうちの一方についてのみ、球体と転動溝の接触角や適合度を小さくすることで、摺動抵抗を過度に増大させることなく剛性と定格荷重を向上させることができる。
又、請求項６によるリニアガイドは、請求項１〜請求項４の何れかに記載のリニアガイドにおいて、上記上下２段のガイド機構の球体の呼び直径、球体の個数、球体が転動する転動溝の形状を同じものとしたため、上記上下２段のガイド機構について、例えば、製造時に同じ工具を使用できたり、同じ呼び直径の球体を使用できたりするので、容易に製造することができる。
又、請求項７のリニアガイドによると、請求項１〜請求項６の何れかに記載のリニアガイドにおいて、上記球体の２点接触の左右２列構造であるガイド機構はサーキュラーアーク構造であり、上記球体の４点接触の左右２列構造であるガイド機構はゴシックアーク構造であるため、摺動抵抗を過度に増大させることなく、剛性と定格荷重を高めることができる。
又、請求項８のリニアガイドによると、請求項１〜請求項７の何れかに記載のリニアガイドにおいて、上記スライダは上記ベースの内側で移動可能に設置されているため、上記スライダが上記ベースの内側で移動可能に設置されるタイプのリニアガイドにおいて、前記したような効果を得ることができる。
又、請求項９のリニアガイドによると、請求項１〜請求項７の何れかに記載のリニアガイドにおいて、上記スライダは上記ベースの外側で移動可能に設置されているため、上記スライダが上記ベースの外側で移動可能に設置されるタイプのリニアガイドにおいて、前記したような効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータの一部の構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態を示す図で、図１のＩＩ−ＩＩ断面図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態を示す図で、図２のＩＩＩ部の拡大図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態を示す図で、図４（ａ）は負荷が小さい場合の上段のガイド溝及び下段のガイド溝に発生する内部応力の分布を模式的に示す図、図４（ｂ）は負荷が中程度の場合の上段のガイド溝及び下段のガイド溝に発生する内部応力の分布を模式的に示す図、図４（ｃ）は負荷が大きい場合の上段のガイド溝及び下段のガイド溝に発生する内部応力の分布を模式的に示す図である。
【図５】本発明の第１の実施の形態を示す図で、横軸に傾き角（ｄｅｇ）をとり縦軸にモーメント（Ｎｍ）をとり剛性の向上を従来との対比で示す特性図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態を示す図で、リニアガイドの横断面図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態を示す図で、図６のＶＩ部の拡大図である。
【図８】本発明の第３の実施の形態を示す図で、上下のガイド機構における球体の個数を異ならせた場合の断面図である。
【図９】本発明の第４の実施の形態を示す図で、上下のガイド機構における球体の呼び直径を異ならせた場合の断面図である。
【図１０】本発明の第５の実施の形態を示す図で、リニアガイドの上側ガイド機構の転動溝付近における拡大横断面図である。
【図１１】本発明の第５の実施の形態を示す図で、図１１（ａ）は適合度を大きくした場合の転動溝付近の拡大横断面図であり、図１１（ｂ）は適合度を小さくした場合の転動溝付近の拡大横断面図である。
【図１２】本発明の第６の実施の形態を示す図で、図１２（ａ）はリニアガイドの横断面図、図１２（ｂ）は図１２（ａ）のＸＩＩｂ部の拡大図である。
【図１３】本発明の第７の実施の形態を示す図で、図１３（ａ）はリニアガイドの横断面図、図１３（ｂ）は図１３（ａ）のＸＩＩＩｂ部の拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図１乃至図５を参照しながら本発明の第１の実施の形態について説明する。
この第１の実施の形態によるリニアガイドを採用したアクチュエータ１は、図１に示すような構成になっている。まず、略Ｕ字型の横断面形状を成すベース３がある。
【００２０】
このベース３は底壁３ａと一対の側壁３ｂ、３ｃとから構成されている。上記側壁３ｂの内側面の上側には、ベース側ガイド溝５ａが長さ方向（図１中左下から右上に向かう方向）に延長・形成されている。また、上記側壁３ｃの内側の上側には、ベース側ガイド溝５ｂが長さ方向（図１中左下から右上に向かう方向）に延長・形成されている。上記ベース側ガイド溝５ａ、５ｂは、図２及び図３に示すような横断面形状を成しており、図３中下側には略円弧状の横断面形状を成すガイド面６ａ、６ｂが形成されている。
【００２１】
また、上記側壁３ｂの内側であって、上記ベース側ガイド溝５ａの下側には、ベース側ガイド溝７ａが長さ方向（図１中左下から右上に向かう方向）に延長・形成されている。また、上記側壁３ｃの内側であって、上記ベース側ガイド溝５ｂの下側には、ベース側ガイド溝７ｂが長さ方向（図１中左下から右上に向かう方向）に延長・形成されている。上記ベース側ガイド溝７ａ、７ｂは、それぞれ、図２及び図３に示すように、円弧状の横断面形状を成す上側ガイド面９ａと下側ガイド面９ｂが図３中上下方向に対称に組み合わされた形状となっている。
【００２２】
上記ベース３の内側にはボールねじ軸１１が回転可能に配置されている。すなわち、上記ベース３の長さ方向（図１中左下から右上に向かう方向）の両端側には、図示しない軸受部材が設置されており、これら両軸受部材によって、上記ボールねじ軸１１が回転可能に支持されている。このボールねじ軸１１には螺旋溝１３が形成されている。
また、上記ボールねじ軸１１の一端には、例えば、図示しないカップリング機構を介して、モータ（図示せず）の回転軸が連結されている。この図示しないモータにより、上記ボールねじ軸１１が回転・駆動される。
【００２３】
また、図１に示すように、上記ベース３の内側には、スライダ１５が移動可能に設置されている。このスライダ１５にはスライダ本体１７がある。このスライダ本体１７の中央には、図２に示すように、ボールねじ軸用貫通孔１９が長さ方向（図２中紙面垂直方向）に延長・形成されている。このボールねじ軸用貫通孔１９の内周面には螺旋溝２１が形成されている。上記ボールねじ軸用貫通孔１９は、上記ボールねじ軸１１によって貫通されている。
なお、上記スライダ本体１７がボールねじナットとして機能し、このボールねじナットと上記ボールねじ軸１１とによって、ボールねじ機構を構成している。
【００２４】
また、図２に示すように、上記スライダ本体１７の図２中下側には、リターンプレート２２ａが設置されている。このリターンプレート２２ａには、リターン路２２ｂが形成されており、上記ボールねじ軸１１の螺旋溝１３と上記スライダ本体１７の螺旋溝２１との間の空間、及び、上記リターン路２２ｂ内には、複数のボール２２ｃが転動・循環している。
【００２５】
また、図２に示すように、上記スライダ本体１７の幅方向一方側（図２中左側）には、貫通孔２３ａが長さ方向（図２中紙面垂直方向）に延長・形成されている。また、上記スライダ本体１７の幅方向他方側（図２中右側）には、貫通孔２３ｂが長さ方向（図２中紙面垂直方向）に延長・形成されている。
また、上記貫通孔２３ａの下側には、貫通孔２５ａが長さ方向（図２中紙面垂直方向）に延長・形成されており、上記貫通孔２３ｂの下側には、貫通孔２５ｂが長さ方向（図２中紙面垂直方向）に延長・形成されている。
【００２６】
上記貫通孔２３ａ内には、例えば、樹脂製のチューブ２７ａが内装されており、上記貫通孔２３ｂ内には、例えば、樹脂製のチューブ２７ｂが内装されている。また、上記貫通孔２５ａ内には、例えば、樹脂製のチューブ２９ａが内装されている。また、上記貫通孔２５ｂ内には、例えば、樹脂製のチューブ２９ｂが内装されている。
上記チューブ２７ａの内側が無負荷循環路３１ａとなっており、上記チューブ２７ｂの内側が無負荷循環路３１ｂとなっている。また、上記チューブ２９ａの内側が無負荷循環路３３ａとなっており、上記チューブ２９ｂの内側が無負荷循環路３３ｂとなっている。
【００２７】
また、図１に示すように、上記スライダ本体１７の前後端（図１中左下から右上に向かう方向の両端）には、エンドキャップ３４ａ、３４ｂが設置されている。これらエンドキャップ３４ａ、３４ｂのそれぞれには、図示しない第１のリターン路、第２のリターン路、第３のリターン路、第４のリターン路が形成されている。すなわち、図１において、エンドキャップ３４ａをみると、左上に第１のリターン路、右上に第２のリターン路、左下に第３のリターン路、右下に第４のリターン路が形成されている。エンドキャップ３４ｂも同様の構成になっている。
【００２８】
また、図２に示すように、上記スライダ本体１７の幅方向の一方側の側面（図２中左側の面）の上側には、スライダ側ガイド溝３５ａが形成されている。また、上記スライダ本体１７の幅方向の他方側の側面（図２中右側の面）の上側には、スライダ側ガイド溝３５ｂが形成されている。
上記スライダ側ガイド溝３５ａ、３５ｂは、図２及び図３に示すような横断面形状を成しており、図３中上側には略円弧状の横断面形状を成すガイド面３６ａ、３６ｂが形成されている。
【００２９】
また、図２に示すように、上記スライダ側ガイド溝３５ａの図２中下側には、スライダ側ガイド溝３７ａが形成されている。また、上記スライダ側ガイド溝３５ｂの図２中下側には、スライダ側ガイド溝３７ｂが形成されている。
上記スライダ側ガイド溝３７ａ、３７ｂは、図２及び図３に示すように、円弧状の横断面形状を成す上側ガイド面３９ａと下側ガイド面３９ｂが図３中上下方向に対称に組み合わされた形状となっている。また、上記スライダ側ガイド溝３７ａ、３７ｂは、前記ベース側ガイド溝７ａ、７ｂと高さ方向の位置（図２中上下方向の位置）が同じとなるように形成されている。
【００３０】
上記無負荷循環路３１ａ、上記エンドキャップ３４ａの図示しない第１のリターン路、上記スライダ側ガイド溝３５ａと上記ベース側ガイド溝５ａとの間の空間、及び、上記エンドキャップ３４ｂの図示しない第２のリターン路には、複数のボール４１ａが転動・循環している。
上記無負荷循環路３１ｂ、上記エンドキャップ３４ａの図示しない第２のリターン路、上記スライダ側ガイド溝３５ｂと上記ベース側ガイド溝５ｂとの間の空間、及び、上記エンドキャップ３４ｂの図示しない第１のリターン路には、複数のボール４１ｂが転動・循環している。
上記無負荷循環路３３ａ、上記エンドキャップ３４ａの図示しない第３のリターン路、上記スライダ側ガイド溝３７ａと上記ベース側ガイド溝７ａとの間の空間、及び、上記エンドキャップ３４ｂの図示しない第４のリターン路には、複数のボール４３ａが転動・循環している。
上記無負荷循環路３３ｂ、上記エンドキャップ３４ａの図示しない第４のリターン路、上記スライダ側ガイド溝３７ｂと上記ベース側ガイド溝７ｂとの間の空間、及び、上記エンドキャップ３４ｂの図示しない第３のリターン路には、複数のボール４３ｂが転動・循環している。
【００３１】
また、上記ボール４１ａは、図３、図４に示すように、上記ベース側ガイド溝５ａのガイド面６ａ及び上記スライダ側ガイド溝３５ａのガイド面３６ａと、それぞれ１点ずつ、合計２点において接触している。
また、上記ボール４１ｂも、同様に、上記スライダ側ガイド溝３５ｂのガイド面３６ｂ及び上記ベース側ガイド溝５ｂのガイド面６ｂと、それぞれ１点ずつ、合計２点において接触している。
上側の上記ベース側ガイド溝５ａと上記スライダ側ガイド溝３５ａと上記ボール４１ａ、及び、上記ベース側ガイド溝５ｂと上記スライダ側ガイド溝３５ｂと上記ボール４１ｂからなる上段ガイド機構は、２点接触のサーキュラーアーク構造となっている。
【００３２】
一方、上記ボール４３ａは、上記スライダ側ガイド溝３７ａの上側ガイド面３９ａと下側ガイド面３９ｂ、及び、上記ベース側ガイド溝７ａの上側ガイド面９ａと下側ガイド面９ｂと、それぞれと１点ずつ、合計４点において接触している。
また、上記ボール４３ｂは、上記スライダ側ガイド溝３７ｂの上側ガイド面３９ａと下側ガイド面３９ｂ、及び、上記ベース側ガイド溝７ｂの上側ガイド面９ａと下側ガイド面９ｂと、それぞれと１点ずつ、合計４点において接触している。
下側の上記ベース側ガイド溝７ａと上記スライダ側ガイド溝３７ａと上記ボール４３ａ、及び、上記ベース側ガイド溝７ｂと上記スライダ側ガイド溝３７ｂと上記ボール４３ｂからなる下段ガイド機構は、４点接触のゴシックアーク構造となっている。
【００３３】
また、上記ボール４１ａ、４１ｂの数と上記ボール４３ａ、４３ｂの数が同じに設定されているとともに、上記ボール４１ａ、４１ｂの呼び直径と上記ボール４３ａ、４３ｂの呼び直径も同じに設定されている。しかし、上側の上記ボール４１ａ、４１ｂに付与する予圧は、下側の上記ボール４３ａ、４３ｂに付与する予圧に比べて、若干高く設定されており、それによって、摺動抵抗の低減を図るようにしている。
なお、上記ボール４１ａ、４１ｂ、及び、上記ボール４３ａ、４３ｂは、所定の呼び直径の複数種類のゲージの中から、適宜、選択されるものであり、このゲージが上記予圧の設定の指標とされる。この実施の形態の場合には、上記ボール４１ａ、４１ｂと上記ボール４３ａ、４３ｂのゲージの差は１０μｍ以下の範囲で任意の値に設定している。
また、上記呼び直径とは、ボールを製造する際に設定される上記ボールの大きさの目標値であり、上記ゲージとは、上記呼び直径と、実際にその呼び直径で製造されたボールの直径の平均値との差である。すなわち、上記ゲージによって、ボールの直径のバラつきの程度が規定されており、上記ゲージによって上記ボールは、予め設定された幾つかの等級に分類されている。
【００３４】
また、図１に示すように、上記スライダ本体１７の上面側には、取付用雌ネジ部４５、４５、４５、４５が形成されている。この取付用雌ネジ部４５、４５、４５、４５に、図示しない取付用ボルトを螺合させることで、上記スライダ本体１７に図示しない取付対象物が固定される。
【００３５】
次に、この第１の実施の形態によるリニアガイド１の作用について説明する。
前記したように、図示しないモータにより、ボールねじ軸１１が回転されると、スライダ１５がベース３に沿って移動される。その際、上記スライダ１５には図示しない取付対象物が設置・固定され、上記スライダ１５には、上側から荷重が加えられることになる。
【００３６】
上記荷重が「軽負荷」、「中負荷」、「重負荷」のときに、スライダ本体１７とベース３にどのような内部応力が発生するかについて、図４を参照して説明する。
まず、「軽負荷」の場合であるが、図４（ａ）に示すような内部応力が発生する。すなわち、上側のボール４１ａがガイド溝３５ａに接触している部分とガイド溝５ａに接触している部分、及び、下側のボール４３ａがガイド溝７ａの上側ガイド面９ａと接触している部分とガイド溝３７ａの下側ガイド面３９ｂと接触している部分には、大きな応力が発生している。これに対して、上記下側のボール４３ａがガイド溝７ａの下側ガイド面９ｂと接触している部分とガイド溝３７ａの上側ガイド面３９ａと接触している部分には小さな応力が発生している。
【００３７】
また、同様に、上側のボール４１ｂがガイド溝３５ｂとガイド溝５ｂに接触している部分、及び、下側のボール４３ｂがガイド溝７ｂの上側ガイド面９ａと接触している部分とガイド溝３７ｂの下側ガイド面３９ｂと接触している部分には、大きな応力が発生しているが、上記下側のボール４３ｂがガイド溝７ｂの下側ガイド面９ｂと接触している部分とガイド溝３７ｂの上側ガイド面３９ａと接触している部分には、小さな応力が発生している。
【００３８】
これは、上側の上記ボール４１ａ、４１ｂに付与される予圧が、下側の上記ボール４３ａ、４３ｂに付与される予圧に比べて、若干高く設定されているため、「軽負荷」の場合は、上記上側のボール４１ａ、４１ｂによって、上記スライダ１５が上側に付勢されていることによるものである。
また、本実施の形態の場合には、上段ガイド機構は２点接触のサーキュラーアーク構造となっていて、下段ガイド機構は、４点接触のゴシックアーク構造となっているが、上記応力分布からも明らかなように、荷重の多くを２点接触のサーキュラーアーク構造からなる上段ガイド機構により支持するようになっているので、摺動抵抗も小さなものとなる。
【００３９】
次に、「中負荷」の場合であるが、スライダ本体１７とベース３には、図４（ｂ）に示すような応力が発生する。すなわち、上側のボール４１ａがガイド溝３５ａに接触している部分とガイド溝５ａに接触している部分には、図４（ａ）に示す場合よりも更に大きな応力が発生し、上記下側のボール４３ａがガイド溝７ａの下側ガイド面９ｂと接触している部分、ガイド溝３７ａの上側ガイド面３９ａと接触している部分、下側のボール４３ａがガイド溝７ａの上側ガイド面９ａと接触している部分、及び、ガイド溝３７ａの下側ガイド面３９ｂと接触している部分には、中程度の応力が略均等に発生している。
【００４０】
また、同様に、上側のボール４１ｂがガイド溝３５ｂに接触している部分とガイド溝５ｂに接触している部分には、上記荷重により更に大きな応力が発生し、上記下側のボール４３ｂがガイド溝７ｂの下側ガイド面９ｂと接触している部分、ガイド溝３７ｂの上側ガイド面３９ａと接触している部分、下側のボール４３ｂがガイド溝７ｂの上側ガイド面９ａと接触している部分、及び、ガイド溝３７ｂの下側ガイド面３９ｂと接触している部分には、中程度の応力が略均等に発生している。
【００４１】
この場合も、荷重の多くが上記上側のボール４１ａ、４１ｂによって支持されており、上記下側のボール４３ａ、４３ｂによって受ける荷重（図４（ｂ）にＢ−Ｂ方向の矢印で示す）が、図４（ａ）で示した状態よりも増加している。
また、上記応力分布からも明らかなように、荷重の多くを２点接触のサーキュラーアーク構造からなる上段ガイド機構により支持するようになっているので、摺動抵抗も小さなものとなる。この点、「軽負荷」の場合と同様である。
【００４２】
次に、「重負荷」の場合であるが、スライダ本体１７とベース３には、図４（ｃ）に示すような応力が発生する。
すなわち、上側のボール４１ａがガイド溝３５ａに接触している部分とガイド溝５ａに接触している部分には、図４（ｂ）に示す場合よりも更に大きな応力が発生し、上記下側のボール４３ａがガイド溝７ａの下側ガイド面９ｂと接触している部分とガイド溝３７ａの上側ガイド面３９ａと接触している部分にも、図４（ｂ）に示す場合よりも更に大きな応力が発生している。一方、下側のボール４３ａがガイド溝７ａの上側ガイド面９ａと接触している部分とガイド溝３７ａの下側ガイド面３９ｂと接触している部分には、小さい応力が発生している。
【００４３】
また、同様に、上側のボール４１ｂがガイド溝３５ｂに接触している部分とガイド溝５ｂに接触している部分には、上記荷重により更に大きな応力が発生し、上記下側のボール４３ｂがガイド溝７ｂの下側ガイド面９ｂと接触している部分とガイド溝３７ｂの上側ガイド面３９ａと接触している部分にも、上記荷重により大きな応力が発生している。一方、下側のボール４３ｂがガイド溝７ｂの上側ガイド面９ａと接触している部分とガイド溝３７ｂの下側ガイド面３９ｂと接触している部分には、小さい応力が発生している。
【００４４】
この場合は、荷重の多くが上記上側のボール４１ａ、４１ｂによって支持されているもののが、上記下側のボール４３ａ、４３ｂによって受ける荷重（図４（ｃ）にＢ−Ｂ方向の矢印で示す）が、図４（ｂ）で示した状態よりも増加している。
また、上記応力分布からも明らかなように、荷重の多くを２点接触のサーキュラーアーク構造からなる上段ガイド機構により支持するようになっているので、摺動抵抗も小さなものとなる。この点、「軽負荷」、「中負荷」の場合と同様である。
【００４５】
次に、この第１の実施の形態による効果について説明する。
まず、上側のボール４１ａ、４１ｂによる上段ガイド機構側の２列、及び、下側のボール４３ａ、４３ｂによる下段ガイド機構側の２列の、合計４列のボールによってスライダ１５を支持しており、上記上側のボール４１ａ、４１ｂはそれぞれ２点で接触しており、上記下側のボール４３ａ、４３ｂは４点で接触しているので、摺動抵抗を過度に増大させることなく、剛性の向上と、定格荷重の増大を図ることかできる。
ちなみに、上下２列合計４列で各列４点接触の「ゴシックアーク型」のリニアガイド装置もあるが、それでは、摺動抵抗が増大してしまうことになる。
剛性の向上、定格荷重の増大は、２点接触左右２列の上段ガイド機構と４点接触左右２列の下段ガイド機構の両方によって負荷を受けることに起因する。
【００４６】
上記剛性の向上について、図５を参照しながら説明する。
図５のグラフは、横軸に「傾き角度」をとり、縦軸に「モーメント」をとり、上記スライダ１５を図２中時計回り方向又は反時計回り方向のローリング方向に回転させるのに必要なモーメントの大きさを示したものである。
図５に示すグラフによると、従来のサーキュラーアークガイド（上下２列ずつの合計４列で、各列のボールはそれぞれ２点において接触している）のスライダと同じ角度だけ、この第１の実施の形態によるアクチュエータのスライダ１５を回転させようとすると、約１．６倍のモーメントが必要となる。すなわち、この第１の実施の形態によるリニアガイドは、従来のサーキュラーアークガイドに比べて約１．６倍の剛性を有することになる。
【００４７】
また、上記ボール４１ａ、４１ｂはスライダ本体１７及び上記ベース３と一点ずつ、合計２点で接触していると共に、上記ボール４３ａ、４３ｂは上記スライダ本体１７及び上記ベース３と２点ずつ、合計４点で接触している構成になっているが、上段ガイド機構側の予圧を下段ガイド機構側の予圧より大きく設定し、荷重の多くを２点で接触している上記上側のボール４１ａ、４１ｂで受けるように構成しているので、過度に摺動抵抗を増大させることなく剛性の向上と定格荷重の増大を図ることができる。
【００４８】
また、上記上段ガイド機構側の予圧と上記下段ガイド機構側の予圧の大小の設定は、上記上側のボール４１ａ、４１ｂのゲージ、上記下側のボール４３ａ、４３ｂのゲージを適宜選択することにより行われるので、予圧の設定も簡単である。
その際、ベース３側のガイド溝５ａ、５ｂ、７ａ、７ｂやスライダ本体１７側のガイド溝３５ａ、３５ｂ、３７ａ、３７ｂを所定の位置関係となるように高い精度で製造する必要はないので、リニアガイド１を容易に製造することができる。
【００４９】
次に、図６及び図７を参照しながら、本発明の第２の実施の形態について説明する。
前記第１の実施の形態の場合には、上段ガイド機構を２点接触左右２列のサーキュラーアーク構造とし、下段ガイド機構を４点接触左右２列のゴシックアーク構造としたが、この第２の実施の形態では、上段ガイド機構を４点接触左右２列のゴシックアーク構造とし、下段ガイド機構を２点接触左右２列のサーキュラーアーク構造としている。  すなわち、図６、図７に示すように、ガイド溝５ａ、５ｂ、ガイド溝３５ａ、３５ｂ、ボール４１ａ、４１ｂが下段ガイド機構側（図６中下側）に設けられており、ガイド溝７ａ、７ｂ、ガイド溝３７ａ、３７ｂ、ボール４３ａ、４３ｂが上段ガイド機構側（図６中上側）に設けられている。
また、図７に示すように、スライダ１５側のガイド溝３５ａ、３５ｂの図７中上側にガイド面３６ａ、３６ｂが形成されており、ベース３側のガイド溝５ａ、５ｂの図７中下側にガイド面６ａ、６ｂが形成されている。
また、上記ボール４１ａ、４１ｂの数と上記ボール４３ａ、４３ｂの数が同じに設定されており、上記ボール４１ａ、４１ｂの呼び直径と上記ボール４３ａ、４３ｂの呼び直径も同じに設定されているが、上段ガイド機構側の上記ボール４３ａ、４３ｂよりも下段ガイド機構側の上記ボール４１ａ、４１ｂの方が付与される予圧が大きく設定されている。
なお、その他の構成については、前記第１の実施の形態と同様であり、図中同一部分には同一符号を付しその説明を省略する。
【００５０】
この第２の実施の形態においても、前記第１の実施の形態と同様の作用・効果を奏する。
【００５１】
次に、図８を参照しながら、本発明の第３の実施の形態について説明する。この第３の実施の形態は球体の個数に関するものである。
すなわち、この第３の実施の形態によるリニアガイドは、前記第１の実施の形態によるリニアガイド１とほぼ同様の構成となっているが、次のような点において構成が異なっている。
【００５２】
まず、この第３の実施の形態の場合は、上段ガイド機構のボール４１ａ、４１ｂの数を下段ガイド機構のボール４３ａ、４３ｂの数よりも多くしている。
ちなみに、上記ボール４１ａ、４１ｂ及び上記ボール４３ａ、４３ｂの呼び径や、上記ボール４１ａ、４１ｂ及び上記ボール４３ａ、４３ｂに付与される予圧は、同じに設定されている。
このような構成を採用した理由は次の通りである。
【００５３】
一般的に、上記ボール４１ａ、４１ｂや上記ボール４３ａ、４３ｂを介して、スライダ１５が支持されるため、上記ボール４１ａ、４１ｂや上記ボール４３ａ、４３ｂの数を増加させると、定格荷重が増大するとともに剛性が向上する。
ところが、上記ボール４１ａ、４１ｂと上記ボール４３ａ、４３ｂの数を同時に増加させてしまうと、上記スライダ１５を構成する部品同士の干渉等の問題が発生することが懸念される。
そこで、この第３の実施の形態では、上段ガイド機構においてのみ、上記ボール４１ａ、４１ｂの数を増加させることで、上記スライダ１５を構成する部品同士の干渉等の問題を回避しつつ、定格荷重の増大、剛性の向上を図るようにしている。
なお、上記ボール４１ａ、４１ｂ、４３ａ、４３ｂの数に応じて、上段ガイド機構における無負荷循環路３１ａ、３１ｂ、及び、下段ガイド機構における無負荷循環路３３ａ、３３ｂの長さを適宜調整する必要があるため、図８に示すように、スライダ本体１７やエンドキャップ３４ａ、３４ｂの形状が前記した第１の実施の形態と比べて変更されている。
【００５４】
次に図９を参照しながら、本発明の第４の実施の形態について説明する。この第４の実施の形態は球体の呼び直径に関するものである。
すなわち、この場合は、上段ガイド機構のボール４１ａ、４１ｂの呼び直径を大きく設定している。
ちなみに、この場合は、上記ボール４１ａ、４１ｂの数と上記ボール４３ａ、４３ｂの数や、上記ボール４１ａ、４１ｂ及び上記ボール４３ａ、４３ｂに付与される予圧は、は同じに設定されている。
このような構成を採用した理由は次の通りである。
【００５５】
一般的に、上記ボール４１ａ、４１ｂや上記ボール４３ａ、４３ｂを介して、スライダ１５が支持されるため、上記ボール４１ａ、４１ｂや上記ボール４３ａ、４３ｂの呼び直径を大きく設定することによっても、定格荷重の増大、剛性の向上を図ることができる。
ところが、上記ボール４１ａ、４１ｂと上記ボール４３ａ、４３ｂの呼び直径を同時に大きく設定してしまうと、上記スライダ１５を構成する部品同士の干渉等の問題が発生することが懸念される。
そこで、この第４の実施の形態では、図９に示すように、上段ガイド機構においてのみ、上記ボール４１ａ、４１ｂの呼び直径を大きく設定することで、上記スライダ１５を構成する部品同士の干渉等の問題を回避しつつ、定格荷重の増大剛性の向上を図るようにしている。
なお、この場合も、上記ボール４１ａ、４１ｂ、４３ａ、４３ｂの呼び直径に応じて、上段ガイド機構における無負荷循環路３１ａ、３１ｂ、及び、下段ガイド機構における無負荷循環路３３ａ、３３ｂの長さを適宜調整する必要があるため、図9に示すように、スライダ本体１７やエンドキャップ３４ａ、３４ｂの形状が前記した第１の実施の形態と比べて変更されている。
【００５６】
次に、図１０及び図１１を参照しながら、本発明の第５の実施の形態について説明する。この第５の実施の形態は球体が転動する転動溝の形状に関するものである。  すなわち、この第５の実施の形態の場合は、リニアガイドの構成は前記した第１の実施の形態の場合とほぼ同様であるが、図１０に示す場合は、サーキュラーアーク構造の上段ガイド機構についてのみ上記ボール４１ａ、４１ｂの接触角θ（図１０に示すように、上記ボール４１ａ、４１ｂの接触点を結ぶ直線と垂線との間の角度）を小さく設定している。
この接触角は、ベース側ガイド溝５ａ、５ｂやスライダ側ガイド溝３５ａ、３５ｂの形状によって決定される。
ちなみに、この実施の形態の場合には、４５°未満の任意の値を選定している。
このような構成によって、定格荷重の増大、剛性の向上を図っている。これは、次のような理由による。
【００５７】
一般的に、上記ボール４１ａ、４１ｂの接触角θや、上記ボール４３ａ、４３ｂの接触角θを小さくすることで、定格荷重の増大、剛性の向上を図ることができるものの、ゴシックアーク構造においては、接触角θを小さくすると滑り摩擦が大きくなってしまう。一方、サーキュラーアーク構造では、滑り摩擦は接触角θには依存しない。
そこで、サーキュラーアーク構造となっている上段ガイド機構についてのみ上記ボール４１ａ、４１ｂの接触角θを小さく設定することで、摺動抵抗を過度に増加させることなく、定格荷重の増大、剛性の向上を図るようにしている。
【００５８】
また、サーキュラーアーク構造となっている上段ガイド機構についてのみ、適合度を小さくしている。
適合度とは、次の式（Ｉ）によって表わされる。
ｆ＝ｒ／Ｄ――――――（Ｉ）
但し、
ｆ：適合度
ｒ：ボール４１ａ、４１ｂの転動する溝（ベース側ガイド溝５ａ、５ｂ、ス
ライダ側ガイド溝３５ａ、３５ｂ）の曲率半径
Ｄ：ボール４１ａ、４１ｂの呼び直径
すなわち、上記ボール４１ａ、４１ｂの半径（呼び直径／２）と上記ベース側ガイド溝５ａ、５ｂ、スライダ側ガイド溝３５ａ、３５ｂの曲率半径を近づけるように設定することで、上記ボール４１ａ、４１ｂの接触面積を増やし、定格荷重の増大、剛性の向上を図るようにしている。
なお、図１１（ａ）には、適合度が大きい場合の上記ボール４１ａと上記ベース側ガイド溝５ａを示しており、図１１（ｂ）には、適合度が小さい場合の上記ボール４１ａと上記ベース側ガイド溝５ａを示している。
ちなみに、適合度は、例えば、０．５２〜０．５６の範囲で小さな値を選定する。
また、当然であるが、この適合度も、ベース側ガイド溝５ａ、５ｂやスライダ側ガイド溝３５ａ、３５ｂの形状によって決定される。
サーキュラーアーク構造となっている上段ガイド機構についてのみ、このように適合度を小さく設定するのは、次のような理由による。
【００５９】
一般的に、適合度を小さくすることで、定格荷重の増大、剛性の向上を図ることができるものの、適合度を小さくすると、滑り摩擦が大きくなってしまい、このことは、特に、ゴシックアーク構造において顕著である。そのため、サーキュラーアーク構造となっている上段ガイド機構についてのみ適合度を小さく設定することで、摺動抵抗を過度に増加させることなく、定格荷重の増大、剛性の向上を図るようにしている。
【００６０】
次に、図１２を参照しながら、本発明の第６の実施の形態について説明する。
この第６の実施の形態の場合は、リニアガイドの構成は前記第１の実施の形態の場合とほぼ同様であるが、上段ガイド機構側が、オフセットゴシックアーク構造となっている。すなわち、ベース側ガイド溝５ａ、５ｂ及びスライダ側ガイド溝３５ａ、３５ｂがベース側ガイド溝７ａ、７ｂ及びスライダ側ガイド溝３７ａ、３７ｂと同様の形状になっていると共に、上記ベース側ガイド溝５ａ、５ｂと上記スライダ側ガイド溝３５ａ、３５ｂの図１２中上下方向の位置が異なっている。
この場合も、上段ガイド機構において、ボール４１ａ、４１ｂが２点で接触しており、下段ガイド機構において、ボール４３ａ、４３ｂが２点で接触している点は変わらない。
この第６の実施の形態においても、前記した第１の実施の形態と同様の作用・効果を奏する。
【００６１】
次に、図１３を参照しながら、本発明の第７の実施の形態について説明する。
この第７の実施の形態の場合は、リニアガイドの構成は前記第６の実施の形態の場合とほぼ同様であるが、上段ガイド機構と下段ガイド機構が入れ替わった構成となっている。すなわち、上段ガイド機構側が、ゴシックアーク構造となっており、下段ガイド機構側が、オフセットゴシックアーク構造となっている。
この第７の実施の形態においても、前記した第１の実施の形態と同様の作用・効果を奏する。
【００６２】
本発明は、前記第１〜第７の実施の形態に限定されない。
まず、前記第１の実施の形態の場合は、スライダはベースの内側で移動可能に設置されているが、スライダがベースを跨ぐように設置され、ベースの外側で移動可能に設置されるものでもよい。
また、前記第１の実施の形態では、上段ガイド機構の予圧を下段ガイド機構の予圧より大きくし、前記第３の実施の形態では、上記上段ガイド機構のボールの数を増やし、前記第４の実施の形態では、上段ガイド機構のボールの呼び直径を大きくし、前記第５の実施の形態では、上記上段ガイド機構の接触角と適合度を小さくしていたが、これらの上段ガイド機構及び下段ガイド機構におけるパラメータの変更を、任意の組み合わせで行うことも考えられる。
また、ボールが２点で接触している溝、及び、ボールが４点で接触している溝の形状にもさまざまな場合が考えられる。
その他、図示した構成はあくまで一例である。
【産業上の利用可能性】
【００６３】
本発明は、例えば、アクチュエータのスライダをガイドするリニアガイドに係り、特に、過度に摺動抵抗を増大させることなく剛性の向上と定格荷重の増大を図り、且つ、製造の容易化を図ることができるように工夫したものに関し、例えば、産業用ロボットに用いられるアクチュエータのリニアガイドに好適である。
【符号の説明】
【００６４】
１  リニアガイド
３  ベース
５ａ  ベース側ガイド溝（一方のガイド機構の一部）
５ｂ  ベース側ガイド溝（一方のガイド機構の一部）
７ａ  ベース側ガイド溝（他方のガイド機構の一部）
７ｂ  ベース側ガイド溝（他方のガイド機構の一部）
３５ａ  スライダ側ガイド溝（一方のガイド機構の一部）
３５ｂ  スライダ側ガイド溝（一方のガイド機構の一部）
３７ａ  スライダ側ガイド溝（他方のガイド機構の一部）
３７ｂ  スライダ側ガイド溝（他方のガイド機構の一部）
４１ａ  ボール（球体、一方のガイド機構の一部）
４１ｂ  ボール（球体、一方のガイド機構の一部）
４３ａ  ボール（球体、他方のガイド機構の一部）
４３ｂ  ボール（球体、他方のガイド機構の一部）
【図１】
0006385769.tif 000002
【図２】
0006385769.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0006385769.tif 000009
【図９】
0006385769.tif 000010
【図１０】
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【図１１】
0006385769.tif 000012
【図１２】
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【図１３】
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